(57)【要約】【課題】高温ガスが流通する部材に取付けできると共に、ジルコニア部材と通気孔との気密性を長期に亘って維持でき、製造コストの低減を図ることができる、ジルコニア酸素センサ用部品及びジルコニア酸素センサを提供する。【解決手段】このジルコニア酸素センサ用部品１０は、通気孔２１を有するセラミックス部材２０と、このセラミックス部材２０の通気孔２１を塞ぐように取付けられるジルコニア部材３０と、セラミックス部材２０の通気孔２１に対してジルコニア部材３０を気密的に接合する接合層４０とを備え、接合層４０が、導電性白金ペーストの焼結体４１，４３からなる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
通気孔を有するセラミックス部材と、
このセラミックス部材の通気孔を塞ぐように取付けられるジルコニア部材と、
前記セラミックス部材の通気孔に対してジルコニア部材を気密的に接合する接合層とを備え、
前記接合層が、導電性白金ペーストの焼結体からなることを特徴とするジルコニア酸素センサ用部品。
【請求項２】
前記接合層は、導電性白金ペーストの焼結体の隙間に、金が充填され拡散してなる金−白金合金層を有している、請求項１記載のジルコニア酸素センサ用部品。
【請求項３】
前記ジルコニア部材は、基端側が開口し先端側が閉塞した試験管形状をなしており、基端側が前記セラミックス部材の前記通気孔に挿入されて、前記ジルコニア部材の外周と前記セラミックス部材の前記通気孔内周とが、前記接合層によって接合されている請求項１又は２記載のジルコニア酸素センサ用部品。
【請求項４】
前記接合層は、前記ジルコニア部材に発生した起電力を出力する、配線の一部をなす、請求項１〜３のいずれか１項に記載のジルコニア酸素センサ用部品。
【請求項５】
前記セラミックス部材の線膨張係数は、前記ジルコニア部材の線膨張係数の±１０％以内の違いとされている、請求項１〜４のいずれか１項に記載のジルコニア酸素センサ用部品。
【請求項６】
前記通気孔と前記ジルコニア部材との、少なくとも一方の接合面には溝が形成されており、この溝に前記接合層が充填されている、請求項１〜５のいずれか１項に記載のジルコニア酸素センサ用部品。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１つに記載のジルコニア酸素センサ用部品と、
前記ジルコニア部材を加熱するヒーターと、
前記ジルコニア部材の外面及び内面にそれぞれ接続された電極と、
前記電極を、検出回路に接続する配線とを有することを特徴とするジルコニア酸素センサ。
【請求項８】
前記配線は、前記接合層を配線経路の一部としている、請求項７記載のジルコニア酸素センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ジルコニア酸素センサ用部品、及び、同部品を用いたジルコニア酸素センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
以前から、焼却炉の煙突等に取付けられて、ガス中の酸素濃度を測定するために、ジルコニア酸素センサが用いられている。図４に示すように、このジルコニア酸素センサは、ジルコニアで形成されたジルコニア管１と、同ジルコニア管１の内外に取付けられた電極２，２と、ジルコニア管１を加熱するヒーター３と、前記電極の電圧を測定する図示しない測定器とからなる。また、ジルコニア管１は、その基端部が、取付フランジ４に形成された取付孔５に挿入されて、アルミナ等のセラミックスを主成分とする耐熱接着剤や、金を主成分とする金ロウ剤等を介して、取付フランジ４に固定されている。そして、この取付フランジ４を介して、ケース６にジルコニア管１が取付けられ、煙突等のガス流通部材８に固定されている。なお、取付フランジ４は、例えば、ステンレスや鋼等の金属で形成されている。そして、ヒーター３でジルコニア管１を所定温度以上に加熱すると、ジルコニア管１は酸素イオンのみが移動可能な固体電解質となり、ジルコニア管１の内外のガス中の酸素分圧の差に対応する起電力が生じるので、これを測定器で測定することで、ガス中の酸素濃度が測定される。
【０００３】
従来のこの種のジルコニア酸素計として、例えば、下記特許文献１には、ジルコニアパイプの内面に内部電極を被着形成し、内部電極と接合部との間の内面に導電性金属膜を被着形成するとともに、その接合部に嵌め合わせた金属ガス配管を、ハンダ付けにより、導電性金属膜およびジルコニアパイプと封止一体化させてなる、ジルコニア酸素計が記載されている。また、金属ガス配管と、ジルコニアパイプとは、Ｓｎ−Ｐｂはんだ等で接合させることが記載されている（段落００１１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平８−６２１７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１のジルコニア酸素計においては、金属ガス配管とジルコニアパイプとが、Ｓｎ−Ｐｂはんだで接合されているので、例えば、５００℃以上のガスが流通する煙道等に、直接取付けることはできない。
【０００６】
また、図４に記載されたジルコニア酸素計において、ジルコニア管１の基端部が、取付フランジ４の取付孔５に、耐熱接着剤によって固定されている場合、繰り返し熱的荷重が作用すると、耐熱接着剤の接着性能等が劣化して、ジルコニア管１の基端部外周と取付フランジ４の取付孔５の内周との気密性が低下するおそれがあった。更に取付フランジ４が金属からなる場合、取付フランジ４は、ジルコニア管１と線膨張係数が近いものを用いる必要があり、製造コストが増加する。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、高温ガスが流通する部材に取付けることができると共に、ジルコニア部材と通気孔との気密性を長期に亘って維持することができ、更に製造コストの低減を図ることができる、ジルコニア酸素センサ用部品、及び、同部品を用いたジルコニア酸素センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明に係るジルコニア酸素センサ用部品は、通気孔を有するセラミックス部材と、このセラミックス部材の通気孔を塞ぐように取付けられるジルコニア部材と、前記セラミックス部材の通気孔に対してジルコニア部材を気密的に接合する接合層とを備え、前記接合層が、導電性白金ペーストの焼結体からなることを特徴とする。
【０００９】
上記発明によれば、セラミックス部材の通気孔に対して、ジルコニア部材が、導電性白金ペーストの焼結体からなる接合層によって気密的に接合されているので、耐熱性や耐食性に優れており、燃焼排ガスなどが流通する高温環境下でも使用することができる。
また、セラミックス部材とジルコニア部材とは線膨張係数が比較的近いため、温度変化が激しい環境下で使用しても、接合層に無理な応力がかかりにくく、接合層に亀裂が生じたりすることを防いで、長期間に亘って良好な気密性を維持することができる。
【００１０】
本発明のジルコニア酸素センサ用部品においては、前記接合層は、導電性白金ペーストの焼結体の隙間に、金が充填され拡散してなる金−白金合金層を有していることが好ましい。
【００１１】
上記態様によれば、導電性白金ペーストの焼結体の隙間に、金が充填され拡散してなる金−白金合金層を有しているので、導電性白金ペーストの焼結体の厚さのバラツキによる機密性低下を、金−白金合金層によって抑制することができ、通気孔内周とジルコニア部材外周との気密性を、より高めることができる。
【００１２】
本発明のジルコニア酸素センサ用部品においては、前記ジルコニア部材は、基端側が開口し先端側が閉塞した試験管形状をなしており、基端側が前記セラミックス部材の前記通気孔に挿入されて、前記ジルコニア部材の外周と前記セラミックス部材の前記通気孔内周とが、前記接合層によって接合されていることが好ましい。
【００１３】
上記態様によれば、試験管形状をなすジルコニア部材の内周に一方の気体を導入し、ジルコニア部材の外周に他方の気体を導入して、気体中に含まれる酸素濃度を測定することができる。また、試験管形状をなすジルコニア部材を、例えば煙突等のガス流通部材のガス流通路に挿入しやすくなり、固体電解質となるジルコニア部材の配置を容易にすることができる。また、例えば、ガス流通部材が煙突等の場合に、ジルコニア部材の先端側を、ガス流通部材の径方向奥側に向けて配置しやすくなる。
【００１４】
本発明のジルコニア酸素センサ用部品においては、前記接合層は、前記ジルコニア部材に発生した起電力を出力する、配線の一部をなすことが好ましい。
【００１５】
上記態様によれば、接合層が、ジルコニア部材に発生した起電力を出力する、配線の一部をなしているので、導電性白金ペースト層を配線の一部として利用することができ、ジルコニア酸素センサの構造を簡略化することができる。
【００１６】
本発明のジルコニア酸素センサ用部品においては、前記セラミックス部材の線膨張係数は、前記ジルコニア部材の線膨張係数の±１０％以内の違いとされていることが好ましい。
【００１７】
上記態様によれば、セラミックス部材の線膨張係数は、ジルコニア部材の線膨張係数の±１０％以内の違いとされているので、ガスの酸素濃度の測定時に、高温のガスによって、セラミックス部材やジルコニア部材の温度が上昇した場合に、通気孔内周とジルコニア部材外周との間に、割れやクラック等が生じることを抑制することができ、セラミックス部材にジルコニア部材を安定して支持させることができる。
【００１８】
本発明のジルコニア酸素センサ用部品においては、前記通気孔と前記ジルコニア部材との、少なくとも一方の接合面には溝が形成されており、この溝に前記接合層が充填されていることが好ましい。
【００１９】
上記態様によれば、通気孔とジルコニア部材との、少なくとも一方の接合面に溝が形成されているので、導電性白金ペーストが溝内に入り込んだ状態で焼結して接合層が形成されるので、通気孔に対するジルコニア部材の接合強度をより高めることができ、セラミックス部材にジルコニア部材をより安定して支持させることができる。
【００２０】
本発明のもう一つは、上記いずれかのジルコニア酸素センサ用部品と、前記ジルコニア部材を加熱するヒーターと、前記ジルコニア部材の外面及び内面にそれぞれ接続された電極と、前記電極を、検出回路に接続する配線とを有することを特徴とする、ジルコニア酸素センサである。
【００２１】
上記発明によれば、ジルコニア酸素センサを被測定ガスが流れる流路に配置して、ジルコニア部材の一方の面には被測定ガスが接触し、ジルコニア部材の他方の面には校正用の別の気体、例えば空気が接触するようにして、その状態でヒーターによってジルコニア部材を所定の温度になるように加熱することにより、被測定ガスと校正用の気体との酸素分圧の差により、ジルコニア部材に起電力が発生するので、この起電力を測定することにより、被測定ガス中の酸素濃度を測定することができる。また、ジルコニア酸素センサ用部品は、セラミックス部材の通気孔に対して、ジルコニア部材が、導電性白金ペーストの焼結体からなる接合層によって気密的に接合されて形成されているので、耐熱性や耐食性に優れており、燃焼排ガスなどが流通する高温環境下でも使用することができ、長期間に亘って良好な気密性を維持することができる。
【００２２】
本発明のジルコニア酸素センサにおいては、前記配線は、前記接合層を配線経路の一部としていることが好ましい。この態様によれば、配線作業を容易にすることができると共に、ジルコニア酸素センサの構造を簡略化することができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、セラミックス部材の通気孔に対して、ジルコニア部材が、導電性白金ペーストの焼結体からなる接合層によって気密的に接合されているので、耐熱性や耐食性に優れ、高温環境下でも取付けることができ、長期間に亘って良好な気密性を維持することができ、製造コストを抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明に係るジルコニア酸素センサ用部品、及び、ジルコニア酸素センサの、一実施形態を示す断面説明図である。
【図２】図１のＡ部における拡大断面説明図である。
【図３】本発明に係るジルコニア酸素センサ用部品の、他の実施形態を示す断面説明図である。
【図４】従来の、ジルコニア酸素センサの断面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、図１及び図２を参照して、本発明に係るジルコニア酸素センサ用部品、及び、同ジルコニア酸素センサ用部品を用いた、ジルコニア酸素センサの、一実施形態について説明する。
【００２６】
図１に示すように、この実施形態におけるジルコニア酸素センサ用部品１０（以下、単に「センサ用部品１０」ともいう）は、通気孔２１を有するセラミックス部材２０と、このセラミックス部材２０の通気孔２１を塞ぐように取付けられるジルコニア部材３０と、セラミックス部材２０の通気孔２１に対して、ジルコニア部材３０を気密的に接合する接合層４０とを備えている。
【００２７】
また、このセンサ用部品１０は、図１に示すように、例えば、ゴミ焼却炉や汚泥焼却炉等の、高温のガスが流通する煙突などの、ガス流通部材８に取付けられて、高温ガス中の酸素濃度を測定するための、ジルコニア酸素センサ５０（以下、単に「センサ５０」ともいう）を構成する部品となっている。
【００２８】
まず、セラミックス部材２０について説明する。この実施形態のセラミックス部材２０は、所定厚さの円盤状をなしており、その中央には、厚さ方向に貫通した通気孔２１が設けられている。また、図１に示すように、通気孔２１の一端部側の内周には、前記接合層４０の接合面をなす、拡径した凹部２３が形成されている。
【００２９】
図２を併せて参照すると、凹部２３は、その内周面が、通気孔２１の他端部側の内径よりも拡径した第１接合面２４をなしており、内周面に直交する底面が第２接合面２５をなしている。
【００３０】
更に図２に示すように、第１接合面２４には、Ｖ字溝状をなした溝２７が形成されており、この溝２７内に前記接合層４０が充填されるようになっている。なお、この溝２７は、図２の二点鎖線で示すように、第２接合面２５に形成されていてもよい。また、図２に示すように、第１接合面２４の先端側には、凹部２３の先端側内周面を次第に拡径させるようにテーパ状をなした、面取部２８が形成されている。
【００３１】
なお、上記セラミックス部材２０は、例えば、フォルステライト、ステアタイト、アルミナ、窒化珪素、炭化珪素、チタン酸バリウム等の、セラミックス材料から形成されている。この中でも、フォルステライトを用いることが好ましい。また、セラミックス部材２０の線膨張係数は、ジルコニア部材３０の線膨張係数の±２０％以内の違いとされていることが好ましく、±１０％以内の違いとされていることがより好ましい。
【００３２】
上記セラミックス部材としては、上述したように円盤状でなくとも、例えば、矩形板状等であってもよく、通気孔２１を有する形状であればよい。また、通気孔も、拡径した凹部を有せず、一定径の孔としてもよい。更に、接合面２４，２５に形成する溝は、Ｕ字状やコ字状等をなしていてもよく、接合層４０が充填可能であればよい。
【００３３】
次にジルコニア部材３０について説明する。このジルコニア部材３０は、安定化ジルコニア等のジルコニア材料から形成されている。また、図１に示すように、この実施形態のジルコニア部材３０は、一定径でもって所定長さで伸びる細長い筒状に形成されており、その長手方向の基端３１側が開口すると共に、長手方向の先端３３側が閉塞した、試験管形状をなしている。更にジルコニア部材３０の先端３３は、丸みを帯びた曲面状をなしている。
【００３４】
上記ジルコニア部材３０は、その基端３１側が、セラミックス部材２０の通気孔２１の凹部２３に挿入されて、接合層４０を介して、通気孔２１の内周に対して気密的に接合される。また、図２に示すように、ジルコニア部材３０の基端３１側の外周面が、凹部２３の第１接合面２４の内周に対向して配置されて、接合層４０を介して接合される第１接合面３４をなしており、更に、ジルコニア部材３０の基端３１の端面が、凹部２３の第２接合面２５に対向して配置されて、接合層４０を介して接合される第２接合面３５をなしている。
【００３５】
更に図２に示すように、第１接合面３４には、Ｖ字溝状をなした溝３７が形成されており、この溝３７内に前記接合層４０が充填されるようになっている。なお、この溝３７は、前記第２接合面３５に形成されていてもよい（図２の二点鎖線参照）。
【００３６】
なお、上記ジルコニア部材としては、試験管形状でなくとも、セラミックス部材２０の通気孔２１を閉塞できる形状であればよい。例えば、後述する別の実施形態（図３参照）に示されるように、セラミックス部材が筒状の突出部を有していて、該突出部の内周が通気孔をなしている場合には、ジルコニア部材は、該突出部の先端開口部を閉塞する単なる板状をなしていてもよい。また、接合面３４，３５に形成した溝としては、断面Ｖ字状に限らず、断面Ｕ字状やコ字状等をなしていてもよく、接合層４０が充填可能であればよい。
【００３７】
次に接合層４０について説明する。この接合層４０は、導電性白金ペーストの焼結体からなる。また、この導電性白金ペーストは、白金や白金合金等の白金粉末を溶媒に分散してなるものであって、無機系酸化物を含むと共に、樹脂や界面活性剤等の添加剤が適宜添加されており、更に所定温度で加熱されたときに、焼結するように焼結用バインダーを含むものとなっている。
【００３８】
図２に示すように、この実施形態における接合層４０は、導電性白金ペーストが焼結されてなる焼結体４１，４３の隙間に、金が充填され拡散してなる金−白金合金層４５を有している。すなわち、この接合層４０は、セラミックス部材２０の第１接合面２４及び第２接合面２５の内周側に形成された焼結体４１と、ジルコニア部材３０の第１接合面３４及び第２接合面３５の外周側に形成された焼結体４３と、これらの焼結体４１，４３の隙間に設けられた金−白金合金層４５とを有している。
【００３９】
また、図２に示すように、セラミックス部材２０側の第１接合面２４及び第２接合面２５と焼結体４１との間、及び、ジルコニア部材３０側の第１接合面３４及び第２接合面３５と焼結体４３との間には、導電性白金ペーストの焼結時に、導電性白金ペースト中の無機系酸化物が、セラミックス部材２０の成分又はジルコニア部材３０の成分と拡散して形成された、複合酸化物からなる酸化物層４６，４７が設けられるようになっている。
【００４０】
なお、前記焼結体４１は、セラミックス部材２０側の第１接合面２４や第２接合面２５の溝２７に充填され、これらの溝２７内にも前記酸化物層４６が形成される。同様に前記焼結体４３は、ジルコニア部材３０側の第１接合面３４や第２接合面３５の溝３７に充填され、これらの溝３７内にも前記酸化物層４７が形成される。また、図２に示すように、接合層４０の先端４８は、通気孔２１の凹部２３の先端開口からはみ出して、ジルコニア部材３０の外周面に接合されており、はみ出した部分の外周が先細テーパ状の傾斜面となっている。
【００４１】
更に、この実施形態における接合層４０には、センサ５０を構成する配線６３が接続されており（図２参照）、同接合層４０は、ジルコニア部材３０に発生した起電力を出力する、出力配線の一部をなしている。これについては後述するセンサ５０の説明において、詳しく説明する。
【００４２】
上記のような導電性白金ペーストとしては、例えば、株式会社ノリタケカンパニーリミテド製、商品名「ＮＰ−１６１０Ａ」や、田中貴金属工業株式会社製、商品名「ＴＲ７９０５」、株式会社徳力本店、商品名「Ｐｔペースト  Ｎｏ．８１０３」等を用いることができる。
【００４３】
なお、本発明における接合層としては、導電性白金ペーストの焼結体からなるものであればよく、金−白金合金層４５や、酸化物層４６，４７を有するものでなくともよい。
【００４４】
以上説明したセンサ用部品１０は、ジルコニア酸素センサ５０を構成する部品となっている。図１を参照してセンサ５０について説明すると、このセンサ５０は、少なくとも、上記センサ用部品１０と、ジルコニア部材３０を加熱するヒーター５３と、ジルコニア部材３０の外面及び内面にそれぞれ接続された電極５５，５７と、電極５５，５７を、検出回路５９に接続する配線６１，６３とを有している。
【００４５】
具体的に説明すると、この実施形態におけるセンサ５０は、円筒状をなし、その軸方向両端部に鍔状のフランジ５１ａ，５１ｂを設けた、ケーシング５１を有している。ケーシング５１の一端側のフランジ５１ａを、煙突等のガス流通部材８に固定することで、ガス流通部材８にセンサ５０が取付けられる。また、ケーシング５１の他端側のフランジ５１ｂに、セラミックス部材２０が固定されることで、ケーシング５１内に、ジルコニア部材３０が挿入配置された状態で、センサ用部品１０がケーシング５１に取付けられるようになっている。なお、この状態では、ガス流通部材８内のガス流通路９に、ジルコニア部材３０の先端３３側が位置するように配置される（図１参照）。
【００４６】
試験管形状をなしたジルコニア部材３０の外周には、ヒーター５３が配置されている。このヒーター５３には、図示しない電力供給手段が接続され、所定温度に昇温可能となっている。また、ジルコニア部材３０の先端３３の外面側には電極５５が配置され、ジルコニア部材３０の先端３３の内面側にも電極５７が配置されている。更に、ジルコニア部材３０の外面側の電極５５に、配線６１の一端が接続されている。なお、ジルコニア部材３０の内外面に形成される電極５７，５５は、例えば、ジルコニア入りＰｔペースト等で形成することができる。この配線６１は、ヒーター５３の内側やセラミックス部材２０の図示しない挿通孔を通って、センサ５０の外部に引き出されて、他端がセンサ外部に配置される検出回路５９に接続される。なお、電極５５に接続された配線６１のジルコニア部材３０の外周に沿って伸びる部分は、ジルコニア部材３０の外周に塗布された導電性白金ペーストの焼結体で形成してもよい。
【００４７】
一方、ジルコニア部材３０の内面側の電極５７に、配線６３の一端が接続されている。この配線６３は、更に接合層４０の通気孔内方に露出する部分に接続されて、同接合層４０の先端４８側から、セラミックス部材２０の図示しない挿通孔を通って、センサ５０の外部に引き出されて、その他端がセンサ外部の検出回路５９に接続されるようになっている。このように、この実施形態では、電極５７に接続された配線６３が、接合層４０を介して検出回路５９に接続されており、接合層４０は、ジルコニア部材３０に発生した起電力を出力する、出力配線の一部をなしている。すなわち、この実施形態における配線６３は、接合層４０を配線経路の一部とした構成となっている。なお、電極５７に接続された配線６３のジルコニア部材３０の内周に沿って伸びる部分は、ジルコニア部材３０の内周に塗布された導電性白金ペーストの焼結体で形成してもよい。
【００４８】
また、前記検出回路５９は、電極５５，５７に、配線６１，６３を介して電圧を印加すると共に、ジルコニア部材３０に発生した起電力を、配線６１，６３を介して受電することにより、ガス流通部材８内を流れる被測定ガス中の酸素濃度を検出できるようになっている。
【００４９】
なお、ジルコニア酸素センサ５０としては、例えば、ケーシング５１内に、ジルコニア部材３０の内周に校正ガスを供給・排出可能な構造を設けてもよい。更に、ジルコニア部材３０に対するヒーター５３の設置位置や、電極５５，５７を設けた箇所等は、適宜変更することができる。
【００５０】
上記構成からなるジルコニア酸素センサ５０は、次のようにしてガス流通部材８内の高温ガスの酸素濃度を測定できるようになっている。なお、ジルコニア酸素センサの原理については、従来から周知であるので簡単な説明に留めるものとする。
【００５１】
すなわち、ヒーター５３に電力を供給して昇温させて、ジルコニア部材３０を、所定温度（例えば、８００℃以上）に加熱する。すると、ジルコニア部材３０は、酸素イオンのみが移動可能な固体電解質となり、ジルコニア部材３０の外部又は外部に存在する、ガス流通部材８を流通するガス中の酸素分圧の差に応じて起電力が発生する。この起電力が、電極５５，５７及び配線６１，６３を介して、検出回路５９によって検出されて、検出回路５９に接続された図示しない測定器によって、ガス中の酸素濃度を測定できる。
【００５２】
次に、上記構成からなるジルコニア酸素センサ用部品１０、及び、ジルコニア酸素センサ５０の、作用効果について説明する。
【００５３】
初めに、ジルコニア部材３０を、セラミックス部材２０の通気孔２１に接合する際の、工程について説明する。まず、セラミックス部材２０の通気孔２１の凹部２３の、第１接合面２４及び第２接合面２５の内周に、導電性白金ペーストを塗布する。この際、導電性白金ペーストが、第１接合面２４や第２接合面２５に形成した溝２７内に充填される。その後、セラミックス部材２０を焼成炉に収容して、所定温度で所定時間保持（例えば、９００〜１０００℃で、６０〜１２０分の保持）することで、導電性白金ペーストを焼結させる。この際、導電性白金ペースト中の無機系酸化物が、セラミックス部材２０の成分と拡散して、複合酸化物からなる酸化物層４６が形成されるため、この酸化物層４６を介して、第１接合面２４及び第２接合面２５の内周に、焼結体４１が形成される。
【００５４】
また、ジルコニア部材３０の基端３１の、第１接合面３４及び第２接合面３５の外周に、導電性白金ペーストを塗布する。この際、導電性白金ペーストが、第１接合面３４や第２接合面３５に形成した溝３７内に充填される。その後、ジルコニア部材３０を焼成炉に収容して、所定温度で所定時間保持（例えば、９００〜１０００℃で、６０〜１２０分の保持）することで、導電性白金ペーストを焼結させる。この際、導電性白金ペースト中の無機系酸化物が、ジルコニア部材３０の成分と拡散して、複合酸化物からなる酸化物層４７が形成されるため、この酸化物層４７を介して、第１接合面３４及び第２接合面３５の内周に、焼結体４３が形成される。
【００５５】
その後、金からなる接合部材（例えば、純金線材等）を、セラミックス部材２０の第１接合面２４及び第２接合面２５の内周に配置する。この状態で、ジルコニア部材３０の基端３１を、セラミックス部材２０の通気孔２１の凹部２３内に挿入して押し込む。すると、セラミックス部材２０の第１接合面２４及び第２接合面２５に設けた焼結体４１と、ジルコニア部材３０の第１接合面３４及び第２接合面３５に設けた焼結体４３との隙間に、金からなる接合部材が挟み込まれる。この状態で、焼成炉に収容して、所定温度で所定時間保持（例えば、１０６３℃で、数分の保持）する。その結果、金と導電性白金ペーストの白金成分とが拡散して、金−白金合金層４５が形成され、この金−白金合金層４５を介して、セラミックス部材２０側の焼結体４１と、ジルコニア部材３０側の焼結体４３とが接合されて、セラミックス部材２０の通気孔２１に対して、ジルコニア部材３０を気密的に接合することができる。
【００５６】
なお、ジルコニア部材３０とセラミックス部材２０とを、金を用いずに、導電性白金ペーストの焼結体のみで接合することもできる。その場合には、セラミックス部材２０の通気孔２１の凹部２３の、第１接合面２４及び第２接合面２５の内周に、導電性白金ペーストを塗布し、ジルコニア部材３０の基端３１の、第１接合面３４及び第２接合面３５の外周に、導電性白金ペーストを塗布し、ジルコニア部材３０の基端３１を、セラミックス部材２０の通気孔２１の凹部２３内に挿入して押し込み、その状態で焼成して導電性白金ペーストを焼結させればよい。
【００５７】
上記のように構成したセンサ用部品１０は、ガス流通部材８に取付けられたケーシング５１内に、ジルコニア部材３０の先端３３側から挿入し、セラミックス部材２０を、ケーシング５１のフランジ５１ｂに対して、ネジ止め固定や接着剤等による固定によって固定することで、ケーシング５１に取付けることができ、それによって、ケーシング５１を介してガス流通部材８に取付けることができる。このように、このセンサ用部品１０においては、ガス流通部材８に対する取付用部材として、ジルコニア部材３０のジルコニア材料に対して、線膨張係数が比較的近いセラミックス材料からなる、セラミックス部材２０を用いたので、温度変化が激しい環境下で使用しても、接合層に無理な応力がかかりにくく、接合層に亀裂が生じたりすることを防ぐことができる。
【００５８】
そして、このセンサ用部品１０においては、上述したように、セラミックス部材２０の通気孔２１に対して、ジルコニア部材３０が、導電性白金ペーストの焼結体４１，４３からなる接合層４０によって気密的に接合されている。そのため、耐熱性や耐食性に優れているので、燃焼排ガス等の高温ガスが流通して、高温環境下に設置される、ガス流通部材８に問題なく取付けることができると共に、そのような高温環境下に配置されても、長期間に亘って良好な気密性を維持することができる。
【００５９】
また、セラミックス部材２０の通気孔２１とジルコニア部材３０とは、耐熱性に優れた導電性白金ペーストの焼結体４１，４３からなる接合層４０によって接合されるので、図３に記載のジルコニア酸素センサのように、耐熱接着剤等で両部材を接合する場合に比べて、繰り返しの熱的荷重が作用しても、その影響を受けにくいため、通気孔２１の内周とジルコニア部材３０の外周との気密性を維持しやすい。
【００６０】
更に図２に示すように、接合層４０は、導電性白金ペーストからなる焼結体４１，４３の隙間に、金が充填され拡散してなる金−白金合金層４５を有しているので、導電性白金ペーストからなる焼結体４１，４３の厚さのバラツキによる気密性低下を、金−白金合金層層４５によって抑制することができ、通気孔２１の内周とジルコニア部材３０の外周との気密性を、より高めることができる。
【００６１】
また、ジルコニア部材３０は、基端３１側が開口し先端３３側が閉塞した試験管形状をなしており、基端３１側がセラミックス部材２０の通気孔２１に挿入されて、ジルコニア部材３０の外周と通気孔２１の内周とが、接合層４０によって接合されている。この態様によれば、試験管形状をなすジルコニア部材３０の内周に一方の気体を導入し、ジルコニア部材３０の外周に他方の気体を導入して、気体中に含まれる酸素濃度を測定することができる。また、図１に示すように、試験管形状をなすジルコニア部材３０を、例えば、煙突等のガス流通部材８のガス流通路９に挿入しやすくなり、固体電解質となるジルコニア部材３０の配置を容易にすることができる。更に、例えば、ガス流通部材８が煙突等の場合に、ジルコニア部材３０の先端３３側を、ガス流通部材８の径方向奥側に向けて配置しやすくなる。
【００６２】
更に図２に示すように、この実施形態においては、接合層４０が、ジルコニア部材３０に発生した起電力を出力する配線６３の一部をなしているので、接合層４０を配線６３の一部として利用することができ、ジルコニア酸素センサ５０の構造を簡略化することができる。
【００６３】
また、セラミックス部材２０の線膨張係数が、ジルコニア部材３０の線膨張係数の±１０％以内の違いとされている場合には、ガスの酸素濃度の測定時に、高温のガスによって、セラミックス部材２０やジルコニア部材３０の温度が上昇した場合に、通気孔２１の内周とジルコニア部材３０の外周との間に、割れやクラック等が生じることを抑制することができ、セラミックス部材２０にジルコニア部材３０を安定して支持させることができる。
【００６４】
更に図２に示すように、通気孔２１とジルコニア部材３０との、少なくとも一方の接合面には溝２７，３７が形成されており、この溝２７，３７に接合層４０が充填されている。そのため、導電性白金ペーストが上記溝２７，３７内に入り込んだ状態で、焼結して接合層４０が形成されるので、通気孔２１に対するジルコニア部材３０の接合強度をより高めることができ、セラミックス部材２０にジルコニア部材３０をより安定して支持させることができる。
【００６５】
一方、本発明におけるジルコニア酸素センサ５０においては、上記構成をなしたジルコニア酸素センサ用部品１０と、ジルコニア部材３０を加熱するヒーター５３と、ジルコニア部材３０の外面及び内面にそれぞれ接続された電極５５，５７と、電極５５，５７を、検出回路５９に接続する配線とを有する、ジルコニア酸素センサ５０を得ることができる。
【００６６】
また、図２に示すように、ジルコニア酸素センサ５０を構成する配線６３は、接合層４０を配線経路の一部としているので、センサ５０の配線作業を容易にすることができると共に、センサ５０の構造を簡略化することができる。
【００６７】
図３には、本発明に係るジルコニア酸素センサ用部品１０の、他の実施形態が示されている。この実施形態のジルコニア酸素センサ用部品１０Ａ（以下、単に「センサ用部品１０Ａ」ともいう）は、セラミックス部材２０Ａと、板状をなしたジルコニア部材３０Ａとを有している。
【００６８】
セラミックス部材２０Ａは、円筒状をなした突出部２２と、該突出部２２の基端側外周から環状に広がり、図示しないセンサのケーシングとの取付部分をなすフランジ部２６と、突出部２２の先端側に配置された先端壁部２９と、該先端壁部２９の中央に形成された円形状の通気孔２１Ａとを有している。一方、板状をなしたジルコニア部材３０Ａは、セラミックス部材２０Ａの先端壁部２９の内側に、通気孔２１Ａを塞ぐように配置されている。そして、板状のジルコニア部材３０Ａの一端部３６が、導電性白金ペーストを焼結してなる接合層４２によって、セラミックス部材２０Ａの先端部内側の、一方の内面に接合されている。一方、ジルコニア部材３０Ａの他端部３８が、接合層４４によって、セラミックス部材２０Ａの先端部内側の、他方の内面に接合されている。その結果、通気孔２１Ａがセラミックス部材２０Ａで塞がれると共に、接合層４２，４４によって、通気孔２１Ａの気密性が維持されるようになっている。
【００６９】
また、ジルコニア部材３０Ａの他端部３８側に接合された接合層４４は、セラミックス部材２０Ａの内面に沿って延び、フランジ部２６の外面側に至るように設けられている。更に図３に示すように、セラミックス部材２０Ａの一方の外面には、フランジ部２６の外面側からセラミックス部材２０Ａに沿って延びて、その先端部に至るように延びる、接合層４９が設けられている。
【００７０】
また、ジルコニア部材３０Ａの外面側及び内面側に、電極５５，５７がそれぞれ接続されている。そして、検出回路５９に接合された一方の配線６１は、接合層４９に接続されると共に、同接合層４９を介して電極５５に接続されている。また、検出回路５９に接合された他方の配線６３は、接合層４４に接続されると共に、同接合層４４を介して電極５７に接続されている。
【００７１】
そして、このセンサ用部品１０Ａにおいても、前記実施形態のセンサ用部品１０と同様に、セラミックス部材２０Ａの通気孔２１Ａに対して、ジルコニア部材３０Ａが、導電性白金ペーストからなる接合層４２，４４によって気密的に接合されているので、耐熱性や耐食性に優れ、高温環境下においても、長期間に亘って良好な気密性を維持することができる。また、この実施形態では、ジルコニア部材３０Ａが板状をなしているので、前記実施形態におけるジルコニア部材３０のように、試験管状に形成する必要がないため、製造コストの低減を図ることができる。
【００７２】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で、各種の変形実施形態が可能であり、そのような実施形態も本発明の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００７３】
１  ジルコニア管
２，２  電極
３  ヒーター
４  取付フランジ
５  取付孔
６  ケース
８  ガス流通部材
９  ガス流通路
１０，１０Ａ  ジルコニア酸素センサ用部品（センサ用部品）
２０，２０Ａ  セラミックス部材
２１，２１Ａ  通気孔
２２  突出部
２３  凹部
２４  第１接合面
２５  第２接合面
２６  フランジ部
２７  溝
２８  面取部
２９  先端壁部
３０，３０Ａ  ジルコニア部材
３１  基端
３３  先端
３４  第１接合面
３５  第２接合面
３６  一端部
３７  溝
３８  他端部
４０，４２，４４，４９  接合層
４１，４３  焼結体
４５  金−白金合金層
４６，４７  酸化物層
４８  先端
５０  ジルコニア酸素センサ（センサ）
５１  ケーシング
５１ａ，５１ｂ  フランジ
５３  ヒーター
５５，５７  電極
５９  検出回路
６１，６３  配線
【図１】
2019158453.tif 000003
【図２】
2019158453.tif 000004
【図３】
2019158453.tif 000005
【図４】
2019158453.tif 000006