(57)【要約】【課題】プローブが被検査体及び基板に配置されたランドと安定して接触できる電気的接続装置を提供する。【解決手段】バレル１１の両端部の開口端からそれぞれ先端部が露出したトップ側プランジャー１２１とボトム側プランジャー１２２を有し、バレル１１の両端部の中間の領域にバレル１１の本体部とは異なる外径を有するストッパー領域１３が形成されたプローブ１０と、ストッパー領域１３とバレル１１の本体部のうちの外径が相対的に細い領域は通過し且つ外径が相対的に太い領域は通過できないミドルガイド２３を有し、相対的に細い領域がミドルガイド２３を貫通した状態でプローブ１０を保持するプローブヘッド２０とを備え、プローブ１０が両端部とストッパー領域１３との間のそれぞれで軸方向に伸縮自在に構成され、プローブ１０が軸方向に伸縮したときに相対的に太い領域がミドルガイド２３に圧着する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
管形状のバレル、及び前記バレルの両端部の開口端からそれぞれ先端部が露出した状態で前記バレルに接合された棒形状のトップ側プランジャーとボトム側プランジャーを有し、前記両端部の中間の領域に前記バレルの本体部とは異なる外径を有するストッパー領域が形成されたプローブと、
前記ストッパー領域と前記本体部のうちの外径が相対的に細い領域は通過し且つ外径が相対的に太い領域は通過できないミドルガイドを有し、前記相対的に細い領域が前記ミドルガイドを貫通した状態で前記プローブを保持するプローブヘッドと、
を備え、
前記プローブが、前記両端部と前記ストッパー領域との間のそれぞれで軸方向に伸縮自在に構成され、
前記プローブが前記軸方向に伸縮したときに、前記相対的に太い領域が前記ミドルガイドに圧着する
ことを特徴とする電気的接続装置。
【請求項２】
前記バレルの前記両端部のそれぞれの端部と前記中間の領域との間で、前記バレルの側面を貫通する螺旋状の切り込みが形成されていることを特徴とする請求項１に記載の電気的接続装置。
【請求項３】
前記ストッパー領域が前記本体部よりも外径を太くした鍔状の領域であり、
前記ストッパー領域の前記軸方向に沿った両側に前記ミドルガイドがそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気的接続装置。
【請求項４】
前記ストッパー領域が前記本体部よりも外径を太くした鍔状の領域であり、
前記軸方向に沿って２つの前記ストッパー領域が前記プローブに形成され、
２つの前記ストッパー領域の間に前記ミドルガイドが配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気的接続装置。
【請求項５】
前記ストッパー領域が前記本体部よりも外径を太くした鍔状の領域であり、
前記バレルの前記両端部のいずれか一方のみと前記ミドルガイドとの間に前記ストッパー領域が形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気的接続装置。
【請求項６】
前記相対的に太い領域が前記バレルに形成されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
【請求項７】
前記プローブが、前記トップ側プランジャーと前記ボトム側プランジャーのそれぞれと離間して前記バレルの内部に挿入された中間部プランジャーを更に備え、
前記相対的に太い領域が前記中間部プランジャーに形成され、
前記バレルが、前記トップ側プランジャーが挿入されるトップ部と前記ボトム側プランジャーが挿入されるボトム部とに分割され、前記トップ部と前記ボトム部の間から前記相対的に太い領域が露出していることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
【請求項８】
前記ストッパー領域が前記本体部よりも外径が細いことを特徴とする請求項１又は２に記載の電気的接続装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査体の特性の測定に使用される電気的接続装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路などの被検査体の特性をウェハから分離しない状態で測定するために、被検査体に接触させるプローブを有する電気的接続装置が用いられている。プローブの一方の端部を被検査体に接触させ、プローブの他方の端部を、基板に配置されてテスタと電気的に接続された端子（以下において「ランド」という。）に接触させる。
【０００３】
このとき、プローブと被検査体やランドとの電気的な接続を確保する必要がある。そのために、プローブを強く被検査体に押し付けるようにオーバードライブ（ＯＤ）がかけられる。また、プローブを弾性変形させることによってプローブとランドにプリロードをかけるプリロード構造が採用されている。このため、弾性変形する部分をプローブに設ける構造が採用されている（例えば特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−２８１５８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
プローブがランドと安定して接触するために、プリロードの大きさには適正な範囲がある。しかし、ＯＤをかけるとプリロードに影響が及び、プローブとランドとの間の接触が不安定になる問題が生じていた。本発明者らの検討により、プローブがランドと接触する圧力が大きすぎるために、ランドにダメージが生じ、接触が不安定になるという知見が得られた。なお、この接触が不安定になる問題は、プローブと被検査体との間にも生じる。
【０００６】
上記問題点に鑑み、本発明は、プローブが被検査体及び基板に配置されたランドと安定して接触できる電気的接続装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様によれば、管形状のバレル、及びバレルの両端部の開口端からそれぞれ先端部が露出した状態でバレルに接合された棒形状のトップ側プランジャーとボトム側プランジャーを有し、両端部の中間の領域にバレルの本体部とは異なる外径を有するストッパー領域が形成されたプローブと、ストッパー領域と本体部のうちの外径が相対的に細い領域は通過し且つ外径が相対的に太い領域は通過できないミドルガイドを有し、相対的に細い領域がミドルガイドを貫通した状態でプローブを保持するプローブヘッドとを備え、プローブが、両端部とストッパー領域との間のそれぞれで軸方向に伸縮自在に構成され、プローブが軸方向に伸縮したときに、相対的に太い領域がミドルガイドに圧着する電気的接続装置が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、プローブが被検査体及び基板に配置されたランドと安定して接触できる電気的接続装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る電気的接続装置の構成を示す模式図であり、図１（ａ）は電気的接続装置の全体の構成を示し、図１（ｂ）はプローブの構成を示す。
【図２】比較例の電気的接続装置の構成を示す模式図であり、図２（ａ）は電気的接続装置の全体の構成を示し、図２（ｂ）はプローブの構成を示す。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る電気的接続装置のプローブの構造を示す模式図であり、図３（ａ）はバレルの構成を示し、図３（ｂ）はバレルの断面を示し、図３（ｃ）はプランジャーの構成を示す。
【図４】本発明の第１の実施形態に係る電気的接続装置のプローブの他の構造を示す模式図であり、図４（ａ）はバレルの構成を示し、図４（ｂ）はプランジャーの構成を示す。
【図５】本発明の第１の実施形態に係る電気的接続装置のプローブの他の構造を示す模式図であり、図５（ａ）はプローブの構成を示し、図５（ｂ）はバレルの構成を示し、図５（ｃ）はプランジャーの構成を示す。
【図６】本発明の第１の実施形態の変形例に係る電気的接続装置の構成を示す模式図であり、図６（ａ）は電気的接続装置の全体の構成を示し、図６（ｂ）はプローブの構成を示す。
【図７】本発明の第１の実施形態の変形例に係る電気的接続装置のプローブの構造を示す模式図であり、図７（ａ）はバレルの構成を示し、図７（ｂ）はバレルの断面を示し、図７（ｃ）はプランジャーの構成を示す。
【図８】本発明の第１の実施形態の変形例に係る電気的接続装置のプローブの他の構造を示す模式図であり、図８（ａ）はバレルの構成を示し、図８（ｂ）はプランジャーの構成を示す。
【図９】本発明の第１の実施形態の変形例に係る電気的接続装置のプローブの他の構造を示す模式図であり、図９（ａ）はプローブの構成を示し、図９（ｂ）はバレルの構成を示し、図９（ｃ）はプランジャーの構成を示す。
【図１０】本発明の第１の実施形態の変形例に係る電気的接続装置の実施例を示す模式図である。
【図１１】図１０に示した電気的接続装置の組み立て方法の例を説明する模式図であり、図１１（ａ）は側面図であり、図１１（ｂ）は平面図である（その１）。
【図１２】図１０に示した電気的接続装置の組み立て方法の例を説明する模式図であり、図１２（ａ）は側面図であり、図１２（ｂ）は平面図である（その２）。
【図１３】本発明の第１の実施形態の他の変形例に係る電気的接続装置の構成を示す模式図である。
【図１４】本発明の第１の実施形態の他の変形例に係る電気的接続装置の構成を示す模式図である。
【図１５】本発明の第２の実施形態に係る電気的接続装置の構成を示す模式図である。
【図１６】本発明の第２の実施形態に係る電気的接続装置の実施例を示す模式図である。
【図１７】図１６に示した電気的接続装置の組み立て方法の例を説明する模式図であり、図１７（ａ）は側面図であり、図１７（ｂ）は平面図である（その１）。
【図１８】図１６に示した電気的接続装置の組み立て方法の例を説明する模式図であり、図１８（ａ）は側面図であり、図１８（ｂ）は平面図である（その２）。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各部の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。以下に示す実施形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の実施形態は、構成部品の材質、形状、構造、配置などを下記のものに特定するものでない。
【００１１】
（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態に係る電気的接続装置は、図１（ａ）に示すように、プローブ１０とプローブ１０を保持するプローブヘッド２０とを備える。プローブ１０の一方の端部が基板３に配置されたランド３１に接触し、他方の端部が被検査体２に接触する。なお、図１ではプローブ１０と被検査体２とが接触していない状態を示しており、検査時に被検査体２を搭載したステージ（図示略）が上昇するなどして、プローブ１０と被検査体２が接触する。ランド３１はテスタなどの検査装置と電気的に接続されており、電気的接続装置は被検査体２の電気的特性を判断する際に使用される。
【００１２】
プローブ１０は、図１（ｂ）に示すように、管形状のバレル１１、及びバレル１１の両端部の開口端からそれぞれ先端部が露出した棒形状のトップ側プランジャー１２１とボトム側プランジャー１２２を有する。プローブ１０の両端部の中間の領域に、バレル１１の本体部とは異なる外径を有するストッパー領域１３が形成されている。なお、バレル１１の本体部とは、ストッパー領域１３を除いた、外径が略一定の部分である。
【００１３】
トップ側プランジャー１２１及びボトム側プランジャー１２２は、接合箇所１４においてバレル１１に接合されている。トップ側プランジャー１２１及びボトム側プランジャー１２２とバレル１１とは、スポット溶接によって溶接してもよいし、接着材によって接着してもよい。以下において、トップ側プランジャー１２１とボトム側プランジャー１２２、及び後述する中間部プランジャー１２３を総称して「プランジャー１２」という。なお、ランド３１と被検査体２とを電気的に接続するプローブ１０には、導電性の材料が使用される。例えば、バレル１１にＮｉ材などが使用され、プランジャー１２にＡｇＰｄＣｕ材などが使用される。
【００１４】
プローブヘッド２０は、トップ側プランジャー１２１が貫通する貫通孔を有するトップガイド２１と、ボトム側プランジャー１２２が貫通する貫通孔を有するボトムガイド２２と、トップガイド２１とボトムガイド２２との間に配置されたミドルガイド２３を備える。ミドルガイド２３は、プローブ１０のストッパー領域１３とバレル１１の本体部のうちの、外径が相対的に細い領域は通過し、且つ、外径が相対的に太い領域は通過できない構成である。プローブヘッド２０は、例えばセラミックからなる。
【００１５】
図１（ａ）に示すように、プローブヘッド２０のミドルガイド２３を貫通した状態で、プローブ１０がプローブヘッド２０に保持されている。このため、プローブ１０がプローブヘッド２０に装着されると、プローブヘッド２０の内部でプローブ１０がストッパー領域１３でミドルガイド２３に支持されてぶら下がった状態である。
【００１６】
図１（ｂ）に示したプローブ１０では、ストッパー領域１３は、バレル１１の本体部よりも外径を太くした鍔状の領域である。図１（ａ）に示したプローブヘッド２０は、ストッパー領域１３の軸方向に沿った両側に第１のミドルガイド２３１と第２のミドルガイド２３２がそれぞれ配置された構成である。なお、第１のミドルガイド２３１と第２のミドルガイド２３２との間の中間領域２３３に、バレル１１の本体部よりも外径を太くしたストッパー領域１３が配置されている。
【００１７】
プローブ１０は、両端部とストッパー領域１３が形成された中間の領域との間のそれぞれで軸方向に伸縮自在に構成されている。具体的には、バレル１１のそれぞれの端部と中間の領域との間で、バレル１１の側面を貫通する螺旋状の切り込みが形成されている。この切り込みが形成された領域がバネ部となって、プローブ１０は軸方向に伸縮自在である。なお、ストッパー領域１３が配置される領域には切り込みは形成されていない。
【００１８】
プローブ１０にバネ部を形成することにより、一定の大きさでＯＤやプリロードをかけることが可能である。以下において、トップ側プランジャー１２１の先端部が露出する開口端に近いバネ部を「トップ側バネ部」、ボトム側プランジャー１２２の先端部が露出する開口端に近いバネ部を「ボトム側バネ部」という。なお、図面をわかり易くするため、プランジャー１２のバレル１１の内部に挿入された部分は図示を省略している。
【００１９】
図１（ａ）に示した電気的接続装置では、プローブ１０が軸方向に伸縮したときに、プローブ１０の相対的に太い領域がミドルガイド２３に圧着する。例えば、トップ側プランジャー１２１とランド３１との間にかけるプリロードよりもボトム側プランジャー１２２と被検査体２との間にかけるＯＤの方が大きい場合に、ストッパー領域１３が第１のミドルガイド２３１に圧着する。一方、ＯＤよりもプリロードの方が大きい場合に、ストッパー領域１３が第２のミドルガイド２３２に圧着する。
【００２０】
上記のように、本発明の第１の実施形態に係る電気的接続装置によれば、トップ側バネ部の伸縮とボトム側バネ部のそれぞれの伸縮が、ストッパー領域１３とミドルガイド２３との接触によって制動される。このため、プローブ１０がランド３１に接触する圧力に影響するトップ側バネ部のバネ機能と、プローブ１０が被検査体２に接触する圧力に影響するボトム側バネ部のバネ機能を、独立して機能させることができる。
【００２１】
その結果、狙い通りにプリロードやＯＤを安定してかけることができる。即ち、プローブ１０を被検査体２及び基板３に配置されたランド３１と安定して接触させることができる。したがって、過剰な圧力でランド３１や被検査体２にダメージが生じたり、接触が不安定になって接触抵抗がばらついたりする問題が回避される。
【００２２】
これに対し、図２（ａ）に示す比較例の電気的接続装置では、トップ側バネ部とボトム側バネ部とが独立して機能しない。図２（ｂ）に示すプローブ１０Ａの外径はバレル１１Ａの外径で一定であり、ストッパー領域１３が形成されていない。そして、トップ側プランジャー１２１Ａが貫通するトップガイド２１Ａとボトム側プランジャー１２２Ａが貫通するボトムガイド２２Ａとを接触させたプローブヘッド２０Ａは、ミドルガイド２３を有さない。このため、ＯＤをかけるとプリロードに影響が及んでプローブ１０Ａとランド３１との間の接触が不安定になるなどの問題が生じる。
【００２３】
また、比較例の電気的接続装置では、過剰なプリロードによる圧着が原因で、バレル１１Ａのバネ部にへたりが生じる。また、ＯＤをかけることによりトップ側プランジャー１２１Ａの端部がランド３１を突き上げて、基板３の上面が膨らむベンディング現象が生じる。
【００２４】
しかし、図１（ａ）に示した電気的接続装置によれば、トップ側バネ部とボトム側バネ部を独立して機能させることができる。例えば、ボトム側プランジャー１２２の先端部が安定して被検査体２と接触するようにＯＤをかけても、プリロードに影響が及ばず、予め設定された適正な圧力でトップ側プランジャー１２１がランド３１に圧着する。このため、プローブ１０のバネ部にへたりは生じず、ベンディング現象の発生も抑止される。
【００２５】
図３（ａ）〜図３（ｃ）に、相対的に太いストッパー領域１３がバレル１１に形成されているプローブ１０の構成例を示す。この構成例では、バレル１１の外周に鍔状の凸部を形成し、バレル１１の内部にトップ側プランジャー１２１とボトム側プランジャー１２２の一部を挿入している。なお、ストッパー領域１３がバレル１１の本体と一体的に成形された例を示したが、鍔形状の部品をバレル１１の外部に溶接してストッパー領域１３を形成してもよい。
【００２６】
図４（ａ）〜図４（ｂ）に、相対的に太いストッパー領域１３が、トップ側プランジャー１２１とボトム側プランジャー１２２のそれぞれと離間してバレル１１の内部に挿入された中間部プランジャー１２３に形成されているプローブ１０の構成例を示す。バレル１１は、トップ側プランジャー１２１が挿入されるトップ部１１ａとボトム側プランジャー１２２が挿入されるボトム部１１ｂとに分割されている。そして、トップ部１１ａとボトム部１１ｂの間からストッパー領域１３が露出する。
【００２７】
図５（ａ）〜図５（ｃ）に、相対的に太いストッパー領域１３が中間部プランジャー１２３に形成されているプローブ１０の他の構成例を示す。ストッパー領域１３は、プローブ１０の軸方向に沿って２つに分割されている。中間部プランジャー１２３は、ストッパー領域１３の分割された一方に接続する第１の中間部プランジャー１２３ａと、分割された他方に接続する第２の中間部プランジャー１２３ｂからなる。
【００２８】
＜変形例＞
図６（ａ）及び図６（ｂ）に示す第１の実施形態の変形例に係る電気的接続装置では、外径を太くした鍔状の第１のストッパー領域１３１と第２のストッパー領域１３２が、軸方向に沿ってプローブ１０に形成されている。そして、第１のストッパー領域１３１と第２のストッパー領域１３２との間に、ミドルガイド２３が配置されている。ミドルガイド２３には、第１のストッパー領域１３１と第２のストッパー領域１３２の外径よりも狭く、且つ、第１のストッパー領域１３１と第２のストッパー領域１３２の中間の領域の外径よりも広い貫通孔が形成されている。このため、トップ側バネ部の伸縮は、第１のストッパー領域１３１とミドルガイド２３の接触によって制動される。また、ボトム側バネ部の伸縮は、第２のストッパー領域１３２とミドルガイド２３の接触によって制動される。したがって、トップ側バネ部とボトム側バネ部とで、バネ機能を独立して機能させることができる。
【００２９】
図７（ａ）〜図７（ｃ）に、バレル１１の本体部よりも相対的に太い第１のストッパー領域１３１と第２のストッパー領域１３２が、バレル１１に形成されているプローブ１０の構成例を示す。この構成例では、バレル１１の外周の２箇所に鍔状の凸部を形成し、バレル１１の内部にトップ側プランジャー１２１とボトム側プランジャー１２２の一部を挿入している。
【００３０】
図８（ａ）〜図８（ｂ）に、第１のストッパー領域１３１と第２のストッパー領域１３２が、バレル１１の内部に挿入された中間部プランジャー１２３に形成されているプローブ１０の構成例を示す。バレル１１は、トップ側プランジャー１２１が挿入されるトップ部１１ａとボトム側プランジャー１２２が挿入されるボトム部１１ｂとに分割されている。そして、トップ部１１ａとボトム部１１ｂの間から第１のストッパー領域１３１と第２のストッパー領域１３２が露出する。
【００３１】
図９（ａ）〜図９（ｃ）に、第１のストッパー領域１３１と第２のストッパー領域１３２が中間部プランジャー１２３に形成されているプローブ１０の他の構成例を示す。第１のストッパー領域１３１は、プローブ１０の軸方向に沿って２つに分割されている。中間部プランジャー１２３は、第１のストッパー領域１３１の分割された一方に接続する第１の中間部プランジャー１２３ａと、分割された他方に接続し、且つ第２のストッパー領域１３２が形成された第２の中間部プランジャー１２３ｂからなる。なお、ここでは第１のストッパー領域１３１を分割した例を示したが、第２のストッパー領域１３２を分割してもよい。
【００３２】
図１０に、図６（ａ）に示した電気的接続装置の実施例として、トップガイド２１とボトムガイド２２との間に、プローブ１０が貫通する開口部をそれぞれ形成したガイド板２３ａとガイド板２３ｂを重ねたミドルガイド２３を配置した例を示す。図１０に示した電気的接続装置では、ミドルガイド２３を挟んで第１のストッパー領域１３１と第２のストッパー領域１３２が位置するようにプローブ１０が配置されている。そして、ガイド板２３ａとガイド板２３ｂの接触面にそれぞれ形成した開口部が、軸方向と垂直方向にずらして配置されている。
【００３３】
図１０に示した電気的接続装置は、図１１（ａ）、図１１（ｂ）〜図１２（ａ）、図１２（ｂ）に示す方法によって組み立て可能である。即ち、第１のストッパー領域１３１と第２のストッパー領域１３２の外径よりも径の大きい開口部が形成されたガイド板２３ａとガイド板２３ｂを重ねたミドルガイド２３を用意する。ただし、トップガイド２１及びボトムガイド２２とミドルガイド２３を接続させる所定の位置では、ガイド板２３ａとガイド板２３ｂの開口部の中心の位置がずれるように開口部を形成しておく。そして、図１１（ａ）、図１１（ｂ）に示すように、開口部の中心の位置を合わせた状態で、プローブ１０をミドルガイド２３に装着する。
【００３４】
その後、図１２（ａ）、図１２（ｂ）に矢印で示すようにガイド板２３ａとガイド板２３ｂを相対的にスライドさせる。例えば、ガイド板２３ａとガイド板２３ｂにそれぞれ形成した位置合わせ用穴２００が一致するように、ガイド板２３ａとガイド板２３ｂの位置合わせをする。これにより、ガイド板２３ａの開口部の中心位置とガイド板２３ｂの開口部の中心位置がずれて、開口部の重なる領域の径は第１のストッパー領域１３１と第２のストッパー領域１３２の外径よりも狭くなる。その結果、第１のストッパー領域１３１と第２のストッパー領域１３２は、ミドルガイド２３の開口部を通過できなくなる。これにより、トップ側バネ部とボトム側バネ部を独立して機能させることができる。
【００３５】
ところで、図６（ａ）では、外径が相対的に太いストッパー領域１３をミドルガイド２３の両側に配置する例を示した。しかし、ミドルガイド２３の片側のみにストッパー領域１３を配置してもよい。
【００３６】
例えば、図１３に示す電気的接続装置では、ミドルガイド２３とボトム側バネ部との間にストッパー領域１３が配置されているが、ミドルガイド２３とトップ側バネ部との間にはストッパー領域１３は配置されていない。このため、トップ側プランジャー１２１とランド３１との接触性改善に有効である。例えば、プリロードを強くかけた場合に、ＯＤに影響しない。
【００３７】
また、図１４に示す電気的接続装置では、ミドルガイド２３とトップ側バネ部との間にストッパー領域１３が配置され、ミドルガイド２３とボトム側バネ部との間にはストッパー領域１３は配置されない。このため、ボトム側プランジャー１２２と被検査体２との接触性改善に有効である。例えば、ＯＤを強くかけた場合に、プリロードに影響しない。
【００３８】
上記のように、バレル１１の両端部のいずれか一方のみとミドルガイド２３との間にストッパー領域１３が形成されていてもよい。
【００３９】
（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態に係る電気的接続装置は、図１５に示すように、プローブ１０のストッパー領域１３が、バレル１１の本体部よりも外径を細く形成されている。つまり、ストッパー領域１３がくびれた領域であることが、第１の実施形態と異なる。その他の構成については、第１の実施形態と同様である。
【００４０】
図１５に示す電気的接続装置ではトップガイド２１とボトムガイド２２の間に、ストッパー領域１３は通過できるが、バレル１１の本体部は通過できない構成のミドルガイド２３が配置されている。例えば、ストッパー領域１３の外径よりも広く、且つ、バレル１１の本体部の外径よりも狭い貫通孔を形成したミドルガイド２３を、トップガイド２１とボトムガイド２２の間に配置する。ストッパー領域１３は、例えば、内部にプランジャー１２が配置されていない領域のバレル１１の外径を狭くすることにより形成される。
【００４１】
図１５に示した電気的接続装置では、例えば、プローブ１０とランド３１の間にかけるプリロードよりもプローブ１０と被検査体２の間にかけるＯＤの方が大きい場合に、ストッパー領域１３のボトム側バネ部の側がミドルガイド２３に圧着する。また、ＯＤよりもプリロードの方が大きい場合に、ストッパー領域１３のトップ側バネ部の側がミドルガイド２３に圧着する。このように、トップ側バネ部の伸縮とボトム側バネ部の伸縮が、プローブ１０の相対的に太い領域とミドルガイド２３との接触によってそれぞれ制動される。このため、トップ側バネ部とボトム側バネ部のバネ機能を独立して機能させることができる。
【００４２】
したがって、本発明の第２の実施形態に係る電気的接続装置によれば、プローブ１０を被検査体２及び基板３に配置されたランド３１と安定して接触させることができる。このため、ランド３１や被検査体２にダメージが生じたり、接触が不安定になったりすることが回避される。また、プローブ１０のバネ部にへたりが生じたり、ベンディング現象が発生したりすることも抑止される。他は、第１の実施形態と実質的に同様であり、重複した記載を省略する。
【００４３】
図１６に、図１５に示した電気的接続装置の実施例として、プローブ１０が貫通する開口部をそれぞれ形成したガイド板２３ａとガイド板２３ｂを重ねたミドルガイド２３を使用した例を示す。図１６に示した電気的接続装置では、ガイド板２３ａとガイド板２３ｂにそれぞれ形成された開口部に、プローブ１０のストッパー領域１３が配置された構成である。なお、ガイド板２３ａとガイド板２３ｂにそれぞれ形成した開口部は、軸方向と垂直方向にずらして形成されている。
【００４４】
図１６に示した電気的接続装置は、図１７（ａ）、図１７（ｂ）〜図１８（ａ）、図１８（ｂ）に示す方法によって組み立て可能である。即ち、プローブ１０のストッパー領域１３以外の領域の外径よりも径の大きい開口部がそれぞれ形成されたガイド板２３ａとガイド板２３ｂを重ねたミドルガイド２３を用意する。ただし、トップガイド２１及びボトムガイド２２とミドルガイド２３を接続させる所定の位置では、ガイド板２３ａとガイド板２３ｂの開口部の中心の位置がずれるように開口部を形成しておく。そして、図１７（ａ）、図１７（ｂ）に示すように、開口部の中心の位置を合わせた状態で、開口部をストッパー領域１３が通過するようにプローブ１０をミドルガイド２３に装着する。
【００４５】
その後、図１８（ａ）、図１８（ｂ）に矢印で示すようにガイド板２３ａとガイド板２３ｂを相対的にスライドさせる。例えば、ガイド板２３ａとガイド板２３ｂにそれぞれ形成した位置合わせ用穴２００が一致するように、ガイド板２３ａとガイド板２３ｂの位置合わせをする。これにより、ガイド板２３ａの開口部の中心位置とガイド板２３ｂの開口部の中心位置がずれて、開口部の重なる領域の径がプローブ１０のストッパー領域１３以外の領域の外径よりも狭くなる。その結果、トップ側バネ部とボトム側バネ部を独立して機能させることができる。
【００４６】
（その他の実施形態）
上記のように本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
【００４７】
例えば、上記では、プローブ１０の断面の形状が円形状である場合を示したが、断面の形状が四角形などの多角形状であってもよい。
【００４８】
このように、本発明はここでは記載していない様々な実施形態などを含むことはもちろんである。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
【符号の説明】
【００４９】
１０…プローブ
１１…バレル
１２…プランジャー
１３…ストッパー領域
２０…プローブヘッド
２１…トップガイド
２２…ボトムガイド
２３…ミドルガイド
１２１…トップ側プランジャー
１２２…ボトム側プランジャー
１２３…中間部プランジャー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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