(57)【要約】【課題】掃気時間を短縮することができる掃気装置を提供する。【解決手段】内圧防爆構造の周縁を画定する容器内に保護気体を供給して掃気を行うための掃気装置であって、掃気制御装置は、流量調節装置を制御することで、少なくとも２つの主期間と少なくとも１つの副期間とを含む掃気期間において容器内に保護気体を供給して掃気を行い、主期間と副期間とは時間軸上において交互に設定されており、副期間における単位時間当たりの最大供給流量が、その直前の主期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０％以下であり、且つ、その直後の主期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０％以下であることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内圧防爆構造の周縁を画定する容器内に保護気体を供給して掃気を行うための掃気装置であって、
保護気体供給源と、
前記保護気体供給源から前記容器内まで前記保護気体を導くための流路と、
前記保護気体供給源から前記容器内に供給される前記保護気体の流量を調節するための流量調節装置と、
前記流量調節装置を制御して掃気を行うための掃気制御装置と、を備えており、
前記掃気制御装置は、前記流量調節装置を制御することで、少なくとも２つの主期間と少なくとも１つの副期間とを含む掃気期間において前記容器内に前記保護気体を供給して掃気を行い、
前記主期間と前記副期間とは時間軸上において交互に設定されており、
前記副期間における単位時間当たりの最大供給流量が、その直前の前記主期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０％以下であり、且つ、その直後の前記主期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０％以下であることを特徴とする、掃気装置。
【請求項２】
前記掃気制御装置は、前記流量調節装置を制御することで、前記副期間における単位時間当たりの最大供給流量を零とすることにより、前記掃気期間において前記容器内に前記保護気体を断続的に供給して掃気を行う、請求項１に記載の掃気装置。
【請求項３】
前記掃気制御装置は、前記流量調節装置を制御することで、最初の前記主期間における単位時間当たりの供給流量がその直後の前記副期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０倍以上である期間が、２回目の前記主期間における単位時間当たりの供給流量がその直前の前記副期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０倍以上である期間よりも長くなるように、前記掃気期間において前記容器内に前記保護気体を供給して掃気を行う、請求項１又は２に記載の掃気装置。
【請求項４】
前記掃気制御装置は、前記流量調節装置を制御することで、最初の前記主期間における単位時間当たりの最大供給流量が２回目の前記主期間における単位時間当たりの最大供給流量よりも大きくなるように、前記掃気期間において前記容器内に前記保護気体を供給して掃気を行う、請求項１乃至３のいずれかに記載の掃気装置。
【請求項５】
前記流量調節装置は、前記流路上に設けられる調節弁を有しており、
前記掃気制御装置は、前記調節弁の開度を調節することで前記容器内に供給される前記保護気体の流量を制御する、請求項１乃至４のいずれかに記載の掃気装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載の掃気装置と、前記内圧防爆構造を有するロボットと、を備えるロボットシステムであって、
前記ロボットは、ロボットアームと、前記ロボットアームの先端部に取り付けられるエンドエフェクタと、前記ロボットアーム及び前記エンドエフェクタを制御するためのロボット制御装置と、を有しており、
前記ロボットアームの少なくとも一部が前記容器を構成していることを特徴とする、ロボットシステム。
【請求項７】
爆発性雰囲気が存する第１領域と、前記爆発性雰囲気が存しない第２領域とを仕切るための仕切部をさらに備えており、
前記第１領域に前記ロボットアーム及び前記エンドエフェクタが設置されており、且つ、
前記第２領域に前記保護気体供給源、前記掃気制御装置及び前記ロボット制御装置が設置されている、請求項６に記載のロボットシステム。
【請求項８】
内圧防爆構造の周縁を画定する容器内に保護気体を供給して掃気を行うための掃気方法であって、
前記内圧防爆構造と請求項１乃至５のいずれかに記載の掃気装置とを準備する第１ステップと、
前記第１ステップを行ったあとで、前記内圧防爆構造に対して前記掃気装置を取り付ける第２ステップと、
前記第１及び前記第２ステップを行ったあとで、前記掃気制御装置により前記流量調節装置を制御することで、少なくとも２つの主期間と少なくとも１つの副期間とを含む掃気期間において前記容器内に前記保護気体を供給して掃気を行う第３ステップと、を備えており、
前記主期間と前記副期間とは時間軸上において交互に設定されており、
前記副期間における単位時間当たりの最大供給流量が、その直前の前記主期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０％以下であり、且つ、その直後の前記主期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０％以下であることを特徴とする、掃気方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、掃気装置及びそれを備えるロボットシステム並びに掃気方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、内圧防爆構造の周縁を画定する容器内に保護気体を供給して掃気を行うための掃気装置が知られている。このような掃気装置が、例えば、特許文献１の工業用ロボットで提案されている。
【０００３】
特許文献１の工業用ロボットでは、防爆装置の停止時間が基準停止時間よりも長いとき掃気処理が行われる。一方、防爆装置の停止時間が基準停止時間よりも短いとき、給気処理が行われたあと、ロボットシステムが立ち上げられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−１６８９９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記構成によれば、特許文献１では、ロボットシステムが停止したあと直ぐに起動することで防爆上問題が無いと考えられる場合に、掃気を行わないことで稼動率を向上させることが提案されている。しかし、特許文献では、掃気を行った場合に掃気期間が長くなってしまうという問題があった。
【０００６】
そこで、本発明は、掃気期間を短縮することが可能な、掃気装置及びそれを備えるロボットシステム並びに掃気方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するために、本発明に係る掃気装置は、内圧防爆構造の周縁を画定する容器内に保護気体を供給して掃気を行うための掃気装置であって、保護気体供給源と、前記保護気体供給源から前記容器内まで前記保護気体を導くための流路と、前記保護気体供給源から前記容器内に供給される前記保護気体の流量を調節するための流量調節装置と、前記流量調節装置を制御して掃気を行うための掃気制御装置と、を備えており、前記掃気制御装置は、前記流量調節装置を制御することで、少なくとも２つの主期間と少なくとも１つの副期間とを含む掃気期間において前記容器内に前記保護気体を供給して掃気を行い、前記主期間と前記副期間とは時間軸上において交互に設定されており、前記副期間における単位時間当たりの最大供給流量が、その直前の前記主期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０％以下であり、且つ、その直後の前記主期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０％以下であることを特徴とする。
【０００８】
上記構成によれば、副期間における単位時間当たりの最大供給流量が、その直前の主期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０％以下であり、且つ、その直後の主期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０％以下であるように、掃気期間において容器内に保護気体を供給して掃気を行うことで、掃気期間を短縮することが可能となる。
【０００９】
前記掃気制御装置は、前記流量調節装置を制御することで、前記副期間における単位時間当たりの最大供給流量を零とすることにより、前記掃気期間において前記容器内に前記保護気体を断続的に供給して掃気を行ってもよい。
【００１０】
上記構成によれば、本発明が奏する効果を顕著にすることができる。
【００１１】
前記掃気制御装置は、前記流量調節装置を制御することで、最初の前記主期間における単位時間当たりの最大供給流量が２回目の前記主期間における単位時間当たりの最大供給流量よりも大きくなるように、前記掃気期間において前記容器内に前記保護気体を供給して掃気を行ってもよい。
【００１２】
上記構成によれば、本発明が奏する効果を顕著にすることができる。
【００１３】
前記流量調節装置は、前記流路上に設けられる調節弁を有しており、前記掃気制御装置は、前記調節弁の開度を調節することで前記容器内に供給される前記保護気体の流量を制御してもよい。
【００１４】
上記構成によれば、簡単な構成で掃気時間を短縮することが可能となる。
【００１５】
前記課題を解決するために、本発明に係るロボットシステムは、上記いずれかの掃気装置と、前記内圧防爆構造を有するロボットと、を備えるロボットシステムであって、前記ロボットは、ロボットアームと、前記ロボットアームの先端部に取り付けられるエンドエフェクタと、前記ロボットアーム及び前記エンドエフェクタを制御するためのロボット制御装置と、を有しており、前記ロボットアームの少なくとも一部が前記容器を構成していることを特徴とする。
【００１６】
上記構成によれば、掃気装置を用いることで、内圧防爆構造を有するロボットを備えるロボットシステムにおいて、掃気時間を短縮することができる。
【００１７】
爆発性雰囲気が存する第１領域と、前記爆発性雰囲気が存しない第２領域とを仕切るための仕切部をさらに備えており、前記第１領域に前記ロボットアーム及び前記エンドエフェクタが設置されており、且つ、前記第２領域に前記保護気体供給源、前記掃気制御装置及び前記ロボット制御装置が設置されていてもよい。
【００１８】
上記構成によれば、ロボットシステムの安全性を確保することが可能となる。
【００１９】
前記課題を解決するために、本発明に係る掃気方法は、内圧防爆構造の周縁を画定する容器内に保護気体を供給して掃気を行うための掃気方法であって、前記内圧防爆構造と上記いずれかの掃気装置とを準備する第１ステップと、前記第１ステップを行ったあとで、前記内圧防爆構造に対して前記掃気装置を取り付ける第２ステップと、前記第１及び前記第２ステップを行ったあとで、前記掃気制御装置により前記流量調節装置を制御することで、少なくとも２つの主期間と少なくとも１つの副期間とを含む掃気期間において前記容器内に前記保護気体を供給して掃気を行う第３ステップと、を備えており、前記主期間と前記副期間とは時間軸上において交互に設定されており、前記副期間における単位時間当たりの最大供給流量が、その直前の前記主期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０％以下であり、且つ、その直後の前記主期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０％以下であることを特徴とする。
【００２０】
上記構成によれば、副期間における単位時間当たりの最大供給流量が、その直前の主期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０％以下であり、且つ、その直後の主期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０％以下であるように、掃気期間において容器内に保護気体を供給して掃気を行うことで、掃気期間を短縮することが可能となる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、掃気期間を短縮することが可能な、掃気装置及びそれを備えるロボットシステム並びに掃気方法を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施形態に係る掃気装置及びそれを備えるロボットシステムの全体構成を示す概略図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る掃気装置の一部及びロボットの内部構造を示す概略図である。
【図３】本発明の一実施形態に係るロボットシステムで掃気を行った場合の効果を説明するための概略的なグラフである。
【図４】本発明の一実施形態に係るロボットシステムで掃気を行った場合の効果を説明するための模式図である。
【図５】本発明の一実施形態に係るロボットシステムの変形例で掃気を行った場合の効果を説明するための概略的なグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
（全体構成）
以下、本発明の実施形態に係る掃気装置及びそれを備えるロボットシステム並びに掃気方法について図面を参照して説明する。なお、本実施形態によって本発明が限定されるものではない。また、以下では、全ての図を通じて、同一又は相当する要素には同一の参照符号を付して、その重複する説明を省略する。
【００２４】
（ロボットシステム１０）
図１は、本実施形態に係る掃気装置及びそれを備えるロボットシステムの全体構成を示す概略図である。図１に示すように、ロボットシステム１０は、爆発性雰囲気が存する第１領域で塗装作業を行うロボット２０と、ロボット２０が有する内圧防爆構造の周縁を画定する容器６０内に保護気体を供給して掃気を行うための掃気装置７０と、ロボット２０及び掃気装置７０を制御するための制御装置９０と、を備えている。
【００２５】
本実施形態に係るロボットシステム１０は、爆発性雰囲気が存する第１領域と、爆発性雰囲気が存しない第２領域とを仕切るための仕切部９８をさらに備えている。そして、第１領域に後述する流量調節装置７６、基台２１、ロボットアーム３０及びエンドエフェクタ４０が設置されている。また、第２領域に後述する保護気体供給源７１及び制御装置９０が設置されている。
【００２６】
本実施形態に係るロボット２０は、自動車などに対して塗装を行うための塗装ロボットである。したがって、本実施形態において、上記第１領域は塗装場のことをいう。塗装場の雰囲気は、塗料に含まれる有機溶剤が気化したガスと混合され、可燃性ガス（又は爆発性ガス）になっていることが多い。このような第１領域で何ら対策を講じないまま電気機器を使用すると、通電により生じる火花などを原因に爆発が生じてしまう。
【００２７】
ロボット２０は、その周縁の一部を画定する容器６０内に後述するサーボモータ３２などの電気機器が多数設けられている。したがって、ロボット２０に通電を行う前に、前記容器６０内に侵入している可燃性ガスを排除することを要する。そこで、掃気装置７０を用いて、容器６０内に保護気体を供給して掃気が行われる。
【００２８】
（ロボット２０）
ロボット２０は、基台２１と、基台２１に連結されるロボットアーム３０と、ロボットアーム３０の先端部に取り付けられるエンドエフェクタ４０と、ロボットアーム３０及びエンドエフェクタ４０を制御して塗装作業を行わせるロボット制御装置５０と、を有している。
【００２９】
（ロボットアーム３０）
ロボットアーム３０は、７つの関節軸ＪＴ１〜ＪＴ７と、これらの関節軸によって順次連結される６つのリンク３１ａ〜３１ｆと、を有している。ロボットアーム３０の関節軸ＪＴ１〜ＪＴ７は、それぞれ、後述するサーボモータ３２によって回動可能に設けられている。
【００３０】
第１関節軸ＪＴ１は、サーボモータ３２ａによって、第１リンク３１ａの先端部と第２リンク３１ｂの基端部とを鉛直方向に延びる軸回りに回動可能に連結する。第２関節軸ＪＴ２は、サーボモータ３２ｂによって、第２リンク３１ｂの先端部と第３リンク３１ｃの基端部とを、水平方向に延びる軸回りにロボット２０の前後方向と上下方向とが交わる平面において回動可能に連結する。
【００３１】
第３関節軸ＪＴ３は、サーボモータ３２ｃによって、第３リンク３１ｃの先端部と第４リンク３１ｄの基端部とを、水平方向に延びる軸回りにロボット２０の前後方向と上下方向とが交わる平面において回動可能に連結する。第４関節軸ＪＴ４は、サーボモータ３２ｄによって、第４リンク３１ｄの先端部と第５リンク３１ｅの基端部とを捻れ回動可能に連結する。第５関節軸ＪＴ５は、サーボモータ３２ｅによって、第５リンク３１ｅの先端部と第６リンク３１ｆの基端部とを捻れ回動可能に連結する。第６関節軸ＪＴ６は、サーボモータ３２ｆによって、第６リンク３１ｆの先端部（すなわち、ロボットアーム３０の先端部）とエンドエフェクタ４０の基端部とを捻れ回動可能に連結する。そして、第７関節軸ＪＴ７は、サーボモータ３２ｇによって、基台２１と第１リンク３１ａの基端部とを、水平方向に延びる軸回りにロボット２０の左右方向と上下方向とが交わる平面において回動可能に連結する。
【００３２】
図２は、本実施形態に係る掃気装置の一部及びロボットの内部構造を示す概略図である。図２に示すように、本実施形態では、基台２１及びロボットアーム３０の一部が容器６０を構成している。
【００３３】
図２に示すように、サーボモータ３２ａ〜３２ｃ及び３２ｇは、それぞれ、自らが回動させる関節軸に連結して設けられているが、一方で、サーボモータ３２ｄ〜３２ｆは、それぞれ、自らが回動させる関節軸から離間して設けられている。具体的には、サーボモータ３２ｄ〜３２ｆは、それぞれ、第３関節軸ＪＴ３の近傍に互いに隣接して設けられており、ハーネスを介して離間した関節軸を回動させている。そして、サーボモータ３２ａ〜３２ｇの全ては、容器６０内に設けられている。
【００３４】
（エンドエフェクタ４０）
本実施形態では、エンドエフェクタ４０は、図示しない塗料供給用ホースから供給される塗料を自動車の車体などに吹き付けるための塗装ガンである。
【００３５】
（ロボット制御装置５０）
ロボット制御装置５０は、後述する掃気制御装置８０とともに制御装置９０内に設けられている。ロボット制御装置５０の具体的な構成は特に限定されないが、例えば、公知のプロセッサ（ＣＰＵ等）が記憶部（メモリ）に格納されるプログラムに従って動作することにより実現される構成であってもよい。
【００３６】
（掃気装置７０）
掃気装置７０は、保護気体供給源７１と、保護気体供給源７１から容器６０内まで保護気体を導くための供給流路７２（流路）と、保護気体供給源７１から容器６０内に供給される保護気体の流量を調節するための流量調節装置７６と、流量調節装置７６を制御して掃気を行うための掃気制御装置８０と、を備えている。
【００３７】
（保護気体供給源７１）
保護気体供給源７１は、第２領域に設けられている。本実施形態では、保護気体として例えば大気中の空気を用いてもよい。
【００３８】
（供給流路７２）
図１、２に示すように、供給流路７２は、第２領域に設けられる保護気体供給源７１から第１領域に設けられるロボット２０の容器６０内まで延びている。具体的には、供給流路７２は、ロボット２０の基台２１に穿設された貫通孔を通って容器６０内挿入され、且つ、当該容器６０内の最深部（すなわち、第３関節軸ＪＴ３の部分）まで延びており、その先端部から保護気体が供給される。
【００３９】
なお、供給流路７２は、第２関節軸ＪＴ２を回動させるサーボモータ３２ｂの近傍まで延びる分岐路を有しており、その先端部から保護気体が供給される。また、供給流路７２は、第７関節軸ＪＴ７を回動させるサーボモータ３２ｇまで延びる分岐路をさらに有しており、その先端部から保護気体が供給される。
【００４０】
（排出流路７４）
容器６０内に供給された保護気体は、排出流路７４によって容器６０から排出される。排出流路７４は、基台２１に穿設された貫通孔を通って容器６０の外部へと延びている。容器６０内の圧力は大気圧よりも高いため、供給流路７２から容器６０内に供給された保護気体は、排出流路７４の先端部に吸引されるようにして容器６０の外部へと排出される。
【００４１】
（流量調節装置７６及び掃気制御装置８０）
流量調節装置７６は、供給流路７２上に設けられる第１調節弁７７（調節弁）と、排出流路７４上に設けられる第２調節弁７８と、を有している。また、掃気制御装置８０は、ロボット制御装置５０とともに制御装置９０内に設けられている。掃気制御装置８０の具体的な構成は特に限定されないが、例えば、ロボット制御装置５０と同様に公知のプロセッサ（ＣＰＵ等）が記憶部（メモリ）に格納されるプログラムに従って動作することにより実現される構成であってもよい。
【００４２】
そして、掃気制御装置８０は、第１調節弁７７の開度を調節することで容器６０内に供給される保護気体の流量を制御する。このとき、掃気制御装置８０は、供給流路７２上に設けられる図示しない圧力センサで検出される保護気体の圧力値や、同じく図示しない流量センサで検出される保護気体の流量値などを取得して、当該圧力値や流量値などに基づき、容器６０内に供給される保護気体の流量を制御してもよい。
【００４３】
容器６０内に供給される保護気体の流量と時間の関係を表したグラフを図３（Ａ）に示す。また、従来のように容器６０内に供給される保護気体の流量を変化させないで掃気を行った場合における同様のグラフを図３（Ｂ）に示す。
【００４４】
図３（Ａ）に示すように、掃気制御装置８０は、掃気を開始してから時間ｔ１まで容器６０内に保護気体を所定の時間供給し続ける。次に、掃気制御装置８０は、時間ｔ１から時間ｔ２までの間は容器６０内への保護気体の供給を停止し、そのあと時間ｔ２から時間ｔ３までの間は容器６０内に保護気体を供給する。最後に、掃気制御装置８０は、時間ｔ３から時間ｔ４までの間は容器６０内への保護気体の供給を停止し、そのあと時間ｔ４から時間ｔ５までの間は容器６０内に保護気体を供給する。
【００４５】
例えば、掃気を開始してから保護気体を供給し続ける所定の時間（すなわち、時間ｔ１）は、１０ｍｉｎ程度であってもよい。また、保護気体の供給を停止する時間（すなわち、時間ｔ２−ｔ１及び時間ｔ４−ｔ３それぞれ）は、３０ｓｅｃ程度であってもよい。さらに、保護気体の供給を停止したあと再び供給を行う時間（すなわち、時間ｔ３−ｔ２及び時間ｔ５−ｔ４それぞれ）は、２ｍｉｎ程度であってもよい。
【００４６】
掃気制御装置８０は、流量調節装置７６を制御することで、少なくとも２つの主期間と少なくとも１つの副期間とを含む掃気期間において容器６０内に保護気体を供給して掃気を行う。ここで、主期間と副期間とは時間軸上において交互に設定されている。また、副期間における単位時間当たりの最大供給流量が、その直前の主期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０％以下であり、且つ、その直後の主期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０％以下である。
【００４７】
ここで、上記主期間とは、新たな保護気体を積極的に容器６０内に供給する期間である。また、上記副期間とは、容器６０内に存する保護気体が容器６０内で均等に拡散されるのを待つ期間である。
【００４８】
図３（Ａ）において、掃気を開始してから時間ｔ５までが掃気期間である。また、掃気を開始してから時間ｔ１まで、時間ｔ２から時間ｔ３まで、及び、時間ｔ４から時間ｔ５までがそれぞれ主期間に相当する。さらに、時間ｔ１から時間ｔ２まで、及び、時間ｔ３から時間ｔ４までがそれぞれ副期間に相当する。
【００４９】
図３（Ａ）において、掃気制御装置８０は、流量調節装置７６を制御することで、副期間（すなわち、時間ｔ１から時間ｔ２まで及び時間ｔ３から時間ｔ４までそれぞれの期間）における単位時間当たりの最大供給流量を零とすることにより、掃気期間（すなわち、掃気を開始してから時間ｔ５までの期間）において容器６０内に保護気体を断続的に供給して掃気を行っている。
【００５０】
（効果）
本実施形態に係る掃気装置７０は、図３（Ａ）に示すように、副期間における単位時間当たりの最大供給流量が、その直前の主期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０％以下であり、且つ、その直後の主期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０％以下であるように、掃気期間において容器６０内に保護気体を供給して掃気を行っている。これにより、容器６０内に供給される保護気体の流量を変化させないで掃気を行った場合（図３（Ｂ）に示す場合）と比較して、ｔ´−ｔ５だけ掃気期間を短縮することができる。このように掃気期間を短縮できる理由を図４に基づき説明する。
【００５１】
図４は、本実施形態に係るロボットシステムで掃気を行った場合の効果を説明するための模式図である。なお、図４（Ａ）が容器６０内に保護気体を供給している状態を示し、図４（Ｂ）が容器６０内に保護気体の供給を停止した状態を示し、図４（Ｃ）が容器６０内に保護気体の供給を停止したあとで供給を再開した直後の状態を示している。
【００５２】
ここで、内圧防爆構造を有するロボット２０は、一般に、出荷前に掃気精度の検定が行われている。当該掃気精度の検定の一例について説明する。まず、ロボットアーム３０の数カ所に貫通孔を穿設する。次に、当該貫通孔それぞれから吸引部１００を挿入しておく。
【００５３】
そして、容器６０内に保護気体としてヘリウムガスを充てんしてからその濃度が一定値以下になるまで掃気を行う。このとき、容器６０内に挿入しておいた吸引部１００を用いて容器６０内の気体を吸引し、吸引した気体に含まれる保護気体の濃度を外部に設けられた濃度測定器（図示せず）によって測定することで、ヘリウムガスの濃度が一定値以下になったか否かを判定する。次に、保護気体として二酸化炭素を充填してからその濃度が一定値以下になるまで掃気を行う。このとき二酸化炭素ののどが一定値以下になったか否かの判定手順は、上記ヘリウムガスの場合と同様である。
【００５４】
吸引部１００は、保護気体が流れにくい入り組んだ空間又はその近傍に対して設けられることが多い。図４（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、当該入り組んだ空間の一例として、サーボモータ３２を挙げることができる。このような入り組んだ空間では、図４（Ａ）に示すように、渦状の流れができて保護気体の一部が留まってしまう。これにより、気体に含まれる保護気体（上記したヘリウム又は二酸化炭素など）の濃度が所定の値まで低下するのに時間が掛かるので、掃気時間が長くなってしまう。なお、保護気体が二酸化炭素である場合、二酸化炭素は空気と比較して重たいため、濃度が特に低下しにくい。
【００５５】
そこで、図４（Ｂ）に示すように、保護気体の供給を停止（その直前よりも１０％以下）すると、入り組んだ空間（ここではサーボモータ３２）に留まっていた保護気体が流出してくる。そして、停止していた保護気体の供給を再開（その直前よりも１０倍以上）することで、図４（Ｃ）に示すように、入り組んだ空間から流出してきた保護気体が他の保護気体と共に排出流路７４へと流れていく。これにより、保護気体を供給し続ける場合と比較して、入り組んだ空間又はその近傍の気体に含まれる保護気体の濃度を短い時間で低下させることができる。
【００５６】
上記理由により、本実施形態に係る掃気装置７０は、内圧防爆構造の周縁を画定する容器６０内に保護気体を供給して掃気時間を短縮することができる。
【００５７】
また、本実施形態に係る掃気装置７０は、掃気制御装置８０により流量調節装置７６を制御することで、副期間における単位時間当たりの最大供給流量を零とすることにより、掃気期間において容器６０内に保護気体を断続的に供給して掃気を行うことで、本発明が奏する効果を顕著にすることができる。
【００５８】
また、本実施形態では、図３（Ａ）に示すように、掃気制御装置８０は、流量調節装置７６を制御することで、最初の主期間（すなわち、掃気を開始してから時間ｔ１までの期間）における単位時間当たりの供給流量がその直後の副期間（すなわち、時間ｔ１から時間ｔ２までの期間）における単位時間当たりの最大供給流量の１０倍以上である期間が、２回目の主期間（すなわち、時間ｔ３から時間ｔ４までの期間）における単位時間当たりの供給流量がその直前の副期間（すなわち、時間ｔ１から時間ｔ２までの期間）における単位時間当たりの最大供給流量の１０倍以上である期間よりも長くなるように、掃気期間において容器６０内に保護気体を供給して掃気を行っている。これにより、容器６０内に保護気体を充填する時間が長くなることを抑制しながら、掃気装置７０で掃気を行うことが可能となる。その結果、本実施形態が奏する効果を顕著にすることが可能となる。
【００５９】
さらに、本実施形態では、掃気制御装置８０が第１調節弁７７（調節弁）の開度を調節することで容器６０内に供給される保護気体の流量を制御している。これにより、簡単な構成で掃気時間を短縮することが可能となる。
【００６０】
また、本実施形態では、内圧防爆構造を有するロボット２０に対して掃気装置７０を用いることで、当該ロボット２０を備えるロボットシステム１０において、掃気時間を短縮することができる。
【００６１】
さらに、本実施形態では、爆発性雰囲気が存する第１領域に流量調節装置７６、ロボットアーム３０及び前記エンドエフェクタ４０が設置されており、且つ、爆発性雰囲気が存しない第２領域に保護気体供給源７１、掃気制御装置８０及びロボット制御装置５０が設置されている。これにより、ロボットシステム１０の安全性を確保することが可能となる。
【００６２】
（掃気方法）
本発明に係る掃気方法について、上記実施形態に係る掃気装置７０を用いて行う場合を例にして説明する。
【００６３】
まず、内圧防爆構造を有するロボット２０と掃気装置７０とを準備する第１ステップを行う。すなわち、ここではロボットシステム１０を準備している。
【００６４】
次に、第１ステップを行ったあとで、ロボット２０に対して掃気装置７０を取り付ける第２ステップを行う。具体的には、供給流路７２（流路）及び排出流路７４を容器６０内に挿入して取り付ける。また、爆発性雰囲気が存する第１領域に流量調節装置７６、ロボットアーム３０及び前記エンドエフェクタ４０を設置し、且つ、爆発性雰囲気が存しない第２領域に保護気体供給源７１、掃気制御装置８０及びロボット制御装置５０を設置する。
【００６５】
最後に、第１及び第２ステップを行ったあとで、掃気制御装置８０によって、流量調節装置７６を制御することで、少なくとも２つの主期間と少なくとも１つの副期間とを含む掃気期間において容器６０内に保護気体を供給して掃気を行う第３ステップを行う。このとき、主期間と副期間とは時間軸上において交互に設定されている。また、副期間における単位時間当たりの最大供給流量が、その直前の主期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０％以下であり、且つ、その直後の主期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０％以下である。
【００６６】
なお、第３ステップにおいて、掃気制御装置８０によって、流量調節装置７６を制御することで、副期間における単位時間当たりの最大供給流量を零とすることにより（すなわち、ｔ１からｔ２までの期間及びｔ３からｔ４までの期間のそれぞれで容器６０内に保護気体を供給しないことにより）、掃気期間において容器６０内に保護気体を断続的に供給して掃気を行ってもよい。
【００６７】
また、第３ステップにおいて、掃気制御装置８０によって、流量調節装置７６を制御することで、最初の主期間における単位時間当たりの供給流量がその直後の副期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０倍以上である期間が、２回目の主期間における単位時間当たりの供給流量がその直前の副期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０倍以上である期間よりも長くなるように（すなわち、図３（Ａ）に示すように掃気を開始してからｔ１までの期間がｔ２からｔ３までの期間よりも長くなるように）、掃気期間において容器６０内に保護気体を供給して掃気を行ってもよい。
【００６８】
（変形例）
上記説明から、当業者にとっては、本発明の多くの改良や他の実施形態が明らかである。したがって、上記説明は、例示としてのみ解釈されるべきであり、本発明を実行する最良の態様を当業者に教示する目的で提供されたものである。本発明の精神を逸脱することなく、その構造及び／又は機能の詳細を実質的に変更できる。
【００６９】
図５は、上記実施形態に係るロボットシステムの変形例で掃気を行った場合の効果を説明するための概略的なグラフである。
【００７０】
上記実施形態では、主期間それぞれにおける単位時間当たりの最大供給流量が常にｆで一定である場合について説明したが、これに限定されない。例えば、図５（Ａ）に示すように、掃気制御装置８０は、流量調節装置７６を制御することで、最初の主期間（すなわち、掃気を開始してから時間ｔ１までの期間）における単位時間当たりの最大供給流量が２回目の主期間（すなわち、時間ｔ２から時間ｔ３までの期間）における単位時間当たりの最大供給流量よりも大きくなるように、掃気期間において容器６０内に保護気体を供給して掃気を行ってもよい。図５（Ａ）では、最初の主期間における単位時間当たりの最大供給流量がｆ＋αであり、２回目の主期間における単位時間当たりの最大供給流量がｆである場合を示してある。
【００７１】
このように掃気を行うことで、容器６０内に保護気体を充填する時間が長くなることを抑制しながら、掃気装置７０で掃気を行うことが可能となる。これにより、容器６０内に供給される保護気体の流量を変化させないで掃気を行った場合（図３（Ｂ）に示す場合）と比較して、例えばｔ´−ｔ５だけ（又はそれ以上）掃気期間を短縮することができる。その結果、本実施形態が奏する効果を顕著にすることが可能となる。なお、図５（Ａ）に示すように、３回目の主期間における単位時間当たりの最大供給流量をｆとしてもよいし、４回以上の主期間が存する場合、その４回目以降の主期間における単位時間当たりの最大供給流量をｆとしてもよい。
【００７２】
上記実施形態では、副期間における単位時間当たりの最大供給流量を零とすることにより、掃気期間において容器６０内に保護気体を断続的に供給して掃気を行う場合について説明したが、これに限定されない。例えば、図５（Ｂ）に示すように、掃気制御装置８０は、流量調節装置７６を制御することで、副期間における単位時間当たりの最大供給流量が、その直前の主期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０％であり、且つ、その直後の前記主期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０％であるように、副期間それぞれにおいて容器６０内に保護気体を供給してもよい。
【００７３】
図５（Ｂ）では、最初の副期間（すなわち、時間ｔ１から時間ｔ２までの期間）における単位時間当たりの最大供給流量がｆ／１０であり、２回目の副期間（すなわち、時間ｔ３から時間ｔ４までの期間）における単位時間当たりの最大供給流量もｆ／１０である場合を示してある。そして、図５（Ｂ）では、最初の主期間（すなわち、掃気を開始してから時間ｔ１までの期間）における単位時間当たりの最大供給流量がｆであり、２回目の主期間（すなわち、時間ｔ４から時間ｔ５までの期間）における単位時間当たりの最大供給流量もｆである場合を示してある。
【００７４】
このように掃気を行った場合でも、容器６０内に供給される保護気体の流量を変化させないで掃気を行った場合（図３（Ｂ）に示す場合）と比較して、例えばｔ´−ｔ５だけ掃気期間を短縮することができる。
【００７５】
なお、掃気制御装置８０は、流量調節装置７６を制御することで、少なくとも２つの主期間と少なくとも１つの副期間とを含む掃気期間において容器６０内に保護気体を供給して掃気を行い、主期間と副期間とは時間軸上において交互に設定されており、副期間における単位時間当たりの最大供給流量が、その直前の主期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０％以下であり、且つ、その直後の主期間における単位時間当たりの最大供給流量の１０％以下であれば、図３（Ａ）、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示す以外の態様で掃気期間において掃気を行ってもよい。
【００７６】
例えば、主期間及び副期間それぞれにおける供給流量が変動されてもよい。例えば、図３（Ａ）、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示す容器６０内に保護気体を供給するときの供給流量と時間の関係を表すグラフが正弦波の形状になってもよいし、不規則に変動する形状になってもよいし、又は、他の形状になってもよい。さらに、少なくとも２つの主期間それぞれにおける最大供給流量が異なっていてもよい。
【００７７】
上記実施形態では、爆発性雰囲気が存する第１領域に流量調節装置７６が配置される場合について説明したが、これに限定されない。例えば、爆発性雰囲気が存しない第２領域に流量調節装置７６が配置されてもよい。或いは、第１領域に流量調節装置７６の一部（例えば、第１調節弁７７）を配置し、第２領域に流量調節装置７６の残りの部分（例えば、第２調節弁７８）を配置するようにしてもよい。この場合、第１領域に配置する調節弁などは、例えば、低電圧で動作する調節弁であることが好ましい。
【００７８】
上記実施形態では、基台２１及びロボットアーム３０の一部が容器６０を構成している場合について説明したが、この場合に限定されない。例えば、基台２１内に電気機器が設けられていない場合、ロボットアーム３０の少なくとも一部が容器６０を構成していればよい。
【００７９】
上記実施形態では、ロボット２０が自動車などに対して塗装を行うための塗装ロボットであり、第１領域が塗装場である場合について説明したが、この場合に限定されない。例えば、ロボット２０がガソリン給油所で作業を行うロボットであり、第１領域が前記ガソリン給油所であってもよい。
【００８０】
上記実施形態では、内圧防爆構造がロボット２０に備えられる場合について説明したが、これに限定されず、内圧防爆構造が他の電気機器に備えられていてもよい。すなわち、掃気装置７０がロボット２０以外の電気機器の内圧防爆構造に対して用いられてもよい。
【符号の説明】
【００８１】
１０  ロボットシステム
２０  ロボット
２１  基台
３０  ロボットアーム
３１  リンク
３２  サーボモータ
４０  エンドエフェクタ
５０  ロボット制御装置
６０  容器
７０  掃気装置
７１  保護気体供給源
７２  供給流路
７４  排出流路
７６  流量調節装置
７７  第１調整弁
７８  第２調整弁
８０  掃気制御装置
９０  制御装置
９８  仕切部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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