(57)【要約】【課題】バランス修正装置の修正加工時において、切粉が回転機械の内部に侵入することを防止する。【解決手段】回転軸を中心として回転されるインペラを有する回転機械のバランスを修正するバランス修正装置であっ上記インペラの外周から径方向内側に向けかつ流線が上記回転機械の外側に向かうように気体を噴射する気体噴射部と、上記気体噴射部により形成された空気の流線上において上記インペラを加工する修正加工部とを備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸を中心として回転されるインペラを有する回転機械のバランスを修正するバランス修正装置であって、
前記インペラの外周から径方向内側に向けかつ流線が前記回転機械の外側に向かうように気体を噴射する気体噴射部と、
前記気体噴射部により形成された気体の流線上において前記インペラを加工する修正加工部と
を備えることを特徴とするバランス修正装置。
【請求項２】
前記気体噴射部は、前記インペラの周方向の複数の位置において気体を噴射するノズルを有することを特徴とする請求項１記載のバランス修正装置。
【請求項３】
前記気体噴射部は、前記インペラの周方向に沿って設けられる環状ノズルを有することを特徴とする請求項１記載のバランス修正装置。
【請求項４】
前記気体噴射部による気体の流線上の下流側において前記気体を吸引する吸引ダクトを備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のバランス修正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バランス修正装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、特許文献１には、予め測定されたアンバランス量に基づいてインペラの回転バランスを修正する回転バランス修正機（バランス修正装置）が開示されている。特許文献１の回転バランス修正機は、インペラが配置される加工空間が設けられており、加工空間内においてインペラをエンドミル（工具）により切削し、インペラから発生する切粉を、インペラの近傍に設けられた集塵機により吸引して集める。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−９３２５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、インペラを有する回転機械をバランス修正装置にて修正加工を行う際に、特許文献１のように加工空間を設け、集塵機を用いて切粉を集める構成とすると、集塵機のパワーが不足している場合、切粉が飛散する範囲での吸込流速が不足し、回転機械の内部にインペラの切粉が侵入する可能性がある。また、バランス修正装置に加工空間を形成するため、装置の規模が大きくなり、設置が容易でない。
【０００５】
本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、バランス修正装置の修正加工時において、切粉が回転機械の内部に侵入することを防止することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するための手段として、以下の構成を採用する。
【０００７】
第１の手段として、回転軸を中心として回転されるインペラを有する回転機械のバランスを修正するバランス修正装置であって、インペラの外周から径方向内側に向けかつ流線が上記回転機械の外側に向かうように気体を噴射する気体噴射部と、上記気体噴射部により形成された気体の流線上において上記インペラを加工する修正加工部とを備える、という構成を採用する。
【０００８】
第２の手段として、上記第１の手段において、上記気体噴射部は、上記インペラの周方向の複数の位置において気体を噴射するノズルを有する、という構成を採用する。
【０００９】
第３の手段として、上記第１の手段において、上記気体噴射部は、上記インペラの周方向に沿って設けられる環状ノズルを有する、という構成を採用する。
【００１０】
第４の手段として、上記第１〜３のいずれかの手段において、上記気体噴射部による気体の流線上の下流側において上記気体を吸引する吸引ダクトを備える、という構成を採用する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、インペラの外周側から径方向内側に向けかつ流線が回転機械の軸方向外側に向かうように気体を噴射する気体噴射部を設けている。気体噴射部から噴射された気体は、例えばインペラに沿って径方向内側へと流れ、インペラの中心において回転機械の軸方向外側へと向かう流れを形成する。このような気体の流線上で工具による切削加工を行うことにより、切粉は、噴射される気体と共に回転機械の外側へと飛ばされる。このため、本発明によれば、切粉が回転機械の内部に侵入することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施形態に係るバランス修正装置の全体を示す斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るバランス修正装置のＹ方向に沿う断面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係るバランス修正装置が備える切粉回収ユニットを示す斜視図である。
【図４】本発明の一実施形態に係るバランス修正装置が備える空気噴射部を示す断面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係るバランス修正装置の切粉回収ユニットにおける空気の流れを示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して、本発明に係るバランス修正装置の一実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係るバランス修正装置１の全体を示す斜視図である。また、図２は、本実施形態に係るバランス修正装置１のＹ方向に沿う縦断面図である。
なお、以下の説明においては、水平方向に沿う第１の方向をＸ方向、水平方向に沿うと共に第１の方向に直交する第２の方向をＹ方向、鉛直方向をＺ方向として説明する。
【００１４】
本実施形態のバランス修正装置１は、ワークＷ（回転機械）のバランスを修正する装置である。ワークＷは、ケーシングと、ケーシングに覆われた回転軸Ｗ１と、回転軸Ｗ１を中心として回転されると共にケーシングから露出し、対向して設けられる２つのインペラとを有している。
バランス修正装置１は、図１に示すように、支持機構２と、第１チャック機構３と、第２チャック機構４と、マウント機構５と、ファイバセンサ部６と、２つの切粉回収ユニット７と、加工具８（修正加工部）とを備えている。支持機構２は、６本の脚柱２ａと、支持板２ｂとを有している。脚柱２ａは、中心軸が鉛直方向に沿うように、水平面に対して設置される略円柱形状の部材である。また、脚柱２ａは、弾性体により構成されており、外部の振動が支持板２ｂに伝わることを抑制する。支持板２ｂは、脚柱２ａに支持され、長手方向がＹ方向に沿い、表裏面がＺ方向に向けられた板部材であり、第１チャック機構３、第２チャック機構４、マウント機構５及びファイバセンサ部６が上面に固定されている。
【００１５】
第１チャック機構３は、第１チャック固定板３ａと、２本の直動レール３ｂと、移動ブロック３ｃと、支持部３ｄと、割出ハンドル３ｅと、チャック３ｆと、移動用アクチュエータ３ｇと、指示プレート３ｈとを有している。第１チャック固定板３ａは、支持板２ｂの上面に固定された板状の部材であり、直動レール３ｂを設置するための溝が平行に２本形成されている。直動レール３ｂは、長尺状の部材であり、Ｙ方向に沿って平行に２本設けられることにより、移動ブロック３ｃをＹ方向に移動可能としている。移動ブロック３ｃは、２本の直動レール３ｂに跨って配置され、直動レール３ｂ上を移動可能とされている。支持部３ｄは、移動ブロック３ｃの上に固定され、鉛直方向に突出した板状の部位に、割出ハンドル３ｅ及びチャック３ｆが固定されている。
【００１６】
割出ハンドル３ｅは、軸部３ｅ１と、ハンドル部３ｅ２とを有している。ハンドル部３ｅ２は、軸部３ｅ１が軸受により軸支されることで、Ｙ方向に沿う回転軸芯を中心に回転可能に支持部３ｄに対して固定されている。また、ハンドル部３ｅ２は、軸部３ｅ１を介してチャック３ｆと接続されている。このような割出ハンドル３ｅを作業者が回転させることにより、ワークＷの回転軸Ｗ１が回転され、ワークＷの回転軸Ｗ１及び不図示のインペラの回転方向における位置決めを行うことができる。チャック３ｆは、チャック駆動部３ｆ１と、チャック駆動部３ｆ１のＹ方向における端部に設けられた３本の爪部３ｆ２とを有している。チャック駆動部３ｆ１は、３本の爪部３ｆ２を各方向から回転軸Ｗ１に対して径方向内側へと移動させることで、爪部３ｆ２により回転軸Ｗ１の端部を把持する。また、チャック３ｆは、回転可能とされ、割出ハンドル３ｅの回転が軸部３ｅ１を介して伝えられることにより回転される。移動用アクチュエータ３ｇは、第１チャック固定板３ａに固定され、移動ブロック３ｃに動力を伝えている。移動用アクチュエータ３ｇにより、移動ブロック３ｃが直動レール３ｂに沿って移動し、ワークＷに対する位置決めを行うことができる。指示プレート３ｈは、支持部３ｄに固定された板状の部材であり、割出ハンドル３ｅの軸部３ｅ１の回転角度を指示する。
【００１７】
このような第１チャック機構３は、移動ブロック３ｃ、支持部３ｄ、割出ハンドル３ｅ及びチャック３ｆが一体として直動レール３ｂに沿って移動可能とされている。ワークＷの固定時には、図２の二点鎖線に示すように、第１チャック機構３をワークＷに近づけることが可能である。
【００１８】
第２チャック機構４は、図２の図面において、ワークＷを挟んで第１チャック機構３と左右対称となるように設けられ、図３に示すように、第２チャック固定板４ａと、２本の直動レール４ｂと、移動ブロック４ｃと、支持部４ｄと、割出ハンドル４ｅ（割出機構）と、チャック４ｆと、移動用アクチュエータ４ｇとを有している。第２チャック固定板４ａは、支持板２ｂの上面に固定された板状の部材であり、直動レール４ｂを設置するための溝が平行に２本形成されている。直動レール４ｂは、長尺状の部材であり、Ｙ方向に向けて平行に２本設けられることにより、移動ブロック４ｃをＹ方向に移動可能としている。移動ブロック４ｃは、２本の直動レール４ｂに跨って配置され、直動レール４ｂ上を移動可能とされている。支持部４ｄは、移動ブロック４ｃの上に固定され、鉛直方向に突出した板状の領域に、割出ハンドル４ｅ及びチャック４ｆが固定されている。
【００１９】
割出ハンドル４ｅは、軸部４ｅ１と、ハンドル部４ｅ２とを有している。ハンドル部４ｅ２は、軸部３ｅ１が軸受により軸支されることで、Ｙ方向に沿う回転軸芯を中心に回転可能に支持部４ｄに対して固定されている。また、ハンドル部４ｅ２は、軸部４ｅ１を介してチャック４ｆと接続されている。このような割出ハンドル４ｅを作業者が回転させることにより、ワークＷの回転軸Ｗ１が回転され、ワークＷの回転軸Ｗ１及びインペラの回転方向における位置決めを行うことができる。チャック４ｆは、チャック駆動部４ｆ１と、チャック駆動部４ｆ１のＹ方向における端部に設けられた３本の爪部４ｆ２とを有している。チャック駆動部４ｆ１は、３本の爪部４ｆ２を各方向から回転軸Ｗ１に対して径方向内側へと移動させることで、爪部４ｆ２により回転軸Ｗ１の端部を把持する。また、チャック４ｆは、回転可能とされ、割出ハンドル４ｅの回転が軸部４ｅ１を介して伝えられることにより回転される。移動用アクチュエータ４ｇは、第２チャック固定板４ａに固定され、移動ブロック４ｃに動力を伝えている。移動用アクチュエータ４ｇにより、移動ブロック４ｃが直動レール４ｂに沿って移動し、ワークＷに対する位置決めを行うことができる。指示プレート４ｈは、支持部４ｄに固定された板状の部材であり、割出ハンドル４ｅの軸部４ｅ１の回転角度を指示する。
【００２０】
このような第２チャック機構４は、移動ブロック４ｃ、支持部４ｄ、割出ハンドル４ｅ及びチャック４ｆが一体として直動レール４ｂに沿って移動可能とされている。ワークＷの固定時には、第２チャック機構４をＹ方向に移動させることにより、ワークＷに近づけることが可能である。
バランス修正装置１は、第１チャック機構３と、第２チャック機構４とを移動させることにより、ワークＷの回転軸Ｗ１の両側を保持することができる。
【００２１】
マウント機構５は、図２に示すように、機構支持台５ａと、ワーク支持台５ｂと、支持ばね５ｃと、マウント５ｄと、移動規制部５ｅとを有している。機構支持台５ａは、支持板２ｂに固定され、支持ばね５ｃが固定される平板状の部材である。ワーク支持台５ｂは、支持板２ｂに固定され、ワークＷを下方から支持する部材である。支持ばね５ｃは、略角柱状とされ、長手方向がＺ方向に沿って設置されている。支持ばね５ｃは、Ｘ方向に離間してマウント５ｄを挟んで２箇所に設けられている。
【００２２】
マウント５ｄは、図２に示すように、Ｙ方向に沿う平板状領域５ｄ１と、Ｚ方向に沿う平板状領域５ｄ２とを有し、Ｘ方向から見て略Ｌ字型とされ、平板状領域５ｄ１において、図１及び図３に示すように、下方に配置された支持ばね５ｃにより支持されている。図２に示すように、ワークＷは、マウント５ｄに対して第１チャック機構３側に配置され、インペラが貫通孔５ｄ３から露出した状態で、ケーシングが平板状領域５ｄ２の第１チャック機構３側の面に固定されることにより、マウント５ｄに固定される。移動規制部５ｅは、不図示の把持部により、マウント５ｄの移動を規制する。なお、マウント５ｄには、ワークＷの振動を計測する振動計測センサ（不図示）が設けられている。
【００２３】
ファイバセンサ部６は、マウント５ｄの貫通孔５ｄ３の近傍に設けられ、ワークＷのインペラの回転速度及び位相を検出する。具体的には、ファイバセンサ部６は、ワークＷのインペラに設けられたマークを検出することにより、回転速度及び位相を検出している。
また、本実施形態のバランス修正装置１は、ワークＷが有する回転用モータを有しており、回転用モータによりワークＷの回転軸Ｗ１を回転させる。さらに、バランス修正装置１は、ワークＷの加工を行うための工具を有する。
【００２４】
図３は、本実施形態に係るバランス修正装置１が備える切粉回収ユニット７を示す斜視図である。また、図４は、本実施形態に係るバランス修正装置１が備える空気噴射部７ａを示す断面図である。
切粉回収ユニット７は、第１チャック機構３側及び第２チャック機構４側にそれぞれ１つずつ設けられており、空気噴射部７ａ（気体噴射部）と、切粉吸引部７ｂと、台座部７ｃとを有している。空気噴射部７ａは、リング部７ａ１と、リングカバー７ａ２と、接続継手７ａ３（図４参照）とを有している。また、２つの切粉回収ユニット７は、第１チャック機構３及び第２チャック機構４に対して固定されることにより、第１チャック機構３及び第２チャック機構４と共に直動レール３ｂ、４ｂに沿ってそれぞれ移動可能とされている。
【００２５】
リング部７ａ１は、中心部が円形の開口とされる円環状の部材であり、開口がワークＷの回転軸Ｗ１に向けられるように第１チャック機構３とワークＷとの間、及び第２チャック機構４とワークＷとの間に配置される。また、リング部７ａ１には、上記開口の外周に沿って円環状に溝が形成されている。
リングカバー７ａ２は、中心部が円形の開口とされる円環状の部材であり、リング部７ａ１の開口と当該リングカバー７ａ２の開口とが重なるように、リング部７ａ１よりもワークＷ側に配置されている。また、リングカバー７ａ２は、リング部７ａ１と重ね合わせられる面において、リング部７ａ１の円環状の溝と重なる領域に、円環状の溝が形成されている。リング部７ａ１の溝とリングカバー７ａ２の溝とが重ね合わせられることにより、円環状の空気流路Ｒ１が形成されている。
また、接続継手７ａ３は、空気流路Ｒ１に接続されると共に径方向外側に向けてリング部７ａ１に形成された接続流路Ｒ２及び不図示の圧縮空気供給配管に接続され、空気流路Ｒ１へと圧縮空気を送り込んでいる。
【００２６】
また、空気流路Ｒ１の径方向内側の部位において、リング部７ａ１及びリングカバー７ａ２の開口の外縁にかけて、全周にわたって、リング部７ａ１とリングカバー７ａ２との間に僅かな間隙Ｎ（環状ノズル）が形成されている。接続継手７ａ３から流入した圧縮空気は、接続流路Ｒ２を介して空気流路Ｒ１に流入し、さらに、間隙Ｎより径方向内側に向けて吐出され、ワークＷのインペラに沿ってワークＷの軸方向外側へと流れる空気の流れを形成する。
【００２７】
切粉吸引部７ｂは、図３に示すように、切粉受部７ｂ１と、吸引ダクト７ｂ２とを有している。切粉受部７ｂ１は、周方向の一部が切欠かれた円筒形とされており、切り欠かれた部位がＺ方向上側を向くように配置される。切粉受部７ｂ１は、一端がリング部７ａ１の開口の外縁に沿って当接するようにリング部７ａ１に固定されている。また、切粉受部７ｂ１の内側にチャック３ｆ、４ｆが配置されることで、切粉回収ユニット７の突出量が最小限であり、かつ切粉回収ユニット７がチャック機構３、４の動作を阻害することがない。吸引ダクト７ｂ２は、一端がＹ方向においてチャック３ｆ、４ｆと、空気噴射部７ａとの間に配置されるように、切粉受部７ｂ１のＺ方向下側に接続され、他端が集塵機等に接続されている。
台座部７ｃは、切粉受部７ｂ１を支持すると共に、支持部３ｄ、４ｄに固定されている部材である。
【００２８】
図５は、本実施形態に係るバランス修正装置１の切粉回収ユニット７における空気の流れを示す概略図である。加工具８は、図５に示すように、バランス計測が行われた後に、インペラの回転軸Ｗ１近傍の部位について、インペラの先端に対して加工を行う切削加工用の工具である。例えば、このような加工具８として、マイクログラインダ等が挙げられる。また、加工具８は、空気噴射部７ａにより噴射された空気の流線上においてインペラと当接する。なお、これらの加工具８は、作業者により手動で操作される。
【００２９】
このような本実施形態のバランス修正装置１において、ワークＷのバランス計測を行う場合には、まず、作業者は、図２に示すように、第１チャック機構３及び第２チャック機構４のＹ方向における距離が広がるように、第１チャック機構３、第２チャック機構４及び切粉回収ユニット７を移動させ、第１チャック機構３、第２チャック機構４及び切粉回収ユニット７をマウント機構５から離間させる。そして、作業者は、第１チャック機構３とマウント機構５との間にワークＷを配置し、マウント機構５のワーク支持台５ｂに載置する。さらに、作業者は、マウント５ｄにワークＷのケーシングを固定し、マウント機構５にワークＷを取り付ける。そして、作業員の操作により、ワークＷの回転用モータが起動されると、ワークＷの回転軸Ｗ１が回転される。この際、ワークＷの回転軸Ｗ１にアンバランスがある場合、ワークＷの回転軸Ｗ１が振動する。そして、不図示の振動計測センサは、回転軸Ｗ１の振動を計測する。また、ファイバセンサ部６は、ワークＷの回転軸Ｗ１の回転速度及び位相を検出する。
【００３０】
次に、ワークＷの修正加工を行う場合には、作業員は、バランス修正装置１の第１チャック機構３及び第２チャック機構４にワークＷを設置する際には、まず、第１チャック機構３及び第２チャック機構４のＹ方向における位置をワークＷのサイズに応じて調整する。そして、作業員は、回転軸Ｗ１の両端部をチャック３ｆ、４ｆにより挟み込む。これにより、ワークＷは、回転軸Ｗ１の両端が第１チャック機構３及び第２チャック機構４により把持された状態となる。また、これに伴って、切粉回収ユニット７の空気噴射部７ａ及び切粉吸引部７ｂがワークＷの修正加工位置に近接させられた状態となる。
【００３１】
第１チャック機構３及び第２チャック機構４によりワークＷが把持された状態で、作業員は、割出ハンドル３ｅ、４ｅを回転させることでワークＷの回転方向における位置を調整し、切粉受部７ｂ１の切欠き部分から加工具８を差込み、加工具８によりインペラの修正加工を行う。また、修正加工時には、切粉回収ユニット７が駆動され、接続継手７ａ３から圧送された空気が、空気流路Ｒ１を介して流れ、間隙Ｎより径方向内側に向けて吐出される。吐出された空気は、インペラに沿ってワークＷの外側へと流れる空気の流れを形成する。さらに、ワークＷの外側に流れた空気は、吸引ダクト７ｂ２に接続されたポンプにより吸引されることで、切粉受部７ｂ１を介して、吸引ダクト７ｂ２へと流れ込む。加工具８がインペラ上に設けられていることから、加工具８により発生した切粉は、空気の流線に沿って吸引ダクト７ｂ２により回収される。
【００３２】
このような本実施形態に係るバランス修正装置１によれば、空気噴射部７ａがインペラの径方向内側に向けて空気を噴射し、加工具８が噴射された空気の流線上に設けられている。これにより、加工具８による切削加工により発生した切粉は、空気噴射部７ａから噴射された空気によりワークＷの外側へと飛ばされる。したがって、修正加工時において、ワークＷのケーシングとインペラとの間に間隙がある場合であっても、ワークＷの内部に切粉が侵入することがない。
【００３３】
また、本実施形態に係るバランス修正装置１によれば、空気噴射部７ａは、インペラの外周の全周にわたって空気を噴射し、インペラを覆うエアカーテンとして機能する。これにより、加工具８の位置が変化した場合でも、切粉をワークＷの軸方向外側へと飛ばすことができ、ワークＷへの切粉の侵入を確実に防止できる。
【００３４】
また、本実施形態に係るバランス修正装置１によれば、空気噴射部７ａから噴射された空気の流れの下流側において、切粉吸引部７ｂが設けられている。これにより、空気噴射部７ａから噴射された空気により飛ばされた切粉は、舞い上がることなく、切粉吸引部７ｂにより吸引され、回収される。したがって、これによっても、より確実にワークＷへの切粉の侵入を確実に防止できる。
【００３５】
以上、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の趣旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【００３６】
（１）上記実施形態においては、インペラの全周において空気を噴射する空気噴射部７ａを有する構成としたが、本発明はこれに限定されない。空気噴射部７ａは、インペラの外周において、複数箇所に設けられると共にインペラの径方向内側へと空気を噴射するノズルを有するものとしてもよい。この場合でも、空気噴射部７ａの空気の流線上において加工具８による修正加工を行うことで、切粉は、インペラに沿って径方向内側へと流れ、さらにワークＷの外側に飛ばされる。
【００３７】
（２）また、バランス修正装置１は、ワークＷが有する複数のインペラを、ワークＷの姿勢を変更することなく修正加工することができるように、複数の加工具８を備えるものとしてもよい。
【００３８】
（３）また、上記実施形態においては、バランス修正装置１は、バランス計測と、修正加工とを実施する構成を採用したが、本発明はこれに限定されない。バランス修正装置１は、修正加工のみを実施する装置としてもよい。さらに、修正加工は、不図示の制御装置による全自動としてもよい。
【００３９】
（４）また、上記実施形態においては、バランス修正装置１は、空気を噴射する空気噴射部７ａを有するものとしたが、本発明はこれに限定されない。バランス修正装置１は、希ガスなど、空気以外の気体を噴射するものとしてもよい。
【００４０】
（５）また、ワークＷは、インペラを有さず、他の回転体を有する構成とすることも可能である。すなわち、本発明に係るバランス修正装置は、一般的な回転機械のアンバランス修正において適用可能である。
【００４１】
（６）また、切粉回収ユニット７は、第１チャック機構３及び第２チャック機構４とは別の移動機構を有し、第１チャック機構３及び第２チャック機構４と別に移動可能としてもよい。
【符号の説明】
【００４２】
１  バランス修正装置
２  支持機構
２ａ  脚柱
２ｂ  支持板
３  第１チャック機構
３ａ  第１チャック固定板
３ｂ  直動レール
３ｃ  移動ブロック
３ｄ  支持部
３ｅ  割出ハンドル
３ｅ１  軸部
３ｆ  チャック
３ｇ  移動用アクチュエータ
４  第２チャック機構
４ａ  第２チャック固定板
４ｂ  直動レール
４ｃ  移動ブロック
４ｄ  支持部
４ｅ  割出ハンドル
４ｅ１  軸部
４ｆ  チャック
４ｇ  移動用アクチュエータ
５  マウント機構
５ａ  機構支持台
５ｂ  ワーク支持台
５ｄ  マウント
５ｄ１  平板状領域
５ｄ２  平板状領域
５ｅ  移動規制部
６  ファイバセンサ部
７  切粉回収ユニット
８  加工具
Ｌ  略
Ｗ  ワーク
Ｗ１  回転軸
【図１】
2019158611.tif 000003
【図２】
2019158611.tif 000004
【図３】
2019158611.tif 000005
【図４】
2019158611.tif 000006
【図５】
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