(57)【要約】【課題】表示パネルの検査を正確にかつ効率的に行うことが可能な表示パネル検査システムおよび表示パネル検査方法を提供する。【解決手段】表示パネルの点灯状態を画像として取得してその画像を処理することで表示パネルの点灯不良の有無を判別するとともに（Ｓ１〜Ｓ３）その点灯不良に関する情報を取得し（Ｓ５）、表示パネルに点灯不良が検出された場合にその点灯不良が検出された位置を清掃し（Ｓ６）、表示パネルの点灯不良が検出された位置における点灯不良の有無を再度判別し（Ｓ９）、清掃後に点灯不良がない場合、および、清掃前における点灯不良情報と清掃後における点灯不良情報とが一致しない場合に、表示パネルに欠陥はないと判定し（Ｓ４）、清掃前における点灯不良情報と清掃後における点灯不良情報とが一致する場合に、表示パネルに欠陥があると判定する（Ｓ１２）。【選択図】図４
2019158442.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表示装置を製造する工程において、その表示装置が備える表示パネルの検査を行う表示パネル検査システムであって、
前記表示パネルの点灯状態を画像として取得してその画像を処理することで前記表示パネルに点灯不良があるか否かを判別するとともに、その点灯不良に関する情報である点灯不良情報を取得する検査装置と、
前記表示パネルの表面を清掃する清掃装置と
を備え、
前記検査装置によって、前記表示パネルの点灯不良の有無を判別し、点灯不良を検出した場合に点灯不良情報を記憶し、
前記検査装置によって前記表示パネルに点灯不良を検出した場合に、その表示パネルの少なくとも点灯不良を検出した位置を前記清掃装置によって清掃し、
前記表示パネルの少なくとも点灯不良を検出した位置における点灯不良の有無を、前記検査装置によって再度判別し、（ｉ）清掃後において点灯不良がない場合、および、清掃前における点灯不良情報と清掃後における点灯不良情報とが一致しない場合に、前記表示パネルに欠陥はないと判定し、（ii）清掃前における点灯不良情報と清掃後における点灯不良情報とが一致する場合に、前記表示パネルに欠陥があると判定するように構成された表示パネル検査システム。
【請求項２】
前記清掃装置が、前記表示パネルを局所的に清掃可能なものとされ、
当該表示パネル検査システムが、
前記検査装置によって前記表示パネルに点灯不良を検出した場合に、その表示パネルの点灯不良を検出した位置のみを前記清掃装置によって清掃するように構成された請求項１に記載の表示パネル検査システム。
【請求項３】
当該表示パネル検査システムが、
清掃後において、前記検査装置によって前記表示パネルの点灯不良の有無を再度判別する際に、清掃前に前記表示パネルの点灯不良を検出した位置のみ、点灯不良の有無を判別するように構成された請求項１または請求項２に記載の表示パネル検査システム。
【請求項４】
当該表示パネル検査システムが、
前記検査装置によって前記表示パネルに点灯不良を検出した場合に、その表示パネルの全体を前記清掃装置によって清掃し、
前記表示パネルの全体における点灯不良の有無を、前記検査装置によって再度判別するように構成された請求項１に記載の表示パネル検査システム。
【請求項５】
当該表示パネル検査システムが、
検査の対象となる対象物を少なくとも１つ載置させる載置部を有してその載置部を水平面に沿って回転させることが可能な回転台を備え、
前記載置部を回転させることで、前記少なくとも１つの対象物を前記検査装置と前記清掃装置との間で移動させるように構成された請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の表示パネル検査システム。
【請求項６】
表示装置を製造する工程において、その表示装置が備える表示パネルの検査を行う表示パネル検査方法であって、
前記表示パネルの点灯状態を画像として取得してその画像を処理することで前記表示パネルの点灯不良の有無を判別するとともに、その点灯不良に関する情報である点灯不良情報を取得する点灯不良検出工程と、
前記表示パネルに点灯不良が検出された場合に、前記表示パネルの少なくとも点灯不良が検出された位置を清掃する清掃工程と、
前記表示パネルの少なくとも点灯不良が検出された位置における点灯不良の有無を、再度判別し、（ｉ）清掃後に点灯不良がない場合、および、清掃前における点灯不良情報と清掃後における点灯不良情報とが一致しない場合に、前記表示パネルに欠陥はないと判定し、（ii）清掃前における点灯不良情報と清掃後における点灯不良情報とが一致する場合に、前記表示パネルに欠陥があると判定する欠陥検出工程と
を含む表示パネル検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示装置を製造する工程においてその表示装置が備える表示パネルの検査を行う表示パネル検査システムに関し、また、表示パネルの検査を行う表示パネル検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等の種々の表示装置を製造する過程においては、その表示装置が備える表示パネルが正常か否かの検査、具体的には、表示パネルが正常に点灯するか否かの検査が行われる。表示パネルの点灯不良には、表示パネルの損傷、走査線や信号線の断線、短絡によるライン欠陥、表示パネルの成形する過程における内部への不純物の混入等によって点灯不良が生じている場合のような表示パネルの欠陥が問題である。表示パネルの点灯不良を検出する方法として、特許文献１に記載されているように、撮像装置（顕微鏡）によって撮像した画像や、下記特許文献２に記載されているように、表示パネルの表面に光を照射してその反射光を受光したものを画像処理したものに基づいて、点灯不良を検出する方法がある。しかしながら、そのように画像処理によって表示パネルの点灯不良を検出する場合、表示パネルの表面に埃や汚れのような異物が付着していても、点灯不良と判定される場合がある。
【０００３】
そのような異物の付着による点灯不良に対処するために、下記特許文献１には、顕微鏡による拡大画像に基づいて、作業員が異物であるか否かを判定し、異物が付着していると判定した場合に、その異物の除去を行うことが記載されている。また、下記特許文献２には、表示パネルの検査を行う前に、表示パネルに異物が付着しているか否かを調べ、異物が付着している場合に、その異物の除去を行うことが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１５５１５８号公報
【特許文献２】特開平１０−１９７３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１に記載の技術では、異物の付着か否かを作業員が行わなければならず、誤判定も生じ得る。また、異物であるか否かを判定する箇所が複数あるような場合には、検査時間も長くなってしまう。上記特許文献２に記載の技術では、表示パネルの検査を行う前に、必ず表示パネルに異物が付着しているか否かを検出する必要があるため、検査時間が長くなるという問題がある。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、表示パネルの検査を正確にかつ効率的に行うことが可能な表示パネル検査システムおよび表示パネル検査方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために本発明の表示パネル検査システムは、
前記表示パネルの点灯状態を画像として取得してその画像を処理することで前記表示パネルに点灯不良があるか否かを判別するとともに、その点灯不良に関する情報である点灯不良情報を取得する検査装置と、
前記表示パネルの表面を清掃する清掃装置と
を備え、
前記検査装置によって、前記表示パネルの点灯不良の有無を判別し、点灯不良を検出した場合に点灯不良情報を記憶し、
前記検査装置によって前記表示パネルに点灯不良を検出した場合に、その表示パネルの少なくとも点灯不良を検出した位置を前記清掃装置によって清掃し、
前記表示パネルの少なくとも点灯不良を検出した位置における点灯不良の有無を、前記検査装置によって再度判別し、（ｉ）清掃後において点灯不良がない場合、および、清掃前における点灯不良情報と清掃後における点灯不良情報とが一致しない場合に、前記表示パネルに欠陥はないと判定し、（ii）清掃前における点灯不良情報と清掃後における点灯不良情報とが一致する場合に、前記表示パネルに欠陥があると判定するように構成されたことを特徴とする。
【０００７】
このような構成とされた表示パネル検査システム（以下、単に「検査システム」と呼ぶ場合がある）は、１回目の検査において表示パネルに点灯不良が検出された場合にのみ、その後の清掃と再検査が行われるため、効率的に表示パネルの検査を行うことが可能である。なお、上記の「点灯不良情報」は、点灯不良の位置，形状および大きさ等を含む文言である。埃や汚れによる点灯不良であれば、清掃によって、消失したり、小さくなったり、移動したりするはずである。そのことを考慮して、この構成の検査システムは、表示パネルの欠陥であるか否かが、清掃前における点灯不良情報と清掃後における点灯不良情報とが一致するか否かによって判断されるため、作業員の目視によって判断する場合に比較して、表示パネルの検査を正確に行うことが可能である。また、その清掃前の点灯不良情報と清掃後における点灯不良情報とが一致するか否かが、自動で判断されるため、作業員の目視によって判断する場合に比較して、表示パネルの検査を効率的に行うことが可能である。
【０００８】
なお、この構成による表示パネルの検査は、表示装置を製造する工程におけるいずれの段階で行われてもよく、複数回行われてもよい。例えば、表示装置として組付けられた状態、液晶パネルにバックライトを組み付ける前の状態、液晶パネルにバックライトおよび偏光板を組み付ける前の状態等、種々の状態における表示パネルの検査に採用することが可能である。
【０００９】
さらに、この構成の検査システムは、検査の対象なる製造中の表示装置が、検査装置と清掃装置との間で移動させられるような構成であってもよく、検査の対象なる製造中の表示装置を移動させず、検査装置と清掃装置との少なくとも一方が移動させられるような構成であってもよい。後者の構成は、例えば、従来からある検査装置に、清掃装置とその清掃装置を移動させる移動装置とを備えさせた構成のものとすることができる。
【００１０】
上記課題を解決するために本発明の表示パネル検査方法は、
前記表示パネルの点灯状態を画像として取得してその画像を処理することで前記表示パネルの点灯不良の有無を判別するとともに、その点灯不良に関する情報である点灯不良情報を取得する点灯不良検出工程と、
前記表示パネルに点灯不良が検出された場合に、前記表示パネルの少なくとも点灯不良が検出された位置を清掃する清掃工程と、
前記表示パネルの少なくとも点灯不良が検出された位置における点灯不良の有無を、再度判別し、（ｉ）清掃後に点灯不良がない場合、および、清掃前における点灯不良情報と清掃後における点灯不良情報とが一致しない場合に、前記表示パネルに欠陥はないと判定し、（ii）清掃前における点灯不良情報と清掃後における点灯不良情報とが一致する場合に、前記表示パネルに欠陥があると判定する欠陥検出工程と
を含むことを特徴とする。
【００１１】
このような表示パネル検査方法によれば、上述した表示パネル検査システムと同様に、１回目の検査において表示パネルに点灯不良が検出された場合にのみ、その後の清掃と再検査が行われるため、効率的に表示パネルの検査を行うことが可能である。また、表示パネルの欠陥であるか否かが、清掃前における点灯不良情報と清掃後における点灯不良情報とが一致するか否かによって判断されるため、作業員の目視によって判断する場合に比較して、表示パネルの検査を正確に行うことが可能である。さらに、その清掃前の点灯不良情報と清掃後における点灯不良情報とが一致するか否かが、自動で判断されるため、作業員の目視によって判断する場合に比較して、表示パネルの検査を効率的に行うことが可能である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の表示パネル検査システムおよび表示パネル検査方法によれば、表示パネルの検査を正確にかつ効率的に行うことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１実施例である表示パネル検査システムを概略的に示す図である。
【図２】本発明の第１実施例である表示パネル検査システムによる検査の対象物である液晶モジュールの平面図である。
【図３】本発明の第１実施例である表示パネル検査システムによる検査の対象物である液晶モジュールの断面図である。
【図４】本発明の第１実施例である表示パネル検査システムにおいて実行される液晶パネル検査プログラムのフローチャートを示す図である。
【図５】本発明の第１実施例の変形例である表示パネル検査システムを概略的に示す図である。
【図６】本発明の第１実施例の別の変形例である表示パネル検査システムを概略的に示す図である。
【図７】本発明の第１実施例のさらに別の変形例である表示パネル検査システムを概略的に示す図である。
【図８】本発明の第２実施例である表示パネル検査システムを概略的に示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明を実施するための形態として、本発明のいくつかの実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。なお、本発明は、下記の実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することができる。
【実施例１】
【００１５】
＜表示パネル検査システムの構成＞
本発明の第１実施例である表示パネル検査システム１０（以下、単に「検査システム１０」と呼ぶ場合がある）を図１に示す。検査システム１０は、表示装置としての液晶モジュールＭが有する液晶パネルを検査する検査装置１２を主体とするものであり、その検査装置１２に清掃機能を付加したものとなっている。検査システム１０は、検査の対象となる液晶モジュールＭあるいはその液晶モジュールＭの組み立て中のものを載置する（図１には、液晶モジュールＭが載置されている。）載置台１６と、その載置台１６の上方に設けられたカメラ１８と、載置台１６に載置された液晶モジュールＭを清掃する清掃装置２０と、その清掃装置２０を載置台１６上の任意の位置に移動させる清掃装置移動装置２２と、自身の制御を司る制御装置２４とを含んで構成される。つまり、本検査システム１０においては、清掃装置２０および清掃装置移動装置２２を除いた部分が検査装置１２と考えることができる。
【００１６】
カメラ１８は、載置台１６に載置された対象物全体を撮像すること、あるいは、その一部を拡大して撮像することが可能とされている。清掃装置２０は、清掃ヘッド２０ａと、その清掃ヘッド２０ａに取り付けられた清掃冶具２０ｂと含んで構成される。図１において、清掃冶具２０ｂは、スティック状のものであり、液晶パネル３０を局所的に清掃可能とされており、油脂等の汚れの拭き取りや埃を吸着させることが可能なものとなっている。以下、清掃冶具２０ｂを、清掃スティック２０ｂと呼ぶこととする。清掃装置移動装置２２は、清掃ヘッド２０ａをＸ方向に移動させるＸ方向移動装置２２ａと、そのＸ方向移動装置２２ａをＹ方向に移動させるＹ方向移動装置２２ｂとを含んで構成され、清掃ヘッド２０ａを、載置台１６上の任意の位置へ移動させることが可能とされている。また、清掃ヘッド２０ａは、清掃スティック２０ｂを昇降させる冶具昇降装置（図示省略）を有しており、清掃スティック２０ｂを液晶パネル３０の表面に接触させることが可能とされている。なお、制御装置２４は、それらカメラ１８，清掃装置２０，清掃装置移動装置２２と接続されており、それらカメラ１８，清掃装置２０，清掃装置移動装置２２の作動を制御することが可能とされている。
【００１７】
＜検査対象物（液晶モジュール）の構成＞
次に、検査システム１０による検査の対象となる液晶モジュールＭについて説明することとする。液晶モジュールＭは、図２に示すように、全体としては横長の方形状をなしている。液晶モジュールＭは、図３に示すように、画像を表示可能な表示パネルとしての液晶パネル３０と、その液晶パネル３０の両面に貼り付けられた１対の偏光板３２ａ，３２ｂと、液晶パネル３０の裏側に貼り付けられた偏光板３２ｂのさらに裏側に配されて液晶パネル３０に光を供給するバックライト３４とを含んで構成される。なお、液晶パネル３０の表示面は、図２に示すように、画像が表示される表示領域（アクティブエリア）ＡＡと、表示領域ＡＡを取り囲む額縁状（枠状）をなすとともに画像が表示されない非表示領域（ノンアクティブエリア）ＮＡＡと、に区分される。ちなみに、図２においては、一点鎖線が表示領域ＡＡの外形を表しており、当該一点鎖線よりも外側の領域が非表示領域ＮＡＡとなっている。
【００１８】
液晶パネル３０は、一対の透明な（透光性に優れた）基板３０ａ，３０ｂと、両基板３０ａ，３０ｂの間に介在して電界印加に伴って光学特性が変化する物質である液晶分子を含む液晶層３０ｃとを備え、両基板３０ａ，３０ｂが液晶層３０ｃの厚さ分のセルギャップを維持した状態で図示しないシール剤によって貼り合わせられている。両基板３０ａ，３０ｂは、それぞれ、ほぼ透明なガラス基板上に既知のフォトリソグラフィ法などによって複数の膜が積層されたものである。両基板３０ａ，３０ｂのうち表側（正面側）がＣＦ基板（対向基板）３０ａとされ、裏側（背面側）がアレイ基板（薄膜トランジスタ基板、アクティブマトリクス基板）３０ｂとされる。また、両基板３０ａ，３０ｂの内面側には、液晶層３０ｃに含まれる液晶分子を配向させるための配向膜３０ｄ，３０ｅがそれぞれ形成されている。
【００１９】
一対の基板３０ａ，３０ｂのうち、裏側に配されるアレイ基板３０ｂには、互いに直交するソース配線及びゲート配線に接続されたスイッチング素子（例えばＴＦＴ）４０と、そのスイッチング素子４０に接続された画素電極４２とが、多数個ずつマトリクス状に並んで設けられている。そして、それら複数のスイッチング素子４０と画素電極４２を覆うようにして上述した配向膜３０ｅが設けられている。一方、表側に配されるＣＦ基板（対向基板）３０ａには、Ｒ（赤色），Ｇ（緑色），Ｂ（青色）等の各着色部が所定配列で配置されたカラーフィルタ４４と、隣り合う着色部の間を仕切るブラックマトリクス（遮光膜）４６とが設けられるとともに、それらを覆うようにしてオーバーコート膜４８および例えばＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明電極材料からなる対向電極５０が設けられている。そして、対向電極５０を覆うようにして上述した配向膜３０ｄが設けられている。
【００２０】
アレイ基板３０ｂは、図１に示すように、短辺方向における寸法が、ＣＦ基板３０ａより長くされており、ＣＦ基板３０ａに対して短辺方向に突出した状態で貼り合わされている。そして、そのアレイ基板３０ｂのＣＦ基板３０ａとは非重畳となる部分が、ＣＦ基板非重畳部３０ｂ１とされる。そのＣＦ基板非重畳部３０ｂ１には、表示領域ＡＡのスイッチング素子４０などを駆動するための液晶パネル用ドライバ（パネル駆動部）５２がＣＯＧ（Chip On Glass）実装されるとともに、液晶パネル用ドライバ５２に表示機能に係る信号を伝送するなどの機能を有する液晶パネル用フレキシブル基板（表示パネル用接続部材）５４が接続されている。
【００２１】
＜表示パネル検査方法＞
上記のように構成される液晶モジュールＭを製造する工程において、本検査システム１０が使用される。以下に、本検査システム１０による検査方法について、図４に示す液晶検査プログラムのフローチャートを参照しつつ、詳しく説明する。
【００２２】
（Ｉ）点灯不良検出工程
図１は、製造された液晶モジュールＭの液晶パネル３０を検査する場合を示しており、載置台１６には、製造された液晶モジュールＭが載置されている。本検査システム１０は、まず、液晶モジュールＭに点灯不良があるか否かの判別を行う。具体的には、制御装置２４は、ステップ１（以下、Ｓ１と略す場合がある。他のステップも同様である。）において、カメラ１８によって液晶モジュールＭの液晶パネル３０全体を撮像させる。制御装置２４は、Ｓ２において、そのカメラ１８によって撮像された画像データを取得してその画像データを画像処理し、Ｓ３において、液晶パネル３０に点灯不良があるか否かを判別する。例えば、液晶モジュールＭに液晶パネル３０の全面を黒色表示させ、その中に光る箇所があるような場合に、点灯不良があると判別するようになっている。そして、点灯不良があると判別された場合には、Ｓ５において、制御装置２４は、その点灯不良の位置，形状および大きさ等を含む点灯不良情報を記憶する。また、点灯不良が微小なものである場合には、制御装置２４は、カメラ１８によって、その点灯不良箇所を拡大して撮像させて、その拡大した画像データを取得するようになっている。一方、液晶パネル３０に点灯不良がなければ、Ｓ４において、液晶モジュールＭは正常であると判定され、検査は終了する。
【００２３】
（II）清掃工程
液晶パネル３０に点灯不良があると判別された場合には、Ｓ６において、制御装置２４は、清掃装置２０を清掃装置移動装置２２によって点灯不良箇所まで移動させる。次いで、清掃ヘッド２０ａの冶具昇降装置によって清掃スティック２０ｂを下降させて液晶パネル３０に接触させる。そして、清掃装置移動装置２２によって清掃スティック２０ｂが動作させられて、液晶パネル３０の清掃が行われる。なお、点灯不良箇所が複数ある場合には、清掃スティック２０ｂが上昇させられるとともに、清掃装置２０が次の点灯不良箇所に移動させられ、同様に清掃が行われる。そして、すべての点灯不良箇所の清掃が終了すれば、清掃装置２０が液晶モジュールＭの外側に設定された待機位置に戻される。
【００２４】
（III）欠陥検出工程
液晶パネル３０の清掃が完了すると、続いて、Ｓ７〜Ｓ９において、液晶パネル３０の点灯不良の有無の判別が、再度行われる。液晶パネル３０に点灯不良箇所が複数ある場合には、液晶パネル３０全体が、カメラ１８によって撮像され、制御装置２４は、その撮像データに基づいて、点灯不良があるか否かの判別が行われる。点灯不良がなくなっていれば、Ｓ４において、液晶モジュールＭは正常であると判定され、検査は終了する。
【００２５】
また、未だ点灯不良がある場合には、Ｓ１０において、制御装置２４は、清掃後における点灯不良情報を取得する。続くＳ１１において、制御装置２４は、清掃前における点灯不良情報と清掃後における点灯不良情報とを比較して、点灯不良の位置，形状および大きさが完全に一致するものがあるか否かの判定が行われる。埃や汚れによる点灯不良であれば、清掃によって、点灯不良の形状が小さくなったり、点灯不良の大きさが小さくなったり、点灯不良の位置が移動したりするはずである。したがって、点灯不良が完全に一致するものがない場合には、Ｓ４において、液晶モジュールＭは正常であると判定され、点灯不良が完全に一致するものがある場合には、Ｓ１２において、液晶モジュールＭの液晶パネル３０に欠陥があると判定され、１つの液晶モジュールＭに対する検査が終了する。
【００２６】
以上のように、本検査システム１０においては、液晶パネル３０の欠陥であるか否かが、清掃前における点灯不良情報と清掃後における点灯不良情報とが一致するか否かによって判断されるため、作業員の目視によって点灯不良が異物によるものか欠陥であるかを判断する場合に比較して、液晶パネル３０の検査を正確に行うことが可能である。また、その清掃前の点灯不良情報と清掃後における点灯不良情報とが一致するか否かが、制御装置２４によって自動で判断されるため、作業員の目視によって判断する場合に比較して、液晶パネル３０の検査を効率的に行うことが可能である。
【００２７】
なお、本検査システム１０における清掃工程は、液晶パネル３０の欠陥を検出するために簡略的に行うものとしてもよい。そのような簡略的な清掃工程とすれば、清掃に要する時間を短縮し、ひいては、検査時間を短縮することが可能である。また、本検査システム１０は、清掃装置２０が液晶パネル３０を局所的に清掃可能なものとされているため、液晶パネル３０全体を清掃する場合に比較して、清掃に要する時間を短縮することが可能である。
【００２８】
なお、点灯不良検出工程において、点灯不良箇所を拡大して撮像し、点灯不良情報を取得した場合には、清掃後においても、その箇所を拡大して撮像し、点灯不良情報を取得する。そして、それら拡大した画像から得られた清掃前における点灯不良情報と清掃後における点灯不良情報とを比較するようになっている。つまり、点灯検出工程において、点灯不良箇所がその拡大して撮像した箇所のみであれば、欠陥検出工程においては、その箇所のみ、点灯不良の有無の判別が行われる。したがって、そのような場合には、拡大した画像を画像処理して取得された点灯不情報に基づいて、液晶パネル３０の欠陥か否かが判定されるため、より正確に液晶パネル３０の検査を行うことが可能である。
【００２９】
＜変形例＞
上記の第１実施例の検査システム１０は、製造された液晶モジュールＭに対して、液晶パネル３０の検査を行うものであったが、液晶モジュールＭの製造過程における液晶パネル３０に対して検査を行うものとすることができる。
【００３０】
図５に示す液晶パネル検査システム６０は、偏光板３２ａ，３２ｂおよびバックライト３４を取り付ける前の液晶パネル３０を検査するためのものである。その検査システム６０は、照光装置６２と、１対の仮偏光板６４ａ，６４ｂとを含んで構成される。１対の仮偏光板の一方６４ａは、カメラ１８と載置台１６との間に配置されており、１対の仮偏光板の他方６４ｂと照光装置６２とが、載置台１６の下側に配置されている。なお、載置台１６は、液晶パネル３０のアクティブエリアに照光装置６２の光を照射するために、そのアクティブエリアよりも僅かに大きく、液晶パネル３０の外形よりも小さな開口（図示省略）が形成されている。また、載置台１６の下側には、上述した清掃装置２０と清掃装置移動装置２２と同様の構成の清掃装置６６および清掃装置移動装置６８が配設されている。つまり、載置台１６に載置された液晶パネル３０の上面側だけでなく、下面側をも清掃可能とされている。
【００３１】
この検査システム６０においても、前述した検査システム１０と同様の検査方法が行われるが、清掃工程においては、点灯不良が検出された箇所の上面側と下面側との両面の清掃が行われるようになっている。
【００３２】
また、図６に示す液晶パネル検査システム７０は、液晶パネル３０に１対の偏光板３２ａ，３２ｂが取り付けられた状態のものに対して、液晶パネル３０の検査を行うためのものである。つまり、図５に示した検査システム６０に対して、１対の仮偏光板６４ａ，６４ｂを取り除いたものとなっている。
【００３３】
さらに、図７に示す液晶パネル検査システム８０は、図５に示した検査システム６０とほぼ同様の構成であるが、清掃装置が異なるものとなっている。図７に示す検査システム８０が備える清掃装置８２は、ローラ８２ａを主体とするものであり、そのローラ８２ａが、Ｘ方向に延びる軸線まわりに回転可能に保持されるとともに、昇降可能とされている。そのローラ８２ａは、その長さが液晶パネル３０の幅より長くされている。そして、清掃装置移動装置８４は、清掃装置８２をＹ方向に移動させるものとされている。つまり、清掃装置移動装置８４によって清掃装置８４をＹ方向に移動させることで、ローラ８２ａが液晶パネル３０上を転動して清掃するようになっている。ちなみに、清掃装置は、本明細書に記載したスティック型のもの、ローラ型のものに限定されず、エアで吹き飛ばす構成のもの、超音波やプラズマを用いる構成のもの等、異物の除去や汚れの拭き取りができる種々のものを採用可能である。
【実施例２】
【００３４】
次に、第２実施例の液晶パネル検査システム９０を、図８（ａ）に示す。第１実施例の検査システム１０は、清掃機能付き検査装置とされていたが、第２実施例の検査システム９０は、２台の検査装置である第１検査装置９２ａ，第２検査装置９２ｂと、清掃装置９４とを含んで構成される。また、本検査システム９０は、さらに、それら２台の検査装置９２ａ，９２ｂおよび清掃装置９４の間で、検査対象物（図８においては液晶モジュールＭ）を移動させるための回転台９６を含んで構成される。
【００３５】
回転台９６は、載置部としての円盤状のテーブル９６ａに、複数の液晶モジュールＭ（図８においては、４つ）を等角度間隔で載置可能とされており、そのテーブル９６ａを水平面に沿って回転させることが可能とされている。上記の２台の検査装置９２ａ，９２ｂおよび清掃装置９４は、テーブル９６ａを囲むように、第１検査装置９２ａ，清掃装置９４，第２検査装置９２ｂの順で配置されている。つまり、テーブル９６ａを、液晶モジュールＭが載置された角度間隔分だけ回転させることで、１つの液晶モジュールＭを、第１検査装置９２ａ，清掃装置９４，第２検査装置９２ｂの順で、それらの装置の作業位置に位置させる。そして、本検査システム９０は、第１検査装置９２ａによって点灯不良検出工程を行い、清掃装置９４によって清掃工程を行い、第２検査装置９２ｂによって欠陥検出工程を行うようになっている。つまり、本検査システム９０においては、３つの液晶モジュールＭに対して、点灯不良検出工程，清掃工程，欠陥検出工程を同時に行うことが可能とされているのである。なお、本検査システム９０においては、２つの検査装置９２ａａ，９２ｂの間で、清掃装置９４と対向する位置において、検査を行う液晶モジュールＭの搬入と、検査が完了した液晶モジュールＭの搬出とが行われる。
【００３６】
以上述べたように、第２実施例の液晶パネル検出システム９０は、点灯不良検出工程，清掃工程，欠陥検出工程を同時に行うことが可能とされているため、液晶パネル３０の検査を効率的に行うことが可能とされている。
【００３７】
また、図８（ｂ）に示す液晶パネル検査システム１００のように、検査装置９２を１台としてもよい。この検査システム１００は、１台の検査装置９２によって、点灯不良検出工程あるいは欠陥検出工程のいずれかを行うようにされており、それら点灯不良検出工程あるいは欠陥検出工程のいずれかと、清掃工程とを同時に行うことが可能とされている。また、図８に示す検査システム９０，１００は、回転台９６によって検査対象物を回転させて移動させるように構成されていたが、検出装置と清掃装置とを隣接させるように配置して、検査対象物をコンベア装置等によって直線的に移動させるような構成の検査システムとすることも可能である。
【符号の説明】
【００３８】
１０…表示パネル検査システム、１２…検査装置、１６…載置台、１８…カメラ、２０…清掃装置、２０ａ…清掃ヘッド、２０ｂ…清掃冶具（清掃スティック）、２２：清掃装置移動装置、２４…制御装置、３０：液晶パネル、３２ａ，３２ｂ…偏光板、３４…バックライト、６０…液晶パネル検査システム、６２：照光装置、６４ａ，６４ｂ…１対の仮偏光板、６６：清掃装置、６８：清掃装置移動装置、７０…液晶パネル検査システム、８０…液晶パネル検査システム、８２…清掃装置、８２ａ…ローラ、８４…清掃装置移動装置、９０…液晶パネル検査システム、９２…検査装置、９２ａ…第１検査装置、９２ｂ…第２検査装置、９４…清掃装置、９６：回転台、９６ａ…テーブル〔載置部〕
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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