(57)【要約】【課題】上電極に接続された配線が電気的に短絡する不具合を抑制する液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】圧力室と、圧力室の壁面を構成する振動板と、圧力室に収容されていた液体を吐出するノズルと、振動板の一方の側に配置された圧電素子と、を備える液体吐出ヘッドが提供される。圧電素子は：電圧を印加されて変形する圧電体層と；振動板と圧電体層との間であって圧電体層の一方の面に配置された第１電極と；圧電体層の他方の面に配置された第２電極と；を備える。液体吐出ヘッドは：第２電極と接続され、圧電体層の面方向に沿って延伸された配線を備え；配線と振動板との間の領域であって、第２電極の面方向と垂直な向きにおいて配線が第２電極または圧電体層のいずれとも重ならない第１領域には、第１電極と同電位となる金属層を有しない。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を収容する圧力室と、前記圧力室の壁面を構成する振動板と、前記圧力室に収容されていた液体を吐出するノズルと、前記振動板の一方の側に配置された圧電素子と、を備える液体吐出ヘッドであって、
前記圧電素子は、
電圧を印加されて変形する圧電体層と、
前記振動板と前記圧電体層との間であって前記圧電体層の一方の面に配置された第１電極と、
前記圧電体層の他方の面に配置された第２電極と、を備え、
前記液体吐出ヘッドは、
前記第２電極と接続され、前記圧電体層の面方向に沿って延伸された配線を備え、
前記配線と前記振動板との間の領域であって、前記第２電極の面方向と垂直な向きにおいて前記配線が前記第２電極または前記圧電体層のいずれとも重ならない第１領域には、前記第１電極と同電位となる金属層を有しない、液体吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項１記載の液体吐出ヘッドであって、
前記第１領域に、金属層を有しない、液体吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項１記載の液体吐出ヘッドであって、
前記第１領域に、前記第１電極と同じ材料で構成される金属層であって、前記第１電極と電気的に接続されていない金属層を有する、液体吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項１から請求項３いずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを備える、液体吐出装置。
【請求項５】
振動板と、前記振動板の一方の側に配置された圧電素子と、を備える圧電デバイスであって、
前記圧電素子は、
電圧を印加されて変形する圧電体層と、
前記振動板と前記圧電体層との間であって前記圧電体層の一方の面に配置された第１電極と、
前記圧電体層の他方の面に配置された第２電極と、を備え、
前記圧電デバイスは、
前記第２電極と接続され、前記圧電体層の面方向に沿って延伸された配線を備え、
前記配線と前記振動板との間の領域であって、前記第２電極の面方向と垂直な向きにおいて前記配線が前記第２電極または前記圧電体層のいずれとも重ならない第１領域には、前記第１電極と同電位となる金属層を有しない、圧電デバイス。
【請求項６】
液体を収容する圧力室と、前記圧力室の壁面を構成する振動板と、前記圧力室に収容されていた液体を吐出するノズルと、前記振動板のうち前記圧力室とは逆側に配置された圧電素子と、を備える液体吐出ヘッドであって、
前記圧電素子は、
電圧を印加されて変形する圧電体層と、
前記振動板と前記圧電体層との間であって前記圧電体層の一方の面に配置された第１電極と、
前記圧電体層の他方の面に配置された第２電極と、を備え、
前記液体吐出ヘッドは、
前記第２電極と接続され、前記圧電体層の面方向に沿って延伸された配線を備え、
前記第２電極と前記振動板との間の領域であって、前記第２電極のうち前記配線が延伸する方向側の端部と前記振動板との間の領域である第２領域は、前記圧電体層を含む絶縁部で構成される、液体吐出ヘッド。
【請求項７】
振動板と、前記振動板の一方の側に配置された圧電素子と、を備える圧電デバイスであって、
前記圧電素子は、
電圧を印加されて変形する圧電体層と、
前記振動板と前記圧電体層との間であって前記圧電体層の一方の面に配置された第１電極と、
前記圧電体層の他方の面に配置された第２電極と、を備え、
前記圧電デバイスは、
前記第２電極と接続され、前記圧電体層の面方向に沿って延伸された配線を備え、
前記第２電極と前記振動板との間の領域であって、前記第２電極のうち前記配線が延伸する方向側の端部と前記振動板との間の領域である第２領域は、前記圧電体層を含む絶縁部で構成される、圧電デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、圧電デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
液体吐出装置には、液体を吐出させるための圧電素子を備えた液体吐出ヘッドが広く用いられる。圧電素子には、主に、圧電体と、圧電体の一方の面に形成された下電極と、圧電体の他方の面に形成され圧電体を挟み下電極に対向する位置に形成される上電極と、が備えられている。例えば、下電極は複数の圧電素子間で導通された共通電極として形成され、上電極は個別電極として形成される。また、上電極には個別電極として機能するための配線が接続されている。この上電極に接続された配線と下電極との間には、絶縁機能を持たせた保護膜が形成されている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１４−１７９５４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上電極に接続された配線と下電極との間に形成された保護膜には、何らかの原因によって欠陥が生じることがある。この場合、上電極へ電圧を印加すると、配線からこの欠陥を介して下電極に電流が流れてしまい、圧電素子を正常に駆動できなくなるといった問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
（１）本開示の一形態によれば、液体を収容する圧力室と、前記圧力室の壁面を構成する振動板と、前記圧力室に収容されていた液体を吐出するノズルと、前記振動板の一方の側に配置された圧電素子と、を備える液体吐出ヘッドが提供される。前記圧電素子は：電圧を印加されて変形する圧電体層と；前記振動板と前記圧電体層との間であって前記圧電体層の一方の面に配置された第１電極と；前記圧電体層の他方の面に配置された第２電極と；を備える。前記液体吐出ヘッドは：前記第２電極と接続され、前記圧電体層の面方向に沿って延伸された配線を備え；前記配線と前記振動板との間の領域であって、前記第２電極の面方向と垂直な向きにおいて前記配線が前記第２電極または前記圧電体層のいずれとも重ならない第１領域には、前記第１電極と同電位となる金属層を有しない。
このような形態においては、配線を介して第２電極に電圧を印加する際に、第１電極と同電位の金属と配線とが短絡する不具合を回避でき、圧電素子を安定して駆動することができる。
【０００７】
（２）上記形態の液体吐出ヘッドであって、前記第１領域に、金属層を有しない、態様とすることもできる。
このような形態においては、第２電極に接続された配線と振動板との間の領域である第１領域に、その電位によらず金属層が配置されないため、配線が短絡する不具合を回避でき、圧電素子を安定して駆動することができる。
【０００８】
（３）上記形態の液体吐出ヘッドであって：前記第１領域に、前記第１電極と同じ材料で構成される金属層であって、前記第１電極と電気的に接続されていない金属層を有する、態様とすることもできる。
このような形態においては、第２電極に接続された配線と振動板との間の領域である第１領域に備えられた金属層は、第１電極と電気的に接続されていない。従って、配線が短絡する不具合を回避でき、圧電素子を安定して駆動することができる。
【０００９】
（４）本開示の他の形態によれば、上記形態の液体吐出ヘッドを備える、液体吐出装置が提供される。
【００１０】
（５）本開示の他の形態によれば、振動板と、前記振動板の一方の側に配置された圧電素子と、を備える圧電デバイスが提供される。前記圧電素子は：電圧を印加されて変形する圧電体層と；前記振動板と前記圧電体層との間であって前記圧電体層の一方の面に配置された第１電極と；前記圧電体層の他方の面に配置された第２電極と、を備える。前記圧電デバイスは：前記第２電極と接続され、前記圧電体層の面方向に沿って延伸された配線を備え；前記配線と前記振動板との間の領域であって、前記第２電極の面方向と垂直な向きにおいて前記配線が前記第２電極または前記圧電体層のいずれとも重ならない第１領域には、前記第１電極と同電位となる金属層を有しない。
【００１１】
（６）本開示の他の形態によれば、液体を収容する圧力室と、前記圧力室の壁面を構成する振動板と、前記圧力室に収容されていた液体を吐出するノズルと、前記振動板のうち前記圧力室とは逆側に配置された圧電素子と、を備える液体吐出ヘッドが提供される。この液体吐出ヘッドの前記圧電素子は：電圧を印加されて変形する圧電体層と；前記振動板と前記圧電体層との間であって前記圧電体層の一方の面に配置された第１電極と；前記圧電体層の他方の面に配置された第２電極と、を備える。前記液体吐出ヘッドは：前記第２電極と接続され、前記圧電体層の面方向に沿って延伸された配線を備える。前記第２電極と前記振動板との間の領域であって、前記第２電極のうち前記配線が延伸する方向側の端部と前記振動板との間の領域である第２領域は、前記圧電体層を含む絶縁部で構成される。
この形態の液体吐出ヘッドによれば、配線を介して第２電極に電圧を印加する際に、第１電極と配線とが短絡する不具合を回避でき、圧電素子を安定して駆動することができる。
【００１２】
上述した本発明の各形態の有する複数の構成要素はすべてが必須のものではなく、上述の課題の一部または全部を解決するため、あるいは、本明細書に記載された効果の一部または全部を達成するために、適宜、前記複数の構成要素の一部の構成要素について、その変更、削除、新たな他の構成要素との差し替え、限定内容の一部削除を行うことが可能である。また、上述の課題の一部または全部を解決するため、あるいは、本明細書に記載された効果の一部または全部を達成するために、上述した本発明の一形態に含まれる技術的特徴の一部または全部を上述した本発明の他の形態に含まれる技術的特徴の一部または全部と組み合わせて、本発明の独立した一形態とすることも可能である。
【００１３】
本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、圧電デバイス以外の種々の形態で実現することも可能である。例えば、それらの装置の製造方法や制御方法、その制御方法を実現するコンピュータープログラム、そのコンピュータープログラムを記録した一時的でない記録媒体等の形態で実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】第１実施形態の液体吐出ヘッドを搭載した液体吐出装置１００を示す説明図である。
【図２】液体吐出ヘッド２６の分解斜視図である。
【図３】液体吐出ヘッド２６の断面図である。
【図４】Ｚ方向に液体吐出ヘッド２６を透視した場合の圧力室Ｃｈと、圧電アクチュエーター３８と、配線５６との配置を示す平面図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ線における圧電アクチュエーター３８の断面図である。
【図６】圧電アクチュエーター３８の一部を拡大した断面図である。
【図７】第２実施形態の圧電アクチュエーター３８ｂの一部を拡大した断面図である。
【図８】Ｚ方向に液体吐出ヘッド２６を透視した場合の圧力室Ｃｈと、圧電アクチュエーター３８ｃと、配線５６との配置を示す平面図である。
【図９】圧電アクチュエーター３８ｃの範囲Ａｒでの構成を模式的に示す断面図である。
【図１０】超音波センサー９０を備える超音波診断装置８１の構成を示す図である。
【図１１】超音波センサー９０の一例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
Ａ．第１実施形態：
図１は、第１実施形態の液体吐出ヘッドを搭載した液体吐出装置１００を示す説明図である。なお、図１には、Ｘ方向の一方の方向を「Ｘ１方向」、Ｘ１方向とは逆の方向を「Ｘ２方向」とし、Ｘ方向と直交するＹ方向の一方の方向を「Ｙ１方向」、Ｙ１方向とは逆の方向を「Ｙ２方向」とした矢印が表記されている。このＸ方向とＹ方向とで構成される平面を「ＸＹ平面」とする。また、図１には示されていないが、ＸＹ平面に直交するＺ方向の一方の方向を「Ｚ１方向」、逆の方向を「Ｚ２方向」とする。また、Ｘ方向とＺ方向とで構成される平面を「ＸＺ平面」、Ｙ方向とＺ方向とで構成される平面を「ＹＺ平面」とする。以下、各矢印を各図にも示す。
【００１６】
液体吐出装置１００は、制御ユニット２０と、搬送機構２２と、移動機構２４と、液体吐出ヘッド２６と、を備える。また、液体吐出装置１００は、インクを収容する液体容器１４を取付けられ、媒体１２をセットされることができる。液体吐出装置１００は、液体容器１４から供給される液体のインクを媒体１２に吐出するインクジェット方式の印刷装置である。
【００１７】
制御ユニット２０は、例えばＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを備えるコンピューターによって構成されている。制御ユニット２０は、搬送機構２２と、移動機構２４と、液体吐出ヘッド２６を制御する。
【００１８】
移動機構２４は、輪状のベルト２４４と、キャリッジ２４２と、を備える。キャリッジ２４２は、ベルト２４４に固定され、液体吐出ヘッド２６を収容している。移動機構２４は、輪状のベルト２４４を双方向に回転させることにより、キャリッジ２４２に収容された液体吐出ヘッド２６をＸ方向に沿って往復させる。
【００１９】
液体吐出ヘッド２６には、液体を吐出するための複数のノズルＮｚが備えられている。ノズルＮｚの構成については後述する。液体吐出ヘッド２６は、制御ユニット２０によって制御され、液体容器１４から供給されたインクを、この複数のノズルＮｚから媒体１２に吐出する。
【００２０】
搬送機構２２は、移動機構２４による液体吐出ヘッド２６のＸ方向における複数回の移動の間に、媒体１２をＹ方向に沿って搬送する。Ｘ方向とＹ方向とで張られる仮想面に向かって吐出されたインクによって、媒体１２上に、画像が形成される。
【００２１】
制御ユニット２０は、搬送機構２２の制御によるＹ方向に対する媒体１２の移動と、ベルト２４４の制御によるＸ方向に対するキャリッジ２４２の移動と、液体吐出ヘッド２６のインクの吐出とを制御して、媒体１２上に予め定められた画像を形成する。
【００２２】
図２は、液体吐出ヘッド２６の分解斜視図である。液体吐出ヘッド２６は、流路基板３２と、圧力室基板３４と、振動板３６と、筐体部４２と、封止体４４と、ノズル板４６と、吸振体４８と、を有する。
【００２３】
図３は、液体吐出ヘッド２６を構成する各部材が接合された状態における液体吐出ヘッド２６の断面図である。具体的には、図３は、図２の液体吐出ヘッド２６のＩＩＩ−ＩＩＩ線におけるＸＺ平面と平行な断面図である。以下、液体吐出ヘッド２６の構成について、図２とともに図３を参照して説明する。
【００２４】
ノズル板４６は、Ｙ方向に長尺な略長方形の形状を有する板状の部材である。ノズル板４６は、流路基板３２のＺ１側の面上に備えられている。具体的には、ノズル板４６は、流路基板３２の一部の領域であって、後述する連通流路３２６が設けられている領域を覆うように、備えられている。ノズル板４６には、Ｙ方向に配列される複数のノズルＮｚが形成されている。ノズルＮｚは、インクが吐出されるための貫通孔である。
【００２５】
流路基板３２は、Ｙ方向に長尺な略長方形の形状を有する板状の部材である。流路基板３２は、開口部３２２と、供給流路３２４と、連通流路３２６と、中継流路３２８と、を備える。なお、中継流路３２８は、流路基板３２のＺ１側の面に設けられているため、図２には表されていない。
【００２６】
開口部３２２は、流路基板３２において、Ｚ方向に伸びる一つの貫通孔である。開口部３２２は、Ｙ方向に長尺な形状を有する開口である。
【００２７】
連通流路３２６は、流路基板３２において、Ｚ方向に伸びる貫通孔である。複数の連通流路３２６は、Ｙ方向に沿って流路基板３２の面上に配列されている。連通流路３２６の数とノズルＮｚの数は一致する。連通流路３２６のＺ１側の外形の大きさは、ノズルＮｚのＺ２側の外形の大きさよりも大きい。ノズルＮｚと連通流路３２６とは、流路基板３２とノズル板４６の接合によって接続される（図３参照）。各ノズルＮｚから吐出されるインクは、対応する連通流路３２６内を通る。
【００２８】
供給流路３２４は、流路基板３２において、Ｚ方向に伸びる複数の貫通孔である。複数の供給流路３２４は、Ｙ方向に沿って流路基板３２の面上に配列されている。各供給流路３２４は、共通の開口部３２２と、各供給流路３２４が接続されている連通流路３２６と、の間に設けられている。一つの供給流路３２４は、後述する圧力室Ｃｈおよび上述の連通流路３２６を介して、一つのノズルＮｚに接続される。供給流路３２４の数とノズルＮｚの数は一致する。各ノズルＮｚから吐出されるインクは、対応する供給流路３２４内を通る（図３参照）。
【００２９】
中継流路３２８は、流路基板３２のＺ１側の面に備えられた凹部である（図２において図示しない）。中継流路３２８は、流路基板３２のＺ１側の面において、開口部３２２と、複数の供給流路３２４とを、接続している。液体吐出ヘッド２６が備える各ノズルＮｚから吐出されるインクは、中継流路３２８を通る（図３参照）。
【００３０】
圧力室基板３４は、Ｙ方向に長尺な略長方形の形状を有する板状の部材である。圧力室基板３４は、流路基板３２のＺ２側の面上に備えられている。具体的には、圧力室基板３４は、流路基板３２の一部の領域であって、供給流路３２４および連通流路３２６が設けられている領域を覆うように、備えられている。圧力室基板３４には、複数の開口部３４２が設けられている。
【００３１】
開口部３４２は、圧力室基板３４において、Ｚ方向に伸びる複数の貫通孔である。開口部３４２は、Ｘ方向に長尺な形状を有する開口である。複数の開口部３４２は、Ｙ方向に沿って流路基板３２の面上に配列されている。開口部３４２の数とノズルＮｚの数は一致する。開口部３４２は、流路基板３２においてＸ方向に並んで配される一組の供給流路３２４と連通流路３２６と、Ｚ方向に投影したときに重なる位置に、配されている。開口部３４２は、インクを収容し、液体吐出ヘッド２６内の流路中のインクに圧力を加える圧力室Ｃｈとして機能する（図３参照）。
【００３２】
吸振体４８は、Ｙ方向に長尺な略長方形の形状を有する板状の部材である。吸振体４８は、流路基板３２のＺ１側の面上に備えられている。具体的には、吸振体４８は、流路基板３２の一部の領域であって、開口部３２２と、中継流路３２８と、供給流路３２４とが設けられている領域を覆うように、備えられている。吸振体４８は、開口部３２２と、中継流路３２８と、供給流路３２４とのＺ１側を塞ぐ内壁として機能する（図３参照）。また、吸振体４８は、可撓性を有することによって弾性変形が可能なシート状の部材によって構成される。吸振体４８は、開口部３２２、中継流路３２８および供給流路３２４の内部のインクを圧力に応じて弾性変形し、圧力変化を緩和するように構成されている。
【００３３】
振動板３６は、圧力室基板３４の外形と一致する外形形状を有する板状の部材である。振動板３６は、圧力室基板３４のＺ２側の面上に備えられる。振動板３６は、圧力室基板３４の開口部３４２のＺ２側の開口を塞ぐ壁面として機能する（図３参照）。振動板３６は、圧電アクチュエーター３８によって弾性変形されることができる。
【００３４】
振動板３６は、第１膜３６１と、第２膜３６２と、を備える（図３参照）。第１膜３６１は、圧力室基板３４のＺ２側の面上に備えられる。第２膜３６２は、第１膜３６１を挟んで、圧力室基板３４とは反対側の第１膜３６１の面上に備えられる。第１膜３６１は、酸化シリコン（ＳｉＯ２）等の弾性材料で形成される弾性膜である。第２膜３６２は、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）等の絶縁材料で形成される絶縁膜である。
【００３５】
圧電アクチュエーター３８は、振動板３６のＺ２側の面上において、Ｙ方向に沿って配列されている。一つの圧電アクチュエーター３８は、振動板３６を挟んで、圧力室基板３４の一つの開口部３４２と重なる位置に配されている。圧電アクチュエーター３８は、密着層（図示しない）を介して振動板３６に接合される。圧電アクチュエーター３８の数とノズルＮｚの数は一致する。
【００３６】
配線基板５０は、振動板３６のＺ２側の面上に接続されている実装部品である（図３参照）。配線基板５０には、制御ユニット２０（図１参照）および電源回路（図１から図３において図示しない）と液体吐出ヘッド２６とを電気的に接続するための複数の配線が形成されている。配線基板５０は、圧電アクチュエーター３８を駆動するための駆動信号を各圧電アクチュエーター３８に供給する。配線基板５０は、例えばＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）やＦＦＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｆｌａｔ  Ｃａｂｌｅ）等の可撓性を有する基板を採用できる。なお、配線基板５０は、技術の理解を容易にするため、図２において省略されている。
【００３７】
封止体４４は、振動板３６および圧電アクチュエーター３８に対してＺ２側に配されている。具体的には、封止体４４は、振動板３６の一部の領域であって、圧電アクチュエーター３８が備えられた領域を覆うように、接合される。封止体４４は、Ｙ方向に長尺な略長方形の形状を有する部材である。封止体４４は、Ｚ１側の面が開口され、一つの凹部を備えている。この凹部の内側に圧電アクチュエーター３８が収容されるように、封止体４４と振動板３６とが接合される（図３参照）。封止体４４は、圧電アクチュエーター３８を保護すると共に、圧力室基板３４および振動板３６との機械的な強度を補強する機能を奏する。
【００３８】
筐体部４２は、流路基板３２に対してＺ２側に配されている。具体的には、筐体部４２は、流路基板３２の一部の領域であって、開口部３２２が備えられた領域を覆うように接合される。筐体部４２は、Ｙ方向に長尺な略長方形の形状を有する部材である。筐体部４２は、Ｚ１側の面が開口され、一つの凹部を備えている。筐体部４２は、収容部４２２と、導入口４２４と、を備える。
【００３９】
収容部４２２は、筐体部４２の凹部によって形成される筐体部４２の内側の空隙である（図３参照）。収容部４２２のＺ１側の開口の外形は、流路基板３２に設けられた開口部３２２のＺ２側の開口の外形と略同一である。筐体部４２は、流路基板３２のＺ２方向における面の一部と接合される。このとき、収容部４２２の外形と開口部３２２の外形とが一致するように、筐体部４２と流路基板３２とが接合される（図３参照）。流路基板３２に備えられた開口部３２２と、筐体部４２に備えられた収容部４２２とによって、一つの空間が構成される。この空間を、液体貯留室Ｒｓとも呼ぶ。なお、収容部４２２は、筐体部４２のＺ１側の面に設けられているため、図２には表されていない。
【００４０】
導入口４２４は、筐体部４２において、Ｚ方向に伸びる貫通孔であり、収容部４２２と接続されている（図３参照）。導入口４２４は、筐体部４２のＺ２側における面の略中央に備えられている。液体容器１４から液体吐出ヘッド２６に供給されたインクは、導入口４２４を通過して液体貯留室Ｒｓに貯留される。
【００４１】
液体貯留室Ｒｓに貯留されたインクは、中継流路３２８を通過し各供給流路３２４に分岐して、各圧力室Ｃｈ（開口部３４２）に並列に供給される。各圧電アクチュエーター３８は、配線基板５０を介して電圧を印加されて変形し、各開口部３４２（すなわち各圧力室Ｃｈ）の内壁を構成している振動板３６を変形させる。その結果、圧力室Ｃｈが変形されて、圧力室Ｃｈ内のインクに圧力が加えられる。この圧力によって、圧力室Ｃｈに充填されたインクが押し出され、連通流路３２６を通過してノズルＮｚから吐出される（図３参照）。
【００４２】
図４は、Ｚ方向に液体吐出ヘッド２６を透視した場合の圧力室Ｃｈと、圧電アクチュエーター３８と、配線５６との配置を示す平面図である。図４の奥（Ｚ１方向）側に位置しており、図中の手前（Ｚ２方向）側に位置する部材によって視認することができない部材も、図４においては図示されている。図４において、振動板３６上に備えられる複数の圧電アクチュエーター３８（図４において３個）の周辺の構成が示されている。
【００４３】
図５は、図４のＶ−Ｖ線における断面図である。具体的には、圧電アクチュエーター３８の短手方向における略中央部を含む、ＸＺ平面における断面図である。以下、図４とともに図５を用いて、圧電アクチュエーター３８の構成を説明する。
【００４４】
圧電アクチュエーター３８は、圧電素子Ｐｅと、第１保護膜５４と、第２保護膜５５と、配線５６とを備える（図５参照）。圧電素子Ｐｅは、第１電極５１と、圧電体層５２と、第２電極５３とを備える。なお、技術の理解を容易にするため、図４において第１保護膜５４および第２保護膜５５は図示されていない。
【００４５】
第１電極５１は、厚さが略均一な一つの導電層である。第１電極５１は、振動板３６のうち第２膜３６２のＺ２側の面上に備えられている（図５参照）。第１電極５１は、Ｙ方向に配列される複数の圧電素子Ｐｅによって共有される、いわゆる共通電極である。第１電極５１のＸ１方向における端部Ｅａ１は、第２電極５３のＸ１方向における端部Ｅｃ１よりもＸ２側となるように形成されている。また、第１電極５１のＸ２方向における端部Ｅａ２は、第２電極５３のＸ２方向における端部Ｅｃ２よりもＸ１側となるように形成されている。第１電極５１には、配線基板５０に設けられた回路から基準電圧Ｖｂｓを供給される。なお、本明細書において、圧電体層５２の変形によって変形する機能が、各圧電アクチュエーター３８によって個別に奏されることから、液体吐出ヘッド２６は、「複数の圧電アクチュエーター３８」を備えるものとして、記述する。
【００４６】
圧電体層５２は、第１電極５１のＺ２側の面上と、第１電極５１を有しない振動板３６のＺ２側における面上とに形成される、厚さが略均一の層である。圧電体層５２は、第１電極５１の外形を覆うようにして形成される（図５参照）。圧電体層５２は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電材料がスパッタリングによって成膜されて、フォトリソグラフィにより選択的に除去されることによって形成される。圧電体層５２のＸ１方向における端部Ｅｂ１は、圧力室ＣｈのＸ１方向における端部ｃ１よりもＸ２側に形成される。圧電体層５２のＸ２方向における端部Ｅｂ２は、圧力室ＣｈのＸ２方向における端部ｃ２よりもＸ１側に形成される。また、圧電体層５２のＹ１方向における端部は、圧力室ＣｈのＹ１方向における端部よりもＹ２側に形成される。圧電体層５２のＹ２方向における端部は、圧力室ＣｈのＹ２方向における端部ｃ２よりもＹ１側に形成される。すなわち、圧電体層５２のＸＹ平面視における外形が、圧力室ＣｈのＸＹ平面視におけるＺ２方向の上端の外形よりも内側になるように、圧電体層５２が形成される。圧電体層５２は、第１電極５１と第２電極５３とから電圧を印加されて、Ｚ１方向に変形する。
【００４７】
第２電極５３は、圧電体層５２のＺ２側の面上に形成される、厚さが略均一の導電層である（図５参照）。第２電極５３は、圧電アクチュエーター３８ごとに個別に形成される、いわゆる個別電極である。第２電極５３は、例えば、白金やイリジウムといった導電材料がスパッタリングによって成膜されて、フォトリソグラフィにより選択的に除去されることによって形成される。第２電極５３のＸ１方向における端部Ｅｃ１は、圧電体層５２のＸ１方向における端部Ｅｂ１よりもＸ２側に形成される。第２電極５３のＸ２方向における端部Ｅｃ２は、圧電体層５２のＸ２方向における端部Ｅｂ２よりもＸ１側に形成される。また、第２電極５３のＹ１方向における端部は、圧電体層５２のＹ１方向における端部よりもＹ２側に形成される。第２電極５３のＹ２方向における端部は、圧電体層５２のＹ２方向における端部よりもＹ１側に形成される。すなわち、第２電極５３のＸＹ平面視における外形が、圧電体層５２のＸＹ平面視における外形よりも内側になるようにして、第２電極５３が形成される。
【００４８】
第１保護膜５４は、振動板３６と振動板３６上に形成された複数の圧電素子ＰｅとにおけるＺ２側の表面を覆う絶縁性を有する膜である（図５参照）。第１保護膜５４には、配線５６と第２電極５３のＸ２側の端部近傍とが電気的に接続するための貫通孔であるコンタクトホールＨ１が形成されている。第１保護膜５４には、例えば酸化珪素（ＳｉＯＸ）または窒化珪素（ＳｉＮＸ）等の絶縁材料が用いられる。第１保護膜５４は、この絶縁性によって、配線５６と、第１電極５１および圧電体層５２と、を絶縁する機能を有し、配線５６が第２電極５３以外の材料と電気的に短絡することを抑制する機能を奏する。
【００４９】
配線５６は、第１保護膜５４のＺ２側における面上に形成された導電性を有する層である。具体的には、配線５６は、第１保護膜５４のＺ２側における面上を圧電体層５２の面方向に沿ってＸ２方向に延伸して、形成される。配線５６のＸ２側の端部Ｅｅ２は、配線基板５０の配線と電気的に接続される。また、配線５６は、コンタクトホールＨ１を介して第２電極５３と接続される。これにより、配線基板５０に供給された駆動信号Ｖｄｒは、配線５６を介して第２電極５３に供給される。
【００５０】
第２保護膜５５は、第１保護膜５４および配線５６のＺ２側の表面上に形成された耐湿性を有する層である。第２保護膜５５は、外気中に含まれる酸素や水分による酸化や腐食から圧電アクチュエーター３８を保護する機能を備える。
【００５１】
図６は、圧電アクチュエーター３８の一部（図５における一点鎖線で表された範囲Ａｒ）の構成を模式的に示す断面図である。なお、図６において、技術の理解を容易にするため、各部材は、ブロック形状を用いて模式的に図示されている。
【００５２】
上述した通り、振動板３６のＺ２側には、圧電素子Ｐｅの第１電極５１と、圧電体層５２と、第２電極５３とが、その順に配されている。すなわち、第１電極５１は、振動板３６と圧電体層５２との間に位置し、圧電体層５２のＺ１側の面に配置される。第２電極５３は、圧電体層５２のＺ２側の面に配置される。
【００５３】
本実施形態の液体吐出ヘッド２６においては、各圧電アクチュエーター３８に第１保護膜５４と、第２保護膜５５とが備えられている。図６において、第１保護膜５４は、第２電極５３と配線５６とが連通するコンタクトホールＨ１を除いて、圧電体層５２と、第２電極５３とを覆うように構成されている。第２保護膜５５は、第１保護膜５４上に形成される配線５６を覆うように形成される。
【００５４】
上述した通り、第１電極５１には基準電圧Ｖｂｓが印加され、第２電極５３には配線５６を介して駆動信号Ｖｄｒが供給される。これにより、第１電極５１と第２電極５３との間に電位差が生じて圧電体層５２が変形する。この変形によって、圧電アクチュエーター３８において、第１電極５１が設けられている部分は、圧力室Ｃｈを変形させる際に、Ｚ１方向に凸となる形状に変形する。例えば、この圧電アクチュエーター３８の変形によって第１保護膜５４にクラックが生じることがある。このクラックにより、第１保護膜５４の絶縁性の欠落する部分が生じる。
【００５５】
配線５６のＺ１側と、振動板３６のＺ２側とで挟まれる領域（以下、「領域Ａ１０」とも呼ぶ）において、電気的に接続されることによって第１電極５１と同電位となる金属層が存在すると、例えば、以下の問題が生ずる。
【００５６】
電気的に接続されることによって第１電極５１と同電位となった金属層は、第１保護膜５４に生じたクラックを介して、金属層のＺ２側にある配線５６と、電気的に接続される。すなわち、この金属層と配線５６との間で電気的に短絡するという不具合が生じる。この不具合が生じると、圧電素子は正常に駆動できなくなる。
【００５７】
第１保護膜５４にクラックが発生し、第１電極５１のＸ２側の端部が、圧電体層５２のＸ２側の端部よりもＸ２側に存在すると、第１電極５１と配線５６との間で、上記の不具合が発生する虞がある。また、第１保護膜５４にクラックが発生し、第１電極５１のＸ２側の端部が、第２電極５３のＸ２側の端部よりもＸ２側に存在している場合にも、第１電極５１と配線５６との間で、上記の不具合が発生する虞がある。
【００５８】
以上から、配線５６のＺ１側の面と、振動板３６のＺ２側の面とで挟まれる領域Ａ１０のうち、ＸＹ平面視において配線５６が第２電極５３と圧電体層５２のいずれとも重ならない領域（以下、「第１領域Ａ１」とも呼ぶ）に、第１電極５１と同電位となる金属層が配置されることによって、第１電極５１と配線５６とが電気的に短絡する不具合が、発生する虞がある。
【００５９】
本実施形態において、第１領域Ａ１には、金属層が備えられていない。従って、駆動信号Ｖｄｒが供給され配線５６に電流の供給がされても、第１領域Ａ１と配線５６との間で、配線５６が電気的に短絡する不具合は生じない。また、この不具合が生じないことによって、配線５６と振動板３６との間に形成される第１保護膜５４において、絶縁性の機能を備える必要がなくなる。従って、第１保護膜５４の材料を選択できる範囲が、絶縁性の機能を有しない材料の範囲にまで拡大されることができる。
【００６０】
Ｂ．第２実施形態：
図７は、第２実施形態である圧電アクチュエーター３８ｂの構成を表す断面図である。配線５６のＺ１側の面と、振動板３６のＺ２側の面とで挟まれる領域を領域Ａ１０ｂとする。また、領域Ａ１０ｂのうち、ＸＹ平面視において配線５６が第２電極５３と圧電体層５２のいずれとも重ならない領域を第１領域Ａ１ｂとする。第２実施形態の圧電アクチュエーター３８ｂには、第１領域Ａ１ｂに金属層６０が備えられている。第２実施形態の他の点は、第１実施形態と同じである。なお、図７において、技術の理解を容易にするため、各部材はブロック形状を用いて模式的に図示されている。
【００６１】
金属層６０は、第１電極５１と同じ金属材料によって構成されている厚さが略均一の層である。第１電極５１のＸ２側の端部と、金属層６０のＸ１側の端部との間には、第１電極５１の外形を覆うようにして形成された圧電体層５２が存在する。すなわち、金属層６０は、絶縁体である圧電体層５２によって第１電極５１とは接触せず、第１電極５１とは電気的に接続されないように形成されている。このような形態としても、金属層６０と第１電極５１とは電気的に接続されていないため、配線５６に駆動信号Ｖｄｒが供給されても、配線５６が電気的に短絡する不具合は生じない。
【００６２】
また、第１電極５１の材料となる金属層を、金属層６０を含む領域まで形成した後、予め定められた領域を例えばエッチングによって選択的に除去することによって、第１電極５１と、第１電極５１と絶縁される金属層６０とが形成されることができる。この予め定められた領域とは、例えば、図中において第１電極５１のＸ２方向における端部から、金属層６０のＸ１方向における端部までの領域（以下、「領域Ａ２ｂ」とも呼ぶ）である。なお、この領域Ａ２ｂは、Ｙ方向（図７において奥行きと平行する方向）に沿って形成される。金属層６０は、Ｙ方向においても第１電極５１のいずれの部分とも接することはなく、Ｙ方向に配列される各圧電アクチュエーター３８ｂにおいて同じ構成で形成される。第１保護膜５４の材料には、第１電極５１との密着性が考慮された既存の材料が適用されることができる。
【００６３】
Ｃ．第３実施形態：
図８は、Ｚ方向に液体吐出ヘッド２６を透視した場合の圧力室Ｃｈと、第３実施形態の圧電アクチュエーター３８ｃと、配線５６との配置を示す平面図である。図８の手前（Ｚ２方向）側に位置する部材によって視認することができない部材も、図８においては図示されている。第３実施形態の圧電アクチュエーター３８ｃは、第１実施形態の第２電極５３よりもＸ方向に沿って延伸された第２電極５３ｃを備える。第３実施形態の圧電アクチュエーター３８ｃのその他の構成は、第１実施形態の圧電アクチュエーター３８の構成と同じである。
【００６４】
図９は、圧電アクチュエーター３８ｃの範囲Ａｒでの構成を模式的に示す断面図である。なお、図９において、技術の理解を容易にするため、各部材は、ブロック形状を用いて模式的に図示されている。図９には、後述する第２領域Ａ２が模式的に例示されている。
【００６５】
第２領域Ａ２は、第２電極５３ｃと振動板３６との間の領域であって、第２電極５３ｃのうち配線５６が延伸する方向側（図中においてＸ２方向側）の端部と振動板３６との間の領域である。圧電アクチュエーター３８ｃの第２領域Ａ２は、圧電体層５２を含む絶縁材料からなる絶縁部で構成される。本実施形態において、この絶縁部は、圧電体層５２のみによって構成される。すなわち、圧電体層５２は、第２領域Ａ２において第１電極５１のＸ２方向側の端部を覆うように構成される。
【００６６】
なお、本明細書において、第２電極５３ｃにおける「Ｘ２方向側の端部」とは、第２電極５３ｃのＸ２方向側の端部である円弧状の部分を指し（図８参照）、Ｙ方向に配列される各圧電アクチュエーター３８ｃにおいて同じ構成で形成される。また、「第２電極５３ｃの端部と振動板３６との間の領域」とは、第２電極５３ｃのうち圧電体層５２を備える側の面の端部と、振動板３６とを結ぶ線を含み、所定の幅を有する領域のことを表す。
【００６７】
これにより、第１電極５１は、絶縁部である圧電体層５２によって、配線５６との電気的な接続を抑制されることができる。従って、このような形態としても、配線５６を介して第２電極５３ｃに電圧を印加する際に、第１電極５１と配線５６とが短絡する不具合を回避できる。
【００６８】
Ｄ．第４実施形態：
図１０は、第４実施形態における圧電デバイスの一種である超音波センサー９０を備える超音波診断装置８１の構成を示す図である。上記各実施形態においては、圧力室Ｃｈが変形することでノズルＮｚから液体の一種であるインクを吐出させる構成を例示したが、これには限られず、本実施形態における超音波センサー９０のように、測定対象の振動（変位）等を検出するセンサーにも本発明を適用することができる。このため、本開示における圧力室Ｃｈは、液体が流通するものには限られない。
【００６９】
図１０に示される超音波診断装置８１は、装置端末８２と超音波プローブ８３とを備える。装置端末８２と超音波プローブ８３とはケーブル８４で相互に接続されている。装置端末８２と超音波プローブ８３とはケーブル８４を通じて電気信号を送受する。超音波プローブ８３は、本体部８５と、この本体部８５に着脱可能に取り付けられたプローブヘッド８６と、を備えている。超音波センサー９０は、プローブヘッド８６に設けられている。超音波センサー９０は、その表面（図１１に示される面）から音波や超音波を測定対象に向けて発信するとともに、測定対象からの反射波を受信することにより、測定対象までの距離や測定対象の形状等の検知を行う。
【００７０】
図１１は、本実施形態に係る超音波センサー９０の一例を示す平面図である。本実施形態における超音波センサー９０は、基体６１に素子アレイ６２が形成されて構成されている。素子アレイ６２は、圧電素子Ｐｅ４の配列で構成されている。配列は複数行×複数列のマトリクス状に形成されている。圧電素子Ｐｅ４は、下部電極である第１電極５１ｄ、上部電極である第２電極５３ｄ、及び圧電体層５２ｄで構成され、第２電極５３ｄと第１電極５１ｄとの間に圧電体層５２ｄが挟み込まれている。各圧電素子Ｐｅ４は、一層の振動板３６ｄの上に配置されている。本実施形態において、第１電極５１ｄよりもＺ１方向側（図１１において奥行き方向側）には、振動板３６ｄと、各圧電アクチュエーター３８ｄの圧力室Ｃｈ（図１１において図示しない）と、図示しない補強板とがこの順に備えられている。
【００７１】
本実施形態において、第１電極５１ｄが各圧電素子Ｐｅ４に共通の共通電極として機能し、第２電極５３ｄが各圧電素子Ｐｅ４のそれぞれの個別電極として機能する。なお、第２電極５３ｄ及び第１電極５１ｄの機能は入れ替えられてもよい。すなわち、マトリクス全体の圧電素子Ｐｅ４に上部電極が共通に設けられ、各圧電素子Ｐｅ４に下部電極が個別に設けられてもよい。また、素子アレイ６２の配列は、例えば、隣り合う列の圧電素子Ｐｅ４の列方向の位置が互い違いとなるような構成を採用することもできる。この場合、偶数列の圧電素子Ｐｅ４群は、奇数列の圧電素子Ｐｅ４群に対して行ピッチの２分の１で列方向にずらされて配置される構成とすることができる。
【００７２】
基体６１において、圧電素子Ｐｅ４の列方向（Ｘ方向）における一端側と他端側であって、素子アレイ６２から外れた位置に、それぞれ第１端子アレイ６８ａ及び第２端子アレイ６８ｂが形成されている。各端子アレイ６８ａ，６８ｂは、それぞれ、行方向（Ｙ方向）の両側に配置された１対の共通電極端子６９と、両側の共通電極端子６９の間に配置された複数の個別電極端子７０とで構成されている。共通電極端子６９は、圧電素子Ｐｅ４の第２電極５３ｄに導通され、個別電極端子７０は、圧電素子Ｐｅ４の第１電極５１ｄにそれぞれ導通されている。各端子アレイ６８ａ，６８ｂには、一端が超音波診断装置８１の図示しない制御回路と接続された図示しないフレキシブル配線基板が電気的に接続される。フレキシブル配線基板を通じて制御回路と超音波センサー９０との間で、後述する駆動信号Ｖｄｒ及び受信信号Ｖｒの送受信が行われる。基体６１のＺ１方向側の面（以下、「裏面」とも呼ぶ）には、補強板（図示しない）が接着剤により接合され、各圧電素子Ｐｅ４の圧力室Ｃｈを閉じている。補強板には例えばシリコン基板が用いられることができる。
【００７３】
超音波センサー９０において、超音波を発信する発信期間（振動期間）には、制御回路が出力するが、個別電極端子７０を介して各圧電素子Ｐｅ４の第１電極５１ｄに供給（印加）される。また、超音波の反射波（エコー）を受信する受信期間（振動期間）には、圧電素子Ｐｅ４からの受信信号Ｖｒが、第１電極５１ｄ及び個別電極端子７０を介して出力される。また、共通電極端子６９を介して各圧電素子Ｐｅ４の第２電極５３ｄには、共通電圧ＶＣＯＭが供給される。この共通電圧ＶＣＯＭは一定の直流電圧である。駆動信号Ｖｄｒと共通電圧ＶＣＯＭとの差の電圧が各圧電素子Ｐｅ４に印加されると、当該圧電素子Ｐｅ４からは所定の周波数の超音波が発信される。そして、各圧電素子Ｐｅ４からそれぞれ放射される超音波が合成されて、超音波センサー９０の素子アレイ面から放射される超音波が形成される。この超音波は、測定対象（例えば人体の内部）に向けて発信される。また、超音波が発信された後、測定対象から反射されてきた反射波が圧電素子Ｐｅ４に入力されると、これに応じて当該圧電素子Ｐｅ４が検知用振動部として振動することにより起電力が生じる。この起電力は受信信号Ｖｒとして制御回路に出力される。本実施形態において、検知用振動部として機能する圧電素子群は、音波の発信と反射波の受信とを、時間を異ならせて交互に行う。
【００７４】
第２電極５３ｄは、個別電極端子７０から延伸された配線５６ｄと接続される。すなわち、本実施形態において、各圧電アクチュエーター３８ｄの第２電極５３ｄは、Ｘ１側の端部およびＸ２側の端部のいずれも配線５６ｄによって接続されている。本実施形態において、第２領域Ａ２は、第２電極５３ｄと振動板３６との間の領域であって、第２電極５３ｄのうち、配線５６が延伸する方向側であるＸ１方向側の端部と振動板３６ｄとの間の領域およびＸ２方向側の端部と振動板３６ｄとの間の２つの領域である。各圧電アクチュエーター３８ｄは、この２つの第２領域Ａ２に絶縁部である圧電体層５２ｄを備える。すなわち、圧電体層５２ｄは、第２領域において第１電極５１ｄのＸ１方向側の端部と、第１電極５１ｄのＸ２方向側の端部とを覆うように構成される。従って、このような形態としても、配線５６を介して第２電極５３ｃに電圧を印加する際に、第１電極５１と配線５６とが短絡する不具合を回避できる。
【００７５】
Ｅ．他の形態：
Ｅ１．他の形態１：
（１）上記実施形態においては、第１領域Ａ１に金属層を備えない態様、もしくは第１電極５１と同じ材料で構成される金属層６０であって、前記第１電極と電気的に接続されていない金属層６０を、第１領域Ａ１ｂに備えられている態様が示されている。すなわち、第１領域には、第２電極の電位とは異なる電位に、電位が制御されている金属層を備えない態様とすることができる。このような態様とすることにより、第２電極が、第２電極の電位と異なる電位を有する電極層を介して、他の回路と電気的に短絡する不具合を防止することが出来る。例えば、第１電極と接続されていることにより第１電極と同電位となる金属層、を備えない態様とすることができる。このように構成することにより、配線５６に電流が供給されても、配線５６が第１電極と電気的に短絡する不具合は生じない。
【００７６】
（２）上記実施形態においては、圧電アクチュエーター３８は、電圧を印加された際に圧力室Ｃｈ側に凸となる形状に変形し、電圧を印加されていない場合には、平板状となるように構成されている。しかし、圧電アクチュエーターは、電圧を印加された際に平板状となり、電圧を印加されていないときに、他の形状となる態様とすることもできる。すなわち、圧電アクチュエーターは、電圧の印加の有無により変形することができるものであればよい。そして、圧電アクチュエーターの変形は、曲げ変形であると歪み変形であるとを問わない。
【００７７】
（３）上記実施形態においては、圧電体層５２が、第１電極５１の外形を覆うようにして形成されている。しかし、圧電体層は、例えば、第１電極５１と圧電体層５２と第２電極５３とにおけるＸ２側の端部が略同一の位置となるように形成される等、第１電極５１の外形を覆わないように形成されている態様とすることもできる。このとき、第１保護膜は、第１電極５１、圧電体層５２および第２電極５３が保護されるように形成されることが好ましい。
【００７８】
（４）上記各実施形態において、配線５６が延伸する方向と略垂直な方向（図４，８においてＹ方向）における配線５６の幅の長さは、圧電体層５２のＹ方向における幅の長さよりも短い態様とすることもできる。このような態様であれば、第１電極５１と配線５６とが短絡する不具合の発生をより抑制することができる。
【００７９】
Ｅ２．他の形態２：
（１）上記第２実施形態では、第１電極５１のＸ２側の端部と、金属層６０のＸ１側の端部との間に、第１電極５１の外形を覆うようにして形成された圧電体層５２が存在するが、金属層６０のＺ２側の面には圧電体層５２は存在していない。しかし、金属層６０のＺ２側の面上に圧電体層が存在する態様とすることもできる。例えば、第１電極５１と、金属層６０とが形成された後に、第１電極５１のＺ２側と、金属層６０のＺ２側との面上に圧電体層を同時に形成することもできる。
【００８０】
（２）上記第２実施形態では、金属層６０は、第１電極５１と同じ金属材料によって構成されている。しかし、金属層は、第１電極５１とは異なる金属材料によって構成されていてもよい。ただし、本明細書に開示された技術は、第１電極を構成する素材と金属層を構成する素材とが同一である場合に、特に有効である。
【００８１】
Ｅ３．他の形態３：
（１）上記実施形態においては、液体吐出ヘッド２６と液体容器１４とは所定のインク流路で接続されており、液体容器１４は、移動機構２４によって搬送されるわけではない。しかし、液体吐出ヘッドと液体容器とを一体で形成して、移動機構によって移動される態様とすることもできる。本明細書で開示する技術は、そのような液体吐出ヘッドと液体容器が相互に固定された液体吐出ヘッドユニットに、適用することもできる。
【００８２】
（２）上記実施形態において、第２領域Ａ２の絶縁部は、圧電体層５２のみによって構成される。しかし、第２領域は、圧電体層のみの構成には限定されない。例えば、絶縁部は、圧電体層を含み、更に、第１保護膜のような絶縁性を有する膜や、他の絶縁材料を含んでもよい。
【００８３】
Ｅ４．他の形態４：
上記実施形態においては、本明細書で開示する技術を、液体吐出ヘッド２６および液体吐出装置１００を例に説明した。しかし、本明細書で開示する技術は、液体吐出ヘッド、液体吐出装置に限らず、平板状に構成された圧電素子に対して、電極が配されている平板の一方の面に配線が接続される様々な圧電デバイスに、適用することができる。
【００８４】
例えば、本明細書で開示する技術は、圧電素子を振動させて超音波を発生させる超音波振動子に適用することができる。また、本明細書で開示する技術は、圧電素子を動かすことにより液体を送る送液ポンプに適用することができる。本明細書で開示する技術は、圧電素子による振動によってローターを回転させるＭＥＭＳモーターに適用することができる。さらに、本明細書で開示する技術は、環境圧力によって圧電素子が変形して信号を送信する気圧センサーに適用することもできる。
【００８５】
Ｅ５．その他：
本開示は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
【符号の説明】
【００８６】
１２…媒体、１４…液体容器、２０…制御ユニット、２２…搬送機構、２４…移動機構、２６…液体吐出ヘッド、３２…流路基板、３４…圧力室基板、３６…振動板、３６ｄ…振動板、３８…圧電アクチュエーター、３８ｂ…圧電アクチュエーター、３８ｃ…圧電アクチュエーター、３８ｄ…圧電アクチュエーター、４２…筐体部、４４…封止体、４６…ノズル板、４８…吸振体、５０…配線基板、５１…第１電極、５１ｄ…第１電極、５２…圧電体層、５２ｄ…圧電体層、５３…第２電極、５３ｃ…第２電極、５３ｄ…第２電極、５４…第１保護膜、５５…第２保護膜、５６…配線、５６ｄ…配線、６０…金属層、６１…基体、６２…素子アレイ、６８ａ…端子アレイ、６８ｂ…第２端子アレイ、６９…共通電極端子、７０…個別電極端子、８１…超音波診断装置、８２…装置端末、８３…超音波プローブ、８４…ケーブル、８５…本体部、８６…プローブヘッド、９０…超音波センサー、１００…液体吐出装置、２４２…キャリッジ、２４４…ベルト、３２２…開口部、３２４…供給流路、３２６…連通流路、３２８…中継流路、３４２…開口部、３６１…第１膜、３６２…第２膜、４２２…収容部、４２４…導入口、Ａ１…第１領域、Ａ１０…領域、Ａ１０ｂ…領域、Ａ１ｂ…第１領域、Ａ２…第２領域、Ａ２ｂ…領域、Ａｒ…範囲、Ｃｈ…圧力室、Ｅａ１…端部、Ｅａ２…端部、Ｅｂ１…端部、Ｅｂ２…端部、Ｅｃ１…端部、Ｅｃ２…端部、Ｅｅ２…端部、Ｈ１…コンタクトホール、Ｎｚ…ノズル、Ｐｅ…圧電素子、Ｐｅ４…圧電素子、Ｒｓ…液体貯留室、ＶＣＯＭ…共通電圧、Ｖｂｓ…基準電圧、Ｖｄｒ…駆動信号、Ｖｒ…受信信号、ｃ１…端部、ｃ２…端部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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