(57)【要約】【課題】気泡の検出精度を高めることができる気泡検出装置を提供すること。【解決手段】気泡検出装置６０は、ベーン式ポンプ５１を備える。ベーン式ポンプ５１は、活物質合剤２２ａを収容して送る複数の空間５７を備え、ベーン式ポンプ５１の駆動に伴い空間５７の容積は増減する。気泡検出装置６０は、検出部８０を備える。検出部８０は、ベーン式ポンプ５１の内部に区画される複数の空間５７のうち、容積の増大した空間５７に収容された活物質合剤２２ａに含まれる気泡Ｋの検出を行う。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペースト状の活物質合剤に含まれる気泡を、前記活物質合剤が供給先に供給される前に検出する気泡検出装置であって、
前記活物質合剤を収容して送る複数の空間を備えるベーン式ポンプと、
前記ベーン式ポンプの内部に区画される複数の空間のうち、容積の増大した空間に収容された前記活物質合剤に含まれる気泡の検出を行う検出部と、を備えることを特徴とする気泡検出装置。
【請求項２】
前記ベーン式ポンプは、前記活物質合剤を前記供給先へ送る供給装置を兼ねる請求項１に記載の気泡検出装置。
【請求項３】
前記ベーン式ポンプは、該ベーン式ポンプに供給される前記活物質合剤の供給圧力で駆動される請求項１又は請求項２に記載の気泡検出装置。
【請求項４】
前記検出部は、前記活物質合剤に向けて超音波を送信する発振器と、反射された反射波を受信する受信器と、前記受信器で受信した反射波に基づいて前記気泡の有無を判定する判定部と、を有する請求項１〜請求項３のうちいずれか一項に記載の気泡検出装置。
【請求項５】
前記ベーン式ポンプは、ケーシング内で回転するロータと、前記ロータの外周面から出没する複数のベーンと、を有し、前記ベーン、前記ロータ及び前記ケーシングによって前記空間が区画され、前記ベーンの基端部を通過し、かつ前記ロータの回転中心と前記ロータの外周面とを繋ぐ直線を仮想線とすると、前記ベーンは、該ベーンの先端部が前記仮想線よりも前記ロータの回転方向下流側に位置する状態で傾斜している請求項２〜請求項４のうちいずれか一項に記載の気泡検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、活物質合剤に含まれる気泡を検出する気泡検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
リチウムイオン二次電池などの蓄電装置は、正負の電極を備える。電極は金属箔の両面に活物質層を備える構造が一般的である。このような電極の製造は、例えば、長尺金属箔の両面に活物質合剤の塗工部を有する電極材料を形成し、その電極材料を電極の形状に合わせて切断することで行われる。
【０００３】
電極材料の製造の一例としては、搬送される長尺金属箔に対し、塗工装置から活物質合剤を塗布した後、活物質合剤の塗工部を乾燥することで行われる。なお、活物質合剤は、活物質、導電剤、溶媒及びバインダを混合したペースト状である。
【０００４】
ところで、電極の活物質層には、活物質合剤に含まれていた気泡が乾燥時に破裂して形成された凹みや膨らみが形成される場合がある。これら凹みや膨らみは電極の品質を低下させるため、品質低下を防止するためには、活物質合剤が長尺金属箔に塗布される前に気泡を検出し、その活物質合剤が長尺金属箔に塗布されないようにすることが考えられる。このような気泡検出に関する従来技術として、例えば特許文献１が挙げられる。
【０００５】
特許文献１の気泡検出装置は、トロコイドポンプよりなる流路機構を作動させ、検査対象としての活物質合剤を流路機構の流路内を流動させる途中、流路機構において外部から視認可能に形成した流路を流れる活物質合剤を外部から視認して、活物質合剤に含まれる気泡の大きさや個数を定量的に把握する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１４−６６５８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、特許文献１のように、流路を流れる活物質合剤に含まれる気泡を外部から視認して検査する場合、気泡が小さいと検出精度が下がる虞がある。
本発明の目的は、気泡の検出精度を高めることができる気泡検出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記問題点を解決するための気泡検出装置は、ペースト状の活物質合剤に含まれる気泡を、前記活物質合剤が供給先に供給される前に検出する気泡検出装置であって、前記活物質合剤を収容して送る複数の空間を備えるベーン式ポンプと、前記ベーン式ポンプの内部に区画される複数の空間のうち、容積の増大した空間に収容された前記活物質合剤に含まれる気泡の検出を行う検出部と、を備えることを要旨とする。
【０００９】
これによれば、ベーン式ポンプが駆動するのに伴い空間の容積が増大していく期間がある。空間の容積が増大すると、その空間は減圧される。減圧された空間の活物質合剤に気泡が含まれていれば、減圧に伴い気泡は膨張する。このため、膨張しなければ検出できないような小さい気泡であっても検出部によって検出でき、気泡の検出精度が高まる。
【００１０】
また、気泡検出装置について、前記ベーン式ポンプは、前記活物質合剤を前記供給先へ送る供給装置を兼ねてもよい。
これによれば、ベーン式ポンプにより活物質合剤を供給先へ送りながら気泡検出装置によって気泡を検出でき、気泡検出装置の駆動源を不要にできる。
【００１１】
また、気泡検出装置について、前記ベーン式ポンプは、該ベーン式ポンプに供給される前記活物質合剤の供給圧力で駆動されてもよい。
これによれば、活物質合剤の供給圧力により、ベーン式ポンプを駆動させ、空間の容積を増大させることにより、活物質合剤に含まれる気泡を膨張させることができる。よって、気泡検出装置におけるベーン式ポンプの駆動源を不要にできる。
【００１２】
また、気泡検出装置について、前記検出部は、前記活物質合剤に向けて超音波を送信する発振器と、反射された反射波を受信する受信器と、前記受信器で受信した反射波に基づいて前記気泡の有無を判定する判定部と、を有している。
【００１３】
これによれば、一般的に活物質合剤は暗色系であるため、活物質合剤に気泡が含まれていた場合は、光学的検出方法では気泡を検出しにくい。これに対し、超音波検査を採用することで、光学的検出方法で検出しにくい気泡であっても検出しやすくなる。
【００１４】
また、気泡検出装置について、前記ベーン式ポンプは、ケーシング内で回転するロータと、前記ロータの外周面から出没する複数のベーンと、を有し、前記ベーン、前記ロータ及び前記ケーシングによって前記空間が区画され、前記ベーンの基端部を通過し、かつ前記ロータの回転中心と前記ロータの外周面とを繋ぐ直線を仮想線とすると、前記ベーンは、該ベーンの先端部が前記仮想線よりも前記ロータの回転方向下流側に位置する状態で傾斜しているのが好ましい。
【００１５】
これによれば、ベーン式ポンプを供給装置としても使用する場合、ロータから突出したベーンによって活物質合剤が回転方向へ押し込まれる。このとき、ベーンの傾斜方向を規定することにより、ロータの回転力をベーンに伝えやすく、活物質合剤を送りやすくなり、供給装置としての機能が向上する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、気泡の検出精度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施形態の電極を示す斜視図。
【図２】生産設備及び気泡検出装置を示す模式図。
【図３】ベーン式ポンプを示す断面図。
【図４】気泡検出装置を示す模式図。
【図５】気泡が縮小した状態を示す図。
【図６】（ａ）は気泡が存在しないときの反射波を示す図、（ｂ）は気泡が存在するときの反射波を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、気泡検出装置を具体化した一実施形態を図１〜図６にしたがって説明する。
蓄電装置としての二次電池は、図示しないが、ケースと、ケースに収容された電極組立体と、を備える。電極組立体は、複数の正極の電極と、複数の負極の電極と、両者の間を絶縁するセパレータと、を備える。本実施形態における二次電池は、リチウムイオン電池である。
【００１９】
図１に示すように、正極及び負極の電極１１は、それぞれ集電体である矩形状の金属箔（正極はアルミニウム箔、負極は銅箔）１２と、金属箔１２の両面に設けられた活物質層１３と、を備える。電極１１は、長尺状の電極材料を所定の形状に切断することで製造される。活物質層１３の表面に凹みや膨らみが生じていると、それら凹みや膨らみは電極１１の品質を低下させる。活物質層１３の表面に生じる凹みや膨らみは、活物質層１３の原料である活物質合剤２２ａに含まれる気泡が破裂して生じる。よって、活物質層１３の表面から凹みや膨らみを無くすためには、活物質合剤２２ａに含まれる気泡を事前に検出し、気泡の含まれた活物質合剤２２ａを使用しないことが重要となる。
【００２０】
図２に示すように、本実施形態では、電極１１の製造工程において、活物質合剤２２ａが金属箔１２の原料となる帯状集電体２１に塗布される前に、気泡検出装置６０によって気泡の検出を行い、気泡が検出された活物質合剤２２ａは、帯状集電体２１に塗布しないようにする。
【００２１】
以下、気泡検出装置６０について説明する。
まず、気泡検出装置６０を備えた電極材料の生産設備について説明する。
図２に示すように、電極材料１４を生産する生産設備２０は、長尺の帯状集電体２１の片面に、ペースト状の活物質合剤２２ａを連続塗工し、その活物質合剤２２ａの層である合剤層２２を乾燥して電極材料１４を製造する設備である。なお、ペースト状の活物質合剤２２ａは、活物質、導電剤、バインダ、及び溶媒を混練したものである。
【００２２】
生産設備２０は、帯状集電体２１を搬送する搬送装置３０と、活物質合剤２２ａの貯留部３４と、貯留部３４から供給された活物質合剤２２ａを帯状集電体２１に塗布する塗工装置４０と、塗工された合剤層２２を乾燥させる乾燥装置５０とを備える。
【００２３】
また、生産設備２０は、貯留部３４と塗工装置４０を接続する供給路３５と、供給路３５に設けられ、活物質合剤２２ａを供給先である塗工装置４０に供給する前に、活物質合剤２２ａに含まれる気泡を検出する気泡検出装置６０と、を備える。
【００２４】
搬送装置３０は、供給リール３１、巻取リール３２、及び複数のガイドローラ３３を備える。供給リール３１には、帯状集電体２１が巻装されている。帯状集電体２１は、長手方向が供給リール３１の周方向に延びる状態で供給リール３１に巻装されている。供給リール３１は、図示しない支持装置によって回転可能に支持されている。
【００２５】
巻取リール３２は、図示しない支持装置によって回転可能に支持されている。供給リール３１から供給された帯状集電体２１は、回転する巻取リール３２に巻き取られる。その結果、帯状集電体２１は一定の速度で長手方向に搬送される。帯状集電体２１が搬送される方向を搬送方向Ｄとする。
【００２６】
貯留部３４には、上記の活物質合剤２２ａが貯留されている。貯留部３４の出口３４ａと、塗工装置４０の入口４０ａとは供給路３５で接続されている。塗工装置４０は、帯状集電体２１の搬送方向Ｄにおける供給リール３１の下流に設けられている。塗工装置４０は、帯状集電体２１の片面に対向して配置され、活物質合剤２２ａは帯状集電体２１の片面に塗工される。塗工装置４０の塗工方法は、スリットダイ方式、グラビアロール方式、コンマロール方式など、何れの塗工方式であってもよいが、本実施形態ではスリットダイ方式を採用した。
【００２７】
乾燥装置５０は、帯状集電体２１の搬送経路に沿う場所のうち、搬送方向Ｄにおける塗工装置４０の下流に設けられている。乾燥装置５０の内部には、高温の熱媒体（例えば空気や窒素ガスなどの気体）が外部から供給されることにより、帯状集電体２１に塗工された活物質合剤２２ａよりなる合剤層２２は、同乾燥装置５０の内部を通過する過程で乾燥される。これにより、活物質合剤２２ａに含まれる溶媒が蒸発するとともに、熱によりバインダの硬化が始まり、活物質や導電剤が相互に固定される。
【００２８】
次に、気泡検出装置６０について詳細に説明する。
気泡検出装置６０は、ベーン式ポンプ５１と、検出部８０とを備える。
図３に示すように、ベーン式ポンプ５１は、ハウジング５２内に収容された筒状のケーシング５３を有する。また、ベーン式ポンプ５１は、ハウジング５２に支持された回転軸５４を備える。回転軸５４は、図示しない駆動源（例えばモータ）によって回転される。回転軸５４はケーシング５３内を貫通している。ケーシング５３内において、回転軸５４には円筒状をなすロータ５５が回転軸５４と一体回転するように止着されている。ロータ５５の一端面はハウジング５２の端面と対向するとともに、他端面は、図示しないサイドプレートに対向している。よって、ロータ５５は、ハウジング５２とサイドプレートで区画された収容空間内に収容されている。
【００２９】
ケーシング５３の内周面は楕円状である。ロータ５５の外周面には、複数箇所に放射状にベーン溝５５ａが形成されるとともに、各ベーン溝５５ａそれぞれにはベーン５６が出没可能に収容されている。各ベーン５６の表面は、耐摩耗性を高めるための表面処理が施されている。例えば、ベーン５６の表面にＴＤプロセス（Toyota Diffusion Coating Process）を施してもよい。各ベーン溝５５ａにおいて、ロータ５５の外周面に開口する端部を開口部５５ｂとし、開口部５５ｂより奥にある端部を底部５５ｃとする。各ベーン５６において、ベーン溝５５ａの底部５５ｃに対向する端部を基端部５６ａとし、ベーン溝５５ａの開口部５５ｂから突出する側の端部を先端部５６ｂとする。
【００３０】
ベーン５６の基端部５６ａとベーン溝５５ａの底部５５ｃとの間には図示しないバネが収容されている。バネにより、ベーン５６はベーン溝５５ａから突出する方向へ付勢されている。ベーン溝５５ａの底部５５ｃを通過し、かつ回転軸５４の回転中心としての中心軸Ｌを通過する直線を仮想線Ｍとする。ベーン溝５５ａの開口部５５ｂは、ロータ５５（回転軸５４）の回転方向Ｙにおいて仮想線Ｍより下流側に位置するように形成されている。よって、ベーン５６の先端部５６ｂは、ロータ５５の回転方向Ｙにおいて仮想線Ｍより下流側に位置している。
【００３１】
回転軸５４の回転に伴うロータ５５の回転によってベーン５６の先端部５６ｂがケーシング５３の内周面に接触すると、ロータ５５の外周面と、ケーシング５３の内壁と、ベーン５６と、ハウジング５２及びサイドプレートとの間に空間５７が区画されるようになっている。
【００３２】
ベーン式ポンプ５１は、ハウジング５２に吸入ポート５８を備える。吸入ポート５８には供給路３５が接続されている。また、ベーン式ポンプ５１は、ケーシング５３を囲む吸入室５９を備え、吸入室５９は吸入ポート５８に連通している。ベーン式ポンプ５１は、ケーシング５３に一対の吸入口５３ａを備える。吸入口５３ａは、吸入室５９と連通する。そして、空間５７と吸入室５９とは吸入口５３ａを介して連通される。本実施形態のベーン式ポンプ５１は、ロータ５５を挟んだ両吸入口５３ａ側に空間５７が区画されている。
【００３３】
図４に示すように、ベーン式ポンプ５１は、ケーシング５３の外周面に一対の凹部５３ｂを備える。一対の凹部５３ｂは、回転軸５４の径方向に対向する位置にある。ベーン式ポンプ５１は、各凹部５３ｂと、ケーシング５３の内面と、ハウジング５２の内面と、サイドプレートで囲まれた吐出空間５３ｃを備える。
【００３４】
ベーン式ポンプ５１は、空間５７と吐出空間５３ｃとを連通させる吐出口５３ｄをケーシング５３に備える。ケーシング５３には、吐出口５３ｄを開閉する吐出弁５３ｅと、吐出弁５３ｅの開度を規制するリテーナ５３ｆとが取り付けられている。そして、吐出口５３ｄと連通した空間５７の活物質合剤２２ａは、吐出弁５３ｅを押し退けて吐出空間５３ｃへ吐出される。ベーン式ポンプ５１は、図示しない吐出ポートを備え、吐出ポートには供給路３５が接続されている。
【００３５】
そして、ベーン式ポンプ５１が駆動され、吸入室５９の容積が増大していくと、吸入ポート５８から吸入室５９に活物質合剤２２ａが吸入され、さらに、図３に示すように、吸入口５３ａから空間５７に吸入される。ロータ５５の回転に伴い、空間５７がロータ５５の回転方向Ｙに移動していくと、図４に示すように、空間５７の容積が徐々に増大していくとともに、空間５７に吸入された活物質合剤２２ａは吐出口５３ｄに向けて送られる。
【００３６】
図３のドットハッチングに示すように、ベーン式ポンプ５１において、空間５７の容積は、吸入口５３ａに連通した時点が最も小さい。最も容積の小さい空間５７は、ロータ５５の回転に伴い徐々に容積が大きくなっていく。そして、図４のドットハッチングに示すように、ロータ５５の回転方向Ｙにおける吸入口５３ａと吐出口５３ｄの中間位置で、空間５７の容積が最大となる。空間５７の容積が最大となった位置を最大容積位置Ｐとする。その後、空間５７の容積は、ロータ５５の回転に伴い徐々に小さくなっていき、図５のドットハッチングに示すように、吐出口５３ｄに連通すると空間５７の容積は最小になる。そして、空間５７に収容されていた活物質合剤２２ａは、吐出口５３ｄから吐出空間５３ｃへ吐出され、さらに、吐出ポートから供給路３５へ吐出される。したがって、ベーン式ポンプ５１は、供給路３５の一部を構成するとともに、活物質合剤２２ａを塗工装置４０に送る供給装置を構成する。
【００３７】
検出部８０は、ベーン式ポンプ５１の空間５７に収容された活物質合剤２２ａに含まれる気泡Ｋの検出を行う。図２又は図４に示すように、検出部８０は、超音波検査によって活物質合剤２２ａの気泡Ｋの有無を検出する。検出部８０は、超音波を空間５７の活物質合剤２２ａに向けて送信する発振器８１と、反射波を受信する受信器８２を一体に備える探触子８３を備える。
【００３８】
探触子８３は、ベーン式ポンプ５１において、最大容積位置Ｐが形成される場所のハウジング５２に沿って配置されている。ベーン式ポンプ５１は、ロータ５５を挟んだ両側に最大容積位置Ｐが形成されるため、探触子８３は２箇所配設されている。探触子８３は、最大容積位置Ｐにある空間５７に対し、ハウジング５２を介して対向している。探触子８３の発振器８１から送信された超音波は、最大容積位置Ｐにある空間５７に向けて照射される。活物質合剤２２ａに気泡Ｋが存在する場合、最大容積位置Ｐで空間５７の容積が増大すると、気泡Ｋが膨張し、最大容積位置Ｐに位置する前より気泡Ｋが大きくなる。
【００３９】
図６（ａ）に示すように、空間５７内の活物質合剤２２ａに気泡Ｋが存在しない場合、入射波は、ロータ５５の外周面まで伝播した後、ロータ５５の外周面で反射され、反射波として受信器８２で受信される。このため、活物質合剤２２ａに気泡Ｋが存在しない場合、反射波は、発振器８１から超音波が発振されてから受信器８２で受信されるまでに要する一定時間の経過後に検出される。探触子８３からロータ５５の外周面までの距離は予め把握できるため、気泡Ｋが存在しない場合において、反射波が検出されるまでに要する時間は一定であり、予め把握できる。
【００４０】
一方、図６（ｂ）に示すように、空間５７内の活物質合剤２２ａに気泡Ｋが存在する場合、その気泡Ｋで入射波が反射するため、入射波がロータ５５の外周面に到達して受信器８２で受信されるまでに要する時間よりも短い時間で反射波が検出される。すなわち、発振器８１から入射波が発振されてから一定時間が経過する前に反射波が検出されることとなる。
【００４１】
図２に示すように、受信器８２には、判定部８４が信号接続されている。そして、一定時間が経過する前に受信器８２が反射波を受信した場合、判定部８４は気泡Ｋが存在すると判定する。また、判定部８４は、気泡Ｋが存在すると判定した場合、反射波のピークの高さから、気泡Ｋの良否を判定する。
【００４２】
反射波のピークの高さは、気泡Ｋの大きさに対応し、気泡Ｋが大きいほど、反射波のピークの高さは、高くなる。受信器８２から判定部８４に送信される信号には、反射波のピークの高さに関する情報が含まれている。また、反射波の発生頻度は、気泡Ｋの数に対応し、気泡Ｋの数が多いほど、受信器８２が判定部８４に信号を送信する頻度は高くなる。
【００４３】
判定部８４は、反射波のピークの高さに基づいて、気泡Ｋの大きさを判定する。判定部８４は、予め設定した気泡Ｋの大きさに関する閾値と、検出された気泡Ｋの大きさとを比較する。なお、気泡Ｋが破裂したときに活物質層１３の表面に凹みや膨らみを生じさせる気泡Ｋの大きさを、最大容積位置Ｐで予め調べておく。その気泡Ｋの大きさでの反射波のピークより若干低いピークの高さを閾値として設定しておく。
【００４４】
そして、判定部８４は、受信器８２から送信された信号に含まれるピークの高さと閾値とを比較し、反射波のピークの高さが閾値より高いか否かを判定する。反射波のピークの高さが閾値より高い場合は、判定部８４は、規定された大きさ以上の気泡Ｋが活物質合剤２２ａに含まれると判断し、不良であると判定する。一方、反射波のピークの高さが閾値より低い場合は、判定部８４は、規定された大きさより小さい気泡Ｋが活物質合剤２２ａに含まれると判断し、不良でないと判定する。
【００４５】
判定部８４には、塗工装置４０の駆動を制御する制御部８５が信号接続されている。判定部８４は、良品か否かの判定結果を示す信号を制御部８５に出力する。制御部８５は、判定部８４により、活物質合剤２２ａが不良であると判定された場合は、塗工装置４０の駆動を停止させ、活物質合剤２２ａの塗布を停止させて活物質合剤２２ａが帯状集電体２１に塗布されないようにする。
【００４６】
次に、気泡検出装置６０による気泡Ｋの検査方法を作用とともに説明する。
ベーン式ポンプ５１により、貯留部３４に貯留された活物質合剤２２ａが塗工装置４０に送られる途中であり、塗工装置４０から活物質合剤２２ａが帯状集電体２１に吐出される前に、活物質合剤２２ａが検査される。ベーン式ポンプ５１によって、活物質合剤２２ａが送られる途中、ロータ５５の回転に伴い空間５７の容積が最大となった最大容積位置Ｐで、その空間５７に収容された活物質合剤２２ａに対し、探触子８３の発振器８１から超音波が送信される。
【００４７】
空間５７の容積が増大すると、その空間５７は減圧される。最大容積位置Ｐで減圧された空間５７の活物質合剤２２ａに気泡Ｋが含まれていれば、減圧に伴い気泡Ｋは膨張する。そして、膨張した気泡Ｋに向けて超音波が照射されると、気泡Ｋで反射し、反射波が受信器８２で受信される。判定部８４は、発振器８１から超音波が発振されてから一定時間が経過する前に受信器８２で反射波を受信すると気泡Ｋが存在すると判定する。判定部８４は、反射波のピーク高さと閾値とを比較し、閾値より高い反射波の場合は、活物質合剤２２ａを不良と判定する。
【００４８】
上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）ベーン式ポンプ５１によって活物質合剤２２ａを塗工装置４０に送る途中、最大容積位置Ｐにある空間５７に収容された活物質合剤２２ａに対して検査を行うようにした。最大容積位置Ｐでは、ベーン式ポンプ５１内の空間５７が減圧され、活物質合剤２２ａに含まれる気泡Ｋが膨張する。このため、膨張しなければ検出できないような小さい気泡Ｋであっても、検出部８０によって検出でき、気泡Ｋの検出精度が高まる。
【００４９】
（２）ベーン式ポンプ５１は、貯留部３４に貯留された活物質合剤２２ａを塗工装置４０に送る供給装置として機能する。このベーン式ポンプ５１の空間５７の容積変化を利用し、ベーン式ポンプ５１により活物質合剤２２ａを塗工装置４０へ送りながら気泡検出装置６０によって気泡Ｋを検出できる。したがって、気泡検出装置６０の駆動源を不要にできる。
【００５０】
（３）気泡検出装置６０の検出部８０は、超音波検査によって気泡Ｋの有無を検出する。一般的に活物質合剤２２ａは暗色系であるため、光学的検出方法では気泡Ｋを検出しにくい。しかし、超音波検査を採用することで、光学的検出方法で検出しにくい気泡Ｋであっても検出しやすくなる。しかも、活物質合剤２２ａに対し非接触で気泡Ｋの有無を検出できる。
【００５１】
（４）ベーン式ポンプ５１は、貯留部３４に貯留された活物質合剤２２ａを塗工装置４０に送る供給装置として機能する。このベーン式ポンプ５１において、ベーン５６は、その先端部５６ｂがロータ５５（回転軸５４）の回転方向Ｙにおける仮想線Ｍより下流側に位置するように傾斜している。このため、ロータ５５の回転力をベーン５６に伝えやすく、活物質合剤２２ａを送りやすくして、ベーン式ポンプ５１の供給装置としての機能を高めることができる。
【００５２】
（５）ベーン式ポンプ５１は、ロータ５５を挟む両側に空間５７を備える。このため、例えば、ロータ５５の片側だけに空間５７を備えるタイプのベーン式ポンプと比べると、活物質合剤２２ａを吐出する際の脈動を抑えることができる。その結果として、塗工装置４０から塗布された活物質合剤２２ａの厚みの変動を抑えることができる。
【００５３】
（６）ベーン式ポンプ５１は、ロータ５５を挟む両側に空間５７を備える。このため、例えば、ロータ５５の片側だけに空間５７を備えるタイプのベーン式ポンプと比べると、活物質合剤２２ａの検査箇所を２倍にでき、気泡Ｋの検査効率を高めることができる。
【００５４】
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
○  判定部８４は、気泡Ｋの大きさに基づいて活物質合剤２２ａの良否の判定を行ったが、一定時間経過する前に反射波を検出した場合は、気泡Ｋの大きさにかかわらず活物質合剤２２ａを不良と判定してもよい。
【００５５】
○  ベーン５６の傾斜角度について、ベーン５６の先端部５６ｂが、ロータ５５（回転軸５４）の回転方向Ｙにおいて仮想線Ｍより下流側に位置するように傾斜させたが、傾斜の仕方は適宜変更してもよい。
【００５６】
○  検出部８０は、超音波検査によって気泡Ｋの有無を検出するようにしたが、検査方法はこれに限らない。最大容積位置Ｐを視認できるようにベーン式ポンプ５１のハウジング５２及びケーシング５３を透明にし、最大容積位置Ｐで膨張した気泡Ｋを目視で確認してもよい。
【００５７】
○  実施形態では、活物質合剤２２ａを貯留部３４から塗工装置４０へ送る供給装置として機能するベーン式ポンプ５１の空間５７を利用して気泡Ｋの有無を検出するようにした。すなわち、供給装置のベーン式ポンプ５１に、気泡検出装置６０のベーン式ポンプとしての機能を持たせたが、これに限らない。活物質合剤２２ａを貯留部３４から塗工装置４０に送る供給装置としてのベーン式ポンプ５１とは別に、供給路３５に気泡検出装置６０用のベーン式ポンプを設置し、そのベーン式ポンプの空間を利用して気泡Ｋの有無を検出してもよい。この場合、気泡検出装置６０のベーン式ポンプは、供給装置としてのベーン式ポンプ５１より下流に配置され、供給路３５から当該ベーン式ポンプ内に供給される活物質合剤２２ａの供給圧力で受動的に駆動される。ただし、気泡検出装置６０のベーン式ポンプは、活物質合剤２２ａを塗工装置４０に向けて送るため、供給装置としても機能する。
【００５８】
そして、このように構成すると、気泡検出装置６０のベーン式ポンプへの活物質合剤２２ａの供給圧力により、ベーン式ポンプが駆動され、空間の容積を増大させることができる。その結果、活物質合剤２２ａに含まれる気泡Ｋを膨張させ、気泡Ｋの検出精度を高めることができる。よって、気泡検出装置６０のベーン式ポンプの駆動源を不要にできる。
【００５９】
○  気泡検出装置６０のベーン式ポンプ５１を供給装置として機能させない場合は、供給装置は、スクリュー式ポンプ、トロコイド式ポンプ、ルーツ式ポンプといったベーン式ポンプ以外のポンプとしてもよい。
【００６０】
○  ベーン式ポンプ５１において、ロータ５５が備えるベーン５６の枚数は変更してもよい。ベーン５６の枚数を増やし、容積が増大する空間５７が複数形成される場合は、各空間５７に対して検出部８０を配置し、気泡Ｋの有無を検出する箇所を増やしてもよい。
【００６１】
○  実施形態では、容積が最大となる最大容積位置Ｐで気泡Ｋの検出を行ったが、空間５７に活物質合剤２２ａが収容されてから最大容積位置Ｐに至るまでの間、すなわち空間５７の容積が増大するまでの間であれば、気泡Ｋの検出を行う場所を変更してもよい。
【００６２】
○  ベーン式ポンプ５１を含む気泡検出装置６０を塗工装置４０に一体に組み込んで、塗工装置４０から活物質合剤２２ａが吐出される直前に、活物質合剤２２ａに含まれる気泡Ｋの有無を検出してもよい。
【００６３】
○  ベーン式ポンプ５１は、ロータ５５の両側に空間５７が区画されるタイプとしたが、ロータ５５の片側のみに空間５７が区画されるタイプでもよい。
○  活物質合剤２２ａの集電体への塗布は、帯状集電体２１に対して行う連続塗工でもよいし、間欠塗工でもよい。また、集電体を枚葉状とし、活物質合剤２２ａの塗布を集電体に１枚ずつ行ってもよい。
【００６４】
○  集電体は、活物質合剤２２ａを塗布し、担持できれば金属箔でなくてもよく、網目状の金属シートであってもよい。
○  活物質合剤２２ａの供給先として塗工装置４０に具体化したが、これに限らない。例えば、塗工装置４０から活物質合剤２２ａが塗布された後、帯状集電体２１に塗布されずに残った活物質合剤２２ａを貯留部３４に戻す（供給する）ために、貯留部３４への供給路上に気泡検出装置６０を配置し、貯留部３４に戻す活物質合剤２２ａに含まれる気泡Ｋを気泡検出装置６０で検出するようにしてもよい。
【００６５】
○  ベーン式ポンプ５１において、ベーン溝５５ａに収容された図示しないバネは、ベーン５６とベーン溝５５ａの空間の空気バネであってもよい。
○  蓄電装置は箔形状の集電体の表裏に、正極又は負極の少なくとも一方の活物質を塗布して形成された電極で構成されるニッケル水素二次電池や、電気二重層キャパシタであってもよい。
【００６６】
次に、上記実施形態及び別例から把握できる技術的思想について以下に追記する。
（１）前記ベーン式ポンプは、前記ロータを挟む両側それぞれに前記空間を備えるタイプである気泡検出装置。
【００６７】
（２）前記供給先は、前記活物質合剤を集電体に塗布する塗工装置である気泡検出装置。
【符号の説明】
【００６８】
Ｋ…気泡、Ｍ…仮想線、Ｙ…回転方向、２２ａ…活物質合剤、５１…ベーン式ポンプ、５３…ケーシング、５５…ロータ、５６…ベーン、５６ａ…基端部、５６ｂ…先端部、５７…空間、６０…気泡検出装置、８０…検出部、８１…発振器、８２…受信器、８４…判定部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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