(57)【要約】【課題】可飽和吸収体が破壊される程度に高強度のレーザー光を可飽和吸収体に透過させて得られる透過光を適切に測定する。【解決手段】透過光測定装置１００は、１０１３Ｗ／ｃｍ２以上の強度のレーザー光を発振するレーザー発振器１１０と、可飽和吸収体を含み、レーザー発振器１１０から発振されたレーザー光ＬＡの光路上に位置させる照射面を有する可飽和吸収部と、照射面と光路とを相対移動させる移動部とを有する光学装置１３０と、可飽和吸収部を透過したレーザー光を測定するレーザーパワーメーター１４０とを備える。【選択図】図１
2019078580.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１０１３Ｗ／ｃｍ２以上の強度のレーザー光を発振するレーザー発振器と、
可飽和吸収体を含み、前記レーザー発振器から発振されたレーザー光の光路上に位置させる照射面を有する可飽和吸収部と、
前記照射面と前記光路とを相対移動させる移動部と、
前記可飽和吸収部を透過したレーザー光を測定するレーザーパワーメーターと、
を備える透過光測定装置。
【請求項２】
前記移動部は、前記光路の延在方向と交差する第１の方向と、前記光路の延在方向および前記第１の方向と交差する第２の方向とに、前記照射面と前記光路とを相対移動させる請求項１に記載の透過光測定装置。
【請求項３】
前記可飽和吸収体は、カーボンナノウォールおよびカーボンナノチューブの一方または両方であり、
前記可飽和吸収部は、ポリイミドおよびポリメタクリル酸メチルの一方または両方の樹脂と、前記樹脂中に配された前記可飽和吸収体とを含む請求項１または２に記載の透過光測定装置。
【請求項４】
可飽和吸収体を含み、１０１３Ｗ／ｃｍ２以上の強度のレーザー光の光路上に位置させる照射面を有する可飽和吸収部と、
前記照射面と前記光路とを相対移動させる移動部と、
を備える光学装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、可飽和吸収体を透過した透過光を測定する透過光測定装置、および、光学装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、レーザー出力装置によって出力されるレーザー光のパルス幅を短くするために、レーザー出力装置には可飽和吸収体（ＳＡ：Saturable Absorber）が設けられている。レーザー出力装置において、可飽和吸収体は、レーザー発振器によって発振されたレーザー光の光路上に配される。可飽和吸収体は、所定の飽和値未満の強度の入射光を吸収するが、飽和値以上の強度の入射光を透過する。したがって、可飽和吸収体は、レーザー発振器によって発振された１パルスのレーザー光のうち、飽和値以上となる中央部分のみを透過し、中央部分以外を吸収して透過させない。このため、可飽和吸収体を透過したレーザー光（透過光）のパルス幅は、入射光より短くなる。可飽和吸収体として、半導体や、カーボンナノチューブ、カーボンナノウォールが用いられている（例えば、非特許文献１）。
【０００３】
可飽和吸収体は、組成や厚み（可飽和吸収体を通過する光の光路長）によって、一義的に飽和値が決定される。このため、レーザー出力装置に組み込まれた可飽和吸収体自体を取り替えない限り、出力されるレーザー光（透過光）のパルス幅を調整することはできない。
【０００４】
そこで、可飽和吸収体を三角柱形状とし、可飽和吸収体を光路と直交する方向に一次元的に移動させることで、可飽和吸収体を通過するレーザー光の光路長を変化させてパルス幅を調整するレーザー出力装置が開発されている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第４５７３６４４号公報
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】Q-switched fiber laser based on carbon nano wall saturable absorber, Proc. SPIE 9361, Ultrafast Phenomena and Nanophotonics XIX, 936104 (March 14, 2015)
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
パルスレーザーの透過光を解析する場合、レーザーパワーメーターを用いる。ただし、レーザーパワーメーターの応答時間は数秒程度である。一方、１パルスの透過光の存在時間は１ピコ秒（１０−１２秒）に満たないため、１パルスの透過光をレーザーパワーメーターで測定することはできない。このため、レーザーパワーメーターにおいては、複数パルス（１０１１パルス以上）の透過光を積算して、強度、エネルギー密度、波長等の測定を行う。
【０００８】
ところで、近年、上記特許文献１のレーザー出力装置のレーザー発振器が発振するレーザー光より高強度であり、可飽和吸収体が破壊される程度のレーザー光を可飽和吸収体に透過させ、透過光で材料を加工したいという要望がある。この場合、材料の加工程度を決定するために、透過光の解析を要する。
【０００９】
しかし、可飽和吸収体におけるレーザー光の照射箇所は、１パルスのレーザー光を照射しただけで破壊されてしまう。このため、次回の照射では、破壊された箇所にレーザー光が照射されるため、可飽和吸収体の透過光ではなく、発振されたレーザー光がそのままレーザーパワーメーターに到達することになる。したがって、レーザーパワーメーターにおいて透過光の積算ができず、透過光のみを測定できないという問題があった。
【００１０】
本開示は、可飽和吸収体が破壊される程度に高強度のレーザー光を可飽和吸収体に透過させて得られる透過光を適切に測定することが可能な透過光測定装置および光学装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本開示の一態様に係る透過光測定装置は、１０１３Ｗ／ｃｍ２以上の強度のレーザー光を発振するレーザー発振器と、可飽和吸収体を含み、前記レーザー発振器から発振されたレーザー光の光路上に位置させる照射面を有する可飽和吸収部と、前記照射面と前記光路とを相対移動させる移動部と、前記可飽和吸収部を透過したレーザー光を測定するレーザーパワーメーターと、を備える。
【００１２】
また、前記移動部は、前記光路の延在方向と交差する第１の方向と、前記光路の延在方向および前記第１の方向と交差する第２の方向とに、前記照射面と前記光路とを相対移動させてもよい。
【００１３】
また、前記可飽和吸収体は、カーボンナノウォールおよびカーボンナノチューブの一方または両方であり、前記可飽和吸収部は、ポリイミドおよびポリメタクリル酸メチルの一方または両方の樹脂と、前記樹脂中に配された前記可飽和吸収体とを含んでもよい。
【００１４】
上記課題を解決するために、本開示の一態様に係る光学装置は、可飽和吸収体を含み、１０１３Ｗ／ｃｍ２以上の強度のレーザー光の光路上に位置させる照射面を有する可飽和吸収部と、前記照射面と前記光路とを相対移動させる移動部と、を備える。
【発明の効果】
【００１５】
可飽和吸収体が破壊される程度に高強度のレーザー光を可飽和吸収体に透過させて得られる透過光を適切に測定することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】透過光測定装置を説明する図である。
【図２】光学装置を説明する図である。
【図３】可飽和吸収部を説明する図である。
【図４】移動部による可飽和吸収部の移動方向を説明する図である。
【図５】変形例の光学装置を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に添付図面を参照しながら、本開示の一実施形態について詳細に説明する。かかる実施形態に示す寸法、材料、その他具体的な数値等は、理解を容易とするための例示にすぎず、特に断る場合を除き、本開示を限定するものではない。なお、本明細書および図面において、実質的に同一の機能、構成を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。また本開示に直接関係のない要素は図示を省略する。
【００１８】
（透過光測定装置１００）
図１は、透過光測定装置１００を説明する図である。図１に示すように、透過光測定装置１００は、レーザー発振器１１０と、ビームスプリッタ１２０と、光学装置１３０と、レーザーパワーメーター１４０と、制御部１５０とを含んでいる。なお、図１中、レーザー光を実線の矢印で示し、信号の流れを破線の矢印で示す。
【００１９】
レーザー発振器１１０は、１０１３Ｗ／ｃｍ２以上の強度のレーザー光を発振する。また、レーザー発振器１１０は、１０−１２秒未満のパルス幅でレーザー光（パルスレーザー）を発振する。より好ましくは、レーザー発振器１１０は、フェムト秒（１０−１５秒）やアト秒（１０−１８秒）のパルス幅でレーザー光を発振する。
【００２０】
レーザー光の強度（Ｗ／ｃｍ２）は、下記式（１）から算出することができる。
強度＝エネルギー密度（Ｊ／ｃｍ２）／パルス幅      …式（１）
したがって、レーザー発振器１１０は、１０（Ｊ／ｃｍ２）以上のエネルギー密度のレーザー光を発振するともいえる。
【００２１】
ビームスプリッタ１２０は、レーザー発振器１１０によって発振されたレーザー光を２分割する。以下、分割され、直進する一方のレーザー光をレーザー光ＬＡとし、直進する他方のレーザー光をレーザー光ＬＢとする。レーザー光ＬＡは、後述する可飽和吸収部に導かれ、レーザー光ＬＢは、後述するレーザーパワーメーター１４０に導かれる。なお、発振されたレーザー光の光量を１とした場合、レーザー光ＬＡの光量とレーザー光ＬＢの光量との和は理論上１となる。
【００２２】
光学装置１３０は、可飽和吸収部を含み、ビームスプリッタ１２０によって分割されたレーザー光ＬＡの光路上に可飽和吸収部を位置させる。
【００２３】
図２は、光学装置１３０を説明する図である。本実施形態の図２をはじめとする以下の図では、垂直に交わるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示の通り定義している。図２に示すように、光学装置１３０は、集光レンズ１３２と、可飽和吸収部１３４と、移動部１３６とを含んでいる。なお、図２中、レーザー光ＬＡを実線の矢印で示し、信号の流れを破線の矢印で示す。
【００２４】
集光レンズ１３２は、不図示の固定部によって、レーザー光ＬＡの光路（図２中Ｘ軸方向）上に配される。集光レンズ１３２は、レーザー光ＬＡを集光する。集光レンズ１３２は、例えば、凸レンズで構成される。
【００２５】
可飽和吸収部１３４は、図２中ＹＺ平面に延在した平板（シート）形状である。可飽和吸収部１３４は、図２中Ｘ軸方向の一方の面（照射面１３４ａ）が、集光レンズ１３２に対向するように後述する移動部１３６の保持部１３６ａに保持される。つまり、可飽和吸収部１３４は、照射面１３４ａが、集光レンズ１３２によって集光されたレーザー光ＬＡの光路上に位置するように移動部１３６に保持される。
【００２６】
図３は、可飽和吸収部１３４を説明する図である。具体的に説明すると、図３（ａ）は、可飽和吸収部１３４の斜視図である。図３（ｂ）は、可飽和吸収部１３４の断面図である。なお、図３（ｂ）中、レーザー光ＬＡを白抜き矢印で示す。
【００２７】
図３（ａ）、図３（ｂ）に示すように、可飽和吸収部１３４は、可飽和吸収体１６０と、囲繞部１６２とを含んでいる。可飽和吸収部１３４の厚み（図３（ａ）、図３（ｂ）中Ｘ軸方向の長さ）は、１μｍ〜１００μｍ程度である。
【００２８】
本実施形態において、可飽和吸収体１６０は、初期透過率が１０％未満（例えば、０％）の物質で構成される。可飽和吸収体１６０は、例えば、複数のカーボンナノウォールで構成される。カーボンナノウォールは、複数のグラフェンが積層されたものである。カーボンナノウォールの厚み（図３（ｂ）中Ｚ軸方向の長さ）は、例えば、１ｎｍ以上１００ｎｍ以下である。また、隣り合うカーボンナノウォール間の距離（図３（ｂ）中Ｚ軸方向の距離）は、例えば、１ｎｍ以上１０μｍ以下である。
【００２９】
囲繞部１６２は、可飽和吸収体１６０を囲繞する。つまり、可飽和吸収体１６０は、囲繞部１６２に埋め込まれている。囲繞部１６２は、１０１３Ｗ／ｃｍ２以上の強度のレーザー光に対する透過性および耐熱性を有する樹脂である。囲繞部１６２は、例えば、ポリイミドおよびポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）の一方または両方を含んでいる。囲繞部１６２がポリイミドを含むことにより、耐熱性を向上させることができる。また、囲繞部１６２がＰＭＭＡを含むことにより、とレーザー光の透過率を向上させることが可能となる。つまり、囲繞部１６２がポリイミドおよびＰＭＭＡを含むことにより、耐熱性および透過率を向上させることが可能となる。また囲繞部１６２を有することにより、可飽和吸収体１６０を平板形状に成形することができる。
【００３０】
図２に戻って説明すると、移動部１３６は、保持部１３６ａと、シャフト１３６ｂと、駆動部１３６ｃとを含んでいる。保持部１３６ａは、可飽和吸収部１３４を保持する。保持部１３６ａは、例えば、２つの枠体で構成され、枠体間に可飽和吸収部１３４が挟持される。シャフト１３６ｂは、保持部１３６ａに接続される。駆動部１３６ｃは、アクチュエーターで構成される。駆動部１３６ｃは、後述する制御部１５０による制御指令に従って、シャフト１３６ｂ、保持部１３６ａを介して、可飽和吸収部１３４を移動させる。
【００３１】
図４は、移動部１３６による可飽和吸収部１３４の移動方向を説明する図である。図４中、レーザー光ＬＡの光路の軌跡を破線の矢印で示す。
【００３２】
駆動部１３６ｃは、レーザー光ＬＡの光路の延在方向（図４中Ｘ軸方向）と直交する第１の方向（図４中Ｙ軸方向）に照射面１３４ａが移動するように（例えば、Ｙ軸方向の負の方に）、可飽和吸収部１３４を移動させる。また、駆動部１３６ｃは、レーザー光ＬＡの光路の延在方向および第１の方向と直交する第２の方向（図４中Ｚ軸方向）に、照射面１３４ａが移動するように、可飽和吸収部１３４を移動させる。具体的に説明すると、駆動部１３６ｃは、まず、可飽和吸収部１３４の照射面１３４ａの端部に光路が位置するように可飽和吸収部１３４を保持する（初期位置）。続いて、駆動部１３６ｃは、Ｙ軸方向の負の方に、可飽和吸収部１３４を所定の距離Ｓａ分移動させる。距離Ｓａは、例えば、可飽和吸収部１３４のＹ軸方向の幅よりわずかに短い距離である。続いて、駆動部１３６ｃは、Ｚ軸方向の正の方に、可飽和吸収部１３４を所定の距離Ｓｂ分移動させる。距離Ｓｂは、例えば、レーザー光ＬＡのビーム径の１倍以上２倍以下の距離である。そして、移動部１３６は、Ｙ軸方向の正の方に、可飽和吸収部１３４を所定の距離Ｓａ分移動させる。このようにして、固定されたレーザー光ＬＡの光路に対し、可飽和吸収部１３４の照射面１３４ａが第１の方向および第２の方向に走査されることになる。
【００３３】
図１に戻って説明すると、レーザーパワーメーター１４０は、可飽和吸収部１３４の照射面１３４ａの裏面側に配される。レーザーパワーメーター１４０は、可飽和吸収部１３４を透過したレーザー光（以下、「透過光」と称する）を測定する。また、レーザーパワーメーター１４０は、ビームスプリッタ１２０によって分割されたレーザー光ＬＢを測定する。レーザーパワーメーター１４０による、透過光の測定結果およびレーザー光ＬＢの測定結果は、制御部１５０に出力される。なお、可飽和吸収部１３４を介したレーザー光ＬＡを測定するレーザーパワーメーター１４０とは異なるパワーメーターが設けられ、このパワーメーターがレーザー光ＬＢを測定してもよい。
【００３４】
制御部１５０は、ＣＰＵ（中央処理装置）を含む半導体集積回路で構成される。制御部１５０は、ＲＯＭからＣＰＵ自体を動作させるためのプログラムやパラメータ等を読み出す。制御部１５０は、ワークエリアとしてのＲＡＭや他の電子回路と協働して透過光測定装置１００全体を管理および制御する。
【００３５】
本実施形態において、制御部１５０は、レーザー発振器１１０にレーザー光を１パルスずつ所定の発振間隔で発振させる。
【００３６】
また、制御部１５０は、レーザー発振器１１０がレーザー光を１パルス発振してから所定の通過時間が経過したら、第１の方向または第２の方向に可飽和吸収部１３４を所定の離隔距離分移動させるように移動部１３６（駆動部１３６ｃ）を制御する。つまり、制御部１５０は、可飽和吸収部１３４が間欠的に移動するように移動部１３６を制御する。なお、通過時間は、レーザー発振器１１０から発振されたレーザー光が可飽和吸収部１３４を通過するまでの時間である。また、離隔距離は、可飽和吸収部１３４の照射面１３４ａに照射されるレーザー光ＬＡ（集光レンズ１３２によって集光されたレーザー光ＬＡ）のビーム径（例えば、１０μｍ程度）によって決定される。離隔距離は、移動部１３６による移動前と移動後において、レーザー光ＬＡの照射箇所が重ならない距離である。
【００３７】
また、制御部１５０は、レーザーパワーメーター１４０による、透過光の測定結果およびレーザー光ＬＢ（参照光）の測定結果に基づいて、可飽和吸収部１３４の透過率を算出する。
【００３８】
以上説明したように、本実施形態の光学装置１３０およびこれを備えた透過光測定装置１００は、移動部１３６を備えるため、レーザー光ＬＡの光路に対し、可飽和吸収部１３４の照射面１３４ａを移動させることができる。また、移動部１３６は、１パルスのレーザー光が発振される度に、可飽和吸収部１３４を離隔距離分移動させる。これにより、照射面１３４ａにおけるレーザー光ＬＡが照射される部分を常時変更することができる。つまり、照射面１３４ａにおける破壊されていない箇所にレーザー光ＬＡを照射することが可能となる。換言すれば、照射面１３４ａにおいてすでに破壊された箇所にレーザー光ＬＡが照射される事態を回避することができる。したがって、可飽和吸収部１３４を透過した透過光を、複数パルス分、レーザーパワーメーター１４０に到達させることができる。これにより、レーザーパワーメーター１４０において、透過光を積算することができ、透過光の測定を適切に行うことが可能となる。
【００３９】
したがって、可飽和吸収部１３４の評価を行うことができ、所望する透過率の可飽和吸収部１３４を製造することが可能となる。例えば、可飽和吸収体１６０がカーボンナノウォールである場合、カーボンナノウォールの高さや密度を調整して、所望する透過率の可飽和吸収部１３４を製造することができる。
【００４０】
また、上記したように、移動部１３６は、第１の方向および第２の方向に二次元的に可飽和吸収部１３４を移動させる。つまり、移動部１３６は、可飽和吸収部１３４の照射面１３４ａ全面に亘って満遍なくレーザー光ＬＡが照射されるように、可飽和吸収部１３４を移動させる。これにより、移動部１３６が、一方向のみに一次元的に可飽和吸収部１３４を移動させる構成と比較して、レーザーパワーメーター１４０で測定できる積算時間を稼ぐために必要な可飽和吸収部１３４の大きさを小さくすることができる。したがって、レーザー発振器１１０から照射面１３４ａまでの距離の誤差を小さくすることができ、透過光の測定を高精度に行うことが可能となる。
【００４１】
（変形例）
上記実施形態では、レーザー光ＬＡの光路が固定されており、移動部１３６が可飽和吸収部１３４を移動させる構成を例に挙げて説明した。しかし、レーザー光ＬＡの光路と、可飽和吸収部１３４の照射面１３４ａとが相対的に移動できれば、光路を移動させてもよい。
【００４２】
図５は、変形例の光学装置２３０を説明する図である。図５中、レーザー光ＬＡを実線の矢印で示し、信号の流れを破線の矢印で示す。また、上記光学装置１３０と実質的に等しい構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
【００４３】
図５に示すように、光学装置２３０は、移動部２４０と、可飽和吸収部１３４とを含んでいる。光学装置２３０において、可飽和吸収部１３４は、不図示の固定部によって固定される。
【００４４】
移動部２４０は、ミラー２４２と、ミラー駆動部２４４と、Ｆθレンズ２４６とを含んでいる。ミラー２４２は、レーザー光ＬＡをＦθレンズ２４６に導く。
【００４５】
ミラー駆動部２４４は、シャフト２４４ａと、駆動部２４４ｂとを含んでいる。シャフト２４４ａは、ミラー２４２に接続される。駆動部２４４ｂは、アクチュエーターで構成される。駆動部２４４ｂは、制御部１５０による制御指令に従って、シャフト２４４ａを介して、ミラー２４２を移動させる。具体的に説明すると、駆動部２４４ｂは、ミラー２４２を移動させて、Ｆθレンズ２４６に導くレーザー光ＬＡの光路を移動させる。駆動部２４４ｂは、ミラー２４２を移動させて、レーザー光ＬＡの光路を上記第１の方向と、第２の方向とに移動させる。例えば、駆動部２４４ｂは、Ｆθレンズ２４６に導くレーザー光ＬＡの光路を、光路ＫＡから光路ＫＢに移動させる。
【００４６】
Ｆθレンズ２４６は、入射角に拘わらず、出射角を等しくできるレンズである。したがって、駆動部２４４ｂがミラー２４２を移動させて、Ｆθレンズ２４６に入射されるレーザー光ＬＡの光路を移動させるだけで、可飽和吸収部１３４（照射面１３４ａ）の異なる位置に垂直にレーザー光ＬＡを導くことが可能となる。
【００４７】
以上説明したように、変形例の光学装置２３０は、移動部２４０が、固定された可飽和吸収部１３４の照射面１３４ａに対し、レーザー光ＬＡの光路を移動させることができる。また、移動部２４０は、１パルスのレーザー光が発振される度に、レーザー光ＬＡの光路を離隔距離分移動させる。これにより、照射面１３４ａにおいてレーザー光ＬＡが照射される部分を常時変更することができる。したがって、可飽和吸収部１３４を透過した透過光を、複数パルス分、レーザーパワーメーター１４０に到達させることができる。これにより、レーザーパワーメーター１４０において、透過光を積算することができ、透過光の測定を行うことが可能となる。
【００４８】
以上、添付図面を参照しながら一実施形態について説明したが、本開示は上記実施形態に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本開示の技術的範囲に属するものと了解される。
【００４９】
例えば、上述した実施形態および変形例では、第１の方向が、レーザー光ＬＡの光路の延在方向と直交する方向である場合を例に挙げて説明した。しかし、第１の方向は、レーザー光ＬＡの光路の延在方向と交差する方向であればよい。同様に、第２の方向は、レーザー光ＬＡの光路の延在方向および第１の方向と交差する方向であればよい。
【００５０】
また、上記実施形態および変形例では、移動部１３６、２４０が、可飽和吸収部１３４の照射面１３４ａと、レーザー光ＬＡの光路とを二次元的に相対移動させる構成を例に挙げて説明した。しかし、移動部１３６、２４０は、可飽和吸収部１３４の照射面１３４ａと、レーザー光ＬＡの光路とを一次元的に相対移動させてもよい。
【００５１】
また、上記実施形態において、移動部１３６が可飽和吸収部１３４を間欠的に移動させる構成を例に挙げて説明した。しかし、移動部１３６は、可飽和吸収部１３４を連続して移動させてもよい。同様に、移動部２４０は、レーザー光ＬＡの光路を連続して移動させてもよい。
【００５２】
また、上記実施形態において、移動部１３６が、レーザー光が１パルス発振される度に、可飽和吸収部１３４を移動させる構成を例に挙げて説明した。しかし、移動部１３６は、レーザー光が複数パルス（例えば、ダブルパルス）発振される度に、可飽和吸収部１３４を移動させてもよい。
【００５３】
また、上記実施形態において、可飽和吸収体１６０がカーボンナノウォールである場合を例に挙げて説明した。しかし、可飽和吸収体１６０は、カーボンナノチューブであってもよい。可飽和吸収体１６０がカーボンナノチューブである場合には、カーボンナノチューブとともに、カーボンナノチューブ同士の凝集を抑制する分散剤を樹脂に埋め込むとよい。また、可飽和吸収体１６０は、二硫化モリブデンで構成されたシートであってもよい。また、可飽和吸収体１６０は、半導体であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本開示は、可飽和吸収体を透過した透過光を測定する透過光測定装置、および、光学装置に利用することができる。
【符号の説明】
【００５５】
１１０  レーザー発振器
１３０  光学装置
１３４  可飽和吸収部
１３４ａ  照射面
１３６  移動部
１４０  レーザーパワーメーター
１６０  可飽和吸収体
２３０  光学装置
２４０  移動部
【図１】
2019078580.tif 000003
【図２】
2019078580.tif 000004
【図３】
2019078580.tif 000005
【図４】
2019078580.tif 000006
【図５】
2019078580.tif 000007