(57)【要約】  センサ加工部品を本体部品にしっかりと接合するための真空センサ応用装置及び方法において、（ａ）まず架橋転写接触接着剤による接着剤層が、センサ加工部品のセンサ接触表面に積層され、（ｂ）その後、既知の照射方法を用いて、転写接触接着剤を透過する光ビームにより、複数のギャラリーの幾何学パターンが薄層状に配されるようにセンサ接触表面に転写され、次いで、センサ加工品内に導入される。本過程において該パターンが接着剤層の構造と合致するように除去されてセンサ加工部品に導入される。（ｃ）続いて、接着剤が積層されかつパターン化されたセンサ接触表面が、本体部品表面の規定領域に配置され、（ｄ）その後、２つの接合部分に機械的圧力が加えられ、接着剤が積層されかつパターン化されたセンサ接触表面及び本体部品表面領域（３）が互いに押し付けられる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサ材料から成るセンサ加工部品（１）が、本体部品（２）の本体部品表面領域（３）上に配されて前記本体部品に対して堅固に接合されるように、センサ加工部品（１）を本体部品（２）に対して堅固に接合する方法において、
（ａ）まず架橋転写接触接着剤による接着剤層（５）を、前記センサ加工部品（１）のセンサ接触表面（４）に積層させるステップと、
（ｂ）その後、既知の照射方法を用いて、前記した転写接触接着剤を透過する光ビームにより、複数のギャラリー（６）の幾何学的パターンを薄層状に配するように前記センサ接触表面（４）に転写させるとともに、続いて該パターンが前記センサ加工部品（１）に導入され、この過程において該パターンが接着剤層（５）の構造と合致するように除去されるステップと、
（ｃ）続いて、前記接着剤が積層されかつパターンが形成されたセンサ接触表面（４）を、前記本体部品表面（３）の規定領域に配するステップと、
（ｄ）続いて、２つの接合部分に機械的圧力を加え、これによって、接着剤が積層されかつパターンが形成された前記センサ接触表面（４）及び前記本体部品表面領域（３）が互いに押し付けられるステップと、を備えた方法。
【請求項２】
前記ステップ（ａ）において、前記センサ接触表面（４）に積層される前記接着剤層（５）が規定の一定層厚をもって実施される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記ステップ（ａ）に先行して、前記転写接触接着剤を、マニュアルラミネートロールに供給される転写ロールから広げ、その後に該マニュアルラミネートロールによって、わずかな接触圧力下で、前記接着剤層（５）が前記センサ加工部品（１）の一方の面上にロールされて前記接着剤層（５）のラミネーションが行われるようにし、これにより、前記センサ接触表面（４）と前記転写接触接着剤との間に気泡を含まないように防止する、請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
ステップ（ｅ）において、積層処理が電動ラミネート装置を用いて繰り返され、前記転写接触接着剤が、前記電動ラミネート装置に規定のロール速度で転写フィルムから広げられた後、前記転写接触接着剤と前記センサ接触表面（４）との間で、基本的に均質な接着が得られるように、規定された接触圧力下で転写接触接着剤がロールされる、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
続くステップ（ｆ）において、接着剤が積層されかつパターンが形成されたセンサ接触表面（４）を有する前記センサ加工部品（１）を乾燥室でアニーリングし、これにより接着力が最大となる、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記ステップ（ｂ）については、前記複数のギャラリー（６）の幾何学的パターンが、制御可能なレーザービームを用いて可動レーザー光源から直接的に、接着剤が積層されたセンサ接触表面（４）に転写されて３次元的に前記センサ加工部品（１）に導入されるように、又は、前記複数のギャラリー（６）の幾何学的パターンが、マスクを中間に介在させて間接的に、接着剤が積層されたセンサ接触表面（４）に投影されるように、レーザーリソグラフィーを用いて実施される、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記ギャラリー（６）の幾何学的パターンであって、真空ギャラリー又は空気ギャラリーに対応するパターンが転写される、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記複数のギャラリーの各ギャラリー断面が、一般に、前記センサ接触表面（４）で直線的に終わる回転体の断面に相当し、好ましくは該断面が前記センサ接触表面（４）に向かって開いている放物線形状又は正方形又は矩形の形状とされ、前記ギャラリー断面が直線的に延びるように前記センサ接触表面（４）から切り取られており、前記複数のギャラリーが真空ギャラリー又は空気ギャラリーの少なくとも１つで構成される、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
レーザービームが前記転写接触接着剤を通過して前記センサ加工部品（１）に浸入する除去の深さ（ｔ）は、該レーザービームの強度及び前記レーザー光源の移動速度に基づいて変更される、請求項６に記載の方法。
【請求項１０】
前記レーザー光源が３次元的に変位し、接着層に対する前記レーザー光源のトラッキング又は該接着層への前記レーザー光源の接近あるいはそれらの両方によって、前記転写接触接着剤が前記センサ接触表面（４）に対して自由に選択可能な層厚で積層される、請求項２又は６に記載の方法。
【請求項１１】
前記ステップ（ｃ）の前に、前記本体部品表面領域（３）の粗い洗浄又は細かい洗浄が行われる、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記ステップ（ｄ）が締め付け装置により実施され、該締め付け装置が２つの接合部同士を外部から締め付けることにより、前記センサ加工部品（１）の均一な接触がその接触表面（４）にて一様に与えられるように、その表面が互いに対向する前記接合部同士の接触表面及びその間で層をなす前記接着剤層（５）に規定の接触圧力（８）が伝達される、請求項１に記載の方法。
【請求項１３】
前記ステップ（ｄ）の前に、前記複数のギャラリーの片側を気密な方法で閉じ、もう一方の側を真空装置に接続し、その後に前記複数のギャラリー内を真空にする、請求項１に記載の方法。
【請求項１４】
前記締め付け装置及び前記真空装置を用いることにより、規定の真空に達するまで、前記接触圧力（８）が増加し、これが少なくとも１０分間は維持される、請求項１２又は１３に記載の方法。
【請求項１５】
本体部品（２）を備えた構造ヘルスモニタリング用の真空センサであって、
前記本体部品（２）が、その均一な表面領域における規定領域にセンサ加工部品（１）が配されて前記本体部品（２）に対して堅固に接合され、該センサ加工部品（１）にはその均一な接触表面（４）に積層された接着層（５）が設けられ、該接着層（５）が、基本的に均質に分布するように前記接触表面（４）上に配されるとともに、
薄層状に互いに並んで配される複数のギャラリー（６）の幾何学的パターンが、前記センサ加工部品（１）に導入され、当該パターンが前記接着剤層（５）の構造と合致するように除去されて前記接着剤が積層されたセンサ加工部品（１）内に導入された、構造ヘルスモニタリング用の真空センサ。
【請求項１６】
前記複数のギャラリー（６）の各々は除去の深さ（ｔ）で実施され、該深さが前記本体部品（２）の前記本体部品表面領域（３）により限定され、前記センサ加工部品（１）内へと続いている、請求項１５に記載の真空センサ。
【請求項１７】
前記複数のギャラリー（６）が、異なる種類の幾何学的形状及び異なるギャラリー断面をもって前記センサ加工部品（１）に加工された、請求項１５に記載の真空センサ。
【請求項１８】
前記複数のギャラリー（６）が、基本的に一様な幾何学的形状及び基本的に一様なギャラリー断面をもって前記センサ加工部品（１）に加工された、請求項１５に記載の真空センサ。
【請求項１９】
前記した基本的に一様なギャラリー断面が、放物線状の断面形状とされ、放物線の開口部が前記センサ加工部品（１）の前記接触表面（４）で終わる、請求項１８に記載の真空センサ。
【請求項２０】
前記した基本的に一様なギャラリー断面が、三角形の断面形状とされ、該三角形の２辺に挟まれた角に対向する当該三角形の開口部が前記センサ加工部品（１）の前記センサ接触表面（４）で終わる、請求項１８に記載の真空センサ。
【請求項２１】
前記三角形の断面形状が正三角形の形状とされる、請求項２０に記載の真空センサ。
【請求項２２】
前記した基本的に一様なギャラリー断面が、台形の断面形状とされ、該台形の上底に対向して配された当該台形の開口部が前記センサ加工部品（１）の前記接触表面（４）で終わる、請求項１５に記載の真空センサ。
【請求項２３】
前記複数のギャラリーにおける各ギャラリーの幾何学的形状が、非円柱状の縦長断面と同程度の正方形でないか又は矩形状でないギャラリー断面をもってセンサ加工部品（１）に加工された、請求項１７又は１８に記載の真空センサ。
【請求項２４】
３次元的に可変とされるギャラリー断面が前記センサ加工部品（１）に加工された、請求項２３に記載の真空センサ。
【請求項２５】
前記センサ加工部品（１）と前記接着剤層（５）から一致するように除去される前記複数のギャラリー（６）は、光源、好ましくはレーザービームを使用することによって、レーザーリソグラフィーを用いた公知の照射方法により導入される、請求項１５に記載の真空センサ。
【請求項２６】
箱状又は層状であってかつそのセンサ接触表面（４）が正方形又は矩形の形状を有する前記センサ加工部品（１）と、その接着剤表面が正方形又は矩形であってかつ前記センサ加工部品（１）の前記接触表面（４）でほぼ一致するように層をなした前記接着剤層（５）と、を用いることにより、前記センサ加工部品（１）の第１の層厚（ａ）が前記接着剤層（５）の第２の層厚（ｂ）よりも大きくされた層構造が実装された、請求項１５に記載の真空センサ。
【請求項２７】
ギャラリー構造を有する前記複数のギャラリー（６）の配置について、該ギャラリー構造に従って、前記複数のギャラリー（６）における各々のギャラリーのコースが、ギャラリーとの交差を伴うことなく、合同に配された層構造をなす層に関して、その両側縁又は長手方向若しくは幅広方向の辺に対して基本的に平行とされるか又は横方向に延びるように実施される、請求項２５又は２６に記載の真空センサ。
【請求項２８】
前記接着剤層（５）が、薄い層厚（ｂ）をもって基本的に一様に実施される、請求項２６に記載の真空センサ。
【請求項２９】
前記第２の層厚（ｂ）の前記接着剤層（５）が薄層として実施される、請求項２８に記載の真空センサ。
【請求項３０】
前記接着剤層（５）には、接触接着剤、好ましくは積層可能な転写接触接着剤が用いられる、請求項２８に記載の真空センサ。
【請求項３１】
前記接着剤層（５）には、前記センサ加工部品（１）の前記接触表面（４）と、前記本体部品（２）の前記本体部品表面領域（３）との間の接着を行うことができる、クリープ傾向の低い架橋転写接触接着剤が用いられる、請求項３０に記載の真空センサ。
【請求項３２】
前記転写接触接着剤は、前記センサ接触表面（４）の前記接触表面及び前記本体部品表面領域（３）の前記接触表面において、２０〜５０Ｎ／２５ｍｍの接着力をもって実施される動的、機械的かつ均質な接着を発現させるように構成されている、請求項３０又は３１に記載の真空センサ。
【請求項３３】
前記転写接触接着剤は、規定された一定の第２の層厚（ｂ）で転写ロールから広げられて、前記本体部品（２）の前記本体部品表面領域（３）に対して分離不能に接合するのに適した接着剤であり、この接合は、２つの接合部分に作用する、規定の再現可能な接触圧力の影響下で実施される、請求項１５、３０、３１又は３２に記載の真空センサ。
【請求項３４】
前記接触接着剤が、好ましくはアクリレート接触接着剤であり、約２５μｍとされる第２の層厚（ｂ）で使用される、請求項２８又は３０に記載の真空センサ。
【請求項３５】
前記センサ加工部品（１）の前記センサ材料がポリマー材料である、請求項３１に記載の真空センサ。
【請求項３６】
前記ポリマー材料が好ましくはポリイミドを用いて実施される、請求項３５に記載の真空センサ。
【請求項３７】
前記ポリイミドがカプトンフィルムであり、約１２５μｍのフィルム厚で実施される、請求項３６に記載の真空センサ。
【請求項３８】
使用する前記レーザービームは、４００ｍＪのパルスエネルギーをもって、前記接着剤が積層されたセンサ加工部品（１）に向けて照射するパルスエキシマレーザービームである、請求項２５に記載の真空センサ。
【請求項３９】
前記レーザービームが、前記センサ接触表面（４）に対してさまざまな迎角で設定され、好ましくは前記センサ接触表面（４）上に垂直に設定される、請求項３８に記載の真空センサ。
【請求項４０】
前記迎角は、前記レーザービームと前記接触表面（４）との間になす角度範囲、−４５°乃至＋４５°に基づいている、請求項３９に記載の真空センサ。
【請求項４１】
微細な接着剤残留物を伴わない、無残留物での接着剤蒸発の結果として、透過する光ビームの影響下において、光が前記転写接着剤の前記第２の層厚（ｂ）を越えて通過する地点での当該光ビームの通過断面にて前記転写接触接着剤が切り取られる性質を、前記接着剤層（５）の前記転写接着剤が有する、請求項１５、２５又は３０に記載の真空センサ。
【請求項４２】
前記除去の深さ（ｔ）に関連する、基本的に一様な幾何学的形状の前記ギャラリー（６）のギャラリー深さが、約１００μｍで実施され、該深さには前記接着剤層５の前記層厚（ｂ）が含まれ、前記センサ加工部品（１）から除去される当該ギャラリー（６）の深さの範囲で決定される、請求項１５、１６又は１８に記載の真空センサ。
【請求項４３】
前記センサ加工部品（１）内で除去される前記ギャラリー（６）の深さが７５μｍとされた、請求項４２に記載の真空センサ。
【請求項４４】
前記本体部品（２）の材料が、適切な金属、金属積層又は複合材料である、請求項１５に記載の真空センサ。
【請求項４５】
金属加工部品の表面が、接合プライマー又はインクの層で被覆されている、請求項４４に記載の真空センサ。
【請求項４６】
前記真空センサが真空センサ応用装置である、請求項１５に記載の真空センサ。
【請求項４７】
本体部品（２）を備えた構造ヘルスモニタリング用の真空センサ応用装置であって、
前記本体部品（２）には、接着剤層（５）が均一なセンサ接触表面（４）に積層されてその上に均質に分布するように配されたセンサ加工部品（１）が、均一な本体部品表面の規定領域に位置されて前記本体部品（２）に分離不能に接合されるとともに、
第１ギャラリー断面（Ａ１）及び第１の除去の深さ（ｔ１）をもって薄層状に互いに並んで配される、基本的に一様な形状の複数の第１ギャラリー（６１）の幾何学的パターンと、第２ギャラリー断面（Ａ２）及び第２の除去の深さ（ｔ２）をもった一様な形状の複数の第２ギャラリー（６２）の幾何学的パターンとが前記センサ加工部品（１）に導入され、
前記第１及び第２ギャラリー（６１，６２）は、センサ加工部品表面（８）に対して基本的に垂直な除去軸（ｘ）に沿ってそれぞれ除去され、
前記第１の除去の深さ（ｔ１）が前記第２の除去の深さ（ｔ２）より大きく、しかも前記第２ギャラリー断面（Ａ２）が前記第１ギャラリー断面（Ａｌ）より大きくされ、前記した個々の第２ギャラリー（６２）の前記幾何学的パターンは、それぞれにおいて前記接着剤が積層されたセンサ加工部品（１）に導入される前記接着剤層（５）の構造を有しており、該パターンが、前記除去軸（ｘ）に沿って前記接着剤層（５）の厚みに対応する第３の除去の深さ（ｔ３）をもって除去された、構造ヘルスモニタリング用の真空センサ応用装置。
【請求項４８】
本体部品（２）を備えた構造ヘルスモニタリング用の真空センサ応用装置であって、
前記本体部品（２）には、接着剤層（５）が均一なセンサ接触表面（４）に積層されてその上に均質に分布するように配されたセンサ加工部品（１）が、均一な本体部品表面の規定の領域に配されて前記本体部品（２）に分離不能に接合されるとともに、
第１ギャラリー断面（Ａｌ）及び第１の除去の深さ（ｔ１）をもって薄層状に互いに並んで配される、一様な形状の複数の第１ギャラリー（６１）の前記幾何学的パターンが前記センサ加工部品（１）に導入され、
前記第１ギャラリー（６１）は、センサ加工部品表面（８）に対して垂直な除去軸（ｘ）に沿ってそれぞれ除去され、それぞれにおいて前記接着剤が積層されたセンサ加工部品（１）に導入される構造を有する、前記した個々の第１ギャラリー（６１）の前記幾何学的パターンが、前記除去軸（ｘ）に沿って前記接着剤層（５）の厚みに対応する第３の除去の深さ（ｔ３）及び第３ギャラリー断面（Ａ３）をもってステップ状に除去され、
前記第３の除去の深さ（ｔ３）が前記第１の除去の深さ（ｔ１）より小さいか又は等しいか又はこれよりも大きくされ、前記第３ギャラリー断面（Ａ３）が前記第１ギャラリー断面（Ａ１）よりも大きくされた、構造ヘルスモニタリング用の真空センサ応用装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、構造ヘルスモニタリング（Ｓｔｒｕｃｔｕｒａｌ  Ｈｅａｌｔｈ  Ｍｏｎｉｔｏｒｉｎｇ:ＳＨＭ）又は真空センサの技術分野に関する。特に、本発明は、センサ加工部品を本体部品に堅固に接合する方法及び真空センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１及び特許文献２は、いずれも、レーザー照射を用いて部品にチャネル（ｃｈａｎｎｅｌ）状構造を作り出し、その後、その上にフィルムを積層し又は結合することによりこれらのチャネル状構造を閉じるプロセスを記載している。
【特許文献１】独国特許出願公開第１００５６９０８号明細書
【特許文献２】米国特許第５，５７１，４１０号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
これら２つのプロセスは、いずれも、チャネル状構造を作りだすための解決方法を提案するものであるが、このチャネル状構造が、構造物に対する「構造ヘルスモニタリング（状態管理）」の実施において正常（ｆａｕｌｔ−ｆｒｅｅ）かつ再現可能に使用できるという点について、全く疑いがない訳ではない。また、技術的側面から見た場合、真空センサ応用装置の効率的な実施については全く想定されていない。
【０００４】
従って、真空センサ応用装置のための改良された解決方法及び真空センサを本体部品の表面に分離できないように接合する方法を明らかすることが求められており、例えば、継続的に監視されるべき構造物の接合部分における亀裂の発見が、この応用装置によって可能となる。
【０００５】
かかる真空センサ応用装置は、本発明の例示的な実施形態に従う方法によって、再加工上の余分な労力をかけることなく効率的に実施することができ、構造物に対する「構造ヘルスモニタリング」の実施において正常かつ再現可能な使用を実現することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１、１５、４７及び４８に記載した特徴によって、上述の要請に適う改良されたセンサ又は方法が提供される。これらの方策の好適な改良版及び発展型が、他の請求項に記載される。
【０００７】
本発明は、構造ヘルスモニタリング（ＳＨＭ）の実施のための真空センサ応用装置、センサ加工部品を本体部品に分離不能に接合する方法、及び真空センサに関する。この真空センサ応用装置及びその実施方法について明確に記載されるように、例えば、航空機運航において接合部での亀裂発見の振る舞いをモニターすることを目的として、試験中の「試験片」、「構成部品」、及び「実規模」の検査対象に関する機械的検査中に亀裂を検出する真空センサを使用した、真空センサ技術の確実かつ再現可能な適用や、構造物に関する構造ヘルスモニタリング（ＳＨＭ）が実施される。この真空センサ応用装置は、いずれの工法においても再加工に余分な労力をかけることなく効率的に実施することができ、正常かつ再現可能な使用を保証するものであり、このことは構造監視用真空センサにおける、大幅に改善された接着力に支えられている。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
添付図面を用い、例示的な実施形態に従って本発明を、より詳細に記載する。
【０００９】
構造物（構造上の表面）の接合部分における亀裂を検出するための真空センサの応用は、図１に示す方法に従って実施することができる。まず、図１ａ、図１ｂのパターンに従って、センサ加工部品（センサ材料）、すなわちセンサ表面に、レーザーリソグラフィーを用いて、真空及び空気ギャラリーを導入する。その後、図１ｃのパターンに従って、スプレー工程において、パターン転写された表面に非架橋接着剤を塗布する。このようにして、ギャラリー（真空及び空気ギャラリー）に相当量の接着剤を充填する。スプレー工程で接着剤を塗布する場合に、非架橋接着剤の使用のみが可能となる。また、リソグラフィーによる接着剤塗布は、接着剤の最大層厚を制限することになるが、これはそうしないと真空及び空気ギャラリーが塞がれてしまうためである。検査物の表面に接着剤でセンサを接合する様子を図１ｄに示すが、これは不確定で再現不可能な接触圧力下においてのみ実施可能である。
【００１０】
適用段階において、真空センサは動的かつ機械的に複雑なやりかたで接合部分に搭載される。ここで、センサと検査物の表面との間の接合部分では真空及び空気ギャラリーの漏洩や閉塞が頻繁に起こる。このような漏洩は、（ａ）接触接着剤の層厚が過度に薄いこと（これは、負荷のかかった状態での接合部分の表面に対する接触接着剤の動的な接着力を減少させる）、（ｂ）非架橋スプレー接着剤がずれる傾向（クリープ傾向）が強くなること、（ｃ）接触圧力が不確定で再現不可能なこと（これによって、接合部分の表面に対する接触接着剤の接着力が過度に弱くなり、不確定となる）に起因する。また、ギャラリーの閉塞は、（ａ）真空及び空気ギャラリーに流れ込む非架橋接触接着剤、及び（ｂ）リベット打ちの力の作用、又はセンサの接着接合中の過度に高い接触圧の作用により、すでに真空及び空気ギャラリーに存在する接着剤によって引き起こされる。
【００１１】
以下の説明では、まず、センサ加工部品１を本体部品２に分離不能に接合する方法を提示し、この方法において、センサ加工部品１は、本体部品の表面領域３に配置される。尚、このセンサ加工部品１については、本体部品表面の特定領域内で、本体部品２に対して分離不能に接合されるようになっている。また、図２ａに示すセンサ加工部品１は、真空センサの検出機能の実施に好適なセンサ材料からなる。
【００１２】
提案された方法は、以下のような一般的に規定されるステップを含む。これによると、まず、（ａ）で提示されるのは、センサ加工部品１のセンサ接触表面４として知られる面に対して、図２ｂのように、接着剤層５をその表面に均一に積層することである。この接着剤層５は、（すでに）架橋された、規定の層厚で用いられる転写接触接着剤からなる。転写接触接着剤自体は、可変の層厚をもって供給者から得ることができ、転写ロールとして知られるものから提供される。次のステップ（ｂ）によれば、真空及び／又は空気ギャラリーとして知られる複数のギャラリー６のパターンが、図２ｃのパターンに従って、センサ加工部品１の（接触表面の接着剤が積層された表面領域上の）接着剤が積層されたセンサ接触表面４に転写されるが、これには、レーザービームなどの光線を直接用いた公知の照射方法、例えば、レーザーリソグラフィーが用いられ、該レーザービームは、接着剤層５を通過し（つまり、転写接触接着剤を透過し）、センサ加工部品１内に（その後）導入される。このプロセスにおいて、それらのギャラリー６の幾何学的パターンは、接着剤層５の構造と合致するように除去されてセンサ加工部品１内に導入される。これらのいわゆるギャラリー６は、上記センサ接触表面４に加工されて互いの脇に並行して配置されるが、通常、例えばその開口部分がセンサ接触表面４で終端となる放物線形状のような、一様なギャラリー断面を有する。
【００１３】
しかしながら、それらのギャラリー６が、異なる幾何学的形状及び異なる断面形状をもって、センサ加工部品１に機械加工されることも想起される。また、本プロセスにおいて、ギャラリー６のパターンについては、センサ接触表面４に導入される、つまりそれぞれセンサ接触表面４から除去される必要数の光通過（レーザービーム通過）を利用して、マスク部材により、間接的にセンサ接触表面４（表面）上に投影することもとできるが、その詳細についてはこれ以上説明しない。
【００１４】
その後、さらにステップ（ｃ）が行われ、これによれば、接着剤が積層されたセンサ接触表面４を有するセンサ加工部品１が、本体部品表面３の規定された表面領域に配置される。最後に、ステップ（ｄ）が行われ、２つの接合部分同士（つまり、センサ加工部品１と本体部品２）には機械的に作用する接触圧力８が加えられ、これにより、接着剤が積層されたセンサ接触表面４及び本体部品表面領域３がともに押し付けられる。
【００１５】
この概略説明は、次のような方策によって拡張可能である。例えば、ステップ（ｂ）に続くステップ（ｆ）において、センサ接触表面４に接着剤が積層されかつパターンが形成されたセンサ加工部品１を、乾燥室でアニーリングすることが提案されるが、この結果、転写接触領域と、接着剤が積層されるセンサ接触表面４との間（後者に対して積層される）の（均質な）接着力が最大となる。ステップ（ｆ）が（便宜上）目的とするこの方法に続いて、ステップ（ｃ）が行われる。また、ステップ（ｃ）の前には、本体部品表面領域３を粗く又は細かく洗浄することが望ましい。というのも、ステップ（ｄ）による処置の終わりに完成される、２つの接合部分同士が分離不可能な接合となるために、未洗浄の（汚染された）本体部品接触表面３が利することはまずないからである。さらには、転写接触接着剤と、接着剤が積層されるセンサ接触表面４との間（後者に対して積層される）の接着力を向上させる（つまり、最大化させる）ために、ステップ（ｄ）の前において、ギャラリー６内が真空になるように、ギャラリー６の片側を気密に封じて、ギャラリー６のもう一方の側を真空装置又は真空ポンプに接続することが提案される。ステップ（ｄ）の処置は締め付け装置（２つの接合部分を締め付ける）を用いて行われるため、この締め付け装置を用いて２つの接合部分の接触表面を押し付けることにより生じる接触圧力８が増加するが、その際、締め付け装置及び真空装置を同時に適用し、これが規定の真空（真空装置により生じる）状態で１０分間以上に亘って維持されることを前提としている。
【００１６】
上述の方策に対しては、さらに好ましい例示的な実施形態及び改良を加えることができる。例えば、ステップ（ａ）に従って、接着剤層５は、規定された一定の層厚とされ、センサ接触表面４に積層されるように用意される。また、ステップ（ａ）の前に転写接触接着剤を転写ロールから展開して広げることにも言及しておく。
【００１７】
その後、接着剤層５のラミネーションが（ステップ（ａ）に従って）、マニュアル（手動）ラミネートロールを用いて行われ、例えば、接着剤層５が、わずかな圧力下でセンサ加工部品１の一方の面上にロールされる。この処置を用いるのは、センサ接触表面４と転写接触接着剤との間に気泡を含まないように防ぐことを目的とするためである。上記マニュアルラミネートロールを用いて行われるラミネーション処理については（単にステップ（ｅ）に従って）、電動ラミネート装置を用いて繰り返されるべきものとされ、転写接触接着剤は、規定されたロール速度をもって、電動ラミネート装置へと転写ロールから展開され、そして、規定された接触圧力下でロールされる。この方法により、転写接触接着剤とセンサ接触表面４との間の均質な接着を保証することができる。
【００１８】
ステップ（ｂ）では、レーザーリソグラフィーを用いた実施が提案される。この場合、ギャラリー６の幾何学的パターンは、可動レーザー光源からの制御可能なレーザービームにより、接着剤がラミネートされたセンサ接触表面４に直接転写され、当該パターンは（幾何学的に見て）３次元的な広がりをもつ配置でセンサ加工部品１に導入される。又は、ギャラリー６のそのようなパターンについては、中間にマスクを介在させてレーザーを用いることにより、接着剤がラミネートされたセンサ表面４上に間接的に投影することもできるが、これについてのそれ以上の詳細は検討しない。
【００１９】
個々のギャラリー６のギャラリー断面（真空ギャラリー又は空気ギャラリーとして知られるもの）は、一般に、回転体の断面に対応しており、これはセンサ加工部品１のセンサ接触表面４で直線的に終わるものとされる。この場合、該ギャラリー断面は放物線状、正方形、又は矩形状で実施することができ、ギャラリー断面はセンサ接触表面７から直線的に切断され、ギャラリー６は薄層状に互いに並んで配置される。この場合、転写接着剤を透過するレーザービーム（リソグラフィー法において用いられる）は、リソグラフィー法により、除去の深さ「ｔ」でセンサ加工部品１からギャラリー６を切り取る。この除去の深さ「ｔ」は、レーザービームを司るレーザー光源によって制御される当該レーザービームの強度と、レーザー光源の移動速度に影響される。レーザー光源は３次元的に（すなわち、デカルト座標系の３方向全てにおいて）移動する。また、制御可能なレーザービームの強度に関して、レーザー光源の再調整及び／又はレーザー光源を接着層に近づけることにより、自由に選択可能な層厚で転写接触接着剤をセンサ接触表面４に積層するという選択肢もある。
【００２０】
さらに付言すると、ステップ（ｄ）が締め付け装置を用いて行われる。この装置が上記した２つの接合部分同士を外側から締め付けることにより、規定の接触圧力８が当該接合部分の接触表面に伝達されるが、該接合部分の表面が互いに対向し、かつ両者の間で接着剤層５が層をなす。この場合、センサ加工部品１との均一な接触が接触表面４に亘って一様に与えられる。
以上を要約すると、センサ加工部品１を本体部品２に対して分離不能に接合する方法が明確化され、該方法によって真空センサの応用が有利に利用可能となる。
【００２１】
この方法は、実質的に以下のステップを備えている。これによると、まず、架橋転写接触接着剤をセンサ加工部品１（センサ材料）（図２ａ、２ｂ）に積層する。その後、レーザーリソグラフィーを用い、接着剤層５（図２ｃ）を介して、ギャラリー６（空気及び／又は真空ギャラリー）を、センサ加工部品１のセンサ材料の表面下に導入する。センサ（センサ加工部品１）は、特定の締め付け方法によって、本体部品２の本体部品表面領域３に接合されるか、又は検査物の表面に接合され、該方法によってセンサ加工部品１（センサを示す）を、規定の接触圧力８によって本体部品２上に均一に接触させることができる（図２ｄ）。本発明は、航空機運航における「構造ヘルスモニタリング」（ＳＨＭ）の枠内で、「試験片」、「部品」、及び「実規模」の検査対象物についての機械的検査中に亀裂を検出するための真空センサを、恒久的かつ再現可能に使用するのに好適である。本提案の手順は、真空センサの接着力を大幅に向上させるものであり、これにより正常かつ再現可能な使用が保証される。
【００２２】
ここで提案した方法を用いることで、以下の因果関係が現出する。
・転写工程により、架橋接触接着剤の適用が可能となる。この架橋性により、接触接着剤がずれる傾向（クリープ傾向）が最小限に抑えられる。
・転写接触接着剤の層厚が一定とされることで、センサと検査物表面との間にある接着剤層についての均質な動的機械特性が保証される。
・接着剤の層厚は、所望の厚みに可変的に選択可能であるが、その結果として、動的な機械的接着という意味で、接着剤と接合部分の表面との間の相互作用を（最適に）調整することが可能となる。
・接着剤塗布に対する、その後のレーザーリソグラフィーによって、真空及び空気ギャラリーには、接着剤の残留物がほとんどなくなるか、又は本質的に皆無となる。
・規定される再現可能な接触圧力での、センサの接着接合によって、接着剤と検査物の表面との間で、本質的に均質かつ良好な接着が保証される。
【００２３】
本方法を真空センサに適用することによって、適用段階における真空ギャラリー、空気ギャラリーの漏洩や閉塞の発生を防止することができる。
【００２４】
要約すると、本方法により、真空センサの接着力が向上することが分かる。接合部における亀裂の検出に用いる真空センサの応用において、新たな手順を用いることは、正常かつ再現可能に動作し、かつ長寿命のセンサを保証することを意図したものである。
【００２５】
以下に、真空センサ応用装置、つまり、上記に説明した方法による実施が提案される装置を詳細に検討する。
【００２６】
真空センサ応用装置、つまり、構造的な完全性を監視するための、正確には（専門家の間で知られ、かつ称されるところの）「構造ヘルスモニタリング」用の真空センサが提示され、該センサでは、センサ加工部品１が本体部品２の本体部品表面領域３上に配置される。このセンサ加工部品１は、本体部品２の本体部品表面の規定領域に対して、分離不能な状態で、継ぎ目なく又は強固に接続される。図２ａに示す該センサ加工部品１は、真空センサの検出機能を実現するのに適切なセンサ材料から構成される。
【００２７】
従って（一般論として）、図２ｄに示す上記の真空センサ応用装置は、その構造において、上記した本体部品２を備えており、その均一な本体部品表面領域３（均一な本体部品表面）の規定領域内にはセンサ加工部品１が当該本体部品２に対して分離不能に接合される。そして、接着剤層５が、均一なセンサ接触表面４上のセンサ加工部品１に対して積層される。この接着剤層５は、均質に分布するようにセンサ接触表面４上に配置される。さらに、図２ｃとの関連において、図２ｄからわかるように、複数のギャラリー６の幾何学的パターンが、センサ加工部品１に導入され（つまり、当該部品から除去され）、これは接着剤が積層されてセンサ加工部品１に導入された接着剤層５の構造と合致するように該パターンが除去されることによる。これらのギャラリー６は、薄層状に互いに並んで配される。該ギャラリーは、光線、好ましくはレーザービームを用いた公知の照射方法、好ましくはレーザーリソグラフィーを用いて導入される。
【００２８】
図１に示すセンサ加工部品１は箱状又は層状であり、現実には、箱形又は（箱形の特殊な形状としての）立方体形に近い形状をしている（個別には示していない）。
【００２９】
よって、センサ加工部品１の底面に配されるセンサ接触表面４は、矩形状又は正方形の形状を有する。図２ｃのパターンに従って、センサ加工部品１のセンサ接触表面４が接着剤層５で覆われる。該接着剤層５は、目的に適った道具を用いてセンサ接触表面４に塗布され、接着が可能とされる接着剤層５の表面は正方形又は矩形状であって、センサ接触表面４にほぼ一致するように層をなす。それゆえ、センサ加工部品１の高さ、すなわち、箱状又は立方体状をしたセンサ加工部品１の底面と上面との間の距離、つまり、センサ加工部品１の層厚「ａ」は、例えば、接着剤層５の層厚「ｂ」よりも大きくされた、層構造が実現される。
【００３０】
上述のギャラリー６に戻ってさらに説明すると、個々のギャラリー６は、除去の深さ「ｔ」をもって導入され、これは本体部品２の本体部品表面領域３により限定され、かつセンサ加工部品１の内部に続いている。
例えば、図２ｃ及び図２ｄから分かるように、ある実施形態において、ギャラリー６が一様な外観を呈する。この種のギャラリー６は、センサ加工部品１の上面又は底面に対して垂直方向に除去されたものであり、該部品が、例えば、箱形をなす場合に、そのギャラリーの断面が、放物線状（接着剤層５に向かって下方に開いている）をしている。この例示的なギャラリー６についての除去の方向は、放物線の横座標の方向とされ、この例示的なギャラリー６は、除去の深さ「ｔ」、すなわち、上記した接着可能な層構造における接着剤層５の露出面から（すでに）始まり、そしてセンサ加工部品１内での、放物線の横座標の原点で終わる深さをもって除去される。
【００３１】
一方、ギャラリー６の実施形態において、異なる種類の幾何学的形状及び異なるギャラリー断面を有するギャラリーも着想され、それらはセンサ加工部品１に加工されて接着剤層５を貫通する。ここで、適切なギャラリー６としては、（個々のギャラリー６のパターンに基づいた）幾何学的な形状が、センサ加工部品１内に加工されるものとされ、かつギャラリー断面が正方形や矩形ではなく、非円柱状の縦長断面と同程度とされるギャラリーを想定することができる。この種のギャラリー６は、物理的に可変のギャラリー断面をもち、センサ加工部品１に加工される。
【００３２】
他方では、一様な幾何学形状を有するギャラリー６が、一様なギャラリー断面をもってセンサ加工部品１に加工される。図２ｃ、図２ｄによる例示的なパターンから想起することができる一実施形態では、放物線状の断面形状を有する一様なギャラリー断面を実現する場合を示している。図２ｃのパターンに従い、この放物線は、センサ接触表面４を通過して、その開口部が、接着可能な上記の層構造における接着剤層５の表面で終端となる。
【００３３】
ギャラリー６の別例としては、個々のギャラリー６の一様なギャラリー断面が、三角形の断面形状とされ、三角形の２辺に挟まれた角に対向するように配置される三角形の開口部が、センサ接触表面４で終わることに注意を要する。尚、この場合に、正三角形の形状をした三角断面形状での実施が想起される。
【００３４】
また、ギャラリー６のさらに別の実施形態を適宜に考慮することができ、その一様なギャラリー断面が、台形状の断面形状とされる場合において、台形の開口部は、該台形の上底に対向して配置され、センサ接触表面４で終わる。
【００３５】
そのようなギャラリー６の配置、つまり、該ギャラリーが多数で層構造に入れられて、通常、一様なギャラリー断面を有するものとされる当該配置は、製品全体、すなわち、ギャラリー構造を有する真空センサ応用装置において考慮される。このギャラリー構造では、導入されるギャラリーのコース（ｃｏｕｒｓｅ）が、合同に配されて層構造をなす各層に対して、その長手方向若しくは幅広方向の辺に平行又は横方向に延びる両側縁をもって、ギャラリーの如何なる交差も伴わずに実施される。
【００３６】
通例、図２ａ乃至図２ｄから分かるとおり、側縁又は長手方向の辺又は幅広方向の辺に対して平行とされる、ギャラリーのコースが導入される。というのも、この点において、合同に配されて層構造をなす各層に対して横方向に走るように選択されるギャラリーのコースは、ギャラリー６の如何なる交差をも伴わずに便宜的に導入され、該コースがむしろ例外をなすからである。
【００３７】
上記の接着剤層５に関してさらに付言すると、一般には、この層が一様であって、かつ好ましくは層厚「ｂ」が小さくされ、それにより接着剤層５の層厚「ｂ」が薄層構造として実施される。
【００３８】
当然ながら、接着剤層５はこの薄い層厚「ｂ」よりも厚くされた、より厚い層厚「ｂ」をもって実施することもできる。その場合には、例えば粘度、流動作用、耐温度性、使用場所に近い環境に対する抵抗性など、使用する接着剤の性能に関する特別な処置、及び／又は、本体部品２の均一な本体部品表面にて前記した規定位置領域内に層構造が配される場所での事前注意に関する特別な処置を、さらにとる必要が出てくる。このような処置は、開いた（解放された）ギャラリー断面の閉塞又は汚染を引き起こすような、接着剤又は他の望ましくない付着物又はその他の固形粒子などがギャラリー６内に侵入しないようにするために行われる（これは清潔さのため、あるいは、真空センサ応用装置の正常かつ再現可能な動作状態を保証するためである）。
【００３９】
接着剤層５については、通常、接触接着剤が用いられ、好ましくはラミネートが可能な転写接触接着剤により実施される。尚、「接触接着剤」（ｃｏｎｔａｃｔ  ａｄｈｅｓｉｖｅ）という一般的な表現を選んだのは、接触することで接着し、そして以下の説明では考慮されない他の種類の接着剤についても、その性質や技術的な取り扱いの上では接着剤層５としての実施に適する場合があることによるが、その詳細は論じない。
【００４０】
一例として、図２ｂ乃至図２ｄ、図３、図４に基づくように、接着剤層５については、クリープ傾向がほとんどない架橋転写接触接着剤を用いて実施することが提案される。この転写接着剤は、センサ加工部品１（センサ加工部品１のセンサ接触表面４）と、本体部品２（本体部品２の本体部品表面領域３）との間の接着を可能にするものである。これを使うことで、分離不能な接合を用いて、２つの接合部分同士（つまり、センサ加工部品１及び本体部品２）の、さらに強力な結合が実現される。
【００４１】
接着剤層５には、クリープ傾向がほとんどない架橋転写接触接着剤を用いることができ、センサ接触表面４でのセンサ加工部品１と、本体部品表面領域３での本体部品２との間で、接合部分同士をしっかりと、かつ気候に依存することなく接合するために、十分に高い接着力をもつことが可能である。
【００４２】
転写接触接着剤は、センサ接触表面４の接触表面及び本体部品表面領域３の接触表面において、２０乃至５０Ｎ／２５ｍｍの（剥離試験における）接着力をもって動的・機械的かつ均質な接着を行うことができる。
【００４３】
転写接触接着剤は、その目的に適した補助具を用いることにより、転写ロールから広げることができ、センサ加工部品１の均一な表面又は箱状をしたセンサ加工部品１の底面に配される（付着する）接着剤である。本接着剤は、本体部品２の本体部品表面領域３に対する、分離不能な接合に適し、規定の一定層厚「ｂ」をもって適用される。この接合は、２つの接合部分に作用する、規定の再現可能な接触圧力の影響下で実施される。この用途には、約２５μｍ（マイクロメートル）の層厚「ｂ」を有するアクリレート接触接着剤が挙げられる。
【００４４】
センサ加工部品１の上記したセンサ材料については、好ましくはポリイミドの使用が想定されるポリマー材料に関する。ポリイミドに関しては、約１２５μｍのフィルム厚で実施されるカプトンフィルム（デュポン社の商品名）として知られるものを用いることが提案される。
【００４５】
上記のギャラリー６及び後述する他のギャラリーの全てを導入（除去）するためには、レーザービームが使用され、例えばパルスエキシマビームが用いられる。エキシマビームは、接着剤がラミネートされたセンサ加工部品１に向けて、約４００ｍＪのパルスエネルギーで照射される。
【００４６】
図２ｃ及び図２ｄを見ると、放物線状の（一様な）ギャラリー断面線を有するギャラリー６を除去するために、使用される上記のエキシマビームについては、これをセンサ接触表面４上で垂直に設定することが好ましい。この場合、エキシマビームは、例えば一様にラミネートされた異なる形状の各種ギャラリーを（理由の如何を問わず）除去することになるのであれば（必要であれば）、センサ接触表面４に対してさまざまな迎角で設定してもよい。迎角としては、−４５°乃至＋４５°とされる角度範囲が想定され、これは、レーザービームがセンサ接触表面に対してなす角度である。
【００４７】
接着剤層５に用いる転写接着剤については、微細な接着剤残留物を伴わない、無残留物での接着剤蒸発の結果として、透過する光ビームの影響下で、転写接着剤の層厚「ｂ」を越える光の通過地点において光ビームの通過断面をもって転写接触接着剤を切り取ることができる性質をもつ。
【００４８】
ギャラリーの深さは、一様な幾何学的形状をもったギャラリー６についての、除去の深さ「ｔ」に対応しており、これが約１００μｍとされることにも言及しておく。この深さは、接着剤層５の層厚「ｂ」を含み、センサ加工部品１内で除去される当該ギャラリー６の深さにより決まる。
【００４９】
一例として、センサ加工部品１内で除去される当該ギャラリー６の深さは、７５μｍとされる。
【００５０】
真空センサ応用装置はその使用において、例えば、主に本体部品２上で用いられ、該本体部品の材料は適当な（一般に指定される種類の）金属又は金属積層物に関連する。さらに、複合材料上で用いるのが現実的である。金属材料の表面が接合プライマー又はインクの層で覆われることも想定される。検査物として指定されるこの本体部品２については、適切な「構造ヘルスモニタリング」によって監視しなければならないものとされ、これは、例えば、航空機の各種構造材料に基づき、複数のギャラリー（真空ギャラリー及び空気ギャラリー）が組み込まれた真空センサや空気センサを用いて、航空機構造上の亀裂の形成を早期に検出するため、そして航空機の運航が行われている間に、接合部分における亀裂を発見するために行われる。
【００５１】
上述の設計とは異なる真空センサ応用装置についての、以下の実施形態も重要であることを述べておく。この実施形態は、構造について提案される、さらに２つの応用に従うものであり、これに従って、「構造ヘルスモニタリング」のための真空センサ応用装置の、これら２つの実施例が本体部品２に対して同様に実施される。この本体部品２には、センサ加工部品１が均一な本体部品表面の規定領域内に配され、本体部品２に分離不能に接合されるようになっており、該センサ加工部品１には、接着剤が基本的には均質に分布するように、均一なセンサ接触表面４上に接着剤層５が積層されて導入される。
【００５２】
さらなる真空センサ応用装置が上記と相違するところは、第１ギャラリー断面Ａ１及び第１の除去の深さ「ｔ１」を有する一様な形状の、例えば放物線状の外観とされる複数の第１ギャラリー６１の幾何学的パターンが、図３のように、薄層状に互いに積み重なるように配置されること、そして、（例えば、矩形の）第２ギャラリー断面Ａ２及び矩形の幅に相関する第２の除去の深さ「ｔ２」を有する一様な形状、例えば、矩形の外観とされる複数の第２ギャラリー６２の幾何学的パターンがセンサ加工部品１に導入されることである。
【００５３】
第１及び第２ギャラリー６１、６２は、センサ加工部品表面７に垂直な除去軸「ｘ」
に沿ってそれぞれ除去される。この応用形態では、第１の除去の深さ「ｔ１」が第２の除去の深さ「ｔ２」よりも大きいことを考慮している。これに加えて、第２ギャラリー断面Ａ２が、第１ギャラリー断面Ａ１よりも大きくされており、接着剤層５の構造とともに個々の第２ギャラリー６２の幾何学的パターンについては、接着剤が積層されたセンサ加工部品１に導入され、該パターンは接着剤層５の厚さに対応する第３の除去の深さ「ｔ３」をもって当該除去軸「ｘ」に沿って除去される。
【００５４】
また、別の真空センサ応用装置が上記と相違するところは、一様な形状とされる複数の第１ギャラリー６１の幾何学的パターンが、第１ギャラリー断面Ａ１と第１の除去の深さ「ｔ１」をもってセンサ加工部品１に導入され、図４によれば、該パターンが薄層状に、互いに並んで配置されることにある。該第１ギャラリー６１は、センサ加工部品表面７に直交する除去軸「ｘ」に沿ってそれぞれ除去される。個々の第１ギャラリー６１の幾何学的パターンは、接着剤が積層されたセンサ加工部品１に導入される構造において、当該除去軸「ｘ」に沿って、第３の除去の深さ「ｔ３」（接着剤層５の厚さに対応する）及び第３ギャラリー断面Ａ３でもってステップ状（階段状）に除去される。尚、第３の除去の深さ「ｔ３」は、第１の除去の深さ「ｔ１」よりも小さいか、又は等しいか、又はこれによりも大きくされ、また第３ギャラリー断面Ａ３は、第１ギャラリー断面Ａ１よりも大きい。
【００５５】
別の真空センサ応用装置を示すため、上記した３つの例示的な実施形態に関して、以下の説明を追加する。すでに示したように、真空及び／又は空気ギャラリーとして知られる複数のギャラリー６、６１、６２のパターンは、図２ｃのパターンに示すように、例えばレーザーリソグラフィーなどの公知の照射方法を用いて、接着剤層５及びセンサ材料を除去することにより、センサ材料１に転写される。材料の除去は、接着剤及びセンサ材料を蒸発させることで実施される。個々のギャラリーの深さは、レーザー照射プロセスの繰り返し回数により制御される。ギャラリーの除去速度は、レーザービームの移動速度、強度、及び焦点合わせ（フォーカシング）に影響される。ギャラリーの幅は、焦点の直径に加えて、レーザービームプロセスの繰り返し回数により、レーザービームトラック（軌跡）の同時の平行オフセットとともに設定される。層単位の除去及び動作パラメータ（供給速度、焦点の直径、強度）の同時最適化によって、微細な汚染物質がギャラリーに残ることはない。
【００５６】
例えば構造物に属するリベットで留められた２つの金属シート間の亀裂を監視するために必要な適用において、ギャラリーが設けられたセンサの圧縮荷重がより高い場合には、使用する接着剤の粘着性に応じて、ギャラリー両側の接着剤のある部分を、既述の方法でセンサ加工部品１に至るまで除去することが推奨される。結果として、接着剤には、体積膨張のための追加的な空間が与えられ、ギャラリー断面が減少する危険性が低減する。また、この接着剤のない領域では、空気ギャラリー又は真空ギャラリーに対して平行な配置で、第２ギャラリー６２又は第３ギャラリー（第３ギャラリー断面Ａ３と第３の除去の深さ「ｔ３」を有する）により特定され、また保護ギャラリーとして知られる、追加のギャラリーが、すでに述べた方法でセンサ加工部品１に加工される。ギャラリーが設けられたセンサの圧縮荷重がより高い場合には、この保護ギャラリーにより接着剤の体積膨張のための追加的な空間が与えられることになり、このようにして、接着剤によりギャラリー断面が減少するという危険性を抑えることができる。
【００５７】
これに加えて、図２ａ、図２ｂによる真空センサ応用装置における、最初に示した（第一の）実施形態について提案された用途や、使用するレーザーに用いるために提案された要素の材料及びその性質（接着剤、センサ、及び検査物材料）にまで遡った場合の別の方法については、両立可能であれば、図３及び図４による真空センサ応用装置の実施形態に転用することができる。
【００５８】
この真空センサ応用装置の可能な実施形態については、図２ａ、図２ｂで最初に示した（第一の）実施形態例を用いて提示したように、例示的な実施形態の冒頭で一般的に説明されるステップ（ａ）乃至（ｄ）が包括的であるという印象を受ける。
【００５９】
また、これらの（一般的に特定された）ステップの別の改良点が、上記の記載から推測できる。
【００６０】
このことがまだ行われていない限りにおいて、ギャラリー６のパターンが、本プロセスで必要な数の光通過（レーザービーム通過）をもってマスクにより間接的にセンサ接触表面４（表面）に投影されて、センサ接触表面４に導入されること、つまり、それぞれにセンサ接触表面４から除去される可能性もあることが実施形態に追加されるが、その詳細についてはこれ以上説明しない。
【００６１】
これ続いて、さらに、ステップ（ｃ）が行われ、接着剤が積層されたセンサ接触表面４を有するセンサ加工部品１は、本体部品表面３の規定の表面領域に配置される。最後に、ステップ（ｄ）が行われ、２つの接合部分同士（センサ加工部品１と本体部品２）には、機械的に作用する接触圧力８が加えられ、これにより接着剤が積層されたセンサ接触表面４と、本体部品表面領域３とが互いに押し付けられる。
【００６２】
この概略的な説明は、本発明のさらなる例示的な実施形態に従い、以下の方策にて拡張することができる。例えば、接着剤が積層され、かつパターンが形成されたセンサ接触表面４が設けられたセンサ加工部品１を、既知のアニーリングのために乾燥室におくことが提案され、この結果、転写接触接着剤と、接着剤が積層されたセンサ接触表面４（後者に対して積層される）との間の（均質な）接着力が最大となる。また、本体部品表面領域３を粗く又は細かく洗浄してもよい。というのも、２つの接合部分の分離不可能な接合にとって、汚れた（汚染された）本体部品接触表面３が利益をもたらすことはほとんどないからである。また、転写接触接着剤と、接着剤が積層されたセンサ接触表面４（後者に対して積層される）との間の接着力を向上させる（最大化させる）ためには、適切な場合、ギャラリー６の片側を気密に封じて、ギャラリー６のもう一方の側を例えば真空ポンプなどの真空装置に接続し、それによりギャラリー６内を真空にすることが提案される。
【００６３】
２つの接合部分同士の圧縮が、締め付け装置（２つの接合部分を締め付ける）を用いて実施されるため、締め付け装置を用いて２つの接合部分の接触表面を押し付けることにより生じる接触圧力８が増加するが、これは、締め付け装置及び真空装置を同時に用いて、規定の真空（真空装置により生じる）状態で、少なくとも１０分間維持することが前提とされる。
【００６４】
さらに述べると、転写接触接着剤は転写ロールから巻きがとかれて広がる。転写接触接着剤が広げられた後でのみ、例えば、マニュアルラミネートロールで接着剤層５のラミネーションが行われ、その際、わずかな圧力下で接着剤層５がセンサ加工部品１の一方の面上にロールされる。この処置を用いるのは、センサ接触表面４と転写接触接着剤との間に気泡を含まないように防ぐためである。
【００６５】
上記マニュアルラミネートロールを用いて行われる積層処理は、電動ラミネート装置を用いて繰り返されるべきものであり、そこで転写接触接着剤は、電動ラミネート装置へと規定のロール速度でもって転写ロールから広げられた後、規定された接触圧力下でロールされる。この処置により、転写接触接着剤とセンサ接触表面４との間の均質な接着性を確保することができる。
【００６６】
ギャラリー６の幾何学的パターンは、制御可能なレーザービーム（エキシマビーム）により、可動レーザー光源からセンサ接触表面４に直接転写され、当該パターンは（幾何学的に見て）３次元的な広がりをもった形状でセンサ加工部品１に導入される。あるいは、このギャラリー６のパターンについては、マスクを間に介在させてレーザーを用いることにより、センサ加工部品表面４上に、該パターンを間接的に投影することもできるが、これについてそれ以上の詳細は検討しない。
【００６７】
個々のギャラリー６のギャラリー断面（真空ギャラリー又は空気ギャラリーとして知られるもの）は、一般に、センサ加工部品１のセンサ接触表面４で直線的に終わる回転体の断面に相当する。この場合、該ギャラリー断面については、理論上、所望のあらゆる形状、好ましくは正方形でなく又は矩形状でないか、あるいは放物線状又は台形状、そうでなければ正方形又は矩形の形状を用いることができ、ギャラリー断面は直線的に（垂直に）あるいはセンサ接触表面７から適切な仰角で切断される。この場合、（リソグラフィー工程において用いられる）レーザービームは、リソグラフィー法により、除去の深さ「ｔ」でセンサ加工部品１からギャラリー６を切り取る。この除去の深さ「ｔ」は、レーザービームを扱うレーザー光源により制御されるレーザービームの強度とレーザー光源の移動速度に影響される。レーザー光源は３次元的に（すなわち、デカルト座標系の３方向全てにおいて）移動する。また、制御可能なレーザービームの強度に関して、レーザー光源の再調整及び／又はレーザー光源を接着層に近づけることで、自由に選択可能な層厚でもって転写接触接着剤をセンサ接触表面４に積層させるという選択肢もある。
【００６８】
さらに、２つの接合部分を互いに押し付ける作用が、締め付け装置により実施されることも付け加えておく。この装置が２つの接合部分同士を外部から締め付けることによって、表面が互いに対向する接合部分の接触表面及びその間に層状をなす接着剤層５に対して規定の接触圧力８が伝達される。この場合に、センサ加工部品１の均一な接触が接触表面４を通して一様に与えられる。
【００６９】
本発明は、請求項１、１５、４６、４７の前文にかかる、構造ヘルスモニタリング（ＳＨＭ）の実施のための真空センサ応用装置と、センサ加工部品を本体部品に分離不能に接合する方法に関する。例えば、航空機の運航において接合部の亀裂を発見する振る舞いをモニターするために、構造物に対する「構造ヘルスモニタリング」（ＳＨＭ）を実施する、真空センサ応用装置及びその実施方法が明記される。かかる応用は、再加工に余分な労力をかけることなく効率的に実施することができる。
【００７０】
構造ヘルスモニタリング用の真空センサ応用装置は本体部品を有し、その上のセンサ加工部品が均一な本体部品表面の規定領域に配され、該本体部品に対して分離不能に接合されており、該センサ加工部品に対して、接着剤層が均一なセンサ接触表面において均質に分布するように積層されてその上に位置される。そして、複数のギャラリーの幾何学的パターンが薄層状に互いに並んで配され、該パターンはセンサ加工部品に導入され、そして、接着剤層の構造と合致するように除去されて、接着剤が積層されたセンサ加工部品内に導入される。
【００７１】
尚、「備え」という語は、そのほかの要素やステップを排除するものではなく、そして不定冠詞の使用は複数形を排除するものではない。また、異なる実施形態について記載された要素は組み合わせてもよい。
【００７２】
また、請求項内の参照符号は、請求項の範囲を限定するものとして解釈されてはならない。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】真空センサ配置の断面図である。
【図２】本発明の例示的な実施形態を示す図であり、  図２ａは、個々のセンサ加工部品の長手方向における断面図（広げたセンサ材料、拡張された実施形態）、  図２ｂは、センサ接触表面上に積層された接触接着剤を有する図１のセンサ加工部品を示す図、  図２ｃは、除去されたギャラリーを有し、かつ図２ｂに従って接着剤が積層されたセンサ加工部品を示す図、  図２ｄは、本体部品上に配置され、かつ図２ｃに従って除去されたギャラリー構造を有する、接着剤が積層されたセンサ加工部品を示す図である。
【図３】本発明の例示的な実施形態による、各種の除去されたギャラリー配置を有し、かつ図２ｂに従って接着剤が積層されたセンサ加工部品を示す図である。
【図４】本発明の例示的な実施形態による、修正された各種の、除去されたギャラリー構成を有し、かつ図２ｂに従って接着剤が積層されたセンサ加工部品を示す図である。
【符号の説明】
【００７４】
１    センサ加工部品
２    本体部品
３    本体部品表面領域
４    センサ接触表面
５    接着剤層、転写接着剤
６    ギャラリー
６１  第１ギャラリー
６２  第２ギャラリー
７    センサ加工部品表面
８    接触圧力
ａ    層厚
ｂ    層厚
Ａ１  第１ギャラリー断面
Ａ２  第２ギャラリー断面
ｔ    除去の深さ
ｔ１  第１の除去の深さ
ｔ２  第２の除去の深さ
ｔ３  第３の除去の深さ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【国際調査報告】
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