(57)【要約】【課題】オーバーホール時期を適切に判定可能な真空ポンプ及び真空ポンプの堆積物検知装置並びに真空ポンプの堆積物検知方法を提供する。【解決手段】真空ポンプ１は、ロータ２０と堆積物との接触を検知する振動センサ８２と、ロータ２０を回転駆動させるモータ３０の電流値を検出すると共に、この電流値が所定値以上の状態で振動センサ８２がロータ２０と堆積物との接触を検知した場合に、真空ポンプ１のオーバーホールが必要であると判定する制御ユニット６０判定手段と、を備えている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロータの回転動作によってガスを排気する真空ポンプであって、
前記ロータを回転駆動させるモータの電流値を検出する電流値検出手段と、
前記ロータと堆積物との接触を検知する接触検知手段と、
前記電流値が所定値以上の状態で前記接触検知手段が前記ロータと前記堆積物との接触を検知した場合に、前記真空ポンプのオーバーホールが必要であると判定する判定手段と、
を備えていることを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】
前記接触検知手段は、前記ロータと前記堆積物との接触に起因する振動を検知する振動センサであることを特徴とする請求項１記載の真空ポンプ。
【請求項３】
前記接触検知手段は、前記ロータに接続されたシャフトの軸心からの変位を測定するポジションセンサであることを特徴とする請求項１記載の真空ポンプ。
【請求項４】
ロータの回転動作によってガスを排気する真空ポンプの堆積物検知装置であって、
前記ロータを回転駆動させるモータの電流値を検出する電流値検出手段と、
前記ロータと堆積物との接触を検知する接触検知手段と、
前記電流値が所定値以上の状態で前記接触検知手段が前記ロータと前記堆積物との接触を検知した場合に、前記真空ポンプのオーバーホールが必要であると判定する判定手段と、
を備えていることを特徴とする真空ポンプの堆積物検知装置。
【請求項５】
ロータの回転動作によってガスを排気する真空ポンプの堆積物検知方法であって、
前記ロータを回転駆動するモータの電流値を検出する工程と、
前記ロータと堆積物との接触を検知する工程と、
前記電流値が所定値以上の状態で前記ロータと前記堆積物との接触を検知した場合に、前記真空ポンプのオーバーホールが必要であると判定する工程と、
を含むことを特徴とする真空ポンプの堆積物検知方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプ及び真空ポンプの堆積物検知装置並びに真空ポンプの堆積物検知方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
メモリや集積回路等の半導体装置を製造する際、空気中の塵等による影響を避けるために高真空状態のチャンバ内で高純度の半導体基板（ウェハ）にドーピングやエッチングを行う必要があり、チャンバ内の排気には、例えば、ターボ分子ポンプとねじ溝ポンプとを組み合わせた複合ポンプ等の真空ポンプが使用されている。 
【０００３】
このような真空ポンプとして、例えば、円筒状のケーシングと、ケーシング内に入れ子で固定されると共にねじ溝部が配設された円筒状のステータと、ステータ内で高速回転可能に支持されたロータと、を備えたものが知られており、ガスは、ロータとねじ溝部で圧縮されながら移送される（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
ところで、ガスがねじ溝ポンプ内を移送される際に、ガスが高圧に圧縮されて固化して堆積することにより、ガスの流路が狭まり、真空ポンプの圧縮性能、排気性能が低下する虞がある。そこで、特許文献１記載の真空ポンプでは、ロータを駆動するモータの電流値が堆積物の堆積量に比例して増大することに着目し、モータの電流値が予め設定された設置値に達すると真空ポンプのオーバーホールが必要であると判定している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第５７６７６３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、オーバーホールを判定するモータ電流値の設定値は、過去の運転実績に基づいて設定されており、実際の堆積物の堆積状態を必ずしも反映しているとは限らない場合がある。したがって、オーバーホールを判定する設定値が低すぎると、堆積物が少ない状態でオーバーホールを繰り返すことになり、オーバーホール回数が増えてメンテナンス費用が高くなる。一方、オーバーホールを判定する設定値が高すぎると、堆積物が過度に堆積して真空ポンプが破損する虞があった。
【０００７】
そこで、オーバーホール時期を適切に判定するという解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明は、この課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係る真空ポンプは、ロータの回転動作によってガスを排気する真空ポンプの堆積物検知装置であって、前記ロータを回転駆動させるモータの電流値を検出する電流値検出手段と、前記ロータと堆積物との接触を検知する接触検知手段と、前記電流値が所定値以上の状態で前記接触検知手段が前記ロータと前記堆積物との接触を検知した場合に、前記真空ポンプのオーバーホールが必要であると判定する判定手段と、を備えている。
【０００９】
この構成によれば、モータ電流値の増大量に基づき堆積物の堆積量が増大していると推測される状態でロータと堆積物との接触を検知した場合に、真空ポンプのオーバーホールが必要な程度に堆積物が過度に堆積していると判定するため、オペレータは、真空ポンプのオーバーホールを適切なタイミングで実施することができる。
【００１０】
また、本発明に係る真空ポンプは、前記接触検知手段が、前記ロータと前記堆積物との接触に起因する振動を検知する振動センサであることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、振動センサがロータと堆積物との接触に起因する振動を検知することにより、ロータと堆積物との接触を高精度で検知することができる。
【００１２】
また、本発明に係る真空ポンプは、前記接触検知手段が、前記ロータに接続されたシャフトの軸心からの変位を測定するポジションセンサであることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、真空ポンプに組み込まれているポジションセンサを用いることにより、別途部材を設けることなく、ロータと堆積物との接触を検知することができる。
【００１４】
また、上記課題を解決するために、本発明に係る真空ポンプの堆積物検知装置は、ロータの回転動作によってガスを排気する真空ポンプの堆積物検知装置であって、前記ロータを回転駆動させるモータの電流値を検出する電流値検出手段と、前記ロータと堆積物との接触を検知する接触検知手段と、前記電流値が所定値以上の状態で前記接触検知手段が前記ロータと前記堆積物との接触を検知した場合に、前記真空ポンプのオーバーホールが必要であると判定する判定手段と、を備えている。
【００１５】
この構成によれば、モータ電流値の増大量に基づき堆積物の堆積量が増大していると推測される状態でロータと堆積物との接触を検知した場合に、真空ポンプのオーバーホールが必要な程度に堆積物が過度に堆積していると判定するため、オペレータは、真空ポンプのオーバーホールを適切なタイミングで実施することができる。
【００１６】
また、上記課題を解決するために、本発明に係る真空ポンプの堆積物検知方法は、ロータの回転動作によってガスを排気する真空ポンプの堆積物検知方法であって、前記ロータを回転駆動するモータの電流値を検出する工程と、前記ロータと堆積物との接触を検知する工程と、前記電流値が所定値以上の状態で前記ロータと前記堆積物との接触を検知した場合に、前記真空ポンプのオーバーホールが必要であると判定する工程と、を含む。
【００１７】
この構成によれば、モータ電流値の増大量に基づき堆積物の堆積量が増大していると推測される状態でロータと堆積物との接触を検知した場合に、真空ポンプのオーバーホールが必要な程度に堆積物が過度に堆積していると判定するため、オペレータは、真空ポンプのオーバーホールを適切なタイミングで実施することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、モータ電流値の増大量に基づき堆積物の堆積量が増大していると推測される状態でロータと堆積物との接触を検知した場合に、真空ポンプのオーバーホールが必要な程度に堆積物が過度に堆積していると判定するため、オペレータは、真空ポンプのオーバーホールを適切なタイミングで実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る堆積物検知装置を備えた真空ポンプの縦断面図。
【図２】ねじ溝部に堆積物が堆積する様子を示す模式図。
【図３】モータの電流値が堆積物の堆積量に応じて増大する様子を示すグラフ。
【図４】モータの電流値の増大量とステータの振動検出のタイミングを示す模式図。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る堆積物検知装置を備えた真空ポンプの縦断面図。
【図６】ロータの動作モードに応じたロータの振動の様子を模式的に示すグラフ。
【図７】定常運転中において外部から低周波の振動が付加されたロータの振動の様子を示す模式図。
【図８】加速、減速中においてロータとねじ溝部とが接触した際のロータの振動の様子を示す模式図。
【図９】定常運転中において外部から低周波の振動が付加されたロータの振動の様子を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明の実施形態について図面に基づいて説明する。なお、以下では、構成要素の数、数値、量、範囲等に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも構わない。
【００２１】
また、構成要素等の形状、位置関係に言及するときは、特に明示した場合及び原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似又は類似するもの等を含む。
【００２２】
また、図面は、特徴を分かり易くするために特徴的な部分を拡大する等して誇張する場合があり、構成要素の寸法比率等が実際と同じであるとは限らない。また、断面図では、構成要素の断面構造を分かり易くするために、一部の構成要素のハッチングを省略することがある。
【００２３】
図１は、真空ポンプ１を示す縦断面図である。真空ポンプ１は、略円筒状のケーシング１０内に収容されたターボ分子ポンプ機構ＰＡとねじ溝ポンプ機構ＰＢとから成る複合ポンプである。
【００２４】
真空ポンプ１は、ケーシング１０と、ケーシング１０内に回転可能に支持されたロータシャフト２１を有するロータ２０と、ロータシャフト２１を回転駆動させるモータ３０と、ロータシャフト２１の一部及びモータ３０を収容するステータコラム４０とを備えている。
【００２５】
ケーシング１０は、ガス排気口１１ａが下部側方に形成されたベース１１と、ガス吸気口１２ａが上部に形成されると共にベース１１上に載置された状態で図示しないボルトを介して固定された円筒部１２と、で構成されている。
【００２６】
ベース１１には、図示しない補助ポンプに連通されるガス排気口１１ａが設けられている。
【００２７】
円筒部１２は、ガス吸気口１２ａが図示しないチャンバ等の真空容器に連通するように、フランジ１２ｂを介して真空容器に連結される。
【００２８】
ロータ２０は、ロータシャフト２１と、ロータシャフト２１の上部に固定されてロータシャフト２１の軸心に対して同心円状に並設された回転翼２２と、を備えている。
【００２９】
ロータシャフト２１は、磁気軸受５０により非接触支持されている。磁気軸受５０は、ラジアル電磁石５１と、アキシャル電磁石５２と、を備えている。ラジアル電磁石５１及びアキシャル電磁石５２は、制御ユニット６０に接続されている。
【００３０】
ロータシャフト２１の上部及び下部は、タッチダウン軸受２３内に挿通されている。ロータシャフト２１が制御不能になった場合には、高速で回転するロータシャフト２１がタッチダウン軸受２３に接触して真空ポンプ１の損傷を防止するようになっている。
【００３１】
回転翼２２は、ボス孔２４にロータシャフト２１の上部を挿通した状態で、ボルト２５をロータフランジ２６に挿通すると共にシャフトフランジ２７に螺着することで、ロータシャフト２１に一体に取り付けられている。
【００３２】
モータ３０は、ロータシャフト２１の外周に取り付けられた回転子３１と、回転子３１を取り囲むように配置された固定子３２とで構成されている。固定子３２は、制御ユニット６０に接続されており、制御ユニット６０によってロータシャフト２１の回転が制御されている。
【００３３】
ステータコラム４０は、ベース１１上に載置された状態で、ステータコラム４０の下端部がボルト４１を介してベース１１に固定されている。
【００３４】
制御ユニット６０は、ロータシャフト２１のラジアル方向の変位を検出するラジアルセンサ５１ａ及びロータシャフト２１のアキシャル方向の変位を検出するアキシャルセンサ５２ａの検出値に基づいて、ラジアル電磁石５１、アキシャル電磁石５２の励磁電流を制御することにより、ロータシャフト２１が所定の位置に浮上した状態で支持されるようになっている。
【００３５】
また、制御ユニット６０は、上述したモータ３０の電流値（以下、「モータ電流値」と称す）を検出するモータ電流値検出手段として機能する。また、制御ユニット６０は、後述するように真空ポンプ１のオーバーホールが必要な否かを判定する判定出段としても機能する。
【００３６】
次に、真空ポンプ１の略上半分に配置されたターボ分子ポンプ機構ＰＡについて説明する。
【００３７】
ターボ分子ポンプ機構ＰＡは、ロータ２０の回転翼２２と、回転翼２２の間に隙間を空けて配置された固定翼７０とで構成されている。回転翼２２と固定翼７０とは、アキシャル方向に沿って交互にかつ多段に配列されており、本実施例では、回転翼２２及び固定翼７０が５段ずつ配列されている。
【００３８】
回転翼２２は、所定の角度で傾斜したブレードからなり、ロータ２０の上部外周面に一体に形成されている。また、回転翼２２は、ロータ２０の軸線回りに放射状に複数設置されている。
【００３９】
固定翼７０は、回転翼２２とは反対方向に傾斜したブレードからなり、円筒部１２の内壁面に段積みで設置されているスペーサ７１によりアキシャル方向に挟持されて位置決めされている。また、固定翼７０も、ロータ２０の軸線回りに放射状に複数設置されている。
【００４０】
回転翼２２及び固定翼７０の長さは、アキシャル方向の上方から下方に向かって徐々に短くなるように設定されている。
【００４１】
上述したようなターボ分子ポンプ機構ＰＡは、回転翼２２の回転により、ガス吸気口１２ａから吸入されたガスをアキシャル方向の上方から下方に移送するようになっている。
【００４２】
次に、真空ポンプ１の略下半分に配置されたねじ溝ポンプ機構ＰＢについて説明する。
【００４３】
ねじ溝ポンプ機構ＰＢは、ロータ２０の下部に設けられてアキシャル方向に沿って延びたロータ円筒部２８と、ロータ円筒部２８の外周面２８ａを囲んで配置された略円筒状のステータ８０と、を備えている。
【００４４】
ステータ８０は、ベース１１上に載置されている。ステータ８０は、内周面に刻設されたねじ溝部８１を備えている。
【００４５】
また、ステータ８０には、振動センサ８２（例えば、エアブラウン社製  「３１３３Ａシリーズ」）が直接取り付けられている。振動センサ８２は、ロータ２０とねじ溝部８１との接触に起因するステータ８０の振動を高精度で検知することができる。振動センサ８２は、ステータ８０の振動を検知すると検知信号を制御ユニット６０に送る。
【００４６】
上述したようなねじ溝ポンプ機構ＰＢは、ガス吸気口１２ａからアキシャル方向の下方に移送されたガスを、ロータ円筒部２８の高速回転によるドラッグ効果によって圧縮して、ガス排気口１１ａに向かって移送する。具体的には、ガスは、ロータ円筒部２８とステータ８０との隙間に移送された後に、ねじ溝部８１内で圧縮されてガス排気口１１ａに移送される。
【００４７】
次に、制御ユニット６０が、真空ポンプ１のオーバーホール時期を判定する手順について説明する。なお、本実施形態においては、制御ユニット６０と振動センサ８２とで堆積物検知装置を構成している。
【００４８】
まず、ねじ溝ポンプ機構ＰＢで高圧に圧縮されたガスは、固化して堆積物としてねじ溝部８１に堆積することが知られている。堆積物は、ロータ２０とステータ８０との僅かな隙間を狭めてしまい、真空ポンプ１の圧縮性能、排気性能を低下させる。ロータ２０とステータ８０との隙間は、例えば５００μｍ程度に設定される。また、高速回転に伴う遠心力によってロータ２０の排気口側下端部がラジアル方向の外側に拡径することから、定常運転モードにおけるロータ２０とステータ８０との隙間は運転停止時の隙間よりも狭くなる。
【００４９】
図２は、ねじ溝部８１に堆積物が堆積する様子を示す模式図である。図３は、モータ３０のモータ電流値の経時的な変化を示すグラフである。図２（ａ）は、ねじ溝部８１に堆積物が堆積していない状態を示す。ネジ溝部８１の凹部に堆積物が堆積すると、モータ３０の負荷が増大してモータ電流値の増加を招く。具体的には、図３に示すように、モータ電流値は、真空ポンプ１の運転時間に比例して増大しており、これは、ねじ溝部８１に堆積する堆積物の堆積量に比例して増大していると推測される。
【００５０】
また、図２（ｂ）に示すように堆積物がロータ２０に接触するまで堆積すると、回転体図２（ｃ）に示すようにロータ２０に触れた堆積物の一部が脱落することがある。その場合、モータ電流値は一時的に低下するものの、堆積物の堆積量に比例して再び増大する。
【００５１】
また、図２（ｄ）に示すように堆積物が再び堆積し続けると、図２（ｅ）に示すようにロータ２０と堆積物とが接触して、ロータ２０が回転し続けることができず、真空ポンプ１の緊急停止やロータ破壊につながる虞がある。
【００５２】
このように、堆積物の脱落を伴うようなロータ２０と堆積物との軽度の接触は許容されるが、堆積物の堆積量が過度に大きい状態でロータ２０と堆積物とが衝突して真空ポンプ１が破損することは避ける必要があるため、例えば図２（ｄ）に示すような適当なタイミングで真空ポンプ１をオーバーホールする必要がある。
【００５３】
図４は、モータ電流値の増大量とステータ８０の振動検出のタイミングを示す模式図である。まず、ポンプ設置直後であって堆積物が堆積していない状態におけるモータ電流値である設定値（０％、図４中のａ点）、及び過去の運転実績からオーバーホールを要する程度に堆積物が堆積した状態におけるモータ電流値である設定値（１００％、図４中のｃ点）に基づいて、オーバーホールの検知を開始するモータ電流値である設定値（検知開始設定値、図４中のｂ点）が制御ユニット６０に記憶される。
【００５４】
検知開始設定値は、過去の運転実績に基づき、オーバーホールが必要な堆積物の堆積量を若干下回ると推測される堆積物の堆積量に応じて設定される。本実施形態では、設定値（０％）から設定値（１００％）への増大量の７０％を検知開始設定値に設定しているが、この設定値は７０％より小さくても７０％より大きくても構わない。
【００５５】
次に、制御ユニット６０は、モータ電流値が検知開始設定値（図４中のｂ点）に達した後に、振動センサ８２がステータ８０の振動を検知すると、ロータ２０と堆積物とが接触したとして、真空ポンプ１のオーバーホールが必要であると判定する。また、制御ユニット６０は、真空ポンプ１のオーバーホールが必要であると判定すると、図示しないディスプレイ等にその旨を表示するように構成しても構わない。
【００５６】
振動センサ８２が検知するステータ８０の振動は、様々な原因が考えられ、ロータ２０と堆積物とが接触する以外にも、例えば、真空ポンプ１に大気が突入する等の外乱によってタッチダウンが生じたり、ポンプ運転中にケーシング１０が外部から衝撃（例えば、地震等）を受けることによっても生じ得る。
【００５７】
しかしながら、本実施形態に係る堆積物検知装置は、オーバーホールが必要な堆積量を若干下回る程度に堆積物が堆積していると推測される状態でステータ８０の振動を検知した場合に、真空ポンプ１のオーバーホールが必要な程度に堆積物が過度に堆積していると判定するため、オペレータが、真空ポンプ１のオーバーホールを適切なタイミングで実施することができる。
【００５８】
次に、本発明の第２の実施例形態に係る堆積物検知装置について説明する。図５は、本発明の第２の実施形態に係る堆積物検知装置を備えた真空ポンプの縦断面図である。本実施形態は、上述した実施形態と比較して、ラジアルセンサ５１ａを用いてロータ２０の振動を検知する点を除いて上述した構成と同様であり、重複する説明を省略する。なお、本実施形態においては、制御ユニット６０とラジアルセンサ５１ａとで堆積物検知装置を構成する。
【００５９】
本実施形態では、モータ電流値が検知開始設定値に達した後に、ロータ２０のラジアル方向への変位を検知するラジアルセンサ５１ａを用いてロータ２０と堆積物との接触を検知した場合に、制御ユニット６０が、真空ポンプ１のオーバーホールが必要であると判定する。以下、ラジアルセンサ５１ａを用いたロータ２０と堆積物との接触検知の具体的態様について説明する。
【００６０】
図６に、真空ポンプ１の運転モードに応じたラジアルセンサ５１ａの出力波形を示す。図７に、定常運転モードにおいて、地震等のロータ２０の回転数より低周波の振動が加わった場合のラジアルセンサ５１ａの出力波形を示す。
【００６１】
図６に示すように、ロータ２０のラジアル方向への共振点を中心にした振幅（アンバランス振幅）は、真空ポンプ１の運転モードに応じて変動する。加速モード及び減速モードにおいては、ロータ２０のアンバランス振幅が大きく変動するのに対して、定常運転モードでは、ロータ２０のアンバランス振幅が低減され且つ略一定を維持している。なお、定常運転モードにおけるロータ２０のアンバランス振幅は、例えば±５０μｍである。また、上述したように、運転停止時のロータ２０とステータ８０との隙間は、例えば５００μｍ程度に設定され、定常運転モードにおけるロータ２０とステータ８０との隙間は運転停止時の隙間よりも狭くなる。
【００６２】
しかしながら、ロータ２０の回転数より低周波の振動が加わった場合には、ロータ２０は繰り返し振動を受けるため、図７に示すように、ロータ２０のアンバランス振幅が一定のままロータ２０全体が大きく振動する状態が継続する。
【００６３】
図８は、加速、減速中においてロータ２０とねじ溝部８１とが接触した際のロータの振動の様子を示す模式図である。図９は、定常運転中において外部から低周波の振動が付加されたロータ２０の振動の様子を示す模式図である。なお、図８、９におけるａ〜ｅは、図２（ａ）〜（ｅ）に示す堆積物の堆積状態に対応している。
【００６４】
図８に示すように、真空ポンプ１の加速、減速中において共振点を通過するときのようにロータ２０の振れが一時的に大きくなる場合には、ロータ２０と堆積物が接触することがある（図８中のｂ点）。この場合、ロータ２０が大きく振れ回り振動が発生する。制御ユニット６０は、ラジアルセンサ５１ａの出力波形が予め定められた設定値（例えば、大外乱用の検出レベル）を超えた場合には、ロータ２０と堆積物との接触を検知したものと判定する。
【００６５】
図９に示すように、真空ポンプ１の定常運転中に地震等によってロータ２０全体が大きく振動する場合には、ロータ２０と堆積物が接触することがある（図９中のｂ点）。この場合にも、ロータ２０が大きく振れ回り振動が発生する。制御ユニット６０は、ラジアルセンサ５１ａの出力波形が予め定められた設定値を超えた場合には、ロータ２０と堆積物との接触を検知したものと判定する。
【００６６】
このようにして、本実施形態に係る真空ポンプ１は、オーバーホールが必要な堆積量を若干下回る程度に堆積物が堆積していると推測される状態でラジアルセンサ５１ａの出力波形からロータ２０と堆積物との接触を検知した場合に、真空ポンプ１のオーバーホールが必要な程度に堆積物が過度に堆積していると判定するため、オペレータは、真空ポンプ１のオーバーホールを適切なタイミングで実施することができる。
【００６７】
また、ラジアルセンサ５１ａは、従来から真空ポンプ１に組み込まれているものであり、別途部材を設けることなく、ロータ２０と堆積物との接触を検知することができる。
【００６８】
また、各実施形態については、必要に応じて組み合わせる構成であっても構わない。例えば、堆積物との接触を検知する接触検知手段として、振動センサ８２とラジアルセンサ５１ａの両方を用いて、２つの信号を基に接触を判定しても構わない。判定方法としては、両方の信号で接触を検知したときや、優先度の高い信号で接触を検知したときに接触判定を行う等の種々の応用が可能である。
【００６９】
また、上述した変形例以外にも本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変を為すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。
【符号の説明】
【００７０】
１    ・・・真空ポンプ
１０  ・・・ケーシング
１１  ・・・ベース
１１ａ・・・ガス排気口
１２  ・・・円筒部
１２ａ・・・ガス吸気口
１２ｂ・・・フランジ
２０  ・・・ロータ
２１  ・・・ロータシャフト
２２  ・・・回転翼
２３  ・・・タッチダウン軸受
２４  ・・・ボス孔
２５  ・・・ボルト
２６  ・・・ロータフランジ
２７  ・・・シャフトフランジ
２８  ・・・ロータ円筒部
２８ａ・・・外周面
３０  ・・・モータ
３１  ・・・回転子
３２  ・・・固定子
４０  ・・・ステータコラム
４１  ・・・ボルト
５０  ・・・磁気軸受
５１  ・・・ラジアル電磁石
５１ａ・・・ラジアルセンサ（ポジションセンサ）
５２  ・・・アキシャル電磁石
５２ａ・・・アキシャルセンサ
６０  ・・・制御ユニット
７０  ・・・固定翼
７１  ・・・スペーサ
８０  ・・・ステータ
８１  ・・・ねじ溝部
８２  ・・・振動センサ
ＰＡ  ・・・ターボ分子ポンプ機構
ＰＢ  ・・・ねじ溝ポンプ機構
【図１】
2019120157.tif 000003
【図２】
2019120157.tif 000004
【図３】
2019120157.tif 000005
【図４】
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【図５】
2019120157.tif 000007
【図６】
2019120157.tif 000008
【図７】
2019120157.tif 000009
【図８】
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【図９】
2019120157.tif 000011