(57)【要約】【課題】ワーク検査の高速化、高感度化、及び、低コスト化を図ることができるようにする。【解決手段】大気と異なる検査用ガスＴＧが充填され、ワーク１０００を出し入れする出入口１０を少なくとも１つ有する検査室２と、検査室２内においてワーク１０００を検査する検査部３と、検査室２に対するワーク１０００の出し入れによる検査室２内の検査用ガスＴＧの漏れを抑制するガス漏れ抑制構造４と、を備えるワーク検査装置１を提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
大気と異なる検査用ガスが充填され、ワークを出し入れする出入口を少なくとも１つ有する検査室と、
前記検査室内において前記ワークを検査する検査部と、
前記検査室に対する前記ワークの出し入れによる前記検査室内の検査用ガスの漏れを抑制するガス漏れ抑制構造と、
を備えるワーク検査装置。
【請求項２】
前記ガス漏れ抑制構造が、
前記検査室の前記出入口に連ねて設けられ、外部につながる開口を有する予備室と、
前記検査室の前記出入口を開閉可能な第一扉と、
前記予備室の前記開口を開閉可能な第二扉と、
を備える請求項１に記載のワーク検査装置。
【請求項３】
前記検査室の前記出入口が複数あり、
前記予備室が、前記検査室の各出入口に連ねて設けられている
請求項２に記載のワーク検査装置。
【請求項４】
前記ガス漏れ抑制構造が、前記検査室の前記出入口を開閉可能な扉を備え、
前記検査室の出入口の形状及び大きさが、前記扉の動作に応じて、前記検査室に対して出入りする前記ワークの形状及び大きさにあわせて変化する
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のワーク検査装置。
【請求項５】
前記扉は、一対の引き戸を備える請求項４に記載のワーク検査装置。
【請求項６】
前記扉が、円柱状に形成され、前記一対の引き戸のうち互いに対向する部位に対して互いに平行する軸線を中心に回転可能に設けられた一対のローラー部を備える請求項５に記載のワーク検査装置。
【請求項７】
前記ガス漏れ抑制構造が、
前記検査室の前記出入口の縁に設けられ、前記ワークが前記出入口を通る際に前記出入口と前記ワークとの隙間を埋めるシール部を備える
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のワーク検査装置。
【請求項８】
前記ガス漏れ抑制構造が、
前記ワークを外部に対して気密に収容する収容空間を有し、前記検査室の前記出入口を塞ぐようにして前記出入口を通る気密収容部を備え、
前記気密収容部は、前記収容空間の内面を複数の領域に分割するように相対的に移動可能とされた複数の分割体を備える
請求項１に記載のワーク検査装置。
【請求項９】
前記気密収容部の前記分割体には、前記検査室の前記出入口が向く方向に直交する軸線を中心に回転する第一分割体と、前記第一分割体の外周に対して移動可能に接続されて、前記第一分割体と共に前記収容空間を形成する第二分割体と、があり、
前記第二分割体が、前記第一分割体の周方向に複数配列されている
請求項８に記載のワーク検査装置。
【請求項１０】
前記検査室は、前記出入口を二つ有し、
前記気密収容部の前記分割体は、二つの前記出入口を通る帯状に形成された複数のベルト状分割体であり、
前記複数のベルト状分割体は、少なくとも前記二つの出入口において互いに近づくことで前記ワークを前記収容空間に収容し、前記検査室内において互いに離れることで前記ワークを開放する
請求項８に記載のワーク検査装置。
【請求項１１】
前記ガス漏れ抑制構造が、
前記検査室内に配され、前記検査室の前記出入口を通じて前記ワークを収容する収容空間を有する収容部と、
前記検査室の外側から前記出入口を開閉する蓋部と、を備え、
前記収容部が、前記収容空間の内面を複数の領域に分割するように相対的に移動可能とされた複数の分割体を備え、
前記複数の分割体は、互いに結合されて前記収容空間を形成した状態で前記収容空間を検査室に対して気密とする
請求項１に記載のワーク検査装置。
【請求項１２】
前記検査部が、前記検査室内から前記ワーク内に漏れ出した前記検査用ガスを検出するガスセンサを備える
請求項１から請求項１１のいずれか一項に記載のワーク検査装置。
【請求項１３】
前記検査部が、前記検査室内において前記ワークに向けて超音波を照射する超音波発振部と、前記検査室内において前記ワークで反射又は透過した前記超音波を測定する超音波受信部と、を備える
請求項１から請求項１２のいずれか一項に記載のワーク検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワーク検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、検査用ガスで満たされたチャンバ（検査室）内にワークを配した状態で各種の検査を実施するワーク検査装置がある。
特許文献１には、ワーク検査装置として、チャンバ内に配されたワークに対し、チャンバ内のトレーサーガス（検査用ガス）のワーク内へのガス漏れを検査するガス漏れ検査装置（リーク検出装置）が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１２−０４７６５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来のワーク検査装置では、ワークを検査室に対して出し入れする際の検査用ガスの流出について検討されていない。このため、従来のワーク検査装置では、ワークを検査室内に入れた後に、検査室内を検査用ガスで満たす必要がある。その結果として、ワークの検査に多くの時間を要する、という問題がある。
一方、ワーク検査を高速で行おうとすれば、検査室内の検査用ガスの濃度が低くなってしまうため、ワーク検査を高い感度で行うことが難しくなる、という問題が生じる。
また、ワークを検査室に対して出し入れする毎に、検査用ガスが検査室の外部に流出すると、ワーク検査のコストが高くなってしまう、という問題もある。
【０００５】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、ワーク検査の高速化、高感度化、及び、低コスト化を図ることができるワーク検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のワーク検査装置は、大気と異なる検査用ガスが充填され、ワークを出し入れする出入口を少なくとも１つ有する検査室と、前記検査室内において前記ワークを検査する検査部と、前記検査室に対する前記ワークの出し入れによる前記検査室内の検査用ガスの漏れを抑制するガス漏れ抑制構造と、を備える。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、ワーク検査の高速化、高感度化及び低コスト化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第一実施形態に係るワーク検査装置を示す縦断面図である。
【図２】図１のワークをその軸方向から見た平面図である。
【図３】図１，２のワークに取り付けられる検査部を示す縦断面図である。
【図４】図１のワーク検査装置におけるワーク検査方法の一工程を示す縦断面図である。
【図５】図４に続くワーク検査方法の一工程を示す縦断面図である。
【図６】図５に続くワーク検査方法の一工程を示す縦断面図である。
【図７】図６に続くワーク検査方法の一工程を示す縦断面図である。
【図８】図７に続くワーク検査方法の一工程を示す縦断面図である。
【図９】図８に続くワーク検査方法の一工程を示す縦断面図である。
【図１０】本発明の第二実施形態に係るワーク検査装置を示す縦断面図である。
【図１１】本発明の第二実施形態に係るワーク検査装置を示す横断面図である。
【図１２】図１０，１１のワーク検査装置において、ワークが予備室の開口を通る過程を示す横断面図である。
【図１３】図１０，１１のワーク検査装置において、ワークが予備室の開口を通る過程の一部を示す縦断面図である。
【図１４】本発明の第三実施形態に係るワーク検査装置において、ワークが検査室の出入口を通る過程を示す断面図である。
【図１５】本発明の第四実施形態に係るワーク検査装置を示す断面図である。
【図１６】図１５のワーク検査装置におけるワーク検査方法の一工程を示す断面図である。
【図１７】図１６に続くワーク検査方法の一工程を示す縦断面図である。
【図１８】本発明の第五実施形態に係るワーク検査装置を示す断面図である。
【図１９】本発明の第六実施形態に係るワーク検査装置を示す断面図である。
【図２０】本発明の第七実施形態に係るワーク検査装置を示す断面図である。
【図２１】図２０のワーク検査装置におけるワーク検査方法の一工程を示す断面図である。
【図２２】図２１に続く動作の一工程を示す縦断面図である。
【図２３】本発明の第八実施形態に係るワーク検査装置を示す断面図である。
【図２４】本発明の第九実施形態に係るワーク検査装置を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
〔第一実施形態〕
以下、図１〜９を参照して本発明の第一実施形態について説明する。
図１に示すように、本実施形態に係るワーク検査装置１は、中空のワーク１０００のガス漏れを検査するガス漏れ検査装置である。
【００１０】
検査対象であるワーク１０００の形状や大きさは、任意であってよい。本実施形態のワーク１０００は、その内部の空間を外部につなげる開口部１００１を有する。ワーク１０００は、例えばドラム缶等のような円筒缶であってよい。本実施形態のワーク１０００は、図１，２に示すように、一斗缶（１８Ｌ缶）のような四角柱の外観を有する。ワーク１０００の開口部１００１は、ワーク１０００の軸方向の端部に位置している。
【００１１】
図１に示すように、ワーク検査装置１は、検査室２と、検査部３と、ガス漏れ抑制構造４と、を備える。
【００１２】
検査室２は、ワーク１０００を出し入れする出入口１０を有する。検査室２の出入口１０は、一つでも複数でもよいが、本実施形態では二つである。二つの出入口１０は、例えば互いに異なる方向に向いていてもよいが、本実施形態では同じ方向（Ｘ軸方向。以下、「一方向」とも呼ぶ。）に向いている。二つの出入口１０は、一方向に並んでいる。検査室２の大きさは、任意であってよいが、本実施形態では一方向に複数（図示例では二つ）のワーク１０００を並べた状態で収容できる程度の大きさである（例えば図７参照）。
【００１３】
検査室２は、大気（空気）と異なる検査用ガスＴＧが充填されるように構成されている。具体的に、検査室２は、検査用ガスＴＧを検査室２内に導入するための吸気口１１を有する。検査室２の吸気口１１には、検査用ガスＴＧの供給源（不図示）が接続されている。
また、検査室２は、検査用ガスＴＧなどの気体を検査室２内から排出するための排気口１２も有する。検査室２の排気口１２は、例えば検査用ガスＴＧを検査室２から排出する際に検査室２の外部（大気）に開放されてもよいが、例えば検査用ガスＴＧの回収装置に接続されてもよい。この場合、検査室２内の検査用ガスＴＧを回収して繰り返し使用することができる、すなわち、ワーク検査における検査用ガスＴＧの使用量を抑えることができる。
【００１４】
吸気口１１や排気口１２は、検査室２の任意の位置に設けられてよいが、本実施形態では、検査室２の天井部分（図１においてＺ軸正方向側に位置する検査室２の壁部）に設けられている。また、本実施形態において、吸気口１１と排気口１２とは、二つの出入口１０が並ぶ一方向（Ｘ軸方向）に間隔をあけて並んでいる。
【００１５】
本実施形態の検査室２内には、検査室２内における検査用ガスＴＧの濃度を測定するプローブ１３が設けられている。本実施形態のプローブ１３は、検査室２内の圧力（気圧）も測定するように構成されている。また、プローブ１３は、検査室２内の温度を測定するように構成されてもよい。
【００１６】
本実施形態では、複数のプローブ１３が一定間隔で配置されている。
検査室２内のプローブ１３において測定された検査用ガスＴＧの濃度や検査室２内の圧力等のデータは、有線通信又は無線通信で後述するコントローラ７に送信される。
【００１７】
ガス漏れ抑制構造４は、検査室２に対するワーク１０００の出し入れによる検査室２内の検査用ガスＴＧの漏れを抑制する。本実施形態のガス漏れ抑制構造４は、予備室２０と、第一扉２１と、第二扉２２と、を備える。
【００１８】
予備室２０は、検査室２の出入口１０に連ねて設けられる。すなわち、予備室２０は、検査室２の出入口１０を通じて検査室２とつながっている。予備室２０は、ワーク検査装置１の外部につながる開口２３を有する。予備室２０の開口２３は、例えば検査室２の出入口１０と異なる方向に向いていてもよいが、本実施形態では同じ方向（一方向）に向いている。予備室２０の開口２３と検査室２の出入口１０とは、一方向に並んでいる。
予備室２０は、検査室２と同様に、検査用ガスＴＧが充填されるように構成されている。すなわち、予備室２０は、検査室２と同様の吸気口２４を有する。また、予備室２０は、検査室２と同様の排気口２５も有する。
【００１９】
本実施形態の予備室２０内には、検査室２と同様のプローブ１３が設けられている。予備室２０内に設けるプローブ１３の数は、任意であってよいが、本実施形態では一つである。
【００２０】
上記した予備室２０は、検査室２の二つの出入口１０に一つずつ連ねて設けられている。すなわち、本実施形態のワーク検査装置１は、上記した予備室２０を二つ備える。二つの予備室２０の開口２３は、検査室２の二つの出入口１０と共に一方向に並んでいる。以下の説明では、二つの予備室２０をそれぞれ第一予備室２０Ａ、第二予備室２０Ｂと呼ぶことがある。
【００２１】
第一扉２１は、検査室２の各出入口１０に一つずつ設けられ、検査室２の各出入口１０を開閉可能とする。
第一扉２１は、検査室２の出入口１０を閉じた状態において、検査室２内の検査用ガスＴＧが出入口１０から検査室２の外側（本実施形態では予備室２０）に漏れ出さないように設けられる。本実施形態において、検査室２の出入口１０の周囲領域には、これに接する第一扉２１の部位との隙間を埋めるシール材１５が設けられている。これにより、第一扉２１が検査室２の出入口１０を閉じた状態では、検査室２内の検査用ガスＴＧが出入口１０から検査室２の外側に漏れ出すことを防止又は抑制することができる。
【００２２】
第二扉２２は、各予備室２０の開口２３に一つずつ設けられ、各予備室２０の開口２３を開閉可能とする。
第二扉２２は、予備室２０の開口２３を閉じた状態において、予備室２０内の検査用ガスＴＧが開口２３から予備室２０の外側に漏れ出さないように設けられる。第二扉２２の構造は、第一扉２１と同様である。
【００２３】
上記した第一扉２１や第二扉２２は、例えば引き戸や開き戸であってもよいが、本実施形態では巻き取られることで検査室２の出入口１０や予備室２０の開口２３を開くシャッターである。
【００２４】
検査部３は、少なくとも検査室２内においてワーク１０００を検査する。図１，３に示すように、本実施形態の検査部３は、検査室２内からワーク１０００内に漏れ出した検査用ガスＴＧを検出するガスセンサ３０を備える。具体的に、ガスセンサ３０は検査用ガスＴＧの濃度を測定する。
ガスセンサ３０の数は任意であってよいが、図では一つのみ示す。
【００２５】
本実施形態では、検査室２からワーク１０００内に侵入する検査ガスＴＧを検出するため、ガスセンサ３０をワーク１０００の内部に配する必要がある。このため、本実施形態の検査部３は、無線モジュール３１を備え、ガスセンサ３０において測定した検査用ガスＴＧの濃度のデータを無線通信で後述するコントローラ７に送信する。
【００２６】
本実施形態の検査部３は、制御回路部３２及び電源部３３を備える。制御回路部３２は、ガスセンサ３０や無線モジュール３１の動作を制御する。電源部３３は、ガスセンサ３０や制御回路部３２、無線モジュール３１に電力を供給する。
図示例の検査部３では、無線モジュール３１、制御回路部３２及び電源部３３が筐体３４の内部に配され、ガスセンサ３０が筐体３４の外面に配されているが、これに限ることは無い。検査部３では、少なくともガスセンサ３０、無線モジュール３１、制御回路部３２及び電源部３３が一体化されていればよい。
【００２７】
図１，３に示すように、本実施形態の検査部３は、ワーク１０００の開口部１００１を気密に塞ぐ閉塞部３７に一体に固定されている。検査部３は、閉塞部３７によりワーク１０００の開口部１００１を塞いだ際に、ガスセンサ３０がワーク内に配置されるように構成されている。
【００２８】
図１に示すように、本実施形態のワーク検査装置１は、検査室２や予備室２０に対してワーク１０００を出し入れするワーク搬送機構５をさらに備える。本実施形態において、ワーク搬送機構５は、ワーク１０００を第一予備室２０Ａに搬入した後、検査室２、第二予備室２０Ｂの順に移送し、第二予備室２０Ｂの外側に搬出する。
ワーク搬送機構５は、図示例のようなローラーコンベアであってもよいし、例えば網目（メッシュ）を有する帯状に形成されたベルトコンベアであってもよい。
【００２９】
本実施形態のワーク検査装置１は、前述の検査部３をワーク１０００に対して取り付けたり、取り外したりするロボットアーム６をさらに備える。ロボットアーム６は、ワーク搬送機構５によるワーク１０００の搬送方向（Ｘ軸正方向）における第一予備室２０Ａの前側と、第二予備室２０Ｂの後側に一つずつ配されている。第一ロボットアーム６Ａは、第一予備室２０Ａに搬入される前のワーク１０００に検査部３を取り付ける。第二ロボットアーム６Ｂは、第二予備室２０Ｂから搬出された後のワーク１０００から検査部３を取り外す。
【００３０】
本実施形態のワーク検査装置１は、コントローラ７をさらに備える。コントローラ７は、無線モジュールや制御回路部（いずれも不図示）を含む。
コントローラ７の無線モジュールは、検査部３の無線モジュール３１から送信される検査用ガスＴＧの濃度のデータを受信する。コントローラ７の無線モジュールは、検査室２内や予備室２０内のプローブ１３で測定された検査用ガスＴＧの濃度や検査室２内や予備室２０内の圧力等のデータを受信してもよい。
【００３１】
コントローラ７の制御回路部は、検査室２や予備室２０に対する検査用ガスＴＧ等の供給や排出、第一扉２１や第二扉２２の開閉動作などを制御したり、前述したロボットアーム６の動作を制御する。
【００３２】
コントローラ７の制御回路部は、ガスセンサ３０において測定された検査用ガスＴＧの濃度に基づいて、ワーク１０００にガス漏れが生じているか否かを判定する判定手段（不図示）を含む。判定手段は、ガスセンサ３０において測定された検査用ガスＴＧの濃度が所定の閾値未満である場合に、「ワーク１０００にガス漏れが生じていない（ワーク１０００に孔等の欠陥が無い）良品」と判定する。また、判定手段は、ガスセンサ３０において測定された検査用ガスＴＧの濃度が所定の閾値以上である場合に、「ワーク１０００にガス漏れが生じている（ワーク１０００に孔等の欠陥がある）不良品」と判定する。
【００３３】
コントローラ７は、タッチパネル付き液晶等の入出力インターフェイス（不図示）を含んでもよい。
【００３４】
以上のように構成される本実施形態のワーク検査装置１において用いられる検査用ガスＴＧ（トレーサーガス）は、特に限定されず、例えば、水素などの可燃性ガスを含むものであってもよいし、ヘリウムなどの不活性ガスを含むものであってもよい。
水素を含む検査用ガスＴＧは、例えば、水素５％、窒素９５％の混合ガスであってもよいし、水素３．９％、空気９６．１％の混合ガスであってもよい。水素等の可燃性ガスを含む検査用ガスＴＧを用いる場合、検査部３のガスセンサ３０、検査室２内や予備室２０内に設けられるプローブ１３には、接触燃焼式ガスセンサを用いるとよい。
【００３５】
不活性ガスを含む検査用ガスＴＧは、例えば、ヘリウム１００％ガスや二酸化炭素１００％ガスであってもよい。不活性ガスを含む検査用ガスＴＧを用いる場合、検査部３のガスセンサ３０、検査室２内や予備室２０内に設けられるプローブ１３には、熱伝導式ガスセンサを用いるとよい。
また、検査部３のガスセンサ３０、検査室２内や予備室２０内に設けられるプローブ１３には、上記した接触燃焼式や熱伝導式の他に、半導体式、電気化学式、非分散型赤外吸収（ＮＤＩＲ：Ｎｏｎ  Ｄｉｓｐｅｒｓｉｖｅ  ＩｎｆｒａＲｅｄ）式等の方式のガスセンサを用いてもよい。
【００３６】
次に、本実施形態のワーク検査装置１を用いたワーク検査方法の一例について説明する。以下の説明において、検査用ガスＴＧは、水素５％、窒素９５％の混合ガスとする。
【００３７】
図４〜９は、三つのワーク１０００（第一ワーク１０００Ａ、第二ワーク１０００Ｂ、第三ワーク１０００Ｃ）を連続して検査する様子を示す。それぞれのワーク１０００には、第一予備室２０Ａの外側において、第一ロボットアーム６Ａにより検査部３が取り付けられる。その後、ワーク搬送機構５によって第一予備室２０Ａ、検査室２、第二予備室２０Ｂへと搬送された後、第二予備室２０Ｂの外部へと搬出され、第二ロボットアーム６Ｂにより検査部３が取り外される。また、各予備室２０の開口２３や検査室２の出入口１０に設けられた扉２１，２２は通常閉じられており、ワーク１０００が通過する際のみ開くよう制御される。
【００３８】
図４は、検査開始時において、第一ワーク１０００Ａが第一予備室２０Ａに入った状態を示す。この状態では、第一予備室２０Ａには検査用ガスＴＧが充填されていないが、検査に備えて、検査室２と第二予備室２０Ｂには検査用ガスＴＧを充填しておく。
【００３９】
次に、図５に示すように、第一予備室２０Ａに検査用ガスＴＧを充填する。この際、吸気口２４から検査用ガスＴＧを導入すると共に排気口２５から第一予備室２０Ａ内の気体を廃棄することで、第一予備室２０Ａ内の水素濃度及び圧力を高める。これにより、外部の空気が第一予備室２０Ａの開口２３を通じて第一予備室２０Ａ内に侵入することを抑制又は防止できる。
【００４０】
第一予備室２０Ａの水素濃度及び圧力が規定値に達したら（例えば、水素濃度４．５％、圧力１．１気圧）、第一ワーク１０００Ａを検査室２に搬送する。この際、検査室２内の水素濃度や圧力を第一予備室２０Ａよりも大きくしておくと（例えば水素濃度４．８％、圧力１．２気圧）、検査室２の水素濃度が低下することを抑制または防止できる。第一ワーク１０００Ａが検査室２に入ると、検査部３のガスセンサ３０により第一ワーク１０００Ａ内の水素濃度が測定され、測定された水素濃度に基づきコントローラ７によって不良品か良品か判定される。
【００４１】
第一ワーク１０００Ａが検査室２に入った後は、第二ワーク１０００Ｂを第一予備室２０Ａに搬送する準備のため、第一予備室２０Ａに充填されていた検査用ガスＴＧを排気口２５から排出（回収または廃棄）する。その後、第一予備室２０Ａの第二扉２２を開いて第二ワーク１０００Ｂを第一予備室２０Ａに搬送する（図６）。第二ワーク１０００Ｂが第一予備室２０Ａに入った後、再び第一予備室２０Ａに検査用ガスＴＧを充填し、第二ワーク１０００Ｂを検査室２へと搬送する（図７）。この際に検査室２の水素濃度の低下が抑制されるのは、前述したとおりである。
【００４２】
こうして検査室２において、第二ワーク１０００Ｂに対する検査が開始される一方で、検査の完了した第一ワーク１０００Ａは検査室２から第二予備室２０Ｂに搬送される。図８に示すように、第二予備室２０Ｂにも検査ガスＴＧが充填されているため、検査室２の水素濃度の低下を防止しながら第一ワーク１０００Ａを第二予備室２０Ｂへ搬送できる。
【００４３】
第一ワーク１０００Ａを第二予備室２０Ｂに搬送し、第二予備室２０Ｂ側の第一扉２１を閉じた後は、第一ワーク１０００Ａを第二予備室２０Ｂの外部へ搬送する準備のため、第二予備室２０Ｂに充填されていた検査用ガスＴＧを排気口２５から排出する。その後、第一ワーク１０００Ａを第二予備室２０Ｂの外部へ搬送する（図９）。
検査室２内に位置する第二ワーク１０００Ｂを、第二予備室２０Ｂに移送し、外部に搬出する工程や、第三ワーク１０００Ｃを検査する工程は、第一ワーク１０００Ａの場合と同様に行われる。
【００４４】
以上のように、本実施形態のワーク検査方法では、複数のワーク１０００のガス漏れ検査を連続的に行うことができる。ワーク検査方法は、最後のワーク１０００が第二予備室２０Ｂから外部に搬出されることで完了する。
【００４５】
上記したワーク検査方法において、例えば、第一ワーク１０００Ａは、第一予備室２０Ａ内に検査用ガスＴＧを供給してから（図５に示す状態から）、第二ワーク１０００Ｂが検査室２に移送されるまで（図７に示す状態まで）の間に、水素濃度及び圧力の最大値（例えば水素濃度４．８％、圧力１．２気圧）を経験する。このため、第一ワーク１０００Ａの合否は、第二ワーク１０００Ｂが検査室２に移送されるまでの間に判定されることが好ましい。ただし、検査室２における水素濃度の均一化が遅れた場合、第一ワーク１０００Ａ内の水素濃度の測定は、例えば、第一ワーク１０００Ａが検査室２から第二予備室２０Ｂに移送され、第二予備室２０Ｂから検査用ガスＴＧを抜くまで、継続されてもよい。
【００４６】
また、上記したワーク検査方法においては、例えば、ワーク１０００内の水素濃度の均一化を促進するために、ファン等の攪拌部を検査部３に設けてワーク１０００内の気体を攪拌したり、検査室２における搬送距離を長くすることによりワーク１０００が検査室２内に長時間滞在するようにするとよい。
【００４７】
以上説明したように、本実施形態のワーク検査装置１によれば、ガス漏れ抑制構造４によって検査室２に対するワーク１０００の出し入れによる検査室２内の検査用ガスＴＧの漏れを抑制することができる。このため、検査室２内における検査用ガスＴＧの濃度低下を抑え、検査室２内に入れたワーク１０００を短時間で高濃度の検査用ガスＴＧに晒すことができる。したがって、ワーク検査（ガス漏れ検査）の高速化及び高感度化を図ることができる。また、ガス漏れ抑制構造４によって検査室２内の検査用ガスＴＧの漏れが抑制されることで、ワーク検査の低コスト化も図ることができる。
【００４８】
特に、本実施形態のワーク検査装置１では、ガス漏れ抑制構造４が、検査室２の出入口１０に連ねて設けられる予備室２０と、検査室２の出入口１０を開閉する第一扉２１と、予備室２０の開口２３を開閉する第二扉２２と、を備える。これにより、検査室２内の検査用ガスＴＧの漏れを確実に減らすことができる。
【００４９】
さらに、本実施形態のワーク検査装置１によれば、予備室２０が、検査室２の二つの出入口１０に一つずつ連ねて設けられている。これにより、ワーク１０００が検査室２内を通過するように、ワーク１０００を一方向に搬送することができる。すなわち、多数のワーク１０００を高速で検査することが可能となる。
また、検査室２が二つの予備室２０の間に配されていることで、検査室２内における検査用ガスＴＧの濃度や圧力が安定するため、再現性の高いワーク検査を実現することができる。
【００５０】
第一実施形態のワーク検査装置１は、例えば一つの検査室２及び一つの予備室２０を備えてもよい。この場合、予備室２０は、半導体製造装置などで用いられるロードロックチャンバと同様の役割を果たせばよい。このような構成では、予備室２０が二つある場合と比較して、ワーク検査装置１の小型化及び低コスト化を図ることができる。
【００５１】
〔第二実施形態〕
次に、図１０〜１３を参照して本発明の第二実施形態について説明する。本実施形態では、主に第一実施形態との相違点について説明する。本実施形態では、第一実施形態と同様の構成要素について同一符号を付す等して、その説明を省略する。
【００５２】
図１０，１１に示すように、本実施形態のワーク検査装置１０１は、第一実施形態と同様に、中空のワーク１０００のガス漏れを検査するガス漏れ検査装置であり、検査室２と、検査部３と、ガス漏れ抑制構造１０４と、を備える。ワーク１０００、検査室２及び検査部３の構成は、第一実施形態と同様である。
【００５３】
本実施形態のガス漏れ抑制構造１０４は、第一実施形態と同様に、予備室２０と、第一扉１２１と、第二扉１２２と、を備える。予備室２０の構成は、第一実施形態と同様である。
本実施形態では、第一扉１２１の縁を含む検査室２の出入口１０の形状や大きさや、第二扉１２２の縁を含む予備室２０の開口２３における形状及び大きさが、扉１２１，１２２の動作に応じて、検査室２の出入口１０や予備室２０の開口２３を通る際のワーク１０００の形状及び大きさにあわせて変化する。以下、この点について具体的に説明する。
【００５４】
本実施形態の第一扉１２１及び第二扉１２２は、それぞれ一対の引き戸１２６を備える。すなわち、検査室２の出入口１０や予備室２０の開口２３は、一対の引き戸１２６の開閉に応じて開口の大きさが変化する。一対の引き戸１２６の移動方向は、検査室２の出入口１０や予備室２０の開口２３が向く一方向（Ｘ軸方向）に直交する方向（Ｙ軸方向）である。
【００５５】
引き戸１２６の移動は、アクチュエータ１２７（例えばジップチェーンアクチュエータ、自動スライドドアと同様の駆動機構）によって行われ、コントローラ７により制御される。一対の引き戸１２６の動作は、ワーク１０００が検査室２の出入口１０や予備室２０の開口２３を通る際に一対の引き戸１２６がワーク１０００を挟むように制御される。すなわち、検査室２の出入口１０や、予備室２０の開口２３の形状及び大きさが、検査室２の出入口１０や予備室２０の開口２３を通る際のワーク１０００の形状及び大きさにあわせて変化するように、一対の引き戸１２６の動作（第一扉１２１、第二扉１２２の動作）が制御される。
【００５６】
第一扉１２１の一対の引き戸１２６Ａ（以下、第一引き戸１２６Ａと呼ぶ。）は、検査室２内又は予備室２０内に配されてもよいが、本実施形態では検査室２の出入口１０の縁に形成された引き戸収容部１１８に対して入れたり出したりするように配される。
【００５７】
引き戸収容部１１８の内面と第一引き戸１２６Ａとの隙間は、シール材１１５（例えばＯリング、モヘヤシール、磁性流体など）によって埋められている。これにより、検査室２内の検査用ガスＴＧが、引き戸収容部１１８の内面と第一引き戸１２６Ａとの隙間から予備室２０側に漏れ出ることを抑制できる。
【００５８】
本実施形態において、第二扉１２２の一対の引き戸１２６（以下、第二引き戸１２６Ｂと呼ぶ。）は、第一引き戸１２６Ａの場合と同様に構成される。
【００５９】
本実施形態の各扉１２１，１２２は、一対の引き戸１２６にそれぞれ設けられた一対のローラー部１２９をさらに備える。一対のローラー部１２９は、それぞれ円柱状に形成され、一対の引き戸１２６のうち互いに対向する部位に設けられている。
引き戸１２６にローラー部１２９が設けられていることで、ワーク１０００が検査室２の出入口１０や予備室２０の開口２３を通る際にワーク１０００が一対の引き戸１２６の間に挟まれていても、各ローラー部１２９がワーク１０００の外面上を転がるように回転するため、ワーク１０００を滑らかに搬送することができる。
【００６０】
ローラー部１２９は、例えばゴムやスポンジ、樹脂(例えばポリプロピレン、ＭＣナイロン、高分子ポリエチレン)などの弾性体によって構成される。また、ローラー部１２９と引き戸１２６との間に隙間がある場合には、この隙間を埋めるモヘヤシールや磁性流体などのシール材が設けられてよい。これにより、扉１２１，１２２によって検査室２の出入口１０や予備室２０の開口２３を閉じた状態、及び、ワーク１０００を検査室２の出入口１０に通す際に、検査室２内や予備室２０内の検査用ガスＴＧが、検査室２や予備室２０の外側に漏れ出ることを抑制できる。
【００６１】
さらに、本実施形態のガス漏れ抑制構造１０４は、シール部１４０を備える。シール部１４０には、検査室２の出入口１０の縁に設けられた第一シール部１４０Ａと、予備室２０の開口２３の縁に設けられた第二シール部１４０Ｂがある。これらシール部１４０は、例えばゴムやモヘヤシール、磁性流体などによって構成され、ワーク１０００が出入口１０や開口２３を通過する際にワーク１０００の周囲の隙間を埋める。本実施形態のシール部１４０は、検査室２の出入口１０の縁や予備室２０の開口２３の縁のうち、Ｚ軸方向においてワーク１０００を挟む部位に設けられている。
【００６２】
以上のように構成される本実施形態のワーク検査装置１０１において、ワーク１０００は、検査室２の出入口１０や予備室２０の開口２３を通る際に、Ｙ軸方向において一対の引き戸１２６の間に挟まれると共に、Ｚ軸方向においてシール部１４０によって挟まれる（例えば図１２（ｂ）〜（ｄ）、図１３参照）。これにより、ワーク１０００が検査室２の出入口１０や予備室２０の開口２３を通る際に、検査室２内の検査用ガスＴＧが予備室２０側に漏れ出したり、予備室２０内の検査用ガスＴＧが予備室２０の外側に漏れ出すことを抑制又は防止できる。
【００６３】
図１１に示すように、本実施形態のワーク検査装置１０１は、ワーク１０００の搬送方向（Ｘ軸方向）に直交する方向において、ワーク搬送機構５によって搬送されるワーク１０００を位置決めするガイド１０８をさらに備える。
ガイド１０８は、一対の引き戸１２６の移動方向（Ｙ軸方向）においてワーク１０００を挟み込むように配される。ガイド１０８は、Ｙ軸方向におけるワーク１０００の中心が、一対の引き戸１２６を閉じた状態における一対の引き戸１２６（ローラー部１２９）同士の突き合わせ部分に一致するように、ワーク１０００を位置決めする。
【００６４】
ガイド１０８は、少なくともＸ軸正方向において各扉１２１，１２２の手前側に設けられていればよい。本実施形態のガイド１０８は、Ｘ軸方向において検査室２全体、各予備室２０全体、及び、各予備室２０の外側に設けられている。
ガイド１０８は、例えば、Ｚ軸方向における幅が短い帯状のガードレールや、Ｚ軸方向における幅が短いローラーコンベアなどであってよい。
【００６５】
ワーク検査装置１０１が上記のガイド１０８を備える場合には、ワーク１０００を検査室２の出入口１０や予備室２０の開口２３に通す際に、一対の引き戸１２６の移動長さを互いに等しくすることができるため、扉１２１，１２２の動作制御を簡単に行うことができる。
【００６６】
本実施形態のワーク検査装置１０１では、第一実施形態と同様にワーク検査（ワーク１０００のガス漏れ検査）を実施することができる。
ただし、本実施形態のワーク検査装置１０１では、ワーク搬送機構５によってワーク１０００を第一予備室２０Ａの開口２３から第一予備室２０Ａ内に搬入する際、図１２に示すように、ワーク１０００がＹ軸方向において一対の第一引き戸１２６Ａによって挟まれた状態に維持されるように、第一扉１２１（一対の第一引き戸１２６Ａ）の動作を制御する。
具体的には、はじめに、ワーク１０００をワーク搬送機構５によって搬送することで、図１２（ａ）に示すように、ワーク１０００を一対のローラー部１２９に接触させる。次いで、図１２（ｂ）、（ｃ）に示すように、ワーク１０００がワーク搬送機構５によってさらに搬送され、第一予備室２０Ａの開口２３におけるワーク１０００のＹ軸方向の寸法が増えるにしたがって、一対の第一引き戸１２６Ａを互いに離れる方向に移動させて一対のローラー部１２９同士の間隔を広げる。ただし、各ローラー部１２９はワーク１０００の外面に接触した状態に維持する。
【００６７】
その後、図１２（ｃ）、（ｄ）に示すように、ワーク１０００がワーク搬送機構５によってさらに搬送され、第一予備室２０Ａの開口２３におけるワーク１０００のＹ軸方向の寸法が減少するにしたがって、一対の第一引き戸１２６Ａを互いに近づく方向に移動させて一対のローラー部１２９同士の間隔を狭める。最後に、図１２（ｆ）に示すように、ワーク１０００が第一予備室２０Ａの開口２３を通過した直後には、一対のローラー部１２９同士を接触させる。
また、ワーク１０００が第一予備室２０Ａの開口２３を通る際には、図１３に示すように、Ｚ軸方向においてワーク１０００が第一予備室２０Ａの開口２３の縁に設けられたシール部１４０によって挟まれる。
【００６８】
ワーク１０００を第一予備室２０Ａから検査室２に移送する場合、検査室２から第二予備室２０Ｂに移送する場合、及び、第二予備室２０Ｂから第二予備室２０Ｂの外側に搬出する場合も同様である。
【００６９】
以上説明したように、本実施形態のワーク検査装置１０１によれば、第一実施形態と同様の効果を奏する。
また、本実施形態のワーク検査装置１０１によれば、扉１２１，１２２を含む検査室２の出入口１０や予備室２０の開口２３における形状及び大きさが、検査室２の出入口１０や予備室２０の開口２３を通る際のワーク１０００の形状及び大きさにあわせて変化する。具体的には、ワーク１０００が検査室２の出入口１０や予備室２０の開口２３を通る際に、一対の引き戸１２６がワーク１０００の形状や大きさにあわせて移動し、ワーク１０００が一対の引き戸１２６によって挟まれる。また、ワーク１０００と検査室２の出入口１０や予備室２０の開口２３の縁との隙間がシール部１４０によって埋められる。これにより、検査用ガスＴＧが、検査室２内から予備室２０側に漏れ出したり、予備室２０内から予備室２０の外側に漏れ出したりすることを、第一実施形態の場合と比較して、より確実に抑制又は防止することができる。すなわち、検査室２内の検査用ガスＴＧの漏れ量を確実に減らすことができる。
【００７０】
したがって、第一予備室２０Ａや第二予備室２０Ｂにおける検査用ガスＴＧの濃度（水素濃度）を調整する時間を短縮でき、ワーク検査のさらなる高速化を図ることができる。また、第一実施形態と比較して、検査室２内や予備室２０内における検査用ガスＴＧの濃度（水素濃度）の変化も低減できるため、ワーク検査の高感度化を図ることができると共に、さらに再現性の高いワーク検査を実現できる。
【００７１】
第二実施形態のガス漏れ抑制構造１０４は、少なくとも第一扉１２１を備えればよく、例えば予備室２０や第二扉１２２を備えなくてもよい。この構成において、検査室２の出入口１０は、例えば一つであってもよいし、二つであってもよい。検査室２の出入口１０が一つである場合には、ワーク１０００を検査室２の同一の出入口１０及び第一扉１２１を通じて検査室２の内外に搬入及び搬出すればよい。予備室２０や第二扉１２２等を省くことで、ワーク検査装置１０１の小型化及び低コスト化を図ることができる。また、ワーク１０００の移動距離を短縮できるため、ワーク検査の高速化も図ることができる。
【００７２】
〔第三実施形態〕
次に、図１４を参照して本発明の第三実施形態について説明する。本実施形態では、主に第二実施形態との相違点について説明する。本実施形態では、第二実施形態と同様の構成要素について同一符号を付す等して、その説明を省略する。
【００７３】
図１４（ａ）に示すように、本実施形態のワーク検査装置２０１は、第二実施形態と同様に、中空のワーク１０１０のガス漏れを検査するガス漏れ検査装置であり、検査室２と、検査部３と、ガス漏れ抑制構造２０４と、を備える。図示しないが、本実施形態の検査室２は、出入口１０を一つだけ有する点を除き、第二実施形態と同様に構成されている。また、検査室２の内部の構成や検査部３の構成は、第一、第二実施形態と同様であってよい。
また、図示しないが、本実施形態のワーク検査装置２０１は、第二実施形態と同様のワーク搬送機構５やロボットアーム６、コントローラ７、ガイド１０８（図１０，１１参照）などを備えている。
【００７４】
本実施形態のガス漏れ抑制構造２０４は、第二実施形態の予備室２０や第二扉１２２は備えないが、第二実施形態の第一扉１２１と同様の扉２２１を備える。すなわち、本実施形態の扉２２１は、第二実施形態と同様に、一対の引き戸２２６及び一対のローラー部２２９を備える。
図１４（ａ）において、符号２２７は、各引き戸２２６をＹ軸方向に移動させるアクチュエータである。また、符号２１８は、一対の引き戸２２６を収容する引き戸収容部２１８であり、第二実施形態の引き戸収容部１１８と同様である。また、符号２１５は、引き戸収容部２１８の内面とこれに収容される引き戸２２６との隙間を埋めるシール材である。
【００７５】
本実施形態において、一対のローラー部２２９の周面には、それぞれワーク１０１０の一部を収容するワーク収容凹部２４１が形成されている。ワーク収容凹部２４１の内面は、ワーク１０１０の外面の一部に倣う形状に形成されている。これにより、ワーク１０１０の外面をワーク収容凹部２４１の内面に対して隙間なく面接触させることができる。本実施形態のワーク１０１０は、ドラム缶等のような円筒缶である。このため、ワーク収容凹部２４１の内面形状は、ワーク１０１０の外周面に対応する断面円弧状に形成されている。
【００７６】
ローラー部２２９は、第二実施形態のローラー部１２９と同様に、ゴムやスポンジ、樹脂などの弾性体によって構成されてよい。本実施形態では、ローラー部２２９の表面に、シール材２４２が形成されている。シール材２４２は、例えばモヘヤシールであってもよいし、ゴムや樹脂材料などからなる弾性体や、フェルト状繊維であってもよい。シール材２４２は、ローラー部２２９のうち少なくともワーク収容凹部２４１の内面に形成されていればよいが、本実施形態では、ローラー部２２９の周面にも形成されている。
【００７７】
ローラー部２２９がシール材２４２を含む場合には、ワーク１０１０の外周面に凹凸（例えばドラム缶の輪帯など）があっても、ワーク１０１０の外周面をワーク収容凹部２４１の内面に隙間なく接触させることができる。すなわち、検査室２内の検査用ガスＴＧが、ワーク１０１０とローラー部２２９との隙間から検査室２の外側に漏れ出すことを抑制又は防止できる。また、ローラー部２２９の周面にもシール材２４２が形成されていることで、一対のローラー部２２９の周面同士を隙間なく接触させることもできる。このため、検査室２内の検査用ガスＴＧが、一対のローラー部２２９の間の隙間から検査室２の外側に漏れ出すことも抑制又は防止できる。
【００７８】
ローラー部２２９は、アクチュエータにより駆動されて回転する。一対のローラー部２２９は、互いに逆方向に回転することで、ワーク１０１０を挟みながら検査室２の内外に搬送する。なお、ローラー部２２９は、ワーク搬送機構５によるワーク１０１０の移動に伴い従動するように構成してもよい。
【００７９】
本実施形態のワーク検査装置２０１では、ワーク１０１０を検査室２に搬入することで、第一実施形態と同様にワーク検査（ワーク１０１０のガス漏れ検査）を実施することができる。
本実施形態のワーク検査装置２０１においてワーク１０１０を検査室２に搬入する際には、はじめに、図１４（ａ），（ｂ）に示すように、ワーク１０１０の外周面が一対のローラー部２２９のワーク収容凹部２４１に接触するまで、ワーク搬送機構５によってワーク１０１０を搬送する。この際、一対のローラー部２２９の周面は互いに接触している。次いで、図１４（ｃ），（ｄ）に示すように、ワーク１０１０がワーク収容凹部２４１の内面に接触した状態を維持しながら、一対のローラー部２２９を互いに逆方向に回転させる。これにより、ワーク１０１０はローラー部２２９によって搬送される。この際、ワーク１０１０が一対のローラー部２２９によって過度な力で挟まれないように、また、ワーク１０１０とローラー部２２９との間に隙間が生じないように、一対の引き戸２２６を互いに離れる方向又は互いに近づく方向に移動させる。ワーク１０１０が検査室２内に到達した後には、図１４（ｅ）に示すように、ワーク１０１０がローラー部２２９から離れるように、ワーク１０１０をワーク搬送機構５によって移動させる。
【００８０】
検査室２内におけるワーク１０１０のガス漏れ検査が終了した後には、上記と逆の順番で、すなわち一対のローラー部２２９を上記と逆方向に回転させることで、ワーク１０１０を検査室２の外側に搬出すればよい。ワーク１０１０を検査室２に対して搬入する際と搬出する際とで、一対のローラー部２２９を逆方向に回転させることにより、検査室２内の検査用ガスＴＧがワーク収容凹部２４１に溜まって検査室２の外側に漏れ出てしまうことを防止できる。
【００８１】
本実施形態のワーク検査装置２０１によれば、第二実施形態と同様の効果を奏する。
【００８２】
第三実施形態の扉２２１は、例えば第一、第二実施形態の予備室２０の開口２３に設けられる第二扉２２，１２２に適用されてもよい。
【００８３】
〔第四実施形態〕
次に、図１５〜１７を参照して本発明の第四実施形態について説明する。本実施形態では、第一〜第三実施形態と同様の構成要素について同一符号を付す等して、その説明を省略する。
【００８４】
図１５，１６に示すように、本実施形態のワーク検査装置４０１は、第一〜第三実施形態と同様に、中空のワーク１０１０のガス漏れを検査するガス漏れ検査装置であり、検査室２と、検査部３と、ガス漏れ抑制構造４０４と、を備える。
本実施形態の検査室２は、ワーク１０１０を出し入れする出入口１０を一つ有する。検査室２は、吸気口１１及び排気口１２を有する。検査室２内には、プローブ１３が設けられている。検査部３の構成は、第一実施形態と同様である。
【００８５】
本実施形態のガス漏れ抑制構造４０４は、気密収容部４５０を備える。気密収容部４５０は、ワーク１０１０を外部に対して気密に収容する収容空間４５１を有する。収容空間４５１は、複数であってもよいが、本実施形態では一つである。収容空間４５１の内面は、ワーク１０１０の外面全体に倣う形状に形成されている。これにより、ワーク１０１０の外面を収容空間４５１の内面に対して隙間なく面接触させることができる。気密収容部４５０の収容空間４５１に収容されるワーク１０１０は、任意の形状に形成されてよいが、図ではドラム缶等のような円筒缶を示す。
【００８６】
気密収容部４５０は、収容空間４５１の内面を複数の領域に分割する複数の分割体４５２を備える。
複数の分割体４５２の少なくとも一つは、ワーク１０１０の一部を収容するワーク収容凹部４５３を有する。本実施形態では全ての分割体４５２がワーク収容凹部４５３を有する。複数のワーク収容凹部４５３は、複数の分割体４５２を結合した状態において、気密収容部４５０の収容空間４５１を構成する。
【００８７】
各分割体４５２の表面にはシール材４５４が形成されている。シール材４５４は、第三実施形態のシール材２４２と同様である。シール材４５４は、少なくともワーク収容凹部４５３の内面に形成されていればよいが、本実施形態では、相互に対向する分割体４５２の面にも形成されている。
【００８８】
分割体４５２の数は任意であってよいが、本実施形態では第一分割体４５２Ａと第二分割体４５２Ｂの二つである。二つの分割体４５２は、検査室２の出入口１０が向く方向（Ｘ軸方向）に配列されており、分割体移動機構４５５（例えばジップアクチュエータなど）によって、互いに近づく方向及び離れる方向に相対的に移動する。
【００８９】
気密収容部４５０は、二つの分割体４５２の間でワーク１０１０を二つの分割体４５２の配列方向に移動させるワーク移動機構４５６を備える。ワーク移動機構４５６は、図示例のように第一分割体４５２Ａに設けられてよいし、第二分割体４５２Ｂに設けられてもよい。ワーク移動機構４５６は、例えばジップアクチュエータ等によって構成される。
気密収容部４５０がワーク移動機構４５６を備えることで、ワーク１０１０を安定した状態で気密収容部４５０に収容したり、気密収容部４５０から取り出したりすることができる。
【００９０】
気密収容部４５０は、検査室２の出入口１０を塞ぐようにして検査室２の出入口１０を通るように構成されている。本実施形態において、気密収容部４５０は、第一分割体４５２Ａが出入口１０を塞ぐと共に第二分割体４５２Ｂが検査室２の外側に配される第一位置Ｐ１（図１５，１６）と、第二分割体４５２Ｂが出入口１０を塞ぐと共に第一分割体４５２Ａが検査室２内に配される第二位置Ｐ２（図１７）との間で移動可能である。すなわち、気密収容部４５０は、常に検査室２の出入口１０を塞いでいる。
【００９１】
上記した気密収容部４５０の移動は、収容部移動機構４５７によって行われる。収容部移動機構４５７の具体的な構成は任意であってよい。本実施形態の収容部移動機構４５７は、エアシリンダ４５８と、エアシリンダ４５８のピストン４５９に接続されたシャフト４６１と、を備える。
シャフト４６１は、気密収容部４５０の第一分割体４５２Ａに接続されており、検査室２の壁部を貫通する。シャフト４６１が貫通する検査室２の壁部の部分は、Ｏリング等のシール材４６２によって封止されている。
【００９２】
さらに、本実施形態のガス漏れ抑制構造４０４は、検査室２の出入口１０の縁に設けられて、検査室２の出入口１０と気密収容部４５０との隙間を埋めるシール部４６３を備える。シール部４６３は、例えばゴムやモヘヤシール、磁性流体などによって構成されてよい。
【００９３】
本実施形態のワーク検査装置４０１は、上記した構成の他に、第一実施形態と同様のコントローラ７（図１等参照）を備える。コントローラ７は、第一実施形態と同様の機能の他、分割体移動機構４５５やワーク移動機構４５６、収容部移動機構４５７の動作を制御する。
【００９４】
本実施形態のワーク検査装置４０１では、ワーク１０１０を検査室２に搬入することで、第一実施形態と同様にワーク検査（ワーク１０１０のガス漏れ検査）を実施することができる。
本実施形態においてワーク１０１０を検査室２に搬入する際には、はじめに、図１５に示すように、気密収容部４５０が第一位置Ｐ１に配された状態において、互いに間隔をあけて位置する二つの分割体４５２の間にワーク１０１０を配置する。
次いで、図１６に示すように、ワーク移動機構４５６によってワーク１０１０を移動させる。また、分割体移動機構４５５によって二つの分割体４５２を互いに近づく方向に移動させる。これにより、ワーク１０１０が気密収容部４５０の収容空間４５１に収容される。
【００９５】
その後、図１７に示すように、収容部移動機構４５７によって気密収容部４５０を第一位置Ｐ１から第二位置Ｐ２に移動させる。最後に、分割体移動機構４５５や収容部移動機構４５７によって二つの分割体４５２を互いに離れる方向に移動させる。また、ワーク１０１０が第一分割体４５２Ａのワーク収容凹部４５３から抜け出るように、ワーク移動機構４５６によってワーク１０１０を移動させる。以上により、ワーク１０１０が検査室２に搬入され、検査室２内の検査用ガスＴＧ雰囲気中に露出する。
検査室２内におけるワーク１０１０のガス漏れ検査が終了した後には、上記した工程を逆の順番で実施することで、ワーク１０１０を検査室２の外側に搬出すればよい。
【００９６】
本実施形態のワーク検査装置４０１によれば、第一実施形態と同様の効果を奏する。
また、本実施形態のワーク検査装置４０１によれば、ワーク１０１０を検査室２の内外に搬送する際、検査室２の出入口１０が常に気密収容部４５０によって塞がれている。また、検査室２の出入口１０と気密収容部４５０との隙間がシール部４６３によって埋められている。このため、検査室２内の検査用ガスＴＧが検査室２の外側に漏れ出すことを、より確実に抑制又は防止することができる。すなわち、検査室２内の検査用ガスＴＧの漏れ量を確実に減らすことができる。
【００９７】
また、本実施形態のワーク検査装置４０１によれば、第一実施形態と比較して、予備室２０や扉２１，２２を省略できるため、ワーク検査装置４０１の小型化や低コスト化をさらに図ることもできる。さらに、第一実施形態と比較して、予備室２０内における検査用ガスＴＧの濃度調整も不要となるため、ワーク検査の高速化もさらに図ることができる。
また、第一実施形態と比較して、検査室２内における検査用ガスＴＧの濃度（水素濃度）の変化も低減できるため、ワーク検査の高感度化を図ることができると共に、さらに再現性の高いワーク検査を実現できる。
【００９８】
〔第五実施形態〕
次に、図１８を参照して本発明の第五実施形態について説明する。本実施形態では、主に第四実施形態との相違点について説明する。本実施形態では、第一〜第四実施形態と同様の構成要素について同一符号を付す等して、その説明を省略する。
【００９９】
図１８に示すように、本実施形態のワーク検査装置５０１は、第一〜第四実施形態と同様に、中空のワーク１０１０のガス漏れを検査するガス漏れ検査装置であり、検査室２と、検査部３と、ガス漏れ抑制構造５０４と、を備える。検査室２及び検査部３の構成は、第四実施形態などと同様であってよい。
【０１００】
本実施形態のガス漏れ抑制構造５０４は、第四実施形態と同様に、ワーク１０１０を外部に対して気密に収容する収容空間５５１を有し、検査室２の出入口１０を塞ぐようにして検査室２の出入口１０を通る気密収容部５５０を備える。気密収容部５５０は、第四実施形態と同様に、収容空間５５１の内面を複数の領域に分割するように相対的に移動可能とされた複数の分割体５５２を備える。ただし、本実施形態の気密収容部５５０は、収容空間５５１を複数有する。以下、この点について具体的に説明する。
【０１０１】
本実施形態の分割体５５２には、第一分割体５５２Ａと、第二分割体５５２Ｂとがある。第一分割体５５２Ａは、第四実施形態における第一分割体４５２Ａを複数（図示例では四つ）結合させたものであり、検査室２の出入口１０が向く方向に直交する軸線（図１８においてＺ軸方向に延びる軸線）を中心に回転するように設けられている。複数の第二分割体５５２Ｂは、それぞれが第四実施形態における第二分割体４５２Ｂに対応する。
【０１０２】
以上のように構成される気密収容部５５０は、少なくとも一つの収容空間５５１が検査室２内に位置するように構成される。本実施形態では、一つの収容空間５５１が検査室２の外側に位置している状態で、三つの収容空間５５１が検査室２内に配される。本実施形態では、収容空間５５１が検査室２の外側に位置するときを第一位置Ｐ１１と定義し、他の位置を、第一位置Ｐ１１から反時計回りに第二位置Ｐ１２、第三位置Ｐ１３、第四位置Ｐ１４とする。
【０１０３】
本実施形態のワーク検査装置５０１は、ガスセンサ３０によるガス漏れ検査の他、光を利用したワーク１０１０の欠陥（大きな穴など）の検査、超音波を利用したワーク１０１０の欠陥（ワーク壁部内のボイドなど）の検査を行う。このため、ワーク検査装置５０１は、光検査部５６５および超音波検査部５６７をさらに備える。
【０１０４】
光検査部５６５は、気密収容部５５０の収容空間５５１の内面に設けられた発光素子５６６と、ワーク１０１０内に配される検査部３に設けられた受光素子（不図示）と、を備える。
発光素子５６６は、収容空間５５１内に収容されたワーク１０１０の外面全体に向けて光（紫外光、可視光、赤外光など）を照射する、例えばＬＥＤアレイや有機ＥＬなどである。受光素子は、発光素子５６６から放射されてワーク１０１０の壁部を貫通した光の光量を測定する。受光素子は、例えばフォトダイオード、光電子増倍管などである。なお、発光素子と受光素子の位置は逆であってもよい。
【０１０５】
超音波検査部５６７は、気密収容部５５０の収容空間５５１の内面に設けられた振動素子５６８と、ワーク１０１０内に配される検査部３に設けられた赤外線センサ（不図示）と、を備える。
振動素子５６８は、収容空間５５１内に収容されたワーク１０１０を超音波振動させる。振動素子５６８は、例えばＰＺＴなどの無機圧電素子、有機圧電フィルムなどであってよい。赤外線センサは、超音波振動によりワーク１０１０の主に欠陥部位において生じる発熱に伴って発生する赤外線の量を測定する。赤外線センサは、例えばサーモパイル（熱電対）やボロメータを用いたものである。
【０１０６】
本実施形態のワーク検査装置５０１は、上記した構成の他に、第一実施形態と同様のコントローラ７（図１等参照）を備える。コントローラ７は、第一実施形態と同様の機能の他、光検査部５６５の受光素子において測定された光量や、超音波検査部５６７の赤外線センサにおいて測定された赤外線の量に基づいて、ワーク１０１０における欠陥の有無を判定する。
【０１０７】
本実施形態のワーク検査装置５０１では、ワーク１０１０を検査室２に搬入することで、第一実施形態と同様にワーク検査（ワーク１０１０のガス漏れ検査）を実施することができる。また、本実施形態のワーク検査装置５０１では、ワーク１０１０を気密収容部５５０の収容空間５５１に収容することで、光や超音波を利用したワーク検査も実施することができる。
以下、実施形態のワーク検査装置５０１を用いたワーク検査方法の一例について説明する。
【０１０８】
本実施形態においてワーク検査を行う際には、はじめに、第四実施形態の場合と同様にして、検査室２の外側の第一位置Ｐ１１において気密収容部５５０の収容空間５５１にワーク１０１０を収容する。
次いで、回転機構（不図示）によって気密収容部５５０を反時計回りに回転させ、ワーク１０１０を収容した収容空間５５１を第二位置Ｐ１２に移動させる。第二位置Ｐ１２においては、光検査部５６５がワーク１０１０の欠陥（例えば大きな孔）の有無を検査し、コントローラ７（判定手段）は、光検査部５６５の受光素子において測定された光量に基づいてワーク１０１０の合否を判定する。
【０１０９】
その後、ワーク１０１０を収容した収容空間５５１を回転させ、第三位置Ｐ１３に移動させる。第三位置Ｐ１３においては、検査室２内の検査用ガスＴＧによるワーク１０１０のガス漏れ検査を行う。ガス漏れ検査の方法は、第四実施形態の場合と同様である。
なお、前述した光検査部５６５（受光素子）によるワーク検査において、ワーク１０１０が不合格であると判定された場合には、上記した第三位置Ｐ１３におけるワーク検査は省略してよい。
【０１１０】
ガス漏れ検査の後には、気密収容部５５０の収容空間５５１にワーク１０１０を再度収容した上で、収容空間５５１を回転させ、第四位置Ｐ１４に移動させる。第四位置Ｐ１４においては、超音波検査部５６７がワーク１０１０の欠陥（例えばワーク１０１０の壁部内のボイドなど）の有無を検査し、コントローラ７（判定手段）は、超音波検査部５６７の赤外線センサにおいて測定された赤外線の量に基づいてワーク１０１０の合否を判定する。
なお、前述した光検査部５６５（受光素子）や検査部３（ガスセンサ）によるワーク検査において、ワーク１０１０が不合格であると判定された場合には、上記した第四位置Ｐ１４におけるワーク検査は省略してよい。
【０１１１】
最後に、ワーク１０１０を収容した収容空間５５１を回転させて第一位置Ｐ１１に移動させた後、第四実施形態と同様にしてワーク１０１０を収容空間５５１から取り出すことで、ワーク１０１０の検査が完了する。
【０１１２】
本実施形態のワーク検査装置５０１によれば、第四実施形態と同様の効果を奏する。
また、本実施形態のワーク検査装置５０１によれば、気密収容部５５０を９０度回転させる毎に、第四位置Ｐ１４に位置する別の収容空間５５１が第一位置Ｐ１１まで移動する。このため、気密収容部５５０を９０度回転させる毎に、第一位置Ｐ１１において新たなワーク１０１０を収容することができる。すなわち、本実施形態のワーク検査装置５０１では、複数のワーク１０１０を連続的に検査することができるため、ワーク検査のさらなる高速化を図ることができる。
【０１１３】
また、本実施形態のワーク検査装置５０１によれば、ガスセンサ３０によるワーク１０１０のガス漏れ検査の前に、光検査部５６５によるワーク検査を行うことができる。また、光検査部５６５によるワーク検査においてワーク１０１０が不合格であると判定された場合には、ガスセンサによるワーク検査を省略することができる。このため、ガスセンサが高い濃度の検査用ガスＴＧ雰囲気に晒されて、ガスセンサの感度が低下してしまうことを抑制できる。ガスセンサの保護を図ることで、同一のガスセンサを繰り返し使用することができ、ワーク検査を効率よく実施することが可能となる。このことは、ガスセンサが高濃度の検査用ガスＴＧに対する耐性が低い半導体式ガスセンサである場合に、特に有効である。
【０１１４】
また、本実施形態のワーク検査装置５０１では、ガスセンサによるワーク検査に加え、光検査部５６５や超音波検査部５６７によるワーク検査も行うことができる。このため、光検査部５６５や超音波検査部５６７によるワーク検査を別の装置で実施する場合と比較して、ワーク１０１０を検査するための装置の数を減らすことができると共に、このような装置を操作するために必要な作業者の削減も図ることができる。
【０１１５】
第五実施形態の光検査部５６５や超音波検査部５６７は、例えば第四実施形態のワーク検査装置４０１に適用されてよい。
【０１１６】
〔第六実施形態〕
次に、図１９を参照して本発明の第六実施形態について説明する。本実施形態では、主に第四、第五実施形態との相違点について説明する。本実施形態では、第一〜第五実施形態と同様の構成要素について同一符号を付す等して、その説明を省略する。
【０１１７】
図１９に示すように、本実施形態のワーク検査装置６０１は、第四、第五実施形態と同様に、中空のワーク１０１０のガス漏れを検査するガス漏れ検査装置であり、検査室２と、検査部３と、ガス漏れ抑制構造６０４と、を備える。
本実施形態の検査室２は、ワーク１０１０を出し入れする出入口１０を二つ有する。二つの出入口１０は、例えば互いに異なる方向に向いていてもよいが、本実施形態では互いに同じ方向（Ｘ軸方向。以下、「一方向」とも呼ぶ。）に向いている。検査室２の大きさは、任意であってよいが、本実施形態では一方向に複数（図示例では四つ又は五つ）のワーク１０１０を並べた状態で収容できる程度の大きさである。
【０１１８】
本実施形態のガス漏れ抑制構造６０４は、ワーク１０１０を外部に対して気密に収容する収容空間６５１を有し、検査室２の出入口１０を塞ぐようにして検査室２の出入口１０を通る気密収容部６５０を備える。気密収容部６５０は、第四、第五実施形態の場合と同様に、収容空間６５１の内面を複数の領域に分割する複数の分割体６５２を備える。また、気密収容部６５０は、収容空間６５１を複数有する。
【０１１９】
本実施形態における気密収容部６５０の複数の分割体６５２は、二つの出入口１０を通る帯状に形成された二つのベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂである。二つのベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂは、二つの出入口１０において互いに近づくことでワーク１０１０を収容空間６５１に収容し、検査室２内において互いに離れることでワーク１０１０を開放する。なお、ベルト状分割体の数は、三つ以上でもかまわない。
以下、二つのベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂの構成について具体的に説明する。
【０１２０】
二つのベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂは、それぞれ検査室２の一方の出入口１０から検査室２内に入り、他方の出入口１０から検査室２の外側に出るようにＸ軸正方向に動く。図２１においては、左側から右側へと動く。
具体的に、各ベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂは無端ベルトであり、検査室２の外側に配された複数のローラ６５５に巻き掛けられ、ローラ６５５の回転に伴って動く。複数のローラ６５５のうち少なくとも一つは、駆動回転する駆動ローラである。残りのローラ６５５は駆動ローラの回転に伴って従動回転する従動ローラであってよい。
【０１２１】
二つのベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂは、検査室２の各出入口１０において各出入口１０の縁部分によって挟み込まれることで、互いにＹ軸方向に重なる。二つのベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂは、左側の出入口１０から検査室２内に入った後、Ｘ軸正方向に向かうにしたがってＹ軸方向に互いに離れる。二つのベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂ同士の間隔は、Ｘ軸方向における検査室２内の中間部において最大となる。その後、二つのベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂは、検査室２の右側の出入口１０に向かうにしたがって互いに近づく。
上記した二つのベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂの動きは、各ベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂに設けられた複数のピン６５６が、検査室２内に設けられた湾曲したガイドレール６５７に引っ掛ることで、実現できる。
【０１２２】
検査室２の出入口１０及び検査室２内において互いに対向する二つのベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂの外面には、それぞれワーク１０１０の一部を収容するワーク収容凹部６５３が複数形成されている。複数のワーク収容凹部６５３は、各ベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂの長手方向において互いに間隔をあけて配列されている。
【０１２３】
二つのベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂのワーク収容凹部６５３は、検査室２の各出入口１０において二つのベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂが重なることで、ワーク１０１０を収容する気密収容部６５０の収容空間６５１を構成する。ベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂの表面には、第三〜第五実施形態と同様に、シール材６５４が形成されている。
【０１２４】
さらに、本実施形態のガス漏れ抑制構造６０４は、検査室２の各出入口１０の縁に設けられて、検査室２の出入口１０と二つのベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂ（気密収容部６５０）との隙間を埋めるシール部６５８を備える。シール部６５８は、例えばゴムやモヘヤシール、磁性流体などによって構成されてよい。
本実施形態のシール部６５８は、ベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂが出入口１０を通る際にベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂに接触して回転するローラー部６５９を備える。ローラー部６５９は、円柱状に形成され、各出入口１０の縁に対して一方向に直交する軸線（図１９においてＺ軸方向に延びる軸線）を中心に回転可能に設けられている。また、本実施形態のシール部６５８は、検査室２の出入口１０の縁とローラー部６５９との隙間を埋めるモヘヤシールや磁性流体などのシール材（不図示）を備えてもよい。
ガス漏れ抑制構造６０４がシール部６５８を備えることで、検査用ガスＴＧが検査室２内から検査室２の外側に漏れ出したりすることを、より確実に抑制又は防止することができる。また、シール部６５８がローラー部６５９を含むことで、二つのベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂを滑らかに検査室２の各出入口１０に通すことができる。
【０１２５】
本実施形態のワーク検査装置６０１は、上記した構成の他に、第一実施形態と同様のワーク搬送機構５やロボットアーム６、コントローラ７（図１等参照）などを備える。
【０１２６】
本実施形態のワーク検査装置６０１では、ワーク１０１０を検査室２に搬入することで、第一実施形態と同様にワーク検査（ワーク１０１０のガス漏れ検査）を実施することができる。
本実施形態においてワーク１０１０のガス漏れ検査を実施する際には、はじめに、ワーク搬送機構５によってワーク１０１０を検査室２の一方の出入口１０に向けて搬送する。次いで、ワーク１０１０が検査室２の外側から検査室２の一方の出入口１０に到達するまでの間に、ワーク１０１０を二つのベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂによって挟み込み、ワーク１０１０を気密収容部６５０の収容空間６５１に収容する。この状態において、二つのベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂやワーク搬送機構５によって、ワーク１０１０を検査室２の一方の出入口１０に通して検査室２内に搬入する。その後、検査室２内において二つのベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂが互いに離れることで、ワーク１０１０が開放され、検査室２内の検査用ガスＴＧ雰囲気中に露出する。この状態において、ワーク１０１０のガス漏れ検査を実施することができる。
【０１２７】
その後、ワーク１０１０が検査室２の他方の出入口１０に到達するまでの間に、ワーク１０１０を再び二つのベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂによって挟み込み、ワーク１０１０を気密収容部６５０の収容空間６５１に収容する。この状態において、二つのベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂやワーク搬送機構５によって、ワーク１０１０を検査室２の他方の出入口１０に通して検査室２の外側に搬出する。最後に、検査室２の外側において二つのベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂが互いに離れることで、ワーク１０１０を開放することで、ワーク１０１０のガス漏れ検査が完了する。
【０１２８】
本実施形態のワーク検査装置６０１によれば、第四実施形態と同様の効果を奏する。
また、本実施形態のワーク検査装置６０１によれば、気密収容部６５０が帯状に形成された二つのベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂによって構成されているため、複数のワーク１０１０を連続的に検査することができる。したがって、ワーク検査のさらなる高速化を図ることができる。
【０１２９】
〔第七実施形態〕
次に、図２０〜２２を参照して本発明の第七実施形態について説明する。本実施形態では、第一〜第六実施形態と同様の構成要素について同一符号を付す等して、その説明を省略する。
【０１３０】
図２０，２１に示すように、本実施形態のワーク検査装置７０１は、第一〜第六実施形態と同様に、中空のワーク１０１０のガス漏れを検査するガス漏れ検査装置であり、検査室２と、検査部３と、ガス漏れ抑制構造７０４と、を備える。
本実施形態の検査室２は、ワーク１０１０を出し入れする出入口１０を一つ有する。本実施形態において、出入口１０は検査室２の下端に形成されている。
【０１３１】
本実施形態のガス漏れ抑制構造７０４は、収容部７５０と、蓋部７２１と、を備える。
収容部７５０は、検査室２内に配される。収容部７５０は、検査室２の出入口１０を通してワーク１０１０を収容する収容空間７５１を有する。すなわち、収容部７５０は、検査室２の出入口１０に通じる開口７５５を有する。収容部７５０は、その開口端７５６が検査室２の内面のうち出入口１０の周囲領域に接触するように検査室２内に配される。収容部７５０の開口端７５６には、モヘヤシール等のシール材７５４が設けられている。これにより、収容空間７５１は、検査室２に対して気密となる。また、検査室２は、収容部７５０によって検査室２の外側に対して気密となる。
【０１３２】
収容空間７５１は、ワーク１０１０に対応する大きさの空間となっている。すなわち、収容空間７５１の内面は、ワーク１０１０の外面に対応する形状に形成されている。これにより、ワーク１０１０の外面を収容空間７５１の内面に隙間なく面接触させることができる。
収容空間７５１に収容されるワーク１０１０は、少なくとも開口部１０１１を有していればよく、任意の形状であってよい。
【０１３３】
収容部７５０は、収容空間７５１の内面を複数の領域に分割する複数の分割体７５２を備える。複数の分割体７５２は、互いに結合されることで収容部７５０の収容空間７５１を形成する。この状態では、前述したように収容空間７５１が検査室２に対して気密となる。
各分割体７５２は、ワーク１０１０の一部を収容するワーク収容凹部７５３を有する。複数の分割体７５２のワーク収容凹部７５３の形状や大きさは、互いに異なっていてもよいが、本実施形態では互いに等しい。複数のワーク収容凹部７５３は、複数の分割体７５２を結合した状態において、収容部７５０の収容空間７５１を構成する。
【０１３４】
本実施形態において、各分割体７５２の表面には、シール材７５４が形成されている。シール材７５４は、分割体７５２の表面のうち、収容部７５０の開口端７５６をなす領域、ワーク収容凹部７５３の内面、及び、相互に対向する分割体７５２の面に形成されている。これにより、複数の分割体７５２を結合した状態では、収容空間７５１を検査室２に対して確実に気密とすることができる、すなわち、検査室２内の検査用ガスＴＧが出入口１０から検査室２の外側に漏れ出すことを防止又は抑制することができる。
【０１３５】
分割体７５２の数は、任意であってもよいが、本実施形態では二つである。二つの分割体７５２は、収容空間７５１に対してワーク１０１０を出し入れする方向（Ｚ軸方向）に直交する方向（Ｘ軸方向）に配列されている。二つの分割体７５２は、各種のアクチュエータからなる分割体移動機構（不図示）によって、互いに近づく方向及び互いに離れる方向に移動可能である（図２１，２２参照）。
【０１３６】
蓋部７２１は、検査室２の外側から検査室２の出入口１０を開閉する。
本実施形態において、検査室２の出入口１０の縁には、これに対向する蓋部７２１の部位との隙間を埋めるシール材７１５が設けられている。これにより、蓋部７２１が検査室２の出入口１０を閉じた状態では、二つの分割体７５２が検査室２内において互いに離れていても、検査室２内の検査用ガスＴＧが出入口１０から検査室２の外側に漏れ出すことを防止又は抑制することができる。
【０１３７】
本実施形態において、出入口１０を開閉する蓋部７２１の移動は、蓋部移動機構７５７によって行われる。蓋部移動機構７５７の具体的な構成は任意であってよい。本実施形態の蓋部移動機構７５７は、エアシリンダ７５８と、エアシリンダ７５８のピストン７５９に接続されたシャフト７６１と、を備える。シャフト７６１は、蓋部７２１に接続されている。
【０１３８】
本実施形態においては、蓋部７２１上にワーク１０１０を配し、蓋部移動機構７５７によってワーク１０１０を蓋部７２１と共に移動させることで、ワーク１０１０を収容部７５０の収容空間７５１に対して出し入れできる。すなわち、本実施形態の蓋部移動機構７５７は、ワーク搬送機構を兼ねている。
さらに、本実施形態では、ワーク１０１０の開口部１０１１を蓋部７２１に設けられた閉塞部７３７によって閉塞することで、ワーク１０１０が蓋部７２１上に配される。これにより、ワーク１０１０全体のガス漏れを検査することができる。
【０１３９】
さらに、本実施形態のワーク検査装置７０１は、コントローラ７を備える。コントローラ７は、制御回路部７Ａ及び入出力インターフェイス７Ｂを備える。コントローラ７は、第一実施形態と同様の機能の他、分割体移動機構や蓋部移動機構７５７の動作を制御する機能を有する。
【０１４０】
本実施形態のワーク検査装置７０１では、ワーク１０１０を検査室２に搬入することで、第一実施形態と同様にワーク検査（ワーク１０１０のガス漏れ検査）を実施することができる。
はじめに、図２０に示すように、ワーク１０１０を蓋部７２１上に配した上で、蓋部移動機構７５７によってワーク１０１０を検査室２の出入口１０に向けて搬送する。これにより、図２１に示すように、ワーク１０１０が検査室２内に配された収容部７５０の収容空間７５１に収容されると同時に、蓋部７２１によって検査室２の出入口１０が閉じられる。その後、図２２に示すように、分割体移動機構（不図示）によって二つの分割体７５２を互いに離れる方向に移動させる。これにより、ワーク１０１０が検査室２に搬入され、検査室２内の検査用ガスＴＧ雰囲気中に露出する。これにより、ワーク１０１０のガス漏れ検査を実施することができる。
検査室２内におけるワーク１０１０のガス漏れ検査が終了した後には、上記した工程を逆の順番で実施することで、ワーク１０１０を検査室２の外側に搬出すればよい。
【０１４１】
本実施形態のワーク検査装置７０１によれば、第一実施形態と同様の効果を奏する。
また、本実施形態のワーク検査装置７０１によれば、ワーク１０１０を検査室２の内外に搬送する際には、検査室２が収容部７５０によって検査室２の外部に対して気密となる。また、検査室２内においてワーク１０１０のガス漏れ検査を行う状態（収容部７５０を二つの分割体７５２に分けた状態）では、検査室２の出入口１０が蓋部７２１によって閉じられる。このため、検査室２内の検査用ガスＴＧが検査室２の外側に漏れ出すことを、より確実に抑制又は防止することができる。すなわち、検査室２内の検査用ガスＴＧの漏れ量を確実に減らすことができる。
【０１４２】
また、本実施形態のワーク検査装置７０１によれば、第一実施形態と比較して、予備室２０を省略できるため、ワーク検査装置７０１の小型化や低コスト化をさらに図ることもできる。さらに、予備室２０内における検査用ガスＴＧの濃度調整も不要となるため、ワーク検査の高速化もさらに図ることができる。
また、第一実施形態と比較して、検査室２内における検査用ガスＴＧの濃度（水素濃度）の変化も低減できるため、ワーク検査の高感度化を図ることができると共に、さらに再現性の高いワーク検査を実現できる。
【０１４３】
第七実施形態において、検査室２内には、複数の収容部７５０が配されてもよい。この場合、検査室２は、収容部７５０の数に応じた複数の出入口１０を有してよい。また、ガス漏れ抑制構造７０４は、収容部７５０の数に応じた複数の蓋部７２１を備えてよい。このような構成では、ワーク検査の高速化をさらに図ることができる。
【０１４４】
〔第八実施形態〕
次に、図２３を参照して本発明の第八実施形態について説明する。本実施形態では、主に第一、第二実施形態との相違点について説明する。本実施形態では、第一〜第七実施形態と同様の構成要素について同一符号を付す等して、その説明を省略する。
【０１４５】
図２３に示すように、本実施形態に係るワーク検査装置８０１は、ワーク内部の欠陥を検査する超音波検査装置である。
検査対象であるワークは任意であってよい。本実施形態のワーク１０４０は、シート状に形成された複数の炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ）を積層し、接着層によって接着した板状体である。本実施形態のワーク検査装置８０１によって検査するワーク１０４０の欠陥には、例えば、積層方向に隣り合うＣＦＲＰの間の接着層に存在する空隙（ＣＦＲＰ同士の剥離）や異物などがある。
【０１４６】
本実施形態のワーク検査装置８０１は、第一、第二実施形態と同様に、検査室２と、検査部８０３と、ガス漏れ抑制構造８０４と、を備える。検査室２の構成は、第一実施形態と同様であってよい。また、本実施形態のワーク検査装置８０１は、第一実施形態と同様のワーク搬送機構５を備える。
【０１４７】
ガス漏れ抑制構造８０４は、第一実施形態と同様の予備室２０（第一予備室２０Ａ、第二予備室２０Ｂ）を備える。さらに、本実施形態のガス漏れ抑制構造８０４は、第二実施形態と同様のシール部１４０（第一シール部１４０Ａ、第二シール部１４０Ｂ）を備える。本実施形態のガス漏れ抑制構造８０４は、例えば第一、第二実施形態のような扉２１，２２，１２１，１２２を備えてもよいが、本実施形態では備えない。ワーク１０４０が薄いため、シール部１４０のみで、検査室２や予備室２０から外部へのガス漏れが抑制できるためである。
【０１４８】
本実施形態の検査部８０３は、超音波発振部８３１及び超音波受信部８３２を備える。超音波発振部８３１は、検査室２内においてワーク１０４０に向けて超音波ＵＳを照射する。超音波発振部８３１は、一つ又は複数の超音波発振素子によって構成されてよい。超音波受信部８３２は、検査室２内においてワーク１０４０を透過した超音波ＵＳを測定する。超音波受信部８３２は、一つ又は複数の超音波受信素子によって構成されてよい。なお、超音波受信部８３２は、ワーク１０４０で反射した超音波ＵＳを測定するよう構成してもよい。
【０１４９】
本実施形態において、超音波発振部８３１及び超音波受信部８３２は、検査室２内に設けられる。超音波発振部８３１と超音波受信部８３２とは、ワーク搬送機構５によって搬送されるワーク１０４０の搬送経路の両側に配されている。また、超音波発振部８３１及び超音波受信部８３２は、それぞれ検査室２の内面に設けられた保持部材８３３によって、検査室２内の所定位置に保持されている。
【０１５０】
超音波受信部８３２において測定された超音波ＵＳのデータは、有線通信又は無線通信で第一実施形態と同様のコントローラ７に送信される。本実施形態において、コントローラ７（判定手段）は、超音波受信部８３２において測定された超音波ＵＳのデータに基づいて、ワーク１０４０内部に欠陥があるか否かを判定する。
【０１５１】
本実施形態のワーク検査装置８０１において用いられる検査用ガスＴＧは、上記した超音波検査を高い感度で実施できるように、空気よりも密度が高く、比重が１よりも大きい高密度ガスであるとよい。また、高密度ガスは、例えば、安全性や容易な取り扱いを考慮して、不燃性であり毒性が低いとよい。このような高密度ガスとしては、例えば、アルゴン、キセノン、クリプトンなどが挙げられる。また、高密度ガスは、例えば、パーフロロプロパン、フレオン１２、フレオン１４、フロン−２２、フロンＲ―１３４ａ、フロンＲ―５０２などのフロンガスであってもよいし、二酸化炭素などであってもよい。
検査室２内や予備室２０内に設けられるプローブ１３には、上記した高密度ガスの濃度を検出できるガスセンサ（例えば熱伝導式ガスセンサ、半導体式ガスセンサ、電気化学式ガスセンサ、非分散型赤外吸収式ガスセンサ）を用いるとよい。
【０１５２】
本実施形態のワーク検査装置８０１によりワーク検査（超音波検査）を実施する際には、予め、検査室２の吸気口１１を通して検査室２内に検査用ガスＴＧを充填しておく。各予備室２０には、検査用ガスＴＧを充填せず、例えば外部と同じ空気で満たされていてよい。検査室２内における気体の圧力は、各予備室２０における気体の圧力よりも高くするとよい。また、各予備室２０における気体の圧力は、予備室２０の外側の大気雰囲気中の圧力よりも高くするとよい。これにより、検査室２内における検査用ガスＴＧの濃度低下を低減できる。
【０１５３】
また、仮に検査室２内の検査用ガスＴＧが予備室２０に漏れ出した場合（予備室２０内のプローブ１３によって検査用ガスＴＧが検出された場合）には、予備室２０内の検査用ガスＴＧを回収装置（不図示）によって予備室２０の排気口２５から回収してよい。また、検査用ガスＴＧを含まない清浄な気体を予備室２０の吸気口２４から予備室２０内に導入してよい。回収装置による検査用ガスＴＧの回収は、例えば、予備室２０内の気体をファン等によって撹拌した状態で、予備室２０内のプローブ１３によって測定される検査用ガスＴＧの濃度が規定位置以下になるまで行われてよい。予備室２０内の検査用ガスＴＧの回収は、検査用ガスＴＧとしてフロンガスを用いる場合に、特に有効である。
【０１５４】
ワーク検査（超音波検査）を実施する際には、上記した状態において、ワーク１０４０をワーク搬送機構５によって、第一予備室２０Ａの開口２３を通して第一予備室２０Ａ内に搬入し、さらに、第一予備室２０Ａ内から検査室２の出入口１０を通して検査室２内に移送する。ワーク１０４０が第一予備室２０Ａの開口２３や検査室２の出入口１０を通る際、ワーク１０４０と第一予備室２０Ａの開口２３や検査室２の出入口１０との隙間はシール部１４０によって埋められる。このため、検査用ガスＴＧが、検査室２内から第一予備室２０Ａ側に漏れ出したり、第一予備室２０Ａ内から第一予備室２０Ａの外側に漏れ出したりすることを、抑制又は防止できる。
【０１５５】
その後、検査室２内においてワーク１０４０が検査部８０３を通過するように、ワーク１０４０をワーク搬送機構５によってさらに搬送する。これにより、ワーク１０４０の超音波検査が行われる。最後に、ワーク１０４０をワーク搬送機構５によって、検査室２内から検査室２の出入口１０を通して第二予備室２０Ｂ内に移送し、さらに、第二予備室２０Ｂの開口２３を通して第二予備室２０Ｂの外側に搬出することで、ワーク１０４０の超音波検査が完了する。ワーク１０４０を検査室２から第二予備室２０Ｂの外側まで搬送する際も、シール部１４０によって、検査用ガスＴＧが、検査室２内から第二予備室２０Ｂ側に漏れ出したり、第二予備室２０Ｂ内から第二予備室２０Ｂの外側に漏れ出したりすることを、抑制又は防止できる。
本実施形態のワーク検査装置８０１では、第一、第二実施形態と同様に、複数のワーク１０４０の超音波検査を連続的に行うことができる。
【０１５６】
本実施形態のワーク検査装置８０１によれば、第一、第二実施形態の場合と同様に、ガス漏れ抑制構造８０４によって検査室２に対するワーク１０４０の出し入れによる検査室２内の検査用ガスＴＧの漏れを抑制することができる。このため、検査室２内における検査用ガスＴＧの濃度低下を抑え、検査室２内に入れたワーク１０４０を短時間で高濃度の検査用ガスＴＧに晒すことができる。すなわち、検査用ガスＴＧの濃度が高い環境下においてワーク１０４０の超音波検査を短時間で実施できる。したがって、ワーク検査（超音波検査）の高速化を図ることができる。
【０１５７】
また、検査用ガスＴＧの濃度が高い環境下においてワーク１０４０の超音波検査を行うことで、ワーク検査（超音波検査）の高感度化も図ることができる。具体的には、従来と比較して、ワーク１０４０内部の微小な欠陥を容易に検出することが可能となる。
また、ガス漏れ抑制構造８０４によって検査室２内の検査用ガスＴＧの漏れが抑制されることで、ワーク検査の低コスト化も図ることができる。
また、本実施形態のワーク検査装置８０１によれば、ワーク１０４０を検査室２内に入れた状態でワーク１０４０の超音波検査を実施できるため、ワーク１０４０に傷がついてしまうリスクも低減できる。例えば、ワーク１０４０が液体や固体等の内容物を充填した袋状の容器である場合には、容器が破れて内容物が漏洩するリスクを低減できる。
【０１５８】
〔第九実施形態〕
次に、図２４を参照して本発明の第九実施形態について説明する。本実施形態では、主に第六、第八実施形態との相違点について説明する。本実施形態では、第一〜第八実施形態と同様の構成要素について同一符号を付す等して、その説明を省略する。
【０１５９】
図２４に示すように、本実施形態のワーク検査装置９０１は、第八実施形態と同様に、ワーク内部の欠陥を検査する超音波検査装置である。
検査対象であるワークは任意であってよい。本実施形態のワーク１０５０は、液体や固体等の内容物を充填した複数の袋状の容器１０５１と、隣り合う袋状の容器１０５１同士をつなぐ複数の連結部１０５２によって構成されている。複数の袋状の容器１０５１及び連結部１０５２は、例えば二枚のフィルムを重ねることで構成される。本実施形態のワーク検査装置９０１によって検査するワーク１０５０の欠陥には、例えば連結部１０５２の内部に存在する空隙や異物がある。
【０１６０】
本実施形態のワーク検査装置９０１は、第六実施形態と同様に、検査室２と、検査部９０３と、ガス漏れ抑制構造６０４と、を備える。検査室２及びガス漏れ抑制構造６０４の構成は、第六実施形態と同様である。
ただし、本実施形態のガス漏れ抑制構造６０４を構成する各ベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂのワーク収容凹部６５３には、前述したワーク１０５０のうち袋状の容器１０５１が収容される。すなわち、袋状の容器１０５１は、二つのベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂのワーク収容凹部６５３からなる空間に収容される。一方、ワーク１０５０のうち連結部１０５２は、ベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂの長手方向において隣り合うワーク収容凹部６５３の間に位置するベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂの外面の領域に配される。すなわち、連結部１０５２は、二つのベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂの外面の間の空間に収容される。したがって、本実施形態においてワーク１０５０を収容する気密収容部６５０の収容空間６５１は、ワーク１０５０を挟む二つのベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂの間の空間全体となっている。
【０１６１】
本実施形態の検査部９０３は、第八実施形態と同様の機能を有する超音波発振部９３１及び超音波受信部９３２を備える。
本実施形態において、超音波発振部９３１は、一方のベルト状分割体６５２Ａの外面全体に形成されている。超音波発振部９３１は、多数の超音波発振素子を配列したフェーズドアレイである。一方、超音波受信部９３２は、他方のベルト状分割体６５２Ｂの外面全体に形成されている。超音波受信部９３２は、多数の超音波受信素子を配列したフェーズドアレイである。
【０１６２】
本実施形態の検査部９０３では、検査室２内において二つのベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂが互いに離れている状態において、超音波発振部９３１がワーク１０５０に向けて超音波ＵＳを照射し、超音波受信部９３２がワーク１０５０において透過した超音波ＵＳを測定する。
図示例では、超音波ＵＳがワーク１０５０の各連結部１０５２に照射され、各連結部１０５２の内部の欠陥の有無について検査されるが、これに限ることは無い。例えば、超音波ＵＳがワーク１０５０の袋状の容器１０５１に照射され、袋状の容器１０５１の内部の欠陥（例えば内容物に含まれる気泡など）の有無について検査してもよい。また、超音波発振部が超音波受信部を兼ねるようにし、ワーク１０５０で反射した超音波ＵＳを測定するようにしてもよい。
【０１６３】
本実施形態のワーク検査装置９０１は、例えば第六実施形態と同様のワーク搬送機構５を備えてもよい。ただし、本実施形態のワーク１０５０は、複数の袋状の容器１０５１を連結部１０５２で連結して構成されている。このため、二つのベルト状分割体６５２Ａ，６５２Ｂが検査室２の各出入口１０においてワーク１０５０の袋状の容器１０５１や連結部１０５２を挟み込んで動くだけで、ワーク１０５０を検査室２の外側や検査室２内においても搬送することができる。すなわち、本実施形態のワーク検査装置９０１は、例えば第六実施形態と同様のワーク搬送機構５を備えなくてもよい。
【０１６４】
本実施形態のワーク検査装置９０１によれば、第六、第八実施形態と同様の効果を奏する。
【０１６５】
以上、本発明について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【符号の説明】
【０１６６】
１，１０１，２０１，４０１，５０１，６０１，７０１，８０１，９０１…ワーク検査装置、２…検査室、３，８０３，９０３…検査部、４，１０４，２０４，４０４，５０４，６０４，７０４，８０４…ガス漏れ抑制構造、５…ワーク搬送機構、１０…出入口、２０…予備室、２１，１２１…第一扉、２２，１２２…第二扉、２３…開口、３０…ガスセンサ、１２６，２２６…引き戸、１２９，２２９…ローラー部、１４０…シール部、２２１…扉、４５０，５５０，６５０…気密収容部、４５１，５５１，６５１…収容空間、４５２，５５２，６５２…分割体、４６３，６５８…シール部、５５２Ａ…第一分割体、５５２Ｂ…第二分割体、６５２Ａ，６５２Ｂ…ベルト状分割体、７２１…蓋部、７５０…収容部、７５１…収容空間、７５２…分割体、８３１，９３１…超音波発振部、８３２，９３２…超音波受信部、１０００，１０１０，１０３０，１０４０，１０５０…ワーク、ＴＧ…検査用ガス、ＵＳ…超音波
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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