(57)【要約】【課題】メンテナンスの頻度を低くすることができる除塵装置を提供する。【解決手段】一方向Ｙに送りが与えられるワークＷの被除塵面Ｗ0 から、粉塵を除去する除塵装置に於て、上流側に配設される第１除塵手段１と、下流側に配設される第２除塵手段２とを、近接配置する。第１除塵手段１は、高速エアー流にて被除塵面Ｗ0 から粉塵を除去する吸引スリット部を有する。第２除塵手段２は、被除塵面Ｗ0 に接触しつつ回転する粘着ロール７を有する。【選択図】図１
2019005704.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向（Ｙ）に送りが与えられるワーク（Ｗ）の被除塵面（Ｗ0 ）から、粉塵（Ｈ）を除去する除塵装置に於て、
上流側に配設される第１除塵手段（１）と、下流側に配設される第２除塵手段（２）とを、近接配置し、
上記第１除塵手段（１）は、高速エアー流（Ａ1 ）にて上記被除塵面（Ｗ0 ）から粉塵（Ｈ）を除去する吸引スリット部（３）を有し、
上記第２除塵手段（２）は、被除塵面（Ｗ0 ）に接触しつつ回転する粘着ロール（７）を有することを特徴とする除塵装置。
【請求項２】
一方向（Ｙ）に送りが与えられるワーク（Ｗ）の被除塵面（Ｗ0 ）から、粉塵（Ｈ）を除去する除塵装置に於て、
上流側に配設される第１除塵手段（１）と、下流側に配設される第２除塵手段（２）とを、近接配置し、
上記第１除塵手段（１）は、上記被除塵面（Ｗ0 ）に対して非接触状態で近設する一対のブレード（４）を備え、一対の該ブレード（４）間の吸引スリット部（３）を吸引機に連通連結して該吸引スリット部（３）からエアーを吸込み、上記ブレード（４）の外側面（５）から先端縁（６）を廻り込む高速エアー流（Ａ1 ）によって、上記被除塵面（Ｗ0 ）に付着の粉塵（Ｈ）を遊離しつつ吸引除去するように構成され、
上記第２除塵手段（２）は、上記第１除塵手段（１）の高速エアー流（Ａ1 ）にて取除かれずに取り残された粉塵（Ｈ）を粘着力にて除去するために、上記被除塵面（Ｗ0 ）に接触しつつ回転する粘着ロール（７）を有することを特徴とする除塵装置。
【請求項３】
上記第１除塵手段（１）の上流側に、上記被除塵面（Ｗ0 ）に対して非接触状態で近設する第１カバー板片（11）を設けるとともに、上記第２除塵手段（２）の下流側に、第２カバー板片（12）を設け、上記第１除塵手段（１）と第２除塵手段（２）の上方にバキューム筒体（13）を設け、上記第１カバー板片（11）と第２カバー板片（12）が、上記バキューム筒体（13）に取着されて、上記第１カバー板片（11）と上記バキューム筒体（13）の底壁（14）と上記第２カバー板片（12）とによって、上記第１除塵手段（１）・第２除塵手段（２）を包囲状とし、
上記第１カバー板片（11）の下端縁（15）とワーク（Ｗ）との間隙（16）から内部空間（17）へ吸引されるエアー流（Ａ0 ）によって、ワーク（Ｗ）の被除塵面（Ｗ0 ）から粉塵（Ｈ）を予備分離するように構成した請求項１又は２記載の除塵装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、除塵装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、フィルム、紙、プリント基板等の製造工程に於て、大小様々な粉塵が、強弱様々の固着力をもって、ワークに付着する。従来、ワークの表面に付着したこのような粉塵を除去する方法として、粘着ロールをワークに接触させて粉塵を除去する方法があった（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１７５４７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
粘着ロールにて除塵する方法の場合、粘着ロールに粉塵を付着させて除去してゆくので、所定作業時間毎に、粘着力を回復させるメンテナンス（粘着力再生のためのロールクリーニング作業）を行う必要があり、頻繁に行う粘着力再生のためのロールクリーニング作業によって、製造ラインを止めねばならない等の問題があった。また、ワークに多数の凹凸部が存在する場合、小さな粉塵が凹部に入ると、粘着ロールのみでは、除去できないという問題がある。
【０００５】
そこで、本発明は、メンテナンスの頻度を低くする（インターバルを長くする）ことができる除塵装置を提供することを目的とする。また、ワークの凹部に入った小さな粉塵も効率良く除去することができる除塵装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
そこで、本発明に係る除塵装置は、一方向に送りが与えられるワークの被除塵面から、粉塵を除去する除塵装置に於て、上流側に配設される第１除塵手段と、下流側に配設される第２除塵手段とを、近接配置し、上記第１除塵手段は、高速エアー流にて上記被除塵面から粉塵を除去する吸引スリット部を有し、上記第２除塵手段は、被除塵面に接触しつつ回転する粘着ロールを有するものである。
【０００７】
また、一方向に送りが与えられるワークの被除塵面から、粉塵を除去する除塵装置に於て、上流側に配設される第１除塵手段と、下流側に配設される第２除塵手段とを、近接配置し、上記第１除塵手段は、上記被除塵面に対して非接触状態で近設する一対のブレードを備え、一対の該ブレード間の吸引スリット部を吸引機に連通連結して該吸引スリット部からエアーを吸込み、上記ブレードの外側面から先端縁を廻り込む高速エアー流によって、上記被除塵面に付着の粉塵を遊離しつつ吸引除去するように構成され、上記第２除塵手段は、上記第１除塵手段の高速エアー流にて取除かれずに取り残された粉塵を粘着力にて除去するために、上記被除塵面に接触しつつ回転する粘着ロールを有するものである。
【０００８】
また、上記第１除塵手段の上流側に、上記被除塵面に対して非接触状態で近設する第１カバー板片を設けるとともに、上記第２除塵手段の下流側に、第２カバー板片を設け、上記第１除塵手段と第２除塵手段の上方にバキューム筒体を設け、上記第１カバー板片と第２カバー板片が、上記バキューム筒体に取着されて、上記第１カバー板片と上記バキューム筒体の底壁と上記第２カバー板片とによって、上記第１除塵手段・第２除塵手段を包囲状とし、上記第１カバー板片の下端縁とワークとの間隙から内部空間へ吸引されるエアー流によって、ワークの被除塵面から粉塵を予備分離するように構成したものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の除塵装置によれば、ワークの被除塵面から種々の粉塵を能率的に除去でき、しかも、粘着ロールに付着する粉塵の量が少なくなって、粘着力再生のためのクリーニング作業（メンテナンス）の頻度を低減できる。また、ワークの被除塵面に、多数の凹凸が形成されている場合、凹部に小さな粉塵が入っていても巧妙に効率良く除去可能である。特に、装置全体をコンパクト化可能であって、かつ、ワークの被除塵面に強弱様々な付着力にて付いている大小様々の粉塵を、高効率に、かつ、美しく確実に除去できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施の一形態を示す断面側面図である。
【図２】要部拡大断面図である。
【図３】粘着ロールの圧力調節手段を示す断面正面図である。
【図４】ワークＷから粉塵Ｈが除去されていく過程を示す図であって、（Ａ）は、図２の（イ）の領域に於ける粉塵Ｈの付着状態を示す図であり、（Ｂ）は、図２の（ロ）の領域に於ける粉塵Ｈの付着状態を示す図であり、（Ｃ）は、図２の（ハ）の領域に於ける粉塵Ｈの付着状態を示す図であり、（Ｄ）は、図２の（ニ）の領域に於ける粉塵Ｈの付着状態を示す図である。
【図５】メンテナンスのための引出し状態を説明する平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図示の実施の形態に基づいて本発明を詳説する。
図１は、本発明の実施の一形態を示す。一方向Ｙに送りが与えられるワークＷの被除塵面Ｗ0 から、粉塵Ｈを除去する除塵装置に於て、上流側に配設される第１除塵手段１と、下流側に配設される第２除塵手段２とが、近接配置される。ワークＷは、シート状のもの、枚葉状のもの等がある。図１，図２では、長尺シート状のワークＷが支持ロール21に懸架されつつ一方向Ｙへ搬送される場合を示している。また、ワークＷの材質は、樹脂や紙等がある。あるいは、ワークＷとしてプリント基板であっても良い。粉塵Ｈは、大気中に浮遊していた粉塵、機械や人に由来する粉塵（いわゆる環境粉塵）等があり、一般に、大小様々な大きさのものが混在している。例えば、１μｍ〜30μｍの粉塵Ｈが、混在している。そして、それらの粉塵Ｈが、種々の強弱の固着力（付着力）をもって、ワークＷに付着している。
【００１２】
図２に示すように、第１除塵手段１は、高速エアー流Ａ1 にて被除塵面Ｗ0 から粉塵Ｈを除去する吸引スリット部３を有する。具体的には、第１除塵手段１は、被除塵面Ｗ0 に対して非接触状態で（例えば、 0.2mm〜１mmの間隙をもって）近設する一対のブレード４を備える。一対のブレード４間の吸引スリット部３を図示省略の吸引機にバキューム管22（図５参照）等をもって連通連結して、吸引スリット部３からエアーを吸込み、ブレード４の外側面５から先端縁６を廻り込む高速エアー流Ａ1 によって、被除塵面Ｗ0 に付着の粉塵Ｈを遊離しつつ吸引除去するように構成される。外側面５の先端縁部が凹曲面５Ａとされる。高速エアー流Ａ1 の「高速」とは、50m／s以上の速度をいう。被除塵面Ｗ0 に凹凸がある場合には、第１除塵手段１によって、凹部内の粉塵Ｈも除去することができる。
【００１３】
第２除塵手段２は、被除塵面Ｗ0 に接触しつつ回転する粘着ロール７を有する。具体的には、第２除塵手段２は、第１除塵手段１の高速エアー流Ａ1 にて取除かれずに取り残された粉塵Ｈを粘着力にて除去するために、被除塵面Ｗ0 に接触しつつ回転（自転）する粘着ロール７を有している。
【００１４】
粘着ロール７は、外層部が、例えば、粘着性ゴム、シリコン等から成る。粘着ロール７の粘着力を、例えば、１hpa 以上 200hpa 以下に設定する。ワークＷへの粉塵Ｈの粘着力が小さい場合、粘着ロール７の粘着力の小さいものを用いることができる。ワークＷへの粉塵Ｈの粘着力が大きい場合、粘着ロール７の粘着力の大きいものを用いる必要がある。
【００１５】
図１・図２に於て、粘着ロール７及び支持ロール21は、ワークＷとの接触により回転する。すなわち、図外の巻取りロール等の駆動によって、ワークＷのみに直接送りが与えられ、粘着ロール７及び支持ロール21は、ワークＷの送りにつられて回転する。なお、支持ロール21を、図外の駆動モータにて、回転させるも自由である。
【００１６】
ワークＷがシート状の場合、粉塵Ｈの付着状態（ワークＷへの固着力・付着力の強弱）に応じて、粘着ロール７の粘着力とともに、ワークＷの張力Ｔを調節する。例えば、粉塵Ｈが、ワークＷの表面（被除塵面Ｗ0 ）に単に付着している場合（極低粘着の場合）、粘着ロール７の粘着力を、１hpa 以上50hpa 以下に設定し、ワークＷの張力Ｔは、１kgf／m未満で良い。粉塵Ｈが、生産ライン上にあるロールを介してワークＷに押しつけられた場合（低粘着の場合）、粘着ロール７の粘着力を、50hpa 以上 100hpa 以下に設定するとともに、ワークＷの張力Ｔを、１kgf／m以上に設定する。ワークＷに凹みが生じる程度に圧着（圧入固着）された場合（強粘着の場合）、粘着ロール７の粘着力を、 100hpa 以上 200hpa 以下に設定するとともに、ワークＷの張力Ｔを、１kgf／m以上に設定する。ワークＷの張力Ｔを上述のように設定するのは、ワークＷが粘着ロール７に巻き付くのを防止するためである。また、張力変動を起こして最終フィルム（ワーク）の巻きが均一でなくなるのを防止するためである。
【００１７】
ワークＷに凹凸がある場合や梨地の場合（表面が粗い場合）は、粘着ロール７の硬度を高く設定する。粘着ロール７の傷付きや摩耗を防ぐためである。また、ワークＷが静電気に弱い材質の場合、粘着ロール７の材質を、導電性、帯電防止性を有する材質とする。
【００１８】
図３に示すように、粘着ロール７の軸８が、上下動自在にかつ粘着ロール７のワークＷへの接触圧を調節自在に、圧力調節手段９にて支持されている。圧力調節手段９は、ばね10を備える。ばね10の下端位置が、上下位置を変更設定自在に構成される。ボールベアリング19を有するスライドガイド20を備え、粘着ロール７が正常水平姿勢を保ちつつ正確に上下動するようにガイドする。基本的に、粘着ロール７は、ワークＷに対して押し付けるのではなく、粘着ロール７等の上下可動部の自重から、ばね10，10の上方向への弾発付勢力を、差引いた力をもって、ワークＷに対して軽く接触させた状態で使用する。そして、異物除去能力は、（主として）粘着ロール７の粘着力によって決定される。
【００１９】
図１・図２に戻って説明する。第１除塵手段１の上流側に、被除塵面Ｗ0 に対して非接触状態で近設する第１カバー板片11を設けるとともに、第２除塵手段２の下流側に、第２カバー板片12を設ける。第１除塵手段１と第２除塵手段２の上方にバキューム筒体13を設ける。第１カバー板片11と第２カバー板片12が、バキューム筒体13に取着される。第１カバー板片11とバキューム筒体13の底壁14と第２カバー板片12とによって、第１除塵手段１・第２除塵手段２を上流側と天井面側と下流側から包囲状とする。第１カバー板片11の下端縁15とワークＷとの間隙16から内部空間17へ吸引されるエアー流Ａ0 によって、ワークＷの被除塵面Ｗ0 から粉塵Ｈを予備分離するように構成される。言い換えると、エアー流Ａ0 は、第１除塵手段１の手前で、分離容易な粉塵Ｈを予備的にまず分離させる粉塵分離作用を有する。第１カバー板片11の下端縁15とワークＷとの間隙16の間隙寸法を、例えば、２mm〜３mmに設定する。なお、上記エアー流Ａ0 は第１除塵手段１の吸引スリット部３の吸引エアーＡ3 によって発生している。第２カバー板片12は、粘着ロール７の停止状態で、外部から粉塵Ｈが内部空間17へ入るのを防止する。
【００２０】
図４はワークＷから粉塵Ｈが除去されていく過程を示す。図４（Ａ）は、図２の（イ）の領域（第１カバー板片11より上流側の領域）に於ける粉塵Ｈの付着状態を示す。粉塵Ｈが除去される前の状態である。ワークＷの被除塵面Ｗ0 に、種々の固着力（付着力）をもって大小様々な粉塵Ｈが付着している。
【００２１】
図４（Ｂ）は、図２の（ロ）の領域（第１カバー板片11と第１除塵手段１との間の領域）に於ける粉塵Ｈの付着状態を示す。第１カバー板片11の下端縁15とワークＷとの間隙16から内部空間17へ吸引されるエアー流Ａ0 によって、ワークＷの被除塵面Ｗ0 から、ワークＷへの固着力（付着力）が極めて弱い粉塵Ｈが予備的に分離（除去）され、ワークＷに残留した粉塵Ｈが、予め減少している。
【００２２】
図４（Ｃ）は、図２の（ハ）の領域（第１除塵手段１と第２除塵手段２との間の領域）に於ける粉塵Ｈの付着状態を示す。ブレード４の外側面５から先端縁６を廻り込む高速エアー流Ａ1 によって、被除塵面Ｗ0 に付着している（ワークＷへの固着力が比較的弱い）粉塵Ｈを遊離しつつ吸引除去したので、ワークＷに残留した粉塵Ｈが、さらに減少している。しかし、ワークＷへの固着力が強い粉塵Ｈ、特に、ワークＷに凹みが生じるほど圧着された粉塵Ｈは、未だ除去されず、ワークＷに残留している。
【００２３】
図４（Ｄ）は、図２の（ニ）の領域（第２除塵手段２より下流側の領域）に於ける粉塵Ｈの付着状態を示す。粘着ロール７によって、ワークＷへの固着力が強い粉塵Ｈも除去され、被除塵面Ｗ0 から粉塵Ｈが全て除去されている。
【００２４】
上述のように、第１カバー板片11の下端縁15とワークＷとの間隙16から内部空間17へ吸引されるエアー流Ａ0 による粉塵Ｈの予備除去、第１除塵手段１による除塵、第２除塵手段２による除塵のいわば３段階の除塵を行う。
【００２５】
図５に示すように、第１除塵手段１（図１・図２参照）及び第２除塵手段２（粘着ロール７）等を一体的に引出移動可能とするレール18を備える。除塵装置の使用により、粘着ロール７に粉塵Ｈが付着するので、粘着ロール７を洗浄液（アルコール等）にて粉塵Ｈを払拭して、粘着力を回復させるメンテナンス（粘着力再生作業）を行うが、粘着ロール７を引出移動させることで、容易にメンテナンスを行うことができる。
【００２６】
なお、本発明は、設計変更可能であって、例えば、粘着ロール７が軽量の場合、圧力調節手段９を省略して、粘着ロール７の自重にてワークＷに接触するように構成するも良い。また、圧力調節手段９のばね10の代わりにエアーシリンダーを用いるも良い。また、ワークＷがプリント基板等の場合、支持ロール21の代わりに、平面状のコンベア等を設けるも良い。
【００２７】
以上のように、本発明は、一方向Ｙに送りが与えられるワークＷの被除塵面Ｗ0 から、粉塵Ｈを除去する除塵装置に於て、上流側に配設される第１除塵手段１と、下流側に配設される第２除塵手段２とを、近接配置し、上記第１除塵手段１は、高速エアー流Ａ1 にて上記被除塵面Ｗ0 から粉塵Ｈを除去する吸引スリット部３を有し、上記第２除塵手段２は、被除塵面Ｗ0 に接触しつつ回転する粘着ロール７を有するので、被除塵面Ｗ0 に、付着力（固着力）が強弱種々の粉塵Ｈが付着していても、高効率で除去することができる。特に、ワークＷへ付着する粉塵Ｈの大きさ・形状・付着力等が変動する使用状況・使用環境にあって、除塵原理を異にする２種類の除塵手段１，２を設けたことにより、柔軟に対応でき、ワークＷがシート状のものから、枚葉状のものまで、さらに、各種材質のものや、電子基板等にも適用範囲も広大である。第１除塵手段１と第２除塵手段２が近接しているので、第１除塵手段１にて粉塵Ｈを除去した後に再び粉塵Ｈが被除塵面Ｗ0 に付着することなく粉塵Ｈを高効率で除去することができる。
【００２８】
また、メンテナンスの頻度を低くすることができる。すなわち、粘着ロール７で粉塵Ｈを除去する前段階として、第１除塵手段１にて分離しやすい粉塵Ｈが除去されるので、実質的に粘着ロール７にて除去する粉塵Ｈが少なくて済み、粘着ロール７の粘着力を回復させるために粘着ロール７に付着した粉塵Ｈを払拭するメンテナンスのインターバルを長くすることができる。
【００２９】
さらに、凹凸表面のあるワークＷにも適用することができる。特に、ワークＷに凹部が存在し、小さな粉塵Ｈが凹部に入った場合、ワークＷの凹部に入った小さな粉塵Ｈも効率良く除去することができる。また、構造がシンプルで、故障が少ない。また、全体をコンパクト化することができる。
【００３０】
また、一方向Ｙに送りが与えられるワークＷの被除塵面Ｗ0 から、粉塵Ｈを除去する除塵装置に於て、上流側に配設される第１除塵手段１と、下流側に配設される第２除塵手段２とを、近接配置し、上記第１除塵手段１は、上記被除塵面Ｗ0 に対して非接触状態で近設する一対のブレード４を備え、一対の該ブレード４間の吸引スリット部３を吸引機に連通連結して該吸引スリット部３からエアーを吸込み、上記ブレード４の外側面５から先端縁６を廻り込む高速エアー流Ａ1 によって、上記被除塵面Ｗ0 に付着の粉塵Ｈを遊離しつつ吸引除去するように構成され、上記第２除塵手段２は、上記第１除塵手段１の高速エアー流Ａ1 にて取除かれずに取り残された粉塵Ｈを粘着力にて除去するために、上記被除塵面Ｗ0 に接触しつつ回転する粘着ロール７を有するので、被除塵面Ｗ0 に、付着力（固着力が）強弱種々の粉塵Ｈが付着していても、高効率で除去することができる。特に、第１除塵手段１と第２除塵手段２が近接しているので、第１除塵手段１にて粉塵Ｈを除去した後に再び粉塵Ｈが被除塵面Ｗ0 に付着することなく粉塵Ｈを高効率で除去することができる。
【００３１】
また、メンテナンスの頻度を低くすることができる。すなわち、粘着ロール７で粉塵Ｈを除去する前段階として、第１除塵手段１にて分離しやすい粉塵Ｈが除去されるので、実質的に粘着ロール７にて除去する粉塵Ｈが少なくて済み、粘着ロール７の粘着力を回復させるために粘着ロール７に付着した粉塵Ｈを払拭するメンテナンスのインターバルを長くすることができる。
【００３２】
さらに、凹凸表面のあるワークＷにも適用することができる。特に、ワークＷに凹部が存在し、小さな粉塵Ｈが凹部に入った場合、ワークＷの凹部に入った小さな粉塵Ｈも効率良く除去することができる。また、構造がシンプルで、故障が少ない。また、全体をコンパクト化することができる。
【００３３】
また、上記第１除塵手段１の上流側に、上記被除塵面Ｗ0 に対して非接触状態で近設する第１カバー板片11を設けるとともに、上記第２除塵手段２の下流側に、第２カバー板片12を設け、上記第１除塵手段１と第２除塵手段２の上方にバキューム筒体13を設け、上記第１カバー板片11と第２カバー板片12が、上記バキューム筒体13に取着されて、上記第１カバー板片11と上記バキューム筒体13の底壁14と上記第２カバー板片12とによって、上記第１除塵手段１・第２除塵手段２を包囲状とし、上記第１カバー板片11の下端縁15とワークＷとの間隙16から内部空間17へ吸引されるエアー流Ａ0 によって、ワークＷの被除塵面Ｗ0 から粉塵Ｈを予備分離するように構成したので、第１除塵手段１にてより多くの粉塵Ｈを除去することができ、第２除塵手段２で除去すべき粉塵Ｈの量を減らすことができる。これによって、第２除塵手段２の粘着ロール７のメンテナンスの頻度を低くすることができる。
【符号の説明】
【００３４】
１  第１除塵手段
２  第２除塵手段
３  吸引スリット部
４  ブレード
５  外側面
６  先端縁
７  粘着ロール
11  第１カバー板片
12  第２カバー板片
13  バキューム筒体
14  底壁
15  下端縁
16  間隙
17  内部空間
Ａ0   エアー流
Ａ1   高速エアー流
Ｈ  粉塵
Ｗ  ワーク
Ｗ0   被除塵面
Ｙ  一方向
【図１】
2019005704.tif 000003
【図２】
2019005704.tif 000004
【図３】
2019005704.tif 000005
【図４】
2019005704.tif 000006
【図５】
2019005704.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成30年11月12日(2018.11.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向（Ｙ）に送りが与えられるワーク（Ｗ）の被除塵面（Ｗ0 ）から、粉塵（Ｈ）を除去する除塵装置に於て、
上流側に配設される第１除塵手段（１）と、下流側に配設される第２除塵手段（２）とを、近接配置し、
上記第１除塵手段（１）は、上記被除塵面（Ｗ0 ）に対して非接触状態で近設する一対のブレード（４）を備え、一対の該ブレード（４）間の吸引スリット部（３）を吸引機に連通連結して該吸引スリット部（３）からエアーを吸込み、上記ブレード（４）の外側面（５）から先端縁（６）を廻り込む高速エアー流（Ａ1 ）によって、上記被除塵面（Ｗ0 ）に付着の粉塵（Ｈ）を遊離しつつ吸引除去するように構成され、
上記第２除塵手段（２）は、上記第１除塵手段（１）の高速エアー流（Ａ1 ）にて取除かれずに取り残された粉塵（Ｈ）を粘着力にて除去するために、上記被除塵面（Ｗ0 ）に接触しつつ回転する粘着ロール（７）を有し、
上記第１除塵手段（１）の上流側に、上記被除塵面（Ｗ0 ）に対して非接触状態で近設する第１カバー板片（11）を設けるとともに、上記第２除塵手段（２）の下流側に、第２カバー板片（12）を設け、上記第１除塵手段（１）と第２除塵手段（２）の上方にバキューム筒体（13）を設け、上記第１カバー板片（11）と第２カバー板片（12）が、上記バキューム筒体（13）に取着されて、上記第１カバー板片（11）と上記バキューム筒体（13）の底壁（14）と上記第２カバー板片（12）とによって、上記第１除塵手段（１）・第２除塵手段（２）を包囲状とし、
上記第１カバー板片（11）の下端縁（15）とワーク（Ｗ）との間隙（16）から内部空間（17）へ吸引されるエアー流（Ａ0 ）によって、ワーク（Ｗ）の被除塵面（Ｗ0 ）から粉塵（Ｈ）を予備分離するように構成したことを特徴とする除塵装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、除塵装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、フィルム、紙、プリント基板等の製造工程に於て、大小様々な粉塵が、強弱様々の固着力をもって、ワークに付着する。従来、ワークの表面に付着したこのような粉塵を除去する方法として、粘着ロールをワークに接触させて粉塵を除去する方法があった（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１７５４７３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
粘着ロールにて除塵する方法の場合、粘着ロールに粉塵を付着させて除去してゆくので、所定作業時間毎に、粘着力を回復させるメンテナンス（粘着力再生のためのロールクリーニング作業）を行う必要があり、頻繁に行う粘着力再生のためのロールクリーニング作業によって、製造ラインを止めねばならない等の問題があった。また、ワークに多数の凹凸部が存在する場合、小さな粉塵が凹部に入ると、粘着ロールのみでは、除去できないという問題がある。
【０００５】
そこで、本発明は、メンテナンスの頻度を低くする（インターバルを長くする）ことができる除塵装置を提供することを目的とする。また、ワークの凹部に入った小さな粉塵も効率良く除去することができる除塵装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
そこで、本発明に係る除塵装置は、一方向に送りが与えられるワークの被除塵面から、粉塵を除去する除塵装置に於て、上流側に配設される第１除塵手段と、下流側に配設される第２除塵手段とを、近接配置し、上記第１除塵手段は、上記被除塵面に対して非接触状態で近設する一対のブレードを備え、一対の該ブレード間の吸引スリット部を吸引機に連通連結して該吸引スリット部からエアーを吸込み、上記ブレードの外側面から先端縁を廻り込む高速エアー流によって、上記被除塵面に付着の粉塵を遊離しつつ吸引除去するように構成され、上記第２除塵手段は、上記第１除塵手段の高速エアー流にて取除かれずに取り残された粉塵を粘着力にて除去するために、上記被除塵面に接触しつつ回転する粘着ロールを有し、上記第１除塵手段の上流側に、上記被除塵面に対して非接触状態で近設する第１カバー板片を設けるとともに、上記第２除塵手段の下流側に、第２カバー板片を設け、上記第１除塵手段と第２除塵手段の上方にバキューム筒体を設け、上記第１カバー板片と第２カバー板片が、上記バキューム筒体に取着されて、上記第１カバー板片と上記バキューム筒体の底壁と上記第２カバー板片とによって、上記第１除塵手段・第２除塵手段を包囲状とし、上記第１カバー板片の下端縁とワークとの間隙から内部空間へ吸引されるエアー流によって、ワークの被除塵面から粉塵を予備分離するように構成したものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の除塵装置によれば、ワークの被除塵面から種々の粉塵を能率的に除去でき、しかも、粘着ロールに付着する粉塵の量が少なくなって、粘着力再生のためのクリーニング作業（メンテナンス）の頻度を低減できる。また、ワークの被除塵面に、多数の凹凸が形成されている場合、凹部に小さな粉塵が入っていても巧妙に効率良く除去可能である。特に、装置全体をコンパクト化可能であって、かつ、ワークの被除塵面に強弱様々な付着力にて付いている大小様々の粉塵を、高効率に、かつ、美しく確実に除去できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施の一形態を示す断面側面図である。
【図２】要部拡大断面図である。
【図３】粘着ロールの圧力調節手段を示す断面正面図である。
【図４】ワークＷから粉塵Ｈが除去されていく過程を示す図であって、（Ａ）は、図２の（イ）の領域に於ける粉塵Ｈの付着状態を示す図であり、（Ｂ）は、図２の（ロ）の領域に於ける粉塵Ｈの付着状態を示す図であり、（Ｃ）は、図２の（ハ）の領域に於ける粉塵Ｈの付着状態を示す図であり、（Ｄ）は、図２の（ニ）の領域に於ける粉塵Ｈの付着状態を示す図である。
【図５】メンテナンスのための引出し状態を説明する平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図示の実施の形態に基づいて本発明を詳説する。
図１は、本発明の実施の一形態を示す。一方向Ｙに送りが与えられるワークＷの被除塵面Ｗ0 から、粉塵Ｈを除去する除塵装置に於て、上流側に配設される第１除塵手段１と、下流側に配設される第２除塵手段２とが、近接配置される。ワークＷは、シート状のもの、枚葉状のもの等がある。図１，図２では、長尺シート状のワークＷが支持ロール21に懸架されつつ一方向Ｙへ搬送される場合を示している。また、ワークＷの材質は、樹脂や紙等がある。あるいは、ワークＷとしてプリント基板であっても良い。粉塵Ｈは、大気中に浮遊していた粉塵、機械や人に由来する粉塵（いわゆる環境粉塵）等があり、一般に、大小様々な大きさのものが混在している。例えば、１μｍ〜30μｍの粉塵Ｈが、混在している。そして、それらの粉塵Ｈが、種々の強弱の固着力（付着力）をもって、ワークＷに付着している。
【００１０】
図２に示すように、第１除塵手段１は、高速エアー流Ａ1 にて被除塵面Ｗ0 から粉塵Ｈを除去する吸引スリット部３を有する。具体的には、第１除塵手段１は、被除塵面Ｗ0 に対して非接触状態で（例えば、 0.2mm〜１mmの間隙をもって）近設する一対のブレード４を備える。一対のブレード４間の吸引スリット部３を図示省略の吸引機にバキューム管22（図５参照）等をもって連通連結して、吸引スリット部３からエアーを吸込み、ブレード４の外側面５から先端縁６を廻り込む高速エアー流Ａ1 によって、被除塵面Ｗ0 に付着の粉塵Ｈを遊離しつつ吸引除去するように構成される。外側面５の先端縁部が凹曲面５Ａとされる。高速エアー流Ａ1 の「高速」とは、50m／s以上の速度をいう。被除塵面Ｗ0 に凹凸がある場合には、第１除塵手段１によって、凹部内の粉塵Ｈも除去することができる。
【００１１】
第２除塵手段２は、被除塵面Ｗ0 に接触しつつ回転する粘着ロール７を有する。具体的には、第２除塵手段２は、第１除塵手段１の高速エアー流Ａ1 にて取除かれずに取り残された粉塵Ｈを粘着力にて除去するために、被除塵面Ｗ0 に接触しつつ回転（自転）する粘着ロール７を有している。
【００１２】
粘着ロール７は、外層部が、例えば、粘着性ゴム、シリコン等から成る。粘着ロール７の粘着力を、例えば、１hpa 以上 200hpa 以下に設定する。ワークＷへの粉塵Ｈの粘着力が小さい場合、粘着ロール７の粘着力の小さいものを用いることができる。ワークＷへの粉塵Ｈの粘着力が大きい場合、粘着ロール７の粘着力の大きいものを用いる必要がある。
【００１３】
図１・図２に於て、粘着ロール７及び支持ロール21は、ワークＷとの接触により回転する。すなわち、図外の巻取りロール等の駆動によって、ワークＷのみに直接送りが与えられ、粘着ロール７及び支持ロール21は、ワークＷの送りにつられて回転する。なお、支持ロール21を、図外の駆動モータにて、回転させるも自由である。
【００１４】
ワークＷがシート状の場合、粉塵Ｈの付着状態（ワークＷへの固着力・付着力の強弱）に応じて、粘着ロール７の粘着力とともに、ワークＷの張力Ｔを調節する。例えば、粉塵Ｈが、ワークＷの表面（被除塵面Ｗ0 ）に単に付着している場合（極低粘着の場合）、粘着ロール７の粘着力を、１hpa 以上50hpa 以下に設定し、ワークＷの張力Ｔは、１kgf／m未満で良い。粉塵Ｈが、生産ライン上にあるロールを介してワークＷに押しつけられた場合（低粘着の場合）、粘着ロール７の粘着力を、50hpa 以上 100hpa 以下に設定するとともに、ワークＷの張力Ｔを、１kgf／m以上に設定する。ワークＷに凹みが生じる程度に圧着（圧入固着）された場合（強粘着の場合）、粘着ロール７の粘着力を、 100hpa 以上 200hpa 以下に設定するとともに、ワークＷの張力Ｔを、１kgf／m以上に設定する。ワークＷの張力Ｔを上述のように設定するのは、ワークＷが粘着ロール７に巻き付くのを防止するためである。また、張力変動を起こして最終フィルム（ワーク）の巻きが均一でなくなるのを防止するためである。
【００１５】
ワークＷに凹凸がある場合や梨地の場合（表面が粗い場合）は、粘着ロール７の硬度を高く設定する。粘着ロール７の傷付きや摩耗を防ぐためである。また、ワークＷが静電気に弱い材質の場合、粘着ロール７の材質を、導電性、帯電防止性を有する材質とする。
【００１６】
図３に示すように、粘着ロール７の軸８が、上下動自在にかつ粘着ロール７のワークＷへの接触圧を調節自在に、圧力調節手段９にて支持されている。圧力調節手段９は、ばね10を備える。ばね10の下端位置が、上下位置を変更設定自在に構成される。ボールベアリング19を有するスライドガイド20を備え、粘着ロール７が正常水平姿勢を保ちつつ正確に上下動するようにガイドする。基本的に、粘着ロール７は、ワークＷに対して押し付けるのではなく、粘着ロール７等の上下可動部の自重から、ばね10，10の上方向への弾発付勢力を、差引いた力をもって、ワークＷに対して軽く接触させた状態で使用する。そして、異物除去能力は、（主として）粘着ロール７の粘着力によって決定される。
【００１７】
図１・図２に戻って説明する。第１除塵手段１の上流側に、被除塵面Ｗ0 に対して非接触状態で近設する第１カバー板片11を設けるとともに、第２除塵手段２の下流側に、第２カバー板片12を設ける。第１除塵手段１と第２除塵手段２の上方にバキューム筒体13を設ける。第１カバー板片11と第２カバー板片12が、バキューム筒体13に取着される。第１カバー板片11とバキューム筒体13の底壁14と第２カバー板片12とによって、第１除塵手段１・第２除塵手段２を上流側と天井面側と下流側から包囲状とする。第１カバー板片11の下端縁15とワークＷとの間隙16から内部空間17へ吸引されるエアー流Ａ0 によって、ワークＷの被除塵面Ｗ0 から粉塵Ｈを予備分離するように構成される。言い換えると、エアー流Ａ0 は、第１除塵手段１の手前で、分離容易な粉塵Ｈを予備的にまず分離させる粉塵分離作用を有する。第１カバー板片11の下端縁15とワークＷとの間隙16の間隙寸法を、例えば、２mm〜３mmに設定する。なお、上記エアー流Ａ0 は第１除塵手段１の吸引スリット部３の吸引エアーＡ3 によって発生している。第２カバー板片12は、粘着ロール７の停止状態で、外部から粉塵Ｈが内部空間17へ入るのを防止する。
【００１８】
図４はワークＷから粉塵Ｈが除去されていく過程を示す。図４（Ａ）は、図２の（イ）の領域（第１カバー板片11より上流側の領域）に於ける粉塵Ｈの付着状態を示す。粉塵Ｈが除去される前の状態である。ワークＷの被除塵面Ｗ0 に、種々の固着力（付着力）をもって大小様々な粉塵Ｈが付着している。
【００１９】
図４（Ｂ）は、図２の（ロ）の領域（第１カバー板片11と第１除塵手段１との間の領域）に於ける粉塵Ｈの付着状態を示す。第１カバー板片11の下端縁15とワークＷとの間隙16から内部空間17へ吸引されるエアー流Ａ0 によって、ワークＷの被除塵面Ｗ0 から、ワークＷへの固着力（付着力）が極めて弱い粉塵Ｈが予備的に分離（除去）され、ワークＷに残留した粉塵Ｈが、予め減少している。
【００２０】
図４（Ｃ）は、図２の（ハ）の領域（第１除塵手段１と第２除塵手段２との間の領域）に於ける粉塵Ｈの付着状態を示す。ブレード４の外側面５から先端縁６を廻り込む高速エアー流Ａ1 によって、被除塵面Ｗ0 に付着している（ワークＷへの固着力が比較的弱い）粉塵Ｈを遊離しつつ吸引除去したので、ワークＷに残留した粉塵Ｈが、さらに減少している。しかし、ワークＷへの固着力が強い粉塵Ｈ、特に、ワークＷに凹みが生じるほど圧着された粉塵Ｈは、未だ除去されず、ワークＷに残留している。
【００２１】
図４（Ｄ）は、図２の（ニ）の領域（第２除塵手段２より下流側の領域）に於ける粉塵Ｈの付着状態を示す。粘着ロール７によって、ワークＷへの固着力が強い粉塵Ｈも除去され、被除塵面Ｗ0 から粉塵Ｈが全て除去されている。
【００２２】
上述のように、第１カバー板片11の下端縁15とワークＷとの間隙16から内部空間17へ吸引されるエアー流Ａ0 による粉塵Ｈの予備除去、第１除塵手段１による除塵、第２除塵手段２による除塵のいわば３段階の除塵を行う。
【００２３】
図５に示すように、第１除塵手段１（図１・図２参照）及び第２除塵手段２（粘着ロール７）等を一体的に引出移動可能とするレール18を備える。除塵装置の使用により、粘着ロール７に粉塵Ｈが付着するので、粘着ロール７を洗浄液（アルコール等）にて粉塵Ｈを払拭して、粘着力を回復させるメンテナンス（粘着力再生作業）を行うが、粘着ロール７を引出移動させることで、容易にメンテナンスを行うことができる。
【００２４】
なお、本発明は、設計変更可能であって、例えば、粘着ロール７が軽量の場合、圧力調節手段９を省略して、粘着ロール７の自重にてワークＷに接触するように構成するも良い。また、圧力調節手段９のばね10の代わりにエアーシリンダーを用いるも良い。また、ワークＷがプリント基板等の場合、支持ロール21の代わりに、平面状のコンベア等を設けるも良い。
【００２５】
以上のように、本発明は、一方向Ｙに送りが与えられるワークＷの被除塵面Ｗ0 から、粉塵Ｈを除去する除塵装置に於て、上流側に配設される第１除塵手段１と、下流側に配設される第２除塵手段２とを、近接配置し、上記第１除塵手段１は、高速エアー流Ａ1 にて上記被除塵面Ｗ0 から粉塵Ｈを除去する吸引スリット部３を有し、上記第２除塵手段２は、被除塵面Ｗ0 に接触しつつ回転する粘着ロール７を有するので、被除塵面Ｗ0 に、付着力（固着力）が強弱種々の粉塵Ｈが付着していても、高効率で除去することができる。特に、ワークＷへ付着する粉塵Ｈの大きさ・形状・付着力等が変動する使用状況・使用環境にあって、除塵原理を異にする２種類の除塵手段１，２を設けたことにより、柔軟に対応でき、ワークＷがシート状のものから、枚葉状のものまで、さらに、各種材質のものや、電子基板等にも適用範囲も広大である。第１除塵手段１と第２除塵手段２が近接しているので、第１除塵手段１にて粉塵Ｈを除去した後に再び粉塵Ｈが被除塵面Ｗ0 に付着することなく粉塵Ｈを高効率で除去することができる。
【００２６】
また、メンテナンスの頻度を低くすることができる。すなわち、粘着ロール７で粉塵Ｈを除去する前段階として、第１除塵手段１にて分離しやすい粉塵Ｈが除去されるので、実質的に粘着ロール７にて除去する粉塵Ｈが少なくて済み、粘着ロール７の粘着力を回復させるために粘着ロール７に付着した粉塵Ｈを払拭するメンテナンスのインターバルを長くすることができる。
【００２７】
さらに、凹凸表面のあるワークＷにも適用することができる。特に、ワークＷに凹部が存在し、小さな粉塵Ｈが凹部に入った場合、ワークＷの凹部に入った小さな粉塵Ｈも効率良く除去することができる。また、構造がシンプルで、故障が少ない。また、全体をコンパクト化することができる。
【００２８】
また、一方向Ｙに送りが与えられるワークＷの被除塵面Ｗ0 から、粉塵Ｈを除去する除塵装置に於て、上流側に配設される第１除塵手段１と、下流側に配設される第２除塵手段２とを、近接配置し、上記第１除塵手段１は、上記被除塵面Ｗ0 に対して非接触状態で近設する一対のブレード４を備え、一対の該ブレード４間の吸引スリット部３を吸引機に連通連結して該吸引スリット部３からエアーを吸込み、上記ブレード４の外側面５から先端縁６を廻り込む高速エアー流Ａ1 によって、上記被除塵面Ｗ0 に付着の粉塵Ｈを遊離しつつ吸引除去するように構成され、上記第２除塵手段２は、上記第１除塵手段１の高速エアー流Ａ1 にて取除かれずに取り残された粉塵Ｈを粘着力にて除去するために、上記被除塵面Ｗ0 に接触しつつ回転する粘着ロール７を有するので、被除塵面Ｗ0 に、付着力（固着力が）強弱種々の粉塵Ｈが付着していても、高効率で除去することができる。特に、第１除塵手段１と第２除塵手段２が近接しているので、第１除塵手段１にて粉塵Ｈを除去した後に再び粉塵Ｈが被除塵面Ｗ0 に付着することなく粉塵Ｈを高効率で除去することができる。
【００２９】
また、メンテナンスの頻度を低くすることができる。すなわち、粘着ロール７で粉塵Ｈを除去する前段階として、第１除塵手段１にて分離しやすい粉塵Ｈが除去されるので、実質的に粘着ロール７にて除去する粉塵Ｈが少なくて済み、粘着ロール７の粘着力を回復させるために粘着ロール７に付着した粉塵Ｈを払拭するメンテナンスのインターバルを長くすることができる。
【００３０】
さらに、凹凸表面のあるワークＷにも適用することができる。特に、ワークＷに凹部が存在し、小さな粉塵Ｈが凹部に入った場合、ワークＷの凹部に入った小さな粉塵Ｈも効率良く除去することができる。また、構造がシンプルで、故障が少ない。また、全体をコンパクト化することができる。
【００３１】
また、上記第１除塵手段１の上流側に、上記被除塵面Ｗ0 に対して非接触状態で近設する第１カバー板片11を設けるとともに、上記第２除塵手段２の下流側に、第２カバー板片12を設け、上記第１除塵手段１と第２除塵手段２の上方にバキューム筒体13を設け、上記第１カバー板片11と第２カバー板片12が、上記バキューム筒体13に取着されて、上記第１カバー板片11と上記バキューム筒体13の底壁14と上記第２カバー板片12とによって、上記第１除塵手段１・第２除塵手段２を包囲状とし、上記第１カバー板片11の下端縁15とワークＷとの間隙16から内部空間17へ吸引されるエアー流Ａ0 によって、ワークＷの被除塵面Ｗ0 から粉塵Ｈを予備分離するように構成したので、第１除塵手段１にてより多くの粉塵Ｈを除去することができ、第２除塵手段２で除去すべき粉塵Ｈの量を減らすことができる。これによって、第２除塵手段２の粘着ロール７のメンテナンスの頻度を低くすることができる。
【符号の説明】
【００３２】
１  第１除塵手段
２  第２除塵手段
３  吸引スリット部
４  ブレード
５  外側面
６  先端縁
７  粘着ロール
11  第１カバー板片
12  第２カバー板片
13  バキューム筒体
14  底壁
15  下端縁
16  間隙
17  内部空間
Ａ0   エアー流
Ａ1   高速エアー流
Ｈ  粉塵
Ｗ  ワーク
Ｗ0   被除塵面
Ｙ  一方向