(57)【要約】【課題】一般的な構成のウェーハから形成された半導体基体を備える半導体装置と比較して、逆方向サージ電力耐量、リカバリー時におけるノイズ発生抑制、順方向電圧及びＶＦ−Ｑｒｒトレードオフ特性の全ての項目を高いレベルで並立させることができる半導体装置を提供する。【解決手段】第１導電型の第１領域及び第１導電型かつ第１領域よりも不純物濃度が高い第２領域を有する半導体基体と、主面側構造とを備え、第１領域と第２領域との境界の深さ位置から第２領域内における不純物濃度が第１領域における不純物濃度の１０００倍になる深さ位置までの距離が、２０μｍ〜４０μｍの範囲内にあることを特徴とする半導体装置。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１導電型の第１領域及び第１導電型かつ前記第１領域よりも不純物濃度が高い第２領域を有する半導体基体と、
前記第１領域の主面側から前記第１領域の主面上にわたって形成された主面側構造とを備え、
前記第１領域と前記第２領域との境界の深さ位置から前記第２領域内における不純物濃度が前記第１領域における不純物濃度の１０００倍になる深さ位置までの距離が、２０μｍ〜４０μｍの範囲内にあることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
前記第１領域の厚さと前記第２領域の厚さとの合計が１５０μｍ〜２５０μｍの範囲内にあることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
前記半導体装置は、ダイオードであり、
前記主面側構造は、前記第１領域の主面側に選択的に形成された第２導電型の第３領域と、前記第１領域及び前記第３領域と接触している導電体膜とを有することを特徴とする請求項１又は２に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記導電体膜は、ケイ素含有アルミニウム又は白金からなることを特徴とする請求項３に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記第１領域の厚さをＷａとし、前記第２領域の厚さをＷｂとするとき、
０．６≦Ｗａ／Ｗｂ≦０．９の関係を満たすことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項６】
前記第１領域の厚さをＷａとし、前記第１領域の厚さと前記第２領域の厚さとの合計をＷｔとするとき、
０．４≦Ｗａ／Ｗｔ≦０．５の関係を満たすことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の半導体装置。
【請求項７】
第１導電型の第１領域及び第１導電型かつ前記第１領域よりも不純物濃度が高い第２領域を有し、前記第１領域と前記第２領域との境界の深さ位置から前記第２領域内における不純物濃度が前記第１領域における不純物濃度の１０００倍になる深さ位置までの距離が、２０μｍ〜４０μｍの範囲内にある半導体基体を準備する半導体基体準備工程と、
前記第１領域の主面側から前記第１領域の主面上にわたって主面側構造を形成する主面側構造形成工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項８】
ダイオードと、
スイッチング素子と、
誘導性負荷とを備え、
前記ダイオードは、第１導電型の第１領域及び第１導電型かつ前記第１領域よりも不純物濃度が高い第２領域を有する半導体基体と、前記第１領域の主面側から前記第１領域の主面上にわたって形成された主面側構造とを備え、前記第１領域と前記第２領域との境界の深さ位置から前記第２領域内における不純物濃度が前記第１領域における不純物濃度の１０００倍になる深さ位置までの距離が、２０μｍ〜４０μｍの範囲内にあることを特徴とする電力変換回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置、半導体装置の製造方法及び電力変換回路に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、第１導電型の第１領域及び第１導電型かつ第１領域よりも不純物濃度が高い第２領域を有する半導体基体を備える半導体装置が広く知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
上記のような半導体基体としては、一般的に、エピタキシャル成長により第１領域の不純物濃度と第２領域の不純物濃度とを異なるものとしたウェーハ（以下、Ｅｐｉウェーハという。）から形成されたものや、不純物の拡散により第１領域の不純物濃度と第２領域の不純物濃度とを異なるものとしたウェーハ（以下、拡散ウェーハという。）から形成されたものが用いられている。
【０００４】
Ｅｐｉウェーハから形成された半導体基体では、拡散ウェーハから形成された半導体基体と比較して、第１領域と第２領域との境界の深さ位置から第２領域内における不純物濃度がある値（例えば、第１領域における不純物濃度の１０００倍）になるまでの深さ位置までの距離が短くなる（濃度勾配が急峻になる。後述する図４の比較例１，２参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第５３３３２４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、半導体装置がダイオード（特に電力分野に用いるための、耐圧が６００Ｖ以上の高耐圧ダイオード）であるときにおいて、Ｅｐｉウェーハから形成された半導体基体を備えるダイオードでは、逆方向サージ電力（ＰＲＳＭ）耐量が低くなる傾向があり（後述する図５（ａ）の比較例１参照。）、また、リカバリー時に大きなノイズ（特に電圧ノイズ）が発生する場合もある（後述する図５（ｂ）の比較例１参照。）。
【０００７】
一方、従来の拡散ウェーハから形成された半導体基体を備えるダイオードでは、順方向電圧（ＶＦ）が増大する傾向があり（後述する図６（ａ）の比較例２参照。）、ＶＦ−Ｑｒｒトレードオフが悪化する場合がある（後述する図６（ｂ）の比較例２参照。）。
【０００８】
このため、従来から一般的に用いられているＥｐｉウェーハや従来の拡散ウェーハ（以下、これらをまとめて一般的な構成のウェーハという。）から形成された半導体基体を備えるダイオードには、逆方向サージ電力耐量、リカバリー時におけるノイズ発生抑制、順方向電圧及びＶＦ−Ｑｒｒトレードオフの全ての特性を高いレベルで並立させることは困難であるという問題がある。
【０００９】
また、ダイオード以外の半導体装置でも、一般的な構成のウェーハから形成された半導体基体を備える場合には、上記した問題と似た問題が生じると考えられる。
【００１０】
そこで、本発明は上記した問題を解決するためになされたものであり、一般的な構成のウェーハから形成された半導体基体を備える半導体装置と比較して、逆方向サージ電力耐量、リカバリー時におけるノイズ発生抑制、順方向電圧及びＶＦ−Ｑｒｒトレードオフの全ての特性を高いレベルで並立させることができる半導体装置を提供することを目的とする。また、本発明は、上記した半導体装置を製造するための半導体装置の製造方法を提供することも目的とする。さらに、本発明は、上記した半導体装置を用いた電力変換回路を提供することも目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
［１］本発明の半導体装置は、第１導電型の第１領域及び第１導電型かつ前記第１領域よりも不純物濃度が高い第２領域を有する半導体基体と、前記第１領域の主面側から前記第１領域の主面上にわたって形成された主面側構造とを備え、前記第１領域と前記第２領域との境界の深さ位置から前記第２領域内における不純物濃度が前記第１領域における不純物濃度の１０００倍になる深さ位置までの距離が、２０μｍ〜４０μｍの範囲内にあることを特徴とする。
【００１２】
［２］本発明の半導体装置においては、前記第１領域の厚さと前記第２領域の厚さとの合計が１５０μｍ〜２５０μｍの範囲内にあることが好ましい。
【００１３】
［３］本発明の半導体装置においては、前記半導体装置は、ダイオードであり、前記主面側構造は、前記第１領域の主面側に選択的に形成された第２導電型の第３領域と、前記第１領域及び前記第３領域と接触している導電体膜とを有することが好ましい。
【００１４】
［４］本発明の半導体装置においては、前記導電体膜は、ケイ素含有アルミニウム又は白金からなることが好ましい。
【００１５】
［５］本発明の半導体装置においては、前記第１領域の厚さをＷａとし、前記第２領域の厚さをＷｂとするとき、０．６≦Ｗａ／Ｗｂ≦０．９の関係を満たすことが好ましい。
【００１６】
［６］本発明の半導体装置においては、前記第１領域の厚さをＷａとし、前記第１領域の厚さと前記第２領域の厚さとの合計をＷｔとするとき、０．４≦Ｗａ／Ｗｔ≦０．５の関係を満たすことが好ましい。
【００１７】
［７］本発明の半導体装置の製造方法は、第１導電型の第１領域及び第１導電型かつ前記第１領域よりも不純物濃度が高い第２領域を有し、前記第１領域と前記第２領域との境界の深さ位置から前記第２領域内における不純物濃度が前記第１領域における不純物濃度の１０００倍になる深さ位置までの距離が、２０μｍ〜４０μｍの範囲内にある半導体基体を準備する半導体基体準備工程と、前記第１領域の主面側から前記第１領域の主面上にわたって主面側構造を形成する主面側構造形成工程とを含むことを特徴とする。
【００１８】
［８］本発明の電力変換回路は、ダイオードと、スイッチング素子と、誘導性負荷とを備え、前記ダイオードは、第１導電型の第１領域及び第１導電型かつ前記第１領域よりも不純物濃度が高い第２領域を有する半導体基体と、前記第１領域の主面側から前記第１領域の主面上にわたって形成された主面側構造とを備え、前記第１領域と前記第２領域との境界の深さ位置から前記第２領域内における不純物濃度が前記第１領域における不純物濃度の１０００倍になる深さ位置までの距離が、２０μｍ〜４０μｍの範囲内にあることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
まず、本発明の半導体装置においては、第１領域と第２領域との境界の深さ位置から第２領域内における不純物濃度が第１領域における不純物濃度の１０００倍になる深さ位置までの距離（以下、濃度勾配を評価するための距離という意味で、評価距離ということもある。）が２０μｍ以上であるため、Ｅｐｉウェーハから形成された半導体基体を備える半導体装置と比較して、評価距離が長くなる（濃度勾配が緩やかとなる）。
このため、本発明の半導体装置によれば、低電圧でのリーチスルーを抑制するとともにリカバリー時にソフトリカバリーとすることが可能となり、その結果、後述する実施例で示すように、逆方向サージ電力耐量の低下を抑制することやリカバリー時のノイズの発生を抑制することができる。
【００２０】
また、本発明の半導体装置においては、評価距離が４０μｍ以下であるため、従来の拡散ウェーハから形成された半導体基体を備える半導体装置と比較して、評価距離が短くなる（濃度勾配が急峻となる）。
このため、本発明の半導体装置によれば、従来の拡散ウェーハから形成された半導体基体を備える半導体装置と比較して第２領域を薄くすることが可能となり、その結果、後述する実施例で示すように、順方向電圧（ＶＦ）の増大を抑制することやＶＦ−Ｑｒｒトレードオフの悪化を抑制することができる。
【００２１】
したがって、本発明の半導体装置は、一般的な構成のウェーハから形成された半導体基体を備える半導体装置と比較して、逆方向サージ電力耐量、リカバリー時におけるノイズ発生抑制、順方向電圧及びＶＦ−Ｑｒｒトレードオフの全ての特性を高いレベルで並立させることができる半導体装置となる。
【００２２】
本発明の半導体装置の製造方法は、第１領域と第２領域との境界の深さ位置から第２領域内における不純物濃度が第１領域における不純物濃度の１０００倍になる深さ位置までの距離が２０μｍ〜４０μｍの範囲内にある半導体基体を準備する半導体基体準備工程を含むため、一般的な構成のウェーハから形成された半導体基体を備える半導体装置と比較して、逆方向サージ電力耐量、リカバリー時におけるノイズ発生抑制、順方向電圧及びＶＦ−Ｑｒｒトレードオフの全ての特性を高いレベルで並立させることができる半導体装置（本発明の半導体装置）を製造することができる半導体装置の製造方法となる。
【００２３】
本発明の電力変換回路は、逆方向サージ電力耐量、リカバリー時におけるノイズ発生抑制、順方向電圧及びＶＦ−Ｑｒｒトレードオフの全ての特性を高いレベルで並立させることができるダイオード（本発明の半導体装置であるダイオード）を備える高品質な電力変換回路となる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】実施形態に係る半導体装置１の断面図である。図１では説明に必要な範囲を表示しているため、図１に示す半導体装置１の両端は半導体装置１の実際の両端と一致するとは限らない。これは、後述する図７においても同様である。
【図２】実施形態に係る半導体装置１の製造方法を説明するために示す図である。図２（ａ）〜図２（ｃ）は各工程図である。
【図３】実施形態に係る電力変換回路１００を示す回路図である。
【図４】実施例に係る半導体装置及び比較例１，２に係る半導体装置における半導体基体の濃度プロファイルを示す図である。図４の横軸は第１領域の主面を基準とした深さ（図４においては単に「深さ」と記載。単位：μｍ）を示し、縦軸は第１導電型の不純物濃度（図４においては単に「不純物濃度」と記載。単位：ｃｍ−３）を示す。図４におけるＷａは第１領域と第２領域との境界の深さ位置を表し、Ｃａは第１領域と第２領域との境界の深さ位置における不純物濃度を表し、ＣｂはＣａの１０００倍の不純物濃度を表し、Ｄ１は実施例に係る半導体装置の第２領域における不純物濃度がＣｂとなる深さ位置を表し、Ｄ２は比較例１に係る半導体装置の第２領域における不純物濃度がＣｂとなる深さ位置を表し、Ｄ３は比較例２に係る半導体装置の第２領域における不純物濃度がＣｂとなる深さ位置を表す。なお、図４におけるＷａからＤ１までの距離が実施例における評価距離となり、ＷａからＤ２までの距離が比較例１における評価距離となり、ＷａからＤ３までの距離が比較例２における評価距離となる。図４のグラフは、適切と考えられる条件で行った実験で得られた実測値をもとに作成したものである。適切と考えられる条件で行った実験で得られた実測値に基づくという点については、後述する各グラフにおいても同様である。なお、「適切と考えられる条件」とは、本発明の対象となる半導体装置の多くに適用可能であり、本発明の対象となる半導体装置の多くについて似た傾向の結果が得られると考えられる条件のことをいう。
【図５】実施例に係る半導体装置の特性と比較例１に係る半導体装置の特性とを比較するために示すグラフである。図５（ａ）は逆方向サージ電力耐量（ＰＲＳＭ）分布を示すグラフであり、図５（ｂ）はリカバリー電圧の波形を示すグラフである。図５（ａ）の横軸は逆方向サージ電力耐量（図５（ａ）においては単に「ＰＲＳＭ」と記載。単位：ｋＷ）を示し、縦軸はパーセントを示す。図５（ｂ）の横軸は時間（単位：ｎｓ）を示し、縦軸は電圧（単位：Ｖ）を示す。
【図６】実施例に係る半導体装置の特性と比較例１，２に係る半導体装置の特性とを比較するために示すグラフである。図６（ａ）はＶＦ−ＩＦ特性を示すグラフであり、図６（ｂ）はＶＦ−Ｑｒｒトレードオフ特性を示すグラフである。図６（ａ）の横軸はＶＦ（単位：Ｖ）を示し、縦軸はＩＦ（単位：Ａ）を示す。図６（ｂ）の横軸はＶＦ（単位：Ｖ）を示し、縦軸はＱｒｒ（単位：ｎＣ）を示す。
【図７】変形例に係る半導体装置２の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の半導体装置、半導体装置の製造方法及び電力変換回路について、図に示す実施形態に基づいて説明する。なお、構造を示す各図面は模式図であり、必ずしも実際の構造や構成等を厳密に反映するものではない。以下に説明する実施形態は、請求の範囲に係る発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている諸要素及びその組み合わせの全てが本発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００２６】
［実施形態］
１．半導体装置１の構成
まず、実施形態１に係る半導体装置１の構成について説明する。
実施形態に係る半導体装置１は、ダイオードである。
実施形態に係る半導体装置１は、図１に示すように、半導体基体１０と、主面側構造２０と、電極３０とを備える。
【００２７】
なお、半導体装置１は、上記した以外の構成要素を備えていてもよいが、それらは本発明には直接関係しないため、説明及び図示は行わない。
【００２８】
半導体基体１０は、第１導電型の第１領域１２及び第１導電型かつ第１領域１２よりも不純物濃度が高い第２領域１４を有する。
実施形態においては、第１導電型はＮ型である。第１導電型の不純物としては、例えばリンを用いることができる。
第１領域１２における不純物濃度は、例えば５×１０１３ｃｍ−３〜１×１０１６ｃｍ−３の範囲内とすることができる。第１領域１２においては、基本的に全域にわたって不純物濃度がほぼ均一である。なお、後述する第３領域２２のような第２導電型の不純物が導入されている部分等、半導体装置の製造工程において後から形成された領域についてはこの限りではない。
第１領域１２の厚さは、例えば７５μｍ〜１２０μｍの範囲内とすることができる。
【００２９】
第１領域１２と第２領域１４との境界は、不純物濃度が第１領域１２の不純物濃度の値から高くなり始める場所のことをいう。このため、第２領域１４における不純物濃度は、第１領域１２と第２領域１４との境界における不純物濃度（実質的に第１領域１２の不純物濃度と同じ濃度）から第２領域１４の主面側（電極３０側）に向かうにつれて高くなっていく（後述する図４参照。）。
第２領域１４の電極３０側端部における不純物濃度は、例えば１×１０１９ｃｍ−３〜１×１０２１ｃｍ−３の範囲内とすることができる。
第２領域１４の厚さは、例えば、７５μｍ〜１７５μｍの範囲内とすることができる。
【００３０】
半導体装置１においては、第１領域１２の厚さと第２領域１４の厚さとの合計（半導体基体１０の厚さ）が１５０μｍ〜２５０μｍの範囲内にある。
【００３１】
半導体装置１においては、第１領域１２の厚さをＷａとし、第２領域１４の厚さをＷｂとするとき、０．６≦Ｗａ／Ｗｂ≦０．９の関係を満たす。
また、半導体装置１においては、第１領域１２の厚さと第２領域１４の厚さとの合計をＷｔとするとき、０．４≦Ｗａ／Ｗｔ≦０．５の関係を満たす。
【００３２】
半導体装置１においては、第１領域１２と第２領域１４との境界の深さ位置から第２領域１４内における不純物濃度が第１領域１２における不純物濃度の１０００倍になる深さ位置までの距離（評価距離）が、２０μｍ〜４０μｍの範囲内にある（後述する図４参照。）。
【００３３】
主面側構造２０は、第１領域１２の主面側から第１領域１２の主面上にわたって形成されたものである。主面側構造２０は、第３領域２２、導電体膜２４及び酸化膜２６を有する。半導体装置１における主面側構造２０は、ＭＰＳ構造やＪＢＳ構造といわれることもある。
【００３４】
なお、「第１領域の主面側」は、「第１領域の内部であって第１領域の主面に近い場所」ということもできる。
また、「第１領域の主面上」は、「第１領域の外部であって第１領域の表面上」ということもできる。
【００３５】
第３領域２２は、第１領域１２の主面側に選択的に形成された第２導電型の領域である。実施形態においては、第２導電型はＰ型である。第２導電型の不純物としては、例えばボロンを用いることができる。「選択的に形成された第３領域」とは、第３領域２２が第１領域１２の主面と導電体膜２４との間の一部の領域に形成されたものであることをいう。第３領域２２は、例えば、平面視したときに島状や縞状に形成されている。
第３領域２２の表面不純物濃度は、例えば１×１０１６ｃｍ−３〜１×１０１９ｃｍ−３とすることができる。
第１領域１２と第３領域２２とは、ＰＮ接合を形成している。
【００３６】
導電体膜２４は、第１領域１２の主面上に形成され、第１領域１２及び第３領域２２と接触している。導電体膜２４は、ケイ素含有アルミニウム又は白金からなる。導電体膜２４の厚さは、例えば１μｍ〜５μｍとすることができる。半導体装置１における導電体膜２４は、バリアメタルといわれることもある。
第１領域１２と導電体膜２４とは、ショットキー接合を形成している。
導電体膜２４は、アノード電極を兼ねている。
酸化膜２６は、第１領域１２の主面上に、導電体膜２４の半導体基体１０と接している部分を囲むように形成されている。酸化膜２６は、例えばＳｉＯ２からなる。
【００３７】
電極３０はカソード電極である。電極３０は、例えば、ニッケルからなる。電極３０の厚さは、例えば２μｍとすることができる。
【００３８】
２．半導体装置の製造方法
次に、実施形態に係る半導体装置の製造方法について説明する。
実施形態に係る半導体装置の製造方法は、実施形態１に係る半導体装置１を製造するための製造方法である。
【００３９】
実施形態に係る半導体装置の製造方法は、半導体基体準備工程Ｓ１と、主面側構造形成工程Ｓ２と、電極形成工程Ｓ３とを含む。
なお、本明細書においては、本発明との関連性が高い工程について記載する。つまり、必ずしも本明細書に記載した工程のみで半導体装置全体を製造するものではない。本発明の半導体装置の製造方法は、本明細書で説明する工程の前後や本明細書で説明する工程の間に、本明細書に記載する以外の工程を含んでいてもよい。
【００４０】
半導体基体準備工程Ｓ１は、図２（ａ）に示すように、第１導電型の第１領域１２及び第１導電型かつ第１領域１２よりも不純物濃度が高い第２領域１４を有し、第１領域１２と第２領域１４との境界の深さ位置から第２領域１４内における不純物濃度が第１領域１２における不純物濃度の１０００倍になる深さ位置までの距離が、２０μｍ〜４０μｍの範囲内にある半導体基体１０を準備する工程である。
【００４１】
また、実施形態における半導体基体準備工程Ｓ１において準備する半導体基体１０は、実施形態に係る半導体装置１を製造するためのものであるため、厚さや不純物濃度については上記半導体装置１に関する記載で説明した半導体基体１０と同様である。
厚さに関して再度記載すると、半導体基体準備工程Ｓ１で準備する半導体基体１０は、第１領域１２の厚さと第２領域１４の厚さとの合計（半導体基体１０の厚さ）が１５０μｍ〜２５０μｍの範囲内にあり、かつ、０．６≦Ｗａ／Ｗｂ≦０．９の関係及び０．４≦Ｗａ／Ｗｔ≦０．５の関係を満たす。
【００４２】
主面側構造形成工程Ｓ２は、図２（ｂ）に示すように、第１領域１２の主面側から第１領域１２の主面上にわたって主面側構造２０を形成する工程である。
実施形態における主面側構造２０は、例えば、マスクや酸化膜（酸化膜２６を含む）を形成する工程、第２導電型（Ｐ型）の不純物を半導体基体１０に選択的に導入して第３領域２２を形成する工程、熱処理を行う工程、導電体膜２４を形成する工程等を実施することで形成することができる。主面側構造２０自体は既知の構造であり、上記例示で記載した工程も既知の工程であり、各種工程を実施する順番や組み合わせ等も既知のものであるため、詳細な説明は省略する。
【００４３】
電極形成工程Ｓ３は、図２（ｃ）に示すように、電極３０を形成する工程である。実施形態における電極３０は既知の構造のものであり、既知の方法で形成することができるため、詳細な説明は省略する。
【００４４】
少なくとも以上の工程を含む実施形態に係る半導体装置の製造方法を実施することにより、実施形態に係る半導体装置１を製造することができる。
【００４５】
３．電力変換回路１００の構成
次に、実施形態に係る電力変換回路１００について説明する。
実施形態に係る電力変換回路１００は、図３に示すように、ダイオードである半導体装置１と、スイッチング素子１１０と、誘導性負荷（リアクトル）１２０と、電源１３０と、平滑コンデンサ１４０とを備える。電力変換回路１００の外部端子には、負荷１５０が接続されている。
半導体装置１は、いわゆるフリーホイールダイオードとして扱われる。
【００４６】
スイッチング素子１１０は、スイッチング素子１１０、誘導性負荷１２０及び電源１３０から構成される回路の開閉を制御する。実施形態におけるスイッチング素子１１０は、ＭＯＳＦＥＴからなる。
スイッチング素子１１０は、ドライブ回路（図示せず）からスイッチング素子１１０のゲート電極に印加されるクロック信号に応答してスイッチングする。スイッチング素子１１０がオン状態になると、スイッチング素子１１０、誘導性負荷１２０及び電源１３０から構成される回路が閉状態となり、誘導性負荷１２０に電源１３０からの電流が流れるようになる。
【００４７】
誘導性負荷１２０は、電流によって形成される磁場にエネルギーを蓄えることができる受動素子（インダクタ）である。
電源１３０の陽極は、誘導性負荷１２０の一方端と電気的に接続されており、電源１３０の負極は、スイッチング素子１１０のソース電極と電気的に接続されている。また、スイッチング素子１１０のドレイン電極は、誘導性負荷１２０の他方端及び半導体装置１の電極３０（アノード電極）と電気的に接続されている。
【００４８】
４．実施形態に係る半導体装置１、半導体装置の製造方法及び電力変換回路の効果
以下、実施形態に係る半導体装置１、半導体装置の製造方法及び電力変換回路の効果について説明する。
【００４９】
まず、実施形態に係る半導体装置１においては、評価距離が２０μｍ以上であるため、Ｅｐｉウェーハから形成された半導体基体を備える半導体装置と比較して、評価距離が長くなる（濃度勾配が緩やかとなる）。
このため、実施形態に係る半導体装置１によれば、低電圧でのリーチスルーを抑制するとともにリカバリー時にソフトリカバリーとすることが可能となり、その結果、後述する実施例で示すように、逆方向サージ電力耐量の低下を抑制することやリカバリー時のノイズの発生を抑制することができる。
【００５０】
また、実施形態に係る半導体装置１においては、評価距離が４０μｍ以下であるため、従来の拡散ウェーハから形成された半導体基体を備える半導体装置と比較して、評価距離が短くなる（濃度勾配が急峻となる）。
このため、実施形態に係る半導体装置１においては、従来の拡散ウェーハから形成された半導体基体を備える半導体装置と比較して第２領域１４を薄くすることが可能となり、その結果、後述する実施例で示すように、順方向電圧（ＶＦ）の増大を抑制することやＶＦ−Ｑｒｒトレードオフの悪化を抑制することができる。
【００５１】
したがって、実施形態に係る半導体装置１は、一般的な構成のウェーハから形成された半導体基体を備える半導体装置と比較して、逆方向サージ電力耐量、リカバリー時におけるノイズ発生抑制、順方向電圧及びＶＦ−Ｑｒｒトレードオフの全ての特性を高いレベルで並立させることができる半導体装置となる。
【００５２】
また、実施形態に係る半導体装置１によれば、第１領域１２を厚くしたり傾斜／ダブルＥｐｉのような複雑な構成を採用したりすることなく、逆方向サージ電力耐量の低下を抑制することやリカバリー時のノイズの発生を抑制することができる。このため、実施形態に係る半導体装置１によれば、第１領域を厚くしたり複雑な構成を採用したりしたＥｐｉウェーハから形成された半導体基体を備える半導体装置と比較して、順方向電圧（ＶＦ）の低減や低コスト化を達成することが可能となる。
【００５３】
また、実施形態に係る半導体装置１によれば、従来の拡散ウェーハから形成された半導体基体を備える半導体装置と比較して第２領域１４の主面側から見たＮ型不純物の拡散深さを浅くすることができる（逆に言えば、拡散深さを深くする必要がない。）。このため、実施形態に係る半導体装置１によれば、従来の拡散ウェーハから形成された半導体基体を備える半導体装置と比較して低コスト化や特性のバラツキの改善を達成することが可能となる。
【００５４】
また、実施形態に係る半導体装置１においては、半導体基体１０の厚さが１５０μｍ〜２５０μｍの範囲内にある。実施形態に係る半導体装置１によれば、半導体基体１０の厚さが１５０μｍ以上であるため、半導体基体１０の厚さを十分に確保することで十分な耐圧を確保することが可能となるとともに、製造時に半導体基体１０が破壊されてしまう事態（いわゆるウェーハ割れ）の発生を抑制することが可能となる。また、実施形態に係る半導体装置１においては、半導体基体１０の厚さが２５０μｍ以下であるため、特に順方向電圧（ＶＦ）の増大を一層抑制し、半導体装置１の特性を一層高いレベルで並立させることができる。
【００５５】
また、実施形態に係る半導体装置１によれば、半導体装置１は、ダイオードであり、主面側構造２０は、第１領域１２の主面側に選択的に形成された第２導電型の第３領域２２と、第１領域１２及び第３領域２２と接触している導電体膜２４とを有するため、逆方向サージ電力耐量の低下を一層抑制することが可能となり、かつ、順方向電圧ＶＦを一層低くすることが可能となる。
【００５６】
また、実施形態に係る半導体装置１によれば、導電体膜２４は、ケイ素含有アルミニウム又は白金からなるため、従来よく用いられているアルミニウムからなる導電体膜を用いた場合と比較して、動作時（高温時）における逆方向特性を向上させることが可能となる。
【００５７】
また、実施形態に係る半導体装置１においては、０．６≦Ｗａ／Ｗｂ≦０．９の関係を満たす。実施形態に係る半導体装置１によれば、０．６≦Ｗａ／Ｗｂの関係を満たすため、第２領域１４を十分に薄くして半導体基体１０の厚さを十分に低減することが可能となる。また、実施形態に係る半導体装置１によれば、Ｗａ／Ｗｂ≦０．９の関係を満たすため、第２領域１４を過剰に薄くしすぎないようにして半導体装置１の特性や耐圧の低下を十分に抑制することが可能となる。
【００５８】
また、実施形態に係る半導体装置１においては、０．４≦Ｗａ／Ｗｔ≦０．５の関係を満たす。実施形態に係る半導体装置１によれば、０．４≦Ｗａ／Ｗｔの関係を満たすため、半導体基体１０中の第１領域１２の厚さを十分に確保して半導体装置としての性能を十分に確保することが可能となる。また、実施形態に係る半導体装置１によれば、Ｗａ／Ｗｔ≦０．５の関係を満たすため、第２領域１４や半導体基体１０を過剰に薄くしすぎないようにして半導体装置１の特性や耐圧の低下を十分に抑制することが可能となる。
【００５９】
実施形態に係る半導体装置の製造方法は、評価距離が、２０μｍ〜４０μｍの範囲内にある半導体基体１０を準備する半導体基体準備工程Ｓ１を含むため、実施形態に係る半導体装置１を製造することができる半導体装置の製造方法となる。
【００６０】
実施形態に係る電力変換回路１００は、回路中のダイオードが実施形態に係る半導体装置１であるため、逆方向サージ電力耐量、リカバリー時におけるノイズ発生抑制、順方向電圧及びＶＦ−Ｑｒｒトレードオフの全ての特性を高いレベルで並立させることができる半導体装置１を備える高品質な電力変換回路となる。
【００６１】
［実施例］
以下、本発明に係る半導体装置について、実際に特性を計測した結果に基づく説明を行う。
【００６２】
本発明の発明者は、本発明の半導体装置の効果を確認するために、実施形態に係る半導体装置１と同様の構成を有する半導体装置（以下、実施例に係る半導体装置という。）、Ｅｐｉウェーハから形成された半導体基体を備える半導体装置（以下、比較例１に係る半導体装置という。）及び従来の拡散ウェーハから形成された半導体基体を備える半導体装置（以下、比較例２に係る半導体装置という。）の３種類の半導体装置を準備し、それぞれの特性を測定した。
【００６３】
なお、実施例に係る半導体装置及び比較例１，２に係る半導体装置は、半導体基体の構成（厚さと不純物濃度の分布）以外の点（主面側構造等）については同様の構成を有するものとした。
【００６４】
結果の評価を容易にするために、各半導体装置の第１領域における不純物濃度は同一とした。具体的には、当該不純物濃度は、全ての半導体装置において１×１０１４ｃｍ−３とした（図４の符号Ｃａ参照。）。
このため、第１領域における不純物濃度の１０００倍は、１×１０１７ｃｍ−３となる（図４の符号Ｃｂ参照。）。
【００６５】
実施例に係る半導体装置においては、第１領域と第２領域との境界の深さ位置から第２領域内における不純物濃度が第１領域における不純物濃度の１０００倍になる深さ位置までの距離（評価距離）が約２９μｍである（２０μｍ〜４０μｍの範囲内にある）（図４の符号Ｄ１参照。）。
一方、比較例１に係る半導体装置においては評価距離は約５μｍであり（図４の符号Ｄ２参照。）、比較例２に係る半導体装置においては評価距離は約４８μｍである（図４の符号Ｄ３参照。）。
【００６６】
結果の評価を容易にするために、各半導体装置の第１領域の厚さＷａは同一のものとした。第２領域の厚さＷｂは、各半導体装置において妥当と考えられる厚さ、つまり、各半導体装置が動作するのに適すると考えられる厚さを採用した。
具体的には、第１領域の厚さＷａは、全ての半導体装置において９０μｍとした。
第２領域の厚さＷｂは、実施例に係る半導体装置においては１１０μｍとし、比較例１に係る半導体装置においては５２５μｍとし、比較例２に係る半導体装置においては１７５μｍとした。
【００６７】
具体的には、実施例に係る半導体装置においては、Ｗａ／Ｗｂ＝０．８２となり、Ｗａ／Ｗｔ＝０．４５となる。
比較例１に係る半導体装置においては、Ｗａ／Ｗｂ≒０．１７となり、Ｗａ／Ｗｔ≒０．１５となる。
比較例２に係る半導体装置においては、Ｗａ／Ｗｂ≒０．５１となり、Ｗａ／Ｗｔ≒０．３４となる。
【００６８】
まず、実施例に係る半導体装置及び比較例１に係る半導体装置について、逆方向サージ電力耐量（ＰＲＳＭ）分布を測定した。当該測定は、ＪＥＩＴＡ規格  ＥＤ−４５１１Ｂの１７頁−４.２．５  三角波法に沿って行った。
その結果、図５（ａ）に示すように、比較例１に係る半導体装置の逆方向サージ電力耐量は極端に低い（およそ１ｋＷ以下）であったのに対して、実施例に係る半導体装置の逆方向サージ電力耐量は８ｋＷ〜１０ｋＷ程度であり、十分に高い値であることが確認できた。このため、実施例に係る半導体装置は、比較例１に係る半導体装置と比較して逆方向サージ電力耐量に関する特性が優れているといえる。
【００６９】
次に、実施例に係る半導体装置及び比較例１に係る半導体装置について、リカバリー電圧波形を測定した。当該測定は定法により行った。測定条件は、ＩＦ＝３０ａ、ＶＲ＝６００Ｖ、−ｄｉ／ｄｔ＝２５０Ａ／μsとした。
その結果、図５（ｂ）に示すように、比較例１に係る半導体装置おいては大きな電圧ノイズが発生したのに対して、実施例に係る半導体装置においては電圧ノイズが非常に小さいことが確認できた。このため、実施例に係る半導体装置は、比較例１に係る半導体装置と比較してリカバリー時のノイズの低減に関する特性が優れているといえる。
【００７０】
次に、実施例に係る半導体装置及び比較例１，２に係る半導体装置について、順方向電圧−順方向電流特性（ＶＦ−ＩＦ特性）を測定した。当該測定は定法により行った。
その結果、図６（ａ）に示すように、実施例に係る半導体装置のＶＦ−ＩＦ特性は比較例１に係る半導体装置のＶＦ−ＩＦ特性に近く、比較例２に係る半導体装置と比較してＩＦあたりのＶＦを十分に低減することができていることが確認できた。このため、実施例に係る半導体装置は、比較例２に係る半導体装置と比較して順方向電圧に関する特性が優れているといえる。
【００７１】
さらに、実施例に係る半導体装置及び比較例１，２に係る半導体装置について、ＶＦとＱｒｒとの間のトレードオフを算出した。
その結果、図６（ｂ）に示すように、実施例に係る半導体装置のＶＦ−Ｑｒｒトレードオフの特性は比較例１に係る半導体装置のＶＦ−Ｑｒｒトレードオフの特性に近く、比較例２に係る半導体装置と比較してＶＦを十分に低減することができていることが確認できた。このため、実施例に係る半導体装置は、比較例２に係る半導体装置と比較してＶＦ−Ｑｒｒトレードオフの特性が優れているといえる。
【００７２】
以上の結果から、本発明の半導体装置は、一般的な構成のウェーハから形成された半導体基体を備える半導体装置と比較して、逆方向サージ電力耐量、リカバリー時におけるノイズ発生抑制、順方向電圧及びＶＦ−Ｑｒｒトレードオフの全ての特性を高いレベルで並立させることができる半導体装置となることが確認できた。
【００７３】
以上、本発明を上記の実施形態に基づいて説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではない。その趣旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば、次のような変形も可能である。
【００７４】
（１）上記実施形態において記載した構成要素の形状、数、位置等は例示であり、本発明の効果を損なわない範囲において変更することが可能である。
【００７５】
（２）上記実施形態においては、主面側構造２０は、第１領域１２の主面側に選択的に形成された第２導電型の第３領域２２と、第１領域１２及び第３領域２２と接触している導電体膜２４とを有するが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、図７に示す半導体装置２のように、他の主面側構造を備えるものであってもよい。なお、図７に示す変形例に係る半導体装置２はＰＮ接合型のダイオードであり、主面側構造４０は、Ｐ型の第３領域４２、導電体膜４４及び酸化膜２６を有する。
【００７６】
（３）本発明の半導体装置においては、半導体基体にライフタイムキラー（構造欠陥）が形成（導入）されていてもよい。
【００７７】
（４）本発明は、上記各実施形態とはＮ型とＰ型とが逆の場合でも成立する。
【００７８】
（５）上記各実施形態においては、半導体装置はダイオードであったが、本発明はこれに限定されるものではない。各種トランジスタ、サイリスタ、トライアック等、他の半導体装置にも本発明を適用することができる。ただし、本発明の電力変換回路に本発明の半導体装置を適用する場合においては、半導体装置はダイオードである。
【符号の説明】
【００７９】
１，２…半導体装置、１０…半導体基体、１２…第１領域、１４…第２領域、２０，４０…主面側構造、２２，４２…第３領域、２４，４４…導電体膜、２６…酸化膜、３０…電極、１００…電力変換回路、１１０…スイッチング素子、１２０…誘導性負荷、１３０…電源、１４０…平滑コンデンサ、１５０…負荷
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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