(57)【要約】【課題】本発明は、製品歩留を改善するとともに、生産性を向上させることができるチップ抵抗器の製造方法を提供することを目的とするものである。【解決手段】本発明のチップ抵抗器の製造方法は、シート状抵抗体３１の一面３１ａに複数の第１の溝部３３ａを互いに平行になるように形成する工程と、前記シート状抵抗体３１の一面３１ａと前記複数の第１の溝部３３ａの内部に一体的に第１の保護部材３４を形成する工程と、前記シート状抵抗体３１の他面３１ｂに、前記複数の第１の溝部３３ａと接続する複数の第２の溝部３３ｂを形成する工程と、隣接する前記溝部３３ａ、３３ｂ同士の間に等間隔で複数の電極３６を形成する工程と、前記複数の電極３６間と、前記第２の溝部３３ｂの内部に一体的に第２の保護部材３７を形成する工程と、前記複数の溝部３３ａ、３３ｂおよび前記複数の電極３６の各中央部を切断して個片状に分割する工程とを備えたものである。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状抵抗体の一面に複数の第１の溝部を互いに平行になるように形成する工程と、前記シート状抵抗体の一面と前記複数の第１の溝部の内部に一体的に第１の保護部材を形成する工程と、前記シート状抵抗体の一面と対向する他面に、前記複数の第１の溝部とそれぞれ接続するように複数の第２の溝部を形成する工程と、隣接する前記溝部同士の間に等間隔で複数の電極を形成する工程と、前記複数の電極間と、前記第２の溝部の内部に一体的に第２の保護部材を形成する工程と、前記複数の第１、第２の溝部および前記複数の電極の各中央部を切断して個片状に分割する工程とを備えたチップ抵抗器の製造方法。
【請求項２】
前記複数の第１の溝部と交わり、前記複数の電極と対向する位置に複数の第３の溝部を形成した請求項１に記載のチップ抵抗器の製造方法。
【請求項３】
シート状抵抗体の一面に複数の第１の溝部を互いに平行になるように形成する工程と、隣接する前記第１の溝部同士の間に等間隔で複数の電極を形成する工程と、前記複数の第１の溝部の内部と前記複数の電極間に一体的に第１の保護部材を形成する工程と、前記シート状抵抗体の一面と対向する他面に、前記複数の第１の溝部とそれぞれ接続するように複数の第２の溝部を形成する工程と、前記シート状抵抗体の他面と前記第２の溝部の内部に一体的に第２の保護部材を形成する工程と、前記複数の第１、第２の溝部および前記複数の電極の各中央部を切断して個片状に分割する工程とを備えたチップ抵抗器の製造方法。
【請求項４】
前記複数の第２の溝部と交わり、前記複数の電極と対向する位置に複数の第３の溝部を形成した請求項３に記載のチップ抵抗器の製造方法。
【請求項５】
前記複数の第１の溝部、前記複数の第２の溝部および前記複数の第３の溝部をエッチング工法またはダイシング工法を用いて形成した請求項１〜４のいずれかに記載のチップ抵抗器の製造方法。
【請求項６】
前記第２の保護部材を形成する前に、前記シート状抵抗体を貫通せず、前記複数の第１、第２の溝部に接しないトリミング溝を形成した請求項１〜５のいずれかに記載のチップ抵抗器の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種電子機器に使用される金属板を抵抗体としたチップ抵抗器の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
金属板を抵抗体としたチップ抵抗器は、図１５、図１６に示すように、金属で構成された抵抗体１と、抵抗体１の一面１ａの両端部に形成された一対の電極２と、抵抗体１の一面１ａと対向する他面１ｂに形成された第１の保護膜３と、抵抗体１の一面１ａの一対の電極２間に形成された第２の保護膜４と、一対の電極２の露出面から抵抗体１の端面にかけて形成されためっき層５とを備えていた。また、抵抗体１の側面１ｃに第３の保護膜６を設けていた。
【０００３】
なお、図１５は断面図、図１６は図１５のＬ−Ｌ’線断面図である。
【０００４】
また、このチップ抵抗器の製造方法としては、図１７（ａ）に示すような平板状の金属板を打ち抜き加工するなどして形成されたフレーム１０を用いて製造されている。このフレーム１０は、一定方向に延びた複数の板状部１１と、これら複数の板状部１１を支持する矩形枠状の支持部１１ａとを備え、隣り合う板状部１１同士の間には、スリット１２が形成されている。
【０００５】
各板状部１１の片面上に複数の矩形状の絶縁層１３と導電層１４とを交互に形成した後、前記片面と対抗する面にも絶縁層を形成し、かつ一対の側面１５に絶縁層１６を形成して図１７（ｂ）に示すようなバー状の金属板（抵抗器集合体）Ａ１が得られる。
【０００６】
この抵抗器集合体Ａ１を図１７（ｂ）の破線の箇所で切断することで、図１７（ｃ）に示すようなハンダ層未形成のチップ抵抗器Ａ２が複数形成され、このチップ抵抗器Ａ２の両端面１７にハンダをめっきすることで図１５、図１６に示したチップ抵抗器を得ることができる。
【０００７】
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−１８６５４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記従来のチップ抵抗器の製造方法においては、バー状に形成された金属板Ａ１の強度が低いため、工程間の搬送時や次工程での加工時に変形し易く、これにより、歩留が低くなる可能性がある。また、バー状の金属板Ａ１を支持するために、支持部１１ａを設ける必要があり、製品にならない部分が多いため、製品の取数を増やすことが出来ず、生産性が悪いという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
第１の態様に係るチップ抵抗器の製造方法は、シート状抵抗体の一面に複数の第１の溝部を互いに平行になるように形成する工程と、前記シート状抵抗体の一面と前記複数の第
１の溝部の内部に一体的に第１の保護部材を形成する工程と、前記シート状抵抗体の一面と対向する他面に、前記複数の第１の溝部とそれぞれ接続するように複数の第２の溝部を形成する工程と、隣接する前記溝部同士の間に等間隔で複数の電極を形成する工程と、前記複数の電極間と、前記第２の溝部の内部に一体的に第２の保護部材を形成する工程と、前記複数の第１、第２の溝部および前記複数の電極の各中央部を切断して個片状に分割する工程とを備えている。
【００１１】
第２の態様に係るチップ抵抗器の製造方法は、第１の態様において、前記複数の第１の溝部と交わり、前記複数の電極と対向する位置に複数の第３の溝部を形成している。
【００１２】
第３の態様に係るチップ抵抗器の製造方法は、シート状抵抗体の一面に複数の第１の溝部を互いに平行になるように形成する工程と、隣接する前記第１の溝部同士の間に等間隔で複数の電極を形成する工程と、前記複数の第１の溝部の内部と前記複数の電極間に一体的に第１の保護部材を形成する工程と、前記シート状抵抗体の一面と対向する他面に、前記複数の第１の溝部とそれぞれ接続するように複数の第２の溝部を形成する工程と、前記シート状抵抗体の他面と前記第２の溝部の内部に一体的に第２の保護部材を形成する工程と、前記複数の第１、第２の溝部および前記複数の電極の各中央部を切断して個片状に分割する工程とを備えている。
【００１３】
第４の態様に係るチップ抵抗器の製造方法は、第３の態様において、前記複数の第２の溝部と交わり、前記複数の電極と対向する位置に複数の第３の溝部を形成している。
【００１４】
第５の態様に係るチップ抵抗器の製造方法は、第１〜４の態様のいずれかにおいて、前記複数の第１の溝部、前記複数の第２の溝部および前記複数の第３の溝部をエッチング工法またはダイシング工法を用いて形成している。
【００１５】
第６の態様に係るチップ抵抗器の製造方法は、第１〜５の態様のいずれかにおいて、前記複数の電極を形成した後、前記第２の保護部材を形成する前に、前記シート状抵抗体を貫通せず、前記複数の第１、第２の溝部に接しないトリミング溝を形成している。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のチップ抵抗器の製造方法は、バー状の金属板を第１の保護部材によって固定された状態で形成出来るため、工程間の搬送時や加工時に変形するのを防ぐことが可能となる。また、バー状の金属板は第１の保護部材によって固定されるため、支持部を設ける必要がなく、製品部分を増加させ、取数を増やして生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施の形態１におけるチップ抵抗器の製造方法により形成されるチップ抵抗器の断面図
【図２】図１のＡ−Ａ’線断面図
【図３】本発明の実施の形態１におけるチップ抵抗器の製造方法を示す図
【図４】本発明の実施の形態１におけるチップ抵抗器の製造方法を示す図
【図５】本発明の実施の形態１におけるチップ抵抗器の製造方法を示す図
【図６】本発明の実施の形態１におけるチップ抵抗器の製造方法を示す図
【図７】本発明の実施の形態２におけるチップ抵抗器の製造方法を示す図
【図８】本発明の実施の形態２におけるチップ抵抗器の製造方法を示す図
【図９】本発明の実施例２におけるチップ抵抗器の製造方法により形成されるチップ抵抗器の断面図
【図１０】図９のＫ−Ｋ’線断面図
【図１１】本発明の実施の形態３におけるチップ抵抗器の製造方法を示す図
【図１２】本発明の実施の形態３におけるチップ抵抗器の製造方法を示す図
【図１３】本発明の実施の形態１、２における抵抗値調整を行った場合を示す図
【図１４】本発明の実施の形態３における抵抗値調整を行った場合を示す図
【図１５】従来のチップ抵抗器の製造方法により形成されるチップ抵抗器の断面図
【図１６】図１５のＱ−Ｑ’線断面図
【図１７】従来のチップ抵抗器の製造方法を示す図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１におけるチップ抵抗器の断面図、図２は図１のＡ−Ａ’線断面図である。
【００１９】
本発明の実施の形態１におけるチップ抵抗器は、図１、図２に示すように、ＣｎＭｎＮｉ等の金属で構成された抵抗体２１と、抵抗体２１の一面（下面）２１ａの両端部に形成されＣｕで構成された一対の電極２２と、抵抗体２１の一面２１ａと対向する他面（上面）２１ｂに形成された第１の保護膜２３と、抵抗体２１の下面２１ａにおいて一対の電極２２間に形成された第２の保護膜２４と、一対の電極２２の下面から抵抗体２１の端面２１ｃにかけて形成されためっき層２５とを備えている。
【００２０】
一対の電極２２間に流れる電流の方向と平行な側面２１ｄを覆うように第１、第２の保護膜２３、２４が形成されている。すなわち、第１、第２の保護膜２３、２４は、抵抗体２１の上面２１ｂ、下面２１ａから側面２１ｄにかけて一体的に形成されている。
【００２１】
また、抵抗体２１を構成する金属は、ＴＣＲ（抵抗温度係数）が０に近く、ゼーベック効果が小さいＣｕＭｎＮｉ合金、またはＣｕＭｎＳｎ合金が好ましい。
【００２２】
以下、本発明の実施の形態１におけるチップ抵抗器の製造方法について図面を参照しながら説明する。
【００２３】
まず、図３（ａ）（ｂ）に示すように、ＣｕＭｎＮｉ等からなる金属を板状に形成したシート状抵抗体３１を用意し、このシート状抵抗体の上面３１ａと下面３１ｂの両方にレジスト３２を貼り付ける。上面のレジスト３２には、等間隔で互いに平行になるように開口部を形成する。ここで、図３（ａ）は上面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＢ−Ｂ’線断面図である。
【００２４】
次に、図３（ｃ）（ｄ）に示すように、シート状抵抗体３１の上面３１ａをエッチングしてシート状抵抗体３１に複数の第１の溝部３３ａを形成し、その後、レジスト３２を除去する。ここで、図３（ｃ）は上面図、図３（ｄ）は図３（ｃ）のＣ−Ｃ’線断面図である。シート状抵抗体３１は、個片状に分割されることによって、図１、図２に示すチップ抵抗器における抵抗体２１となる。
【００２５】
なお、以降の製造方法の説明では、第１の溝部３３ａが形成される面を便宜上、「上面」とする。
【００２６】
複数の第１の溝部３３ａは、シート状抵抗体３１の端部から他方の端部まで連続して延びる直線状に形成される。これにより、取数が増え、生産性が向上する。第１の溝部３３ａは図１、図２に示すチップ抵抗器においては第１の保護膜２３と対応する。
【００２７】
次に、図４（ａ）（ｂ）に示すように、シート状抵抗体３１の上面３１ａと複数の第１の溝部３３ａの内部に、同時に第１の保護部材３４を形成する。第１の保護部材３４はエ
ポキシ系樹脂からなるフィルムやプリプレグで、真空ラミネーターや真空熱プレスなどによって流動性が増すものを使用する。
【００２８】
そして、シート状抵抗体３１の上面３１ａに形成するとともに、複数の第１の溝部３３ａの内部にも充填した後、第１の保護部材３４を硬化させる。ここで、図４（ａ）は上面図、図４（ｂ）は、図４（ａ）のＤ−Ｄ’線断面図である。
【００２９】
第１の保護部材３４を形成することによって、シート状抵抗体３１の端部から他方の端部まで連続して延びる複数の第１の溝部３３ａを形成しているにもかかわらず、シート状抵抗体３１の強度が増し、以降の工程での取り扱いやすくなる。
【００３０】
次に、シート状抵抗体の下面３１ｂにレジストを貼り付け、シート状抵抗体３１の上面３１ａに形成した第１の溝部３３ａと平面視で同じ位置に、等間隔で互いに平行になるように開口部を形成する。
【００３１】
そして、図４（ｃ）（ｄ）に示すように、シート状抵抗体３１の下面３１ｂをエッチングして、複数の第１の溝部３３ａと接続する複数の第２の溝部３３ｂを形成する。なお、第１の溝部３３ａ、第２の溝部３３ｂをそれぞれダイシングで形成してもよい。
【００３２】
このように、シート状抵抗体３１の下面３１ｂと上面３１ａの両方からエッチング（ダイシング）して、第１の溝部３３ａと第２の溝部３３ｂからなる貫通孔をシート状抵抗体３１に形成している。よって、シート状抵抗体３１の厚みが厚くても安定した形状の貫通孔を形成することができる。
【００３３】
また、上述したように第１の保護部材３４をシート状抵抗体３１に形成して強度を強くしているため、支持部を設けることなく複数の第２の溝部３３ｂを安定した状態で形成でき、複数の第２の溝部３３ｂの形成箇所がずれるのを防止できる。
【００３４】
このとき、複数の第１の溝部３３ａと複数の第２の溝部３３ｂの幅は図４（ｅ）（ｆ）に示すように異なっていてもよい。これにより、複数の第１の溝部３３ａと複数の第２の溝部３３ｂの許容できる位置ずれ量を増やすことができ、個片化する際に抵抗体２１を切断してしまう可能性を低減できる。
【００３５】
さらに、後の工程で電極２２を形成するシート状抵抗体３１の下面３１ｂが広くなるようにし、複数の第２の溝部３３ｂが複数の第１の溝部３３ａよりも細くなるようにすることによって、抵抗体２１への電極２２形成時の許容できる位置ずれ量を増やすことができる。ここで、図４（ｃ）は上面図、図４（ｄ）（ｅ）（ｆ）は、図４（ｃ）のＥ−Ｅ’線断面図である。
【００３６】
次に、図５（ａ）（ｂ）に示すように、シート状抵抗体３１の下面３１ｂにレジスト３５を貼り付け、シート状抵抗体３１の複数の第２の溝部３３ｂ同士の間の部分において島状に開口部を形成した後、Ｃｕめっきをしてレジスト３５を除去する。この結果、隣接する複数の第２の溝部３３ｂ同士の間の部分に等間隔でＣｕめっきからなる複数の電極３６が形成される。
【００３７】
複数の電極３６は、図１、図２に示すチップ抵抗器においては一対の電極２２と対応する。ここで、図５（ａ）は上面図、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＦ−Ｆ’線断面図である。
【００３８】
次に、図５（ｃ）（ｄ）に示すように、シート状抵抗体３１の下面３１ｂ、複数の第２
の溝部３３ｂの内部および複数の電極３６に第２の保護部材３７を形成する。この第２の保護部材３７は、エポキシ樹脂で構成され、複数の電極３６を覆うように形成し、硬化させた後、図６（ａ）（ｂ）に示すように、複数の電極３６が露出するまで研磨する。
【００３９】
ここで、図５（ｃ）は上面図、図５（ｄ）は、図５（ｃ）のＧ−Ｇ’線断面図、図６（ａ）は上面図、図６（ｂ）は、図６（ａ）のＨ−Ｈ’線断面図である。
【００４０】
次に、図６（ａ）（ｂ）において、複数の第１、第２の溝部３３ａ、３３ｂおよび複数の電極３６の中央部（図の破線部）を切断して個片状に分割する。
【００４１】
最後に、個片状に分割されたチップ抵抗器の一対の電極２２の上面から抵抗体２１の端面２１ｃにかけてＮｉめっき、Ｓｎめっきを行い、めっき層２５を形成し、図１、図２に示すような、個片状のチップ抵抗器を得る。
【００４２】
（実施の形態２）
以下、本発明の実施の形態２におけるチップ抵抗器の製造方法について図面を参照しながら説明する。
【００４３】
まず、図７（ａ）（ｂ）に示すように、ＣｕＭｎＮｉ等からなる金属を板状に構成したシート状抵抗体３１を用意し、このシート状抵抗体３１の上面３１ａと下面３１ｂの両方にレジスト３２を貼り付ける。
【００４４】
上面のレジスト３２には、シート状抵抗体３１の端部から他方の端部まで連続して延びる直線状で、等間隔で互いに平行な開口部３８ａと、この開口部３８ａと直交するようにシート状抵抗体３１の側部から他方の側部まで連続して延びる直線状で、等間隔で互いに平行な開口部３８ｂを形成する。
【００４５】
このとき、開口部３８ｂは、後工程にてシート状抵抗体３１の下面３１ｂに形成する電極３６の対面となるように形成する。ここで、図７（ａ）は上面図、図７（ｂ）は図７（ａ）のＩ−Ｉ’線断面図である。
【００４６】
次に、図８（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、シート状抵抗体３１の上面３１ａをエッチングしてシート状抵抗体３１に複数の第１の溝部３３ａ、および複数の第１の溝部３３ａと直交する複数の第３の溝部３３ｃを形成し、その後、レジスト３２を除去する。
【００４７】
ここで、図８（ａ）は上面図、図８（ｂ）は図８（ａ）のＪ−Ｊ’線断面図、図８（ｃ）は斜視図である。
【００４８】
上記した実施の形態１とは、複数の第１の溝部３３ａと直交する複数の第３の溝部３３ｃを形成した点が異なる。
【００４９】
したがって、図６（ａ）（ｂ）に示すように、電極３６の中央部を切断して個片化する際に切断する抵抗体２１の厚みが、複数の第３の溝部３３ｃによって薄くなるため、切断時に形成されるバリを低減することができ、これにより、保護部材剥がれが発生しにくくなる。
【００５０】
次に、シート状抵抗体３１の上面３１ａと複数の第１の溝部３３ａおよび複数の第３の溝部３３ｃの内部に、同時に第１の保護部材３４を形成する。
【００５１】
次に、シート状抵抗体の下面３１ｂにレジストを貼り付け、シート状抵抗体３１の上面
３１ａに形成した第１の溝部３３ａと平面視で同じ位置に、等間隔で互いに平行になるように開口部を形成する。
【００５２】
そして、図４（ｃ）（ｄ）に示すように、シート状抵抗体３１の下面３１ｂをエッチングして、複数の第１の溝部３３ａと接続する複数の第２の溝部３３ｂを形成する。なお、第１の溝部３３ａ、第２の溝部３３ｂおよび第３の溝部３３ｃをそれぞれダイシングで形成してもよい。
【００５３】
このように、シート状抵抗体３１の下面３１ｂと上面３１ａの両方からエッチング（ダイシング）して、第１の溝部３３ａと第２の溝部３３ｂからなる貫通孔をシート状抵抗体３１に形成している。よって、シート状抵抗体３１の厚みが厚くても安定した形状の貫通孔を形成することができる。
【００５４】
また、上述したように第１の保護部材３４をシート状抵抗体３１に形成して強度を強くしているため、支持部を設けることなく複数の第２の溝部３３ｂを安定した状態で形成でき、複数の第２の溝部３３ｂの形成箇所がずれるのを防止できる。
【００５５】
このとき、複数の第１の溝部３３ａと複数の第２の溝部３３ｂの幅は図４（ｅ）（ｆ）に示すように異なっていてもよい。これにより、複数の第１の溝部３３ａと複数の第２の溝部３３ｂの許容できる位置ずれ量を増やすことができ、個片化する際に抵抗体２１を切断してしまう可能性を低減できる。
【００５６】
さらに、後の工程で電極２２を形成するシート状抵抗体３１の下面３１ｂが広くなるようにし、複数の第２の溝部３３ｂが複数の第１の溝部３３ａよりも細くなるようにすることによって、抵抗体２１への電極２２形成時の許容できる位置ずれ量を増やすことができる。ここで、図４（ｃ）は上面図、図４（ｄ）（ｅ）（ｆ）は、図４（ｃ）のＥ−Ｅ’線断面図である。
【００５７】
次に、シート状抵抗体３１の下面３１ｂにレジストを貼り付け、複数の第３の溝部３３ｃと対向する部分に複数の第３の溝部３３ｃと沿い、かつ第２の溝部３３ｂ同士の間の部分に島状に等間隔で開口部を形成した後、Ｃｕめっきをしてレジストを除去する。
【００５８】
この結果、複数の第３の溝部３３ｃに沿うようにＣｕめっきからなる複数の電極３６が形成される。複数の電極３６が形成された箇所は複数の第３の溝部３３ｃによってシート状抵抗体３１の厚みが薄くなっている。
【００５９】
次に、シート状抵抗体３１の下面３１ｂ、複数の第２の溝部３３ｂの内部および複数の電極３６に第２の保護部材３７を形成する。この第２の保護部材３７は、エポキシ樹脂で構成され、複数の電極３６を覆うように形成し、硬化させた後、図８（ｄ）（ｅ）に示すように、複数の電極３６が露出するまで研磨する。ここで、図８（ｄ）は上面図、図８（ｂ）は図８（ａ）のＪ’’−Ｊ’’’線断面図である。
【００６０】
次に、図８（ｄ）（ｅ）において、複数の第１、第２の溝部３３ａ、３３ｂおよび複数の電極３６の中央部（図の破線部）を切断して個片状に分割する。
【００６１】
最後に、個片状に分割されたチップ抵抗器の一対の電極２２の上面から抵抗体２１の端面２１ｃにかけてＮｉめっき、Ｓｎめっきを行い、めっき層１５を形成し、図９、図１０に示すような、個片状のチップ抵抗器を得る。
【００６２】
ここで、図９は本発明の実施の形態２におけるチップ抵抗器の断面図、図１０は図９の
Ｋ−Ｋ’断面図である。
【００６３】
一対の保護膜２３と抵抗体２１との接触面積が増えるため、一対の保護膜２３の密着強度が向上する。
【００６４】
（実施の形態３）
以下、本発明の実施の形態３におけるチップ抵抗器の製造方法について図面を参照しながら説明する。
【００６５】
まず、上記図３（ａ）〜（ｄ）に示す工程により、複数の第１の溝部３３ａを有するシート状抵抗体３１を形成する。
【００６６】
次に、図１１（ａ）（ｂ）に示すように、シート状抵抗体３１の両面にレジスト３５を貼り付け、シート状抵抗体３１の上面３１ａの複数の第１の溝部３３ａ間の部分において島状に開口部を形成した後、Ｃｕめっきをしてレジスト３５を除去する。この結果、隣接する複数の第１の溝部３３ａ間の部分に等間隔でＣｕめっきからなる複数の電極３６が形成される。
【００６７】
本発明の実施の形態３では、実施の形態１、２と異なり、複数の電極３６はシート状抵抗体３１の上面３１ａに形成される。
【００６８】
なお、上記開口部（複数の電極３６）は、第１の溝部３３ａと直接接続しない箇所に設ける。ここで、図１１（ａ）は上面図、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）のＬ−Ｌ’線断面図である。
【００６９】
次に、シート状抵抗体３１の上面３１ａ、複数の第１の溝部３３ａの内部および複数の電極３６に第１の保護部材３４を形成する。
【００７０】
この第１の保護部材３４は、エポキシ樹脂で構成され、複数の電極３６の上面を覆うように形成し、硬化させた後、図１１（ｃ）（ｄ）に示すように、複数の電極３６が露出するまで研磨する。ここで、図１１（ｃ）は上面図、図１１（ｄ）は、図１１（ｃ）のＭ−Ｍ’線断面図である。
【００７１】
次に、シート状抵抗体３１の下面３１ｂにレジストを貼り付け、前記シート状抵抗体３１の上面３１ａに形成した第１の溝部３３ａと同位置に、等間隔で互いに平行になるように開口部を形成し、シート状抵抗体３１の下面３１ｂをエッチングして、図１２（ａ）（ｂ）に示すように、複数の第１の溝部３３ａと接続する複数の第２の溝部３３ｂを形成する。このとき、複数の第１の溝部３３ａと複数の第２の溝部３３ｂの幅は異なっていてもよい。ここで、図１２（ａ）は上面図、図１２（ｂ）は図１２（ａ）のＮ−Ｎ’線断面図である。
【００７２】
次に、シート状抵抗体３１の下面３１ｂと複数の第２の溝部３３ｂの内部に、同時に第２の保護部材３７を形成する。第２の保護部材３７はエポキシ系樹脂からなるフィルムやプリプレグで、真空ラミネーターや真空熱プレスなどによって流動性が増すものを使用し、そして、シート状抵抗体３１の下面３１ｂに形成するとともに、複数の第２の溝部３３ｂの内部にも充填した後、第２の保護部材３７を硬化させる。
【００７３】
次に、複数の第１、第２の溝部３３ａ、３３ｂおよび複数の電極３６の中央部を切断して個片状に分割する。
【００７４】
最後に、個片状に分割されたチップ抵抗器の一対の電極２２の上面から抵抗体２１の端面２１ｃにかけてＮｉめっき、Ｓｎめっきを行い、めっき層１５を形成し、図１、図２に示すような、個片状のチップ抵抗器を得る。
【００７５】
上述したように、本発明の実施の形態１〜３におけるチップ抵抗器の製造法は、バー状の金属板を第１の保護部材３４によって固定された状態で形成出来るため、工程間の搬送時や加工時に変形するのを防ぐことが可能となる。また、バー状の金属板は第１の保護部材３４によって固定されるため、支持部を設ける必要がなく、製品部分を増加させ、取数を増やして生産性を向上させることができるという効果が得られる。
【００７６】
なお、本発明の実施の形態１〜３におけるチップ抵抗器の製造方法では、適宜抵抗値調整をしてもよい。
【００７７】
実施の形態１、２においては、Ｃｕめっきからなる複数の電極３６を形成した後、図１３（ａ）（ｂ）に示すように、複数の電極３６間のシート状抵抗体３１をレーザなどにより切削して抵抗体２１を貫通しないトリミング溝３８を形成する。ここで、図１３（ａ）は上面図、図１３（ｂ）は図１３（ａ）のＯ−Ｏ’線断面図である。
【００７８】
実施の形態３においては、シート状抵抗体３１に複数の第２の溝部３３ｂを形成した後、図１４（ａ）（ｂ）に示すように、複数の電極３６同士の間の位置と対向するシート状抵抗体３１の下面３１ｂをレーザなどにより切削して抵抗体２１を貫通しないトリミング溝３８を形成する。ここで、図１４（ａ）は上面図、図１３（ｂ）は図１４（ａ）のＰ−Ｐ’線断面図である。
【００７９】
このとき、隣接する第１、第２の溝部３３ａ、３３ｂへのバリ突出や第１、第２の溝部３３ａ、３３ｂに埋め込まれている第１、第２の保護部材３４、３７の損傷を防ぐため、トリミング溝３８が隣接する複数の第１、第２の溝部３３ａ、３３ｂに接しないようにするのが好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００８０】
本発明に係るチップ抵抗器の製造方法は、製品歩留を改善するとともに、生産性を向上させることができるという効果を有するものであり、特に各種電子機器に使用される金属板を抵抗体としたチップ抵抗器等に適用することにより有用となるものである。
【符号の説明】
【００８１】
３１  シート状抵抗体
３３ａ  第１の溝部
３３ｂ  第２の溝部
３４  第１の保護部材
３６  電極
３７  第２の保護部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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