(57)【要約】 【課題】  オーバーシュートが終了してからノイズが低減された所望の出力値を迅速に得ることが可能なフィルタ装置、電気特性測定装置および電子部品の製造方法を提供する。【解決手段】入力ノードと出力ノードとの間に接続された可変抵抗と、出力ノードと基準電位との間に接続されたキャパシタとを有するローパスフィルタと、入力ノードに入力される入力信号のオーバーシュートが終了する時刻からの時間経過にしたがって可変抵抗の抵抗値が増加するように可変抵抗を制御する制御部と、を備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力ノードと出力ノードとの間に接続された可変抵抗と、前記出力ノードと基準電位との間に接続されたキャパシタとを有するローパスフィルタと、
前記入力ノードに入力される入力信号のオーバーシュートが終了する時刻からの時間経過にしたがって前記可変抵抗の抵抗値が増オーバーシュートの終了を通知するトリガ信号が入力された加するように前記可変抵抗を制御する制御部と、を備えることを特徴とするフィルタ装置。
【請求項２】
前記可変抵抗は、
前記入力ノードと前記出力ノードとの間において並列接続される複数の抵抗と、
前記抵抗の並列接続数を切り替える切替部と、を有し、
前記制御部は、前記時間経過にしたがって前記抵抗の並列接続数が減少するように前記切替部を制御することで、前記時間経過にしたがって前記可変抵抗の抵抗値を増加させることを特徴とする請求項１に記載のフィルタ装置。
【請求項３】
前記切替部は、前記入力ノードと前記出力ノードとの間において前記複数の抵抗のうち少なくとも１つの抵抗に直列接続された少なくとも１つのスイッチを有し、
前記制御部は、前記スイッチをオフすることで前記抵抗の並列接続数を減少させることを特徴とする請求項２に記載のフィルタ装置。
【請求項４】
前記複数の抵抗には、第１抵抗と、前記入力ノードと前記出力ノードとの間で前記第１抵抗に並列に接続された第２抵抗が含まれ、
前記切替部は、前記第１抵抗に前記入力ノードと前記出力ノードとの間で直列接続された第１スイッチと、前記第２抵抗に前記入力ノードと前記出力ノードとの間で直列接続された第２スイッチとを有し、
前記制御部は、前記第１スイッチをオフした後に前記第２スイッチをオフすることを特徴とする請求項３に記載のフィルタ装置。
【請求項５】
前記第２抵抗の抵抗値は、前記第１抵抗の抵抗値より大きいことを特徴とする請求項４に記載のフィルタ装置。
【請求項６】
前記制御部は、
電源の投入に応じて前記第１スイッチおよび前記第２スイッチをオンした後、前記制御部の上位装置から前記制御部に前記入力信号のオーバーシュートの終了を通知するトリガ信号が入力された第１時刻から第１時間が経過した第２時刻において、前記第１スイッチをオフし、
前記第２時刻から前記第１時間より長い第２時間が経過した第３時刻において、前記第２スイッチをオフすることを特徴とする請求項５に記載のフィルタ装置。
【請求項７】
前記複数の抵抗のうち抵抗値が最も大きい抵抗は、一端が前記入力ノードに接続され、他端が前記キャパシタに接続されていることを特徴とする請求項２に記載のフィルタ装置。
【請求項８】
被測定物の電気特性を測定する電気特性測定装置であって、
入力ノードと出力ノードとの間に接続された可変抵抗と、前記出力ノードと基準電位との間に接続されたキャパシタとを有するローパスフィルタと、
前記入力ノードに入力される入力信号のオーバーシュートが終了する時刻からの時間経過にしたがって前記可変抵抗の抵抗値が増加するように前記可変抵抗を制御する制御部と、を有するフィルタ装置を備えることを特徴とする電気特性測定装置。
【請求項９】
前記被測定物の電気特性を示す電流信号を入力し、前記入力された電流信号を電圧信号に変換する電流電圧変換装置を更に備え、
前記入力信号は、前記電圧信号であることを特徴とする請求項８に記載の電気特性測定装置。
【請求項１０】
電源の投入時から予め設定された時間が経過したときに前記制御部に前記入力信号のオーバーシュートの終了を通知するトリガ信号を出力する上位装置を更に備えることを特徴とする請求項８に記載の電気特性測定装置。
【請求項１１】
前記制御部は、前記上位装置から前記トリガ信号が入力された時刻から予め設定された時刻が経過するまでの間に、前記可変抵抗の抵抗値を段階的に増加させることを特徴とする請求項１０に記載の電気特性測定装置。
【請求項１２】
電子部品を製造する工程と、
請求項８に記載の電気特性測定装置により前記被測定物である前記電子部品の電気特性を測定する工程と、
前記電気特性の測定結果に応じた処理を実行する工程と、を備え、
前記電気特性測定装置による前記電子部品の電気特性の測定中に、前記入力ノードに入力される入力信号のオーバーシュートが終了する時刻からの時間経過にしたがって前記可変抵抗の抵抗値が増加するように前記可変抵抗を制御することを特徴とする電子部品の製造方法。
【請求項１３】
前記電気特性の測定結果に応じた処理は、前記ローパスフィルタの出力信号の信号値が予め設定された上限値と下限値との間に収まっているか否かを基準とした前記電気特性の測定結果の良否の判定を含むことを特徴とする請求項１２に記載の電子部品の製造方法。
【請求項１４】
前記電気特性の測定結果に応じた処理は、前記電子部品を製造する製造装置の製造条件を変更することを含むことを特徴とする請求項１２に記載の電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルタ装置、電気特性測定装置および電子部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、被測定物の電気特性を微小電流として測定する測定装置が知られている（特許文献１参照）。微小電流の測定は、オペアンプを用いたＩＶ変換回路によって微小電流を電圧に変換し、変換された電圧を測定することで行われることがあった。
【０００３】
しかるに、ＩＶ変換回路による微小電流の測定は、商用電源の影響を受けやすく、実測値（すなわち、ＤＣ成分）に商用周波数のノイズ（すなわち、ＡＣ成分）が重畳されてしまう。
【０００４】
このような商用電源ノイズへの対策として、測定装置の測定系をシールドすることがあるが、シールドができない箇所が生じる場合がある。また、その他の対策として、所定のサンプリング周期でサンプリングした測定データをアベレージ処理することがある。しかし、オペアンプの出力幅を振り切るレベルでノイズが重畳した場合には、アベレージ処理しても正しい測定値が得られず、また、重畳したノイズに歪がある場合には、アベレージ処理だけでは誤差が生じてしまう。
【０００５】
なお、オペアンプの出力幅を振り切らず、ノイズの歪を矯正する手法としては、抵抗とコンデンサとを備えたＲＣローパスフィルタを用いてノイズを減衰させる手法がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−１２３３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、ローパスフィルタを用いる場合、ローパスフィルタの出力が初期状態から実測値に到達するまでの応答時間が長くなることで、ノイズが低減された所望の出力値を迅速に得ることができないといった問題がある。このような問題は、ローパスフィルタへの入力信号がオーバーシュートを有する状態でノイズを低減する処理を実行する場合に一層顕著となる。
【０００８】
そこで、本発明は、オーバーシュートが終了してからノイズが低減された所望の出力値を迅速に得ることが可能なフィルタ装置、電気特性測定装置および電子部品の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の一態様に係るフィルタ装置は、
入力ノードと出力ノードとの間に接続された可変抵抗と、前記出力ノードと基準電位との間に接続されたキャパシタとを有するローパスフィルタと、
前記入力ノードに入力される入力信号のオーバーシュートが終了する時刻からの時間経過にしたがって前記可変抵抗の抵抗値が増加するように前記可変抵抗を制御する制御部と、を備える。
【００１０】
前記フィルタ装置において、
前記可変抵抗は、
前記入力ノードと前記出力ノードとの間において並列接続される複数の抵抗と、
前記抵抗の並列接続数を切り替える切替部と、を有し、
前記制御部は、前記時間経過にしたがって前記抵抗の並列接続数が減少するように前記切替部を制御することで、前記時間経過にしたがって前記可変抵抗の抵抗値を増加させてもよい。
【００１１】
前記フィルタ装置において、
前記切替部は、前記入力ノードと前記出力ノードとの間において前記複数の抵抗のうち少なくとも１つの抵抗に直列接続された少なくとも１つのスイッチを有し、
前記制御部は、前記スイッチをオフすることで前記抵抗の並列接続数を減少させてもよい。
【００１２】
前記フィルタ装置において、
前記複数の抵抗には、第１抵抗と、前記入力ノードと前記出力ノードとの間で前記第１抵抗に並列に接続された第２抵抗が含まれ、
前記切替部は、前記第１抵抗に前記入力ノードと前記出力ノードとの間で直列接続された第１スイッチと、前記第２抵抗に前記入力ノードと前記出力ノードとの間で直列接続された第２スイッチとを有し、
前記制御部は、前記第１スイッチをオフした後に前記第２スイッチをオフしてもよい。
【００１３】
前記フィルタ装置において、
前記第２抵抗の抵抗値は、前記第１抵抗の抵抗値より大きくてもよい。
【００１４】
前記フィルタ装置において、
前記制御部は、
電源の投入に応じて前記第１スイッチおよび前記第２スイッチをオンした後、前記制御部の上位装置から前記制御部に前記入力信号のオーバーシュートの終了を通知するトリガ信号が入力された第１時刻から第１時間が経過した第２時刻において、前記第１スイッチをオフし、
前記第２時刻から前記第１時間より長い第２時間が経過した第３時刻において、前記第２スイッチをオフしてもよい。
【００１５】
前記フィルタ装置において、
前記複数の抵抗のうち抵抗値が最も大きい抵抗は、一端が前記入力ノードに接続され、他端が前記キャパシタに接続されていてもよい。
【００１６】
本発明の一態様に係る電気特性測定装置は、
被測定物の電気特性を測定する電気特性測定装置であって、
入力ノードと出力ノードとの間に接続された可変抵抗と、前記出力ノードと基準電位との間に接続されたキャパシタとを有するローパスフィルタと、
前記入力ノードに入力される入力信号のオーバーシュートが終了する時刻からの時間経過にしたがって前記可変抵抗の抵抗値が増加するように前記可変抵抗を制御する制御部と、を有するフィルタ装置を備える。
【００１７】
前記電気特性測定装置において、
前記被測定物の電気特性を示す電流信号を入力し、前記入力された電流信号を電圧信号に変換する電流電圧変換装置を更に備え、
前記入力信号は、前記電圧信号であってもよい。
【００１８】
前記電気特性測定装置において、
電源の投入時から予め設定された時間が経過したときに前記制御部に前記入力信号のオーバーシュートの終了を通知するトリガ信号を出力する上位装置を更に備えてもよい。
【００１９】
前記電気特性測定装置において、
前記制御部は、前記上位装置から前記トリガ信号が入力された時刻から予め設定された時刻が経過するまでの間に、前記可変抵抗の抵抗値を段階的に増加させてもよい。
【００２０】
本発明の一態様に係る電子部品の製造方法は、
電子部品を製造する工程と、
前記電気特性測定装置により前記被測定物である前記電子部品の電気特性を測定する工程と、
前記電気特性の測定結果に応じた処理を実行する工程と、を備え、
前記電気特性測定装置による前記電子部品の電気特性の測定中に、前記入力ノードに入力される入力信号のオーバーシュートが終了する時刻からの時間経過にしたがって前記可変抵抗の抵抗値が増加するように前記可変抵抗を制御する。
【００２１】
前記電子部品の製造方法において、
前記電気特性の測定結果に応じた処理は、前記ローパスフィルタの出力信号の信号値が予め設定された上限値と下限値との間に収まっているか否かを基準とした前記電気特性の測定結果の良否の判定を含んでもよい。
【００２２】
前記電子部品の製造方法において、
前記電気特性の測定結果に応じた処理は、前記電子部品を製造する製造装置の製造条件を変更することを含んでもよい。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の一態様に係るフィルタ装置は、入力ノードと出力ノードとの間に接続された可変抵抗と、出力ノードと基準電位との間に接続されたキャパシタとを有するローパスフィルタと、可変抵抗を制御する制御部と、を備える。制御部は、入力ノードに入力される入力信号のオーバーシュートが終了する時刻からの時間経過にしたがって可変抵抗の抵抗値が増加するように可変抵抗を制御する。
このように、時間経過にしたがって可変抵抗の抵抗値を増加させることで、時間経過にしたがってローパスフィルタの時定数を増加させることができるので、オーバーシュートが終了してからノイズが低減された所望の出力値を迅速に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本実施形態に係る電気特性測定装置を示すブロック図である。
【図２】本実施形態に係る電子部品の製造方法を示すフローチャートである。
【図３】本実施形態に係る電子部品の製造方法において、電子部品の電気特性の測定工程を示すフローチャートである。
【図４】本実施形態に係る電気特性測定装置の動作例を示すタイムチャートである。
【図５】図５Ａは、本実施形態に係る電気特性測定装置の動作例を示す波形図であり、図５Ｂは、比較例に係る電気特性測定装置の動作例を示す波形図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、図面を参照して本発明に係る実施形態を説明する。本実施形態は、本発明を限定するものではない。
【００２６】
図１に示される本実施形態の電気特性測定装置１は、被測定物、具体的には、電子部品の電気特性を測定するための装置である。電子部品は、ダイオード、サイリスタ、または高抵抗などであってもよい。電気特性は、ダイオードやサイリスタの逆方向特性、または高抵抗の抵抗値などであってもよい。
【００２７】
図１に示すように、電気特性測定装置１は、電流電圧変換装置２と、フィルタ装置３と、直流電源発生装置４と、上位装置５とを備える。
【００２８】
（電流電圧変換装置２、直流電源発生装置４）
図１に示すように、電流電圧変換装置２は、電子部品の一例であるダイオード６のアノードと、フィルタ装置３の入力端との間に接続されている。ダイオード６のカソードは、直流電源発生装置４に接続されている。
【００２９】
直流電源発生装置４は、ダイオード６に直流の逆方向バイアス電圧を印加する。逆方向バイアス電圧の印加に応じて、ダイオード６には、逆方向特性を示す逆方向電流が流れる。逆方向電流の値が小さいほど、ダイオード６の逆方向特性は良好である。ダイオード６に流れる逆方向電流は、逆方向電流信号Ｉｉｎとしてダイオード６のアノードに接続された電流電圧変換装置２に入力される。
【００３０】
電流電圧変換装置２は、ダイオード６から入力された逆方向電流信号Ｉｉｎを電流電圧変換（Ｉ−Ｖ変換）によって電圧信号Ｖｉｎに変換する。そして、電流電圧変換装置２は、変換された電圧信号Ｖｉｎを、フィルタ装置３の入力ノードＮｉｎに出力する。
【００３１】
電流電圧変換装置２は、例えば、オペアンプを内蔵したＩＶ変換回路であってもよい。
【００３２】
（フィルタ装置３）
図１に示すように、フィルタ装置３は、ローパスフィルタ３１と、制御部３２とを備える。
【００３３】
［ローパスフィルタ３１］
ローパスフィルタ３１は、入力ノードＮｉｎと出力ノードＮｏｕｔとの間に接続された可変抵抗３１０と、出力ノードＮｏｕｔと基準電位の一例であるグランド（０Ｖ）との間に接続されたキャパシタＣとを有する。
【００３４】
具体的には、可変抵抗３１０は、入力ノードＮｉｎと出力ノードＮｏｕｔとの間において並列接続される複数の抵抗Ｒ１〜Ｒ６と、これら複数の抵抗Ｒ１〜Ｒ６の並列接続数を切り替える切替部３１１とを有する。
【００３５】
複数の抵抗Ｒ１〜Ｒ６のうち、第１抵抗Ｒ１は、複数の抵抗Ｒ１〜Ｒ６の中で最も抵抗値が小さい。第２抵抗Ｒ２は、複数の抵抗Ｒ１〜Ｒ６の中で２番目に抵抗値が小さい。第３抵抗Ｒ３は、複数の抵抗Ｒ１〜Ｒ６の中で３番目に抵抗値が小さい。第４抵抗Ｒ４は、複数の抵抗Ｒ１〜Ｒ６の中で４番目に抵抗値が小さい。第５抵抗Ｒ５は、複数の抵抗Ｒ１〜Ｒ６の中で５番目に抵抗値が小さい。第６抵抗Ｒ６は、複数の抵抗Ｒ１〜Ｒ６の中で最も抵抗値が大きい。
【００３６】
切替部３１１は、入力ノードＮｉｎと出力ノードＮｏｕｔとの間において第１〜第５抵抗Ｒ１〜Ｒ５のそれぞれに直列接続された複数のスイッチＳＷ１〜ＳＷ５を有する。
【００３７】
具体的には、複数のスイッチＳＷ１〜ＳＷ５のうち、第１スイッチＳＷ１は、入力ノードＮｉｎと出力ノードＮｏｕｔとの間において第１抵抗Ｒ１に直列接続されている。第２スイッチＳＷ２は、入力ノードＮｉｎと出力ノードＮｏｕｔとの間において第２抵抗Ｒ２に直列接続されている。第３スイッチＳＷ３は、入力ノードＮｉｎと出力ノードＮｏｕｔとの間において第３抵抗Ｒ３に直列接続されている。第４スイッチＳＷ４は、入力ノードＮｉｎと出力ノードＮｏｕｔとの間において第４抵抗Ｒ４に直列接続されている。第５スイッチＳＷ５は、入力ノードＮｉｎと出力ノードＮｏｕｔとの間において第５抵抗Ｒ５に直列接続されている。
【００３８】
一方、抵抗値が最も大きい第６抵抗Ｒ６には、スイッチが接続されていない。すなわち、第６抵抗Ｒ６は、一端が入力ノードＮｉｎに接続され、他端がキャパシタＣに接続されている。
【００３９】
第１〜第５スイッチＳＷ１〜ＳＷ５としては、例えば、アナログスイッチを用いることができる。アナログスイッチを用いることで、スイッチング動作を迅速に行うことができる。第１〜第５スイッチＳＷ１〜ＳＷ５は、半導体リレーであってもよい。
【００４０】
［制御部３２］
制御部３２は、入力ノードＮｉｎに入力される電圧信号Ｖｉｎのオーバーシュートが終了する時刻からの時間経過にしたがって可変抵抗３１０の抵抗値が増加するように可変抵抗３１０を制御する。このように、可変抵抗３１０の抵抗値が増加するように可変抵抗３１０を制御することで、時間経過にしたがって可変抵抗３１０の抵抗値とキャパシタＣのキャパシタンスとの積であるローパスフィルタ３１の時定数を増加させることができる。これにより、オーバーシュートが終了してからノイズが低減された所望の出力値を迅速に得ることができる。
【００４１】
具体的には、制御部３２は、電圧信号Ｖｉｎのオーバーシュートが終了する時刻からの時間経過にしたがって第１〜第６抵抗Ｒ１〜Ｒ６の並列接続数が減少するように切替部３１１を制御することで、時間経過にしたがって可変抵抗３１０の抵抗値を増加させる。このように、抵抗Ｒ１〜Ｒ６の並列接続数が減少するように切替部３１１を制御することで、時間経過にしたがって可変抵抗３１０の抵抗値を簡便かつ確実に増加させることができる。
【００４２】
より具体的には、制御部３２は、第１〜第５スイッチＳＷ１〜ＳＷ５をオフすることで、第１〜第６抵抗Ｒ１〜Ｒ６の並列接続数を減少させる。このように、スイッチＳＷ１〜ＳＷ５をオフすることで、簡易な構成により、第１〜第６抵抗Ｒ１〜Ｒ６の並列接続数を確実に減少させることができる。
【００４３】
制御部３２は、抵抗値が最も小さい第１抵抗Ｒ１に接続されている第１スイッチＳＷ１をオフした後に、第１抵抗Ｒ１の次に抵抗値が小さい第２抵抗Ｒ２に接続されている第２スイッチＳＷ２をオフしてもよい。このように、抵抗値が小さい抵抗に接続されているスイッチから順にオフすることで、時間経過にしたがってローパスフィルタ３１の時定数を徐々に増加させることができる。これにより、所望の出力値付近まで急峻に立ち上がった後に所望の出力値に向かって緩やかに上昇するローパスフィルタ３１の好ましい出力波形を確実に得ることができる。
【００４４】
（上位装置５）
図１の例において、制御部３２は、上位装置５からオーバーシュートの終了が通知されることを契機として、既述した可変抵抗３１０の抵抗値の増加制御を開始する。
【００４５】
具体的には、制御部３２は、電気特性測定装置１の電源の投入（すなわち、ダイオード６への逆方向バイアス電圧の印加開始）に応じて、第１〜第５スイッチＳＷ１〜ＳＷ５の全てをオンする。第１〜第５スイッチＳＷ１〜ＳＷ５がオンされた後、上位装置５は、制御部３２に、電圧信号Ｖｉｎのオーバーシュートの終了を通知するトリガ信号を出力する。より具体的には、上位装置５は、電源の投入時からオーバーシュートが終了する予め設定された時間が経過したときに、オーバーシュートの終了を通知するトリガ信号を出力する。
【００４６】
制御部３２は、上位装置５からオーバーシュートの終了を通知するトリガ信号が入力された時刻から予め設定された時刻が経過するまでの間に、可変抵抗３１０の抵抗値を段階的に増加させる制御を行う。
【００４７】
具体的には、制御部３２は、上位装置５からオーバーシュートの終了を通知するトリガ信号が入力された第１時刻から第１時間が経過した第２時刻において、第１スイッチＳＷ１をオフする。第１スイッチＳＷ１をオフした後、制御部３２は、第２時刻から第１時間より長い第２時間が経過した第３時刻において、第２スイッチＳＷ２をオフする。第２スイッチＳＷ２をオフした後、制御部３２は、第３時刻から第２時間より長い第３時間が経過した第４時刻において、第３スイッチＳＷ３をオフする。第３スイッチＳＷ３をオフした後、制御部３２は、第４時刻から第３時間より長い第４時間が経過した第５時刻において、第４スイッチＳＷ４をオフする。第４スイッチＳＷ４をオフした後、制御部３２は、第５時刻から第４時間より長い第５時間が経過した第６時刻において、第５スイッチＳＷ５をオフする。
【００４８】
すなわち、図１の例において、制御部３２は、オーバーシュートの終了を通知するトリガ信号の入力を契機としてスイッチＳＷ１〜ＳＷ５のオフによる可変抵抗３１０の抵抗値の増加制御を開始し、かつ、次のスイッチＳＷ１〜ＳＷ５のオフまでの待機時間を徐々に増加させる。これにより、所望の出力値付近まで急峻に立ち上がった後に所望の出力値に向かって緩やかに上昇するローパスフィルタ３１の好ましい出力波形を更に確実に得ることができる。
【００４９】
（電子部品の製造方法）
次に、以上の構成を有する電気特性測定装置１の動作例として、電子部品の製造方法について説明する。図２は、本実施形態に係る電子部品の製造方法を示すフローチャートである。図２のフローチャートは、必要に応じて繰り返される。
【００５０】
先ず、半導体プロセス等により、電気特性測定装置１の被測定物としての電子部品を作製する（ステップＳ１）。電子部品は、図１に示したダイオード６であってもよく、ダイオード６以外の電子部品であってもよい。
【００５１】
電子部品を作製した後、図１の電気特性測定装置１により、電子部品の電気特性を測定する（ステップＳ２）。
【００５２】
図３は、本実施形態に係る電子部品の製造方法において、電子部品の電気特性の測定工程を示すフローチャートである。図３のフローチャートは、電子部品の電気特性の測定が終了するまで繰り返される。図４は、本実施形態に係る電気特性測定装置１の動作例を示すタイムチャートである。
【００５３】
電気特性の測定においては、先ず、図１に示したように、ローパスフィルタ３１の入力側に、電流電圧変換装置２を介してダイオード６等の電子部品を接続する。電子部品を接続した後、図３に示すように、電気特性測定装置１の電源（すなわち、直流電源発生装置４）をオンする（ステップＳ２１）。電源をオンすることで、電子部品側からローパスフィルタ３１の入力ノードＮｉｎに、電子部品の電気特性を示す電圧信号Ｖｉｎの入力が開始される。
【００５４】
電源がオンされた後、制御部３２は、第１〜第５スイッチＳＷ１〜ＳＷ５の全てをオンする（ステップＳ２２）。これにより、ローパスフィルタ３１の時定数は、第１〜第６抵抗Ｒ１〜Ｒ６による並列の合成抵抗と、キャパシタＣのキャパシタンスとの積となる。
【００５５】
また、電源がオンされた後、上位装置５は、予め設定された電圧信号Ｖｉｎのオーバーシュートが終了するタイミングで、制御部３２にオーバーシュートの終了を通知するトリガ信号を出力する。
【００５６】
図３および図４の例において、上位装置５は、オーバーシュートの終了を通知するトリガ信号として、ローレベルＬのトリガ信号を出力する。上位装置５は、オーバーシュートの終了を通知するトリガ信号として、ハイレベルＨのトリガ信号を出力してもよい。
【００５７】
第１〜第５スイッチＳＷ１〜ＳＷ５の全てをオンした後、制御部３２は、上位装置５から入力されたトリガ信号がハイレベルＨからローレベルＬに変化したか否かを判定する（ステップＳ２３）。
【００５８】
トリガ信号がハイレベルＨからローレベルＬに変化した場合（ステップＳ２３：Ｙｅｓ）、制御部３２は、ローレベルＬのトリガ信号が入力された第１時刻ｔ１から第１時間Ｔ１が経過するまで、第１スイッチＳＷ１のオフを待機する（ステップＳ２４、図４）。一方、トリガ信号がハイレベルＨからローレベルＬに変化していない場合（ステップＳ２３：Ｎｏ）、制御部３２は、トリガ信号がハイレベルＨからローレベルＬに変化したか否かの判定を繰り返す（ステップＳ２３）。
【００５９】
第１時刻ｔ１から第１時間Ｔ１が経過した第２時刻ｔ２において、制御部３２は、第１スイッチＳＷ１をオフする（ステップＳ２５、図４）。これにより、ローパスフィルタ３１の時定数は、第２〜第６抵抗Ｒ２〜Ｒ６による並列の合成抵抗と、キャパシタＣのキャパシタンスとの積へと増加する。
【００６０】
第１スイッチＳＷ１をオフした後、制御部３２は、第１スイッチＳＷ１をオフした第２時刻ｔ２から第１時間Ｔ１よりも長い第２時間Ｔ２が経過するまで、第２スイッチＳＷ２のオフを待機する（ステップＳ２６、図４）。
【００６１】
第２時刻ｔ２から第２時間Ｔ２が経過した第３時刻ｔ３において、制御部３２は、第２スイッチＳＷ２をオフする（ステップＳ２７、図４）。これにより、ローパスフィルタ３１の時定数は、第３〜第６抵抗Ｒ３〜Ｒ６による並列の合成抵抗と、キャパシタＣのキャパシタンスとの積へと更に増加する。
【００６２】
第２スイッチＳＷ２をオフした後、制御部３２は、第２スイッチＳＷ２をオフした第３時刻ｔ３から第２時間Ｔ２よりも長い第３時間Ｔ３が経過するまで、第３スイッチＳＷ３のオフを待機する（ステップＳ２８、図４）。
【００６３】
第３時刻ｔ３から第３時間Ｔ３が経過した第４時刻ｔ４において、制御部３２は、第３スイッチＳＷ３をオフする（ステップＳ２９、図４）。これにより、ローパスフィルタ３１の時定数は、第４〜第６抵抗Ｒ４〜Ｒ６による並列の合成抵抗と、キャパシタＣのキャパシタンスとの積へと更に増加する。
【００６４】
第３スイッチＳＷ３をオフした後、制御部３２は、第３スイッチＳＷ３をオフした第４時刻ｔ４から第３時間Ｔ３よりも長い第４時間Ｔ４が経過するまで、第４スイッチＳＷ４のオフを待機する（ステップＳ２１０、図４）。
【００６５】
第４時刻ｔ４から第４時間Ｔ４が経過した第５時刻ｔ５において、制御部３２は、第４スイッチＳＷ４をオフする（ステップＳ２１１、図４）。これにより、ローパスフィルタ３１の時定数は、第５および第６抵抗Ｒ５、Ｒ６による並列の合成抵抗と、キャパシタＣのキャパシタンスとの積へと更に増加する。
【００６６】
第４スイッチＳＷ４をオフした後、制御部３２は、第４スイッチＳＷ４をオフした第５時刻ｔ５から第４時間Ｔ４よりも長い第５時間Ｔ５が経過するまで、第５スイッチＳＷ５のオフを待機する（ステップＳ２１２、図４）。
【００６７】
第５時刻ｔ５から第５時間Ｔ５が経過した第６時刻ｔ６において、制御部３２は、第５スイッチＳＷ５をオフする（ステップＳ２１３、図４）。これにより、ローパスフィルタ３１の時定数は、第６抵抗Ｒ６の抵抗と、キャパシタＣのキャパシタンスとの積へと更に増加する。
【００６８】
第５スイッチＳＷ５をオフした後、制御部３２は、第５スイッチＳＷ５をオフした第６時刻ｔ６から第５時間Ｔ５よりも長い第６時間Ｔ６が経過するまで、トリガ信号の状態判定を待機する（ステップＳ２１４、図４）。
【００６９】
第６時刻ｔ６から第６時間Ｔ６が経過した第７時刻ｔ７において、上位装置５は、ローパスフィルタ３１の出力信号Ｖｏｕｔを電気特性の測定結果として取得する（ステップＳ２１５）。
【００７０】
以上の工程（ステップＳ２１〜Ｓ２１５）による電気特性の測定後、図２に示すように、電気特性の測定結果に応じた処理を行う（ステップＳ３）。例えば、制御部３２は、ローパスフィルタ３１の出力信号Ｖｏｕｔの信号値が予め設定された上限値と下限値との間に収まっているか否かを基準として電気特性の測定結果の良否を判定し、判定結果をモニタに出力してもよい。また、制御部３２は、半導体製造装置等の電子部品の製造装置による製造条件を制御し、電気特性の測定結果に応じて製造条件を変更してもよい。
【００７１】
以下、本実施形態によってもたらされる作用について説明する。図５Ａは、本実施形態に係る電気特性測定装置１の動作例を示す波形図である。図５Ｂは、比較例に係る電気特性測定装置の動作例を示す波形図である。
【００７２】
もし、ローパスフィルタの抵抗が固定抵抗である場合、図５Ｂに示すように、ローパスフィルタの出力が初期状態から実測値に到達するまでの応答時間が長くなることで、ノイズが低減された所望の出力値を迅速に得ることができない。また、電子部品として例えばダイオード６の電気特性を測定する場合、測定の開始当初においては、ダイオード６の結合容量に起因して所望の電流値を大きく上回る急峻な立ち上がりを示す逆方向電流すなわちオーバーシュートが発生する。逆方向電流のオーバーシュートは、逆方向電流をＩＶ変換した後の電圧信号Ｖｉｎにも、所望の電圧値を大きく上回る急峻な立ち上がりを示す電圧信号Ｖｉｎすなわちオーバーシュートとして反映される。もし、電圧信号Ｖｉｎのオーバーシュートが発生している状態で電圧信号Ｖｉｎのノイズを低減しようとする場合、所望の出力値に到達するまでの応答時間は一層長くなってしまう。
【００７３】
これに対して、本実施形態によれば、電圧信号Ｖｉｎのオーバーシュートが終了するタイミングから時間経過にしたがって可変抵抗３１０の抵抗値を増加させることで、時間経過にしたがってローパスフィルタ３１の時定数を増加させることができる。これにより、図５Ａに示すように、オーバーシュートが終了してから、ローパスフィルタ３１の出力電圧Ｖｏｕｔをノイズが低減された所望の出力値（すなわち、直流成分）付近まで急峻に立ち上げることができる。すなわち、ローパスフィルタ３１の飽和時間を短縮させることができる。そして、急峻に立ち上がった出力電圧Ｖｏｕｔを、所望の出力値に向かって緩やかに上昇させることができる。
【００７４】
したがって、本実施形態によれば、オーバーシュートが終了してからノイズが低減された所望の出力値を迅速に得ることができる。
【００７５】
そして、このように、ノイズが低減された所望の出力値を迅速に得ることができることで、電子部品の製造効率を向上させることができる。
【００７６】
また、本実施形態によれば、電圧信号Ｖｉｎのオーバーシュートが終了する時刻からの時間経過にしたがって抵抗Ｒ１〜Ｒ６の並列接続数が減少するように切替部３１１を制御することで、時間経過にしたがって可変抵抗３１０の抵抗値を簡便かつ確実に増加させることができる。
【００７７】
また、本実施形態によれば、スイッチＳＷ１〜ＳＷ５のオフによって抵抗Ｒ１〜Ｒ６の並列接続数を減少させることで、簡易な構成により、抵抗Ｒ１〜Ｒ６の並列接続数を確実に減少させることができる。
【００７８】
また、本実施形態によれば、抵抗値が小さい順にスイッチＳＷ１〜ＳＷ５をオフすることで、所望の出力値付近まで急峻に立ち上がった後に所望の出力値に向かって緩やかに上昇するローパスフィルタ３１の好ましい出力波形を確実に得ることができる。
【００７９】
また、本実施形態によれば、オーバーシュートの終了を通知するトリガ信号の入力を契機として、次のスイッチのオフまでの待機時間を徐々に増加させるスイッチのオフ制御を開始することで、ローパスフィルタ３１の好ましい出力波形を更に確実に得ることができる。
【００８０】
なお、電子部品の電気特性の測定以外の用途において、入力信号のノイズを迅速に低減するためにフィルタ装置３を適用することもできる。
【００８１】
上述した実施形態は、あくまで一例であって、発明の範囲を限定するものではない。発明の要旨を逸脱しない限度において、上述した実施形態に対して種々の変更を行うことができる。変更された実施形態は、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００８２】
１  電気特性測定装置
３  フィルタ装置
３１  ローパスフィルタ
３１０  可変抵抗
３２  制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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