(57)【要約】  プラズマ励起ガス内で堆積された対向側壁用絶縁層を有する少なくとも２つの金属バンプ（６ａ、６ｂ）を有するチップ。絶縁層（７）の所定部分が反応性イオン・エッチングによって除去される。金属バンプは貴金属から、そして絶縁層はＳｉＯ２、Ｓｉ３Ｎ４などの誘電材料から形成されてよい。
2007531247.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
非導電性チップ基板と、
前記非導電性チップ基板上に堆積された複数金属パッドと、
前記非導電性チップ基板及び前記複数金属パッドの縁端部を覆うパッシベーション層と、
前記チップパッシベーション層の一部及び前記複数金属パッドを覆う拡散止め金属バリアと、
前記パッド上の金属層の複数部分を露出させ、使用後は除去される、前記金属層上のフォト・レジスト・パターンと、
前記パッドの露出部分及び前記金属層の縁端部上の少なくとも１つのバンプとを備えたチップを金属バンプ側壁用絶縁層を用いて製造する方法において、
前記チップパッシベーション層及び前記金属パッドを覆って前記金属層を堆積させる工程と、
プラズマ励起反応器内で絶縁層を堆積させる工程と、
反応性イオン・エッチングによって前記絶縁層の所定複数部分を除去する工程と、
残りの金属材料が前記バンプ拡散止めバリアを形成するように、前記金属層を部分的に除去する工程とを特徴とする方法。
【請求項２】
チップ基板及び対向基板のためのコネクタであって、
前記対向基板上の複数の電極パッドと、
前記対向基板上の前記複数の電極パッドのそれぞれに、それぞれが電気的に接続された、前記チップ基板上の複数の導電性バンプと、
前記導電性バンプの各上部表面上にあり、各導電性バンプを前記複数の電極パッドに電気的に接続する複数の導電性粒子と、
前記複数の導電性バンプそれぞれの側壁の表面上にあり、２つのバンプ間の電気的短絡を防止するための、硝酸塩又は酸化物から形成された絶縁層とを備えたコネクタにおいて、
前記絶縁層がＬＰＣＶＤプロセスによって提供されることを特徴とするコネクタ。
【請求項３】
互いに対向する少なくとも２つの対向側壁上で絶縁層で覆われた側壁を備えた金属バンプにおいて、前記絶縁層が、プラズマ堆積によって形成され、そして、異方性プラズマ・エッチャー内で部分的にエッチ・バックされた誘電体層であることを特徴とする金属バンプ。
【請求項４】
前記誘電材料がＳｉＯ２とＳｉ３Ｎ４とからなる群から選択されることを特徴とする、請求項３に記載の金属バンプ。
【請求項５】
前記金属バンプが金などの貴金属又は耐酸化材料から形成されることを特徴とする、請求項３又は４に記載の金属バンプ。
【請求項６】
チップ・オン・ガラス又はチップ・オン・フォイルによる実装への応用のために、ＬＰＣＶＤプロセスによって堆積された絶縁層で部分的に覆われた金属バンプの使用。
【請求項７】
チップ基板と対向基板とを有する構成であって、
前記対向基板上の複数の電極パッドと、
前記対向基板上の前記複数の電極パッドのそれぞれに、それぞれが電気的に接続された、前記チップ基板上の複数の導電性バンプと、
前記導電性バンプの各上部表面上にあり、各導電性バンプを前記複数の電極パッドに電気的に接続する複数の導電性粒子と、
前記複数の導電性バンプそれぞれの側壁の表面上にあり、２つのバンプ間の電気的短絡を防止するための、硝酸塩又は酸化物から形成された絶縁層とを備えた構成において、
前記絶縁層がＬＰＣＶＤプロセスによって提供されることを特徴とする構成。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、側壁用絶縁体を有する、ＩＣ上の金属バンプに関する。本発明は特に、ガラス・パネルに取り付けられた液晶表示（ＬＣＤ）モジュールの駆動ＩＣに関する。本発明は、このようなバンプを備えるチップを製造する方法にも関する。本発明はさらに、チップ基板並びにガラス・パネル又はフォイル用のコネクタに関する。
【０００２】
異方性コンタクトフィルム（ＡＣＦ）は、チップをガラス・パネルに付着させるための一般的な材料である。ＡＣＦは、直径３〜１５μｍの分散された微細な導電的粒子と、厚さ１５〜３５μｍの接着材からなる接着皮膜である。ＡＣＦ組立て技術の限界は、隣り合うバンプ間の間隙を狭くすることによって、隣り合うバンプ間の短絡の可能性が急激に増大するという事実に起因する。隣り合う２つのバンプの側壁に接触する導電性ボールの鎖の形成では、側壁同士を短絡させることがある。ＡＣＦ組立て技術は特に、チップ・オン・ガラス（ＣＯＧ）及びチップ・オン・フォイル（ＣＯＦ）による最新の実装への応用に使用される。
【背景技術】
【０００３】
米国特許出願公開第２００２／００４８９２４号は、第１の所定領域を含む第１の側壁を有する少なくとも１つの第１の金属バンプと、第１の所定領域に隣接する第２の所定領域を備える第２の側壁を有する少なくとも１つの第２の金属バンプとを備え、少なくとも第１の所定領域が絶縁層で覆われた金属バンプを開示している。この絶縁層は、第１及び第２の金属バンプ両方の側壁全体を覆うことができる。第１の金属バンプの所定部分は、絶縁層で覆われてもよい。これにより、導電性粒子によって引き起こされる短絡を防止できる。米国特許出願公開第２００２／００４８９２４号では、側壁上の絶縁層用材料として酸化ケイ素（ＳｉＯ２）又は窒化ケイ素（Ｓｉ３Ｎ４）を使用することが開示されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
米国特許第６２３２５６３号は、複数の導電要素を含む接着材を使用して半導体装置を外部端子に接続するためのコネクタ構造に関する。このコネクタ構造は、装置基板を覆うパッドと、複数の導電要素を備えた導電性接着材を使用して外部端子のパッドに接続されたパッドを覆う導電性バンプと、導電性バンプ側面上にあり、側面を介しての短絡を防止するために導電性バンプの側面全体を実質的に覆う絶縁層とを含む。開示されたこのようなコネクタ構造の製造方法は、
ｉ．      駆動装置がその上に形成される基板上にアルミニウムなどの導電材料のパッドを形成することと、
ｉｉ．    パッドを含む基板の表面全体上に、酸化ケイ素層又は窒化ケイ素層などのパッシベーション層を形成することと、
ｉｉｉ．  パッシベーション層の一部がパッドの縁端部を覆うようにしてパッドの一部を露出させるために、パッシベーション層を選択的にエッチングすることと、
ｉｖ．    パッドの露出された部分及びパッシベーション層の上に、バリア層（例えば、ＴｉＷ／Ａｕ、Ｔｉ／ＰｔＡｕ）を堆積させることと、
ｖ．      パッド上のバリア金属の一部を露出させるために、バリア金属上にフォト・レジスト・パターンを選択的に形成することと、
ｖｉ．    フォト・レジスト・パターンを使用して電気めっきによって、バリア金属上に金（Ａｕ）のバンプを形成することと、
ｖｉｉ．  フォト・レジスト・パターンを除去することと、
ｖｉｉｉ．拡散止め部を形成するために、バリア金属を選択的にエッチングすることと、
ｉｘ．    熱処理を行うことと、
ｘ．      例えば、化学気相成長法（ＣＶＤ）、物理気相成長法（ＰＶＤ）、又は、被覆法により、バンプ、パッシベーション層及び拡散止め部の露出部分の上に、高分子層、感光性高分子層、又は、窒化ケイ素層などの絶縁層を形成することと、
ｘｉ．    絶縁層上にフォト・レジストを被覆することと、
ｘｉｉ．  バンプ上に接点領域を画定するフォト・レジスト・パターンを形成するために、フォト・レジストを選択的に除去することと、
ｘｉｉｉ．フォト・レジスト・パターンをマスクとして使用して、又は、（感光性材料の場合）光学的処理によって絶縁層をエッチングすることと、
ｘｉｖ．  バンプ電極を完成させるために、フォト・レジスト・パターンを除去することとを含む。
【０００５】
米国特許第６２３２５６３号内に提案された方法は、絶縁層が部分的にエッチングされたバンプ上に接点領域を画定するフォト・レジスト・パターンを形成するために、フォト・レジストが絶縁層上に被覆され、選択的に除去されるマスク工程を請求している。フォト・レジスト・パターンは、次いで除去される。
【０００６】
本発明の目的は、一般的には、バンプの製造法をさらに発展させることである。本発明の別の目的は、改善された方法で製造されるコネクタを提供することである。本発明のさらなる目的は、容易に作成することのできる金属バンプを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
方法について、その目的は請求項１に記載された方法によって解決される。チップのパッシベーション層及び金属パッドを覆う堆積された金属層は、絶縁層のプラズマエッチング中、エッチ・ストップとして働く。絶縁層は、分子がイオン及び電子に分裂されて反応を促進させ堆積速度を上げる、低圧のプラズマ励起ガス内で堆積される。続いて、絶縁層の所定（ＩＣ表面の水平領域）部分を除去するためのＲＩＢ（反応性イオン・エッチング）に基づく特別な方法の使用は、チップ製造のための方法を簡易化し、（ｘｉ．）絶縁層上にフォト・レジストを被覆する工程と、（ｘｉｉ．）バンプ上に接点領域を画定するフォト・レジスト・パターンを形成するためにフォト・レジストを選択的に除去する工程と、（ｘｉｖ．）バンプ電極を完成させるために、フォト・レジスト・パターンを除去する工程とを備えたマスク工程が削減されるので、コスト及び処理時間を低減するのに役立つ。
【０００８】
コネクタについて、その目的は、独立請求項２に記載されたコネクタによって解決される。低圧化学気相成長法（ＬＰＣＶＤ）は、反応速度が動力学的に制御されるプロセスであり、それは反応速度が温度に依存することを意味する。このプロセスは、ＩＣ表面トポグラフィの水平領域及び垂直壁上に均一な層厚を有する層の形成を可能にする。この絶縁層は、シラン（ＳｉＨ４）又は二塩化シラン（ＳｉＨ２Ｃｌ２）がＮＯ又はＮ２Ｏ４などの酸化剤と反応することによって形成される二酸化ケイ素（ＳｉＯ２）から形成されてよい。この反応は、約１ミリバールの気圧で４３０℃と６３３℃との間の温度範囲で起こる。Ｎ２Ｏ４との反応の活性化エネルギーは、０．９１ｅＶ／分子であり、これは８７．４ｋＪ／モルに相当する。この温度範囲は、この方法を、ガラス、アルミニウム及び種々の金属ケイ化物上にＳｉＯ２層を施すのに適したものにしている。
【０００９】
金属バンプについて、その目的は、２つの金属バンプのうち少なくとも２つの互いに対向する側壁の絶縁層が、大気圧より低い気圧でのＬＰＣＶＤプロセスによって設けられるという点で解決される。減圧は、不要な気相反応を低減し、ウェハ全体にわたる膜均一性を改善する傾向がある。
【００１０】
一実施形態によれば、絶縁層は、プラズマ堆積によって形成され、そして、異方性プラズマ・エッチャー内で部分的にエッチ・バックされた誘電体層である。異方性プラズマ・エッチャーはマスク工程を行わずにすぐに使用されてよい。
【００１１】
一実施形態によれば、絶縁層を形成する誘電材料は、ＳｉＯ２又はＳｉ３Ｎ４を含む群のうちの一部である。これらの誘電材料はＬＰＣＶＤプロセスに関し実証済みである。
【００１２】
別の実施形態によれば、金属バンプは、金（Ａｕ）又はプラチナ群の金属などの貴金属又は耐酸化材料から形成される。貴金属をバンプに使用すると、低電気抵抗を有するＡＣＦ高分子内の導電要素（又は粒子）に接触するための表面がえられる。
【００１３】
本発明のバンプは特に、チップ・オン・ガラス又はチップ・オン・フォイルによる実装への応用に使用されてよい。
【００１４】
本発明の例示的実施形態は、添付の図面を参照して詳細に説明される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１ａ〜図１ｅは、各処理工程を断面図で示す。図１ａは、チップ基板２に加えられた金属パッド１ａ、１ｂを示す。金属パッド１ａ、１ｂのいずれにも覆われていないチップ基板２の各部分上にパッシベーション層３が堆積され、金属パッド１ａ、１ｂの縁端部を覆っている。アンダー・バンプ金属層４は、パッシベーション層３、並びに、金属パッド１ａ、１ｂのうちパッシベーション層３によって覆われていない各部分を覆っている。
【００１６】
図１ｂは、フォト・レジストがバリア金属４上に被覆され、かつパッド１ａ、１ｂを覆う金属バリア４の一部を露出させるなどのためにフォト・レジスト・パターン５を形成するように選択的に除去された、次の工程を示す。
【００１７】
図１ｃは、フォト・レジスト・パターン５を使用して堆積され、バリア金属４の各露出部分上に形成されたバンプ６ａ、６ｂを示す。
【００１８】
図１ｄでは、フォト・レジスト・パターンが除去され、絶縁層７がバンプ６ａ、６ｂの上部及び側面上並びにアンダー・バンプ金属層４上に堆積されている。絶縁層７は、分子がイオン及び電子に分裂された、凝集されたプラズマ状態内で堆積される。
【００１９】
図１ｅは、反応性プラズマ・エッチングを行った後の状態を示す。側壁間に露出された金属層４の各部分は、次いで除去される。ＲＩＥプロセスの異方特性ゆえに、バンプ６ａ、６ｂの垂直壁を覆う絶縁層は残っている。金属層４の残りの各部分は、図２に示されるように、拡散止めバリア４’を形成する。
【００２０】
図２は、本発明によるコネクタ１０の断面を概略的に示す。コネクタ１０は、チップ基板２を、ガラス・パネル又はフォイルなど対向基板９に接続する。チップ基板２上の金属パッド１ａ、１ｂ、拡散止めバリア４’、バンプ６ａ、６ｂ、導電性粒子１１及び電極パッド８ａ、８ｂを介して電気的接続が起こる。２つのバンプ６ａ、６ｂの間には間隙がある。間隙が十分小さい場合、導電性粒子１１の連鎖が、バンプ６ａ、６ｂのどちらにも接触することがある。それにもかかわらず、バンプ６ａ、６ｂの側壁が絶縁層７で覆われているので、電気回路は短絡が防止される。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１ａ】一処理工程を示す断面図である。
【図１ｂ】一処理工程を示す断面図である。
【図１ｃ】一処理工程を示す断面図である。
【図１ｄ】一処理工程を示す断面図である。
【図１ｅ】一処理工程を示す断面図である。
【図２】コネクタの断面図である。
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2007531247.tif 000004
【図２】
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【国際調査報告】
2007531247.tif 000006
2007531247.tif 000007