(57)【要約】  本発明の実施形態は、光をその中に通して処理するための同位体特定流体を使用する流体光学素子及びシステムに関する。流体の同位体組成を調整して、光学特性を変えうる。同位体特定流体の特性をモニターし且つ調整して、流体光学素子の所望の光学特性を得うる。１つの実施形態では、光を光学的に処理する方法は、閉じた空間内に置かれた同位体特定流体を含む光学素子を通して光を指向させることを含んでいる。同位体特定流体を選択して、光を光学的に処理するために同位体特定流体を通して指向された光に所定の所望な効果をもたらす。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を光学的に処理する方法であって、
光を、閉じた空間内に配置された同位体特定流体を含む光学素子を通して指向させることを含み、
前記同位体特定流体が選択されて、前記光を光学的に処理するために、前記同位体特定流体を通して指向される前記光に所定の所望な効果がもたらされる方法。
【請求項２】
前記同位体特定流体が流体の１以上の同位体を備える請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記同位体特定流体は流体の複数の同位体を備え、且つ、さらに流体の同位体組成をモニターすることを含む請求項２に記載の方法。
【請求項４】
さらに、前記流体の前記複数の同位体の量を調整して、モニターされた前記流体の同位体組成に基づいて前記同位体組成を変化させることを含む請求項３に記載の方法。
【請求項５】
さらに、前記流体の可変の同位体組成を形成して、前記光学素子の可変の光学特性をもたらすように前記流体の前記複数の同位体の量を調整することを含む請求項２に記載の方法。
【請求項６】
前記同位体特定流体が１以上の水の同位体を備える請求項１に記載の方法。
【請求項７】
さらに、前記光学素子を、液浸光学装置内において光学アセンブリとリソグラフィによって処理される基板との間の位置に位置付けることを含み、前記光は前記光学アセンブリ及び前記光学素子を通して前記基板に指向される請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記光学素子の前記同位体特定流体は第１の屈折率を有し、前記閉じた空間は、前記第１の屈折率と異なる第２の屈折率を有する材料を備える容器内に提供される請求項１に記載の方法。
【請求項９】
さらに、前記光学素子の前記閉じた空間と再循環リザーバーとの間で、前記同位体特定流体を再循環させることを含む請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
さらに、前記光学素子内の前記同位体特定流体の温度、圧力及び同位体組成のうち少なくとも一つを制御することを含む請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記閉じた空間は石英ガラスを備える容器内に設けられている請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記光は、約１９３ｎｍ以上の波長を有する請求項１に記載の方法。
【請求項１３】
光学素子であって、
容器と、
前記容器内に置かれた同位体特定流体とを備え、
前記同位体特定流体が選択されて、光を光学的に処理するために前記同位体特定流体を通して指向される光に所定の所望な効果がもたらされる光学素子。
【請求項１４】
前記同位体特定流体は流体の１以上の同位体を備える請求項１３に記載の光学素子。
【請求項１５】
前記同位体特定流体は流体の複数の同位体を備え、前記流体の複数の同位体の量は、前記流体の可変の同位体組成を形成して、前記光学素子の可変の光学特性をもたらすように調整可能である請求項１４に記載の光学素子。
【請求項１６】
前記同位体特定流体は水の１以上の同位体を備える請求項１３に記載の光学素子。
【請求項１７】
前記光学素子の前記同位体特定流体は第１の屈折率を有し、前記容器は前記第１の屈折率と異なる第２の屈折率を有する材料を備える請求項１３に記載の光学素子。
【請求項１８】
前記閉じた空間は、石英ガラスを備える容器内に設けられている請求項１３に記載の光学素子。
【請求項１９】
基板を処理するための光学システムであって、
空間によって基板から離間した光学アセンブリと、
前記光学アセンブリと前記基板との間の前記空間内に配置された光学素子であって、同位体特定流体を含んで、光を光学的に処理するために前記同位体特定流体を通して指向される光に所定の所望な効果をもたらす光学素子とを備える光学システム。
【請求項２０】
前記同位体特定流体は、流体の１以上の同位体を備える請求項１９に記載の光学システム。
【請求項２１】
前記同位体特定流体は流体の複数の同位体を備え、前記流体の前記複数の同位体の量は、前記流体の可変の同位体組成を形成して、前記光学素子の可変の光学特性をもたらすように調整可能である請求項２０に記載の光学システム。
【請求項２２】
前記同位体特定流体は、水の１以上の同位体を備える請求項１９に記載の光学システム。
【請求項２３】
前記同位体特定流体の連続的な流れが、前記光学アセンブリと前記基板との間の前記空間を通して提供されて、前記光学素子を形成する請求項１９に記載の光学システム。
【請求項２４】
前記同位体特定流体の屈折率は約１．４５よりも大きい請求項１９に記載の光学システム。
【請求項２５】
リソグラフィシステムであって、前記基板は、請求項１９に記載の前記光学システムを通じた放射によって露光されるリソグラフィシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
＜関連する出願の参照情報＞
本願は２００３年７月１日に出願された米国特許仮出願第６０／４８４，２７６号に基づき、且つ、その利益を主張し、その開示全体を援用して本文の記載の一部とする。
【背景技術】
【０００２】
本発明は一般に光学システム及び素子に関し、より詳細には同位体を特定した流体を液浸リソグラフィにおける用途を含む光学素子として使用することに関する。
【０００３】
露光装置は、半導体処理中に像をレチクルから半導体ウェハ上に転写するために一般に用いられる精密なアセンブリの形式の１つである。典型的な露光装置は、照明源、レチクルを保持するレチクルステージアセンブリ、光学アセンブリ（ときには投影レンズとも呼ばれる）、半導体ウェハを保持するウェハステージアセンブリ、測定システム、及び制御システムを含む。レジストが塗布されたウェハは、パターンニングされたマスクから出射する放射の経路（光路）に置かれ、放射によって露光される。レジストが現像されるとき、マスクパターンがウェハ上に転写される。顕微鏡では、極紫外線（ＥＵＶ）放射が薄い試料を通して、レジストに覆われたプレートに透過される。レジストを現像すると、試料の構造に関するトモグラフィ形状が残る。
【０００４】
液浸リソグラフィは、１よりも大きな開口数（ＮＡ）で露光することを可能とすることにより、投影リソグラフィの分解能を向上させることができる技術である。ここで、１という開口数は通常の『ドライ』システムに対する理論的な最大値である。終端の光学素子とレジストが塗布された標的（つまり、ウェハ）との間の空隙を液浸流体で満たすことによって、液浸リソグラフィは、液浸流体で満たされていなければ光学素子−空気の界面で内部全反射されるであろう光で露光することを可能としている。液浸流体の指標（屈折率）（または、レジスト又はレンズ材料の指標のいずれか小さい方）と同じ大きさの開口数が可能である。液浸はまた、同一の開口数を有するドライシステムと比較すると、液浸液体の指標によって、ウェハ焦点深度、即ちウェハの垂直位置での許容誤差を増大させる。従って液浸リソグラフィは、２４８ｎｍから１９３ｎｍに波長変更するのと同程度の向上した分解能を提供する潜在能力を有している。しかしながら、露光波長の変更とは違い、液浸の採用は新規な光源、光学材料又はコーティングの開発を必要とせず、同じ波長での従来のリソグラフィと同一若しくは類似したレジストを使用できるであろう。光学アセンブリ及びそのハウジングの終端光学素子とウェハ（及びおそらくはステージも同様）だけが液浸流体に接触している液浸システムでは、異物の制御のような分野における従来のツールのために開発された多くの技術及び設計が直接的に液浸リソグラフィに運用される。
【０００５】
液浸リソグラフィシステムにおける液浸流体は流体の光学素子として機能する。流体を用いて、露光装置の光学アセンブリ内にある光学素子のような光学素子を形成することもできる。光学素子として流体を使用することには、ある種の問題点や困難が挙げられるが、新たな好機をももたらす。
【発明の開示】
【０００６】
本発明の実施形態は、同位体特定流体を用いる流体光学素子及びシステムであって、素子を通過する光を処理するための流体光学素子及びシステムに関する。流体の同位体組成を調整して光学特性を変更しうる。同位体特定流体の特性をモニターし、且つ調整することによって、流体光学素子の所望の光学特性を獲得し得る。そのような特性の例は、同位体組成、屈折率、温度及び圧力を含む。水は、液浸リソグラフィシステムでの液浸流体として好適な光学特性を有する。水はさらに、液浸リソグラフィでの使用に特に望ましい低粘度及び表面張力特性のような機械的特性を有する。液浸流体の屈折率はリソグラフィ中の結像に主要な役割を果たす。一般に、より高い屈折率を有する液浸流体がより望ましい。水のより重い同位体は、所望の高屈折率を提供することができる。
【０００７】
本発明の一態様に従えば、光を光学的に処理する方法は、閉じた空間内に置かれた同位体特定流体を含む光学素子を通して光を指向させることを含む。同位体特定流体を選択して、光を光学的に処理するために同位体特定流体を通して指向される光に所定の所望な効果をもたらす。
【０００８】
いくつかの実施形態では、同位体特定流体は、流体の１以上の同位体を備える。同位体特定流体は、流体の複数の同位体を含んでもよく、流体の同位体組成はモニターされる。方法はさらに、流体の複数の同位体の量を調整して、モニターされた流体の同位体組成に基づいて同位体組成を変更することを含む。方法はまた、流体の複数の同位体の量を調整して、流体の可変の同位体組成を形成して、光学素子の可変の光学特性をもたらすことを含んでもよい。
【０００９】
特定の実施形態では、同位体特定流体は、水の１以上の同位体を備える。方法はさらに、液浸リソグラフィ装置の光学素子を、光学アセンブリとリソグラフィにより処理される基板との間の位置に位置付けることを含み、光は光学アセンブリ及び光学素子を通して基板に向けられる。光学素子の同位体特定流体は第１の屈折率を有し、閉じた空間は第１の屈折率と異なる第２の屈折率を有する材料を備える容器内に設けられる。方法はさらに、光学素子の閉じた空間と再循環リザーバーとの間で同位体特定流体を再循環させることを含む。方法はまた、光学素子内の同位体特定流体の温度、圧力及び同位体組成の少なくとも一つを制御することも含みうる。閉じた空間は石英ガラスを備える容器内に設けられる。光は約１９３ｎｍ以上の波長を有する。
【００１０】
本発明の別の態様によれば、光学素子は容器及び容器内に入れられた同位体特定流体を備える。同位体特定流体を選択して、光を光学的に処理するために、同位体特定流体を通して指向される光に所定の所望な効果をもたらす。
【００１１】
本発明の別の態様によれば、基板を処理するための光学システムは、基板から空間（空隙）を隔てて配置された光学アセンブリと、光学アセンブリと基板との間の空間に置かれた光学素子を含む。光学素子は、光を光学的に処理するために同位体特定流体を通して指向される光に所定の所望な効果をもたらすために選択された同位体特定流体を含む。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１は、２つの固体光学素子１２、１４及びそれらの間に置かれた流体光学素子１６を含む光学アセンブリ１０を示す。示された特定の実施形態では、固体光学素子１２、１４は集束レンズであり、流体光学素子１６は発散レンズである。固体光学素子１２、１４はガラス等で作られうる。流体光学素子１６は、２つの固体光学素子１２、１４の表面及び側壁１８により画成された閉じた空間に置かれた、同位体が特定された流体（同位体特定流体）２０を含む。側壁１８は、固体光学素子１２、１４に対して密閉されている。側壁１８はガラスのような透過性の材料で作られてもよい。
【００１３】
本願で用いられる場合、用語「同位体が特定された流体（同位体特定流体）」は化学組成が規定された流体をいい、流体を形成している分子は、その元素の元素成分の特定の同位体、対応する分子量及び流体内での濃度によって区別される。例えば、水の場合には、基本的な分子の成分はＨ２Ｏであり、流体は以下のような情報により特徴付けられるであろう。
【表１】
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【００１４】
表１には安定同位体のみが示されている。水の場合には、放射性同位体は十分に短寿命であり、重要となるほど十分な高濃度では恐らく存在しない。しかしながら、他の流体では放射性同位体も考慮しなければならないかもしれない。表１は、約０．０１５％の重水を含む「通常の水」の例である。「＜１０−５」と付された濃度は、屈折率に有意の変化を引き起こさないレベルより低いレベルであることを示している。水の場合には、約１０−５の変化は屈折率を約１ｐｐｍ変化させ得る。そして約１ｐｐｍの変化は本願において有意でないと仮定している。他の流体及び他の用途に関して、有意な濃度のレベルが決定されなければならないであろう。
【００１５】
図２は、容器３４内に入れられた別の同位体特定流体３２を含む流体光学素子３０を示す。容器３４はガラス、石英などで形成されうる。いくつかの場合においては、同位体特定流体３２は第１の屈折率を有し、容器３４の材料は第１の屈折率と異なる第２の屈折率を有する。同位体特定流体３２は、流体の複数の同位体を含み得る。異なる同位体は、屈折率のような光学特性が異なる。流体の複数の同位体の量を調整して、光学素子の可変の光学特性をもたらすように流体の可変の同位体組成を形成しうる。同位体特定流体に加えて、容器３４の形状、容器の材料の光学特性、及び容器３４内の同位体特定流体３２のための空洞の構造を選択して、流体光学素子３０の所望の特性をもたらすことができる。
【００１６】
流体光学素子３０は２つの材料、即ち、同位体特定流体３２及び容器３４の材料を有する。このことは、色収差又はスペクトル分散の補正を可能としている。いくつかの以前からある光学素子は、石英又は類似のガラス材料にフッ化カルシウムを導入することに基づいて、固体の光学素子を形成している。フッ化カルシウムは好適な光学特性を提供する一方、その結晶性質のため、製造することは困難且つ高価であり、その結晶性質は固有の複屈折、並びに光学素子内の機械的応力に起因する付加的な複屈折のような望ましくない材料特性を生じさせる。流体光学素子３０内の同位体特定流体３２は、幾つかの従来からある光学素子におけるフッ化カルシウムの使用に代わりうる。
【００１７】
図３は流体光学素子４２を提供して、その中に光を通して処理するためのシステム４０を示している。この閉じたシステムの中で、同位体特定流体は光学素子４２と容器（リザーバ）４４の間で再循環する。１以上のセンサー４８を用いて、同位体組成、屈折率、温度、圧力等の同位体特定流体の特性をモニターする。図３では、センサー４８を容器４４に組み合わせているが、光学素子４２又は再循環システムの他の一部に組み合わせて流体をモニターしてもよい。センサーの情報はセンサー４８からコントローラー５０へ提供される。コントローラー５０は、流体の温度、圧力、屈折率、同位体組成のいずれかを制御することのようなセンサーの情報に基づいて同位体特定流体の特性を調整する。
【００１８】
図４は、流体光学素子６２を提供して、その中に光を通して処理するための開いたシステム６０を示している。同位体特定流体は、源（ソース）６４から光学素子６２へ供給され、光学素子６２からドレイン６６に出る。１以上のセンサー６８を、光学素子６２、又は、光学素子６２の流路上流若しくは光学素子６２の流路下流の別の部分に組み合わせて、センサー６８を用いて同位体特定流体の特性をモニターする。センサーの情報は、センサー６８からコントローラー７０へ伝送される。コントローラー７０はセンサーの情報に基づいて同位体特定流体の特性を調整する。
【００１９】
図３及び図４の閉じたフローシステム及び開いたフローシステムは、同位体特定流体の流体光学素子を通る一定の流れを維持する。流れは同位体特定流体及び光学素子の特性の一様性（均一性）を確保することができ、空隙などの形成を取り除くことができる。光学素子用の同位体特定流体のモニタリング及び制御を容易にすることもできる。
【００２０】
図５は、レチクルステージ１１２、投影レンズ又は光学アセンブリ１１４、及びウェハステージ１１８上に保持されたウェハ又は基板１１６を含む液浸リソグラフィシステム１１０を示す。液浸装置１２０は、レンズ１１４の終端光学素子１２２とウェハ１１６との間に配置され、その間に液浸流体を提供する。本実施形態では、液浸流体は同位体特定流体であり、レンズ１１４とウェハ１１６との間の光路内に流体光学素子を形成する。同位体特定流体は、典型的にはレンズ１１４とウェハ１１６との間の空間を通じて連続的な流れとして提供されて、流体光学素子を形成する。
【００２１】
同位体特定流体を液浸リソグラフィシステム１１０へ供給するためのシステムは、閉じた液浸流体制御システムが好ましい。そこでは流体はウェハの露光後に回収され、再循環される。このことは非常に望ましい。なぜならば、同位体組成を維持し、それにより流体の光学特性を維持することは重要であるからである。というのも、少なくとも幾つかの同位体は、恐らく希少であり高価であるからである。流体からの蒸気をも回収すべきである。所望の特性を多く有するシステムは、液浸リソグラフィ装置用の減圧排出を含む環境システムと題する、２００４年３月２９日に出願されたＰＣＴ出願第ＰＣＴ／ＵＳ０４／１００５５号に記載されている。付加的な要素を用いて、流体の純度及び／又は光学特性を確保しうる。同位体組成におけるいくつかの変化は、同位体間での化学反応性又は物理特性における小さな差異を引き起こし得る。いくつかの不純物もまた流体内に導入され得る。化学組成及び同位体組成は、例えば光学分析又は質量分析を用いてモニターすることができる。あるいは、屈折率のような光学特性は屈折率計を用いてモニターすることができ、適当な同位体分子組成物を加えて特性を一定値に維持することができる。不純物は屈折率に影響しうるので、この方法は流体の基本的な化学組成が変化している場合であっても一定の屈折率を維持しうる。
【００２２】
同位体特定流体を選択して、光を光学的に処理するために同位体特定流体を通して指向された光に所定の所望な効果をもたらして、例えばリソグラフィ処理を実行する。同位体特定流体は流体の複数の同位体を含みうる。流体は流体光学素子の容器、近くの光学素子、及び流体が接触している基板のような周囲の要素と反応すべきではない。水は、リソグラフィにおいてある用途に特に好適である。水は一般に安定であり且つ他の光学素子及び基板と反応しない。水がリソグラフィシステムのようなシステム内で光学系の一部を形成している場合には、水の光学特性をほぼｐｐｍの精度で知る必要があるであろう。水の光学特性は計測されているべきである。
【００２３】
水は液浸リソグラフィで重要な役割を果たしうる。水は、ＡｒＦビームの波長である１９３ｎｍと同程度の短波長での光学吸収が非常に低い。水は比較的低い粘性度を有している。従って、ウェハステージの動作及び振動が、許容範囲を超えて、水を通じて投影レンズに結合することはないであろう。水の同位体純度又は同位体組成をモニターすることは重要である。なぜならば、異なる同位体は、重大に異なる光学特性を有することができるからである。第１に、水の異なる源は、恐らく光学特性の重大な違いへと至る、わずかに異なる同位体組成を有し得る。第２に、水の屈折率は、同位体組成を変化させることによって有意に変化させることができ、同位体組成は、投影光学系の設計をある程度調整することを可能にしうる。第３に、適当な屈折率に調整された水を投影光学系内の別の場所に導入して、光学系をさらに調整しうる。水の光学分散は石英ガラスの光学分散と異なるので、ある程度の色収差の補正が可能である。
【００２４】
水の同位体の屈折率は、光学リソグラフィで使用される短波長であまりよく決定されていない。水の様々な同位体に対する屈折率は、本願では分子の分極率のローレンツ−ローレンツモデルから推定される。
（ｎ２−１）／（ｎ２＋２）＝Ａρ
ここで、ｎは屈折率、ρは密度、Ａは経験的な定数である。Ａが通常の水に対する経験的な定数であると仮定すると、同位体の効果は基本的に密度の変化によって起こる。普通の水はＨ２１６Ｏであると推測される。通常の「重水」Ｄ２ＯはＤ２１６Ｏであるとされ、ここでＤは重水素（２Ｈ）であり、水素の重い同位体である。もちろん、ＨＤＯ並びに１７Ｏ及び１８Ｏのような、より重い酸素の同位体を含む他の同位体があり、これらの他の同位体は密度の効果に加わるであろう。１９３ｎｍの波長について、３０℃の温度では、普通の水に対する定数Ａは約０．２６２９３６である。表２に、水の異なる同位体についての屈折率の計算結果を示す。液浸流体の屈折率は、リソグラフィ中の結像に重要な役割を果たす。一般に、より高い屈折率を有する液浸流体がより望ましい。水のより重い同位体は、所望される高屈折率を提供しうる。
【００２５】
上記のモデルは、水の同位体の光学特性を完全に記述することはできない。なぜならば、同位体間における分子のエネルギー準位の差を無視しているからである。それゆえ、表２は近似値を示している。水の同位体の屈折率のよりよい測定は、これらの数字を確認するため、又は、これらの数字を調整するために望ましい。同位体間における屈折率の差は、異なる同位体の光学吸収の差をも引き起こす。
【表２】
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【００２６】
重水の天然存在比は約０．０１５％である。このことは、純粋なＨ２Ｏの屈折率から約８ｐｐｍの屈折率の変化を生じさせ、恐らく有意な差となる。図６は、計算に基づいた、異なる重水濃度での屈折率の変化のプロットを示す。純粋なＤ２Ｏは約１．４９２の屈折率を有する。この屈折率は、１９３ｎｍの波長におけるフッ化カルシウム（ＣａＦ２）の屈折率である約１．５０に近い。それゆえ、重水は石英ガラスなどで形成された光学素子を含む光学システムの色収差補正のために、ＣａＦ２と置き換えることができうる。表３はさらに、石英ガラス及びフッ化カルシウムの屈折率と、計算に基づいた水の異なる同位体の屈折率を示している。水の同位体の分散は１９３ｎｍでは計測されていない。より長波長では、Ｄ２Ｏの分散はＨ２Ｏの分散よりも低い。
【表３】
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【００２７】
上記の記述は例示的であることを意図しており、限定的であることを意図したものではないと解されるべきである。多くの実施形態は、上記の記述を精査する当業者にとって明らかであろう。それゆえ、発明の範囲は上記の記述を参照して決定されるべきではなく、代わりに、添付された請求の範囲と共に、十分に等価な範囲を参照して決定されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に従う、同位体特定流体を有する光学素子を含む光学アセンブリの簡略された概略図である。
【図２】図２は、本発明の別の実施形態に従う、同位体特定流体を有する光学素子の正面図である。
【図３】図３は、本発明の別の実施形態に従う、再循環の構成を示す光学素子用の流体のシステムの簡略された概略図である。
【図４】図４は、本発明の別の実施形態に従う、開放システムの構成を示す光学素子用の流体のシステムの簡略された概略図である。
【図５】図５は、本発明の別の実施形態に従う、同位体特定流体を用いる液浸リソグラフィシステムの簡略された概略図である。
【図６】図６は、計算に基づいた水の屈折率対Ｄ２Ｏ濃度のプロットである。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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