(57)【要約】本発明は、電磁信号放射及び／または受信装置、及びこれに対応する制御回路に関するものである。この電磁信号放射及び／または受信装置は、最小動作帯域幅を規定し、各々が少なくとも１つのアンテナを具えた１つまたは複数のアンテナアレイを具え、上記アンテナと同等の仮想アンテナが周期運動、好適には回転または回転の組合せを実行する際に発生する出力信号に相当する出力信号を発生する。この周期運動は上記最小動作帯域幅より高い周波数を有しなければならない。このようにして、上記アンテナの放射パターンを変化させることによって上記アンテナの指向性に影響を与えることができ、これにより高い指向性の装置を得ることができる。上記周期運動は、空間内に配向され、ミニチュアリレーによって順序的に接続される固定アンテナのアレイに置き換えることができる。【特許請求の範囲】
【請求項１】
最小動作帯域幅を規定する電磁信号放射及び／または受信装置であって、少なくとも１つのアンテナを具えた第１アンテナアレイを具えている電磁信号放射及び／または受信装置において、
前記第１アンテナアレイが、前記アンテナと同等の仮想アンテナが第１周期運動を実行する際に発生する出力信号に相当する出力信号を発生し、前記第１周期運動は、前記最小動作帯域幅より高い第１周波数を有することを特徴とする電磁信号放射及び／または受信装置。
【請求項２】
各々が少なくとも１つのアンテナを具えた複数のアンテナアレイを具え、前記アンテナアレイの各々が、前記仮想アンテナが周期運動を実行する際に発生する出力信号に相当する出力信号を発生し、前記周期運動は前記最小動作帯域幅より高い周波数を有し、前記出力信号のそれぞれに対応する周波数は互いに異なることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記アンテナアレイの少なくとも１つは、他の前記アンテナアレイに直交する向きに配向され、かつ他の前記アンテナアレイに対して９０°だけ位相遅れしていることを特徴とする請求項１または２に記載の装置。
【請求項４】
前記周期運動の少なくとも１つが回転であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の装置。
【請求項５】
前記周期運動の少なくとも１つが複数の回転の組合せであることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の装置。
【請求項６】
少なくとも１つの前記アンテナアレイの１つ以上のアンテナが実際に、同じ周期運動を実行することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の装置。
【請求項７】
前記アンテナがマイクロモータによって運動することを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記アンテナアレイの少なくとも１つが、空間内の互いに異なる向きに配向された複数の固定アンテナを具えて、前記固定アンテナの各々は、前記仮想アンテナの瞬時的な向きの１つに一致する向きを有することを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の装置。
【請求項９】
前記アンテナアレイの少なくとも１つのアレイ出力信号または前記アンテナの少なくとも１つの局部出力信号を、負及び正の値を有し得る信号に変化させる変成器回路を具えていることを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の装置。
【請求項１０】
前記変成器回路が、前記アレイ出力信号または前記局部出力信号の極性を反転させることを特徴とする請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
前記変成器回路がミニチュアリレーを具えていることを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記変成器回路が、前記アレイ出力信号または前記局部出力信号を、任意の実数値を取り得る関数Ｂ(ｔ)に従い増幅する増幅器を具えていることを特徴とする請求項９に記載の装置。
【請求項１３】
前記固定アンテナが常に互いに接続されていることを特徴とする請求項８または１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記関数Ｂ(ｔ)が一定であり時間に依存しないことを特徴とする請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】
互いに並列接続された同一のアンテナを複数具えていることを特徴とする請求項１〜１４のいずれかに記載の装置。
【請求項１６】
ペルチェ効果セルによって冷却される少なくとも１つのアンテナを具えていることを特徴とする請求項１〜１５のいずれかに記載の装置。
【請求項１７】
前記アンテナがミニチュアリレーによって互いに接続されることを特徴とする請求項１〜１６のいずれかに記載の装置。
【請求項１８】
前記ミニチュアリレーが：
第２ゾーンに対面する第１ゾーンと；
第１コンデンサ板（３）と；
前記第２ゾーン内に配置され、前記第１コンデンサ板より小さいか前記第１コンデンサ板と等しい第２コンデンサ板（９）と；
前記第１ゾーンと前記第２ゾーンとの間に設けられた中間的空間（２５）と；
前記中間的空間（２５）内に配置され、前記第１ゾーン及び前記第２ゾーンから機械的に独立し、前記第１及び第２コンデンサ板に存在する電圧に応じて前記中間的空間（２５）を横切る移動を実行するのに適した導電素子（７）と；
電気回路の第１接点（１５）と、前記電気回路の第２接点（１７）とを具え、前記第１及び第２接点は第１止め具（１３）を規定し、前記導電素子（７）は前記第１止め具（１３）と接触するのに適し、前記導電素子（７）は、前記第１止め具（１３）と接触している際に前記電気回路を閉路する
ことを特徴とする請求項１１または１７に記載の装置。
【請求項１９】
前記第１接点（１５）が、前記第２ゾーンと前記導電素子（７）との間にあることを特徴とする請求項１８に記載の装置。
【請求項２０】
前記第１コンデンサ板が前記第２ゾーン内にあることを特徴とする請求項１８または１９に記載の装置。
【請求項２１】
前記第１コンデンサ板が前記第１ゾーン内にあることを特徴とする請求項１８または１９に記載の装置。
【請求項２２】
前記第２接点（１７）が前記第２ゾーン内にあることを特徴とする請求項１８〜２１のいずれかに記載の装置。
【請求項２３】
前記第２ゾーン内に配置された第３コンデンサ板（１１）を追加的に具え、前記第３コンデンサ板（１１）は前記第１コンデンサ板（３）より小さいか前記第１コンデンサ板と等しく、前記第２コンデンサ板と前記第３コンデンサ板とを合わせた大きさが前記第１コンデンサ板より大きいことを特徴とする請求項２１または２２に記載の装置。
【請求項２４】
前記第２ゾーン内に配置された第３コンデンサ板（１１）及び前記第１ゾーン内に配置された第４コンデンサ板（５）を追加的に具え、前記第１コンデンサ板（３）と前記第２コンデンサ板（９）とが互いに等しく、前記第３コンデンサ板（１１）と前記第４コンデンサ板（５）とが互いに等しいことを特徴とする請求項２１または２２に記載の装置。
【請求項２５】
前記第１、第２、第３及び第４コンデンサ板がすべて互いに等しいことを特徴とする請求項２４に記載の装置。
【請求項２６】
前記第１ゾーン内に配置された第５コンデンサ板（３５）及び前記第２ゾーン内に配置された第６コンデンサ板（３７）を追加的に具え、前記第５コンデンサ板（３５）と前記第６コンデンサ板（３７）とが互いに等しいことを特徴とする請求項２４または２５に記載の装置。
【請求項２７】
前記第１ゾーン内に配置された６枚のコンデンサ板、及び前記第２ゾーン内に配置された６枚のコンデンサ板を具えていることを特徴とする請求項２６に記載の装置。
【請求項２８】
前記第１ゾーンと前記導電素子（７）との間に第２止め具を具えていることを特徴とする請求項１８〜２７のいずれかに記載の装置。
【請求項２９】
前記第１ゾーンと前記導電素子（７）との間に配置された第３接点（２１）を具え、前記第３接点（２１）は第２止め具を規定して、前記導電素子（７）が、前記第２接点（１７）及び前記第３接点（２１）に接触している際に第２電気回路を閉路することを特徴とする請求項１８〜２８のいずれかに記載の装置。
【請求項３０】
前記導電素子（７）が、軸線を規定しラジアル方向に中空の円筒部分（３１）、及び前記ラジアル方向に中空の円筒部分（３１）の１つの側部から突出し、かつ前記軸線方向に延びる平坦部分（３３）を具え、前記円筒部分の内部に前記第２接点（１７）が収容され、前記平坦部分（３３）の前記軸線方向に測った高さが、前記円筒部分（３１）の前記軸線方向に測った高さ未満であることを特徴とする請求項２９に記載の装置。
【請求項３１】
前記導電素子（７）が、軸線を規定する中空の平行六面体部分、及び前記中空の平行六面体部分の１つの側部から突出し、かつ前記軸線方向に延びる平坦部分（３３）を具え、前記平行六面体部分の内部に前記第２接点（１７）が収容され、前記平坦部分（３３）の前記軸線方向に測った高さが、前記平行六面体部分の前記軸線方向に測った高さ未満であることを特徴とする請求項２９に記載の装置。
【請求項３２】
前記第１ゾーンと前記導電素子（７）との間に配置された第３接点（２１）及び第４接点（２３）を具え、前記第３接点（２１）及び前記第４接点（２３）が第２止め具（１９）を規定して、前記導電素子（７）が、前記第３接点（２１）及び前記第４接点（２３）と接触している際に第２電気回路を閉路することを特徴とする請求項１８〜２７のいずれかに記載の装置。
【請求項３３】
前記第１ゾーン内及び前記第２ゾーン内の各々に配置された前記コンデンサ板の組立体の各々が、対称の中心について点対称性を有し、前記対称の中心は前記導電素子（７）の質量の中心に重なることを特徴とする請求項１８〜３２のいずれかに記載の装置。
【請求項３４】
前記第１ゾーン内及び前記第２ゾーン内の各々に配置された前記コンデンサ板の組立体が点対称性を有さず、これにより、前記導電素子（７）の質量の中心に対する力のモーメントを発生することを特徴とする請求項１８〜３２のいずれかに記載の装置。
【請求項３５】
前記第１ゾーンと前記第２ゾーンとの間に２つの横壁（２９）が延在し、前記横壁（２９）と前記導電素子（７）との間に遊びが存在し、前記遊びは、前記導電素子（７）が、前記第１及び第２接点（１５、１７）によって形成される接点群と前記第３及び第４接点（２１、２３）によって形成される接点群とに同時に接触することが幾何学的に防止される程度に十分小さいことを特徴とする請求項３２〜３４のいずれかに記載の装置。
【請求項３６】
前記導電素子（７）が曲面の外表面を有することを特徴とする請求項１８〜３５のいずれかに記載の装置。
【請求項３７】
前記導電素子（７）が円筒形であることを特徴とする請求項３６に記載の装置。
【請求項３８】
前記導電素子（７）が球形であることを特徴とする請求項３６に記載の装置。
【請求項３９】
前記導電素子（７）が、上面及び下面、及び少なくとも１つの横方向の面を有し、前記上面及び下面は前記導電素子（７）の移動方向に直交し、前記横方向の面は小さい突起を有することを特徴とする請求項１８〜３６のいずれかに記載の装置。
【請求項４０】
前記導電素子（７）が中空であることを特徴とする請求項１８〜３９のいずれかに記載の装置。
【請求項４１】
前記第１コンデンサ板（３）と前記第２コンデンサ板（９）とが同じ表面積を有することを特徴とする請求項２０に記載の装置。
【請求項４２】
前記第１コンデンサ板（３）の表面積が、前記第２コンデンサ板（９）の表面積に等しいか、前記第２コンデンサ板の表面積の２倍であることを特徴とする請求項２１に記載の装置。
【請求項４３】
前記コンデンサ板（３、５、９、１１、３５、３７）のうちの１つが、同時に、前記接点（１５、１７、２１、２３）のうちの１つであることを特徴とする請求項１８〜４２のいずれかに記載の装置。
【請求項４４】
請求項１〜４３のいずれかに記載の装置を具えていることを特徴とする集積回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
（発明の分野）
本発明は、最小動作帯域幅を規定し、少なくとも１つのアンテナによって形成される少なくとも第１のアンテナアレイを具えた電磁信号放射及び／または受信装置に関するものである。本発明はさらに、本発明による放射及び／または受信装置を具えた集積回路に関するものである。
【０００２】
（技術状況）
電磁信号放射及び／または受信装置は多数存在する。これらの装置の特徴的性質はその放射パターンである。放射パターンは、製品の必要性に応じて異なる方法で変化させることができ、従って、空間全体において高度に均一な放射パターンを得て、高度に均一な放射を行い、かつあらゆる方向において同じ電力（パワー）で受信することは関心事となり得る。あるいはまた、送信／受信の最大電力領域、及び送信及び／または受信パワーが非常に低下する他の領域を有する装置を持つことも関心事となり得る。特定方向への放射及び／または特定方向からの受信を可能にする指向性の放射及び／または受信装置は、例えば放射エネルギーの効率がより高い、不所望な方向からのノイズ（雑音）の捕捉がより低い、というような利点を有する。
【０００３】
それに適した幾何学的設計によって、指向性の放射及び／または受信装置を得ることができる。これらの装置は一般に、電磁信号を物理的に放射及び／または受信するものであるアンテナを具えている。いくつかのアンテナを空間内に配置してアンテナアレイを形成することによって指向性放射及び／または受信装置を得ることも可能である。この場合には、空間内の分布は送信／受信周波数に影響され、周波数が低い時ほど、より大きい距離を用いる必要がある。このことは、低周波数で動作する場合に必要な距離が非常に大きくなり得るので、問題を生じさせる。
【０００４】
理論的には、あらゆる周波数に対して同様に動作する電磁信号放射及び／または受信装置を持つことは可能であるが、実際には、アンテナの幾何学的決定要素及びアンテナに関連する電子的決定要素が通常、装置が現実に動作する帯域幅を規定する、ということにより、放射及び／または受信装置は特定帯域幅で使用すべく設計される。この意味では、実際のあらゆる放射及び／または受信装置は最小動作帯域幅を規定し、この動作帯域幅は、装置がこの帯域幅用に設計された帯域幅であり、そして最低の規定性能を提供可能な帯域幅である。
【０００５】
一般に、高度な指向性の電磁信号放射及び／または受信装置を開発する必要性が存在する。寸法を低減した電磁信号放射及び／または受信装置を開発する必要性も存在する。
【０００６】
（発明の概要）
本発明の目的は、これらの欠点を克服することにある。この目的は、上述した種類の電磁信号放射及び／または受信装置において、上記第１アンテナアレイが、上記アンテナと同等の仮想アンテナが第１周期運動を実行する際に発生する出力信号に相当する出力信号を発生し、この第１周期運動は、最小動作周波数よりも高い第１周波数を有することを特徴とすることによって達成される。
【０００７】
実際には、アンテナに周期運動を実行させると、その放射パターンが変化する。以下に述べるように、「良好に選定された」周期運動は、より指向性が出るように放射パターンを変化させることを可能にし、そして、放射及び／または受信装置に含まれるアンテナの放射パターンを変化させる必要なしに、放射及び／または受信装置の放射パターンを変化させることを可能にする。同様に、以下に説明するように、不所望な妨害を避けるためには、上記周期運動の周波数を最小動作帯域幅より高くすることが必要である。上記周期運動は一般にあらゆるものとすることができ、例えば単純な回転運動、いくつかの軸を中心とした回転運動、閉じた動き、さらには閉じていない動き、例えば振り子のような動きとすることができるが、好適な動きは１つの軸、またはいくつかの軸を中心とした回転である。
【０００８】
同様に、以下に説明するように、放射及び／または受信装置のアンテナは周期運動を物理的に実行することができ、この場合には、アンテナが、同じ周期運動を実行する仮想アンテナと同一の出力信号を発生するか、あるいは、放射及び／または受信装置のアンテナが、この仮想アンテナによって発生される信号に相当する出力信号を発生することができる。この場合には、これら２つの信号は同一ではないが、放射及び／または受信装置によって発生される信号は仮想アンテナが発生する信号に相当し、この相当性は、その後に電子回路が仮想アンテナの信号と同じ結果を得ることができる、ということを可能にする。
【０００９】
電磁信号放射及び／または受信装置は、通常ＭＥＭＳ（micro electromechanical system：微小電気−機械系）マイクロメカニズム（微小機構）であることが好ましい。このようにして、非常に小さくした空間内に装置を寄せ集めることができる。この意味では、この装置は集積回路内に含めることが好ましく、この集積回路はモノリシックまたはハイブリッド（混成）とすることができる。
【００１０】
本発明の他の利点及び特徴は以下の説明より明らかになり、以下の説明では、全く非限定的に、本発明のいくつかの好適な実施例について図面を参照しながら説明する。
【００１１】
（発明の実施例の詳細な説明）
図１に、特に単純なアンテナ、即ち水平方向に配置したダイポールアンテナ（以下、単に「ダイポール」と称することがある）の放射パターンを示す（放射の無電力の点がダイポールの軸に相当する。）ダイポールを垂直軸を中心に回転させた場合には、得られる放射パターンは図２のものに相当する。アンテナが特定方向の受信信号を増幅するゲイン（利得）は時間の関数Ｇ(ｔ)となる。簡略化すれば、この関数は、次式のように絶対項＋純正弦波項を有する関数として考えることができる：
Ｇ(ｔ)＝Ｇ0＋ＧB・ｃｏｓ(２πｆ0ｔ)
【００１２】
受信信号はバンドパス（帯域通過）信号であり、その最低周波数はアンテナの回転周波数よりもずっと高い。
【００１３】
アンテナの端子における電圧ｖiは次式のようになる：
ｖi(ｔ)＝ｗi(ｔ)・G(ｔ)＝G0・ｗi(ｔ)＋GB・ｗi(ｔ)・ｃｏｓ(２πｆ0ｔ)
【００１４】
この電圧を周波数の観点から分析すれば、信号ｖi(ｔ)のスペクトルＶi(ｆ)は、受信信号ｗi(ｔ)のスペクトルｗi(ｆ)に対して、図３に示す定則を有することを考慮に入れなければならない。図に見られるように、入力スペクトルは２つの部分に分けられ、即ち、絶対項Ｇ0及びゲインＧ(ｔ)による、入力信号と同じ形状及び帯域を有する第１部分と、変調項ＧB・ｃｏｓ(２πｆ0ｔ)による、２つの帯域によって形成される第２部分である。周波数ｆ0は周期運動の基本周波数または１次調波である。この理由により、この周波数は最小動作帯域幅より高い必要がある、というのは、さもなければ、変調項による帯域が絶対項による帯域に重なるからである。ＧB及びＧ0の値に応じて、中心帯内または変調帯内により大きな電力が存在する。
【００１５】
そして、得られた帯域のうちの２つをフィルタ処理することができる。中心帯及び１つの変調帯をフィルタ処理して、他の変調帯は維持することができるが、変調帯を処理することが好ましい。
【００１６】
各方向のゲインＧtは、当該方向においてアンテナを完全に回転するうちのゲイン変動及び選択した成分、即ち中心帯（連続成分）または側波帯（サイドバンド）のいずれかに依存し、ゲイン関数Ｇ(ｔ)の形に応じて小さくなり得る、ということにより、受信信号は一般に弱く、上記側波帯は、回転の基本周波数またはアンテナの周期運動に対応する１次調波、またはより高次の調波のいずれでもある、というのは、現実の場合には、上記説明で用いたように簡略化されず、２次以上の高調波が存在するからである。このようにして等価な放射パターンを規定することができ、この等価な放射パターンは、アンテナが回転している（一般に、任意の周期運動で動いている）際に有するものである。従って、図２．１、２．２及び２．３に、図１のダイポールを垂直軸（即ち、ダイポール軸から90°の軸）を中心として回転させた際の、図１のダイポールに対応する放射パターンを示す。図２．１は中心帯の放射パターンを示し、図２．２は１次調波または基本周波数に対応する側波帯の放射パターンを示し、そして図２．３は２次高調波に対応する側波帯の放射パターンを示す。図に見られるように、図２．１の放射パターンは、これに対応するアンテナはダイポールのままであるが、図１の放射パターンとは明らかに異なる。さらに、指向性も変化している（静止ダイポールに対してＤ＝1.5及び回転ダイポールに対してＤ＝1.5156）。このことは既に、ダイポールに特定の回転運動を実行させることによって「指向性」を達成することができることを示している。
【００１７】
従って、単に、既知の放射パターンを有するアンテナに適切に選定した周期運動をさせることによって、複数の新規かつ異なる放射パターンを得ることができる。従って、例えば上記ダイポールの場合には、ダイポールの回転角を変更することによって複数の放射パターンを得ることができる。図４に、回転されるダイポールの指向性が、ダイポール軸と回転軸との間の角度α（ラジアンで表わす）に応じて変化する様子を示す。曲線１は中心帯に対応し、曲線２は１次調波または基本周波数の側波帯に対応し、そして曲線３は２次高調波の側波帯に対応する。これに加えて、これら３つの曲線のどれが所定の回転角に対して最大の指向性を有するかを点でマークし、そして、いずれの帯域を放射及び／または受信信号として使用するのが好ましいかを示す。
【００１８】
例として、図５に、垂直軸に対して63°（0.35πラジアン）だけ回転させた静止ダイポールを示す。このダイポールを垂直軸を中心として回転させると、放射パターンは、図６．１（中心帯）、図６．２（１次調波または基本周波数の側波帯）、及び図６．３（２次高調波の側波帯）に示すように現われる。図に見られるように、この特定の場合には、最高の指向性は、１次調波または基本周波数の側波帯内で達成される（Ｄ＝1.5349）。他の角度では（図４参照）、約1.8までの指向性が可能である。
【００１９】
装置は複数のアンテナアレイを具え、各アレイは少なくともアンテナを具え、各アレイは、周期運動を実行する際に、既に引用した仮想アンテナが発生する出力信号に相当する出力信号を発生し、この周期運動は最小動作帯域幅よりも高い周波数を有し、各アレイの出力信号の各々に対応する周波数は互いに異なることが好ましい。実際に、これにより以下の異なる問題を解決することができる：
【００２０】
ａ）一方では、受信装置の場合には、受信信号の特定成分をフィルタで選別する必要性が存在する。まず、（中心帯を利用したい場合には）変調帯をフィルタで除去しなければならない。それにもかかわらず、実質的に変調帯の周波数に相当する周波数を有する外側信号をアンテナが受信している、ということが生じ得る。これらの外側信号は、上記で挙げたバンドパスフィルタによって除去することができるが、これらの外側信号も変調を受け、その変調のうちの１つが、当事者にとって関係のある信号の中心帯にノイズを取り込むことによって、この中心帯に入る。互いに速度の異なる複数のアンテナアレイを具えれば、この欠点を修正することができる、というのは、この場合には次の現象が起きるからである：
【００２１】
a.1）当事者に関係のある信号の中心帯は、回転周波数の関数ではないので、これらの中心帯のすべてが完全に一致して、これらの中心帯の振幅が加算される。
【００２２】
a.2）側波帯の位置は回転運動の周波数（一般的には、周期運動の周波数）に依存するので、すべての側波帯が互いに対してランダムに重なる。従って、この場合には、これらの側波帯が互いに相殺し合う。いずれにせよ、これらの側波帯はバンドパスフィルタによって適正に除去される。
【００２３】
a.3）ノイズの中心帯はバンドパスフィルタによって同様に除去される。
【００２４】
a.4）現実に重要な効果はノイズの変調帯と共に、特に当事者にとって関係のある信号の中心帯に入る変調帯と共に生じる。これらの変調帯には、a.2）で述べたのと同様の効果が生じ、即ち、これらの変調帯が互いに相関なしに重なり、これにより複数の相殺が生じる。このようにして、信号は使用するアンテナアレイの量に比例してその振幅を増加させるのに対し、残りのノイズは最小化される。
【００２５】
ｂ）他方では、放射装置の場合には、フィルタ処理によって変調帯を除去することはできない。しかし、互いに異なる速度で回転する（一般的には、周期運動で運動する）アンテナアレイを具えれば、この問題を大幅に修正することができる。この場合には、各アンテナアレイは所望の信号、及び複数の不所望な変調帯を放射する。しかし、回転速度（一般的には、周期運動）が互いに異なることにより、必ずしもすべての変調帯が互いに一致するわけではない。このことは多数の相殺を生じさせ、変調帯の信号は低い電力を有する。中心帯の電力が増加するものとすれば、単により多数の放射アンテナアレイを設けることによって、中心帯と変調帯との電力差を要求通りに高くすることができる。このようにして、側波帯が背景ノイズの程度まで低減される、ということを達成することができる。
【００２６】
一般に、放射／受信装置の総電力を増加させる方法は、互いに並列接続された複数の同一アンテナを設けることによるものである。上述した場合、及び以下に説明する場合の両方において、この解決法は、単にアンテナ数を増加させることによって、電力を望むだけ増加させることを可能にする。このことは特に、アンテナがマイクロメカニズムである場合であり：各アンテナは極めて小さい電力を受信（または放射）するが、マイクロメカニズム技術は、何百あるいは何千の個別のアンテナを集積して、これらのアンテナの信号を合計すれば所望の電力を得ることを可能にする。
【００２７】
これらのアンテナアレイの少なくとも１つは、他のアンテナアレイに直交する向きに配向され、かつ他のアンテナアレイに対して90°だけ位相遅れしていることが有利である。実際には、アンテナを連続的に回転させるものとすれば、一般に１つは直線偏波を用いることができない、ということを考慮に入れなければならない。ダイポールであるアンテナを使用するものとすれば、ダイポールの偏波は直線であり、円偏波を有する受信信号を処理しなければならない、ということにより、偏波損失率は次式のようになる：
Ｃp＝２＝３dB
回転アンテナを受信アンテナとして使用するものとすれば、受信アンテナは円偏波の信号を受信しなければならない。回転アンテナを放射アンテナとして使用するものとすれば、受信アンテナは円偏波のものでなければならない。通常、このことは、直線偏波を有するアンテナを両通信端で同時に使用することを回避する。直線偏波アンテナのこうした使用は、円偏波を有するアンテナを使用することによって回避することができ、このことは、例えばダイポールの場合には、直交して配向させた２つのアンテナ（一般に、２つのアンテナアレイ）によって、かつこれらを互いに90°遅延させることによって達成することができ、これにより、両通信端において円偏波を有することができる。
【００２８】
円偏波のより大きなアンテナを直接使用するものとすれば、この位相ずれ（シフト）を作る必要はない。
【００２９】
一般に、円偏波の使用は設計を簡略化するが、アンテナを回転させた際の放射パターンを計算するためには、アンテナのゲインＧ(ｔ)のみの代わりに、関数Ｇ(ｔ)Ｃp(ｔ)、即ちアンテナのゲインＧ(ｔ)と偏波損失Ｃp(ｔ)との積を考慮するべきである。
【００３０】
既に上述したように、上記周期運動の少なくとも１つは回転、あるいは複数の回転の組合せであることが好ましい。こうした回転は、生成が簡単な運動である。回転または回転の複合の選定は、回転させるアンテナ、及び配向させたい放射パターンに依存する。
【００３１】
周期運動は異なる方法で実行することができる。一方では、好適な解決法は、上述した例におけるように、アンテナアレイの少なくとも１つが現実に、実際の形及び連続の形態に相当する周期運動を実行することである。この場合には、この運動はマイクロモータによって、即ちマイクロメカニズム（ＭＥＭＳ）技術により製造したモータによって実行することが好ましい、というのは、これにより、すべての放射及び／または受信装置を特に縮小した小型のものとして製造することができるからである。マイクロメカニズムは、低いコストで非常に高い回転速度に達することを可能にし、これにより、毎分30,000回転（r.p.m.）以上で回転するマイクロモータが可能になる。
【００３２】
他の代案は、運動を連続的な形ではなく漸進的な形で実行し、これにより、アンテナは短時間かつ高速の運動を繰り返し実行し、これらの運動の間に短い停止（オフ）期間が導入される。その出力信号は、連続的な形の運動を実行する仮想アンテナの出力信号にほぼ等しくなるが、離散あるいは量子化され、そして実際には、このことは、信号のディジタル化の場合にも生じる現象となる。この場合には、（連続的な形で運動する）仮想アンテナの出力信号は、厳密な意味では、（「ジャンプによって」動く）装置のアンテナの出力信号と同一ではないが、これらの信号は非常に類似しており、所望の情報を得る（あるいは送信する）ことを可能にする。この意味で、本明細書及び特許請求の範囲では「相当する」を用いており：２つの信号は互いに同一ではないが、実際の信号は仮想的な信号を離散させたものであり、（仮想アンテナが取る方向間に選定した特定方向を向いたアンテナによる）特定瞬時における周期運動の停止、及び一方向から次の方向へのアンテナの「瞬間的な」ジャンプに対応する。
【００３３】
第３の代案は、アンテナアレイの少なくとも１つが、空間内で互いに異なるように配向された複数の固定アンテナを具えて、これらの固定アンテナの各々は、対応する仮想アンテナの瞬時的な向きの１つに一致する方向を有する、ということである。実際には、このようにすれば、アンテナの物理的な運動を実行する必要はないが、複数のアンテナが存在し、各々が、前の代案における方向から選定した方向のうちの１つに向けて配置され、各瞬時において、連続運動中の仮想アンテナの方向に相当する方向（あるいはできる限り近い方向）を有するアンテナが出力回路に接続される。この場合には、アンテナのアレイ全体を持つ必要があり、この代案では、仮想アンテナの効果に相当する効果を得るためには、上記アレイを単一のアンテナによって形成することはできず、複数のアンテナによって形成しなければならない。その見返りに、単に適切に相互接続された複数のアンテナによって、かつこれらのアンテナを特定の順序で接続及び切離しする制御回路によって、周期運動をシミュレート（模擬）することができる。（例えば電話用途の場合のように）最小帯域幅が５kHzであることが必要な場合には、30,000r.p.m.の回転速度を必要とする、ということを考慮に入れなければならない。この代案によれば、機械的な方法でこうした回転速度に達する必要はなく、「仮想的な」方法で達成する。回転速度と引き換えに、より多数のアンテナ及び高い切換速度を持つ必要があるが、このことは技術的には複雑性がより小さい。
【００３４】
本発明による装置は、各アンテナまたはアンテナアレイの出力に変成器回路を具え、この変成器回路は、少なくとも１つのアンテナアレイのアレイ出力信号（即ち、各アンテナアレイの出力信号）または少なくとも１つのアンテナの局部出力信号（即ち、各アンテナの出力信号）を、（アレイまたは局部）出力信号が正または負の値を有し得る信号に変化させ、これにより（アレイまたは局部）出力信号に関数Ｂ(ｔ)が乗算されることが有利である。この変成器回路は、アセンブリ全体の端だけではなく、各アンテナまたはアンテナアレイの出力に配置することができる。この変成器回路（概念的には増幅器）は、単に（アレイまたは局部）出力信号の極性を反転させ、これにより、関数Ｂ(ｔ)は各瞬時において＋１または−１の２つの値の一方をとるだけにすることができる。これらの特性を有する変成器回路を達成するためには、ミニチュアリレー（好適には、本発明によるミニチュアリレー）を具えた変成器回路を使用することが好ましい、というのは、これにより、能動デバイスに存在するノイズの導入が低減され、そして能動素子を用いることに由来する帯域幅の制限が防止されるからである。リレーと接続／切離しされて（前述した）仮想アンテナの動作をシミュレートする固定アンテナアレイの構成の場合には、これらのリレーを用いて、各瞬時において（アレイまたは局部）信号を反転または非反転にする（即ち、−１または＋１を乗算する）ことができる。あるいはまた、上記変成器内に能動的な増幅器を含めることができる。こうすれば、関数Ｂ(ｔ)が（＋１または−１だけではなく）あらゆる実数値を取ることができる、ということを達成することができ、このことは、内部ノイズの増加及び許容帯域幅の減少があり得るにもかかわらず、アセンブリの指向性をさらに改善することを可能にする。
【００３５】
既に前述したように、アンテナの物理的な運動を実行せず、空間内に適切に配向させ適切に相互接続した複数の固定アンテナによってシミュレートするだけにするものとすれば、そしてこれらのアンテナはさらに、当該アンテナの（アレイまたは局部）信号を増幅する変成器回路を有するものとすれば、本発明の特に有利な実施例を設計することができ、この実施例は、アンテナを接続及び切離しする代わりに、アンテナを常に接続したままにすることから成り、そして関数Ｂ(ｔ)は一定であり、時間に依存しないことが好ましい。実際には、信号の中心帯が関心事であるものとすれば、アンテナを常に接続したままにして、各アンテナは時間に対してゲインが固定の増幅器を有し、これにより、すべての（アレイまたは局部）信号を加算することができ、この場合には、所望の連続帯域を得るためにフィルタ処理を行う必要はない。このようにして、より単純な設計が得られ、高周波にあり得る問題が減る。この場合には、この設計はＮ個のアンテナのシステムとなり、各アンテナｉはゲインＧijを有し、ここにｊは方向を指定する。各アンテナｉはその端子に電圧ｖiを有する。空間の各方向ｊの受信／放射信号の群はｗjである。このようにして、装置が受信装置として動作するものとすれば、次式のように書くことができる：
[ｖi]＝[Ｇij]・[ｗj]
このように、ｗjの値はｖjの線形結合として得ることができる。
【００３６】
装置が放射装置として動作している場合には、次式のように書くことができる：
[ｗj]＝[Ｇji]・[ｖi]
この場合には、ｖiの値はｗiの値の線形結合として得ることのできるものである。指向性の高いアンテナを使用するものとすれば、次式のようになる：
ｗj＝δjk・Ｖi(ｔ)
ここに、δjkはクロネッカーデルタであり、即ち、方向（ｊ＝ｋ）についてはｗj＝Ｖi(ｔ)であり、他の方向についてはｗj＝０である。このことは、各アンテナが可変ゲインの増幅器によって給電されることを意味する。各増幅器のゲインは異なり、このゲインは放射したい方向に依存する。この装置の指向性はアンテナの数に比例し、望みの高さの指向性に達することができる。高い指向性を有するこの種の設計の場合に、受信信号が低く内部ノイズの問題が重要になり得るものとすれば、何らかの冷却装置によって、例えば同じ集積回路内にペルチェセルを含めることによって、装置の温度を低下させることが勧められる。この種の装置の他の利点は、信号の線形結合に関与する増幅器の増幅値（増幅度）を単に変化させることによって、あらゆる方向に電子的に指向させることができる、ということにある。このことはミニチュアリレーを用いることによって容易に達成することができる。
【００３７】
一般に、装置全体、及び／または各アンテナの信号対雑音比を改善する好適な方法は特に、少なくとも１つのアンテナをペルチェ効果セルによって冷却することにある。
【００３８】
前述したように、本発明の装置はマイクロメカニズムであることが好ましい。この場合には、装置にミニチュアリレーを設けて、これらのミニチュアリレーによってアンテナを互いに接続することが特に有利である。さらに、マイクロメカニズムのアンテナとミニチュアリレーとを同時に使用する場合には、すべてのアセンブリを対応する制御回路と共に最終的にプリント回路内に含めることができる。好適には、ミニチュアリレーは、非常に高い周波数範囲内で動作するためには、そして非常に低い接続抵抗を有するためには、非常に速い切り換え（スイッチング）速度で電気接続を確立しなければならない。
【００３９】
現在、特にＭＥＭＳ（微小電気−機械系）技術、マイクロシステム、及び／またはマイクロマシンとして知られている技術の関係では、ミニチュアリレーを生産するための種々の代案が存在する。原則的に、こうしたものは、接点電極を動かすために使用する力またはアクチュエーションの種類に応じて分類することができる。従って、この分類は通常、静電、電磁、熱、及び圧電リレーの間に当てはまる。これらの各々が利点及び欠点を有する。しかし、小型（ミニチュア）化技術はできる限り小さい作動電圧及び表面を必要とする。現在技術状況において知られているリレーは、この関係での進歩を妨げるいくつかの問題を有する。
【００４０】
作動電圧を低減する方法はまさにリレーの表面積を増加させることであるが、このことは、リレーの有効寿命及び信頼性を低下させる変形された外観をもたらすこととは別に、小型化を困難にする。静電リレーでは、作動電圧を減少させるための他の解決法は、電極間の空間を大幅に低減するか、あるいは非常に薄い電極または特別な材料を用いて、機械的復元力を非常に低くすることである。しかし、このことは付着の問題を暗に意味する、というのは、毛管現象の力が非常に大きく、従ってこのことも、これらのリレーの有効動作寿命及び信頼性を低下させる。高い作動電圧の使用も、構成要素のイオン化、強い機械的誘引力による磨耗の加速、及びリレーが発生する電気的ノイズのような負の効果を有する。
【００４１】
静電リレーは信頼性についても、「プル−イン」として知られている現象による大きな問題を有し、この問題は、一旦所定しきい値を過ぎると、接点電極は他の自由電極に向けて加速度を増加させて移動する、ということから成る。このことは、リレーが閉じる際に、閉じるための静電力を出すコンデンサがその容量を大幅に増加させる（そして、手前に止め具（ストップ）が設けられていないとすれば無限に増加する）、ということによる。結果的に、発生する高電界、及び移動する電極が受ける加速度によって生じる衝撃により、最終的に電極上に大きな損耗が生じる。
【００４２】
熱的、磁気的、及び圧電的な方法は、特別な材料及びマイクロマシン（微細加工）プロセスを必要とし、従ってより複雑なＭＥＭＳ装置（デバイス）内への集積、あるいは電子回路と同じ装置内への集積が困難かつ／あるいは高価になる。これに加えて、熱的な方法は低速であり（言わば、回路が長い開放時間または閉路時間を有し）、かつ大量の電力を使用する。磁気的な方法は電磁ノイズを発生し、このことは電子回路を近くに置くことをより困難にし、そして切換えのために大きなピーク電流を必要とする。
【００４３】
本明細書では、リレーとは、少なくとも１つの外部電気回路を開放または閉路するのに適したあらゆる装置のことであり、外部電気回路の開放及び閉路動作の少なくとも一方は電磁信号によって実行される。
【００４４】
本明細書及び特許請求の範囲では、「接点」とは、面上に電気接点が作製されている（あるいは作製可能な）接触面を称するべく用いる。この関係では、接点は三次元要素であるので、幾何学的意味での点として解釈すべきではなく、電気的意味で、電気回路内の点として解釈すべきである。
【００４５】
本発明による電磁信号放射及び／または受信装置はミニチュアリレーを具えていることが好ましく、このミニチュアリレーは：
−第２ゾーンと対面する第１ゾーンと、
−第１コンデンサ板（プレート）と、
−前記第２ゾーン内に配置され、前記第１コンデンサ板より小さいか前記第１コンデンサ板に等しい第２コンデンサ板と、
−前記第１ゾーンと前記第２ゾーンとの間に設けられた中間的空間と、
−前記中間的空間内に設けられ、前記第１ゾーン及び前記第２ゾーンから機械的に独立し、前記第１及び第２コンデンサ板に存在する電圧に応じて前記中間的空間内の移動を行うのに適した導電素子と、
−電気回路の第１接点及びこの電気回路の第２接点とを具え、前記第１及び第２接点が第１止め具を規定し、前記導電素子が前記第１止め具に接触するのに適したものであり、前記導電素子が前記第１止め具に接触すると前記電気回路を閉じる。
【００４６】
実際に、本発明によるリレーによれば、前記導電素子、即ち（前記第１接点と前記第２接点との間の）外部電気回路を開閉する役割をする素子が、自由に移動可能な分離した部分である。即ち、リレーの動きのうちの１つをさせるために材料の弾力を用いない。このことは複数の異なる解決法を可能にし、そのすべてが、必要とする作動電圧が非常に低く、かつ非常に小型の設計を可能にするという利点の恩恵を得る。前記導電素子は前記中間的空間内に収容される。前記中間的空間は、前記第１及び第２ゾーン、及び横壁によって閉じられ、これらの横壁は前記導電素子が前記中間的空間から出ることを防止する。前記第１コンデンサ板と前記第２コンデンサ板との間に電圧が印加されると、前記導電素子内に静電力を発生させる電荷分布がもたらされ、この静電力が、前記導電素子を前記中間的空間に沿った方向に移動させる。以下に詳細に説明する種々の設計によって、この効果はいくつかの異なる方法で用いることができる。
【００４７】
これに加えて、本発明によるリレーは、前述した「プル−イン」の問題も同様に満足に解決する。
【００４８】
本発明によるリレーの他の追加的な利点は次の通りである：
従来の静電リレーでは、前記導電素子が所定位置（とりわけ湿度に大きく依存する）に付着すれば、付着をはがす可能な方法がない（例えば乾燥させるような外部的手段による方法を除いて）、というのは、復元力が弾力であるため常に同一（位置のみに依存する）であり、増加させることができないからである。これとは逆に、本発明によるリレー内で前記導電素子が付着すれば、電圧を増加させることによって付着をはがすことが常に可能である。
【００４９】
前記中間的空間の幾何学的形状の機能、及び前記コンデンサ板の位置決めは、いくつかの異なる種類のリレーを提供することができ、その数だけの用途及び活用法が伴う。
【００５０】
例えば、前記導電素子の移動を次のようにすることができる：
−第１の可能性は、前記導電素子が前記中間的空間内を進行的な動きで移動する、ということであり、即ち、前記第１ゾーンと前記第２ゾーンとの間をほぼ直線的に移動する（もちろん、ありうるショックあるいは振動、及び／または不用意かつ不所望な外力によって生じる移動を除く）。
−第２の可能性は、前記導電素子が実質的な固定端を有し、この固定端を中心に回転可能である、ということである。この回転軸が、外部電気回路用の接点の機能を果たすことができ、前記導電素子の自由端が、前記第１ゾーンと前記第２ゾーンとの間を移動することができ、その位置次第で、他の接点に接触したりしなかったりする。以下に概説するように、この方法は広範かつ格別な利点を有する。
【００５１】
前記第１接点が、前記第２ゾーンと前記導電素子との間にあることが有利である。これにより、広範な解決法を得ることができ、これについては以下で説明する。
【００５２】
本発明の好適例は、前記第１コンデンサ板が前記第２ゾーン内にある際に達成される。あるいはまた、前記第１コンデンサ板が前記第１ゾーン内にあるようにリレーを設計することができる。最初の場合には、より高い作動電圧を有するより高速なリレーが得られる。他方では、２番目の場合には、リレーがより低速であり、このことは、前記導電素子が受けるショック及び前記導電素子の停止がより緩やかであり、エネルギー消費がより小さいことを意味する。各場合における特定の要求に応じて、一方または他方の選択肢の間で選択を行うことができることは明らかである。
【００５３】
本発明の好適例は、前記第２接点が前記第１接点と同様に前記第２ゾーン内にある際に達成される。この場合には、前記導電素子がほぼ直線的に進む動きをするリレーが得られる。前記導電素子が前記第１止め具に接触すると、即ち前記電気回路の前記第１及び第２接点に接触すると、この電気回路が閉じて、以下に詳述する異なる種類の力によってこの電気回路を開放することができる。この電気回路を再び閉じるためには、前記第１コンデンサ板と前記第２コンデンサ板との間に電圧を印加すれば十分である。このことは、前記導電素子を前記第２ゾーンに向けて誘引して、前記第１及び第２接点に再び接触させる。
【００５４】
前記第１コンデンサ板が前記第１ゾーン内にあり、前記第２コンデンサ板が前記第２ゾーン内にあれば、前段落で述べた回路を開放するために必要な力を達成する方法は、前記第２ゾーン内に配置された第３コンデンサ板を追加することであり、ここでこの第３コンデンサ板は前記第１コンデンサ板より小さいか前記第１コンデンサ板に等しく、前記第２コンデンサ板と第３コンデンサ板とを合わせた大きさが前記第１コンデンサ板より大きい。この構成では、前記第１コンデンサ板が前記中間的空間の一方の側にあり、前記第２コンデンサ板及び前記第３コンデンサ板が前記中間的空間の他方の側にあり、これらのコンデンサ板は互いに近接している。このようにして、前記導電素子を静電力によって両方向に移動させることができ、これに加えて、外部電気回路によって前記導電素子が原則的に未知の電圧のままにされても、外部電気回路を閉じることを保証することができる。
【００５５】
本発明の他の好適な実施例は、リレーが前記第２ゾーン内に配置された第３コンデンサ板及び前記第１ゾーン内に配置された第４コンデンサ板を具えている際に達成され、ここで前記第１コンデンサ板と前記第２コンデンサ板とが互いに等しく、前記第３コンデンサ板と前記第４コンデンサ板とが互いに等しい。実際に、このようにすれば、前記導電素子を前記第２ゾーンに向かって進行させたい場合に、一方の側にある前記第１及び第４コンデンサ板と、他方の側にある前記第２及び第３コンデンサ板との間に電圧を印加することができる。前記導電素子が、最小のコンデンサ板が配置された箇所に向かって移動するものとすれば、この導電素子は前記第２ゾーンに向かって移動する。同様に、前記第２及び第３コンデンサ板と前記第１及び第４コンデンサ板との間に電圧を印加することによって、前記導電素子が前記第１ゾーンに向かう移動を行うことができる。この解決法の、３枚のコンデンサ板によるより簡単な解決法に対する利点は、この解決法はコンデンサ板が対称であり、即ち、前記導電素子が前記第２ゾーンに向かうか前記第１ゾーンに向かうかとは無関係に、全く同じリレー動作を達成することができる、ということである。前記第１、第２、第３、及び第４コンデンサ板が互いに等しいことが有利である、というのは、一般に、リレーの設計が対称であることがいくつかの点で好都合であるからである。一方では、上述したように、第１ゾーンと第２ゾーンとの間に対称性が存在する。他方では、例えば以下で述べる前記導電素子の回転または振動の問題のような他の問題を回避するために、他の種類の対称性を保つ必要がある。この関係では、リレーが、前記第１ゾーン内に配置された第５コンデンサ板及び前記第２ゾーン内に配置された第６コンデンサ板を追加的に具えて、これらの第５コンデンサ板と第６コンデンサ板とが互いに等しいことが特に有利である。一方では、コンデンサ板の数を増加させることは、製造上の変動をより良好に補正できるという利点を有する。他方では、印加電圧及び作動時間の両方の観点から、いくつかの異なるコンデンサ板を独立して活性化することができる。６枚のコンデンサ板のすべてを互いに等しくするか、あるいはまた、同じ側の３枚の板を互いに対して異なる大きさ（サイズ）にすることができる。このことは、作動電圧の最小化を可能にする。各ゾーン内に３枚以上のコンデンサ板を有するリレーは、次の目的のすべてを達成可能にする：
−リレーが両方向に対称に機能することができる；
−リレーが、固定値のリレーの寸法全体にわたって最小の作動電圧を可能にする設計である、というのは、一方のゾーン内で作用する２枚のコンデンサ板及び他方のゾーン内で作用する１枚の板を持つことによって、別個の表面領域を常に用意することができるからである；
−リレーの電流及び電力消費の最小化を可能にし、そしてより円滑なリレー機能も可能にする；
−外部電気回路が接触した際に、この外部電気回路から前記導電素子に伝達される電圧とは無関係に、リレーが開閉することを保証することができる；
−特に、リレーが各ゾーン内に６枚のコンデンサ板を有する場合に、追加的に点対称の要求に従うことができ、点対称は以下に示すように、他の重要な利点である。従って、本発明の他の好適例は、リレーが、前記第１ゾーン内に配置された６枚のコンデンサ板、及び前記第２ゾーン内に配置された６枚のコンデンサ板を具えている際に得られる。しかし、各ゾーン内に６枚のコンデンサ板を有することは、点対称を達成するために絶対に必要なことではなく：例えば各ゾーン内の３枚のコンデンサ板でも達成可能であるが、この場合には、電流及び電力消費の最小化、及びリレーの「円滑な」機能動作の最適化をあきらめなければならない。一般に、各ゾーン内のコンデンサ板の数を増加させることは、設計上の柔軟性及び融通性の拡大を可能にしつつ、製造に固有の変動を低減することができる、というのは、各コンデンサ板の製造上の変動は、残りの板の変動によって補償されやすいからである。
【００５６】
しかし、特定の場合には、前記導電素子に進行的な移動に加えてある種の回転を行わせるために、力のモーメントを慎重に生じさせることが好ましいことがある、ということを無視すべきでない。例えば、前記導電素子にあり得る、固定壁に対する付着または摩擦を克服することが有利なことがある。
【００５７】
リレーが、１つの第２止め具（あるいは、前記第１止め具と同数の第２止め具）を前記第１ゾーンと前記導電素子との間に具えていることが有利である。このようにして、前記第１ゾーンと前記第２ゾーンとの間の幾何学的対称性も達成される。前記導電素子が前記第２ゾーンに向かって移動する際には、前記第１止め具と接触するまで移動することができ、そして前記電気回路を閉じる。前記導電素子が前記第１ゾーンに向かって移動する際には、前記第２止め具に接触するまで移動することができる。このようにして、前記導電素子が行う移動が対称になる。
【００５８】
本発明の他の好適例は、リレーが、前記第１ゾーンと前記導電素子との間に配置され、第２止め具を規定する第３接点を具えて、前記導電素子が前記第２接点及び前記第３接点に接触すると第２電気回路を閉じる際に達成される。この場合には、リレーが、前記第２接点を前記第１接点と前記第３接点とに交互に接続する転流器（コミュテータ）として作用する。
【００５９】
前の例の特に有利な具体例は、前記導電素子が、軸を規定し、かつラジアル方向に中空の円筒部分と、前記中空の円筒部分の１つの側部から突出して前記軸方向に延びる平坦部分とを具えて、前記円筒部分の内部に前記第２接点が収容され、前記平坦部分の前記軸方向に測った高さが、前記円筒部分の前記軸方向に測った高さより小さい際に達成される。この特別な場合は、前記導電素子がその一方の端を中心とした回転移動を行う環境にも同時に準拠する（上述した「第２の可能性」を参照）。これに加えて、前記円筒部分が（この円筒の各端に１つずつあり、前記第１ゾーンと前記第２ゾーンとの間に延びる）軸受面上にあり、前記平坦部分は、その高さがより小さいので、前記円筒部分に対して片持ち支持される。従って、前記平坦部分は壁面あるいは固定面（前記第１及び第２接点を除く）に接触せず、このようにして、付着及び摩擦力を軽減することができる。前記第２接点については、前記円筒部分の内部に収容され、回転軸並びに第２接点として作用する。従って、前記第１接点と前記第２接点との間に、あるいは前記第３接点と前記第２接点との間に電気接続が確立される。前記中空の円筒部分は円筒形の穴を規定し、すべての場合に前記第２接点に向かって曲がる曲面を有し、従って、付着及び摩擦力の恐れを減らす。
【００６０】
前の例の特に有利な具体例は、前記導電素子が、軸を規定し、かつラジアル方向に中空の平行六面体部分と、前記中空の平行六面体部分の１つの側部から突出して前記軸方向に延びる平坦部分とを具えて、前記平行六面体の内部に前記第２接点が収容され、前記平坦部分の前記軸方向に測った高さが、前記平行六面体部分の前記軸方向に測った高さより小さい際に得られる。実際に、この具体例は上記具体例と似ており、ここでは前記平行六面体部分が平行六面体の穴を規定する。この解決法は、非常に小型の具体例の場合に特に有利である、というのは、この場合には、製造プロセス（特に、フォトリソグラフィーの手順の場合）の分解能が直線の使用を余儀なくさせるからである。両方の場合において強調すべきことは、決まっている幾何学的形状は中空の幾何学的形状であり、実際には、次のいくつかの異なる組み合わせが可能である、ということである：
−矩形部分を有する軸（第２接点）、及び矩形部分をなす穴；
−円形部分を有する軸、及び円形部分をなす穴；
−円形部分を有する軸、及び矩形部分をなす穴、及びその逆；
但し、最初２つの組み合わせが最も有利である。
【００６１】
理論的には、上記部分は矩形であるべきであるが、軸と平行六面体部分との間に十分な遊びがあり、前記導電素子が軸を中心に回転可能であるべきである。同様に、円形部分の場合には、軸と円筒部分との間に大きな量の遊びがあり、前記導電素子が行う現実の動きが、軸の周りの回転と、前記第１ゾーンと前記第２ゾーンとの間の進行との組み合わせになるようにすることができる。なお、これに加えて、前記第２止め具を電気回路に接続せずに、この場合には、１つの回路しか開閉できないが、前記導電素子が回転によって（あるいは回転と進行との組み合わせによって）動くリレーが得られる。
【００６２】
本発明の他の好適例は、リレーが前記第１ゾーンと前記導電素子との間に配置された第３及び第４接点を具えて、これらの第３及び第４接点が前記第２止め具を規定して、前記導電素子がこれらの第３及び第４接点に接触すると第２電気回路を閉じる際に得られる。実際に、この場合にはその代わりに、リレーが２つの電気回路を接続することができる。
【００６３】
前記第１ゾーン内及び前記第２ゾーン内の各々に配置されたコンデンサ板の組立体（アセンブリ）の各々が対称の中心について点対称であり、この対称の中心が前記導電素子の質量の中心（重心）に重なることが有利である。実際には、各ゾーン内に配置されたコンデンサ板の組立体の各々が前記導電素子上に力の場を生成する。この力の場から生じる力が前記導電素子の質量の中心に対する何らかのモーメントを有する場合には、前記導電素子は進行だけでなく、その質量の中心の周りの回転も行う。この関係では、この回転が有利でない場合には各ゾーンのコンデンサ板の組立体に点対称性を持たせることが適切であるか、あるいは他方では、例えば摩擦力及び／または付着を克服するために前記導電素子のその質量の中心の周りの回転を導入することが有利であれば、点対称性を与えることが好都合であり得る。
【００６４】
既に述べたように、前記導電素子は通常、前記第１ゾーン、前記第２ゾーン、及び前記横壁の間の中間的空間内に閉じこめられている。前記横壁と前記導電素子との間には、十分小さい遊びが存在して、前記導電素子が、前記第１接点及び前記第２接点が形成する接点群と前記第３接点及び前記第４接点が形成する接点群とに同時に接触することが幾何学的に防止されることが有利である。即ち、前記導電素子が、前記中間的空間を横切る位置を採り、前記第１電気回路を前記第２回路に接続することが防止される。
【００６５】
付着及び高い摩擦力を回避するために、前記導電素子が曲面の外表面を有することが有利であり、円筒形あるいは球形であることが好ましい。球形の解決法は、全方向の摩擦力及び付着を最小化するのに対し、円筒形の解決法は、前記第１及び第２ゾーンに面したこの円筒の底面により、前記コンデンサ板と対面する大きな表面を持ちつつ、前記横壁に対する摩擦力の低減を達成することを可能にし、これらのコンデンサ板は静電力の発生については有効である。この第２の解決法は、接点に対する接触面もより大きくして、切り換えた電気回路にもたらされる電気抵抗を減少させる。
【００６６】
同様に、前記導電素子が、その移動方向に直交する上面及び下面、及び少なくとも１つの横方向の面を有し、この横方向の面が小さい突起を有することが有利である。これらの突起はさらに、前記横方向の面と前記中間的空間の横壁との間の付着及び摩擦力の低減を可能にする。
【００６７】
前記導電素子は中空であることが有利である。このことは質量の低減を可能にし、従ってより小さい慣性を達成する。
【００６８】
リレーが２枚のコンデンサ板（第１板及び第２板）を有し、これらのコンデンサ板が共に前記第２ゾーン内にあれば、これらの第１コンデンサ板及び第２コンデンサ板が同じ表面積を有することが有利である、というのは、こうすれば、装置（デバイス）の同じ表面積に対して最小の作動電圧が得られるからである。
【００６９】
リレーが２枚のコンデンサ板（第１板及び第２板）を有し、第１板が前記第１ゾーン内にあり、第２板が前記第２ゾーン内にあれば、前記第１コンデンサ板の表面積が前記第２コンデンサ板の表面積の２倍であることが有利である、というのは、こうすれば、装置の同じ表面積に対して最小の作動電圧が得られるからである。
【００７０】
本発明によるリレーの他の好適例は、前記コンデンサ板の一方が、コンデンサ板であると同時に接点（従って止め具）である際に得られる。この構成は、他の接点（外部電気回路の接点）を固定電圧（通常はＶＣＣ（電源電圧）またはＧＮＤ（接地））に接続するか、あるいは高インピーダンスにしておくことを可能にする。
【００７１】
以下に説明するように、図７〜２３に示す本発明によるリレーの好適な実施例は、以上で説明した種々の代案及び選択肢の組合せで構成されるが、これらの代案及び選択肢を異なる方法で組み合わせることができることは、当業者にとって明らかである。これらのリレーのあらゆるものを、上述した電磁信号放射及び／または受信装置に内蔵することができる。
【００７２】
図７に、本発明によるリレーの第１の基本機能モードを示す。このリレーは中間的空間２５を規定し、この空間内に導電素子７が収容され、導電素子７は中間的空間２５内を自由に移動することができる、というのは、導電素子７は中間的空間２５を規定する壁面に物理的に接合されていない分離した部分であるからである。このリレーは、図７の左側の第１ゾーン、及び図７の右側の第２ゾーンも規定する。第２ゾーン内には第１コンデンサ板３及び第２コンデンサ板９が配置されている。図７に示す例では、コンデンサ板３と９とが異なる表面積を有するが、これらの表面積は互いに等しくすることもできる。第１コンデンサ板３及び第２コンデンサ板９は制御回路ＣＣに接続されている。第１コンデンサ板３と第２コンデンサ板９との間に電圧を印加すると、導電素子７は常に図７の右方向、即ちコンデンサ板３及び９に向かって誘引される。導電素子７は、第１止め具１３によって止められるまで右方向に移動し、第１止め具１３は第１外部回路ＣＥ1の第１接点１５及び第２接点１７であり、よって第１外部回路ＣＥ1が閉じられる。
【００７３】
図８に、本発明によるリレーの第２の基本機能モードを示す。ここでも、リレーが中間的空間２５を規定し、この空間内に導電素子７が収容され、導電素子７は中間的空間２５内、即ち図８の左側の第１ゾーンと図８の右側の第２ゾーンとの間を自由に移動することができる。第２ゾーン内には第２コンデンサ板９が配置され、第１ゾーン内には第１コンデンサ板３が配置されている。第１コンデンサ板３及び第２コンデンサ板９は制御回路ＣＣに接続されている。第１コンデンサ板３と第２コンデンサ板９との間に電圧を印加すると、導電素子７は常に図８の右方向に、最小のコンデンサ板、即ちコンデンサ板９に向かって誘引される。この理由により、この場合には、図８に示す例ではコンデンサ板３と９とが互いに異なる表面積を有するということが絶対に必要である、というのは、これらのコンデンサ板が等しい表面積を有するものとすれば、導電素子７はどちらの向きにも移動しないからである。導電素子７は、第１止め具１３によって止められるまで右向きに移動して、第１止め具１３は第１外部回路ＣＥ1の第１接点１５及び第２接点１７であり、よって第１外部回路ＣＥ1が閉じられる。図の左側には第２止め具１９が存在し、第２止め具１９はこの場合には電気的機能は何も果たさないが、導電素子７が第１コンデンサ板３に接触するのを止める。この場合には、導電素子７が第１コンデンサ板３に接触しても何の問題も生じないので、止め具１９をなくすことができる。このことは、この側には１枚のコンデンサ板のみが存在するが、２枚以上のコンデンサ板が存在してそれぞれが異なる電圧に接続されているものとすれば、短絡を避けるためにこれらの止め具が必要になる、という理由による。
【００７４】
図７及び図８のリレーはセンサとして使用するのに適しており、測定すべき量が力を出して、導電素子７にもたらされる静電力がこの力に対抗する。図７及び図８に示す両方の場合において、測定すべき量が電気回路ＣＥ1を開放しようとする力を出さなければならず、上記静電力はこの回路を閉じようとする。しかし、リレーは、ちょうど逆の動作を行うように設計することができ、即ち、測定すべき量が電気回路を閉じようとし、静電力が回路を開放しようとする。この場合には、第１止め具１３を、対応する電気回路ＣＥ1と共に図７及び８の左側に配置する必要がある。図７には、この可能性を破線で示す。止め具を図の両側に配置すれば、センサが両方向の量を検出することができるが、向きの変化が発生したことを検出した際に、回路を閉じようとするアルゴリズムから開放しようとするアルゴリズムに変更する必要があり、このことは、最小電圧、即ち電圧０で開閉がなされない際に生じる。なお、印加する電圧の符号は導電素子７の移動方向には影響しない。他の可能性は、回転運動の遠心力（例えば、アンテナの回転運動の遠心力）を用いて、電気回路ＣＥ1を開放または閉路することとすることができる。
【００７５】
静電力による導電素子７の両方向への移動を達成するために、図９に示すように、第３コンデンサ板１１を設ける必要がある。導電素子７が常に、最小のコンデンサ板が位置する向きに移動するものとすれば、この場合には、第３コンデンサ板１１は第１コンデンサ板３より小さい必要があるが、第２コンデンサ板９と第３コンデンサ板１１との合計表面積は第１コンデンサ板３より大きい必要がある。このようにして、第１コンデンサ板３及び第２コンデンサ板９を活性化し、即ち、これらのコンデンサ板を異なる電圧に接続すると、これらのコンデンサ板は高インピーダンスの状態に留まり、導電素子７は右方向に移動することができるが、３枚のコンデンサ板を活性化すれば、導電素子７は左方向に移動することができる。後者の場合には、第２コンデンサ板９及び第３コンデンサ板１１には同じ電圧を供給し、第１コンデンサ板３には異なる電圧を供給する。これに加えて、図９のリレーは、第２止め具１９に接続された第２外部回路ＣＥ2を有し、これらの第２止め具１９は第３接点２１及び第４接点２３を規定する。
【００７６】
２枚のコンデンサ板を第１及び第２の各ゾーン内に配置するものとすれば、導電素子７の移動は次の２つの異なる方法に当てはめることができる：
−同じゾーンの２枚のコンデンサ板間に電圧を印加して、これにより導電素子７がこれらのコンデンサ板に誘引される（図７の機能）：
−一方のゾーンの１枚のコンデンサ板と他方のゾーンの１枚のコンデンサ板（あるいは両方のコンデンサ板）との間に電圧を印加して、これにより、導電素子７が、ゾーン内の充電されたコンデンサの表面積が最小であるゾーン方向に誘引される（図８の機能）。
【００７７】
図１０及び１１に、ＥＦＡＢ（Electronic FABlication）技術で製造すべく設計したリレーを示す。この層堆積によるマイクロメカニズム（微小機構）製造技術は当業者にとって既知であり、いくつかの層の生産を可能にし、そして三次元構造の設計に大きな融通性を与える。リレーは支持体として作用する基板１上に実装され、以下のいくつかの図面には簡単のため基板１を示していない。このリレーは、（図１１では）導電素子７の左側に配置された第１コンデンサ板３及び第４コンデンサ板５を有し、導電素子７の右側に配置された第２コンデンサ板９及び第３コンデンサ板１１を有する。このリレーは、第１接点１５及び第２接点１７である２つの第１止め具１３、及び第３接点２１及び第４接点２３である２つの第２止め具１９も具えている。このリレーは上部をカバーで覆われているが、内部の詳細を明確に示すために、このカバーは図示していない。
【００７８】
このリレーは、図１１で見れば中間的空間２５内を左から右へ、及びその逆に動く。図に見られるように、第１止め具１３及び第２止め具１９は、コンデンサ板３、５、９及び１１よりも導電素子７に近い。このようにして、導電素子７が左から右に移動して、コンデンサ板３、５、９及び１１及びこれらに対応する制御回路に衝突することなしに、対応する電気回路を閉じることができる。
【００７９】
導電素子７は中空の内部空間２７を有する。
【００８０】
導電素子７と壁面との間には遊びが存在して、中間的空間２５を形成し（即ち、第１止め具１３、第２止め具１９、コンデンサ板３、５、９及び１１、及び２つの横壁２９）、中間的空間２５は、導電素子７が、第１接点１５を第３接点２１に接触させるか、あるいは第２接点１７を第４接点２３に接触させるのに十分なほど図１１の面に直交する軸の周りに回転することを防止するように十分小さい。しかし図では、この遊びはより明確にするために一定寸法比で示していない。
【００８１】
図１２〜１４に、ＥＦＡＢ技術で製造すべく設計した他のリレーを示す。この場合には、導電素子７が図１２〜１４の縦方向に移動する。リレーにおける二者択一の移動の一方または他方の使用は設計基準に依存する。製造技術はいくつかの層の堆積から成る。すべての図において縦の寸法を誇張しており、即ち、物理的な装置（デバイス）は図に示すよりずっと平坦である。より大きいコンデンサ面を得ようとすれば、図１２〜１４に示す形態に似た形態を有するリレーを構成する（縦型リレー）ことが好ましいが、より少数のリレーが望ましければ、図１０及び１１に示す形態に似た形態を有するリレー（横型リレー）がより適切である。特定の技術（例えばpolyMUMPS、Dalsa、SUMMIT、Tronic’s、Qinetiq’s、等）を用いれば、層の数が常に限定される。縦型リレーの利点は、より小さいチップ面積でより大きい表面が得られることであり、このことは、（同じチップ面積を用いれば）作動電圧がずっと低いことを暗に意味する。
【００８２】
概念的には、図１２〜１４のリレーは図１０及び１１のリレーと非常に似ており、（図１４の）下部に配置された第１コンデンサ板３及び第４コンデンサ板５、並びに第３接点２１及び第４接点２３である第２止め具を有する。図に見られるように、第２止め具１９はコンデンサ板の上にあり、これにより導電素子７が第２止め具１９上に載り、第１及び第４コンデンサ板３、５に接触しないようにすることができる。（図１２の）上端には、第２コンデンサ板９、第３コンデンサ板１１、及び第３接点１５及び第２接点１７である２つの第１止め具１３がある。この場合には、導電素子７と横壁２９との間の遊びも、第１接点１５を第３接点２１に接触させるか、あるいは第２接点１７を第４接点２３に接触させることが回避されるように十分小さい。
【００８３】
図１５及び１６に示すリレーは、導電素子７の移動が実質的にその端部を中心とした回転であるリレーの例である。このリレーは、第１コンデンサ板３、第２コンデンサ板９、第３コンデンサ板１１、及び第４コンデンサ板５を有し、これらのすべてが基板１上に実装されている。これに加えて、第１接点１５と第３接点２１とが互いに対面して存在する。第１接点１５と第３接点２１との間の距離は、上記コンデンサ板間の距離より小さい。導電素子７は中空の円筒部分３１を有し、この中空の穴も同様に円筒形である。この円筒形の穴の内部に、円筒部分を有する第２接点１７が収容されている。
【００８４】
このようにして、導電素子７が第１接点１５と第４接点２３との接触、あるいは第３接点２１と第２接点１７との間の接触を確立する。導電素子７が行う移動は実質的に、円筒部分３１が規定する軸の周りの回転である。図１５では、第２接点１７と円筒部分３１との間の遊びを誇張しているが、特定量の遊びが存在することは確かであり、従って導電素子７が行う移動は純然たる回転ではなく、現実には回転と進行との組み合わせである。
【００８５】
円筒部分３１からは平坦部分３３が延び、平坦部分３３は、円筒部分３１の軸方向に測れば円筒部分３１より低い高さを有する。図１６ではこのことをより詳しく見ることができ、図１６には、円筒部分３１及び平坦部分３３をほとんど横から見た図を示す。このようにして、平坦部分３３が基板１に接触することが回避され、これにより摩擦力及び付着が低減される。
【００８６】
図に見られるように、円筒部分３１を平行六面体部分で代替して、円形部分を有する第２接点１７を四角形部分を有するものに置き換えても、遊びが十分である限りは、概念的に図１５及び１６のものと等価なリレーを設計することができる。
【００８７】
例えば、図１５及び１６に示すリレーにおいて第１接点１５及び／または第３接点２１をなくした場合には、コンデンサ板そのもの（特に第３コンデンサ板１１及び第４コンデンサ板５）が接点及び止め具として働く。コンデンサ板が動作しなければならない電圧の適切な選定によれば、この電圧は常にＶＣＣ（電源電圧）またはＧＮＤ（接地）ということになる。他の可能性は、例えば、第３接点２１をどの外部回路にも電気的に接続しない、ということである。従って、第３接点２１は止め具に過ぎず、導電素子７が第２接点１７を第３接点２１に接触させると、第２接点１７が回路内で高インピーダンスの状態になる。
【００８８】
図１７に示すリレーは、polyMUMPS技術で製造すべく設計したものである。既に説明したように、この技術は当業者にとって既知であり、そして３つの構造層及び２つの犠牲層によって特徴付けられる。しかし、概念的には、このリレーは図１５及び１６に示すリレーに似ているが、いくらかの違いがある。従って、図１７のリレーでは、第１コンデンサ板３は第３コンデンサ板３と等しいが、第２コンデンサ板９及び第４コンデンサ板５とは異なり、これらのコンデンサ板は互いに等しく、かつ第１及び第３コンデンサ板より小さい。第２接点１７については、その上端に巻線を有して導電素子７が中間的空間２５内に保持されることを可能にする。図１５及び１６の第２接点１７にもこの種の巻線を設けることができる。このリレーでも、第１接点１５と第３接点２１との間の距離をコンデンサ板間の距離に等しくする意味はない。導電素子７の移動が第２接点１７の周りの回転移動であるものとすれば、導電素子７の他端が弧を描いて、平坦部分３３がコンデンサ板に触れる前に、この他端が第１または第３接点１５、２１に接触する。
【００８９】
図１８に、polyMUMPS技術で製造すべく設計した他のリレーを示す。このリレーは図１０及び１１のリレーに似ているが、追加的に、第５コンデンサ板３５及び第６コンデンサ板３７を有する。
【００９０】
図１９に、図１０及び１１に示すものと等価なリレーを示すが、このリレーは第１ゾーン内の６枚のコンデンサ板及び第２ゾーン内の６枚のコンデンサ板を有する。これに加えて、導電素子７が外に出ることを回避する上部カバーがある。
【００９１】
図２０及び２１に、導電素子７が円筒形であるリレーを示す。図２０のリレーでは、導電素子７を包囲する横壁２９が平行六面体であるのに対し、図２１のリレーでは、導電素子７を包囲する横壁２９が円筒形である。図２２については、表面マイクロマシニングによって製造した球形を示し、なお、この球形は径の異なる複数の円形ダイスによって形成したものである。図２２のもののような球形の導電素子７を有するリレーは、概念的には例えば図２０または２１に示すものと非常に似ており、その円筒形の導電素子７を球形のものに置き換えたものである。しかし、球形の導電素子７が最初に接点、または場合によっては止め具ではなくコンデンサ板に触れることを回避するために、上端におけるコンデンサ板及び接点の配置における特定の幾何学的調整を考慮に入れるべきである。
【００９２】
図２３に、図１０及び１１に示すリレーの変形例を示す。この場合には、導電素子７が横方向の面４１内に突起３９を有する。
【００９３】
以上で説明したように、本発明は特にＭＥＭＳ装置（デバイス）として注目に値する。この技術によって、寸法を低減したシリコンウエハー内に多数のアンテナ（例えばダイポール）を含めることが可能になる。このようにして、高い指向性のアンテナの性能を有する集積回路を得ることができる。周期運動をシミュレートする固定アンテナのアレイを具える解決法を用いる場合には、ＭＥＭＳリレーで提案した解決法が特に注目に値することがわかる、というのは、いくつかの用途にとってこうしたアンテナに興味を持たせるコストで、小型で高い指向性のアンテナを設計及び製造することができるからである。ＭＥＭＳ構成要素（アンテナ、マイクロモータ、リレー）を製造するため、及びこれに対応する制御回路を製造するための両方に利用する技術に応じて、モノリシックまたはハイブリッド集積回路を製造することができる。さらに、本発明による装置は低周波数において高い指向性であり、このことは多くの用途にとって特に注目すべきものである、ということを考慮しなければならない。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】ダイポールの放射パターンを示す図である。
【図２】図１のダイポールを長軸を中心に回転させた際の放射パターンを示す図である。
【図３】受信信号(Ｗi(ｆ))及び図２のダイポールが発生する電圧(Ｖi(ｆ))の周波数線図である。
【図４】ダイポールの長軸と回転軸との間の角度(α)に依存したダイポールの指向性進展図である。
【図５】長軸が水平方向と63°の角度をなすように配置した図１のダイポールの放射パターンを示す図である。
【図６】図６．１、６．２及び６．３は、長軸とα＝63°の角度をなす回転軸を中心に回転させた際の、図１のダイポールの放射パターンを示す図である。
【図７】２枚のコンデンサ板をその第２ゾーン内に有するリレーの略図である。
【図８】２枚のコンデンサ板のそれぞれをその各ゾーン内に有するリレーの略図である。
【図９】３枚のコンデンサ板を有するリレーの略図である。
【図１０】本発明によるリレーの第１実施例のカバーを除いた透視図である。
【図１１】図１０のリレーの平面図である。
【図１２】本発明によるリレーの第２実施例の透視図である。
【図１３】上端の構成要素を除いた図１２のリレーの透視図である。
【図１４】図１２のリレーの下部の要素の透視図である。
【図１５】本発明によるリレーの第３実施例のカバーを除いた透視図である。
【図１６】図１５のリレーの円筒部分の詳細な透視図である。
【図１７】本発明によるリレーの第４実施例の透視図である。
【図１８】本発明によるリレーの第５実施例の透視図である。
【図１９】本発明によるリレーの第６実施例の平面図である。
【図２０】本発明によるリレーの第７実施例の透視図である。
【図２１】本発明によるリレーの第８実施例の基板をなくして下から見た透視図である。
【図２２】表面マイクロマシニングで生産した球形を示す図である。
【図２３】本発明によるリレーの第９実施例の透視図である。
【図１】
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【図２．１】
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【図２．２】
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【図２．３】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６．１】
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【図６．２】
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【図６．３】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【手続補正書】
【提出日】平成19年2月6日(2007.2.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
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