(57)【要約】【課題】振動板部材の接合信頼性を向上する。【解決手段】振動板部材３には、ノズル配列方向に沿って、領域Ａ１内に複数の振動領域３０が配置され、領域Ａ１の外側に、複数のダミー振動領域３３が設けられ、圧力室６の並び方向に沿って、薄肉部（第１層３ａ）からなる複数のダンパ部２１を形成するための複数の凹部３１が配置され、複数の凹部３１のうちの一部は、圧力室６の並び方向において、複数の圧力室６が配置された領域Ａ１よりも外側に配置されている。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出する複数のノズルと、
前記複数のノズルにそれぞれ通じる複数の圧力室と、
前記複数の圧力室のそれぞれの変位可能な壁面を形成する振動板部材と、を備え、
前記振動板部材は、前記圧力室の並び方向において、前記複数の圧力室が形成された領域よりも外側に配置される１又は複数の凹部を有する
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記凹部は、ダンパ部を形成している
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド、
【請求項３】
前記凹部は、前記圧力室の並び方向において中央部に配置されてない
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記凹部は、前記圧力室の並び方向において、前記振動板部材のアライメントマークよりも内側に配置されている
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする液体吐出ユニット。
【請求項６】
前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
ことを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ユニット。
【請求項７】
請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項５若しくは６に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体を吐出する液体吐出ヘッドとして、例えば、ノズルが通じる圧力室（個別液室）の変形可能な壁面（振動領域）を形成する振動板部材に、ノズル配列方向に沿って１又は複数の凹部を設けてダンパ部となる薄肉部を形成するものがある。
【０００３】
従来、振動板部材を電鋳で形成する場合に生じる厚みの不均一化を抑制するため、圧電素子を接合する変形可能な壁面のアイランド部を形成する領域以外の領域にもダミーのアイランド部を形成することが知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−１００４０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、電鋳によって形成する振動板部材にダンパ部を設ける場合、振動板部材の厚みがノズル配列方向において不均一になり、振動領域に接合する電気機械変換素子に対する接合面の平坦性が損なわれ、接合不良による吐出不良が発生するという課題がある。
【０００６】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、接合信頼性を向上することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液体を吐出する複数のノズルと、
前記複数のノズルにそれぞれ通じる複数の圧力室と、
前記複数の圧力室のそれぞれの変位可能な壁面を形成する振動板部材と、を備え、
前記振動板部材は、前記圧力室の並び方向において、前記複数の圧力室が形成された領域よりも外側に配置される１又は複数の凹部を有する
構成とした。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、接合信頼性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの平面説明図である。
【図２】同じく側面説明図である。
【図３】図１のＡ−Ａ線に沿うノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。
【図４】図２のＸ１−Ｘ１線に相当するノズル配列方向に沿う断面説明図である。
【図５】流路ユニットと圧電アクチュエータの長手方向における接合の説明に供する説明図である。
【図６】振動板部材の平面説明図である。
【図７】振動板部材のノズル配列方向における偏肉の一例の説明図である。
【図８】流路ユニットのノズル配列方向における偏肉の一例の説明図である。
【図９】比較例１の振動板部材の平面説明図である。
【図１０】比較例１の振動板部材のノズル配列方向における偏肉の一例の説明図である。
【図１１】比較例１における流路ユニットのノズル配列方向における偏肉の一例の説明図である。
【図１２】本発明の第２実施形態における振動板部材の平面説明図である。
【図１３】振動板部材のノズル配列方向における偏肉の一例の説明図である。
【図１４】流路ユニットのノズル配列方向における偏肉の一例の説明図である。
【図１５】本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。
【図１６】同じく図１５のＸ２−Ｘ２線に相当するノズル配列方向に沿う断面説明図である。
【図１７】同じく振動板部材の平面説明図である。
【図１８】同じく流路板の平面説明図である。
【図１９】本発明の第４実施形態に係る液体吐出ヘッドの図１６と同様なノズル配列方向に沿う断面説明図である。
【図２０】本発明に係る液体を吐出する装置の一例の要部平面説明図である。
【図２１】同装置の要部側面説明図である。
【図２２】本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。
【図２３】本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態について図１ないし図４を参照して説明する。図１は同実施形態に係る液体吐出ヘッドの平面説明図、図２は同じく側面説明図、図３は図１のＡ−Ａ線に沿うノズル配列方向と直交する方向の断面説明図である。図４は図２のＸ１−Ｘ１線に相当するノズル配列方向に沿う断面説明図である。
【００１１】
この液体吐出ヘッド１００は、ノズル板１と、流路板２と、壁面部材としての振動板部材３とを積層接合している。そして、振動板部材３の振動領域（振動板）３０を変位させる圧電アクチュエータ１１と、ヘッドのフレーム部材を兼ねている共通液室部材２０とを備えている。
【００１２】
ノズル板１は、液体を吐出する複数のノズル４を配列したノズル列を４列有している。
【００１３】
流路板２は、複数のノズル４にそれぞれノズル連通路５を介して通じる複数の圧力室である個別液室６、各個別液室６にそれぞれ通じる流体抵抗部７、１又は複数の流体抵抗部７に通じる１又は複数の液導入部８を形成している。
【００１４】
振動板部材３は、流路板２の個別液室６の壁面を形成する変位可能な複数の振動板（振動領域）３０を有する。ここでは、振動板部材３は２層構造（限定されない）とし、流路板２側から薄肉部を形成する第１層３ａと、厚肉部を形成する第２層３ｂで構成され、第１層３ａで個別液室６に対応する部分に変形可能な振動領域３０を形成している。
【００１５】
そして、振動板部材３の個別液室６とは反対側に、振動板部材３の振動領域３０を変形させる駆動手段（アクチュエータ手段、圧力発生手段）としての電気機械変換素子を含む圧電アクチュエータ１１を配置している。
【００１６】
この圧電アクチュエータ１１は、ベース部材１３上に接合した圧電部材１２にハーフカットダイシングによって溝加工をして、ノズル配列方向において、所要数の柱状の圧電素子１２Ａを所定の間隔で櫛歯状に形成している。
【００１７】
そして、圧電素子１２Ａを振動板部材３の振動領域３０に形成した島状の厚肉部である凸部３０ａに接合している。
【００１８】
この圧電素子１２は、圧電層と内部電極とを交互に積層したものであり、内部電極がそれぞれ端面に引き出されて外部電極（端面電極）に接続され、外部電極にフレキシブル配線部材１６が接続されている。
【００１９】
共通液室部材２０は共通液室１０を形成している。共通液室１０は、振動板部材３に設けた開口９を介して液導入部８に通じている。
【００２０】
また、振動板部材３は、共通液室１０に対向する凹部３１を設けることで、第１層３ａで共通液室１０の変形可能な壁面となるダンパ部２１を形成し、流路板２にはダンパ部２１の共通液室１０とは反対側にダンパ室（気体室）２２を形成している。ダンパ室２２は、ノズル板１と振動板部材３との間に設けた流路板２の貫通穴で形成されている。
【００２１】
この液体吐出ヘッド１００においては、例えば圧電素子１２Ａに与える電圧を基準電位（中間電位）から下げることによって圧電素子１２Ａが収縮し、振動板部材３の振動領域３０が引かれて個別液室６の容積が膨張することで、個別液室６内に液体が流入する。
【００２２】
その後、圧電素子１２Ａに印加する電圧を上げて圧電素子１２Ａを積層方向に伸長させ、振動板部材３の振動領域３０をノズル４に向かう方向に変形させて個別液室６の容積を収縮させることにより、個別液室６内の液体が加圧され、ノズル４から液体が吐出される。
【００２３】
なお、ヘッドの駆動方法については上記の例（引き−押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行なうこともできる。
【００２４】
次に、流路ユニットと圧電アクチュエータの長手方向における接合について図５を参照して説明する。図５は同説明に供する説明図である。
【００２５】
流路ユニット４０は、ノズル板１、流路板２及び振動板部材３をそれぞれ接着剤４１で接合して構成される。接着剤４１は、ごく薄い厚みで均一に塗布されるため、流路ユニット４０の厚みは、ノズル板１の厚みと、流路板２の厚みと、振動板部材３の厚みを加算したものとほぼ同じである。
【００２６】
圧電アクチュエータ１１の圧電素子１２Ａは、振動板部材３の振動領域３０に接着剤４２で接合される。接合信頼性の観点から、圧電アクチュエータ１１の接合範囲４３において、流路ユニット４０が平坦であることが求められる。
【００２７】
本実施形態では、圧電アクチュエータ１１の接合範囲４３は、流路ユニット４０の長手方向（ノズル配列方向）の全長約７．５ｃｍに対し、端から約１ｃｍ〜６．５ｃｍの範囲として説明する。
【００２８】
次に、振動板部材について図６を参照して説明する。図６は振動板部材の平面説明図である。
【００２９】
振動板部材３には、ノズル配列方向に沿って、領域Ａ１内に複数の振動領域３０が配置されている。また、本実施形態では、圧力室６の並び方向（振動領域３０の並び方向、ノズル配列方向でもある。）において、領域Ａ１の外側に、複数のダミー振動領域３３が設けられている。領域Ａ１は複数の圧力室６が配置された領域である。
【００３０】
また、振動板部材３には、圧力室６の並び方向に沿って、薄肉部（第１層３ａ）からなる複数のダンパ部２１を形成するための複数の凹部３１が配置されている。本実施形態では、振動板部材３は、圧力室６の並び方向において、複数の圧力室６が形成された領域Ａ１よりも外側にも凹部３１を有する。
【００３１】
この場合、複数の圧力室６が形成された領域Ａ１よりも外側に配置する凹部３１は、圧力室６の並び方向において、振動板部材３を流路板２と接合するときのアライメントマーク３５よりも内側としている。
【００３２】
次に、本実施形態による振動板部材及び流路ユニットのノズル配列方向における偏肉の一例について図７及び図８を参照して説明する。図７は振動板部材のノズル配列方向における偏肉の一例の説明図、図８は流路ユニットのノズル配列方向における偏肉の一例の説明図である。
【００３３】
振動板部材３を電鋳めっきで製造する場合、本実施形態では第１層３ａを成膜した後、ダンパ部２１となる凹部３１や振動領域３０の凸部３０ａ以外の領域に、非導電性のレジストパターンを形成して第２層３ｂの成膜を行うことになる。
【００３４】
このように非導電性のレジストパターンを形成して電鋳めっきを行うとき、レジストパターンによる遮蔽面積が大きくなるほど、その部位の電界がレジスト端部の電極部に集中し、めっき膜厚が厚くなる傾向がある。
【００３５】
ここで、ダンパ部２１を形成する凹部３１はレジストによる遮蔽面積が振動領域３０よりも大きく、ダンパ部２１を形成する凹部３１の周辺のめっき膜厚が他のパターンに比較して厚くなる。
【００３６】
そこで、本実施形態では、凹部３１を、圧力室６の配置領域Ａ１の外側にも配置している。
【００３７】
これにより、圧電アクチュエータ１１と接合する振動板部材３の圧力室６の配置領域Ａ１（圧電アクチュエータ１１との接合範囲４３）をほぼ平坦にすることができる。
【００３８】
具体的には、図７に示すように、振動板部材３は、両端部で設計値よりも薄く、中央部で設計値よりも厚くなり、端から１ｃｍ〜６．５ｃｍの圧力室６の配置領域Ａ１の範囲内（圧電アクチュエータ１１の接合範囲４３）は、ほぼ平坦になる。
【００３９】
この振動板部材３と平坦なノズル板１及び流路板２とによって流路ユニット４０を構成した場合、流路ユニット４０の厚みは、端部から１ｃｍ〜６．５ｃｍの範囲内でほぼ理想値の総厚さが得られる。
【００４０】
これにより、圧電アクチュエータ１１の圧電素子１２Ａと振動板部材３の各振動領域３０とを接着剤４２で接合するときの接合範囲４３内での平坦性を確保することができる。したがって、圧電アクチュエータ１１の圧電素子１２Ａと振動板部材３の各振動領域３０と接合信頼性を向上することができる。
【００４１】
ここで、比較例１について図９ないし図１１を参照して説明する。図９は同比較例１の振動板部材の平面説明図、図１０は比較例１の振動板部材のノズル配列方向における偏肉の一例の説明図、図１１は同比較例１における流路ユニットのノズル配列方向における偏肉の一例の説明図である。
【００４２】
比較例１は、圧力室６の並び方向において、圧力室６の配置領域Ａ１より内側のみに凹部３１が配置され、配置領域Ａ１の外側には凹部３１が配置されていない構成としている。
【００４３】
この比較例１の振動板部材３は、図１０に示すように、両端部で設計値よりも薄く、中央部で設計値よりも厚くなるが、凹部３１が領域Ａ１の外側に設けられていないので、端から２ｃｍ〜４．５ｃｍの範囲内でしか平坦性が得られない。
【００４４】
そのため、この比較例１の振動板部材３と平坦なノズル板１及び流路板２とによって流路ユニット４０を構成した場合、流路ユニット４０に厚みは、端部から２ｃｍ〜５．５ｃｍの範囲内でしかほぼ理想値の総厚さが得られなくなる。
【００４５】
その結果、圧電アクチュエータ１１の圧電素子１２Ａと振動板部材３の各振動領域３０とを接着剤４２で接合するときの接合範囲４３の両端部では平坦性を確保することができなくなり、圧電素子１２Ａと各振動領域３０と接合不良が生じることになる。
【００４６】
これに対し、本実施形態では、圧力室６の配置領域Ａ１の側に凹部３１を配置することで、電鋳によって振動板部材３を製作するときの振動板部材３の偏肉を制御し、振動板部材３単体での偏肉を小さくして、圧電アクチュエータ１１との接合範囲の平坦性を向上している。
【００４７】
なお、圧力室６の配置領域Ａ１の外側に配置された凹部３１による薄肉部（上記実施形態では第１層３ａの部分）が共通液室１０に面しているときには、当該凹部３１による薄肉部はダンパ部２１となるが、共通液室１０に面していないときには単なる薄肉部となるだけである。
【００４８】
つまり、圧力室６の配置領域Ａ１内に配置される凹部３１を含めて、凹部３１はタンパ部を形成していることは必須でなく、振動板部材３の厚みを制御するだけの凹部であってもよい。
【００４９】
また、本実施形態では、前述したように、凹部３１はアライメントマーク３５よりも内側にしている。これにより、凹部３１を設けることで厚みが増加することによるアライメントマーク３５への影響（穴径の変化）を防止することができる。
【００５０】
次に、本発明の第２実施形態について図１２ないし図１４を参照して説明する。図１２は同実施形態における振動板部材の平面説明図、図１３は振動板部材のノズル配列方向における偏肉の一例の説明図、図１４は流路ユニットのノズル配列方向における偏肉の一例の説明図である。
【００５１】
振動板部材３には、圧力室６の並び方向において、両端部に凹部３１を形成し、中央部には凹部３１を配置していない構成としている。
【００５２】
このように構成した場合、振動板部材３は、図１３に示すように、圧力室６の並び方向において、両端部の厚みが厚く、中央部の厚みが薄くなるように偏肉が生じる。
【００５３】
ここで、ノズル板１は全体が平坦な部材であり、流路板２は圧力室６の並び方向において、両端部の厚みが薄く、中央部の厚みが厚くなるように偏肉が生じている部材とする。
【００５４】
したがって、これらのノズル板１、流路板２及び振動板部材３を接合して構成した流路ユニット４０の厚みは、図１４に示すように、端部から１ｃｍ〜６．５ｃｍの範囲内で平坦性が得られる。
【００５５】
つまり、振動板部材３の厚みをノズル板１や流路板２などの他部品の偏肉に応じて制御することで、他部品の偏肉を吸収して、流路ユニット４０として構成したときの総厚みの平坦性を向上し、圧電アクチュエータとの接合信頼性を向上することができる。
【００５６】
次に、本発明の第３実施形態について図１５ないし図１８を参照して説明する。図１５は同実施形態に係る液体吐出ヘッドのノズル配列方向と直交する方向の断面説明図、図１６は同じく図１５のＸ２−Ｘ２線に相当するノズル配列方向に沿う断面説明図である。図１７は同じく振動板部材の平面説明図、図１８は同じく流路板の平面説明図である。
【００５７】
振動板部材３には、前記第１実施形態と同様に、ノズル配列方向に沿って、圧力室６の領域Ａ１内に複数の振動領域３０が配置されている。また、本実施形態では、圧力室６の並び方向において、領域Ａ１の外側に、複数のダミー振動領域３３が設けられている。
【００５８】
また、振動板部材３には、圧力室６の領域Ａ１内に、複数の液導入部８に通じる複数の開口９が設けられている。本実施形態では、開口９のノズル配列方向と直交する方向の幅は、共通液室１０の幅とほぼ同じにしている。
【００５９】
振動板部材３は、圧力室６の並び方向において、圧力室６の配置領域Ａ１よりも外側に、薄肉部（第１層３ａ）からなる少なくとも１つダンパ部２１を形成するための凹部３１を有している。ダンパ部２１を挟んで共通液室１０とは反対側にダンパ室２２を配置している。ダンパ室２２は、ノズル板１と振動板部材３との間に設けた流路板２の貫通穴で形成している。
【００６０】
このように、振動板部材３が、圧力室６の並び方向において、圧力室６の配置領域Ａ１よりも外側に凹部３１を有することで均膜化を図れる。また、凹部３１で共通液室１０に面するタンパ部２１を形成することで、圧力変動を減衰して、吐出安定性を図ることができる。
【００６１】
次に、本発明の第４実施形態について図１９を参照して説明する。図１９は同実施形態に係る液体吐出ヘッドの図１６と同様なノズル配列方向に沿う断面説明図である。
【００６２】
本実施形態では、ダンパ室２２は流路板２をハーフエッチングして形成している。その他の構成は、前記第３実施形態と同様である。
【００６３】
次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図２０及び図２１を参照して説明する。図２０は同装置の要部平面説明図、図２１は同装置の要部側面説明図である。
【００６４】
この装置４００は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。
【００６５】
このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド１００及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド１００は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド１００は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。
【００６６】
液体吐出ヘッド１００の外部に貯留されている液体を液体吐出ヘッド１００に供給するための供給機構４９４により、ヘッドタンク４４１には、液体カートリッジ４５０に貯留されている液体が供給される。
【００６７】
供給機構４９４は、液体カートリッジ４５０を装着する充填部であるカートリッジホルダ４５１、チューブ４５６、送液ポンプを含む送液ユニット４５２等で構成される。液体カートリッジ４５０はカートリッジホルダ４５１に着脱可能に装着される。ヘッドタンク４４１には、チューブ４５６を介して送液ユニット４５２によって、液体カートリッジ４５０から液体が送液される。
【００６８】
この装置は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。
【００６９】
搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド１００に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。
【００７０】
そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。
【００７１】
さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド１００の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。
【００７２】
維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド１００のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。
【００７３】
主走査移動機構４９３、供給機構４９４、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。
【００７４】
このように構成したこの装置においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。
【００７５】
そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド１００を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成
する。
【００７６】
このように、この装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。
【００７７】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図２２を参照して説明する。図２２は同ユニットの要部平面説明図である。
【００７８】
この液体吐出ユニット４４０は、液体を吐出する装置４００を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド１００で構成されている。
【００７９】
なお、この液体吐出ユニットの例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０、及び供給機構４９４の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。
【００８０】
次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図２３を参照して説明する。図２３は同ユニットの正面説明図である。
【００８１】
この液体吐出ユニット４４０は、液体供給部材である流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド１００と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。
【００８２】
なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド１００と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。
【００８３】
本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。
【００８４】
液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。
【００８５】
「液体吐出ユニット」は、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体が含まれる。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。
【００８６】
ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。
【００８７】
例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。
【００８８】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。
【００８９】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。
【００９０】
また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。
【００９１】
また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。
【００９２】
主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。
【００９３】
「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を 気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。
【００９４】
この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。
【００９５】
例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。
【００９６】
また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。
【００９７】
上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。
【００９８】
上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。
【００９９】
また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。
【０１００】
また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。
【０１０１】
なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。
【符号の説明】
【０１０２】
１  ノズル板
２  流路板
３  振動板部材
４  ノズル
６  個別液室
１０  共通液室
２０  共通液室部材
２１  ダンパ部
２２  ダンパ室
３０  振動板
３１  凹部
１００  液体吐出ヘッド
４００  液体を吐出する装置
４０３  キャリッジ
４４０  液体吐出ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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