(57)【要約】【課題】発光素子を搭載するパッケージのカバーガラスに用いたときに、パッケージからの剥がれや割れが生じ難く、波長２６０ｎｍ帯の光を効率よく取り出すことができ、しかも波長２００ｎｍ以下の光の透過を抑制することができる、膜付きガラス板を提供する。【解決手段】多成分ガラスからなるガラス板２と、ガラス板２の少なくとも一方側の主面２ａ上に設けられた反射防止膜３と、を備え、波長２６０ｎｍ〜３４０ｎｍにおける光線入射角０度の光線透過率が、９５％以上であり、波長１９０ｎｍ〜２００ｎｍにおける光線入射角０度の光線透過率が、５％未満である、膜付きガラス板１。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
多成分ガラスからなるガラス板と、
前記ガラス板の少なくとも一方側の主面上に設けられた反射防止膜と、
を備え、
波長２６０ｎｍ〜３４０ｎｍにおける光線入射角０度の光線透過率が、９５％以上であり、
波長１９０ｎｍ〜２００ｎｍにおける光線入射角０度の光線透過率が、５％未満である、膜付きガラス板。
【請求項２】
前記ガラス板の両側の主面上に前記反射防止膜が設けられている、請求項１に記載の膜付きガラス板。
【請求項３】
前記ガラス板の厚み０．５ｍｍに換算して、波長２００ｎｍにおける光線透過率（Ｔ２００）が７０％以上である、請求項１又は２に記載の膜付きガラス板。
【請求項４】
３０℃〜３８０℃における前記多成分ガラスの熱膨張係数が、３５×１０−７／℃以上、６０×１０−７／℃以下である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の膜付きガラス板。
【請求項５】
前記多成分ガラスが、質量％で、ＳｉＯ２  ５５〜７５％、Ａｌ２Ｏ３＋Ｂ２Ｏ３  １〜４０％、ＲＯ（ただしＲは、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ及びＢａから選択される少なくとも１種）  ０〜２０％、Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ  ０〜１５％、ＴｉＯ２  ０〜０．００１％、Ｆｅ２Ｏ３  ０〜０．００１％を含有する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の膜付きガラス板。
【請求項６】
前記反射防止膜が、相対的に屈折率が高い高屈折率膜と、相対的に屈折率が低い低屈折率膜とが交互に積層された積層膜である、請求項１〜５のいずれか１項に記載の膜付きガラス板。
【請求項７】
発光素子と、前記発光素子を収容するための底部及び底部上に配置された枠上の側壁部を有する無蓋の容器と、前記容器の開口部を覆うカバーガラスとを備え、前記発光素子が前記容器内に収容された状態で、前記容器の側壁部の上面部に前記カバーガラスを固定し、封止してなるパッケージであって、前記カバーガラスが、請求項１〜６のいずれか１項に記載の膜付きガラス板からなる、パッケージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、膜付きガラス板及び該膜付きガラス板を用いたパッケージに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、近紫外線のなかでも比較的波長が短い深紫外線は、殺菌作用や有機物の分解作用を有することが知られており、医療現場や食品工場においては、深紫外線を発光するＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）等の発光素子が広く用いられている。
【０００３】
発光素子は、パッケージ内に搭載され、封止して用いられる。パッケージは、発光素子が搭載される容器と、容器を封止するカバーガラスにより構成される。カバーガラスが発光素子の前面に設けられることにより、発光素子が保護されている。カバーガラスとしては、一般的に、紫外線透過ガラスが用いられている。紫外線透過ガラスとしては、石英ガラスが知られている。また、下記の特許文献１や特許文献２では、より波長の短い光を透過させることのできる紫外線透過ガラスが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２０１７／１６３９６３号
【特許文献２】特開２０１５−１９３５２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、発光素子を搭載するパッケージのカバーガラスに石英ガラスを用いた場合、カバーガラスがパッケージから剥がれたり、割れたりする場合がある。特に、パッケージを構成する容器に、窒化アルミニウムなどのセラミックを用いた場合、その傾向は顕著であった。
【０００６】
一方、特許文献１や特許文献２のような紫外線透過ガラスを用いた場合、殺菌効果のある２６０ｎｍ帯の波長における光を効率よく取り出せない場合があった。また、オゾンの発生を誘発する波長２００ｎｍ以下の光が透過するのを抑制できないことがあり、周囲の部材や人体に悪影響を及ぼすおそれがあった。
【０００７】
本発明の目的は、発光素子を搭載するパッケージのカバーガラスに用いたときに、パッケージからの剥がれや割れが生じ難く、波長２６０ｎｍ帯の光を効率よく取り出すことができ、しかも波長２００ｎｍ以下の光の透過を抑制することができる、膜付きガラス板及び該膜付きガラス板を用いたパッケージを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る膜付きガラス板は、多成分ガラスからなるガラス板と、前記ガラス板の少なくとも一方側の主面上に設けられた反射防止膜と、を備え、波長２６０ｎｍ〜３４０ｎｍにおける光線入射角０度の光線透過率が、９５％以上であり、波長１９０ｎｍ〜２００ｎｍにおける光線入射角０度の光線透過率が、５％未満であることを特徴としている。
【０００９】
本発明に係る膜付きガラス板では、前記ガラス板の両側の主面上に前記反射防止膜が設けられていることが好ましい。
【００１０】
本発明に係る膜付きガラス板は、前記ガラス板の厚み０．５ｍｍに換算して、波長２００ｎｍにおける光線透過率（Ｔ２００）が７０％以上であることが好ましい。
【００１１】
本発明に係る膜付きガラス板は、３０℃〜３８０℃における前記多成分ガラスの熱膨張係数が、３５×１０−７／℃以上、６０×１０−７／℃以下であることが好ましい。
【００１２】
本発明に係る膜付きガラス板は、前記多成分ガラスが、質量％で、ＳｉＯ２  ５５〜７５％、Ａｌ２Ｏ３＋Ｂ２Ｏ３  １〜４０％、ＲＯ（ただしＲは、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ及びＢａから選択される少なくとも１種）  ０〜２０％、Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ  ０〜１５％、ＴｉＯ２  ０〜０．００１％、Ｆｅ２Ｏ３  ０〜０．００１％を含有することが好ましい。
【００１３】
本発明に係る膜付きガラス板は、前記反射防止膜が、相対的に屈折率が高い高屈折率膜と、相対的に屈折率が低い低屈折率膜とが交互に積層された積層膜であることが好ましい。
【００１４】
本発明に係るパッケージは、発光素子と、前記発光素子を収容するための底部及び底部上に配置された枠上の側壁部を有する無蓋の容器と、前記容器の開口部を覆うカバーガラスとを備え、前記発光素子が前記容器内に収容された状態で、前記容器の側壁部の上面部に前記カバーガラスを固定し、封止してなるパッケージであって、前記カバーガラスが、本発明に従って構成される膜付きガラス板からなることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、発光素子を搭載するパッケージのカバーガラスに用いたときに、パッケージからの剥がれや割れが生じ難く、波長２６０ｎｍ帯の光を効率よく取り出すことができ、しかも波長２００ｎｍ以下の光の透過を抑制することができる、膜付きガラス板を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る膜付きガラス板を示す模式的断面図である。
【図２】本発明の第２の実施形態に係る膜付きガラス板を示す模式的断面図である。
【図３】本発明の第３の実施形態に係る膜付きガラス板を示す模式的断面図である。
【図４】本発明の第１の実施形態に係る膜付きガラス板を用いたパッケージを示す模式的断面図である。
【図５】実施例１〜４で得られた膜付きガラス板の波長１９０ｎｍ〜４９０ｎｍの範囲における光線透過率の結果を示すグラフである。
【図６】実施例１〜４で得られた膜付きガラス板の波長２４０ｎｍ〜３６０ｎｍの範囲における光線透過率の結果を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、好ましい実施形態について説明する。但し、以下の実施形態は単なる例示であり、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。また、各図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照する場合がある。
【００１８】
［膜付きガラス板］
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係る膜付きガラス板を示す模式的断面図である。
【００１９】
図１に示すように、膜付きガラス板１は、ガラス板２、第１の反射防止膜３、及び第２の反射防止膜４を備える。ガラス板２は、多成分ガラスにより構成されている。また、ガラス板２は、互いに対向している第１の主面２ａ及び第２の主面２ｂを有する。
【００２０】
ガラス板２の第１の主面２ａ上には、第１の反射防止膜３が設けられている。また、ガラス板２の第２の主面２ｂ上には、第２の反射防止膜４が設けられている。従って、膜付きガラス板１では、ガラス板２の両側の主面上に、反射防止膜が設けられている。
【００２１】
第１の反射防止膜３は、相対的に屈折率が高い高屈折率膜５と、相対的に屈折率が低い低屈折率膜６が、この順に交互に積層された積層膜である。第１の反射防止膜３の積層膜の積層数は、４層である。また、第２の反射防止膜４も、相対的に屈折率が高い高屈折率膜５と、相対的に屈折率が低い低屈折率膜６とが、この順に交互に積層された積層膜である。第２の反射防止膜４の積層膜の積層数も、４層である。なお、本発明において、第１の反射防止膜３及び第２の反射防止膜４は、それぞれ単層膜であってもよく、特に限定されない。
【００２２】
本実施形態においては、膜付きガラス板１の波長２６０ｎｍ〜３４０ｎｍにおける光線入射角０度の光線透過率が、９５％以上である。また、膜付きガラス板１の波長１９０ｎｍ〜２００ｎｍにおける光線入射角０度の光線透過率が、５％未満である。なお、本明細書において、光線入射角０度とは、ガラス板２に直交する方向であり、積層膜の積層方向に沿う方向のことをいう。本実施形態では、図１のＸ方向である。
【００２３】
本実施形態においては、波長２６０ｎｍ〜３４０ｎｍにおける膜付きガラス板１の光線透過率が上記下限値以上であるため、殺菌効果のある波長２６０ｎｍ帯の光を効率よく取り出すことができる。波長２６０ｎｍ帯の光をより効率よく取り出すには、波長２６０ｎｍ〜３４０ｎｍにおける膜付きガラス板１の光線透過率が９８％以上であることが好ましい。また、オゾンの発生を誘発する波長１９０ｎｍ〜２００ｎｍにおける膜付きガラス板１の光線透過率が上記上限値未満であるため、周囲の部材や人体に悪影響を及ぼし難くできる。オゾンの発生の誘発をより抑えるには、波長１９０ｎｍ〜２００ｎｍにおける膜付きガラス板１の光線透過率が４％以下であることが好ましい。
【００２４】
また、本実施形態の膜付きガラス板１を構成するガラス板２は、多成分ガラスからなるため、発光素子を搭載するパッケージのカバーガラスに用いたときに、パッケージからの剥がれや割れが生じ難い。なお、この点に関しては、以下のように説明することができる。
【００２５】
従来、石英ガラスを発光素子搭載用のパッケージのカバーガラスに用いた場合、パッケージを構成する窒化アルミニウム等のセラミックとカバーガラスの熱膨張係数の差が大きいことから、ＬＥＤなどの発光素子を封止した後、パッケージからカバーガラスが剥がれたり、割れたりするという問題があった。
【００２６】
これに対して、本実施形態の膜付きガラス板１では、ガラス板２が多成分ガラスにより構成されているので、ガラス板２の熱膨張係数を、パッケージを構成する窒化アルミニウム等のセラミックの熱膨張係数に近づけることができる。そのため、本実施形態の膜付きガラス板１では、パッケージからの剥がれや、割れが生じ難い。
【００２７】
以下、膜付きガラス板１を構成する各部材の詳細について説明する。
【００２８】
（ガラス板）
ガラス板を構成する多成分ガラスとしては、例えば、質量％で、ＳｉＯ２  ５５〜７５％、Ａｌ２Ｏ３＋Ｂ２Ｏ３  １〜４０％、ＲＯ（ただしＲは、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ及びＢａから選択される少なくとも１種）  ０〜２０％、Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ  ０〜１５％、ＴｉＯ２  ０〜０．００１％、Ｆｅ２Ｏ３  ０〜０．００１％を含有するガラスを用いることができる。
【００２９】
なかでも、質量％で、ＳｉＯ２  ５５〜７５％、Ａｌ２Ｏ３  １〜１０％、Ｂ２Ｏ３  １０〜３０％、ＣａＯ  ０〜５％、ＢａＯ  ０〜５％、Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ  １〜１５％、ＴｉＯ２  ０〜０．００１％、Ｆｅ２Ｏ３  ０〜０．００１％を含有するガラスを用いることが好ましい。この場合、発光素子を搭載するパッケージのカバーガラスに用いたときに、パッケージからの剥がれや割れがより一層生じ難く、しかも波長２６０ｎｍ帯の光をより一層効率よく取り出すことができる。
【００３０】
本発明においては、ガラス板の厚み０．５ｍｍに換算して、波長２００ｎｍにおける光線透過率（Ｔ２００）が７０％以上であることが好ましく、７５％以上であることがより好ましい。この場合、波長２６０ｎｍ帯の光をより一層効率よく取り出すことができる。
【００３１】
ガラス板を構成する多成分ガラスの３０℃〜３８０℃における熱膨張係数は、好ましくは３５×１０−７／℃以上、６０×１０−７／℃以下であり、３９×１０−７／℃以上、４５×１０−７／℃以下であることがより好ましい。この場合、多成分ガラスの熱膨張係数を、パッケージを構成する窒化アルミニウム等のセラミックスの熱膨張係数により一層近づけることができる。そのため、膜付きガラス板のパッケージから剥がれや割れをより一層生じ難くすることができる。
【００３２】
ガラス板の厚みとしては、特に限定されないが、例えば、１０μｍ以上、２ｍｍ以下とすることができる。
【００３３】
（反射防止膜）
第１の反射防止膜３及び第２の反射防止膜４は、同じ材料により構成されていることが好ましい。もっとも、第１の反射防止膜３及び第２の反射防止膜４は、異なる材料により構成されていてもよい。以下、第１の反射防止膜３及び第２の反射防止膜４に用い得る反射防止膜について説明する。
【００３４】
反射防止膜は、相対的に屈折率が高い高屈折率膜と、相対的に屈折率が低い低屈折率膜とが交互に積層された積層膜であることが好ましい。この場合、波長２６０ｎｍ〜３４０ｎｍにおける反射率を低くできると共に、オゾンの発生を誘発する波長２００ｎｍ以下の光の透過をより一層抑制することができるので、周囲の部材や人体に悪影響を及ぼすことなく、殺菌効果のある波長２６０ｎｍ帯の光のみをより効率よく取り出すことができる。
【００３５】
反射防止膜の材料は、特に限定されないが、Ａｌ２Ｏ３、Ｇａ２Ｏ３、ＨｆＯ２、ＭｇＯ、ＳｉＯ２、ＡｌＦ３、ＣａＦ２、ＬａＦ３、ＬｉＦ、ＭｇＦ２、ＮａＦ、ＮｄＦ３、又はＹｂＦ３等を用いることができる。これらの材料は、１種を単独で用いてもよく、複数種を併用してもよい。耐湿性をより一層高める観点から、反射防止膜の材料は、Ａｌ２Ｏ３、Ｇａ２Ｏ３、ＨｆＯ２、ＭｇＯ、ＳｉＯ２であることが好ましい。
【００３６】
なかでも、低屈折率膜の材料としては、例えば、ＳｉＯ２、ＭｇＦ２、ＣａＦ２等がより好ましい。これらの材料は、１種を単独で用いてもよく、複数種を併用してもよい。好ましくは、低屈折率膜の材料が、ＳｉＯ２、ＭｇＦ２であるとさらに好ましい。
【００３７】
また、高屈折率膜の材料としては、例えば、Ａｌ２Ｏ３、Ｇａ２Ｏ３、ＨｆＯ２等がより好ましい。これらの材料は、１種を単独で用いてもよく、複数種を併用してもよい。好ましくは、低屈折率膜の材料が、ＨｆＯ２、Ｇａ２Ｏ３であるとさらに好ましい。
【００３８】
反射防止膜の１層あたりの膜厚としては、特に限定されないが、好ましくは２ｎｍ以上、より好ましくは５ｎｍ以上、好ましくは２００ｎｍ以下、より好ましくは１５０ｎｍ以下である。
【００３９】
反射防止膜の膜厚が上記下限以上である場合、オゾンの発生を誘発する波長２００ｎｍ以下の光の透過をより一層抑制することができるので、周囲の部材や人体により一層悪影響を及ぼし難い。また、反射防止膜の膜厚が上記上限以下である場合、コストを低減することができ、生産性をより一層高めることができる。
【００４０】
反射防止膜の製造方法は、特に限定されないが、例えば、ガラス板上にスパッタリング法や蒸着法により成膜することにより製造することができる。
【００４１】
（第２の実施形態）
図２は、本発明の第２の実施形態に係る膜付きガラス板を示す模式的断面図である。図２に示すように、膜付きガラス板２１では、第１の反射防止膜３が、相対的に屈折率が高い高屈折率膜５と、相対的に屈折率が低い低屈折率膜６とが、この順に交互に８層積層された積層膜である。また、第２の反射防止膜４も相対的に屈折率が高い高屈折率膜５と、相対的に屈折率が低い低屈折率膜６が、この順に交互に８層積層された積層膜である。その他の点は第１の実施形態と同様である。
【００４２】
第２の実施形態のように、第１の反射防止膜３及び第２の反射防止膜４を構成する積層膜の積層数は、それぞれ、８層であってもよい。
【００４３】
なお、本発明において、第１の反射防止膜３及び第２の反射防止膜４を構成する積層膜の積層数は、ぞれぞれ、好ましくは２層以上、より好ましくは４層以上、好ましくは１０層以下、より好ましくは８層以下である。積層膜の積層数が上記下限以上である場合、オゾンの発生を誘発する波長２００ｎｍ以下の光の透過をより一層抑制することができるので、周囲の部材や人体により一層悪影響を及ぼし難い。積層膜の積層数が上記上限以下である場合、コストを低減することができ、生産性をより一層高めることができる。
【００４４】
また、本実施形態の膜付きガラス板１を構成するガラス板２は、多成分ガラスからなるため、発光素子を搭載するパッケージのカバーガラスに用いたときに、パッケージからの剥がれや割れが生じ難い。
【００４５】
（第３の実施形態）
図３は、本発明の第３の実施形態に係る膜付きガラス板を示す模式的断面図である。図３に示すように、膜付きガラス板３１においては、第２の反射防止膜４が設けられておらず、ガラス板２の一方側の主面２ａ上にのみ反射防止膜３が設けられている。その他の点は第１の実施形態と同様である。
【００４６】
第３の実施形態のように、ガラス板２の一方側の主面２ａ上にのみ反射防止膜３が設けられていても所期の光学特性が得られる。従って、本発明においては、ガラス板２の少なくとも一方側の主面上に反射防止膜が設けられていればよい。もっとも、波長２６０ｎｍ帯の光をより一層効率よく取り出したり、波長２００ｎｍ以下の光の透過をより一層抑制する観点から、ガラス板２の両側の主面上に反射防止膜が設けられていることが好ましい。
【００４７】
第３の実施形態の膜付きガラス板３１においても、殺菌効果のある波長２６０ｎｍ帯の光を効率よく取り出すことができ、オゾンの発生を誘発する波長２００ｎｍ以下の光の透過を抑制することができる。また、発光素子を搭載するパッケージのカバーガラスに用いたときに、パッケージからの剥がれや割れが生じ難い。
【００４８】
［パッケージ］
図４は、本発明の第１の実施形態に係る膜付きガラス板を用いたパッケージを示す模式的断面図である。
【００４９】
図４に示すように、パッケージ１１は、発光素子１３と、発光素子１３が収容され、開口部１２ｄを有する容器１２と、容器１２の開口部１２ｄを覆うカバーガラス１４とからなる。発光素子１３としては、例えば、深紫外線ＬＥＤ等を搭載することができる。
【００５０】
容器１２は、窒化アルミニウムにより構成されている。なお、容器１２は、他のセラミックや、セラミックガラスなどにより構成されていてもよい。もっとも、放熱性をより一層高める観点からは、窒化アルミニウムにより構成されていることが好ましい。
【００５１】
容器１２は、底部１２ａ及び側壁部１２ｂを有する。底部１２ａ上には、発光素子１３が搭載されている。また、底部１２ａ上おいては、発光素子１３を囲むように枠状の側壁部１２ｂが配置されている。そして、この側壁部１２ｂの上面１２ｃ上に、カバーガラス１４が固定されてなることにより封止されている。より具体的には、側壁部１２ｂの上面１２ｃとカバーガラス１４とは、封着材料により接合されており、それによってパッケージ１１内が封止されている。
【００５２】
本実施形態においては、カバーガラス１４は、上述した膜付きガラス板１からなる。そのため、発光素子１３から発せられた波長２６０ｎｍ帯の光を効率よく取り出すことができる。また、オゾンの発生を誘発する波長２００ｎｍ以下の光の透過を抑制することができるので、周囲の部材や人体に悪影響を及ぼし難い。
【００５３】
また、本実施形態においては、膜付きガラス板１が多成分ガラスにより構成されているので、容器１２が窒化アルミニウムにより構成される場合においても、容器１２からの膜付きガラス板１の剥がれや割れを生じ難くすることができる。
【００５４】
以下、本発明について、具体的な実施例に基づいて、さらに詳細に説明する。本発明は、以下の実施例に何ら限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲において適宜変更して実施することが可能である。
【００５５】
（実施例１）
まず、組成が、質量％で、ＳｉＯ２  ６６．５％、Ａｌ２Ｏ３  ５．５％、Ｂ２Ｏ３  ２１．５％、ＣａＯ＋ＢａＯ  １．５％、Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ  ５．０％、ＴｉＯ２  ０．０００１％、Ｆｅ２Ｏ３  ０．０００３％の多成分ガラスからなるガラス板（厚み：０．２ｍｍ、熱膨張係数：４１×１０−７／℃、厚み０．５ｍｍに換算して、波長２００ｎｍにおける光線透過率（Ｔ２００）：８４％）を用意した。
【００５６】
次に、用意したガラス板の一方側の主面上に、真空蒸着法で、酸化ハフニウム（ＨｆＯ２）膜及び酸化ケイ素（ＳｉＯ２）膜を順に１層ずつ交互に積層した、合計４層の膜を成膜した。また、同様にして、ガラス板の他方側の主面上にも、ＨｆＯ２膜とＳｉＯ２膜を順に１層ずつ交互に積層した、合計４層の膜を成膜した。これにより、膜付きガラス板を得た。なお、各層の膜厚は、ガラス板の両側の主面上に形成された膜が共に、ガラス板の主面側から、ＨｆＯ２膜：９ｎｍ、ＳｉＯ２膜：１８ｎｍ、ＨｆＯ２膜：１３０ｎｍ、ＳｉＯ２膜：４８ｎｍである。
【００５７】
（実施例２）
実施例２では、ＳｉＯ２膜の代わりに、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）膜を真空蒸着法で成膜したこと以外は、実施例１と同様にして膜付きガラス板を得た。なお、実施例２は、ガラス板の両側の主面上に、それぞれ、ＨｆＯ２膜とＭｇＦ２膜を順に１層ずつ交互に積層した、合計４層の膜を成膜し、膜付きガラス板を得た。なお、各層の膜厚は、ガラス板の両側の主面上に形成された膜が共に、ガラス板の主面側から、ＨｆＯ２膜：１０ｎｍ、ＭｇＦ２膜：１４ｎｍ、ＨｆＯ２膜：１３０ｎｍ、ＭｇＦ２膜：５０ｎｍである。
【００５８】
（実施例３）
実施例３では、ＨｆＯ２膜の代わりに、酸化ガリウム（Ｇａ２Ｏ３）膜を真空蒸着法で成膜したこと、及び各積層膜の層数を８層にしたこと以外は、実施例１と同様にして膜付きガラス板を得た。なお、実施例３は、ガラス板の両側の主面上に、それぞれ、Ｇａ２Ｏ３膜とＳｉＯ２膜を順に１層ずつ交互に積層した、合計８層の膜を成膜し、膜付きガラス板を得た。なお、各層の膜厚は、ガラス板の両側の主面上に形成された膜が共に、ガラス板の主面側から、Ｇａ２Ｏ３膜：１２ｎｍ、ＳｉＯ２膜：２６ｎｍ、Ｇａ２Ｏ３膜：２５ｎｍ、ＳｉＯ２膜：３４ｎｍ、Ｇａ２Ｏ３膜：１６ｎｍ、ＳｉＯ２膜：３１ｎｍ、Ｇａ２Ｏ３膜：２７ｎｍ、ＳｉＯ２膜：５７ｎｍである。
【００５９】
（実施例４）
実施例４では、ＳｉＯ２膜の代わりに、フッ化カルシウム（ＣａＦ２）膜を真空蒸着法で成膜したこと以外は、実施例１と同様にして膜付きガラス板を得た。なお、実施例４は、ガラス板の両側の主面上に、それぞれ、ＨｆＯ２膜とＣａＦ２膜を順に１層ずつ交互に積層した、合計４層の膜を成膜し、膜付きガラス板を得た。なお、各層の膜厚は、ガラス板の両側の主面上に形成された膜が共に、ガラス板の主面側から、ＨｆＯ２膜：１０ｎｍ、ＣａＦ２膜：１５ｎｍ、ＨｆＯ２膜：１３０ｎｍ、ＣａＦ２膜：５０ｎｍである。
【００６０】
＜評価＞
実施例１〜４で得られた膜付きガラス板の光線透過率を分光光度計（日立ハイテクノロジーズ社製、品番「Ｕ−４０００」）を用いて測定した。結果を、図５及び図６に示す。なお、図５は、実施例１〜４で得られた膜付きガラス板の波長１９０ｎｍ〜４９０ｎｍの範囲における光線透過率の結果を示す図である。また、図６は、実施例１〜４で得られた膜付きガラス板の波長２４０ｎｍ〜３６０ｎｍの範囲における光線透過率の結果を示すグラフである。なお、光線透過率は、光線入射角０度における光線透過率である。
【００６１】
図５及び図６から明らかなように、実施例１〜４における膜付きガラス板の波長２６０ｎｍ〜３４０ｎｍにおける光線入射角０度の光線透過率は、９８％以上であった。また、図５から明らかなように、波長１９０ｎｍ〜２００ｎｍにおける光線入射角０度の光線透過率は、５％未満であった。このことから、実施例１〜４の膜付きガラス板では、波長２６０ｎｍ帯の光を効率よく取り出すことができ、波長２００ｎｍ以下の光の透過を抑制できることが確認できた。
【符号の説明】
【００６２】
１，２１，３１…膜付きガラス板
２…ガラス板
２ａ，２ｂ…第１，第２の主面
３，４…第１，第２の反射防止膜
５…高屈折率膜
６…低屈折率膜
１１…パッケージ
１２…容器
１２ａ…底部
１２ｂ…側壁部
１２ｃ…上面
１２ｄ…開口部
１３…発光素子
１４…カバーガラス
【図１】
2019199392.tif 000003
【図２】
2019199392.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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