(57)【要約】【課題】高粘度の液体を容易に吐出する。【解決手段】実施形態のポンプは、筐体と、前記筐体の内部に配置され、液体が収容される可撓性部材と、作動流体を収容するシリンダ部と、前記シリンダ部に対して往復移動可能に挿入され、前記筐体と前記可撓性部材との隙間に前記作動流体を供給して前記可撓性部材から前記液体を排出させるプランジャと、前記可撓性部材の内部に配置されたシャフトと、を含む。【選択図】図３
2019090334.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体と、
前記筐体の内部に配置され、液体が収容される可撓性部材と、
作動流体を収容するシリンダ部と、
前記シリンダ部に対して往復移動可能に挿入され、前記筐体と前記可撓性部材との隙間に前記作動流体を供給して前記可撓性部材から前記液体を排出させるプランジャと、
前記可撓性部材の内部に配置されたシャフトと、を含む
ポンプ。
【請求項２】
前記シャフトの軸方向から見て、前記可撓性部材は、四角形以上の多角形形状である
請求項１に記載のポンプ。
【請求項３】
前記シャフトの軸方向から見て、前記可撓性部材は、菱形形状である
請求項２に記載のポンプ。
【請求項４】
前記シャフトの軸方向から見て、前記筐体の内面と前記可撓性部材とは、相似形状をなす
請求項１から３の何れか一項に記載のポンプ。
【請求項５】
前記シャフトの軸方向から見て、前記シャフトは、前記可撓性部材の内部の中央に配置されている
請求項１から４の何れか一項に記載のポンプ。
【請求項６】
前記シャフトの軸方向から見て、前記シャフトは円形である
請求項１から５の何れか一項に記載のポンプ。
【請求項７】
前記シャフトは、前記筐体よりも長く延在し、
前記筐体は、
筒状の筐体本体と、
前記筐体本体の一方側に配置され、前記シャフトの一端部を突出させる第一貫通孔が設けられた第一蓋部と、
前記筐体本体の他方側に配置され、前記シャフトの他端部を突出させる第二貫通孔が設けられた第二蓋部と、を備え、
前記シャフトの両端部には、ナットが螺合可能な雄ネジ部が設けられている
請求項１から６の何れか一項に記載のポンプ。
【請求項８】
液体を被塗布物に対して塗布する塗布部と、
請求項１から７の何れか一項に記載のポンプと、を含む
塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポンプ及び塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガラス基板等の被処理基板に被膜等を形成するための塗布液を塗布する塗布装置が知られている。このような塗布装置としては、基板が配置されるステージと、塗布液を吐出可能なノズルと、ノズルに塗布液を供給可能なポンプとを備えるものがある。
【０００３】
例えば、特許文献１から３には、ベローズ方式のポンプが開示されている。ポンプは、ポンプケースと、ポンプケースの内部に配置される可撓性チューブと、を備えている（例えば、特許文献１参照）。例えば、シリンダ内のピストンが往復移動すると、駆動室内に封入された非圧縮性媒体の移動により、可撓性チューブが膨張収縮する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１２８０５９号公報
【特許文献２】特開２００７−１５４７６７号公報
【特許文献３】特開２０１１−２２６３７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来技術においては、粘度の高い薬液をポンプで吐出することが想定されておらず、高粘度の液体を吐出することができない可能性があった。
【０００６】
以上のような事情に鑑み、本発明は、高粘度の液体を容易に吐出することが可能なポンプ及び塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様に係るポンプは、筐体と、前記筐体の内部に配置され、液体が収容される可撓性部材と、作動流体を収容するシリンダ部と、前記シリンダ部に対して往復移動可能に挿入され、前記筐体と前記可撓性部材との隙間に前記作動流体を供給して前記可撓性部材から前記液体を排出させるプランジャと、前記可撓性部材の内部に配置されたシャフトと、を含む。
【０００８】
この構成によれば、可撓性部材の内部に配置されたシャフトを含むことで、シャフトを有しない場合と比較して、可撓性部材の内部容積が減少するため、高粘度の液体を容易に吐出することができる。加えて、可撓性部材がシャフトを軸として膨張収縮するため、可撓性部材が座屈することを抑制することができる。
【０００９】
上記のポンプにおいて、前記シャフトの軸方向から見て、前記可撓性部材は、四角形以上の多角形形状であってもよい。
この構成によれば、シャフトの軸方向から見て可撓性部材が角部と辺部とを周方向に交互に有する。辺部は角部よりも変形しやすいため、辺部を積極的に膨張収縮させることができる。したがって、シャフトの軸方向から見て可撓性部材が円形形状である場合と比較して、可撓性部材が意図しない方向に変形することを抑制することができる。加えて、可撓性部材が複数の角部で補強されるため、可撓性部材が座屈することをより一層抑制することができる。
【００１０】
上記のポンプにおいて、前記シャフトの軸方向から見て、前記可撓性部材は、菱形形状であってもよい。
この構成によれば、４つの辺部の長さが互いに相等しいため、各辺部を均等に変形させることができる。したがって、可撓性部材を安定して膨張収縮させることができる。
【００１１】
上記のポンプにおいて、前記シャフトの軸方向から見て、前記筐体の内面と前記可撓性部材とは、相似形状をなしていてもよい。
この構成によれば、筐体と可撓性部材との隙間に供給される作動流体が可撓性部材の周方向において均等に流れやすくなるため、可撓性部材を安定して膨張収縮させることができる。加えて、可撓性部材の成形時に、筐体を成形型として活用することができるため好適である。
【００１２】
上記のポンプにおいて、前記シャフトの軸方向から見て、前記シャフトは、前記可撓性部材の内部の中央に配置されていてもよい。
この構成によれば、シャフトを介して可撓性部材の内部に収容される液体がシャフトの周囲において均等に流れやすくなるため、液体を安定して吐出させることができる。加えて、可撓性部材の収縮時に可撓性部材の内面がシャフトに接触しにくくなるため、塵埃などの異物が発生することを抑制することができる。
【００１３】
上記のポンプにおいて、前記シャフトの軸方向から見て、前記シャフトは円形であってもよい。
この構成によれば、シャフトを介して可撓性部材の内部に収容される液体がシャフトの周方向において均等に流れやすくなるため、液体を安定して吐出させることができる。加えて、可撓性部材の収縮時に可撓性部材の内面がシャフトに接触した場合であっても、シャフトの表面（曲面）で滑りやすい。したがって、シャフトの軸方向から見てシャフトが多角形である場合と比較して、塵埃などの異物が発生することを抑制することができる。
【００１４】
上記のポンプにおいて、前記シャフトは、前記筐体よりも長く延在し、前記筐体は、筒状の筐体本体と、前記筐体本体の一方側に配置され、前記シャフトの一端部を突出させる第一貫通孔が設けられた第一蓋部と、前記筐体本体の他方側に配置され、前記シャフトの他端部を突出させる第二貫通孔が設けられた第二蓋部と、を備え、前記シャフトの両端部には、ナットが螺合可能な雄ネジ部が設けられていてもよい。
この構成によれば、シャフトの雄ネジ部にナットが螺合されることで、筐体本体、第一蓋部および第二蓋部を強固に固定することができる。したがって、筐体本体、第一蓋部および第二蓋部を複数のボルトで固定する必要がないため、部品点数を削減し、組立作業性の向上および低コスト化を図ることができる。
【００１５】
本発明の一態様に係る塗布装置は、液体を被塗布物に対して塗布する塗布部と、上記のポンプと、を含む。
この構成によれば、高粘度の液体を容易に吐出することが可能な塗布装置を提供することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、高粘度の液体を容易に吐出することが可能なポンプ及び塗布装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施形態に係る塗布装置の斜視図である。
【図２】実施形態に係る塗布装置の模式図である。
【図３】実施形態に係るポンプの概略構成図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ断面を含む図である。
【図５】実施形態に係るシャフトの作用説明図である。
【図６】実施形態の第一変形例に係るポンプの概略構成図である。
【図７】実施形態の第二変形例に係るポンプ本体の図４に相当する断面を含む図である。
【図８】実施形態の第三変形例に係るポンプ本体の図４に相当する断面を含む図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。
【００１９】
＜塗布装置＞
図１に示すように、塗布装置１は、基板１０（被塗布物）に被膜等を形成するための塗布液を塗布するものである。図２に示すように、塗布装置１は、塗布部２、供給部３、切替部５、除去部６、ステージ７、移動装置８（図１参照）及び制御部９を備える。制御部９は、塗布装置１の構成要素を統括制御する。
【００２０】
＜塗布部＞
塗布部２は、基板１０に塗布液３ａを吐出するノズル２ａを備える。ノズル２ａは、長尺状に形成されている。ノズル２ａの内部には、塗布液３ａを収容可能である。ノズル２ａは、ノズル２ａの先端（下端）に塗布液３ａを吐出するスリット状の吐出口２ｂを有する。例えば、ノズル２ａは、スリットノズルである。
【００２１】
＜供給部＞
供給部３は、塗布部２に塗布液３ａを供給可能なポンプ３１と、ポンプ３１に塗布液３ａを供給可能な供給源３０と、を備える。
【００２２】
供給源３０は、塗布部２に供給するための塗布液３ａを貯留する貯留タンク３０ａを備える。貯留タンク３０ａには、窒素ガス等の不活性ガスを導入可能な配管３０ｂが接続されている。配管３０ｂは、バルブを介して加圧源（何れも不図示）に接続されている。バルブの開閉制御によって、貯留タンク３０ａ内の圧力が調整される。供給源３０は、貯留タンク３０ａ内の圧力調整によって、所定量の塗布液３ａをポンプ３１に向けて供給する。
【００２３】
例えば、塗布液３ａは、樹脂基板及び層間絶縁膜等を形成するための液状体を用いる。
本実施形態において、塗布液３ａは、１〜１０Ｐａ・ｓ程度の粘度を有するポリイミドを含む液状体を用いる。一般に、液晶表示装置に用いられるＴＦＴ及び液晶層等を形成するための液状体は、０．０１Ｐａｓ以下の粘度を有する。したがって、ポリイミドを含む液状体は、ＴＦＴ及び液晶層等を形成するための液状体と比較して高い粘度を有する。なお、塗布液３ａとして、ポリイミドを含む液状体以外の液状体、例えばフォトレジスト等の薬液（液体）を用いてもよい。
【００２４】
塗布装置１は、塗布液３ａの供給路（流路）を形成する複数の配管１０１〜１０５を備える。上述の通り、塗布液３ａは、供給源３０から塗布部２に向けて流れる。以下、塗布液３ａが流れる方向において、供給源３０側を「上流側」、塗布部２側を「下流側」ともいう。
【００２５】
＜切替部＞
切替部５は、２つのバルブ５１，５２を備える。２つのバルブ５１，５２は、第一バルブ５１および第二バルブ５２である。
第一バルブ５１は、ポンプ３１への塗布液３ａの供給路を開閉可能とする。
第二バルブ５２は、ポンプ３１から塗布部２への塗布液３ａの供給路を開閉可能とする。
【００２６】
＜除去部＞
除去部６は、塗布液３ａに含まれる異物を除去するためのフィルターを備える。例えば、フィルターは、テフロン（登録商標）により形成されている。
除去部６は、供給源３０と切替部５（第一バルブ５１）との間の流路上（配管１０１と配管１０２との間）に設けられる。
【００２７】
＜塗布液の供給＞
ポンプ３１は、上流側から順に、配管１０１、除去部６、配管１０２、第一バルブ５１及び配管１０３を介して供給源３０に接続されている。
第一バルブ５１の開閉によって、配管１０２側（供給源３０）から配管１０３側（ポンプ３１）への塗布液３ａの供給が開始又は停止される。
【００２８】
塗布部２は、上流側から順に、配管１０４、第二バルブ５２、配管１０５を介してポンプ３１に接続されている。
第二バルブ５２の開閉によって、配管１０４側（ポンプ３１）から配管１０５側（塗布部２）への塗布液３ａの供給が開始又は停止される。
【００２９】
塗布部２のノズル２ａは、ポンプ３１の駆動によって塗布液３ａを吐出可能とされる。
例えば、ポンプ３１の内圧を調整することによって、高粘度の塗布液３ａを用いた場合であっても、塗布部２に向けて塗布液３ａをスムーズに流すことができる。
【００３０】
＜ステージ＞
図１に示すように、ステージ７は、直方体状に形成されている。ステージ７の上面には、矩形状の基板１０が配置されている。ステージ７には、基板１０を搬送するための複数のローラ（不図示）が設けられている。なお、ステージ７には、基板１０を浮上させて搬送する不図示の浮上搬送部が設けられていてもよい。
【００３１】
＜移動装置＞
移動装置８は、一対のレール８１と、門型フレーム８２と、を備える。
一対のレール８１は、第一レール８１ａ及び第二レール８１ｂである。
第一レール８１ａ及び第二レール８１ｂは、ステージ７の長手方向に沿う方向に延びる直方体状をなしている。第一レール８１ａ及び第二レール８１ｂは、ステージ７を挟んで互いに対向するように配置されている。
【００３２】
門型フレーム８２は、基板１０が配置されるステージ７を跨ぐように門型に形成されている。門型フレーム８２は、ステージ７に対して移動可能とされる。
門型フレーム８２は、上下に延びる柱状をなす一対の支柱部８２ａ，８２ｂと、一対の支柱部８２ａ，８２ｂとの間をわたす架橋部８２ｃと、を備える。
【００３３】
一対の支柱部８２ａ，８２ｂは、第一支柱部８２ａ及び第二支柱部８２ｂである。
例えば、第一支柱部８２ａ及び第二支柱部８２ｂの下端部は、それぞれ不図示のスライダを介して第一レール８１ａ及び第二レール８１ｂに取り付けられている。門型フレーム８２は、一対のレール８１ａ，８１ｂの長手方向に沿って図中矢印ｖ方向に移動可能である。
なお、架橋部８２ｃは、一対の支柱部８２ａ，８２ｂに対して上下に昇降可能（図中矢印ｕ方向に移動可能）とされていてもよい。
【００３４】
架橋部８２ｃの中央部には、塗布部２及び供給部３を保持する矩形板状の板部材８３が着脱可能に支持されている。例えば、板部材８３は、不図示のビス等によって架橋部８２ｃに着脱可能に取り付けられている。
【００３５】
塗布部２及び供給部３は、板部材８３を介して門型フレーム８２の架橋部８２ｃに取り付けられている。塗布部２は、不図示の駆動機構の駆動によって、供給部３と共に、一対のレール８１ａ，８１ｂの長手方向に沿って図中矢印ｖ方向に移動可能とされる。
【００３６】
＜ポンプ＞
図３に示すように、ポンプ３１は、ポンプ本体１３０と、シリンダ部１４０と、プランジャ１５０（ピストン）と、を備える。ポンプ３１は、プランジャ方式のポンプである。
【００３７】
ポンプ本体１３０は、シリンダ部１４０に対してボルト（不図示）により固定される筐体１３１と、筐体１３１の内部に配置された可撓性チューブ１３２（可撓性部材）と、可撓性チューブ１３２の内部に配置されたシャフト１３８と、を備える。
【００３８】
筐体１３１は、筒状の筐体本体１３５と、筐体本体１３５の一方側に配置される第一蓋部１３３と、筐体本体１３５の他方側に配置される第二蓋部１３４と、を備える。例えば、筐体１３１は、アルミニウム等の金属部材で形成されている。筐体本体１３５と各蓋部１３４との間には、シール部材１３７が設けられている。
【００３９】
筐体本体１３５は、第一蓋部１３３と第二蓋部１３４の間をわたすように延在している。筐体本体１３５には、シリンダ部１４０の側に開口する本体側開口部１３５ｈが形成されている。本体側開口部１３５ｈは、筒体本体１３５の延在方向において第一蓋部１３３の側の端部に位置している。
【００４０】
第一蓋部１３３には、可撓性チューブ１３２の上流側に連通する流体供給口１３３ｈが形成されている。液体供給口１３３ｈには、上流側の配管１０３が接続されている。例えば、第一バルブ５１（図２参照）を「開」とすることによって、流体供給口１３３ｈを介して、配管１０３側（供給源３０）から可撓性チューブ１３２内への塗布液３ａの供給が可能とされる（供給方向は、図中矢印ｍ方向）。
【００４１】
第二蓋部１３４には、可撓性チューブ１３２の下流側に連通する流体排出口１３４ｈが形成されている。流体排出口１３４ｈには、下流側の配管１０４が接続されている。後述する作動流体１３０ａによって、流体排出口１３４ｈを介して、可撓性チューブ１３２内から配管１０４側（塗布部２）への塗布液３ａの排出が可能とされる（排出方向は、図中矢印ｎ方向）。
【００４２】
可撓性チューブ１３２は、筐体本体１３５の長手方向に沿う筒状をなしている。可撓性チューブ１３２は、筐体１３１の内部に同軸的に配置されている。可撓性チューブ１３２には、塗布液３ａが収容される。例えば、可撓性チューブ１３２の厚みは、１．８ｍｍ程度である。
【００４３】
可撓性チューブ１３２は、径方向に膨張収縮自在の弾性部材で形成されている。可撓性チューブ１３２は、筐体１３１の内部に収容されている。可撓性チューブ１３２と筐体１３１との間には、作動流体１３０ａが流れ込むことで可撓性チューブ１３２を膨張収縮させる隙間１３６（以下「本体側駆動室１３６」ともいう。）が形成されている。
【００４４】
例えば、可撓性チューブ１３２は、樹脂材料やゴム材料等の可撓性材料で形成されている。
なお、可撓性チューブ１３２は、テトラフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）等のフッ素樹脂で形成されていてもよい。フッ素樹脂はフォトレジストと反応しないため、塗布液３ａとしてフォトレジスト等の薬液を用いた場合、塗布液３ａの品質を保つ上で好適である。塗布液３ａとしてフォトレジスト等の薬液を用いた場合、第一蓋部１３３及び第二蓋部１３４も、フッ素樹脂で形成されていることが好ましい。なお、塗布液３ａとしてフォトレジスト等の薬液を用いた場合、第一蓋部１３３のうち少なくとも流体供給口１３３ｈの形成部分および第二蓋部１３４のうち少なくとも流体排出口１３４ｈの形成部分がフッ素樹脂で形成されていればよい。
【００４５】
シャフト１３８は、筐体１３１よりも長く延在している。第一蓋部１３３には、シャフト１３８の一端部を突出させる第一貫通孔１３３ｉが設けられている。第二蓋部１３４には、シャフト１３８の他端部を突出させる第二貫通孔１３４ｉが設けられている。シャフト１３８の両端部には、ナット１３９が螺合可能な雄ネジ部１３８ａが設けられている。
【００４６】
例えば、シャフト１３８を筐体本体１３５内に挿通し、シャフト１３８の一端部を第一蓋部１３３の第一貫通孔１３３ｉから突出させ、かつ、シャフト１３８の他端部を第二蓋部１３４の第二貫通孔１３４ｉから突出させた状態で、シャフト１３８の両端部の雄ネジ部１３８ａにナット１３９を螺着することによって、筐体本体１３５、第一蓋部１３３および第二蓋部１３４を固定することができる。
【００４７】
図４に示すように、シャフト１３８の軸方向（以下単に「軸方向」ともいう。）から見て、シャフト１３８は円形である。図４の軸方向から見て、シャフト１３８は、可撓性チューブ１３２の内部の中央に配置されている。可撓性チューブ１３２の内部には、１本のシャフト１３８が設けられている。
【００４８】
図４の軸方向から見て、可撓性チューブ１３２は、四角形以上の多角形形状である。図４の軸方向から見て、可撓性チューブ１３２は、径方向外方に凸をなして湾曲する４つ角部１３２ａと、隣り合う２つの角部１３２ａ同士をつなぐ直線状をなす４つの辺部１３２ｂとを有する。実施形態において、４つの辺部１３２ｂは互いに同じ長さを有する。すなわち、図４の軸方向から見て、可撓性チューブ１３２は、菱形形状である。言い換えると、図４の軸方向から見て、可撓性チューブ１３２は、角丸を有する菱形である。
【００４９】
図４の軸方向から見て、筐体１３１の内面と可撓性チューブ１３２とは、相似形状をなしている。具体的に、図４の軸方向から見て、筐体本体１３５の内面１３５ａと可撓性チューブ１３２とは、相似形状をなしている。すなわち、図４の軸方向から見て、筐体本体１３５の内面１３５ａは、可撓性チューブ１３２の外形よりも大きい菱形形状である。図４の軸方向から見て、本体側開口部１３５ｈは、筒体本体１３５の幅方向中央部に位置している。ここで、筒体本体１３５の幅方向は、筐体本体１３５の内面１３５ａがなす菱形形状の長軸に平行な方向である。
【００５０】
図３に示すように、シリンダ部１４０は、筐体本体１３５の長手方向に沿うように延びる筒状をなしている。シリンダ部１４０には、シリンダ部１４０の長手方向に延在するシリンダ孔１４０ａが形成されている。シリンダ部１４０には、本体側開口部１３５ｈに連通するようにポンプ本体１３０側に開口するシリンダ側開口部１４０ｈが形成される。
【００５１】
プランジャ１５０は、シリンダ部１４０の長手方向に延在するプランジャ本体１５１と、プランジャ本体１５１のシリンダ部１４０側とは反対側の端部に設けられたガイドブロック１５２と、を備える。
【００５２】
プランジャ本体１５１は、シリンダ部１４０に対して往復移動可能に挿入されている。
ガイドブロック１５２は、プランジャ本体１５１の長手方向と平行に延在するリニアガイドアクチュエータ４１ｂに接続されている。リニアガイドアクチュエータ４１ｂには、複数のギアを内蔵する減速機４１ａを介してモータ４１が接続されている。ガイドブロック１５２は、モータ４１の駆動によって、プランジャ本体１５１と共に、リニアガイドアクチュエータ４１ｂの長手方向に沿って図中矢印ｇ方向に移動可能とされる。このようにして、プランジャ１５０は、シリンダ部１４０に対して往復移動可能とされている。
【００５３】
シリンダ部１４０において、プランジャ本体１５１の先端面１５１ａと、シリンダ孔１４０ａに臨む側壁面１４０ｂとの間には、プランジャ１５０の往復移動によって容積が変動するシリンダ側駆動室１４１が形成されている。シリンダ側駆動室１４１は、シリンダ側開口部１４０ｈ及び本体側開口部１３５ｈを介して本体側駆動室１３６に連通している。
【００５４】
本体側駆動室１３６及びシリンダ側駆動室１４１には、作動流体１３０ａが封入されている。例えば、作動流体１３０ａは、非圧縮性媒体を用いる。各駆動室１３６，１４１の内部の作動流体１３０ａは、各開口部１３５ｈ，１４０ｈを介して流動自在とされている。
【００５５】
＜プランジャ本体（作動流体）の作用＞
プランジャ本体１５１をシリンダ部１４０の側壁面１４０ｂに向けて移動（側壁面１４０ｂへ近接）させると、シリンダ側駆動室１４１は収縮する。シリンダ側駆動室１４１の収縮によって、シリンダ側駆動室１４１内の作動流体１３０ａは、シリンダ側開口部１４０ｈ及び本体側開口部１３５ｈを介して、本体側駆動室１３６内に流入する。すると、可撓性チューブ１３２は、作動流体１３０ａに押圧されて収縮する。これにより、可撓性チューブ１３２内に収容された塗布液３ａは、流体排出口１３４ｈから配管１０４側（塗布部２）へ排出される。すなわち、プランジャ本体１５１は、筐体１３１と可撓性チューブ１３２との間の隙間（本体側駆動室１３６）に作動流体１３０ａを供給して可撓性チューブ１３２から塗布液３ａを排出させる。
【００５６】
一方、プランジャ本体１５１をシリンダ部１４０の側壁面１４０ｂとは反対側に向けて移動（側壁面１４０ｂから離反）させると、シリンダ側駆動室１４１が膨張する。シリンダ側駆動室１４１の膨張によって、本体側駆動室１３６内の作動流体１３０ａは、本体側開口部１３５ｈ及びシリンダ側開口部１４０ｈを介して、シリンダ側駆動室１４１内に流入する。すると、作動流体１３０ａによる可撓性チューブ１３２の押圧が解除される。
【００５７】
このように、シリンダ部１４０に対してプランジャ本体１５１が往復移動すると、各駆動室１３６，１４１内に封入された作動流体１３０ａの移動により本体側駆動室１３６が膨張収縮する。そのため、本体側駆動室１３６の膨張収縮に連動させて第二バルブ５２（図２参照）を開閉することによって、配管１０４等を介して塗布液３ａを塗布部２に供給することができる。
【００５８】
＜シャフトの作用＞
図５は、可撓性チューブ１３２の収縮状態を示す図である。図５は、図４に相当する断面図である。
図５に示すように、可撓性チューブ１３２は、シャフト１３８を軸として収縮している。可撓性チューブ１３２の収縮状態において、辺部１３２ｂは角部１３２ａよりも変形しやすいため、辺部１３２ｂが積極的に変形している。具体的に、作動流体１３０ａが本体側開口部１３５ｈを介して本体側駆動室１３６内に流入すると、辺部は、隣り合う２つの角部１３２ａ同士をつなぐ直線状（図４参照）から、隣り合う２つの角部１３２ａの間で径方向に凸をなす湾曲状へと変形する。
【００５９】
可撓性チューブ１３２の収縮状態において、可撓性チューブ１３２の内面とシャフト１３８の外面とは、離間している。可撓性チューブ１３２の内部において、可撓性チューブ１３２の内面とシャフト１３８の外面との間には、塗布液３ａが介在している。
【００６０】
ここで、図４に示す可撓性チューブ１３２の初期状態（収縮前の状態）における可撓性チューブ１３２の内部容積を１００％とする。例えば、図５に示す可撓性チューブ１３２の収縮状態における可撓性チューブ１３２の内部容積は４０％程度である。
【００６１】
以上のように、本実施形態によれば、可撓性チューブ１３２の内部に配置されたシャフト１３８を含むことで、シャフト１３８を有しない場合と比較して、可撓性チューブ１３２の内部容積が減少するため、高粘度の液体を容易に吐出することができる。加えて、可撓性チューブ１３２がシャフト１３８を軸として膨張収縮するため、可撓性チューブ１３２が座屈することを抑制することができる。
【００６２】
また、シャフト１３８の軸方向から見て、可撓性チューブ１３２は、四角形以上の多角形形状であることで、以下の効果を奏する。シャフト１３８の軸方向から見て可撓性チューブ１３２が角部１３２ａと辺部１３２ｂとを周方向に交互に有する。辺部１３２ｂは角部１３２ａよりも変形しやすいため、辺部１３２ｂを積極的に膨張収縮させることができる。したがって、シャフト１３８の軸方向から見て可撓性チューブ１３２が円形形状である場合と比較して、可撓性チューブ１３２が意図しない方向に変形することを抑制することができる。加えて、可撓性チューブ１３２が複数の角部１３２ａで補強されるため、可撓性チューブ１３２が座屈することをより一層抑制することができる。
【００６３】
また、シャフト１３８の軸方向から見て、可撓性チューブ１３２は、菱形形状であることで、以下の効果を奏する。４つの辺部１３２ｂの長さが互いに相等しいため、各辺部１３２ｂを均等に変形させることができる。したがって、可撓性チューブ１３２を安定して膨張収縮させることができる。
【００６４】
また、シャフト１３８の軸方向から見て、筐体１３１の内面と可撓性チューブ１３２とは、相似形状をなしていることで、以下の効果を奏する。筐体１３１と可撓性チューブ１３２との隙間に供給される作動流体１３０ａが可撓性チューブ１３２の周方向において均等に流れやすくなるため、可撓性チューブ１３２を安定して膨張収縮させることができる。加えて、可撓性チューブ１３２の成形時に、筐体１３１を成形型として活用することができるため好適である。
【００６５】
また、シャフト１３８の軸方向から見て、シャフト１３８は、可撓性チューブ１３２の内部の中央に配置されていることで、以下の効果を奏する。シャフト１３８を介して可撓性チューブ１３２の内部に収容される液体がシャフト１３８の周囲において均等に流れやすくなるため、液体を安定して吐出させることができる。加えて、可撓性チューブ１３２の収縮時に可撓性チューブ１３２の内面がシャフト１３８に接触しにくくなるため、塵埃などの異物が発生することを抑制することができる。
【００６６】
また、シャフト１３８の軸方向から見て、シャフト１３８は円形であることで、以下の効果を奏する。シャフト１３８を介して可撓性チューブ１３２の内部に収容される液体がシャフト１３８の周方向において均等に流れやすくなるため、液体を安定して吐出させることができる。加えて、可撓性チューブ１３２の収縮時に可撓性チューブ１３２の内面がシャフト１３８に接触した場合であっても、シャフト１３８の表面（曲面）で滑りやすい。したがって、シャフト１３８の軸方向から見てシャフト１３８が多角形である場合と比較して、塵埃などの異物が発生することを抑制することができる。
【００６７】
また、シャフト１３８は、筐体１３１よりも長く延在し、筐体１３１は、筒状の筐体本体１３５と、筐体本体１３５の一方側に配置され、シャフト１３８の一端部を突出させる第一貫通孔１３３ｉが設けられた第一蓋部１３３と、筐体本体１３５の他方側に配置され、シャフト１３８の他端部を突出させる第二貫通孔１３４ｉが設けられた第二蓋部１３４と、を備え、シャフト１３８の両端部には、ナット１３９が螺合可能な雄ネジ部１３８ａが設けられていることで、以下の効果を奏する。シャフト１３８の雄ネジ部１３８ａにナット１３９が螺合されることで、筐体本体１３５、第一蓋部１３３および第二蓋部１３４を強固に固定することができる。したがって、筐体本体１３５、第一蓋部１３３および第二蓋部１３４を複数のボルトで固定する必要がないため、部品点数を削減し、組立作業性の向上および低コスト化を図ることができる。
【００６８】
また、塗布装置１は、液体を被塗布物に対して塗布する塗布部２と、上記のポンプ３１と、を含むことで、高粘度の液体を容易に吐出することが可能な塗布装置１を提供することができる。
【００６９】
また、塗布部２が、門型フレーム８２に取り付けられると共に、ポンプ３１によって塗布液３ａを吐出可能なノズル２ａを含むことで、以下の効果を奏する。一般的なレールに沿ってノズル２ａを移動させる場合と比較して、高い剛性を有する門型フレーム８２によってノズル２ａをステージ７に対して移動させることができるため、ノズル２ａの移動を安定して行うことができる。
【００７０】
なお、上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、設計要求等に基づき種々変更可能である。
例えば、上記実施形態においては、塗布部２として、スリット型のノズル２ａを用いたが、これに限らない。例えば、中央滴下型の塗布部を用いてもよいし、インクジェット型の塗布部を用いてもよい。また、基板１０上に配置される液状体を、スキージなどを用いて拡散させて塗布する構成であってもよい。
【００７１】
また、上記実施形態においては、塗布装置１が、基板１０上に塗布液３ａとしてポリイミドを含む液状体を塗布する例を挙げたが、これに限らない。例えば、塗布液３ａとしてレジスト液を用いてもよいし、レジスト液以外の液体を用いてもよい。
【００７２】
また、上記実施形態においては、シャフト１３８の軸方向から見て、可撓性チューブ１３２は、菱形形状である例を挙げたが、これに限らない。例えば、シャフト１３８の軸方向から見て、可撓性チューブ１３２は、菱形以外の多角形形状であってもよい。また、シャフト１３８の軸方向から見て、可撓性チューブ１３２は、円形または楕円形であってもよい。
また、シャフト１３８の軸方向から見て、可撓性チューブ１３２は、星型形状であってもよい。言い換えると、シャフト１３８の軸方向から見て、可撓性チューブ１３２は、径方向内方に窪む３つ以上の凹部を周方向に有していてもよい。すなわち、シャフト１３８の軸方向から見て、可撓性チューブ１３２は、相対的に変形しにくい部分と相対的に変形しやすい部分とを周方向に交互に有していればよい。
【００７３】
また、上記実施形態においては、シャフト１３８の軸方向から見て、筐体１３１の内面と可撓性チューブ１３２とは、相似形状をなしている例を挙げたが、これに限らない。例えば、シャフト１３８の軸方向から見て、筐体１３１の内面と可撓性チューブ１３２とは、互いに異なる形状をなしていてもよい。
【００７４】
また、上記実施形態においては、シャフト１３８の軸方向から見て、シャフト１３８は、可撓性チューブ１３２の内部の中央に配置されている例を挙げたが、これに限らない。例えば、シャフト１３８の軸方向から見て、シャフト１３８は、可撓性チューブ１３２の内部の中央位置からずれた位置に配置されていてもよい。
【００７５】
また、上記実施形態においては、シャフト１３８の軸方向から見て、シャフト１３８は円形である例を挙げたが、これに限らない。例えば、シャフト１３８の軸方向から見て、シャフト１３８は多角形であってもよい。
【００７６】
また、上記実施形態においては、本体側開口部１３５ｈは、筒体本体１３５の延在方向において第一蓋部１３３の側の端部に位置している例（図３参照）を挙げたが、これに限らない。
図６は、実施形態の第一変形例に係るポンプ２３１の概略構成図である。
例えば、図６に示すように、本体側開口部１３５ｈは、筒体本体１３５の延在方向中央部に位置していてもよい。
【００７７】
また、上記実施形態においては、図４の軸方向から見て、本体側開口部１３５ｈは、筒体本体１３５の幅方向中央部に位置している例を挙げたが、これに限らない。
図７は、実施形態の第二変形例に係るポンプ本体３３０の図４に相当する断面を含む図である。
例えば、図７の軸方向から見て、本体側開口部１３５ｈは、筒体本体１３５の幅方向の第一端部に位置していてもよい。
図８は、実施形態の第三変形例に係るポンプ本体４３０の図４に相当する断面を含む図である。
例えば、図８の軸方向から見て、本体側開口部１３５ｈは、筒体本体１３５の幅方向において第一端部とは反対側の第二端部に位置していてもよい。
【００７８】
なお、上記において実施形態又はその変形例として記載した各構成要素は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜組み合わせることができるし、また、組み合わされた複数の構成要素のうち一部の構成要素を適宜用いないようにすることもできる。
【符号の説明】
【００７９】
１…塗布装置  ２…塗布部  ３ａ…塗布液（液体）、１０…基板（被塗布物）  ３１，２３１…ポンプ  １３０ａ…作動流体  １３１…筐体  １３２…可撓性チューブ（可撓性部材）  １３３…第一蓋部  １３３ｉ…第一貫通孔  １３４…第二蓋部  １３４ｉ…第二貫通孔  １３５…筐体本体  １３５ａ…筐体本体の内面（筐体の内面）  １３８…シャフト  １３８ａ…雄ネジ部  １３９…ナット  １４０…シリンダ部  １５０…プランジャ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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