(57)【要約】【課題】原料ミスト流通経路の側壁に原料ミストが付着する原料付着現象の発生を効果的に抑制した構造の原料ミスト噴出用ノズルを得る。【解決手段】原料ミスト流通経路１５は、吹出スリット１７に接続され、かつ、水平方向に対し直交する垂直方向に沿って設けられ、吹出スリット１７から排出される原料ミスト８を流通させて、下方の原料ミスト噴出口１９に導く。凹み部１６は、原料ミスト流通経路１５を挟んで、吹出スリット１７に対し対向して設けられ、水平方向に沿って吹出スリット１７から遠ざかる方向に凹んで形成されている。この際、吹出スリット１７から水平方向に沿った距離である、凹み部１６の凹み形成長Ｌ１６は６ｍｍ以上の長さに設定される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ミスト化された原料溶液である原料ミストを原料ミスト噴出口から噴出する原料ミスト噴出用ノズルであって、
空洞部と、
前記原料ミストを前記空洞部に供給する原料ミスト供給部と、
前記空洞部の側面に設けられ、水平方向に沿って前記原料ミストを排出する原料ミスト排出部と、
前記原料ミスト排出部及び前記原料ミスト噴出口に接続され、かつ、前記水平方向に対し直交する垂直方向に沿って設けられ、前記原料ミスト排出部から排出される前記原料ミストを流通させて、下方の前記原料ミスト噴出口に導く原料ミスト流通経路と、
前記原料ミスト流通経路を挟んで、前記原料ミスト排出部に対し対向して設けられ、前記水平方向に沿って前記原料ミスト排出部から遠ざかる方向に凹んで形成される凹み部とを備える、
原料ミスト噴出用ノズル。
【請求項２】
請求項１記載の原料ミスト噴出用ノズルであって、
前記凹み部は、前記原料ミスト流通経路に近づくに従い下方に向かう傾斜底面を有することを特徴する、
原料ミスト噴出用ノズル。
【請求項３】
請求項２記載の原料ミスト噴出用ノズルであって、
前記傾斜底面は前記水平方向を基準として２０゜以上の傾きを有する、
原料ミスト噴出用ノズル。
【請求項４】
請求項１から請求項３記載のうち、いずれか１項に原料ミスト噴出用ノズルであって、
前記凹み部は、前記原料ミスト排出部から最も離れた先端部に半径２ｍｍ以上の丸みを有することを特徴する、
原料ミスト噴出用ノズル。
【請求項５】
請求項１から請求項４記載のうち、いずれか１項に記載の原料ミスト噴出用ノズルであって、
前記凹み部は、前記水平方向に沿って前記原料ミスト排出部からの距離である凹み形成長は６ｍｍ以上の長さに設定されることを特徴とする、
原料ミスト噴出用ノズル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ミスト化された原料溶液である原料ミストを噴出する原料ミスト噴出用ノズルに関する。
【背景技術】
【０００２】
原料溶液をミスト化して原料ミストを得、キャリアガスにより基板に原料ミストを吹き付けて成膜する薄膜製造装置等に原料ミスト噴出用ノズルが用いられる。原料ミスト噴出用ノズルは、基板上に成膜する薄膜の膜厚を均一に成膜するため、原料ミスト流通経路を介して最終的に原料ミスト噴出口から原料ミストを噴出する。
【０００３】
図５は従来の原料ミスト噴出用ノズルＮ５０の外観構造を示す斜視図である。同図に示すように、原料ミスト噴出用ノズルＮ５０は、原料ミスト供給部１、本体部３及び原料ミスト噴出側部５０により構成されている。図５にはＸＹＺ直交座標系を示している。
【０００４】
図６は図５で示した原料ミスト噴出用ノズルＮ５０のＸＺ平面上における断面構造を示す説明図であり、同図(a)が全体構造を示し、同図(b)が原料ミスト噴出側部５０及びその周辺の構造を示している。図６にはＸＹＺ直交座標系を示している。
【０００５】
原料ミスト噴出用ノズルＮ５０は、下方に設けられた原料ミスト噴出口５９から原料ミスト８を噴出している。原料ミスト噴出用ノズルＮ５０には、内部に空洞部１１が形成されている。また、原料ミスト噴出用ノズルＮ５０の上面には、原料ミスト供給部１が配設されている。原料ミスト８は、キャリアガスと共に、図示していない経路を通って、原料ミスト供給部１へと搬送される。原料ミスト供給部１から得られる原料ミスト８は、原料ミスト噴出用ノズルＮ５０内の空洞部１１へと充満する（供給される）。このように、本体部３の上方に設けられる原料ミスト供給部１は本体部３の空洞部１１に原料ミスト８を供給する。
【０００６】
また、原料ミスト噴出用ノズルＮ５０の空洞部１１内において、本体部３の両側面部に、複数の整流部１３が配設されている。当該整流部１３は、整流板であり、原料ミスト供給部１から供給された原料ミストの、空洞部１１内の流れを整えることができる。具体的には、空洞部１１内において互いに対向する両側面からＸＹ平面に沿って、平面視して矩形状の複数の整流部１３がそれぞれの形成高さを交互に変えながら配設される。複数の整流部１３はそれぞれ対向する側面に達することなく、対向する側面との間に隙間が形成されるように構成される。
【０００７】
複数の整流部１３の下方に空洞部１１の主要部が設けられる。複数の整流部１３の上方（空洞部１１）の小空間は、複数の整流部１３により形成される隙間を通じて、空洞部１１（の主要部）と接続されており、空洞部１１は、原料ミスト排出部である吹出スリット１７に接続されている。
【０００８】
吹出スリット１７は、本体部３において空洞部１１を形成する一方の側面部（図６では右（＋Ｘ方向）側の側面）に配設されている。また、吹出スリット１７は、原料ミスト噴出用ノズルＮ５０（空洞部１１）の本体部３の底面から離れた位置において、配設されている。このように、吹出スリット１７は、本体部３における空洞部１１の側面に設けられ、水平方向（＋Ｘ方向）に沿って原料ミスト８を排出している。
【０００９】
一方、原料ミスト噴出側部５０において、本体部３の底面の高さ付近に原料ミスト噴出口５９が配設されている。ここで、原料ミスト噴出口５９から、原料ミスト８が図示しない基板等の成膜対象物の上面に対して噴出される。
【００１０】
さらに、原料ミスト噴出用ノズルＮ５０の本体部３と原料ミスト噴出側部５０との間に原料ミスト流通経路５５が形成されている。
【００１１】
原料ミスト流通経路５５は、吹出スリット１７に接続され、かつ、水平方向に対し直交する垂直方向（Ｚ方向）に沿って設けられ、吹出スリット１７から排出される原料ミスト８を流通させて、下方の原料ミスト噴出口５９に導く原料ミストの流通経路となっている。
【００１２】
図７は、原料ミスト噴出用ノズルＮ５０を下方（−Ｚ方向側）から見た平面図である。つまり、図７は、原料ミスト噴出用ノズルＮ５０の底面構造を示す平面図である。なお、図７にはＸＹＺ直交座標系を示している。同図に示すように、原料ミスト噴出用ノズルＮ５０の底面はＸ方向及びＹ方向で規定される矩形状を呈している。
【００１３】
図７に示すように、原料ミスト噴出口５９は、平面視して長手方向をＹ方向とした細長い開口穴であるスリット状を呈している。なお、原料ミスト噴出口５９の開口部の幅（図７のＸ方向の寸法）は、０．１ｍｍ〜１０ｍｍ程度である。
【００１４】
原料ミスト噴出用ノズルＮ５０では、原料ミスト８は、原料ミスト供給部１から、空洞部１１内に供給される。そして、原料ミスト８は、複数の整流部６により整流され、複数の整流部６の上方の小空間に充満した後、下方の空洞部１１へと導かれ、空洞部１１において充満する。その後、原料ミスト８は、吹出スリット１７から、原料ミスト流通経路５５を介して、原料ミスト噴出口５９へと導かれる。そして、原料ミスト８は、原料ミスト噴出口５９から下方に向けて噴出される。
【００１５】
図５〜図７で示した従来の原料ミスト噴出用ノズルＮ５０と同様な構造の原料ミスト噴出用ノズルとして、例えば、特許文献１に開示された成膜装置のミスト噴射ヘッド部に用いられる原料溶液噴射用ノズル部が挙げられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１６】
【特許文献１】国際公開第２０１７／０６８６２５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
上述したように、従来の原料ミスト噴出用ノズルＮ５０は、吹出スリット１７から排出された原料ミスト８が垂直方向に延びて形成された原料ミスト流通経路５５内を流通することにより、最終的に原料ミスト噴出口５９から下方の基板等の成膜対象に向けて原料ミストが噴出されていた。
【００１８】
したがって、吹出スリット１７から排出される原料ミスト８は、原料ミスト流通経路５５の側壁に衝突しつつ、原料ミスト流通経路５５内を流通することになる。
【００１９】
図７で示したように、原料ミスト噴出口５９は平面視して細長い開口穴であるスリット状を呈しており、原料ミスト噴出口５９の開口形状を反映して、原料ミスト流通経路５５及び吹出スリット１７の開口形状もスリット状に形成されるのが一般的である。
【００２０】
したがって、吹出スリット１７から排出される原料ミスト８の排出速度の増加に伴い、原料ミスト８が原料ミスト流通経路５５の側壁に衝突した際、原料ミスト８が原料ミスト流通経路５５を流通することなく、原料が付着物６０として原料ミスト流通経路５５の側壁に付着したまま蓄積する原料付着現象が発生してしまうという問題点があった。
【００２１】
原料付着現象が発生すると、原料ミスト流通経路５５の側壁に原料が付着する分、原料ミスト流通経路５５内の空間領域が狭くなるため、原料ミスト噴出口５９からの原料ミスト噴出量が減少するという第１の悪影響を与えてしまう。
【００２２】
また、基板等の成膜対象物に薄膜を成膜する成膜処理中に、原料ミスト流通経路５５の側壁に付着した付着物６０が剥がれ、原料ミスト噴出口５９から落下すると、コンタミネーションとなり成膜される薄膜の不良原因となる第２の悪影響を与えてしまう。
【００２３】
上述した第１及び第２の悪影響はいずれも薄膜の品質劣化に直結するため、無視できない悪影響である。
【００２４】
この発明は上記問題点を解決するためになされたもので、上記原料付着現象の発生を効果的に抑制した構造の原料ミスト噴出用ノズルを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
この発明に係る請求項１記載の原料ミスト噴出用ノズルは、ミスト化された原料溶液である原料ミストを原料ミスト噴出口から噴出する原料ミスト噴出用ノズルであって、空洞部と、前記原料ミストを前記空洞部に供給する原料ミスト供給部と、前記空洞部の側面に設けられ、水平方向に沿って前記原料ミストを排出する原料ミスト排出部と、前記原料ミスト排出部及び前記原料ミスト噴出口に接続され、かつ、前記水平方向に対し直交する垂直方向に沿って設けられ、前記原料ミスト排出部から排出される前記原料ミストを流通させて、下方の前記原料ミスト噴出口に導く原料ミスト流通経路と、前記原料ミスト流通経路を挟んで、前記原料ミスト排出部に対し対向して設けられ、前記水平方向に沿って前記原料ミスト排出部から遠ざかる方向に凹んで形成される凹み部とを備えている。
【発明の効果】
【００２６】
請求項１記載の本願発明の原料ミスト噴出用ノズルは、原料ミスト流通経路を挟んで、原料ミスト排出部に対し対向して設けられ、水平方向に沿って原料ミスト排出部から遠ざかる方向に凹んで形成される凹み部を有することを特徴としている。
【００２７】
請求項１記載の本願発明は上記特徴を有することにより、原料ミスト排出部から排出される原料ミストが凹み部で一時的に収容された後、凹み部から原料ミスト流通経路を経由し、最終的に原料ミスト噴出口から原料ミストが噴出される。
【００２８】
このため、請求項１記載の本願発明は、凹み部がない場合と比較して、原料ミスト流通経路の側壁に原料が付着する現象である原料付着現象を効果的に抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】この発明の実施の形態１である原料ミスト噴出用ノズルの外観構造を示す斜視図である。
【図２】図１で示した原料ミスト噴出用ノズルの断面構造を示す説明図である。
【図３】この発明の実施の形態２である原料ミスト噴出用ノズルの断面構造を示す説明図である。
【図４】この発明の実施の形態３である原料ミスト噴出用ノズルの断面構造を示す説明図である。
【図５】従来の原料ミスト噴出用ノズルの外観構造を示す斜視図である。
【図６】図５で示した原料ミスト噴出用ノズルの断面構造を示す説明図である。
【図７】図５で示した原料ミスト噴出用ノズルの底面構造を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
＜実施の形態１＞
図１はこの発明の実施の形態１である原料ミスト噴出用ノズルＮ１（Ｎ１Ａ〜Ｎ１Ｃ）の外観構造を示す斜視図である。同図に示すように、原料ミスト噴出用ノズルＮ１は、原料ミスト供給部１、本体部３及び原料ミスト噴出側部５（５Ａ〜５Ｃ）により構成されている。図１にはＸＹＺ直交座標系を示している。図１で示す原料ミスト噴出用ノズルＮ１の外観構造は、実施の形態１〜実施の形態３の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ａ〜Ｎ１Ｃ間で共通する。
【００３１】
図２は図１で示した実施の形態１の原料ミスト噴出用ノズルＮ１（Ｎ１Ａ）のＸＺ平面上における断面構造を示す説明図であり、同図(a)が全体構造を示し、同図(b)が原料ミスト噴出側部５Ａ及びその周辺の構造を示している。図２にはＸＹＺ直交座標系を示している。
【００３２】
原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ａは、下方に設けられた原料ミスト噴出口１９から原料ミスト８を噴出している。原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ａの本体部３には、内部に空洞部１１が形成されている。また、原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ａの本体部３の上面には、原料ミスト供給部１が配設されている。原料ミスト８は、キャリアガスと共に、図示していない経路を通って、原料ミスト供給部１へと搬送される。原料ミスト供給部１から得られる原料ミスト８は、原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ａの本体部３内の空洞部１１へと充満する（供給される）。このように、本体部３の上方に設けられる原料ミスト供給部１は本体部３の空洞部１１に原料ミスト８を供給する。
【００３３】
また、原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ａの本体部３における空洞部１１内において、両側面部に、複数の整流部１３が配設されている。当該整流部１３は、整流板であり、原料ミスト供給部１から供給された原料ミスト８の、空洞部１１内の流れを整えることができる。具体的には、空洞部１１内において互いに対向する両側面からＸＹ平面に沿って、平面視して矩形状の複数の整流部１３がそれぞれの形成高さを交互に変えながら配設される。複数の整流部１３はそれぞれ対向する側面に達することなく、対向する側面との間に隙間が形成されるように構成される。
【００３４】
複数の整流部１３の下方に空洞部１１の主要部が設けられる。複数の整流部１３の上方（空洞部１１）の小空間は、複数の整流部１３により形成される隙間を通じて、空洞部１１（の主要部）と接続されており、空洞部１１は、原料ミスト排出部である吹出スリット１７に接続されている。
【００３５】
吹出スリット１７は、空洞部１１を形成する本体部３の一方の側面部（図２では右（＋Ｘ方向）側の側面）に配設されている。また、吹出スリット１７は、原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ａ（空洞部１１）の底面から離れた位置において、配設されている。このように、原料ミスト排出部である吹出スリット１７は、本体部３における空洞部１１の側面に設けられ、水平方向（＋Ｘ方向）に沿って原料ミスト８を排出している。
【００３６】
一方、原料ミスト噴出用ノズルＮ１の本体部３の底面の高さ付近に原料ミスト噴出口１９が配設されている。原料ミスト噴出口１９から、原料ミスト８が図示しない基板等の成膜対象物の上面に対して噴出される。
【００３７】
なお、原料ミスト噴出用ノズルＮ５０と同様に（図７参照）、実施の形態１の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ａ（の本体部３）の底面はＸ方向及びＹ方向で規定される矩形状を呈しており、原料ミスト噴出口１９は、原料ミスト噴出口５９と同様、平面視して長手方向をＹ方向とした細長い開口穴であるスリット状を呈している。
【００３８】
さらに、原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ａの本体部３と原料ミスト噴出側部５Ａとの間に原料ミスト流通経路１５が形成されている。
【００３９】
原料ミスト流通経路１５は、吹出スリット１７に接続され、かつ、水平方向に対し直交する垂直方向（Ｚ方向）に沿って設けられ、吹出スリット１７から排出される原料ミストを流通させて、下方の原料ミスト噴出口１９に導く原料ミストの流通経路となっている。
【００４０】
加えて、実施の形態１の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ａにおける原料ミスト噴出側部５Ａは凹み部１６を有していることを特徴している。
【００４１】
凹み部１６は、原料ミスト流通経路１５を挟んで、原料ミスト排出部である吹出スリット１７に対し対向して設けられ、水平方向（Ｘ方向）に沿って吹出スリット１７から遠ざかる方向に凹んで形成されている。この際、原料ミスト排出部である吹出スリット１７から水平方向に沿った距離である、凹み部１６の凹み形成長Ｌ１６は６ｍｍ以上の長さに設定される。さらに、凹み形成長Ｌ１６は原料ミスト噴出口１９のＸ方向の形成幅より長くなるように設定される。
【００４２】
実施の形態１の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ａでは、原料ミスト８は、原料ミスト供給部１から、空洞部１１内に供給される。そして、原料ミスト８は、複数の整流部６により整流され、複数の整流部６の上方の小空間に充満した後、空洞部１１へと導かれ、空洞部１１において充満する。その後、原料ミスト８は、吹出スリット１７から排出される。
【００４３】
原料ミスト排出部である吹出スリット１７から排出される原料ミスト８が凹み部１６で一時的に収容された後、凹み部１６から原料ミスト流通経路１５を経由し、最終的に原料ミスト噴出口１９から原料ミストが噴出される。
【００４４】
このため、実施の形態１の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ａは、凹み部１６がない従来の原料ミスト噴出用ノズルＮ５０（図５〜図７参照）と比較して、原料ミスト流通経路１５の垂直側壁１５ｗに原料ミスト８の原料が付着する現象である原料付着現象を効果的に抑制することができる。
【００４５】
さらに、実施の形態１の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ａの凹み形成長Ｌ１６は６ｍｍ以上に設定されているため、原料ミスト流通経路１５から排出される原料ミストを凹み部１６で一時的に収容する収容現象を確実に発生させることができるため、上記原料付着現象を確実に抑制することができる。
【００４６】
＜実施の形態２＞
図３はこの発明の実施の形態２である原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｂの断面構造を示す説明図であり、同図(a)が全体構造を示し、同図(b)が原料ミスト噴出側部５Ｂ及びその周辺の構造を示している。図３にはＸＹＺ直交座標系を示している。なお、実施の形態２の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｂの外観構造は図１で示した原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ａの構造と同様である。
【００４７】
以下、図３を参照しつつ、原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ａと同様な構造部分は同一符号を付し、説明を適宜省略する。
【００４８】
実施の形態２の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｂの本体部３の底面の高さ付近に原料ミスト噴出口２９が配設されている。原料ミスト噴出口２９から、原料ミストが図示しない基板等の成膜対象物の上面に対して噴出される。
【００４９】
なお、原料ミスト噴出用ノズルＮ５０と同様に（図７参照）、原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｂ（の本体部３）の底面はＸ方向及びＹ方向で規定される矩形状を呈しており、原料ミスト噴出口２９は、原料ミスト噴出口５９と同様、平面視して長手方向をＹ方向とした細長い開口穴であるスリット状を呈している。
【００５０】
さらに、原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｂの本体部３と原料ミスト噴出側部５Ｂとの間に原料ミスト流通経路２５が形成されている。
【００５１】
原料ミスト流通経路２５は、吹出スリット１７に接続され、かつ、水平方向に対し直交する垂直方向に沿って設けられ、吹出スリット１７から排出される原料ミストを流通させて、下方の原料ミスト噴出口２９に導く原料ミストの流通経路となっている。
【００５２】
加えて、実施の形態２の原料ミスト噴出側部５Ｂは、実施の形態１と同様、凹み部２６を有していることを特徴している。
【００５３】
凹み部２６は、原料ミスト流通経路２５を挟んで、原料ミスト排出部である吹出スリット１７に対し対向して設けられ、水平方向（Ｘ方向）に沿って吹出スリット１７から遠ざかる方向に凹んで形成されている。この際、原料ミスト排出部である吹出スリット１７から水平方向に沿った距離である、凹み部２６の凹み形成長Ｌ２６は６ｍｍ以上の長さに設定される。さらに、凹み形成長Ｌ２６は原料ミスト噴出口１９のＸ方向の形成幅より長くなるように設定される。
【００５４】
さらに、実施の形態２の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｂにおける凹み部２６は、原料ミスト流通経路２５に近づくに従い下方（−Ｚ方向）に向かう傾斜底面２８をさらに有することを特徴している。傾斜底面２８は水平方向（Ｘ方向）を基準として２０゜以上の傾きを有している。
【００５５】
原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｂでは、原料ミスト８は、原料ミスト供給部１から、空洞部１１内に供給される。そして、原料ミスト８は、複数の整流部６により整流され、複数の整流部６の上方の小空間に充満した後、空洞部１１へと導かれ、空洞部１１において充満する。その後、原料ミスト８は、吹出スリット１７から排出される。
【００５６】
原料ミスト排出部である吹出スリット１７から排出される原料ミスト８が凹み部２６で一時的に収容された後、凹み部２６から原料ミスト流通経路２５を経由し、最終的に原料ミスト噴出口２９から原料ミストが噴出される。
【００５７】
このため、実施の形態２の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｂは、実施の形態１の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ａと同様、凹み部２６がない従来の原料ミスト噴出用ノズルＮ５０（図５〜図７参照）と比較して、原料ミスト流通経路２５の通路側壁２５ｗに原料ミスト８の原料が付着する現象である原料付着現象を効果的に抑制することができる。
【００５８】
さらに、実施の形態２の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｂにおいて、凹み部２６は傾斜底面２８を有することにより、凹み部２６から原料ミスト流通経路２５に至る戻り流路が傾斜底面２８となるため、凹み部２６で一時的に収容された原料ミスト８を原料ミスト流通経路２５に比較的スムーズに移動させることができる分、上記原料付着現象をより効果的に抑制することができる。
【００５９】
加えて、実施の形態２の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｂは、凹み部２６の傾斜底面２８の存在により、凹み部２６内に原料ミストが残存してしまう原料ミスト残存現象を効果的に抑制することもできる。
【００６０】
さらに、実施の形態２の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｂは、傾斜底面２８の傾きを２０゜以上に設定することにより、凹み部２６で一時的に収容された原料ミストが傾斜底面２８上を原料ミスト流通経路２５に向けてよりスムーズに移動できる分、上記原料付着現象をより効果的に抑制することができる。
【００６１】
なお、原料ミスト残存現象の対策として原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｂを定期的に解体して凹み部２６内を掃除する対応も考えられ、この対策は実施の形態１の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ａや後述する原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｃにおいても可能である。
【００６２】
さらに、実施の形態２の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｂの凹み形成長Ｌ２６は６ｍｍ以上に設定されているため、原料ミスト流通経路２５から排出される原料ミストを凹み部２６で一時的に収容する収容現象を確実に発生させることができるため、上記原料付着現象を確実に抑制することができる。
【００６３】
＜実施の形態３＞
図４は実施の形態３の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｃの断面構造を示す説明図であり、同図(a)が全体構造を示し、同図(b)が原料ミスト噴出側部５Ｃ及びその周辺の構造を示している。図４にはＸＹＺ直交座標系を示している。なお、実施の形態３の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｃの外観構造は図１で示した原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ａの構造と同様である。
【００６４】
以下、図４を参照しつつ、原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ａと同様な構造部分は同一符号を付し、説明を適宜省略する。
【００６５】
実施の形態３の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｃにおける本体部３の底面の高さ付近に原料ミスト噴出口３９が配設されている。原料ミスト噴出口３９から、原料ミストが図示しない基板等の成膜対象物の上面に対して噴出される。
【００６６】
なお、原料ミスト噴出用ノズルＮ５０と同様に（図７参照）、原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｃ（本体部３）の底面はＸ方向及びＹ方向で規定される矩形状を呈しており、原料ミスト噴出口３９は、原料ミスト噴出口５９と同様、平面視して長手方向をＹ方向とした細長い開口穴であるスリット状を呈している。
【００６７】
さらに、原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｃの本体部３と原料ミスト噴出側部５Ｃとの間に原料ミスト流通経路３５が形成されている。
【００６８】
原料ミスト流通経路３５は、吹出スリット１７に接続され、かつ、水平方向に対し直交する垂直方向に沿って設けられ、吹出スリット１７から排出される原料ミスト８を流通させて、下方の原料ミスト噴出口３９に導く原料ミスト８の流通経路となっている。
【００６９】
加えて、実施の形態３の原料ミスト噴出側部５Ｃは凹み部３６を有していることを特徴している。
【００７０】
凹み部３６は、原料ミスト流通経路３５を挟んで、原料ミスト排出部である吹出スリット１７に対し対向して設けられ、水平方向（Ｘ方向）に沿って吹出スリット１７から遠ざかる方向に凹んで形成されている。この際、原料ミスト排出部である吹出スリット１７から水平方向に沿った距離である、凹み部３６の凹み形成長Ｌ３６は６ｍｍ以上の長さに設定される。さらに、凹み形成長Ｌ３６は原料ミスト噴出口３９のＸ方向の形成幅より長くなるように設定される。
【００７１】
さらに、凹み部３６は、実施の形態２の凹み部２６と同様、原料ミスト流通経路３５に近づくに従い下方（−Ｚ方向）に向かう傾斜底面３８を有している。
【００７２】
加えて、凹み部３６は、原料ミスト流通経路３５から最も離れた先端部３６ｔに半径２ｍｍ以上の丸みを有することを特徴している。
【００７３】
原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｃでは、原料ミスト８は、原料ミスト供給部１から、空洞部１１内に供給される。そして、原料ミスト８は、複数の整流部６により整流され、複数の整流部６の上方の小空間に充満した後、空洞部１１へと導かれ、空洞部１１において充満する。その後、原料ミスト８は、吹出スリット１７から排出される。
【００７４】
原料ミスト排出部である吹出スリット１７から排出される原料ミスト８が凹み部３６で一時的に収容された後、凹み部３６から原料ミスト流通経路３５を経由し、最終的に原料ミスト噴出口３９から原料ミスト８が噴出される。
【００７５】
このため、実施の形態３の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｃは、実施の形態１の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ａと同様、凹み部３６がない従来の原料ミスト噴出用ノズルＮ５０（図５〜図７参照）と比較して、原料ミスト流通経路３５の通路側壁３５ｗに原料ミスト８の原料が付着する現象である原料付着現象を効果的に抑制することができる。
【００７６】
さらに、凹み部３６は傾斜底面３８を有することにより、実施の形態２と同様、実施の形態３の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｃにおいて、凹み部３６から原料ミスト流通経路３５に至る戻り流路が傾斜底面３８となるため、凹み部３６で一時的に収容された原料ミスト８を原料ミスト流通経路３５に比較的スムーズに移動させることができる分、上記原料付着現象をより効果的に抑制することができる。
【００７７】
加えて、実施の形態３の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｃは、実施の形態２と同様、凹み部３６の傾斜底面３８の存在により、凹み部３６内に原料ミストが残存してしまう原料ミスト残存現象を効果的に抑制することもできる。
【００７８】
さらに、実施の形態３の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｃは、傾斜底面３８の傾きを２０゜以上に設定することにより、凹み部２６で一時的に収容された原料ミストが傾斜底面３８上を原料ミスト流通経路３５に向けてよりスムーズに移動できる分、上記原料付着現象をより効果的に抑制することができる。
【００７９】
加えて、実施の形態３の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｃは、先端部３６ｔに半径２ｍｍ以上の丸みを有するという特徴を備えている。
【００８０】
実施の形態３の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｃは上記特徴を有することにより、凹み部３６で一時的に収容された原料ミスト８が、凹み部３６から原料ミスト流通経路３５に至る戻り流路における原料ミスト８の流れ（移動）に関し、流れ損失を軽減することができるため、上記原料付着現象をより一層抑制することができる。
【００８１】
さらに、実施の形態３の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ｃの凹み形成長Ｌ３６は６ｍｍ以上に設定されているため、原料ミスト流通経路３５から排出される原料ミストを凹み部３６で一時的に収容する収容現象を確実に発生させることができるため、上記原料付着現象を確実に抑制することができる。
【００８２】
なお、本発明は、その発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせたり、各実施の形態を適宜、変形、省略したりすることが可能である。例えば、実施の形態１の原料ミスト噴出用ノズルＮ１Ａにおいて、原料ミスト流通経路１５から最も離れた凹み部１６の先端部に半径２ｍｍ以上の丸みを設ける等の態様が考えられる。
【符号の説明】
【００８３】
１  原料ミスト供給部
３  本体部
５Ａ〜５Ｃ  原料ミスト噴出側部
１１  空洞部
１５，２５，３５  原料ミスト流通経路
２８，３８  傾斜底面
１６，２６，３６  凹み部
１７  吹出スリット
１９，２９，３９  原料ミスト噴出口
３６ｔ  先端部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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