(57)【要約】      （修正有）【課題】検査対象素子のアバランシェ電圧のバラつきの影響を低減して、より確実に規定のサージ電力を検査対象素子に印加することが可能なサージ試験装置を提供する。【解決手段】検査対象素子のアバランシェ電圧を検出するための電圧測定部と、第１の検査用端子と第２の検査用端子との間に逆バイアスとなるように接続された検査対象素子にサージ電圧を印加するために印加電圧を生成して出力するプログラマブル電源と、サージ電圧が印加された検査対象素子に流れるサージ電流を検出する電流検出部と、検出したサージ電流の値と予め設定された規格値とを比較し比較結果に基づいた電流比較結果信号を出力する比較部と、検出したアバランシェ電圧に基づいてプログラマブル電源が出力する印加電圧を設定するとともに、比較部が出力した電流比較結果信号に基づいて検査対象素子に規定の電力以上の電力が印加されたか否かを判定するコントロール部と、を備える。【選択図】図１
2019144204.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の検査用端子と、
前記第１の検査用端子との間に逆バイアスとなるようにアバランシェ特性を有する検査対象素子が接続される第２の検査用端子と、
前記第１の検査用端子と前記第２の検査用端子との間に逆バイアスとなるように接続された前記検査対象素子に、予め設定した定電流を流したときにおける、前記検査対象素子のアバランシェ電圧を検出するための電圧測定部と、
前記第１の検査用端子と前記第２の検査用端子との間に逆バイアスとなるように接続された前記検査対象素子に、サージ電圧を印加するために印加電圧を生成して出力するプログラマブル電源と、
前記サージ電圧が印加された前記検査対象素子に流れるサージ電流を検出する電流検出部と、
前記電流検出部が検出したサージ電流の値と、予め設定された規格値と、を比較し、この比較結果に基づいた電流比較結果信号を出力する比較部と、
前記電圧測定部が検出したアバランシェ電圧に基づいて、前記プログラマブル電源が出力する前記印加電圧を設定するとともに、前記比較部が出力した電流比較結果信号に基づいて、前記検査対象素子に規定の電力以上の電力が印加されたか否かを判定するコントロール部と、を備える
ことを特徴とするサージ試験装置。
【請求項２】
複数のアバランシェ電圧に関する情報と、前記複数のアバランシェ電圧のそれぞれに一対一に対応して予め設定された複数の印加電圧に関する情報と、を関連付けて記憶する記憶部をさらに備え、
前記コントロール部は、
前記電圧測定部が検出したアバランシェ電圧に対応する印加電圧の情報を前記記憶部から読み出し、前記プログラマブル電源が出力する前記印加電圧の値を、読み出した印加電圧の値に設定する
ことを特徴とする請求項１に記載のサージ試験装置。
【請求項３】
前記定電流を出力する定電流源をさらに備えることを特徴とする請求項２に記載のサージ試験装置。
【請求項４】
一端が前記プログラマブル電源の出力に接続された第１の抵抗と、
一端が前記第１の抵抗の他端に接続され、前記コントロール部により制御される第１のスイッチと、
一端が前記第１のスイッチの他端に接続され、他端が固定電位に接続されたコンデンサと、
一端が前記第１のスイッチの他端に接続された第２の抵抗と、
一端が前記第２の抵抗の他端に接続され、他端が前記第１の検査用端子に接続され、前記コントロール部により制御される第２のスイッチと、
一端が前記定電流源の出力に接続され、他端が前記第１の検査用端子に接続され、前記コントロール部により制御される第３のスイッチと、をさらに備え、
前記電流検出部は、前記第２の検査用端子と前記固定電位との間に接続されている
ことを特徴とする請求項３に記載のサージ試験装置。
【請求項５】
前記電圧測定部は、前記第３のスイッチの一端の電圧を測定することにより、前記検査対象素子のアバランシェ電圧を検出する
ことを特徴とする請求項４に記載のサージ試験装置。
【請求項６】
サージ試験時において、前記コントロール部は、
前記第１、第２、第３のスイッチがオフした状態から前記第３のスイッチをオンすることで、前記第３のスイッチを介して、前記第１の検査用端子と前記第２の検査用端子との間に逆バイアスとなるように接続された前記検査対象素子に、前記定電流源から前記定電流を印加するとともに、前記電圧測定部により、前記検査対象素子のアバランシェ電圧を検出し、
その後、前記第３のスイッチをオフする
ことを特徴とする請求項５に記載のサージ試験装置。
【請求項７】
前記コントロール部は、
前記第３のスイッチをオフした後、前記電圧測定部が検出したアバランシェ電圧に対応する印加電圧の情報を前記記憶部から読み出し、
前記プログラマブル電源が出力する前記印加電圧の値を、読み出した印加電圧の値に設定し、その後、前記第１のスイッチをオンすることで、前記コンデンサを前記プログラマブル電源が出力する前記印加電圧により充電し、所定期間の経過後、前記第１のスイッチをオフする
ことを特徴とする請求項６に記載のサージ試験装置。
【請求項８】
前記コントロール部は、
前記第１のスイッチをオフした後、前記第２のスイッチをオンすることで、前記コンデンサを放電させて、前記第２のスイッチを介して、前記第１の検査用端子と前記第２の検査用端子との間に逆バイアスとなるように接続された前記検査対象素子に、前記サージ電圧を印加するとともに、前記電流検出部が、前記サージ電圧が印加された前記検査対象素子に流れるサージ電流を検出し、
その後、前記第２のスイッチをオフし、前記比較部が、前記電流検出部が検出したサージ電流の値と、予め設定された規格値と、を比較し、この比較結果に基づいた電流比較結果信号を出力し、
前記電流検出部が出力した電流比較結果信号に基づいて、前記検査対象素子に規定の電力以上の電力が印加されたか否かを判定する
ことを特徴とする請求項７に記載のサージ試験装置。
【請求項９】
前記検査対象素子は、
カソードが前記第１の検査用端子に接続され、アノードが前記第２の検査用端子に接続されたダイオードである
ことを特徴とする請求項８に記載のサージ試験装置。
【請求項１０】
前記電流検出部は、
前記第２の検査用端子と前記固定電位との間に接続された検出抵抗を有し、前記検出抵抗の電圧降下に基づいて前記サージ電流を検出する
ことを特徴とする請求項９に記載のサージ試験装置。
【請求項１１】
前記定電流源は、
アノードが電源電位に接続され、カソードが前記第３のスイッチの一端に接続された定電流ダイオードである
ことを特徴とする請求項１０に記載のサージ試験装置。
【請求項１２】
前記コントロール部は、
前記電流検出部が検出したサージ電流の値が、予め設定された上限値と予め設定された下限値で規定される規定の範囲内にあるか否か判定し、
前記電流検出部が検出したサージ電流の値が、前記規定の範囲内であると判定した場合に、前記検査対象素子に規定の電力以上の電力が印加されたと判定し、
一方、前記電流検出部が検出したサージ電流の値が、前記規定の範囲外であると判定した場合に、前記検査対象素子に規定の電力以上の電力が印加されていないと判定する
ことを特徴とする請求項８に記載のサージ試験装置。
【請求項１３】
前記固定電位は、接地電位であることを特徴とする請求項４に記載のサージ試験装置。
【請求項１４】
前記電圧測定部は、
前記第１の検査用端子と前記第２の検査用端子との間の電圧を、前記アバランシェ電圧として検出する
ことを特徴とする請求項１に記載のサージ試験装置。
【請求項１５】
第１の検査用端子と、前記第１の検査用端子との間に逆バイアスとなるようにアバランシェ特性を有する検査対象素子が接続される第２の検査用端子と、前記第１の検査用端子と前記第２の検査用端子との間に逆バイアスとなるように接続された前記検査対象素子に、予め設定した定電流を流したときにおける、前記検査対象素子のアバランシェ電圧を検出するための電圧測定部と、前記第１の検査用端子と前記第２の検査用端子との間に逆バイアスとなるように接続された前記検査対象素子に、サージ電圧を印加するために印加電圧を生成して出力するプログラマブル電源と、前記サージ電圧が印加された前記検査対象素子に流れるサージ電流を検出する電流検出部と、前記電流検出部が検出したサージ電流の値と、予め設定された規格値と、を比較し、この比較結果に基づいた電流比較結果信号を出力する比較部と、コントロール部と、を備えたサージ試験装置による、サージ試験方法であって、
前記コントロール部が、前記電圧測定部が検出したアバランシェ電圧に基づいて、前記プログラマブル電源が出力する前記印加電圧を設定するとともに、前記電流検出部が出力した電流比較結果信号に基づいて、前記検査対象素子に規定の電力以上の電力が印加されたか否かを判定する
ことを特徴とするサージ試験方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、サージ試験装置、及び、サージ試験方法に関する発明である。
【背景技術】
【０００２】
従来、アバランシェ特性を有する検査対象素子に対してサージ試験を行うサージ試験装置がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このサージ試験装置は、検査対象素子のクランプ電圧の範囲を予め想定しておき、その検査対象素子に流れる電流を検出する。
【０００４】
これにより、規定のサージ電力がその検査対象素子に印加されたかどうかの判定を行っていた。このサージ電力は検査対象素子のアバランシェ電圧によって変動する。
【０００５】
すなわち、当該サージ試験において、被試験素子のアバランシェ電圧のバラつきによりサージ電力量が大きく変動する問題がある。  
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１５−１１４１１９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで、本発明は、検査対象素子のアバランシェ電圧のバラつきの影響を低減して、より確実に規定のサージ電力を検査対象素子に印加することが可能なサージ試験装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様に係る実施形態に従ったサージ試験装置は、     
第１の検査用端子と、
前記第１の検査用端子との間に逆バイアスとなるようにアバランシェ特性を有する検査対象素子が接続される第２の検査用端子と、
前記第１の検査用端子と前記第２の検査用端子との間に逆バイアスとなるように接続された前記検査対象素子に、予め設定した定電流を流したときにおける、前記検査対象素子のアバランシェ電圧を検出するための電圧測定部と、
前記第１の検査用端子と前記第２の検査用端子との間に逆バイアスとなるように接続された前記検査対象素子に、サージ電圧を印加するために印加電圧を生成して出力するプログラマブル電源と、
前記サージ電圧が印加された前記検査対象素子に流れるサージ電流を検出する電流検出部と、
前記電流検出部が検出したサージ電流の値と、予め設定された規格値と、を比較し、この比較結果に基づいた電流比較結果信号を出力する比較部と、
前記電圧測定部が検出したアバランシェ電圧に基づいて、前記プログラマブル電源が出力する前記印加電圧を設定するとともに、前記比較部が出力した電流比較結果信号に基づいて、前記検査対象素子に規定の電力以上の電力が印加されたか否かを判定するコントロール部と、を備える
ことを特徴とする。
【０００９】
前記サージ試験装置において、
複数のアバランシェ電圧に関する情報と、前記複数のアバランシェ電圧のそれぞれに一対一に対応して予め設定された複数の印加電圧に関する情報と、を関連付けて記憶する記憶部をさらに備え、
前記コントロール部は、
前記電圧測定部が検出したアバランシェ電圧に対応する印加電圧の情報を前記記憶部から読み出し、前記プログラマブル電源が出力する前記印加電圧の値を、読み出した印加電圧の値に設定する
ことを特徴とする。
【００１０】
前記サージ試験装置において、
前記定電流を出力する定電流源をさらに備えることを特徴とする。
【００１１】
前記サージ試験装置において、
一端が前記プログラマブル電源の出力に接続された第１の抵抗と、
一端が前記第１の抵抗の他端に接続され、前記コントロール部により制御される第１のスイッチと、
一端が前記第１のスイッチの他端に接続され、他端が固定電位に接続されたコンデンサと、
一端が前記第１のスイッチの他端に接続された第２の抵抗と、
一端が前記第２の抵抗の他端に接続され、他端が前記第１の検査用端子に接続され、前記コントロール部により制御される第２のスイッチと、
一端が前記定電流源の出力に接続され、他端が前記第１の検査用端子に接続され、前記コントロール部により制御される第３のスイッチと、をさらに備え、
前記電流検出部は、前記第２の検査用端子と前記固定電位との間に接続されている
ことを特徴とする。
【００１２】
前記サージ試験装置において、
前記電圧測定部は、前記第３のスイッチの一端の電圧を測定することにより、前記検査対象素子のアバランシェ電圧を検出する
ことを特徴とする。
【００１３】
前記サージ試験装置において、
サージ試験時において、前記コントロール部は、
前記第１ないし第３のスイッチがオフした状態から前記第３のスイッチをオンすることで、前記第３のスイッチを介して、前記第１の検査用端子と前記第２の検査用端子との間に逆バイアスとなるように接続された前記検査対象素子に、前記定電流源から前記定電流を印加するとともに、前記電圧測定部により、前記検査対象素子のアバランシェ電圧を検出し、
その後、前記第３のスイッチをオフする
ことを特徴とする。
【００１４】
前記サージ試験装置において、
前記コントロール部は、
前記第３のスイッチをオフした後、前記電圧測定部が検出したアバランシェ電圧に対応する印加電圧の情報を前記記憶部から読み出し、
前記プログラマブル電源が出力する前記印加電圧の値を、読み出した印加電圧の値に設定し、その後、前記第１のスイッチをオンすることで、前記コンデンサを前記プログラマブル電源が出力する前記印加電圧により充電し、所定期間の経過後、前記第１のスイッチをオフする
ことを特徴とする。
【００１５】
前記サージ試験装置において、
前記コントロール部は、
前記第１のスイッチをオフした後、前記第２のスイッチをオンすることで、前記コンデンサを放電させて、前記第２のスイッチを介して、前記第１の検査用端子と前記第２の検査用端子との間に逆バイアスとなるように接続された前記検査対象素子に、前記サージ電圧を印加するとともに、前記電流検出部が、前記サージ電圧が印加された前記検査対象素子に流れるサージ電流を検出し、
その後、前記第２のスイッチをオフし、前記比較部が、前記電流検出部が検出したサージ電流の値と、予め設定された規格値と、を比較し、この比較結果に基づいた電流比較結果信号を出力し、
前記電流検出部が出力した電流比較結果信号に基づいて、前記検査対象素子に規定の電力以上の電力が印加されたか否かを判定する
ことを特徴とする。
【００１６】
前記サージ試験装置において、
前記検査対象素子は、
カソードが前記第１の検査用端子に接続され、アノードが前記第２の検査用端子に接続されたダイオードである
ことを特徴とする。
【００１７】
前記サージ試験装置において、
前記電流検出部は、
前記第２の検査用端子と前記固定電位との間に接続された検出抵抗を有し、前記検出抵抗の電圧降下に基づいて前記サージ電流を検出する
ことを特徴とする。
【００１８】
前記サージ試験装置において、
前記定電流源は、
アノードが電源電位に接続され、カソードが前記第３のスイッチの一端に接続された定電流ダイオードである
ことを特徴とする。
【００１９】
前記サージ試験装置において、
前記コントロール部は、
前記電流検出部が検出したサージ電流の値が、予め設定された上限値と予め設定された下限値で規定される規定の範囲内にあるか否か判定し、
前記電流検出部が検出したサージ電流の値が、前記規定の範囲内であると判定した場合に、前記検査対象素子に規定の電力以上の電力が印加されたと判定し、
一方、前記電流検出部が検出したサージ電流の値が、前記規定の範囲外であると判定した場合に、前記検査対象素子に規定の電力以上の電力が印加されていないと判定する
ことを特徴とする。
【００２０】
前記サージ試験装置において、
前記固定電位は、接地電位であることを特徴とする。
【００２１】
前記サージ試験装置において、
前記電圧測定部は、
前記第１の検査用端子と前記第２の検査用端子との間の電圧を、前記アバランシェ電圧として検出する
ことを特徴とする。
【００２２】
本発明の一態様に係る実施形態に従ったサージ試験方法は、     
第１の検査用端子と、前記第１の検査用端子との間に逆バイアスとなるようにアバランシェ特性を有する検査対象素子が接続される第２の検査用端子と、前記第１の検査用端子と前記第２の検査用端子との間に逆バイアスとなるように接続された前記検査対象素子に、予め設定した定電流を流したときにおける、前記検査対象素子のアバランシェ電圧を検出するための電圧測定部と、前記第１の検査用端子と前記第２の検査用端子との間に逆バイアスとなるように接続された前記検査対象素子に、サージ電圧を印加するために印加電圧を生成して出力するプログラマブル電源と、前記サージ電圧が印加された前記検査対象素子に流れるサージ電流を検出する電流検出部と、前記電流検出部が検出したサージ電流の値と、予め設定された規格値と、を比較し、この比較結果に基づいた電流比較結果信号を出力する比較部と、コントロール部と、を備えたサージ試験装置による、サージ試験方法であって、
前記コントロール部が、前記電圧測定部が検出したアバランシェ電圧に基づいて、前記プログラマブル電源が出力する前記印加電圧を設定するとともに、前記電流検出部が出力した電流比較結果信号に基づいて、前記検査対象素子に規定の電力以上の電力が印加されたか否かを判定する
ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の一態様に係るサージ試験装置は、第１の検査用端子と、第１の検査用端子との間に逆バイアスとなるようにアバランシェ特性を有する検査対象素子が接続される第２の検査用端子と、第１の検査用端子と第２の検査用端子との間に逆バイアスとなるように接続された検査対象素子に、予め設定した定電流を流したときにおける、検査対象素子のアバランシェ電圧を検出するための電圧測定部と、第１の検査用端子と第２の検査用端子との間に逆バイアスとなるように接続された検査対象素子に、サージ電圧を印加するために印加電圧を生成して出力するプログラマブル電源と、サージ電圧が印加された検査対象素子に流れるサージ電流を検出する電流検出部と、電流検出部が検出したサージ電流の値と、予め設定された規格値と、を比較し、この比較結果に基づいた電流比較結果信号を出力する比較部と、電圧測定部が検出したアバランシェ電圧に基づいて、プログラマブル電源が出力する印加電圧を設定するとともに、電流検出部が出力した電流比較結果信号に基づいて、検査対象素子に規定の電力以上の電力が印加されたか否かを判定するコントロール部と、を備える。
【００２４】
そして、例えば、このサージ試験装置は、複数のアバランシェ電圧に関する情報と、複数のアバランシェ電圧のそれぞれに一対一に対応して予め設定された複数の印加電圧に関する情報と、を関連付けて記憶する記憶部をさらに備える。
【００２５】
そして、コントロール部は、電圧測定部が検出したアバランシェ電圧に対応する印加電圧の情報を記憶部から読み出し、プログラマブル電源が出力する印加電圧の値を、読み出した印加電圧の値に設定する。
【００２６】
このように、電圧測定部が検出したアバランシェ電圧に応じて、印加電圧を調整することで、検査対象素子のアバランシェ電圧のバラつきの影響が低減される。
【００２７】
すなわち、本発明のサージ試験装置によれば、検査対象素子のアバランシェ電圧のバラつきの影響を低減して、より確実に規定のサージ電力を検査対象素子に印加することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】図１は、実施例１に係るサージ試験装置１００の構成の一例を示す図である。
【図２】図２は、図１に示すサージ試験装置１００の制御シーケンスの一例を示す図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明に係る実施形態について図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００３０】
図１は、実施例１に係るサージ試験装置１００の構成の一例を示す図である。また、図２は、図１に示すサージ試験装置１００の制御シーケンスの一例を示す図である。
【００３１】
実施例１に係るサージ試験装置１００は、例えば、図１に示すように、第１の検査用端子Ｔ１と、第２の検査用端子Ｔ２と、電圧測定部ＶＭＥＡＳと、プログラマブル電源ＶＳと、電流検出部ＣＤと、比較部ＣＭＰと、記憶部ＬＵＴと、定電流源ＣＲＤ１と、第１の抵抗Ｒ１と、第１のスイッチＳＷ１と、コンデンサＣと、第２の抵抗Ｒ２と、第２のスイッチＳＷ２と、第３のスイッチＳＷ３と、コントロール部ＣＯＮＴと、を備える。
【００３２】
このサージ試験装置１００が行うサージ耐量試験の対象になる検査対象素子ＤＵＴは、アバランシェ特性（クランプ特性）を有する電子部品である。サージ耐量試験はＰＮ接合やショットキー接合などに逆バイアスをかける試験であるので、検査対象素子ＤＵＴは、例えば、ダイオードまたはＭＯＳトランジスタなどである。
【００３３】
そして、第１の検査用端子Ｔ１は、サージ試験において、検査対象素子ＤＵＴの一端が接続されるようになっている。
【００３４】
また、第２の検査用端子Ｔ２は、サージ試験において、検査対象素子ＤＵＴの他端が接続されるようになっている。  
より詳しくは、第２の検査用端子Ｔ２は、第１の検査用端子Ｔ１との間に逆バイアスとなるようにアバランシェ特性を有する検査対象素子ＤＵＴが接続されるようになっている。
【００３５】
ここで、図１の例では、検査対象素子ＤＵＴは、カソードが第１の検査用端子Ｔ１に接続され、アノードが第２の検査用端子Ｔ２に接続されたダイオードである。
【００３６】
また、電圧測定部ＶＭＥＡＳは、第１の検査用端子Ｔ１と第２の検査用端子Ｔ２との間に逆バイアスとなるように接続された検査対象素子ＤＵＴに、予め設定した定電流を流したときにおける、検査対象素子ＤＵＴのアバランシェ電圧Ｖｚを検出するためのものである。
【００３７】
この電圧測定部ＶＭＥＡＳは、例えば、第１の検査用端子Ｔ１と第２の検査用端子Ｔ２との間の電圧を、アバランシェ電圧Ｖｚとして検出するようになっている。
【００３８】
なお、図１の例では、この電圧測定部ＶＭＥＡＳは、例えば、第３のスイッチＳＷ３の一端の電圧（すなわち、第１の検査用端子Ｔ１の電圧）を測定することにより、検査対象素子ＤＵＴのアバランシェ電圧Ｖｚを検出するようになっている。
【００３９】
この電圧測定部ＶＭＥＡＳは、検出したアバランシェ電圧Ｖｚに基づいた電圧測定信号ＭＶを、コントロール部ＣＯＮＴに出力するようになっている。
【００４０】
また、プログラマブル電源ＶＳは、第１の検査用端子Ｔ１と第２の検査用端子Ｔ２との間に逆バイアスとなるように接続された検査対象素子ＤＵＴに、サージ電圧を印加するために電源電電位（電源電圧）Ｖ＋から印加電圧を生成して出力するようになっている。
【００４１】
また、電流検出部ＣＤは、サージ電圧が印加された検査対象素子ＤＵＴに流れるサージ電流を検出するようになっている。
【００４２】
この電流検出部ＣＤは、例えば、図１に示すように、第２の検査用端子Ｔ２と固定電位（接地電位）との間に接続されている。
【００４３】
この電流検出部ＣＤは、検出したサージ電流に基づいた電流信号ＭＩを比較部ＣＭＰに出力するようになっている。
【００４４】
また、比較部ＣＭＰは、電流検出部ＣＤが検出したサージ電流の値と、予め設定された規格値と、を比較し、この比較結果に基づいた電流比較結果信号ＩＤを出力するようになっている。
【００４５】
なお、この比較部ＣＭＰは、電流検出部ＣＤが出力した電流信号ＭＩに基づいて、電流検出部ＣＤが検出したサージ電流の値の情報を取得するようになっている。
【００４６】
また、記憶部ＬＵＴは、複数のアバランシェ電圧に関する情報と、この複数のアバランシェ電圧のそれぞれに一対一に対応して予め設定された複数の印加電圧に関する情報と、を関連付けて記憶するようになっている。
【００４７】
また、定電流源ＣＲＤ１は、例えば、図１に示すように、定電流を第３のスイッチＳＷ３の一端と電圧測定部ＶＭＥＡＳの入力との間に出力するようになっている。
【００４８】
この定電流源ＣＲＤ１は、例えば、アノードが電源電位Ｖ＋に接続され、カソードが第３のスイッチＳＷ３の一端に接続された定電流ダイオードである。
【００４９】
また、第１の抵抗Ｒ１は、例えば、図１に示すように、一端がプログラマブル電源ＶＳの出力に接続されている。
【００５０】
また、第１のスイッチＳＷ１は、例えば、図１に示すように、一端が第１の抵抗Ｒ１の他端に接続されている。この第１のスイッチＳＷ１は、コントロール部ＣＯＮＴが出力する制御信号Ｓ１により制御（オン／オフ）されるようになっている。
【００５１】
なお、この第１のスイッチＳＷ１は、例えば、トランジスタ等のスイッチング素子である。
【００５２】
また、コンデンサＣは、例えば、図１に示すように、一端が第１のスイッチＳＷ１の他端に接続され、他端が固定電位に接続されている。なお、当該固定電位は、例えば、図１に示すように、接地電位である。
【００５３】
また、第２の抵抗Ｒ２は、例えば、図１に示すように、一端が第１のスイッチＳＷ１の他端に接続されている。
【００５４】
また、第２のスイッチＳＷ２は、一端が第２の抵抗Ｒ２の他端に接続され、他端が第１の検査用端子Ｔ１に接続されている。この第２のスイッチＳＷ２は、コントロール部ＣＯＮＴが出力する制御信号Ｓ２により制御（オン／オフ）されるようになっている。
【００５５】
なお、この第２のスイッチＳＷ２は、例えば、トランジスタ等のスイッチング素子である。
【００５６】
また、第３のスイッチＳＷ３は、一端が定電流源ＣＲＤ１の出力に接続され、他端が第１の検査用端子Ｔ１に接続されている。この第３のスイッチＳＷ３は、コントロール部ＣＯＮＴにが出力する制御信号Ｓ３により制御（オン／オフ）されるようになっている。
【００５７】
なお、この第３のスイッチＳＷ３は、例えば、トランジスタ等のスイッチング素子である。
【００５８】
また、コントロール部ＣＯＮＴは、電圧測定部ＶＭＥＡＳが検出したアバランシェ電圧に基づいて、プログラマブル電源ＶＳが出力する印加電圧を設定するとともに、比較部ＣＭＰが出力した電流比較結果信号ＩＤに基づいて、検査対象素子ＤＵＴに規定の電力以上の電力が印加されたか否かを判定するようになっている。
【００５９】
なお、このコントロール部ＣＯＮＴは、例えば、図１に示すように、電圧測定部ＶＭＥＡＳが出力した電圧測定信号ＭＶに基づいて、電圧測定部ＶＭＥＡＳが検出したアバランシェ電圧Ｖｚの値を取得するようになっている。
【００６０】
また、コントロール部ＣＯＮＴは、電圧測定部ＶＭＥＡＳが検出したアバランシェ電圧に対応する印加電圧の情報を記憶部ＬＵＴから読み出し、プログラマブル電源ＶＳが出力する印加電圧の値を、記憶部ＬＵＴから読み出した印加電圧の値に設定するようになっている。
【００６１】
なお、このコントロール部ＣＯＮＴは、例えば、図１に示すように、設定信号ＳＶをプログラマブル電源ＶＳに出力して、プログラマブル電源ＶＳが出力する印加電圧の値を、記憶部ＬＵＴから読み出した印加電圧の値に設定するようになっている。
【００６２】
ここで、サージ試験時において、例えば、図２に示すように、コントロール部ＣＯＮＴは、第１ないし第３のスイッチＳＷ１、ＳＷ２、ＳＷ３がオフした状態から第３のスイッチＳＷをオンする（ステップＳ１）ことで、第３のスイッチＳＷ３を介して、第１の検査用端子Ｔ１と第２の検査用端子Ｔ２との間に逆バイアスとなるように接続された検査対象素子ＤＵＴに、定電流源ＣＲＤ１から定電流を印加する（ステップＳ２）とともに、電圧測定部ＶＭＥＡＳにより、検査対象素子ＤＵＴのアバランシェ電圧を検出する（ステップＳ３）ようになっている。
【００６３】
そして、ステップＳ３の後、コントロール部ＣＯＮＴは、第３のスイッチＳＷ３をオフする（ステップＳ４）ようになっている。
【００６４】
そして、コントロール部ＣＯＮＴは、第３のスイッチＳＷ３をオフした（ステップＳ４）後、電圧測定部ＶＭＥＡＳが検出したアバランシェ電圧に対応する印加電圧の情報を記憶部ＬＵＴから読み出す（ステップＳ５）ようになっている。
【００６５】
そして、例えば、図２に示すように、コントロール部ＣＯＮＴは、プログラマブル電源ＶＳが出力する印加電圧の値を、記憶部ＬＵＴから読み出した印加電圧の値に設定し（ステップＳ６）、その後、第１のスイッチＳＷ１をオンする（ステップＳ７）ことで、コンデンサＣをプログラマブル電源ＶＳが出力する当該印加電圧により充電し（ステップＳ８）、所定期間の経過後（ステップＳ９）、第１のスイッチＳＷ１をオフする（ステップＳ１０）ようになっている。
【００６６】
さらに、例えば、図２に示すように、コントロール部ＣＯＮＴは、第１のスイッチＳＷ１をオフした（ステップＳ１０）後、第２のスイッチＳＷ２をオンする（ステップＳ１１）ことで、コンデンサＣを放電させて、第２のスイッチＳＷ２を介して、第１の検査用端子Ｔ１と第２の検査用端子Ｔ２との間に逆バイアスとなるように接続された検査対象素子ＤＵＴに、サージ電圧を印加する（ステップＳ１２）とともに、電流検出部ＣＤが、サージ電圧が印加された検査対象素子ＤＵＴに流れるサージ電流を検出する（ステップＳ１３）ようになっている。
【００６７】
さらに、例えば、図２に示すように、ステップＳ１３の後、コントロール部ＣＯＮＴは、第２のスイッチＳＷ２をオフし（ステップＳ１４）、比較部ＣＭＰが、電流検出部ＣＤが検出したサージ電流の値と、予め設定された規格値と、を比較し、この比較結果に基づいた電流比較結果信号ＩＤを出力する（ステップＳ１５）ようになっている。
【００６８】
そして、コントロール部ＣＯＮＴは、比較部ＣＭＰが出力した電流比較結果信号ＩＤに基づいて、検査対象素子ＤＵＴに規定の電力以上の電力が印加されたか否かを判定する（ステップＳ１６）ようになっている。
【００６９】
このコントロール部ＣＯＮＴは、電流比較結果信号ＩＤに基づいて、電流検出部ＣＤが検出したサージ電流の値が、予め設定された上限値と予め設定された下限値で規定される規定の範囲内にあるか否か判定するようになっている。
【００７０】
例えば、コントロール部ＣＯＮＴは、電流比較結果信号ＩＤに基づいて、電流検出部ＣＤが検出したサージ電流の値が、既述の規定の範囲内であると判定した場合に、前記検査対象素子ＤＵＴに規定の電力以上の電力が印加されたと判定するようになっている。
【００７１】
一方、コントロール部ＣＯＮＴは、電流比較結果信号ＩＤに基づいて、電流検出部ＣＤが検出したサージ電流の値が、既述の規定の範囲外であると判定した場合に、検査対象素子ＤＵＴに規定の電力以上の電力が印加されていないと判定するようになっている。
【００７２】
このように、サージ試験装置１００の電圧測定部ＶＭＥＡＳが検出したアバランシェ電圧に応じて、印加電圧を調整することで、検査対象素子ＤＵＴのアバランシェ電圧のバラつきの影響が低減される。
【００７３】
すなわち、サージ試験装置１００によれば、検査対象素子ＤＵＴのアバランシェ電圧のバラつきの影響を低減して、より確実に規定のサージ電力を検査対象素子ＤＵＴに印加することができる。
【００７４】
次に、以上のような構成を有するサージ試験装置１００によるサージ試験方法の一例について、既述の図１及び図２を参照して説明する。
【００７５】
図２に示すように、例えば、サージ試験時において、測定をスタートすると、コントロール部ＣＯＮＴは、第１、第２、第３のスイッチＳＷ１、ＳＷ２、ＳＷ３がオフした状態から第３のスイッチＳＷ３をオンする（ステップＳ１）ことで、第３のスイッチＳＷ３を介して、第１の検査用端子Ｔ１と第２の検査用端子Ｔ２との間に逆バイアスとなるように接続された検査対象素子ＤＵＴに、定電流源ＣＲＤ１から定電流を印加する（ステップＳ２）とともに、電圧測定部ＶＭＥＡＳにより、検査対象素子ＤＵＴのアバランシェ電圧を検出する（ステップＳ３）。
【００７６】
その後、コントロール部ＣＯＮＴは、第３のスイッチＳＷ３をオフする（ステップＳ４）。
【００７７】
そして、コントロール部ＣＯＮＴは、第３のスイッチＳＷ３をオフした（ステップＳ４）後、電圧測定部ＶＭＥＡＳが検出したアバランシェ電圧に対応する印加電圧の情報を記憶部ＬＵＴから読み出す（ステップＳ５）。
【００７８】
そして、コントロール部ＣＯＮＴは、プログラマブル電源ＶＳが出力する印加電圧の値を、読み出した印加電圧の値に設定し（ステップＳ６）、その後、第１のスイッチＳＷ１をオンする（ステップＳ７）ことで、コンデンサＣをプログラマブル電源ＶＳが出力する当該印加電圧により充電し（ステップＳ８）、所定期間の経過後（ステップＳ９）、第１のスイッチＳＷ１をオフする（ステップＳ１０）。
【００７９】
そして、コントロール部ＣＯＮＴは、第１のスイッチＳＷ１をオフした（ステップＳ１０）後、第２のスイッチＳＷ２をオンする（ステップＳ１１）ことで、コンデンサＣを放電させて、第２のスイッチＳＷ２を介して、第１の検査用端子Ｔ１と第２の検査用端子Ｔ２との間に逆バイアスとなるように接続された検査対象素子ＤＵＴに、サージ電圧を印加する（ステップＳ１２）とともに、電流検出部ＣＤが、サージ電圧が印加された検査対象素子ＤＵＴに流れるサージ電流を検出する（ステップＳ１３）。
【００８０】
その後、コントロール部ＣＯＮＴは、第２のスイッチＳＷ２をオフし（ステップＳ１４）、比較部ＣＭＰが、電流検出部ＣＤが検出したサージ電流の値と、予め設定された規格値と、を比較し、この比較結果に基づいた電流比較結果信号ＩＤを出力する（ステップＳ１５）。
【００８１】
そして、コントロール部ＣＯＮＴは、比較部ＣＭＰが出力した電流比較結果信号ＩＤに基づいて、検査対象素子ＤＵＴに規定の電力以上の電力が印加されたか否かを判定する（ステップＳ１６）。
【００８２】
既述のように、コントロール部ＣＯＮＴは、当該電流比較結果信号ＩＤに基づいて、電流検出部ＣＤが検出したサージ電流の値が、予め設定された上限値と予め設定された下限値で規定される規定の範囲内にあるか否か判定する。
【００８３】
例えば、コントロール部ＣＯＮＴは、当該電流比較結果信号ＩＤに基づいて、電流検出部ＣＤが検出したサージ電流の値が、既述の規定の範囲内であると判定した場合に、前記検査対象素子ＤＵＴに規定の電力以上の電力が印加されたと判定する。
【００８４】
一方、コントロール部ＣＯＮＴは、当該電流比較結果信号ＩＤに基づいて、電流検出部ＣＤが検出したサージ電流の値が、既述の規定の範囲外であると判定した場合に、検査対象素子ＤＵＴに規定の電力以上の電力が印加されていないと判定する。
【００８５】
このように、サージ試験装置１００のサージ試験方法では、電圧測定部ＶＭＥＡＳが検出したアバランシェ電圧に応じて、印加電圧を調整することで、検査対象素子ＤＵＴのアバランシェ電圧のバラつきの影響が低減される。
【００８６】
すなわち、サージ試験装置１００のサージ試験方法によれば、検査対象素子ＤＵＴのアバランシェ電圧のバラつきの影響を低減して、より確実に規定のサージ電力を検査対象素子ＤＵＴに印加することができる。
【実施例２】
【００８７】
既述の実施例１では、電流検出部ＣＤが第２の検査用端子Ｔ２と固定電位（接地電位）との間に接続されている例について説明した。
【００８８】
この電流検出部ＣＤは、第２の検査用端子Ｔ２と固定電位（接地電位）との間に接続された検出抵抗を有し、当該検出抵抗の電圧降下に基づいてサージ電流を検出するようにしてもよい。
【００８９】
この場合、電流検出部ＣＤは、当該検出抵抗の両端の電圧を示す電流信号ＭＩを比較部ＣＭＰへ出力することとなる。
【００９０】
なお、この実施例２に係るサージ試験装置のその他の構成は、図１に示す実施例１の構成と同様である。
【００９１】
以上のように、本発明の一態様に係るサージ試験装置１００は、第１の検査用端子Ｔ１と、第１の検査用端子との間に逆バイアスとなるようにアバランシェ特性を有する検査対象素子ＤＵＴが接続される第２の検査用端子Ｔ２と、第１の検査用端子と第２の検査用端子との間に逆バイアスとなるように接続された検査対象素子ＤＵＴに、予め設定した定電流を流したときにおける、検査対象素子ＤＵＴのアバランシェ電圧を検出するための電圧測定部ＶＭＥＡＳと、第１の検査用端子と第２の検査用端子との間に逆バイアスとなるように接続された検査対象素子ＤＵＴに、サージ電圧を印加するために印加電圧を生成して出力するプログラマブル電源ＶＳと、サージ電圧が印加された検査対象素子ＤＵＴに流れるサージ電流を検出する電流検出部ＣＤと、電流検出部が検出したサージ電流の値と、予め設定された規格値と、を比較し、この比較結果に基づいた電流比較結果信号ＩＤを出力する比較部ＣＭＰと、電圧測定部が検出したアバランシェ電圧に基づいて、プログラマブル電源が出力する印加電圧を設定するとともに、電流検出部が出力した電流比較結果信号ＩＤに基づいて、検査対象素子ＤＵＴに規定の電力以上の電力が印加されたか否かを判定するコントロール部ＣＯＮＴと、を備える。
【００９２】
そして、例えば、このサージ試験装置は、複数のアバランシェ電圧に関する情報と、複数のアバランシェ電圧のそれぞれに一対一に対応して予め設定された複数の印加電圧に関する情報と、を関連付けて記憶する記憶部ＬＵＴをさらに備える。
【００９３】
そして、コントロール部は、電圧測定部が検出したアバランシェ電圧に対応する印加電圧の情報を記憶部から読み出し、プログラマブル電源が出力する印加電圧の値を、読み出した印加電圧の値に設定する。
【００９４】
このように、電圧測定部が検出したアバランシェ電圧に応じて、印加電圧を調整することで、検査対象素子ＤＵＴのアバランシェ電圧のバラつきの影響が低減される。
【００９５】
すなわち、本発明のサージ試験装置によれば、検査対象素子ＤＵＴのアバランシェ電圧のバラつきの影響を低減して、より確実に規定のサージ電力を検査対象素子ＤＵＴに印加することができる。
【００９６】
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００９７】
１００  サージ試験装置
Ｔ１  第１の検査用端子
Ｔ２  第２の検査用端子
ＶＭＥＡＳ  電圧測定部
ＶＳ  プログラマブル電源
ＣＤ  電流検出部
ＣＭＰ  比較部
ＬＵＴ  記憶部
ＣＲＤ１  定電流源
Ｒ１  第１の抵抗
ＳＷ１  第１のスイッチ
Ｃ  コンデンサ
Ｒ２  第２の抵抗
ＳＷ２  第２のスイッチ
ＳＷ３  第３のスイッチ
ＣＯＮＴ  コントロール部
【図１】
2019144204.tif 000003
【図２】
2019144204.tif 000004