(57)【要約】【課題】大幅に薄型化することが可能な振動波モータを提供する。【解決手段】振動波モータ１００は、振動子１０３と、該振動子１０３に摩擦接触する摩擦部材１０６と、振動子１０３を摩擦部材１０６に摩擦接触させるための加圧部材１０７と、振動子１０３が摩擦部材１０６に対して相対移動するためのガイド機構１０８と、摩擦部材１０６及びガイド機構１０８を保持する保持部材１０１と、を備え、ガイド機構１０８は、相対移動に合わせて移動する可動ガイド部材１０９と相対移動せずに固定された固定ガイド部材１１０とを有し、摩擦部材１０６及び固定ガイド部材１１０は、同一の固定手段１１９によって保持部材１０１に固定されることを特徴とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動子と、
該振動子に摩擦接触する摩擦部材と、
前記振動子を前記摩擦部材に摩擦接触させるための加圧部材と、
前記振動子が前記摩擦部材に対して相対移動するためのガイド機構と、
前記摩擦部材及び前記ガイド機構を保持する保持部材と、を備え、
前記ガイド機構は、前記相対移動に合わせて移動する可動ガイド部材と前記相対移動せずに固定された固定ガイド部材とを有し、
前記摩擦部材及び前記固定ガイド部材は、同一の固定手段によって前記保持部材に固定されることを特徴とする、振動波モータ。
【請求項２】
前記固定手段は、前記加圧部材の加圧方向に関して、前記摩擦部材、前記固定ガイド部材、前記保持部材の順に重なるように固定することを特徴とする、請求項１に記載の振動波モータ。
【請求項３】
前記固定手段は、前記加圧部材の加圧方向に関して、前記固定ガイド部材、前記摩擦部材、前記保持部材の順に重なるように固定することを特徴とする、請求項１に記載の振動波モータ。
【請求項４】
前記可動ガイド部材は、前記加圧部材の加圧方向において、前記保持部材と重複する位置に配置されることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の振動波モータ。
【請求項５】
前記保持部材は、開口部を有し、前記可動ガイド部材は、前記加圧部材の加圧方向から見て前記開口部の内側に配置され、可動範囲の端部において前記保持部材と前記可動ガイド部材が当接する当接部が前記保持部材又は前記可動ガイド部材のいずれかに設けられていることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動波モータ。
【請求項６】
前記可動ガイド部材と前記固定ガイド部材の間には、転動部材が挟持されることを特徴とする、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の振動波モータ。
【請求項７】
前記加圧部材は、前記振動子を囲むように配置されていることを特徴とする、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の振動波モータ。
【請求項８】
前記振動子の振動は、超音波領域の周波数の高周波振動であり、前記振動波モータは超音波モータであることを特徴とする、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の振動波モータ。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の振動波モータを備えるレンズ駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動波モータ及び振動波モータを用いてレンズを駆動するレンズ駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、合焦動作の高速化や、高精度化、静粛化を目的として、超音波モータを駆動源とするレンズ駆動装置が注目されている。特に、被駆動体を直進方向に駆動することが可能なリニア型の超音波モータは、制御性や駆動特性が優れており、レンズ駆動装置の駆動源として活用されている。特許文献１では、レンズ駆動装置の薄型化を目的として、可動部を進行方向に案内する案内機構を部材の積層方向に直行する方向に配置したリニア型の超音波モータが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１６−８２６１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１では、転動部材と案内部材の配置のみを変えることで超音波モータを薄型化しており、大幅に薄型化することに限界があった。
【０００５】
本発明の目的は、大幅に薄型化することが可能な振動波モータを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために本発明の振動波モータは、振動子と、該振動子に摩擦接触する摩擦部材と、前記振動子を前記摩擦部材に摩擦接触させるための加圧部材と、前記振動子が前記摩擦部材に対して相対移動するためのガイド機構と、前記摩擦部材及び前記ガイド機構を保持する保持部材と、を備え、前記ガイド機構は、前記相対移動に合わせて移動する可動ガイド部材と前記相対移動せずに固定された固定ガイド部材とを有し、前記摩擦部材及び前記固定ガイド部材は、同一の固定手段によって前記保持部材に固定されることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、大幅に薄型化することが可能な振動波モータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】（Ａ）実施例１の振動波モータ１００の平面図、（Ｂ）同断面図である。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）実施例１の振動子１０３の動作を示す模式図、（Ｃ）振動板１０４の底面図である。
【図３】（Ａ）可動ガイド部材１０９を示す底面図である。（Ｂ）固定ガイド部材１１０を示す底面図である。
【図４】（Ａ）〜（Ｄ）実施例１のイコライズ機構１１２を構成する各部材を示す図である。
【図５】実施例２の振動波モータ２００の断面図である。
【図６】レンズ駆動装置１のブロック線図である。
【図７】実施例１の振動波モータ１００を実装した固定筒１２の断面図である。
【図８】実施例１の振動波モータ１００の動作を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
（実施例１）
本発明の実施例１の振動波モータ１００の構成について図面を用いて説明する。図面において、後述の振動子１０３が後述の摩擦部材１０６に対して相対移動する方向をＸ方向、後述の加圧部材１０７の加圧方向をＺ方向、Ｘ方向及びＺ方向のいずれにも直交する方向をＹ方向と定義する。
【００１０】
図１（Ａ）は、振動波モータ１００を示す平面図であり、図１（Ｂ）は図１（Ａ）の断面線ＩＢ−ＩＢにおける断面図である。図２（Ａ）、（Ｂ）は、振動子１０３及び摩擦部材１０６の構成並びに振動波モータ１００の駆動原理を示す模式図である。図２（Ｃ）は、振動板１０４の底面図である。図３（Ａ）は、可動ガイド部材１０９を示す底面図であり、図３（Ｂ）は固定ガイド部材１１０の底面図である。図４（Ａ）は、イコライズ機構１１２の上板部材１１３の底面図、図４（Ｂ）は振動子保持部材１１４の底面図、図４（Ｃ）は、図４（Ｂ）の断面線ＩＶＣ−ＩＶＣにおける断面図、図４（Ｄ）は下板部材１１７の底面図である。
【００１１】
図１（Ａ）、（Ｂ）に示すように、振動波モータ１００は、保持部材１０１、移動部材１０２、振動子１０３、摩擦部材１０６、加圧部材１０７、ガイド機構１０８、イコライズ機構１１２で構成される。保持部材１０１は、摩擦部材１０６及びガイド機構１０８を保持する部材であり、不図示の鏡筒１０に固定される概略枠形状の部材である。保持部材１０１には、締結穴１０１ａがＸ方向に沿って２つ設けられ、この締結穴１０１ａと固定手段１１９により摩擦部材１０６及び固定ガイド部材１１０が保持されるとともに、締結されている。また、開口部１０１ｂが設けられており、加圧部材１０７の加圧方向であるＺ方向から見て、後述する可動ガイド部材１０９が開口部１０１ｂの内部に配置される。
【００１２】
移動部材１０２は、概略枠形状であり、保持部材１０１に対して相対移動する部材である。移動部材１０２は、イコライズ機構１１２の振動子保持部材１１４を介して振動子１０３を保持するとともに、可動ガイド部材１０９とビス等で締結される不図示の締結穴、後述する連結部材１６と係合する係合部１０２ａを有する。
【００１３】
振動子１０３は、振動板１０４と圧電素子１０５を接着して構成される。図２（Ａ）、（Ｃ）に示すように、振動板１０４には突起部１０４ａが長手方向（Ｘ方向）に沿って２つ設けられ、振動子保持部材１１４に固定するための腕部１０４ｂが設けられ、その腕部１０４ｂに穴１０４ｃが形成されている。また、圧電素子１０５にはフレキシブル基板である給電部材（不図示）が電気的に接続されており、給電部材から特定の振幅及び位相差を有する電圧が圧電素子１０５に印加されると、振動子１０３が変形して突起部１０４ａが楕円運動ＥＭを行う。
【００１４】
摩擦部材１０６は、振動子１０３に摩擦接触する部材であり、固定手段１１９によって保持部材１０１に締結されている。更に、摩擦部材１０６には、Ｚ方向に段付き形状（段部１０６ａ）が設けられており、段部１０６ａのＺ方向の上側面は振動子１０３と接触する摩擦接触面となっている。そして、段部１０６ａの上側面の反対側の面は固定手段１１９と接触する面である。振動子１０３に電圧が印加され突起部１０４ａが楕円運動ＥＭすると、振動子１０３と摩擦部材１０６の間に摩擦力Ｆが断続的に発生し、振動子１０３が摩擦部材１０６に対して相対移動であるＸ方向への推進力となる。この推進力により摩擦部材１０６が駆動され、移動部材１０２が駆動されることになる。
【００１５】
図２（Ａ）、（Ｂ）を用いて、振動子１０３の動作について説明する。図２（Ａ）は振動子１０３の楕円運動ＥＭを示す模式図であり、図２（Ｂ）は振動子１０３と摩擦部材１０６の間に発生する摩擦力Ｆを示す模式図である。
【００１６】
圧電素子１０５には、不図示の給電部材が接続されており、給電部材を介して二相の交流電圧が印加されると、圧電素子１０５が変形しながら振動し、それに伴って振動板１０４が変形する。前述の交流電圧の周波数を所定の値に設定することで、振動子１０３の突起部１０４ａが楕円運動ＥＭするとともに、摩擦部材１０６と接触・離間を繰り返す。振動子１０３の突起部１０４ａと摩擦部材１０６が接触している間は、図２（Ｂ）に示すように、各突起部１０４ａにおいてＸ方向の摩擦力Ｆ／２が発生し、離間している間は、摩擦力Ｆが発生しない。したがって、振動子１０３と摩擦部材１０６の間には、断続的にＸ方向の摩擦力Ｆが発生するため、摩擦力Ｆによって振動子１０３と摩擦部材１０６が相対移動する。摩擦力Ｆは、振動波モータ１００が発生する推進力であり、振動子保持部材１１４を介して移動部材１０２へ伝達される。
【００１７】
加圧部材１０７は、振動子１０３を摩擦部材１０６に摩擦接触させるための弾性を有する部材であり、図１（Ａ）に示すように、本実施例１では４つの引張バネから構成されている。加圧部材１０７は、後述する可動ガイド部材１０９と、イコライズ機構１１２の上板部材１１３に保持されることで、可動ガイド部材１０９を上板部材１１３に近づける方向に加圧力を発生させ、上板部材１１３を下板部材１１７に付勢する。このとき、加圧部材１０７の加圧方向は、振動子１０３を摩擦部材１０６に押し付ける方向である。
【００１８】
ガイド機構１０８は、振動子１０３を摩擦部材１０６に対して相対移動させる機能を有しており、可動ガイド部材１０９、固定ガイド部材１１０、転動部材１１１で構成される。図３（Ａ）に示すように、可動ガイド部材１０９は、締結穴１０９ａを有し、この締結穴１０９ａを介してビス等で移動部材１０２に締結され、移動部材１０２と一体で移動する。また、可動ガイド部材１０９は、加圧部材１０７を保持する保持部１０９ｂを４つ有し、加圧部材１０７の加圧方向に付勢される。更に、可動ガイド部材１０９は、Ｖ溝１０９ｃ、１０９ｄ、１０９ｅを有し、それぞれが転動部材１１１と当接する。更に、可動ガイド部材１０９は、保持部材１０１に当接する当接部１０９ｆを有し、移動部材１０２が可動範囲の端部に位置する場合において、当接部１０９ｆが保持部材１０１に当接することにより移動部材１０２の相対移動が停止される。この構成により、移動範囲を超えて動かないように移動部材１０２の変位を規制することができる。なお、保持部材１０１に可動ガイド部材１０９と当接する、いわゆるメカ端部を設けても良い。
【００１９】
固定ガイド部材１１０は、振動子１０３と摩擦部材１０６の相対移動によらず固定された部材である。図３（Ｂ）に示すように、２つの締結穴１１０ａを有し、固定手段１１９によって保持部材１０１に締結される。また、Ｖ溝１１０ｂ、平面部１１０ｃを有し、それぞれが転動部材１１１と当接する。
【００２０】
転動部材１１１は、本実施例１では転動ボールであり３個配置されるが、転動部材１１１の個数は３個より多くても少なくてもよい。転動部材１１１は可動ガイド部材１０９と固定ガイド部材１１０に挟持され、転動部材１１１が転動することで可動ガイド部材１０９と固定ガイド部材１１０が低摩擦で相対移動することができる。すなわち、転動部材１１１が固定ガイド部材１１０のＶ溝１１０ｂ及び平面部１１０ｃで当接し、更に可動ガイド部材１０９のＶ溝１０９ｃ、１０９ｄ、１０９ｅで当接することで可動ガイド部材１０９が進行方向へ案内される。以上の構成から、固定ガイド部材１１０に対して可動ガイド部材１０９が進行方向に案内されることにより、保持部材１０１に対して移動部材１０２が進行方向へ案内される。
【００２１】
イコライズ機構１１２は、上板部材１１３、振動子保持部材１１４、２つの転動部材１１５、付勢部材１１６、下板部材１１７で構成される。図４（Ａ）に示すように、上板部材１１３は、振動子１０３を摩擦部材１０６に当接させる加圧力を伝達する部材であり、加圧部材１０７を保持するための保持部１１３ｂが４つ設けられ、加圧部材１０７の加圧方向に付勢される。また、突起部１１３ａを２つ有し、下板部材１１７と当接する。
【００２２】
振動子保持部材１１４は、振動子１０３を保持する部材であり、図１（Ａ）、（Ｂ）に示すように、２つの転動部材１１５と付勢部材１１６を介して移動部材１０２に保持される。振動子保持部材１１４は、図４（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、枠形状を有するとともに、振動子１０３を保持するための係合突起１１４ａを２つ有する。係合突起１１４ａは、振動板１０４の腕部１０４ｂに形成された穴１０４ｃに係合する。また、振動子保持部材１１４のＸ方向の外側の面には、転動部材１１５と当接する面１１４ｂが加圧方向に沿って形成されている。
【００２３】
図１（Ｂ）に示すように、２つの転動部材１１５は円柱形状の部材であり、振動子保持部材１１４を移動部材１０２に対して加圧部材１０７の加圧方向に移動可能にする部材である。また、付勢部材１１６は、板バネ等の弾性部材であり、移動部材１０２、振動子保持部材１１４と転動部材１１５の間を付勢して、間の隙間を無くすようにガタ寄せをする。したがって、転動部材１１５と付勢部材１１６によって、振動子保持部材１１４は移動部材１０２に対して加圧部材１０７の加圧方向にのみ移動可能に保持される。
【００２４】
図４（Ｄ）に示すように、下板部材１１７は、後述する緩衝部材１１８を介して振動子１０３への加圧力を伝達する部材である。上板部材１１３の突起部１１３ａが下板部材１１７に当接するように配置されることで、上板部材１１３が下板部材１１７に倣うように位置が決まり、加圧力の損失を抑えることができる。以上の構成とすることで、製造誤差等のばらつきによって振動子１０３と上板部材１１３がＸ方向に平行でなくても、加圧部材１０７の加圧力を振動子１０３に効率よく伝達することができる。
【００２５】
緩衝部材１１８は、概略板形状の弾性部材であり、振動子１０３とイコライズ機構１１２を構成する下板部材１１７に挟まれるように配置され、振動子１０３からの振動が他の部材に伝搬するのを防ぐ機能を有する。以上の構成から、給電部材によって印加される電圧によって、振動子１０３が振動（超音波領域の周波数の高周波振動）することにより駆動され、振動子１０３を保持する移動部材１０２が保持部材１０１に対して相対移動する。
【００２６】
次に、本発明の実施例１の振動波モータ１００の効果について、特許文献１の従来の超音波モータと比較して説明する。特許文献１では、超音波モータの案内機構を構成する溝部及び転動部材を加圧方向に対して直行する方向（Ｙ方向）に配置することで、超音波モータを薄型化する構成が提案されているが、この構成では、案内機構の厚さを薄型化できる程度に留まる。
【００２７】
一方、本発明の実施例１の振動波モータ１００では、加圧部材１０７の加圧方向（Ｚ方向）に関して、摩擦部材１０６、固定ガイド部材１１０、可動ガイド部材１０９の順に重なるように部材が配置される。また、可動ガイド部材１０９は、加圧方向から見て保持部材１０１の開口部１０１ｂの内側に配置されるため、加圧方向に関して保持部材１０１と重複しないように配置される。更に、固定手段１１９は、加圧方向に関して、摩擦部材１０６、固定ガイド部材１１０、保持部材１０１の順にこれら部材を重なるように固定する。この構成にすることで、固定側である摩擦部材１０６と固定ガイド部材１１０を加圧方向に重なるように配置することができる。
【００２８】
また、摩擦部材１０６及び固定ガイド部材１１０は、同一の固定手段１１９によって保持部材１０１に固定されるので、固定手段１１９の数を減らし、固定手段１１９の占めるスペースを削減することができる。以上の構成により、従来に比べて振動波モータ１００を大幅に薄型化することができる。
【００２９】
更に、従来の超音波モータでは、加圧手段であるコイルばねが加圧方向において振動子の上部に配置されている。一方、本発明の振動波モータ１００では、４つの加圧部材１０７は加圧方向において振動子１０３の上部には配置されず、振動子１０３を囲むように配置されている。この構成にすることで、加圧部材１０７の加圧方向の厚さを薄型化することができる。以上説明したように、本発明では、振動波モータ１００を大幅に薄型化することができる。
【００３０】
（実施例２）
次に、本発明の実施例２の振動波モータ２００の構成について図面を用いて説明する。実施例１と同じ部材については、同じ番号を付すとともに説明を省略し、実施例１と異なる部材について説明する。図５は、振動波モータ２００の断面図であって、実施例１の図１（Ｂ）に対応する。
【００３１】
実施例１の振動波モータ１００では、加圧部材１０７の加圧方向（Ｚ方向）に関して、摩擦部材１０６、固定ガイド部材１１０、保持部材１０１の順に重なるように部材が配置され、これら部材が固定手段１１９により固定されていた。一方、実施例２の振動波モータ２００では、加圧方向に関して、保持部材２０１、摩擦部材２０６、固定ガイド部材２１０の順に重なるように部材が配置され、これら部材を固定手段２１９が固定している。その他の構成に関しては、実施例１と同様のため省略する。
【００３２】
次に、本発明の実施例２の振動波モータ２００の効果について説明する。振動波モータ２００では、加圧方向（Ｚ方向）に関して、摩擦部材２０６、固定ガイド部材２１０、可動ガイド部材２０９の順に重なるように部材が配置される。また、可動ガイド部材２０９は、加圧方向から見て保持部材２０１の開口部２０１ｂの内側に配置されるため、加圧方向に関して保持部材２０１と重複しないように配置される。更に、固定手段２１９は、加圧方向に関して、保持部材２０１、摩擦部材２０６、固定ガイド部材２１０の順にこれら部材を重なるように固定する。この構成にすることで、固定側である摩擦部材２０６と固定ガイド部材２１０を加圧方向に重なるように配置することができる。
【００３３】
また、摩擦部材２０６及び固定ガイド部材２１０は、同一の固定手段２１９によって保持部材２０１に固定されるので、固定手段２１９を減らし、固定手段２１９の占めるスペースを削減することができる。以上の構成により、従来に比べて振動波モータ２００を大幅に薄型化することができる。
【００３４】
更に、本発明の振動波モータ２００では、加圧部材２０７が４つ備えられ、各加圧部材２０７は加圧方向において振動子２０３の上部には配置されず、振動子２０３を囲むように配置されている。この構成にすることで、加圧部材２０７の加圧方向の厚さを薄型化することができる。以上説明したように、本発明では、振動波モータ２００を大幅に薄型化することができる。
【００３５】
（適用例）
次に、本発明の振動波モータ１００を適用した適用例であるレンズ駆動装置１について説明する。レンズ駆動装置１は、撮影光学系を介して撮像面に結像する像のピントズレを補正するために、ピントずれに応じて光学系の全部又は一部を移動させる装置であって、この移動により合焦することができ、デジタルカメラ等に搭載されている。図６は、レンズ駆動装置１のブロック線図である。撮影光学系の一部であるレンズ１１及びレンズ１１を駆動する振動波モータ１００を含む固定筒１２、固定筒１２が固定される鏡筒１０と、撮像素子２１を有するカメラ本体２０とによりレンズ駆動装置１が構成される。
【００３６】
ピント検出手段３１によって撮像素子２１に結像される像のピント状態が検出され、その信号が制御手段３３に入力される。また、位置検出手段３２によってレンズ１１の現在位置（検査位置）が検出され、その信号が制御手段３３に入力される。制御手段３３はそれらの信号をもとに、モータ駆動手段３４に信号を出力し、振動波モータ１００を駆動する。この振動波モータ１００の駆動によって、レンズ１１が目標位置まで駆動され、ピントずれを補正することで良好な画像を撮影することができる。
【００３７】
次に、レンズ１１の案内機構について図７を用いて説明する。図７は、振動波モータ１００を実装した固定筒１２の断面図である。固定筒１２は、概略筒形状であり、不図示の鏡筒１０に保持されており、後述する第１の規制部材１４、第２の規制部材１５、振動波モータ１００をそれぞれ保持している。
【００３８】
レンズ枠１３は、概略筒形状であり、中心にレンズ１１を保持している。レンズ枠１３には、第１の規制部材１４が貫くように、丸穴１３ａが形成され、第２の規制部材１５が当接するように、Ｕ溝１３ｂが形成されている。また、連結部材１６を介して振動波モータ１００と連結されている。
【００３９】
第１の規制部材１４は、メインガイドバーであり、レンズ枠１３の丸穴１３ａを介してレンズ枠１３と当接する。第１の規制部材１４により、レンズ枠１３の相対移動の方向（Ｘ方向）に直交する方向の平行移動が規制される。
【００４０】
第２の規制部材１５は、サブガイドバーであり、レンズ枠１３のＵ溝１３ｂを介してレンズ枠１３と当接する。第２の規制部材１５により、レンズ枠１３の、第１の規制部材１４周りの回転移動が規制される。第１の規制部材１４及び第２の規制部材１５により、レンズ枠１３は相対移動の方向へ平行移動するように案内され、固定筒１２に対して相対移動する。
【００４１】
連結部材１６は、振動子１０３と摩擦部材１０６の相対移動による推進力をレンズ枠１３に伝達する部材であって、レンズ枠１３を保持し、移動部材１０２の係合部１０２ａ（不図示）とガタなく当接することで、レンズ枠１３と移動部材１０２を連結する。連結部材１６によって振動子１０３の推進力が移動部材１０２からレンズ枠１３に伝えられ、レンズ１１が進行方向に駆動される。
【００４２】
以上の構成から、振動波モータ１００によって発生する推進力が連結部材１６によってレンズ枠１３に伝えられる。レンズ枠１３は、第１の規制部材１４及び第２の規制部材１５によって相対移動の方向以外の方向への移動が規制されるため、レンズ１１と一体となって相対移動の方向に駆動される。したがって、移動部材１０２にかかる推進力が連結部材１６を介してレンズ１１に伝達されて駆動することにより、ピント合わせを行うことができる。
【００４３】
次に、振動波モータ１００の制御方法について説明する。図８は、振動波モータ１００の動作を示すフローチャートであり、合焦動作の開始から合焦動作の終了までを示している。ステップＳ１では、ピント検出手段３１によって、撮像素子２１に結像される像のピント状態が検出され、その信号が制御手段３３に入力され、移動部材１０２が移動すべき目標位置を算出して更新する。ステップＳ２では、位置検出手段３２によって、振動波モータ１００に含まれる移動部材１０２の位置が検出され、その信号が制御手段３３に入力され、検査位置を更新する。ステップＳ３では、ステップＳ１で更新した目標位置とステップＳ２で更新した検出位置の差分をもとに、振動波モータ１００への通電を決定し、モータ駆動手段３４へ信号を入力する。ステップＳ４では、入力された信号をもとに振動波モータ１００を駆動し、移動部材１０２を駆動する。ステップＳ５では、動作停止か否かの判別を行い、停止でなければステップＳ１に戻り、目標位置と移動部材１０２の検査位置の差分がなくなるように制御を継続し、停止であれば合焦動作を終了する。
【００４４】
従来に比べて大幅に薄型化された実施例１の振動波モータ１００を適用することにより、薄型化されたレンズ駆動装置１を提供することができる。また、実施例２の振動波モータ２００を適用しても同様の効果が得られる。
【符号の説明】
【００４５】
１                        レンズ駆動装置
１００、２００            振動波モータ
１０１、２０１            保持部材
１０１ｂ、２０１ｂ        開口部
１０３、２０３            振動子
１０６、２０６            摩擦部材
１０７、２０７            加圧部材
１０８                    ガイド機構
１０９、２０９            可動ガイド部材
１１０、２１０            固定ガイド部材
１１１                    転動部材
１０９ｆ                  当接部
１１９、２１９            固定手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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