(57)【要約】【課題】  エアシャワー装置の動作回数や部品の交換時期の詳細を表示し、エアシャワー装置の部品を適切な時期に交換することを可能とする。【解決手段】  ファンからのエアをフィルタを介して人体または物品に吹きつけ、塵埃を吹き飛ばすエアシャワー装置であって、タッチパネルを備え、前記タッチパネルは、タッチパネルを操作することにより、部品の動作回数或いは動作積算時間および部品の交換時期を表示するものである。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファンからのエアをフィルタを介して人体または物品に吹きつけ、塵埃を吹き飛ばすエアシャワー装置であって、
タッチパネルを備え、
前記タッチパネルは、タッチパネルを操作することにより、部品の動作回数或いは動作積算時間および部品の交換時期を表示することを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項２】
請求項１に記載のエアシャワー装置おいて、
除塵用メインフィルタの交換期限を表示することを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項３】
請求項２に記載のエアシャワー装置おいて、
除塵用メインフィルタの交換期限をアイコンまたは文言、或いはその両方にて表示することを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項４】
請求項２に記載のエアシャワー装置おいて、
制御部が、除塵用メインフィルタの交換期限に達した時、エアシャワー装置の通行を制限することを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項５】
請求項４に記載のエアシャワー装置おいて、
制御部が、除塵用メインフィルタの交換期限に達した時、出入口側ドアをロックすることを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項６】
ファンからのエアをフィルタを介して人体または物品に吹きつけ、塵埃を吹き飛ばすエアシャワー装置であって、
エアジェット風速値を検出する検出手段と、タッチパネルを備え、
前記タッチパネルは、タッチパネルを操作することにより、検出されたエアジェット風速値が設定したしきい値以下となった時に除塵用メインフィルタの交換を表示することを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項７】
請求項６に記載のエアシャワー装置おいて、
制御部が、エアジェット風速値が設定したしきい値以下となった時、エアシャワー装置の通行を制限することを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項８】
請求項７に記載のエアシャワー装置おいて、
制御部が、エアジェット風速値が設定したしきい値以下となった時、出入口側ドアをロックすることを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項９】
請求項６に記載のエアシャワー装置おいて、
エアジェット風速値が設定したしきい値以下となった時、エアジェット風速値の低下量に応じてエアジェット吹付時間を従来の設定時間よりも増加したことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項１０】
請求項６に記載のエアシャワー装置おいて、
エアジェット風速値が設定したしきい値以下となった時、エアジェット風速値の低下量に応じてエアジェット用ファンモータの回転速度を従来の回転速度よりも増加したことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項１１】
ファンからのエアをフィルタを介して人体または物品に吹きつけ、塵埃を吹き飛ばすエアシャワー装置であって、
タッチパネルを備え、
除塵用メインフィルタの交換期限に達した時、タッチパネルを操作することにより、ファンモータの運転を切り替えることを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載のエアシャワー装置おいて、
除塵用メインフィルタの交換期限に達した時、エアジェット吹付時間を従来の設定時間よりも増加したことを特徴とするエアシャワー装置。
【請求項１３】
請求項１１に記載のエアシャワー装置おいて、
除塵用メインフィルタの交換期限に達した時、エアジェット用ファンモータの回転速度を従来の回転速度よりも増加したことを特徴とするエアシャワー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タッチパネルを取り付けたエアシャワー装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
エアジェットを吹き付けて人体や物品に付着している塵埃などを吹き飛ばすエアシャワー装置においては、装置を構成するエアフィルタ等の部品の交換時期を表示することが行われている。
【０００３】
例えば特許文献１には、「エアシャワ室と、該エアシャワ室の少なくとも一つの側面に設けられ前記エアシャワ室内に清浄空気のジェット気流を噴射する空気吹出口と、前記エアシャワ室下部に設けられた空気吸込口と、該空気吸込口と前記空吹出口を連絡する通気ダクトと、前記空気吹出口に清浄空気を供給するよう前記通気ダクト中に設置された送風機及びフィルタを有するエアシャワ装置において、前記送風機又は前記送風機起動用コンタクタの動作回数を計数し、表示することを特徴とするエアシャワ装置。」（請求項２）および「点検表示灯はエアジェット作動用コンタクタや送風機の繰返し寿命に合わせて一定の動作回数に達すると点検表示灯が点灯し管理者に点検時期を知らせる。」（作用）と記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２１９４２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１には、エアシャワー装置において、送風機または送風機起動用コンタクタの動作回数をカウンタで計数し、寿命に達したら点検表示ランプを点灯させて表示することが開示されている。しかし、ランプを点灯させて表示するため、動作回数の数値や交換時期の詳細を表示するものではない。また、エアフィルタの交換期限に達した場合においても、部品を交換せずにエアシャワー装置の除塵性能が低下したまま利用することが可能であるという問題点があった。
【０００６】
本発明は、エアシャワー装置の動作回数や部品の交換時期の詳細を表示し、エアシャワー装置の部品を適切な時期に交換することを可能とすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するための、本発明の「エアシャワー装置」の一例を挙げるならば、
ファンからのエアをフィルタを介して人体または物品に吹きつけ、塵埃を吹き飛ばすエアシャワー装置であって、タッチパネルを備え、前記タッチパネルは、タッチパネルを操作することにより、部品の動作回数或いは動作積算時間および部品の交換時期を表示するものである。
【０００８】
また、本発明の「エアシャワー装置」の他の一例を挙げるならば、
ファンからのエアをフィルタを介して人体または物品に吹きつけ、塵埃を吹き飛ばすエアシャワー装置であって、エアジェット風速値を検出する検出手段と、タッチパネルを備え、前記タッチパネルは、タッチパネルを操作することにより、検出されたエアジェット風速値が設定したしきい値以下となった時に除塵用メインフィルタの交換を表示するものである。
【０００９】
また、本発明の「エアシャワー装置」の他の一例を挙げるならば、
ファンからのエアをフィルタを介して人体または物品に吹きつけ、塵埃を吹き飛ばすエアシャワー装置であって、タッチパネルを備え、除塵用メインフィルタの交換期限に達した時、タッチパネルを操作することにより、ファンモータの運転を切り替えるものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、タッチパネルにエアシャワー装置の動作回数や部品の交換時期の詳細を表示し、エアシャワー装置の部品を適切な時期に交換することが可能となる。
【００１１】
また、エアフィルタの性能が低下しエアシャワー装置の除塵性能が低下した場合において、除塵性能が低下したままエアシャワー装置を利用し、クリーンルーム側へ通行することを防止することができる。
【００１２】
上記した以外の課題、構成及び効果は、以下の実施形態の説明により明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】エアシャワー装置の外観斜視図である。
【図２】エアシャワー装置を作業者が通行する方向に対し側面から見た断面図である。
【図３】エアシャワー装置を作業者が通行する方向から見た断面図である。
【図４】実施例１のエアシャワー装置の各部品の動作回数、動作時間を表示するタッチパネルの管理画面である。
【図５】実施例１のエアシャワー装置のタッチパネルのホーム画面である。
【図６】実施例１のエアシャワー装置の電気系のブロック構成図である。
【図７】実施例２のエアシャワー装置のフローチャートである。
【図８】実施例３のエアシャワー装置のフローチャートである。
【図９】実施例４のエアシャワー装置のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。なお、実施形態を説明するための各図において、同一の構成要素にはなるべく同一の名称、符号を付して、その繰り返しの説明を省略する。
【実施例１】
【００１５】
本発明の実施例１のエアシャワー装置を図１〜図６に沿って説明する。
【００１６】
図１は、エアシャワー装置の外観斜視図である。１はエアシャワー装置全体を示している。２は表示灯内蔵型のドアロック解除用スイッチを示している。３は出入口側の手動ドアを示している。４は出入口側から見て、右側の本体ケースを示している。５は出入口側から見て、左側の本体ケースを示している。
【００１７】
図２は、エアシャワー装置を作業者が通行する方向に対し側面から見た断面図である。６はエアシャワー装置に取り付けられたタッチパネルを示している。７はクリーンルーム側のドアを示している。８はエアシャワー装置に取り付けられたエアジェット吹き出しノズルを示している。９はプレフィルタカバーを示している。１０はエアジェット作動用センサを示している。なお、図面においてエアジェット作動用センサ１０は光電式にて図示しているが、押しボタンスイッチや人感センサでもよい。また、表示灯内蔵型ドアロック解除用スイッチ２は表示灯部とスイッチ部が別になっていても良い。
【００１８】
図３は、エアシャワー装置を出入口側より作業者が通行する方向からみた断面図である。１１はプレフィルタを示している。１２はファンを駆動するファンモータを示している。１３は除塵用メインフィルタを示している。１４はエアシャワー装置の制御用ユニット（制御装置）を示している。これらの配置は、図の位置に限るものではない。本発明におけるドアタイプは、手動ドアのみに限定するものではなく、自動ドアでもよい。
【００１９】
エアシャワー装置の動作は次のとおりである。
作業者は、防塵服を身に着けてエアシャワー装置1の出入口側手動ドア３を開き、出入口側手動ドア３が開状態となり、エアシャワー装置内に入る。エアシャワー装置内に入り手動ドア３が閉状態となると、エアジェット作動用センサ１０が作業者を検知した瞬間、エアジェット吹き出しノズル８より作業者に対して清浄エアを高速で約１０秒〜１５秒吹き付け、作業者に付着した塵埃や髪の毛を吹き飛ばす。
エアジェット吹き出しノズル８は、エアシャワー装置の各ユニットの両側面の壁に６〜１０個程度整列して設置され、また天井面にも３〜５個設置されている。エアジェット吹き出しノズル８から吹き出された清浄エアは、作業者に付着していた塵埃や髪の毛などと一緒にエアシャワー内を舞い、エアノズル下側に設置されたプレフィルタ１１より吸い込まれる。本体ケース４及び本体ケース５の両側に設けられたファン１２によって吸い込まれたエアシャワー内のエアは、除塵用メインフィルタ１３を通って清浄化され、エアジェット吹き出しノズル８からエアシャワー室内に吹き出される。
【００２０】
図４は、エアシャワー装置のタッチパネル６の管理画面の一例を示している。項目１５は動作項目を示している。エアジェット回数はフィルタ交換後のエアジェットの回数を、エアジェット総回数はエアシャワー装置を設置後のエアジェットの総回数を示している。同様に、エアジェット積算時間はフィルタ交換後のエアジェットの積算時間を、エアジェット総積算時間はエアシャワー装置を設置後のエアジェットの総積算時間を示している。ドア開閉数は出入口側或いはクリーンルーム側のドアの開閉数を示している。１５−ａは動作項目の内、フィルタの目詰まりの項を示している。動作カウント１６は、項目１５に対応する動作回数又は動作時間を示している。フィルタ目詰まりの項１５−ａは風速値にて表示される。警告の項の交換間近の警告１７は、動作カウント１６の各項の動作回数又は動作時間及び風速値が部品交換の規定の数値の直近になった時に表示される。また、警告の項の交換時期の警告１８は動作回数又は動作時間及び風速値が部品交換の規定の数値となった場合に表示される。フィルタ目詰まりの項１５−ａは風速値にて表示の判断を行う。
【００２１】
図５は、エアシャワー装置のタッチパネル６のホーム画面の一例を示している。作業者がエアシャワー装置を通行する際は、通常本画面が表示される。１９は、図４において交換間近１７または交換時期１８の警告が表示された時、ホーム画面に表示される警告アイコンを示している。ただし、フィルタ目詰まりの項１５−ａに交換間近１７及び交換時期１８の警告が表示された時、警告アイコン１９は表示されない。２０は、エアジェット風速をプログレスバーにて表示するインジケータである。２１は、図４の管理画面において、警告表示となっている項目に応じて「フィルタ交換時期」などの警告の文言を表示する。２２は、メインフィルタ性能低下時専用の警告アイコンを示している。フィルタ目詰まりの項１５−ａにて交換間近１７及び交換時期１８の警告が表示された時、ホーム画面にメインフィルタ性能低下時専用の警告アイコン２２を表示する。２３は、タッチパネル画面内においてエアジェット時間をカウントダウンするためなどの、表示部を示す。２４は操作ボタンのアイコンを示す。２５はカウントダウン、ジェット時間、クリーンアップ時間、ジェット回数、ジェット総回数などの表示を選択する選択用のアイコンを、２６は照明を切り替える照明用のアイコンを示す。タッチパネルの表示画面におけるこれらの配置は、図の位置に限るものではない。
【００２２】
図６に、エアシャワー装置の電気系のブロック構成図を示す。制御装置（制御用ユニット）１４には、出入口側およびクリーンルーム側のドアロック解除用スイッチ２の信号が入力されるとともに、風速センサまたは圧力センサ３０からの検知信号が入力される。風速センサまたは圧力センサ３０は除塵用メインフィルタ１３の下流側に設けられており、制御装置１４において検知信号から風速値を求めて記憶する。制御装置１４は、タッチパネル６から操作信号を受け取るとともに、タッチパネル６に表示信号を送って図４、図５のような画面表示を行う。制御装置１４は、ファンを駆動するファンモータ１２にＯＮ／ＯＦＦの駆動信号を供給する。なお、後述する実施例４においては、インバータ回路３２が設けられ、ファンモータ１２の回転数を制御できるように、構成されている。また、制御装置１４は、出入口側ドア３およびクリーンルーム側のドア７のドアロックを制御する。
【００２３】
制御装置１４は、複数のカウンタを備えており、エアジェット回数、エアジェット総回数、エアジェット積算時間、エアジェット総積算時間、ドア開閉回数などをカウントし記憶する。そして、タッチパネル６の操作に応じて、表示信号を送り、図４に示されるようにタッチパネル６に表示する。また、制御装置１４は、交換間近や交換時期の警告などの表示信号を送り、図５に示されるようにタッチパネル６に表示する。
【００２４】
本実施例によれば、タッチパネルを設け、タッチパネルの操作に応じて、交換時期の警告に加えて、部品の動作回数や動作時間を表示するようにしたので、部品の交換時期の詳細を認識できる。
【実施例２】
【００２５】
図７に、実施例２のエアシャワー装置のフローチャートを示す。
実施例２のエアシャワー装置は、メインフィルタ１３が塵埃等による目詰まりを起こし、エアジェット風速がタッチパネルの操作にて設定したしきい値以下となった時、出入口側手動ドア３をプランジャ型電磁ソレノイド等によりロックすることにより、メインフィルタ１３の目詰まりによる除塵性能が低下している間、クリーンルーム側への通行を不可とするものである。
【００２６】
実施例２のエアシャワー装置の動作を、図７のフローチャートに沿って説明する。
Ｓ１０１は、エアシャワー装置に部品交換の警告が表示されておらず、通常の動作において運転している状態を示す。
Ｓ１０２では、エアジェット風速値がタッチパネルにて設定したしきい値以下であるか否かを判断する。
Ｓ１０３では、Ｓ１０２において風速値がタッチパネルにて設定したしきい値以下の場合、図５のホーム画面にメインフィルタ性能低下時専用の警告アイコン２２を表示する。
Ｓ１０４は、Ｓ１０３にて表示されたメインフィルタ性能低下時専用の警告アイコン２２をタッチすることにより、処理Ｓ１０５に移行することを示す。
Ｓ１０５では、Ｓ１０２においてエアジェット風速値がタッチパネルにて設定したしきい値以下の場合、クリーンルーム側への通行を禁止する機能の設定をオン状態とする処理を示している。
Ｓ１０６では、制御ユニット１４及びタッチパネル６を利用して、本体ケース５に設置されたプランジャ型電磁ソレノイドを作動させることにより、出入口側ドア３が開くことを不可能にする。また、表示灯内蔵型ドアロック解除スイッチ２の表示灯部分を点滅させることにより、出入口側手動ドア３が開不可状態であることを周知させる。
Ｓ１０７では、フィルタ交換が行われた否かを判断する。
Ｓ１０８は、エアジェット風速値がタッチパネルにて設定したしきい値を超過した状態であるかどうかの判断を示している。
Ｓ１０９は、エアジェット風速値がタッチパネルにて設定したしきい値を超えた場合、タッチパネル６を操作することにより、出入口側の手動ドア３をロックし、クリーンルーム側への通行を禁止する機能を解除するか否かの判断を示している。
Ｓ１１０は、Ｓ１０９においてクリーンルーム側通行禁止機能を解除することにより、出入口側手動ドア３のロックを解除し、表示灯内蔵型ドアロック解除スイッチ２の表示灯部分の点滅を停止し、エアシャワー装置を通常動作に復帰させる処理を示している。
【００２７】
なお、本実施例においてエアシャワー装置のドアは手動に限定するものではなく、また、手動ドアの場合においても開不可とする手段はプランジャ型電磁ソレノイドによる方法に限るものではない。
【００２８】
本実施例において、通行を禁止する主な方向は出入口側からクリーンルーム側へ入室する方向とする。クリーンルーム側から出入口側へ退出する際は、エアジェット作動用センサ１０の検知等により出入口側手動ドア３のロックを一時的に解除し、作業者退室後に出入口側手動ドア３を閉じることにより、再度プランジャ型電磁ソレノイドが動作しロックするものとする。また、表示灯内蔵型ドアロック解除スイッチ２をオンすることによっても手動ドア３のプランジャ型電磁ソレノイドを停止させ、出入口側からエアシャワー装置内に入室可能とする。
【００２９】
本実施例によれば、エアジェット風速が設定したしきい値以下となった時、出入口側ドアをロックするので、エアシャワー装置の除塵性能が低下した場合において除塵性能が低下したままエアシャワー装置を利用し、クリーンルーム側へ通行することを防止することができる。
【００３０】
本実施例では、Ｓ１０２でエアジェット風速値がタッチパネルで設定したしきい値以下であることを判断したが、エアジェット回数或いはエアジェット時間が設定したしきい値を超えたことにより、除塵用メインフィルタの交換期限に達したと判断して、出入口側ドアをロックするようにしても良い。
【実施例３】
【００３１】
図８に、実施例３のエアシャワー装置のフローチャートを示す。
実施例３は、メインフィルタ１３が塵埃等による目詰まりを起こし、エアジェット風速がタッチパネル操作にて設定したしきい値以下となった時、制御ユニット１４及びタッチパネル６を利用して、エアジェット風速の低下量に応じてエアジェット吹付時間を従来の設定時間より増加するものである。
【００３２】
実施例３のエアシャワー装置の動作を、図８のフローチャートに沿って説明する。
Ｓ２０１は、エアシャワー装置に部品交換の警告が表示されておらず、通常の動作において運転している状態を示す。
Ｓ２０２では、エアジェット風速値がタッチパネルにて設定したしきい値以下であるか否かを判断する。
Ｓ２０３では、Ｓ２０２において風速値がタッチパネルにて設定したしきい値以下の場合、図５のホーム画面にメインフィルタ性能低下時専用の警告アイコン２２を表示する
Ｓ２０４は、Ｓ２０３にて表示されたメインフィルタ性能低下時専用の警告アイコン２２をタッチすることにより、処理Ｓ２０５に移行することを示す。
Ｓ２０５は、Ｓ２０２においてエアジェット風速値がタッチパネルにて設定したしきい値以下の場合、エアジェット風速の低下量に応じてエアジェット吹付け時間を増加する機能の設定をオン状態とする処理を示している。
Ｓ２０６では、制御ユニット１４及びタッチパネル６を利用することにより、しきい値からのエアジェット風速の低下量に応じてエアジェット吹付時間を増加する処理を行う。
Ｓ２０７では、フィルタ交換が行われた否かを判断する。
Ｓ２０８では、エアジェット風速値がタッチパネルにて設定したしきい値を超過した状態であるかどうかの判断を行う。
Ｓ２０９は、タッチパネル６を操作することにより、エアジェット吹付時間を風速低下量に応じて増加する機能を解除する処理を示す。
【００３３】
本実施例によれば、エアジェット風速がタッチパネルの操作で設定したしきい値以下となった時、エアジェット風速の低下量に応じてエアジェット吹付時間を従来の設定時間よりも増加するので、エアシャワー装置の除塵性能が低下した場合においても必要な除塵を行うことができる。
【実施例４】
【００３４】
図９に、実施例４のエアシャワー装置のフローチャートを示す。
実施例４は、メインフィルタ１３が塵埃等による目詰まりを起こし、エアジェット風速がタッチパネル操作にて設定したしきい値以下となった時、制御ユニット１４及びタッチパネル６を利用して、エアジェット風速の低下量に応じてエアジェット用ファンモータ１２をインバータ３２にて制御し、回転周波数を上昇させることにより、エアジェット風速を増加させるものである。
【００３５】
実施例４のエアシャワー装置の動作を、図９のフローチャートに沿って説明する。
Ｓ３０１は、エアシャワー装置に部品交換の警告が表示されておらず、従来の動作において運転している状態を示す。
Ｓ３０２では、エアジェット風速値がタッチパネルにて設定したしきい値以下であるか否かを判断する。
Ｓ３０３では、Ｓ３０２において風速値がタッチパネルにて設定したしきい値以下の場合、図５のホーム画面にメインフィルタ性能低下時専用の警告アイコン２２を表示する
Ｓ３０４は、Ｓ３０３にて表示されたメインフィルタ性能低下時専用の警告アイコン２２をタッチすることにより、処理Ｓ３０５に移行することを示す。
Ｓ３０５は、Ｓ３０２においてエアジェット風速値がタッチパネルにて設定したしきい値以下の場合、エアジェット風速の低下量に応じ、制御ユニット１４およびタッチパネル６を利用し、インバータ３２を制御することによりエアジェット用ファンモータ１２の回転周波数を増加させ、エアジェット風速を上昇させる機能の設定をオン状態とする処理を示している。
Ｓ３０６は、制御ユニット１４及びタッチパネルを６利用することにより、エアジェット風速の低下量に応じてインバータ３２を制御し、エアジェット風速を増加させる運転を行う処理を示している。
Ｓ３０７では、フィルタ交換が行われた否かを判断する。
Ｓ３０８では、エアジェット風速値がタッチパネル６にて設定したしきい値を超過した状態であるかどうかの判断を行う。
Ｓ３０９は、タッチパネル６を操作することにより、制御ユニット１４及びインバータ３２によるファンモータ１２の回転周波数の制御を解除し、通常のエアシャワー動作に復帰する処理を示している。
【００３６】
本実施例によれば、エアジェット風速がタッチパネルの操作で設定したしきい値以下となった時、エアジェット風速の低下量に応じてエアジェット用ファンモータ１２をインバータ３２にて制御し、回転周波数を上昇させることにより、エアジェット風速を増加させるので、エアシャワー装置の除塵性能が低下した場合においても必要な除塵を行うことができる。
【００３７】
なお、実施例２〜４では、メインフィルタを交換するようにしたが、モータ等の他の部品が交換期限に達したことを判断して、交換するようにしても良い。
【符号の説明】
【００３８】
１  エアシャワー装置
２  表示灯内蔵型ドアロック解除用スイッチ
３  出入口側手動ドア
４  右側本体ケース
５  左側本体ケース
６  タッチパネル
７  クリーンルーム側手動ドア
８  エアジェット吹き出しノズル
９  プレフィルタカバー
１０  エアジェット作動用センサ
１１  プレフィルタ
１２  エアジェット用ファンモータ
１３  メインフィルタ
１４  制御ユニット（制御装置）
１５  動作カウント項目
１６  動作カウント回数項目
１７  交換間近警告表示
１８  交換時期警告表示
１９  警告アイコン
２０  風速インジケータ
２１  文言表示部
２２  メインフィルタ性能低下時専用警告アイコン
２３  表示部
２４  操作ボタンアイコン
２５  選択用アイコン
２６  照明用アイコン
３０  風速センサまたは圧力センサ
３２  インバータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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