(57)【要約】【課題】  マルチポジションストップ機構を提供することである。【解決手段】  互いに接触する間に移動可能な第１および第２の対象物間の複数のストップポジションを提供するためのマルチストップ機構。本発明のマルチストップ機構は、マルチストップ機構を第１の対象物および／または第２の対象物に固定するハウジングと、このハウジングに回転可能にマウントされた回転可能なシャフトと、この回転可能なシャフトに位置づけられた複数のストップとを含む。シャフトがハウジング内で回転するときに、ストップは、ハウジングに対して異なるポジションへ回転される。このように、回転可能なシャフトは、マルチストップ機構が取り付けられていない第１または第２の対象物に接触するようにストップの１つを位置づける。【選択図】
2007516621.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに接触するストップまでの間を移動可能である第１および第２の対象物間に複数のストップのポジションを提供するマルチストップ機構であって、
このマルチストップ機構を前記第１の対象物および前記第２の対象物の１つに固定するように構成されたハウジングと、
このハウジングに回転可能に取り付けられた回転可能なシャフトと、
このシャフトが前記ハウジング内で回転するときに、前記ストップが前記ハウジングに対して異なるポジションに回転されるように、前記回転可能なシャフトに位置づけされた複数のストップとを具備し、
前記回転可能なシャフトは、前記第１および第２の対象物が互いに接触するストップに移動されるときに、前記マルチストップ機構が取り付けられていない前記第１および第２の対象物の他方に、接触するストップのポジションに、前記ストップの１つを位置づけるマルチストップ機構。
【請求項２】
前記第１の対象物および前記第２の対象物の少なくとも１つは、移動可能なプレートを備えている請求項１のマルチストップ機構。
【請求項３】
前記ストップの少なくとも１つは、前記ハウジングに対して調節可能な高さを有するように構成された調整可能なストップを備えている請求項１のマルチストップ機構。
【請求項４】
前記調整可能なストップは、ネジと、排気されるネジとのうちの少なくとも１つを備えている請求項３のマルチストップ機構。
【請求項５】
前記ストップの少なくとも１つは、ピンと、排気されるピンとのうちの少なくとも１つを備えている請求項１のマルチストップ機構。
【請求項６】
前記ストップの少なくとも１つは、前記ストップの端部に固定されたエラストマを備えている請求項１のマルチストップ機構。
【請求項７】
前記回転可能なシャフトに取り付けられて、かつ前記ハウジングに対して前記シャフトの回転を容易にするように構成された軸受をさらに具備する請求項１のマルチストップ機構。
【請求項８】
前記軸受は、単式スラスト軸受である請求項７のマルチストップ機構。
【請求項９】
前記軸受は、複式スラスト軸受である請求項７のマルチストップ機構。
【請求項１０】
前記軸受は、単動式スラスト軸受と関連した予荷重軸受とである請求項７のマルチストップ機構。
【請求項１１】
前記回転可能なシャフトと、前記ハウジングとの間にブッシングインターフェースをさらに具備する請求項１のマルチストップ機構。
【請求項１２】
駆動モータと、
前記回転可能なシャフトを回転させるように構成された駆動機構とをさらに具備する請求項１のマルチストップ機構。
【請求項１３】
前記駆動機構は、プーリと、ギアとのうちの少なくとも１つを備えている請求項１２のマルチストップ機構。
【請求項１４】
前記駆動機構は、ベルトと、チェーンとのうちの少なくとも１つを備えている請求項１２のマルチストップ機構。
【請求項１５】
前記回転可能なシャフトの角度位置を位置づけるように構成された角度位置位置決め機構を更に具備する請求項１のマルチストップ機構。
【請求項１６】
前記角度位置位置決め機構は、
前記回転可能なシャフトの周囲上の回転止めと、
前記ハウジングに取り付けられ、前記回転止めに係合するように構成されたピンとを備えている請求項１５のマルチストップ機構。
【請求項１７】
前記角度位置的場所機構は、
前記回転可能なシャフトを固定する前記第１の対象物と、前記第２の対象物とのうちの前記少なくとも１つに取り付けられる取付板と、
前記回転可能なシャフトのベース内のストップポジション穴と、
前記取付板と、前記回転可能なシャフトを固定する前記第１の対象物および前記第２の対象物の前記少なくとも１つと、のうちの少なくとも１つを通るピンとを備え、
前記ピンは、前記ストップポジション穴に係合している請求項１５のマルチストップ機構。
【請求項１８】
前記角度位置位置決め機構は、
前記回転可能なシャフトを回転させるように構成された駆動モータと、
前記回転可能なシャフトの角度位置を決定するように構成されたエンコーダとを備えている請求項１５のマルチストップ機構。
【請求項１９】
互いを接触するストップまでの間を移動可能である第１および第２の対象物間の複数のストップポジションを提供するマルチストップ機構であって、
このマルチストップ機構を前記第１の対象物および前記第２の対象物の１つに固定するように構成されるハウジングと、
このハウジングに回転可能に取り付けされた回転可能なシャフトと、
このシャフトが前記ハウジング内で回転するときに、前記ストップが前記ハウジングに対して異なるポジションに回転されるように、前記回転可能なシャフトに位置づけられた複数のストップと、
前記第１および第２の対象物が互いに接触するストップに移動されるときに、前記マルチストップ機構が取り付けられていない前記第１および第２の対象物の他方に、接触するストップのポジションに、前記複数のストップの１つを位置決めする手段とを具備するマルチストップ機構。
【請求項２０】
前記第１の対象物と、前記第２の対象物とのうちの少なくとも１つは、移動可能なプレートを備えている請求項１９のマルチストップ機構。
【請求項２１】
前記ストップの少なくとも１つは、前記ハウジングに対して前記ストップの前記少なくとも１つの高さを調整する手段を備えている請求項１９のマルチストップ機構。
【請求項２２】
前記調整する手段は、ネジと、排気されるネジとのうちの少なくとも１つを備えている請求項２０のマルチストップ機構。
【請求項２３】
前記ストップの少なくとも１つは、ピンと、排気されるピンとのうちの少なくとの１つを備えている請求項１９のマルチストップ機構。
【請求項２４】
前記ストップの少なくとも１つは、前記ストップの端部に固定されたエラストマを備えている請求項１９のマルチストップ機構。
【請求項２５】
前記回転可能なシャフトに取り付けられて、かつ前記ハウジングに対して前記シャフトの回転を容易にするように構成された軸受をさらに具備する請求項１９のマルチストップ機構。
【請求項２６】
前記軸受は、単式スラスト軸受である請求項２５のマルチストップ機構。
【請求項２７】
前記軸受は、複式スラスト軸受である請求項２５のマルチストップ機構。
【請求項２８】
前記軸受は、単動式スラスト軸受と関連した予荷重軸受とである請求項２５のマルチストップ機構。
【請求項２９】
前記回転可能シャフトと、前記ハウジングとの間にブッシングインターフェースをさらに具備する請求項１９のマルチストップ機構。
【請求項３０】
選択のための前記手段は、前記回転可能なシャフトを回転する手段である請求項１９のマルチストップ機構。
【請求項３１】
位置決めのための前記手段は、前記回転可能なシャフトの角度位置を位置づけるための手段である請求項１９のマルチストップ機構。
【請求項３２】
角度位置を位置づけるための前記手段は、前記回転可能なシャフトの角度位置を決定するための手段である請求項３１のマルチストップ機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイス製造システム内部の半導体基板位置決め機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体基板の処理において、基板は、基板が異なる処理パラメータに曝される処理チャンバ内にいろいろなときに配置される。例えば、エッチング処理チャンバの中で、半導体ウェハは、例えばチャックアセンブリのような下部電極として役立つことができる半導体支持部材に配置される。上部電極アセンブリは、チャックより上に配置される。チャックアセンブリおよび上部電極アセンブリは、例えば、チャックアセンブリに配置された半導体ウェハをエッチングするように使用されるプラズマを生成する。
【０００３】
このようなエッチング処理チャンバにおいて、半導体ウェハは、上部電極アセンブリから特定の距離に置かれるべきである。そのオペレーションを達成するために、半導体ウェハがマウントされるチャックアセンブリは、上部電極アセンブリの下で所望の高さに駆動システムによって処理チャンバの中で上下に移動される。例えば、半導体処理装置のオペレータは、駆動ネジの延長を所望の延長に調整することによって、処理チャンバの中で半導体ウェハの所望の高さを設定することができる。チャックアセンブリの動きは、駆動ネジの先端端部と接触し、それにより、チャックを半導体処理チャンバ内の所望の高さに止める。周知のように、各種センサおよびフィードバックシステムは、チャックが所望の高さで半導体ウェハを支持することを確実にするように処理チャンバ内でのチャックの高さをモニタするように使用されることができる。
【０００４】
したがって、従来技術の位置決めデバイスは、複数の親ネジアセンブリまたは空気圧式アセンブリを利用しているチャックアセンブリ動作を含むことができる。この種の機構は、一般的に、半導体処理装置の中で所望の位置でチャックアセンブリを止めるために、関連したセンサおよびフィードバックデバイスとともにストップ機構を利用する。
【０００５】
米国特許番号６，３３４，３９８号にてＥａｓｏｎ  Ｊｒ．等によって記載されたような、例えば空気圧システムは、その全体の内容が引用したものとされ、図３に示すように、半導体処理装置内部で半導体支持部材を位置づけするようにストップで使用される。図３は、半導体ウェハが上部に固定されるチャック１２１を示す。チャック１２１は、次に、上部支持ブランケット１２７および下部支持ブランケット１２５を通過するように上下を移動するシリンダ１２２によって支持される。シリンダ１２２も、シリンダ１２２と共に移動するように、それに取り付けられた下部ベース１２６を含む。
【０００６】
チャック１２１が処理チャンバの中で適切な高さにあることを確実にするために、下部ベース１２６は、３本のストップネジ１２４を含む。ストップネジ１２４は、異なる高さに調整されることができる。さらに、デバイスは、ストップネジ１２４で位置合わせされ得る異なる高さで構成された停止面１３３および１３４を有する回転可能なリング１３２を含む。シリンダ１２２が上方へ移動されるときに、ストップネジ１２４は、適切な位置でシリンダ１２２を停止させるように面１３３、面１３４または下部支持ブランケット１２５の下部のいずれか一つに対して当接する。その結果、チャック１２１は、処理チャンバの中で適切な高さで止まる。半導体製造装置のオペレータは、チャック１２１が処理チャンバの中で止まる位置を調整するように、リング１３２およびまたはストップネジ１２４の位置決めを調整する。
【０００７】
図３に示されるような従来技術のチャック高さ調整システムは、異なる高さにチャックアセンブリの調整をできると共に、調整部品、例えば回転可能なリング１３２は、一般的に大きくかつ複雑であり、そして、このことにより通常、シリンダおよび関連した制御回路のような移動デバイスが正確で、かつ繰返し動作を提供することを必要とする。さらに、従来技術の調整システムの複雑さは、既存の処理チャンバにこのようなシステムを改造することを困難としている。加えて、周知の調整システムは、通常、わずかな調整位置に限られている。例えば、図３の機構は、ストップネジの与えられた設定に対して実行され得る３つの異なる高さだけを提供する。最後に、従来技術の調整システムは、一般に、繰返し接触の後で、部分をすり減らしたり、またはダメージを与え得る金属ハードストップを使用する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の１つの目的は、半導体処理デバイスの技術において、上で記載された、および／または他の問題に対処することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の別の目的は、対象物の高さが変化して支持されるのを許容する半導体処理装置のアプリケーションに適し、マルチポジションストップ機構を提供することである。
【００１０】
したがって、本発明の１つの目的は、２つの対象物間の相対的運動に対する複数のストップを提供するように、２つの対象物のロードパスに挿入されることができるマルチポジションストップ機構を提供することである。
【００１１】
本発明の別の目的は、使用中の半導体処理アプリケーションによって機能的に必要とされる多くの複数のストップポジションが可能なマルチポジションストップ機構を提供することである。
【００１２】
本発明のさらに別の目的は、マニュアルかまたはなんらかの他の方法で、オペレータによって調整され、および／または変化されることができるマルチポジションストップ機構を提供することである。
【００１３】
それでも、本発明の別の目的は、ハードまたはソフトストップのいずれかを有するマルチポジションストップ機構を提供することである。
【００１４】
したがって、これらおよび他の様々な目的は、互いに接触する間に移動可能である第１および第２の対象物間に複数のストップポジションを提供するためのマルチストップ機構を包含している本発明の少なくとも１つの典型的な実施形態において達成される。本発明のマルチストップ機構は、第１の対象物または第２の対象物、または両方にマルチストップ機構を固定するハウジングと、このハウジングに回転可能に取り付けされた（ｍｏｕｎｔｅｄ）回転可能なシャフトと、この回転可能なシャフト上に位置づけられた複数のストップを含む。軸がハウジングの中で回転されるときに、ストップは、ハウジングに対して異なるポジションに回転される。このように、回転可能なシャフトは、マルチストップ機構が取り付けられない第１または第２の対象物に接触するストップの１つに位置づける。
【００１５】
本発明の一態様において、マルチポジションストップ機構は、位置決めデバイスがその部分である半導体処理装置のさまざまな部分に対して独立して高さ調整ができ、そして、順番に、半導体処理装置の１つの部分から別の部分に対して半導体ウェハの動き調整、ポジション制御、または両方を提供する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図面を参照すると、図１Ａは、半導体処理システムで利用される本発明の１つの実施形態に係る、マルチポジションストップ機構の図を記載する。機械式または電気機械式の装置の他方式は、半導体処理システムと同様に、本発明のマルチポジションストップ機構を利用することができる。
【００１７】
圧縮空気作用で作動された半導体処理チャンバに使用されるときの本発明を図１Ａに示すと共に、技術の当業者は、本発明が、例えば図１Ａに示される半導体チャック装置の部分１２５と部分１２６との間の動きのような互いに対して何らかの方法で、装置の２つの離れた部分またはアセンブリが、移動する状況において利用されることになることを理解する。本発明の一般的な実行は、互いに接触するストップまでの間を移動する移動可能なプレートの間の異なるストップ距離を提供することである。この点に関しては、本発明は、対象物に対して接触してストップすることを提供するように、２つの対象物（例えばプレート）の間に配置される。したがって、対象物間の相対的運動１３５を止める対象物間の接触ストップは、それ自身対象物によって必ずしも提供されるというわけではない。このような運動の実施例は、線形運動、円形運動、または他の定められた方向であり得る。例えば部分１２５のような１つの部材は、静的であると考えられることができ、他の部材は、例えば部分１２６のような、動的であると考えられることができる。本発明のマルチポジションストップ機構１０は、静的部材か動的部材のいずれか一方に固定されることができるか、またはストップを部分間の相対運動に提供するように、両方の部材に固定されることができる。
【００１８】
図１Ｂは、本発明の１つの実施形態に係るマルチポジションストップ機構１０の平面図を記載する。この図に示すように、マルチポジションストップ機構１０は、外側のハウジング２２を取付板２０に固定する取付ハードウェア２４を経由して、取付板２０に取付られる。上記のように、取付板２０は、マルチポジションストップ機構１０を静止または可動部分のいずれか一方に固定する。機構１０は、外側のハウジング２２に対して回転する取付シャフト１６を含む。取付シャフト１６は、異なる高さに好ましくは調整され、かつ異なるストップポジションにストップ１４を入れるためのシャフト１６と共に回転することができる調整可能なストップ１４を包含する。取付シャフト１６が異なるストップポジションに調整可能なストップ１４を配置するためにどのように回転されるかという詳細は、下記の図２Ａ〜図２Ｅに関して更に議論される。
【００１９】
実例として図１Ｂに示すように、図１Ｂに示されるマルチポジションストップ機構１０は、この例で判るように６つのポジションの場合に許容される６つの調整可能なストップ１４を包含する。本発明のストップポジションの数は、６つに限られるものではないが、システムハードウェアの機能要求（ｆｕｎｃｔｉｏｎａｌ  ｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｓ）に依って、多くのポジションであってもよい。円形パターンに位置づけられるとき、調整可能なストップ１４は、実例として図１Ｂに示される。しかしながら、調整可能なストップの配置は、円形パターン上の配置に制限されるものではなく、要求されるいかなるパターンにおいても位置づけられることができる。更に、各々のストップのポジションは、システムハードウェアの機能要求、例えば半導体処理装置の機能要求によって決定される。
【００２０】
図２Ａには、単式スラスト軸受１８を使用する本発明のマルチポジションストップ機構の１つの実施形態の断面図を記載する。本発明の１つの実施例のスラスト軸受１８は、例えば拘束している外側のハウジング２２を使用して、示すされているように例えば取付ハードウェア２４を使用して取付板２０に固定される。取付板２０は、システムハードウェア自体の部分であり得るか（例えば半導体処理システムのチャック上の部分）、またはシステムハードウェアにマウントするアダプタであり得る。図２Ａに説明図として示されるように、ストップ取付シャフト１６は、スラスト軸受１８に嵌合し、標準の六角−ボルトとしてここで示される調整可能なストップ１４をマウントするための例えばストップ取付シャフト１６のボディのねじ穴（図示せず）を提供する。所望のポジションに調整されるときに、六角ナット２６は調整可能なストップ１４をロックするために含まれる。各々の調整可能なストップは、この方法によってポジションに固定される。調整可能なストップは、実施例として、半導体処理においてしばしば使用される真空環境により両立することができるように、排気されることができるネジまたはピンを含むことができる。
【００２１】
したがって、ストップ取付シャフト１６は、例えば回転によって、デバイス上の異なるストップ高さを容易に実現することができる。ストップ取付シャフト１６が回転するとき、例えば手動の回転によって、各々異なるストップ高さポジションにアクセスするように、スプリングプランジャ２８は、適所にあるストップ取付シャフト１６を保持するために回転止めの働きをすることができる。回転止め上のスプリング力は、代わりのストップポジションにストップ取付シャフト１６を回転させるために、乗り越えられることができる。
【００２２】
一旦所望のポジションにおいて位置づけられると、調整可能なストップ１４の１つが、その嵌合表面に接触し、その衝突の負荷は、全体のアセンブリを介して取付板に伝えられる。調整可能なストップ１４の１つは、上部ヘッド部（すなわち、先導部分）に固定されるエラストマを有することができる。調整可能なストップ１４がこのように構成されるときに、調整可能なストップ１４は柔らかいストップになる。エラストマのないストップは、したがって、ハードストップとなり、ここに定義される。柔らかいストップの使用は、衝突力によって生じるであろう、接触面への摩耗またはダメージを防ぐことができるかまたは低下させることができる。多くの調整可能なストップ１４は、したがって、ストップ取付シャフト１６上の複数の柔らかいおよび硬いストップの両方を提供するエラストマを含むことができる。更に、本発明の多くのマルチポジションストップ機構は、いかなる２つの移動部材の間でも利用されることができる。
【００２３】
したがって、本発明は、比較的小さく、かつ単純なマルチポジションストップ機構を、特に４つまたはより少ないストップが用いられるところに、提供する。これは、本発明が複数のストップをいくつかの関連した動きのために利用することを許容し、既存のプラズマ処理システムまたは他の機構に本発明を組み込む能力を提供する。加えて、本発明は、対でまたは複数で、アプリケーションに依存して、それぞれ使用されることができる。さらに、本発明は、他のシステムハードウェアに対して、容易に、正確に、繰り返し可能にストップを位置づける能力を提供する特定の構成において、半導体ウェハを保持する指標付けストップ（ｉｎｄｅｘｉｎｇ  ｓｔｏｐｓ）で構成されることができる。またさらに、本発明のマルチポジションストップ機構は、マニュアルで、または補助駆動機構を介して本発明を調整する能力を提供する。
【００２４】
また更に、本発明のマルチポジションストップ機構が、駆動機構のいかなるタイプでも用いられることができるが、特に、プラズマ処理システムに使われるチャックアセンブリを駆動する空気圧式駆動システムで有効である。本発明のマルチポジションストップ機構は、プラズマプロセスツールの種々の位置において、またはポジションを指標付けすることを必要とする移動機構を使用する他のいかなるシステムにおいて、単一または二重のストップポジションを提供する複数のストップポジションを提供することができる。例えば、本発明の位置決めデバイス（すなわちマルチポジションストップ機構）を実施するために、嵌合形態は、明らかとなる特定のマルチポジションストップポジションを許容するように（例えば、嵌合形態は、図３の部分１２５の反対側で、部分１２６上に提供される）、マルチポジションストップ機構が取り付けられるところの反対側の個々の部分上に提供されることができる。
【００２５】
図２Ｂは、複式スラスト軸受３０を使用する本発明のマルチポジションストップ機構の別の実施形態の断面図を記載するものである。上記で開示された単式スラスト軸受のように複式スラスト軸受は、外側のハウジング２２のストップ取付シャフト１６を回転可能に支持する。重力に対して、複式スラスト軸受３０は、いかなる方向においてもデバイスの取付を可能とする。シム３２（ｓｈｉｍｓ  ３２）で提供される軸受リテーナプレート３４は、ストップ取付シャフト１６に複式スラスト軸受３０を支持する。
【００２６】
図２Ｃは、単動式スラスト軸受１８（ｓｉｎｇｌｅ  ａｃｔｉｎｇ  ｔｈｒｕｓｔ  ｂｅａｒｉｎｇ  １８）および関連した予荷重軸受３６（ｐｒｅｌｏａｄ  ｂｅａｒｉｎｇ  ３６）を用いた本発明のマルチポジションストップ機構の別の実施形態の断面図を記載する。これらの２つの軸受１８および軸受け３６は、図２Ｂに記載された複式スラスト軸受３０のように、同様の機能を実行する構成を表す。シム３２で提供される軸受リテーナプレート３４は、ストップ取付シャフト１６に予荷重軸受３６を支持する。
【００２７】
図２Ｄは、ストップ取付シャフト１６を回転させるように駆動モータ４６および関連したウォームギヤ４２を含む本発明の別の実施形態マルチポジションストップ機構の断面図を記載する。本実施例において、選ばれるストップは、マニュアルでは選択されない。むしろ、本実施例において、ストップ取付シャフト１６は、駆動モータ４６（取付板２０に駆動モータ４６を組み合わせる取付ブラケット４７によって）、および関連したウォーム４０およびウォームギヤ４２によって回転する。デバイスモーター／回転計／エンコーダ４４は、ストップ１４のどれがストップ取付シャフト１６に係合しているかについて探知するように、好ましい実施態様において利用される。
【００２８】
図２Ｅは、ストップ取付シャフト１６を回転させる駆動モータ、ドライブプーリ（ここでは図示せず）、またはギア４８、および関連した駆動ベルト４９、またはチェーンを使用する本発明のマルチポジションストップ機構の別の実施形態の断面図を記載する。この実施形態は、駆動モータ、ドライブプーリ、またはギア、および関連した駆動ベルトまたはチェーンを使用して同時に全てが回転するいくつかのマルチポジションストップ機構を利用することができる。
【００２９】
図２Ｆは、例えばストップ取付シャフト１６と、外側のハウジングとの間のような、可動部間のブッシングタイプインターフェース６０を使用する本発明のマルチポジションストップ機構の別の実施形態の断面図を記載する。ブッシング形態は、外側のハウジング２２およびストップ取付シャフト１６の円筒状嵌合形態によって形成される。例えばスプリングプランジャ２８のような回転止め（ｄｅｔｅｎｔ）機構は、所望の角度位置でストップ取付シャフト１６の回転を止めるために利用されることができる。ポジションの回転および選択は、マニュアルで、または自動的にされることができる。
【００３０】
図２Ｇは、ストップ取付シャフト１６のベース上のストップポジション穴５２に係合しているストップポジションピン５０を使用する本発明のマルチポジションストップ機構の別の実施形態の断面図を記載する。この場合、ストップ取付シャフトが所望のストップポジションに回転するように、ストップポジションは、選ばれ、そしてストップポジション穴５２に係合しているストップポジションピン５０で固定される。ポジションの回転および選択は、マニュアルで、または自動的にされることができる。
【００３１】
本発明の多数の修正および変更は、上記の教示を考慮して可能である。従って、添付の請求の範囲内であり、ここに特に記載されているより、本発明がそれ以外においても実施されることができることは、理解されるものである。
【００３２】
添付の図面と共に考えながら上記の詳細な説明を参照することにより、本発明のより完全な理解およびそれの多数の効果は、容易に得られ、同様により十分に理解される。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１Ａ】本発明に係るマルチポジションストップ機構を有する圧縮空気作用で作動された半導体チャックアセンブリを記載する図である。
【図１Ｂ】本発明のマルチポジションストップ機構の平面図を記載する図である。
【図２Ａ】単式スラスト軸受（ｓｉｎｇｌｅ  ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ  ｔｈｒｕｓｔ  ｂｅａｒｉｎｇ）を使用する本発明のマルチポジションストップ機構の１つの実施形態の横断面図を記載する図である。
【図２Ｂ】複式スラスト軸受（ｄｏｕｂｌｅ  ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ  ｔｈｒｕｓｔ  ｂｅａｒｉｎｇ）を使用する本発明のマルチポジションストップ機構の別の実施形態の断面図を記載する図である。
【図２Ｃ】単動式スラストベアリングおよび関連した予荷重軸受を使用する本発明のマルチポジションストップ機構の別の実施形態の断面図を記載する図である。
【図２Ｄ】マルチポジションストップ機構の軸を回転させるように駆動モータおよび関連したウォームギヤを含む本発明のマルチポジションストップ機構の別の実施形態の断面図を記載する図である。
【図２Ｅ】マルチポジションストップ機構の軸を回転させるように、駆動モータ、ドライブプーリまたはギア、および関連した駆動ベルトまたはチェーンを使用する本発明マルチポジションストップ機構の別の実施形態の断面図を記載する図である。
【図２Ｆ】マルチポジションストップ機構の可動部間のブッシングタイプインターフェースを使用する本発明のマルチポジションストップ機構の別の実施形態の断面図を記載する図である。
【図２Ｇ】マルチポジションストップ機構の軸上のストップポジション穴に係合するストップポジションピンを使用する本発明のマルチポジションストップ機構の別の実施形態の断面図を記載する図である。
【図３】圧縮空気作用で作動された半導体チャックアセンブリを記載する図である。
【図１Ａ】
2007516621.tif 000003
【図１Ｂ】
2007516621.tif 000004
【図２Ａ】
2007516621.tif 000005
【図２Ｂ】
2007516621.tif 000006
【図２Ｃ】
2007516621.tif 000007
【図２Ｄ】
2007516621.tif 000008
【図２Ｅ】
2007516621.tif 000009
【図２Ｆ】
2007516621.tif 000010
【図２Ｇ】
2007516621.tif 000011
【図３】
2007516621.tif 000012
【国際調査報告】
2007516621.tif 000013