(57)【要約】【課題】接着シートが貼付された被着体にダメージを与えることなく、剥離した接着シートの剥離後端部を先に剥離した接着シートに取り付けることができるシート剥離装置およびシート剥離方法を提供すること。【解決手段】被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの剥離先端部ＡＳＦを接着シート保持部材ＰＴで保持する接着シート保持手段１０と、被着体ＷＫと接着シート保持部材ＰＴとを相対移動させ、接着シートＡＳの剥離先端部ＡＳＦから剥離後端部ＡＳＲに向けて当該接着シートＡＳを被着体ＷＫから剥離する剥離手段２０と、剥離手段２０で被着体ＷＫから剥離した接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲを、当該剥離手段で先に剥離して接着シート保持部材ＰＴに支持されている先剥離接着シートＡＳＢに取り付ける剥離後端部取付手段３０とを備え、剥離後端部貼付手段３０は、被着体ＷＫから剥離された後の接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲを先剥離接着シートＡＳＢに溶着にて取り付ける溶着手段３１を備えている。【選択図】図１
2019129264.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体に貼付された接着シートの剥離先端部を接着シート保持部材で保持する接着シート保持手段と、
前記被着体と接着シート保持部材とを相対移動させ、前記接着シートの剥離先端部から剥離後端部に向けて当該接着シートを前記被着体から剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で前記被着体から剥離した前記接着シートの剥離後端部を、当該剥離手段で先に剥離して前記接着シート保持部材で保持されている先剥離接着シートに取り付ける剥離後端部取付手段とを備え、
前記剥離後端部取付手段は、前記被着体から剥離された後の接着シートの前記剥離後端部を前記先剥離接着シートに溶着にて取り付ける溶着手段を備えていることを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
被着体に貼付された接着シートの剥離先端部を接着シート保持部材で保持する接着シート保持手段と、
前記被着体と接着シート保持部材とを相対移動させ、前記接着シートの剥離先端部から剥離後端部に向けて当該接着シートを前記被着体から剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で前記被着体から剥離した前記接着シートの剥離後端部を、当該剥離手段で先に剥離して前記接着シート保持部材で保持されている先剥離接着シートに取り付ける剥離後端部取付手段とを備え、
前記剥離後端部取付手段は、前記被着体から剥離された後の接着シートの前記剥離後端部を前記先剥離接着シートにステープラにて取り付けるステープラ取付手段を備えていることを特徴とするシート剥離装置。
【請求項３】
被着体に貼付された接着シートの剥離先端部を接着シート保持部材で保持する接着シート保持手段と、
前記被着体と接着シート保持部材とを相対移動させ、前記接着シートの剥離先端部から剥離後端部に向けて当該接着シートを前記被着体から剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で前記被着体から剥離した前記接着シートの剥離後端部を、当該剥離手段で先に剥離して前記接着シート保持部材で保持されている先剥離接着シートに取り付ける剥離後端部取付手段とを備え、
前記剥離後端部取付手段は、前記被着体から剥離された後の前記接着シートの剥離後端部と、前記先剥離接着シートとの少なくとも一方に、当該接着シートと当該先剥離接着シートとを接着する接着部材を取り付ける接着部材取付手段を備えていることを特徴とするシート剥離装置。
【請求項４】
被着体に貼付された接着シートの剥離先端部を接着シート保持部材で保持する接着シート保持工程と、
前記被着体と接着シート保持部材とを相対移動させ、前記接着シートの剥離先端部から剥離後端部に向けて当該接着シートを前記被着体から剥離する剥離工程と、
前記剥離工程で前記被着体から剥離した前記接着シートの剥離後端部を、当該剥離工程の１つ前の剥離工程で先に剥離して前記接着シート保持部材で保持されている先剥離接着シートに取り付ける剥離後端部取付工程とを備え、
前記剥離後端部取付工程は、前記被着体から剥離された後の接着シートの前記剥離後端部を前記先剥離接着シートに溶着にて取り付ける溶着工程を実施することを特徴とするシート剥離方法。
【請求項５】
被着体に貼付された接着シートの剥離先端部を接着シート保持部材で保持する接着シート保持工程と、
前記被着体と接着シート保持部材とを相対移動させ、前記接着シートの剥離先端部から剥離後端部に向けて当該接着シートを前記被着体から剥離する剥離工程と、
前記剥離工程で前記被着体から剥離した前記接着シートの剥離後端部を、当該剥離工程の１つ前の剥離工程で先に剥離して前記接着シート保持部材で保持されている先剥離接着シートに取り付ける剥離後端部取付工程とを備え、
前記剥離後端部取付工程は、前記被着体から剥離された後の接着シートの前記剥離後端部を前記先剥離接着シートにステープラにて取り付けるステープラ取付工程を実施することを特徴とするシート剥離方法。
【請求項６】
被着体に貼付された接着シートの剥離先端部を接着シート保持部材で保持する接着シート保持工程と、
前記被着体と接着シート保持部材とを相対移動させ、前記接着シートの剥離先端部から剥離後端部に向けて当該接着シートを前記被着体から剥離する剥離工程と、
前記剥離工程で前記被着体から剥離した前記接着シートの剥離後端部を、当該剥離工程の１つ前の剥離工程で先に剥離して前記接着シート保持部材で保持されている先剥離接着シートに取り付ける剥離後端部取付工程とを備え、
前記剥離後端部取付工程は、前記被着体から剥離された後の前記接着シートの剥離後端部と、前記先剥離接着シートとの少なくとも一方に、当該接着シートと当該先剥離接着シートとを接着する接着部材を取り付ける接着部材取付工程を実施することを特徴とするシート剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート剥離装置およびシート剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、接着シートの剥離先端部を接着シート保持部材で保持して当該接着シートを被着体から剥離し、剥離した当該接着シートの剥離後端部を先に剥離した接着シートに取り付けるシート剥離装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１３−２１９０８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の保護テープ剥離装置（シート剥離装置）では、剥離した保護テープＰＴ（接着シート）を先に剥離した接着シートに取り付けるために、接着テープＡＴや接着剤等の接着部材を、ウエハＷ（被着体）に貼付された状態の接着シートに取り付けるので、当該被着体にダメージを与えてしまうという不都合がある。
【０００５】
本発明の目的は、接着シートが貼付された被着体にダメージを与えることなく、剥離した接着シートの剥離後端部を先に剥離した接着シートに取り付けることができるシート剥離装置およびシート剥離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、被着体から剥離された後の接着シートの剥離後端部を先剥離接着シートに溶着にて取り付けるので、接着シートが貼付された被着体にダメージを与えることなく、剥離した接着シートの剥離後端部を先に剥離した接着シートに取り付けることができる。
また、被着体から剥離された後の接着シートの剥離後端部を先剥離接着シートにステープラにて取り付けるので、接着シートが貼付された被着体にダメージを与えることなく、剥離した接着シートの剥離後端部を先に剥離した接着シートに取り付けることができる。
さらに、被着体から剥離された後の接着シートの剥離後端部と、前記先剥離接着シートの剥離後端部との少なくとも一方に接着部材を取り付けるので、接着シートが貼付された被着体にダメージを与えることなく、剥離した接着シートの剥離後端部を先に剥離した接着シートに取り付けることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の実施形態に係るシート剥離装置の説明図。
【図２】（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の変形例に係るシート剥離装置の説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。また、図１（Ａ）以外において、方向を示す矢印を記載していない図は、全て図１（Ａ）と同じ方向から観た図とする。
【００１０】
本発明のシート剥離装置ＥＡは、被着体ＷＫに貼付された接着シートＡＳの剥離先端部ＡＳＦを接着シート保持部材としての剥離用テープＰＴで保持する接着シート保持手段１０と、被着体ＷＫと剥離用テープＰＴとを相対移動させ、接着シートＡＳの剥離先端部ＡＳＦから剥離後端部ＡＳＲに向けて当該接着シートＡＳを被着体ＷＫから剥離する剥離手段２０と、剥離手段２０で被着体ＷＫから剥離した接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲを、当該剥離手段２０で先に剥離して剥離用テープＰＴで保持されている先剥離接着シートＡＳＢに取り付ける剥離後端部取付手段３０とを備え、被着体ＷＫを支持する被着体支持手段４０の下方に配置されている。
【００１１】
接着シート保持手段１０は、駆動機器としての回動モータ１１Ａの図示しない出力軸に支持され、剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ１１と、剥離用テープＰＴを案内するガイドローラ１２と、剥離手段２０の移動プレート２２に支持された駆動機器としての直動モータ１３と、その出力軸１３Ａに支持され、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段１４Ａによって加熱される押圧手段としての押圧部材１４と、回動モータ１５Ａの図示しない出力軸に支持され、剥離用テープＰＴを回収する回収ローラ１５とを備えている。
【００１２】
剥離手段２０は、駆動機器としてのリニアモータ２１のスライダ２１Ａに支持された移動プレート２２と、剥離用テープＰＴを案内するガイドローラ２３と、移動プレート２２に支持された駆動機器としての回動モータ２４Ａと、その図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ２５とで剥離用テープＰＴを挟み込む駆動ローラ２４とを備えている。
【００１３】
剥離後端部取付手段３０は、被着体ＷＫから剥離された後の接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲを先剥離接着シートＡＳＢに溶着にて取り付ける溶着手段３１を備えている。
溶着手段３１は、移動プレート２２に支持されたリニアモータ３１Ａと、そのスライダ３１Ｂに支持され、受け部材３１Ｄとで接着シートＡＳ等を挟み込む押圧部材３１Ｃと、押圧部材３１Ｃに超音波を印加し、接着シート同士を溶着可能な図示しない超音波印加手段とを備えている。なお、剥離後端部取付手段３０は、接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲを剥離用テープＰＴに取り付けることも可能となっている。
【００１４】
被着体支持手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１と、そのスライダ４１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない保持手段としての減圧手段によって吸着保持が可能な支持面４２Ａを有するとしての支持テーブル４２とを備えている。
【００１５】
以上のシート剥離装置ＥＡの剥離動作を説明する。
なお、本動作説明では、以下と同様の剥離動作によって初回の剥離動作が先に行われ、被着体ＷＫから剥離された接着シートＡＳが先剥離接着シートＡＳＢとなって剥離用テープＰＴに支持され、当該シート剥離装置ＥＡの各部材が図１（Ａ）中実線で示す初期位置で待機している。そして、当該シート剥離装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）または駆動機器やコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）中実線で示すように、接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫを支持テーブル４２の支持面４２Ａに当接させると、被着体支持手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面４２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。
【００１６】
次いで、被着体支持手段４０がリニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４２を右方に移動させ、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳの右端部が押圧部材１４の直上に到達すると、リニアモータ４１の駆動を停止する。その後、接着シート保持手段１０が直動モータ１３および加熱手段１４Ａを駆動し、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、押圧部材１４を上昇させて剥離用テープＰＴを接着シートＡＳの剥離先端部ＡＳＦに押圧して貼付し、当該接着シートＡＳの剥離先端部ＡＳＦを剥離用テープＰＴで保持する。接着シートＡＳの剥離先端部ＡＳＦを剥離用テープＰＴで保持すると、接着シート保持手段１０が加熱手段１４Ａの駆動を停止するとともに、直動モータ１３を駆動し、押圧部材１４を初期位置に復帰させる。
【００１７】
次に、接着シート保持手段１０および剥離手段２０が回動モータ１１Ａ、２４Ａおよびリニアモータ２１を駆動し、移動プレート２２を左方へ所定距離移動させつつ、適宜駆動ローラ２４および支持ローラ１１を回転させ、支持ローラ１１側から剥離用テープＰＴを所定長さ繰り出して、駆動ローラ２４の最上部を接着シートＡＳの剥離先端部ＡＳＦ下方に位置させる。これにより、図１（Ｂ）中実線で示すように、剥離用テープＰＴに所定長さの弛みができ、その弛みによって折返し部ＰＴ１が形成され、当該折返し部ＰＴ１が駆動ローラ２４によって被着体ＷＫ方向に押し付けられ、当該剥離用テープＰＴが押し付け姿勢を採るようになる。そして、剥離手段２０がリニアモータ２１および回動モータ２４Ａを駆動し、移動プレート２２を左方へ移動させるとともに、駆動ローラ２４を回転させ、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、剥離用テープＰＴの押し付け姿勢を維持しつつ、被着体ＷＫと剥離用テープＰＴとを相対移動させ、接着シートＡＳの剥離先端部ＡＳＦから剥離後端部ＡＳＲに向けて当該接着シートＡＳを被着体ＷＫから剥離する。このように、押し付け姿勢を維持しながら接着シートＡＳを被着体ＷＫから剥離することで、当該被着体ＷＫを支持面４２Ａに押し付けながら接着シートＡＳを剥離することができ、被着体ＷＫが剥離される接着シートＡＳに引っ張られてストレスがかかったり、被着体ＷＫが支持テーブル４２から落下したりすることを防止することができる。
【００１８】
被着体ＷＫから接着シートＡＳ全体が剥離されると、使用者または図示しない搬送手段が、接着シートＡＳが剥離された被着体ＷＫを支持した後、被着体支持手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面４２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を解除する。次いで、使用者または図示しない搬送手段が支持した被着体ＷＫを次工程に搬送する。
【００１９】
一方、被着体ＷＫから接着シートＡＳ全体が剥離されると、剥離手段２０がリニアモータ２１および回動モータ２４Ａの駆動を停止した後、接着シート保持手段１０が回動モータ１５Ａを駆動し、回収ローラ１５で剥離用テープＰＴを巻き取り、剥離用テープＰＴの弛み（折返し部ＰＴ１）を解消する。その後、接着シート保持手段１０および剥離手段２０が回動モータ１１Ａ、２４Ａを駆動し、支持ローラ１１で剥離用テープＰＴを巻き取り、図１（Ｃ）中実線で示すように、接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲが駆動ローラ２４とピンチローラ２５とで挟み込まれる位置に到達すると、接着シート保持手段１０および剥離手段２０が回動モータ１１Ａ、２４Ａの駆動を停止する。次に、剥離後端部取付手段３０がリニアモータ３１Ａを駆動し、図１（Ｃ）中実線で示すように、押圧部材３１Ｃを左方へ移動させて受け部材３１Ｄとで接着シートＡＳ、先剥離接着シートＡＳＢおよび剥離用テープＰＴを挟み込んだ後、図示しない超音波印加手段を駆動し、当該接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲを先剥離接着シートＡＳＢに溶着にて取り付ける。そして、先剥離接着シートＡＳＢへの接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲの取り付けが完了すると、剥離後端部取付手段３０が図示しない超音波印加手段の駆動を停止するとともに、リニアモータ３１Ａを駆動し押圧部材３１Ｃを初期位置に復帰させる。
【００２０】
次いで、被着体支持手段４０がリニアモータ４１を駆動し、支持テーブル４２を初期位置に復帰させる共に、剥離手段２０がリニアモータ２１および回動モータ２４Ａを駆動し、移動プレート２２を初期位置に復帰させた後、接着シート保持手段１０および剥離手段２０が回動モータ１１Ａ、１５Ａ、２４Ａを駆動し、剥離用テープＰＴを回収ローラ１５で巻き取る。その後、図１（Ｃ）中二点鎖線で示すように、未使用の剥離用テープＰＴ部分が押圧部材１４の上方に位置すると、接着シート保持手段１０および剥離手段２０が回動モータ１１Ａ、１５Ａ、２４Ａの駆動を停止する。これにより、今回の剥離動作によって被着体ＷＫから剥離された接着シートＡＳが先剥離接着シートＡＳＢとなって剥離用テープＰＴに支持された状態となり、以降上記同様の剥離動作が繰り返される。
【００２１】
以上のようなシート剥離装置ＥＡによれば、被着体ＷＫから剥離された後の接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲを先剥離接着シートＡＳＢに溶着にて取り付けるので、接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫにダメージを与えることなく、剥離した接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲを先に剥離した接着シートＡＳＢに取り付けることができる。
【００２２】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、接着シート保持手段は、被着体に貼付された接着シートの剥離先端部を接着シート保持部材で保持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。
【００２３】
例えば、接着シート保持手段１０は、支持ローラ１１やガイドローラ１２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で剥離用テープＰＴを支持したり案内したりしてもよいし、剥離用テープＰＴを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離用テープＰＴを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、剥離用テープＰＴとして感圧接着性の接着テープが採用されてもよいし、感熱接着性の接着テープが採用されてもよく、剥離用テープＰＴとして感圧接着性の接着テープが採用された場合、加熱手段１４Ａは、あってもよいし、なくてもよい。
接着シート保持手段１０は、接着シート保持部材として、例えば、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等を採用し、接着シートＡＳの剥離先端部ＡＳＦを保持してもよい。
【００２４】
剥離手段２０は、剥離用テープＰＴを移動させることなくまたは移動させつつ、被着体ＷＫを移動させて当該被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離してもよいし、ガイドローラ２３の代わりに板状部材やシャフト部材等で剥離用テープＰＴを案内してもよい。
【００２５】
剥離後端部取付手段３０は、溶着手段３１に代えて、図２（Ａ）に示すように、被着体ＷＫから剥離された後の接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲを先剥離接着シートＡＳＢにステープラＳＰにて取り付けるステープラ取付手段３２を備えていてもよい。
このようなステープラ取付手段３２は、受け部材３２Ｂとで接着シートＡＳ等を挟み込み、ステープラＳＰを取り付けるステープラ取付機器３２Ａを備え、前記実施形態において、剥離後端部取付手段３０がリニアモータ３１Ａを駆動するタイミングと同じタイミングで、ステープラ取付機器３２Ａを駆動し、ステープラＳＰを打ち付けて接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲを先剥離接着シートＡＳＢに取り付ける。
【００２６】
剥離後端部取付手段３０は、溶着手段３１に代えて、図２（Ｂ）に示すように、被着体ＷＫから剥離された後の接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲと、先剥離接着シートＡＳＢとの少なくとも一方に、当該接着シートＡＳと当該先剥離接着シートＡＳＢとを接着する接着部材としての両面接着シートＢＡを取り付ける接着部材取付手段３３を備えていてもよい。
このような接着部材取付手段３３は、両面接着シートＢＡを供給する供給手段３３Ａと、駆動機器であって押圧手段としての直動モータ３３Ｂと、その出力軸３３Ｃに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって供給手段３３Ａから供給された両面接着シートＢＡを吸着保持が可能な保持部材３３Ｄと、保持部材３３Ｄとで接着シートＡＳ等を挟み込む受け部材３３Ｅと、ガイドローラ２３とで接着シートＡＳ等を圧着する受けローラ３３Ｆとを備えている。なお、保持部材３３Ｄが両面接着シートＢＡを保持する面には、両面接着シートＢＡが接着しない不接着処理が施されている。なお、供給手段３３Ａとしては、例えば特開２０１６−１１７５２０号公報や、特開２０１１−１１８９０号公報等で開示された公知のシート供給装置が例示できる。
そして、前記実施形態と同様にして、被着体ＷＫから接着シートＡＳ全体が剥離され、剥離用テープＰＴの弛みを解消すると、剥離後端部取付手段３０が供給手段３３Ａおよび図示しない減圧手段を駆動し、図２（Ｂ）［Ｂ１］中実線で示すように、両面接着シートＢＡを供給手段３３Ａから供給し、当該両面接着シートＢＡを保持部材３３Ｄで吸着保持する。次いで、接着シート保持手段１０および剥離手段２０が回動モータ１１Ａ、１５Ａ、２４Ａを駆動し、回動モータ２４Ａとピンチローラ２５との挟み込みから接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲを開放し、図２（Ｂ）［Ｂ１］中実線で示すように、剥離後端部ＡＳＲを先剥離接着シートＡＳＢから離間させる。この際、剥離後端部ＡＳＲを図示しない保持手段で保持し、当該保持手段を図示しない駆動機器で移動させ、剥離後端部ＡＳＲを強制的に先剥離接着シートＡＳＢから離間させてもよい。その後、剥離後端部取付手段３０が直動モータ３３Ｂを駆動し、図２（Ｂ）［Ｂ１］中二点鎖線で示すように、両面接着シートＢＡを先剥離接着シートＡＳＢに押圧して貼付した後、図示しない減圧手段の駆動を停止して保持部材３３Ｄを初期位置に復帰させる。次に、接着シート保持手段１０および剥離手段２０が回動モータ１１Ａ、１５Ａ、２４Ａを駆動し、支持ローラ１１で剥離用テープＰＴを巻き取り、図２（Ｂ）［Ｂ２］に示すように、ガイドローラ２３と受けローラ３３Ｆとで両面接着シートＢＡを介して接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲと先剥離接着シートＡＳＢとを圧着する。剥離後端部ＡＳＲと先剥離接着シートＡＳＢとの圧着が完了すると、前記実施形態と同様にして、押圧部材１４の上方に未使用の剥離用テープＰＴ部分を配置する。
なお、接着部材取付手段３３は、接着部材としての粘着剤、糊またはホットメルト等の液状、ジェル状または半個形状の接着剤を塗布する接着部材塗布手段としてもよいし、先剥離接着シートＡＳＢから離間した剥離後端部ＡＳＲに接着部材を貼付したり塗布したりしてもよいし、剥離後端部ＡＳＲが離間した先剥離接着シートＡＳＢと、先剥離接着シートＡＳＢから離間した剥離後端部ＡＳＲとの両方に接着部材を貼付したり塗布したりしてもよいし、図２（Ｃ）に示すように、接着部材としての取付用接着シートＡＳ１を剥離後端部ＡＳＲと先剥離接着シートＡＳＢとの両方に貼付してもよい。
【００２７】
剥離後端部取付手段３０は、溶着手段３１としてコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段や、レーザ光線を照射可能なレーザ照射手段等を採用してもよく、接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲを先剥離接着シートＡＳＢに溶着可能なものであれば何を採用してもよいし、溶着手段３１で剥離後端部ＡＳＲを先剥離接着シートＡＳＢに取り付ける際、１箇所または複数個所で溶着してもよいし、ステープラ取付手段３２で剥離後端部ＡＳＲを先剥離接着シートＡＳＢに取り付ける際、１箇所または複数個所にステープラＳＰを打ち付けてもよいし、接着部材取付手段３３で剥離後端部ＡＳＲを先剥離接着シートＡＳＢに取り付ける際、１箇所または複数個所に接着部材を貼付してもよい。
【００２８】
被着体支持手段４０は、保持手段がなくてもよいし、本発明のシート剥離装置ＥＡを構成する部材として採用してもよい。
【００２９】
シート剥離装置ＥＡは、初回の剥離によって被着体ＷＫから剥離する接着シートＡＳの剥離後端部ＡＳＲを、接着シート保持手段１０で剥離用テープＰＴに貼付してもよいし、剥離後端部取付手段３０で剥離用テープＰＴに取り付けてもよい。
【００３０】
本発明における接着シートＡＳ、取付用接着シートＡＳ１、両面接着シートＢＡ、剥離用テープＰＴおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、取付用接着シートＡＳ１、両面接着シートＢＡまたは剥離用テープＰＴは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性のものが採用された場合は、当該接着シートＡＳ、取付用接着シートＡＳ１、両面接着シートＢＡまたは剥離用テープＰＴを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳ、取付用接着シートＡＳ１または剥離用テープＰＴは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートＢＡを含む両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【００３１】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよい。
【符号の説明】
【００３２】
ＥＡ…シート剥離装置
１０…接着シート保持手段
２０…剥離手段
３０…剥離後端部取付手段
３１…溶着手段
３２…ステープラ取付手段
３３…接着部材取付手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳＢ…先剥離接着シート
ＡＳＦ…剥離先端部
ＡＳＲ…剥離後端部
ＡＳ１…取付用接着シート（接着部材）
ＢＡ…両面接着シート（接着部材）
ＰＴ…剥離用テープ（接着シート保持部材）
ＳＰ…ステープラ
ＷＫ…被着体
【図１】
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【図２】
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