(57)【要約】      （修正有）【課題】大規模な検査装置が不要で、温度調節機能を簡単な装置で自己診断でき、汎用的に検査の行なえる真空ポンプ、該真空ポンプに適用される温度調節用制御装置、検査用治具、及び温度調節機能部の診断方法を提供する。【解決手段】ステップ５では、検査用プログラムがＴＭＳ温度センサに相当する固定抵抗を電圧変換された電圧値で検出することで擬似温度が８０度か否かを判断する。擬似温度が８０度であれば次のステップ６に進みＴＭＳ制御装置の端子と端子間にＴＭＳヒータをＯＮさせることに相当する模擬的な出力を行なう。ステップ７では、検査用プログラムがＴＭＳ温度センサに相当する固定抵抗を電圧変換された電圧値で検出することで擬似温度が１５０度か否かを判断する。擬似温度が１５０度であれば次のステップ８に進みＴＭＳ制御装置の端子と端子間に流れていた出力電流を切断する。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプ本体に内蔵されたモータや磁気軸受を監視制御する制御部と、
前記ポンプ本体に配設された少なくとも一つの温度センサにより該ポンプ本体の温度を計測し、該温度に基づき少なくとも一つのヒータ又は電磁弁を制御する温度調節機能部を有する真空ポンプにおいて、
前記温度調節機能部は、前記温度センサを接続若しくは取外し可能な第１の端子と、
前記ヒータ又は前記電磁弁を接続若しくは取外し可能な第２の端子とを有し、
前記第１の端子への入力信号が正常に入力されたか否か、又は、前記第２の端子から正常に出力されたか否かを自己診断できる自己診断部を有することを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】
前記温度調節機能部は、
前記第１の端子に前記温度センサに代えてダミー用の第１の負荷が接続され、
前記第１の負荷にかかる電圧が予め設定した電圧値のとき前記温度センサが所定の温度値になったと擬似的に判定する温度判定手段と、
前記第２の端子に前記ヒータ又は前記電磁弁に代えてダミー用の第２の負荷が接続され、
前記温度判定手段の判定結果に基づき前記第２の負荷に対して所定の電流を流す、若しくは停止する出力手段とを有し、
前記予め設定した電圧値が前記ヒータのＯＮとＯＦＦ、又は前記電磁弁の開と閉に対応して用意され、
前記出力手段は前記ヒータ又は前記電磁弁毎に独立して構成されたことを特徴とする請求項１記載の真空ポンプ。
【請求項３】
前記ヒータのＯＮとＯＦＦ、又は前記電磁弁の開と閉が時系列に判定されることで検査の合否が判断されることを特徴とする請求項２記載の真空ポンプ。
【請求項４】
前記出力手段に前記所定の電流が流れたことで前記ヒータ又は前記電磁弁に対し所定の出力が行なわれたと擬似的に判定する出力判定手段を備えたことを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の真空ポンプ。
【請求項５】
前記第１の負荷が前記ヒータのＯＮとＯＦＦにそれぞれ対応した抵抗値を有する抵抗であり、又は前記電磁弁の開と閉にそれぞれ対応した抵抗値を有する抵抗であり、それぞれの抵抗はスイッチで切替自在であることを特徴とする請求項２〜４のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
【請求項６】
前記温度調節機能部は、前記第１の負荷が短絡状態であることを確認したとき検査モードに入ることを特徴とする請求項２〜５のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
【請求項７】
前記温度調節機能部が前記制御部とはそれぞれ独立したユニットとして構成されたことを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
【請求項８】
前記温度調節機能部の前記第１の端子と前記第２の端子に対するケーブルの断線若しくは短絡を判断する判断手段を備え、
該判断手段で断線若しくは短絡と判断されたときには、前記第１の端子への入力信号を不感知とし、また、前記第２の端子から外部への制御は行われないことを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
【請求項９】
前記判断手段は、
前記温度調節機能部が立ち上がるとき、断線若しくは短絡の判断を実行することを特徴とする請求項８に記載の真空ポンプ。
【請求項１０】
ポンプ本体に内蔵されたモータや磁気軸受を監視制御する制御部と、
前記ポンプ本体に配設された少なくとも一つの温度センサにより該ポンプ本体の温度を計測し、該温度に基づき少なくとも一つのヒータ又は電磁弁を制御する温度調節機能部を備えた温度調節用制御装置であって、
前記温度調節機能部は、前記温度センサを接続若しくは取外し可能な第１の端子と、
前記ヒータ又は前記電磁弁を接続若しくは取外し可能な第２の端子とを有し、
前記第１の端子への入力信号が正常に入力されたか否か、又は、前記第２の端子から正常に出力されたか否かを自己診断できる自己診断部を有することを特徴とする温度調節用制御装置。
【請求項１１】
ポンプ本体に配設された少なくとも一つの温度センサにより該ポンプ本体の温度を計測し、該温度に基づき少なくとも一つのヒータ又は電磁弁を制御する温度調節機能部の検査用治具であって、
前記温度調節機能部は、前記温度センサを接続若しくは取外し可能な第１の端子と、
前記ヒータ又は前記電磁弁を接続若しくは取外し可能な第２の端子とを有し、
前記第１の端子への入力信号が正常に入力されたか否か、又は、前記第２の端子から正常に出力されたか否かを自己診断できる自己診断部を有することを特徴とする前記温度調節機能部の検査用治具。
【請求項１２】
ポンプ本体に配設された少なくとも一つの温度センサにより該ポンプ本体の温度を計測し、該温度に基づき少なくとも一つのヒータ又は電磁弁を制御する温度調節機能部の温度判定と出力の異常の有無を診断する方法であって、
前記温度調節機能部は、前記温度センサを接続若しくは取外し可能な第１の端子と、
前記ヒータ又は前記電磁弁を接続若しくは取外し可能な第２の端子とを備え、
前記第１の端子への入力信号が正常に入力されたか否か、又は、前記第２の端子から正常に出力されたか否かを自己診断でき、
前記第１の端子に前記温度センサに代えてダミー用の第１の負荷を接続し、
前記第２の端子に前記ヒータ又は前記電磁弁に代えてダミー用の第２の負荷を接続し、
前記第１の負荷にかかる電圧が予め設定した電圧値のとき前記温度センサが所定の温度値になったと擬似的に判定し、
該擬似的に判定された結果に基づき前記第２の負荷に対して所定の電流を流す、若しくは停止を制御し、
前記予め設定した電圧値を前記ヒータのＯＮとＯＦＦ、又は前記電磁弁の開と閉に対応して用意し、
前記第２の負荷に対する電流の制御は前記ヒータ又は前記電磁弁毎に独立して構成したことを特徴とする前記温度調節機能部の異常の有無を診断する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は真空ポンプ、該真空ポンプに適用される温度調節用制御装置、検査用治具、及び温度調節機能部の診断方法に係わり、特に大規模な検査装置が不要で、温度調節機能を簡単な装置で自己診断でき、汎用的に検査の行なえる真空ポンプ、該真空ポンプに適用される温度調節用制御装置、検査用治具、及び温度調節機能部の診断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のエレクトロニクスの発展に伴い、メモリや集積回路といった半導体の需要が急激に増大している。
これらの半導体は、極めて純度の高い半導体基板に不純物をドープして電気的性質を与えたり、エッチングにより半導体基板上に微細な回路を形成したりなどして製造される。
【０００３】
そして、これらの作業は空気中の塵等による影響を避けるため高真空状態のチャンバ内で行われる必要がある。このチャンバの排気には、一般に真空ポンプが用いられているが、特に残留ガスが少なく、保守が容易等の点から真空ポンプの中の一つであるターボ分子ポンプが多用されている。
【０００４】
また、半導体の製造工程では、さまざまなプロセスガスを半導体の基板に作用させる工程が数多くあり、ターボ分子ポンプはチャンバ内を真空にするのみならず、これらのプロセスガスをチャンバ内から排気するのにも使用される。
【０００５】
ところで、プロセスガスは、反応性を高めるため高温の状態でチャンバに導入される場合がある。そして、これらのプロセスガスは、排気される際に冷却されてある温度になると固体となり排気系に生成物を析出する場合がある。そして、この種のプロセスガスがターボ分子ポンプ内で低温となって固体状となり、ターボ分子ポンプ内部に付着して堆積する場合がある。
【０００６】
ターボ分子ポンプ内部にプロセスガスの析出物が堆積すると、この堆積物がポンプ流路を狭め、ターボ分子ポンプの性能を低下させる原因となる。
【０００７】
この問題を解決するために、従来はターボ分子ポンプのベース部等の外周にヒータや環状の水冷管を巻着させ、かつ例えばベース部等に温度センサ（例えばサーミスタ）を埋め込み、この温度センサの信号に基づきベース部の温度を一定の高い温度（設定温度）に保つようにヒータの加熱や水冷管による冷却の制御（以下ＴＭＳという。ＴＭＳ；Temperature Management System）が行われている（特許文献１、特許文献２を参照）。
【０００８】
ＴＭＳの設定温度は高い方が生成物が堆積し難いため、設定温度は可能な限り高くすることが望ましい。
一方、このようにベース部を高温にした際には、ターボ分子ポンプの本体内に備えられた電子回路は、排気負荷の変動や周囲温度が高温に変化した場合等には限界温度を超え、半導体メモリによる記憶手段が破壊される恐れがある。この際には、半導体メモリが壊れてポンプ起動時間やエラー履歴等のメンテナンス情報データが消える。
【０００９】
メンテナンス情報データが消えた場合には、保守点検の時期やターボ分子ポンプの交換時期等の判断もできなくなる。従って、ターボ分子ポンプの運用上に大きな支障が生ずる。このため、所定温度を超えた場合には水冷管による冷却が行なわれている。
【００１０】
ＴＭＳ制御の一例を図１１に示す。
この例では、温度センサ（後述するＴＭＳ温度センサに相当する）でベース部の温度を計測し、計測温度が予め設定したベース部の許容温度以下となるように、ヒータに対し加熱指令を送ったり、水冷管への水の流れを制御するために電磁弁を開閉したりする。例として、目標とする設定温度は、６０度とする。
【００１１】
即ち、図１１において、制御装置は運転開始の初期段階にヒータをＯＮし加熱し続け、温度センサで計測した計測温度が６０度を超えたときにヒータをＯＦＦする。この間、電磁弁は閉まり続けているのでヒータによりベース部の温度は加熱される。
【００１２】
６０度でヒータをＯＦＦした後も熱容量の関係から、ベース部の温度は急には下降せず、オーバーシュート曲線を描く。その後、計測温度が６３度を超えたときに電磁弁を開いて水冷管より水を供給する。そして、ベース部の温度が６０度以下まで下がったときには電磁弁を閉める。その後、ベース部の温度が５８度以下になったときには再びヒータをＯＮする。
【００１３】
図１１の制御例は温度センサが一本で一つのヒータと一つの電磁弁を制御しているが、ポンプの容量が大きくなればより多くの本数の温度センサやヒータ、電磁弁が配設される。ヒータをＯＮ、ＯＦＦさせる温度や電磁弁を開閉する温度も異なってくる。温度のしきい値の設定にヒステリシスが配慮されたりロジックも複雑化したりする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】国際公開番号２０１１−０２１４２８号公報
【特許文献２】特開２００３−２７８６９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
ところで、このように時系列にヒステリシスを配慮しつつ複雑な動作が行なわれるＴＭＳ制御が正常に行なわれるか否かを検査するために、従来は制御装置に対して専用の検査装置を接続して検査が行なわれていた。この検査装置には検査用の治具やＩ／Ｏ基板、パソコンも含まれるが、アプリケーションソフト等はパソコンで使用されるＯＳに合わせて構成されているため、ＯＳがバージョンアップされたりする毎に検査用の治具や、Ｉ／Ｏ基板やアプリケーションソフトが使えなくなることがあった。
【００１６】
また、ポンプの容量が大きくなりセンサの本数や制御対象となるヒータ、電磁弁の数が増えた際には検査装置を改めて開発し用意しなければならない恐れがあった。
更に、このように用意した検査装置はすべてのターボ分子ポンプに対し共通して適用がされる訳ではなく、高価な検査用設備の場合にはサービス拠点等に常備させるという点では難しい側面もあった。
【００１７】
更に、センサ、ヒータや電磁弁の数が対象とするポンプによって変わった場合であっても対応できるように検査装置だけではなく、ＴＭＳの温度を監視、制御する制御装置についても汎用的なものとして用意することが望ましい。
しかしながら、この場合にはポンプの運転環境や処理能力如何によってはセンサ、ヒータや電磁弁とは接続されない端子（チャンネル）が出てくることが想定され、この端子を介して侵入した断線に伴うノイズやショートにより異常信号の検出や誤制御の原因となる恐れがある。
【００１８】
本発明はこのような従来の課題に鑑みてなされたもので、大規模な検査装置が不要で、温度調節機能を簡単な装置で自己診断でき、汎用的に検査の行なえる真空ポンプ、該真空ポンプに適用される温度調節用制御装置、検査用治具、及び温度調節機能部の診断方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
このため本発明（請求項１）は真空ポンプの発明であって、ポンプ本体に内蔵されたモータや磁気軸受を監視制御する制御部と、前記ポンプ本体に配設された少なくとも一つの温度センサにより該ポンプ本体の温度を計測し、該温度に基づき少なくとも一つのヒータ又は電磁弁を制御する温度調節機能部を有する真空ポンプにおいて、前記温度調節機能部は、前記温度センサを接続若しくは取外し可能な第１の端子と、前記ヒータ又は前記電磁弁を接続若しくは取外し可能な第２の端子とを有し、前記第１の端子への入力信号が正常に入力されたか否か、又は、前記第２の端子から正常に出力されたか否かを自己診断できる自己診断部を有することを特徴とする。
【００２０】
温度調節機能部とは別に温度センサからの計測信号が正常に入力されたか否か、又は、前記ヒータ又は電磁弁への出力が正常に行なわれているか否かを自己診断できる自己診断部を備えた。温度調節機能部のソフトウェア部分については開発時に十分な検査は行なわれているので自己診断部の検査の対象とはしない。従って、自己診断部の検査では、温度センサによる入力経路とヒータや電磁弁の出力経路だけを検査する。検査のための診断プログラムは簡単である。このため安価に構成でき、専用のプログラムを組み込んだパソコン等の大掛かりな検査器具は不要であるため、各サービス拠点にも容易に導入ができる。
また、自己診断部の検査にパソコンが不要なため、従来のようにＯＳがバージョンアップされたりする毎にアプリケーションソフトが使えなくなることはなくなる。
【００２１】
また、本発明（請求項２）は真空ポンプの発明であって、前記温度調節機能部は、前記第１の端子に前記温度センサに代えてダミー用の第１の負荷が接続され、前記第１の負荷にかかる電圧が予め設定した電圧値のとき前記温度センサが所定の温度値になったと擬似的に判定する温度判定手段と、前記第２の端子に前記ヒータ又は前記電磁弁に代えてダミー用の第２の負荷が接続され、前記温度判定手段の判定結果に基づき前記第２の負荷に対して所定の電流を流す、若しくは停止する出力手段とを有し、前記予め設定した電圧値が前記ヒータのＯＮとＯＦＦ、又は前記電磁弁の開と閉に対応して用意され、前記出力手段は前記ヒータ又は前記電磁弁毎に独立して構成されたことを特徴とする。
【００２２】
擬似的に入力経路を判定でき、また、擬似的に出力経路も判定できるので検査の効率が良く簡単である。
【００２３】
更に、本発明（請求項３）は真空ポンプの発明であって、前記ヒータのＯＮとＯＦＦ、又は前記電磁弁の開と閉が時系列に判定されることで検査の合否が判断されることを特徴とする。
【００２４】
ヒータのＯＮとＯＦＦ、又は電磁弁の開と閉が実際の温度調節機能部の運転の順番通りに時系列に判定されることで合否判定の精度が向上する。
【００２５】
更に、本発明（請求項４）は真空ポンプの発明であって、前記出力手段に前記所定の電流が流れたことで前記ヒータ又は前記電磁弁に対し所定の出力が行なわれたと擬似的に判定する出力判定手段を備えたことを特徴とする。
【００２６】
出力手段に所定の電流が流れたことを確認することで合否判定の精度が向上する。
【００２７】
更に、本発明（請求項５）は真空ポンプの発明であって、前記第１の負荷が前記ヒータのＯＮとＯＦＦにそれぞれ対応した抵抗値を有する抵抗であり、又は前記電磁弁の開と閉にそれぞれ対応した抵抗値を有する抵抗であり、それぞれの抵抗はスイッチで切替自在であることを特徴とする。
【００２８】
このことにより、検査は安価かつ簡単に行なえる。
【００２９】
更に、本発明（請求項６）は真空ポンプの発明であって、前記温度調節機能部は、前記第１の負荷が短絡状態であることを確認したとき検査モードに入ることを特徴とする。
【００３０】
意図的に短絡状態を作り出すことで確実に検査モードに入ることができる。
【００３１】
更に、本発明（請求項７）は真空ポンプの発明であって、前記温度調節機能部が前記制御部とはそれぞれ独立したユニットとして構成されたことを特徴とする。
【００３２】
制御部と温度調節機能部とを分離したので、真空ポンプの容量が大きく、センサとヒータや電磁弁の個数が多く必要になった場合であっても制御装置側を大幅に拡張するための改造は必要なくコストを抑えることができる。
【００３３】
更に、本発明（請求項８）は真空ポンプの発明であって、前記温度調節機能部の前記第１の端子と前記第２の端子に対するケーブルの断線若しくは短絡を判断する判断手段を備え、該判断手段で断線若しくは短絡と判断されたときには、前記第１の端子への入力信号を不感知とし、また、前記第２の端子から外部への制御は行われないことを特徴とする。
【００３４】
このことにより、温度調節機能部の端子毎の制御設定を自動で行え、設定ミスが防止できる。また、異常入力信号による、エラー出力や誤った制御をすることを防止できる。
【００３５】
更に、本発明（請求項９）は真空ポンプの発明であって、前記判断手段は、前記温度調節機能部が立ち上がるとき、断線若しくは短絡の判断を実行することを特徴とする。
【００３６】
更に、本発明（請求項１０）は温度調節用制御装置の発明であって、ポンプ本体に内蔵されたモータや磁気軸受を監視制御する制御部と、前記ポンプ本体に配設された少なくとも一つの温度センサにより該ポンプ本体の温度を計測し、該温度に基づき少なくとも一つのヒータ又は電磁弁を制御する温度調節機能部を備えた温度調節用制御装置であって、前記温度調節機能部は、前記温度センサを接続若しくは取外し可能な第１の端子と、前記ヒータ又は前記電磁弁を接続若しくは取外し可能な第２の端子とを有し、前記第１の端子への入力信号が正常に入力されたか否か、又は、前記第２の端子から正常に出力されたか否かを自己診断できる自己診断部を有することを特徴とする。
【００３７】
更に、本発明（請求項１１）は温度調節機能部の検査用治具の発明であって、ポンプ本体に配設された少なくとも一つの温度センサにより該ポンプ本体の温度を計測し、該温度に基づき少なくとも一つのヒータ又は電磁弁を制御する温度調節機能部の検査用治具であって、前記温度調節機能部は、前記温度センサを接続若しくは取外し可能な第１の端子と、前記ヒータ又は前記電磁弁を接続若しくは取外し可能な第２の端子とを有し、前記第１の端子への入力信号が正常に入力されたか否か、又は、前記第２の端子から正常に出力されたか否かを自己診断できる自己診断部を有することを特徴とする。
【００３８】
更に、本発明（請求項１２）は温度調節機能部の異常の有無を診断する方法の発明であって、ポンプ本体に配設された少なくとも一つの温度センサにより該ポンプ本体の温度を計測し、該温度に基づき少なくとも一つのヒータ又は電磁弁を制御する温度調節機能部の温度判定と出力の異常の有無を診断する方法であって、前記温度調節機能部は、前記温度センサを接続若しくは取外し可能な第１の端子と、前記ヒータ又は前記電磁弁を接続若しくは取外し可能な第２の端子とを備え、前記第１の端子への入力信号が正常に入力されたか否か、又は、前記第２の端子から正常に出力されたか否かを自己診断でき、前記第１の端子に前記温度センサに代えてダミー用の第１の負荷を接続し、前記第２の端子に前記ヒータ又は前記電磁弁に代えてダミー用の第２の負荷を接続し、前記第１の負荷にかかる電圧が予め設定した電圧値のとき前記温度センサが所定の温度値になったと擬似的に判定し、該擬似的に判定された結果に基づき前記第２の負荷に対して所定の電流を流す、若しくは停止を制御し、前記予め設定した電圧値を前記ヒータのＯＮとＯＦＦ、又は前記電磁弁の開と閉に対応して用意し、前記第２の負荷に対する電流の制御は前記ヒータ又は前記電磁弁毎に独立して構成したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００３９】
以上説明したように本発明（請求項１）によれば、温度センサからの計測信号が正常に入力されたか否か、又は、前記ヒータ又は電磁弁へ正常に出力されたか否かを自己診断できる自己診断部を備えて構成したので、温度センサによる入力経路とヒータや電磁弁の出力経路だけが検査される。よって、検査のための診断プログラムは簡単である。このため安価に構成でき、専用のプログラムを組み込んだパソコン等の大掛かりな検査器具は不要である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の実施形態の全体システム構成図
【図２】ターボ分子ポンプの構成図
【図３】ＴＭＳ制御装置の筐体のフロント面とリア面の様子を示す図
【図４】ロータリースイッチの概念図
【図５】サーミスタのダミーに抵抗を利用した入力判定方法を説明する図
【図６】ダミー抵抗に生じた電圧を元に温度を検出する方法（その１）
【図７】ダミー抵抗に生じた電圧を元に温度を検出する方法（その２）
【図８】本発明の実施形態の動作を説明するフローチャート
【図９】ヒータや電磁弁に対する模擬的な出力判定方法を説明する図
【図１０】サーミスタ抵抗と計測電圧の関係のイメージ図
【図１１】従来のＴＭＳ制御の一例
【発明を実施するための形態】
【００４１】
以下、本発明の実施形態について説明する。本発明の実施形態の全体システム構成図を図１に、また、図２に、ターボ分子ポンプの構成図を示す。
図１において、制御装置２００はポンプ本体１００と別体で記載されているが、ターボ分子ポンプは、ポンプ本体１００と制御装置２００とが一体化されていても本実施形態の適用は可能である。
【００４２】
制御装置２００には２００ボルトの交流電源が供給されている。この制御装置２００はポンプ本体１００に内蔵された後述するモータ１２１や磁気軸受１０４、１０５、１０６の状態の監視や制御を行なっている。そして、ポート２０１にはこの制御装置２００に専用の検査用の治具やＩ／Ｏ基板、パソコン等が接続自在である。
【００４３】
この制御装置２００には端子２０３が配設され、この端子２０３には延長ケーブル２１１の一端が接続されている。一方、延長ケーブル２１１の他端はポンプ本体１００への温度調節のためのＴＭＳ制御を行なうＴＭＳ制御装置３００の端子３０１に接続されている。ＴＭＳ制御装置３００にも２００ボルトの交流電源が供給されている。なお、延長ケーブル２１１は、制御装置２００とＴＭＳ制御装置３００が配設された際の取合いによっては省略可能である。
ＴＭＳ制御装置３００には４つのチャンネルが用意され、それぞれ入力信号の入力と出力信号の出力がされる。チャンネル１では、ＴＭＳヒータ１５１により加熱された周囲の温度を計測するため、ＴＭＳヒータ１５１の配設付近に備えられたＴＭＳ温度センサ１５５からの信号が入力されるようになっている。そして、ポンプ本体１００に配設されたＴＭＳヒータ１５１に対し２００ボルトの交流電源がＯＮ若しくはＯＦＦされるようになっている。
【００４４】
また、このチャンネル２では、電磁弁１５３が開閉されたことにより冷却された温度を計測するための後述する水冷管１５２の配設付近に備えられた水冷温度センサ１５７からの信号が入力されるようになっている。そして、ポンプ本体１００に配設された水冷用の電磁弁１５３に対し２４ボルトの直流電源がＯＮ若しくはＯＦＦされるようになっている。
【００４５】
チャンネル３では、排気口ヒータ１５９の配設付近に備えられた排気口温度センサ１６１からの信号が入力されるようになっている。そして、ポンプ本体１００の側部に配設された排気口ヒータ１５９に対し２００ボルトの交流電源がＯＮ若しくはＯＦＦされるようになっている。
【００４６】
このようにＴＭＳ制御装置３００は制御装置２００とは独立して１つの電磁弁と２つのヒータと３つの温度センサを制御するように構成されている。
チャンネル４については、追加の温度制御のための予備として設けられている。
チャンネル数に関しては、４つとして説明したが、これに限定されることはなく、必要とする温度制御の数に合わせ、適宜設定することが望ましい。また、制御する電磁弁やヒータの数は、上記個数に限定されず、チャンネル内の設定を変更することで、各チャンネルにおいて、どちらを制御するか切替えることができる。
また、このＴＭＳ制御装置３００の温度制御機能は制御装置２００に一体化されてもよい。
次に、ポンプ本体１００について説明する。
【００４７】
図２において、ポンプ本体１００の円筒状の外筒１２７の上端には吸気口１０１が形成されている。外筒１２７の内方には、ガスを吸引排気するためのタービンブレードによる複数の回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・を周部に放射状かつ多段に形成した回転体１０３を備える。
【００４８】
この回転体１０３の中心にはロータ軸１１３が取り付けられており、このロータ軸１１３は、例えば、いわゆる５軸制御の磁気軸受により空中に浮上支持かつ位置制御されている。
【００４９】
上側径方向電磁石１０４は、４個の電磁石が、ロータ軸１１３の径方向の座標軸であって互いに直交するＸ軸とＹ軸とに対をなして配置されている。この上側径方向電磁石１０４に近接かつ対応されて４個の電磁石からなる上側径方向センサ１０７が備えられている。この上側径方向センサ１０７はロータ軸１１３の径方向変位を検出し、制御装置２００に送るように構成されている。
【００５０】
制御装置２００においては、上側径方向センサ１０７が検出した変位信号に基づき、ＰＩＤ調節機能を有する補償回路を介して上側径方向電磁石１０４の励磁を制御し、ロータ軸１１３の上側の径方向位置を調整する。
【００５１】
ロータ軸１１３は、高透磁率材（鉄など）などにより形成され、上側径方向電磁石１０４の磁力により吸引されるようになっている。かかる調整は、Ｘ軸方向とＹ軸方向とにそれぞれ独立して行われる。
【００５２】
また、下側径方向電磁石１０５及び下側径方向センサ１０８が、上側径方向電磁石１０４及び上側径方向センサ１０７と同様に配置され、ロータ軸１１３の下側の径方向位置を上側の径方向位置と同様に調整している。
【００５３】
更に、軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂが、ロータ軸１１３の下部に備えた円板状の金属ディスク１１１を上下に挟んで配置されている。金属ディスク１１１は、鉄などの高透磁率材で構成されている。ロータ軸１１３の軸方向変位を検出するために軸方向センサ１０９が備えられ、その軸方向変位信号が制御装置２００に送られるように構成されている。
【００５４】
そして、軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂは、この軸方向変位信号に基づき制御装置２００のＰＩＤ調節機能を有する補償回路を介して励磁制御されるようになっている。軸方向電磁石１０６Ａと軸方向電磁石１０６Ｂは、磁力により金属ディスク１１１をそれぞれ上方と下方とに吸引する。
【００５５】
このように、制御装置２００は、この軸方向電磁石１０６Ａ、１０６Ｂが金属ディスク１１１に及ぼす磁力を適当に調節し、ロータ軸１１３を軸方向に磁気浮上させ、空間に非接触で保持するようになっている。
【００５６】
モータ１２１は、ロータ軸１１３を取り囲むように周状に配置された複数の磁極を備えている。各磁極は、ロータ軸１１３との間に作用する電磁力を介してロータ軸１１３を回転駆動するように、制御装置２００によって制御されている。
【００５７】
回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・とわずかの空隙を隔てて複数枚の固定翼１２３ａ、１２３ｂ、１２３ｃ・・・が配設されている。回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・は、それぞれ排気ガスの分子を衝突により下方向に移送するため、ロータ軸１１３の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して形成されている。
【００５８】
また、固定翼１２３も、同様にロータ軸１１３の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して形成され、かつ外筒１２７の内方に向けて回転翼１０２の段と互い違いに配設されている。
そして、固定翼１２３の一端は、複数の段積みされた固定翼スペーサ１２５ａ、１２５ｂ、１２５ｃ・・・の間に嵌挿された状態で支持されている。
【００５９】
固定翼スペーサ１２５はリング状の部材であり、例えばアルミニウム、鉄、ステンレス、銅などの金属、又はこれらの金属を成分として含む合金などの金属によって構成されている。
【００６０】
固定翼スペーサ１２５の外周には、わずかの空隙を隔てて外筒１２７が固定されている。外筒１２７の底部にはベース部１２９が配設され、固定翼スペーサ１２５の下部とベース部１２９の間にはネジ付きスペーサ１３１が配設されている。そして、ベース部１２９中のネジ付きスペーサ１３１の下部には排気口１３３が形成され、外部に連通されている。排気口１３３の周囲には排気口ヒータ１５９が配設されている。そして、この排気口ヒータ１５９の近くに排気口温度センサ１６１が配設されている。
【００６１】
ネジ付きスペーサ１３１は、アルミニウム、銅、ステンレス、鉄、又はこれらの金属を成分とする合金などの金属によって構成された円筒状の部材であり、その内周面に螺旋状のネジ溝１３１ａが複数条刻設されている。
ネジ溝１３１ａの螺旋の方向は、回転体１０３の回転方向に排気ガスの分子が移動したときに、この分子が排気口１３３の方へ移送される方向である。
【００６２】
回転体１０３の回転翼１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ・・・に続く最下部には円筒部１０２ｄが垂下されている。この円筒部１０２ｄの外周面は、円筒状で、かつネジ付きスペーサ１３１の内周面に向かって張り出されており、このネジ付きスペーサ１３１の内周面と所定の隙間を隔てて近接されている。ネジ付きスペーサ１３１にはＴＭＳヒータ１５１が配設されている。また、このネジ付きスペーサ１３１にはＴＭＳ温度センサ１５５が埋設されている。本実施形態ではネジ付きスペーサ１３１を直接加熱しているが、ベース１２９を加熱することにより、間接的に加熱してもよい。
【００６３】
ベース部１２９は、ターボ分子ポンプ１０の基底部を構成する円盤状の部材であり、一般には鉄、アルミニウム、ステンレスなどの金属によって構成されている。また、このベース部１２９には水冷管１５２が環状に埋設されている。そして、水冷管１５２の側部には水冷温度センサ１５７が配設されている。
【００６４】
ベース部１２９はターボ分子ポンプ１０を物理的に保持すると共に、熱の伝導路の機能も兼ね備えているので、鉄、アルミニウムや銅などの剛性があり、熱伝導率も高い金属が使用されるのが望ましい。
【００６５】
かかる構成において、回転翼１０２がモータ１２１により駆動されてロータ軸１１３と共に回転すると、回転翼１０２と固定翼１２３の作用により、吸気口１０１を通じてチャンバからの排気ガスが吸気される。
【００６６】
吸気口１０１から吸気された排気ガスは、回転翼１０２と固定翼１２３の間を通り、ベース部１２９へ移送される。このとき、排気ガスが回転翼１０２に接触又は衝突する際に生ずる摩擦熱や、モータ１２１で発生した熱の伝導や輻射などにより、回転翼１０２の温度は上昇するが、この熱は、輻射又は排気ガスの気体分子等による伝導により固定翼１２３側に伝達される。
【００６７】
固定翼スペーサ１２５は、外周部で互いに接合しており、固定翼１２３が回転翼１０２から受け取った熱や排気ガスが固定翼１２３に接触又は衝突する際に生ずる摩擦熱などを外筒１２７やネジ付きスペーサ１３１へと伝達する。
ネジ付きスペーサ１３１に移送されてきた排気ガスは、ネジ溝１３１ａに案内されつつ排気口１３３へと送られる。
【００６８】
次に、ＴＭＳ制御装置３００について説明する。
ＴＭＳ制御装置３００はポンプ本体１００の温度調整機能を有する装置であり、その機能の説明として、筐体のフロント面とリア面の様子を図３に示す。このＴＭＳ制御装置３００のリア面には通常の運転時はＴＭＳヒータ１５１、排気口ヒータ１５９や電磁弁１５３の他、ＴＭＳ温度センサ１５５、水冷温度センサ１５７、排気口温度センサ１６１用の各端子が接続されている。一方、温度調整機能の検査の際にはこれらのヒータや電磁弁、センサ用の各端子はリア面から外される。そして、代わりにこれらのヒータや電磁弁、センサに対応した検査用のダミー回路に続く端子が接続されるようになっている。ダミー回路はすべて検査用治具４００に内蔵されている。
【００６９】
この検査用治具４００は、外部検査装置を必要とせず、温度調整機能における入出力経路に異常がないかの診断を可能にするものである。
この検査用治具４００には図４に示すロータリースイッチ４０１が配設されている。ロータリースイッチ４０１は、共通端子４０３を中心に操作軸４０５が回転することで接点４３１から接点４３４に接続が切り替えられるようになっている。
操作軸４０５が接点４３１に接触したとき共通端子４０３と端子４０７間は短絡状態となる。操作軸４０５が接点４３２に接触したとき共通端子４０３と端子４０７間には固定抵抗Ｒ１が接続された状態となる。操作軸４０５が接点４３３に接触したとき共通端子４０３と端子４０７間には固定抵抗Ｒ２が接続された状態となる。操作軸４０５が接点４３４に接触したとき共通端子４０３と端子４０７間は開放状態となる。
【００７０】
検査用治具４００は検査の際に、図５に示すように検査用治具４００側の共通端子４０３と端子４０７がそれぞれＴＭＳ制御装置３００側の端子３０３と端子３０５に対し接続できるようになっている。端子３０５は接地され、端子３０３は抵抗Ｒ0を介して３．３ボルトの直流電源に接続されている。また、端子３０３の電圧はＡ／Ｄ変換された後ＣＰＵ３０７に入力されている。図５において、抵抗ＲTは固定抵抗Ｒ１や固定抵抗Ｒ２等を簡略的にまとめて記載したものであり、サーミスタのダミー抵抗に相当する。即ち、抵抗ＲTはポンプ本体１００の内部に装着されたサーミスタのある温度を模擬的に抵抗で実現したものである。
【００７１】
サーミスタは一般的に温度に応じて抵抗値が変化するので、抵抗値が分かれば温度が決まる。このため、図６の等価回路に示すように抵抗ＲTの両端の電圧を計測し、図７のようにこの電圧値をディジタル変換したコードを読むことで温度値を読み取ることができる。抵抗Ｒ0や３．３ボルトの電源は運転中のときと変わっていないので、サーミスタで計測されたときのある温度を模擬的にこのときのサーミスタの抵抗値で置き換えてあげればサーミスタでその温度を計測したときと同じ状況を試験的に実現することができる。
【００７２】
例えば、図４の固定抵抗Ｒ１は、ＴＭＳ制御の下限温度を８０度にした場合にＴＭＳヒータ１５１をＯＮさせる温度８０度に相当し、固定抵抗Ｒ２は、ＴＭＳ制御の上限温度を１５０度にした場合にＴＭＳヒータ１５１をＯＦＦさせる温度１５０度に相当するように設定する。また、短絡状態は図示しないサーミスタの温度特性上の温度４００度に相当し、開放状態は温度−６０度に相当するものとする。診断でのダミー抵抗による想定温度は、上記温度に限定されず、ＴＭＳヒータ及び電磁弁を駆動させる設定温度に合わせて設定することが望ましい。
【００７３】
次に、本発明の実施形態の動作について説明する。
図８は本発明の実施形態の動作を説明するフローチャートである。
まず、ステップ１（図中Ｓ１と示す。以下同様）では、ＴＭＳ制御装置３００の電源スイッチがＯＮされる。ステップ２で測定が開始され、ステップ３では、図５に示す端子３０３と端子３０５間が短絡か否か判断される。検査用治具４００がＴＭＳ制御装置３００に接続されており、かつ、ロータリースイッチ４０１において操作軸４０５が接点４３１に接触している場合以外の場合には、ステップ４でＴＭＳ制御装置３００内に内蔵されたソフトウェアにより通常のＴＭＳ温度制御が行なわれるモードに進む。即ち、検査用治具４００がＴＭＳ制御装置３００に接続されていない場合にはステップ４でソフトウェアにより通常のＴＭＳ温度制御が行なわれるモードに進む。
【００７４】
一方、操作軸４０５が接点４３１に接触しており端子３０３と端子３０５間が短絡の場合にはステップ５以降の自己診断モードに移り、通常の温度制御プログラムとは独立した検査用プログラムが走る。この検査用プログラムもＴＭＳ制御装置３００内に内蔵されている。このとき、検査中であることを示すために、例えば図３に示すＴＭＳ制御装置３００のフロント面に配設されたパワー用ＬＥＤ４２１を点滅させる。検査中の間、検査用プログラムは端子３０３と端子３０５間の電圧を監視し続けている。
【００７５】
次に検査用治具４００のロータリースイッチ４０１を接点４３２に切り替える。ステップ６では測定が行なわれ、検査用プログラムが例えばＴＭＳ温度センサ１５５に相当する固定抵抗Ｒ１を電圧変換された電圧値で検出する。ステップ７では、この電圧値に基づき擬似温度が８０度か否かを判断する。そして、擬似温度が８０度であることを検出すると次のステップ８に進み図９に示すＴＭＳ制御装置３００の端子３０９と端子３１１間にＴＭＳヒータ１５１をＯＮさせることに相当する模擬的な出力を行なう。
【００７６】
図９において、検査用治具４００の端子４０９と端子４１１間にはランプ４１３と固定抵抗４１５とが直列に接続されている。本構造により、ランプ４１３は所定電流値以上の電流が流されたときにのみ点灯するようになっている。端子４１１と接続されたＴＭＳ制御装置３００側の端子３１１は接地されている。端子４０９とＴＭＳ制御装置３００側の端子３０９とは接続されており、ステップ８ではこの端子３０９よりＴＭＳヒータ１５１をＯＮさせるのに必要なだけの電流を流す。このことにより検査用治具４００に配設されたランプ４１３が点灯するので、ＴＭＳヒータ１５１が擬似的にＯＮしたと判定できる。なお、ここではランプ４１３を配設するとして説明したが、電流メーター等が配設されてもよい。
【００７７】
次に、検査用治具４００のロータリースイッチ４０１を接点４３３に切り替える。ステップ９では測定が行なわれ、検査用プログラムがＴＭＳ温度センサ１５５に相当する固定抵抗Ｒ２を電圧変換された電圧値で検出する。ステップ１０では、この電圧値に基づき擬似温度が１５０度か否かを判断する。そして、擬似温度が１５０度であることを検出すると次のステップ１１に進みＴＭＳ制御装置３００の端子３０９と端子３１１間に流れていた出力電流を切断する。このときランプ４１３は消灯するので、ＴＭＳヒータ１５１が擬似的にＯＦＦしたと判定できる。
【００７８】
続いてステップ１２の測定により、ステップ１３でロータリースイッチ４０１を接点４３４に切り替えることで開放状態を検出したらステップ１４で一連の検査は合格と判定される。ステップ１４では、図３に示すＴＭＳ制御装置３００のフロント面に配設されたＬＥＤランプ４２２を点灯させて、ＴＭＳ温度センサ１５５とＴＭＳヒータ１５１に関する一連の入力検査と出力検査が合格であることを表示する。
【００７９】
即ち、ロータリースイッチ４０１が接点４３１における短絡状態、接点４３２における温度８０度の状態、接点４３３における温度１５０度の状態、接点４３４における開放状態の順番で切り替えられ、この順番で正常と確認がされないと合格にはならない。
同様に、排気口温度センサ１６１と排気口ヒータ１５９の組み合わせについてもこの自己診断モードのプログラムで同様に検査ができる。この場合には、ＴＭＳ温度センサ１５５とＴＭＳヒータ１５１の場合とは動作温度が違うので、固定抵抗Ｒ１の抵抗値と固定抵抗Ｒ２の抵抗値は排気口温度センサ１６１と排気口ヒータ１５９の検査用のものに変えられている。排気口温度センサ１６１と排気口ヒータ１５９の組み合わせについては、ＴＭＳ制御装置３００のフロント面に配設されたＬＥＤランプ４２３を点灯させて合格であることを表示する。
【００８０】
また、水冷温度センサ１５７と電磁弁１５３の組み合わせについても同様である。固定抵抗Ｒ１の抵抗値と固定抵抗Ｒ２の抵抗値を水冷温度センサ１５７と電磁弁１５３の検査用のものに変えるだけで済む。この場合には、ＴＭＳ制御装置３００のフロント面に配設されたＬＥＤランプ４２４を点灯させて合格であることを表示する。このようにセンサとヒータや電磁弁の出力とは１対１対応で、かつ、それぞれの組み合わせは独立しているので自己診断モードのプログラムは独立して何通りでも対応できる。
自己診断モードの終了の際にはＴＭＳ制御装置３００の電源を切る。
なお、自己診断モードのステップ５からステップ１４の処理については、必要に応じ省略することも可能である。
例えば、ステップ５の自己診断モードに入るために接点４３１に切り替えた際、疑似温度が４００度であると判断して、ＯＦＦ出力も同時に行うようにすると、ステップ９からステップ１１の処理も同時に行うことが可能となり、自己診断モードのステップを少なくできる。また、検査用治具４００に関しては、固定抵抗Ｒ２や接点４３３及びランプ４１３等の部品が省略でき、より簡易化した治具とすることが可能となる。
【００８１】
ここに、従来の温度調節機能部の検査設備では本実施形態のような自己診断モードはなく、ソフトウェアによる通常の温度制御が正常に動作しているか否かの検査のその流れの中で、センサとヒータや電磁弁の入出力機能検査も含めた形で全体的なシステムのチェックが行われていた。
しかし、温度制御のロジックやソフトウェアは開発時のチェックだけで十分に評価はされているしプログラムに関する問題は以降は起こらない可能性が極めて高い。従って、センサとヒータや電磁弁のハードウェアで主に構成されている入出力経路部分に異常がないかどうかだけを検査できれば検査としては十分であると考えられる。
【００８２】
そこで、本実施形態の温度調節機能部では入出力経路部分だけを検査する自己診断機能を通常の温度制御プログラムとは別にＴＭＳ制御装置３００内に組み込んだものである。
但し、温度制御プログラムと自己診断機能とは、モータ１２１や磁気軸受を制御する制御装置２００内に一緒に組み込むようにしてもよい。
【００８３】
本実施形態のようにＴＭＳ制御装置３００と制御装置２００とを別体で構成することにすれば制御装置２００や検査用治具４００をターボ分子ポンプの容量如何に関わらず共通化できる。このため、ターボ分子ポンプの容量が大きく、温度調整用のセンサとヒータや電磁弁の個数が多く必要なときにのみＴＭＳ制御装置３００を配設すればよい。
【００８４】
即ち、ターボ分子ポンプの容量が大きくなっても従来の機種で使用している制御装置２００に対して温度調整機能だけの構成を有するＴＭＳ制御装置３００を付け足して拡張ができる。このときの検査も検査用治具４００を接続するだけの簡単な装置で行える。センサとヒータや電磁弁の入出力経路部分に関する検査のための自己診断プログラムも簡単である。このように入出力経路が正常かどうかを、簡単な治具とＴＭＳ制御装置３００内の検出回路によって、容易に判定できる。
従って、ターボ分子ポンプの容量が大きく、センサとヒータや電磁弁の個数が多く必要になった場合であっても制御装置２００側を大幅に拡張するための改造は必要なくコストを抑えることができる。また、ターボ分子ポンプの新規機種を開発した際の外部検査装置の準備が不要となる。新規機種の生産立ち上げにおける対応項目の削減にも繋がる。
【００８５】
ＴＭＳ制御装置３００を検査するための検査用治具４００は簡素な構成であり、安価にでき、専用のプログラムを組み込んだパソコン等の大掛かりな検査器具は不要であるため、各サービス拠点にも容易に導入ができる。
【００８６】
また、温度調整機能を検査するためにパソコンが不要なため、従来のようにＯＳがバージョンアップされたりする毎にアプリケーションソフトが使えなくなることはなくなる。
但し、図１に示すＴＭＳ制御装置３００の端子３０１に接続された延長ケーブル２１１を使い、Ｉ／Ｏ装置経由でパソコンに接続すれば、温度調整機能のパソコンでの動作確認も可能にできる。
【００８７】
次に、上記のようにＴＭＳ制御装置３００を汎用的に用いる場合に、より一層安全なポンプ運転を可能とする機能について説明する。
ＴＭＳ制御装置３００を汎用的に運用する場合、ターボ分子ポンプの運転状況や容量等の仕様に合わせて、以下に述べる通り使用するチャンネルと使用しないチャンネルを個別に設定する必要がある。
【００８８】
例えば、図１のＴＭＳ制御装置３００の場合にはチャンネル１〜３が温度センサとヒータや電磁弁に接続されており、一方、チャンネル４は未接続の状態である。この際、使用しないチャンネル４の設定を無効化しておかないと、ポンプ運転開始後に、何らかの原因でＴＭＳ制御装置３００に異常な入力信号があると、外部に異常信号を出力してしまう可能性がある。また、上記設定の無効化を手動で行うと、設定をし忘れる恐れがある。
【００８９】
図１０に、サーミスタ抵抗と計測電圧の関係のイメージ図を示す。この計測電圧は図５に示す端子３０３と端子３０５間の電圧に相当する。起動時にこの端子３０３と端子３０５間の電圧を読むことで、この端子３０３と端子３０５間にケーブルが接続されているか否かが判断される。即ち、各チャンネルの端子３０３と端子３０５間の電圧が、図１０の矢視線Ａ（２．９ボルト程度に相当）より電源電圧の３ボルト迄の間（断線判断領域）にある場合には断線状態と判断する。一方、図１０の矢視線Ｂ（０．１ボルト程度に相当）より０ボルト迄の間（短絡判断領域）にある場合には短絡状態と判断する。そして、このように起動時に電圧値が断線判断領域若しくは短絡判断領域にある場合は、そのチャンネルの制御設定を無効化する。但し、断線判断領域若しくは短絡判断領域の設定は、回路やケーブルの電圧降下や余裕等を考慮して決めることが望ましい。
【００９０】
チャンネルの制御設定が無効化された場合には、ポンプ運転開始後は、温度センサの異常を検知しない。また、上記温度センサに対するヒータや電磁弁への出力デバイスの制御
も行わない。また、断線状態や短絡状態と判断した後は、必要に応じ、外部に該当のチャンネルが断線状態や短絡状態で無効化されていることをアラームとして出力することもできる。
かかる判断と無効化の設定は、チャンネルのすべてに亙り設定可能である。即ち、使用しないチャンネルは、自動で制御をオフにすることができる。
例えば、排気口ヒータ１５９を使わない仕様に変更する等で、排気口温度センサ１６１のケーブルをチャンネルに接続しなかった場合には、ＴＭＳ制御装置３００における排気口ヒータ１５９の制御設定が自動的に無効となり、制御設定の変更し忘れが防止できる。
【００９１】
また、断線している入力チャンネルに対して、断線、短絡、低温、高温等の温度センサの異常を検知しないので、ポンプ運転開始後に、何らかの異常な信号入力があっても外部にエラーを表示したり、誤った制御をすることもない。
なお、上記断線や短絡状態の判定は、ＴＭＳ制御装置３００の起動時（温度調節機能部の立ち上がり時）に行い、一旦無効化設定がされてしまったものに対する再設定は、ＴＭＳ制御装置３００の再起動によって行うことができる。
以上の通り、ＴＭＳ制御装置３００に本機能を採用することで、ＴＭＳ制御装置３００のチャンネル毎の制御設定を自動で行え、設定ミスが防止できる。また、異常入力信号による、エラー出力や誤った制御をすることを防止できる。
なお、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変をなすことができ、そして、本発明が当該改変されたものにも及ぶことは当然である。
【符号の説明】
【００９２】
１０ ターボ分子ポンプ
１００ ポンプ本体
１３３ 排気口
１５１ ヒータ
１５２ 水冷管
１５３ 電磁弁
１５５ ＴＭＳ温度センサ
１５７ 水冷温度センサ
１５９ 排気口ヒータ
１６１ 排気口温度センサ
２００ 制御装置
３００ ＴＭＳ制御装置
３０１、３０３、３０５、３０９、３１１ 端子
４００ 検査用治具
４０１ ロータリースイッチ
４０３ 共通端子
４０５ 操作軸
４０７、４０９、４１１ 端子
４１３ ランプ
４１５ 固定抵抗
４２１、４２２、４２３、４２４、４２５ ＬＥＤランプ
４３１、４３２、４３３、４３４ 接点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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