(57)【要約】【課題】測定対象物の形状や配置、測定対象物そのものが変更されたとしても、測定対象物との電気的な接続が困難となることが抑制された検査装置を提供する。【解決手段】測定対象物と接触する複数の電気的接点５１と、複数の電気的接点の設けられる複数の把持部３１，３２と、複数の把持部に設けられた電気的接点を架橋する架橋部７０と、架橋部に設けられたノイズ対策素子と、を有する。架橋部は、架橋する複数の電気的接点の設けられる把持部の相対位置の変動に対応して変形可能である。【選択図】図１
2019120620.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物と接触することで前記測定対象物と電気的に接続される複数の電気的接点（５１）と、
複数の前記電気的接点の設けられる複数の把持部（３１，３２）と、
複数の前記把持部に設けられた前記電気的接点を架橋しつつ電気的に接続する架橋部（７０）と、
前記架橋部に設けられたノイズ対策素子（９０）と、を有し、
前記架橋部は、架橋する複数の前記電気的接点の設けられる前記把持部の相対位置の変動に対応して変形可能である検査装置。
【請求項２】
複数の前記把持部それぞれは、前記電気的接点の設けられる先端部（３４）と、前記先端部を支持する支持部（３３）と、前記先端部と前記支持部とに互いに離れる方向の復元力を付与する復元部材（３５）と、を有し、
前記復元部材は前記先端部の延長方向に弾性変形可能である請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記把持部は絶縁材料から成り、前記把持部と前記電気的接点とは非導通となっている請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記架橋部は、可撓性を有する可撓基板（７１）と、前記可撓基板よりも硬い複数の配線基板（７２，７３）と、を有し、
前記配線基板に前記ノイズ対策素子が設けられている請求項１〜３いずれか１項に記載の検査装置。
【請求項５】
前記配線基板には挿入孔（７７）が形成され、
前記配線基板の挿入孔に対して前記把持部は着脱可能である請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記電気的接点は底を有する筒形状を成し、
前記電気的接点の中空に対して前記把持部は着脱可能である請求項１〜４いずれか１項に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に示されるように、チップの試験に用いられる錘付バイパスコンデンサ部が知られている。チップにはパスコン用パッドが設けられている。錘付バイパスコンデンサ部はコンデンサと３つの端子を有する。３つの端子はコンデンサを３点で支える。３つの端子は錘付バイパスコンデンサ部の自重によりパスコン用パッドと電気的に接続される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１１−７６１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に示される錘付バイパスコンデンサ部では、コンデンサとパスコン用パッドとを電気的に接続しつつ、コンデンサを支えるために、３つの端子の形状と配置が固定されている。そのためにパスコン用パッドの配置が変更されると、それに応じて３つの端子の形状と配置も設計変更しなくてはならない。このように錘付バイパスコンデンサ部（検査装置）は、測定対象物の形状や配置が変更されたり、測定対象物そのものが変更されたりすると、測定対象物との電気的な接続が困難になる。
【０００５】
そこで本開示は、測定対象物の形状や配置、測定対象物そのものが変更されたとしても、測定対象物との電気的な接続が困難となることが抑制された検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
開示の１つは、測定対象物と接触することで測定対象物と電気的に接続される複数の電気的接点（５１）と、
複数の電気的接点の設けられる複数の把持部（３１，３２）と、
複数の把持部に設けられた電気的接点を架橋しつつ電気的に接続する架橋部（７０）と、
架橋部に設けられたノイズ対策素子（９０）と、を有し、
架橋部は、架橋する複数の電気的接点の設けられる把持部の相対位置の変動に対応して変形可能である。
【０００７】
このように架橋部（７０）は、複数の把持部（３１，３２）の相対位置の変動に対応して変形可能となっている。そのため、測定対象物の形状や配置、また測定対象物そのものが変更されたとしても、それに応じて複数の把持部（３１，３２）の相対位置を変動することができる。すなわち、複数の把持部（３１，３２）に設けられた電気的接点（５１）の相対位置を変動することができる。これにより検査装置と測定対象物との電気的な接続が困難となることが抑制される。
【０００８】
また複数の電気的接点（５１）は架橋部（７０）によって電気的に接続されている。そしてこの架橋部（７０）にノイズ対策素子（９０）が設けられている。これによれば測定対象物にノイズ対策素子（９０）を固定しなくとも、測定対象物のノイズの増減を検証することができる。そのためノイズ検証時間を短縮することができる。
【０００９】
なお、上記の括弧内の参照番号は、後述の実施形態に記載の構成との対応関係を示すものに過ぎず、技術的範囲を何ら制限するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１実施形態にかかる検査装置を示す正面図である。
【図２】検査装置の先端を説明する下面図である。
【図３】把持部を説明するための断面図である。
【図４】把持部とプローブとの接続状態を説明するための部分断面図である。
【図５】架橋部を説明するための正面図である。
【図６】架橋部を説明するための下面図である。
【図７】第２実施形態にかかる検査装置を示す正面図である。
【図８】把持部と連結部の連結状態を説明するための断面図である。
【図９】第３実施形態にかかる検査装置を示す正面図である。
【図１０】架橋部を説明するための上面図である。
【図１１】検査装置の分解正面図である。
【図１２】検査装置の変形例を示す正面図である。
【図１３】検査装置の変形例を示す正面図である。
【図１４】検査装置の変形例を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本開示の実施形態を図に基づいて説明する。
【００１２】
（第１実施形態）
図１〜図６に基づいて本実施形態にかかる検査装置１０を説明する。検査装置１０は回路基板の設計レイアウトを決定する際に用いられる。回路基板が測定対象物に相当する。
【００１３】
回路基板は、配線基板と、配線基板に設けられた電子素子と、を有する。配線基板は絶縁基板と、この絶縁基板に形成された配線パターンと、を有する。絶縁基板にはスルーホールが形成されている。このスルーホールに電子素子のリードが挿入される。そしてリードと配線パターンとがはんだなどによって電気的および機械的に接続される。
【００１４】
このように配線基板に電子素子を搭載することで回路基板の設計レイアウトが決定される。この回路基板が駆動して電流が流れ始めると電磁ノイズが発生する。この電磁ノイズの発生を抑制するためにはコンデンサなどの回路素子を配線基板に新たに搭載することが必要になる。すなわち、回路基板の設計レイアウトの見直しが必要になる。電磁ノイズの発生の抑制を検証するには、この設計レイアウトの変更を必要に応じて繰り返すことになる。
【００１５】
このような設計レイアウトの変更に伴う工数の増大を抑制するのに検査装置１０は用いられる。以下においては互いに直交の関係にある３方向を、ｘ方向、ｙ方向、ｚ方向と示す。
【００１６】
＜検査装置の概要＞
図１に示すように検査装置１０は、本体部３０、プローブ５０、および、架橋部７０を有する。また図５に示すように検査装置１０はノイズ対策素子９０を有する。本体部３０はユーザが手などで把持するものである。本体部３０はユーザが片手若しくは両手で把持する形状となっている。この本体部３０に複数のプローブ５０が設けられている。ユーザによる本体部３０の操作によって、複数のプローブ５０の相対位置が変動する。このプローブ５０の先端が、回路基板におけるノイズ検証部位に接触される。
【００１７】
図２に示すように架橋部７０は複数のプローブ５０を架橋している。架橋部７０は複数のプローブ５０の相対位置の変動に対応して弾性変形可能となっている。この架橋部７０にコンデンサなどのノイズ対策素子９０が搭載される。ノイズ対策素子９０は架橋部７０を介して複数のプローブ５０と電気的に接続されている。
【００１８】
２つのプローブ５０がノイズ検証部位に接触されると、そのノイズ検証部位に対して、２つのプローブ５０と架橋部７０とによって構成されたバイパス経路が接続される。このバイパス経路に上記のノイズ対策素子９０が電気的に接続されている。このためにバイパス経路とノイズ対策素子９０から成るバイパス回路がノイズ検証部位に並列接続される。
【００１９】
このように検査装置１０によれば、回路基板の設計レイアウトを変更することなく、任意のノイズ検証部位にバイパス回路を並列接続することができる。このような検査装置１０の回路基板への接続をユーザが適宜選択し、その都度回路基板の出力をスペクトラムアナライザーなどによって検証する。こうすることで設計レイアウトの変更に伴う工数の増大が抑制される。
【００２０】
なおもちろんではあるが、複数の検査装置１０を用意しておき、これら複数の検査装置１０を回路基板に接触する。こうすることで設計レイアウトの変更を検討してもよい。これら複数の検査装置１０それぞれの有するノイズ対策素子９０の種類はもちろん異なってもよい。ノイズ対策素子９０としてはコンデンサの他に、抵抗、インダクタ、コモンモードチョークコイルなどの受動素子を採用することができる。
【００２１】
また、回路基板を作成している途中において、配線基板に検査装置１０を電子素子の代わりとして接続する。こうすることで回路基板の設計レイアウトを検証してもよい。
【００２２】
＜検査装置の構成＞
次に、検査装置１０の構成を詳説する。図１に示すように検査装置１０の本体部３０は第１把持部３１と第２把持部３２を有する。第１把持部３１と第２把持部３２は一方向に延びた柱形状を成している。ユーザは第１把持部３１と第２把持部３２とを片手若しくは両手でつかみ、第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの先端が互いに近づくように、若しくは、先端が互いに離れるように操作する。これにより第１把持部３１と第２把持部３２の先端同士の離間間隔が変動する。
【００２３】
第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの先端にプローブ５０が設けられる。上記の第１把持部３１と第２把持部３２の操作により、第１把持部３１と第２把持部３２それぞれのプローブ５０の相対位置が変動する。これにより回路基板と接触される２つのプローブ５０の先端の間隔が変動する。
【００２４】
第１把持部３１と第２把持部３２の軸方向の長さ、および、この軸方向に直交する径方向の長さそれぞれはユーザが片手や両手で操作するのに適した長さに決定される。第１把持部３１と第２把持部３２の軸方向の長さは例えば１２０ｍｍ〜２００ｍｍに設定される。第１把持部３１と第２把持部３２の径方向の長さは例えば５ｍｍ〜１５ｍｍに設定される。
【００２５】
第１把持部３１と第２把持部３２は同一形状を成している。そのために以下においては説明が煩瑣となることを避けるために第２把持部３２の説明を省略し、第１把持部３１を主として説明する。そして第１把持部３１の延びる軸方向を単に軸方向と示す。この軸方向に直交する方向を単に径方向と示す。
【００２６】
図３に示すように第１把持部３１と第２把持部３２それぞれは支持部３３、先端部３４、および、復元部材３５を有する。これら支持部３３と先端部３４の形成材料は絶縁性の樹脂材料である。支持部３３と先端部３４は射出成型などによって別々に製造される。これに対して復元部材３５は金属材料を加工することで製造される。絶縁性の樹脂材料が絶縁材料に相当する。
【００２７】
支持部３３は軸部３６と蓋部３７を有する。軸部３６は軸方向に延びる柱形状を成している。蓋部３７は軸方向に面する形状を成している。軸部３６の一端側には、その一端側の端面から他端側に向かって凹んだ凹部３８が形成されている。蓋部３７はこの凹部３８の開口を閉塞する態様で軸部３６の一端側に嵌合などによって固定される。これにより軸部３６の一端側に凹部３８と蓋部３７とによって空間が構成されている。以下においてはこの凹部３８と蓋部３７とによって構成される空間を収納空間と示す。
【００２８】
蓋部３７には、凹部３８側の内面３７ａとその裏側の外面３７ｂそれぞれに開口する挿抜孔３７ｃが形成されている。上記の収納空間はこの挿抜孔３７ｃを介して外部空間と連通している。この収納空間と挿抜孔３７ｃに先端部３４の一部が設けられる。なお挿抜孔３７ｃは軸方向に沿っている。
【００２９】
先端部３４は内軸部３９、規制部４０、および、外軸部４１を有する。これら内軸部３９、規制部４０、および、外軸部４１それぞれは軸方向に延びた柱形状を成している。収納空間から挿抜孔３７ｃに向かって、内軸部３９、規制部４０、および、外軸部４１が順に並んでいる。内軸部３９と外軸部４１は規制部４０を介して一体的に連結されている。内軸部３９と外軸部４１は軸方向において互いに規制部４０から離れるように延びている。
【００３０】
内軸部３９と規制部４０それぞれは収納空間に設けられる。外軸部４１の規制部４０との連結部位側は挿抜孔３７ｃに設けられる。これに対して外軸部４１の規制部４０との連結部位とは反対側（先端側）は収納空間と挿抜孔３７ｃの外に設けられる。
【００３１】
図３に示すように規制部４０は挿抜孔３７ｃよりも径方向の長さが長くなっている。規制部４０における外軸部４１の形成された外端面４０ａと蓋部３７の内面３７ａとが軸方向で対向している。この規制部の外端面４０ａと蓋部３７の内面３７ａとの接触によって、先端部３４の軸方向における内面３７ａから外面３７ｂ側への移動が規制されている。先端部３４の挿抜孔３７ｃからの抜け落ちが規制されている。
【００３２】
凹部３８の底面３８ａには、軸方向において挿抜孔３７ｃから離れるように局所的に凹んだガイド孔４２が形成されている。内軸部３９の規制部４０との連結部位とは反対側（先端側）がこのガイド孔４２に挿入される。ガイド孔４２の径方向の長さに対して、内軸部３９の径方向の長さはわずかに短くなっている。この内軸部３９の先端とガイド孔４２を区画する壁面との径方向における接触によって、内軸部３９の径方向の移動が規制されている。また内軸部３９の先端とガイド孔４２を区画する壁面との軸方向における接触によって、先端部３４の軸方向における外面３７ｂから内面３７ａ側への移動が規制されている。先端部３４の全てが収納空間に収納されることが規制されている。
【００３３】
復元部材３５は軸方向にらせん形状に巻き回されたスプリングである。復元部材３５の中空に内軸部３９が挿入される。図３に示すように規制部４０の外端面４０ａが蓋部３７の内面３７ａに接触している状態において、復元部材３５の一端が規制部４０における内軸部３９の形成された内端面４０ｂと接触している。復元部材３５の一端とは反対側の他端が凹部３８におけるガイド孔４２の開口する底面３８ａと接触している。復元部材３５は内端面４０ｂと底面３８ａとの間で縮まっている。したがってこの接触状態において復元部材３５は、軸方向において自身から離れる方向に沿う復元力を発生させている。この復元力によって規制部４０と蓋部３７との接触が保持されている。すなわち、先端部３４の支持部３３に対する位置が規定されている。
【００３４】
復元部材３５は外面３７ｂから内面３７ａに向かう圧力が外軸部４１に付与されると軸方向に沿って縮むように弾性変形する。これにより外軸部４１は収納空間の内に向かって移動する。規制部４０は蓋部３７から遠ざかる。この外面３７ｂから内面３７ａに向かう圧力の外軸部４１への付与が解除されると、復元部材３５は元に戻るように弾性変形する。これにより外軸部４１は収納空間の外に向かって移動する。規制部４０は蓋部３７に近づく。以上に示したように軸方向に沿う圧力の外軸部４１への付与によって、外軸部４１は収納空間に対して軸方向に沿って挿抜するように移動可能となっている。軸方向が延長方向に相当する。
【００３５】
プローブ５０は導電性を有する真鍮などの金属材料から成る。プローブ５０は電気的接点５１と座金５２を有する。電気的接点５１は軸方向に延びた形状を成している。座金５２は軸方向に面する形状を成している。電気的接点５１の２つの端部のうちの一方（先端）は尖鋭化している。座金５２は電気的接点５１の２つの端部のうちの他方に一体的に連結されている。電気的接点５１の径方向の長さは数ｍｍに設定される。
【００３６】
図３および図４に示すように外軸部４１の先端には、座金５２を固定するための切欠き４３が形成されている。切欠き４３は径方向に開口している。また切欠き４３は軸方向にも開口している。この切欠き４３に対して径方向から座金５２が圧入される。これによりプローブ５０は外軸部４１に固定されている。電気的接点５１の先端は切欠き４３の軸方向の開口から外に飛び出している。
【００３７】
この電気的接点５１の先端が回路基板におけるノイズ検証部位に接触される。回路基板との接触によって電気的接点５１に支持部３３の収納空間へと向かう力が印加される。これにより復元部材３５は先端部３４と支持部３３との間で軸方向に沿って縮む。復元部材３５から電気的接点５１に回路基板へと向かう復元力が付与される。この復元力によって電気的接点５１の先端が回路基板に押圧される。これにより電気的接点５１と回路基板との接触が確保される。電気的接点５１と回路基板との電気的な接続が安定化される。
【００３８】
架橋部７０は第１把持部３１のプローブ５０と第２把持部３２のプローブ５０とを電気的に接続する。図５および図６に示すように架橋部７０は、可撓基板７１、第１配線基板７２、および、第２配線基板７３を有する。
【００３９】
可撓基板７１は可撓性を有する。可撓基板７１はフレキシブル基板である。可撓基板７１は第１配線パターン７５を有する。図６に示すように可撓基板７１はｘ方向に延びた形状を成している。そして可撓基板７１の中央はｚ方向に凸となるように湾曲している。そのために可撓基板７１はｘ方向に弾性変形し易くなっている。この可撓基板７１の一端に第１配線基板７２が連結されている。可撓基板７１の他端に第２配線基板７３が連結されている。
【００４０】
第１配線基板７２と第２配線基板７３それぞれは可撓基板７１よりも硬い材料で形成されている。第１配線基板７２と第２配線基板７３はガラエポ基板である。第１配線基板７２と第２配線基板７３それぞれは第２配線パターン７６を有する。この第２配線パターン７６ははんだなどを介して第１配線パターン７５と電気的に接続されている。
【００４１】
第１配線基板７２と第２配線基板７３それぞれはｘ方向に延びた形状を成している。第１配線基板７２と第２配線基板７３それぞれの一端が可撓基板７１と連結される。第１配線基板７２と第２配線基板７３それぞれの他端がプローブ５０と連結される。また第１配線基板７２と第２配線基板７３それぞれの他端が把持部に機械的に接続される。
【００４２】
図６に示すように第１配線基板７２と第２配線基板７３それぞれの他端の中央にｚ方向に貫通する挿入孔７７が形成されている。挿入孔７７は第１配線基板７２と第２配線基板７３のｚ方向に面する上面７０ａとその反対側の下面７０ｂとに開口している。この挿入孔７７に上面７０ａから下面７０ｂ側に向かって電気的接点５１の先端が挿入される。これによりプローブ５０の座金５２が第１配線基板７２と第２配線基板７３それぞれの上面７０ａと対向する。第１配線基板７２と第２配線基板７３それぞれははんだなどを介してプローブ５０の座金５２と接続される。これにより第１配線基板７２と第２配線基板７３それぞれの第２配線パターン７６はプローブ５０と電気的に接続されている。
【００４３】
このプローブ５０の設けられた第１配線基板７２の他端は、プローブ５０の座金５２とともに、第１把持部３１の外軸部４１の先端に形成された切欠き４３に圧入される。これにより第１配線基板７２は第１把持部３１に機械的に接続される。同様にしてプローブ５０の設けられた第２配線基板７３の他端は、プローブ５０の座金５２とともに、第２把持部３２の外軸部４１の先端に形成された切欠き４３に圧入される。これにより第２配線基板７３は第２把持部３２に機械的に接続される。
【００４４】
なお、上記した第１配線基板７２および第２配線基板７３それぞれの他端とプローブ５０の切欠き４３への圧入により、第１配線基板７２、第２配線基板７３、および、プローブ５０それぞれは外軸部４１と接触する。しかしながら外軸部４１は絶縁性の樹脂材料からなる。したがって第１配線基板７２、第２配線基板７３、および、プローブ５０それぞれは外軸部４１と電気的に接続されず、非導通となっている。
【００４５】
ノイズ対策素子９０は第１配線基板７２に設けられている。このノイズ対策素子９０の設けられる第１配線基板７２の第２配線パターン７６の一部が除去されて、電気的な接続が断たれている。ノイズ対策素子９０はこの電気的な接続の断たれた第２配線パターン７６を架橋して接続するように、はんだによって第１配線基板７２に固定されている。接続の断たれた２つの第２配線パターン７６のうちの一方に、ノイズ対策素子９０としてのコンデンサを構成する２つの対向電極のうちの一方が電気的に接続される。接続の断たれた２つの第２配線パターン７６のうちの他方に、ノイズ対策素子９０としてのコンデンサを構成する２つの対向電極のうちの他方が電気的に接続される。
【００４６】
以上に示した電気的な接続構成により、第１把持部３１に固定されたプローブ５０が架橋部７０とノイズ対策素子９０を介して第２把持部３２に固定されたプローブ５０と電気的に接続されている。これによりバイパス回路が構成されている。
【００４７】
図１に示すように第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの支持部３３には、ひもを通すための通し孔が形成されている。詳しく言えば、支持部３３の蓋部３７に第１通し孔３７ｄが形成されている。そして軸部３６における蓋部３７の嵌合される一端とは反対の他端側に第２通し孔３６ａが形成されている。
【００４８】
第１把持部３１の第１通し孔３７ｄと第２把持部３２の第１通し孔３７ｄとに第１ひも４４を通す。また第１把持部３１の第２通し孔３６ａと第２把持部３２の第２通し孔３６ａとに第２ひも４５を通す。これにより第１把持部３１と第２把持部３２は第１ひも４４と第２ひも４５とによって機械的に連結される。
【００４９】
第１ひも４４は第２ひも４５よりも短くなっている。そのため、図１に示すように第１ひも４４と第２ひも４５それぞれを円弧形状に延ばした場合、検査装置１０は、第１把持部３１と第２把持部３２それぞれのプローブ５０の電気的接点５１の先端側を中心とする円弧形状を形作る。このように第１把持部３１と第２把持部３２それぞれに設けられたプローブ５０の電気的接点５１の先端側を、不動点である円弧の中心側とする。これにより第１把持部３１と第２把持部３２それぞれのプローブ５０の電気的接点５１の先端の最大離間距離が規定されている。この結果、第１把持部３１のプローブ５０と第２把持部３２のプローブ５０とを架橋する架橋部７０の伸びが規定されている。
【００５０】
＜ノイズ検証方法＞
次に検査装置１０を用いたノイズ検証方法を概説する。先ずユーザは物性値や特性の異なるノイズ対策素子９０を有する検査装置１０を複数用意する。そしてユーザはその複数の検査装置１０の中から、ノイズ検証に用いるノイズ対策素子９０の設けられたものを選択する。なお検査装置１０へのノイズ対策素子９０の取り付けが可変な場合、ユーザはノイズ検証に用いるノイズ対策素子９０を選択し、それを検査装置１０に取り付けてもよい。
【００５１】
検査装置１０を選択した後に、ユーザは選択した検査装置１０の本体部３０を把持して、回路基板のノイズ検証部位に応じて本体部３０を操作する。すなわちユーザは第１把持部３１と第２把持部３２とを手でつかみ、回路基板のノイズ検証部位の形状や配置に応じて第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの先端が互いに近づくように、若しくは、互いに離れるように操作する。これによりユーザは第１把持部３１と第２把持部３２それぞれに設けられたプローブ５０の電気的接点５１の先端の相対距離を変動させる。ユーザはこの電気的接点５１の先端をノイズ検証部位に押圧する。こうすることで把持部の復元部材３５を弾性変形させ、復元部材３５の復元力によって電気的接点５１とノイズ検証部位との電気的な接続を安定化させる。
【００５２】
電気的接点５１とノイズ検証部位との電気的な接続を安定化させた後に、ユーザはスペクトルアナライザなどによって回路基板の出力に含まれる電磁ノイズが減少したか否かを判定する。電磁ノイズがユーザの所望値よりも減少した場合、ノイズ検証は終了となる。これとは異なり電磁ノイズが所望値よりも減少していない場合、ユーザは検査装置１０と回路基板との接触位置を変更する。すなわちユーザはノイズ検証部位を変更する。
【００５３】
ノイズ検証部位を変更した後に、ユーザはスペクトルアナライザなどによって回路基板の出力に含まれる電磁ノイズが減少したか否かを再度判定する。電磁ノイズが所望値よりも減少した場合、ノイズ検証は終了となる。これとは異なり電磁ノイズが所望値よりも減少していない場合、ユーザは再度上記の処理を繰り返す。以上に示したように、回路基板の設計レイアウトを変更せずに、選択する検査装置１０の変更や検査装置１０の接触位置の変更を行うことで電磁ノイズの減少を検証する。
【００５４】
＜作用効果＞
次に、本実施形態にかかる検査装置１０の作用効果を説明する。上記したように検査装置１０は本体部３０とプローブ５０を有する。本体部３０は第１把持部３１と第２把持部３２を有する。これら第１把持部３１と第２把持部３２それぞれにプローブ５０が設けられている。そして第１把持部３１と第２把持部３２それぞれのプローブ５０は架橋部７０によって電気的に接続されている。架橋部７０は、可撓基板７１、第１配線基板７２、および、第２配線基板７３を有する。可撓基板７１は可撓性を有している。
【００５５】
以上により、可撓基板７１を撓ませることで第１把持部３１と第２把持部３２それぞれのプローブ５０の相対位置を変動させることができる。したがって、回路基板の形状や配置、また測定対象物としての回路基板そのものが変更されたとしても、それに応じて第１把持部３１と第２把持部３２それぞれのプローブ５０の相対位置を変動することができる。これにより検査装置１０と回路基板との電気的な接続が困難となることが抑制される。
【００５６】
第１把持部３１に固定されたプローブ５０、架橋部７０、および、第２把持部３２に固定されたプローブ５０によってバイパス経路が構成されている。架橋部７０にノイズ対策素子９０が搭載されている。これによりバイパス回路が構成されている。これによれば検査装置１０のプローブ５０を回路基板に接続することで、回路基板にノイズ検証するためのバイパス回路を電気的に接続することができる。このように回路基板の設計レイアウトを変更しなくとも、回路基板の電磁ノイズの増減を検証することができる。そのためにノイズ検証時間を短縮することができる。
【００５７】
プローブ５０の設けられる把持部は支持部３３、先端部３４、および、復元部材３５を有する。回路基板との接触によってプローブ５０の電気的接点５１に支持部３３の収納空間へと向かう力が印加されると、復元部材３５から電気的接点５１に回路基板へと押圧する復元力が発生する。
【００５８】
これによれば、復元部材３５の復元力によって電気的接点５１と回路基板との接触が確保される。この結果、電気的接点５１と回路基板との電気的な接続が安定化される。
【００５９】
外軸部４１は絶縁性の樹脂材料からなる。そのために外軸部４１とプローブ５０とは非導通となっている。第１把持部３１および第２把持部３２それぞれとバイパス回路とは非導通となっている。
【００６０】
これによれば、把持部とバイパス回路とが電気的に接続された構成とは異なり、復元部材３５の弾性変形によって、架橋部７０を介して電気的に接続される複数のプローブ５０間のインピーダンスが変化することが抑制される。これによりノイズの検証精度が低下することが抑制される。
【００６１】
可撓性を有する可撓基板７１の両端に、可撓基板７１よりも硬い第１配線基板７２と第２配線基板７３が連結されている。そして第１配線基板７２にノイズ対策素子９０が搭載されている。
【００６２】
これによれば、第１把持部３１と第２把持部３２の相対位置の変動による可撓基板７１の変形によって、ノイズ対策素子９０と架橋部７０との接続が不安定になることが抑制される。
【００６３】
第１ひも４４と第２ひも４５を介した第１把持部３１と第２把持部３２の連結により、第１把持部３１と第２把持部３２それぞれのプローブ５０の電気的接点５１の最大離間距離が規定されている。これにより架橋部７０の伸びが規定されている。そのため第１把持部３１と第２把持部３２との離間により架橋部７０に損傷が生じることが抑制される。
【００６４】
（第２実施形態）
次に、本開示の第２実施形態を図７および図８に基づいて説明する。
【００６５】
なお、以下に示す各実施形態にかかる検査装置は第１実施形態によるものと共通点が多い。そのため以下においては共通部分の説明を省略し、異なる部分を重点的に説明する。第１実施形態で示した要素と同一の要素には同一の符号を付与する。また、第１実施形態で説明した図１〜図６に比して以下に説明する図７〜図１４に示す図面は多少デフォルメして示している。
【００６６】
第１実施形態では、外軸部４１に形成された切欠き４３に架橋部７０とプローブ５０それぞれが圧入される例を示した。これに対して本実施形態のプローブ５０の電気的接点５１は底を有する筒形状を成している。図８に示すようにこの電気的接点５１の中空に外軸部４１の先端が圧入される。これにより電気的接点５１と外軸部４１とが機械的に接続される。また電気的接点５１の中空から外軸部４１を抜去することが可能となっている。
【００６７】
以上により、把持部に対して電気的接点５１が着脱可能になっている。すなわち、把持部に対して電気的接点５１の固定された架橋部７０とノイズ対策素子９０それぞれが着脱可能になっている。
【００６８】
これによれば、物性値や特性の異なるノイズ対策素子９０を把持部に対して着脱することが容易となる。したがってノイズ検証にあたって複数の検査装置１０を用意しなくともよくなる。すなわち、電気的接点５１とノイズ対策素子９０の固定された架橋部７０（検査部）は複数用意しなくてはならないが、本体部３０（第１把持部３１と第２把持部３２）は１つ用意すればよくなる。
【００６９】
なお本実施形態にかかる検査装置１０には、第１実施形態に記載の検査装置１０と同等の構成要素が含まれている。そのために同等の作用効果を奏することは言うまでもない。以下に示す各実施形態および変形例でも同様である。したがってその記載を省略する。
【００７０】
（第３実施形態）
次に、本開示の第３実施形態を図９〜図１１に基づいて説明する。
【００７１】
第２実施形態では把持部に対して電気的接点５１が着脱可能な例を示した。これに対して本実施形態では、把持部に対して架橋部７０の配線基板が着脱可能となっている。
【００７２】
図９に示すように本実施形態のプローブ５０（電気的接点５１）は第１配線基板７２と第２配線基板７３それぞれの下面７０ｂにはんだなどを介して接続されている。第１配線基板７２と第２配線基板７３それぞれに形成された挿入孔７７は下面７０ｂ側で閉口している。
【００７３】
挿入孔７７を区画する壁面、および、上面７０ａそれぞれに第２配線パターン７６が形成されている。電気的接点５１はこの第２配線パターン７６と電気的に接続されている。
【００７４】
図１０に示すように可撓基板７１は第１配線基板７２と第２配線基板７３それぞれの上面７０ａにはんだなどを介して接続されている。これにより可撓基板７１の第１配線パターン７５と第１配線基板７２および第２配線基板７３それぞれの第２配線パターン７６とが電気的に接続されている。
【００７５】
挿入孔７７は上面７０ａで開口している。図１１に実線矢印で示すように、この挿入孔７７の上面７０ａの開口から、挿入孔７７の中へと外軸部４１の先端が圧入される。これにより架橋部７０と外軸部４１とが機械的に接続される。また挿入孔７７から外軸部４１を抜去することが可能となっている。これにより第２実施形態と同様にして、ノイズ検証にあたって、検査部を複数用意しなくてはならないが、本体部３０を１つ用意すればよくなる。
【００７６】
なお図１０に示すように挿入孔７７を区画する壁面は、ｚ方向に直交する平面において多角形状を成している。同様にして挿入孔７７に圧入される外軸部４１の先端も多角形状となっている。これにより外軸部４１が挿入孔７７に対してｚ方向まわりの周方向に回転することが抑制されている。この結果、可撓基板７１にねじれが生じることが抑制される。架橋部７０の寿命の低下が抑制される。なおこのような作用効果は、挿入孔７７を区画する壁面、および、挿入孔７７に圧入される外軸部４１の先端それぞれが非円形形状であれば奏される。
【００７７】
以上、本開示の好ましい実施形態について説明したが、本開示は上記した実施形態になんら制限されることなく、本開示の主旨を逸脱しない範囲において、種々変形して実施することが可能である。
【００７８】
（第１の変形例）
各実施形態ではプローブ５０と先端部３４とが別体である例を示した。しかしながら例えば図１２に示すようにプローブ５０が先端部３４としての機能を果たす構成を採用することもできる。この場合、プローブ５０は復元部材３５と接触し、復元部材３５の復元力によって軸方向に変位可能となっている。
【００７９】
（第２の変形例）
各実施形態では検査装置１０が１つのノイズ対策素子９０を有する例を示した。しかしながら検査装置１０の有するノイズ対策素子９０の数としては上記例に限定されず、複数を採用することができる。例えば図１３に示すように検査装置１０は２つのノイズ対策素子９０を有してもよい。これによれば例えば２つのノイズ対策素子９０のうちの一方がショート故障した場合であっても、ノイズ検証時に大電流がバイパス回路に流れることが抑制される。
【００８０】
（第３の変形例）
第１実施形態では第１ひも４４と第２ひも４５を介した第１把持部３１と第２把持部３２の連結により架橋部７０の伸びが規定された例を示した。これに対して、例えば図１４に示すように第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの支持部３３に、架橋部７０の縮みを規定するための出っ張り部４６の形成された構成を採用することもできる。これら出っ張り部４６は第１把持部３１と第２把持部３２それぞれの支持部３３の先端側に形成されている。第１把持部３１では、第１把持部３１の支持部３３から第２把持部３２に向かって出っ張り部４６が突起している。第２把持部３２では、第２把持部３２の支持部３３から第１把持部３１に向かって出っ張り部４６が突起している。これら第１把持部３１の出っ張り部４６と第２把持部３２の出っ張り部４６との接触によって第１把持部３１と第２把持部３２との最短離間距離が規定される。これにより架橋部７０の縮みが規定される。この結果、架橋部７０に損傷が生じることが抑制される。
【００８１】
（その他の変形例）
各実施形態では検査装置１０が２つの把持部を有する例を示した。しかしながら、検査装置１０は３つ以上の把持部を有してもよい。
【００８２】
また各実施形態では複数の把持部がひもなどを介して機械的に接続される例を示した。しかしながら各把持部の有する軸部３６の他端側が弾性変形可能に一体的に連結されたり、ボールジョイントなどによって回動可能に連結されたりした構成を採用することもできる。さらに言えば、複数の把持部は架橋部７０だけで機械的に接続された構成を採用することもできる。
【符号の説明】
【００８３】
１０…検査装置、３１…第１把持部、３２…第２把持部、３３…支持部、３４…先端部、３５…復元部材、５０…プローブ、５１…電気的接点、５２…座金、７０…架橋部、７１…可撓基板、７２…第１配線基板、７３…第２配線基板、７７…挿入孔、９０…ノイズ対策素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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