(57)【要約】【課題】圧電素子の出力に対するノイズの侵入を低減する。【解決手段】圧力検出装置２０は、ダイアフラムヘッド３２等を介して圧力の変化を検出する圧電素子３３と、圧電素子３３の正極に接続されて圧電素子３３が出力する電荷信号を伝達する正の経路（第２加圧部材３８および伝導部材５３）と、圧電素子３３および正の経路を内部に収容するとともに圧電素子３３の負極に接続される遮へい体７０とを備える。そして、遮へい体７０は、先端側に設けられる第１加圧部材３７および支持部材３９と、支持部材３９の後端側に設けられる収容部材５６と、支持部材３９の後端側に自身の先端側が溶接されるとともに収容部材５６の先端側に自身の後端側が半田付けされる、円筒型圧縮コイルバネからなる緩衝部材５５とを備えており、正の経路と絶縁され、且つ、ダイアフラムヘッド３２を含む筐体経路と絶縁される。【選択図】図４
2019039733.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部から受けた、一端側から他端側に向かう圧力に応じた電気信号を出力する圧電素子と、
導電体で構成されるとともに前記圧電素子の正極と接続され、前記電気信号を伝達する伝達部材と、
導電体で構成されるとともに前記圧電素子の負極と接続され、当該圧電素子および前記伝達部材を内部に収容する収容体と
を備え、
前記収容体は、
前記一端側に設けられた筒状の第１筒状体と、
前記第１胴体部の他端側に設けられた筒状の第２筒状体と、
一端側が当該第１筒状体と接続されるとともに他端側が当該第２筒状体と接続され、一端側と他端側との間で伸縮する螺旋状の螺旋状体と
を有することを特徴とする圧力検出装置。
【請求項２】
前記第１筒状体の他端側と前記第２筒状体の一端側とがオーバーラップしていることを特徴とする請求項１記載の圧力検出装置。
【請求項３】
前記第１筒状体の他端側に前記第２筒状体の一端側が挿入され、または、当該第２筒状体の一端側に当該第１筒状体の他端側が挿入されることを特徴とする請求項２記載の圧力検出装置。
【請求項４】
前記第１筒状体の他端側と前記第２筒状体の一端側との間で、前記螺旋状体が密着していることを特徴とする請求項１記載の圧力検出装置。
【請求項５】
前記第１筒状体の他端側と前記第２筒状体の一端側との間で、前記螺旋状体がオーバーラップしていることを特徴とする請求項４記載の圧力検出装置。
【請求項６】
前記伝達部材と前記収容体とが接続されるとともに当該収容体の内部に収容され、前記電気信号に処理を施す処理回路をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載の圧力検出装置。
【請求項７】
導電体で構成されるとともに前記圧電素子の一端側に設けられ、外部から圧力を受けるとともに受けた圧力を前記圧電素子に伝達する受圧部
をさらに備え、
前記受圧部と前記収容体とが絶縁され且つ当該受圧部と前記圧電素子とが絶縁されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項記載の圧力検出装置。
【請求項８】
導電体で構成される筒状の胴体部と、
導電体で構成されるとともに前記胴体部の一端側で当該胴体部に接続され、外部から圧力を受ける受圧部と、
前記胴体部の内側且つ前記受圧部の他端側に設けられ、当該受圧部が受けた圧力に応じた電気信号を出力する圧電素子と、
導電体で構成されるとともに前記胴体部の内側に設けられ、前記圧電素子の他端側に接続されて前記電気信号を伝達する伝達部材と、
導電体で構成されるとともに前記胴体部の内側にて前記圧電素子および前記伝達部材を内部に収容し、当該圧電素子の一端側に接続されるとともに前記胴体部、前記受圧部および前記伝達部材と絶縁される収容体と
を含む圧力検出装置。
【請求項９】
前記収容体は、
導電性を有する筒状の第１筒状体と、
導電性を有し且つ前記第１筒状体の他端側に配置される筒状の第２筒状体と、
導電性を有する圧縮バネで構成され、前記第１筒状体と前記第２筒状体とを接続するバネ部材と
を有し、
前記第１筒状体の他端側と前記第２筒状体の一端側とがオーバーラップしており、
前記バネ部材は、前記第１筒状体が単独で存在する部位と、当該第１筒状体および前記筒状体が重なって存在する部位と、前記前記第２筒状体が単独で存在する部位とに跨がって設けられることを特徴とする請求項８記載の圧力検出装置。
【請求項１０】
前記収容体は、
導電性を有する筒状の第１筒状体と、
導電性を有し且つ前記第１筒状体の他端側に配置される筒状の第２筒状体と、
導電性を有する圧縮バネで構成され、前記第１筒状体と前記第２筒状体とを接続するバネ部材と
を有し、
前記第１筒状体の他端側と前記第２筒状体の一端側とがオーバーラップしておらず、
前記バネ部材は、前記第１筒状体が単独で存在する部位と、当該第１筒状体および前記筒状体が存在しない部位と、前記前記第２筒状体が単独で存在する部位とに跨がって設けられ、当該第１筒状体および前記筒状体が存在しない部位において密着して設けられることを特徴とする請求項８記載の圧力検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、金属製の筒状のハウジングと、ハウジングの先端側に取り付けられる金属製のダイアフラムヘッドと、ハウジングの内部であってダイアフラムヘッドの後端側に配置され、ダイアフラムヘッドを介して作用する圧力を検出する圧電素子と、ハウジングの内部であって圧電素子の後端側に配置され、圧電素子の出力（電荷信号）を伝達する金属製の伝達部材とを備えた圧力検出装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−１７４５５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、圧電素子の出力を、伝達部材を介して処理回路に伝達する構成を採用した場合においては、外部から照射される電波等に起因するノイズが伝達部材に伝わってしまうことにより、圧電素子の出力にノイズが重畳されてしまうことがあった。
本発明は、圧電素子の出力に対するノイズの侵入を低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の圧力検出装置は、外部から受けた、一端側から他端側に向かう圧力に応じた電気信号を出力する圧電素子と、導電体で構成されるとともに前記圧電素子の正極と接続され、前記電気信号を伝達する伝達部材と、導電体で構成されるとともに前記圧電素子の負極と接続され、当該圧電素子および前記伝達部材を内部に収容する収容体とを備え、前記収容体は、前記一端側に設けられた筒状の第１筒状体と、前記第１筒状体の他端側に設けられた筒状の第２筒状体と、一端側が前記第１筒状体と接続されるとともに他端側が前記第２筒状体と接続され、一端側と他端側との間で伸縮する螺旋状の螺旋状体とを有することを特徴としている。
このような圧力検出装置において、前記第１筒状体の他端側と前記第２筒状体の一端側とがオーバーラップしていることを特徴とすることができる。
また、前記第１筒状体の他端側に前記第２筒状体の一端側が挿入され、または、当該第２筒状体の一端側に当該第１筒状体の他端側が挿入されることを特徴とすることができる。
また、前記第１筒状体の他端側と前記第２筒状体の一端側との間で、前記螺旋状体が密着していることを特徴とすることができる。
また、前記第１筒状体の他端側と前記第２筒状体の一端側との間で、前記螺旋状体がオーバーラップしていることを特徴とすることができる。
また、前記伝達部材と前記収容体とが接続されるとともに当該収容体の内部に収容され、前記電気信号に処理を施す処理回路をさらに備えることを特徴とすることができる。
また、導電体で構成されるとともに前記圧電素子の一端側に設けられ、外部から圧力を受けるとともに受けた圧力を当該圧電素子に伝達する受圧部をさらに備え、前記受圧部と前記収容体とが絶縁され且つ当該受圧部と前記圧電素子とが絶縁されていることを特徴とすることができる。
また、他の観点から捉えると、本発明の圧力検出装置は、導電体で構成される筒状の胴体部と、導電体で構成されるとともに前記胴体部の一端側で当該胴体部に接続され、外部から圧力を受ける受圧部と、前記胴体部の内側且つ前記受圧部の他端側に設けられ、当該受圧部が受けた圧力に応じた電気信号を出力する圧電素子と、導電体で構成されるとともに前記胴体部の内側に設けられ、前記圧電素子の他端側に接続されて前記電気信号を伝達する伝達部材と、導電体で構成されるとともに前記胴体部の内側にて前記圧電素子および前記伝達部材を内部に収容し、当該圧電素子の一端側に接続されるとともに当該胴体部、前記受圧部および当該伝達部材と絶縁される収容体とを含んでいる。
このような圧力検出装置において、前記収容体は、導電性を有する筒状の第１筒状体と、導電性を有し且つ前記第１筒状体の他端側に配置される筒状の第２筒状体と、導電性を有する圧縮バネで構成され、前記第１筒状体と前記第２筒状体とを接続するバネ部材とを有し、前記第１筒状体の他端側と前記第２筒状体の一端側とがオーバーラップしており、前記バネ部材は、前記第１筒状体が単独で存在する部位と、当該第１筒状体および前記第２筒状体が重なって存在する部位と、当該第２筒状体が単独で存在する部位とに跨がって設けられることを特徴とすることができる。
また、前記収容体は、導電性を有する筒状の第１筒状体と、導電性を有し且つ前記第１筒状体の他端側に配置される筒状の第２筒状体と、導電性を有する圧縮バネで構成され、前記第１筒状体と前記第２筒状体とを接続するバネ部材とを有し、前記第１筒状体の他端側と前記第２筒状体の一端側とがオーバーラップしておらず、前記バネ部材は、前記第１筒状体が単独で存在する部位と、当該第１筒状体および前記第２筒状体が存在しない部位と、当該第２筒状体が単独で存在する部位とに跨がって設けられ、当該第１筒状体および前記第２筒状体が存在しない部位において密着して設けられることを特徴とすることができる。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、圧電素子の出力に対するノイズの侵入を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】実施の形態に係る圧力検出システムの概略構成図である。
【図２】圧力検出装置の斜視図である。
【図３】実施の形態１の圧力検出装置の断面図（図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図）である。
【図４】実施の形態１の圧力検出装置の先端側の拡大断面図である。
【図５】圧力検出装置に設けられた回路基板の概略構成図である。
【図６】実施の形態２の圧力検出装置の先端側の拡大断面図である。
【図７】（ａ）、（ｂ）は、実施の形態２の圧力検出装置で用いられる緩衝部材の他の構成例を示す図である。
【図８】（ａ）〜（ｃ）は、各実施例および比較例の圧力検出装置のＢＣＩ試験の結果を、グラフとして示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。なお、以下の説明で参照する図面における各部の大きさや厚さ等は、実際の寸法とは異なっている場合がある。
【０００９】
＜実施の形態１＞
［圧力検出システムの構成］
図１は、実施の形態に係る圧力検出システム１の概略構成図である。
この圧力検出システム１は、内燃機関１０における燃焼室Ｃ内の圧力（燃焼圧）を検出する圧力検出装置２０と、圧力検出装置２０に対する給電を行うとともに圧力検出装置２０が検出した圧力に基づいて内燃機関１０の動作を制御する制御装置８０と、圧力検出装置２０と制御装置８０とを電気的に接続する接続ケーブル９０とを備えている。
【００１０】
ここで、圧力の検出対象となる内燃機関１０は、内部にシリンダが形成されたシリンダブロック１１と、シリンダ内を往復動するピストン１２と、シリンダブロック１１に締結されてピストン１２等とともに燃焼室Ｃを構成するシリンダヘッド１３とを有している。また、シリンダヘッド１３には、燃焼室Ｃと外部とを連通する連通孔１３ａが設けられている。この連通孔１３ａの内部には雌ねじ（図示せず）が形成されており、圧力検出装置２０の外周面に形成された雄ねじ（図示せず）をねじ込むことで、内燃機関１０に対して圧力検出装置２０を取り付けている。なお、連通孔１３ａの両端部側には、シリンダヘッド１３と圧力検出装置２０との間に介在して、燃焼室Ｃ内の気密性を保つためのシール部材（図示せず）が設けられている。
【００１１】
［圧力検出装置の構成］
図２は、圧力検出装置２０の斜視図である。また、図３は、実施の形態１の圧力検出装置２０の断面図（図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図）である。さらに、図４は、実施の形態１の圧力検出装置２０の先端側の拡大断面図である。
【００１２】
本実施の形態の圧力検出装置２０は、圧力を検出する検出部３０と、検出部３０による圧力の検出に伴って得られた電気信号に各種処理を施す処理部５０とを有している。そして、この圧力検出装置２０は、図１に示す内燃機関１０に対し、検出部３０が燃焼室Ｃ（図１において下方）を向くとともに処理部５０が外部（図１において上方）を向くように取り付けられる。なお、以下の説明では、図２において、図中左下に向かう側（検出部３０側）を圧力検出装置２０の「先端側」と称し、図中右上に向かう側（処理部５０側）を圧力検出装置２０の「後端側」と称する。また、以下の説明では、図２に一点鎖線で示す圧力検出装置２０の中心線方向を、単に中心線方向と称する。
【００１３】
［検出部の構成］
検出部３０は、処理部５０に設けられた後端側筐体５１（詳細は後述する）の先端側とはめ合う先端側筐体３１と、先端側筐体３１の先端側に取り付けられたダイアフラムヘッド３２とを有している。
【００１４】
これらのうち、先端側筐体３１は、中空構造を有し且つ全体として筒状を呈する部材である。この先端側筐体３１は、導電性を有するともに耐酸性が高いステンレス等の金属材料によって構成されている。この先端側筐体３１は、相対的に先端側に位置する第１先端側筐体３１１と、相対的に後端側に位置する第２先端側筐体３１２とを備えている。ここで、先端側筐体３１では、第１先端側筐体３１１の後端側と第２先端側筐体３１２の先端側とをレーザ溶接することで、両者を一体化させる構成となっている。そして、第１先端側筐体３１１の先端側には、レーザ溶接によってダイアフラムヘッド３２が取り付けられるとともに、第２先端側筐体３１２の後端側には、はめ合いによって後端側筐体５１が取り付けられる。なお、第２先端側筐体３１２の中心線方向中央部の外周面には、シリンダヘッド１３の連通孔１３ａ（図１参照）の内周面に設けられた雌ねじ（図示せず）と噛み合う雄ねじ（図示せず）が形成されている。
【００１５】
一方、ダイアフラムヘッド３２は、全体として円板状を呈する部材である。このダイアフラムヘッド３２は、導電性を有するとともに耐熱性および耐酸性が高いステンレス等の金属材料によって構成されている。特に、この例では、ダイアフラムヘッド３２および上記先端側筐体３１を、同じ材料で構成している。このダイアフラムヘッド３２は、外部（燃焼室Ｃ側）に露出することで圧力を受ける圧力受面（表面）３２ａと、圧力受面３２ａの裏側となる裏面を環状に切り欠くことによって設けられた凹部３２ｂと、凹部３２ｂの存在により、結果として圧力受面３２ａの裏面の中央部から後端側に向けて突出する凸部３２ｃとを有している。このダイアフラムヘッド３２は、第１先端側筐体３１１の先端側の開口部を塞ぐように設けられている。そして、ダイアフラムヘッド３２と第１先端側筐体３１１との境界部には、外周面の一周にわたってレーザ溶接が施されている。
【００１６】
また、検出部３０は、先端側筐体３１の内側に配置（収容）された、圧電素子３３、絶縁プレート３４、先端電極部材３５、後端電極部材３６、第１加圧部材３７、第２加圧部材３８、支持部材３９、絶縁パイプ４０、第１絶縁リング４１、第２絶縁リング４２、第３絶縁リング４３、第４絶縁リング４４および第５絶縁リング４５をさらに備えている。
【００１７】
圧電素子３３は、全体として円柱状を呈する部材である。この圧電素子３３は、圧電縦効果の圧電作用を示す圧電体を備えている。圧電縦効果とは、圧電体の電荷発生軸と同一方向の応力印加軸に外力を加えると、電荷発生軸方向の圧電体の表面に電荷が発生することをいう。この圧電素子３３は、先端側筐体３１の内側であって、ダイアフラムヘッド３２の後端側に配置されている。この圧電素子３３は、中心線方向が応力印加軸の方向となるように、先端側筐体３１内に収容されている。ここで、圧電素子３３は、先端側筐体３１の内部に設けられた第１加圧部材３７の内側であって、この第１加圧部材３７の内部に設けられた絶縁パイプ４０の内側に配置されている。また、圧電素子３３の外径は、この圧電素子３３を内部に収容する絶縁パイプ４０の内径よりもわずかに小さい。そして、圧電素子３３の先端側の面は、先端電極部材３５の後端側の面と接触している。一方、圧電素子３３の後端側の面は、後端電極部材３６の先端側の面と接触している。また、圧電素子３３の外周面は、絶縁パイプ４０の内周面と対峙している。このように、第１加圧部材３７の内周面と圧電素子３３の外周面との間に、絶縁パイプ４０を設けることにより、第１加圧部材３７および圧電素子３３は、直接には接触しない。
【００１８】
次に、圧電素子３３に圧電横効果を利用した場合を例示する。圧電横効果とは、圧電体の電荷発生軸に対して直交する位置にある応力印加軸に外力を加えると、電荷発生軸方向の圧電体の表面に電荷が発生することをいう。薄板状に薄く形成した圧電体を複数枚積層して構成しても良く、このように積層することで、圧電体に発生する電荷を効率的に集めてセンサの感度を上げることができる。圧電素子３３で使用可能な圧電体としては、圧電縦効果及び圧電横効果を有するランガサイト系結晶（ランガサイト、ランガテイト、ランガナイト、ＬＴＧＡ）や水晶、ガリウムリン酸塩などを使用することを例示することができる。なお、本実施の形態の圧電素子３３では、圧電体としてランガサイト単結晶を用いている。
【００１９】
絶縁プレート３４は、全体として円板状を呈する部材である。この絶縁プレート３４は、絶縁性を有するとともに耐熱性が高いアルミナ等のセラミックス材料によって構成されている。この絶縁プレート３４は、先端側筐体３１の内部に設けられた第１加圧部材３７の先端側に存在する開口部を塞ぐ位置に配置されている。そして、絶縁プレート３４は、ダイアフラムヘッド３２の後端側であって、先端電極部材３５の先端側に配置されている。また、絶縁プレート３４の外径は、第１加圧部材３７の先端側に設けられた開口部の内径よりもわずかに小さく、ダイアフラムヘッド３２の凸部３２ｃの外径よりもわずかに大きい。そして、絶縁プレート３４の先端側の面は、ダイアフラムヘッド３２の凸部３２ｃと接触している。一方、絶縁プレート３４の後端側の面は、先端電極部材３５の先端側の面と接触している。また、絶縁プレート３４の外周面は、第１加圧部材３７の先端側に設けられた開口部の内周面と対峙している。
【００２０】
先端電極部材３５は、全体として円柱状を呈する部材である。この先端電極部材３５は、導電性を有するとともに耐熱性が高いステンレス等の金属材料によって構成されている。この先端電極部材３５は、先端側筐体３１の内部に設けられた第１加圧部材３７の内側に配置されている。ただし、先端電極部材３５は、上述した圧電素子３３とは異なり、絶縁パイプ４０内に収容されていない。そして、先端電極部材３５は、絶縁プレート３４の後端側であって、圧電素子３３の先端側に配置されている。また、先端電極部材３５の外径は、この先端電極部材３５を内部に収容する第１加圧部材３７の内径よりもわずかに小さい。そして、先端電極部材３５の先端側の面は、絶縁プレート３４の後端側の面と第１加圧部材３７の先端側に設けられた開口部の裏側の面とに接触している。一方、先端電極部材３５の後端側の面は、圧電素子３３の先端側の面に接触している。また、先端電極部材３５の外周面は、第１加圧部材３７の内周面と対峙している。
【００２１】
後端電極部材３６は、全体として円柱状を呈する部材である。この後端電極部材３６は、導電性を有するとともに耐熱性が高いステンレス等の金属材料によって構成されている。この後端電極部材３６は、先端側筐体３１の内部に設けられた第１加圧部材３７の内側に配置されている。ここで、後端電極部材３６の先端側は、第１加圧部材３７の内部に設けられた絶縁パイプ４０の内側に配置されている。これに対し、後端電極部材３６の後端側は、この絶縁パイプ４０の外側に配置されている。この後端電極部材３６における後端側の面の中央部には、第２加圧部材３８の先端側を挿入するための座ぐり穴３６ａが形成されている。また、後端電極部材３６の外径は、圧電素子３３の外径とほぼ同じであって、絶縁パイプ４０の内径よりもわずかに小さい。そして、後端電極部材３６の先端側の面は、圧電素子３３の後端側の面と接触している。一方、後端電極部材３６の後端側の面は、第１絶縁リング４１の先端側の面と接触し、後端電極部材３６の後端側に設けられた座ぐり穴３６ａの底面は、第２加圧部材３８の先端側と接触している。また、後端電極部材３６の外周面の先端側は、絶縁パイプ４０の内周面と対峙している。これに対し、後端電極部材３６の外周面の後端側は、エアギャップを介して第１加圧部材３７の内周面と対向している。このように、第１加圧部材３７の内周面と後端電極部材３６の外周面との間に、絶縁パイプ４０およびエアギャップを設けることで、第１加圧部材３７と後端電極部材３６とは、直接には接触しない。
【００２２】
第１加圧部材３７は、全体として筒状を呈する部材である。この第１加圧部材３７は、導電性を有するとともに耐熱性が高いステンレス等の金属材料によって構成されている。この第１加圧部材３７は、先端側筐体３１の内部に設けられており、その先端側に設けられた開口部を塞ぐように絶縁プレート３４が配置され、その内部に、圧電素子３３、先端電極部材３５、後端電極部材３６、第２加圧部材３８、支持部材３９の先端側、絶縁パイプ４０および第１絶縁リング４１を収容している。そして、第１加圧部材３７は、ダイアフラムヘッド３２の後端側であって、処理部５０を構成する緩衝部材５５（詳細は後述する）の先端側に配置されている。また、第１加圧部材３７の外径は、中心線方向の位置によって異なるが、すべての位置において先端側筐体３１（より具体的には第１先端側筐体３１１）の内径よりも小さい。さらに、第１加圧部材３７の内径は、絶縁プレート３４、先端電極部材３５、絶縁パイプ４０（圧電素子３３、後端電極部材３６）および第１絶縁リング４１と対峙する部位では、これらの外径よりも大きく、支持部材３９と対峙する部位では、支持部材３９の外径よりもわずかに小さい。ここで、第１加圧部材３７の後端側の外周面と第１先端側筐体３１１の後端側の内周面との間には、相対的に先端側となる位置に第２絶縁リング４２が、相対的に後端側となる位置に第３絶縁リング４３が、それぞれ配置されている。そして、第１加圧部材３７の先端側の面（開口部の表側の面）は、ダイアフラムヘッド３２の後端側に設けられた凹部３２ｂと対峙している。一方、第１加圧部材３７の後端側は、緩衝部材５５の先端側に接触しており、これらはレーザ溶接によって一体化している。また、第１加圧部材３７の外周面の後端側は、第２絶縁リング４２の内周面と接触し、その後端側は、エアギャップを介して第３絶縁リング４３と対峙している。さらに、第１加圧部材３７の外周面の先端側は、エアギャップを介して第１先端側筐体３１１の内周面と対峙している。このように、第１加圧部材３７の先端側の面とダイアフラムヘッド３２の裏面との間に、凹部３２ｂによるエアギャップを設け、且つ、第１加圧部材３７の外周面と先端側筐体３１の第１先端側筐体３１１の内周面との間に、第２絶縁リング４２および第３絶縁リング４３を設けることで、先端側筐体３１およびダイアフラムヘッド３２と第１加圧部材３７とは、直接には接触しない。これに対し、第１加圧部材３７の内周面は、先端電極部材３５、絶縁パイプ４０、第１絶縁リング４１および支持部材３９の各外周面とは、直接に接触する。また、第１加圧部材３７の内周面は、圧電素子３３および後端電極部材３６の各外周面とは、直接には接触しない。
【００２３】
第２加圧部材３８は、全体として螺旋状を呈する部材であって、中心線方向に伸縮するコイルスプリング（円筒型圧縮コイルバネ）である。この第２加圧部材３８は、導電性を有するとともに先端側筐体３１よりも導電性が高くバネ性が高いリン青銅等の金属材料によって構成されている。この第２加圧部材３８は、先端側筐体３１の内部に設けられた第１加圧部材３７の内側であって、第１加圧部材３７の内側に位置する支持部材３９の先端部に設けられた開口部および第１絶縁リング４１を通過して後端電極部材３６の座ぐり穴３６ａに到達するように配置されている。そして、第２加圧部材３８は、後端電極部材３６の後端側であって、処理部５０に設けられた伝導部材５３（詳細は後述する）の先端側に配置されている。また、第２加圧部材３８の外径は、支持部材３９の先端側に設けられた開口部の内径、第１絶縁リング４１に設けられた貫通孔の内径、および、後端電極部材３６の座ぐり穴３６ａの内径よりも小さい。さらに、第２加圧部材３８の内径は、伝導部材５３の先端側に設けられた先端側凸部５３ａ（詳細は後述する）の外径よりも大きい。そして、第２加圧部材３８の先端側は、後端電極部材３６の座ぐり穴３６ａに挿入されることで後端電極部材３６と接触している。一方、第２加圧部材３８の後端側は、伝導部材５３の先端側凸部５３ａが挿入されることで伝導部材５３と接触している。また、第２加圧部材３８の外周面の先端側は、後端電極部材３６の座ぐり穴３６ａの内周面および第１絶縁リング４１の貫通孔の内周面に対峙している。さらに、第２加圧部材３８の外周面の後端側は、エアギャップを介して支持部材３９の内周面と対峙している。このように、支持部材３９の内周面と第２加圧部材３８との間に、エアギャップを設けることで、支持部材３９と第２加圧部材３８とは、直接には接触しない。
【００２４】
支持部材３９は、全体として筒状を呈する部材である。この支持部材３９は、導電性を有するとともに耐熱性が高いステンレス等の金属材料によって構成されている。この支持部材３９は、先端側筐体３１の内部に設けられており、その先端側は第１加圧部材３７の内側に、その後端側は第１加圧部材３７の外側に、それぞれ位置している。また、支持部材３９は、その内部に、第２加圧部材３８の後端側を収容するとともに、処理部５０の先端側に位置する伝導部材５３および被覆部材５４（詳細は後述する）の先端側を収容している。そして、支持部材３９は、第１絶縁リング４１の後端側であって、処理部５０を構成する収容部材５６（詳細は後述する）の先端側に配置されている。ここで、本実施の形態では、支持部材３９で後端側となる部位と、収容部材５６で先端側となる部位とが、軸方向において互いに重なる位置関係にある。すなわち、支持部材３９と収容部材５６とは、軸方向においてオーバーラップしている。なお、この例においては、支持部材３９の後端側が、収容部材５６の先端側の内側に位置するようになっている。そして、支持部材３９の後端側の外径は、収容部材５６の先端側の内径よりもわずかに大きい。また、支持部材３９の外径は、第１加圧部材３７の内径よりもわずかに大きい。さらに、支持部材３９の内径は、中心線方向の位置によって異なるが、すべての位置において処理部５０に設けられた伝導部材５３および被覆部材５４の外径よりも大きい。そして、支持部材３９の先端側の面（開口部の表側の面）は、第１絶縁リング４１の後端側の面と接触している。一方、支持部材３９の後端側の面は、エアギャップを介して被覆部材５４と対峙している。また、支持部材３９の先端側の外周面は、第１加圧部材３７の内周面と接触している。さらに、支持部材３９の後端側の外周面は、収容部材５６の先端側の内周面と対峙している。さらにまた、支持部材３９の内周面は、エアギャップを介して第２加圧部材３８、伝導部材５３および被覆部材５４と対峙している。このように、支持部材３９の内周面と、第２加圧部材３８、伝導部材５３および被覆部材５４との間に、エアギャップを設けることで、支持部材３９と第２加圧部材３８、伝導部材５３および被覆部材５４とは、直接には接触しない。
【００２５】
絶縁パイプ４０は、全体として円筒状を呈する部材である。この絶縁パイプ４０は、絶縁性を有するＬＣＰ（Liquid Crystal Polymer：液晶ポリマ）等の合成樹脂材料によって構成されている。この絶縁パイプ４０は、先端側筐体３１の内部に設けられた第１加圧部材３７の内側に配置されている。この絶縁パイプ４０は、内部に、圧電素子３３と後端電極部材３６の先端側とを収容している。そして、絶縁パイプ４０は、先端電極部材３５の後端側であって、第１絶縁リング４１の先端側に配置されている。また、絶縁パイプ４０の外径は、第１加圧部材３７の内径よりもわずかに小さい。さらに、絶縁パイプ４０の内径は、圧電素子３３および後端電極部材３６のそれぞれの外径よりもわずかに大きい。そして、絶縁パイプ４０の先端側は、先端電極部材３５の後端側の面に対峙している。一方、絶縁パイプ４０の後端側は、第１絶縁リング４１の先端側の面に対峙している。また、絶縁パイプ４０の外周面は、第１加圧部材３７の内周面と対峙している。さらに、絶縁パイプ４０の内周面は、圧電素子３３の外周面および後端電極部材３６の外周面と対峙している。このように、第１加圧部材３７と圧電素子３３および後端電極部材３６との間に、絶縁パイプ４０および絶縁パイプ４０によるエアギャップを設けることにより、第１加圧部材３７と圧電素子３３および後端電極部材３６とは、直接には接触しない。
【００２６】
第１絶縁リング４１は、全体として環状を呈する部材である。この第１絶縁リング４１は、絶縁性を有するとともに耐熱性が高いアルミナ等のセラミックス材料によって構成されている。この第１絶縁リング４１は、先端側筐体３１の内部に設けられた第１加圧部材３７の内側に配置されている。この第１絶縁リング４１の中央部には、中心線方向に沿って第１絶縁リング４１を貫通する貫通孔が形成されている。また、第１絶縁リング４１の外径は、第１加圧部材３７の内径よりもわずかに小さい。さらに、第１絶縁リング４１の貫通孔の内径は、第２加圧部材３８の外径よりもわずかに大きい。そして、第１絶縁リング４１の先端側の面は、後端電極部材３６の後端側の面と接触している。一方、第１絶縁リング４１の後端側の面は、支持部材３９の先端側の面と接触している。また、第１絶縁リング４１の外周面は、第１加圧部材３７の内周面と対峙している。さらに、第１絶縁リング４１の内周面は、第２加圧部材３８の外周と対峙している。
【００２７】
第２絶縁リング４２は、全体として環状を呈する部材である。この第２絶縁リング４２は、絶縁性を有するとともに耐熱性が高いアルミナ等のセラミックス材料によって構成されている。この第２絶縁リング４２は、先端側筐体３１の内側であって、第１加圧部材３７の後端側且つ外側に配置されている。この第２絶縁リング４２の中央部には、中心線方向に沿って第２絶縁リング４２を貫通する貫通孔が形成されている。また、第２絶縁リング４２の外径は、先端側筐体３１（より具体的には第１先端側筐体３１１）の内径よりもわずかに大きい。さらに、第２絶縁リング４２の内径は、第１加圧部材３７の外径よりもわずかに小さい。そして、第２絶縁リング４２の先端側の面は、第１加圧部材３７の外周面から外側に突出する突出部の後端側の面と接触している。一方、第２絶縁リング４２の後端側の面は、第３絶縁リング４３の先端側の面と接触している。また、第２絶縁リング４２の外周面は、先端側筐体３１の内周面と接触している。さらに、第２絶縁リング４２の内周面は、第１加圧部材３７の外周面と接触している。
【００２８】
第３絶縁リング４３は、全体として環状を呈する部材である。この第３絶縁リング４３は、絶縁性を有するとともに耐熱性が高いアルミナ等のセラミックス材料によって構成されている。この第３絶縁リング４３は、先端側筐体３１の内側であって第１加圧部材３７の外側に配置されている。この第３絶縁リング４３の中央部には、中心線方向に沿って第３絶縁リング４３を貫通する貫通孔が形成されている。また、第３絶縁リング４３の外径は、先端側筐体３１（より具体的には第１先端側筐体３１１）の内径よりもわずかに大きい。さらに、第３絶縁リング４３の内径は、第１加圧部材３７の外径よりも大きく、第２絶縁リング４２の内径よりも大きい。そして、第３絶縁リング４３の先端側の面は、第２絶縁リング４２の後端側の面と接触している。一方、第３絶縁リング４３の後端側の面は、その後端側に設けられたエアギャップと対峙している。また、第３絶縁リング４３の外周面は、先端側筐体３１の内周面と接触している。さらに、第３絶縁リング４３の内周面は、エアギャップを介して第１加圧部材３７の外周面と対峙している。
【００２９】
第４絶縁リング４４は、全体として環状を呈する部材である。この第４絶縁リング４４は、絶縁性を有するとともに耐熱性が高いアルミナ等のセラミックス材料によって構成されている。この第４絶縁リング４４は、先端側筐体３１（より具体的には第２先端側筐体３１２）の内側であって、処理部５０に設けられた収容部材５６（詳細は後述する）の先端側且つ外側に配置されている。この第４絶縁リング４４の中央部には、中心線方向に沿って第４絶縁リング４４を貫通する貫通孔が形成されている。また、第４絶縁リング４４の外径は、先端側筐体３１の内径よりもわずかに大きい。さらに、第４絶縁リング４４の内径は、収容部材５６の外径よりもわずかに小さい。そして、第４絶縁リング４４の先端側の面は、先端側筐体３１の内周面と接触している。一方、第４絶縁リング４４の後端側の面は、収容部材５６の外周面と接触している。また、第４絶縁リング４４の外周面は、先端側筐体３１の内周面と接触している。さらに、第４絶縁リング４４の内周面は、収容部材５６の外周面と接触している。
【００３０】
第５絶縁リング４５は、全体として環状を呈する部材である。この第５絶縁リング４５は、絶縁性を有するとともに耐熱性が高いアルミナ等のセラミックス材料によって構成されている。この第５絶縁リング４５は、先端側筐体３１（より具体的には第２先端側筐体３１２）の内側であって、処理部５０に設けられた収容部材５６（詳細は後述する）の後端側且つ外側に配置されている。この第５絶縁リング４５の中央部には、中心線方向に沿って第５絶縁リング４５を貫通する貫通孔が形成されている。また、第５絶縁リング４５の外径は、先端側筐体３１の内径よりもわずかに大きい。さらに、第５絶縁リング４５の内径は、収容部材５６の外径よりもわずかに小さい。そして、第５絶縁リング４５の先端側の面は、先端側筐体３１の内周面と接触している。一方、第５絶縁リング４５の後端側の面は、収容部材５６の外周面と接触している。また、第５絶縁リング４５の外周面は、先端側筐体３１の内周面と接触している。さらに、第５絶縁リング４５の内周面は、収容部材５６の外周面と接触している。
【００３１】
このように、先端側筐体３１と処理部５０を構成する収容部材５６との間に、第４絶縁リング４４および第５絶縁リング４５を設けることにより、先端側筐体３１と収容部材５６とは、直接には接触しない。
【００３２】
［処理部の構成］
処理部５０は、上述した先端側筐体３１（具体的には第２先端側筐体３１２）の後端側とはめ合う後端側筐体５１と、先端側は後端側筐体５１の後端側の内部に収容されるとともに、後端側は後端側筐体５１の後端側の外部に露出するように設けられ、接続ケーブル９０（図１参照）の接続対象となる接続部材５２とを有している。
【００３３】
これらのうち、後端側筐体５１は、中空構造を有し全体として筒状を呈する部材である。この後端側筐体５１は、導電性を有するとともに耐酸性が高いステンレス等の金属材料によって構成されている。そして、この後端側筐体５１の先端側には、はめ合いによって先端側筐体３１（具体的には第２先端側筐体３１２）の後端側が取り付けられるとともに、その後端側には、はめ込みによって接続部材５２が取り付けられる。
【００３４】
一方、接続部材５２は、全体として柱状を呈する部材である。この接続部材５２は、絶縁性を有するＰＰＴ（Polypropylene Terephthalate：ポリプロピレンテレフタレート）等の合成樹脂材料によって構成された基材と、導電性を有する銅等の金属材料で構成された配線および端子等とを含んでいる。ただし、接続部材５２のうち、上述した後端側筐体５１と接触する部位（外周面）は合成樹脂材料で構成されており、この部位に金属材料を露出させない（接続部材５２と接触させない）ようになっている。また、接続部材５２の先端側には、それぞれが電気的な接続端子となる第１基板側端子５２１、第２基板側端子５２２および第３基板側端子５２３が、先端側に向かって突出して設けられている。これに対し、接続部材５２の後端側には、凹んだ形状を有するとともに後端側に向かって開口する開口部５２０が形成されている。そして、開口部５２０の内部には、接続ケーブル９０（図１参照）の接続対象となる第１接続端子５２ａ、第２接続端子５２ｂおよび第３接続端子５２ｃが、後端側に向かって突出して設けられている。ここで、第１基板側端子５２１は第１接続端子５２ａと、第２基板側端子５２２は第２接続端子５２ｂと、第３基板側端子５２３は第３接続端子５２ｃと、それぞれ電気的に接続されている。
【００３５】
また、処理部５０は、先端側筐体３１および／または後端側筐体５１の内側に配置（収容）された、伝導部材５３、被覆部材５４、緩衝部材５５、収容部材５６、回路基板５７および保持部材５８をさらに備える。
【００３６】
伝導部材５３は、全体として棒状を呈する部材である。この伝導部材５３は、導電性を有する真ちゅう等の金属材料によって構成されている。この伝導部材５３には、その先端に、中心線方向の中央部よりも直径が小さい先端側凸部５３ａが設けられており、その後端に、中心線方向の中央部よりも直径が小さい後端側凸部５３ｂが設けられている。この伝導部材５３は、先端側筐体３１の内部に設けられており、その先端側は第１加圧部材３７の内側に、その後端側は収容部材５６の内側に、それぞれ位置している。また、伝導部材５３の先端側と後端側との間に位置する中間部は、第１加圧部材３７と支持部材３９とが重なる部位の内側、支持部材３９の内側および支持部材３９と収容部材とが重なる部位の内側に、それぞれ位置している。その結果、本実施の形態の伝導部材５３は、第１加圧部材３７と支持部材３９と収容部材５６とによって形成される金属製の筒状体に内包されている。そして、伝導部材５３は、第２加圧部材３８の後端側であって、回路基板５７の先端側に配置されている。また、伝導部材５３の先端側凸部５３ａの外径は、第２加圧部材３８の内径よりもわずかに大きい。さらに、伝導部材５３の後端側凸部５３ｂの外径は、被覆部材５４に設けられた後端保持部５４ａ（詳細は後述する）の内幅とほぼ同じである。さらにまた、伝導部材５３の中心線方向中央部の外径は、被覆部材５４の内径とほぼ同じである。伝導部材５３は、被覆部材５４に中心線方向に沿って設けられた貫通孔を貫通するように配置されており、先端側凸部５３ａは被覆部材５４の先端よりも先端側に突出し、後端側凸部５３ｂは被覆部材５４の後端側に設けられた凹部よりも後端側に突出している。そして、伝導部材５３の先端側凸部５３ａは、第２加圧部材３８の内側に挿入されることで、第２加圧部材３８と接触している。一方、伝導部材５３の後端側凸部５３ｂは、被覆部材５４に設けられた後端保持部５４ａにはめ込まれている。また、伝導部材５３の中心線方向中央部の外周面は、被覆部材５４の内周面と接触している。
【００３７】
被覆部材５４は、全体として筒状を呈する部材である。この被覆部材５４は、絶縁性を有するＰＰＴ等の合成樹脂材料によって構成された基材と、導電性を有する銅等の金属材料で構成された配線および端子等とを含む。ただし、被覆部材５４のうち、支持部材３９、緩衝部材５５および収容部材５６と対向する部位（外周面）は、合成樹脂材料で構成されており、この部位に金属材料を露出させないようになっている。また、被覆部材５４の後端側には、金属材料で構成され、伝導部材５３の後端側凸部５３ｂをはめ込んで保持する後端保持部５４ａが設けられている。この被覆部材５４は、先端側筐体３１の内部に設けられており、上述した伝導部材５３と同じく、第１加圧部材３７と支持部材３９と収容部材５６とによって形成される金属製の筒状体に内包されている。そして、被覆部材５４は、第２加圧部材３８の後端側であって、回路基板５７の先端側に配置されている。この被覆部材５４の外周面は、先端側から後端側に向かって、外径が階段状に大きくなっていく形状を有している。この被覆部材５４の中央部には、中心線方向に沿って被覆部材５４を貫通する貫通孔が形成されている。また、被覆部材５４の先端側の外径は、支持部材３９の内径よりも小さく、被覆部材５４の後端側の外径は、収容部材５６の内径よりも小さい。さらに、被覆部材５４の内径は、伝導部材５３の中心線方向中央部の外径とほぼ同じである。そして、被覆部材５４の先端は、伝導部材５３の先端側に設けられ、自身の中心線方向中央部よりも若干外径が太い膨出部の後端と接触している。一方、被覆部材５４の後端は、回路基板５７の先端に接触している。また、被覆部材５４の外周面は、エアギャップを介して支持部材３９の内周面と対峙している。さらに、被覆部材５４の内周面は、伝導部材５３と接触している。
【００３８】
緩衝部材５５は、全体として螺旋状を呈する部材であって、中心線方向に伸縮するコイルスプリング（円筒型圧縮コイルバネ）である。この緩衝部材５５は、導電性を有し且つバネ性が高いリン青銅等の金属材料によって構成されている。この緩衝部材５５は、先端側筐体３１の内部に設けられており、その先端側は第１加圧部材３７の外側に、その後端側は収容部材５６の外側に、その中間部は支持部材３９の外側に、それぞれ位置している。すなわち、緩衝部材５５は、第１加圧部材３７と支持部材３９と収容部材５６とに跨って配置されている。また、緩衝部材５５の外径は、先端側筐体３１（具体的には第２先端側筐体３１２）の内径よりも小さい。さらに、緩衝部材５５の内径は、第１加圧部材３７の後端の外径および収容部材５６の先端側の外径よりもわずかに小さい。そして、緩衝部材５５の外周は、エアギャップを介して先端側筐体３１と対峙している。一方、緩衝部材５５の先端側の内周は、第１加圧部材３７の後端側の外周面と接触し、緩衝部材５５の後端側の内周は、収容部材５６の先端側の外周面と接触している。また、緩衝部材５５の内周は、第１加圧部材３７の外周、支持部材３９の外周および収容部材５６の外周と対峙し、これらの内部に存在する被覆部材５４（および伝導部材５３）とは、直接には対峙しない。このように、緩衝部材５５の外周と先端側筐体３１の内周面との間に、エアギャップを設けることで、緩衝部材５５と先端側筐体３１とは、直接には接触しない。
【００３９】
収容部材５６は、全体として筒状を呈する部材である。この収容部材５６は、導電性を有するリン青銅等の金属材料によって構成されている。この収容部材５６は、先端側筐体３１の内部と後端側筐体５１の内部とに跨って設けられている。そして、収容部材５６は、第１加圧部材３７の後端側であって、接続部材５２の先端側に配置されている。この収容部材５６の外周面および内周面は、先端側から後端側に向かって、外径および内径が階段状に大きくなっていく形状を有している。この収容部材５６の中央部には、中心線方向に沿って収容部材５６を貫通する貫通孔が形成されている。また、収容部材５６の先端側の外径は、先端側筐体３１の内径よりも小さく、収容部材５６の後端側の外径は、後端側筐体５１の内径よりも小さい。ここで、収容部材５６の外周面と先端側筐体３１の内周面との間には、相対的に先端側となる部位に第４絶縁リング４４が、相対的に後端側となる部位に第５絶縁リング４５が、それぞれ配置されている。さらに、収容部材５６の先端側の内径は、被覆部材５４の外径よりも大きく、収容部材５６の後端側の内径は、保持部材５８の外径よりわずかに小さく、収容部材５６の先端側と後端側との間に位置する中間部の内径は、回路基板５７の外径よりもわずかに大きい。そして、収容部材５６の先端側は、緩衝部材５５の後端側と接触しており、これらは半田付けによって一体化している。また、収容部材５６の先端側の内周面は、支持部材３９の後端側の外周面と対峙している。一方、収容部材５６の後端側は、エアギャップを介して接続部材５２と対峙している。また、収容部材５６の先端側の外周面は、第４絶縁リング４４、第５絶縁リング４５およびこれらによって形成されたエアギャップを介して先端側筐体３１と対峙し、収容部材５６の後端側の外周面は、エアギャップを介して後端側筐体５１と対峙している。
【００４０】
回路基板５７は、全体として矩形板状を呈する部材である。この回路基板５７は、受けた圧力に応じて圧電素子３３が出力する微弱な電荷による電気信号（電荷信号：検出信号の一例）に、電気回路を用いた各種処理を施すものであって、所謂プリント配線板によって構成されている。この回路基板５７は、先端側筐体３１の内部と後端側筐体５１の内部とに跨って設けられている。また、回路基板５７は、伝導部材５３および被覆部材５４の後端側であって、接続部材５２の先端側に配置されている。さらに、この回路基板５７は、その全体が収容部材５６の内側に配置されており、回路基板５７の後端側の外周面と収容部材５６の後端側の内周面との間には、保持部材５８が設けられている。そして、回路基板５７の後端側には、上述した第１基板側端子５２１、第２基板側端子５２２および第３基板側端子５２３の接続対象となる受電端子５７ｃ、出力信号端子５７ｄおよび出力接地端子５７ｅが設けられている。ここで、受電端子５７ｃは第１基板側端子５２１と、出力信号端子５７ｄは第２基板側端子５２２と、出力接地端子５７ｅは第３基板側端子５２３と、それぞれ電気的に接続されている。なお、詳細は後述するが、受電端子５７ｃは回路基板５７に対する電源の供給に用いられ、出力信号端子５７ｄは回路基板５７からの信号の出力に用いられ、出力接地端子５７ｅは回路基板５７の接地に用いられる。回路基板５７の詳細については後述する。
【００４１】
保持部材５８は、全体として筒状を呈する部材である。この保持部材５８は、絶縁性を有するＰＰＴ等の合成樹脂材料によって構成された基材と、導電性を有する銅等の金属材料で構成された配線等とを含んでいる。この保持部材５８は、先端側筐体３１の内部と後端側筐体５１の内部とに跨るとともに、収容部材５６の内側且つ回路基板５７の外側となる位置に設けられている。そして、保持部材５８は、第５絶縁リング４５の後端側であって、接続部材５２の先端側に配置されている。この保持部材５８の中央部には、中心線方向に沿って保持部材５８を貫通する貫通孔が形成されている。また、保持部材５８の外径は、収容部材５６の後端側の内径よりもわずかに大きい。さらに、保持部材５８の先端側の内径は、回路基板５７の外径よりもわずかに小さい。そして、保持部材５８の外周面は、収容部材５６の後端側の内周面と接触している。一方、保持部材５８の先端側の内周面は、回路基板５７の後端側の外周面と接触している。ここで，保持部材５８に設けられた配線は、その外周面において収容部材５６の内周面と接触し、その内周面において回路基板５７の入力接地端子５７ｂ（詳細は後述する）に接続される。
【００４２】
ここで、本実施の形態では、先端側が一端側に、後端側が他端側に、それぞれ対応している。また、本実施の形態では、第２加圧部材３８および伝導部材５３が伝達部材の一例として、遮へい体７０が収容体の一例として、それぞれ機能している。ここで、本実施の形態では、第１加圧部材３７および支持部材３９が第１筒状体の一例として、収容部材５６が第２筒状体の一例として、緩衝部材５５が螺旋状体あるいはバネ部材の一例として、それぞれ機能している。さらに、本実施の形態では、ダイアフラムヘッド３２が受圧部の一例として、先端側筐体３１および後端側筐体５１が胴体部の一例として、それぞれ機能している。
【００４３】
［回路基板の構成］
図５は、圧力検出装置２０に設けられた回路基板５７の概略構成図である。
回路基板５７は、１または複数の電子部品（回路素子）を実装するための配線（回路パターン）が形成されたプリント配線基板５７１と、プリント配線基板５７１に実装された処理回路５７２とを有している。
【００４４】
本実施の形態では、プリント配線基板５７１としてガラス布基材エポキシ樹脂をベースとした所謂ガラエポ基板を用いている。そして、回路基板５７には、入出力用の端子として、入力信号端子５７ａ、入力接地端子５７ｂ、受電端子５７ｃ、出力信号端子５７ｄおよび出力接地端子５７ｅが設けられている。
【００４５】
ここで、入力信号端子５７ａには、圧力検出装置２０における『正の経路』（詳細は後述する）が接続され、入力接地端子５７ｂには、圧力検出装置２０における『負の経路』（詳細は後述する）が接続される。これに対し、受電端子５７ｃには第１基板側端子５２１が、出力信号端子５７ｄには第２基板側端子５２２が、出力接地端子５７ｅには第３基板側端子５２３が、それぞれ接続される（図３参照）。なお、回路基板５７では、入力接地端子５７ｂと出力接地端子５７ｅとが接続されている。
【００４６】
また、処理回路５７２は、圧電素子３３から入力信号端子５７ａを介して入力されてくる電荷信号を積分して電圧信号に変換する積分回路５７２ａと、変換後の電圧信号を増幅して出力信号端子５７ｄに出力する増幅回路５７２ｂとを有している。ここで、積分回路５７２ａおよび増幅回路５７２ｂには、受電端子５７ｃを介して、これらを動作させるための電源電圧が供給される。また、積分回路５７２ａおよび増幅回路５７２ｂのグランドは、入力接地端子５７ｂおよび出力接地端子５７ｅに接続される。なお、この例において、処理回路５７２は、所謂集積回路（ＩＣ）で構成されている。
【００４７】
［圧力検出装置における電気的な接続構造］
ここで、圧力検出装置２０における電気的な接続構造について説明を行う。
圧力検出装置２０において、圧電素子３３の後端側の端面（正極）は、金属製の後端電極部材３６と電気的に接続され、後端電極部材３６は、金属製の第２加圧部材（コイルスプリング）３８を介して、金属製の伝導部材５３に接続される。そして、金属製の伝導部材５３は、基本的に絶縁体で構成された被覆部材５４のうち、金属製の後端保持部５４ａと電気的に接続され、後端保持部５４ａは、回路基板５７に設けられた入力信号端子５７ａと電気的に接続される。以下では、圧電素子３３の後端側の面から、後端電極部材３６、第２加圧部材３８、伝導部材５３および後端保持部５４ａを介して、回路基板５７の入力信号端子５７ａに至る電気的な経路を、『正の経路』と称する。
【００４８】
一方、圧力検出装置２０において、圧電素子３３の先端側の端面（負極）は、金属製の先端電極部材３５と電気的に接続され、先端電極部材３５は、金属製の第１加圧部材３７（および金属製の支持部材３９）を介して、金属製の緩衝部材５５と電気的に接続される。そして、金属製の緩衝部材５５は、金属製の収容部材５６と電気的に接続され、収容部材５６は、基本的に絶縁体で構成された保持部材５８に設けられた金属製の配線を介して、回路基板５７に設けられた入力接地端子５７ｂと電気的に接続される。以下では、圧電素子３３の先端側の面から、先端電極部材３５、第１加圧部材３７（支持部材３９）、緩衝部材５５、収容部材５６および保持部材５８の配線を介して、回路基板５７の入力接地端子５７ｂに至る電気的な経路を、『負の経路』と称する。
【００４９】
他方、圧力検出装置２０において、金属製の先端側筐体３１（第１先端側筐体３１１および第２先端側筐体３１２）は、金属製のダイアフラムヘッド３２および金属製の後端側筐体５１と電気的に接続されている。以下では、ダイアフラムヘッド３２から先端側筐体３１を介して後端側筐体５１に至る電気的な経路を、『筐体経路』と称する。
【００５０】
このように、本実施の形態の圧力検出装置２０では、正の経路の外側に負の経路が存在している。そして、正の経路と負の経路とは、絶縁パイプ４０、第１絶縁リング４１、被覆部材５４およびこれらにより形成されるエアギャップによって、電気的に絶縁されている。
【００５１】
また、この圧力検出装置２０では、負の経路の外側に筐体経路が存在している。そして、負の経路と筐体経路とは、絶縁プレート３４、第２絶縁リング４２、第３絶縁リング４３、第４絶縁リング４４、第５絶縁リング４５およびこれらにより形成されるエアギャップによって、電気的に絶縁されている。
【００５２】
そして、この圧力検出装置２０では、正の経路と負の経路とが電気的に絶縁され、且つ、負の経路と筐体経路とが電気的に絶縁されることにより、正の経路と筐体経路とが、電気的に絶縁されていることになる。
【００５３】
なお、以下の説明においては、『筐体経路』を構成する、先端側筐体３１、ダイアフラムヘッド３２および後端側筐体５１を、まとめて「筐体６０」と称することがある（図２および図３参照）。また、以下の説明においては、『負の経路』を構成する、先端電極部材３５、第１加圧部材３７、支持部材３９、緩衝部材５５および収容部材５６を、まとめて「遮へい体７０」と称することがある（図２参照）。
【００５４】
ここで、本実施の形態では、遮へい体７０を構成する、第１加圧部材３７、支持部材３９および収容部材５６によって、軸方向に伸びる筒状体を形成するとともに、第１加圧部材３７および支持部材３９と収容部材５６とを、円筒型圧縮コイルバネからなる緩衝部材５５を用いて電気的に接続している。そして、これらに先端電極部材３５を加えた遮へい体７０（負の経路）の内部に、圧電素子３３を収容するとともに、正の経路を構成する後端電極部材３６、第２加圧部材３８および伝導部材５３を収容している。また、本実施の形態では、遮へい体７０の内部に、正の経路および負の経路が接続された回路基板５７も収容している。
【００５５】
また、筐体６０は、圧力検出装置２０において外部に露出する部位であり、特にダイアフラムヘッド３２は、燃焼に伴って酸性度が高くなる燃焼室Ｃに対峙する部位である。これに対し、遮へい体７０は、圧力検出装置２０において筐体６０の内部に収容される部位であり、この例においては、負の経路を形成する部位でもある。このため、遮へい体７０は、筐体６０よりも導電性が高い材料で構成することが好ましく、また、筐体６０は、遮へい体７０よりも耐酸性が高い材料で構成することが好ましい。
【００５６】
［圧力検出装置の組立手順］
ここで、本実施の形態の圧力検出装置２０の組立手順について説明を行う。
（第１構造物の組立）
まず、第１先端側筐体３１１の先端側とダイアフラムヘッド３２の裏面側（凸部３２ｃ側）とを対向させて両者を突き当てる。そして、この状態で、第１先端側筐体３１１とダイアフラムヘッド３２との境界部を、少なくとも一周にわたってレーザ溶接して固定する。以下では、第１先端側筐体３１１およびダイアフラムヘッド３２を含む構造物を、「第１構造物」と称する。
【００５７】
（第２構造物の組立）
また、第１加圧部材３７の内部に、第１加圧部材３７の後端側から、先端電極部材３５、絶縁パイプ４０、圧電素子３３、後端電極部材３６、第１絶縁リング４１、支持部材３９を、この順で挿入する。このとき、後端電極部材３６の座ぐり穴３６ａが後端側を向くようにする。この状態で、第１加圧部材３７に対する支持部材３９の中心線方向の位置調整を行い、第１加圧部材３７および支持部材３９を介して圧電素子３３にかかる荷重（予荷重）を調整する。
【００５８】
そして、第１加圧部材３７に対する支持部材３９の中心線方向の位置調整が完了した後、第１加圧部材３７と支持部材３９とを、少なくとも一周にわたってレーザ溶接して固定する。以下では、このようにして得られた、圧電素子３３、先端電極部材３５、後端電極部材３６、第１加圧部材３７、支持部材３９、絶縁パイプ４０および第１絶縁リング４１を含む構造物を、「第２構造物」と称する。
【００５９】
（第３構造物（先端側構造物）の組立）
続いて、第２構造物を構成する第１加圧部材３７の先端側に設けられた開口部に、第１加圧部材３７の先端側から、絶縁プレート３４を装着する（はめ込む）。そして、第１構造物の内部に、第１構造物（第１先端側筐体３１１）の後端側から、絶縁プレート３４の装着部位を先端側として第２構造物を挿入する。これに伴い、絶縁プレート３４の先端側の面は、第１構造物を構成するダイアフラムヘッド３２の裏面側に設けられた凸部３２ｃに突き当たる。また、絶縁プレート３４の後端側の面は、第２構造物を構成する先端電極部材３５の先端側の面に突き当たる。さらに、第１構造物を構成するダイアフラムヘッド３２の凹部３２ｂの後端側の面と、第２構造物を構成する第１加圧部材３７の先端側の面との間には、エアギャップが形成される。
【００６０】
そして、第１構造物に対し絶縁プレート３４および第２構造物を挿入した状態で、第１先端側筐体３１１の内周面と第１加圧部材３７の外周面との間の隙間に、後端側から、第２絶縁リング４２および第３絶縁リング４３を、この順で挿入する。これにより、絶縁プレート３４、第２絶縁リング４２および第３絶縁リング４３を介して、第１構造物および第２構造物の相対的な位置決めがなされる。以下では、このようにして得られた、第１構造物、第２構造物、絶縁プレート３４、第２絶縁リング４２および第３絶縁リング４３を含む構造物を、「第３構造物（先端側構造物）」と称する。
【００６１】
（第４構造物の組立）
一方、上記第３構造物（先端側構造物）の組立とは別工程にて、被覆部材５４の内部に、被覆部材５４の先端側から、後端側凸部５３ｂを後端側として伝導部材５３を挿入する。このとき、伝導部材５３の後端側に設けられた後端側凸部５３ｂは、被覆部材５４に設けられた後端保持部５４ａにはまり込む。また、伝導部材５３の先端側に設けられた先端側凸部５３ａは、被覆部材５４よりも先端側に突出することで、外部に露出する。次に、被覆部材５４にはめ込まれた伝導部材５３の先端側凸部５３ａに対し、伝導部材５３の先端側から、第２加圧部材３８を装着する（はめ込む）。そして、第２加圧部材３８の後端側と伝導部材５３の先端側凸部５３ａとを、少なくとも一周にわたって半田付けして固定する。以下では、伝導部材５３および被覆部材５４を含む構造物を、「第４構造物」と称する。
【００６２】
（第５構造物の組立）
また、緩衝部材５５の内部に、緩衝部材５５の後端側から、相対的に径が小さい（細い）部位を先端側として収容部材５６を挿入する。そして、収容部材５６の先端側の外周面に緩衝部材５５の後端側をはめ込んだ状態で、収容部材５６と緩衝部材５５とを、少なくとも一周にわたって半田付けして固定する。以下では、このようにして得られた、緩衝部材５５および収容部材５６を含む構造物を、「第５構造物」と称する。
【００６３】
（第６構造物の組立）
次に、第５構造物の内部に、第５構造物（収容部材５６）の後端側から、伝導部材５３の先端側凸部５３ａを先端側として第４構造物を挿入する。そして、収容部材５６の内側に設けられた段差部（先端側および後端側の二箇所）に、被覆部材５４の外側に設けられた段差部（先端側および後端側の二箇所）を突き当てた状態で、収容部材５６の後端側から、回路基板５７および保持部材５８を、この順で挿入する。以下では、このようにして得られた、第４構造物、第５構造物、回路基板５７および保持部材５８を含む構造物を、「第６構造物」と称する。
【００６４】
（第７構造物（後端側構造物）の組立）
続いて、第２先端側筐体３１２の内部に、第２先端側筐体３１２の後端側から、第４絶縁リング４４および第５絶縁リング４５を挿入し、さらに、伝導部材５３の先端側凸部５３ａを先端側として第６構造物を挿入する。その結果、第２先端側筐体３１２の内側且つ先端側に設けられた段差部と、収容部材５６の外側且つ先端側に設けられた段差部とが、第４絶縁リング４４を介して突き当たる。また、第２先端側筐体３１２の内側且つ後端側に設けられた段差部と、収容部材５６の外側且つ後端端側に設けられた段差部とが、第５絶縁リング４５を介して突き当たる。このとき、第６構造物に設けられた緩衝部材５５の先端側の端部は、第２先端側筐体３１２の先端側の端面よりも先端側に突出した位置に存在する。また、このとき、第６構造物に設けられた収容部材５６の後端側の端部は、第２先端側筐体３１２の後端側の端面よりも後端側に突出した位置に存在する。以下では、第２先端側筐体３１２、第４絶縁リング４４、第５絶縁リング４５および第６構造物を含む構造物を、「第７構造物（後端側構造物）」と称する。
【００６５】
（圧力検出装置の組立）
第３構造物に対し、第３構造物（支持部材３９）の後端側から、伝導部材５３の先端側凸部５３ａを先端側として第７構造物を近づけていく。その結果、第３構造物を構成する支持部材３９の後端側の外周面に、第７構造物を構成する緩衝部材５５の先端側がはまり込む。このとき、第７構造体において、緩衝部材５５の先端側の端部は、第２先端側筐体３１２の先端側の端面よりも先端側に突出した位置にある。そして、支持部材３９の後端側と緩衝部材５５の先端側とを、少なくとも一周にわたってレーザ溶接して固定する。
【００６６】
第３構造物の支持部材３９と第７構造物の緩衝部材５５とをレーザ溶接した後、第３構造物および第７構造物に対し、軸方向に、緩衝部材５５を圧縮させるための力を加える。すると、緩衝部材５５が軸方向に縮むことに伴い、第７構造物を構成する第４構造物（伝導部材５３、被覆部材５４および第２加圧部材３８）の先端側が、第３構造物の後端側から、支持部材３９および第１絶縁リング４１を介して後端電極部材３６の座ぐり穴３６ａへと到達する孔に挿入される。また、緩衝部材５５が軸方向に縮むことに伴い、第７構造物を構成する第２先端側筐体３１２の先端側且つ内部に、第３構造物を構成する第１先端側筐体３１１の後端側が収容される。
【００６７】
そして、緩衝部材５５の圧縮に伴って、第７構造物を構成する第２先端側筐体３１２の先端側の端面が、第３構造物を構成する第１先端側筐体３１１の外周面に設けられた段差部に突き当たる。このとき、第３構造物を構成する後端電極部材３６の座ぐり穴３６ａの後端側の面に、第７構造物を構成する第２加圧部材３８の先端側が突き当たる。ただし、この状態において、第７構造物を構成する伝導部材５３の先端側凸部５３ａは、後端電極部材３６の座ぐり穴３６ａの後端側の面には接触しない。また、このとき、第７構造物を構成する収容部材５６の先端側且つ内部に、第３構造物を構成する支持部材３９の後端側が収容される。すなわち、支持部材３９の後端側と収容部材５６の先端側とは、軸方向においてオーバーラップする。なお、このとき、緩衝部材５５は、自由長さと密着高さとの間の長さとなっており、隣接する金属線同士の間には隙間が存在している。
【００６８】
続いて、第３構造物の第１先端側筐体３１１と第７構造物の第２先端側筐体３１２とを突き当てた状態で、第１先端側筐体３１１と第２先端側筐体３１２との境界部を、少なくとも一周にわたってレーザ溶接して固定する。以上により、圧力検出装置２０の組立が完了する。
【００６９】
［圧力検出装置による圧力検出動作］
では、圧力検出装置２０による圧力検出動作について説明を行う。
内燃機関１０が動作しているとき、ダイアフラムヘッド３２の圧力受面３２ａに、燃焼室Ｃ内で発生した圧力（燃焼圧）が付与される。ダイアフラムヘッド３２では、圧力受面３２ａが受けた圧力が裏側の凸部３２ｃに伝達され、さらに凸部３２ｃから絶縁プレート３４へと伝達される。そして、絶縁プレート３４に伝達された圧力は先端電極部材３５へと伝達されることで、先端電極部材３５と後端電極部材３６とに挟まれた圧電素子３３に作用し、圧電素子３３では、受けた圧力に応じた電荷が生じる。圧電素子３３に生じた電荷は、正の経路すなわち後端電極部材３６、第２加圧部材３８、伝導部材５３および後端保持部５４ａを介して、回路基板５７の入力信号端子５７ａに電荷信号として供給される。回路基板５７に供給された電荷信号は、積分回路５７２ａで積分処理されることで電圧信号に変換され、さらに増幅回路５７２ｂで増幅処理されることで出力信号とされる。そして、増幅回路５７２ｂから出力された出力信号は、回路基板５７の出力信号端子５７ｄから、接続部材５２に設けられた第２基板側端子５２２および第２接続端子５２ｂを介して、外部（ここでは接続ケーブル９０および制御装置８０）に送信される。
【００７０】
［実施の形態１のまとめ］
本実施の形態の圧力検出装置２０は内燃機関１０に取り付けられており、この内燃機関１０が自動車に搭載されている場合、クラクション、ヘッドライトおよびワイパー等で発生したｋＨｚオーダーの周波数のノイズ（以下では低周波ノイズと称する）が、内燃機関１０のシリンダヘッド１３に侵入してくる。そして、本実施の形態では、金属で構成されたシリンダヘッド１３に、圧力検出装置２０のうち金属で構成された筐体６０を取り付けているため、シリンダヘッド１３に侵入してきた低周波ノイズは、圧力検出装置２０の筐体６０にも伝播する。
【００７１】
本実施の形態の圧力検出装置２０では、筐体６０すなわち筐体経路と、圧電素子３３から回路基板５７に至る正の経路および負の経路とを、電気的に絶縁している。このため、シリンダヘッド１３から圧力検出装置２０の筐体６０に伝播した低周波ノイズは、回路基板５７には伝達されにくくなる。その結果、低周波ノイズに起因する、回路基板５７におけるグランド電位の揺れ（変動）が抑制されることになり、回路基板５７から出力される出力信号の揺れ（変動）を低減させることが可能になる。
【００７２】
また、本実施の形態の内燃機関１０が自動車に搭載されている場合、自動車の周囲には、通常、携帯電話、ラジオおよびテレビ等で使用されるＭＨｚオーダーの周波数の電波が飛び交う。この電波が、圧力検出装置２０に設けられた正の経路に照射されると、ＭＨｚオーダーの周波数のノイズ（以下では高周波ノイズと称する）が、回路基板５７での処理（出力信号の生成）に影響を及ぼす。
【００７３】
本実施の形態では、負の経路すなわち遮へい体７０を用いて、正の経路を覆っている（収容している）。このため、外部から圧力検出装置２０に照射される電波は、遮へい体７０によって遮られることとなり、微弱な電荷信号を伝送する正の経路に到達しにくくなる。また、本実施の形態では、遮へい体７０が回路基板５７も覆っているため、外部から圧力検出装置２０に照射される電波は、遮へい体７０によって遮られることとなり、微弱な電荷信号を処理する回路基板５７にも到達しにくくなる。その結果、高周波ノイズに起因する、回路基板５７における入力信号の揺れ（変動）が抑制されることになり、回路基板５７から出力される出力信号の揺れ（変動）を低減させることが可能になる。
【００７４】
ここで、本実施の形態では、遮へい体７０を構成する、軸方向に並べて配置された第１加圧部材３７（支持部材３９）および収容部材５６を、円筒型圧縮コイルバネで構成された緩衝部材５５を用いて電気的に接続した。そして、第１加圧部材３７、支持部材３９、緩衝部材５５および収容部材５６によって形成される内部空間に、正の経路（伝導部材５３）および回路基板５７を配置するようにした。これにより、遮へい体７０を構成する各部材の寸法誤差を許容しつつ（構造の柔軟性を高めつつ）、遮へいの効果を得ることができる。また、緩衝部材５５を用いないで遮へい体７０を構成した場合と比較して、圧力検出装置２０の組立が容易になる。
【００７５】
特に、本実施の形態では、遮へい体７０を構成する第１加圧部材３７（支持部材３９）および収容部材５６を、軸方向にオーバーラップさせるようにした。このため、例えば第１加圧部材３７（支持部材３９）および収容部材５６を軸方向にオーバーラップさせないで配置した場合と比較して、正の経路への高周波ノイズの侵入を、さらに抑制することができる。
【００７６】
また、本実施の形態では、遮へい体７０が負の経路を兼ねるようにしたので、遮へい体７０と負の経路とを別々に設けた場合と比較して、圧力検出装置２０の構成を簡易にすることができる。
【００７７】
＜実施の形態２＞
本実施の形態は、実施の形態１とほぼ同様であるが、圧力検出装置２０における遮へい体７０の構成の一部が、実施の形態１とは異なる。なお、本実施の形態において、実施の形態１と同様のものについては、同じ符号を付してその詳細な説明を省略する。
【００７８】
［遮へい体の構成］
図６は、実施の形態２の圧力検出装置２０の先端側の拡大断面図である。
本実施の形態の圧力検出装置２０は、支持部材３９と収容部材５６との位置関係が実施の形態１とは異なる。また、本実施の形態の圧力検出装置２０は、緩衝部材５５の圧縮状態が実施の形態１とは異なる。
【００７９】
本実施の形態では、支持部材３９で後端側となる部位と、収容部材５６で先端側となる部位とが、軸方向において互いに重ならない位置関係となっている。すなわち、支持部材３９と収容部材５６とは、軸方向においてオーバーラップしていない。したがって、本実施の形態では、支持部材３９と収容部材５６との間に形成される隙間に、伝導部材５３を内部に収容した被覆部材５４が露出した状態となっている。
【００８０】
また、本実施の形態の緩衝部材５５は、実施の形態１と同様に、コイルスプリング（円筒型圧縮コイルバネ）で構成されている。ただし、本実施の形態では、圧力検出装置２０に取り付けられた緩衝部材５５の軸方向の中央部が、ほぼ密着高さとなるように圧縮されている。その結果、緩衝部材５５の軸方向の中央部は、密着することで隙間がほぼ存在しない円筒状となっている。ここで、緩衝部材５５の軸方向の中央部すなわち円筒型圧縮コイルバネを構成する金属線が密着している部位は、支持部材３９および収容部材５６がオーバーラップしていない領域を内部に収容していることになる。
【００８１】
ここで、本実施の形態では、遮へい体７０を構成する、第１加圧部材３７、支持部材３９、緩衝部材５５および収容部材５６によって、軸方向に伸びる筒状体を形成するとともに、第１加圧部材３７（支持部材３９）と収容部材５６とを、圧縮コイルバネからなる緩衝部材５５を用いて電気的に接続している。すなわち、本実施の形態では、実施の形態１よりも緩衝部材５５の圧縮度合いを高めることで、緩衝部材５５自身を筒状化している。そして、これらに先端電極部材３５を加えた遮へい体７０（負の経路）の内部に、圧電素子３３を収容するとともに、正の経路を構成する後端電極部材３６、第２加圧部材３８および伝導部材５３も収容している。また、本実施の形態では、実施の形態１と同様、遮へい体７０の内部に、回路基板５７も収容している。
【００８２】
［圧力検出装置の組立手順］
ここで、本実施の形態の圧力検出装置２０の組立手順について説明を行う。ただし、本実施の形態の圧力検出装置２０の組立手順は、「第３構造部（先端側構造物）の組立」および「第７構造物（後端側構造物）の組立」までは、基本的に実施の形態１と同じであり、最後の「圧力検出装置の組立」が実施の形態１とは異なる。このため、ここでは、「圧力検出装置の組立」についてのみ説明を行う。
【００８３】
（圧力検出装置の組立）
第３構造物に対し、第３構造物（支持部材３９）の後端側から、伝導部材５３の先端側凸部５３ａを先端側として第７構造物を近づけていく。その結果、第３構造物を構成する支持部材３９の後端側の外周面に、第７構造物を構成する緩衝部材５５の先端側がはまり込む。このとき、第７構造体において、緩衝部材５５の先端側の端部は、第２先端側筐体３１２の先端側の端面よりも先端側に突出した位置にある。そして、支持部材３９の後端側と緩衝部材５５の先端側とを、少なくとも一周にわたってレーザ溶接して固定する。
【００８４】
第３構造物の支持部材３９と第７構造物の緩衝部材５５とをレーザ溶接した後、第３構造物および第７構造物に対し、軸方向に、緩衝部材５５を圧縮させるための力を加える。すると、緩衝部材５５が軸方向に縮むことに伴い、第７構造物を構成する第４構造物（伝導部材５３、被覆部材５４および第２加圧部材３８）の先端側が、第３構造物の後端側から、支持部材３９および第１絶縁リング４１を介して後端電極部材３６の座ぐり穴３６ａへと到達する孔に挿入される。また、緩衝部材５５が軸方向に縮むことに伴い、第７構造物を構成する第２先端側筐体３１２の先端側且つ内部に、第３構造物を構成する第１先端側筐体３１１の後端側が収容される。
【００８５】
そして、緩衝部材５５の圧縮に伴って、第７構造物を構成する第２先端側筐体３１２の先端側の端面が、第３構造物を構成する第１先端側筐体３１１の外周面に設けられた段差部に突き当たる。このとき、第３構造物を構成する後端電極部材３６の座ぐり穴３６ａの後端側の面に、第７構造物を構成する第２加圧部材３８の先端側が突き当たる。ただし、この状態において、第７構造物を構成する伝導部材５３の先端側凸部５３ａは、後端電極部材３６の座ぐり穴３６ａの後端側の面には接触しない。また、このとき、第７構造物を構成する収容部材５６の先端側且つ内部に、第３構造物を構成する支持部材３９の後端側が収容されない。すなわち、支持部材３９の後端側と収容部材５６の先端側とが、軸方向においてオーバーラップしない。なお、このとき、緩衝部材５５は、ほぼ密着高さとなっており、隣接する金属線同士の間には隙間がほぼ存在しない。
【００８６】
続いて、第３構造物の第１先端側筐体３１１と第７構造物の第２先端側筐体３１２とを突き当てた状態で、第１先端側筐体３１１と第２先端側筐体３１２との境界部を、少なくとも一周にわたってレーザ溶接して固定する。以上により、圧力検出装置２０の組立が完了する。
【００８７】
［実施の形態２のまとめ］
本実施の形態では、実施の形態１とは異なり、支持部材３９および収容部材５６を軸方向にオーバーラップさせないで配置している。ただし、この部位には、第１加圧部材３７（支持部材３９）および収容部材５６を電気的に接続する緩衝部材５５の金属線を、密着させた状態で配置している。このため、本実施の形態においても、上述した実施の形態１と同様の効果を得ることができる。
【００８８】
なお、本実施の形態では、圧力検出装置２０を構成する緩衝部材５５を、密着高さとなるまで圧縮することで、緩衝部材５５の金属線を密着させて隙間を存在させないようにしていたが、これに限られるものではない。すなわち、遮へい体７０による遮へい効果が得られる範囲において、緩衝部材５５の金属線には隙間が存在していてもよい。
【００８９】
［緩衝部材の他の構成例］
本実施の形態では、緩衝部材５５を円筒型圧縮コイルバネで構成した場合を例として説明を行ったが、緩衝部材５５の構成はこれに限られるものではない。
図７は、本実施の形態の圧力検出装置２０で用いられる緩衝部材５５の他の構成例を示す図である。ここで、図７（ａ）は円筒形圧縮コイルバネの変形例である円錐型圧縮コイルバネを、図７（ｂ）は円錐型圧縮バネの変形例である竹の子バネを、それぞれ示している。
【００９０】
図７（ａ）に示す円錐型圧縮コイルバネは、金属線を円錐状に巻き回すことで、軸方向一端部から軸方向他端部に向けて、その直径が徐々に大きくなっていく形状を有している。このような円錐型圧縮コイルバネを緩衝部材５５に用いる場合、自由長さが同じ円筒型圧縮コイルバネを用いる場合と比較して、密着高さをより小さくできるという利点がある。また、円錐型圧縮コイルバネは、円筒型圧縮コイルバネと比べて、圧縮した際に金属線の軸方向のオーバーラップが容易となるため、緩衝部材５５による遮へい効果を高めることもできる。なお、ここでは、円錐型圧縮コイルバネを例としたが、軸方向中央部よりも軸方向両端部の直径が大きい鼓型圧縮コイルバネや、軸方向中央部よりも軸方向両端部の直径が小さい樽型圧縮コイルバネを緩衝部材５５に用いた場合にも、同様の効果が得られる。
【００９１】
また、図７（ｂ）に示す竹の子バネは、金属板を円錐状に巻き回すことで、軸方向一端部から軸方向他端部に向けて、その直径が徐々に大きくなっていく形状を有している。また、竹の子バネは、円筒型圧縮コイルバネや図７（ａ）に示す円錐型圧縮コイルバネとは異なり、圧縮前の状態すなわち自由長さの状態において、既に金属板が軸方向にオーバーラップしている。このため、竹の子バネを緩衝部材５５に用いることで、緩衝部材５５による遮へい効果をより容易に高めることができる。
【００９２】
＜その他＞
なお、実施の形態１、２では、遮へい体７０において、支持部材３９と収容部材５６とを、緩衝部材５５を介して接続していたが、これに限られるものではない。例えば、第１加圧部材３７と収容部材５６とを、緩衝部材５５を介して接続してもよい。なぜならば、実施の形態１、２において、支持部材３９および第１加圧部材３７はレーザ溶接によって一体化しており、電気的には同電位となっているためである。
また、実施の形態１、２では、緩衝部材５５を構成する金属線の断面を円形状としていたが、これに限られるものではなく、他の形状（長方形状等）であってもかまわない。
さらに、実施の形態１では、支持部材３９の後端側が、収容部材５６の先端側の内側に位置するようにしていたが、これに限られるものではなく、支持部材３９の後端側が、収容部材５６の先端側の外側に位置するようにしてもかまわない。
【実施例】
【００９３】
以下、実施例に基づいて本発明をさらに詳細に説明する。ただし、本発明は、その要旨を超えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。
本発明者は、負の経路すなわち遮へい体７０の構造を異ならせた複数の圧力検出装置２０を作製し、ＢＣＩ（Bulk Current Injection）試験による評価を行った。
【００９４】
では、各実施例（実施例１、２）および比較例のそれぞれの圧力検出装置２０について、説明を行う。
まず、実施例１では、実施の形態１で説明した構造（図４参照）を採用した。また、実施例２では、実施の形態２で説明した構造（図６参照）を採用した。ここで、実施例２では、緩衝部材５５として円筒型圧縮コイルバネを用いた。一方、比較例では、緩衝部材５５に代えて、支持部材３９と収容部材５６とを、直線状の金属ワイヤにて接続する構成を採用した。
【００９５】
次に、各圧力検出装置２０の評価に用いたＢＣＩ試験について、簡単に説明を行う。
ＢＣＩ試験は、自動車のＥＭＣ（Electromagnetic Compatibility）規格のうち、ＥＭＳ（Electromagnetic Susceptibility）に対応するイミュニティ規格として定められたものであって、例えばＩＳＯ１１４５２−４：２０１１に規定されている。
【００９６】
なお、今回は、圧力検出装置２０に接続ケーブル９０を取り付ける一方、圧力検出装置２０の筐体６０を、空気層等を介して外部と絶縁した状態でＢＣＩ試験を行った。ここで、接続ケーブル９０の長さは１ｍとした。また、ＢＣＩ試験における、接続ケーブル９０に対するノイズの印加は、接続部材５２の第１接続端子５２ａ〜第３接続端子５２ｃから１５０ｍｍとなる位置に対して行った。さらに、接続ケーブル９０に印加するノイズをＡＭ変調方式で作成するとともに、印加するノイズの周波数範囲を、１ＭＨｚ以上１０００ＭＨｚ（１ＧＨｚ）以下とした。そして、接続ケーブル９０にノイズが印加された状態で、回路基板５７に設けられた出力信号端子５７ｄと出力接地端子５７ｅとの間の電圧の変動量（以下では、出力電圧変動量と称する）を測定した。なお、ＩＳＯ１１４５２−４：２０１１では、印加するノイズの周波数範囲が１ＭＨｚ〜４００ＭＨｚと定められており、今回は、これよりも広い周波数範囲で測定を行うこととした。
【００９７】
図８は、各実施例（実施例１、２）および比較例のＢＣＩ試験の結果を、グラフとして示す図である。ここで、図８（ａ）は実施例１の結果を、図８（ｂ）は実施例２の結果を、図８（ｃ）は比較例の結果を、それぞれ示している。なお、図８（ａ）〜（ｃ）のそれぞれにおいては、横軸が周波数（１ＭＨｚ〜１０００ＭＨｚ）となっており、縦軸が出力電圧変動量（Ｖ）となっている。
【００９８】
実施例１では、出力電圧変動量の範囲が±０．００１Ｖ（±１ｍＶ）程度であり、実施例２では、出力電圧変動量の範囲が±０．００３Ｖ（±３ｍＶ）程度であった。これに対し、比較例では、出力電圧変動量の範囲が±０．０５Ｖ（±５０ｍＶ）を超えた。すなわち、実施例１、２は、比較例と比べて、出力電圧変動量の範囲を狭くできることがわかった。
【００９９】
上述した結果から、測定周波数が１ＭＨｚ〜１０００ＭＨｚの範囲においては、支持部材３９と収容部材５６とを、実施例１、２のように環状（螺旋状、渦巻き状）の緩衝部材５５を介して接続することにより、比較例のように直線状の金属ワイヤを介して接続する場合と比べて、出力電圧（出力信号）に重畳されるノイズが低減されていることがわかる。すなわち、各実施の形態で説明した遮へい体７０の構造を採用することで、外部のノイズ源に対する圧力検出装置２０の遮へい効果を高くできることがわかる。
【符号の説明】
【０１００】
１…圧力検出システム、１０…内燃機関、２０…圧力検出装置、３０…検出部、３１…先端側筐体、３２…ダイアフラムヘッド、３３…圧電素子、３４…絶縁プレート、３５…先端電極部材、３６…後端電極部材、３７…第１加圧部材、３８…第２加圧部材、３９…支持部材、４０…絶縁パイプ、４１…第１絶縁リング、４２…第２絶縁リング、４３…第３絶縁リング、４４…第４絶縁リング、４５…第５絶縁リング、５０…処理部、５１…後端側筐体、５２…接続部材５３…伝導部材、５４…被覆部材、５５…緩衝部材、５６…収容部材、５７…回路基板、５８…保持部材、６０…筐体、７０…遮へい体、８０…制御装置、９０…接続ケーブル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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