(57)【要約】【課題】欠陥を確認する作業における確認精度を向上させる。【解決手段】検査対象物における欠陥の有無を確認する欠陥確認装置は、取得部と、出力制御部と、を備えている。取得部は、検査対象物の同一サイズの同一部分について、欠陥を捉えた可能性がある欠陥画像データと、基準となる基準画像データと、を取得する。出力制御部は、出力部によって、同一の表示領域に、欠陥画像データと基準画像データとを少なくとも１回ずつ時間順次に可視的に出力させる。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物における欠陥の有無を確認する欠陥確認装置であって、
前記検査対象物の同一サイズの同一部分について、欠陥を捉えた可能性がある欠陥画像データと、基準となる基準画像データと、を取得する取得部と、
出力部によって、同一の表示領域に、前記欠陥画像データと前記基準画像データとを少なくとも１回ずつ時間順次に可視的に出力させる出力制御部と、を備えている、欠陥確認装置。
【請求項２】
請求項１に記載の欠陥確認装置であって、
前記出力制御部は、前記出力部によって、前記欠陥画像データとともに、欠陥が存在している可能性のある部分がユーザによって視覚的に認識可能となるような要素を、可視的に出力させる、欠陥確認装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の欠陥確認装置であって、
前記出力制御部は、前記出力部によって、前記同一の表示領域に、前記欠陥画像データと前記基準画像データとを交互に可視的に出力させる、欠陥確認装置。
【請求項４】
請求項３に記載の欠陥確認装置であって、
ユーザの動作に応じた信号を入力する入力部、をさらに備え、
前記出力制御部は、ユーザによる第１動作に応じた前記入力部による第１信号の入力に応答して、前記出力部によって、前記同一の表示領域における前記欠陥画像データと前記基準画像データとを交互に可視的に出力させる交互出力処理を停止させる、欠陥確認装置。
【請求項５】
請求項４に記載の欠陥確認装置であって、
前記出力制御部は、前記交互出力処理の停止に応答して、前記出力部によって、前記欠陥画像データとともにユーザによって認識可能となるような欠陥画像に係る要素を出力させるか、あるいは前記基準画像データとともにユーザによって認識可能となるような基準画像に係る要素を出力させる、欠陥確認装置。
【請求項６】
請求項５に記載の欠陥確認装置であって、
前記出力制御部は、前記交互出力処理を停止させた後に、ユーザによる第２動作に応じた前記入力部による第２信号の入力に応答して、前記出力部によって、前記同一の表示領域において前記欠陥画像データと前記基準画像データとを重畳するように可視的に出力させる、欠陥確認装置。
【請求項７】
請求項１から請求項５の何れか１つの請求項に記載の欠陥確認装置であって、
前記出力制御部は、前記出力部によって、前記同一の表示領域における画像データの可視的な出力状態を、前記欠陥画像データおよび前記基準画像データのうちの第１画像データを可視的に出力させている第１出力状態、から前記欠陥画像データと前記基準画像データとを重畳するように可視的に出力させている第２出力状態、を経て、前記欠陥画像データおよび前記基準画像データのうちの前記第１画像データとは異なる第２画像データを可視的に出力させている第３出力状態まで遷移させる、欠陥確認装置。
【請求項８】
検査対象物における欠陥の有無を確認する欠陥確認方法であって、
(a)前記検査対象物の同一サイズの同一部分について、欠陥を捉えた可能性がある欠陥画像データと、基準となる基準画像データと、を取得するステップと、
(b)出力部によって、同一の表示領域に、前記ステップ(a)で取得された前記欠陥画像データと前記基準画像データとを少なくとも１回ずつ時間順次に可視的に出力させるステップと、を有する、欠陥確認方法。
【請求項９】
請求項８に記載の欠陥確認方法であって、
前記ステップ(b)において、前記出力部によって、前記欠陥画像データとともに、欠陥が存在している可能性のある部分がユーザによって視覚的に認識可能となるような要素を、可視的に出力させる、欠陥確認方法。
【請求項１０】
請求項８または請求項９に記載の欠陥確認方法であって、
前記ステップ(b)において、前記出力部によって、前記同一の表示領域に、前記欠陥画像データと前記基準画像データとを交互に可視的に出力させる、欠陥確認方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の欠陥確認方法であって、
前記ステップ(b)において、ユーザによる第１動作に応じた入力部による第１信号の入力に応答して、前記出力部によって、前記同一の表示領域における前記欠陥画像データと前記基準画像データとを交互に可視的に出力させる交互出力処理を停止させる、欠陥確認方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の欠陥確認方法であって、
前記ステップ(b)において、前記交互出力処理の停止に応答して、前記出力部によって、前記欠陥画像データとともに、ユーザによって認識可能となるような欠陥画像に係る要素を出力させるか、あるいは前記基準画像データとともにユーザによって認識可能となるような基準画像に係る要素を出力させる、欠陥確認方法。
【請求項１３】
請求項１２に記載の欠陥確認方法であって、
前記ステップ(b)において、前記交互出力処理を停止させた後に、ユーザによる第２動作に応じた前記入力部による第２信号の入力に応答して、前記出力部によって、前記同一の表示領域において前記欠陥画像データと前記基準画像データとを重畳するように可視的に出力させる、欠陥確認方法。
【請求項１４】
請求項８から請求項１２の何れか１つの請求項に記載の欠陥確認方法であって、
前記ステップ(b)において、前記出力部によって、前記同一の表示領域における画像データの可視的な出力状態を、前記欠陥画像データおよび前記基準画像データのうちの第１画像データを可視的に出力させている第１出力状態、から前記欠陥画像データと前記基準画像データとを重畳するように可視的に出力させている第２出力状態、を経て、前記欠陥画像データおよび前記基準画像データのうちの前記第１画像データとは異なる第２画像データを可視的に出力させている第３出力状態まで遷移させる、欠陥確認方法。
【請求項１５】
情報処理装置に含まれる処理部によって実行されることで、該情報処理装置を、請求項１から請求項７の何れか１つの請求項に記載の欠陥確認装置として機能させる、プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、欠陥確認装置、欠陥確認方法およびプログラムに関する。詳細には、本発明は、例えば、プリント基板における配線パターンなどの各種パターンあるいはプリント基板を作製するためのレジストなどの各種のマスクなどの基体上に形成された各種パターンなどを検査する技術に向けられている。特に、本発明は、例えば、検査対象物の画像と比較の基準となる基準画像とを可視的に出力する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、プリント基板などの基体上に配線パターンなどの各種のパターンが形成された対象物について、各種のパターンにおける欠陥を確認するための欠陥確認装置が提案されている（例えば、特許文献１の記載を参照）。
【０００３】
この欠陥確認装置では、例えば、検査対象物の一部を撮影して得られた検査画像と、比較の対象である基準画像と、が同時に並べられた状態で表示される。このとき、ユーザは、検査画像と基準画像とを見比べることで、検査画像で捉えられた部位について欠陥の有無を確認することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−９１１６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１の技術では、例えば、検査画像と基準画像とを見比べる際に検査画像と基準画像との間で視線を動かすため、真の欠陥を見落とすおそれがある。さらに、例えば、視線の移動によるユーザの疲労の蓄積などより、真の欠陥の見落としが生じやすくなるおそれがある。すなわち、欠陥を確認する作業における確認精度が低下するおそれがある。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、欠陥を確認する作業における確認精度を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、第１の態様に係る欠陥確認装置は、検査対象物における欠陥の有無を確認する欠陥確認装置であって、取得部と、出力制御部と、を備えている。前記取得部は、前記検査対象物の同一サイズの同一部分について、欠陥を捉えた可能性がある欠陥画像データと、基準となる基準画像データと、を取得する。前記出力制御部は、出力部によって、同一の表示領域に、前記欠陥画像データと前記基準画像データとを少なくとも１回ずつ時間順次に可視的に出力させる。
【０００８】
第２の態様に係る欠陥確認装置は、第１の態様に係る欠陥確認装置であって、前記出力制御部は、前記出力部によって、前記欠陥画像データとともに、欠陥が存在している可能性のある部分がユーザによって視覚的に認識可能となるような要素を、可視的に出力させる。
【０００９】
第３の態様に係る欠陥確認装置は、第１または第２の態様に係る欠陥確認装置であって、前記出力制御部は、前記出力部によって、前記同一の表示領域に、前記欠陥画像データと前記基準画像データとを交互に可視的に出力させる。
【００１０】
第４の態様に係る欠陥確認装置は、第３の態様に係る欠陥確認装置であって、ユーザの動作に応じた信号を入力する入力部、をさらに備え、前記出力制御部は、ユーザによる第１動作に応じた前記入力部による第１信号の入力に応答して、前記出力部によって、前記同一の表示領域における前記欠陥画像データと前記基準画像データとを交互に可視的に出力させる交互出力処理を停止させる。
【００１１】
第５の態様に係る欠陥確認装置は、第４の態様に係る欠陥確認装置であって、前記出力制御部は、前記交互出力処理の停止に応答して、前記出力部によって、前記欠陥画像データとともにユーザによって認識可能となるような欠陥画像に係る要素を出力させるか、あるいは前記基準画像データとともにユーザによって認識可能となるような基準画像に係る要素を出力させる。
【００１２】
第６の態様に係る欠陥確認装置は、第５の態様に係る欠陥確認装置であって、前記出力制御部は、前記交互出力処理を停止させた後に、ユーザによる第２動作に応じた前記入力部による第２信号の入力に応答して、前記出力部によって、前記同一の表示領域において前記欠陥画像データと前記基準画像データとを重畳するように可視的に出力させる。
【００１３】
第７の態様に係る欠陥確認装置は、第１から第５の何れか１つの態様に係る欠陥確認装置であって、前記出力制御部は、前記出力部によって、前記同一の表示領域における画像データの可視的な出力状態を、前記欠陥画像データおよび前記基準画像データのうちの第１画像データを可視的に出力させている第１出力状態、から前記欠陥画像データと前記基準画像データとを重畳するように可視的に出力させている第２出力状態、を経て、前記欠陥画像データおよび前記基準画像データのうちの前記第１画像データとは異なる第２画像データを可視的に出力させている第３出力状態まで遷移させる。
【００１４】
第８の態様に係る欠陥確認方法は、検査対象物における欠陥の有無を確認する欠陥確認方法であって、ステップ(a)と、ステップ(b)と、を有する。前記ステップ(a)において、前記検査対象物の同一サイズの同一部分について、欠陥を捉えた可能性がある欠陥画像データと、基準となる基準画像データと、を取得する。前記ステップ(b)において、出力部によって、同一の表示領域に、前記ステップ(a)で取得された前記欠陥画像データと前記基準画像データとを少なくとも１回ずつ時間順次に可視的に出力させる。
【００１５】
第９の態様に係る欠陥確認方法は、第８の態様に係る欠陥確認方法であって、前記ステップ(b)において、前記出力部によって、前記欠陥画像データとともに、欠陥が存在している可能性のある部分がユーザによって視覚的に認識可能となるような要素を、可視的に出力させる。
【００１６】
第１０の態様に係る欠陥確認方法は、第８または第９の態様に係る欠陥確認方法であって、前記ステップ(b)において、前記出力部によって、前記同一の表示領域に、前記欠陥画像データと前記基準画像データとを交互に可視的に出力させる。
【００１７】
第１１の態様に係る欠陥確認方法は、第１０の態様に係る欠陥確認方法であって、前記ステップ(b)において、ユーザによる第１動作に応じた入力部による第１信号の入力に応答して、前記出力部によって、前記同一の表示領域における前記欠陥画像データと前記基準画像データとを交互に可視的に出力させる交互出力処理を停止させる。
【００１８】
第１２の態様に係る欠陥確認方法は、第１１の態様に係る欠陥確認方法であって、前記ステップ(b)において、前記交互出力処理の停止に応答して、前記出力部によって、前記欠陥画像データとともに、ユーザによって認識可能となるような欠陥画像に係る要素を出力させるか、あるいは前記基準画像データとともにユーザによって認識可能となるような基準画像に係る要素を出力させる。
【００１９】
第１３の態様に係る欠陥確認方法は、第１２の態様に係る欠陥確認方法であって、前記ステップ(b)において、前記交互出力処理を停止させた後に、ユーザによる第２動作に応じた前記入力部による第２信号の入力に応答して、前記出力部によって、前記同一の表示領域において前記欠陥画像データと前記基準画像データとを重畳するように可視的に出力させる。
【００２０】
第１４の態様に係る欠陥確認方法は、第８から第１２の何れか１つの態様に係る欠陥確認方法であって、前記ステップ(b)において、前記出力部によって、前記同一の表示領域における画像データの可視的な出力状態を、前記欠陥画像データおよび前記基準画像データのうちの第１画像データを可視的に出力させている第１出力状態、から前記欠陥画像データと前記基準画像データとを重畳するように可視的に出力させている第２出力状態、を経て、前記欠陥画像データおよび前記基準画像データのうちの前記第１画像データとは異なる第２画像データを可視的に出力させている第３出力状態まで遷移させる。
【００２１】
第１５の態様に係るプログラムは、情報処理装置に含まれる処理部によって実行されることで、該情報処理装置を、上記第１から第７の何れか１つの態様に係る欠陥確認装置として機能させる、プログラムである。
【発明の効果】
【００２２】
第１の態様に係る欠陥確認装置および第８の態様に係る欠陥確認方法の何れによっても、例えば、同一の表示領域に、同一サイズの同一部分について、欠陥画像データと基準画像データとが時間順次に可視的に出力されれば、ユーザは、視線を移動させることなく、欠陥画像と基準画像とを見比べることができる。これにより、例えば、ユーザは、検査対象物の真の欠陥を見落としにくくなり、疲れにくくなる。その結果、例えば、検査対象物の欠陥を確認する作業における確認精度が向上し得る。
【００２３】
第２の態様に係る欠陥確認装置および第９の態様に係る欠陥確認方法の何れによっても、例えば、欠陥画像データとともに、欠陥が存在している可能性のある部分が視覚的に認識可能となるような要素が、可視的に出力されていれば、ユーザは、検査対象物における真の欠陥を容易に見つけることができる。その結果、例えば、ユーザは、検査対象物について、高精度で欠陥の有無を確認することができる。
【００２４】
第３の態様に係る欠陥確認装置および第１０の態様に係る欠陥確認方法の何れによっても、例えば、同一の表示領域において、同一サイズの同一部分について、欠陥画像データと基準画像データとが交互に可視的に出力されれば、ユーザは、視線を移動させることなく、欠陥画像と基準画像とを容易に見比べることができる。これにより、例えば、ユーザは、検査対象物における真の欠陥を容易に見つけることができる。その結果、例えば、検査対象物について、欠陥を確認する作業における確認精度がさらに向上し得る。
【００２５】
第４の態様に係る欠陥確認装置および第１１の態様に係る欠陥確認方法の何れによっても、例えば、ユーザは、欠陥画像データと基準画像データとが交互に可視的に出力される処理を停止させることができれば、検査対象物における真の欠陥の有無を落ち着いて確認することができる。
【００２６】
第５の態様に係る欠陥確認装置および第１２の態様に係る欠陥確認方法の何れによっても、例えば、ユーザは、表示部によって表示されている画像が、欠陥画像データおよび基準画像データの何れのデータに基づくものであるのかを、認識することができる。これにより、例えば、ユーザは、検査対象物における真の欠陥を容易に見つけることができる。その結果、例えば、検査対象物について、欠陥を確認する作業における確認精度がさらに向上し得る。
【００２７】
第６の態様に係る欠陥確認装置および第１３の態様に係る欠陥確認方法の何れによっても、例えば、欠陥画像データと基準画像データとが重畳するように可視的に出力されれば、ユーザは、欠陥画像データに基づいて可視的に出力された欠陥画像と、基準画像データに基づいて出力された基準画像と、の間における違いを容易に認識することができる。
【００２８】
第７の態様に係る欠陥確認装置および第１４の態様に係る欠陥確認方法の何れによっても、例えば、欠陥画像データと基準画像データとが重畳するように可視的に出力されている時間帯が存在していれば、ユーザは、欠陥画像データに基づいて可視的に出力された欠陥画像と、基準画像データに基づいて出力された基準画像と、の間における違いを容易に認識することができる。
【００２９】
第１５の態様に係るプログラムによれば、第１から第７の態様に係る欠陥確認装置と同様な効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】第１実施形態に係る欠陥検査システムの一例の概略構成を示す図である。
【図２】検査装置の一例の機能的な構成を示す図である。
【図３】欠陥確認装置の一例の電気的な構成を示す図である。
【図４】欠陥確認装置の一例の機能的な構成を示す図である。
【図５】欠陥選択画面の一例を示す図である。
【図６】欠陥確認画面の一例を示す図である。
【図７】基準確認画面の一例を示す図である。
【図８】第１実施形態に係る欠陥確認装置の動作フローの一例を示す流れ図である。
【図９】第１実施形態に係る欠陥確認装置の動作フローの一例を示す流れ図である。
【図１０】第１実施形態に係る欠陥確認装置の動作フローの一例を示す流れ図である。
【図１１】第２実施形態に係る基準確認画面の一例を示す図である。
【図１２】第３実施形態に係る重畳確認画面の一例を示す図である。
【図１３】第４実施形態に係る欠陥確認装置の動作フローの一例を示す流れ図である。
【図１４】第４実施形態に係る欠陥確認装置の動作フローの一例を示す流れ図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。図面においては同様な構成および機能を有する部分については同じ符号が付されており、下記説明では重複説明が省略される。図面は模式的に示されたものである。
【００３２】
＜１．第１実施形態＞
＜１−１．欠陥検査システムの概要＞
図１は、第１実施形態に係る欠陥確認装置３を含む欠陥確認システム１００の一例の概略的な構成を示す図である。欠陥確認システム１００は、通信回線２を介して検査装置１と欠陥確認装置３とが通信可能に接続された構成を有している。通信回線２には、ＬＡＮ（Local Area Network）もしくは公衆回線などの各種のネットワーク回線あるいはケーブルなどの有線回線などが適用される。ネットワーク回線は、例えば、検査装置１と欠陥確認装置３との間で、予め設定された所定の通信プロトコルなどを用いてデータ通信を可能とするものであれば、如何なるネットワーク回線であってもよい。通信回線２には、複数の検査装置１が接続されていてもよいし、複数の欠陥確認装置３が接続されていてもよい。
【００３３】
＜１−２．検査装置の概要＞
図２は、第１実施形態に係る検査装置１の一例の機能的な構成を示すブロック図である。検査装置１は、例えば、操作部１１、表示部１２、制御部１３、移動機構１４、撮像部１５、処理部１６、記憶装置１７および通信部１８を備えている。
【００３４】
操作部１１は、例えば、オペレータによる操作に応答して検査装置１に対して指示を入力することができる。操作部１１には、例えば、各種ボタン類、キーボードおよびマウスなどが含まれ得る。操作部１１には、例えば、トラックボール、ジョイスティックおよびタッチパネルなどが適用されてもよい。
【００３５】
表示部１２は、例えば、各種データを可視的に出力することができる機能を有する。表示部１２には、例えば、液晶ディスプレイまたは有機ＥＬディスプレイなどの各種のディスプレイが含まれ得る。表示部１２には、例えば、発光ダイオード（ＬＥＤ：Light Emitting Diode）またはランプなどの各種の発光部などが含まれていてもよい。
【００３６】
制御部１３は、例えば、検査装置１の各部の動作を統括的に制御することができる機能を有する。この制御部１３は、例えば、中央演算ユニット（ＣＰＵ：Central Processing Unit）などの演算処理回路とＲＡＭ（Random Access Memory）などの記憶部とを有し、記憶装置１７に記憶されたプログラムを演算処理回路で実行することで各種の機能を実現することができる。この制御部１３は、例えば、表示部１２、移動機構１４、撮像部１５、処理部１６、記憶装置１７および通信部１８などの各部に制御信号を送信することで、各部の動作を制御することができる。制御部１３の機能の少なくとも一部の機能は、例えば、専用の電子回路などのハードウェアで構成されてもよい。
【００３７】
移動機構１４は、例えば、検査の対象物（検査対象物ともいう）を保持し、この検査対象物を撮像部１５に対して相対的に移動させることができる機能を有する。検査対象物としては、例えば、基板９０などが採用される。この移動機構１４は、例えば、制御部１３からの制御信号に基づいて、基板９０を保持しているステージを移動させることができる。また、例えば、移動機構１４は、基板９０またはステージの位置をエンコーダなどのセンサで検出して、制御部１３に伝達することができる。ここで、例えば、移動機構１４は、検査対象物に対して撮像部１５を相対的に移動させる構成を有していてもよい。
【００３８】
撮像部１５は、例えば、検査対象物としての基板９０の表面（被検査面ともいう）を撮像することができる機能を有する。撮像部１５には、例えば、一般的なＣＣＤカメラと同等の機能を有するものが適用される。撮像部１５は、例えば、基板９０の被検査面について、予め設定された所定の大きさに分割された領域（分割領域ともブロックともいう）ごとに撮像によって画像データを取得し、これらの画像データを処理部１６に伝達することができる。
【００３９】
処理部１６は、例えば、撮像部１５で取得された各画像データに対して、予め設定された所定の画像認識処理を行い、被検査面に欠陥が存在するか否かを判定することができる機能を有する。所定の画像認識処理には、例えば、欠陥が存在していないブロックを捉えた画像データとの比較を行う、パターンマッチングなどが含まれる。ここでは、例えば、基板９０の被検査面について分割されたブロックごとに撮像で得た画像データに対して所定の画像認識が行われることで、被検査面のブロックごとに欠陥が存在するか否かが判定され得る。
【００４０】
さらに、処理部１６は、例えば、被検査面のブロックごとの欠陥の存否に係る判定結果に基づいて、欠陥に関する情報（欠陥情報ともいう）を作成し、この欠陥情報を制御部１３に伝達することができる機能を有する。欠陥情報には、例えば、欠陥が存在しているものと判定されたブロックを捉えた画像データ（欠陥画像データともいう）を特定する識別情報、ブロックの位置を示す情報、ブロックのサイズを示す情報、ブロックにおいて欠陥が存在しているものと判定された領域（欠陥領域ともいう）の位置を示す情報およびこの欠陥領域のサイズを示す情報、が含まれ得る。欠陥情報は、例えば、１つの検査対象物としての１つの基板９０ごとに、作成され得る。このとき、例えば、１つ以上の基板９０についての１つ以上の欠陥情報を含む欠陥情報群が作成され得る。欠陥情報には、例えば、欠陥画像データに係るサムネイル画像のデータが含まれていてもよい。
【００４１】
ここで、欠陥画像データに係る識別情報には、例えば、データファイル名などが含まれる。これにより、例えば、欠陥画像データと欠陥情報とが紐付けられた状態が実現される。ブロックの位置を示す情報には、例えば、ブロックの中心位置などの所定の位置の座標などが含まれる。所定の位置の座標としては、例えば、基板９０における位置を直接示す座標が用いられ得る。ブロックのサイズを示す情報には、例えば、基板９０における縦横寸法などが含まれる。欠陥領域の位置を示す情報には、例えば、ブロックにおける欠陥領域の中心位置などの所定の位置の座標などが含まれる。欠陥領域の位置を示す情報は、例えば、基板９０における位置を直接示す座標が用いられてもよい。欠陥領域のサイズを示す情報は、例えば、欠陥領域の縦横の寸法を示す情報であってもよいし、画像データにおける画素数を示す情報であってもよい。ここで、例えば、欠陥画像データが、基板９０の被検査面の全体を捉えた画像データであってもよい。この場合、欠陥情報には、例えば、ブロックの位置を示す情報およびブロックのサイズを示す情報が含まれていなくてもよい。
【００４２】
また、処理部１６は、例えば、被検査面のブロックごとの欠陥の存否に係る判定結果に基づいて、欠陥が存在していないブロックを捉えた画像データ（標準画像データともいう）に関する情報（標準情報ともいう）を作成し、この標準情報を制御部１３に伝達することができる機能も有する。標準情報には、例えば、欠陥が存在していないものと判定されたブロックを捉えた標準画像データを特定する識別情報およびブロックのサイズを示す情報が含まれ得る。標準画像データに係る識別情報には、例えば、データファイル名などが含まれる。これにより、例えば、標準画像データと標準情報とが紐付けられた状態が実現される。ブロックのサイズを示す情報には、例えば、基板９０における縦横寸法などが含まれる。
【００４３】
ここで、例えば、標準画像データが、基板９０の被検査面の全体を捉えた画像データであってもよい。この場合には、例えば、処理部１６あるいは欠陥確認装置３において、欠陥画像データに紐付けされた欠陥情報に基づき、標準画像データから、欠陥画像データに対応する後述する基準画像データが抽出されてもよい。この場合には、例えば、欠陥情報に含まれる、ブロックの位置を示す情報と、ブロックのサイズを示す情報と、に基づいて、標準画像データから欠陥画像データに対応する基準画像データが抽出され得る。
【００４４】
記憶装置１７は、例えば、制御部１３の制御に基づいて、撮像部１５で得られた画像データおよび処理部１６で得られた１つ以上の欠陥情報を含む欠陥情報群などを記憶することができる。この記憶装置１７は、例えば、ハードディスクあるいはフラッシュメモリなどの記憶媒体で構成され得る。ここで、記憶装置１７に記憶される、撮像部１５で得られた画像データには、例えば、欠陥が存在していないブロックなどを捉えた標準画像データと、欠陥が存在しているものと判定されたブロックを捉えた欠陥画像データと、が含まれる。記憶装置１７では、異なる基板９０について、対応するブロックを捉えた、標準画像データと、欠陥画像データと、が関連づけられた状態で記憶されてもよい。標準画像データは、例えば、後述する欠陥確認装置３において、欠陥が存在していないブロックを捉えた比較の基準となる画像データ（基準画像データともいう）として使用され得る。また、記憶装置１７は、例えば、制御部１３における各種機能を実現するためのプログラムおよび各種データなどを記憶することができる。
【００４５】
通信部１８は、例えば、通信回線２を介して欠陥確認装置３との間でデータ通信を行うことができる機能を有する。この通信部１８は、例えば、欠陥確認装置３からの要求に応答して、記憶装置１７に格納されている、欠陥画像データ、この欠陥画像データに係る欠陥情報、およびこの欠陥画像データに対応する基準画像データなどを欠陥確認装置３に送信することができる。欠陥画像データと、この欠陥画像データに対応する基準画像データと、は検査対象物としての基板９０の被検査面の同一サイズの同一部分を捉えた画像データである。この通信部１８は、例えば、標準画像データおよび標準情報などを送信してもよい。
【００４６】
なお、上記の説明においては、基板９０の被検査面をブロックごとに撮像して検査を行うこととしているが、ブロックに分割せずに基板９０の被検査面を撮像して検査を行ってもよい。この場合、検査を行った後に基板の被検査面をブロックに分割し、欠陥が存在すると判定されたブロックを欠陥画像データとすることができる。また、基板９０の被検査面をブロックに分割することなく、欠陥が存在すると判定された位置を含む所定領域画像を欠陥画像データとすることも可能である。
【００４７】
＜１−３．欠陥確認装置の構成＞
図３は、欠陥確認装置３の電気的な構成の一例を示すブロック図である。欠陥確認装置３は、例えば、検査装置１で欠陥が存在しているものと判定された欠陥画像データを、欠陥を捉えた可能性がある確認の対象（確認対象ともいう）である画像データとして、真の欠陥（真欠陥ともいう）が存在するか否かを確認するための装置である。換言すれば、欠陥確認装置３は、検査対象物における欠陥の有無を確認するための装置である。
【００４８】
図３で示されるように、欠陥確認装置３は、例えば、コンピュータなどの情報処理装置３０で実現され、バスラインＢｕ１を介して接続された、通信部３１、入力部３２、出力部３３、記憶部３４、制御部３５およびドライブ３６を備えている。
【００４９】
通信部３１は、例えば、通信回線２を介して検査装置１との間でデータ通信を行うことができる機能を有する。この通信部３１は、例えば、検査装置１の通信部１８から送信された、欠陥画像データ、この欠陥画像データに係る欠陥情報およびこの欠陥画像データに対応する基準画像データなどを受信することができる。この通信部３１は、例えば、検査装置１の通信部１８から送信された、標準画像データを受信してもよい。
【００５０】
入力部３２は、例えば、欠陥確認装置３を使用するユーザの動作などに応じた信号を入力することができる機能を有している。入力部３２には、例えば、操作部、マイクおよび各種センサなどが含まれ得る。操作部は、ユーザの操作に応じた信号を入力することができるマウスおよびキーボードなどを含み得る。マイクは、ユーザの音声に応じた信号を入力することができる。各種センサは、ユーザの動きに応じた信号を入力することができる。
【００５１】
出力部３３は、例えば、画像データなどの各種情報を出力することができる機能を有する。出力部３３には、例えば、表示部、プロジェクタおよびスピーカなどが含まれ得る。表示部は、例えば、各種情報をユーザが認識可能な態様で可視的に出力することができる。表示部には、例えば、液晶ディスプレイおよび有機ＥＬディスプレイなどが適用され得る。表示部では、表示パネルが、各種情報が可視的に出力される領域（表示領域ともいう）の役割を有する。この表示部は、入力部３２と一体化されたタッチパネルの形態を有していてもよい。プロジェクタは、例えば、各種情報をユーザが認識可能な態様でスクリーンなどの被投影物において出力させることができる。ここでは、プロジェクタと被投影物とが協働して、各種情報をユーザが認識可能な態様で可視的に出力する表示部としての役割を果たす。このとき、例えば、被投影物において各種情報が可視的に出力される領域が、表示領域としての役割を果たす。スピーカは、例えば、各種情報をユーザが認識可能な態様で可聴的に出力することができる。
【００５２】
記憶部３４は、例えば、各種情報を記憶することができる機能を有する。この記憶部３４は、例えば、ハードディスクあるいはフラッシュメモリなどの記憶媒体で構成され得る。記憶部３４では、例えば、１つの記憶媒体を有する構成、２つ以上の記憶媒体を一体的に有する構成、および２つ以上の記憶媒体を２つ以上の部分に分けて有する構成の何れが採用されてもよい。記憶部３４には、例えば、プログラムＰｇ１および各種データＩｄ１が記憶され得る。各種データＩｄ１には、例えば、通信部３１で受信した、欠陥画像データと、この欠陥画像データに係る欠陥情報と、が含まれ得る。また、各種データＩｄ１には、例えば、通信部３１で受信した、欠陥画像データに対応する基準画像データあるいは標準画像データが含まれ得る。
【００５３】
制御部３５は、例えば、プロセッサとして働く演算処理部３５ａおよび情報を一時的に記憶するメモリ３５ｂなどを含む。演算処理部３５ａには、例えば、中央演算部（ＣＰＵ）などの電気回路が適用され得る。この場合、演算処理部３５ａは、例えば、１つ以上のプロセッサを有していればよい。メモリ３５ｂには、例えば、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）などが適用され得る。演算処理部３５ａにおいて、例えば、記憶部３４に記憶されているプログラムＰｇ１が読み込まれて実行されることで、情報処理装置３０を欠陥確認装置３として機能させることができる。制御部３５における各種情報処理によって一時的に得られる各種情報は、適宜メモリ３５ｂなどに記憶され得る。
【００５４】
ドライブ３６は、例えば、可搬性の記憶媒体ＲＭ１の脱着が可能な部分である。ドライブ３６では、例えば、記憶媒体ＲＭ１が装着されている状態で、この記憶媒体ＲＭ１と制御部３５との間におけるデータの授受が行われ得る。ここで、例えば、プログラムＰｇ１が記憶された記憶媒体ＲＭ１がドライブ３６に装着されることで、記憶媒体ＲＭ１から記憶部３４内にプログラムＰｇ１が読み込まれて記憶されてもよい。また、例えば、記憶媒体ＲＭ１から記憶部３４内に、欠陥画像データおよびこの欠陥画像データに係る欠陥情報などが読み込まれて、各種データＩｄ１の少なくとも一部として記憶されてもよい。また、例えば、記憶媒体ＲＭ１から記憶部３４内に、欠陥画像データに対応する基準画像データあるいは標準画像データなどが読み込まれて、各種データＩｄ１の少なくとも一部として記憶されてもよい。
【００５５】
図４は、演算処理部３５ａにおける処理で実現される欠陥確認装置３の機能的な構成の一例を示すブロック図である。図４には、演算処理部３５ａでプログラムＰｇ１の実行によって実現されるデータ処理に係る各種機能が例示されている。
【００５６】
図４で示されるように、演算処理部３５ａは、実現される機能的な構成として、例えば、信号受付部３５１と、取得部３５２と、記憶制御部３５３と、出力制御部３５４と、を有している。これらの各部３５１〜３５４での処理におけるワークスペースとして、例えば、メモリ３５ｂが使用される。なお、演算処理部３５ａで実現される機能的な構成の少なくとも一部の機能は、例えば、専用の電子回路などのハードウェアで構成されてもよい。
【００５７】
信号受付部３５１は、例えば、入力部３２で入力された信号を受け付ける機能を有している。
【００５８】
取得部３５２は、例えば、通信部３１、記憶部３４あるいはドライブ３６などから、検査対象物としての基板９０の同一サイズの同一部分について、欠陥画像データと、この欠陥画像データに対応する基準画像データと、を取得することができる機能を有している。また、取得部３５２は、例えば、この欠陥画像データに係る欠陥情報を取得することができる機能を有している。
【００５９】
記憶制御部３５３は、例えば、演算処理部３５ａにおける処理で得られた各種データを記憶部３４およびメモリ３５ｂの少なくとも一方に記憶させることができる機能を有する。
【００６０】
出力制御部３５４は、例えば、出力部３３によって、表示部の同一の表示領域に、欠陥画像データと、この欠陥画像データに対応する基準画像データと、を少なくとも１回ずつ時間順次に可視的に出力させることができる機能を有する。これにより、ユーザは、視線を移動させることなく、欠陥画像データに係る欠陥画像とこの欠陥画像データに対応する基準画像データに係る基準画像とを見比べることができる。このため、例えば、ユーザは、検査対象物における真欠陥を見落としにくくなり、疲れにくくなる。その結果、例えば、検査対象物の欠陥を確認する作業における確認精度が向上し得る。
【００６１】
ここで、欠陥画像データおよび基準画像データなどが可視的に出力される画面の表示例について説明する。
【００６２】
図５は、１つの基板９０について、出力部３３によって可視的に出力させる欠陥画像データを選択するための画面（欠陥選択画面ともいう）Ｓｎ０の一例を模式的に示す図である。図５で示されるように、欠陥選択画面Ｓｎ０には、例えば、第１表示領域Ａｒ１、第２表示領域Ａｒ２および第３表示領域Ａｒ３が存在している。第１表示領域Ａｒ１は、例えば、欠陥情報を表示するための領域である。第２表示領域Ａｒ２は、画像を表示するための領域である。図５の例では、第２表示領域Ａｒ２に、１つの基板９０についての１つ以上の欠陥画像データに係るサムネイル画像Ｓｉ１が表示される。第３表示領域Ａｒ３は、基板９０のうちの欠陥画像データに係るブロックの位置を示す領域である。図５の例では、基板９０の全体の画像（全体画像ともいう）Ｓｕ０上において、欠陥画像データに係るブロックの外縁が枠Ｆｒ１で示されている。この欠陥選択画面Ｓｎ０では、ユーザは第２表示領域Ａｒ２において表示された１つ以上の欠陥画像データに係るサムネイル画像Ｓｉ１のうちの所望のサムネイル画像Ｓｉ１を、マウスポインタＭ１で選択することができる。これにより、１つ以上の欠陥画像データから所望の欠陥画像データを、真欠陥の有無を確認する確認対象である欠陥画像データとして選択することができる。ここで、マウスポインタＭ１の動作は、例えば、入力部３２においてユーザの動作に応じて入力された信号に応答して、信号受付部３５１で受け付けられた信号に基づき、出力制御部３５４によって表示され得る。また、図５の例では、確認開始ボタンＢ０をマウスポインタＭ１で押下することで、１つ以上の欠陥画像データから任意の欠陥画像データを、真欠陥の有無を確認する確認対象である欠陥画像データとして、自動的に順に選択する動作を開始させることもできる。
【００６３】
図６は、欠陥を確認するための画面（欠陥確認画面ともいう）Ｓｎ１の一例を示す図である。図６で示されるように、欠陥確認画面Ｓｎ１には、例えば、欠陥選択画面Ｓｎ０と同様に、第１表示領域Ａｒ１、第２表示領域Ａｒ２および第３表示領域Ａｒ３が存在している。欠陥確認画面Ｓｎ１では、例えば、第２表示領域Ａｒ２において、欠陥選択画面Ｓｎ０などで選択された確認対象である欠陥画像データに係る画像（欠陥画像ともいう）Ｉｍ１が大きく表示される。図６の例では、欠陥画像Ｉｍ１には、基板９０における各種パターンＰｔ１が含まれている。このとき、例えば、第３表示領域Ａｒ３における全体画像Ｓｕ０上において、第２表示領域Ａｒ２に表示されている欠陥画像Ｉｍ１に係るブロックが他のブロックとは区別可能となるように、枠Ｆｒ１あるいは枠Ｆｒ１内の表示態様が変更されてもよい。
【００６４】
図７は、基準画像データが可視的に出力された画面（基準確認画面ともいう）Ｓｎ２の一例を示す図である。図７で示されるように、基準確認画面Ｓｎ２は、欠陥確認画面Ｓｎ１のうちの第２表示領域Ａｒ２に表示される欠陥画像Ｉｍ１が、この欠陥画像Ｉｍ１に対応する基準画像データに係る画像（基準画像ともいう）Ｉｍ２に変更された画面である。このとき、例えば、第２表示領域Ａｒ２に表示される欠陥画像Ｉｍ１および基準画像Ｉｍ２は、被検査面の同一サイズの同一部分についての、同一サイズの画像であればよい。
【００６５】
ここでは、図６で示された欠陥確認画面Ｓｎ１と図７で示された基準確認画面Ｓｎ２とが少なくとも１回ずつ時間順次に表示されれば、ユーザは、視線を移動させることなく、同一の第２表示領域Ａｒ２に時間順次に表示される欠陥画像Ｉｍ１と基準画像Ｉｍ２とを見比べることができる。これにより、例えば、ユーザは、基板９０における真欠陥を見落としにくくなり、疲れにくくなる。その結果、例えば、基板９０の欠陥を確認する作業における確認精度が向上し得る。ここでは、例えば、欠陥確認画面Ｓｎ１が表示された後に基準確認画面Ｓｎ２が表示されてもよいし、基準確認画面Ｓｎ２が表示された後に欠陥確認画面Ｓｎ１が表示されてもよい。このとき、欠陥確認画面Ｓｎ１と基準確認画面Ｓｎ２との切り替えは、例えば、予め設定されたルールに基づく自動的な切り替えであってもよいし、ユーザの動作に応じて入力部３２で入力される信号に応答した手動の切り替えであってもよい。
【００６６】
また、ここで、出力制御部３５４は、例えば、出力部３３によって、欠陥画像データとともに、欠陥が存在している可能性のある部分がユーザによって視覚的に認識可能となるような要素を、可視的に出力させることができる機能を有していてもよい。この場合には、例えば、図６で示されるように、欠陥確認画面Ｓｎ１における欠陥画像Ｉｍ１に、検査装置１において欠陥が存在しているものと判定された欠陥領域が表示要素Ｆｍ１１，Ｆｍ１２で示されてもよい。この表示要素Ｆｍ１１，Ｆｍ１２には、それぞれ欠陥領域を囲むように位置している枠が採用される。出力制御部３５４では、欠陥画像Ｉｍ１における欠陥領域の位置およびサイズが、例えば、欠陥情報に含まれる欠陥領域の位置およびサイズに係る情報などに基づいて設定され得る。このような構成が採用されれば、例えば、ユーザは、基板９０における真欠陥を容易に見つけることができる。その結果、例えば、ユーザは、基板９０について、高精度で欠陥の有無を確認することができる。
【００６７】
また、ここで、出力制御部３５４は、例えば、出力部３３によって、表示部の同一の表示領域に、欠陥画像データと基準画像データとを交互に可視的に出力させてもよい。この場合には、例えば、図６で示された欠陥確認画面Ｓｎ１と図７で示された基準確認画面Ｓｎ２とが交互に表示されてもよい。このとき、例えば、欠陥確認画面Ｓｎ１と基準確認画面Ｓｎ２とが予め設定されたタイミングで切り替わり得る。この予め設定されたタイミングとしては、例えば、予め設定された時間間隔のタイミングが採用される。このような構成が採用されれば、例えば、同一の第２表示領域Ａｒ２において、同一サイズの同一部分について、欠陥画像データと基準画像データとが交互に可視的に出力される。このため、ユーザは、視線を移動させることなく、欠陥画像Ｉｍ１と基準画像Ｉｍ２とを容易に見比べることができる。これにより、例えば、ユーザは、基板９０における真欠陥を容易に見つけることができる。その結果、例えば、基板９０について、欠陥を確認する作業における確認精度がさらに向上し得る。
【００６８】
また、ここで、出力制御部３５４は、例えば、ユーザによる第１動作に応じた入力部３２による第１信号の入力に応答して、出力部３３によって、同一の第２表示領域Ａｒ２において欠陥画像データと基準画像データとを交互に可視的に出力させる処理（交互出力処理ともいう）を停止させることができる機能を有していてもよい。この場合には、例えば、図６で示された欠陥確認画面Ｓｎ１と図７で示された基準確認画面Ｓｎ２とが交互に表示されている際に、欠陥確認画面Ｓｎ１および基準確認画面Ｓｎ２の何れかが表示されている状態で表示の切り替えが停止されてもよい。図６の例では、欠陥確認画面Ｓｎ１の停止ボタンＢ１がマウスポインタＭ１で押下されることで、表示の切り替えが停止されれば、欠陥確認画面Ｓｎ１が表示されている状態が維持される。図７の例では、基準確認画面Ｓｎ２の停止ボタンＢ１がマウスポインタＭ１で押下されることで、表示の切り替えが停止されれば、基準確認画面Ｓｎ２が表示されている状態が維持される。このような構成が採用されれば、例えば、ユーザは、検査対象物における真欠陥の有無を自分のペースで落ち着いて確認することができる。
【００６９】
なお、図６および図７の例では、停止ボタンＢ１がマウスポインタＭ１で再度押下されることで、表示の切り替えの停止が解除されてもよい。すなわち、出力制御部３５４は、例えば、ユーザによる所定の動作に応じた入力部３２による所定の信号の入力に応答して、出力部３３によって、同一の第２表示領域Ａｒ２において欠陥画像データと基準画像データとを交互に可視的に出力させる交互出力処理が停止されている状態を解除させて、交互出力処理を再開させることができる機能を有していてもよい。ここでは、停止ボタンＢ１は、例えば、マウスポインタＭ１による１回目の押下に応じて色の変化または文字の変更によって交互出力処理が停止されている状態であることを示してもよく、マウスポインタＭ１による２回目の押下に応じて色の変化または文字の変更によって交互出力処理が実行されている状態であることを示してもよい。色の変化には、例えば、いわゆる反転処理が適用される。文字の変更には、例えば、停止（ＳＴＯＰ）と再開（ＲＥＳＴＡＲＴ）との間における文字の変更などが適用される。
【００７０】
また、ここで、出力制御部３５４は、例えば、交互出力処理の停止に応答して、出力部３３によって、欠陥画像データとともに、ユーザによって認識可能となるような欠陥画像に係る要素を出力させることができる機能を有していてもよい。欠陥画像に係る要素は、例えば、ユーザによって欠陥画像Ｉｍ１が表示されていることが認識可能となるような要素であればよい。欠陥画像に係る要素には、例えば、出力部３３によって、欠陥画像Ｉｍ１の近くあるいは欠陥画像Ｉｍ１の上に表示される第１マークＭｋ１が適用される。第１マークＭｋ１には、例えば、図６で示されるような特定の文字要素（図６の例では「欠陥」）、特定の図柄、特定のモノグラム、欠陥画像Ｉｍ１を囲む特定のフレームあるいは欠陥画像Ｉｍ１の特定の背景色などが適用される。このような構成が採用されれば、例えば、ユーザは、表示されている画像が、欠陥画像Ｉｍ１および基準画像Ｉｍ２の何れであるのかを認識することができる。これにより、例えば、ユーザは、基板９０における真欠陥を容易に見つけることができる。その結果、例えば、基板９０について、欠陥を確認する作業における確認精度がさらに向上し得る。
【００７１】
また、ここで、出力制御部３５４は、例えば、交互出力処理の停止に応答して、出力部３３によって、基準画像データとともに、ユーザによって認識可能となるような基準画像に係る要素を出力させることができる機能を有していてもよい。基準画像に係る要素は、例えば、ユーザによって基準画像Ｉｍ２が表示されていることが認識可能となるような要素であればよい。基準画像に係る要素には、例えば、出力部３３によって、基準画像Ｉｍ２の近くあるいは基準画像Ｉｍ２の上に表示される第２マークＭｋ２が適用される。第２マークＭｋ２には、例えば、図７で示されるような特定の文字要素（図７の例では「基準」）、特定の図柄、特定のモノグラム、基準画像Ｉｍ２を囲む特定のフレームあるいは基準画像Ｉｍ２の特定の背景色などが適用される。このような構成が採用されれば、例えば、ユーザは、表示されている画像が、欠陥画像Ｉｍ１および基準画像Ｉｍ２の何れであるのかを認識することができる。これにより、例えば、ユーザは、基板９０における真欠陥を容易に見つけることができる。その結果、例えば、基板９０について、欠陥を確認する作業における確認精度がさらに向上し得る。
【００７２】
また、図６および図７の例では、次ボタンＢ２がマウスポインタＭ１で押下されることで、確認対象としての欠陥画像データを、次の欠陥画像データに移すことができてもよい。すなわち、出力制御部３５４は、例えば、ユーザによる所定の動作に応じた入力部３２による所定の信号の入力に応答して、出力部３３によって、次の欠陥画像データと、この次の欠陥画像データに対応する基準画像データと、を少なくとも１回ずつ時間順次に可視的に出力させることができる機能を有していてもよい。また、図５の欠陥選択画面を表示することなく、検査によって得られた欠陥画像データおよび基準画像データを図６および図７の例のように順番に表示させても良い。
【００７３】
＜１−４．欠陥確認装置の動作＞
図８から図１０は、欠陥確認装置３を用いた検査対象物における欠陥の有無を確認するための欠陥確認方法について、欠陥確認装置３の動作フローの一例を示す流れ図である。この動作フローは、例えば、ユーザによる入力部３２を介した信号の入力に応答して開始される。ここでは、例えば、欠陥選択画面Ｓｎ０の確認開始ボタンＢ０をマウスポインタＭ１で押下することで、１つ以上の欠陥画像データから任意の欠陥画像データが確認対象である欠陥画像データとして自動的に選択される動作フローの一例について説明する。
【００７４】
まず、図８のステップＳ１では、取得部３５２が、１つ以上の基板９０のうちの１つの検査対象物としての１つの基板９０について、欠陥情報を取得する。ここでは、取得部３５２は、例えば、通信回線２および通信部３１を介して検査装置１から欠陥情報群のうちの１つの欠陥情報を取得してもよいし、記憶部３４または記憶媒体ＲＭ１から欠陥情報群のうちの１つの欠陥情報を取得してもよい。
【００７５】
次に、ステップＳ２では、取得部３５２が、確認対象としての１つの欠陥画像データを取得する。ここでは、取得部３５２は、例えば、ステップＳ１で取得した欠陥情報に含まれる識別情報に基づき、１つの欠陥画像データを取得する。取得部３５２は、例えば、通信回線２および通信部３１を介して検査装置１から１つの欠陥画像データを取得してもよいし、記憶部３４または記憶媒体ＲＭ１から１つの欠陥画像データを取得してもよい。
【００７６】
次に、ステップＳ３では、取得部３５２が、ステップＳ２で取得された１つの欠陥画像データに対応する１つの基準画像データを取得する。ここでは、取得部３５２は、例えば、ステップＳ２で取得された１つの欠陥画像データと同一のブロックを捉えた１つの標準画像データを基準画像データとして、通信回線２および通信部３１を介して検査装置１から取得してもよいし、記憶部３４または記憶媒体ＲＭ１から取得してもよい。また、取得部３５２は、例えば、欠陥情報に基づき、基板９０の被検査面の全体を捉えた標準画像データから、欠陥画像データに対応する基準画像データを抽出することで、１つの基準画像データを取得してもよい。このようにして、例えば、ステップＳ１からステップＳ３の処理において、取得部３５２が、例えば、検査対象物としての基板９０の同一サイズの同一部分について、欠陥を捉えた可能性がある欠陥画像データと、この欠陥画像データに対応する基準となる基準画像データと、を取得することができる。
【００７７】
次に、ステップＳ４では、出力制御部３５４が、ステップＳ２で取得された欠陥画像データを、出力部３３によって表示領域に可視的に出力させる。このとき、例えば、図６で示されたような欠陥確認画面Ｓｎ１が出力部３３によって表示される。
【００７８】
次に、ステップＳ５では、出力制御部３５４が、交互出力処理を停止するか否かを判定する。ここでは、例えば、ユーザによる第１動作に応じて入力部３２によって第１信号が入力されなければ、出力制御部３５４は、交互出力処理を停止するものとは判定せずに、ステップＳ６に進む。一方、例えば、ユーザによる第１動作に応じて入力部３２によって第１信号が入力されれば、出力制御部３５４は、交互出力処理を停止するものと判定して、図９のステップＳ２１に進む。
【００７９】
ステップＳ６では、演算処理部３５ａが、確認対象としての欠陥画像データを、次の欠陥画像データに移すか否か判定する。ここでは、例えば、ユーザによる動作に応じて入力部３２によって所定の信号が入力されなければ、確認対象としての欠陥画像データを次の欠陥画像データに移すものとは判定せずに、ステップＳ７に進む。一方、例えば、ユーザによる動作に応じて入力部３２によって所定の信号が入力されれば、確認対象としての欠陥画像データを次の欠陥画像データに移すものと判定して、ステップＳ１０に進む。
【００８０】
ステップＳ７では、出力制御部３５４が、ステップＳ３で取得された基準画像データを、出力部３３によって、ステップＳ４において欠陥画像データが可視的に出力された表示領域と同一の表示領域に可視的に出力させる。このとき、例えば、図７で示されたような基準確認画面Ｓｎ２が出力部３３によって表示される。換言すれば、例えば、ステップＳ４およびステップＳ７の処理によって、出力制御部３５４が、出力部３３によって、同一の表示領域に、ステップＳ２で取得された欠陥画像データと、ステップＳ３で取得された基準画像データと、を少なくとも１回ずつ時間順次に可視的に出力させることができる。これにより、例えば、同一の表示領域に、同一サイズの同一部分について、欠陥画像データと基準画像データとが時間順次に可視的に出力されることで、ユーザは、視線を移動させることなく、欠陥画像Ｉｍ１と基準画像Ｉｍ２とを見比べることができる。このため、例えば、ユーザは、基板９０の真欠陥を見落としにくくなり、疲れにくくなる。その結果、例えば、基板９０の欠陥を確認する作業における確認精度が向上し得る。
【００８１】
次に、ステップＳ８では、出力制御部３５４が、交互出力処理を停止するか否かを判定する。ここでは、例えば、ユーザによる第１動作に応じて入力部３２によって第１信号が入力されなければ、出力制御部３５４は、交互出力処理を停止するものとは判定せずに、ステップＳ９に進む。一方、例えば、ユーザによる第１動作に応じて入力部３２によって第１信号が入力されれば、出力制御部３５４は、交互出力処理を停止するものと判定して、図１０のステップＳ３１に進む。
【００８２】
ステップＳ９では、演算処理部３５ａが、確認対象としての欠陥画像データを、次の欠陥画像データに移すか否か判定する。ここでは、例えば、ユーザによる動作に応じて入力部３２によって所定の信号が入力されなければ、確認対象としての欠陥画像データを次の欠陥画像データに移すものとは判定せずに、ステップＳ４に戻る。このとき、例えば、確認対象としての欠陥画像データを次の欠陥画像データに移すものと判定されるまで、ステップＳ４からステップＳ９の処理が繰り返される。換言すれば、例えば、ステップＳ４からステップＳ９の処理において、出力制御部３５４は、出力部３３によって、同一の表示領域に、欠陥画像データとこの欠陥画像データに対応する基準画像データとを交互に可視的に出力させる交互出力処理を実行させることができる。このとき、例えば、図６で示されたような欠陥確認画面Ｓｎ１と図７で示されたような基準確認画面Ｓｎ２とが出力部３３によって交互に表示され得る。これにより、例えば、同一の表示領域において、同一サイズの同一部分について、欠陥画像データと基準画像データとが交互に可視的に出力されることで、ユーザは、視線を移動させることなく、欠陥画像Ｉｍ１と基準画像Ｉｍ２とを容易に見比べることができる。これにより、例えば、ユーザは、基板９０における真欠陥を容易に見つけることができる。その結果、例えば、基板９０について、欠陥を確認する作業における確認精度がさらに向上し得る。
【００８３】
一方、ステップＳ９では、例えば、ユーザによる動作に応じて入力部３２によって所定の信号が入力されれば、確認対象としての欠陥画像データを次の欠陥画像データに移すものと判定して、ステップＳ１０に進む。このとき、例えば、真欠陥の有無について確認された欠陥画像データについては、この欠陥画像データに係る欠陥情報に、確認済みであることを示す情報あるいは確認結果を示す情報が付される態様が考えられる。
【００８４】
ステップＳ１０では、演算処理部３５ａが、ステップＳ１で取得された欠陥情報に基づき、１つの検査対象物としての１つの基板９０についての全ての欠陥画像データが確認対象とされたか否か判定される。ここでは、例えば、演算処理部３５ａによって１つの基板９０についての全ての欠陥画像データが確認対象とされたものと判定されなければ、ステップＳ２に戻る。このとき、取得部３５２は、例えば、ステップＳ１で取得した欠陥情報に含まれる識別情報に基づき、次の確認対象としての１つの欠陥画像データを取得する。一方、ステップＳ１０では、例えば、演算処理部３５ａによって１つの基板９０についての全ての欠陥画像データが確認対象とされたものと判定されれば、ステップＳ１１に進む。
【００８５】
ステップＳ１１では、演算処理部３５ａが、全ての検査対象物としての全ての基板９０について真欠陥の有無について確認したか否かを判定する。ここでは、例えば、演算処理部３５ａは、検査装置１の記憶装置１７、記憶部３４および記憶媒体ＲＭ１の何れかに記憶されている欠陥情報群に基づいて、全ての基板９０について真欠陥の有無について確認したか否かを判定することができる。ここで、例えば、演算処理部３５ａによって、全ての基板９０について真欠陥の有無について確認したものと判定されなければ、ステップＳ１に戻る。このとき、取得部３５２は、例えば、１つ以上の基板９０のうちの次の１つの検査対象物としての次の１つの基板９０について、欠陥情報を取得する。一方、ステップＳ１１では、演算処理部３５ａによって、全ての基板９０について真欠陥の有無について確認したものと判定されれば、本動作フローを終了する。
【００８６】
図９のステップＳ２１では、出力制御部３５４が、出力部３３によって、欠陥画像データを可視的に出力させる。ここで、例えば、図８のステップＳ５からステップＳ２１に進んできた場合には、出力制御部３５４が、ユーザによる第１動作に応じた入力部３２による第１信号の入力に応答して、出力部３３によって、交互出力処理を停止させることで、欠陥画像データを可視的に出力させている状態となる。これにより、例えば、図６で示されたような欠陥確認画面Ｓｎ１が出力部３３によって表示されている状態が維持され得る。このように、例えば、ユーザは、欠陥画像データと基準画像データとが交互に可視的に出力される交互出力処理を停止させることができれば、基板９０における真欠陥の有無を自分のペースで落ち着いて確認することができる。
【００８７】
このステップＳ２１において、例えば、出力制御部３５４が、出力部３３によって、欠陥画像データとともに、欠陥が存在している可能性のある部分がユーザによって視覚的に認識可能となるような要素を、可視的に出力させてもよい。この場合には、例えば、図６で示されるように、欠陥確認画面Ｓｎ１における欠陥画像Ｉｍ１に、検査装置１において欠陥が存在しているものと判定された欠陥領域が表示要素Ｆｍ１１，Ｆｍ１２で示され得る。このような構成が採用されれば、例えば、ユーザは、基板９０における真欠陥を容易に見つけることができる。その結果、例えば、ユーザは、基板９０について、高精度で欠陥の有無を確認することができる。
【００８８】
また、例えば、図８のステップＳ５からステップＳ２１に進んできた場合には、このステップＳ２１では、出力制御部３５４が、交互出力処理の停止に応答して、出力部３３によって、欠陥画像データとともに、ユーザによって認識可能となるような欠陥画像に係る要素を出力させてもよい。欠陥画像に係る要素は、例えば、ユーザによって欠陥画像Ｉｍ１が表示されていることが認識可能となるような要素であればよい。欠陥画像に係る要素には、例えば、出力部３３によって、欠陥画像Ｉｍ１の近くあるいは欠陥画像Ｉｍ１の上に表示される第１マークＭｋ１が適用される。第１マークＭｋ１には、例えば、図６で示されるような特定の文字要素、特定の図柄、特定のモノグラム、欠陥画像Ｉｍ１を囲む特定のフレームあるいは欠陥画像Ｉｍ１の特定の背景色などが適用される。このような構成が採用されれば、例えば、ユーザは、表示されている画像が、欠陥画像Ｉｍ１および基準画像Ｉｍ２の何れであるのかを認識することができる。これにより、例えば、ユーザは、基板９０における真欠陥を容易に見つけることができる。その結果、例えば、基板９０について、欠陥を確認する作業における確認精度がさらに向上し得る。
【００８９】
次のステップＳ２２では、出力制御部３５４が、表示されている画像を切り替えるための信号が入力されたか否か判定する。ここでは、例えば、ユーザによる所定の動作に応じて入力部３２によって表示されている画像を切り替えるための所定の信号が入力されなければ、ステップＳ２３に進む。一方、ステップＳ２２では、例えば、ユーザによる所定の動作に応じて入力部３２によって表示されている画像を切り替えるための所定の信号が入力されれば、図１０のステップＳ３１に進む。これにより、例えば、ユーザは、出力部３３によって欠陥画像データが可視的に出力された表示領域に、この欠陥画像データに対応する基準画像データを可視的に出力させる、表示の切り替えを手動で行うことができる。このような構成が採用されれば、ユーザは、例えば、任意のタイミングで、出力部３３によって表示される画面を、図６で示されたような欠陥確認画面Ｓｎ１から図７で示されたような基準確認画面Ｓｎ２に切り替えることができる。これにより、例えば、ユーザは、基板９０における真欠陥を容易に見つけることができる。その結果、例えば、ユーザは、基板９０について、高精度で欠陥の有無を確認することができる。
【００９０】
次のステップＳ２３では、出力制御部３５４が、交互出力処理を再開するか否かを判定する。ここでは、例えば、ユーザによる所定の動作に応じて入力部３２によって交互出力処理を再開するための所定の信号が入力されなければ、出力制御部３５４は、交互出力処理を再開するものとは判定せずに、ステップＳ２１に戻る。ここで、ステップＳ２１からステップＳ２３の処理が繰り返して行われている間は、出力制御部３５４が、出力部３３によって、交互出力処理を停止させて、欠陥画像データを可視的に出力させている状態を維持させる。例えば、図６で示されたような欠陥確認画面Ｓｎ１が出力部３３によって表示されている状態が維持される。一方、ステップＳ２３では、例えば、ユーザによる所定の動作に応じて入力部３２によって交互出力処理を再開するための所定の信号が入力されれば、出力制御部３５４は、交互出力処理を再開するものと判定して、図８のステップＳ４に戻る。これにより、交互出力処理の停止が解除される。
【００９１】
図１０のステップＳ３１では、出力制御部３５４が、出力部３３によって、基準画像データを可視的に出力させる。ここで、例えば、図８のステップＳ８からステップＳ３１に進んできた場合には、出力制御部３５４が、ユーザによる第１動作に応じた入力部３２による第１信号の入力に応答して、出力部３３によって、交互出力処理を停止させることで、基準画像データを可視的に出力させている状態となる。これにより、例えば、図７で示されたような基準確認画面Ｓｎ２が出力部３３によって表示されている状態が維持され得る。このように、例えば、ユーザは、欠陥画像データと基準画像データとが交互に可視的に出力される交互出力処理を停止させることができれば、基板９０における真欠陥の有無を自分のペースで落ち着いて確認することができる。
【００９２】
このステップＳ３１において、例えば、出力制御部３５４が、交互出力処理の停止に応答して、出力部３３によって、基準画像データとともに、ユーザによって認識可能となるような基準画像に係る要素を出力させてもよい。基準画像に係る要素は、例えば、ユーザによって基準画像Ｉｍ２が表示されていることが認識可能となるような要素であればよい。基準画像に係る要素には、例えば、出力部３３によって、基準画像Ｉｍ２の近くあるいは基準画像Ｉｍ２の上に表示される第２マークＭｋ２が適用される。第２マークＭｋ２には、例えば、図７で示されるような特定の文字要素、特定の図柄、特定のモノグラム、基準画像Ｉｍ２を囲む特定のフレームあるいは基準画像Ｉｍ２の特定の背景色などが適用される。このような構成が採用されれば、例えば、ユーザは、表示されている画像が、欠陥画像Ｉｍ１および基準画像Ｉｍ２の何れであるのかを認識することができる。これにより、例えば、ユーザは、基板９０における真欠陥を容易に見つけることができる。その結果、例えば、基板９０について、欠陥を確認する作業における確認精度がさらに向上し得る。
【００９３】
次のステップＳ３２では、出力制御部３５４が、表示されている画像を切り替えるための信号が入力されたか否か判定する。ここでは、例えば、ユーザによる所定の動作に応じて入力部３２によって表示されている画像を切り替えるための所定の信号が入力されなければ、ステップＳ３３に進む。一方、ステップＳ３２では、例えば、ユーザによる所定の動作に応じて入力部３２によって表示されている画像を切り替えるための所定の信号が入力されれば、図９のステップＳ２１に進む。これにより、例えば、ユーザは、出力部３３によって基準画像データが可視的に出力された表示領域に、この基準画像データに対応する欠陥画像データを可視的に出力させる、表示の切り替えを手動で行うことができる。このような構成が採用されれば、ユーザは、例えば、任意のタイミングで、出力部３３によって表示される画面を、図７で示されたような基準確認画面Ｓｎ２から図６で示されたような欠陥確認画面Ｓｎ１に切り替えることができる。これにより、例えば、ユーザは、基板９０における真欠陥を容易に見つけることができる。その結果、例えば、ユーザは、基板９０について、高精度で欠陥の有無を確認することができる。
【００９４】
次のステップＳ３３では、出力制御部３５４が、交互出力処理を再開するか否かを判定する。ここでは、例えば、ユーザによる所定の動作に応じて入力部３２によって交互出力処理を再開するための所定の信号が入力されなければ、出力制御部３５４は、交互出力処理を再開するものとは判定せずに、ステップＳ３１に戻る。ここで、ステップＳ３１からステップＳ３３の処理が繰り返して行われている間は、出力制御部３５４が、出力部３３によって、交互出力処理を停止させて、基準画像データを可視的に出力させている状態を維持させる。例えば、図７で示されたような基準確認画面Ｓｎ２が出力部３３によって表示されている状態が維持される。一方、ステップＳ３３では、例えば、ユーザによる所定の動作に応じて入力部３２によって交互出力処理を再開するための所定の信号が入力されれば、出力制御部３５４は、交互出力処理を再開するものと判定して、図８のステップＳ７に戻る。これにより、交互出力処理の停止が解除される。
【００９５】
上記動作フローによって、ユーザは、例えば、視線を移動させることなく、欠陥画像Ｉｍ１と基準画像Ｉｍ２とを見比べて、基板９０における真欠陥の有無を確認することができる。欠陥確認装置３では、例えば、ユーザの動作に応じて入力部３２で入力される信号に応答して、ユーザによる真欠陥の有無についての確認結果を示す情報を、欠陥情報などに加えることができてもよい。また、例えば、ユーザは、真欠陥の有無についての確認結果に応じて、基板９０を良品と不良品とに分類してもよい。
【００９６】
＜１−５．第１実施形態のまとめ＞
以上のように、第１実施形態に係る欠陥確認装置３では、例えば、同一の表示領域に、同一サイズの同一部分について、欠陥画像データと基準画像データとが時間順次に可視的に出力される。このため、ユーザは、例えば、視線を移動させることなく、欠陥画像Ｉｍ１と基準画像Ｉｍ２とを見比べることができる。これにより、例えば、ユーザは、検査対象物としての基板９０の真欠陥を見落としにくくなり、疲れにくくなる。その結果、例えば、検査対象物としての基板９０の欠陥を確認する作業における確認精度が向上し得る。
【００９７】
＜２．その他の実施形態＞
本発明は上述の第１実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良などが可能である。
【００９８】
＜２−１．第２実施形態＞
上記第１実施形態において、例えば、基準画像データは、検査装置１における撮像部１５で得られた標準画像データあるいは標準画像データから抽出された画像データに限られない。基準画像データは、検査装置１以外の装置で得られた標準画像データあるいはこの標準画像データから抽出された画像データであってもよい。さらに、基準画像データは、例えば、検査対象物としての基板９０について、コンピュータ支援設計（computer-aided design：ＣＡＤ）の技術などで描かれた設計図面に係る画像であってもよい。この場合、例えば、基準画像データは、基板９０の被検査面の形状が線画のみで描かれた画像データであってもよいし、さらに各部に色が付された画像データであってもよい。このような構成が採用される場合には、上記基準確認画面Ｓｎ２の代わりに、例えば、図１１で示されるように、第２表示領域Ａｒ２に表示される画像が、ＣＡＤの技術などで作成された基準画像データに基づく基準画像Ｉｍ２Ａとされた基準確認画面Ｓｎ２Ａが採用され得る。
【００９９】
＜２−２．第３実施形態＞
上記各実施形態において、例えば、欠陥画像データが可視的に出力される第１期間と、基準画像データが可視的に出力される第２期間と、が重複している期間が存在していてもよい。この場合には、例えば、出力制御部３５４は、出力部３３によって、同一の表示領域における画像データの可視的な出力状態を、第１出力状態から、第２出力状態を経て、第３出力状態まで遷移させることができる機能を有していてもよい。ここで、第１出力状態は、欠陥画像データおよび基準画像データのうちの一方の画像データ（第１画像データともいう）を可視的に出力させている状態である。第２出力状態は、欠陥画像データと基準画像データとを重畳するように可視的に出力させている状態である。第３出力状態は、欠陥画像データおよび基準画像データのうちの第１画像データとは異なる他の画像データ（第２画像データともいう）を可視的に出力させている状態である。ここで、例えば、第１画像データが、欠陥画像データであれば、第２画像データが、基準画像データであり、例えば、第１画像データが、基準画像データであれば、第２画像データが、欠陥画像データである。これにより、例えば、上述したステップＳ４およびステップＳ７の処理によって、出力制御部３５４が、出力部３３によって、同一の表示領域に、ステップＳ２で取得された欠陥画像データと、ステップＳ３で取得された基準画像データと、を少なくとも１回ずつ時間順次に可視的に出力させる際に、同一の表示領域における画像データの可視的な出力状態を、第１出力状態から、第２出力状態を経て、第３出力状態まで遷移させることができる。
【０１００】
この場合には、第２出力状態において、例えば、第１画像データおよび第２画像データのうちの少なくとも一方が半透明な表示態様で可視的に出力される構成が考えられる。ここで、例えば、基準画像データに基づく基準画像Ｉｍ２Ａが被検査面の形状が線画のみで描かれた画像データであれば、第２出力状態において、第１画像データおよび第２画像データを単純に重畳するように可視的に出力してもよい。図１２は、第３実施形態に係る重畳確認画面Ｓｎ３Ｂの一例を示す図である。重畳確認画面Ｓｎ３Ｂは、上述した欠陥確認画面Ｓｎ１および基準確認画面Ｓｎ２，Ｓｎ２Ａをベースとして、同一の第２表示領域Ａｒ２に、欠陥画像データと基準画像データとが重畳するように可視的に出力されている画像（重畳画像ともいう）Ｉｍ１２Ｂが表示された画面である。重畳画像Ｉｍ１２Ｂは、例えば、同一サイズの同一部分についての欠陥画像Ｉｍ１と基準画像Ｉｍ２，Ｉｍ２Ａとが重畳されたような表示態様を有している。
【０１０１】
このように、例えば、欠陥画像データと基準画像データとが重畳するように可視的に出力されている時間帯が存在していれば、ユーザは、欠陥画像データに基づいて可視的に出力された欠陥画像Ｉｍ１と、基準画像データに基づいて出力された基準画像Ｉｍ２，Ｉｍ２Ａと、の間における違いを容易に認識することができる。
【０１０２】
また、ここで、出力制御部３５４は、例えば、出力部３３によって、第２出力状態を実現させる際に、欠陥画像データおよび基準画像データととともに、ユーザによって認識可能となるような重畳画像に係る要素を出力させることができる機能を有していてもよい。重畳画像に係る要素は、例えば、ユーザによって重畳画像Ｉｍ１２Ｂが表示されていることが認識可能となるような要素であればよい。重畳画像に係る要素には、例えば、出力部３３によって、重畳画像Ｉｍ１２Ｂの近くあるいは重畳画像Ｉｍ１２Ｂの上に表示される第３マークＭｋ３が適用される。第３マークＭｋ３には、例えば、図１２で示されるような特定の文字要素（図１２の例では「重畳」）、特定の図柄、特定のモノグラム、重畳画像Ｉｍ１２Ｂを囲む特定のフレームあるいは重畳画像Ｉｍ１２Ｂの特定の背景色などが適用される。このような構成が採用されれば、例えば、ユーザは、表示されている画像が、重畳画像Ｉｍ１２Ｂであることを認識することができる。
【０１０３】
＜２−３．第４実施形態＞
また、上記各実施形態において、例えば、出力制御部３５４は、交互出力処理を停止させた後に、ユーザによる第２動作に応じた入力部３２による第２信号の入力に応答して、出力部３３によって、同一の表示領域において欠陥画像データと基準画像データとを重畳するように可視的に出力させることができる機能を有していてもよい。この場合には、例えば、出力制御部３５４は、ユーザによる第２動作に応じた入力部３２による第２信号の入力に応答して、出力部３３によって、欠陥画像データを可視的に出力させている状態から、欠陥画像データと基準画像データとを重畳するように可視的に出力させている状態に遷移させてもよい。また、例えば、出力制御部３５４は、ユーザによる第２動作に応じた入力部３２による第２信号の入力に応答して、出力部３３によって、基準画像データを可視的に出力させている状態から、欠陥画像データと基準画像データとを重畳するように可視的に出力させている状態に遷移させてもよい。
【０１０４】
例えば、図６で示された欠陥確認画面Ｓｎ１において、重畳実施ボタンＢ３がマウスポインタＭ１で押下されることで、出力制御部３５４が、出力部３３によって、表示される画面を、欠陥確認画面Ｓｎ１から図１２で示された重畳確認画面Ｓｎ３Ｂに遷移させる態様が考えられる。また、例えば、図１１で示された基準確認画面Ｓｎ２Ａにおいて、重畳実施ボタンＢ３がマウスポインタＭ１で押下されることで、出力制御部３５４が、出力部３３によって、表示される画面を、基準確認画面Ｓｎ２Ａから図１２で示された重畳確認画面Ｓｎ３Ｂに遷移させる態様が考えられる。また、このとき、例えば、重畳確認画面Ｓｎ３Ｂにおいて、重畳解消ボタンＢ４がマウスポインタＭ１で押下されることで、出力制御部３５４が、出力部３３によって、表示される画面を、重畳確認画面Ｓｎ３Ｂから欠陥確認画面Ｓｎ１に遷移させてもよいし、重畳確認画面Ｓｎ３Ｂから基準確認画面Ｓｎ２Ａに遷移させてもよい。このような態様が採用されても、例えば、ユーザは、欠陥画像データに係る欠陥画像Ｉｍ１と、基準画像データに係る基準画像Ｉｍ２，Ｉｍ２Ａと、の間における違いを容易に認識することができる。
【０１０５】
上記構成が採用される場合には、例えば、図９で示された動作フローの代わりに、図１３で示された動作フローが実行され、図１０で示された動作フローの代わりに、図１４で示された動作フローが実行されてもよい。図１３および図１４は、第４実施形態に係る欠陥確認装置３の動作フローの一例を示す流れ図である。図１３の動作フローは、図９で示された動作フローのステップＳ２２とステップＳ２３との間にステップＳ２２Ａが挿入され、さらにステップＳ２２ＢおよびステップＳ２２Ｃが追加された動作フローである。図１４の動作フローは、図１０で示された動作フローのステップＳ３２とステップＳ３３との間にステップＳ３２Ａが挿入され、さらにステップＳ３２ＢおよびステップＳ３２Ｃが追加された動作フローである。ここでは、図１３および図１４の動作フローのうち、図９および図１０の動作フローと異なる、ステップＳ２２Ａ，Ｓ２２Ｂ，Ｓ２２ＣおよびステップＳ３２Ａ，Ｓ３２Ｂ，Ｓ３２Ｃについて説明する。
【０１０６】
図１３のステップＳ２２Ａでは、出力制御部３５４は、欠陥画像データと基準画像データとを重畳させるように可視的に出力する処理（重畳表示処理ともいう）を実行するか否かを判定する。ここでは、出力制御部３５４は、例えば、ユーザによる第２動作に応じて入力部３２によって第２信号が入力されなければ、重畳表示処理を実行するものとは判定せず、ステップＳ２３に進む。一方、出力制御部３５４は、例えば、ユーザによる第２動作に応じて入力部３２によって第２信号が入力されれば、重畳表示処理を実行するものと判定して、ステップＳ２２Ｂに進む。
【０１０７】
ステップＳ２２Ｂでは、出力制御部３５４は、出力部３３によって重畳表示処理を実行させる。これにより、例えば、出力制御部３５４は、出力部３３によって、交互出力処理を停止させた後に、ユーザによる第２動作に応じた入力部３２による第２信号の入力に応答して、出力部３３によって、同一の表示領域において欠陥画像データと基準画像データとを重畳するように可視的に出力させることができる。このとき、例えば、出力制御部３５４が、出力部３３によって表示される画面を、図６で示された欠陥確認画面Ｓｎ１から図１２で示された重畳確認画面Ｓｎ３Ｂに遷移させる態様が考えられる。このような構成が採用されれば、ユーザは、欠陥画像データに係る欠陥画像Ｉｍ１と基準画像データに係る基準画像Ｉｍ２，Ｉｍ２Ａとの間における違いを容易に認識することができる。
【０１０８】
ステップＳ２２Ｃでは、出力制御部３５４は、同一の表示領域において欠陥画像データと基準画像データとを重畳するように可視的に出力させている状態（重畳表示状態ともいう）を解消するか否かを判定する。ここでは、出力制御部３５４は、例えば、ユーザによる所定の動作に応じて入力部３２によって所定の信号が入力されるまでは、重畳表示状態を解消するものとは判定せず、ステップＳ２２Ｃの判定を繰り返す。一方、出力制御部３５４は、例えば、ユーザによる所定の動作に応じて入力部３２によって所定の信号が入力されれば、重畳表示状態を解消するものと判定して、図１３のステップＳ２１に戻る。
【０１０９】
図１４のステップＳ３２Ａでは、出力制御部３５４は、欠陥画像データと基準画像データとを重畳させるように可視的に出力する重畳表示処理を実行するか否かを判定する。ここでは、出力制御部３５４は、例えば、ユーザによる第２動作に応じて入力部３２によって第２信号が入力されなければ、重畳表示処理を実行するものとは判定せず、ステップＳ３３に進む。一方、出力制御部３５４は、例えば、ユーザによる第２動作に応じて入力部３２によって第２信号が入力されれば、重畳表示処理を実行するものと判定して、ステップＳ３２Ｂに進む。
【０１１０】
ステップＳ３２Ｂでは、出力制御部３５４は、出力部３３によって重畳表示処理を実行させる。これにより、例えば、出力制御部３５４は、出力部３３によって、交互出力処理を停止させた後に、ユーザによる第２動作に応じた入力部３２による第２信号の入力に応答して、出力部３３によって、同一の表示領域において欠陥画像データと基準画像データとを重畳するように可視的に出力させることができる。このとき、例えば、出力制御部３５４が、出力部３３によって表示される画面を、図１１で示された基準確認画面Ｓｎ２Ａから図１２で示された重畳確認画面Ｓｎ３Ｂに遷移させる態様が考えられる。このような構成が採用されれば、ユーザは、欠陥画像データに係る欠陥画像Ｉｍ１と基準画像データに係る基準画像Ｉｍ２，Ｉｍ２Ａとの間における違いを容易に認識することができる。
【０１１１】
ステップＳ３２Ｃでは、出力制御部３５４は、同一の表示領域において欠陥画像データと基準画像データとを重畳するように可視的に出力させている重畳表示状態を解消するか否かを判定する。ここでは、出力制御部３５４は、例えば、ユーザによる所定の動作に応じて入力部３２によって所定の信号が入力されるまでは、重畳表示状態を解消するものとは判定せず、ステップＳ３２Ｃの判定を繰り返す。一方、出力制御部３５４は、例えば、ユーザによる所定の動作に応じて入力部３２によって所定の信号が入力されれば、重畳表示状態を解消するものと判定して、図１４のステップＳ３１に戻る。
【０１１２】
＜２−４．その他＞
例えば、上記各実施形態において、出力制御部３５４は、出力部３３によって、交互出力処理を行わせることなく、同一の表示領域に、欠陥画像データと基準画像データとを少なくとも１回ずつ時間順次に可視的に出力させてもよい。このとき、欠陥画像データおよび基準画像データの何れの画像データが先に出力されてもよい。このような構成が採用されても、例えば、ユーザは、視線を移動させることなく、同一の第２表示領域Ａｒ２に時間順次に表示される欠陥画像Ｉｍ１と基準画像Ｉｍ２とを見比べることができる。これにより、例えば、ユーザは、基板９０における真欠陥を見落としにくくなり、疲れにくくなる。その結果、例えば、検査対象物としての基板９０の欠陥を確認する作業における確認精度が向上し得る。
【０１１３】
例えば、上記各実施形態において、欠陥画像データに係る欠陥画像Ｉｍ１の拡大および縮小が可能であってもよい。この場合、例えば、欠陥画像データに係る欠陥画像Ｉｍ１の拡大および縮小に応じて、基準画像データに係る基準画像Ｉｍ２，Ｉｍ２Ａも拡大および縮小されればよい。
【０１１４】
例えば、上記各実施形態において、表示要素Ｆｍ１１，Ｆｍ１２は、欠陥領域で捉えられた部位の種類に応じて、ユーザが区別可能な異なる表示態様の要素とされてもよい。ここで、部位の種類としては、例えば、メッキが施された部位およびソルダーレジストが付された部位などが挙げられる。また、異なる表示態様の要素としては、例えば、色の異なる枠などが挙げられる。この場合には、欠陥情報に、例えば、部位の種類を示す情報を含ませればよい。
【０１１５】
例えば、上記各実施形態において、１つの検査対象物としての１つの基板９０について、複数の確認対象としての複数の欠陥画像データが存在している場合には、取得部３５２によって、予め設定された重要度が高い部位についての欠陥画像データが優先的に取得されてもよい。これにより、例えば、出力制御部３５４は、出力部３３によって、重要度が高い部位についての欠陥画像データを優先して可視的に出力させることができる。
【０１１６】
例えば、上記各実施形態において、表示要素Ｆｍ１１，Ｆｍ１２としては、それぞれ欠陥領域を囲むように位置している枠の代わりに、欠陥領域を指し示す矢印などのその他の態様の要素が採用されてもよい。
【０１１７】
例えば、上記各実施形態において、検査対象物として、基板９０とは異なる製造物などのその他の物体が採用されてもよい。
【０１１８】
上記一実施形態および各種変形例をそれぞれ構成する全部または一部を、適宜、矛盾しない範囲で組み合わせ可能であることは、言うまでもない。
【符号の説明】
【０１１９】
１  検査装置
２  通信回線
３  欠陥確認装置
３０  情報処理装置
３１  通信部
３２  入力部
３３  出力部
３４  記憶部
３５  制御部
３５ａ  演算処理部
３５ｂ  メモリ
９０  基板
１００  欠陥確認システム
３５１  信号受付部
３５２  取得部
３５３  記憶制御部
３５４  出力制御部
Ａｒ１  第１表示領域
Ａｒ２  第２表示領域
Ａｒ３  第３表示領域
Ｂ１  停止ボタン
Ｂ２  次ボタン
Ｂ３  重畳実施ボタン
Ｂ４  重畳解消ボタン
Ｆｍ１１，Ｆｍ１２  表示要素
Ｉｍ１  欠陥画像
Ｉｍ１２Ｂ  重畳画像
Ｉｍ２，Ｉｍ２Ａ  基準画像
Ｍｋ１  第１マーク
Ｍｋ２  第２マーク
Ｍｋ３  第３マーク
Ｐｇ１  プログラム
ＲＭ１  記憶媒体
Ｓｎ１  欠陥確認画面
Ｓｎ２，Ｓｎ２Ａ  基準確認画面
Ｓｎ３Ｂ  重畳確認画面
【図１】
2019158555.tif 000003
【図２】
2019158555.tif 000004
【図３】
2019158555.tif 000005
【図４】
2019158555.tif 000006
【図５】
2019158555.tif 000007
【図６】
2019158555.tif 000008
【図７】
2019158555.tif 000009
【図８】
2019158555.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2019158555.tif 000015
【図１４】
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