(57)【要約】  複数のビットを記憶可能な磁気素子を提供するための方法及びシステムを開示する。本方法及びシステムには、第１固定層、第１非磁性層、第１自由層、接続層、第２固定層、第２非磁性層及び第２自由層を設ける段階が含まれる。第１固定層は、強磁性体であり、第１方向に固定された第１固定層磁化を有する。第１非磁性層は、第１固定層と第１自由層との間にある。第１自由層は、強磁性体であり、第１自由層磁化を有する。第２固定層は、強磁性体であり、第２方向に固定された第２固定層磁化を有する。接続層は、第２固定層と第１自由層との間にある。第２非磁性層は、第２固定層と第２自由層との間にある。第２自由層は、強磁性体であり、第２自由層磁化を有する。磁気素子は、書き込み電流が磁気素子を通過する際のスピン転移により第１自由層磁化及び第２自由層磁化が方向を変更可能となるように構成される。
2007504651.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のビットを記憶可能な磁気素子であって、
強磁性体であり、第１方向に固定された第１固定層磁化を有する第１固定層と、
導電性の第１非磁性層と、
強磁性体であり、第１自由層磁化を有する第１自由層であって、前記第１固定層と前記第１自由層との間に前記第１非磁性層が存在する前記第１自由層と、
接続層と、
強磁性体であり、第２方向に固定された第２固定層磁化を有する第２固定層であって、前記第２固定層と前記第１自由層との間に前記接続層が存在する前記第２固定層と、
導電性の第２非磁性層と、
強磁性体であり、第２自由層磁化を有する第２自由層であって、前記第２固定層と前記第２自由層との間に前記第２非磁性層が存在する前記第２自由層と、
を備え、
前記磁気素子は、書き込み電流が前記磁気素子を通過する際のスピン転移により、前記第１自由層磁化及び前記第２自由層磁化が方向を変更可能となるように構成される、磁気素子。
【請求項２】
請求項１に記載の磁気素子において、
前記第１自由層は、第１電流方向の第１書き込み電流及び第２電流方向の第２書き込み電流を用いて書き込まれるように構成され、
前記第２自由層は、前記第１電流方向の第３書き込み電流及び前記第２方向の第４書き込み電流を用いて書き込まれるように構成され、
前記第１書き込み電流、前記第２書き込み電流、前記第３書き込み電流及び前記第４書き込み電流は異なる、磁気素子。
【請求項３】
請求項１に記載の磁気素子において、
前記接続層は、前記第２固定層及び前記第１固定層に隣接する反強磁性層である、磁気素子。
【請求項４】
請求項１に記載の磁気素子において、
前記接続層、前記第１固定層及び前記第２固定層は、硬質磁性層／Ｒｕ／硬質磁性層、又は、硬質磁性層／Ｒｕ／軟質磁性層を含む合成反強磁性体を形成する、磁気素子。
【請求項５】
請求項１に記載の磁気素子において、
前記第１非磁性層及び前記第２非磁性層の少なくとも１つは絶縁性の障壁層であり、
前記第１非磁性層が前記絶縁性の障壁層である場合、前記第１非磁性層によって、電荷キャリアが前記第１固定層と前記第１自由層との間を通過可能であり、
前記第２非磁性層が前記絶縁性の障壁層である場合、前記第２非磁性層によって、電荷キャリアが前記第２固定層と前記第２自由層との間を通過可能である、磁気素子。
【請求項６】
複数のビットを記憶可能な磁気素子であって、
第１固定層、第１非磁性スペーサ層、第１自由層、第１障壁層及び第２固定層を含み、前記第１固定層と前記第１自由層との間に前記第１非磁性スペーサ層が存在し、前記第１自由層と前記第２固定層との間に前記第１障壁層が存在する第１二重スピン・トンネル／バルブ構造体と、
接続層と、
第３固定層、第２非磁性スペーサ層、第２自由層、第２障壁層及び第４固定層を含み、前記第３固定層と前記第２自由層との間に前記第２非磁性スペーサ層が存在し、前記第２自由層と前記第４固定層との間に前記第２障壁層が存在する第２二重スピン・トンネル／バルブ構造体と、
を備える磁気素子。
【請求項７】
請求項６に記載の磁気素子において、
前記第１二重スピン・トンネル／バルブ構造体は、第１電流方向の第１書き込み電流及び第２電流方向の第２書き込み電流を用いて書き込まれるように構成され、
前記第２二重スピン・トンネル／バルブ構造体は、前記第１電流方向の第３書き込み電流及び前記第２電流方向の第４書き込み電流を用いて書き込まれるように構成され、
前記第１書き込み電流、前記第２書き込み電流、前記第３書き込み電流及び前記第４書き込み電流は異なる、磁気素子。
【請求項８】
請求項６に記載の磁気素子において、
前記接続層は、前記第２固定層磁化及び前記第４固定層磁化を固定するための反強磁性体である、磁気素子。
【請求項９】
請求項６に記載の磁気素子において、
前記接続層は、前記第２固定層と前記第４固定層との間に挟まれた合成反強磁性の硬質／Ｒｕ／硬質層、又は、合成反強磁性の軟質／Ｒｕ／軟質層である、磁気素子。
【請求項１０】
複数のビットを記憶可能な磁気素子をプログラミングするための方法であって、
第１状態を書き込む場合、第１電流を前記磁気素子に流すことであって、前記磁気素子は、第１固定層、第１非磁性層、第１自由層、接続層、第２固定層、第２非磁性層、及び第２自由層を含み、前記第１固定層は、強磁性体であり第１方向に固定された第１固定層磁化を有し、前記第１非磁性層は、前記第１固定層と前記第１自由層との間に存在し、前記第１自由層は、強磁性体であり第１自由層磁化を有し、前記第２固定層は、強磁性体であり第２方向に固定された第２固定層磁化を有し、前記接続層は、前記第２固定層と前記第１自由層との間に存在し、前記第２非磁性層は、前記第２固定層と前記第２自由層との間に存在し、前記第２自由層は、強磁性体であり第２自由層磁化を有し、前記磁気素子は、スピン転移により前記第１自由層磁化及び前記第２自由層磁化が方向を変更可能とするように構成され、前記第１電流は、前記第１自由層磁化を前記第１固定層磁化に平行に並べるに充分であるとともに、前記第２自由層磁化を前記第２固定層磁化に平行に並べるに充分である、前記第１電流を前記磁気素子に流すこと、
少なくとも第２電流を前記磁気素子に印加することであって、前記少なくとも第２電流は、前記第１自由層磁化を前記第１固定層磁化に平行なままにするとともに、前記第２自由層磁化を前記第２固定層磁化に反平行に並べる、前記少なくとも第２電流を前記磁気素子に印加すること、
第３状態を書き込む場合、少なくとも第３電流を前記磁気素子に印加することであって、前記少なくとも第３電流は、前記第１自由層磁化を前記第１固定層磁化に反平行に並べるとともに、前記第２自由層磁化を前記第２固定層磁化に反平行に並べる、前記少なくとも第３電流を前記磁気素子に印加すること、
第４状態を書き込む場合、前記第１電流を印加した後に少なくとも第４電流を前記磁気素子に印加することであって、前記少なくとも第４電流は、前記第１自由層磁化を前記第１固定層磁化に反平行な状態のままにするとともに、前記第２自由層磁化を前記第２固定層磁化に平行に並べる、前記少なくとも第４電流を前記磁気素子に印加すること、
を備える、方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の方法において、
前記第１自由層は、前記磁気素子を流れる第１電流方向の第１書き込み電流及び第２電流方向の第２書き込み電流を用いて書き込まれるように構成され、前記第２自由層は、前記磁気素子を流れる前記第１電流方向の第３書き込み電流及び前記第２電流方向の第４書き込み電流を用いて書き込まれるように構成され、前記第３書き込み電流は前記第１書き込み電流より小さく、前記第４書き込み電流は前記第２書き込み電流より小さく、前記第１電流は、前記第１電流方向であるとともに、前記第１書き込み電流及び前記第３書き込み電流より大きく、
前記少なくとも第２電流は、前記第１電流方向に印加される第５電流と、それに続いて前記第２電流方向に印加される第６電流とを含み、前記第５電流は、前記第１書き込み電流及び前記第３書き込み電流より大きく、前記第６電流は、前記第２書き込み電流より小さく、かつ前記第４書き込み電流より大きく、
前記少なくとも第３電流は、前記第２電流方向の第７電流と、それに続く前記第１電流方向の第８電流とを含み、前記第７電流は、前記第２書き込み電流及び前記第４書き込み電流より大きく、前記第８電流は、前記第１書き込み電流より小さく、かつ前記第３書き込み電流より大きく、
前記少なくとも第４電流は、前記第２電流方向の第９電流を含み、前記第９電流は、前記第２書き込み電流及び前記第４書き込み電流より大きい、方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般的に、磁気システムに関し、限定するものではないが、特に、小型の磁気素子であって、スイッチングにスピン転移効果を用い、また、磁気ランダムアクセスメモリ（"ＭＲＡＭ"）等の磁気メモリに用い得る磁気素子を含む小型の磁気素子を提供するための方法及びシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
様々な種類の磁気技術では、磁気素子を利用してデータの記憶や読み込みを行う。例えば、従来のＭＲＡＭ技術において用いられる従来の磁気素子は、スピン・トンネル接合である。図１Ａは、スピン・トンネル接合１０である１つのそのような従来の磁気素子１０を示す。従来のスピン・トンネル接合１０には、反強磁性（ＡＦＭ）層１２、固定層１４、障壁層１６、及び自由層１８が含まれる。従来の固定層１４は、強磁性体であり、通常、ＡＦＭ層１２によって固定される磁化を有する。本明細書で用いる用語「強磁性体」には、強磁性、フェリ磁性、及びスペリ磁性（sperimagnetic ）材料が含まれる。従来の強磁性自由層１８は、絶縁障壁層１６によって固定層から分離される。障壁層１６は、固定層１４と自由層１８との間において電荷キャリアが通過し得る程、充分に薄い。同様に、従来のハードディスク磁気記録技術では、磁気抵抗再生ヘッド用の磁気素子には、スピン・バルブ等の従来の磁気素子が含まれる。スピン・バルブは、従来のスピン・トンネル接合１０と同様の構造を有する。しかしながら、障壁層１６は、導電性の非磁性スペーサ層によって置き換えられる。スピン・バルブには、通常、ＡＦＭ層によって固定される磁化を有する強磁性固定層が含まれる。また、スピン・バルブには、Ｃｕ等の導電性の非磁性スペーサ層によって固定層から分離された強磁性自由層が含まれる。スピン・トンネル接合及びスピン・バルブの強磁性固定層及び自由層は、合成であってもよい。
【０００３】
従来のスピン・トンネル接合１０をプログラムするために、通常、１つ又は複数の書き込み線（図示せず）に電流を流すことによって、外部磁場が印加される。磁場に反応して、従来の自由層１８の磁化は、従来の固定層１４の磁化に平行又は反平行に並ぶ。磁場が除去されると、従来の自由層１８の磁化は、元のままである。従来の自由層１８の磁化が従来の固定層１４の磁化に平行である場合、従来のスピン・トンネル接合１０は、低抵抗状態である。従来の自由層１８の磁化が従来の固定層１４の磁化に反平行である場合、従来のスピン・トンネル接合１０は、高抵抗状態である。例えば、従来の自由層１８及び従来の固定層１４の磁化が平行であるとした場合、従来の磁気素子１０の総抵抗値は、Ｒ−ΔＲである。また、従来の自由層１８及び従来の固定層１４の磁化が反平行である場合、抵抗値は、Ｒ＋ΔＲである。従って、従来の磁気素子１０は、Ｒの中間抵抗値を有すると見なし得る。中間抵抗値は、デバイス動作範囲の中央の抵抗値である。これらの２つの状態Ｒ−ΔＲ及びＲ＋ΔＲに基づき、１ビットの情報（０又は１に対応）が、従来のスピン・トンネル接合１０に記憶される。
【０００４】
更に、他の従来の磁気素子は、従来のスピン・トンネル接合１０に基づく。例えば、二重の従来のスピン・トンネル接合を用い得る。そのような従来の磁気素子では、第２固定層、及び第２固定層と自由層１８との間の第２障壁層を設け得る。他の従来の磁気素子は、図１Ｂ及び図２に示すように、第２障壁層の代わりに導通層を用い得る。そのような場合、従来の磁気素子は、共通の自由層を共有するスピン・バルブ及びスピン・トンネル接合の組合せと見なし得る。
【０００５】
図２は、複数のデータビットを記憶可能な他の従来の磁気素子２０を示す。磁気素子２０には、導電層２２によって分離された２つのスピン・トンネル接合３０及び４０が含まれる。スピン・トンネル接合３０には、障壁層３４によって分離された固定層３２及び自由層３６が含まれる。同様に、スピン・トンネル接合４０には、障壁層４４によって分離された固定層４２及び自由層４６が含まれる。理解しやすいように、ＡＦＭ層は、示していない。しかしながら、ＡＦＭ層は、通常、固定層３２及び４２の磁化を固定するために用いられる。導電層２２は、スピン・トンネル接合３０及び４０を電気的に接続する。従来の自由層３６及び４６は、従来の自由層３６の磁化が、従来の自由層４６の磁化と異なる磁場において方向を変えるように構成される。このことは、通常、従来の自由層３６及び４６の膜厚を異ならせることによって実現される。更に、障壁層３４及び４４は、異なる膜厚を有するため、従来のスピン・トンネル接合は、異なる抵抗を有する。
【０００６】
従来の磁気素子２０をプログラムするために、通常、１つ又は複数の書き込み線（図示せず）を流れる駆動電流を用いて、外部磁場が印加される。説明の目的のために、従来の自由層３６の保磁力がＨ１であり、従来の自由層４６の保磁力がＨ２であると仮定する。また、Ｈ１は、Ｈ２より小さいと仮定する。"００"を記憶する場合は、第１方向に、例えば、従来の固定層３２の磁化方向に平行な方向でＨ１及びＨ２より大きい磁場Ｈを常に最初に印加する。従って、従来の自由層３６及び４６の磁化は、平行である。更に、従来の自由層３６及び４６の磁化は、双方共、固定層３２及び４２の磁化に平行である。又、"１０"の場合、Ｈを同じ方向に印加し、そして除去する。次に、第２磁場を印加する。第２磁場の大きさは、Ｈ１とＨ２との間である。第２磁場の方向は、Ｈの方向と反対であり、従って、従来の固定層３２及び４２の磁化と反平行である。結果的に、従来の自由層３６の磁化は、従来の固定層３２の磁化に反平行であり、従来の自由層４６の磁化は、従来の固定層４２の磁化に平行である。"０１"の場合、まず、Ｈを反対方向に、即ち、従来の固定層３２及び４２の磁化に反平行に印加する。そして、磁場を除去する。そして、従来の固定層３２及び４３の磁化に平行なＨ１とＨ２との間の磁場を印加する。その結果、従来の自由層３６の磁化は、従来の固定層３２の磁化に平行に向き、従来の自由層４６の磁化は、従来の固定層４２の磁化に反平行に向く。"１１"の場合、Ｈを従来の固定層３２及び４２の磁化に反平行の方向に印加する。従って、"００"、"０１"、"１０"及び"１１"に対応する２つのビットが、磁気素子５０に記憶される。
【０００７】
状態"００"、"０１"、"１０"、及び"１１"は、異なる抵抗に対応する。スピン・トンネル接合３０の抵抗値は、自由層３６及び固定層３２の磁化が並んでいる場合、Ｒ１−ΔＲ１であり、あるいは、自由層３６及び固定層３２の磁化が反平行である場合、Ｒ１＋ΔＲ１である。Ｒ１は、スピン・トンネル接合３０の中間抵抗値であると見なし得る。また、ΔＲ１は、中間抵抗値から安定な状態（平行又は反平行な磁化）の内の１つへの変化量と見なし得る。スピン・トンネル接合４０の抵抗値は、自由層４６及び固定層４２の磁化が平行に並んでいる場合、Ｒ２−ΔＲ２である。スピン・トンネル接合４０の抵抗値は、自由層４６及び固定層４２の磁化が反平行である場合、Ｒ１＋ΔＲ１である。Ｒ２は、スピン・トンネル接合４０の中間抵抗値であると見なし得る。また、ΔＲ２は、中間抵抗値から安定な状態（平行又は反平行な磁化）の内の１つへの変化量と見なし得る。従来の磁気素子２０が要求通りに機能するためには、Ｒ１は、Ｒ２と異なるべきであり、ΔＲ１は、ΔＲ２と異なるべきである。従って、"００"は、従来の磁気素子２０の抵抗値Ｒ１−ΔＲ１＋Ｒ２−ΔＲ２に対応する。"０１"は、従来の磁気素子２０の抵抗値Ｒ１−ΔＲ１＋Ｒ２＋ΔＲ２に対応する。"１０"は、従来の磁気素子２０の抵抗値Ｒ１＋ΔＲ１＋Ｒ２−ΔＲ２に対する抵抗値に対応する。"１１"は、従来の磁気素子２０の抵抗値Ｒ１＋ΔＲ１＋Ｒ２＋ΔＲ２に対する抵抗値に対応する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従来のスピン・トンネル接合を用いる従来の磁気素子１０及び２０を用いることで従来の磁気メモリは機能し得るが、当業者であれば、より高いメモリセル密度での従来の磁気素子１０及び２０の用途には障害があることを容易に認識し得る。特に、従来の磁気素子１０、２０は、ビット線（図示せず）及び書き込み線（図示せず）を流れる駆動電流により生成された外部磁場を用いて書き込まれる。言い換えれば、自由層１８、３６及び４６の磁化は、ビット線及び書き込み線を流れる駆動電流により生成された外部磁場によって切り換えられる。スイッチング磁場として知られている自由層１８、３６及び４６の磁化を切り換えるのに必要な磁場は、従来の磁気素子１０及び２０の幅に反比例する。その結果、スイッチング磁場は、従来のメモリが有する従来の磁気素子１０及び２０が小さくなるにつれて大きくなる。スイッチング磁場が大きいため、ビット線を通して、特に、書き込み線を通して駆動するために必要な電流は、磁気メモリセル密度が大きくなると急激に大きくなる。この大きな電流は、従来の磁気素子１０又は２０を用いる従来の磁気メモリでは、多くの問題を引き起こし得る。例えば、クロストーク及び消費電力が増大する。更に、所望の従来のメモリ素子１０又は２０においてスイッチング磁場を生成する電流を駆動するのに必要な駆動回路の面積や複雑さも増大する。更に、従来の書き込み電流は、磁気メモリセルを切り換えるのに充分なほど大きくなければならないが、隣接セルが間違って切り換えられるほど大きい必要はない。（製造及び材料の不均一さの為に）他のものより切り換えが困難なセルは確実に書き込みすることができないため、書き込み電流振幅に関するこの上限は信頼性の問題を引き起こす可能性がある。
【０００９】
従って、必要とされるのは、充分な再生信号を提供しつつ、高密度のメモリアレイにおいて、低消費電力、低クロストーク、及び高い信頼性で使用可能な磁気メモリ素子を提供するためのシステム及び方法である。本発明は、そのような磁気メモリ素子に対するニーズに対処する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、複数のビットを記憶可能な磁気素子を提供するための方法及びシステムを提供する。本方法及びシステムには、第１固定層、第１非磁性層、第１自由層、接続層、第２固定層、第２非磁性層、及び第２自由層を設ける段階が含まれる。第１固定層は、強磁性体であり、第１方向に固定された第１固定層磁化を有する。第１非磁性層は、第１固定層と第１自由層との間にある。第１自由層は、強磁性体であり、第１自由層磁化を有する。第２固定層は、強磁性体であり、第２方向に固定された第２固定層磁化を有する。接続層は、第２固定層と第１自由層との間にある。第２非磁性層は、第２固定層と第２自由層との間にある。第２自由層は、強磁性体であり、第２自由層磁化を有する。第１及び第２非磁性層は、絶縁障壁層であってよい。あるいは、導電金属層であってよい。好適な実施形態において、第１及び第２非磁性層は、導電層である。また、この好適な実施形態において、磁気素子には、第１障壁層、第２障壁層、第３固定層及び第４固定層が含まれる。そのような実施形態において、第１障壁層は、第１自由層と第３固定層との間にある。第２障壁層は、第２自由層と第４固定層との間にある。また、この好適な実施形態において、固定層の磁化は、隣接する反強磁性層によって固定され、また、接続層は、共有反強磁性層である。他の選択肢として、積層の高さを低減するために、固定層及びその隣接する（又は共有される）固定用ＡＦＭ層は、反強磁性的に結合された硬質磁性層／Ｒｕ／硬質磁性層、又は、硬質磁性層／Ｒｕ／軟質磁性層の三層構造によって置き換え得るが、この場合において、"硬質"及び"軟質"はそれぞれ、高及び低磁気的異方性を有する強磁性層を意味する。軟質層は、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｎｉ及びそれらの合金であってよい。また、硬質層は、ＣｏＣｒＰｔ等の硬質磁石材料であってよい。磁気素子は、書き込み電流が磁気素子を通過する際のスピン転移により、第１自由層磁化及び第２自由層磁化が方向を変更可能となるように構成されている。
【発明の効果】
【００１１】
本明細書に記載したシステム及び方法によれば、本発明は、複数のビットを記憶し、また、磁場スイッチングメカニズムよりも局所化されたスピン転移スイッチングを用いて書き込み可能な磁気素子を提供する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明は、磁気素子の改善に関する。以下の説明は、当業者が本発明を構築し使用可能とするために提示し、又、特許出願の文脈とその要求事項の範囲で行う。好適な実施形態に対する様々な変形例は、当業者には容易に理解し得ると思われ、又、本明細書における一般的な原理は、他の実施形態にも適用し得る。従って、本発明は、例示した実施形態に限定することを意図せず、本明細書で述べる原理及び特徴と一致する最も広い範囲と合致するものである。
【００１３】
従来の磁気記憶技術は、スピン・バルブ及びスピン・トンネル接合等の磁気素子をその小型化が進むにつれて益々利用するようになった。しかしながら、従来の方法を用いてそのような素子を作製し動作させることは困難である。スピン転移として知られる近年発見された現象は、磁気記憶技術では関心が高い。スピン転移に関する現在の情報は、スロンチェウスキ（J.C. Slonczewski）による「磁性多層体の電流駆動式励磁」、磁気及び磁性材料機関紙、第１５９巻、Ｌ１−Ｌ５頁（１９９６年）、バーガ（L. Berger ）による「電流によって駆動される磁性多層体によるスピン波放出」、Phys. Rev. B、第５４巻、９３５３頁（１９９６年）、並びに、アルバート（F. J. Albert）、カティン（J. A. Katine）、及びブーマン（R. A. Buhman）による「Ｃｏ薄膜ナノ磁石のスピン偏極式電流スイッチング」、Appl. Phys. Lett. 、第７７巻、第２３号、３８０９−３８１１頁（２０００年）に詳細に述べられている。従って、スピン転移現象の以下の説明は、その領域における電流情報に基づくものであり、本発明の範囲を制限しようとするものではない。
【００１４】
スピン転移効果は、強磁性体−標準金属多層体のスピン依存電子輸送特性から生じる。面垂直電流（ＣＰＰ：Current Perpendicular to Plane）構成において、スピン偏極電流が、磁性多層体に流れる場合、強磁性層に入射する電子のスピン角運動量は、強磁性層の磁気モーメントと相互作用する。この相互作用を介して、電子は、それらの角運動量の一部を強磁性層に転移する。その結果、電流密度が充分に高い（約１０７〜１０８Ａ／ｃｍ２）場合、及び多層体の大きさが小さく（約２００ナノメートル未満）、従って自己磁場効果が重要ではない場合には、スピン偏極電流は、強磁性層の磁化方向を切り換え得る。更に、スピン転移により強磁性層の磁化方向を切り換えるようにするために、強磁性層は充分に薄くしなければならず、例えばＣｏの場合、好適には約１０ナノメートル未満でなければならない。
【００１５】
スピン転移現象は、外部スイッチング磁場の使用の代替えとして、又はそれに追加してＣＰＰ構成に用いることができ、従来のスピン・バルブ又は従来のスピン・トンネル接合の自由層の磁化方向を切り換え得る。スピン転移は、他のメカニズムを圧倒する現象であり、従って、従来の磁気素子の大きさが小さい場合、数百ナノメートルの範囲で観察可能になる。外部磁場の印加とは対照的に、スピン転移現象は、局所化された現象である。従って、スピン転移は、より小さい磁気素子を有する更に高密度の磁気メモリにおける磁気素子に書き込むために用い得る。
【００１６】
当業者であれば、スピン転移現象を用いて、スピン・バルブ又はスピン・トンネル接合等の従来の磁気素子に書き込むことに障害が存在することを容易に認識し得る。従来のスピン・バルブの場合、ＣＰＰ構成では、信号が大幅に低減される。従来のスピン・トンネル接合は、その抵抗が大きいため、信号が大きくなり得るが、スピン転移効果を誘発するのに必要な高い電流密度は、抵抗損失のために、薄い絶縁障壁を破壊することがある。
【００１７】
上述したように、従来の他の磁気素子が、種々の程度の特異性で提案されており、又、利用されている。そのような従来の磁気素子には、二重スピン・バルブ、二重スピン・トンネル接合、並びにスピン・バルブ及びスピン・トンネル接合の組合せが含まれる。
【００１８】
図１Ｂは、磁気素子として用い得る二重スピン・トンネル／バルブ構造体７０と呼ばれる磁気素子の一実施形態を示す図である。二重スピン・トンネル／バルブ構造体７０は、好適には、適切なシード層上に作製される。二重スピン・トンネル／バルブ構造体７０には、反強磁性（ＡＦＭ）層７１が含まれ、この上に、固定層７２が作製される。固定層７２は、強磁性体であり、その磁化が、ＡＦＭ層７１によって固定される。また、二重スピン・トンネル／バルブ構造体７０には、絶縁性であり、電荷キャリアが固定層７２と自由層７４との間を通過するに充分な程薄い障壁層７３が含まれる。自由層７４は、強磁性体であり、スピン転移現象により変更し得る磁化を有する。また、二重スピン・トンネル／バルブ構造体７０には、導電性であり、Ｃｕ等の材料を含み得る非磁性スペーサ層７５が含まれる。また、二重スピン・トンネル／バルブ構造体７０には、強磁性体であり、ＡＦＭ層７７によって固定される磁化を有する第２固定層７６が含まれる。二重スピン・トンネル／バルブ構造体７０は、スピン・トンネル接合（層７１、７２、７３及び７４を含む）及びスピン・バルブ（層７４、７５、７６及び７７を含む）で構成されると見なすことができ、自由層を共有する。結果的に、スピン転移を用いた書き込みを可能としつつ、大きな再生信号を得ることができる。単一の強磁性体膜として説明したが、層７２、７４及び７６は合成であってよく、及び／又は、不純物を注入することにより二重スピン・トンネル／バルブ構造体７０の熱的安定性を改善し得る。更には、静磁気的に結合された自由層を有し、二重スピン・トンネル／バルブ構造体を含む他の磁気素子について述べた。結果的に、スピン・トンネル接合又は二重スピン・トンネル／バルブ構造体等の磁気素子を用いる他の構造体も提供し得る。
【００１９】
二重スピン・トンネル／バルブ構造体７０は、自由層７４の磁化が、スピン転移を用いて切り換えられるように構成される。結果的に、二重スピン・トンネル／バルブ構造体７０の大きさは、数百ナノメートルの範囲の好適に小さなものであり、自己磁場効果を低減する。好適な実施形態において、二重スピン・トンネル／バルブ構造体７０の大きさは、２００ナノメートル未満であり、より好適には、約１００ナノメートルである。二重スピン・トンネル／バルブ構造体７０は、好適には、図２の紙面に対して垂直に、約５０ナノメートルの奥行きを有する。この奥行きは、好適には二重スピン・トンネル／バルブ構造体７０の幅より小さく、二重スピン・トンネル／バルブ構造体７０が何らかの形状異方性を有し、自由層７４が好適な方向を有することを保証する。更に、自由層７４の膜厚は、充分に小さいため、スピン転移は、自由層の磁化を回転させて固定層７２及び７６の磁化と並ばせるに充分なほど強い。好適な実施形態において、自由層７４は、１０ｎｍ以下の膜厚を有する。更に、上記した好適な大きさを有する二重スピン・トンネル／バルブ構造体７０の場合、約１０７Ａｍｐ／ｃｍ２の充分な電流密度が比較的小さい電流で実現し得る。例えば、０．０６×０．１２μｍ２の楕円形状を有する二重スピン・トンネル／バルブ構造体７０の場合、約１０７Ａｍｐ／ｃｍ２の電流密度は、約０．５ｍＡの電流で実現し得る。その結果、極めて大きい電流を出力するための特別な回路の使用を回避し得る。
【００２０】
上述した磁気素子は、意図した目的のためには充分に機能し得るが、当業者であれば、この磁気素子を高密度のメモリで用いるのが望ましいことを認識し得る。
本発明は、複数のビットを記憶可能な磁気素子を提供するための方法及びシステムを提供する。本方法及びシステムには、第１固定層、第１非磁性層（導電性）、第１自由層、接続層、第２固定層、第２非磁性層、及び第２自由層を設ける段階が含まれる。第１固定層は、強磁性体であり、第１方向に固定された第１固定層磁化を有する。第１非磁性層は、第１固定層と第１自由層との間に存在する。第１自由層は、強磁性体であり、第１自由層磁化を有する。第２固定層は、強磁性体であり、第２方向に固定された第２固定層磁化を有する。接続層は、第２固定層と第１自由層との間にある。第２非磁性層は、第２固定層と第２自由層との間にある。第２自由層は、強磁性体であり、第２自由層磁化を有する。磁気素子は、書き込み電流が磁気素子を通過する際のスピン転移により第１自由層磁化及び第２自由層磁化が方向を変更可能となるように構成される。
【００２１】
本発明を、或る構成要素及び或る数の構造体を有する特定の磁気素子の観点から説明する。しかしながら、当業者であれば、この方法及びシステムが、他の数のスピン・バルブ、スピン・トンネル接合、及び／又は二重スピン・トンネル／バルブ構造体等のような、異なる及び／又は追加の構成要素や構造体を有する他の磁気メモリ素子に対しても有効に動作することを容易に認識し得る。本発明は、本発明と整合性を有する異なる及び／又は他の特徴を有する他の磁気メモリとも整合性がある。また、本発明を、スピン転移現象の現時点での理解を背景にして説明する。結果的に、当業者であれば、本方法及びシステムの作用の理論的な説明が、スピン転移の現時点での理解に基づいて行われることを容易に認識し得る。また、当業者は、本方法及びシステムが、基板に対して特定の関係を有する構造について説明されることを容易に認識し得る。一方で、当業者は、本方法及びシステムが他の構造体と整合性があることを容易に認識し得る。例えば、本発明は、トップアンドボトム・スピン・バルブ並びにトップアンドボトム・スピン・トンネル接合と整合性がある。更に、本方法及びシステムを、或る層が、合成でできている場合について説明する。しかしながら、当業者であれば、他の及び／又は追加の層が合成であり得ることを容易に認識し得る。更に、本発明は、単一の及び／又は合成強磁性層を有する磁気素子と整合性がある。更に、本発明に基づく方法の実施形態を、単一の磁気素子を提供する場合について説明するが、当業者であれば、本方法が、複数の磁気素子、例えばアレイ状での提供と整合性があることを容易に認識し得る。また、本発明を、書き込み電流を特定の方向に印加する、書き込み電流が特定の大きさを有する、及び特定の数の書き込み電流を印加する場合について説明する。しかしながら、当業者であれば、本発明が他の及び／又は異なる書き込み電流とも整合性があることを容易に認識し得る。また、本発明を、層間において磁化が特定の方向を有する場合について説明する。しかしながら、当業者であれば、本発明が他の方向とも整合性があることを容易に認識し得る。
【００２２】
本発明に基づく方法及びシステムを更に詳細に示すために、次に図３Ａにおいて、複数のビットを記憶し、書き込みにスピン転移現象を利用可能な本発明に基づく一実施形態の磁気素子１００を示す。磁気素子１００は、スピン転移現象を用いて書き込まれるように構成され、接続層１０２によって分離された２つのスピン・トンネル接合１１０及び１２０が含まれる。
【００２３】
スピン・トンネル接合１１０には、自由層１１８と、好適には障壁層１１６である非磁性層と、固定層１１４と、が含まれる。自由層１１８及び固定層１１４は、強磁性体である。固定層１１４の磁化は、特定の方向に固定される。好適には、スピン・トンネル接合１１０には、固定層１１４の磁化を固定するＡＦＭ層１１２が含まれる。しかしながら、他の実施形態において、固定層１１４の磁化は、他の方法で固定し得る。障壁層１１６は、電荷キャリアが固定層１１４と自由層１１８との間を通過可能となるように構成される。スピン・トンネル接合１２０には、自由層１２８と、好適には障壁層１２６である非磁性層と、固定層１２４と、が含まれる。自由層１２８及び固定層１２４は、強磁性体である。固定層１２４の磁化は、特定の方向に固定される。好適には、スピン・トンネル接合１２０には、固定層１２４の磁化を固定するＡＦＭ層１２２が含まれる。しかしながら、他の実施形態において、固定層１２４の磁化は、他の方法で固定し得る。障壁層１２６は、電荷キャリアが固定層１２４と自由層１２８との間を通過可能となるように構成される。固定層１１８及び１２８は、好適には、図３Ａに示す方向に固定される。
【００２４】
スピン・トンネル接合１１０及び１２０はスピン転移現象を用いて書き込まれるように構成されることから、スピン・トンネル接合１１０及び１２０の大きさは、好適には、二重スピン・トンネル／バルブ構造体７０のそれと同様である。結果的に、スピン・トンネル接合１１０及び１２０の大きさは、好適には、小さく数百ナノメートルの範囲である。好適な実施形態において、スピン・トンネル接合１１０及び１２０の大きさは、２００ナノメートル未満であり、好適には、約１００ナノメートルである。スピン・トンネル接合１１０及び１２０は、好適には、図３の紙面に対して垂直に、約５０ナノメートルの奥行きを有する。この奥行きは、好適には、スピン・トンネル接合１１０及び１２０の幅より小さく、スピン・トンネル接合１１０及び１２０は、何らかの形状異方性を有し、自由層１１８及び１２８が好適な方向を有することを保証する。更に、自由層１１８及び１２８の膜厚は、充分に小さいため、スピン転移は、自由層磁化を回転させて固定層１１４及び１２４の磁化と並ばせるのに充分なほど強い。好適な実施形態において、自由層１１８及び１２８は、１０ｎｍ以下の膜厚を有する。更に、上記した好適な大きさを有するスピン・トンネル接合１１０及び１２０の場合、約１０７Ａｍｐ／ｃｍ２の充分な電流密度が比較的小さい電流で実現し得る。例えば、０．０６×０．１２μｍ２の楕円形状を有するスピン・トンネル接合１１０及び１２０の場合、約１０７Ａｍｐ／ｃｍ２の電流密度は、約０．５ｍＡの電流で実現し得る。その結果、極めて大きい電流を出力するための特別な回路の使用を回避し得る。
【００２５】
動作時、データは、磁気素子１００の上面から磁気素子１００の底面へ順方向に、電流Ｉ１Ｆを用いて、また、磁気素子１００の底面から磁気素子１００の上面へ逆方向に、電流Ｉ１Ｒを用いて、スピン・トンネル接合１１０に書き込み得る。電流Ｉ１Ｆが順方向に印加される場合、多数電子は、固定層１１４から自由層１１８に（電子は負に帯電しているため、電流Ｉ１Ｆの方向と反対に）移動する。多数電子のスピンは、固定層１１４の磁化に平行である。多数電子は、スピン転移を介して、それらの角運動量を自由層１１８に転移し得る。電流Ｉ１Ｆが供給される場合、充分な数の多数電子が、それらの角運動量を転移して、自由層１１８の磁化を固定層１１４の磁化に揃える。電流Ｉ１Ｒが逆方向に印加される場合、自由層１１８から固定層１１４に（電流Ｉ１Ｒの方向と反対に）移動する少数電子は、固定層１１４から反射される。少数電子の角運動量は、固定層１１４の磁化と反対の方向である。電流Ｉ１Ｒが供給される場合、充分な数の少数電子が、それらの角運動量を転移して、自由層１１８の磁化を固定層１１４の磁化と反平行に揃える。
【００２６】
同様に、スピン・トンネル接合１２０は、磁気素子１００の上面から磁気素子１００の底面へ順方向に、電流Ｉ２Ｆを用いて、また、磁気素子１００の底面から磁気素子１００の上面へ逆方向に、電流Ｉ２Ｒを用いて、書き込まれる。スピン転移は、上述したものと同様な方法で、自由層１２８の磁化を方向付けし得る。好適な実施形態において、Ｉ１Ｆは、Ｉ２Ｆより大きく、Ｉ１Ｒは、Ｉ２Ｒより大きい。磁気素子１１０及び１２０の抵抗及び書き込み電流の相違は、磁気素子１１０及び１２０の層を調整することによって、達成し得る。例えば、自由層１１８及び１２８は、異なる膜厚を有し得る。同様に、障壁層１１６及び１２６は、異なる膜厚を有し得る。
【００２７】
スピン転移を用いて書き込まれるように構成されることに加えて、スピン・トンネル接合１１０及び１２０は、好適には、異なる中間抵抗値を有するように、また、異なる電流を用いて書き込まれるように構成される。例えば、スピン・トンネル接合１１０及び１２０の中間抵抗値は、それぞれＲ１及びＲ２である。スピン・トンネル接合１１０の抵抗値は、自由層１１８及び固定層１１４の磁化が、平行及び反平行である場合、それぞれＲ１−ΔＲ１及びＲ１＋ΔＲ１である。スピン・トンネル接合１２０の抵抗値は、自由層１２８及び固定層１２４の磁化が、平行及び反平行である場合、それぞれＲ２−ΔＲ２及びＲ２＋ΔＲ２である。好適な実施形態において、Ｒ１、ΔＲ１、Ｒ２及びΔＲ２は異なるため、磁気素子１００の４つの異なる状態は、区別し得る。
【００２８】
接続層１０２は、スピン・トンネル接合１１０とスピン・トンネル接合１２０との間にある。接続層１０２は、好適には、導電性である。従って、ＣＰＰ方向に磁気素子１００を通過する電流は、スピン・トンネル接合１１０と１２０との間を容易に通過する。その結果、一方のスピン・トンネル接合１１０に用いられる同じ書き込み電流及び読み出し電流を、他方のスピン・トンネル接合１２０に用い得る。
【００２９】
図３Ｂは、複数のビットを記憶し、スピン転移を用いて書き込み可能な磁気素子に書き込むための本発明に基づく方法１４０の一実施形態の概略フローチャートである。方法１４０について、図３Ａに示す磁気素子１００について説明する。図３Ａ及び３Ｂにおいて、磁気素子に書き込む際、用いられる書き込み電流（１つ又は複数）は、自由層１１８及び１２８の所望の配向を保証する。"００"を書き込もうとする場合、自由層１１８及び１２８の磁化を固定層１１４及び１２４の磁化に平行に並べる少なくとも１つの書き込み電流を、ステップ１４２で、磁気素子に印加する。従って、ステップ１４２は、磁気素子１００を流れる順方向のＩ１Ｆ及びＩ２Ｆより大きい単一の書き込み電流を供給することを含み得る。"０１"を書き込もうとする場合、ステップ１４４で、自由層１２８の磁化を固定層１２４の磁化に反平行に、また、自由層１１８の磁化を固定層１１４の磁化に平行に並べる１つ又は複数の書き込み電流を印加する。"１０"を書き込もうとする場合、ステップ１４６で、自由層１２８の磁化を固定層１２４の磁化に平行に、また、自由層１１８の磁化を固定層１１４の磁化に反平行に並べる１つ又は複数の書き込み電流を印加する。"１１"を書き込もうとする場合、ステップ１４８で、自由層１１８及び１２８の磁化を、それぞれ、固定層１１４及び１２４の磁化に反平行に並べる１つ又は複数の書き込み電流を印加する。
【００３０】
図３Ｃは、複数のビットを記憶し、スピン転移を用いて書き込み可能な磁気素子に書き込むための本発明に基づく方法１５０の一実施形態を示す。方法１５０について、図３Ａに示す磁気素子１００について説明する。図３Ａ及び３Ｃにおいて、磁気素子に書き込む際、用いられる書き込み電流（１つ又は複数）は、自由層１１８及び１２８の所望の配向を保証する。
【００３１】
ステップ１５２で、"００"を磁気素子１００に書き込もうとしているかどうか判断する。そうである場合、ステップ１５４で、第１書き込み電流を順方向に（図３Ａの紙面底部側へ）印加する。第１書き込み電流は、Ｉ１Ｆ及びＩ２Ｆより大きい。その結果、スピン転移は、それぞれ、自由層１１８及び１２８を固定層１１４及び１２４に平行に向ける。この状態の磁気素子１００の抵抗値は、Ｒ１−ΔＲ１＋Ｒ２−ΔＲ２である。
【００３２】
"００"を書き込もうとしていない場合、ステップ１５６で、"０１"を書き込もうとしているかどうか判断する。そうである場合、ステップ１５８で、Ｉ１Ｆ及びＩ２Ｆより大きい書き込み電流を順方向に印加する。好適には、この書き込み電流は、第１書き込み電流に等しい。結果的に、自由層１１８及び１２８は、それぞれ固定層１１４及び１２４に平行に向く。次に、ステップ１６０で、第２書き込み電流を逆方向に（図３Ａにおいて上側へ）印加する。第２書き込み電流は、Ｉ２Ｒより大きいが、Ｉ１Ｒより小さい。結果的に、第２書き込み電流によって誘起されたスピン転移は、自由層１２８の磁化を反転させて固定層１２４の磁化に反平行になるようにするが、自由層１１８の磁化は、固定層１１４に平行なままである。この状態の磁気素子１００の抵抗値は、Ｒ１−ΔＲ１＋Ｒ２＋ΔＲ２である。
【００３３】
"０１"を書き込もうとしていない場合、ステップ１６２で、"１０"を書き込もうとしているかどうか判断する。そうである場合、ステップ１６４で、第３書き込み電流を逆方向に印加する。結果的に、自由層１１８及び１２８は、それぞれ固定層１１４及び１２４に反平行に向く。次に、ステップ１６６で、第４書き込み電流を順方向に印加する。第４書き込み電流は、Ｉ２Ｆより大きいが、Ｉ１Ｆより小さい。結果的に、第２書き込み電流によって誘起されたスピン転移は、自由層１２８の磁化を反転させて固定層１２４の磁化に平行になるようにするが、自由層１１８の磁化は、固定層１２４の磁化に反平行なままである。この状態の磁気素子１００の抵抗値は、Ｒ１＋ΔＲ１＋Ｒ２−ΔＲ２である。
【００３４】
"１０"を書き込もうとしていない場合、"１１"が書き込まれる。結果的に、ステップ１７０を介して、Ｉ１Ｒ及びＩ２Ｒより大きく、また、好適には第３書き込み電流に等しい書き込み電流を逆方向に印加する。従って、自由層１１８及び１２８の磁化は、それぞれ固定層１１４及び１２４の磁化に反平行に向く。この状態の磁気素子１００の抵抗値は、Ｒ１＋ΔＲ１＋Ｒ２＋ΔＲ２である。
【００３５】
磁気素子１００を読み出すために、Ｉ１Ｆ、Ｉ２Ｆ、Ｉ２Ｒ、及びＩ２Ｒより小さい読み出し電流を供給する。従って、読み出し電流は、印加される書き込み電流のどれよりも小さい。従って、読み出し電流は、磁気素子に書き込まれたデータを変えない。磁気素子１００の抵抗値は、読み出し電流及び出力信号に基づき決定し得る。磁気素子の抵抗に基づき、記憶された"００"、"０１"、"１０"、又は"１１"のデータが決定し得る。抵抗値が、Ｒ１−ΔＲ１＋Ｒ２−ΔＲ２である場合、"００"が記憶される。抵抗値が、Ｒ１−ΔＲ１＋Ｒ２＋ΔＲ２である場合、"０１"が記憶される。抵抗値が、Ｒ１＋ΔＲ１＋Ｒ２−ΔＲ２である場合、"１０"が記憶される。抵抗値が、Ｒ１＋ΔＲ１＋Ｒ２＋ΔＲ２である場合、"１１"が記憶される。
【００３６】
方法１４０及び／又は１５０を用いると、複数のビットは、スピン転移を用いて磁気素子１００に記憶し得る。外部電流によって駆動されるスイッチング磁場は、不要である。それに代わって、更に局所化された信頼性の高い現象が、磁気素子１００への書き込みに用いられ、クロストークが減少する。更に、上記の好適な大きさを有する磁気素子１００の場合、約１０７Ａｍｐ／ｃｍ２の充分な電流密度が比較的小さい電流で実現し得る。例えば、０．０６×０．１２μｍ２の楕円形状を有する磁気素子の場合、約１０７Ａｍｐ／ｃｍ２の電流密度は、約０．５ｍＡの電流で実現し得る。その結果、極めて大きい電流を出力するための特別な回路の使用を回避し得る。更に、複数のビットが単一の磁気素子１００に記憶されることから、磁気素子１００を内蔵する（単位面積当たり更に多くのビットを記憶する）高密度メモリを作製し得る。
【００３７】
図４Ａは、複数のビットを記憶し、書き込みにスピン転移現象を利用可能な本発明に基づく磁気素子１００´の第２実施形態の図である。磁気素子１００´の構成要素の多くが、図３Ａに示す磁気素子１００のそれと同様である。従って、これらの構成要素は、同様な名称を付す。例えば、磁気素子１００´には、スピン・トンネル接合１１０´及び１２０´が含まれる。しかしながら、接続層１０２は、共有ＡＦＭ層１０２´によって置き換えられている。更に、ＡＦＭ層１１２及び１２２は省略している。それに代わって、単一の共有ＡＦＭ層１０２´が、接続層（接続層１０２と同じ）、及び固定層１１４´及び１２４´の磁化を固定するために用いられる層（ＡＦＭ層１０２及び１１２と同じ）の双方として機能する。他の選択肢として、積層の高さを更に低減するために、固定層１１４´及び１２４´及び固定用ＡＦＭ層１０２´は、反強磁性的に結合された硬質磁性層／Ｒｕ／硬質磁性層、又は、硬質磁性層／Ｒｕ／軟質磁性層の三層構造によって置き換え得る。ここで、"硬質"及び"軟質"は、それぞれ大小の磁気異方性を有する強磁性層を意味する。軟質層は、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｎｉ及びそれらの合金であってよい。また、硬質層は、ＣｏＣｒＰｔ等の硬質磁石材料であってよい。そのような代替構造体１００´´を図４Ｂに示す。図４Ａ及び４Ｂにおいて、磁気素子１００´と同様である磁気素子１００´´の構成要素は、同様な名称を付す。例えば、磁気素子１００´´には、自由層１２８´´及び１１８´´が含まれる。しかしながら、硬質磁性層１１１、Ｒｕ層１１３、及び、硬質又は軟質磁性層１１５は、磁気素子１００´の固定層１１４´及び１２４´、並びにＡＦＭ層１０２´の代わりに用いられる。
【００３８】
磁気素子１００´及び１００´´も、スピン転移を用いて書き込まれるように、また、複数のビットを記憶するように構成される。結果的に、磁気素子１００´及び１００´´は、多くの同じ特性を共有し、磁気素子１００と実質的に同じ方法で書き込まれる。図３Ｂ及び３Ｃに示す方法１４０及び１５０は、従って、それぞれ、図４Ａ及び４Ｂに示す磁気素子１００´及び１００´´にデータを書き込むために用い得る。磁気素子１００´及び１００´´を介した駆動電流は、スピン転移を用いてデータを書き込むために用い得ることから、外部電流によって駆動されるスイッチング磁場は不要である。それに代わって、更に局所化された信頼性の高い現象が、磁気素子１００´及び１００´´への書き込みに用いられ、クロストークが減少する。更に、上記の好適な大きさを有する磁気素子１００´及び１００´´の場合、約１０７Ａｍｐ／ｃｍ２の充分な電流密度が比較的小さい電流で実現し得る。例えば、０．０６×０．１２μｍ２の楕円形状を有する磁気素子の場合、約１０７Ａｍｐ／ｃｍ２の電流密度は、約０．５ｍＡの電流で実現し得る。その結果、極めて大きい電流を出力するための特別な回路の使用を回避し得る。更に、複数のビットが単一の磁気素子１００´及び１００´´に記憶されることから、磁気素子１００´及び１００´´を内蔵する（単位面積当たり更に多くのビットを記憶する）高密度メモリを作製し得る。更に、磁気素子１００´は、単一の共有ＡＦＭ層１０２´を用いて、スピン・トンネル接合１１０´と１２０´とを接続することから、別個のＡＦＭ層は、省略し得る。同様に、層１１１、１１３、及び１１５を用いることから、追加のＡＦＭ層は、磁気素子１００´´では省略している。その結果、磁気素子１００´及び１００´´は、積層高さを低減し得る。積層高さが低減されると、磁気素子１００´及び１００´´のパターン形成が容易になり、また、組み立てが簡単にできる。
【００３９】
図５Ａは、複数のビットを記憶し、書き込みにスピン転移現象を利用し、二重スピン・トンネル／バルブ構造体を利用可能な本発明に基づく磁気素子２００の第３実施形態の図である。従って、磁気素子２００には、接続層２０２によって分離された二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０及び２３０が含まれる。二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０には、固定層２１４、非磁性層２１６、自由層２１８、障壁層２２０、及び固定層２２２が含まれる。また、好適には、二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０には、それぞれ、固定層２１４及び２２２の磁化を固定するために用いられるＡＦＭ層２１２及び２２４が含まれる。二重スピン・トンネル／バルブ構造体２３０には、固定層２３４、非磁性層２３６、自由層２３８、障壁層２４０、及び固定層２４２が含まれる。また、好適には、二重スピン・トンネル／バルブ構造体２３０には、それぞれ、固定層２３４及び２４２の磁化を固定するために用いられるＡＦＭ層２３２及び２４４が含まれる。固定層２１４及び２４２は、それらの磁化が第１方向に固定されている。固定層２２２及び２３４は、それらの磁化が第２方向に、好適には、第１方向に反平行に固定されている。第２方向は、幾つかの手法によって達成し得る。１つの手法は、合成構造体（図示せず）用の固定層２２２及び２３４を用いることである。他の手法は、（設定温度及び磁場において）ＡＦＭ層２３２及び２４２用のＡＦＭ材料と異なるＡＦＭ層２２４及び２３２用のＡＦＭ材料を用いることである。そして、固定層２２２及び２３４の磁化方向は、異なるＡＦＭ設定温度及び磁場を用いて、固定層２１４及び２４２の磁化方向とは独立に設定し得る。好適には、自由層２１８及び２３８は、好適な方向を有するが、そうでない場合、スピン転移により転移された角運動量に自由に応答する。障壁層２２０及び２４０は、電荷キャリアが通過し得る絶縁体である。非磁性スペーサ層２１６及び２３６は、導電体である。各二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０及び２３０は、スピン・バルブ部及びスピン・トンネル部を有すると見なし得る。二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０のスピン・トンネル接合部には、固定層２２２、障壁層２２０及び自由層２１８が含まれる。二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０のスピン・バルブ部には、固定層２１４、非磁性スペーサ層２１６及び自由層２１８が含まれる。同様に、二重スピン・トンネル／バルブ構造体２３０のスピン・トンネル接合部には、固定層２４２、障壁層２４０及び自由層２３８が含まれる。二重スピン・トンネル／バルブ構造体２３０のスピン・バルブ部には、固定層２３４、非磁性スペーサ層２３６及び自由層２３８が含まれる。
【００４０】
動作時、二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０及び２３０は、各々、スピン転移を用いて書き込まれるように構成される。現在、スピン転移現象は、主として、二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０及び２３０のスピン・バルブ部を用いて提供される。例えば、順方向に駆動される電流の場合、固定層２１４から自由層２１８に移動する電子は、それらの角運動量を自由層２１８に転移し得る。その結果、自由層２１８の磁化は、固定層２１４の磁化と並び得る。更に、固定層２２２から反射する少数電子は、自由層２１８の磁化を固定層２１４の磁化に平行に向けるように支援し得る。同様に、逆方向に駆動される電流の場合、自由層２１８からの少数電子は、固定層２１４から反射する。これらの少数電子は、自由層２１８に戻り、自由層２１８の磁化を固定層２１４の磁化に反平行に揃えるようにする。更に、固定層２２２からの多数電子は、自由層２１８の磁化を固定層２１４の磁化に反平行に向けるように支援し得る。従って、電流は、固定層２１４から自由層２１８及び固定層２２２を介して逆方向に駆動し得る。二重スピン・トンネル／バルブ構造体２３０は、同様に機能する。
【００４１】
それらはスピン転移現象を用いて書き込まれるように構成されることから、二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０及び２３０の大きさは、好適には、二重スピン・トンネル／バルブ構造体７０のそれと同様である。二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０及び２３０の大きさは、好適には、２００ナノメートル未満であり、また、好適には、約１００ナノメートルである。二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０及び２３０は、図５Ａの紙面に対して垂直に、約５０ナノメートルの奥行きを有する。この奥行きは、好適には、二重スピン・トンネル／バルブ構造体接合２１０及び２３０の幅より小さいため、二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０及び２３０は何らかの形状異方性を有し、自由層２１８及び２３８が好適な方向を有することを保証する。更に、自由層２１８及び２３８の膜厚は充分に小さいため、スピン転移は、自由層磁化を回転させて固定層２１２及び２２２、及び、固定層２３４及び２４２の磁化と並ばせるのに充分なほど強い。好適な実施形態において、自由層２１８及び２３８は、１０ｎｍ以下の膜厚を有する。更に、上記した好適な大きさを有する二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０及び２３０の場合、約１０７Ａｍｐ／ｃｍ２の充分な電流密度が比較的小さい電流で実現し得る。例えば、０．０６×０．１２μｍ２の楕円形状を有する二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０及び２３０の場合、約１０７Ａｍｐ／ｃｍ２の電流密度は、約０．５ｍＡの電流で実現し得る。その結果、極めて大きい電流を出力するための特別な回路の使用を回避し得る。
【００４２】
スピン転移を用いて書き込まれるように構成されることに加えて、二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０及び２３０は、好適には、異なる中間抵抗値を有するように、また、異なる電流を用いて書き込まれるように構成される。例えば、二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０及び２３０の中間抵抗値は、それぞれＲ１及びＲ２である。二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０の抵抗値は、自由層２１８の磁化及び固定層２２２の磁化が、平行及び反平行である場合、それぞれＲ１−ΔＲ１及びＲ１＋ΔＲ１である。スピン・トンネル接合２３０の抵抗値は、自由層２３８の磁化及び固定層２４２の磁化が、平行及び反平行である場合、それぞれＲ２−ΔＲ２及びＲ２＋ΔＲ２である。更に、スピン・トンネル接合２１０は、磁気素子２００の上面から磁気素子２００の底面へ順方向に、電流Ｉ１Ｆを用いて、また、磁気素子２００の底面から磁気素子２００の上面へ逆方向に、電流Ｉ１Ｒを用いて、書き込まれる。同様に、スピン・トンネル／バルブ構造２３０は、磁気素子２００の上面から磁気素子２００の底面へ順方向に、電流Ｉ２Ｆを用いて、また、磁気素子２００の底面から磁気素子２００の上面へ逆方向に、電流Ｉ２Ｒを用いて、書き込まれる。好適な実施形態において、Ｉ１Ｆは、Ｉ２Ｆより大きく、Ｉ１Ｒは、Ｉ２Ｒより大きい。二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０及び２３０の抵抗及び書き込み電流の相違は、二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０及び２３０の層を調整することによって、達成し得る。例えば、自由層２１８及び２３８は、異なる膜厚を有し得る。同様に、障壁層２２０及び２４０は、異なる膜厚を有し得る。
【００４３】
接続層２０２は、二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０と２３０との間にある。接続層２０２は、好適には導電性である。従って、ＣＰＰ方向に磁気素子２１００を通過する電流は、スピン・トンネル接合１１０と１２０との間を容易に通過する。その結果、一方のスピン・トンネル接合２１０に用いられる同じ書き込み電流及び読み出し電流を、他方のスピン・トンネル接合２５０に用い得る。しかしながら、読み出し電流は、好適には、どの書き込み電流よりも小さい。結果的に、自由層２１８及び２３８の磁化の方向は読み出し時に変化しない。
【００４４】
磁気素子２００は、磁気素子１００及び１００´と実質的に同じ方法で、例えば、法１４０又は１５０を用いて、書き込み及び読み出しを行い得る。結果的に、磁気素子２００は、磁気素子１００及び１００´と同じ多くの効果を共有する。スピン転移にも寄与し得る追加の固定層２１４及び２３４が存在することから、自由層２１８及び２３８の磁化を切り換えるのに必要な電流は、更に低減し得る。二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０及び２３０が用いられ、また、スピン転移を活用して磁気素子に書き込むことから、外部スイッチング磁場を生成する外部電流は、磁気素子２００の自由層２１８及び２３８への書き込みに対しては、もはや不要である。それに代わって、磁気素子２００を流れる駆動電流が用いられる。その結果、更に局所化されたスイッチングメカニズムが利用され、また、消費電力が減少することから、クロストークが減少する。また、磁気素子２００は、磁気素子２００の障壁層（層２２０及び２４０）が存在することから、ＣＰＰ構成で読み出される場合、従来のスピン・バルブより出力信号がかなり大きくなる。更に、磁気素子２００は、複数のビットを記憶し得ることから、磁気素子２００は、更に高密度のメモリに用い得る。
【００４５】
図５Ｂは、複数のビットを記憶し、書き込みにスピン転移現象を利用し、二重スピン・トンネル／バルブ構造体を利用可能な本発明に基づく磁気素子２００´の第４実施形態の図である。磁気素子２００´は、磁気素子２００と同様である。従って、構成要素の多くに同様な名称を付す。しかしながら、非磁性スペーサ層２３６´及び２１６´並びに障壁層２２０´及び２４０´の部分は、それぞれ反転している。しかしながら、磁気素子２００´は、磁気素子２００と実質的に同じ方法で機能する。結果的に、二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０´及び２３０´は、電流を駆動して磁気素子２００´に流すことによって、また、上述したようにスピン転移を活用することによって、書き込み得る。従って、磁気素子２００´は、磁気素子２００と同じ多くの利点を有する。
【００４６】
図６Ａは、複数のビットを記憶し、書き込みにスピン転移現象を利用し、二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０´´及び２３０´´を利用可能な本発明に基づく磁気素子２００´´の第５の好適な実施形態の図である。しかしながら、磁気素子２００´´には、共有ＡＦＭ層２０２´´が含まれる。従って、単一の共有ＡＦＭ層２０２´´を有用して、磁気素子２００及び２００´の別個のＡＦＭ層２２４及び２３２並びに別個の接続層２０２は省略している。従って、磁気素子２００´´の積層高さは低減し得る。他の選択肢として、積層の高さを更に低減するために、固定層２２２´´及び２４２´´並びに共有ＡＦＭ層２０２´´は、反強磁性的に結合された硬質磁性層／Ｒｕ／硬質磁性層、又は、硬質磁性層／Ｒｕ／軟質磁性層の三層構造によって置き換えてもよい。ここで、"硬質"及び"軟質"は、それぞれ、大小の磁気異方性を有する強磁性層を意味する。軟質層は、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｎｉ及びそれらの合金であってよい。また、硬質層は、ＣｏＣｒＰｔ等の硬質磁石材料であってよい。そのような実施形態２００´´´を図６Ｂに示す。磁気素子２００´´´は、図６Ａに示す磁気素子２００´´の構成要素と同様な構成要素を有する。従って、そのような構成要素には、同様な名称を付す。磁気素子２００´´´には、硬質磁性層２２１、Ｒｕ層２２３、及び、硬質又は軟質磁性層２２５が含まれ、磁気素子２００´´の固定層２２２´´及び２４２´´並びにＡＦＭ層２０２´´の代わりに用いられる。
【００４７】
更に、磁気素子２００´´には、合成自由層２１８´´及び２３８´´、また更に、合成固定層２３４´´及び２４２´´が含まれる。合成自由層２１８´´には、非磁性層２２７によって分離された磁性層２２６及び２２８が含まれる。非磁性層２２７は、好適には導電性であり、また、磁性層２２６及び２２８が反強磁性的に並べられるように磁気的に接続され構成された膜厚を有する。合成自由層２３８´´には、非磁性層２５８によって分離された磁性層２５６及び２６０が含まれる。非磁性層２５８は、好適には導電性であり、また、磁性層２５６及び２６０が反強磁性的に並べられるように磁気的に接続され構成された膜厚を有する。合成固定層２３４´´には、非磁性層２５２によって分離された磁性層２５０及び２５４が含まれる。非磁性層２５２は、好適には導電性であり、また、磁性層２５０及び２５４が反強磁性的に並べられるように磁気的に接続され構成された膜厚を有する。合成固定層２４２´´には、非磁性層２６４によって分離された磁性層２６２及び２６６が含まれる。非磁性層２６４は、好適には導電性であり、また、磁性層２６２及び２６６が反強磁性的に並べられるように磁気的に接続され構成された膜厚を有する。合成固定層２３４´´及び／又は２４２´´は、固定層２１４´´及び２２２´´のモーメントと反対の正味のモーメントを有する。
【００４８】
好適な実施形態において、磁気素子２００´´は、磁気素子２００及び２００´と実質的に同じ方法で書き込み及び読み出しされるように構成される。従って、二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０´´及び２３０´´は、それぞれ、書き込み電流Ｉ１Ｆ及びＩ１Ｒ並びに書き込み電流Ｉ２Ｆ及びＩ２Ｒを有する。更に、二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０´´及び２３０´´の抵抗値は異なる。好適には、二重スピン・トンネル／バルブ構造２１０´´の抵抗値は、自由層２１８´´の上部強磁性層２２８が、固定層２２２´´に対して平行及び反平行に並んでいる場合、それぞれ、約Ｒ１−ΔＲ１及びＲ１＋ΔＲ１である。同様に、好適には、二重スピン・トンネル／バルブ構造体２３０´´の抵抗値は、自由層２３８´´の下部強磁性層２６０が、固定層２４２´´の上部層２６２に対して平行及び反平行に並んでいる場合、それぞれ、約Ｒ２−ΔＲ２及びＲ２＋ΔＲ２である。従って、磁気素子２００´´の４つの状態は、抵抗値Ｒ１−ΔＲ１＋Ｒ２−ΔＲ２（"００"）、Ｒ１−ΔＲ１＋Ｒ２＋ΔＲ２（"０１"）、Ｒ１＋ΔＲ１＋Ｒ２−ΔＲ２（"１０"）、及びＲ１＋ΔＲ１＋Ｒ２＋ΔＲ２（"１１"）に対応する。
【００４９】
磁気素子２００´´は、磁気素子１００及び１００´と実質的に同じ方法で、例えば、方法１４０又は１５０を用いて、書き込み及び読み出しを行い得る。結果的に、磁気素子２００は、磁気素子１００及び１００´と同じ多くの効果を共有する。二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０´´及び２３０´´が用いられ、また、スピン転移を活用して磁気素子に書き込むことから、外部スイッチング磁場を生成する外部電流は、磁気素子２００´´の自由層２１８´´及び２３８´´への書き込みに対しては、もはや不要である。それに代わって、磁気素子２００´´を介した駆動電流が用いられる。その結果、更に局所化されたスイッチングメカニズムが利用され、また、消費電力が減少することから、クロストークが減少する。また、磁気素子２００´´は、磁気素子２００´´の障壁層（層２２０´´及び２４０´´）が存在することから、ＣＰＰ構成で読み出される場合、従来のスピン・バルブより出力信号がかなり大きくなる。更に、磁気素子２００´´は、複数のビットを記憶し得ることから、磁気素子２００´´は、更に高密度のメモリに用い得る。
【００５０】
更に、自由層２１８´´及び２３８´´は、合成であることから、それらの磁化は、切り換えが簡単である。結果的に、より小さい書き込み電流を用い得る。言い換えると、電流Ｉ１Ｆ、Ｉ２Ｆ、Ｉ１Ｒ、及びＩ２Ｒは、単一の自由層と比べて小さい。更に、障壁の向かいにある固定層２２２´´及び２４２´´もスピン転移に寄与し得る。好適な実施形態において、固定層２１４´´及び２２２´´並びに磁性層２５４及び２６２は、それぞれ、付加的にスピン転移効果を自由層２１８´´及び２３８´´に与えるように向く。従って、自由層２１８´´及び２３８´´の磁化を切り換えるのに必要な電流は、更に低減し得る。結果的に、磁気素子２００´´は、更に高密度の磁気メモリにおける記憶素子としての用途に適する。
【００５１】
同様に、磁気素子２００´´´は、磁気素子２００´´の多くの効果を共有する。更に、固定層２２２´´及び２４２´´並びにＡＦＭ層２０２´´の代わりに、層２２１、２２３、及び２２５を用いることから、磁気素子２００´´´の積層高さは、更に、低減される。その結果、処理が簡略化される。
【００５２】
図７は、複数のビットを記憶し、書き込みにスピン転移現象を利用可能な磁気素子を提供するための本発明に基づく方法３００の一実施形態の概略フローチャートを示す。磁気素子２００´´が好適な磁気素子であることから、方法３００については、磁気素子２００´´と共に説明する。しかしながら、方法３００は、磁気素子１００、１００´、１００´´、２００、及び２００´等の他の磁気素子に用い得る。
【００５３】
第１構造体は、ステップ３０２を介して設けられる。好適な実施形態において、ステップ３０２は、二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０´´等の二重スピン・トンネル／バルブ構造体を設けるために用いられる。他の実施形態において、二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０又はスピン・トンネル接合１１０もしくは１１０´が、ステップ３０２において設けられる。結果的に、好適には、ステップ３０２には、第１固定層、第１非磁性スペーサ層、第１自由層、第１障壁層、第１固定層、接続層、第２固定層、第２障壁層、第２自由層、第２非磁性スペーサ層、及び第２固定層を設けることが含まれる。また、好適には、ステップ３０２には、いずれかのシード層及び、幾つかの実施形態において、固定層に隣接するＡＦＭ層を設けることが含まれる。接続層は、ステップ３０４で設けられる。好適な実施形態において、ステップ３０４には、共有ＡＦＭ層２０２´´を設けることが含まれる。しかしながら、他の実施形態において、接続層２０２、２０２´、１０２、又は１０２´を設け得る。第２構造体は、ステップ３０６で設けられる。第２構造体は、好適には、二重スピン・トンネル／バルブ構造体２３０´´である。しかしながら、他の実施形態において、二重スピン・トンネル／バルブ構造体２３０もしくは２３０´又はスピン・トンネル接合１２０もしくは１２０´は、ステップ３０６で設けられる。そして、ステップ３０４及び３０６は、ステップ３０８で、任意に繰り返し得る。従って、ステップ３０８により、３つ以上のスピン・トンネル接合及び３つ以上の二重スピン・トンネル／バルブ構造体を提供し得る。また、好ましくはないが、磁気素子に設けられる構造体の種類を混ぜることも可能である。例えば、磁気素子（図示せず）には、接続層によって分離されたスピン・トンネル接合及び二重スピン・トンネル／バルブ構造体を含み得る。更に、方法３００は、第１及び第２構造体を別々に設けるが、方法３００は、第１及び第２構造体の配置を別々に規定し得る。
【００５４】
図８は、複数のビットを記憶し、書き込みにスピン転移現象を利用可能な磁気素子を提供するための本発明に基づく方法３５０の一実施形態の更に詳細なフローチャートである。磁気素子２００´´が好適な磁気素子であることから、方法３５０については、磁気素子２００´´と共に説明する。しかしながら、方法３５０は、磁気素子１００、１００´、１００´´、２００、及び２００´等の他の磁気素子にも用い得る。ＡＦＭ層２１２´´は、好適には、ステップ３５２で、シード層上に設けられる。好適な実施形態において、ステップ３５２は、標準のスパッタリングを用いて行われ、ＡＦＭ材料は、好適には、１２０オングストロームのＰｔＭｎである。固定層２１４´´は、ステップ３５４で設けられる。固定層２１４´´は、好適には、スパッタリングされたＣｏ、ＣｏＦｅ、他の強磁性体合金又は半金属である。好適な実施形態において、また、ステップ３５４には、膜厚が約２０オングストロームの固定層を設けることが含まれる。非磁性スペーサ層２１６´´は、ステップ３５６で設けられる。ステップ３５６には、膜厚が１５〜４０オングストロームの間の銅層を設けることを含み得る。しかしながら、他の非磁性導電体も選択し得る。合成自由層２１８´´は、ステップ３５８で設けられる。ステップ３５８には、層２２６、２２７、及び２２８を設けることが含まれる。磁性層２２６及び２２８には、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅ、それらの合金、又は半金属を含み得る。磁性層２２６及び２２８の膜厚は、同様であってよく、例えば、２５及び３０オングストローム又は双方共２５オングストロームであってよい。また、ステップ３５８には、磁性層２２６及び２２８を反強磁性的に並べさせる非磁性層２２７を設けることが含まれる。例えば、非磁性層２２７は、８．５オングストロームのＲｕであってよい。障壁層２２０´´は、ステップ３６０で設けられる。ステップ３６０には、１０〜３０オングストロームの間のアルミナ又は他の非磁性絶縁体を設けることを含み得る。固定層２２２´´は、ステップ３６２で設けられる。ステップ３６２は、ステップ３５４と同じであってよい。二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０´´は、ステップ３６４で、例えば、イオン・ミリング（ion milling ）を用いて任意に規定し得る。従って、ステップ３６４により、二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０´´の配置を二重スピン・トンネル／バルブ構造体２３０´´とは別々に規定し得る。しかしながら、他の実施形態において、ステップ３６４は、省略してもよい。
【００５５】
共有ＡＦＭ層２０２´´又は接続層は、ステップ３６６で設けられる。ステップ３６６において成膜された共有ＡＦＭ層２０２´´は、好適には、２００〜３００オングストロームのＰｔＭｎである。
【００５６】
合成固定層２４２´´は、ステップ３６８で設けられる。ステップ３６８には、層２６２、２６４、及び２６６を設けることが含まれる。磁性層２６２及び２６６には、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅ、それらの合金、又は半金属を含み得る。上部磁性層２６２の膜厚は、例えば３５オングストロームで、底部磁性層２６６の膜厚、例えば、１５オングストロームより大きい方が良い。膜厚が異なると、磁性層２６２及び２６６の磁化を、ＡＦＭ層２３２´´の方位を設定する高温アニールによって、所望の方向に設定し得る。また、ステップ３６８には、磁性層２６２及び２６８を反強磁性的に並べ得る非磁性層２６４を設けることが含まれる。例えば、非磁性層２６４は、８．５オングストロームのＲｕであってよい。障壁層２４０´´は、ステップ３７０で成膜される。ステップ３７０には、１０オングストローム未満のアルミナ又は他の非磁性絶縁体を設けることを含み得る。従って、ステップ３６０において形成される障壁層２４０´´の膜厚は、ステップ３７０において形成される障壁層２２０´´の膜厚と異なる。その結果、二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０´´は、必要に応じて、二重スピン・トンネル／バルブ構造体２３０´´とは異なる抵抗を有する。合成自由層２３８´´は、ステップ３７２で設けられる。ステップ３７２には、層２５６、２５８、及び２６０を設けることが含まれる。磁性層２５６及び２６０には、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅ、それらの合金、又は半金属を含み得る。層２５６、２５８、及び２６０の膜厚及び材料は、書き込み電流Ｉ２Ｆ及びＩ２Ｒが異なり、また、好適には、自由層２１８´´のそれより小さくなるように選択される。磁性層２５６及び２６０の膜厚は、同様であってよく、例えば、１５及び１７オングストローム、又は、双方共１５オングストロームであってよい。また、ステップ３７２には、磁性層２５６及び２６０を反強磁性的に並べさせ得る非磁性層２５８を設けることが含まれる。例えば、非磁性層２５８は、８．５オングストロームのＲｕであってよい。
【００５７】
非磁性スペーサ層２３６´´は、ステップ３７４で設けられる。好適には、ステップ３７４には、２０〜４０オングストロームの銅を成膜する段階が含まれる。しかしながら、他の非磁性導電性材料も用い得る。例えば、固定層２３４´´及び自由層２３８´´との相互拡散が小さいＴａを選択してもよい。合成固定層２３４´´は、ステップ３７６で設けられる。ステップ３７６には、層２５０、２５２、及び２５４を設けることが含まれる。磁性層２５０及び２５４には、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅ、それらの合金、又は半金属を含み得る。底部磁性層２５４の膜厚は、例えば、３５オングストロームで、上部磁性層２５０の膜厚、例えば、１５オングストロームより大きい方が良い。膜厚が異なると、磁性層２５０及び２５４の磁化を、ＡＦＭ層２３２´´の方位を設定する高温アニールによって、所望の方向に設定し得る。結果的に、磁性層２５４の磁化は、製造が完了すると、磁性層２６２の磁化と並ぶ。また、ステップ３７６には、磁性層２５０及び２５４を反強磁性的に並べ得る非磁性層２５２を設けることが含まれる。例えば、非磁性層２５２は、８．５オングストロームのＲｕであってよい。ＡＦＭ層２３２´´は、ステップ３７８で設けられる。好適には、ステップ３７８には、１６０オングストロームのＰｔＭｎを設けることが含まれる。そして、二重スピン・トンネル／バルブ構造体２３０´´の大きさは、ステップ３８０で規定し得る。好適には、ステップ３８０は、イオン・ミリングステップを用いて行われる。更に、一実施形態において、二重スピン・トンネル／バルブ構造体２１０´´の大きさは、ステップ３８０において規定し得る。そのような実施形態において、ステップ３６４は、好適には、省略される。
【００５８】
方法３００及び／又は３５０を用いて、スピン転移を用いて書き込み可能であり、また複数のビットを記憶可能な磁気素子を作製する。従って、磁気素子１００、１００´、２００、２００´、及び２００´´を設け得る。結果的に、そのような磁気素子１００、１００´、２００´、２００´、及び２００´´を利用するＭＲＡＭ等の磁気メモリを作製し得る。磁気素子１００、１００´、２００´、２００´、及び２００´´等の磁気素子を用いることから、メモリの密度は高くなり、回路は単純化され、更に局所化された現象を用いて書き込むことができる。
【００５９】
また、上述した多ビット磁気素子の構造体は、積層当たり記憶されるビットの数を大きくするのではなく、再生信号を強化するためだけに用い得る。信号強化をしたい場合、積層には、最小及び最大の抵抗状態だけを用いて書き込み及び読み出しを行う。更に、具体的には、２ビット積層の場合、最小及び最大の抵抗状態は、（００）及び（１１）である。この２ビット積層を信号強化だけに用いる場合、これは、その２つのスピン転移ユニットの再生信号の合計である再生信号を有する１ビット積層になる。
【００６０】
複数のビットを記憶し、スピン転移を用いて書き込み可能な磁気素子を提供するための方法及びシステムを開示した。本発明について、例示した実施形態に基づき説明したが、当業者であれば、実施形態の変更が可能なこと、また、そのような変更は本発明の思想と範囲内にあることを容易に認識し得る。従って、当業者であれば、添付の請求項の思想と範囲から逸脱することなく、多くの変形を行い得る。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１Ａ】従来の磁気メモリに用いられる従来の磁気素子を示す図。
【図１Ｂ】磁気素子として用いられる二重スピン・トンネル／バルブ構造体の一実施形態を示す図。
【図２】従来の磁気メモリに用いられる複数のビットを記憶可能な他の従来の磁気素子を示す図。
【図３Ａ】複数のビットを記憶し、書き込みにスピン転移現象を利用可能な本発明に基づく磁気素子の一実施形態を示す図。
【図３Ｂ】複数のビットを記憶し、書き込みにスピン転移現象を利用可能な磁気素子に書き込むための本発明に基づく方法の一実施形態の概略フローチャートを示す図。
【図３Ｃ】複数のビットを記憶し、書き込みにスピン転移現象を利用可能な磁気素子に書き込むための本発明に基づく方法の一実施形態の更に詳細なフローチャートを示す図。
【図４Ａ】複数のビットを記憶し、書き込みにスピン転移現象を利用可能な本発明に基づく磁気素子の第２実施形態を示す図。
【図４Ｂ】複数のビットを記憶し、書き込みにスピン転移現象を利用可能な本発明に基づく磁気素子の第２実施形態の代替版を示す図。
【図５Ａ】複数のビットを記憶し、書き込みにスピン転移現象を利用し、二重スピン・トンネル／バルブ構造体を利用可能な本発明に基づく磁気素子の第３実施形態を示す図。
【図５Ｂ】複数のビットを記憶し、書き込みにスピン転移現象を利用し、二重スピン・トンネル／バルブ構造体を利用可能な本発明に基づく磁気素子の第４実施形態を示す図。
【図６Ａ】複数のビットを記憶し、書き込みにスピン転移現象を利用し、二重スピン・トンネル／バルブ構造体を利用可能な本発明に基づく磁気素子の第５の好適な実施形態を示す図。
【図６Ｂ】複数のビットを記憶し、書き込みにスピン転移現象を利用し、二重スピン・トンネル／バルブ構造体を利用可能な本発明に基づく磁気素子の第５の好適な実施形態の代替版を示す図。
【図７】複数のビットを記憶し、書き込みにスピン転移現象を利用可能な磁気素子を提供するための本発明に基づく方法の一実施形態の概略フローチャートを示す図。
【図８】複数のビットを記憶し、書き込みにスピン転移現象を利用可能な磁気素子を提供するための本発明に基づく方法の一実施形態の更に詳細なフローチャートを示す図。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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