(57)【要約】      （修正有）【課題】光沢表面の欠陥の検出精度の低下を抑えることが可能な検査方法、装置、システム及びプログラムを提供する。【解決手段】検査方法は、照明装置２が変調パターンで変調された照明パターンを表示面に表示し、撮像装置５が検査対象１０−１の光沢表面に映り込んだ照明パターンの画像を撮像し、プロセッサが照射強度の位相差が一定である複数の照明パターンを照明装置の表示面に表示させ、照明装置２と撮像装置５の動作を同期させる同期制御を行い、プロセッサが、検査対象の撮像画像のコントラストを演算して重畳し、重畳した撮像画像のコントラストと、基準対象に対して予め演算して重畳した撮像画像のコントラストとの差が設定値以上であると検査対象の光沢表面上の欠陥を検出し、プロセッサが、重畳した撮像画像のコントラストが閾値未満であると、閾値以上になるように変調パターンの変化率の値を調整する。【選択図】図１
2019158458.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明装置が、変調パターンで変調された照明パターンを表示面に表示し、
撮像装置が、前記表示面に表示された前記照明パターンにより照明された検査対象の光沢表面に映り込んだ照明パターンの画像を撮像し、
プロセッサが、照射強度の位相差が一定である複数の照明パターンを前記照明装置の前記表示面に表示させる指示を前記照明装置に出力すると共に、前記複数の照明パターンで照明された前記検査対象の画像を撮像して撮像画像を取得させる指示を前記撮像装置に出力し、前記照明装置と前記撮像装置の動作を同期させる同期制御を行い、
前記プロセッサが、前記複数の照明パターンで照明された前記検査対象の撮像画像のコントラストを演算して重畳し、
前記プロセッサが、重畳した撮像画像のコントラストと、基準対象に対して予め演算して重畳した撮像画像のコントラストとの差が設定値以上であると前記検査対象の前記光沢表面上の欠陥を検出し、
前記プロセッサが、前記重畳した撮像画像のコントラストが閾値未満であると、前記閾値以上になるように前記変調パターンの変化率の値を調整する、
ことを特徴とする、検査方法。
【請求項２】
前記プロセッサが、前記重畳した撮像画像のコントラストが前記閾値未満であると、照明パターンの明るさが一定値未満の暗い部分では小さくなり、明るさが前記一定値以上の明るい部分では大きくなるように前記変調パターンの変化率の値を調整することを特徴とする、請求項１記載の検査方法。
【請求項３】
前記プロセッサが、前記重畳した撮像画像の光沢表面上の所定領域内で求めた複数箇所におけるコントラストの平均値と、前記基準対象に対して予め演算して重畳した撮像画像のコントラストとの差が前記設定値以上であると前記検査対象の前記欠陥を検出することを特徴とする、請求項１又は２記載の検査方法。
【請求項４】
変調パターンにより変調され、照射強度の位相差が一定である複数の照明パターンを生成する生成手段と、
前記複数の照明パターンを照明装置の表示面に表示させる指示を前記照明装置に出力すると共に、前記複数の照明パターンで照明された検査対象の光沢表面に映り込んだ照明パターンの画像を撮像して撮像画像を取得させる指示を撮像装置に出力し、前記照明装置と前記撮像装置の動作を同期させる同期制御を行う制御手段と、
を備え、
前記制御手段は、
前記撮像画像のコントラストを監視する監視部と、
前記撮像画像のコントラストが閾値未満であると、前記閾値以上になるように前記変調パターンの変化率の値を調整する調整部と、
前記撮像画像のコントラストと、基準対象に対して予め演算した撮像画像のコントラストとの差が設定値以上であると前記検査対象の前記光沢表面上の欠陥を検出する検出部と、
を有することを特徴とする、検査装置。
【請求項５】
照明パターンを表示面に表示する照明装置と、
光沢表面を有する検査対象を支持する支持部と、
前記表示面に表示された前記照明パターンにより照明された前記検査対象の画像を撮像する撮像装置と、
変調パターンにより変調され、照射強度の位相差が一定である複数の照明パターンを生成し、前記複数の照明パターンを前記照明装置の前記表示面に表示させる指示を前記照明装置に出力すると共に、前記複数の照明パターンで照明された前記検査対象の前記光沢表面に映り込んだ照明パターンの画像を撮像して撮像画像を取得させる指示を前記撮像装置に出力し、前記照明装置と前記撮像装置の動作を同期させる同期制御を行う制御装置と、
を備え、
前記制御装置は、
前記撮像画像のコントラストを監視する監視部と、
前記撮像画像のコントラストが閾値未満であると、前記閾値以上になるように前記変調パターンの変化率の値を調整する調整部と、
前記撮像画像のコントラストと、基準対象に対して予め演算した撮像画像のコントラストとの差が設定値以上であると前記検査対象の前記光沢表面上の欠陥を検出する検出部と、
を有することを特徴とする、検査システム。
【請求項６】
変調パターンで変調された照明パターンを照明装置の表示面に表示し、
前記表示面に表示された前記照明パターンにより照明された検査対象の光沢表面に映り込んだ照明パターンの画像を撮像装置により撮像し、
照射強度の位相差が一定である複数の照明パターンを前記照明装置の前記表示面に表示させる指示を前記照明装置に出力すると共に、前記複数の照明パターンで照明された前記検査対象の画像を撮像して撮像画像を取得させる指示を前記撮像装置に出力し、前記照明装置と前記撮像装置の動作を同期させる同期制御を行い、
前記複数の照明パターンで照明された前記検査対象の撮像画像のコントラストを演算して重畳し、
重畳した撮像画像のコントラストと、基準対象に対して予め演算して重畳した撮像画像のコントラストとの差が設定値以上であると前記検査対象の前記光沢表面上の欠陥を検出し、
前記重畳した撮像画像のコントラストが閾値未満であると、前記閾値以上になるように前記変調パターンの変化率の値を調整する、
処理をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査方法、装置、システム及びプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
表面が光沢を有する部材、部品等は、各種分野で利用されており、光沢表面に凹凸等の欠陥がないことが望ましい。そこで、検査対象の光沢表面の欠陥を検出するため、外観検査を行う。クリア塗装を施した樹脂表面、金属メッキした金属表面又はガラス表面等の、表面が光沢を有する検査対象の外観検査を行う場合、光沢表面に映り込んだ、明暗を有する照明パターンを用いる方法が提案されている。この提案方法では、例えば検査対象の直上等に設置したスクリーンに照明パターンを投影し、照明パターンで検査対象を照明する。検査対象の表面に映り込んだ照明パターンの画像を撮像し、撮像画像中の照明パターンの歪等を検出することにより、光沢表面の欠陥を検出する。
【０００３】
しかし、検査対象の光沢度が変化する場合がある。検査対象の光沢表面の光沢度は、例えば光沢表面を形成する工程等に応じて変化する場合がある。
【０００４】
例えば、金属メッキされた光沢表面を検査して欠陥が検出されると、金属メッキを剥がして下地の欠陥を取り除いた後に再度金属メッキをする必要があり、生産効率が低下する。そこで、金属メッキ工程の前の、例えば研磨工程後に検査を行う方が、生産効率の低下を抑えられる。しかし、例えば研磨工程で使用する研磨剤を変更した場合、研磨工程後の光沢表面の光沢度が、研磨剤変更前と研磨剤変更後で変化する場合がある。この場合、光沢表面の光沢度が低下すると、拡散光により、検査対象の表面に映り込んだ照明パターンの鮮明度が低下する。検査対象の表面に映り込んだ照明パターンの鮮明度が低下すると、撮像画像中の照明パターンの歪が不鮮明になり、欠陥に対する信号対雑音比が低下するため、光沢表面の欠陥の検出精度が低下する。このように、光沢表面を形成する工程の変更等に応じて検査対象の光沢度が低下する場合には、外観検査の困難性が増し、検査コストを増大させることなく光沢表面の欠陥の検出精度の低下を抑えることは難しい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−２０１７４３号公報
【特許文献２】特開２０１０−１９６３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来、検査対象の光沢度が低下に伴う、光沢表面の欠陥の検出精度の低下を抑えることは難しい。
【０００７】
そこで、１つの側面では、検査対象の光沢度が低下に伴う、光沢表面の欠陥の検出精度の低下を抑えることが可能な検査方法、装置、システム及びプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
１つの案によれば、照明装置が、変調パターンで変調された照明パターンを表示面に表示し、撮像装置が、前記表示面に表示された前記照明パターンにより照明された検査対象の光沢表面に映り込んだ照明パターンの画像を撮像し、プロセッサが、照射強度の位相差が一定である複数の照明パターンを前記照明装置の前記表示面に表示させる指示を前記照明装置に出力すると共に、前記複数の照明パターンで照明された前記検査対象の画像を撮像して撮像画像を取得させる指示を前記撮像装置に出力し、前記照明装置と前記撮像装置の動作を同期させる同期制御を行い、前記プロセッサが、前記複数の照明パターンで照明された前記検査対象の撮像画像のコントラストを演算して重畳し、前記プロセッサが、重畳した前記撮像画像のコントラストと、基準対象に対して予め演算して重畳した撮像画像のコントラストとの差が設定値以上であると前記検査対象の前記光沢表面上の欠陥を検出し、前記プロセッサが、前記重畳した前記撮像画像のコントラストが閾値未満であると、前記閾値以上になるように前記変調パターンの変化率の値を調整する検査方法が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
一態様によれば、検査対象の光沢度が低下に伴う、光沢表面の欠陥の検出精度の低下を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１実施例における検査システムの一例を示す図である。
【図２】コンピュータのハードウェア構成の一例を示すブロック図である。
【図３】検査処理の一例を説明するフローチャートである。
【図４】検査対象の撮像画像に対する演算処理の一例を説明する図である。
【図５】検査対象の撮像領域を撮像した４つの撮像画像の明るさの一例を示す図であり、
【図６】検査対象の撮像画像に対する位相演算結果の一例を示す図である。
【図７】基準対象の撮像画像に対する演算処理の一例を説明する図である。
【図８】基準対象の撮像領域を撮像した４つの撮像画像の明るさの一例を示す図であり、
【図９】基準対象の撮像画像に対する位相演算結果の一例を示す図である。
【図１０】検査対象の撮像画像に対する演算処理の他の例を説明する図である。
【図１１】検査結果の一例を説明する図である。
【図１２】第２実施例における検査システムの一例を示す図である。
【図１３】透過型スクリーンに投影した１つの照明パターンの、ある直線上の明るさプロファイルを示す図である。
【図１４】光沢度が十分な場合に検査対象の光沢表面に映り込んだ照明パターンを撮像装置で撮像した画像の、ある直線上の明るさプロファイルを示す図である。
【図１５】光沢度が十分な場合の図１３の明るさプロファイル各点に対応する鮮明度を表すコントラストを示す図である。
【図１６】光沢度が不十分な場合に検査対象の光沢表面に映り込んだ照明パターンを撮像装置で撮像した画像の、ある直線上の明るさプロファイルを示す図である。
【図１７】光沢度が不十分な場合の図１３の明るさプロファイル各点に対応する鮮明度を表すコントラストを示す図である。
【図１８】照明パターンを変調する変調パターンの入力に対する出力の比を示すグラフである。
【図１９】第３実施例で用いる照明パターンを変調する変調パターンの入力に対する出力の比のグラフである。
【図２０】入力に対する出力の比の変化率Ｒを図１９のように調整した結果得られる、スクリーンに投影した照明パターンの明るさプロファイルを示す図である。
【図２１】光沢度が不十分な場合に検査対象の光沢表面に映り込んだ調整された変調パターンの照明パターンを撮像装置で撮像した画像の、ある直線上の明るさプロファイルを示す図である。
【図２２】光沢度が不十分な場合の図２０に示す明るさプロファイルの各点に対応する鮮明度を表すコントラストを示す図である。
【図２３】第３実施例における検査装置の一例を示す機能ブロック図である。
【図２４】第３実施例における検査処理の一例を説明するフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
開示の検査方法、装置、システム及びプログラムでは、変調パターンで変調された照明パターンにより照明された検査対象の光沢表面に映り込んだ照明パターンの画像を撮像し、撮像画像のコントラストと、基準対象に対して予め演算したコントラストとの差が設定値以上であると検査対象の光沢表面上の欠陥を検出し、撮像画像のコントラストが閾値未満であると、閾値以上になるように変調パターンの変化率の値を調整する。
【００１２】
以下に、開示の検査方法、装置、システム及びプログラムの各実施例を図面と共に説明する。
【実施例】
【００１３】
図１は、第１実施例における検査システムの一例を示す図である。図１に示す検査システム１−１は、照明装置２、支持部３−１、コントローラ４、撮像装置５、コントローラ６、制御装置７及び入出力装置８を有する。制御装置７は、検査装置の一例を形成する。検査装置は、照明装置２及び撮像装置５のうち少なくとも一方を含んでも良い。検査対象１０−１は、この例では光沢表面を有する不透明な材料で形成された部材であり、表面形状及び材質は特に限定されない。検査対象１０−１の光沢表面は、例えばクリア塗装を施した樹脂表面、金属メッキした金属表面又はガラス表面等であっても良い。なお、光沢表面が金属表面である場合、例えば金属メッキされる部材は不透明な材料に限定されない。
【００１４】
この例では、照明装置２は、光を出射する光源２１、光源２１からの照明パターンを反射するミラー２２及びミラー２２が反射した照明パターンを投影する透過型スクリーン２３を有する。しかし、照明装置２は、後述する周期的な照明パターンを表示可能な装置であれば、特に限定されない。照明装置２は、周期的な明暗を有する照明パターンを表示する表示装置（又は、表示パネル）により形成可能である。表示装置は、例えば光源の一例であるバックライトを有する周知の液晶表示装置（ＬＣＤ：Liquid Crystal Display）、有機エレクトロルミネッセンス（ＯＥＬ：Organic Electro-Luminescence）表示装置等であっても良い。透過型スクリーン２３は、照明パターンを表示する表示面の一例である。表示装置の場合、表示画面が照明パターンを表示する表示面の一例である。
【００１５】
照明装置２は、制御装置７からの指示に応じて検査対象１０−１の第１の表面の一例である上面側から検査対象１０−１を照明パターンで照明する。このため、図１に示す例では、支持部３−１は検査対象１０−１を透過型スクリーン２３の下方で支持する周知の構成を有する。支持部３−１は、検査対象１０−１を支持可能な構成であれば、特に限定されない。支持部３−１を、載置された検査対象１０−１を保持する周知の構成を有するステージで形成しても良い。
【００１６】
コントローラ４は、支持部３−１を移動して支持部３−１と撮像装置５の相対位置を変化させる移動手段の一例であり、制御装置７からの指示に応じて支持部３−１による検査対象１０−１の移動の開始と終了を制御する機能を有しても良い。コントローラ４は、支持部３−１を移動しない場合には省略可能しても良い。
【００１７】
撮像装置５は、例えば周知のＣＣＤ（Charge-Coupled Device）カメラ等で形成可能である。撮像装置５は、照明装置２の透過型スクリーン２３に投影した照明パターンにより照明された検査対象１０−１の画像を撮像する。この例では、撮像装置５が撮像した検査対象１０−１の画像に、検査対象１０−１に照射して映り込んだ照明パターンが含まれる。撮像装置５は、検査対象１０−１の前記第１の表面の一例である上面側から撮像する。照明装置２及び撮像装置５の配置は、検査対象１０−１への照明と検査対象１０−１の画像の撮像とが互いに干渉しなければ特に限定されない。更に、支持部３−１及び撮像装置５の少なくとも一方が移動する場合には、照明装置２及び撮像装置５の配置は、支持部３−１及び撮像装置５の相対位置を変化させる際に干渉しなければ特に限定されない。
【００１８】
コントローラ６は、撮像装置５を移動して支持部３−１と撮像装置５の相対位置を変化させる移動手段の一例であり、制御装置７からの指示に応じて撮像装置５による撮像の開始と終了を制御する機能を有しても良い。コントローラ６は、撮像装置５を移動しない場合には省略可能である。コントローラ６を省略した場合、制御装置７からの指示により撮像装置５による撮像の開始と終了を直接制御しても良い。なお、支持部３−１と撮像装置５の相対位置を変化させる場合、コントローラ４及びコントローラ６のうち少なくとも一方を省略しても良い。この例では、撮像装置５が撮像した撮像画像は、コントローラ６を介して制御装置７に供給するが、制御装置７に直接供給しても良い。
【００１９】
制御装置７は、検査システム１−１全体の制御を司る。入出力装置８は、制御装置７に命令、データ等を入力する入力装置と、メッセージ、検査結果等を出力する出力装置を含む。命令、データ等を検査システム１−１の外部から入力する場合、入力装置は省略可能である。また、メッセージ、検査結果等を検査システム１−１の外部へ出力する場合、出力装置は省略可能である。
【００２０】
なお、制御装置７からの指示に応じて照明装置２を制御するコントローラ（図示せず）を更に設けても良い。この場合、照明装置２を制御するコントローラは、制御装置７からの指示に応じて光源２１を駆動して制御するか、或いは、表示装置を駆動して制御する。
【００２１】
制御装置７は、汎用のコンピュータにより形成可能である。図２は、コンピュータのハードウェア構成の一例を示すブロック図である。図２に示すコンピュータ１００は、プロセッサの一例であるＣＰＵ（Central Processing Unit）１０１と、記憶装置の一例であるメモリ１０２を有する。ＣＰＵ１０１は、メモリ１０２に記憶された検査プログラム等を含むプログラムを実行し、後述する検査処理等を実行する。メモリ１０２は、プログラム、データ等を記憶する。メモリ１０２は、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）メモリ等の可搬型記録媒体、フラッシュメモリ等の半導体記憶装置等のコンピュータ読取可能な記録媒体により形成可能である。メモリ１０２は、磁気記録媒体、ＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disk-Read Only Memory）、ＤＶＤディスク（Digital Versatile Disk）等の光記録媒体、光磁気記録媒体等のコンピュータ読取可能な記録媒体によっても形成可能である。なお、メモリ１０２にディスク等の磁気記録媒体、光記録媒体又は光磁気記録媒体を用いる場合、記録媒体はディスクドライブ等のドライブにロードされ、ドライブによりプログラム等を記録媒体から読み出し、必要に応じて記録媒体にデータ等を書き込む。図２では、便宜上、コンピュータ１００に無線又は有線で接続可能なタッチパネル等の入出力装置８（又は、別々に設けられた入力装置と表示装置）の図示は省略する。
【００２２】
図３は、検査処理の一例を説明するフローチャートである。図３に示す処理は、例えば図２に示すＣＰＵ１０１により実行可能である。
【００２３】
図３に示すステップＳ１では、ＣＰＵ１０１がコントローラ４を制御して検査対象１０−１を支持する支持部３−１を予め決められた撮像位置まで移動する。なお、コントローラ４が省略されている場合は、利用者が手動で、検査対象１０−１を予め決められた撮像位置にある支持部３−１に支持させても良い。なお、ステップＳ１では、ＣＰＵ１０１がコントローラ６を制御して撮像装置５も移動するようにしても良い。
【００２４】
ステップＳ２では、ＣＰＵ１０１が周期的な照明パターンを生成する。この例では、ＣＰＵ１０１は、例えばメモリ１０２に記憶されたパターンデータに基づき、照射強度の位相差が一定である複数の照明パターンを、互いに異なる方向に沿って周期的な少なくとも２種類のパターンについて生成する。この例では、パターンデータは、照明パターンの種類、照明パターンの形状等を表すデータである。従って、ＣＰＵ１０１は、照射強度の位相差が一定である複数の照明パターンを、互いに異なる方向に沿って周期的な少なくとも２種類のパターン毎に生成する生成手段の一例を形成する。互いに異なる方向に沿って周期的な少なくとも２種類のパターンは、特に限定されないが、例えば互いに異なる方向に沿って延在する縞状の第１のパターン及び第２のパターンを含む。この場合、互いに異なる方向に沿って延在する縞状の第１のパターン及び第２のパターンは、互いに直交する縞状パターンであっても良い。また、互いに異なる方向に沿って周期的な少なくとも２種類のパターンは、矩形状、三角状、正弦波状等のパターンであっても良い。
【００２５】
ステップＳ３では、ＣＰＵ１０１が１種類のパターンについて生成した複数の照明パターンを照明装置２の表示面に表示する。この例では、ＣＰＵ１０１は、照明パターンを出射するように光源２１を制御することで、光源２１からの照明パターンをミラー２２で反射して透過型スクリーン２３に投影する。
【００２６】
ステップＳ４では、ＣＰＵ１０１がコントローラ６を制御して撮像装置５を検査対象１０−１の撮像領域を撮像する位置まで移動して、検査対象１０−１の撮像領域を撮像する。なお、ステップＳ４では、ＣＰＵ１０１がコントローラ４を制御して、支持部３−１も移動するようにしても良い。また、コントローラ６が省略されている場合は、利用者が手動で、撮像装置５を検査対象１０−１の撮像領域を撮像する位置まで移動しても良い。
【００２７】
ＣＰＵ１０１は、１種類のパターンについて、ステップＳ３の処理と、ステップＳ４の処理を同期する。ステップＳ３の処理は、１種類のパターンについて、複数の照明パターンを照明装置２の表示面に表示させる指示を照明装置２に出力する。一方、ステップＳ４の処理は、同じ１種類のパターンについて、複数の照明パターンで照明された検査対象１０−１の画像を撮像して撮像画像を取得させる指示を撮像装置５に出力する。つまり、ＣＰＵ１０１は、照明装置２と撮像装置５の動作を同期させる同期制御を行う。従って、ＣＰＵ１０１は、各種類のパターン毎に、照明装置２と撮像装置５の動作を同期させる同期制御を行う制御手段の一例を形成する。これにより、照明装置２は、１種類のパターンについて生成した複数の照明パターンで検査対象１０−１を照明し、撮像装置５は、同じ１種類のパターンについて複数の照明パターンの各々で照明された検査対象１０−１の画像を撮像する。この例では、撮像装置５が撮像した撮像画像は、コントローラ６を介して制御装置７に供給するが、制御装置７に直接供給しても良い。
【００２８】
ステップＳ５では、ＣＰＵ１０１が生成した全ての種類のパターンについて、複数の照明パターンの各々で照明された検査対象１０−１の画像を撮像したか否かを判定する。ステップＳ５の判定結果がＮＯであると処理はステップＳ３へ戻り、判定結果がＹＥＳであると処理はステップＳ６へ進む。これにより、全ての種類のパターンについて、複数の照明パターンを照明装置２の表示面に表示すると共に、複数の照明パターンで照明された検査対象１０−１の画像を全ての種類のパターンについて撮像すると、処理はステップＳ６へ進む。
【００２９】
ステップＳ６では、ＣＰＵ１０１が各種類のパターン毎に複数の照明パターンで照明された検査対象１０−１の撮像画像の明るさの振幅変化を演算して重畳する。ステップＳ７では、ＣＰＵ１０１が検査対象１０−１のうち検査するべき全ての撮像領域を撮像したか否かを判定し、判定結果がＮＯであると処理はステップＳ２へ戻り、判定結果がＹＥＳであると処理はステップＳ８へ進む。なお、検査対象１０−１のうち検査するべき全ての撮像領域を１回の撮像処理で撮像可能な場合には、ステップＳ７の処理は省略可能である。
【００３０】
ステップＳ８では、ＣＰＵ１０１がステップＳ６で重畳した撮像画像の明るさの振幅変化と、メモリ１０２に記憶された、基準対象に対して各種類のパターン毎に予め演算して重畳した撮像画像の明るさの振幅変化とを比較する。また、ステップＳ８では、ＣＰＵ１０１が比較した結果に基づいて、例えば振幅変化の差が設定値以上であると、検査対象１０−１の凹凸等の欠陥を検出する。基準対象とは、予め検査済みであり、光沢表面上に凹凸等の欠陥を有さない検査対象１０−１と同一の部材の良品である。
【００３１】
ステップＳ９では、ＣＰＵ１０１が検査対象１０−１の検査を終了するか否かを判定し、判定結果がＮＯであると処理はステップＳ１へ戻り、判定結果がＹＥＳであると処理はステップＳ１０へ進む。検査対象１０−１の検査を終了する場合は、例えば利用者が入出力装置８から制御装置７（又は、コンピュータ１００）に検査終了の命令を入力すれば良い。
【００３２】
ステップＳ１０では、ＣＰＵ１０１がステップＳ９で比較した結果、即ち、検査対象１０−１の欠陥が検出されたか否かの結果出力を、入出力装置８に出力し、検査処理は終了する。
【００３３】
図４は、検査対象の撮像画像に対する演算処理の一例を説明する図である。この演算処理は、位相シフト演算処理と呼ばれることもある。説明の便宜上、図４は、１種類のパターンの一例である周期的な縦縞状のパターンについて、照射強度（又は、明るさ）の位相差がπ／２（９０°）で一定である４つの照明パターンを照射した検査対象１０−１の撮像領域を撮像した４つの撮像画像Ｐ１〜Ｐ４を示す。図４中、黒い部分程、各撮像画像Ｐ１〜Ｐ４の明るさが低い（即ち、暗い）ことを表している。
【００３４】
図５は、検査対象１０−１の撮像領域を撮像した４つの撮像画像Ｐ１〜Ｐ４の明るさＩ１〜Ｉ４の一例を示す図であり、撮像画像Ｐ１の明るさＩ１を実線で示し、撮像画像Ｐ２〜Ｐ４の明るさＩ２〜Ｉ４を破線で示す。図５中、縦軸は明るさを任意単位で示し、横軸は位置を任意単位で示す。また、図５において、Ａは、図４中白い破線で示す位置に相当する、平均明るさを表す明るさのオフセット量であり、Ｂは、位置Ａから明るさのピークまでの振幅を示す。また、図５において、一点鎖線Ｄで示す部分では、検査対象１０−１に存在する欠陥のため明るさの振幅変化に歪みが生じている。撮像画像Ｐ１〜Ｐ４の明るさＩ１〜Ｉ４は、位相をφで表すと、この例では次式で表すことができる。
Ｉ１＝Ａ＋Ｂｃｏｓ（φ）
Ｉ２＝Ａ＋Ｂｃｏｓ（φ＋π／２）
Ｉ３＝Ａ＋Ｂｃｏｓ（φ＋π）
Ｉ４＝Ａ＋Ｂｃｏｓ（φ＋３π／２）
図３に示すステップＳ６で、ＣＰＵ１０１が縦縞状のパターンについて４つの照明パターンで照明された検査対象１０−１の４つの撮像画像Ｐ１〜Ｐ４の明るさの振幅変化を演算して重畳する。これにより、例えばγ＝２×sqrt｛（Ｉ１−Ｉ３）２＋（Ｉ２−Ｉ４）２｝／（Ｉ１＋Ｉ２＋Ｉ３＋Ｉ４）なる位相演算結果が得られる。位相演算結果で得られるγは、この例ではコントラストを表す。図６は、この検査対象１０−１の撮像画像に対する位相演算結果の一例を示す図である。図６中、縦軸は明るさの振幅変化を任意単位で示し、横軸は位置を任意単位で示す。図６において、明るさの振幅変化が一定である位置には欠陥が存在しない。一方、図６において、図５の一点鎖線Ｄで示す部分に相当する、明るさの振幅変化が一定ではなく変化している位置に欠陥が存在する。このように、検査対象１０−１に存在する欠陥の有無と、存在する欠陥の位置を検出できる。
【００３５】
図７は、基準対象の撮像画像に対する演算処理の一例を説明する図である。説明の便宜上、図７は、図４の場合と同様に、１種類のパターンの一例である周期的な縦縞状のパターンについて、照射強度の位相差がπ／２（９０°）で一定である４つの照明パターンを照射した基準対象の４つの撮像画像Ｐ１ｒ〜Ｐ４ｒを示す。図７中、黒い部分程、各撮像画像Ｐ１ｒ〜Ｐ４ｒの明るさが低い（即ち、暗い）ことを表している。
【００３６】
図８は、基準対象の撮像領域を撮像した４つの撮像画像Ｐ１ｒ〜Ｐ４ｒの明るさＩ１ｒ〜Ｉ４ｒの一例を示す図であり、撮像画像Ｐ１ｒの明るさＩ１ｒを実線で示し、撮像画像Ｐ２ｒ〜Ｐ４ｒの明るさＩ２ｒ〜Ｉ４ｒを破線で示す。図８中、縦軸は明るさを任意単位で示し、横軸は位置を任意単位で示す。また、図８において、Ａは、図７中白い破線で示す位置に相当する、平均明るさを表す明るさのオフセット量であり、Ｂは、位置Ａから明るさのピークまでの振幅を示す。また、図８では、基準対象には欠陥が存在しないので、明るさの振幅変化に歪みが生じていない。撮像画像Ｐ１ｒ〜Ｐ４ｒの明るさＩ１ｒ〜Ｉ４ｒは、位相をφで表すと、この例では次式で表すことができる。
Ｉ１ｒ＝Ａ＋Ｂｃｏｓ（φ）
Ｉ２ｒ＝Ａ＋Ｂｃｏｓ（φ＋π／２）
Ｉ３ｒ＝Ａ＋Ｂｃｏｓ（φ＋π）
Ｉ４ｒ＝Ａ＋Ｂｃｏｓ（φ＋３π／２）
縦縞状のパターンについて４つの照明パターンで照明された基準対象の撮像領域を撮像した４つの撮像画像Ｐ１ｒ〜Ｐ４ｒの明るさの振幅変化を演算して重畳する。これにより、例えばγr＝２×sqrt｛（Ｉ１ｒ−Ｉ３ｒ）２＋（Ｉ２ｒ−Ｉ４ｒ）２｝／（Ｉ１ｒ＋Ｉ２ｒ＋Ｉ３ｒ＋Ｉ４ｒ）なる位相演算結果が得られる。図９は、この基準対象の撮像画像に対する位相演算結果の一例を示す図である。図９中、縦軸は明るさの振幅変化を任意単位で示し、横軸は位置を任意単位で示す。図９において、明るさの振幅変化は一定であり、欠陥が存在しないことがわかる。
【００３７】
図３に示すステップＳ８で、ＣＰＵ１０１がステップＳ６で重畳した図６に示す如き撮像画像の明るさの振幅変化と、メモリ１０２に記憶された、基準対象に対して各種類のパターン毎に予め演算して重畳した図９に示す如き撮像画像の明るさの振幅変化とを比較する。これにより、検査対象１０−１の表面形状に依存する照明パターンの位相変化を吸収して、明るさの振幅変化が一定ではなく変化している位置が顕著化される。また、検査対象１０−１の表面形状に強く依存して照明パターンの位相変化が生じるため、検査対象の背景や周囲の影響を受けにくい。これにより、顕著化された、明るさの振幅変化が一定ではなく変化している位置に欠陥が存在することがわかり、検査対象１０−１の欠陥の有無と欠陥の位置を正確に検出できる。また、検査結果は利用者の判断に依存しないので、検査の感度が安定化する。更に、上記の演算処理は、比較的簡単であるため、演算処理を短時間で実行することができ、検査を高速に行えると共に、検査のコストも低減できる。
【００３８】
ところで、検査対象１０−１の欠陥が例えば縦縞状の照明パターンと同じ縦方向に沿って存在する傷等の場合がある。この場合、上記の如き周期的な縦縞状のパターンについて照射強度の位相差が一定である複数の照明パターンを照射した検査対象１０−１の撮像画像に基づき、上記の如き位相演算を行うことで欠陥を検出できる。しかし、検査対象１０−１の欠陥が例えば縦縞状の照明パターンとは異なる方向、例えば横方向に沿って存在する傷等の場合がある。この場合、上記の如き周期的な縦縞状のパターンについて照射強度の位相差が一定である複数の照明パターンを照射した検査対象１０−１の撮像画像に基づき、上記の如き位相演算を行っても、欠陥を検出することは難しい。
【００３９】
このため、互いに異なる方向に沿って周期的な少なくとも２種類のパターンのうち、一方が例えば縦縞状のパターンの場合、他方は縦縞状パターンとは異なる方向に沿って周期的な縞状パターンとする。これにより、検査対象１０−１の欠陥をより正確に検出できる。縦縞状パターンとは異なる方向に沿って周期的な縞状パターンは、例えば縦縞状のパターンと直交する横縞状のパターンである。
【００４０】
このように、照射強度の位相差が一定である複数の照明パターンを、互いに異なる方向に沿って周期的な２種類以上のパターンについて生成して、検査対象１０−１の画像の撮像時に検査対象１０−１を照明する。これにより、検査対象１０−１の欠陥が延在する方向にかかわらず、欠陥を正確に検出できる。
【００４１】
図１０は、検査対象の撮像画像に対する演算処理の一例を説明する図である。この例では、検査対象１０−１の撮像領域５０１に、実際には線状欠陥５０２，５０３が存在する。図４乃至６と共に説明したように、例えば照射強度の位相差が一定である４つの照明パターンを縦縞状のパターンについて生成して、検査対象１０−１の画像の撮像時に検査対象１０−１を照明する。これにより、撮像画像５０４の如き画像が４つの照明パターンの各々について撮像される。この場合、４つの照明パターンについて撮像した撮像画像５０４の如き画像に基づき、上記の如き位相演算を行うことで、演算後の画像５０５から線状欠陥５０２を検出できる。一方、線状欠陥５０３は、演算後の画像５０５では便宜上破線で示すように、縦縞状のパターンとは略直交する方向に延在するため、正確に検出することは難しい。
【００４２】
そこで、図４乃至６と共に説明したように、例えば照射強度の位相差が一定である４つの照明パターンを横縞状のパターンについて生成して、検査対象１０−１の画像の撮像時に検査対象１０−１を照明する。これにより、撮像画像５０６の如き画像が４つの照明パターンの各々について撮像される。この場合、４つの照明パターンについて撮像した撮像画像５０６の如き画像に基づき、上記の如き位相演算を行うことで、演算後の画像５０７から線状欠陥５０３を検出できる。一方、線状欠陥５０２は、演算後の画像５０７では便宜上破線で示すように、横縞状のパターンとは略直交する方向に延在するため、正確に検出することは難しい。
【００４３】
しかし、図３に示すステップＳ６で、ＣＰＵ１０１が縦縞状のパターンと横縞状のパターンの各々について４つの照明パターンで照明された検査対象１０−１の撮像画像の明るさの振幅変化を演算する。このため、演算後の画像５０５，５０７を重畳することで、線状欠陥５０２，５０３の両方を正確に検出できる。
【００４４】
図１１は、検査結果の一例を説明する図である。図１１は、互いに異なる方向に沿って周期的な少なくとも２種類のパターンを照射した検査対象１０−１の撮像画像に対する位相演算後の重畳画像６０１を示す。図１１は更に、前記と同じ少なくとも２種類のパターンを照射した基準対象の撮像画像に対する位相演算後の重畳画像６０２及び重畳画像６０１，６０２の比較結果６０３を示す。この例では、比較結果６０３から検査対象１０−１に存在する欠陥６０４が正確に検出できることが確認された。
【００４５】
なお、検査システム１−１が検査する検査対象１０−１が、光沢表面を有する透明な材料で形成された部材である場合には、支持部３−１は不透明材料で形成され、例えば白色の上面を有する。
【００４６】
図１２は、第２実施例における検査システムの一例を示す図である。図１２中、図１と同一部分には同一符号を付し、その説明は省略する。本実施例で検査する検査対象１０−２は、光沢表面を有する透明な材料で形成された部材であり、表面形状及び材質は特に限定されない。検査対象１０−２の光沢表面は、例えばクリア塗装を施した透明樹脂表面、ガラス表面等であっても良い。このため、本実施例では、検査システム１−２の照明装置２は、検査対象１０−２の第２の表面の一例である下面側から検査対象１０−２を照明パターンで照明する。図１２に示す例では、支持部３−２は検査対象１０−２を透過型スクリーン２３の上方で検査対象１０−２を照明する照明パターンを遮らないように支持する周知の構成を有する。
【００４７】
検査対象１０−２は、透過型スクリーン２３と接触していても、検査対象１０−２の下面と透過型スクリーン２３の上面との間に隙間が設けられていても良い。なお、支持部３−２を、載置された検査対象１０−２を保持する周知の構成を有するステージで形成し、透過型スクリーン２３の上方に配置する場合には、支持部３−２は透明材料で形成されることは言うまでもない。
【００４８】
撮像装置５は、照明装置２の透過型スクリーン２３に投影した照明パターンにより照明された検査対象１０−２の画像を撮像する。この例では、撮像装置５が撮像した検査対象１０−２の画像に、検査対象１０−２を透過した照明パターンが含まれる。撮像装置５は、検査対象１０−２の第２の表面とは反対側の第１の表面の一例である上面側から撮像する。
【００４９】
第２実施例における検査処理は、図３と共に説明した上記第１実施例の検査処理と同様に行えるので、その図示及び説明は省略する。
【００５０】
ところで、検査対象の光沢表面の光沢度は、例えば光沢表面を形成する工程等に応じて変化する場合がある。この場合、光沢表面の光沢度が低下すると、拡散光により、検査対象の表面に映り込んだ照明パターンの鮮明度が低下する。検査対象の表面に映り込んだ照明パターンの鮮明度が低下すると、撮像画像中の照明パターンの歪が不鮮明になり、欠陥に対する信号対雑音比（又は、コントラスト）が低下するため、光沢表面の欠陥の検出精度が低下する。
【００５１】
図１３〜図１５は、例えば図１に示す検査システム１−１又は図１２に示す検査システム１−２を用いて、検査対象１０−１又は１０−２の十分な光沢度を有する光沢表面に照明パターンを映し込む場合を説明する図である。ここで、十分な光沢度とは、所定値以上の光沢度を有することを言う。
【００５２】
図１３は、透過型スクリーン２３に投影した１つの照明パターンの、ある直線上の明るさプロファイルを示す図である。図１３中、縦軸は明るさを任意単位で示し、横軸は位置を任意単位で示す。
【００５３】
図１４は、光沢度が十分な場合に検査対象１０−１又は１０−２の光沢表面に映り込んだ照明パターンを撮像装置５で撮像した画像の、ある直線上の明るさプロファイルを示す図である。図１４中、縦軸は明るさを任意単位で示し、横軸は位置を任意単位で示す。また、図１４において、Ａは、例えば図４中白い破線で示す位置に相当する、平均明るさを表す明るさのオフセット量であり、Ｂは、位置Ａから明るさのピークまでの振幅を示す。図１４は、便宜上１つの照明パターンを撮像した場合の１枚の撮像画像の明るさプロファイルを示すが、図示しない、図４或いは図７に相当する４枚の撮像画像Ｐ１〜Ｐ４の明るさＩ１〜Ｉ４は、位相をφで表すと、図５と共に上述したように、この例では次式で表すことができる。
Ｉ１＝Ａ＋Ｂｃｏｓ（φ）
Ｉ２＝Ａ＋Ｂｃｏｓ（φ＋π／２）
Ｉ３＝Ａ＋Ｂｃｏｓ（φ＋π）
Ｉ４＝Ａ＋Ｂｃｏｓ（φ＋３π／２）
縦縞状のパターンについて４つの照明パターンで照明された検査対象１０−１又は１０−２の４つの撮像画像Ｐ１〜Ｐ４の明るさの振幅変化を演算して重畳する。この位相演算結果により、γ＝２×sqrt｛（Ｉ１−Ｉ３）２＋（Ｉ２−Ｉ４）２｝／（Ｉ１＋Ｉ２＋Ｉ３＋Ｉ４）で表されるコントラストが得られる。
【００５４】
図１５は、光沢度が十分な場合の図１３の明るさプロファイルの各点に対応する鮮明度を表すコントラストを示す図である。図１５中、縦軸はコントラストを任意単位で示し、横軸は位置を任意単位で示す。図１５に示すコントラストは、上記コントラストγの値（以下、「コントラスト値γ」とも言う）を計算することにより得られる。コントラストγは、検査対象１０−１又は１０−２に映し込まれた照明パターンの鮮明度を、映し込まれた照明パターンの撮像画像上の鮮明度で表す指標である。コントラストγは、例えば今回は０から１までの値を持ち、値が大きいほど鮮明であることを示す。従って、光沢表面の光沢度の変化は、コントラスト値γの変動から把握できる。検査対象１０−１又は１０−２の光沢表面上の欠陥は、コントラスト値γが欠陥のない光沢表面上の領域に比べて小さくなることで検出できる。図１５に示す例では、欠陥のない光沢表面上の領域のコントラスト値γが例えば任意単位で０．４以上であり、十分大きいため、欠陥を安定して検出できる。
【００５５】
図１６及び図１７は、図１３に示す明るさプロファイルを用い、検査対象１０−１又は１０−２の光沢表面の光沢度が不十分な対象表面に照明パターンを映し込む場合を説明する図である。ここで、不十分な光沢度とは、所定値未満の光沢度を有することを言う。
【００５６】
図１６は、光沢度が不十分な場合に検査対象１０−１又は１０−２の光沢表面に映り込んだ照明パターンを撮像装置５で撮像した画像の、ある直線上の明るさプロファイルを示す図である。図１６中、縦軸は明るさを任意単位で示し、横軸は位置を任意単位で示す。また、図１６において、Ａ'は、例えば図４中白い破線で示す位置に相当する、平均明るさを表す明るさのオフセット量であり、Ｂは、位置Ａ'から明るさのピークまでの振幅を示す。図１６は、便宜上１つの照明パターンを撮像した場合の１枚の撮像画像の明るさプロファイルを示すが、図示しない、図４或いは図７に相当する４枚の撮像画像Ｐ１'〜Ｐ４'の明るさＩ１'〜Ｉ４'は、位相をφで表すと、この例では次式で表すことができる。
Ｉ１'＝Ａ'＋Ｂ'ｃｏｓ（φ）
Ｉ２'＝Ａ'＋Ｂ'ｃｏｓ（φ＋π／２）
Ｉ３'＝Ａ'＋Ｂ'ｃｏｓ（φ＋π）
Ｉ４'＝Ａ'＋Ｂ'ｃｏｓ（φ＋３π／２）
縦縞状のパターンについて４つの照明パターンで照明された検査対象１０−１又は１０−２の４つの撮像画像Ｐ１'〜Ｐ４'の明るさの振幅変化を演算して重畳する。この位相演算結果により、γ'＝２×sqrt｛（Ｉ１'−Ｉ３'）２＋（Ｉ２'−Ｉ４'）２｝／（Ｉ１'＋Ｉ２'＋Ｉ３'＋Ｉ４'）で表されるコントラストが得られる。図１６の場合、検査対象１０−１又は１０−２の光沢表面の光沢度が所定値未満で不十分であるため、光成分が拡散され、図１４に比べて照明パターンの振幅が小さくなる。
【００５７】
図１７は、光沢度が不十分な場合の図１３に示す明るさプロファイルの各点に対応する鮮明度を表すコントラストを示す図である。図１７中、縦軸はコントラストを任意単位で示し、横軸は位置を任意単位で示す。図１７の場合、照明パターンの振幅が小さくなったため、コントラストが図１５に比べて低下している。上記の如く、検査対象１０−１又は１０−２の光沢表面上の欠陥は、コントラスト値γが欠陥のない光沢表面上の領域に比べて小さくなることで検出できる。ところが、図１７に示す例では、欠陥のない光沢表面上の領域のコントラスト値γが例えば任意単位で０．１程度であり、元々小さいため、欠陥を安定して検出することは難しい。
【００５８】
次に、変調パターンの調整方法を、図１８〜図２０と共に説明する。図１８は、図１３に示す明るさプロファイルを有する照明パターンを変調する変調パターンの入力に対する出力の比を示すグラフである。図１８中、縦軸は出力を任意単位で示し、横軸は入力を任意単位で示す。図１８に示す例では、照明パターンを変調する変調パターンの入力に対する出力の変化率Ｒは一定である。つまり、図１８において、Ｒ＝１である。この場合、スクリーン２３に投影した照明パターンの明るさプロファイルは、図１３と同じ明るさプロファイルとなる。
【００５９】
これに対し、図１９は、第３実施例で用いる照明パターンを変調する変調パターンの入力に対する出力の比のグラフである。図１９中、縦軸は出力を任意単位で示し、横軸は入力を任意単位で示す。図１９に示す例では、検査対象１０−１又は１０−２に投影した照明パターンの暗い部分では変化率Ｒの値が小さく（この例ではＲ＜１）、明るい部分では変化率Ｒの値が大きく （この例ではＲ＞１）なるように調整する。検査対象１０−１又は１０−２に投影した照明パターンの暗い部分は、撮像画像中の照明パターンの明るさが一定値未満の部分から検出できる。また、検査対象１０−１又は１０−２に投影した照明パターンの明るい部分は、撮像画像中の照明パターンの明るさが一定値以上の部分から検出できる。図２０は、入力に対する出力の比の変化率Ｒを図１９のように調整した結果得られる、スクリーン２３に投影した照明パターンの明るさプロファイルを示す図である。
【００６０】
図２１及び図２２は、図２０に示す明るさプロファイルを用い、検査対象１０−１又は１０−２の光沢表面の光沢度が不十分な対象表面に照明パターンを映し込む場合を説明する図である。
【００６１】
図２１は、光沢度が不十分な場合に検査対象１０−１又は１０−２の光沢表面に映り込んだ調整された変調パターンの照明パターンを撮像装置５で撮像した画像の、ある直線上の明るさプロファイルを示す図である。図２１中、縦軸は明るさを任意単位で示し、横軸は位置を任意単位で示す。図１９に示した変調パターンにより、拡散光の影響を受けやすい明るい部分と、暗い部分の光強度変化を強調する。この結果、検査対象１０−１又は１０−２に映り込んだ照明パターンを撮像した画像の、ある直線上の明るさプロファイルの振幅を、図１６に比べて大きくする、即ち、改善できる。
【００６２】
図２２は、光沢度が不十分な場合の図２０に示す明るさプロファイルの各点に対応する鮮明度を表すコントラストを示す図である。図２２中、縦軸はコントラストを任意単位で示し、横軸は位置を任意単位で示す。図２２に示す例では、欠陥のない光沢表面上の領域のコントラスト値γが例えば任意単位で０．２以上であり、十分大きいため、欠陥を安定して検出できる。このように、図２０に示す明るさプロファイル各点の鮮明度を表わすコントラスト値γが、図２２の場合は図１７の場合に比べて約２倍に改善できる。
例えば、光沢表面の光沢度が、例えば光沢表面を形成する工程の変更等に応じて変化する製品の外観検査を自動的に行いたい場合がある。このような場合に第３実施例では、製品の撮像画像から、光沢表面に映し込まれた照明パターンの鮮明度の変化を逐次監視し、鮮明度が低下した場合には照明パターンを変調する変調パターンを調整する。検査対象を照明する照明パターンを変調する変調パターンを、検査対象の光沢表面の光沢度に合わせて調整することにより、検査対象を撮像する時の光沢表面に映し込まれる照明パターンの鮮明度を補正する。検査対象を撮像する時の光沢表面に映し込まれる照明パターンの鮮明度を補正することで、撮像画像における照明パターンのコントラストの低下を低減できる。また、光沢表面上の欠陥が顕著化した撮像画像を安定して取得できるので、検査システムによる製品の検査精度を向上できる。
【００６３】
図２３は、第３実施例における検査装置の一例を示す機能ブロック図である。図２３に示す検査装置は、監視部７１と、調整部７２と、検出部７３を有する。検査装置の各部７１〜７３の機能は、制御装置７を形成するコンピュータ１００により実行可能である。本実施例は、上記位相シフト演算処理を行うものであれば、特に限定されない。本実施例は、例えば上記第１実施例又は上記第２実施例と同様に、照射強度の位相差が一定である複数の照明パターンを、互いに異なる方向に沿って周期的な少なくとも２種類のパターンについて生成しても良い。
【００６４】
監視部７１は、撮像装置５が撮像した、検査対象１０−１又は１０−２の光沢表面に映り込んだ照明パターンの撮像画像のコントラストを監視する。
【００６５】
調整部７２は、撮像画像のコントラストがコントラストの閾値未満であると、閾値以上になるように、照明パターンを変調する変調パターンの変化率の値を調整する。検査対象１０−１又は１０−２に投影した照明パターンの暗い部分では変化率Ｒの値が小さく（この例ではＲ＜１）なり、明るい部分では変化率Ｒの値が大きく （この例ではＲ＞１）なるように変調パターンを調整する。変化率Ｒの値を調整する量は、適宜決めれば良く、一定量であっても良い。撮像画像中の照明パターンのコントラストの低下に伴い、光沢表面上の欠陥に対する信号対雑音比（ＳＮＲ：Signal-to-Noise Ratio）が悪化しても、投影する照明パターンを変調する変調パターンを例えば図１９のように調整する。これにより、撮像画像中の照明パターンのコントラストを補正できる。この結果、撮像画像中の照明パターンのコントラストが向上する。
【００６６】
検出部７３は、撮像画像のコントラストと、基準対象に対して予め演算した撮像画像のコントラストとの差が設定値以上であると検査対象１０−１又は１０−２の光沢表面上の欠陥を検出する。欠陥の検出結果を含む検査対象１０−１又は１０−２の検査結果は、例えば入出力装置８に出力する。
【００６７】
従って、検査対象１０−１又は１０−２の光沢度が低下しても、光沢表面の欠陥の検出精度の低下を抑えられる。例えば、検査対象１０−１又は１０−２の光沢表面の光沢度が低下しても、検査装置は光沢表面上の欠陥を高精度に検出でき、検査システム１−１は検査対象１０−１又は１０−２を高精度に検査できる。
【００６８】
図２４は、第３実施例における検査処理の一例を説明するフローチャートである。図２４に示す処理は、例えば図２に示すＣＰＵ１０１により実行可能である。説明の便宜上、第３実施例では、図１に示す検査システム１−１が検査対象１０−１を検査する場合を説明するが、図１２に示す検査システム１−２が検査対象１０−２を検査しても良い。
【００６９】
図２４に示すステップＳ３１では、ＣＰＵ１０１がコントローラ４を制御して検査対象１０−１を支持する支持部３−１を予め決められた撮像位置まで移動する。なお、コントローラ４が省略されている場合は、利用者が手動で、検査対象１０−１を予め決められた撮像位置にある支持部３−１に支持させても良い。なお、ステップＳ３１では、ＣＰＵ１０１がコントローラ６を制御して撮像装置５も移動するようにしても良い。
【００７０】
ステップＳ３２では、ＣＰＵ１０１がメモリ１０２に記憶されたパターンデータに基づいて、周期的な照明パターンを生成する。この例では、パターンデータは、照明パターンの種類、照明パターンの形状等を表すデータと、変調パターンを表すデータを含む。この例では、ＣＰＵ１０１は、１種類のパターンについて、照射強度の位相差が一定である複数（例えば、４つ）の照明パターンを、例えばメモリ１０２に記憶された図１８に示す変調パターンで変調して生成する生成手段の一例を形成する。図１８において、照明パターンを変調する変調パターンの入力に対する出力の変化率Ｒは、Ｒ＝１であり一定である。この例では、メモリ１０２は後述する標準コントラストのデータも記憶している。
【００７１】
ステップＳ３３では、ＣＰＵ１０１が１種類のパターンについて生成した複数の照明パターンを照明装置２の表示面に表示する。この例では、ＣＰＵ１０１は、照明パターンを出射するように光源２１を制御することで、光源２１からの照明パターンをミラー２２で反射して透過型スクリーン２３に投影する。
【００７２】
ステップＳ３４では、ＣＰＵ１０１がコントローラ６を制御して撮像装置５を検査対象１０−１の撮像領域を撮像する位置まで移動して、検査対象１０−１の撮像領域を撮像する。なお、ステップＳ３４では、ＣＰＵ１０１がコントローラ４を制御して、支持部３−１も移動するようにしても良い。また、コントローラ６が省略されている場合は、利用者が手動で、撮像装置５を検査対象１０−１の撮像領域を撮像する位置まで移動しても良い。
【００７３】
ＣＰＵ１０１は、１種類のパターンについて、ステップＳ３３の処理と、ステップＳ３４の処理を同期する。ステップＳ３３の処理は、１種類のパターンについて、複数の照明パターンを照明装置２の表示面に表示させる指示を照明装置２に出力する。一方、ステップＳ３４の処理は、同じ１種類のパターンについて、複数の照明パターンで照明された検査対象１０−１の画像を撮像して撮像画像を取得させる指示を撮像装置５に出力する。つまり、ＣＰＵ１０１は、照明装置２と撮像装置５の動作を同期させる同期制御を行う制御手段の一例を形成する。これにより、照明装置２は、１種類のパターンについて生成した複数の照明パターンで検査対象１０−１を照明し、撮像装置５は、同じ１種類のパターンについて複数の照明パターンの各々で照明された検査対象１０−１の画像を撮像する。この例では、撮像装置５が撮像した撮像画像は、コントローラ６を介して制御装置７に供給するが、制御装置７に直接供給しても良い。
【００７４】
ステップＳ３５では、ＣＰＵ１０１が１種類のパターンについて、複数の照明パターンで照明された検査対象１０−１の夫々の撮像画像の照明パターンのコントラストを演算して重畳する。ステップＳ３６では、ＣＰＵ１０１が重畳したコントラストが閾値以上であるか否かを判定する。ステップＳ３６の判定結果がＮＯであると、処理はステップＳ３７へ進む。ステップＳ３６の判定結果がＹＥＳであると、処理は後述するステップＳ４６へ進む。
【００７５】
ステップＳ３７では、ＣＰＵ１０１がメモリ１０２に記憶されたパターンデータに基づいて、照明パターンを変調する変調パターンをコントラストに応じて調整する。この例では、ＣＰＵ１０１は、照明パターンを変調する変調パターンをコントラストに応じて、例えばメモリ１０２に記憶された図１９に示す変調パターンに調整する調整手段の一例を形成する。図１９において、照明パターンを変調する変調パターンの入力に対する出力の変化率Ｒは、照明パターンの暗い部分ではＲ＜１と小さく、明るい部分ではＲ＞１と大きい。変化率Ｒの値を調整する量は、適宜決めれば良く、一定量であっても良い。
【００７６】
ステップＳ３８では、ＣＰＵ１０１がメモリ１０２に記憶されたパターンデータに基づいて、調整された変調パターンで変調された、周期的な照明パターンを生成する。ステップＳ３９では、ステップＳ３３と同様にして、ＣＰＵ１０１が１種類のパターンについて生成した複数の照明パターンを照明装置２の表示面に表示する。
【００７７】
ステップＳ４０では、ステップＳ３４と同様にして、ＣＰＵ１０１がコントローラ６を制御して撮像装置５を検査対象１０−１の撮像領域を撮像する位置まで移動して、検査対象１０−１の撮像領域を撮像する。なお、ステップＳ４０では、ＣＰＵ１０１がコントローラ４を制御して、支持部３−１も移動するようにしても良い。また、コントローラ６が省略されている場合は、利用者が手動で、撮像装置５を検査対象１０−１の撮像領域を撮像する位置まで移動しても良い。
【００７８】
ＣＰＵ１０１は、１種類のパターンについて、ステップＳ３８の処理と、ステップＳ３９の処理を同期する。ステップＳ３８の処理は、１種類のパターンについて、複数の照明パターンを照明装置２の表示面に表示させる指示を照明装置２に出力する。一方、ステップＳ３９の処理は、同じ１種類のパターンについて、複数の照明パターンで照明された検査対象１０−１の画像を撮像して撮像画像を取得させる指示を撮像装置５に出力する。
【００７９】
ステップＳ４１では、ステップＳ３５と同様にして、ＣＰＵ１０１が１種類のパターンについて、複数の照明パターンで照明された検査対象１０−１の夫々の撮像画像の照明パターンのコントラストを演算する。ステップＳ４２では、ステップＳ３６と同様にして、ＣＰＵ１０１がコントラストが閾値以上であるか否かを判定する。ステップＳ４２の判定結果がＮＯであると、処理はステップＳ４３へ進む。ステップＳ４２の判定結果がＹＥＳであると、処理は後述するステップＳ４５へ進む。
【００８０】
ステップＳ４３では、ＣＰＵ１０１がステップＳ３７の変調パターンの調整が規定回数以上行われたか否かを判定し、判定結果がＮＯであると、処理はステップＳ３７へ戻る。上記のステップＳ３７〜Ｓ４３の処理が、コントラストが閾値以上になるように、変調パターンの変化率の値を調整する。
【００８１】
一方、ステップＳ４３の判定結果がＹＥＳであると、処理はステップＳ４４へ進む。ステップＳ４４では、ＣＰＵ１０１が例外処理を実行し、処理は後述するステップＳ４８へ進む。例外処理は、変調パターンの調整を規定回数以上行ってもコントラストが閾値以上にならない場合に実行される。例外処理は、例えば外観検査が正常終了しないことを示すエラーメッセージ等を入出力装置８に出力する。
【００８２】
ステップＳ４５では、ＣＰＵ１０１が必要に応じて更新処理を実行する。更新処理は、例えば照明パターンのパターンデータを、調整後の変調パターンで変調された照明パターンのパターンデータに更新してメモリ１０２に記憶しても良い。また、更新処理は、標準コントラストのデータを、調整後に得られるコントラストのデータに更新してメモリ１０２に記憶しても良い。ステップＳ４５の後、処理はステップＳ４６へ進む。ステップＳ４５の処理は、省略しても良い。
【００８３】
ステップＳ４６の処理は、ステップＳ３６の判定結果がＹＥＳ、或いは、ステップＳ４５の後に実行される。ステップＳ４６では、ＣＰＵ１０１が１種類のパターンについて、複数の照明パターンで照明された検査対象１０−１の夫々の撮像画像の照明パターンを重畳した画像の照明パターンのコントラストと、メモリ１０２に記憶された、対応する基準画像の標準コントラストのデータとを比較する。基準画像は、前記と同じ１種類のパターンについて、前記と同じ複数の照明パターンで照明された基準対象の夫々の撮像画像の照明パターンを重畳した、予め演算されている画像である。基準対象とは、予め検査済みであり、光沢表面上に凹凸等の欠陥を有さない検査対象１０−１と同一の良品である。従って、具体的には、ＣＰＵ１０１が検査対象１０−１の夫々の撮像画像の照明パターンを重畳した画像のコントラスト（又は、明るさの振幅変化）と、メモリ１０２に記憶された、基準画像の標準コントラスト（又は、明るさの振幅変化）とを比較する検査処理を実行する。この検査処理は、比較した結果に基づいて、例えばコントラスト（又は、振幅変化）の差が設定値以上であると、検査対象１０−１の欠陥を検出する。
【００８４】
ステップＳ４６でＣＰＵ１０１が標準コントラストのデータと比較するコントラストは、撮像画像において光沢表面上の所定領域内で求めた複数箇所におけるコントラストの平均値であっても良い。この場合、所定領域は、検査対象１０−１又は１０−２の光沢表面の全面であっても良い。
【００８５】
なお、光沢表面の光沢度は、検査対象の光沢表面の材質、検査対象のロット、検査直前の工程等に応じて、予め測定しておくことができるので、標準コントラストのデータは、予め求めてメモリ１０２に記憶しておくことができる。また、検査対象の光沢表面の材質、検査対象のロット、検査直前の工程等の条件毎に標準コントラストのデータを求めて、複数の条件に対応させて複数の標準コントラストのデータをメモリ１０２に記憶しても良い。この場合、ステップＳ４６では、ＣＰＵ１０１が撮像画像の照明パターンのコントラストを、メモリ１０２に記憶されている複数の標準コントラストのうち、検査対象の条件に応じた標準コントラストのデータと比較すれば良い。更に、検査対象の光沢表面の材質、検査対象のロット、検査直前の工程等の条件毎に適切な変調パターンのデータを求めて、複数の条件に対応させて複数の変調パターンのデータをメモリ１０２に記憶しても良い。
【００８６】
なお、複数の照明パターンは、上記第１実施例又は上記第２実施例のように、互いに異なる方向に沿って周期的な少なくとも２種類のパターンについて生成しても良い。つまり、ＣＰＵ１０１は、照射強度の位相差が一定である複数の照明パターンを、例えばメモリ１０２に記憶された図１８に示す変調パターンで変調して、互いに異なる方向に沿って周期的な少なくとも２種類のパターンについて生成しても良い。
【００８７】
この場合、ＣＰＵ１０１は、照射強度の位相差が一定である複数の照明パターンを、互いに異なる方向に沿って周期的な少なくとも２種類のパターン毎に生成する生成手段の一例を形成する。互いに異なる方向に沿って周期的な少なくとも２種類のパターンは、特に限定されないが、例えば互いに異なる方向に沿って延在する縞状の第１のパターン及び第２のパターンを含む。互いに異なる方向に沿って延在する縞状の第１のパターン及び第２のパターンは、互いに直交する縞状パターンであっても良い。また、互いに異なる方向に沿って周期的な少なくとも２種類のパターンは、矩形状、三角状、正弦波状等のパターンであっても良い。
【００８８】
更に、この場合、図２４に示すステップＳ４６の検査処理は、図３と同様な処理を行うことができる。具体的には、ステップＳ６で重畳した撮像画像のコントラスト（又は、明るさの振幅変化）と、メモリ１０２に記憶された、基準対象に対して各種類のパターン毎に予め演算して重畳した撮像画像の標準コントラスト（又は、明るさの振幅変化）とを比較しても良い。この場合、比較した結果に基づいて、例えばコントラスト（又は、振幅変化）の差が設定値以上であると、検査対象１０−１の欠陥を検出する検査処理を実行すれば良い。
【００８９】
ステップＳ４７では、ＣＰＵ１０１がステップＳ４６の検査処理の結果、即ち、検査対象１０−１の欠陥が検出されたか否かの結果出力を、入出力装置８に出力する。
【００９０】
ステップＳ４８では、ＣＰＵ１０１が別の（又は、次の）検査対象が有るか否かを判定し、判定結果がＹＥＳであると、処理はステップＳ３１へ戻る。一方、ステップＳ４８の判定結果がＮＯであると、処理は終了する。検査対象１０−１の検査を終了する場合は、例えば利用者が入出力装置８から制御装置７（又は、コンピュータ１００）に検査終了の命令を入力すれば良い。
【００９１】
上記第３実施例によれば、検査対象を照明する照明パターンを変調する変調パターンを、検査対象の光沢表面の光沢度に合わせて調整することで、検査対象を撮像する時の光沢表面の鮮明度を補正する。これにより、検査対象の光沢度が低下しても、検査装置による光沢表面の欠陥の検出精度の低下を抑えることができる。また、検査システムによる検査対象の検査を高精度に行える。
【００９２】
更に、検査対象の光沢表面の光沢度が、例えば光沢表面を形成する工程等に応じて変化する場合であっても、検査対象の光沢表面の光沢度に合わせて変調パターンを調整することで、検査対象を撮像する時の光沢表面の鮮明度を補正できる。従って、このような場合に検査対象の光沢度が低下しても、検査装置による光沢表面の欠陥の検出精度の低下を抑えられる。
【００９３】
以上の実施例を含む実施形態に関し、更に以下の付記を開示する。
（付記１）
照明装置が、変調パターンで変調された照明パターンを表示面に表示し、
撮像装置が、前記表示面に表示された前記照明パターンにより照明された検査対象の光沢表面に映り込んだ照明パターンの画像を撮像し、
プロセッサが、照射強度の位相差が一定である複数の照明パターンを前記照明装置の前記表示面に表示させる指示を前記照明装置に出力すると共に、前記複数の照明パターンで照明された前記検査対象の画像を撮像して撮像画像を取得させる指示を前記撮像装置に出力し、前記照明装置と前記撮像装置の動作を同期させる同期制御を行い、
前記プロセッサが、前記複数の照明パターンで照明された前記検査対象の撮像画像のコントラストを演算して重畳し、
前記プロセッサが、重畳した撮像画像のコントラストと、基準対象に対して予め演算して重畳した撮像画像のコントラストとの差が設定値以上であると前記検査対象の前記光沢表面上の欠陥を検出し、
前記プロセッサが、前記重畳した撮像画像のコントラストが閾値未満であると、前記閾値以上になるように前記変調パターンの変化率の値を調整する、
ことを特徴とする、検査方法。
（付記２）
前記プロセッサが、前記重畳した撮像画像のコントラストが前記閾値未満であると、照明パターンの明るさが一定値未満の暗い部分では小さくなり、明るさが前記一定値以上の明るい部分では大きくなるように前記変調パターンの変化率の値を調整することを特徴とする、付記１記載の検査方法。
（付記３）
前記プロセッサが、前記重畳した撮像画像の光沢表面上の所定領域内で求めた複数箇所におけるコントラストの平均値と、前記基準対象に対して予め演算して重畳した撮像画像のコントラストとの差が前記設定値以上であると前記検査対象の前記欠陥を検出することを特徴とする、付記１又は２記載の検査方法。
（付記４）
前記照明装置の表示面を、前記複数の照明パターンを投影する透過型スクリーン又は表示装置の表示画面で形成することを特徴とする、付記１乃至３のいずれか１項記載の検査方法。
（付記５）
前記検査対象は不透明であり、
前記照明装置が、前記検査対象の前記光沢表面の側から前記照明パターンにより前記検査対象を照明し、
前記撮像装置が、前記検査対象の前記光沢表面に映り込んだ前記照明パターンを含む前記撮像画像を前記光沢表面の側から撮像する、
ことを特徴とする、付記１乃至４のいずれか１項記載の検査方法。
（付記６）
前記検査対象は透明であり、
前記照明装置が、前記検査対象の前記光沢表面とは反対側から前記照明パターンにより前記検査対象を照明し、
前記撮像装置が、前記撮像画像を前記検査対象の前記光沢表面の側から撮像する、
ことを特徴とする、付記１乃至４のいずれか１項記載の検査方法。
（付記７）
前記プロセッサが、前記複数の照明パターンを、互いに異なる方向に沿って周期的な少なくとも２種類のパターンについて生成し、
前記互いに異なる方向に沿って周期的な少なくとも２種類のパターンは、互いに異なる方向に沿って周期的な縞状の第１のパターン及び第２のパターンを含むことを特徴とする、付記１乃至６のいずれか１項記載の検査方法。
（付記８）
変調パターンにより変調され、照射強度の位相差が一定である複数の照明パターンを生成する生成手段と、
前記複数の照明パターンを照明装置の表示面に表示させる指示を前記照明装置に出力すると共に、前記複数の照明パターンで照明された検査対象の光沢表面に映り込んだ照明パターンの画像を撮像して撮像画像を取得させる指示を撮像装置に出力し、前記照明装置と前記撮像装置の動作を同期させる同期制御を行う制御手段と、
を備え、
前記制御手段は、
前記撮像画像のコントラストを監視する監視部と、
前記撮像画像のコントラストが閾値未満であると、前記閾値以上になるように前記変調パターンの変化率の値を調整する調整部と、
前記撮像画像のコントラストと、基準対象に対して予め演算した撮像画像のコントラストとの差が設定値以上であると前記検査対象の前記光沢表面上の欠陥を検出する検出部と、
を有することを特徴とする、検査装置。
（付記９）
前記調整部は、前記撮像画像のコントラストが前記閾値未満であると、照明パターンの明るさが一定値未満の暗い部分では小さくなり、明るさが前記一定値以上の明るい部分では大きくなるように前記変調パターンの変化率の値を調整することを特徴とする、付記８記載の検査装置。
（付記１０）
前記検出部は、前記撮像画像の光沢表面上の所定領域内で求めた複数箇所におけるコントラストの平均値と、前記基準対象に対して予め演算した撮像画像のコントラストとの差が前記設定値以上であると前記検査対象の前記欠陥を検出することを特徴とする、付記８又は９記載の検査方法。
（付記１１）
前記生成手段は、前記複数の照明パターンを、互いに異なる方向に沿って周期的な少なくとも２種類のパターンについて生成し、
前記互いに異なる方向に沿って周期的な少なくとも２種類のパターンは、互いに異なる方向に沿って周期的な縞状の第１のパターン及び第２のパターンを含むことを特徴とする、付記８乃至１９のいずれか１項記載の検査装置。
（付記１２）
照明パターンを表示面に表示する照明装置と、
光沢表面を有する検査対象を支持する支持部と、
前記表示面に表示された前記照明パターンにより照明された前記検査対象の画像を撮像する撮像装置と、
変調パターンにより変調され、照射強度の位相差が一定である複数の照明パターンを生成し、前記複数の照明パターンを前記照明装置の前記表示面に表示させる指示を前記照明装置に出力すると共に、前記複数の照明パターンで照明された前記検査対象の前記光沢表面に映り込んだ照明パターンの画像を撮像して撮像画像を取得させる指示を前記撮像装置に出力し、前記照明装置と前記撮像装置の動作を同期させる同期制御を行う制御装置と、
を備え、
前記制御装置は、
前記撮像画像のコントラストを監視する監視部と、
前記撮像画像のコントラストが閾値未満であると、前記閾値以上になるように前記変調パターンの変化率の値を調整する調整部と、
前記撮像画像のコントラストと、基準対象に対して予め演算した撮像画像のコントラストとの差が設定値以上であると前記検査対象の前記光沢表面上の欠陥を検出する検出部と、
を有することを特徴とする、検査システム。
（付記１３）
前記調整部は、前記撮像画像のコントラストが前記閾値未満であると、照明パターンの明るさが一定値未満の暗い部分では小さくなり、明るさが前記一定値以上の明るい部分では大きくなるように前記変調パターンの変化率の値を調整することを特徴とする、付記１２記載の検査システム。
（付記１４）
前記検出部は、前記撮像画像の光沢表面上の所定領域内で求めた複数箇所におけるコントラストの平均値と、前記基準対象に対して予め演算した撮像画像のコントラストとの差が前記設定値以上であると前記検査対象の前記欠陥を検出することを特徴とする、付記１２又は１３記載の検査システム。
（付記１５）
前記支持部及び前記撮像装置のうち少なくとも一方を移動する移動手段を更に備え、
前記制御装置は、前記移動手段を制御して前記支持部及び前記撮像装置の相対位置を変化させることで、前記撮像装置が撮像する前記検査対象の前記光沢表面上の撮像領域を移動することを特徴とする、付記１２乃至１４のいずれか１項記載の検査システム。
（付記１６）
前記照明装置が、前記検査対象の前記光沢表面の側から前記照明パターンにより前記検査対象を照明し、
前記撮像装置が、前記検査対象に映り込んだ前記照明パターンを含む前記撮像画像を前記光沢表面の側から撮像する、
ことを特徴とする、付記１２乃至１５のいずれか１項記載の検査システム。
（付記１７）
前記照明装置は、前記検査対象の前記光沢表面とは反対側から前記照明パターンにより前記検査対象を照明し、
前記撮像装置は、前記撮像画像を前記検査対象の前記光沢表面の側から撮像する、
ことを特徴とする、付記１２乃至１５のいずれか１項記載の検査システム。
（付記１８）
変調パターンで変調された照明パターンを照明装置の表示面に表示し、
前記表示面に表示された前記照明パターンにより照明された検査対象の光沢表面に映り込んだ照明パターンの画像を撮像装置により撮像し、
照射強度の位相差が一定である複数の照明パターンを前記照明装置の前記表示面に表示させる指示を前記照明装置に出力すると共に、前記複数の照明パターンで照明された前記検査対象の画像を撮像して撮像画像を取得させる指示を前記撮像装置に出力し、前記照明装置と前記撮像装置の動作を同期させる同期制御を行い、
前記複数の照明パターンで照明された前記検査対象の撮像画像のコントラストを演算して重畳し、
重畳した撮像画像のコントラストと、基準対象に対して予め演算して重畳した撮像画像のコントラストとの差が設定値以上であると前記検査対象の前記光沢表面上の欠陥を検出し、
前記重畳した撮像画像のコントラストが閾値未満であると、前記閾値以上になるように前記変調パターンの変化率の値を調整する、
処理をコンピュータに実行させるためのプログラム。
（付記１９）
前記調整する処理は、前記重畳した前記撮像画像のコントラストが前記閾値未満であると、照明パターンの明るさが一定値未満の暗い部分では小さくなり、明るさが前記一定値以上の明るい部分では大きくなるように前記変調パターンの変化率の値を調整することを特徴とする、付記１８記載のプログラム。
（付記２０）
前記検出する処理は、重畳した前記撮像画像の光沢表面上の所定領域内で求めた複数箇所におけるコントラストの平均値と、前記基準対象に対して予め演算して重畳した撮像画像のコントラストとの差が前記設定値以上であると前記検査対象の前記欠陥を検出することを特徴とする、付記１８又は１９記載のプログラム。
【００９４】
以上、開示の検査方法、装置、システム及びプログラムを実施例により説明したが、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変形及び改良が可能であることは言うまでもない。
【符号の説明】
【００９５】
１−１，１−２      検査システム
２      照明装置
３−１，３−２      支持部
４，６      コントローラ
５      撮像装置
７      制御装置
８      入出力装置
１０−１，１０−２      検査対象
７１      監視部
７２      調整部
７３      検出部
１００      コンピュータ
１０１      ＣＰＵ
１０２      メモリ
【図１】
2019158458.tif 000003
【図２】
2019158458.tif 000004
【図３】
2019158458.tif 000005
【図４】
2019158458.tif 000006
【図５】
2019158458.tif 000007
【図６】
2019158458.tif 000008
【図７】
2019158458.tif 000009
【図８】
2019158458.tif 000010
【図９】
2019158458.tif 000011
【図１０】
2019158458.tif 000012
【図１１】
2019158458.tif 000013
【図１２】
2019158458.tif 000014
【図１３】
2019158458.tif 000015
【図１４】
2019158458.tif 000016
【図１５】
2019158458.tif 000017
【図１６】
2019158458.tif 000018
【図１７】
2019158458.tif 000019
【図１８】
2019158458.tif 000020
【図１９】
2019158458.tif 000021
【図２０】
2019158458.tif 000022
【図２１】
2019158458.tif 000023
【図２２】
2019158458.tif 000024
【図２３】
2019158458.tif 000025
【図２４】
2019158458.tif 000026