(57)【要約】  複数の露光領域（２）を有し、露光領域（２）の各々がＩＣを配置された複数の格子領域（３）を有するウエハ（１）において、ダイシング経路（６，８）の２つのグループ（５，７）が設けられ、２つの制御モジュール領域（Ａ１、Ａ２、Ｂ１、Ｂ２、Ｃ１、Ｄ１、Ｄ２、Ｅ１、Ｅ２、Ｆ１）が各露光領域（２）に割り当てられ、前記制御モジュール領域の各々が、第１の方向（Ｘ）に平行に延在し、少なくとも１つの光学制御モジュール（ＯＣＭ−Ａ１、ＯＣＭ−Ａ２、ＯＣＭ−Ｂ１、ＯＣＭ−Ｂ２、ＯＣＭ−Ｃ１、ＯＣＭ−Ｄ１、ＯＣＭ−Ｄ２、ＯＣＭ−Ｅ１、ＯＣＭ−Ｅ２、ＯＣＭ−Ｆ１）を含み、各露光領域（２）の第１の制御モジュール領域（ＯＣＭ−Ａ１、ＯＣＭ−Ｂ１、ＯＣＭ−Ｃ１、ＯＣＭ−Ｄ１、ＯＣＭ−Ｅ１、ＯＣＭ−Ｆ１）は、第１の縁（Ｒ１、Ｓ１、Ｔ１、Ｕ１、Ｖ１、Ｚ１）と、当該露光領域（２）の格子領域（３）の行との間に配置され、第２の制御モジュール領域（ＯＣＭ−Ａ２、ＯＣＭ−Ｂ２、ＯＣＭ−Ｄ２、ＯＣＭ−Ｅ２）が、第２の縁（Ｒ２、Ｓ１、Ｕ２、Ｖ２）に隣接して配置された当該露光領域（２）の格子領域（３）の２つの行の間に配置され、第１の制御モジュール領域（ＯＣＭ−Ａ１、ＯＣＭ−Ｂ１、ＯＣＭ−Ｃ１、ＯＣＭ−Ｄ１、ＯＣＭ−Ｅ１、ＯＣＭ−Ｆ１）及び、第２の制御モジュール領域（ＯＣＭ−Ａ２、ＯＣＭ−Ｂ２、ＯＣＭ−Ｄ２、ＯＣＭ−Ｅ２）の両方が、第１のダイシング経路（６）内にそれぞれ位置する。
2007516618.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハにおいて、前記ウエハが複数の露光領域を有し、前記ウエハが各々の前記露光領域において複数の交差する格子状のダイシング経路セクション及び複数の格子領域を有し、各々の前記格子領域がＩＣを含み、前記ウエハが、第１のダイシング経路の第１のグループ及び第２のダイシング経路の第２のグループを有し、前記第１のグループの全ての前記第１のダイシング経路が第１の方向に平行し、第１の経路幅を持ち、前記第２のグループの全ての前記第２のダイシング経路が前記第１の方向に交差する第２の方向に平行し、第２の経路幅を持ち、前記第１のダイシング経路が前記第１の方向に互いに連続して配置された複数の第１のダイシング経路セクションからなり、前記第２のダイシング経路が前記第２の方向に互いに連続して配置された複数の第２のダイシング経路セクションからなり、前記第１のダイシング経路及び前記第２のダイシング経路が前記格子領域及び前記格子領域に含まれる前記ＩＣの後の分離のために設けられ、設計され、各々の前記露光領域が前記第１の方向に平行に延在する第１の縁と、前記第１の方向に平行に延在し、かつ前記第１の縁の反対に位置する第２の縁とを持ち、少なくとも２つの制御モジュール領域が各々の前記露光領域に割り当てられ、前記制御モジュール領域の各々が少なくとも１つの光学制御モジュールを含み、各々の前記露光領域の第１の制御モジュール領域が当該露光領域の前記第１の縁に直接隣接し、前記第１の縁と、１つの前記第１のダイシング経路セクション、したがって１つの前記第１のダイシング経路において前記第１の方向に平行に延在する格子領域の行との間に位置し、各露光領域の第２の制御モジュール領域が、前記第１の方向に平行に延在し、互いに隣接して配置された前記格子領域の２つの行の間に前記第２の縁から所定の距離を隔てて位置し、したがって同様に１つの前記第１のダイシング経路内に位値する、ウエハ。
【請求項２】
各々の前記露光領域の前記第２の制御モジュール領域が前記格子領域の行に直接隣接し、前記格子領域の行が当該露光領域の前記第２の縁に直接隣接する、請求項１に記載のウエハ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハであって、前記ウエハが複数の露光領域（exposure fields）を有し、前記ウエハが各露光領域において複数の交差する格子状ダイシング（dicing）経路セクション及び複数の格子グリッドを有し、各格子領域がＩＣを含み、前記ウエハが第１のダイシング経路の第１のグループ及び第２のダイシング経路の第２のグループを有し、前記第１のグループの全ての前記第１のダイシング経路が第１の方向に平行し、第１の経路幅を持ち、前記第２のグループの全ての前記第２のダイシング経路が前記第１の方向と交差する第２の方向に平行し、第２の経路幅を持ち、前記第１のダイシング経路が前記第１の方向に互いに連続して配置された複数の第１のダイシング経路セクションからなり、前記第２のダイシング経路が前記第２の方向に互いに連続して配置された複数の第２のダイシング経路セクションからなり、前記第１のダイシング経路及び前記第２のダイシング経路が前記格子領域及び前記格子領域に含まれる前記ＩＣの後の分離（subsequent segregation）のために設けられ且つ設計され、各露光領域が前記第１の方向に平行に延在する第１の縁と、前記第１の方向に平行に延在し、前記第１の縁の反対に位置する第２の縁とを持ち、少なくとも２つの制御モジュール領域が各露光領域に割り当てられ、前記制御モジュール領域の各々が少なくとも１つの光学制御モジュールを含む前記ウエハに関する。
【背景技術】
【０００２】
第１の段落に記載された設計によるこのようなウエハは、例えば米国特許明細書ＵＳ６１１４０７２Ａから既知であり、図２１を参照して記載された設計は、特定の注目に値する。前記既知のウエハは、各露光領域の第１の制御モジュール領域が当該露光領域の第１の縁に直接隣接し、各露光領域の第２の制御モジュール領域が当該露光領域の第２の縁に直接隣接するように設計される。各制御モジュール領域は、第１のダイシング経路の半分に位置する。この設計の結果として、２つの当該露光領域の第１の制御モジュール領域及び第２の制御モジュール領域は、２つの露光領域の格子領域の２つの行の間に位置し、前記２つの行は、前記第２の方向において互いに直接隣接して配置され、この結果、前記第２の方向において直接隣接して配置された２つの露光領域の格子領域の２つの行の間の前記第２の方向に延在する距離は、制御モジュール領域の幅の２倍の値により決定される。２つのこのような第１の制御モジュール領域が、前記第２の方向において互いに直接隣接して配置された２つの露光領域の格子領域の２つの行の間に位置するという事実、及び各制御モジュール領域が、第１のダイシング経路の半分及び２つの隣接した制御モジュール領域にあり、したがって第１のダイシング経路全体の幅を決定し、前記ウエハの製造及び前記ＩＣの製造において必要とされるステッパステップ（stepper steps）が試験、ダイシング及びアセンブリ段階において正確に完了される場合に、前記第１の方向に平行する各露光領域内の前記格子領域の間の前記第１のダイシング経路を含むウエハの全ての平行なダイシング経路が等しい幅を持たなくてはならないという事実のため、各露光領域の前記ＩＣ間にある前記第１のダイシング経路も、前記制御モジュール領域の２倍の幅を持たなくてはならない。結果として、ウエハ表面の大きな部分が、不所望な廃棄を構成する全てのダイシング経路の全体に対して必要とされる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明の目的は、上述の事実を取り除き、改良されたウエハを開発することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この目的を達成するために、本発明によるフィーチャが本発明によるウエハに備えられ、この結果、本発明によるウエハは、以下のように特徴付けられることができる。
【０００５】
ウエハは、複数の露光領域を有し、前記ウエハは、各露光領域において複数の交差する格子状のダイシング経路セクション及び複数の格子グリッドを有し、各格子領域はＩＣを含み、前記ウエハは、第１のダイシング経路の第１のグループ及び第２のダイシング経路の第２のグループを有し、前記第１のグループの全ての前記第１のダイシング経路は、第１の方向に平行し、第１の経路幅を持ち、前記第２のグループの全ての前記第２のダイシング経路は、前記第１の方向と交差する第２の方向に平行し、第２の経路幅を持ち、前記第１のダイシング経路は、前記第１の方向に互いに連続して配置された複数の第１のダイシング経路セクションからなり、前記第２のダイシング経路は、前記第２の方向に互いに連続して配置された複数の第２のダイシング経路セクションからなり、前記第１のダイシング経路及び前記第２のダイシング経路は、前記格子領域及び前記格子領域に含まれる前記ＩＣの後の分離のために設けられ、設計され、各露光領域は、前記第１の方向に平行に延在する第１の縁と、前記第１の方向に平行に延在し、前記第１の縁の反対に位置する第２の縁とを持ち、少なくとも２つの制御モジュール領域が各露光領域に対して割り当てられ、前記制御モジュール領域の各々は、少なくとも１つの光学制御モジュールを含み、各露光領域の第１の制御モジュール領域は、当該露光領域の前記第１の縁に直接隣接し、第１のダイシング経路セクション内、したがって前記第１の方向に平行に位置する格子領域の行と前記第１の縁との間の第１のダイシング経路内に位置し、各露光領域の第２の制御モジュール領域は、前記第１の方向に平行に延在し、かつ互いに隣接して配置された格子領域の２つの行の間に前記第２の縁から所定の距離を隔てて位置し、したがって同様に第１のダイシング経路内に位置する。
【０００６】
本発明によるフィーチャを備えることにより、第１の制御モジュール領域である１つの制御モジュール領域のみが、前記第２の方向において互いに直接隣接して配置された格子領域の２つの行の間に位置し、前記制御モジュール領域が第１のダイシング経路内に位置し、この結果、２つの露光領域の格子領域の２つの行の間の前記第２の方向に延在する距離が、このような制御モジュール領域の幅によってのみ決定されることは、単純な形で追加のコストをかけずに達成されることができる。結果として、各露光領域内の隣接する格子領域の間に設けられた前記ダイシング経路の幅は、このような制御モジュール領域の幅のみにより、即ち第１のダイシング経路の単一の幅により便宜上同様に決定され、この結果、本発明によるウエハの表面積は、従来技術によるウエハのものより大幅に良く使用されることができる。従来技術によるウエハにおいて、前記格子領域間を走る前記第１のダイシング経路の幅及び前記制御モジュール領域の幅は、９０μｍないし１２０μｍであると知られているのに対し、本発明によるウエハにおいて、−使用されるウエハ製造技術及びウエハ処理技術に依存して−前記第１のダイシング経路の幅及び前記制御モジュール領域の幅は、それぞれ８０μｍと２０μｍ又は１５μｍ又は１０μｍとの間の値に減少され、又は減少されることができ、ここで特に薄いダイシングブレードが、８０μｍないし５０μｍの幅に対して使用され、非常に小さな幅は、いわゆるレーザダイサ（laser dicer）が、前記格子領域又はＩＣの後の分離に対して使用されるという前提条件に従い、ここで所謂“赤色レーザ”又は“青色レーザ”が使用される。“ステルスダイシング（stealth dicing）”及び“スクライブ＆ブレイクダイシング（scribe & break dicing）”という名で専門家の間で知られる技術も使用されることができる。各露光領域が好ましくは長方形又は正方形の形状を持つが、しかしながら、代わりにダイヤモンド形又は三角形の形状を持つことができることは、更に述べられることができる。
【０００７】
本発明によるウエハにおいて、各露光領域の第２の制御モジュール領域は、当該露光領域の中心の領域に位置することができる。各露光領域の前記第２の制御モジュール領域が前記格子領域の行に直接隣接し、前記格子領域の行が当該露光領域の前記第２の縁に直接隣接する場合に特に有利であることが見いだされている。このように、前記第１の制御モジュール領域と前記第２の制御モジュール領域との間で最大距離が保証され、これは、前記光学制御モジュールを使用しながら実行可能又は実行される処理ステップの高度に正確な実行に関して有利である。
【０００８】
ウエハが、約２．０ないし１０．０ｍｍ×２．０ないし１０．０ｍｍ、即ち約４．０ないし１００．０ｍｍ2のＩＣ表面積を持つＩＣの実装のために設けられ、使用される場合に、本発明による方策の使用が最も有用であるとわかっていることが最後に述べられるべきである。前記露光領域が約２１．０ｍｍ×２１．０ｍｍのサイズである場合、及び約３２０ないし１２８０００のＩＣ（チップ）が前記ウエハに実装され、これの直径が例えば８．０インチの場合にＩＣに対して約３２０００ｍｍ2の使用可能面積になる場合に更に有用である。本発明による方策は、しかしながら、４．０、５．０、６．０及び１２．０インチの直径を持つウエハにおいても使用されることができる。
【０００９】
本発明のこれら及び他の態様は、以下に記載される実施例を参照して説明され、明らかになる。
【００１０】
本発明は、図面に示された実施例を参照して以下に更に記載されるが、しかしながら本発明はこの実施例に限定されない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１は、ウエハ１を示す。ウエハ１は、既知の様式で半導体特性を持つ。ウエハ１はシリコンに基づいている。ウエハ１は、しかしながら、代わりに前記ウエハの助けで所謂ポリマＩＣを得るようにポリマに基づくこともできる。
【００１２】
ウエハ１は、複数の露光領域２を有する。図１において、露光領域２は、前記露光領域が含む構成要素無しで示される。図２は、破線により２つの完全な露光領域２のみを示す。図２が示すように、ウエハ１は、各露光領域２内に複数の交差する格子状のダイシング経路セクション６Ａ、６Ｂ、６Ｃ、８Ａ、８Ｂ、８Ｃ及び８Ｄを持つ。ウエハ１は、ダイシング経路セクション６Ａ、６Ｂ、６Ｃ、８Ａ、８Ｂ、８Ｃ及び８Ｄの間に複数の格子領域３を更に有し、各格子領域３は１つのＩＣ４を含む。各ＩＣ４は、長い間知られているように複数のＩＣ部品を含む。前記ＩＣ部品は、図１及び２に示されていない。各ＩＣ４の小さな領域は、ＩＣ部品を含まない。
【００１３】
ウエハ１は、第１のダイシング経路６の第１のグループ５及び第２のダイシング経路８の第２のグループ７を有する。第１のグループ５の全ての第１のダイシング経路６は、図１において鎖線により示される第１の方向Ｘに平行する。第２のグループ７の全ての第２のダイシング経路８は、第１の方向Ｘと交差し、同様に図１において鎖線により示される第２の方向Ｙに平行する。ウエハ１において、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙは直角に交差する。しかしながら、これは絶対に必要なのではなく、２つの方向Ｘ及びＹは、９０°以外の角度、例えば８５°、８０°、７５°又は７０°の角度で交差することができる。全ての第１のダイシング経路６は、第１の経路幅Ｗ１を持つ。全ての第２のダイシング経路８は、第２の経路幅Ｗ２を持つ。ウエハ１において、２つの経路幅Ｗ１及びＷ２は異なり、第１の経路幅Ｗ１は第２の経路幅Ｗ２より小さい。これは、しかしながら、絶対に必要なのではなく、２つの経路幅Ｗ１及びＷ２は等しくてもよく、通常はこれが好ましい。第２の経路幅Ｗ２より大きな第１の経路幅Ｗ１を選択することも可能である。第１のダイシング経路６は、第１の方向Ｘにおいて連続的に配置された幾つかの第１のダイシング経路セクション６Ａ、６Ｂ及び６Ｃを有するのに対し、第２のダイシング経路８は、第２の方向Ｙにおいて連続的に配置された幾つかの第２のダイシング経路セクション８Ａ、８Ｂ、８Ｃ及び８Ｄを有する。第１のダイシング経路６及び第２のダイシング経路８は、格子領域３、及び格子領域３に含まれる前記ＩＣの後の分離のために設けられ、設計される。
【００１４】
前記ダイシング経路に関して、前記第１のダイシング経路及び前記第２のダイシング経路が９０°以外の角度で交差するウエハにおいて、第３のダイシング経路の第３のグループが設けられることができ、結果として三角形の格子領域及び三角形のＩＣを持つウエハを生じることができることは、ここで述べられるべきである。この場合、設計は、３つのグループのダイシング経路が６０°の角度で交差するように選択されることができ、前記格子領域及び前記ＩＣに正三角形の平面の形状を与える。これは、しかしながら、他の角度の関係、したがって他の三角形の形状が同様に可能であるので、必須ではない。前記第１、第２及び第３のダイシング経路は、等しい又は異なる経路幅を持つことができる。
【００１５】
各露光領域２は、第１の方向Ｘに平行に延在する第１の縁Ｒ１、Ｓ１、Ｔ１、Ｕ１、Ｖ１、Ｚ１と、第２の方向Ｙに平行に延在し、第１の縁Ｒ１、Ｓ１、Ｔ１、Ｕ１、Ｖ１、Ｚ１の反対に位置する第２の縁Ｒ２、Ｓ２、Ｕ２、Ｖ２とを持つ。観察される露光領域２の第１の縁と、前記第２の方向において前記観察される露光領域２に直接隣接して配置された露光領域２の第２の縁は、仮想的に一致する。図２における下側の縁、即ち前記第２の縁と、図２における各露光領域の右側の縁とは、露光領域２の下側及び右側の縁に隣接する格子領域３の下側及び右側の縁と一致するが、高レベルの明確性のため、これらの一致する縁は、図２において別々に破線及び鎖線を使用して示されている。
【００１６】
ウエハ１は、制御モジュール領域を有し、前記制御モジュール領域の各々は、光学制御モジュールを含む。このようなウエハに対する光学制御モジュールの提供は、以前から知られている。これらの光学制御モジュールは、サイズに依存して、肉眼又はコンピュータ補助検出装置のいずれかにより検出可能であり、マスク調整及び層厚試験に使用される正方形又は長方形の干渉領域を含む。図１によるウエハ１において前記制御モジュール領域及び前記制御モジュール領域に含まれる前記光学制御モジュールの設計は、図２を参照して以下により詳細に記載される。
【００１７】
図１及び２によるウエハ１において、２つの制御モジュール領域Ａ１、Ａ２、Ｂ１、Ｂ２、Ｃ１、Ｄ１、Ｄ２、Ｅ１、Ｅ２、Ｆ１が、各露光領域２に割り当てられる。制御モジュール領域Ａ１、Ａ２、Ｂ１、Ｂ２、Ｃ１、Ｄ１、Ｄ２、Ｅ１、Ｅ２、Ｆ１の各々は、第１の方向Ｘに平行し、したがって第１のダイシング経路６に平行する。制御モジュール領域Ａ１、Ａ２、Ｂ１、Ｂ２、Ｃ１、Ｄ１、Ｄ２、Ｅ１、Ｅ２、Ｆ１の各々は、光学制御モジュールを含む。制御モジュール部品が各処理ステップにおいて実装され、この結果、最後の処理ステップにおいて実装された光学制御モジュールの少なくとも１つの制御モジュール部品が、ウエハ１の外側から見ることができ、又はコンピュータベースの検出装置によって検出可能であり、前記最後の処理ステップの前に実行された処理ステップにおいて実装された制御モジュールの制御モジュール部品が前記ウエハの外側から見ることができない又は検出可能ではないので、このタイプの光学制御モジュールは既知の３次元構造を持つ。図２において、制御モジュール領域Ａ１、Ａ２、Ｂ１、Ｂ２、Ｃ１、Ｄ１、Ｄ２、Ｅ１、Ｅ２、Ｆ１内の前記制御モジュールは、参照番号ＯＣＭ−Ａ１、ＯＣＭ−Ａ２、ＯＣＭ−Ｂ１、ＯＣＭ−Ｂ２、ＯＣＭ−Ｃ１、ＯＣＭ−Ｄ１、ＯＣＭ−Ｄ２、ＯＣＭ−Ｅ１、ＯＣＭ−Ｅ２、ＯＣＭ−Ｆ１により識別される。前記制御モジュール部品に対する参照番号は、図２において光学制御モジュールＯＣＭ−Ａ２に対してのみ記入されている。ウエハ１の内側深くに配置され、したがってウエハ１の外側から見えにくく、かつ破線により示される制御モジュール部品は、参照番号１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８及び１９を与えられている。ウエハ１においてより高く配置され、したがってウエハ１の外側から見える２つの制御モジュール部品は、参照番号２０及び２１を与えられている。
【００１８】
図２が示すように、各露光領域２の第１の制御モジュール領域Ａ１、Ｂ１、Ｃ１、Ｄ１、Ｅ１、Ｆ１は、当該露光領域２の縁領域に配置され、当該露光領域２の第１の縁Ｒ１，Ｓ１、Ｔ１、Ｕ１、Ｖ１、Ｚ１に直接隣接し、各露光領域２の第１の制御モジュール領域Ａ１、Ｂ１、Ｃ１、Ｄ１、Ｅ１、Ｆ１は、第１の縁Ｒ１，Ｓ１、Ｔ１、Ｕ１、Ｖ１、Ｚ１と第１の方向Ｘに平行に延在する格子領域３の行との間に位置する。各第１の制御モジュール領域Ａ１、Ｂ１、Ｃ１、Ｕ１、Ｖ１、Ｚ１は、第１のダイシング経路セクション６Ａ、６Ｂ、６Ｃ内に位置し、したがって第１のダイシング経路６内に位置する。
【００１９】
図２が更に示すように、第２の制御モジュール領域Ａ２、Ｂ２、Ｄ２、Ｅ２は、当該露光領域２内に配置される。各第２の制御モジュール領域Ａ２、Ｂ２、Ｄ２、Ｅ２は、第１の方向Ｘに平行に延在し、第１のダイシング経路セクション６Ａ、６Ｂ、６Ｃにおいて、したがって同様に第１のダイシング経路６において互いに隣接して配置された格子領域３の列の間で当該露光領域２の第２の縁Ｒ２、Ｓ２、Ｕ２、Ｖ２から所定の距離を隔てて位置する。ウエハ１は、各露光領域２の第２の制御モジュール領域Ａ２、Ｂ２、Ｅ２が、第１の方向Ｘに平行に延在する格子領域３の行に直接隣接し、格子領域３の行が、格子領域３の行が、第２の縁Ｒ２、Ｓ２、Ｕ２、Ｖ２に隣接し、第２の縁Ｒ２、Ｓ２、Ｕ２、Ｖ２が、第１の縁Ｒ１，Ｓ１，Ｕ１，Ｖ１と仮想的に一致するように構成される。
【００２０】
ウエハ１は、各制御モジュール領域Ａ１、Ａ２、Ｂ１、Ｂ２、Ｃ１、Ｄ１、Ｄ２、Ｅ１、Ｅ２、Ｆ１が第１のダイシング経路６内に配置され、この目的で設けられたダイシング経路６の各々が唯一の制御モジュール領域Ａ１、Ａ２、Ｂ１、Ｂ２、Ｃ１、Ｄ１、Ｄ２、Ｅ１、Ｅ２、Ｆ１、したがって唯一の制御モジュールＯＣＭ−Ａ１、ＯＣＭ−Ａ２、ＯＣＭ−Ｂ１、ＯＣＭ−Ｂ２、ＯＣＭ−Ｃ１、ＯＣＭ−Ｄ１、ＯＣＭ−Ｄ２、ＯＣＭ−Ｅ１、ＯＣＭ−Ｅ２、ＯＣＭ−Ｆ１を含み、この結果、全ての第１のダイシング経路６が狭く設計されることができ、したがって狭く設計されるという大きな利点を提供する。図１及び２によるウエハ１において、全ての第１のダイシング経路６は、６０μｍの第１の経路幅Ｗ１を持つ。第１の経路幅Ｗ１は、本質的に前記光学制御モジュールの幅ではなく、前記ＩＣを分離するために前記ウエハを切断又は分割する切断又は分離機器により決定されるので、前記第１の経路幅は、代わりに７０μｍ、５０μｍ、４０μｍ又はそれ以下、例えば３０μｍ若しくは２０μｍ又は未来の技術においてたった１０μｍであってもよい。
【００２１】
制御モジュールＯＣＭ−Ａ１、ＯＣＭ−Ａ２、ＯＣＭ−Ｂ１、ＯＣＭ−Ｂ２、ＯＣＭ−Ｃ１、ＯＣＭ−Ｄ１、ＯＣＭ−Ｄ２、ＯＣＭ−Ｅ１、ＯＣＭ−Ｅ２、ＯＣＭ−Ｆ１に関して、制御モジュールＯＣＭ−Ａ１、ＯＣＭ−Ａ２、ＯＣＭ−Ｂ１、ＯＣＭ−Ｂ２、ＯＣＭ−Ｃ１、ＯＣＭ−Ｄ１、ＯＣＭ−Ｄ２、ＯＣＭ−Ｅ１、ＯＣＭ−Ｅ２、ＯＣＭ−Ｆ１が、好ましくは以下に記載される寸法、即ち第１の方向Ｘにおける１０．０μｍないし６０．０μｍの寸法及び第２の方向Ｙにおける１０．０μｍないし３５．０μｍの寸法を持つことが、最終的に述べられるべきである。実際の寸法は、使用される技術に依存する。
【００２２】
ウエハ１において、ＩＣ４の表面積は、格子領域３の表面積よりわずかに小さい。ＩＣ４の表面積は、しかしながら、好ましければ格子領域３の表面積と等しくてもよい。
【００２３】
本発明によるウエハにおいて、３、４、５、６又はそれ以上の制御モジュール領域が、露光領域ごとの総数２の制御モジュール領域の代わりに設けられることができる。
【００２４】
ウエハ１が、第２の方向に平行する第２のダイシング経路８内に配置された所謂プロセス制御モジュール（ＰＣＭ）を更に含むことが、最終的に述べられることができる。国際特許出願明細書ＷＯ０２／０６９．３８９Ａ２に記載された解決法は、しかしながら、代替例として提供されることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の一実施例によるウエハの概略的な上面図である。
【図２】図１と比較して大幅に拡大された、図１によるウエハの一部である。
【図１】
2007516618.tif 000003
【図２】
2007516618.tif 000004
【国際調査報告】
2007516618.tif 000005
2007516618.tif 000006