(57)【要約】      （修正有）【課題】従来の集塵構成が研磨環境の影響を受けやすく、且つ粉塵が不適切に堆積してしまうという問題を解決することにある。【解決手段】研磨機本体１１は、圧力キャビティ１３に対応して吸気管１１１を設け、前記研磨機本体１１と研磨ディスク１２との間に、前記圧力キャビティ１３に連通する圧力解放間隙１４を形成し、前記吸気管１１１によって高圧気体が前記圧力キャビティ１３に送り込まれ、前記高圧気体の作用を受けることで正圧環境となり、前記高圧気体が前記圧力解放間隙１４より持続的に解放され、外部の塵埃が前記圧力キャビティ１３に入り込むことを制限している。これにより、前記研磨機１０は、塵埃が前記圧力キャビティ１３内に堆積しないようにすることができ、さらに、前記研磨機が湿式研磨を行う時、湿気が前記圧力キャビティ１３内に入り込むことを防ぎ、前記研磨機本体１１と前記研磨ディスク１２との接続部分の腐食を防止している。【選択図】図３
2019005868.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨機本体と、前記研磨機本体に接続する研磨ディスクとを包含する研磨機であって、
前記研磨機本体は、前記研磨ディスクに対向して圧力キャビティを設置し、且つ前記圧力キャビティに対応して吸気管を設け、前記研磨機本体と前記研磨ディスクとの間に、前記圧力キャビティに連通する圧力解放間隙を形成し、前記吸気管によって高圧気体が前記圧力キャビティに送り込まれ、前記圧力キャビティは、前記高圧気体の作用を受けることで内部圧力が前記研磨機本体外部の圧力より大きくなり、正圧環境に変化し、且つ前記圧力解放間隙と連通することで前記高圧気体が前記圧力解放間隙より持続的に解放され、外部の塵埃が前記圧力キャビティに入り込むことを制限することを特徴とする、研磨機。
【請求項２】
前記吸気管は、外部気体供給源に接続して前記外部気体供給源から前記高圧気体を受け入れることを特徴とする請求項１に記載の、研磨機。
【請求項３】
前記研磨機本体は、本体ハウジングと、前記本体ハウジングに接続するカバー体とを包含し、前記吸気管は、前記カバー体上に設置し、前記カバー体は、前記圧力キャビティを画定し且つ前記研磨ディスクに対向する一方が中空状で、前記高圧気体が前記圧力解放間隙に向かって流動するようになっていることを特徴とする請求項２に記載の、研磨機。
【請求項４】
前記カバー体は、前記本体ハウジングに接続する第一端部と、前記研磨ディスクに対向する第二端部とを有し、前記第二端部の大きさは、前記第一端部の大きさより大きいことを特徴とする請求項３に記載の、研磨機。
【請求項５】
前記研磨機本体は、本体ハウジングと、気体案内管とを包含し、前記本体ハウジングは、動力コンポーネントを設置するためのチャンバーと、前記チャンバーに連通して前記外部気体供給源から前記高圧気体を受け入れる吸気経路と、前記チャンバーに連通して前記高圧気体を前記チャンバーから排出する排気経路とを有し、前記気体案内管の両端は、前記排気経路及び前記吸気管にそれぞれ接続して前記高圧気体が前記圧力キャビティに流れ込むように案内することを特徴とする請求項１に記載の、研磨機。
【請求項６】
前記研磨機本体は、前記排気経路及び前記気体案内管の間に接続する調節バルブを包含することを特徴とする請求項５に記載の、研磨機。
【請求項７】
前記研磨機本体は、前記排気経路及び前記気体案内管に接続する第一経路と、前記第一経路から分岐しながらも前記第一経路と連通し且つ前記高圧気体の一部を放出する第二経路とを有する連結管を包含することを特徴とする請求項５に記載の、研磨機。
【請求項８】
前記連結管は、前記第二経路内に設置する気体放出制御部材を包括し、前記気体放出制御部材は、栓体と、前記栓体上に開設する通孔とを有することを特徴とする請求項７に記載の、研磨機。
【請求項９】
前記研磨機本体は、前記本体ハウジングに接続するカバー体を包含し、前記吸気管は、前記カバー体上に設置し、前記カバー体は、前記圧力キャビティを画定し且つ前記研磨ディスクに対向する一方が中空状で、前記高圧気体が前記圧力解放間隙に向かって流動するようになっていることを特徴とする請求項５乃至８のいずれかに記載の、研磨機。
【請求項１０】
前記カバー体は、前記本体ハウジングに接続する第一端部と、前記研磨ディスクに対向する第二端部とを有し、前記第二端部の大きさは、前記第一端部の大きさより大きいことを特徴とする請求項９に記載の、研磨機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨機、特に研磨機本体と研磨ディスクとの間に正圧環境を形成することで、塵埃の排除及び湿気の防止が可能な研磨機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
昨今の研磨機関連業者において、研磨機上に吸塵構成を設置することは、特許文献１から１４などにあるように、普遍的で、前記吸塵構成によって研磨工程で発生した被研磨物の粉塵を吸塵している。
【０００３】
しかし、そのように実施すると、粉塵が不適切に研磨ディスク及び動力コンポーネントの伝動部材上に堆積してしまい、前記伝動部材が回転過程において粉塵と絶えず摩擦し、前記伝動部材が次第に発熱することから、長期的な実施に不利になってしまう。
【０００４】
また、前記研磨機の研磨環境は、乾式研磨だけとは限らず、湿式研磨の場合もあり、上述したこれら特許文献に記載の技術で湿式研磨を行うと、湿気や水分が吸塵された気体によって前記研磨機中に入り込み、湿気や水分が除去し難いものとなり、もし、湿気や水分を蒸発させるために、毎回研磨した後、前記研磨機を解体する必要があるとなると、ユーザは、複数の研磨機を購入して交互に使用する必要があり、生産コストが嵩み、且つ前記研磨機を解体することも生産時間の浪費となってしまう。さらに、現在の当該分野の産業では、徐々にロボットによる実施に転換しており、ロボット上に取り付けられた前記研磨機を何度も解体しなければならないとなると、ロボットの稼働時間がその分少なくなってしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】台湾特許公告第４３９６１６号
【特許文献２】中国特許公開第１７４８９３９号
【特許文献３】アメリカ特許明細書第６，８０２，７６６号
【特許文献４】アメリカ特許明細書第７，７２２，４３８号
【特許文献５】特許第５７６０８９２号
【特許文献６】特許第５６９６４８８号
【特許文献７】特許第５６８２４１０号
【特許文献８】特開２０１４−２１７９２０
【特許文献９】特開２０１４−１２４７５２
【特許文献１０】特開２０１４−０３９９７５
【特許文献１１】特開２０１２−２１０６９１
【特許文献１２】欧州特許公開第２４７９００１号
【特許文献１３】欧州特許公開第３０２８８１１号
【特許文献１４】欧州特許公開第２６１１５７３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の主要な目的は、従来の集塵構成が研磨環境の影響を受けやすく、且つ粉塵が不適切に堆積してしまうという問題を解決することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した目的を達成するため、本発明は、研磨機本体と、前記研磨機本体に接続する研磨ディスクとを包含する研磨機であって、前記研磨機本体は、前記研磨ディスクに対向して圧力キャビティを設置し、且つ前記圧力キャビティに対応して吸気管を設け、前記研磨機本体と前記研磨ディスクとの間に、前記圧力キャビティに連通する圧力解放間隙を形成し、前記吸気管によって高圧気体が前記圧力キャビティに送り込まれ、前記圧力キャビティは、前記高圧気体の作用を受けることで内部圧力が前記研磨機本体外部の圧力より大きくなり、正圧環境に変化し、且つ前記圧力解放間隙と連通することで前記高圧気体が前記圧力解放間隙より持続的に解放され、外部の塵埃が前記圧力キャビティに入り込むことを制限する研磨機を提供している。
【０００８】
実施例において、前記吸気管は、外部気体供給源に接続して前記外部気体供給源から前記高圧気体を受け入れている。
【０００９】
また、実施例において、前記研磨機本体は、本体ハウジングと、前記本体ハウジングに接続するカバー体とを包含し、前記吸気管は、前記カバー体上に設置し、前記カバー体は、前記圧力キャビティを画定し且つ前記研磨ディスクに対向する一方が中空状で、前記高圧気体が前記圧力解放間隙に向かって流動するようになっている。
【００１０】
また、実施例において、前記カバー体は、前記本体ハウジングに接続する第一端部と、前記研磨ディスクに対向する第二端部とを有し、前記第二端部の大きさは、前記第一端部の大きさより大きい。
【００１１】
また、実施例において、前記研磨機本体は、前記本体ハウジングと、気体案内管とを包含し、前記本体ハウジングは、動力コンポーネントを設置するためのチャンバーと、前記チャンバーに連通して前記外部気体供給源から前記高圧気体を受け入れる吸気経路と、前記チャンバーに連通して前記高圧気体を前記チャンバーから排出する排気経路とを有し、前記気体案内管の両端は、前記排気経路及び前記吸気管にそれぞれ接続して前記高圧気体が前記圧力キャビティに流れ込むように案内している。
【００１２】
また、実施例において、前記研磨機本体は、前記排気経路及び前記気体案内管に接続する調節バルブを包含している。
【００１３】
また、実施例において、前記研磨機本体は、前記排気経路及び前記気体案内管に接続する第一経路と、前記第一経路から分岐しながらも前記第一経路と連通し且つ前記高圧気体の一部を放出する第二経路とを有する連結管を包含している。
【００１４】
また、実施例において、前記連結管は、前記第二経路内に設置する気体放出制御部材を包括し、前記気体放出制御部材は、栓体と、前記栓体上に開設する通孔とを有している。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は、周知技術と比較すると、以下のような利点を有している。本発明は、前記圧力キャビティを前記高圧気体によって正圧環境にし、さらに、前記高圧気体を前記圧力解放間隙により排出し、粉塵が前記圧力キャビティに入り込まないようにし、且つ前記圧力キャビティの乾燥が保持されるため、前記圧力キャビティ内に設置されている前記研磨機の部材は、好ましい放熱性を得ることができる。また、前記高圧気体が前記圧力解放間隙から排出されることで、前記高圧気体は、前記研磨機周辺の空気流を駆動し、前記粉塵が前記圧力キャビティ内に入り込まないようにしている。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施例に係る研磨機の構造を示す模式図である。
【図２】本発明の実施例に係る研磨機の構造を示す局部断面図である。
【図３】本発明の実施例に係る高圧気体の流動を示す模式図である。
【図４】本発明の実施例に係る高圧気体の流動を示す模式図である。
【図５】本発明のもう一つの実施例に係る研磨機の構造を示す模式図である。
【図６】本発明のもう一つの実施例に係る研磨機の構造を示す模式図である。
【図７】本発明のもう一つの実施例に係る研磨機の構造を示す模式図である。
【図８】本発明の実施例に係る高圧気体の流動を示す模式図である。
【図９】図８の局部拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明に係る詳細な説明及び技術的内容について、図面を参照しつつ以下において説明する。
【００１８】
図１及び図２を参照すると、本発明は、研磨機本体１１と、前記研磨機本体１１に接続する研磨ディスク１２とを主に本願する研磨機１０を提供し、前記研磨機本体１１は、前記研磨ディスク１２に対向する位置に圧力キャビティ１３を設け、且つ、前記圧力キャビティ１３に対応するように吸気管１１１を設け、前記吸気管１１１は、前記圧力キャビティ１３と連通している。一方、前記研磨機本体１１の下縁は、前記研磨ディスク１２と緊密に接合せずに、前記圧力キャビティ１３に連通する圧力解放間隙１４を形成している。具体的にいうと、前記研磨機本体１１は、前記研磨ディスク１２に対抗する一方において、凹みを呈するように設けることで、前記圧力キャビティ１３を形成することができる。つまり、前記圧力キャビティ１３と前記圧力解放間隙１４とは、実際には連通している。さらに、実施例において、前記研磨機本体１１は、本体ハウジング１１２と、前記本体ハウジング１１２に接続するカバー体１１３とを包含し、前記カバー体１１３は、前記研磨ディスク１２と緊密に接触せずに、前記圧力解放間隙１４を形成している。また、前記カバー体１１３は、傘に近い形状を呈し、前記圧力キャビティ１３を画定することができ、また、前記研磨ディスク１２に対向する前記カバー体１１３の一方は、中空状で、前記圧力キャビティ１３が前記圧力解放間隙１４と直接連通するようにしている。さらにまた、前記カバー体１１３は、前記本体ハウジング１１２に接続する第一端部１１４と、前記研磨ディスク１２に対向する第二端部１１５とを有している。実施例において、前記第二端部１１５の大きさは、図２のように、前記第一端部１１４の大きさより大きい。一方、前記研磨機本体１１は、前記カバー体１１３に設置して前記研磨ディスク１２を前記本体ハウジング１２内の動力コンポーネント１５に連動させる接続部材１１６を包含している。さらに、前記接続部材１１６は、前記動力コンポーネント１５にある伝動軸１５１上に取り付けられ、前記動力コンポーネント１５が作動して転動が生じると、前記伝動軸１５１は、前記接続部材１１６の回転を連動し、前記研磨ディスク１２を転動させている。また、前記接続部材１１６は、釣合い錘とすることができ、釣合い錘を介して前記研磨ディスク１２の転動を安定させている。
【００１９】
また、本発明に係る前記吸気管１１１は、外部気体供給源（図示されていない）に接続することができ、前記外部気体供給源が起動する際、前記吸気管１１は、高圧気体を前記圧力キャビティ１３に送り込み、この時、前記圧力キャビティ１３は、送り込まれた前記高圧気体によって、前記圧力キャビティ１３内の圧力が前記圧力キャビティ１３の外部圧力より大きくなり、つまり、前記圧力キャビティ１３内の圧力が前記研磨機本体１１の外部圧力より大きくなることから、前記圧力キャビティ１３が正圧環境となり、その後の前記高圧気体は、前記圧力解放間隙１４を介して放出されており、この時の空気流の流れが図３のとおりである。また、図４を併せて参照すると、前記高圧気体が前記圧力解放間隙１４を介して放出されると、前記研磨機本体１１周辺の気体は、前記高圧気体の駆動を受け、高圧気体の方向に流動し、これにより、前記研磨ディスク１２の気体の流動が一層明確になり、前記研磨機１０の作業中に発生する粉塵が前記圧力キャビティ１３内に入り込むことをより具体的に防止することができる。また、本発明は、前記高圧気体を前記圧力キャビティ１３に送り込むことで、前記研磨機１０が湿式研磨を行う過程で前記圧力キャビティ１３内に入り込んだ湿気や水分が、前記高圧気体の吹き付けによって乾燥させられ、前記研磨機１０の前記圧力キャビティ１３内が適度な乾燥に保持されることができ、前記研磨機１０の部品が湿気や水分の蓄積によって腐食することを防いでいる。また、本発明は、上述したような設計により、前記研磨機１０を湿式研磨或いは乾式研磨といったような様々な研磨環境に適用させ、実施後に行わなければならないメンテナンスの頻度を低減させることができるため、ロボットアーム（図示されていない）上に取り付けることに適している。さらにまた、本発明は、上述したような技術的手段により、研磨過程において、前記伝動軸１５１及びその近傍にある構成が前記高圧気体に吹き付けられて熱交換が行われ、前記伝動軸１５１及びその近傍にある構成上に熱が蓄積しないようにしている。
【００２０】
なお、本発明に係る図１で、空気流によって実施される前記研磨機１０を図示しているが、本発明の実施例は、空気流によって実施される前記研磨機１０に限定するものではなく、電動によって実施される前記研磨機１０に用いることもできる。
【００２１】
一方、本発明に係る前記研磨ディスク１２は、図１から図４に図示された円形だけでなく、図５のような方形などとすることができ、前記研磨ディスク１２が方形の場合、実施概念が相似するため、ここではこれ以上言及しない。
【００２２】
図６及び図８を参照すると、前記本体ハウジング１１２は、前記動力コンポーネント１５を設置するためのチャンバー１１７と、前記チャンバー１１７に連通して前記外部気体供給源から前記高圧気体を受け入れる吸気経路１１８と、前記チャンバー１１７に連通して前記高圧気体を前記チャンバー１１７から排出する排気経路１１９とを有している。前記吸気経路１１８は、前記チャンバー１１７内に送り込む前記高圧気体を受け入れ、前記高圧気体が前記動力コンポーネント１５の転動を駆動し、前記研磨ディスク１２の転動を連動することで、研磨を行っている。さらに、本発明は、上述した方法以外に、実施例において、前記研磨機本体１１は、両端が前記排気経路１１９及び前記吸気管１１１にそれぞれ接続する気体案内管１６を有し、前記気体案内管１６は、前記排気経路１１９から排出された前記高圧気体を受け入れ、前記高圧気体を前記圧力キャビティ１３内に送り込んでいる。これにより、前記高圧気体が一回作業で廃棄されないように、前記高圧気体を有効的に利用することができる。
【００２３】
図６を再度参照すると、前記研磨機本体１１は、前記排気経路１１９及び前記気体案内管１６の間に接続する調節バルブ１７を包含することができ、前記調節バルブ１７の設置により、前記気体案内管１６を介して前記圧力キャビティ１３に送り込まれる前記高圧気体の流入量を制御している。また、前記調節バルブ１７の種類は、多種多様になるため、ここでは逐次言及しない。前記調節バルブ１７の実施過程は、図８のように、前記調節バルブ１７が一部の前記高圧気体を放出することで、前記気体案内管１６に送り込まれる前記高圧気体が減少している。また、図７から図９を参照すると、実施例において、前記研磨機本体１１は、前記排気経路１１９及び前記気体案内管１６に接続する第一経路１８１と、前記第一経路１８１から分岐しながらも前記第一経路１８１と連通し且つ前記高圧気体の一部を放出する第二経路１８２とを有する連結管１８をさらに包含している。具体的にいうと、前記第二経路１８２の経路内径の大きさは、前記高圧気体の放出量に影響している。実施例において、前記第二経路１８２は、その中に、栓体１８４と、前記栓体１８４上に開設する通孔１８５とを包含する気体放出制御部材１８３を設置し、前記通孔１８５の孔径の大きさによって前記気体放出制御部材１８３の圧力開放状況が左右され、前記通孔１８５の孔径が大きくなると、前記気体放出制御部材１８３は、前記高圧気体をより多く放出し、前記気体案内管１６に送り込まれる前記高圧気体を減少させている。つまり、前記通孔１８５の孔径が小さくなると、前記気体放出制御部材１８３は、前記高圧気体を多く排出することができなくなり、前記気体案内管１６に送り込まれる前記高圧気体の量が前記通孔１８５の孔径が大きいときに比べて多くなっている。
【符号の説明】
【００２４】
１０          研磨機
１１          研磨機本体
１１１        吸気管
１１２        本体ハウジング
１１３        カバー体
１１４        第一端部
１１５        第二端部
１１６        接続部材
１１７        チャンバー
１１８        吸気経路
１１９        排気経路
１２          研磨ディスク
１３          圧力キャビティ
１４          圧力解放間隙
１５          動力コンポーネント
１５１        伝動軸
１６          気体案内管
１７          調節バルブ
１８          連結管
１８１        第一経路
１８２        第二経路
１８３        気体放出制御部材
１８４        栓体
１８５        通孔
【図１】
2019005868.tif 000003
【図２】
2019005868.tif 000004
【図３】
2019005868.tif 000005
【図４】
2019005868.tif 000006
【図５】
2019005868.tif 000007
【図６】
2019005868.tif 000008
【図７】
2019005868.tif 000009
【図８】
2019005868.tif 000010
【図９】
2019005868.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成30年7月4日(2018.7.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨機本体と、前記研磨機本体に接続する研磨ディスクとを包含する研磨機であって、
前記研磨機本体は、本体ハウジングと、前記本体ハウジングに接続するカバー体と、前記研磨ディスクに対向して設置され、且つ前記前記カバー体により画定される圧力キャビティと、前記圧力キャビティに対応し、且つ前記カバー体上に設置される吸気管と、を包含し、前記研磨機本体と前記研磨ディスクとの間に、前記圧力キャビティに連通する圧力解放間隙を形成し、前記吸気管は、外部気体供給源に接続して前記外部気体供給源から前記高圧気体を受け入れ、前記高圧気体は前記圧力キャビティに送り込まれ、前記圧力キャビティは、前記高圧気体の作用を受けることで内部圧力が前記研磨機本体外部の圧力より大きくなり、正圧環境に変化し、前記カバー体の前記研磨ディスクに対向する一方が中空状であり、これにより、前記圧力キャビティは前記圧力解放間隙と連通することで前記高圧気体が前記圧力解放間隙より持続的に解放され、外部の塵埃が前記圧力キャビティに入り込むことを制限することを特徴とする、研磨機。
【請求項２】
前記カバー体は、前記本体ハウジングに接続する第一端部と、前記研磨ディスクに対向する第二端部とを有し、前記第二端部の大きさは、前記第一端部の大きさより大きいことを特徴とする請求項１に記載の、研磨機。
【請求項３】
研磨機本体と、前記研磨機本体に接続する研磨ディスクとを包含する研磨機であって、
前記研磨機本体は、本体ハウジングと、気体案内管と、前記研磨ディスクに対向して設置される圧力キャビティと、該圧力キャビティに対応して設置される吸気管と、を包含し、前記研磨機本体と前記研磨ディスクとの間に、前記圧力キャビティに連通する圧力解放間隙を形成し、前記本体ハウジングは、動力コンポーネントを設置するためのチャンバーと、前記チャンバーに連通して前記外部気体供給源から前記高圧気体を受け入れる吸気経路と、前記チャンバーに連通して前記高圧気体を前記チャンバーから排出する排気経路とを有し、前記気体案内管の両端は、前記排気経路及び前記吸気管にそれぞれ接続して前記高圧気体が前記圧力キャビティに流れ込むように案内し、前記圧力キャビティは、前記高圧気体の作用を受けることで内部圧力が前記研磨機本体外部の圧力より大きくなり、正圧環境に変化し、前記圧力キャビティは前記圧力解放間隙と連通することで前記高圧気体が前記圧力解放間隙より持続的に解放され、外部の塵埃が前記圧力キャビティに入り込むことを制限することを特徴とする、研磨機。
【請求項４】
前記研磨機本体は、前記排気経路及び前記気体案内管の間に接続する調節バルブを包含することを特徴とする請求項３に記載の、研磨機。
【請求項５】
前記研磨機本体は、前記排気経路及び前記気体案内管に接続する第一経路と、前記第一経路から分岐しながらも前記第一経路と連通し且つ前記高圧気体の一部を放出する第二経路とを有する連結管を包含することを特徴とする請求項３に記載の、研磨機。
【請求項６】
前記連結管は、前記第二経路内に設置する気体放出制御部材を包括し、前記気体放出制御部材は、栓体と、前記栓体上に開設する通孔とを有することを特徴とする請求項５に記載の、研磨機。
【請求項７】
前記研磨機本体は、前記本体ハウジングに接続するカバー体を包含し、前記吸気管は、前記カバー体上に設置し、前記カバー体は、前記圧力キャビティを画定し且つ前記研磨ディスクに対向する一方が中空状で、前記高圧気体が前記圧力解放間隙に向かって流動するようになっていることを特徴とする請求項３乃至６のいずれかに記載の、研磨機。
【請求項８】
前記カバー体は、前記本体ハウジングに接続する第一端部と、前記研磨ディスクに対向する第二端部とを有し、前記第二端部の大きさは、前記第一端部の大きさより大きいことを特徴とする請求項７に記載の、研磨機。