(57)【要約】【課題】把持部が破れたことを検出できる把持ツールおよび把持システムを提供する。【解決手段】実施形態に係る把持ツールは、把持部と、検出器と、ポンプユニットと、制御部と、を備える。前記把持部の内部には、粉粒体が設けられる。前記把持部は、可撓性を有する。前記ポンプユニットは、前記内部と接続される。前記制御部は、前記把持部をワークと第１接触させて動作させる第１動作と、前記把持部を前記ワークから離間して動作させる第２動作と、を実行する。前記制御部は、前記第２動作の少なくとも一部において、前記内部の圧力を前記把持部の外部の圧力と異ならせる。【選択図】図１
2019206082.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に粉粒体が設けられ、可撓性を有する把持部と、
前記内部と接続され、圧力または気体の流量を検出する検出器と、
前記内部と接続されたポンプユニットと、
制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記把持部をワークと接触させて動作させる第１動作と、
前記把持部を前記ワークから離間して動作させる第２動作と、
を実行し、
前記制御部は、前記第２動作の少なくとも一部において、前記内部の圧力を前記把持部の外部の圧力と異ならせる把持ツール。
【請求項２】
前記制御部は、前記第２動作の前記少なくとも一部において、前記内部の圧力を、前記外部の圧力よりも低くする請求項１記載の把持ツール。
【請求項３】
前記検出器は、気体の流量を検出する請求項１または２に記載の把持ツール。
【請求項４】
前記制御部は、前記流量が閾値を超えた場合に、前記把持部を停止させる請求項３記載の把持ツール。
【請求項５】
前記制御部は、前記流量が閾値を超えた場合に、前記把持部を所定の場所に移動させる請求項３記載の把持ツール。
【請求項６】
前記制御部は、前記流量が閾値を超えた場合に、通知を発する請求項３〜５のいずれか１つに記載の把持ツール。
【請求項７】
前記第１動作は、前記ワークの把持、前記ワークの搬送、および前記ワークの解放の少なくともいずれかを含む請求項１〜６のいずれか１つに記載の把持ツール。
【請求項８】
前記第２動作は、
前記把持部をワークから遠ざける第１移動動作、
前記第１移動動作における前記把持部の移動方向と交差する方向に前記把持部を移動させる第２移動動作、および
前記把持部をワークに近づける第３移動動作、
の少なくともいずれかを含む請求項１〜７のいずれか１つに記載の把持ツール。
【請求項９】
前記把持部は、ワークに接触する第１部分と、前記第１部分と対向する第２部分と、前記第１部分と前記第２部分との間に設けられた前記粉粒体と、を有し、
前記第１部分は、
前記第１部分から前記第２部分に向かう第１方向に窪んだ凹部と、
前記凹部の周りに設けられ、前記第１方向と反対の第２方向に突出した凸部と、
を有し、
前記粉粒体は、前記凸部と前記第２部分との間に設けられた請求項１〜８のいずれか１つに記載の把持ツール。
【請求項１０】
アームを有するロボット機構と、
前記アームの先端に取り付けられた、請求項１〜９のいずれか１つに記載の前記把持ツールと、
を備えた把持システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、把持ツールおよび把持システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
内部に粉粒体が設けられた把持部を備える把持ツールがある。この把持ツールにおいて、把持部が破れ、内部の粉粒体が周りに散乱すると、把持ツールの修復だけでなく、把持ツールの周囲の清掃も必要となり、作業効率を大きく低下させる。
このため、把持ツールにおいて、把持部が破れた際には、そのことを検出でき、粉粒体の散乱を抑制できることが望まれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特表２０１３−５２３４７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明が解決しようとする課題は、把持部が破れたことを検出できる把持ツールおよび把持システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態に係る把持ツールは、把持部と、検出器と、ポンプユニットと、制御部と、を備える。前記把持部の内部には、粉粒体が設けられる。前記把持部は、可撓性を有する。前記ポンプユニットは、前記内部と接続される。前記制御部は、前記把持部をワークと接触させて動作させる第１動作と、前記把持部を前記ワークから離間して動作させる第２動作と、を実行する。前記制御部は、前記第２動作の少なくとも一部において、前記内部の圧力を前記把持部の外部の圧力と異ならせる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】実施形態に係る把持ツールを表す斜視断面図である。
【図２】実施形態に係る把持ツールの把持部を表す斜視断面図である。
【図３】実施形態に係る把持ツールの構成を表す模式図である。
【図４】実施形態に係る把持ツールの動作を表す断面図である。
【図５】実施形態に係る把持ツールの動作を表す断面図である。
【図６】実施形態に係る把持ツールの把持メカニズムを表す断面図である。
【図７】実施形態の変形例に係る把持ツールを表す斜視断面図である。
【図８】実施形態に係る把持システムの構成を表す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下に、本発明の各実施形態について図面を参照しつつ説明する。
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
また、本願明細書と各図において、既に説明したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【０００８】
図１は、実施形態に係る把持ツール１を表す斜視断面図である。
実施形態に係る把持ツール１は、可撓性を有する把持部１０を備える。把持部１０の内部には、粉粒体１５が設けられている。
【０００９】
具体的には、把持部１０は、把持対象のワークに接触する第１部分１１と、第１部分１１と対向する第２部分１２と、を有する。第１部分１１および第２部分１２は、シリコーン樹脂、ゴム材料、またはアクリル樹脂などの可撓性を有する材料で構成される。粉粒体１５は、第１部分１１と第２部分１２との間の第１空間ＳＰ１に設けられている。把持部１０は、第１部分１１と第２部分１２とが、例えば、接着剤を介して接合されて構成されている。第１部分１１と第２部分１２とは、熱圧着により接合されていてもよい。
【００１０】
第１部分１１の外周および第２部分１２の外周は、保持部２０によって保持されている。これにより第１空間ＳＰ１が、外部の空間と隔てられる。保持部２０は、例えば円環状である。保持部２０によって把持部１０の外周のみが保持されることで、把持部１０は、保持部２０の内側において第１部分１１と第２部分１２とを結ぶ線方向に変形することができる。
【００１１】
第１部分１１と第２部分１２とを結ぶ線方向は、例えば、上下方向（鉛直方向）に沿う。第１部分１１と第２部分１２とを結ぶ線方向は、第１部分１１から第２部分１２に向かう第１方向（上方）と、第２部分１２から第１部分１１に向かう第２方向（下方）と、を含む。以下では、第１部分１１と第２部分１２との位置関係に基づくこれらの「上下方向」「上方」「下方」を用いて、各実施形態の説明を行う。
【００１２】
一例として、保持部２０は、第１フランジ２１および第２フランジ２２を有する。第１フランジ２１は、第１部分１１の外周下面に当接し、第２フランジ２２は、第２部分１２の外周上面に当接する。第１フランジ２１と第２フランジ２２を、ネジ等の締結具２３によって締結することで、把持部１０が保持される。
【００１３】
例えば、保持部２０は、連結部材２５を介して、駆動部９０に連結されている。駆動部９０は、アクチュエータ等を有し、後述する制御部８０から送られる信号に基づき動作する。駆動部９０と連結部材２５との間に、さらに他の部材が連結されていても良い。駆動部９０が動作することで、把持部１０が水平方向または鉛直方向に移動する。
【００１４】
図２は、実施形態に係る把持ツール１の把持部１０を表す斜視断面図である。
図２では、把持部１０の第１部分１１と第２部分１２が、分離して表されている。
【００１５】
図２に表すように、第１部分１１は、凹部１１ｒおよび凸部１１ｐを有する。凹部１１ｒは、上方に向けて窪んでおり、把持部１０の中心側に設けられている。凸部１１ｐは、下方に向けて突出しており、凹部１１ｒの周りに設けられている。凸部１１ｐと凹部１１ｒは、連続している。
【００１６】
凹部１１ｒの上面は第２部分１２と接し、凸部１１ｐは第２部分１２と上下方向において離間している。図１および図２に例示した把持ツール１では、第１空間ＳＰ１は、凸部１１ｐと第２部分１２との間に形成される。
【００１７】
第１部分１１の下方には、凹部１１ｒおよび凸部１１ｐによって囲まれた第２空間ＳＰ２が形成される。具体的には、第２空間ＳＰ２の上方が凹部１１ｒによって覆われており、第２空間ＳＰ２の側方が凸部１１ｐによって囲まれている。第２空間ＳＰ２の下方は開けている。後述するように、把持対象のワークが第２空間ＳＰ２の下方に位置することで、第２空間ＳＰ２が外部空間に対して塞がれる。
【００１８】
図１および図２に表すように、把持部１０は、第１ポート３１および第２ポート３２をさらに有する。第１ポート３１は、第１空間ＳＰ１と連通している。第２ポート３２は、第１部分１１の凹部１１ｒおよび第２部分１２を貫通し、第２空間ＳＰ２と連通している。第１ポート３１には、第１空間ＳＰ１を減圧するための第１配管４１が接続される。第２ポート３２には、第２空間ＳＰ２を減圧するための第２配管４２が接続される。
【００１９】
図３は、実施形態に係る把持ツール１の構成を表す模式図である。
把持ツール１は、検出器およびポンプユニット７０をさらに備える。図３に表した例では、第１検出器６１および第２検出器６２の２つの検出器が、ポンプユニット７０と一体に設けられている。
【００２０】
ポンプユニット７０は、例えば、第１検出器６１、第２検出器６２、第１ポンプ７１、第２ポンプ７２、圧力調整弁７３、切替バルブ７４、バルブ７５、および圧力計７６を有する。
【００２１】
バルブ７５および圧力計７６は、通気路Ｐ１に設けられている。通気路Ｐ１の少なくとも一部は、第１配管４１で構成されている。圧力計７６は、第１空間ＳＰ１とバルブ７５との間に設けられている。バルブ７５は、切替バルブ７４と圧力計７６との間に設けられている。通気路Ｐ１は、例えば、切替バルブ７４によって、通気路Ｐ２と通気路Ｐ３に分岐されている。
【００２２】
第１ポンプ７１は、通気路Ｐ２と接続されている。第１検出器６１は、通気路Ｐ２上に設けられ、第１ポンプ７１と切替バルブ７４との間に設けられている。
第２ポンプ７２は、通気路Ｐ３と接続されている。第２検出器６２および圧力調整弁７３は、通気路Ｐ３上に設けられている。圧力調整弁７３は、第２ポンプ７２と切替バルブ７４との間に設けられ、第２検出器６２は、圧力調整弁７３と切替バルブ７４との間に設けられている。
【００２３】
例えば、第１ポンプ７１は、通気路Ｐ１および通気路Ｐ２を通して空気を吸引し、第１空間ＳＰ１を減圧する。第１検出器６１は、通気路Ｐ２における流量を検出する。
例えば、第２ポンプ７２は、外部から吸気して通気路Ｐ１および通気路Ｐ３に空気を送り、第１空間ＳＰ１を加圧する。第２検出器６２は、通気路Ｐ３における流量を検出する。圧力調整弁７３は、第２ポンプ７２から加えられる圧力を調整する。
【００２４】
第１検出器６１および第２検出器６２としては、電磁式流量計、カルマン渦式流量計、羽根車式流量計、浮き子式流量計、熱式流量計、ダイヤフラム式流量計、超音波式流量計、コリオリ式流量計などを用いることができる。
圧力計７６としては、ブルドン管圧力計、ダイヤフラム式圧力計、ベロー圧力計、または液柱圧力計などを用いることができる。
【００２５】
第１検出器６１および第２検出器６２は、圧力計であっても良い。この場合、第１検出器６１は、通気路Ｐ２における圧力を検出する。第２検出器６２は、通気路Ｐ３における圧力を検出する。第１検出器６１および第２検出器６２としては、圧力計７６と同様に、ブルドン管圧力計、ダイヤフラム式圧力計、ベロー圧力計、または液柱圧力計を用いることができる。
【００２６】
切替バルブ７４は、不図示の電磁弁、電動弁、電子式流量調整弁、および定流量弁等を有する。切替バルブ７４により、通気路Ｐ１と、通気路Ｐ２およびＰ３の一方と、が接続される。切替バルブ７４により、第１空間ＳＰ１が減圧される状態と、第１空間ＳＰ１が加圧される状態と、が切り替えられる。バルブ７５の開閉により、通気路Ｐ１を気体が流れる状態と、通気路Ｐ１を気体が流れない状態と、が切り替えられる。圧力計７６は、通気路Ｐ１における圧力を検出する。
【００２７】
ポンプユニット７０の各構成要素の動作は、制御部８０により制御される。制御部８０は、第１検出器６１、第２検出器６２、ポンプユニット７０、および駆動部９０と電気的に接続されている。第１検出器６１、第２検出器６２、および圧力計７６における検出結果は、制御部８０に送信される。制御部８０は、これらの検出結果に基づき、ポンプユニット７０の各構成要素の動作および駆動部９０の動作を制御する。
【００２８】
図４及び図５は、実施形態に係る把持ツール１の動作を表す断面図である。
図４及び図５は、把持ツール１により、球状のワークが把持される例を表している。把持ツール１では、制御部８０により、図４に表した第１動作と、図５に表した第２動作と、が実行される。第１動作は、把持部１０がワークに接触した状態で行われる動作である。第２動作は、把持部１０がワークから離間した状態で行われる動作である。
【００２９】
例えば、把持部１０は、ワークＷ１よりも上方に位置している。まず、把持部１０の水平方向における位置とワークＷ１の水平方向における位置と、を合わせる。次に、把持部１０をトレイＴ１の上に配されたワークＷ１に向けて下降させる。図４（ａ）に表したように、把持部１０（第１部分１１）をワークＷ１に接触させる。なお、把持部１０がワークＷ１に接触するまでの上述した動作は、第２動作に含まれる。
【００３０】
把持部１０は、可撓性を有する。このため、把持部１０がワークＷ１に接触した際、把持部１０がワークＷ１の形状に沿って変形する。また、このとき、開けていた第２空間ＳＰ２が、ワークＷ１によって塞がれる。続いて、第１ポート３１を通して第１空間ＳＰ１を減圧する。第１空間ＳＰ１は、例えば０．１気圧程度に減圧される。これにより、図４（ｂ）に表したように、第１空間ＳＰ１の粉粒体１５が凝集して固化する。
【００３１】
次に、第２ポート３２を通して第２空間ＳＰ２を減圧する。第２空間ＳＰ２は、例えば０．１気圧程度に減圧される。これにより、ワークＷ１が、第２空間ＳＰ２に向けて吸着され、ワークＷ１が把持される。図４（ｃ）に表したように、把持部１０を上昇させ、ワークＷ１をトレイＴ１から持ち上げる。
【００３２】
例えば、図４（ｄ）に表したように、把持部１０を水平方向に移動させる。図４（ｅ）に表したように、把持部１０の水平方向における位置と、ワークＷ１が搬送される場所の水平方向における位置と、を合わせる。この例では、ワークＷ１は、別のトレイＴ２の上に搬送される。図４（ｆ）に表したように、把持部１０を下降させ、ワークＷ１をトレイＴ２の上に接触させる。その後、第１空間ＳＰ１および第２空間ＳＰ２を大気開放することで把持力が無くなる。これにより、把持部１０からワークＷ１が解放され、ワークＷ１がトレイＴ２の上に載置される。
【００３３】
ワークＷ１をトレイＴ２の上に載置した後、第２動作が開始される。まず、図５（ａ）に表したように、把持部１０を上昇させ、ワークＷ１から遠ざける（第１移動動作）。次に、図５（ｂ）に表したように、把持部１０を移動させる（第２移動動作）。例えば、第２移動動作において、把持部１０は、別のワークＷ２に向けて移動する。第２移動動作における把持部１０の移動方向は、例えば、第１移動動作における把持部１０の移動方向と交差する方向である。続いて、図５（ｃ）に表したように、把持部１０とワークＷ２の位置合わせを行う。位置合わせが完了すると、図５（ｄ）に表したように、把持部１０をワークＷ２に向けて近づける（第３移動動作）。
【００３４】
その後は、図４（ａ）〜図４（ｆ）に表した第１動作が同様に実行され、ワークＷ２の搬送が行われる。
【００３５】
制御部８０は、ポンプユニット７０を駆動させ、上述した第２動作の少なくとも一部において、把持部１０内部の第１空間ＳＰ１の圧力（以下、内部圧力という）を、把持部１０外部の圧力（以下、外部圧力という）と異ならせる。
【００３６】
例えば、制御部８０は、第２動作の少なくとも一部において、内部圧力を外部圧力よりも低くする。この場合、把持部１０が別のワークに接触する際に、把持部１０内部が大気開放されても良い。これにより、把持部１０がワークの形状に沿って変形し易くなる。
または、制御部８０は、第２動作の少なくとも一部において、内部圧力を外部圧力よりも高くする。例えば、ワークを所定の位置に搬送した後、把持部１０が減圧された状態から内部圧力を高め、把持部１０からワークを放すとともに、内部圧力を外部圧力よりも高くしても良い。
【００３７】
図６は、実施形態に係る把持ツール１の把持メカニズムを表す断面図である。
図６では、把持ツール１の把持部１０が一部簡略化して表されている。
【００３８】
実施形態に係る把持ツール１では、図６（ａ）に表すように、把持部１０の外周が保持部２０によって保持されている。従って、図６（ｂ）に表すように、把持部１０をワークＷに接触させた際に、把持部１０がワークＷに対して上方に向けて変形することができる。
【００３９】
この状態で、第１ポート３１および第２ポート３２を通して吸気することで、図６（ｃ）に表すように、把持部１０がさらにワークＷに対して上方に向けて変形しつつ、把持部１０とワークＷとの接触面積が増加していく。
【００４０】
このように、把持部１０が、ワークＷに対して上方に向けて変形可能に保持されることで、把持部１０によってワークＷを把持した際の把持力を高めることができる。
【００４１】
本実施形態の効果を説明する。
把持部１０がワークを把持する際に、把持部１０とワークとの摩擦や、ワーク表面の凹凸等により、把持部１０が損傷する可能性がある。把持部１０が損傷し、破れると、把持部１０内部の粉粒体１５が散乱する。この結果、把持部１０の修復に加え、散乱した粉粒体１５の清掃等も必要となり、作業効率が低下する。
【００４２】
把持部１０がワークに接触した状態では、把持部１０が破れた場合でも、ワークにより把持部１０からの粉粒体１５の流出が抑えられる。これに対して、把持部１０がワークから離れた状態で把持部１０が破れると、より多くの粉粒体１５が把持部１０から流出し、散乱する可能性がある。
【００４３】
実施形態に係る把持ツール１では、第１空間ＳＰ１に接続された、第１検出器６１および第２検出器６２などの検出器が設けられている。そして、制御部８０は、第２動作の少なくとも一部において、内部圧力を外部圧力と異ならせる。第２動作中に、把持部１０が破れたり、穴が開いたりして異常が生じた際には、第１空間ＳＰ１および通気路Ｐ１における圧力または流量が変化する。従って、検出器によって圧力または流量を検出することで、把持部１０の異常を検出することが可能となる。第２動作時に把持部１０の異常が検出されることで、例えば、把持部１０の破れや穴をより早く塞ぎ、粉粒体１５の散乱を抑制することが可能となる。
【００４４】
内部圧力が外部圧力と異なっていれば、内部圧力は、外部圧力よりも高くても良いし、低くても良い。内部圧力が外部圧力よりも高い場合でも、上述した通り、把持部１０の異常を検出することで粉粒体１５の散乱を抑制できる。ただし、内部圧力が外部圧力よりも高い場合、把持部１０に異常が生じた際に、把持部１０の内部から外部に気体が流れる。この気体の流れにより、粉粒体１５の流出が一時的に促進される可能性がある。
これに対して、内部圧力が外部圧力よりも低い場合、把持部１０に異常が生じた際に、把持部１０の外部から内部に気体が流れる。この気体の流れにより、粉粒体１５の流出が抑制される。従って、第２動作の少なくとも一部において、内部圧力は、外部圧力よりも低いことが望ましい。
【００４５】
検出器は、圧力および流量のいずれかを検出するものであれば良い。ただし、より好ましくは、検出器は、流量計である。流量の変化の方が、圧力の変化よりも高精度に検出できるためである。従って、内部圧力と外部圧力との差が小さい場合でも、把持部１０の異常をより高精度に検出することが可能となる。
【００４６】
制御部８０は、検出器で検出された圧力または流量を、予め設定された閾値と比較する。
例えば、検出器が圧力計であり、第２動作の少なくとも一部において把持部１０内部が加圧される場合、制御部８０は、検出された圧力が閾値を下回ると、把持部１０に異常が生じたと判定する。第２動作において把持部１０内部が減圧される場合は、制御部８０は、検出された圧力が閾値を超えると、把持部１０に異常が生じたと判定する。
または、検出器が流量計である場合、制御部８０は、検出された流量が閾値を超えると、把持部１０に異常が生じたと判定する。
【００４７】
制御部８０は、圧力の変化または流量の変化を、予め設定された閾値と比較しても良い。例えば、所定の期間内における圧力または流量の変化を、予め設定された閾値と比較する。圧力または流量の変化が閾値を超えている場合、把持部１０に異常が生じたと判定する。
【００４８】
閾値は、過去の検出器による検出結果に基づいて設定されても良い。例えば、ある期間における圧力または流量の平均値に、所定の値を加えたものを閾値として用いても良い。この方法によれば、時間の経過による把持部１０やポンプユニット７０の特性の変化に応じて閾値が変化するため、把持部１０の異常をより高精度に検出することが可能となる。
【００４９】
把持部１０に異常が生じた場合、制御部８０は、例えば、把持部１０を停止させる。把持部１０が停止することで、粉粒体１５の把持部１０からの流出を抑制できる。
または、制御部８０は、把持部１０を所定の位置まで移動させる。例えば、粉粒体１５を受けるトレイ等が設けられた場所に把持部１０を移動させることで、粉粒体１５が作業現場の床や設備などに散乱することを抑制できる。
あるいは、制御部８０は、把持ツール１の管理者等に向けて通知を発する。通知が発せられることで、管理者が、把持部１０に異常が生じたことをより早く知ることができる。制御部８０は、通知を発するとともに、上記の把持部１０の停止または移動を行っても良い。
【００５０】
図７は、実施形態の変形例に係る把持ツール２を表す斜視断面図である。
把持ツール２は、把持ツール１と比べて、把持部１０の形状が異なり、第２ポート３２を有していない。このため、把持ツール２は、把持部１０をワークに接触させ、固化させることで、ワークを把持する。
【００５１】
この把持ツール２においても、把持ツール１と同様、第２動作時に内部圧力を外部圧力と異ならせることで、第２動作時における把持部１０の異常を検出できる。
このように、把持部１０内部に粉粒体１５が設けられていれば、本実施形態は、図１および図２に表した把持ツールに限らず、構成の異なる他の把持ツールにも適用することが可能である。
【００５２】
図８は、実施形態に係る把持システム３を表す模式図である。
実施形態に係る把持システム３は、把持ツール１、ポンプユニット７０、ポンプユニット７０ａ、制御部８０、および搬送ロボット（駆動部）９０を備える。
【００５３】
搬送ロボット９０は、アーム９０ａを有する。アーム９０ａは、例えば複数の関節を有し、先端に把持ツール１が取り付けられている。搬送ロボット９０は、制御部８０からの指令に従ってアーム９０ａを動作させ、ワークＷの把持および搬送を行う。
【００５４】
ポンプユニット７０は、図１に表した把持ツール１の第１配管４１と接続される。ポンプユニット７０ａは、把持ツール１の第２配管４２と接続される。制御部８０からの指令に従ってポンプユニット７０および７０ａが駆動することで、第１空間ＳＰ１および第２空間ＳＰ２が減圧されたり、大気開放されたりする。
【００５５】
制御部８０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）や、ＲＯＭ（Read Only Memory）、不揮発性のフラッシュメモリなどを有する。ＣＰＵでは、制御部８０における各種演算処理が実行される。ＲＯＭには、把持システム３の動作に必要な各種制御アリゴリズムや各種定数等が記憶される。フラッシュメモリには、ワークＷの搬送手順や、搬送状況等が適宜記憶して保存される。
【００５６】
制御部８０は、フラッシュメモリに記憶されている搬送手順に従って、ポンプユニット７０、ポンプユニット７０ａ、および搬送ロボット９０に指令を送出し、これらの動作を制御する。
【００５７】
把持システム３が、把持性能の高い把持ツール１を備えることで、ワークＷをより確実に把持し、搬送することが可能となる。なお、把持システム３は、把持ツール１に代えて、把持ツール２を備えていても良い。把持システム３が把持ツール２を備える場合、把持システム３は、ポンプユニット７０ａを備えていなくても良い。
【００５８】
以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。
【符号の説明】
【００５９】
１、２ 把持ツール、  ３ 把持システム、  １０ 把持部、  １１ 第１部分、  １１ｐ 凸部、  １１ｒ 凹部、  １２ 第２部分、  １５ 粉粒体、  ２０ 保持部、  ３１ 第１ポート、  ３２ 第２ポート、  ４１ 第１配管、  ４２ 第２配管、  ６１ 第１検出器、  ６２ 第２検出器、  ７０、７０ａ ポンプユニット、  ７１ 第１ポンプ、  ７２ 第２ポンプ、  ７３ 圧力調整弁、  ７４ 切替バルブ、  ７５ バルブ、  ７６ 圧力計、  ８０ 制御部、  ９０ 搬送ロボット（駆動部）、  Ｐ１〜Ｐ３ 通気路、  ＳＰ１ 第１空間、  ＳＰ２ 第２空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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