(57)【要約】【課題】蒸発燃料吸着時の上流側から下流側への流体の流れを抑制する効果を高め、吹き抜ける蒸発燃料を抑制する効果を向上する。【解決手段】ケース１２の内部に主通路部１８と副通路部１９と連絡通路部２０とを備える流路１７が形成される。通路部１８，１９には吸着材３３が充填された吸着室３０，３１が設けられる。ケース１２の設置状態で連絡通路部２０が鉛直方向下側に配置される。ケース１２には、主通路部１８と連絡通路部２０との間を仕切る第１横壁２３と、連絡通路部２０と副通路部１９との間を仕切る第２横壁２４と、連絡通路部２０を３室以上の分室４２に仕切る複数の縦壁４１と、が設けられる。第１横壁２３に第１絞り通路４４が設けられ，第２横壁２４に第２絞り通路４５が設けられ、縦壁４１に第３絞り通路４６が設けられる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケースの内部には、タンクポート及びパージポートに連通する主通路部と、大気ポートに連通する副通路部と、前記主通路部と前記副通路部とを連通する連絡通路部と、を備えるＵ字状の流路が形成されており、
前記主通路部及び前記副通路部には、蒸発燃料を吸着する吸着材が充填された吸着室が設けられており、
前記ケースの設置状態で前記連絡通路部が鉛直方向下側に配置される、キャニスタであって、
前記ケースには、前記主通路部と前記連絡通路部との間を仕切る第１横壁と、前記連絡通路部と前記副通路部との間を仕切る第２横壁と、前記連絡通路部を３室以上の分室に仕切る複数の縦壁と、が設けられており、
前記第１横壁には、前記主通路部と、前記３室以上の分室のうちの蒸発燃料吸着時の最上流側の分室と、を連通する第１絞り通路が設けられており、
前記第２横壁には、前記副通路部と、前記３室以上の分室のうちの蒸発燃料吸着時の最下流側の分室と、を連通する第２絞り通路が設けられており、
前記縦壁には、隣り合う分室を相互に連通する第３絞り通路が設けられている、キャニスタ。
【請求項２】
請求項１に記載のキャニスタであって、
前記第１絞り通路は前記第１横壁から下方へ延びる筒状に形成されている、キャニスタ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のキャニスタであって、
前記第３絞り通路は前記縦壁の上端部に配置されている、キャニスタ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１つに記載のキャニスタであって、
前記３室以上の分室のうちの隣り合う分室において蒸発燃料吸着時の下流側の分室の容積が上流側の分室の容積よりも大きい、キャニスタ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１つに記載のキャニスタであって、
前記第２絞り通路は、前記第２横壁に多数分散して配置されている、キャニスタ。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１つに記載のキャニスタであって、
前記主通路部の下部及び前記連絡通路部は、前記副通路部側とは反対側へ拡張されている、キャニスタ。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１つに記載のキャニスタであって、
前記第３絞り通路は、蒸発燃料吸着時の上流側から下流側に向かって徐々に通路面積を大きくするテーパ状の断面を有する、キャニスタ。
【請求項８】
請求項１に記載のキャニスタであって、
前記ケースは、前記第１横壁及び前記第２横壁を有する第１ケース部材と、前記複数の縦壁を有しかつ前記第１ケース部材に組み付けられる第２ケース部材と、を備えており、
前記第３絞り通路は、前記縦壁の上端部に開口する横長の凹溝状に形成されており、
前記第３絞り通路には、前記第１ケース部材と前記第２ケース部材との間に挟持されるフィルタが前記複数の縦壁に跨るように配置されている、キャニスタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、キャニスタに関する。詳しくは、主として自動車等の車両に搭載される蒸発燃料処理装置としてのキャニスタに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、自動車の燃料タンク等からの蒸発燃料が大気に放出されるのを防止するために、蒸発燃料を一時的に吸着するキャニスタが用いられている。キャニスタには、例えば特許文献１に記載されたものがある。特許文献１のキャニスタは、蒸発燃料を吸着する吸着材を充填した二つの室を有するケースと、両室の一方の室に開口する大気導入ポートと、他方の室に開口する蒸発燃料導入ポート及びパージポートと、両室を連通する連通路と、を備える。連通路には、その通路面積を縮小する絞りが設けられている。なお、引用文献１の「大気導入ポート」、「蒸発燃料導入ポート」、「パージポート」、「二つの室」、「連通路」は、それぞれ、本明細書でいう「大気ポート」、「タンクポート」、「パージポート」、「連絡通路部」、「主通路部及び副通路部」に相当する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−３３７３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１のキャニスタによると、連通路に設けられた１つの絞りだけで、蒸発燃料吸着時の上流側から下流側への流体の流れが抑制されている。このため、その流体の流れを抑制する効果が低く、キャニスタを吹き抜ける蒸発燃料を抑制する効果が不足することがある。
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、蒸発燃料吸着時の上流側から下流側への流体の流れを抑制する効果を高め、吹き抜ける蒸発燃料を抑制する効果を向上することのできるキャニスタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記した課題は、本発明のキャニスタにより解決することができる。
【０００７】
第１の発明は、ケースの内部には、タンクポート及びパージポートに連通する主通路部と、大気ポートに連通する副通路部と、前記主通路部と前記副通路部とを連通する連絡通路部と、を備えるＵ字状の流路が形成されており、前記主通路部及び前記副通路部には、蒸発燃料を吸着する吸着材が充填された吸着室が設けられており、前記ケースの設置状態で前記連絡通路部が鉛直方向下側に配置される、キャニスタであって、前記ケースには、前記主通路部と前記連絡通路部との間を仕切る第１横壁と、前記連絡通路部と前記副通路部との間を仕切る第２横壁と、前記連絡通路部を３室以上の分室に仕切る複数の縦壁と、が設けられており、前記第１横壁には、前記主通路部と、前記３室以上の分室のうちの蒸発燃料吸着時の最上流側の分室と、を連通する第１絞り通路が設けられており、前記第２横壁には、前記副通路部と、前記３室以上の分室のうちの蒸発燃料吸着時の最下流側の分室と、を連通する第２絞り通路が設けられており、前記縦壁には、隣り合う分室を相互に連通する第３絞り通路が設けられている、キャニスタである。
【０００８】
第１の発明によると、主通路部から連絡通路部を介して副通路部へ流れる流体は、第１横壁の第１絞り通路、複数の縦壁の第３絞り通路、及び、第２横壁の第２絞り通路を通る。したがって、特許文献１に比べて、蒸発燃料吸着時の上流側から下流側への流体の流れを抑制する効果を高め、キャニスタを吹き抜ける蒸発燃料を抑制する効果を向上することができる。
【０００９】
第２の発明は、第１の発明において、前記第１絞り通路は前記第１横壁から下方へ延びる筒状に形成されている、キャニスタである。
【００１０】
第２の発明によると、第１絞り通路が孔状に形成される場合に比べて、蒸発燃料吸着時の最上流側の分室の下部に比重の大きい蒸発燃料が溜りやすく、下流側への蒸発燃料の流出を抑制することができる。
【００１１】
第３の発明は、第１又は２の発明において、前記第３絞り通路は前記縦壁の上端部に配置されている、キャニスタである。
【００１２】
第３の発明によると、第３絞り通路が縦壁の鉛直方向中央部又は下部に配置される場合に比べて、蒸発燃料吸着時の下流側への蒸発燃料の流出を抑制することができる。
【００１３】
第４の発明は、第１〜３のいずれか１つの発明において、前記３室以上の分室のうちの隣り合う分室において蒸発燃料吸着時の下流側の分室の容積が上流側の分室の容積よりも大きい、キャニスタである。
【００１４】
第４の発明によると、蒸発燃料吸着時の上流側の分室を流れる蒸発燃料の流速に比べて、下流側の分室を流れる蒸発燃料の流速が低下する。このため、蒸発燃料吸着時の下流側の分室から下流側への蒸発燃料の流出を抑制することができる。
【００１５】
第５の発明は、第１〜４のいずれか１つの発明において、前記第２絞り通路は、前記第２横壁に多数分散して配置されている、キャニスタである。
【００１６】
第５の発明によると、蒸発燃料吸着時の最下流側の分室における蒸発燃料の淀みを抑制し、最下流側の分室から副通路部への流体の流れを均一化することができる。これにより、副通路部の吸着室における蒸発燃料の吸着効率を向上することができる。
【００１７】
第６の発明は、第１〜５のいずれか１つの発明において、前記主通路部の下部及び前記連絡通路部は、前記副通路部側とは反対側へ拡張されている、キャニスタである。
【００１８】
第６の発明によると、主通路部の下部及び連絡通路部の容積を増大し、蒸発燃料の貯留量を増加させることができる。
【００１９】
第７の発明は、第１〜６のいずれか１つの発明において、前記第３絞り通路は、蒸発燃料吸着時の上流側から下流側に向かって徐々に通路面積を大きくするテーパ状の断面を有する、キャニスタである。
【００２０】
第７の発明によると、パージ時（蒸発燃料の脱離時）の通気抵抗を減らし、脱離性能を向上することができる。
【００２１】
第８の発明は、第１の発明において、前記ケースは、前記第１横壁及び前記第２横壁を有する第１ケース部材と、前記複数の縦壁を有しかつ前記第１ケース部材に組み付けられる第２ケース部材と、を備えており、前記第３絞り通路は、前記縦壁の上端部に開口する横長の凹溝状に形成されており、前記第３絞り通路には、前記第１ケース部材と前記第２ケース部材との間に挟持されるフィルタが前記複数の縦壁に跨るように配置されている、キャニスタである。
【００２２】
第８の発明によると、第１ケース部材と第２ケース部材との組み付け時に、両ケース部材の相互間に挟持されるフィルタを、複数の縦壁に跨るように第３絞り通路に配置することができる。これにより、縦壁毎にフィルタを組み付ける場合に比べて、フィルタの組み付け性を向上することができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明のキャニスタによると、蒸発燃料吸着時の上流側から下流側への流体の流れを抑制する効果を高め、吹き抜ける蒸発燃料を抑制する効果を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】実施形態１に係るキャニスタを示す断面図である。
【図２】実施形態２に係るキャニスタを示す断面図である。
【図３】実施形態３に係るキャニスタを示す断面図である。
【図４】実施形態４に係るキャニスタを示す断面図である。
【図５】実施形態５に係るキャニスタを示す断面図である。
【図６】実施形態６に係るキャニスタを示す断面図である。
【図７】実施形態７に係るキャニスタを示す断面図である。
【図８】実施形態８に係るキャニスタを示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明を実施するための形態について図面を用いて説明する。
【００２６】
［実施形態１］
本実施形態のキャニスタは、自動車等の車両に搭載されるＵ字フロー構造のキャニスタである。図１はキャニスタを示す断面図である。図１において、上下方向は車両に搭載された状態での鉛直方向いわゆる天地方向に対応する。
【００２７】
（キャニスタの構成）
図１に示すように、キャニスタ１０は、ボックス形状の樹脂製のケース１２を有する。ケース１２は、左右方向を長くする角筒状の筒壁部１３と、筒壁部１３の上端面を閉鎖する上壁部１４と、筒壁部１３の下端面を閉鎖する下壁部１５とを有する。ケース１２内には、Ｕ字状の流路１７が形成されている。流路１７は、右側の主通路部１８と、左側の副通路部１９と、主通路部１８及び副通路部１９の下側で両通路部１８，１９を連通する連絡通路部２０と、を備える。流路１７には、流体（蒸発燃料を含むガス）が流通する。連絡通路部２０は、ケース１２の設置状態で鉛直方向下側に配置されている。
【００２８】
主通路部１８と副通路部１９との間には、両通路部１８，１９を仕切る区画壁２２が設けられている。主通路部１８と連絡通路部２０との間には、両通路部１８，２０を仕切る第１横壁２３が設けられている。副通路部１９と連絡通路部２０との間には、両通路部１９，２０を仕切る第２横壁２４が設けられている。主通路部１８の上端部は蒸発燃料吸着時の流路１７の上流端に相当し、副通路部１９の上端部は蒸発燃料吸着時の流路１７の下流端に相当する。なお、ケース１２は、上下方向に分割された複数の分割体を樹脂の熱溶着によって熱的に接合することによって構成されている。
【００２９】
ケース１２の上壁部１４には、主通路部１８に連通するタンクポート２６及びパージポート２７と、副通路部１９に連通する大気ポート２８が形成されている。タンクポート２６は、図示しない燃料タンクの上部気室に連通されている。パージポート２７は、図示しないパージ制御弁（ＶＳＶ）を介してエンジンの吸気通路に連通されている。パージ制御弁の開度は、電子制御ユニット（ＥＣＵ）により制御され、エンジン運転中にＡ／Ｆセンサ等の測定値等を基にしてパージ制御が行われる。大気ポート２８は、大気に連通されている。
【００３０】
主通路部１８には第１吸着室３０が設けられており、副通路部１９には第２吸着室３１が設けられている。両吸着室３０，３１には、蒸発した燃料成分いわゆる蒸発燃料を吸着する吸着材３３が所定の密度で充填されている。本実施形態では、吸着材３３として粒状の活性炭が用いられている。活性炭としては、造粒炭や破砕炭を用いることができる。
【００３１】
タンクポート２６とパージポート２７との相互間には、主通路部１８の上端部を左右に仕切る邪魔板３５が設けられている。これにより、タンクポート２６からパージポート２７へ流れる流体が第１吸着室３０を通るようになっている。
【００３２】
邪魔板３５で仕切られた第１吸着室３０の左右の両上端面には、その面を覆う不織布等からなるフィルタ３６がそれぞれ設けられている。また、第１吸着室３０の下端面には、その面を覆うウレタン等からなるフィルタ３７が設けられている。フィルタ３７は、第１横壁２３上に重ね合わされている。
【００３３】
第２吸着室３１の上端面には、その面を覆う不織布等からなるフィルタ３８が設けられている。また、第２吸着室３１の下端面には、その面を覆うウレタン等からなるフィルタ３９が設けられている。フィルタ３９は、第２横壁２４上に重ね合わされている。
【００３４】
連絡通路部２０には、流体の流れ方向に複数（例えば３つ）の縦壁４１が設けられている、３つの縦壁４１は、連絡通路部２０を４つの分室４２に４等分に仕切る位置に配置されている。蒸発燃料吸着時の下流側（図１において左側）の縦壁４１は、区画壁２２に連続して形成されている。４つの分室４２のうち、図１において右端側の分室４２が蒸発燃料吸着時の最上流側の分室４２に相当し、左端側の分室４２が蒸発燃料吸着時の最下流側の分室４２に相当する。なお、各分室４２を、蒸発燃料吸着時の最上流側から下流側に向って、第１分室４２、第２分室４２、第３分室４２、第４分室４２という。
【００３５】
第１横壁２３には、主通路部１８と第１分室４２とを連通しかつ通路面積を縮小する第１絞り通路４４が形成されている。第１絞り通路４４は、第１横壁２３を貫通する孔からなり、第１横壁２３の第１分室４２に面する壁部分における右寄りの位置に配置されている。
【００３６】
第２横壁２４には、副通路部１９と第４分室４２とを連通しかつ通路面積を縮小する第２絞り通路４５が形成されている。第２絞り通路４５は、第２横壁２４を貫通する孔からなり、第２横壁２４の中央部に配置されている。
【００３７】
縦壁４１には、隣り合う分室４２を連通する第３絞り通路４６が形成されている。第３絞り通路４６は、縦壁４１を貫通する孔からなり、縦壁４１の中央部に配置されている。
【００３８】
（キャニスタ１０の作動）
前記したキャニスタ１０において、タンクポート２６からキャニスタ１０内へ流入した蒸発燃料は、両吸着室３０，３１の吸着材３３に吸着された後、大気ポート２８から大気へと放出される。その際、第１吸着室３０の流体は、第１横壁２３の第１絞り通路４４を通り第１分室４２に流れる。第１分室４２の流体は、右側の縦壁４１の第３絞り通路４６を通り第２分室４２に流れる。第２分室４２の流体は、中央の縦壁４１の第３絞り通路４６を通り第３分室４２に流れる。第３分室４２の流体は、左側の縦壁４１の第３絞り通路４６を通り第４分室４２に流れる。第４分室４２の流体は、第２横壁２４の第２絞り通路４５を通り第２吸着室３１に流れる。
【００３９】
エンジン運転中のパージ制御の際には、電子制御ユニット（ＥＣＵ）によりパージ制御弁が開かれる。すると、吸気通路内の負圧により大気ポート２８からキャニスタ１０内に吸入された空気が、吸着時とは逆方向に流れた後、パージポート２７からエンジンの吸気通路へ導出される。その際、各吸着室３０，３１の吸着材３３から蒸発燃料が脱離される。
【００４０】
（キャニスタ１０の利点）
前記したキャニスタ１０によると、主通路部１８から連絡通路部２０を介して副通路部１９へ流れる流体は、第１横壁２３の第１絞り通路４４、複数の縦壁４１の第３絞り通路４６、及び、第２横壁２４の第２絞り通路４５を通る。したがって、特許文献１に比べて、蒸発燃料吸着時の上流側から下流側への流体の流れを抑制する効果を高め、キャニスタ１０を吹き抜ける蒸発燃料を抑制する効果を向上することができる。ひいては、放置された車両から大気に放出される蒸発燃料の米国規制のＤＢＬ（diurnal breathing Loss）性能を向上することができる。
【００４１】
［実施形態２］
本実施形態は、実施形態１（図１参照）に変更を加えたものであるから、その変更部分について説明し、重複する説明は省略する。図２はキャニスタを示す断面図である。図２に示すように、第１横壁２３の第１絞り通路（符号、１４４を付す）が、第１横壁２３から下方へ延びる筒状に形成されている。
【００４２】
本実施形態によると、第１絞り通路が孔状に形成される場合（実施形態１の第１絞り通路４４（図１参照））に比べて、第１分室４２の下部に比重の大きい蒸発燃料が溜りやすく、蒸発燃料吸着時の下流側への蒸発燃料の流出を抑制することができる。
【００４３】
［実施形態３］
本実施形態は、実施形態１（図１参照）に変更を加えたものであるから、その変更部分について説明し、重複する説明は省略する。図３はキャニスタを示す断面図である。図３に示すように、第３絞り通路４６が縦壁４１の上端部に配置されている。
【００４４】
本実施形態によると、第３絞り通路４６が縦壁４１の鉛直方向中央部又は下部に配置される場合に比べて、蒸発燃料吸着時の下流側への蒸発燃料の流出を抑制することができる。
【００４５】
［実施形態４］
本実施形態は、実施形態１（図１参照）に変更を加えたものであるから、その変更部分について説明し、重複する説明は省略する。図４はキャニスタを示す断面図である。図４に示すように、連絡通路部２０の第１〜第３の分室４２について、隣り合う分室４２の容積が蒸発燃料吸着時の上流側の分室４２より下流側の分室４２の方が大きい。すなわち、図４において第１分室４２の容積をＶ１、第２分室４２の容積をＶ２、第３分室４２の容積をＶ３としたとき、
Ｖ１＜Ｖ２＜Ｖ３
の関係を満たすように、第１〜第３の分室４２の容積が設定されている。
【００４６】
本実施形態によると、第１分室４２を流れる蒸発燃料の流速に比べて、第２分室４２を流れる蒸発燃料の流速が低下する。このため、第２分室４２から第３分室４２への蒸発燃料の流出を抑制することができる。また、図４において第２分室４２を流れる蒸発燃料の流速に比べて、第３分室４２を流れる蒸発燃料の流速が低下する。このため、第３分室４２から第４分室４２への蒸発燃料の流出を抑制することができる。
【００４７】
［実施形態５］
本実施形態は、実施形態１（図１参照）に変更を加えたものであるから、その変更部分について説明し、重複する説明は省略する。図５はキャニスタを示す断面図である。図５に示すように、第２絞り通路（符号、１４５を付す）が、第２横壁２４に多数分散して配置されている。すなわち、第２横壁２４が多孔板状に形成されている。
【００４８】
本実施形態によると、第４分室４２における蒸発燃料の淀みを抑制し、第４分室４２から副通路部１９への流体の流れを均一化することができる。これにより、副通路部１９の吸着室３０，３１における蒸発燃料の吸着効率を向上することができる。
【００４９】
［実施形態６］
本実施形態は、実施形態１（図１参照）に変更を加えたものであるから、その変更部分について説明し、重複する説明は省略する。図６はキャニスタを示す断面図である。図６に示すように、主通路部１８の下部１８ａ及び連絡通路部２０が、副通路部１９側とは反対側へ拡張されている。これにより、主通路部１８の下部１８ａ及び連絡通路部２０の容積が増大されている。これにともない、連絡通路部２０の第１〜第３の分室４２の各容積も増大されている。
【００５０】
本実施形態によると、主通路部１８の下部１８ａ及び連絡通路部２０の容積を増大し、蒸発燃料の貯留量を増加させることができる。
【００５１】
［実施形態７］
本実施形態は、実施形態１（図１参照）に変更を加えたものであるから、その変更部分について説明し、重複する説明は省略する。図７はキャニスタを示す断面図である。図７に示すように、第３絞り通路（符号、１４６を付す）が、蒸発燃料吸着時の上流側から下流側に向かって徐々に通路面積を大きくするテーパ状の断面を有する。
【００５２】
本実施形態によると、パージ時（蒸発燃料脱離時）の通気抵抗を減らし、脱離性能を向上することができる。
【００５３】
［実施形態８］
本実施形態は、実施形態１（図１参照）に変更を加えたものであるから、その変更部分について説明し、重複する説明は省略する。図８はキャニスタを示す断面図である。図８に示すように、ケース１２が、第１横壁２３及び第２横壁２４を有する第１ケース部材１２ａと、３つの縦壁４１を有しかつ第１ケース部材１２ａに組み付けられる第２ケース部材１２ｂと、を備えている。ケース１２は、第１横壁２３及び第２横壁２４の下面を含む一平面上において第１ケース部材１２ａと第２ケース部材１２ｂとに分割されている。
【００５４】
第３絞り通路（符号、２４６を付す）は、縦壁４１の上端部に開口する横長の凹溝状に形成されている。第３絞り通路２４６には、第１ケース部材１２ａと第２ケース部材１２ｂの間に挟持される帯板状のフィルタ４８が配置されている。フィルタ４８は、３つの縦壁４１に跨るように配置されている。フィルタ４８はウレタン等からなる。
【００５５】
本実施形態によると、第１ケース部材１２ａと第２ケース部材１２ｂとの組み付け時に、両ケース部材１２ａ，１２ｂの相互間に挟持されるフィルタ４８を、３つの縦壁４１に跨るように第３絞り通路２４６に配置することができる。これにより、縦壁４１毎にフィルタ４８を組み付ける場合に比べて、フィルタ４８の組み付け性を向上することができる。
【００５６】
［他の実施形態］
本発明は前記した実施形態に限定されるものではなく、本発明を逸脱しない範囲における変更が可能である。例えば、本発明は、主通路部１８及び／又は副通路部１９に複数の吸着室を備えるキャニスタに適用してもよい。また、分室４２の数は、少なくとも３室以上であればよい。また、縦壁４１の配置位置は任意に設定してもよい。また、蒸発燃料吸着時の最下流側の縦壁４１を区画壁２２に連続するように形成したが、区画壁２２に連続させなくてもよい。また、第２横壁２４に対応する位置に１又は２以上の縦壁４１を配置してもよい。また、第１絞り通路、第２絞り通路及び第３絞り通路の各絞り通路の形状、大きさ、個数、配置位置等は変更してもよい。また、第１横壁２３及び／又は第２横壁２４は、上下方向に移動可能に設け、スプリング等の付勢手段（図示略）により上方へ付勢してもよい。また、縦壁４１は、１つ以上あればよい。また、フィルタ４８は、第１絞り通路４４及び／又は第２絞り通路４５を覆うように設けてもよい。
【符号の説明】
【００５７】
１０  キャニスタ
１２  ケース
１７  流路
１８  主通路部
１９  副通路部
２０  連絡通路部
２３  第１横壁
２４  第２横壁
２６  タンクポート
２７  パージポート
２８  大気ポート
３０  第１吸着室
３１  第２吸着室
３３  吸着材
４１  縦壁
４２  分室
４４  第１絞り通路
４５  第２絞り通路
４６  第３絞り通路
４８  フィルタ
１４４  第１絞り通路
１４５  第２絞り通路
１４６  第３絞り通路
２４６  第３絞り通路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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