(57)【要約】【課題】向かい合う支持レールに板状物が確実に収容されるカセットを提供する。【解決手段】カセット２は、板状物を支持する支持レール４が向かい合い上下に隣接して複数形成された一対の側壁６と、一対の側壁６の上部を固定する上固定部８と、一対の側壁６の下部を固定する下固定部１０とから少なくとも構成される。側壁６に形成された支持レール４の幅は上下に隣接する支持レール４によって板状物の段違い収容が阻止される幅に設定される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状物を収容するカセットであって、
板状物を支持する支持レールが向かい合い上下に隣接して複数形成された一対の側壁と、該一対の側壁の上部を固定する上固定部と、該一対の側壁の下部を固定する下固定部と、から少なくとも構成され、
該側壁に形成された支持レールの幅は上下に隣接する支持レールによって板状物の段違い収容が阻止される幅に設定されるカセット。
【請求項２】
支持レールの幅をωとし、隣接する支持レールの上下方向間隔をｈとし、板状物の幅をＷとし、板状物の厚みをＴとし、向かい合う支持レールと支持レールとの付け根の間隔をＬとした場合、ＬはＬ≧Ｗの条件を満たしＷに近似する長さであり、
（Ｗ−ω）×［（ｈ−Ｔ）／ω］≦ｈより
Ｗ（ｈ−Ｔ）／（２ｈ−Ｔ）≦ω・・・（１）
（１）式によって支持レールの幅ωが設定される請求項１記載のカセット。
【請求項３】
板状物は粘着テープを介してウエーハを支持したフレームである請求項１記載のカセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状物を収容するカセットに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、ダイシング装置、レーザー加工装置によって個々のデバイスに分割され、分割された各デバイスは携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。
【０００３】
ウエーハが個々のデバイスに分割された後にデバイスがバラバラにならないように、ウエーハを収容する開口を有するフレームに粘着テープを介してウエーハが支持される。また、フレームで支持されたウエーハは、フレームと共にカセットに複数（２５枚程度）収容されてダイシング装置等にセッティングされる。
【０００４】
しかし、カセットを構成する一対の側壁の内側に対面して形成された複数の支持レールにフレームを支持し収容する際に、向かい合う支持レールから外れた支持レールにフレームを収容（段違い収容）してしまう場合があり、この場合にはダイシング装置等の加工装置にカセットをセッティングした後にカセットからフレームを搬出できないという問題が生じる。
【０００５】
そこで本出願人は、収容すべき向かい合う支持レールの段をオペレータが間違えないように支持レールの先端に切り欠きを一つおきに施したカセットを提案した（特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平９−２７５４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、上記特許文献１に開示されたカセットでは、オペレータが切り欠きの確認を怠ると向かい合う支持レールから外れた支持レールに間違えてフレームを収容してしまうことがあり、確実に段違い収容を防ぐことができないという問題がある。また、かかる問題は、研削装置にセッティングされるウエーハを収容するカセットにも起こり得る。
【０００８】
上記事実に鑑みてなされた本発明の課題は、向かい合う支持レールに板状物が確実に収容されるカセットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために本発明が提供するのは以下のカセットである。すなわち、板状物を収容するカセットであって、板状物を支持する支持レールが向かい合い上下に隣接して複数形成された一対の側壁と、該一対の側壁の上部を固定する上固定部と、該一対の側壁の下部を固定する下固定部と、から少なくとも構成され、該側壁に形成された支持レールの幅は上下に隣接する支持レールによって板状物の段違い収容が阻止される幅に設定されるカセットである。
【００１０】
好ましくは、支持レールの幅をωとし、隣接する支持レールの上下方向間隔をｈとし、板状物の幅をＷとし、板状物の厚みをＴとし、向かい合う支持レールと支持レールとの付け根の間隔をＬとした場合、ＬはＬ≧Ｗの条件を満たしＷに近似する長さであり、
（Ｗ−ω）×［（ｈ−Ｔ）／ω］≦ｈより
Ｗ（ｈ−Ｔ）／（２ｈ−Ｔ）≦ω・・・（１）
（１）式によって支持レールの幅ωが設定される。板状物は粘着テープを介してウエーハを支持したフレームであるのが好適である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明が提供するカセットは、板状物を支持する支持レールが向かい合い上下に隣接して複数形成された一対の側壁と、該一対の側壁の上部を固定する上固定部と、該一対の側壁の下部を固定する下固定部と、から少なくとも構成され、該側壁に形成された支持レールの幅は上下に隣接する支持レールによって板状物の段違い収容が阻止される幅に設定されるので、向かい合う支持レールに板状物が確実に収容される。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に従って構成されたカセットの斜視図。
【図２】図１に示すカセットの一部正面図。
【図３】図２のＡ部拡大図。
【図４】図２のＢ部拡大図。
【図５】図１に示すカセットに板状物が収容された状態を示すカセットの斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明に従って構成されたカセットの実施形態について図面を参照しつつ説明する。
【００１４】
図１に示す全体として直方体状のカセット２は、板状物を支持する支持レール４が向かい合い上下に隣接して複数形成された一対の側壁６と、一対の側壁６の上部を固定する上固定部８と、一対の側壁６の下部を固定する下固定部１０とから少なくとも構成される。各側壁６の内面には、上下方向（図１に矢印Ｚで示す方向）に間隔をおいてカセット２の幅方向（図１に矢印Ｙで示す方向）内側に向かって複数の支持レール４が突出しており、カセット２においては、向かい合う（上下方向位置が整合している）支持レール４によって板状物が支持されるようになっている。また、上固定部８は側壁６の上端間を覆う矩形状の板材から形成され、上固定部８の上面にはカセット２を運搬する際にオペレータが把持する取っ手８ａが付設されている。下固定部１０は、カセット２の奥行き方向（図１に矢印Ｘで示す方向）における側壁６の中央部分の下端間を接続する長方形状の板材から形成されている。また、側壁６間には、奥行き方向に沿って板状物がカセット２の内部に進入する入り口１２が形成されている。そして、入り口１２の背部には板状物の落下を防止する背壁（図示していない。）が形成されている。なお、カセット２の奥行き方向（Ｘ方向）、カセット２の幅方向（Ｙ方向）及び上下方向（Ｚ方向）は互いに直交している。
【００１５】
図１には、カセット２に収容される板状物の一例としての環状フレーム１４も示されている。環状フレーム１４はウエーハ１６を収容する開口１４ａを有し、開口１４ａを覆うように粘着テープ１８の周縁が環状フレーム１４に固定されている。ウエーハ１６は、粘着テープ１８に貼り付けられ、粘着テープ１８を介して環状フレーム１４に支持されている。
【００１６】
図示の実施形態では図１及び図２に示すとおり、支持レール４の幅をωとし、隣接する支持レール４の上下方向間隔をｈとし、環状フレーム１４の幅をＷとし、環状フレーム１４の厚みをＴとし、向かい合う支持レール４と支持レール４との付け根の間隔（すなわち、Ｚ方向位置が整合しているＹ方向両側の支持レール４の付け根間の寸法）をＬとする。Ｌは、Ｌ≧Ｗの条件を満たし、かつＷに近似する長さである。すなわちＬは、カセット２に環状フレーム１４を収容可能な長さに設定される。そして、支持レール４の幅ωは、上下に隣接する支持レール４によって環状フレーム１４の段違い収容が阻止される幅に設定される。
【００１７】
図示の実施形態では、カセット２に環状フレーム１４が収容された際の環状フレーム１４の傾きによって、環状フレーム１４のＹ方向一端側のＺ方向位置とＹ方向他端側のＺ方向位置との差Ｄ（図４参照。）が支持レール４の上下方向間隔ｈ以下（Ｄ≦ｈ）であれば、支持レール４に環状フレーム１４の一端側が支持されると共に向かい合う支持レール４の上方または下方の支持レール４に環状フレーム１４の他端側が支持される段違い収容が阻止される。すなわち、支持レール４の厚みは１〜２ｍｍと極めて薄く形成されており、Ｄ＞ｈとなると上下に隣接する支持レール４に環状フレーム１４の他端側が収容されてしまう。したがって、Ｄ≦ｈの条件を満たすように支持レール４の幅ωが設定されている。図３及び図４に示すとおり、差Ｄは、環状フレーム１４の下面で支持フレーム４の先端と接触するＹ方向一端側部分１４ｂのＺ方向位置と、環状フレーム１４の下面のＹ方向他端側部分１４ｃのＺ方向位置との差である。また、図２から図４までにおいて、上記「上下に隣接する支持レール４」のうち下側の支持レールを符号４ａで示す支持レールとし、上記「上下に隣接する支持レール４」のうち上側の支持レールを符号４ｂで示す支持レールとする。
【００１８】
環状フレーム１４を支持レール４ａに収容した状態で最大に傾けた場合に、環状フレーム１４と支持レール４ａとのなす最大の角度をθとすると、θは５°前後と極めて小さいことから、差Ｄは、下記近似式で表すことができ、環状フレーム１４の傾き（ｔａｎθ）と、環状フレーム１４の一端側部分１４ｂから他端側部分１４ｃまでのＹ方向寸法（Ｗ−ω）とを用いて、
Ｄ＝（Ｗ−ω）×ｔａｎθ
と表すことができる。また、環状フレーム１４の傾きであるｔａｎθについては、図３を参照することによって理解されるとおり、
ｔａｎθ＝（ｈ−Ｔ）／ω
と表すことができる。そうすると、差Ｄは、
Ｄ＝（Ｗ−ω）×ｔａｎθ
＝（Ｗ−ω）×［（ｈ−Ｔ）／ω］
となる。そして、差Ｄが支持レール４の上下方向間隔ｈ以下との関係から、
Ｄ≦ｈ
（Ｗ−ω）×［（ｈ−Ｔ）／ω］≦ｈ
となり、ωを右辺に移項して上式を整理すると、
Ｗ（ｈ−Ｔ）／（２ｈ−Ｔ）≦ω・・・（１）
が導かれる。そして、図示の実施形態では（１）式によって支持レールの幅ωが設定される。これによって、上下に隣接する支持レール４ａ及び４ｂによって、カセット２に環状フレーム１４が収容された際の環状フレーム１４の傾きが制限され、上下方向位置が整合していない支持レール４に環状フレーム１４が収容されてしまう段違い収容が阻止される。したがって、図５に示すとおり、向かい合う（上下方向位置が整合している）支持レール４に環状フレーム１４が確実に収容される。なお、上記説明では、環状フレーム１４の一端側よりも他端側が上方に位置する状態に環状フレーム１４が傾く例について述べたが、環状フレーム１４の一端側よりも他端側が下方に位置する状態に環状フレーム１４が傾く場合も上記説明と同様である。
【符号の説明】
【００１９】
２：カセット
４：支持レール
６：側壁
８：上固定部
１０：下固定部
１２：入り口
１４：環状フレーム
１６：ウエーハ
１８：粘着テープ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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