(57)【要約】【課題】水平方向及び垂直方向の振動を吸収できる支持装置を提供すること。【解決手段】支持装置１は、加工装置が載置される装置載置部１０と、装置載置部１０を回動自在に支持する移動枠部２０と、第１台座３１、第１台座３１と対向して設けられる第２台座３２及び第１台座３１と第２台座３２との間に設けられる球体３３を備え、移動枠部２０の側面に対して斜めに配置される複数の可動部３０と、複数の可動部３０にそれぞれ連結され、装置載置部１０が鉛直方向の上側に移動するように可動部３０を付勢しつつ、可動部３０を水平方向に移動可能に支持する複数の支持部４０と、を備える。【選択図】図２
2019078300.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工装置が載置される装置載置部と、
前記装置載置部を回動自在に支持する移動枠部と、
凹状の曲面を有する第１台座、前記第１台座と対向して設けられ凹状の曲面を有する第２台座、及び、前記第１台座と前記第２台座との間に設けられる球体を備え、前記移動枠部の側面に対して斜めに配置される複数の可動部と、
複数の前記可動部にそれぞれ連結され、前記装置載置部が鉛直方向の上側に移動するように前記可動部を付勢しつつ、前記可動部を水平方向に移動可能に支持する複数の支持部と、を備え、
る支持装置。
【請求項２】
請求項１に記載の支持装置において、
前記移動枠部は、垂直断面が略凹形状であり、
前記可動部は、前記移動枠部の外周側に連結される、
支持装置。
【請求項３】
請求項１に記載の支持装置において、
前記移動枠部は、垂直断面が略逆凹形状であり、
前記可動部は、前記移動枠部の内周側に連結される、
支持装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の支持装置において、
前記支持部は、
前記可動部と連結された移動台座と、
前記移動台座を直線的に移動可能に支持するレール部と、
前記移動台座に連結され、前記移動枠部が鉛直方向の上側に移動するように前記可動部を付勢する第１付勢部材を備える、
支持装置。
【請求項５】
請求項４に記載の支持装置において、
前記支持部は、
前記第１付勢部材が前記移動枠部を所定量付勢している位置から、前記第１付勢部材と連動して、前記装置載置部が鉛直方向の上側に移動するように前記可動部を付勢する第２付勢部材を更に備える、
支持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水平方向及び垂直方向の振動を吸収する支持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、下面側向けて凹形状となる皿状の上側部材と、上面に向けて凹形状となる皿状の下側部材との間に球体を設け、この球体の転がりにより、上側部材を下側部材に対して相対移動させる免震台が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−２００８９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記免震台（支持装置）は、水平方向の振動を吸収することはできるが、垂直（鉛直）方向の振動を吸収することは困難であった。
【０００５】
本発明は、水平方向及び垂直方向の振動を吸収できる支持装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、以下のような解決手段により課題を解決する。
本発明は、加工装置が載置される装置載置部と、前記装置載置部を回動自在に支持する移動枠部と、凹状の曲面を有する第１台座、前記第１台座と対向して設けられ凹状の曲面を有する第２台座、及び、前記第１台座と前記第２台座との間に設けられる球体を備え、前記移動枠部の側面に対して斜めに配置される複数の可動部と、複数の前記可動部にそれぞれ連結され、前記装置載置部が鉛直方向の上側に移動するように前記可動部を付勢しつつ、前記可動部を水平方向に移動可能に支持する複数の支持部と、を備える支持装置に関する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、水平方向及び垂直方向の振動を吸収できる支持装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】第１実施形態における支持装置１の全体構成を示す斜視図である。
【図２】第１実施形態における支持装置１の断面図である。
【図３】支持部４０における移動台座４１及びリニアガイド４２の構成を示す斜視図である。
【図４】上部台座１０の高さと第１スプリング４３及び第２スプリング４４の伸び状態との関係を示す模式図である。
【図５】上部台座１０が最小高さ位置に移動した場合の支持装置１の動作を示す断面図である。
【図６】上部台座１０が最大高さ位置に移動した場合の支持装置１の動作を示す断面図である。
【図７】上部台座１０が水平方向に移動した場合の支持装置１の動作を示す断面図である。
【図８】第２実施形態における支持装置１Ａの断面図である。
【図９】上部台座１１０が最小高さ位置に移動した場合の支持装置１Ａの動作を示す断面図である。
【図１０】上部台座１１０が最大高さ位置に移動した場合の支持装置１Ａの動作を示す断面図である。
【図１１】上部台座１１０が水平方向に移動した場合の支持装置１Ａの動作を示す断面図である。
【図１２】変形形態における支持装置１Ｂの全体構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態について説明する。なお、本明細書に添付した図面は、いずれも模式図であり、理解しやすさ等を考慮して、各部の形状、縮尺、縦横の寸法比等を、実物から変更又は誇張している。また、図面においては、部材の断面を示すハッチングを適宜に省略する。
本明細書等において、形状、幾何学的条件、これらの程度を特定する用語、例えば、「平行」、「方向」等の用語については、その用語の厳密な意味に加えて、ほぼ平行とみなせる程度の範囲、概ねその方向とみなせる範囲を含む。
【００１０】
また、実施形態に示す図面には、ＸＹＺの直交座標系を記載した。この座標系は、図１に示す支持装置１の状態を基準として、水平方向において互いに直交する２方向をＸ（Ｘ１−Ｘ２）方向、Ｙ（Ｙ１−Ｙ２）方向とし、Ｘ方向及びＹ方向と直交する方向をＺ方向とする。Ｘ（Ｘ１−Ｘ２）方向において、Ｘ１方向が図中の左側となり、Ｘ２方向が図中の右側となる。Ｙ（Ｙ１−Ｙ２）方向において、Ｙ１方向が図中の手前側となり、Ｙ２方向が図中の奥側となる。Ｚ（Ｚ１−Ｚ２）方向において、Ｚ１側が図中の下側又は下面側となり、Ｚ２側が図中の上側又は上面側となる。
【００１１】
また、本実施形態では、支持装置１を鉛直方向Ｚから見た状態において、上部台座１０の中心及び下部台座２０の中心が一致しており且つ可動部３０の球体３３が第１台座３１と第２台座３２の中心に位置している状態を「ホーム位置」ともいう。ホーム位置において、支持装置１の中心は、上部台座１０の中心及び下部台座２０の中心と一致する。なお、ホーム位置は、支持装置１の上に加工装置９０が載置され且つ支持装置１に外乱が働いていない状態において、上部台座１０の中心及び下部台座２０の中心が一致しており且つ可動部３０の球体３３が第１台座３１と第２台座３２の中心に位置している状態を意味する。
【００１２】
［第１実施形態］
図１は、第１実施形態における支持装置１の全体構成を示す斜視図である。
図２は、第１実施形態における支持装置１の断面図である。図２は、支持装置１の中心位置（ホーム位置）におけるＸ−Ｚ平面の断面図であり、一部の構成を省略している。
図３（Ａ）、（Ｂ）は、支持部４０における移動台座４１及びリニアガイド４２の構成を示す斜視図である。図３（Ａ）は、移動台座４１にボールが収容された状態を示している。図３（Ｂ）は、移動台座４１の外側に脱落防止用カバーを設けた状態を示している。図３では、移動台座４１及びリニアガイド４２の形状、配置を分かり易くするため、上部台座１０、下部台座２０、可動部３０（後述）等の図示を省略している。
【００１３】
支持装置１は、後述する設置面Ｇに生じた外乱（地震、他の加工装置の振動等）が加工装置９０に伝わることを抑制する装置である。すなわち、支持装置１は、加工装置９０の免震台として用いられる。加工装置９０の種類は、限定されないが、例えば、機械加工に用いられるＮＣ工作機械、チップマウンタ（表面実装機）、自動挿入機等である。以下の説明においては、設置面Ｇに生じた外乱を、支持装置１に生じた外乱とする。
【００１４】
支持装置１は、図２に示すように、加工装置９０の下面（又は設置用の台座部分等）と、設置面Ｇとの間に配置される。すなわち、支持装置１は、設置面Ｇの上に設けられる。加工装置９０は、支持装置１の上に設けられる。支持装置１は、例えば、加工装置９０の下面の四隅にそれぞれ配置され、配置された位置で加工装置９０を支持する。図１は、加工装置９０の下面の一つの隅に配置された支持装置１を斜視図として示している。
【００１５】
（支持装置１の構成）
図１に示すように、支持装置１は、上部台座（装置載置部）１０、下部台座（移動枠部）２０、可動部３０、支持部４０及びベース部５０を備える。
上部台座１０は、加工装置９０が載置される部分である。上部台座１０は、図２に示すように、台座部１１と、載置部１２と、軸部１３と、を備える。
【００１６】
台座部１１は、垂直断面が略凹形であり、全体として略円錐状に形成された部材である。載置部１２は、加工装置９０と直に接する部分であり、円環状に形成されている。載置部１２は、台座部１１の上側（Ｚ２側）に設けられている。軸部１３は、下部台座２０（後述）と回動自在に係合する部分である。軸部１３は、台座部１１の下側（Ｚ１側）の端部に設けられている。軸部１３には、球状の凸部１３ａが形成されている。凸部１３ａは、下部台座２０の凹部２０ａ（後述）と回動自在に係合する。
なお、図２に示すように、上部台座１０は、ホーム位置における高さ位置をＬ０（以下、「ホーム位置Ｌ０」ともいう）とすると、鉛直方向の上側（Ｚ２側）に最も上昇した位置が最大高さ位置Ｌ１となり、鉛直方向の下側（Ｚ１側）に最も下降した位置が最小高さ位置Ｌ２となる。
【００１７】
下部台座２０は、上部台座１０を回動自在に支持する部材である。下部台座２０は、上部台座１０よりも下側（Ｚ１側）に設けられる。下部台座２０は、垂直断面が略凹形であり、全体として略円錐状に形成されている。下部台座２０は、中央部に半球状の凹部２０ａが形成されている。凹部２０ａの内周円における半径の長さは、上述した凸部１３ａ（軸部１３）の外周円における半径の長さとほぼ同じである。そのため、下部台座２０の凹部２０ａに軸部１３の凸部１３ａを係合させると、凹部２０ａと凸部１３ａは、互いの球面が密着した状態となる。これにより、上部台座１０は、軸部１３を中心として、下部台座２０に回動自在に支持される。また、下部台座２０の外周枠２１の外周面２１ａには、可動部３０の第１台座３１（後述）が取付けられる。
【００１８】
可動部３０は、上部台座１０を下部台座２０に対して相対移動させる構造体である。可動部３０は、図１に示すように、下部台座２０の外周側の４箇所に配置されている（図１では、Ｙ２側を除く３箇所を図示）。それぞれの可動部３０は、支持装置１を鉛直方向のＺ２側からＺ１側に見たときに、支持装置１の中心に対して等間隔（９０°）に配置されている。各可動部３０の構成は同一であるため、４箇所に配置された可動部３０のうちの一つを挙げて構成を説明する。
【００１９】
可動部３０は、図２に示すように、第１台座３１、第２台座３２及び球体３３を備える。
第１台座３１は、皿状の部材であり、下面側（Ｚ１側）に向けて凹形状となる第１台座曲面３１ａを有する。第１台座３１は、下部台座２０の外周面２１ａに取付けられている。第１台座３１は、下部台座２０の外周面２１ａにおいて、鉛直方向（Ｚ方向）と平行な垂線Ｐに対して上向きに４５°の角度となるように取付けられている。なお、図２において、垂線Ｐは、支持装置１の中心を通る線として描かれている。
【００２０】
第２台座３２は、皿状の部材であり、上面側（Ｚ２側）に向けて凹形状となる第２台座曲面３２ａを有する。本実施形態において、第１台座曲面３１ａの曲率半径と第２台座曲面３２ａの曲率半径は、等しくなるように構成されている。第２台座３２は、第１台座３１よりも下側（Ｚ１側）設けられる。第２台座３２は、支持部４０の斜面４１ａ（後述）に取付けられている。第２台座３２は、支持部４０の斜面４１ａにおいて、鉛直方向（Ｚ方向）と平行な垂線Ｐに対して上向きに４５°の角度となるように取付けられている。
【００２１】
第２台座３２は、第２台座曲面３２ａの外周縁に、ストッパ部３２ｂを備えている。ストッパ部３２ｂは、支持装置１に大きな外乱が働いた場合に、第１台座３１と第２台座３２との分離を抑制する部分である。ストッパ部３２ｂは、第２台座３２の外周縁から上面側（Ｚ２側）に向けて凸状となる。ストッパ部３２ｂは、第２台座３２の外周縁に沿って環状に形成されている。ストッパ部３２ｂの作用については、後述する。
【００２２】
球体３３は、第１台座３１と第２台座３２との間に設けられる球形の部材である。球体３３の直径は、第１台座３１の第１台座曲面３１ａの最大深さ及び第２台座３２の第２台座曲面３２ａの最大深さの合計よりも大きい。そのため、第１台座３１と第２台座３２との間に球体３３を挿入すると、第１台座３１と第２台座３２との間に隙間が形成される。すなわち、第１台座３１と第２台座３２との間に球体３３を挿入することにより、第１台座３１と第２台座３２とが互いに接触しないようになる。
【００２３】
支持部４０は、上部台座１０が鉛直方向の上側（Ｚ２側）に移動するように可動部３０を支持装置１の中心方向に付勢しつつ、可動部３０を水平方向（Ｘ−Ｙ方向）に移動可能に支持する部分である。支持部４０は、図１に示すように、各可動部３０をそれぞれ支持するように４箇所に設けられている。それぞれの支持部４０は、可動部３０と同じく、支持装置１を鉛直方向のＺ２側からＺ１側に見たときに、支持装置１の中心に対して等間隔（９０°）に配置されている。各支持部４０の構成は同一であるため、４箇所に配置された支持部４０のうちの一つを挙げて構成を説明する。
【００２４】
支持部４０は、図１に示すように、移動台座４１、リニアガイド（レール部）４２、第１スプリング４３及び第２スプリング４４を備える。
移動台座４１は、第１スプリング４３及び第２スプリング４４（後述）により、下部台座２０を支持装置１の中心方向に付勢する部材であり、可動部３０に加えられた力の大きさと方向に応じてリニアガイド４２上をＸ方向（又はＹ方向）に移動する。移動台座４１は、図２に示すように、Ｘ−Ｚ平面の断面が略台形となるように形成されている。移動台座４１において、下部台座２０と対向する側に形成された斜面４１ａには、第２台座３２（可動部３０）が取付けられている。なお、本実施形態において、第１スプリング４３、第２スプリング４４及び後述する各スプリングは、いずれも圧縮スプリングである。
【００２５】
移動台座４１は、図１に示すように、厚さ方向の一方の側面に第１移動押え板４１１が設けられ、他方の側面に第２移動押え板４１２が設けられている。第１移動押え板４１１は、第１スプリング４３の一方の端部と係合する部材である。第２移動押え板４１２は、第２スプリング４４の一方の端部と係合する部材である。
【００２６】
移動台座４１は、図３（Ａ）に示すように、リニアガイド４２と接する側の両側面に溝部４１３を備える。溝部４１３は、上側（Ｚ２側）に向けて凹形状となる還状の溝である。溝部４１３には、複数のボール４１４が環状に収容されている。ボール４１４は、リニアガイド４２と移動台座４１との間の摩擦を低減して、移動台座４１がリニアガイド４２と係合した状態でスムーズに移動できるようにするための部品である。溝部４１３及びボール４１４は、本実施形態において、摩擦低減機構として機能する。また、溝部４１３に収容された複数のボール４１４は、移動台座４１の移動時において、移動台座４１がリニアガイド４２の延在する方向（移動方向）と直交する横方向に移動してしまうことを抑制する機能を有する。
【００２７】
移動台座４１は、後述するように、支持装置１に大きな外乱が働いて、上部台座１０が上下左右に移動したり、傾いたりした場合に、リニアガイド４２の延在する方向に沿って移動する。このとき、溝部４１３に収容された複数のボール４１４が回転しながら溝部４１３内を移動するため、リニアガイド４２と移動台座４１との間の摩擦を低減させることができる。なお、図３（Ａ）に示すように、移動台座４１の溝部４１３に収容された複数のボール４１４のうち、リニアガイド４２と接触するのは、溝部４１３の下側の列に配置されているボール４１４である。
【００２８】
図３（Ｂ）に示すように、溝部４１３の外側には、脱落防止用カバー４１５が取付けられる。脱落防止用カバー４１５は、溝部４１３において、リニアガイド４２と接触しない部分に配置されているボール４１４を覆う部材である。脱落防止用カバー４１５を移動台座４１に取付けると、溝部４１３の下側の列に配置されているボール４１４のみが露出して、リニアガイド４２と接触可能となる。溝部４１３の外側に脱落防止用カバー４１５を取付けることにより、移動台座４１がリニアガイド４２上を移動した際に、溝部４１３に収容されているボール４１４が外部に落下することを防止できる。
【００２９】
リニアガイド４２は、移動台座４１を直線的に移動可能に支持する部材であり、ベース部５０の上面側（Ｚ２側）に設けられている。リニアガイド４２は、図３（Ａ）に示すように、一つの移動台座４１に対して一対設けられている。一対のリニアガイド４２は、並行に配置されている。リニアガイド４２の側面４２ａには、移動台座４１の溝部４１３に収容されている複数のボール４１４のうち、溝部４１３の下側の列に配置されているボール４１４が接触する。
【００３０】
また、図示していないが、移動台座４１において、溝部４１３の下側（Ｚ１側）には、下側に向けて凹形状となる環状の溝部が形成されており、この溝部に複数のボールが環状に収容されている。この下側の溝部にも脱落防止用カバーが取付けられている。この脱落防止用カバーに覆われていない、下側の列に配置されているボールは、スライド溝５１（後述）と接触している。下側の列に配置されているボールは、移動台座４１の移動時において、移動台座４１が垂直方向に移動することを抑制する機能を有する。
【００３１】
このように、移動台座４１は、上側（Ｚ２側）に設けられたボール４１４がリニアガイド４２の側面４２ａと接触し、下側（Ｚ１側）に設けられたボール（不図示）がベース部５０に設けられたスライド溝５１と接触するように構成されている。
なお、上述した摩擦低減機構は、更に複数設けられていてもよい。また、摩擦低減機構は、例えば、支持装置１が小さい場合等においては省略してもよい。更に、摩擦低減機構は、上記構成に限らず、種々の形態を適用できる。
【００３２】
ベース部５０は、上述した上部台座１０、下部台座２０、可動部３０、支持部４０等が載置される部材である。ベース部５０は、図２に示すように、設置面Ｇの上面側（Ｚ２側）に設けられる。ベース部５０の上面側（Ｚ２側）には、図１に示すように、スライド溝５１が設けられている。スライド溝５１は、移動台座４１の下側（Ｚ１側）に設けられたボール（不図示）と接触する部分である。
ベース部５０の上面側（Ｚ２側）には、ホーム位置板４１７が設けられている。ホーム位置板４１７の位置（支持装置１の中心からの位置）を適宜に調整することにより、上部台座１０のホーム位置を定めることができる。また、ベース部５０の各辺の側面には、それぞれ第１押え板４１６、第２押え板４１８が設けられている。
【００３３】
次に、支持部４０における第１スプリング４３（第１付勢部材）及び第２スプリング４４（第２付勢部材）について説明する。
第１スプリング４３及び第２スプリング４４は、上部台座１０が鉛直方向の上側（Ｚ２側）に移動するように、移動台座４１を支持装置１の中心方向に付勢する部材である。
【００３４】
第１スプリング４３は、移動台座４１に対して主な付勢力を発生する部材である。第１スプリング４３は、図１に示すように、第１移動押え板４１１と、第１押え板４１６との間に装着されている。第１押え板４１６は、第１スプリング４３の他方の端部と係合する部材であり、ベース部５０の側面に取付けられている。
【００３５】
第２スプリング４４は、第１スプリング４３が移動台座４１を所定量付勢している位置から、第１スプリング４３と連動して、移動台座４１に対して付勢力を発生する部材である。第２スプリング４４は、第２移動押え板４１２と第２押え板４１８との間に装着されている。第２押え板４１８は、ホーム位置において、第２スプリング４４の他方の端部と係合する部材であり、ベース部５０の側面に取付けられている。
【００３６】
また、第２スプリング４４の一方の端部は、ホーム位置において、ホーム位置板４１７と係合している。図１に示すように、ホーム位置板４１７には、横方向に開口する凹部４１７ａが形成されている。第２スプリング４４の一方の端部（外周部分）は、ホーム位置（及び最大高さ位置）において、この凹部４１７ａの内周部分に収まっている。
【００３７】
後述するように、支持装置１が最大高さ位置Ｌ１まで鉛直方向の上側（Ｚ２側）に移動すると、移動台座４１は、支持装置１の中心方向に移動する。そのため、移動台座４１に取付けられた第２移動押え板４１２は、第２スプリング４４の一方の端部から離れた状態となる。これにより、第２スプリング４４の一方の端部は、第２移動押え板４１２と係合しなくなる。しかし、この状態で、第２スプリング４４の一方の端部は、ホーム位置板４１７の凹部４１７ａに収まっているため、ホーム位置板４１７から外れることがない。また、支持装置１が最小高さ位置Ｌ２まで鉛直方向の下側（Ｚ１側）に移動すると、移動台座４１は、支持装置１の中心から外側に移動する。そのため、第２移動押え板４１２は、第２スプリング４４の一方の端部と係合したまま、第２スプリング４４の付勢方向と反対方向に移動する。
【００３８】
次に、支持装置１の上部台座１０が鉛直方向に移動した際の第１スプリング４３及び第２スプリング４４の作用について説明する。
図４（Ａ）〜（Ｃ）は、上部台座１０の高さと第１スプリング４３及び第２スプリング４４の伸び状態との関係を示す模式図である。図４（Ａ）は、上部台座１０が最大高さ位置Ｌ１まで鉛直方向の上側（Ｚ２側）に移動した場合の第１スプリング４３及び第２スプリング４４の伸び状態を示す模式図である。図４（Ｂ）は、上部台座１０がホーム位置Ｌ０にある場合の第１スプリング４３及び第２スプリング４４の伸び状態を示す模式図である。図４（Ｃ）は、上部台座１０が最小高さ位置Ｌ２まで鉛直方向の下側（Ｚ１側）に移動した場合の第１スプリング４３及び第２スプリング４４の伸び状態を示す模式図である。
【００３９】
なお、図４（Ａ）〜（Ｃ）は、支持装置１の４箇所に配置された支持部４０のうち、図１のＹ１側に設けられた支持部４０の第１スプリング４３及び第２スプリング４４を例として説明する。他の支持部４０においても、第１スプリング４３及び第２スプリング４４の作用は同じである。
【００４０】
（最大高さ位置）
支持装置１に大きな外乱が働いて、上部台座１０が最大高さ位置Ｌ１（図２参照）まで鉛直方向の上側（Ｚ２側）に移動すると、図４（Ａ）に示すように、移動台座４１は、支持装置１の中心方向（Ｙ２方向）に移動する。このとき、第１スプリング４３は、移動台座４１の移動と共に伸びた状態となる。第１スプリング４３は、移動台座４１が移動する間も、移動台座４１に対して付勢力を生じさせている。第１スプリング４３は、この状態で第１移動押え板４１１の凸部４１１ａと第１押え板４１６の凸部４１６ａにそれぞれ係合している。そのため、第１スプリング４３は、最も伸びた状態で、第１移動押え板４１１と第１押え板４１６との間から外れることはない。
【００４１】
また、上部台座１０が最大高さ位置Ｌ１まで鉛直方向の上側（Ｚ２側）に移動すると、第２スプリング４４は、最も伸びた状態となる。そのため、第２スプリング４４において、移動台座４１をＹ２方向に移動させる付勢力が生じることはない。第１スプリング４３との違いは、第２スプリング４４の一方の端部が、移動台座４１の第２移動押え板４１２と離れた状態となることである。第２スプリング４４は、この状態でホーム位置板４１７の凹部４１７ａ（図１参照）と第２押え板４１８の凸部４１８ａとそれぞれ係合している。そのため、第２スプリング４４は、第２移動押え板４１２と離れた状態で、ホーム位置板４１７と第２押え板４１８との間から外れることはない。
【００４２】
（ホーム位置）
支持装置１がホーム位置Ｌ０（図２参照）となる場合、上部台座１０は、最大高さ位置Ｌ１から下側（Ｚ１側）に移動した状態となる。ホーム位置Ｌ０では、加工装置９０の下面に設けられた支持装置１における各スプリングの合計の付勢力と加工装置９０の荷重とがバランスしている。このとき、移動台座４１は、図４（Ｂ）に示すように、支持装置１の外側（Ｙ１側）に所定量だけ移動する。この状態で、第１スプリング４３には、移動台座４１をＹ２方向に移動させる付勢力が生じている。
【００４３】
また、移動台座４１が支持装置１の外側（Ｙ１側）に所定量だけ移動すると、第２スプリング４４の一方の端部は、図４（Ｂ）に示すように、第２移動押え板４１２の凸部４１２ａと係合した状態となる。先に説明したように、ホーム位置において、第１スプリング４３は、移動台座４１をＹ２方向に移動させる付勢力を生じさせている。第２スプリング４４は、第１スプリング４３が移動台座４１を所定量付勢しているホーム位置から、第１スプリング４３と連動して、移動台座４１を中心方向に付勢する。
【００４４】
すなわち、第２スプリング４４は、上部台座１０が最大高さ位置Ｌ１からホーム位置Ｌ０までの間においては、移動台座４１をＹ２方向に移動させるための付勢力を生じさせことがない。この間は、第１スプリング４３の付勢力のみが移動台座４１に作用する。第２スプリング４４は、ホーム位置Ｌ０から最小高さ位置Ｌ２までの間において、移動台座４１をＹ２方向に移動させるための付勢力を生じさせる。そのため、この間は、第１スプリング４３の付勢力と、第２スプリング４４の付勢力とを加えた付勢力とが移動台座４１に作用することになる。
【００４５】
このように、第２スプリング４４は、移動台座４１がホーム位置から支持装置１の外側に移動した際に、移動台座４１をＹ２方向に移動させる付勢力を生じさせる。第２スプリング４４の弾性力を、加工装置９０の重量のばらつき量よりも大きくすることにより、加工装置９０の重量のばらつきを補正できる。例えば、加工装置９０の重量のばらつき量が１０ｋｇある場合には、安全マージンを見込んで、例えば、２０ｋｇ程度の弾性力（与圧）が掛かるように設定すればよい。
【００４６】
（最少高さ位置）
支持装置１に大きな外乱が働いて、上部台座１０が第１スプリング４３及び第２スプリング４４の付勢力に抗して、最小高さ位置Ｌ２（図２参照）まで鉛直方向の下側（Ｚ１側）に移動すると、図４（Ｃ）に示すように、移動台座４１は、支持装置１の中心から外側（Ｙ１方向）に移動する。このとき、第１スプリング４３及び第２スプリング４４は、最も縮んだ状態となる。この後、支持装置１を鉛直方向の下側に移動させた外乱が収まると、上部台座１０は、第１スプリング４３及び第２スプリング４４の付勢力により、ホーム位置側となる上側（Ｚ２側）に移動する。
【００４７】
（支持装置１の動作）
次に、第１実施形態の支持装置１において、外乱が発生したときの動作について説明する。
支持装置１は、外乱がほとんど生じていない状態では、図２に示すホーム位置の状態を維持する。一方、支持装置１は、外乱が生じると、外乱の方向と大きさに応じて、後述する図５〜図７のように動作する。なお、以下に説明する外乱は、支持装置１で吸収可能な最も大きな縦揺れ及び横揺れとする。
【００４８】
図５は、上部台座１０が最小高さ位置に移動した場合の支持装置１の動作を示す断面図である。図６は、上部台座１０が最大高さ位置に移動した場合の支持装置１の動作を示す断面図である。図７は、上部台座１０が水平方向に移動した場合の支持装置１の動作を示す断面図である。
【００４９】
（最少高さ位置への外乱）
支持装置１に対する外乱として、例えば、地震による設置面Ｇの突き上げ（Ｚ２方向への応力）が生じると、図５に示すように、下部台座２０に連結された第１台座３１は、第２台座３２に対して、垂直方向の下側（Ｚ１側）に移動する。また、球体３３は、第１台座３１と第２台座３２との間において、下側（Ｚ１側）且つ支持装置１の中心側（Ｘ１側）に向けて斜め方向に転がりながら移動する。そのため、上部台座１０は、設置面Ｇの突き上げに追従して、鉛直方向の下側（Ｚ１側）に移動できる。
【００５０】
そして、上部台座１０が最小高さ位置まで移動すると、球体３３は、第２台座３２の外周縁に設けられたストッパ部３２ｂに当接する。これによれば、第１台座３１と第２台座３２との間において、図５に示す位置よりも更に球体３３が下側且つ支持装置１の中心側へ移動することが規制される。そのため、上部台座１０が最小高さ位置まで移動した場合において、球体３３の脱落による第１台座３１と第２台座３２との分離を抑制できる。なお、外乱の収束後、上部台座１０は、各移動台座４１に付与されている付勢力により、ホーム位置に復帰する。
【００５１】
（最大高さ位置への外乱）
支持装置１に対する外乱として、上記のような設置面Ｇの突き上げが生じた場合、その反動で設置面Ｇの沈み込み（Ｚ１方向への応力）が生じると、図６に示すように、下部台座２０に連結された第１台座３１は、第２台座３２に対して、垂直方向の上側（Ｚ２側）に移動する。また、球体３３は、第１台座３１と第２台座３２との間において、上側（Ｚ２側）且つ支持装置１の中心から外側（Ｘ２側）に向けて斜め方向に転がりながら移動する。そのため、上部台座１０は、設置面Ｇの沈み込みに追従して、鉛直方向の上側（Ｚ２側）に移動できる。
【００５２】
そして、上部台座１０が最大高さ位置まで移動すると、球体３３は、第２台座３２の外周縁に設けられたストッパ部３２ｂに当接する。これによれば、第１台座３１と第２台座３２との間において、図５に示す位置よりも更に球体３３が上側且つ支持装置１の中心から外側へ移動することが規制される。そのため、上部台座１０が最大高さ位置まで移動した場合において、球体３３の脱落による第１台座３１と第２台座３２との分離を抑制できる。なお、外乱の収束後、上部台座１０は、各移動台座４１に付与されている付勢力により、ホーム位置に復帰する。
【００５３】
（水平方向への外乱）
支持装置１対する外乱として、例えば、地震による設置面Ｇの横揺れが生じた場合について説明する。ここでは、図７に示すように、設置面ＧにＸ１方向の横揺れが生じたことにより、相対的に上部台座１０が支持装置１の中心（垂線Ｐ）からＸ２方向へＬ３だけ移動した例について説明する。
【００５４】
図７に示すように、上部台座１０がホーム位置からＸ２方向に移動すると、下部台座２０に連結されたＸ２側の第１台座３１は、同じくＸ２側の第２台座３２に対して、垂直方向の上側（Ｚ２側）に移動する。また、球体３３は、第１台座３１と第２台座３２との間において、上側（Ｚ２側）且つ支持装置１の中心より外側（Ｘ２側）に向けて斜め方向に転がりながら移動できる。
【００５５】
一方、下部台座２０に連結されたＸ１側の第１台座３１は、同じくＸ１側の第２台座３２に対して、垂直方向の下側（Ｚ１側）に移動する。また、球体３３は、第１台座３１と第２台座３２との間において、下側（Ｚ１側）且つ支持装置１の中心側（Ｘ１側）に向けて斜め方向に転がりながら移動する。
【００５６】
このように、上部台座１０がホーム位置からＸ２方向に移動すると、Ｘ２側に配置された可動部３０の第１台座３１は、第２台座３２に対して、垂直方向の上側（Ｚ２側）に移動する。また、球体３３は、第２台座３２の外周縁に設けられたストッパ部３２ｂに当接する。これによれば、第１台座３１と第２台座３２との間において、図７に示す位置よりも更に球体３３が上側且つ支持装置１の中心から外側へ移動することが規制される。そのため、上部台座１０が大きく傾いた場合において、球体３３の脱落による第１台座３１と第２台座３２との分離を抑制できる。
【００５７】
一方、Ｘ１側に配置された可動部３０の第１台座３１は、第２台座３２に対して、垂直方向の下側（Ｚ１側）に移動する。そのため、図７に示すように、下部台座２０は、Ｘ２側が鉛直方向の上側（Ｚ２側）となり、Ｘ１側が鉛直方向の下側（Ｚ１側）となるように傾いた状態となる。上部台座１０は、凸部１３ａ（軸部１３）において、下部台座２０の凹部２０ａと回動自在に係合している。そのため、下部台座２０が傾いた場合でも、上部台座１０は、凸部１３ａが凹部２０ａ内で相対的に回転することにより、水平状態を維持できる。なお、外乱の収束後、上部台座１０は、各移動台座４１に付与されている付勢力により、ホーム位置に復帰する。
【００５８】
以上説明したように、第１実施形態の支持装置１によれば、外乱により設置面Ｇに水平方向及び垂直方向の振動が生じた場合でも、上部台座１０、下部台座２０、可動部３０及び支持部４０の動作により吸収できるため、外乱が加工装置９０に直接伝わることを抑制できる。
【００５９】
第１実施形態の支持装置１は、第２台座曲面３２ａ（第２台座３２）の外周縁にストッパ部３２ｂを備えるため、外乱により設置面Ｇに大きな振動が生じた場合でも、支持装置１の第１台座３１と第２台座３２との分離を抑制できる。
第１実施形態の支持装置１は、第１スプリング４３と連動して、移動台座４１に対して付勢力を発生する第２スプリング４４を備える。そのため、第１スプリング４３を大きくすることなしに、支持装置１に対する大きな外乱に対応できる。
【００６０】
［第２実施形態］
次に、本発明に係る支持装置の第２実施形態について説明する。
第２実施形態の支持装置１Ａは、上部台座１１０と下部台座１２０の構成、可動部１３０及び支持部１４０の配置、動作方向等が第１実施形態と相違する。第２実施形態の支持装置１Ａにおいて、その他の構成は、第１実施形態と同じである。第２実施形態の説明では、支持装置１Ａの全体の図示を省略する。また、第２実施形態の説明及び図面において、第１実施形態と同様の機能を果たす部材、部分等には、同一の符号又は末尾（下２桁）に同一の符号を付して、重複する説明を適宜に省略する。
【００６１】
図８は、第２実施形態における支持装置１Ａの断面図である。図８は、支持装置１Ａの中心位置におけるＸ−Ｚ平面の断面図である。なお、図８〜図１１では、第１実施形態と同様に、一部の構成を省略している。
第２実施形態の支持装置１Ａは、上部台座１１０及び下部台座１２０の形状が第１実施形態と異なる。また、第２実施形態の支持装置１Ａは、可動部１３０及び支持部１４０の配置、動作方向等が第１実施形態と異なる。
【００６２】
図８に示すように、第２実施形態の上部台座１１０（支持装置１Ａ）において、台座部１１１は、垂直断面が逆凸形であり、全体として略円盤状に形成されている。載置部１１２は、台座部１１１の外周縁に設けられている。軸部１１３は、第１実施形態と同じく、台座部１１１の下側（Ｚ１側）の端部に設けられている。軸部１１３の凸部１１３ａは、下部台座１２０の凹部１２０ａ（後述）と係合する。
【００６３】
下部台座１２０は、垂直断面が逆凹形であり、全体として第１実施形態の下部台座１２０とは逆向きの略円錐状に形成されている。下部台座１２０の凹部１２０ａは、軸部１１３の凸部１１３ａと係合可能な形状を有する。下部台座１２０の凹部１２０ａと上部台座１１０の凸部１１３ａとを係合させると、上部台座１１０は、軸部１１３を中心として、下部台座１２０に回動自在に支持される。また、下部台座１２０の外周枠１２１の内周面１２１ａには、可動部１３０の第１台座１３１が取付けられている。
【００６４】
可動部１３０は、第１台座１３１、第２台座１３２及び球体１３３を備える。第２実施形態において、可動部１３０の第１台座１３１、第２台座１３２及び球体１３３の構成は、第１実施形態における可動部３０の第１台座３１、第２台座３２及び球体３３と同じであるため、説明を省略する。
【００６５】
第２実施形態の可動部１３０において、第１台座１３１は、下部台座１２０の内周面１２１ａにおいて、鉛直方向（Ｚ方向）と平行な垂線Ｐに対して下向きに４５°の角度となるように取付けられている。第２台座１３２は、移動台座１４１（支持部１４０）の斜面１４１ａにおいて、鉛直方向（Ｚ方向）と平行な垂線Ｐに対して下向きに４５°の角度となるように取付けられている。また、第２台座１３２は、第２台座曲面１３２ａの外周縁に、ストッパ部１３２ｂを備えている。第１台座１３１と第２台座１３２との間には、球体１３３が設けられている。
【００６６】
支持部１４０は、移動台座１４１のほか、不図示のリニアガイド、第１スプリング及び第２スプリングを備える。
第２実施形態の移動台座１４１は、第１スプリング及び第２スプリングにより、下部台座１２０を支持装置１の中心から外側に付勢する。すなわち、第２実施形態の第１スプリング及び第２スプリングは、移動台座１４１を支持装置１の中心から外側に付勢する点が第１実施形態と相違する。その他、支持部１４０におけるリニアガイド等の構成は、第１実施形態（図３等参照）と同じである。
【００６７】
次に、第２実施形態の支持装置１Ａにおいて、外乱が発生したときの動作について説明する。
支持装置１Ａは、外乱がほとんど生じていない状態では、図８に示すホーム位置の状態を維持する。一方、支持装置１Ａは、外乱が生じると、方向と大きさに応じて、後述する図９〜図１１のように動作する。なお、以下に説明する外乱は、支持装置１Ａで吸収可能な最も大きな縦揺れ及び横揺れとする。
【００６８】
図９は、上部台座１１０が最小高さ位置に移動した場合の支持装置１Ａの動作を示す断面図である。図１０は、上部台座１１０が最大高さ位置に移動した場合の支持装置１Ａの動作を示す断面図である。図１１は、上部台座１１０が水平方向に移動した場合の支持装置１Ａの動作を示す断面図である。
【００６９】
（最少高さ位置への外乱）
支持装置１Ａに対する外乱として、例えば、地震による設置面Ｇの突き上げ（Ｚ２方向への応力）が生じると、図９に示すように、下部台座１２０に連結された第１台座１３１は、第２台座１３２に対して、垂直方向の下側（Ｚ１側）に移動する。また、球体１３３は、第１台座１３１と第２台座１３２との間において、下側（Ｚ１側）且つ支持装置１Ａの中心から外側に向けて斜め方向に転がりながら移動する。そのため、上部台座１１０は、設置面Ｇの突き上げに追従して、鉛直方向の下側（Ｚ１側）に移動できる。
【００７０】
そして、上部台座１１０が最小高さ位置まで移動すると、球体１３３は、第２台座１３２の外周縁に設けられたストッパ部１３２ｂに当接する。これによれば、第１台座１３１と第２台座１３２との間において、図８に示す位置よりも更に球体１３３が下側且つ支持装置１Ａの中心から外側へ移動することが規制される。そのため、上部台座１１０が最小高さ位置まで移動した場合において、球体１３３の脱落による第１台座１３１と第２台座１３２との分離を抑制できる。なお、外乱の収束後、上部台座１１０は、各移動台座１４１に付与されている付勢力により、ホーム位置に復帰する。
【００７１】
（最大高さ位置への外乱）
支持装置１Ａに対する外乱として、上記のような設置面Ｇの突き上げが生じた場合、その反動で設置面Ｇの沈み込み（Ｚ１方向への応力）が生じると、図１０に示すように、下部台座１２０に連結された第１台座１３１は、第２台座１３２に対して、垂直方向の上側（Ｚ２側）に移動する。また、球体１３３は、第１台座１３１と第２台座１３２との間において、上側（Ｚ２側）且つ支持装置１の中心側（Ｘ１側）に向けて斜め方向に転がりながら移動する。そのため、上部台座１１０は、設置面Ｇの沈み込みに追従して、鉛直方向の上側（Ｚ２側）に移動できる。
【００７２】
そして、上部台座１１０が最大高さ位置まで移動すると、球体１３３は、第２台座１３２の外周縁に設けられたストッパ部１３２ｂに当接する。これによれば、第１台座１３１と第２台座１３２との間において、図１０に示す位置よりも球体１３３が更に上側且つ支持装置１の中心側へ移動することが規制される。そのため、上部台座１１０が最大高さ位置まで移動した場合において、球体１３３の脱落による第１台座１３１と第２台座１３２との分離を抑制できる。なお、外乱の収束後、上部台座１１０は、各移動台座１４１に付与されている付勢力により、ホーム位置に復帰する。
【００７３】
（水平方向への外乱）
支持装置１Ａに対する外乱として、例えば、地震による設置面Ｇの横揺れが生じた場合について説明する。ここでは、図１１に示すように、設置面ＧにＸ２方向の横揺れが生じたことにより、相対的に上部台座１１０が中心（垂線Ｐ）からＸ１方向へＬ４だけ移動した例について説明する。
【００７４】
図１１に示すように、上部台座１１０がＸ１方向に移動すると、下部台座１２０に連結されたＸ２側の第１台座１３１は、同じくＸ２側の第２台座１３２に対して、垂直方向の上側（Ｚ２側）に移動する。また、球体１３３は、第１台座１３１と第２台座１３２との間において、上側（Ｚ２側）且つ支持装置１の中心側（Ｘ１側）に向けて斜め方向に転がりながら移動する。
【００７５】
一方、下部台座１２０に連結されたＸ１側の第１台座１３１は、同じくＸ１側の第２台座１３２に対して、垂直方向の下側（Ｚ１側）に移動する。また、球体１３３は、第１台座１３１と第２台座１３２との間において、下側（Ｚ１側）且つ支持装置１の中心から外側（Ｘ１側）に向けて斜め方向に転がりながら移動する。
【００７６】
このように、上部台座１１０がホーム位置からＸ１方向に移動すると、Ｘ２側に配置された可動部１３０の第１台座１３１は、第２台座１３２に対して、垂直方向の上側（Ｚ２側）に移動する。また、Ｘ１側に配置された可動部１３０の第１台座１３１は、第２台座１３２に対して、垂直方向の下側（Ｚ１側）に移動する。これにより、下部台座１２０は、図１１に示すように、Ｘ２側が鉛直方向の上側（Ｚ２側）となり、Ｘ１側が鉛直方向の下側（Ｚ１側）となるように傾いた状態となる。上部台座１１０は、凸部１１３ａ（支持部）において、下部台座１２０の凹部１２０ａと回動自在に係合している。そのため、下部台座１２０が傾いた場合でも、上部台座１１０は、凸部１１３ａが凹部１２０ａ内で相対的に回転することにより、水平状態を維持できる。なお、外乱の収束後、上部台座１１０は、各移動台座１４１に付与されている付勢力により、ホーム位置に復帰する。
【００７７】
以上説明したように、第２実施形態の支持装置１Ａは、外乱により設置面Ｇに水平方向及び垂直方向の振動が生じた場合でも、上部台座１１０、下部台座１２０、可動部１３０及び支持部１４０の動作により吸収できるため、外乱が加工装置９０に直接伝わることを抑制できる。
【００７８】
第２実施形態の下部台座１２０は、逆向きの略円錐状に形成されているため、第１実施形態の支持装置１に比べて、鉛直方向（Ｚ方向）の高さをより低くできる。また、第２実施形態の支持装置１Ａにおいて、可動部１３０は、下部台座１２０の内周側に設けられているため、外部からの異物等の侵入を抑制できる。その他、第２実施形態の支持装置１Ａは、第１実施形態の支持装置１と同等の効果を奏する。
【００７９】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、例えば、後述する変形形態のように種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の技術的範囲内である。また、実施形態に記載した効果は、本発明から生じる最も好適な効果を列挙したに過ぎず、本発明による効果は、実施形態に記載したものに限定されない。なお、前述した実施形態及び後述する変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。なお、変形形態には、第１実施形態及び第２実施形態に共通の構成もあるため、以下の説明では、部材等の符号を省略する。
【００８０】
（変形形態）
実施形態では、上部台座の高さ（鉛直方向の厚み）が固定されている例について説明したが、これに限定されない。例えば、上部台座と下部台座との間にネジ機構を設け、このネジ機構を操作することにより、下部台座に対する上部台座の高さを調節できるようにしてもよい。
【００８１】
実施形態では、第１台座及び第２台座がほぼ同じ形状である例について説明したが、これに限定されない。第１台座及び第２台座は、異なる形状であってもよい。例えば、両者の台座曲面における曲率半径は、異なっていてもよい。また、実施形態では、第１台座及び第２台座において、両者の台座曲面を同じ曲率半径とした例について説明したが、これに限定されない。第１台座及び第２台座のうちの少なくとも一つは、複数の曲率半径の球面を組み合わせた形状であってもよい。例えば、２つの球面を組み合わせる場合には、中心側の面の曲率を、外側の面の曲率よりも小さくしてもよい。その場合、中心側の面の半径を、外側の面の半径よりも大きくしてもよい。これにより、球体が転がり始めるときの転がり抵抗を小さくできるので、小さい外乱が加わった場合でも、球体の転がりをスムーズにできる。
【００８２】
実施形態では、可動部及び支持部を、下部台座の外周側の４箇所に配置した例について説明したが、これに限定されない。可動部及び支持部は、下部台座の外周側の３箇所に配置してよいし、５箇所以上に配置してもよい。
【００８３】
例えば、可動部を下部台座の外周側の３箇所に配置した場合、ベース部の大きさが同じであれば、第１及び第２スプリングをより長くできるので、鉛直方向（Ｚ方向）の移動範囲をより大きくできる。また、可動部を下部台座の外周側の３箇所に配置した場合、第１及び第２スプリングを配置する位置の自由度をより高めることができる。更に、同じストロークのスプリングであれば、直径のより小さなものを使うことができるので、支持装置を小型化できる。
【００８４】
実施形態では、付勢部材として、第１スプリング及び第２スプリングを設けた例について説明したが、これに限定されない。付勢部材として、第１スプリングのみを設けた構成としてもよい。また、第１スプリング及び第２スプリングの少なくとも一方に、弾性力の調節機構を設けてもよい。例えば、第２スプリングの他方の端部と係合する第２押え板を、スプリングの伸縮方向において可動式とすることにより、第２スプリングの弾性力を調節できる。このような構成を設けることにより、上部台座のホーム位置をより簡単に調節できる。
【００８５】
また、第１スプリングと第２スプリングとの間に、第３スプリングを設けた構成としてもよい。図１２は、変形形態における支持装置１Ｂの全体構成を示す斜視図である。変形形態の説明及び図面において、第１実施形態と同様の機能を果たす部材、部分等には、同一の符号を付して、重複する説明を適宜に省略する。
【００８６】
図１２に示すように、変形形態の支持装置１Ｂは、ベース部５０において、第１押え板４１６と第２押え板４１８との間に、第３押え板４１９が設けられている。また、変形形態の支持装置１Ｂにおいて、移動台座４１は、外側に向いた面に凹部４１ｂが設けられている。移動台座４１の凹部４１ｂと第３押え板４１９との間には、第３スプリング４５が装着されている。第３スプリング４５は、第１スプリング４３と共に、移動台座４１に対して付勢力を発生する部材である。第３スプリング４５は、移動台座４１の移動方向の中央に設けられているため、各移動台座４１がリニアガイド４２（図１参照）に沿って移動した際に、その移動方向に対して傾きが生じることを抑制できる。そのため、本変形形態の構成の支持装置１Ｂによれば、移動台座４１をよりスムーズに移動させることができる。
【００８７】
実施形態では、付勢部材として、スプリングを使用した例について説明したが、これに限定されない。付勢部材は、バネであってもよいし、エア、ガス等を封入したピストン機構等であってもよい。なお、経年による弾性力の劣化を考慮しなければ、付勢部材は、ゴム等であってもよい。
【００８８】
実施形態では、可動部における第１台座及び第２台座の角度として、鉛直方向（Ｚ方向）と平行な垂線Ｐに対して上向き又は下向き４５°とする例について説明したが、これに限定されない。可動部における第１台座及び第２台座の角度は、４５°が望ましいが、例えば、４５°から−１０〜＋１０°程度の範囲で適宜に選択できる。
【００８９】
実施形態では、支持装置において、ベース部を備えた構成について説明したが、これに限定されない。支持装置の設置面をベース部として使用してもよい。
【００９０】
実施形態では、支持装置を、加工装置の免震台として使用する例を示したが、これに限定されない。支持装置は、例えば、加工装置の通常運転時に発生する振動等が設置面に伝達することを遮断するインシュレータとして使用してもよい。
【符号の説明】
【００９１】
１，１Ａ  支持装置
１０，１１０  上部台座
２０，１２０  下部台座
３０，１３０  可動部
３１，１３１  第１台座
３２，１３２  第２台座
３３，１３３  球体
４０，１４０  支持部
４１，１４１  移動台座
４２  レール部
４３  第１スプリング
４４  第２スプリング
５０  ベース部
【図１】
2019078300.tif 000003
【図２】
2019078300.tif 000004
【図３】
2019078300.tif 000005
【図４】
2019078300.tif 000006
【図５】
2019078300.tif 000007
【図６】
2019078300.tif 000008
【図７】
2019078300.tif 000009
【図８】
2019078300.tif 000010
【図９】
2019078300.tif 000011
【図１０】
2019078300.tif 000012
【図１１】
2019078300.tif 000013
【図１２】
2019078300.tif 000014