(57)【要約】【課題】  弾性部材を挟んでビス締めする方法は、弾性部材の反力により記録素子ユニット又は液体流路部材の寸法精度に影響を及ぼす場合がある。【解決手段】  記録素子基板と、液体流路部材２と、を備える液体吐出ヘッドの製造方法は５つの工程から成る。第１の工程では、金型を用いて第１の部分２１と第２の部分２２を形成する。第２の工程では、金型を開き且つ適当な位置に移動させ、第３の工程で第１の部分２１と第２の部分２２が当接するように金型を閉じる。第４の工程では、シール部２３を所定の位置に形成する。第５の工程では、金型から一体化された第１の部分２１、第２の部分２２及びシール部２３を取り出し、第２の部分２２に記録素子基板を装着させる。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する記録素子基板と、該記録素子基板に液体を供給するための液体供給路を有する液体流路部材と、を備え、
前記液体流路部材は、前記液体供給路の一部分を形成する第１の部分と、前記液体供給路の他の部分を形成する液体供給路面および前記記録素子基板が搭載される搭載面とを有する第２の部分と、前記液体供給路の隣接部をシールするシール部と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
第１金型の第１位置と第２金型の第１位置との間に前記第１の部分となる溶融樹脂を流入させ、前記第１金型の第２位置と前記第２金型の第２位置との間に前記第２の部分となる溶融樹脂を流入させる第１の工程と、
前記第１金型の前記第１位置に前記第１の部分を残し、前記第２金型の前記第２位置に前記第２の部分を残すように前記第１金型と前記第２金型を開いてから、前記第１金型の前記第１の部分と前記第２金型の前記第２の部分とを対向させるように前記第１金型と前記第２金型とを相対移動させる第２の工程と、
前記第１の部分における前記液体供給路となる部分の周囲の領域と、前記第２の部分における前記液体供給路となる部分の周囲の領域と、を当接させるように前記第１金型と前記第２金型を閉じる第３の工程と、
前記領域の隣接部に前記シール部となる溶融樹脂を流入させ、前記第１の部分と前記第２の部分とを接合する第４の工程と、
前記第１及び第２金型から前記第１の部分、前記第２の部分及び前記シール部を取り出して、前記搭載面に記録素子基板を装着する第５の工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記第１金型及び第２金型に対して相対移動するスライド駒を用いて前記第１の工程を行うことにより、前記液体供給路面と前記搭載面との間に空間部を形成することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記搭載面と直交する方向から見て、前記空間部は、前記記録素子基板が搭載される領域と少なくとも一部が重複する位置に設けられていることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記第２の工程から前記第４の工程において、前記スライド駒の一部が前記空間部となる部分に挿入されていることを特徴とする請求項２又は３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記第１金型又は前記第２金型は、前記スライド駒が相対移動する方向と略直交する方向に支持部を有し、前記スライド駒の一部は該支持部と接触した状態で前記第４の工程を行うことを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記第１の部分又は前記第２の部分の一方の前記液体供給路を形成する部分が凹形状であり、前記第１の部分又は前記第２の部分の他方の前記液体供給路を形成する部分が凸形状であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記第１の工程における溶融樹脂と前記第４の工程における溶融樹脂は同じ材料であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記第１の工程における溶融樹脂は無機フィラーを含むことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記第４の工程において、前記溶融樹脂の流入により前記第１の部分と前記シール部の少なくとも一部は相溶しており、前記第２の部分と前記シール部の少なくとも一部は相溶していることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
液体を吐出する記録素子基板と、該記録素子基板に液体を供給するための液体供給路を有する液体流路部材と、を備え、
前記液体流路部材は、前記液体供給路の一部分を形成する第１の部分と、前記液体供給路の他の部分を形成する液体供給路面および前記記録素子基板が搭載される搭載面とを有する第２の部分と、前記第１の部分における前記液体供給路が形成される部分と隣接する領域と前記第２の部分における前記液体供給路が形成される部分と隣接する領域との当接部をシールするシール部と、を含む液体吐出ヘッドであって、
前記第１の部分と前記第２の部分と前記シール部はそれぞれ樹脂を含み、
前記第１の部分と前記シール部の少なくとも一部は相溶しており、
前記第２の部分と前記シール部の少なくとも一部は相溶していることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記液体供給路面と前記搭載面との間に空間部を有することを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記搭載面と直交する方向から見て、前記空間部は、前記記録素子基板が搭載される領域と少なくとも一部が重複する位置に設けられていることを特徴とする請求項１１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
前記空間部は、前記第１の部分及び前記第２の部分を直線状に貫通する貫通口部を含むことを特徴とする請求項１１又は１２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１４】
前記貫通口部の開口から前記空間部内に向かってテーパが形成されていることを特徴とする請求項１３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１５】
前記第１の部分又は前記第２の部分の一方の前記液体供給路を形成する部分が凹形状であり、前記第１の部分又は前記第２の部分の他方の前記液体供給路を形成する部分が凸形状であることを特徴とする請求項１０乃至１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１６】
前記記録素子基板に電力を供給するための電気配線基板を搭載する電気配線基板面が、前記第２の部分の前記搭載面側の領域に配置されていることを特徴とする請求項１０乃至請求項１５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１７】
複数の前記液体供給路の一端部は液体を保持する液体容器が取り付けられるジョイント部と連通し、他端部は前記記録素子基板と当接される液体供給口を有し、
隣接する前記液体供給口同士の配置間隔が、隣接する前記ジョイント部同士の配置間隔よりも小さいことを特徴とする請求項１０乃至請求項１６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッド及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出ヘッドの構成の一例として、液体を吐出する記録素子基板を搭載した記録素子ユニットと、液体容器などから供給される液体を記録素子基板に供給する液体供給路を備えた液体流路部材とを有する構成が知られている。記録素子ユニットと液体流路部材とのシール性を高める方法として、特許文献１に、記録素子ユニットと液体流路部材との間にゴム等の弾性部材を挟んで記録素子ユニットと液体流路部材とをビス締めする方法等が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１５−２２６９８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、弾性部材を挟んでビス締めする方法は、弾性部材の反力により記録素子ユニット又は液体流路部材が変形してこれらの寸法精度に影響を及ぼす場合がある。
【０００５】
本発明の目的は上記の事情を鑑み、寸法精度の高い液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明は、液体を吐出する記録素子基板と、該記録素子基板に液体を供給するための液体供給路を有する液体流路部材と、を備え、前記液体流路部材は、前記液体供給路の一部分を形成する第１の部分と、前記液体供給路の他の部分を形成する液体供給路面と前記記録素子基板が搭載される搭載面とを有する第２の部分と、前記液体供給路の隣接部をシールするシール部と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、第１金型の第１位置と第２金型の第１位置との間に前記第１の部分となる溶融樹脂を流入させ、前記第１金型の第２位置と前記第２金型の第２位置との間に前記第２の部分となる溶融樹脂を流入させる第１の工程と、前記第１金型の前記第１位置に前記第１の部分を残し、前記第２金型の前記第２位置に前記第２の部分を残すように前記第１金型と前記第２金型を開いてから、前記第１金型の前記第１の部分と前記第２金型の前記第２の部分とを対向させるように前記第１金型と前記第２金型とを相対移動させる第２の工程と、前記第１の部分における前記液体供給路となる部分の周囲の領域と、前記第２の部分における前記液体供給路となる部分の周囲の領域と、を当接させるように前記第１金型と前記第２金型を閉じる第３の工程と、前記領域の隣接部に前記シール部となる溶融樹脂を流入させ、前記第１の部分と前記第２の部分とを接合する第４の工程と、前記第１及び第２金型から前記第１の部分、前記第２の部分及び前記シール部を取り出して、前記搭載面に記録素子基板を装着する第５の工程と、を有することを特徴とする。
【０００７】
また、液体を吐出する記録素子基板と、該記録素子基板に液体を供給するための液体供給路を有する液体流路部材と、を備え、前記液体流路部材は、前記液体供給路の一部分を形成する第１の部分と、前記液体供給路の他の部分を形成する液体供給路面と前記記録素子基板が搭載される搭載面とを有する第２の部分と、前記第１の部分における前記液体供給路が形成される部分と隣接する領域と前記第２の部分における前記液体供給路が形成される部分と隣接する領域との当接部をシールするシール部と、を含む液体吐出ヘッドであって、前記第１の部分と前記第２の部分と前記シール部はそれぞれ樹脂を含み、前記第１の部分と前記シール部の少なくとも一部は相溶しており、前記第２の部分と前記シール部の少なくとも一部は相溶していることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、記録素子ユニットと液体流路部材とを備えた寸法精度の高い液体吐出ヘッドを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施形態に係る液体吐出ヘッドを示す斜視図。
【図２】液体流路部材を示す斜視図。
【図３】液体流路部材の第１の部分を示す斜視図。
【図４】液体流路部材の第２の部分を示す斜視図。
【図５】液体流路部材のシール部を示す斜視図。
【図６】液体流路部材の製造における第１の工程および第２の工程を示す概略図。
【図７】液体流路部材の製造における第３の工程および第４の工程を示す概略図。
【図８】凹部を有する第１の部分及び第２の部分を示す概略図。
【図９】液体流路部材の空間部を示す断面図。
【図１０】液体流路部材の製造の第１の工程におけるスライド駒を示す断面図。
【図１１】液体流路部材の製造の第３及び第４の工程におけるスライド駒を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッド及びその製造方法について図面を参照しながら説明する。
【００１１】
（液体吐出ヘッドについて）
実施形態に係る液体吐出ヘッドについて説明する。図１は、実施形態に係る液体吐出ヘッド１を示す斜視図である。図１（ａ）は、液体を収容する液体容器（不図示）が液体吐出ヘッド１に設置される側から見た液体吐出ヘッド１の斜視図である。図１（ｂ）は、液体を吐出する記録素子基板３側から見た液体吐出ヘッド１の斜視図である。
【００１２】
液体吐出ヘッド１は、液体流路部材２、液体を吐出する記録素子基板３、電気配線基板４及び電気接続基板５を有している。液体流路部材２は、液体容器から供給された液体を記録素子基板３に供給するための部材である。本実施形態では液体容器が搭載される搭載部（液体容器ホルダー）としての機能も備える。電気配線基板４は、記録素子基板３の圧力発生素子（不図示）に電力を供給するための部材であり、本実施形態ではフレキシブルなフィルムで構成される配線基板を用いている。電気接続基板５は、液体吐出ヘッド１と外部（不図示）（液体吐出装置本体等）を電気的に接続するための部材である。尚、電気接続基板５を用いず、電気配線基板４に電気接点を設け、外部との電気接続を行う形態であっても良い。本実施形態では５つの液体容器それぞれに対応する５つのジョイント部６を介して計５種類の液体が記録素子基板３に供給される。
【００１３】
記録素子基板３には、液体を吐出する吐出口（不図示）が複数個配列されて構成される吐出口列１０（図２）が複数列配置されている。それぞれの吐出口には、液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子として発熱素子（不図示）が備えられている。エネルギー発生素子としてはピエゾ等も適用可能である。不図示の液体吐出装置から電気接続基板５及び電気配線基板４を通してエネルギー発生素子を駆動することにより、各ジョイント部６と対応する吐出口列の吐出口から液体が吐出される。
【００１４】
（液体流路部材について）
本実施形態の特徴部である液体流路部材２について、図２から図５を参照しながら説明する。図２は液体流路部材２を示す斜視図である。図２に示すように、液体流路部材２は、第１の部分２１と第２の部分２２とシール部２３とで構成されており、且つ、これらが後述する一連の成形工程において一体化されて成形されている樹脂部材である。
【００１５】
図３は、液体流路部材２の第１の部分２１を示す斜視図である。図３に示すように、第１の部分２１は、液体流入口２１１及び流路溝２１２を有しており、流路溝２１２は液体供給路の一部分を形成している。ここで液体供給路は第１の部分２１と第２の部分２２との当接面の間に形成される流路であり、液体流入口２１１から垂直流路２２３（図４（ａ））に液体を供給する流路部である。流路溝２１２は凹形状となっている。液体流入口２１１は、５つのジョイント部６から面Ａ側へ略垂直方向に貫通する貫通口であり、流路溝２１２に通じている。流路溝２１２は液体流入口２１１から記録素子基板３の各種類の液体に対応する吐出口列１０の下部へと液体を供給するように配置されている。記録素子基板３が設けられる領域は５つのジョイント部６の領域に比べて非常に小さい。そのため液体供給路によって各ジョイント部６の位置から記録素子基板３の領域に液体を集約（収束）する。したがって、隣接する液体供給口２２６同士の配置間隔が、隣接するジョイント部同士の配置間隔よりも小さい。また、多色のインクに対応した液体吐出ヘッドにおいても、多色に対応する複数の液体供給路の液体供給口２２６同士の配置間隔を隣接するジョイント部同士の配置間隔よりも小さくすることにより、記録素子基板３の領域に液体を集約（収束）することができる。
【００１６】
図４は、液体流路部材２の第２の部分２２を示す斜視図である。図４（ａ）は第１の部分２１の面Ａと当接する側の斜視図、図４（ｂ）は記録素子基板３が搭載される側の斜視図である。図４（ａ）に示すように、面Ａと当接する液体供給路面１１には、流路溝２１２に対応する部分に、凸形状の流路蓋２２２が配置されている。流路蓋２２２は液体供給路の一部を形成しており、後述するように第１の部分２１と第２の部分２２とが当接されることで液体供給路が形成される。すなわち、液体供給路を形成する一方は凹形状であり、他方は凸形状である。流路蓋２２２の幅は流路溝２１２の上面を覆うのに十分な幅を有し、流路蓋２２２を流路溝２１２の上面に当接させることで液体供給路が形成される。各流路蓋２２２のジョイント部６に対応する側と反対側である他端側には記録素子基板３へ液体を導くための垂直流路２２３が形成されている。流路蓋２２２の周囲には、後述するシール部２３（図５）を形成する溶融樹脂が流動する領域を規定（区画）するために壁２１４が設けられている。
【００１７】
図４（ｂ）に示すように、記録素子基板３が搭載される搭載面２２５には、垂直流路２２３と連通し、各吐出口列へ液体を供給するための液体供給口２２６が設けられている。垂直流路２２３は、下流に向かうにつれて吐出口列方向に拡大するテーパ形状の流路部を備えており、液体供給口２２６の吐出口列方向の寸法は吐出口列の長さと同等以上である。したがって、液体容器から供給される液体は、液体流路部材２のジョイント部６、液体流入口２１１、液体供給路１２（図７）、垂直流路２２３、液体供給口２２６の順に流れ、記録素子基板３に供給される。また、第２の部分２２の記録素子基板３が搭載される搭載面側には、電気配線基板４が搭載される電気配線基板面２２７が設けられている。
【００１８】
図５は、後述するシール部２３を示す斜視図である。第１の部分２１の面Ａ、第２の部分２２の流路蓋２２２、壁２１４及び図４（ａ）に示す面Ｂによって規定される領域を溶融樹脂が流動することで、シール部２３が形成される。
【００１９】
（製造方法について）
液体流路部材２の製造方法を説明する。図６及び図７は実施形態に係る液体流路部材２の製造方法を示す概略図である。液体流路部材２の製造方法として、所謂、ダイスライド・インジェクション成形が用いられる。ダイスライド・インジェクション成形は主に４つの工程から成る。その４つの工程のうち、１番目に行う工程である第１の工程の概略図を図６（ａ）に、２番目に行う第２の工程の概略図を図６（ｂ）に、３番目に行う第３の工程の概略図を図７（ａ）に、最後に行う第４の工程の概略図を図７（ｂ）にそれぞれ示す。また、図７（ｃ）は、第４の工程の後に金型から取り出された液体流路部材２の断面を示す概略図である。
【００２０】
第１の部分２１及び第２の部分２２は、図６（ａ）に示すように、第１金型９１及び第２金型９２の内部に溶融樹脂を射出することで成形される（第１の工程）。第１の部分２１は、第１金型９１の第１位置７と第２金型９２の第１位置１３との間で成形される。第２の部分２２は、第１金型９１の第２位置８と第２金型９２の第２位置１４との間で成形される。金型に射出する溶融樹脂は、第２金型９２内に設けられたゲート９２１、９２２を通して型内に供給される。第１金型９１は、第２金型９２に対して相対移動することができる。すなわち、図６（ｂ）に示す矢印Ｘ方向にスライドが可能である。また、不図示の移動機構によって、第１金型９１及び第２金型９２は、型締め方向および型開き方向にも移動することができる。
【００２１】
次に、第１金型９１と第２金型９２を開き、第１の部分２１を保持した第１金型９１を矢印Ｘ方向にスライドさせる。そして、第１の部分２１を第２金型９２に保持された第２の部分２２と対向させる（第２の工程）。このとき、第１の部分２１の流路溝２１２と、第２の部分の流路蓋２２２とが互いに対向する位置となるように第１金型９１をスライドさせる（図６（ｂ））。
【００２２】
次に、図７（ａ）に示すように、第１金型９１及び第２金型９２を再び型締めして、流路溝２１２の周囲を取り囲む部分２１８と、流路蓋２２２の周囲を取り囲む部分とを当接させる（第３の工程）。このように流路蓋２２２と流路溝２１２とで囲まれた領域が液体供給路１２となる。
【００２３】
次に、図７（ｂ）に示すように、液体供給路１２を取り囲む領域に溶融樹脂を流し込んでシール部２３を形成する（第４の工程）。シール部２３を形成することにより、第１の部分の液体供給路が形成される部分と隣接する領域と、第２の部分の液体供給路が形成される部分と隣接する領域との当接部を封止することができる。シール部２３を形成する溶融樹脂は、第２金型９２に設けられたゲート９２３を通して供給される。供給された溶融樹脂と第１の部分２１が互いに溶け合って凝固することで、第１の部分２１とシール部２３とが接合される。また、供給された溶融樹脂と第２の部分２２とが互いに溶け合って凝固することで、第２の部分２２とシール部２３が接合され、図７（ｃ）に示すようにこれらが一体化した液体流路部材２が構成される。その後、第１の部分２１、第２の部分２２及びシール部２３によって構成された液体流路部材２を第１金型９１及び第２金型９２から取り出し、搭載面２２５（図４（ｂ））に記録素子基板３を装着する（第５の工程）。なお、第２の工程おいて、第１金型９１を第２金型９２に対して移動させたが、第１金型９１を固定して第２金型９２を移動させてもよく、両型共に移動させても良い。また、第２の工程おいて、第１金型９１に第１の部分２１を保持させたが、第１金型９１に第２の部分２２を保持させ、第２金型９２に第１の部分２１を保持させてもよい。
【００２４】
本発明では、シール部２３を形成することにより、ネジ等を用いることなく第１の部分２１と第２の部分２２とを接合することができるため、寸法精度の高い液体吐出ヘッドを提供することができる。また、接合部を接着剤等によって封止する場合、吐出する液体に対する接液性が問題となる場合がある。本実施形態では、接合部をシール部２３により封止するため、接液性に優れた液体吐出ヘッドを提供することができる。
【００２５】
本実施形態において、第１の部分２１及び第２の部分２２となる溶融樹脂は同じ材料を用いる。例えば、液晶ポリマー、ポリフェニレンサルファイド、ポリサルフォン、ポリフェニレンエーテル、これらのポリマーアロイなどである。また、これらの材料を母体としてシリカ微粒子やファイバー等の無機フィラーを添加した複合材料を用いることもできる。複合材料を第１の部分２１又は第２の部分２２に用いることで、これらの部分の強度が上がる効果がある。第１の部分２１及び第２の部分２２となる溶融樹脂は、互いに異なる材料を使用してもよい。
【００２６】
シール部２３を形成する溶融樹脂は、第１の部分２１および第２の部分２２と同じ材料を用いることが好ましいが、第１の部分２１および第２の部分２２と相溶するものであれば、第１の部分２１および第２の部分２２と異なる材料であってもよい。図５に説明のために液体流路部材２からシール部２３を独立して取り出した模式図を示す。しかしながら、実際の成型後の状態においてはシール部２３と、第１の部分及び第２の部分との境界において樹脂の一部が互いに相溶しておりその境界は明確ではない部分もある。また、図８に示すように、第１の部分２１及び第２の部分２２がそれぞれ凹部を有し、それらの凹部同士を当接させることにより液体供給路１２を形成してもよい。
【００２７】
（空間部について）
図９に示すように本実施形態においては、第２の部分２２の、記録素子基板の搭載面２２５とその裏面である流路蓋２２２が形成される面との間に空間部２２８を設けることにより、記録素子基板３が搭載される搭載面２２５の高い寸法精度を実現している。第２の部分２２の構成の詳細について、図９を用いて説明する。図９（ａ）、（ｂ）は、図１におけるＡ−Ａ断面とＢ−Ｂ断面をそれぞれ示す概略図であり、図９（ｃ）は図９（ａ）におけるＣ−Ｃ断面を示す概略図である。図９（ａ）に示すように、垂直流路２２３は搭載面２２５に向かって、吐出口列１０の長手方向に拡大する形状である。第２の部分２２は、垂直流路２２３を形成する部分を除き、記録素子基板３の搭載面２２５と液体供給路面１１との間に、空間部２２８が設けられている。垂直流路２２３の配置されていない部分では、図９（ｂ）に示すように、搭載面２２５側とその裏面との間は、空間部２２８によって完全に分断されている。また、図９（ｃ）に示すように、空間部２２８の一部は、図の左端から右端までの一方向であって直線状に第１の部分２１及び第２の部分２２を貫通する貫通口部２５が設けられている。
【００２８】
空間部２２８の形成には、金型９２に取り付けられた第１のスライド駒９２４及び第２のスライド駒９２５が使用される。図１０（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、第１の工程における図９（ａ）、（ｂ）、（ｃ）のスライド駒をそれぞれ示す概略図である。図１１（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、第３及び第４の工程における図９（ａ）、（ｂ）、（ｃ）のスライド駒をそれぞれ示す概略図である。
【００２９】
図１０に示す通り、第１のスライド駒９２４は、貫通口部２５の全域及び垂直流路２２３に隔てられた空間部２２８の片側を埋める形状である。第２のスライド駒９２５は、垂直流路２２３に隔てられた空間部のうち、第１のスライド駒９２４が挿入されている側とは反対側の空間部２２８を埋める形状である。第１の工程において、金型９２上で図９における左方向から第１のスライド駒９２４を、右方向から第２のスライド駒９２５をスライドさせ、空間部２２８を形成したい部分に配置することで、第２の部分の射出成形時に空間部２２８が形成される。第２の工程において金型９１、９２を開く際に、第２のスライド駒９２５を第１の工程とは逆方向にスライドさせ、空間部２２８から退避させる。このとき、第１のスライド駒９２４は第１の工程と同じ位置にとどまっている。図１１に示すように、第３の工程および第４の工程では、第１のスライド駒９２４は第１および第２の工程と同じ位置にとどまっており、第２のスライド駒９２５は第２の工程で空間部２２８から退避したままである。第１のスライド駒９２４は貫通口部２５を貫通しており、図１０（ｂ）および図１１（ｂ）に示す通り、スライド駒の先端部を金型９２に設けた受け部９２６で受ける構成となっている。また、金型開き時のスライド駒のスライドを容易にするため、貫通口部２５の開口から空間部内に向かって不図示のテーパが施されている。
【００３０】
以下、空間部２２８を設けることの効果について説明する。本実施形態における液体流路部材２の成形工程では、第１の工程で成形された第１の部分及び第２の部分が部材の内部まで冷却される前に、第４の工程において、シール部２３となる溶融樹脂が供給される。溶融樹脂は、樹脂で形成された第１の部分２１および第２の部分２２で囲まれた領域を流動するため、金型に囲まれた部分を流動する通常の成形と比較して冷却されにくい。したがって、第１の部分２１および第２の部分２２は、溶融樹脂の熱によって温められ、軟化した状態となる。シール部２３の温度が高く、第１および第２の部分が軟化した状態で金型を開くと、シール部２３自身が冷却する際に収縮し、その影響を受け、第１または第２の部分が変形する場合がある。こうした変形を低減するためには第１の部分及び第２の部分の成型後、冷却時間を長くしたり、溶融樹脂の温度を低くするなどの方法があるが、これらの方法ではタクトが長くなったり樹脂の流動性が悪化するなど、工程の制約となる。
【００３１】
そこで本実施形態のように空間部２２８を設けることで断熱効果が生じ、第４の工程において記録素子基板３が搭載される搭載面２２５および電気配線基板面２２７に溶融樹脂の熱が伝わりにくくなる。これにより、高い寸法精度が求められる記録素子基板３の搭載面２２５および電気配線基板面２２７の変形を抑制することができる。また、特に寸法精度が求められる記録素子基板３の搭載面２２５と略直交する位置に空間部２２８が形成されていれば熱が搭載面２２５に伝わりにくくなり好ましい。つまり搭載面２２５と直交する方向から見て、搭載面２２５（記録素子基板３が設けられる領域）の少なくとも一部に重複する位置に空間部２２８を設けると良い。
【００３２】
また、第４の工程において、液体供給路を取り囲む領域に溶融樹脂を流し込む際に、空間部２２８が空洞であると、溶融樹脂の圧力と熱によって図９（ａ）に示す天井部２２９が変形し、樹脂が所望の領域外に溢れる可能性がある。そこで、本実施形態においては、第４の工程終了時まで第１のスライド駒９２４を空間部２２８に挿入した状態を保つことで、天井部２２８の変形を抑制している。また、第１のスライド駒９２４は片持ち梁構造であり、第４の工程における溶融樹脂の圧力によって撓む可能性がある。そこで、本実施形態においては、貫通口部２５を設けて第１のスライド駒９２４を貫通させ、先端部を金型９２に設けた支持部９２６と接触させることで、溶融樹脂の圧力によるスライド駒９２４の撓みを抑制している。図１０（ｂ）および図１１（ｂ）において、支持部９２６は金型９２の面に対して突出した構成となっている。しかしながら、支持部の構成はこれに限らず、第１のスライド駒９２４の先端部と支持部９２６が接触する構成となっていればよい。すなわち、第４の工程における溶融樹脂の圧力方向と対向するように金型に支持部９２６が配置されていればよい。なお、実施形態では、いわゆるシリアルスキャン方式の液体吐出ヘッド１を用いて説明をしたが、本発明に係る液体吐出ヘッドはいわゆるフルライン方式のものでも良い。
【符号の説明】
【００３３】
１  液体吐出ヘッド
２  液体流路部材
３  記録素子基板
７  第１位置
８  第２位置
１１  液体供給路面
２１  第１の部分
２２  第２の部分
２３  シール部
９１  第１金型
９２  第２金型
２２５  搭載面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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