(57)【要約】【課題】内部突起がマスク本体からスキージ面側に抜け出ないように、スキージ面側に粘着力軽減用のコーティング層を形成したボール配列用マスクを得る。【解決手段】メッキにより形成され、導電性ボールが挿通する複数の開口部が形成されたマスク本体と、メッキにより形成され、基板の電極と対向する基板側のマスク本体裏面の開口部以外に部分的に突出された突起とを備え、突起は、第１のメッキ層により形成され、スキージ面側の表面が露出された内部突起と、この内部突起のスキージ面側を除く表面に第２のメッキ層により形成され、基板側に突出された外部突起とからなり、マスク本体は、第２のメッキ層により外部突起と一体的に形成されているものであって、少なくとも内部突起の露出されたスキージ面側の表面及びその周辺近傍のマスク本体のスキージ面側の表面に粘着力軽減用のコーティング層を形成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
メッキにより形成され、振り込まれた導電性ボールが挿通する複数の開口部が形成されたマスク本体と、メッキにより形成され、導電性ボールが振り込まれるスキージ面側ではなく基板の電極と対向する基板側の前記マスク本体裏面の前記開口部以外に部分的に突出された突起とを備え、前記突起は、第１のメッキ層により形成され、スキージ面側の表面が露出された内部突起と、この内部突起のスキージ面側を除く表面に前記第１のメッキ層とは別の第２のメッキ層により形成され、基板側に突出された外部突起とからなり、前記マスク本体は、前記第２のメッキ層により前記外部突起と一体的に形成されているボール配列用マスクであって、
少なくとも前記内部突起の露出されたスキージ面側の表面及びその周辺近傍のマスク本体のスキージ面側の表面に粘着力軽減用のコーティング層を形成したことを特徴とするボール配列用マスク。
【請求項２】
粘着力軽減用のコーティング層は、内部突起の露出されたスキージ面側を含むマスク本体のスキージ面側の表面全面に形成したことを特徴とする請求項１記載のボール配列用マスク。
【請求項３】
メッキにより形成され、振り込まれた導電性ボールが挿通する複数の開口部が形成されたマスク本体と、メッキにより形成され、導電性ボールが振り込まれるスキージ面側ではなく基板の電極と対向する基板側の前記マスク本体裏面の前記開口部以外に部分的に突出された突起とを備え、前記突起は、第１のメッキ層により形成され、スキージ面側の表面が露出された内部突起と、この内部突起のスキージ面側を除く表面に前記第１のメッキ層とは別の第２のメッキ層により形成され、基板側に突出された外部突起とからなり、前記マスク本体は、前記第２のメッキ層により前記外部突起と一体的に形成されているボール配列用マスクの製造方法であって、
ＳＵＳ母材上に前記内部突起形成用のレジスト層を形成する工程と、
前記内部突起が所定の高さとなるようにＳＵＳ母材上にメッキすることにより、第１のメッキ層を形成する工程と、
第１のメッキ層の形成が終わったら、前記内部突起形成用のレジスト層を除去する工程と、
前記内部突起以外の第１のメッキ層を取り除き、ＳＵＳ母材上に第１のメッキ層からなる内部突起を残す工程と、
前記ＳＵＳ母材上の前記内部突起間に複数の開口部形成用のレジスト層を形成する工程と、
前記マスク本体が指定の厚さとなるようにＳＵＳ母材上及び前記内部突起上にメッキすることにより、第２のメッキ層を形成する工程と、
第２のメッキ層の形成が終わったら、前記複数の開口部形成用のレジスト層を除去する工程と、
前記ＳＵＳ母材から第１のメッキ層からなる内部突起及び第２のメッキ層からなる外部突起とマスク本体を剥離する工程と、
少なくとも前記内部突起の露出されたスキージ面側の表面及びその周辺近傍のマスク本体のスキージ面側の表面に粘着力軽減用のコーティング層を形成する工程と、
を備えたことを特徴とするボール配列用マスクの製造方法。
【請求項４】
内部突起の露出されたスキージ面側を含むマスク本体のスキージ面側の表面全面に粘着力軽減用のコーティング層を形成する工程を備えたことを特徴とする請求項３記載のボール配列用マスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、導電性ボールを搭載するためのボール配列用マスク及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、メッキにより形成され、振り込まれた導電性ボールが挿通する複数の開口部が形成されたマスク本体と、メッキにより形成され、導電性ボールが振り込まれる側ではなく基板の電極と対向する側となるマスク本体裏面の開口部以外に部分的に突出された突起とを備え、突起は、第１のメッキ層により形成された内部突起と、この内部突起の表面に第１のメッキ層とは別の第２のメッキ層により形成され、基板の電極と対向する側となる外部突起とからなり、マスク本体は、第２のメッキ層により外部突起と一体的に形成されており、外部突起は、側面視において中央部が平坦面であり、中央平坦面の周囲の周縁エッジ部が丸味を持ったＲ形状に形成されているボール配列用マスクが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１７−５０５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の配列用マスクでは、突起は、第１のメッキ層により形成された内部突起と、この内部突起の表面に第１のメッキ層とは別の第２のメッキ層により形成され、基板の電極と対向する側となる外部突起とからなり、第２のメッキ層により形成された外部突起はマスク本体と一体的に形成されているが、第１のメッキ層により形成された内部突起は、マスク本体と一体的に形成されておらず、しかもスキージ面側に露出しているため、使用環境や経年変化等の理由により接合強度が弱まり、脱落する恐れが懸念される。例えば、導電性ボール搭載後にスキージ面側に粘着テープ等を貼り付け、導電性ボールを取り除く作業中に、粘着テープの粘着力により、内部突起を引き上げる力が加わると、内部突起がマスク本体からスキージ面側に抜け出てしまう恐れがあった。また、配列用マスクの輸送中に手荒く扱うと、振動等により内部突起がマスク本体からスキージ面側に脱落してしまう恐れも懸念される。
【０００５】
この発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、内部突起がマスク本体からスキージ面側に抜け出ないように、スキージ面側に粘着力軽減用のコーティング層を形成したボール配列用マスク及びその製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明に係るボール配列用マスクにおいては、メッキにより形成され、振り込まれた導電性ボールが挿通する複数の開口部が形成されたマスク本体と、メッキにより形成され、導電性ボールが振り込まれるスキージ面側ではなく基板の電極と対向する基板側のマスク本体裏面の開口部以外に部分的に突出された突起とを備え、突起は、第１のメッキ層により形成され、スキージ面側の表面が露出された内部突起と、この内部突起のスキージ面側を除く表面に第１のメッキ層とは別の第２のメッキ層により形成され、基板側に突出された外部突起とからなり、マスク本体は、第２のメッキ層により外部突起と一体的に形成されているものであって、少なくとも内部突起の露出されたスキージ面側の表面及びその周辺近傍のマスク本体のスキージ面側の表面に粘着力軽減用のコーティング層を形成したものである。
【０００７】
また、粘着力軽減用のコーティング層は、内部突起の露出されたスキージ面側を含むマスク本体のスキージ面側の表面全面に形成したものである。
【０００８】
また、この発明に係るボール配列用マスクの製造方法においては、メッキにより形成され、振り込まれた導電性ボールが挿通する複数の開口部が形成されたマスク本体と、メッキにより形成され、導電性ボールが振り込まれるスキージ面側ではなく基板の電極と対向する基板側のマスク本体裏面の開口部以外に部分的に突出された突起とを備え、突起は、第１のメッキ層により形成され、スキージ面側の表面が露出された内部突起と、この内部突起のスキージ面側を除く表面に第１のメッキ層とは別の第２のメッキ層により形成され、基板側に突出された外部突起とからなり、マスク本体は、第２のメッキ層により外部突起と一体的に形成されているものであって、ＳＵＳ母材上に内部突起形成用のレジスト層を形成する工程と、内部突起が所定の高さとなるようにＳＵＳ母材上にメッキすることにより、第１のメッキ層を形成する工程と、第１のメッキ層の形成が終わったら、内部突起形成用のレジスト層を除去する工程と、内部突起以外の第１のメッキ層を取り除き、ＳＵＳ母材上に第１のメッキ層からなる内部突起を残す工程と、ＳＵＳ母材上の内部突起間に複数の開口部形成用のレジスト層を形成する工程と、マスク本体が指定の厚さとなるようにＳＵＳ母材上及び内部突起上にメッキすることにより、第２のメッキ層を形成する工程と、第２のメッキ層の形成が終わったら、複数の開口部形成用のレジスト層を除去する工程と、ＳＵＳ母材から第１のメッキ層からなる内部突起及び第２のメッキ層からなる外部突起とマスク本体を剥離する工程と、少なくとも内部突起の露出されたスキージ面側の表面及びその周辺近傍のマスク本体のスキージ面側の表面に粘着力軽減用のコーティング層を形成する工程と、を備えたものである。
【０００９】
また、内部突起の露出されたスキージ面側を含むマスク本体のスキージ面側の表面全面に粘着力軽減用のコーティング層を形成する工程を備えたものである。
【発明の効果】
【００１０】
この発明によれば、少なくとも内部突起の露出されたスキージ面側の表面及びその周辺近傍のマスク本体のスキージ面側の表面に粘着力軽減用のコーティング層を形成しているので、例えば、導電性ボール搭載後にスキージ面側に粘着テープ等を貼り付け、導電性ボールを取り除く作業中に、粘着テープの粘着力により、引き上げる力が加わっても、内部突起に及ぶことがなく、内部突起がマスク本体からスキージ面側に抜け出てしまう恐れが無い。また、配列用マスクの輸送中に、振動等により内部突起がマスク本体からスキージ面側に脱落してしまう恐れも少なくなる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】この発明の実施例１におけるボール配列用マスクの製造方法を工程順に示す断面図である。
【図２】この発明の実施例１におけるボール配列用マスクの柱状突起の構造を拡大して示す要部断面図である。
【図３】従来のボール配列用マスクの柱状突起の構造を拡大して示す要部断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
実施例１．
この発明の実施例１におけるボール配列用マスクの製造方法を図１により説明する。
先ず、ＳＵＳ母材１上にレジストをラミネートし、所要の露光、現像処理を行い、ＳＵＳ母材１上に突起形成用のレジスト層２を部分的に形成する（図１（ａ）参照）。この突起形成用のレジスト層２は、例えば円柱状等であるが、多角形状等でも良く円柱状に限ることはない。次に、例えば突起３ａが所定の高さ（厚さ）となるようにＳＵＳ母材１上の全体にメッキすることにより、第１のメッキ層３を形成する（図１（ｂ）参照）。そして、第１のメッキ層３の形成が終わったら、突起形成用のレジスト層２を除去する（図１（ｃ）参照）。次に、突起３ａ以外の第１のメッキ層３を全て取り除き、ＳＵＳ母材１上に第１のメッキ層３からなる内部突起３ａのみを残す（図１（ｄ）参照）。残った第１のメッキ層３により形成された突起が内部突起３aである。すなわち、ある程度の作業を習得している者であれば特に高度な技術力を必要としなくても、第１のメッキ層３からなる内部突起３ａを作製することができる。そして、ＳＵＳ母材１上に開口部形成用のレジスト４を貼り（図１（ｅ）参照）、所要の露光、現像処理を行い、ＳＵＳ母材１上の内部突起３ａ間に複数の開口部形成用のレジスト層４ａを形成する（図１（ｆ）参照）。次に、マスク本体が指定の厚さとなるようにＳＵＳ母材１上及び内部突起３ａ上に第１のメッキ層とは別にメッキをすることにより、第２のメッキ層５を形成する（図１（ｇ）参照）。第２のメッキ層５のうち、内部突起３ａ上に位置し、基板の電極と対向する側となる部分は外部突起５ａである。すなわち、マスク本体は、第２のメッキ層５からなる外部突起５ａと一体的に構成されている。そして、複数の開口部形成用のレジスト層４ａを除去すると、内部突起３ａ間に導電性ボールが挿通する複数の開口部５ｂが形成された第２のメッキ層５となる（図１（ｈ）参照）。次に、ＳＵＳ母材１から第１のメッキ層３からなる内部突起３a及び第２のメッキ層５からなる外部突起５aとマスク本体を剥離する（図１（ｉ）参照）。ここで、第１のメッキ層からなる内部突起３aは、マスク本体と一体的に形成されておらず、しかもスキージ面側の表面は外部に露出している。最後に、例えば、導電性ボール搭載後にスキージ面側に粘着テープ等を貼り付け、導電性ボールを取り除く作業中に、粘着テープの粘着力により、内部突起３aがマスク本体からスキージ面側に抜け出ないように、スキージ面側の表面全面に粘着力軽減用のコーティング層６を形成することにより、この発明のボール配列用マスクが完成する（図１（k））。このコーティング層６は、少なくとも内部突起３aの露出されたスキージ面側の表面及びその周辺近傍のマスク本体のスキージ面側に形成するだけでも、内部突起３aの脱落を防止することができる。また、コーティング層６は、撥水性を持った例えばフッ素樹脂、シリコン樹脂、アクリル樹脂等が用いられるが、粘着力を軽減できるものであれば他の材質の物であっても良い。完成したボール配列用マスクの内部突起３ａのスキージ面側の表面は、従来の場合、図３に示すように露出しているのであるが、この発明では図２に示すように、粘着力軽減用のコーティング層６により覆われているため、例えば、導電性ボール搭載後にスキージ面側に粘着テープ等を貼り���け、導電性ボールを取り除く作業中に、粘着テープの粘着力により、引き上げる力が加わっても、内部突起３aに及ぶことがなく、内部突起３aがマスク本体からスキージ面側に抜け出てしまう恐れが無い。また、配列用マスクの輸送中に、振動等により内部突起３aがマスク本体からスキージ面側に脱落してしまう恐れも少なくなる。
なお、この発明では、マスク本体のスキージ面側の表面全面に粘着力軽減用のコーティング層６を形成しているが、更に、マスク本体の基板側下面の必要箇所にフラックス付着防止用の撥水性のコーティング層を形成しても良い。
なお、第１のメッキ層３及び第１のメッキ層による内部突起３ａを、例えば、スルファミン酸ニッケル、クエン酸塩、塩化ニッケル、光沢剤としてＮＴＳ（１．３．６−ナフタリントリスルフォン酸ナトリウム）からなるメッキ浴組成（無光沢メッキ）を用いて形成し、かつ第２のメッキ層（マスク本体）５及び第２のメッキ層による外部突起５ａを、例えば硫酸ニッケル、塩化ニッケル、ホウ酸、光沢剤としてＮＴＳ（１．３．６−ナフタリントリスルフォン酸ナトリウム）からなるメッキ浴組成（光沢メッキ）を用いて形成しても良い。この場合、全体量として光沢メッキが多くなり、光沢メッキの方が、硬度が高いため、伸びに対する耐久性が向上する。また基板面表面のクリーニングもし易くなる利点がある。また、第１のメッキ層３及び第１のメッキ層による内部突起３ａを光沢メッキにしない理由は、無光沢メッキのように表面がざら付いていた方が、摩擦により内部突起３ａが脱落しにくくなるからである。
【００１３】
実施例２．
上記実施例１では、ＳＵＳ母材１上に、円柱状の突起形成用のレジスト層２を部分的に形成することにより、円柱状の内部突起３ａを形成しているが、円柱状の代わりに、例えば細長矩形枠状の突起形成用のレジスト層を連続的に形成することにより、連続した突条を形成することにより、細長矩形枠状の内部突起を形成しても良いし、細長矩形枠状の突起形成用のレジスト層を間欠的に形成することにより、内部突起を間欠的に形成しても良い。
【００１４】
比較例．
この発明と比較するために、従来のボール配列用マスクの柱状突起の構造を図３により説明する。
従来のボール配列用マスクの内部突起３aは、図３に示すように、スキージ面側の表面に露出したままであるので、例えば、導電性ボール搭載後にスキージ面側に粘着テープ等を貼り付け、導電性ボールを取り除く作業中に、粘着テープの粘着力により、引き上げる力が加わると、内部突起３aが図示の矢印で示すように、マスク本体からスキージ面側に抜け出てしまう恐れがあった。また、配列用マスクの輸送中に手荒く扱うと、振動等により内部突起３aがマスク本体からスキージ面側に脱落してしまう恐れがあった。
【符号の説明】
【００１５】
１  ＳＵＳ母材
２  突起形成用のレジスト層
３  第１のメッキ層
３ａ  第１のメッキ層による内部突起
４    開口部形成用のレジスト
４ａ  複数の開口部形成用のレジスト層
５  第２のメッキ層（マスク本体）
５ａ  第２のメッキ層による外部突起
５ｂ  複数の開口部
６  粘着力軽減用のコーティング層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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