(57)【要約】【課題】圧延ラインの平板の平面形状を精度よく測定できる平面形状測定装置を提供する。【解決手段】実施形態は、平板の２次元画像を第１読出範囲で撮像する撮像器と、前記撮像器の受光特性を決定するパラメータと前記平板の温度との対応関係を設定したテーブルにもとづいてあらかじめ取得された温度情報に対する前記パラメータを設定し前記撮像器に指令するパラメータ指令器と、前記第１読出範囲と前記第１読出範囲の一部の第２読出範囲とを切り換える読出範囲設定器と、前記第２読出範囲の画像によって前記平板の位置を検知し、前記第２読出範囲の輝度レベルおよび所定の目標輝度にもとづいて、前記パラメータの調整量を演算する板有無検知・輝度レベル演算器と、プロフィール値演算装置と、を備える。前記平板が前記第２読出範囲を通過した後に、前記読出範囲設定器によって、前記第１読出範囲に切り換える。【選択図】図１
2019158402.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧延ラインで搬送される平板の２次元画像を含む第１読出範囲の２次元画像を撮像する撮像器と、
前記平板の温度情報を取得する温度情報受信器と、
前記撮像器の受光特性を決定するパラメータと前記平板の温度との対応関係を設定したテーブルと、
前記テーブルにもとづいて前記温度情報に対する前記パラメータを設定し、前記撮像器に対して指令するパラメータ設定指令器と、
前記第１読出範囲と前記第１読出範囲の一部である第２読出範囲とを切り換える読出範囲設定器と、
前記第２読出範囲の画像によって前記平板が前記第１読出範囲に入ったことを検知し、前記第２読出範囲の画像によって検出された輝度のデータおよびあらかじめ設定された目標輝度レベルにもとづいて、前記パラメータを調整する調整量を演算する板有無検知・輝度レベル演算器と、
前記撮像器によって撮像された画像データから前記平板の平面形状を特定するプロフィール値を演算するプロフィール値演算装置と、
を備え、
前記平板が前記第２読出範囲を通過した後に、前記板有無検知・輝度レベル演算器は、前記読出範囲設定器によって前記第１読出範囲に切り換える平面形状測定装置。
【請求項２】
前記第２読出範囲のラインは、前記平板の先端を最初に検知する第１ラインから、前記第１ラインから所定の距離だけ離間した第２ラインまでの範囲であり、
前記板有無検知・輝度レベル演算器は、前記第２ラインにおける輝度レベルが所定のしきい値以上となった後に、前記所定のしきい値よりも小さくなった場合に、前記部分読出設定器によって、前記撮像器の画像データの読出範囲を、前記第２読出範囲から前記第１読出範囲に切り換える請求項１記載の平面形状測定装置。
【請求項３】
前記撮像器が出力する前記第１読出範囲の画像データを入力して、前記平板の全体が、前記第１読出範囲に入ったことを判定して、前記第１読出範囲の画像データを前記プロフィール値演算装置に供給する平面形状画像判定器をさらに備え、
前記第２読出範囲のラインは、前記平板の先端を最初に検知する第１ラインから所定の距離だけ離間した第２ラインまでの範囲であり、
前記板有無検知・輝度レベル演算器は、前記第２ラインにおける輝度レベルが所定のしきい値以上となった場合には、前記第２読出範囲における輝度レベルを演算し、前記部分読出設定器が、前記撮像器に対して、画像データの読出範囲を、前記第２読出範囲から前記第１読出範囲に切り換え、
前記平面形状画像判定器は、前記第１ラインにおける輝度レベルが前記所定のしきい値以上となった後に前記しきい値よりも小さくなったときに、前記第１読出範囲における画像データを前記プロフィール値演算装置に供給する請求項１記載の平面形状測定装置。
【請求項４】
前記目標輝度レベルは、あらかじめ複数設定され、前記板有無検知・輝度レベル演算器は、複数の前記目標輝度レベルごとに前記調整量を演算する請求項１〜３のいずれか１つに記載の平面形状測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、平面形状測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の平面形状測定装置においては、形状測定のための撮影を行う２次元の視野をもった平面形状測定撮像器の上流側に、１次元の視野をもった幅方向撮像器を設けている。平面形状測定装置は、この幅方向撮像器の撮影画像により板有無検知および平面形状測定撮像器の露光時間を設定するための輝度レベル演算を行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−１９４４８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の平面形状測定装置は、形状測定のための撮影を行う２次元の視野をもった平面形状測定撮像器の上流側に、板有無検知および平面形状測定撮像器の露光時間を設定するための撮影を行う１次元の視野をもった幅方向撮像器を設置する。そのため、幅方向撮像器およびそのための取付調整治具にかかるコストおよびスペースが必要となり、また光軸調整や保守点検などの工数も必要となっている。
【０００５】
本発明に係る実施の形態は、上述のような課題を解決するためになされたもので、圧延ラインで搬送される平板の平面形状を精度よく測定できる平面形状測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る実施の形態の平面形状測定装置は、圧延ラインで搬送される平板の２次元画像を含む第１読出範囲の２次元画像を撮像する撮像器と、前記平板の温度情報を取得する温度情報受信器と、前記撮像器の受光特性を決定するパラメータと前記平板の温度との対応関係を設定したテーブルと、前記テーブルにもとづいて前記温度情報に対する前記パラメータを設定し、前記撮像器に対して指令するパラメータ指令器と、前記第１読出範囲と前記第１読出範囲の一部である第２読出範囲とを切り換える読出範囲設定器と、前記第２読出範囲の画像によって前記平板が前記第１読出範囲に入ったことを検知し、前記第２読出範囲の画像によって検出された輝度のデータおよびあらかじめ設定された目標輝度にもとづいて、前記パラメータを調整する調整量を演算する板有無検知・輝度レベル演算器と、前記撮像器によって撮像された画像データから前記平板の平面形状を特定するプロフィール値を演算するプロフィール値演算装置と、を備える。前記平板が前記第２読出範囲を通過した後に、前記板有無検知・輝度レベル演算器は、前記読出範囲設定器によって前記第１読出範囲に切り換える。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、圧延ラインで搬送される平板の平面形状を精度よく測定することが可
能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施の形態１に係る平面形状測定装置を例示するブロック図である。
【図２】実施の形態１の平面形状測定装置において、平板の検知および輝度レベル測定の方法を説明するための模式図である。
【図３】実施の形態１の平面形状測定装置において、平板の有無の検知の方法を説明するための模式図である。
【図４】実施の形態１の平面形状測定装置の動作を説明するためのフローチャートの例である。
【図５】図５（ａ）および図５（ｂ）は、平板の表面温度と輝度レベルの関係を例示するグラフおよび表である。図５（ｃ）は、平板の表面温度に対する平面形状測定撮像器の露光時間の関係を例示するグラフである。
【図６】図６（ａ）および図６（ｂ）は、実施の形態１の平面形状測定装置において、平板の輝度レベルの測定および輝度レベルの調整の方法に関する模式図である。
【図７】実施の形態２に係る平面形状測定装置を例示するブロック図である。
【図８】図８（ａ）および図８（ｂ）は、実施の形態２の平面形状測定装置において、平板の検知の方法を説明するための模式図である。
【図９】図９（ａ）〜図９（ｃ）は、平面形状画像判定器によって、平板を検知する方法を説明するための模式図である。
【図１０】実施の形態２の平面形状測定装置の動作を説明するためのフローチャートの例である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。なお、各図において共通する要素には、同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
【００１０】
（実施の形態１）
図１は、実施の形態１に係る平面形状測定装置を例示するブロック図である。
図１に示すように、実施の形態１の平面形状測定装置１は、鋼板である平板１００を熱間圧延する熱間圧延ラインにおいて用いられる。平面形状測定装置１は、搬送される平板１００の平面形状を、停止させることなく搬送状態のまま測定する。
【００１１】
以下の説明では、平板１００の長手方向を長さ方向と称し、平板１００の長手方向および厚さ方向の双方に対して垂直な方向を幅方向と称する。平板１００は、長手方向が搬送方向にほぼ平行になるように搬送される。平面形状測定装置１は、たとえば、粗圧延機の入側または出側において、平板１００の平面形状を測定する。圧延される前の平板１００はスラブと称される。このようなスラブの寸法は、たとえば、長さ２０００ｍｍ程度、幅１０００ｍｍ程度、厚さ３００ｍｍ程度である。なお、すべての実施の形態において、測定対象とする平板１００の長さ方向の形状（以下、幅プロフィールともいう）および幅方向の形状（以下、長さプロフィールともいう）については、急峻な形状変化はないものとする。
【００１２】
平面形状測定装置１は、平面形状測定撮像器８と、平板温度情報受信器２と、露光時間テーブル５と、露光時間設定指令器６と、部分読出設定器７と、板有無検知・輝度レベル演算器１７と、プロフィール値演算装置２０と、を備える。露光時間テーブル５は、たとえば、図示しない記憶装置に格納されている。
【００１３】
平面形状測定撮像器（撮像器）８は、２次元の視野を有する撮像装置（カメラ）である。平面形状測定撮像器８は、光学信号である画像を電気信号に変換する撮像素子を含む。撮像素子としては、たとえば、ＣＣＤエリアイメージセンサや、ＣＭＯＳエリアイメージセンサなどを用いることができる。
【００１４】
平面形状測定撮像器８の視野は、平板１００が通過する領域を包含する。平面形状測定撮像器８は、平板１００の平面形状を上方から撮像する。平面形状測定撮像器８は、平板１００の平面形状の静止画を撮像する。搬送等により平板１００が動いていても、露光時間を比較的短くすることによって、平面形状測定撮像器８は、平板１００の平面形状の静止画を撮像できる。平面形状測定撮像器８は、平板１００の位置から、たとえば２０ｍ〜２５ｍ程度の高さに設置される。平面形状測定撮像器８の視野は、平板１００が通過する高さにおいて、たとえば長さ７ｍ程度、幅６ｍ程度の広さを有する。
【００１５】
平面形状測定装置１を構成する以下の各部の機能は、論理回路等によるハードウェアによって実現されてもよいし、図示しない記憶装置やメモリに記憶されたプログラムをプロセッサが実行することによって実現されてもよい。プロセッサが実行する場合には、複数組のプロセッサおよびメモリが連携してもよい。
【００１６】
平板温度情報受信器（温度情報受信器）２は、外部から発信される平板１００に関する平板表面温度情報を受信する。平板表面温度情報を発信する図示しない装置は、平面形状測定装置の上流に配置されたたとえば放射温度計で平板１００の表面温度を計測し、その温度の計測値を表面温度情報として発信する。あるいは、表面温度情報を発信する装置は、温度計から平面形状測定装置１までの搬送区間内の熱の収支にもとづく温度モデルを用いて表面温度を計算し、その温度計算値を表面温度情報として発信する。
【００１７】
露光時間テーブル（テーブル）５は、平面形状測定撮像器８の露光時間と平板１００の表面温度とを対応付ける。露光時間は、平面形状測定撮像器８の受光特性を決定するパラメータの一例である。露光時間に代えて、あるいは露光時間とともにアイリス（絞り値）を設定するようにしてもよい。平板１００の表面温度が高いほど、露光時間は短くされている。
【００１８】
露光時間設定指令器（パラメータ設定指令器）６は、平板温度情報受信器２が受信した平板表面温度情報と、露光時間テーブル５が規定する対応関係と、にもとづいて、露光時間の設定を平面形状測定撮像器８に対して指令する。平面形状測定撮像器８は、露光時間設定指令器６からの指令にしたがって露光時間を設定する。
【００１９】
平面形状測定装置１は、測定開始指令受信器３と、測定開始タイミング発生回路４と、を備える。測定開始指令受信器３は、外部から供給される測定開始指令を受信する。測定開始指令を供給する図示しない装置は、平板１００が視野内に搬送されてくるタイミングに同期するように、測定開始指令を発信する。この装置は、たとえば、平板１００の搬送速度と搬送ピッチとにもとづいて計算されたタイミングで、測定開始指令を発信する。
【００２０】
測定開始タイミング発生回路４は、測定開始指令受信器３から測定開始指令を受信する。測定開始指令を受信した測定開始タイミング発生回路４は、平面形状測定撮像器８に対して、画像データの読出範囲を板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７に設定して、測定を開始するように指令する。平面形状測定撮像器８は、板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７の画像データを出力する。
【００２１】
後に詳述する板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲（第２読出範囲）２７は、平面形状測定画像読出範囲（第１読出範囲）２８の一部である。好ましくは、板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７は、平面形状測定画像読出範囲２８のうち、平板１００が搬送されてくるもっとも上流側の領域に設定される。たとえば、板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７は、平板１００の搬送方向に沿って数ライン分の読出範囲に設定されている。
【００２２】
板有無検知・輝度レベル演算器１７は、平面形状測定撮像器８から板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７の画像データを受信する。板有無検知・輝度レベル演算器１７は、板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７の画像データから輝度レベルを検出する。板有無検知・輝度レベル演算器１７は、検出された板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７のうち、所定の範囲内の輝度レベルのたとえば平均値を計算して、検知された輝度レベルの調整量を演算する。板有無検知・輝度レベル演算器１７は、あらかじめ設定された輝度レベルの目標値を有する。板有無検知・輝度レベル演算器１７は、輝度レベルの目標値と演算した輝度レベルのデータとにもとづいて、露光時間テーブル５に設定されている露光時間の設定値を調整する。
【００２３】
輝度レベルの目標値は、１つに限らず、複数設定してもよい。たとえば、複数個設定された輝度レベルの目標値に対して、輝度レベルを調整し、最適な調整量を選定したり、調整量の平均値をさらに計算して、輝度レベルの誤差を低減させたりしてもよい。
【００２４】
板有無検知・輝度レベル演算器１７は、板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７から平板１００が抜けたことを検知した場合に、板無信号を測定開始タイミング発生回路４および部分読出設定器７に供給する。
【００２５】
部分読出設定器（読出範囲設定器）７は、板有無検知・輝度レベル演算器１７から板無信号を受信した場合には、読出範囲切換信号を生成して、読出範囲切換信号を平面形状測定撮像器８に供給する。平面形状測定撮像器８は、画像データの読出範囲を、板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７から平面形状測定画像読出範囲２８に切り換える。
【００２６】
測定開始タイミング発生回路４は、部分読出設定器７からの読出範囲切換信号および板有無検知・輝度レベル演算器１７からの板無信号を受信して、平面形状測定撮像器８に対して、平面形状測定画像読出範囲２８の画像データの収集を開始するように指令する。なお、測定開始タイミング発生回路４は、板無信号を受信することなく、部分読出設定器７からの読出範囲切換信号を受信することによって、画像データの収集を開始するようにしてもよい。後述する他の実施の形態２においても同様である。
【００２７】
平面形状測定画像読出範囲２８の画像データは、プロフィール値演算装置２０に供給されて、平板１００の平面形状を特定するデータが演算される。
【００２８】
平面形状測定装置１のプロフィール値演算装置２０は、幅エッジ座標演算器９ａと、長さエッジ座標演算器９ｂと、エッジ座標間幅演算器１０ａと、エッジ座標間長さ演算器１０ｂと、幅エッジ中央座標演算器１１ａと、長さエッジ中央座標演算器１１ｂと、を含む。プロフィール値演算装置２０は、傾斜角演算器１２と、幅プロフィール演算器１３と、長さ方向曲り形状演算器１４と、長さプロフィール演算器１５と、幅方向曲り形状演算器１６と、を含む。これらの演算器によって、平板１００の平面形状を特定するプロフィール値を演算する。
【００２９】
幅エッジ座標演算器９ａおよび長さエッジ座標演算器９ｂは、平面形状測定撮像器８から平面形状測定画像読出範囲２８の画像データを入力する。幅エッジ座標演算器９ａは、平面形状測定撮像器８が出力する画像データから平板１００の幅方向のエッジを検出し、平板１００の幅を測定するためのエッジ座標を演算する。
【００３０】
エッジ座標演算器９ｂは、平面形状測定撮像器８が出力する画像データから平板１００の長さ方向のエッジを検出し、平板１００の長さを測定するためのエッジ座標を演算する。
【００３１】
エッジ座標間幅演算器１０ａは、幅エッジ座標演算器９ａの出力に接続されている。エッジ座標間幅演算器１０ａは、幅エッジ座標演算器９ａの演算結果にもとづいて、立上りエッジ座標と立下りエッジ座標との間隔を演算することで、平板１００の幅を演算する。
【００３２】
エッジ座標間長さ演算器１０ｂは、長さエッジ座標演算器９ｂの出力に接続されている。エッジ座標間長さ演算器１０ｂは、長さエッジ座標演算器９ｂの演算結果にもとづき、立ち上がりエッジ座標と立下りエッジ座標との間隔を演算することで、平板１００の長さを演算する。
【００３３】
幅エッジ中央座標演算器１１ａは、幅エッジ座標演算器９ａの出力に接続されている。幅エッジ中央座標演算器１１ａは、幅エッジ座標演算器９ａの演算結果にもとづき、立ち上がりエッジ座標と立下りエッジ座標との中央値を、平板１００の長さ方向に沿って演算する。
【００３４】
長さエッジ中央座標演算器１１ｂは、長さエッジ座標演算器９ｂの出力に接続されている。長さエッジ中央座標演算器１１ｂは、長さエッジ座標演算器９ｂの演算結果にもとづき、立ち上がりエッジ座標と立下りエッジ座標との中央値を、平板１００の幅方向に沿って演算する。
【００３５】
傾斜角演算器１２は、幅エッジ中央座標演算器１１ａおよび長さエッジ中央座標演算器１１ｂのそれぞれの出力に接続されている。傾斜角演算器１２は、幅エッジ中央座標演算器１１ａおよび長さエッジ中央座標演算器１１ｂの演算結果にもとづき、平板１００の傾斜角を演算する。平板１００の傾斜角とは、正規の向きに対する平板の回転角度である。
【００３６】
幅プロフィール演算器１３は、エッジ座標間幅演算器１０ａおよび傾斜角演算器１２のそれぞれの出力に接続されている。幅プロフィール演算器１３は、傾斜角演算器１２の演算結果にもとづき、エッジ座標間幅演算器１０ａの演算結果を補正することによって、幅プロフィールを演算する。幅プロフィールとは、平板１００の幅が平板１００の長さ方向に沿ってどのように変化するかを示す形状に関するパラメータである。
【００３７】
長さプロフィール演算器１５は、エッジ座標間長さ演算器１０ｂおよび傾斜角演算器１２の出力に接続されている。長さプロフィール演算器１５は、傾斜角演算器１２の演算結果にもとづき、エッジ座標間長さ演算器１０ｂの演算結果を補正することによって、長さプロフィールを演算する。長さプロフィールとは、平板１００の長さが平板１００の幅方向に沿ってどのように変化するかを示す形状に関するパラメータである。
【００３８】
長さ方向曲り形状演算器１４は、幅エッジ中央座標演算器１１ａおよび傾斜角演算器１２のそれぞれの出力に接続されている。長さ方向曲り形状演算器１４は、傾斜角演算器１２の演算結果にもとづき、幅エッジ中央座標演算器１１ａの演算結果を補正することによって、長さ方向曲がり形状を演算する。長さ方向曲がり形状とは、平板１００の幅の中心位置が平板１００の長さ方向に沿ってどのように曲がっているかを表す形状に関するパラメータである。
【００３９】
幅方向曲り形状演算器１６は、長さエッジ中央座標演算器１１ｂおよび傾斜角演算器１２のそれぞれの出力に接続されている。幅方向曲り形状演算器１６は、傾斜角演算器１２の演算結果にもとづき、長さエッジ中央座標演算器１１ｂの演算結果を補正することによって、幅方向曲がり形状を演算する。幅方向曲がり形状とは、平板１００の長さの中心位置が平板１００の幅方向に沿ってどのように曲がっているかを表す形状に関するパラメータである。
【００４０】
幅プロフィール演算器１３、長さ方向曲り形状演算器１４、長さプロフィール演算器１５および幅方向曲り形状演算器１６は、平板１００の平面形状のゆがみに関するデータを演算するゆがみ演算装置の例である。本実施形態の平面形状測定装置１では、これらのゆがみ演算装置を備えたことで、平板１００の直角度の変形や、平板１００の中心線の曲りなど、平板１００の平面形状のゆがみを正確に測定できる。
【００４１】
実施の形態１の平面形状測定装置１の動作について説明する。
図２は、実施の形態１の平面形状測定装置において、平板の検知および輝度レベル測定の方法を説明するための模式図である。
図３（ａ）〜図３（ｃ）は、実施の形態１の平面形状測定装置１において、平板の有無の検知の方法を説明するための模式図である。
図２には、平面形状測定画像読出範囲２８、板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７、および板有無検知ライン２９の関係が示されており、合わせて、搬送されてくる平板１００の位置関係が示されている。また、図３（ａ）〜図３（ｃ）には、平板１００の位置に応じて、板有無検知ライン２９において検出された輝度レベルが示されている。
【００４２】
図２に示すように、板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７は、平面形状測定画像読出範囲２８の一部である。平面形状測定画像読出範囲２８は、平面形状測定撮像器８の視野に一致または視野に含まれる領域であり、平板１００の全体を包含する。板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７は、この例のように、好ましくは、平面形状測定画像読出範囲２８のうち、平板１００の搬送方向のもっとも上流側に設定される。板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７は、搬送方向に沿って、数ラインから数１０ライン程度の画素列を含む領域である。板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７のうち、搬送方向のもっとも下流側のラインは、板有無検知ライン２９に設定される。
【００４３】
板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７のライン数は、たとえば平面形状測定撮像器８に設定できる読出範囲に応じて決定される。板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７は、平面形状測定画像読出範囲２８の画像データの処理時間に比べて十分短い時間で、平板１００の輝度レベルを判定できるライン数を有していればよく、そのライン数は、たとえば１ラインから数ラインであってもよい。
【００４４】
板有無検知ライン２９の位置は、上述のとおり、板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７のもっとも下流側に設定されるのが好ましいが、これに限らない。板有無検知ライン２９は、板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７において、平板１００の輝度レベルを測定して、輝度レベルの適切な調整量を演算するのに十分な輝度レベルのデータの量および演算時間が確保できるような位置に設定される。つまり、板有無検知ライン２９は、板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７のなるべく下流側に設定される。一方、板有無検知ライン２９は、板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７から平面形状測定画像読出範囲２８に読出範囲を切り換えて、画像の読出処理を行うのに十分な処理時間を確保できる位置が選定される。
【００４５】
板有無検知ライン２９の輝度レベルのデータは、板有無検知・輝度レベル演算器１７によって、平板１００の有無の判定に用いられる。平板１００の有無とは、平板１００が板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７内にあるか否かで判定される。
【００４６】
板有無検知・輝度レベル演算器１７は、板有無検知ライン２９における板有検知しきい値を有する。板有検知しきい値は、その圧延工程で用いられる平板１００の通常の輝度レベルに比べて十分小さい値があらかじめ設定される。板有無検知ライン２９における輝度レベルが板有検知しきい値以上の場合には、板有無検知・輝度レベル演算器１７は、板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７に平板１００が存在すると判断し、板有信号を生成する。板有無検知ライン２９における輝度レベルが板有検知しきい値よりも小さい場合には、板有無検知・輝度レベル演算器１７は、板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７に平板１００が存在しないと判断し、板無信号を生成する。
【００４７】
図３（ａ）は、平板１００が図２の「１００ａ」の位置の場合の板有無検知ライン２９における輝度レベルのデータを表している。平板１００が「１００ａ」の位置の場合とは、平板１００のいずれの部分も板有無検知ライン２９よりも上流側にある場合である。図３（ａ）に示すように、板有無検知ライン２９における輝度レベルは、板有検知しきい値よりも小さい。そのため、板有無検知・輝度レベル演算器１７は、板無信号を生成し、板無信号を測定開始タイミング発生回路４および部分読出設定器７に供給する。
【００４８】
図３（ｂ）は、平板１００が図２の「１００ｂ」の位置の場合の板有無検知ライン２９における輝度レベルのデータを表している。平板１００が「１００ｂ」の位置の場合とは、平板１００の一部が板有無検知ライン２９よりも上流側にある場合である。図３（ｂ）に示すように、板有無検知ライン２９における輝度レベルは、板有検知しきい値以上である。そのため、板有無検知・輝度レベル演算器１７は、板有信号を生成し、板有信号を測定開始タイミング発生回路４および部分読出設定器７に供給する。
【００４９】
図３（ｃ）は、平板１００がさらに搬送されて、図２の「１００ｃ」の位置の場合の板有無検知ライン２９における輝度レベルのデータを表している。平板１００が「１００ｃ」の位置の場合とは、平板１００の全体が板有無検知ライン２９よりも下流側にある場合である。この場合には、平板１００の全体は、平面形状測定画像読出範囲２８内にある。図３（ｃ）に示すように、板有無検知ライン２９における輝度レベルは、板有検知しきい値よりも小さい。そのため、板有無検知・輝度レベル演算器１７は、板無信号を生成し、板無信号を測定開始タイミング発生回路４および部分読出設定器７に供給する。
【００５０】
部分読出設定器７は、板無信号を受信し、続いて板有信号を受信した後、再度板無信号を受信した場合に、読出範囲切換信号を生成する。つまり、部分読出設定器７は、図３（ａ）の状態から図３（ｂ）の状態となった後、図３（ｃ）の状態に変化することによって、読出範囲切換信号を生成する。読出範囲切換信号は、測定開始タイミング発生回路４および平面形状測定撮像器８に供給される。なお、板無信号および板有信号の関係は、一例であり、部分読出設定器７等は、これに限らず適切な任意の信号形態によって動作するようにしてもよい。たとえば、板無信号に代えて無信号とし、部分読出設定器７は、板有信号の受信後に板有信号が消失したことを検知したことをもって、読出範囲切換信号を生成するようにしてもよい。
【００５１】
測定開始タイミング発生回路４は、改めて測定開始指令を平面形状測定撮像器８に指令する。平面形状測定撮像器８は、測定開始指令にしたがって平板１００の撮像を行う。平面形状測定撮像器８は、読出範囲切換信号によって、撮像した画像データの読出範囲を、平面形状測定画像読出範囲２８に切り換えて、２次元の画像データをプロフィール値演算装置２０に供給する。
【００５２】
本実施形態の平面形状測定装置１の一連の動作について、フローチャートを参照して説明する。
図４は、本実施形態の平面形状測定装置の動作を説明するためのフローチャートの例である。
図４に示すように、ステップＳ１０１おいて、平板温度情報受信器２は、外部から供給される平板１００の平板表面温度情報を受信する。
【００５３】
ステップＳ１０２において、露光時間設定指令器６は、露光時間テーブル５を参照して、平板温度情報受信器２が受信した平板表面温度情報に対応する平面形状測定撮像器８の露光時間を決定する。
【００５４】
ステップＳ１０３において、露光時間設定指令器６は、平面形状測定撮像器８に対してステップＳ１０２で取得した露光時間を設定する。
【００５５】
ステップＳ１０４において、測定開始指令受信器３は、外部から発信される測定開始指令を受信する。
【００５６】
ステップＳ１０５において、測定開始タイミング発生回路４は、平面形状測定撮像器８に対して、画像データの読出範囲を板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７に設定する。測定開始タイミング発生回路４は、平面形状測定撮像器８に対して、定周期で画像データを収集するように指令する。
【００５７】
ステップＳ１０６において、平面形状測定撮像器８は、撮像を開始し、定周期で画像データを収集する。
【００５８】
ステップＳ１０７において、平面形状測定撮像器８は、板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７の画像データを板有無検知・輝度レベル演算器１７に供給する。板有無検知・輝度レベル演算器１７は、板有無検知ライン２９の輝度レベルを板有検知しきい値と比較する。板有無検知ライン２９は、輝度レベルが板有検知しきい値以上の場合には、板有信号を生成する。
【００５９】
ステップＳ１０８において、板有無検知・輝度レベル演算器１７は、板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７の輝度レベルを測定し、あらかじめ設定された目標輝度となるように輝度レベルの調整量を演算する。板有無検知・輝度レベル演算器１７は、輝度レベルの調整量を露光時間設定指令器６に供給する。
【００６０】
ステップＳ１０９において、板有無検知・輝度レベル演算器１７は、板有無検知ライン２９の輝度レベルが板有検知しきい値よりも小さくなったことを検出し、平板１００の尾端が板有無検知ライン２９を通過したことを検知する。板有無検知・輝度レベル演算器１７は、板無信号を生成して、生成した板無信号を測定開始タイミング発生回路４および部分読出設定器７に供給する。
【００６１】
ステップＳ１１０において、露光時間設定指令器６は、平面形状測定撮像器８に対して、調整された輝度レベルに応じた露光時間を再設定する。
【００６２】
ステップＳ１１１において、部分読出設定器７は、再度の板無信号の供給に応じて読出範囲切換信号を生成する。部分読出設定器７は、生成した読出範囲切換信号を測定開始タイミング発生回路４および平面形状測定撮像器８に供給し、画像データの読出範囲を平面形状測定画像読出範囲２８に設定する。
【００６３】
ステップＳ１１２において、測定開始タイミング発生回路４は、平面形状測定撮像器８に測定開始を指令する。平面形状測定撮像器８は、測定開始指令および読出範囲切換信号にしたがって、撮像を開始する。
【００６４】
ステップＳ１１３において、平面形状測定撮像器８は、平面形状測定画像読出範囲２８の画像データを読み出して、プロフィール値演算装置２０に供給する。
【００６５】
ステップＳ１１４において、幅エッジ座標演算器９ａは、撮像により得られた画像データから幅エッジ座標を演算する。長さエッジ座標演算器９ｂは、画像データから長さエッジ座標を演算する。
【００６６】
ステップＳ１１５において、エッジ座標間幅演算器１０ａは、幅エッジ座標演算器９ａで演算された立上りエッジ座標と立下りエッジ座標との間隔を演算することで、平板１００の幅を演算する。
【００６７】
ステップＳ１１６において、幅エッジ中央座標演算器１１ａは、幅エッジ座標演算器９ａで演算された立ち上がりエッジ座標と立下りエッジ座標との中央値を、平板１００の長さ方向に沿って演算する。
【００６８】
ステップＳ１１７において、エッジ座標間長さ演算器１０ｂは、長さエッジ座標演算器９ｂで演算された立ち上がりエッジ座標と立下りエッジ座標との間隔を演算することで、平板１００の長さを演算する。
【００６９】
ステップＳ１１８において、長さエッジ中央座標演算器１１ｂは、長さエッジ座標演算器９ｂで演算された立ち上がりエッジ座標と立下りエッジ座標との中央値を、平板１００の幅方向に沿って演算する。
【００７０】
ステップＳ１１９において、傾斜角演算器１２は、幅エッジ中央座標演算器１１ａで演算された複数点の座標にもとづき、平板１００の傾斜角を演算する。
【００７１】
ステップＳ１２０において、傾斜角演算器１２は、長さエッジ中央座標演算器１１ｂで演算された複数点の座標にもとづき、平板１００の傾斜角を演算する。
【００７２】
ステップＳ１２１において、幅プロフィール演算器１３は、傾斜角演算器１２で演算された傾斜角を用いて、エッジ座標間幅演算器１０ａの演算結果を補正することで、平板１００の幅プロフィールを演算する。
【００７３】
ステップＳ１２２において、長さ方向曲り形状演算器１４は、傾斜角演算器１２で演算された傾斜角を用いて、幅エッジ中央座標演算器１１ａの演算結果を補正することで、平板１００の長さ方向曲がり形状を演算する。
【００７４】
ステップＳ１２３において、長さプロフィール演算器１５は、傾斜角演算器１２で演算された傾斜角を用いて、エッジ座標間長さ演算器１０ｂの演算結果を補正することで、平板１００の長さプロフィールを演算する。
【００７５】
ステップＳ１２４において、幅方向曲り形状演算器１６は、傾斜角演算器１２で演算された傾斜角を用いて、長さエッジ中央座標演算装置器ｂの演算結果を補正することで、平板１００の幅方向曲がり形状を演算する。
【００７６】
このようにして、本実施の形態１の平面形状測定装置１は、平板１００の平面形状を測定することができる。
【００７７】
実施の形態１の平面形状測定装置１の効果について説明する。
図５（ａ）および図５（ｂ）は、平板の表面温度と輝度レベルの関係を例示するグラフおよび表である。図５（ｃ）は、平板の表面温度に対する平面形状測定撮像器の露光時間の関係を例示するグラフである。
図５（ａ）のグラフの縦軸は、表面温度が７００℃のときの輝度レベルを基準としたときの各表面温度の輝度レベルの相対比を対数軸で表示している。図５（ａ）のグラフの横軸は、平板１００の表面温度である。
【００７８】
図５（ｂ）には、表面温度ごとに基準温度に対する輝度レベルの相対比が記載されている。たとえば、７００℃を基準温度としたときの８００℃での輝度レベルの相対比は５である。つまり、７００℃を基準にして輝度レベルの上限値（１００％）が設定された場合に、実際の表面温度が８００℃であった場合には、輝度レベルは上限の５００％となる。
【００７９】
図５（ｃ）の露光時間テーブルには、表面温度に対する露光時間の相対値が設定されている。露光時間テーブルによれば、表面温度の上昇に応じて露光時間を短くするように設定されている。表面温度と輝度レベルとの関係から、露光時間は、たとえば表面温度が７００℃の場合に露光時間を１００％にしたときには、表面温度が８００℃であれば、露光時間を２０％とする必要がある。
【００８０】
実施の形態１では、当初の温度設定は、平板温度情報受信器２によって受信された平板表面温度情報を用いて露光時間が設定される。このときの露光時間は、平板温度情報受信器２によって受信される温度のデータにもとづいているので、平板１００が平面形状測定画像読出範囲２８にあるときの表面温度と等しいとは限らない。平板表面温度情報と実際の平板１００の表面温度とが相違していた場合には、上述のように小さい相違であっても、輝度レベルは大きく相違するので、設定された露光時間が適切でないことがあり得る。そのため、平板１００の画像データを正確に取得することができないことが生じ得る。
【００８１】
そこで、平面形状測定装置１は、平面形状測定画像読出範囲２８の一部に設定された板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７によって、最適な露光時間を設定するための輝度レベルのデータを取得する。
【００８２】
板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７は、平面形状測定画像読出範囲２８の数ラインから数１０ライン程度の読出範囲に設定されるので、迅速に画像データを処理することができ、平面形状測定画像読出範囲２８での画像データ取得の直前に平板１００の輝度レベルを正確に測定することができる。そのため、平面形状測定装置１は、実際の平板１００の輝度レベルに応じた露光時間を設定することができる。
【００８３】
画像データの読出範囲が平面形状測定画像読出範囲２８に切り換えられた後には、正確に測定された輝度レベルに応じた最適な露光時間で画像データが処理される。そのため、平面形状測定装置１は、平板１００のエッジの座標データを正確に検出することができる。
【００８４】
実施の形態１では、平面形状測定撮像器８が収集する画像データの読出範囲の設定を切り換えることによって、板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７および平面形状測定画像読出範囲２８を切り換えることができる。そのため、輝度レベルの測定のためのラインセンサやラインセンサの制御のための装置等を要することなく、最適な露光時間の設定が可能になる。したがって、実施の形態１の平面形状測定装置１では、ラインセンサやその取付調整冶具にかかるコストやスペースを削減することができるとともに、ラインセンサ等の光軸調整や保守点検等にかかる工数も削減することができる。
【００８５】
図６（ａ）および図６（ｂ）は、実施の形態１の平面形状測定装置において、平板の輝度レベルの測定および輝度レベルの調整に関する模式図である。
図６（ａ）および図６（ｂ）には、板有無検知ライン２９上の平板１００の輝度レベルの測定の例が示されている。図６（ａ）に示すように、板有無検知・輝度レベル演算器１７は、板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７内の輝度レベル判定エリアの輝度レベルにもとづいて、板有無検知を行う。平板１００の位置は、図２の「１００ｂ」の位置である。板有無検知のための輝度レベルは、たとえば輝度レベル判定エリア内の画素の輝度レベルの平均値とすることができる。輝度レベル判定エリアは、任意に設定することができるので、撮像器の特性等に応じて、適切に設定することができる。
【００８６】
図６（ｂ）に示すように、実施の形態１の平面形状測定装置１では、輝度判定エリア内の輝度レベルの平均値に対して、板有無検知・輝度レベル演算器１７は、目標の輝度レベルになるように調整量を生成する。ここで、目標輝度レベルは、適切な値を任意に設定することができるが、上述のとおり、複数の値を設定して順次切り換えて画像データを処理して、より適切なものを選択したり、平均値をとって測定誤差を極小化したりすることができる。
【００８７】
（実施の形態２）
実施の形態１では、平板１００の全体が板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７を抜けた後に、平面形状測定撮像器８に対して、板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７から平面形状測定画像読出範囲２８に読出範囲の設定変更を行う。一方で、平板１００の搬送速度や平面形状測定撮像器８の撮像速度や処理速度によっては、読出範囲の設定変更が間に合わない可能性がある。そのため、実施の形態２では、平板１００の全体が板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７を抜ける前に読出範囲の設定を変更し、平面形状測定画像読出範囲２８に切り換えて、画像データの全体の撮像を開始する。
【００８８】
図７は、実施の形態２に係る平面形状測定装置を例示するブロック図である。
図７に示すように、実施の形態２の平面形状測定装置１０１は、平面形状画像判定器１１８をさらに備える。また、平面形状測定装置１０１は、上述の実施の形態１の場合の部分読出設定器７および測定開始タイミング発生回路４と一部機能の異なる部分読出設定器１０７および測定開始タイミング発生回路１０４を備える。
【００８９】
平面形状画像判定器１１８は、平面形状測定撮像器８の出力に設けられている。平面形状画像判定器１１８は、平板１００の全景が平面形状測定画像読出範囲２８内に入ったことを検知した場合に、平面形状測定撮像器８から出力される平板１００の全景の画像データをプロフィール値演算装置２０に供給する。
【００９０】
部分読出設定器１０７は、板有無検知・輝度レベル演算器１７から出力された板有信号にもとづいて、読出範囲切換信号を生成する。測定開始タイミング発生回路１０４も、板有信号にもとづいて、平面形状測定撮像器８に対して、画像データを平面形状測定画像読出範囲２８で収集して読み出すように指令する。つまり、部分読出設定器１０７および測定開始タイミング発生回路１０４は、板有無検知・輝度レベル演算器１７から板有信号を受信した後に、再度板無信号を受信することを待たずに、読出範囲の切り換え動作を実行する。
【００９１】
実施の形態２の平面形状測定装置１０１の動作について説明する。
すでに、図２および図３（ａ）〜図３（ｃ）に関して説明したように、板有無検知・輝度レベル演算器１７は、平板１００が板有無検知ライン２９に到達した時点で、板有信号を生成する。板有無検知・輝度レベル演算器１７は、板有信号を生成するとともに、板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７の輝度レベルを計測を開始し、輝度レベルの調整量を演算する。板有無検知・輝度レベル演算器１７は、演算した輝度レベルの調整量およびあらかじめ設定された輝度レベルの目標値にもとづいて、露光時間設定指令器６に対して、再度露光時間を設定する。
【００９２】
実施の形態２の平面形状測定装置１０１では、平板１００の尾端が板有無検知ライン２９を抜ける前に、すでに画像データの読出範囲が平面形状測定画像読出範囲２８に読出範囲を切り換える。そのため、平面形状測定装置１０１は、平板１００の全体をとらえた画像データを取得できるか否かの判定を平面形状画像判定器１１８によって行う。
【００９３】
図８（ａ）および図８（ｂ）は、実施の形態２の平面形状測定装置において、平板の検知の方法を説明するための模式図である。
図８（ａ）は、板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７、平面形状測定画像読出範囲２８、板有無検知ライン２９、および平板１００の位置関係を表している。図８（ｂ）は、平面形状測定画像読出範囲２８のもっとも上流よりの縁に視野入判定ライン３０が設けられていることが示されている。視野入判定ライン３０は、より早い段階で平板１００の全体の画像データを取得できることを判定するために、なるべく上流側に設けることが好ましいが、この例の場合に限るものではない。
【００９４】
図８（ａ）および図８（ｂ）に示すように、平板１００が「１００ａ’」の位置の場合には、平板１００のいずれの部分も視野入判定ライン３０よりも上流側にある。平板１００が「１００ｂ’」の位置の場合には、平板１００の一部が視野入判定ライン３０よりも下流側にある。この場合には、
【００９５】
平板１００が「１００ｃ’」の位置の場合には、平板１００の全体が視野入判定ライン３０よりも下流側にある。この場合に、平板１００の全体は、平面形状測定画像読出範囲２８内にある。平面形状画像判定器１１８は、平板１００の全体が平面形状測定画像読出範囲２８に入ったものとして、平面形状測定画像読出範囲２８の画像データをプロフィール値演算に供給する。
【００９６】
図９（ａ）〜図９（ｃ）は、平面形状画像判定器によって、平板を検知する方法を説明するための模式図である。
図９（ａ）〜図９（ｃ）は、視野入判定ライン３０における輝度レベルのデータの例を示している。視野入判定ライン３０では、平板１００の全体が平面形状測定画像読出範囲２８に入ったか否かが判定される。
【００９７】
図９（ａ）では、平板１００は、図８（ａ）の「１００ａ’」の位置にあり、そのときの輝度レベルが板有検知しきい値よりも小さいことが示されている。図９（ｂ）では、平板１００は、図８（ａ）の「１００ｂ’」の位置にあり、そのときの輝度レベルが板有検知しきい値以上であることが示されている。図９（ｃ）では、平板１００は、図８（ａ）の「１００ｃ’」の位置にあり、そのときの輝度レベルが板有検知しきい値よりも小さいことが示されている。つまり、平面形状画像判定器１１８は、視野入判定ライン３０における輝度レベルが板有検知しきい値以上となった後、板有検知しきい値よりも小さいことを検出することによって、平板１００の全体が平面形状測定画像読出範囲２８に入ったことを判定することができる。
【００９８】
実施の形態２の平面形状測定装置１０１では、平板１００の少なくとも一部が視野入判定ライン３０よりも上流にある場合には、平面形状画像判定器１１８は、平面形状測定撮像器８から出力される画像データをプロフィール値演算装置２０に出力しない。平板１００が視野入判定ライン３０を超えた場合に、平面形状測定撮像器８から出力される画像データをプロフィール値演算装置２０に出力する。つまり、平面形状測定撮像器８の画像データの読出範囲が平面形状測定画像読出範囲２８に設定されているにもかかわらず、平面形状測定撮像器８の視野内に平板１００の全景をとらえられていない場合には、その画像データを出力しない。平面形状画像判定器１１８において、平板１００のすべてが視野入判定ライン３０を通過したことを検出して、撮像した画像データをプロフィール値演算装置２０に供給する。
【００９９】
実施の形態２の平面形状測定装置１０１の一連の動作について、フローチャートを参照しながら説明する。
図１０は、実施の形態２の平面形状測定装置１０１の動作を説明するためのフローチャートの例である。
図１０のフローチャートでは、ステップＳ１０１〜Ｓ１０８およびＳ１１４〜Ｓ１２４は、実施の形態１の場合と同じであり、詳細な説明を省略する。実施の形態２では、実施の形態１のステップＳ１０９に代えて、新たにステップＳ２０１〜Ｓ２０６を設ける。
【０１００】
ステップＳ１０８までにおいて、板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲２７で検出された輝度レベルの測定および輝度レベルの調整量の演算は完了し、調整量を露光時間設定指令器６に供給している。
【０１０１】
ステップＳ２０１において、露光時間設定指令器６は、供給された調整量にもとづいて、露光時間を再設定する。
【０１０２】
ステップＳ２０２において、部分読出設定器１０７は、板有無検知・輝度レベル演算器１７から供給された板無信号に続いて板有信号を受信する。部分読出設定器１０７は、この板有信号にもとづいて、画像データの読出範囲を平面形状測定画像読出範囲２８に切り換える読出範囲切換信号を生成する。部分読出設定器１０７は、生成した読出範囲切換信号を測定開始タイミング発生回路１０４および平面形状測定撮像器８に供給し、画像データの読出範囲を平面形状測定画像読出範囲２８に設定する。
【０１０３】
部分読出設定器１０７の読出範囲を切り換えるタイミングについては、再度の板無信号の受信前であって、露光時間の再設定が完了するタイミングであればよい。たとえば、板有信号の受信と同時でもよいし、そのタイミングから一定時間後に読出範囲切換信号を生成するようにしてもよいし、輝度レベルの調整量を演算した後に露光時間の再設定が行われたタイミング等であってもよい。
【０１０４】
ステップＳ２０３において、測定開始タイミング発生回路１０４は、平面形状測定撮像器８に測定開始を指令する。平面形状測定撮像器８は、測定指令および読出範囲切換信号にしたがって、撮像を開始する。
【０１０５】
ステップＳ２０４において、平面形状測定撮像器８は、切換信号および測定指令にしたがい、平板１００の撮像を開始する。平面形状測定撮像器８は、平板１００の画像データを複数収集する。
【０１０６】
ステップＳ２０５において、平面形状画像判定器１１８は、撮像した平板１００の画像が視野入判定ライン３０を超えて、平板１００の全景が撮像されているか否かを判断する。平面形状画像判定器１１８は、平板１００の全体が撮像された画像データをプロフィール値演算装置２０に供給する。
【０１０７】
ステップＳ２０６において、平面形状画像判定器１１８は、画像データをプロフィール値演算装置２０に出力した後、測定開始タイミング発生回路４に対して、撮像を終了するよう指令を送信する。
【０１０８】
実施の形態２の平面形状測定装置１０１の効果について説明する。
実施の形態２の平面形状測定装置１０１では、読出範囲の切り換えを、平板１００の尾端が板有無検知ライン２９を通過する前に実行する。平面形状測定装置１０１は、平面形状画像判定器１１８を備えているので、平板１００の全景の撮像の判定を行うことができる。したがって、平板１００の搬送速度が速かったり、平面形状測定撮像器８の撮像速度が遅かったりする場合であっても、読出範囲の設定変更が遅れずに安定して、画像データを取得することができる。
【０１０９】
なお、上述の実施の形態１および実施の形態２については、製造ラインの状況に合わせて相互に切り換えて運用できるようにしてもよい。また、実施の形態２においても実施の形態１の場合と同様に、板有無検知・輝度レベル演算器１７の輝度レベルの調整量の設定に際して、複数の目標値を設定して、最適な値を設定できるようにすることができる。
【０１１０】
以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他のさまざまな形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明およびその等価物の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。
【符号の説明】
【０１１１】
１，１０１  平面形状測定装置、２  平板温度情報受信器、３  測定開始指令受信器、４，１０４  測定開始タイミング発生回路、５  露光時間テーブル、６  露光時間設定指令器、７，１０７  部分読出設定器、８  平面形状測定撮像器、９ａ  幅エッジ座標演算器、９ｂ  長さエッジ座標演算器、１０ａ  エッジ座標間幅演算器、１０ｂ  エッジ座標間長さ演算器、１１ａ  幅エッジ中央座標演算器、１１ｂ  長さエッジ中央座標演算器、１２  傾斜角演算器、１３  幅プロフィール演算器、１４  長さ方向曲り形状演算器、１５  長さプロフィール演算器、１６  幅方向曲り形状演算器、１７  板有無検知・輝度レベル演算器、２０  プロフィール値演算装置、２７  板有無検知・輝度レベル判定画像読出範囲、２８  平面形状測定画像読出範囲、２９  板有無検知ライン、３０  視野入ライン、１１８  平面形状画像判定器
【図１】
2019158402.tif 000003
【図２】
2019158402.tif 000004
【図３】
2019158402.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2019158402.tif 000010
【図９】
2019158402.tif 000011
【図１０】
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