(57)【要約】【課題】切削液漏れを抑制でき、安価で製造できるようにすること。【解決手段】ブレードカバーは切削液を供給する切削液供給ノズル（１０１）を備える。切削液供給ノズルは、切削液を噴出するパイプ（１１０）と、パイプの基端（１１０ｃ）側をクランプする第１のブロック（１０７）、第２のブロック（１０８）、クランプ手段（１１３）とを備える。第１のブロックは、パイプの基端側を収納する収納室（１１９）と、収納室の延在方向に延在する第１の半円柱凹部（１２３）と備える。第２のブロックは、第１の半円柱凹部に対向してパイプの直径と同じ内径をなす第２の半円柱凹部（１２４）と、第２の半円柱凹部の内壁から突出する凸部（１３３）とを備える。収納室にパイプを収納しクランプ手段で第１の半円柱凹部と第２の半円柱凹部とによりパイプをクランプしたときに、凸部によりパイプが潰されて押し伸ばされ、パイプの基端側が膨らみシール（Ｓ）を形成する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングの先端に配設され、該スピンドルに装着された切削ブレードを覆い、該切削ブレードの切削送り方向に延在し該切削ブレードを挟んで配設し該切削ブレードの両側面に切削液を供給する切削液供給ノズルを備えるブレードカバーであって、
該切削液供給ノズルは、
該切削液を噴出する複数の噴出口を該切削送り方向に配列し、一方の端から切削液を供給し他方の端に封止部を備えるパイプと、
該パイプの一方の端側の外壁をクランプする２つの第１のブロックと第２のブロックと、
該第１のブロックと該第２のブロックとで該パイプをクランプするクランプ手段とを備え、
該第１のブロックは、該パイプの一方の端から所定の長さを収納する該パイプの直径より大きい内径で形成される底部を有する円柱状の収納室と、該収納室の延在方向で延在して形成される第１の半円柱凹部と、該収納室の該底部と切削液供給源とを連通する供給路とを備え、
該第２のブロックは、該第１の半円柱凹部に対向させ該パイプの直径と同じ内径で形成される第２の半円柱凹部と、該第２の半円柱凹部の内壁から突出して形成する凸部と、を備え、
該収納室に該パイプを収納し該底部に該パイプの一方の端を接触させ、
該クランプ手段で該第１のブロックの該第１の半円柱凹部と該第２のブロックの該第２の半円柱凹部とが該パイプをクランプし、該第２の半円柱凹部の該凸部が該パイプを潰し該パイプが押し伸ばされ、該収納室内に収納されている該パイプの一方の端側が膨らみシールを形成しているブレードカバー。
【請求項２】
該第１の半円柱凹部に第１の凹部が形成され、該第２の半円柱凹部に第２の凹部が形成され、
該第１の半円柱凹部と該第２の半円柱凹部とを重ねたときに、該第１の凹部に該第２の凹部が対面する請求項１に記載のブレードカバー。
【請求項３】
該パイプは該凸部に対応した凹部を備えた請求項１または請求項２に記載のブレードカバー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削ブレードに切削液を供給する切削液供給ノズルを備えたブレードカバーに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造工程においては、略円板形状のウエーハの表面に格子状に分割予定ラインが形成され、分割予定ラインにより区画された領域にデバイス等が形成される。そして、ウエーハは切削装置により分割予定ラインに沿って切削され、個々の半導体チップに分割される。切削装置による切削加工では、ウエーハの分割予定ラインに沿って高速回転する切削ブレードを切り込ませている。切削加工中は、切削液供給ノズルを介して切削ブレードの側面に切削液を供給しており、切削屑の洗浄や加工部分の冷却および潤滑等を行っている。
【０００３】
切削装置において、切削液供給ノズルは、切削ブレードを覆って形成されるブレードカバーに配設され、切削ブレードを挟んで切削ブレードの切削方向に平行、且つ、ウエーハを保持する保持テーブルの保持面に対して平行に２本のパイプで配設される。また、切削液供給ノズルは、２本のパイプの延在方向に直交する方向で切削ブレードの両側面に向かって切削液を噴出する複数の噴出口を切削送り方向に並んで配列している。
【０００４】
切削装置における切削液供給ノズルとしては、特許文献１に開示されるようにブロック状をなすブレードカバーに一体に形成されるタイプの他、特許文献２に開示されるようにブレードカバーに切削液が通るパイプを接続して形成されるタイプがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−４６７２６号公報
【特許文献２】特開２０１１−１１４２２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前者のタイプの切削液供給ノズルは、ブレードカバーに対する切削液供給ノズルの固定状態が良好となるが、単一のブロックからブレードカバーと切削液供給ノズルとを削り出す工程が必要となり、製造コストが高価になる。
【０００７】
一方、後者のタイプの切削液供給ノズルは、ブレードカバーにパイプ状部材を接続するので、前者のタイプに比べて容易に安価で製造できるが、それらの接続部分で切削液漏れが生じやすくなる。また、パイプを切削送り方向と平行にする調整等が必要になり、その作業が煩雑で負担になる可能性が高くなる。
【０００８】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、切削液漏れを抑制でき、パイプの向きの調整作業等をなくして安価で製造することができるブレードカバーを提供することを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様のブレードカバーは、スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングの先端に配設され、スピンドルに装着された切削ブレードを覆い、切削ブレードの切削送り方向に延在し切削ブレードを挟んで配設し切削ブレードの両側面に切削液を供給する切削液供給ノズルを備えるブレードカバーであって、切削液供給ノズルは、切削液を噴出する複数の噴出口を該切削送り方向に配列し、一方の端から切削液を供給し他方の端に封止部を備えるパイプと、パイプの一方の端側の外壁をクランプする２つの第１のブロックと第２のブロックと、第１のブロックと第２のブロックとでパイプをクランプするクランプ手段とを備え、第１のブロックは、パイプの一方の端から所定の長さを収納するパイプの直径より大きい内径で形成される底部を有する円柱状の収納室と、収納室の延在方向で延在して形成される第１の半円柱凹部と、収納室の底部と切削液供給源とを連通する供給路とを備え、第２のブロックは、第１の半円柱凹部に対向させパイプの直径と同じ内径で形成される第２の半円柱凹部と、第２の半円柱凹部の内壁から突出して形成する凸部と、を備え、収納室に該パイプを収納し底部にパイプの一方の端を接触させ、クランプ手段で第１のブロックの第１の半円柱凹部と第２のブロックの第２の半円柱凹部とがパイプをクランプし、第２の半円柱凹部の凸部がパイプを潰しパイプが押し伸ばされ、収納室内に収納されているパイプの一方の端側が膨らみシールを形成していることを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、２つのブロックでパイプをクランプして保持できるので、これらを一体に削り出す従来構造に比べて製造負担を小さくして製造コストを安価にすることができる。また、第１のブロックと第２のブロックとでパイプをクランプすることにより、凸部でパイプが変形されると共に膨らみシールが形成されるので、それらの接続部分での切削液漏れを抑制することができる。しかも、パイプをクランプすることでパイプと各ブロックとの相対位置を固定できるので、パイプの位置や向きの調整作業を省略でき、作業負担の軽減を通じて製造コストを削減することができる。
【００１１】
本発明のブレードカバーは、第１の半円柱凹部に第１の凹部が形成され、第２の半円柱凹部に第２の凹部が形成され、第１の半円柱凹部と第２の半円柱凹部とを重ねたときに、第１の凹部に第２の凹部が対面するとよい。
【００１２】
また、本発明のブレードカバーは、パイプは凸部に対応した凹部を備えるとよい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、凸部でパイプを押し潰して膨らみシールを形成するので、切削液漏れを抑制でき、切削液供給ノズルを形成するパイプの調整作業等をなくして安価で製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本実施の形態に係るブレードカバーを用いた切削装置の斜視図である。
【図２】本実施の形態に係るブレードカバーの概略斜視図である。
【図３】本実施の形態の切削液供給ノズルの要部を示す概略分解斜視図である。
【図４】パイプをクランプして変形させる構成の平面断面図である。
【図５】パイプをクランプして変形させた状態の平面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、添付図面を参照して、本実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態に係るブレードカバーを用いた切削装置の斜視図である。なお、本実施の形態に係る切削装置は、図１に示す構成に限定されない。本発明は、切削液をブレードカバーから供給しつつ切削ブレードでウエーハを切削可能な切削装置であれば、どのような切削装置にも適用可能である。また、以下の各図において、Ｘ方向手前側を＋Ｘ側、奥側を−Ｘ側とし、Ｙ方向手前を＋Ｙ側、奥側を−Ｙ側とし、Ｚ方向上側を＋Ｚ側、下側を−Ｚ側と呼ぶことにする。
【００１６】
図１に示すように、切削装置１は、チャックテーブル１２に保持されたウエーハＷと切削手段１４とを相対的に移動させることによってウエーハＷを切削するように構成されている。ウエーハＷは、ダイシングテープＴを介してリングフレームＦに支持された状態で切削装置１に搬入される。なお、ウエーハＷは、シリコン、ガリウム砒素等の半導体ウエーハでもよいし、セラミック、ガラス、サファイア系の光デバイスウエーハでもよい。また、円形ウエーハに限らず、ＣＳＰ（Chip  Size  Package）基板、ＱＦＮ（Quad  Flat  Non-leaded  package）等の矩形状のパッケージ基板でもよい。
【００１７】
切削装置１の基台１１上には、チャックテーブル１２をＸ方向に切削送りする切削送り手段１３が設けられている。切削送り手段１３は、基台１１上に配置されたＸ方向に平行な一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１にスライド可能に設置されたモータ駆動のＸ軸テーブル３２とを有している。Ｘ軸テーブル３２の背面側には、図示しないナット部が形成され、このナット部にボールネジ３３が螺合されている。そして、ボールネジ３３の一端部に連結された駆動モータ３４が回転駆動されることで、チャックテーブル１２が一対のガイドレール３１に沿って、切削ブレード７１の切削方向となるＸ方向に切削送りされる。
【００１８】
Ｘ軸テーブル３２の上部には、ウエーハＷを保持するチャックテーブル１２がＺ軸回りに回転可能に設けられている。チャックテーブル１２の上面には、ポーラスセラミック材により保持面が形成されており、この保持面に生じる負圧によってウエーハＷが吸引保持される。チャックテーブル１２の周囲には、エア駆動式の４つのクランプ部２２が設けられ、各クランプ部２２によってウエーハＷの周囲のリングフレームＦが四方から挟持固定される。基台１１の上面には、チャックテーブル１２の移動経路を跨ぐように立設した門型の立壁部８１が設けられている。
【００１９】
立壁部８１には、切削手段１４をＹ方向にインデックス送りするインデックス送り手段１５と、切削手段１４をＺ方向に切込み送りする切込み送り手段１６とが設けられている。インデックス送り手段１５は、立壁部８１の前面に配置されたＹ方向に平行な一対のガイドレール５１と、一対のガイドレール５１にスライド可能に設置されたＹ軸テーブル５２とを有している。切込み送り手段１６は、Ｙ軸テーブル５２上に配置されたＺ方向に平行な一対のガイドレール６１と、一対のガイドレール６１にスライド可能に設置されたＺ軸テーブル６２とを有している。Ｚ軸テーブル６２の下部には、ウエーハＷを切削する切削手段１４が設けられている。
【００２０】
Ｙ軸テーブル５２及びＺ軸テーブル６２の背面側には、それぞれナット部が形成され、これらナット部にボールネジ５３、６３が螺合されている。Ｙ軸テーブル５２用のボールネジ５３、Ｚ軸テーブル６２用のボールネジ６３の一端部には、それぞれ駆動モータ６４（Ｙ軸用の駆動モータは不図示）が連結されている。駆動モータ６４により、それぞれのボールネジ５３、６３が回転駆動されることで、切削手段１４がガイドレール５１に沿ってＸ方向に直交するＹ方向にインデックス送りされ、切削手段１４がガイドレール６１に沿ってウエーハＷに接近および離反するＺ方向に切込み送りされる。
【００２１】
切削手段１４は、スピンドルハウジング７５から突出したスピンドル７２（図２参照）の先端に切削ブレード７１を装着して構成される。スピンドルハウジング７５には、切削ブレード７１の回転軸となるスピンドル７２が回転自在に支持されると共に、スピンドル７２を回転させるモータ（不図示）が設置されている。また、スピンドルハウジング７５の先端側には、切削ブレード７１がウエーハＷに切込む領域を露出させるように、切削ブレード７１を囲繞するブレードカバー１００が設けられている。ブレードカバー１００は、ウエーハＷの切削部分における切削ブレード７１の両側面に切削水を供給する切削液供給ノズル１０１（図１では省略、図２参照）を備えている。
【００２２】
図２は、本実施の形態に係るブレードカバーの概略斜視図である。図２に示すように、ブレードカバー１００は、−Ｘ側で一対の周辺噴射ノズル１０２を支持するノズル支持ブロック１０３を備えている。また、ブレードカバー１００は、切削ブレード７１の外周の略上半部を覆うカバー本体１０５を備え、カバー本体１０５の＋Ｘ側から下部に亘って一対の切削液供給ノズル１０１が設けられる。切削液供給ノズル１０１は、切削ブレード７１を挟んで２体設けられ、それらはＺＸ面を対称面として面対称となる構造となっている。切削液供給ノズル１０１は、カバー本体１０５の＋Ｘ側に設けられる第１のブロック１０７及び第２のブロック１０８と、これらブロック１０７、１０８に支持されるＬ字状のパイプ１１０とを備えている。
【００２３】
パイプ１１０は、ステンレス等の金属材によって形成される。パイプ１１０は、各ブロック１０７、１０８から下方に延び、途中部分で湾曲して先端側が切削ブレード７１の切削送り方向（Ｘ方向）に延在している。パイプ１１０は、切削ブレード７１の側面からＹ方向に所定距離離れた位置に設けられ、２体の切削液供給ノズル１０１のパイプ１１０によって切削ブレード７１を挟むように配設される。パイプ１１０において、切削送り方向に延在する部分に複数の噴出口１１０ａが配列して形成されている。パイプ１１０にて上向きとなる基端（一方の端）は連結部１１１を介して切削液供給源１２０（図３参照）に接続され、切削液供給源１２０からパイプ１１０に供給された切削液が噴出口１１０ａから噴出される。これにより、切削ブレード７１の両側面に噴出口１１０ａから切削液を供給され、切削部分の冷却および洗浄等を行うことができる。なお、パイプ１１０の先端（他方の端）は、封止部１１０ｂとして閉塞されており、切削液漏れが生じないようになっている。
【００２４】
続いて、切削液供給ノズル１０１の構造について図３を参照して説明する。図３は、本実施の形態の切削液供給ノズルの要部を示す概略分解斜視図である。ここで、以下の説明では、Ｙ方向に並ぶ２体の切削液供給ノズル１０１のうち、−Ｙ側に位置する切削液供給ノズル１０１について説明する。なお、＋Ｙ側に位置する切削液供給ノズル１０１は、−Ｙ側に位置する切削液供給ノズル１０１と面対称構造となっており、ここでは説明を省略する。
【００２５】
図３に示すように、切削液供給ノズル１０１は、２つの第１のブロック１０７及び第２のブロック１０８でパイプ１１０の基端１１０ｃ側の外壁をＹ方向両側からクランプ手段１１３でクランプする（挟み込む）ように構成される。
【００２６】
第１のブロック１０７は、上面の面内中央部に連結部１１１が設けられる直方体状のブロック本体１１５と、ブロック本体１１５の下面１１５ａにおける＋Ｙ側の略半分領域から下方に突出する下突出体１１６とを備えた形状に設けられる。
【００２７】
第１のブロック１０７のブロック本体１１５において、連結部１１１に連通して下方に延在する供給路１１８が形成され、この供給路１１８の下端とブロック本体１１５の下面１１５ａとの間に収納室１１９が形成される。収納室１１９は、ブロック本体１１５の下面１１５ａ側を開放するように設けられる。連結部１１１には、ポンプ等を介して切削液を供給する切削液供給源１２０が接続される。
【００２８】
供給路１１８の上端側には雌ねじ１１８ａが形成され、連結部１１１の下端に形成された雄ねじ１１１ａが螺合できるようになっている。供給路１１８は、パイプ１１０の直径より小さい内径寸法となる円柱状の内壁面により形成されている。収納室１１９は、パイプ１１０の直径よりわずかに大きい内径寸法となる円柱状の内壁面により形成され、パイプ１１０の基端１１０ｃ側から所定の長さを収納可能となっている。供給路１１８と収納室１１９とは、中心軸位置が同一線上に設けられ、それらの境界位置に径寸法の違いによって段差が形成される。この段差によって、収納室１１９の上部における内壁面として底部（頂面）１１９ａが形成される。収納室１１９の底部１１９ａとパイプ１１０の基端１１０ｃとの間には、液密性を保つためのＯリング１２１が配設される。供給路１１８は、連結部１１１を介して収納室１１９の底部１１９ａと切削液供給源１２０とを連通している。
【００２９】
下突出体１１６の−Ｙ側に位置してＺＸ面と平行な鉛直面１１６ａには、かかる鉛直面１１６ａを＋Ｙ側に凹ませるように第１の半円柱凹部１２３が形成されている。第１の半円柱凹部１２３は、収納室１１９の延在方向つまり上下方向で延在して形成される。第１の半円柱凹部１２３は、パイプ１１０の直径と同じ内径寸法となる半円柱状の内壁面により形成され、その半円の中心軸位置が収納室１１９の中心軸位置と同一線上に設けられる。
【００３０】
第２のブロック１０８は直方体状に形成され、下突出体１１６の鉛直面１１６ａの上下幅と、ブロック本体１１５の下面１１５ａのＹ方向幅に収まる大きさに形成される。第２のブロック１０８は、＋Ｙ側にＺＸ面と平行な鉛直面１０８ａが形成され、この鉛直面１０８ａは下突出体１１６の鉛直面１１６ａと対向するようになる。第２のブロック１０８の鉛直面１０８ａには、かかる鉛直面１０８ａを−Ｙ側に凹ませるように第２の半円柱凹部１２４が形成されている。第２の半円柱凹部１２４は、パイプ１１０の直径と同じ内径寸法となる半円柱状の内壁面により形成され、ＺＸ面を対称面として第１の半円柱凹部１２３と面対称に形成される。従って、第１の半円柱凹部１２３と第２の半円柱凹部１２４とを重ねて対向させたときに、それらによって円柱状の内壁面が形成される。
【００３１】
クランプ手段１１３は、Ｙ方向に延在する２本のねじ部材１２６（１本は図示省略）を備えている。第２のブロック１０８における第２の半円柱凹部１２４のＸ方向両側には、ねじ部材１２６が挿通されるねじ挿通穴１２７が形成されている。また、クランプ手段１１３は、下突出体１１６の鉛直面１１６ａにて各ねじ挿通穴１２７が対向する位置に雌ねじ穴１２８を備えている。クランプ手段１１３にて、ねじ部材１２６をねじ挿通穴１２７に挿通し、ねじ部材１２６の先端を雌ねじ穴１２８にねじ込むことで、第２のブロック１０８を＋Ｙ側に付勢する力が発揮される。この力によって第１のブロック１０７と第２のブロック１０８とでパイプ１１０がＹ方向両側からクランプされる。
【００３２】
本実施の形態では、パイプ１１０が第１のブロック１０７及び第２のブロック１０８にクランプされることで、パイプ１１０が変形された状態として各ブロック１０７、１０８に装着される。この際のパイプを変形させる構成について、図３に加えて図４を参照して以下に説明する。
【００３３】
図３にて、第１の半円柱凹部１２３の上下方向中央の所定幅において第１の凹部１３１が形成され、第２の半円柱凹部１２４の上下方向中央部にて第１の凹部１３１に対向する位置に第２の凹部１３２が形成されている。第１の凹部１３１は、第１の半円柱凹部１２３のＸ方向両側に形成され、第１の半円柱凹部１２３と鉛直面１１６ａとの交差部分を面取りするように凹ませて形成される。第２の凹部１３２は、第２の半円柱凹部１２４のＸ方向両側に形成され、第２の半円柱凹部１２４と鉛直面１０８ａとの交差部分を面取りするように凹ませて形成される。第２の半円柱凹部１２４には２つの第２の凹部１３２の間には凸部１３３が形成され、凸部１３３は第２の半円柱凹部１２４の内壁を＋Ｙ方向に突出するように形成されている。
【００３４】
図４は、パイプをクランプして変形させる構成の平面断面図である。図４に示すように、第２のブロック１０８において、２つの第２の凹部１３２の間に凸部１３３が連なって形成され、これらの内壁面は、図４の断面視にて一つの仮想円Ｃに沿う円弧状に形成される。従って、凸部１３３の突出方向となる＋Ｙ方向の先端形状は、円弧状に凹むように形成される。仮想円Ｃの直径寸法は、第２の半円柱凹部１２４の直径寸法より大きく形成される。また、仮想円Ｃの中心は、Ｙ方向の位置が鉛直面１０８ａより＋Ｙ側になり、Ｘ方向の位置が第２の半円柱凹部１２４の半円の中心と同じになる。仮想円Ｃの最も−Ｙ側の位置つまり凸部１３３の先端位置は、第２の半円柱凹部１２４の最も−Ｙ側の位置より＋Ｙ側となる。
【００３５】
第１の半円柱凹部１２３と第２の半円柱凹部１２４とを重ねて対向させると、第１の凹部１３１と第２の凹部１３２とが対面するようになる。このとき、第１の凹部１３１は第２の凹部１３２に対し、図４の紙面に直交するＺＸ面を対称面として面対称となる形状に形成される。従って、第１の凹部１３１の内壁面も断面視にて円弧状に形成される。
【００３６】
本実施の形態の切削液供給ノズル１０１にて、パイプ１１０を接続する場合、図３に示すように、パイプ１１０の基端１１０ｃ側を収納室１１９の下方から挿入して収納する。このとき、パイプ１１０の基端１１０ｃと収納室１１９の底部１１９ａとでＯリング１２１を挟み込み、Ｏリング１２１を介在させて底部１１９ａにパイプ１１０の基端１１０ｃを接触させる。そして、不図示の治具等を用いてパイプ１１０の水平部分がＸ方向と平行になるように位置決めする。
【００３７】
その後、第１のブロック１０７及び第２のブロック１０８でパイプ１１０の基端１１０ｃ側の外壁をＹ方向両側から挟み、ねじ挿通穴１２７に挿通したねじ部材１２６を雌ねじ穴１２８にねじ込む。これにより、第１の半円柱凹部１２３と第２の半円柱凹部１２４とでパイプ１１０がクランプされる。このクランプによって、図５に示すように、第２の半円柱凹部１２４の凸部１３３が＋Ｙ側に向かってパイプ１１０を押し潰し、パイプ１１０のＸ方向両側が第１の凹部１３１及び第２の凹部１３２に進入するように押し伸ばされる。かかる押し潰し、押し伸ばしによってパイプ１１０のＹ方向幅が縮小し、Ｘ方向幅が拡大するように変形され、パイプ１１０の基端１１０ｃ側の所定領域において膨らみシールＳが形成される。膨らみシールＳは各半円柱凹部１２３、１２４における第１の凹部１３１、第２の凹部１３２及び凸部１３３に密着するようになり、それらの界面での液密性が担保される。
【００３８】
また、膨らみシールＳが第１の凹部１３１、第２の凹部１３２及び凸部１３３と嵌り合うようになって各ブロック１０７、１０８に対し、パイプ１１０が固定されるようになる。具体的には、パイプ１１０のＺ軸回りの回動が規制され、また、パイプ１１０が下方向に抜け出ることが規制される。ここで、膨らみシールＳにて、凸部１３３で潰された（対応する）部分に凹部Ｓａが形成され、第１の凹部１３１及び第２の凹部１３２に押し伸ばされた部分に凸部Ｓｂが形成される。
【００３９】
以上のように、本実施の形態のブレードカバー１００では、第１のブロック１０７及び第２のブロック１０８でパイプ１１０をクランプして接続するので、これらを一体に削り出す従来構造に比べて容易に製造可能として製造コストを削減することができる。
【００４０】
また、膨らみシールＳによってパイプ１１０の接続部分での切削液漏れを良好に防ぐことができる。更には、パイプ１１０を治具等で位置決めしてクランプして膨らみシールＳを形成することで、パイプ１１０の向きや位置を所定位置に固定した状態にすることができる。これにより、パイプ１１０をＸ方向に平行にさせたり、噴出口１１０ａを切削ブレード７１の側面に対向させたりする調整作業を省略でき、これによっても製造の容易化、製造コストの削減を図ることができる。また、パイプ１１０を交換する場合にも、調整作業の省略を通じて作業の負担軽減を図ることができる。
【００４１】
なお、第１の凹部１３１、第２の凹部１３２、凸部１３３の形状や形成位置は、上記実施の形態と同様に機能する膨らみシールＳを形成できる限りにおいて、他の形状、形成位置に変更してもよい。
【００４２】
また、本発明の実施の形態は上記の実施の形態及び変形例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施形態をカバーしている。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
以上説明したように、本発明は、切削液漏れを抑制でき、安価で製造することができるという効果を有し、特に、切削液をブレードカバーから供給しつつ切削ブレードでウエーハを切削する切削装置に有用である。
【符号の説明】
【００４４】
７１  切削ブレード
７２  スピンドル
７５  スピンドルハウジング
１００  ブレードカバー
１０１  切削液供給ノズル
１１０  パイプ
１１０ａ  噴出口
１１０ｂ  封止部
１１０ｃ  基端（一方の端）
１０７  第１のブロック
１０８  第２のブロック
１１３  クランプ手段
１１８  供給路
１１９  収納室
１１９ａ  底部
１２０  切削水供給源
１２３  第１の半円柱凹部
１２４  第２の半円柱凹部
１３１  第１の凹部
１３２  第２の凹部
１３３  凸部
Ｓ  膨らみシール
Ｓａ  凹部
Ｓｂ  凸部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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