(57)【要約】【課題】プローブに形成されたバネ部のヘタリを抑制できる電気的接続装置を提供する。【解決手段】トップ側パート１Ａとボトム側パート１Ｂが軸方向に沿って直線的に配置されたプローブ１を備える電気的接続装置であって、トップ側パート１Ａとボトム側パート１Ｂが、軸方向に伸縮自在に形成された管形状のバレル１０と、バレル１０の一方の端部の開口端から先端部２１が露出し他方の端部の開口端から基端部２２が露出した状態でバレル１０の内部に挿入され、一方の端部に近接した接合部３０でバレル１０に接合された棒形状のプランジャー２０とを備え、トップ側パート１Ａのバレル１０とボトム側パート１Ｂのバレル１０の少なくともいずれかが軸方向に伸縮する動作の前後において、トップ側パート１Ａのプランジャー２０の基端部２２とボトム側パート１Ｂのプランジャー２０の基端部２２とが常に電気的に接続されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
トップ側パートとボトム側パートが軸方向に沿って直線的に配置されたプローブを備える電気的接続装置であって、
前記トップ側パートと前記ボトム側パートのそれぞれが、
前記軸方向に伸縮自在に形成された管形状のバレルと、
前記バレルの一方の端部の開口端から先端部が露出し他方の端部の開口端から基端部が露出した状態で前記バレルの内部に挿入され、前記一方の端部に近接した接合部で前記バレルに接合された棒形状のプランジャーと
を備え、
前記トップ側パートの前記バレルと前記ボトム側パートの前記バレルの少なくともいずれかが前記軸方向に伸縮する動作の前後において、前記トップ側パートの前記プランジャーの前記基端部と前記ボトム側パートの前記プランジャーの前記基端部とが常に電気的に接続されていることを特徴とする電気的接続装置。
【請求項２】
前記バレルが前記軸方向に伸縮する動作に伴い、前記トップ側パートと前記ボトム側パートのそれぞれの前記プランジャーの前記基端部が、前記軸方向に沿って互いに隣接した領域で接触しながら摺動することを特徴とする請求項１に記載の電気的接続装置。
【請求項３】
前記プランジャーの前記基端部に、前記軸方向に沿って一定の長さで平面が形成され、
前記トップ側パートの前記プランジャーに形成された前記平面と、前記ボトム側パートの前記プランジャーに形成された前記平面が面接触していることを特徴とする請求項２に記載の電気的接続装置。
【請求項４】
前記バレルの内部に挿入された部分の前記プランジャーの表面が絶縁コーティング膜によって被覆されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
【請求項５】
前記バレルが、側面を貫通する螺旋状の切り込みが形成されたコイルバネ形状のバネ部を有することにより、前記軸方向に伸縮自在であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
【請求項６】
前記プローブを支持するプローブヘッドを更に備え、
前記プローブヘッドが、
前記トップ側パートを支持するトップガイドと、
前記ボトム側パートを支持するボトムガイドと、
前記バレルの外形よりも狭い貫通部を有し、前記トップ側パート及び前記ボトム側パートのそれぞれの前記プランジャーの前記基端部が前記貫通部に挿入された状態で前記トップガイドと前記ボトムガイドの間に配置されたミドルガイドと
を備え、前記トップ側パート及び前記ボトム側パートのそれぞれの前記バレルの前記他方の端部は、前記ミドルガイドに圧着していることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
【請求項７】
前記バレルの最も外側の表面に絶縁材料からなる層が形成されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査体の特性の測定に使用される電気的接続装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路などの特性をウェハから分離しない状態で測定するために、プローブを有する電気的接続装置が用いられている。電気的接続装置を用いた検査では、プローブの一方の端部を被検査体に接触させ、プローブの他方の端部を、配線基板に配置されてテスタと電気的に接続された端子（以下において「ランド」という。）に接触させる。そして、プローブを介して被検査体に電流を流すことなどにより、被検査体の電気的特性の検査が行われる。
【０００３】
プローブを用いた検査では、被検査体やランドとプローブとの電気的な接続を確保する必要がある。このため、プローブを強く被検査体に押し付けるためにオーバードライブ（ＯＤ）をかけたり、プローブを弾性変形させることによってプローブとランドにプリロードをかけたりしている。このため、側面にスリット状の切り込みを形成して弾性変形する部分をプローブに設ける構造が採用されている（例えば特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２８１５８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、切り込みによりバネ部を形成したプローブにおいては、プローブに流れる電流により生じるジュール熱によってバネ部にヘタリ（熱ヘタリ）が生じる。ヘタリが生じると、被検査体やランドとプローブとの接触が弱くなり、プローブに流せる電流の許容値（以下において「許容電流値」という。）が低下するという問題があった。
【０００６】
上記問題点に鑑み、本発明は、プローブに形成されたバネ部のヘタリを抑制できる電気的接続装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様によれば、トップ側パートとボトム側パートが軸方向に沿って直線的に配置されたプローブを備える電気的接続装置であって、トップ側パートとボトム側パートのそれぞれが、軸方向に伸縮自在に形成された管形状のバレルと、バレルの一方の端部の開口端から先端部が露出し他方の端部の開口端から基端部が露出した状態でバレルの内部に挿入され、一方の端部に近接した接合部でバレルに接合された棒形状のプランジャーとを備え、トップ側パートのバレルとボトム側パートのバレルの少なくともいずれかが軸方向に伸縮する動作の前後において、トップ側パートのプランジャーの基端部とボトム側パートのプランジャーの基端部とが常に電気的に接続されている電気的接続装置が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、プローブに形成されたバネ部のヘタリを抑制できる電気的接続装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の実施形態に係るプローブの構成を示す模式図である。
【図２】本発明の実施形態に係るプローブのバレルとプランジャーの構成を示す模式図である。
【図３】本発明の実施形態に係るプローブのプランジャーの基端部の形状を示す模式図である。
【図４】比較例のプローブに流れる電流の電流経路を示す模式図であり、図４（ａ）はバレルとプランジャーの模式図であり、図４（ｂ）は電流経路の回路図である。
【図５】許容電流値の例を示すグラフである。
【図６】本発明の実施形態に係るプローブに流れる電流の電流経路を示す模式図であり、図６（ａ）は全体の模式図、図６（ｂ）は図６（ａ）の領域Ｓを拡大した模式図である。
【図７】図６（ａ）に示した電流経路の回路図である。
【図８】本発明の実施形態に係るプローブのバレルとプランジャーの接合方法を示す模式図であり、図８（ａ）はスポット溶接による接合を示し、図８（ｂ）はカシメ加工による接合を示す。
【図９】本発明の実施形態に係る電気的接続装置の構成を示す模式図である。
【図１０】本発明の実施形態に係る電気的接続装置のミドルガイドの構成を示す模式図である。
【図１１】本発明の実施形態の変形例に係るプローブの構成を示す模式図である。
【図１２】本発明の実施形態の変形例に係るプローブのバレルの構成を示す模式図であり、図１２（ａ）は側面図、図１２（ｂ）は図１２（ａ）のＸＩＩ−ＸＩＩ方向に沿った断面図である。
【図１３】本発明の実施形態の変形例に係るプローブのバレルの他の構成を示す模式図であり、図１３（ａ）は側面図、図１３（ｂ）は図１３（ａ）のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ方向に沿った断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各部の長さや厚みの比率などは現実のものとは異なる。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている。
【００１１】
本発明の実施形態に係る電気的接続装置は、図１に示すように、トップ側パート１Ａとボトム側パート１Ｂが軸方向に沿って直線的に配置されたプローブ１を備える。トップ側パート１Ａは、プローブ１の軸方向に伸縮自在に形成された管形状のバレル１０Ａと、バレル１０Ａの内部に一部が挿入された棒形状のプランジャー２０Ａを備える。ボトム側パート１Ｂは、プローブ１の軸方向に伸縮自在に形成された管形状のバレル１０Ｂと、バレル１０Ｂの内部に一部が挿入された棒形状のプランジャー２０Ｂを備える。以下において、バレル１０Ａとバレル１０Ｂを総称して「バレル１０」といい、プランジャー２０Ａとプランジャー２０Ｂを総称して「プランジャー２０」という。
【００１２】
図１に示すように、バレル１０の一方の端部の開口端から先端部２１が露出し、バレル１０の他方の端部の開口端から基端部２２が露出した状態で、プランジャー２０がバレル１０の内部に挿入されている。そして、プランジャー２０の先端部２１が露出する端部に近接した接合部３０で、プランジャー２０がバレル１０に接合されている。
【００１３】
電気的接続装置は、例えば被検査体の電気的特性を判断する際に使用される。即ち、トップ側パート１Ａとボトム側パート１Ｂのうちの一方のプランジャー２０の先端部２１が被検査体に接触し、他方のプランジャー２０の先端部２１が配線基板のランドなどと接触する。被検査体の電気的特性を検査するために、バレル１０とプランジャー２０には導電性材料が使用される。例えば、バレル１０にニッケル（Ｎｉ）材などが使用され、プランジャー２０にＡｇＰｄＣｕ材などが使用される。
【００１４】
バレル１０は、側面を貫通する螺旋状の切り込みが形成されたコイルバネ形状のバネ部を有する。バレル１０の一部がコイルバネ形状になっているため、バレル１０は軸方向に伸縮自在である。したがって、適切な押圧でプランジャー２０を被検査体や配線基板のランドと接触させることができる。即ち、プローブ１を強く被検査体に押し付けるようにオーバードライブ（ＯＤ）をかけられる。また、プローブ１を弾性変形させることによってプローブ１とランドにプリロードをかけることができる。なお、例えばフォトリソグラフィ技術などを用いて、バレル１０に切り込みをエッチングによって形成することができる。
【００１５】
後述するように、トップ側パート１Ａのプランジャー２０Ａの基端部２２と、ボトム側パート１Ｂのプランジャー２０Ｂの基端部２２とは、検査時においては常に電気的に接続されている。即ち、トップ側パート１Ａのバレル１０Ａとボトム側パート１Ｂのバレル１０Ｂの少なくともいずれかが軸方向に伸縮する動作の前後において、プランジャー２０Ａの基端部２２とプランジャー２０Ｂの基端部２２が接続されている。
【００１６】
図２に、バレル１０とプランジャー２０を分けて図示した。図２に示すように、バレル１０の内部に挿入される部分のプランジャー２０の表面は、絶縁コーティング膜２５によって被覆されている。このため、バレル１０の内部でプランジャー２０とバレル１０とが接触した場合に、接触した部分でプランジャー２０とバレル１０とは電気的に接続されない。
【００１７】
トップ側パート１Ａのプランジャー２０Ａの基端部２２とボトム側パート１Ｂのプランジャー２０Ｂの基端部２２を接続させるために、種々の構成を採用可能である。例えば、プランジャー２０Ａの基端部２２と、プランジャー２０Ｂの基端部２２とを、プローブ１の軸方向に沿って互いに隣接した領域で接触させる。これにより、バレル１０が軸方向に伸縮すると、基端部２２が隣接した領域で接触しながら摺動する。
【００１８】
例えば、図３に示すように、プランジャー２０の基端部２２に、プローブ１の軸方向に沿って端部から一定の長さで平面の部分を形成する。そして、トップ側パート１Ａのプランジャー２０Ａの基端部２２に形成された平面を、ボトム側パート１Ｂのプランジャー２０Ｂの基端部２２に形成された平面と面接触させる。
【００１９】
このため、バレル１０が軸方向に伸縮する動作に伴って、プランジャー２０Ａの基端部２２の平面とプランジャー２０Ｂの基端部２２の平面が接触しながら摺動する。なお、基端部２２の面接触する部分は、絶縁コーティング膜２５によって被覆されていない。したがって、プローブ１では、トップ側パート１Ａのプランジャー２０Ａの基端部２２と、ボトム側パート１Ｂのプランジャー２０Ｂの基端部２２は、検査時においては常に電気的に接続される。なお、基端部２２に形成される平面の軸方向に沿った長さは、バレル１０が伸縮する前の状態及び伸縮した後の状態のいずれにおいても、トップ側パート１Ａとボトム側パート１Ｂのそれぞれのプランジャー２０が接触するように設定される。
【００２０】
ここで、図４（ａ）に示した比較例のプローブの電流経路の電気抵抗について説明する。図４（ａ）では、プランジャー２０の一部がバレル１０の内部に挿入された構造のプローブについて、説明をわかりやすくするために、バレル１０とプランジャー２０を分離して図示している。なお、比較例のプローブではプランジャー２０は絶縁コーティング膜２５によって被覆されていない。
【００２１】
図４（ａ）に示したプローブでは、矢印で示したように、バレル１０とプランジャー２０が電気的に接続する接続点Ａ１〜Ａ３のいずれかを通過して、電流Ｉがバレル１０からプランジャー２０に流れる。なお、電流Ｉは被検査体の検査時にプローブを流れる電流を想定したものである。
【００２２】
図４（ｂ）に、図４（ａ）に示した電流Ｉの電流経路の回路図を示す。接続点Ａは、接続点Ａ１〜Ａ３のいずれかを示している。接続点Ｂは、接合部３０を示す。図４（ｂ）に示した抵抗Ｒ１は、電流Ｉが入力するバレル１０の端部から接続点Ａまでのバレル１０の電気抵抗である。抵抗Ｒ２は、接続点Ａから接続点Ｂまでのバレル１０の電気抵抗である。抵抗Ｒ３は、接続点Ａから接続点Ｂまでのプランジャー２０の電気抵抗である。抵抗Ｒ４は、接続点Ｂからプランジャー２０の先端部までのプランジャー２０の電気抵抗である。
【００２３】
比較例のプローブでは、プローブの全体の電気抵抗（以下において「総抵抗Ｒａ」という。）は、抵抗Ｒ１〜抵抗Ｒ４の合成抵抗となる。抵抗Ｒ２と抵抗Ｒ３は並列接続であって、バレル１０の抵抗Ｒ２は、バレル１０がバネ部を含むため、プランジャー２０の抵抗Ｒ３よりも電気抵抗が大きい。このためバレル１０とプランジャー２０が電気的に接続する位置（以下において「接続位置」という。）が接続点Ａ１〜Ａ３のいずれであるかによって、プローブの総抵抗Ｒａが変動する。
【００２４】
例えば、接続位置が接続点Ａ１である場合は、抵抗Ｒ２で示されるバレル１０の部分よりも、抵抗Ｒ３で示される電気抵抗の低いプランジャー２０に電流が多く流れる。一方、接続位置が接続点Ａ３である場合は、抵抗Ｒ２で示される電気抵抗の高いバレル１０に電流が多く流れる。
【００２５】
したがって、接続位置が接続点Ａ１である場合の総抵抗Ｒａ１は、接続位置が接続点Ａ３である場合の総抵抗Ｒａ３よりも小さい。なお、接続位置が接続点Ａ２である場合の総抵抗Ｒａ２は、総抵抗Ｒａ１と総抵抗Ｒａ３の中間である。つまり、バレル１０の電流が流れる部分が少ないほど、総抵抗Ｒａは小さい。
【００２６】
図５に、バレル１０とプランジャー２０の接続位置が接続点Ａ１〜Ａ３の間でばらついた場合の許容電流値の例を示す。図５の縦軸は、プローブが被検査体やランドに接触する針圧の変化率である。針圧が低下するほど、許容電流値は低下する。
【００２７】
図５に示すように、針圧が同じ場合には、接続位置が接続点Ａ３である場合の許容電流値Ｉ３よりも、接続位置が接続点Ａ１である場合の許容電流値Ｉ１の方が大きい。即ち、接続位置が接続点Ａ１に近いほどプローブに流せる電流値が大きくなり、このため、検査での電流値の制限を少なくできる。したがって、電流経路に含まれるバレル１０の部分をできるだけ小さくすることが好ましい。
【００２８】
図６（ａ）及び図６（ｂ）に、図１に示したプローブ１における電流Ｉの電流経路を示す。図６（ａ）に示すように、プローブ１を使用した検査では、トップ側パート１Ａのプランジャー２０Ａの基端部２２とボトム側パート１Ｂのプランジャー２０Ｂの基端部２２とが接続する。図６（ａ）の領域Ｓを拡大した図を図６（ｂ）に示した。このときの電流Ｉの電流経路の回路図を、図７に示す。接続点Ｂ１は、トップ側パート１Ａのバレル１０Ａとプランジャー２０Ａの接合部３０を示し、接続点Ｂ２は、ボトム側パート１Ｂのバレル１０Ｂとプランジャー２０Ｂの接合部３０を示す。
【００２９】
図７に示す抵抗Ｒ１０は、プランジャー２０Ａの先端部２１からトップ側パート１Ａの接合部３０までのプランジャー２０Ａの電気抵抗である。抵抗Ｒ３０は、トップ側パート１Ａの接合部３０からボトム側パート１Ｂの接合部３０までの、プランジャー２０Ａとプランジャー２０Ｂの電気抵抗である。抵抗Ｒ４０は、ボトム側パート１Ｂの接合部３０からプランジャー２０Ｂの先端部２１までのプランジャー２０Ｂの電気抵抗である。なお、抵抗Ｒ２０はバレル１０の電気抵抗であるが、プランジャー２０の表面が絶縁コーティング膜２５によって被覆されているため、プランジャー２０からバレル１０に電流が流れない。このため、抵抗Ｒ２０の端部は開放端である。
【００３０】
上記のように、図１に示したプローブ１では、検査時に電流Ｉはプランジャー２０のみを流れる。このため、プローブ１の電気抵抗を小さくできる。更に、バネ部が形成されたバレル１０を電流Ｉが流れないため、ジュール熱の発生によるバネ部のヘタリを抑制できる。
【００３１】
これに対し、バネ部にヘタリが生じると、被検査体やランドに接触するプローブの針圧が低下して、プローブの許容電流値が低下する。その結果、被検査体に流せる電流の大きさの限界が小さくなり、被検査体の十分な検査ができない事態が生じ得る。
【００３２】
しかし、本発明の実施形態に係るプローブ１では、バレル１０に電流が流れないため、バレル１０のバネ部にジュール熱の発生によるヘタリが生じない。したがって、プローブ１によれば、許容電流値の低下を抑制することができる。また、プローブ間での許容電流値のばらつきが抑制される。
【００３３】
なお、接合部３０におけるバレル１０とプランジャー２０との接合には、種々の方法を使用できる。例えば、図８（ａ）に示すように、絶縁コーティング膜２５に開口部２５０を設けることにより、開口部２５０に露出したプランジャー２０をバレル１０とスポット溶接によって溶接することができる。或いは、図８（ｂ）に示すように、バレル１０のカシメ加工によって、バレル１０とプランジャー２０を接合してもよい。
【００３４】
図１に示したプローブ１は、例えば図９に示すように、プローブヘッド２に装着される。プローブヘッド２は、トップ側パート１Ａを支持するトップガイド２Ａ、ボトム側パート１Ｂを支持するボトムガイド２Ｂ、トップガイド２Ａとボトムガイド２Ｂの間に配置されたミドルガイド２Ｃを備える。トップガイド２Ａ、ボトムガイド２Ｂ、ミドルガイド２Ｃには、例えばセラミックや樹脂などの絶縁材料が使用される。
【００３５】
トップ側パート１Ａのプランジャー２０Ａの先端部２１は、トップガイド２Ａに形成された貫通孔から外部に突出し、配線基板３のランド３１に接続される。ボトム側パート１Ｂのプランジャー２０Ｂの先端部２１は、ボトムガイド２Ｂに形成された貫通孔から外部に突出し、図示を省略する被検査体に接触する。これにより、被検査体の検査が行われる。
【００３６】
図１０に示すように、ミドルガイド２Ｃは、バレル１０の外形よりも狭い貫通部２００を有する。そして、貫通部２００にプランジャー２０の基端部２２が挿入された状態で、プローブ１がプローブヘッド２に装着される。つまり、プランジャー２０Ａの基端部２２とプランジャー２０Ｂの基端部２２が貫通部２００の内部で接触する。これにより、トップ側パート１Ａのプランジャー２０Ａとボトム側パート１Ｂのプランジャー２０Ｂが電気的に接続される。
【００３７】
なお、貫通部２００はバレル１０の外形よりも狭いため、貫通部２００にバレル１０は入り込まない。このため、その開放端からプランジャー２０の基端部２２が露出するバレル１０の端部がミドルガイド２Ｃに突き当たって固定される。このように、図９に示した電気的接続装置では、検査時にバレル１０の端部がミドルガイド２Ｃに圧着する。
【００３８】
上記のように、図９に示した電気的接続装置では、トップ側パート１Ａのバレル１０Ａのバネ部の伸縮と、ボトム側パート１Ｂのバレル１０Ｂのバネ部の伸縮が、バレル１０Ａ及びバレル１０Ｂとミドルガイド２Ｃとの接触によって制動される。このため、プローブ１では、トップ側パート１Ａとボトム側パート１Ｂのそれぞれが独立して軸方向に伸縮自在である。したがって、トップ側パート１Ａがランド３１に接触する圧力と、ボトム側パート１Ｂが被検査体に接触する圧力を、独立して調整することができる。
【００３９】
トップ側パート１Ａのバレル１０Ａのバネ部は、プローブ１とランド３１にプリロードをかけるように機能する。ボトム側パート１Ｂのバレル１０Ｂのバネ部は、ＯＤをかけてプローブ１を被検査体に押し付けるように機能する。これらのバネ部の伸縮を独立して調整できるため、狙い通りにプリロードやＯＤをかけることができる。
【００４０】
即ち、適切な大きさのプリロードをかけることができるため、プローブ１がランド３１と接触する圧力が大きすぎるためにランド３１にダメージが生じることを防止できる。また、過剰なプリロードによる圧着が原因で生じるバレル１０のバネ部のヘタリを抑制できる。更に、ＯＤに起因してプローブ１がランド３１を突き上げて配線基板３の上面が膨らむベンディング現象を抑制できる。
【００４１】
したがって、図９に示した電気的接続装置によれば、プローブ１とランド３１及び被検査体との接触を安定させることができる。このため、被検査体の検査を安定して高い精度で行うことができる。
【００４２】
なお、トップ側パート１Ａとボトム側パート１Ｂのいずれか一方に不具合が生じた場合は、プローブ１の全部を交換するのではなく、不具合が生じたパートのみを交換すればよい。例えば、プローブ１のトップ側パート１Ａに不具合が生じた場合は、不具合の生じたトップ側パート１Ａのみをプローブヘッド２からはずし、新たなトップ側パート１Ａと交換すればよい。このため、プローブ１に不具合が生じた場合の交換が容易であり、且つ交換に要するコストを抑制することができる。
【００４３】
＜変形例＞
図１１に示す本発明の実施形態の変形例に係るプローブ１は、バレル１０の最も外側の表面に絶縁材料からなる絶縁層４０が配置されている。このため、仮に隣接するプローブ同士が接触しても、プローブ同士は絶縁層４０によって電気的に絶縁されるため、プローブ間のショートを抑制できる。他は、図１に示したプローブ１と同様である。
【００４４】
例えば図１２（ａ）〜図１２（ｂ）に示すように、バネ部の外側に向いた外表面１０１のみに絶縁層４０を配置する。或いは、図１３（ａ）〜図１３（ｂ）に示すように、バネ部の外表面１０１と側面１０２に絶縁層４０を配置してもよい。図１２（ａ）に示す構造によれば、バネ部に絶縁層４０を容易に形成することができる。一方、図１３（ａ）に示す構造によれば、より確実にプローブ間のショートを抑制できる。
【００４５】
（その他の実施形態）
上記のように本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。即ち、本発明はここでは記載していない様々な実施形態などを含むことはもちろんである。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
【符号の説明】
【００４６】
１…プローブ
１Ａ…トップ側パート
１Ｂ…ボトム側パート
２…プローブヘッド
２Ａ…トップガイド
２Ｂ…ボトムガイド
２Ｃ…ミドルガイド
３…配線基板
１０…バレル
２０…プランジャー
２１…先端部
２２…基端部
２５…絶縁コーティング膜
３０…接合部
３１…ランド
４０…絶縁層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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