(57)【要約】【課題】配置状態により静電容量が変化するのを抑制可能なセンサシート、静電容量型センサ、およびセンサシートの製造方法を提供することを課題とする。【解決手段】センサシート１は、一対の電極層１Ｘ〜４Ｘ、１Ｙ〜４Ｙと、電極層１Ｘ〜４Ｘ、１Ｙ〜４Ｙの面方向の伸縮を規制する拘束層３２、４２と、積層方向から見て、一対の電極層１Ｘ〜４Ｘ、１Ｙ〜４Ｙが重複する部分に配置される複数の検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）と、複数の検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）の間に配置される非検出部Ｇと、を備える。無荷重状態において、複数の検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）のうち、少なくとも一部には、拘束層３２、４２が配置されており、非検出部Ｇのうち、少なくとも一部には、空間ｇが区画されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
積層方向に離間して配置される一対の電極層と、
前記電極層の面方向の伸縮を規制する拘束層と、
前記積層方向から見て、一対の前記電極層が重複する部分に配置される複数の検出部と、
前記積層方向から見て、複数の前記検出部の間に配置される非検出部と、
を備えるセンサシートであって、
無荷重状態において、
複数の前記検出部のうち、少なくとも一部には、前記拘束層が配置されており、
前記非検出部のうち、少なくとも一部には、空間が区画されていることを特徴とするセンサシート。
【請求項２】
一対の前記電極層の間に配置され、複数の前記検出部に配置される複数の誘電層を備える請求項１に記載のセンサシート。
【請求項３】
前記拘束層は、前記誘電層と前記電極層との間に配置される請求項２に記載のセンサシート。
【請求項４】
前記拘束層は、拘束層本体と、前記拘束層本体を前記誘電層に接着する内側接着層と、前記拘束層本体を前記電極層に接着する外側接着層と、を有する請求項３に記載のセンサシート。
【請求項５】
前記非検出部のうち前記空間が区画されている部分の前記面方向のばね定数を１として、
前記検出部のうち前記拘束層が配置されている部分の前記面方向のばね定数は、２以上５００００以下である請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のセンサシート。
【請求項６】
複数の前記検出部が設定される感圧エリアと、
前記感圧エリアの前記面方向隣りに配置され、複数の前記検出部の静電容量に関する電気量を外部から取り出し可能な取出部を有する不感エリアと、
を備える請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のセンサシート。
【請求項７】
前記センサシートのうち、前記検出部と、該検出部用の前記取出部と、を有する部分をセンサ体として、
前記センサ体を確保しながら、前記空間に沿って切断可能である請求項６に記載のセンサシート。
【請求項８】
請求項７に記載のセンサシートの前記センサ体を備える静電容量型センサ。
【請求項９】
請求項４に記載のセンサシートの製造方法であって、
前記誘電層に前記内側接着層を貼着すると共に、離型基材に前記外側接着層を仮貼着することにより、前記誘電層と前記拘束層と前記離型基材とを有する積層体を作製する積層体作製工程を有するセンサシートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサシート、当該センサシートから取得されたセンサ体を備える静電容量型センサ、および当該センサシートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、感圧シートと、行電極シートと、列電極シートと、を備える形状認識装置が開示されている。列電極シートは感圧シートの表側に、行電極シートは感圧シートの裏側に、各々積層されている。行電極シート、列電極シートは、各々、複数の平行電極を備えている。感圧シートには、複数の感圧部が固定されている。表側から見て、複数の感圧部は、行電極シートの平行電極と、列電極シートの平行電極と、が重複する部分に配置されている。形状認識装置は、複数の感圧部の静電容量の変化を検出している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−３２１０１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
同文献記載の静電容量型センサは、平板状である。一方、当該静電容量型センサの配置面（人の前腕）は、曲面状である。このため、静電容量型センサは、本来の形状に対して、湾曲した状態で配置されることになる。しかしながら、複数の感圧部は、感圧シートに固定されている。このため、静電容量型センサが配置面に配置される際、感圧部が変形しやすい。感圧部が変形すると、静電容量が変化しやすい。このように、同文献記載の静電容量型センサの場合、静電容量型センサの配置状態により、感圧部から検出される静電容量が変化しやすい。そこで、本発明は、配置状態により静電容量が変化するのを抑制可能なセンサシート、静電容量型センサ、およびセンサシートの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本発明のセンサシートは、積層方向に離間して配置される一対の電極層と、前記電極層の面方向の伸縮を規制する拘束層と、前記積層方向から見て、一対の前記電極層が重複する部分に配置される複数の検出部と、前記積層方向から見て、複数の前記検出部の間に配置される非検出部と、を備えるセンサシートであって、無荷重状態において、複数の前記検出部のうち、少なくとも一部には、前記拘束層が配置されており、前記非検出部のうち、少なくとも一部には、空間が区画されていることを特徴とする。
【０００６】
ここで、「無荷重状態」とは、センサシート（後述するように、センサ体の場合もある）を所定の配置面に配置する前の状態であって、センサシートに荷重が加わっていない状態をいう。
【０００７】
また、上記課題を解決するため、本発明の静電容量型センサは、前記センサシートのセンサ体を備えることを特徴とする。また、上記課題を解決するため、本発明のセンサシートの製造方法は、前記誘電層に前記拘束層の内側接着層を貼着すると共に、離型基材に前記拘束層の外側接着層を仮貼着することにより、前記誘電層と前記拘束層と前記離型基材とを有する積層体を作製する積層体作製工程を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のセンサシートによると、非検出部の少なくとも一部には、空間が区画されている。このため、センサシートを配置面に配置する際、配置面の形状に追従して、検出部に優先して、非検出部を変形させることができる。したがって、センサシートの配置状態により検出部が変形するのを抑制することができる。よって、センサシートの配置状態により検出部の静電容量が変化するのを、抑制することができる。
【０００９】
また、本発明のセンサシートによると、検出部のうち少なくとも一部には、拘束層が配置されている。このため、センサシートを配置面に配置する際、電極層の面方向の伸縮（伸張および収縮のうち、少なくとも一方）を規制することができる。したがって、センサシートの配置状態により検出部の電極面積、つまり静電容量が変化するのを、抑制することができる。
【００１０】
また、本発明の静電容量型センサによると、本発明のセンサシートと同様に、センサ体の配置状態により検出部の静電容量が変化するのを、抑制することができる。また、本発明のセンサシートの製造方法によると、本発明のセンサシートを簡単に製造することができる。また、積層体は、離型基材を備えている。このため、積層体作製工程後の積層体、つまり誘電層および拘束層のハンドリング（例えば、搬送、治具や機械へのセット等）が簡単である。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第一実施形態のセンサシートの透過上面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ方向断面図である。
【図３】図２の枠ＩＩＩ内の拡大図である。
【図４】同センサシートの表側電極ユニットの分解斜視図である。
【図５】同センサシートの裏側電極ユニットの分解斜視図である。
【図６】（ａ）は、積層体の上下方向断面図である。（ｂ）は、積層体（裏側離型基材なし）と裏側電極ユニットとの合体物の上下方向断面図である。（ｃ）は、積層体（裏側離型基材、表側離型基材なし）と裏側電極ユニットと表側電極ユニットとの合体物の上下方向断面図である。
【図７】配置状態における同センサシートの上下方向断面図である。
【図８】図７の枠ＶＩＩＩ内の拡大図である。
【図９】（ａ）は、図１に示すセンサシートから切り取られたセンサ体（その１）である。（ｂ）は、図１に示すセンサシートから切り取られたセンサ体（その２）である。
【図１０】第二実施形態のセンサシートの非検出部付近の上下方向断面図である。
【図１１】第三実施形態のセンサシートの透過上面図である。
【図１２】（ａ）は、その他の実施形態（その１）のセンサシートの配置状態図である。（ｂ）は、その他の実施形態（その２）のセンサシートの配置状態図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明のセンサシート、静電容量型センサ、およびセンサシートの製造方法の実施の形態について説明する。以下の図（ただし、配置状態を示す図７、図８、図１２（ａ）、図１２（ｂ）を除く）においては、上下方向が本発明の「積層方向」に、水平方向のうち少なくとも一方向（積層方向に対して直交する方向）が、本発明の「面方向」に対応している。
【００１３】
＜第一実施形態＞
［センサシートの構成］
まず、本実施形態のセンサシートの構成について説明する。図１に、本実施形態のセンサシートの透過上面図を示す。図２に、図１のＩＩ−ＩＩ方向断面図を示す。図３に、図２の枠ＩＩＩ内の拡大図を示す。図４に、同センサシートの表側電極ユニットの分解斜視図を示す。図５に、同センサシートの裏側電極ユニットの分解斜視図を示す。なお、図１においては、裏側電極ユニットを点線で示す。
【００１４】
図１〜図５に示すように、センサシート１は、１６個の誘電層２と、表側電極ユニット３と、裏側電極ユニット４と、コネクタ５と、を備えている。コネクタ５は、本発明の「取出部」の概念に含まれる。無荷重状態（センサシート１（後述するように、センサ体の場合もある）を所定の配置面に配置する前の状態であって、センサシート１に荷重が加わっていない状態）においてセンサシート１は、平板状を呈している。
【００１５】
（誘電層２、表側電極ユニット３）
１６個の誘電層２は、各々、ウレタンフォーム製であって、個片状を呈している。図２、図３に示すように、表側電極ユニット３は、１６個の誘電層２の上側（積層方向一方）に配置されている。図４に示すように、表側電極ユニット３は、表側基材３０と、４本の表側配線層１ｘ〜４ｘと、表側絶縁層３１と、４本の表側電極層１Ｘ〜４Ｘと、１６個の表側拘束層３２と、を備えている。４本の表側電極層１Ｘ〜４Ｘは、本発明の「電極層」の概念に含まれる。１６個の表側拘束層３２は、本発明の「拘束層」の概念に含まれる。
【００１６】
表側基材３０は、例えば東レ・オペロンテックス株式会社製ライクラタフタ（「ライクラ」は、インヴィスタテクノロジーズエスエイアールエルの登録商標）のような、伸縮性を有するテキスタイル製であって、シート状を呈している。図４に示すように、表側基材３０の下側には、上側から下側（積層方向他方）に向かって、表側配線層１ｘ〜４ｘ、表側絶縁層３１、表側電極層１Ｘ〜４Ｘ、表側拘束層３２が配置されている。
【００１７】
表側絶縁層３１は、シート状を呈している。表側絶縁層３１は、ウレタンゴムと、アンチブロッキング剤としての酸化チタン粒子と、を含んでいる。図４に示すように、表側絶縁層３１には、４つの表側貫通孔３１０が穿設されている。４つの表側貫通孔３１０と、４本の表側電極層１Ｘ〜４Ｘと、は上下方向に対向している。図１に示すように、上側から見て、４つの表側貫通孔３１０は、左から２列目の裏側電極層２Ｙ（コネクタ５に最も近い裏側電極層）に重複するように、前後方向に並んでいる。
【００１８】
図４に示すように、４本の表側配線層１ｘ〜４ｘは、表側絶縁層３１の上面に配置されている。表側配線層１ｘ〜４ｘは、各々、第一配線層３３と、第二配線層３４と、を備えている。第一配線層３３は、表側基材３０の下面に形成されている。第一配線層３３は、アクリルゴムおよび銀粉末を含んでいる。第二配線層３４は、第一配線層３３の下面に形成されている。第二配線層３４は、アクリルゴムおよび導電性カーボンブラックを含んでいる。
【００１９】
４本の表側電極層１Ｘ〜４Ｘは、表側絶縁層３１の下面に配置されている。表側電極層１Ｘ〜４Ｘは、各々、アクリルゴムおよび導電性カーボンブラックを含んでいる。表側電極層１Ｘ〜４Ｘは、各々、左右方向に延在する帯状を呈している。表側電極層１Ｘ〜４Ｘは、前後方向に所定の間隔ずつ離間して、互いに平行に配置されている。
【００２０】
表側配線層１ｘ〜４ｘと、表側電極層１Ｘ〜４Ｘと、は表側貫通孔３１０を介して、電気的に接続されている。詳しくは、表側配線層１ｘは表側電極層１Ｘに、表側配線層２ｘは表側電極層２Ｘに、表側配線層３ｘは表側電極層３Ｘに、表側配線層４ｘは表側電極層４Ｘに、各々、電気的に接続されている。図１に黒点で示すように、上側から見て、表側接点（表側配線層１ｘ〜４ｘと、表側電極層１Ｘ〜４Ｘと、の接点）は、表側貫通孔３１０の径方向内側に配置されている。
【００２１】
図４に示すように、１６個の表側拘束層３２は、１６個の誘電層２の上面と、４本の表側電極層１Ｘ〜４Ｘの下面と、の間に配置されている。表側拘束層３２と誘電層２とは、１対１に対応するように、同数配置されている。
【００２２】
図３に示すように、表側拘束層３２は、拘束層本体３２０と、内側接着層３２１と、外側接着層３２２と、を備えている。拘束層本体３２０は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）製であって、個片状を呈している。拘束層本体３２０は、表側電極層１Ｘ〜４Ｘ、誘電層２よりも、水平方向に伸縮しにくい。内側接着層３２１の上面は、拘束層本体３２０の下面に固定されている。内側接着層３２１の下面は、誘電層２の上面に固定されている。外側接着層３２２の下面は、拘束層本体３２０の上面に固定されている。外側接着層３２２の上面は、表側電極層１Ｘ〜４Ｘの下面に固定されている。
【００２３】
（裏側電極ユニット４）
図２、図３に示すように、裏側電極ユニット４は、１６個の誘電層２の下側に配置されている。裏側電極ユニット４の構成は、表側電極ユニット３の構成と同じである。すなわち、図５に示すように、裏側電極ユニット４は、裏側基材４０と、４本の裏側配線層１ｙ〜４ｙと、裏側絶縁層４１と、４本の裏側電極層１Ｙ〜４Ｙと、１６個の裏側拘束層４２と、を備えている。４本の裏側電極層１Ｙ〜４Ｙは、本発明の「電極層」の概念に含まれる。１６個の裏側拘束層４２は、本発明の「拘束層」の概念に含まれる。
【００２４】
裏側基材４０と表側基材３０、裏側配線層１ｙ〜４ｙと表側配線層１ｘ〜４ｘ、裏側絶縁層４１と表側絶縁層３１、裏側電極層１Ｙ〜４Ｙと表側電極層１Ｘ〜４Ｘ、裏側拘束層４２と表側拘束層３２は、各々、材質が同じである。
【００２５】
図４、図５に示すように、裏側電極ユニット４の積層構造（上下方向の配置）は、表側電極ユニット３の積層構造と、上下対称である。すなわち、図５に示すように、裏側基材４０の上側には、下側から上側に向かって、裏側配線層１ｙ〜４ｙ、裏側絶縁層４１、裏側電極層１Ｙ〜４Ｙ、裏側拘束層４２が配置されている。
【００２６】
図５に示すように、裏側絶縁層４１には、４つの裏側貫通孔４１０が穿設されている。４つの裏側貫通孔４１０と、４本の裏側電極層１Ｙ〜４Ｙと、は上下方向に対向している。図１に示すように、上側から見て、４つの裏側貫通孔４１０は、前から１列目の表側電極層１Ｘ（コネクタ５に最も近い表側電極層）に重複するように、左右方向に並んでいる。
【００２７】
図５に示すように、裏側配線層１ｙ〜４ｙは、各々、第一配線層４３と、第二配線層４４と、を備えている。裏側電極層１Ｙ〜４Ｙは、各々、前後方向に延在する帯状を呈している。裏側電極層１Ｙ〜４Ｙは、左右方向に所定の間隔ずつ離間して、互いに平行に配置されている。
【００２８】
裏側配線層１ｙ〜４ｙと、裏側電極層１Ｙ〜４Ｙと、は裏側貫通孔４１０を介して、電気的に接続されている。詳しくは、裏側配線層１ｙは裏側電極層１Ｙに、裏側配線層２ｙは裏側電極層２Ｙに、裏側配線層３ｙは裏側電極層３Ｙに、裏側配線層４ｙは裏側電極層４Ｙに、各々、電気的に接続されている。図１に黒点で示すように、上側から見て、裏側接点（裏側配線層１ｙ〜４ｙと、裏側電極層１Ｙ〜４Ｙと、の接点）は、裏側貫通孔４１０の径方向内側に配置されている。
【００２９】
（コネクタ５）
図１に示すように、コネクタ５は、センサシート１の前側に配置されている。コネクタ５には、表側配線層１ｘ〜４ｘと、裏側配線層１ｙ〜４ｙと、が互いに絶縁を確保された状態で、電気的に接続されている。
【００３０】
（検出部、非検出部、表側検出経路、裏側検出経路）
図１に示すように、上側から見て、表側電極層１Ｘ〜４Ｘと、裏側電極層１Ｙ〜４Ｙと、は格子状に並んでいる。図１に実線ハッチングで示すように、表側電極層１Ｘ〜４Ｘと裏側電極層１Ｙ〜４Ｙとの重複部分には、合計１６個の検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）が設定されている。なお、検出部Ａ（○，△）のうち、「○」は表側電極層１Ｘ〜４Ｘに、「△」は裏側電極層１Ｙ〜４Ｙに、各々対応している。
【００３１】
図１に一点鎖線ハッチング（密）で示すように、検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）の間には、非検出部Ｇが配置されている。図２、図３に示すように、非検出部Ｇには、複数の空間ｇが区画されている。空間ｇは、表側絶縁層３１と裏側電極層１Ｙ〜４Ｙとの間（例えば、図１の点Ｐ１）、表側電極層１Ｘ〜４Ｘと裏側絶縁層４１との間（例えば、図１の点Ｐ２）、表側絶縁層３１と裏側絶縁層４１との間（例えば、図１の点Ｐ３）に配置されている。空間ｇは、水平方向（前後方向、左右方向、前後方向および左右方向に対して斜め方向）に隣り合う任意の一対の検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）間に配置されている。空間ｇは、例えば、検出部Ａ（１，１）と検出部Ａ（１，２）との間、検出部Ａ（１，１）と検出部Ａ（２，１）との間、検出部Ａ（１，１）と検出部Ａ（２，２）との間に配置されている。
【００３２】
任意の検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）とコネクタ５との間には、表側検出経路が設定されている。表側検出経路は、少なくとも表側配線層１ｘ〜４ｘを経由している。例えば、図１に太実線で示すように、検出部Ａ（１，１）とコネクタ５との間には、表側電極層１Ｘの一部と表側配線層１ｘとを経由する、表側検出経路Ｂが設定されている。
【００３３】
同様に、任意の検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）とコネクタ５との間には、裏側検出経路が設定されている。裏側検出経路は、少なくとも裏側配線層１ｙ〜４ｙを経由している。例えば、図１に太点線で示すように、検出部Ａ（１，１）とコネクタ５との間には、裏側配線層１ｙだけを経由する、裏側検出経路Ｃが設定されている。
【００３４】
（感圧エリア、不感エリア）
表側電極層１Ｘ〜４Ｘと裏側電極層１Ｙ〜４Ｙとが配置されているエリア（検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）、非検出部Ｇが配置されているエリア）は、荷重を検出可能な感圧エリアＤである。一方、図１に一点鎖線ハッチング（疎）で示すように、表側電極層１Ｘ〜４Ｘと裏側電極層１Ｙ〜４Ｙとが配置されていないエリア（コネクタ５と、表側配線層１ｘ〜４ｘの一部と、裏側配線層１ｙ〜４ｙの一部と、が配置されているエリア）は、荷重を検出不可能な不感エリアＥである。不感エリアＥは、感圧エリアＤを、水平方向外側から、枠状に囲んでいる。
【００３５】
［センサシートの製造方法］
次に、本実施形態のセンサシートの製造方法について説明する。本実施形態のセンサシートの製造方法は、積層体作製工程と、裏側電極ユニット貼着工程と、表側電極ユニット貼着工程と、コネクタ装着工程と、を有している。
【００３６】
図６（ａ）に、積層体の上下方向断面図を示す。図６（ｂ）に、積層体（裏側離型基材なし）と裏側電極ユニットとの合体物の上下方向断面図を示す。図６（ｃ）に、積層体（裏側離型基材、表側離型基材なし）と裏側電極ユニットと表側電極ユニットとの合体物の上下方向断面図を示す。
【００３７】
図６（ａ）に示すように、積層体Ｈは、１６個の誘電層２と、１６個の表側拘束層３２と、１６個の裏側拘束層４２と、１枚の表側離型基材３５と、１枚の裏側離型基材４５と、を備えている。表側離型基材３５、裏側離型基材４５は、各々、本発明の「離型基材」の概念に含まれる。表側離型基材３５、裏側離型基材４５は、各々、ＰＥＴ製である。
【００３８】
積層体作製工程においては、積層体Ｈを作製する。具体的には、まず、誘電層２の上面に、表側拘束層３２の内側接着層３２１を貼着する。並びに、誘電層２の下面に、裏側拘束層４２の内側接着層４２１を貼着する。次に、表側離型基材３５の下面に、表側拘束層３２の外側接着層３２２を仮貼着する。並びに、裏側離型基材４５の上面に、裏側拘束層４２の外側接着層４２２を仮貼着する。このようにして、単一の積層体Ｈを作製する。積層体Ｈにおいては、図１に示すセンサシート１の１６個の検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）に対応して、１６個の「表側拘束層３２−誘電層２−裏側拘束層４２」ユニットが、配置されている。
【００３９】
裏側電極ユニット貼着工程においては、図６（ｂ）に示すように、まず、外側接着層４２２から裏側離型基材４５を剥がす。次に、予め作製済みの裏側電極ユニット４（裏側拘束層４２以外の部分）の上面に、外側接着層４２２を貼着する。同様に、表側電極ユニット貼着工程においては、図６（ｃ）に示すように、まず、外側接着層３２２から表側離型基材３５を剥がす。次に、予め作製済みの表側電極ユニット３（表側拘束層３２以外の部分）の下面に、外側接着層３２２を貼着する。コネクタ装着工程においては、図１に示すコネクタ５を、図６（ｃ）に示す積層体Ｈと裏側電極ユニット４と表側電極ユニット３との合体物に、接続する。なお、裏側電極ユニット貼着工程と表側電極ユニット貼着工程との時系列的な順序は、逆であっても（あるいは同時でも）よい。
【００４０】
［センサシートの配置方法］
次に、本実施形態のセンサシートの配置方法について説明する。図７に、配置状態における本実施形態のセンサシートの上下方向断面図を示す。図８に、図７の枠ＶＩＩＩ内の拡大図を示す。なお、図７は、図２に対応している。図８は、図３に対応している。
【００４１】
図７に示すように、配置対象物９の配置面９０は、上側に突出する曲面状を呈している。センサシート１は、配置面９０に固定されている。ここで、配置面９０の形状（曲面状）は、無荷重状態におけるセンサシート１の下面（配置面）の形状（平面状）と、異なる。このため、センサシート１は、配置面９０の形状に追従して、平板状から上側に突出する曲板状に、変形している。センサシート１のコネクタ５には、制御部６が接続されている。
【００４２】
センサシート１を配置面９０に配置する際、センサシート１は、配置面９０の形状に追従して変形する。センサシート１の変形に伴って、センサシート１の上面（曲率中心から遠い方の面）には、図８に矢印Ｙ１で示すように、引張応力が発生する。一方、センサシート１の下面（曲率中心に近い方の面）には、図８に矢印Ｙ２で示すように、圧縮応力が発生する。このため、表側電極ユニット３には引張応力が、裏側電極ユニット４には圧縮応力が、各々発生する。
【００４３】
ここで、非検出部Ｇには、複数の空間ｇが区画されている。このため、引張応力が発生すると、表側電極ユニット３（表側電極ユニット３のうち、非検出部Ｇを形成している部分）は、面方向に伸張しやすい。並びに、圧縮応力が発生すると、裏側電極ユニット４（裏側電極ユニット４のうち、非検出部Ｇを形成している部分）は、面方向に収縮しやすい（撓みやすい）。したがって、センサシート１を配置面９０に配置する際、センサシート１の変形に追従して、検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）に優先して、非検出部Ｇを変形させることができる。
【００４４】
また、検出部Ａ（１，４）〜Ａ（４，４）には、各々、表側拘束層３２および裏側拘束層４２が配置されている。このため、引張応力が発生しても、表側電極層１Ｘ〜４Ｘ（表側電極層１Ｘ〜４Ｘのうち、検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）を形成している部分）は、面方向に伸張しにくい。並びに、圧縮応力が発生しても、裏側電極層２Ｙは、面方向に収縮しにくい。したがって、センサシート１を配置面９０に配置する際、検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）の電極面積、つまり静電容量が変化するのを、抑制することができる。
【００４５】
［センサシートの動き］
次に、本実施形態のセンサシートの動きについて説明する。まず、センサシート１に荷重を加える前に、表側電極層１Ｘ〜４Ｘおよび裏側電極層１Ｙ〜４Ｙに電圧を印加し、検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）ごとに静電容量を算出する。続いて、センサシート１に荷重を加えた後も同様に、検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）ごとに静電容量を算出する。荷重が加わった部分の検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）においては、表側電極層１Ｘ〜４Ｘと裏側電極層１Ｙ〜４Ｙとの距離（電極間距離）が小さくなる。このため、当該検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）の静電容量が大きくなる。この静電容量の変化量に基づいて、制御部６は、検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）ごとに、荷重を検出する。すなわち、制御部６は、感圧エリアＤにおける荷重分布を測定する。
【００４６】
［静電容量型センサの構成］
次に、本実施形態の静電容量型センサの構成について説明する。図９（ａ）、図９（ｂ）に、図１に示すセンサシートから切り取られたセンサ体（その１、その２）を備える静電容量型センサの透過上面図を示す。なお、表側配線層１ｘ〜４ｘ、表側電極層１Ｘ〜４Ｘを実線で、裏側配線層１ｙ〜４ｙ、裏側電極層１Ｙ〜４Ｙを点線で、表側接点および裏側接点を黒点で、各々示す。
【００４７】
図９（ａ）に示すように、静電容量型センサ７は、センサシート１から切り取られた帯状のセンサ体Ｆと、制御部６と、を備えている。センサ体Ｆは、検出部Ａ（１，１）〜Ａ（１，４）と、コネクタ５と、検出部Ａ（１，１）〜Ａ（１，４）用の表側検出経路および裏側検出経路と、を備えている。制御部６は、コネクタ５に電気的に接続されている。制御部６は、感圧エリアＤにおける荷重分布を測定する。
【００４８】
図９（ｂ）に示すように、静電容量型センサ７は、センサシート１から切り取られた階段状のセンサ体Ｆと、制御部６と、を備えている。センサ体Ｆは、検出部Ａ（１，１）〜Ａ（１，４）、Ａ（２，１）〜Ａ（２，３）、Ａ（３，２）、Ａ（３，３）、Ａ（４，２）と、コネクタ５と、検出部Ａ（１，１）〜Ａ（１，４）、Ａ（２，１）〜Ａ（２，３）、Ａ（３，２）、Ａ（３，３）、Ａ（４，２）用の表側検出経路および裏側検出経路と、を備えている。検出部Ａ（１，４）、Ａ（４，２）は、各々、一部が切り取られている。制御部６は、検出部Ａ（１，４）を構成する表側電極層１Ｘの一部、裏側電極層４Ｙの一部の電極面積に応じて、検出部Ａ（１，４）の静電容量に関する電気量（例えば、電圧、電流など）を、補正する。同様に、制御部６は、検出部Ａ（４，２）を構成する表側電極層４Ｘの一部、裏側電極層２Ｙの一部の電極面積に応じて、検出部Ａ（４，２）の静電容量に関する電気量を、補正する。なお、静電容量型センサ７の配置方法、動きは、上述したセンサシート１の配置方法、動きと、同様である。
【００４９】
［作用効果］
次に、本実施形態のセンサシート、静電容量型センサ、およびセンサシートの製造方法の作用効果について説明する。図２、図３に示すように、本実施形態のセンサシート１の非検出部Ｇには、複数の空間ｇが区画されている。このため、図７、図８に示すように、配置対象物９の配置面９０にセンサシート１を配置する際、配置面９０の形状に追従して、検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）に優先して、非検出部Ｇを変形させることができる。したがって、センサシート１の配置状態（センサシート１が配置面９０に配置された状態）により検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）が変形するのを抑制することができる。よって、センサシート１の配置状態により検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）の静電容量が変化するのを、抑制することができる。
【００５０】
また、図４に示すように、本実施形態のセンサシート１によると、検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）には、各々、表側拘束層３２が配置されている。表側拘束層３２は、誘電層２および表側電極層１Ｘ〜４Ｘ（表側電極層１Ｘ〜４Ｘのうち、検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）を形成している部分）に固定されている。このため、センサシート１を配置面９０に配置する際、表側電極層１Ｘ〜４Ｘ、誘電層２の面方向の伸縮を規制することができる。したがって、センサシート１の配置状態により検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）の電極面積、つまり静電容量が変化するのを、抑制することができる。
【００５１】
同様に、図５に示すように、本実施形態のセンサシート１によると、検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）には、各々、裏側拘束層４２が配置されている。裏側拘束層４２は、誘電層２および裏側電極層１Ｙ〜４Ｙ（裏側電極層１Ｙ〜４Ｙのうち、検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）を形成している部分）に固定されている。このため、センサシート１を配置面９０に配置する際、裏側電極層１Ｙ〜４Ｙ、誘電層２の面方向の伸縮を規制することができる。したがって、センサシート１の配置状態により検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）の電極面積、つまり静電容量が変化するのを、抑制することができる。
【００５２】
また、図４、図５に示すように、１６個の誘電層２は、１６個の検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）に対して、個別に配置されている。また、図２に示すように、空間ｇは、隣り合う任意の一対の検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）の間に配置されている。このため、使用時に、例えば、検出部Ａ（２，２）だけに荷重が加わり当該検出部Ａ（２，２）が変形しても、隣り合う検出部Ａ（１，２）、Ａ（３，２）、Ａ（２，１）、Ａ（２，３）、Ａ（１，１）、Ａ（１，３）、Ａ（３，１）、Ａ（３，３）が、当該変形の影響を受けにくい。したがって、荷重分布の検出精度が高い。
【００５３】
また、表側拘束層３２は、接着性を有する内側接着層３２１を備えている。このため、拘束層本体３２０と、誘電層２と、を簡単に貼り合わせることができる。また、表側拘束層３２は、接着性を有する外側接着層３２２を備えている。このため、拘束層本体３２０と、表側電極層１Ｘ〜４Ｘと、を簡単に貼り合わせることができる。
【００５４】
同様に、裏側拘束層４２は、接着性を有する内側接着層４２１を備えている。このため、拘束層本体４２０と、誘電層２と、を簡単に貼り合わせることができる。また、裏側拘束層４２は、接着性を有する外側接着層４２２を備えている。このため、拘束層本体４２０と、裏側電極層１Ｙ〜４Ｙと、を簡単に貼り合わせることができる。
【００５５】
また、図２に示す無荷重状態において、非検出部Ｇ（空間ｇが区画されている部分）の水平方向のばね定数を１として、検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）の水平方向のばね定数は、２以上５００００以下に設定されている。このため、非検出部Ｇに対して、検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）は、水平方向に伸縮しにくい。したがって、水平方向に伸縮しても、電極面積が変化するのを、抑制することができる。
【００５６】
なお、検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）の水平方向のばね定数を２以上としたのは、検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）における表側電極層１Ｘ〜４Ｘ、裏側電極層１Ｙ〜４Ｙの伸びによる電極面積変化（すなわち静電容量変化）が許容できる範囲だからである。例えば、表側拘束層３２、裏側拘束層４２を粘着性テープ製とすることにより、上記ばね定数を実現することができる。
【００５７】
一方、水平方向のばね定数を５００００以下としたのは、検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）に触れた際の触感が悪化することや、センサシート１に不具合が発生するのを抑制するためである。例えば、表側拘束層３２、裏側拘束層４２を薄層のＰＥＴフィルム製とすることにより、上記ばね定数を実現することができる。
【００５８】
また、図１、図９（ａ）、図９（ｂ）に示すように、センサシート１は、センサ体Ｆを確保しながら、切断することができる。特に、センサシート１を、非検出部Ｇに沿って切断する場合、非検出部Ｇには空間ｇが区画されている。このため、小さな切断力で、センサシート１を切断することができる。また、非検出部Ｇには、表側拘束層３２、裏側拘束層４２が配置されていない。この点においても、小さな切断力で、センサシート１を切断することができる。
【００５９】
また、図９（ａ）、図９（ｂ）に示すように、センサ体Ｆは、少なくとも一つの検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）と、コネクタ５と、当該検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）用の表側検出経路Ｂおよび裏側検出経路Ｃ（図１参照）と、を備えている。このため、所定の形状等のセンサシート１（共用かつ定形のセンサシート１）から、任意の形状のセンサ体Ｆ、つまり静電容量型センサ７を、切り取ることができる。したがって、形状等が異なる複数の静電容量型センサ７が必要な場合であっても、所望の静電容量型センサ７の形状等に応じて、逐一、当該静電容量型センサ７専用の部材（例えば、印刷により静電容量型センサ７を作製する場合は印刷用の版、成形により静電容量型センサ７を作製する場合は成形用の金型など）を設計、作製する必要がない。すなわち、所望の静電容量型センサ７の形状等に応じて、センサシート１からセンサ体Ｆを切り取るだけで済む。このため、静電容量型センサ７の製造コストを削減することができる。特に、少量多品種の静電容量型センサ７を製造する場合、あるいは静電容量型センサ７の試作品を製造する場合、製造コストを削減することができる。
【００６０】
また、図１、図２、図４、図５に示すように、本実施形態のセンサシート１によると、表側配線層１ｘ〜４ｘは、表側貫通孔３１０を介して、上側から表側電極層１Ｘ〜４Ｘに接続されている。同様に、裏側配線層１ｙ〜４ｙは、裏側貫通孔４１０を介して、下側から裏側電極層１Ｙ〜４Ｙに接続されている。このため、図９（ａ）、図９（ｂ）に示すように、切り取り後のセンサ体Ｆにおいて、検出不可能な検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）が発生しにくい。したがって、センサ体Ｆの切り取り形状の自由度を高くすることができる。
【００６１】
また、図２に示すように、本実施形態のセンサシート１によると、表側絶縁層３１を挟んで、表側配線層１ｘ〜４ｘと、表側電極層１Ｘ〜４Ｘと、を上下方向に重複して配置することができる。同様に、裏側絶縁層４１を挟んで、裏側配線層１ｙ〜４ｙと、裏側電極層１Ｙ〜４Ｙと、を上下方向に重複して配置することができる。このため、図１に示すように、センサシート１全体に占める不感エリアＥの割合（面積の割合）を小さくすることができる。すなわち、図９（ａ）、図９（ｂ）に示すように、切り取り後のセンサ体Ｆ全体に占める不感エリアＥの割合を小さくすることができる。
【００６２】
また、図９（ｂ）に示すように、本実施形態の静電容量型センサ７によると、切り取り後のセンサ体Ｆが、部分的に切り取られた検出部Ａ（１，４）、Ａ（４，２）を有する場合、制御部６は、検出部Ａ（１，４）、Ａ（４，２）の静電容量に関する電気量を、補正することができる。このため、荷重分布の検出精度を高くすることができる。
【００６３】
また、図６（ａ）〜図６（ｃ）に示すように、本実施形態のセンサシート１の製造方法は、積層体作製工程を有している。積層体Ｈは、１６個の誘電層２と、１６個の表側拘束層３２と、１６個の裏側拘束層４２と、１枚の表側離型基材３５と、１枚の裏側離型基材４５と、を備えている。このため、１６個の誘電層２と、１６個の表側拘束層３２と、１６個の裏側拘束層４２と、を一体的に取り扱うことができる。したがって、１６個の誘電層２、１６個の表側拘束層３２、１６個の裏側拘束層４２のハンドリングが簡単である。また、表側離型基材３５および裏側離型基材４５は、共にＰＥＴ製（樹脂製）である。このため、剛性が高い。したがって、ハンドリング時に積層体Ｈが変形しにくい。
【００６４】
＜第二実施形態＞
本実施形態のセンサシート、静電容量型センサ、およびセンサシートの製造方法と、第一実施形態のセンサシート、静電容量型センサ、およびセンサシートの製造方法と、の相違点は、表側拘束層、裏側拘束層、誘電層が、各々、検出部のみならず非検出部にも配置されている点である。ここでは、相違点についてのみ説明する。
【００６５】
図１０に、本実施形態のセンサシートの非検出部付近の上下方向断面図を示す。なお、図３と対応する部位については、同じ符号で示す。図１０に示すように、隣り合う一対の検出部Ａ（２，２）、Ａ（３，２）間の非検出部Ｇには、上下方向に亘って、複数の空間ｇが区画されている。
【００６６】
誘電層２は、複数の検出部層２０と、複数の非検出部層２１と、を備えている。検出部層２０は、検出部Ａ（２，２）、Ａ（３，２）に配置されている。非検出部層２１は、非検出部Ｇに配置されている。非検出部層２１は、隣り合う一対の検出部層２０を連結している。非検出部層２１は、検出部層２０よりも、上下方向肉厚が薄い。また、無荷重状態において、非検出部層２１の上下方向両側には、一対の空間ｇが区画されている。非検出部層２１は、検出部層２０よりも、剛性が低い。
【００６７】
同様に、表側拘束層３２は、複数の検出部層３２ａと、複数の非検出部層３２ｂと、を備えている。並びに、裏側拘束層４２は、複数の検出部層４２ａと、複数の非検出部層４２ｂと、を備えている。検出部層３２ａ、４２ａの構成と、検出部層２０の構成と、は同様である。非検出部層３２ｂ、４２ｂの構成と、非検出部層２１の構成と、は同様である。
【００６８】
本実施形態のセンサシート、静電容量型センサ、およびセンサシートの製造方法と、第一実施形態のセンサシート、静電容量型センサ、およびセンサシートの製造方法とは、構成が共通する部分に関しては、同様の作用効果を有する。また、本実施形態のセンサシートによると、誘電層２、表側拘束層３２、裏側拘束層４２が、各々、一体物である。このため、部品点数が少なくて済む。また、センサシート製造時において、誘電層２、表側拘束層３２、裏側拘束層４２のハンドリングが簡単である。
【００６９】
＜第三実施形態＞
本実施形態のセンサシート、静電容量型センサ、およびセンサシートの製造方法と、第一実施形態のセンサシート、静電容量型センサ、およびセンサシートの製造方法と、の相違点は、表側配線層、裏側配線層の構成のみである。ここでは、相違点についてのみ説明する。
【００７０】
図１１に、本実施形態のセンサシートの透過上面図を示す。なお、図１と対応する部位については、同じ符号で示す。図１１に示すように、センサシート１の表側配線層１ｘ〜４ｘ、裏側配線層１ｙ〜４ｙは、不感エリアＥに配置されている。表側配線層１ｘ〜４ｘは、表側電極層１Ｘ〜４Ｘの左端に接続されている。また、裏側配線層１ｙ〜４ｙは、裏側電極層１Ｙ〜４Ｙの前端に接続されている。
【００７１】
本実施形態のセンサシート、静電容量型センサ、およびセンサシートの製造方法と、第一実施形態のセンサシート、静電容量型センサ、およびセンサシートの製造方法とは、構成が共通する部分に関しては、同様の作用効果を有する。本実施形態のセンサシート１のように、表側電極層１Ｘ〜４Ｘおよび裏側電極層１Ｙ〜４Ｙと、表側配線層１ｘ〜４ｘおよび裏側配線層１ｙ〜４ｙと、を面方向にずらして配置してもよい。
【００７２】
＜その他＞
以上、本発明のセンサシート、静電容量型センサ、およびセンサシートの製造方法の実施の形態について説明した。しかしながら、実施の形態は上記形態に特に限定されるものではない。当業者が行いうる種々の変形的形態、改良的形態で実施することも可能である。
【００７３】
図１２（ａ）に、その他の実施形態（その１）のセンサシートの配置状態図を示す。図１２（ｂ）に、その他の実施形態（その２）のセンサシートの配置状態図を示す。図１２（ａ）に示すように、配置面９０の形状は特に限定しない。配置面９０が曲面状の場合、曲率中心が、センサシート１の上側にあっても、下側にあってもよい。また、配置面９０の途中で曲率が変化してもよい。また、配置面９０は、前後方向（裏側電極層１Ｙ〜４Ｙの延在方向）に沿って上下方向に湾曲しているものの、左右方向（表側電極層１Ｘ〜６Ｘの延在方向）に沿って上下方向に湾曲していない。この場合、図１２（ａ）に一点鎖線ハッチングで示すように、前後方向に隣り合う一対の検出部の間にだけ、空間ｇを配置してもよい。同様に、配置面９０が左右方向に沿って上下方向に湾曲しているものの、前後方向に沿って上下方向に湾曲していない場合は、左右方向に隣り合う一対の検出部の間にだけ、空間ｇを配置してもよい。
【００７４】
図１２（ｂ）に示すように、配置面９０に角部Ｉが配置されていてもよい。この場合、センサシート１のうち、角部Ｉに対応する部分だけに、拘束層（表側拘束層３２、裏側拘束層４２）および空間ｇのうち、少なくとも一方を配置してもよい。
【００７５】
図１、図１１に示すセンサシート１、図９（ａ）、図９（ｂ）に示すセンサ体Ｆは、表側拘束層３２および裏側拘束層４２のうち、少なくとも一方を備えていればよい。同様に、図１、図１１に示すセンサシート１、図９（ａ）、図９（ｂ）に示すセンサ体Ｆは、表側電極ユニット３および裏側電極ユニット４のうち少なくとも一方に、空間ｇを備えていればよい。
【００７６】
図２、図３に示す無荷重状態のセンサシート１、センサ体Ｆの形状は特に限定しない。平板状、曲板状であってもよい。同様に、図７、図８に示す配置状態のセンサシート１、センサ体Ｆの形状は特に限定しない。平板状、曲板状であってもよい。また、センサシート１、センサ体Ｆを配置面９０に配置する際（無荷重状態から配置状態に切り替わる際）に、センサシート１、センサ体Ｆが面方向に伸縮してもよい。例えば、図２に示す無荷重状態に対して、水平方向に伸張あるいは収縮した状態を、配置状態としてもよい。この場合であっても、センサシート１、センサ体Ｆの検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）が変形するのを抑制することができる。このため、検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）の静電容量が変化するのを、抑制することができる。なお、センサシート１、センサ体Ｆを配置面９０に配置する際に、センサシート１、センサ体Ｆの形状が全く変化しなくてもよい。
【００７７】
表側拘束層３２は、図２に示す表側絶縁層３１と、表側電極層１Ｘ〜４Ｘと、の間に配置してもよい。この場合であっても、表側電極層１Ｘ〜４Ｘの水平方向の伸縮を規制することができる。同様に、裏側拘束層４２は、図２に示す裏側絶縁層４１と、裏側電極層１Ｙ〜４Ｙと、の間に配置してもよい。この場合であっても、裏側電極層１Ｙ〜４Ｙの水平方向の伸縮を規制することができる。
【００７８】
表側拘束層３２は、内側接着層３２１、外側接着層３２２を備えていなくてもよい。例えば、表側拘束層３２の下面や上面にスリップ抑制部（凹凸形状、エンボス形状など）を設け、摩擦力により、誘電層２や表側電極層１Ｘ〜４Ｘの伸縮を規制してもよい。裏側拘束層４２についても同様である。
【００７９】
図９（ａ）、図９（ｂ）に示すセンサ体Ｆは、センサシート１を切断することにより作製される。「切断」には、「センサシート１からセンサ体Ｆを切り取る（切り離す）形態」が含まれる。すなわち、切断前のセンサシート１の面積よりも、切断後のセンサ体Ｆの面積の方が、小さい形態が含まれる。また、「切断」には、「センサシート１にスリットを入れる形態（センサシート１からセンサ体Ｆを切り取らない（切り離さない）形態」が含まれる。すなわち、切断前のセンサシート１の面積と、切断後のセンサ体Ｆの面積と、が等しい形態が含まれる。
【００８０】
センサシート１の構成部材（例えば、誘電層２、表側基材３０、表側配線層１ｘ〜４ｘ、表側絶縁層３１、表側電極層１Ｘ〜４Ｘ、表側拘束層３２、裏側基材４０、裏側配線層１ｙ〜４ｙ、裏側絶縁層４１、裏側電極層１Ｙ〜４Ｙ、裏側拘束層４２など）の形状、位置、配置数は特に限定しない。
【００８１】
例えば、図１に示す表側電極層１Ｘ〜４Ｘの配置数と、裏側電極層１Ｙ〜４Ｙの配置数と、が異なっていてもよい。表側電極層１Ｘ〜４Ｘの形状、面積等と、裏側電極層１Ｙ〜４Ｙの形状、面積等と、が異なっていてもよい。表側電極層１Ｘ〜４Ｘと裏側電極層１Ｙ〜４Ｙとの交差方向は、特に限定しない。
【００８２】
また、図１に示す検出部Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）の配置数、形状、面積等は特に限定しない。切断可能なセンサ体Ｆ（図９（ａ）、図９（ｂ）参照）の形状を示す切取線を、センサシート１の表面や裏面に、配置してもよい。切断後のセンサ体Ｆの外縁には、切断跡が残っている場合がある。当該切断跡を観察することにより、当該センサ体Ｆがセンサシート１から切り取られたことを、確認することができる。
【００８３】
センサシート１の製造方法（各層の積層方法）は特に限定しない。例えば、各種印刷法（例えば、スクリーン印刷、インクジェット印刷、フレキソ印刷、グラビア印刷、パッド印刷、リソグラフィー、転写法など）を用いて、各層を積層してもよい。
【００８４】
表側電極層１Ｘ〜４Ｘ、表側配線層１ｘ〜４ｘ、裏側電極層１Ｙ〜４Ｙ、裏側配線層１ｙ〜４ｙは、柔軟で伸縮性を有するという観点から、エラストマーおよび導電材を含んで構成してもよい。
【００８５】
表側基材３０、裏側基材４０、表側拘束層３２、裏側拘束層４２としては、ＰＥＴ、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリイミド、ポリエチレンなどの樹脂フィルム、エラストマーシート、テキスタイル（織物、編物、布地）などが好適である。
【００８６】
誘電層２としては、比誘電率が比較的大きいエラストマーまたは樹脂を用いるとよい（発泡体を含む）。例えば、比誘電率が５以上（測定周波数１００Ｈｚ）のものが好適である。このようなエラストマーとしては、ウレタンゴム、シリコーンゴム、ニトリルゴム、水素化ニトリルゴム、アクリルゴム、天然ゴム、イソプレンゴム、エチレン−プロピレン共重合ゴム、ブチルゴム、スチレン−ブタジエンゴム、フッ素ゴム、エピクロルヒドリンゴム、クロロプレンゴム、塩素化ポリエチレン、クロロスルホン化ポリエチレンなどが挙げられる。また、樹脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリウレタン、ポリスチレン(架橋発泡ポリスチレンを含む)、ポリ塩化ビニル、塩化ビニリデン共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−酢酸ビニル−アクリル酸エステル共重合体などが挙げられる。表側絶縁層３１、裏側絶縁層４１の材質についても同様である。
【００８７】
本発明のセンサシート、静電容量型センサの用途は、特に限定しない。例えば、ロボットの所望の部分（アーム部など）に巻装することにより、巻装部分の荷重分布を測定することができる。また、インソールセンサとして靴底に敷設することにより、足裏の荷重分布を測定することができる。
【符号の説明】
【００８８】
１：センサシート、１Ｘ〜４Ｘ：表側電極層（電極層）、１Ｙ〜４Ｙ：裏側電極層（電極層）、１ｘ〜４ｘ：表側配線層、１ｙ〜４ｙ：裏側配線層、２：誘電層、３：表側電極ユニット、４：裏側電極ユニット、５：コネクタ（取出部）、６：制御部、７：静電容量型センサ、９：配置対象物、２０：検出部層、２１：非検出部層、３０：表側基材、３１：表側絶縁層、３２：表側拘束層（拘束層）、３２ａ：検出部層、３２ｂ：非検出部層、３３：第一配線層、３４：第二配線層、３５：表側離型基材（離型基材）、４０：裏側基材、４１：裏側絶縁層、４２：裏側拘束層（拘束層）、４２ａ：検出部層、４２ｂ：非検出部層、４３：第一配線層、４４：第二配線層、４５：裏側離型基材（離型基材）、９０：配置面、３１０：表側貫通孔、３２０：拘束層本体、３２１：内側接着層、３２２：外側接着層、４１０：裏側貫通孔、４２０：拘束層本体、４２１：内側接着層、４２２：外側接着層、Ａ（１，１）〜Ａ（４，４）：検出部、Ｂ：表側検出経路、Ｃ：裏側検出経路、Ｄ：感圧エリア、Ｅ：不感エリア、Ｆ：センサ体、Ｇ：非検出部、Ｈ：積層体、Ｉ：角部、ｇ：空間
【図１】
2019011982.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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