(57)【要約】【課題】  凹凸基板の上に高温ＡｌＮバッファ層を成膜することのできるIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法を提供することである。【解決手段】  この製造方法は、主面に凹凸形状部を有する基板１１０を準備する凹凸基板準備工程と、基板１１０の凹凸形状部の上にＡｌ層を成膜するＡｌ層成膜工程と、Ａｌ層を窒化するとともにバッファ層１２０を形成するＡｌＮバッファ層形成工程と、バッファ層１２０の上にIII 族窒化物半導体層を形成する半導体層形成工程と、を有する。Ａｌ層成膜工程では、炉内の内圧を１ｋＰａ以上１９ｋＰａ以下にするとともに基板１１０の温度を９００℃以上１５００℃以下とし、Ａｌを含有する有機金属ガスを１．５×１０-4ｍｏｌ／ｍｉｎ以上の供給速度で供給する。【選択図】図５
2019040962.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
主面に凹凸形状部を有する凹凸基板を準備する凹凸基板準備工程と、
前記凹凸基板の前記凹凸形状部の上にＡｌ層を成膜するＡｌ層成膜工程と、
前記Ａｌ層を窒化するとともにＡｌＮバッファ層を形成するＡｌＮバッファ層形成工程と、
前記ＡｌＮバッファ層の上にIII 族窒化物半導体層を形成する半導体層形成工程と、
を有し、
前記Ａｌ層成膜工程では、
炉内の内圧を１ｋＰａ以上１９ｋＰａ以下にするとともに前記凹凸基板の温度を９００℃以上１５００℃以下とし、
Ａｌを含有する有機金属ガスを１．５×１０-4ｍｏｌ／ｍｉｎ以上の供給速度で供給すること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記半導体層形成工程では、
前記III 族窒化物半導体層をファセット成長させること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記凹凸基板を支持するサセプターを備える気相成長装置を用い、
前記Ａｌ層成膜工程では、
前記気相成長装置の前記サセプターの位置におけるガスの流れる方向に垂直な断面の断面積あたりの前記有機金属ガスの流量は、
１．５×１０-6ｍｏｌ／（ｍｉｎ・ｃｍ2 ）以上１５×１０-6ｍｏｌ／（ｍｉｎ・ｃｍ2 ）以下であること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本明細書の技術分野は、III 族窒化物半導体発光素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来技術においては、III 族窒化物半導体発光素子を製造する際には、サファイア基板の上にＡｌＮまたはＧａＮから成る低温バッファ層を成膜する。そして、低温バッファ層の上にＧａＮ層等のIII 族窒化物半導体層を成膜する。
【０００３】
このように低温バッファ層を成膜してその上に半導体層を成長させる場合には、低温バッファ層を成膜した後に基板温度をIII 族窒化物半導体層の成長に好適な１０００℃以上に上昇させる。このとき、基板の温度上昇の過程で低温バッファ層が熱応力を受ける。これにより、低温バッファ層の品質が悪くなるおそれがある（特許文献１の段落［０００８］参照）。また、基板温度を上昇させるために時間を要する。
【０００４】
そこで、高温バッファ層を形成する技術が開発されてきている。特許文献１には、Ａｌ原料の供給を開始した後、Ｎ原料を間欠的に供給するとともにＡｌ原料を連続的に供給する技術が開示されている（特許文献１の請求項１および図１参照）。これにより、高温バッファ層を形成することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−０７８６１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、Ａｌの融点は６６０℃程度である。そして、１０００℃以上の高温条件下では、Ａｌは揮発しやすい。特に、凹凸加工のある凹凸基板においては、Ａｌ原子はサファイア基板上に留まりにくい。つまり、凹凸基板の表面からＡｌ原子が離脱しやすい。そのため、特許文献１の技術を用いても、凹凸基板に高温ＡｌＮバッファ層を形成することは決して容易ではない。
【０００７】
本明細書の技術は、前述した従来の技術が有する問題点を解決するためになされたものである。本明細書の技術が解決しようとする課題は、凹凸基板の上に高温ＡｌＮバッファ層を成膜することのできるIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の態様におけるIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法は、主面に凹凸形状部を有する凹凸基板を準備する凹凸基板準備工程と、凹凸基板の凹凸形状部の上にＡｌ層を成膜するＡｌ層成膜工程と、Ａｌ層を窒化するとともにＡｌＮバッファ層を形成するＡｌＮバッファ層形成工程と、ＡｌＮバッファ層の上にIII 族窒化物半導体層を形成する半導体層形成工程と、を有する。Ａｌ層成膜工程では、炉内の内圧を１ｋＰａ以上１９ｋＰａ以下にするとともに凹凸基板の温度を９００℃以上１５００℃以下とし、Ａｌを含有する有機金属ガスを１．５×１０-4ｍｏｌ／ｍｉｎ以上の供給速度で供給する。
【０００９】
このIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法においては、凹凸基板の上にＡｌ層を形成し、そのＡｌ層を窒化するとともにさらにＡｌＮバッファ層を形成する。このＡｌＮバッファ層は、高温で成膜された高温ＡｌＮバッファ層である。高温ＡｌＮバッファ層の品質は安定しやすい。そのため、品質に優れた半導体発光素子が実現される。また、バッファ層の形成から半導体層の形成までの間に基板温度を昇降させる必要がない。そのため、この製造方法のサイクルタイムは短い。
【発明の効果】
【００１０】
本明細書では、凹凸基板の上に高温ＡｌＮバッファ層を成膜することのできるIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法が提供されている。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１の実施形態における半導体発光素子の概略構成を示す図である。
【図２】第１の実施形態の半導体発光素子の基板の凹凸形状を説明するための図である。
【図３】第１の実施形態における半導体発光素子の製造に用いられる製造装置の概略構成を示す図である。
【図４】第１の実施形態における半導体発光素子の製造方法を説明するための図（その１）である。
【図５】第１の実施形態における半導体発光素子の製造方法を説明するための図（その２）である。
【図６】第１の実施形態における半導体発光素子の製造方法を説明するための図（その３）である。
【図７】第１の実施形態における半導体発光素子の製造方法を説明するための図（その４）である。
【図８】従来におけるＡｌを含有する有機金属ガスを基板に供給する場合を説明するための図である。
【図９】実施例におけるＧａＮ層の表面を示す光学顕微鏡写真である。
【図１０】比較例におけるＧａＮ層の表面を示す光学顕微鏡写真である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、具体的な実施形態について、III 族窒化物半導体発光素子の製造方法を例に挙げて図を参照しつつ説明する。しかし、本明細書の技術はこれらの実施形態に限定されるものではない。また、後述する半導体発光素子の各層の積層構造および電極構造は、例示である。実施形態とは異なる積層構造であってももちろん構わない。そして、それぞれの図における各層の厚みの比は、概念的に示したものであり、実際の厚みの比を示しているわけではない。
【００１３】
（第１の実施形態）
１．半導体発光素子
本実施形態の発光素子１００の概略構成を図１に示す。発光素子１００は、フェイスアップ型の半導体発光素子である。発光素子１００は、III 族窒化物半導体から成る複数の半導体層を有する。図１に示すように、発光素子１００は、基板１１０と、バッファ層１２０と、ｎ型コンタクト層１３０と、ｎ側静電耐圧層１４０と、ｎ側超格子層１５０と、発光層１６０と、ｐ側超格子層１７０と、ｐ型コンタクト層１８０と、透明電極ＴＥ１と、ｐ電極Ｐ１と、ｎ電極Ｎ１と、を有している。
【００１４】
基板１１０の主面上には、バッファ層１２０と、ｎ型コンタクト層１３０と、ｎ側静電耐圧層１４０と、ｎ側超格子層１５０と、発光層１６０と、ｐ側超格子層１７０と、ｐ型コンタクト層１８０とが、この順序で形成されている。ｎ電極Ｎ１は、ｎ型コンタクト層１３０の上に形成されている。ｐ電極Ｐ１は、透明電極ＴＥ１の上に形成されている。ここで、ｎ型コンタクト層１３０と、ｎ側静電耐圧層１４０と、ｎ側超格子層１５０とは、ｎ型半導体層である。ｐ側超格子層１７０と、ｐ型コンタクト層１８０とは、ｐ型半導体層である。ただし、これらの層は、ノンドープの層を部分的に含んでいる場合がある。このように、発光素子１００は、ｎ型半導体層と、ｎ型半導体層の上の発光層と、発光層の上のｐ型半導体層と、ｐ型半導体層の上の透明電極ＴＥ１と、透明電極ＴＥ１の上のｐ電極Ｐ１と、ｎ型半導体層の上のｎ電極Ｎ１と、を有する。
【００１５】
基板１１０は、ＭＯＣＶＤ法により、主面上に上記の各半導体層を形成するための成長基板である。そして、その主面に凹凸加工がされている。基板１１０の材質は、サファイアである。また、サファイア以外にも、ＳｉＣ、ＺｎＯ、Ｓｉなどの材質を用いてもよい。
【００１６】
バッファ層１２０は、基板１１０の主面上に形成されている。バッファ層１２０は、基板１１０に高密度の結晶核を形成するためのものである。これにより、平坦な表面を有する半導体結晶の成長が促進される。バッファ層１２０の材質はＡｌＮである。バッファ層１２０の膜厚は、５ｎｍ以上３５ｎｍ以下の範囲内である。バッファ層１２０は、９００℃以上の高温で堆積された高温ＡｌＮバッファ層である。
【００１７】
ｎ型コンタクト層１３０は、例えば、Ｓｉをドープされたｎ型ＡｌＧａＮ（０≦Ａｌ＜１）である。ｎ型コンタクト層１３０は、バッファ層１２０の上に形成されている。ｎ型コンタクト層１３０は、ｎ電極Ｎ１と接触をしている。
【００１８】
ｎ側静電耐圧層１４０は、半導体層の静電破壊を防止するための静電耐圧層である。ｎ側静電耐圧層１４０は、ｎ型コンタクト層１３０の上に形成されている。ｎ側静電耐圧層１４０は、例えば、ノンドープのｉ−ＡｌＧａＮ（０≦Ａｌ＜１）から成るｉ−ＡｌＧａＮ層と、Ｓｉをドープされたｎ型ＡｌＧａＮ（０≦Ａｌ＜１）から成るｎ型ＡｌＧａＮ層とを積層したものである。
【００１９】
ｎ側超格子層１５０は、発光層１６０に加わる応力を緩和するための歪緩和層である。より具体的には、ｎ側超格子層１５０は、超格子構造を有する。ｎ側超格子層１５０は、例えば、ＩｎＧａＮ（０≦Ｉｎ＜１）層と、ｎ型ＡｌＧａＮ（０≦Ａｌ＜１）層とを繰り返し積層したものである。もちろん、ＡｌＧａＮ層等、その他の半導体層を含んでいてもよい。
【００２０】
発光層１６０は、電子と正孔とが再結合することにより発光する層である。発光層１６０は、ｎ側超格子層１５０の上に形成されている。発光層は、少なくとも井戸層と、障壁層とを有している。井戸層として、例えば、ＩｎＧａＮ層もしくはＧａＮ層を用いることができる。障壁層として、例えば、ＧａＮ層もしくはＡｌＧａＮ層を用いることができる。これらは例示であり、その他のＡｌＩｎＧａＮ層を用いてもよい。
【００２１】
ｐ側超格子層１７０は、発光層１６０の上に形成されている。ｐ側超格子層１７０は、ｐ型クラッド層である。ｐ側超格子層１７０は、例えば、ｐ型ＧａＮ層と、ｐ型ＡｌＧａＮ層と、ｐ型ＩｎＧａＮ層とを積層した積層体を、繰り返し形成したものである。
【００２２】
ｐ型コンタクト層１８０は、ｐ電極Ｐ１と電気的に接続された半導体層である。そのため、ｐ型コンタクト層１８０は、ｐ電極Ｐ１と接触している。ｐ型コンタクト層１８０は、ｐ側超格子層１７０の上に形成されている。ｐ型コンタクト層１８０は、例えば、Ｍｇをドープされたｐ型ＡｌＧａＮ（０≦Ａｌ＜１）から成る層である。
【００２３】
透明電極ＴＥ１は、ｐ型コンタクト層１８０の上に形成されている。透明電極ＴＥ１の材質は、ＩＴＯである。また、ＩＴＯの他に、ＩＺＯ、ＩＣＯ、ＺｎＯ、ＴｉＯ2 、ＮｂＴｉＯ2 、ＴａＴｉＯ2 の透明な導電性酸化物を用いることができる。
【００２４】
ｐ電極Ｐ１は、透明電極ＴＥ１の上に形成されている。ｐ電極Ｐ１は、透明電極ＴＥ１を介してｐ型コンタクト層１８０と電気的に接続されている。ｐ電極Ｐ１は、例えば、Ｎｉ、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｏ、Ｉｎ等の金属から成る金属電極である。
【００２５】
ｎ電極Ｎ１は、ｎ型コンタクト層１３０の上に形成されている。ｎ電極Ｎ１は、ｎ型コンタクト層１３０と接触している。ｎ電極Ｎ１は、例えば、Ｎｉ、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｏ、Ｉｎ等の金属から成る金属電極である。
【００２６】
２．基板の凹凸形状
図２は、本実施形態の基板１１０の凹凸形状を説明するための図である。図２に示すように、基板１１０は、凹凸形状を有している。基板１１０は、第１面１１０ａと第２面１１０ｂとを有している。第１面１１０ａの側には、凹凸形状が形成されている。基板１１０の第１面１１０ａは、底面１１１と凸部１１２とを有している。
【００２７】
ここで、凸部１１２の形状は、六角錐形状である。または、円錐形状であってもよい。また、多角錐台形状であってもよい。また、円錐台形状であってもよい。凸部１１２は、基板１１０の第１面１１０ａの上にハニカム状に配置されている。すなわち、正六角形の頂点および中心の位置に、凸部１１２の頂点が配置されている。もちろん、凸部１１２は、ハニカム状に配置されている必要はない。ただし、ハニカム状であれば、凸部１１２を密集して配置することができる。
【００２８】
凸部１１２の高さＨ１は、０．５μｍ以上５μｍ以下の範囲内である。凸部１１２の幅Ｄ１は、０．５μｍ以上５μｍ以下の範囲内である。隣り合う凸部１１２同士に挟まれた底面１１１の幅Ｄ２は、０．１μｍ以上３μｍ以下の範囲内である。隣り合う凸部１１２同士のピッチ間隔Ｉ１は、０．６μｍ以上１０μｍ以下の範囲内である。これらの数値範囲は、あくまで目安である。
【００２９】
本実施形態において、基板１１０の第１面１１０ａに占める底面１１１の面積の割合は、１０％以上５０％以下の範囲内である。好ましくは、１５％以上４５％以下の範囲内である。つまり、基板１１０の第１面１１０ａに占める凸部１１２の面積の割合は、５０％以上９０％以下の範囲内である。好ましくは、５５％以上８５％以下の範囲内である。また、基板１１０の第１面１１０ａにおける凸部１１２の個数密度は、８×１０6 ／ｃｍ2 以上１×１０7 ／ｃｍ2 以下の範囲内である。
【００３０】
このように、基板１１０の第１面１１０ａに占める凸部１１２の面積の割合が多い場合には、減圧成長を慎重に行うことが好ましい。半導体製造装置における成長時の内部の圧力が低いほど、半導体層の横方向成長が促進されるからである。基板表面における原料のマイグレーションが促進されるためである。なお、高温条件下では、基板表面における原料のマイグレーションがさらに促進される。
【００３１】
３．製造装置（気相成長装置）
図３は、本実施形態の製造装置１０００の概略構成を示す図である。製造装置１０００は、成長基板の上に半導体層をエピタキシー成長させるＭＯＣＶＤ炉である。製造装置１０００は、気相成長装置の一種である。製造装置１０００は、サセプター１１１０と、加熱器１１２０と、回転軸１１３０と、チャンバー１２００と、ノズル１４１０と、吸引部１４２０と、制御部１５００と、を有している。
【００３２】
サセプター１１１０は、基板１１０を支持するための支持部材である。そのために、サセプター１１１０は、基板１１０を配置することができるようになっている。加熱器１１２０は、基板１１０を加熱するためのものである。加熱器１１２０は、サセプター１１１０に接触する接触式のものであってもよいし、誘導加熱のように非接触式のものであってもよい。回転軸１１３０は、サセプター１１１０を回転させるためのものである。これにより、基板１１０を回転させつつ、基板１１０の上に半導体層を成長させることができる。
【００３３】
チャンバー１２００は、各部を収容するための炉本体である。ノズル１４１０は、キャリアガスや原料ガスをチャンバー１２００の内部に供給するためのものである。製造装置１０００の使用時には、ノズル１４１０は、サセプター１１１０に配置されている基板１１０に向けてガスを供給する。吸引部１４２０は、チャンバー１２００の内部のガスを吸引するためのものである。
【００３４】
チャンバー１２００は、流路上面１３１０と、流路下面１３２０と、流路側面１３３０と、を有している。流路上面１３１０と、流路下面１３２０と、流路側面１３３０とは、サセプター１１１０に配置された基板１１０の上方に、ノズル１４１０から供給されたガスを通過させるためのものである。図３に示すように、本実施形態の製造装置１０００は、ガスを横方向から基板１１０に吹き付ける。
【００３５】
制御部１５００は、製造装置１０００の各部を制御するためのものである。制御部１５００は、ノズル１４１０から供給されるキャリアガスや原料ガス等の流量を制御する流量制御部を兼ねている。また、制御部１５００は、加熱器１１２０の温度や、回転軸１１３０の回転等を制御する。
【００３６】
４．半導体発光素子の製造方法
ここで、本実施形態の発光素子１００の製造方法について説明する。本実施形態の発光素子１００の製造方法は、バッファ層１２０の製造工程に特徴点を有する。本実施形態では、有機金属化学気相成長法（ＭＯＣＶＤ法）により、各半導体層の結晶をエピタキシャル成長させる。
【００３７】
この製造方法は、主面に凹凸形状部を有する凹凸基板を準備する凹凸基板準備工程と、凹凸基板の凹凸形状部の上にＡｌ層を成膜するＡｌ層成膜工程と、Ａｌ層を窒化するとともにＡｌＮバッファ層を形成するＡｌＮバッファ層形成工程と、ＡｌＮバッファ層の上にIII 族窒化物半導体層を形成する半導体層形成工程と、を有する。
【００３８】
ここで用いるキャリアガスとして、水素（Ｈ2 ）もしくは窒素（Ｎ2 ）もしくは水素と窒素との混合気体（Ｈ2 ＋Ｎ2 ）が挙げられる。後述する各工程において、特に言及がない場合には、これらのいずれを用いてもよい。窒素源として、アンモニアガス（ＮＨ3 ）を用いる。Ｇａ源として、トリメチルガリウム（Ｇａ（ＣＨ3 ）3 ：「ＴＭＧ」）を用いる。Ｉｎ源として、トリメチルインジウム（Ｉｎ（ＣＨ3 ）3 ：「ＴＭＩ」）を用いる。Ａｌ源として、トリメチルアルミニウム（Ａｌ（ＣＨ3 ）3 ：「ＴＭＡ」）を用いる。ｎ型ドーパントガスとして、シラン（ＳｉＨ4 ）を用いる。ｐ型ドーパントガスとして、ビス（シクロペンタジエニル）マグネシウム（Ｍｇ（Ｃ5 Ｈ5 ）2 ）を用いる。
【００３９】
４−１．基板準備工程
基板準備工程では、第１面１１０ａに凹凸形状を備える基板１１０を準備する。具体的には、例えば、ＩＣＰによるドライエッチングにより、基板１１０の第１面１１０ａに底面１１１と複数の凸部１１２とを形成する。
【００４０】
４−２．基板洗浄工程
製造装置１０００のサセプター１１１０に基板１１０を配置する。次に、基板温度を１０００℃以上に加熱する。そして、水素ガスをチャンバー１２００の内部に供給する。これにより、基板１１０の表面は洗浄されるとともに還元される。この工程において、チャンバー１２００の内圧は大気圧である。減圧下であってもよい。
【００４１】
４−３．Ａｌ層成膜工程
次に、図４に示すように、製造装置１０００のチャンバー１２００の内部を減圧する。製造装置１０００の内圧は１ｋＰａ以上１９ｋＰａ以下である。好ましくは、１ｋＰａ以上１０ｋＰａ以下である。そして、基板温度を９００℃以上１５００℃以下まで上昇させる。この環境下でＴＭＡを供給する。ＴＭＡはＡｌを含有する有機金属ガスである。ＴＭＡの供給速度は、１．５×１０-4ｍｏｌ／ｍｉｎ以上である。そして、基板１１０の第１面１１０ａの上にＡｌ層を形成する。もしくは、基板１１０の表面にはＡｌドロップレットが形成されている。このように、基板１１０の表面はＡｌリッチな状態が実現されている。これは、ＴＭＡを高速で供給しているためである。ＴＭＡの供給速度は速いほどよい。ただし実際には、ＴＭＡの供給速度は、１５０×１０-4ｍｏｌ／ｍｉｎ以下である。
【００４２】
ここで、ガスの流路の断面積に対するガスの流量について説明する。製造装置１０００サセプターの位置におけるガスの流れる方向に垂直な断面の断面積あたりの有機金属ガスの流量は、１．５×１０-6ｍｏｌ／（ｍｉｎ・ｃｍ2 ）以上１５×１０-6ｍｏｌ／（ｍｉｎ・ｃｍ2 ）以下である。好ましくは、２．０×１０-6ｍｏｌ／（ｍｉｎ・ｃｍ2 ）以上１５×１０-6ｍｏｌ／（ｍｉｎ・ｃｍ2 ）以下である。より好ましくは、３．７×１０-6ｍｏｌ／（ｍｉｎ・ｃｍ2 ）以上７．５×１０-6ｍｏｌ／（ｍｉｎ・ｃｍ2 ）以下である。
【００４３】
４−４．ＡｌＮバッファ層形成工程
そして、ＴＭＡの供給を継続しつつＮＨ3 を供給する。Ａｌの融点は６６０℃近傍であり、上記の条件下では揮発しやすい。この工程では、ＮＨ3 の供給により、既に成膜したＡｌ層を窒化してＡｌＮバッファ層を形成するとともに、ＴＭＡおよびＮＨ3 の供給によりＡｌＮバッファ層をさらに成膜する。これにより、図５に示すように、５ｎｍ以上３５ｎｍ以下の膜厚のＡｌＮバッファ層が形成される。この工程における基板温度および内圧は、Ａｌ層成膜工程と同じでよい。つまり、基板温度は、９００℃以上１５００℃以下である。チャンバー１２００の内圧は、１ｋＰａ以上１９ｋＰａ以下である。この工程により、基板１１０の上にバッファ層１２０が形成される。バッファ層１２０は、前述のように高温ＡｌＮバッファ層である。
【００４４】
４−５．ｎ型コンタクト層形成工程
次に、バッファ層１２０の上にｎ型コンタクト層１３０を形成する。このときの基板温度は、９００℃以上１２００℃以下の範囲内である。基板温度は、バッファ層形成工程と同じであることが好ましい。バッファ層１２０の形成後に待ち時間なくすぐにｎ型コンタクト層１３０を形成できるからである。このときの製造装置１０００の内圧は、減圧状態でも大気圧でもよい。これにより、ｎ型コンタクト層１３０が形成される。ここで、ｎ型コンタクト層１３０を成長させる際にファセット成長させてもよい。
【００４５】
４−６．ｎ側静電耐圧層形成工程
そして、ｎ型コンタクト層１３０の上にｎ側静電耐圧層１４０を形成する。ｉ−ＧａＮ層を形成するため、シラン（ＳｉＨ4 ）の供給を停止する。このときの基板温度は、７５０℃以上９５０℃以下の範囲内である。ｎ型ＧａＮを形成するため、再びシラン（ＳｉＨ4 ）を供給する。このときの基板温度は、ｉ−ＧａＮ層を形成する温度と同じ温度、すなわち７５０℃以上９５０℃以下の範囲内である。このときの製造装置１０００の内圧は、大気圧でよい。減圧下であってもよい。
【００４６】
４−７．ｎ側超格子層形成工程
次に、ｎ側静電耐圧層１４０の上にｎ側超格子層１５０を形成する。例えば、ＩｎＧａＮ層と、ｎ型ＧａＮ層と、を繰り返し積層する。その際の基板温度は、７００℃以上９５０℃以下の範囲内である。このときの製造装置１０００の内圧は、大気圧でよい。減圧下であってもよい。
【００４７】
４−８．発光層形成工程
次に、ｎ側超格子層１５０の上に発光層１６０を形成する。例えば、ＩｎＧａＮ層と、ＧａＮ層と、ＡｌＧａＮ層と、を繰り返し積層する。このときの基板温度を、７００℃以上９００℃以下の範囲内とする。このときの製造装置１０００の内圧は、大気圧でよい。減圧下であってもよい。
【００４８】
４−９．ｐ側超格子層形成工程（ｐ型クラッド層形成工程）
次に、発光層１６０の上にｐ側超格子層１７０を形成する。例えば、ｐ型ＧａＮ層と、ｐ型ＡｌＧａＮ層と、ｐ型ＩｎＧａＮ層と、を繰り返し積層する。ドーパントガスとして、ビス（シクロペンタジエニル）マグネシウム（Ｍｇ（Ｃ5 Ｈ5 ）2 ）を用いればよい。このときの製造装置１０００の内圧は、大気圧でよい。減圧下であってもよい。
【００４９】
４−１０．ｐ型コンタクト層形成工程
次に、ｐ側超格子層１７０の上にｐ型コンタクト層１８０を形成する。また、キャリアガスとして、少なくとも水素ガスを供給する。これにより、ｐ型コンタクト層１８０の表面平坦性は向上する。基板温度を、８００℃以上１２００℃以下の範囲内とする。これにより、図６に示すように、基板１１０に各半導体層が積層されることなる。このときの製造装置１０００の内圧は、大気圧でよい。減圧下であってもよい。
【００５０】
４−１１．透明電極形成工程
次に、ｐ型コンタクト層１８０の上に透明電極ＴＥ１を形成する。その際、スパッタリング技術を用いてもよいし、蒸着技術を用いてもよい。
【００５１】
４−１２．電極形成工程
そして、図７に示すように、レーザーもしくはエッチングにより、ｐ型コンタクト層１８０の側から半導体層の一部を抉ってｎ型コンタクト層１３０を露出させる。そして、その露出箇所に、ｎ電極Ｎ１を形成する。また、透明電極ＴＥ１の上にｐ電極Ｐ１を形成する。ｐ電極Ｐ１の形成工程とｎ電極Ｎ１の形成工程は、いずれを先に行ってもよい。
【００５２】
４−１３．その他の工程
また、上記の工程の他、絶縁膜で素子を覆う工程や熱処理工程等、その他の工程を実施してもよい。以上により、図１の発光素子１００が製造される。
【００５３】
５．実施形態の技術と従来技術との比較
５−１．従来技術
ＴＭＡは、高温条件下で分解しやすい。そのため、図８に示すように、高温条件下ではＡｌ原子の多くが基板１１０の箇所までほとんど到達しない。つまり、Ａｌ原子の多くが基板１１０の手前のサセプターやチャンバー内壁に堆積することで消費されてしまう。また、Ａｌ原子が基板１１０に到達したとしても、基板１１０の表面に一様にＡｌ原子を供給することは困難である。したがって、基板１１０の上にＡｌ層を堆積させることは非常に難しい。
【００５４】
なお、従来においては、Ａｌを含有する有機金属ガスを０．５×１０-4ｍｏｌ／ｍｉｎ程度の供給速度で供給する。
【００５５】
５−２．実施形態の技術
本実施形態では、チャンバー１２００の内圧を１ｋＰａ以上１９ｋＰａ以下とし、基板温度を９００℃以上１５００℃以下とし、Ａｌを含有する有機金属ガスを１．５×１０-4ｍｏｌ／ｍｉｎ以上の供給速度で供給する。チャンバー１２００の内圧が低いため、チャンバー１２００の内部のガスの平均自由行程は長い。そのため、ＴＭＡは、分解消費される前に基板１１０の位置に到達する。
【００５６】
また、この環境下ではＡｌは蒸発しやすい。また、凹凸形状のある基板１１０では、Ａｌは非常に蒸発しやすい。本実施形態では、Ａｌ原子を含有するガスの供給速度がＡｌ原子の蒸発速度を上回るほどの高い速度でＴＭＡを供給する。そのため、Ａｌが蒸発する前にＡｌ原子が基板１１０の第１面１１０ａの上に堆積する。
【００５７】
このように、本実施形態では、バッファ層１２０の成膜温度とIII 族窒化物半導体の成膜温度とがほとんど同じである。そのため、本実施形態では、バッファ層１２０を形成した後に半導体層を形成するまでの間に基板温度を上昇させるための時間が必要ない。つまり、本実施形態ではサイクルタイムが短い。
【００５８】
また、高温ＡｌＮバッファ層の品質は、低温バッファ層の品質に比べて安定性を有する。
【００５９】
６．変形例
６−１．半導体層の成膜方法
基板１１０の上にバッファ層１２０を形成した後には、ＨＶＰＥ法等その他の気相成長法により半導体層を成膜してもよい。また、その他の液相エピタキシー法により半導体層を成膜してもよい。ただし、ＭＯＣＶＤ法により連続して成膜すると、サイクルタイムは短い。
【００６０】
６−２．基板の凹凸形状
基板１１０の凹凸形状は、実施形態で説明したものに限らない。凸部の配置はハニカム状でなくてもよい。また、凸部の代わりに凹部が形成されていてもよい。
【００６１】
６−３．フリップチップ
本実施形態の発光素子１００は、フェイスアップ型の発光素子である。しかし、本明細書の技術をフリップチップ型の発光素子に適用することができる。
【００６２】
６−４．組み合わせ
上記の変形例を自由に組み合わせてもよい。
【００６３】
７．本実施形態のまとめ
以上詳細に説明したように、本実施形態の発光素子１００の製造方法は、凹凸基板の上にＡｌ層を形成し、そのＡｌ層を窒化するとともにＡｌＮバッファ層を形成する。このＡｌＮバッファ層は、高温で成膜された高温ＡｌＮバッファ層である。高温ＡｌＮバッファ層の品質は安定しやすい。そのため、品質に優れた半導体発光素子が実現される。また、バッファ層の形成から半導体層の形成までの間に基板温度を昇降させる必要がない。そのため、この製造方法のサイクルタイムは短い。
【００６４】
なお、以上に説明した実施形態は単なる例示にすぎない。したがって当然に、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能である。積層体の積層構造については、必ずしも図に示したものに限らない。積層構造や膜厚等、任意に選択してよい。
【００６５】
８．実験
８−１．基板
凹凸基板としてサファイア基板を用いた。サファイア基板は、図２に示すような六角錐形状の凸部１１２がハニカム状に配置されている。凸部１１２の高さＨ１は、１．９μｍである。凸部１１２の幅Ｄ１は、３μｍである。隣り合う凸部１１２同士に挟まれた底面１１１の幅Ｄ２は、０．５μｍである。隣り合う凸部１１２同士のピッチ間隔Ｉ１は、３．５μｍである。
【００６６】
８−２．ＡｌＮバッファ層の成膜
実施例として、ＭＯＣＶＤ炉の内部で凹凸基板の上に高温ＡｌＮバッファ層を成膜した。基板温度は１０８０℃であった。炉内圧力は４ｋＰａであった。この条件下でまず、ＮＨ3 を供給せずＴＭＡを供給した。ＴＭＡの供給速度は、２．０×１０-4ｍｏｌ／ｍｉｎであった。ＴＭＡの供給時間は１分であった。そして、ＴＭＡの供給を継続しつつＮＨ3 を供給してＡｌＮバッファ層を形成した。ＴＭＡの供給速度は、２．０×１０-4ｍｏｌ／ｍｉｎであった。
【００６７】
比較例として、ＭＯＣＶＤ炉の内部で凹凸基板の上に高温ＡｌＮバッファ層を成膜した。基板温度は１０８０℃であった。炉内圧力は４ｋＰａであった。この条件下でまず、ＮＨ3 を供給せずＴＭＡを供給した。ＴＭＡの供給速度は、１．０×１０-4ｍｏｌ／ｍｉｎであった。ＴＭＡの供給時間は２分であった。そして、ＴＭＡの供給を継続しつつＮＨ3 を供給してＡｌＮバッファ層を形成した。ＴＭＡの供給速度は、１．０×１０-4ｍｏｌ／ｍｉｎであった。このように、供給したＴＭＡの総量は、実施例と比較例とで同じである。
【００６８】
８−３．半導体層の成膜
実施例および比較例ともに、その後、基板温度をそのままに炉内圧力を１気圧に上昇させた。そして、高温ＡｌＮバッファ層の上に膜厚２μｍのＧａＮ層を成膜した。その後、基板温度を１１５０℃まで上昇させてＧａＮ層の平坦化を図った。そして、さらに膜厚４μｍのＧａＮ層を成膜した。
【００６９】
８−４．顕微鏡写真
図９は、本実験の実施例におけるＧａＮ層の表面を示す光学顕微鏡写真である。図９に示すように、実施例におけるＧａＮ層の表面は平坦である。
【００７０】
図１０は、本実験の比較例におけるＧａＮ層の表面を示す光学顕微鏡写真である。図１０に示すように、比較例におけるＧａＮ層の表面は非常に荒れている。
【００７１】
８−５．実験のまとめ
このように、高温ＡｌＮバッファ層を形成するためには、ＴＭＡの到達距離をかせぐために低圧で成膜する必要がある。しかし、低圧ではＡｌ原子は蒸発しやすい。基板に凹凸がある場合には、Ａｌ原子は基板からより離脱しやすい。このようにＡｌ原子がより蒸発しやすい凹凸基板にＡｌを成膜もしくは付着させるためには、有機金属ガスの供給速度がＡｌ原子の蒸発速度よりも速い必要がある。
【００７２】
Ａ．付記
第１の態様におけるIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法は、主面に凹凸形状部を有する凹凸基板を準備する凹凸基板準備工程と、凹凸基板の凹凸形状部の上にＡｌ層を成膜するＡｌ層成膜工程と、Ａｌ層を窒化するとともにＡｌＮバッファ層を形成するＡｌＮバッファ層形成工程と、ＡｌＮバッファ層の上にIII 族窒化物半導体層を形成する半導体層形成工程と、を有する。Ａｌ層成膜工程では、炉内の内圧を１ｋＰａ以上１９ｋＰａ以下にするとともに凹凸基板の温度を９００℃以上１５００℃以下とし、Ａｌを含有する有機金属ガスを１．５×１０-4ｍｏｌ／ｍｉｎ以上の供給速度で供給する。
【００７３】
第２の態様におけるIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法においては、半導体層形成工程では、III 族窒化物半導体層をファセット成長させる。
【００７４】
第３の態様におけるIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法においては、凹凸基板を支持するサセプターを備える気相成長装置を用いる。Ａｌ層成膜工程では、気相成長装置のサセプターの位置におけるガスの流れる方向に垂直な断面の断面積あたりの有機金属ガスの流量は、１．５×１０-6ｍｏｌ／（ｍｉｎ・ｃｍ2 ）以上１５×１０-6ｍｏｌ／（ｍｉｎ・ｃｍ2 ）以下である。
【符号の説明】
【００７５】
１００…発光素子
１１０…基板
１２０…バッファ層
１３０…ｎ型コンタクト層
１４０…ｎ側静電耐圧層
１５０…ｎ側超格子層
１６０…発光層
１７０…ｐ側超格子層
１８０…ｐ型コンタクト層
Ｎ１…ｎ電極
Ｐ１…ｐ電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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