(57)【要約】      （修正有）【課題】正確に電磁波を検出することが可能な電磁波検出装置を提供する。【解決手段】電磁波に対して透過性を有し、電磁波Ｌ１が入射する第１の面及び第１の面とは反対側の第２の面を有し、かつ第２の面から突出した錐台形状の少なくとも１つの突起からなる突起構造を有する基板１１と、少なくとも１つの突起の側面に設けられ、電磁波に対して反射性を有する反射膜２１と、少なくとも１つの突起の頂面上に設けられ、電磁波を検出する電磁波検出素子３１と、を有する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電磁波に対して透過性を有し、前記電磁波が入射する第１の面及び前記第１の面とは反対側の第２の面を有し、かつ前記第２の面から突出した錐台形状の少なくとも１つの突起からなる突起構造を有する基板と、
前記少なくとも１つの突起の側面に設けられ、電磁波に対して反射性を有する反射膜と、
前記少なくとも１つの突起の頂面上に設けられ、電磁波を検出する電磁波検出素子と、を有することを特徴とする電磁波検出装置。
【請求項２】
前記突起構造は、前記第２の面上においてマトリクス状に配列された複数の突起からなることを特徴とする請求項１に記載の電磁波検出装置。
【請求項３】
前記突起構造の前記複数の突起は、隙間なく連続的に配列されていることを特徴とする請求項２に記載の電磁波検出装置。
【請求項４】
前記反射膜は、前記複数の突起の各々の側面の全体を覆っていることを特徴とする請求項２又は３に記載の電磁波検出装置。
【請求項５】
前記基板の前記第１の面に垂直な方向において前記第１の面における前記複数の突起の各々の周縁部と重なる領域上に設けられ、電磁波に対して反射性又は吸収性を有する遮光膜を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１つに記載の電磁波検出装置。
【請求項６】
前記基板の前記第２の面に対向して配置され、電磁波に対して吸収性を有する電磁波吸収体を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１つに記載の電磁波検出装置。
【請求項７】
前記突起の前記頂面における幅をＢとし、前記電磁波の真空中の波長をλとし、前記突起の光屈折率をｎとすると、前記突起の前記幅Ｂは、Ｂ＞λ／２ｎの関係を満たすことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１つに記載の電磁波検出装置。
【請求項８】
電磁波を検出する少なくとも１つの電磁波検出素子と、
前記電磁波に対して透過性を有し、前記少なくとも１つの電磁波検出素子を搭載する搭載面及び前記搭載面とは反対側に設けられた前記電磁波の入射面を有し、前記電磁波の前記入射面から前記少なくとも１つの電磁波検出素子の前記搭載面に向かって窄んだ形状の前記電磁波の導波路を形成する基板と、を有することを特徴とする電磁波検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁波を検出する電磁波検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電磁波検出装置は、例えば、所定の特性（波長又は強度など）の電磁波を検出対象とし、当該検出対象の電磁波の有無及びその特性に応じた電気信号を生成する装置である。例えば、特許文献１には、電波受信モジュールを複数アレイ状に配置した電波受信モジュールアレイが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開2006-279776号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
電磁波検出装置は、検出対象となる電磁波を正確に検出できることが好ましい。例えば、ライン状又はアレイ状に配置された複数の電磁波検出素子を含む電磁波検出装置においては、当該複数の電磁波検出素子の各々は、検出対象の電磁波を確実に検出でき、また、他の電磁波検出素子によって検出されるべき電磁波を検出しないことが好ましい。
【０００５】
本発明は上記した点に鑑みてなされたものであり、正確に電磁波を検出することが可能な電磁波検出装置を提供することを課題の１つとしている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の発明は、電磁波に対して透過性を有し、電磁波が入射する第１の面及び第１の面とは反対側の第２の面を有し、かつ第２の面から突出した錐台形状の少なくとも１つの突起からなる突起構造を有する基板と、少なくとも１つの突起の側面に設けられ、電磁波に対して反射性を有する反射膜と、少なくとも１つの突起の頂面上に設けられ、電磁波を検出する電磁波検出素子と、を有することを特徴としている。
【０００７】
また、請求項８に記載の発明は、電磁波を検出する少なくとも１つの電磁波検出素子と、電磁波に対して透過性を有し、少なくとも１つの電磁波検出素子を搭載する搭載面及び搭載面とは反対側に設けられた電磁波の入射面を有し、電磁波の入射面から少なくとも１つの電磁波検出素子の搭載面に向かって窄んだ形状の電磁波の導波路を形成する基板と、を有することを特徴としている。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施例１に係る電磁波検出装置の斜視図である。
【図２】実施例１に係る電磁波検出装置の配置図である。
【図３】実施例１に係る電磁波検出装置の上面図である。
【図４】実施例１に係る電磁波検出装置の断面図である。
【図５】実施例１の変形例１に係る電磁波検出装置の断面図である。
【図６】実施例１の変形例２に係る電磁波検出装置の断面図である。
【図７】実施例２に係る電磁波検出装置の上面図である。
【図８】実施例２に係る電磁波検出装置の断面図である。
【図９】実施例３に係る電磁波検出装置の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に本発明の実施例について詳細に説明する。
【実施例１】
【００１０】
図１は、実施例１に係る電磁波検出装置（以下、単に検出装置と称する）１０の斜視図である。本実施例においては、検出装置１０は、電波と赤外光との間の周波数帯である０．１〜１０ＴＨｚの電磁波（テラヘルツ波）を検出対象とし、当該検出対象の電磁波の有無及びその強度を検出するように構成されている場合について説明する。
【００１１】
検出装置１０は、検出対象の電磁波に対して透過性を有する材料からなる基板１１を有する。例えば、基板１１は、テラヘルツ波を透過させる誘電体材料からなる。また、検出装置１０は、基板１１内に入射した電磁波を検出するように配置されている。
【００１２】
本実施例においては、基板１１は、電磁波が入射する入射面として機能する第１の面Ｓ１と、第１の面Ｓ１とは反対側の面である第２の面Ｓ２とを有する。また、基板１１は、各々が第２の面Ｓ２から突出した錐台形状の複数の突起ＰＪからなる突起構造１１Ｐを有する。
【００１３】
突起ＰＪの各々は、基板１１内に入射した電磁波の導波路を形成する。本実施例においては、突起ＰＪの各々は、基板１１の第２の面Ｓ２から角錐台状に突出している。本実施例においては、基板１１は、各々が基板１１の第２の面Ｓ２から突出し、３行５列でマトリクス状に配置された複数の突起ＰＪを有する。
【００１４】
また、検出装置１０は、基板１１の複数の突起ＰＪの各々の側面に形成され、電磁波に対して反射性を有する複数の反射膜２１からなる反射構造２０を有する。反射膜２１の各々は、例えばテラヘルツ波に対して反射性を有する金属膜からなる。反射膜２１の各々は、突起ＰＪを管状に取り囲み、突起ＰＪ内に入射した電磁波を突起ＰＪの頂部（第２の面Ｓ２とは反対側の端部）に導波させる導波管として機能する。
【００１５】
検出装置１０は、基板１１の突起ＰＪの各々上にそれぞれ実装され、突起ＰＪ内を導波した電磁波を検出する複数の電磁波検出素子（以下、単に検出素子と称する）３１からなる検出素子アレイ３０を有する。例えば、検出素子３１の各々は、ショットキーバリアダイオードや共鳴トンネルダイオードなどの半導体素子を含む。本実施例においては、検出素子３１の各々は、検出素子３１に入射したテラヘルツ波に応じて電気信号を生成する光電変換部（図示せず）を有する。
【００１６】
図２は、検出装置１０を収容する筐体ＨＳを模式的に示す図である。検出装置１０は、電磁波Ｌ１を受信する受信部ＲＥを有する筐体ＨＳに収容されることができる。例えば、筐体ＨＳは、電磁波Ｌ１に対して遮光性を有する材料からなり、電磁波Ｌ１の受信部ＲＥとして開口部を有する。検出装置１０は、基板１１の第１の面Ｓ１が筐体ＨＳにおける電磁波Ｌ１の受信部ＲＥに配置されるように、筐体ＨＳ内に収容されることができる。これによって、電磁波Ｌ１は、基板１１の第１の面Ｓ１から入射し、突起ＰＪ内（反射膜２１の内側）を導波した後、検出素子３１に受信される。
【００１７】
図３は、基板１１の第１の面Ｓ１を見たときの検出装置１０の平面図である。また、図４は、図３のＶ−Ｖ線に沿った断面図であり、検出装置１０の断面図である。図３及び図４を用いて、検出装置１０の詳細な構成及び動作について説明する。
【００１８】
本実施例においては、突起ＰＪの側面ＰＳは、その底部において隣接する他の突起ＰＪの側面ＰＳに接している。すなわち、基板１１の第２の面Ｓ２には、複数の突起ＰＪが隙間なく連続的に配列されている。また、反射膜２１の各々は、突起ＰＪの側面ＰＳの全体を覆っている。
【００１９】
また、基板１１は、第１及び第２の面Ｓ１及びＳ２を有する平板部１１Ｂと、第２の面Ｓ２としての平板部１１Ｂの一方の面上に設けられた突起構造１１Ｐと、を有する。従って、本実施例においては、突起構造１１Ｐの突起ＰＪの各々は、平板部１１Ｂから突出し、平板部１１Ｂから離れるに従って徐々に窄んだ形状（すなわちテーパ形状）を有する。
【００２０】
また、検出素子３１の各々は、突起構造１１Ｐにおける突起ＰＪの各々の頂面ＰＴ（平板部１１Ｂとは反対側の面）上に配置されている。本実施例においては、１つの突起ＰＪの頂面ＰＴには１つの検出素子３１が配置されている。すなわち、突起ＰＪの各々の頂面ＰＴは、基板１１における検出素子３１（検出素子アレイ３０）の搭載面Ｓ３として機能する。
【００２１】
換言すれば、本実施例においては、基板１１は、平板部１１Ｂの突起ＰＪとは反対側の面である第１の面Ｓ１を、電磁波Ｌ１の入射面として有する。また、基板１１は、平板部１１Ｂにおける突起ＰＪが設けられた面である第２の面Ｓ２を、電磁波Ｌ１の導波路の端面として有する。また、基板１１は、突起ＰＪの頂面ＰＴを、電磁波Ｌ１の導波路の端面及び検出素子３１の搭載面（実装面）として有する。
【００２２】
なお、本実施例においては、反射膜２１は、突起ＰＪの各々の頂面ＰＴ上には設けられていない。また、本実施例においては、突起ＰＪの各々の頂面ＰＴには、反射膜２１及び検出素子３１が設けられていない領域、すなわち外部（本実施例においては筐体ＨＳ内）に露出した領域が部分的に設けられている。
【００２３】
図４を参照すると、基板１１に入射した電磁波Ｌ１は、突起ＰＪ内に入射した後、反射膜２１の内壁面によって反射されつつ、検出素子３１に入射する。すなわち、基板１１内に入射した電磁波Ｌ１は、基板１１内において、検出素子３１の各々に受信される前に、突起ＰＪ及び反射膜２１の各々によって検出素子３１毎に分離される。
【００２４】
従って、検出素子３１の各々は、その検出対象の電磁波Ｌ１のみを確実に受信及び検出することができる。具体的には、本実施例においては、各検出素子３１の検出対象となる電磁波Ｌ１は、基板１１の第１の面Ｓ１からその検出素子３１に対応する突起ＰＪ内に入射した電磁波Ｌ１である。また、各検出素子３１が検出すべきではない電磁波Ｌ１は、その検出素子３１に対応する突起ＰＪ以外の突起ＰＪに入射した電磁波Ｌ１である。この場合、検出素子３１の各々の検出すべき電磁波Ｌ１を確実に受信させ、かつ検出すべきではない電磁波Ｌ１を受信させないようにすることができる。
【００２５】
また、突起ＰＪは、検出素子３１に向かって窄んだ側面ＰＳを有する。従って、突起ＰＪ内に入射した電磁波Ｌ１は、図４に示すように、第１の面Ｓ１側に戻ることなく、検出素子３１に入射する可能性が高い。従って、検出素子３１が確実に電磁波Ｌ１を検出することができる。
【００２６】
また、突起ＰＪの頂面ＰＴ側においては、隣接する突起ＰＪ間及び隣接する反射膜２１間に空間が介在している。従って、突起ＰＪに入射した電磁波Ｌ１は、反射膜２１と突起ＰＪとの界面及び反射膜２１の当該空間への露出面によって確実に反射される。従って、突起ＰＪに入射した電磁波Ｌ１が他の突起ＰＪに入射することが確実に抑制される。従って、１の検出素子３１が他の検出素子３１の検出対象の電磁波Ｌ１を検出すること、いわゆるクロストークが確実に抑制される。
【００２７】
また、本実施例においては、突起ＰＪ、すなわち本実施例においては誘電体が電磁波Ｌ１の導波路を形成する。従って、電磁波Ｌ１は、突起ＰＪ内では、その突起ＰＪの屈折率に従った波長となって導波する。従って、例えば、空気中を導波させる導波路（例えば中空導波管）を用いて検出素子３１を配列する場合に比べ、検出素子３１の配列間隔Ｐを小さくすることができる。
【００２８】
例えば、これによって、単位面積当たりの検出素子３１の配置可能な個数が増加する。従って、高い自由度で検出素子３１を配置することができ、例えば、空間的な分解能が高い検出装置１０を提供することができる。
【００２９】
また、突起ＰＪの底面側（第２の面Ｓ２側）の幅（反射膜２１の最大の開口幅）Ａのサイズ及び頂面ＰＴ側（検出素子３１側）の幅Ｂを電磁波Ｌ１に応じて調節することで、突起ＰＪ内に入射した光をより確実に検出素子３１に導くことができる。例えば、電磁波Ｌ１の真空中の波長をλとし、基板１１（突起ＰＪ）の屈折率をｎとした場合、突起ＰＪの頂面ＰＴの幅Ｂは、Ｂ＞λ／２ｎの関係を満たすことが好ましい。これによって、反射膜２１の開口幅Ａによって突起ＰＪ内の電磁波Ｌ１が頂面ＰＴを通過できない（電磁波Ｌ１がカットオフされる）ことが抑制される。
【００３０】
また、例えば、突起ＰＪの第２の面Ｓ２側の幅Ａ、突起ＰＪの高さＬを合わせて調節することで、突起ＰＪの側面ＰＳの傾斜角（すなわちテーパ角）を調節することができる。例えば、突起ＰＪの底面の幅Ａが電磁波Ｌ１が入射できる範囲内であって、かつ突起ＰＪのテーパ角が所定の角度範囲内である場合、最も多くの電磁波Ｌ１が頂面ＰＴから出射する。従って、この範囲を満たすように突起ＰＪの形状を調節することで、多くの電磁波Ｌ１を検出素子３１に入射させることができる。
【００３１】
なお、本実施例においては、突起ＰＪが隙間なく配列されている場合について説明した。しかし、基板１１及び突起ＰＪの構成はこれに限定されない。例えば、突起ＰＪは、互いに離間して配置されていてもよい。
【００３２】
図５は、実施例１の変形例１に係る検出装置１０Ａの断面図である。検出装置１０Ａは、互いに離間した突起ＰＪ１からなる突起構造１２Ｐを有する基板１２を有する。具体的には、基板１２は、基板１１の平板部１１Ｂと同様に、第１の面Ｓ１及び第２の面Ｓ２を有する平板部１２Ｂを有する。
【００３３】
一方、基板１２は、各々が第２の面Ｓ２から錐台状に突出し、互いに離間して配置された複数の突起ＰＪ１からなる突起構造１２Ｐを有する。すなわち、本変形例においては、突起ＰＪ１が島状に形成されている。また、隣接する突起ＰＪ１間には、第２の面Ｓ２をなす平坦面が設けられている。なお、検出素子３１は突起ＰＪ１の頂面ＰＴ上に形成されている。
【００３４】
本変形例のように、基板１２が互いに離間する突起ＰＪ１を有していてもよい。また、本変形例においても、検出素子３１は突起ＰＪ１の頂面ＰＴ上に形成されている。このような場合でも、各検出素子３１によって検出されるべき電磁波Ｌ１をこれらに対応する突起ＰＪ１によって分離することができる。従って、各検出素子３１が確実に検出対象の電磁波Ｌ１のみを検出することが可能な構成となる。
【００３５】
また、本変形例においては、検出装置１０Ａは、突起構造１２Ｐにおける突起ＰＪ１の頂面ＰＴ以外の表面の全体を覆うように形成された反射構造２０Ａを有する。反射構造２０Ａは、突起ＰＪ１の側面ＰＳを覆う反射膜２１と、基板１１の第２の面Ｓ２における隣接する突起ＰＪ１間の領域を覆う反射膜２２と、を有する。
【００３６】
突起ＰＪ１が互いに離間している場合、その隣接する突起ＰＪ１間の領域には反射膜２２が設けられていてもよいし、突起ＰＪ１の側面ＰＳを覆う反射膜２１のみが設けられていてもよい。
【００３７】
また、本実施例においては、反射膜２１が突起ＰＪの側面ＰＳの全体を覆う場合について説明した。しかし、反射膜２１の構成はこれに限定されない。例えば、反射膜２１は、突起ＰＪの側面ＰＳを覆って導波管を形成すれば、突起ＰＪの側面ＰＳの一部のみに形成されていてもよい。
【００３８】
図６は、実施例１の変形例２に係る検出装置１０Ｂの断面図である。検出装置１０Ｂは、反射構造２０Ｂの構成を除いては、検出装置１０と同様の構成を有する。本変形例においては、反射構造２０Ｂは、突起ＰＪの側面ＰＳの一部のみを覆う反射膜２３を有する。
【００３９】
本変形例においては、反射膜２３は、突起ＰＪの側面ＰＳにおける底部近傍には設けられていない。従って、突起ＰＪの側面ＰＳは部分的に外部に露出する。反射膜２３のように、突起ＰＪの側面ＰＳを部分的に覆っている場合でも、突起ＰＪ内を導波する電磁波Ｌ１を検出素子３１に導くことができる。
【００４０】
また、本実施例及びその変形例においては、基板１１（及び基板１２）が複数の突起ＰＪ（及び突起ＰＪ１）を有する場合について説明した。しかし、基板１１は１つの突起ＰＪのみを有していてもよい。これによって、例えば基板１１に入射した電磁波Ｌ１を確実に検出素子３１に導くことが可能なコンパクトな検出装置１０となる。すなわち、例えば、基板１１は、少なくとも１つの突起ＰＪからなる突起構造１１Ｐを有していればよい。
【００４１】
また、本実施例及びその変形例においては、突起ＰＪの各々が角錐台形状を有する場合について説明した。しかし、突起ＰＪの各々は、角錐台形状を有する場合に限定されない。突起ＰＪの各々は、第２の面Ｓ２側から検出素子３１に向かって窄んだ導波路を形成するように構成されていればよい。例えば、突起ＰＪの各々は、錐台形状を有していればよく、例えば円錐台形状を有していてもよい。
【００４２】
上記したように、本実施例においては、検出装置１０は、電磁波Ｌ１に対して透過性を有し、電磁波Ｌ１が入射する第１の面Ｓ１及び第１の面Ｓ１とは反対側の第２の面Ｓ２を有し、第２の面Ｓ２から突出した錐台形状の少なくとも１つの突起ＰＪからなる突起構造１１Ｐを有する基板１１と、当該少なくとも１つの突起ＰＪの側面ＰＳに設けられ、電磁波Ｌ１に対して反射性を有する反射膜２１と、当該少なくとも１つの突起ＰＪの頂面ＰＴ上に設けられ、電磁波Ｌ１を検出する電磁波検出素子３１と、を有する。従って、正確に電磁波Ｌ１を検出することが可能な電磁波検出装置１０を提供することができる。
【００４３】
また、本実施例においては、基板１１が第１及び第２の面Ｓ１及びＳ２を有し、基板１１が錐台形状の少なくとも１つの突起ＰＪからなる突起構造１１Ｐを有し、突起ＰＪの頂面ＰＴが基板１１における検出素子３１の搭載面Ｓ３として機能する場合について説明した。しかし、基板１１の構成はこれに限定されない。
【００４４】
例えば、基板１１は、その全体が錐台形状などの突起構造１１Ｐであってもよい。すなわち、基板１１は、平板部１１Ｂを有していなくてもよい。この場合、突起構造１１Ｐの底面である第２の面Ｓ２が電磁波Ｌ１の入射面として機能し、その上面である突起ＰＪの頂面ＰＴが検出素子３１の搭載面として機能する。
【００４５】
この場合、基板１１は、その全体で、電磁波Ｌ１の入射面から検出素子３１の搭載面に向かって窄んだ形状の導波路を形成する。なお、この場合は、突起ＰＪの各々を配列した状態で固定する固定部を有するか、又は突起ＰＪの各々が連結されていればよい。
【００４６】
このように、例えば、検出装置１０は、電磁波を検出する少なくとも１つの電磁波検出素子３１と、電磁波Ｌ１に対して透過性を有し、電磁波検出素子３１を搭載する搭載面（第１の面Ｓ３）及び搭載面とは反対側に設けられた電磁波Ｌ１の入射面（第１の面Ｓ１又は第２の面Ｓ２）を有し、当該電磁波Ｌ１の入射面から電磁波検出素子３１の搭載面に向かって窄んだ形状の電磁波Ｌ１の導波路を形成する基板１１と、を有する。これによって、正確に電磁波Ｌ１を検出することが可能な電磁波検出装置１０を提供することができる。
【実施例２】
【００４７】
図７は、実施例２に係る検出装置４０における基板１１の第１の面Ｓ１を見たときの平面図である。また、図８は、検出装置４０の断面図であり、図７のＷ−Ｗ線に沿った断面図である。図７及び図８を用いて、検出装置４０について説明する。
【００４８】
検出装置４０は、基板１１の第１の面Ｓ１上に設けられた遮光膜４１を有する点を除いては、検出装置１０と同様の構成を有する。遮光膜４１は、電磁波Ｌ１に対して反射性又は吸収性を有する。また、遮光膜４１は、基板１１の第１の面Ｓ１に垂直な方向において第１の面Ｓ１における突起ＰＪの各々の周縁部と重なる領域上に設けられている。
【００４９】
本実施例においては、遮光膜４１は、基板１１の第１の面Ｓ１に垂直な方向において検出素子３１の各々に対向する領域に開口部ＡＰを有し、全体として格子状に形成されている。
【００５０】
本実施例においては、図８に示すように、基板１１の第１の面Ｓ１において検出素子３１の周縁部に対応する領域に入射する電磁波Ｌ０は、遮光膜４１によって反射又は吸収される。この電磁波Ｌ０は、遮光膜４１が設けられていない場合、電磁波Ｌ０１となって基板１１に入射する。電磁波Ｌ０１は、突起ＰＪに入射せず、突起ＰＪの底部で反射膜２１によって意図しない方向に反射する可能性がある。
【００５１】
特に、本実施例においては、隣接する突起ＰＪ間には、尖端形状の谷部分が設けられており、その谷部分には反射膜２１が設けられている。この谷部分に電磁波Ｌ０１が入射すると、図８に示すように、電磁波Ｌ０１は放射状に反射する場合がある。また、電磁波Ｌ０１は、入射すべきではない突起ＰＪに入射する場合がある。従って、検出素子３１にはノイズとして検出される場合、又は検出されるべきではない（対象外の）検出素子３１によって誤検出される場合がある。
【００５２】
遮光膜４１は、この電磁波Ｌ０のような光が基板１１内に入射し、ノイズとなって検出素子３１（検出素子アレイ３０）に入射することを抑制する。従って、検出素子アレイ３０による電磁波Ｌ１の検出精度が向上する。
【００５３】
なお、遮光膜４１は、突起ＰＪの各々の周縁部、又は検出素子３１の各々の周縁部に設けられていれば、上記した構成に限定されない。例えば、本実施例においては、遮光膜４１は矩形の開口部ＡＰを有する。しかし、遮光膜４１は、円形状又は楕円形状の開口部ＡＰを有していてもよい。遮光膜４１は、例えば、基板１１の第１の面Ｓ１に垂直な方向において第１の面Ｓ１の検出素子３１又は突起ＰＪの頂面ＰＴに重なる領域の少なくとも一部に開口部ＡＰを有していればよい。
【００５４】
このように、本実施例においては、検出装置４０は、基板１１の第１の面Ｓ１に垂直な方向において第１の面Ｓ１における複数の突起ＰＪの各々の周縁部と重なる領域上に設けられ、電磁波Ｌ１に対して反射性又は吸収性を有する遮光膜４１を有する。従って、正確に電磁波Ｌ１を検出することが可能な電磁波検出装置４０を提供することができる。
【実施例３】
【００５５】
図９は、実施例３に係る検出装置５０の断面図である。検出装置５０は、基板１１の第２の面Ｓ２に対向して配置された電磁波吸収体（以下、単に吸収体と称する）５１を有する点を除いては、検出装置１０と同様の構成を有する。
【００５６】
検出装置５０は、基板１１の第２の面Ｓ２側において検出素子３１の各々に対向して配置され、電磁波Ｌ１に対して吸収性を有する吸収体５１を有する。本実施例においては、吸収体５１は、検出装置５０を収容する筐体ＨＳの基板１１の第２の面Ｓ２に対向する内壁面ＷＳ１に膜状に形成されている。
【００５７】
本実施例においては、電磁波Ｌ１のうち、検出素子３１を透過した一部の電磁波Ｌ１１が吸収体５１によって吸収される。従って、突起ＰＪ内を導波され、検出素子３１を透過した電磁波Ｌ１１が筐体ＨＳ内で反射し、他の検出素子３１に入射することが抑制される。従って、ノイズの発生及び対象外の検出素子３１による電磁波Ｌ１１の誤検出を抑止し、電磁波Ｌ１の検出精度を向上させることができる。
【００５８】
なお、吸収体５１の構成は、これに限定されない。例えば、吸収体５１は、筐体ＨＳの内壁面ＷＳ１に膜状にかつ一体的に形成される場合について説明した。しかし、吸収体５１は、例えば、球形状を有していてもよい。また、吸収体５１は、検出素子３１毎に個別に配置された複数の吸収部を有していてもよい。
【００５９】
このように、本実施例においては、検出装置５０は、基板１１の第２の面Ｓ２に対向して配置され、電磁波Ｌ１に対して吸収性を有する吸収体５１を有する。従って、正確に電磁波Ｌ１を検出することが可能な電磁波検出装置５０を提供することができる。
【００６０】
なお、上記した実施例及びその変形例は、互いに組み合わせることができる。例えば、検出装置１０Ａが遮光膜４１を有していてもよい。また、検出装置４０が吸収体５１を有していてもよい。
【符号の説明】
【００６１】
１０、１０Ａ、１０Ｂ、４０、５０  電磁波検出装置
１１、１２  基板
ＰＪ、ＰＪ１  突起
２１、２２、２３  反射膜
２１  電磁波検出素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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