(57)【要約】【課題】着磁ヨークの先端部で磁気エンコーダの表面を傷つけることなく、磁気エンコーダと着磁ヨーク先端部との隙間を均一に安定させて着磁強度むらを抑制でき、ピッチ誤差などの着磁精度を向上することができ、また構造が簡略化でき、保守の容易な着磁装置および着磁方法を提供する。【解決手段】磁気エンコーダ２の未着磁の磁気トラック２７に着磁ヨーク２の先端部１７が対向して着磁する着磁装置において、前記先端部１７の先端面に接触して磁気トラック２７との間に介在する摺動シート１９を着磁ヨーク２に固定する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
環状の磁気エンコーダを保持するチャックと、このチャックを前記磁気エンコーダと共に回転させるスピンドルと、このスピンドルを回転させるモータと、第１の先端部が前記磁気エンコーダの未着磁の磁気トラックに対向し前記磁気トラックを磁束の貫通により着磁する着磁ヨークと、この着磁ヨークを前記磁気エンコーダと対向する方向に移動可能に支持する一軸の移動許容手段と、前記着磁ヨークを前記磁気エンコーダ側に押圧する押圧手段と、前記着磁ヨークを前記移動許容手段と共に前記磁気エンコーダに対して位置決めする位置決め手段と、前記着磁ヨークの励磁コイルに電流を供給する着磁電源と、前記移動許容手段、位置決め手段、および着磁電源を制御する制御手段とを備えた着磁装置であって、
前記着磁ヨークに保持されて前記第１の先端部の先端面に接触しこの先端部と前記磁気トラックとの間に介在する摺動シートを備える、着磁装置。
【請求項２】
請求項１に記載の磁気エンコーダの着磁装置において、前記摺動シートは、前記着磁ヨークに固定された支持台に固定されこの支持台に開けられた開口を覆う磁気エンコーダの着磁装置。
【請求項３】
請求項２に記載の磁気エンコーダの着磁装置において、前記支持台は非磁性の部材である磁気エンコーダの着磁装置。
【請求項４】
請求項１に記載の磁気エンコーダの着磁装置において、前記磁気エンコーダの前記磁気トラックと対向する位置に磁気シールド部材を備え、
この磁気シールド部材は、前記着磁ヨークの前記第１の先端部が臨む開口を有し、前記磁気シールド部材における、前記磁気エンコーダの前記磁気トラックと対向する側の表面に、前記開口を覆って前記摺動シートが固定され、
前記磁気シールド部材は、前記着磁ヨークにこの着磁ヨーク第２の先端部寄りの位置に固定された支持台に固定され、前記第１の先端部から発生する磁束の内、前記磁気トラックの着磁対象範囲から外れる磁束を前記第２の先端部側に逃がす、
磁気エンコーダの着磁装置。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の磁気エンコーダの着磁装置において、前記位置決め手段は、前記着磁ヨークを前記スピンドルに対して相対的に移動可能である磁気エンコーダの着磁装置。
【請求項６】
環状の磁気エンコーダの未着時の磁気トラックに、着磁ヨークを用いて着磁する方法であって、前記着磁ヨークの第１の先端部を、摺動シートを介して前記磁気エンコーダの前記磁気トラックに押しつけた状態とし、前記磁気エンコーダを回転させながら、前記着磁ヨークの励磁コイルに流す電流の向きを交互に変えてＮ極とＳ極を交互に着磁する磁気エンコーダの着磁方法。
【請求項７】
請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の着磁装置を用いて、前記磁気エンコーダを着磁する方法であって、
前記着磁ヨークの前記第１の先端部を、前記摺動シートを介して前記磁気エンコーダの磁気トラックの表面に、前記押圧手段により押圧した状態とし、前記磁気エンコーダを回転させながら前記着磁ヨークの前記励磁コイルに流す電流の向きを交互に変えてＮ極とＳ極を交互に着磁する、磁気エンコーダの着磁方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、回転速度、あるいは回転位置の検出に使用する磁気エンコーダの着磁装置および着磁方法に関し、特に、高分解能あるいは絶対角検出に使用する複列の磁気トラックを有する磁気エンコーダの着磁に適用される技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１〜特許文献３に着磁装置が開示されている。特許文献１では、着磁ヘッドはＣ字型のコアの中央部に励磁コイルが巻かれ、コアの空隙部（開口部）と被着磁体との間にカバー部材を介在した状態で、励磁コイルに磁化電流を供給することで被着磁体の着磁が行われる。
特許文献２では、複列の磁気トラックを着磁する際に、磁気シールドを使って、着磁対象以外のトラック列への磁束の流れを遮蔽するものが提案されている。
特許文献３では、着磁ヨークの２つの先端部に摺動性のよい部材をコーティングし、各先端部には押圧手段を備え、着磁の際には、一方の先端部は磁気トラックの表面に押圧される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−１８６０３６号公報
【特許文献２】特許第５９７３２７８号公報
【特許文献３】特開２０１６−１６１４４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示の着磁装置では、励磁コイルに磁化電流を１回供給すると、Ｎ極とＳ極の２極が形成される表層着磁が行われる。この方式では、被磁性体の表層しか着磁することができないため、着磁強度が小さいという問題点があった。また、カバー部材は着磁ヘッド全体を覆うようにヘッドホルダに固定されているが、その固定方法までは開示されていない。
【０００５】
特許文献２に開示されている磁気エンコーダの着磁装置では、着磁ヨーク（着磁ヘッド）の一対の対向端部を磁気エンコーダに対峙させるとともに、磁気シールド部材を着磁対象以外のトラック列への磁束の流れを遮蔽するように磁気エンコーダと対峙させる。そのため、これら３つの隙間調整が必要になり、段取り工数が増える、あるいは隙間調整がより難しくなることも想定される。
【０００６】
特許文献３に開示されている磁気エンコーダの着磁装置では、第１の先端部の表面に摺動部材をコーティングするため、コーティング膜厚の管理が難しく、またコーティングが摩耗した際には交換の必要があり、その交換の作業が煩雑である。また、着磁ヨークの２つの先端部を磁気エンコーダの径方向に移動する開放手段と押圧手段を備えているため、機構が複雑になっていた。また、１つの磁気エンコーダに２列の磁気トラックを着磁する着磁ヨークでは、さらに磁気シールド部材にも開放手段と押圧手段を備えるため、着磁ヨークの部品が増える課題があった。
【０００７】
高分解用途や絶対角を検出する用途、例えば、磁気エンコーダの着磁強度を磁気センサで検出した後、電気的に逓倍して分解能を高めて出力する高分解能用途、あるいは、磁気シールド部材を用いて磁気トラックを複列に着磁した磁気エンコーダ、たとえば着磁極対に１極対の差を設けた２列の磁気トラックを有する磁気エンコーダと磁気センサとの組合せで、その１極対の差を利用して絶対角を検出する用途では、磁気エンコーダにはより高い着磁精度が求められる。
【０００８】
この発明の目的は、着磁ヨークの先端部を磁気エンコーダに対向する際に、磁気エンコーダの表面を傷つけることなく、磁気エンコーダと着磁ヨーク先端部との隙間を均一に安定させて着磁強度むらを抑制できて、ピッチ誤差などの着磁精度を向上することができ、また着磁ヨークの構造が簡略化でき、保守も容易な磁気エンコーダの着磁装置および着磁方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明の磁気エンコーダの着磁装置は、環状の磁気エンコーダを保持するチャックと、このチャックを前記磁気エンコーダと共に回転させるスピンドルと、このスピンドルを回転させるモータと、第１の先端部が前記磁気エンコーダの未着磁の磁気トラックに対向し前記磁気トラックを磁束の貫通により着磁する着磁ヨークと、この着磁ヨークを前記磁気エンコーダと対向する方向に移動可能に支持する一軸の移動許容手段と、前記着磁ヨークを前記磁気エンコーダ側に押圧する押圧手段と、前記着磁ヨークを前記移動許容手段と共に前記磁気エンコーダに対して位置決めする位置決め手段と、前記着磁ヨークの励磁コイルに電流を供給する着磁電源と、前記移動許容手段、位置決め手段、および着磁電源を制御する制御手段とを備えた着磁装置であって、
前記着磁ヨークに保持されて前記第１の先端部の先端面に接触しこの先端部と前記磁気トラックとの間に介在する摺動シートを備える。
【００１０】
この構成によると、着磁ヨークの第１の先端部は、摺動シートを介して磁気トラックの表面に対向し、かつ、磁気トラック側に押圧される。そのため、着磁を行っている間は、着磁ヨークの第１の先端部と磁気トラックの表面との隙間、すなわち磁気ギャップは、摺動シートの厚さ分となり、磁気エンコーダの回転振れがあっても、着磁ヨークは隙間に追従して移動する。これにより、磁気ギャップが常に摺動シートの厚さ分となる一定距離に保持されるので、着磁強度の均一化が得られ、着磁精度（ピッチ誤差、累積ピッチ誤差など）が向上する。
また、摺動シート１９が介在しているため、着磁ヨークの第１の先端部で磁気トラックの表面を傷つけることがなく、着磁ヨークの着磁位置をティーチングする際には、第１の先端部と磁気エンコーダの磁気トラックとの隙間調整を気にすることなく容易に設定することが可能となる。
さらに、従来のように第１の先端部の表面に摺動部材をコーティングする場合にはコーティング膜厚の管理が難しく、コーティングが摩耗した際には交換の必要があったが、摺動シートを用いるため、構成部材として入手する摺動シートは一般的に膜厚が均一に管理されていて、この着磁装置の製造に際しての難しい膜厚管理が不要であり、摩耗時の交換作業が簡単に行える。
また、着磁ヨークは、磁気エンコーダに磁束を貫通させて着磁を行うものであるため、表層着磁を行うものに比べて着磁強度を強く得ることができる。
着磁ヨークは一軸の移動許容手段で移動自在に支持された状態で押圧手段により磁気エンコーダに押しつけるので、着磁ヨークの押しつけやその解除の構成も簡単である。
【００１１】
この発明において、前記摺動シートは、前記着磁ヨークに固定された支持台に固定されこの支持台に開けられた開口を覆うようにしてもよい。
このように開口を有する支持台を介して摺動シートを着磁ヨークに固定することにより、シート状体である摺動シートを着磁ヨークに対して簡単にかつ緩みなく取付けることができ、保守時の交換作業も容易である。
【００１２】
前記支持台は非磁性の部材であってもよい。支持台は非磁性とすることで、磁気エンコーダを通過する磁束の流れが乱れることが防止される。
【００１３】
この発明の磁気エンコーダの着磁装置において、前記磁気エンコーダの前記磁気トラックと対向する位置に磁気シールド部材を備え、
この磁気シールド部材は、前記着磁ヨークの前記第１の先端部が臨む開口を有し、前記磁気シールド部材における、前記磁気エンコーダの前記磁気トラックと対向する側の表面に、前記開口を覆って前記摺動シートが固定され、
前記磁気シールド部材は、前記着磁ヨークにこの着磁ヨークの第２の先端部寄りの位置に固定された支持台に固定され、前記第１の先端部から発生する磁束の内、前記磁気トラックの着磁対象範囲から外れる磁束を前記第２の先端部側に逃がすようにしてもよい。
この構成の場合、複列の磁気エンコーダを着磁するときに、着磁しない側の磁気トラックは、前記磁気シールド部材で覆われ、着磁ヨークの第１の先端部から発生する磁束が遮断され、その磁束が前記支持台に逃がされる。そのため、着磁時に、着磁しない側の磁気トラックが漏れ磁束で精度低下することが防止される。
また、摺動シートを第１の先端部に位置するように固定する手段が磁気シールド部材で兼用されるため、摺動シートと磁気シールド部材とを設けながら、構成が簡素で済む。
【００１４】
この発明において、前記位置決め手段は、前記着磁ヨークを前記スピンドルに対して相対的に移動可能としても良い。
この着磁装置によると、前記のように磁気トラックに対して隙間一定に保持されて着磁強度の均一化と着磁精度の向上が得られる。そのため、例えば、磁気エンコーダが複列の磁気トラックを有するように着磁する場合に、着磁を精度良く行える。また前記位置決め手段がスピンドルに対して相対的に移動可能であることにより、磁気エンコーダをチャックに保持したままで複列の着磁が行える。
【００１５】
この発明の磁気エンコーダの着磁方法は、環状の磁気エンコーダの未着時の磁気トラックに、着磁ヨークを用いて着磁する方法であって、前記着磁ヨークの第１の先端部を、摺動シートを介して前記磁気エンコーダの前記磁気トラックに押しつけた状態とし、前記磁気エンコーダを回転させながら、前記着磁ヨークの励磁コイルに流す電流の向きを交互に変えてＮ極とＳ極を交互に着磁する方法である。
この着磁方法によると、着磁ヨークの第１の片端部を、摺動シートを介して前記磁気エンコーダの前記磁気トラックに押しつけた状態として着磁を行うため、この発明の着磁装置につき説明したと同様に、磁気ギャップが常に摺動シートの厚さ分の一定に保持され、着磁強度の均一化が得られ、着磁精度が向上する。
【００１６】
この発明の第２の着磁方法は、この発明の上記いずれかの構成の前記磁気エンコーダを着磁する方法であって、
前記着磁ヨークの前記第１の先端部を、前記摺動シートを介して前記磁気エンコーダの磁気トラックの表面に、前記押圧手段により押圧した状態とし、前記磁気エンコーダを回転させながら前記着磁ヨークの前記励磁コイルに流す電流の向きを交互に変えてＮ極とＳ極を交互に着磁する方法である。
この着磁方法によると、この発明の着磁装置を効果的に使用できて、磁気エンコーダの着磁強度の均一化が得られ、着磁精度が向上する。
【発明の効果】
【００１７】
この発明の磁気エンコーダの着磁装置は、環状の磁気エンコーダを保持するチャックと、このチャックを前記磁気エンコーダと共に回転させるスピンドルと、このスピンドルを回転させるモータと、第１の先端部が前記磁気エンコーダの未着磁の磁気トラックに対向し前記磁気トラックを磁束の貫通により着磁する着磁ヨークと、この着磁ヨークを前記磁気エンコーダと対向する方向に移動可能に支持する一軸の移動許容手段と、前記着磁ヨークを前記磁気エンコーダ側に押圧する押圧手段と、前記着磁ヨークを前記移動許容手段と共に前記磁気エンコーダに対して位置決めする位置決め手段と、前記着磁ヨークの励磁コイルに電流を供給する着磁電源と、前記移動許容手段、位置決め手段、および着磁電源を制御する制御手段とを備えた着磁装置であって、前記着磁ヨークに保持されて前記第１の先端部の先端面に接触しこの先端部と前記磁気トラックとの間に介在する摺動シートを備えるため、着磁ヨークの先端部を磁気エンコーダに対向する際に、磁気エンコーダの表面を傷つけることなく、磁気エンコーダと着磁ヨーク先端部との隙間を均一に安定させて着磁強度むらを抑制できて、ピッチ誤差などの着磁精度を向上することができ、また着磁ヨークの構造が簡略化でき、保守の容易という効果が得られる。
【００１８】
この発明の第１の磁気エンコーダの着磁方法は、環状の磁気エンコーダの未着時の磁気トラックに、着磁ヨークを用いて着磁する方法であって、前記着磁ヨークの第１の先端部を、摺動シートを介して前記磁気エンコーダの前記磁気トラックに押しつけた状態とし、前記磁気エンコーダを回転させながら、前記着磁ヨークの励磁コイルに流す電流の向きを交互に変えてＮ極とＳ極を交互に着磁する方法であるため、着磁ヨークの先端部を磁気エンコーダに対向する際に、磁気エンコーダの表面を傷つけることなく、磁気エンコーダと着磁ヨーク先端部との隙間を均一に安定させて着磁強度むらを抑制できて、ピッチ誤差などの着磁精度を向上することができ、また着磁ヨークの構造が簡略化でき、保守の容易という効果が得られる。
【００１９】
この発明の第２の磁気エンコーダの着磁方法は、この発明の着磁装置を用い、前記着磁ヨークの前記第１の先端部を、前記摺動シートを介して前記磁気エンコーダの磁気トラックの表面に、前記押圧手段により押圧した状態とし、前記磁気エンコーダを回転させながら前記着磁ヨークの前記励磁コイルに流す電流の向きを交互に変えてＮ極とＳ極を交互に着磁する方法であるため、着磁ヨークの先端部を磁気エンコーダに対向する際に、磁気エンコーダの表面を傷つけることなく、磁気エンコーダと着磁ヨーク先端部との隙間を均一に安定させて着磁強度むらを抑制できて、ピッチ誤差などの着磁精度を向上することができ、また着磁ヨークの構造が簡略化でき、保守の容易という効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】この発明の第１の実施形態に係る磁気エンコーダの着磁装置の断面図である。
【図２】図１のII-II断面矢視図である。
【図３】この発明の他の実施形態に係る磁気エンコーダの着磁装置の断面図である。
【図４】図３のＩV-ＩV 断面矢視図である。
【図５】同着磁装置の動作説明図である。
【図６】磁気エンコーダの構成を示す説明図である。
【図７】他の実施形態に係る磁気エンコーダの着磁装置の断面図である。
【図８】さらに他の実施形態に係る磁気エンコーダの着磁装置の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
この発明の第１の実施形態に係る磁気エンコーダの着磁装置を図１に示す。図２は、図１のII-II 断面矢視図を示す。
着磁装置１は、着磁対象となる未着磁の磁気エンコーダ２を保持するチャック３を回転させるスピンドル４と、これを回転させるモータ５と、着磁ヨーク６と、着磁ヨーク６を磁気エンコーダ２の磁気トラックに近接する方向（図１では径方向、すなわち磁気エンコーダ２の磁気トラックと対向する方向）に移動自在に支持する一軸の移動許容手段７と、着磁ヨーク６を磁気エンコーダ２の磁気トラックに近接する方向（図１では径方向）に押圧する押圧手段８と、着磁ヨーク６と移動許容手段７を直交する３軸方向に位置決めする位置決め手段９と、着磁電源１０と、制御手段１１とを備える。
【００２２】
磁気エンコーダ２は、芯金からなる環状部材２５の外周に、着磁されて磁気トラックとなる磁性部材２６を円周状に設けた複合部材とされる。磁性部材２６は、たとえば磁性体粉を混入したゴムまたはプラスチックからなる。磁気エンコーダ２は、環状の磁性部材２６単体からなるものであってもよい。
【００２３】
スピンドル４は、基台３５に対して垂直姿勢で軸受（図示せず）を介して回転自在に支持され、上端に前記チャック３が設けられている。チャック３は、磁気エンコーダ２の一端の内周に嵌合して磁気エンコーダ２を水平に同一軸心上で保持する。モータ５は、スピンドル４で前記基台３５に接地され、高精度のエンコーダ装置１２を有する。エンコーダ装置１２は光学式であっても磁気式であってもよい。また、チャック３に保持された磁気エンコーダ２に対して着磁ヨーク６と反対側に磁気センサ１３が設けられている。磁気センサ１３は、着磁が終了した段階で磁気エンコーダ２の着磁精度を、チャック３に保持したままで測定するセンサであり、直交する３軸方向に位置決め可能な位置決め手段１４に設置されている。
【００２４】
着磁ヨーク６は、着磁ヨーク本体１５と励磁コイル１６と、第１の先端部１７と、第２の先端部１８からなる。着磁ヨーク６は、下向きのＣ字状に形成され、その互いにＣ字の半部となる二つの部分１５ａ，１５ａの外周にそれぞれ前記励磁コイル１６が巻かれている。前記第１の先端部１７および第２の先端部１８は、前記着磁ヨーク本体１５の前記二つの部分１５ａ，１５ａの先端に続く部分となる。
着磁ヨーク６は、着磁のための磁束ａを磁気エンコーダ２に貫通させるものであり、着磁ヨーク６の第１の先端部１７は、水平断面の形状が先細りとなって先端が尖った形状とされ、着磁時にはその先端面を磁気エンコーダ２の表面と対向させる。
第２の先端部１８は、チャック３の外周面に隙間を持って対向し、第１の先端部１７から磁気エンコーダ２、およびチャック３を経由して第２の先端部１８に渡る磁気ループが形成される。なお、第２の先端部１８は省略されていてもよい。
【００２５】
第１の先端部１７には、摺動シート１９を保持する支持台２０が固定され、支持台２０に設けた開口２１を覆って摺動シート１９が接着等で固定される。摺動シート１９は、第１の先端部１７に対してほぼ垂直になるように配置され、かつ第１の先端部１７の先端面が摺動シート１９に接触する位置に固定される。
【００２６】
摺動シート１９は、摺動性のある非磁性のシートであり、たとえば、金属材料や樹脂材料を用いる。摺動シート１９の具体的な材質としては、たとえばポリアセタールやフッ素樹脂等の、合成樹脂の中でも滑り摩擦係数の小さい脂製の薄膜シートであることが好ましく、その厚さは、たとえば０．０１ｍｍから０．１ｍｍ程度のものを使用する。
【００２７】
一軸の移動許容手段７は、たとえばレール付の直動案内軸受２２からなり、ベース板２３に直動案内軸受２２のレール２２ａが固定され、スライダとなる軸受２２ｂに着磁ヨーク６が固定される。移動許容手段７は、着磁ヨーク６を磁気エンコーダ２と対向する方向に移動可能に支持している。前記直動案内軸受２２は、例えば転がり形式であり、複数個並ぶボールまたはころ等の転動体（図示せず）が、軸受２２ｂ内で循環移動可能に収容されている。レール２２ａの着磁ヨーク６が磁気エンコーダ２側に移動する側には、ストッパ２４が設けられ、軸受２２ｂの移動量を制限することで、軸受２２ｂがレール２２ａから外れないようにしている。
【００２８】
押圧手段８は、たとえば弾性的に押圧する手段であって、コイルスプリング等のスプリングとされ、着磁のための押圧に適したばね定数のものを使用する。押圧手段８には、スプリング以外の弾性的に押し付ける形式のものとして、エアシリンダを用いてもよい。エアシリンダは、入力する空気圧を変更することで、押圧力の調整を行うことができる。
なお、押圧手段８として、モータとボールねじなどを用いた直動アクチュエータ（ステージ）やリニアモータなどを用いてもよい。この場合、直動アクチュエータやリニアモータにかかる負荷を測定し、負荷が一定になるようにそれらの位置を制御する。または、磁気エンコーダ２の偏芯量を図示しない変位センサで測定し、偏芯量を元にして直動アクチュエータやリニアモータの位置を調整するようにしてもよい。
【００２９】
位置決め手段９は、例えば、直交３軸方向へ移動可能なスライドテーブル装置等からなる。前記３軸方向は、スピンドル４の軸心に沿う方向となる上下方向と、ピンドル４の半径方向となる前後方向および左右方向である。制御手段１１は、位置決め装置９、着磁電源１０、および位置決め手段１４の制御を行うコンピュータ式等の装置である。
【００３０】
この構成の着磁装置を用いると、次のように着磁を行うことができる。着磁ヨーク６の第１の先端部１７を、摺動シート１９を介して磁気エンコーダ２の磁性部材２６である未着磁の磁気トラック２７の表面に、押圧手段８で押圧した状態とし、この状態で、磁気エンコーダ２をスピンドル４と共にモータ５で回転させながら、励磁コイル１６に流す電流の向きを交互に変える。これにより、磁気エンコーダ２の未着磁の磁気トラック２７に、円周方向にＮ極とＳ極を交互に並べて着磁する。
【００３１】
このとき、着磁ヨーク６の第１の先端部１７は、磁気エンコーダ２の磁性部材２６に対して、摺動性のある非磁性の摺動シート１９が介在し、押圧手段８によりこれらが接触した状態で着磁が行われる。そのため、磁気エンコーダ２に振れがあっても、着磁ヨーク６の第１の先端部１７と磁性部材２６との隙間は摺動シート１９の厚さに保たれ、これにより着磁強度のむらが抑制され、その結果、ピッチ誤差や累積ピッチ誤差を低減して着磁精度を向上することが可能となる。
また、摺動シート１９が介在しているため、着磁ヨーク６の第１の先端部１７で、磁気トラック２７となる磁性部材２６の表面を傷つけることがない。また、着磁ヨーク６の着磁位置をティーチングする際には、第１の先端部１７と磁気エンコーダ２の磁性部材２６（磁気トラック２７）との隙間調整を気にすることなく容易に設定することが可能となる。
さらに、従来のように第１の先端部１７の表面に摺動部材をコーティングする場合にはコーティング膜厚の管理が難しく、コーティングが摩耗した際には交換の必要があったが、摺動シート１９の膜厚は均一に管理され、摩耗時には交換が容易である。
着磁が終了した時点で、位置決め手段９を用いて着磁ヨーク６を、磁気エンコーダ２に接触せず、またチャック３に対して磁気エンコーダ２を着脱する作業の邪魔にならない退避位置（図１の例では、左上側位置）へ退避させる。
【００３２】
図３〜図６と共に、この発明の他の実施形態を説明する。図３は着磁ヨーク１５を主に示し、図４は図３のIV−IV断面矢視図を示す。この着磁装置は、第１の実施形態における着磁ヨーク６の構成を一部変えたものであり、特に説明する事項の他は、第１の実施形態と同様である。
この実施形態は、磁気エンコーダ２が複列である場合に、着磁対象以外の磁気トラック２７への磁束の流れを遮蔽する磁気シールド部材２８を、磁気トラック２７と対峙させて着磁ヨーク２９に設けている。着磁ヨーク２９の着磁ヨーク本体１５、第１，第２の先端部１７，１８および励磁コイル１６の構成は、第１の実施形態と同様である。
【００３３】
磁気シールド部材２８は、矩形の板状であって、中央には断面テーパ状の角形状の開口３０が形成され、開口３０の上下それぞれに隙間を開けて、着磁ヨーク２９の第１の先端部１７が配置される。磁気シールド部材２８における磁気エンコーダ２と対向する側の表面に、開口３０を覆って摺動シート１９が貼り付けて固定され、第１の先端部１７の先端面は摺動シート１９に当接する。摺動シート１９は、磁気エンコーダ２の磁性部材２６に対向する着磁ヨーク２９の第１の先端部１７に対してほぼ垂直になる。
【００３４】
磁気シールド部材２８は、着磁ヨーク本体１５の中央よりも第２の先端部１８寄りの範囲で基端部３１ａが固定される支持台３１の端部に固定される。第１の先端部１７から発生する磁束の内、着磁しない他方の磁気トラックに影響を与える磁束を磁気シールド部材２８に誘導し、磁気エンコーダ２に対向する第１の先端部１７とは反対側の第２の先端部１８側に逃がす構成とされる。磁気シールド部材２８と支持台３１の材質には、磁性体、たとえば低炭素の鉄鋼材を用いる。
【００３５】
磁気シールド部材２８は着磁ヨーク２９に取付けてあり、一緒に移動できるため、第１の先端部１７と磁気シールド部材２８とのそれぞれ別に押圧手段を設けることは不要であり、単一の押圧手段８を設けている。この押圧手段８により、磁気シールド部材２８と着磁ヨーク２９の第１の先端部１７とを磁気エンコーダ２の磁性部材２６に対して一定の隙間（ここでは摺動シート１９の厚さ）を保持しながら、着磁を行うことができる。このように磁気シールド部材２８は着磁ヨーク２９に取付けてあるため、着磁ヨーク２９や磁気シールド部材２８の周辺押圧手段の構造を簡略化できる。
【００３６】
図５には、磁気エンコーダ２の磁性部材２６に２列の磁気トラック２７（２７ａ、２７ｂ）を着磁する場合の、着磁ヨーク２９の第１の先端部１７の配置位置を示す。図６には、２列に着磁した磁気エンコーダ２の着磁パターンの例を示す。同図の着磁パターンにおける各磁極Ｎ，Ｓ間の線は、磁極の区切りを示す説明のための線であり、実在する線ではない。
【００３７】
図５は、着磁ヨーク２９の第１の先端部１７と磁気シールド部材２８の配置を示しており、同図（ａ）は、磁気エンコーダ２の磁性部材２６の下半分を一方の磁気トラック２７ａとして着磁する場合の配置を示す。このとき、他方の磁気トラック２７ｂが形成される磁性部材２６の表面は、摺動シート１９を介して磁気シールド部材２８を覆うことで、第１の先端部１７から流れる磁束が他方の磁気トラック２７ｂに流れるのを防止する。
【００３８】
図５（ｂ）は、磁気エンコーダ２の磁性部材２６の上半分を他方の磁気トラック２７ｂとして着磁する場合の、着磁ヨーク２９の第１の先端部１７と磁気シールド部材２８の配置を示す。このとき、一方の磁気トラック２７ａが形成された磁性部材１９の表面は、摺動シート１９を介して磁気シールド部材２８で覆って、第１の先端部１７から流れる磁束が一方の磁気トラック２７ａに流れるのを防止する。
【００３９】
図５（ａ）と図５（ｂ）に示す配置でそれぞれ着磁を行うと、図６に示すように２列の磁気トラック２７ａ、２７ｂを有する複列の磁気エンコーダ２を製作することができる。着磁しない側の磁気トラック２７（２７ａまたは２７ｂ）は、磁気シールド部材２８で覆われて着磁ヨーク２９の第１の先端部１７から発生する磁束を遮断するため、着磁しない側の磁気トラック２７（２７ａまたは２７ｂ）の精度低下が防止できる。
たとえば、２つの磁気トラック２７ａ、２７ｂの着磁極対数に１極対の差を設ければ、絶対角度を検出するエンコーダとして利用可能である。
【００４０】
図７は、アキシャルタイプの磁気エンコーダ２Ａを着磁する着磁装置に適用した実施形態を示す。この実施形態において、特に説明する事項の他は、図１、図２と共に説明した第１の実施形態と同様である。アキシャルタイプの磁気エンコーダ２Ａは、平板状の芯金からなる環状部材２５の軸方向面に、着磁されて磁気トラック２７となる磁性部材２６を円周状に設けた複合部材とされている。環状部材２５は、内周縁に支持用の円筒状部が裏面側に突出している。アキシャルタイプの磁気エンコーダ２Ａにおいても、磁気エンコーダ２は、環状の磁性部材２６単体からなるものであってもよい。
【００４１】
この着磁装置１Ａは、チャック３が、未着磁の磁気エンコーダ２Ａの内周に嵌合して磁気エンコーダ２Ａを上向きに保持する。着磁ヨーク６の第１の先端部１７は、磁気エンコーダ２Ａの磁性部材２６の上面に軸方向に対向する。この例においても、第１の先端部１７に支持台２０が固定され、支持台２０に設けた開口２１を覆って摺動シート１９が接着等で固定される。摺動シート１９は、第１の先端部１７に対してほぼ垂直になるように配置され、かつ第１の先端部１７の先端面が摺動シート１９に接触する位置に固定される。
着磁ヨーク６を磁気エンコーダ２Ａの磁気トラック２７に近接する方向、すなわち磁気エンコーダ２Ａの磁気トラック２７と対向する方向に移動自在に支持する一軸の移動許容手段７、および着磁ヨーク６を磁気エンコーダ２Ａの磁気トラック２７に近接する方向に押圧する押圧手段８は、この例では移動方向を上下方向としている。
【００４２】
この構成の着磁装置１Ａによると、アキシャルタイプの磁気エンコーダ２Ａの着磁を行うにつき、表面を傷つけることなく、着磁ヨーク先端部１７との隙間を均一に安定させて精度良く着磁することができる。
【００４３】
図８は、図７の実施形態の変形例を示す。この実施形態は、アキシャルタイプの磁気エンコーダ２Ａが複列である場合に、着磁対象以外の磁気トラック２７への磁束の流れを遮蔽する磁気シールド部材２８を、磁気トラック２７と対峙させて着磁ヨーク２９に設けている。
【００４４】
磁気シールド部材２８は、矩形の板状であって、中央には断面テーパ上の角形状の開口３０が形成され、開口３０の上下それぞれに隙間を開けて、着磁ヨーク２９の第１の先端部１７が配置される。磁気シールド部材２８における磁気エンコーダ２と対向する側の表面に、開口３０を覆って摺動シート１９が貼り付けて固定され、第１の先端部１７の先端面は摺動シート１９に当接する。
【００４５】
磁気シールド部材２８は、着磁ヨーク本体１５の中央よりも第２の先端部１８寄りの範囲で基端部３１ａが固定される支持台３１の端部に固定される。磁気シールド部材２８の詳細な構成および作用については、図３に示す実施形態と同様である。また、この実施形態におけるその他の構成、効果は、図７の実施形態と同様である。
なお、着磁ヨーク３２の重量が磁気エンコーダ２Ａの磁気トラック２７にかかるため、接触圧が大きい場合には、押圧手段８の付勢方向を、同図の例とは逆（つり上げる）向きに変更してもよい。
【００４６】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００４７】
１…着磁装置
２，２Ａ…磁気エンコーダ
３…チャック
４…スピンドル
５…モータ
６…着磁ヨーク
７…移動許容手段
８…押圧手段
９…位置決め手段
１０…着磁電源
１１…制御手段
１５…着磁ヨーク本体
１６…励磁コイル
１７…第１の先端部
１８…第２の先端部
１９…摺動シート
２０…固定台
２１…開口
２５…環状部材
２６…磁性部材
２７…磁気トラック
２８…磁気シールド部材
２９…着磁ヨーク
３０…開口
３１…支持台
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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