(57)【要約】【課題】成形品の割れを発生させ難く、量産性良く製造できるシリンドリカルレンズの製造方法を提供する。【解決手段】シリンドリカルレンズ３００の製造方法は、一定の間隔をもって平行に配列された複数のシリンドリカル面形成部２４と、隣接するシリンドリカル面形成部２４の間に設けられた曲面間平面形成部２５と、を有する下型２と、シリンドリカル面形成部２４及び曲面間平面形成部２５に対向する上型下面部３３を有する上型３と、を備えるレンズ成形用金型１を用いて、１つの成形品から複数のシリンドリカルレンズ３００を作製する製造方法であって、下型２上に硝材１００を配置した状態で、下型２及び上型３を互いに接近させることで、硝材１００にレンズ成形用金型１の形状を転写させるプレス工程Ｓ１３と、プレス工程Ｓ１３の後に、プレス工程Ｓ１３における下型２及び上型３の相対位置を保持したまま硝材１００を冷却する冷却工程Ｓ１４と、を備える。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一定の間隔をもって平行に配列された複数のシリンドリカル面形成部と、隣接するシリンドリカル面形成部の間に設けられた第１平面形成部と、を有する第１の金型と、前記シリンドリカル面形成部及び前記第１平面形成部に対向する第２平面形成部を有する第２の金型と、を備えるレンズ成形用金型を用いて、硝材から複数のシリンドリカル面が平行に配列された成形品を形成してから、前記成形品を前記複数のシリンドリカル面の配列方向及び前記配列方向に交差する交差方向の２方向において切断することで、１つの前記成形品から複数のシリンドリカルレンズを作製する製造方法であって、
前記第１の金型上に前記硝材を配置した状態で、前記第１の金型及び前記第２の金型を互いに接近させることで、前記硝材に前記レンズ成形用金型の形状を転写させるプレス工程と、
前記プレス工程の後に、前記プレス工程における前記第１の金型及び前記第２の金型の相対位置を保持したまま前記硝材を冷却する冷却工程と、を備えることを特徴とするシリンドリカルレンズの製造方法。
【請求項２】
前記硝材は、平板状であり、目標とする前記シリンドリカルレンズの中心厚よりも５０μｍ以上１５０μｍ以下薄いことを特徴とする請求項１に記載のシリンドリカルレンズの製造方法。
【請求項３】
前記レンズ成形用金型を所定の温度まで加熱する加熱工程と、
前記加熱工程の後に、前記レンズ成形用金型を収容するチャンバの中の真空引きを行い、真空引きの完了から所定時間真空状態を保持する真空引き工程と、を備え、
前記真空引き工程の後に、真空状態下で前記プレス工程に移行することを特徴とする請求項１又は２に記載のシリンドリカルレンズの製造方法。
【請求項４】
前記真空引き工程は、
前記チャンバの中の真空引きを行う第１真空引き工程と、
前記第１真空引き工程の後に、温度を保持したまま前記チャンバの中に不活性ガスを送り込む不活性ガスパージ工程と、
前記不活性ガスパージ工程の後に、前記チャンバの中の真空引きを再び行い、真空引きの完了から所定時間真空状態を保持する第２真空引き工程と、を備えることを特徴とする請求項３に記載のシリンドリカルレンズの製造方法。
【請求項５】
前記冷却工程は、
毎秒０．５℃以下の速度で、前記硝材のガラス転移点よりも１００℃以上低い温度まで冷却する徐冷工程と、
前記徐冷工程の後に、前記徐冷工程よりも高速で冷却する急冷工程と、を備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のシリンドリカルレンズの製造方法。
【請求項６】
前記冷却工程の途中に、毎秒１ｍｍ以上の速度で前記第１の金型と前記第２の金型とを互いに０．１ｍｍ以上５．０ｍｍ以下引き離す引離し工程を備えることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のシリンドリカルレンズの製造方法。
【請求項７】
前記引離し工程は、前記硝材のガラス転移点よりも５℃以上５０℃以下低い温度で行うことを特徴とする請求項６に記載のシリンドリカルレンズの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリンドリカルレンズの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光ファイバを増幅媒体とするファイバレーザは、複数の励起ＬＤ（半導体レーザ）から出力された光を励起光として利用する。複数の励起ＬＤから出力された光は、光ファイバに結合されるために複数個のシリンドリカルレンズにより整形・集光される。励起ＬＤから出力された光を整形・集光するには、優れた耐熱性、強度、屈曲率精度が必要であり、金型を用いたモールドプレス成形によって作製されたガラス製のシリンドリカルレンズが採用される。
【０００３】
一般的なモールドプレス成形においてシリンドリカルレンズを作製するには、硝材を金型に配置し、モールドプレス成形終了後には成形品を取り出すステップがレンズ１つにつき１回必要となり、量産時に多大な工数が掛かってしまう。
【０００４】
一方、複数のシリンドリカル面を備えた金型と平面の金型を用いて硝材をモールドプレス成形し、成形品をダイサーなどで切断することで、１枚の成形品から多数のシリンドリカルレンズを得ることができる（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−２６２６８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、厚みが薄い（例えば、２ｍｍ以下）シリンドリカルレンズを作製する場合、金型の面積を大きくしてシリンドリカルレンズの取り数を増やすと、押圧して硝材を変形させたときに、硝材が逃げていく余地が少なく、応力割れが発生しやすい。また、厚みが薄い分冷却速度が速まり、急速に冷却されることで、金型と成形品との熱収縮量の差によって生じる熱応力が作用し、成形品は割れやすくなる。一方、金型の面積を小さくした場合、ハンドリングが煩雑になり工数が増大することに加え、成形品１枚当たりのシリンドリカルレンズの取り数が減ってしまう。
【０００７】
本発明は、成形品の割れを発生させ難く、量産性良く製造することができるシリンドリカルレンズの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）本発明は、一定の間隔をもって平行に配列された複数のシリンドリカル面形成部（例えば、後述のシリンドリカル面形成部２４）と、隣接するシリンドリカル面形成部の間に設けられた第１平面形成部（例えば、後述する曲面間平面形成部２５）と、を有する第１の金型（例えば、後述の下型２）と、前記シリンドリカル面形成部及び前記第１平面形成部に対向する第２平面形成部（例えば、後述の上型下面部３３）を有する第２の金型（例えば、後述の上型３）と、を備えるレンズ成形用金型（例えば、後述のレンズ成形用金型１）を用いて、硝材（例えば、後述の硝材１００）から複数のシリンドリカル面（例えば、後述のシリンドリカル面２２４）が平行に配列された成形品（例えば、後述の成形品２００）を形成してから、前記成形品を前記複数のシリンドリカル面の配列方向（例えば、後述の第１方向Ｄ１）及び前記配列方向に交差する交差方向（例えば、後述の第２方向Ｄ２）の２方向において切断することで、１つの前記成形品から複数のシリンドリカルレンズを作製する製造方法であって、前記第１の金型上に前記硝材を配置した状態で、前記第１の金型及び前記第２の金型を互いに接近させることで、前記硝材に前記レンズ成形用金型の形状を転写させるプレス工程（例えば、後述のプレス工程Ｓ１３）と、前記プレス工程の後に、前記プレス工程における前記第１の金型及び前記第２の金型の相対位置を保持したまま前記硝材を冷却する冷却工程（例えば、後述の冷却工程Ｓ１４）と、を備えることを特徴とするシリンドリカルレンズの製造方法に関する。
【０００９】
（２）  （１）に記載のシリンドリカルレンズの製造方法において、前記硝材は、平板状であり、目標とする前記シリンドリカルレンズの中心厚よりも５０μｍ以上１５０μｍ以下薄くてもよい。
【００１０】
（３）  （１）又は（２）に記載のシリンドリカルレンズの製造方法は、前記レンズ成形用金型を所定の温度まで加熱する加熱工程（例えば、後述の加熱工程Ｓ１１）と、前記加熱工程の後に、前記レンズ成形用金型を収容するチャンバ（例えば、後述のチャンバＣＨ）の中の真空引きを行い、真空引きの完了から所定時間真空状態を保持する真空引き工程（例えば、後述の真空引き工程Ｓ１２）と、を備え、前記真空引き工程の後に、真空状態下で前記プレス工程に移行してもよい。
【００１１】
（４）  （３）に記載のシリンドリカルレンズの製造方法において、前記真空引き工程は、前記チャンバの中の真空引きを行う第１真空引き工程（例えば、後述の第１真空引き工程Ｓ２２１）と、前記第１真空引き工程の後に、温度を保持したまま前記チャンバの中に不活性ガスを送り込む不活性ガスパージ工程（例えば、後述の不活性ガスパージ工程Ｓ２２２）と、前記不活性ガスパージ工程の後に、前記チャンバの中の真空引きを再び行い、真空引きの完了から所定時間真空状態を保持する第２真空引き工程（例えば、後述の第２真空引き工程Ｓ２２３）と、を備えてもよい。
【００１２】
（５）  （１）〜（４）のいずれかに記載のシリンドリカルレンズの製造方法において、前記冷却工程は、毎秒０．５℃以下の速度で、前記硝材のガラス転移点よりも１００℃以上低い温度まで冷却する徐冷工程（例えば、後述の徐冷工程Ｓ１４１）と、前記徐冷工程の後に、前記徐冷工程よりも高速で冷却する急冷工程（例えば、後述の急冷工程Ｓ１４２）と、を備えてもよい。
【００１３】
（６）  （１）〜（５）のいずれかに記載のシリンドリカルレンズの製造方法は、前記冷却工程の途中に、毎秒１ｍｍ以上の速度で前記第１の金型と前記第２の金型とを互いに０．１ｍｍ以上５．０ｍｍ以下引き離す引離し工程（例えば、後述の引離し工程Ｓ１５）を備えてもよい。
【００１４】
（７）  （６）に記載のシリンドリカルレンズの製造方法において、前記引離し工程は、前記硝材のガラス転移点よりも５℃以上５０℃以下低い温度で行ってもよい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、成形品の割れを発生させ難く、量産性良く製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１Ａ】本発明の第１実施形態に係るシリンドリカルレンズの製造方法に用いるレンズ成形用金型における下型を示す斜視図である。
【図１Ｂ】本発明の第１実施形態に係るシリンドリカルレンズの製造方法に用いるレンズ成形用金型における上型を示す斜視図である。
【図２】下型上に硝材を配置した状態で、上型を下型に対向して配置した状態を示す斜視図である。
【図３】レンズ成形用金型を用いて形成された成形品を示す斜視図である。
【図４】成形品を複数のシリンドリカルレンズに切断した状態を示す斜視図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係るシリンドリカルレンズの製造方法を説明するフローチャートである。
【図６】本発明の第１実施形態に係るシリンドリカルレンズの製造方法を説明する工程図である。
【図７】本発明の第１実施形態に係るシリンドリカルレンズの製造方法を説明するタイミングチャートである。
【図８】本発明の第２実施形態に係るシリンドリカルレンズの製造方法を説明するフローチャートである。
【図９】本発明の第２実施形態に係るシリンドリカルレンズの製造方法を説明するチャンバ内圧のタイミングチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明の実施形態に係るシリンドリカルレンズ３００（図４参照）の製造方法について説明する。なお、第２実施形態において、第１実施形態と共通する構成については同一の符号を付し、対応する構成については同一の規則性に従って符号を付し、適宜その説明を省略する。また、第２実施形態において、第１実施形態と共通する作用、効果については、適宜その説明を省略する。
【００１８】
［第１実施形態］
まず、図１Ａ、図１Ｂ及び図２を用いて、第１実施形態に係るシリンドリカルレンズ３００（図４参照）の製造方法に用いるレンズ成形用金型１について説明する。図１Ａは、レンズ成形用金型１における下型２を示す斜視図である。図１Ｂは、レンズ成形用金型１における上型３を示す斜視図である。図２は、下型２上に硝材１００を配置した状態で、上型３を下型２に対向して配置した状態を示す斜視図である。
【００１９】
図１Ａ、図１Ｂ及び図２に示すように、レンズ成形用金型１は、複数のシリンドリカルレンズ３００（図４参照）を製造する際に用いられる。具体的に、レンズ成形用金型１は、第１の金型としての下型２と、第２の金型としての上型３と、を備える。
【００２０】
図１Ａ及び図２に示すように、下型２は、金型面が円形状の円柱状に形成される。ただし、下型２の形状は、これに限定されず、例えば、金型面が四角形状の四角柱状に形成されてもよい。具体的に、下型２は、下型本体部２１と、下型フランジ部２２と、下型上面部２３と、を有する。
【００２１】
下型本体部２１は、円形の金型面を有する。下型フランジ部２２は、下型本体部２１の下端部において、下型本体部２１の径方向の外側に突出する円板状に形成される。
【００２２】
下型上面部２３は、成形品２００（図３参照）の成形時に、上型３における上型下面部３３（図１Ｂ及び図２参照）に対向して配置される。具体的に、下型上面部２３は、複数のシリンドリカル面形成部２４と、複数の曲面間平面形成部（第１平面形成部）２５と、一対の端部形成部２６と、を有する。
【００２３】
複数のシリンドリカル面形成部２４は、成形品２００（図３参照）の成形時に、成形品２００における複数のシリンドリカル面２２４（図３参照）を形成する。これら複数のシリンドリカル面形成部２４は、下型上面部２３において、第１方向Ｄ１に延びて形成され、一定の間隔をもって、第１方向Ｄ１と交差（本実施形態では、直交）する第２方向Ｄ２に並んで互いに平行に配列される。
【００２４】
また、複数のシリンドリカル面形成部２４は、下型２の上面において、球面又は自由曲面等の任意の曲面形状が形成されており、各々の断面形状は同一である。各シリンドリカル面形成部２４の頂部２４ａは、複数の曲面間平面形成部２５からの高さが同じで同一平面上に位置する。ただし、複数のシリンドリカル面形成部２４は、互いに同一の断面形状であることに限定されず、互いに異なる断面形状であってもよい。
【００２５】
複数の曲面間平面形成部２５は、成形品２００（図３参照）の成形時に、成形品２００における複数の曲面間平面２２５（図３参照）を形成する。これら複数の曲面間平面形成部２５は、下型上面部２３において、隣接するシリンドリカル面形成部２４の間に、第１方向Ｄ１に延びて平面状に形成される。
【００２６】
一対の端部形成部２６は、成形品２００（図３参照）の成形時に、成形品２００における端部平面２２６（図３参照）を形成する。これら一対の端部形成部２６は、下型上面部２３において、第２方向Ｄ２の両端部に、円弧部分を有する半月平面状に形成される。
【００２７】
図１Ｂ及び図２に示すように、上型３は、成形品２００（図３参照）の成形時に、硝材１００を挟んで下型２に対向して配置される。この上型３は、金型面が円形の円柱状に形成される。ただし、上型３の形状は、これに限定されず、例えば、金型面が四角形状の四角柱状に形成されてもよい。具体的に、上型３は、上型本体部３１と、上型フランジ部３２と、上型下面部（第２平面形成部）３３と、を有する。
【００２８】
上型本体部３１は、円形の金型面を有する。上型フランジ部３２は、上型本体部３１の上端部において、上型本体部３１の径方向の外側に突出する円板状に形成される。
【００２９】
上型下面部３３は、成形品２００（図３参照）の成形時に、下型２における下型上面部２３に対向して配置され、成形品２００における平面２３３を形成する。すなわち、上型下面部３３は、成形品２００（図３参照）の成形時に、下型２における複数のシリンドリカル面形成部２４、複数の曲面間平面形成部２５及び一対の端部形成部２６に対向して配置される。この上型下面部３３は、上型３における下面の全体に、円形状に形成される。
【００３０】
次に、図３を用いて、レンズ成形用金型１を用いて形成された成形品２００について説明する。図３は、レンズ成形用金型１を用いて形成された成形品２００を示す斜視図である。
【００３１】
図３に示すように、成形品２００は、レンズ成形用金型１（図１Ａ、図１Ｂ及び図２参照）を用いて硝材１００（図２参照）から形成される。硝材１００は、外形が円板状の平板状に形成される。すなわち、硝材１００は、上面及び下面が平面状に形成された円板状に形成される。ただし、硝材１００は、上面及び下面が平面状に形成された円板状であることに限定されず、外形が四角形に形成された板形状であってもよい。硝材１００は、目標とするシリンドリカルレンズ３００（図４参照）の中心厚よりも５０μｍ以上１５０μｍ以下薄いことが好ましく、７５μｍ以上１２５μｍ以下薄いことがより好ましく、９０μｍ以上１１０μｍ以下薄いことが更に好ましい。
【００３２】
成形品２００は、一面側に、複数のシリンドリカル面２２４と、複数の曲面間平面２２５と、一対の端部平面２２６と、を有すると共に、他面側の全体に円形状の平面２３３を有する。
【００３３】
複数のシリンドリカル面２２４は、成形品２００から複数のシリンドリカルレンズ３００（図４参照）を作製する際に、シリンドリカルレンズ３００になる部分である。具体的に、複数のシリンドリカル面２２４は、第１方向Ｄ１に延びて形成され、一定の間隔をもって第２方向Ｄ２に並んで互いに平行に配列される。これら複数のシリンドリカル面２２４は、球面又は自由曲面等の任意の曲面で膨らんだ曲面形状を有し、互いに同一の断面形状に形成される。各シリンドリカル面２２４の頂部２２４ａは、曲面間平面２２５からの高さが同じで同一平面上に位置する。ただし、複数のシリンドリカル面２２４は、互いに同一の断面形状であることに限定されず、互いに異なる断面形状であってもよい。
【００３４】
複数の曲面間平面２２５は、成形品２００から複数のシリンドリカルレンズ３００（図４参照）を作製する際に、ダイサーやスライサー等の切断工具（図示せず）により切断される部分である。具体的に、複数の曲面間平面２２５は、隣接するシリンドリカル面形成部２４の間に、第１方向Ｄ１に延びて平面状に形成され、切断工具（図示せず）の刃の刃厚以上の幅を有している。
【００３５】
一対の端部平面２２６は、成形品２００から複数のシリンドリカルレンズ３００（図４参照）を作製する際に、切断工具（図示せず）により切断されて廃棄される部分である。具体的に、一対の端部平面２２６は、成形品２００における両端部に、円弧部分を有する半月平面状に形成される。
【００３６】
次に、図４を用いて、成形品２００を複数のシリンドリカルレンズ３００に切断した状態について説明する。図４は、成形品２００を複数のシリンドリカルレンズ３００に切断した状態を示す斜視図である。
【００３７】
図４に示すように、複数のシリンドリカルレンズ３００は、成形品２００（図３参照）を第１方向Ｄ１及び第２方向Ｄ２の２方向に切断工具（図示せず）により切断することで作製される。シリンドリカルレンズ３００の中心厚は、２ｍｍ以下であることが好ましく、１ｍｍ以下であることがより好ましく、０．５ｍｍ以下であることが更に好ましい。
【００３８】
次に、図５、図６及び図７を用いて、シリンドリカルレンズ３００の製造方法について説明する。図５は、シリンドリカルレンズ３００の製造方法を説明するフローチャートである。図６は、シリンドリカルレンズ３００の製造方法を説明する工程図である。図７は、シリンドリカルレンズ３００の製造方法を説明するタイミングチャートである。
【００３９】
シリンドリカルレンズ３００（図４参照）の製造方法は、チャンバＣＨ（図６参照）内でレンズ成形用金型１を用いる。図５に示すように、シリンドリカルレンズ３００の製造方法は、加熱工程Ｓ１１と、真空引き工程Ｓ１２と、プレス工程Ｓ１３と、冷却工程Ｓ１４と、引離し工程Ｓ１５と、を備える。
【００４０】
加熱工程Ｓ１１は、下型２上に配置した硝材１００を上型３から離し（図６の（ａ）参照）、チャンバＣＨの中に不活性ガスを送り込んだ状態で（図６の（ｂ）〜（ｃ）参照）、チャンバＣＨを所定の温度Ｔ１まで加熱する工程である（図６の（ｄ）及び図７参照）。ｔ１［秒］は、温度Ｔ１［℃］までの加熱が完了した時間（時刻）である。
【００４１】
真空引き工程Ｓ１２は、加熱工程Ｓ１１の後に、チャンバＣＨの温度Ｔ１［℃］を保持したままチャンバＣＨの中の真空引きを行ってチャンバＣＨの内圧をＶ１［Ｐａ］から真空となるＶ２［Ｐａ］とし、真空引きの完了から所定時間真空状態を保持する工程である（図６の（ｅ）及び図７参照）。ｔ２は、内圧がＶ１から下がり始める時間（時刻）である。真空引きの完了から真空状態を保持する所定時間は、５秒以上であることが好ましく、１０秒以上であることがより好ましく、２０秒以上であることが更に好ましい。
【００４２】
プレス工程Ｓ１３は、真空引き工程Ｓ１２の後に、真空状態下で移行する。このプレス工程Ｓ１３は、真空状態を保持したまま下型２上に硝材１００を配置した状態で、下型上面部２３及び上型下面部３３の互いの距離がＨ１［ｍｍ］となるように、下型２と上型３とを互いに接近させることで、プレス力をＰ１［ｋＮ］にしながら硝材１００にレンズ成形用金型１の形状を転写させる工程である（図６の（ｆ）及び図７参照）。ｔ３は、プレス力が０から増え始める時間（時刻）である。ｔ４は、内圧がＶ２になる時間（時刻）であり、プレス位置がＨ１になる時間（時刻）であり、プレス力がＰ１になる時間（時刻）である。プレス工程Ｓ１３の後に真空状態は解除されて、チャンバＣＨの内圧は、真空であるＶ２［Ｐａ］からＶ１［Ｐａ］になる（図７参照）。
【００４３】
冷却工程Ｓ１４は、プレス工程Ｓ１３の後に、プレス工程Ｓ１３における下型２及び上型３の相対位置を保持したまま、レンズ成形用金型１を冷却することで、硝材１００を冷却する工程である（図６の（ｇ）及び図７参照）。具体的に、冷却工程Ｓ１４は、徐冷工程Ｓ１４１と、急冷工程Ｓ１４２と、を有する。
【００４４】
徐冷工程Ｓ１４１は、所定の速度で、温度Ｔ２［℃］（＝Ｔ１［℃］）から、硝材１００のガラス転移点よりも所定温度以上低い温度Ｔ４［℃］まで硝材１００を冷却する工程である（図６の（ｇ）及び図７参照）。徐冷工程Ｓ１４１で冷却する所定の速度は、毎秒０．５℃以下であることが好ましく、毎秒０．３℃以下であることがより好ましく、毎秒０．１℃以下であることが更に好ましい。徐冷工程Ｓ４で冷却する温度Ｔ４［℃］は、硝材１００のガラス転移点よりも１００℃以上低いことが好ましく、１５０℃以上低いことがより好ましく、２００℃以上低いことが更に好ましい。
【００４５】
急冷工程Ｓ１４２は、徐冷工程Ｓ１４１の後に、温度Ｔ４［℃］から、徐冷工程Ｓ１４１よりも高速で硝材１００を冷却する工程である（図６の（ｉ）及び図７参照）。
【００４６】
引離し工程Ｓ１５は、徐冷工程Ｓ１４１の途中に、所定の速度で下型２と上型３とを互いに所定の距離引き離し、下型上面部２３と上型下面部３３との互いの距離をＨ１［ｍｍ］からＨ２［ｍｍ］にする工程であり、硝材１００のガラス転移点よりも低い所定の温度Ｔ３［℃］で行う（図６の（ｈ）及び図７参照）。ｔ５は、温度がＴ３［℃］になり、プレス力がＰ２になる時間（時刻）である。引離し工程Ｓ１５において、プレス力は、Ｐ２（＜Ｐ１）［ｋＮ］から、下型２と上型３とが所定の距離引き離される過程の時刻ｔ６で０［ｋＮ］となる。なお、時刻ｔ５とｔ６との差は非常に小さいので、図７のグラフにおいては、ｔ５とｔ６との横軸上の位置が一致するように示している。
【００４７】
引離し工程Ｓ１５で下型２と上型３とを互いに引き離す所定の速度は、毎秒１ｍｍ以上であることが好ましく、毎秒３秒以上であることがより好ましく、毎秒５秒以上であることが更に好ましい。引離し工程Ｓ１５で下型２と上型３とを互いに引き離す所定の距離は、０．１ｍｍ以上５．０ｍｍ以下であることが好ましく、０．３ｍｍ以上３ｍｍ以下であることがより好ましく、０．５ｍｍ以上１ｍｍ以下であることが更に好ましい。引離し工程Ｓ１５を行う温度Ｔ３［℃］は、硝材１００のガラス転移点よりも５℃以上５０℃以下低いことが好ましく、１０℃以上４０℃以下低いことがより好ましく、２０℃以上３０℃以下低いことが更に好ましい。
【００４８】
本実施形態に係るシリンドリカルレンズ３００の製造方法によれば、例えば以下の効果が奏される。
本実施形態に係るシリンドリカルレンズ３００の製造方法は、一定の間隔をもって平行に配列された複数のシリンドリカル面形成部２４と、隣接するシリンドリカル面形成部２４の間に設けられた曲面間平面形成部２５と、を有する下型２と、シリンドリカル面形成部２４及び曲面間平面形成部２５に対向する上型下面部３３を有する上型３と、を備えるレンズ成形用金型１を用いて、硝材１００から複数のシリンドリカル面２２４が平行に配列された成形品２００を形成してから、成形品２００を複数のシリンドリカル面２２４の配列方向（第１方向Ｄ１）及び配列方向に交差する交差方向（第２方向Ｄ２）の２方向において切断することで、１つの成形品２００から複数のシリンドリカルレンズ３００を作製する製造方法であって、下型２上に硝材１００を配置した状態で、下型２と上型３とを互いに接近させることで、硝材１００にレンズ成形用金型１の形状を転写させるプレス工程Ｓ１３と、プレス工程Ｓ１３の後に、プレス工程Ｓ１３における下型２及び上型３の相対位置を保持したまま硝材１００を冷却する冷却工程Ｓ１４と、を備える。
【００４９】
従って、下型２及び上型３の相対位置（プレス位置）を保持したまま冷却工程Ｓ１４に移行するので、レンズ成形用金型１の形状を高精度に硝材１００に転写させることができ、また、冷却工程Ｓ１４において加圧（保圧）をしないので、硝材１００に生じる応力を抑制し、硝材１００が割れることを抑制できる。すなわち、成形品２００の割れを発生させ難く、量産性良くシリンドリカルレンズ３００を製造することができる。
【００５０】
また、本実施形態に係るシリンドリカルレンズ３００の製造方法において、硝材１００は、平板状であり、目標とするシリンドリカルレンズ３００の中心厚よりも５０μｍ以上１５０μｍ以下薄い。従って、硝材１００の形状が平板状であるので、レンズ成形用金型１上に硝材１００を配置することが容易になる。また、硝材１００を、目標とするシリンドリカルレンズ３００の中心厚よりも５０μｍ以上１５０μｍ以下薄くした場合には、プレス時における硝材１００の移動量を極力少なくすることができ、ひいては、硝材１００に生じる応力を抑制し、硝材１００の応力割れを防止できる。
【００５１】
また、本実施形態に係るシリンドリカルレンズ３００の製造方法は、レンズ成形用金型１を所定の温度まで加熱する加熱工程Ｓ１１と、加熱工程Ｓ１１の後に、レンズ成形用金型１を収容するチャンバＣＨの中の真空引きを行い、真空引きの完了から所定時間真空状態を保持する真空引き工程Ｓ１２と、を備え、真空引き工程Ｓ１２の後に、真空状態下でプレス工程Ｓ１３に移行する。従って、真空状態下で硝材１００のプレスを行うので、シリンドリカルレンズ３００の中心厚付近に生じ得る転写性不良（凹み）を抑制することができる。
【００５２】
また、本実施形態に係るシリンドリカルレンズ３００の製造方法においては、冷却工程Ｓ１４は、毎秒０．５℃以下の速度で、硝材１００のガラス転移点よりも１００℃以上低い温度まで冷却する徐冷工程Ｓ１４１と、徐冷工程Ｓ１４１の後に、徐冷工程Ｓ１４１よりも高速で冷却する急冷工程Ｓ１４２と、を備える。従って、毎秒０．５℃以下の速度で徐冷を行うので、冷却時の加圧無しでも、硝材１００とレンズ成形用金型１の熱膨張の度合（熱膨張係数）の差により生じる面精度の狂いを防止でき、ひいては、高精度の表面形状を有する割れが抑制された成形品２００を得ることができる。
【００５３】
また、本実施形態に係るシリンドリカルレンズ３００の製造方法は、冷却工程Ｓ１４の途中に、毎秒１ｍｍ以上の速度で下型２と上型３とを互いに０．１ｍｍ以上５．０ｍｍ以下引き離す引離し工程Ｓ１５を備える。従って、成形品２００を下型２又は上型３から、割れを抑制して引き離すことができる。
【００５４】
また、本実施形態に係るシリンドリカルレンズ３００の製造方法においては、引離し工程Ｓ１５は、硝材１００のガラス転移点よりも５℃以上５０℃以下低い温度で行う。従って、成形品２００を下型２又は上型３から、高精度の表面形状を維持したまま、割れを抑制して引き離すことができる。
【００５５】
［第２実施形態］
次に、図８及び図９を用いて、第２実施形態に係るシリンドリカルレンズ３００（図４参照）の製造方法について説明する。図８は、シリンドリカルレンズ３００の製造方法を説明するフローチャートである。図９は、シリンドリカルレンズ３００の製造方法を説明するチャンバ内圧のタイミングチャートである。本実施形態に係るシリンドリカルレンズ３００の製造方法は、真空引き工程Ｓ１２に代えて、真空引き工程Ｓ２２を備える点が第１実施形態と相違する。
【００５６】
図８に示すように、シリンドリカルレンズ３００（図４参照）の製造方法は、真空引き工程Ｓ２２として、第１真空引き工程Ｓ２２１と、不活性ガスパージ工程Ｓ２２２と、第２真空引き工程Ｓ２２３と、を備える。
【００５７】
第１真空引き工程Ｓ２２１は、加熱工程Ｓ１１の後に、温度Ｔ１［℃］を保持したままチャンバＣＨ（図６参照）の中の真空引きを行ってチャンバＣＨの内圧をＶ１［Ｐａ］からＶ２［Ｐａ］とする工程である（図９参照）。不活性ガスパージ工程Ｓ２２２は、第１真空引き工程Ｓ２２１の後に温度Ｔ１を保持したままチャンバＣＨの中に不活性ガスを送り込んでチャンバＣＨの内圧をＶ２［Ｐａ］からＶ１［Ｐａ］とする工程である（図９参照）。第２真空引き工程Ｓ２２３は、不活性ガスパージ工程Ｓ２２２の後に、温度Ｔ１［℃］を保持したままチャンバＣＨの中の真空引きを再び行ってチャンバＣＨの内圧をＶ１［Ｐａ］からＶ２［Ｐａ］とし、真空引きの完了から所定時間真空状態を保持する工程である（図９参照）。真空引きの完了から真空状態を保持する所定時間は、５秒以上であることが好ましく、１０秒以上であることがより好ましく、２０秒以上であることが更に好ましい。
【００５８】
本実施形態に係るシリンドリカルレンズ３００の製造方法によれば、例えば以下の効果が奏される。
本実施形態に係るシリンドリカルレンズ３００の製造方法においては、真空引き工程Ｓ２２は、チャンバＣＨの中の真空引きを行う第１真空引き工程Ｓ２２１と、第１真空引き工程Ｓ２２１の後に、温度Ｔ１を保持したままチャンバＣＨの中に不活性ガスを送り込む不活性ガスパージ工程Ｓ２２２と、不活性ガスパージ工程Ｓ２２２の後に、チャンバＣＨの中の真空引きを再び行い、真空引きの完了から所定時間真空状態を保持する第２真空引き工程Ｓ２２３と、を備える。従って、真空引きを繰り返すので、真空度が向上し、ひいては、真空状態を確実に形成することができる。
【００５９】
本発明は、上記各実施形態に限定されるものではなく、種々の変更及び変形が可能である。
【符号の説明】
【００６０】
１  レンズ成形用金型
２  下型（第１の金型）
２１  下型本体部
２２  下型フランジ部
２３  下型上面部
２４  シリンドリカル面形成部
２４ａ  頂部
２５  曲面間平面形成部（第１平面形成部）
２６  端部形成部
３  上型（第２の金型）
３１  上型本体部
３２  上型フランジ部
３３  上型下面部（第２平面形成部）
１００  硝材
２００  成形品
２２４  シリンドリカル面
２２４ａ  頂部
２２５  曲面間平面
２２６  端部平面
２３３  平面
３００  シリンドリカルレンズ
Ｄ１  第１方向
Ｄ２  第２方向
ＣＨ  チャンバ
Ｓ１１  加熱工程
Ｓ１２  真空引き工程
Ｓ１３  プレス工程
Ｓ１４  冷却工程
Ｓ１４１  徐冷工程
Ｓ１４２  急冷工程
Ｓ１５  引離し工程
Ｓ２２  真空引き工程
Ｓ２２１  第１真空引き工程
Ｓ２２２  不活性ガスパージ工程
Ｓ２２３  第２真空引き工程
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【手続補正書】
【提出日】平成30年2月1日(2018.2.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
加熱工程Ｓ１１は、下型２上に配置した硝材１００を上型３から離し（図６の（ａ）参照）、チャンバＣＨの中に不活性ガスとして窒素（Ｎ２）を送り込んで充填した状態で（図６の（ｂ）〜（ｃ）参照）、チャンバＣＨを所定の温度Ｔ１まで加熱する工程である（図６の（ｄ）及び図７参照）。ｔ１［秒］は、温度Ｔ１［℃］までの加熱が完了した時間（時刻）である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
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