(57)【要約】【課題】被検出物の電気特性のみならず、機械的な変形の有無も検出可能なプローブを提供する。【解決手段】本発明に係るプローブは、少なくとも軸線方向一方側が開口とされた中空形状の導電性バレルと、被検査物に接触する接触子を形成する先端側端面が前記開口から外方へ延在された状態で前記バレルに軸線方向摺動可能に収容された導電性プランジャと、前記プランジャを先端側へ付勢するように前記バレル内に配設されたスプリングとを備え、さらに、前記プランジャの先端側端面へのアクセスを許容しつつ前記プランジャの先端側の外周を覆う絶縁性カバーを備えている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも軸線方向一方側が開口とされた中空形状の導電性バレルと、被検査物に接触する接触子を形成する先端側端面が前記開口から外方へ延在された状態で前記バレルに軸線方向摺動可能に収容された導電性プランジャと、前記プランジャを先端側へ付勢するように前記バレル内に配設されたスプリングとを備えたプローブであって、
前記プランジャの先端側端面へのアクセスを許容しつつ前記プランジャの先端側の外周を覆う絶縁性カバーを備えていることを特徴とするプローブ。
【請求項２】
前記絶縁性カバーは樹脂製とされ、前記プランジャに外挿されていることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。
【請求項３】
前記絶縁性カバーは、軸線方向一方側の端部が前記プランジャの先端側端面と軸線方向同一位置又は前記先端側端面より軸線方向一方側に位置するように前記プランジャに装着されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のプローブ。
【請求項４】
前記プランジャには、前記先端側端面から軸線方向他方側へ所定距離だけ離間された位置に径方向外方へ延びるフランジ部が設けられており、
前記絶縁性カバーは、軸線方向他方側の端部が前記フランジ部に当接することで軸線方向他方側への移動が防止されていることを特徴とする請求項１から３の何れかに記載のプローブ。
【請求項５】
前記絶縁性カバーは、前記プランジャの先端側の外径に対応した内径の基端側軸線孔と、前記基端側軸線孔の先端側から段部を伴って縮径されて前記プランジャの先端側の外径より小径とされた先端側軸線孔とを有し、前記段部が前記プランジャの先端側端面に当接することで軸線方向他方側への移動が防止されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のプローブ。
【請求項６】
前記絶縁性カバーは、基端側から先端側へ行くに従って外径が縮径されたテーパ状領域を有していることを特徴とする請求項１から５の何れかに記載のプローブ。
【請求項７】
前記プランジャと前記スプリングとの間にはボールが介挿されていることを特徴とする請求項１から６の何れかに記載のプローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント基板や電子部品における端子等の被検査物の電気特性を検査する為に用いられるプローブに関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント基板や電子部品等の被検査物の電気特性を検査する為のプローブは、従来から広く利用されている。
【０００３】
即ち、前記プローブは、一端側が開口とされた筒状の導電性バレルと、先端側が前記開口から外方へ延在された状態で前記バレルに軸線方向摺動可能に収納された導電性プランジャと、前記プランジャを軸線方向一端側へ付勢するように前記バレルに収容されたスプリングとを備えている（下記特許文献１参照）。
【０００４】
前記プローブは、コネクタや回路の端子等の被検査物に対して軸線方向相対移動可能な検査装置に装着されて利用される。
【０００５】
詳しくは、前記検査装置及び被検出物を互いに対して近接する方向へ相対移動させることにより前記プランジャの先端部が被検査物に当接する。前記検査装置及び被検出物をさらに互いに対して押し付ける方向へ相対移動させることにより前記プランジャが前記スプリングを圧縮させつつ前記バレルに収納される方向へ押動され、これにより、前記プランジャが前記スプリングの保有弾性で被検出物に押し付けられて、安定した接触状態が現出される。
【０００６】
前記プランジャが被検査物に当接している状態においては、被検出物は、前記プランジャ、前記バレル及び前記バレルに設けられる外部接続部材を介して、外部測定機器に導通状態とされ、前記外部測定機器によって被検出物の電気特性が検査可能となる。
【０００７】
このように、前記プローブは被検出物との安定した接触状態を現出でき、被検出物の電気特性を安定して検出できる点においては有用であるが、被検出物に曲り等の機械的変形があったとしても、この機械的変形を検出することができないという問題があった。
【０００８】
図３(a)〜(c)に、被検出物となる端子に意に反した機械的な変形が生じている場合において、前記端子（以下、変形端子９５という）の電気特性を従来のプローブ１００を用いて検出する際の模式図を示す。
【０００９】
図３に示すように、従来のプローブ１００は、一端側が開口１１０ａとされた筒状の導電性バレル１１０と、接触子を形成する先端側端面１２０ａが前記開口１１０ａから外方へ延在された状態で前記バレル１１０に軸線方向摺動可能に収納された導電性プランジャ１２０と、前記プランジャ１２０を軸線方向一端側へ付勢するように前記バレル１１０に収容されたスプリング１３０とを備えている。
【００１０】
図３(a)は、前記プローブ１００が変形端子９５から離間されている非接触状態を示している。
図３(a)に示す状態から前記プローブ１００及び変形端子９５を互いに対して近接する方向へ相対移動させると、図３(b)に示すように、前記プランジャ１２０の先端側端面１２０ａが変形端子９５に当接する。
【００１１】
図３(b)に示す状態から前記プローブ１００及び変形端子９５をさらに互いに対して押し付ける方向へ相対移動させると、前記プランジャ１２０が前記スプリング１３０を圧縮させつつ前記バレル１１０内に格納される方向へ押動され、前記プランジャ１２０は前記スプリング１３０の保有弾性によって変形端子９５に押し付けられる（図３(c)）。
【００１２】
この図３(c)に示す状態においては、変形端子９５は、前記プランジャ１２０及び前記バレル１１０を介して外部測定機器に対して導通状態となる。
【００１３】
即ち、従来のプローブ１００においては、被検出物が機械的に変形していたとしても、前記プローブ１００を検査位置に位置させると被検出物が前記プランジャ１２０に当接して外部測定機器に対して導通状態となってしまう。従って、被検出物に機械的な変形が生じていたとしても、当該被検出物の電気特性が外部測定機器によって通常通りに検出され、被検出物の機械的変形を検出することができなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開２００５−３０８６８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は、斯かる従来技術に鑑みなされたものであり、被検出物の電気特性のみならず、機械的な変形の有無を検出可能なプローブの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、前記目的を達成するために、少なくとも軸線方向一方側が開口とされた中空形状の導電性バレルと、被検査物に接触する接触子を形成する先端側端面が前記開口から外方へ延在された状態で前記バレルに軸線方向摺動可能に収容された導電性プランジャと、前記プランジャを先端側へ付勢するように前記バレル内に配設されたスプリングとを備えたプローブであって、前記プランジャの先端側端面へのアクセスを許容しつつ前記プランジャの先端側の外周を覆う絶縁性カバーを備えているプローブを提供する。
【００１７】
例えば、前記絶縁性カバーは樹脂製とされ、前記プランジャに外挿される。
【００１８】
好ましくは、前記絶縁性カバーは、軸線方向一方側の端部が前記プランジャの先端側端面と軸線方向同一位置又は前記先端側端面より軸線方向一方側に位置するように前記プランジャに装着されてる。
【００１９】
一形態においては、前記プランジャには、前記先端側端面から軸線方向他方側へ所定距離だけ離間された位置に径方向外方へ延びるフランジ部が設けられ、前記絶縁性カバーは、軸線方向他方側の端部が前記フランジ部に当接することで軸線方向他方側への移動が防止される。
【００２０】
これに代えて、前記絶縁性カバーは、前記プランジャの先端側の外径に対応した内径の基端側軸線孔と、前記基端側軸線孔の先端側から段部を伴って縮径されて前記プランジャの先端側の外径より小径とされた先端側軸線孔とを有するものとされる。
この場合、前記段部が前記プランジャの先端側端面に当接することで前記絶縁性カバーの軸線方向他方側への移動が防止される。
【００２１】
前記絶縁性カバーは、基端側から先端側へ行くに従って外径が縮径されたテーパ状領域を有し得る。
【００２２】
本発明に係るプローブは、さらに、前記プランジャと前記スプリングとの間に介挿されたボールを備え得る。
【発明の効果】
【００２３】
本発明に係るプローブによれば、被検査物に接触する接触子を形成するプランジャの先端側端面へのアクセスを許容しつつ前記プランジャの外周を覆う絶縁性カバーが備えられているので、被検査物に機械的変形が生じてない場合には前記プローブを検査位置に位置させることにより前記プランジャの先端側端面が前記絶縁性カバーの軸線孔を介して当該被検査物に当接し、これにより、当該被検査物の電気特性を検出できる一方で、被検査物に機械的変形が生じている場合には前記プローブを検査位置に位置させても当該被検査物は前記プランジャの先端側端面に当接することなく前記絶縁性カバーに当接することになる。従って、作業者は、被検査物に機械的変形が生じていることを認識することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】図１は、本発明の一実施の形態に係るプローブの縦断面図である。
【図２】図２(a)〜(c)は、被検出物となる端子と前記プローブとの接触状態を表す模式図であり、図２(a)〜(c)は、それぞれ、前記プローブが離間位置、接触開始位置及び検査位置に位置された状態を表している。
【図３】図３(a)〜(c)は、被検出物となる変形端子と従来構成のプローブとの接触状態を表す模式図であり、図３(a）〜(c)は、それぞれ、前記プローブが離間位置、接触開始位置及び検査位置に位置された状態を表している。
【図４】図４(a)〜(c)は、被検出物となる変形端子と本発明の前記実施の形態に係るプローブとの接触状態を表す模式図であり、図４(a)〜(c)は、それぞれ、前記プローブが離間位置、接触開始位置及び検査位置に位置された状態を表している。
【図５】図５は、前記実施の形態の第１変形例に係るプローブの部分縦断面図である。
【図６】図６は、前記実施の形態の第２変形例に係るプローブの部分縦断面図である。
【図７】図７(a)は、前記実施の形態の第３変形例に係るプローブの先端側の端面図であり、図７(b)は、図７(a)におけるVII-VII線に沿った断面図である。
【図８】図８は、前記実施の形態の第４変形例に係るプローブの部分縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明に係るプローブの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１に、本実施の形態に係るプローブ１の縦断面図を示す。
【００２６】
前記プローブ１は、プリント基板や電子部品における端子等の被検査物の電気特性を検査する為に用いられるものであり、被検査物に対して相対移動可能とされた検査装置に装着されて利用される。
【００２７】
具体的には、図１に示すように、前記プローブ１は、導電性のバレル１０と、前記バレル１０に軸線方向摺動可能に収納された導電性のプランジャ２０と、スプリング３０とを備えている。
【００２８】
前記バレル１０は、少なくとも軸線方向一方側が開口１０ａとされた中空形状を有している。
本実施の形態においては、前記バレル１０の軸線方向他方側は閉塞されている。
【００２９】
前記プランジャ２０は、先端側端面２０ａが被検査物に接触する接触子を形成しており、先端側端面２０ａが前記開口１０ａから外方へ延在された状態で前記バレル１０に軸線方向摺動可能に収容されている。
【００３０】
図１に示すように、本実施の形態においては、前記プランジャ２０は、前記先端側端面２０ａを含む先端側大径部２１と、前記先端側大径部２１から基端側へ延び、前記先端側大径部２１より縮径された中央小径部２３と、前記中央小径部２３から基端側へ延び、前記中央小径部２３より拡径された基端側大径部２５とを有している。
【００３１】
一方、前記バレル１０は、軸線方向一端側が前記開口１０ａとされ、前記先端側大径部２１が摺接可能な内径を有する先端側収納部１１と、前記開口１０ａから基端側へ所定距離だけ離間された位置に設けられた縮径部１３であって、前記先端側大径部２１及び前記基端側大径部２５より小径で且つ前記中央小径部２３より大径の内径を有する縮径部１３と、前記縮径部１３から基端側へ延び、前記基端側大径部２５が摺接可能な内径を有し且つ前記スプリング３０が収納される基端側収納部１５とを有している。
【００３２】
斯かる構成により、前記プランジャ２０は、前記基端側大径部２５が前記縮径部１３に当接する伸張位置（図１の状態）と前記先端側大径部２１が前記縮径部１３に当接する格納位置との間で軸線方向往復動可能に、前記バレル１０に収納される。
【００３３】
なお、本実施の形態においては、接触子を形成する前記プランジャ２０の先端側端面２０ａには、先端側に開く凹部が形成されている。
前記凹部は、被検出物との接触性を向上させる為のものであり、前記先端側端面２０ａには仕様に応じて種々の形状が設けられ得る。
【００３４】
前記スプリング３０は、前記プランジャ２０を先端側へ付勢するように前記バレル１０内に配設されている。
【００３５】
本実施の形態においては、前記スプリング３０は、基端側が前記バレル１０の軸線方向他方側の閉塞端面に直接又は間接的に係合し且つ先端側が前記プランジャ２０の基端側端面２０ｂに直接又は間接的に係合するように、前記基端側収納部１５に収納されている。
【００３６】
なお、図１に示すように、本実施の形態に係るプローブ１においては、前記スプリング３０の先端側は、ボール３５を介して前記プランジャ２０の基端側端面２０ｂに係合している。
即ち、前記プローブ１は、さらに、前記プランジャ２０の基端側端面２０ｂ及び前記スプリング３０の先端側の間に配設された前記ボール３５を有している。
【００３７】
前記ボール３５を備えることにより、前記プランジャ２０の接触子（先端側端面２０ａ）と被検出物とが接触して、被検出物から前記プランジャ２０及び前記バレル１０を介して外部に通電する際に、前記スプリング３０に過度の電流が流れ込み、前記スプリング３０が焼き切れる等の不都合が生じることを有効に防止乃至は低減することができる。
【００３８】
本実施の形態においては、図１に示すように、前記プランジャ２０の基端側端面２０ｂは、基端側に凸状の球面形状とされており、斯かる構成によっても、前記スプリング３０への過度の電流の流れ込みを有効に防止乃至は低減している。
【００３９】
図１に示すように、本実施の形態に係るプローブ１は、さらに、軸線孔を有する中空形状とされ、前記プランジャ２０の先端側端面２０ａへのアクセスを許容しつつ前記プランジャ２０の先端側の外周を覆う絶縁性カバー５０を備えている。
【００４０】
前記絶縁性カバー５０は、例えば、ポリオキシメチレン（ＰＯＭ）等の樹脂によって形成される。
前記絶縁性カバー５０は、圧入、カシメ、接着等の種々の方法によって前記プランジャ２０の先端側に装着される。
【００４１】
本実施の形態においては、図１に示すように、前記プランジャ２０には、先端側端面２０ａから基端側（軸線方向他方側）へ所定距離だけ離間された位置に径方向外方へ延びるフランジ部２７が設けられており、前記絶縁性カバー５０は基端側（軸線方向他方側）の端部５０ｂが前記フランジ部２７に当接するように、前記プランジャ２０の先端側に圧入により外挿されており、これにより、前記絶縁性カバー５０の軸線方向他方側への位置ズレを防止している。
【００４２】
図１に示すように、本実施の形態においては、前記絶縁性カバー５０は、先端側（軸線方向一方側）の端部５０ａが前記プランジャ２０の先端側端面２０ａより軸線方向一方側に位置するように前記プランジャ２０に装着されている。
【００４３】
前記絶縁性カバー５０を備えた本実施の形態に係るプローブ１によれば、被検出物の電気特性の検出のみならず、被検出物の意に反した機械的な変形も検出することができる。
【００４４】
以下、本実施の形態に係るプローブ１の斯かる効果について詳細に説明する。
【００４５】
図２に、被検出物となる端子９０が正常な状態（即ち、前記端子に意に反した機械的な変形が生じていない状態）での、前記プローブ１と前記端子９０との接触状態を表す模式図を示す。
【００４６】
前記プローブ１は、端子９０に対して軸線方向相対移動可能とされた検査装置（図示せず）に装着されて利用される。
【００４７】
前記検査装置が初期位置に位置されている状態においては、前記プローブ１は、前記プランジャ２０の先端側端面２０ａと端子９０との間に隙間が存在する離間位置に位置され（図２(a)参照）、端子９０は前記プローブ１に対して電気的に遮断されている。
【００４８】
前記プローブ１が離間位置に位置されている状態から前記検査装置及び端子９０が互いに対して近接する方向へ相対移動されると、前記プローブ１は、前記プランジャ２０の先端側端面２０ａが前記絶縁性カバー５０の軸線孔を介して端子９０と接触を開始する接触開始位置に位置され（図２(b)参照）、端子９０は前記プローブ１に対して電気的に連通状態となる。
【００４９】
前記プローブ１が接触開始位置に位置されている状態から前記検査装置及び端子９０が互いに対して押し付けられる方向へ相対移動されて、前記プローブ１が検査位置に位置されると（図２(c)参照）、前記プランジャ２０は端子９０からの反力によって前記スプリング３０を圧縮させつつ軸線方向他方側（前記バレル１０内に格納される方向）へ押動される。
【００５０】
この状態においては、前記プランジャ２０の先端側端面２０ａが前記スプリング３０の保有弾性によって端子９０に押し付けられることになり、前記プランジャ２０の先端側端面２０ａと端子９０との間の安定した当接状態が現出される。
【００５１】
従って、前記プランジャ２０及び前記バレル１０によって形成される導通経路を介して、端子９０が外部測定機器（図示せず）に安定した状態で電気的に接続され、端子９０の電気特性が検出される。
【００５２】
次に、被検出物が意に反した機械的な変形が生じている端子（以下、変形端子９５という）である場合について説明する。
【００５３】
まずは、前記絶縁性カバー５０を有さない従来構成のプローブ１００による、変形端子９５の電気特性の検出について説明する。
図３に、変形端子９５と従来のプローブ１００との接触状態の模式図を示す。
【００５４】
図３に示すように、従来のプローブ１００は、一端側が開口１１０ａとされた筒状の導電性バレル１１０と、接触子を形成する先端側端面１２０ａが前記開口１１０ａから外方へ延在された状態で前記バレル１１０に軸線方向摺動可能に収納された導電性プランジャ１２０と、前記プランジャ１２０を軸線方向一端側へ付勢するように前記バレル１１０に収容されたスプリング１３０とを備えている。
【００５５】
前記プローブ１００が装着された検査装置（図示せず）が初期位置に位置されている状態においては、前記プローブ１００は、前記プランジャ１２０の先端側端面１２０ａと変形端子９５との間に隙間が存在する離間位置に位置され（図３(a)参照）、変形端子９５は前記プローブ１００に対して電気的に遮断されている。
【００５６】
前記プローブ１００が接触開始位置に位置されると、前記プランジャ１２０の先端側端面１２０ａが変形端子９５に接触し（図３(b)参照）、変形端子９５は、機械的な変形が生じているにも拘わらず、前記プローブ１００に対して電気的に連通状態となる。
【００５７】
前記プローブ１００が検査位置に位置されると（図３(c)参照）、前記プランジャ１２０は変形端子９５からの反力によって前記スプリング１３０を圧縮させつつ軸線方向他方側へ押動される。
【００５８】
この状態においては、前記プランジャ１２０の先端側端面１２０ａが前記スプリング１３０の保有弾性によって変形端子９５に押し付けられることになり、前記プランジャ１２０の先端側端面１２０ａと変形端子９５との間には安定した当接状態が現出される。
【００５９】
従って、従来のプローブ１００においては、変形端子９５に意に反した機械的変形が生じているにも拘わらず、変形端子９５が、前記プランジャ１２０及び前記バレル１１０によって形成される導通経路を介して、外部測定機器に電気的に接続されることになり、変形端子９５の電気特性が異常なく検出されることになる。
【００６０】
一方、本実施の形態に係るプローブ１によれば、変形端子９５の異常を有効に検出することができる。
図４に、変形端子９５と本実施の形態に係るプローブ１との接触状態を表す模式図を示す。
【００６１】
前記プローブ１が装着された検査装置（図示せず）が初期位置に位置されている状態においては、前記プローブ１は、前記プランジャ２０の先端側端面２０ａと変形端子９５との間に隙間が存在する離間位置に位置され（図４(a)参照）、変形端子９５は前記プローブ１に対して電気的に遮断されている。
【００６２】
前記プローブ１が離間位置に位置された状態から前記検査装置及び変形端子９５が近接する方向へ相対移動されると、変形端子９５が、前記プランジャ２０の先端側端面２０ａではなく、前記絶縁性カバー５０に接触する（図４(b)参照）。この際、変形端子９５は前記プランジャ２０に対して電気的に遮断状態のままである。
【００６３】
前記プローブ１が検査位置に位置するように前記検査装置及び変形端子９５が相対移動されると、変形端子９５からの反力が前記絶縁性カバー５０を介して前記プランジャ２０に伝達され、前記プランジャ２０が前記スプリング３０を圧縮させつつ軸線方向他方側（前記バレル１０内に格納される方向）へ押動されるが、変形端子９５は、前記プランジャ２０とは接触せずに前記絶縁線カバー５０と接触しており、従って、変形端子９５は前記プローブ１に対して電気的に遮断状態のままである。
【００６４】
その為、前記プローブ１（前記検査装置）が検査位置に位置されても、前記プローブ１が電気的に接続される外部測定機器には変形端子９５からの電気信号は入力されず、作業者は変形端子９５に何らかのエラーが発生していることを認識できる。
【００６５】
図５に、本実施の形態の第１変形例に係るプローブ２の部分断面図を示す。
なお、図中、本実施の形態におけると同一部材には同一符号を付している。
【００６６】
前記第１変形例に係るプローブ２は、前記絶縁性カバー５０が絶縁性カバー５２に変更されている点においてのみ、本実施の形態に係るプローブ１と相違している。
【００６７】
前記絶縁性カバー５２は、先端側（軸線方向一方側）の端部５２ａが前記プランジャ２０の先端側端面２０ａと軸線方向同一位置に位置するように前記プランジャ２０に装着されている。
【００６８】
図６に、本実施の形態の第２変形例に係るプローブ３の部分断面図を示す。
なお、図中、本実施の形態におけると同一部材には同一符号を付している。
【００６９】
前記第２変形例に係るプローブ３は、前記絶縁性カバー５０が絶縁性カバー５４に変更されている点においてのみ、本実施の形態に係るプローブ１と相違している。
【００７０】
前記絶縁性カバー５４は、先端側（軸線方向一方側）へ行くに従って外径が縮径されたテーパ状領域５４ｂを有している。
図６に示す形態においては、軸線方向全域が前記テーパ状領域５４ｂとされている。
【００７１】
なお、図６に示す形態においては、前記絶縁性カバー５４は、先端側（軸線方向一方側）の端部５４ａが前記プランジャ２０の先端側端面２０ａより軸線方向一方側に位置するように構成されているが、前記端部５４ａが前記先端側端面２０ａと軸線方向同一位置に位置するように構成すること可能である。
【００７２】
図７(a)に、本実施の形態の第３変形例に係るプローブ４の先端側の端面図を、図７(b)に、図７(a)におけるVII-VII線に沿った部分断面図を、それぞれ示す。
なお、図中、本実施の形態におけると同一部材には同一符号を付している。
【００７３】
前記第３変形例に係るプローブ４は、前記絶縁性カバー５０が絶縁性カバー５６に変更されている点においてのみ、本実施の形態に係るプローブ１と相違している。
【００７４】
前記絶縁性カバー５６は、前記プランジャ２０の先端側の外周面に外挿される基端側部位５７と、前記基端側部位５７から軸線方向一方側へ延びる先端側部位５８とを有している。
前記先端側部位５８には、先端側に開く複数のスリット５９が、周方向に等間隔で配列されている。
【００７５】
図８に、本実施の形態の第４変形例に係るプローブ５の部分断面図を示す。
なお、図中、本実施の形態におけると同一部材には同一符号を付している。
【００７６】
前記第４変形例に係るプローブ５は、前記絶縁性カバー５０が絶縁性カバー６０に変更され且つ前記プランジャ２０がプランジャ２０’に変更されている点において、本実施の形態に係るプローブ１と相違している。
【００７７】
前記プランジャ２０’は、実質的に、前記フランジ部２７が省略されている点においてのみ、前記プランジャ２０と相違している。
【００７８】
前記絶縁性カバー６０は、図８に示すように、前記プランジャ２０’の先端側の外径に対応した内径の基端側軸線孔６１と、前記基端側軸線孔６１の先端側から段部６２を伴って縮径されて前記プランジャ２０’の先端側の外径より小径とされた先端側軸線孔６３とを有している。
【００７９】
前記第４変形例においては、前記段部６２が前記プランジャ２０’の先端側端面２０ａに当接することで、前記絶縁性カバー６０の軸線方向他方側への移動が防止されている。
【００８０】
前記第１〜第４変形例に係るプローブ２〜５においても、本実施の形態におけると同一効果を奏することができる。
【００８１】
なお、本実施の形態及び前記第１〜第４変形例を例示して本発明に係るプローブを説明したが、本発明において、絶縁性カバーの外形形状及び軸線孔形状は限定されるものでは無く、仕様又は要望に応じて種々の形状を有し得る。
【００８２】
即ち、絶縁性カバーの外形形状は、例えば、円柱形状や直方体形状等、種々の形状とされ得る。
さらに、絶縁性カバーがプランジャの先端側端面へのアクセスを許容しつつ当該プランジャの先端側の外周を覆う限り、絶縁性カバーの軸線孔の断面形状も、円形、三角形又は四角形等の矩形、若しくは、星形等、種々の形状とされ得る。
【符号の説明】
【００８３】
１〜４        プローブ
１０          バレル
２０          プランジャ
２０ａ        先端側端面
２７          フランジ部
３０          スプリング
５０、５２、５４、５６、６０        絶縁性カバー
５４ｂ        テーパ状領域
６１          基端側軸線孔
６２          段部
６３          先端側軸線孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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