(57)【要約】【課題】アレイ基板を適切な位置に保持することができ、且つ、アレイ基板の脱着が容易な放射線検出器を提供することである。【解決手段】実施形態に係る放射線検出器は、支持板と、前記支持板の一方の面に設けられ、基板と、放射線を直接的またはシンチレータと協働して検出する複数の検出部と、を有するアレイ基板と、前記支持板の一方の面に移動可能に設けられた少なくとも１つのスライダと、前記スライダを押圧することで、前記スライダを前記基板側に移動させる押圧部と、を備えている。【選択図】図１
2019078729.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持板と、
前記支持板の一方の面に設けられ、基板と、放射線を直接的またはシンチレータと協働して検出する複数の検出部と、を有するアレイ基板と、
前記支持板の一方の面に移動可能に設けられた少なくとも１つのスライダと、
前記スライダを押圧することで、前記スライダを前記基板側に移動させる押圧部と、
を備えた放射線検出器。
【請求項２】
前記スライダの前記支持板側とは反対側の面は、前記基板側になるに従い前記支持板から離れる方向に傾斜している請求項１記載の放射線検出器。
【請求項３】
前記押圧部の前記支持板側の面は、前記基板側になるに従い前記支持板から離れる方向に傾斜している請求項１または２に記載の放射線検出器。
【請求項４】
前記スライダと、前記基板と、の間に設けられ、前記スライダの弾性率よりも低い弾性率を有する緩衝部をさらに備えた請求項１〜３のいずれか１つに記載の放射線検出器。
【請求項５】
前記スライダは複数設けられ、
一対のスライダが、前記基板を挟んで対峙している請求項１〜４のいずれか１つに記載の放射線検出器。
【請求項６】
前記支持板の一方の面に設けられ、前記基板を挟んで前記スライダと対峙するブロックをさらに備えた請求項１〜４のいずれか１つに記載の放射線検出器。
【請求項７】
前記ブロックは、前記支持板の一方の面に固定されている請求項６記載の放射線検出器。
【請求項８】
前記支持板に対峙する入射窓をさらに備え、
前記押圧部は、前記入射窓の前記支持板側の面に設けられ、
締結部材により前記入射窓を締結することで、前記押圧部が前記スライダを押圧可能となっている請求項１〜７のいずれか１つに記載の放射線検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、放射線検出器に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線検出器などの放射線検出器には、アレイ基板、回路基板、アレイ基板と回路基板とが取り付けられる支持板、および、これらが収納される筐体などが設けられている。アレイ基板は、ガラスを含む基板と、基板の表面に設けられた複数の検出部とを有している。  ここで、放射線検出器に外力(衝撃、振動、荷重)が加わると、アレイ基板と支持板との間において滑り方向（剪断方向）に大きな力が発生して、アレイ基板の位置がズレるおそれがある。アレイ基板の位置がズレると、放射線検出器の機能が低下するおそれがある。そのため、一般的には、ガラスを含む基板は、接着剤、粘着剤、粘着テープなどにより支持板に固定されている。
【０００３】
しかしながら、接着剤などを用いて、ガラスを含む基板を支持板に固定すると、アレイ基板の修理や再利用の際に支持板からアレイ基板を取り外すのが困難となる。また、外力により、筐体にゆがみが発生し、そのゆがみによって基板が破損するおそれもある。
また、回路基板において発生した熱や外部温度の変化などにより、ガラスを含む基板と支持板とが熱膨張する場合がある。その際、ガラスを含む基板と支持板との間の熱膨張量の差により、接着固定された部分が剥がれて基板がズレたり、はずれたりして、基板が他の部品に衝突し、基板が破損するおそれもある。
【０００４】
そのため、筐体の内部に緩衝材を設け、緩衝材によりアレイ基板を保持する技術が提案されている。しかしながら、変形し易い緩衝材によりアレイ基板を保持すると、アレイ基板が適切な位置に保持されなかったり、アレイ基板の位置がズレたりするおそれがある。  また、ガラスを含む基板の四隅を板バネにより保持する技術も提案されている。しかしながら、ガラスを含む基板を板バネにより保持すると、基板が破損し易くなる。また、アレイ基板の脱着が煩雑となる。  
そこで、アレイ基板を適切な位置に保持することができ、且つ、アレイ基板の脱着が容易な放射線検出器の開発が望まれていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１７−３６９６８号公報
【特許文献２】特開２００４−３４１０９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明が解決しようとする課題は、アレイ基板を適切な位置に保持することができ、且つ、アレイ基板の脱着が容易な放射線検出器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
実施形態に係る放射線検出器は、支持板と、前記支持板の一方の面に設けられ、基板と、放射線を直接的またはシンチレータと協働して検出する複数の検出部と、を有するアレイ基板と、前記支持板の一方の面に移動可能に設けられた少なくとも１つのスライダと、前記スライダを押圧することで、前記スライダを前記基板側に移動させる押圧部と、を備えている。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本実施の形態に係るＸ線検出器を例示するための模式断面図である。
【図２】図１におけるＸ線検出器のＡ−Ａ線方向の模式平面図である。
【図３】検出モジュールを例示するための模式斜視図である。
【図４】アレイ基板の回路図である。
【図５】検出モジュールのブロック図である。
【図６】（ａ）、（ｂ）は、保持部の作用を例示するための模式図である。
【図７】（ａ）〜（ｄ）は、他の実施形態に係る押圧部を例示するための模式図である。
【図８】（ａ）〜（ｄ）は、他の実施形態に係るスライダを例示するための模式図である。
【図９】他の実施形態に係るアレイ基板２（基板２ａ）の保持を例示するための模式平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。  
本発明の実施形態に係る放射線検出器は、Ｘ線のほかにもγ線などの各種放射線に適用させることができる。ここでは、一例として、放射線の中の代表的なものとしてＸ線に係る場合を例にとり説明をする。したがって、以下の実施形態の「Ｘ線」を「他の放射線」に置き換えることにより、他の放射線にも適用させることができる。
【００１０】
また、以下に例示をするＸ線検出器１は、放射線画像であるＸ線画像を検出するＸ線平面センサである。Ｘ線平面センサには、大きく分けて直接変換方式と間接変換方式がある。
間接変換方式のＸ線検出器には、例えば、複数の光電変換部を有するアレイ基板と、複数の光電変換部の上に設けられＸ線を蛍光（可視光）に変換するシンチレータとが設けられている。間接変換方式のＸ線検出器においては、外部から入射したＸ線はシンチレータにより蛍光に変換される。発生した蛍光は、光電変換部により信号電荷に変換される。  
直接変換方式のＸ線検出器には、例えば、アモルファスセレンなどからなる光電変換膜が設けられている。直接変換方式のＸ線検出器においては、外部から入射したＸ線は、光電変換膜に吸収され、信号電荷に直接変換される。なお、直接変換方式のＸ線検出器には既知の技術を適用することができるので詳細な説明は省略する。
【００１１】
以下においては、一例として、間接変換方式のＸ線検出器１を例示するが、本発明は、直接変換方式のＸ線検出器にも適用することができる。  
すなわち、Ｘ線検出器は、Ｘ線を電気的な情報に変換する複数の検出部を有するものであれば良い。検出部は、例えば、Ｘ線を直接的またはシンチレータと協働して検出するものとすることができる。  
また、Ｘ線検出器１は、例えば、一般医療などに用いることができる。ただし、Ｘ線検出器１の用途は、一般医療に限定されるわけではない。
【００１２】
図１は、本実施の形態に係るＸ線検出器１を例示するための模式断面図である。  
図２は、図１におけるＸ線検出器１のＡ−Ａ線方向の模式平面図である。  
図３は、検出モジュール１０を例示するための模式斜視図である。  
図４は、アレイ基板２の回路図である。  
図５は、検出モジュール１０のブロック図である。  
図１〜図５に示すように、Ｘ線検出器１には、検出モジュール１０、筐体２０、支持部３０、および保持部４０が設けられている。
【００１３】
検出モジュール１０には、アレイ基板２、回路基板３、およびシンチレータ４が設けられている。  
検出モジュール１０は、筐体２０の内部に設けられている。
【００１４】
アレイ基板２は、シンチレータ４によりＸ線から変換された蛍光を信号電荷に変換する。
アレイ基板２は、基板２ａ、光電変換部２ｂ、制御ライン（又はゲートライン）２ｃ１、データライン（又はシグナルライン）２ｃ２、および保護層２ｆなどを有する。  
なお、光電変換部２ｂ、制御ライン２ｃ１、およびデータライン２ｃ２などの数は例示をしたものに限定されるわけではない。  
本実施の形態に係るＸ線検出器１においては、光電変換部２ｂが、Ｘ線をシンチレータ４と協働して検出する検出部となる。
【００１５】
基板２ａは、板状を呈し、無アルカリガラスなどの透光性材料から形成されている。基板２ａの平面形状は、四角形とすることができる。  
光電変換部２ｂは、基板２ａの一方の面に複数設けられている。  
光電変換部２ｂは、矩形状を呈し、制御ライン２ｃ１とデータライン２ｃ２とにより画された領域に設けられている。複数の光電変換部２ｂは、マトリクス状に並べられている。なお、１つの光電変換部２ｂは、Ｘ線画像の１つの画素（pixel）に対応する。
【００１６】
複数の光電変換部２ｂのそれぞれには、光電変換素子２ｂ１と、スイッチング素子である薄膜トランジスタ（ＴＦＴ；Thin Film Transistor）２ｂ２が設けられている。  
また、光電変換素子２ｂ１において変換した信号電荷を蓄積する蓄積キャパシタ２ｂ３を設けることができる。蓄積キャパシタ２ｂ３は、例えば、矩形平板状を呈し、各薄膜トランジスタ２ｂ２の下に設けることができる。ただし、光電変換素子２ｂ１の容量によっては、光電変換素子２ｂ１が蓄積キャパシタ２ｂ３を兼ねることができる。
【００１７】
光電変換素子２ｂ１は、例えば、フォトダイオードなどとすることができる。  
薄膜トランジスタ２ｂ２は、蓄積キャパシタ２ｂ３への電荷の蓄積および放出のスイッチングを行う。薄膜トランジスタ２ｂ２は、ゲート電極２ｂ２ａ、ドレイン電極２ｂ２ｂ及びソース電極２ｂ２ｃを有している。薄膜トランジスタ２ｂ２のゲート電極２ｂ２ａは、対応する制御ライン２ｃ１と電気的に接続される。薄膜トランジスタ２ｂ２のドレイン電極２ｂ２ｂは、対応するデータライン２ｃ２と電気的に接続される。薄膜トランジスタ２ｂ２のソース電極２ｂ２ｃは、対応する光電変換素子２ｂ１と蓄積キャパシタ２ｂ３とに電気的に接続される。また、光電変換素子２ｂ１のアノード側と蓄積キャパシタ２ｂ３は、グランドに接続される。
【００１８】
制御ライン２ｃ１は、所定の間隔をあけて互いに平行に複数設けられている。制御ライン２ｃ１は、例えば、行方向に延びている。  
１つの制御ライン２ｃ１は、基板２ａの周縁近傍に設けられた複数の配線パッド２ｄ１のうちの１つと電気的に接続されている。１つの配線パッド２ｄ１には、フレキシブルプリント基板２ｅ１に設けられた複数の配線のうちの１つが電気的に接続されている。フレキシブルプリント基板２ｅ１に設けられた複数の配線の他端は、回路基板３に設けられた読み出し回路３ａとそれぞれ電気的に接続されている。
【００１９】
データライン２ｃ２は、所定の間隔をあけて互いに平行に複数設けられている。データライン２ｃ２は、例えば、行方向に直交する列方向に延びている。  
１つのデータライン２ｃ２は、基板２ａの周縁近傍に設けられた複数の配線パッド２ｄ２のうちの１つと電気的に接続されている。１つの配線パッド２ｄ２には、フレキシブルプリント基板２ｅ２に設けられた複数の配線のうちの１つが電気的に接続されている。フレキシブルプリント基板２ｅ２に設けられた複数の配線の他端は、回路基板３に設けられた信号検出回路３ｂとそれぞれ電気的に接続されている。  
制御ライン２ｃ１、およびデータライン２ｃ２は、例えば、アルミニウムやクロムなどの低抵抗金属を用いて形成することができる。
【００２０】
保護層２ｆは、光電変換部２ｂ、制御ライン２ｃ１、およびデータライン２ｃ２などを覆っている。保護層２ｆは、例えば、酸化物絶縁材料、窒化物絶縁材料、酸窒化物絶縁材料、および樹脂材料の少なくとも１種を含む。
【００２１】
回路基板３は、アレイ基板２の、シンチレータ４が設けられる側とは反対側に設けられている。  
回路基板３には、読み出し回路３ａ、信号検出回路３ｂ、および画像処理回路３ｃが設けられている。なお、これらの回路を１つの基板に設けることもできるし、これらの回路を複数の基板に分けて設けることもできる。  
読み出し回路３ａは、薄膜トランジスタ２ｂ２のオン状態とオフ状態を切り替える。  
図５に示すように、読み出し回路３ａは、複数のゲートドライバ３ａａと行選択回路３ａｂとを有する。
【００２２】
行選択回路３ａｂには、制御信号Ｓ１が入力される。制御信号Ｓ１は、例えば、画像処理回路３ｃなどから行選択回路３ａｂに入力される。行選択回路３ａｂは、Ｘ線画像の走査方向に従って、対応するゲートドライバ３ａａに制御信号Ｓ１を入力する。  
ゲートドライバ３ａａは、対応する制御ライン２ｃ１に制御信号Ｓ１を入力する。  
例えば、読み出し回路３ａは、フレキシブルプリント基板２ｅ１を介して、制御信号Ｓ１を各制御ライン２ｃ１毎に順次入力する。制御ライン２ｃ１に入力された制御信号Ｓ１により薄膜トランジスタ２ｂ２がオン状態となり、蓄積キャパシタ２ｂ３からの電荷（画像データ信号Ｓ２）が受信できるようになる。
【００２３】
信号検出回路３ｂは、複数の積分アンプ３ｂａ、複数の選択回路３ｂｂ、および複数のＡＤコンバータ３ｂｃを有している。  
１つの積分アンプ３ｂａは、１つのデータライン２ｃ２と電気的に接続されている。積分アンプ３ｂａは、光電変換部２ｂからの画像データ信号Ｓ２を順次受信する。そして、積分アンプ３ｂａは、一定時間内に流れる電流を積分し、その積分値に対応した電圧を選択回路３ｂｂへ出力する。この様にすれば、所定の時間内にデータライン２ｃ２を流れる電流の値（電荷量）を電圧値に変換することが可能となる。すなわち、積分アンプ３ｂａは、シンチレータ４において発生した蛍光の強弱分布に対応した画像データ情報を、電位情報へと変換する。
【００２４】
選択回路３ｂｂは、読み出しを行う積分アンプ３ｂａを選択し、電位情報へと変換された画像データ信号Ｓ２を順次読み出す。  
ＡＤコンバータ３ｂｃは、読み出された画像データ信号Ｓ２をデジタル信号に順次変換する。デジタル信号に変換された画像データ信号Ｓ２は、画像処理回路３ｃに入力される。
【００２５】
画像処理回路３ｃは、複数のＡＤコンバータ３ｂｃによりデジタル信号に変換された画像データ信号Ｓ２に基づいて、Ｘ線画像を合成する。合成されたＸ線画像のデータは、画像処理回路３ｃから外部の機器に向けて出力される。
【００２６】
シンチレータ４は、複数の光電変換部２ｂの上に設けられ、入射するＸ線を可視光すなわち蛍光に変換する。シンチレータ４は、基板２ａ上の複数の光電変換部２ｂが設けられた領域（有効画素領域）を覆うように設けられている。  
シンチレータ４は、例えば、ヨウ化セシウム（ＣｓＩ）：タリウム（Ｔｌ）、ヨウ化ナトリウム（ＮａＩ）：タリウム（Ｔｌ）、あるいは臭化セシウム（ＣｓＢｒ）：ユーロピウム（Ｅｕ）などを用いて形成することができる。シンチレータ４は、真空蒸着法を用いて形成することができる。真空蒸着法を用いてシンチレータ４を形成すれば、複数の柱状結晶の集合体からなるシンチレータ４が形成される。
【００２７】
また、シンチレータ４は、例えば、テルビウム賦活硫酸化ガドリニウム（Ｇｄ２Ｏ２Ｓ／Ｔｂ、又はＧＯＳ）などを用いて形成することもできる。この場合、複数の光電変換部２ｂごとに四角柱状のシンチレータ４が設けられるように、マトリクス状の溝部を形成することができる。
【００２８】
その他、検出部１０には、蛍光の利用効率を高めて感度特性を改善するために、シンチレータ４の表面側（Ｘ線の入射面側）を覆う図示しない反射層を設けることができる。  
また、空気中に含まれる水蒸気により、シンチレータ４の特性と図示しない反射層の特性が劣化するのを抑制するために、シンチレータ４と反射層を覆う図示しない防湿体を設けることができる。
【００２９】
筐体２０は、カバー部２１、入射窓２２、および基部２３を有する。  
カバー部２１は、筒状を呈し、Ｘ線の入射側、およびＸ線の入射側とは反対側に開口部を有している。  
軽量化を考慮して、カバー部２１は、例えば、アルミニウム合金などを用いて形成することができる。また、カバー部２１は、例えば、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリカーボネイト樹脂、炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ；Carbon-Fiber-Reinforced Plastic）などを用いて形成することもできる。
【００３０】
入射窓２２は、板状を呈し、カバー部２１の、Ｘ線の入射側の開口部を塞ぐように設けられている。入射窓２２は、Ｘ線を透過させる。入射窓２２は、Ｘ線吸収率の低い材料を用いて形成されている。入射窓２２は、例えば、炭素繊維強化プラスチックなどを用いて形成することができる。
【００３１】
基部２３は、板状を呈し、カバー部２１の、Ｘ線の入射側とは反対側の開口部を塞ぐように設けられている。なお、基部２３は、カバー部２１と一体化してもよい。  
基部２３の材料は、ある程度の剛性を有するものであれば特に限定はない。基部２３の材料は、例えば、カバー部２１の材料と同様とすることができる。
【００３２】
支持部３０は、支持板３１、スペーサ３２、スペーサ３３を有する。  
支持板３１は、板状を呈し、筐体２０の内部に設けられている。支持板３１の入射窓２２側の面には、アレイ基板２が設けられている。この場合、基板２ａは支持板３１に固定されておらず、アレイ基板２が支持板３１に対して着脱可能に設けられている。
支持板３１の材料は、ある程度の剛性を有し、Ｘ線吸収率がある程度高いものとすることが好ましい。支持板３１の材料は、例えば、ステンレスやアルミニウム合金などの金属とすることができる。
【００３３】
スペーサ３２、３３は、柱状を呈し、筐体２０の内部に設けられている。スペーサ３２は、支持板３１と回路基板３との間に設けられている。スペーサ３２は、樹脂などの絶縁性材料から形成されている。スペーサ３２、支持板３１、および回路基板３は、例えば、接着剤やネジなどを用いて接合することができる。スペーサ３３は、支持板３１と基部２３との間に設けられている。スペーサ３３は、例えば、ステンレスやアルミニウム合金などの金属から形成することができる。スペーサ３３、支持板３１、および基部２３は、例えば、接着剤やネジなどを用いて接合することができる。
【００３４】
なお、スペーサ３２、３３の形態、配設位置、数などは例示をしたものに限定されるわけではない。例えば、スペーサ３２、３３は、板状を呈し、カバー部２１の内側面から突出するように設けることもできる。すなわち、スペーサ３２、３３は、筐体２０の内部において、支持板３１および回路基板３を支持することができるものであればよい。
【００３５】
保持部４０は、スライダ４１、押圧部４２、および緩衝部４３を有する。  
スライダ４１は、支持板３１の、アレイ基板２が設けられる面に設けられている。この場合、スライダ４１は支持板３１に固定されておらず、スライダ４１が支持板３１上を移動可能となっている。すなわち、少なくとも１つのスライダ４１が、支持板３１の一方の面に移動可能に設けられている。
【００３６】
また、スライダ４１の移動方向を規制するガイド４４を設けることもできる。ガイド４４は、例えば、支持板３１の面に設けられた凸部とすることもできるし、支持板３１の面に設けられた溝とすることもできる。  
また、スライダ４１と支持板３１との間にローラや球などの回転部材を設けることができる。この様にすれば、スライダ４１と支持板３１との間の摩擦力を小さくすることができる。
【００３７】
図２に示すように、スライダ４１は、例えば、基板２ａの角部に対峙させて設けることができる。ただし、スライダ４１の配置は例示をしたものに限定されるわけではない。スライダ４は、例えば、基板２ａの辺に対峙させて設けることもできる。なお、２つのスライダ４１がアレイ基板２を挟んで対峙するように設けられることが好ましい。２つのスライダ４１がアレイ基板２を挟んで対峙していれば、２つのスライダ４１がアレイ基板２を押した際に、基板２ａが回転するのを抑制することができる。
【００３８】
また、基板２ａの位置を規制するガイド３４を設けることができる。ガイド３４は、例えば、支持板３１の面に設けられた凸部とすることができる。ガイド３４は、例えば、基板２ａの辺に沿って複数設けることができる。この場合、ガイド３４と基板２ａとの間には隙間を設けることができる。なお、ガイド３４の形状、配置、数などは例示をしたものに限定されるわけではなく、適宜変更することができる。
【００３９】
スライダ４１は、ブロック状を呈し、支持板３１側とは反対側の面が傾斜面となっている。スライダ４１の傾斜面は、基板２ａ側になるに従い支持板３１から離れる方向に傾斜している。スライダ４１の基板２ａ側の端部の高さは、スライダ４１の基板２ａ側とは反対側の端部の高さよりも高い。  
スライダ４１の材料には、特に限定がない。ただし、スライダ４１は、ガラスを含む基板２ａの近傍に設けられるため、基板２ａとの干渉を考慮して、樹脂などの軟質材料から形成することが好ましい。
【００４０】
押圧部４２は、スライダ４１を押圧することで、スライダ４１を基板２ａ側に移動させる。押圧部４２は、対応するスライダ４１の上に設けられている。押圧部４２は、例えば、入射窓２２の支持板３１側の面（内面）に設けることができる。押圧部４２は、入射窓２２に固定することができる。ただし、押圧部４２の固定は例示をしたものに限定されるわけではない。例えば、押圧部４２は、カバー部２１の内側面や支持板３１などに設けることもできる。この場合、押圧部４２は、上下方向に移動可能に設けることができる。
平面視において（Ｘ線の入射側から見て）、押圧部４２の少なくとも一部は、スライダ４１と重なっている。押圧部４２は、スライダ４１と対峙させて設けることができる。
【００４１】
押圧部４２は、スライダ４１の傾斜面を押圧する。押圧部４２がスライダ４１の傾斜面を押圧すると、スライダ４１に発生した抗力の分力により、スライダ４１が基板２ａ側に移動する。そのため、スライダ４１により、基板２ａを移動させることができる。この場合、２つのスライダ４１がアレイ基板（基板２ａ）２を挟んで対峙していれば、アレイ基板２の位置決めと固定を併せて行うことができる。
【００４２】
押圧部４２は、例えば、ブロック状を呈するものとすることができる。押圧部４２の支持板３１側の面は傾斜面とすることができる。押圧部４２の傾斜面は、基板２ａ側になるに従い支持板３１から離れる方向に傾斜している。押圧部４２の基板２ａ側の端部の高さは、押圧部４２の基板２ａ側とは反対側の端部の高さよりも低い。押圧部４２の傾斜面の少なくとも一部は、スライダ４１の傾斜面の少なくとも一部と密着させることができる。  押圧部４２とスライダ４１との間の摩擦力は、小さい方が好ましい。そのため、押圧部４２とスライダ４１との間に、球やローラなどを設けることもできる。  
押圧部４２の材料には、特に限定がない。押圧部４２の材料は、スライダ４１の材料と同じであってもよいし、異なっていてもよい。  
なお、スライダ４１の傾斜面の適切な傾斜角度、押圧部４２の傾斜面の適切な傾斜角度は、それぞれの材料の摩擦係数などの影響を受ける。そのため、傾斜面の適切な傾斜角度は、実験やシミュレーションなどにより適宜決定することができる。
【００４３】
緩衝部４３は、スライダ４１と基板２ａとの間に設けられている。緩衝部４３は、スライダ４１と基板２ａとの間に挟まれている。緩衝部４３を基板２ａの角部の近傍に接触させる場合は、図２に示すように、緩衝部４３の平面形状をＬ字状とすることが好ましい。Ｌ字状を呈する緩衝部４３とすれば、緩衝部４３が基板２ａの２辺に接触するのが容易となる。そのため、基板２ａの姿勢を安定させることができる。平面形状が長方形の基板２ａの場合には、基板２ａの長辺側における緩衝部４３の長さが、基板２ａの短辺側における緩衝部４３の長さより長くなるようにすることが好ましい。この様にすれば、基板２ａの姿勢をさらに安定させることができる。
【００４４】
緩衝部４３の弾性率は、スライダ４１の弾性率よりも低い。緩衝部４３は、例えば、ゴム、樹脂、スポンジなどから形成することができる。緩衝部４３が弾性率の低い材料から形成されていれば、緩衝部４３と基板２ａとを密着させるのが容易となる。そのため、基板２ａの保持が容易となる。また、基板２ａが破損したり、外力や振動がスライダ４１を介して基板２ａに伝わるのを抑制することができる。そのため、基板２ａが破損したり、誘導ノイズが発生したりするのを抑制することができる。
【００４５】
図６（ａ）、（ｂ）は、保持部４０の作用を例示するための模式図である。  
図６（ａ）に示すように、押圧部４２は、支持板３１に対峙する入射窓２２の、支持板３１側の面に設けることができる。この場合、ネジなどの締結部材を用いて、入射窓２２をカバー部２１に取り付けると、押圧部４２がスライダ４１の傾斜面を押圧する。すなわち、締結部材により入射窓２２を締結することで、押圧部４２がスライダ４１を押圧可能となっている。
押圧部４２がスライダ４１の傾斜面を押圧すると、スライダ４１に発生した抗力の分力により、図６（ｂ）に示すように、スライダ４１が基板２ａ側に移動する。そして、スライダ４１により、基板２ａが所定の位置に移動し、保持される。すなわち、スライダ４１は、基板２ａの位置決めと固定を併せて行うことができる。また、緩衝部４３が設けられていれば、緩衝部４３は、スライダ４１と基板２ａとの間に挟まれる。そのため、基板２ａの保持が容易となる。また、基板２ａが破損したり、外力や振動がスライダ４１を介して基板２ａに伝わるのを抑制することができる。
【００４６】
図７（ａ）〜（ｄ）は、他の実施形態に係る押圧部４２ａを例示するための模式図である。  
図７（ａ）に示すように、押圧部４２ａは、例えば、柱状を呈するものとすることができる。この様にすれば、押圧部４２ａの製造が容易となる。この場合、押圧部４２ａの、スライダ４１側の端面は、凸状の曲面とすることができる。この様にすれば、押圧部４２ａとスライダ４１との間の摩擦力を小さくすることができる。  
また、図７（ｂ）に示すように、押圧部４２ａの、スライダ４１側の端部にローラや球などの回転部材４２ａ１を設けることができる。この様にすれば、押圧部４２ａとスライダ４１との間の摩擦力をさらに小さくすることができる。
【００４７】
また、図７（ｃ）に示すように、スライダ４１の傾斜面の所定の位置に段差４１ａを設け、段差４１ａの側面と押圧部４２ａの側面とを接触させることができる。  
図７（ｄ）に示すように、スライダ４１の傾斜面の所定の位置に窪み、溝、孔などの凹部４１ｂを設け、凹部４１ｂの内部に押圧部４２ａの端部を挿入することができる。  
段差４１ａや凹部４１ｂを設ければ、スライダ４１の位置がズレるのを抑制することができる。
【００４８】
図８（ａ）〜（ｄ）は、他の実施形態に係るスライダ４１ｃを例示するための模式図である。  
図８（ａ）に示すように、スライダ４１ｃは、支持板３１上に設けられた板状の基部４１ｃ１と、基部４１ｃ１の、支持板３１側とは反対側の面に設けられた柱状部４１ｃ２と、を有するものとすることができる。この場合、柱状部４１ｃ２の、押圧部４２側の端面は、凸状の曲面とすることができる。この様にすれば、押圧部４２とスライダ４１ｃとの間の摩擦力を小さくすることができる。  
また、図８（ｂ）に示すように、柱状部４１ｃ２の、押圧部４２側の端部にローラや球などの回転部材４２ａ１を設けることができる。この様にすれば、押圧部４２とスライダ４１ｃとの間の摩擦力をさらに小さくすることができる。
【００４９】
また、図８（ｃ）に示すように、押圧部４２の傾斜面の所定の位置に段差４２ｂを設け、段差４２ｂの側面と柱状部４１ｃ２の側面とを接触させることができる。  
図８（ｄ）に示すように、押圧部４２の傾斜面の所定の位置に窪み、溝、孔などの凹部４２ｃを設け、凹部４２ｃの内部に柱状部４１ｃ２の端部を挿入することができる。  
段差４２ｂや凹部４２ｃを設ければ、スライダ４１ｃの位置がズレるのを抑制することができる。
【００５０】
図９は、他の実施形態に係る基板２ａの保持を例示するための模式平面図である。  
図２に例示をしたものの場合には、スライダ４１は複数設けられている。そして、一対のスライダ４１が、基板２ａを挟んで対峙している。すなわち、一対のスライダ４１により基板２ａを保持している。  
本実施の形態に係るものの場合には、図９に示すように、スライダ４１とブロック４５とにより基板２ａを保持している。  
ブロック４５は、基板２ａを挟んでスライダ４１と対峙させて設けることができる。ブロック４５は、例えば、ネジなどの締結部材や接着剤を用いて支持板３１に固定することができる。ブロック４５を用いる場合には、ガイド３４を省略したり、数を減らしたりすることができる。  
なお、スライダ４１が２つ、ブロック４５が２つ設けられる場合を例示したが、スライダ４１は少なくとも１つ設けられていればよい。
【００５１】
緩衝部４３は、ブロック４５と基板２ａとの間に設けることができる。ブロック４５を基板２ａの角部の近傍に設ける場合には、ブロック４５の平面形状をＬ字状とすることが好ましい。Ｌ字状を呈するブロック４５とすれば、緩衝部４３が基板２ａの２辺に接触するのが容易となる。  
平面形状が長方形の基板２ａの場合には、基板２ａの長辺側におけるブロック４５の長さが、基板２ａの短辺側におけるブロック４５の長さより長くすることが好ましい。この様にすれば、基板２ａの姿勢を安定させることができる。  
スライダ４１とブロック４５とを用いれば、簡易な構成で基板２ａを保持することができる。
【００５２】
以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。
【符号の説明】
【００５３】
１  Ｘ線検出器、２  アレイ基板、２ａ  基板、２ｂ  光電変換部、３  回路基板、４  シンチレータ、１０  検出モジュール、２０  筐体、２１  カバー部、２２  入射窓、３０  支持部、３１  支持板、４０  保持部、４１  スライダ、４１ａ  スライダ、４２  押圧部、４２ａ  押圧部、４３  緩衝部、４５  ブロック
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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