(57)【要約】【課題】室圧制御システムの試運転調整時において、局所排気風量が変更された場合でも、ボリュームダンパのダンパ開度を試行錯誤を繰り返しながら細かく調節する作業を省くことができ、手間と時間とを要せずにクリーンルームの室圧を目標室圧に保持することができる室圧制御システムを提供する。【解決手段】室圧制御システム１０Ａでは、第１風量センサ２０が測定した還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量になることで第１排気ファン１７の第１排気風量が所定の風量になり、第２風量センサ２１が測定した給気ダクト内風量が給気ダクト内目標風量になるように給気ファン１６の給気風量が調節されるとともに、室圧センサ２２が測定したクリーンルーム１１の室圧が目標室圧になるように圧力制御ダンパ１９によって還気ダクト１３に流れる空気風量が調節される。【選択図】図１
2019011884.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの空調対象室の室圧を目標室圧に保持する室圧制御システムにおいて、
前記室圧制御システムが、前記空調対象室に接続されて該空調対象室に空気を給気する給気ダクトと、前記空調対象室に接続されて該空調対象室の空気を前記給気ダクトに還気させる還気ダクトと、前記還気ダクトに接続されて前記空調対象室から該還気ダクトに流入した空気の一部を大気に排気する第１排気ダクトと、前記空調対象室に接続されて該空調対象室の一部の空気を大気に排気する少なくとも１本の第２排気ダクトと、前記給気ダクトに設置された給気ファンと、前記第１排気ダクトに設置された第１排気ファンと、前記第２排気ダクトに設置された第２排気ファンと、前記空調対象室と前記第１排気ダクトの分岐箇所との間に延びる還気ダクトに設置されて該還気ダクトに流れる空気風量を調節する圧力制御ダンパと、前記還気ダクトと前記第１排気ダクトとの分岐箇所から前記給気ファンに向かって延びる該還気ダクトに設置されて還気ダクト内風量を測定する第１風量センサと、前記給気ファンと前記空調対象室との間に延びる給気ダクトに設置されて給気ダクト内風量を測定する第２風量センサと、前記空調対象室に設置されて該空調対象室の室圧を測定する室圧センサとを有し、
前記室圧制御システムでは、前記第１および第２排気ダクトから排気される総排気風量と前記給気ダクトに流入する外気風量とを等しくする還気ダクト内目標風量が設定され、前記給気ダクトに流れる空気の給気ダクト内目標風量が設定されるとともに、前記空調対象室の目標室圧が設定され、前記第１風量センサが測定した還気ダクト内風量が前記還気ダクト内目標風量になることで前記第１排気ファンの第１排気風量が所定の風量になり、前記第２風量センサが測定した給気ダクト内風量が前記給気ダクト内目標風量になるように前記給気ファンの給気風量が調節されるとともに、前記室圧センサが測定した空調対象室の室圧が前記目標室圧になるように前記圧力制御ダンパによって前記還気ダクトに流れる空気風量が調節されることを特徴とする室圧制御システム。
【請求項２】
前記室圧制御システムは、前記第１排気ファンにおける第１排気風量の調節と前記給気ファンにおける給気風量の調節と前記圧力制御ダンパにおける空気風量の調節とが同時に行われるとともに、前記圧力制御ダンパにおける空気風量の調節速度が一番速く、前記給気ファンにおける給気風量の調節速度が二番目に速く、前記第１排気ファンにおける第１排気風量の調節速度が前記圧力制御ダンパにおける空気風量の調節速度および前記給気ファンにおける給気風量の調節速度よりも遅い請求項１に記載の室圧制御システム。
【請求項３】
少なくとも１つの空調対象室の室圧を目標室圧に保持する室圧制御システムにおいて、
前記室圧制御システムが、前記空調対象室に接続されて該空調対象室に空気を給気する給気ダクトと、前記空調対象室に接続されて該空調対象室の空気を前記給気ダクトに還気させる還気ダクトと、前記還気ダクトに接続されて前記空調対象室から該還気ダクトに流入した空気の一部を大気に排気する第１排気ダクトと、前記空調対象室に接続されて該空調対象室の一部の空気を大気に排気する少なくとも１本の第２排気ダクトと、前記給気ダクトに設置された給気ファンと、前記第１排気ダクトに設置された第１排気ファンと、前記第２排気ダクトに設置された第２排気ファンと、前記給気ファンと前記空調対象室との間に延びる給気ダクトに設置された定風量装置または可変風量装置と、前記空調対象室と前記第１排気ダクトの分岐箇所との間に延びる還気ダクトに設置されて該還気ダクトに流れる空気風量を調節する圧力制御ダンパと、前記還気ダクトと前記第１排気ダクトとの分岐箇所から前記給気ファンに向かって延びる該還気ダクトに設置されて還気ダクト内風量を測定する風量センサと、前記空調対象室に設置されて該空調対象室の室圧を測定する室圧センサとを有し、
前記室圧制御システムでは、前記第１および第２排気ダクトから排気される総排気風量と前記給気ダクトに流入する外気風量とを等しくする還気ダクト内目標風量が設定されるとともに、前記空調対象室の目標室圧が設定され、前記空調対象室に給気する空気の給気風量が前記定風量装置または可変風量装置によって所定の給気風量に維持され、前記風量センサが測定した還気ダクト内風量が前記還気ダクト内目標風量になることで前記第１排気ファンの第１排気風量が所定の風量になるとともに、前記室圧センサが測定した空調対象室の室圧が前記目標室圧になるように前記圧力制御ダンパによって前記還気ダクトに流れる空気風量が調節されることを特徴とする室圧制御システム。
【請求項４】
前記室圧制御システムは、前記第１排気ファンにおける排気風量の調節と前記定風量装置または可変風量装置における風量調整と前記圧力制御ダンパにおける空気風量の調節とが同時に行われるとともに、前記圧力制御ダンパにおける空気風量の調節速度が一番速く、前記定風量装置または可変風量装置における風量調整速度が二番目に速く、前記第１排気ファンにおける第１排気風量の調節速度が前記圧力制御ダンパにおける空気風量の調節速度および前記定風量装置または可変風量装置における風量調整速度よりも遅い請求項３に記載の室圧制御システム。
【請求項５】
前記室圧制御システムでは、前記給気ダクトに流入する外気風量が一定に保持され、前記空調対象室に接続された複数本の第２排気ダクトに設置された複数の第２排気ファンの発停によって前記第２排気ダクトから排気される第２排気風量が変更され、または、前記空調対象室に接続された複数本の第２排気ダクトに設置された複数の第２排気ファンの排気風量の変更によって前記第２排気ダクトから排気される第２排気風量が変更され、前記室圧制御システムは、前記第２排気ダクトから排気される第２排気風量が変更された場合、前記第１風量センサが測定した還気ダクト内風量が前記還気ダクト内目標風量になることで前記第１排気ファンの第１排気風量が所定の風量に変わる請求項１ないし請求項４いずれかに記載の室圧制御システム。
【請求項６】
前記室圧制御システムでは、前記空調対象室に給気する空気の給気風量が変更され、前記室圧制御システムは、前記給気風量が変更されると、前記還気ダクト内目標風量が変更される請求項１ないし請求項５いずれかに記載の室圧制御システム。
【請求項７】
少なくとも１つの空調対象室の室圧を目標室圧に保持する室圧制御システムにおいて、
前記室圧制御システムが、前記空調対象室に接続されて該空調対象室に空気を給気する給気ダクトと、前記空調対象室に接続されて該空調対象室の空気を前記給気ダクトに還気させる還気ダクトと、前記還気ダクトに接続されて前記空調対象室から該還気ダクトに流入した空気の一部を大気に排気する第１排気ダクトと、前記空調対象室に接続されて該空調対象室の一部の空気を大気に排気する少なくとも１本の第２排気ダクトと、前記給気ダクトに設置された給気ファンと、前記第１排気ダクトに設置された第１排気ファンと、前記第２排気ダクトに設置された第２排気ファンと、前記空調対象室と前記第１排気ダクトの分岐箇所との間に延びる還気ダクトに設置されて該還気ダクトに流れる空気風量を調節する圧力制御ダンパと、前記還気ダクトと前記第１排気ダクトとの分岐箇所から前記給気ファンに向かって延びる該還気ダクトに設置されて還気ダクト内圧力を測定する圧力センサと、前記給気ファンと前記空調対象室との間に延びる給気ダクトに設置されて給気ダクト内風量を測定する風量センサと、前記空調対象室に設置されて該空調対象室の室圧を測定する室圧センサとを有し、
前記室圧制御システムでは、前記第１および第２排気ダクトから排気される総排気風量と前記給気ダクトに流入する外気風量とを等しくする還気ダクト内目標圧力が設定され、前記給気ダクトに流れる空気の給気ダクト内目標風量が設定されるとともに、前記空調対象室の目標室圧が設定され、前記圧力センサが測定した還気ダクト内圧力が前記還気ダクト内目標圧力になることで前記第１排気ファンの第１排気風量が所定の風量になり、前記風量センサが測定した給気ダクト内風量が前記給気ダクト内目標風量になるように前記給気ファンの給気風量が調節されるとともに、前記室圧センサが測定した空調対象室の室圧が前記目標室圧になるように前記圧力制御ダンパによって前記還気ダクトに流れる空気風量が調節されることを特徴とする室圧制御システム。
【請求項８】
前記室圧制御システムは、前記第１排気ファンにおける第１排気風量の調節と前記給気ファンにおける給気風量の調節と前記圧力制御ダンパにおける空気風量の調節とが同時に行われるとともに、前記圧力制御ダンパにおける空気風量の調節速度が一番速く、前記給気ファンにおける給気風量の調節速度が二番目に速く、前記第１排気ファンにおける第１排気風量の調節速度が前記圧力制御ダンパにおける空気風量の調節速度および前記給気ファンにおける給気風量の調節速度よりも遅い請求項７に記載の室圧制御システム。
【請求項９】
少なくとも１つの空調対象室の室圧を目標室圧に保持する室圧制御システムにおいて、
前記室圧制御システムが、前記空調対象室に接続されて該空調対象室に空気を給気する給気ダクトと、前記空調対象室に接続されて該空調対象室の空気を前記給気ダクトに還気させる還気ダクトと、前記還気ダクトに接続されて前記空調対象室から該還気ダクトに流入した空気の一部を大気に排気する第１排気ダクトと、前記空調対象室に接続されて該空調対象室の一部の空気を大気に排気する少なくとも１本の第２排気ダクトと、前記給気ダクトに設置された給気ファンと、前記第１排気ダクトに設置された第１排気ファンと、前記第２排気ダクトに設置された第２排気ファンと、前記給気ファンと前記空調対象室との間に延びる給気ダクトに設置された定風量装置または可変風量装置と、前記空調対象室と前記第１排気ダクトの分岐箇所との間に延びる還気ダクトに設置されて該還気ダクトに流れる空気風量を調節する圧力制御ダンパと、前記還気ダクトと前記第１排気ダクトとの分岐箇所から前記給気ファンに向かって延びる該還気ダクトに設置されて還気ダクト内圧力を測定する圧力センサと、前記空調対象室に設置されて該空調対象室の室圧を測定する室圧センサとを有し、
前記室圧制御システムでは、前記第１および第２排気ダクトから排気される総排気風量と前記給気ダクトに流入する外気風量とを等しくする還気ダクト内目標圧力が設定されるとともに、前記空調対象室の目標室圧が設定され、前記空調対象室に給気する空気の給気風量が前記定風量装置または可変風量装置によって所定の給気風量に維持され、前記圧力センサが測定した還気ダクト内圧力が前記還気ダクト内目標圧力になることで前記第１排気ファンの第１排気風量が所定の風量になるとともに、前記室圧センサが測定した空調対象室の室圧が前記目標室圧になるように前記圧力制御ダンパによって前記還気ダクトに流れる空気風量が調節されることを特徴とする室圧制御システム。
【請求項１０】
前記室圧制御システムは、前記排気ファンにおける排気風量の調節と前記定風量装置または可変風量装置における風量調整と前記圧力制御ダンパにおける空気風量の調節とが同時に行われるとともに、前記圧力制御ダンパにおける空気風量の調節速度が一番速く、前記可変風量装置における風量調整速度が二番目に速く、前記第１排気ファンにおける排気風量の調節速度が前記圧力制御ダンパにおける空気風量の調節速度および前記定風量装置または可変風量装置における風量調整速度よりも遅い請求項９に記載の室圧制御システム。
【請求項１１】
前記室圧制御システムでは、前記給気ダクトに流入する外気風量が一定に保持され、前記空調対象室に接続された複数本の第２排気ダクトに設置された複数の第２排気ファンの発停によって前記第２排気ダクトから排気される第２排気風量が変更され、または、前記空調対象室に接続された複数本の第２排気ダクトに設置された複数の第２排気ファンの排気風量の変更によって前記第２排気ダクトから排気される第２排気風量が変更され、前記室圧制御システムは、前記第２排気ダクトから排気される第２排気風量が変更された場合、前記圧力センサが測定した還気ダクト内圧力が前記還気ダクト内目標圧力になることで前記第１排気ファンの第１排気風量が所定の風量に変わる請求項７ないし請求項１０いずれかに記載の室圧制御システム。
【請求項１２】
前記室圧制御システムでは、前記空調対象室に給気する空気の給気風量が変更され、前記室圧制御システムは、前記給気風量が変更されると、前記還気ダクト内目標圧力が変更される請求項７ないし請求項１１いずれかに記載の室圧制御システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空調対象室の室圧を目標室圧に保持する室圧制御システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
複数の局所排気ファンが設置された空調対象室の室圧を目標室圧に保持する既存の室圧制御システムは、図１０に示すように、空調対象室１１に空気を給気する給気ダクト１２と、空調対象室１１の空気を給気ダクト１２に還気させる還気ダクト１３と、空調対象室１１から還気ダクト１３に流入した空気の一部を大気に排気する排気ダクト１４と、空調対象室１１に接続されて空調対象室１１の一部の空気を大気に排気する局所排気ダクト１５ａ，１５ｂと、給気ダクト１２に設置された給気ファン１６と、排気ダクト１４に設置された排気ファン１７と、それら局所排気ダクト１５ａ，１５ｂに設置された局所排気ファン１８ａ，１８ｂと、空調対象室１１と排気ダクト１４の接続箇所２９との間に延びる還気ダクト１３に設置されて還気ダクト１３に流れる空気風量を調節する圧力制御ダンパ１９と、排気ダクト１４に設置されて排気ダクト内圧力を測定する圧力センサ３３と、給気ファン１６と空調対象室１１との間に延びる給気ダクト１２に設置されて給気ダクト内風量を測定する風量センサ２１と、空調対象室１１に設置されて空調対象室１１の室圧を測定する室圧センサ２２とを備えている。
【０００３】
この室圧制御システムは、排気ダクト１４の排気ダクト内目標圧力が設定され、給気ダクト１２に流れる空気の給気ダクト内目標風量が設定されるとともに、空調対象室１１の目標室圧が設定される。給気ダクト１２や還気ダクト１３、排気ダクト１４、局所排気ダクト１５ａ，１５ｂには、モーターダンパ２４（ＭＤ）やボリュームダンパ２５ａ〜２５ｉ（ＶＤ）、ノンリークダンパ２８ａ，２８ｂ（ＮＬＤ）、チャンバー２６ａ，２６ｂが設置されている。モーターダンパ２４（ＭＤ）や排気ファン１７、風量センサ２１には、指示調節計２７，３１，３４が接続されている。
【０００４】
図１０に示す室圧制御システムでは、圧力センサ３３が測定した排気ダクト内圧力が排気ダクト内目標圧力になるように排気ファン１７の排気風量が調節され、風量センサ２１が測定した給気ダクト内風量が給気ダクト内目標風量になるように給気ファン１６の給気風量が調節されるとともに、室圧センサ２２が測定した空調対象室１１の室圧が目標室圧になるように圧力制御ダンパ１９によって還気ダクト１３に流れる空気風量が調節される。なお、空調対象室の空気の一部を排気し、空調対象室の空気の一部を再び空調対象室に循環させる室圧制御システムが特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１０−１０７０６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
図１０に示す既存の室圧制御システムは、各局所排気ファン１８ａ，１８ｂの発停（ＯＮ／ＯＦＦ）によって局所排気ダクト１５ａ，１５ｂから大気に排気される局所排気風量が変化した場合、たとえば、図１１に示すように、空調対象室１１への空気の給気風量が１５００ｍ３／ｈであって、局所排気風量が４００ｍ３／ｈ（運転モード１）から３００ｍ３／ｈ（運転モード２）に変更された場合、排気ダクト内目標圧力を−３０Ｐａから−４０Ｐａに変更し、局所排気風量が３００ｍ３／ｈ（運転モード２）から２００ｍ３／ｈ（運転モード３）に変更された場合、排気ダクト内目標圧力を−４０Ｐａから−５０Ｐａに変更しなければならず、また、空調対象室への空気の給気風量が１５００ｍ３／ｈから７５０ｍ３／ｈ（運転モード４）に変更され、局所排気風量が４００ｍ３／ｈの場合、排気ダクト内目標圧力を−１５０Ｐａに変更し、局所排気風量が４００ｍ３／ｈ（運転モード４）から３００ｍ３／ｈ（運転モード５）に変更された場合、排気ダクト内目標圧力を−１５０Ｐａから−１６０Ｐａに変更しなければならない。
【０００７】
既存の室圧制御システムでは、室圧制御システムの試運転調整時において、局所排気風量の変更にともなって排気ダクト内目標圧力を随時変更しなければならないのみならず、排気ダクト内目標圧力を変更した後、空調対象室１１の室圧が目標室圧になるように、給気ダクト１２や還気ダクト１３、排気ダクト１４、局所排気ダクト１５ａ，１５ｂに設置された各ボリュームダンパ２５ａ〜２５ｉのダンパ開度を試行錯誤を繰り返しながら細かく調節しなければならず、空調対象室１１の室圧を目標室圧に保持するために多大の調整時間と手間とを要していた。
【０００８】
本発明の目的は、局所排気ダクトから大気に排気される局所排気風量が変更された場合でも、排気ダクトおよび局所排気ダクトから排気される総排気風量と給気ダクトに流入する外気および還気ダクトから還気される空気からなる総給気風量とを等しくする還気ダクト内目標風量を変更する必要はなく、各ダクトに設置されたボリュームダンパのダンパ開度を試行錯誤を繰り返しながら細かく調節する作業を省くことができ、手間と時間とを要せずに空調対象室の室圧を目標室圧に保持することができる室圧制御システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するための本発明の前提は、少なくとも１つの空調対象室の室圧を目標室圧に保持する室圧制御システムである。
【００１０】
前記前提における本発明の第１の特徴は、室圧制御システムが、空調対象室に接続されて空調対象室に空気を給気する給気ダクトと、空調対象室に接続されて空調対象室の空気を給気ダクトに還気させる還気ダクトと、還気ダクトに接続されて空調対象室から還気ダクトに流入した空気の一部を大気に排気する第１排気ダクトと、空調対象室に接続されて空調対象室の一部の空気を大気に排気する少なくとも１本の第２排気ダクトと、給気ダクトに設置された給気ファンと、第１排気ダクトに設置された第１排気ファンと、第２排気ダクトに設置された第２排気ファンと、空調対象室と第１排気ダクトの分岐箇所との間に延びる還気ダクトに設置されて還気ダクトに流れる空気風量を調節する圧力制御ダンパと、還気ダクトと第１排気ダクトとの分岐箇所から給気ファンに向かって延びる還気ダクトに設置されて還気ダクト内風量を測定する第１風量センサと、給気ファンと空調対象室との間に延びる給気ダクトに設置されて給気ダクト内風量を測定する第２風量センサと、空調対象室に設置されて空調対象室の室圧を測定する室圧センサとを有し、室圧制御システムでは、第１および第２排気ダクトから排気される総排気風量と給気ダクトに流入する外気風量とを等しくする還気ダクト内目標風量が設定され、給気ダクトに流れる空気の給気ダクト内目標風量が設定されるとともに、空調対象室の目標室圧が設定され、第１風量センサが測定した還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量になることで第１排気ファンの第１排気風量が所定の風量になり、第２風量センサが測定した給気ダクト内風量が給気ダクト内目標風量になるように給気ファンの給気風量が調節されるとともに、室圧センサが測定した空調対象室の室圧が目標室圧になるように圧力制御ダンパによって還気ダクトに流れる空気風量が調節されることにある。
【００１１】
前記第１の特徴を有する本発明の一例として、室圧制御システムは、第１排気ファンにおける第１排気風量の調節と給気ファンにおける給気風量の調節と圧力制御ダンパにおける空気風量の調節とが同時に行われるとともに、圧力制御ダンパにおける空気風量の調節速度が一番速く、給気ファンにおける給気風量の調節速度が二番目に速く、第１排気ファンにおける第１排気風量の調節速度が圧力制御ダンパにおける空気風量の調節速度および給気ファンにおける給気風量の調節速度よりも遅い。
【００１２】
前記前提における本発明の第２の特徴は、室圧制御システムが、空調対象室に接続されて空調対象室に空気を給気する給気ダクトと、空調対象室に接続されて空調対象室の空気を給気ダクトに還気させる還気ダクトと、還気ダクトに接続されて空調対象室から還気ダクトに流入した空気の一部を大気に排気する第１排気ダクトと、空調対象室に接続されて空調対象室の一部の空気を大気に排気する少なくとも１本の第２排気ダクトと、給気ダクトに設置された給気ファンと、第１排気ダクトに設置された第１排気ファンと、第２排気ダクトに設置された第２排気ファンと、給気ファンと空調対象室との間に延びる給気ダクトに設置された定風量装置または可変風量装置と、空調対象室と第１排気ダクトの分岐箇所との間に延びる還気ダクトに設置されて還気ダクトに流れる空気風量を調節する圧力制御ダンパと、還気ダクトと第１排気ダクトとの分岐箇所から給気ファンに向かって延びる還気ダクトに設置されて還気ダクト内風量を測定する風量センサと、空調対象室に設置されて空調対象室の室圧を測定する室圧センサとを有し、室圧制御システムでは、第１および第２排気ダクトから排気される総排気風量と給気ダクトに流入する外気風量とを等しくする還気ダクト内目標風量が設定されるとともに、空調対象室の目標室圧が設定され、空調対象室に給気する空気の給気風量が定風量装置または可変風量装置によって所定の給気風量に維持され、風量センサが測定した還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量になることで第１排気ファンの第１排気風量が所定の風量になるとともに、室圧センサが測定した空調対象室の室圧が目標室圧になるように圧力制御ダンパによって還気ダクトに流れる空気風量が調節されることにある。
【００１３】
前記第２の特徴を有する本発明の一例として、室圧制御システムは、第１排気ファンにおける排気風量の調節と定風量装置または可変風量装置における風量調整と圧力制御ダンパにおける空気風量の調節とが同時に行われるとともに、圧力制御ダンパにおける空気風量の調節速度が一番速く、定風量装置または可変風量装置における風量調整速度が二番目に速く、第１排気ファンにおける第１排気風量の調節速度が圧力制御ダンパにおける空気風量の調節速度および定風量装置または可変風量装置における風量調整速度よりも遅い。
【００１４】
前記第１および第２の特徴を有する本発明の他の一例として、室圧制御システムでは、給気ダクトに流入する外気風量が一定に保持され、空調対象室に接続された複数本の第２排気ダクトに設置された複数の第２排気ファンの発停によって第２排気ダクトから排気される第２排気風量が変更され、または、空調対象室に接続された複数本の第２排気ダクトに設置された複数の第２排気ファンの排気風量の変更によって第２排気ダクトから排気される第２排気風量が変更され、室圧制御システムは、第２排気ダクトから排気される第２排気風量が変更された場合、第１風量センサが測定した還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量になることで第１排気ファンの第１排気風量が所定の風量に変わる。
【００１５】
前記第１および第２の特徴を有する本発明の他の一例として、室圧制御システムでは、空調対象室に給気する空気の給気風量が変更され、室圧制御システムは、給気風量が変更されると、還気ダクト内目標風量が変更される。
【００１６】
前記前提における本発明の第３の特徴は、室圧制御システムが、空調対象室に接続されて空調対象室に空気を給気する給気ダクトと、空調対象室に接続されて空調対象室の空気を給気ダクトに還気させる還気ダクトと、還気ダクトに接続されて空調対象室から還気ダクトに流入した空気の一部を大気に排気する第１排気ダクトと、空調対象室に接続されて空調対象室の一部の空気を大気に排気する少なくとも１本の第２排気ダクトと、給気ダクトに設置された給気ファンと、第１排気ダクトに設置された第１排気ファンと、第２排気ダクトに設置された第２排気ファンと、空調対象室と第１排気ダクトの分岐箇所との間に延びる還気ダクトに設置されて還気ダクトに流れる空気風量を調節する圧力制御ダンパと、還気ダクトと第１排気ダクトとの分岐箇所から給気ファンに向かって延びる還気ダクトに設置されて還気ダクト内圧力を測定する圧力センサと、給気ファンと空調対象室との間に延びる給気ダクトに設置されて給気ダクト内風量を測定する風量センサと、空調対象室に設置されて空調対象室の室圧を測定する室圧センサとを有し、室圧制御システムでは、第１および第２排気ダクトから排気される総排気風量と給気ダクトに流入する外気風量とを等しくする還気ダクト内目標圧力が設定され、給気ダクトに流れる空気の給気ダクト内目標風量が設定されるとともに、空調対象室の目標室圧が設定され、圧力センサが測定した還気ダクト内圧力が還気ダクト内目標圧力になることで第１排気ファンの第１排気風量が所定の風量になり、風量センサが測定した給気ダクト内風量が給気ダクト内目標風量になるように給気ファンの給気風量が調節されるとともに、室圧センサが測定した空調対象室の室圧が目標室圧になるように圧力制御ダンパによって還気ダクトに流れる空気風量が調節されることにある。
【００１７】
前記第３の特徴を有する本発明の一例として、室圧制御システムは、第１排気ファンにおける第１排気風量の調節と給気ファンにおける給気風量の調節と圧力制御ダンパにおける空気風量の調節とが同時に行われるとともに、圧力制御ダンパにおける空気風量の調節速度が一番速く、給気ファンにおける給気風量の調節速度が二番目に速く、第１排気ファンにおける第１排気風量の調節速度が圧力制御ダンパにおける空気風量の調節速度および給気ファンにおける給気風量の調節速度よりも遅い。
【００１８】
前記前提における本発明の第４の特徴は、室圧制御システムが、空調対象室に接続されて空調対象室に空気を給気する給気ダクトと、空調対象室に接続されて空調対象室の空気を給気ダクトに還気させる還気ダクトと、還気ダクトに接続されて空調対象室から還気ダクトに流入した空気の一部を大気に排気する第１排気ダクトと、空調対象室に接続されて空調対象室の一部の空気を大気に排気する少なくとも１本の第２排気ダクトと、給気ダクトに設置された給気ファンと、第１排気ダクトに設置された第１排気ファンと、第２排気ダクトに設置された第２排気ファンと、給気ファンと空調対象室との間に延びる給気ダクトに設置された定風量装置または可変風量装置と、空調対象室と第１排気ダクトの分岐箇所との間に延びる還気ダクトに設置されて還気ダクトに流れる空気風量を調節する圧力制御ダンパと、還気ダクトと第１排気ダクトとの分岐箇所から給気ファンに向かって延びる還気ダクトに設置されて還気ダクト内圧力を測定する圧力センサと、空調対象室に設置されて空調対象室の室圧を測定する室圧センサとを有し、室圧制御システムでは、第１および第２排気ダクトから排気される総排気風量と給気ダクトに流入する外気風量とを等しくする還気ダクト内目標圧力が設定されるとともに、空調対象室の目標室圧が設定され、空調対象室に給気する空気の給気風量が定風量装置または可変風量装置によって所定の給気風量に維持され、圧力センサが測定した還気ダクト内圧力が還気ダクト内目標圧力になることで第１排気ファンの第１排気風量が所定の風量になるとともに、室圧センサが測定した空調対象室の室圧が目標室圧になるように圧力制御ダンパによって還気ダクトに流れる空気風量が調節されることにある。
【００１９】
前記第４の特徴を有する本発明の一例として、室圧制御システムは、排気ファンにおける排気風量の調節と定風量装置または可変風量装置における風量調整と圧力制御ダンパにおける空気風量の調節とが同時に行われるとともに、圧力制御ダンパにおける空気風量の調節速度が一番速く、可変風量装置における風量調整速度が二番目に速く、第１排気ファンにおける排気風量の調節速度が圧力制御ダンパにおける空気風量の調節速度および定風量装置または可変風量装置における風量調整速度よりも遅い。
【００２０】
前記第３および第４の特徴を有する本発明の他の一例として、室圧制御システムでは、給気ダクトに流入する外気風量が一定に保持され、空調対象室に接続された複数本の第２排気ダクトに設置された複数の第２排気ファンの発停によって第２排気ダクトから排気される第２排気風量が変更され、または、空調対象室に接続された複数本の第２排気ダクトに設置された複数の第２排気ファンの排気風量の変更によって第２排気ダクトから排気される第２排気風量が変更され、室圧制御システムは、第２排気ダクトから排気される第２排気風量が変更された場合、圧力センサが測定した還気ダクト内圧力が還気ダクト内目標圧力になることで第１排気ファンの第１排気風量が所定の風量に変わる。
【００２１】
前記第３および第４の特徴を有する本発明の他の一例として、室圧制御システムでは、空調対象室に給気する空気の給気風量が変更され、室圧制御システムは、給気風量が変更されると、還気ダクト内目標圧力が変更される。
【発明の効果】
【００２２】
第１の特徴を有する本発明の室圧制御システムによれば、第１風量センサが測定した還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量になることで、第１排気ファンの第１排気風量が所定の風量になり、それによって第１排気ダクトおよび第２排気ダクトから排気される総排気風量と給気ダクトに流入する外気風量とが等しくなり、総排気風量と外気風量との風量バランスが維持されるから、第２排気ダクトから大気に排気される第２排気風量が変更された場合でも、還気ダクト内目標風量を変更する必要はなく、各ダクトに設置されたボリュームダンパのダンパ開度を試行錯誤を繰り返しながら細かく調節する作業を省くことができ、調整時間と手間とを要せずに空調対象室の室圧を目標室圧に保持することができる。室圧制御システムは、第１排気ファンの第１排気風量の調節とともに、第２風量センサが測定した給気ダクト内風量が給気ダクト内目標風量になるように給気ファンの給気風量が調節され、室圧センサが測定した空調対象室の室圧が目標室圧になるように圧力制御ダンパによって還気ダクトに流れる空気風量が調節されるから、空調対象室の室圧を目標室圧に確実かつ容易に保持することができる。
【００２３】
第１排気ファンにおける第１排気風量の調節と給気ファンにおける給気風量の調節と圧力制御ダンパにおける空気風量の調節とが同時に行われるとともに、圧力制御ダンパにおける空気風量の調節速度が一番速く、給気ファンにおける給気風量の調節速度が二番目に速く、第１排気ファンにおける第１排気風量の調節速度が圧力制御ダンパにおける空気風量の調節速度および給気ファンにおける給気風量の調節速度よりも遅い室圧制御システムは、室圧センサの測定結果に連動して空調対象室の室圧を目標室圧にする圧力制御ダンパの空気風量の調節速度を一番速くすることで、空調対象室の室圧を迅速に目標室圧にすることができるとともに、第２風量センサの測定結果に連動して給気ダクト内風量を給気ダクト内目標風量にする給気ファンの給気風量の調節速度を二番目に速くし、第１風量センサの測定結果に連動して還気ダクト内風量を還気ダクト内目標風量にする第１排気ファンの第１排気風量の調節速度を三番目にすることで、システムを循環する空気の風量の安定化を図ることができ、空調対象室の室圧が安定し、空調対象室の室圧を目標室圧に確実に保持することができる。
【００２４】
第２の特徴を有する本発明の室圧制御システムによれば、風量センサが測定した還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量になることで、第１排気ファンの第１排気風量が所定の風量になり、それによって第１排気ダクトおよび第２排気ダクトから排気される総排気風量と給気ダクトに流入する外気風量とが等しくなり、総排気風量と外気風量との風量バランスが維持されるから、第２排気ダクトから大気に排気される第２排気風量が変更された場合でも、還気ダクト内目標風量を変更する必要はなく、各ダクトに設置されたボリュームダンパのダンパ開度を試行錯誤を繰り返しながら細かく調節する作業を省くことができ、調整時間と手間とを要せずに空調対象室の室圧を目標室圧に保持することができる。室圧制御システムは、第１排気ファンの第１排気風量の調節とともに、空調対象室に給気する空気の給気風量が定風量装置または可変風量装置によって所定の給気風量に維持され、室圧センサが測定した空調対象室の室圧が目標室圧になるように圧力制御ダンパによって還気ダクトに流れる空気風量が調節されるから、空調対象室の室圧を目標室圧に確実かつ容易に保持することができる。
【００２５】
第１排気ファンにおける排気風量の調節と定風量装置または可変風量装置における風量調整と圧力制御ダンパにおける空気風量の調節とが同時に行われるとともに、圧力制御ダンパにおける空気風量の調節速度が一番速く、定風量装置または可変風量装置における風量調整速度が二番目に速く、第１排気ファンにおける第１排気風量の調節速度が圧力制御ダンパにおける空気風量の調節速度および定風量装置または可変風量装置における風量調整速度よりも遅い室圧制御システムは、室圧センサの測定結果に連動して空調対象室の室圧を目標室圧にする圧力制御ダンパの空気風量の調節速度を一番速くすることで、空調対象室の室圧を迅速に目標室圧にすることができるとともに、定風量装置または可変風量装置における風量調整速度を二番目に速くし、風量センサの測定結果に連動して還気ダクト内風量を還気ダクト内目標風量にする第１排気ファンの第１排気風量の調節速度を三番目にすることで、システムを循環する空気の風量の安定化を図ることができ、空調対象室の室圧が安定し、空調対象室の室圧を目標室圧に確実に保持することができる。
【００２６】
給気ダクトに流入する外気風量が一定に保持され、空調対象室に接続された複数本の第２排気ダクトに設置された複数の第２排気ファンの発停によって第２排気ダクトから排気される第２排気風量が変更され、または、空調対象室に接続された複数本の第２排気ダクトに設置された複数の第２排気ファンの排気風量の変更によって第２排気ダクトから排気される第２排気風量が変更され、第２排気ダクトから排気される第２排気風量が変更された場合、第１風量センサが測定した還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量になることで第１排気ファンの第１排気風量が所定の風量に変わる室圧制御システムは、第２排気ダクトから大気に排気される第２排気風量が変更された場合でも、第１排気ダクトおよび第２排気ダクトから排気される総排気風量と給気ダクトに流入する外気風量とが等しくなるように、第１排気ファンの第１排気風量が所定の風量に変わるから、還気ダクト内目標風量を変更する必要はなく、各ダクトに設置されたボリュームダンパのダンパ開度を試行錯誤を繰り返しながら細かく調節する作業を省くことができ、調整時間と手間とを要せずに空調対象室の室圧を目標室圧に保持することができる。
【００２７】
空調対象室に給気する空気の給気風量が変更されると、還気ダクト内目標風量が変更される室圧制御システムは、空調対象室に給気する空気の給気風量が変更されることで、総排気風量と外気風量とを等しくする還気ダクト内目標風量が変更されるが、第２排気ダクトから大気に排気される第２排気風量が変更された場合でも、変更された還気ダクト内目標風量をさらに変更する必要はなく、各ダクトに設置されたボリュームダンパのダンパ開度を試行錯誤を繰り返しながら細かく調節する作業を省くことができ、調整時間と手間とを要せずに空調対象室の室圧を目標室圧に保持することができる。
【００２８】
第３の特徴を有する本発明の室圧制御システムによれば、圧力センサが測定した還気ダクト内圧力が還気ダクト内目標圧力になることで、排気ファンの排気風量が所定の風量になり、それによって第１排気ダクトおよび第２排気ダクトから排気される総排気風量と給気ダクトに流入する外気風量とが等しくなり、総排気風量と外気風量との風量バランスが維持されるから、第２排気ダクトから大気に排気される第２排気風量が変更された場合でも、還気ダクト内目標圧力を変更する必要はなく、各ダクトに設置されたボリュームダンパのダンパ開度を試行錯誤を繰り返しながら細かく調節する作業を省くことができ、調整時間と手間とを要せずに空調対象室の室圧を目標室圧に保持することができる。室圧制御システムは、第１排気ファンの第１排気風量の調節とともに、風量センサが測定した給気ダクト内風量が給気ダクト内目標風量になるように給気ファンの給気風量が調節され、室圧センサが測定した空調対象室の室圧が目標室圧になるように圧力制御ダンパによって還気ダクトに流れる空気風量が調節されるから、空調対象室の室圧を目標室圧に確実かつ容易に保持することができる。
【００２９】
第１排気ファンにおける第１排気風量の調節と給気ファンにおける給気風量の調節と圧力制御ダンパにおける空気風量の調節とが同時に行われるとともに、圧力制御ダンパにおける空気風量の調節速度が一番速く、給気ファンにおける給気風量の調節速度が二番目に速く、第１排気ファンにおける第１排気風量の調節速度が圧力制御ダンパにおける空気風量の調節速度および給気ファンにおける給気風量の調節速度よりも遅い室圧制御システムは、室圧センサの測定結果に連動して空調対象室の室圧を目標室圧にする圧力制御ダンパの空気風量の調節速度を一番速くすることで、空調対象室の室圧を迅速に目標室圧にすることができるとともに、風量センサの測定結果に連動して給気ダクト内風量を給気ダクト内目標風量にする給気ファンの給気風量の調節速度を二番目に速くし、圧力センサの測定結果に連動して還気ダクト内圧力を還気ダクト内目標圧力にする排気ファンの排気風量の調節速度を三番目にすることで、システムを循環する空気の風量の安定化を図ることができ、空調対象室の室圧が安定し、空調対象室の室圧を目標室圧に確実に保持することができる。
【００３０】
第４の特徴を有する本発明の室圧制御システムによれば、圧力センサが測定した還気ダクト内圧力が還気ダクト内目標圧力になることで、第１排気ファンの第１排気風量が所定の風量になり、それによって第１排気ダクトおよび第２排気ダクトから排気される総排気風量と給気ダクトに流入する外気風量とが等しくなり、総排気風量と外気風量との風量バランスが維持されるから、第２排気ダクトから大気に排気される第２排気風量が変更された場合でも、還気ダクト内目標圧力を変更する必要はなく、各ダクトに設置されたボリュームダンパのダンパ開度を試行錯誤を繰り返しながら細かく調節する作業を省くことができ、調整時間と手間とを要せずに空調対象室の室圧を目標室圧に保持することができる。室圧制御システムは、第１排気ファンの第１排気風量の調節とともに、空調対象室に給気する空気の給気風量が定風量装置または可変風量装置によって所定の給気風量に維持され、室圧センサが測定した空調対象室の室圧が目標室圧になるように圧力制御ダンパによって還気ダクトに流れる空気風量が調節されるから、空調対象室の室圧を目標室圧に確実かつ容易に保持することができる。
【００３１】
排気ファンにおける排気風量の調節と定風量装置または可変風量装置における風量調整と圧力制御ダンパにおける空気風量の調節とが同時に行われるとともに、圧力制御ダンパにおける空気風量の調節速度が一番速く、可変風量装置における風量調整速度が二番目に速く、第１排気ファンにおける排気風量の調節速度が圧力制御ダンパにおける空気風量の調節速度および定風量装置または可変風量装置における風量調整速度よりも遅い室圧制御システムは、室圧センサの測定結果に連動して空調対象室の室圧を目標室圧にする圧力制御ダンパの空気風量の調節速度を一番速くすることで、空調対象室の室圧を迅速に目標室圧にすることができるとともに、定風量装置または可変風量装置における風量調整速度を二番目に速くし、圧力センサの測定結果に連動して還気ダクト内圧力を還気ダクト内目標圧力にする排気ファンの排気風量の調節速度を三番目にすることで、システムを循環する空気の風量の安定化を図ることができ、空調対象室の室圧が安定し、空調対象室の室圧を目標室圧に確実に保持することができる。
【００３２】
給気ダクトに流入する外気風量が一定に保持され、空調対象室に接続された複数本の第２排気ダクトに設置された複数の第２排気ファンの発停によって第２排気ダクトから排気される第２排気風量が変更され、または、空調対象室に接続された複数本の第２排気ダクトに設置された複数の第２排気ファンの排気風量の変更によって第２排気ダクトから排気される第２排気風量が変更され、第２排気ダクトから排気される第２排気風量が変更された場合、圧力センサが測定した還気ダクト内圧力が還気ダクト内目標圧力になることで第１排気ファンの第１排気風量が所定の風量に変わる室圧制御システムは、第２排気ダクトから大気に排気される第２排気風量が変更された場合でも、第１排気ダクトおよび第２排気ダクトから排気される総排気風量と給気ダクトに流入する外気風量とが等しくなるように、第１排気ファンの第１排気風量が所定の風量に変わるから、還気ダクト内目標圧力を変更する必要はなく、各ダクトに設置されたボリュームダンパのダンパ開度を試行錯誤を繰り返しながら細かく調節する作業を省くことができ、調整時間と手間とを要せずに空調対象室の室圧を目標室圧に保持することができる。
【００３３】
空調対象室に給気する空気の給気風量が変更されると、還気ダクト内目標圧力が変更される室圧制御システムは、空調対象室に給気する空気の給気風量が変更されることで、総排気風量と外気風量とを等しくする還気ダクト内目標圧力が変更されるが、第２排気ダクトから大気に排気される第２排気風量が変更された場合でも、変更された還気ダクト内目標圧力をさらに変更する必要はなく、各ダクトに設置されたボリュームダンパのダンパ開度を試行錯誤を繰り返しながら細かく調節する作業を省くことができ、調整時間と手間とを要せずに空調対象室の室圧を目標室圧に保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】一例として示す室圧制御システムの構成図。
【図２】稼働状態で示す室圧制御システムの構成図。
【図３】図１の室圧制御システムの各運転モードにおける各風量測定部の風量目標値と風量との関係を示す図。
【図４】他の一例として示す室圧制御システムの構成図。
【図５】図４の室圧制御システムにおける目標値と風量との関係を示す図。
【図６】他の一例として示す室圧制御システムの構成図。
【図７】図６の室圧制御システムにおける目標値と風量と圧力との関係を示す図。
【図８】他の一例として示す室圧制御システムの構成図。
【図９】図８の室圧制御システムにおける目標値と風量と圧力との関係を示す図。
【図１０】従来技術の一例を示す室圧制御システムの構成図。
【図１１】図９の従来技術の室圧制御システムにおける目標値と風量と圧力との関係を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
一例として示す室圧制御システム１０Ａの構成図である図１等の添付の図面を参照し、本発明にかかる室圧制御システムの詳細を説明すると、以下のとおりである。なお、図２は、稼働状態で示す室圧制御システム１０Ａの構成図であり、図３は、室圧制御システム１０Ａの各運転モードにおける各風量測定部の風量目標値と風量との関係を示す図である。図２では、空気（外気、混合気、還気、排気、局所排気）の流れを矢印で示す。
【００３６】
室圧制御システム１０Ａ（室圧制御システム１０Ｂ〜室圧制御システム１０Ｄを含む）は、建造物の一角に施設されたクリーンルーム１１（空調対象室）の室圧を目標室圧（たとえば、４５Ｐａ（陽圧））に保持する。なお、図１ではクリーンルーム１１（空調対象室）を１室だけ図示しているが、クリーンルーム１１を１室に限定するものではなく、２室以上のクリーンルーム１１に対して本発明の室圧制御システム１０Ａ（室圧制御システム１０Ｂ〜室圧制御システム１０Ｄを含む）の室圧制御を実施し、複数のクリーンルーム１１の室圧を目標室圧に保持することができる。
【００３７】
室圧制御システム１０Ａは、クリーンルーム１１に接続された給気ダクト１２および還気ダクト１３と、還気ダクト１３に接続された排気ダクト１４（第１排気ダクト）と、クリーンルーム１１に接続された２本の局所排気ダクト１５ａ，１５ｂ（第２排気ダクト）と、給気ダクト１２に設置された給気ファン１６と、排気ダクト１４に設置された排気ファン１７（第１排気ファン）と、局所排気ダクト１５ａ，１５ｂに設置された局所排気ファン１８ａ，１８ｂ（第２排気ファン）と、還気ダクト１３に設置された圧力制御ダンパ１９および第１風量センサ２０と、給気ダクト１２に設置された第２風量センサ２１と、クリーンルーム１１に設置された室圧センサ２２とを備えている。
【００３８】
給気ダクト１２は、クリーンルーム１１につながり、クリーンルーム１１に空気（外気と還気との混合気）を給気する。外気取り入れ口２３の近傍に延びる給気ダクト１２には、モーターダンパ２４（ＭＤ）が設置されている。クリーンルーム１１の近傍に延びる給気ダクト１２には、ボリュームダンパ２５ａ（ＶＤ）が設置されている。モーターダンパ１４の後流側に延びる給気ダクト１２には、チャンバー２６ａが設置され、給気ファン１２と第２風量センサ２１との間に延びる給気ダクト１２には、チャンバー２６ｂが設置されている。ボリュームダンパ２５ａ（ＶＤ）は、その旋回羽根の開度が所定の開度に設定され、給気ダクト１２の空気流路をその開度の開放面積に固定する。チャンバー２６ａでは、給気ダクト１２によって取り入れられた所定の風量の外気と還気ダクト１３から戻る所定の風量の還気とが混合される。
【００３９】
モーターダンパ２４の制御部には、指示調節計２７が接続されている。指示調節計２７には、中央処理装置（ＣＰＵまたはＭＰＵ）とメモリとを有するコンピュータが内蔵され、設定表示器（ディスプレイやタッチパネル等）（図示せず）が設置されている。指示調節計２７のメモリには、設定風量（外気の風量）が記憶（設定）されている。指示調節計２７では、設定表示器によって設定風量を入力または変更することができ、入力または変更した設定風量を設定表示器で確認することができる。
【００４０】
指示調節計２７は、入力された風量に対応するモーターダンパ２４の旋回羽根の開度を割り出し（演算し）、割り出した開度をモーターダンパ２４の制御部に送信する。モーターダンパ２４の制御部は、指示調節計２７から受信した開度に旋回羽根を旋回させ、給気ダクト１２の空気流路をその開度の開放面積に開放する。給気ダクト１２では、モーターダンパ２４によってダクト１２に流入させる外気風量が調節される。
【００４１】
還気ダクト１３は、クリーンルーム１１とチャンバー２６ａとにつながり、クリーンルーム１１の空気（所定の還気風量の空気）を給気ダクト１２に還気させる。クリーンルーム１１の近傍に延びる還気ダクト１３には、ボリュームダンパ２５ｂ（ＶＤ）が設置され、チャンバー２６ａの近傍に延びる還気ダクト１３には、ボリュームダンパ２５ｃ（ＶＤ）が設置されている。それらボリュームダンパ２５ｂ，２５ｃ（ＶＤ）は、その旋回羽根の開度が所定の開度に設定され、還気ダクト１３の空気流路をその開度の開放面積に固定する。
【００４２】
排気ダクト１４（第１排気ダクト）は、圧力制御ダンパ１９（ボリュームダンパ２５ｂ）と第１風量センサ２０との間に延びる還気ダクト１３に接続され、還気ダクト１３から分岐している。排気ダクト１４は、クリーンルーム１１から還気ダクト１３に流入した空気の一部（所定の排気風量（第１排気風量）の空気）を大気に排気（放出）する。還気ダクト１３と排気ファン１７との間に延びる排気ダクト１４には、ボリュームダンパ２５ｄ（ＶＤ）が設置され、排気ファン１７の後流側に延びる排気ダクト１４には、ボリュームダンパ２５ｅ（ＶＤ）が設置されている。それらボリュームダンパ２５ｄ，２５ｅ（ＶＤ）は、その旋回羽根の開度が所定の開度に設定され、排気ダクト１４の空気流路をその開度の開放面積に固定する。
【００４３】
それら局所排気ダクト１５ａ，１５ｂ（第２排気ダクト）は、クリーンルーム１１につながり、クリーンルーム１１の一部の空気（所定の局所排気風量（第２排気風量）の空気）を大気に排気（放出）する。なお、図１，２では、２本の局所排気ダクト１５ａ，１５ｂを図示しているが、１本のみの局所排気ダクトがクリーンルーム１１に接続されていてもよく、３本以上の局所排気ダクトがクリーンルーム１１に接続されていてもよい。
【００４４】
クリーンルーム１１の近傍に延びる局所排気ダクト１５ａ，１５ｂには、ノンリークダンパ２８ａ，２８ｂ（ＮＬＤ）が設置されている。ノンリークダンパ２８ａ，２８ｂ（ＮＬＤ）は、局所排気ファン１８ａ，１８ｂの停止時にクリーンルーム１１への空気の通過や逆流を防止する。ノンリークダンパ２８ａ，２８ｂ（ＮＬＤ）と局所排気ファン１８ａ，１８ｂとの間に延びる局所排気ダクト１５ａ，１５ｂには、ボリュームダンパ２５ｆ，２５ｇ（ＶＤ）が設置され、局所排気ファン１８ａ，１８ｂの後流側に延びる局所排気ダクト１５ａ，１５ｂには、ボリュームダンパ２５ｈ，２５ｉ（ＶＤ）が設置されている。それらボリュームダンパ（ＶＤ）２５ｆ〜２５ｉは、その旋回羽根の開度が所定の開度に設定され、局所排気ダクト１５ａ，１５ｂの空気流路をその開度の開放面積に固定する。
【００４５】
給気ファン１６は、チャンバー２６ａとチャンバー２６ｂとの間に延びる給気ダクト１２に設置され、チャンバー２６ａによって混合された外気と還気との混合気をクリーンルーム１１に強制的に給気する。給気ファン１６は、インバーター制御によってその出力がコントロールされる。排気ファン１７（第１排気ファン）は、ボリュームダンパ２５ｄ（ＶＤ）とボリュームダンパ２５ｅ（ＶＤ）との間に延びる排気ダクト１４に設置され、クリーンルーム１１から還気ダクト１３に流入した空気の一部を大気に強制的に排気する。排気ファン１７は、インバーター制御によってその出力がコントロールされる。
【００４６】
それら局所排気ファン１８ａ，１８ｂ（第２排気ファン）は、ボリュームダンパ２５ｆ，２５ｇ（ＶＤ）とボリュームダンパ２５ｈ，２５ｉ（ＶＤ）との間に延びる局所排気ダクト１５ａ，１５ｂに設置され、クリーンルーム１１の一部の空気を大気に強制的に排気する。それら局所排気ファン１８ａ，１８ｂは、インバーター制御によってその出力がコントロールされる。
【００４７】
図１，２では、それら局所排気ダクト１５ａ，１５ｂに設置された２つの局所排気ファン１８ａ，１８ｂを図示しているが、１本のみの局所排気ダクトがクリーンルーム１１に接続される場合、局所排気ファンが１つになり、３本以上の局所排気ダクトがクリーンルーム１１に接続される場合、局所排気ファンが３つ以上になる。なお、局所排気ファン１８ａ，１８ｂの他に、不定期に利用される不定期排気装置が利用される場合もある（システム１０Ｂ〜システム１０Ｄも同様）。不定期排気装置は、第２排気ダクト（局所排気ダクト１５ａ，１５ｂ）に設置される。
【００４８】
圧力制御ダンパ１９は、クリーンルーム１１と排気ダクトの分岐箇所２９との間に延びる還気ダクト１３であってクリーンルーム１１の近傍に設置されている。圧力制御ダンパ１９には、中央処理装置（ＣＰＵまたはＭＰＵ）とメモリとを有するコンピュータが内蔵され、設定表示器（図示せず）が設置されている。圧力制御ダンパ１９のメモリには、目標室圧が記憶（設定）されている。圧力制御ダンパ１９では、設定表示器によって目標室圧を入力または変更することができ、入力または変更した目標室圧を設定表示器で確認することができる。
【００４９】
圧力制御ダンパ１９は、還気ダクト１３に流れる空気風量を調節し、クリーンルーム１１の室圧を目標室圧に保持する。圧力制御ダンパ１９は、室圧センサ２２によって測定された室圧を直接フィードバックし、目標室圧になるように排気ダンパをコントロールし、室圧と基準圧との差圧が目標室圧となるように排気風量を調節する。
【００５０】
第１風量センサ２０は、還気ダクト１３と排気ダクト１４との分岐箇所２９から給気ファン１６（ボリュームダンパ２５ｃ）に向かって延びる還気ダクト１３（給気ファン１６と排気ダクト１４の接続箇所２９との間に延びる還気ダクト１３）に設置されている。第１風量センサ２０は、還気ダクト１３から給気ダクト１２（チャンバー２６ａ）に向かって流動する還気の還気ダクト内風量を測定する。第１風量センサ２０には、指示調節計３０が接続されている。第１風量センサ２０は、測定した還気ダクト内風量を指示調節計３０に送信する。
【００５１】
指示調節計３０には、中央処理装置（ＣＰＵまたはＭＰＵ）とメモリとを有するコンピュータが内蔵され、設定表示器（図示せず）が設置されている。指示調節計３０のメモリには、還気ダクト内目標風量が記憶（設定）されている。還気ダクト内目標風量は、排気ダクト１４から排気される排気風量および局所排気ダクト１５ａ，１５ｂから排気され局所排気風量の和である総排気風量と給気ダクト１２に流入する外気風量とを等しくする風量である。
【００５２】
指示調節計３０では、設定表示器によって還気ダクト内目標風量を入力または変更することができ、入力または変更した還気ダクト内目標風量を設定表示器で確認することができる。指示調節計３０は、第１風量センサ２０から受信した還気ダクト内風量を入力された還気ダクト内目標風量にするための排気ファン１７の出力を割り出し（演算し）、割り出した出力を排気ファン１７の制御部に送信する。排気ファン１７の制御部は、排気ファン１７をインバーター制御することで、排気ファン１７の出力を指示調節計３０から送信された出力に調節する。
【００５３】
第２風量センサ２１は、給気ファン１２（チャンバー２６ｂ）とクリーンルーム１１（ボリュームダンパ２５ａ）との間に延びる給気ダクト１２に設置されている。第２風量センサ２１は、給気ファン１６からクリーンルーム１１に向かって給気ダクト１２を流動する給気の給気ダクト内風量を測定する。第２風量センサ２１は、指示調節計３１に接続され、測定した給気ダクト内風量を指示調節計３１に送信する。
【００５４】
指示調節計３１には、中央処理装置（ＣＰＵまたはＭＰＵ）とメモリとを有するコンピュータが内蔵され、設定表示器（図示せず）が設置されている。指示調節計３１のメモリには、給気ダクト内目標風量が記憶（設定）されている。指示調節計３１では、設定表示器によって給気ダクト内目標風量を入力または変更することができ、入力または変更した給気ダクト内目標風量を設定表示器で確認することができる。
【００５５】
指示調節計３１は、第２風量センサ２１から受信した給気ダクト内風量を入力された給気ダクト内目標風量にするための給気ファン１６の出力を割り出し（演算し）、割り出した出力を給気ファン１６の制御部に送信する。給気ファン１６の制御部は、給気ファン１６をインバーター制御することで、給気ファン１６の出力を指示調節計３１から送信された出力に調節する。室圧センサ２２は、クリーンルーム１１の室内に設置され、クリーンルーム１１の室圧を測定する。室圧センサ２２は、測定した室圧を圧力制御ダンパ１９に送信する。
【００５６】
室圧制御システム１０Ａでは、図３に示す局所排気運転モード（１）に設定されているものとする。還気ダクト内目標風量が１０００ｍ３／ｈに設定され、給気ダクト内目標風量が１５００ｍ３／ｈに設定されているとともに、空調対象室の目標室圧が４５Ｐａに設定されている。さらに、外気風量が５００ｍ３／ｈに設定され、局所排気風量が４００ｍ３／ｈに設定されている。室圧制御システム１０Ａが稼働すると、給気ファン１６、排気ファン１７、局所排気ファン１８ａ，１８ｂ、圧力制御ダンパ１９、第１風量センサ２０、第２風量センサ２１、室圧センサ２２が稼働する。
【００５７】
室圧制御システム１０Ａでは、図２に示すように、５００ｍ３／ｈの外気風量の外気が外気取り入れ口２３から給気ダクト１２に流入し、チャンバー２６ａにおいて外気と還気とが混合される。外気と還気との混合気（空気）が給気ダクト１２を通ってボリュームダンパ２５ａを通過し、クリーンルーム１１に給気される。給気ダクト１２を流動する混合気の給気ダクト内風量が第２風量センサ２１によって測定され、給気ダクト内風量が第２風量センサ２１から指示調節計３１に送信される。
【００５８】
第２風量センサ２１から給気ダクト内風量を受信した指示調節計３１は、メモリに記憶した給気ダクト内目標風量と第２風量センサ２１から受信した給気ダクト内風量とを比較し、給気ダクト内風量が給気ダクト内目標風量である場合、給気ファン１６の出力を現状のそれに保持する。給気ダクト内風量が給気ダクト内目標風量と異なる場合、指示調節計３１は、給気ダクト内風量を給気ダクト内目標風量にするための給気ファン１６の出力を割り出し、割り出した出力を給気ファン１６の制御部に送信する。指示調節計３１から給気ファン１６の出力を受信した給気ファン１６の制御部は、給気ファン１６をインバーター制御し、給気ファン１６の給気風量を１５００ｍ３／ｈにする。給気ファン１６の給気風量が１５００ｍ３／ｈになることで、給気ダクト内風量が給気ダクト内目標風量（１５００ｍ３／ｈ）になる。
【００５９】
クリーンルーム１１では、それら局所排気ファン１８ａ，１８ｂ（第２排気ファン）によってクリーンルーム１１の一部の空気（４００ｍ３／ｈの排気風量（第２排気風量）の空気）がそれら局所排気ダクト１８ａ，１８ｂを通ってノンリークダンパ２８ａ，２８ｂやボリュームダンパ２５ｆ〜２５ｉを通過し、大気に排気（放出）されている。クリーンルーム１１に設置された室圧センサ２２は、クリーンルーム１１の室圧を測定し、測定した室圧を圧力制御ダンパ１９に送信する。圧力制御ダンパ１９は、室圧センサ２２から受信した室圧と基準圧との差圧を演算し、室圧と基準圧との差圧が目標室圧となるように排気ダンパの旋回羽根（開閉機構）の開閉動作を制御し、排気ダンパのダンパ開度を調節する。室圧と基準圧との差圧が目標室圧となるように圧力制御ダンパ１９が排気ダンパのダンパ開度を調節することで、クリーンルーム１１の室圧が目標室圧（４５Ｐａ）に保持される。
【００６０】
圧力制御ダンパ１９を通過した還気は、還気ダクト１３を通ってボリュームダンパ２５ｂを通過し、排気ダクト１４（第１排気ダクト）が接続された分岐箇所２９に向かう。還気のうちの一部の還気（１００ｍ３／ｈの排気風量（第１排気風量）の空気）は、分岐箇所２９から排気ダクト１４に流入し、ボリュームダンパ２５ｄ，２５ｅや排気ファン１７（第２排気ファン）を通過して大気に排気（放出）される。排気ダクト１４に流入した空気を除く残余の還気は、分岐箇所２９から還気ダクト１３に流入する。分岐箇所２９から還気ダクト１３に流入した還気は、ボリュームダンパ２５ｃを通過してチャンバー２６ａに流入する。
【００６１】
還気ダクト１３を流動する還気の還気ダクト内風量が第１風量センサ２０によって測定され、測定された還気ダクト内風量が第１風量センサ２０から指示調節計３０に送信される。第１風量センサ２０から還気ダクト内風量を受信した指示調節計３０は、メモリに記憶した還気ダクト内目標風量と第１風量センサ２０から受信した還気ダクト内風量とを比較し、還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量である場合、排気ファン１７の出力を現状のそれに保持する。
【００６２】
還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量と異なる場合、指示調節計３０は、還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量になる排気ファン１７の排気風量（１００ｍ３／ｈ）を演算し、排気ファン１７の排気風量を１００ｍ３／ｈにする排気ファン１７の出力を割り出し、割り出した出力を排気ファン１７の制御部に送信する。指示調節計３０から排気ファン１７の出力を受信した排気ファン１７の制御部は、排気ファン１７をインバーター制御し、排気ファン１７の出力を指示調節計３０から受信したそれにすることで、排気ファン１７の排気風量が１００ｍ３／ｈになる。室圧制御システム１０Ａでは、還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量と異なる場合において、還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量（１０００ｍ３／ｈ）になることで、排気ファン１７の排気風量が１００ｍ３／ｈ（所定の風量）になる。
【００６３】
室圧制御システム１０Ａは、排気ファン１７における排気風量の調節と給気ファン１６における給気風量の調節と圧力制御ダンパ１９における空気風量の調節とが同時に行われる。室圧制御システム１０Ａでは、室圧センサ２２の測定結果に連動する圧力制御ダンパ１９の空気風量の調節速度が一番速く、第２風量センサ２１の測定結果に連動する給気ファン１６の給気風量の調節速度が二番目に速く、第１風量センサ２０の測定結果に連動する排気ファン１７の排気風量の調節速度が圧力制御ダンパ１９における空気風量の調節速度および給気ファン１６における給気風量の調節速度よりも遅い。したがって、制御動作の開始は、排気ファン１７、給気ファン１６、圧力制御ダンパ１９全て同時であるが、制御動作の安定までの時間は、圧力制御ダンパ１９→給気ファン１６→排気ファン１７の順になる。
【００６４】
室圧制御システム１０Ａにおいて、それら局所排気ファン１８ａ，１８ｂの一方が停止し、または、それら局所排気ファン１８ａ，１８ｂの出力が減少し、図３に示すように、局所排気風量が４００ｍ３／ｈから３００ｍ３／ｈに変更されて局所排気運転モード（１）から局所排気運転モード（２）に変更され、給気ダクト内目標風量が１５００ｍ３／ｈであり、還気ダクト内目標風量が１０００ｍ３／ｈで変更がない場合、第１風量センサ２０が接続された指示調節計３０は、還気ダクト内目標風量が還気ダクト内目標風量（１０００ｍ３／ｈ）になる排気ファン１７の排気風量（２００ｍ３／ｈ）を演算し、排気ファン１７の排気風量を２００ｍ３／ｈにする排気ファン１７の出力を割り出し、割り出した出力を排気ファン１７の制御部に送信する。
【００６５】
排気ファン１７の制御部は、排気ファン１７をインバーター制御し、排気ファン１７の出力を指示調節計３０から受信したそれにすることで、排気ファン１７の排気風量が２００ｍ３／ｈになる。室圧制御システム１０Ａでは、局所排気風量が４００ｍ３／ｈから３００ｍ３／ｈに変更された場合において、還気ダクト内風量を還気ダクト内目標風量（１０００ｍ３／ｈ）に保持することで（還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量になることで）、排気ファン１７の排気風量が１００ｍ３／ｈから２００ｍ３／ｈ（所定の風量）になる。
【００６６】
さらに、室圧制御システム１０Ａにおいて、局所排気風量が３００ｍ３／ｈから２００ｍ３／ｈに変更されて局所排気運転モード（２）から局所排気運転モード（３）に変更され、還気ダクト内目標風量が１０００ｍ３／ｈ、給気ダクト内目標風量が１５００ｍ３／ｈで変更がない場合、第１風量センサ２０が接続された指示調節計３０は、還気ダクト内目標風量が還気ダクト内目標風量（１０００ｍ３／ｈ）になる排気ファン１７の排気風量（３００ｍ３／ｈ）を演算し、排気ファン１７の排気風量を３００ｍ３／ｈにする排気ファン１７の出力を割り出し、割り出した出力を排気ファン１７の制御部に送信する。
【００６７】
排気ファン１７の制御部は、排気ファン１７をインバーター制御し、排気ファン１７の出力を指示調節計３０から受信したそれにすることで、排気ファン１７の排気風量が３００ｍ３／ｈになる。室圧制御システム１０Ａでは、局所排気風量が３００ｍ３／ｈから２００ｍ３／ｈに変更された場合において、還気ダクト内風量を還気ダクト内目標風量（１０００ｍ３／ｈ）に保持することで（還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量になることで）、排気ファン１７の排気風量が２００ｍ３／ｈから３００ｍ３／ｈ（所定の風量）になる。
【００６８】
室圧制御システム１０Ａでは、局所排気風量が４００ｍ３／ｈ（局所排気運転モード（１））から３００ｍ３／ｈ（局所排気運転モード（２））に変更され、さらに、局所排気風量が３００ｍ３／ｈ（局所排気運転モード（２））から２００ｍ３／ｈ（局所排気運転モード（３））に変更されたとしても、その変更によって還気ダクト内目標風量（１０００ｍ３／ｈ）が変わることはなく、還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量（１０００ｍ３／ｈ）に保持されることで排気ファン１７の排気風量が所定の風量になる。
【００６９】
室圧制御システム１０Ａは、給気ダクト内目標風量が１５００ｍ３／ｈから７５０ｍ３／ｈに変更された場合、還気ダクト内目標風量が１０００ｍ３／ｈから２５０ｍ３／ｈに変更されて局所排気運転モード（１）から局所排気運転モード（４）に変更される。局所排気運転モード（４）において、給気ダクト内目標風量が７５０ｍ３／ｈになると、第２風量センサ２１が接続された指示調節計３１は、給気ダクト内風量を給気ダクト内目標風量にするための給気ファン１６の出力を給気ファン１６の制御部に送信する。給気ファン１６の制御部は、給気ファン１６をインバーター制御し、給気ファン１６の出力を指示調節計から受信したそれにすることで、給気ダクト内風量を給気ダクト内目標風量（７５０ｍ３／ｈ）にする。
【００７０】
還気ダクト内目標風量が２５０ｍ３／ｈになると、第１風量センサ２０が接続された指示調節計３０は、還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量になる排気ファン１７の出力を排気ファン１７の制御部に送信する。排気ファン１７の制御部は、排気ファン１７をインバーター制御し、排気ファン１７の出力を指示調節計から受信したそれにすることで、排気ファン１７の排気風量を１００ｍ３／ｈにする。なお、局所排気ダクト１８ａ，１８ｂから排気される局所排気風量は４００ｍ３／ｈである。室圧制御システム１０Ａでは、還気ダクト内目標風量が１０００ｍ３／ｈから２５０ｍ３／ｈに変更された場合において、還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量（２５０ｍ３／ｈ）になることで、排気ファン１７の排気風量が１００ｍ３／ｈ（所定の風量）になる。
【００７１】
室圧制御システム１０Ａにおいて、それら局所排気ファン１８ａ，１８ｂの一方が停止し、または、それら局所排気ファン１８ａ，１８ｂの出力が減少し、局所排気風量が４００ｍ３／ｈから３００ｍ３／ｈに変更されて局所排気運転モード（４）から局所排気運転モード（５）に変更され、還気ダクト内目標風量が２５０ｍ３／ｈであり、給気ダクト内目標風量が７５０ｍ３／ｈで変更がない場合、第１風量センサ２０が接続された指示調節計３０は、還気ダクト内目標風量が還気ダクト内目標風量（２５０ｍ３／ｈ）になる排気ファン１７の排気風量（２００ｍ３／ｈ）を演算し、排気ファン１７の排気風量を２００ｍ３／ｈにする排気ファン１７の出力を割り出し、割り出した出力を排気ファン１７の制御部に送信する。
【００７２】
排気ファン１７の制御部は、排気ファン１７をインバーター制御し、排気ファン１７の出力を指示調節計３０から受信したそれにすることで、排気ファン１７の排気風量が２００ｍ３／ｈになる。室圧制御システム１０Ａでは、局所排気風量が４００ｍ３／ｈから３００ｍ３／ｈに変更された場合において、還気ダクト内風量を還気ダクト内目標風量（２５０ｍ３／ｈ）に保持することで（還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量になることで）、排気ファン１７の排気風量が１００ｍ３／ｈから２００ｍ３／ｈ（所定の風量）になる。
【００７３】
室圧制御システム１０Ａでは、給気ダクト内目標風量が変更された場合、還気ダクト内目標風量を変更する必要があるが、その後に局所排気風量が４００ｍ３／ｈ（局所排気運転モード（１））から３００ｍ３／ｈ（局所排気運転モード（２））に変更されたとしても、その変更によって還気ダクト内目標風量（２５０ｍ３／ｈ）が変わることはなく、還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量（２５０ｍ３／ｈ）に保持されることで排気ファン１７の排気風量が所定の風量になる。
【００７４】
給気ダクト内目標風量が変更され、局所排気風量が変更された場合においても、排気ファン１７における排気風量の調節と給気ファン１６における給気風量の調節と圧力制御ダンパ１９における空気風量の調節とが同時に行われるとともに、室圧センサ２２の測定結果に連動する圧力制御ダンパ１９の空気風量の調節速度が一番速く、第２風量センサ２１の測定結果に連動する給気ファン１６の給気風量の調節速度が二番目に速く、第１風量センサ２０の測定結果に連動する排気ファン１７の排気風量の調節速度が圧力制御ダンパ１９における空気風量の調節速度および給気ファン１６における給気風量の調節速度よりも遅い。
【００７５】
室圧制御システム１０Ａは、第１風量センサ２０が測定した還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量になることで、排気ファン１７（第１排気ファン）の排気風量（第１排気風量）が所定の風量になり、それによって排気ダクト１７および局所排気ダクト１８ａ，１８ｂ（第２排気ファン）から排気される総排気風量と給気ダクト１６に流入する外気風量とが等しくなって総排気風量と外気風量との風量バランスが維持されるから、局所排気ダクト１８ａ，１８ｂから大気に排気される局所排気風量（第２排気風量）が変更された場合でも、還気ダクト内目標風量を変更する必要はなく、局所排気風量（第２排気風量）が変更された後の試運転時に、各ダクト１２〜１５ａ，１５ｂに設置されたボリュームダンパ２５ａ〜２５ｉのダンパ開度を試行錯誤を繰り返しながら細かく調節する作業を省くことができ、調整時間と手間とを要せずにクリーンルーム１１（空調対象室）の室圧を目標室圧に保持することができる。
【００７６】
室圧制御システム１０Ａは、排気ファン１７（第１排気ファン）の排気風量（第１排気風量）の調節とともに、第２風量センサ２１が測定した給気ダクト内風量が給気ダクト内目標風量になるように給気ファン１６の給気風量が調節され、室圧センサ２２が測定したクリーンルーム１１（空調対象室）の室圧が目標室圧になるように圧力制御ダンパ１９によって還気ダクト１３に流れる空気風量が調節されるから、クリーンルーム１１の室圧を目標室圧に確実かつ容易に保持することができる。
【００７７】
室圧制御システム１０Ａは、室圧センサ２２の測定結果に連動してクリーンルーム１１（空調対象室）の室圧を目標室圧にする圧力制御ダンパ１９の空気風量の調節速度を一番速くすることで、クリーンルーム１１の室圧を迅速に目標室圧にすることができるとともに、第２風量センサ２１の測定結果に連動して給気ダクト内風量を給気ダクト内目標風量にする給気ファン１６の給気風量の調節速度を二番目に速くし、第１風量センサ２０の測定結果に連動して還気ダクト内風量を還気ダクト内目標風量にする排気ファン１７（第１排気ファン）の排気風量（第１排気風量）の調節速度を三番目にすることで、システム１０Ａ（各ダクト１２〜１５ａ，１５ｂ）を循環する空気の風量の安定化を図ることができ、クリーンルーム１１の室圧が安定し、クリーンルーム１１の室圧を目標室圧に確実に保持することができる。
【００７８】
図４は、他の一例として示す室圧制御システム１０Ｂの構成図であり、図５は、室圧制御システム１０Ｂにおける目標値と風量との関係を示す図である。図４では、空気（外気、混合気、還気、排気、局所排気）の流れを矢印で示す。この室圧制御システム１０Ｂが図１のそれと異なるところは、第２風量センサ２１の代わりに定風量装置３２（ＣＡＶ）を利用している点にある。この室圧制御システム１０Ｂの定風量装置３２を除いたその他の構成は図１の室圧制御システム１０Ａのそれらと同一であるから、図１と同一の符号を付すとともに、図１の室圧制御システム１０Ａの説明を援用することで、この室圧制御システム１０Ｂのその他の構成の説明は省略する。なお、第２風量センサ２１の代わりに可変風量装置（ＶＡＶ）を利用することもできる。
【００７９】
室圧制御システム１０Ｂは、クリーンルーム１１（空調対象室）に接続された給気ダクト１２および還気ダクト１３と、還気ダクト１３に接続された排気ダクト１４（第１排気ダクト）と、クリーンルーム１１に接続された２本の局所排気ダクト１５ａ，１５ｂ（第２排気ダクト）と、給気ダクト１２に設置された給気ファン１６と、排気ダクト１４に設置された排気ファン１７（第１排気ファン）と、局所排気ダクト１５ａ，１５ｂに設置された局所排気ファン１８ａ，１８ｂ（第２排気ファン）と、還気ダクト１３に設置された圧力制御ダンパ１９および風量センサ２０（図１の第１風量センサ２０と同一）と、給気ダクト１２に設置された定風量装置３２（ＣＡＶ）と、クリーンルーム１１に設置された室圧センサ２２とを備えている。
【００８０】
定風量装置３２（または可変風量装置）は、給気ファン１６（チャンバー２６ｂ）とクリーンルーム１１（ボリュームダンパ２５ａ）との間に延びる給気ダクト１２に設置されている。定風量装置３２は、給気ファン１６からクリーンルーム１１に向かって給気ダクト１２を流動する混合気の風量を一定に保持する。したがって、一定の風量の混合気が給気ファン１６からクリーンルーム１１に給気される。
【００８１】
室圧制御システム１０Ｂでは、図５に示す局所排気運転モード（１）に設定されているものとする。還気ダクト内目標風量が１０００ｍ３／ｈに設定され、給気ダクト内目標風量が１５００ｍ３／ｈに設定されているとともに、空調対象室の目標室圧が４５Ｐａに設定されている。さらに、外気風量が５００ｍ３／ｈに設定され、局所排気風量が４００ｍ３／ｈに設定されている。室圧制御システム１０Ｂの局所排気運転モード（１）〜局所排気運転モード（３）における外気や混合気、還気、排気の流れは、図１のシステム１０Ａのそれらと同一である。
【００８２】
室圧制御システム１０Ｂでは、クリーンルーム１１に設置された室圧センサ２２がクリーンルーム１１の室圧を測定し、測定した室圧を圧力制御ダンパ１９に送信する。圧力制御ダンパ１９は、室圧センサ２２から受信した室圧と基準圧との差圧が目標室圧となるように排気ダンパのダンパ開度を調節する。室圧と基準圧との差圧が目標室圧となるように圧力制御ダンパ１９が排気ダンパのダンパ開度を調節することで、クリーンルーム１１の室圧が目標室圧（４５Ｐａ）に保持される。
【００８３】
還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量と異なる場合、風量センサ２０が接続された指示調節計３０は、還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量になる排気ファン１７の排気風量（１００ｍ３／ｈ）を演算し、排気ファン１７の排気風量を１００ｍ３／ｈにする排気ファン１７の出力を割り出し、割り出した出力を排気ファン１７の制御部に送信する。指示調節計３０から排気ファン１７の出力を受信した排気ファン１７の制御部は、排気ファン１７をインバーター制御し、排気ファン１７の出力を指示調節計３０から受信したそれにすることで、排気ファン１７の排気風量が１００ｍ３／ｈになる。室圧制御システム１０Ｂでは、還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量と異なる場合において、還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量（１０００ｍ３／ｈ）になることで、排気ファン１７の排気風量が１００ｍ３／ｈ（所定の風量）になる。
【００８４】
室圧制御システム１０Ｂは、排気ファン１７における排気風量の調節と定風量装置３２（または可変風量装置）における風量調整と圧力制御ダンパ１９における空気風量の調節とが同時に行われる。室圧制御システム１０Ｂでは、室圧センサ２２の測定結果に連動する圧力制御ダンパ１９の空気風量の調節速度が一番速く、定風量装置３２（または可変風量装置）における風量調整速度が二番目に速く、風量センサ２０の測定結果に連動する排気ファン１７の排気風量の調節速度が圧力制御ダンパ１９における空気風量の調節速度および定風量装置３２（または可変風量装置）における風量調整速度よりも遅い。したがって、制御動作の開始は、排気ファン１７、定風量装置３２（または可変風量装置）、圧力制御ダンパ１９全て同時であるが、制御動作の安定までの時間は、圧力制御ダンパ１９→定風量装置３２（または可変風量装置）→排気ファン１７の順になる。
【００８５】
室圧制御システム１０Ｂにおいて、それら局所排気ファン１８ａ，１８ｂの一方が停止し、または、それら局所排気ファン１８ａ，１８ｂの出力が減少し、図５に示すように、局所排気風量が４００ｍ３／ｈから３００ｍ３／ｈに変更されて局所排気運転モード（１）から局所排気運転モード（２）に変更され、給気ダクト内目標風量が１５００ｍ３／ｈであり、還気ダクト内目標風量が１０００ｍ３／ｈで変更がない場合、風量センサ２０が接続された指示調節計３０は、還気ダクト内目標風量が還気ダクト内目標風量（１０００ｍ３／ｈ）になる排気ファン１７の排気風量（２００ｍ３／ｈ）を演算し、排気ファン１７の排気風量を２００ｍ３／ｈにする排気ファン１７の出力を割り出し、割り出した出力を排気ファン１７の制御部に送信する。
【００８６】
排気ファン１７の制御部は、排気ファン１７をインバーター制御し、排気ファン１７の出力を指示調節計３０から受信したそれにすることで、排気ファン１７の排気風量が２００ｍ３／ｈになる。室圧制御システム１０Ｂでは、局所排気風量が４００ｍ３／ｈから３００ｍ３／ｈに変更された場合において、還気ダクト内風量を還気ダクト内目標風量（１０００ｍ３／ｈ）に保持することで（還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量になることで）、排気ファン１７の排気風量が１００ｍ３／ｈから２００ｍ３／ｈ（所定の風量）になる。
【００８７】
さらに、室圧制御システム１０Ｂにおいて、局所排気風量が３００ｍ３／ｈから２００ｍ３／ｈに変更されて局所排気運転モード（２）から局所排気運転モード（３）に変更され、還気ダクト内目標風量が１０００ｍ３／ｈであり、給気ダクト内目標風量が１５００ｍ３／ｈで変更がない場合、風量センサ２０が接続された指示調節計３０は、還気ダクト内目標風量が還気ダクト内目標風量（１０００ｍ３／ｈ）になる排気ファン１７の排気風量（３００ｍ３／ｈ）を演算し、排気ファン１７の排気風量を３００ｍ３／ｈにする排気ファン１７の出力を割り出し、割り出した出力を排気ファン１７の制御部に送信する。
【００８８】
排気ファン１７の制御部は、排気ファン１７をインバーター制御し、排気ファン１７の出力を指示調節計３０から受信したそれにすることで、排気ファン１７の排気風量が３００ｍ３／ｈになる。室圧制御システム１０Ｂでは、局所排気風量が３００ｍ３／ｈから２００ｍ３／ｈに変更された場合において、還気ダクト内風量を還気ダクト内目標風量（１０００ｍ３／ｈ）に保持することで（還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量になることで）、排気ファン１７の排気風量が２００ｍ３／ｈから３００ｍ３／ｈ（所定の風量）になる。
【００８９】
室圧制御システム１０Ｂでは、局所排気風量が４００ｍ３／ｈ（局所排気運転モード（１））から３００ｍ３／ｈ（局所排気運転モード（２））に変更され、さらに、局所排気風量が３００ｍ３／ｈ（局所排気運転モード（２））から２００ｍ３／ｈ（局所排気運転モード（３））に変更されたとしても、その変更によって還気ダクト内目標風量（１０００ｍ３／ｈ）が変わることはなく、還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量（１０００ｍ３／ｈ）に保持されることで排気ファン１７の排気風量が所定の風量になる。
【００９０】
室圧制御システム１０Ｂは、風量センサ２０が測定した還気ダクト内風量が還気ダクト内目標風量になることで、排気ファン１７（第１排気ファン）の排気風量（第１排気風量）が所定の風量になり、それによって排気ダクト１４および局所排気ダクト１５ａ，１５ｂ（第２排気ダクト）から排気される総排気風量と給気ダクト１２に流入する外気風量とが等しくなって総排気風量と外気風量との風量バランスが維持されるから、局所排気ダクト１５ａ，１５ｂから大気に排気される局所排気風量が変更された場合でも、還気ダクト内目標風量を変更する必要はなく、局所排気風量（第２排気風量）が変更された後の試運転時に、各ダクト１２〜１５ａ，１５ｂに設置されたボリュームダンパ２５ａ〜２５ｉのダンパ開度を試行錯誤を繰り返しながら細かく調節する作業を省くことができ、調整時間と手間とを要せずにクリーンルーム１１（空調対象室）の室圧を目標室圧に保持することができる。
【００９１】
室圧制御システム１０Ｂは、排気ファン１７（第１排気ファン）の排気風量（第１排気風量）の調節とともに、クリーンルーム１１（空調対象室）に給気する空気の給気風量が定風量装置３２（または可変風量装置）によって所定の給気風量に維持され、室圧センサ２２が測定したクリーンルーム１１の室圧が目標室圧になるように圧力制御ダンパ１９によって還気ダクト１３に流れる空気風量が調節されるから、クリーンルーム１１の室圧を目標室圧に確実かつ容易に保持することができる。
【００９２】
室圧制御システム１０Ｂは、室圧センサ２２の測定結果に連動してクリーンルーム１１（空調対象室）の室圧を目標室圧にする圧力制御ダンパ１９の空気風量の調節速度を一番速くすることで、クリーンルーム１１の室圧を迅速に目標室圧にすることができるとともに、定風量装置３２（または可変風量装置）における風量調整速度を二番目に速くし、風量センサ２０の測定結果に連動して還気ダクト内風量を還気ダクト内目標風量にする排気ファン１７（第１排気ファン）の排気風量（第１排気風量）の調節速度を三番目にすることで、システム１０Ｂ（各ダクト１２〜１５ａ，１５ｂ）を循環する空気の風量の安定化を図ることができ、クリーンルーム１１の室圧が安定し、クリーンルーム１１の室圧を目標室圧に確実に保持することができる。
【００９３】
図６は、他の一例として示す室圧制御システム１０Ｃの構成図であり、図７は、図６の室圧制御システム１０Ｃにおける目標値と風量と圧力との関係を示す図である。図６では、空気（外気、混合気、還気、排気、局所排気）の流れを矢印で示す。この室圧制御システム１０Ｃが図１のそれと異なるところは、第１風量センサ２０の代わりに圧力センサ３３を利用している点にある。この室圧制御システム１０Ｃの圧力センサ３３を除いたその他の構成は図１の室圧制御システム１０Ａのそれらと同一であるから、図１と同一の符号を付すとともに、図１の室圧制御システム１０Ａの説明を援用することで、この室圧制御システム１０Ｃのその他の構成の説明は省略する。
【００９４】
室圧制御システム１０Ｃは、クリーンルーム１１（空調対象室）に接続された給気ダクト１２および還気ダクト１３と、還気ダクト１３に接続された排気ダクト１４（第１排気ダクト）と、クリーンルーム１１に接続された２本の局所排気ダクト１５ａ，１５ｂ（第２排気ダクト）と、給気ダクト１２に設置された給気ファン１６と、排気ダクト１４に設置された排気ファン１７（第１排気ファン）と、局所排気ダクト１５ａ，１５ｂに設置された局所排気ファン１８ａ，１８ｂ（第２排気ファン）と、還気ダクト１３に設置された圧力制御ダンパ１９および圧力センサ３３と、給気ダクト１２に設置された風量センサ２１（図１の第２風量センサ２１）と、クリーンルーム１１に設置された室圧センサ２２とを備えている。
【００９５】
圧力センサ３３は、還気ダクト１３と排気ダクト１４（第１排気ダクト）との分岐箇所２９から給気ファン１２（ボリュームダンパ２５ｃ）に向かって延びる還気ダクト１３（給気ファン１２と排気ダクト１４の接続箇所２９との間に延びる還気ダクト１３）に設置されている。圧力センサ３３は、還気ダクト１３から給気ダクト１２（チャンバー２６ａ）に向かって流動する還気の還気ダクト内圧力を測定する。圧力センサ３３には、指示調節計３４が接続されている。圧力センサ３３は、測定した還気ダクト内圧力を指示調節計３４に送信する。
【００９６】
指示調節計３４には、中央処理装置（ＣＰＵまたはＭＰＵ）とメモリとを有するコンピュータが内蔵され、設定表示器（図示せず）が設置されている。指示調節計３４のメモリには、還気ダクト内目標圧力が記憶（設定）されている。還気ダクト内目標圧力は、排気ダクト１４から排気される排気風量および局所排気ダクト１５ａ，１５ｂから排気され局所排気風量の和である総排気風量と給気ダクト１２に流入する外気風量とを等しくする圧力である。
【００９７】
指示調節計３４では、設定表示器によって還気ダクト内目標圧力を入力または変更することができ、入力または変更した還気ダクト内目標圧力を設定表示器で確認することができる。指示調節計３４は、圧力センサ３３から受信した還気ダクト内圧力を入力された還気ダクト内目標圧力にするための排気ファン１７の出力を割り出し（演算し）、割り出した出力を排気ファン１７の制御部に送信する。排気ファン１７の制御部は、排気ファン１７をインバーター制御することで、排気ファン１７の出力を指示調節計３４から送信された出力に調節する。
【００９８】
室圧制御システム１０Ｃでは、図７に示す局所排気運転モード（１）に設定されているものとする。還気ダクト内目標圧力が−７０Ｐａ設定され、給気ダクト内目標風量が１５００ｍ３／ｈに設定されているとともに、空調対象室の目標室圧が４５Ｐａに設定されている。さらに、外気風量が５００ｍ３／ｈに設定され、局所排気風量が４００ｍ３／ｈに設定されている。室圧制御システム１０Ｃの局所排気運転モード（１）〜局所排気運転モード（５）における外気や混合気、還気、排気の流れは、図１のシステム１０Ａのそれらと同一である。
【００９９】
室圧制御システム１０Ｃでは、クリーンルーム１１に設置された室圧センサ２２がクリーンルーム１１の室圧を測定し、測定した室圧を圧力制御ダンパ１９に送信する。圧力制御ダンパ１９は、室圧センサ２２から受信した室圧と基準圧との差圧が目標室圧となるように排気ダンパのダンパ開度を調節する。室圧と基準圧との差圧が目標室圧となるように圧力制御ダンパ１９が排気ダンパのダンパ開度を調節することで、クリーンルーム１１の室圧が目標室圧（４５Ｐａ）に保持される。
【０１００】
還気ダクト内圧力が還気ダクト内目標圧力と異なる場合、指示調節計３４は、還気ダクト内圧力が還気ダクト内目標圧力になる排気ファン１７の排気風量（１００ｍ３／ｈ）を演算し、排気ファン１７の排気風量を１００ｍ３／ｈにする排気ファン１７の出力を割り出し、割り出した出力を排気ファン１７の制御部に送信する。指示調節計３０から排気ファン１７の出力を受信した排気ファン１７の制御部は、排気ファン１７をインバーター制御し、排気ファン１７の出力を指示調節計３０から受信したそれにすることで、排気ファン１７の排気風量が１００ｍ３／ｈになる。室圧制御システム１０Ｃでは、還気ダクト内圧力が還気ダクト内目標圧力と異なる場合において、還気ダクト内圧力が還気ダクト内目標圧力（−７０Ｐａ）になることで、排気ファン１７の排気風量が１００ｍ３／ｈ（所定の風量）になる。
【０１０１】
室圧制御システム１０Ｃは、排気ファン１７における排気風量の調節と給気ファン１６における給気風量の調節と圧力制御ダンパ１９における空気風量の調節とが同時に行われる。室圧制御システム１０Ｃでは、室圧センサ２２の測定結果に連動する圧力制御ダンパ１９の空気風量の調節速度が一番速く、風量センサ２１の測定結果に連動する給気ファン１６の給気風量の調節速度が二番目に速く、圧力センサ３３の測定結果に連動する排気ファン１７における排気風量の調節速度が圧力制御ダンパ１９における空気風量の調節速度および給気ファン１６における給気風量の調節速度よりも遅い。したがって、制御動作の開始は、排気ファン１７、給気ファン１６、圧力制御ダンパ１９全て同時であるが、制御動作の安定までの時間は、圧力制御ダンパ１９→給気ファン１６→排気ファン１７の順になる。
【０１０２】
室圧制御システム１０Ｃにおいて、それら局所排気ファン１８ａ，１８ｂの一方が停止し、または、それら局所排気ファン１８ａ，１８ｂの出力が減少し、図７に示すように、局所排気風量が４００ｍ３／ｈから３００ｍ３／ｈに変更されて局所排気運転モード（１）から局所排気運転モード（２）に変更され、還気ダクト内目標圧力が−７０Ｐａであり、給気ダクト内目標風量が１５００ｍ３／ｈで変更がない場合、圧力センサ３３が接続された指示調節計３４は、還気ダクト内目標圧力が還気ダクト内目標圧力（−７０Ｐａ）になる排気ファン１７の排気風量（２００ｍ３／ｈ）を演算し、排気ファン１７の排気風量を２００ｍ３／ｈにする排気ファン１７の出力を割り出し、割り出した出力を排気ファン１７の制御部に送信する。
【０１０３】
排気ファン１７の制御部は、排気ファン１７をインバーター制御し、排気ファン１７の出力を指示調節計３４から受信したそれにすることで、排気ファン１７の排気風量が２００ｍ３／ｈになる。室圧制御システム１０Ｃでは、局所排気風量が４００ｍ３／ｈから３００ｍ３／ｈに変更された場合において、還気ダクト内圧力を還気ダクト内目標圧力（−７０Ｐａ）に保持することで（還気ダクト内圧力が還気ダクト内目標圧力になることで）、排気ファン１７の排気風量が１００ｍ３／ｈから２００ｍ３／ｈ（所定の風量）になる。
【０１０４】
さらに、室圧制御システム１０Ｃにおいて、局所排気風量が３００ｍ３／ｈから２００ｍ３／ｈに変更されて局所排気運転モード（２）から局所排気運転モード（３）に変更され、還気ダクト内目標圧力が−７０Ｐａであり、給気ダクト内目標風量が１５００ｍ３／ｈで変更がない場合、圧力センサ３３が接続された指示調節計３４は、還気ダクト内目標圧力が還気ダクト内目標圧力（−７０Ｐａ）になる排気ファン１７の排気風量（３００ｍ３／ｈ）を演算し、排気ファン１７の排気風量を３００ｍ３／ｈにする排気ファン１７の出力を割り出し、割り出した出力を排気ファン１７の制御部に送信する。
【０１０５】
排気ファン１７の制御部は、排気ファン１７をインバーター制御し、排気ファン１７の出力を指示調節計３４から受信したそれにすることで、排気ファン１７の排気風量が３００ｍ３／ｈになる。室圧制御システム１０Ｃでは、局所排気風量が３００ｍ３／ｈから２００ｍ３／ｈに変更された場合において、還気ダクト内圧力を還気ダクト内目標圧力（−７０Ｐａ）に保持することで（還気ダクト内圧力が還気ダクト内目標圧力になることで）、排気ファン１７の排気風量が２００ｍ３／ｈから３００ｍ３／ｈ（所定の風量）になる。
【０１０６】
室圧制御システム１０Ｃでは、局所排気風量が４００ｍ３／ｈ（局所排気運転モード（１））から３００ｍ３／ｈ（局所排気運転モード（２））に変更され、さらに、局所排気風量が３００ｍ３／ｈ（局所排気運転モード（２））から２００ｍ３／ｈ（局所排気運転モード（３））に変更されたとしても、その変更によって還気ダクト内目標圧力（−７０Ｐａ）が変わることはなく、還気ダクト内圧力が還気ダクト内目標圧力（−７０Ｐａ）に保持されることで排気ファン１７の排気風量が所定の風量になる。
【０１０７】
室圧制御システム１０Ｃは、給気ダクト内目標風量が１５００ｍ３／ｈから７５０ｍ３／ｈに変更された場合、還気ダクト内目標圧力が−７０Ｐａから−１８０Ｐａに変更されて局所排気運転モード（１）から局所排気運転モード（４）に変更される。局所排気運転モード（４）において、給気ダクト内目標風量が７５０ｍ３／ｈになると、風量センサ２１が接続された指示調節計３１は、給気ダクト内風量を給気ダクト内目標風量にするための給気ファン１６の出力を給気ファン１６の制御部に送信する。給気ファン１６の制御部は、給気ファン１６をインバーター制御し、給気ファン１６の出力を指示調節計３１から受信したそれにすることで、給気ダクト内風量を給気ダクト内目標風量（７５０ｍ３／ｈ）にする。
【０１０８】
還気ダクト内目標圧力が−１８０Ｐａになると、圧力センサ３３が接続された指示調節計３４は、還気ダクト内圧力が還気ダクト内目標圧力になる排気ファン１７の出力を排気ファン１７の制御部に送信する。排気ファン１７の制御部は、排気ファン１７をインバーター制御し、排気ファン１７の出力を指示調節計３４から受信したそれにすることで、排気ファン１７の排気風量が１００ｍ３／ｈになる。なお、局所排気ダクト１８ａ，１８ｂから排気される局所排気風量は４００ｍ３／ｈである。室圧制御システム１０Ｃでは、還気ダクト内目標圧力が−７０Ｐａから−１８０Ｐａに変更された場合において、還気ダクト内圧力が還気ダクト内目標圧力（−１８０Ｐａ）になることで、排気ファン１７の排気風量が１００ｍ３／ｈ（所定の風量）になる。
【０１０９】
室圧制御システム１０Ｃにおいて、それら局所排気ファン１８ａ，１８ｂの一方が停止し、または、それら局所排気ファン１８ａ，１８ｂの出力が減少し、局所排気風量が４００ｍ３／ｈから３００ｍ３／ｈに変更されて局所排気運転モード（４）から局所排気運転モード（５）に変更され、還気ダクト内目標圧力が−１８０Ｐａであり、給気ダクト内目標風量が７５０ｍ３／ｈで変更がない場合、圧力センサ３３が接続された指示調節計３４は、還気ダクト内目標圧力が還気ダクト内目標圧力（−１８０Ｐａ）になる排気ファン１７の排気風量（２００ｍ３／ｈ）を演算し、排気ファン１７の排気風量を２００ｍ３／ｈにする排気ファン１７の出力を割り出し、割り出した出力を排気ファン１７の制御部に送信する。
【０１１０】
排気ファン１７の制御部は、排気ファン１７をインバーター制御し、排気ファン１７の出力を指示調節計３４から受信したそれにすることで、排気ファン１７の排気風量が２００ｍ３／ｈになる。室圧制御システム１０Ｃでは、局所排気風量が４００ｍ３／ｈから３００ｍ３／ｈに変更された場合において、還気ダクト内圧力を還気ダクト内目標圧力（−１８０Ｐａ）に保持することで（還気ダクト内圧力が還気ダクト内目標圧力になることで）、排気ファン１７の排気風量が１００ｍ３／ｈから２００ｍ３／ｈ（所定の風量）になる。
【０１１１】
室圧制御システム１０Ｃでは、給気ダクト内目標圧力が変更された場合、還気ダクト内目標圧力を変更する必要があるが、その後に局所排気風量が４００ｍ３／ｈ（局所排気運転モード（４））から３００ｍ３／ｈ（局所排気運転モード（５））に変更されたとしても、その変更によって還気ダクト内目標圧力（−１８０Ｐａ）が変わることはなく、還気ダクト内圧力が還気ダクト内目標圧力（−１８０Ｐａ）に保持されることで排気ファン１７の排気風量が所定の風量になる。
【０１１２】
給気ダクト内目標圧力が変更され、局所排気風量が変更された場合においても、排気ファン１７における排気風量の調節と給気ファン１６における給気風量の調節と圧力制御ダンパ１９における空気風量の調節とが同時に行われるとともに、室圧センサ２２の測定結果に連動する圧力制御ダンパ１９の空気風量の調節速度が一番速く、風量センサ２１の測定結果に連動する給気ファン１６の給気風量の調節速度が二番目に速く、圧力センサ３３の測定結果に連動する排気ファン１７の排気風量の調節速度が圧力制御ダンパ１９における空気風量の調節速度および給気ファン１６における給気風量の調節速度よりも遅い。
【０１１３】
室圧制御システム１０Ｃは、圧力センサ３３が測定した還気ダクト内圧力が還気ダクト内目標圧力になることで、排気ファン１７（第１排気ファン）の排気風量（第１排気風量）が所定の風量になり、それによって排気ダクト１７および局所排気ダクト１５ａ，１５ｂ（第２排気ファン）から排気される総排気風量と給気ダクト１２に流入する外気風量とが等しくなって総排気風量と外気風量との風量バランスが維持されるから、局所排気ダクト１５ａ，１５ｂから大気に排気される局所排気風量（第２排気風量）が変更された場合でも、還気ダクト内目標圧力を変更する必要はなく、局所排気風量（第２排気風量）が変更された後の試運転時に、各ダクト１２〜１５ａ，１５ｂに設置されたボリュームダンパ２５ａ〜２５ｉのダンパ開度を試行錯誤を繰り返しながら細かく調節する作業を省くことができ、調整時間と手間とを要せずにクリーンルーム１１（空調対象室）の室圧を目標室圧に保持することができる。
【０１１４】
室圧制御システム１０Ｃは、排気ファン１７（第１排気ファン）の排気風量（第１排気風量）の調節とともに、風量センサ２１が測定した給気ダクト内風量が給気ダクト内目標風量になるように給気ファン１６の給気風量が調節され、室圧センサ２２が測定したクリーンルーム１１（空調対象室）の室圧が目標室圧になるように圧力制御ダンパ１９によって還気ダクト１３に流れる空気風量が調節されるから、クリーンルーム１１の室圧を目標室圧に確実かつ容易に保持することができる。
【０１１５】
室圧制御システム１０Ｃは、室圧センサ２２の測定結果に連動してクリーンルーム１１（空調対象室）の室圧を目標室圧にする圧力制御ダンパ１９の空気風量の調節速度を一番速くすることで、クリーンルーム１１の室圧を迅速に目標室圧にすることができるとともに、風量センサ２１の測定結果に連動して給気ダクト内風量を給気ダクト内目標風量にする給気ファン１６の給気風量の調節速度を二番目に速くし、圧力センサ３３の測定結果に連動して還気ダクト内圧力を還気ダクト内目標圧力にする排気ファン１７の排気風量の調節速度を三番目にすることで、システム１０Ｃ（各ダクト１２〜１５ａ，１５ｂ）を循環する空気の風量の安定化を図ることができ、クリーンルーム１１の室圧が安定し、クリーンルーム１１の室圧を目標室圧に確実に保持することができる。
【０１１６】
図８は、他の一例として示す室圧制御システム１０Ｄの構成図であり、図９は、図８の室圧制御システム１０Ｄにおける目標値と風量と圧力との関係を示す図である。図８では、空気（外気、混合気、還気、排気、局所排気）の流れを矢印で示す。この室圧制御システム１０Ｄが図１のそれと異なるところは、第２風量センサ２１の代わりに定風量装置３２（ＣＡＶ）を利用している点、第１風量センサ２０の代わりに圧力センサ３３を利用している点にある。この室圧制御システム１０Ｄの定風量装置３２および圧力センサ３３を除いたその他の構成は図１の室圧制御システム１０Ａのそれらと同一であるから、図１と同一の符号を付すとともに、図１の室圧制御システム１０Ａの説明を援用することで、この室圧制御システム１０Ｄのその他の構成の説明は省略する。なお、第２風量センサ２１の代わりに可変風量装置（ＶＡＶ）を利用することもできる。
【０１１７】
室圧制御システム１０Ｄは、クリーンルーム１１（空調対象室）に接続された給気ダクト１２および還気ダクト１３と、還気ダクト１３に接続された排気ダクト１４（第１排気ダクト）と、クリーンルーム１１に接続された２本の局所排気ダクト１５ａ，１５ｂ（第２排気ダクト）と、給気ダクト１２に設置された給気ファン１６と、排気ダクト１４に設置された排気ファン１７（第１排気ファン）と、局所排気ダクト１５ａ，１５ｂに設置された局所排気ファン１８ａ，１８ｂ（第２排気ファン）と、還気ダクト１３に設置された圧力制御ダンパ１９および圧力センサ３３と、給気ダクト１２に設置された定風量装置３２（ＣＡＶ）と、クリーンルーム１１に設置された室圧センサ２２とを備えている。
【０１１８】
定風量装置３２（または可変風量装置）は、図４のそれと同一であり、給気ファン１２（チャンバー２６ｂ）とクリーンルーム１１（ボリュームダンパ２５ａ）との間に延びる給気ダクト１２に設置されている。圧力センサ３３は、図６のそれと同一であり、給気ファン１２（ボリュームダンパ２５ｃ）と排気ダクト１４（第１排気ダクト）の接続箇所２９との間に延びる還気ダクト１３に設置されている。圧力センサ３３に接続された指示調節計３４は、図６のそれと同一である。指示調節計３４のメモリには、還気ダクト内目標圧力が記憶（設定）されている。
【０１１９】
室圧制御システム１０Ｄでは、図９に示す局所排気運転モード（１）に設定されているものとする。還気ダクト内目標圧力が−７０Ｐａ設定され、給気ダクト内目標風量が１５００ｍ３／ｈに設定されているとともに、空調対象室の目標室圧が４５Ｐａに設定されている。さらに、外気風量が５００ｍ３／ｈに設定され、局所排気風量が４００ｍ３／ｈに設定されている。室圧制御システム１０Ｃの局所排気運転モード（１）〜局所排気運転モード（３）における外気や混合気、還気、排気の流れは、図１のシステム１０Ａのそれらと同一である。
【０１２０】
室圧制御システム１０Ｄでは、クリーンルーム１１に設置された室圧センサ２２がクリーンルーム１１の室圧を測定し、測定した室圧を圧力制御ダンパ１９に送信する。圧力制御ダンパ１９は、室圧センサ２２から受信した室圧と基準圧との差圧が目標室圧となるように排気ダンパのダンパ開度を調節する。室圧と基準圧との差圧が目標室圧となるように圧力制御ダンパ１９が排気ダンパのダンパ開度を調節することで、クリーンルーム１１の室圧が目標室圧（４５Ｐａ）に保持される。
【０１２１】
還気ダクト内圧力が還気ダクト内目標圧力と異なる場合、圧力センサ３３が接続された指示調節計３４は、還気ダクト内圧力が還気ダクト内目標圧力になる排気ファン１７の排気風量（１００ｍ３／ｈ）を演算し、排気ファン１７の排気風量を１００ｍ３／ｈにする排気ファン１７の出力を割り出し、割り出した出力を排気ファン１７の制御部に送信する。指示調節計３４から排気ファン１７の出力を受信した排気ファン１７の制御部は、排気ファン１７をインバーター制御し、排気ファン１７の出力を指示調節計３４から受信したそれにすることで、排気ファン１７の排気風量が１００ｍ３／ｈになる。室圧制御システム１０Ｄでは、還気ダクト内圧力が還気ダクト内目標圧力と異なる場合において、還気ダクト内圧力が還気ダクト内目標圧力（−７０Ｐａ）になることで、排気ファン１７の排気風量が１００ｍ３／ｈ（所定の風量）になる。
【０１２２】
室圧制御システム１０Ｄは、排気ファン１７における排気風量の調節と定風量装置３２（または可変風量装置）における風量調整と圧力制御ダンパ１９における空気風量の調節とが同時に行われる。室圧制御システム１０Ｄでは、室圧センサ２２の測定結果に連動する圧力制御ダンパ１９の空気風量の調節速度が一番速く、定風量装置３２（または可変風量装置）における風量調整速度が二番目に速く、圧力センサ３３の測定結果に連動する排気ファン１７における排気風量の調節速度が圧力制御ダンパ１９における空気風量の調節速度および定風量装置３２（または可変風量装置）における風量調整速度よりも遅い。したがって、制御動作の開始は、排気ファン１７、定風量装置３２（または可変風量装置）、圧力制御ダンパ１９全て同時であるが、制御動作の安定までの時間は、圧力制御ダンパ１９→定風量装置３２（または可変風量装置）→排気ファン１７の順になる。
【０１２３】
室圧制御システム１０Ｄにおいて、それら局所排気ファン１８ａ，１８ｂの一方が停止し、または、それら局所排気ファン１８ａ，１８ｂの出力が減少し、図９に示すように、局所排気風量が４００ｍ３／ｈから３００ｍ３／ｈに変更されて局所排気運転モード（１）から局所排気運転モード（２）に変更され、還気ダクト内目標圧力が−７０Ｐａであり、給気ダクト内目標風量が１５００ｍ３／ｈで変更がない場合、圧力センサ３３が接続された指示調節計３４は、還気ダクト内圧力を還気ダクト内目標圧力（−７０Ｐａ）になる排気ファン１７の排気風量（２００ｍ３／ｈ）を演算し、排気ファン１７の排気風量を２００ｍ３／ｈにする排気ファン１７の出力を割り出し、割り出した出力を排気ファン１７の制御部に送信する。
【０１２４】
排気ファン１７の制御部は、排気ファン１７をインバーター制御し、排気ファン１７の出力を指示調節計３４から受信したそれにすることで、排気ファン１７の排気風量が２００ｍ３／ｈになる。室圧制御システム１０Ｄでは、局所排気風量が４００ｍ３／ｈから３００ｍ３／ｈに変更された場合において、還気ダクト内圧力を還気ダクト内目標圧力（−７０Ｐａ）に保持することで（還気ダクト内圧力が還気ダクト内目標圧力になることで）、排気ファン１７の排気風量が１００ｍ３／ｈから２００ｍ３／ｈ（所定の風量）になる。
【０１２５】
さらに、室圧制御システム１０Ｄにおいて、局所排気風量が３００ｍ３／ｈから２００ｍ３／ｈに変更されて局所排気運転モード（２）から局所排気運転モード（３）に変更され、還気ダクト内目標圧力が−７０Ｐａであり、給気ダクト内目標風量が１５００ｍ３／ｈで変更がない場合、圧力センサ３３が接続された指示調節計３４は、還気ダクト内目標圧力が還気ダクト内目標圧力（−７０Ｐａ）になる排気ファン１７の排気風量（３００ｍ３／ｈ）を演算し、排気ファン１７の排気風量を３００ｍ３／ｈにする排気ファン１７の出力を割り出し、割り出した出力を排気ファン１７の制御部に送信する。
【０１２６】
排気ファン１７の制御部は、排気ファン１７をインバーター制御し、排気ファン１７の出力を指示調節計３４から受信したそれにすることで、排気ファン１７の排気風量が３００ｍ３／ｈになる。室圧制御システム１０Ｄでは、局所排気風量が３００ｍ３／ｈから２００ｍ３／ｈに変更された場合において、還気ダクト内圧力を還気ダクト内目標圧力（−７０Ｐａ）に保持することで（還気ダクト内圧力が還気ダクト内目標圧力になることで）、排気ファン１７の排気風量が２００ｍ３／ｈから３００ｍ３／ｈ（所定の風量）になる。
【０１２７】
室圧制御システム１０Ｄでは、局所排気風量が４００ｍ３／ｈ（局所排気運転モード（１））から３００ｍ３／ｈ（局所排気運転モード（２））に変更され、さらに、局所排気風量が３００ｍ３／ｈ（局所排気運転モード（２））から２００ｍ３／ｈ（局所排気運転モード（３））に変更されたとしても、その変更によって還気ダクト内目標圧力（−７０Ｐａ）が変わることはなく、還気ダクト内圧力が還気ダクト内目標圧力（−７０Ｐａ）に保持されることで排気ファン１７の排気風量が所定の風量になる。
【０１２８】
室圧制御システム１０Ｄは、圧力センサ３３が測定した還気ダクト内圧力が還気ダクト内目標圧力になることで、排気ファン１７（第１排気ファン）の排気風量（第１排気風量）が所定の風量になり、それによって排気ダクト１７および局所排気ダクト１５ａ，１５ｂ（第２排気ダクト）から排気される総排気風量と給気ダクト１２に流入する外気風量とが等しくなって総排気風量と外気風量との風量バランスが維持されるから、局所排気ダクト１５ａ，１５ｂから大気に排気される局所排気風量が変更された場合でも、還気ダクト内目標圧力を変更する必要はなく、局所排気風量（第２排気風量）が変更された後の試運転時に、各ダクト１２〜１５ａ，１５ｂに設置されたボリュームダンパ２５ａ〜２５ｉのダンパ開度を試行錯誤を繰り返しながら細かく調節する作業を省くことができ、調整時間と手間とを要せずにクリーンルーム１１（空調対象室）の室圧を目標室圧に保持することができる。
【０１２９】
室圧制御システム１０Ｄは、排気ファン１７（第１排気ファン）の排気風量（第１排気風量）の調節とともに、クリーンルーム１１（空調対象室）に給気する空気の給気風量が定風量装置３２（または可変風量装置）によって所定の給気風量に維持され、室圧センサ２２が測定した空クリーンルーム１１の室圧が目標室圧になるように圧力制御ダンパ１９によって還気ダクト１３に流れる空気風量が調節されるから、クリーンルーム１１の室圧を目標室圧に確実かつ容易に保持することができる。
【０１３０】
室圧制御システム１０Ｄは、室圧センサ２２の測定結果に連動してクリーンルーム１１（空調対象室）の室圧を目標室圧にする圧力制御ダンパ１９の空気風量の調節速度を一番速くすることで、クリーンルーム１１の室圧を迅速に目標室圧にすることができるとともに、定風量装置３２（または可変風量装置）における風量調整速度を二番目に速くし、圧力センサ３３の測定結果に連動して還気ダクト内圧力を還気ダクト内目標圧力にする排気ファン１７の排気風量の調節速度を三番目にすることで、システム１０Ｄ（各ダクト１２〜１５ａ，１５ｂ）を循環する空気の風量の安定化を図ることができ、クリーンルーム１１の室圧が安定し、クリーンルーム１１の室圧を目標室圧に確実に保持することができる。
【符号の説明】
【０１３１】
１０Ａ  室圧制御システム
１０Ｂ  室圧制御システム
１０Ｃ  室圧制御システム
１０Ｄ  室圧制御システム
１１    クリーンルーム（空調対象室）
１２    給気ダクト
１３    還気ダクト
１４    排気ダクト（第１排気ダクト）
１５ａ  局所排気ダクト（第２排気ダクト）
１５ｂ  局所排気ダクト（第２排気ダクト）
１６    給気ファン
１７    排気ファン（第１排気ファン）
１８ａ  局所排気ファン（第２排気ファン）
１８ｂ  局所排気ファン（第２排気ファン）
１９    圧力制御ダンパ
２０    第１風量センサ
２１    第２風量センサ（風量センサ）
２２    室圧センサ
２３    外気取り入れ口
２４    モーターダンパ
２５ａ〜２５ｉ  ボリュームダンパ
２６ａ，２６ｂ  チャンバー
２７    指示調節計
２８ａ，２８ｂ  ノンリークダンパ
２９    接続箇所
３０    指示調節計
３１    指示調節計
３２    定風量装置
３３    圧力センサ
３４    指示調節計
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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