(57)【要約】【課題】従来の粉体トラップフィルター装置よりも、メンテナンス（清掃）間隔が長くなる粉体トラップフィルター装置を提供すること。【解決手段】粉体トラップフィルター装置１は、所定の筐体１０と、筐体１０の内部に配設した円筒形状の粉体捕捉ユニット１１と、粉体捕捉ユニット１１の中央の中空部分に気体を放出する気体放出手段２０とを少なくとも備える。筐体１０には、真空ポンプの排気側配管と結合する真空ポンプ結合部１３を少なくとも備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空ポンプの排気側配管と結合する真空ポンプ結合部を備える筐体の内部に筒状の粉体捕捉ユニットを配設した粉体トラップフィルター装置であって、
少なくとも前記粉体捕捉ユニットの中央の中空部分に気体を放出する気体放出手段を設けたことを特徴とする粉体トラップフィルター装置。
【請求項２】
前記粉体捕捉ユニットの形状が円筒形状である請求項１の粉体トラップフィルター装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、真空ポンプの排気側配管に結合する粉体トラップフィルター装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体及び液晶パネル等の製造現場で利用される真空ポンプの内部又はその排気側で、処理ガス中に包含されていた副生成物が粉体となってあらわれる現象が生じることが知られている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
当該粉体が堆積又は固体化すると、当該真空ポンプあるいは当該真空ポンプと連通するその他の設備の故障を引き起こす要因となることから、様々な対策がなされている。
【０００４】
前記対策として、真空ポンプの排気側配管に粉体トラップフィルター装置を結合することも有効であるが、処理ガス中に包含されていた粉体の量が多い場合は、短期間で当該粉体トラップフィルター装置の内部に配設した粉体捕捉ユニットが目詰まりを起こすため、当該粉体トラップフィルター装置のメンテナンス（清掃）をこまめに行うなどのさらなる対策が必要となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許６１２０４６９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
粉体トラップフィルター装置のメンテナンス（清掃）間隔について、従来の粉体トラップフィルター装置（直径４００ミリメートル、長さ１０００ミリメートル）では、約１ケ月程度であった。
【０００７】
そこで、従来の粉体トラップフィルター装置よりも、メンテナンス（清掃）間隔が長くなる粉体トラップフィルター装置を提供することを課題とした。
【０００８】
上述の課題を解決するために、真空ポンプの排気側配管と結合する真空ポンプ結合部を備える筐体の内部に筒状の粉体捕捉ユニットを配設した粉体トラップフィルター装置であって、少なくとも前記粉体捕捉ユニットの中央中空部分に気体を放出する気体放出手段を設けたことを特徴とする粉体トラップフィルター装置を提供する。
【０００９】
また、上述の課題を解決するために、真空ポンプの排気側配管と結合する真空ポンプ結合部を備える筐体の内部に筒状の粉体捕捉ユニットを配設した粉体トラップフィルター装置であって、少なくとも前記粉体捕捉ユニットの中央中空部分に気体を放出する気体放出手段を設けたことを特徴とし、前記粉体捕捉ユニットの形状が円筒形状である粉体トラップフィルター装置を提供する。
【発明の効果】
【００１０】
本願発明の粉体トラップフィルター装置は、粉体捕捉ユニットの中央の中空部分に気体を放出する気体放出手段を設けたことにより、メンテナンス間隔を延ばすことができた。
【００１１】
本願発明の粉体トラップフィルター装置は、粉体捕捉ユニットの形状が円筒形状であり均一に洗浄可能となるため、より粉体捕捉ユニットの目詰まりが解消又は抑制される。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は粉体トラップフィルター装置の外観図である。
【図２】図２は粉体トラップフィルター装置の主要部の内部構造を示す図である。
【図３】図３は粉体トラップフィルター装置の通常運転時の作動を示すイメージ図である。
【図４】図４は粉体トラップフィルター装置の自己洗浄時の作動を示すイメージ図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
真空ポンプの排気側配管に結合して利用する。
【実施例１】
【００１４】
粉体トラップフィルター装置の構成について、図１及び図２に従い説明する。
【００１５】
粉体トラップフィルター装置（１）は、所定の筐体（１０）と、前記筐体の内部に配設する外側面に多数の小孔を設けた円筒形状の粉体捕捉ユニット（１１）と、前記粉体捕捉ユニットの中央の中空部分と連通する管体（１２）と、前記管体と結合する気体放出手段（２０）と、で構成する（図１及び図２）。
【００１６】
前記筐体（１０）は、真空ポンプの排気側配管と結合する真空ポンプ結合部（１３）と、前記粉体捕捉ユニット（１１）を通過した気体を排出する清浄気体排出部（１４）とを備える（図１及び図２）。
【００１７】
なお、前記筐体（１０）の素材としては、ステンレス等の金属あるいは塩化ビニル等の非金属のいずれも使用可能である。
【００１８】
前記粉体捕捉ユニット（１１）の形態（構造）について、外側面から中央の中空部分に向かって気体が通過し、かつ、中央の中空部分から外側面に向かって気体が通過する筒形形態（構造）であれば良い。
【００１９】
前記粉体捕捉ユニット（１１）の外側面に設ける小孔について、外側面から中央の中空部分に向かって気体が通過し、かつ、中央の中空部分から外側面に向かって気体が通過する小孔であればいかなる形状及び配置であっても良い。
【００２０】
前記気体放出手段（２０）について、前記粉体捕捉ユニット（１１）の中央の中空部分に気体を放出可能な手段であれば良い。
【００２１】
次に、真空ポンプの排気側配管に本願の粉体トラップフィルター装置を結合して設備を稼働させたときの動作について図３及び図４に従い説明する。
【００２２】
真空ポンプから排気された処理ガスが真空ポンプ結合部（１３）を介して筐体（１０）の内部に排出されると、前記処理ガスは前記粉体捕捉ユニット（１１）の外側面に設けた小孔を通過して中央の中空部分に到達する（図３）。
【００２３】
なお、前記粉体捕捉ユニット（１１）の中央の中空部分に到達した気体は、清浄気体排出部（１４）から排気される（図３）。
【００２４】
前記処理ガスが前記粉体捕捉ユニット（１１）の外側面から中央の中空部分に到達する過程で、前記処理ガスから生じた粉体（３０）が前記粉体捕捉ユニットの外側面に付着し徐々に堆積していく（図３）。
【００２５】
前述した様な状態が継続すると、やがて前記粉体捕捉ユニット（１１）は目詰まりが生じる（図３）。
【００２６】
前記粉体捕捉ユニット（１１）の目詰まりを解消又は抑制するために、気体放出手段（図示せず）を作動させる。
【００２７】
前記気体放出手段（図示せず）の作動により、管体（１２）を介して圧縮空気が前記粉体捕捉ユニット（１１）の中央の中空部分に放出される（図４）。
【００２８】
前記粉体捕捉ユニット（１１）の中央の中空部分に放出された圧縮空気は、前記粉体捕捉ユニットの外側面の周囲に付着している粉体（３０）を吹き飛ばし、前記筐体（１０）の底部に落下させる（図４）。
【００２９】
なお、前記気体放出手段を作動させるタイミングについて、前記粉体捕捉ユニットの自己洗浄機能として機能していれば定期的でも断続的でもかまわない。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
本願発明の粉体トラップフィルター装置は、いわば自己洗浄機能を有する優れた装置であるから産業上の利用可能性を有する。
【符号の説明】
【００３１】
１        粉体トラップフィルター装置
１０      筐体
１１      粉体捕捉ユニット
１２      管体
１３      真空ポンプ結合部
１４      清浄気体排出部
２０      気体放出手段
３０      粉体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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