(57)【要約】【課題】高精度の金属パターンを形成することが可能な加熱部材の製造方法を提供する。【解決手段】被加熱体を加熱するための加熱部材１０の製造方法であって、インクジェットディスペンサーによってめっき触媒およびバインダーを含むめっき下地形成用塗料を基層１２上に吐出してめっき触媒およびバインダーを含むめっき下地パターン１４ｂを形成する工程と、めっき下地パターン１４ｂにめっきを行ってめっき下地パターン１４ｂのめっき下地上に金属パターン１４ａを形成する工程と、を有する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加熱体を加熱するための加熱部材の製造方法であって、
インクジェットディスペンサーによってめっき触媒およびバインダーを含むめっき下地形成用塗料を基層上に吐出してめっき触媒およびバインダーを含むめっき下地をパターン状に形成する工程と、
パターン状に形成した前記めっき下地にめっきを行って前記めっき下地上に金属パターンを形成する工程と、を有することを特徴とする加熱部材の製造方法。
【請求項２】
前記めっき下地形成用塗料の粘度が、１．０〜１０００ｍＰａ・ｓの範囲内であることを特徴とする請求項１に記載の加熱部材の製造方法。
【請求項３】
前記インクジェットディスペンサーのインクが吐出されるノズルの内径が、０．０５〜０．３ｍｍの範囲内であることを特徴とする請求項１または２に記載の加熱部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加熱部材の製造方法に関し、さらに詳しくは、電子写真機器の定着工程において好適に用いられる加熱部材の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子写真方式を採用する複写機、プリンター、ファクシミリなどの電子写真機器では、記録媒体（紙など）にトナー像を形成し、これを加熱部材（定着部材）で加熱・加圧して定着させることにより画像を形成している。この定着工程では、電子写真機器の消費電力の大半を占めている。このため、省エネルギーの観点から、加熱部材の改良が求められている。
【０００３】
例えば特許文献１では、従来、中空金属軸にヒーターを内蔵させこのヒーターを熱源として中空金属軸に周設された弾性材層の外周表面を昇温させていたのに対し、可撓性樹脂シートからなる筒状体の外周面あるいは内周面に通電発熱可能な金属パターンを形成したものを加熱用回転体として用いることで、定着装置のウォームアップ時間を短縮し、省エネルギー化を図ることを提案している。金属パターンは、金属を含む導電性ペーストを筒状体の外周面あるいは内周面に塗布することにより形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第５５４４８０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
導電性ペーストを塗布して金属パターンを形成する方法では、細線部の精度に劣る。これにより、温度ムラが生じやすいという問題がある。
【０００６】
本発明が解決しようとする課題は、高精度の金属パターンを形成することが可能な加熱部材の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため本発明に係る加熱部材の製造方法は、被加熱体を加熱するための加熱部材の製造方法であって、インクジェットディスペンサーによってめっき触媒およびバインダーを含むめっき下地形成用塗料を基層上に吐出してめっき触媒およびバインダーを含むめっき下地をパターン状に形成する工程と、パターン状に形成した前記めっき下地にめっきを行って前記めっき下地上に金属パターンを形成する工程と、を有することを要旨とするものである。
【０００８】
この際、前記めっき下地形成用塗料の粘度は、１．０〜１０００ｍＰａ・ｓの範囲内であることが好ましい。そして、前記インクジェットディスペンサーのインクが吐出されるノズルの内径は、０．０５〜０．３ｍｍの範囲内であることが好ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る加熱部材の製造方法によれば、インクジェットディスペンサーによって上記めっき下地形成用塗料を基層上に吐出して上記めっき下地をパターン状に形成することから、パターン状のめっき下地を高精度で細線に形成することができる。そして、高精度に形成されたパターン状のめっき下地にめっきを行ってめっき下地上に金属パターンを形成することから、導電性ペーストの塗布により金属パターンを形成する従来よりもパターニング精度が向上し、温度ムラが改善される。
【００１０】
この際、上記めっき下地形成用塗料の粘度が特定範囲内であると、上記めっき下地形成用塗料を基層上に吐出する際に、塗膜のにじみが抑えられ、塗膜のレベリングが良くなる。これにより、パターン状のめっき下地をより高精度に形成することができる。そして、上記インクジェットディスペンサーのインクが吐出されるノズルの内径が特定範囲内であると、パターン状のめっき下地を高精度で細線に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係る加熱部材の外観模式図（ａ）と、径方向断面の一部（ｂ）である。
【図２】加熱部材の展開図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る加熱部材の製造方法の工程図である。
【図４】表面温度ムラの評価方法を説明する模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明に係る加熱部材は、被加熱体を加熱するために用いられる。被加熱体を加熱するものであれば、被加熱体の種類は特に限定されるものではない。被加熱体としては、例えば、複写機、プリンター、ファクシミリなどの電子写真機器における、用紙等の記録媒体に転写された未定着のトナーなどが挙げられる。この場合、加熱部材は、電子写真機器の定着工程における加熱部材（定着部材）として用いられる。電子写真機器における加熱部材（定着部材）は、円筒状に形成された定着ベルトや、軸体の外周にロール状に形成された定着ロールなどが挙げられる。定着ベルトや定着ロールは、周方向において繋ぎ目のないシームレス構造を有することが耐久性の面で好ましい。
【００１３】
図１（ａ）は、本発明の一実施形態に係る加熱部材の外観模式図である。図１（ｂ）は、その加熱部材の径方向断面の一部である。図２は、加熱部材の展開図である。
【００１４】
図１（ａ）に示すように、加熱部材１０は、円筒状に形成されており、周方向において繋ぎ目のないシームレス構造を有する。図１（ｂ）に示すように、加熱部材１０は、基層１２と、発熱部とを有している。
【００１５】
基層１２は、加熱部材１０のベースとなるものである。基層１２は、円筒状に形成されており、周方向において繋ぎ目のないシームレス構造を有する。基層１２は、有機ポリマーなどで形成することができる。
【００１６】
発熱部は、通電により発熱する部分である。図２に示すように、発熱部は、発熱領域ｌにある金属パターン１４ａからなる。金属パターン１４ａは抵抗発熱体であり、通電により発熱する。この種の加熱部材は熱伝達効率が高く、抵抗発熱体への通電開始後、速やかに加熱部材の表面温度を所定温度まで上昇することができ、立ち上がりが速い。
【００１７】
金属パターン１４ａは、等幅等厚の金属線で構成されており、図２のように加熱部材１０の軸方向に沿って延びていてもよいし、周方向にリング形状をなしていてもよい。また軸方向にスパイラル状になっていてもよい。この繰り返し構造により、金属パターン１４ａが形成されている。なお、金属パターン１４ａの形状は特に限定されるものではない。加熱部材１０はその外周表面で均一に発熱するように構成され、温度ムラが生じないように構成されている。金属パターン１４ａの端部は、加熱部材１０の軸方向における発熱領域の端部に配置される給電部（電極）１８ａ，１８ｂに接続されている。金属線は、後述するように、めっきによって形成される。
【００１８】
金属パターン１４ａの下で基層１２上には、めっき下地パターン１４ｂを有する。めっき下地パターン１４ｂは、めっきによって金属パターン１４ａを形成するための下地となるものである。めっき下地パターン１４ｂは、めっきを行うために必要なめっき触媒を少なくとも含む。めっき下地パターン１４ｂは、金属パターン１４ａおよび基層１２にそれぞれ接している。めっき下地パターン１４ｂは、金属パターン１４ａと等幅で、金属パターン１４ａと同じパターン形状に形成されている。
【００１９】
加熱部材１０は、本発明に係る製造方法により製造することができる。以下に、本発明に係る製造方法の実施形態について説明する。
【００２０】
本発明に係る製造方法は、インクジェットディスペンサーによってめっき触媒およびバインダーを含むめっき下地形成用塗料を基層１２上に吐出してめっき触媒およびバインダーを含むめっき下地をパターン状に形成する工程と、パターン状に形成しためっき下地（めっき下地パターン１４ｂ）にめっきを行ってめっき下地上に金属パターン１４ａを形成する工程と、を有する。
【００２１】
まず、図３（ａ）に示すように、基層１２を準備する。基層１２は、有機ポリマーを含む基層形成用材料を用いて形成することができる。基層１２が筒状である（ベルト状である）場合、基層形成用材料（塗料）を、円筒状または円柱状の金型の外周面に塗工し、乾燥させる。必要に応じて、熱処理してもよい。塗工方法としては、例えば、ディップコート法、ディスペンサーコート法（ノズルコート法）、ロールコート法、リングコート法などが挙げられる。基層１２がロール状である場合、基層形成用材料（混練物）をロール成形金型内に注入して熱処理する。あるいは、基層形成用材料（混練物）を押出成形する。
【００２２】
基層１２の有機ポリマーは、耐熱性に優れる有機ポリマーが好ましい。基層１２の有機ポリマーとしては、ポリアミドイミド、変性ポリアミドイミド、ポリイミド、変性ポリイミド、ポリエーテルスルホン、フッ素樹脂、ポリカーボネートなどが挙げられる。これらは、基層１２の有機ポリマーとして１種単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。これらのうちでは、剛性に優れ、耐久性を向上することができるなどの観点から、ポリアミドイミド、変性ポリアミドイミド、ポリイミド、変性ポリイミドなどがより好ましい。
【００２３】
基層１２中には、添加剤などが含まれていてもよい。添加剤としては、離型剤、難燃剤、充填剤、レベリング剤、消泡剤などが挙げられる。
【００２４】
基層１２の厚みは、特に限定されるものではないが、耐久性や製造性などの観点から、２０〜２００μｍの範囲内が好ましい。より好ましくは２５〜１４０μｍの範囲内、さらに好ましくは３０〜８０μｍの範囲内である。
【００２５】
次に、図３（ｂ）に示すように、基層１２上にめっき下地をパターン状に形成し、めっき下地パターン１４ｂを形成する。めっき下地パターン１４ｂは、インクジェットディスペンサーによってめっき触媒およびバインダーを含むめっき下地形成用塗料を基層１２上に吐出することにより形成する。基層１２上に吐出されためっき下地形成用塗料には、必要に応じ、乾燥、熱処理してもよい。めっき下地パターン１４ｂを形成した後は、脱脂処理・洗浄処理などを行ってもよい。めっき下地パターン１４ｂは、めっき触媒およびバインダーを含む塗膜となる。
【００２６】
インクジェットディスペンサーは、インクが吐出されるノズルから微少量の液（インク）を吐出できるため、細線の形成に有効である。また、ディスペンサーによって液（インク）を精度よく定量供給できるため、形成される細線の厚みや線幅などの精度に優れる。インクジェットディスペンサーとしては、ピエゾ式インクジェットディスペンサー、サーマル式インクジェットディスペンサー、スプレーバルブ式インクジェットディスペンサーなどを用いることができる。
【００２７】
ピエゾ式インクジェットディスペンサーは、インクが吐出されるノズルにピエゾ素子が取り付けられており、そのピエゾ素子に電圧を加えてピエゾ素子を変形させることでインクをノズル外に吐出する方式のものである。ピエゾ式のものは、ピエゾ素子の変形量を電圧で制御するため、インク吐出量や液サイズを精密に制御できる。また、吐出の仕組みからインク吐出の際に熱を加えなくてよいため、熱劣化の少ないインクに限定されず幅広いインクに対応可能で、また、使用環境にも左右されにくい。
【００２８】
サーマル式インクジェットディスペンサーは、加熱によりインクが吐出されるノズル内のインクに気泡を発生させることでインクをノズル外に吐出する方式のものである。サーマル式のものは、ヘッドの構造が比較的単純であり、物理的機構が少ないので、印刷速度の高速化が図りやすい。
【００２９】
スプレーバルブ式インクジェットディスペンサーは、バルブ、コントローラー、液剤タンクを備えたバルブ吐出システムであり、コントローラーからの信号でバルブを開閉し、液剤タンクから供給される液剤（インク）の量を制御する。バルブ吐出システムは、バルブを閉じて液剤（インク）の流れを遮断し、より確実な定量塗布が可能となる。スプレーバルブ式のものは、微量微圧エアーにより、霧状で正確に塗布することが可能である。
【００３０】
インクジェットディスペンサーのインクが吐出されるノズルの内径は、０．０５〜０．３ｍｍの範囲内であることが好ましい。ノズルの内径が特定範囲内であると、めっき下地パターン１４ｂを高精度で細線に形成することができる。
【００３１】
めっき下地形成用塗料の粘度は、１．０〜１０００ｍＰａ・ｓの範囲内であることが好ましい。めっき下地形成用塗料の粘度が１．０ｍＰａ・ｓ以上であると、めっき下地形成用塗料を基層１２上に吐出する際に、塗膜のにじみが抑えられる。この観点から、めっき下地形成用塗料の粘度は、より好ましくは１０ｍＰａ・ｓ以上である。また、めっき下地形成用塗料の粘度が１０００ｍＰａ・ｓ以下であると、めっき下地形成用塗料を基層１２上に吐出する際に、塗膜のレベリングが良くなる。この観点から、めっき下地形成用塗料の粘度は、より好ましくは２００ｍＰａ・ｓ以下である。そして、めっき下地形成用塗料の粘度が１．０〜１０００ｍＰａ・ｓの範囲内であると、めっき下地形成用塗料を基層１２上に吐出する際に、塗膜のにじみが抑えられ、塗膜のレベリングが良くなる。これにより、めっき下地パターン１４ｂをより高精度に形成することができる。めっき下地形成用塗料の粘度は、固形分濃度の調整などで調整することができる。めっき下地形成用塗料の粘度は、Ｂ型粘度計により測定することができる。めっき下地形成用塗料の粘度は、常温（室温）における値である。
【００３２】
めっき触媒は、めっき下地上にめっきを行うために必要な触媒能を有するものであればよい。このような触媒金属としては、Ｐｄ、ＰｔなどのＰｔ族金属、Ａｇ、Ａｕ、これらの合金などが挙げられる。これらは、めっきを行うための触媒金属として１種単独で用いてもよいし、２種以上組み合わせて用いてもよい。これらのうちでは、触媒能により優れるなどの観点から、Ｐｄ、Ｐｔ、Ａｇ、これらの合金がより好ましい。また、Ｐｄが特に好ましい。
【００３３】
バインダーとしては、ポリイミド、ポリアミドイミド、変性ポリアミドイミド、変性ポリイミド、ポリエーテルスルホン、フッ素樹脂、ポリカーボネートなどが挙げられる。
【００３４】
めっき下地形成用塗料において、めっき触媒の固形分濃度は、めっき効率などの観点から、１．０質量％以上であることが好ましい。より好ましくは５．０質量％以上である。また、めっき触媒の分散性、金属パターン１４ａの金属線との密着性などの観点から、２０質量％以下であることが好ましい。より好ましくは１０質量％以下である。
【００３５】
めっき下地パターン１４ｂのめっき下地の厚みは、特に限定されるものではないが、基層１２や金属パターン１４ａの金属線との密着性、均一性などの観点から、０．０５μｍ以上であることが好ましい。より好ましくは０．１μｍ以上、さらに好ましくは０．３μｍ以上である。また、経済性などの観点から、５．０μｍ以下であることが好ましい。より好ましくは３．０μｍ以下、さらに好ましくは１．０μｍ以下である。
【００３６】
次に、図３（ｃ）に示すように、めっきを行って、めっき下地パターン１４ｂ上に金属パターン１４ａを形成する。金属パターン１４ａは、無電解金属めっきにより形成することができる。無電解金属めっきは、めっき液を用いて行う。必要に応じ、めっき後に、水などで洗浄を行ってもよい。
【００３７】
めっき液には、金属イオン、還元剤、錯化剤、ｐＨ緩衝剤などが含まれる。金属イオンは、めっき金属のイオンである。めっき金属としては、Ｃｕ、Ｎｉ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｓｎ、Ａｕ、これらの合金などが挙げられる。これらのうちでは、めっき下地との密着性に優れるなどの観点から、Ｃｕ、Ｎｉ、Ａｇ、これらの合金がより好ましい。また、めっき下地の触媒金属に対する触媒活性、めっき下地との密着性などの観点から、特に好ましくはＮｉ、Ｎｉ合金である。
【００３８】
還元剤としては、次亜リン酸、次亜リン酸塩、ジメチルアミンボラン、ヒドラジンなどが挙げられる。このうち、めっき液の安定性などの観点から、次亜リン酸、次亜リン酸塩が好ましい。ｐＨ緩衝剤としては、乳酸、酢酸、コハク酸などが挙げられる。
【００３９】
錯化剤としては、カルボン酸やアミン化合物が挙げられる。錯化剤としては、カルボン酸のみを用いても良いし、アミン化合物のみを用いても良いし、カルボン酸とアミン化合物とを併用しても良い。カルボン酸としては、クエン酸、リンゴ酸、酒石酸、エチレンジアミン四酢酸（ＥＤＴＡ）などが挙げられる。アミン化合物としては、グリシン、アラニン、エチレンジアミン、プロパンジアミンなどが挙げられる。
【００４０】
金属パターン１４ａの金属線の厚みは、特に限定されるものではないが、発熱効率などの観点から、０．１μｍ以上であることが好ましい。より好ましくは０．３μｍ以上、さらに好ましくは０．５μｍ以上である。また、柔軟性などの観点から、１０μｍ以下が好ましい。より好ましくは５．０μｍ以下、さらに好ましくは３．０μｍ以下である。
【００４１】
金属パターン１４ａの金属線の幅は、製造性、発熱効率などの観点から、０．１ｍｍ以上であることが好ましい。より好ましくは０．３ｍｍ以上、さらに好ましくは０．５ｍｍ以上である。また、温度ムラを小さくしやすいなどの観点から、１０ｍｍ以下が好ましい。より好ましくは５．０ｍｍ以下、さらに好ましくは３．０ｍｍ以下である。
【００４２】
金属パターン１４ａの金属線の間隔は、製造性、発熱効率の向上などの観点から、０．０１ｍｍ以上であることが好ましい。より好ましくは０．０５ｍｍ以上、さらに好ましくは０．１ｍｍ以上である。また、温度ムラを小さくしやすいなどの観点から、１．０ｍｍ以下が好ましい。より好ましくは０．５ｍｍ以下、さらに好ましくは０．３ｍｍ以下である。
【００４３】
以上の構成の本発明に係る製造方法によれば、インクジェットディスペンサーによって上記めっき下地形成用塗料を基層１２上に吐出して上記めっき下地をパターン状に形成することから、パターン状のめっき下地を高精度で細線に形成することができる。そして、高精度に形成されたパターン状のめっき下地にめっきを行ってめっき下地上に金属パターン１４ａを形成することから、導電性ペーストの塗布により金属パターンを形成する従来よりもパターニング精度が向上し、温度ムラが改善される。また、シームレスであることにより、耐久性も向上する。
【００４４】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改変が可能である。
【００４５】
例えば上記実施形態において、無電解金属めっきにより形成する金属パターン１４ａの上に、電解めっきによってさらにめっきを形成してもよい。また、加熱部材１０の軸方向における発熱領域に、全周にわたって金属パターン１４ａを覆うように被覆層が形成されていてもよい。被覆層は、例えば絶縁材料、ゴム弾性体材料、フッ素樹脂材料などにより形成することができる。
【００４６】
また、金属パターン１４ａは上記実施形態の構成に限定されるものではなく、種々のパターン形状にすることができる。
【実施例】
【００４７】
以下、実施例および比較例を用いて本発明を詳細に説明する。
【００４８】
＜基層形成用材料＞
東洋紡ポリアミドイミドワニス「バイロマックスＨＲ−１６ＮＮ（固形分１４．０％）」を準備した。
【００４９】
＜めっき下地形成用塗料＞
イオックス社製「メタロイド」をめっき下地形成用塗料として準備した。液の粘度は８０ｍＰａ・ｓである。
【００５０】
＜脱脂液＞
アルカリ性脱脂剤（奥野製薬社製、「ＯＰＣ−１９０クリーナー」）２００ｍｌと、３質量％の苛性ソーダ１２００ｍｌと、イオン交換水６００ｍｌとを混合することにより、脱脂液を調製した。
【００５１】
＜コンディショナー液＞
コンディショナー液として、カチオン性表面調整剤（奥野製薬工業製、「コンディライザーＦＲコンク」）５０ｍｌ／Ｌを用いた。
【００５２】
＜導電性ペースト材料＞
導電性ペースト材料として、次の手順で調製した材料を用いた。ダイエルＧ５５５（ダイキン工業製）１００質量部に対し、キョーワマグ♯３０（協和化学工業製）５質量部、カルゼット（極東化成工業製）５質量部を、２本ロールで２０分混練したゴム（Ａ）を作製した。続いて、ゴム（Ａ）の１００質量部を２〜３ｍｍ角に裁断したものと、酢酸５質量部及びメチルエチルケトン２４５質量部とを事前に５分羽根撹拌した溶剤とを合わせ、エアー撹拌機にて３０分撹拌し、溶液（Ｂ）を得た。更に、溶液（Ｂ）３５０質量部に対し、１０％Ａｇコート２Ｌ３（福田金属箔粉工業製）を５００質量部、デュラネートＳＢＮ−７０Ｄ（旭化成ケミカルズ製）２６質量部、メチルエチルケトン５１０質量部とを、撹拌棒を用いて手撹拌にて２分撹拌することで、導電ペースト材料を調製した。
【００５３】
＜無電解金属めっき液＞
硫酸ニッケル六水和物：２６ｇ／Ｌ、次亜リン酸ナトリウム一水和物（還元剤）：３２ｇ／Ｌ、クエン酸ナトリウム二水和物（錯化剤）：３０ｇ／Ｌを混合することにより、無電解金属めっき液とした。
【００５４】
＜基層の作製＞
直径４０ｍｍ、軸方向長さ４５０ｍｍのアルミニウム製の円筒パイプ表面に、ディップコート法により、基層形成用材料を塗工し、２３０℃で６０分間乾燥させた。なお、上記塗工時の引上速度は１００ｍｍ／秒とした。これにより、円筒パイプの外周面上に、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）よりなる筒状の基層（厚み８０μｍ）を形成した。
【００５５】
＜実施例１のめっき下地パターン作製及びパターニング形成＞
ノードソン  ７８１ｍｉｎｉシリーズスプレーバルブ（ノズルオリフィス０．１ｍｍ）を用い、基層上にめっき下地形成用塗料を幅１．０ｍｍ、間隔０．２ｍｍの線状にパターニング塗工し、１２０℃で１５分間熱処理した後、さらに、２４０℃で１５分間熱処理した。これにより、基層上にめっき下地パターン（厚み０．５μｍ）を形成した。その後、脱脂液に６５℃で５分間浸漬し、その後、純水をかけ流すことにより、水洗した。その後、無電解金属めっき液に浸漬（めっき液温度：８４℃、めっき時間：２分間）し、その後、純水をかけ流すことにより、水洗した。これにより、幅１．０ｍｍ、間隔０．２ｍｍの線状にパターニングされた金属パターン（ニッケルめっき、厚み１．０μｍ）をめっき下地上に形成した。以上により、図２に示すパターン形状を有する実施例１の加熱部材を作製した。
【００５６】
＜実施例２〜４のめっき下地パターン作製及びパターニング形成＞
スプレーバルブのノズルオリフィス、めっき下地形成用塗料の粘度を表１のように変更し、線幅を表１のように変更した以外は実施例１と同様にして、図２に示すパターン形状を有する実施例２〜４の加熱部材を作製した。
【００５７】
＜比較例１のパターニング形成＞
導電性ペースト材料を基層上にデジタルディスペンサー（武蔵エンジニアリング  ＭＰＰ−１）にて幅１．０ｍｍ、間隔０．２ｍｍ、厚み３０μｍの線状に塗工し、その後２００℃×６０分の熱入れを行った。以上により、図２に示すパターン形状を有する比較例１の加熱部材を作製した。
【００５８】
作製した加熱部材について、線幅ばらつきと温度ムラを測定し、金属パターンの精度を評価した。測定方法は以下の通りである。評価結果は表１に示す。
【００５９】
（線幅ばらつきの測定）
線状にパターニングされた金属パターンの任意の位置１０点について顕微鏡で観察を行い、狙いの線幅に対し、誤差が±５％以内であった場合を特に良好「◎」、誤差が±１０％以内であった場合を良好「○」、誤差が±１０％超であった場合をやや劣る「△」、誤差が±２０％超であった場合を劣る「×」とした。
【００６０】
（温度ムラの測定）
図４に示すように、測定ワーク１、オシロスコープ３、ＡＣ電源４、サーモグラフィー５を有する簡易評価システムを作成した。測定ワーク１（作製した加熱部材）の表面に端部だけ露出させるよう黒体スプレー２（ジャパンセンサー（株）「ＪＳＣ−３号」）を塗布した。測定ワーク１の両端部に銅テープを貼り付け電極部とし、周波数１００Ｈｚ・印加電圧５０Ｖを印加させて、測定ワーク１の表面をサーモグラフィー５にて測定した。測定ワーク１の表面からサーモグラフィー５までの距離を５００ｍｍとした。測定ワーク１の表面温度のムラが５℃以下であったものを特に良好「◎」、５℃超１０℃以下であったものを良好「○」、１０℃超２０℃以下であったものをやや劣る「△」、２０℃超であったものを不良「×」とした。
・ＡＣ電源：エヌエフ回路設計ブロックＢＰ４６１０
・サーモグラフィー：日本アビオニクスＳ３０
【００６１】
【表１】
2019132983.tif 000003
【００６２】
比較例１は、導電ペースト塗布により金属パターンを形成している。このため、金属パターンの金属線の線幅ばらつきや加熱部材の温度ムラが大きく、金属パターンの精度に劣っている。これに対し、実施例は、インクジェットディスペンサーによってめっき下地形成用塗料をパターニング塗布することによりめっき下地パターンを形成し、このめっき下地上に無電解めっきを施して金属パターンを形成している。このため、金属パターンの金属線の線幅ばらつきや加熱部材の温度ムラが小さく、金属パターンの精度に優れている。実施例のうちでは、ノズル径が０．０５〜０．３ｍｍの場合や、めっき下地形成用塗料の粘度が１．０〜１０００ｍＰａ・ｓの場合に、金属パターンの金属線の線幅ばらつきや加熱部材の温度ムラがより小さくなり、金属パターンの精度により優れている。
【００６３】
以上、本発明の実施例について説明したが、本発明は上記実施例に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改変が可能である。
【符号の説明】
【００６４】
１０  加熱部材
１２  基層
１４ａ  金属パターン
１４ｂ  めっき下地パターン
【図１】
2019132983.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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