(57)【要約】【課題】ダメージなしに歪んだウエハを支持及び固定すること。【解決手段】ウエハ・チャック１００には、ウエハ１０１を支持する第１サイド１１２と、第１サイド１１２上に形成されたバキューム・ゾーン１２０とを有する支持機構１１０がある。バキューム・ゾーン１２０は、第１サイド１１２の凹面から広がるリング１２２によって少なくとも一部分の境界が形成されても良い。ウエハ・チャック１００には、更に、バキューム・ゾーン１２０に配置された複数の吸引カップ１４０があり、このとき、複数の吸引カップ１４０の１つ以上が、支持機構１１０を通って伸びるチャンネル１４６と結合される。１つ以上のバキュームが、チャンネル１４６と流体連結され、このとき、バキュームは、チャンネル１４６を通して吸引を提供する。【選択図】図１
2019004133.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハを構造的に支持する第１サイドを有する支持機構と、
該支持機構の上記第１サイド上に形成され、上記支持機構の上記第１サイドの凹面から広がるリングによって少なくとも部分的に境界が形成されるバキューム・ゾーンと、
該バキューム・ゾーン中に配置され、１つ以上が上記支持機構を通って伸びるチャンネルと結合される複数の吸引カップと、
上記チャンネルと流体連結され、上記チャンネルを通して吸引を供給するよう構造的に構成される１つ以上のバキュームと
を具えるウエハ・チャック。
【請求項２】
上記バキューム・ゾーンに配置され、上記支持機構を通って伸びる複数のバキューム・ホールを更に具え、
１つ以上の上記バキュームは、複数の上記バキューム・ホールと流体連結され、複数の上記バキューム・ホールを通して吸引を供給するよう構造的に構成される請求項１のウエハ・チャック。
【請求項３】
１つ以上の上記バキュームによって吸引が供給される前において、上記支持機構に載置されるウエハが、最初は、複数の上記吸引カップの１つ以上に支えられるように、複数の上記吸引カップの１つ以上の接触面は、上記リングのｚ軸の高さより高い、少なくとも第１高さＨ１まで突き出ている請求項１のウエハ・チャック。
【請求項４】
１つ以上の上記バキュームによって上記ウエハに吸引が加えられたとき、上記ウエハが複数の上記吸引カップの夫々及び上記リングと接触し、これによって、上記ウエハを引き寄せて、その歪みを緩和する請求項３のウエハ・チャック。
【請求項５】
上記バキューム・ゾーンは第１バキューム・ゾーンであり、上記リングは第１リングであって
上記第１バキューム・ゾーンの周りを囲む第２バキューム・ゾーンを更に具え、該第２バキューム・ゾーンは、少なくとも一部分は上記第１リングによって境界が形成されると共に、少なくとも一部分は上記支持機構の上記第１サイドの上記凹面から広がる第２リングによって境界が形成され、上記第２リングは、上記第１リングより大きい直径を有し、上記第２バキューム・ゾーンは、上記チャンネルと結合された複数の上記吸引カップの１つ以上を有する請求項１のウエハ・チャック。
【請求項６】
上記第１バキューム・ゾーン及び上記第２バキューム・ゾーンの夫々に配置された複数のバキューム・ホールを更に具え、複数の上記バキューム・ホールは、上記支持機構を通って伸び、１つ以上の上記バキュームは、複数の上記バキューム・ホールと流体連結している請求項５のウエハ・チャック。
【請求項７】
１つ以上の上記バキュームが、
上記第１バキューム・ゾーンに配置された複数の上記バキューム・ホールと、上記第１バキューム・ゾーンに配置された複数の上記吸引カップとに流体連結された第１バキュームと、
上記第２バキューム・ゾーンに配置された複数の上記バキューム・ホールと、上記第２バキューム・ゾーンに配置された複数の上記吸引カップとに流体連結された第２バキュームと
を有する請求項６のウエハ・チャック。
【請求項８】
１つ以上の上記バキュームが、
上記第１バキューム・ゾーン及び上記第２バキューム・ゾーンの両方に配置された複数の上記バキューム・ホールと流体連結された第１バキュームと、
上記第１バキューム・ゾーン及び上記第２バキューム・ゾーンの両方に配置された複数の上記吸引カップと流体連結された第２バキュームと
を有する請求項１のウエハ・チャック。
【請求項９】
複数の上記吸引カップの夫々が、上記ウエハを支持するよう構造的に構成される接触面に接続される茎部を含む請求項１のウエハ・チャック。
【請求項１０】
ウエハ・チャックを使用するための方法であって、
上記ウエハ・チャックの第１サイド上でウエハを受ける処理と、
上記ウエハが、複数の吸引カップの夫々と、上記ウエハ・チャックの上記第１サイド上に形成されるバキューム・ゾーンの少なくとも一部分の境界を形成するリングとに接触し、これによって、その歪みを緩和するように、複数の吸引カップの１つ以上と結合されたチャンネルを通して上記ウエハに第１吸引を加える処理と
を具えるウエハ・チャックを使用するための方法。
【請求項１１】
複数のバキューム・ホールを通して上記ウエハに第２吸引を加える処理を更に具え、これによって、上記ウエハ・チャックの凹面の方向へ上記ウエハを引き寄せると共に、その歪みを更に緩和するウエハ・チャックを使用するための請求項１０の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハを支持し、保持するウエハ・チャックとウエハ・チャックを使用する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
超音波顕微鏡は、半導体産業において、接合ウエハ対（Bonded Wafer Pair）に関し、例えば、接合ウエハ対の内部の接合部分で生じることがある空気タイプの欠陥を非破壊的に検査するのに利用できる。しかし、こうした検査において、歪んだ接合ウエハ対の検査には、課題がある。特に、半導体製品の中には、種々あるなかでも、裏面照射型（back-side-illuminated：BSI or BI）センサ、相補型金属酸化物半導体（ＣＭＯＳ）製品、ＭＥＭＳ（micro-electro-mechanical systems）センサのように、歪みがちな傾向にある接合ウエハ対を生じるものがある。これは、これら現在の半導体パッケージにおいて、接合ウエハ対中の複数の材料層の熱膨張係数の違いが原因となることがある。過去、接合ウエハは、通常、約３００μｍ以内へと平らに又はフラットにされていたが、最近では、接合ウエハに約５〜６ｍｍまでの歪みがあることが多い。ウエハ接合処理（bonding process）が完了すると、歪みは、約１〜２ｍｍへと低減できるが、それでも、この歪みは、超音波顕微鏡などを用いた検査では問題となることがある。
【０００３】
超音波で検査される前に、接合ウエハ対は、スキャン（例えば、速度が約１.５ｍ／ｓに達することもある）中、接合ウエハ対を固定するため、接合ウエハ対は、ウエハ・チャック上に載置されても良い。ウエハ・チャックは、接合ウエハ対を適切な位置に保持するため、例えば、異なる大きさのウエハを支持してバキューム・シール（vacuum seal：真空密封）を形成するための種々のバキューム・リングを含むことによって、バキュームの形態を組み込んでも良い。
【０００４】
従来のウエハ・チャックでは、接合ウエハ対を適切な位置に保持するのに必要な適切なバキューム・シールを形成するのに、被検査接合ウエハ対が十分にフラットであることを前提としているものがある。即ち、更に言えば、接合ウエハ対に使用される材料と厚さにも依存するとしても、十分なバキューム・シールが形成できる限り、最小限の歪み（例えば、約３００μｍ以下）は低減できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−２２９１１５公報
【特許文献２】特開平１０−１４４７７６号公報
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】「超音波顕微鏡  Scanning Acoustic Microscope（SAM）」の紹介ページ、東芝ナノアナリシス株式会社、［２０１７年１１月６日検索］、インターネット<http://www.nanoanalysis.co.jp/business/case_example_73.html>
【非特許文献２】「スペーサ」の紹介ページ、特に「ねじスタンドオフ」、アールエスコンポーネンツ株式会社、［２０１８年３月２７日検索］、インターネット<https://jp.rs-online.com/web/c/fasteners-fixings/spacers-standoffs/>
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、現在の多くの（上述したような）接合ウエハ製品には、超音波顕微鏡を用いた検査のための従来のウエハ・チャック上で、ウエハが十分なバキューム・シールを形成するには、あまりに大きな歪みがある。この目的のために、従来技術では、十分なシールを提供するための手法として、手によるか又は機械的な機構を用いて、ウエハを押しつける処理を含めることがあるが、これは、潜在的に接合ウエハ製品を損傷する可能性がある。
【０００８】
よって、例えば、超音波顕微鏡を用いた検査のために、歪んだ接合ウエハ対を支持及び固定するウエハ・チャックを改善するニーズが残っている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
説明に有益な本発明の実施例を以下に示す。本発明の実施形態としては、以下に説明する複数の実施例のいずれか又は任意の組み合わせを含むことができる。
【００１０】
実施例１としては、ウエハ・チャックがあり、
ウエハを構造的に支持する第１サイドを有する支持機構と、
該支持機構の上記第１サイド上に形成され、上記支持機構の上記第１サイドの凹面から広がるリングによって少なくとも部分的に境界が形成されるバキューム・ゾーンと、
該バキューム・ゾーン中に配置され、１つ以上が上記支持機構を通って伸びるチャンネルと結合される複数の吸引カップと、
上記チャンネルと流体連結され、上記チャンネルを通して吸引を供給するよう構造的に構成される１つ以上のバキュームと
を具えている。
【００１１】
実施例２としては、実施例１のウエハ・チャックがあり、上記バキューム・ゾーンに配置され、上記支持機構を通って伸びる複数のバキューム・ホールを更に具え、１つ以上の上記バキュームは、複数の上記バキューム・ホールと流体連結され、複数の上記バキューム・ホールを通して吸引を供給するよう構造的に構成される。
【００１２】
実施例３としては、実施例２のウエハ・チャックがあり、このとき、１つ以上の上記バキュームが、
複数の上記バキューム・ホールと流体連結される第１バキュームと、
上記チャンネルと流体連結される第２バキュームと
を有している。
【００１３】
実施例４としては、実施例２のウエハ・チャックがあり、このとき、単一のバキュームが、複数の上記バキューム・ホール及び上記チャンネルの夫々と流体連結される。
【００１４】
実施例５としては、実施例１のウエハ・チャックがあり、このとき、１つ以上の上記バキュームによって吸引が供給される前において、上記支持機構に載置されるウエハが、最初は、複数の上記吸引カップの１つ以上に支えられるように、複数の上記吸引カップの１つ以上の接触面は、上記リングのｚ軸の高さより高い、少なくとも第１高さＨ１まで突き出ている。
【００１５】
実施例６としては、実施例５のウエハ・チャックがあり、このとき、１つ以上の上記バキュームによって上記ウエハに吸引が加えられたとき、上記ウエハが複数の上記吸引カップの夫々及び上記リングと接触し、これによって、上記ウエハを引き寄せて、その歪みを緩和する。
【００１６】
実施例７としては、実施例６のウエハ・チャックがあり、このとき、複数の上記吸引カップの夫々及び上記リングと接触している上記ウエハは、上記バキューム・ゾーンにシール（seal：密封）を形成する。
【００１７】
実施例８としては、実施例７のウエハ・チャックがあり、上記バキューム・ゾーン中に配置され、上記支持機構を通って伸びる複数のバキューム・ホールを更に具え、１つ以上の上記バキュームは、複数の上記バキューム・ホールと流体連結され、複数の上記バキューム・ホールを通して吸引を供給して上記ウエハを固定すると共に上記シールを維持するよう構造的に構成され、このとき、１つ以上の上記バキュームは、複数の上記バキューム・ホールを通して吸引を行って上記ウエハを更に引き寄せて、その歪みを更に緩和するよう構造的に構成される。
【００１８】
実施例９としては、実施例１のウエハ・チャックがあり、このとき、上記バキューム・ゾーンは第１バキューム・ゾーンであり、上記リングは第１リングであって、更に、
上記第１バキューム・ゾーンの周りを囲む第２バキューム・ゾーンを具え、該第２バキューム・ゾーンは、少なくとも一部分は上記第１リングによって境界が形成されると共に、少なくとも一部分は上記支持機構の上記第１サイドの上記凹面から広がる第２リングによって境界が形成され、このとき、上記第２リングは、上記第１リングより大きい直径を有し、上記第２バキューム・ゾーンは、上記チャンネルと結合された複数の上記吸引カップの１つ以上を有している。
【００１９】
実施例１０としては、実施例９のウエハ・チャックがあり、上記第１バキューム・ゾーン及び上記第２バキューム・ゾーンの夫々に配置された複数のバキューム・ホールを更に具え、複数の上記バキューム・ホールは、上記支持機構を通って伸び、１つ以上の上記バキュームは、複数の上記バキューム・ホールと流体連結している。
【００２０】
実施例１１としては、実施例１０のウエハ・チャックがあり、このとき、１つ以上の上記バキュームが、
上記第１バキューム・ゾーンに配置された複数の上記バキューム・ホールと、上記第１バキューム・ゾーンに配置された複数の上記吸引カップとに流体連結された第１バキュームと、
上記第２バキューム・ゾーンに配置された複数の上記バキューム・ホールと、上記第２バキューム・ゾーンに配置された複数の上記吸引カップとに流体連結された第２バキュームと
を有している。
【００２１】
実施例１２としては、実施例１０のウエハ・チャックがあり、このとき、１つ以上の上記バキュームが、
上記第１バキューム・ゾーン及び上記第２バキューム・ゾーンの両方に配置された複数の上記バキューム・ホールと流体連結された第１バキュームと、
上記第１バキューム・ゾーン及び上記第２バキューム・ゾーンの両方に配置された複数の上記吸引カップと流体連結された第２バキュームと
を有している。
【００２２】
実施例１３としては、実施例１０のウエハ・チャックがあり、このとき、単一のバキュームが、上記第１バキューム・ゾーン及び上記第２バキューム・ゾーンの両方の複数の上記バキューム・ホール及び複数の上記吸引カップの夫々と流体連結されている。
【００２３】
実施例１４としては、実施例９のウエハ・チャックがあり、このとき、上記第１リング及び上記第２リングの１つ以上は、所定のウエハ・サイズと合致する大きさ及び形状であり、このとき、上記第１リングは第１接触面を有し、上記第２リングは第２接触面を有し、上記第１接触面及び上記第２接触面は、実質的に同一平面上にある（coplanar：共面である）。
【００２４】
実施例１５としては、実施例９のウエハ・チャックがあり、このとき、複数の上記吸引カップの１つ以上の接触面は、上記第１リング及び上記第２リングのｚ軸の高さより高い、少なくとも第１高さＨ１まで突き出ている。
【００２５】
実施例１６としては、実施例１のウエハ・チャックがあり、１つ以上の上記バキュームと通信するコントローラを更に具え、該コントローラは、上記バキューム・ゾーンにおける吸引を制御するよう構造的に構成される。
【００２６】
実施例１７としては、実施例１のウエハ・チャックがあり、上記バキューム・ゾーンに配置された複数のポストを更に具え、複数の上記ポストは、上記ウエハに吸引が加えられたときに、上記ウエハを所定のフラットさに維持するよう構造的に構成され、このとき、複数の上記ポストの個数及び大きさは、上記ウエハに対して、所定の支持を提供しつつも、接触する表面積が最小となるよう選択される。
【００２７】
実施例１８としては、実施例１のウエハ・チャックがあり、このとき、複数の上記吸引カップの夫々には、上記ウエハを支持するよう構造的に構成される接触面に接続される茎部がある。
【００２８】
実施例１９としては、実施例１８のウエハ・チャックがあり、このとき、複数の上記吸引カップの１つ以上の高さは、上記茎部のｚ軸に沿った動きによって、調整可能である。
【００２９】
実施例２０としては、実施例１８のウエハ・チャックがあり、このとき、上記チャンネルは、上記茎部及び複数の上記吸引カップの１つ以上の上記接触面を通して配置される。
【００３０】
実施例２１としては、実施例１のウエハ・チャックがあり、このとき、複数の上記吸引カップの夫々は、スタンドオフ内に配置され、該スタンドオフの高さは、上記リングの接触面のｚ軸の高さに対応し、上記チャンネルは、複数の上記吸引カップの１つ以上を収容する上記スタンドオフ内に配置される。
【００３１】
実施例２２としては、方法があり、
ウエハ・チャックの第１サイド上でウエハを受ける処理と、
上記ウエハが、複数の吸引カップの夫々と、上記ウエハ・チャックの上記第１サイド上に形成されるバキューム・ゾーンの少なくとも一部分の境界を形成するリングとに接触し、これによって、その歪みを緩和するように、複数の吸引カップの１つ以上と結合されたチャンネルを通して上記ウエハに第１吸引を加える処理と
を具えている。
【００３２】
実施例２３としては、実施例２２の方法があって、複数のバキューム・ホールを通して上記ウエハに第２吸引を加える処理を更に具え、これによって、上記ウエハ・チャックの凹面の方向へ上記ウエハを引き寄せると共に、その歪みを更に緩和する。
【００３３】
実施例２４としては、実施例２３の方法があり、上記第１吸引及び上記第２吸引の１つ以上を制御する処理と、上記ウエハの所定のフラットさに維持する処理とを更に具えている。
【００３４】
実施例２５としては、実施例２２の方法があり、超音波顕微鏡を用いて上記ウエハを検査する処理を更に具えている。
【００３５】
添付の図面は、視覚的に表したものを提供するが、これらは、様々な代表的実施形態を更に十分に説明するために使用されると共に、当業者にとっては、開示された代表的実施形態と、これらが備える効果をより良く理解するのに利用できる。図面は必ずしも縮尺通りではなく、その代わり、本願で説明される装置、システム及び方法の原理を説明することに重点が置かれている。これら図面において、同様の参照番号は、対応する要素を特定することがある。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】図１は、代表的な実施形態によるウエハ・チャックの上面斜視図である。
【図２】図２は、代表的な実施形態によるウエハ・チャックの上面図である。
【図３】図３は、代表的な実施形態によるウエハ・チャックの底面図である。
【図４】図４は、代表的な実施形態によるウエハ・チャックの切断図である。
【図５】図５は、代表的な実施形態によるウエハ・チャックの切断断面図である。
【図６】図６は、吸引を行う前の歪んだウエハを保持している代表的な実施形態によるウエハ・チャックの側面図を示す。
【図７】図７は、吸引を行っているときのウエハを保持している代表的な実施形態によるウエハ・チャックの側面図を示す。
【図８】図８は、ウエハを検査するための代表的な実施形態によるシステムを示す。
【図９】図９は、ウエハを検査するための代表的な実施形態による方法のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００３７】
本願で説明する方法、システム、装置及びデバイスは、大まかに言えば、超音波顕微鏡を用いた検査のために、例えば、本願で開示されるようなウエハ・チャックを用いて、歪んだ接合ウエハ対を固定及び支持することを含んでも良い。
【００３８】
本発明は、多くの異なる形態が可能であるが、本開示は、本発明の原理の例であると考え、図示し説明する特定の実施例に限定することを意図するものではないとの了解の下で、本願では、詳細で具体的な実施形態を図示し説明する。以下での説明では、同じ、同様又は対応する部分を説明するのに、いくつかの図において、同様の参照番号を利用することがある。
【００３９】
この文書では、第１及び第２、上部及び底部などの関係語を、ある物又は動作を他の物又は動作から単に区別するため利用することがあるが、こうした物又は動作間の実際のそうした関係又は順序を、必ずしも必要するか又は示唆するものではない。用語「含む（comprise）」、「含んでいる（comprising）」、「含む（include）」、「含んでいる（including）」「有する（have）」、「有している（having）」その他の変形は、非排他的な包含をカバーすることを意図しており、よって、要素のリストから構成されるプロセス、方法、物品又は装置は、これら要素だけを含むのではなく、こうしたプロセス、方法、物品又は装置に明示的に列挙されていないか又は元々備わっているものでない他の要素を含むことがある。「含む（comprise）」の前に置かれる要素は、この要素を含むプロセス、方法、物品又は装置において、制限なしに、追加の同一要素の存在を排除しない。
【００４０】
本願を通して、「ある実施形態」、「特定の実施形態」、「実施形態（embodiment）」、「実現形態（implementation）」、「態様」又は同様の用語への言及は、その実施形態に関連して説明された特定の機能、構造又は特性が、本発明の少なくとも１つの実施形態には含まれることを意味する。よって、こうしたフレーズの出現は、本明細書を通した種々の場所において、必ずしも同じ実施形態に言及していない。更に、特定の機能、構造又は特性は、１つ以上の実施形態と適切なやり方で制限なく組み合わせても良い。
【００４１】
本願で使用される「又は（or）」という用語は、任意の１つ又は任意の組み合わせを含む又は意味するとして解釈されるべきである。従って、「Ａ、Ｂ又はＣ」は、次のいずれかを意味する。即ち、「Ａ」、「Ｂ」、「Ｃ」、「Ａ及びＢ」、「Ａ及びＣ」、「Ｂ及びＣ」、「Ａ、Ｂ及びＣ」。この定義の例外は、要素、機能、ステップ又は動作の組み合わせが、何らかの形で本質的に互いに排他的である場合にのみ発生する。また、文法上の接続詞は、別段の記載がない限り又は文脈から明らかでない限り、連結された節、文、単語などのありとあらゆる選言的及び連言的組み合わせを表現することを意図している。従って、「又は」という用語は、一般に、「及び／又は」などを意味すると理解すべきである。
【００４２】
本願で言及される全ての文書は、その全体が参照することによって本願に組み込まれる。単数形の項目への言及は、別途明示的に記載されているか又は本文から明らかでない限り、複数形の項目を含み、その逆も同じと理解されたい。
【００４３】
本願中の値の範囲の列挙は、限定することを意図するものでなく、他に示されない限り、その範囲内に入るありとあらゆる個々の値に言及するものであり、こうした範囲内の各個別の値は、本願においてまるで個別に列挙した如くに、明細書に組み込まれる。「約（about）」、「おおよそ（approximately）」などの用語は、数値を伴う場合、当業者には理解されるように、意図した目的に関して、申し分なく動作する偏差を構成する。値又は数値の範囲は、本願では、例として提供されるだけであり、説明する実施形態の範囲についての限定を構成するものではない。本願で提供される実施例又は例示的な言葉（「例えば」、「のような」など）は、実施形態をより明快することを意図するのみであって、実施形態の範囲に限定を主張するものではない。明細書中のいかなる言葉も、特許請求の範囲に記載されていない要素を示し、実施形態の実施に必須として解釈されるべきではない。
【００４４】
説明を単純明快にするため、対応又は類似の要素を示すのに、複数の図にわたって参照番号を繰り返すことがある。本願で記述する実施形態への理解を与えるため、多数の細部が説明される。他の例では、記述される実施形態をわかりにくくするのを避けるために、周知の方法、手順、部品は、詳細には説明されない。この説明は、本願で説明される実施形態の範囲に限定されると考えるべきではない。
【００４５】
以下の説明において、「第１」、「第２」、「上部（top）」、「底部（bottom）」、「上へ（up）」、「下へ（down）」、「よりも上（above）」、「よりも下（below）」などの用語は、表現の都合であって、限定する用語を構成するものではない。また、装置（apparatus）及びデバイス（device）という用語は、本文中では交換可能に使用されてよい。
【００４６】
概して、本願で説明されるデバイス、システム及び方法は、超音波顕微鏡などを用いて検査するためにウエハを支持するウエハ・チャックのために構成されるか、又は、ウエハ・チャックを含んでいても良い。
【００４７】
本願で説明される「ウエハ」としては、半導体産業において、例えば、ＭＥＭＳ（microelectromechanical systems）、ＮＥＭＳ（nanoelectromechanical systems）、マイクロエレクトロニクス及びオプトエレクトロニクス、ＣＭＯＳ（complementary metal-oxide-semiconductor）システムなどの１つ以上で使用されるとして知られる接合ウエハ対（bonded wafer pair）を含む。本開示を通して使用されるように、ウエハには、結果として、例えば、特にウエハ・ベースのソーラー・セルのような太陽光発電の集積回路を製造するためにエレクトロニクスで使用される結晶シリコンのような半導体材料の１つ以上の比較的薄いスライスを含んでも良い。ウエハは、そのウエハ中及び全体に組み込まれるマイクロエレクトロニクス・デバイス用の基板として機能し、このとき、ウエハは、ドーピング又はイオン注入、エッチング、様々な材料の堆積、フォトリソグラフィ・パターン形成などのような複数の微細加工処理工程を経ている。上述のように、ウエハは、機械的に比較的安定で、マイクロエレクトロニクスの気密封止されたカプセル化をもたらすために、接合されても良く、このように、本願で説明し、本開示を通して使用されるウエハとしては、接合ウエハ対が含まれても良く、これは、直接接合（direct bonding）、表面活性化ボンディング（surface activated bonding）、プラズマ活性化ボンディング、陽極ボンディング、共晶ボンディング（eutectic bonding）、ガラス・フリット・ボンディング（glass frit bonding）、接着ボンディング、熱圧着ボンディング、リアクティブ・ボンディング、過渡液相拡散ボンディング（transient liquid phase diffusion bonding）などによって形成されても良い。
【００４８】
本願で説明し、本開示を通して使用されるウエハは、「歪（ゆが）んでいない」ウエハはもちろんのこと、これに加えて又はこれに代えて「歪んだ」ウエハも含んでいて良い。歪んでいないウエハとは、ウエハの１つ以上の表面全体ついて、即ち、ある平面に対してウエハの表面が実質的に整合するようにして平面と比較して測定するか、又は、ウエハの１つの軸若しくは中心線について測定したときに、約３００μｍ以下の歪みであるウエハとしても良い。逆に、本願で説明する歪（ゆが）んだウエハとは、約３００μｍよりも大きな歪みのあるウエハであっても良い。場合によっては、歪んだウエハは、約１〜６ｍｍ程度の歪みを有していても良い。例として、歪んだウエハは、接合ウエハ対に見つかることがあり、これは、こうした接合ウエハ対中にある複数の材料層の熱膨張係数（ＣＴＥ：coefficient of thermal expansion）の違いの結果である。これは、裏面照射型（ＢＳＩ又はＢＩ）センサ、相補的なＣＭＯＳ製品、ＭＥＭＳセンサなどのような特定の半導体製品で特に一般的である。
【００４９】
ウエハは、様々なサイズ及び形状があっても良く、また、ウエハは、特定のサイズ、形状、厚さ、重量、形状、材料やその他の特性に限定されないと理解されよう。例えば、接合ウエハ対は、典型的には、５個から６個の標準サイズ、即ち、２インチ、４インチ、５インチ、６インチ、８インチ及び１２インチのウエハがあり、６インチ、８インチ、１２インチのウエハが最も一般的である。よって、ウエハは、これら「標準」サイズの１つ以上を含んでも良いし、又は、ウエハが異なるサイズを有しても良い。
【００５０】
本願に記載され、本開示を通じて使用される「ウエハ・チャック」は、例えば超音波顕微鏡などを用いて検査するために、ウエハを支持、安定化、保持又は固定するように構造的に構成されたデバイス、システム又は装置を含んでも良い。また、ウエハ・チャックを説明する際の支持、安定化、保持、固定及び類似の用語のいずれかへの言及は、明示的に否定するか又は文脈から明らかでない限り、そのようなすべての用語を含むと理解される。
【００５１】
大まかに言えば、本願に記載されたデバイス、システム及び方法は、実質的にフラット又は歪まないように、歪んだウエハを引き寄せる（又は処置する）ことができるウエハ・チャックを含むか又は利用できる。上述のように、「実質的にフラット」又は「実質的に歪んでいない」とは、ウエハの１つ以上の表面全体について約３００μｍ以下の歪みを有することを含むことができる。このように、本教示によるウエハ・チャックは、ウエハ・チャック上に載置され固定されたときに歪みがないように、歪んだウエハを引き寄せるよう構造的に構成でき、これは、超音波顕微鏡などの検査に効果的であろう。場合によっては、ウエハをフラットに引き寄せるウエハ・チャックは、検査の後でさえも、ウエハをフラット（平ら）に維持できる。
【００５２】
大まかに言えば、本教示によるウエハ・チャックには、異なるウエハの大きさ及び形状用に、例えば、異なるウエハ直径用に、２つ以上の領域又はゾーンといった複数の異なる領域があっても良く、これらは、異なるウエハ直径に対応する１以上のリングによって境界が形成されても良い。ウエハ・チャックには、その中に含まれる複数の領域又はゾーンのそれぞれに、１つ以上のバキューム・ホールがあっても良く、加えて、複数の領域又はゾーンのそれぞれに複数の吸引カップがあっても良い。吸引カップは、ウエハ・チャックの異なる領域及び構造へと突き出ていても良く、歪んだウエハがウエハ・チャック上へ載置されたときに、そのウエハは、最初、吸引カップ上に載り、続いて、吸引カップは、ウエハの異なる歪んだ領域を圧迫して、複数の吸引カップと同時に接触できるようにする。この処理を更に調和させるために、これら吸引カップは、バキュームと流体連結しているチャンネルと結合され、例えば、ここで、吸引カップに対して歪んだウエハを引き寄せるために、チャンネルを通して吸引が行われる。このように、吸引カップを使ってバキューム（吸い込み、減圧）が行われると、吸引カップは、ウエハを引き寄せて、ウエハは複数の支持ポスト（柱）などに対して実質的にフラットに置かれ、例えば、これら支持ポストは、ウエハ・チャック上にある複数の領域又はゾーンの境界を形成するリングと同じ高さで配置されても良い。ウエハを支持ポストに対して引き寄せ、検査用にウエハをウエハ・チャックへと固定するのを更に補助するために、吸引が、ウエハ・チャック内にある適切な領域又はゾーンに、それら内に配置されたバキューム・ホールを通して、追加で更に供給されても良い。基本的に、複数の吸引カップは、ウエハがリングやその他のゾーン境界と接触するまで、歪んだウエハの異なる部分を引き寄せることができ、続いて、バキューム・ホールを通して行われる吸引が、ウエハを、実質的にフラットとなり、ウエハ・チャックに対して固定されるように、引き寄せ続けても良い。
【００５３】
図１は、代表的な実施形態によるウエハ・チャック１００の上面斜視図であり、図２は、ウエハ・チャック１００の上面図である。特に、図１は、ウエハ１０１（代表的な形態で示され、参照しやすいように、ほぼ透明である）を保持するウエハ・チャック１００を示す。大まかに言えば、ウエハ・チャック１００には、ウエハ１０１を支持するよう構造的に構成される第１サイド１１２と、この第１サイド１１２と反対側に配置される第２サイド１１４とを有する支持機構１１０があっても良い。ある実現形態では、第１サイド１１２は、ウエハ・チャック１００の上面であり、第２サイド１１４は、ウエハ・チャック１００の底面である。
【００５４】
支持機構１１０及びウエハ・チャック１００の他の部品は、限定するものではないが、１つ以上のセラミック又は金属を含む従来のウエハ・チャックと同じ又は同様の材料から形成されても良い。例えば、ウエハ・チャック１００の支持機構１１０は、ステンレス鋼又は陽極酸化アルミニウムから形成されても良い。
【００５５】
本願で上述のように、ウエハ・チャック１００は、ウエハ１０１を保持する大きさ及び形状として良く、また、ウエハ１０１を適切な位置に保持し、更に、歪んだ形状又は表面を有するウエハ１０１の歪みを直すバキュームやその他の吸引の形態を含むことができる。この目的のため、ウエハ・チャック１００は、支持機構１１０の第１サイド１１２上に形成された１つ以上のバキューム・ゾーン、例えば、第１バキューム・ゾーン１２０及び第２バキューム・ゾーン１３０を有していても良い。
【００５６】
図示するように、第１バキューム・ゾーン１２０は、支持機構１１０の第１サイド１１２の凹面１１６から広がるリング（例えば、図示するような第１リング１２２）によって、少なくとも部分的に境界が形成されていても良い。第２バキューム・ゾーン１３０は、少なくとも部分的に第１バキューム・ゾーン１２０の周りを囲んでも良く、ここで、第２バキューム・ゾーン１３０は、第１リング１２２によって少なくとも部分的に境界が形成され、また、支持機構１１０の第１サイド１１２の凹面１１６から広がる第２リング１３２によって少なくとも部分的に境界が形成される。このように、第２リング１３２は、第１リング１２２よりも大きな直径を有していても良い。図示するように、第２リング１３２が、支持機構１１０の周辺を定めるとしても良い。
【００５７】
バキューム・ゾーンは、大きさの異なるウエハに対応する大きさと形状として良い。例えば、第１リング１２２及び第２リング１３２のうちの１つ以上が、例えば、第１サイズを有するウエハ１０１を第１バキューム・ゾーン１２０に配置し、第２サイズを有するウエハを第２バキューム・ゾーン１３０に配置するというように、所定のウエハ・サイズに順応する大きさと形状であっても良い。このように、ウエハ・チャック１００は、様々なサイズのウエハ１０１を支持できる。例としては、ウエハ・チャック１００は、２インチ、４インチ、５インチ、６インチ、８インチ及び１２インチの直径のウエハ１０１の１つ以上をサポートしても良い。
【００５８】
ウエハ・チャック１００の支持機構１１０上にあるリングは、ウエハ１０１（例えば、特別な大きさ及び形状のウエハ１０１）と係合する接触面を夫々有していても良い。このように、第１リング１２２には第１接触面１２４があっても良く、また、第２リング１３２には第２接触面１３４があっても良く、ここで、第１接触面１２４及び第２接触面１３４は、実質的に同一平面上にある（共面）。「実質的に同一平面（共面）」とは、ウエハ１０１を検査する技術分野における許容範囲内、例えば、約３００μｍ内のことを意味すると理解できよう。これに代わる実施形態では、第１接触面１２４及び第２接触面１３４が、異なるｚ軸の高さに配置される、即ち、これらが実質的に同一平面上にない。図１に示すように、支持機構１１０の凹面１１６の傾斜した非平面状の表面（例えば、後述のように脱水を目的とする）のために、第１接触面１２４及び第２接触面１３４の１つ以上の凹面１１６より上の高さは、第１リング１２２及び第２リング１３２の１つ以上の長さに沿って変化することがある。即ち、ある実現形態では、第１接触面１２４及び第２接触面１３４の高さは、凹面１１６と比較すると変化することがあるが、傾斜した非平面状の凹面１１６から独立したｚ軸やその他の基準点と比較すると、同じとしても良い。
【００５９】
ウエハ・チャック１００は、複数のバキューム・ゾーンの中の１つ以上に配置される複数の吸引カップ１４０を有していても良い。例えば、第１バキューム・ゾーン１２０には、１つ以上の吸引キャップ１４０があっても良く、第２のバキューム・ゾーン１３０には、１つ以上の吸引キャップ１４０があっても良い。このように、バキューム・ゾーンの各々に、複数の吸引カップ１４０があっても良い。複数の吸引カップ１４０の夫々は、接触面１４４に接続された茎部（stem：ステム）１４２があっても良く、ここで、接触面１４４は、ウエハ１０１を支持するように構造的に構成され、茎部１４２は、接触面１４４を支持するように構造的に構成される。吸引カップ１４０、より具体的には、その接触面１４４は、圧縮可能な１つ以上の材料から形成されても良い。特に、吸引カップ１４０、より具体的には、その接触面１４４は、吸引カップ１４０のｚ軸の高さを変更するのに十分な程度に圧縮可能（例えば、本願で説明するように１つ以上のバキューム１６０によって吸引が行われるときに、ウエハ１０１がリング及びポスト１７０の１つ以上と接触可能となるように）であって良いが、これに加えて、ウエハ１０１を支持するのに十分な程度に剛性があると良い。
【００６０】
複数の吸引カップ１４０のうちの１つ以上は、支持機構１１０を貫通して延びるチャンネル１４６と連結されても良い。このように、チャンネル１４６は、支持機構１１０の第１サイド１１２から支持機構１１０の第２サイド１１４まで伸びていても良い。１つ以上のバキューム１６０は、図２に示すように、チャンネル１４６と流体連結していても良く、ここで、少なくとも１つのバキューム１６０は、チャンネル１４６を通して吸引をもたらすように構造的に構成されている。ある実現形態では、ウエハ・チャック１００内の複数の吸引カップ１４０の夫々が、チャンネル１４６と結合されており、例えば、ウエハ・チャック１００内の複数の吸引カップ１４０の夫々が、それに結合される、それ独自のチャンネル１４６を有していても良い。別の実現形態では、ウエハ・チャック１００内の複数の吸引カップ１４０の中のいくつかだけが、チャンネル１４６と結合される。
【００６１】
チャンネル１４６と結合される吸引カップ１４０には、チャンネル１４６が吸引カップ１４０内に配置され、このとき、チャンネル１４６が、空洞１４８（例えば、後述の図４を参照）や、吸引カップ１４０が配置されるその他の機構（例えば、図示されるようなスタンドオフ１４１）内に収容される実現形態か、又は、チャンネル１４６を通して吸引が行われる経路（例えば、吸引によって生じる流体経路）内に吸引カップ１４０が配置される別の実現形態が含まれると理解されよう。このようにして、ウエハ１０１が複数の吸引カップ１４０の１つ以上の接触面１４４上に載置されると、チャンネル１４６を通して行われる吸引によって、ウエハ１０１（これは、歪んでいるかもしれない）が複数の吸引カップ１４０の夫々及びいずれかのリングと接触し、それによって、ウエハ１０１を引き寄せ、その歪みを軽減する。
【００６２】
上述したように、チャンネル１４６は、吸引カップ１４０内に配置しても良い。そのような実現形態において、チャンネル１４６は、複数の吸引カップ１４０の１つ以上の茎部１４２及び接触面１４４を通して配置されても良い。
【００６３】
上述のように、複数の吸引カップ１４０の１つ以上は、スタンドオフ（スペーサ）１４１内に配置されても良い。スタンドオフ１４１は、空洞１４８を囲む１つ以上の壁部１４３やその他の構造（支持機構１１０を通る）を有していても良く、この中に吸引カップ１４０が収容される。スタンドオフ１４１のｚ軸の高さ（例えば、スタンドオフ１４１の壁部１４３の上面１４５）は、１つ以上のリングの接触面（例えば、第１リング１２２の第１接触面１２４と第２リング１３２の第２接触面１３４）のｚ軸の高さに対応していても良い。更に、吸引カップ１４０の接触面１４４のｚ軸の高さは、１つ以上のリングの接触面のｚ軸の高さ及びスタンドオフ１４１の壁部１４３の上面１４５のｚ軸の高さよりも上に配置されても良い。このようにして、複数の吸引カップ１４０の夫々の接触面１４４は、特定の実現形態では、スタンドオフ１４１の高さまで圧縮可能であっても良い。更に、複数の吸引カップ１４０の１つ以上の高さは、ｚ軸（垂直軸）１０２に沿った茎部１４２の動きによって調整可能であっても良い。このようにして、ウエハ１０１の歪みに応じて、吸引カップ１４０の接触面１４４のｚ軸の高さが調整されても良い。
【００６４】
上述したように、チャンネル１４６は、吸引カップ１４０を収容するスタンドオフ１４１内に配置しても良い。このように、チャンネル１４６は、茎部１４２及び吸引カップ１４０の接触面１４４から分離されていても良い。
【００６５】
ウエハ・チャック１００は、１つ以上のバキューム・ゾーンに配置され、支持機構１１０を通って伸びる複数のバキューム・ホール１５０を更に含んでも良い。１つ以上のバキューム１６０は、複数のバキューム・ホール１５０と流体連結されていて良く、このとき、バキューム１６０の少なくとも１つは、複数のバキューム・ホール１５０によって吸引を提供するように構造的に構成される。よって、ある実現形態では、チャンネル１４６と結合され、これを通して１つ以上のバキューム１６０によって吸引が供給される１つ以上の吸引カップ１４０と、１つ以上のバキューム・ホール１５０（チャンネル１４６から分離され且つ別個）であって、これを通して１つ以上のバキューム１６０によって吸引が供給されるバキューム・ホール１５０の両方を含んでいる。
【００６６】
複数のバキューム・ホール１５０の１つ以上が、凹面１１６を通して配置されても良い。例えば、ある実現形態では、バキューム・ホール１５０の夫々は、凹面１１６を通して配置される。これに加えて、又は、これに代えて、複数のバキューム・ホール１５０の１つ以上が、１つ以上のリング（例えば、ウエハ・チャック１００の支持機構１１０の周辺を形成する第２リング１３２）、又は、支持機構１１０の別の部分を介して配置されるというような別の構成も可能である。ある実現形態では、バキューム・ホール１５０を完全に含めないようにして、代わりに、本願で上述したチャンネル１４６だけを含むようにしても良い。
【００６７】
バキューム・ホール１５０とチャンネル１４０は、互いに連動して動作して、例えば、超音波顕微鏡による検査のために、ウエハ１０１の歪みを緩和し、ウエハ・チャック１００上にウエハ１０１を保持して固定するようにしても良い。例えば、上述したように、複数の吸引カップ１４０の１つ以上の接触面１４４は、１つ以上のリング、スタンドオフ１４１又は支持機構１１０の他の部分のｚ軸の高さよりも上に、少なくとも第１高さＨ１だけ突出していても良い（例えば、後述の図５参照）。第１高さＨ１は、約１〜２ｍｍであっても良く、これは、ウエハ１０１に含まれる約２ｍｍまでの歪みに利用できる。これに加えて又はこれに代えて、別の寸法も可能である。このように、支持機構１１０に載置されるウエハ１０１は、最初、バキューム１６０によって吸引が供給される前に、（１つの特定バキューム・ゾーン中の又は複数のバキューム・ゾーンに渡る）複数の吸引カップ１４０上に載るようにしても良い。バキューム１６０によってウエハ１０１に対して吸引が行われると、ウエハ１０１は、（１つの特定バキューム・ゾーン中の又は複数のバキューム・ゾーンに渡る）複数の吸引カップ１４０の夫々及びリングと接触でき、これによって、ウエハ１０１を引き寄せ、その歪みを緩和できる。これに加えて又はこれに代えて、複数の吸引カップ１４０の夫々及びリングと接触しているウエハ１０１は、１つの特定バキューム・ゾーン中か又は複数のバキューム・ゾーンに渡ってシール（seal：密封）を形成しても良い。例えば、図示するように、ウエハ１０１は、例えば、（１つ以上のチャンネル１４６又はバキューム・ホール１５０を通した）バキュームの吸引によって下へと引き寄せられることによって、第１リング１２２とシールを形成でき、これによって、ウエハ１０１を第１リング１２２の第１接触面１２４と係合させる。更に、１つのバキューム・ゾーンに複数のバキューム・ホール１５０を配置して、支持機構１１０全体に広げても良く、このとき、１つ以上のバキューム１６０は、複数のバキューム・ホール１５０と流体連結（fluid communication）されており、複数のバキューム・ホール１５０を通して吸引を供給してウエハ１０１を固定し、リングとのシールを維持するよう構造的に構成される。これに加えて又はこれに代えて、１つ以上のバキューム１６０が、複数のバキューム・ホール１５０を通して吸引を行い、ウエハ１０１を更に引き寄せるよう構造的に構成されても良く、これは、結果として、ウエハ１０１の歪みを更に緩和できる。
【００６８】
バキューム・ホール１５０は、例えば、後述の排水又は他の目的のために、互いに一直線に並んでいても良い。例えば、図２が最も良く示すように、複数のバキューム・ホール１５０の２つ以上が、１つの軸、例えば、支持機構１１０の中心線を表す中心線軸１０４に沿って、一直線に並んでいても良い。ある実現形態では、ウエハ・チャック１００中のバキューム・ゾーンの夫々が、例えば、バキューム・ゾーンの各サイドに１つ、少なくとも２つのバキューム・ホール１５０を有している。
【００６９】
これに加えて又はこれに代えて、例えば、ウエハ１０１の検査中、特に、水やその他の液体がウエハ・チャック１００の１つ以上のバキューム・ゾーンに進入する場合に、１つ以上のバキューム・ホール１５０が、流体をウエハ・チャック１００から排出するのに利用されても良い。このように、凹面１１６が、複数のバキューム・ホール１５０の１つ以上に向けて傾斜していても良い。この目的で、ウエハ・チャック１００又はウエハ・チャック１００を含むシステム１０００（図８参照）は、バキューム１６０と複数のバキューム・ホール１５０の１つ以上との間のバキューム・ライン１６２に水分離器１６８があっても良い。このようにして、１つ以上のバキューム・ホール１５０からの吸引が、ウエハ・チャック１００に現れる水（又は他の液体）をウエハ・チャック１００から除去できるようにしても良い。
【００７０】
更に後述するように、１つ以上のバキューム１６０を複数のバキューム・ホール１５０（及びチャンネル１４６）へと接続する１つ以上のバキューム・ライン１６２を設けても良い。大まかに言えば、バキューム・ライン１６２は、支持機構１１０の第２サイド１１４に接続されて、配置される。
【００７１】
本願で説明するように、ウエハ・チャック１００又はウエハ・チャック１００を含むシステム１０００（図８参照）には、１つ以上のバキューム１６０があっても良く、このとき、１つ以上のバキューム１６０は、バキューム・ホール１５０と、１つ以上の吸引カップ１４０と結合されたチャンネル１４６とに流体連結されている。バキューム１６０は、複数のチャンネル１４６が全て単一のバキューム・ライン１６２（若しくは、例えば、同じバキューム１６０に接続されている複数のバキューム・ライン１６２）上にあるように構成されても良いし、又は、バキューム１６０は、複数のチャンネル１４６が異なるバキューム・ライン１６２上にあるように構成されても良い。同様に、バキューム１６０は、複数のバキューム・ホール１５０が全て単一のバキューム・ライン１６２（若しくは、例えば、同じバキューム１６０に接続されている複数のバキューム・ライン１６２）上にあるように構成されても良いし、又は、バキューム１６０は、複数のバキューム・ホール１５０が異なるバキューム・ライン１６２上にあるように構成されても良い。加えて、又は、これに代えて、バキューム１６０が、異なるバキューム・ゾーンが異なるバキューム・ライン１６２上にあるように構成されても良い。これに代えて、バキューム１６０は、複数のバキューム・ゾーンが同じバキューム・ライン１６２（又は、例えば、同じバキューム１６０に接続された複数のバキューム・ライン１６２）上にあるように構成されても良い。例えば、１つ以上のバキューム・ゾーンが、複数の吸引カップ１４０若しくは特定の吸引カップ１４０、又は、複数のバキューム・ホール１５０若しくは特定のバキューム・ホール１５０と同じライン上にあることもある。
【００７２】
１つ以上のチャンネル１４６、複数のバキューム・ホール及び複数のバキューム・ゾーン（例えば、第１バキューム・ゾーン１２０及び第２バキューム・ゾーン１３０）に関するバキューム１６０及びバキューム・ライン１６２に関して、特定の構成が説明されているが、無数に近い構成が可能であり、これらの夫々は、本開示の範囲に含まれることが意図されていると理解されよう。
【００７３】
例えば、ある実現形態において、バキューム１６０には、複数のバキューム・ホール１５０（又は、特定のバキューム・ホール１５０）の夫々と流体連結している第１バキューム１６４と、チャンネル１４６（又は、特定のチャンネル１４６）と流体連結している第２バキューム１６６とがある。これに代えて、単一のバキューム１６０が、複数のバキューム・ホール１５０及び複数のチャンネル１４６の夫々と流体連結していても良い。別の実現形態では、バキューム１６０には、第１バキューム・ゾーン１２０に配置された複数のバキューム・ホール１５０と、第１バキューム・ゾーン１２０に配置された複数の吸引カップ１４０（即ち、吸引カップ１４０と結合されたチャンネル１４６）とに流体連結されている第１バキューム１６４と、第２バキューム・ゾーン１３０に配置された複数のバキューム・ホール１５０と、第２バキューム・ゾーン１３０に配置された複数の吸引カップ１４０（即ち、吸引カップ１４０と結合されたチャンネル１４６）とに流体連結されている第２バキューム１６６とがある。これに代えて、第１バキューム１６４が、第１バキューム・ゾーン１２０及び第２バキューム・ゾーン１３０の両方に配置された複数のバキューム・ホール１５０と流体連結され、そして、第２バキューム１６６が、第１バキューム・ゾーン１２０及び第２バキューム・ゾーン１３０の両方に配置された複数の吸引カップ１４０（即ち、吸引カップ１４０と結合されたチャンネル１４６）と流体連結されていても良い。これに代えて、単一のバキューム１６０が、第１バキューム・ゾーン１２０及び第２バキューム・ゾーン１３０の両方に配置された複数のバキューム・ホール１５０及び複数の吸引カップ１４０（即ち、吸引カップ１４０と結合されたチャンネル１４６）と流体連結されていても良い。
【００７４】
上述のように、１つ以上のバキューム１６０を、１つ以上のバキューム・ゾーンに配置された複数のバキューム・ホール１５０及び複数の吸引カップ１４０（即ち、吸引カップ１４０と結合されたチャンネル１４６）と接続することが可能な無数に近い構成が可能であることが理解されよう。更に、１つ以上のバキューム１６０としては、任意の個数（即ち、図２に示すような２個だけでなく）のバキューム１６０があっても良いことが理解されよう。バキューム１６０の個数、又は、バキューム１６０の大きさ及びパワーは、ウエハ１０１を実質的にフラットに引き寄せるのに十分な能力をバキューム１６０が確実に提供するように選択できる。
【００７５】
本願で説明し、図示するように、第２バキューム・ゾーン１３０には、複数の吸引カップ１４０の内の１つ以上があっても良く、このとき、第２バキューム・ゾーン中の複数の吸引カップ１４０の内の少なくとも１つは、チャンネル１４６と結合され、これを通してバキューム１６０によって、吸引が供給される。このように、バキューム・ゾーンの夫々に、チャンネル１４６に結合された吸引カップ１４０を設け、吸引カップ１４０の中や周りに吸引を供給するようにしても良い。更に、複数のバキューム・ホール１５０は、本願で記述されるように、第１バキューム・ゾーン１２０及び第２バキューム・ゾーン１３０の夫々に配置されて良く、このとき、複数のバキューム・ホール１５０は、支持機構１１０を通って伸びている。１つ以上のバキューム１６０は、第１バキューム・ゾーン１２０及び第２バキューム・ゾーン１３０の夫々の複数のバキューム・ホール１５０と流体連結されていても良い。
【００７６】
ウエハ・チャック１００は、その形状の中に切り欠き部分１１８、例えば、支持機構１１０中にそれ自身の切り欠き部分１１８があっても良い。このように、１つ以上の第１バキューム・ゾーン１２０及び第２バキューム・ゾーン１３０は、支持機構１１０の切り欠き部分１１８によって、更に、境界される。切り欠き部分１１８は、ウエハ１０１を急速にウエハ・チャック１００の上に動かしたり、取り外したりや、ウエハ・チャック１００自身を動かすような他の目的のための位置決めロボットのアームを収容する大きさ及び形状としても良い。このように、ウエハ１０１は、ウエハ・チャック１００へと急速且つ簡単に動かしたり取り外したりでき、また、ウエハ・チャック１００自身は、超音波顕微鏡へと急速且つ簡単に動かしたり取り外したりできる。
【００７７】
ウエハ・チャック１００は、１つ以上のバキューム・ゾーンに配置された複数のポスト（柱）１７０を更に有しても良い。図示するように、ポスト１７０は、支持機構１１０の凹面１１６から伸びても良い。複数のポスト１７０の夫々は、例えば、ほぼ円筒形状を有する円柱のような形状であっても良い。複数のポスト１７０の１つ以上は、１つ以上のリングの接触面の高さに対応する高さを有しても良く、例えば、ポスト１７０は、概して、第１リング１２２の第１接触面１２４及び第２リング１３２の第２接触面１３４の１つ以上と同一平面となる高さを有しても良い。別の実現形態では、複数のポスト１７０の１つ以上が、１つ以上のリングの接触面の高さよりも低く設定された高さを有していても良い。複数のポスト１７０は、ウエハ・チャック１００に設置されたウエハ１０１に対して吸引が行われたときに、ウエハ１０１を所定のフラットさに維持するよう構造的に構成されても良い。更に、複数のポスト１７０の個数と大きさは、ウエハ１０１に対して所定の支持を与えるようにしつつ、ウエハ１０１と接触する表面積を最小化するよう選択されても良い。
【００７８】
ポスト１７０には、他の従来のウエハ・チャックに比較して、改善がある。具体的には、他の従来のウエハ・チャックには、検査のためにウエハ１０１を保持するときに、ウエハ１０１と接触する比較広い表面積を有するもっと多数のフラットな面を有することがある。しかし、本教示では、ウエハ・チャック１００がポスト１７０を有しても良く、これは、ウエハ１０１の保持を補助するように支持でき、また、これに加えて又はこれに代えて、例えば、バキューム・ゾーンの周りに配置されたリングに加えて、ウエハ１０１を所定のフラットさに維持するのを補助できる。ポスト１７０がないと、バキューム・ゾーンにおける吸引のために、リングの間でウエハ１０１がたわみ、よって、ウエハ１０１の望ましいフラットさが実現されない可能性がある。しかし、もし仮にポスト１７０が比較的広い表面積の別の部品に交換された場合、取り外すときに、ウエハ１０１がウエハ・チャック１０１にまとわりつく可能性がある。よって、ポスト１７０の大きさ、形状及び個数は、所定の支持と所定のフラットさを実現しつつ、ウエハ・チャック１００からウエハ１０１を取り外すときに、ウエハ１０１にくっつくのを緩和するよう選択され、設計される。
【００７９】
図３は、代表的な実施形態によるウエハ・チャック１００の底面図である。具体的には、図３は、図１及び２に示したウエハ・チャック１００の底面図である。図３に示す実現形態では、小さいウエハ（点線３２０で示される）用の第１バキューム・ゾーン中の吸引カップの夫々（即ち、吸引カップに結合されたチャンネル１４６）及びバキューム・ホール１５０は、第１バキューム１６４と流体連結されたバキューム・ライン１６２に接続され、これら要素に対して、吸引がほぼ同時に行われる。同様に、大きいウエハ用の第２バキューム・ゾーン１３０中のチャンネル１４６及びバキューム・ホール１５０は、第２バキューム１６６と流体連結されたバキューム・ライン１６２に接続される。
【００８０】
図３に示すように、１つ以上のチャンネル１４６及びバキューム・ホール１５０が単一のバキューム１６０で制御されるようにして、１つ以上のバキューム・ライン１６２を、単一のバキューム・ライン１６２に集めるようにしても良い。これに代えて、例えば、チャンネル１４６及びバキューム・ホール１５０を別々に独立して制御するために、複数のバキューム・ライン１６２が、チャンネル１４６及びバキューム・ホール１５０の夫々に別々に接続され、１つ以上のバキューム１６０に対して独立して動作するようにしても良い。
【００８１】
図４は、代表的な実施形態によるウエハ・チャック１００の切断図であり、図５は、図４のウエハ・チャック１００の切断断面図である。これら図は、支持機構１１０を通って伸びているチャンネル１４６及びバキューム・ホール１５０と、これらのバキューム・ライン１６２への接続を明確に示し、このとき、図４及び５の実施形態には、吸引カップ１４０自身の内部に形成されたチャンネル１４６がある。具体的には、この実施形態では、チャンネル１４６が、吸引カップ１４０の茎部１４２を通って、バキューム・ライン１６２から吸引カップ１４０の接触面１４４へと伸びている。このように、この実施形態では、チャンネル１４６が吸引カップ１４０に組み込まれている。
【００８２】
図５でも示すように、複数の吸引カップ１４０の１つ以上の接触面１４４は、第１リング１２２及び第２リング１３２の両方のｚ軸の高さ５０２より高い、少なくとも第１高さＨ１まで突き出ていても良い。これに加えて又はこれに代えて、複数の吸引カップ１４０の１つ以上の接触面１４４の第１高さＨ１は、ｚ軸１０２に沿って調整可能としても良い。この目的のために、ウエハ・チャック１００が、吸引カップ１４０の茎部１４２に接続されて、これを動かすための１つ以上のアクチュエータ（例えば、油圧（hydraulic：水圧）ピストン／シリンダのような油圧アクチュエータ）、モータ、ギア、ベルトなどを有していても良い。これに加えて又はこれに代えて、吸引カップ１４０を動かすための別の構成も可能である。これに加えて又はこれに代えて、例えば、異なる形式又は大きさのウエハ１０１用に、夫々異なる長さの茎部１４２を有する複数の異なる吸引カップ１４０を設けても良い。このように、吸引カップ１４０が、ウエハ・チャック１００上で取り外し可能及び交換可能であっても良い。同様に、これに加えて又はこれに代えて、接触面１４４を、異なる吸引カップ１４０の間で、変更しても良い。
【００８３】
図６は、吸引を行う前のウエハ１０１を保持している代表的な実施形態によるウエハ・チャック１００の側面図を示し、図７は、吸引を行っているときのウエハ１０１を保持しているウエハ・チャック１００の側面図を示す。図６に示すように、複数の吸引カップ１４０の１つ以上は、ウエハ・チャック１００の残りの部分より高い、少なくとも第１高さＨ１まで突き出ていても良い。このように、ウエハ１０１が最初にウエハ・チャック１００上に載置されたとき、ウエハ１０１は、ウエハ１０１の歪み次第で、複数の吸引カップ１４０の１つ以上に支持されても良い。次いで、例えば、複数の吸引カップ１４０の１つ以上に含まれるか、さもなければ、結合されているチャンネルを通して、ウエハ１０１に吸引が加えられても良い。この吸引は、もしウエハ１０１が歪んでいたとしても、複数の吸引カップ１４０の夫々へとウエハ１０１を引き寄せることができる。吸引カップ１４０は、圧縮可能（例えば、吸引カップ１４０の接触面は、ウエハ・チャック１００のリングより高い、高さＨ１と等しい量だけ圧縮可能でも良い）なので、チャンネルを通して加えられる吸引は、ウエハ１０１を複数の吸引カップ１４０の夫々と接触するように引き寄せるだけでなく、この吸引は、ウエハ１０１をウエハ・チャック１００の支持機構（例えば、バキューム・ゾーンの周りに配置されたリング）とも接触するように引き寄せることができる。これは、図７に示されるように、ウエハ１０１を実質的にフラットにできる。よって、図６に示すように、ウエハ１０１は、最初、歪んでいることもあるが、ウエハ１０１が図７に示すようにウエハ・チャック１００上に固定されると、ウエハ１０１は、実質的にフラットにされたり、歪みが直されるか、さもなければ、歪みが緩和されるか低減される。ウエハ１０１が、チャンネルからの吸引によって引き寄せられて、ウエハ・チャック１００の支持機構（例えば、バキューム・ゾーンのリング）と接触すると、シール（seal：密封）を形成でき、そして、ウエハ・チャック１００の支持機構にあるバキューム・ホールは、超音波顕微鏡による検査用に、ウエハ１０１をウエハ・チャック１００の支持機構上に確実に保持できる。これに加えて又はこれに代えて、バキューム・ホールは、ウエハ１０１の歪みを緩和できる。例えば、チャンネルは、吸引を加えて、ウエハ・チャック１０１とのシールを形成でき、そして、バキューム・ホールは、ウエハ１０１を実質的にフラットにする機能を実行できる。よって、ある実現形態では、バキューム・ホールだけがウエハ１０１の歪みを緩和し、別の実現形態では、チャンネルだけがウエハ１０１の歪みを緩和し、更に別の実現形態では、バキューム・ホールとチャンネルの両方の組み合わせでウエハ１０１の歪みを緩和する。
【００８４】
図６に戻ると、ウエハ１０１は、図に示すように、最初は、歪んでいても良いことが理解されよう。歪みは、極わずかなこともあり、このときには、例えば、ウエハ・チャック１００に最初に載置したときに、ウエハ１０１が、複数の吸引カップ１４０の接触面と静かに接触してシールを形成できる。これに代えて、歪みがもっと大きい場合もあり、このとき、ウエハ１０１は、ウエハ・チャック１００に最初に載置したときに、複数の吸引カップ１４０の中のいくつかとだけ接触して、それらとシールを形成する。このように、チャンネルを通して（例えば、吸引カップを通して）吸引が加えられたとき、吸引は、ウエハ１０１を他の吸引カップ１４０へと引き寄せるように作用でき、次いで、これは、それらのチャンネルを通してウエハ１０１に吸引を加えることができる。このようにして、吸引カップ１４０の夫々は、等しく接触でき、ウエハ１０１とシールを形成できる。更に別の実施形態の中には、ウエハ・チャック１００に最初に載置したときに、ウエハ１０１が複数の吸引カップ１４０のいくつかと接触するものの、それらとシールを形成しないほどに、歪みが大きいこともある。こうした場合では、チャンネルを通して（例えば、吸引カップを通して）吸引が加えられたときに、つまり、シールを形成するほど十分な力でウエハ１０１を吸引カップ１４０へと引き寄せることで、シールを形成できる。
【００８５】
図８は、代表的な実施形態によるウエハを検査するシステム１０００を示す。システム１０００には、ウエハ・チャック１００、超音波顕微鏡８１０、１つ以上のバキューム１６０（例えば、第１バキューム１６４及び第２バキューム１６６）、水分離器１６８、位置決めロボット８２０、コントローラ８３０、コンピューティング装置８４０、データ・ネットワーク８５０、そして、他のリソース８６０があっても良い。
【００８６】
システム１０００中のウエハ・チャック１００は、例えば、図１〜７を参照して本願で説明したウエハ・チャック１００のいずれかと同じか同様であっても良い。例えば、ウエハ・チャック１００には、夫々複数のバキューム・ホール及び複数の吸引カップを有する１つ以上のバキューム・ゾーンがあっても良く、このとき、吸引カップの１つ以上が、これを通して吸引を供給するためにチャンネルと結合されている。ウエハ・チャック１００の構造は、これに載置し、チャンネル及びバキューム・ホールの一方又は両方を通して吸引を加えたときに、ウエハ１０１の歪みを緩和できる。吸引は、バキューム１６０（例えば、第１バキューム１６４及び第２バキューム１６６）によって供給でき、このとき、バキューム１６０をウエハ・チャック１００のバキューム・ホール及びチャンネルへと接続するバキューム・ライン中に、水分離器１６８を設置しても良い。
【００８７】
ウエハ・チャック１００は、超音波顕微鏡８１０と共に使用するよう構成されていても良く、このとき、ウエハ・チャック１００は、超音波顕微鏡８１０による検査のためにウエハを保持又は固定する。これに加えて又はこれに代えて、ウエハ・チャック１００は、ウエハの歪みを緩和し、これによって、超音波顕微鏡８１０による検査の改善を容易にする。超音波顕微鏡８１０は、本願で説明するか、さもなければ、従来から既知の任意のもので良い。別の実現形態では、超音波顕微鏡８１０は、ウエハ・チャック１００で固定されたウエハの検査、測定又は分析のための別の機器を補充するものであるか、又は、別の機器で代替されても良い。
【００８８】
位置決めロボット８２０は、１つ以上のウエハ・チャック１００、ウエハ又は超音波顕微鏡８１０を互いに対して位置決めするのに利用できる。制御運動を実現する技術分野において、多様なアレンジメントと手法が知られており、位置決めロボット８２０としては、これらアレンジメントと手法のいずれかを含んでも良い。位置決めロボット８２０としては、限定するものではないが、例えば、ステッピング・モータ、符号化ＤＣモータ（encoded DC motor）、ギア、ベルト、プーリ、ウォーム・ギア、ねじ山（thread）、ロボット・アームなどのさまざまな組み合わせがあり得る。
【００８９】
コントローラ８３０は、システム１００の１つ以上の構成要素と、その制御のために通信しても良い。例えば、コントローラ８３０は、１つ以上のバキューム１６０と通信しても良く、このとき、コントローラ８３０は、バキューム１６０又はその構成要素（バキューム１６０内又はバキューム・ライン上に配置されたバルブなど）の制御によって、ウエハ・チャック１００上の１つ以上のバキューム・ゾーンにおける吸引を制御するように構造的に構成される。これに加えて又はこれに代えて、コントローラ８３０は、ウエハ・チャック１００とその構成要素、超音波顕微鏡８１０、水分離器１６８、位置決めロボット８２０、他のリソース８６０、そして、これらのコンビネーションを制御するのに利用されても良い。
【００９０】
コントローラ８３０は、プロセッサ８３２及びメモリ８３４を含むか、さもなければ、プロセッサ８３２及びメモリ８３４と通信しても良い。コントローラ８３０は、システム１０００の複数の構成要素の１つ以上と通信する関係で電子的に（例えば、有線又は無線で）結合されていても良い。コンローラ８３０は、限定するものではないが、制御信号、駆動信号、電力信号、センサ信号などを送受信するための入出力回路と共に、プロセッサ８３２、マイクロプロセッサ、マイクロコントローラ、特定用途向け集積回路、プログラマブル・ゲート・アレイ、その他のデジタル又はアナログ・コンポーネントに加えて、上述のものの組み合わせを含む、本願に記載のシステム１０００の様々な構成要素を制御するのに適したソフトウェア又は処理回路の任意の組み合わせを含むことができる。ある実現形態では、コントローラ８３０が、ＯＳ（基本ソフト）を実行し、（例えば、コントローラ８３０やシステム１０００に結合された他のコンポーネントに結合された表示装置に対して）グラフィカル・ユーザ・インタフェースを提供し、システム１０００の構成要素の動作に関するルールと命令を設定及び供給し、検出された情報を命令に変換し、ウェブ・サーバか、さもなければ、後述のような通信インタフェース８５２を通したホスト遠隔オペレータやアクティビティを操作するような関連する機能を提供するのに十分な演算能力を有するプロセッサ８３２やその他の処理回路を有していても良い。
【００９１】
プロセッサ８３２は、本願で説明されるか、さもなければ、当該技術分野で既知の任意のもので良い。プロセッサ８３２は、コントローラ８３０に含まれるか、又は、コントローラ８３０から独立していても良く、例えば、コントローラ８３０やシステム１０００の他の構成要素と通信するコンピューティング装置８４０に含まれていても良い。ある実現形態では、プロセッサ８３２は、システム１０００の構成要素を操作し、制御するアプリケーションをホストする（host）サーバに含まれるか、このサーバと通信する。
【００９２】
メモリ８３４は、本願で説明されるか、さもなければ、当該技術分野で既知の任意のもので良い。メモリ８３４は、コンピュータ・コードを収容でき、また、例えば、バキューム１６０又はバルブを制御するための命令のようなデータを記録できる。これに加えて又はこれに代えて、メモリ８３４は、ウエハ・チャック１００又はシステム１０００の性能に関連するデータを記憶しても良い。メモリ８３４は、これに記憶されるコンピュータ実行可能なコードを収容し、これは、実施のためのプロセッサ８３２用の命令を提供する。メモリ８３４としては、非一時的コンピュータ読み出し可能媒体を含んでも良い。
【００９３】
システム１０００は、限定するものではないが、コントローラ８３０を含むシステム１０００の１つ以上の構成要素と通信するコンピューティング装置８４０を含んでも良い。コンピューティング装置８４０は、例えば、グラフィカル・ユーザ・インタフェース、テキスト又はコマンド・ライン・インタフェース、ボイス制御インタフェースやゲスチャー・ベースのインタフェースといったユーザ・インタフェースを有していても良い。大まかに言って、このユーザ・インタフェースは、操作者とのやりとりのために、コンピューティング装置８４０上に適切な表示を形成しても良い。ある実現形態では、ユーザ・インタフェースは、システム１０００の１つ以上の構成要素の動作を制御できるのに加えて、コントローラ８３０、プロセッサ８３２及び他のリソース８６０へのアクセスと通信を提供できる。よって、コンピューティング装置８４０は、操作者によって操作されるか、さもなければ、システム１０００中の他の参加デバイスが管理若しくは監視するか、又は、他の参加デバイスと通信するか若しくはやりとりする任意のデバイスを含んでいても良い。これは、本願においてシステム１０００に加わることがあると考えられる、デスクトップ・コンピュータ、ラップトップ・コンピュータ、ネットワーク・コンピュータ、タブレット、スマートフォンやその他のデバイスを含んでも良い。ある実現形態では、コンピューティング装置８４０は、システム１０００中の他の参加デバイスに組み込まれている。
【００９４】
データ・ネットワーク８５０は、システム１０００中の参加デバイス間でデータを通信し、情報を制御するのに適した任意のネットワーク又は内部ネットワークで良い。これは、インターネットのような公開のネットワーク、プライベート・ネットワーク、公衆交換電話網、又は第３世代（例えば、３Ｇ又はＩＭＴ−２０００）、第４世代（例えば、ＬＴＥ（Ｅ−ＵＴＲＡ）又はＷｉＭＡＸ−Ａｄｖａｎｃｅｄ（ＩＥＥＥ８０２.１６ｍ）その他の技術を用いたセルラー・ネットワークに加えて、システム１０００中の他の参加デバイス間のデータを運ぶの利用できる多様なコーポレート・エリア又はローカル・エリア・ネットワーク及びその他のスイッチ、ルータ、ハブ、ゲートウェイなどの任意のものを含む。データ・ネットワーク８５０は、有線若しくは無線、又は、これらの任意の組み合わせとしても良い。当業者であれば、システム１０００に示される参加デバイスは、データ・ネットワーク８５０で接続されなければならないわけではなく、よって、データ・ネットワーク８５０とは独立して他の参加デバイスと連動して動作するようにも構成可能なことが理解できよう。
【００９５】
システム１０００の構成要素間のデータ・ネットワーク８５０を通じた通信やその他の通信は、１つ以上の通信インタフェース８５２を介して提供しても良い。通信インタフェース８５２としては、例えば、独立したコンピューティング装置８４０で実行される演算などを可能とするＷｉ−Ｆｉ受信器及び送信器を含んでも良い。より広く言えば、通信インタフェース８５２は、システム１０００の任意の構成要素は、互いに通信可能とするのに適したもので良い。よって、通信インタフェース８５２は、システム１０００の複数の構成要素の１つ以上に存在しても良い。通信インタフェース８５２は、ネットワーク・インタフェースなどを含むか、又は、ネットワーク・インタフェースなどと通信する関係で接続されていても良い。通信インタフェース８５２は、システム１０００の構成要素を遠隔のデバイス（例えば、遠隔のコンピュータなどのようなコンピューティング装置８４０）に、データ・ネットワーク８５０を通して通信する関係で結合するのに適したハードウェア及びソフトウェアの任意の組み合わせを含んでいても良い。例としては、限定するものではないが、これは、ＩＥＥＥ８０２.１１規格（又は、このバリエーションのいずれか）による有線又は無線のイーサネット接続動作のための電子機器やその他の短距離又は長距離無線ネットワーク・コンポーネントなどを含んでいても良い。これは、Bluetooth又は赤外線トランシーバのような短距離データ通信用のハードウェアを含んでも良く、これは、ローカル・エリア・ネットワークなどに結合するのに利用されても良く、次いで、これは、インターネットのようなデータ・ネットワークに結合される。これに加えて又はこれに代えて、これは、ＷｉＭＡＸ接続又はセルラー・ネットワーク接続（例えば、ＣＤＭＡ、ＧＳＭ、ＬＴＥやその他の適切なプロトコル又は複数プロトコルの組み合わせを利用する）用のハードウェア／ソフトウェアを含んでいても良い。加えて、コントローラ８３０は、自立的に通信インタフェース８５２に接続して、アップデートなどを取り込むなど、通信インタフェース８５２に接続された任意のネットワークへのシステム１０００の構成要素の参加を制御するよう構成されていても良い。
【００９６】
システム１０００は、他のリソース８６０を含んでいても良い。ある実現形態では、他のリソース８６０としては、カメラ、電源、センサ、データベース、バルブなどがあっても良い。これに加えて又はこれに代えて、他のリソース８６０としては、キーボード、タッチパッド、コンピュータ・マウス、スイッチ、ダイヤル、ボタン等の入力デバイスに加えて、表示装置、スピーカその他のオーディオ・トランスデューサ、発光ダイオードその他の照明又は表示コンポーネントなどの出力デバイスを含んでも良い。これに加えて又はこれに代えて、システム１０００の他のリソース８６０は、例えば、外部コンピュータ、外部ハードウェア、外部機器又はデータ・アクイジション（取込み）システムなどに接続するための多様なケーブル接続やハードウェア・アダプタを含んでいても良い。
【００９７】
図９は、代表的な実施形態によるウエハを検査する方法９００のフローチャートである。方法９００は、本願で説明したようなウエハ・チャックの使用を含んでも良い。
【００９８】
ブロック９０２に示すように、方法９００には、ウエハ・チャックの第１サイド上でウエハを受ける処理があっても良い。ウエハ・チャックは、ウエハの大きさと形状に対応する１つ以上のバキューム・ゾーンがあっても良く、このとき、各バキューム・ゾーンには、その上でウエハを受ける複数の吸引カップがある。よって、ウエハ・チャック上でウエハを受ける処理は、複数の吸引カップの１つ以上の接触面上でウエハを受ける処理を含んでいても良い。位置決めロボットなどからウエハを受けるようにしても良く、このとき、例えば、位置決めロボットは、ウエハ・チャック上で、所定のアライメントでウエハを載置するようプログラムされる。
【００９９】
ブロック９０４に示されるように、方法９００には、複数のバキューム・ゾーンの少なくとも１つに対してウエハを整合させる処理があっても良い。ウエハの整合は、位置決めロボットなどによって実行されるか、又は、操作者によってマニュアルで行っても良い。上述のように、ある実現形態では、位置決めロボットが、ウエハを更に整合（アライメント）する必要がないように、ウエハ・チャック上の所定のアライメントでウエハを載置するようプログラムされても良い。更には、このようにして、即ち、位置決めロボットのプログラミングによって、ウエハをウエハ・チャックへ載置する前に整合（アライメント）を完了させても良い。
【０１００】
ブロック９０６に示されるように、方法９００には、ウエハに第１吸引を加える処理があっても良い。第１吸引は、複数の吸引カップの１つ以上と結合されたチャンネルを通して加えても良い。この第１吸引は、ウエハが複数の吸引カップの夫々と、ウエハ・チャックの第１サイド上に形成されたバキューム・ゾーンの少なくとも一部分の境界を形成するリングとに接触するように、ウエハがウエハ・チャックの方へ引き寄せられるのを容易にする。これにより、第１吸引は、ウエハを吸引カップとバキューム・ゾーンの境界を形成するリングとに接触するように下へとウエハを引き寄せることによって、ウエハの歪みを緩和できる。
【０１０１】
ブロック９０８に示されるように、方法９００には、ウエハ・チャック上のバキューム・ゾーンにシール（seal：密封）を形成する処理があっても良い。このシールは、ウエハに作用する第１吸引によって形成されても良く、このとき、第１吸引は、複数の吸引カップと、ウエハ・チャック上のバキューム・ゾーンの少なくとも一部分の境界を形成するリングの方向へウエハの本体を引き寄せる。
【０１０２】
ブロック９１０に示されるように、方法９００には、複数のバキューム・ホールを通してウエハに第２吸引を加える処理があっても良く、これによって、ウエハは、ウエハ・チャックの凹面の方向へ引き寄せられ、更にその歪みが緩和される。これに加えて又はこれに代えて、第２吸引は、超音波顕微鏡による検査用に、ウエハをウエハ・チャック上に、なおいっそう保持及び固定できる。
【０１０３】
ある実現形態では、第１吸引及び第２吸引は、単一のバキュームを用いて加えられる。別の実現形態では、第１吸引及び第２吸引は、別々のバキュームを用いて加えられる。システムが単一のバキュームを用いるか又は複数のバキュームを用いるかに関係なく、例えば、ウエハの検査前及び検査中に連続的に、第１吸引及び第２吸引が同時に加えられても良いことが理解できよう。これに代えて、第１吸引及び第２吸引が、バルブなどを制御することによって、異なるバキュームを用いるか又は同じバキュームを用いて、異なる時間に加えられても良い。
【０１０４】
ブロック９１２に示されるように、方法９００には、例えば、ウエハ・チャック上にある１つ以上のポストを用いて、ウエハを支持する処理があっても良い。これに加えて又はこれに代えて、これらポストが、ウエハ・チャック上のウエハを所定のフラットさに維持するのを補助しても良い。
【０１０５】
ブロック９１４に示されるように、方法９００には、ウエハに加える吸引を制御する処理、例えば、第１吸引及び第２吸引の１つ以上を制御する処理があっても良い。これは、ウエハ・チャック上にある少なくとも１つのチャンネル及びバキューム・ホールと流体連結している１つ以上のバキュームを制御する処理を含んでいても良い。これに加えて又はこれに代えて、これは、１つ以上のバキューム・ライン上にある１つ以上のバルブを制御する処理を含んでいても良い。ある実現形態では、吸引を制御する処理には、ウエハに損害を与えるのを緩和するために、ウエハに加える吸引を制限する処理を含んでいても良い。別の実現形態では、吸引を制御する処理には、システムに吸引を加えるか又は吸引を加えないかのバイナリー制御の形式で、単に、１つ以上のバキュームをオン及びオフする処理か又は複数のバキューム中のどのバキュームが吸引を行うかを選択する処理が含まれていても良い。よって、吸引を制御する処理は、ウエハの検査の前に完了するか又はプログラムされても良い。ある実現形態では、吸引の制御は、検査されるウエハの形式、検査されるウエハの大きさ、ウエハの歪みの程度、ウエハ・チャックの形式又は大きさ、超音波顕微鏡の形式又は設定値（parameter：パラメータ）などに基づいて決定される。
【０１０６】
ブロック９１６に示されるように、方法９００には、ウエハを所定のフラットさに維持する処理があっても良い。ウエハの所定のフラットさは、超音波顕微鏡による十分な検査のために、その歪みを緩和できる。所定のフラットさは、ウエハ表面全体にわたる歪みが約３００μｍ以下としても良い。別の実現形態では、所定のフラットさが、ウエハ表面全体にわたる歪みが約５０μｍ以下としても良いし、又は、ウエハ表面全体にわたる歪みが約２５μｍ以下としても良い。所定のフラットさは、ウエハに加える吸引を制御し、ウエハ・チャックの吸引カップの位置を制御し、ウエハ・チャック自身の位置又はウエハ・チャックに対するウエハの相対的な位置を制御するか、これらの組み合わせによって維持されても良い。これに加えて又はこれに代えて、所定のフラットさは、ウエハ・チャックの形状によって維持されても良い。
【０１０７】
ブロック９１８に示されるように、方法９００には、超音波顕微鏡を用いてウエハを検査する処理があっても良い。これに加えて又はこれに代えて、検査は、他のツール又は機器を用いることもある。ウエハの検査は、検査の前又は検査中に、ウエハが所定のフラットさに維持されることによって、容易になるか又は改善される。
【０１０８】
ブロック９２０に示されるように、方法９００には、例えば、ウエハの検査中、そして、特に、もし水やその他の液体がウエハ・チャックの複数のバキューム・ゾーンの１つ以上に進入する場合には、複数のバキューム・ホールの１つ以上を通して、液体を排出する処理があっても良い。ある実現形態では、排水の目的で、１つのバキューム・ゾーンだけがウエハの検査に使用されている場合でも、各バキューム・ゾーンに吸引が加えられて、例えば、各バキューム・ゾーンに集まった水を全て除去する。
【０１０９】
ブロック９２２に示されるように、方法９００には、１つ以上のバキュームと複数のバキューム・ホールの１つ以上との間のバキューム・ラインにおいて、液体（例えば、水）を他の流体（例えば、空気）から分離する処理があっても良い。水分離器などが、この目的のために利用されても良い。
【０１１０】
ブロック９２４に示されるように、方法９００には、例えば、ウエハをウエハ・チャックから取り外すのを容易にするために、ウエハに加えられる吸引を緩める処理があっても良い。
【０１１１】
ブロック９２６に示されるように、方法９００には、ウエハをウエハ・チャックから取り外す処理があっても良い。
【０１１２】
これに加えて又はこれに代えて、方法９００には、例えば、ウエハ・チャックの表面上の水を全て除去するために、検査される新しいウエハを載置する前に、ウエハ・チャック上で「吹き飛ばす」操作を実行する処理があっても良い。これに加えて又はこれに代えて、方法９００には、超音波顕微鏡中にウエハ・チャックを設置する処理と、超音波顕微鏡からウエハ・チャックを取り外す処理（例えば、あるウエハ・チャックを別のウエハ・チャックに交換する処理）があっても良い。
【０１１３】
上述のシステム、デバイス、方法、プロセスなどは、特定の用途に適したハードウェア、ソフトウェア又はこれらの任意の組み合わせで実現しても良い。ハードウェアは、汎用コンピュータや専用コンピュータ装置を含んでも良い。これには、内部や外部メモリを伴う、１つ以上のマイクロプロセッサ、マイクロコントローラ、内蔵マイクロコントローラ、プログラマブル・デジタル・シグナル・プロセッサ若しくはその他のプログラマブル・デバイス又は処理回路での実現が含まれる。これに加えて、又は、これに代えて、１つ以上の特定用途向け集積回路、プログラマブル・ゲート・アレイ、プログラマブル・アレイ論理コンポーネント若しくはその他のデバイス、又は電子信号を処理できるように構成されるデバイスを含んでも良い。上述のプロセス又はデバイスの実現には、複数のプロセッサの異質な組み合わせ、プロセッサ・アーキテクチャ、又は異なるハードウェア及びソフトウェアの組み合わせに加えて、Ｃなどの構造化プログラミング言語、Ｃ＋＋などのオブジェクト指向プログラミング言語又はその他の高レベル若しくは低レベル・プログラミング言語（アセンブリ言語、ハードウェア記述言語、並びにデータベース・プログラミング言語及び技術を含む）を使用して作成されたコンピュータ実行可能コードを含んでも良く、これは、上記デバイスのいずれかで実行されるように記憶、コンパイル又は解釈されても良い。別の実現形態では、これら方法は、それらステップを実行するシステムにおいて実現されても良く、また、これら方法は、多数のやり方で、複数のデバイスに渡って分散されても良い。同時に、処理は、上述の種々のシステムのような複数のデバイスに分散されても良いし、又は、全ての機能が、専用の単独のデバイス若しくはハードウェアに統合されてもよい。別の実現形態では、上述のプロセスに関連するステップを実行する手段が、上述の任意のハードウェアやソフトウェアを含んでいても良い。こうした変更及び組み合わせの全ては、本開示の範囲内に入ると考えられる。
【０１１４】
本願で開示される実施形態は、１つ以上のコンピューティング装置上で実行するときに、そのステップのいずれか又はすべてを実行する、コンピュータ実行可能コード又はコンピュータ使用可能コードを含むコンピュータ・プログラム・プロダクトを含んでも良い。このコードは、非一時的にコンピュータ・メモリに記憶されても良く、このコンピュータ・メモリは、これからプログラムが実行される（プロセッサに関連するランダム・アクセス・メモリのような）メモリであるか、又は、ディスク・ドライブ、フラッシュ・メモリ、若しくはその他の光学的、電磁気、磁気、赤外線若しくはその他デバイスのようなストレージ・デバイス、若しくは、複数デバイスの組み合わせであっても良い。別の実現形態では、上述のシステム及び方法のいずれかが、コンピュータ実行可能コードを運搬するか又は同じ入出力の、任意の適切な伝送又は伝播媒体において実現されても良い。
【０１１５】
上述のデバイス、システム及び方法は、限定する目的ではなく例として記載されていることが理解されよう。反対を明示的に示さない限り、開示されたステップは、本開示の範囲から逸脱することなく、修正、補足、省略や並び替えをしても良い。多数の変形、追加、省略及び他の変更が当業者には明らかであろう。加えて、上述の説明及び図面における方法ステップの順序又は提示は、特定の順序が明示的に必要とされるか、さもなければ文脈から明らかでない限り、記載されたステップを実行するのに、この順序を必要とすることを意図するものではない。
【０１１６】
本願に記載された実施形態の方法ステップは、異なる意味が明示的に規定されるか、さもなければ文脈から明らかでない限り、以下の特許請求の範囲の特許性に矛盾しない方法ステップを実施させる任意の適切な方法を含むことを意図する。そのため、例えば、Ｘのステップを実行することには、遠隔のユーザ、遠隔の処理リソース（例えば、サーバ又はクラウド・コンピュータ）又はマシンのような他の当事者に、Ｘのステップを実行させるための任意の適切な方法が含まれる。同様に、ステップＸ、Ｙ及びＺを実行することには、そのようなステップの利点を得るために、ステップＸ、Ｙ及びＺを実行する、こうした他の個人又はリソースの任意の組み合わせを指示又は制御する任意の方法が含まれても良い。従って、本願に記載されている実施形態の方法ステップは、異なる意味が明示的に規定されるか、さもなければ文脈から明らかでない限り、以下の特許請求の範囲の特許性と一致する、１以上の他の当事者又はエンティティ（entities：法人、事業者）に、これらステップを実施させる任意の適切な方法を含むことを意図する。こうした当事者又はエンティティは、他の当事者又はエンティティの指揮又は管理下にある必要はなく、また、特定の法域（jurisdiction：司法権の及ぶ範囲）内に位置する必要はない。
【０１１７】
上記の方法は、更に、例として提供されると理解されるべきである。反対を明示的に示さない限り、開示されたステップは、本開示の範囲から逸脱することなく、修正、補足、省略や並び替えしても良い。
【０１１８】
上述の方法及びシステムは、限定する目的ではなく例として記載されていることが理解されよう。多数の変形、追加、省略及び他の変更が当業者には明らかであろう。加えて、上述の説明及び図面における方法ステップの順序又は提示は、具体的な順序が明示的に必要とされていないか、さもなければ文脈から明らかでない限り、記載されたステップを実行するのに、この順序を必要とすることを意図するものではない。従って、特定の実施形態が示され、記載されているが、本開示の範囲から逸脱することなく、その中の形態及び詳細における様々な変更及び修正を行うことができ、形態及び詳細における様々な変更及び修正は、以下の特許請求の範囲で定義されるように、開示の一部分を形成し、法律で許容される最も広い意味で解釈されるべきである。
【０１１９】
本願で詳細に記載された様々な代表的な実施形態は、限定する目的ではなく例として提示されている。当業者であれば、添付の特許請求の範囲内にある均等な実施形態を生じる説明された実施形態の形態及び詳細に様々な変更を加えて良いことを理解するであろう。
【符号の説明】
【０１２０】
１００  ウエハ・チャック
１０１  ウエハ
１０２  ｚ軸
１０４  中心軸
１１０  支持機構
１１２  第１サイド
１１４  第２サイド
１１６  凹面
１２０  第１バキューム・ゾーン
１２２  第１リング
１３０  第２バキューム・ゾーン
１３２  第２リング
１４０  吸引カップ
１４１  スタンドオフ（スペーサ）
１４２  茎部
１４３  壁部
１４４  接触面
１４６  チャンネル
１４８  空洞
１５０  バキューム・ホール
１６０  バキューム
１６２  バキューム・ライン
１６４  第１バキューム
１６６  第２バキューム
１６８  水分離器
１７０  ポスト
５０２  ｚ軸の高さ
８１０  超音波顕微鏡
８２０  位置決めロボット
８３０  コントローラ
８３２  プロセッサ
８３４  メモリ
８４０  コンピューティング装置
８５０  データ・ネットワーク
８５２  通信インタフェース
８６０  他のリソース
１０００  システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【外国語明細書】
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