(57)【要約】液体分与および再循環システムが開示される。このシステムは、口およびこの口と連結されるキャップを有するコンテナを含む。このシステムは、このキャップと連結するためのコネクターをさらに含む。このコネクターは、コネクターヘッドおよびこのコネクターヘッドから延びるプローブを含む。このプローブは、上記キャップを通り、そして上記口の中に挿入可能であり、そしてその中にプローブ先端部の近傍で終結する流れ通路を有する。ポンプは、コンテナ中の流体をプローブおよび流れ通路を通じてポンプ輸送する。流体戻りチャネルが、プローブ上に、再循環された流体をコンテナ中の流体に戻すために形成される。流体が、この流体戻りチャネルに沿って戻るとき、流体中の空気は、コンテナ中の流体の上に放出され、コンテナ内の流体への空気の注入を防ぐ。
2007526179.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体分与および再循環システムであって：
口を有するコンテナ；
該口と連結するためのキャップ；
該キャップと連結するためのコネクターであって、さらに：
コネクターヘッド；および
該コネクターヘッドから延び、そして該キャップを通り、そして該口中に挿入可能であるプローブであって、その中にプローブ先端部の近傍で終結する流れ経路を有するプローブを備えるコネクター；
該プローブと、そして該コンテナ中の流体を該プローブおよび該流れ経路を通ってポンプ輸送するための流れ経路と連結されるポンプ手段；および
再循環された流体を、該コンテナ中の流体に、該流体中の空気が該コンテナ中の流体の上で放出され、該コンテナ内の流体中に空気の注入を防ぐように戻すために該プローブ上に形成された流体戻り手段、を備える、液体分与および再循環システム。
【請求項２】
前記流体戻り手段が、前記コネクターヘッドに近接する領域から、前記プローブ先端部に近接する領域まで前記プローブの外部に沿って形成される流体チャネルである、請求項１に記載の液体分与および再循環システム。
【請求項３】
前記流体チャネルが、前記コネクターヘッドにおいて、前記プローブ先端部の周りにおける第２の深さより大きい第１の深さを有し、該第１の深さが該チャネルに沿って該第２の深さまで均一に遷移する、請求項２に記載の液体分与および再循環システム。
【請求項４】
前記流体チャネルが均一な深さを有する、請求項２に記載の液体分与および再循環システム。
【請求項５】
前記流体チャネルが前記流体経路と実質的に平行である前記プローブに沿って延びる、請求項２に記載の液体分与および再循環システム。
【請求項６】
前記流体戻り手段が、前記再循環された流体を該流体戻り手段まで送達するために、前記コネクターヘッドに近接する領域に形成されたボアを含む、請求項１に記載の液体分与および再循環システム。
【請求項７】
前記ボアが、再循環された流体が、それが前記コンテナに戻されるとき、前記流体戻り手段内に残るようなサイズである、請求項６に記載の液体分与および再循環システム。
【請求項８】
前記キャップが第１のキー要素を含み、そして前記コネクターが該第１のキー要素と嵌合するような形態である第２のキー要素を含む、請求項１に記載の液体分与および再循環システム。
【請求項９】
前記第１のキー要素および第２のキー要素が嵌合されるときを感知するため、および該第１のキー要素および第２のキー要素が嵌合されないときを感知するためのセンサー手段をさらに備える、請求項８に記載の液体分与および再循環システム。
【請求項１０】
前記センサー手段が、前記コネクター上に取り付けられた検出器および前記キャップ上に取り付けられた検出器影響要素を備え、該コネクター上に取り付けられた検出器が、前記第１のキーコードおよび第２のキーコードが嵌合され、そして該キャップおよびコネクターが所定の配向で連結されるとき１つの状態、および前記第１のキーコードおよび第２のキーコードが嵌合されず、そして該キャップおよびコネクターが所定の配向で連結されないとき第２の状態の２つの状態を有する、請求項９に記載の液体分与および再循環システム。
【請求項１１】
前記センサー手段が、前記キャップ上に取り付けられた検出器および前記コネクター上に取り付けられた検出器影響要素を備え、該キャップ上に取り付けられた検出器が、前記第１のキーコードおよび第２のキーコードが嵌合され、そして該キャップおよびコネクターが所定の配向で連結されるとき１つの状態、および前記第１のキーコードおよび第２のキーコードが嵌合されず、そして該キャップおよびコネクターが所定の配向で連結されないとき第２の状態の２つの状態を有する、請求項９に記載の液体分与および再循環システム。
【請求項１２】
制御手段であって、該制御手段が、前記センサー手段および前記ポンプ手段と、該センサー手段が前記第１および第２のキー要素が嵌合することを感知するとき該ポンプ手段を可能にし、そして該センサー手段が前記第１および第２のキー要素が嵌合しないことを感知するとき該ポンプ手段を不能にするように連結される制御手段をさらに備える、請求項９に記載の液体分与および再循環システム。
【請求項１３】
加圧ガスを前記コンテナ中に導入し、該コンテナからの流体の流れを容易にするための外部圧力供給源に連結される圧力支援ポートをさらに備える、請求項１に記載の液体分与および再循環システム。
【請求項１４】
コンテナから液体を分与し、かつそれに液体を戻すためのプローブであって：
該プローブの第１の端部から該プローブの第２の端部まで該プローブを通って延びる流れ経路；
流体戻りポート；および
ボアを経由して該流体戻りポートと流体連通する流体戻りチャネルであって、該ボアから該プローブの第２の端部の周りまで、該流体経路に実質的に平行にプローブの外部に沿って長軸方向に延びる流体戻りチャネル、を備える、プローブ。
【請求項１５】
前記流体戻りチャネルが、前記ボアにおいて、前記プローブの第２の端部の周りにおける第２の深さより大きい第１の深さを有し、該第１の深さが、該流体戻りチャネルに沿って該第２の深さまで均一に遷移する、請求項１４に記載のプロープ。
【請求項１６】
前記戻りチャネルが均一な深さを有する、請求項１４に記載のプローブ。
【請求項１７】
液体を分与および再循環する方法であって：
コンテナの内部と連通する口を有するコンテナを提供する工程；
該口にキャップを取り付ける工程；
該キャップにコネクターを連結する工程であって、該コネクターが、プローブの先端部で該コンテナの内部内で終結する流体経路を規定するプローブを含む、工程；
該プローブ上に流体戻りチャネルを規定する工程；
該コンテナから該流体経路を通って流体を分与する工程；および
該コンテナ中に該流体戻りチャネルを通って、該流体中の空気が該コンテナ中の流体の上に放出され、該コンテナ中の流体中への空気の注入を防ぐように流体を再充填する工程、を包含する、方法。
【請求項１８】
前記コンテナから流体を分与する工程および前記流体をコンテナ中に再充填する工程が同時に実施される、請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
前記流体をコンテナ中に再充填する工程が、
分与された前記液体を前記流体戻りチャネルを通じて前記コンテナ中の戻して再循環する工程を包含する、請求項１７に記載の方法。
【請求項２０】
前記流体戻りチャネルが、前記コネクターヘッドに近接する領域から、前記プローブの先端部に近接する領域まで該プローブの外部に沿って形成される、請求項１７に記載の方法。
【請求項２１】
前記流体戻りチャネルが、前記コネクターヘッドにおいて、前記プローブの先端部の周りにおける第２の深さより大きい第１の深さを有し、該第１の深さが該チャネルに沿って第２の深さまで均一に遷移する、請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
前記流体戻りチャネルが均一な深さを有する、請求項２０に記載の方法。
【請求項２３】
前記流体戻りチャネルが、前記流体経路と実質的に平行なプローブに沿って形成される、請求項２０に記載の方法。
【請求項２４】
前記流体戻りチャネルが、前記流体を前記流体チャネルに送達するための前記コネクターヘッドに近接する領域に形成されたボアを含む、請求項１７に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
（発明の背景）
本発明は、液体の貯蔵および分与のための貯蔵および分与システムに関する。特に、本発明は、コンテナの口内に取り付けられたプローブを含む連結部材に関し、これは、流体がコンテナから引かれ、そして同時にその中に再循環されることを可能にする。
【背景技術】
【０００２】
特定の製造プロセスは、酸、溶媒、塩基およびフォトレジストのような液体化学薬品の使用を必要とする。しばしば、これらのプロセスは、各特定のプロセスに特有の液体化学薬品を必要とする。さらに、各プロセスは、プロセスの種々のステージで特有の液体化学薬品を必要とし得る。貯蔵および分与システムは、代替のコンテナが指示された時間で製造プロセスに液体化学薬品を送達するために用いられることを可能にする。これらのプロセス液体は、通常、加圧された貯蔵および分与容器から、特有の分与ポンプによって分与される。
【０００３】
この分与ポンプの下流の再循環ループは、通常、プロセス流体を、所望の流速で連続的流体運動に維持するために提供される。このような再循環ループは、分与ラインの内側の液体の凝固を減少し、このような液体の保存寿命を延長し、そして分与ラインから空気を追い出すための手段を提供する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
代表的には、高純度の流体の再循環は、コンテナの内部と連通する少なくとも２つのポートまたは口を有する特別のコンテナを必要とする。流体の再循環は、２つのポートを有する特別のコンテナを必要とするので、再循環または試験は高価である。さらに、コンテナの構造的一体性は、しばしば、コンテナへの第２のさらなる口またはポートの必要性によって損なわれる。さらに、再循環は、代表的には、コンテナの内部への２つのポートを必要としているので、外側ボトルまたはオーバーパック内の可撓性バッグまたはフィルムパウチを採用するコンテナシステムは、試験またはフィルター処理のための再循環流体には適切ではない。なぜなら、可撓性フィルムパウチは、一般に、単一のポートのみを含むからである。
【０００５】
さらに、従来の再循環プローブの戻り流れ経路は、戻り流れ経路の内面面積を最小にするため、そして戻り流れ経路の内面の流れ抵抗によって生じる水頭損失を減少するために、コンテナの首部分の直ぐ下で終了する。しかし、この様な設計は、戻り流れ経路の端部と、コンテナ内の液体表面との間に自由空間を残し、そしてそれ故、再循環された液体は、自由に落ちる様式で戻り流れ経路からコンテナ中に滴り、コンテナ中に液体乱れおよび気泡の形成を引き起こす。多くの流体は、気泡の存在によって欠損するか、使用不能になる。本発明は、上記先行技術システムにともなうこれらの問題およびその他の問題を解決する液体分与および再循環システムである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（発明の要旨）
本発明は、液体分与および再循環システムならびに方法である。このシステムは、口およびこの口と連結されるキャップを有するコンテナを含む。このシステムは、このキャップと連結するためのコネクターをさらに含む。このコネクターは、コネクターヘッドおよびこのコネクターヘッドから延びるプローブを含む。このプローブは、上記キャップを通り、そして上記口の中に挿入可能であり、そしてその中にプローブ先端部の近傍で終結する流れ通路を有する。ポンプは、コンテナ中の流体をプローブおよび流れ通路を通じてポンプ輸送する。流体戻りチャネルが、プローブ上に、再循環された流体をコンテナ中の流体に戻すために形成される。流体が、この流体戻りチャネルに沿って戻るとき、流体中の空気は、コンテナ中の流体の上に放出され、コンテナ内の流体への空気の注入を防ぐ。好ましい実施形態では、上記流体戻りチャネルは、上記コネクターヘッドにおいて上記プローブの先端部の周りにおける第２の深さより大きい第１の深さを有し、この第１の深さは上記チャネルに沿ってこの第２の深さまで均一に遷移する。別の好ましい実施形態では、上記流体戻りチャネルは、その長さに沿って均一な深さを有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
（詳細な説明）
図１は、本発明による液体分与および再循環システム１０の好ましい実施形態を示す。分与および再循環システム１０は、コンテナ１１、外側コンテナ１２、コネクター１４、制御ユニット１６、およびポンプ１８を含む。コネクター１４は、センサー２０およびポートアダプター２２を含む。センサーライン２４は、センサー２０を制御ユニット１６に連結する。アダプターチューブ２６は、ポートアダプター２２をポンプ１８に連結する。
【０００８】
分与および再循環システム１０の操作において、内側コンテナ１１は、外側コンテナ１２内に収容される。内側コンテナ１１は可撓性材料から作製され、そして外側コンテナ１２は剛直性材料から作製される。内側コンテナ１１は、その内部に液体を含む。例えば、内側コンテナ１１は、集積回路の製造における使用のためのフォトレジストのような液体化学薬品を含み得る。
【０００９】
コネクター１４は、外側コンテナ１２上に取り付けられる。クリップ２８は、コネクター１４を外側コンテナ１２に固定することを支援する。さらなるクリップが、外側コンテナ１２上にコネクター１４をさらに固定するために用いられ得る。アダプターチューブ２６およびポートアダプター２２は、内側コンテナ１１の内部からホンプ１８への流体経路を提供する。アダプターチューブ２７およびポートアダプター２３は、ポンプ１８から内側コンテナ１１の内部への流体経路を提供する。分与および再循環システム１０が適正にアセンブルされるとき、ポンプ１８は、内側コンテナ１１中の液体を、ポンプアダプター２２およびアダプターチューブ２６を通り、集積回路の製造のような製造プロセスまでポンプ輸送し得、そして、液体を、製造プロセスから、ポートアダプター２３およびアダプターチューブ２７を通って内部コンテナ１１まで戻し得る。
【００１０】
内側コンテナ１１は、その中に含まれる液体の非接触加圧化を可能にする。詳細には、内側コンテナ１１は、代表的には、外側コンテナ１２内に位置する可撓性裏打ち（例えば、バッグ）である。内側コンテナ１１と外側コンテナ１２との間には空間があり、その中に加圧ガスが導入され得る。内側コンテナ１１は、比較的可撓性で、かつ変形可能な材料から作製されるので、この加圧ガスは、内側コンテナ１１を通じて液体に圧力を間接的に付与し、液体との直接接触なしに液体を分与することを支援する（なぜなら、この加圧ガスは、内側コンテナ１１によって液体から隔離されるからである）。この加圧ガスは、外部圧力供給源から、圧力支援ポート２９を経由して外側コンテナ１２中に導入され得る。外側コンテナ１２上の圧力リリーフバルブ（図示せず）は、空気圧力が、上記液体を分与することを補助するために上記裏打ちに付与されているとき、ボトル内（または外側コンテナ１２と内側コンテナ１１との間）の過剰加圧を防ぐように機能する。液体の加圧分与は、ポンプ１８に対する機械的負荷を減少し、そして液体の汚染のリスクを増加することなく、ポンプ１８の有用寿命を延長する。
【００１１】
ポンプ１８の作動は、制御ユニット１６によって制御される。制御ユニット１６は、ポンプ１８をスタートおよび停止することに関するオペレーターからの入力を受容し得る。例えば、内側コンテナ１１中の液体化学薬品を、製造プロセスに、そしてそこからポンプ輸送を開始することを求めるオペレーターは、この情報を制御ユニット１６に入力し得る。
【００１２】
制御ユニット１６はまた、センサーライン２４を経由してセンサー２０から信号を受けるような形態である。センサー２０は、コネクター１４の適正な連結が外側コンテナ１２となされるとき感知する。適正な連結が感知されるとき、センサー２０は、適正な連結の指標である第１の信号をセンサーライン２４上の制御ユニット１６に送る。不適正な連結が感知されるとき、センサー２０は、不適正な連結の指標である第２の信号をセンサーライン２４上の制御ユニット１６に送る。制御ユニット１６は、センサー２０が適正な連結の指標である第１の信号を送るとき、ポンプ１８を可能にするのみである。制御ユニット１６がセンサー２０から不適正な連結での指標である第２の信号を受けるとき、制御ユニット１６はポンプ１８を不能にする。
【００１３】
結果として、分与および再循環システム１０が適正にアセンブルされておらず、分与および再循環システム１０が適正にアセンブルされていると考えるオペレーターが、ポンプをスタートする情報を入力するとき、ポンプ１８は、作動しない。このようにして、分与および再循環システム１０は、不適正にアセンブルされたシステムの偶発的な作動を防ぐ。
【００１４】
図２〜４は、分与および再循環システム１０の構成要素を組み立てる順序を示す。図２は、外側コンテナ１２およびキャップ３０を示す。外側コンテナ１２は、コンテナ輸送ハンドル３２およびコンテナ口３４を含む。キャップ３０は、取り外し可能なキャップハンドル３６、磁石３８およびキャップキー４０を含む。コンテナ口３４は外部にねじがある。キャップ３０は、口３４と内部でねじにより相互接続される。コンテナ輸送ハンドル３２は、外側コンテナ１２の輸送および取り扱いを支援する。
【００１５】
キャップ３０は、外側コンテナ１２にねじで連結され、内側コンテナ１１およびその内側を、内側コンテナ１１の液体内容物が逃れ得ない様式で効率的にシールする。キャップ３０を外側コンテナ１２と連結することは、こぼすこと、および汚染のリスクなくして高純度の流体の輸送のための理想的な形態を提供する。取り外し可能なキャップハンドル３６がキャップ３０上に形成され、そしてキャップ３０を除去することなく内側コンテナ１１への接近を可能にするように除去され得る。キャップキー４０は、キャップ３０中に成形される溝である。磁石３８およびキャップキー４０は、以下により詳細に論議されるように、コネクター１４の外側コンテナ１２への適正な連結に重要である。
【００１６】
図３は、分与および再循環システム１０の構成要素を組み立てるさらなる順序を示す。図３は、外側コンテナ１２、キャップ３０、およびコネクター１４を示す。コンテナ１２は、コンテナ輸送ハンドル３２およびコンテナ口３４を含む。キャップ３０は、取り外し可能キャップハンドル３６（ハンドルバー３７を備える）、磁石３８、キャップキー４０、破壊可能メンブレン４２、およびメンブレンスコア４４を含む。コネクター１４は、センサー２０、ポートアダプター２２、センサーライン２４、アダプターチューブ２６、クリップ２８、およびプローブ４６を含む。プローブ４６は、プローブ先端部４９に隣接して位置する下部プローブポート４８を含む。プローブ４６はまた、プローブ４６の外部に沿って長軸方向に延びる流体戻りチャネル５０を含む。
【００１７】
キャップ３０は、外側コンテナ１２の口３４にねじにより連結される。キャップ３０ともに外側コンテナ１２が所望の位置に輸送された後、取り外し可能なキャップハンドル３６がキャップ３０からハンドルバー３７を持ち上げることにより取り外される。キャップ３０は、キャップ３０からハンドル３６を取り外すことがプローブ穴４１およびベント穴４３を開放するように予め切れ目が入れられる。破壊可能メンブレン４２は、プローブ穴４１を通って曝される。破壊可能なメンブレン４２は、その表面内にメンブレンスコア４４を有する。
【００１８】
コネクター１４は、キャップ３０と相互連結されるような形態である。図３および４は、分与および再循環システム１０の構成要素を組み立てるさらなる順序を示す。より詳細には、コネクター１４は、キャップ３０および外側コンテナ１２と相互連結されて示される。プローブ先端部５０は、プローブ穴４１を通って挿入され、そしてメンブレンスコア４４に近接する破壊可能なメンブレン４２に対して押される。十分な圧力がコネクター１４上に破壊可能なメンブレン４２に向かって付与されるとき、プローブ先端部５０は、メンブレン４２をメンブレンスコア４４に沿って破壊し、プローブ４６がメンブメン４２を通って挿入されることを可能にする。コネクター１４に対する継続する圧力は、次いで、コネクター１４がキャップ３０に直ぐに隣接して移動されることを可能にする。プローブ４６は、次いで、内側コンテナ１１の内部と連通する。
【００１９】
図１は、キャップ３０および外側コンテナ１２と完全に連結されたコネクター１４を示す。プローブ４６、ポートアダプター２２、およびアダプターチューブ２６は、流体が、内側コンテナ１１の内部から、下部プローブポート４８を通り、プローブ４６を通り、ポートアダプター２２を通り、そしてアダプターチューブ２６を通り、ポンプ１８までポンプ輸送されることを可能にする流体経路を規定する。アダプターチューブ２７、ポートアダプター２３、および流体戻りチャネル５０は、流体が、再循環された流体を、アダプターチューブ２７を通り、ポートアダプター２３を通り、そして流体戻りチャネル５０を通過させることにより内側コンテナ１１の内部に戻ることを可能にする流体戻り経路を規定する。
【００２０】
本発明の流体戻りチャネル５０をより良好に示すために、図５ａは、コネクター１４から分離されたプローブ４６の斜視図を示す。図５ｂおよび５ｃは、流体戻りチャネル５０を含むプローブ４６の２つの例示の実施形態の断面図を示す。流体戻りチャネル５０は、好ましくは、プローブ４６の外部に沿って形成され、そしてポートアダプター２２（これは、ポート５４に適合する）と下部プローブポート４８との間に延びる流体経路５２にほぼ平行であるプローブ４６に沿って長軸方向に延びる。流体戻りチャネル５０は、プローブ４６を通って形成されるポート５４およびボア５５を経由してポートアダプター２３（図１）と流体連通している。分与および再循環システム１０の作動では、再循環された流体は、流体戻りチャネル５０を経由して内側コンテナ１１の内部に戻る。この戻り流体流れが流体戻りチャネル５０に到達するとき、流体は、流体戻りチャネル５０を内側コンテナ１１内に含まれる流体中にボタボタ垂れる。この戻り流体流れは、流体戻りチャネル５０をボタボタ垂れる流体が、内側コンテナ１１内の流体中に円滑に流れるように調節される。これは、戻り流体経路の端部にある自由空間がこの再循環された液体を戻り流れ経路からコンテナ中に自由に落下させ、それによって流体中に混乱を生じる従来の流体再循環システムに対する改良である。
【００２１】
この戻り流体流れはまた、時には、それがアダプターチューブ２７に沿って内側コンテナ１１に向かって製造プロセスから進行するとき、この流体で分散された空気のポケットを有する。いくつかの従来の流体再循環システムは、流体をコンテナに戻すための囲われた流れ経路を含む。これらの従来のシステムは、この戻り流れ経路中に含まれる空気のポケットを捕捉し、それがコンテナに戻されるとき、空気を容器中に含まれる流体中に注入させる。製造プロセスで用いられる多くの流体は、空気泡の存在によって欠損するか、または使用不能となる。
【００２２】
分与および再循環システム１０では、戻り流れ経路に沿った空気のポケットは、戻り流体流れが流体戻りチャネル５０に到達するとき、内部コンテナ１１中に含まれる流体の表面の上に放出される。これは、流体戻りチャネル５０が内側コンテナ１１の内部に開き、それによって、空気のポケットを、内側コンテナ１１に侵入する際に即座に散逸させるからである。これは、内側コンテナ１１内の流体中への空気の注入を防ぐ。
【００２３】
流体戻りチャネル５０は、ポート５４およびボア５５を経由してポートアダプター２３と流体連通している。ボア５５は、好ましくは、０．１２５インチより小さい直径を有し、これは、戻り流体流れが流体戻りチャネル５０内に、それが内側コンテナ１１内の流体に滴るようなままであるようにする。流体戻りチャネル５０は、（コネクター１４のコネクターヘッドに近接する）ボアからプローブ先端部４９に近接する領域に延びる。好ましい実施形態では、図５ｂに示されるように、流体戻りチャネル５０は、コネクター１４からプローブ先端部４９まで一定の深さｄを有する。深さｄは、好ましくは、約０．２５インチである。別の好ましい実施形態では、図５ｃに示されるように、流体戻りチャネル５０は、プローブ先端部４９の周りにおける第２の深さｄ２より大きなコネクターヘッドにおける第１の深さｄ１を、第１の深さが流体戻りチャネル４９の長さに沿って第２の深さへ均一に遷移するように有する。第１の深さｄ１は、好ましくは約０．２５インチであり、そして第２の深さｄ２は、好ましくは、０．２５インチより小さい。
【００２４】
図６は、コネクター１４の底面図である。コネクター１４は、センサー２０、クリップ２８、クリップ２９、下部プローブポート４８、プローブ先端部４９、流体戻りチャネル５０（例示のために誇張されている）、およびコネクターキー６０を含む。コネクターキー６０は、コネクター１４上に保持される突出部である。コネクターキー６０およびキャップキー４０は、それらが、コネクター１４がキャップ３０と適正に連結されるために適正に整列されなければならないように嵌合するための形態である。図４に示されるように、コネクターキー６０とキャップキー４０とが相互連結のために適正に整列されるとき、センサー２０は磁石３８と整列される。さらに、コネクター１４がキャップ３０に適正に連結されるとき、センサー２０はまた、磁石３８に直ぐ隣接している。
【００２５】
センサー２０は、センサー２０が磁石３８に直ぐ隣接し、そしてそれと整列されるとき、センサーライン２４上の制御ユニット１６に第１の信号を送るような形態である。この第１の信号は、コネクター１４がキャップ３０と適正に連結されていることを示す。センサー２０は、センサー２０が磁石３８に隣接していないとき、センサーライン２４上の制御ユニット１６に第２の信号を送る。この第２の信号は、コネクター１４がキャップ３０と適正に連結されていないことを示す。
【００２６】
制御ユニット１６はセンサーラインも２４をモニターし、コネクター１４がキャップ３０上に適正に連結されているか否かを決定する。制御ユニット１６は、次いで、ポンプ１８の作動を制御する。制御ユニット１６は、オペレーターから、ポンプ１８の作動に関する入力を受ける。制御ユニット１６は、しかし、コネクター１４とキャップ３０との間の適正な連結がなされることを示す第１の信号がセンサー２０から受容されなければ、ポンプ１８の作動を可能にしない。結果として、たとえ、オペレーターがポンプ１８の作動をスタートすることを試みて情報を制御ユニット１６に入力するとしても、制御ユニット１６は、第１の信号がセンサー２０から受容されるまで、ポンプ１８を可能にしない。従って、分与および再循環システム１０は、適正な連結が存在しないとポンプ１８の作動を可能にしない。
【００２７】
キャップ３０は、内側コンテナ１１が最初に液体で満たされるとき、外側コンテナ１２上に設置される。キャップ３０は、内側コンテナ１１中の特定の液体と対応する特有の形態のキャップキー４０を有する。従って、各液体は、対応する特有の形態のキャップキー４０とともに、その特有のキャップ３０を有する。例えば、液体フォトレジスで満たされた内側コンテナ１１は、２つが１８０゜分離されて位置決めされ、３つ目がこれら他の２つの間のほぼ半分にある３つのキャップキー４０を備えるキャップ３０を有し得る（おおまかに図２に示される）。分与および再循環システム１０は、化学薬品を必要とする各製造プロセスステップについて１つ特定の液体化学薬品を利用する。従って、各プロセスステップは、特有の形態のコネクターキー６０を備えたコネクター１４と相関している。各特有の形態のコネクターキー６０は、次いで、特有の形態のキャップキー４０と対応し、そしてそれ故、各コネクター１４は、このプロセス中のそのステップに用いられるべき特定の液体と対応している。このようにして、１つの特有のキャップ３０および１つの特有の形態のキャップキー４０のみが１つの特有のコネクター１４および１つの特有の形態のコネクターキー６０と適正に相互連結する。従って、１つの液体のみが製造プロセス中の１つのステップとともに用いられ得る。
【００２８】
本発明は、分与および再循環システムならびに方法である。このシステムは、口およびこの口と連結されるキャップを有するコンテナを含む。このシステムは、キャップと連結するためのコネクターをさらに含む。このコネクターは、コネクターヘッドおよびこのコネクターヘッドから延びるプローブを含む。このプローブは、キャップを通じて上記の口に挿入可能であり、そしてその中にプローブ先端部近傍で終結する流れ通路を有する。ポンプは、コンテナ中の流体を、このプローブおよび流れ通路を通じてポンプ輸送する。流体戻りチャネルが、再循環される流体をコンテナ中の流体に戻すためのプローブ上に形成される。流体が、流体戻りチャネルに沿って戻るとき、流体中の空気は、コンテナ中の流体の上に解放され、コンテナ中の流体への空気の注入を防ぐ。好ましい実施形態では、上記流体戻りチャネルは、上記プローブの先端部の周りにおける第２の深さより大きいコネクターヘッドにおける第１の深さを有し、この第１の深さは、上記チャネルに沿って第２の深さまで均一に遷移する。別の好ましい実施形態では、この流体戻りチャネルは、その長さに沿って均一な深さを有する。
【００２９】
流体がコンテナに戻るとき、この戻される流体は、流体戻りチャネルを内側コンテナ内に含まれる流体中に滴り落ちる。この戻り流体流れは、流体戻りチャネルを滴り落ちる流体が内側コンテナ中の液体中に円滑に流れるように調節される。さらに、この戻り流れ経路に沿った空気のポケットは、この戻り流体流れが流体戻りチャネルに到達するとき、内側コンテナ中に含まれる流体の表面の上に放出される。これは、流体戻りチャネルが内側コンテナの内部に開き、それによってこれら空気のポケットをこの内側コンテナに侵入する際に即座に散逸することを可能にするからである。これは、この内側コンテナ内の流体中への空気の注入を防ぐ。
【００３０】
本発明を、好ましい実施形態を参照して説明しているが、当業者は、本発明の思想および範囲から逸脱することなく形態および詳細において変更がなされ得ることを認識する。例えば、これまで説明された流体戻りチャネルおよび再循環システムはまた、「電子的情報記憶をもつ液体取り扱いシステム」と題するＯ’Ｄｏｕｇｈｅｒｔｙらによる米国特許出願公開番号２００３／０００４６０８  Ａ１に記載される液体取り扱いシステム、または「電子的情報記憶をもつ液体取り扱いシステム」と題するＯ’Ｄｏｕｇｈｅｒｔｙらによる米国特許出願公開番号２００２／０１８９６６７  Ａ１に記載される液体取り扱いシステムに取り込まれ得る。
【００３１】
（センサーを備えた液体分与および再循環システム）
（開示の要約）
液体分与および再循環システムが開示される。このシステムは、口およびこの口と連結されるキャップを有するコンテナを含む。このシステムは、このキャップと連結するためのコネクターをさらに含む。このコネクターは、コネクターヘッドおよびこのコネクターヘッドから延びるプローブを含む。このプローブは、上記キャップを通り、そして上記口の中に挿入可能であり、そしてその中にプローブ先端部の近傍で終結する流れ通路を有する。ポンプは、コンテナ中の流体をプローブおよび流れ通路を通じてポンプ輸送する。流体戻りチャネルが、プローブ上に、再循環された流体をコンテナ中の流体に戻すために形成される。流体が、この流体戻りチャネルに沿って戻るとき、流体中の空気は、コンテナ中の流体の上に放出され、コンテナ内の流体への空気の注入を防ぐ。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】図１は、本発明に従う液体化学薬品分与および再循環システムを示す。
【図２】図２は、外側コンテナおよびキャップの斜視図を示す。
【図３】図３は、外側コンテナ、キャップ、およびコネクターの斜視図を示す。
【図４】図４は、外側コンテナ、キャップ、およびコネクターの斜視図を示す。
【図５ａ】図５ａは、流体戻りチャネルを含む斜視図を示す。
【図５ｂ】図５ｂは、流体戻りチャネルを含む図５ａ中に示されるプローブの実施形態の断面図を示す。
【図５ｃ】図５ｃは、流体戻りチャネルを含む図５ａ中に示されるプローブの別の実施形態の断面図を示す。
【図６】図６は、コネクターの底面図を示す。
【図１】
2007526179.tif 000003
【図２】
2007526179.tif 000004
【図３】
2007526179.tif 000005
【図４】
2007526179.tif 000006
【図５ａ】
2007526179.tif 000007
【図５ｂ】
2007526179.tif 000008
【図５Ｃ】
2007526179.tif 000009
【図６】
2007526179.tif 000010
【国際調査報告】
2007526179.tif 000011