(57)【要約】【課題】測定対象物の多数の箇所にターゲット保持治具を取り付ける場合の作業性を向上させる。【解決手段】測定対象物３００の被測定点と接触させた状態でターゲットを支持する支持部１０と、測定対象物３００の端面の短辺方向においてターゲットが測定対象物３００に接触する位置を規制するガイド部２０と、支持部１０に固定され、測定対象物３００に着脱可能に連結する連結部３０と、を備え、支持部１０は、透過性を有する材料により形成された板状部材であり、連結部３０は、測定対象物３００の長辺方向においてターゲットを挟むように間隔を空けて配置される一対の連結部材を備え、連結部材３１は、測定対象物３００の短辺方向の一対の面３００ａ，３００ｂを弾性力により挟持する一対の板バネ３１ａ，３１ｂにより構成されているターゲット保持治具を提供する。【選択図】図４
2019132704.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から射出された測定光を反射する反射機構を備えるターゲットを保持し、前記ターゲットと測定対象物の端面とを接触させて前記測定対象物に連結して支持するターゲット保持治具であって、
前記測定対象物の被測定点と接触させた状態で前記ターゲットを支持する支持部と、
前記支持部の前記測定対象物と対向する側に配置され、前記測定対象物の端面の短辺方向において前記ターゲットが前記測定対象物に接触する位置を規制し、かつ、前記ターゲットの前記測定対象物の端面の短辺方向への移動を規制するガイド部と、
前記支持部に固定され、前記測定対象物に着脱可能に連結する連結部と、を備え、
前記支持部は、透過性を有する材料により形成された板状部材であり、
前記連結部は、前記測定対象物の長辺方向において前記ターゲットを挟むように間隔を空けて配置される一対の連結部材を備え、
前記連結部材は、前記測定対象物の短辺方向の一対の面の少なくとも一部を弾性力により挟持する一対の板バネにより構成されているターゲット保持治具。
【請求項２】
前記支持部は、電気絶縁性を有する樹脂系材料により形成され、
電流が流れることで発光する発光部を備え、
前記被測定点と前記ターゲットとを接触させた状態で、前記連結部と前記ターゲットと前記発光部とが導通する電気回路が形成される請求項１に記載のターゲット保持治具。
【請求項３】
前記測定対象物は、蒸気タービンの車室内に設けられたリング形状のシールフィンである請求項１または請求項２に記載のターゲット保持治具。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のターゲット保持治具と、
前記ターゲット保持治具に保持されたターゲットと、
前記ターゲットに測定光を照射する光源と前記ターゲットで反射された測定光を受光する受光部と前記受光部で受光した結果を解析して前記被測定点の座標データを取得する処理部とを備える測定装置本体と、を備える測定装置。
【請求項５】
前記処理部は、
前記被測定点を複数取得する計測計画に対して、前記測定対象物の３次元ＣＡＤデータから寸法データの計画値を取得する第１取得部と、
前記受光部で受光した結果を解析して前記寸法データの実測値を取得する第２取得部と、
前記第１取得部が取得した前記計画値と前記第２取得部が取得した前記実測値を対応付けて表示するための第１フォームデータを生成する第１生成部と、を備える請求項４に記載の測定装置。
【請求項６】
前記処理部は、
複数の前記被測定点に対して、前記第１取得部が取得した前記計画値と前記第２取得部が取得した前記実測値とに基づいて前記実測値の適否を判定する判定部と、
複数の前記被測定点の前記判定部による判定結果を表示するための第２フォームデータを生成する第２生成部と、を備える請求項５に記載の測定装置。
【請求項７】
ターゲットで反射された測定光を受光して解析する測定装置による測定方法であって、
前記測定装置は、ターゲット保持治具と、前記ターゲット保持治具に把持されたターゲットと、を備え、
前記ターゲット保持治具は、
測定対象物の被測定点と接触させた状態で前記ターゲットを前記測定対象物に連結して支持する支持部と、
前記支持部の前記測定対象物と対向する側に配置され、前記測定対象物の端面の短辺方向において前記ターゲットが前記測定対象物に接触する位置を規制し、かつ、前記ターゲットの前記測定対象物の端面の短辺方向への移動を規制するガイド部と、
前記支持部に固定され、前記測定対象物に着脱可能に連結する連結部と、を備え、
前記支持部は、透過性を有する材料により形成された板状部材であり、
前記連結部は、前記測定対象物の長辺方向において前記ターゲットを挟むように間隔を空けて配置される一対の連結部材を備え、
前記連結部材は、前記測定対象物の短辺方向の一対の面の少なくとも一部を弾性力により挟持する一対の板バネにより構成されており、
前記ターゲットに測定光を照射する光源と前記ターゲットで反射された測定光を受光する受光部と前記受光部で受光した結果を解析して、前記被測定点の座標データを取得する処理工程を備える測定方法。
【請求項８】
前記処理工程は、
第１取得部が取得した前記測定対象物の寸法データの計画値と第２取得部が取得した前記寸法データの実測値とに基づいて実測値の適否を判定する判定工程と、
前記判定工程による過去の判定内容を記憶して蓄積し、前記測定対象物と該測定対象物と対向する他の部材との隙間の実測値に対する発生度数および／または前記隙間の修正量との相関情報を作成し、前記隙間の実測値の適否を良と不良で判定する際に、前記相関情報に基づいて、通常の作業か特異事例を通知する通知工程と、を備える請求項７に記載の測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ターゲット保持治具、測定装置及び測定方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、光源から射出された測定光を反射する反射機構を備えるターゲットを保持し、ターゲットと測定対象物の端面とを接触させるターゲット保持冶具が知られている（例えば、特許文献１参照）。ターゲット保持治具を測定対象物に連結し、ターゲットからの反射光を測定装置により測定することにより、測定装置から測定対象物のターゲットまでの距離を測定することができる。
特許文献１は、支点を中心に回動する２つの部材である挟持部にバネによる付勢力を与えて閉じておき、計測作業者が挟持部を開いてから測定対象物を挟み込むことで、ターゲット保持治具が測定対象物に連結された状態になることを開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第５６２７７１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に開示されるターゲット保持治具を測定対象物に連結にあたっては、支持部に対する改善が行われているものの、ターゲットを支持する支持部の両端に取り付けられた一対の連結する挟持部を、計測作業者が両手を用いて開いて測定対象物に挟み込む必要がある。また、ターゲットを支持する支持部によって測定対象物が視認できない状態となってしまう。そのため、ターゲット保持治具を測定対象物に連結する作業の作業性には改善の余地があった。特に、測定対象物の計測箇所が多数あるために、順次に計測箇所にターゲット保持治具を取り付けと取り外しを繰り返し必要となる場合には、作業性の改善の必要性が特に顕著となる。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、測定対象物の多数の箇所にターゲット保持治具の取り付けと取り外しをする場合に作業性を向上させたターゲット保持治具、測定装置及び測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用する。
本発明の一態様にかかるターゲット保持治具は、光源から射出された測定光を反射する反射機構を備えるターゲットを保持し、前記ターゲットと測定対象物の端面とを接触させて前記測定対象物に連結して支持するターゲット保持治具であって、前記測定対象物の被測定点と接触させた状態で前記ターゲットを支持する支持部と、前記支持部の前記測定対象物と対向する側に配置され、前記測定対象物の端面の短辺方向において前記ターゲットが前記測定対象物に接触する位置を規制し、かつ、前記ターゲットの前記測定対象物の端面の短辺方向への移動を規制するガイド部と、前記支持部に固定され、前記測定対象物に着脱可能に連結する連結部と、を備え、前記支持部は、透過性を有する材料により形成された板状部材であり、前記連結部は、前記測定対象物の長辺方向において前記ターゲットを挟むように間隔を空けて配置される一対の連結部材を備え、前記連結部材は、前記測定対象物の短辺方向の一対の面の少なくとも一部を弾性力により挟持する一対の板バネにより構成されている。
【０００７】
本発明の一態様にかかるターゲット保持治具によれば、連結部が測定対象物と連結して支持され、かつガイド部でターゲットと測定対象物との相対位置を規制することで、高い精度でターゲットを測定対象物の被測定点に接触させることができる。また、連結部が着脱可能な状態で、測定対象物に連結することで、１つもしくは少数のターゲット保持冶具及びターゲットの取り付けと取り外しを容易にして複数点の測定に用いることができる。
【０００８】
さらに、支持部が透過性を有する材料により形成された板状部材であるため、ターゲット保持治具を測定対象物に連結する際に、計測作業者が支持部の背面側から測定対象物を容易に視認することができる。また、連結部材が測定対象物の短辺方向の一対の面の少なくとも一部を弾性力により挟持する一対の板バネであるため、計測作業者は片手でターゲット保持冶具を把持して一対の板バネの間に測定対象物を押し込むだけでターゲット保持治具を測定対象物に連結することができる。よって、測定対象物の測定箇所が多数ある場合でも、ターゲット保持治具の取り付けと取り外しをする場合の作業性が向上されて、順次に複数点の測定を容易にする。
【０００９】
本発明の一態様にかかるターゲット保持治具において、前記支持部は、電気絶縁性を有する樹脂系材料により形成され、電流が流れることで発光する発光部を備え、前記被測定点と前記ターゲットとを接触させた状態で、前記連結部と前記ターゲットと前記発光部とが導通する電気回路が形成されてもよい。
測定対象物の被測定点とターゲットとを接触させることにより発光部に電流が流れて発光するため、被測定点とターゲットとが接触したことを容易に認識することができる。また、支持部が電気絶縁性を有する樹脂系材料により形成されるため、金属材料等の電気絶縁性を有しない材料により形成する場合に比べ、ターゲットを支持する支持部の絶縁処理が不要となり、かつ支持部を軽量化することができる。
【００１０】
本発明の一態様にかかるターゲット保持治具において、前記測定体対象物は、蒸気タービンの車室内に設けられたリング形状のシールフィンであってもよい。
測定対象物が蒸気タービンの車室内に設けられたリング形状のシールフィンである場合、シールフィンの多数の箇所にターゲット保持治具を取り付けと取り外しをする場合の作業性が向上する。
【００１１】
本発明の一態様にかかる測定装置は、上記のいずれかに記載のターゲット保持冶具と、前記ターゲット保持冶具に保持されたターゲットと、前記ターゲットに測定光を照射する光源と前記ターゲットで反射された測定光を受光する受光部と前記受光部で受光した結果を解析して前記被測定点の座標データを取得する処理部とを備える測定装置本体と、を備える。
このような測定装置によれば、測定対象物の測定箇所が多数ある場合でも、ターゲット保持治具を取り付けと取り外しをして、被測定点の座標データを取得する場合の作業性が向上する。
【００１２】
本発明の一態様にかかる測定装置において、前記被測定点を複数取得する計測計画に対して、前記処理部は、前記測定対象物の３次元ＣＡＤデータから寸法データの計画値を取得する第１取得部と、前記受光部で受光した結果を解析して前記寸法データの実測値を取得する第２取得部と、前記第１取得部が取得した前記計画値と前記第２取得部が取得した前記実測値を対応付けて表示するための第１フォームデータを生成する第１生成部と、を備える構成であってもよい。
本構成の測定装置によれば、複数の被測定点を取得する計測計画に対して、測定対象物の寸法データの計画値と実測値をそれぞれ取得してそれらを対応付けて表示するための第１フォームデータが生成される。そのため、寸法データの計画値と実測値を対応付けた表を計測作業者が手作業で作成する場合に比べ、作業効率が向上するとともに寸法データの入力ミス等の人為的ミスを軽減することができる。
【００１３】
上記構成において、前記処理部は、複数の前記被測定点に対して、前記第１取得部が取得した前記計画値と前記第２取得部が取得した前記実測値とに基づいて前記実測値の適否を判定する判定部と、複数の前記被測定点の前記判定部による判定結果を表示するための第２フォームデータを生成する第２生成部と、を備えていてもよい。
複数の被測定点に対して、判定部による判定結果を表示するための第２フォームデータが生成されるため、複数の被測定点の実測値の適否の確認が容易となる。
【００１４】
本発明の一態様にかかる測定方法は、ターゲットで反射された測定光を受光して解析する測定装置による測定方法であって、前記測定装置は、ターゲット保持治具と、前記ターゲット保持冶具に把持されたターゲットと、を備え、前記ターゲット保持治具は、前記測定対象物の被測定点と接触させた状態で前記ターゲットを前記測定対象物に連結して支持する支持部と、前記支持部の前記測定対象物と対向する側に配置され、前記測定対象物の端面の短辺方向において前記ターゲットが前記測定対象物に接触する位置を規制し、かつ、前記ターゲットの前記測定対象物の端面の短辺方向への移動を規制するガイド部と、前記支持部に固定され、前記測定対象物に着脱可能に連結する連結部と、を備え、前記支持部は、透過性を有する材料により形成された板状部材であり、前記連結部は、前記測定対象物の長辺方向において前記ターゲットを挟むように間隔を空けて配置される一対の連結部材を備え、前記連結部材は、前記測定対象物の短辺方向の一対の面の少なくとも一部を弾性力により挟持する一対の板バネにより構成されており、前記ターゲットに測定光を照射する光源と前記ターゲットで反射された測定光を受光する受光部と前記受光部で受光した結果を解析して、前記被測定点の座標データを取得する処理工程を備える。
【００１５】
本発明の一態様にかかる測定方法によれば、連結部が測定対象物と連結して支持され、かつガイド部でターゲットと測定対象物との相対位置を規制することで、高い精度でターゲットを測定対象物の被測定点に接触させることができる。また、支持部が透過性を有する材料により形成された板状部材であるため、ターゲット保持治具を測定対象物に連結する際に、計測作業者が支持部の背面側から測定対象物を容易に視認することができる。また、連結部材が測定対象物の短辺方向の一対の面の少なくとも一部を弾性力により挟持する一対の板バネであり、連結部が着脱可能な状態で、測定対象物に連結するため、計測作業者は片手でターゲット保持冶具を把持して一対の板バネの間に測定対象物を押し込むだけでターゲット保持治具を測定対象物に連結することができる。よって、測定対象物の測定箇所が多数ある場合でもターゲット保持治具を取り付けと取り外しをする場合の作業性を向上させて、順次に複数点の測定を容易にする。
【００１６】
本発明の一態様にかかる測定方法において、前記処理工程は、第１取得部が取得した前記測定対象物の寸法データの計画値と第２取得部が取得した前記寸法データの実測値とに基づいて実測値の適否を判定する判定工程と、前記判定工程による過去の判定内容を記憶して蓄積し、前記測定対象物と該測定対象物と対向する他の部材との隙間の実測値に対する発生度数および／または前記隙間の修正量との相関情報を作成し、前記隙間の実測値の適否を良と不良で判定する際に、前記相関情報に基づいて、通常の作業か特異事例を通知する通知工程と、を備えていてもよい。
このようにすることで、隙間の実測値の適否を良と不良で判定する際に、過去に判定部が適否を判定した際の、隙間の実測値、発生度数、隙間の修正量などについての相関情報として情報を記憶して蓄積しておくことで、計測作業者が通常の作業に対して隙間の実測値が特異事例としての何らかの異常認識を行うことができる。これにより、計測作業者の判断の精度を向上して修正を的確に行い、修正後の信頼性向上に役立てることができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、測定対象物の多数の箇所にターゲット保持治具の取り付けと取り外しをする場合の作業性を向上させたターゲット保持治具、測定装置及び測定方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１実施形態に係るターゲット保持治具を示す平面図である。
【図２】図１に示すターゲット保持治具のI-I矢視断面図である。
【図３】図２に示すターゲット保持治具のII-II矢視図であり、測定対象物を保持していない状態を示す図である。
【図４】図２に示すターゲット保持治具のII-II矢視図であり、測定対象物を保持している状態を示す図である。
【図５】検出部の回路構成を示す模式図である。
【図６】ターゲット保持治具を備える測定装置の概略構成を示す模式図である。
【図７】測定対象物の概略構成を示す斜視図である。
【図８】測定対象物とターゲット保持治具との測定時の位置関係を示す模式図である。
【図９】複数段の動翼に対応する位置に配置される複数のシールフィンと、各シールフィンシールフィンの蒸気タービンの中心軸線上の位置を示す図である。
【図１０】測定装置の処理部の概略構成を示す図である。
【図１１】第１生成部が生成する第１フォームデータを示す図であり、計画値及び実測値の取得前を示す図である。
【図１２】第１生成部が生成する第１フォームデータを示す図であり、計画値の取得後を示す図である。
【図１３】第１生成部が生成する第１フォームデータを示す図であり、計画値及び実測値の取得後を示す図である。
【図１４】第２生成部が生成する第２フォームデータを示す図であり、上限値及び下限値の取得前を示す図である。
【図１５】第２生成部が生成する第２フォームデータを示す図であり、上限値及び下限値の取得後を示す図である。
【図１６】第２生成部が生成する第２フォームデータを示す図であり、実測値の適否の判定結果を示す図である。
【図１７】隙間の実測値に対する実測値の発生度数を示す図である。
【図１８】１回目の測定における計画値と実測値の差分に対する隙間の修正量を示す図である。
【図１９】隙間の実測値に対する隙間の修正量及び実測値の発生度数を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
〔第１実施形態〕
以下、本発明の第１実施形態について、図面を参照して説明する。
図１は、本実施形態に係るターゲット保持治具１００を示す正面図である。図２は、図１に示すターゲット保持治具１００のI-I矢視断面図である。図３は、図２に示すターゲット保持治具１００のII-II矢視図であり、測定対象物を保持していない状態を示す図である。図４は、図２に示すターゲット保持治具のII-II矢視図であり、測定対象物を保持している状態を示す図である。
【００２０】
ターゲット保持治具１００は、ターゲットＴを保持し、測定対象物３００に着脱可能に連結される。ここで、ターゲットＴは、後述する測定装置の一部であり、光源から射出された測定光を反射する反射機構を備えている。具体的には、ターゲットＴは、一部に切欠きが形成された略球状の部材であり、切欠きに測定光を反射するリフレクタが設置されている。本実施形態の測定対象物３００は、例えば、蒸気タービンのリング形状のシールフィンである（以下、測定対象物３００をシールフィン３００ともいう。）。
【００２１】
図１及び図２に示すように、ターゲット保持治具１００は、支持部１０と、ガイド部２０と、連結部３０と、電池フォルダ４０と、発光部５０と、配線６０，６１と、を有する。
【００２２】
支持部１０は、透過性と電気的絶縁性を有する樹脂系材料により形成される板状部材であり、ターゲット保持治具１００の土台となる部材である。支持部１０は、例えば、ポリカーボネイト系樹脂、アクリル系樹脂や塩化ビニール系樹脂などが利用可能である。支持部１０は、面積が最も大きい主面１３（図２に示すように測定対象物（シールフィン）３００と対向している場合、測定対象物３００と対面している面）に開口１１が形成されている。この開口１１にターゲットＴを挿入して、枠板状のターゲット支持板１４で保持することで、ターゲットＴはターゲット保持治具１００に保持される。
【００２３】
また、支持部１０は、開口１１と繋がり、かつ、支持部１０の側面まで延在する切欠き１２が形成されている。この切欠き１２を設けることで、ターゲットＴに測定光が入反射する領域を確保することができる。計測作業者にとっても、切欠き１２が形成されていることで、この切欠き１２を介して、ターゲットＴと測定対象物３００の被測定点３０１の位置との相対位置を容易に目視で確認することができる。また、支持部１０は、透過性を有する材料により形成されるため、ターゲット保持治具１００を測定対象物３００に連結する際に、計測作業者が支持部１０の背面側からでも測定対象物３００の被測定点３０１の位置を容易に視認することができる。
【００２４】
支持部１０は、図２に示すように、測定対象物３００と対向している面にガイド部２０が配置され、その反対側の面に、電池フォルダ４０と、発光部５０と、配線６０，６１とが配置されている。また、支持部１０は、測定対象物３００と対向している主面１３において、支持部１０の長手方向の一方の端側（紙面左側）と他方の端側（紙面右側）に、一対の側面のそれぞれに連結部３０を構成する一対の連結部材３１，３２が配置されている。なお、連結部材３１，３２が配置されている主面１３は、切欠き１２が形成されていない主面１３の領域に設けてある。
【００２５】
また、ターゲット支持板１４は、例えばステンレス材などの金属等の導電性の材料で作製されている。ターゲット支持板１４は、電池フォルダ４０の一方の電極と電気的に繋がっており、かつ、ターゲットＴと電気的に繋がっている。さらに、連結部材３１（および／または連結部材３２）と、配線６０と、配線６１と、他の部材を介して電気的に繋がっている。
【００２６】
連結部３０は、支持部１０に固定され、ターゲット保持治具１００を測定対象物３００に着脱可能に連結する機構である。図２に示すように、支持部１０の長手方向の一方の端部に連結部材３１が配置され、支持部１０の長手方向の他方の端部に連結部材３２が配置される。このように、連結部３０は、測定対象物３００の長辺方向においてターゲットＴを挟むように間隔を空けて配置される一対の連結部材３１，３２を備える。ターゲット保持治具１００は、支持部１０の開口１１を挟み込む位置に連結部材３１，３２を配置している。
【００２７】
支持部１０が電気絶縁性を有する樹脂系材料により形成されているため、連結部材３１，３２と支持部１０の間には電気が流れない状態が維持される。なお、連結部材３１と支持部１０の固定部分及び連結部材３２と支持部１０の固定部分は、電気が流れない状態を維持しつつ、ネジやピン等の締結機構で固定されている。
【００２８】
本実施形態のターゲット保持治具１００において、開口１１に挿入されたターゲットＴは、ガイド部２０と当接してターゲット支持板１４と開口１１で挟み込まれることにより、開口１１内の所定位置に保持される。このため、ターゲットＴは、ガイド部２０により測定対象物３００と接触する状態で、測定光が入反射できる向きに保持させることができる。また、ガイド部２０が測定対象物３００と接触した状態で電気が流れないようにするために、ガイド部２０は電気的絶縁性を有する樹脂系材料で形成され、例えば、ＭＣナイロン、フィノール樹脂や塩化ビニール樹脂などが利用可能である。
【００２９】
次に、図３及び図４を参照して、連結部３０が備える連結部材３１の構成について説明する。連結部３２は、配置位置が異なるのみであるので、説明を省略する。
図４に示すように、連結部材３１は、測定対象物３００の短辺方向（厚さ方向）の一対の面３００ａ，３００ｂを弾性力により挟持する一対の板バネ３１ａ，３１ｂにより構成されている。一対の板バネ３１ａ，３１ｂは、例えば、ステンレス材などの弾性を有する金属材料により形成されている。
【００３０】
図３及び図４に示すように、一対の板バネ３１ａ，３１ｂは、測定対象物３００を挟持する面を対向させた状態で、支持部１０の主面１３にネジにより締結されている。一対の板バネ３１ａ，３１ｂは、測定対象物３００を挟持する面が、支持部１０の主面１３に対する鉛直方向に沿って延びている。また、一対の板バネ３１ａ，３１ｂは、図３及び図４に示すように、測定対象物３００側の先端が、測定対象物３００側に行くほど間隔が広く、支持部１０側に行くにしたがって間隔が狭くなる傾斜形状となっている。これにより、一対の板バネ３１ａ，３１ｂの間に測定対象物３００を挿入させやすくなる。
【００３１】
一対の板バネ３１ａ，３１ｂによりターゲット保持治具１００を測定対象物３００に連結する場合、計測作業者は、片手でターゲット保持治具１００を把持して一対の板バネ３１ａ，３１ｂの先端部に測定対象物３００を押し込む。一対の板バネ３１ａ，３１ｂは、先端部に測定対象物３００が押し込まれると、一対の板バネ３１ａ，３１ｂが接触した図３に示す状態から、一対の板バネ３１ａ，３１ｂの間に測定対象物３００は挟持された図４に示す状態となる。一対の板バネ３１ａ，３１ｂは、測定対象物３００の厚さの分だけ変位し、変位量に応じた弾性力を測定対象物３００に付与する。
また、支持部１０は、樹脂系材料で形成されるので、金属材料で形成する場合より軽量になるため、連結部材３１を弾性力により挟持する一対の板バネ３１ａ，３１ｂにより構成しても、測定対象物３００に安定して保持することが出来る。
【００３２】
ガイド部２０は、図２に示すように、支持部１０の測定対象物（シールフィン）３００と対向している面において、連結部材３１及び連結部材３２と同一線上の位置に配置されている。
図３及び図４に示すように、ガイド部２０は、この同一線上に沿って延在する一対のガイド部材２１，２２から構成され、連結部材３１及び連結部材３２が測定対象物３００を挟持する同一線上の位置に直線状の溝２３が形成されている。ターゲット保持治具１００は、連結部材３１及び連結部材３２とガイド部２０の溝２３で測定対象物３００を挟み込むことができる。
【００３３】
ターゲット保持治具１００を測定対象物３００に挟み込んだ状態では、図２に示すように、ガイド部２０はターゲットＴが測定対象物３００側に最も突出した位置またはその近傍で、ターゲットＴと測定対象物３００の端面の被測定点３０１とを接触させることができる。
【００３４】
また、ガイド部２０は、図３及び図４に示すように、溝２３の測定対象物３００側の先端である先端部２１ａ，２２ａが、測定対象物３００側に行くほど幅が広く、支持部１０側に行くにしたがって幅が狭くなる傾斜形状となっている。これにより、ガイド部２０は、測定対象物３００を溝２３に挿入させやすくなる。
【００３５】
ここで、ガイド部２０は、ガイド部２０を構成する一対のガイド部材２１，２２が、支持部１０に対して着脱可能となっている。また、ガイド部２０は、溝２３の測定対象物３００が挿入されない領域にスペーサ２４（図３参照）が配置されている。ガイド部２０は、ガイド部材２１，２２を支持部１０に対して装着する際にこの２つの部材の間にスペーサ２４を配置することで、溝２３の幅をスペーサ２４の幅とすることができる。これにより、ガイド部２０は、溝２３の幅を所定の幅とすることができる。また、ガイド部２０は、スペーサ２４の厚みを変えることで、溝２３の幅を変えることができる。なお、溝２３は、間隔が測定対象物３００の厚みよりも広くなる。
【００３６】
電池フォルダ４０は、支持部１０に設置され、図示しない電池が取り付けられている。電池フォルダ４０は、電気的に一方の極がターゲット支持板１４を経由してターゲットＴに接続され、他方の極が配線６０に接続されている。発光部５０は、支持部１０に設置されている。発光部５０は、発光ダイオード等であり、電流が流れることで発光する素子である。配線６０は、電池フォルダ４０の他方の極と発光部５０とを接続している。配線６１は、発光部５０と連結部材３１（および／または連結部材３２）とを接続している。
【００３７】
ここで、ターゲット保持治具１００は、ターゲットＴと、支持部１０と、連結部材３１と、電池フォルダ４０と、配線６０と、配線６１とで、検出部７０となる。この検出部７０は、発光部５０と、測定対象物３００と、を含めて１つの直列な電気回路を形成する。具体的には、図５に示すように、検出部７０は、ターゲットＴと、連結部材３１と、電池フォルダ４０と、配線６０と、配線６１とが、ターゲットＴ、電池フォルダ４０、配線６０、発光部５０、配線６１、連結部材３１の順で直列に繋がった回路となる。
【００３８】
これにより、検出部７０は、連結部材３１と測定対象物３００と接触させ、かつ、ターゲットＴと測定対象物３００の被測定点３０１とが接触されると、連結部材３１と測定対象物３００とターゲットＴが直列でつながり、１つの閉じられた回路となる。これにより、電池が取り付けられた電池フォルダ４０から電流が流れる状態となり、発光部５０に電流が流れることで、発光部５０から光が出力される。また、検出部７０は、連結部材３１とターゲットＴのいずれかが測定対象物３００と非接触となると電気が流れないため、発光部５０が発光しない。
【００３９】
ターゲット保持治具１００は、以上のような構成であり、ターゲットＴを支持部１０で支持し、測定対象物３００に連結部材３１と、連結部材３２と、ガイド部２０とを挟み込むことで測定対象物３００と連結することができる。これにより、ターゲット保持治具１００は、ガイド部２０で測定対象物３００の位置を規制できる。具体的には、ガイド部２０が測定対象物３００を挟み込むことで、ターゲットＴが測定対象物３００に接触する位置を規制し、かつ、ターゲットＴの測定対象物３００の端面の短辺方向への移動を規制する。このため、測定対象物３００とターゲットＴとの接触位置を所定の範囲に規制することができ、測定対象物３００とターゲットＴとの接触位置の位置ずれを低減することができる。したがって、計測作業者は、本実施形態のターゲット保持治具１００を使用することにより、ターゲットＴを用いた測定を高い精度で行うことが可能となる。
【００４０】
また、ターゲット保持治具１００は、連結部材３１及び連結部材３２で支持部１０を挟み、かつ、ガイド部２０の溝２３の延在方向を連結部材３１と連結部材３２とを結んだ線上に重ねることで、連結部材３１及び連結部材３２で連結した測定対象物３００を溝２３に案内しやすくすることができる。これにより、測定対象物３００の被測定点３０１とターゲットＴとをより接触させやすくすることができる。
【００４１】
また、ガイド部２０の溝２３の延在方向を連結部材３１と連結部材３２とを結んだ線上に重ねることで、溝２３の延在方向に直交する方向のおける測定対象物３００の被測定点３０１とターゲットＴとの位置ずれを低減することができる。さらに支持部１０は、透過性を有する材料により形成されるため、ターゲット保持治具１００を測定対象物３００に連結する際に、計測作業者が支持部１０の背面側からでも測定対象物３００を容易に視認することができる。
【００４２】
また、ターゲット保持治具１００は、検出部７０によって、測定対象物３００にターゲットＴが確実に接触したかを判定することができる。これにより、測定対象物３００とターゲットＴとが接触していない状態で測定を行うことを抑制でき、ターゲットＴを用いた測定を高い精度で行うことが可能となる。また、ターゲット保持治具１００は、支持部１０を樹脂系材料などの電気的絶縁材料で形成されているので、検出部７０を、ターゲットＴ及び連結部材３１が測定対象物３００に接触したら電流が流れる回路を簡易に構成することができる。これにより、計測作業者が測定対象物３００にターゲット保持治具１００を装着する動作をしているだけで、ターゲットＴと測定対象物３００の被測定点３０１とが接触しているかを検出することができる。
【００４３】
また、発光部５０を設け、検出部７０でターゲットＴと測定対象物３００との接触を検出すると電流が流れ、発光部５０が発光するので、計測作業者に視覚的にターゲットＴと測定対象物３００とが接触したことを目視で認識させることができる。
【００４４】
本実施形態のターゲット保持治具１００において、発光部５０を発光させることでターゲットＴと測定対象物３００とが接触したことを計測作業者に報知する方法は、発光に限定されない。ターゲット保持治具１００は、接触したことを報知する方法として、計測作業者の五感に伝達する各種機構を用いることができ、例えば発光部５０に換えて音を出す音声出力部を設けてもよい。
【００４５】
次に、図６から図８を用いて、本実施例のターゲット保持治具１００を備える測定装置２００について説明する。図６は、ターゲット保持治具１００を備える測定装置２００の概略構成を示す模式図である。図７は、測定対象物３００の概略構成を示す斜視図である。図８は、測定対象物３００とターゲット保持治具１００との測定時の位置関係を示す模式図である。
【００４６】
図６に示すように、ターゲット保持治具１００を備える測定装置２００は、ターゲットＴと、ターゲット保持治具１００と、測定装置本体２１０と、を有する。上述したようにターゲットＴは、ターゲット保持治具１００に保持され、測定時はターゲット保持治具１００によって測定対象物（シールフィン）３００の被測定点３０１に接触している。
【００４７】
測定装置本体２１０は、光源２１１と、受光部２１２と、処理部２１３と、を有する。また、測定装置本体２１０には、測定光（レーザ光）をターゲットＴに向けて照射し、ターゲットＴで反射した光を測定装置本体２１０に案内するヘッド２１４及び光学系２１５が設けられている。
【００４８】
光源２１１は、測定光を出力する。なお、光源２１１は、測定光として、例えば、所定の波長のレーザ光を出力する。受光部２１２は、到達した光を検出する受光素子である。受光部２１２は、測定光の波長の光を検出する。処理部２１３は、測定装置２００の各部の動作を制御する。また、処理部２１３は、受光部２１２の検出結果、さらには光源２１１から出力した測定光の情報を解析することで、ターゲットＴまでの距離を測定し、ターゲットＴの形状で生じる差分を演算処理で除去することで、測定対象物３００までの距離を測定して、被測定点３０１の座標データを取得する。
【００４９】
ヘッド２１４は、光源２１１から出力された測定光が通過する経路に配置されており、測定光が照射される方向を調整する。光学系２１５は、光源２１１とヘッド２１４との間及び受光部２１２とヘッド２１４との間に配置されており、光源２１１から出力された光をヘッド２１４に向けて出力し、ヘッド２１４に入射した光を受光部２１２に案内する。
【００５０】
測定装置２００は、ターゲット保持治具１００を測定対象物３００の測定位置である被測定点３０１に設置する。ここで、本実施形態の測定対象物（シールフィン）３００は、図７に示すように、蒸気タービンの車室内の翼環に配置されるシール取付環３１０の内側に配置されたシールリング３２０に設置されている。シールフィン３００は、シールリング３２０の径方向内側に突出している。また、シールフィン３００は、シールリング３２０に複数設けられている。また、蒸気タービンは、シールリング３２０を複数備えているので、シールリング３２０の数に対応した複数のシールフィン３００が配置されている。測定装置２００は、図８に示すようにリング状に配置されたシールフィン３００の円周方向にターゲットＴを保持したターゲット保持治具１００を保持させて設置する。
【００５１】
測定装置２００は、測定装置本体２１０からヘッド２１４を介してターゲットＴに向けて測定光を出力し、ヘッド２１４を介してターゲットＴで反射された光を測定装置本体２１０で受光し、受光した結果を解析することで、測定対象物３００までの距離を測定して被測定点３０１の座標データを取得することができる。また、ターゲット保持治具１００をシールフィン３００上において取り外した後に移動させ取り付けし、あるいは、シールフィン３００上の複数箇所に複数のターゲット保持治具１００を設置し、シールフィン３００上の複数の位置の座標データ測定を行うことで、シールフィン３００の径を測定することができる。
【００５２】
また、本実施形態のように測定対象物３００をシールフィンとした場合、多数の位置についての測定が必要となるが、容易に着脱可能なターゲット保持治具１００を用いて、ターゲットＴを測定対象物３００に設置し移動させながら計測を行うことで、少数のターゲット保持治具１００及びターゲットＴで計測を行うことができる。また、ターゲット保持治具１００は、ガイド部２０を設けていることと支持部１０が透過性を有する材料により形成されることで、装着時に高い精度でターゲットＴを測定対象物３００の被測定点３０１に接触させることができる。さらに、ターゲット保持治具１００は、検出部７０及び発光部５０によって、ターゲットＴが測定対象物３００の被測定点３０１に接触したことを報知できるため、計測作業者によるターゲットＴの設置作業を容易にすることができる。
【００５３】
以上説明した本実施形態が奏する作用及び効果について説明する。
本実施形態のターゲット保持治具１００によれば、連結部３０が測定対象物３００と連結し、かつガイド部２０でターゲットＴと測定対象物３００との相対位置を規制することで、高い精度でターゲットＴを測定対象物３００の被測定点３０１に接触させることができる。また、連結部３０が容易に着脱可能な状態で、測定対象物３００に連結することで、１つもしくは少数のターゲット保持治具１００及びターゲットＴを取り付けと取り外しを容易にして複数点の測定に用いることができる。
【００５４】
さらに、支持部１０が透過性を有する材料により形成された板状部材であるため、ターゲット保持治具１００を測定対象物に連結する際に、計測作業者が支持部１０の背面側から測定対象物３００を容易に視認することができる。また、連結部材３１，３２が測定対象物３００の短辺方向の一対の面３００ａ，３００ｂを弾性力により挟持する一対の板バネ３１ａ，３１ｂであるため、計測作業者は片手でターゲット保持治具１００を把持して一対の板バネ３１ａ，３１ｂの間に測定対象物を押し込むだけでターゲット保持治具１００を測定対象物３００に連結することができる。よって、測定対象物３００の多数の箇所にターゲット保持治具１００を取り付ける場合の作業性が向上する。
【００５５】
また、ターゲット保持治具１００は、支持部１０を樹脂系材料などの電気的絶縁材料で形成されているので、検出部７０を、ターゲットＴ及び連結部材３１が測定対象物３００に接触したら電流が流れる回路を簡易に構成することができる。
【００５６】
本実施形態の測定装置２００は、ターゲット保持治具１００と、ターゲット保持治具１００に保持されたターゲットＴと、ターゲットＴに測定光を照射する光源２１１とターゲットＴで反射された測定光を受光する受光部２１２と受光部２１２で受光した結果を解析する処理部２１３とを備える測定装置本体２１０と、を備える。
このような測定装置２００によれば、測定対象物３００の多数の箇所にターゲット保持治具１００を取り付ける場合の作業性が向上する。
【００５７】
〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態について図面を参照して説明する。
本実施形態は、第１実施形態の測定装置２００が光源２１１から出力した測定光の情報を解析する際の処理に関するものである。
【００５８】
図９は、複数段の動翼に対応する位置に配置される複数のシールフィン３００Ａ〜３００Ｋと、各シールフィン３００Ａ〜３００Ｋの蒸気タービンの中心軸線Ｘ上の位置を示す図である。図９には、蒸気タービンの車室内の翼環４００に、シールフィンが、タービンロータに取り付けた各動翼（図示せず）に対して配置されており、この代表例として３段の動翼に対応する位置に設けられたシールフィン３００Ａ〜３００Ｋが示されている。また、蒸気タービンの車室内の翼環４００には、タービンロータ（図示せず）が組み込まれていない状態で、予め設定したシールフィン３００Ａ〜３００Ｋの各被測定点３０１の計測が行われる。
【００５９】
ここでは、シールフィン３００Ａ，３００Ｂ，３００Ｃが１段目の動翼に対応する位置に配置される３つのシールフィンであり、シールフィン３００Ｄ，３００Ｅ，３００Ｆが２段目の動翼に対応する位置に配置される３つのシールフィンであり、シールフィン３００Ｇ，３００Ｈ，３００Ｉ，３００Ｊ，３００Ｋが３段目の動翼に対応する位置に配置される５つのシールフィンである。
【００６０】
シールフィン３００Ａ，３００Ｂ，３００Ｃの中心軸線Ｘ上の位置は、それぞれ位置Ｐ１，位置Ｐ２，位置Ｐ３である。シールフィン３００Ｄ，３００Ｅ，３００Ｆの中心軸線Ｘ上の位置は、それぞれ位置Ｐ４，位置Ｐ５，位置Ｐ６である。シールフィン３００Ｇ，３００Ｈ，３００Ｉ，３００Ｊ，３００Ｋの中心軸線Ｘ上の位置は、それぞれ位置Ｐ７，位置Ｐ８，位置Ｐ９，位置Ｐ１０，位置Ｐ１１である。
【００６１】
予め設定したシールフィン３００Ａ〜３００Ｋの多数の被測定点３０１を取得する計測計画に対して、本実施形態の測定装置２００のヘッド２１４は、中心軸線Ｘ上を位置Ｐ１〜位置Ｐ１１までの間の１つもしくは複数の適宜位置を移動しながら、シールフィン３００Ａ〜３００Ｋにターゲット保持治具１００を連結して、測定装置２００のヘッド２１４からシールフィン３００Ａ〜３００Ｋまでの距離を測定し、シールフィン３００Ａ〜３００Ｋ上の複数の位置で被測定点３０１の座標データ測定を行うことができる。
【００６２】
図１０は、測定装置２００の処理部２１３の概略構成を示す図である。
図１０に示すように、処理部２１３は、記憶部２１３ａと、第１取得部２１３ｂと、第２取得部２１３ｃと、第１生成部２１３ｄと、判定部２１３ｅと、第２生成部２１３ｆと、を備える。
【００６３】
記憶部２１３ａは、図９に示すシールフィン３００Ａ〜３００Ｋの寸法データの計画値を記憶するものである。ここで、寸法データとは、シールフィン３００Ａ〜３００Ｋとそれらに対向して配置される動翼の外周面との間に形成される隙間の寸法データであり、予め設定したシールフィン３００Ａ〜３００Ｋまでの多数の被測定点３０１を取得する計測計画をもとに算出するものである。記憶部２１３ａには、測定装置２００の測定対象となる蒸気タービンの設計データである３次元ＣＡＤデータが記憶されている。
【００６４】
第１取得部２１３ｂは、記憶部２１３ａに記憶される３次元ＣＡＤデータを取得し、３次元ＣＡＤデータの各寸法を呼び出すことにより、シールフィン３００Ａ〜３００Ｋの寸法データの計画値を取得する。具体的に、第１取得部２１３ｂは、３次元ＣＡＤデータの各位置寸法を呼び出し、シールフィン３００Ａ〜３００Ｋの座標位置とそれらに対向して配置される動翼の外周面の座標位置から、シールフィン３００Ａ〜３００Ｋと、それらに対向して配置される動翼の外周面との間に形成される隙間の寸法データの計画値を取得する。
【００６５】
第２取得部２１３ｃは、測定装置２００が受光した結果を解析して寸法データの実測値を取得するものである。具体的に、蒸気タービンの車室の翼環４００にタービンロータが組み込まれていない状態で、第２取得部２１３ｃは、測定装置２００が位置Ｐ１〜位置Ｐ１１の間の適宜な位置において、測定装置２００のヘッド２１４からターゲットＴまでの距離を測定して、シールフィン３００Ａ〜３００Ｋに対して予め設定した各被測定点３０１の各座標データを算出する。
【００６６】
また別場所に保管しているタービンロータ（図示せず）を旋盤などの回転機械で少しずつ回転させて、旋盤の刃物台にはターゲットＴを設置する。動翼の外周面の少しずつ所定の角度を回転した位置に対して接触するようにターゲットＴの位置を合せることで、測定装置２００のヘッド２１４からの距離を測定する。これにより、タービンロータの回転中心軸に対するシールフィン３００Ａ〜３００Ｋに対向して配置される予定の動翼の外周面に対して予め設定した各被測定点３０１の各座標データを算出する。
【００６７】
この各座標データの結果に基づいて、蒸気タービンの車室内にタービンロータ（図示せず）の回転中心軸を蒸気タービンの中心軸線Ｘに一致するように組み入れた際を想定して、シールフィン３００Ａ〜３００Ｋの座標データからそれらに対向して配置される動翼の外周面の座標データの差分を算出する。これにより、シールフィン３００Ａ〜３００Ｋとそれらに対向して配置される動翼の外周面との間に形成される隙間の寸法データの実測値として算出されて取得される。
【００６８】
第１生成部２１３ｄは、第１取得部２１３ｂが取得した計画値と第２取得部２１３ｃが取得した実測値を対応付けて表示するための第１フォームデータ２１３ｇを生成するものである。ここで、図１１〜図１３を参照して、第１フォームデータ２１３ｇについて説明する。図１１は、計画値及び実測値の取得前を示す図の例である。図１２は、計画値の取得後を示す図の例である。図１３は、計画値及び実測値の取得後を示す図の例である。
なお、図１１〜図１３の例に示す第１フォームデータ２１３ｇは、例えば、ＣＳＶ形式等の汎用表計算ファイルであり、処理部２１３が実行する表計算アプリケーションにより表示用データに変換され、処理部２１３が備える表示部（図示略）に表示される。
【００６９】
図１１〜図１３に示すように、例えば、第１フォームデータ２１３ｇは、蒸気タービンの動翼の段数を示す第１段（Ｓ１），第２段（Ｓ２），第３段（Ｓ３）を列とし、シールフィンの番号（Ｆ１〜Ｆ５）を行とした表形式のデータである。各シールフィンの番号毎に動翼の外周面との間に形成される隙間の寸法データの計画値と実測値を入力する欄が設けられている。第１段及び第２段の番号Ｆ４及びＦ５には、計画値と実測値を入力する欄が設けられていない。これは、図９に示す第１段と第２段には、シールフィンが３つずつ配置されており、４つ目及び５つ目のシールフィンが存在しないからである。
【００７０】
図１１に示す画面において、計測作業者が計測値取得ボタン２１３ｈをマウス等の入力デバイス（図示略）により選択すると、第１取得部２１３ｂがシールフィン３００Ａ〜３００Ｋとそれらに対向して配置される動翼の外周面との間に形成される隙間の寸法データの計画値を取得する。
第１生成部２１３ｄは、第１取得部２１３ｂが寸法データの計画値を取得した場合に、寸法データの計画値を第１フォームデータ２１３ｇに入力し、図１２に示す第１フォームデータ２１３ｇを新たに生成する。
【００７１】
図１２において、Ｓ１Ｆ１ｐ，Ｓ１Ｆ２ｐ，Ｓ１Ｆ３ｐは、それぞれシールフィン３００Ａ，３００Ｂ，３００Ｃの隙間の寸法データの計画値である。また、Ｓ２Ｆ１ｐ，Ｓ２Ｆ２ｐ，Ｓ２Ｆ３ｐは、それぞれシールフィン３００Ｄ，３００Ｅ，３００Ｆの隙間の寸法データの計画値である。また、Ｓ３Ｆ１ｐ，Ｓ３Ｆ２ｐ，Ｓ３Ｆ３ｐ，Ｓ３Ｆ４ｐ，Ｓ３Ｆ５ｐは、それぞれシールフィン３００Ｇ，３００Ｈ，３００Ｉ，３００Ｊ，３００Ｋの隙間の寸法データの計画値である。
なお、ここでは、隙間の寸法データの計画値を変数により示しているが、これらの変数は具体的な数値として第１フォームデータ２１３ｇに入力される。
【００７２】
図１２に示す画面において、計測作業者が実測値取得ボタン２１３ｉを入力デバイスにより選択すると、第２取得部２１３ｃがシールフィン３００Ａ〜３００Ｋとそれらに対向して配置される動翼の外周面との間に形成される隙間の寸法データの実測値を取得する。
第１生成部２１３ｄは、第２取得部２１３ｃが寸法データの実測値を取得した場合に、寸法データの実測値を第１フォームデータ２１３ｇに入力し、図１３に示す第１フォームデータ２１３ｇを新たに生成する。
【００７３】
第２取得部２１３ｃがシールフィン３００Ａ〜３００Ｋとそれらに対向して配置される動翼の外周面との間に形成される隙間の寸法データの実測値を取得は、前述のように、次のように行われる。蒸気タービンの車室内にタービンロータを組入れない状態で、シールフィン３００Ａ〜３００Ｋの予め設定した各被測定点３０１でヘッド２１４からターゲットＴまでの距離を測定しての各座標データを算出する。また別場所に保管しているタービンロータ（図示せず）の回転中心軸に対するシールフィン３００Ａ〜３００Ｋに対向して配置される予定の動翼の外周面の予め設定した各被測定点３０１でヘッド２１４からターゲットＴまでの距離を測定して各座標データを算出する。
【００７４】
この各座標データの結果に基づいて、蒸気タービンの車室内にタービンロータ（図示せず）を組み入れた際を想定して、シールフィン３００Ａ〜３００Ｋの座標データからそれらに対向して配置される動翼の外周面の座標データの差分を算出する。これにより、シールフィン３００Ａ〜３００Ｋとそれらに対向して配置される動翼の外周面との間に形成される隙間の寸法データの実測値として算出されて取得される。
【００７５】
図１３において、Ｓ１Ｆ１ａ，Ｓ１Ｆ２ａ，Ｓ１Ｆ３ａは、それぞれシールフィン３００Ａ，３００Ｂ，３００Ｃの隙間の寸法データの実測値である。また、Ｓ２Ｆ１ａ，Ｓ２Ｆ２ａ，Ｓ２Ｆ３ａは、それぞれシールフィン３００Ｄ，３００Ｅ，３００Ｆの隙間の寸法データの実測値である。また、Ｓ３Ｆ１ａ，Ｓ３Ｆ２ａ，Ｓ３Ｆ３ａ，Ｓ３Ｆ４ａ，Ｓ３Ｆ５ａは、それぞれシールフィン３００Ｇ，３００Ｈ，３００Ｉ，３００Ｊ，３００Ｋの隙間の寸法データの実測値である。
なお、ここでは、隙間の寸法データの計画値を変数により示しているが、これらの変数は具体的な数値として第１フォームデータ２１３ｇに入力される。
【００７６】
判定部２１３ｅは、第１取得部２１３ｂが取得した計画値と第２取得部２１３ｃが取得した実測値とに基づいて実測値の適否を判定するものである。判定部２１３ｅは、計画値から実測値を減算した値が、予め設定した上限値と下限値の範囲内であるかどうかを判定し、範囲内であれば良（○）と判定し、範囲外であれば不良（×）と判定する。例えば、予め設定した上限値と下限値は，設計段階で設定されている場合は、記憶部２１３ａに記憶される３次元ＣＡＤデータから入手してもよい。
第２生成部２１３ｆは、シールフィン３００Ａ〜３００Ｋの判定部２１３ｅによる判定結果を表示するための第２フォームデータを生成するものである。
【００７７】
ここで、図１４〜図１６を参照して、判定部２１３ｅ及び第２生成部２１３ｆが実行する処理と、第２フォームデータ２１３ｊについて説明する。図１４は、上限値及び下限値の取得前を示す図の例である。図１５は、上限値及び下限値の取得後を示す図の例である。図１６は、実測値の適否の判定結果を示す図の例である。
なお、図１４〜図１６に示す第２フォームデータ２１３ｊは、例えば、ＣＳＶ形式等の汎用表計算ファイルであり、処理部２１３が実行する表計算アプリケーションにより表示用データに変換され、処理部２１３が備える表示部（図示略）に表示される。
【００７８】
図１４〜図１６に例として示すように、第２フォームデータ２１３ｊは、蒸気タービンの動翼の段数を示す第１段（Ｓ１），第２段（Ｓ２），第３段（Ｓ３）を列とし、シールフィンの番号（Ｆ１〜Ｆ５）を行とした表形式のデータである。各シールフィンの番号毎に動翼の外周面との間に形成される隙間の計画値から実測値を減算した値の適否を判定するための上限値と下限値を入力する欄が設けられている。第１段及び第２段の番号Ｆ４及びＦ５には、上限値と下限値を入力する欄が設けられていない。これは、図９に示す第１段と第２段には、シールフィンが３つずつ配置されており、４つ目及び５つ目のシールフィンが存在しないからである。
【００７９】
図１４に示す画面において、計測作業者が上限値・下限値取得ボタン２１３ｋを入力デバイスにより選択すると、処理部２１３は、記憶部２１３ａに記憶されたシールフィン３００Ａ〜３００Ｋそれぞれに対応する上限値及び下限値を取得する。
第２生成部２１３ｆは、処理部２１３が上限値及び下限値を取得した場合に、第２フォームデータ２１３ｊに入力し、図１５に示す第２フォームデータ２１３ｊを新たに生成する。
【００８０】
図１５において、Ｓ１Ｆ１ｍａｘ，Ｓ１Ｆ２ｍａｘ，Ｓ１Ｆ３ｍａｘは、それぞれシールフィン３００Ａ，３００Ｂ，３００Ｃに対応する上限値である。また、Ｓ２Ｆ１ｍａｘ，Ｓ２Ｆ２ｍａｘ，Ｓ２Ｆ３ｍａｘは、それぞれシールフィン３００Ｄ，３００Ｅ，３００Ｆに対応する上限値である。また、Ｓ３Ｆ１ｍａｘ，Ｓ３Ｆ２ｍａｘ，Ｓ３Ｆ３ｍａｘ，Ｓ３Ｆ４ｍａｘ，Ｓ３Ｆ５ｍａｘは、それぞれシールフィン３００Ｇ，３００Ｈ，３００Ｉ，３００Ｊ，３００Ｋに対応する上限値である。
なお、ここでは、上限値を変数により示しているが、これらの変数は具体的な数値として第２フォームデータ２１３ｊに入力される。
【００８１】
図１５において、Ｓ１Ｆ１ｍｉｎ，Ｓ１Ｆ２ｍｉｎ，Ｓ１Ｆ３ｍｉｎは、それぞれシールフィン３００Ａ，３００Ｂ，３００Ｃに対応する下限値である。また、Ｓ２Ｆ１ｍｉｎ，Ｓ２Ｆ２ｍｉｎ，Ｓ２Ｆ３ｍｉｎは、それぞれシールフィン３００Ｄ，３００Ｅ，３００Ｆに対応する下限値である。また、Ｓ３Ｆ１ｍｉｎ，Ｓ３Ｆ２ｍｉｎ，Ｓ３Ｆ３ｍｉｎ，Ｓ３Ｆ４ｍｉｎ，Ｓ３Ｆ５ｍｉｎは、それぞれシールフィン３００Ｇ，３００Ｈ，３００Ｉ，３００Ｊ，３００Ｋに対応する下限値である。
なお、ここでは、下限値を変数により示しているが、これらの変数は具体的な数値として第２フォームデータ２１３ｊに入力される。
【００８２】
図１５に示す画面において、計測作業者が判定ボタン２１３ｌを入力デバイスにより選択すると、第１取得部２１３ｂが隙間の寸法データの計画値を取得し、第２取得部２１３ｃが隙間の寸法データの実測値を取得する。そして、判定部２１３ｅは、シールフィン３００Ａ〜３００Ｋそれぞれについて、計画値から実測値を減算した値が、予め設定した上限値と下限値の範囲内であるかどうかを判定する。
【００８３】
第２生成部２１３ｆは、判定部２１３ｅが上限値と下限値の範囲内であり良と判定した場合は第２フォームデータ２１３ｊの対応する箇所に「○」を入力する。第２生成部２１３ｆは、判定部２１３ｅが上限値と下限値の範囲外であり不良と判定した場合は第２フォームデータ２１３ｊの対応する箇所に「×」を入力する。以上の処理を行うことにより、第２生成部２１３ｆは、図１６に示す第２フォームデータ２１３ｊを新たに生成する。
【００８４】
本実施形態の測定装置２００によれば、予め設定した被測定点３０１を取得する計測計画に対して、シールフィン３００Ａ〜３００Ｋの寸法データの計画値と実測値をそれぞれ取得してそれらを対応付けて表示するための第１フォームデータ２１３ｇが生成される。そのため、寸法データの計画値と実測値を対応付けた表を計測作業者が手作業で作成する場合に比べ、作業効率が向上するとともに寸法データの入力ミス等の人為的ミスを軽減することができる。
また、複数のシールフィン３００Ａ〜３００Ｉの判定部２１３ｅによる判定結果を表示するための第２フォームデータ２１３ｊが生成されるため、複数のシールフィン３００Ａ〜３００Ｋの実測値の適否の確認が容易となる。
【００８５】
なお、判定部２１３ｅが隙間の実測値の適否を不良「×」で判定された場合、シールフィン３００Ａ〜３００Ｋの隙間の寸法データの実測値を用いて、隙間の修正を行う。隙間の修正量は例えば、蒸気タービンの車室内に設置したタービンロータとの芯位置調整ライナにより修正を行ってもよい。例えば、シールフィン３００Ａ〜３００Ｋを固定する各翼環の位置を調整するにあたり、各翼環と蒸気タービンの車室内面との間に設けた調整用ライナ（図示せず）の厚みを寸法データの実測値と計画値との差から割り出して、加工修正することで調整してもよい。    
【００８６】
隙間の修正を実施した後は、再度に測定装置２００による測定を行って、２回目の隙間の寸法データの実測値の適否を判断することがさらに好ましい。仮に２回目の隙間の寸法データの実測値の適否で不良「×」が判定された場合は、２回目の隙間の修正を行うことが好ましい。
【００８７】
〔第３実施形態〕
次に、本発明の第３実施形態について図面を参照して説明する。
本実施形態は、第２実施形態の処理部２１３の判定部２１３ｅが隙間の実測値の適否を良と不良で判定する際の処理を過去の状況とを相関情報として比較して、判断の精度を向上することに関するものである。
【００８８】
判定部２１３ｅが隙間の実測値の適否を良または不良で判定するのに加え、シールフィン３００Ａ〜３００Ｋの過去の実測値と、その実測値に対して行った隙間の修正量とを、記憶部２１３ａに対応付けて記憶しておくのが望ましい。計測作業者は、処理部２１３に対して入力デバイスで支持することにより、シールフィン３００Ａ〜３００Ｋの過去の実測値と、その実測値に対して行った隙間の修正量とを相関情報として表示部に表示させることができる。
【００８９】
この場合、計測作業者は、図１６に示す第２フォームデータ２１３ｊで「×」と判定されたシールフィン３００Ｃ，３００Ｅ，３００Ｇ，３００Ｊの過去の実測値とその実測値に対して行った隙間の修正量を確認することができる。そのため、計測作業者は、過去の実測値とその実測値に対して行った隙間の修正量との相関情報から、今回の判定結果に対して行うべき最適な隙間の修正量を確認することができ、隙間の実測値が計測にあたっての何らかの誤差が混入することを抑制して、判断の精度を向上し信頼性を向上できる。
【００９０】
また、過去の隙間の実測値のうち計測作業者が通常の作業により隙間の修正を行うことができた事例を通常事例として記憶部２１３ａに記憶しておくようにしてもよい。例えば、通常事例として、過去の複数回の実測の結果を記憶部２１３ａに記憶しておき、図１７に示すように横軸を隙間の実測値とし各実測値の発生度数を縦軸としたグラフを相関情報として取得する。
【００９１】
この場合、処理部２１３は、各実測値の発生度数の分布状況の相関情報に対して、今回の実測値の発生が通常事例から大きく逸脱する特異事例であると判断した場合に、計測作業者に所定の警告をするものとする。隙間の実測値が特異事例としての何らかの異常認識を行うことで、修正を的確に行い、判断の精度を向上し修正後の信頼性を向上できる。ここで、特異事例とは、例えば、シールフィン３００Ａ〜３００Ｋの設置不良がある事例や、シールフィン３００Ａ〜３００Ｋの一部領域に加工精度の不良が残留する事例などである。
【００９２】
また、過去に判定部２１３ｅが不良であると判定して隙間の修正を行った事例について、１回目の測定における隙間の計画値と実績値の差分と、隙間の修正量とを対応付けて相関情報として記憶部２１３ａに記憶しておくようにしてもよい。例えば、図１８に示すように、１回目の測定における隙間の計画値と実績値の差分と、その際に行った１回目の隙間の修正量と、再度測定装置２００による測定を行った後の２回目の隙間の修正量とを対応付けて記憶してもよい。
【００９３】
図１８に示す例では、１回目の測定における計画値と実測値の差分がＤ１以下である場合の相関情報として、２回目の隙間の修正は必要が無いか、もしくは修正量が著しく小さくなることが示されている。この場合、処理部２１３は、１回目の測定における計画値と実測値の差分がＤ１以下である場合には、再度の測定装置２００による測定や、その後の２回目の隙間の修正が不要である旨を、１回目の測定後に計測作業者に通知する。このようにすることで、測定装置２００による再計測やそれに伴う隙間の修正の作業量を軽減することができる。
【００９４】
また、図１９に示すように、過去の隙間の実測値のうち計測作業者が通常の作業により隙間の修正を行うことができた通常事例に対応付けて、隙間の修正量と実測値の発生度数とを記憶部２１３ａに記憶して相関情報としておくようにしてもよい。図１９に示す例では、隙間の実測値がＡ２より小さい場合及びＡ３より大きい場合に隙間の修正発生量が増加し、隙間の修正量が大きくなる傾向が示されている。また、隙間の実測値がＡ２からＡ３までの範囲では隙間の修正量が小さい。一方、隙間の実測値がＡ１より小さい場合及びＡ４より大きい場合には実測値の発生度数が極大から減少へ向い、隙間の修正量はさらに大きくなる傾向が示されている。
【００９５】
処理部２１３は、今回の実測値が図１９に示す相関情報の例から大きく逸脱した場合に、特異事例であると判断し、計測作業者に所定の警告をするものとする。例えば、処理部２１３は、隙間の実測値がＡ２からＡ３までの範囲で隙間の修正量が図１９に示す値よりも著しく大きくなる場合に特異事例であると判断する。また、処理部２１３は、隙間の実測値がＡ２より小さいあるいはＡ３より大きい範囲で隙間の修正量が図１９に示す値よりも著しく小さくなる場合に、特異事例であると判断する。また、処理部２１３は、隙間の実測値が、Ａ１より小さいまたはＡ４より大きい場合は通常の発生頻度から大きく逸脱する場合として、特異事例であると判断する。隙間の実測値が特異事例としての何らかの異常認識を行うことで、修正を的確に行い、判断の精度を向上し修正後の信頼性を向上できる。
【００９６】
本実施形態の判定部２１３ｅは、隙間の実測値の適否を良と不良で判定する際に、過去に判定部２１３ｅが適否を判定した際の、隙間の実測値、発生度数、隙間の修正量などについての相関情報として情報を記憶して蓄積しておくことで、計測作業者が通常の作業に対して隙間の実測値が特異事例としての何らかの異常認識を行うことができる。これにより、計測作業者の判断の精度を向上して修正を的確に行い、修正後の信頼性向上に役立てることができる。
【符号の説明】
【００９７】
１０    支持部
１１    開口
１２    切欠き
１３    主面
１４    ターゲット支持板
２０    ガイド部
２１，２２  ガイド部材
２１ａ，２２ａ  先端部
２３    溝
２４    スペーサ
３０    連結部
３１，３２  連結部材
３１ａ，３１ｂ  板バネ
４０    電池フォルダ
５０    発光部
６０，６１  配線
７０    検出部
１００  ターゲット保持治具
２００  測定装置
２１０  測定装置本体
２１１  光源
２１２  受光部
２１３  処理部
２１４  ヘッド
２１５  光学系
３００  シールフィン（測定対象物）
３００ａ，３００ｂ  面
３０１  被測定点
３１０  シール取付環
３２０  シールリング
４００  翼環
Ｔ      ターゲット
【図１】
2019132704.tif 000003
【図２】
2019132704.tif 000004
【図３】
2019132704.tif 000005
【図４】
2019132704.tif 000006
【図５】
2019132704.tif 000007
【図６】
2019132704.tif 000008
【図７】
2019132704.tif 000009
【図８】
2019132704.tif 000010
【図９】
2019132704.tif 000011
【図１０】
2019132704.tif 000012
【図１１】
2019132704.tif 000013
【図１２】
2019132704.tif 000014
【図１３】
2019132704.tif 000015
【図１４】
2019132704.tif 000016
【図１５】
2019132704.tif 000017
【図１６】
2019132704.tif 000018
【図１７】
2019132704.tif 000019
【図１８】
2019132704.tif 000020
【図１９】
2019132704.tif 000021