(57)【要約】【課題】保護フィルムの剥離の際に基板にダメージを与えないため剥離作業をより安定且つスムーズに行えるようにする基板保護フィルム剥離装置を提供する。【解決手段】基板保護フィルム剥離装置は、水平に固定され、その上面が保護フィルムでカバーされている基板本体から前記保護フィルムを剥離させるものであって、多数の支持部が設けられている角度調節板と、固定手段を介して前記角度調節板の支持部に位置調整可能に装着されるホルダーと、前記ホルダーに固定された状態で垂直昇降運動が可能であり、下降して前記保護フィルムの上面に到達した状態で反作用力によって弾性変形し、弾性変形に応じて保護フィルムに側方向の力を加えて保護フィルムを基板本体から分離させるナイフスプリングを備えたピーリング部と、前記ピーリング部に対応して配置され、ピーリング部によって基板本体から分離された保護フィルムを把持して基板から引き離すクランピング部とを含むことを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平に固定され、その上面が保護フィルムでカバーされている基板本体から前記保護フィルムを剥離させるものであって、
多数の支持部が設けられている角度調節板と、
固定手段を介して前記角度調節板の支持部に位置調整可能に装着されるホルダーと、
前記ホルダーに固定された状態で垂直昇降運動が可能であり、下降して前記保護フィルムの上面に到達した状態で反作用力によって弾性変形し、弾性変形に応じて保護フィルムに側方向の力を加えて保護フィルムを基板本体から分離させるナイフスプリングを備えたピーリング（ｐｅｅｌｉｎｇ）部と、
前記ピーリング部に対応して配置され、ピーリング部によって基板本体から分離された保護フィルムを把持して基板から引き離すクランピング部とを含むことを特徴とする、基板保護フィルム剥離装置。
【請求項２】
前記ナイフスプリングは、弾性力を有する板ばねであって、前記保護フィルムの上面に対して傾いた状態で固定されることを特徴とする、請求項１に記載の基板保護フィルム剥離装置。
【請求項３】
前記角度調節板は、垂直の密着面を提供するブロック型部材であり、
前記各支持部は、前記密着面に所定間隔で隔設されて一つのグループをなす多数の収容溝を含み、
前記ホルダーは、選択された支持部の収容溝に対応する貫通孔を有し、
前記固定手段は、前記ホルダーの貫通孔を通過して角度調節板の収容溝に嵌合される固定部材であることを特徴とする、請求項１に記載の基板保護フィルム剥離装置。
【請求項４】
前記各支持部を構成する収容溝は一直線に配列され、前記一直線の延長線は前記ナイフスプリングの下端部を通過することを特徴とする、請求項３に記載の基板保護フィルム剥離装置。
【請求項５】
前記ピーリング部の動作の際にナイフスプリングに加わる圧力を検知する圧力センサーと、
前記保護フィルムに対するナイフスプリングの下端部の位置適合性を検知する零点センサーとをさらに含むことを特徴とする、請求項２に記載の基板保護フィルム剥離装置。
【請求項６】
前記クランピング部の下部には、クランピング部の作動の際に空気を上方に噴出することにより、クランピング部に対する保護フィルムの付着を防止するブロワーが備えられることを特徴とする、請求項１に記載の基板保護フィルム剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種基板のパターン上に積層された保護フィルムを基板から取り外すためのフィルム剥離装置に関し、より詳細には、弾性力を有するナイフスプリングを用いてパターンにダメージを引き起こすことなく剥離させることが可能な基板保護フィルム剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種のフラットパネルディスプレイ装置や、微細回路の形成されている基板などの表面には、保護用フィルムが取り付けられる。特に基板に適用される保護用フィルムは、外部の刺激から回路パターンを保護する重要な役割を果たす。このような保護フィルムは、基板と外部の回路とを接続させる工程を行うために剥離除去される。
【０００３】
一方、前述した保護フィルムを保護対象物から剥離除去するための様々な方法が採用されており、それらの方法には両面テープを用いる方式もある。例えば、保護フィルムが付着している状態の対象物の移送経路の上部に、両面テープの巻かれたローラーを設置し、前記対象物がその下部を通過するときにローラーを下降させることで保護フィルムをくっ付けて持ち上げて剥離するのである。
【０００４】
ところが、上述した方式は、保護フィルムの剥離のためにローラーで対象物を加圧しなければならないので、作業中に対象物に過度な荷重が加わって対象物の変形や破損を誘発するおそれがあるという欠点がある。
【０００５】
また、韓国公開特許第１０−２０１４−００３１００５号には、剥離ローラーと剥離ピンを用いる技術が開示されているが、前記剥離ローラーは、上述したように、パネルに過度な荷重を加える可能性があり、特に使用し続けるほど接着力が減少するから、定期的または非周期的なクリーニング過程を別に行わなければならないという不便さがある。
【０００６】
また、前記剥離ピンを使用するためには、まず保護用フィルムの上面に微細な隙間（ｇａｐ）を形成し、剥離ピンを前記隙間の内部に入れなければならないが、これは非常に精度の良い制御を必要とするのはもとより、隙間の幅よりも小さいサイズの先端部を有する剥離ピンを使用しなければならないという負担がある。
【０００７】
しかも、長い使用により剥離ピンの先端部が摩耗した場合、剥離ピンが前記隙間の内部に入り込まなくなり、剥離自体が不可能になるおそれもある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、かかる問題点を解決するためになされたもので、その目的は、保護フィルムの剥離の際に基板にダメージを与えないため剥離作業をより安定且つスムーズに行えるようにする基板保護フィルム剥離装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するための本発明の基板保護フィルム剥離装置は、水平に固定され、その上面が保護フィルムでカバーされている基板本体から前記保護フィルムを剥離させるものであって、多数の支持部が設けられている角度調節板と、固定手段を介して前記角度調節板の支持部に位置調整可能に装着されるホルダーと、前記ホルダーに固定された状態で垂直昇降運動が可能であり、下降して前記保護フィルムの上面に到達した状態で反作用力によって弾性変形し、弾性変形に応じて保護フィルムに側方向の力を加えて保護フィルムを基板本体から分離させるナイフスプリングを備えたピーリング（ｐｅｅｌｉｎｇ）部と、前記ピーリング部に対応して配置され、ピーリング部によって基板本体から分離された保護フィルムを把持して基板から引き離すクランピング部とを含むことを特徴とする。
【００１０】
また、前記ナイフスプリングは、弾性力を有する板ばねであって、前記保護フィルムの上面に対して傾いた状態で固定されることを特徴とする。
【００１１】
また、前記角度調節板は、垂直の密着面を提供するブロック型部材であり、前記各支持部は、前記密着面に所定間隔で隔設されて一つのグループをなす多数の収容溝を含み、前記ホルダーは、選択された支持部の収容溝に対応する貫通孔を有し、前記固定手段は、前記ホルダーの貫通孔を通過して角度調節板の収容溝に嵌合される固定部材であることを特徴とする。
【００１２】
また、前記各支持部を構成する収容溝は一直線に配列され、前記一直線の延長線は前記ナイフスプリングの下端部を通過することを特徴とする。
【００１３】
また、前記ピーリング部の動作の際にナイフスプリングに加わる圧力を検知する圧力センサーと、前記保護フィルムに対するナイフスプリングの下端部の位置適合性を検知する零点センサーとをさらに含むことを特徴とする。
【００１４】
また、前記クランピング部の下部には、クランピング部の作動の際に空気を上方に噴出することにより、クランピング部に対する保護フィルムの付着を防止するブロワーが備えられることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
上述した本発明の基板保護フィルム剥離装置は、弾性力を有するナイフスプリングを用いて２段階工程によって剥離を行うので、残存接着剤（ｇｌｕｅ）の影響をより少なく受け、高速剥離工程が可能であってタックタイム（ｔａｃｋ  ｔｉｍｅ）を改善し、基板にダメージを与えないため保護フィルムの剥離作業をより安定且つスムーズに行えるようにする。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施形態による基板保護フィルム剥離装置を示す側面図である。
【図２】図１に示されたホルダーの角度調節方式を説明するための図である。
【図３】図１のフィルムホルダーを別途示す斜視図である。
【図４】図１に示されたピーリング部の運用方法を説明するための図である。
【図５】図１に示されたナイフスプリングを用いたピーリング原理を説明するための図である。
【図６】図１に示された剥離装置の動作を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る一実施形態をより詳細に説明する。
【００１８】
図１は本発明の一実施形態による基板保護フィルム剥離装置１１を示す側面図、図２は図１に示されたホルダーの角度調節方式を説明するための図である。
【００１９】
図示の如く、本発明の一実施形態に係る基板保護フィルム剥離装置１１は、四角の垂直密着面１５ｂを有し、前記密着面１５ｂに多数の支持部１５ｃを提供する角度調節板１５と、前記角度調節板１５の密着面１５ｂに位置調整可能に設置されるホルダー１７と、前記ホルダー１７に固定された状態でその下端部が保護フィルム（図６（ａ）の５２）の上面に延びるピーリング部１９と、前記ピーリング部１９に対応して配置され、保護フィルム５２を引き離すクランピング部２０と、昇降運動力を提供する昇降アクチュエータ１３と、前記クランピング部２０と共に動作し、空気を上方に噴射するブロワー５７とを含んでなる。
【００２０】
まず、前記角度調節板１５は、四角ブロックまたは垂直に立てられた四角プレート形状の部材であって、密着面１５ｂに４組の支持部１５ｃを有する。前記密着面１５ｂは、基板固定面（図６の５５）の上面に対して垂直をなす面である。
【００２１】
前記各支持部１５ｃは、一直線に配列され、個別グループをなす４つの収容溝、好ましくは４つの雌ねじ溝１５ａを含むものであって、特に雌ねじ溝１５ａを連結する仮想の直線の延長線は、ナイフスプリング１９ａの下端部１９ｚを通る。
【００２２】
また、これらの仮想の直線は、前記下端部１９ｚを基準に一定の夾角で開いている。前記夾角は５度乃至２０度程度になることができ、当然、適用される支持部１５ｃの箇所が多くなる場合、夾角は小さくなる。
【００２３】
前記ホルダー１７は、その下端部にピーリング部１９を固定支持する役割を果たすもので、前記多数の支持部１５ｃの中から選択された支持部１５ｃに固定される。
【００２４】
前記ホルダー１７は、四角棒状をし、多数の貫通孔１７ａを備え、密着面１５ｂ上に接した状態で固定ねじ１７ｃによって角度調節板１５に強固に固定される。
【００２５】
前記固定ねじ１７ｃは、角度調節板１５にホルダー１７を固定させるための固定手段である。場合に応じては、固定ねじ１７ｃ以外の他の固定手段を適用することも可能である。前記固定ねじ１７ｃは、貫通孔１７ａを通過して前記雌ねじ溝１５ａに螺合することにより、ホルダー１７を強く固定する。
【００２６】
前記ホルダー１７をどの位置の支持部１５ｃに固定させるかよってホルダー１７の角度が異なる。例えば、ホルダー１７を図面上の最も右側に位置したグループの支持部１５ｃに固定させた場合は、垂直に位置することになり、これとは逆に、ホルダー１７を最も左側の支持部１５ｃに固定させた場合は、最大限寝かせた状態になる。
【００２７】
前記ホルダー１７に固定されるピーリング部１９は、ナイフスプリング１９ａを有する。前記ナイフスプリング１９ａは、弾性力を有する板ばねであって、外力によって弾性変形可能である。例えば、図６に示すように、ホルダー１７を垂直方向に下降させてその下端部１９ｚに反作用力が加わるときに弾性変形して前方に曲がる。前記ナイフスプリング１９ａの形式は多様に変更可能である。
【００２８】
一方、前記クランピング部２０は、水平方向に延びたガイド溝２５ａを提供するガイドブロック２５と、前記ガイド溝２５ａに支持された状態で水平移送可能な一対のフィルムホルダー２９と、前記フィルムホルダー２９を動作させるクランピングアクチュエータ２３とを含む。
【００２９】
図３に前記フィルムホルダー２９とガイドブロック２５を別途示した。
【００３０】
図３に示すように、前記ガイドブロック２５は、その底面に長さ方向に延びたガイド溝２５ａを備えた一定の厚さの四角プレートの形状を取る。前記ガイド溝２５ａは、ピーリング部１９の運動方向に対して直交する方向に延びた溝であって、前記フィルムホルダー２９を矢印ａ方向にスライド移動可能に支持する。
【００３１】
また、前記フィルムホルダー２９は、二つが一対を成し、略直角に折り曲げられた形状を取る。また、各フィルムホルダー２９の対向面には、緩衝板２９ａが備えられている。前記緩衝板２９ａは、テフロン（登録商標）で製作された板状部材であって、図６（ｂ）に示すように、上部に上がってきた保護フィルム５２を挟んで相互接近して保護フィルム５２を把持して固定する。
【００３２】
図面符号２７は、前記フィルムホルダー２９の側部に固定された状態で前記ガイド溝２５ａ内に支持されるコネクタである。フィルムホルダー２９は、コネクタ２７を介してガイドブロック２５に支持される。
【００３３】
前記クランピングアクチュエータ２３は、一対のフィルムホルダー２９をスライド運動させる役割を果たす。前記クランピングアクチュエータ２３の作用によって、フィルムホルダー２９は互いに対して進退運動する。
【００３４】
図４は図１に示されたピーリング部の運用方法を説明するための図である。
【００３５】
図４に示すように、前記ピーリング部１９は、圧力センサー３１及び零点センサー３３と一緒に使用できる。
【００３６】
前記圧力センサー３１は、ナイフスプリング１９ａに加わる圧力を測定する役割を果たす。例えば、剥離装置１１の作動の際にナイフスプリング１９ａが前記基板５０に加える力を検知してピーリング部１９の動作を制御する。
【００３７】
また、前記零点センサー３３は、剥離する保護フィルム５２の厚さ面５２ａに対するナイフスプリング１９ａの下端部の位置適合性を検知する機能を果たす。ナイフスプリング１９ａを使用し続ける場合、ナイフスプリング１９ａの下端部１９ｚが摩耗する可能性もあり、また、基板５０の厚さに微細な差がある可能性もあるので、前記零点センサー３３を介して前記厚さ面５２ａに対するナイフスプリング１９ａの位置を継続的に確認することは重要である。
【００３８】
図５は図１に示されたナイフスプリング１９ａを用いるピーリング方式を説明するための図である。
【００３９】
基本的には、前記ナイフスプリング１９ａを用いるピーリング過程は、１次、２次工程で行われる。前記１次工程はホルダー１７を垂直方向に下降させる過程であり、２次工程はナイフスプリング１９ａを水平移動させて高速で分離する過程である。
【００４０】
言い換えれば、１次工程は、ホルダー１７を下降させてナイフスプリング１９ａの下端部が保護フィルム５２を押圧しながら、図５の二点鎖線で表示しているように弾性変形させて、保護フィルム５２が押され且つその下部に気泡が形成されるようにする過程である。
【００４１】
２次工程は、前記ナイフスプリング１９ａが保護フィルムを押圧している状態でナイフスプリング１９ａを１０ｍｍ乃至１５ｍｍ程度水平移動させ、前記フィルムホルダー２９が保護フィルムを把持（ｇｉｒｐ）することができるようにする過程である。
【００４２】
図６（ａ）及び（ｂ）は図１に示された剥離装置１１の動作を説明するための図である。図６（ａ）は前述した１次工程を示す図、図６（ｂ）は２次工程を示す図である。
【００４３】
図６（ａ）を参照すると、水平の基板固定面５５上に基板５０が固定されていることが分かる。前記基板５０は、パターンが形成されている基板本体５１と、前記基板本体５１をカバーする保護フィルム５２とから構成される。
【００４４】
図６（ａ）に示すように、前記ナイフスプリング１９ａを垂直方向に下降させるとナイフスプリング１９ａが弾性変形され、保護フィルム５２を押すことで基板本体５１と保護フィルム５２との間に気泡が形成される。保護フィルム５２の一部が基板本体５１から離されるのである。
【００４５】
前記状態でナイフスプリング１９ａを矢印ｃ方向に移動させると、保護フィルム５２の略中央部が基板本体５１からさらに離されて保護フィルム５２の一部がフィルムホルダー２９同士の間に入っていく。この状態でフィルムホルダー２９同士を閉合して保護フィルム５２がフィルムホルダー２９に固定されるようにすると同時に前記ブロワー５７を駆動して空気を上方に噴出する。空気を上方に噴出する理由は、フィルムホルダー２９から保護フィルム５２を取り外すためである。保護フィルム５２に接着成分が塗布されているため、前記剥離過程中に保護フィルム５２がフィルムホルダー２９に移り付く現象が発生するので、このようにブロワー５７を作動させるのである。前記ブロワー５７が空気を噴出する間に、フィルムホルダー２９を持ち上げて保護フィルム５２の剥離を完了する。
【００４６】
以上、本発明を具体的な実施形態によって詳細に説明したが、本発明は、これらの実施形態に限定せず、本発明の技術思想の範囲内で通常の知識を有する者によって様々な変形が可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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