(57)【要約】マイクロ流体システムは、一列に並べて配置されたモジュール（１，４）から成り、モジュールがそれぞれマイクロ流体ユニット（６）とその電気制御装置（１５）とを有し、モジュール（１，４）がその背面（３）で共通の垂直背壁ユニット（２）に当接し、この背壁ユニット（２）に保持され、モジュール（１，４）においてその背面（３）の部位に、それぞれの制御装置（１５）が、背面（３）から離れた部位に、マイクロ流体ユニット（６）がそれぞれ配置され、制御装置（１５）が、モジュール（１，４）の背面（３）および背壁ユニット（２）に配置された電気差込みコネクタ部（２６，２７）を介して、背壁ユニット（２）内を延びる電気導線バス（２０）に接続でき、それぞれ隣り合う２個のモジュール（１，４）のマイクロ流体ユニット（６）が、接続通路（１２）を含み当該モジュール（１，４）を橋絡する接続部（１１）を介して、互いに流体的に接続されている。
2007536542.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一列に並べて配置されたモジュール（１，４）から成り、モジュールがそれぞれマイクロ流体ユニット（６）とその電気制御装置（１５）とを有するマイクロ流体システムにおいて、
モジュール（１，４）がその背面（３）で共通の垂直背壁ユニット（２）に当接し、この背壁ユニット（２）に保持され、
モジュール（１，４）においてその背面（３）の部位にそれぞれの制御装置（１５）が配置され、背面（３）から離れた部位にマイクロ流体ユニット（６）が配置され、
制御装置（１５）が、モジュール（１，４）の背面（３）および背壁ユニット（２）に配置された電気差込みコネクタ部（２６，２７）を介して、背壁ユニット（２）内を延びる電気導線バス（２０）に接続でき、
それぞれ隣り合う２個のモジュール（１，４）のマイクロ流体ユニット（６）が、接続通路（１２）を含み当該モジュール（１，４）を橋絡する接続部（１１）を介して、互いに流体的に接続されている
ことを特徴とするマイクロ流体システム。
【請求項２】
モジュール（１，４）における制御装置（１５）はモジュール特有の機能を実行するためだけに形成され、モジュール特有の機能の他にモジュールに作用する機能は、背壁ユニット（２）に一体に組み入れられているか又は背壁ユニット（２）に保持されている補助制御装置によって実行されることを特徴とする請求項１に記載のマイクロ流体システム。
【請求項３】
マイクロ流体ユニット（６）はそれぞれのモジュール（１，４）の上側面（５）の部位に配置され、モジュール（１，４）における他のマイクロ流体ユニットおよび／またはマクロ流体ユニット（１０）は、当該マイクロ流体ユニット（６）の下側に配置され、このマイクロ流体ユニット（６）に流体的に接続されていることを特徴とする請求項１または２に記載のマイクロ流体システム。
【請求項４】
異なったモジュール（１，４）におけるマイクロ流体ユニット（６）の、それぞれ流体接続口（８）を含む側は、共通平面に並べて位置し、接続部（１１）がこの平面内でマイクロ流体部分（６）に当接し、それぞれ隣り合う２個のマイクロ流体部分（６）がそれぞれ１つの接続部（１１）と部分的に重ね合わされ、接続部（１１）が、隣接マイクロ流体部分（６）の重なり領域に位置する流体接続口（８）を、接続部（１１）内の接続通路（１２）を介して互いに接続することを特徴とする請求項１ないし３の１つに記載のマイクロ流体システム。
【請求項５】
マイクロ流体ユニットが平面マイクロ流体部分として形成されていることを特徴とする請求項１ないし４の１つに記載のマイクロ流体システム。
【請求項６】
接続部（１１）がモジュール（１，４）に保持され、マイクロ流体部分（６）が外側から接続部に据え付けできることを特徴とする請求項４または５に記載のマイクロ流体システム。
【請求項７】
マイクロ流体部分（６）がモジュール（１，４）に保持され、接続部（１１）が外側からマイクロ流体部分（６）に据え付けできることを特徴とする請求項４または５に記載のマイクロ流体システム。
【請求項８】
モジュール（１，４）が操作可能なロック装置（１４）を有し、このロック装置（１４）が、ロック状態において外側から据え付け可能なマイクロ流体部分（６）ないしは接続部（１１）を、モジュール（１，４）に保持されたマイクロ流体ユニット（６）ないしは接続部（１１）に押し付けることを特徴とする請求項６または７に記載のマイクロ流体システム。
【請求項９】
ロック装置が蓋部分（４３）として形成され、この蓋部分（４３）が、閉鎖状態において外側から据え付け可能なマイクロ流体部分（６）ないしは接続部（１１）を、モジュール（１，４）に保持されたマイクロ流体ユニット（６）ないしは接続部（１１）に押し付けることを特徴とする請求項８に記載のマイクロ流体システム。
【請求項１０】
モジュール（１，４）が、その背面（３）および背壁ユニット（２）に配置された流体差込みコネクタ部（２８〜３１）を介して、背壁ユニット（２）内を延び少なくとも１種の補助流体を案内する少なくとも１つの流体管路（２３，２４）に接続できることを特徴とする請求項１ないし９の１つに記載のマイクロ流体システム。
【請求項１１】
背壁ユニット（２）が、モジュール（１，４）における制御装置（１５）に対向して位置する部位に、強制冷却手段（２１）を有していることを特徴とする請求項１ないし１０の１つに記載のマイクロ流体システム。
【請求項１２】
モジュール（１，４）においてそれぞれの電気制御装置（１５）が熱伝導物体（１６）上に据え付けでき、この熱伝導物体（１６）が、熱伝達面で平面的に背壁ユニット（２）に当接していることを特徴とする請求項１ないし１１の１つに記載のマイクロ流体システム。
【請求項１３】
モジュール（１，４）の背面（３）がそれぞれ少なくとも１つの凹所（１７）を有し、この凹所（１７）が背壁ユニット（２）と共に外側に向けて密封された空洞（１９）を形成し、この空洞（１９）内に、電気差込みコネクタ部（２６，２７）が置かれることを特徴とする請求項１ないし１２の１つに記載のマイクロ流体システム。
【請求項１４】
電気制御装置（１５）が空洞（１９）内に配置されていることを特徴とする請求項１３に記載のマイクロ流体システム。
【請求項１５】
背壁ユニット（２）内において洗浄流体の流体管路（２２）が延び、この流体管路（２２）から空洞（１９）への分岐路（３２）が通じていることを特徴とする請求項１３または１４に記載のマイクロ流体システム。
【請求項１６】
モジュール（１，４）がその背面（３）の上側部位に、モジュール（１，４）を背壁ユニット（２）の上側部位における懸架装置（３９）に懸架するための手段（４０）を有していることを特徴とする請求項１ないし１５の１つに記載のマイクロ流体システム。
【請求項１７】
モジュール（１，４）がその背面（３）の下側部位に、モジュール（１、４）の背面（３）を背壁ユニット（２）に押し付けるための手段（４１）を有していることを特徴とする請求項１６に記載のマイクロ流体システム。
【請求項１８】
背壁ユニット（２）が背壁セグメント（４８，４９）から構成され、これらの背壁セグメント（４８，４９）が接合箇所に、背壁セグメント（４８，４９）に存在する導線バスセグメント（５３）および場合によっては流体案内セグメント（５４）のための接続端子（５１，５２）を有していることを特徴とする請求項１ないし１７の１つに記載のマイクロ流体システム。
【請求項１９】
背壁ユニット（２）がモジュール（１，４）とは反対側に、補助装置（５６）の取付けおよび接続のための接続端子を備えた取付け場所（５５）を有していることを特徴とする請求項１ないし１８の１つに記載のマイクロ流体システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、国際公開第０１／３６０８５号パンフレット、国際公開第０１／７３８２３号パンフレットおよび国際公開第０２／０６５２２１号パンフレットで知られているようなマイクロ流体システムに関する。公知のマイクロ流体システムは複数のモジュールから成り、それらのモジュールは、それぞれマイクロ流体ユニットとその電気制御装置とを有し、それらの背面において一列に並べて支持レールに据え付けできる。異なったモジュールの制御装置は電気導線バスを介して互いに接続され、マイクロ流体ユニットは流体伝導バスを介して互いに接続されている。国際公開第０２／０６５２２１号パンフレットに示されているように、流体伝導バスは、それぞれ隣り合うモジュールのマイクロ流体ユニットが接続通路を含み当該モジュールを橋絡する接続部を介して互いに接続されることによって形成できる。
【０００２】
要求に応じて、マイクロ流体ユニットは、例えばマイクロ反応器における流体の化学反応の場合に反応温度を調整するためにないしその反応時に生ずる熱を放出するために、冷却ないしは加熱されねばならない。電気制御装置は、一方では熱に敏感であり、他方ではそれ自体廃熱を発生する。
【０００３】
本発明に基づくマイクロ流体システムは、いまや、一列に並べて配置されたモジュールから成り、モジュールがそれぞれマイクロ流体ユニットとその電気制御装置とを有し、
モジュールがその背面で共通の垂直背壁ユニットに当接し、この背壁ユニットに保持され、
モジュールにおいてその背面の部位にそれぞれの制御装置が配置され、背面から離れた部位にマイクロ流体ユニットが配置され、
制御装置が、モジュールの背面および背壁ユニットに配置された電気差込みコネクタ部を介して、背壁ユニット内を延びる電気導線バスに接続でき、
それぞれ隣り合う２個のモジュールのマイクロ流体ユニットが、接続通路を含み当該モジュールを橋絡する接続部を介して、互いに流体的に接続されている。
【０００４】
電気制御装置がモジュールの背面側部位に配置されているので、制御装置で発生された廃熱は、モジュールを保持するために使用する背壁ユニットを介して効果的に放出される。制御装置の背壁ユニット近くが、制御装置を接続する電気導線バス、即ち、データおよびエネルギー供給配線を背壁ユニット内に敷設するために利用され、制御装置と電気導線バスとの間の接続は電気差込みコネクタ部を介して行われる。電気導線バスは区域的にモジュール内を延びておらず、モジュールから分離されているので、特に列を成して置かれる電気差込みコネクタ部の数が最少にされる。マイクロ流体ユニットがモジュール背面から離れた部位、例えばモジュールの正面あるいは上側面に配置され、そこで、それぞれ隣接するモジュールを橋絡する接続部により流体的に接続されることによって、マイクロ流体ユニットは電気制御装置から熱的に切り離される。また、マイクロ流体ユニットはモジュールの正面あるいは上側面の部位への配置によって、容易に接近でき、例えば故障時あるいは損耗時に容易に交換できる。マイクロ流体システムは、例えばエネルギー供給モジュールあるいは圧力供給モジュールのような、流体ユニットを備えていない補助モジュールを有することができ、あるいは例えば流体供給タンクあるいは流体処理タンクのような、制御装置を備えていないモジュールを有することができ、このモジュールはその他のモジュールと同じように背壁ユニットに保持される。
【０００５】
接続技術費用を減少させるために、モジュールにおける制御装置はモジュール特有の機能を実行するためだけに形成され、モジュール特有の機能の他にモジュールに作用する機能は、背壁ユニットに一体に組み入れられているか又は例えば補助モジュールの形で背壁ユニットに保持されている補助制御装置によって実行される。
【０００６】
好適には、マイクロ流体ユニットはそれぞれのモジュールの上側面の部位に配置され、これによって、例えばポンプや弁などのような他のマイクロ流体ユニットまたはマクロ流体ユニットが、モジュールにおける当該マイクロ流体ユニットの下側に配置でき、このマイクロ流体ユニットに流体的に接続できる。しかし、モジュールの前面あるいは上側面にマイクロ流体ユニットを配置する場合、他のマイクロ流体ユニットまたはマクロ流体ユニットを外側からモジュールに据え付け、マイクロ流体ユニットに接続することもできる。
【０００７】
異なったモジュールにおけるマイクロ流体ユニットの、それぞれ流体接続口を含む側は、好適には、共通平面に並べて位置する。この平面内において接続部はマイクロ流体部分に次のように、すなわち、それぞれ隣り合う２個のマイクロ流体部分がそれぞれ１つの接続部と部分的に重ね合わされ、接続部が隣接マイクロ流体部分の重なり領域に位置する流体接続口を接続部内の接続通路を介して互いに接続するように当接する。これにより、流体接続は、マイクロ流体部分における流体接続口およびマイクロ流体部分に当接する接続部内の接続通路を介して直接行われる。場合によっては、マイクロ流体システムを外に対して密封するために、流体接続口の領域にだけ例えばシールリングのようなシール手段が必要とされる。このようにして、マイクロ流体部分間のホースが避けられ、従って流体はマイクロ流体部分内の通路および接続部内の通路のみを案内される。マイクロ流体ユニットは、重なり領域の外側に、例えば上述した他のマイクロ流体ユニットあるいはマクロ流体ユニットを接続するために別の接続口を有する。
【０００８】
マイクロ流体ユニットは、好適には、平面マイクロ流体部分として、例えば単一板として、あるいは、鋼、ガラス、シリコンあるいは他の適当な材料から成る複合板の形に形成されている。１枚ないしは複数枚の板の内部において主に大平面の両板主面に対して平行に延びる流体通路は、板主面に対して垂直に、外側に位置する両板主面の一方あるいは両方における流体接続口および場合によっては別の流体接続口に接続されている。複合板は、隣のマイクロ流体ユニットに接続するための流体接続口も有する流体分配板上に、固有のマイクロ流体ユニットあるいは複数の副マイクロ流体ユニットが並べてあるいは重ねて設けられるように構成することもできる。接続部は、好適には、同様に板としておよび平面マイクロ流体部分と同じ材料で形成され、これによって局所的電気要素の形成が防止される。
【０００９】
接続部は並んで位置するモジュールで直接保持できる。この接続部は、流体接続口を有する側が外側に向けられて共通平面に置かれる。その後、マイクロ流体ユニットが外側から接続部に据え付けられ、これによりマイクロ流体ユニットは接続部に加圧状態で当接する。これは、マイクロ流体ユニットが壊れ易く、一様に分布された圧縮荷重にしか耐えられないとき、あるいは、種々のモジュールにおけるマイクロ流体ユニットが異なった高さを有するとき、特に有利である。なお、接続部の外側面は、載置するマイクロ流体ユニットに対する基準面を規定する。
【００１０】
例えば鋼から成る平面部品あるいは僅かな製造公差を有する精密な平面ガラス部品の場合のようにマイクロ流体ユニットの圧力供給が危険でないとき、マイクロ流体ユニットはモジュールに直接保持できる。その後、接続部は外側からマイクロ流体ユニットに据え付けできる。これは、モジュールが背壁ユニットに固定され、接続部が隣り合うモジュール間に据え付けられる前に、マイクロ流体ユニットをモジュールに組み込めるという利点を有する。従って、マイクロ流体システムにおけるモジュールを交換しようとするとき、当該モジュールからまずマイクロ流体ユニットが除去される必要もない。
【００１１】
また、モジュールは、好適には、操作可能なロック装置、例えば蓋部分を有し、このロック装置は、ロック状態ないしは閉鎖状態において、外側から据え付け可能なマイクロ流体ユニットないしは接続部を、モジュールに直接保持されたマイクロ流体ユニットないしは接続部に押し付ける。その押圧力は直接加えられるか、あるいは、弾性支柱、空気圧作動プランジャ、液体または気体を充填されたクッションのような弾性押圧要素を介して加えられる。このことは特に、押圧すべき部品が製造技術上の理由から精密に平らにできず、このため、ねじ継手あるいは他の押圧要素により一様な圧力供給が実現できないときにも有利である。
【００１２】
モジュールが据え付けられている背壁ユニットは、電気導線バスのほかに、好適には、少なくとも１つの流体管路を有する。この流体管路は、モジュールにおけるマイクロ流体ユニットを温度調節するための冷却流体あるいは加熱流体、モジュールにおける空気圧式調整素子を作動するための圧縮空気、マイクロ流体ユニットにおける流体通路を洗浄するための洗浄流体あるいは発火性混合ガスをモジュールから排除するための洗浄ガスのような少なくとも１種の補助流体を案内する。その場合、モジュールはその背面が相応した流体差込みコネクタ部を介して、背壁ユニットにおける少なくとも１つの流体管路に接続できる。
【００１３】
モジュールにおける電気制御装置で発生した熱を良好に放出するために、背壁ユニットは、有利に、そのモジュールにおける制御装置に対向して位置する部位に、例えば冷却媒体で貫流される冷却コイル、送風機あるいはペルチェ素子のような強制冷却手段を有している。
【００１４】
モジュールにおける電気制御装置から背壁ユニットへの熱伝達は、モジュールにおける制御装置が熱伝導物体上に据え付けられ、この熱伝導物体の熱伝達面が、場合によっては伝熱性ゴムなどの中間層を介して、平面的に背壁ユニットに当接していることによって改善することができる。
【００１５】
爆発危険領域で本発明に基づくマイクロ流体ユニットを使用することは、モジュールの背面がそれぞれ少なくとも１つの凹所を有し、この凹所が背壁ユニットと共に外側に向けて密封された空洞を形成し、この空洞内に、電気差込みコネクタ部が置かれることによって有利に可能となる。追加的に、電気制御装置および場合によっては流体差込みコネクタ部もそれぞれの空洞の内部に配置できる。さらに、背壁ユニット内に洗浄流体の流体管路が設けられ、その流体管路から分岐路が空洞に通じ、これによって、空洞が洗浄流体で貫流される。洗浄流体は外から空洞への空気（酸素）の侵入を阻止し、ないしは希薄化し、空洞内に存在する発火性混合ガスを排除する。また、洗浄流体は差込みコネクタ部および電気制御装置を直接冷却する。
【００１６】
個々のモジュールは種々の様式で背壁ユニットに保持できる。好適には、モジュールは背壁ユニットに懸架され、そのために、モジュールはその背面の上側部位に、背壁ユニットの上側部位における懸架装置に懸架するための手段、例えば取付けレールを有している。このようにして、重いモジュールも簡単かつ確実に背壁ユニットに取付けることができる。モジュールを固定するために、モジュールはその背面の下側部位に、好適には、モジュールの背面を背壁ユニットに押し付け、そのようにして、モジュールにおける制御装置から背壁ユニットへの放熱ないしは電気差込みコネクタ部を収容する空洞の密封性を改善するために、例えばねじ結合あるいはスナップ結合あるいは他のロック装置のような手段を有している。
【００１７】
本発明に基づくマイクロ流体ユニットのモジュール性を高めるためにおよび例えばサブシステムも形成でき互いに結合できるようにするために、背壁ユニットは好適には背壁セグメントから構成でき、これらの背壁セグメントが接合箇所に、背壁セグメント内に含まれる導線バスセグメントおよび場合によっては流体案内セグメントのための接続端子を有している。背壁セグメントはそれぞれモジュールのための予め定められた数の取付け場所を有し、任意の長さの背壁ユニットを形成することを可能にしている。
【００１８】
既に述べたように、補助装置、特に例えばポンプや弁などのようなマクロ流体ユニットがモジュールの内部に配置できる。マクロ流体ユニットが個々のモジュールにおいて設置場所が無いか、モジュール特有の機能ではなく、例えばプロセス監視用の上位ユニットあるいは例えば補助流体（例えば圧縮空気）用の圧力発生器に対するような上位機能が利用される場合には、背壁ユニットがモジュールとは反対側に、補助装置の取付けおよび接続のための接続端子を備えた取付け場所を有するように設計できる。
【００１９】
以下図に示した実施例を参照して本発明を詳細に説明する。
【００２０】
図１はモジュール１を側面図で示し、このモジュール１はその背面３で背壁ユニット２に当接し、背壁ユニット２に保持されている。図２はモジュール１の背面図を示し、図３は他のモジュール４と一列に並べて背壁ユニット２に一緒に保持されているモジュール１の正面図を示している。モジュール１の上側面５は図４に示されている。
【００２１】
モジュール１は、ここではモジュール１の上側面５の部位に、この上側面５に対して平行に配置され保持されている平面マイクロ流体部分の形のマイクロ流体ユニット６を有している。マイクロ流体部分６はその内部に流体通路７を有し、この流体通路７はモジュールの機能に応じて例えば流体の反応器、混合器、滞留域あるいはそのような複数の機能ユニットを形成し、主に、平面マイクロ流体部分６の大平面の両主面に対して平行に延びている。隣のモジュール、ここではモジュール４のマイクロ流体部分内の流体通路に接続するために設けられている流体通路７は、マイクロ流体部分６の上側主面において隣のモジュール近くの部位に存在する流体接続口８に開口している。マイクロ流体部分６の下側主面における他の流体接続口９は、他のマイクロ流体ユニットあるいはマクロ流体ユニット、ここでは例えばポンプ１０を接続するために使われる。このマイクロ流体ユニットあるいはマクロ流体ユニット１０は、モジュール１の内部にマイクロ流体部分６の下側の空間に収納されている。
【００２２】
それぞれ隣り合うモジュール１とモジュール４とのマイクロ流体部分６は、接続通路１２を有する接続部１１を介して互いに流体的に接続されている。そのために、接続部１１は外側からマイクロ流体部分６に据え付けできる。接続部１１は、直接隣り合うモジュール１とモジュール４とのマイクロ流体部分６を橋絡し、その接続通路１２を介して、それぞれ隣り合うマイクロ流体部分６の流体接続口８を互いに接続する。モジュール１が列内の終端モジュールとして１個の隣接モジュール４しか持たない場合、隣接モジュールが存在しない側に据え付けられた接続部１１は、モジュール列に流体を供給ないしは排出するための外部流体導管１３を接続するために使われる。モジュール１，４はそれらの上側面５に操作可能なロック装置１４を有し、このロック装置１４によって、接続部１１がマイクロ流体部分６に押し付けられる。
【００２３】
図１に示されているように、モジュール１は電気制御装置１５を有し、この電気制御装置１５は、例えばマイクロ流体部分６および／または補助流体ユニット１０における弁調製や分析過程のような機能を制御し、例えばそれらのユニット６，１０の温度、圧力あるいは分析結果のような測定値を検出する。制御装置１５はモジュール１の背面３に配置され、そのようにしてマイクロ流体部分６から熱的に切り離されている。図示された実施例において、制御装置１５は熱伝導物体１６上に据え付けられている。この熱伝導物体１６はモジュール１の背面３の部位において凹所１７の内部に配置され、制御装置１５もその凹所１７の内部に置くことができる。凹所１７はガスケット１８で取り囲まれ、モジュール１が保持されている背壁ユニット２と共に密閉空洞１９を形成している。
【００２４】
背壁ユニット２は、データおよびエネルギー供給導線を備えた電気導線バス２０と、ここでは冷却材回路の形の強制冷却装置２１と、例えばマイクロ流体ユニット６に対する冷却液、空気圧式ユニット１０を制御するための圧縮空気あるいは空洞１９を洗浄するための洗浄ガスのような補助流体を案内するための複数の流体管路２２，２３，２４を有している。強制冷却装置２１は、モジュール１における電気制御装置１５に直接対向して位置するように配置され、これにより、電気制御装置１５の廃熱は、熱伝導物体１６および場合によっては熱伝導ゴム２５を介して、強制冷却装置２１が存在している背壁ユニット２に直接導かれる。制御装置１５と電気導線バス２０との電気接続は、背壁ユニット２とモジュール１の背面３とに配置された電気差込みコネクタ部２６，２７によって行われる。同様に、流体ユニット６，１０と流体管路２３，２４との流体的接続は、流体差込みコネクタ部２８，２９ないしは３０，３１によって行われる。流体管路２２は、空洞１９の中に外から発火性混合ガスが侵入できないように、分岐路３２を介して空洞１９に洗浄ガスを供給する。電気導線バス２０、流体管路２２，２３，２４および冷却材回路２１は、背壁ユニット２の垂直幅狭面に、補助的な接続端子３３〜３８を有している。
【００２５】
背壁ユニット２はその上部に取付けレール３９を有し、この取付けレール３９にモジュール１が懸架装置４０によって懸架される。モジュール１を固定するために、および熱伝導物体１６を備えたモジュール背面３と空洞１９を取り囲むガスケット１８とを背壁ユニット２に押し付けるために、下部に取付けねじ４１が設けられている。
【００２６】
図５に示された実施例は上述の実施例とは、接続部１１がマイクロ流体部分６ではなくモジュール１に直に保持されている点で相違している。この接続部１１はその外側に向いた主面、即ち、上側に向いた主面が、外側から接続部１１に押し付けられるマイクロ流体部分６に対する基準平面を形成している。隣のマイクロ流体部分に接続するため並びに補助流体ユニット１０に接続するために用いる流体接続口８ないしは９は、マイクロ流体部分６の唯一の主面、即ち、下側主面に存在している。マイクロ流体部分６は、その下側主面とは反対側の上側主面において、流体接続口８ないしは９に対向して位置する箇所で、押圧要素４２ここではモジュール１の開閉可能な蓋部分４３に配置されている弾性支柱を介して、接続部１１に弾力的に押し付けられている。
【００２７】
図６は、モジュール１に直に据え付け可能な収容部品４４内に接続部１１を保持する実施例を示す。マイクロ流体部分６側の上側面に型板４５が載っている。この型板４５は、マイクロ流体部分６の流体接続口８に対向して位置しパッキンリング４７を取付けられる開口４６を備えている。
【００２８】
図７は、背壁セグメント４８，４９で構成された背壁ユニット２の他の実施例を示している。背壁セグメント４８，４９は接合箇所５０に、背壁セグメント４８，４９に存在する導線バスセグメント５３と流体管路セグメント５４とのための接続端子５１，５２を有している。加えて、背壁ユニット２はモジュールとは反対側に、例えば補助流体用圧力発生器のような補助装置５６を取付けるための取付け場所５５を有している。補助装置５６は、背壁ユニット２における管路に、あるいはここで示されているように、背壁ユニット２における接続端子５７を介して、背壁ユニット２に保持されているモジュールに接続できる。
【００２９】
図８は、２個のモジュール１，４を備えた実施例を示している。両マイクロ流体部分６およびこれらを接続する接続部１１は、モジュール１，４の正面に配置されている。図４の実施例の場合と同じように、接続部１１はロック装置１４によって外側からマイクロ流体部分６に押し付けられている。他の流体補助装置１０はモジュール１，４の外側に据え付けでき、その流体補助装置１０はシール部分５８における流体貫流部を介してマイクロ流体部分６に流体的に接続されている。
【００３０】
最後に図９は、マイクロ流体部分６がモジュール１に直に保持され、接続部１１が外側からマイクロ流体ユニット６に据え付けできる実施例を概略的に示している。マイクロ流体ユニット６は流体分配板５９から成り、この流体分配板５９の上側面に、接続部１１が加圧状態で当接し、さらに複数の副マイクロ流体ユニット６０が並べて設けられている。流体分配板５９の下側面に他の流体補助装置１０が据え付けできる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】背壁ユニットに保持されたモジュールの第１実施例の側面図。
【図２】モジュールの背面図。
【図３】隣の他のモジュールと一緒の背壁ユニットにおけるモジュールの正面図。
【図４】モジュールの平面図。
【図５】モジュールの異なった実施例を示す図。
【図６】図５の実施例における接続部の組立の実施例を示す図。
【図７】背壁ユニットの異なった実施例を示す図。
【図８】モジュールの正面へのマイクロ流体システムおよび接続部の取付けの実施例を示す図。
【図９】モジュールの他の実施例を示す図。
【符号の説明】
【００３２】
１    モジュール
２    背壁ユニット
３    背面
４    モジュール
６    マイクロ流体ユニット
８    流体接続口
１０    マイクロ流体ユニットまたはマクロ流体ユニット
１１    接続部
１２    流体通路
１５    制御装置
１７    凹所
１９    空洞
２３    流体管路
２４    流体管路
２６    差込みコネクタ部
２７    差込みコネクタ部
３２    分岐路
４３    蓋部分
４８    背壁セグメント
４９    背壁セグメント
５６    補助装置
【図１】
2007536542.tif 000003
【図２】
2007536542.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2007536542.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
2007536542.tif 000012
2007536542.tif 000013
2007536542.tif 000014
2007536542.tif 000015
2007536542.tif 000016
2007536542.tif 000017