(57)【要約】      （修正有）【課題】生産性を高めつつ流路間の壁部の破断を抑制することができるベーパーチャンバを提供する。また、このベーパーチャンバを備える電子機器、及び、ベーパーチャンバのためのシートを提供する。【解決手段】複数の第１流路と、隣り合う第１流路の間に複数設けられた第２流路と、が備えられ、隣り合う第２流路の間に配置されている壁部の断面で、壁部におけるシートの接合界面の長さが、当該断面における壁部の最小幅より長い、ベーパーチャンバ。【選択図】図２７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のシートの積層体で、その内側の密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
前記密閉空間には、
複数の第１流路と、隣り合う前記第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、
隣り合う２つの前記第１流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う前記第１流路の間に配置された複数の前記第２流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、少なくとも一部でＡｌはＡｇの０．５倍以下であり、
隣り合う前記第２流路の間に配置されている壁部の断面で、前記壁部における前記シートの接合界面の長さが、当該断面における前記壁部の最小幅より長い、ベーパーチャンバ。
【請求項２】
複数のシートの積層体で、その内側の密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、
前記密閉空間には、
気体状態の前記作動流体が流れる複数の第１流路と、
隣り合う前記第１流路間に複数設けられ、液体状態の前記作動流体が流れる第２流路と、が備えられ、
隣り合う前記第２流路の間に配置されている壁部の断面で、前記壁部における前記シートの接合界面の長さが、当該断面における前記壁部の最小幅より長い、ベーパーチャンバ。
【請求項３】
隣り合う前記第１流路と前記第２流路との間に配置されている壁部の断面で、該壁部における前記シートの接合界面の長さが、前記第１流路と前記第２流路との間に配置されている当該断面における前記壁部の最小幅より長い、請求項１又は２に記載のベーパーチャンバ。
【請求項４】
筐体と、
前記筐体の内側に配置された電子部品と、
前記電子部品に配置された請求項１乃至３のいずれかに記載されたベーパーチャンバと、を備える、電子機器。
【請求項５】
複数のシートの積層体で、中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、
前記中空部には、
複数の第１流路と、隣り合う前記第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、
隣り合う２つの前記第１流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う前記第１流路の間に配置された複数の前記第２流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、少なくとも一部でＡｌはＡｇの０．５倍以下であり、
隣り合う前記第２流路の間に配置されている壁部の断面で、前記壁部における前記シートの接合界面の長さが、当該断面における前記壁部の最小幅より長い、ベーパーチャンバ用シート。
【請求項６】
複数のシートの積層体で、中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、
前記中空部には、
気体状態の前記作動流体が流れる蒸気流路となる複数の第１流路と、
隣り合う前記第１流路間に複数設けられ、液体状態の前記作動流体が流れる凝縮液流路となる第２流路と、が備えられ、
隣り合う前記第２流路の間に配置されている壁部の断面で、前記壁部における前記シートの接合界面の長さが、当該断面における前記壁部の最小幅より長い、ベーパーチャンバ用シート。
【請求項７】
隣り合う前記第１流路と前記第２流路との間に配置されている壁部の断面で、該壁部における前記シートの接合界面の長さが、前記第１流路と前記第２流路との間に配置されている当該断面における前記壁部の最小幅より長い、請求項５又は６に記載のベーパーチャンバ用シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は密閉空間に封入された作動流体を相変化を伴いつつ還流することより熱輸送を行うベーパーチャンバに関する。
【背景技術】
【０００２】
パソコン並びに携帯電話及びタブレット端末等の携帯型端末に備えられているＣＰＵ（中央演算処理装置）等の電子部品からの発熱量は、情報処理能力の向上により増加する傾向にあり冷却技術が重要である。このような冷却のための手段としてヒートパイプがよく知られている。これはパイプ内に封入された作動流体により、熱源における熱を他の部位に輸送することで拡散させ、熱源を冷却するものである。
【０００３】
一方、近年においては特に携帯型端末等で薄型化が顕著であり、従来のヒートパイプよりも薄型の冷却手段が必要となってきた。これに対して例えば特許文献１に記載のようなベーパーチャンバが提案されている。
【０００４】
ベーパーチャンバはヒートパイプによる熱輸送の考え方を平板状の部材に展開した機器である。すなわち、ベーパーチャンバには、対向する平板の間に作動流体が封入されており、この作動流体が相変化を伴いつつ還流することで熱輸送を行い、熱源における熱を輸送及び拡散して熱源を冷却する。
【０００５】
より具体的には、ベーパーチャンバの対向する平板間には蒸気用流路と凝縮液用流路とが設けられ、ここに作動流体が封入されている。ベーパーチャンバを熱源に配置すると、熱源の近くにおいて作動流体は熱源からの熱を受けて蒸発し、気体（蒸気）となって蒸気用流路を移動する。これにより熱源からの熱が熱源から離れた位置に円滑に輸送され、その結果熱源が冷却される。
熱源からの熱を輸送した気体状態の作動流体は熱源から離れた位置にまで移動し、周囲に熱を吸収されることで冷却されて凝縮し、液体状態に相変化する。相変化した液体状態の作動流体は凝縮液用流路を通り、熱源の位置にまで戻ってまた熱源からの熱を受けて蒸発して気体状態に変化する。
以上のような循環により熱源から発生した熱が熱源から離れた位置に輸送され熱源が冷却される。
【０００６】
特許文献１には、蒸気用流路と凝縮液用流路とを形成するために、上記したように２つの平板を接合してなるベーパーチャンバが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−０７６６５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本開示は、生産性を高めつつ流路間の壁部の破断を抑制することができるベーパーチャンバを提供することを課題とする。また、このベーパーチャンバを備える電子機器、及び、ベーパーチャンバのためのシートを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
発明者は鋭意検討の結果、流路間の壁部の破断は結晶粒界が起点になるとの知見を得て、接合界面が消失しないような生産性が高い条件で拡散接合を行っても流路間の壁部の破断を抑えることができる構造を具体化した。
【００１０】
本開示のひとつの態様は、複数のシートの積層体で、その内側の密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、密閉空間には、複数の第１流路と、隣り合う第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、隣り合う２つの第１流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う第１流路の間に配置された複数の第２流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、少なくとも一部でＡｌはＡｇの０．５倍以下であり、隣り合う第２流路の間に配置されている壁部の断面で、壁部におけるシートの接合界面の長さが、当該断面における壁部の最小幅より長い、ベーパーチャンバである。
【００１１】
本開示の他の態様は、複数のシートの積層体で、その内側の密閉空間に作動流体が封入されたベーパーチャンバであって、密閉空間には、気体状態の作動流体が流れる複数の第１流路と、隣り合う第１流路間に複数設けられ、液体状態の作動流体が流れる第２流路と、が備えられ、隣り合う第２流路の間に配置されている壁部の断面で、壁部におけるシートの接合界面の長さが、当該断面における壁部の最小幅より長い、ベーパーチャンバである。
【００１２】
上記ベーパーチャンバにおいて、隣り合う第１流路と第２流路との間に配置されている壁部の断面で、該壁部におけるシートの接合界面の長さが、第１流路と第２流路との間に配置されている当該断面における壁部の最小幅より長くなるように構成してもよい。
【００１３】
本開示の他の態様は、筐体と、筐体の内側に配置された電子部品と、電子部品に配置された上記ベーパーチャンバと、を備える、電子機器である。
【００１４】
本開示の他の態様は、複数のシートの積層体で、中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、中空部には、複数の第１流路と隣り合う第１流路の間に設けられた第２流路と、を有し、隣り合う２つの前記第１流路の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う前記第１流路の間に配置された複数の前記第２流路の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、少なくとも一部でＡｌはＡｇの０．５倍以下であり、隣り合う第２流路の間に配置されている壁部の断面で、壁部におけるシートの接合界面の長さが、当該断面における壁部の最小幅より長い、ベーパーチャンバ用シートである。
【００１５】
本開示の他の態様は、複数のシートの積層体で、中空部を有するベーパーチャンバ用シートであって、中空部には、気体状態の作動流体が流れる蒸気流路となる複数の第１流路と、隣り合う第１流路間に複数設けられ、液体状態の作動流体が流れる凝縮液流路となる第２流路と、が備えられ、隣り合う第２流路の間に配置されている壁部の断面で、壁部におけるシートの接合界面の長さが、当該断面における壁部の最小幅より長い、ベーパーチャンバ用シートである。
【００１６】
上記ベーパーチャンバ用シートにおいて、隣り合う第１流路と第２流路との間に配置されている壁部の断面で、該壁部におけるシートの接合界面の長さが、第１流路と第２流路との間に配置されている当該断面における壁部の最小幅より長く構成することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本開示のベーパーチャンバによれば、拡散接合の条件を緩和し、時間の短縮をさせることができ、生産性も高めることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１はベーパーチャンバの斜視図である。
【図２】図２はベーパーチャンバの分解斜視図である。
【図３】図３は第一シートの斜視図である。
【図４】図４は第一シートの平面図である。
【図５】図５は第一シートの切断面である。
【図６】図６は第一シートの他の切断面である。
【図７】図７は第一シートの他の切断面である。
【図８】図８は外周液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。
【図９】図９は１つの液流路溝の断面を拡大した図である。
【図１０】図１０は１つの凸部の断面を拡大した図である。
【図１１】図１１は他の例の外周液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。
【図１２】図１２は他の例の外周液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。
【図１３】図１３は他の例の外周液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。
【図１４】図１４は他の例の外周液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。
【図１５】図１５は１つの内側液流路部に注目した切断面である。
【図１６】図１６は１つの液流路溝の断面を拡大した図である。
【図１７】図１７は１つの凸部に注目した図である。
【図１８】図１８は内側液流路部を平面視して一部を拡大して表した図である。
【図１９】図１９は第二シートの斜視図である。
【図２０】図２０は第二シートの平面図である。
【図２１】図２１は第二シートの切断面である。
【図２２】図２２は第二シートの切断面である。
【図２３】図２３はベーパーチャンバの切断面である。
【図２４】図２４は、図２３の一部を拡大した図である。
【図２５】図２５はベーパーチャンバの他の切断面である。
【図２６】図２６は１つの凝縮液流路付近を拡大して表した図である。
【図２７】図２７は１つの壁部付近を拡大して表した図である。
【図２８】図２８は、境界の形態例を説明する図である。
【図２９】図２９は、境界の形態例を説明する図である。
【図３０】図３０は、境界の形態例を説明する図である。
【図３１】図３１は、境界の形態例を説明する図である。
【図３２】図３２は、境界の形態例を説明する図である。
【図３３】図３３は電子機器を説明する図である。
【図３４】図３４は作動流体の流れを説明する図である。
【図３５】図３５は他の形態にかかるベーパーチャンバを説明する図である。
【図３６】図３６は他の形態にかかるベーパーチャンバを説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本開示を図面に示す形態に基づき説明する。なお、以下に示す図面では分かりやすさのため部材の大きさや比率を変更または誇張して記載することがある。また、見やすさのため説明上不要な部分の図示や繰り返しとなる符号は省略することがある。
【００２０】
図１には１つの形態にかかるベーパーチャンバ１の外観斜視図、図２にはベーパーチャンバ１の分解斜視図を表した。これら図及び以下に示す各図には必要に応じて便宜のため、方向を表す矢印（ｘ、ｙ、ｚ）も合わせて表示した。ここでｘｙ面内方向は平板状であるベーパーチャンバ１の板面方向であり、ｚ方向は厚さ方向である。
【００２１】
ベーパーチャンバ１は、図１、図２からわかるように第一シート１０及び第二シート２０を有している。そして、後で説明するように、この第一シート１０と第二シート２０とが重ねられて拡散接合されていることにより第一シート１０と第二シート２０との間に密閉空間２が形成され（例えば図２３参照）、この密閉空間２に作動流体が封入されている。
【００２２】
本形態で第一シート１０は全体としてシート状の部材である。図３には第一シート１０を内面１０ａ側から見た斜視図、図４には第一シート１０を内面１０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図５には図４にＩＩＩ−ＩＩＩで切断したときの第一シート１０の切断面を示した。
第一シート１０は、内面１０ａ、該内面１０ａとは反対側となる外面１０ｂ及び内面１０ａと外面１０ｂとを連結して厚さを形成する側面１０ｃを備え、内面１０ａ側に作動流体が還流する流路のためのパターンが形成されている。後述するようにこの第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとが対向するようにして重ね合わされることで中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることにより密閉空間２が形成される。
【００２３】
このような第一シート１０は本体１１及び注入部１２を備えている。本体１１は作動流体が還流する部位を形成するシート状であり、本形態では平面視で角が円弧状（いわゆるＲ）に形成された長方形である。
ただし、第一シート１０の本体１１は本形態のように四角形である他、円形、楕円形、三角形、その他の多角形、並びに、屈曲部を有する形である例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型等であってもよい。また、これらの少なくとも２つを組み合わせた形状とすることもできる。
【００２４】
注入部１２は第一シート１０と第二シート２０により形成された中空部に対して作動流体を注入して密閉空間２（例えば図２３参照）とする部位であり、本形態では本体１１の平面視長方形である一辺から突出する平面視四角形のシート状である。
【００２５】
このような第一シート１０の厚さは特に限定されることはないが、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．７５ｍｍ以下であってもよく、０．５ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さ０．０２ｍｍ以上であることが好ましく、０．０５ｍｍ以上であってもよく、０．１ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより薄型のベーパーチャンバとして適用できる場面を多くすることができる。
【００２６】
また、第一シート１０を構成する材料も特に限定されることはないが、熱伝導率が高い金属であることが好ましい。これには例えば銅、銅合金を挙げることができる。
ただし、必ずしも金属材料である必要はなく、例えばＡｌＮ、Ｓｉ３Ｎ４、又はＡｌ２Ｏ３などセラミックスや、ポリイミドやエポキシなど樹脂も可能である。
また、１つシート内で２種類以上の材料を積層したものを用いてもよいし、部位によって材料が異なってもよい。
【００２７】
本体１１の内面１０ａ側には、作動流体が還流するための構造が形成されている。具体的には、本体１１の内面１０ａ側には、外周接合部１３、外周液流路部１４、内側液流路部１５、蒸気流路溝１６、及び、蒸気流路連通溝１７が具備されて構成されている。
【００２８】
外周接合部１３は、本体１１の内面１０ａ側に、該本体１１の外周に沿って形成された面である。この外周接合部１３が第二シート２０の外周接合部２３に重なって拡散接合されることにより、第一シート１０と第二シート２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されて密閉空間２となる。
図４、図５にＡで示した外周接合部１３の幅（外周接合部１３が延びる方向に直交する方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は必要に応じて適宜設定することができるが、この幅Ａは、３ｍｍ以下であることが好ましく、２．５ｍｍ以下であってもよく、２．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ａが３ｍｍより大きくなると、密閉空間の内容積が小さくなり蒸気流路や凝縮液流路が十分確保できなくなる虞がある。一方、幅Ａは０．２ｍｍ以上であることが好ましく、０．６ｍｍ以上であってもよく、０．８ｍｍ以上であってもよい。幅Ａが０．２ｍｍより小さくなると第一シートと第二シートとの接合時における位置ずれが生じた際に接合面積が不足する虞がある。幅Ａの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ａの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【００２９】
また外周接合部１３のうち、本体１１の四隅には厚さ方向（ｚ方向）に貫通する穴１３ａが設けられている。この穴１３ａは第二シート２０との重ね合せの際の位置決め手段として機能する。
【００３０】
外周液流路部１４は、液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路３の一部を構成する部位である。図６には図５のうち矢印ＩＶａで示した部分、図７には図４にＩＶｂ−ＩＶｂで切断される部位の切断面を示した。いずれの図にも外周液流路部１４の断面形状が表れている。また、図８には図６に矢印Ｖで示した方向から見た外周液流路部１４を平面視した拡大図を表した。
【００３１】
これら図からわかるように、外周液流路部１４は、本体１１の内面１０ａのうち、外周接合部１３の内側に沿って、及び、密閉空間２の外周に沿って形成される。また、外周液流路部１４には、本体１１の外周方向に沿って延びる複数の溝である液流路溝１４ａが形成され、複数の液流路溝１４ａが、該液流路溝１４ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図６、図７からわかるように外周液流路部１４ではその断面において内面１０ａ側に、凹部である液流路溝１４ａと液流路溝１４ａの間である凸部１４ｂとが凹凸を繰り返して形成されている。
【００３２】
このように複数の液流路溝１４ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１４ａの深さ及び幅を小さくし、第２流路である凝縮液流路３（図２４等参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。一方、液流路溝１４ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路３の流路断面積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。
【００３３】
ここで液流路溝１４ａは溝であることから、その断面形状において、外面１０ｂ側に具備される底部、及び底部とは向かい合わせとなる反対側の内面１０ａ側に具備される開口を備えている。図９には図６のうち１つの液流路溝１４ａの部分を拡大して表した。
本形態で液流路溝１４ａはその断面が半楕円形状とされている。ただし、当該断面形状は半楕円形状であることに限らず、円形や、長方形、正方形、台形等の四角形や、その他の多角形、他の幾何学形状、及び、これらのいずれかを組み合わせた形状であってもよい。
【００３４】
図１０には図６のうち１つの凸部１４ｂの部分を拡大して表した。本形態の凸部１４ｂは、隣り合う液流路溝１４ａの間に形成される凸部、及び、蒸気流路溝１６と液流路溝１４ａとの間に形成される凸部であり、その頂部は第二シート２０との接合前において平坦面とされている。この凸部１４ｂが隣り合う第２流路である凝縮液流路３の壁部３ａ、及び、蒸気流路４と凝縮液流路３との間の壁部３ａとなる。
【００３５】
さらに、本形態では、外周液流路部１４では、図８からわかるように隣り合う液流路溝１４ａは、所定の間隔で連通開口部１４ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１４ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができ、円滑な作動流体の還流が可能となる。
本形態では図８で示したように１つの液流路溝１４ａの該溝を挟んで該液流路溝１４ａが延びる方向で同じ位置に対向するように連通開口部１４ｃが配置されている。ただしこれに限定されることはなく、例えば図１１に示したように、１つの液流路溝１４ａが延びる方向で異なる位置に連通開口部１４ｃが配置されてもよい。すなわち、液流路溝１４ａが延びる方向と直交する方向に沿って凸部１４ｂと連通開口部１４ｃとが交互に配置されてもよい。
【００３６】
その他、例えば図１２〜図１４に記載のような形態とすることもできる。図１２〜図１４には、図８と同じ視点で、１つの凝縮液流路１４ａとこれを挟む２つの凸部１４ｂ、及び各凸部１４ｂに設けられた１つの連通開口部１４ｃを示した図を表した。これらはいずれも、当該視点（平面視）で凸部１４ｂの形状が図８の例とは異なる。
すなわち、図８に示した凸部１４ｂでは、連通開口部１４ｃが形成される端部においてもその幅が他の部位と同じであり一定である。これに対して図１２〜図１４に示した形状の凸部１４ｂでは、連通開口部１４ｃが形成される端部においてその幅が、凸部１４ｂの最大幅よりも小さくなるように形成されている。より具体的には、図１２の例では当該端部において角が円弧状となり角にＲが形成されることにより端部の幅が小さくなる例、図１３は端部が半円状とされることにより端部の幅が小さくなる例、図１４は端部が尖るように先細りとなる例である。
【００３７】
図１２〜図１４に示したように、凸部１４ｂにおいて連通開口部１４ｃが形成される端部でその幅が、凸部１４ｂの最大幅よりも小さくなるように形成されていることで、連通開口部１４ｃを作動流体が移動しやすくなり、隣り合う凝縮液流路３への作動流体の移動が容易となる。
【００３８】
以上のような構成を備える外周液流路部１４は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図４〜図７にＢで示した外周液流路部１４の幅（液流路部１４ａが配列される方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は、ベーパーチャンバ全体の大きさ等から適宜設定することができるが、幅Ｂは、３．０ｍｍ以下であることが好ましく、１．５ｍｍ以下であってもよく、１．０ｍｍ以下であってもよい。幅Ｂが２ｍｍを超えると内側の液流路や蒸気流路のための空間が十分にとれなくなる虞がある。一方、幅Ｂは０．１ｍｍ以上であることが好ましく、０．２ｍｍ以上であってもよく、０．４ｍｍ以上であってもよい。幅Ｂが０．１ｍｍより小さいと外側を還流する液の量が十分得られない虞がある。幅Ｂの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｂの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
そして当該幅Ｂは第二シート２０の外周液流路部２４の幅Ｓ（図２１参照）と同じであっても良いし、大きくても小さくてもよい。本形態では同じとされている。
【００３９】
液流路溝１４ａについて、図６、図８、図９にＣ１で示した溝幅（液流路溝１４ａが配列される方向の大きさ、溝の開口面における幅）は１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であってもよく、２００μｍ以下であってもよい。一方、幅Ｃ１は２０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。幅Ｃ１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｃ１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図６、図７、図９にＤで示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく、１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、深さＤは５μｍ以上であること好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。深さＤの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＤの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
以上のように構成することにより、還流に必要な凝縮液流路の毛管力をより強く発揮することができる。
【００４０】
凝縮液流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、溝幅Ｃ１を深さＤで割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。この比は１．５以上でもよく、２．０以上であってもよい。または、アスペクト比は１．０より小さくてもよい。この比は０．７５以下であってもよく、０．５以下であってもよい。
その中でも製造の観点からＣ１はＤより大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
【００４１】
また、複数の液流路溝１４ａにおける隣り合う液流路溝１４ａのピッチは１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、ピッチは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより、凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して凝縮液流路が潰れることを抑制することができる。
【００４２】
凸部１４ｂについて、図６、図８、図１０にＣ２で示した凸部１４ｂの幅（凸部が延びる方向に直交する方向、複数の凸部１４ｂが配列される方向における大きさ）は４００μｍ以下であることが好ましく、３００μｍ以下であってもよく、２００μｍ以下であってもよい。一方、幅Ｃ２は１０μｍ以上であることが好ましく、２０μｍ以上であってもよく、３０μｍ以上であってもよい。この幅Ｃ２の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｃ２の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【００４３】
連通開口部１４ｃについて、図８にＥで示した液流路溝１４ａが延びる方向に沿った開口部の大きさは１１００μｍ以下であることが好ましく、５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、大きさＥは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。大きさＥの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、大きさＥの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【００４４】
また、図８にＦで示した液流路溝１４ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１４ｃのピッチは２７００μｍ以下であることが好ましく、１８００μｍ以下であってもよく、９００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチＦは６０μｍ以上であることが好ましく、１１０μｍ以上であってもよく、１４０μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【００４５】
図３〜図５に戻って内側液流路部１５について説明する。内側液流路部１５も液流路部として機能し、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路３の一部を構成する部位である。図１５には図５のうち矢印ＶＩＩＩで示した部分を示した。この図にも内側液流路部１５の断面形状が表れている。また、図１８には図１５に矢印Ｘで示した方向から見た内側液流路部１５を平面視した拡大図を示した。
【００４６】
これら図からわかるように、内側液流路部１５は本体１１の内面１０ａのうち、外周液流路部１４の環状である環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部１５は、図３、図４からわかるように、本体１１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びる壁であり、複数（本形態では３つ）の内側液流路部１５が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に所定の間隔で配列されている。
各内側液流路部１５には、内側液流路部１５が延びる方向に平行な溝である液流路溝１５ａが形成され、複数の液流路溝１５ａが、該液流路溝１５ａが延びる方向とは異なる方向に所定の間隔で配置されている。従って、図５、図１５からわかるように内側液流路部１５ではその断面において内面１０ａ側に、凹部である液流路溝１５ａと液流路溝１５ａの間である凸部１５ｂによる凸条とが凹凸を繰り返して形成されている。
【００４７】
このように複数の液流路溝１５ａを備えることで、１つ当たりの液流路溝１５ａの深さ及び幅を小さくし、第２流路としての凝縮液流路３（図２４等参照）の流路断面積を小さくして大きな毛細管力を利用することができる。また、凝縮液流路３にはその内面にさらに微小な溝を形成し、これによりさらに大きな毛細管力を得ることもできる。一方、液流路溝１５ａを複数とすることにより合計した全体としての凝縮液流路３の流路断面積は適する大きさが確保され、必要な流量の凝縮液を流すことができる。
【００４８】
ここで液流路溝１５ａは溝であることから、その断面形状において、外面１０ｂ側に具備される底部、及び底部とは向かい合わせとなる反対側の部位で内面１０ａ側に具備される開口を備えている。図１６には図１５のうち１つの液流路溝１５ａの部分を拡大して表した。
本形態で液流路溝１５ａはその断面が半楕円形状とされている。ただし、当該断面形状は半楕円形状であることに限らず、円形や、長方形、正方形、台形等の四角形や、その他の多角形、他の幾何学形状、及び、これらのいずれか複数を組み合わせた形態であってもよい。
【００４９】
図１７には図１５のうち１つの凸部１５ｂの部分を拡大して表した。本形態の凸部１５ｂは、隣り合う液流路溝１５ａの間及び蒸気流路溝１６と液流路溝１５ａとの間に形成される凸部であり、その頂部は第二シート２０との接合前において平坦面とされている。この凸部１５ｂが隣り合う凝縮液流路３の壁部３ａ、蒸気流路４と凝縮液流路３との間の壁部３ａとなる。
【００５０】
さらに、図１８からわかるように隣り合う液流路溝１５ａは、所定の間隔で連通開口部１５ｃにより連通している。これにより複数の液流路溝１５ａ間で凝縮液量の均等化が促進され、効率よく凝縮液を流すことができるため、円滑な作動流体の還流が可能となる。
この連通開口部１５ｃについても、連通開口部１４ｃと同様に、図１１に示した例に倣って、液流路溝１５ａが延びる方向と直交する方向に沿って凸部１５ｂと連通開口部１５ｃとが交互に配置されてもよい。また、図１２〜図１４の例に倣って連通開口部１５ｃ及び凸部１５ｂの形状としてもよい。
【００５１】
以上のような構成を備える内側液流路部１５は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図４、図５、図１５にＧで示した内側液流路部１５の幅（内側液流路部１５と蒸気流路溝１６が配列される方向の大きさで、第二シート２０との接合面における幅）は、３０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｇは１００μｍ以上であること好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｇの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｇの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
当該幅Ｇは第二シート２０の内側液流路部２５の幅Ｔ（図２１参照）と同じであってもよいし、異なっていても良い。本形態では同じとされている。
【００５２】
また、複数の内側液流路部１５のピッチは、４０００μｍ以下であることが好ましく３０００μｍ以下であってもよく、２０００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチは２００μｍ以上であることが好ましく、４００μｍ以上であってもよく、８００μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより蒸気流路の流路抵抗を下げ、蒸気の移動と、凝縮液の還流とをバランスよく行うことができる。
【００５３】
液流路溝１５ａについて、図１７、図１８にＨ１で示した溝幅（液流路溝１５ａが配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は１０００μｍ以下であることが好ましく５００μｍ以下であってもよく、２００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｈは２０μｍ以上であることが好ましく、４５μｍ以上であってもよく、６０μｍ以上であってもよい。この幅Ｈ１の範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｈ１の範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図１５、図１６にＪで示した溝の深さは、２００μｍ以下であることが好ましく１５０μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＪは５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であってもよく、２０μｍ以上であってもよい。この深さＪの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＪの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより還流に必要な凝縮液流路の毛管力を強く発揮することができる。
【００５４】
流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、溝幅Ｈ１を深さＪで割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。１．５以上であってもよいし、２．０以上であってもよい。又は１．０よりも小さくてもよく、０．７５以下でもよく０．５以下でもよい。
その中でも製造の観点から溝幅Ｈ１は深さＪよりも大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
【００５５】
また、複数の液流路溝１５ａにおける隣り合う液流路溝１５ａのピッチは、１１００μｍ以下であることが好ましく５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、このピッチは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、ピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
これにより凝縮液流路の密度を上げつつ、接合時や組み立て時に変形して流路が潰れることを抑制することができる。
【００５６】
さらに、連通開口部１５ｃについて、図１８にＫで示した液流路溝１５ａが延びる方向に沿った開口部の大きさは、１１００μｍ以下であることが好ましく５５０μｍ以下であってもよく、２２０μｍ以下であってもよい。一方、この大きさＫは３０μｍ以上であることが好ましく、５５μｍ以上であってもよく、７０μｍ以上であってもよい。この大きさＫの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、大きさＫの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【００５７】
また、図１８にＬで示した、液流路溝１５ａが延びる方向における隣り合う連通開口部１５ｃのピッチは、２７００μｍ以下であることが好ましく１８００μｍ以下であってもよく、９００μｍ以下であってもよい。一方、このピッチＬは６０μｍ以上であることが好ましく、１１０μｍ以上であってもよく、１４０μｍ以上であってもよい。このピッチの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、このピッチの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【００５８】
上記した本形態の液流路溝１４ａ及び液流路溝１５ａは等間隔に離間して互いに平行に配置されているが、これに限られることは無く、毛細管作用を奏することができれば溝同士のピッチがばらついても良く、また溝同士が平行でなくても良い。
【００５９】
次に蒸気流路溝１６について説明する。蒸気流路溝１６は作動流体が蒸発して気化した蒸気が通る部位で、第１流路である蒸気流路４（図２３等参照）の一部を構成する。図４には平面視した蒸気流路溝１６の形状、図５には蒸気流路溝１６の断面形状がそれぞれ表れている。
【００６０】
これら図からもわかるように、蒸気流路溝１６は本体１１の内面１０ａのうち、外周液流路部１４の環状である環の内側に形成された溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝１６は、隣り合う内側液流路部１５の間、及び、外周液流路部１４と内側液流路部１５との間に形成され、本体１１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝１６が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。従って、図５からわかるように第一シート１０は、ｙ方向において、外周液流路部１４及び内側液流路部１５の凸条、蒸気流路溝１６を凹条とした凹凸が繰り返された形状を備えている。
ここで蒸気流路溝１６は溝であることから、その断面形状において、外面１０ｂ側となる底部、及び、底部とは向かい合わせとなる反対側で内面１０ａ側に開口を備えている。
【００６１】
このような構成を備える蒸気流路溝１６は、さらに次のような構成を備えていることが好ましい。
図４、図５にＭで示した蒸気流路溝１６の幅（内側液流路部１５と蒸気流路溝１６が配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、少なくとも上記した液流路溝１４ａ、１５ａの幅Ｃ１、幅Ｈ１より大きく形成され、２０００μｍ以下であることが好ましく、１５００μｍ以下であってもよく、１０００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｍは１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であってもよく、４００μｍ以上であってもよい。この幅Ｍの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｍの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
蒸気流路溝１６のピッチは、内側液流路部１５のピッチにより決まるのが通常である。
【００６２】
一方、図５にＮで示した蒸気流路溝１６の深さは、少なくとも上記した液流路溝１４ａ、１５ａの深さＤ、深さＪより大きく形成され、３００μｍ以下であることが好ましく、２００μｍ以下であってもよく、１００μｍ以下であってもよい。一方、この深さＮは１０μｍ以上であること好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＮの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＮの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
このように、蒸気流路溝の流路断面積を液流路溝よりも大きくすることにより、作動流体の性質上、凝縮液よりも体積が大きくなる蒸気を円滑に還流することができる。
【００６３】
本形態では蒸気流路溝１６の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形、又はこれらのいずれか複数を組み合わせた形状であってもよい。蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより、作動流体の円滑な還流させることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
【００６４】
本形態では隣り合う内側液流路部１５の間に１つの蒸気流路溝１６が形成された例を説明したが、これに限らず、隣り合う内側液流路部の間に２つ以上の蒸気流路溝が並べて配置される形態であってもよい。
また、第二シート２０に蒸気流路溝が形成されていれば、第一シート１０の一部または全部に蒸気流路溝が形成されない形態であってもよい。
【００６５】
蒸気流路連通溝１７は、複数の蒸気流路溝１６を連通させる溝である。これにより、複数の蒸気流路溝１６の蒸気の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの凝縮液流路３を効率よく利用できるようになったりするため、作動流体の還流をより円滑にすることが可能となる。
【００６６】
本形態の蒸気流路連通溝１７は、図３、図４からわかるように、内側液流路部１５、蒸気流路溝１６が延びる方向の両端部と、外周液流路部１４との間に形成されている。また、図７には図４にＩＶｂ−ＩＶｂで示した線に沿った切断面で、蒸気流路連通溝１７の連通方向に直交する断面が表れている。
図２〜図４では、わかり易さのため蒸気流路溝１６と蒸気流路連通溝１７との境界となるべき部分に点線を付した。ただしこの線は必ずしも形状により表れる線ではなくわかり易さのために付した仮想の線である。
【００６７】
蒸気流路連通溝１７は、隣り合う蒸気流路溝１６を連通させるように形成されていればよく、その形状は特に限定されることはないが、例えば次のような構成を備えることができる。
図４、図７にＰで示した蒸気流路連通溝１７の幅（連通方向に直交する方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、１０００μｍ以下であることが好ましく、７５０μｍ以下であってもよく、５００μｍ以下であってもよい。一方、この幅Ｐは１００μｍ以上であることが好ましく、１５０μｍ以上であってもよく、２００μｍ以上であってもよい。この幅Ｐの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、幅Ｐの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また、図７にＱで示した蒸気流路連通溝１７の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく、２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＱは１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＱの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＱの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【００６８】
本形態で蒸気流路連通溝１７の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず、長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形又は、これらのいずれか複数の組み合わせであってもよい。
蒸気流路連通溝は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより作動流体の円滑な還流をさせることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
【００６９】
次に第二シート２０について説明する。本形態で第二シート２０も全体としてシート状の部材である。図１９には第二シート２０を内面２０ａ側から見た斜視図、図２０には第二シート２０を内面２０ａ側から見た平面図をそれぞれ表した。また、図２１には図２０にＸＩＩａ−ＸＩＩａで切断したときの第二シート２０の切断面を示した。また、図２２には図２０にＸＩＩｂ−ＸＩＩｂで切断したときの第二シート２０の切断面を示した。
第二シート２０は、内面２０ａ、該内面２０ａとは反対側となる外面２０ｂ及び内面２０ａと外面２０ｂとを連結し厚さを形成する側面２０ｃを備え、内面２０ａ側に作動流体が還流するパターンが形成されている。後述するようにこの第二シート２０の内面２０ａと上記した第一シート１０の内面１０ａとが対向するようにして重ね合わされることで中空部が形成される。
【００７０】
このような第二シート２０は本体２１及び注入部２２を備えている。本体２１は作動流体が還流する部位を形成するシート状の部位であり、本形態では平面視で角に円弧（いわゆるＲ）が形成された長方形である。
ただし、第二シート２０の本体２１は本形態のように四角形である他、円形、楕円形、三角形、その他の多角形、並びに、屈曲部を有する形である例えばＬ字型、Ｔ字型、クランク型等であってもよい。また、これらの少なくとも２つを組み合わせた形状とすることもできる。
【００７１】
注入部２２は第一シート１０と第二シート２０とにより形成された中空部に対して作動流体を注入して密閉空間２（図２３参照）とする部位であり、本形態では本体２１の平面視長方形である一辺から突出する平面視四角形のシート状である。本形態では第二シート２０の注入部２２には内面２０ａ側に注入溝２２ａが形成されており、第二シート２０の側面２０ｃから本体２１の内側（密閉空間２となるべき部位）とが連通している。
このような第二シート２０の厚さ及び構成する材料は第一シート１０と同様に考えることができる。ただし、第一シート１０と第二シート２０とは必ずしも同じ厚さ及び材料である必要はない。
【００７２】
本体２１の内面２０ａ側には、作動流体が還流するための構造が形成されている。具体的には、本体２１の内面２０ａ側には、外周接合部２３、外周液流路部２４、内側液流路部２５、蒸気流路溝２６、及び、蒸気流路連通溝２７が具備されている。
【００７３】
外周接合部２３は、本体２１の内面２０ａ側に、該本体２１の外周に沿って形成された面である。この外周接合部２３が第一シート１０の外周接合部１３に重なって拡散接合されることにより、第一シート１０と第二シート２０との間に中空部を形成し、ここに作動流体が封入されて密閉空間２となる。
図２０〜図２２にＲで示した外周接合部２３の幅（外周接合部２３が延びる方向に直交する方向の大きさで、第一シート１０との接合面における幅）は、特に限定されることはないが、上記した本体１１の外周接合部１３の幅の大きさＡと同じであることが好ましい。ただし必ずしも同じである必要はなく、大きくても小さくてもよい。
【００７４】
また外周接合部２３のうち、本体２１の四隅には厚さ方向（ｚ方向）に貫通する穴２３ａが設けられている。この穴２３ａは第一シート１０との重ね合せの際の位置決め手段として機能する。
【００７５】
外周液流路部２４は、液流路部であり、作動流体が凝縮して液化した際に通る第２流路である凝縮液流路３の一部を構成する部位である。
【００７６】
外周液流路部２４は本体２１の内面２０ａのうち、外周接合部２３の内側に沿って形成されている。本形態において第二シート２０の外周液流路部２４は、図２１、図２２からわかるように第一シート１０との接合前において平坦面であり外周接合部２３と面一である。これにより上記した第一シート１０の複数の液流路溝１４ａの開口を閉鎖して凝縮液流路３を形成する。第一シート１０と第二シート２０との組み合わせに関する詳しい態様は後で説明する。
なお、このように第二シート２０では外周接合部２３と外周液流路部２４とが面一であるため、構造的には両者を区別する境界線は存在しない。しかし、わかり易さのため、図１９、図２０では点線により両者の境界を表している。
【００７７】
外周液流路部２４は、次のような構成を備えていることが好ましい。
図２０〜図２２にＳで示した外周液流路部２４の幅（外周液流路部２４が延びる方向に直交する方向の大きさで、第一シート１０との接合面における幅）は、第一シート１０の外周液流路部１４の幅Ｂと同じでもよいし、大きくても小さくてもよい。
【００７８】
次に内側液流路部２５について説明する。内側液流路部２５も液流路部であり、第２流路である凝縮液流路３を構成する１つの部位である。
【００７９】
内側液流路部２５は、図１９〜図２２よりわかるように、本体２１の内面２０ａのうち、外周液流路部２４の環状である環の内側に形成されている。本形態の内側液流路部２５は、本体２１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びる壁であり、複数（本形態では３つ）の内側液流路部２５が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に所定の間隔で配列されている。
本形態で各内側液流路部２５は、その内面２０ａ側の表面が第一シート１０との接合前において平坦面により形成されている。これにより上記した第一シート１０の複数の液流路溝１５ａの開口を閉鎖して凝縮液流路３を形成する。
【００８０】
図２０、図２１にＴで示した内側液流路部２５の幅（内側液流路部２５と蒸気流路溝２６が配列される方向の大きさで、第一シート１０との接合面における幅）は、第一シート１０の内側液流路部１５の幅Ｇと同じであってもよいし、大きくても小さくてもよい。本形態では同じとされている。
【００８１】
なお、本形態では各内側液流路部２５では接合前において平坦面により形成されているが、第一シートと同様に液流路溝を形成しても良い。また、その場合は、液流路溝同士は平面視で同じ位置にあってもよく、ずれていても良い。
【００８２】
次に蒸気流路溝２６について説明する。蒸気流路溝２６は作動流体が蒸発して気化した蒸気が通る部位であり、蒸気流路４の一部を構成する。図２０には平面視した蒸気流路溝２６の形状、図２１には蒸気流路溝２６の断面形状がそれぞれ表れている。
【００８３】
これら図からもわかるように、蒸気流路溝２６は本体２１の内面２０ａのうち、外周液流路部２４の環状である環の内側に形成された溝により構成されている。詳しくは本形態の蒸気流路溝２６は、隣り合う内側液流路部２５の間、及び、外周液流路部２４と内側液流路部２５との間に形成され、本体２１の平面視長方形で長辺に平行な方向（ｘ方向）に延びた溝である。そして、複数（本形態では４つ）の蒸気流路溝２６が同短辺に平行な方向（ｙ方向）に配列されている。従って、図２１からわかるように第二シート２０は、ｙ方向において、外周液流路部２４及び内側液流路部２５である壁による凸と、蒸気流路溝２６である溝による凹とにより、これらの凹凸が繰り返された形状を備えている。
ここで蒸気流路溝２６は溝であることから、その断面形状において、外面２０ｂ側である底部、及び、底部とは向かい合わせとなる反対側の部位で内面２０ａ側となる開口を備えている。
【００８４】
蒸気流路溝２６は、第一シート１０と組み合わされた際に該第一シート１０の蒸気流路溝１６と厚さ方向に重なる位置に配置されていることが好ましい。これにより蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とで蒸気流路４を形成することができる。
【００８５】
図２０、図２１にＵで示した蒸気流路溝２６の幅（内側液流路部２５と蒸気流路溝２６が配列される方向の大きさで、溝の開口面における幅）は、第一シート１０の蒸気流路溝１６の幅Ｍと同じであってもよいし、大きくても小さくてもよい。
また、図２１にＶで示した蒸気流路溝２６の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＶは１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＶの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＶの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また第一シート１０の蒸気流路溝１６と第二シート２０の蒸気流路溝２６の深さは同じであってもよく、大きくても小さくてもよい。
【００８６】
本形態で蒸気流路溝２６の断面形状は半楕円形であるが、長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形、又はこれらのいくつかを組み合わせた形状であってもよい。蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより作動流体を円滑に還流させることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
【００８７】
本形態では隣り合う内側液流路部２５の間に１つの蒸気流路溝２６が形成された例を説明したが、これに限らず、隣り合う内側液流路部の間に２つ以上の蒸気流路溝が並べて配置される形態であってもよい。
また、第一シート１０に蒸気流路溝が形成されていれば、第二シート２０の一部または全部に蒸気流路溝が形成されない形態であってもよい。
【００８８】
蒸気流路連通溝２７は、複数の蒸気流路溝２６を連通させる溝であり、蒸気流路４の一部を構成する。これにより、複数の蒸気流路４の蒸気の均等化が図られたり、蒸気がより広い範囲に運ばれ、多くの凝縮液流路３を効率よく利用できるようになったりするため、作動流体の還流をより円滑にすることが可能となる。
【００８９】
本形態の蒸気流路連通溝２７は、図１９、図２０、図２２からわかるように、内側液流路部２５、及び蒸気流路溝２６が延びる方向の端部と、外周液流路部２４との間に形成されている。また、図２２には蒸気流路連通溝２７の連通方向に直交する断面が表れている。
【００９０】
図２０、図２２にＷで示した蒸気流路連通溝２７の幅（連通方向に直交する方向の大きさ、溝の開口面における幅）は、第一シート１０の蒸気流路連通溝１７の幅Ｐと同じでもよいし、異なっていてもよい。また、図２２にＸで示した蒸気流路連通溝２７の深さは、３００μｍ以下であることが好ましく、２２５μｍ以下であってもよく、１５０μｍ以下であってもよい。一方、この深さＸは１０μｍ以上であることが好ましく、２５μｍ以上であってもよく、５０μｍ以上であってもよい。この深さＸの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、深さＸの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
また第一シート１０の蒸気流路連通溝１７と第二シート２０の蒸気流路連通溝２７の深さは同じでもよく、大きくても小さくてもよい。
【００９１】
本形態で蒸気流路連通溝２７の断面形状は半楕円形であるが、これに限らず長方形、正方形、台形等の四角形、三角形、半円形、底部が半円形、底部が半楕円形、又は、これらのいくつかを組み合わせた形状であってもよい。蒸気流路は蒸気の流動抵抗を小さくすることにより円滑な還流させることができるので、かかる観点から流路断面の形状を決定することもできる。
【００９２】
次に、第一シート１０と第二シート２０とが組み合わされてベーパーチャンバ１とされたときの構造について説明する。この説明により、第一シート１０及び第二シート２０が有する各構成の配置、大きさ、形状等がさらに理解される。
図２３には、図１にＸＩＩＩ−ＸＩＩＩで示したｙ方向に沿ってベーパーチャンバ１を厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は第一シート１０における図５に表した図と、第二シート２０における図２１に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバ１の切断面が表されたものである。
図２４には図２３に矢印ＸＩＶで示した部位を拡大した図、図２５には、図１にＸＶ−ＸＶで示したｘ方向に沿ってベーパーチャンバ１の厚さ方向に切断した切断面を表した。この図は、第一シート１０における図７に表した図と、第二シート２０における図２２に表した図とが組み合わされてこの部位におけるベーパーチャンバ１の切断面が表されたものである。
【００９３】
図１、図２、及び図２３〜図２５よりわかるように、第一シート１０と第二シート２０とが重ねられるように配置され拡散接合されることでベーパーチャンバ１とされている。このとき第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとが向かい合うように配置されており、第一シート１０の本体１１と第二シートの本体２１とが重なり、第一シート１０の注入部１２と第二シート２０の注入部２２とが重なっている。本形態では、第一シート１０と第二シート２０との相対的な位置関係は、第一シート１０の穴１３ａと第二シート２０の穴２３ａと位置を合わせることで適切になるように構成されている。
【００９４】
このような第一シート１０と第二シート２０との積層体により、本体１１及び本体２１に具備される各構成が図２３〜図２５に表れるように配置される。具体的には次の通りである。
【００９５】
第一シート１０の外周接合部１３と第二シート２０の外周接合部２３とが重なるように配置されており、拡散接合により両者が接合されている。これにより、第一シート１０と第二シート２０との間に中空部が形成され、ここに作動流体が封入されることで密閉空間２とされている。
【００９６】
第一シート１０の外周液流路部１４と第二シート２０の外周液流路部２４とが重なるように配置されている。これにより外周液流路部１４の液流路溝１４ａ及び外周液流路部２４により作動流体が凝縮して液化した状態である凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路３が形成される。
同様に、第一シート１０の内側液流路部１５と第二シート２０の内側液流路部２５とが重なるように配置されている。これにより内側液流路部１５の液流路溝１５ａ及び内側液流路部２５により凝縮液が流れる第２流路である凝縮液流路３が形成される。
このように凝縮液流路３は第１流路である蒸気流路４とは分離されて形成されているため、作動流体の循環を円滑にさせることができる。また、凝縮液流路３を断面においてその四方を壁で囲まれた細い流路を形成することにより強い毛細管力で凝縮液を移動させ、円滑な循環が可能となる。
【００９７】
さらに、本形態では接合後において、凝縮液流路３及び隣り合う凝縮液流路３の間に形成される壁部３ａが次のように構成されている。図２６には、１つの凝縮液流路３の断面を拡大して表した。図２７には、隣り合う凝縮液流路３の間に形成された壁部３ａの断面を拡大して表した。この壁部３ａは内側液流路部１５の凸部１５ｂと内側液流路部２５の面とが重なることにより形成されている。
ここでは内側液流路部１５の液流路溝１５ａ、凸部１５ｂと内側液流路部２５とによる凝縮液流路３、及び壁部３ａを用いて説明するが、外周液流路部１４と外周液流路部２４とによる凝縮液流路３、壁部３ａも同様に考えることができる。また、ここでは隣り合う凝縮液流路３の間の壁部３ａについて説明するが、蒸気流路４と凝縮液流路３との間に形成される壁部３ａについても同様に考えることができる。
【００９８】
図２７に符号３ｂで示した壁部３ａにおける第一シート１０と第二シート２０との境界３ｂは、図２７に示した点線ＸＶＩｂに一致することなく、該点線より長く形成されている。ここで点線ＸＶＩｂは壁部３ａにおいてその幅が最も小さくなる線を表している。
すなわち、隣り合う凝縮液流路の間に形成される壁部３ａにおいて、その断面視で第一シート１０と第二シート２０との境界３ｂの壁部３ａの幅方向の長さは、壁部３ａの最小幅より長くされている。ここで「壁部の最小幅」とは、壁部３ａの断面のうち、凝縮液流路３と蒸気流路４とが配列される方向における該壁部の長さのうち最小であるものを意味する。そして、この最小幅と同じ断面において、境界３ｂの長さが当該最小幅よりも大きくされている。
これにより、壁部３ａにおける第一シート１０と第二シート２０との結合力が高められ、密閉空間２の内圧が高まっても、及び作動流体として水が含まれている場合に氷点下の環境で氷になって体積が増えても壁部３ａの破断を抑制することができる。
また、これにより、第一シートと第二シートとの接合界面を横切るように結晶粒を成長させるような拡散接合をしなくても、高い結合力を得ることができる。従って、拡散接合における条件の緩和及び時間の短縮が可能となり、生産性を高めることもできる。
【００９９】
本形態では、図２７からわかるように、境界３ｂは、その両端部において湾曲し、壁部３ａを形成する凸部１５ｂの頂部が凹となる形状とすることで壁部３ａの最小幅よりも長く形成されている。ただし、境界３ｂの形態はこれに限定されることはなく、壁部の最小幅より長く形成されていればよい。図２８〜図３２には他の例にかかる境界３ｂの形態例を表した。図２８〜図３２に記載の図はいずれも図２７に相当する図であり、また、各図に示した点線は壁部３ａの幅が最も小さい部分を表している。
図２８の例は、境界３ｂの両端部が湾曲し、壁部３ａを形成する凸部１５ｂの頂部が凸となる形状とすることで、境界３ｂが壁部３ａの最小幅よりも長く形成
されている。
図２９の例は、境界３ｂの両端部で湾曲し、壁部３ａを形成する凸部１５ｂの頂部が凸となるとともに、凸の間で凹となる形状とすることで、境界３ｂが壁部３ａの最小幅よりも長く形成されている。
図３０の例は、境界３ｂの一方の端部で凸となるように湾曲し、他方の端部で凹となるように湾曲することで、境界３ｂが壁部３ａの最小幅よりも長く形成されている。
図３１の例は、境界３ｂにおいて壁部３ａを形成する凸部１５ｂの頂部が１つの凸部を有するとともに、頂点が一方の端部側に寄るように幅方向において非対称となっている。
図３２の例は、境界３ｂにおいて壁部３ａを形成する凸部１５ｂの頂部が２つの凸部を有するとともに、一方の凸部の頂点が他方の凸部の頂点より低くなるように幅方向において非対称となっている。
【０１００】
以上のような境界の形状は例えば次のようにして確認することができる。
対象とするベーパーチャンバを縦横１０ｍｍの角片となるようにワイヤーソーにて切断する。このとき、後に蒸気流路及び凝縮液流路の断面を得やすいように切断する。
得られた角片の端面をミクロトームにて削り、流路断面を出す。このとき流路内に樹脂が入り込みやすいように削ることが好ましい。
その後に真空脱泡しながら角片を樹脂包埋する。
樹脂包埋した角片に対して必要な断面が得られるように、ダイヤモンドナイフでトリミング加工する。この際、ミクロトーム（例えばライカマイクロシステムズ社製のウルトラミクロトーム）を使用して、測定目的位置から４０μｍ離れた部分までトリミング加工する。
トリミング加工を行った切断面を削ることにより、観察用の切断面を作製する。この際、断面試料作製装置（例えばＪＯＥＬ社製のクロスセクションポリッシャー）を使用して、飛び出し幅を４０μｍ、電圧を５ｋＶ、時間を６時間に設定し、イオンビーム加工にて、切断面を削る。
このようにして得られた試料の切断面を測定する。この際、走査型電子顕微鏡（例えば、カールツァイス社製の走査型電子顕微鏡）を使用して、電圧を５ｋＶ、作動距離を３．０ｍｍ、観察倍率を５００倍または２０００倍に設定し、切断面を観察する。なお、撮影時の観察倍率基準は、Ｐｏｌａｒｏｉｄ５４５とする。
【０１０１】
なお、以上説明した例の凝縮液流路３についても流路の毛細管力をより強く発揮する観点から、流路幅を流路高さで割った値で表される流路断面におけるアスペクト比（縦横比）は、１．０よりも大きいことが好ましい。この比は１．５以上でもよく、２．０以上であってもよい。または、アスペクト比は１．０より小さくてもよい。この比は０．７５以下であってもよく、０．５以下であってもよい。
その中でも製造の観点から流路幅が流路高さより大きいことが好ましく、かかる観点からアスペクト比は１．３より大きいことが好ましい。
【０１０２】
図２３〜図２５に戻って他の部位について説明する。図２３、図２４からわかるように、第一シート１０の蒸気流路溝１６の開口と第二シート２０の蒸気流路溝２６の開口とが向かい合うように重なって流路を形成し、これが蒸気が流れる第１流路である蒸気流路４となる。
上記した第２流路である凝縮液流路３の流路断面積は、当該第１流路である蒸気流路４の流路断面積より小さくされている。より具体的には、隣り合う２つの蒸気流路４（本形態では１つの蒸気流路溝１６及び１つの蒸気流路溝２６により形成される流路）の平均の流路断面積をＡｇとし、隣り合う２つの蒸気流路４の間に配置される複数の凝縮液流路３（本形態では１つの内側液流路部１５、及び、１つの内側液流路溝２５により形成される複数の凝縮液流路３）の平均の流路断面積をＡｌとしたとき、凝縮液流路３と蒸気流路４とは、ＡｌがＡｇの０．５倍以下の関係にあるものとし、好ましくは０．２５倍以下である。これにより作動流体はその相態様（気相、液相）によって第１流路と第２流路とを選択的に通り易くなる。
この関係はベーパーチャンバ全体のうち少なくとも一部において満たせばよく、ベーパーチャンバの全部でこれを満たせばさらに好ましい。
【０１０３】
同様に、図２５からわかるように、第一シート１０の蒸気流路連通溝１７の開口と第二シート２０の蒸気流路連通溝２７の開口とが向かい合うように重なり流路を形成する。
【０１０４】
一方、注入部１２、２２についても図１に表れているように、その内面１０ａ、２０ａ同士が向かい合うように重なり、第二シート２０の注入溝２２ａの底部とは反対側の開口が第一シート１０の注入部１２の内面１０ａより塞がれ、外部と本体１１、２１間の中空部とを連通する注入流路５が形成されている。
ただし、注入流路５から中空部に対して作動流体を注入して密閉空間２とした後は、注入流路５は閉鎖されるので、最終的な形態のベーパーチャンバ１では外部と密閉空間２とは連通していない。
【０１０５】
本形態で注入部１２、注入部２２及びこれによる注入流路５は、ベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のうちの一方の端部に設けられている例が示されているが、これに限られることはなく、他のいずれかの端部に配置されていてもよく、複数配置されてもよい。複数配置される場合には例えばベーパーチャンバ１の長手方向における一対の端部のそれぞれに配置されてもよいし、他の一対の端部のうちの一方の端部に配置されもよい。
【０１０６】
ベーパーチャンバ１の密閉空間２には、作動流体が封入されている。作動流体の種類は特に限定されることはないが、純水、エタノール、メタノール、アセトン、及びそれらの混合物等、通常のベーパーチャンバに用いられる作動流体を用いることができる。
【０１０７】
以上のようなベーパーチャンバは例えば次のように作製することができる。
第一シート１０及び第二シート２０の外周形状を有する金属シートに対して、液流路溝１４ａ、１５ａ、蒸気流路溝１６、２６、及び蒸気流路連通溝１７、２７をハーフエッチングにより形成する。ハーフエッチングとは、厚さ方向に貫通することなくその途中まで行うことである。
次いで、第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとを向かい合わせるように重ね、位置決め手段としての穴１３ａ、穴２３ａを用いて位置決めし、仮止めを行う。仮止めの方法は特に限定されることはないが、抵抗溶接、超音波溶接、及び接着剤による接着等を挙げることができる。
そして仮止め後に拡散接合を行い恒久的に第一シート１０と第二シート２０とを接合する。これがベーパーチャンバ用シートとなる。この拡散接合の際に条件を調整することにより、第一シート１０と第二シート２０との境界３ｂを上記説明したように壁部３ａの最小幅に対して長くなるように変形させる。そしてこの条件は境界を越えて結晶粒を成長させる拡散接合よりも条件が緩和され、時間も短くすることができるため、生産性を高めることができる。
ここで、「恒久的に接合」とは、厳密な意味に縛られることはなく、ベーパーチャンバ１の動作時に、密閉空間２の密閉性を維持可能な程度に、第一シート１０の内面１０ａと第二シート２０の内面２０ａとの接合を維持できる程度に接合されていることを意味する。
【０１０８】
接合の後、形成された注入流路５から真空引きを行い、中空部を減圧する。その後、減圧された中空部に対して注入流路５から作動流体を注入して中空部に作動流体が入れられる。そして注入部１２、注入部２２に対してレーザーによる溶融を利用したり、かしめたりして注入流路５を閉鎖する。これにより密閉空間２とされ、その内側に作動流体が安定的に保持される。
【０１０９】
本形態のベーパーチャンバでは、内部液流路部１５と内側液流路部２５との重なりによりこれが支柱として機能するため、接合時及び減圧時に密閉空間がつぶれることを抑制することができる。
【０１１０】
次にベーパーチャンバ１の作用について説明する。図３３には電子機器の一形態である携帯型端末４０の内側にベーパーチャンバ１が配置された状態を模式的に表した。ここではベーパーチャンバ１は携帯型端末４０の筐体４１の内側に配置されているため点線で表している。このような携帯型端末４０は、各種電子部品を内包する筐体４１及び筐体４１の開口部を通して外部に画像が見えるように露出したディスプレイユニット４２を備えて構成されている。そしてこれら電子部品の１つとして、ベーパーチャンバ１により冷却すべき電子部品３０が筐体４１内に配置されている。
【０１１１】
ベーパーチャンバ１は携帯型端末等の筐体内に設置され、ＣＰＵ等の冷却すべき対象物である電子部品３０に取り付けられる。電子部品３０はベーパーチャンバ１の外面１０ｂ又は外面２０ｂに直接、又は、熱伝導性の高い粘着剤、シート、テープ等の他の部材を介して取り付けられる。外面１０ｂ、外面２０ｂのうちどの位置に電子部品３０が取り付けられるかは特に限定されることはなく、携帯型端末等において他の部材の配置との関係により適宜設定される。本形態では図１に点線で示したように、冷却すべき熱源である電子部品３０を第一シート１０の外面１０ｂのうち、本体１１のｘｙ方向中央に配置した。従って図１において電子部品３０は死角となって見えない位置なので点線で表している。
図３４には作動流体の流れを説明する図を表した。説明のし易さのため、この図では第二シート２０は省略し、第一シート１０の内面１０ａが見えるように表示している。
【０１１２】
電子部品３０が発熱すると、その熱が第一シート１０内を熱伝導により伝わり、密閉空間２内における電子部品３０に近い位置に存在する凝縮液が熱を受ける。この熱を受けた凝縮液は熱を吸収し蒸発し気化する。これにより電子部品３０が冷却される。
【０１１３】
気化した作動流体は蒸気となって図２３に実線の直線矢印で示したように蒸気流路４内を流れて移動する。この流れは電子部品３０から離隔する方向に生じるため、蒸気は電子部品３０から離れる方向に移動する。
蒸気流路４内の蒸気は熱源である電子部品３０から離れ、比較的温度が低いベーパーチャンバ１の外周部に移動し、当該移動の際に順次第一シート１０及び第二シート２０に熱を奪われながら冷却される。蒸気から熱を奪った第一シート１０及び第二シート２０はその外面１０ｂ、２０ｂに接触した携帯型端末装置の筐体等に熱を伝え、最終的に熱は外気に放出される。
【０１１４】
蒸気流路４を移動しつつ熱を奪われた作動流体は凝縮して液化する。この凝縮液は蒸気流路４の壁面に付着する。一方で蒸気流路４には連続して蒸気が流れているので、凝縮液は図２４、図２５に矢印Ｚで示したように蒸気で押し込まれるように、凝縮液流路３に移動する。本形態の凝縮液流路３は、図８、図１８に現れているように連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃを備えているので、凝縮液はこの連通開口部１４ｃ、連通開口部１５ｃを通って複数の凝縮液流路３に分配される。
本形態では凝縮液流路３と蒸気流路４とを分離して構成しているので作動流体が円滑に還流する。
【０１１５】
凝縮液流路３に入った凝縮液は、凝縮液流路による毛管現象、及び、蒸気からの押圧により、図３４に点線の直線矢印で表したように熱源である電子部品３０に近づくように移動する。
このとき、凝縮液流路３は第二シート２０により液流路溝１４ａ、１５ａの開口が塞がれているので断面においてその四方が壁となり、毛細管力を高めることができる。これにより円滑な凝縮液の移動が可能とされている。
そして再度熱源である電子部品３０からの熱により気化して上記を繰り返す。
【０１１６】
以上のように、ベーパーチャンバ１によれば、凝縮液流路において高い毛管力で凝縮液の還流が良好となり、熱輸送量を高めることができる。
【０１１７】
上記形態では、第一シート１０のみに液流路溝１４ａ、液流路溝１５ａが設けられた例を示したが、図３５に示したように第二シート２０にも液流路溝２４ａ、２５ａが設けられてもよい。そのときには上記した第一シート１０の液流路溝１４ａ、１５ａと同様に考えることができる。
図３５示した例では液流路溝１４ａと液流路溝２４ａ、及び、液流路溝１５ａと液流路溝２５ａが重なることにより第２流路である凝縮液流路３となる。また、隣り合う液流路溝１４ａ間の凸部１４ｂと、隣り合う液流路溝２４ａ間の凸部２４ｂとが上記した界面３ｂ（接合界面）を有するように接合され、隣り合う液流路溝１５ａ間の凸部１５ｂと、隣り合う液流路溝２５ａ間の凸部２５ｂとが上記した界面３ｂ（接合界面）を有するように接合される。
【０１１８】
この例でも本開示のベーパーチャンバとすることができる。
【０１１９】
ここまでのベーパーチャンバ１は、第一シート１０及び第二シート２０の２つのシートからなる例を説明した。ただし、これに限られることはなく、図３６に示したように３つのシートによるベーパーチャンバであってもよい。
【０１２０】
図３６に示したベーパーチャンバは、第一シート１０、第二シート２０、及び、中間シート５０（第三シート）の積層体である。
第一シート１０と第二シート２０との間に挟まれるように中間シート５０が配置され、それぞれが接合されている。
【０１２１】
この例では第一シート１０は内面１０ａ及び外面１０ｂのいずれも平坦である。同様に、第二シート２０も内面２０ａ及び外面２０ｂのいずれも平坦である。
この時の、第一シート１０および第二シート２０の厚さは、１．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．５ｍｍ以下であってもよく、０．１ｍｍ以下であってもよい。一方、この厚さ０．００５ｍｍ以上であること好ましく、０．０１５ｍｍ以上であってもよく、０．０３０ｍｍ以上であってもよい。この厚さの範囲は、上記複数の上限の候補値のうちの任意の１つと、複数の下限の候補値のうちの１つの組み合わせによって定められてもよい。また、この厚さの範囲は、複数の上限の候補値の任意の２つを組み合わせ、又は、複数の下限の候補値の任意の２つの組み合わせにより定められてもよい。
【０１２２】
中間シート５０には、蒸気流路溝５１、壁５２、液流路溝５３、及び、凸部５４が備えられている。
蒸気流路溝５１は、中間シート５０を厚さ方向に貫通した溝であり、上記した蒸気流路溝１６と蒸気流路溝２６とを重ねて第１流路である蒸気流路４を構成すると同様の溝であり、これに相当する形態で配置される。
壁５２は、隣り合う蒸気流路溝５１の間に具備される壁であり、上記した外周液流路部１４と外周液流路部２４、及び、内側液流路部１５と内側液流路部２５を重ねた壁に相当する形態で配置される。
液流路溝５３は、壁５２のうち第一シート１０に対向する面に配置される溝であり、上記した液流路溝１４ａ、１５ａに相当する形態で配置される。液流路溝５３により第２流路である凝縮液流路３が形成される。
凸部５４は、隣り合う液流路溝５３の間に配置される凸部であり、上記した凸部１４ｂ、１５ｂに相当する形態で配置される。
【０１２３】
そして、第１シート１０、第二シート２０、及び中間シート５０が接合された際には、凸部５４が第一シート１０の内面１０ａに接合され、例えば図２７〜図３２に示したような界面３ｂ（接合界面）を具備している。
【０１２４】
本開示の上記各形態の例はそのままに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の形態とすることができる。各形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。
【符号の説明】
【０１２５】
１  ベーパーチャンバ
２  密閉空間
３  凝縮液流路
３ａ  壁部
３ｂ  境界（接合界面）
４  蒸気流路
１０  第一シート
１０ａ  内面
１０ｂ  外面
１０ｃ  側面
１１  本体
１２  注入部
１３  外周接合部
１４  外周液流路部
１４ａ  液流路溝
１４ｂ  凸部
１４ｃ  連通開口部
１５  内側液流路部
１５ａ  液流路溝
１５ｂ  凸部
１５ｃ  連通開口部
１６  蒸気流路溝
１７  蒸気流路連通溝
２０  第二シート
２０ａ  内面
２０ｂ  外面
２０ｃ  側面
２１  本体
２２  注入部
２３  外周接合部
２４  外周液流路部
２５  内側液流路部
２６  蒸気流路溝
２７  蒸気流路連通溝
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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