(57)【要約】      （修正有）【課題】放熱部の温度ムラを抑制するヒータ装置を提供する。【解決手段】ヒータ装置１は、発熱部１０と、複数の放熱部２０とを備える。ヒータ装置１は、発熱部１０よりも熱伝導率が低く、かつ放熱部２０よりも熱伝導率が低い材料によって形成され、発熱部１０および放熱部２０を囲むように構成されている低熱伝導部３０を備える。放熱部２０は、発熱部１０に接続される接続部と、低熱伝導部３０を介して発熱部１０に対して対向する底辺部を備える。底辺部は、接続部よりも大きくなっている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱を発生する発熱部（１０）と、
前記発熱部から伝わる熱を放出する放熱部（２０）と、
前記発熱部よりも熱伝導率が低く、かつ前記放熱部よりも熱伝導率が低い材料によって形成され、前記発熱部および前記放熱部を囲むように構成されている低熱伝導部（３０）と、
前記発熱部から伝わる熱によって前記放熱部の温度ムラを抑制するために、前記発熱部、前記放熱部、および前記低熱伝導部が構成されているヒータ装置。
【請求項２】
前記放熱部は、前記低熱伝導部を介さずに前記発熱部に接続される接続部（２１ａ、２１ｂ）と、前記発熱部との間に前記低熱伝導部を挟むように配置され、前記発熱部に対向するように形成されている受熱部（２０ａ、２０ｂ）とを、備え、
前記受熱部が前記接続部よりも大きくなっていることにより、前記発熱部から前記低熱伝導部、および前記受熱部を通して前記放熱部に伝わる熱と前記発熱部から前記接続部を通して前記放熱部に伝わる熱とによって前記放熱部の温度ムラが抑制される請求項１に記載のヒータ装置。
【請求項３】
前記発熱部のうち前記接続部を介して前記放熱部に接続される領域を第１領域（１１ａ、１１ｃ）とし、前記発熱部のうち前記受熱部に対向する領域を第２領域（１１ｂ、１１ｄ）としたとき、
前記第１領域は、前記放熱部に対して前記第２領域の反対側に配置されている請求項１または２に記載のヒータ装置。
【請求項４】
前記低熱伝導部よりも熱伝導率が高い材料によって形成されて、前記放熱部の前記接続部に接続され、かつ前記発熱部に接続されている高熱伝導率部（２２ａ、２２ｂ）を備え、
前記発熱部からの熱が前記高熱伝導率部および前記接続部を通して前記放熱部に伝わるようになっている請求項２または３に記載のヒータ装置。
【請求項５】
前記発熱部は、電流が流れることにより熱を発生し、
前記放熱部は、前記発熱部から前記接続部を通して流入される電流によって熱を発生し、
前記放熱部から生じる熱と前記発熱部から前記低熱伝導部および前記受熱部を通して前記放熱部に伝わる熱と前記発熱部から前記接続部を通して前記放熱部に伝わる熱とによって前記放熱部の温度ムラが抑制される請求項２ないし４のいずれか１つに記載のヒータ装置。
【請求項６】
前記放熱部に接続されている少なくとも１つ以上の熱伝導部（４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃ）を備え
前記放熱部は、その周囲が前記低熱伝導部によって囲まれており、
前記放熱部は、前記発熱部との間に前記低熱伝導部を挟むように配置され、前記発熱部に対向するように形成されている少なくとも１つ以上の第１受熱部（２４ａ、２４ｂ）と、前記１つ以上の熱伝導部との間に前記低熱伝導部を挟むように配置され、前記１つ以上の熱伝導部に対向するように形成されている少なくとも１つ以上の第２受熱部（２４ｄ、２４ｃ）と、を備え、
前記発熱部から前記低熱伝導部および前記１つ以上の第１受熱部を通して前記放熱部に伝わる熱と前記発熱部から前記１つ以上の熱伝導部、前記低熱伝導部、および前記１つ以上の第２受熱部を通して前記放熱部に伝わる熱によって前記放熱部の温度ムラが抑制されるように、前記発熱部、前記低熱伝導部、前記放熱部、および前記１つ以上の熱伝導部が構成されている請求項１に記載のヒータ装置。
【請求項７】
前記１つ以上の第１受熱部と前記１つ以上の第２受熱部とが互いに異なる向きに向くように前記放熱部が形成されている請求項６に記載のヒータ装置。
【請求項８】
前記１つ以上の第１受熱部は、２つの前記第１受熱部であり、
前記１つ以上の第２受熱部は、２つの前記第２受熱部であり、
前記２つの第１受熱部が互いに異なる向きに向き、かつ前記２つの第２受熱部が互いに異なる向きに向くように前記放熱部が形成されている請求項５または６に記載のヒータ装置。
【請求項９】
前記発熱部において前記２つの第１受熱部のうち一方の第１受熱部（２４ａ）に対向する領域を第１領域（１１ａ、１１ｄ）とし、
前記発熱部において前記２つの第１受熱部のうち前記一方の第１受熱部以外の他方の第１受熱部（２４ｂ）に対向する領域を第２領域（１１ｂ、１１ｃ）としたとき、
前記第１領域は、前記放熱部に対して前記第２領域の反対側に配置されている請求項８に記載のヒータ装置。
【請求項１０】
前記１つ以上の熱伝導部は、前記２つの第２受熱部のそれぞれに対向する第１熱伝導部（４０Ａ、４０Ｂ）および第２熱伝導部（４０Ｂ、４０Ｃ）であり、
前記第１熱伝導部は、前記放熱部に対して前記第２熱伝導部の反対側に配置されている請求項９に記載のヒータ装置。
【請求項１１】
前記放熱部は、その周囲が前記低熱伝導部によって囲まれており、
前記放熱部は、前記発熱部との間に前記低熱伝導部を挟むように配置され、前記発熱部に対向するように形成されている第１受熱部（２４ａ）および第２受熱部（２４ｂ）を備え、
前記発熱部から前記低熱伝導部および前記第１受熱部を通して前記放熱部に伝わる熱と、前記発熱部から前記低熱伝導部および前記第２受熱部を通して前記放熱部に伝わる熱とによって、前記放熱部の温度ムラが抑制されるように、前記発熱部、前記低熱伝導部、および前記放熱部が構成されている請求項１に記載のヒータ装置。
【請求項１２】
前記第１受熱部および前記第２受熱部が互いに異なる向きに向くように前記放熱部が形成されている請求項１１に記載のヒータ装置。
【請求項１３】
前記発熱部のうち前記第１受熱部に対向する領域を第１領域（１１ａ）とし、前記発熱部のうち前記第２受熱部に対向する領域を第２領域（１１ｂ）としたとき、
前記第１領域は、前記放熱部に対して前記第２領域の反対側に配置されている請求項１１または１２に記載のヒータ装置。
【請求項１４】
前記放熱部は、薄膜状に形成されており、
さらに前記放熱部は、その厚み方向に貫通する貫通穴（２３）を有する中抜き形状になっており、
前記放熱部のうち前記貫通穴の内側には、前記低熱伝導部が配置されている請求項１ないし１３のいずれか１つに記載のヒータ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヒータ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ヒータ装置では、間隔を開けて並べられている複数の放熱部と、複数の放熱部のうち隣り合う２つの放熱部を接続する複数の発熱部と、複数の放熱部および複数の発熱部の周囲を囲むように形成されている低熱伝導部とを備えるものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このものにおいては、発熱部→放熱部→放熱部→発熱部→放熱部→の順に電流が流れる際に、複数の発熱部のそれぞれで発生した熱が放熱部に伝わる。複数の放熱部は、発熱部からの熱によって輻射熱を放射する。
【０００４】
ここで、低熱伝導部は、複数の放熱部および複数の発熱部の周囲を囲むように形成されている。このため、複数の放熱部のうち、ある放熱部に物体が触れた際に、ある放熱部へ発熱部からの熱が伝わることが低熱伝導部によって抑制される。よって、物体が触れている放熱部付近の温度が低下し易くなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１４−３０００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述の特許文献１のヒータ装置では、複数の放熱部のうち隣り合う２つの放熱部が発熱部が接続されている。このため、発熱部からの熱が放熱部に伝わる際に、放熱部のうち発熱部に接続される接続部の温度が高くなるものの、放熱部のうち接続部から離れるほど温度が低くなる。したがって、放熱部において温度ムラが生じることになる。
【０００７】
本発明は上記点に鑑みて、放熱部の温度ムラを抑制するヒータ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、ヒータ装置において、熱を発生する発熱部（１０）と、
発熱部から伝わる熱を放出する放熱部（２０Ａ、２０Ｂ）と、
発熱部よりも熱伝導率が低く、かつ放熱部よりも熱伝導率が低い材料によって形成され、発熱部および放熱部を囲むように構成されている低熱伝導部（３０）と、
発熱部から伝わる熱によって放熱部の温度ムラを抑制するために、発熱部、放熱部、および低熱伝導部が構成されている。
【０００９】
したがって、放熱部の温度ムラが抑制するヒータ装置を提供することができる。
【００１０】
なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１実施形態におけるヒータ装置の内部構成を厚み方向から視た透視図である。
【図２】図１中II部の部分拡大図である。
【図３】図２中III−III断面図である。
【図４】図２中IV−IV断面図である。
【図５】図２中V−V断面図である。
【図６】図２中の発熱部および放熱部の電流の経路の説明を補助するための図である。
【図７】図２中の発熱部から放熱部への熱の伝達の説明を補助するための図である。
【図８】第２実施形態におけるヒータ装置において内部構成を厚み方向から視た透視図であり、図２の部分拡大図に対応した図である。
【図９】図８中IX−IX断面図である。
【図１０】図８中X−X断面図である。
【図１１】図８中XI−XI断面図である。
【図１２】第３実施形態におけるヒータ装置において内部構成を厚み方向から視た透視図である。
【図１３】図１２中の発熱部から放熱部への熱の伝達の説明を補助するための図である。
【図１４】第４実施形態におけるヒータ装置において内部構成を厚み方向から視た透視図である。
【図１５】図１４中の発熱部から放熱部への熱の伝達の説明を補助するための図である。
【図１６】第５実施形態におけるヒータ装置において内部構成を厚み方向から視た透視図である。
【図１７】図１６中の発熱部から放熱部への熱の伝達の説明を補助するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。
【００１３】
（第１実施形態）
本第１実施形態のヒータ装置１について図１〜図７を参照して説明する。
【００１４】
ヒータ装置１は、車両用暖房装置を補助するものである。ヒータ装置１は、電源からの通電により輻射熱を発生させる輻射ヒータを構成する。以下、説明の便宜上、ヒータ装置１の厚み方向をＺ方向とし、Ｚ方向に直交する方向をＸ方向、およびＹ方向とする。
【００１５】
Ｙ方向の上側を正側とし、Ｙ方向の下側を負側とし、Ｘ方向の右側を正側とし、Ｘ方向の左側を負側とする。ヒータ装置１は、Ｘ方向、およびＹ方向に拡がる薄膜状に形成されている。発熱部１０、放熱部２０Ａ、２０Ｂ等を説明するための変数として整数であるＮ、Ｍを採用し、図１は、Ｎを１０とし、Ｍを７とする例を示している。
【００１６】
ヒータ装置１は、図1に示すように、発熱部１０、複数の放熱部２０、および低熱伝導部３０を備える。
【００１７】
発熱部１０は、（Ｎ＋１）個の配線部１１、およびＮ個の連結部１２を備える。（Ｎ＋１）個の配線部１１は、それぞれ、Ｘ方向に延びる線状に形成されている。（Ｎ＋１）個の配線部１１は、それぞれ、Ｙ方向に間隔を開けて並べられている。Ｎ個の連結部１２は、それぞれ、Ｙ方向に延びる線状に形成されて、（Ｎ＋１）個の配線部１１のうち隣り合う２つの配線部１１の間を連結する。
【００１８】
（Ｎ＋１）個の配線部１１、およびＮ個の連結部１２は、蛇行状に延びる発熱部１０の電流経路を形成するように配置されている。
【００１９】
本実施形態の発熱部１０の端部１０ａ、１０ｂのうち一方が電源の正側電極に接続され、他方の端部が電源の負側電極に接続される。このことにより、発熱部１０に電源の正側電極からの電流が流れることにより、発熱部１０が発熱する。
【００２０】
複数の放熱部２０は、それぞれ、Ｘ方向、Ｙ方向に拡がる薄膜状に形成されている。複数の放熱部２０は、Ｎ×Ｍのマトリックス状に配列されている。複数の放熱部２０と（Ｎ＋１）個の配線部１１とは、１つずつ交互になるようにＹ方向に並べられている。このため、Ｘ方向に並ぶＭ個の放熱部２０は、（Ｎ＋１）個の配線部１１のうち対応する２個の配線部１１の間に配置されている。
【００２１】
本実施形態では、複数の放熱部２０のうち奇数列の放熱部２０Ａは、Ｚ方向（すなわち、図１中紙面垂直方向手前側）から視て、それぞれ、上辺部がＹ方向正側（すなわち、図中上側）に向いた台形状に形成されている。複数の放熱部２０のうち偶数列の放熱部２０Ｂは、それぞれ、Ｚ方向から視て、上辺部がＹ方向負側（すなわち、図中下側）に向いた逆台形状に形成されている。
【００２２】
ここで、左側から右側に順に複数の放熱部２０の個数を数える際に奇数番目に数えられる放熱部２０を奇数列の放熱部２０Ａとし、偶数番目に数えられる放熱部２０を偶数列の放熱部２０Ｂとする。
【００２３】
複数の放熱部２０と発熱部１０とは、同一のＺ方向位置に配置されている。つまり、複数の放熱部２０と発熱部１０とは、同一層に配置されている。複数の放熱部２０と発熱部１０とは、Ｘ方向、Ｙ方向にオフセットされて配置されている。
【００２４】
低熱伝導部３０は、発熱部１０よりも熱伝導率が低く、かつ放熱部２０よりも熱伝導率が低い材料によって形成され、発熱部１０および複数の放熱部２０を囲むように構成されている。
【００２５】
具体的には、低熱伝導部３０は、複数の放熱部２０と発熱部１０とをＺ方向正側および負側から覆うとともに、複数の放熱部２０と発熱部１０との間を埋めるように配置されている。
【００２６】
次に、本実施形態の放熱部２０の具体的な構造について図２〜図５を参照して説明する。
【００２７】
以下、説明の便宜上、複数の配線部１１のうち、ある放熱部２０に対してＹ方向正側に位置する配線部１１を上側配線部１１とし、複数の配線部１１のうち、ある放熱部２０に対してＹ方向負側に位置する配線部１１を下側配線部１１とする。
【００２８】
まず、奇数列の放熱部２０Ａは、それぞれの上辺部が、上側配線部１１に接続されている。奇数列の放熱部２０Ａは、下側配線部１１に対して対向する底辺部２０ａを備える。底辺部２０ａは、下側配線部１１との間に低熱伝導部３０を挟むように配置されている。
【００２９】
奇数列の放熱部２０Ａのうち低熱伝導部３０を介さずに上側配線部１１に接続される上辺部を接続部２１ａとすると、奇数列の放熱部２０Ａにおいて、下側配線部１１に対して対向する底辺部２０ａは、接続部２１ａよりも大きくなっている。
【００３０】
具体的には、底辺部２０ａの大きさＭａは、底辺部２０ａのＸ方向寸法Ａｘと底辺部２０ａのＺ方向寸法Ａｚとの積（＝Ａｘ×Ａｚ）によって決まる。接続部２１ａの大きさＭｂは、接続部２１ａのＸ方向寸法Ｓｘと接続部２１ａのＺ方向寸法Ｓｚとの積（＝Ｓｘ×Ｓｚ）によって決まる。
【００３１】
ここで、底辺部２０ａのＸ方向寸法Ａｘは、接続部２１ａの大きさＭｂよりも大きくなっている。底辺部２０ａのＺ方向寸法Ａｚと接続部２１ａのＺ方向寸法Ｓｚとは同一になっている。このため、底辺部２０ａの大きさＭａは、接続部２１ａの大きさＭｂよりも大きくなっていることになる。
【００３２】
本実施形態の発熱部１０の上側配線部１１のうち奇数列の放熱部２０Ａの接続部２１ａに接続される領域を接続領域（第１領域）１１ａとし、発熱部１０の下側配線部１１のうち奇数列の放熱部２０Ａの底辺部２０ａに対向する領域を対向領域（第２領域）１１ｂとする。接続領域１１ａは、奇数列の放熱部２０Ａに対して対向領域１１ｂの反対側に配置されている。
【００３３】
次に、偶数列の放熱部２０Ｂと奇数列の放熱部２０Ａとは、上辺部と底辺部２０ａとが
逆さまになっている。このため、偶数列の放熱部２０Ｂは、それぞれの上辺部が、下側配線部１１に接続されている。偶数列の放熱部２０Ｂは、上側配線部１１に対して対向する底辺部２０ｂを備える。底辺部２０ａは、上側配線部１１との間に低熱伝導部３０を挟むように配置されている。
【００３４】
偶数列の放熱部２０Ｂのうち下側配線部１１に低熱伝導部３０を介さずに接続される上辺部を接続部２１ｂとすると、偶数列の放熱部２０Ｂにおいて、上側配線部１１に対して対向する底辺部２０ｂは、接続部２１ｂよりも大きくなっている。
【００３５】
具体的には、底辺部２０ｂの大きさＮａは、底辺部２０ｂのＸ方向寸法Ｂｘと底辺部２０ｂのＺ方向寸法Ｂｚとの積（＝Ｂｘ×Ｂｚ）によって決まる。接続部２１ｂの大きさＮｂは、接続部２１ａのＸ方向寸法Ｅｘと接続部２１ａのＺ方向寸法Ｅｚとの積（＝Ｅｘ×Ｅｚ）によって決まる。
【００３６】
ここで、底辺部２０ｂのＸ方向寸法Ｂｘは、接続部２１ｂの大きさＮｂよりも大きくなっている。底辺部２０ｂのＺ方向寸法Ｂｚと接続部２１ｂのＺ方向寸法Ｅｚとは同一になっている。このため、底辺部２０ｂの大きさＮａは、接続部２１ｂの大きさＮｂよりも大きくなっている。
【００３７】
本実施形態の発熱部１０の下側配線部１１のうち偶数列の放熱部２０Ｂの接続部２１ｂに接続される領域を接続領域１１ｃとし、発熱部１０の上側配線部１１のうち偶数列の放熱部２０Ｂの底辺部２０ｂに対向する領域を対向領域１１ｄとする。接続領域１１ｃは、偶数列の放熱部２０Ｂに対して対向領域１１ｄの反対側に配置されている。
【００３８】
次に、本実施形態のヒータ装置１の作動について図６、図７を用いて説明する。
【００３９】
まず、電源の出力電圧が発熱部１０の端部１０ａ、１０ｂの間に印加されると、電源の正側電極から電流が配線部１１→連結部１２→配線部１１→連結部１２→・・・・を通して電源の負側電極に流れる。これに伴い、配線部１１および連結部１２は、それぞれ、電流に基づき熱を発生させる。
【００４０】
このとき、奇数列の放熱部２０Ａには、接続部２１ａを介して上側配線部１１からの熱（図７中白色矢印参照）が伝わる。奇数列の放熱部２０Ａの底辺部２０ａには、下側配線部１１からの熱（図７中ハッチング付き矢印参照）が低熱伝導部３０を通して伝わる。
【００４１】
これに加えて、奇数列の放熱部２０Ａのうち接続部２１ａ側に位置する領域２０ｄには、図６の矢印Ｙａの如く、上側配線部１１からの電流が流れる。このため、奇数列の放熱部２０Ａのうち領域２０ｄは、発熱する。
【００４２】
このため、奇数列の放熱部２０Ａは、下側配線部１１から接続部２１ａを介して伝わる熱と、底辺部２０ａを介して上側配線部１１から伝わる熱と、領域２０ｄに発生した熱とを輻射熱として輻射する。
【００４３】
すなわち、奇数列の放熱部２０Ａは、下側配線部１１からの熱と、上側配線部１１からの熱と領域２１ｄに発生した熱とを放熱する。
【００４４】
ここで、底辺部２０ａを通過する単位面積当たりの熱量は、接続部２１ａを通過する単位面積当たりの熱量よりも小さい。底辺部２０ａは、接続部２１ａよりも大きい。このため、上側配線部１１から接続部２１ｂを介して奇数列の放熱部２０Ａに伝わる熱と、下側配線部１１から低熱伝導部３０および底辺部２０ａを通して奇数列の放熱部２０Ａに伝わる熱と、接続部２１ａ側の領域２１ａに発生した熱とによって、奇数列の放熱部２０Ａにおいて温度むらが生じることが抑制される。
【００４５】
一方、偶数列の放熱部２０Ｂには、接続部２１ｂを介して下側配線部１１からの熱が伝わる（図７中白色矢印参照）。偶数列の放熱部２０Ｂの底辺部２０ｂには、下側側配線部１１からの熱（図７中ハッチング付き矢印参照）が低熱伝導部３０を通して伝わる。
【００４６】
これに加えて、偶数列の放熱部２０Ｂのうち接続部２１ｂ側領域２０ｃには、図６の矢印Ｙｂの如く、下側配線部１１からの電流が流れる。このため、偶数列の放熱部２０Ｂのうち接続部２１ｂ側に位置する領域２０ｃは、発熱する。
【００４７】
このため、偶数列の放熱部２０Ｂは、下側配線部１１から接続部２１ｂを介して伝わる熱と、底辺部２０ｂを介して下側側配線部１１から伝わる熱と、領域２０ｃに発生した熱とを輻射熱として輻射する。
【００４８】
ここで、底辺部２０ｂを通過する単位面積当たりの熱量は、接続部２１ｂを通過する単位面積当たりの熱量よりも小さい。底辺部２０ｂは、接続部２１ｂよりも大きい。このため、下側配線部１１から接続部２１ｂを介して伝わる熱と、底辺部２０ｂを介して下側側配線部１１から伝わる熱と、領域２０ｃに発生した熱とによって偶数列の放熱部２０Ｂに温度むらが生じることが抑制される。
【００４９】
以上説明した本実施形態によれば、ヒータ装置１は、熱を発生する発熱部１０と、発熱部１０から伝わる熱を放熱させる放熱部２０とを備える。ヒータ装置１は、発熱部１０よりも熱伝導率が低く、かつ放熱部２０よりも熱伝導率が低い材料によって形成され、発熱部１０および放熱部２０を囲むように構成されている低熱伝導部３０を備える。
【００５０】
発熱部１０から伝わる熱によって放熱部２０の温度ムラを抑制するために、発熱部１０、放熱部２０、および低熱伝導部３０が構成されている。
【００５１】
具体的には、奇数列の放熱部２０は、発熱部１０の上側配線部１１に低熱伝導部３０を介さずに接続される接続部２１ａと、発熱部１０の下側配線部１１との間に低熱伝導部３０を挟むように配置され、かつ下側配線部１１に対して対向する底辺部２０ａとを備える。底辺部２０ａは、接続部２１ａよりも大きくなっていることにより、放熱部２０の温度ムラを抑制することができる。
【００５２】
偶数列の放熱部２０は、発熱部１０の下側配線部１１に低熱伝導部３０を介さずに接続される接続部２１ｂと、発熱部１０の上側配線部１１との間に低熱伝導部３０を挟むように配置されて上側配線部１１に対して対向する底辺部２０ｂとを備える。底辺部２０ｂは、接続部２１ｂよりも大きくなっていることにより、偶数列の放熱部２０の温度ムラを抑制することができる。
【００５３】
このように、奇数列の放熱部２０および偶数列の放熱部２０の温度を均一化することができる。
【００５４】
以上により、複数の放熱部２０の温度ムラを抑制するヒータ装置１を提供することができる。このことにより、複数の放熱部２０の平均温度を上記特許文献１の発明に比べてあげることができる。
【００５５】
（第２実施形態）
上記第１実施形態では、複数の放熱部２０と発熱部１０とが同一層になるようにヒータ装置１を構成した例について説明したが、これに代えて、複数の放熱部２０と発熱部１０とが異なる層となるヒータ装置１を構成した第２実施形態について説明する。
【００５６】
本実施形態と上記第１実施形態とは、発熱部１０に対する複数の放熱部２０の配置が主に相違する。以下、本実施形態と上記第１実施形態との相違点について図８〜図１１を用いて説明する。
【００５７】
本実施形態の複数の放熱部２０は、発熱部１０に対してＺ方向にオフセットして配置されている。
【００５８】
具体的には、奇数列の放熱部２０Ａは、その上辺部が、上側配線部１１に高熱伝導率部２２ａを介して接続されている。高熱伝導率部２２ａは、上側配線部１１に対してＺ方向正側（すなわち、図８中紙面手前側）に配置されている。高熱伝導率部２２ａは、低熱伝導部３０よりも熱伝導率が高い材料によって形成されている。
【００５９】
高熱伝導率部２２ａは、奇数列の放熱部２０Ａと同一のＺ方向位置に配置されている。すなわち、高熱伝導率部２２ａは、奇数列の放熱部２０Ａと同一層に配置されている。ここで、高熱伝導率部２２ａが上側配線部１１に接続されている。高熱伝導率部２２ａが奇数列の放熱部２０Ａに接続されている。
【００６０】
奇数列の放熱部２０Ａの底辺部２０ａは、下側配線部１１に対向するように形成されてる受熱部を構成する。底辺部２０ａは、下側配線部１１との間に低熱伝導部３０を挟むように配置されている。
【００６１】
ここで、高熱伝導率部２２に下側配線部１１に接続される上辺部を接続部２１ａとすると、奇数列の放熱部２０Ａにおいて、上記第１実施形態と同様、上側配線部１１に対して対向する底辺部２０ａは、接続部２１ａよりも大きくなっている。
【００６２】
本実施形態の発熱部１０の上側配線部１１のうち奇数列の放熱部２０Ａの接続部２１ａが高熱伝導率部２２を介して領域を接続領域（第１領域）１１ａとし、発熱部１０の下側配線部１１のうち奇数列の放熱部２０Ａの底辺部２０ａに対向する領域を対向領域（第２領域）１１ｂとする。接続領域１１ａは、奇数列の放熱部２０Ａに対して対向領域１１ｂの反対側に配置されている。
【００６３】
次に、偶数列の放熱部２０Ｂは、上辺部が、下側配線部１１に高熱伝導率部２２ｂを介して接続されている。高熱伝導率部２２ｂは、下側配線部１１に対してＺ方向正側（すなわち、図８中紙面手前側）に配置されている。高熱伝導率部２２ａは、低熱伝導部３０よりも熱伝導率が高い材料によって形成されている。
【００６４】
高熱伝導率部２２ｂは、偶数列の放熱部２０Ｂと同一のＺ方向位置に配置されている。すなわち、高熱伝導率部２２ｂは、偶数列の放熱部２０Ｂと同一層に配置されている。ここで、高熱伝導率部２２ｂが下側配線部１１に接続されている。高熱伝導率部２２ｂが偶数列の放熱部２０Ｂに接続されている。
【００６５】
偶数列の放熱部２０Ｂは、底辺部２０ｂを備える。底辺部２０ｂは、上側配線部１１に対向するように形成されてる受熱部を構成する。底辺部２０ｂは、上側配線部１１との間に低熱伝導部３０を挟むように配置されている。
【００６６】
偶数列の放熱部２０Ｂのうち高熱伝導率部２２ｂに接続される上辺部を接続部２１ｂとすると、偶数列の放熱部２０Ｂにおいて、上記第１実施形態と同様、上側配線部１１に対して対向する底辺部２０ｂは、接続部２１ｂよりも大きくなっている。
【００６７】
本実施形態の発熱部１０の下側配線部１１のうち偶数列の放熱部２０Ｂの接続部２１ｂが高熱伝導率部２２を介して接続する領域を接続領域１１ｃとし、発熱部１０の上側配線部１１のうち偶数列の放熱部２０Ｂの底辺部２０ｂに対向する領域を対向領域１１ｄとする。接続領域１１ｃは、奇数列の放熱部２０Ｂに対して対向領域１１ｄの反対側に配置されている。
【００６８】
次に、本実施形態のヒータ装置１の作動について説明する。
【００６９】
まず、上記第１実施形態と同様に、発熱部１０には電流が流れると、発熱部１０の配線部１１および連結部１２は、それぞれ、電流に基づき熱を発生させる。
【００７０】
このとき、奇数列の放熱部２０Ａの接続部２１ａには、上側配線部１１からの熱が高熱伝導率部２２ａを通して伝わる。奇数列の放熱部２０Ａの底辺部２０ａには、下側配線部１１からの熱が低熱伝導部３０を通して伝わる。
【００７１】
これに加えて、奇数列の放熱部２０Ａのうち接続部２１ａ側に位置する領域２０ｄには、上側配線部１１から高熱伝導率部２２ａを通して電流が流れる。このため、奇数列の放熱部２０Ａのうち領域２０ｄは、発熱する。
【００７２】
このため、奇数列の放熱部２０Ａは、上側配線部１１から高熱伝導率部２２ａ、接続部２１ａを介して伝わる熱と、低熱伝導部３０および底辺部２０ａを通して下側配線部１１から伝わる熱と、領域２０ｄに発生した熱とを輻射熱として輻射する。
【００７３】
ここで、底辺部２０ａを通過する単位面積当たりの熱量は、接続部２１ａを通過する単位面積当たりの熱量よりも小さい。底辺部２０ａは、接続部２１ａよりも大きい。このため、上側配線部１１から伝わる熱と下側配線部１１から伝わる熱と領域２０ｄに発生した熱とによって奇数列の放熱部２０Ａの温度むらが抑制される。
【００７４】
一方、偶数列の放熱部２０Ｂの接続部２１ｂには、下側配線部１１からの熱が高熱伝導率部２２ａを通して伝わる。偶数列の放熱部２０Ｂの底辺部２０ｂには、上側側配線部１１からの熱が低熱伝導部３０を介して伝わる。
【００７５】
これに加えて、偶数列の放熱部２０Ｂのうち接続部２１ｂ側領域２０ｃには、下側配線部１１からの電流が流れる。このため、偶数列の放熱部２０Ｂのうち接続部２１ｂ側に位置する領域２０ｃは、発熱する。
【００７６】
このため、偶数列の放熱部２０Ｂは、下側配線部１１から接続部２１ｂを介して伝わる熱と、底辺部２０ｂを介して上側側配線部１１から伝わる熱と領域２０ｃで発生した熱とを輻射熱として輻射する。
【００７７】
ここで、底辺部２０ｂを通過する単位面積当たりの熱量は、接続部２１ｂを通過する単位面積当たりの熱量よりも小さい。底辺部２０ｂは、接続部２１ｂよりも大きい。このため、下側配線部１１からの熱と上側側配線部１１からの熱と領域２０ｃで発生した熱とによって偶数列の放熱部２０Ｂの温度むらが抑制される。
【００７８】
以上説明した本実施形態によれば、ヒータ装置１は、発熱部１０と、発熱部１０から伝わる熱を輻射する放熱部２０Ａ、２０Ｂと、発熱部１０や放熱部２０よりも熱伝導率が低い材料によって形成され、発熱部１０および放熱部２０Ａ、２０Ｂを囲むように構成されている低熱伝導部３０を備える。放熱部２０Ａ、２０Ｂは、奇数列の放熱部２０Ａおよび偶数列の放熱部２０Ｂを簡略化した記載したものである。
【００７９】
放熱部２０Ａ、２０Ｂは、発熱部１０に高熱伝導率部２２ａ、２２ｂを介して接続される接続部２１ａ、２１ｂと、低熱伝導部３０を介して発熱部１０に対して対向する底辺部２０ａ、２０ｂとを備える。高熱伝導率部２２ａ、２２ｂは、放熱部２０Ａ、２０Ｂと同一のＺ方向位置に配置されている。ここで、底辺部２０ａ、２０ｂは、接続部２１ａ、２１ｂよりも大きくなっている。
【００８０】
これにより、上記第１実施形態と同様に、放熱部２０Ａ、２０Ｂの温度ムラを抑制するヒータ装置１を提供することができる。
【００８１】
（第３実施形態）
本第３実施形態では、上記第１実施形態のヒータ装置１において、Ｚ方向に貫通する貫通穴２３を形成する中抜き形状の放熱部２０Ａ、２０Ｂを設けた例について図１２、図１３を参照して説明する。
【００８２】
本実施形態と上記第１実施形態とは、放熱部２０Ａ、２０Ｂの形状が主に相違するので、複数の放熱部２０の形状について説明し、その他の構成についてはその説明を省略する。
【００８３】
本実施形態のヒータ装置１において、本実施形態の放熱部２０Ａ、２０Ｂの貫通穴２３には、低熱伝導部３０が配置されている。
【００８４】
このように構成される本実施形態では、奇数列の放熱部２０Ａは、上側配線部１１から接続部２１ａを介して伝わる熱（図１３中白色矢印参照）と、低熱伝導部３０および底辺部２０ａを介して下側配線部１１から伝わる熱（図１３中ハッチング付き矢印）と領域２０ｄに発生した熱とを輻射熱として輻射する。
【００８５】
ここで、底辺部２０ａを通過する単位面積当たりの熱量は、接続部２１ａを通過する単位面積当たりの熱量よりも小さい。底辺部２０ａは、接続部２１ａよりも大きい。このため、上側配線部１１からの熱と下側配線部１１からの熱と領域２０ｄに発生した熱によって奇数列の放熱部２０Ａの温度むらが抑制される。
【００８６】
一方、偶数列の放熱部２０Ｂは、下側配線部１１から接続部２１ｂを介して伝わる熱（図１３中白色矢印参照）と、低熱伝導部３０および底辺部２０ｂを介して上側側配線部１１から伝わる熱（図１３中ハッチング付き矢印）と領域２０ｃに発生した熱とを輻射熱として輻射する。
【００８７】
ここで、底辺部２０ｂを通過する単位面積当たりの熱量は、接続部２１ｂを通過する単位面積当たりの熱量よりも小さい。底辺部２０ｂは、接続部２１ｂよりも大きい。このため、上側配線部１１からの熱と下側配線部１１からの熱と領域２０ｃで発生した熱とによって偶数列の放熱部２０Ｂの温度むらが抑制される。
【００８８】
（第４実施形態）
上記第１〜第３実施形態では、複数の放熱部２０が発熱部１０に対して接続されている例について説明したが、これに代えて、複数の放熱部２０が発熱部１０に対して離間するように形成されている本第４実施形態について図１４、図１５について説明する。
【００８９】
本実施形態と上記第１実施形態とは、複数の放熱部２０の形状が主に相違するので、複数の放熱部２０の形状について説明する。
【００９０】
本実施形態の複数の放熱部２０は、Ｚ方向から視て、それぞれ、正方形状に形成されている。すなわち、奇数列の放熱部２０Ａと偶数列の放熱部２０Ｂとは同一の形状に形成されている。複数の放熱部２０は、それぞれ、上辺部２４ａが上側配線部１１に対して対向している。上辺部２４ａは、上側配線部１１との間で低熱伝導部３０を挟むようにように配置されている。
【００９１】
複数の放熱部２０のそれぞれの下辺部２４ｂは、下側配線部１１に対して対向している。下辺部２４ｂは、下側配線部１１との間に低熱伝導部３０を挟むように配置されている。
【００９２】
本実施形態の上辺部２４ａの大きさＬａは、下辺部２４ｂの大きさＬｂと同じになっている。
【００９３】
本実施形態では、上辺部２４ａおよび下辺部２４ｂは、互いに異なる向きに向くように複数の放熱部２０が形成されている。
【００９４】
ここで、上辺部２４ａの大きさＬａは、上辺部２４ａのＸ方向寸法Ｆｘと上辺部２４ａのＺ方向寸法Ｆｚとの積（＝Ｆｘ×Ｆｚ）によって決まる。下辺部２４ｂの大きさＬｂは、下辺部２４ｂのＸ方向寸法Ｇｘと下辺部２４ｂのＺ方向寸法Ｇｚとの積（＝Ｇｘ×Ｇｚ）によって決まる。上辺部２４ａと上側配線部１１との間の距離Ｋａ（図１４参照）と下辺部２４ｂと下側配線部１１との間の距離Ｋｂ（図１４参照）とが同一になっている。
【００９５】
低熱伝導部３０は、上記第１実施形態と同様、複数の放熱部２０と発熱部１０とをＺ方向正側および負側から覆うとともに、複数の放熱部２０と発熱部１０との間を埋めるように配置されている。すなわち、複数の放熱部２０は、それぞれの周囲が低熱伝導部３０によって囲まれている。
【００９６】
ここで、発熱部１０の上側配線部１１のうち放熱部２０の上辺部２４ａが放熱部２０毎に対向する領域を対向領域（第１領域）１１ａとし、発熱部１０の下側配線部１１のうち放熱部２０の下辺部２４ｂが放熱部２０毎に対向する領域を対向領域（第２領域）１１ｂとする。接続領域１１ａは、放熱部２０に対して対向領域１１ｂの反対側に配置されている。
【００９７】
このように構成される本実施形態では、複数の放熱部２０は、上側配線部１１から低熱伝導部３０を介して上辺部２４ａに伝わる熱（図１５中ハッチング付き矢印参照）と、下側配線部１１から低熱伝導部３０を介して下辺部２４ｂに伝わる熱（図１５中ハッチング付き矢印参照）とを輻射熱として輻射する。
【００９８】
ここで、上辺部２４ａの大きさＬａは、下辺部２４ｂの大きさＬｂと同じになっている。このため、上側配線部１１から低熱伝導部３０および上辺部２４ａを通して放熱部２０に伝わる熱量と下側配線部１１から低熱伝導部３０および下辺部２４ｂを通して放熱部２０に伝わる熱量とが均衡する。このため、上側配線部１１からの熱と下側配線部１１からの熱とによって放熱部２０の温度むらが抑制される。
以上説明した本実施形態によれば、発熱部１０から低熱伝導部３０および上辺部２４ａを通して放熱部２０Ａ、２０Ｂに熱が伝わる。発熱部１０から低熱伝導部３０および下辺部２４ｂを通して放熱部２０Ａ、２０Ｂに熱が伝わる。
このように放熱部２０Ａ、２０Ｂに熱が伝わることによって放熱部２０Ａ、２０Ｂの温度ムラが抑制されるように、発熱部１０、低熱伝導部３０、および放熱部２０Ａ、２０Ｂが構成されている。
【００９９】
（第５実施形態）
本第５実施形態では、上記第４実施形態のヒータ装置１に熱伝導部４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃを追加した例について図１６、図１７を用いて説明する。
【０１００】
本実施形態の複数の熱伝導部４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃは、Ｎ×（Ｍ＋１）のマトリックス状に配列されている。図１６の具体例では、熱伝導部４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃは、２×３のマトリックス状に配列されている。奇数列の放熱部２０Ａの右側には熱伝導部４０Ａが配置され、奇数列の放熱部２０Ａおよび偶数列の放熱部２０Ｂの間には熱伝導部４０Ｂが配置されている。偶数列の放熱部２０Ｂの左側には熱伝導部４０Ｃが配置されている。
【０１０１】
熱伝導部４０Ａは、上側配線部１１に接続されている。熱伝導部４０Ａは、上側配線部１１から放熱部２０Ａの右辺部２４ｃに沿ってＹ方向に延びるように形成されている。熱伝導部４０Ａは、放熱部２０Ａの右辺部２４ｃに対向している。右辺部２４ｃは、奇数列の放熱部２０Ａの上辺部２４ａおよび下辺部２４ｂの間をＹ方向に延びるように形成されている。
【０１０２】
熱伝導部４０Ｂは、下側配線部１１に接続されている。熱伝導部４０Ｂは、下側配線部１１から奇数列の放熱部２０Ａの左辺部２４ｄに沿ってＹ方向に延びるように形成されている。熱伝導部４０Ｂは、奇数列の放熱部２０Ａの左辺部２４ｄに対向している。左辺部２４ｄは、奇数列の放熱部２０Ａの上辺部２４ａおよび下辺部２４ｂの間をＹ方向に延びるように形成されている。
【０１０３】
奇数列の放熱部２０Ａにおいて、右辺部２４ｃの大きさは、左辺部２４ｄの大きさと同じになっている。奇数列の放熱部２０Ａにおいて、右辺部２４ｃの大きさは、上辺部２４ａの大きさと同じになっている。奇数列の放熱部２０Ａにおいて、右辺部２４ｃの大きさは、下辺部２４ｂの大きさと同じになっている。
【０１０４】
本実施形態では、上辺部２４ａ、下辺部２４ｂ、右辺部２４ｃ、左辺部２４ｄがそれぞれ異なる向きに向くように奇数列の放熱部２０Ａが形成されている。
【０１０５】
奇数列の放熱部２０Ａにおいて、右辺部２４ｃの大きさは、右辺部２４ｃのＹ方向寸法Ｈｙと右辺部２４ｃのＺ方向寸法Ｈｚとの積（＝Ｈｙ×Ｈｚ）によって決まる。奇数列の放熱部２０Ａにおいて、左辺部２４ｄの大きさは、左辺部２４ｄのＹ方向寸法Ｓｙと左辺部２４ｄのＺ方向寸法Ｓｚとの積（＝Ｓｙ×Ｓｚ）によって決まる。
【０１０６】
奇数列の放熱部２０Ａにおいて、上辺部２４ａの大きさは、上辺部２４ａのＸ方向寸法Ｂｘと上辺部２４ａのＺ方向寸法Ｂｚとの積（＝Ｂｘ×Ｂｚ）によって決まる。奇数列の放熱部２０Ａにおいて、下辺部２４ｂの大きさは、下辺部２４ｂのＸ方向寸法Ｃｘと下辺部２４ｂのＺ方向寸法Ｃｚとの積（＝Ｃｘ×Ｃｚ）によって決まる。
【０１０７】
奇数列の放熱部２０Ａにおいて、右辺部２４ｃと熱伝導部４０Ａとの間の距離Ｋｅ（図１６参照）と左辺部２４ｄと熱伝導部４０Ｂとの間の距離Ｋｆ（図１６参照）とが同一になっている。
【０１０８】
奇数列の放熱部２０Ａにおいて、上辺部２４ａと上側配線部１１との間の距離Ｋａ（図１６参照）と下辺部２４ｂと下側配線部１１との間の距離Ｋｂ（図１６参照）と同一になっている。
【０１０９】
低熱伝導部３０は、上記第１実施形態と同様、奇数列の放熱部２０と発熱部１０とをＺ方向正側および負側から覆うように配置されている。低熱伝導部３０は、奇数列の放熱部２０および発熱部１０の間と複数の熱伝導部４０および発熱部１０の間とを埋めるように配置されている。
【０１１０】
ここで、発熱部１０の上側配線部１１のうち奇数列の放熱部２０Ａの上辺部２４ａが対向する領域を対向領域１１ａとし、発熱部１０の下側配線部１１のうち奇数列の放熱部２０Ａの下辺部２４ｂが対向する領域を領域１１ｂとする。領域１１ａは、奇数列の放熱部２０Ａに対して領域１１ｂの反対側に配置されている。
【０１１１】
これに加えて、熱伝導部４０Ｂは、奇数列の放熱部２０Ａに対して熱伝導部４０Ａの反対側に配置されている。
【０１１２】
このように構成される本実施形態では、奇数列の放熱部２０Ａの上辺部２４ａには、上側配線部１１からの熱が低熱伝導部３０を介して伝わる。奇数列の放熱部２０Ａの下辺部２４ｂには、下側配線部１１からの熱が低熱伝導部３０を介して伝わる。
【０１１３】
奇数列の放熱部２０Ａの右辺部２４ｃには、上側配線部１１からの熱が熱伝導部４０Ａおよび低熱伝導部３０を介して伝わる。奇数列の放熱部２０Ａの左辺部２４ｄには、下側配線部１１からの熱が熱伝導部４０Ｂおよび低熱伝導部３０を介して伝わる。
【０１１４】
このように上辺部２４ａ、下辺部２４ｂ、右辺部２４ｃ、および左辺部２４ｄを通して
奇数列の放熱部２０Ａに熱が伝わる。この伝わる熱が奇数列の放熱部２０から輻射熱として輻射される。
【０１１５】
この際、上側配線部１１から上辺部２４ａに伝わる熱量と、下側配線部１１から下辺部２４ｂに伝わる熱量と、上側配線部１１から熱伝導部４０Ａを通して右辺部２４ｃに伝わる熱量と、下側配線部１１から熱伝導部４０Ｂを通して左辺部２４ｄに伝わる熱量とが均衡する。
【０１１６】
以上により、上側配線部１１から上辺部２４ａに伝わる熱と、下側配線部１１から下辺部２４ｂに伝わる熱と、熱伝導部４０Ａから右辺部２４ｃに伝わる熱と、熱伝導部４０Ｂから左辺部２４ｄに伝わる熱とによって奇数列の放熱部２０Ａの温度むらが抑制される。
【０１１７】
さらに、本実施形態の偶数列の放熱部２０Ｂの右側には熱伝導部４０Ｂが配置され、偶数列の放熱部２０Ｂの左側には熱伝導部４０Ｃが配置されている。
【０１１８】
熱伝導部４０Ｂは、下側配線部１１に接続されている。熱伝導部４０Ｂは、偶数列の放熱部２０Ｂの右辺部２４ｃに対向している。熱伝導部４０Ｂは、下側配線部１１から偶数列の放熱部２０Ｂの右辺部２４ｃに沿ってＹ方向に延びるように形成されている。右辺部２４ｃは、偶数列の放熱部２０Ｂの上辺部２４ａおよび下辺部２４ｂの間をＹ方向に延びるように形成されている。
【０１１９】
熱伝導部４０Ｃは、上側配線部１１に接続されている。熱伝導部４０Ｃは、偶数列の放熱部２０Ｂの左辺部２４ｄに対向している。熱伝導部４０Ｃは、上側配線部１１から偶数列の放熱部２０Ｂの左辺部２４ｄに沿ってＹ方向に延びるように形成されている。左辺部２４ｄは、偶数列の放熱部２０Ｂの上辺部２４ａおよび下辺部２４ｂの間をＹ方向に延びるように形成されている。
【０１２０】
偶数列の放熱部２０Ｂにおいて、右辺部２４ｃの大きさは、左辺部２４ｄの大きさと同じになっている。偶数列の放熱部２０Ｂにおいて、右辺部２４ｃの大きさは、上辺部２４ａの大きさと同じになっている。偶数列の放熱部２０Ｂにおいて、右辺部２４ｃの大きさは、下辺部２４ｂの大きさと同じになっている。
【０１２１】
本実施形態では、上辺部２４ａ、下辺部２４ｂ、右辺部２４ｃ、左辺部２４ｄがそれぞれ異なる向きに向くように偶数列の放熱部２０Ｂが形成されている。
【０１２２】
偶数列の放熱部２０Ｂにおいて、右辺部２４ｃの大きさは、右辺部２４ｃのＸ方向寸法Ｈｘと右辺部２４ｃのＺ方向寸法Ｈｚとの積（＝Ｈｘ×Ｈｚ）によって決まる。偶数列の放熱部２０Ｂにおいて、左辺部２４ｄの大きさは、左辺部２４ｄのＸ方向寸法Ｓｘと左辺部２４ｄのＺ方向寸法Ｓｚとの積（＝Ｓｘ×Ｓｚ）によって決まる。
【０１２３】
偶数列の放熱部２０Ｂにおいて、上辺部２４ａの大きさは、上辺部２４ａのＸ方向寸法Ｂｘと上辺部２４ａのＺ方向寸法Ｂｚとの積（＝Ｂｘ×Ｂｚ）によって決まる。偶数列の放熱部２０Ｂにおいて、下辺部２４ｂの大きさは、下辺部２４ｂのＸ方向寸法Ｃｘと下辺部２４ｂのＺ方向寸法Ｃｚとの積（＝Ｃｘ×Ｃｚ）によって決まる。
【０１２４】
偶数列の放熱部２０Ｂにおいて、右辺部２４ｃと熱伝導部４０Ａとの間の距離Ｋｃ（図１６参照）と左辺部２４ｄと熱伝導部４０Ｂとの間の距離Ｋｄ（図１６参照）とが同一になっている。
【０１２５】
偶数列の放熱部２０Ｂにおいて、上辺部２４ａと上側配線部１１との間の距離Ｋａ（図１６参照）と放熱部２０Ａの下辺部２４ｂと下側配線部１１との間の距離Ｋｂ（図１６参照）と同一になっている。
【０１２６】
低熱伝導部３０は、上記第１実施形態と同様、偶数列の放熱部２０Ｂと発熱部１０とをＺ方向正側および負側から覆うように配置されている。低熱伝導部３０は、偶数列の放熱部２０Ｂおよび発熱部１０の間と熱伝導部４０Ｂ、４０Ｃおよび発熱部１０の間とを埋めるように配置されている。
【０１２７】
ここで、発熱部１０の上側配線部１１のうち偶数列の放熱部２０Ｂの上辺部２４ａが対向する領域を領域（第１領域）１１ｄとし、発熱部１０の下側配線部１１のうち偶数列の放熱部２０Ｂの下辺部２４ｂが対向する領域を領域（第２領域）１１ｃとする。領域１１ｄは、偶数列の放熱部２０Ｂに対して領域１１ｃの反対側に配置されている。
【０１２８】
これに加えて、熱伝導部４０Ｂは、偶数列の放熱部２０Ｂに対して熱伝導部４０Ｃの反対側に配置されている。
【０１２９】
このように構成される本実施形態では、偶数列の放熱部２０Ｂの上辺部２４ａには、上側配線部１１からの熱が低熱伝導部３０を介して伝わる。偶数列の放熱部２０Ｂの下辺部２４ｂには、下側配線部１１からの熱が低熱伝導部３０を介して伝わる。
【０１３０】
偶数列の放熱部２０Ｂの右辺部２４ｃには、上側配線部１１からの熱が熱伝導部４０Ｂおよび低熱伝導部３０を介して伝わる。放熱部２０の左辺部２４ｄには、下側配線部１１からの熱が熱伝導部４０Ｃおよび低熱伝導部３０を介して伝わる。
【０１３１】
このように上辺部２４ａ、下辺部２４ｂ、右辺部２４ｃ、および左辺部２４ｄを通して偶数列の放熱部２０Ｂに熱が伝わる。この伝わる熱が偶数列の放熱部２０Ｂから輻射熱として輻射される。
【０１３２】
この際、上側配線部１１から上辺部２４ａに伝わる熱量と、下側配線部１１から下辺部２４ｂに伝わる熱量と、下側配線部１１から熱伝導部４０Ｂを通して右辺部２４ｃに伝わる熱量と、上側配線部１１から熱伝導部４０Ｃを通して左辺部２４ｄに伝わる熱量とが均衡する。
【０１３３】
以上により、上側配線部１１から上辺部２４ａに伝わる熱と、下側配線部１１から下辺部２４ｂに伝わる熱と、熱伝導部４０Ｂから右辺部２４ｃに伝わる熱と、熱伝導部４０Ｃから左辺部２４ｄに伝わる熱とによって偶数列の放熱部２０Ｂの温度むらが抑制される。
以上説明した本実施形態によれば、発熱部１０から低熱伝導部３０および上辺部２４ａを通して放熱部２０Ａ、２０Ｂに熱が伝わる。発熱部１０から低熱伝導部３０および下辺部２４ｂを通して放熱部２０Ａ、２０Ｂに熱が伝わる。発熱部１０から熱伝導部４０Ａ、低熱伝導部３０、右辺部２４ｃを通して放熱部２０Ａ、２０Ｂに熱が伝わる。発熱部１０から熱伝導部４０Ａ、低熱伝導部３０、左辺部２４ｄを通して放熱部２０Ａ、２０Ｂに熱が伝わる。
このように放熱部２０Ａ、２０Ｂに熱が伝わることによって、放熱部２０Ａ、２０Ｂの温度ムラが抑制されるように、発熱部１０、低熱伝導部３０、放熱部２０Ａ、２０Ｂ、および熱伝導部４０Ａ、４０Ｂ、４０Ｃが構成されている。
【０１３４】
（他の実施形態）
（１）上記第１〜３実施形態では、三角形の放熱部２０を用いてヒータ装置１を構成し、また上記第４、５実施形態では、四角形の放熱部２０を用いてヒータ装置１を構成した例について説明した。しかし、これに代えて、三角形や四角形以外の形状の放熱部２０を用いてもよい。
（２）上記第２実施形態では、発熱部１０の配線部１１に高熱伝導率部２２ａを介して放熱部２０を接続した例について説明したが、上記第３、第４、第５実施形態においても、発熱部１０の配線部１１に高熱伝導率部２２ａを介して放熱部２０を接続してもよい。
（３）上記第１〜５実施形態では、発熱部１０と放熱部２０とを同一の材料によって構成した例について説明したが、これに代えて、低熱伝導部３０よりも熱伝導率が大きい材料ならば、発熱部１０と放熱部２０とを異なる材料で構成してもよい。
（４）上記第２実施形態では、高熱伝導率部２２ａ、２２ｂと放熱部２０とを同一の材料によって構成した例について説明したが、これに代えて、低熱伝導部３０よりも熱伝導率が大きい材料ならば、高熱伝導率部２２ａ、２２ｂと放熱部２０とを異なる材料で構成してもよい。
（５）上記第１〜５実施形態では、ヒータ装置１を薄膜状に形成した例について説明したが、これに代えて、薄膜状以外の形状にヒータ装置１を形成してもよい。
（６）上記第１〜５実施形態では、発熱部１０を蛇行状に形成した例について説明したが、これに代えて、蛇行状以外の形状に発熱部１０を形成してもよい。
（７）上記第１〜５実施形態では、複数の放熱部２０を用いたヒータ装置１について説明したが、これに代えて、１つの放熱部２０を用いたヒータ装置１を形成してもよい。
（８）上記第３実施形態では、上記第１実施形態のヒータ装置１において、Ｚ方向に貫通する貫通穴２３を形成する放熱部２０Ａ、２０Ｂを設けた例について説明したが、これに代えて、上記第２実施形態のヒータ装置１において、Ｚ方向に貫通する貫通穴２３を形成する放熱部２０Ａ、２０Ｂを設けてもよい。
【０１３５】
さらに、これに代えて、上記第４実施形態のヒータ装置１において、Ｚ方向に貫通する貫通穴２３を形成する放熱部２０Ａ、２０Ｂを設けてもよい。或いは、上記第５実施形態のヒータ装置１において、Ｚ方向に貫通する貫通穴２３を形成する放熱部２０Ａ、２０Ｂを設けてもよい。
（９）上記第１〜５実施形態では、ヒータ装置１において、１つの発熱部１０を設けた例について説明したが、これに代えて、ヒータ装置１において、複数の発熱部１０を設けてもよい。
（１０）なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。また、上記各実施形態は、互いに無関係なものではなく、組み合わせが明らかに不可な場合を除き、適宜組み合わせが可能である。また、上記各実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。また、上記各実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではない。また、上記各実施形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その形状、位置関係等に限定されるものではない。
（まとめ）
上記第１〜第５実施形態、および他の実施形態の一部または全部に記載された第１の観点によれば、ヒータ装置は、熱を発生する発熱部と、発熱部から伝わる熱を放出する放熱部と、発熱部よりも熱伝導率が低く、かつ放熱部よりも熱伝導率が低い材料によって形成され、発熱部および放熱部を囲むように構成されている低熱伝導部とを備える。
【０１３６】
発熱部から伝わる熱によって放熱部の温度ムラを抑制するために、発熱部、放熱部、および低熱伝導部が構成されている。
【０１３７】
第２の観点によれば、放熱部は、低熱伝導部を介さずに発熱部に接続される接続部と、発熱部との間に低熱伝導部を挟むように配置され、発熱部に対向するように形成されている受熱部とを備える。受熱部が接続部よりも大きくなっていることにより、発熱部から低熱伝導部、および受熱部を通して放熱部に伝わる熱と発熱部から接続部を通して放熱部に伝わる熱とによって放熱部の温度ムラが抑制される。
【０１３８】
第３の観点によれば、発熱部のうち接続部を介して放熱部に接続される領域を第１領域とし、発熱部のうち受熱部に対向する領域を第２領域としたとき、第１領域は、放熱部に対して第２領域の反対側に配置されている。
【０１３９】
第４の観点によれば、低熱伝導部よりも熱伝導率が高い材料によって形成されて、放熱部の接続部に接続され、かつ発熱部に接続されている高熱伝導率部を備える。発熱部からの熱が高熱伝導率部および接続部を通して放熱部に伝わるようになっている。
【０１４０】
第５の観点によれば、発熱部は、電流が流れることにより熱を発生し、放熱部は、発熱部から接続部を通して流入される電流によって熱を発生する。放熱部から生じる熱と発熱部から低熱伝導部および受熱部を通して放熱部に伝わる熱と発熱部から接続部を通して放熱部に伝わる熱とによって放熱部の温度ムラが抑制される。
【０１４１】
第６の観点によれば、放熱部に接続されている少なくとも１つ以上の熱伝導部を備える。
【０１４２】
放熱部は、その周囲が低熱伝導部によって囲まれており、放熱部は、発熱部との間に低熱伝導部を挟むように配置され、発熱部に対向するように形成されている少なくとも１つ以上の第１受熱部と、１つ以上の熱伝導部との間に低熱伝導部を挟むように配置され、１つ以上の熱伝導部に対向するように形成されている少なくとも１つ以上の第２受熱部と、を備える。
【０１４３】
発熱部から低熱伝導部および１つ以上の第１受熱部を通して放熱部に伝わる熱と発熱部から１つ以上の熱伝導部、低熱伝導部、および１つ以上の第２受熱部を通して放熱部に伝わる熱によって放熱部の温度ムラが抑制されるように、発熱部、低熱伝導部、放熱部、および１つ以上の熱伝導部が構成されている。
【０１４４】
第７の観点によれば、１つ以上の第１受熱部と１つ以上の第２受熱部とが互いに異なる向きに向くように放熱部が形成されている。
【０１４５】
第８の観点によれば、１つ以上の第１受熱部は、２つの第１受熱部であり、１つ以上の第２受熱部は、２つの第２受熱部であり、２つの第１受熱部が互いに異なる向きに向き、かつ２つの第２受熱部が互いに異なる向きに向くように放熱部が形成されている。
【０１４６】
第９の観点によれば、発熱部において２つの第１受熱部のうち一方の第１受熱部に対向する領域を第１領域とし、発熱部において２つの第１受熱部のうち一方の第１受熱部以外の他方の第１受熱部に対向する領域を第２領域としたとき、第１領域は、放熱部に対して第２領域の反対側に配置されている。
【０１４７】
第１０の観点によれば、１つ以上の熱伝導部は、２つの第２受熱部のそれぞれに対向する第１熱伝導部および第２熱伝導部であり、第１熱伝導部は、放熱部に対して第２熱伝導部の反対側に配置されている。
【０１４８】
第１１の観点によれば、放熱部は、その周囲が低熱伝導部によって囲まれており、放熱部は、発熱部との間に低熱伝導部を挟むように配置され、発熱部に対向するように形成されている第１受熱部および第２受熱部を備える。
【０１４９】
発熱部から低熱伝導部および第１受熱部を通して放熱部に伝わる熱と、発熱部から低熱伝導部および第２受熱部を通して放熱部に伝わる熱とによって、放熱部の温度ムラが抑制されるように、発熱部、低熱伝導部、放熱部、および熱伝導部が構成されている。
【０１５０】
第１２の観点によれば、第１受熱部および第２受熱部が互いに異なる向きに向くように放熱部が形成されている。
【０１５１】
第１３の観点によれば、発熱部のうち第１受熱部に対向する領域を第１領域とし、発熱部のうち第２受熱部に対向する領域を第２領域としたとき、第１領域は、放熱部に対して第２領域の反対側に配置されている。
【０１５２】
第１４の観点によれば、放熱部は、薄膜状に形成されており、さらに放熱部は、その厚み方向に貫通する貫通穴を有する中抜き形状になっており、放熱部のうち貫通穴の内側には、低熱伝導部が配置されている。
【符号の説明】
【０１５３】
１    ヒータ装置
１０    発熱部
１１    配線部
２０    放熱部
３０    低熱伝導部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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