(57)【要約】【課題】装置を大型化させることなく比較的高温の取扱液に対応可能なポンプ装置を提供する。【解決手段】ポンプ装置は、絶縁性の取扱液が貯留されるタンクと、タンク内に設置されるポンプと、を備える。ポンプは、磁石が埋設される羽根車と、磁石に対向する位置に配置されるモータ固定子と、羽根車を収容するポンプケーシングと、モータ固定子を収容するモータケーシングと、を有する。モータケーシングは、モータ固定子の巻線が取扱液に浸漬されるように開口している。【選択図】  図１
2019120158.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁性の取扱液が貯留されるタンクと、
前記タンク内に設置されるポンプと、
を備え、
前記ポンプは、
磁石が埋設される羽根車と、
前記磁石に対向する位置に配置されるモータ固定子と、
前記羽根車を収容するポンプケーシングと、
前記モータ固定子を収容するモータケーシングと、
を有し、
前記モータケーシングは、前記モータ固定子の巻線が前記取扱液に浸漬されるように開口している
ことを特徴とするポンプ装置。
【請求項２】
前記ポンプの吸込側には、前記モータケーシングが開口する位置を前記取扱液が通過するように前記取扱液を案内するガイドが配置されている
ことを特徴とする請求項１に記載のポンプ装置。
【請求項３】
前記ポンプの吸込口は、前記モータ固定子より高い高さ位置に配置されている
ことを特徴とする請求項１または２に記載のポンプ装置。
【請求項４】
前記モータ固定子に供給される電流を監視し、前記モータ固定子に供給される電流が所定のしきい値より小さくなる場合には、前記モータ固定子への電流の供給の停止および警報の発報のうちの少なくとも１つの動作を実行する制御部をさらに備える
ことを特徴とする請求項３に記載のポンプ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポンプ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造装置等の外部装置を冷却または温度調整するために使用される取扱液（熱媒体）は、取扱液が貯留されるタンクから外部装置の熱交換部までポンプによって循環される。
【０００３】
このようなポンプは、タンクの外部（タンクの側部もしくは下部）に設置されることが多いため、特にタンクの側部に設置される場合等、装置全体が大型化する傾向にある。特許文献１には、ポンプのモータ部分がタンクの上部に設置された縦型多段式のポンプが開示されている。
【０００４】
また、取扱液（熱媒体）としてフッ素系の絶縁性液体が使用される場合、取扱液自体が高価であり、また、半導体製造工場には製造プロセスで使用される有毒なガスを検知するためにガス検知器が設置されており、取扱液の漏洩が発生するとガス検知器を誤検知させてしまうことがある。そのため、取扱液を循環させるポンプとして、液体の漏洩を起こさないキャンドモータポンプが使用される事例がある。
【０００５】
しかしながら、キャンドモータポンプでは、モータの発熱を取扱液で冷却する構造となっているため、取扱液の循環温度が比較的高い場合等、モータの温度が高くなってしまう。そのため、モータを外部から強制冷却するためのエアパージが必要となることがあり、装置全体がさらに大型化する傾向にある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−３３０９０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、以上のような点を考慮して創案されたものである。本発明の目的は、装置全体を大型化させることなく比較的高温の取扱液に対応可能なポンプ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の態様に係るポンプ装置は、
絶縁性の取扱液が貯留されるタンクと、
前記タンク内に設置されるポンプと、
を備え、
前記ポンプは、
磁石が埋設される羽根車と、
前記磁石に対向する位置に配置されるモータ固定子と、
前記羽根車を収容するポンプケーシングと、
前記モータ固定子を収容するモータケーシングと、
を有し、
前記モータケーシングは、前記モータ固定子の巻線が前記取扱液に浸漬されるように開口している。
【０００９】
このような態様によれば、ポンプがタンク内に設置されているため、装置全体を小型化できる。また、モータケーシングが開口していてモータ固定子の巻線がタンク内の取扱液に浸漬されるため、巻線を取扱液により直接冷却することができ、巻線の冷却効率が向上する。これにより、巻線の温度上昇を低減できるため、ポンプ能力の増加や、取扱液温の上限を引き上げることが可能である。
【００１０】
また、このような態様によれば、従来のモータケーシングの一部や電源接続部に使用していた防水型コネクタが不要になる等、筐体を簡素化することができ、コストダウンが可能である。また、モータを気流により冷却する従来の事例に比べて、エアパージが不要となるため、省エネ効果が得られ、装置を小型化でき、冷却フィンやマニホールドなどの部品点数を削減でき、かつ空気流量制御が不要となる等、装置全体の簡略化が可能である。
【００１１】
さらに、このような態様によれば、ポンプがタンク内に設置されて取扱液中に浸漬されることと、タンクが二重の筐体の役割をすることから、騒音低減が可能である。
【００１２】
本発明の第２の態様に係るポンプ装置は、第１の態様に係るポンプ装置であって、
前記ポンプの吸込側には、前記モータケーシングが開口する位置を前記取扱液が通過するように前記取扱液を案内するガイドが配置されている。
【００１３】
このような態様よれば、取扱液が、モータケーシングが開口する位置を通過するようにガイドによって案内され、モータ固定子の巻線の近傍にて、巻線の発熱により取扱液の温度が上昇しても、温度が上昇した取扱液がその場に滞留しないため、取扱液による巻線の冷却効率をさらに上げることができる。
【００１４】
本発明の第３の態様に係るポンプ装置は、第１または２の態様に係るポンプ装置であって、
前記ポンプの吸込口は、前記モータ固定子より高い高さ位置に配置されている。
【００１５】
このような態様によれば、ポンプの正常な運転中はモータ固定子の巻線を取扱液に浸漬させて直接冷却させる状態を保つことができる。
【００１６】
本発明の第４の態様に係るポンプ装置は、第３の態様に係るポンプ装置であって、
前記モータ固定子に供給される電流を監視し、前記モータ固定子に供給される電流が所定のしきい値より小さくなる場合には、前記モータ固定子への電流の供給の停止および警報の発報のうちの少なくとも１つの動作を実行する制御部をさらに備える。
【００１７】
このような態様によれば、巻線が取扱液に浸漬されておらず、巻線を取扱液により効率的に冷却できていない場合に、ポンプの運転を継続して巻線の温度を過大に上昇させてしまうことを防止できる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、装置を大型化させることなく比較的高温の取扱液に対応可能なポンプ装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、第１の実施形態に係るポンプ装置の構成を示す概略図である。
【図２】図２は、図１に示すポンプ装置のポンプを拡大して示す断面図である。
【図３】図３は、図２に示すポンプを吸込側から見た平面図である。
【図４】図４は、第２の実施形態に係るポンプ装置の構成を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下に、添付の図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。なお、本明細書に添付する図面においては、図示の理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。
【００２１】
図１は、第１の実施形態に係るポンプ装置１の構成を示す概略図である。図１に示すように、ポンプ装置１は、タンク１０と、タンク１０内に設置されるポンプ２０と、を備えている。
【００２２】
タンク１０には、絶縁性の取扱液１１が貯留される。取扱液１１としては、たとえばフッ素系の絶縁性液体（具体的には、たとえば、フロリナート（登録商標））が用いられる。
【００２３】
図示された例では、タンク１０の下部側壁には送り配管１４が挿設されており、ポンプ２０の吐出配管２０ｃは継手１５を介して送り配管１４に接続されている。タンク１０内での配管の接続・切り離しを容易にするために、継手１５としては、ユニオン継手またはフェルール継手が好ましく用いられる。ポンプ２０の吐出配管２０ｃから吐き出される取扱液１１は、送り配管１４を通って不図示の外部装置へと送り出される。
【００２４】
また、タンク１０の天井には戻り配管１３が挿設されており、不図示の外部装置を通過して熱交換を行った取扱液１１は、戻り配管１３を通ってタンク１０の内部へと戻されて貯留される。
【００２５】
図２は、タンク１０内に設置されるポンプ２０を拡大して示す断面図である。図２に示すように、ポンプ２０は、磁石（永久磁石）２２が埋設される羽根車２１と、磁石２２に対向する位置に配置されるモータ固定子２３と、羽根車２１を収容するポンプケーシング２４と、モータ固定子２３を収容するモータケーシング２５と、を有している。ポンプケーシング２４およびモータケーシング２５の接液部は、取扱液１１に耐える材料、たとえばＰＰＳ（ポリフェニレンスルファイド）、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）などの樹脂から形成されている。
【００２６】
図２に示すように、モータ固定子２３およびモータケーシング２５は、羽根車２１の吸込側に配置されており、モータケーシング２５が吸込口２０ａを画成している。モータケーシング２５と羽根車２１との間には、羽根車２１のラジアル荷重およびスラスト荷重を支持する軸受組立体２６が配置されている。
【００２７】
図２に示すように、モータケーシング２５および軸受組立体２６の中心部には、それぞれ液体流路が形成されている。これらの液体流路は一列に連結され、吸込口２０ａから羽根車２１の液体入口まで延びる１つの液体流路を構成している。これらの液体流路は、羽根車２１の液体入口に連通している。
【００２８】
本実施の形態に係るポンプ２０は、磁石２２およびモータ固定子２３がこれら液体流路に沿って配置されるアキシャルギャップ型ＰＭモータを搭載したポンプである。
【００２９】
図２に示すように、ポンプケーシング２４の側面には、吐出口２０ｂを有する吐出配管２０ｃが設けられている。回転する羽根車２１によって昇圧された液体は、吐出配管２０ｃを通って吐出口２０ｂから吐き出される。なお、本実施の形態に係るポンプ２０は、吸込口２０ａと吐出口２０ｂとが直交する、いわゆるエンドトップ型ポンプである。
【００３０】
羽根車２１は、滑りやすく、摩耗しにくく、かつ取扱液１１に耐える非磁性材料から形成されている。たとえば、羽根車２１の材質としては、ＰＰＳ（ポリフェニレンスルファイド）、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）などの樹脂や、セラミックスが好適に用いられる。ポンプケーシング２４およびモータケーシング２５も、羽根車２１と同じ材料から形成することができる。
【００３１】
羽根車２１は、単一の軸受組立体２６によって回転自在に支持されている。この軸受組立体２６は、流体の動圧を利用した滑り軸受（動圧軸受）である。この軸受組立体２６は、互いに緩やかに係合する回転側軸受２６ａおよび固定側軸受２６ｂの組み合わせから構成される。
【００３２】
回転側軸受２６ａは、羽根車２１に固定されており、羽根車２１の流体入口を囲むように配置されている。固定側軸受２６ｂは、モータケーシング２５に固定されており、回転側軸受２６ａの吸込側に配置されている。この回転側軸受２６ａは、回転側軸受２６ａの軸方向に延びる円筒部と、円筒部から外側に突出するフランジ部とを有している。
【００３３】
固定側軸受２６ｂの円筒部は羽根車２１のラジアル荷重を支持するラジアル面を有しており、フランジ部は羽根車２１のスラスト荷重を支持するスラスト面を有している。ラジアル面は羽根車２１の軸心と平行であり、スラスト面は羽根車２１の軸心に対して垂直である。回転側軸受２６ａは、固定側軸受２６ｂの円筒部の周囲に配置されている。
【００３４】
羽根車２１から吐き出された取扱液１１の一部は、羽根車２１とモータケーシング２５との間の微小な隙間を通って、軸受組立体２６に導かれる。回転側軸受２６ａが羽根車２１とともに回転すると、回転側軸受２６ａと固定側軸受２６ｂとの間に流体の動圧が発生し、これにより、羽根車２１が軸受組立体２６によって非接触に支持される。固定側軸受２６ｂは、直交するラジアル面およびスラスト面により回転側軸受２６ａを支持しているので、羽根車２１の傾動は軸受組立体２６により制限される。
【００３５】
モータ固定子２３は、コア２３ａと、複数の巻線（コイル）２３ｂとを有している。これら複数の巻線２３ｂは環状に配置されている。羽根車２１およびモータ固定子２３は、軸受組立体２６および吸込口２０ａと同心状に配置されている。
【００３６】
モータ固定子２３の巻線２３ｂには、結線基板２３ｄを介してリード線２３ｃが接続されている。図１を参照し、タンク１０の上部側壁には、電源コネクタ１２が取り付けられており、モータ固定子２３の巻線２３ｂは、リード線２３ｃ、結線基板２３ｄおよび電源コネクタ１２を介してインバータ装置３に電気的に接続されている。インバータ装置３は、電源２に接続されており、さらに、インバータ装置３の動作を制御する制御装置（制御部）４にも接続されている。
【００３７】
このインバータ装置３は、電流をモータ固定子２３の巻線２３ｂに供給して、モータ固定子２３に回転磁界を発生させる。この回転磁界は羽根車２１に埋設されている磁石２２に作用し、羽根車２１を回転駆動する。羽根車２１のトルクは、モータ固定子２３に供給される電流の大きさに依存する。羽根車２１にかかる負荷が一定である限り、モータ固定子２３に供給される電流は概ね一定である。
【００３８】
羽根車２１が回転すると、タンク１０内に貯留された取扱液１１は、吸込口２０ａから羽根車２１の液体入口に導入される。取扱液１１は、羽根車２１の回転によって昇圧され、吐出口２０ｂから吐き出される。羽根車２１が取扱液１１を移送している間、羽根車２１の背面は昇圧された液体によって吸込側に（すなわち吸込口２０ａに向かって）押圧される。軸受組立体２６は、羽根車２１の吸込側に配置されているので、羽根車２１のスラスト荷重を吸込側から支持する。
【００３９】
本実施の形態では、図１および図２に示すように、モータケーシング２５は、モータ固定子２３の巻線２３ｂが取扱液１１に浸漬されるように開口している。符号２５ａは、モータケーシング２５の開口を示している。モータケーシング２５は、ポンプ２０の吸込側（図面上側）に開口している。
【００４０】
図３は、ポンプ２０を吸込側から見た平面図である。図３において、符号２５ａ１は、モータケーシング２５の開口２５ａの内周を示しており、符号２５ａ２は、開口２５ａの外周を示している。内周２５ａ１と外周２５ａ２との間の領域が開口２５ａである。図３に示す例では、モータケーシング２５の開口２５ａには、電源コネクタ１２から延びるリード線２３ｃを各巻線２３ｂに結線するための結線基板２３ｄが配置されており、結線基板２３ｄの外周縁および内周縁には、それぞれ、複数の切欠き２３ｅが形成されている。複数の切欠き２３ｅは、周方向に離間して（たとえば等間隔に）形成されている。タンク１０内に貯留される取扱液１１は、モータケーシング２５の開口２５ａから、結線基板２３ｄの切欠き２３ｅを通ってモータケーシング２５の内部へ流入し、巻線２３ｂが取扱液１１に直接浸漬される。
【００４１】
なお、結線基板２３ｄは必ずしも必須ではなく、結線基板２３ｄを省略して、電源コネクタ１２から延びるリード線２３ｃを各巻線２３ｂに直接結線してもよい。この場合、タンク１０内に貯留される取扱液１１は、モータケーシング２５の開口２５ａからそのままモータケーシング２５の内部へ流入し、巻線２３ｂが取扱液１１に直接浸漬される。
【００４２】
ポンプ２０の運転時、モータ固定子２３の巻線２３ｂに電流が流れると、巻線２３ｂの電気抵抗により熱が発生するが、本実施の形態では、モータケーシング２５が開口していてモータ固定子２３の巻線２３ｂがタンク１０の取扱液１１に浸漬されているため、巻線２３ｂを取扱液１１により直接冷却することができ、巻線２３ｂを効率的に冷却することができる。なお、本実施の形態では、取扱液１１が電気絶縁性の液体であるため、取扱液１１に浸漬されることにより巻線２３ｂがショートすることはない。
【００４３】
図１および図２に示すように、ポンプ２０の吸込口２０ａは、モータ固定子２３より高い高さ位置に配置されていてもよい。これにより、ポンプ２０の動作中はモータ固定子２３の巻線２３ｂを取扱液１１に浸漬させて直接冷却させる状態を保つことができる。
【００４４】
図１を参照し、インバータ装置３の動作を制御する制御装置４は、インバータ装置３からモータ固定子２３に供給される電流を監視し、モータ固定子２３に供給される電流が所定のしきい値より小さくなる場合には、モータ固定子２３への電流の供給の停止および警報の発報のうちの少なくとも１つの動作を実行する。
【００４５】
例えば、制御装置４は、電流の変化率および／または電流値の変化に基づいて、電流の異常レベル、すなわち、ドライ状態、又は液が不足する状態でポンプ２０が運転されているか否かを判断する。ポンプ２０が取扱液１１に浸漬され、ポンプ２０内に取扱液１１が存在していれば、電流の変化率および／または電流値の変化は実質的にゼロである。
【００４６】
一方、ドライ状態、又は液が不足する状態でポンプ２０が運転（空運転）されると、モータ固定子２３に供給される電流が減少する。制御装置４は、電流の変化率および／または電流値の変化と所定のしきい値とを比較する。ここで、所定のしきい値とは、以下に示す値（基準値を下回った回数、設定値、規定値、許容値を下回った回数や偏差量など）の総称を意味する。
【００４７】
より詳しくは、ドライ状態、又は液が不足する状態でポンプ２０が運転されると、ポンプ２０の動力が減少するため、インバータ装置３からモータ固定子２３に供給される電流が減少する。すなわち、ポンプ２０内に液体が存在しない場合、羽根車２１にかかる負荷が最小になるため、モータ固定子２３に供給される電流は最小になる。そこで、制御装置４は、モータ固定子２３に供給される電流を監視し、所定期間あたりの電流の変化率を計算する。一実施形態では、制御装置４は、所定期間（たとえば１か月）毎に、当該所定期間あたりの電流の変化率を計算してもよい。
【００４８】
そして、制御装置４は、モータ固定子２３に供給される電流に基づいて、電流の異常レベル、すなわちドライ状態、又は液が不足する状態でポンプ２０が運転されているか否かを判断する。電流の異常レベルは、たとえば、次のように定義することができる。すなわち、あらかじめ、ポンプ２０を正常に運転している時の電流値から得られる平均値などの値を基準値とする。そして、この基準値を用いて供給している電流の変化率を算定する。この変化率の値が所定の回数だけ負の数となったとき、制御装置４は、電流の異常レベルを決定する。一実施形態では、電流の変化率が所定の設定値よりも小さくなった場合、制御装置４は、電流の異常レベルを決定してもよい。
【００４９】
他の実施形態では、制御装置４は、ポンプ２０の運転開始後、所定の時間で、電流値を測定していき、過去の電流の測定値と現在の電流の測定値との偏差の値が所定の規定値よりも小さくなった場合、制御装置４は、電流の異常レベルを決定してもよい。この場合、電流の変化率ではなく、電流の変化を算定する。電流の変化は上記偏差の値である。さらに他の実施形態では、制御装置４は、この偏差の値が所定の許容値を下回った回数や偏差量に基づいて電流の異常レベルを決定してもよい。これら規定値および許容値は同じ値であってもよく、または異なる値であってもよい。
【００５０】
制御装置４は、電流の変化率および／または電流値の変化が所定のしきい値を超えて減少した場合、インバータ装置３へ制御信号を送信し、モータ固定子２３への電流の供給を停止させる。これにより、ポンプ２０が取扱液１１に浸漬されておらず、すなわち、モータ固定子２３の巻線２３ｂを取扱液１１により直接冷却することができない状態で、モータ固定子２３に電流が供給され、巻線２３ｂの発熱により温度が過大に上昇してしまうことを防止できる。
【００５１】
また、制御装置４は、電流の変化率および／または電流値の変化が所定のしきい値を超えて減少した場合、モータ固定子２３への電流供給の停止に加えて、あるいはそれに代えて、非常警報を発報し、管理者に至急の対応を要請してもよい。
【００５２】
以上のような本実施の形態によれば、ポンプ２０がタンク１０内に設置されているため、装置全体を小型化できる。また、モータケーシング２５が開口していてモータ固定子２３の巻線２３ｂがタンク１０内の取扱液１１に浸漬されるため、巻線２３ｂを取扱液１１により直接冷却することができ、巻線２３ｂの冷却効率が向上する。これにより、巻線２３ｂの温度上昇を低減できるため、ポンプ能力の増加や、取扱液温の上限を引き上げることが可能である。
【００５３】
また、本実施の形態によれば、従来のモータケーシングの一部や電源接続部に使用されていた防水型コネクタが不要になる等、筐体を簡素化することができ、コストダウンが可能である。また、モータを気流により冷却する従来の事例に比べて、エアパージが不要となるため、省エネ効果が得られ、装置を小型化でき、冷却フィンやマニホールドなどの部品点数を削減でき、かつ空気流量制御が不要となる等、装置全体の簡略化が可能である。
【００５４】
また、本実施の形態によれば、ポンプ２０がタンク１０内に設置されて取扱液１１に浸漬されることと、タンク１０が二重の筐体の役割をすることから、騒音低減が可能である。
【００５５】
また、本実施の形態によれば、ポンプ２０の吸込口２０ａがモータ固定子２３より高い高さ位置に配置されているため、ポンプ２０の正常な運転中はモータ固定子２３の巻線２３ｂを取扱液１１に浸漬させて直接冷却させる状態を保つことができる。
【００５６】
また、本実施の形態によれば、制御装置４が、モータ固定子２３に供給される電流を監視し、モータ固定子２３に供給される電流が所定のしきい値より小さくなる場合には、モータ固定子２３への電流の供給の停止および警報の発報のうちの少なくとも１つの動作を実行するため、巻線２３ｂが取扱液１１に浸漬されておらず、巻線２３ｂを取扱液１１により効率的に冷却できていない場合に、ポンプ２０の運転を継続して巻線２３ｂの温度を過大に上昇させてしまうことを防止できる。
【００５７】
以上、第１の実施形態を詳細に説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されず、上述の実施形態に対して様々な変形を加えることが可能である。以下、図面を参照しながら、変形の一例について説明する。以下の説明および以下の説明で用いる図面では、上述した実施形態と同様に構成され得る部分について、上述の実施形態における対応する部分に対して用いた符号と同一の符号を用いるとともに、重複する説明を省略する。
【００５８】
図４は、第２の実施形態に係るポンプ装置１’の構成を示す概略図である。
【００５９】
第２の実施の形態では、ポンプ２０の吸込側には、モータケーシング２５が開口する位置を取扱液１１が通過するように取扱液１１を案内するガイド２９が配置されている。図示された例では、ガイド２９は平板形状を有し、吸込口２０ａの上方に離間して、吸込口２０ａとモータケーシング２５の開口２５ａの両方に向き合うように配置されている。
【００６０】
ポンプ２０の運転を開始すると、タンク１０内の取扱液１１は、モータケーシング２５とガイド２９との間の隙間から、モータケーシング２５の開口する位置を通過して、吸込口２０ａへと吸い込まれる。
【００６１】
このような態様によれば、モータ固定子２３の巻線２３ｂ近傍にて、巻線２３ｂの発熱により取扱液１１の温度が上昇しても、温度が上昇した取扱液１１がその場に滞留しないため、取扱液１１による巻線２３ｂの冷却効率をさらに上げることができる。
【００６２】
なお、上述した実施の形態では、ポンプ２０はタンク１０内に縦置き（吸込口２０ａが上向き）で設置されていたが、これに限定されず、タンク１０の形状等に応じて、ポンプ２０はタンク１０内に横置き（吸込口２０ａが横向き）で設定されていてもよい。
【００６３】
また、上述した実施の形態では、制御装置４は、モータ固定子２３に供給される電流の変化率を計算し、電流が所定のしきい値より小さくなって空運転状態にあると判定される場合、モータ固定子２３への電流の供給の停止および警報の発報のうちの少なくとも１つの動作を実行するように構成されていたが、これに限定されるものではない。
【００６４】
たとえば、制御装置４は、送り配管１４などに設けられた不図示の流量センサの測定値を監視し、流量が所定のしきい値より小さくなって空運転状態にあると判定される場合、モータ固定子２３への電流の供給の停止および警報の発報のうちの少なくとも１つの動作を実行するように構成されてもよい。
【００６５】
また、たとえば、制御装置４は、タンク１０内に設けられた不図示の水位センサの測定値を監視し、タンク１０内の水位が所定のしきい値（たとえば吸込口２０ａの高さ位置）より小さくなって空運転状態にあると判定される場合、モータ固定子２３への電流の供給の停止および警報の発報のうちの少なくとも１つの動作を実行するように構成されてもよい。
【００６６】
このような態様によっても、巻線２３ｂが取扱液１１に浸漬されておらず、巻線２３ｂを取扱液１１により効率的に冷却できていない場合に、ポンプ２０の運転を継続して巻線２３ｂの温度を過大に上昇させてしまうことを防止できる。
【００６７】
以上、本発明の実施の形態を例示により説明したが、本発明の範囲はこの実施の形態に限定されるものではなく、請求項に記載された範囲内において目的に応じて適宜変更・変形を加えてもよいことは言うまでもない。
【符号の説明】
【００６８】
１、１’  ポンプ装置
２      電源
３      インバータ装置
４      制御装置
１０    タンク
１１    取扱液
１２    電源コネクタ
１３    戻り配管
１４    送り配管
１５    継手
２０    ポンプ
２０ａ  吸込口
２０ｂ  吐出口
２０ｃ  吐出配管
２１    羽根車
２２    磁石
２３    モータ固定子
２３ａ  コア
２３ｂ  巻線
２３ｃ  リード線
２３ｄ  結線基板
２３ｅ  切欠き
２４    ポンプケーシング
２５    モータケーシング
２５ａ  開口
２５ａ１  開口の内周
２５ａ２  開口の外周
２６    軸受組立体
２６ａ  回転側軸受
２６ｂ  固定側軸受
２９    ガイド
【図１】
2019120158.tif 000003
【図２】
2019120158.tif 000004
【図３】
2019120158.tif 000005
【図４】
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