(57)【要約】      （修正有）【課題】煩雑な操作を必要とせず試料を固定することができ、試料を帯電しにくくすることができる試料固定方法及び分析方法を提供する。【解決手段】支持部材の上にインジウムを配置することと、インジウムに試料を配置することと、を備える試料固定方法。支持部材の上にインジウムが層状に形成されたインジウム層を配置することを備える試料固定方法。インジウムに配置された試料を押圧部材により押圧し、試料の少なくとも一部をインジウムに埋め込むことをさらに備える試料固定方法。顕微鏡により、固定された試料に関するデータを取得することを備える分析方法。顕微鏡は探針を備え、探針と固定された試料との間に流れる電流および／または試料の電気的特性に基づいて探針に加わる力を測定することをさらに備える分析方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持部材の上にインジウムを配置することと、
前記インジウムに試料を配置することと、
を備える試料固定方法。
【請求項２】
請求項１に記載の試料固定方法において、
前記支持部材の上にインジウムが層状に形成されたインジウム層を配置すること
を備える試料固定方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の試料固定方法において、
前記インジウムに配置された前記試料を押圧部材により押圧し、前記試料の少なくとも一部を前記インジウムに埋め込むこと
をさらに備える試料固定方法。
【請求項４】
請求項１から３までのいずれか一項に記載の試料固定方法により試料が固定された顕微鏡により、固定された前記試料に関するデータを取得することを備える分析方法。
【請求項５】
請求項４に記載の分析方法において、
前記顕微鏡は探針を備え、
前記探針と前記固定された試料との間に流れる電流および／または前記試料の電気的特性に基づいて前記探針に加わる力を測定すること
をさらに備える分析方法。    
【請求項６】
インジウムを主成分として含む試料固定部材。
【請求項７】
支持部材と、
前記支持部材の上に配置された、請求項６に記載の試料固定部材と
を備える試料固定部品。
【請求項８】
請求項７に記載の試料固定部品において、
前記試料固定部材はインジウムが層状に形成されたインジウム層を備える、試料固定部品。
【請求項９】
請求項８に記載の試料固定部品において、
前記インジウム層の厚さは５μｍ以上である試料固定部品。
【請求項１０】
請求項６に記載の試料固定部材または請求項７から９までのいずれか一項に記載の試料固定部品を備える顕微鏡。
【請求項１１】
請求項１０に記載の顕微鏡において、
探針、および、
前記探針と前記試料固定部材に配置された試料との間に流れる電流および／または前記試料の電気的特性に基づいて前記探針に加わる力を測定する測定部をさらに備える顕微鏡。
【請求項１２】
請求項６に記載の試料固定部材を備える顕微鏡用キット。
【請求項１３】
請求項１２に記載の顕微鏡用キットにおいて、
前記試料固定部材に配置された試料を押圧するための押圧部材をさらに備える顕微鏡用キット。
【請求項１４】
請求項１２または１３に記載の顕微鏡用キットにおいて、
顕微鏡の試料台に配置可能な板状の金属部材を備える顕微鏡用キット。
【請求項１５】
請求項１２から１４までのいずれか一項に記載の顕微鏡用キットにおいて、
前記試料固定部材は、粒子状、線状、または板状に形成されている顕微鏡用キット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料固定方法、分析方法、試料固定部材、試料固定部品、顕微鏡、および顕微鏡用キットに関する。
【背景技術】
【０００２】
顕微鏡等において、分析対象となる試料が小さい等の理由により取扱いが難しい場合には、試料の固定方法が煩雑になったり、試料を固定する過程で、試料の表面を変形させたり、本来試料の表面に存在しない物質を付着させて当該表面を汚してしまったりする等の問題があった。
【０００３】
さらに、走査型プローブ顕微鏡（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｐｒｏｂｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ；ＳＰＭ）や電子顕微鏡等において試料の電気的応答を記録する場合には、試料の帯電により、画像が歪んだりする等、精密なデータの取得が難しくなる場合があるため、試料の帯電が起きないような対処をする必要があった。この点を鑑み、例えば、試料の帯電を防止するため、導電テープや導電ペーストを用いて試料を固定することが行われている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１３−１６０５５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、導電テープや導電ペーストを用いて試料を固定する場合には、導電テープおよび導電ペーストの電気抵抗により、試料を流れる電流等を測定する際に精度が低くなる問題があった。試料の帯電を防ぎ、その他の点でも悪影響の少ない試料の固定方法が望ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の好ましい実施形態による試料固定方法は、支持部材の上にインジウムを配置することと、前記インジウムに試料を配置することと、を備える。
さらに好ましい実施形態では、前記支持部材の上にインジウムが層状に形成されたインジウム層を配置することを備える。
さらに好ましい実施形態では、前記インジウムに配置された前記試料を押圧部材により押圧し、前記試料の少なくとも一部を前記インジウムに埋め込むことをさらに備える。
本発明の好ましい実施形態による分析方法は、上述の試料固定方法により試料が固定された顕微鏡により、固定された前記試料に関するデータを取得することを備える。
さらに好ましい実施形態では、前記顕微鏡は探針を備え、前記探針と前記固定された試料との間に流れる電流および／または前記試料の電気的特性に基づいて前記探針に加わる力を測定することをさらに備える。
本発明の好ましい実施形態による試料固定部材は、インジウムを主成分として含む。
本発明の好ましい実施形態による試料固定部品は、支持部材と、前記支持部材の上に配置された、上述の試料固定部材とを備える。
さらに好ましい実施形態では、前記試料固定部材はインジウムが層状に形成されたインジウム層を備える。
さらに好ましい実施形態では、前記インジウム層の厚さは５μｍ以上である。
本発明の好ましい実施形態による顕微鏡は、上述の試料固定部材または上述の試料固定部品を備える。
さらに好ましい実施形態では、探針、および、前記探針と前記試料固定部材に配置された試料との間に流れる電流および／または前記試料の電気的特性に基づいて前記探針に加わる力を測定する測定部をさらに備える。
本発明の好ましい実施形態による顕微鏡用キットは、上述の試料固定部材を備える。
さらに好ましい実施形態では、前記試料固定部材に配置された試料を押圧するための押圧部材をさらに備える。
さらに好ましい実施形態では、顕微鏡の試料台に配置可能な板状の金属部材を備える。
さらに好ましい実施形態では、前記試料固定部材は、粒状、線状、または板状に形成されている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、煩雑な操作を必要とせず試料を固定することができ、試料を帯電しにくくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】図１（Ａ）は、一実施形態の試料固定方法に係る試料固定部品の平面図であり、図１（Ｂ）は試料固定部品の断面図であり、図１（Ｃ）は試料が固定された試料固定部品を示す断面図である。
【図２】図２（Ａ）は、一実施形態の試料固定方法において、試料固定部材に配置された試料を押圧する前の断面図であり、図２（Ｂ）は、試料固定部材に配置された試料を押圧した後の断面図である。
【図３】図３は、一実施形態の試料固定方法に係る走査型プローブ顕微鏡の概略構成を示す概念図である。
【図４】図４は、分析方法の流れを示すフローチャートである。
【図５】図５は、顕微鏡用キットを模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図を参照して本発明を実施するための形態について説明する。
【００１０】
図１（Ａ）は、本実施形態の試料固定方法に係る試料固定部品１０の平面図であり、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）のＡ−Ａ断面図である。試料固定部品１０は、試料固定部材１１と、試料ホルダ１２とを備える。試料固定部品１０は、顕微鏡等の、試料固定部品１０が配置される装置の部品である。
【００１１】
試料固定部材１１は、インジウムを主成分として含んで構成される。インジウムは、金属であるため導電性を有し、また、金属の中では比較的柔らかく、人間の手の力のみでも変形させることができる。ここで、「インジウムを主成分として含む」とは、試料固定部材１１が本実施形態の試料固定方法により試料を固定することが可能であり、必要とされる導電性を試料固定部材１１が有する程度に、インジウムが試料固定部材１１に含まれていればよい。
【００１２】
試料固定部材１１は、試料ホルダ１２の上に層状に形成されている。このインジウムを含んだ試料固定部材１１の層をインジウム層と呼ぶ。図１では、インジウム層の形状は、平面視でやや歪んだ円状に形成されているが、平面視での形状（ｘｙ方向（図３）のインジウム層の分布。ここで、ｘｙ方向とは、後述するｘｙ平面に平行な任意の方向を指す。）は、特に限定されない。
【００１３】
インジウム層の厚さＴ（図１（Ｂ））は、試料の少なくとも一部をインジウム層に埋め込んで固定することができれば特に限定されない。例えば、走査型プローブ顕微鏡では、数μｍ以下の大きさの小片も分析可能であるため、このような小片を固定する場合には、インジウム層を数μｍ等の厚さまで薄くしてもよい。しかし、インジウム層が薄すぎると形成が難しくなるため、インジウム層の厚さは５μｍ以上が好ましく、５０μｍ以上がより好ましい。取扱いの容易さ等の観点から、インジウム層の厚さは、試料固定部品１０が配置される顕微鏡等の装置に合わせ、１０ｃｍ以下、１ｃｍ以下等に適宜設定される。
【００１４】
試料ホルダ１２の上にインジウム層を形成する方法は特に限定されないが、例えば、塊状のインジウムから、形成するインジウム層の体積と同程度のインジウムを取り出し、試料ホルダ１２上に押圧して広げればよい。この際、板状部材等で試料ホルダ１２の垂直上方から押圧すればインジウム層の表面を平坦にすることができる。
なお、インジウムを人間の手で直接押圧してインジウム層を成形してもよい。
【００１５】
試料ホルダ１２は、ステンレスや銅等の金属等の導電性の材料を含んで構成され、試料固定部材１１を電気的に導通可能に支持する支持部材である。試料ホルダ１２は、例えば厚さ数十μｍ〜数ｍｍ、最大径数ｍｍ〜数十ｃｍ等の円板状の金属部材として形成されるが、試料固定部材１１を電気的に導通可能に支持するものであれば、試料ホルダ１２の形状や大きさは特に限定されない。
【００１６】
図１（Ｃ）は、試料Ｓとして、試料Ｓ１およびＳ２が固定された状態の試料固定部品１０の断面図である。試料Ｓは、試料固定部材１１の試料ホルダ１２が配置されている面１１０ａとは異なる面１１０ｂに固定される。上述のように、インジウムが比較的柔らかい金属であるため、インジウムが変形してできたくぼみに試料Ｓの少なくとも一部が支持されることにより、導電テープや導電ペースト等の接着用の材料を用いなくても試料Ｓを固定することができる。
【００１７】
図２（Ａ）は、本実施形態の試料固定方法の一例を模式的に示す図である。試料Ｓ１およびＳ２は、試料固定部材１１の上に配置されているが、試料固定部材１１に埋め込まれていないため、水平方向からの力により動きやすい状態となっている。
【００１８】
ここで、試料Ｓ１およびＳ２を、試料固定部材１１の上面に略垂直な方向に沿って、試料Ｓ１およびＳ２における試料固定部材１１が配置されている側とは反対側から押圧部材９により押圧する。押圧部材９が試料Ｓ１およびＳ２を押圧する力を矢印Ａ１で模式的に示した。
【００１９】
図２（Ｂ）は、押圧部材９の押圧により試料Ｓ１およびＳ２が埋め込まれた後の試料固定部品１０の状態を示す図である。インジウムが比較的柔らかい金属であるため、試料Ｓ１およびＳ２が構造を保ったまま、試料Ｓ１およびＳ２の少なくとも一部が試料固定部材１１に埋め込まれて固定される。試料Ｓ１およびＳ２が粒子状等の小片からなる試料の場合でも、試料Ｓ１およびＳ２を試料固定部材１１の表面に散布し、押圧部材９により押圧することで試料固定部材１１に固定することができる。
【００２０】
押圧部材９は、インジウムより変形しにくい材質で構成されていれば特に限定されない。一例を挙げれば押圧部材９はタングステンカーバイドを含んで構成される。押圧部材９の試料Ｓと接する面９００（図２（Ａ））は、試料Ｓの表面を略水平にするため平滑であることが好ましく、試料Ｓの表面の形状や組成を変化させない程度に、洗浄されていることが好ましい。例えば、面９００は、反射して物が映るような鏡面となっていることが好ましい。
なお、試料Ｓは、押圧部材９を用いずに人間の手で押圧してもよい。
【００２１】
以下では、本実施形態の試料固定方法を、試料Ｓと探針との間を流れる電流を測定する走査型プローブ顕微鏡に適用した分析方法を説明する。この例は好適な一例として示すが、本実施形態の試料固定方法を用いるものであれば、分析方法は特に限定されない。
【００２２】
図３は、本実施形態に係る走査型プローブ顕微鏡１の概略構成を示す概念図である。走査型プローブ顕微鏡１は、測定部１００と、情報処理部３０とを備える。
【００２３】
測定部１００は、試料固定部品１０と、試料台１３と、スキャナ１４と、電圧印加部１５と、レーザ光源２１と、ビームスプリッタ２２と、カンチレバー２３と、ミラー２４と、光検出器２５と、増幅器２６とを備える。試料固定部品１０は、上述したように、試料固定部材１１と、試料ホルダ１２とを備え、図３では、試料固定部材１１に試料Ｓ（Ｓ１およびＳ２）が固定された状態が示されている。座標軸８に示すように、試料台１３において試料ホルダ１２が載置されている平面１３０に垂直にｚ軸をとる。平面１３０に平行に図の右方向にｙ軸をとり、ｚ軸とｙ軸に垂直にｘ軸をとる。
【００２４】
情報処理部３０は、入力部３１と、通信部３２と、記憶部３３と、表示部３４と、制御部４０とを備える。制御部４０は、位置検出部４１と、電流検出部４２と、位置制御部４３と、電圧制御部４４と、データ処理部４５とを備える。
【００２５】
測定部１００は、試料Ｓの表面を探針２３０により走査しながら、各位置での試料Ｓを構成する原子の原子間力に基づいて表面形状を測定すると共に、電圧印加部１５が印加した電圧により探針２３０と試料Ｓとの間に流れる電流を各位置で検出し、試料Ｓの局所的な抵抗率等の電気的特性を測定する。
【００２６】
レーザ光源１１から出射したレーザ光Ｌは、ビームスプリッタ２２で反射され、カンチレバー２３に入射する。カンチレバー２３の可動端２３１の近傍で反射されたレーザ光Ｌは、ミラー２４で反射され、光検出器２５で検出される。光検出器２５は、不図示の受光部位が２分割または４分割等されている。光検出器２５は、各受光部位において検出したレーザ光Ｌの光強度に対応する検出信号を、不図示のＡ／Ｄ変換器によりデジタル化して位置検出部４１に出力する（矢印Ａ２）。
【００２７】
試料台１３は、電圧印加部１５と電気的に導通可能に接続され、試料ホルダ１２を電気的に導通可能に支持する。スキャナ１４は、試料台１３をｘｙ方向に移動させるアクチュエータ（以下、ｘｙ方向アクチュエータと呼ぶ）と、ｚ方向に移動させるアクチュエータ（以下、ｚ方向アクチュエータと呼ぶ）を備える。これらのアクチュエータは、圧電素子により例えば数ｎｍ以下の分解能が実現できるように制御されている。
【００２８】
電圧印加部１５は、可変電圧電源を備え、カンチレバー２３と試料台１３との間に可変電圧を印加する。これにより探針２３０と試料Ｓとの間に電圧が印加される。増幅部２６は、探針２３０と試料Ｓとの間を流れる電流（以下、測定電流と呼ぶ）を増幅する。増幅部２６は、増幅された測定電流を不図示のＡ／Ｄ変換器によりデジタル化し、得られた検出信号を情報処理部３０の電流検出部４２に出力する（矢印Ａ３）。
【００２９】
情報処理部３０（図１）は、電子計算機等の情報処理装置を備え、ユーザとのインターフェースを有する他、様々なデータに関する通信、記憶、演算等の処理を行う。
なお、情報処理部３０は、測定部１００と一体となった一つの装置として構成してもよい。また、情報処理部３０が用いるデータの一部は遠隔のサーバ等に保存してもよく、情報処理部３０が行う演算処理の一部は遠隔のサーバ等で行ってもよい。
【００３０】
入力部３１は、マウス、キーボード、各種ボタンおよび／またはタッチパネル等の入力装置を含んで構成される。入力部３１は、測定部１００の動作の制御に必要な情報、および制御部４０の行う処理に必要な情報等を、ユーザから受け付ける。
【００３１】
通信部３２は、インターネット等の無線や有線接続により通信可能な通信装置を含んで構成され、データ処理部４５が作成した試料Ｓの表面の形状や電気的特性を示す画像等の、解析により得られたデータ等を送信したり、適宜必要なデータを送受信する。
【００３２】
記憶部３３は、不揮発性の記憶媒体で構成され、測定部１００からの検出信号に基づく測定データ、制御部４０が処理を実行するためのプログラム、および解析により得られたデータ等を記憶する。
【００３３】
表示部３４は、液晶モニタ等の表示モニタ等を含んで構成され、測定部１００からの検出信号に基づく測定データ、および解析により得られたデータ等を、表示モニタに表示する。
【００３４】
制御部４０は、ＣＰＵ等のプロセッサからなり、測定部１００から出力された検出信号を測定データとして処理したり、測定部１００等を含む走査型プローブ顕微鏡１の動作を制御したりする。
【００３５】
制御部４０の位置検出部４１は、光検出器２５から出力された検出信号が示す、光検出器２５の各受光部位からの光強度の相対的な値に基づいて、カンチレバー２３の変位量を算出する。制御部４０の電流検出部４２は、増幅部２６から出力された検出信号から、試料Ｓの各位置のｘｙ座標と、当該ｘｙ座標に対応する位置に探針２３０を配置して得た測定電流の値とが対応付けられた測定電流データを生成し、記憶部３３に記憶させる。
【００３６】
制御部４０の位置制御部４３は、スキャナ１４による試料台１３の三次元の移動を制御する。位置制御部４３は、試料Ｓの表面が探針Ｓに対して略水平方向に移動するように、スキャナ１４のｘｙ方向アクチュエータを制御する。位置制御部４３は、位置検出部４１が算出したカンチレバー２３の変位量に基づいて、スキャナ１４による試料台１３のｚ方向の移動、すなわち試料Ｓと探針２３０とのｚ方向の相対位置を制御する。位置制御部４３は、カンチレバー２３の変位量が一定の値となるように、スキャナ１４のｚ方向アクチュエータを制御する。カンチレバー２３の変位量は、探針２３０と試料Ｓとの間の原子間力に基づくから、当該原子間力が一定になるように探針２３０と試料Ｓとの相対位置が制御されることになる。位置制御部４３は、試料Ｓの各位置のｘｙ座標と、当該ｘｙ座標に対応する位置における試料台１３のｚ方向の移動量とが対応付けられた表面形状データを生成し、記憶部３３に記憶させる。
なお、位置制御部４３は、試料台１３ではなく、カンチレバー２３を移動させて探針２３０と試料Ｓとの相対位置を調整してもよい。
【００３７】
制御部４０の電圧制御部４４は、電圧印加部１５によるカンチレバー２３と試料台１３との間への電圧印加を制御する。電圧制御部４３は、試料Ｓの各位置のｘｙ座標と、当該ｘｙ座標に対応する位置に探針２３０が配置された際に電圧印加部１５が印加した電圧とが対応付けられた印加電圧データを生成し、記憶部３３に記憶させる。
【００３８】
制御部４０のデータ処理部４５は、測定部１００から出力された検出信号に基づく測定データを処理する。データ処理部４５は、上述の測定電流データと印加電圧データとに基づいて、局所的な抵抗率等の試料Ｓの局所的な電気的特性を示すデータを生成し、記憶部３３に記憶させる。データ処理部４５は、上述の表面形状データに基づいた試料Ｓの表面形状を示す画像（以下、表面形状画像と呼ぶ）、測定電流データに基づいた測定試料Ｓの各位置の測定電流の値を示す画像（以下、電流分布画像）および／または上記電気的特性を示すデータに基づいた試料Ｓの各位置の電気的特性を示す画像（以下、電気的特性分布画像）を生成し、表示部３４に表示させる。
なお、上述では、探針２３０と試料Ｓとの間の原子間力が一定になるようにして走査するコンタクトモードにより、試料Ｓの表面の形状を測定する構成としたが、探針２３０の振動が一定となるように制御するダイナミックモードで試料Ｓの表面の形状を測定してもよい。
【００３９】
図４は、本実施形態の試料固定方法を含む分析方法の流れを示すフローチャートである。ステップＳ１００１において、ユーザ等により試料ホルダ１２にインジウム層（試料固定部剤１１）が形成される。ステップＳ１００１が終了したら、ステップＳ１００３が開始される。ステップＳ１００３において、ユーザ等によりインジウム層の上に試料Ｓが配置される。ステップＳ１００３が終了したらステップＳ１００５が開始される。
【００４０】
ステップＳ１００５において、押圧部材９により試料Ｓが押圧され、インジウム層に固定される。ステップＳ１００５が終了したら、ステップＳ１００７が開始される。ステップＳ１００７において、制御部４０は、インジウム層に固定された試料Ｓの表面形状を測定する。ステップＳ１００７が終了したら、ステップＳ１００９が開始される。
【００４１】
ステップＳ１００９において、電圧印加部１５は、探針２３０と試料台１３との間に電圧を印加し、電流検出部４２は、探針２３０と試料Ｓとの間に流れる電流を測定する。ステップＳ１００９が終了したら、ステップＳ１０１１が開始される。ステップＳ１０１１において、データ処理部４５は、ステップＳ１００７およびＳ１００９での測定で取得したデータを処理し、表面形状画像、電流分布画像および／または電気的特性分布画像等を生成する。ステップＳ１０１１が終了したら、ステップＳ１０１３に進む。
【００４２】
ステップＳ１０１３において、データ処理部４５は、ステップＳ１０１１でデータを処理して取得した解析結果を示す画像を表示する。表示部３４は、上記表面形状画像、電流分布画像および／または電気的特性分布画像等を表示する。ステップＳ１０１３が終了したら、処理を終了する。
【００４３】
（顕微鏡用キット）
図５は、本実施形態に係る顕微鏡用キットの内容を示す概念図である。顕微鏡用キットは、顕微鏡のユーザが、当該顕微鏡についての消耗品を補充したり、当該顕微鏡による分析において必要な物品を取得するためのキットである。顕微鏡用キット９０は、容器Ｃに格納された試料固定部材１１と、試料ホルダ１２と、押圧部材９とを備える。図５では、試料ホルダ１２に形成可能なインジウム層の体積に合わせた体積を有する粒子状の試料固定部材１１が示されている。顕微鏡用キット９０は、試料固定部材１１、試料ホルダ１２、および押圧部材９からなる物品群から選択されるいずれか一つの物品を含んでいればよく、その他の物品を含んでいてもよい。
なお、図５では粒子状の試料固定部材１１が示されているが、顕微鏡用キット９０は、線状や板状に加工された試料固定部材１１を含んでいてもよく、その場合、粒子状の試料固定部材１１の粒径や線状の試料固定部材１１の断面の直径、板状の試料固定部材１１の幅等が様々に異なるものを複数含んでいてもよい。また、顕微鏡用キット９０は、試料固定部材１１が試料ホルダ１２の上に層状に形成された試料固定部品１０を備えてもよい。
【００４４】
上述の実施の形態によれば、次の作用効果が得られる。
（１）本実施形態の試料固定方法は、試料ホルダ１２の上にインジウムを配置することと、インジウムに試料Ｓを配置することとを備える。これにより、煩雑な操作を必要とせず試料Ｓを固定でき、試料Ｓを帯電しにくくすることができる。
【００４５】
（２）本実施形態の試料固定方法において、試料ホルダ１２の上にインジウムが層状に形成されたインジウム層を配置する。これにより、煩雑な操作を必要とせず試料Ｓを固定でき、より確実に試料Ｓを帯電しにくくすることができる。
【００４６】
（３）本実施形態の試料固定方法において、インジウムに配置された試料Ｓを押圧部材９により押圧し、試料Ｓの少なくとも一部をインジウムに埋め込む。これにより、手で直接取扱うことが難しい小さな試料Ｓも固定することができ、また、試料Ｓの表面を略水平にしたりすることができる。また、試料Ｓの表面の組成を変化させずに試料Ｓを配置することができる。
【００４７】
（４）本実施形態に係る分析方法は、本実施形態の試料固定方法により試料Ｓが固定された走査型プローブ顕微鏡１により、固定された試料Ｓに関する表面形状データや測定電流データ等のデータを取得する。これにより、煩雑でない操作により試料Ｓを固定でき、試料Ｓが帯電しにくい等の理由により精度の高い分析を行うことができる。
【００４８】
（５）本実施形態に係る分析方法において、走査型プローブ顕微鏡１は探針２３０を備え、探針２３０と固定された試料Ｓとの間に流れる電流を測定する。これにより、試料Ｓの帯電を抑えつつ、インジウムの低い電気抵抗を利用して精度高く電流を測定することができる。
【００４９】
（６）本実施形態に係る試料固定部材は、インジウムを主成分として含む。これにより、煩雑な操作を必要とせず試料Ｓを固定でき、試料Ｓを帯電しにくくすることができる。
【００５０】
（７）本実施形態に係る試料固定部品は、試料ホルダ１２と、試料ホルダ１２の上に配置された、試料固定部材１１とを備える。これにより、煩雑な操作を必要とせず試料Ｓを固定でき、試料Ｓを帯電しにくくすることができる。
【００５１】
（８）本実施形態に係る試料固定部品において、試料固定部材１１はインジウムが層状に形成されたインジウム層を備える。これにより、煩雑な操作を必要と節試料Ｓを固定でき、より確実に試料Ｓを帯電しにくくすることができる
【００５２】
（９）本実施形態に係る顕微鏡は、試料固定部材１１および試料固定部品１０を備える。これにより、煩雑な操作を必要とせず試料Ｓを固定でき、試料Ｓが帯電しにくい等の理由により精度の高い分析を行うことができる。
【００５３】
（１０）本実施形態に係る顕微鏡は、探針２３０、および、探針２３０と試料固定部材１１に配置された試料Ｓとの間に流れる電流を測定する測定部１００を備える。これにより、試料Ｓの帯電を抑えつつ、インジウムの低い電気抵抗を利用して精度高く電流を測定することができる。
【００５４】
（１１）本実施形態に係る顕微鏡用セットは、試料固定部材１１を備える。これにより、顕微鏡のユーザは、煩雑な操作を必要とせず試料Ｓを顕微鏡に固定でき、試料Ｓが帯電しにくい等の理由により、当該顕微鏡を用いて精度の高い分析を行うことができる。
【００５５】
（１２）本実施形態に係る顕微鏡用セットは、試料固定部材１１に配置された試料Ｓを押圧するための押圧部材９を備える。これにより、顕微鏡のユーザは、手で直接取扱うことが難しい小さな試料Ｓも顕微鏡に固定することができ、また、試料Ｓの表面を略水平にしたりすることができる。また、試料Ｓの表面の組成を変化させずに試料Ｓを顕微鏡に配置することができる。
【００５６】
（１３）本実施形態に係る顕微鏡用セットは、顕微鏡の試料台に配置可能な板状の金属部材（試料ホルダ１２）を備える。これにより、顕微鏡のユーザは、試料固定部品１０を容易に作成することができる。
【００５７】
（１４）本実施形態に係る顕微鏡用セットにおいて、試料固定部材１１は、粒子状、線状、または板状に形成されている。これにより、試料固定部材１１を適当な大きさに加工することが容易になり、試料固定部品１０をさらに容易に作成することができる。
【００５８】
次のような変形も本発明の範囲内であり、上述の実施形態と組み合わせることが可能である。以下の変形例において、上述の実施形態と同様の構造、機能を示す部位に関しては、同一の符号で参照し、適宜説明を省略する。
（変形例１）
上述では本実施形態の試料固定方法を走査型プローブ顕微鏡に適用する例を示したが、探針と試料Ｓとの間を流れる電流を測定する電子顕微鏡にも好適に使用できる。また、本実施形態の試料固定方法は、表面電位顕微鏡、磁気力顕微鏡等の試料の電気的特性に基づいて探針に加わる力を測定する顕微鏡においても試料Ｓの帯電を抑え好適に使用できる。その他の顕微鏡についても、本実施形態の試料固定方法を適用することにより、煩雑な操作を必要とすることなく試料Ｓの固定を行うことができる。また、本実施形態の試料固定方法は、顕微鏡に限らず、試料Ｓの固定が必要な分析装置、検査装置等の様々な装置に用いることができ、煩雑な操作を必要とすることなく試料Ｓの固定を行うことができる。
【００５９】
本発明は上記実施形態の内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。
【符号の説明】
【００６０】
１…走査型プローブ顕微鏡、９…押圧部材、１０…試料固定部品、１１…試料固定部材、１２…試料ホルダ、１３…試料台、１４…スキャナ、１５…電圧印加部、２３…カンチレバー、２５…光検出器、３０…情報処理部、４０…制御部、４１…位置検出部、４２…電流検出部、４３…位置制御部、４４…電圧制御部、４５…データ処理部、９０…顕微鏡用キット、１００…測定部、２３０…探針、Ｓ，Ｓ１，Ｓ２…試料。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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