(57)【要約】【課題】試料の測定精度を向上させることができる、試料保持具およびそれを備える分析装置を提供する。【解決手段】試料保持具１２は、本体部３０、第１載置部３２、角度調整部３４、第２載置部３６、および高さ調整部３８を備える。本体部３０は、顕微鏡１０のステージ１４に着脱可能に装着される。第１載置部３２に測定試料１が載せられ、第２載置部３６に参照試料２が載せられる。角度調整部３４は、本体部３０に支持される。角度調整部３４は、第１載置部３２が軸心Ａ回りに回転できる状態で第１載置部３２の水平方向への移動を規制するように第１載置部３２を支持し、かつ本体部３０に対する第１載置部３２の傾斜角度を調整する。第２載置部３６は、本体部３０に支持される。第２載置部３６は、本体部３０に対する第２載置部３６の高さを調整する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定試料を保持しかつ顕微鏡のステージに装着される試料保持具であって、
前記ステージに着脱可能に装着される本体部と、
上下方向に延びる軸心回りに回転可能に設けられ、かつ測定試料を載せる第１載置部と、
参照試料を載せる第２載置部と、
前記本体部に支持され、前記第１載置部の水平方向への移動を規制し、かつ前記本体部に対する前記第１載置部の傾斜角度を調整する角度調整部と、
前記本体部に支持され、前記本体部に対する前記第２載置部の高さを調整する高さ調整部と、
を備える、試料保持具。
【請求項２】
前記高さ調整部は、前記本体部に固定された棒ネジを含み、
前記第２載置部は、回転させることによって前記棒ネジの軸方向に移動できるように前記棒ネジに螺合されている、請求項１に記載の試料保持具。
【請求項３】
前記高さ調整部は、前記本体部に固定された棒ネジと、回転させることによって前記棒ネジの軸方向に移動できるように前記棒ネジに螺合された高さ調整子とを含み、
前記第２載置部は、前記高さ調整子に支持されている、請求項１に記載の試料保持具。
【請求項４】
平面視において前記第１載置部および前記第２載置部は重なるように設けられ、
前記第２載置部は前記第１載置部よりも上方に設けられる、請求項１から３までのいずれかに記載の試料保持具。
【請求項５】
試料表面の顕微分析を行う分析装置であって、請求項１から４までのいずれかに記載の試料保持具を備える、分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料保持具およびそれを備える分析装置に係り、特に顕微分析用の試料保持具およびそれを備える分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
鋼材が腐食環境下に曝されると、鋼材上において、その環境に応じた種々の腐食反応が生じ、その結果、鋼材表面に腐食生成物が形成される。そして、上記の腐食環境が、腐食生成物の構造および組成（元素、官能基、分子構造、結晶成分、非晶質成分等）に影響を及ぼし、さらに上記の腐食生成物形成後の腐食反応の進行は、腐食生成物の構造および組成に影響を受けることとなる。
【０００３】
そのため、腐食反応後の鋼材表面に形成された腐食生成物について、構造および組成の解析を行うことによって、腐食環境が腐食生成物の構造および組成に及ぼす影響、ならびに上記の腐食生成物の構造および組成が、その後の腐食反応の進行に及ぼす影響を明確化または推定することができるようになる。
【０００４】
腐食生成物の構造および組成を分析する方法として、例えば、フーリエ変換赤外分光法（ＦＴ−ＩＲ）が挙げられる。特に、数ｍｍから数ｃｍオーダーの広範囲にわたる領域の分析には、顕微ＦＴ−ＩＲによるマッピング分析が用いられる。
【０００５】
顕微ＦＴ−ＩＲでは、測定試料の表面に顕微鏡の焦点位置を合わせなければ、ＩＲスペクトルを精度良く測定することができない。そのため、数ｍｍから数ｃｍオーダーの全領域にわたって顕微鏡の焦点が大きくずれないよう、顕微鏡ステージに対する測定試料の角度を調整しなければならない。顕微ＦＴ−ＩＲは、焦点深度（焦点を合わせることができる距離の範囲）が小さいため、厳密な角度調整が要求される。また、例えば、試料断面において、試料とその表面に形成された腐食生成物との界面に沿って、より広範囲のマッピング分析を行いたい場合がある。この場合には、試料断面において上記界面が延びる方向と、マッピング分析の走査方向とを一致させる必要が生じる。このため、測定試料を顕微鏡視野において、観察軸（後述の図１において二点鎖線で示す入射光軸１１に相当。）周りに回転させる機構が必要となる。
【０００６】
そこで、本発明者らは、顕微ＦＴ−ＩＲにおける上記のような課題を考慮して、特許文献１に開示されている試料保持具および分析装置を提案した。特許文献１に開示された試料保持具は、顕微鏡ステージに着脱可能に装着される本体部と、測定試料を載せる載置部と、本体部に対する載置部の傾斜角度を調整する角度調整部と、角度調整部を上下方向に案内するガイド部とを備えている。このような構成により、特許文献１に開示された試料保持具では、測定試料の高さ方向の傾斜角度の調整および観察軸周りの回転を行うことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０１６−５７２２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
顕微ＦＴ−ＩＲによって測定試料の吸光度（赤外吸収スペクトル）を測定する際には、参照試料の赤外反射スペクトルおよび測定試料の赤外反射スペクトルをそれぞれ測定する。そして、参照試料および測定試料の赤外反射スペクトルの比を算出し、算出した赤外反射スペクトルの比に基づいて、測定試料の吸光度を算出する。
【０００９】
例えば、特許文献１の試料保持具および分析装置を用いる場合には、顕微鏡ステージ上に参照試料が載せられる。そして、顕微鏡ステージ上の参照試料の赤外反射スペクトルを測定するとともに、試料保持具に保持された測定試料の赤外反射スペクトルを測定することによって、測定試料の吸光度を算出することができる。
【００１０】
ところで、本発明者らは、近年、顕微ＦＴ−ＩＲによって定量分析を行うことを試みている。この場合、測定試料だけでなく、参照試料の赤外反射スペクトルについても精度良く測定することが求められる。このためには、顕微鏡の焦点位置を参照試料の表面に適切に合わせて、参照試料の赤外反射スペクトルを精度良く測定する必要がある。
【００１１】
例えば、顕微ＦＴ−ＩＲによる定量分析を、特許文献１の分析装置を用いて行う場合には、測定試料の赤外反射スペクトルの測定前または測定後に、顕微鏡ステージの高さを手動で調整して顕微鏡の焦点位置を参照試料の表面に適切に合わせて、参照試料の赤外反射スペクトルを測定する必要がある。特に、マッピング分析を行う場合に定量性を向上させるためには、参照試料の赤外反射スペクトルを精度良く繰り返し測定する必要がある。
【００１２】
しかしながら、測定のたびに顕微鏡ステージの高さを手動で調整する場合、参照試料の赤外反射スペクトルを同一の条件で精度良く測定することは難しく、定量分析の精度が低下するおそれがある。なお、顕微鏡の焦点位置が試料表面に合うように顕微鏡ステージの高さを自動で調整できる機構を分析装置に設けることも考えられるが、分析装置の製造コストが上昇する。
【００１３】
そこで、本発明は、試料の測定精度を向上させることができる、試料保持具およびそれを備える分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明者らは、上記の課題を解決するために、種々の検討を行った。まず、本発明者らは、参照試料を載置する載置部（以下、参照試料載置部と記載する。）、および参照試料載置部の高さを調整するための高さ調整機構を、顕微鏡ステージ上に設置することを考えた。なお、測定試料は、特許文献１に開示された試料保持具によって保持するものとした。
【００１５】
上記の構成によれば、顕微鏡ステージの高さを変えることなく参照試料の高さを調整することができる。これにより、顕微鏡の焦点位置を測定試料の表面に合わせた後に、顕微鏡ステージの高さを変えることなく、顕微鏡の焦点位置を参照試料の表面に適切に合わせることができる。すなわち、測定試料の高さを維持したまま、顕微鏡の焦点位置を参照試料の表面に合わせることが可能になる。この場合、赤外反射スペクトル測定のたびに参照試料の高さを調整しなくてよいので、測定試料および参照試料の赤外反射スペクトルを精度良く繰り返し測定することが可能になる。その結果、定量分析の精度が向上する。
【００１６】
しかしながら、上記の構成では、顕微鏡ステージ自体を改良する必要があり、顕微鏡の製造コストが上昇する。そこで、本発明者らは、従来の顕微鏡ステージを改良することなく、参照試料の赤外反射スペクトルを精度良く繰り返し測定することを可能にする構成についてさらに検討した。そして、本発明者らは、測定試料を保持する試料保持具に上記の参照試料載置部および高さ調整機構を設け、その試料保持具を従来の顕微鏡ステージに取り付けることを考えた。この構成によれば、顕微鏡の焦点位置を測定試料の表面に合わせた後、高さ調整機構によって参照試料載置部の高さを調整することによって、顕微鏡ステージの高さを変えることなく、顕微鏡の焦点位置を参照試料の表面に適切に合わせることが可能になった。すなわち、従来の顕微鏡ステージを用いて、測定試料の高さを維持したまま、顕微鏡の焦点位置を参照試料の表面に合わせることが可能になった。これにより、従来の顕微鏡ステージを用いて、測定試料および参照試料の赤外反射スペクトルを精度良く繰り返し測定することが可能になった。
【００１７】
本発明は、上記の知見に基づいてなされたものであり、下記の試料保持具およびそれを備える分析装置を要旨とする。
【００１８】
（１）測定試料を保持しかつ顕微鏡のステージに装着される試料保持具であって、
前記ステージに着脱可能に装着される本体部と、
上下方向に延びる軸心回りに回転可能に設けられ、かつ測定試料を載せる第１載置部と、
参照試料を載せる第２載置部と、
前記本体部に支持され、前記第１載置部の水平方向への移動を規制し、かつ前記本体部に対する前記第１載置部の傾斜角度を調整する角度調整部と、
前記本体部に支持され、前記本体部に対する前記第２載置部の高さを調整する高さ調整部と、
を備える、試料保持具。
【００１９】
（２）前記高さ調整部は、前記本体部に固定された棒ネジを含み、
前記第２載置部は、回転させることによって前記棒ネジの軸方向に移動できるように前記棒ネジに螺合されている、上記（１）に記載の試料保持具。
【００２０】
（３）前記高さ調整部は、前記本体部に固定された棒ネジと、回転させることによって前記棒ネジの軸方向に移動できるように前記棒ネジに螺合された高さ調整子とを含み、
前記第２載置部は、前記高さ調整子に支持されている、上記（１）に記載の試料保持具。
【００２１】
（４）平面視において前記第１載置部および前記第２載置部は重なるように設けられ、
前記第２載置部は前記第１載置部よりも上方に設けられる、上記（１）から（３）までのいずれかに記載の試料保持具。
【００２２】
（５）試料表面の顕微分析を行う分析装置であって、上記（１）から（４）までのいずれかに記載の試料保持具を備える、分析装置。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、試料の測定精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係る試料保持具を備えた分析装置の構成を示す概略図である。
【図２】図２は、試料保持具を示した図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＢ−Ｂ線端面図である。
【図３】図３は、試料保持具の他の実施形態を模式的に示した図である。
【図４】図４は、試料保持具のその他の実施形態を模式的に示した図である。
【図５】図５は、試料保持具のさらに他の実施形態を模式的に示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
図１は、本発明の一実施形態に係る試料保持具を備えた分析装置の構成を示す概略図である。本実施形態に係る分析装置１００は、顕微鏡１０と、試料保持具１２とを備えている。
【００２６】
本実施形態では、顕微鏡１０は、試料表面の顕微分析を行うための顕微鏡（例えば、赤外顕微鏡）であり、顕微鏡ステージ１４（以下、単にステージ１４と記載する。）と、駆動部１６と、レンズ１８と、ミラー２０と、観察部２２と、分析部２４と、制御部２６とを備える。なお、顕微鏡１０としては、公知の種々の顕微鏡を利用することができるので、以下においては、顕微鏡１０の各部の構成について簡単に説明する。
【００２７】
試料保持具１２は、顕微鏡１０のステージ１４に着脱可能に装着される。試料保持具１２は、様々な材質および形状の測定試料１を保持する。試料保持具１２の詳細は後述する。ステージ１４は、Ｘ−Ｙ−Ｚ方向（３次元方向）に移動可能に構成されている。駆動部１６は、ステージ１４をＸ−Ｙ−Ｚ方向に移動させる。これによって、測定試料１の表面の任意の領域における撮像および分析を行うことができる。
【００２８】
分析部２４は、可視光および赤外光等を発する光源と測定試料１の表面で反射された赤外光を解析する分光器とを含む。レンズ１８は、分析部２４の光源から照射された光を集光する。ミラー２０は、分析部２４の光源から照射された光および測定試料１の表面で反射された光を反射する。なお、図１においては、ミラー２０から測定試料１の表面に入射する光の軸線１１（以下、入射光軸１１と記載する。）を二点鎖線で示している。観察部２２は、例えば、ＣＣＤカメラ等の撮像機を含み、測定試料１の表面で反射された可視光を観察する。
【００２９】
制御部２６は、分析装置１００の利用者の操作に基づいて、駆動部１６、観察部２２および分析部２４を制御する。本実施形態では、制御部２６は、駆動部１６を制御することによって、ステージ１４を所望の位置に移動させると共に、観察部２２で得られる像および分析部２４で得られる分析データを取り込み、解析することができる。
【００３０】
上記の構成を備えた分析装置１００は、例えば、測定試料１の表面の顕微鏡写真の取得またはＦＴ−ＩＲを用いたマッピング分析を行うのに好適に用いることができる。
【００３１】
以下、試料保持具１２について、より詳しく説明する。
【００３２】
図２は、本発明の一実施形態に係る試料保持具を示した図であり、（ａ）は平面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＢ−Ｂ線端面図である。図２を参照して、試料保持具１２は、本体部３０と、第１載置部３２と、角度調整部３４と、第２載置部３６と、高さ調整部３８とを備えている。
【００３３】
本体部３０は、平面視において円環形状を有し、ステージ１４（図１参照）に着脱可能に装着される。第１載置部３２は、平面視において中空円板形状を有する。第１載置部３２に測定試料１が載せられる。本実施形態では、第１載置部３２は、上下方向に延びる軸心Ａ（図２（ｂ）参照）を中心として回転できるように、角度調整部３４に支持されている。角度調整部３４の詳細は後述する。
【００３４】
第１載置部３２の外周部には、複数（本実施形態では４つ）の貫通孔３２ａが形成されている。平面視において、複数の貫通孔３２ａは、軸心Ａを中心とする共通の仮想円周上に配置されている。各貫通孔３２ａは、第１載置部３２の周方向に延びるように、円弧形状を有している。
【００３５】
角度調整部３４は、本体部３０に支持される。角度調整部３４は、複数（本実施形態では３つ）のガイド部材３４ａと、複数（本実施形態では３つ）の角度調整子３４ｂと、複数（本実施形態では３つ）の固定子３４ｃとを含む。
【００３６】
本実施形態では、各ガイド部材３４ａは、下端部が本体部３０に固定された棒ネジである。平面視において、複数のガイド部材３４ａは、軸心Ａを中心とする共通の仮想円周上に配置されている。また、本実施形態では、平面視において、本体部３０を２つの領域に等分割した場合に、各領域に少なくとも一つのガイド部材３４ａが固定されるように、複数のガイド部材３４ａが設けられる。
【００３７】
各ガイド部材３４ａに、角度調整子３４ｂおよび固定子３４ｃが嵌め込まれる。本実施形態では、角度調整子３４ｂおよび固定子３４ｃはそれぞれ鍔形状を有し、回転させることによってガイド部材３４ａの軸方向に移動できるようにガイド部材３４ａに螺合されている。
【００３８】
複数のガイド部材３４ａが互いに異なる貫通孔３２ａを通るように、複数の角度調整子３４ｂ上に第１載置部３２が載せられる。これにより、第１載置部３２の軸心Ａ周りの回転が可能な状態で、第１載置部３２の水平方向の移動が複数のガイド部材３４ａによって規制される。また、複数の角度調整子３４ｂの上下方向の位置を相対的に変化させることによって、本体部３０に対する第１載置部３２の傾斜角度を調整することができる。これにより、ステージ１４（図１参照）に対する測定試料１の角度を調整することができる。
【００３９】
各固定子３４ｃは、第１載置部３２の上方からガイド部材３４ａに嵌め込まれる。本実施形態では、複数の角度調整子３４ｂと複数の固定子３４ｃとで第１載置部３２を挟み込むことによって、第１載置部３２の回転および上下方向の移動を規制することができる。これにより、分析装置１００による分析中に、より安定に測定試料１を保持することが可能になる。
【００４０】
なお、本実施形態では、角度調整子３４ｂの上面および固定子３４ｃの下面はそれぞれ、テーパー形状を有している。具体的には、角度調整子３４ｂの上面は、上端に近づくほど直径が小さくなるように、円錐形状を有している。また、固定子３４ｃの下面は、下端に近づくほど直径が小さくなるように、円錐形状を有している。このような構成によって、角度調整子３４ｂおよび固定子３４ｃによって第１載置部３２を支持する際に、角度調整子３４ｂ上端および固定子３４ｃ下端を、第１載置部３２のそれぞれ下面および上面へ十分に近付けることができる。すなわち、角度調整子３４ｂおよび固定子３４ｃを第１載置部３２に対して、より点接触に近い状態で接触させることができる。その結果、角度調整子３４ｂおよび固定子３４ｃによって、第１載置部３２をより安定に保持することができる。なお、角度調整子３４ｂおよび固定子３４ｃの形状は上述の例に限定されず、角度調整子３４ｂおよび固定子３４ｃとして、例えば、通常のナットを用いてもよい。
【００４１】
なお、前述のように、顕微ＦＴ−ＩＲ等を用いた顕微分析においては、測定試料１の厳密な角度調整が要求されるため、角度調整子３４ｂの高さは精密に変化させられることが望ましい。角度調整子３４ｂの高さは、ガイド部材３４ａのネジ部のピッチを小さくすればするほど精密に上下させることが可能になるため、ピッチは０．４ｍｍ以下とすることが望ましい。また、ガイド部材３４ａのネジ部は消耗しやすいため、ガイド部材３４ａは本体部に着脱自在に取り付け可能であることが望ましい。
【００４２】
本実施形態では、高さ調整部３８は、下端部が本体部３０に固定された棒ネジである。本実施形態では、平面視において、高さ調整部３８および複数のガイド部材３４ａは、軸心Ａを中心とする共通の仮想円周上に配置されている。
【００４３】
高さ調整部３８に、第２載置部３６が嵌め込まれる。本実施形態では、第２載置部３６は鍔形状を有し、回転させることによって高さ調整部３８の軸方向に移動できるように高さ調整部３８に螺合されている。第２載置部３６としては、例えば、ナット等の公知の部材（中空状の部材）を用いることができる。第２載置部３６に参照試料２が載せられる。図２に示した例では、参照試料２は、高さ調整板４０を介して第２載置部３６に載せられている。本実施形態では、平面視において、第１載置部３２および第２載置部３６は重なるように設けられ、かつ第２載置部３６は第１載置部３２の上方に設けられている。
【００４４】
なお、測定試料１および参照試料２は、分析中にずれないよう第１載置部３２および第２載置部３６に固定することが望ましい。測定試料１および参照試料２を固定する方法については、特に制限はなく、両面テープ、接着剤、固定金具等を用いて固定すればよい。
【００４５】
本実施形態に係る分析装置１００によって測定試料１を分析する際には、まず、試料保持具１２をステージ１４に装着し、顕微鏡１０の観察視野内で測定試料１を保持する。その後、第１載置部３２を回転させ、顕微鏡１０によって測定試料１を観察しながら測定試料１の入射光軸１１（観察軸）周りの角度を調整する。続いて、観察視野において、測定試料１の表面の任意の３個所以上で顕微鏡１０の焦点が合うように、複数の角度調整子３４ｂの高さをそれぞれ調整することによって、本体部３０に対する第１載置部３２の傾斜角度を調整する。その後、ステージ１４を水平方向に移動させ、観察視野において、参照試料２の表面の任意の位置で顕微鏡１０の焦点が合うように、第２載置部３６の高さを調整する。その後、参照試料２および測定試料１の表面を測定して、マッピング分析等の顕微分析を行う。
【００４６】
本実施形態によれば、測定試料１の傾斜角度の調整および入射光軸１１（観察軸）周りの回転を、顕微鏡で観察しながら、容易に行うことが可能であり、数ｍｍから数ｃｍオーダーの広範囲にわたる領域の高精度なマッピング分析を実施することができるようになる。また、顕微鏡１０の焦点位置を測定試料１の表面に合わせた後、高さ調整部３８を用いて第２載置部３６の高さを調整することによって、ステージ１４の高さを変えることなく、顕微鏡１０の焦点位置を参照試料２の表面に適切に合わせることができる。すなわち、測定試料１の高さを維持したまま、顕微鏡１０の焦点位置を参照試料２の表面に合わせることができる。これにより、例えば、顕微ＦＴ−ＩＲ等を用いた顕微分析を行うに際して、従来のステージ１４を用いて、測定試料１および参照試料２の赤外反射スペクトルを精度良く繰り返し測定することが可能になる。すなわち、顕微鏡１０による測定試料１の測定精度を向上させることができる。
【００４７】
また、本実施形態によれば、測定試料１および参照試料２を繰り返し測定する際に、測定試料１および参照試料２の高さを調整しなくてよいので、測定試料１および参照試料２の自動測定が可能になる。すなわち、測定試料１のマッピング分析を自動でかつ精度良く行うことが可能になる。
【００４８】
また、本実施形態では、平面視において、第１載置部３２および第２載置部３６は重なるように設けられている。この場合、第１載置部３２に載せられた測定試料１と、第２載置部３６に載せられた参照試料２との水平方向の距離を十分に短くすることができる。これにより、測定試料１および参照試料２を繰り返し測定する際に、ステージ１４の水平方向の移動距離を短くすることができるので、顕微鏡１０による測定試料１の測定精度が低下することを十分に抑制できる。
【００４９】
なお、上述の実施形態では、高さ調整部３８として棒ネジを用いる場合について説明したが、高さ調整部３８の構成は上述の例に限定されない。例えば、図３に示すように、高さ調整部３８が、棒ネジ３８ａと、棒ネジ３８ａにはめ込まれた高さ調整子３８ｂとを含んでいてもよい。高さ調整子３８ｂは鍔形状を有し、回転させることによって棒ネジ３８ａの軸方向に移動できるように棒ネジ３８ａに螺合されている。高さ調整子３８ｂとしては、例えば、ナットを用いることができる。本実施形態では、第２載置部３６にネジ部が形成されておらず、第２載置部３６が棒ネジ３８ａの軸方向に移動自在になるように、第２載置部３６に棒ネジ３８ａが挿通されている。第２載置部３６は、高さ調整子３８ｂに支持されている。本実施形態では、高さ調整子３８ｂを回転させて、高さ調整子３８ｂを棒ネジ３８ａの軸方向に移動させることによって、第２載置部３６を棒ネジ３８ａの軸方向に移動させることができる。その結果、参照試料２の高さを調整することができる。
【００５０】
上述の実施形態では、参照試料２が、高さ調整板４０を介して第２載置部３６に載せられる場合について説明したが、図３に示すように、高さ調整板４０が設けられなくてもよい。また、上述の実施形態では、角度調整部３４が、ガイド部材３４ａ、角度調整子３４ｂおよび固定子３４ｃを含む場合について説明したが、図３に示すように、固定子３４ｃが設けられなくてもよい。また、図示は省略するが、測定試料１が、高さ調整板を介して第１載置部３２に載せられてもよい。
【００５１】
また、上述の実施形態では、第１載置部３２が平板形状を有する場合について説明したが、第１載置部３２の形状は、測定試料１の厚みおよび形状等に応じて適宜変更することができる。例えば、図４に示すように、第１載置部３２の中央部が下方に向かって凸となるように凹んでいてもよい。また、図示は省略するが、第１載置部３２の中央部が上方に向かって凸となるように突出していてもよい。
【００５２】
また、上述の実施形態では、第１載置部３２の外周部に複数の貫通孔３２ａが形成される場合について説明したが、第１載置部３２の外周部に貫通孔が形成されていなくてもよい。この場合、図５に示すように、第１載置部３２を、複数のガイド部材３４ａおよび高さ調整部３８の内側に配置すればよい。
【００５３】
また、上述の実施形態では、角度調整部３４が３つのガイド部材３４ａを有する場合について説明したが、４つ以上のガイド部材３４ａが設けられてもよい。この場合、ガイド部材３４ａの数に応じて、角度調整子３４ｂ、固定子３４ｃおよび貫通孔３２ａの数を調整すればよい。
【００５４】
また、上述の実施形態では、高さ調整部３８が、ガイド部材３４ａとは別個の棒ネジからなる場合について説明したが、いずれかのガイド部材３４ａの一部を高さ調整部３８として利用してもよい。例えば、いずれかのガイド部材３４ａの上端部に、第２載置部３６を嵌め込んでもよい。
【００５５】
以上、図１〜５を用いて本発明の実施形態に係る試料保持具および分析装置の説明を行ったが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではない。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明に係る試料保持具によれば、測定試料を精度良く測定することが可能になる。したがって、本発明に係る試料保持具およびそれを備える分析装置は、数ｍｍから数ｃｍオーダーの広範囲にわたる領域のマッピング分析を実施するのに好適に用いることができる。
【符号の説明】
【００５７】
１  測定試料
２  参照試料
１０  顕微鏡
１２  試料保持具
１４  顕微鏡ステージ
１６  駆動部
１８  レンズ
２０  ミラー
２２  観察部
２４  分析部
２６  制御部
３０  本体部
３２  第１載置部
３２ａ  貫通孔
３４  角度調整部
３４ａ  ガイド部材
３４ｂ  角度調整子
３４ｃ  固定子
３６  第２載置部
３８  高さ調整部
３８ａ  棒ネジ
３８ｂ  高さ調整子
４０  高さ調整板
１００  分析装置
【図１】
2019158973.tif 000003
【図２】
2019158973.tif 000004
【図３】
2019158973.tif 000005
【図４】
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【図５】
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