(57)【要約】【課題】装置を大型化することなく、ワークに対して偏光光を斜めから照射することができる偏光光照射装置および偏光光照射方法を提供する。【解決手段】偏光光照射装置１００は、光源１１と、光源１１からの光が入射される入射端２３と、一方向に沿って配置され、入射端２３から入射された光を出射する出射端２２と、を有する導光ファイバ２０と、偏光素子３４を有し、導光ファイバ２０の出射端２２から出射される光を偏光素子３４により偏光した偏光光を、上記の一方向に沿った線状の光照射領域３４を形成するように出射するレンズユニット３０と、偏光光を被処理物（ワークＷ）の光照射面に対して斜めから照射するように、レンズユニット３０を任意の角度で固定する斜め照射機構４０と、を備える。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、
前記光源からの光が入射される入射端と、一方向に沿って配置され、前記入射端から入射された光を出射する出射端と、を有する導光ファイバと、
偏光素子を有し、前記導光ファイバの前記出射端から出射される光を前記偏光素子により偏光した偏光光を、前記一方向に沿った線状の光照射領域を形成するように出射するレンズユニットと、
前記偏光光を被処理物の光照射面に対して斜めから照射するように、前記レンズユニットを任意の角度で固定する斜め照射機構と、を備えることを特徴とする偏光光照射装置。
【請求項２】
前記導光ファイバは、
複数のファイバ素線を所定本数ずつ束ねた複数のファイバ束により構成され、
前記複数のファイバ束の光出射側端部が前記一方向に並べて配置されて前記出射端を構成していることを特徴とする請求項１に記載の偏光光照射装置。
【請求項３】
前記光源を複数備え、
複数の前記光源にそれぞれ対応して設けられた前記導光ファイバを構成する前記複数のファイバ束の光出射側端部が、所定個ずつ相互に前記一方向に並べて配置されて前記出射端を構成していることを特徴とする請求項２に記載の偏光光照射装置。
【請求項４】
前記導光ファイバは、
複数のファイバ素線を１つに束ねた１本のファイバ束により構成され、
前記１本のファイバ束の光出射側端部が前記一方向に延びるように束ねられて前記出射端を構成していることを特徴とする請求項１に記載の偏光光照射装置。
【請求項５】
前記レンズユニットは、
前記導光ファイバの前記出射端から出射される光を入射光とし、当該入射光の照度を均一化する光学系と、
前記光学系からの出射光を集光する集光レンズと、をさらに備え、
前記偏光素子は、前記集光レンズにより集光された光を偏光することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の偏光光照射装置。
【請求項６】
前記光学系は、前記一方向に沿って配置された長辺を有するガラス板であることを特徴とする請求項５に記載の偏光光照射装置。
【請求項７】
前記集光レンズは、シリンドリカルレンズであることを特徴とする請求項５または６に記載の偏光光照射装置。
【請求項８】
前記斜め照射機構は、
前記レンズユニットの前記光照射面に対する角度を調整可能に構成されていることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の偏光光照射装置。
【請求項９】
光源からの光を、導光ファイバの入射端に入射し、一方向に沿って配置された出射端から出射するステップと、
前記導光ファイバの前記出射端から出射された光を、偏光素子を有するレンズユニットに入射し、当該入射した光を前記偏光素子により偏光した偏光光を、前記一方向に沿った線状の光照射領域を形成するように出射するステップと、
前記レンズユニットを任意の角度で固定して、前記偏光光を被処理物の光照射面に対して斜めから照射するステップと、を含むことを特徴とする偏光光照射方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに偏光光を照射する偏光光照射装置および偏光光照射方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶パネルをはじめとする液晶表示素子の配向膜や、視野角補償フィルムの配向層などの光配向処理に関し、所定の波長の偏光光を照射して配向を行う、光配向と呼ばれる技術が採用されている。
上記のような光配向処理を行う装置として、例えば特許文献１には、光照射部を傾けて、被処理物であるワーク（基板）に斜めから光を照射する露光装置が開示されている。また、特許文献２には、被処理物（基板）を支持するホルダーを傾けることで被処理物を傾け、被処理物に対して斜めに光を照射する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−１５４６５８号公報
【特許文献２】特開２０１１−１０７７３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記各特許文献に記載のように、以前から、液晶パネル（液晶基板）の製造工程において、基板に対して斜めから光を照射する処理が行われている。また、近年は、基板に対して斜めから偏光光を照射することも望まれている。
しかしながら、近年、液晶基板は、一辺が２ｍからそれ以上の大きさとなっており、このような大型の基板に偏光光を照射する装置の光照射部や基板を支持するステージは、基板の大型化に伴い大型で重たいものとなっている。したがって、上記各特許文献に記載の技術のように、光照射部やステージを傾ける構造では、そのための傾斜機構が大型のものとなる。そのため、装置全体が大型化し、装置のコストも高くなる。
そこで、本発明は、装置を大型化することなく、ワークに対して偏光光を斜めから照射することができる偏光光照射装置および偏光光照射方法を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明に係る偏光光照射装置の一態様は、光源と、前記光源からの光が入射される入射端と、一方向に沿って配置され、前記入射端から入射された光を出射する出射端と、を有する導光ファイバと、偏光素子を有し、前記導光ファイバの前記出射端から出射される光を前記偏光素子により偏光した偏光光を、前記一方向に沿った線状の光照射領域を形成するように出射するレンズユニットと、前記偏光光を被処理物の光照射面に対して斜めから照射するように、前記レンズユニットを任意の角度で固定する斜め照射機構と、を備える。
このように、レンズユニットを任意の角度に固定することで、偏光光を被処理物の光照射面に対して斜めから照射するので、光源を含む光照射部全体を傾けたり、被処理物を保持するステージを傾けたりする必要がない。したがって、装置を大型化することなく、被処理物の光照射面に対して偏光光を斜めから照射することができる。
【０００６】
また、上記の偏光光照射装置において、前記導光ファイバは、複数のファイバ素線を所定本数ずつ束ねた複数のファイバ束により構成され、前記複数のファイバ束の光出射側端部が前記一方向に並べて配置されて前記出射端を構成してもよい。この場合、容易かつ適切に、一方向に沿って延びた出射端を形成することができる。
さらに、上記の偏光光照射装置において、前記光源を複数備え、複数の前記光源にそれぞれ対応して設けられた前記導光ファイバを構成する前記複数のファイバ束の光出射側端部が、所定個ずつ相互に前記一方向に並べて配置されて前記出射端を構成してもよい。この場合、複数の光源間での照度のばらつきが存在する場合であっても、光照射領域における照度のばらつきを抑制し、被処理物に対して均一化された光を照射することができる。
【０００７】
また、上記の偏光光照射装置において、前記導光ファイバは、複数のファイバ素線を１つに束ねた１本のファイバ束により構成され、前記１本のファイバ束の光出射側端部が前記一方向に延びるように束ねられて前記出射端を構成してもよい。この場合、容易かつ適切に、一方向に沿って延びた出射端を形成することができる。
さらに、上記の偏光光照射装置において、前記レンズユニットは、前記導光ファイバの前記出射端から出射される光を入射光とし、当該入射光の照度を均一化する光学系と、前記光学系からの出射光を集光する集光レンズと、をさらに備え、前記偏光素子は、前記集光レンズにより集光された光を偏光してもよい。
この場合、照度が均一化された、一方向に沿った光照射領域を適切に形成することができる。さらに、偏光素子の出射側に他の光学素子を設けずに、偏光素子により偏光された偏光光を直接被処理物に照射するようにすれば、偏光軸の意図しない回転を抑制し、所望の偏光光を適切に照射することができる。
【０００８】
また、上記の偏光光照射装置において、前記光学系は、前記一方向に沿って配置された長辺を有するガラス板であってもよい。この場合、簡易な構成で入射光の照度を均一化することができる。
さらにまた、上記の偏光光照射装置において、前記集光レンズは、シリンドリカルレンズであってもよい。この場合、簡易な構成で適切に一方向に沿った線状の光を形成することができる。
また、上記の偏光光照射装置において、前記斜め照射機構は、前記レンズユニットの前記光照射面に対する角度を調整可能に構成されていてもよい。この場合、レンズユニットから出射する光の、被処理物の光照射面に対する入射角度を調整することが可能となる。
【０００９】
さらに、本発明に係る偏光光照射方法の一態様は、光源からの光を、導光ファイバの入射端に入射し、一方向に沿って配置された出射端から出射するステップと、前記導光ファイバの前記出射端から出射された光を、偏光素子を有するレンズユニットに入射し、当該入射した光を前記偏光素子により偏光した偏光光を、前記一方向に沿った線状の光照射領域を形成するように出射するステップと、前記レンズユニットを任意の角度で固定して、前記偏光光を被処理物の光照射面に対して斜めから照射するステップと、を含む。
このように、レンズユニットを任意の角度に固定することで、偏光光を被処理物の光照射面に対して斜めから照射するので、光源を含む光照射部全体を傾けたり、被処理物を保持するステージを傾けたりする必要がない。したがって、装置を大型化することなく、被処理物の光照射面に対して偏光光を斜めから照射することができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、装置を大型化することなく、ワークに対して偏光光を斜めから照射することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本実施形態の偏光光照射装置を示す概略構成図である。
【図２】灯具（ランプハウス）の構成例である。
【図３】導光ファイバの構成例である。
【図４】レンズユニットの構成例である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
（第一の実施形態）
図１は、本実施形態の偏光光照射装置１００を示す概略構成図である。
偏光光照射装置１００は、第一の灯具（ランプハウス）１０Ａ、第二の灯具（ランプハウス）１０Ｂ、導光ファイバ２０およびレンズユニット３０を含んで構成される光照射部と、斜め照射機構４０と、ワークステージ５０と、を備える。偏光光照射装置１００の被処理物であるワークＷは、例えば光照射面に光配向膜が形成された矩形状の基板である。
偏光光照射装置１００は、偏光光（偏光した光）を出射しながらワークステージ５０を不図示の搬送部によって直線移動させ、ワークステージ５０により搬送されたワークＷの光照射面に形成された光配向膜に上記偏光光を照射して光配向処理をする。本実施形態では、偏光光照射装置１００は、ワークＷの光照射面に対して斜めから偏光光を照射する光配向処理を実施可能であるものとする。
【００１３】
第一の灯具１０Ａは、図２に示すように、紫外線を放射する光源１１と、ミラー１２と、を備える。第二の灯具１０Ｂは、第一の灯具１０Ａと同様の構成を有するため、ここでは第一の灯具１０Ａの構成についてのみ説明する。
光源１１は、例えば、ショートアーク型の超高圧水銀ランプや、メタルハライドランプ等のランプを使用することができ、封入発光種に応じた波長の紫外光を放射する。なお、光源１１は、ランプに限定されるものではなく、例えばＬＥＤやＬＤを使用することもできる。光源１１の種類は、必要とされる波長に応じて適宜選択可能である。
【００１４】
ミラー１２は、光源１１からの紫外線を反射し、導光ファイバ２０の入射端２３に集光する。例えば、ミラー１２は、その断面が楕円形状の椀（ボウル）状集光鏡であり、光源１１がランプである場合、その発光点が楕円の第一焦点と一致するように配置されている。なお、光源１１がランプである場合、光源１１は、水平点灯であってもよいし、垂直点灯であってもよい。
なお、本実施形態では、光照射部が２つの灯具１０Ａ、１０Ｂを備える場合について説明するが、灯具の数は上記に限定されない。灯具の数は、後述する光照射領域３４の大きさや照度等に応じて適宜設定するものとする。
【００１５】
導光ファイバ２０は、灯具１０Ａおよび１０Ｂにそれぞれ対応して設けられている。導光ファイバ２０は、灯具１０Ａ、１０Ｂからの光をレンズユニット３０へ導く。導光ファイバ２０は、多数の細いファイバ素線２１により構成されており、柔軟に曲げることができる（可撓性を有する）。導光ファイバ２０の一端は、導光した光をスポット状に出射する出射端２２であり、他端は、第一の灯具１０Ａおよび第二の灯具１０Ｂからの光が入射される入射端２３である。
導光ファイバ２０のファイバ素線２１は、導光ファイバ２０の入射端２３において、上述したミラー１２によって集光される光の形状に合わせて、例えば円形に１つに束ねられている。一方、ファイバ素線２１は、導光ファイバ２０の出射端２２において、一方向に沿って線状（帯状も含む）に束ねられている。
【００１６】
本実施形態では、導光ファイバ２０は、ファイバ素線２１を所定本数ずつ束ねた複数のファイバ束により構成されており、複数のファイバ束の光出射側端部が、ワークＷの搬送方向（基板搬送方向）に対して直交する方向に線状に並べて配置された構成を有する。つまり、本実施形態では、複数のファイバ束の光出射側端部が、一方向（基板搬送方向）に並べて配置されて出射端２２を構成している。なお、図１においては、１本のファイバ束しか示していないが、実際には、導光ファイバ２０は上記のように複数に分岐している。
【００１７】
図３は、本実施形態における導光ファイバ２０の構成例である。図３において、紙面に直交する方向（図面手前奥方向）が基板搬送方向である。この図３に示すように、第一の灯具１０Ａに接続された導光ファイバ２０を構成する複数のファイバ束の光出射側端部と、第二の灯具１０Ｂに接続された導光ファイバ２０を構成する複数のファイバ束の光出射側端部とが、１つずつ交互に配置されていてもよい。この場合、ランダム性を持たせ、複数の灯具間において照度のばらつきがある場合であっても、光照射領域内での照度のばらつきを抑制することができる。
【００１８】
なお、図３においては、各導光ファイバ２０がそれぞれ１２本のファイバ束を有し、計２４本のファイバ束の出射端２２が一方向に一列に配置されている例を示しているが、出射端２２の配置は上記に限定されない。出力端２２は、一方向に沿って配置されていればよく、例えば、基板搬送方向に複数列に配置されていてもよい。また、図３では、ファイバ束の光出射側端部が１つずつ交互に配置された場合について示しているが、複数個ずつ交互に配置されていてもよい。また、灯具が３つ以上である場合にも、同様に、各灯具にそれぞれ対応して設けられた導光ファイバ２０を構成する複数のファイバ束の光出射側端部を、所定個ずつ相互に一方向に並べて配置することができる。
【００１９】
さらに、本実施形態では、導光ファイバ２０が複数のファイバ束により構成されている場合について説明するが、導光ファイバ２０は、１本のファイバ束により構成されていてもよい。つまり、導光ファイバ２０を構成するすべてのファイバ素線２１が、出射端２２において、例えば長方形状に１つに束ねられ、その長辺が基板搬送方向に直交する方向に一致するように配置されていてもよい。
【００２０】
図４は、レンズユニット３０の構成を説明するための図である。この図４は、図１から斜め照射機構４０を取り除き、レンズユニット３０の断面を示した図である。
レンズユニット３０は、直方体状のガラス板３１と、シリンドリカルレンズ３２と、偏光板（偏光素子）３３と、を備える。これらの部材は、被処理物であるワークＷに照射する紫外線を透過する材料、例えば石英により構成されている。
【００２１】
ガラス板３１は、導光ファイバ２０によって入射された入射光を均一化した光として出射する均一照射光学系であり、その上面が、導光ファイバ２０の出射端２２の配置に対応した長方形状を有する直方体の石英板とすることができる。つまり、ガラス板３１は、その上面における長辺方向が基板搬送方向に対して直交する方向に一致するように配置されている。このガラス板３１の上面から入射された光は、ガラス板３１の側壁内側の面での反射を繰り返し、照度分布が均一化されてガラス面３１の下面から出射される。
なお、均一照射光学系は、直方体形状のガラス板３１に限定されるものではなく、例えば、並べて配置された円柱形状の複数のロッドレンズにより構成することもできる。また、均一化照射光学系は、内面がミラーにより構成された筒状部材であってもよい。
【００２２】
ガラス板３１から出射された光は、シリンドリカルレンズ３２に入射する。シリンドリカルレンズ３２は、ガラス板３１から出射された光を集光し、ワークＷに照射する光を線状に成形する集光レンズである。本実施形態では、２本のシリンドリカルレンズ３２が使用されている場合について説明する。本実施形態におけるシリンドリカルレンズ３２は、平面と凸面とが対向配置された平凸レンズである。そして、２本のシリンドリカルレンズ３２は、凸面同士が鉛直方向に対向して配置され、水平面内において、その長手方向がガラス板３１の上記長辺方向に沿うように設けられている。
なお、シリンドリカルレンズ３２の形状、配置および個数は、上記に限定されるものではなく、ワークＷに照射される光照射領域３４の形状等に応じて適宜設定可能である。また、集光レンズは、シリンドリカルレンズに限定されるものではなく、円柱形状のロッドレンズを用いることもできる。
【００２３】
シリンドリカルレンズ３２から出射した光は、偏光板（偏光素子）３３に入射し、偏光光となり出射する。偏光板３３は、例えば、ワイヤーグリッド型偏光素子である。この偏光板３３は、シリンドリカルレンズ３２の上記長手方向に沿うように配置されており、偏光板３３により偏光された偏光光は、図１に示すように、基板搬送方向に直交する方向に沿った線状の光照射領域３４を形成するように出射される。
偏光光は、光学素子に入射したり光学素子によって反射したりすると、偏光軸の方向が所望の方向からずれる（偏光軸が回転する）。そのため、偏光板３３の出射側には、光学素子を設けないことが好ましい。つまり、レンズユニット３０は、導光ファイバ２０からの光が入射する側から順に、ガラス板３１、シリンドリカルレンズ３２、偏光板（偏光素子）３３を備え、偏光板（偏光素子）３３により偏光した偏光光を、光学素子を介することなく直接ワークＷの光照射面に照射することが好ましい。
【００２４】
図１に戻って、斜め照射機構４０は、フレーム４１と、回転軸４２と、回転レバー４３と、を備える。
フレーム４１は、導光ファイバ２０の出射端２２とレンズユニット３０とを、出射端２２とレンズユニット３０のガラス板３１との相対位置が変化しないように（両者の位置がずれないように）固定する。このフレーム４１は、回転軸４２に取付けられている。
回転軸４２は、基板搬送方向に対して直交する方向の軸であり、回転軸４２が回転することにより、フレーム４１が回転軸４２を中心に回転し、フレーム４１に固定されたレンズユニット３０が回転軸４２を中心に回転する。
【００２５】
レンズユニット３０が回転軸４２を中心に回転すると、レンズユニット３０から出射する光の、ワークＷに対する入射角度が変化する。この回転軸４２は、回転軸レバー４３により、任意の回転角度に固定することができる。つまり、回転軸レバー４３の操作により、レンズユニット３０のワークＷに対する角度を任意の角度に調整し、ワークＷに入射する光の角度を任意の角度に調整することができる。
なお、本実施形態では、図１に示すように、回転軸４２は、レンズユニット３０の中央部付近に設けられている。したがって、レンズユニット３０が回転軸４２を中心に回転した場合、レンズユニット３０の下端部の位置は、回転軸４２を中心に円弧を描くように移動する。そのため、光照射領域３４の位置は、基板搬送方向に移動する。
【００２６】
また、レンズユニット３０が回転軸４２を中心に回転した場合、レンズユニット３０の上端部の位置も、回転軸４２を中心に円弧を描くように移動する。つまり、レンズユニット３０に接続された導光ファイバ２０の出射端２２の位置は、回転軸４２を中心に円弧を描くように移動し、灯具１０Ａ、１０Ｂと出射端２２との相対位置が変化する。
本実施形態では、灯具１０Ａ、１０Ｂとレンズユニット３０とは、可撓性を有する導光ファイバ２０により接続されている。そのため、レンズユニット３０の回転移動によって生じる出射端２２の移動は、導光ファイバ２０が曲がることで吸収される。導光ファイバ２０は、急峻な角度でなければ、水平方向から垂直方向までの曲げに対応可能である。
【００２７】
このように、本実施形態の偏光光照射装置１００は、灯具１０Ａ、１０Ｂからの光をレンズユニット３０へ導光する導光手段として導光ファイバ２０を用い、レンズユニット３０をワークＷの光照射面に対して任意の角度で固定することで、ワークＷに対して斜めから偏光光を照射する。
このような構成により、灯具１０Ａ、１０Ｂを傾斜させる必要も、ワークＷを保持するワークステージ５０を傾斜させる必要もなく、ワークＷに対して斜めから偏光光を照射することができる。例えば、ワークＷが液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）用の光配向膜が形成された基板である場合、当該基板に対して斜めから偏光光を照射することで、光配向膜にプレチルト角を付与することができる。
【００２８】
なお、本実施形態では、図１に示すように、回転軸４２をレンズユニット３０の中央部付近に設け、レンズユニット３０をレンズユニット３０の中央部付近を中心に回転させる場合について説明したが、レンズユニット３０の回転中心は上記に限定されない。
例えば、レンズユニット３０を、レンズユニット３０の傾きがゼロ（ワークＷに対して垂直）であるときのワークＷ上の光照射領域３４の位置を中心に回転させる構成であってもよい。この場合、レンズユニット３０が回転しても、光照射領域３４の位置は変化しないようにすることができる。ただし、この場合、レンズユニット３０を回転可能に支持するための円弧状のガイド等が必要となり、斜め照射機構４０の構造が複雑化する。
【００２９】
ワークステージ５０は、真空吸着等の方法によりワークＷを吸着保持可能な平板状のステージである。なお、本実施形態では、ワークステージ５０およびワークＷを矩形状としているが、これに限定するものではなく、任意の形状とすることができる。また、ワークＷを平板状のステージで吸着保持する構成に限定されるものではなく、複数のピンによってワークＷを吸着保持する構成であってもよい。
【００３０】
ワークステージ５０を直線移動させるための不図示の搬送部は、ワークステージ５０を基板搬送方向に移動するための駆動機構を備える。当該駆動機構は、例えばリニアモータ駆動機構とすることができる。なお、駆動機構は、例えばボールねじを用いた機構であってもよい。すなわち、駆動機構の構成は、ワークステージ５０を基板搬送方向に移動可能な構成であれば任意の構成を採用することができる。ワークステージ５０の移動経路は、レンズユニット３０から出射される偏光光が形成する光照射領域３４を通過するように設計されている。
【００３１】
以上説明したように、本実施形態における偏光光照射装置１００は、光源１１をそれぞれ備える複数の灯具１０Ａ、１０Ｂを備える。また、偏光光照射装置１００は、光源１１からの光が入射される入射端２３と、一方向に沿って配置され、入射端２３から入射された光を出射する出射端２２と、を有する導光ファイバ２０を備える。さらに、偏光光照射装置１００は、偏光板（偏光素子）３３を有し、導光ファイバ２０の出射端２２から出射される光を偏光した偏光光を、上記の一方向に沿った線状の光照射領域３４を形成するように出射するレンズユニット３０を備える。また、偏光光照射装置１００は、レンズユニット３０から出射される偏光光を被処理物であるワークＷに対して斜めから照射するように、レンズユニット３０を任意の角度で固定する斜め照射機構４０と、を備える。
【００３２】
このように、レンズユニット３０を任意の角度に固定することで、偏光光をワークＷの光照射面に対して斜めから照射するので、光源１１を含む光照射部全体を傾けたり、ワークステージ５０を傾けたりする必要がない。
例えば光源１１が放電ランプの場合、光照射部全体を傾ける構成の場合、灯具の移動には放電ランプの点灯条件の制約を受ける。つまり、放電ランプが傾くとアークの形状が変形し、不具合を生じさせるおそれがあるため、点灯時には、放電ランプの姿勢を垂直または水平に維持する必要がある。そのため、斜め照射のために光照射部全体を動かす場合、放電ランプの姿勢を維持したまま灯具を移動させる必要がある。したがって、光照射部の傾斜機構が複雑化すると共に、大型のものとなる。
【００３３】
また、ワークＷが大型の液晶基板等である場合、当該ワークＷを保持するワークステージ５０も大型化する。そのため、ワークステージを傾ける場合、そのための傾斜機構は大型のものとなる。
これに対して本実施形態では、灯具を移動させる必要がないため、斜め照射機構４０の構成を簡略化することができる。また、本実施形態では、ワークステージ５０を傾ける必要もないため、ワークＷを安定して保持した状態を維持することができる。このように、装置を大型化することなく、ワークＷの光照射面に対して偏光光を斜めから照射することができる。
【００３４】
さらに、偏光光照射装置１００は、光源１１からの光をレンズユニット３０へ導光するための手段として可撓性を有する導光ファイバ２０を用いる。これにより、斜め照射のためにレンズユニット３０を移動させた際には、導光ファイバ２０がレンズユニット３０の移動を容易に吸収することができる。つまり、レンズユニット３０の角度変化に対して、導光ファイバ２０が柔軟に変形し、光源１１からの光を適切にレンズユニット３０に導くことができる。
例えば、光源１１からの光を、光学系を用いてレンズユニット３０へ導くことも考えられるが、その場合、レンズユニット３０の動きに合わせて光学系の細かい位置調整が必要となる。本実施形態では、上述したように導光ファイバ２０を用いることで、レンズユニット３０の角度設定を容易に行うことができる。
【００３５】
また、本実施形態における導光ファイバ２０は、複数のファイバ素線２１を所定本数ずつ束ねた複数のファイバ束により構成され、複数のファイバ束の光出射側端部が基板搬送方向に対して直交する方向に並べて配置されて出射端２２を構成している。このように、導光ファイバ２０を複数のファイバ束により構成することで、容易かつ適切に、一方向に沿って配置された所望の大きさの出射端を形成することができる。
【００３６】
また、本実施形態におけるレンズユニット３０は、導光ファイバ２０の出射端２２から出射される光を入射光とし、当該入射光の照度を均一化する光学系としてのガラス板３１と、ガラス板３１からの出射光を集光する集光レンズとしてのシリンドリカルレンズ３２と、シリンドリカルレンズ３２により集光された光を偏光する偏光板（偏光素子）３３と、を備える。
これにより、レンズユニット３０は、照度が均一化された、指向性を有する線状の光を出射し、ワークＷの光照射面に線状の光照射領域３４を適切に形成することができる。また、レンズユニット３０の光学系の設計により、光照射領域３４の形状（幅や長さ）を容易に所望の形状とすることができる。また、偏光素子の出射側に光学素子を設けないようにすることで、偏光性能の乱れを効果的に抑制することができるとともに、高い消光比を得ることができる。
【００３７】
このように、本実施形態における偏光光照射装置１００は、装置の大型化を伴うことなく、指向性を有する光を、被処理物であるワークＷの光照射面に対して任意の角度で照射することができる。
【００３８】
（変形例）
上記実施形態においては、斜め照射機構４０は、回転レバー４３を手動で操作することで、ワークＷの光照射面に対する偏光光の照射角度を調整可能な構成である場合について説明したが、上記の角度調整は手動調整に限定されない。例えば、モータ等を利用して自動的に角度調整を行うようにしてもよい。
また、上記実施形態においては、斜め照射機構４０は、ワークＷの光照射面に対する偏光光の照射角度を調整可能な構成である場合について説明したが、当該照射角度は任意の角度で固定されていてもよい。
【００３９】
さらに、上記実施形態においては、偏光光照射装置に本発明を適用する場合について説明したが、ワークＷに照射する光は偏光光に限定されるものではない。例えば、ワークに紫外線を含む光を照射して露光する露光装置や、紫外線より熱硬化処理を行う紫外線照射装置等の光照射装置にも本発明を適用可能である。これらの光照射装置の場合、ワークに対して斜めから光を照射可能とすることで、例えば、ワークの段差部分等に効果的に光を照射することができ、適切な光照射処理を行うことが可能である。
【符号の説明】
【００４０】
１０Ａ、１０Ｂ…灯具、１１…光源、１２…ミラー、２０…導光ファイバ、２１…ファイバ素線、２２…出射端、２３…入射端、３０…レンズユニット、３１…ガラス板、３２…シリンドリカルレンズ、３３…偏光板、３４…光照射領域、４０…斜め照射機構、４１…フレーム、４２…回転軸、４３…回転レバー、５０…ワークステージ、１００…偏光光照射装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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