(57)【要約】  光学材料（例えばガラス板）の複屈折（例えば、応力誘起複屈折、固有複屈折）を測定及び解析することによる光学材料の品質を判定するためのシステム及び方法が説明される。方法は、複屈折センサが第１の光学状態に設定され、次いで一定の速度でガラス板上を一方向に移動させられ、この間に第１のパワー透過率測定が高データレートでなされる、スキャン手法である。この移動の終点において、複屈折センサは第２の光学状態に設定され、次いでガラス板上を同じ速度で戻され、この間に第２のパワー透過率測定がなされる。この手順が、複屈折センサがもつ光学状態の数と同じ回数反復される。次いで、ガラス板の品質を判定するために、コンピュータがパワー透過率測定値のプロファイルを用いて複屈折値を計算する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学材料の複屈折を測定するための方法において、前記方法が、
複屈折センサを１つの光学状態に設定し、前記光学材料上を実質的に一定の速度で所定の方向に前記複屈折センサを移動させ、この間に前記光学材料上の複数の別々の位置のそれぞれにおいてパワー透過率測定値をとる工程、
前記設定する工程を所定の回数反復し、それぞれの反復において、前記複屈折センサが所定の数の光学状態の内の１つに設定され、前記光学材料上を前記実質的に一定の速度で前記所定の方向に移動させられ、この間に前記光学材料上の前記複数の別々の位置のそれぞれにおいてパワー透過率測定値をとる工程、及び
前記光学材料上の前記複数の別々の位置のそれぞれにおいて測定された前記パワー透過率測定値の組合せを用いて前記光学材料上の前記複数の別々の位置のそれぞれについての複屈折値を計算する工程、
を有してなることを特徴とする方法。
【請求項２】
前記複屈折値を解析して、前記光学材料の品質を判定する工程をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記光学材料がガラス板であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記複屈折センサが液晶可変位相遅延素子複屈折センサであることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５】
システムにおいて、
コンピュータ、
複屈折センサ、及び
前記複屈折センサを光学材料上で移動させるための装置、
を備え、
前記複屈折センサが第１の光学状態に設定され、次いで前記装置によって前記光学材料上を始点から終点まで実質的に一定の速度で所定の方向に移動させられ、この間に前記複屈折センサが前記コンピュータに送られる前記光学材料上の複数の別々の位置のそれぞれにおいて第１のパワー透過率測定値をとり、次いで前記複屈折センサが第２の光学状態に設定されて前記装置によって前記光学材料上を前記終点から前記始点まで前記実質的に一定の速度で所定の方向に移動させられ、この間に前記複屈折センサが前記コンピュータに送られる前記光学材料上の前記複数の別々の位置のそれぞれにおいて第２のパワー透過率測定値をとり、このプロセスが前記複屈折センサにともなう光学状態の数に依存する回数反復され、次いで前記プロセスが完了すると、前記コンピュータが前記光学材料上の前記複数の別々の位置のそれぞれにおいて測定された前記パワー透過率測定値の組合せを用いて前記光学材料上の前記複数の別々の位置のそれぞれについて複屈折値を計算する、
ことを特徴とするシステム。
【請求項６】
前記コンピュータが前記複屈折値を解析して前記光学材料の品質を判定することを特徴とする請求項５に記載のシステム。
【請求項７】
前記光学材料がガラス板であることを特徴とする請求項５に記載のシステム。
【請求項８】
前記複屈折センサが液晶可変位相遅延素子複屈折センサであることを特徴とする請求項５に記載のシステム。
【請求項９】
前記装置がステップモーター駆動システムであることを特徴とする請求項５に記載のシステム。
【請求項１０】
前記装置がＤＣモーター及びボールねじ駆動装置であることを特徴とする請求項５に記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【関連出願の説明】
【０００１】
本出願は、２００３年１２月１１日に出願された、米国特許出願第１０/７３３７９２号の優先権の恩典を主張する。この出願明細書の内容は本明細書に参照として含まれる。
【技術分野】
【０００２】
本発明は光学材料（例えばガラス板）における複屈折（例えば、応力誘起複屈折、固有複屈折）を測定及び解析することによって光学材料の品質を判定するためのシステム及び方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
複屈折は異方性光学材料の特性であり、この特性は、その光学材料を通って進む光の偏波方向に屈折率が依存する。例えば、光学材料を通過するときに、上下に振動している偏光は左右に振動している偏光より大きく曲げられ得る。複屈折は光学材料（例えば水晶）の物理的構造に固有であることがあり、あるいは光弾性効果による物理的応力によって光学材料（例えばガラス板）に誘起されることがあり得る。特許文献１並びに非特許文献１及び２に述べられているように、光学材料における複屈折の絶対値及び方位を精密に測定するために用いることができるよく知られた複屈折センサが数多くある。非特許文献１及び２並びに特許文献１の内容は本明細書に参照として含まれる。
【０００４】
コーニング社（Corning Inc.）は、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）ガラス板の面に垂直な光軸に沿う応力誘起複屈折を測定するために、よく知られた複屈折センサの内の１つを用いるシステムを開発した。これらの応力誘起複屈折測定は、ガラス板の品質の指標である、ガラス板内部の応力レベルを決定するために用いられる。ガラス板内の応力レベルの正確な解析を行うためには、ガラス板の周縁に沿うかガラス板面内の、複数の別々の複屈折測定が必要である。また、別々の複屈折測定値のそれぞれを得るため、システムはまず複屈折センサをガラス板上のデータ点に移動させる。システムは次いで、複屈折センサが複数の光学状態に順次設定されて、そのデータ点における単一の複屈折値の計算を可能にする複数のパワー透過率測定を行う間、複屈折センサを同じデータ点にとどまらせる。そのデータ点における複屈折値の決定後、システムは複屈折センサをガラス板上の次のデータ点に移動させる。システムは次いで、複屈折センサが複数の光学状態に順次設定されて、そのデータ点における複屈折値の計算を可能にする複数のパワー透過率測定を行う間、複屈折センサをとどまらせる。このプロセスがガラス板上のそれぞれのデータ点で反復される。
【特許文献１】米国特許第５５２１７０５号明細書，アール・オールデンバーグ（R. Oldenbourg）等，「偏光顕微鏡法（Polarized Light Microscopy）」，１９９６年５月２８日
【非特許文献１】アール・オールデンバーグ等，「精密万能補償板を備える新しい偏光顕微鏡（New polarized light microscope with precision universal compensator）」，J. Microscopy，１９９５年，第１８０巻，ｐｐ.１４０〜１４７
【非特許文献２】ビー・ウォン（B. Wang）等，「低レベル線形複屈折の絶対値及び角度をともに測定するための新しい計測器（A new instrument for measuring both the magnitude and angle of low level linear birefringence）」，Rev. Sci. Instrum.，１９９９年，第７０巻，ｐｐ.３８４７〜３８５４
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来システムには、複屈折値を計算するのに必要なガラス板上の１つのデータ点における複数のパワー透過率測定を行うには比較的長い時間がかかるという欠点がある。また、理解され得るように、多数の複屈折測定値はよりよい空間分解能を提供するが、総測定時間は複屈折測定数に比例して長くなるから、測定される複屈折値の総数と総測定時間は相反する。時間的な不利を負わずに複屈折測定の空間分解能を高めるために用いられてきた別の従来システムは、ガラス板上のより大きな領域を照射するために複屈折センサから放射される光測定ビームを拡大するためのビーム拡大光学系の使用及び電荷結合素子（ＣＣＤ）アレイのようなピクセル型検出器の使用を含む。このシステムの感度は、ＣＣＤアレイのダイナミックレンジが狭く、ビーム拡大光学系が偏波の乱れを生じさせることから、限界がある。上述した２つのシステムはガラス板の応力誘起複屈折の測定及び解析による光学材料の品質の判定を可能にすることに成功してはいるが、従来システムの上述した欠点及びその他の欠点に対処する別のシステムが提供されることが望ましいであろう。上記の要求及びその他の要求は本発明のシステム及び方法によって満たされる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は光学材料（例えばガラス板）の複屈折（例えば、応力誘起複屈折、固有複屈折）を、測定時間を実質的に長くすることなく、高められた空間分解能を維持しながら、複屈折測定のサンプリング密度を高めることができる態様で測定するシステム及び方法を含む。本方法は、複屈折センサが第１の光学状態に設定され、次いでガラス板上を一定速度で一方向に移動させられ、この間に第１のパワー透過率測定値が高データレートでとられる、スキャン手法である。この移動の終点において、複屈折センサは第２の光学状態に設定され、次いで、ガラス板上を同じ速度で戻され、この間に第２のパワー透過率測定値がとられる。この手順が複屈折センサにおける光学状態の数と同じ回数反復される。次いでコンピュータが、ガラス板の品質を判定するために、パワー透過率測定値のプロファイルを用いて複屈折値を計算する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本発明のさらに完全な理解は、添付図面とともになされる以下の詳細な説明を参照することによって得ることができる。
【０００８】
図１〜５を参照すれば、本発明にしたがう光学材料１１０（例えばガラス板１１０）の応力誘起複屈折を測定するためのシステム１００及び方法３００に関連するいくつかの図がある。光学材料１１０の応力誘起複屈折が測定される本発明のシステム１００及び方法３００が本明細書で説明されるが、本発明が応力誘起複屈折の測定に限定されず、固有複屈折の測定または、その起因にかかわらず、いかなるタイプの複屈折の測定にも用いられ得ることは当然である。
【０００９】
図１に示されるように、システム１００は、コンピュータ１０２，複屈折センサ１０４及び移動装置１０６（例えば、ステップモーター駆動システム１０６，ＤＣモーター及びボールねじ駆動装置１０６）を備える。移動装置１０６は複屈折センサ１０４をガラス板１１０上で移動させる。動作において、複屈折センサ１０４は第１の光学状態に設定され（図３の工程３０２）、次いでガラス板１１０上を始点１０８ａから終点１０８ｂまで実質的に一定の速度で所定の方向に移動装置１０６によって移動させ、この間に複屈折センサ１０４は光測定ビーム１１６を放射及び受光して、ガラス板１１０上の別々の位置１１４ａ，１１４ｂ,...,１１４ｆを含む経路１１５に沿って第１のパワー透過率測定値１１２をとる（図１及び２Ａを見よ）。第１のパワー測定値１１２はコンピュータ１０２に送られ、次いで複屈折センサ１０４は第２の光学状態に設定され、移動装置１０６によってガラス板１１０上を終点１０８ｂから始点１０８ａまで前と同じ速度で所定の方向に移動させられ、この間に複屈折センサ１０４は光測定ビーム１１６を放射及び受光して、ガラス板１１０上の別々の位置１１４ａ，１１４ｂ,...,１１４ｆを含む経路１１５に沿って第２のパワー透過率測定値１１８をとる（図１及び２Ａを見よ）。第２のパワー測定値１１８はコンピュータ１０２に送られ、次いでこのプロセスが複屈折センサ１０４にともなう光学状態の数と同じ回数反復される（図３の工程３０４）。本例においては４つの光学状態があり、よってさらに２つのパワー透過率測定値１２０及び１２２がガラス板１１０上の別々の位置１１４ａ，１１４ｂ,...,１１４ｆを含む経路１１５に沿ってとられる（図１及び２Ａを見よ）。このプロセスが完了すると、次いでコンピュータ１０２が、パワー透過率測定値１１２，１１８，１２０及び１２２（図２Ａを見よ）の組合せを用いて、ガラス板１１０上の、経路１１５に沿う、すなわち別々の位置１１４ａ，１１４ｂ,...,１１４ｆにおける、複屈折値１２４ａ，１２４ｂ,...,１２４ｆ（図２Ｂを見よ）を計算する（図３の工程３０６）。最後に、コンピュータ１０２は複屈折値１２４ａ，１２４ｂ,...,１２４ｆ（図２Ｂを見よ）を解析して、ガラス板１１０の品質を判定する（図３の工程３０８）。図２Ａ及び２Ｂに示される２つのグラフが真のデータを表しておらず、それよりもシステム１００及びスキャン法３００の動作の説明に役立たせるために与えられていることは理解されるべきである。
【００１０】
上述され、図３に示されるスキャン法３００は、従来の一点毎スキャン法に優る顕著な改善である。上述したように、１つの位置で１つの複屈折値が計算される従来のスキャン法においては、複屈折センサが１つの位置で複数のパワー透過率測定を行わなければならず、この場合、複屈折センサの光学状態のそれぞれにおいて１つの位置で１つのパワー透過率測定が行われる。複屈折センサは次いで新しい位置に移動され、新しい位置において様々な光学状態における別の一組のパワー透過率測定が、その位置での複屈折値の計算を可能にするために行われる。このプロセスがガラス板上のそれぞれの位置すなわちデータ点において反復される。この結果、従来のスキャン方法では複屈折サンプリングが非常に粗くなる。対照的に、方法３００のスキャン手法は、１つの光学状態に設定された複屈折センサ１０４がガラス板１１０上を経路１１５に沿って移動されながら、ガラス板１１０上の様々な位置１１４ａ，１１４ｂ,...,１１４ｆにおいて第１のパワー透過率測定値１１２がとられる点で異なる。このようにして、方法３００は、かなり細かい間隔のガラス板１１０上の位置１１４ａ，１１４ｂ,...,１１４ｆの関数としての第１のパワー透過率測定値１１２のプロファイルを生成する。次いで複屈折センサ１０４は、第２のパワー透過率測定値１１８をとることができるように、第２の光学状態に設定される。次いで、複屈折センサ１０４はガラス板１１０上を経路１１５に沿って戻され、この間にガラス板１１０上の１１４ａ，１１４ｂ,...,１１４ｆの関数としての第２のパワー透過率測定値１１８のプロファイルを生成する。このプロセスが、複屈折センサ１０４にともなう光学状態の数に依存してｎ回反復される。このようにすれば、ｎ番目のパワープロファイルが非常に細かいサンプリング間隔で記録される。経路１１５上のいずれの位置１１４ａ，１１４ｂ，１１４ｃ，１１４ｄ，１１４ｅ，１１４ｆ,...に対してもｎ番目のパワー透過率測定読取り値１１２，１１８，１２０,...が存在するから、これらの位置１１４ａ，１１４ｂ，１１４ｃ，１１４ｄ，１１４ｅ，１１４ｆ,...のいずれに対しても複屈折値１２４ａ，１２４ｂ，１２４ｃ，１２４ｄ，１２４ｅ，１２４ｆ,...を計算することができる。したがって、方法３００のスキャン手法の１つの利点は、従来の一点毎スキャン法に比較してより短い時間で行うことができる、かなり細かい複屈折サンプリング間隔を有することである。従来の一点毎スキャン法に比較した、方法３００のスキャン手法にともなうその他の利点には（例えば）、
・短い所要時間で大きく改善された空間分解能、
・光路調節サイクル数が大きく低減されることによる、複屈折センサ１０４の性能における高められた安定性、
・高データレートでパワー透過率測定値を得ることができる、
・測定スループットがかなり改善されることによる、測定コストの低減、
がある。
【００１１】
図４を参照すれば、システム１００に用いることができる液晶可変位相遅延素子複屈折センサ１０４のコンポーネントをかなり詳細に示す図がある。複屈折センサ１０４は、ガラス板１１０を照射し、次いでガラス板１１０の背後／下に配置されたミラー４０４から反射され、次いでガラス板１１０に戻り、ガラス板１１０を通過して汎用光パワーメータ４０６（検出器４０６）に入る、光測定ビーム４０２を放射する水銀灯４００を備える。水銀アーク灯４００と検出器４０６の間の光路には、照射側で、（単色光を供給する）干渉フィルタ４１０，（基準軸に対して０°で軸に取り付けられた）直線偏光子４１２及び一対の、それぞれの主遅軸が基準軸に対して４５°及び０°で配置された、可変液晶電気光学位相遅延素子４１４及び４１６も備えられる。ガラス板１１０の結像側でガラス板１１０と検出器４０６の間の光路には、右回り偏光検光子４１８がある。本実施形態において、可変位相遅延素子／電気光学変調器４１４及び４１６は液晶素子である。別の実施形態においては、ポッケルスセルのような、別の可変位相遅延素子／電気光学変調器を用いることができる。同様に、別の光源、例えば白熱灯またはレーザを水銀灯４００の代わりに用いることができる。また、モノクロメーター等を干渉フィルタ４１０の代わりに用いることができる。必要に応じて、レンズがガラス板１１０の直上に配置される。
【００１２】
複屈折センサ１０４は、水銀アーク灯４００でつくられた光４０２が初めに、フィルタ４１０及び直線偏光子４１２によってフィルタリングされ、挟波長帯域（例えば５４６ｎｍ）が選択されて、偏光としてこれらを通過したときに機能する。液晶可変位相遅延素子４１４及び４１６は位相遅延素子ドライバ４２０によってそれぞれに印加される電圧を変えることで相異なる光学状態に設定される。例えば、１つの光学状態において、位相遅延素子４１４は１/４波長（λ/４）板としてはたらき、位相遅延素子４１６は１/２波長（λ/２）板としてはたらく。１/４波長板として設定された場合、可変位相遅延素子４１４は、可変位相遅延素子４１４を通過する直線偏光４０２を左回り円偏光に変える。１/２波長板として設定された場合、可変位相遅延素子４１６は、可変位相遅延素子４１６を通過する左回り円偏光４０２を右回り円偏光に変える。位相遅延素子４１６からの右回り円偏光４０２がガラス板１１０上の別々の位置（例えば１１４ｄ）を照射し、ガラス板１１０のいかなる領域を透過する光も、ガラス板１１０上の透過領域におけるいずれかの線形複屈折すなわち直線２色性によって楕円偏光になる。ミラー４０４からの反射時に、楕円偏光４０２は右回りから左回りに変わる。光４０２がガラス板１１０に戻ってガラス板１１０を通過すると、さらに偏光回転を受ける。したがって、右回り円偏光検光子４１８で受け取られる像は楕円偏光４０２を含む。右回り円偏光検光子４１８を通過するガラス板１１０上の別々の位置１１４ａ，１１４ｂ,...,１１４ｆのそれぞれからの光４０２の量及び検出器４０６に入射する光４０２の強度は、光４０２の楕円率の大きさに依存する。検出器４０６に入射する光４０２でつくられる像（例えば第１のパワー透過率測定値１１２）は、比較的高速のサンプリングレートで記録される。検出器４０６からの信号はデジタル化されて、（例えば）強度／パワー透過率測定値１２２を表す整数値に変換される。この情報がコンピュータ１０２に送られる。次いで複屈折センサ１０４がガラス板１１０上を再び移動させられる前に、ガラス板１１０上の別々の位置１１４ａ，１１４ｂ,...,１１４ｆのそれぞれに入射する光４０２の光学状態すなわち楕円率及び検出器４０６に入射する光４０２の強度に変化をおこさせるため、位相遅延素子４１４及び４１６に印加される電圧が位相遅延素子ドライバ４２０によって変えられる。複屈折センサ１０４がガラス板１１０上を相異なる測定毎に左右に移動する総回数は、ガラス板１１０上の対応する位置１１４ａ，１１４ｂ,...,１１４ｆにおける複屈折値１２４ａ，１２４ｂ,...,１２４ｆのコンピュータ１０２による決定を可能にするに十分なパワー透過率測定値１１２，１１８，１２０及び１２２を得るために変えることが必要な、位相遅延素子４１４及び４１６の光学状態の数に依存する。この特定の複屈折センサ１０４のコンポーネントのいくつか及び動作に関するさらなる詳細は、別の複屈折センサに関する、非特許文献１及び特許文献１を読むことによって見いだすことができる。非特許文献１及び特許文献１の内容は本明細書に参照として含まれる。本用途に用いられるような複屈折センサ１０４は、非特許文献１の複屈折センサのような従来の複屈折センサに比較して、高められた性能を有することが理解されるはずである。
【００１３】
図５を参照すれば、図１及び４に示されるシステム１００及び液晶可変位相遅延素子複屈折センサ１０４によって測定された、実パワー透過率測定値対ガラス板１１０上の位置を示すグラフがある（図２Ａと比較されたい）。２５ｍｍの較正用スライドと２７５ｍｍのガラス板１１０を含む３７０ｍｍの経路長上の複屈折センサ１０４の自動移動の間になされた位相遅延スキャンがこのグラフに示される。
【００１４】
以下は、本発明のシステム１００及び方法３００のいくつかの利点及び用法である。
【００１５】
・本発明は、総測定時間を実質的に長くすることなく、複屈折測定データ点の数を大きく増加させることができる新しいスキャン手法を含む。
【００１６】
・本発明の新しいスキャン手法が有する、従来の個別スキャン手法に優る、１つの利点は、実質的に所要時間を長くすることなく、ガラスの応力測定に対して空間分解能を大きく高めることである。例えば、５０ｍｍ/秒の速度で移動させられ、５０Ｈｚのパワー透過率読取りデータレートを有する複屈折センサに対し、ガラス板上の２０００ｍｍプロファイル長にわたり１ｍｍのサンプリング間隔を推定１６０秒で達成することができる。同じタイプの複屈折センサを用いる従来の個別スキャン手法による同じプロファイルについては推定で８０００秒かかるであろう。この向上の１つの理由は、従来の個別スキャン手法では液晶可変位相遅延素子複屈折センサが単一測定を行うから、一対の可変位相遅延素子が４つの相異なる光学状態に設定され、それぞれの光状態についてガラス板１１０の光透過率が記録されることである。これらの位相遅延素子のそれぞれが設定される場合は必ず、ＬＣ調節を可能にするため及び安定なパワー透過率測定を行うことができるようになるまでの修正に余分な時間が必要である。これらの調節及び修正時間は別々の測定点のそれぞれで共通であり、従来の個別スキャン手法における総サンプル測定時間に大きく寄与する。
【００１７】
・本発明に用いられる複屈折センサでは、図１及び４に示されるようなガラス板の背後／下に配置されるミラーでの光反射が不要である。代わりに、光がガラス板を一回だけ透過するように、複屈折センサを構成することができる。この場合、屈折率センサはガラス板の両側に配置された複数のコンポーネントを有することになろう。
【００１８】
・本発明に用いられる複屈折センサは、スキャン手法が、ビーム経路における性能を低下させる光学系の付加の回避を可能にし、高性能検出器の使用も可能にする、非拡大光ビームを光学材料に送る。
【００１９】
・どの１つの複屈折測定も相異なる光学状態の開始及び／または検出における複数の読み値を含む、本発明のスキャン手法にはいかなる複屈折センサも用いることができる。１つの例は、非特許文献１及び特許文献１に詳述されているセンサである。そのような複屈折センサの別の１つの例は、非特許文献２に詳述されている光弾性変調素子（ＰＥＭ）複屈折センサである。
【００２０】
・上述したＬＣＤガラス板１１０は、融解プロセスは他の方法でつくられたガラス板に比較して優れた平坦性及び平滑性を表面が有するガラス板をつくるからＬＣＤに用いられるガラス板の作成に好ましい手法である、融解プロセスによってつくることができる。融解プロセスは米国特許第３３３８６９６９号及び米国特許第３６８２６０９号の各明細書に説明されており、これらの明細書の内容は本明細書に参照として含まれる。
【００２１】
本発明の一実施形態を添付図面に表し、上の詳細な説明に記述したが、開示した実施形態に本発明が限定されず、添付される特許請求の範囲に述べられ、定められるような本発明の精神を逸脱することなく、本発明に数多くの再構成、改変及び置換が可能であることは当然である。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明にしたがうガラス板の応力誘起複屈折を測定するための好ましいシステムを示すブロック図である
【図２Ａ】図１に示されるシステムにおいて複屈折センサにより測定されたガラス板上の位置に対する例示的なパワー透過率測定値を示すグラフである
【図２Ｂ】図２Ａに示されるパワー透過率測定値のプロファイルの解析により得られたガラス板上の位置に対する例示的な複屈折値を示すグラフである
【図３】本発明にしたがうガラス板の応力誘起複屈折を測定するための好ましい方法における基本工程を示すフローチャートである
【図４】図１に示されるシステムに用いることができる液晶可変位相遅延素子複屈折センサのコンポーネントをかなり詳細に示す図である
【図５】図１及び４に示されるシステム及び液晶可変位相遅延素子複屈折センサによって測定されたガラス板上の位置に対する実パワー透過率測定値を示すグラフである
【符号の説明】
【００２３】
１００    システム
１０２    コンピュータ
１０４    複屈折センサ
１０６    移動装置
１０８ａ    始点
１０８ｂ    終点
１１０    光学材料
１１４ａ，１１４ｂ，１１４ｃ，１１４ｄ，１１４ｅ，１１４ｆ    データ点
１１５    経路
１１６    光測定ビーム
【図１】
2007514164.tif 000003
【図２Ａ】
2007514164.tif 000004
【図２Ｂ】
2007514164.tif 000005
【図３】
2007514164.tif 000006
【図４】
2007514164.tif 000007
【図５】
2007514164.tif 000008
【国際調査報告】
2007514164.tif 000009
2007514164.tif 000010