(57)【要約】      （修正有）【課題】直感的操作で便利に使用できかつ測定精度が高い投影測定装置を提供する。【解決手段】投影測定装置３００は、照明光を測定対象物に照射し、測定対象物からの透過光を投影スクリーン３２１に拡大投影する。投影測定装置は、さらに、投影スクリーン３２１に重ねて配設された透明ディスプレイパネルと、透明ディスプレイパネルに重ねて配設された透明タッチパネル３４1と、測定対象物からの透過光または反射光を撮像するイメージセンサ３３７と、を備える。投影測定装置は、透明タッチパネルによる入力操作とイメージセンサで取得した画像データとに基づいて測定対象物の測定を行う。【選択図】図５
2019132712.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明光を測定対象物に照射し、前記測定対象物からの透過光または反射光を投影スクリーンに拡大投影する投影測定装置において、
前記投影スクリーンに重ねて配設された透明タッチパネルと、
前記前記測定対象物からの透過光または反射光を撮像するイメージセンサと、備え、
前記透明タッチパネルによる入力操作と前記イメージセンサで取得した画像データとに基づいて前記測定対象物の測定を行う
ことを特徴とする投影測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の投影測定装置において、
さらに、前記投影スクリーンに重ねて配設された透明ディスプレイパネルを備える
ことを特徴とする投影測定装置。
【請求項３】
請求項２に記載の投影測定装置において、
前記透明タッチパネルおよび前記透明ディスプレイパネルのサイズは、前記投影スクリーンのサイズよりも大きい
ことを特徴とする投影測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はいわゆる投影測定装置に関し、照明光を測定対象物に照射して、その透過光または測定対象物からの反射光をスクリーン上に拡大投影する投影測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
測定対象物の像をスクリーン上に拡大投影し、その投影像から測定対象物の寸法や形状などを観察するとともに測定する投影測定装置が知られている。
図１、図２を参照して投影測定装置１００を簡単に説明する。
図１は投影測定装置１００の外観斜視図である。
図２は、投影機２００の内部構成の模式図である。
【０００３】
投影測定装置１００は、投影機２００と、制御装置と、で構成されている。
投影機２００は、投影機本体部３００と、ステージ２１０と、を備える。
投影機本体部３００は、基台部３１０と、投影部３２０と、支柱部３６０と、を備える。
基台部３１０は、投影機本体部３００の下部を構成しており、基台部３１０の内部には上方に向けて光を発するように配置された照明用光源３１１が内蔵されている（図２）。
投影部３２０は、投影機本体部３００の上部を構成しており、その正面側には投影スクリーン３２１が配置されている。また、投影部３２０の下側には倍率の異なる複数（例えば３つ）の対物レンズ３２２が設けられている。対物レンズ３２２は、ターレット（図示省略）に装着され、ターレットの旋回によって切り換えられるようになっている。
【０００４】
投影部３２０の内部には、対物レンズ３２２からの光を投影スクリーン３２１で結像させるように構成された結像光学系３３０が配置されている。結像光学系３３０は、第１反射ミラー３３１と、第２反射ミラー３３２と、結像レンズ３３５と、で構成されている。
光路については後ほど説明する。
【０００５】
支柱部３６０は、基台部３１０の背面側と投影部３２０の背面側とを連結して、投影部３２０を支持している。
【０００６】
ステージ２１０は、基台部３１０と投影部３２０との間に配置されており、光源３１１からの照明光を上方へ透過できるようにガラスなどによって構成されている。また、ステージ２１０は、上下方向（Ｚ方向）へ昇降可能かつ水平面内の直交する二軸方向（Ｘ方向およびＹ方向）へスライド可能に設けられている。ステージ２１０には測定対象物Ｗが載置される。
【０００７】
光源３１１から投影スクリーン３２１までの光路を簡単に説明しておく（図２）。
光源３１１からの光がステージ２１０を透過してステージ２１０に配置された測定対象物Ｗを下から照明する。この照明光は対物レンズ３２２で集光された後、第１反射ミラー３３１で斜め上方へ反射される。第１反射ミラー３３１からの反射光は、第２反射ミラー３３２によってほぼ水平方向へ反射され、結像レンズ３３５を介して投影スクリーン３２１へ到達する。投影スクリーン３２１には測定対象物Ｗの拡大像が投影される。
【０００８】
このような投影測定装置１００において、測定対象物Ｗの輪郭や孔径の寸法を測定する場合には次のようにする。
適切な倍率の対物レンズ３２２を選択し、測定対象物Ｗを載置したステージ２１０を上下方向（Ｚ方向）へ昇降させてピント合わせを行う。測定箇所に応じたマイラースクリーン５１、５２を投影スクリーン３２１上に配置して、測定箇所の寸法をマイラースクリーン５１、５２の目盛りから読み取る。図３はマイラースクリーン５１、５２を例示した図である。
【０００９】
あるいは、ステージ２１０をＸ方向およびＹ方向へ移動させながら測定箇所のエッジを投影スクリーン３２１あるいはマイラースクリーン５１、５２の所定マークに位置合わせする。このとき、ステージ２１０の移動量から測定箇所の寸法を得る。
ステージ２１０にはエンコーダが設けられていて、ステージ２１０の移動量はデジタルカウンターに表示されるようになっているものもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特許３１６５２１９
【特許文献２】特許２６９４０８２
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
投影測定装置１００は、顕微鏡のように接眼レンズを覗かなくても測定対象物の拡大像を簡単に目視できるし、複数人が同時に観察、検査できるといった利点もあり、様々な現場で使用されている。
しかしながら、マイラースクリーン５１、５２を用いる寸法読み取りは手間も時間も掛かるので測定効率が低いし、オペレータごとの読み取り誤差も生じやすい。
ステージ２１０の移動量をデジタルカウンターから数値を読み取る方法によればある程度正確な測定が期待できるが、ステージ２１０を前後左右に移動させるのは手間も時間も掛かり、測定効率が低い。
【００１２】
本発明の目的は、直感的操作で便利に使用できかつ測定精度が高い投影測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の投影測定装置は、
照明光を測定対象物に照射し、前記測定対象物からの透過光または反射光を投影スクリーンに拡大投影する投影測定装置において、
前記投影スクリーンに重ねて配設された透明タッチパネルと、
前記前記測定対象物からの透過光または反射光を撮像するイメージセンサと、備え、
前記透明タッチパネルによる入力操作と前記イメージセンサで取得した画像データとに基づいて前記測定対象物の測定を行う
ことを特徴とする。
【００１４】
本発明では、
さらに、前記投影スクリーンに重ねて配設された透明ディスプレイパネルを備える
ことが好ましい。
【００１５】
本発明では、
前記透明タッチパネルおよび前記透明ディスプレイパネルのサイズは、前記投影スクリーンのサイズよりも大きい
ことが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】投影測定装置の外観斜視図である。
【図２】投影機の内部構成の模式図である。
【図３】マイラースクリーンの例を示す図である。
【図４】投影測定装置を示す図である。
【図５】投影タッチディスプレイパネルを投影スクリーンから分離して示す図である。
【図６】投影スクリーンに結像する像とイメージセンサ上に結像する像との間の座標の対応付けを模式的に表わす図である。
【図７】制御装置の機能ブロック図である。
【図８】形状解析部の機能ブロック図である。
【図９】投影測定装置による測定動作を説明するためのフローチャートである。
【図１０】投影タッチスクリーンに測定対象物Ｗの拡大像が投影されている様子の一例を示す図である。
【図１１】ワーク画像データの一例を示す図である。
【図１２】オペレータが投影タッチスクリーン上で測定したい箇所をタッチする様子の一例を示す図である。
【図１３】形状測定工程の動作手順を示すフローチャートである。
【図１４】ワーク画像データ上でエッジ探索をする様子を模式的に示す図である。
【図１５】投影タッチスクリーンに測定ツールと選択メニューが表示されている様子の一例を示す図である。
【図１６】第２実施形態に係る投影測定装置の形状解析部の機能ブロック図である。
【図１７】マイラースクリーンを例示する図である。
【図１８】マイラースクリーンのイメージデータを使用した測定動作を説明するためのフローチャートである。
【図１９】マイラースクリーンのイメージデータを使用した測定動作を説明するためのフローチャートである。
【図２０】マイラースクリーンのイメージデータを使用した測定動作を説明するためのフローチャートである。
【図２１】ワークの投影像にマイラースクリーンが重なって表示された様子を例示した図である。
【図２２】ワークの投影像にマイラースクリーンが重なって表示された様子を例示した図である。
【図２３】第３実施形態を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明の実施形態を図示するとともに図中の各要素に付した符号を参照して説明する。
（第１実施形態）
図４は、第１実施形態に係る投影測定装置１００を示す図である。
本実施形態の投影測定装置１００の基本的構成は従来の投影測定装置１００と同じであるが、本実施形態の投影測定装置１００は、さらに、投影スクリーン３２１に重ねて配置された透明タッチディスプレイパネル３４１と、測定対象物Ｗの画像データを取得するカメラ３３７と、を備える。
【００１８】
透明タッチディスプレイパネル３４１は、透明タッチパネルと、透明ディスプレイパネルと、を重ね合わせたものでもよい。
透明のタッチパネルも透明の表示装置も例えばフィルム状のものがすでに知られているので、図５に例示するように、これらを既存の投影機２００の投影スクリーン３２１上に貼り付けるようにしてもよい。
【００１９】
なお、投影スクリーン３２１よりも一回り大きめの透明タッチディスプレイパネル３４１を採用してもよい。すなわち、投影機本体部３００の投影部３２０の正面部の面積一杯に透明タッチディスプレイパネル３４１を貼り付けるのがよい。図では、投影スクリーン３２１が円形であるが、一回り大きい矩形の透明タッチディスプレイパネル３４１を投影部３２０の正面部分に貼り付けている。これにより、透明タッチディスプレイパネル３４１において投影スクリーン３２１の外側の領域は、例えば、測定ツールなどを表示するスペースとして活用できる。
【００２０】
あるいは、複数の小さな透明タッチディスプレイパネルを必要な箇所にレイアウトして貼り付けてもよい。（例えば小さな透明タッチディスプレイパネルを投影部の４隅に配置するようにしてもよい。）
【００２１】
本明細書の説明では、投影スクリーン３２１と透明タッチディスプレイパネル３４１とを合わせたものを「投影タッチスクリーン３４０」と称することにする。
【００２２】
カメラ３３７は、例えば、レンズとイメージセンサとを有するＣＣＤカメラ３３７である。例えば、図４に例示するように、第２反射ミラー３３２と結像レンズ３３５との間に第３反射ミラー３３３を配置して、第３反射ミラー３３３でＣＣＤカメラ３３７に像を送るようにしてもよい。
【００２３】
ここで、投影スクリーン３２１に結像する像とＣＣＤカメラ３３７のイメージセンサ上に結像する像との間で座標値の対応付けを行っておく必要がある。
具体的には、投影タッチスクリーン３４０に重ねられたタッチパネルの座標値（Ｘｐ、Ｙｐ）とイメージセンサの座標値（Ｘｄ、Ｙｄ）との対応付けを行っておく（例えば図６参照）。
（Ｘｄ、Ｙｄ）＝ｄＦｐ｛（Ｘｐ、Ｙｐ）｝
これにより、オペレータが投影タッチスクリーン３４０をタッチしたときに、タッチされた点に対応する座標を画像データ上で認識できるようにしておく。
【００２４】
次の制御装置４００について説明する。
図７は、本実施形態の制御装置４００の機能ブロック図である。
制御装置４００は、例えば、ＣＰＵとメモリを有するコンピュータ（パソコン）であってもよいし、ハンディな外付け制御装置４００であってもよい。
制御装置４００は、ワーク画像データ取得部４１０と、ＧＵＩ部４２０（グラフィカルユーザーインターフェース部）と、形状解析部４３０と、を有する。
【００２５】
制御装置４００は、この他、ステージ２１０の移動や光源３１１の光量を制御するための機能部も有するが、これらは従来技術と同じでよいので説明は割愛する。
【００２６】
ワーク画像データ取得部４１０は、ＣＣＤカメラ３３７から画像情報を取得して形状解析部４３０に送る。
ＧＵＩ部４２０は、投影タッチスクリーン３４０の入出力を制御する。
ＧＵＩ部４２０は、座標データ取得部４２１と、表示制御部４２２と、を有する。
オペレータが投影タッチスクリーン３４０をタッチすると、そのタッチされた位置の座標データは座標データ取得部４２１で取得されて形状解析部４３０に送られる。表示制御部４２２は、形状解析部４３０から送られてくる表示画像データを投影タッチスクリーン３４０に表示させる。
【００２７】
図８に形状解析部４３０の機能ブロック図を示す。
形状解析部４３０は、ワーク画像データバッファ４３１と、測定対象選択部４３２と、測定ツール選択部４３３と、表示画像データ生成部４３５と、演算処理部４３４と、を備える。
各機能部の動作についてはフローチャートを参照しながら説明する。
【００２８】
図９は、本実施形態の投影測定装置１００による測定動作を説明するためのフローチャートである。
まずは、従来の投影測定装置１００と同じようにして、測定対象物の像を投影機２００の投影タッチスクリーン３４０に投影させる（ＳＴ１００）。すなわち、オペレータは、測定対象物Ｗをステージ２１０に載せ、ステージ２１０を上下に微調整してピント合わせをする。例えば図１０のように測定対象物Ｗの拡大像が投影タッチスクリーン３４０に投影されたとする。
【００２９】
測定対象物Ｗの像は投影タッチスクリーン３４０に投影されるとともにＣＣＤカメラ３３７にも入射する。
画像データ取得部４１０は、ＣＣＤカメラ３３７からワーク画像データを取得して形状解析部４３０に送る。
形状解析部４３０は、ワーク画像データを画像データバッファ４３１に記録する（ＳＴ１１０）。いま例えば図１１のような画像データが取得されたとする。
【００３０】
この状態で制御装置４００はオペレータからの操作待ちになり、投影タッチスクリーン３４０からの入力操作があるまで待機になる（ＳＴ１３０）。
オペレータは投影タッチスクリーン３４０を見ながら形状測定したい箇所をタッチする（図１２）。投影タッチスクリーン３４０がタッチされると（ＳＴ１３０：ＹＥＳ）、入力操作が座標データ取得部４２１に入力され、制御装置４００は形状測定動作を開始する（ＳＴ１４０）。
【００３１】
続いて形状測定工程（ＳＴ１４０）の動作を説明する。
図１３は、形状測定工程（ＳＴ１４０）の動作手順を示すフローチャートである。
座標データ取得部４２１は、投影タッチスクリーン３４０のタッチ操作から入力座標値を取得して、形状解析部４３０に送る（ＳＴ１４１）。
この入力座標値は測定対象選択部４３２に送られる。座標の入力を受けると、測定対象選択部４３２は、ワーク画像データバッファ４３１に記録されているワーク画像データを取り込む。そして、測定対象選択部４３２は、画像データと入力座標値とを対比し（ＳＴ１４２）、測定対象を選択する（ＳＴ１４３）。
【００３２】
例えば図１４のように画像データが取得されているとして、オペレータが投影スクリーン３２１（タッチディスプレイパネル３４１）の所望の点をタッチしたとする（図１２）。すると、測定対象選択部４３２は、タッチ入力された入力座標値を起点としてエッジ探索を行い、入力座標値の近傍にある幾何形状を特定する。図１４の例では、測定対象選択部４３２は、入力座標値を囲む円を測定対象として選択するとする。
【００３３】
測定対象選択部４３２は、選択した測定対象（ここでは円）の画像データを切り出して測定ツール選択部４３３に送る。
測定ツール選択部４３３は、選択された測定対象（ここでは円）に応じて、予め用意された測定ツールから適切な測定ツールを選択する。
ここでは、測定対象が円であるから、測定ツール選択部４３３は、中心座標値、直径、真円度を演算する測定ツールを選択する。測定ツール選択部４３３は、選択した測定ツールの情報を測定対象データと合わせて表示画像データ生成部４３５と演算処理部４３４とに送る。
【００３４】
表示画像データ生成部４３５は、例えば図１５に例示するように、測定対象に重ねるように測定ツール６１を投影タッチスクリーン３４０（透明のディスプレイパネル３４１）に表示する。さらに、表示画像データ生成部４３５は、オペレータが測定対象箇所や測定ツール６１を修正できるように選択メニュー６２を投影タッチスクリーン３４０（透明のディスプレイパネル３４１）に表示させるようにしてもよい。オペレータは投影タッチスクリーン３４０のタッチ操作により、測定ツール６１の位置を微調整したり、選択メニュー６２の表示位置を邪魔にならないところに移動させたりしてもよい。
【００３５】
演算処理部４３４は、測定ツールを用いて測定対象データを演算処理し、測定対象の幾何形状を解析する。
ここでは、測定対象（円）の中心座標値、直径、真円度が求められる。
演算結果は、表示画像データ生成部４３５を介して投影タッチスクリーン３４０に表示される。演算結果の表示としては、測定対象（円）の直径や真円度の値そのものを表示してもよいし、マスターワークとの誤差を表示するようにしてもよいし、誤差に基づく合否判定を表示するようにしてもよい。これで形状測定工程（ＳＴ１４０）は終了である。
【００３６】
このあと、オペレータが投影タッチスクリーン３４０をタッチして、測定箇所の修正等を入力すればフローを戻って形状測定を行う。オペレータが所定の終了ボタンを押すなどして所定の終了条件を満たせば（ＳＴ１５０）、制御装置４００による測定動作は終了である。
【００３７】
本実施形態の投影測定装置１００によれば、投影タッチスクリーン３４０に映っている測定対象物を見ながら所望の測定箇所をタッチすればほぼ自動的に所望の計測結果が得られる。
投影機を用いた測定の自然な観察姿勢のままで測定したいところをタッチするだけという直感的操作によって正確な測定値が得られる。
ワーク画像データに基づく自動計測機能は各種画像測定機に搭載されていることもあるが、キーボードや専用の入力装置を使った複雑な操作が必要で、誰でも簡単に使えるというものではなかった。もともと投影測定装置は測定対象物の拡大像を直接目視できるので直感的に使用しやすいものであるが、本実施形態の投影測定装置は、さらに、直感的に簡単なタッチ操作で自動的に所望の測定箇所の正確な測定値が得られるという画期的な作用効果を奏するものである。
【００３８】
なお、上記実施形態では、測定対象箇所が一つの円の直径や真円度である場合の測定ツールを例にしたが、その他、二つの円の中心間距離、エッジの真直度、２本のエッジ間距離など、従来の画像測定において既に実用化されている自動測定ツールは本実施形態の投影測定装置にも利用できる。
【００３９】
（変形例１）
上記第１実施形態において、ＳＴ１１０で取り込んだワーク画像データに対する測定箇所（測定対象）（ＳＴ１４３）および測定ツール（ＳＴ１４４）をメモリに記憶しておき、同じ形状のワーク画像データが取り込まれたとき（ＳＴ１１０）には、保存された測定箇所（測定対象）（ＳＴ１４３）および測定ツール（ＳＴ１４４）を呼び出して、新たに取り込まれたワーク画像データに対して自動的に（あるいは適宜用意されたワンタッチ操作で）測定箇所（測定対象）（ＳＴ１４３）および測定ツール（ＳＴ１４４）の選択を行い、さらに、形状測定演算（ＳＴ１４６）を行うようにするとよい。同じ形状のワークを連続して測定する際に同じ操作を毎回する手間がなく、測定効率が格段に向上する。
【００４０】
（第２実施形態）
次に本発明の第２実施形態を説明する。
上記第１実施形態では自動測定ツールを利用した測定動作を説明した。
これに対し、第２実施形態としては、従来のマイラースクリーンを画像データとして透明タッチスクリーンに表示してオペレータに提供する。
第２実施形態を図１６から図２０を参照しながら説明する。
第２実施形態の基本的構成は第１実施形態と同じであるから、第１実施形態と異なる点を説明する。
【００４１】
図１６は第２実施形態に係る投影測定装置の形状解析部の機能ブロック図である。
第２実施形態においては、測定ツール選択部４３３にマイラースクリーンパターンのデータ格納部が追加されている。
マイラースクリーンパターンとして、複数種類のマイラースクリーンのイメージデータが格納されている。マイラースクリーンパターンの例としては図３に紹介したものや図１７に例示するものなど、種々のパターンがある。
【００４２】
第２実施形態の動作を図１８から図２０のフローチャートを参照しながら説明する。
ＳＴ２００およびＳＴ２１０は、第１実施形態のＳＴ１００およびＳＴ１１０に対応する。すなわち、オペレータは、測定対象物Ｗをステージ２１０に載せてピント合わせをし（ＳＴ２００）、形状解析部４３０は、ＣＣＤカメラ３３７で撮像したワーク画像データをワーク画像データバッファ４３１に記録する（ＳＴ２１０）。
【００４３】
続いて、マイラースクリーンを用いた測定のため、オペレータは所望のマイラースクリーンのイメージを投影タッチスクリーン３４０に表示させる（ＳＴ２２０）。
マイラースクリーン準備工程（ＳＴ２２０）の具体的動作を図１９のフローチャートに示す。
まず、表示画像データ生成部４３５が投影タッチスクリーン３４０に選択メニューを表示し、オペレータにマイラースクリーンを選択させる画面を提供する（ＳＴ２２１）。
マイラースクリーンのアイコン（サムネイル）、マイラースクリーンの番号や名前を選択メニューとして表示してもよい。
選択メニューからオペレータが所望のマイラースクリーンを選択すると、表示画像データ生成部４３５は測定ツール選択部４３３からマイラースクリーンのデータを呼び出して透明タッチスクリーン３４０に表示させる。すると、ワークの投影像にマイラースクリーンが重なって表示されることになる（例えば図２１）。
【００４４】
オペレータは、投影タッチスクリーン３４０のタッチ操作により、マイラースクリーンの位置を調整する（ＳＴ２２３）。マイラースクリーンの表示サイズ（表示倍率）については、オペレータのタッチ操作で調整できるようにしてもよいし、使用されている対物レンズ３２２の倍率に応じて自動調整されるようにしてもよい。マイラースクリーンがワークの投影像に対して所望の位置に重なったところでマイラースクリーンの準備（ＳＴ２２０）は終了である。
【００４５】
次にオペレータはマイラースクリーンの目盛を測定値として読むのであるが、本実施形態では制御装置４００の形状測定動作により自動的に測定値を透明タッチスクリーン３４０に表示する。
オペレータは、透明タッチスクリーン上のワーク投影像に対して計測したい箇所をタッチする（図１８のＳＴ２３０）。すると、この入力操作が座標データ取得部４２１に入力され、制御装置４００は形状測定動作を開始する（ＳＴ２４０）。
【００４６】
形状測定工程（ＳＴ２４０）の具体的動作を図２０のフローチャートに示す。
座標データ取得部４２１は、投影タッチスクリーン３４０のタッチ操作から入力座標値を取得して、形状解析部４３０に送る（ＳＴ２４１）。この入力座標値は測定対象選択部４３２に送られる。座標の入力を受けると、測定対象選択部４３２は、ワーク画像データバッファ４３１に記録されているワーク画像データを取り込む。そして、測定対象選択部４３２は、画像データと入力座標値とを対比して（ＳＴ２４２）、入力座標値の近傍にある幾何形状を特定し、測定対象とする（ＳＴ２４３）。
【００４７】
エッジ探索については第１実施形態に説明したので重複した説明は割愛する。
【００４８】
測定対象選択部４３２は、選択した測定対象（例えば円）の画像データを切り出して測定ツール選択部４３３に送る。
測定ツール選択部４３３は、既に選択（ＳＴ２２０）されているマイラースクリ−ンのデータとともに、測定対象（ここでは円）のデータを表示画像データ生成部４３５と演算処理部４３４とに送る。このとき、マイラースクリ−ンの表示位置および表示サイズ（表示倍率）の情報も合わせて演算処理部４３４に提供し、ワーク画像データとマイラースクリーンデータとの対応がつけられるようにしておく。
【００４９】
表示画像データ生成部４３５は、例えば選択対象を枠線で囲んだりして、選択された測定対象をオペレータが認識できるように透明タッチスクリーンの表示を行う。さらに、表示画像データ生成部４３５は、オペレータが測定対象やマイラースクリーンを修正できるように選択メニュー６２を透明タッチスクリーン３４０に表示させるようにしてもよい。
【００５０】
演算処理部４３４は、測定対象（ここでは円）のデータとマイラースクリーンのデータと対比し（ＳＴ２４４）、測定対象（のエッジ）とマイラースクリーン（の座標軸や目盛線や補助目盛線）との交点を算出する（ＳＴ２４５）。
演算結果は、表示画像データ生成部４３５を介して投影タッチスクリーン３４０に表示される（ＳＴ２４６）（例えば図２２）。これで形状測定工程（ＳＴ２４０）は終了である。
【００５１】
このあと、オペレータが投影タッチスクリーン３４０をタッチして、測定箇所の修正等を入力すればフローを戻って形状測定工程（ＳＴ２４０）を繰り返す。オペレータが所定の終了ボタンを押すなどして所定の終了条件を満たせば（ＳＴ２５０）、制御装置４００による測定動作は終了である。
【００５２】
（変形例２）
一度使用されたマイラースクリーンデータの位置およびサイズを使用済みマイラースクリーンデータとしてメモリに保存しておくのが好ましい。そして、同じ形状のワーク画像データが取り込まれたとき（ＳＴ２１０）には、保存された使用済みマイラースクリーンデータを呼び出して、透明タッチスクリーン上の同じ位置および大きさに自動的に（あるいは適宜用意されたワンタッチ操作で）マイラースクリーンを再現するようにする。これにより、マイラースクリーン準備工程（ＳＴ２２０）を毎回行う手間が削減される。
【００５３】
さらには、ＳＴ２１０で取り込んだワーク画像データに対する測定箇所（測定対象）（ＳＴ２４３）をメモリに記憶しておき、同じ形状のワーク画像データが取り込まれたとき（ＳＴ２１０）には、保存された測定箇所（測定対象）（ＳＴ２４３）を呼び出して、新たに取り込まれたワーク画像データに対して自動的に（あるいは適宜用意されたワンタッチ操作で）測定箇所（測定対象）（ＳＴ２４３）および使用済みマイラースクリーンデータを呼び出して、エッジとマイラースクリーンとの交点を算出（ＳＴ２４５）するとよい。
【００５４】
（変形例３）
上記第２実施形態では、マイラースクリーン準備工程（ＳＴ２２０）のあと、ＳＴ２３０でのオペレータの入力操作を受けて形状測定工程（ＳＴ２４０）を実行する例を説明した。
変形例３として、「自動マイラースクリーン読み取り機能」として次のようにしてもよい。すなわち、マイラースクリーン準備工程（ＳＴ２２０）のあと自動的に、あるいは、マイラースクリーン準備工程（ＳＴ２２０）の最中に、マイラースクリーンを透明タッチスクリーン上に表示すると同時にワーク画像データ中のエッジと表示中のマイラースクリーンとの交点をすべて自動的に算出するようにしてもよい。演算結果は透明タッチスクリーン上に適宜表示し、マイラースクリーンのパターンや位置が変更される都度表示を更新する。
【００５５】
（第３実施形態）
第１実施形態および第２実施形態においては、スタンドアロンに設置された投影測定装置を例示したが、二以上の投影測定装置がネットワーク回線で接続されてもよい。
離れた地点にある投影測定装置１００Ａ、１００Ｂを例えば図２３のようにネットワーク回線（インターネット回線）で接続すると、一方の投影測定装置１００Ａでの測定作業を他方の投影測定装置１００Ｂを利用して遠方から共有したり支援したりすることができる。
被支援側投影測定装置１００Ａで取り込んだワーク画像データを支援側投影測定装置１００Ｂに転送して、支援側投影測定装置１００Ｂの透明タッチスクリーン上に被支援側投影測定装置１００Ａでの投影像が同じに見えるように表示させる。この状態で一方の投影測定装置の測定操作を他方でも共有し、例えば、支援側投影測定装置１００Ｂの操作により被支援側投影測定装置１００Ａの操作を支援（例えば修正や変更）する。あるいは、支援側投影測定装置１００Ｂのメモリに測定箇所（測定対象）（ＳＴ１４３）および測定ツール（ＳＴ１４４）や使用済みマイラースクリーンデータが保存されていれば、ネットワーク回線を介してそれらを被支援側投影測定装置１００Ａで呼び出せるようにしてもよい。
【００５６】
なお、本発明は上記実施形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。
【００５７】
投影機の光学系については、測定対象物の像を投影タッチスクリーンに投影できるのであればその構成は限定されない。
例えば、測定対象物の透過光ではなく、測定対象物からの反射光を投影タッチスクリーンに投影するようにしてもよいことはもちろんである。
【００５８】
投影タッチスクリーンにステージ操作のメニューも合わせて表示させておけば、ステージ操作も直感的にできるようになる。例えば、ステージ操作モードにモード移行するボタン（アイコン）を選択させたあと、オペレータが投影タッチスクリーン上で投影像を右や左にドラッグしたら、それに合わせてステージも連動して右や左に移動するようにしてもよい。このような制御系自体はステージの駆動部にモータとエンコーダとを組み込んであればできる。
【００５９】
第２実施形態において、複数のマイラースクリーンパターンのデータを測定ツール選択部に予め格納しておく例を説明したが、例えばインターネット回線を介してダウンロードしてくるようにしてもよい。
【符号の説明】
【００６０】
５１，５２…マイラースクリーン、
１００…投影測定装置、
２００…投影機、
２１０…ステージ、
３００…投影機本体部、
３１０…基台部、３１１…光源、
３２０…投影部、３２１…投影スクリーン、３２２…対物レンズ、
３３０…結像光学系、
３３１…第１反射ミラー、３３２…第２反射ミラー、３３３…第３反射ミラー、３３５…結像レンズ、３３７…カメラ、
３４０…投影タッチスクリーン、３４１…透明タッチディスプレイパネル、
３６０…支柱部、
４００…制御装置、
４１０…画像データ取得部、４２０…ＧＵＩ部（グラフィカルユーザーインターフェース部）、４２１…座標データ取得部、４２２…表示制御部、
４３０…形状解析部、
４３１…ワーク画像データバッファ、４３２…測定対象選択部、４３３…測定ツール選択部、４３４…演算処理部、４３５…表示画像データ生成部、
６１…測定ツール、６２…選択メニュー、
Ｗ…測定対象物。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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