(57)【要約】      （修正有）【課題】フィルタのメインテナンス、フィルタ交換等の作業の精度・効率の向上を可能とする、クリーンルーム等に用いられる空気清浄化装置の提供。【解決手段】クリーンルーム等の室内から流入する空気を高粒子捕集効率のエアフィルタ３（以下、エアフィルタ）により清浄化して排気する空気清浄化装置ＡＣにおいて、空気清浄化装置ＡＣの本体を形成する筺体１の前面に、エアフィルタ３を筺体１の前面側から気密に装着でき、かつエアフィルタ３の気密装着を解除しフィルタ交換をすることができるようにしたエアフィルタ装着部２１を備える空気清浄化装置ＡＣ。【選択図】図１
2019005713.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルーム等の室内から流入する空気を高粒子捕集効率のエアフィルタ（以下、エアフィルタという。）により清浄化して排気する空気清浄化装置において、当該空気清浄化装置の本体を形成する筺体の前面に、前記エアフィルタを当該筺体の前面側から気密に装着でき、かつ当該エアフィルタの気密装着を解除しフィルタ交換をすることができるようにしたエアフィルタ装着部を備えることを特徴とする空気清浄化装置。
【請求項２】
エアフィルタの装着部は、吸引口の外周上に側断面略倒凸状に突出させたフィルタ支持枠と、該フィルタ支持枠にパッキンにおいて係合する前記エアフィルタの外枠と内枠によるフィルタ保持体と、前記パッキンを含むフィルタ保持体と前記フィルタ支持枠に形成した気密ねじ止構造と、を備える請求項１に記載の空気清浄化装置。
【請求項３】
前記エアフィルタのろ過状態をチェックする差圧計を、前記筐体とは独立した別製の気密容器による差圧計ボックスに設置し、該差圧計ボックスを前記筐体の外に設けて前記差圧計に前記エアフィルタの一次側と二次側の空気を導入するようにした請求項１又は２に記載の空気清浄化装置。
【請求項４】
筺体の前記エアフィルタ装着部の上方に当該エアフィルタの二次側を点検するフィルタ点検口を形成した請求項１〜３のいずれかに記載の空気清浄化装置。
【請求項５】
フィルタ点検口の上方の筺体内部に、２段目の前記エアフィルタを設けた請求項４に記載の空気清浄化装置。
【請求項６】
２段目の前記エアフィルタの設置位置に対応する筺体前面壁に当該２段目エアフィルタ用のフィルタ点検口を設けた請求項５に記載の空気清浄化装置。
【請求項７】
フィルタ点検口の筺体内部には、スキャンテストユニットの一部をなす略上衣状カバー体を展開折畳み自在に配置した請求項４又は６に記載の空気清浄化装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、医薬品や化粧品の製造工場、或は半導体集積回路、液晶パネル等の精密機器の製造工場などに設置されているクリーンルームやハザードルーム等の室内の空気を高粒子捕集効率のエアフィルタで清浄化して内部へ再循環または外部へ排出する空気清浄化装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
医薬品や化粧品等の製造施設のハザードルームやクリーンルームの室内の空気を清浄化して外部に排出する空気清浄化装置は、従来から前記ハザードルーム等に設置して用いられており、また空気清浄化装置に関しては様々な技術が提案されている。
【０００３】
公知の空気清浄化装置は、一例として縦長の略直方体状をなす壁面構造の筺体と、該筺体の前面壁下部に開口した吸気口と、前記筺体の上面壁に形成した排気口と、前記吸気口の上方であって当該筐体の高さ方向中間部位であってこの筺体内部を横断する姿勢で架台上に設置された高粒子捕集効率のエアフィルタと、該高粒子捕集効率のエアフィルタの上方で前記筺体の前面壁に設けた蓋付のフィルタ交換口とを備えて形成されている。
ここで、高粒子捕集効率のエアフィルタとしては、ＨＥＰＡフィルタ（High  Efficiency  Particulate  Air  Filter）やＵＬＰＡフィルタ（Ultra  Low  Penetration  Air  Filter、以下同じ。）などが挙げられ、本明細書において以下に述べるＨＥＰＡフィルタの語は、高粒子捕集効率のエアフィルタと同義の概念として用いる。
【０００４】
上記の空気清浄化装置では、全面壁の下部に吸気口を形成し、該筺体内部における前記吸気口の上方に、ＨＥＰＡフィルタを水平に支持するための架台を設け、該架台に前記ＨＥＰＡフィルタを水平姿勢で設置する構造であるため、次のような問題が指摘されている。
【０００５】
前記ＨＥＰＡフィルタは水平姿勢で筺体内部に配置されるため、当該筺体は、少なくとも前記ＨＥＰＡフィルタを水平姿勢で設置するときその前後幅が収まる奥行きを有することを必要とする。即ち、所要面積の空気ろ過面を有するＨＥＰＡフィルタは，水平姿勢においては、前記ろ過面積に見合った前後幅（奥行き量）があるため、前記筺体の前後幅（奥行き量）が大きくなり、これがハザードルームやクリーンルーム全体の空気清浄化装置を含む排気ユニットの設備空間を大きくしなければならない要因となって、これがハザードルームやクリーンルーム内のスペースを狭くしてしまうという点である。
【０００６】
また、従来の空気清浄化装置では、筺体の前面壁の下部に吸気口が設置されているため、該吸気口から筺体内に水平に設置されているＨＥＰＡフィルタの空気ろ過面（１次側）までの筐体内部が、当該空気清浄化装置における汚染エリアとなる。そして前記ＨＥＰＡフィルタの交換に際しては、前記フィルタの空気ろ過面(１次側)を含む汚染エリアに付着している有害物質の飛散を防ぐために、フィルタ交換に先立ち前記汚染エリアを水で洗浄しているが、洗浄する部位が前記吸気口より下流の筺体内部であることにより、洗浄状況が目視で確認し難いこと、並びに前記吸気口から前記フィルタの空気ろ過面を含む筺体内部は目視確認し難いことと相俟って洗浄作業も行い難いという問題がある。
【０００７】
さらに、従来の空気清浄化装置では、ＨＥＰＡフィルタが筺体内部に水平姿勢で設置される形態であるため、当該ＨＥＰＡフィルタの交換や点検などのために、蓋付のフィルタ交換口を前記筐体の前面壁に設けることを不可欠としている。加えてＨＥＰＡフィルタ交換の際には、ＨＥＰＡフィルタに付着した汚染物質が再飛散して空気清浄化装置の筐体内部が汚染されてしまうリスクがあるため、空気清浄化装置内部全体の洗浄を余儀なくされるなどフィルタ交換時の負担が大きかった。
【０００８】
また、従来の空気清浄化装置では、ＨＥＰＡフィルタの汚れ（詰まり）具合をチェックするために、当該フィルタの１次側と２次側の圧力差を常時監視できる差圧計を筐体前面壁上方の筐体内部（浄化された空気が流れる陰圧雰囲気のＨＥＰＡフィルタ２次側経路）に設け、当該差圧計の差圧表示部を前面壁の外から見えるようにして設けられている。
しかし、気密性のない差圧計の上記設置態様では、ＨＥＰＡフィルタ１次側の浄化前の汚染空気が前記差圧計の気密性のない部位を通してＨＥＰＡフィルタ２次側ヘ侵入し、ＨＥＰＡフィルタ２次側の清浄化されていた空気が再汚染されるおそれがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０１６−１０７９３号公報
【特許文献２】特開２０１６−１０７９４号公報
【特許文献３】特開２０１６−１０７９５号公報
【特許文献４】特許第４６２７３１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
そこで本発明では、上記した従来の空気清浄化装置にあった問題点を解消した空気清浄化装置を提供することを、課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決することを目的としてなされた本発明空気清浄化装置の構成は、以下の通りである。
すなわち、本発明空気清浄化装置の構成は、ハザードルームやクリーンルームから流入する空気を、ＨＥＰＡフィルタを通して清浄化し外部に排気する空気清浄化装置において、該空気清浄化装置の本体となる壁面構造の筺体と、該筺体の前面壁に形成した吸気口と、該吸気口の前面にその吸気口を塞ぐように縦向き正面姿勢で着脱自在に装着したＨＥＰＡフィルタと、前記筺体の上面壁に設けた外部送風機にダクトを介して接続される排気口とを備えたことを主な特徴とする。
【００１２】
本発明では、前記筺体の前面壁の縦横の大きさを、前記ＨＥＰＡフィルタが縦向き正面形状の姿で収まる大きさに形成すると共に、当該筐体の前後幅を、正立した前記ＨＥＰＡフィルタの縦幅(上下幅)より小さい奥行き量（前後幅）に形成することができる。
【００１３】
本発明では、前記筐体の前面壁下半部に前記ＨＥＰＡフィルタが縦向き正面姿勢で装着される吸気口を形成すると共に、当該筐体の前面壁上半部に前記ＨＥＰＡフィルタを点検するための蓋付の点検口を設けた筺体に形成することもできる。
【００１４】
本発明ではさらに、前記筺体の高さが縦向きの前記ＨＥＰＡフィルタの高さの大略３倍の大きさを有する筺体を用い、該筺体の前面壁下部と中間部には、前記吸気口および蓋付の点検口と同様の吸気口及び蓋付の点検口を設ける一方、当該筺体内部の前記蓋付の点検口上部より上方に、水平姿勢で２段目ＨＥＰＡフィルタを設けると共に、この筺体の前面壁上部には前記２段目ＨＥＰＡフィルタを点検，交換するための蓋付の点検口を設けた筺体を用いて、ＨＥＰＡフィルタを２段階に設けた空気清浄化装置とすることができる。
【００１５】
上記ＨＥＰＡフィルタに対して設けられる蓋付のフィルタ点検口の内側には、ＨＥＰＡフィルタの空気漏れ等のろ過性能のチェックをするスキャンテストユニット等によるテスト手段を設けることができる。
さらに、前記筐体の上面壁の上であって前記排気口の前方には、前記ＨＥＰＡフィルタの１次側と２次側にチューブを介して接続される差圧計を設けた差圧計ボックスを配置することができる。差圧計ボックスを設けると差圧計を筐体内部のＨＥＰＡフィルタの２次側に露出させないから、清浄化された２次側の空気が、差圧計に導入される１次側の空気が筐体内で漏れた場合には再汚染される、という恐れを一切払拭できる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明は、空気清浄化装置を、本体となる筺体と、該筺体の前面（壁）に設けた吸気口と、該吸気口の前面にその吸気口を塞ぐように縦向き正面姿勢で着脱自在に配置したＨＥＰＡフィルタと、前記筺体の上面（壁）に設けた外部送風機にダクトを介して接続される排気口とを備えて形成したから、筺体の前後幅（奥行き量）を小さくでき、ハザードルーム等の排気ユニット設備空間の大きさを、前記筐体の奥行方向に関して抑えることができる。
また、ＨＥＰＡフィルタを筺体前面に縦向き正立姿勢で着脱自在に設けたから、筺体内部が汚染エリアにならず筺体内部の水洗等の掃除が不要となる。
さらに、ＨＥＰＡフィルタが筺体の前面壁に縦向き正立姿勢で配置されるから、ＨＥＰＡフィルタのメンテナンス、フィルタ交換、必要な場合の水洗等の各作業がいずれも筺体の外部領域で実行でき、作業精度の向上や作業効率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明空気清浄化装置の第一例の斜視図
【図２】（ａ）はハザードルームやクリーンルームと排気ユニット設備空間を仕切る壁面に設置した状態で示した図１の装置の縦断右側面図、(ｂ)は図２（ａ）のＡ部拡大図。
【図３】本発明空気清浄化装置の第二例の斜視図。
【図４】図２の装置の縦断右側面図。
【図５】本発明空気清浄化装置の第三例の斜視図。
【図６】図５の装置の縦断右側面図。
【図７】本発明空気清浄化装置に使用するＨＥＰＡフィルタユニットの一例の正面図。
【図８】図７のＨＥＰＡフィルタユニットの右側面図。
【図９】図７のＨＥＰＡフィルタユニットの中央縦断右側面図。
【図１０】図９におけるＡ部の拡大図。
【図１１】図３、図４に示した第三例の本発明空気清浄化装置のリークテストに用いるスキャンテストユニットの構成を説明するための側面図。
【図１２】図１１のスキャンテストユニットの使用状態を模式的に示した側面図。
【図１３】筐体の上面壁の上に設置される差圧計ボックスの正面図。
【図１４】図１３の差圧計ボックスの平面図。
【図１５】図１３のＡ−Ａ矢視断面図。
【図１６】図１３のＢ−Ｂ矢視断面図。
【図１７】図１６のＣ部拡大図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
次に、本発明空気清浄化装置ＡＣの実施の形態例について図を参照して説明する。
図１，図２において、１は、本発明空気清浄化装置ＡＣの第一例における本体となる筺体で、ステンレス鋼板等の金属板による前面壁１０、後面壁１１、左右の側面壁１２，１３、及び上，下面壁１４，１５により、正面視の左右幅に対し前後幅（奥行量）が小さい箱状に形成されている。１６は筺体１の下部に配設した基台である。
前記筐体１の前面壁１０には吸気口２が設けられ、上面壁１４には排気口４が形成されている。前記吸気口２には後述するＨＥＰＡフィルタ３が着脱自在に装着される。前記筐体１においてＨＥＰＡフィルタ３の上方には、前記ＨＥＰＡフィルタ３を通過したろ過すべき物質（汚染物質）を検出するためのフィルタ測定ノズルＦｎが設けられている。
本発明空気清浄化装置ＡＣは、図２（ａ）に例示したように、その前面側、すなわち前面壁１０および後述する差圧計ボックス８の前面が、クリーンルームＣＲ（ハザードルームＨＲ）と排気ユニット設備空間ＥＸを仕切る壁面Ｗの開口部Ｗｏに臨んで設置されるものである。図２（ａ）においてＦは床面である。
【００１９】
図３，図４に示した本発明空気清浄化装置ＡＣの第二例においても、筺体１は、図１，図２の筺体１と同様に、前，後面壁１０，１１、左右の側面壁１２，１３、上，下面壁１４，１５、基台１６を備え、かつＨＥＰＡフィルタ３を装着する吸気口２と排気口４を備えている。なお、図３，図４に示す第二例の筺体１は、図１，図２示す第一例の筺体１と大きさと形状等が異なっているので、この点については後に述べる。
【００２０】
図５，図６に示した本発明空気清浄化装置ＡＣの第三側の筺体１も、図１，図２と図３，図４に示した筺体１と同様の構成を備えているので、同じ符号を用いる。この第三例の筺体１も、図３，図４の筺体１と大きさ、形状等が異なっているので、この点についても後に述べる。
また、前記第一例〜第三例の筐体１においては、上面壁１４の上であって排気口４の前に、前記ＨＥＰＡフィルタ３の性能（目詰まり）をチェックする差圧計を配置した差圧計ボックス８が設けられている。差圧計ボックス８についても後述する。
【００２１】
図１〜図６に示した各筺体１の前面壁１０には、正面から視て略短形状の吸気口２が開口され、該吸気口２の周りにＨＥＰＡフィルタ３の装着部としてフィルタ支持枠２１が形成されている。該吸気口２には、その前面から図７〜図１０により説明するＨＥＰＡフィルタ３が前記支持枠２１において着脱自在に装着される。そこで、ＨＥＰＡフィルタ３について、図７〜図１０により説明する。
【００２２】
図７〜図１０に例示したＨＥＰＡフィルタ３において、３１は、外周縁部が後方へ向けて水平に略９０度曲げられた側断面略逆Ｌ状の折縁部３１ａを有する、正面から視て矩形のフランジ状をなす外枠、３２は前記外枠３１の内周縁３１ｂの近傍裏面から当該外枠３１の背面に向けて延出するように配置された短い略角筒状の内枠で、該内枠３２における先端側は前記内周縁３１ｂ近傍に面接合するため側断面略Ｌ状に、即ち略垂直に立ち上がった接合面３２ａに形成されている。前記外枠３１と内枠３２によってフィルタ保持体を形成する。
【００２３】
正面から視て短い角筒状をなす内枠３２の内部には、ＨＥＰＡフィルタ本体３３が装填されている。ＨＥＰＡフィルタ本体３３は、前記角筒状の内枠３２の内部に丁度収まる大きさの筒状フレーム３３ａの内部に、グラスファイバ材などを主体とするフィルタ材３３ｂが収装された形態のものである。このＨＥＰＡフィルタ本体３３は、前記角筒状の内枠３２の後端側から該内枠３２に収挿され、該ＨＥＰＡフィルタ本体３３の先端部が前記外枠３１の内周縁３１ｂの背面に当接するまで押し込まれて装填されている。
【００２４】
ＨＥＰＡフィルタ３において、外枠３１とその折縁部３１ａがなす断面略逆Ｌ状部の裏面には、弾性のある樹脂発泡体などによるパッキン３４が断面視略逆Ｌ状に設けられている。そして、前記外枠３１の全周上には、前記パッキン３４を貫通するビス取付用の穴３５（ネジ穴３５ともいう）が略等ピッチで設けられている。
【００２５】
上記のようにして外枠３１と内枠３２によるフィルタ保持体に装填されたＨＥＰＡフィルタ本体３３は、その背面が、内枠３２の後端内面に装填される側断面が略Ｌ状でリング状の押え部材３６により押えられ支持されている。側断面略Ｌ状の押え部材３６は、内枠３２と平行な部位がビス等の止め具３６ａによって当該内枠３２に固定されることにより、フィルタ本体３３を内枠３２の中に保持する（図１０参照）。
【００２６】
上記のようにしてＨＥＰＡフィルタ本体３３は、外枠３１と内枠３２が形成するフィルタ保持体に装填された状態で、リング状の押え部材３６によって前記内枠３２と外枠３１に保持され、前記筺体１の前面壁１０に形成された吸気口２に前記支持枠２１において着脱自在に装着されるので、以下にこの点について説明する。
【００２７】
図１，図２において、第一例の筺体１の前面壁１０の略中心域には、前記ＨＥＰＡフィルタ３における内枠３２を、余裕をもって挿入できるが、外枠３１は挿入できない口径（大きさ）の吸気口２が形成されている。
【００２８】
吸気口２の外周上には、前面壁１０の前面から断面略倒凸状に突出させた、前記ＨＥＰＡフィルタ３における外枠３１の折縁部３１ａに設けた大略断面略逆Ｌ状のパッキン３４に係合するフィルタ支持枠２１が設けられている。この支持枠２１の前面には、前記ＨＥＰＡフィルタ３における外枠３１の前面に設けた複数のネジ穴３５に対応する各位置に、底付のネジ穴２２が設けられている。ネジ穴２２を底付としたのは当該ネジ穴２２が筐体１の内部に通じるのを防ぐためである。ここで、前記パッキン３４やネジ穴３５を含む前記フィルタ保持体と、前記フィルタ支持枠２１に設けた底付ネジ穴２２と、前記ネジ穴３５，２２にねじ込まれるネジ杆３５ａにより、気密ねじ止構造を形成している。
【００２９】
前記フィルタ支持枠２１に対し、まず当該支持枠２１の前面から前記ＨＥＰＡフィルタ３が、その外枠３１の裏面のパッキン３４において係合される。次いで外枠３１に設けた各ネジ穴３５からビス等のネジ杆３５ａが支持枠２１のネジ穴２２に夫々にネジ込まれることにより、前記支持枠２１に係合されている前記ＨＥＰＡフィルタ３が当該支持枠２１に固定されて吸気口２に着脱自在で気密に装着されることになる。
【００３０】
上記のようにして筐体１の前面壁１０に形成された吸気口２に着脱自在に装着されたＨＥＰＡフィルタ３の交換に際しては、クリーンルームＣＲ（ハザードルームＨＲ）内に臨んだＨＥＰＡフィルタ３の前面のろ過面を覆う封し板を装着して、前記封し板で被覆した状態のまま、ＨＥＰＡフィルタ３を取り外す。この場合において、ＨＥＰＡフィルタ３に付着した汚染物質が二次飛散しないように、適宜、水やスプレー糊等を吹きかけることがある。このようにＨＥＰＡフィルタ３がクリーンルームＣＲ（ハザードルームＨＲ）の設置壁面Ｗの開口部Ｗｏに縦向き正面姿勢で臨んでいるため、交換作業が簡単に行える。
【００３１】
図１，図２の筺体１の吸気口２と、該吸気口２に着脱自在に装着される図７〜図１０に例示したＨＥＰＡフィルタ３の吸気口２への装着形態とそのための構成は、図３，図４、及び図５，図６に示した第二例と第三例の筺体１に設けた吸気口２と前記ＨＥＰＡフィルタ３においても同じであるから、説明は省略する。
【００３２】
次に、図３，図４に示した本発明空気清浄化装置ＡＣの第二例について説明する。第二例の筺体１は、図１，図２によって説明した第一例の筺体１とは、高さが略２倍強に形成されている点で異なっている。このため、吸気口２が前面壁１０の下半部に設けられる一方、当該前面壁１０の上半部には着脱式の蓋体５１を有するフィルタ点検口５が設けられている。
蓋体５１は開閉式であってもよい。蓋体５１は、シール部５１ａを介してフィルタ点検口５に装着されている。蓋体５１を取り外すときはシール部５１ａを剥がして蓋体５１をこの点検口５から外す。シール部５１ａについては後述する。
【００３３】
図５，図６は、本発明空気清浄化装置ＡＣの第三例で、第三例の筺体１は、前記第二例（図３，図４参照）のフィルタ点検口５の上方に第二点検口６を設けるために、全高が概ね前記第二例の筺体１の高さに当該第二点検口６を設けることができる高さが加えられた高さで形成されている。図５，図６に示す第三例の筺体１の他の構成は、図１〜図４によって説明した第一例、第二例の筺体１と同様であるから、図１〜図４の筺体１と同じ構成部分には同じ符号を付け、説明は省く。
【００３４】
図５、図６に示した本発明空気清浄化装置ＡＣの第三例において、筺体１の高さを第二例の筺体１（図３，図４参照）の高さより大きく形成する理由は、図５，図６の筺体１の内部において、フィルタ点検口５より上方部位に水平姿勢で第二ＨＥＰＡフィルタ７（２段目ＨＥＰＡフィルタともいう）を設けるので、この第二ＨＥＰＡフィルタ７の交換やメンテナンスなどのための第二点検口６を設置するためである。なお、図５，図６において、６１は第二点検口６の蓋体、７１は第二ＨＥＰＡフィルタ７を水平姿勢で前記筺体１の内部に配置するため、筺体１の内部に設けた架台である。第二点検口６の蓋体６１も、前記蓋体５１の場合と同様に、当該第二点検口６に対してシール部６１ａを介して着脱自在に装着されている。
【００３５】
図５，図６に示す本発明空気清浄化装置ＡＣの第三例においても、筺体１の下部の吸気口２には、先の実施例と同じＨＥＰＡフィルタ３が設けられている。そしてこの第三例の空気清浄化装置ＡＣに設ける第二ＨＥＰＡフィルタ７には、前記ＨＥＰＡフィルタ３と同じ大きさ、形状のフィルタを第二ＨＥＰＡフィルタ７として用いることができる。
【００３６】
しかし、第二ＨＥＰＡフィルタ７に先の実施例のＨＥＰＡフィルタ３をそのまま用いて水平姿勢で配置するには、図５，図６の筺体１の奥行き量（前面壁１０と後面壁１１の間の距離）を、当該ＨＥＰＡフィルタ３を水平姿勢で設置することができる奥行き量に形成しなければならない。因みに、図５，図６はこの例の概要を示したものである。筐体１の奥行き量を大きくしないためには、正立させた前記ＨＥＰＡフィルタ３の高さ（水平にしたときの前後幅になる）を前記ＨＥＰＡフィルタ３より小さい仕様で形成した第二ＨＥＰＡフィルタ７を用いることである。
【００３７】
上記のように第二ＨＥＰＡフィルタ７にＨＥＰＡフィルタ３を転用すると、部品数を抑える点で効果的であるが、筺体１の奥行き量が図１〜図４の第一例、第二例の筺体１よりも大きくなる。従って、第三例の筺体１の奥行き量を、図１〜図４の例と同じ浅目の奥行き量のものにするには、第二ＨＥＰＡフィルタ７にその奥行き量に見合った前後幅に調整したＨＥＰＡフィルタを用いればよい。
【００３８】
図１１，図１２は、図３，図４により先に説明した本発明空気清浄化装置ＡＣの第二例において、スキャンテストユニットを適用する状態を模式的に示した側断面図である。上記のスキャンテストユニットには、フィルタ点検口５の内側（筺体１の内部側）に、折り畳み状態で設けられた柔軟な略上衣状のカバー体（以下、フレキシブルハーフスーツＦＨＳという）が含まれる。このスーツＦＨＳは点検時に筐体１の正面に立った検査員Ｍが上半身を入れて、前記筺体１の内部に検査員Ｍの上半身を入れる際に使用する。フレキシブルハーフスーツＦＨＳは、展開されて検査員Ｍの頭、上半身、両腕が入る頭部Ｈａ、上半身部（胸腹部）Ｕｂ、両腕部Ａｍを備えた柔軟なゴム系またはプラスチック系の膜状シート体で略上衣状に形成されている。
【００３９】
スキャンテストユニットには、上記フレキシブルハーフスーツＦＨＳのほか、ＨＥＰＡフィルタ３の外面に装着される簡易チャンバＳｃと、該簡易チャンバＳｃにホースＨｏを介して接続された粒子発生装置ＰＡＯと、チューブＴｕを介して前記簡易チャンバＳｃに接続された一次側測定用パーティクルカウンタＰｃ−１とによる一次側テストユニット、及び筺体１内部の上部にチューブＴｕを介して接続された二次側測定用パーティクルカウンタＰｃ−２と、前記カウンタＰｃ−２に筺体１の内部でチューブＴｕを介して接続されたスキャンテスト用のサンプリングプローブＳｐによる二次側テストユニットによって形成されている。
【００４０】
上記スキャンテストユニットを使用したスキャンテストは、一例として次の手順で行う。
フィルタ点検口５のシール部５１ａを剥がして蓋体５１を取り外し、該点検口５の内側に取付けられている前記スーツＦＨＳを筐体１の内側に膨らませる。簡易チャンバＳｃは、ＨＥＰＡフィルタの外枠３１に取付け、一次側測定用パーティクルカウンタＰｃ−１を、チューブＴｕを介して前記簡易チャンバＳｃにセットする。さらに前記簡易チャンバＳｃに粒子発生装置ＰＡＯを、ホースＨｏを介して接続する。
【００４１】
筺体１上部の前面壁１０に設けた総合捕集効率測定口１０ａに二次側測定用パーティクルカウンタＰｃ―２のチューブＴｕを介してセットする。該カウンタＰＣ−２のチューブＴｕの先端側には、筺体１内部で測定チューブＴｕを介して接続されたスキャンテスト用のサンプリングプローブＳｐを接続する。これによりスキャンテストの準備を完了する。
【００４２】
以上のようにしてスキャンテストの準備が完了すると、以下の態様でスキャンテストを実行する。
まず、フレキシブルハーフスーツＦＨＳに、検査員Ｍが入り、上半身を筺体１の内部に入れ、手でサンプリングプローブＳｐを握り、当該プローブＳｐでＨＥＰＡフィルタ３の内枠３２や、ろ材面(二次側)をスキャンする。この時、検査補助者が粒子発生装置ＰＡＯの濃度調整やスキャン状態をパーティクルカウンタＰｃ−１，Ｐｃ−２で監視しつつデータを取り、取り出したデータによりＨＥＰＡフィルタ３の性能に問題がないかの判別を行って、スキャンテストを完了する。
【００４３】
以上に説明した本発明空気清浄化装置ＡＣの第一例〜第三例では、従来装置と同様に、ＨＥＰＡフィルタ３についてその性能の変化を測定し、ＨＡＰＡフィルタを検査するための差圧計Ｄｍが設けられるが、本発明では、差圧計Ｄｍを従来技術のように筺体１に設置するのではなく、筺体１とは別容器として形成した差圧計ボックス８に設けるようにした。
【００４４】
本発明において、筺体１とは別に差圧計ボックス８を設けるのは、ＨＥＰＡフィルタ３を通る前の一次側空気(室内の汚染空気)が、差圧計Ｄｍの気密性のない部分から筺体１内部の二次側に漏れてＨＥＰＡフィルタ３で清浄化された二次側の空気が再汚染されるおそれがあるので、この事態の発生を防ぐためである。以下、この点について図１３〜１７を参照して説明する。
【００４５】
差圧計ボックス８(以下、単にボックス８ともいう)は、筺体１の正面左右幅と略同じ左右幅を有する横長の密閉箱体８１により形成されている。該ボックス８は、その正面が全面的に開口８１ａされており、該開口部８１ａを開閉可能に塞ぐ点検蓋８２が、図１７に示すシール構造８３によって、前記開口部８１ａを塞いでいる。なお、シール構造８３は、フィルタ点検口５，６とこれらの蓋体５１，６１のシール部５１ａ，６１ａにも適用される。
【００４６】
前記シール構造８３は、図１７に例示するように、密閉箱体８１の開口部８１ａの縁と蓋８２の外周上の縁８２ａとを、対向した形態の側断面略Ｌ状に形成して２つの縁を重ね、重ねた縁が形成する側断面略凹状をなす溝状部の底をビス８３ａで締結し、前記溝状部の底に並んで取付けられたビス８３ａの上にマスキングテープ８３ｂを敷設し、その上からコーキング材８３ｃを充填して気密シールに形成している。前記コーキング材８３ｃを取り除くには、マスキングテープ８３ｂを引き剥がすように取り除くと、該テープ８３ｂの上のコーキング材８３ｃをテープ８３ｂと一緒に前記凹状の溝状部から引き出すことができる。従って、この状態でビス８３ａを外して点検蓋８２を開口部８１ａから取り外すことができる。図１７で説明したシール構造８３は、前記点検口５，６とそれらの蓋体５１，６１の間のシール部５１ａ，６１ａにも適用されている。
【００４７】
差圧計ボックス８の点検蓋８２には、図の例では左側に差圧計Ｄｍが，右側には、一次側空気の取り込み孔Ａ１が、それぞれ設けられている。差圧計Ｄｍには、一次側と二次側の空気を導入する空気取入部ａ１，ａ２が設けられており（図１４参照）、前記取込み孔Ａ１はエアロックフィルタとチューブ（図示せず)を介して差圧計Ｄｍの一次側取入部ａ１に接続され、二次側取込み孔Ａ２は、前記箱体８１の底８４にエアロックフィルタを備えて形成され差圧計Ｄｍの二次側空気の取入部ａ２にチューブＴｕを介して接続される。二次側の取込み孔Ａ２は，筺体１の上面壁１４を通して筺体１の内部(二次側)に接続される。
【００４８】
なお、前記箱体８１は、その底８４において筐体１の上面壁１４に形成した取付座８４ｂに取付ネジ８４ａによって固定されている。前記箱体８１の取付位置は、筐体１の側面や前面などでもよく、また取付態様も取付座８４ｂと取付ネジ８４ａ以外の手段によっても可能であるから、上記例に限られるものではない。
【００４９】
上記差圧計ボックス８の構成により、差圧計Ｄｍは、ＨＥＰＡフィルタ３，第二ＨＥＰＡフィルタ７が設けられた筺体１とは別個独立した密閉容器の箱体８１に設けられ、特に、差圧計Ｄｍの一次側空気の取入部ａ１が筺体１の外に設けた一次側空気の取込み孔Ａ１にチューブを介して接続されているから、万一、差圧計Ｄｍの空気取り入れ系内でエア漏れが生じても筺体１内の清浄化された二次側空気が再汚染されることはない。
【００５０】
本発明は以上の通りであるから、各産業分野で使用されているクリーンルーム等の室内空気を清浄化して外部に排出するための空気清浄化装置として、きわめて有用である。
【符号の説明】
【００５１】
ＡＣ  本発明空気清浄化装置
ＣＲ  クリーンルーム
ＨＲ  ハザードルーム
Ｗ  本発明空気清浄化装置の設置壁面
１  筺体
１０  前面壁
１１  背面壁
１２、１３  側面壁
１４  上面壁
１５  底面壁
１６  基台  
２  吸気口
３  ＨＥＰＡフィルタ
３１  外枠
３２  内枠
３３  ＨＥＰＡフィルタ本体
３４  パッキン
３５  ネジ穴
３６  押え部材
４  排気口
５  フィルタ点検口
５１  フィルタ点検口の蓋体
５１ａ  シール部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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