(57)【要約】【課題】圧電アクチュエーターの駆動力を大きくしたり制御精度を高めたりすることができる圧電駆動装置および圧電アクチュエーターの制御方法を提供すること、また、この圧電駆動装置を備えるロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクターを提供すること。【解決手段】駆動電極が設けられた圧電素子を含む振動部を有する圧電アクチュエーターと、前記駆動電極に入力される駆動信号を生成する駆動回路と、前記駆動電極から出力される検出信号に基づいて前記振動部の振動を検出する検出回路と、を有することを特徴とする圧電駆動装置。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動電極が設けられた圧電素子を含む振動部を有する圧電アクチュエーターと、
前記駆動電極に入力される駆動信号を生成する駆動回路と、
前記駆動電極から出力される検出信号に基づいて前記振動部の振動を検出する検出回路と、を有することを特徴とする圧電駆動装置。
【請求項２】
前記圧電素子は、前記振動部を一方側に屈曲振動させる第１圧電素子と、前記振動部を他方側に屈曲振動させる第２圧電素子と、を有し、
前記駆動電極は、前記第１圧電素子に設けられた第１駆動電極と、前記第２圧電素子に設けられた第２駆動電極と、を有する請求項１に記載の圧電駆動装置。
【請求項３】
前記圧電素子は、前記第１駆動電極に駆動信号が入力される第１状態と、前記第２駆動電極に駆動信号が入力される第２状態とが切り換えられ、
前記検出回路は、前記第１状態であるとき、前記第２駆動電極から出力される検出信号に基づいて前記振動部の振動を検出し、前記第２状態であるとき、前記第１駆動電極から出力される検出信号に基づいて前記振動部の振動を検出する請求項２に記載の圧電駆動装置。
【請求項４】
前記駆動回路は、前記第１駆動電極に入力される駆動信号を生成する第１駆動回路と、前記第２駆動電極に入力される駆動信号を生成する第２駆動回路と、を有する請求項３に記載の圧電駆動装置。
【請求項５】
前記第１駆動電極と前記第１駆動回路との間に設けられた第１スイッチと、
前記第２駆動電極と前記第２駆動回路との間に設けられた第２スイッチと、を有し、
前記第１スイッチが導通状態であるとき、前記第２スイッチを遮断状態とし、
前記第１スイッチが遮断状態であるとき、前記第２スイッチを導通状態とする請求項４に記載の圧電駆動装置。
【請求項６】
前記検出回路は、前記第１駆動電極から出力される検出信号に基づいて前記振動部の振動を検出する第１検出回路と、前記第２駆動電極から出力される検出信号に基づいて前記振動部の振動を検出する第２検出回路と、を有する請求項２ないし５のいずれか１項に記載の圧電駆動装置。
【請求項７】
前記駆動電極と前記駆動回路との間に設けられ、導通状態と遮断状態とを交互に周期的に切り換えるスイッチを有し、
前記検出回路は、前記遮断状態であるときの前記検出信号に基づいて前記振動部の振動を検出する請求項１または２に記載の圧電駆動装置。
【請求項８】
前記検出回路は、前記検出信号から前記駆動信号に応じた成分を除去した補正信号を生成し、前記補正信号に基づいて前記振動部の振動を検出する請求項１または２に記載の圧電駆動装置。
【請求項９】
駆動電極が設けられた圧電素子を含む振動部を有する圧電アクチュエーターの制御方法であって、
前記駆動電極に駆動信号を入力して前記圧電素子を駆動し、
前記駆動電極から出力される検出信号に基づいて前記振動部の振動を検出することを特徴とする圧電アクチュエーターの制御方法。
【請求項１０】
前記駆動電極に前記駆動信号を入力する第１期間と入力しない第２期間とを交互に周期的に繰り返し、
前記第２期間における前記検出信号に基づいて、前記振動部の振動を検出する請求項９に記載の圧電アクチュエーターの制御方法。
【請求項１１】
前記駆動電極に前記駆動信号が入力されている状態における前記検出信号に基づいて、前記振動部の振動を検出する請求項９に記載の圧電アクチュエーターの制御方法。
【請求項１２】
請求項１ないし８のいずれか１項に記載の圧電駆動装置を備えることを特徴とするロボット。
【請求項１３】
請求項１ないし８のいずれか１項に記載の圧電駆動装置を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。
【請求項１４】
請求項１ないし８のいずれか１項に記載の圧電駆動装置を備えることを特徴とするプリンター。
【請求項１５】
請求項１ないし８のいずれか１項に記載の圧電駆動装置を備えることを特徴とするプロジェクター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電駆動装置、圧電アクチュエーターの制御方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクターに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
圧電素子を備える圧電アクチュエーターが知られている。例えば、特許文献１に記載の振動子は、基板と、この基板上に形成した下地電極と、この下地電極の上に形成した圧電体層と、この圧電体層の上に形成した駆動電極および検出電極とを備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２８４３７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１に記載の振動子では、駆動電極とは別途検出電極が設けられているため、検出電極およびその検出電極のための配線の設置面積を確保しなければならず、それに応じて駆動電極の電極面積が小さくなってしまうという課題がある。また、検出電極が駆動電極とは異なる位置にあるため、目的以外の振動が検出されやすいという課題もある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の適用例に係る圧電駆動装置は、駆動電極が設けられた圧電素子を含む振動部を有する圧電アクチュエーターと、
前記駆動電極に入力される駆動信号を生成する駆動回路と、
前記駆動電極から出力される検出信号に基づいて前記振動部の振動を検出する検出回路と、を有する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る圧電駆動装置（圧電モーター）の概略構成を示す平面図である。
【図２】図１に示す圧電駆動装置の動作を説明するための図である。
【図３】図１に示す圧電アクチュエーターが備える振動部、支持部および接続部の斜視図である。
【図４】図１中のＡ−Ａ線断面図である。
【図５】図１に示す圧電アクチュエーターが備える圧電素子の平面図（第１振動板側から見た図）である。
【図６】図１に示す圧電駆動装置が備える制御装置の構成を示すブロック図である。
【図７】本発明の第１実施形態における制御装置の動作を説明するための模式図である。
【図８】本発明の第１実施形態における制御装置の動作の他の例を説明するためのタイミングチャートである。
【図９】本発明の第２実施形態に係る圧電駆動装置が備える制御装置を示す模式図である。
【図１０】本発明のロボットの実施形態を示す斜視図である。
【図１１】本発明の電子部品搬送装置の実施形態を示す斜視図である。
【図１２】本発明のプリンターの実施形態を示す斜視図である。
【図１３】本発明のプロジェクターの実施形態を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、本発明の圧電駆動装置、圧電アクチュエーターの制御方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクターを添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
【０００８】
１．圧電駆動装置
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る圧電駆動装置（圧電モーター）の概略構成を示す平面図である。図２は、図１に示す圧電駆動装置の動作を説明するための図である。図３は、図１に示す圧電アクチュエーターが備える振動部、支持部および接続部の斜視図である。図４は、図１中のＡ−Ａ線断面図である。図５は、図１に示す圧電アクチュエーターが備える圧電素子の平面図（第１振動板側から見た図）である。
【０００９】
図１に示す圧電駆動装置１００は、逆圧電効果を利用して回転力を出力する圧電モーターである。この圧電駆動装置１００は回動軸Ｏまわりに回動可能な被駆動部材（従動部）であるローター１１０と、ローター１１０の外周面１１１に当接する圧電アクチュエーター１と、圧電アクチュエーター１の駆動を制御する制御装置１０と、を有する。この圧電駆動装置１００では、圧電アクチュエーター１がその駆動力をローター１１０に伝達することで、ローター１１０が回動軸Ｏまわりに回動（回転）する。
【００１０】
なお、圧電アクチュエーター１の配置は、圧電アクチュエーター１から被駆動部材へ所望の駆動力を伝達することができればよく、図示の位置に限定されず、例えば、ローター１１０の板面（底面）に圧電アクチュエーター１を当接させてもよい。また、圧電駆動装置１００は、１つの被駆動部材に対して複数の圧電アクチュエーター１を当接させる構成であってもよい。また、複数の圧電アクチュエーター１を積層して用いてもよい。また、圧電駆動装置１００は、図示のような被駆動部材を回転運動させる構成に限定されず、例えば、被駆動部材を直線運動させる構成であってもよい。
【００１１】
（圧電アクチュエーター）
圧電アクチュエーター１は、図１に示すように、長手形状をなす振動部１１と、支持部１２と、これらを接続している１対の接続部１３と、振動部１１の長手方向での一端部（先端部）から突出している伝達部１４（凸部）と、を有する。ここで、振動部１１は、圧電素子４を有する。また、支持部１２は、振動部１１と厚さを揃えるように中間部材５を有する（図３参照）。
【００１２】
圧電素子４は、圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅを有し、図２に示すように、逆圧電効果により伝達部１４の先端を楕円運動させる。これにより、伝達部１４は、外周面１１１にその周方向での一方向の駆動力を与えて、ローター１１０を回動軸Ｏまわりに回動させる。このとき、振動部１１の振動は、圧電素子４ａ、４ｄまたは圧電素子４ｂ、４ｃの伸縮によるＳ字状（または逆Ｓ字状）の屈曲振動（横振動）と、圧電素子４ｅの伸縮による縦振動とを複合した振動である。ここで、圧電素子４ａ、４ｄまたは圧電素子４ｂ、４ｃのうちの一方に駆動信号が入力され、他方から圧電効果により振動部１１の駆動状態（振動状態）に応じた検出信号（電荷）が出力される。制御装置１０は、この検出信号に基づいて圧電アクチュエーター１の駆動を制御する。なお、制御装置１０については、後に詳述する。
【００１３】
伝達部１４は、例えば、セラミックス等の耐摩耗性に優れた材料で構成され、振動部１１に対して接着剤等により接合されている。なお、伝達部１４の形状は、圧電アクチュエーター１の駆動力をローター１１０（被駆動部材）に伝達可能であればよく、図示の形状に限定されない。
【００１４】
このような圧電アクチュエーター１は、図３に示すような積層構造を有して構成されている。すなわち、図３に示すように、振動部１１、支持部１２および接続部１３は、第１振動板２と、第２振動板３と、これらの間に配置されている圧電素子４および中間部材５と、を有する。そして、第１振動板２は、接着剤６１を介して圧電素子４および中間部材５に接合されている。同様に、第２振動板３は、接着剤６２を介して圧電素子４および中間部材５に接合されている。以下、圧電アクチュエーター１の各部を順次説明する。
【００１５】
第１振動板２および第２振動板３は、それぞれ、前述した振動部１１、支持部１２および接続部１３に対応した平面視形状をなしている。そして、第１振動板２および第２振動板３は、圧電素子４を挟んでいる部分（振動部）を有し、当該部分および圧電素子４を含む積層体が振動部１１を構成している。また、第１振動板２および第２振動板３は、中間部材５を挟んでいる部分を有し、当該部分および中間部材５を含む積層体が支持部１２を構成している。なお、接続部１３には、圧電素子４および中間部材５がいずれも配置されておらず、第１振動板２と第２振動板３との間に圧電素子４または中間部材５の厚さに応じた隙間が形成されている。
【００１６】
このような第１振動板２および第２振動板３としては、それぞれ、特に限定されないが、例えば、シリコン基板、シリコンカーバイト基板等の半導体基板を用いることができる。第１振動板２または第２振動板３として半導体基板（特にシリコン基板）を用いることで、第１振動板２または第２振動板３をシリコンウエハプロセス（ＭＥＭＳプロセス）により生産性よく高精度に製造することができる。
【００１７】
第１振動板２の圧電素子４側（図４中上側）の面には、絶縁層２４が設けられている。これにより、第１振動板２を介した配線層７の短絡を低減することができる。同様に、第２振動板３の圧電素子４側（図４中下側）の面には、絶縁層３４が設けられている。これにより、第２振動板３を介した配線層８の短絡を低減することができる。絶縁層２４、３４は、それぞれ、例えば、第１振動板２および第２振動板３にそれぞれシリコン基板を用いた場合、シリコン基板の表面を熱酸化することにより形成されたシリコン酸化膜である。なお、絶縁層２４、３４は、それぞれ、熱酸化によるシリコン酸化膜に限定されず、例えば、ＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）を用いたＣＶＤ法等で形成したシリコン酸化膜であってもよい。また、絶縁層２４、３４は、それぞれ、絶縁性を有していればシリコン酸化膜に限定されず、例えば、シリコン窒化膜等の無機膜、エポキシ系樹脂、ウレタン系樹脂、ユリア系樹脂、メラミン系樹脂、フェノール系樹脂、エステル系樹脂、アクリル系樹脂等の各種樹脂材料で構成された有機膜であってもよい。さらに、絶縁層２４、３４は、それぞれ、異なる材料で構成された複数の層の積層膜であってもよい。
【００１８】
第１振動板２の絶縁層２４上には、配線層７が配置されている。配線層７は、振動部１１に配置されている複数の第１電極７１（配線電極）と、複数の第１電極７１から接続部１３を経由して支持部１２にわたって配置されている複数の第１配線７２と、を有する（図４参照）。これらは、例えば、公知の成膜工程により一括して形成される。
【００１９】
複数の第１電極７１は、前述した圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅに対応して設けられ、対応する圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅ（より具体的には後述の第１電極４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ、４２ｅ）に電気的に接続されている。複数の第１配線７２は、複数の第１電極７１に対応して設けられ、それぞれ、対応する第１電極７１から支持部１２の端部まで引き回されている。また、各第１配線７２の端部には、中間部材５上の配線５３を介して、図示しない基板に電気的に接続される端子９１が接続されている（図４参照）。なお、各第１配線７２の端部に端子９１を直接設けてもよい。
【００２０】
一方、第２振動板３の絶縁層３４上には、配線層８が配置されている。配線層８は、図４に示すように、振動部１１に配置されている第２電極８１と、第２電極８１から接続部１３を経由して支持部１２にわたって配置されている第２配線８２と、を有する。これらは、例えば、公知の成膜工程により一括して形成される。
【００２１】
第２電極８１は、前述した圧電素子４（より具体的には後述の第２電極４３）に電気的に接続されている。第２配線８２は、支持部１２の端部まで引き回されている。また、第２配線８２の端部には、図示しない基板に電気的に接続される端子９２が設けられている（図４参照）。
【００２２】
配線５３、配線層７、８および端子９２、９１の構成材料としては、それぞれ、特に限定されず、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、銅（Ｃｕ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）等の金属材料が挙げられる。また、端子９２は、公知の成膜法を用いて形成することができる。
【００２３】
以上のような第１振動板２および第２振動板３は、接着剤６１、６２により圧電素子４および中間部材５に接合されている。ここで、接着剤６１は、配線層７と圧電素子４との電気的接続を許容するように、第１振動板２と圧電素子４とを接合している。また、接着剤６２は、配線層８と圧電素子４との電気的接続を許容するように、第２振動板３と圧電素子４とを接合している。接着剤６１、６２としては、それぞれ、特に限定されないが、例えば、エポキシ系、アクリル系、シリコン系等の各種接着剤、異方導電性接着剤等を用いることができる。
【００２４】
圧電素子４は、図５に示すように、板状の圧電体４１と、圧電体４１の一方（第１振動板２側）の面上に配置されている第１電極４２（駆動電極）と、圧電体４１の他方（第２振動板３側）の面上に配置されている第２電極４３（グランド電極）と、を有する。
【００２５】
圧電体４１は、平面視で長方形をなしている。この圧電体４１の構成材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、ニオブ酸カリウム、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、タングステン酸ナトリウム、酸化亜鉛、チタン酸バリウムストロンチウム（ＢＳＴ）、タンタル酸ストロンチウムビスマス（ＳＢＴ）、メタニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の圧電セラミックスが挙げられる。なお、圧電体４１の構成材料としては、上述した圧電セラミックスの他にも、ポリフッ化ビニリデン、水晶等を用いてもよい。
【００２６】
また、圧電体４１は、例えば、バルク材料から形成してもよいし、ゾル−ゲル法やスパッタリング法を用いて形成してもよいが、バルク材料から形成することが好ましい。これにより、圧電体４１の厚さを厚くし、圧電素子４の変位量を大きくすることができる。そのため、圧電アクチュエーター１の電流効率をさらに向上させることができる。
【００２７】
第１電極４２（駆動電極）は、圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅごとに個別に設けられた個別電極である複数（５つ）の第１電極４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ、４２ｅで構成されている。第１電極４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ、４２ｅには、それぞれ、駆動信号（駆動電圧）が入力される。また、第１電極４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ、４２ｅは、それぞれ、圧電素子４の駆動状態に応じた検出信号を出力する。一方、第２電極４３（グランド電極）は、圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅに共通して設けられた共通電極であり、定電位（例えばグランド電位）に電気的に接続される。
【００２８】
すなわち、圧電素子４ａは、圧電体４１、第１電極４２ａおよび第２電極４３を含んで構成されている。同様に、圧電素子４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅは、圧電体４１、第１電極４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ、４２ｅおよび第２電極４３を含んで構成されている。このように、圧電素子４は、５つの圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅを有している。
【００２９】
ここで、第１電極４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ、４２ｅのうち、第１電極４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄは、駆動信号の入力により圧電体４１を屈曲振動（前述した横振動）させる電界を第２電極４３との間に発生させる屈曲用電極である。これに対し、第１電極４２ｅは、駆動信号の入力により圧電体４１を屈曲させずに伸縮振動（前述した縦振動）させる電界を第２電極４３との間に発生させる縦振動用電極である。
【００３０】
本実施形態では、第１電極４２ｅは、圧電体４１の幅方向の中央部に圧電体４１の長手方向に沿って配置されている。第１電極４２ａ、４２ｂは、第１電極４２ｅに対して圧電体４１の幅方向の一方側に圧電体４１の長手方向に沿って配置されている。第１電極４２ｃ、４２ｄは、第１電極４２ｅに対して圧電体４１の幅方向の他方側に圧電体４１の長手方向に沿って配置されている。
【００３１】
なお、圧電体４１は、圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅに共通して一体的に構成されているが、圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅごとに個別に分割して設けられていてもよい。
【００３２】
第１電極４２および第２電極４３の構成材料としては、それぞれ、特に限定されないが、例えば、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）、銅（Ｃｕ）、チタン（Ｔｉ）、タングステン（Ｗ）等の金属材料が挙げられる。
【００３３】
中間部材５は、前述した支持部１２において、第１振動板２と第２振動板３との間に設けられ、平面視で、支持部１２と実質的に同じ形状および大きさを有している。この中間部材５は、支持部１２を補強するとともに、支持部１２における第１振動板２と第２振動板３との間の距離を振動部１１における第１振動板２と第２振動板３との間の距離と等しくするように規制する機能を有する。
【００３４】
図４に示すように、中間部材５は、本体５１と、本体５１上に設けられている絶縁層５２と、を有する。このような中間部材５は、例えば、本体５１がシリコンで構成され、絶縁層５２がシリコン酸化膜で構成されている。なお、中間部材５の構成材料としては、これに限定されず、例えば、ジルコニア、アルミナ、チタニア等の各種セラミックス、各種樹脂材料等を用いてもよい。
【００３５】
（制御装置）
図６は、図１に示す圧電駆動装置が備える制御装置の構成を示すブロック図である。図７は、本発明の第１実施形態における制御装置の動作を説明するための模式図である。
【００３６】
図６に示すように、制御装置１０は、駆動回路１０１と、検出回路１０２と、スイッチ１０３と、制御部１０４と、を有する。
【００３７】
駆動回路１０１は、圧電アクチュエーター１を駆動する駆動信号を生成する回路である。具体的には、駆動回路１０１は、第１駆動回路１０１ａと、第２駆動回路１０１ｂと、第３駆動回路１０１ｃと、を有する。第１駆動回路１０１ａは、圧電アクチュエーター１の圧電素子４ｂ、４ｃの第１電極４２ｂ、４２ｃ（第１駆動電極）に入力される駆動信号を生成する。第２駆動回路１０１ｂは、圧電アクチュエーター１の圧電素子４ａ、４ｄの第１電極４２ａ、４２ｄ（第２駆動電極）に入力される駆動信号を生成する。第３駆動回路１０１ｃは、圧電アクチュエーター１の圧電素子４ｅの第１電極４２ｅ（第３駆動電極）に入力される駆動信号を生成する。このような第１駆動回路１０１ａ、第２駆動回路１０１ｂおよび第３駆動回路１０１ｃは、それぞれ、例えば、発振回路および増幅回路を含んで構成され、発振回路からの信号を増幅回路で増幅することで駆動信号を生成する。ここで、駆動信号は、周期的に電圧値が変化する信号である。なお、駆動信号の波形としては、特に限定されず、例えば、サイン波形、矩形等が挙げられる。
【００３８】
検出回路１０２は、圧電アクチュエーター１からの検出信号に基づいて振動部１１の振動を検出する回路である。具体的には、検出回路１０２は、第１検出回路１０２ａと、第２検出回路１０２ｂと、第３検出回路１０２ｃと、を有する。第１検出回路１０２ａは、圧電アクチュエーター１の圧電素子４ｂ、４ｃの第１電極４２ｂ、４２ｃ（第１駆動電極）から出力される検出信号に基づいて振動部１１の振動を検出する。第２検出回路１０２ｂは、圧電アクチュエーター１の圧電素子４ａ、４ｄの第１電極４２ａ、４２ｄ（第２駆動電極）から出力される検出信号に基づいて振動部１１の振動を検出する。第３検出回路１０２ｃは、圧電アクチュエーター１の圧電素子４ｅの第１電極４２ｅ（第３駆動電極）から出力される検出信号に基づいて振動部１１の振動を検出する。このような第１検出回路１０２ａ、第２検出回路１０２ｂおよび第３検出回路１０２ｃは、それぞれ、例えば、検出信号と駆動信号との位相差に応じた信号を出力する位相比較器を含んで構成されている。
【００３９】
スイッチ１０３は、駆動回路１０１からの駆動信号のうち、圧電アクチュエーター１の駆動に必要な駆動信号を圧電アクチュエーター１に入力させるとともに他の駆動信号を遮断する回路である。具体的には、スイッチ１０３は、第１スイッチ１０３ａと、第２スイッチ１０３ｂと、第３スイッチ１０３ｃと、を有する。第１スイッチ１０３ａは、第１電極４２ｂ、４２ｃ（第１駆動電極）と第１駆動回路１０１ａとの間に設けられ、導通状態と遮断状態とに切り換える。第２スイッチ１０３ｂは、第１電極４２ａ、４２ｄ（第２駆動電極）と第２駆動回路１０１ｂとの間に設けられ、導通状態と遮断状態とに切り換える。第３スイッチ１０３ｃは、第１電極４２ｅ（第３駆動電極）と第３駆動回路１０１ｃとの間に設けられ、導通状態と遮断状態とに切り換える。このような第１スイッチ１０３ａ、第２スイッチ１０３ｂおよび第３スイッチ１０３ｃとしては、それぞれ、特に限定されず、各種スイッチを用いることができる。
【００４０】
制御部１０４は、制御装置１０内の各部を制御する機能を有する。特に、制御部１０４は、検出回路１０２の検出結果に基づいて駆動回路１０１の駆動を制御する機能を有する。このような制御部１０４は、例えば、プロセッサーと、そのプロセッサーが読み取り可能な指令が記憶されているメモリーと、を有し、プロセッサーがメモリーから指令を読み取って実行することで、各種機能を実現する。
【００４１】
以上のように構成された制御装置１０は、例えば、ローター１１０を図７に示す方向αに回動させる場合、第２スイッチ１０３ｂおよび第３スイッチ１０３ｃをそれぞれ導通状態とするとともに、第１スイッチ１０３ａを遮断状態とする。これにより、第２駆動回路１０１ｂからの駆動信号が圧電アクチュエーター１の圧電素子４ａ、４ｄの第１電極４２ａ、４２ｄに入力されるとともに、第３駆動回路１０１ｃからの駆動信号が圧電アクチュエーター１の圧電素子４ｅの第１電極４２ｅに入力される。このとき、制御装置１０は、第１検出回路１０２ａを用いて、振動部１１の振動を検出する。第１検出回路１０２ａは、圧電アクチュエーター１の圧電素子４ｂ、４ｃの第１電極４２ｂ、４２ｃから出力される検出信号に基づいて振動部１１の振動を検出する。ここで、第１スイッチ１０３ａが遮断状態であるため、第１電極４２ｂ、４２ｃから出力される検出信号には、第１駆動回路１０１ａからの駆動信号が重畳されることはない。
【００４２】
反対に、ローター１１０を方向βに回動させる場合、第１スイッチ１０３ａおよび第３スイッチ１０３ｃをそれぞれ導通状態とするとともに、第２スイッチ１０３ｂを遮断状態とする。これにより、第１駆動回路１０１ａからの駆動信号が圧電アクチュエーター１の圧電素子４ｂ、４ｃの第１電極４２ｂ、４２ｃに入力されるとともに、第３駆動回路１０１ｃからの駆動信号が圧電アクチュエーター１の圧電素子４ｅの第１電極４２ｅに入力される。このとき、制御装置１０は、第２検出回路１０２ｂを用いて、振動部１１の振動を検出する。第２検出回路１０２ｂは、圧電アクチュエーター１の圧電素子４ａ、４ｄの第１電極４２ａ、４２ｄから出力される検出信号に基づいて振動部１１の振動を検出する。ここで、第２スイッチ１０３ｂが遮断状態であるため、第１電極４２ａ、４２ｄから出力される検出信号には、第２駆動回路１０１ｂからの駆動信号が重畳されることはない。
【００４３】
なお、前述したように圧電アクチュエーター１を駆動する場合、圧電素子４ｅの第１電極４２ｅ、第３駆動回路１０１ｃおよび第３検出回路１０２ｃを省略してもよい。また、第１駆動回路１０１ａからの駆動信号と第２駆動回路１０１ｂからの駆動信号との位相を適宜ずらすことで、双方の駆動信号を圧電アクチュエーター１に入力することによっても、ローター１１０を方向αまたは方向βに回動させることができる。この場合、第１スイッチ１０３ａおよび第２スイッチ１０３ｂをそれぞれ導通状態とするとともに、第３スイッチ１０３ｃを遮断状態とし、第３検出回路１０２ｃを用いて振動部１１の振動を検出すればよい。
【００４４】
以上のように、圧電駆動装置１００は、第１電極４２（駆動電極）が設けられた圧電素子４を含む振動部１１を有する圧電アクチュエーター１と、第１電極４２に入力される駆動信号を生成する駆動回路１０１と、第１電極４２から出力される検出信号に基づいて振動部１１の振動を検出する検出回路１０２と、を有する。また、第１電極４２（駆動電極）が設けられた圧電素子４を含む振動部１１を有する圧電アクチュエーター１の制御方法は、第１電極４２に駆動信号を入力して圧電素子４を駆動し、第１電極４２から出力される検出信号に基づいて振動部１１の振動を検出する。
【００４５】
このような圧電駆動装置１００または制御方法によれば、検出回路１０２が駆動電極である第１電極４２から出力される検出信号に基づいて振動部１１の振動を検出するため、検出信号を取り出すための電極および配線を圧電素子４に第１電極４２とは別途設ける必要がない。そのため、第１電極４２の電極面積を大きくして圧電アクチュエーター１の駆動力を大きくすることができる。また、検出信号が駆動電極である第１電極４２から出力されるため、振動部１１の目的以外の振動が検出されることを低減することができる。そのため、検出回路１０２での検出結果を用いて駆動回路１０１の駆動を制御することで、駆動電極とは別途設けた電極から出力された検出信号を用いる場合に比べて、圧電アクチュエーター１の制御精度を高めることができる。
【００４６】
ここで、圧電素子４は、振動部１１を一方側に屈曲振動させる第１圧電素子である圧電素子４ｂ、４ｃと、振動部１１を他方側に屈曲振動させる第２圧電素子である圧電素子４ａ、４ｄと、を有する。第１電極４２（駆動電極）は、圧電素子４ｂ、４ｃ（第１圧電素子）に設けられた第１駆動電極である第１電極４２ｂ、４２ｃと、圧電素子４ａ、４ｄ（第２圧電素子）に設けられた第２駆動電極である第１電極４２ａ、４２ｄと、を有する。これにより、振動部１１を屈曲振動させることができる。そのため、圧電アクチュエーター１からの駆動力によりローター１１０（被駆動部材）を回動させることができる。
【００４７】
本実施形態では、圧電素子４は、第１電極４２ｂ、４２ｃ（第１駆動電極）に駆動信号が入力される第１状態と、第１電極４２ａ、４２ｄ（第２駆動電極）に駆動信号が入力される第２状態とが切り換えられる。そして、検出回路１０２は、第１状態であるとき、第１電極４２ａ、４２ｄから出力される検出信号に基づいて振動部１１の振動を検出し、第２状態であるとき、第１電極４２ｂ、４２ｃから出力される検出信号に基づいて振動部１１の振動を検出する。これにより、駆動信号が重畳されていない検出信号を検出回路１０２にて得ることができる。
【００４８】
また、駆動回路１０１は、第１電極４２ｂ、４２ｃ（第１駆動電極）に入力される駆動信号を生成する第１駆動回路１０１ａと、第１電極４２ａ、４２ｄ（第２駆動電極）に入力される駆動信号を生成する第２駆動回路１０１ｂと、を有する。これにより、後述する第２実施形態のようなスイッチを設けなくても、第１電極４２ｂ、４２ｃおよび第１電極４２ａ、４２ｄのうち必要な電極に駆動信号を入力することができる。
【００４９】
本実施形態の圧電駆動装置１００は、第１電極４２ｂ、４２ｃ（第１駆動電極）と第１駆動回路１０１ａとの間に設けられた第１スイッチ１０３ａと、第１電極４２ａ、４２ｄ（第２駆動電極）と第２駆動回路１０１ｂとの間に設けられた第２スイッチ１０３ｂと、を有する。そして、第１スイッチ１０３ａが導通状態であるとき、第２スイッチ１０３ｂを遮断状態とし、一方、第１スイッチ１０３ａが遮断状態であるとき、第２スイッチ１０３ｂを導通状態とする。これにより、第１駆動回路１０１ａまたは第２駆動回路１０１ｂから検出信号にノイズ等の不要成分が混入するのを低減することができる。
【００５０】
また、検出回路１０２は、第１電極４２ｂ、４２ｃ（第１駆動電極）から出力される検出信号に基づいて振動部１１の振動を検出する第１検出回路１０２ａと、第１電極４２ａ、４２ｄ（第２駆動電極）から出力される検出信号に基づいて振動部１１の振動を検出する第２検出回路１０２ｂと、を有する。これにより、第２実施形態のようなスイッチを設けなくても、第１電極４２ｂ、４２ｃおよび第１電極４２ａ、４２ｄのうち必要な電極から出力される検出信号を得ることができる。
【００５１】
（変形例１）
図８は、本発明の第１実施形態における制御装置の動作の他の例を説明するためのタイミングチャートである。
【００５２】
前述した実施形態では、第１スイッチ１０３ａおよび第２スイッチ１０３ｂのうちの一方を導通状態、他方を遮断状態とし、圧電素子４ａ、４ｄおよび圧電素子４ｂ、４ｃのうちの一方を駆動用、他方を検出用として用いる場合について説明した。本変形例は、前述した第１スイッチ１０３ａ、第２スイッチ１０３ｂおよび第３スイッチ１０３ｃのうちのいずれかのスイッチについて、振動部１１の検出時のみ遮断状態とする。特に、図８に示すように、当該スイッチを周期的に遮断状態（図中ＯＦＦ）とする。
【００５３】
より具体的に説明すると、例えば、ローター１１０を方向αまたは方向βに回動するように、第１駆動回路１０１ａからの駆動信号と第２駆動回路１０１ｂからの駆動信号との位相を適宜ずらしておき、第１スイッチ１０３ａおよび第２スイッチ１０３ｂのそれぞれを導通状態とし、双方の駆動信号を圧電アクチュエーター１に入力する。また、第３スイッチ１０３ｃを周期的に導通状態と遮断状態とを交互に繰り返し、第３スイッチ１０３ｃが遮断状態であるとき、第１電極４２ｅから出力される検出信号を用いて振動部１１の振動を検出する。
【００５４】
このように、第１電極４２（駆動電極）に駆動信号を入力する第１期間（図中ＯＮの期間）と入力しない第２期間（図中ＯＦＦの期間）とを交互に周期的に繰り返す。そして、第２期間における検出信号に基づいて、振動部１１の振動を検出する。ここで、圧電駆動装置１００は、第１電極４２（駆動電極）と駆動回路１０１との間に設けられ、導通状態と遮断状態とを交互に周期的に切り換えるスイッチ１０３を有する。そして、検出回路１０２は、スイッチ１０３が遮断状態であるときの検出信号に基づいて振動部１１の振動を検出する。これにより、できる限り多くの数の圧電素子を駆動させつつ、駆動信号が重畳されていない検出信号を得ることができる。
【００５５】
ここで、第１期間を駆動信号の周期の１０倍以上１００倍以下にすることが好ましい。これにより、振動部１１の振動の検出精度を高めることができる。また、第２期間を駆動信号の周期の１倍以上３倍以下にすることが好ましい。これにより、第２期間における振動部１１の振動の減衰を低減することができる。なお、第１期間と第２期間の長さは等しくても異なっていてもよい。
【００５６】
（変形例２）
前述した実施形態および変形例では、検出信号に駆動信号が重畳されないようにスイッチ１０３を動作させる場合を説明したが、検出信号に駆動信号が重畳されていても、その重畳される駆動信号の成分が既知であれば、その駆動信号の成分を除去することで、振動部１１の振動状態に応じた信号を得ることができる。
【００５７】
本変形例では、第１電極４２（駆動電極）に駆動信号が入力されている状態における検出信号に基づいて、振動部１１の振動を検出する。ここで、検出回路１０２は、検出信号から駆動信号に応じた成分を除去した補正信号を生成し、当該補正信号に基づいて振動部１１の振動を検出する。これにより、できる限り多くの数の圧電素子を駆動させつつ、駆動信号が重畳されていない検出信号を得ることができる。
【００５８】
＜第２実施形態＞
図９は、本発明の第２実施形態に係る圧電駆動装置が備える制御装置を示す模式図である。なお、以下の説明では、本実施形態に関し、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項に関してはその説明を省略する。また、図９において、前述した実施形態と同様の構成については、同一符号を付している。
【００５９】
図９に示す圧電駆動装置１００Ａは、圧電アクチュエーター１の駆動を制御する制御装置１０Ａを有する。この制御装置１０Ａは、駆動回路１０１Ａと、検出回路１０２Ａと、スイッチ１０３Ａ、１０５と、を有する。
【００６０】
駆動回路１０１Ａは、第１駆動回路１０１ａと、第３駆動回路１０１ｃと、を有する。本実施形態の第１駆動回路１０１ａは、圧電アクチュエーター１の圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄの第１電極４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄのそれぞれに入力される駆動信号を生成する。
【００６１】
検出回路１０２Ａは、第１検出回路１０２ａで構成されている。本実施形態の第１検出回路１０２ａは、圧電アクチュエーター１の圧電素子４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ、４ｅの第１電極４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｄ、４２ｅのいずれかから出力される検出信号に基づいて振動部１１の振動を検出する。
【００６２】
スイッチ１０３Ａは、第１スイッチ１０３ａと、第２スイッチ１０３ｂと、第３スイッチ１０３ｃと、を有する。本実施形態の第２スイッチ１０３ｂは、第１電極４２ａ、４２ｄと第１駆動回路１０１ａとの間に設けられ、導通状態と遮断状態とに切り換える。
【００６３】
スイッチ１０５は、圧電アクチュエーター１からの検出信号のうち、必要な検出信号を検出回路１０２Ａに入力させる回路である。具体的には、スイッチ１０５は、第１スイッチ１０５ａと、第２スイッチ１０５ｂと、第３スイッチ１０５ｃと、を有する。第１スイッチ１０５ａは、第１電極４２ａ、４２ｄと検出回路１０２Ａとの間に設けられ、導通状態と遮断状態とに切り換える。第２スイッチ１０５ｂは、第１電極４２ｂ、４２ｃと検出回路１０２Ａとの間に設けられ、導通状態と遮断状態とに切り換える。第３スイッチ１０５ｃは、第１電極４２ｅと検出回路１０２Ａとの間に設けられ、導通状態と遮断状態とに切り換える。このような第１スイッチ１０５ａ、第２スイッチ１０５ｂおよび第３スイッチ１０５ｃとしては、それぞれ、特に限定されず、各種スイッチを用いることができる。
【００６４】
以上のように構成された制御装置１０Ａは、例えば、ローター１１０を図９に示す方向αに回動させる場合、第２スイッチ１０３ｂ、１０５ｂおよび第３スイッチ１０３ｃをそれぞれ導通状態とするとともに、第１スイッチ１０３ａ、１０５ａおよび第３スイッチ１０５ｃを遮断状態とする。これにより、第１駆動回路１０１ａからの駆動信号が圧電アクチュエーター１の圧電素子４ａ、４ｄの第１電極４２ａ、４２ｄに入力されるとともに、第３駆動回路１０１ｃからの駆動信号が圧電アクチュエーター１の圧電素子４ｅの第１電極４２ｅに入力される。このとき、制御装置１０Ａは、第１検出回路１０２ａを用いて、振動部１１の振動を検出する。第１検出回路１０２ａは、圧電アクチュエーター１の圧電素子４ｂ、４ｃの第１電極４２ｂ、４２ｃから出力される検出信号に基づいて振動部１１の振動を検出する。ここで、第１スイッチ１０３ａ、１０５ａおよび第３スイッチ１０５ｃが遮断状態であるため、第１電極４２ｂ、４２ｃから出力される検出信号には、第１駆動回路１０１ａからの駆動信号が重畳されることはない。
【００６５】
反対に、ローター１１０を方向βに回動させる場合、第１スイッチ１０３ａ、１０５ａおよび第３スイッチ１０３ｃをそれぞれ導通状態とするとともに、第２スイッチ１０３ｂ、１０５ｂおよび第３スイッチ１０５ｃを遮断状態とする。これにより、第１駆動回路１０１ａからの駆動信号が圧電アクチュエーター１の圧電素子４ｂ、４ｃの第１電極４２ｂ、４２ｃに入力されるとともに、第３駆動回路１０１ｃからの駆動信号が圧電アクチュエーター１の圧電素子４ｅの第１電極４２ｅに入力される。このとき、制御装置１０Ａは、第１検出回路１０２ａを用いて、振動部１１の振動を検出する。第１検出回路１０２ａは、圧電アクチュエーター１の圧電素子４ａ、４ｄの第１電極４２ａ、４２ｄから出力される検出信号に基づいて振動部１１の振動を検出する。ここで、第２スイッチ１０３ｂ、１０５ｂおよび第３スイッチ１０５ｃが遮断状態であるため、第１電極４２ａ、４２ｄから出力される検出信号には、第１駆動回路１０１ａからの駆動信号が重畳されることはない。
【００６６】
以上説明したような第２実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００６７】
２．ロボット
次に、本発明のロボットの実施形態について説明する。
【００６８】
図１０は、本発明のロボットの実施形態を示す斜視図である。
図１０に示すロボット１０００は、精密機器やこれを構成する部品（対象物）の給材、除材、搬送および組立等の作業を行うことができる。ロボット１０００は、６軸ロボットであり、床や天井に固定されるベース１０１０と、ベース１０１０に回動自在に連結されたアーム１０２０と、アーム１０２０に回動自在に連結されたアーム１０３０と、アーム１０３０に回動自在に連結されたアーム１０４０と、アーム１０４０に回動自在に連結されたアーム１０５０と、アーム１０５０に回動自在に連結されたアーム１０６０と、アーム１０６０に回動自在に連結されたアーム１０７０と、これらアーム１０２０、１０３０、１０４０、１０５０、１０６０、１０７０の駆動を制御する制御部１０８０と、を有している。また、アーム１０７０にはハンド接続部が設けられており、ハンド接続部にはロボット１０００に実行させる作業に応じたエンドエフェクター１０９０が装着される。また、各関節部のうちの全部または一部には、圧電駆動装置１００が搭載されており、この圧電駆動装置１００の駆動によって各アーム１０２０、１０３０、１０４０、１０５０、１０６０、１０７０が回動する。なお、各圧電駆動装置１００の駆動は、制御部１０８０によって制御される。なお、圧電駆動装置１００に代えて圧電駆動装置１００Ａを用いてもよい。
【００６９】
以上のようなロボット１０００は、圧電駆動装置１００を備える。このようなロボット１０００によれば、圧電アクチュエーター１の駆動力を大きくしたり、圧電アクチュエーター１の制御精度を高めたりすることができる。そのため、ロボット１０００の小型化および軽量化を図ったり、ロボット１０００の制御精度を高めたりすることができる。
【００７０】
３．電子部品搬送装置
次に、本発明の電子部品搬送装置の実施形態について説明する。
【００７１】
図１１は、本発明の電子部品搬送装置の実施形態を示す斜視図である。なお、以下では、説明の便宜上、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とする。
【００７２】
図１１に示す電子部品搬送装置２０００は、電子部品検査装置に適用されており、基台２１００と、基台２１００の側方に配置された支持台２２００と、を有している。また、基台２１００には、検査対象の電子部品Ｑが載置されてＹ軸方向に搬送される上流側ステージ２１１０と、検査済みの電子部品Ｑが載置されてＹ軸方向に搬送される下流側ステージ２１２０と、上流側ステージ２１１０と下流側ステージ２１２０との間に位置し、電子部品Ｑの電気的特性を検査する検査台２１３０と、が設けられている。なお、電子部品Ｑの例として、例えば、半導体、半導体ウェハー、ＣＬＤやＯＬＥＤ等の表示デバイス、水晶デバイス、各種センサー、インクジェットヘッド、各種ＭＥＭＳデバイス等が挙げられる。
【００７３】
また、支持台２２００には、支持台２２００に対してＹ軸方向に移動可能なＹステージ２２１０が設けられており、Ｙステージ２２１０には、Ｙステージ２２１０に対してＸ軸方向に移動可能なＸステージ２２２０が設けられており、Ｘステージ２２２０には、Ｘステージ２２２０に対してＺ軸方向に移動可能な電子部品保持部２２３０が設けられている。
【００７４】
電子部品保持部２２３０は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動可能であるとともにＺ軸まわりに回動可能に設けられ、電子部品Ｑを保持する保持部２２３３を有している。また、電子部品保持部２２３０には、圧電駆動装置１００が設けられており、保持部２２３３は、圧電駆動装置１００の駆動力により、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動したりＺ軸まわりに回動したりする。なお、圧電駆動装置１００に代えて圧電駆動装置１００Ａを用いてもよい。
【００７５】
以上のような電子部品搬送装置２０００は、圧電駆動装置１００を備える。このような電子部品搬送装置２０００によれば、圧電アクチュエーター１の駆動力を大きくしたり、圧電アクチュエーター１の制御精度を高めたりすることができる。そのため、電子部品搬送装置２０００の小型化および軽量化を図ったり、電子部品搬送装置２０００の制御精度を高めたりすることができる。
【００７６】
４．プリンター
図１２は、本発明のプリンターの実施形態を示す斜視図である。
【００７７】
図１２に示すプリンター３０００は、インクジェット記録方式のプリンターである。このプリンター３０００は、装置本体３０１０と、装置本体３０１０の内部に設けられている印刷機構３０２０、給紙機構３０３０および制御部３０４０と、を備えている。
【００７８】
装置本体３０１０には、記録用紙Ｐを設置するトレイ３０１１と、記録用紙Ｐを排出する排紙口３０１２と、液晶ディスプレイ等の操作パネル３０１３とが設けられている。
【００７９】
印刷機構３０２０は、ヘッドユニット３０２１と、キャリッジモーター３０２２と、キャリッジモーター３０２２の駆動力によりヘッドユニット３０２１を往復動させる往復動機構３０２３と、を備えている。ヘッドユニット３０２１は、インクジェット式記録ヘッドであるヘッド３０２１ａと、ヘッド３０２１ａにインクを供給するインクカートリッジ３０２１ｂと、ヘッド３０２１ａおよびインクカートリッジ３０２１ｂを搭載したキャリッジ３０２１ｃと、を有している。往復動機構３０２３は、キャリッジ３０２１ｃを往復移動可能に支持しているキャリッジガイド軸３０２３ｂと、キャリッジモーター３０２２の駆動力によりキャリッジ３０２１ｃをキャリッジガイド軸３０２３ｂ上で移動させるタイミングベルト３０２３ａと、を有している。
【００８０】
給紙機構３０３０は、互いに圧接している従動ローラー３０３１および駆動ローラー３０３２と、駆動ローラー３０３２を駆動する給紙モーターである圧電駆動装置１００と、を有している。なお、圧電駆動装置１００に代えて圧電駆動装置１００Ａを用いてもよい。
【００８１】
制御部３０４０は、例えばパーソナルコンピュータ等のホストコンピュータから入力された印刷データに基づいて、印刷機構３０２０や給紙機構３０３０等を制御する。
【００８２】
このようなプリンター３０００では、給紙機構３０３０が記録用紙Ｐを一枚ずつヘッドユニット３０２１の下部近傍へ間欠送りする。このとき、ヘッドユニット３０２１が記録用紙Ｐの送り方向とほぼ直交する方向に往復移動して、記録用紙Ｐへの印刷が行なわれる。
【００８３】
以上のようなプリンター３０００は、圧電駆動装置１００を備える。このようなプリンター３０００によれば、圧電アクチュエーター１の駆動力を大きくしたり、圧電アクチュエーター１の制御精度を高めたりすることができる。そのため、プリンター３０００の小型化および軽量化を図ったり、プリンター３０００の制御精度を高めたりすることができる。
【００８４】
５．プロジェクター
図１３は、本発明のプロジェクターの実施形態を示す模式図である。
【００８５】
図１３に示すプロジェクター４０００は、赤色光を出射する光源４１００Ｒと、緑色光を出射する光源４１００Ｇと、青色光を出射する光源４１００Ｂと、レンズアレイ４２００Ｒ、４２００Ｇ、４２００Ｂと、透過型の液晶ライトバルブ（光変調部）４３００Ｒ、４３００Ｇ、４３００Ｂと、クロスダイクロイックプリズム４４００と、投射レンズ（投射部）４５００と、圧電駆動装置４７００と、を有している。
【００８６】
光源４１００Ｒ、４１００Ｇ、４１００Ｂから出射された光は、各レンズアレイ４２００Ｒ、４２００Ｇ、４２００Ｂを介して、液晶ライトバルブ４３００Ｒ、４３００Ｇ、４３００Ｂに入射する。各液晶ライトバルブ４３００Ｒ、４３００Ｇ、４３００Ｂは、入射した光をそれぞれ画像情報に応じて変調する。
【００８７】
各液晶ライトバルブ４３００Ｒ、４３００Ｇ、４３００Ｂによって変調された３つの色光は、クロスダイクロイックプリズム４４００に入射して合成される。クロスダイクロイックプリズム４４００によって合成された光は、投射光学系である投射レンズ４５００に入射する。投射レンズ４５００は、液晶ライトバルブ４３００Ｒ、４３００Ｇ、４３００Ｂによって形成された像を拡大して、スクリーン（表示面）４６００に投射する。これにより、スクリーン４６００上に所望の映像が映し出される。ここで、投射レンズ４５００は、圧電駆動装置１００である圧電駆動装置４７００に支持されており、圧電駆動装置４７００の駆動により位置および姿勢の変更（位置決め）が可能となっている。これにより、スクリーン４６００に投射される映像の形状や大きさ等を調整することができる。
【００８８】
なお、上述の例では、光変調部として透過型の液晶ライトバルブを用いたが、液晶以外のライトバルブを用いてもよいし、反射型のライトバルブを用いてもよい。このようなライトバルブとしては、例えば、反射型の液晶ライトバルブや、デジタルマイクロミラーデバイス（Digital Micromirror Device）が挙げられる。また、投射光学系の構成は、使用されるライトバルブの種類によって適宜変更される。また、プロジェクターとしては、光をスクリーン上で走査させることにより、表示面に所望の大きさの画像を表示させる走査型のプロジェクターであってもよい。
【００８９】
以上のようなプロジェクター４０００は、圧電駆動装置１００を備える。このようなプロジェクター４０００によれば、圧電アクチュエーター１の駆動力を大きくしたり、圧電アクチュエーター１の制御精度を高めたりすることができる。そのため、プロジェクター４０００の小型化および軽量化を図ったり、プロジェクター４０００の制御精度を高めたりすることができる。
【００９０】
以上、本発明の圧電駆動装置、圧電アクチュエーターの制御方法、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクターを、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。
【００９１】
また、前述した実施形態では圧電駆動装置を圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置、プリンターおよびプロジェクターに適用した構成について説明したが、圧電アクチュエーターは、これら以外の各種電子デバイスにも適用することができる。
【符号の説明】
【００９２】
１…圧電アクチュエーター、２…第１振動板、３…第２振動板、４…圧電素子、４ａ…圧電素子、４ｂ…圧電素子、４ｃ…圧電素子、４ｄ…圧電素子、４ｅ…圧電素子、５…中間部材、７…配線層、８…配線層、１０…制御装置、１０Ａ…制御装置、１１…振動部、１２…支持部、１３…接続部、１４…伝達部、２４…絶縁層、３４…絶縁層、４１…圧電体、４２…第１電極、４２ａ…第１電極、４２ｂ…第１電極、４２ｃ…第１電極、４２ｄ…第１電極、４２ｅ…第１電極、４３…第２電極、５１…本体、５２…絶縁層、５３…配線、６１…接着剤、６２…接着剤、７１…第１電極、７２…第１配線、８１…第２電極、８２…第２配線、９１…端子、９２…端子、１００…圧電駆動装置、１００Ａ…圧電駆動装置、１０１…駆動回路、１０１Ａ…駆動回路、１０１ａ…第１駆動回路、１０１ｂ…第２駆動回路、１０１ｃ…第３駆動回路、１０２…検出回路、１０２Ａ…検出回路、１０２ａ…第１検出回路、１０２ｂ…第２検出回路、１０２ｃ…第３検出回路、１０３…スイッチ、１０３Ａ…スイッチ、１０３ａ…第１スイッチ、１０３ｂ…第２スイッチ、１０３ｃ…第３スイッチ、１０４…制御部、１０５…スイッチ、１０５ａ…第１スイッチ、１０５ｂ…第２スイッチ、１０５ｃ…第３スイッチ、１１０…ローター、１１１…外周面、１０００…ロボット、１０１０…ベース、１０２０…アーム、１０３０…アーム、１０４０…アーム、１０５０…アーム、１０６０…アーム、１０７０…アーム、１０８０…制御部、１０９０…エンドエフェクター、２０００…電子部品搬送装置、２１００…基台、２１１０…上流側ステージ、２１２０…下流側ステージ、２１３０…検査台、２２００…支持台、２２１０…Ｙステージ、２２２０…Ｘステージ、２２３０…電子部品保持部、２２３３…保持部、３０００…プリンター、３０１０…装置本体、３０１１…トレイ、３０１２…排紙口、３０１３…操作パネル、３０２０…印刷機構、３０２１…ヘッドユニット、３０２１ａ…ヘッド、３０２１ｂ…インクカートリッジ、３０２１ｃ…キャリッジ、３０２２…キャリッジモーター、３０２３…往復動機構、３０２３ａ…タイミングベルト、３０２３ｂ…キャリッジガイド軸、３０３０…給紙機構、３０３１…従動ローラー、３０３２…駆動ローラー、３０４０…制御部、４０００…プロジェクター、４１００Ｂ…光源、４１００Ｇ…光源、４１００Ｒ…光源、４２００Ｂ…レンズアレイ、４２００Ｇ…レンズアレイ、４２００Ｒ…レンズアレイ、４３００Ｂ…液晶ライトバルブ、４３００Ｇ…液晶ライトバルブ、４３００Ｒ…液晶ライトバルブ、４４００…クロスダイクロイックプリズム、４５００…投射レンズ、４６００…スクリーン、４７００…圧電駆動装置、Ｏ…回動軸、Ｐ…記録用紙、Ｑ…電子部品、α…方向、β…方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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