(57)【要約】【課題】運用コストが低い酸素濃度計測装置及び酸素濃度計測方法を提供する。【解決手段】演算部は、計測部１０内の酸素濃度を推定し、当該推定値と、算出された酸素濃度との差が、予め定められた濃度差を超えたときにブロー装置４１にパージガスをブローさせる。【選択図】図２
2019144090.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザー光を出射する出射部と、
計測部を介して前記出射部と対向しており、前記出射部から出射され前記計測部を透過したレーザー光を受光し、酸素分子が吸収する光の波長の吸光度を検出する受光部と、
前記受光部により検出された吸光度から前記計測部内の酸素濃度を算出する演算部と、
前記レーザー光の光路上にパージガスをブローするブロー装置と、
を備え、
前記演算部は、前記計測部内の酸素濃度を推定し、当該推定値と、前記算出された酸素濃度との差が、予め定められた濃度差を超えたときに前記ブロー装置に前記パージガスをブローさせる、酸素濃度計測装置。
【請求項２】
前記演算部は、前記計測部内の酸素濃度の推定値と、前記算出された酸素濃度との差が、前記予め定められた濃度差以下となったときに前記ブロー装置に前記パージガスのブローを停止させる、請求項１に記載の酸素濃度計測装置。
【請求項３】
前記演算部は、前記計測部からの排出風量、前記計測部内の水蒸気量及び空気中の酸素濃度から前記計測部内の酸素濃度を推定する、請求項１または２に記載の酸素濃度計測装置。
【請求項４】
前記レーザー光の光路上にパージガスを連続的にブローするブロー装置を備える、請求項１〜３のいずれか一項に記載の酸素濃度計測装置。
【請求項５】
前記パージガスとして、窒素ガスを用いる、請求項１〜４のいずれか一項に記載の酸素濃度計測装置。
【請求項６】
空気から前記パージガスに用いる窒素ガスを分離する窒素分離膜をさらに備える、請求項５に記載の酸素濃度計測装置。
【請求項７】
前記窒素分離膜から排出されるガスの流量により、前記窒素分離膜に供給する空気の流量を調整する、請求項６に記載の酸素濃度計測装置。
【請求項８】
前記計測部側に向けて前記パージガスをブロー可能であると共に、前記出射部及び前記受光部の少なくとも一方側に向けて前記パージガスをブロー可能に構成されている、請求項１〜７のいずれか一項に記載の酸素濃度計測装置。
【請求項９】
前記演算部は、前記計測部内の酸素濃度を推定し、当該推定値と、前記算出された酸素濃度との差が、予め定められた濃度差を超えたときに、前記ブロー装置に前記パージガスを前記計測部側に向けてブローさせ、その後、予め定められた時間内に、前記計測部内の酸素濃度の推定値と、前記算出された酸素濃度との差が、前記予め定められた濃度差以下とならなかった場合に、前記ブロー装置に前記パージガスを前記出射部及び前記受光部の少なくとも一方側に向けてブローさせる、請求項８に記載の酸素濃度計測装置。
【請求項１０】
計測部を透過したレーザー光の、酸素分子が吸収する光の波長の吸光度を検出し、前記検出された吸光度から前記計測部内の酸素濃度を算出する酸素濃度計測方法であって、
前記計測部内の酸素濃度を推定し、当該推定値と、前記算出された酸素濃度との差が、前記予め定められた濃度差以上となったときに前記レーザー光の光路上にパージガスをブローする、酸素濃度計測方法。
【請求項１１】
前記計測部内の酸素濃度の推定値と、前記算出された酸素濃度との差が、前記予め定められた濃度差以下となったときに前記パージガスのブローを停止する、請求項１０に記載の酸素濃度計測方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、酸素濃度計測装置及び酸素濃度計測方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
下水汚泥などの有機系含水廃棄物を処理する方法として、コンポスト化による肥料としての使用やセメント製造設備への投入が行われている。しかし、含水率の高い有機系含水廃棄物をセメント製造設備に対してそのまま投入した場合、セメント製造設備の燃費悪化が懸念される。このため、有機系含水廃棄物を乾燥させて有機性粉体を造粒し、セメント製造設備へ投入しているが、乾燥設備内の粉塵濃度および酸素濃度が一定濃度に達し、着火源となる火種が生じると、粉塵爆発を起こす可能性がある。そこで、粉塵爆発の防止策として、運転中の乾燥設備内の酸素濃度をガス分析して、酸素濃度を一定のレベル以下に保つことが考えられる。
【０００３】
ガス中の酸素濃度を計測するための方法として、例えば特許文献１のようなレーザー光による酸素ガス濃度の分析計が存在する。特許文献１に記載の分析計は、ガス中の酸素分子がレーザー光中の特定の波長の光を吸収する現象を利用したもので、酸素分子が吸収する光の波長の吸光度を検出することにより酸素濃度を分析するものである。特許文献１に記載の分析計では、乾燥装置内は水蒸気や粉塵が多く存在する環境であることから、水蒸気や粉塵の侵入からの分析計自体の保護や、粉塵によるレーザー光の減衰防止を目的として、発光部並びに受光部のパージが行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１４−１０２１４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の分析計では、例えば、乾燥装置内の圧力が変動した場合等に、光路上にダストが侵入することを抑制するために、パージするガスの流量を多くする必要がある。従って、特許文献１に記載の分析計は、運用コストが高いという問題がある。
【０００６】
本発明の主な目的は、運用コストが低い酸素濃度計測装置及び酸素濃度計測方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る酸素濃度計測装置は、出射部と、受光部と、演算部と、ブロー装置とを備える。出射部は、レーザー光を出射する。受光部は、計測部を介して出射部と対向している。受光部は、出射部から出射され計測部を透過したレーザー光を受光し、酸素分子が吸収する光の波長の吸光度を検出する。演算部は、受光部により検出された吸光度から計測部内の酸素濃度を算出する。ブロー装置は、レーザー光の光路上にパージガスをブローする。演算部は、計測部内の酸素濃度を推定し、当該推定値と、算出された酸素濃度との差が、予め定められた濃度差を超えたときにブロー装置にパージガスをブローさせる。このため、ブローするパージガスの量を少なくすることができる。従って、運用コストを低くすることができる。
【０００８】
本発明に係る酸素濃度計測装置では、演算部は、計測部内の酸素濃度の推定値と、算出された酸素濃度との差が、予め定められた濃度差以下となったときにブロー装置にパージガスのブローを停止させるものであることが好ましい。
【０００９】
本発明に係る酸素濃度計測装置では、演算部は、計測部からの排出風量、計測部内の水蒸気量及び空気中の酸素濃度から計測部内の酸素濃度を推定するものであってもよい。
【００１０】
本発明に係る酸素濃度計測装置は、レーザー光の光路上にパージガスを連続的にブローするブロー装置を備えることが好ましい。
【００１１】
本発明に係る酸素濃度計測装置では、パージガスとして、窒素ガスを用いることが好ましい。
【００１２】
本発明に係る酸素濃度計測装置は、空気からパージガスに用いる窒素ガスを分離する窒素分離膜をさらに備えることが好ましい。
【００１３】
本発明に係る酸素濃度計測装置は、窒素分離膜から排出されるガスの流量により、窒素分離膜に供給する空気の流量を調整するように構成されていることが好ましい。
【００１４】
本発明に係る酸素濃度計測装置は、計測部側に向けてパージガスをブロー可能であると共に、出射部及び受光部の少なくとも一方側に向けてパージガスをブロー可能に構成されていることが好ましい。
【００１５】
本発明に係る酸素濃度計測装置では、演算部は、計測部内の酸素濃度を推定し、当該推定値と、算出された酸素濃度との差が、予め定められた濃度差を超えたときに、ブロー装置にパージガスを計測部側に向けてブローさせ、その後、予め定められた時間内に、計測部内の酸素濃度の推定値と、算出された酸素濃度との差が、予め定められた濃度差以下とならなかった場合に、ブロー装置にパージガスを出射部及び受光部の少なくとも一方側に向けてブローさせるものであることが好ましい。
【００１６】
本発明に係る酸素濃度計測方法は、計測部を透過したレーザー光の、酸素分子が吸収する光の波長の吸光度を検出し、検出された吸光度から計測部内の酸素濃度を算出する酸素濃度計測方法である。本発明に係る酸素濃度計測方法では、計測部内の酸素濃度を推定し、当該推定値と、算出された酸素濃度との差が、予め定められた濃度差以上となったときにレーザー光の光路上にパージガスをブローする。
【００１７】
本発明に係る酸素濃度計測方法では、計測部内の酸素濃度の推定値と、算出された酸素濃度との差が、予め定められた濃度差以下となったときにパージガスのブローを停止することが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、運用コストが低い酸素濃度計測装置及び酸素濃度計測方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第１の実施形態に係る酸素濃度計測装置の模式図である。
【図２】第１の実施形態に係る非連続ブローの制御を表すフローチャートである。
【図３】第２の実施形態に係る酸素濃度計測装置の模式図である。
【図４】第２の実施形態に係る非連続ブローの制御を表すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明を実施した好ましい形態の一例について説明する。但し、下記の実施形態は、単なる例示である。本発明は、下記の実施形態に何ら限定されない。
【００２１】
また、実施形態等において参照する各図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照することとする。また、実施形態等において参照する図面は、模式的に記載されたものである。図面に描画された物体の寸法の比率などは、現実の物体の寸法の比率などとは異なる場合がある。図面相互間においても、物体の寸法比率等が異なる場合がある。具体的な物体の寸法比率等は、以下の説明を参酌して判断されるべきである。
【００２２】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る酸素濃度計測装置１の模式図である。図１に示す酸素濃度計測装置１は、計測部１０内の酸素濃度を計測する装置である。酸素濃度計測装置１は、例えば、下水汚泥乾燥設備等の、可燃物を乾燥させる設備等の系内の酸素濃度計測に好適に用いられるが、その他の装置の酸素濃度計測にも好適に用いられる。
【００２３】
酸素濃度計測装置１は、出射部２１と、受光部３１とを備えている。出射部２１は、酸素分子が吸収する波長の光を含むレーザー光Ｌを出射する。具体的には、出射部２１は、レーザー光Ｌを出射するレーザー光出射素子２２を備えている。レーザー光出射素子２２には、レーザー光Ｌが通過する経路２３ａが設けられた第１の配管２３が接続されている。第１の配管２３のレーザー光出射素子２２とは反対側の端部には、レーザー光Ｌが通過する経路２４ａが設けられた第２の配管２４が接続されている。第２の配管２４の先端は、計測部１０内に至っている。第１の配管２３と第２の配管２４との間には、仕切り板２５が設けられている。この仕切り板２５により、経路２３ａと経路２４ａとが隔離されている。これにより、計測部１０のダスト等が経路２３ａに侵入することが規制されている。なお、仕切り板２５は、レーザー光Ｌを透過するものであれば特に限定されない。仕切り板２５は、例えば、強化ガラス板により構成することができる。
【００２４】
受光部３１は、計測部１０を介して出射部２１と対向している。具体的には、受光部３１は、受光素子３２を備えている。受光素子３２は、レーザー光出射素子２２から出射され、計測部１０を透過したレーザー光Ｌを受光する。受光素子３２は、酸素分子が吸収する光の波長の吸光度を検出する素子である。受光素子３２には、レーザー光が透過する経路３３ａが設けられた第３の配管３３が接続されている。第３の配管３３の受光部３１とは反対側の端部には、レーザー光Ｌが透過する経路３４ａが設けられた第４の配管３４が接続されている。第４の配管３４の先端は、計測部１０内に至っている。第３の配管３３と第４の配管３４との間には、仕切り板３５が設けられている。この仕切り板３５により、経路３３ａと経路３４ａとが隔離されている。これにより、計測部１０のダスト等が経路３３ａに侵入することが規制されている。なお、仕切り板３５は、レーザー光Ｌを透過するものであれば特に限定されない。仕切り板３５は、例えば、強化ガラス板により構成することができる。
【００２５】
酸素濃度計測装置１は、図示しない演算部を備えている。演算部は、受光部３１により検出された吸光度から、計測部１０内の酸素濃度を算出する。このように、酸素濃度計測装置１では、酸素分子が吸収する波長の光の吸光度により酸素濃度を計測するが、レーザー光Ｌの経路上にダスト等が存在すると、ダストによりレーザー光が吸収されたり、散乱されたりするため、酸素濃度の計測精度が低下する。このため、酸素濃度計測装置１では、パージガスのブローによってレーザー光Ｌの経路上のダストを除去している。
【００２６】
本実施形態では、パージガスによる酸素濃度の計測精度が低下することを抑制するために、パージガスとして窒素ガスを用いている。もっとも、本発明において、パージガスは、窒素ガスに限定されない。本発明において、パージガスは、酸素ガスを含むガスであってもよいし、酸素を含まないパージガスであってもよい。パージガスとして、例えば、アルゴン等の不活性ガスを用いてもよい。パージガスは、乾燥ガスであることが好ましい。
【００２７】
詳細には、酸素濃度計測装置１は、窒素ガスをブローするブロー装置４１を備えている。具体的には、ブロー装置４１は、コンプレッサー４２と、窒素分離膜４３とを備えている。コンプレッサー４２は、窒素分離膜４３に空気を送入する。窒素分離膜４３は、空気から窒素ガスを分離する。ブロー装置４１は、窒素分離膜４３により分離された窒素をパージガスとしてブローする。窒素分離膜４３を用いることにより、窒素ガスを安価に得ることができる。なお、製造した窒素ガスを一時的に貯蔵しておくために、貯蔵タンクを設けてもよい。
【００２８】
また、酸素濃度計測装置１は、窒素分離膜４３から供給されるガス流量を測定し、その流量をもとに窒素分離膜４３に供給する空気の量を制御するように構成されている。窒素分離膜４３に供給する空気の量を制御することで、窒素ガス中の窒素濃度低下を防止することができ、配管をパージする際でも測定を中断させず連続して測定することが可能となる。なお、流量の制御については自動で行ってもよいし、手動で行ってもよい。
【００２９】
第１の配管２３には、パージガス導入口２３ｂと、パージガス排出口２３ｃとが設けられている。パージガス導入口２３ｂは、第１の配管２３の計測部１０側端部に設けられている一方、パージガス排出口２３ｃは、第１の配管２３のレーザー光出射素子２２側端部に設けられている。パージガス導入口２３ｂには、ブロー装置４１から窒素ガスが送入される。挿入された窒素ガスは、経路２３ａを通過してパージガス排出口２３ｃから排出される。これにより、経路２３ａが正圧にされており、経路２３ａ内へのダストの侵入や、経路２３ａ内に水蒸気等が侵入することにより光路が変動することが抑制されている。
【００３０】
第３の配管３３には、パージガス導入口３３ｂと、パージガス排出口３３ｃとが設けられている。パージガス導入口３３ｂは、第３の配管３３の計測部１０側端部に設けられている一方、パージガス排出口３３ｃは、第３の配管３３の受光部３２側端部に設けられている。パージガス導入口３３ｂには、ブロー装置４１から窒素ガスが送入される。挿入された窒素ガスは、経路３３ａを通過してパージガス排出口３３ｃから排出される。これにより、経路３３ａ内が正圧にされており、経路３３ａ内へのダストの侵入や、経路３３ａ内に水蒸気等が侵入することにより光路が変動することが抑制されている。
【００３１】
第２の配管２４の第１の配管２３側端部には、パージガス導入口２４ｂが設けられている。パージガス導入口２４ｂには、ブロー装置４１から窒素ガスが送入される。パージガス導入口２４ｂは、送入された窒素ガスが経路２４ａを計測部１０側に向かって吹き付けられるような形状に設けられている。このため、パージガス導入口２４ｂから導入されたパージガスは、第２の配管２４を経由して計測部１０に流入する。
【００３２】
第４の配管３４の第３の配管３３側端部には、パージガス導入口３４ｂが設けられている。パージガス導入口３４ｂには、ブロー装置４１から窒素ガスが送入される。パージガス導入口３４ｂは、送入された窒素ガスが経路３４ａを計測部１０側に向かって吹き付けられるような形状に設けられている。このため、パージガス導入口３４ｂから導入されたパージガスは、第４の配管３４を経由して計測部１０に流入する。
【００３３】
パージガス導入口２４ｂ、３４ｂから導入されたパージガスにより第２の配管２４及び第４の配管３４内のダストが除去されると共に、計測部１０のレーザー光Ｌの光路上のダストも除去される。
【００３４】
本実施形態では、パージガス導入口２３ｂ、２４ｂ、３３ｂ、３４ｂには、パージガスが連続して導入される（以下、「連続ブロー」と呼称することがある。）。しかしながら、この連続したガスパージのみでは、計測部１０内の圧力が変動した場合等に、レーザー光Ｌの光路上にダストが侵入する虞がある。また、ダストの堆積等により、レーザー光の光路が閉鎖される虞もある。これらを抑制するために、パージガス導入口２３ｂ、２４ｂ、３３ｂ、３４ｂからのパージガスの送入量を増加することが考えられる。しかしながら、その場合は、パージガスの使用量が増加するため、酸素濃度計測装置１のランニングコストが高くなる。また、パージガスの送入量が増大することにより、酸素濃度計測装置１の運転に悪影響が生じる虞もある。
【００３５】
そこで、本実施形態では、パージガス導入口２３ｂ、２４ｂ、３３ｂ、３４ｂからの連続したパージガスのブローに加え、必要に応じて、非連続的にパージガスのブロー（以下、「非連続ブロー」と呼称することがある。）を行う。
【００３６】
具体的には、演算部は、計測部１０内の酸素濃度を推定し、その推定値と、実際に算出された酸素濃度との差が、予め定められた濃度差を超えたときに、ブロー装置にパージガスをブローさせる。ブローされたパージガスは、第２の配管２４に設けられたパージガス導入口２４ｃと、第４の配管３４に設けられたパージガス導入口３４ｃとに送入される。これにより、経路２４ａ、３４ａ及び計測部１０のレーザー光Ｌの光路上のダストが除去される。このため、連続してブローするパージガスの流量を増加させることなく、高精度に酸素濃度を計測することができる。従って、酸素濃度計測装置１は、運用コストが低い。また、多量のパージガスを連続してブローした際に生じ得る酸素濃度計測装置１の悪影響の発生を抑制することができる。
【００３７】
なお、計測部１０内の酸素濃度の推定方法は、特に限定されない。例えば、特開２０１６−２０５６９５号公報に記載されているような方法により計測部１０内の酸素濃度を推定することができる。すなわち、演算部は、例えば、計測部１０からの排出風量、計測部内の水蒸気量及び空気中の酸素濃度から計測部１０内の酸素濃度を推定するものであってもよい。
【００３８】
以下、図２を主として参照して、本実施形態の非連続ブローの制御について詳細に説明する。
【００３９】
まず、ステップＳ１において、演算部は、計測部１０内の酸素濃度を推定し、その推定値と、実際に算出された酸素濃度との差が、予め定められた濃度差（設定値）以上か否かを判断する。
【００４０】
ステップＳ１において、推定値と、実際に算出された酸素濃度との差が、予め定められた濃度差（設定値）以上である場合は、ステップＳ２に進む。
【００４１】
ステップＳ２において、演算部は、ブロー装置にパージガスを一定期間非連続ブローさせる。この際のパージガスの流速は、連続パージのパージガスの流速より高いことが好ましく、連続ブローのパージガスの流速の５倍以上であることがより好ましく、１０倍以上であることがさらに好ましい。但し、非連続ブローのパージガスの流速が高すぎると、計測範囲内にパージガスが過剰に侵入し、測定対象となるガスが光路上に実質的に存在しなくなるおそれや、堆積したダストが巻き上げられ、仕切り板２５及び仕切り板３５が損傷するおそれがある。従って、非連続ブローのパージガスの流速は、連続パージのパージガスの流速の２０倍以下であることがより好ましく、１５倍以下であることがさらに好ましい。
【００４２】
次に、ステップＳ３において、演算部は、計測部１０内の酸素濃度を推定し、その推定値と、実際に算出された酸素濃度との差が、予め定められた濃度差（設定値）以上か否かを判断する。
【００４３】
ステップＳ３において、推定値と、実際に算出された酸素濃度との差が、予め定められた濃度差（設定値）以上である場合は、ステップＳ２に進む。
【００４４】
本実施形態では、制御部は、これらステップＳ１〜Ｓ３を連続的、または定期的に行う。
【００４５】
このように、演算部は、計測部１０内の酸素濃度の推定値と、算出された酸素濃度との差が、予め定められた濃度差（設定値）以下となったときに非連続ブローを停止させる。このため、酸素濃度計測装置１の運用コストのさらなる低減が図られている。
【００４６】
以下、本発明の好ましい実施形態の他の例について説明する。以下の説明において、上記第１の実施形態と実質的に共通の機能を有する部材を共通の符号で参照し、説明を省略する。
【００４７】
（第２の実施形態）
図３は、第２の実施形態に係る酸素濃度計測装置１ａの模式図である。図４は、第２の実施形態に係る非連続ブローの制御を表すフローチャートである。
【００４８】
本実施形態に係る酸素濃度計測装置１ａは、計測部１０側に向けてパージガスをブロー可能であると共に、出射部２１及び受光部３１の少なくとも一方に向けてパージガスをブロー可能に構成されている点で、第１の実施形態に係る酸素濃度計測装置１と異なる。
【００４９】
具体的には、第２の配管２４には、計測部１０側に向けてパージガスをブロー可能に構成されているパージガス導入口２４ｃに加えて、パージガス導入口２４ｄが設けられている。パージガス導入口２４ｄは、パージガスを出射部２１側、すなわち、仕切り板２５側に向けてブロー可能に構成されている。
【００５０】
第４の配管３４には、計測部１０側に向けてパージガスをブロー可能に構成されているパージガス導入口３４ｃに加えて、パージガス導入口３４ｄが設けられている。パージガス導入口３４ｄは、パージガスを受光部３１側、すなわち、仕切り板３５側に向けてブロー可能に構成されている。
【００５１】
図４に示すように、本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、ステップＳ１、ステップＳ２及びステップＳ３を順に行う。なお、本実施形態では、ステップＳ２においては、パージガス導入口２４ｃ、３４ｃからブローを行う。このため、ステップＳ２では、パージガスは、計測部１０側に向けて吹き付けられる。
【００５２】
本実施形態では、ステップＳ３において、推定値と、実際に算出された酸素濃度との差が、予め定められた濃度差（設定値）以上である場合は、ステップＳ４に進む。
【００５３】
ステップＳ４では、演算部は、ブロー装置４１にパージガスを一定期間非連続ブローさせる。ステップＳ４においては、パージガス導入口２４ｄ、３４ｄからブローを行う。また、ステップＳ４においては、パージガスは、出射部２１及び受光部３１側に向けて吹き付けられる。このため、経路２４ａのパージガス導入口２４ｄよりも出射部２１側の部分のダストが除去される。具体的には、例えば、仕切り板２５に付着したダストが除去される。また、パージガスは、経路３４ａのパージガス導入口３４ｄよりも受光部３１側の部分のダストが除去される。具体的には、例えば、仕切り板３５に付着したダストが除去される。
【００５４】
次に、ステップＳ５において、演算部は、計測部１０内の酸素濃度を推定し、その推定値と、実際に算出された酸素濃度との差が、予め定められた濃度差（設定値）以上か否かを判断する。
【００５５】
ステップＳ５において、推定値と、実際に算出された酸素濃度との差が、予め定められた濃度差（設定値）以上である場合は、ステップＳ２に進む。
【００５６】
本実施形態では、制御部は、これらステップＳ１〜Ｓ５を連続的、または定期的に行う。
【００５７】
このように、本実施形態では、演算部は、計測部１０内の酸素濃度の推定値と、算出値との差が、予め定められた濃度差を超えたときにブロー装置４１にパージガスを計測部１０側に向けてブローさせ、その後、予め定められた時間内に計測部１０内の酸素濃度の推定値と、算出値との差が、予め定められた濃度差以下とならなかった場合に、ブロー装置４１にパージガスを出射部２１及び受光部３１の少なくとも一方側に向けてブローさせる。このため、例えば、仕切り板２５、３５などにダストが付着したことに起因する計測精度の低下も抑制することができる。従って、より高い計測精度で計測部１０内の酸素濃度を計測することができる。
【符号の説明】
【００５８】
１、１ａ      ：酸素濃度計測装置
１０    ：計測部
２１    ：出射部
２２    ：レーザー光出射素子
２３    ：第１の配管
２３ａ  ：経路
２３ｂ  ：パージガス導入口
２３ｃ  ：パージガス排出口
２４    ：第２の配管
２４ａ  ：経路
２４ｂ  ：パージガス導入口
２４ｃ  ：パージガス導入口
２４ｄ  ：パージガス導入口
２５    ：仕切り板
３１    ：受光部
３２    ：受光素子
３３    ：第３の配管
３３ａ  ：経路
３３ｂ  ：パージガス導入口
３３ｃ  ：パージガス排出口
３４    ：第４の配管
３４ａ  ：経路
３４ｂ  ：パージガス導入口
３４ｃ  ：パージガス導入口
３４ｄ  ：パージガス導入口
３５    ：仕切り板
４１    ：ブロー装置
４２    ：コンプレッサー
４３    ：窒素分離膜
Ｌ      ：レーザー光
【図１】
2019144090.tif 000003
【図２】
2019144090.tif 000004
【図３】
2019144090.tif 000005
【図４】
2019144090.tif 000006