(57)【要約】【課題】接着シートの剥離不良を誤認識することを防止することができる技術を提供すること。【解決手段】帯状の剥離シートＲＬに接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２０と、繰出手段２０で繰り出される原反ＲＳから接着シートＡＳを剥離して、当該接着シートＡＳを供給する剥離手段３０と、先端部ＡＳ１が剥離手段３０で剥離されないことを剥離不良として検知する剥離不良検知手段４０とを備え、剥離不良検知手段４０は、静電気を検知する静電気検知手段４１を備え、静電気検知手段４１が、先端部ＡＳ１が剥離シートＲＬから剥離されることで発生した初期剥離静電気を検知しないことで、剥離不良を検知する。【選択図】図１
2019127283.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の剥離シートに接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出される前記原反の前記剥離シートから前記接着シートを剥離して、当該接着シートを供給する剥離手段と、
前記接着シートの繰出方向先端部が前記剥離手段で剥離されないことを剥離不良として検知する剥離不良検知手段とを備え、
前記剥離不良検知手段は、静電気を検知する静電気検知手段を備え、当該静電気検知手段が、前記接着シートの繰出方向先端部が前記剥離シートから剥離されることで発生した初期剥離静電気を検知しないことで、前記剥離不良を検知することを特徴とするシート供給装置。
【請求項２】
請求項１に記載のシート供給装置を用いたシート貼付装置において、
前記剥離手段で剥離された前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段を備えていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項３】
前記被着体を支持する支持手段を更に備え、
前記剥離不良検知手段は、前記支持手段に設けられていることを特徴とする請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
帯状の剥離シートに接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記繰出工程で繰り出される前記原反の前記剥離シートから前記接着シートを剥離して、当該接着シートを供給する剥離工程と、
前記接着シートの繰出方向先端部が前記剥離工程で剥離されないことを剥離不良として検知する剥離不良検知工程とを有し、
前記剥離不良検知工程は、静電気を検知する静電気検知手段が、前記接着シートの繰出方向先端部が前記剥離シートから剥離されることで発生した初期剥離静電気を検知しないことで、前記剥離不良を検知することを特徴とするシート供給方法。
【請求項５】
請求項４に記載のシート供給方法を用いたシート貼付方法において、
前記剥離工程で剥離された前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程を備えていることを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート供給装置およびシート供給方法、並びに、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、剥離手段で接着シートが剥離されない剥離不良を検知可能なシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１７４２４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載された従来のシート貼付装置（シート供給装置）では、接着シートＳ（接着シート）の透明度が高い場合や、当該接着シートの検知部の光量が少ない場合等において、ピールプレート５（剥離手段）で接着シートが剥離されているにも拘らず、センサ１５（剥離不良検知手段）が接着シートを検知できず、接着シートの剥離不良が発生していると誤認識する場合がある。
【０００５】
本発明の目的は、接着シートの剥離不良を誤認識することを防止することができるシート供給装置およびシート供給方法、並びに、シート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、静電気検知手段が初期剥離静電気を検知しないことで剥離不良を検知するので、接着シートの透明度が高い場合や、当該接着シートの検知部の光量が少ない場合等であっても、検知結果に影響することがなく、接着シートの剥離不良を誤認識することを防止することができる。
さらに、押圧手段を備えれば、接着シートの剥離不良を誤認識することを防止することができるシート貼付装置を提供することができる。
また、支持手段を備え、剥離不良検知手段を支持手段に設ければ、シート貼付装置の構成を簡素化することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施形態に係るシート供給装置が採用されたシート貼付装置の側面図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
本発明のシート供給装置１０は、帯状の剥離シートＲＬに接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２０と、繰出手段２０で繰り出される原反ＲＳの剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離して、当該接着シートＡＳを供給する剥離手段としての剥離板３０と、接着シートＡＳの繰出方向先端部（以下、単に「先端部」ともいう）ＡＳ１が剥離板３０で剥離されないことを剥離不良として検知する剥離不良検知手段４０と、静電気を除去する除電手段５０とを備えている。
なお、本発明のシート貼付装置ＳＡは、シート供給装置１０と、剥離板３０で剥離された接着シートＡＳを被着体ＷＫに押圧して貼付する押圧部材としての押圧ローラ６１を有する押圧手段６０と、被着体ＷＫを支持する支持手段７０と、押圧手段６０と被着体ＷＫとを相対移動させる移動手段８０とで構成している。
また、接着シートＡＳは、基材シートＢＳの一方の面に積層された接着剤層ＡＬを介して剥離シートＲＬに仮着されている。
【００１１】
繰出手段２０は、駆動機器としての回動モータ２１の図示しない出力軸に支持され、巻回された原反ＲＳを支持する支持ローラ２２と、ガイドローラ２３と、駆動機器としての回動モータ２４Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ２５とで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ２４と、図示しない駆動機器で駆動され、ピンチローラ２５との間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与して回収する回収ローラ２６と、先頭の接着シートＡＳの繰出方向後端部ＡＳ２と剥離シートＲＬとのシート後方段差をその検出部２７Ａで検知する原反停止センサ２７とを備えている。
【００１２】
剥離不良検知手段４０は、静電気を検知する電位測定器や電荷量測定器等の静電気検知手段４１を備え、当該静電気検知手段４１が接着シートＡＳの先端部ＡＳ１が剥離シートＲＬから剥離されることで発生した初期剥離静電気を検知しないことで、剥離不良を検知するものである。
本実施形態では、静電気検知手段４１は支持手段７０に設けられ、図１に示すように、剥離シートＲＬから接着シートＡＳが剥離される剥離領域ＰＥに位置し、接着シートＡＳおよび剥離シートＲＬのうち少なくとも一方に帯電した静電気の電位量や電荷量の測定や、それらの変位を検知できるようになっている。
【００１３】
除電手段５０は、接着シートＡＳおよび剥離シートＲＬのうち少なくとも一方にイオンを付加した気体を吹き付ける除電部材としてのイオナイザ５１を備えている。
【００１４】
支持手段７０は、静電気検知手段４１を支持するとともに、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって被着体ＷＫの吸着保持が可能な支持面７１Ａを有する支持テーブル７１を備えている。
【００１５】
移動手段８０は、支持テーブル７１を支持するとともに、Ｘ軸方向に移動するスライダ８１Ａを有する駆動機器としてのリニアモータ８１を備えている。
【００１６】
以上のシート供給装置１０が採用されたシート貼付装置ＳＡの動作を説明する。
先ず、図１中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＳＡに対し、シート貼付装置ＳＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して、シート貼付装置ＳＡに運転開始の信号を入力する。すると、剥離不良検知手段４０および除電手段５０が静電気検知手段４１およびイオナイザ５１を駆動し、静電気検知手段４１で測定した静電気の電位や電荷を打ち消すイオンをイオナイザ５１で生成し、当該イオナイザ５１が接着シートＡＳおよび剥離シートＲＬのうち少なくとも一方に当該イオンを付加した気体を吹き付ける。次いで、静電気検知手段４１による静電気の電位量や電荷量の測定値が所定値以下になったことを剥離不良検知手段４０が検知すると、除電手段５０がイオナイザ５１の駆動を停止する。その後、繰出手段２０が回動モータ２１、２４Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出した後、原反停止センサ２７がシート後方段差を検知すると、回動モータ２１、２４Ａの駆動を停止し、原反ＲＳの繰り出しを停止する。
【００１７】
ここで、上記の要領で原反ＲＳを繰り出すと、通常であれば、先頭の接着シートＡＳの先端部ＡＳ１が剥離板３０の剥離縁３０Ａで剥離シートＲＬから剥離され、この剥離によって剥離帯電現象が起こり、静電気が発生する。そして、その静電気の電位量や電荷量または、それらの変位を静電気検知手段４１が初期剥離静電気として検知することで、剥離不良が発生していないことを剥離不良検知手段４０が検知してシート供給装置１０がスタンバイ状態となる。
【００１８】
一方、上記の要領で原反ＲＳを繰り出した際、図１中二点鎖線で示すように、先頭の接着シートＡＳの先端部ＡＳ１が、剥離シートＲＬと共に駆動ローラ２４方向に繰り出されると、初期剥離静電気は発生せず、静電気検知手段４１が当該初期剥離静電気を検知しないことで、剥離不良が発生したことを剥離不良検知手段４０が検知する。すると、繰出手段２０が回動モータ２１、２４Ａを駆動し、先頭の接着シートＡＳの先端部ＡＳ１が、全て剥離板３０の剥離縁３０Ａで折り返される前の位置に達するまで原反ＲＳを引き戻した後、再度、原反停止センサ２７がシート後方段差を検知するまで原反ＲＳを繰り出すリトライ動作を行い、静電気検知手段４１が初期剥離静電気を検知すると、シート供給装置１０がスタンバイ状態となる。
【００１９】
次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、被着体ＷＫを支持テーブル７１上に載置すると、支持手段７０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面７１Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。その後、移動手段８０がリニアモータ８１を駆動し、スライダ８１Ａで支持した支持テーブル７１を左方へ移動させ、被着体ＷＫが所定の位置に到達すると、繰出手段２０が回動モータ２１、２４Ａを駆動し、被着体ＷＫの移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳは、図１中二点鎖線で示すように、剥離板３０の剥離縁３０Ａで剥離シートＲＬから剥離されつつ、押圧ローラ６１によって被着体ＷＫの上面に押圧されて貼付される。
【００２０】
次に、先頭の接着シートＡＳの繰出方向後端部ＡＳ２が剥離シートＲＬから離間し、次の接着シートＡＳの先端部ＡＳ１が、剥離板３０の剥離縁３０Ａで剥離シートＲＬから剥離される前段で、繰出手段２０が回動モータ２１、２４Ａの駆動を停止し、原反ＲＳの繰り出しを停止する。そして、接着シートＡＳ全体が貼付された被着体ＷＫが押圧ローラ６１の左方の所定位置に到達すると、移動手段８０がリニアモータ８１の駆動を停止するとともに、支持手段７０が図示しない減圧手段の駆動を停止する。次いで、使用者または図示しない搬送手段が、接着シートＡＳが貼付された被着体ＷＫを次の工程に搬送した後、移動手段８０がリニアモータ８１を駆動し、支持テーブル７１を初期位置に復帰させる。その後、静電気検知手段４１による接着シートＡＳおよび剥離シートＲＬのうち少なくとも一方に帯電した静電気の電位量や電荷量の測定値が、所定値以下になったことを剥離不良検知手段４０が検知すると、除電手段５０がイオナイザ５１の駆動を停止し、以降、上記同様の動作が繰り返される。
【００２１】
以上のような実施形態によれば、静電気検知手段４１が初期剥離静電気を検知しないことで剥離不良を検知するので、接着シートＡＳの透明度が高い場合や、当該接着シートＡＳの検知部の光量が少ない場合等であっても、検知結果に影響することがなく、接着シートＡＳの剥離不良を誤認識することを防止することができる。
【００２２】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、帯状の剥離シートに接着シートが仮着された原反を繰り出し可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。
【００２３】
例えば、繰出手段２０は、剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳを繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳが採用された場合、切断手段により、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を形成し、その切込で仕切られた所定の領域を接着シートＡＳとしてもよく、これらの場合、原反停止センサ２７がシート後方段差を検知できるように、検出部２７Ａの前段で、接着シート基材における接着シートＡＳ以外の部分を剥離シートＲＬ上から除去する除去手段を採用するとよいし、シート後方段差がなくても、切込を検知可能な適宜なセンサを設けてもよい。
繰出手段２０は、支持ローラ２２やガイドローラ２３等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳや剥離シートＲＬを支持したり案内したりしてもよいし、原反ＲＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、原反停止センサとして、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等を採用してもよいし、剥離シートＲＬを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、剥離シートＲＬを回収しなくてもよい。
繰出手段２０は、静電気検知手段４１で初期剥離静電気が検知されるまでリトライ動作を何度繰り返してもよいし、リトライ動作を所定回数行っても初期剥離静電気が検知されない場合、回動モータ２１、２４Ａの駆動を停止した後、ランプやブザー等の図示しない警告手段を駆動して使用者に知らせ、当該使用者が接着シートＡＳの先端部ＡＳ１を剥離シートＲＬから剥離するようにしてもよいし、接着シートＡＳの先端部ＡＳ１が剥離シートＲＬから剥離し易くするために、リトライ動作で原反ＲＳを繰り出す度に、支持ローラ２２と駆動ローラ２４との間に位置する原反ＲＳ部分に加える張力を段階的に増加させてもよい。
繰出手段２０は、先頭以外の接着シートＡＳのシート後方段差を検出部２７Ａで検知してもよいし、先頭以外の接着シートＡＳの先端部ＡＳ１と剥離シートＲＬとのシート前方段差を検出部２７Ａで検知してもよい。
【００２４】
剥離不良検知手段４０は、初期剥離静電気を検知可能な位置にあればよく、支持手段７０に設けなくてもよいし、ブラケットやスタンド等を介して繰出手段２０、剥離手段、押圧手段６０、その他の部材に設けてもよい。
剥離不良検知手段４０は、静電気検知手段４１を剥離領域ＰＥと当該剥離領域ＰＥから退避した退避位置との間で移動させる静電気検知手段移動手段としての駆動機器を備えていてもよい。
静電気検知手段４１は、支持テーブル７１の側面や下面等のその他の面にブラケットやスタンド等を介して支持されていてもよい。
静電気検知手段４１は、剥離シートＲＬに帯電した静電気の電位量や電荷量の測定や、それらの変位を検知してもよい。
【００２５】
除電手段５０は、除電部材として、公知の除電スプレーや除電シート等が採用されてもよいし、接地された部材を剥離領域ＰＥに位置する接着シートＡＳや剥離シートＲＬに接触させて除電するものを採用してもよく、このような接地型の除電部材は、剥離縁３０Ａと押圧ローラ６１との間に設けてもよいし、剥離板３０や押圧ローラ６１を接地して接着シートＡＳや剥離シートＲＬに帯電した静電気を除電してもよい。
除電手段５０は、接着シートＡＳや剥離シートＲＬに帯電した静電気の電位や電荷を打ち消す電位や電荷を押圧ローラ６１や剥離板３０に付与してそれらの除電を行ってもよいし、除電部材を剥離領域ＰＥと当該剥離領域ＰＥから退避した退避位置との間で移動させる除電部材移動手段としての駆動機器を備えていてもよいし、静電気検知手段４１が接着シートＡＳおよび剥離シートＲＬのうち少なくとも一方に帯電した静電気の電位量や電荷量や、それらの変位を検知できれば、シート供給装置１０またはシート貼付装置ＳＡに備わっていなくてもよい。
【００２６】
押圧手段６０は、シート供給装置１０から供給された接着シートＡＳを接着面の反対から保持部材で保持し、保持した接着シートＡＳを被着体ＷＫに押圧して貼付する駆動機器を備えた構成でもよいし、押圧ローラ６１を被着体ＷＫに離間接近させる押圧部材接離手段としての駆動機器を備え、被着体ＷＫにストレスがかかったり損傷したりすることを防止するようにしてもよく、このような押圧部材接離手段としては、駆動機器以外に手動で押圧ローラ６１を移動させるものでもよい。
【００２７】
支持手段７０は、被着体ＷＫを強制的に保持する構成がなくてもよいし、他の装置で被着体ＷＫを支持する場合、本発明のシート供給装置１０に備わっていなくてもよい。
【００２８】
移動手段８０は、被着体ＷＫを移動させずにまたは移動させつつ、シート供給装置１０および押圧ローラ６１を移動させてもよいし、他の装置で被着体ＷＫを搬送する場合、本発明のシート供給装置１０に備わっていなくてもよい。
【００２９】
シート供給装置１０は、天地反転して配置したり横向きに配置したりして、接着シートＡＳを供給してもよいし、例えば、接着シートＡＳを複数枚ずつ段積みする接着シート段積み装置や、接着シートＡＳを他の剥離シートに転写する転写装置等、シート貼付装置ＳＡ以外のものの構成物として使用してもよいし、接着シートＡＳを人手で被着体ＷＫに貼付する半自動のシート貼付装置として単独で使用してもよい。
【００３０】
シート貼付装置ＳＡは、天地反転して配置したり横向きに配置したりして、接着シートＡＳを被着体ＷＫに貼付してもよい。
【００３１】
本発明における接着シートＡＳおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層ＡＬだけの単層のもの、基材シートＢＳと接着剤層ＡＬとの間に中間層を有するもの、基材シートＢＳの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートＢＳを接着剤層ＡＬから剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、閉回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【００３２】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。
【符号の説明】
【００３３】
１０…シート供給装置
２０…繰出手段
３０…剥離板（剥離手段）
４０…剥離不良検知手段
４１…静電気検知手段
６０…押圧手段
７０…支持手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳ１…繰出方向先端部
ＲＬ…剥離シート
ＲＳ…原反
ＳＡ…シート貼付装置
ＷＫ…被着体
【図１】
2019127283.tif 000003