(57)【要約】【課題】異なる品種の粘着テープの切り換えを可能にして粘着テープを有効に利用できるようにする。【解決手段】テープ貼着装置１は、テープセット３，３Ａをテーブル１０まで導く第１のローラユニット３０と、テープセット３，３Ａから粘着テープ４を剥離しリングフレームＦとウェーハＷとに貼着させる貼着手段５０と、保護フィルム５を巻き取り廃棄する廃棄手段６０と、保護フィルム５を廃棄手段６０まで導く第２のローラユニット７０と、ロールテープ２，２Ａのいずれかを選択してテープセット３，３Ａを引き出しテーブル１０に位置づける位置づけ手段４０と、テープセット３，３Ａの端部を挟持して廃棄手段６０まで導くテープセット導き手段８０と、保護フィルム５を切断する切断手段９０とを備えたため、連結用テープを用いずに異なる品種のテープセット３，３Ａに容易に切り換えでき、粘着テープ４を有効に利用できる。【選択図】図１
2019110189.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口を有するリングフレームを支持するとともに該開口に位置づけられたウェーハを支持するテーブルを備え、該テーブルに支持されたリングフレームとウェーハとに粘着テープを貼着して一体化させるテープ貼着装置であって、
予め該リングフレームに対応して成形された複数の該粘着テープが間隔を設けて帯状の保護フィルムに配設したテープセットをロール状にしたロールテープを回転可能に支持するロールテープ支持部と、
該ロールテープ支持部が２つ以上配設されたロールテープ支持手段と、
該ロールテープから引き出した該テープセットを該ロールテープ支持手段から該テーブルまで導く第１のローラユニットと、
該テーブルまで導かれた該テープセットから該粘着テープを剥離し該テーブルが支持する該リングフレームとウェーハとに該粘着テープを貼着させる貼着手段と、
該粘着テープが剥離された該保護フィルムを巻き取り廃棄する廃棄手段と、
該粘着テープが剥離された該保護フィルムを該テーブルから該廃棄手段まで導く第２のローラユニットと、
該ロールテープ支持手段と該第１のローラユニットとの間に配設され、２つ以上の該ロールテープ支持部に支持された該ロールテープのいずれかを選択して該テープセットの端部を把持して引き出し該テーブルに位置づける位置づけ手段と、
該位置づけ手段が位置づけた該テープセットの端部を把持して該第２のローラユニットを通して該廃棄手段まで導くテープセット導き手段と、
該テーブルと該廃棄手段との間に配設され該粘着テープが剥離された該保護フィルムを切断する切断手段と、を少なくとも備え、
新たに選択された該テープセットを該位置づけ手段によって該ロールテープ支持手段から引き出す際に、該切断手段によって現在使用されている該テープセットの該保護フィルムを切断し該廃棄手段が巻き取って廃棄するとともに、現在使用している該ロールテープ支持部を作動させ該テープセットを巻き取るテープ貼着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハに粘着性のテープを貼着するテープ貼着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェーハなどの被加工物を分割する場合は、例えばテープ貼着装置（テープマウンタ）において、開口部を有するリングフレームに粘着テープを貼着し、該開口部から露出した粘着テープにウェーハを貼着することにより、リングフレームとウェーハとを一体化させており、ウェーハの分割時におけるチップの分散を防止している。テープ貼着装置においては、ウェーハを分割する加工条件によって異なる品種の粘着テープを使用することがある。
【０００３】
通常、粘着テープは、基材と粘着剤層との２層構造となっている。粘着テープの材質としては、例えば、硬い基材を有するテープ、弾力性がある基材を有するテープ、熱収縮する基材を有するテープなど基材が異なる場合のほか、例えば、紫外線で硬化する粘着剤層を有するテープ、粘着剤層が厚いテープなど粘着剤層が異なる場合がある。また、粘着テープは、粘着剤層にゴミが付着するのを防止するため、粘着剤層に保護フィルムが貼られて、筒芯にロール状に巻かれてロールテープの形態となっている。例えば、ロールテープの筒芯内に支持棒を進入させてロールテープを回転自在に支持したテープ貼着装置がある（例えば、下記の特許文献１及び２を参照）。このテープ貼着装置では、ロールテープの外側から保護フィルムとともに粘着テープを引き出し複数のローラを通過させて、保護フィルムから粘着テープを剥がしてリングフレームとウェーハとに粘着テープを貼着することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−２７１７１号公報
【特許文献２】特開２０１６−００８１０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のようなテープ貼着装置において、粘着テープの品種を切り換えるときは、別の品種の粘着テープを複数のローラに通過させなければならず、テープの品種を切り換える前の粘着テープの末端と、これから切り換える新たな粘着テープの先端とを連結するための連結用のテープを必要としている。
【０００６】
本発明の目的は、テープ貼着装置において、連結用のテープを使用せずに異なる品種の粘着テープの切り換えを可能にして粘着テープを有効利用できるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、開口を有するリングフレームを支持するとともに該開口に位置づけられたウェーハを支持するテーブルを備え、該テーブルに支持されたリングフレームとウェーハとに粘着テープを貼着して一体化させるテープ貼着装置であって、予め該リングフレームに対応して成形された複数の該粘着テープが間隔を設けて帯状の保護フィルムに配設したテープセットをロール状にしたロールテープを回転可能に支持するロールテープ支持部と、該ロールテープ支持部が２つ以上配設されたロールテープ支持手段と、該ロールテープから引き出した該テープセットを該ロールテープ支持手段から該テーブルまで導く第１のローラユニットと、該テーブルまで導かれた該テープセットから該粘着テープを剥離し該テーブルが支持する該リングフレームとウェーハとに該粘着テープを貼着させる貼着手段と、該粘着テープが剥離された該保護フィルムを巻き取り廃棄する廃棄手段と、該粘着テープが剥離された該保護フィルムを該テーブルから該廃棄手段まで導く第２のローラユニットと、該ロールテープ支持手段と該第１のローラユニットとの間に配設され、２つ以上の該ロールテープ支持部に支持された該ロールテープのいずれかを選択して該テープセットの端部を把持して引き出し該テーブルに位置づける位置づけ手段と、該位置づけ手段が位置づけた該テープセットの端部を把持して該第２のローラユニットを通して該廃棄手段まで導くテープセット導き手段と、該テーブルと該廃棄手段との間に配設され該粘着テープが剥離された該保護フィルムを切断する切断手段と、を少なくとも備え、新たに選択された該テープセットを該位置づけ手段によって該ロールテープ支持手段から引き出す際に、該切断手段によって現在使用されている該テープセットの該保護フィルムを切断し該廃棄手段が巻き取って廃棄するとともに、現在使用している該ロールテープ支持部を作動させ該テープセットを巻き取ることができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係るテープ貼着装置は、テープセットをロール状にしたロールテープを回転可能に支持するロールテープ支持部と、ロールテープ支持部を２つ以上配設したロールテープ支持手段と、ロールテープから引き出したテープセットをロールテープ支持手段からテーブルまで導く第１のローラユニットと、テーブルまで導かれたテープセットから粘着テープを剥離しテーブルが支持するリングフレームとウェーハとに粘着テープを貼着させる貼着手段と、粘着テープが剥離された保護フィルムを巻き取り廃棄する廃棄手段と、粘着テープが剥離された保護フィルムをテーブルから廃棄手段まで導く第２のローラユニットと、ロールテープのいずれかを選択してテープセットの端部を把持して引き出しテーブルに位置づける位置づけ手段と、位置づけ手段が位置づけたテープセットの端部を把持して第２のローラユニットを通して廃棄手段まで導くテープセット導き手段と、テーブルと廃棄手段との間に配設され粘着テープが剥離された保護フィルムを切断する切断手段とを少なくとも備え、新たに選択されたテープセットを位置づけ手段によってロールテープ支持手段から引き出す際には、切断手段によって現在使用されているテープセットの保護フィルムを切断し廃棄手段が巻き取って廃棄するとともに、現在使用しているロールテープ支持部を作動させテープセットを巻き取るように構成したため、位置づけ手段によって引き出すテープセットを異なる品種のテープセットへ容易に切り換えることができ、連結用テープで使用中のテープセットの切れ端と新たに使用しようとするテープセットの先端とを連結する必要がない。したがって、連結用テープを使用せずに、所望のテープセットを選択してリングフレームとウェーハとに粘着テープを貼着することができる。
また、本発明によれば、切断された残りのテープセットをロールテープ支持部で巻き取るため、テープセットを無駄にすることなく、有効に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】テープ貼着装置の構成を示す断面図である。
【図２】ロールテープ支持部にロール状に巻かれたテープセットの構成を示す斜視図である。
【図３】位置づけ手段がテープセットの端部を挟持したまま第１のローラユニット側までスライド移動した状態を示す断面図である。
【図４】テープセットの端部を挟持した位置づけ手段が開放位置に位置づけられた状態を示す断面図である。
【図５】テープセット導き手段が開放位置においてテープセットの端部を挟持する状態を示す断面図である。
【図６】テープセット導き手段がテープセットの端部を挟持したまま廃棄手段までスライド移動した状態を示す断面図である。
【図７】第１のローラユニット及び第２のローラユニットでテープセットを挟む状態を示す断面図である。
【図８】ピールプレートによって保護フィルムから粘着テープを剥離し、貼着ローラによって粘着テープをリングフレーム及びウェーハに貼着する状態を示す断面図である。
【図９】リングフレーム及びウェーハに粘着テープが貼着された状態を示すとともに、廃棄手段によって保護フィルムを巻き取る状態を示す断面図である。
【図１０】切断手段によって粘着テープが剥離された保護フィルムを切断する状態を示す断面図である。
【図１１】新たに選択されたテープセットを位置づけ手段で挟持して引き出す際に、切断された保護フィルムを廃棄手段で巻き取って廃棄するとともに、現在使用しているテープセットをロールテープ支持部で巻き取る状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１に示すテープ貼着装置１は、開口を有するリングフレームＦと被加工物の一例であるウェーハＷとに粘着テープを貼着して一体化させるテープ貼着装置である。テープ貼着装置１は、リングフレームＦを支持するとともに開口に位置づけられたウェーハＷを支持するテーブル１０と、テーブル１０を水平方向（Ｘ軸方向）に移動させるテーブル移動手段１３とを備えている。
【００１１】
テーブル１０の周囲には、リングフレームＦを支持するフレーム支持部１１が配設されている。テーブル１０及びフレーム支持部１１は、支持台１２によって下方から支持されている。テーブル移動手段１３は、Ｘ軸方向に延在するベース１４と、ベース１４に沿ってＸ軸方向に移動可能な移動基台１５とを備えている。移動基台１５には支持台１２が配設されており、移動基台１５がＸ軸方向に移動することにより、支持台１２を介してテーブル１０及びフレーム支持部１１をＸ軸方向に移動させることができる。
【００１２】
テープ貼着装置１は、テープセット３，３Ａをロール状にしたロールテープ２，２Ａを回転可能に支持するロールテープ支持部２０，２０Ａと、ロールテープ支持部２０，２０Ａが２つ以上配設されたロールテープ支持手段２１，２１Ａと、ロールテープ２，２Ａから引き出したテープセット３，３Ａをロールテープ支持手段２１，２１Ａからテーブル１０まで導く第１のローラユニット３０と、テーブル１０まで導かれたテープセット３，３Ａから図２に示す粘着テープ４を剥離しテーブル１０が支持するリングフレームＦとウェーハＷとに粘着テープ４を貼着させる貼着手段５０と、粘着テープ４が剥離された保護フィルム５を巻き取り廃棄する廃棄手段６０と、粘着テープ４が剥離された保護フィルム５をテーブル１０から廃棄手段６０まで導く第２のローラユニット７０と、ロールテープ支持手段２１，２１Ａと第１のローラユニット３０との間に配設され、ロールテープ支持部２０，２０Ａに支持されたロールテープ２，２Ａのいずれかを選択してテープセット３，３Ａの端部を把持して引き出しテーブル１０に位置づける位置づけ手段４０と、位置づけ手段４０が位置づけたテープセット３，３Ａの端部を把持して第２のローラユニット７０を通して廃棄手段６０まで導くテープセット導き手段８０と、テーブル１０と廃棄手段６０との間に配設され粘着テープ４を剥離した保護フィルム５を切断する切断手段９０とを少なくとも備えている。
【００１３】
図２に示すように、テープセット３は、帯状の粘着テープ４と、帯状の保護フィルム５とが貼り合わせられた構造となっている。粘着テープ４は、基材４ａと粘着剤層４ｂとからなり、粘着剤層４ｂ側に保護フィルム５が貼着されている。本実施形態に示すテープセット３は、予め図１に示したリングフレームＦに対応して成形された複数の粘着テープ４が間隔を設けて保護フィルム５に配設された構成となっている。図示の例の粘着テープ４は、貼着対象となるリングフレームＦの径に応じて円形状にプリカットされており、保護フィルム５にプリカットされた粘着テープ４が例えば等間隔をあけて複数配設されている。粘着テープ４及び保護フィルム５は、特に材質などが限定されない。本実施形態に示すテープセット３Ａについては、テープセット３と異なる品種であるものとする。つまり、テープセット３Ａは、テープセット３の粘着テープ４と材料や厚みが異なる粘着テープに保護フィルム５が貼着されたものである。
【００１４】
ロールテープ支持部２０は、例えば筒芯により構成されている。このロールテープ支持部２０にテープセット３がロール状に巻かれてロールテープ２となっている。ロールテープ支持部２０の筒芯内には、図示していないがロールテープ支持部２０を回転可能に支持する支持棒が挿入されている。支持棒には、ロールテープ支持部２０を正転・逆転させる図１に示す回転手段２２が接続されている。回転手段２２は、例えばサーボモータにより構成されている。ロールテープ支持部２０Ａについてもロールテープ支持部２０と同様の構成であり、ロールテープ支持部２０Ａにテープセット３Ａがロール状に巻かれてロールテープ２Ａとなっている。位置づけ手段４０によりテープセット３，３Ａをロールテープ２，２Ａから引き出すときは、回転手段２２によりロールテープ支持部２０，２０Ａを正転方向（例えば時計回り方向）に回転させる。一方、切断手段９０によって保護フィルム５を切断した後、残りのテープセット３，３Ａをロールテープ支持部２０，２０Ａで巻き取るときは、回転手段２２によりロールテープ支持部２０，２０Ａを逆転方向（例えば反時計回り方向）に回転させる。
【００１５】
ロールテープ支持手段２１は、ロールテープ２が収容される枠体２１０を有している。枠体２１０の底壁には、テープセット３を通過させるための開口２１１が形成されている。開口２１１の端部には、テープセット３の先端を検出する先端検出部２４が配設されている。開口２１１の直下には、一対のガイドローラ２５が配設されており、テープセット３を下方にガイドすることができる。ロールテープ支持手段２１Ａについてもロールテープ支持手段２１と同様の構成である。図示の例では、ロールテープ支持手段２１Ａ側のガイドローラ２５の近傍に第１のローラユニット３０に向けてテープセット３，３Ａをガイドするガイドローラ２６が配設されている。なお、枠体２１０の手前側（Ｙ軸方向手前側）には、開閉可能な蓋が配設されている。
【００１６】
ロールテープ支持部２０には、使用するテープセット３の品種情報をコード化した２次元コード２３を備えている。２次元コード２３と対向する位置で上記した蓋の背面（ロールテープ支持部２０側の面）に２次元コード２３を読み取るカメラを備えている。ロールテープ支持部２０でロールテープ２を支持させて蓋を閉じると、カメラによって２次元コード２３を読み取り、ロールテープ支持部２０に支持されたテープセット３の品種を識別することができる。ロールテープ支持部２０Ａについてもテープセット３Ａの品種情報をコード化した２次元コード２３Ａを備えている。なお、２次元コード２３，２３Ａの配設位置は、本実施形態に示した位置に限定されず、任意である。
【００１７】
位置づけ手段４０は、支持部材４１の一端に支持された第１の挟持部４２と、支持部材４１の他端に接続された回転機構４３と、第１の挟持部４２を水平方向（Ｘ軸方向）に移動させるスライド機構４４とを備えている。第１の挟持部４２では、テープセット３，３Ａの端部の両端を挟持することが可能となっている。
【００１８】
回転機構４３は、時計回り及び反時計回りに回転可能となっており、ロールテープ２から引き出されたテープセット３を挟持する第１の挟持位置Ｐ１と、ロールテープ２Ａから引き出されたテープセット３Ａを挟持する第２の挟持位置Ｐ２と、第１の挟持部４２がテープセット３，３Ａを開放する開放位置Ｐ３（図４を参照）とに位置づけることができる。第１の挟持位置Ｐ１及び第２の挟持位置Ｐ２は、第１の挟持部４２が、ロールテープ２，２Ａから引き出され一対のガイドローラ２５によってガイドされたテープセット３，３Ａを挟持できる位置を指す。開放位置Ｐ３は、第１の挟持部４２によって挟持されたテープセット３，３Ａをテープセット導き手段８０に引き渡すことができる位置を指す。
【００１９】
スライド機構４４は、Ｘ軸方向に延在するベース４５と、ベース４５においてＸ軸方向にスライド移動可能なスライダ４６とにより構成されている。スライダ４６は、回転機構４３を介して第１の挟持部４２を支持している。そして、スライダ４６がベース４５においてＸ軸方向にスライド移動することにより、回転機構４３とともに第１の挟持部４２をＸ軸方向にスライド移動させることができる。
【００２０】
第１のローラユニット３０は、少なくとも駆動ローラ３１と、２つの従動ローラ３２と、駆動ローラ３１と従動ローラ３２とを相対的に接近及び離間させる移動機構３３とにより構成されている。移動機構３３は、Ｘ軸方向に延在するガイドレール３４と、ガイドレール３４において水平に移動可能な移動部３５とにより構成されている。移動部３５は、その先端部において２つの従動ローラ３２を支持している。移動部３５がガイドレール３４に沿って移動することにより、駆動ローラ３１と従動ローラ３２とを相対的に接近及び離間させることができる。
【００２１】
貼着手段５０は、リングフレームＦ及びウェーハＷに対して図２に示す粘着テープ４を押し付けて貼着する貼着ローラ５１と、第１のローラユニット３０を通って送り出された保護フィルム５から粘着テープ４を剥離するピールプレート５３とを備えている。貼着ローラ５１は、テーブル１０の上方側に配設され軸部を中心として回転可能となっている。貼着ローラ５１には、貼着ローラ押付手段５２が接続され、貼着ローラ押付手段５２によってテーブル１０に接近及び離間するＺ軸方向に昇降可能となっている。貼着ローラ５１は、ピールプレート５３により保護フィルム５から剥離された粘着テープ４を、テーブル１０に保持されるウェーハＷとフレーム支持部１１に支持されるリングフレームＦとに対して押し付けて貼着することができる。
【００２２】
ピールプレート５３は、貼着ローラ５１に向けて先端側を傾けたアーム部５４と、アーム部５４の先端に接続された押圧部５５とにより構成されている。押圧部５５は、アーム部５４に沿って往復移動可能となっており、押圧部５５でテープセット３のうち保護フィルム５を押圧して鋭角に形成することにより、保護フィルム５から粘着テープ４を剥離することができる。
【００２３】
廃棄手段６０は、保護フィルム５の端部の両端を挟持するとともにロール状に巻き取る巻き取り部６１と、巻き取り部６１を回転させるモータ６２と、巻き取り部６１の下方に配設されロール状に巻かれた保護フィルム５を廃棄するための廃棄ボックス６３とを備えている。
【００２４】
第２のローラユニット７０は、テープセット導き手段８０の移動経路（Ｘ軸方向）上に配設されており、第１のローラユニット３０と同様の構成となっている。すなわち、第２のローラユニット７０は、少なくとも駆動ローラ７１と、２つの従動ローラ７２と、駆動ローラ７１と従動ローラ７２とを相対的に接近及び離間させる移動機構７３とにより構成されている。移動機構７３は、Ｚ軸方向に延在するガイドレール７４と、ガイドレール７４において水平に移動可能な移動部７５とにより構成されている。移動部７５は、その先端部において２つの従動ローラ７２を支持している。移動部７５がガイドレール７４に沿って移動することにより、駆動ローラ７１と従動ローラ７２とを相対的に接近及び離間させることができる。
【００２５】
テープセット導き手段８０は、支持部材８１の一端に支持された第２の挟持部８２と、支持部材８１の他端に接続され第２の挟持部８２を水平方向（Ｘ軸方向）にスライド移動させるスライド機構８５とを備えている。第２の挟持部８２の上端には、第２のローラユニット７０によりガイドされた保護フィルム５が載置される載置台８３が装着されている。載置台８３には、テープカッターの刃先を逃がすための逃げ溝８４が形成されている。第２の挟持部８２は、第１の挟持部４２が挟持するテープセット３の端部の両端を引き継いで挟持することができる。
【００２６】
スライド機構８５は、Ｘ軸方向に延在するベース８６と、ベース８６においてＸ軸方向に移動可能なスライダ８７とにより構成されている。スライダ８７には、第２の挟持部８２が接続されている。スライダ８７が、ベース８６においてＸ軸方向に一直線に水平にスライド移動することにより、支持部材８１及び第２の挟持部８２を同方向にスライド移動させることができる。
【００２７】
切断手段９０は、第２の挟持部８２の載置台８３に載置された保護フィルム５を切断するテープカッター９１と、テープカッター９１をＺ軸方向に昇降させる昇降機構９２と、載置台８３に載置された保護フィルム５を押さえる押さえ部９３とを備えている。図示してないが、テープ貼着装置１は、テープ貼着装置１の各種機構を制御する制御部を備えている。制御部は、例えば、ロールテープ２，２Ａのうち、いずれか一方を選択してテープセット３またはテープセット３Ａを引き出すように位置づけ手段４０を制御することができる。
【００２８】
次に、テープ貼着装置１の動作例について説明する。ウェーハＷは、円形板状の被加工物の一例であって、特に材質や大きさが限定されるものではない。ウェーハＷをテーブル１０に載置するとともに、リングフレームＦをフレーム支持部１１に載置する。続いて、図示しない吸引源が作動し、テーブル１０の保持面でウェーハＷを吸引保持する。
【００２９】
位置づけ手段４０は、例えば、ロールテープ支持部２０に支持されたロールテープ２を選択して、ロールテープ２からテープセット３を引き出す。具体的には、回転手段２２により、ロールテープ支持部２０を正転方向（例えば時計回り方向）に回転させながら、ロールテープ２からテープセット３を一対のガイドローラ２５の間に通し、ガイドローラ２５によって下方に送り出す。通常、ロールテープ２の最も外周に位置するテープセット３の端部側は、保護フィルム５のみが露出している。そのため、ロールテープ２からテープセット３を引き出す場合、回転機構４３によって第１の挟持位置Ｐ１に第１の挟持部４２を位置づけ、ガイドローラ２５によって送り出されてくるテープセット３の端部、すなわち、保護フィルム５の端部の両端を第１の挟持部４２によって挟持する。
【００３０】
図３に示すように、スライド機構４４によって、スライダ４６とともに第１の挟持部４２をベース４５の端部（図示の例では右方側の端部）に至るまで例えば＋Ｘ方向にスライド移動させる。これにともない、保護フィルム５を挟持した第１の挟持部４２によってロールテープ２からテープセット３を引き出すとともに、第１の挟持部４２を第１のローラユニット３０側に位置づける。
【００３１】
図４に示すように、回転機構４３が例えば時計回り方向に回転することにより、第１の挟持部４２で挟持している保護フィルム５を、ガイドローラ２６に引っ掛けるとともに駆動ローラ３１と従動ローラ３２との間を通して駆動ローラ３１に引っ掛け、第１の挟持部４２を開放位置Ｐ３に移動させる。
【００３２】
次いで、図５に示すように、テープセット導き手段８０は、開放位置Ｐ３で保護フィルム５を挟持する。具体的には、スライド機構８５によって、スライダ８７をベース８６に沿って例えば＋Ｘ方向にスライド移動させ、第２の挟持部８２を開放位置Ｐ３に移動させる。第１の挟持部４２が開放位置Ｐ３で保護フィルム５を開放したら、第２の挟持部８２により保護フィルム５の端部の両端を引き継いで挟持する。
【００３３】
図６に示すように、スライド機構８５によって、スライダ８７をベース８６に沿って例えば−Ｘ方向にスライド移動させる。これにより、第２の挟持部８２で挟持している保護フィルム５を同方向に引っ張り、第２のローラユニット７０の駆動ローラ７１と従動ローラ７２との間を通過させ、保護フィルム５を廃棄手段６０まで導く。そして、廃棄手段６０の巻き取り部６１が保護フィルム５の端部の両端を挟持する。
【００３４】
図７に示すように、第１のローラユニット３０の移動機構３３が作動することにより、移動部３５がガイドレール３４に沿って例えば−Ｘ方向に移動し、２つの従動ローラ３２を駆動ローラ３１に接近させ、２つの従動ローラ３２をテープセット３に接触させて駆動ローラ３１と２つの従動ローラ３２とによってテープセット３を挟み込む。また、第２のローラユニット７０の移動機構７３が作動することにより、移動部７５がガイドレール７４に沿って例えば＋Ｚ方向に移動し、２つの従動ローラ７２を駆動ローラ７１に接近させ、２つの従動ローラ７２を保護フィルム５に接触させて駆動ローラ７１と２つの従動ローラ７２とによって保護フィルム５を挟み込む。
【００３５】
次いで、図８に示すように、ピールプレート５３は、テープセット３のうち保護フィルム５を押圧部５５で下方に向けて押圧して保護フィルム５を鋭角に形成する。そうすると、保護フィルム５から粘着テープ４が剥離し、貼着ローラ５１の下方に粘着テープ４が送り込まれる。このとき、ウェーハＷを保持したテーブル１０及びリングフレームＦを支持したフレーム支持部１１をテープセット３の下方側にあらかじめ移動させておく。
【００３６】
貼着ローラ５１を所定の回転速度で回転させながら、貼着ローラ押付手段５２により例えば−Ｚ方向に貼着ローラ５１を下降させることで、フレーム支持部１１に支持されたリングフレームＦの一方側から粘着テープ４を押し付ける。テーブル移動手段１３によってテーブル１０及びフレーム支持部１１を例えば＋Ｘ方向に送り出していき、回転する貼着ローラ５１でウェーハＷ及びリングフレームＦに対して粘着テープ４を押し付ける。このとき、第１のローラユニット３０は、駆動ローラ３１を所定の回転速度で回転させつつ、２つの従動ローラ３２も駆動ローラ３１の回転にともなって回転させ、テープセット３をテーブル１０に向けて下方に導く。また、第２のローラユニット７０は、駆動ローラ７１を所定の回転速度で回転させつつ、２つの従動ローラ７２も駆動ローラ７１の駆動にともなって回転させ、ピールプレート５３により粘着テープ４が剥離された保護フィルム５をテーブル１０から廃棄手段６０まで導く。
【００３７】
貼着ローラ５１で粘着テープ４を押し付けながら、図９に示すように、テーブル１０及びフレーム支持部１１を所定の位置に至るまで＋Ｘ方向に移動させると、ウェーハＷとリングフレームＦとに粘着テープ４を貼着することができる。粘着テープ４が剥離された保護フィルム５は、モータ６２により回転する巻き取り部６１の外周においてロール状に巻き取られていき、保護フィルムロール５Ａとして形成される。粘着テープ４を介してリングフレームＦと一体となったウェーハＷは、図示しない搬送手段によって例えばダイシング装置等に移送されてダイシング等が行われる。このようにして１枚のウェーハＷに対する粘着テープ４の貼着動作が完了したら、順次新たなウェーハＷをテーブル１０に搬送するとともにリングフレームＦをフレーム支持部１１に搬送して、上記と同様、粘着テープ４の貼着動作と、粘着テープ４から剥離された保護フィルム５の巻き取り動作とを繰り返し行う。
【００３８】
ロールテープ２からテープセット３を継続して引き出すことにより、図１０に示すように、ロールテープ支持手段２１に支持されているロールテープ２が縮径していく。ここで、テープ貼着装置１では、例えばテープセット３の品種を変更する場合、制御手段が位置づけ手段４０を制御することによって新たなテープセット３Ａを選択して、ロールテープ支持手段２１Ａから引き出す。この際には、切断手段９０により現在使用しているテープセット３の保護フィルム５を切断するとともに、切断された保護フィルム５を廃棄手段６０で巻き取って廃棄する。テープセット３からテープセット３Ａに切り換えて引き出す場合、切断手段９０の下方に、テープセット導き手段８０の載置台８３を予め位置づけておく。
【００３９】
切断手段９０は、昇降機構９２によって押さえ部９３及びテープカッター９１を例えば−Ｚ方向に下降させ、押さえ部９３で載置台８３に向けて保護フィルム５を上方から押さえるとともに、テープカッター９１の刃先を逃げ溝８４に至るまで切り込ませて保護フィルム５を完全に切断する。切断された保護フィルム５は、巻き取り部６１によって、さらに巻き取られていき、保護フィルムロール５Ａが大径化していく。
【００４０】
その後、図１１に示すように、切断手段９０が＋Ｚ方向に上昇して、載置台８３から離反する方向に退避するとともに、廃棄ボックス６３に保護フィルムロール５Ａが廃棄される。このとき、回転手段２２が、現在使用しているロールテープ支持部２０を逆転方向（例えば反時計回り方向）に回転させることにより、切断された残りのテープセット３をロールテープ支持部２０に巻き取らせる。つまり、テーブル１０側へ引き出されていたテープセット３は、第１のローラユニット３０、一対のガイドローラ２５及び枠体２１０の開口２１１を通過してロールテープ支持部２０に巻き取られていく。そして、先端検出部２４で保護フィルム５を検出したら、ロールテープ支持部２０の回転を停止させるとよい。
【００４１】
位置づけ手段４０によってロールテープ２Ａからテープセット３Ａを引き出す動作については、上記したロールテープ２からテープセット３を引き出す動作と同様である。すなわち、回転機構４３によって第２の挟持位置Ｐ２に第１の挟持部４２を位置づけ、ガイドローラ２５により送り出されてくるテープセット３Ａの端部、すなわち、保護フィルム５の端部の両端を第１の挟持部４２によって挟持し、上記同様に引き出せばよい。そして、新たなに引き出されたテープセット３Ａについても、粘着テープ４の貼着動作と粘着テープ４から剥離された保護フィルム５の巻き取り動作とを繰り返し行う。
【００４２】
以上のとおり、本発明に係るテープ貼着装置１は、テープセット３，３Ａをロール状にしたロールテープ２，２Ａを回転可能に支持するロールテープ支持部２０，２０Ａと、ロールテープ支持部２０，２０Ａが２つ以上配設されたロールテープ支持手段２１，２１Ａと、ロールテープ２，２Ａから引き出したテープセット３，３Ａをロールテープ支持手段２１，２１Ａからテーブル１０まで導く第１のローラユニット３０と、テーブル１０まで導かれたテープセット３，３Ａから粘着テープ４を剥離しテーブル１０が支持するリングフレームＦとウェーハＷとに粘着テープ４を貼着させる貼着手段５０と、粘着テープ４が剥離された保護フィルム５を巻き取り廃棄する廃棄手段６０と、粘着テープ４が剥離された保護フィルム５をテーブル１０から廃棄手段６０まで導く第２のローラユニット７０と、ロールテープ２，２Ａのいずれかを選択してテープセット３，３Ａの端部を把持して引き出しテーブル１０に位置づける位置づけ手段４０と、位置づけ手段４０が位置づけたテープセット３，３Ａの端部を把持して第２のローラユニット７０を通して廃棄手段６０まで導くテープセット導き手段８０と、テーブル１０と廃棄手段６０との間に配設され粘着テープ４が剥離された保護フィルム５を切断する切断手段９０とを少なくとも備え、新たに選択されたテープセット３，３Ａを位置づけ手段４０によってロールテープ支持手段２１，２１Ａから引き出す際には、切断手段９０によって現在使用されているテープセット３，３Ａの保護フィルム５を切断し廃棄手段６０が巻き取って廃棄するとともに、現在使用しているロールテープ支持部２０，２０Ａを作動させテープセット３，３Ａを巻き取るように構成したため、位置づけ手段４０によって引き出すテープセットを、例えばテープセット３から異なる品種のテープセット３Ａへ容易に切り換えることができ、連結用テープでテープセット３の切れ端とテープセット３Ａの先端とを連結する必要がない。したがって、連結用テープを使用せずに、所望のテープセット３，３Ａを選択してリングフレームＦとウェーハＷとに粘着テープ４を貼着することができる。
また、本発明によれば、切断された残りのテープセット３，３Ａをロールテープ支持部２０，２０Ａで巻き取ることから、テープセット３，３Ａを無駄にせず、有効に利用することができる。
【符号の説明】
【００４３】
１：テープ貼着装置  ２，２Ａ：ロールテープ  ３，３Ａ：テープセット
４：粘着テープ  ４ａ：基材  ４ｂ：粘着剤層  ５：保護フィルム
１０：テーブル  １１：フレーム支持部  １２：支持台  １３：テーブル移動手段
１４：ベース  １５：移動基台
２０，２０Ａ：ロールテープ支持部  ２１，２１Ａ：ロールテープ支持手段
２１０：枠体  ２１１：開口  ２２：回転手段  ２３：２次元コード
２４：先端検出部  ２５：ガイドローラ  ２６：ガイドローラ
３０：第１のローラユニット  ３１：駆動ローラ  ３２：従動ローラ  ３３：移動機構
３４：ガイドレール  ３５：移動部
４０：位置づけ手段  ４１：支持部材  ４２：第１の挟持部  ４３：回転機構
４４：スライド機構  ４５：ベース  ４６：スライダ
５０：貼着手段  ５１：貼着ローラ  ５２：貼着ローラ押付手段
５３：ピールプレート  ５４：アーム部  ５５：押圧部
６０：廃棄手段  ６１：巻き取り部  ６２：モータ  ６３：廃棄ボックス
７０：第２のローラユニット  ７１：駆動ローラ  ７２：従動ローラ  ７３：移動機構
７４：ガイドレール  ７５：移動部
８０：テープセット導き手段  ８１：支持部材  ８２：第２の挟持部
８３：載置台  ８４：逃げ溝  ８５：スライド機構  ８６：ベース  ８７：スライダ
９０：切断手段  ９１：テープカッター  ９２：昇降機構  ９３：押さえ部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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