(57)【要約】【課題】効率よく検査対象物の検査を行う。【解決手段】検査システム（１）は、線源部（２）が配置されている第１室（４１）とは別に、線源部（２）が照射する電磁波を遮蔽する壁で囲まれた第２室（４２）を備え、第２室（４２）にセパレータ捲回体（１０）がストックされている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物を透過する電磁波を照射する線源部と、
上記線源部が照射し、上記検査対象物を透過した上記電磁波を検出するセンサ部と、
上記検査対象物をストックするためのストック機構と、
それぞれ、上記電磁波を遮蔽する壁で囲まれた第１室及び第２室と、
上記第１室と上記第２室とを繋げるために設けられた、開閉可能な第１遮蔽部とを備え、
上記線源部と上記センサ部とは、上記第１室内に配置されており、
上記ストック機構は、上記第２室内に配置されている、検査システム。
【請求項２】
上記第２室を囲む壁には、上記第１遮蔽部以外の位置に、開閉可能な第２遮蔽部が設けられている、請求項１に記載の検査システム。
【請求項３】
上記ストック機構にストックされている上記検査対象物を保持し、上記第１遮蔽部を通して、上記第２室から上記第１室へ、又は、当該第１室から上記第２室へ上記検査対象物を搬送する搬送機構を備えている、請求項１又は２に記載の検査システム。
【請求項４】
上記第１遮蔽部は、上記線源部から照射された電磁波が直接照射されない位置に設けられている、請求項２に記載の検査システム。
【請求項５】
上記第１遮蔽部と、上記第２遮蔽部とは非平行となるように配置されている、請求項２又は４に記載の検査システム。
【請求項６】
上記ストック機構は、上記検査対象物を保持するための保持部材を有するストッカーである、請求項１〜５の何れか１項に記載の検査システム。
【請求項７】
上記ストック機構は、上記第２室外から当該第２室内へ延伸する、または、上記第２室を貫通するコンベアである、請求項１〜６の何れか１項に記載の検査システム。
【請求項８】
上記電磁波はＸ線である、請求項１〜７の何れか１項に記載の検査システム。
【請求項９】
上記線源部と、上記センサ部との間に、上記検査対象物を保持する保持機構を有している、請求項１〜８の何れか１項に記載の検査システム。
【請求項１０】
上記検査対象物は、コアにセパレータが捲回されたセパレータ捲回体であり、
上記線源部は、上記セパレータ捲回体の側面側から上記電磁波を照射する、請求項８に記載の検査システム。
【請求項１１】
上記第１室と上記第２室とは離れており、当該第１室及び第２室とは異なる空間を介して配置されている、請求項１〜１０の何れか１項に記載の検査システム。
【請求項１２】
検査対象物を透過する電磁波を照射する線源部と、
上記線源部が照射し、上記検査対象物を透過した上記電磁波を検出するセンサ部と、
上記検査対象物をストックするためのストック機構と、
それぞれ、上記電磁波を遮蔽する壁で囲まれた第１室及び第２室と、
上記第１室と上記第２室とを繋げるために設けられた、開閉可能な第１遮蔽部とを備え、
上記線源部と上記センサ部とは、上記第１室内に配置されており、
上記ストック機構は、上記第２室内に配置されている検査システムの駆動方法であって、
上記電磁波を照射している上記線源部と、上記センサ部との間に上記検査対象物を配置するステップと、
上記センサ部が、上記検査対象物を透過した上記電磁波を検出して、当該検出した電磁波に応じた電気信号を出力するステップと、
上記センサ部が上記電気信号を出力した後、上記電磁波を照射している上記線源部と、上記センサ部との間に配置されている上記検査対象物を上記第２室へ搬出するステップと、
上記第２室にストックされている別の検査対象物を、上記電磁波を照射している上記線源部と、上記センサ部との間に配置するステップとを有する、検査システムの駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は検査対象物内の欠陥の有無を検査する検査システム及び検査システムの駆動方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載されているように、検査対象物に欠陥が含まれるか否かを検査する検査装置として、検査対象物に検査光を照射して、当該検査光に基づく画像を解析することで、検査対象物に欠陥が含まれるか否かを判定する検査装置が用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許５６７３６２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記検査装置は光を用いるため、上記検査光が周囲に及ぼす影響又は周囲の外光が検査装置に及ぼす影響を抑えるため、検査装置における線源部及びセンサ部は、外部の空間から壁などで仕切られた空間内に設けることが好ましい。
【０００５】
ここで、線源部及びセンサ部が配置された同じ室内に、これから検査する検査対象物、又は、検査が終わった検査対象物をストックしていると、壁等で反射された検査光が、ストックされている検査対象物に間接的に照射され、当該ストックされている検査対象物の品質が劣化する原因となる。
【０００６】
しかし、上記線源部及びセンサ部が配置された室外に、上記検査対象物をストックしていると、当該検査対象物を、上記線源部及びセンサ部が配置された室へ出し入れする度に、検査を中断、すなわち、上記線源部からの検査光の照射を停止する必要があり、検査効率を低下させる原因となる。
【０００７】
本発明の一態様は、効率よく検査対象物の検査を行うことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る検査システムは、検査対象物を透過する電磁波を照射する線源部と、上記線源部が照射し、上記検査対象物を透過した上記電磁波を検出するセンサ部と、上記検査対象物をストックするためのストック機構と、それぞれ、上記電磁波を遮蔽する壁で囲まれた第１室及び第２室と、上記第１室と上記第２室とを繋げるために設けられた、開閉可能な第１遮蔽部とを備え、上記線源部と上記センサ部とは、上記第１室内に配置されており、上記ストック機構は、上記第２室内に配置されている。
【０００９】
上記構成によると、上記線源部が照射して上記検査対象物を通過した電磁波を、上記センサ部が検出することで、上記検査対象物に含まれる欠陥の有無を検査することができる。
【００１０】
また、上記構成によると、上記線源部と上記センサ部とは上記第１室内に配置されており、上記ストック機構は上記第２室に配置されている。そして、上記第１室及び上記第２室を構成する壁は、上記電磁波を遮蔽する。
【００１１】
これにより、上記線源部が照射した電磁波が上記第１室及び上記第２室の外部へ漏れることを防止することができる。このため、上記線源部が照射した電磁波が上記第１室及び上記第２室の周囲に及ぼす影響を抑えることができる。または、上記第１室及び上記第２室周囲の外光が、上記線源部及びセンサ部に及ぼす影響を抑えることができる。
【００１２】
また、上記構成によると、上記第１室と上記第２室とを仕切る壁に第１遮蔽部が設けられている。これにより、上記第１遮蔽部を閉じておけば、上記線源部から照射された電磁波が、壁などで反射されたとしても、上記第２室内に配置されているストックされた検査対象物に照射されることを防止することができる。このため、ストックされた検査対象物が、上記電磁波に起因して品質が劣化することを防止することができる。
【００１３】
そして、上記第１室及び第２室は上記電磁波を遮蔽するため、上記線源部からの上記電磁波の照射を停止しなくても、第１遮蔽部を開けて、第２室にストックされている検査対象物を第１室に搬入したり、第１室で検査された検査対象物を第２室へ搬出したりすることができる。これにより、効率よく検査対象物の検査を継続することができる。
【００１４】
本発明の一態様に係る検査システムでは、上記第２室を囲む壁には、上記第１室と上記第２室を仕切る壁以外の位置に、開閉可能な第２遮蔽部が設けられており、上記第１遮蔽部及び上記第２遮蔽部は、上記電磁波を遮蔽する材質を含んでもよい。
【００１５】
上記構成によると、上記第１遮蔽部を閉じておけば、上記第１室において検査対象物の欠陥の有無の検査を継続しつつ、上記第２遮蔽部を通して、上記第２室に上記検査対象物を搬入したり、当該第２室の上記検査対象物を搬出したりすることができる。これにより、効率よく上記検査対象物の検査を行うことができる。
【００１６】
さらに、上記第２室に上記検査対象物を搬入したり、当該第２室の上記検査対象物を搬出したりするたびに、上記第１室内の上記線源部における電源のオンオフを切り替える必要がないため、線源部における電源のオンオフの切替えに伴う時間短縮、及び、頻繁な電源のオンオフの切替えに伴う上記線源部の劣化を防止することができる。
【００１７】
本発明の一態様に係る検査システムは、上記ストック機構にストックされている上記検査対象物を保持し、上記第１遮蔽部を通して、上記第２室から上記第１室へ、又は、当該第１室から上記第２室へ上記検査対象物を搬送する搬送機構を備えていてもよい。
【００１８】
上記構成によると、上記第２遮蔽部を閉じておけば、上記線源部からの電磁波の照射を止めることなく、上記搬送機構によって、これから検査を行う上記検査対象物を上記第２室から上記第１室へ搬入したり、又は、検査済の上記検査対象物を上記第１室から上記第２室へ搬出したりすることができる。これにより、効率よく上記検査対象物の検査を行うことができる。
【００１９】
本発明の一態様に係る検査システムでは、上記第１遮蔽部は、上記線源部から照射された電磁波が直接照射されない位置に設けられていてもよい。
【００２０】
上記構成によると、上記線源部から上記電磁波が照射されている状態のときに、何らかの理由で上記第１遮蔽部及び上記第２遮蔽部が開いたとしても、上記線源部が照射した電磁波が上記第１室及び上記第２室の外部へ漏れる量を抑制することができる。
【００２１】
加えて、上記線源部から上記電磁波が照射されている状態のときに上記第１遮蔽部が開かれたとしても、上記第２室の検査対象物が上記電磁波に被曝してしまうことを抑制することができる。
【００２２】
本発明の一態様に係る検査システムでは、上記第１遮蔽部と、上記第２遮蔽部とは非平行となるように配置されていてもよい。
【００２３】
上記構成によると、何らかの理由で、上記第１室内での検査中に、上記第１遮蔽部及び上記第２遮蔽部が開いた場合であっても、上記線源部からの電磁波が上記第２室外に漏れることを抑制することができる。
【００２４】
本発明の一態様に係る検査システムでは、上記ストック機構は、上記検査対象物を保持するための保持部材を有するストッカーであってもよい。
【００２５】
上記構成によると、上記ストック機構を上記第２室に搬入及び搬出することで、容易に、検査待ちの検査対象物を搬入したり、検査済の検査対象物を搬出したりすることができる。
【００２６】
本発明の一態様に係る検査システムでは、上記ストック機構は、上記第２室外から当該第２室内へ延伸する、または、上記第２室を貫通するコンベアであってもよい。上記構成によると、上記第２室への上記検査対象物の搬入及び搬出が容易である。
【００２７】
本発明の一態様に係る検査システムでは、上記電磁波はＸ線であってもよい。上記構成によると、検査対象物が透明ではない物体であっても、当該検査対象物内の欠陥の有無を検査することができる。
【００２８】
本発明の一態様に係る検査システムでは、上記線源部と、上記センサ部との間に、上記検査対象物を保持する保持機構を有してもよい。上記構成によると、上記保持機構が保持している検査対象物に対して線源部は、当該検査対象物を透過する上記電磁波を照射する。そして、センサ部は、当該電磁波を検出する。これにより、上記検査対象物に含まれる欠陥の有無を検査することができる。
【００２９】
本発明の一態様に係る検査システムでは、上記検査対象物は、コアにセパレータが捲回されたセパレータ捲回体であり、上記線源部は、上記セパレータ捲回体の側面側から上記電磁波を照射してもよい。
【００３０】
上記構成によると、上記コアに捲回されたセパレータだけを鮮明に検査することができる。
【００３１】
また、上記セパレータ捲回体はある程度の厚み（例えば数ｃｍ程度の厚み）を有するため、当該セパレータ捲回体を透過させるために上記電磁波は高エネルギーである必要がある。このため、上記第１室とは別に上記第２室を設けることで、より作業者の安全を確保することができる。
【００３２】
本発明の一態様に係る検査システムでは、上記第１室と上記第２室とは離れており、当該第１室及び第２室とは異なる空間を介して配置されていてもよい。
【００３３】
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る検査システムの駆動方法は、検査対象物を透過する電磁波を照射する線源部と、上記線源部が照射し、上記検査対象物を透過した上記電磁波を検出するセンサ部と、上記検査対象物をストックするためのストック機構と、それぞれ、上記電磁波を遮蔽する壁で囲まれた第１室及び第２室と、上記第１室と上記第２室とを繋げるために設けられた、開閉可能な第１遮蔽部とを備え、上記線源部と上記センサ部とは、上記第１室内に配置されており、上記ストック機構は、上記第２室内に配置されている検査システムの駆動方法であって、上記電磁波を照射している上記線源部と、上記センサ部との間に上記検査対象物を配置するステップと、上記センサ部が、上記検査対象物を透過した上記電磁波を検出して、当該検出した電磁波に応じた電気信号を出力するステップと、上記センサ部が上記電気信号を出力した後、上記電磁波を照射している上記線源部と、上記センサ部との間に配置されている上記検査対象物を上記第２室へ搬出するステップと、上記第２室にストックされている別の検査対象物を、上記電磁波を照射している上記線源部と、上記センサ部との間に配置するステップとを有する。
【００３４】
上記構成によると、上記線源部における上記電源のオンオフを切り替えることなく、検査対象物を取り替えているため、線源部における電源のオンオフの切替えに伴う時間短縮、及び、頻繁な電源のオンオフの切替えに伴う上記線源部の劣化を防止することができる。
【発明の効果】
【００３５】
本発明の一態様によれば、効率よく検査対象物の検査を行うという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】実施形態１に係るスリット装置の概略構成を表す図である。
【図２】実施形態１に係るセパレータ捲回体の概略構成を示す模式図である。
【図３】実施形態１に係る検査システムの概略構成を表す平面図である。
【図４】実施形態１に係る検査システムの概略構成を表す斜視図である。
【図５】実施形態１に係る検査システムの概略構成を表す側面図である。
【図６】実施形態１に係る検査装置の概略構成を表す図である。
【図７】実施形態１に係る線源部の概略構成を表す図である。
【図８】実施形態１に係る検査装置の保持機構に保持されているセパレータ捲回体が撮影された撮影画像を表す図である。
【図９】図８に示すセパレータ捲回体をθ方向に所定角度だけ回転させた様子を表す図である。
【図１０】実施形態１に係るセパレータ捲回体の検査画像の様子を表す図である。
【図１１】実施形態１のロボットアームの概略構成および動作状態を説明するための模式図である。
【図１２】実施形態２に係る検査装置の概略構成を表す図である。
【図１３】実施形態２に係るセパレータ捲回体の検査画像の様子を表す図である。
【図１４】実施形態３のロボットアームの概略構成および動作状態を説明するための模式図である。
【図１５】実施形態４に係る検査システムの概略構成を表す平面図である。
【図１６】実施形態４に係る検査システムにおけるベルトコンベア及びロボットアームの斜視図である。
【図１７】実施形態５に係る検査システムの概略構成を表す平面図である。
【図１８】実施形態６に係る検査システムの概略構成を表す平面図である。
【図１９】実施形態７に係る検査システムの構成を表す平面図である。
【図２０】実施形態７の変形例１に係る検査システムの構成を表す平面図である。
【図２１】実施形態７の変形例２に係る検査システムの構成を表す平面図である。
【図２２】実施形態７の変形例３に係る検査システムの構成を表す平面図である。
【図２３】実施形態８に係る検査システムの構成を表す平面図である。
【図２４】実施形態９に係る検査システムの構成を表す平面図である。
【図２５】実施形態９の変形例１に係る検査システムの構成を表す平面図である。
【図２６】実施形態９の変形例２に係る検査システムの構成を表す平面図である。
【図２７】実施形態１０に係る検査システムの概略構成を表す平面図である。
【図２８】実施形態１１に係る検査システムの概略構成を表す平面図である。
【図２９】実施形態１１に係る検査システムの概略構成を表す断面図である。
【図３０】実施形態１１の変形例に係る検査システムの概略構成を表す断面図である。
【図３１】実施形態１２に係る検査システムの概略構成を表す平面図である。
【図３２】実施形態１２に係る検査システムの概略構成を表す断面図である。
【図３３】実施形態１２の変形例１に係る検査システムの概略構成を表す平面図である。
【図３４】実施形態１２の変形例１に係る検査システムの概略構成を表す断面図である
【図３５】実施形態１２の変形例２に係る検査システムの概略構成を表す平面図である。
【図３６】実施形態１２の変形例２に係る検査システムの概略構成を表す断面図である。
【図３７】実施形態１２の２分割する第１遮蔽部の構成の例を示す平面図である。
【図３８】実施形態１３に係る検査システムの概略構成を表す平面図である。
【図３９】実施形態１３の変形例１に係る検査システムの構成を表す平面図である。
【図４０】実施形態１３の変形例２に係る検査システムの構成を表す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３７】
〔実施形態１〕
本発明の実施の一形態について説明すれば以下の通りである。なお、本実施形態では、検査システムとして、セパレータ捲回体（検査対象物）に欠陥が発生しているか否かを検査する検査システムを一例に挙げて説明する。
【００３８】
（セパレータ捲回体の製造工程）
図１は、セパレータをスリットするスリット装置６の構成を示す概略図である。図１の（ａ）はスリット装置６の全体の概略構成を示し、（ｂ）は原反をスリットする前後の概略構成を示す。
【００３９】
セパレータ１２は、リチウムイオン二次電池等の電極である正極と負極との間を分離しつつ、これらの間におけるリチウムイオンの移動を可能にする多孔質フィルムである。セパレータ１２は、その材料として、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィンを含む。
【００４０】
セパレータ１２は、多孔質フィルムと、当該多孔質フィルムの表面に設けられた耐熱層とを有することで耐熱性を有していてもよい。当該耐熱層は、その材料として、例えば全芳香族ポリアミド（アラミド樹脂）を含んでもよい。
【００４１】
セパレータ１２は、ポリオレフィンを含む多孔質フィルムと、接着層または耐熱層などの機能層とを備える積層多孔質フィルムであってもよい。機能層は樹脂を含む。当該樹脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン；ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリテトラフルオロエチレン、フッ化ビニリデン−ヘキサフルオロプロピレンの共重合体などの含フッ素高分子；芳香族ポリアミド；スチレン−ブタジエン共重合体およびその水素化物、メタクリル酸エステル共重合体、アクリロニトリル−アクリル酸エステル共重合体、スチレン−アクリル酸エステル共重合体などのゴム類；融点又はガラス転移温度が１８０℃以上の高分子；ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコール、セルロースエーテル、アルギン酸ナトリウム、ポリアクリル酸、ポリアクリルアミド、ポリメタクリル酸などの水溶性高分子；などが挙げられる。また、機能層は、有機物または無機物からなるフィラーを含んでもよい。無機フィラーとしては、シリカ、酸化マグネシウム、アルミナ、水酸化アルミニウム、ベーマイト等の無機酸化物等が挙げられる。当該アルミナには、α、β、γ、θ等の結晶形が存在するが、何れも使用することができる。上記の樹脂およびフィラーは１種類のみを用いてもよく、２種類以上を組み合わせてもよい。上記機能層がフィラーを含む場合、フィラーの含有量は、機能層の１体積％以上９９体積％以下とすることができる。
【００４２】
また、セパレータ１２は、後述する欠陥検査に与える影響を少なくするために、セパレータ１２に含まれる水分は少ないほうが良い。後述する欠陥検査工程における欠陥検査では、Ｘ線などの電磁波を、セパレータ１２を透過させることで、コアに捲回されたセパレータ１２内に混入した異物等の有無を検査する。しかし、水分は、Ｘ線などの電磁波の透過率を下げるため、セパレータ１２に多くの水分が含まれていると、欠陥検査の精度が下がるため好ましくない。
【００４３】
セパレータ１２に含まれる水分は、２０００ｐｐｍ以下程度であることが好ましい。これにより、後述する欠陥検査工程において、Ｘ線などの電磁波の透過率の低下を抑制しつつ、精度よく、コアに捲回されたセパレータ内の欠陥を検査することができる。
【００４４】
セパレータ１２は、リチウムイオン二次電池等の応用製品に適した幅（以下「製品幅」）であることが好ましい。しかし、生産性を上げるために、まずセパレータは、その幅が製品幅以上となるように製造される。そして、一旦製造された後、セパレータは、製品幅に切断（スリット）される。
【００４５】
なお、「セパレータの幅」とは、セパレータの長手方向と厚み方向とに対し略垂直である方向の、セパレータの長さを意味する。以下では、スリットされる前の幅広のセパレータを「原反」と称する。また、スリットとは、セパレータを長手方向（製造におけるフィルムの流れ方向（搬送方向）、ＭＤ：Machine direction）に沿って切断することを意味し、カットとは、セパレータを横断方向（ＴＤ：transverse direction）に沿って切断することを意味する。横断方向（ＴＤ）とは、セパレータの長手方向（ＭＤ）と厚み方向とに対し略垂直である方向を意味する。
【００４６】
スリット装置６は原反をスリットする装置である。スリット装置６は、回転可能に支持された円柱形状の、巻出ローラー６１と、ローラー６２〜６９と、複数の巻取ローラー７０Ｕ・７０Ｌとを備える。
【００４７】
スリット装置６では、原反を巻きつけた円筒形状のコアｃが、巻出ローラー６１に嵌められている。
【００４８】
そして、原反は、コアｃから経路ＵまたはＬへ巻き出される。巻き出された原反は、ローラー６３〜６７を経由し、ローラー６８へ搬送される。ローラー６７からローラー６８に搬送される工程において原反は、複数のセパレータにスリットされる（スリット工程）。なお、ローラー６８近傍には、原反を複数のセパレータにスリットする切断装置（不図示）が配置されている。
【００４９】
スリット工程の後、原反から複数にスリットされたセパレータの一部は、それぞれ、巻取ローラー７０Ｕに嵌められた円筒形状の各コアｕ（ボビン）へ巻き取られ、他の一部は、それぞれ、巻取ローラー７０Ｌに嵌められた円筒形状の各コアｌ（ボビン）へ巻き取られる（セパレータ捲回工程）。
【００５０】
なお、原反からスリットされた後のセパレータが、コア（ボビン）にロール状に巻き取られた物を「セパレータ捲回体」と称する。本実施形態では、このセパレータ捲回工程にてセパレータ捲回体が製造された後、後述する欠陥検査工程にて、コアに捲回されたセパレータ内に異物が混入していないか否かを検査する。上述したスリット工程では、例えば、金属からなるスリット刃の一部が欠けてスリットされたセパレータの表面に付着する等、異物が発生しやすい。このため、欠陥検査工程は、スリット工程の後に設けることが好ましい。これにより、異物が発生しやすいスリット工程で発生した異物を、欠陥検査工程により効率的に検査することができる。
【００５１】
そして、欠陥検査工程にて良品と判定されたセパレータ捲回体は、その後、包装工程にて複数個まとめて包装されて保管される。
【００５２】
ここで、スリット工程にてスリットされ、コアに捲回されたセパレータ１２の幅（ＴＤの長さ）は、例えば、３０ｍｍ以上、１００ｍｍ以下程度であることが好ましい。セパレータ１２の幅が大きくなりすぎると、後述する欠陥検査工程における欠陥検査にて、Ｘ線などの電磁波がセパレータ１２を透過しにくくなり、欠陥検査の精度が下がる。そこで、セパレータ１２の幅を１００ｍｍ以下程度とすることで、後述する欠陥検査工程において、Ｘ線などの電磁波の透過率の低下を抑制しつつ、精度よく、コアに捲回されたセパレータ内の欠陥を検査することができる。
【００５３】
（セパレータ捲回体の構成）
図２は、本実施形態に係るセパレータ捲回体１０の概略構成を示す模式図である。具体的には、図２の（ａ）はコア８からセパレータ１２が巻き出される前の状態を示し、図２の（ｂ）は図２の（ａ）の状態を別角度から示し、図２の（ｃ）はコア８からセパレータ１２が巻き出された状態を示し、図２の（ｄ）は図２の（ｃ）の状態を別角度から示し、図２の（ｅ）はセパレータ１２が巻き出され、取り除かれた後のコア８の状態を示す。
【００５４】
図２の（ａ）および（ｂ）に示すように、セパレータ捲回体１０は、セパレータ１２を巻いたコア８を備える。このセパレータ１２は、上述のように原反からスリットされている。セパレータ捲回体１０のうち、ロール状に巻かれたセパレータ１２の外周面を外周面１０ａと称し、外周面１０ａを挟んで互いに対向する両側面のうちの一方の側面を第１側面１０ｂと称し、第１側面１０ｂとは反対側の他方の側面を第２側面１０ｃと称する。
【００５５】
コア８は、外側円筒部材（外側筒状部材）８１と、内側円筒部材（内側筒状部材）８２と、複数のリブ８３とを備え、上述したコアｕ・ｌと同じである。
【００５６】
外側円筒部材８１は、その外周面８１ａにセパレータ１２を巻くための円筒部材である。内側円筒部材８２は、外側円筒部材８１の内周面８１ｂ側に設けられる、外側円筒部材８１よりも小径の円筒部材である。リブ８３は、外側円筒部材８１の内周面８１ｂと、内側円筒部材８２の外周面８２ａとの間に延び、外側円筒部材８１を内周面８１ｂ側から支持する支持部材である。本実施形態では、コア８の周方向に沿って等間隔に合計８つのリブ８３が設けられている。
【００５７】
コア８では、その中心に内側円筒部材８２（内側円筒部材８２の内周面８２ｂ）によって規定された第１貫通孔８ａを有し、第１貫通孔８ａの周囲に、外側円筒部材８１と内側円筒部材８２とリブ８３とによって規定された複数（本実施形態では８つ）の第２貫通孔８ｂを有する。
【００５８】
図２の（ｃ）および（ｄ）に示すように、セパレータ１２の一端は、接着テープ１３０によってコア８と貼り付けられている。具体的には、セパレータ１２の一端は、接着テープ１３０によって、コア８（外側円筒部材８１）の外周面８１ａに固定されている。セパレータ１２の一端を外周面８１ａに固定する手段は、接着テープ１３０の他、接着剤をセパレータ１２の一端に直接塗布して固定する、またはクリップで固定する等であってもよい。
【００５９】
図２の（ｅ）に示すように、コア８では、外側円筒部材８１および内側円筒部材８２との中心軸は略一致していることが好ましいが、これに限られない。さらに、外側円筒部材８１および内側円筒部材８２の厚みや幅、および半径等の寸法は、捲回するセパレータ１２の種類等に応じて適宜設計が可能である。
【００６０】
また、リブ８３は、互いに均等に間隔をあけ、円周を８等分した位置に、外側円筒部材８１と内側円筒部材８２とに略垂直になるように、それぞれ配置されている。しかし、リブ８３の個数や配置の間隔についてはこれに限られない。
【００６１】
コア８の材料は、ＡＢＳ樹脂を含む。ただし、コア８の材料はこれに限定されない。コア８の材料として、ＡＢＳ樹脂の他に、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、および塩化ビニール樹脂等の樹脂を含んでもよい。ただし、コア８の材料は、金属でないことが好ましい。
【００６２】
（検査システム１の構成）
図３は、実施形態１に係る検査システム１の概略構成を表す平面図である。図４は、実施形態１に係る検査システム１の概略構成を表す斜視図である。図５は、実施形態１に係る検査システム１の概略構成を表す側面図である。
【００６３】
この検査システム１は、検査対象物に電磁波を照射して、当該検査対象物内に欠陥が含まれているか否か検査するシステムである。本実施形態では一例として、検査システム１は、欠陥検査工程において、セパレータ捲回体１０内に欠陥が発生してるか否か、より具体的には、コア８に捲回されたセパレータ１２に異物が混入してるか否かを検査するシステムであるものとして説明する。
【００６４】
図３に示すように検査システム１は、検査対象物であるセパレータ捲回体１０の欠陥の有無を検査する検査装置９と、セパレータ捲回体１０をストックするためのストッカー（ストック機構）２０１・２０２と、セパレータ捲回体１０を搬送するロボットアーム（搬送機構）２０３と、検査システム１の各部の駆動を制御する制御部３０とを備えている。さらに、検査システム１は、検査装置９が配置されている第１室４１と、ストッカー２０１・２０２及びロボットアーム２０３が配置されている第２室４２とを備えている。さらに、検査システム１は、セパレータ捲回体１０を搬送する別のロボットアーム（搬送機構）２０３１と、セパレータ捲回体１０を梱包する梱包装置６００とを備えている。
【００６５】
制御部３０は、線源部２の駆動を制御する線源制御部３１と、保持機構２０の駆動を制御する保持機構制御部３２と、センサ部３の駆動を制御したりセンサ部３からの電気信号に基づいて撮影画像を生成したりするセンサ制御部３３と、ロボットアーム２０３の駆動を制御するロボット制御部３４とを備えている。
【００６６】
検査装置９は、線源部２と、センサ部３と、保持機構２０とを備えている。
【００６７】
線源部２は、セパレータ捲回体１０を透過する電磁波を照射する。本実施形態では、線源部２は、電磁波としてＸ線を照射するものとして説明する。これにより、セパレータ捲回体１０等の透明ではない物体であっても、内部の欠陥の有無を検査することができる。
【００６８】
なお、線源部２が照射する電磁波はＸ線に限定されず、検査対象物の種類に応じて、赤外光、可視光、又は、紫外光等、検査対象物を透過する波長帯の電磁波であればよい。
【００６９】
センサ部３は、線源部２が照射し、セパレータ捲回体１０を透過した電磁波を検出し、当該検出した電磁波の強度に応じた電気信号を出力する。
【００７０】
保持機構２０は、検査を行うセパレータ捲回体１０の少なくとも一部（検査部分）が、線源部２とセンサ部３との間に介在するように、セパレータ捲回体１０を保持する。
【００７１】
この保持機構２０が保持しているセパレータ捲回体１０に対して線源部２は、セパレータ捲回体１０を透過する電磁波を照射する。そして、センサ部３は、セパレータ捲回体１０を透過した電磁波を検出する。これにより、セパレータ捲回体１０に含まれる欠陥の有無を検査することができる。
【００７２】
なお、検査装置９は、保持機構２０に換えて、ロボットアーム２０３が含まれていてもよい。このように検査装置９のうち保持機構２０を省略した場合、ロボットアーム２０３が保持機構２０の機能を兼ねる。検査装置９の詳細な構成、及び、詳細な検査方法は後述する。
【００７３】
第１室４１は、検査装置９がセパレータ捲回体１０の欠陥の検査を行うための空間である。第２室４２は、検査待ち及び検査後の少なくとも一方のセパレータ捲回体１０を仮置きしておく前室である。
【００７４】
図３〜図５に示すように、第１室４１は線源部２が照射する電磁波を遮蔽する壁４１Ｗで囲まれている。
【００７５】
第１室４１を囲む壁４１Ｗは、側壁４１Ｗａ〜４１Ｗｄと、床４１Ｗｅと、天井４１Ｗｆとを備えている。側壁４１Ｗａ〜４１Ｗｄはそれぞれ、床４１Ｗｅに立設されており、側壁４１Ｗａと側壁４１Ｗｃとは互いに対向配置されており、側壁４１Ｗｂと側壁４１Ｗｄとは互いに対向配置されている。天井４１Ｗｆは、側壁４１Ｗａ〜４１Ｗｄそれぞれに支持されており、床４１Ｗｅと対向配置されている。
【００７６】
第２室４２は、線源部２が照射する電磁波を遮蔽する壁４２Ｗ及び側壁４１Ｗａで囲まれている。壁４２Ｗは、側壁４２Ｗｂ〜４２Ｗｄと、床４２Ｗｅと、天井４２Ｗｆとを備えている。壁４２Ｗｂ〜４２Ｗｄはそれぞれ、床４２Ｗｅに立設されており、側壁４１Ｗａと側壁４２Ｗｃとは互いに対向配置されており、側壁４２Ｗｂと側壁４２Ｗｄとは互いに対向配置されている。天井４２Ｗｆは、側壁４１Ｗａと側壁４２Ｗｂ〜４２Ｗｄそれぞれに支持されており、床４２Ｗｅと対向配置されている。
【００７７】
本実施形態では、側壁４１Ｗａは、第１室４１と第２室４２とに共通する壁であり、第１室４１と第２室４２とを隔てている。側壁４１Ｗａに、第１室４１と第２室４２とを隔てるための開閉可能な第１遮蔽部５１が設けられている。また、側壁４２Ｗｄに、第２室４２と、第２室４２の外側の空間とを隔てるための開閉可能な第２遮蔽部５２が設けられている。第１遮蔽部５１及び第２遮蔽部５２も、線源部２が照射する電磁波を遮蔽する。
【００７８】
なお、本実施形態では、第１室４１と第２室４２とは隣接して設けられているが、第１室４１と、第２室４２とは、それぞれ、線源部２が照射する電磁波を遮蔽する壁で囲まれていればよく、第１室４１と第２室４２とは離れて設けられて、廊下又は部屋（例えば、第３室）等で繋がっていてもよい（図３８〜図４０を用いて例を後述する）。
【００７９】
図３〜図５に示すように、ストッカー２０１・２０２は、複数のセパレータ捲回体１０をストックするためのストック機構の一例である。ストッカー２０１・２０２は、セパレータ捲回体１０を格納してストックする。なお、当該ストック機構は、ストッカー２０１・２０２に限定されず、セパレータ捲回体１０をストックできる部材できればよい。
【００８０】
ストッカー２０１には検査前のセパレータ捲回体１０が格納され、ストッカー２０２には検査後のセパレータ捲回体１０が格納される。
【００８１】
ストッカー２０１・２０２は、一又は複数のセパレータ捲回体１０を保持する一又は複数の保持部材２２１を有する。このため、ストッカー２０１を第２室４２に搬入することで検査待ちのセパレータ捲回体１０を搬入したり、ストッカー２０２を第２室４２から外へ搬出することで検査済のセパレータ捲回体１０を搬出したりすることが容易である。第２室４２の外からストッカー２０１へのセパレータ捲回体１０の搬入、および、ストッカー２０２から第２室４２の外へのセパレータ捲回体１０の搬出は、ロボットアーム２０３１を用いて行うことができる。具体的には、ロボットアーム２０３１を介して、第２遮蔽部５２が開いた開口部を通じてセパレータ捲回体１０の搬入および搬出を行うことができる。このとき、ロボットアーム２０３１を介して第２室４２の外へ搬出されたセパレータ捲回体１０を、第２室４２の外に配置された梱包装置６００に載置してもよい。検査後のセパレータ捲回体１０を直ちに梱包することによって新たな異物が付着することを防ぐことができる。ロボットアーム２０３１はロボットアーム２０３と同じ構成を備えることができる。
【００８２】
なお、ロボットアーム２０３１は、第２室４２の中に配置されても、第２室４２の外に配置されてもよい。梱包装置６００は、第２室４２の第２遮蔽部５２が開いた開口部が通じる第２室４２の外に配置されている。
【００８３】
保持部材２２１は、セパレータ捲回体１０を保持するものであれば特に限定されない。例えば、保持部材２２１は、棒状であり、セパレータ捲回体１０の第２側面１０ｃ側からコア８の第１貫通孔８ａに挿入されることでセパレータ捲回体１０を支持する。
【００８４】
これにより、ストッカー２０１・２０２は、セパレータ１２に直接触れることなく、セパレータ捲回体１０の外周面１０ａをロボットアーム２０３側に向けて、各セパレータ捲回体１０を保持する。
【００８５】
なお、ストッカーは、必ずしも、検査前のストッカー２０１と、検査後のストッカー２０２とを別々に設ける必要はない。例えば、１台のストッカーを上下２段に分けて、上段及び下段の一方に検査前のセパレータ捲回体１０をストックし、上端及び下段の他方に検査後のセパレータ捲回体１０をストックする等、検査前のストッカーと、欠陥検査後のストッカーとを、１台のストッカーで兼用させてもよい。
【００８６】
ストッカー２０１・２０２は、保持部材２２１によって保持されたセパレータ捲回体１０の回転を防止するための回転防止部材を備えていてもよい。通常、セパレータ捲回体１０の外周面１０ａには、セパレータ１２の製品情報や、セパレータ捲回体１０の巻径（外径）等の各種情報を表示する文字、数字、または、それら情報を表す記号体系（バーコード、ＱＲコード（登録商標））のラベルが貼付されている。回転防止部材を備えることにより、ストッカー２０１・２０２の移動時等に、保持部材２２１によって保持されたセパレータ捲回体１０の回転が防止される。このため、上記ラベルの向き（位置）を常に一定に保つことができるため、ラベルの読み取りを容易に行うことが可能となる。
【００８７】
また、ストッカー２０１・２０２には、ストッカー２０１・２０２を移動させやすいように、車輪等が設けられていてもよい。ストッカー２０１・２０２をオートパイロットの台車としてもよい。車輪等が設けられた台車とすることで、ストッカー２０１・２０２の第２室４２への搬入・搬出が容易となる。
【００８８】
また、ストッカー２０１・２０２には、ストックしているセパレータ捲回体１０に異物が付着することを防止するための防塵カバーが設けられていてもよい。これにより、例えばストッカー２０１・２０２の移動中に、ストッカー２０１・２０２にストックされたセパレータ捲回体１０に異物が付着することを防止することができる。このような防塵カバーとしては、クリーンブースに使用されるクリーン布、（帯電防止）プラスチック板のほか、金属板等が挙げられる。
【００８９】
さらに、ストッカー２０１・２０２とロボットアーム２０３との間におけるセパレータ捲回体１０の受け渡しは、ストッカー２０１・２０２のフレーム内にロボットアーム２０３のハンド部が入って行ってもよく、または、保持部材２２１がストッカー２０１・２０２のフレーム外にセパレータ捲回体１０を持ち出す機構を有し、上記フレーム外でセパレータ捲回体１０の受け渡しを行ってもよい。
【００９０】
ロボットアーム２０３は、保持機構２０と、ストッカー２０１・２０２それぞれとの間でセパレータ捲回体１０の受け渡しを行う装置である。ロボットアーム２０３は、ベース２３１、基台２３２、第１アーム部２３３、第２アーム部２３４、およびハンド部２３５を含む。
【００９１】
基台２３２は、ベース２３１上に、鉛直方向を軸として旋回可能に設けられている。この基台２３２の上部（ベース２３１が位置する端部とは反対側の端部）側には第１アーム部２３３が設けられている。第１アーム部２３３は、第１アーム部２３３は前後方向に揺動可能なように基台２３２に軸支されている。
【００９２】
また、第１アーム部２３３の先端部（基台２３２が位置する端部とは反対側の端部）側には第２アーム部２３４が設けられている。第２アーム部２３４は、上下方向に揺動可能なように第１アーム部２３３に軸支されている。
【００９３】
さらに、第２アーム部２３４の先端部（第１アーム部２３３が位置する端部とは反対側の端部）側には、セパレータ捲回体１０を把持するハンド部２３５が設けられている。ハンド部２３５は、揺動および回転可能なように第２アーム部２３４に軸支されている。
【００９４】
ロボットアーム２０３は、各関節を駆動するアクチュエータの動作を制御することにより、各部を旋回または回転させることで姿勢を自由に変更することができる。
【００９５】
このロボットアーム２０３は、セパレータ捲回体１０の第１側面１０ｂ側からコア８を保持する。このように、ストッカー２０１・２０２の保持部材２２１とロボットアーム２０３とが、セパレータ捲回体１０の異なる側面側からコア８を保持することにより、保持機構２０と、ストッカー２０１と、ストッカー２０２と、ロボットアーム２０３との間におけるセパレータ捲回体１０の受け渡しを効率的に行うことができる。
【００９６】
なお、ロボットアーム２０３の関節部および摺動部等に、発塵した金属異物の飛散を防止するための飛散防止カバーが設けられていてもよい。また、関節軸にＯリングシールが設けられてもよく、低発塵グリースが塗布されていてもよい。さらに、ロボットアーム２０３は、ロボットアーム２０３の内部で発塵した金属異物を吸引する機構を別途備えていてもよい。
【００９７】
また、本実施形態では、ロボットアーム２０３として垂直多関節ロボットアームを使用しているが、水平多関節ロボットアーム、直交ロボットアーム、パラレルリンクロボットアーム等を使用してもよい。なお、保持機構２０と、ストッカー２０１と、ストッカー２０２と、ロボットアーム２０３との間におけるセパレータ捲回体１０の受け渡しの詳細については図１１を用いて後述する。
【００９８】
（第１室４１及び第２室４２による主な利点）
図３〜図５に示すように、検査システム１は、線源部２と、センサ部３と、ストッカー２０１・２０２と、線源部２が照射する電磁波を遮蔽する壁４１Ｗで囲まれた第１室４１と、線源部２が照射する電磁波を遮蔽する壁４２Ｗ及び側壁４１Ｗａで囲まれた第２室４２と、第１室４１と第２室４２とを隔てるために設けられた第１遮蔽部５１とを備えている。そして、線源部２とセンサ部３とは第１室４１に配置されており、ストッカー２０１・２０２は第２室４２に配置されている。
【００９９】
これにより、線源部２が照射してセパレータ捲回体１０を通過した電磁波を、センサ部３が検出することで、セパレータ捲回体１０に含まれる欠陥の有無を検査することができる。
【０１００】
また、上記構成によると、線源部２とセンサ部３とは第１室内４１に配置されており、ストッカー２０１・２０２は第２室４２に配置されている。そして、第１室４１を囲む壁４１Ｗは線源部２が照射する電磁波を遮蔽し、さらに、第２室４２を囲む壁４２Ｗ及び側壁４１Ｗａも線源部２が照射する電磁波を遮蔽する。
【０１０１】
これにより、線源部２が照射した電磁波が第１室４１及び第２室４２の外部へ漏れることを防止することができる。
【０１０２】
このため、第１室４１とは別に第２室４２を設けることで、線源部２が照射した電磁波が第１室４１及び第２室４２の周囲に及ぼす影響を抑えることができる。
【０１０３】
すなわち、線源部２が照射する電磁波がＸ線であり、線源部２が電磁波を照射しているときに第１遮蔽部５１を開けても、第１室４１とは別に第２室４２を設けているため、線源部２が照射している電磁波が第２室４２の外の空間に漏れることを防止することができる。これにより、第２室４２の外の空間に居る作業者が、線源部２が照射しているＸ線に被曝することを防止することができる。
【０１０４】
または、線源部２が、例えばレーザ光を照射する場合であっても、第１室４１とは別に第２室４２を設けているため、当該レーザ光から作業者の目を保護することができる。また、第２室４２の外の空間に光に敏感な製造工程が設けられている場合であっても、または、光に敏感な物質が保管されている場合であっても、第１室４１とは別に第２室４２を設けられているため、当該製造工程又は当該物質が、線源部２が照射する電磁波によって変質する等の不具合を抑制又は防止することができる。
【０１０５】
または、第１室４１とは別に第２室４２を設けることで、上記第１室及び上記第２室周囲の外光が、上記線源部及びセンサ部に及ぼす影響を抑えることができる。
【０１０６】
すなわち、線源部２が照射する電磁波がＸ線ではなく赤外光、可視光、又は紫外光等であり、第１室４１及び第２室４２の外の空間で使用されている外光（照明光）に、その線源部２が照射する電磁波と同じ波長帯の光（赤外光、可視光、又は紫外光等）が含まれていたとしても、当該波長の光がセンサ部に受光されることを防止することができる。この結果、センサ部が撮影した画像にノイズが含まれてしまうことを防止することができる。
【０１０７】
また、上記構成によると、第１室と上記第２室とを隔てる壁４１Ｗａに第１遮蔽部５１が設けられている。
【０１０８】
これにより、第１遮蔽部５１を閉めることで、線源部２から照射された電磁波が第１室４１を囲む壁４１Ｗなどで反射されたとしても、第２室内４２にストックされているセパレータ捲回体１０に照射されることを防止することができる。このため、第２室４２を設けずに線源部及びセンサ部と同じ部屋に検査前及び検査後のセパレータ捲回体をストックしている場合と比べて、第２室４２にストックされているセパレータ捲回体１０が、上記電磁波に起因して品質が劣化することを抑制又は防止することができる。
【０１０９】
そして、第１室４１及び第２室４２それぞれを囲む壁４１Ｗ・４２Ｗは電磁波を遮蔽するため、線源部２からの電磁波の照射を停止しなくても、第１遮蔽部５１を開けて、第２室４２にストックされているセパレータ捲回体１０を第１室４１に搬入したり、第１室４１で検査されたセパレータ捲回体１０を第２室４２へ搬出したりすることができる。これにより、効率よくセパレータ捲回体１０の検査を継続することができる。
【０１１０】
また、検査システム１によると、第１室４１とは別に線源部２から照射する電磁波を遮蔽する壁４２Ｗで囲まれた第２室４２を設けているため、線源部２が電磁波を照射している状態のときに、当該電磁波を照射しているセパレータ捲回体１０を交換することができる。すなわち、検査システム１を、以下のように動作させることができる。
【０１１１】
ロボットアーム２０３が第２室４２から第１室４１へセパレータ捲回体１０を搬入し、保持機構２０にセパレータ捲回体１０を保持させることで、電磁波を照射している状態の線源部２と、センサ部３との間にセパレータ捲回体１０を配置する（第１ステップ）。
【０１１２】
次いで、センサ部３が、保持機構２０に保持されたセパレータ捲回体１０を透過した電磁波を検出して当該検出した電磁波に応じた電気信号を出力することで、センサ制御部３３が撮影画像を生成する（第２ステップ）。
【０１１３】
そして、保持機構２０に保持されたセパレータ捲回体１０における検査領域の撮影が終了し、センサ部が当該セパレータ捲回体１０の検査に必要な電気信号の出力をした後、電磁波を照射している状態の線源部２とセンサ部３との間に配置されているセパレータ捲回体１０をロボットアーム２０３が保持機構２０から取り外し、当該セパレータ捲回体１０を、第１室４１から第２室４２へ搬出する（第３ステップ）。
【０１１４】
そして、第２室４２のストッカー２０１にストックされている別のセパレータ捲回体１０を、ロボットアーム２０３が第２室４２から第１室４１へ搬入し、保持機構２０にセパレータ捲回体１０を保持させることで、電磁波を照射している状態の線源部２と、センサ部３との間にセパレータ捲回体１０を配置する（第４ステップ）。この後、第２ステップへ続く。
【０１１５】
上記ステップによると、線源部２からの電磁波の照射のオンオフを切り替えることなく、検査を行うセパレータ捲回体１０を取り替えているため、線源部２における電磁波の照射のオンオフの切替えに伴う時間を短縮し、さらに、頻繁な照射のオンオフの切替えに伴う線源部２の劣化を抑制又は防止することができる。
【０１１６】
ここで、線源部２が照射する電磁波がＸ線の場合、Ｘ線の照射開始から、検査性能の保証に必要なＳＮ比（シグナル‐ノイズ比）を確保できる程度に線量が安定するまで、ある程度の時間を要する。特に、検査対象物がセパレータ捲回体の場合は、より長時間の安定化時間を有する。これは、(i)セパレータ捲回体はある程度の厚みを有するため高いＸ線のエネルギーが必要であり、（ii）また、撮影画像内におけるＳＮ比の面内バラツキが許容値以下になるまで待つ必要があり、（iii）さらに、検出対象である欠陥のサイズが小さく求められるＳＮ比が高い、等の理由が挙げられる。
【０１１７】
このため、線源部から照射する電磁波を遮蔽する壁で囲まれた第２室を設けていない場合、第１室へセパレータ捲回体を搬入したり、第１室からセパレータ捲回体を搬出したりするために、第１遮蔽部を開けるたびに、線源部からのＸ線の照射を停止する必要がある。このため、第１遮蔽部を開けるたびに、線源部からのＸ線の線量が、検査に必要なＳＮ比を確保できる程度に安定する時間を要する。この結果、セパレータ捲回体の検査のタクトタイムが長時間化する。
【０１１８】
一方、検査システム１では、検査装置９が配置されている第１室４１とは別に、線源部２から照射する電磁波を遮蔽する壁４２Ｗで囲まれた第２室４２を設けている。このため、線源部２が照射する電磁波がＸ線であっても、Ｘ線を照射した状態で、検査するセパレータ捲回体１０を取り替えることができる。
【０１１９】
また、検査システム１では、第２室４２を囲む壁４２Ｗ及び側壁４１Ｗａには、第１室４１と第２室４２とを隔てる側壁４１Ｗａ以外の位置に、第２遮蔽部５２が設けられている。例えば、図３〜５に示した例では、側壁４１Ｗａとは異なる壁である側壁４２Ｗｄに第２遮蔽部５２が設けられている。
【０１２０】
加えて、第１遮蔽部５１及び第２遮蔽部５２は、線源部２が照射する電磁波を遮蔽する材質を含んでいることが好ましい。例えば、線源部２が照射する電磁波がＸ線であれば、第１遮蔽部５１及び第２遮蔽部５２は鉛を含んでいることが好ましい。または、線源部２が照射する電磁波が、赤外光、可視光、又は、紫外光等の場合、第１遮蔽部５１及び第２遮蔽部５２は、赤外光、可視光、又は、紫外光等を遮蔽できる材質であればよい。
【０１２１】
上記構成によると、第１遮蔽部５１を閉じておけば、第１室４１においてセパレータ捲回体１０の欠陥の有無の検査を継続しつつ、第２遮蔽部５２を開けて、第２室４２にセパレータ捲回体１０を搬入したり、第２室４２にストックされている検査後のセパレータ捲回体１０を第２室４２の外側の空間へ搬出したりすることができる。これにより、第２室４２へのセパレータ捲回体１０の搬入及び搬出を効率よく行うことができる。この結果、効率よく、検査装置９を用いてセパレータ捲回体１０の検査を行うことができる。
【０１２２】
さらに、第２室４２にセパレータ捲回体１０を搬入したり、第２室４２にストックされている検査後のセパレータ捲回体１０を搬出したりするたびに、線源部２からの電磁波の照射のオンオフを切り替える必要がないため、線源部２からの電磁波の照射のオンオフの切替えに伴う時間を短縮し、さらに、頻繁な照射のオンオフの切替え伴う線源部２の劣化を抑制又は防止することができる。
【０１２３】
また、検査システム１は、第２室４２にロボットアーム２０３が配置されている。ロボットアーム２０３は、ストッカー２０１にストックされているセパレータ捲回体１０を保持し、第１遮蔽部５１が開いた開口部を通して、第２室４２から第１室４１へ搬送する。又は、ロボットアーム２０３は、第１室４１で検査されたセパレータ捲回体１０を保持し、第１遮蔽部５１が開いた開口部を通して、第１室４１から第２室４２へ搬送する。
【０１２４】
これにより、第２遮蔽部５２を閉じておけば、線源部２からの電磁波の照射を止めることなく、ロボットアーム２０３によって、これから検査を行うセパレータ捲回体１０を第２室４２から第１室４１へ搬入したり、又は、検査済のセパレータ捲回体１０を第１室４１から第２室４２へ搬出したりすることができる。これにより、効率よくセパレータ捲回体１０の検査を行うことができる。
【０１２５】
また、図３に示すように、第１遮蔽部５１は、線源部２と横に並ぶ位置に配置される等、線源部２から照射された電磁波が直接照射されない位置に設けられていることが好ましい。
【０１２６】
これにより、線源部２から電磁波が照射されているときに、何らかの理由で第１遮蔽部５１及び第２遮蔽部５２が開いたとしても、線源部２が照射している電磁波が第１室４１及び第２室４２の外部へ漏れる量を抑制することができる。
【０１２７】
加えて、線源部２から電磁波が照射されているときに第１遮蔽部５１が開かれたとしても、第２室４２にストックされているセパレータ捲回体１０が電磁波に被曝してしまうことを抑制することができる。
【０１２８】
また、第２遮蔽部５２は、第１遮蔽部５１とは非平行となるように配置されていることが好ましい。図４に示す例では、第２遮蔽部５２は、壁４２Ｗのうち、第１遮蔽部５１が設けられている側壁４１Ｗａと平行である側壁４２Ｗｃ以外の壁である側壁４２Ｗｄに設けられることで、第１遮蔽部５１と非平行となっている。
【０１２９】
これにより、何らかの理由で、第１室４１内での検査中に、第１遮蔽部５１及び第２遮蔽部５２が開いた場合であっても、第１遮蔽部及び第２遮蔽部が平行に配置されている場合と比べて、線源部２からの電磁波が第２室４２外に漏れることを抑制することができる。
【０１３０】
なお、第２遮蔽部５２は、壁４２Ｗのうち、第１遮蔽部５１が設けられている側壁４１Ｗａと平行である側壁４２Ｗｃ以外の壁である側壁４２Ｗｂ・側壁４２Ｗｄ・床４２Ｗｅ・天井４２Ｗｆのいずれかに設けられていればよい。
【０１３１】
また、第１室４１及び第２室４２は、クリーンルーム内に配置されていることが好ましい。これにより、セパレータ捲回体１０の検査をクリーンな環境で行うことができ、より正確に欠陥の有無を検査することができる。
【０１３２】
クリーンな環境としては、例えばクラス１０万以下が好ましい。このような環境下で行う事により、検査中および検査後に異物が新たに付着する可能性を低減する事ができる。
【０１３３】
また、第２室４２内にエアシャワーを設けてもよい。これにより、第１室４１内の環境を、一層クリーンな環境を高く保つことができる。これにより、第１室４１内でより正確な検査を行うことができる。さらに、検査装置９の清掃頻度を下げることができる。
【０１３４】
なお、第２室４２内にエアシャワーを設けないとしても、第２室４２を設けていない検査システムと比べて、第２室４２を設けている検査システム１においては、第１室４１への塵及び埃の進入を少なくしてクリーンな環境を高く保つことができる。
【０１３５】
また、第２室４２の環境（クリーン度等）は第１室と同じか、または、第１室４１よりクリーン度（浮遊パーティクル量が少ないこと）が高いことが好ましい。さらに、第２室４２の方が、第１室４１よりも、温度管理及び湿度管理が厳しく制御されていることが好ましい。
【０１３６】
また、第１室４１及び第２室４２がクリーンルームに配置されている場合、第２室４２の環境は、第１室４１及び第２室４２の外側の空間よりも、クリーン度が高く、温度管理及び湿度管理が厳しく制御されることが好ましい。
【０１３７】
これにより、第２室４２にストックされているセパレータ捲回体１０をクリーンな状態でストックすることができる。
【０１３８】
（検査装置９の詳細）
図６は、実施形態１に係る検査装置９の概略構成を表す図である。本実施形態では、線源部２の電磁波４の照射方向をＸ軸方向（紙面左右方向）とし、Ｘ軸に垂直に交わる鉛直方向（紙面上下方向）をＺ軸方向とする。
【０１３９】
保持機構２０は、検査対象であるセパレータ捲回体１０を、Ｘ軸方向及びＺ軸方向に移動可能に保持する。すなわち、保持機構２０は、線源部２に対しセパレータ捲回体１０を相対的に移動させる。なお、保持機構２０は、Ｘ軸方向及びＺ軸方向に垂直に交わるＹ軸方向（紙面奥手前方向）にも移動可能であってもよい。
【０１４０】
保持機構２０は、Ｘ軸方向に延伸した形状であり、Ｘ軸と平行な軸を中心としてセパレータ捲回体１０が回転可能なように、セパレータ捲回体１０を保持する。具体的には、検査装置９は、セパレータ捲回体１０の第２側面１０ｃ側から第１貫通孔８ａに保持機構２０を挿入して、セパレータ捲回体１０を保持する。これにより、検査装置９は、セパレータ１２に直接触れることなく、セパレータ捲回体１０を第１側面１０ｂ側から保持することができる。
【０１４１】
検査装置９において、セパレータ捲回体１０は、線源部２と、センサ部３との間に、コア８に捲回されたセパレータ１２の一部が少なくとも介在するように保持機構２０に取り付けられる。
【０１４２】
なお、保持機構２０は、金属異物の発生の防止の観点から、少なくとも摺動部は樹脂で構成されていることが好ましい。樹脂の種類に制限はなく、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、塩化ビニール樹脂、アクリル樹脂、ＡＢＳ、ポリエステル等の汎用樹脂、ポリアセタール、ポリアミド、ポリカーボネート、変性ポリフェニレンエーテル等のエンジニアリングプラスチック、ポリアリレート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルイミド等のスーパーエンジニアリングプラスチック等が用いられる。中でも摺動部に用いることから摩耗に強いスーパーエンジニアリングプラスチックが好ましく、ポリエーテルエーテルケトンがより好ましい。なお、後述する実施形態３では、保持機構２０は全て樹脂からなることが好ましい。
【０１４３】
保持機構２０にセパレータ捲回体１０が取り付けられると、検査装置９において、線源部２、セパレータ捲回体１０、及び、センサ部３が、Ｘ軸方向に、この順に並んで配置されることになる。保持機構２０に取り付けられたセパレータ捲回体１０の両側面のうち、第２側面１０ｃが線源部２の照射面２ａと対向し、第１側面１０ｂがセンサ部３の検出面３ａと対向する。
【０１４４】
検査装置９は、保持機構２０が保持するセパレータ捲回体１０を所定角度だけθ方向に回転させて撮影し、また、セパレータ捲回体１０を所定角度だけθ方向に回転させて撮影することを繰り返して、コア８に捲回された円環状のセパレータ１２全体を撮影する。なお、この具体的な撮影方法については、図８〜図１０を用いて後述する。
【０１４５】
図３に示すように、センサ部３は、線源部２が照射した電磁波を検出面３ａにて検出可能な検出器である。センサ部３は、線源部２が照射した電磁波を検出すると、検出した電磁波の強度に応じた電気信号をセンサ制御部３３に出力する。センサ制御部３３は、センサ部３から上記電気信号を取得すると、当該電気信号に基づいて撮影画像を生成する。
【０１４６】
センサ部３は、線源部２が照射する波長帯の電磁波を検出可能な検出器であればよい。例えば、センサ部３は、線源部２がＸ線を照射する場合はＸ線を検出可能な検出器であればよく、線源部２がγ線を照射する場合はγ線を検出可能な検出器であればよい。
【０１４７】
本実施形態では、センサ部３は、Ｘ線の検出が可能であり、画素がマトリクス状に配置されたフラットパネルディテクタ（ＦＰＤ）であるものとする。センサ部３は、縦横１５００×１５００画素や２０００×２０００画素等のＦＰＤであり、検出対象である異物のサイズに応じて、１画素２０μｍ〜２０００μｍ等、最適な大きさの画素ものを選択する。
【０１４８】
なお、センサ部３の検出面３ａの面積は、セパレータ捲回体１０の第１側面１０ｂ又は第２側面１０ｃの面積より小さくてもよい。これは、セパレータ捲回体１０を回転させてコア８上の円環状に積層されたセパレータ１２の一部ずつを撮影していき、それらから必要な領域を抽出して繋ぎ合せることで全体の撮影画像を得るためである。
【０１４９】
線源部２は、電磁波４をセパレータ捲回体１０の側面に向けて照射する。線源部２は、本実施形態では、セパレータ捲回体１０において、幅Ｗのセパレータ１２を横断方向（ＴＤ）に透過する電磁波４を照射するものとする。このような電磁波４としては、波長が１ｐｍ〜１０ｎｍの電磁波を挙げることができる。
【０１５０】
この中でも、線源部２が照射する電磁波４としては、Ｘ線が好ましい。これにより、γ線と比べてコストを増大させず、取扱いがし易い検査装置９を得ることができる。
【０１５１】
線源部２が照射する電磁波４の強度は、１Ｗ以上であることが好ましい。これにより、確実に、電磁波４をセパレータ１２の横断方向（ＴＤ）に透過させることができる。ここで、電磁波４の強度の強度が小さいと、センサ部３の露光時間を長く必要となる。そこで、線源部２が照射する電磁波４の強度は１０Ｗ以上であることが、より好ましい。これにより、センサ部３の露光時間を短くすることができる。
【０１５２】
また、電磁波４の強度が強すぎると、線源部２の寿命が短くなる可能性がある。そこで、線源部２が照射する電磁波４の強度は１００Ｗ以下であることが好ましい。これにより、線源部２の寿命が短くなることを抑制することができる。
【０１５３】
線源部２のうち電磁波４の照射面２ａは、検査装置９にセットされたセパレータ捲回体１０を介して、センサ部３の検出面３ａと対向するように配置されている。
【０１５４】
本実施形態における電磁波４が、波長が１ｐｍ〜１０ｎｍの電磁波である場合、線源部２のうち、電磁波４を放射状に照射する点源を特に焦点２ｃということがある。焦点２ｃの中心は、Ｘ軸方向から見て照射面２ａの中心２ｂと重なるように配置されているものとする。
【０１５５】
図７は実施形態１に係る線源部２の概略構成を表す図である。この焦点２ｃは、点光源であることが理想であるが、通常、焦点２ｃの直径２ｃａは、１〜２０μｍ程度の大きさを有する。
【０１５６】
ここで、図６に示すように、焦点２ｃからセパレータ捲回体１０の第１側面１０ｂまでの距離をＤ１とし、焦点２ｃからセンサ部３の検出面３ａまでの距離をＤ２とする。
【０１５７】
図６に示すように、検査装置９において、測定を高倍率で実施する場合は、焦点２ｃの大きさに起因するズレの影響が大きくなる。この測定を高倍率で実施する場合とは、Ｄ１に対するＤ２（Ｄ２／Ｄ１）を大きくした場合での測定であり、測定を低倍率で実施する場合とは、Ｄ１に対するＤ２（Ｄ２／Ｄ１）を小さくした場合での測定である。
【０１５８】
このように線源部２は、電磁波４をセパレータ捲回体１０の側面に向けて照射し、当該電磁波４はセパレータ捲回体１０を透過してセンサ部３に検出される。これにより、セパレータ捲回体１０内に混入した異物等、セパレータ捲回体１０内で欠陥が発生しているか否かを検査することができる。
【０１５９】
このように、検査装置９によると、セパレータ捲回体１０が製造された後、コア８に捲回されたセパレータ１２内の欠陥の有無を検査することができる。このため、スリット工程にて原反から複数にスリットされたシート状のセパレータ毎に、欠陥の有無を検査する装置を配置する必要がない。このため、検査装置の台数の増大が不要となる。
【０１６０】
また、線源部２は、保持機構２０が保持しているセパレータ捲回体１０に対して電磁波４を照射し、センサ部３は、その電磁波４を検出している。このため、搬送中のセパレータ１２を撮影する必要はなく、静止している状態でのセパレータ捲回体１０を撮影することができる。これにより、十分にセンサ部３は露光時間を確保することができるため、鮮明な撮影画像を得ることができ、正確に欠陥検査を行うことができる。
【０１６１】
なお、ＳＮ比を改善するためにはセンサ部３の露光時間を長く取ることが好ましいが、露光は連続露光であってもよく、短時間の露光を繰り返す複数露光であっても良い。短時間の露光を繰り返す複数露光で撮影した場合は、その後画像を重ねあわせる。連続露光に比べ複数露光の方がノイズの影響をより低減できるため好ましい。
【０１６２】
また、検査装置９は、搬送中のセパレータ１２を全長にわたって撮影する必要がなく、巻き取られた塊であるセパレータ捲回体１０として検査することができるため短時間に欠陥検査を行うことができる。
【０１６３】
また、Ｘ線またはγ線等のエネルギーが高い電磁波を取り扱う場合、人体への影響を避けるため、線源およびセンサの周囲を鉛等が含まれる壁で囲う必要がある。このため、搬送中のセパレータ又はセパレータ捲回体に対してＸ線を照射して欠陥検査を行うには、周囲に設けられる壁も大きくなり、大掛かりな装置となってしまう。
【０１６４】
一方、検査装置９によると、電磁波４としてＸ線またはγ線を用いたとしても、保持機構２０が保持しているセパレータ捲回体１０の撮影を行うため、線源部２及びセンサ部３の周囲を囲む壁は、比較的小さくて済み、装置全体として比較的小さな装置として構成することができる。
【０１６５】
線源部２は、セパレータ捲回体１０に対し、側面側から電磁波４を照射する。これにより、セパレータ捲回体１０のうち、コア８に捲回されているセパレータ１２だけを透過した電磁波４に基づく撮影画像を得ることができる。このため、特に、コア８に捲回されたセパレータ１２内を撮影した鮮明な撮影画像を得ることができる。
【０１６６】
また、セパレータ捲回体１０はある程度の厚み（例えば数ｃｍ程度の厚み）を有するため、セパレータ捲回体１０を透過させるために電磁波は高エネルギーである必要がある。このため、第１室４１とは別に、線源部２から照射する電磁波を遮蔽する壁４２Ｗで囲まれた第２室４２を設けることで、より作業者の安全を確保することができる。
【０１６７】
線源部２は、コア８に捲回されたセパレータ１２だけでなく、コア８にも照射されるように電磁波４をセパレータ捲回体１０に照射する。そして、センサ部３が電磁波４ａを検出することで撮影した撮影画像には、セパレータ１２の像に加え、コア８の像も含まれていることが好ましい。このように、セパレータ捲回体１０における広い範囲の撮影画像を得ることができる。これにより、撮影回数を減らすことができると共に、セパレータ捲回体１０において、漏れなく全体的に欠陥検査を行うことができる。
【０１６８】
ここで、電磁波４としてＸ線またはγ線を用いた場合、線源部２の焦点２ｃから照射された電磁波４は、放射角度Ｂ０を持って放射状に照射される。このため、線源部２の照射面２ａのうち中心２ｂから照射された電磁波４、すなわち、焦点２ｃから照射された電磁波４のうち、照射面２ａに対して垂直に照射された電磁波４は、コア８に捲回されているセパレータ１２の膜面と平行にセパレータ捲回体１０内を進行し、センサ部３の検出面３ａに垂直に入射する。一方、線源部２の照射面２ａのうち中心２ｂから離れるに従い、すなわち、焦点２ｃから照射された電磁波４のうち、照射面２ａに対して垂直に照射された電磁波４から傾斜していくにつれ、線源部２の照射面から照射された電磁波４は、コア８に捲回されているセパレータ１２の膜面に対して斜めにセパレータ捲回体１０内を進行し、センサ部３の検出面３ａに斜めに入射する。
【０１６９】
捲回されたセパレータ１２の撮影画像のうち、セパレータ１２の膜面に対して斜めにセパレータ捲回体１０内を進行した電磁波４によって得られた領域と比べて、セパレータ１２の膜面に対して平行にセパレータ捲回体１０内を進行した電磁波４によって得られた領域には、輝線が映ってしまう場合がある。この輝線が映ると、捲回されたセパレータ１２内の異物等の欠陥の像が見えにくくなり、欠陥の検出漏れ発生の原因となる場合がある。撮影画像に輝線が映ったときは、線源部２とセパレータ１２との位置関係を変えて再度前記輝線が観察された部位の画像を撮影することで欠陥の検出漏れの発生を防ぐことができる。
【０１７０】
具体的には、セパレータ１２の外周側の領域を撮影した後に、前記外周側の輝線が生じた領域が重複するように内周側の領域を再度撮影することによって、外周側の領域に輝線が生じた場合であっても欠陥の検出漏れなく検査することができる。また、このように線源部２とセパレータ１２との位置関係を変えて領域が重複するように複数回撮影する事で、外接球の直径が１００μｍ以上の異物の中でも扁平状のような薄い形状の異物の検出漏れを防ぐことができる。
【０１７１】
また、輝線の映り込みを防ぐ観点からは、線源部２は、照射面２ａの中心２ｂが、保持機構２０に保持されているセパレータ捲回体１０の側面うち、捲回されているセパレータ１２とは対向しない位置に配置されていることが好ましく、捲回されているセパレータ１２によって構成されている円環部分よりも中心側であるコア８の側面と対向するように配置されていることがより好ましい。
【０１７２】
これにより、照射面２ａの中心２ｂから照射された電磁波４は、セパレータ捲回体１０のうち、セパレータ１２ではなく、コア８内を進行し、センサ部３の検出面３ａに入射する。このため、セパレータ１２の撮影画像に輝線が発生することがない。
【０１７３】
また、Ｘ線は、焦点２ｃを中心として放射状に照射されるため、捲回されているセパレータ１２内を進行した電磁波４は、セパレータ１２の膜面に対して斜めになるように、セパレータ捲回体１０内を進行し、センサ部３の検出面３ａに入射する。このため、撮影画像のうち、捲回されているセパレータ１２の像の部分に輝線が発生することを防止することができる。これにより、撮影回数を増やさずに欠陥の検出漏れ発生を防止することができる。
【０１７４】
検査装置９においては、線源部２と保持機構２０が保持するセパレータ捲回体１０との間、および保持機構２０が保持するセパレータ捲回体１０とセンサ部３の検出面３ａとの間には、構造物が配置されておらず、存在するのは空気のみである。
【０１７５】
これにより、セパレータ捲回体と、センサ部の受光面との間に、構造物が配置されている場合と比べて、検査装置９によると、より鮮明なセパレータ捲回体１０の撮影画像を得ることができる。このため、精度良く、セパレータ捲回体１０内の欠陥の有無の検査を行うことができる。
【０１７６】
上述したように、焦点２ｃからセパレータ捲回体１０の第１側面１０ｂまでの距離をＤ１とし、焦点２ｃからセンサ部３の検出面３ａまでの距離をＤ２としたとき、Ｄ２／Ｄ１を測定倍率と定義する。
【０１７７】
検査装置９によって、検査対象の全領域において解像度の高いＸ線像を短時間に得ることができる。セパレータ捲回体１０の検査に必要な時間は下記式で与えられ、この時間が最小となるＤ２を設定する必要がある。
【０１７８】
（露光時間＋移動時間）×撮影回数  （式１）
Ｄ２／Ｄ１を固定した条件に置いて、焦点２ｃとセパレータ捲回体１０との距離、すなわちＤ１がＸ倍になると、検出面３ａにおける（時間・面積）あたりの線量が１／（Ｘ２）になる。すなわち、Ｄ１がＸ倍の条件下においては、検出面３ａにおいて同じ線量を得ようとした場合、露光時間はＸの２乗に比例させる必要がある。従って、露光時間についてはＤ１が小さいほど有利である。一方で、Ｄ１を小さくすると、セパレータ捲回体１０の撮影範囲は狭くなる。このため、露光時間を短くできるものの、全領域を撮影するための撮影回数が増加し撮影間の移動が増えるため欠陥検査の時間が増大することになる。
【０１７９】
また、Ｄ２を小さくすると、その分、セパレータ捲回体１０の撮影画像の解像度が向上するものの、測定倍率が低下するため分解能が高いセンサ部３、すなわち、画素サイズが小さいセンサ部（ＦＰＤ）が必要となる。一方で、Ｄ２を大きくすると、センサ部３の画素サイズの制約は少なくなるものの、センサ部自体のサイズが大きくなったり、検査装置のサイズが大きくなるため空間コストが高くなる。なお、波長が１ｐｍ〜１０ｎｍの電磁波は線源から放射状に照射されるため、検出対象である異物の実サイズに対してセンサ部３に投影される異物のサイズは常に大きくなる。センサ部３の画素サイズは、検出対象である異物を何画素で検出するかを考慮したうえで決定すればよい。例えば、大きさが１００μｍである異物を３画素以上で検出する場合、画素サイズは１００μｍ÷３≒３３μｍを下限として選択すればよい。
【０１８０】
これらの事情を考慮すると、Ｄ１は幅Ｗの１．５倍以上４倍以下であることが好ましく、Ｄ２は０．３ｍ以上１０ｍ以下であることが好ましく、Ｄ２／Ｄ１は１より大きく４０以下であることが好ましい。また、センサ部３（ＦＰＤ）の画素サイズは２０μｍ以上２０００μｍ以下であることが好ましい。これにより、セパレータ捲回体１０の欠陥検査に要する時間を短縮しつつ、より精度よく欠陥検査を行うことができる。
【０１８１】
また、１回の撮影時間は、セパレータ捲回体１０の１個当たりの検査に要する時間、センサ部３のセンサ感度、処理検体数（検査するセパレータ捲回体１０の数）等によって検出すべきサイズの欠陥を撮影することができる範囲内で適宜調整すればよい。
【０１８２】
さらに、セパレータ捲回体１０の１個当たりの検査に要する時間、センサ部３のセンサ感度、処理検体数（検査するセパレータ捲回体１０の数）等によっては、例えば、複数のセパレータ捲回体１０をＸ軸方向に重ねて同時に撮影したり、複数のセパレータ捲回体１０をＺＹ平面に並べて同時に撮影したりすることで、複数のセパレータ捲回体１０を同時に検査してもよい。
【０１８３】
（検査装置９による検査方法）
図８は、保持機構２０に保持されているセパレータ捲回体１０が撮影された撮影画像を表す図である。なお、図８では、セパレータ捲回体１０の全体が撮影された様子を示しているが、セパレータ捲回体１０のうち、後述する着目領域３ｂだけ、又は、着目領域３ｂを含むセパレータ捲回体１０の一部だけが撮影されていてもよい。
【０１８４】
センサ制御部３３は、セパレータ捲回体１０の撮影画像のうち、実際に欠陥の有無を判定するために、撮像画像のうち着目する着目領域３ｂを設定する。
【０１８５】
ここで、セパレータ捲回体１０に対する電磁波４の入射角度、線源部２の照射面２ａからセンサ部３の検出面３ａに至る電磁波４が進行した経路長の違い等から、撮影画像には、鮮明な像が映っている領域と、映っている像が不鮮明な領域とが存在する。このため、撮影画像のうち、鮮明な像が映っている領域を使って、欠陥検査を行った方が、検査漏れが少なく、精度よく欠陥検査を行うことができる。
【０１８６】
そこで、センサ制御部３３は、撮影画像において鮮明な像が映る領域を、着目領域３ｂとして設定しておく。
【０１８７】
なお、撮影画像の範囲や位置が着目領域３ｂと同じであれば、撮影画像をそのまま着目領域３ｂとして用いればよい。
【０１８８】
本実施形態では、センサ制御部３３は、着目領域３ｂとして、コア８の外周面Ｓ２の一部と、セパレータ１２の外周面Ｓ１の一部を含む四角形の領域を設定する。すなわち、着目領域３ｂには、コア８の一部と、捲回されているセパレータ１２の厚さ方向（紙面上下方向）の全てが含まれている。
【０１８９】
図６において、線源部２の照射面２ａの中心２ｂからセンサ部３の検出面３ａに垂直に引いた線を中心線ＣＥとする。
【０１９０】
着目領域３ｂの上下方向の距離は、電磁波４のうち、中心線ＣＥから、セパレータ捲回体１０の第２側面１０ｃの外周が含まれる程度の放射角度Ｂ１で放射状に照射された電磁波４ａがセパレータ捲回体１０を透過してセンサ部３に入射したときの距離である。
【０１９１】
中心線ＣＥは、セパレータ捲回体１０のうち、セパレータ１２よりも中心側に位置するコア８を通過する。
【０１９２】
図８に示すように、センサ制御部３３が着目領域３ｂを設定すると、検査装置９は、保持機構２０に取り付けられたセパレータ捲回体１０を撮影する。
【０１９３】
なお、撮影するとは、線源制御部３１からの指示により線源部２が電磁波４を照射し、センサ部３が、線源部２が照射しセパレータ捲回体１０を透過した電磁波４を検出し、当該検出した電磁波４の強度に応じた電気信号をセンサ制御部３３に出力し、センサ制御部３３が、センサ部３から上記電気信号を取得して、当該電気信号に基づく撮影画像を生成することである。
【０１９４】
次に、センサ制御部３３は、生成した撮影画像から、着目領域３ｂに該当する第１領域Ｒ１を抽出する。
【０１９５】
図８では、第１領域Ｒ１に、検出すべき欠陥として異物５が含まれている。異物５の材質は、種々のものが考えられるが、例えば、金属、及び、カーボン等を挙げることができる。検出すべき異物５のサイズとしても、種々のサイズが考えられるが、一例として、１００μｍ、厚みが５０μｍ程度のサイズのものが考えられる。本明細書において、異物のサイズに厚みや幅などの特定がないとき、つまり単に１００μｍ等の長さのみが記載されているときには、当該長さは異物の外接球の直径の長さを意味する。
【０１９６】
検出すべき欠陥である異物５は、比重が大きい方が小さいサイズまで検出できる傾向がある。検出すべき欠陥が金属異物である場合、例えばある検査条件の下において、比重が６程度の金属が１００μｍ程度まで検出できるときに、比重２程度の金属は、３００μｍ程度まで検出することができる。検査装置９において、適宜、検出対象である金属異物の種類（すなわち比重）によって、検出対象とする異物５のサイズを設定すればよい。
【０１９７】
なお、検査装置９において、露光時間を延ばす、セパレータ捲回体１０における同じ領域を複数回撮影する等により、検査に要する時間を延ばせば、サイズが小さい異物５を検出することができる。このため、上記のような、検出対象とする金属異物の比重とサイズとの関係は、検査に要する時間を同じにした場合の関係である。
【０１９８】
なお、代表的な金属の比重としては、Ｆｅ；７．８程度、Ａｌ；２．７程度、Ｚｎ；７．１程度、ＳＵＳ７．７程度、Ｃｕ８．５程度、真鍮８．５程度等が例示されるがこの限りではない。
【０１９９】
図９は、図８に示すセパレータ捲回体１０をθ方向に所定角度だけ回転させた様子を表す図である。
【０２００】
センサ制御部３３が、撮影画像から、着目領域３ｂに該当する第１領域Ｒ１を抽出した後、保持機構制御部３２は、図９に示すように、保持機構２０をθ方向に所定角度回転させる。これにより、保持機構２０及びセパレータ捲回体１０はθ方向に所定角度だけ回転して停止する。なお、センサ制御部３３が、セパレータ捲回体１０のθ方向への回転毎に撮影画像から着目領域３ｂに該当する抽出した各領域を領域Ｒと称する。
【０２０１】
保持機構制御部３２が、保持機構２０及びセパレータ捲回体１０をθ方向に回転させる所定角度とは、保持機構２０及びセパレータ捲回体１０を３６０度回転させて撮影したときに得られる複数の領域Ｒを重ねた時に、セパレータ捲回体１０の枠状のセパレータ１２の側面に未撮影領域が存在せず、且つ枠状のセパレータ１２の側面における撮影領域が最小になる角度以下の角度である。
【０２０２】
これにより、効率よく、セパレータ捲回体１０におけるコア８に捲回されたセパレータ１２の全体を撮影することができる。なおこのとき、線源部２は、照射面２ａの中心２ｂが、センサ部３と対向するように配置されていることがより好ましい。このような配置にあると、セパレータ捲回体１０における第２側面１０ｃに未撮影領域が存在しないときに、同時に、第１側面１０ｂにも未撮影領域が存在しなくなる。従って、セパレータ捲回体１０の全体をより好適に撮影することができる。
【０２０３】
そして、保持機構制御部３２が、保持機構２０及びセパレータ捲回体１０をθ方向に所定角度回転させて停止させると、検査装置９は、回転後のセパレータ捲回体１０を撮影する。
【０２０４】
次に、センサ制御部３３は、生成した撮影画像から、着目領域３ｂに該当する第２領域Ｒ２を抽出する。
【０２０５】
第２領域Ｒ２と、回転後の第１領域Ｒ１とは、隙間がなく重なり、互いの角度が異なっている。
【０２０６】
このように、撮影と、セパレータ捲回体１０のθ方向への所定角度の回転と、着目領域３ｂに該当する回転後の領域の抽出とを繰り返していく。
【０２０７】
図１０は、実施形態１に係るセパレータ捲回体の検査画像の様子を表す図である。
【０２０８】
図１０に示すように、円環状のセパレータ１２の一周に渡って、着目領域３ｂに該当する領域を抽出して組み合わせた第１領域Ｒ１〜第１８領域Ｒ１８を含む検査画像が生成されている。円環状のセパレータ１２は、第１領域Ｒ１〜第１８領域Ｒ１８（全領域Ｒ）内に含まれている。
【０２０９】
保持機構２０及びセパレータ捲回体１０を３６０度回転させて撮影して得られた第１領域Ｒ１〜第１８領域Ｒ１８（全領域Ｒ）は、隣接する領域Ｒ同士を重ねた時に、セパレータ捲回体１０の第２側面１０ｃに未撮影領域が存在せず、且つ撮影枚数が最小になる角度以下となるように、所定角度だけ、互いの角度が異なっている。
【０２１０】
このように、保持機構２０がθ方向に所定角度ずつ回転することで、セパレータ捲回体１０は、コア８に捲回されたセパレータ１２の全体の像が得られるように、線源部２に対し相対的に移動する。これにより、セパレータ１２の全体の欠陥検査を行うことができる。
【０２１１】
なお、保持機構２０は動かず、線源部２およびセンサ部３がセパレータ捲回体１０の中心を回転中心としてθ方向に所定角度ずつ回転することで、セパレータ捲回体１０が線源部２に対し相対的に移動するようにしてもよい。
【０２１２】
各第１領域Ｒ１〜第１８領域Ｒ１８は、隣接する領域と隙間が無く、かつ、重なる部分の面積が最小となるように、互いの角度が異なっている。
【０２１３】
このようにして、円環状のセパレータ１２の全体分を抽出した画像を組み合わせた検査画像を生成することができる。
【０２１４】
本実施形態では、撮影と、撮影画像における着目領域３ｂの抽出と、セパレータ捲回体１０のθ方向への所定角度の回転との流れを１８回繰り返すことで、円環状のセパレータ１２の全体を表す検査画像を生成しているが、この繰り返し回数は任意に変更すればよい。
【０２１５】
この後、センサ制御部３３は、検査画像を、図示しないディスプレイに表示するようにしてもよい。また、センサ制御部３３は、この検査画像を画像処理する等により、検出すべき欠陥の有無を判定し、判定結果を作業者に通知するようにしてもよい。
【０２１６】
このように、セパレータ捲回体１０は、線源部２に対し相対的に移動し、線源部２は、セパレータ捲回体１０に対し、相対的に移動する前後で電磁波４を照射する。
【０２１７】
これにより、セパレータ捲回体１０が相対的に移動する前後で、セパレータ捲回体１０に対し、異なる領域に電磁波４が照射されることになる。これにより、センサ制御部３３は、セパレータ捲回体１０が相対的に移動する前後で異なる領域の撮影画像を得ることができる。
【０２１８】
なお、線源部２からの電磁波は継続的に照射されるものとして説明したが、セパレータ捲回体１０が線源部２に対し相対的に移動する（所定角度回転する）前後で、電磁波４の照射をオンオフしてもよいし、電磁波４を継続的に照射した状態として、センサ部３の検出のオンオフを切り替えるようにしてもよい。
【０２１９】
また、保持機構２０が保持するセパレータ捲回体１０を、ロボットアーム２０３が交換する間に、線源部２からの電磁波の照射を一旦停止してもよい。
【０２２０】
これにより、線源部２から電磁波が継続的に照射されることによる不具合を解消することができる。
【０２２１】
また、セパレータ捲回体１０は、線源部２に対し相対的に、セパレータ捲回体１０の中心を回転中心とする回転運動をする。そして、センサ制御部３３は、回転運動をするセパレータ捲回体１０の撮影画像を生成する。
【０２２２】
そして、センサ制御部３３は、セパレータ捲回体１０が相対的に移動する前に生成した撮影画像と、セパレータ捲回体１０が相対的に移動した後に生成した撮影画像とを一部が重なるように合成する。これにより、漏れなく、セパレータ捲回体１０の広い面積の撮影画像を得ることができる。このため、効率よく、セパレータ捲回体１０の広い領域の撮影画像を得ることができる。
【０２２３】
また、撮影画像には、コア８の一部が含まれていることが好ましい。これにより、セパレータ捲回体１０におけるコア８に最も近い最内周のセパレータ１２についても漏れなく、セパレータ捲回体１０の広い面積の撮影画像を得ることができる。
【０２２４】
また、撮影画像には、セパレータ捲回体１０の外周面１０ａよりも外側の空間領域が含まれていることが好ましい。これにより、セパレータ捲回体１０の外周面１０ａを構成する最外周のセパレータ１２についても漏れなく、セパレータ捲回体１０の広い面積の撮影画像を得ることができる。
【０２２５】
また、検査装置９は、線源部２が照射する電磁波として、電磁波４を用いている。これにより、比較的容易に、コア８に捲回されたセパレータ１２の内部の欠陥の有無を確認することができる。
【０２２６】
また、検査装置９は、セパレータ捲回体１０における一度撮影した領域を、線源部２とセパレータ捲回体１０との相対位置を変更して複数回撮影してもよい。線源部２とセパレータ捲回体１０との角度を変えて、セパレータ捲回体１０における１度撮影した領域を２回等、複数回撮影することで、セパレータ捲回体１０に含まれる異物の位置（セパレータ捲回体１０におけるＴＤの位置）を特定したり、セパレータ捲回体１０に含まれる異物の全体形状を特定したり、厚みが薄い異物であっても検出したりすることができる。
【０２２７】
セパレータ捲回体１０を２回目に撮影する際、セパレータ捲回体１０全体を再度撮影してもよいが、必要な領域だけ撮影してもよい。例えば、図８〜図１０を用いて説明したような方法によって、セパレータ捲回体１０の全体を撮影した後、撮影画像から、セパレータ捲回体１０のうち異物が含まれている領域又は異物と思われる物体が写っている領域を特定し、セパレータ捲回体１０のうち当該領域だけを再度撮影してもよい。
【０２２８】
なお、異物がかなり小さい（厚みが薄い）場合は、セパレータ捲回体１０を１回撮影しただけでは、存在を確認することができない場合がある。このため、検査対象である異物がかなり小さい（厚みが薄い）場合は、線源部２とセパレータ捲回体１０との角度を変えて、セパレータ捲回体１０全体を複数回撮影することが好ましい。これにより、小さい（厚みが薄い）異物であっても検出することができる。
【０２２９】
また、検査装置９によると、セパレータ捲回体１０の１個当たりの検査に要する時間、センサ部３のセンサ感度、処理検体数（検査するセパレータ捲回体１０の数）等によって、検出すべき異物５のサイズを調整することができる。
【０２３０】
例えば、検査装置９を、１００μｍ以上の異物５を検出するように設定し、検査装置９によりセパレータ捲回体１０の欠陥検査を行うことで、セパレータ捲回体１０の製造工程にて製造される、様々なサイズの異物が含まれる（含まれる可能性がある）様々なセパレータ捲回体１０から、１００μｍ以上の異物５が含まれるセパレータ捲回体１０だけを選別することができる。
【０２３１】
そして、検査装置９によって１００μｍ以上の異物５が検出されたセパレータ捲回体１０を、製造工程から排除することによって、様々なサイズの異物が含まれる（含まれる可能性がある）様々なセパレータ捲回体１０から、１００μｍ以上の異物５が少ないか、１００μｍ以上の異物５が含まれないセパレータ捲回体１０を選別することができる。
【０２３２】
換言すると、セパレータ捲回体１０の製造工程において、検査装置９を用いた欠陥検査工程を組み込むことで、様々なサイズの異物が含まれる（含まれる可能性がある）様々なセパレータ捲回体１０から、１００μｍ以上の異物５が少ないか、１００μｍ以上の異物５が含まれないセパレータ捲回体１０を製造することができる。
【０２３３】
特に、１００μｍ以上の異物５が少ないセパレータ捲回体１０は、セパレータ１２に付着した異物５によって、セパレータ１２の不良、および、当該セパレータを備える電池の不良が発生する可能性を低くすることができる。
【０２３４】
このように、セパレータ捲回体１０の製造工程において、検査装置９を用いた欠陥検査工程を組み込むことで、異物５の混入など欠陥が少ないセパレータ捲回体を製造することができる。
【０２３５】
また、上述のように、欠陥検査工程は、セパレータ捲回体１０の製造工程において、スリット工程の後、包装工程の前に設けることが好ましい。これにより、スリット工程にて発生した異物５を効率よく検査することができる。
【０２３６】
また、セパレータ捲回体１０の製造工程において欠陥検査工程を設けることにより、セパレータ捲回体１０の包装工程以降、コア８に捲回されたセパレータ１２を用いて電池を組み立てる製造工程において、セパレータ１２に付着した異物５の有無を検査する手間を省くことができる。
【０２３７】
また、制御部３０は、１個のセパレータ捲回体１０の撮影を終了し、次のセパレータ捲回体１０の撮影を開始する前（１つの撮影サイクル終了後）に、セパレータ捲回体１０の撮影のために移動した各部（保持機構２０等）を初期状態に戻すことが好ましい。これにより、検査漏れや重複検査を防止したり、撮影途中に次の撮影に入るなどの誤作動も防止できる。
【０２３８】
（ロボットアームの詳細）
図１１は、実施形態１のロボットアーム２０３の概略構成および動作状態を説明するための模式図である。具体的には、図１１の（ａ）はロボットアーム２０３が検査前のセパレータ捲回体１１１を保持した状態で検査装置９の保持機構２０から検査後のセパレータ捲回体１１０を回収する動作状態を示し、図１１の（ｂ）はロボットアーム２０３がハンド部２３５を回転させる動作状態を示し、図１１の（ｃ）はロボットアーム２０３が保持機構２０に検査前のセパレータ捲回体１１１をセットする動作状態を示し、図１１の（ｄ）は検査前のセパレータ捲回体１１１を保持機構２０にセットした後のロボットアーム２０３の動作状態を示している。
【０２３９】
図１１の（ａ）〜（ｄ）に示すように、ロボットアーム２０３は、複数のセパレータ捲回体１０を同時に保持可能な構成になっている。ロボットアーム２０３のハンド部２３５は、長手方向を有する形状の基部３５１と、基部３５１に設けられた第１把持部３５２および第２把持部３５３とを備えている。
【０２４０】
基部３５１は第２アーム部２３４に接続されており、基部３５１の先端部（第２アーム部２３４が位置する端部とは反対側の端部）に、第１把持部３５２および第２把持部３５３が、基部３５１を挟んで略対称に取り付けられている。これにより、本実施形態に係るロボットアーム２０３は、２つのセパレータ捲回体１０を並列的に保持するようになっている。
【０２４１】
第１把持部３５２は、一対の指部３５２ａ・３５２ｂを含んでおり、一対の指部３５２ａ・３５２ｂの間隔を変化させることにより、セパレータ捲回体１０のコア８を把持する。同様に、第２把持部３５３は、一対の指部３５３ａ・３５３ｂを含んでおり、一対の指部３５３ａ・３５３ｂの間隔を変化させることにより、セパレータ捲回体１０のコア８を把持する。なお、指部は一対に限らず３本またはそれ以上から構成されていてもよい。
【０２４２】
第１把持部３５２および第２把持部３５３は、金属異物の発生の防止の観点から、摺動部の表面が樹脂で構成されていることが好ましい。樹脂の種類に制限はなく、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、塩化ビニール樹脂、アクリル樹脂、ＡＢＳ、ポリエステル等の汎用樹脂、ポリアセタール、ポリアミド、ポリカーボネート、変性ポリフェニレンエーテル等のエンジニアリングプラスチック、ポリアリレート、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルイミド等のスーパーエンジニアリングプラスチック等が用いられる。中でも強いスーパーエンジニアリングプラスチックが好ましく、ポリエーテルエーテルケトンがより好ましい。
【０２４３】
または、第１把持部３５２および第２把持部３５３には、ウレタンライニング処理が施されていてもよい。これにより、コア８を傷つけずに、滑りおよび金属異物の発生を抑えた第１把持部３５２および第２把持部３５３を実現することができる。
【０２４４】
なお、第１把持部３５２および第２把持部３５３の硬度は、Ａ７０以上Ａ９０以下であることが好ましく、Ａ７０であることがさらに好ましい。第１把持部３５２および第２把持部３５３の硬度がＡ９０より大きい場合、硬すぎて滑りやすくなり、Ａ７０より小さい場合、チャッキング不良になりやすくなる。
【０２４５】
本実施形態では、ロボットアーム２０３は、セパレータ捲回体１０の第１側面１０ｂ側からコア８の第２貫通孔８ｂに第１把持部３５２（一対の指部３５２ａ・３５２ｂ）・第２把持部３５３（一対の指部３５３ａ・３５３ｂ）を挿入して、セパレータ捲回体１０を保持する。また、検査装置９は、セパレータ捲回体１０の第２側面１０ｃ側からコア８の第１貫通孔８ａに保持機構２０を挿入して、セパレータ捲回体１０を保持する。
【０２４６】
図１１の（ａ）に示すように、保持機構２０からセパレータ捲回体１１０（検査後のセパレータ捲回体１０）を回収する場合、ロボットアーム２０３は、保持機構２０によって第２側面１０ｃ側から保持されたセパレータ捲回体１１０を、第１把持部３５２によって第１側面１０ｂ側から保持して、回収する。
【０２４７】
次に、図１１の（ｂ）に示すように、セパレータ捲回体１１０を回収したロボットアーム２０３は、一旦後退してハンド部２３５を１８０度回転させる。これにより、第２把持部３５３によって保持されたセパレータ捲回体１１１（検査前のセパレータ捲回体１０）を保持機構２０側に位置させる。
【０２４８】
次に、図１１の（ｃ）に示すように、ロボットアーム２０３は、セパレータ捲回体１１１が保持機構２０に対向する位置まで前進し、セパレータ捲回体１１１を保持機構２０にセットする。このとき、ロボットアーム２０３は、セパレータ捲回体１１１の第２側面１０ｃ側からコア８の第１貫通孔８ａに保持機構２０を挿入して、セパレータ捲回体１１１を保持機構２０にセットする。
【０２４９】
次に、図１１の（ｄ）に示すように、セパレータ捲回体１１１を保持機構２０にセットしたロボットアーム２０３は後退し、第１室４１の外部へ移動する。ロボットアーム２０３が第１室４１の外部へ移動した後、保持機構２０にセットされたセパレータ捲回体１１１に対する欠陥検査が行われる。
【０２５０】
なお、第１遮蔽部５１は、セパレータ捲回体１１１に対する欠陥検査を行う都度閉じてもよいし、一区切りついたあるタイミングで閉じてもよい。これは、セパレータ捲回体１１１に対する欠陥検査を行う第１室４１とはまた別に第２室４２を設けているためである。
【０２５１】
このように、本実施形態では、ロボットアーム２０３はセパレータ捲回体１０の第１側面１０ｂ側からコア８を保持し、検査装置９の保持機構２０はセパレータ捲回体１０の第２側面１０ｃ側からコア８を保持する。このように、ロボットアーム２０３および検査装置９は、セパレータ捲回体１０の異なる側面側からコア８を保持するため、ロボットアーム２０３と検査装置９との間におけるセパレータ捲回体１０の受け渡しを効率的に行うことができる。
【０２５２】
また、ロボットアーム２０３および検査装置９の保持機構２０は、いずれもセパレータ捲回体１０のコア８を保持するため、コア８に捲回されたセパレータ１２にロボットアーム２０３および検査装置９が直接触れることなく、セパレータ捲回体１０を搬送することができる。
【０２５３】
さらに、ロボットアーム２０３はコア８の第２貫通孔８ｂに第１把持部３５２・第２把持部３５３を挿入して、セパレータ捲回体１０を保持し、検査装置９は、コア８の第１貫通孔８ａに保持機構２０を挿入して、セパレータ捲回体１０を保持する。このように、ロボットアーム２０３および検査装置９は、コア８の異なる部分をそれぞれ保持するため、ロボットアーム２０３と検査装置９との間におけるセパレータ捲回体１０の受け渡しをより効率的に行うことができる。
【０２５４】
なお、本実施形態では、ロボットアーム２０３は２つのセパレータ捲回体１０を保持可能な構成であるが、これに限定されない。ロボットアーム２０３は、１つのセパレータ捲回体１０を保持する構成であってもよく、または３つ以上のセパレータ捲回体１０を保持する構成であってもよい。
【０２５５】
また、ロボットアーム２０３の第１把持部３５２・第２把持部３５３が、コア８の第１貫通孔８ａを保持し、ストッカー２０１・２０２の保持部材２２１および検査装置９の保持機構２０が、コア８の第２貫通孔８ｂを保持する構成であってもよい。
【０２５６】
〔実施形態２〕
本発明の実施形態２について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、実施形態１にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。
【０２５７】
図１２は、実施形態２に係る検査装置９Ａの概略構成を表す図である。検査システム１（図３等）は、検査装置９ではなく検査装置９Ａを備えていてもよい。
【０２５８】
検査装置９Ａは、検査装置９が備えているセンサ部３及び保持機構２０に換えて、センサ部３Ａ及び保持機構２０Ａを備えている。
【０２５９】
センサ部３Ａは、センサ部３よりもサイズが大きく、セパレータ捲回体１０全体の像が入る程度の検出面３Ａａを有している。センサ部３Ａは、センサ部３を複数個並べて構成してもよい。
【０２６０】
保持機構２０Ａは、保持機構２０から、θ方向に回転するモータを省略した構成である。保持機構２０Ａは、保持するセパレータ捲回体１０をθ方向に回転させない。これは、センサ部３Ａの検出面３Ａａが、セパレータ捲回体１０全体の像が入る程度大きく、セパレータ捲回体１０におけるセパレータ１２の全体像を得るために、セパレータ捲回体１０を回転等、移動させる必要が無いためである。
【０２６１】
保持機構２０Ａは、保持機構制御部３２（図３）からの指示により、Ｘ軸方向、及びＺ軸方向に移動することができる。保持機構２０Ａは、さらに、Ｘ軸方向及びＺ軸方向に垂直なＹ軸方向に移動可能であってもよい。
【０２６２】
線源部２は、照射面２ａの中心線ＣＥが、保持機構２０Ａの中心軸と一致するように配置されている。これにより、線源部２が照射した電磁波４は、保持機構２０Ａが保持するセパレータ捲回体１０に均等に照射され、セパレータ捲回体１０を透過した電磁波４はセンサ部３Ａの検出面３Ａａにて検出される。
【０２６３】
そして、センサ制御部３３（図３）は、センサ部３Ａが電磁波４を検出したことで得られた電気信号に基づいて、セパレータ捲回体１０の全体の撮影画像を生成する。
【０２６４】
図１３は、本発明の実施形態２に係るセパレータ捲回体の検査画像の様子を表す図である。
【０２６５】
図１３に示すように、センサ制御部３３（図３）は、撮影画像から、セパレータ捲回体１０の周囲の不要な部分を除いた検査画像３Ａｂを得る。
【０２６６】
検査画像３Ａｂの上下方向の距離は、図１２に示すように、電磁波４のうち、中心線ＣＥを中心として、セパレータ捲回体１０の第２側面１０ｃにおける外周が含まれる程度の放射角度Ｂ１Ａで放射状に照射された電磁波４ａがセパレータ捲回体１０を透過してセンサ部３Ａの検出面３Ａａにおける一部領域である検出面３Ａａ１に入射したときの、当該検出面３Ａａ１の上下方向の距離である。
【０２６７】
〔実施形態３〕
本発明の実施形態３について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、実施形態１、２にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。
【０２６８】
図１４は、実施形態３のロボットアームの概略構成および動作状態を説明するための模式図である。図１４の（ａ）はロボットアーム２０３が検査前のセパレータ捲回体１１１を保持した状態で検査装置９の保持機構２０から検査後のセパレータ捲回体１１０を回収する動作状態を示し、図１４の（ｂ）はロボットアーム２０３がハンド部２３５の第２把持部３５３に保持している検査前のセパレータ捲回体１１１を保持機構２０側に移動する動作状態を示し、図１４の（ｃ）はロボットアーム２０３が保持機構２０に検査前のセパレータ捲回体１１１をセットする動作状態を示し、図１４の（ｄ）は検査前のセパレータ捲回体１１１を保持機構２０へセットした後のロボットアーム２０３の動作状態を示している。
【０２６９】
図１４の（ａ）〜（ｄ）に示すように、ロボットアーム２０３は、基部３５１の長手方向に沿って、第１把持部３５２および第２把持部３５３が保持機構２０側に取り付けられたハンド部２３５を備えていてもよい。これにより、ロボットアーム２０３は、２つのセパレータ捲回体１０を直列的に保持するようになっている。
【０２７０】
このようなハンド部２３５を備えるロボットアーム２０３では、図１４の（ａ）に示すように、保持機構２０からセパレータ捲回体１１０を回収する場合、ロボットアーム２０３は、保持機構２０によって第２側面１０ｃ側から保持されたセパレータ捲回体１１０を、第１把持部３５２によって第１側面１０ｂ側から保持して、回収する。
【０２７１】
次に、図１４の（ｂ）および（ｃ）に示すように、セパレータ捲回体１１０を回収したロボットアーム２０３は、第２把持部３５３によって保持されたセパレータ捲回体１１１が保持機構２０に対向する位置まで前進し、セパレータ捲回体１１１を保持機構２０にセットする。
【０２７２】
次に、図１４の（ｄ）に示すように、ロボットアーム２０３は、セパレータ捲回体１１１を保持機構２０にセットした後、後退して、第１室４１の外部へ移動する。ロボットアーム２０３が第１室４１の外部へ移動した後、セパレータ捲回体１１１に対する欠陥検査が行われる。
【０２７３】
なお、第１遮蔽部５１は、セパレータ捲回体１１１に対する欠陥検査を行う都度閉じてもよいし、一区切りついたあるタイミングで閉じてもよい。これは、セパレータ捲回体１１１に対する欠陥検査を行う第１室４１とはまた別に第２室４２を設けているためである。
【０２７４】
このように、ロボットアーム２０３が複数のセパレータ捲回体１０を保持する構成は特に限定されず、複数のセパレータ捲回体１０を並列的に保持する構成、直列的に保持する構成、またはこれらを組み合わせた構成であってもよい。
【０２７５】
〔実施形態４〕
本発明の実施形態４について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、実施形態１〜３にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。
【０２７６】
図１５は、実施形態４に係る検査システム１Ｂの概略構成を表す平面図である。図１６は、実施形態４に係る検査システム１Ｂにおけるベルトコンベア２０６及びロボットアーム２０３の斜視図である。
【０２７７】
検査システム１Ｂは、検査システム１（図３）が備えているストッカー２０１・２０２及び制御部３０に換えて、ベルトコンベア（ストック機構）２０６及び制御部３０Ｂを備えている。また、検査システム１Ｂの第２室４２を囲む壁４２Ｗのうち、側壁４２Ｗｂに第２遮蔽部５２ＩＮが設けられ、側壁４２Ｗｄに第２遮蔽部５２ＯＵＴが設けられている。また、検査システム１Ｂはロボットアーム２０３１に換えて、第２室４２の外に配置されたロボットアーム２０３２，２０３３を備えている。検査システム１Ｂの他の構成は検査システム１と同様である。
【０２７８】
制御部３０Ｂは、制御部３０の構成に加え、ベルトコンベア２０６の駆動を制御するコンベア制御部３５を備えている。
【０２７９】
ベルトコンベア２０６は、検査前のセパレータ捲回体１０及び検査後のセパレータ捲回体１０をストックするためのストック機構である。
【０２８０】
ベルトコンベア２０６には、検査前のセパレータ捲回体１０（１１１）、および検査後のセパレータ捲回体１０（１１０）がそれぞれ載置される。なお、本実施形態では、ストック機構としてベルトコンベアを使用しているが、ベルトコンベアに代えて、チェーンコンベア、ローラコンベアおよびスクリュコンベア等の各種コンベアを使用してもよい。
【０２８１】
ベルトコンベア２０６は第２室４２を貫通して延伸している。このため、検査前のセパレータ捲回体１０の第２室４２への搬入、及び、検査後のセパレータ捲回体１０の第２室４２からの搬出が容易である。第２室４２へ搬入される前の、ベルトコンベア２０６への検査前のセパレータ捲回体１０（１１１）の載置はロボットアーム２０３２を用いて行うことができる。また、第２室４２から搬出された、ベルトコンベア２０６に載置された検査後のセパレータ捲回体１０（１１０）は、ロボットアーム２０３３を用いて運搬することができる。このとき、検査後のセパレータ捲回体１０（１１０）を、ロボットアーム２０３３を介して、第２室４２の外に配置された梱包装置６００に載置してもよい。検査後のセパレータ捲回体１０を直ちに梱包することによって新たな異物が付着することを防ぐことができる。ロボットアーム２０３２，２０３３はロボットアーム２０３と同じ構成を備えることができる。
【０２８２】
ベルトコンベア２０６は、側壁４２Ｗｂに設けられた第２遮蔽部５２ＩＮを貫通することで、第２室４２外から第２室４２内へ延伸し、第２室４２内を延伸するベルトコンベア２０６は、側壁４２Ｗｄに設けられた第２遮蔽部５２ＯＵＴを貫通することで第２室４２内から第２室４２外へ延伸している。
【０２８３】
第２遮蔽部５２ＩＮ・５２ＯＵＴは、ベルトコンベア２０６及びベルトコンベア２０６に載置されたセパレータ捲回体１０を通過させつつ、線源部２が照射する電磁波が第２室４２の外部に漏れることを抑えることができる構造であればよい。
【０２８４】
例えば、第２遮蔽部５２ＩＮ・５２ＯＵＴは、壁に貫通孔が形成され、当該貫通孔をカーテンが覆うような構造とすることができる。線源部２が照射する電磁波がＸ線の場合は、上記カーテンに鉛が含まれていることが好ましい。
【０２８５】
また、当該貫通孔を覆う構造は、扉（例えば引き戸、上下戸等）であっても良く、扉の隙間から電磁波の漏洩を防ぐカーテンが付いた扉であってもよい。
【０２８６】
また、第２遮蔽部５２ＩＮ・５２ＯＵＴは、二つの開口部をもつ前室の構造であっても良い。このとき、前記開口部には、上記貫通孔の構造として挙げたカーテンや扉が設けられてもよい。
【０２８７】
ベルトコンベア２０６は、セパレータ捲回体１０を保持（載置）するための保持面（載置面）２０６ａを有する。ベルトコンベア２０６は、セパレータ捲回体１０の第２側面１０ｃ側を保持面２０６ａによって保持した状態で、セパレータ捲回体１０を運搬する。本実施形態では、セパレータ捲回体１０の第２側面１０ｃ側において、コア８の側面がセパレータ１２の側面よりも保持面２０６ａ側に突出するように、コア８の外周面８１ａにセパレータ１２が捲回されていることが好ましい。これにより、ベルトコンベア２０６は、セパレータ１２に直接触れることなく、セパレータ捲回体１０のコア８を保持面２０６ａによって保持して、運搬することができる。
【０２８８】
検査システム１Ｂでは、ベルトコンベア２０６を間欠的に駆動させ、セパレータ捲回体１０を所定の距離だけ移動させる。そして、ロボットアーム２０３は、ベルトコンベア２０６によって運搬された検査前のセパレータ捲回体１０の第１側面１０ｂ側からコア８を保持して、検査装置９にセパレータ捲回体１０を搬入する。また、ロボットアーム２０３は、検査後のセパレータ捲回体１０の第１側面１０ｂ側からコア８を保持して、第２側面１０ｃを保持面２０６ａ側にしてベルトコンベア２０６にセパレータ捲回体１０を載置する。このように、検査システム１Ｂでは、ベルトコンベア２０６によってセパレータ捲回体１０を所定の距離だけ移動させて異物検査を実施するという動作を繰り返し行う。
【０２８９】
なお、ベルトコンベア２０６の保持面２０６ａにセパレータ捲回体１０を保持面２０６ａから離して支持する突起が設けられていてもよい。これにより、セパレータ１２が保持面２０６ａに接触することをより確実に防止することができる。また、ベルトコンベア２０６の稼働に伴う振動により、ベルトコンベア２０６（保持面２０６ａ）上のセパレータ捲回体１０に位置ずれが生じることを防止することができる。
【０２９０】
以上のように、本実施形態に係る検査システム１Ｂでは、ロボットアーム２０３はセパレータ捲回体１０の第１側面１０ｂ側からコア８を保持し、ベルトコンベア２０６はセパレータ捲回体１０の第２側面１０ｃ側からコア８を保持する。
【０２９１】
このように、ロボットアーム２０３とベルトコンベア２０６とが、セパレータ捲回体１０の異なる側面側からセパレータ捲回体１０のコア８を保持することにより、コア８に捲回されたセパレータ１２に直接触れることなく、ロボットアーム２０３とベルトコンベア２０６との間におけるセパレータ捲回体１０の受け渡しを効率的に行うことができる。
【０２９２】
また、ストック機構としてベルトコンベア２０６を使用することにより、検査前および検査後のセパレータ捲回体１０の運搬を自動化して、セパレータ１２の製造に要するタクトタイムを短縮することができる。
【０２９３】
〔実施形態５〕
本発明の実施形態５について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、実施形態１〜４にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。
【０２９４】
図１７は、実施形態５に係る検査システム１Ｃの概略構成を表す平面図である。
【０２９５】
検査システム１Ｃは、検査システム１Ｂ（図１５）が備えているベルトコンベア２０６に換えて、ベルトコンベア（ストック機構）２０７・２０８を備えている。ベルトコンベア２０７・２０８は、ベルトコンベア２０６を、第２室４２内で分離させた構成である。検査システム１Ｃの他の構成は検査システム１Ｂと同様である。
【０２９６】
ベルトコンベア２０７は第２室４２外から第２遮蔽部５２ＩＮを貫通して第２室４２内へ延伸している。そして、第２室４２内において、ベルトコンベア２０７とベルトコンベア２０８とは離間して配置されている。ベルトコンベア２０８は、第２室４２内から第２遮蔽部５２ＯＵＴを貫通して第２室４２外へ延伸している。
【０２９７】
このベルトコンベア２０７・２０８によっても、検査前のセパレータ捲回体１０の第２室４２への搬入、及び、検査後のセパレータ捲回体１０の第２室４２からの搬出が容易である。第２室４２へ搬入される前の、ベルトコンベア２０７への検査前のセパレータ捲回体１０（１１１）の載置はロボットアーム２０３２を用いて行うことができる。また、第２室４２から搬出された、ベルトコンベア２０８に載置された検査後のセパレータ捲回体１０（１１０）は、ロボットアーム２０３３を用いて運搬することができる。このとき、検査後のセパレータ捲回体１０（１１０）を、ロボットアーム２０３３を介して、第２室４２の外に配置された梱包装置６００に載置してもよい。検査後のセパレータ捲回体１０を直ちに梱包することによって新たな異物が付着することを防ぐことができる。
【０２９８】
ベルトコンベア２０７は、検査前のセパレータ捲回体１０（１１１）をストックするためのストック機構である。ベルトコンベア２０７の具体的構成は、上述したベルトコンベア２０６の構成と実質的に同一である。
【０２９９】
このベルトコンベア２０７は、セパレータ捲回体１０の第２側面１０ｃ側からコア８を保持面２０７ａによって保持した状態で、セパレータ捲回体１０を運搬する。ロボットアーム２０３は、ベルトコンベア２０７によって運搬される検査前のセパレータ捲回体１０の第１側面１０ｂ側からコア８を保持して、検査装置９にセパレータ捲回体１０を搬入する。
【０３００】
ベルトコンベア２０８は、検査後のセパレータ捲回体１０（１１０）をストックするためのストック機構である。ベルトコンベア２０８の具体的構成は、上述したベルトコンベア２０６の構成と実質的に同一である。
【０３０１】
このベルトコンベア２０８は、セパレータ捲回体１０の第２側面１０ｃ側からコア８を保持面２０８ａによって保持した状態で、セパレータ捲回体１０を運搬する。ロボットアーム２０３は、検査後のセパレータ捲回体１０の第１側面１０ｂ側からコア８を保持して、第２側面１０ｃを保持面２０８ａ側にしてベルトコンベア２０８にセパレータ捲回体１０を載置する。
【０３０２】
以上のように、本実施形態に係る検査システム１Ｃでは、ロボットアーム２０３はセパレータ捲回体１０の第１側面１０ｂ側からコア８を保持し、ベルトコンベア２０７およびベルトコンベア２０８はセパレータ捲回体１０の第２側面１０ｃ側からコア８を保持する。
【０３０３】
このように、ロボットアーム２０３とベルトコンベア２０７およびベルトコンベア２０８とが、セパレータ捲回体１０の異なる側面側からセパレータ捲回体１０のコア８を保持するため、コア８に捲回されたセパレータ１２に直接触れることなく、ロボットアーム２０３と検査前のベルトコンベア２０７および検査後のベルトコンベア２０８との間におけるセパレータ捲回体１０の受け渡しを効率的に行うことができる。
【０３０４】
また、ストック機構としてベルトコンベア２０７・２０８を使用することにより、例えば検査後のセパレータ捲回体１０を直ちに次工程へ運搬することが可能となり、セパレータ１２の製造に要するタクトタイムを短縮することができる。なお、ストッカーとベルトコンベアとを組み合わせて使用してもよい。
【０３０５】
〔実施形態６〕
本発明の実施形態６について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、実施形態１〜５にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。
【０３０６】
図１８は、実施形態６に係る検査システム１の概略構成を表す平面図である。図１８に示すように、検査システム１において、ロボットアーム２０３を、第２室４２ではなく、第１室４１に配置してもよい。
【０３０７】
これにより、ロボットアーム２０３を、ストッカー２０１と、ストッカー２０２との間に配置しなくてもよいため、ストッカー２０１と、ストッカー２０２との距離を、図３に示した検査システム１よりも近づけてもよい。これにより、第２室４２における、ストッカー２０１とストッカー２０２とが並ぶ方向の長さを小さくすることができ、第２室４２をコンパクト化することができる。
【０３０８】
〔実施形態７〕
本発明の実施形態７について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、実施形態１〜６にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。
【０３０９】
図１９〜図２２に示すように、検査待ち又は検査後のセパレータ捲回体１０をストックしておくための前室を、複数設けてもよい。
【０３１０】
図１９は、実施形態７に係る検査システム１Ｅの構成を表す平面図である。検査システム１Ｅは、第１室４１と、第２室４２に加え、第３室４３及び第４室４４を備えている。
【０３１１】
検査システム１Ｅにおいては、第１室４１内に検査装置９とロボットアーム２０３とが配置されている。
【０３１２】
第３室４３は、第１室４１に配置されている線源部２が照射する電磁波を遮蔽する壁４３Ｗ及び側壁４１Ｗｂで囲まれている。壁４３Ｗは、側壁４３Ｗｂ〜４３Ｗｄと、床４３Ｗｅと、天井（不図示）とを備えている。側壁４３Ｗｂ〜４３Ｗｄはそれぞれ、床４３Ｗｅに立設されており、側壁４１Ｗｂと側壁４３Ｗｃとは互いに対向配置されており、側壁４３Ｗｂと側壁４３Ｗｄとは互いに対向配置されている。天井は、側壁４１Ｗｂ・４３Ｗｂ〜４３Ｗｄそれぞれに支持されており、床４３Ｗｅと対向配置されている。
【０３１３】
側壁４１Ｗｂは、第１室４１と第３室４３とに共通する壁であり、第１室４１と第３室４３とを隔てている。側壁４３Ｗｄに、第３室４３と、第３室４３の外側の空間とを隔てるための第３扉５３が設けられている。
【０３１４】
第４室４４は、第１室４１に配置されている線源部２が照射する電磁波を遮蔽する壁４４Ｗ及び側壁４１Ｗｄで囲まれている。壁４４Ｗは、側壁４４Ｗｂ〜４４Ｗｄと、床４４Ｗｅと、天井（不図示）とを備えている。側壁４４Ｗｂ〜４４Ｗｄはそれぞれ、床４４Ｗｅに立設されており、側壁４１Ｗｄと側壁４４Ｗｃとは互いに対向配置されており、側壁４４Ｗｂと側壁４４Ｗｄとは互いに対向配置されている。天井は、側壁４１Ｗｄ・４４Ｗｂ〜４４Ｗｄそれぞれに支持されており、床４４Ｗｅと対向配置されている。
【０３１５】
側壁４１Ｗｄは、第１室４１と第４室４４とに共通する壁であり、第１室４１と第４室４４とを隔てている。側壁４４Ｗｂに、第４室４４と、第４室４４の外側の空間とを隔てるための第４扉５４が設けられている。
【０３１６】
検査システム１Ｅの第１室４１には、複数の第１遮蔽部５１ａ・５１ｂ・５１ｄが設けられている。第１遮蔽部５１ａは側壁４１Ｗａに設けられており、第１室４１と第２室４２とを隔てる。第１遮蔽部５１ｂは側壁４１Ｗｂに設けられており、第１室４１と第３室４３とを隔てる。第１遮蔽部５１ｄは側壁４１Ｗｄに設けられており、第１室４１と第４室４４とを隔てる。
【０３１７】
第１遮蔽部５１ａ・５１ｂ・５１ｄは、線源部２が照射する電磁波を遮蔽する。また、第２遮蔽部５２、第３扉５３及び第４扉５４も、それぞれ、線源部２が照射する電磁波を遮蔽することが好ましい。
【０３１８】
なお、本実施形態では、第２遮蔽部５２は側壁４２Ｗｃに設けられることで、第１遮蔽部５１ａと平行となるように配置されている。
【０３１９】
検査システム１Ｅにおいては、第２室４２、第３室４３及び第４室４４それぞれに、ストッカー２０１とストッカー２０２とが配置されている。また、第２室４２、第３室４３及び第４室４４の各々に対応して、ロボットアーム２０３１が配置されている。
【０３２０】
第３室４３の外から第３室４３の中のストッカー２０１へのセパレータ捲回体１０の搬入、および、第３室４３の中のストッカー２０２から第３室４３の外へのセパレータ捲回体１０の搬出は、第３室４３に対応するロボットアーム２０３１を用いて行うことができる。具体的には、第３室４３に対応するロボットアーム２０３１を介して、第３室４３の第３扉５３が開いた開口部を通じてセパレータ捲回体１０の搬入および搬出を行うことができる。このとき、ロボットアーム２０３１を介して第３室４３の外へ搬出されたセパレータ捲回体１０を、第３室４３の外に配置された梱包装置６００に載置してもよい。検査後のセパレータ捲回体１０を直ちに梱包することによって新たな異物が付着することを防ぐことができる。ロボットアーム２０３１はロボットアーム２０３と同じ構成を備えることができる。
【０３２１】
同様に、第４室４４の外から第４室４４の中のストッカー２０１へのセパレータ捲回体１０の搬入、および、第４室４４の中のストッカー２０２から第４室４４の外へのセパレータ捲回体１０の搬出は、第４室４４に対応するロボットアーム２０３１を用いて行うことができる。具体的には、第４室４４に対応するロボットアーム２０３１を介して、第４室４４の第４扉５４が開いた開口部を通じてセパレータ捲回体１０の搬入および搬出を行うことができる。このとき、ロボットアーム２０３１を介して第４室４４の外へ搬出されたセパレータ捲回体１０を、第４室４４の外に配置された梱包装置６００に載置してもよい。検査後のセパレータ捲回体１０を直ちに梱包することによって新たな異物が付着することを防ぐことができる。ロボットアーム２０３１はロボットアーム２０３と同じ構成を備えることができる。
【０３２２】
なお、各ロボットアーム２０３１は、第２室４２、第３室４３及び第４室４４のうちの対応する室の中に配置されても、第２室４２、第３室４３及び第４室４４の外に配置されてもよい。また、１つのロボットアーム２０３１が、第２室４２、第３室４３及び第４室４４の幾つかに対応してもよい。また、梱包装置６００は、複数でも１つでもよい。
【０３２３】
そして、作業者５００は、検査システム１Ｅの外側の空間にて作業することができる。
【０３２４】
検査システム１Ｅによると、より多くの検査待ちセパレータ捲回体１０及び検査後のセパレータ捲回体１０を、第２室４２、第３室４３及び第４室４４にストックしておくことができるため、作業効率を上げることができる。
【０３２５】
図２０は、実施形態７の変形例１に係る検査システム１Ｆの構成を表す平面図である。検査システム１Ｆは、検査システム１Ｅ（図１９）において第１室４１に配置されていたロボットアーム２０３を、第１室４１ではなく、第２室４２、第３室４３及び第４室４４それぞれに配置した構成である。検査システム１Ｆの他の構成は検査システム１Ｅと同様である。
【０３２６】
図２１は、実施形態７の変形例２に係る検査システム１Ｇの構成を表す平面図である。検査システム１Ｇは、検査システム１Ｅ（図１９）のうち、第３室４３を省略した構成である。検査システム１Ｇの他の構成は検査システム１Ｅと同様である。
【０３２７】
図２２は、実施形態７の変形例３に係る検査システム１Ｈの構成を表す平面図である。検査システム１Ｈは、検査システム１Ｆ（図２０）のうち、第３室４３を省略した構成である。検査システム１Ｈの他の構成は検査システム１Ｆと同様である。
【０３２８】
〔実施形態８〕
本発明の実施形態８について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、実施形態１〜７にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。
【０３２９】
図２３は、実施形態８に係る検査システム１Ｉの構成を表す平面図である。検査システム１Ｉは、検査システム１（図１８）のうち第２遮蔽部５２に換えて、第２遮蔽部５２ｃ・５２ｄを設けた構成である。第２遮蔽部５２ｃ・５２ｄの各々に対応して、ロボットアーム２０３１が配置されている。検査システム１Ｉの他の構成は検査システム１と同様である。
【０３３０】
第２遮蔽部５２ｃは側壁４２Ｗｃに設けられており、第２遮蔽部５２ｄは側壁４２ｄに設けられている。第２遮蔽部５２ｃ・５２ｄは、第２室４２と、第２室４２の外側の空間とを隔てる。第２遮蔽部５２ｃ・５２ｄは、第１室４１に配置されている線源部２が照射する電磁波を遮蔽する。
【０３３１】
このように、検査システム１Ｉによると、複数の第２遮蔽部５２ｃ・５２ｄを通して、第２室４２へのセパレータ捲回体１０の搬入及び搬出を行うことが可能である。よって、作業効率を向上させることができる。なお、第２室４２と外側の空間とを隔てる壁に設ける第２遮蔽部は２個に限定されず、３個以上であってもよい。さらに、図１９〜２２に示した第３室４３及び第４室４４にも、外側の空間と隔てる扉を複数設けてもよい。
【０３３２】
〔実施形態９〕
本発明の実施形態９について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、実施形態１〜８にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。
【０３３３】
図２４〜図２６に示すように、ベルトコンベアを設けた検査システムにおいても、ロボットアームを第１室に配置したり、検査待ち又は検査後のセパレータ捲回体１０をストックしておくための前室を複数設けたりしてもよい。
【０３３４】
図２４は、実施形態９に係る検査システム１Ｊの構成を表す平面図である。検査システム１Ｊは、検査システム１Ｂ（図１５）のうち、ロボットアーム２０３を、第２室４２ではなく第１室４１に配置した構成である。検査システム１Ｊの他の構成は、検査システム１Ｂと同様である。
【０３３５】
図２５は、実施形態９の変形例１に係る検査システム１Ｋの構成を表す平面図である。検査システム１Ｋは、検査システム１Ｂ（図１５）における、第２遮蔽部５２ＩＮに換えて第３室４３を備え、さらに、第２遮蔽部５２ＯＵＴに換えて第４室４４を備えた構成である。第３室４３は遮蔽部５３ａ・５３ｂを備え、第４室４４は遮蔽部５３ｃ・５３ｄを備える。ロボットアーム２０３２，２０３３は、第３室４３及び第４室４４の外に配置されている。検査システム１Ｋの他の構成は検査システム１Ｊと同様である。
【０３３６】
検査システム１Ｋでは、第２室４２、第３室４３及び第４室４４は、ベルトコンベア２０６の延伸方向に並んでおり、ベルトコンベア２０６は、第２室４２、第３室４３及び第４室４４を貫通している。
【０３３７】
図２５の例では、第２室４２の一方の横に第３室４３が配置され、他方の横に第４室４４が配置されている。
【０３３８】
第２室４２を囲む壁のうち、側壁４２Ｗｂは第２室４２と第３室４３とを隔てており、側壁４２Ｗｄは第２室４２と第４室４４とを隔てている。
【０３３９】
遮蔽部５３ａは側壁４３Ｗｃに設けられ、遮蔽部５３ｂは側壁４２Ｗｂに設けられ、遮蔽部５３ｃは側壁４２Ｗｄに設けられ、遮蔽部５３ｄは側壁４４Ｗｃに設けられている。
【０３４０】
遮蔽部５３ａ〜５３ｄは、ベルトコンベア２０６及びベルトコンベア２０６に載置されたセパレータ捲回体１０を通過させつつ、線源部２が照射する電磁波が第２室４２の外部に漏れることを抑えることができる構造であればよい。
【０３４１】
例えば、遮蔽部５３ａ〜５３ｄは、壁に貫通孔が形成され、当該貫通孔をカーテンが覆うような構造とすることができる。線源部２が照射する電磁波がＸ線の場合は、上記カーテンに鉛が含まれていることが好ましい。また、当該貫通孔を覆う構造は、扉（例えば引き戸、上下戸等）であっても良く、扉の隙間から電磁波の漏洩を防ぐカーテンが付いた扉であってもよい。
【０３４２】
ベルトコンベア２０６は、遮蔽部５３ａ〜５３ｄそれぞれを順に貫通することで、第３室４３、第２室４２及び第４室４４を貫通している。
【０３４３】
第３室４３及び第４室４４を備えることで、電磁波の漏洩をより十分に防ぐ事ができ、また、第２室４２の環境のクリーン度を高く維持することが容易となる。また、第３室４３及び第４室４４においては、セパレータ捲回体１０へのラベル貼りや、セパレータ捲回体１０の外観確認等のその他の作業を行ってもよい。
【０３４４】
図２６は、実施形態９の変形例２に係る検査システム１Ｌの構成を表す平面図である。検査システム１Ｌは、検査システム１Ｋ（図２５）から、第３室４３を省略した構成である。
【０３４５】
〔実施形態１０〕
本発明の実施形態１０について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、実施形態１〜９にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。
【０３４６】
図２７は、実施形態１０に係る検査システム１Ｍの概略構成を表す平面図である。
【０３４７】
検査システム１Ｍは、検査システム１（図１８）における第２室４２の隣に第５室４５を設け、第５室４５にもロボットアーム２０３及びストッカー２０１・２０２を配置した構成である。検査システム１Ｍの他の構成は検査システム１と同様である。
【０３４８】
図２７の例では、第５室４５は、第２室４２と隣接しており、第１室４１とは隣接していない。第５室４５は、側壁４２Ｗｃと、壁４５Ｗで囲まれている。壁４５Ｗは、側壁４５Ｗｂ〜４５Ｗｄと、床４５Ｗｅと、天井（不図示）とを備えている。側壁４５Ｗｂ〜４５Ｗｄはそれぞれ、床４５Ｗｅに立設されており、側壁４２Ｗｃと側壁４５Ｗｃとは互いに対向配置されており、側壁４５Ｗｂと側壁４５Ｗｄとは互いに対向配置されている。天井は、側壁４２Ｗｃ・４５Ｗｂ〜４５Ｗｄそれぞれに支持されており、床４５Ｗｅと対向配置されている。
【０３４９】
側壁４２Ｗｃは、第２室４２と第５室４５とに共通する壁であり、第２室４２と第５室４５とを隔てている。
【０３５０】
第５室４５は、作業者５００が作業を行う部屋であり、第５室４５を囲む側壁４５Ｗｂ〜４５Ｗｄ、床４５Ｗｅ及び天井は、線源部２が照射する電磁波を遮蔽しなくてもよい。また上述に限らず、床４５Ｗｅと対抗する天井は、側壁４２Ｗｃ・４５Ｗｂ〜４５Ｗｄの幾つかに支持されていなくても、側壁４２Ｗｃ・４５Ｗｂ〜４５Ｗｄの何れにも支持されていなくてもよい。あるいは、床４５Ｗｅと対抗する天井を設けなくてもよい。
【０３５１】
第５室４５にも、ロボットアーム２０３と、ストッカー２０１・２０２が配置されている。
【０３５２】
なお、第５室４５を囲む側壁４５Ｗｂ〜４５Ｗｄは、壁ではなく、柵等であってもよい。
【０３５３】
〔実施形態１１〕
本発明の実施形態１１について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、実施形態１〜１０にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。
【０３５４】
図２８は、実施形態１１に係る検査システム１Ｎの概略構成を表す平面図である。図２９は、実施形態１１に係る検査システム１Ｎの概略構成を表す断面図である。
【０３５５】
図２８及び図２９に示すように、検査システム１Ｎは、検査システム１（図１８）のうち、第２室４２及びストッカー２０１・２０２に換えて、第２室４６及びストッカー２０１Ｎ・２０２Ｎを備えている。検査システム１Ｎの他の構成は検査システム１（図１８）と同様である。
【０３５６】
第２室４６は、第１室４１に配置されている線源部２が照射する電磁波を遮蔽する壁４６Ｗ及び側壁４１Ｗａで囲まれている。壁４６Ｗは、側壁４６Ｗｂ〜４６Ｗｄと、床４６Ｗｅとを備えている。側壁４６Ｗｂ〜４６Ｗｄはそれぞれ、床４６Ｗｅに立設されており、側壁４１Ｗａと側壁４６Ｗｃとは互いに対向配置されており、側壁４６Ｗｂと側壁４６Ｗｄとは互いに対向配置されている。側壁４６Ｗｂ・４６Ｗｄは三角形状となっている。床４６Ｗｅは、第１室４１の床４１Ｗｅよりも高さが高い。
【０３５７】
側壁４６Ｗｃは床４６Ｗｅに対して傾斜しており、底辺は床４６Ｗｅと接触し、底辺と反対側の上辺は側壁４１ａと接触している。これにより、側壁４６Ｗｃは天井を兼ねている。
【０３５８】
側壁４６Ｗｃには第２遮蔽部５６が設けられている。第２遮蔽部５６は、第２室４６と第２室４６の外側の空間とを隔てる。側壁４６Ｗｃが傾斜しているため、第２遮蔽部５６も傾斜している。
【０３５９】
第２室４６の床４６Ｗｅに配置されたストッカー２０１Ｎ・２０２Ｎは、セパレータ捲回体１０をストックするためのストック機構である。
【０３６０】
ストッカー２０１Ｎ・２０２Ｎは、一又は複数のセパレータ捲回体１０を保持する一又は複数の保持部材２２１Ｎを有する。例えば、保持部材２２１Ｎは、棒状であり、セパレータ捲回体１０の第２側面１０ｃ側からコア８の第１貫通孔８ａに挿入されることでセパレータ捲回体１０を支持する。これにより、ロボットアーム２０３は、ストッカー２０１Ｎ・２０２Ｎにセパレータ捲回体１０を配置したり、配置されているセパレータ捲回体１０を取り出したりすることができる。
【０３６１】
このように、検査システム１Ｎによると、前室である第２室４６の床４６Ｗｅが第１室４１の床４１Ｗｅより高く、側壁４６Ｗｃ及び第２遮蔽部５６が傾斜しているため、第２室４６の外側の空間に居る作業者が、ストッカー２０１Ｎに検査前のセパレータ捲回体１０を配置したり、ストッカー２０２Ｎに配置された検査後のセパレータ捲回体１０を取り出したりしやすい。これにより、作業者の作業効率を向上させることができる。
【０３６２】
図３０は、実施形態１１の変形例に係る検査システム１Ｐの概略構成を表す断面図である。検査システム１Ｐの平面形状は、図２８に示す検査システム１Ｎと同様である。
【０３６３】
検査システム１Ｐは、検査システム１Ｎの第２室４６に換えて第２室４７を備えている。第２室４７にストッカー２０１Ｎ・２０２Ｎが配置されている。
【０３６４】
第２室４７は、第１室４１に配置されている線源部２が照射する電磁波を遮蔽する壁４７Ｗ及び側壁４１Ｗａで囲まれている。壁４７Ｗは、側壁４７Ｗｂ〜４７Ｗｄと、床４７Ｗｅとを備えている。側壁４７Ｗｂ〜４７Ｗｄはそれぞれ、床４７Ｗｅに立設されており、側壁４１Ｗａと側壁４７Ｗｃとは互いに対向配置されており、側壁４７Ｗｂと側壁４７Ｗｄとは互いに対向配置されている。側壁４７Ｗｂ・４７Ｗｄは上辺が傾斜する四角形となっている。床４７Ｗｅは、第１室４１の床４１Ｗｅよりも高さが高い。
【０３６５】
側壁４７Ｗｃは床４７Ｗｅに対して直角に立設し、途中で第１室４１側へ屈曲し、底辺と反対側の上辺は側壁４１ａと接触している。これにより、側壁４７Ｗｃは天井を兼ねている。側壁４７Ｗｃには第２遮蔽部５６が設けられている。第２遮蔽部５６は、側壁４７Ｗｃのうち傾斜している領域に設けられており、第２遮蔽部５６も傾斜している。
【０３６６】
図３０に示す検査システム１Ｐによっても、第２室４７の外側の空間に居る作業者が、ストッカー２０１Ｎに検査前のセパレータ捲回体１０を配置したり、ストッカー２０２Ｎに配置された検査後のセパレータ捲回体１０を取り出したりしやすい。これにより、作業者の作業効率を向上させることができる。
【０３６７】
〔実施形態１２〕
本発明の実施形態１２について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、実施形態１〜１１にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。
【０３６８】
図３１は、実施形態１２に係る検査システム１Ｑの概略構成を表す平面図である。図３２は、実施形態１２に係る検査システム１Ｑの概略構成を表す断面図である。
【０３６９】
図３１及び図３２に示すように、検査システム１Ｑは、検査システム１Ｎ（図２８）のうち、第１遮蔽部５１および第２室４６に換えて第２室４８を備えた構成である。ロボットアーム２０３１は、第２室４８の外に配置されても、第２室４８の中に配置されてもよい。検査システム１Ｑの他の構成は検査システム１Ｎ（図２８）と同様である。
【０３７０】
第２室４８を、第１室４１と、第１室４１及び第２室４８の外側の空間との間でセパレータ捲回体１０の出し入れをする、いわゆるパスボックスとしてもよい。
【０３７１】
第２室４８は、壁４１Ｗａに設けられている。第２室４８は、第１室４１に配置されている線源部２が照射する電磁波を遮蔽する壁４８Ｗで囲まれている。壁４８Ｗは、側壁４８Ｗａと、床（ストック機構）４８Ｗｅと、天井４８Ｗｆとを備えている。側壁４８Ｗａは、略筒型であり、床４８Ｗｅに立設されている。天井４８Ｗｆは、側壁４８Ｗａに支持されており、床４８Ｗｅと対向配置されている。
【０３７２】
側壁４８Ｗａには開口部４８Ｗａ１および開口部４８Ｗｃ１が、互いに対向するように設けられている。この開口部４８Ｗａ１・４８Ｗｃ１を通して、第１室４１と第１室４１及び第２室４８の外側の空間との間で、セパレータ捲回体１０の出し入れを行うことができる。
【０３７３】
第２室４８から第１室４１へ搬入するために第２室４８内にストックするセパレータ捲回体１０、又は、第１室４１から第２室４８に搬出されて第２室４８内にストックするセパレータ捲回体１０は、床４８Ｗｅ上に直接載置すればよい。または、例えば、床４８Ｗｅ上に、ストッカー２０１Ｎ・２０２Ｎ（図２８、図２９等）を設けてもよい。
【０３７４】
第２室４８は、さらに、壁４８Ｗに囲まれた第１遮蔽部５１Ｑを備える。
【０３７５】
第１遮蔽部５１Ｑは、第１室４１と第２室４８とを繋げるために設けられた、開閉可能な扉である。
【０３７６】
第１遮蔽部５１Ｑは、線源部２が照射する電磁波を遮蔽する材質を含む。第１遮蔽部５１Ｑは、床４８Ｗｅに対する法線方向に延伸する仮想的な回転軸を中心に湾曲しており、当該回転軸を中心に回転可能に設けられている。また、湾曲する第１遮蔽部５１Ｑの両辺は離れている。この離れている両辺は、第１遮蔽部５１Ｑのうち、床４８Ｗｅに対する法線方向に延伸する辺である。
【０３７７】
図３１の矢印Ｑに示すように、第１遮蔽部５１Ｑが、床４８Ｗｅに対する法線方向に延伸する仮想的な回転軸を中心に回転し、第１遮蔽部５１Ｑのうち離れている両辺間の領域が開口部４８Ｗａ１と重なると、第１室４１と第２室４８とが繋がった状態（開状態）となると共に、第２室４８と、第１室４１及び第２室４８の外側の空間とは遮蔽される（閉状態となる）。これにより、第１室４１と第２室４８との間でセパレータ捲回体１０の出し入れが可能である。
【０３７８】
そして、矢印Ｑ（図３１）に示すように、第１遮蔽部５１Ｑが回転し、第１遮蔽部５１Ｑのうち離れている両辺間の領域が開口部４８Ｗｃ１と重なると、第１室４１と第２室４８とが遮蔽される（閉状態）と共に、第２室４８と、第１室４１及び第２室４８の外側の空間とは開状態となる。これにより、第２室４８と、第１室４１及び第２室４８の外側の空間との間でセパレータ捲回体１０の出し入れが可能である。
【０３７９】
また、図３３、図３４に示す第１遮蔽部５１Ｒのように、回転方向が、図３１及び図３２に示した第１遮蔽部５１Ｑと異なっていてもよい。
【０３８０】
図３３は、実施形態１２の変形例１に係る検査システム１Ｒの概略構成を表す平面図である。図３４は、実施形態１２の変形例１に係る検査システム１Ｒの概略構成を表す断面図である。
【０３８１】
検査システム１Ｒは、検査システム１Ｑのうち、第１遮蔽部５１Ｑに換えて第１遮蔽部５１Ｒを備え、さらに、ストッカー２０１Ｒ・２０２Ｒを備える。検査システム１Ｒの他の構成は検査システム１Ｑと同様である。
【０３８２】
ストッカー２０１Ｒ・２０２Ｒは、第２室４８のうち床４８Ｗｅに配置されているのではなく、床４８Ｗｅから浮いており、例えば、開口部４８Ｗａ１・４８Ｗｃ１を結ぶ直線に対して法線方向に延伸するように、側壁４８Ｗａの開口部４８Ｗａ１と開口部４８ｃ１との間に互いに対向して設けられている。
【０３８３】
第１遮蔽部５１Ｒは、第１室４１と第２室４８とを繋げるために設けられた、開閉可能な扉である。
【０３８４】
第１遮蔽部５１Ｒは、線源部２が照射する電磁波を遮蔽する材質を含む。第１遮蔽部５１Ｒは、開口部４８Ｗａ１・４８ｃ１を結ぶ直線に対する法線方向（床４８Ｗｅに平行な方向）に延伸する仮想的な回転軸を中心に湾曲しており、当該回転軸を中心に回転可能に設けられている。また、湾曲する第１遮蔽部５１Ｒの両辺は離れている。この離れている両辺は、第１遮蔽部５１Ｒのうち、床４８Ｗｅに平行方向に延伸する辺である。
【０３８５】
図３４の矢印Ｒに示すように、第１遮蔽部５１Ｒが、床４８Ｗｅに平行な方向に延伸する仮想的な回転軸を中心に回転し、第１遮蔽部５１Ｒのうち離れている両辺間の領域が開口部４８Ｗａ１と重なると、第１室４１と第２室４８とが繋がった状態（開状態）となる一方、第２室４８と、第１室４１及び第２室４８の外側の空間とは遮蔽される（閉状態となる）。これにより、第１室４１と第２室４８との間でセパレータ捲回体１０の出し入れが可能である。
【０３８６】
そして、矢印Ｒ（図３４）に示すように、第１遮蔽部５１Ｒが回転し、第１遮蔽部５１Ｒのうち離れている両辺間の領域が開口部４８Ｗｃ１と重なると、第１室４１と第２室４８とが遮蔽される（閉状態）一方、第２室４８と、第１室４１及び第２室４８の外側の空間とは開状態となる。これにより、第２室４８と、第１室４１及び第２室４８の外側の空間との間でセパレータ捲回体１０の出し入れが可能である。
【０３８７】
また、図３５、図３６に示す第１遮蔽部５１Ｓのように、十字に仕切る回転テーブルであってもよい。
【０３８８】
図３５は、実施形態１２の変形例２に係る検査システム１Ｓの概略構成を表す平面図である。図３６は、実施形態１２の変形例２に係る検査システム１Ｓの概略構成を表す断面図である。なお、図３６では、第１遮蔽部５１Ｓの説明のため、第１遮蔽部５１Ｓだけ斜視図で表している。
【０３８９】
検査システム１Ｓは、検査システム１Ｑ（図３１、図３２）のうち、第１遮蔽部５１Ｑに換えて、第１遮蔽部５１Ｓを備える。検査システム１Ｓの他の構成は検査システム１Ｑと同様である。
【０３９０】
第１遮蔽部５１Ｓは、第１室４１と第２室４８とを繋げるために設けられた、開閉可能な扉である。
【０３９１】
第１遮蔽部５１Ｓは、線源部２が照射する電磁波を遮蔽する材質を含む。第１遮蔽部５１Ｓは、仕切り板５１Ｓａ〜５１Ｓｄと、底板（ストック機構）５１Ｓｅとを有する。底板５１Ｓｅは、床４８Ｗｅに対向して配置されている。仕切り板５１Ｓａ〜５１Ｓｄは、底板５１Ｓｅに立設しており、底板５１Ｓｅに対して法線方向に延伸する両辺のうち一辺同士が接続されている。
【０３９２】
仕切り板５１Ｓａ〜５１Ｓｄは、底板５１Ｓｅに平行方向に切った断面（図３５に示す断面）が十字形状となるように配置されている。これにより、仕切り板５１Ｓａ〜５１Ｓｄは底板５１Ｓｅを４つの領域に分割している。
【０３９３】
図３５及び図３６に示す例では、仕切り板５１Ｓａ〜５１Ｓｄは、反時計回りに順に並んでいるように設けられている。
【０３９４】
第２室４８から第１室４１へ搬入するために第２室４８内にストックするセパレータ捲回体１０、又は、第１室４１から第２室４８に搬出されて第２室４８内にストックするセパレータ捲回体１０は、底板５１Ｓｅ上に直接載置すればよい。または、例えば、底板５１Ｓｅ上に、ストッカー２０１Ｎ・２０２Ｎ（図２８、図２９等）を設けてもよい。
【０３９５】
第１遮蔽部５１Ｓは、仕切り板５１Ｓａ〜５１Ｓｄそれぞれの接触する一辺を回転軸として回転する。
【０３９６】
そして、第１遮蔽部５１Ｓによって仕切られた４つの部屋のうち、１つの部屋が開口部４８Ｗａ１と、セパレータ捲回体１０の出し入れが可能な程度に重なると、第１室４１と第２室４８の４つの部屋のうちの前記１つの部屋とが繋がった状態となる。
【０３９７】
これにより、第１室４１と、第２室４８との間でセパレータ捲回体１０の出し入れが可能である。
【０３９８】
一方、第１遮蔽部５１Ｓによって仕切られた４つの部屋のうち、前記１つの部屋が開口部４８Ｗａ１と、セパレータ捲回体１０の出し入れが可能な程度に重なると、第１遮蔽部５１Ｓによって仕切られた４つの部屋のうち、その他の部屋は、第１室４１から遮蔽された状態となる。
【０３９９】
また、第１遮蔽部５１Ｓによって仕切られた４つの部屋のうち、１つの部屋が開口部４８Ｗｃ１と、セパレータ捲回体１０の出し入れが可能な程度に重なると、第２室４８の４つの部屋のうちの前記１つの部屋と、第１室４１及び第２室４８の外側の空間とが繋がった状態となる。
【０４００】
これにより、第２室４８と、第１室４１及び第２室４８の外側の空間との間でセパレータ捲回体１０の出し入れが可能である。
【０４０１】
一方、第１遮蔽部５１Ｓによって仕切られた４つの部屋のうち、前記１つの部屋が開口部４８Ｗｃ１と、セパレータ捲回体１０の出し入れが可能な程度に重なると、第１遮蔽部５１Ｓによって仕切られた４つの部屋のうち、その他の部屋は、第１室４１及び第２室４８の外側の空間から遮蔽された状態となる。
【０４０２】
図３７は、２分割する第１遮蔽部の構成の例を示す平面図である。図３５及び図３６に示した第１遮蔽部５１Ｓは、図３７に示す第１遮蔽部ＳＡに示すように、第２室４８を２分割する構成であってもよい。
【０４０３】
第１遮蔽部５１ＳＡは、第１室４１と第２室４８とを繋げるために設けられた、開閉可能な扉である。
【０４０４】
第１遮蔽部５１ＳＡは、線源部２が照射する電磁波を遮蔽する材質を含む。第１遮蔽部５１ＳＡは、仕切り板５１ＳＡａと、底板（ストック機構）５１ＳＡｂとを有する。底板５１ＳＡｂは、床４８Ｗｅ（図３５、図３６）に対向して配置されている。仕切り板５１ＳＡａは、底板５１ＳＡｂに立設しており、底板５１ＳＡｂを２つの領域に分割している。
【０４０５】
第２室４８（図３５、図３６）から第１室４１へ搬入するために第２室４８内にストックするセパレータ捲回体１０、又は、第１室４１から第２室４８に搬出されて第２室４８内にストックするセパレータ捲回体１０は、底板５１ＳＡｂ上に直接載置すればよい。または、例えば、底板５１ＳＡｂ上に、ストッカー２０１Ｎ・２０２Ｎ（図２８、図２９等）を設けてもよい。
【０４０６】
第１遮蔽部５１ＳＡは、底板５１ＳＡｂの中心から法線方向に伸びる回転軸５１ＳＡｃを中心に回転する。
【０４０７】
そして、第１遮蔽部５１ＳＡによって仕切られた２つの部屋のうち、一方の部屋が開口部４８Ｗａ１（図３５、図３６）と、セパレータ捲回体１０の出し入れが可能な程度に重なると、第１室４１と第２室４８の２つの部屋のうちの前記一方の部屋とが繋がった状態となる。さらに、第２室４８の２つの部屋のうちの前記一方の部屋が第１室４１及び第２室４８の外側の空間から遮蔽された状態になるので、第１室４１と、第１室４１及び第２室４８の外側の空間とは互いから遮蔽された状態となる。
【０４０８】
これにより、第１室４１と、第２室４８との間でセパレータ捲回体１０の出し入れが可能である。
【０４０９】
このとき、第１遮蔽部５１ＳＡによって仕切られた第２室４８の２つの部屋のうち、前記一方の部屋とは異なる他方の部屋は、開口部４８Ｗｃ１と、セパレータ捲回体１０の出し入れが可能な程度に重なる。つまり、第２室４８の２つの部屋のうちの前記他方の部屋と、第１室４１及び第２室４８の外側の空間とが繋がった状態となる。
【０４１０】
これにより、第２室４８と、第１室４１及び第２室４８の外側の空間との間でセパレータ捲回体１０の出し入れが可能である。
【０４１１】
なお、この第１遮蔽部５１ＳＡは、検査システム１Ｎの第２室４６（図２８、図２９）に設けてもよいし、検査システム１Ｐの第２室４７（図３０）に設けてもよい。
【０４１２】
〔実施形態１３〕
本発明の実施形態１３について、以下に説明する。なお、説明の便宜上、実施形態１〜１２にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を繰り返さない。
【０４１３】
図３８は、実施形態１３に係る検査システム１Ｔの概略構成を表す平面図である。
【０４１４】
図３８に示すように、検査システム１Ｔは、検査システム１（図１８）のうち、第２室４２に換えて、第２室４９及び第３室１４３を備えている。ロボットアーム２０３１は、第３室１４３の外に配置されても、第３室１４３の中に配置されてもよい。検査システム１Ｎの他の構成は検査システム１（図１８）と同様である。
【０４１５】
第３室１４３は、第１室４１と第２室４９との間に設けられ、第１室４１と第２室４９とを繋いでいる。第１室４１及び第２室４９は、離れており、第３室１４３等の第１室４１及び第２室４９とは異なる空間を介して配置されていてもよい。
【０４１６】
第２室４９は、第１室４１に配置されている線源部２が照射する電磁波を遮蔽する壁４９Ｗ及で囲まれている。壁４９Ｗは、側壁４９Ｗａ〜４９Ｗｄと、床４９Ｗｅと、図示しない天井とを備えている。側壁４９Ｗａ〜４９Ｗｄはそれぞれ、床４９Ｗｅに立設されており、側壁４９Ｗａと側壁４９Ｗｃとは互いに対向配置されており、側壁４９Ｗｂと側壁４９Ｗｄとは互いに対向配置されている。天井（不図示）は床４９Ｗｅと対向配置されている。
【０４１７】
側壁４９Ｗａには開閉可能な第２遮蔽部５２ａが設けられており、側壁４９Ｗｃには開閉可能な第２遮蔽部５２ｂが設けられている。
【０４１８】
第２遮蔽部５２ａは、第２室４９と第３室１４３とを隔てている。第２遮蔽部５２ｂは、第２室４９と、第２室４９の外側の空間とを隔てている。第２室４９には、ストッカー２０１・２０２が配置されている。
【０４１９】
第３室１４３は、側壁４１Ｗａ・４９Ｗａ及び壁１４３Ｗで囲まれている。壁１４３Ｗは、第１室４１と第２室４９とを接続している。壁１４３Ｗは、第１室４１に配置されている線源部２が照射する電磁波を遮蔽してもよいが、当該電磁波を遮蔽しなくてもよい。壁１４３Ｗは、側壁１４３Ｗｂ・１４３Ｗｄ、床１４３Ｗｅ及び図示しない天井を備えている。側壁１４３Ｗｂ・１４３Ｗｄはそれぞれ、床１４３Ｗｅに立設されており、側壁１４３Ｗｂ・１４３Ｗｄは互いに対向配置されており、天井（不図示）は床１４３Ｗｅと対向配置されている。
【０４２０】
検査システム１Ｔに示すように、第１室４１と、第２室４９とは、第３室１４３のような他の部屋又は廊下等の空間を介して配置されていてもよい。
【０４２１】
図３９は、実施形態１３の変形例１に係る検査システム１ＴＡの構成を表す平面図である。図４０は、実施形態１３の変形例２に係る検査システム１ＴＢの構成を表す平面図である。
【０４２２】
図３９に示す検査システム１ＴＡのように、ロボットアーム２０３を第２室４９内に配置してもよいし、図４０に示す検査システム１ＴＢのように、第３室１４３内にストッカー２０１・２０２を配置してもよい。
【０４２３】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【符号の説明】
【０４２４】
１・１Ｂ〜１Ｃ・１Ｅ〜１Ｎ・１Ｐ〜１Ｔ・１ＴＡ・１ＴＢ  検査システム
２  線源部
２ａ  照射面
２ｃ  焦点
３、３Ａ  センサ部
３Ａａ  検出部
３Ａｂ  検査画像
３ｂ  着目領域
４、４ａ  電磁波
５  異物
６  スリット装置
７  ＳＵＳ
８・ｃ・ｕ・ｌ  コア
８ａ  第１貫通孔
８ｂ  第２貫通孔
９、９Ａ  検査装置
１０、１１０、１１１  セパレータ捲回体
１０ｂ  第１側面
１０ｃ  第２側面
１２  セパレータ
２０、２０Ａ  保持機構
３０、３０Ｂ  制御部
３１  線源制御部
３２  保持機構制御部
３３  センサ制御部
３４  ロボット制御部
２３４  第２アーム部
３５  コンベア制御部
４１  第１室
４１ａ  出射面
４２・４６〜４９  第２室
４３・１４３  第３室
４４  第４室
４５  第５室
４６  第６室
５１・５１Ｑ〜５１Ｓ  第１遮蔽部
５２・５２ＩＮ・５２ＯＵＴ・５２ａ〜５２ｄ・６５  第２遮蔽部
２０１・２０１Ｎ・２０２・２０２Ｎ  ストッカー（ストック機構）
２０３，２０３１〜２０３３  ロボットアーム
２０６〜２０８  ベルトコンベア（ストック機構）
２２１・２２１Ｎ  保持部材
２３１  ベース
２３２  基台
２３３  第１アーム部
２３５  ハンド部
３５１  基部
３５２、３５２・  第１把持部
３５２ａ・３５２ｂ、３５３ａ・３５３ｂ  指部
５００  作業者
６００  梱包装置
【図１】
2019194582.tif 000003
【図２】
2019194582.tif 000004
【図３】
2019194582.tif 000005
【図４】
2019194582.tif 000006
【図５】
2019194582.tif 000007
【図６】
2019194582.tif 000008
【図７】
2019194582.tif 000009
【図８】
2019194582.tif 000010
【図９】
2019194582.tif 000011
【図１０】
2019194582.tif 000012
【図１１】
2019194582.tif 000013
【図１２】
2019194582.tif 000014
【図１３】
2019194582.tif 000015
【図１４】
2019194582.tif 000016
【図１５】
2019194582.tif 000017
【図１６】
2019194582.tif 000018
【図１７】
2019194582.tif 000019
【図１８】
2019194582.tif 000020
【図１９】
2019194582.tif 000021
【図２０】
2019194582.tif 000022
【図２１】
2019194582.tif 000023
【図２２】
2019194582.tif 000024
【図２３】
2019194582.tif 000025
【図２４】
2019194582.tif 000026
【図２５】
2019194582.tif 000027
【図２６】
2019194582.tif 000028
【図２７】
2019194582.tif 000029
【図２８】
2019194582.tif 000030
【図２９】
2019194582.tif 000031
【図３０】
2019194582.tif 000032
【図３１】
2019194582.tif 000033
【図３２】
2019194582.tif 000034
【図３３】
2019194582.tif 000035
【図３４】
2019194582.tif 000036
【図３５】
2019194582.tif 000037
【図３６】
2019194582.tif 000038
【図３７】
2019194582.tif 000039
【図３８】
2019194582.tif 000040
【図３９】
2019194582.tif 000041
【図４０】
2019194582.tif 000042