(57)【要約】【課題】空圧機器の定期的なメンテナンス作業が容易且つ短時間で済み、装置の稼働率が高いアクチュエータ及びアクチュエータユニットの提供を目的とする。【解決手段】シャフト１０を駆動させる駆動部が設けられたアクチュエータ本体２と、シャフト１０に設けられた中空孔１１の空圧を制御する空圧機器６１と、を有し、空圧機器６１は、アクチュエータ本体２に対して着脱可能に設けられたカートリッジ部３に収容されている、という構成を採用する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シャフトを駆動させる駆動部が設けられたアクチュエータ本体と、
前記シャフトに設けられた中空孔の空圧を制御する空圧機器と、を有し、
前記空圧機器は、前記アクチュエータ本体に対して着脱可能に設けられたカートリッジ部に収容されている、ことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
前記シャフトの軸線上には、前記シャフトに対して前記駆動部が動力を伝達する動力伝達領域が設けられており、
前記空圧機器は、前記シャフトの軸線に沿う軸方向において、前記動力伝達領域の少なくとも一部とオーバーラップする位置に配置されている、ことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記空圧機器は、電磁弁を含み、
前記カートリッジ部には、前記電磁弁と前記アクチュエータ本体とを電気的に接続するコネクタが設けられている、ことを特徴とする請求項１または２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記空圧機器には、電磁弁、エアフィルタの少なくとも一つが含まれている、ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載のアクチュエータが、前記シャフトの軸方向と直交する方向に複数積層され、
前記カートリッジ部が、前記シャフトの軸方向及び前記アクチュエータの積層方向と直交する方向において、前記アクチュエータ本体に対して着脱可能に設けられている、ことを特徴とするアクチュエータユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータ及びアクチュエータユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
下記特許文献１には、アクチュエータの一つとして、空気供給部から供給される空気の空気圧を利用して移動機構を駆動させる産業機械が開示されている。この産業機械は、ワークの形状解析を行う三次元計測機であって、ワークを測定するためのプローブと、プローブを移動させる移動機構と、移動機構にエアを供給するためのエア供給部と、を有する。エア供給部は、移動機構の各駆動機構のエアベアリングにエアを送り出すエアレギュレータセットを有し、エアレギュレータセットに設けられた電磁弁を開閉させてエアの流れを制御する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−６８０３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した産業機械は、空圧制御を行うエアレギュレータセット（空圧機器）を装置本体に組み込んだアクチュエータである。空圧機器は、電磁弁やエアフィルタ等を含んでおり、これらは消耗品であるため、定期的に交換をする必要がある。従来では、消耗品の交換時に、装置本体に組み込んだ空圧機器の取り外し作業を行わなければならなかった。また、消耗品の交換後には、取り外した空圧機器の組み込み作業を行わなければならず、メンテナンスに時間がかかり、装置の稼働率の低下に繋がっていた。
【０００５】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、空圧機器の定期的なメンテナンス作業が容易且つ短時間で済み、装置の稼働率が高いアクチュエータ及びアクチュエータユニットの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明のアクチュエータは、シャフトを駆動させる駆動部が設けられたアクチュエータ本体と、前記シャフトに設けられた中空孔の空圧を制御する空圧機器と、を有し、前記空圧機器は、前記アクチュエータ本体に対して着脱可能に設けられたカートリッジ部に収容されている、という構成を採用する。
【０００７】
また、本発明のアクチュエータユニットは、先に記載のアクチュエータが、前記シャフトの軸方向と直交する方向に複数積層され、前記カートリッジ部が、前記シャフトの軸方向及び前記アクチュエータの積層方向と直交する方向において、前記アクチュエータ本体に対して着脱可能に設けられている、という構成を採用する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、空圧機器の定期的なメンテナンス作業が容易且つ短時間で済み、装置の稼働率が高くなる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施形態におけるアクチュエータユニットの外観斜視図である。
【図２】図１に示すアクチュエータユニットが備えるアクチュエータの内部構成図である。
【図３】本発明の実施形態におけるシャフトハウジングの軸方向に沿った断面図である。
【図４】本発明の実施形態におけるアクチュエータ本体にカートリッジ部を装着するときの様子を示す外観斜視図である。
【図５】本発明の実施形態におけるカートリッジ部の内部構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。以下に示す実施形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために、例を挙げて説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。また、以下の説明に用いる図面は、本発明の特徴を分かりやすくするために、便宜上、要部となる部分を拡大している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。また、本発明の特徴を分かりやすくするために、便宜上、省略した部分がある。
【００１１】
図１は、本発明の実施形態におけるアクチュエータユニット１００の外観斜視図である。図２は、図１に示すアクチュエータユニット１００が備えるアクチュエータ１の内部構成図である。
図１に示すように、アクチュエータユニット１００は、複数のアクチュエータ１が積層されて構成されている。アクチュエータ１は、シャフト１０を移動させるアクチュエータ本体２と、シャフト１０にエアを供給するカートリッジ部３と、を有する。
【００１２】
なお、以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明することがある。シャフト１０が延びる軸方向をＺ軸方向、シャフト１０の軸方向と直交したアクチュエータ１の積層方向をＹ軸方向、シャフト１０の軸方向及びアクチュエータ１の積層方向とそれぞれ直交する方向をＸ軸方向とする。
【００１３】
アクチュエータ本体２は、図２に示すように、シャフト１０と、シャフト１０をその軸線Ｏ回りに回転させる回転モータ２０（駆動部）と、シャフト１０を軸線Ｏに沿った軸方向（Ｘ軸方向）に直動させる直動モータ３０（駆動部）と、回転モータ２０及び直動モータ３０を収容する駆動部ハウジング４０と、駆動部ハウジング４０のＺ軸方向の下端面４０ａに接続され、シャフト１０が摺動可能に挿通されたシャフトハウジング５０と、を有する。
【００１４】
シャフト１０は、鉛直方向（Ｚ軸方向）に延びており、回転モータ２０及び直動モータ３０によって、鉛直方向に直動すると共に、鉛直方向に延びる軸線Ｏ回りに回転する。シャフト１０の先端部１０Ａには、中空孔１１が設けられている。このシャフト１０の先端部１０Ａには、工具や吸着パッド等の図示しないアプリケーション装置が取り付けられる。本実施形態では、シャフト１０の先端部１０Ａに図示しない吸着パッドが取り付けられ、ワークＷをピックアップし、所定の場所に載置する所謂ピック＆プレイス動作を行うようになっている。
【００１５】
シャフト１０の先端部１０Ａと反対の基端部１０Ｂ側は、駆動部ハウジング４０に収容されている。駆動部ハウジング４０に収容されたシャフト１０の基端部１０Ｂ側には、例えば、軸方向に延びる図示しないスプライン溝が設けられている。回転モータ２０は、当該スプライン溝に係合する図示しないスプラインナット（回転子）と、当該スプラインナットを回転させる固定子とを有する。回転モータ２０の固定子は、駆動部ハウジング４０に固定され、シャフト１０のスプライン軸に係合したスプラインナット（回転子）を回転させることで、シャフト１０の軸方向の移動を許容しつつ、シャフト１０を軸線Ｏ回りに回転させるようになっている。
【００１６】
直動モータ３０は、駆動部ハウジング４０に固定された固定子３１と、固定子３１によって鉛直方向（Ｚ軸方向）に移動する可動子３２と、を有する。例えば、固定子３１には図示しない複数のコイルが設けられ、可動子３２には図示しない複数の永久磁石が設けられている。コイルは、鉛直方向に沿って所定ピッチで配置され、且つ、Ｕ、Ｖ、Ｗ相の３つのコイルを一組として複数組設けられている。本実施形態では、これらＵ、Ｖ、Ｗ相のコイルに三相電機子電流を流すことによって直線的に移動する移動界磁を発生させ、固定子３１に対して可動子３２を直線的に移動させるようになっている。
【００１７】
直動モータ３０とシャフト１０は、直動テーブル３３を介して連結されている。直動テーブル３３は、複数の直動案内装置３４によって鉛直方向（Ｚ軸方向）に案内されている。直動案内装置３４は、駆動部ハウジング４０に固定された軌道レール３４ａと、軌道レール３４ａに組み付けられたスライダブロック３４ｂと、を有する。軌道レール３４ａは、鉛直方向に延びており、スライダブロック３４ｂは、軌道レール３４ａに沿って鉛直方向に移動可能とされている。
【００１８】
直動テーブル３３は、スライダブロック３４ｂに固定され、スライダブロック３４ｂと共に鉛直方向に移動可能とされている。この直動テーブル３３は、直動モータ３０の可動子３２と連結アーム３５を介して連結されている。また、直動テーブル３３は、シャフト１０と連結アーム３６を介して連結されている。なお、連結アーム３６には、シャフト１０を回転可能に支持する図示しない軸受が設けられ、シャフト１０の基端部１０Ｂには、シャフト１０の落下を防止する抜け止め３７が設けられている。
【００１９】
駆動部ハウジング４０は、図１に示すように、鉛直方向に延びる板状の直方体形状を有する。具体的に、駆動部ハウジング４０は、Ｚ軸方向の寸法がＸ軸方向の寸法よりも長く、Ｘ軸方向の寸法がＹ軸方向の寸法よりも長い。すなわち、駆動部ハウジング４０は、アクチュエータ１の積層方向（Ｙ軸方向）における寸法が最も小さくなっている。この駆動部ハウジング４０のＺ軸方向の上端面４０ｃには、回転モータ２０や直動モータ３０を駆動させる電源や信号線等を含んだコネクタ４１が接続されている。また、この駆動部ハウジング４０のＸ軸方向の側端面４０ｂには、カートリッジ部３のカートリッジハウジング６０が着脱可能に固定されている。
【００２０】
カートリッジハウジング６０は、駆動部ハウジング４０と同様に、鉛直方向に延びる板状の直方体形状を有する。カートリッジハウジング６０は、Ｚ軸方向の寸法が駆動部ハウジング４０のＺ軸方向の寸法よりも短いが、駆動部ハウジング４０と同様に、Ｚ軸方向の寸法がＸ軸方向の寸法よりも長く、Ｘ軸方向の寸法がＹ軸方向の寸法よりも長い。すなわち、カートリッジハウジング６０は、アクチュエータ１の積層方向（Ｙ軸方向）における寸法が最も小さくなっている。このカートリッジハウジング６０のＹ軸方向の寸法は、駆動部ハウジング４０のＹ軸方向の寸法以下とされている。
【００２１】
カートリッジハウジング６０の内部には、図２に示すように、空圧機器６１が収容されている。空圧機器６１は、図示しない複数の電磁弁（後述）を有し、シャフト１０の先端部１０Ａからの中空孔１１を介したエアの吸引、また、ワークＷの脱着のためのエアの吐出または真空破壊等を制御するようになっている。空圧機器６１は、カートリッジハウジング６０のＺ軸方向の上端面６０ｃに設けられたエア用コネクタ６２と接続されると共に、カートリッジハウジング６０のＺ軸方向の下端面６０ａに設けられたエアチューブコネクタ６３と接続されている。エア用コネクタ６２は、エアを吸引する図示しないポンプと接続され、エアチューブコネクタ６３は、エアチューブ６４を介してシャフトハウジング５０に設けられたエアチューブ接続孔５１と接続されている。
【００２２】
上記構成の空圧機器６１は、シャフト１０に対して駆動部（回転モータ２０及び直動モータ３０）が動力を伝達する動力伝達領域Ａと、シャフト１０の軸方向において少なくとも一部がオーバーラップする位置に配置されている。動力伝達領域Ａとは、シャフト１０の軸線Ｏ上において、シャフト１０に対して駆動部（回転モータ２０及び直動モータ３０）から動力が伝達される領域であって、具体的には、回転モータ２０のスプラインナット（回転子）が配置される領域Ａ１や、連結アーム３６がシャフト１０に連結される領域Ａ２，Ａ３を指す。本実施形態の空圧機器６１は、シャフト１０の軸方向において、回転モータ２０や直動モータ３０と並列に配置され、シャフト１０の先端部１０Ａからの距離が、回転モータ２０の動力伝達領域Ａ１までの距離と略同じになっている。
【００２３】
図３は、本発明の実施形態におけるシャフトハウジング５０の軸方向に沿った断面図である。
図３に示すように、シャフトハウジング５０には、シャフト１０が摺動可能に挿通されている。このシャフトハウジング５０には、エアチューブ接続孔５１と、エアチューブ接続孔５１と連通してシャフト１０の外周面１０ａを囲う内部空間５２と、が設けられている。
【００２４】
シャフトハウジング５０は、ハウジング本体５３と、一対の蓋体５４と、シール体５５と、摺動リング５６と、を有する。ハウジング本体５３は、貫通孔５３ａが設けられた筒状体である。この貫通孔５３ａには、その径方向においてエアチューブ接続孔５１が連通している。エアチューブ接続孔５１は、ハウジング本体５３の長手方向（Ｚ軸方向）における中央部に設けられており、ハウジング本体５３の内外を連通させている。
【００２５】
一対の蓋体５４は、ハウジング本体５３の両端開口部を閉塞し、内部空間５２を形成するものである。ハウジング本体５３の両端開口部には、貫通孔５３ａよりも径が大きい円環状の段付き溝５３ｂが設けられている。一方、蓋体５４には、段付き溝５３ｂに嵌合する円環状の嵌合突起５４ｂが設けられている。この蓋体５４の中央部には、シャフト１０が挿通される貫通孔５４ａが、嵌合突起５４ｂを貫通して設けられている。一対の蓋体５４は、嵌合突起５４ｂによってハウジング本体５３の両端開口部に嵌合し、また、図示しないボルト等によってハウジング本体５３に対し固定されている。
【００２６】
シール体５５は、ハウジング本体５３と一対の蓋体５４との間に介在し、両者の隙間を気密にシールするものである。本実施形態のシール体５５は、円環状のＯリングであり、ハウジング本体５３の段付き溝５３ｂに配置され、蓋体５４の嵌合突起５４ｂによって軸方向（Ｚ軸方向）に押しつぶされる。このシール体５５の内径側には、摺動リング５６が設けられている。摺動リング５６は、シャフト１０を摺動可能に支持するものであり、シール体５５が軸方向に押しつぶされることによって、シャフト１０の外周面１０ａに押圧される。これによって、シャフト１０の外周面１０ａと摺動リング５６との隙間からの空気漏れが抑制される。
【００２７】
シャフトハウジング５０の内部空間５２に囲まれたシャフト１０の外周面１０ａには、中空孔１１と連通する連通孔１２が設けられている。連通孔１２は、シャフト１０を径方向に十字に貫通しており、シャフト１０の外周面１０ａに４つ開口している。なお、連通孔１２は、１つであってもよい。中空孔１１は、シャフト１０を軸方向に貫通しておらず、シャフト１０の先端部１０Ａから連通孔１２が設けられた位置まで軸方向に延在している。これによって、中空孔１１が連通孔１２を介して内部空間５２に連通し、さらに内部空間５２を介してエアチューブ接続孔５１と連通する。
【００２８】
シャフトハウジング５０の内部空間５２は、シャフト１０の外径よりも一回り大きな円筒状の空間である。すなわち、ハウジング本体５３の内部空間５２において、ハウジング本体５３の貫通孔５３ａとシャフト１０の外周面１０ａとの間には、隙間が形成されている。この内部空間５２は、シャフト１０の軸方向において、直動モータ３０（図２参照）によるシャフト１０のストロークＳ以上の長さＬを有する。すなわち、シャフト１０のストロークＳの全範囲において、連通孔１２と内部空間５２とが連通するようになっている。なお、シャフト１０のストロークＳは、駆動部ハウジング４０の内部に設けられた図示しないストッパーによって設定することができる。
【００２９】
この構成によれば、図２に示すように、シャフト１０が軸方向に移動したとしても、内部空間５２と連通孔１２との連通状態が維持されるため、シャフト１０の先端部１０Ａに設けられた中空孔１１に負圧を発生させることができる。また、この構成によれば、シャフト１０が軸線Ｏ回りに回転したとしても、内部空間５２と連通孔１２との連通状態が維持されるため、シャフト１０の先端部１０Ａに設けられた中空孔１１に負圧を発生させ、これによりワークＷをピックアップすることができる。
【００３０】
図４は、本発明の実施形態におけるアクチュエータ本体２にカートリッジ部３を装着するときの様子を示す外観斜視図である。図５は、本発明の実施形態におけるカートリッジ部３の内部構成図である。
図４に示すように、カートリッジ部３は、シャフト１０の軸方向（Ｚ軸方向）及びアクチュエータ１の積層方向（Ｙ軸方向）と直交するＸ軸方向において、アクチュエータ本体２に対して着脱可能に設けられている。
【００３１】
駆動部ハウジング４０のＸ軸方向の側端面４０ｂには、配線用ジャック７０が設けられている。この配線用ジャック７０には、図５に示すカートリッジ部３の配線用プラグ７１（コネクタ）が接続される。配線用プラグ７１は、駆動部ハウジング４０の側端面４０ｂに対向するカートリッジハウジング６０の側端面６０ｂに設けられている。この配線用プラグ７１は、図５に示すように、空圧機器６１を構成する複数の電磁弁６５と電気的に接続されている。
【００３２】
複数の電磁弁６５は、アクチュエータ本体２から供給される電力及び制御信号によって動作するようになっている。つまり、複数の電磁弁６５は、回転モータ２０や直動モータ３０を駆動させるドライバによって動作するようになっている。なお、複数の電磁弁６５は、コネクタ４１（図４参照）に接続された図示しない上位の制御装置及び電源によって動作する構成であってもよい。
【００３３】
複数の電磁弁６５は、図５に示すように、マニホールド６７と接続されている。マニホールド６７には、複数の流路が接続されており、電磁弁６５ａが開かれると、エア用コネクタ６２がエアフィルタ６８を介してエアチューブ６４と連通する。これにより、エアチューブ６４内のエアが引かれて、負圧が発生する。この電磁弁６５ａは、吸引制御用である。
【００３４】
また、マニホールド６７に接続された電磁弁６５ｂが開かれると、マニホールド６７に空圧系外のエアが流れ込み、エアチューブ６４内の真空を破壊する。この電磁弁６５ｂは、真空破壊用である。
なお、ピック＆プレイス動作の高タクト化を図る場合、エアを押し込むもう一つのエア用コネクタ６２をマニホールド６７に接続し、真空破壊用の電磁弁６５ｂによって開閉制御してもよい。また、ピック＆プレイス動作の高タクト化を考えない場合、エア用コネクタ６２は一本で、電磁弁６５も吸引制御用の一つであってもよい。
【００３５】
エアフィルタ６８は、マニホールド６７に対し着脱可能に接続されている。エアフィルタ６８は、電磁弁６５、マニホールド６７と共に、カートリッジハウジング６０の内部に収容されている。なお、カートリッジハウジング６０には、圧力を設定するレギュレータ、真空を発生させるエジェクタ、エア排出時騒音防止用のサイレンサ、その他、圧力センサや流量センサ等の制御用の各種センサ類が収容されていてもよい。
【００３６】
カートリッジハウジング６０は、図４に示すように、駆動部ハウジング４０の側端面４０ｂに取り付けられるため、カートリッジ部３をアクチュエータ本体２に固定するための図示しない固定部（例えば、スナップフィット、ボルト等により固定される部分）は、アクチュエータ１の積層方向（Ｙ軸方向）に飛び出ないように配置することが好ましい。例えば、カートリッジハウジング６０の下端面６０ａから駆動部ハウジング４０の下端面４０ａまで固定部を延ばしボルト止めすると共に、カートリッジハウジング６０の側端面６０ｂの上端から上方に固定部を延ばし、駆動部ハウジング４０の側端面４０ｂにボルト止めしてもよい。
【００３７】
上記構成のアクチュエータ１によれば、シャフト１０に設けられた中空孔１１の空圧を制御する空圧機器６１が、図４に示すように、アクチュエータ本体２に対して着脱可能に設けられたカートリッジ部３に収容されている。この構成によれば、電磁弁６５やエアフィルタ６８等の消耗品を含む空圧機器６１を、駆動部（回転モータ２０や直動モータ３０）等を取り外すことなくアクチュエータ本体２から容易に分離し、交換することができる。このように空圧機器６１をまとめてカートリッジ化することによって、空圧機器６１の定期的なメンテナンス作業が容易且つ短時間で済む。したがって、アクチュエータ１及びアクチュエータユニット１００を停止する時間が短くなり、装置の稼働率が高くなる。
【００３８】
また、本実施形態では、図２に示すように、シャフト１０の軸線Ｏ上には、シャフト１０に対して駆動部が動力を伝達する動力伝達領域Ａが設けられており、空圧機器６１は、シャフト１０の軸線Ｏに沿う軸方向において、動力伝達領域Ａの少なくとも一部とオーバーラップする位置に配置されている。この構成によれば、空圧機器６１（具体的には、電磁弁６５）からシャフト１０の先端部１０Ａの中空孔１１までの経路を短くでき、その経路内の空気の体積を少なくすることで、電磁弁６５が開いてから負圧が発生するまでの時間を短くし、ピック＆プレイス動作の高タクト化を実現させることができる。
【００３９】
仮に、空圧機器６１をアクチュエータ本体２に組み込んだ形態では、設置スペースの制限から、空圧機器６１をシャフト１０の軸線Ｏ上乃至シャフト１０の近傍に配置しなければならない。この場合、空圧機器６１を動力伝達領域Ａの一部とオーバーラップして配置することが困難になり、シャフト１０の先端部１０Ａからの距離が、空圧機器６１及び動力伝達領域Ａで異なる（前後する）こととなる。例えば、シャフト１０の先端部１０Ａに対し、空圧機器６１が動力伝達領域Ａ３よりも後ろ（遠く）に配置された場合、先端部１０Ａから電磁弁６５までの空気の経路が長くなり、上述した高タクト化が困難になる。一方、シャフト１０の先端部１０Ａに対し、動力伝達領域Ａ２が空圧機器６１よりも後ろ（遠く）に配置された場合、先端部１０Ａから動力伝達領域Ａ２までの距離が長くなり、シャフト１０の軸直度や振れ精度が悪くなる。対して、本実施形態によれば、図２に示すように、シャフト１０の先端部１０Ａに対する空圧機器６１及び動力伝達領域Ａまでの距離が略同じになるため、高タクト化と、シャフト１０の軸直度や振れ精度の向上を両立させることができる。
【００４０】
また、本実施形態では、図５に示すように、カートリッジ部３には、電磁弁６５とアクチュエータ本体２とを電気的に接続する配線用プラグ７１が設けられているため、省配線化でき、空圧機器６１の取り付け作業を容易且つ短時間に行うことができる。
さらに、本実施形態では、図４に示すように、カートリッジ部３が、シャフト１０の軸方向（Ｚ軸方向）及びアクチュエータ１の積層方向（Ｙ軸方向）と直交するＸ軸方向において、アクチュエータ本体２に対して着脱可能に設けられているため、アクチュエータ１を積層して使用する形態であっても、他のアクチュエータ１をアクチュエータユニット１００の図示しない固定面から取り外すことなく、空圧機器６１を交換することが可能となる。
【００４１】
このように、上述の本実施形態によれば、シャフト１０を駆動させる駆動部（回転モータ２０及び直動モータ３０）が設けられたアクチュエータ本体２と、シャフト１０に設けられた中空孔１１の空圧を制御する空圧機器６１と、を有し、空圧機器６１は、アクチュエータ本体２に対して着脱可能に設けられたカートリッジ部３に収容されている、という構成を採用することによって、空圧機器６１の定期的なメンテナンス作業が容易且つ短時間で済み、装置の稼働率が高くなるアクチュエータ１及びアクチュエータユニット１００が得られる。
【００４２】
以上、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００４３】
例えば、上記実施形態では、アクチュエータ１が回転モータ２０及び直動モータ３０を有する構成について例示したが、アクチュエータ１が回転モータ２０のみを有する構成であってもよいし、アクチュエータ１が直動モータ３０のみを有する構成であってもよい。
【００４４】
また、上記実施形態では、回転モータ２０がスプラインナットを介してシャフト１０を回転させる構成を例示したが、例えば、回転モータ２０がベルト及びプーリーを介してシャフト１０を回転させる構成であってもよい。この場合、シャフト１０に固定されたプーリーが動力伝達領域Ａとなる。
【００４５】
また、例えば、上記実施形態では、ワークＷをピック＆プレイスするアクチュエータ１に本発明を適用したが、例えば、他の空圧のアクチュエータにも本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００４６】
１…アクチュエータ、２…アクチュエータ本体、３…カートリッジ部、１０…シャフト、１１…中空孔、２０…回転モータ（駆動部）、３０…直動モータ（駆動部）、４０…駆動部ハウジング、６０…カートリッジハウジング、６１…空圧機器、６５…電磁弁、６７…マニホールド、６８…エアフィルタ、７１…配線用プラグ（コネクタ）、１００…アクチュエータユニット、Ａ…動力伝達領域、Ｏ…軸線
【図１】
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【図２】
2019005839.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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