(57)【要約】  非浸出接着剤系及び光ディスク用の原型の浸漬書き込み用の液浸対物系におけるその使用を開示する。その接着剤系は、アクリラート及びメタクリラート単量体、アリル系の単量体、ノルボルネン単量体、化学的に異なる重合性基を含有する、それらのハイブリッド単量体、並びに、前記の非チオール単量体の少なくとも一つとの組み合わせで使用されるとの条件で、多官能性のチオール単量体の群の間より選択された、少なくとも一つの単量体、並びに、重合開始剤を含む。チオールではない、前記の単量体の少なくとも一つには、架橋された重合体のネットワークを得るために、少なくとも二つの官能性の重合性基が提供される。その重合開始剤は、好ましくは、熱的に及びＵＶ放射の両方で活性化することができる開始剤である。その接着剤系は、反応性希釈剤をさらに含有してもよい。さらに、液浸対物系を取り付ける際における本接着剤系の使用を開示する。【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクリラート単量体及びメタクリラート単量体、アリル系の単量体、ノルボルネン単量体、前記単量体の混合物、一つの単量体に化学的に異なる重合性基を含有するハイブリッド単量体、並びに、前記非チオール単量体の少なくとも一つとの組み合わせで使用されるとの条件で、多官能性のチオール単量体の群の間より選択された、少なくとも一つの単量体、並びに、重合開始剤を含む、非浸出硬化性接着剤系。
【請求項２】
チオールではない、前記単量体の少なくとも一つには、少なくとも二つの官能性の重合性基が提供される、請求項１に記載の非浸出硬化性接着剤系。
【請求項３】
前記アリル系の単量体は、イソホロン＝ジイソシアナートのジアリルエステル、トリアリル＝シアヌラート及びトリアリル＝イソシアヌラート、並びに、トリメチロールプロパンのジアリルエーテル及びトリアリルエーテルの群より選択される、請求項１に記載の非浸出硬化性接着剤系。
【請求項４】
前記多官能性のチオールは、トリメチロールプロパン＝トリチオール、ペンタエリスリトール＝テトラチオール、及び、これらの化合物のエトキシ化された同族体の群より選択される、請求項１に記載の非浸出硬化性接着剤系。
【請求項５】
前記アクリラート単量体は、２，２−ビス［４−（３−アクリロイルオキシ−２−ヒドロキシプロポキシ）フェニル］プロパンである、請求項１に記載の非浸出硬化性接着剤系。
【請求項６】
前記開始剤は、光開始剤、特にＵＶ開始剤、熱的な開始剤、又は両方の組み合わせである、請求項１に記載の非浸出硬化性接着剤系。
【請求項７】
当該系は、反応性希釈剤をさらに含む、請求項１に記載の非浸出硬化性接着剤系。
【請求項８】
前記反応性希釈剤は、アクリラート希釈剤又はメタクリラート希釈剤、好ましくは、ジアクリラート希釈剤若しくはジメタクリラート希釈剤又は多価アクリラート希釈剤若しくは多価メタクリラート希釈剤である、請求項１に記載の非浸出硬化性接着剤系。
【請求項９】
請求項１に記載の接着剤系及び界面活性剤を含む、非浸出硬化性接着剤組成物。
【請求項１０】
前記界面活性剤は、アクリル系のシランカップリング剤又はメタクリル系のシランカップリング剤である、請求項９に記載の接着剤組成物。
【請求項１１】
前記メタクリル系のシランカップリング剤は、γ−メタクリロイルオキシプロピル＝トリメトキシシランである、請求項１０に記載の接着剤組成物。
【請求項１２】
接合される部品の表面へ、請求項１に記載の単量体を主材料とした、硬化性接着剤系の被覆物を適用すること、前記部品のこのように被覆された表面を接合すること、及び、その組み合わせを硬化させることによる金属対金属及び金属対ガラスの接着用の工程であって、
前記接合される表面は、前記接着剤系の適用の前に、界面活性剤で予備処理される、工程。
【請求項１３】
前記界面活性剤は、アクリル系のシランカップリング剤又はメタクリル系のシランカップリング剤である、請求項１２に記載の工程。
【請求項１４】
前記メタクリル系のシランカップリング剤は、γ−メタクリロイルオキシプロピル＝トリメトキシシランである、請求項１３に記載の工程。
【請求項１５】
金属膜の、別の金属膜への又は、基体、特に原型の光ディスクの製作に使用される、液浸対物系のガラスの基体への接着用の請求項１に記載の単量体を主材料とした、非浸出硬化性接着剤系の使用。
【請求項１６】
基体、特に原型の光ディスクの調製に使用される、液浸対物系であって、
金属膜の積み重ね、
前記金属膜の積み重ねにおける、貫通孔に提供される、浸漬対物系レンズ、及び
前記浸漬レンズに面するフォトレジスト層が提供される、基体
を含み、
前記フォトレジスト層及び前記浸漬レンズは、水の膜によって分離され、
それの水供給流路は、前記水供給流路が、前記対物系レンズと前記基体との間の界面に放水するように、前記金属膜の積み重ねの間に及び前記金属膜の積み重ねを通じて提供され、
前記金属膜及び前記浸漬レンズは、請求項１に記載の接着剤系によって、相互に結合させられる、液浸対物系。
【請求項１７】
カテーテル、バイオセンサー、並びに、流体及び組織と接触することがありそうな他の生物医学的なデバイスの製造及び／又は組み立て用の、金属膜、（石英）ガラスの基体、及び重合体の膜からなる群の間より選択された、少なくとも二つの本体の相互の接着用の請求項１に記載の単量体を主材料とした、非浸出硬化性接着剤系の使用。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接着剤系に、及び、より詳しくは、それを硬化させてしまったとき、前記の接着剤系と接触しているか又は接触する、液体中へどんな有害な成分又は不純物をも浸出させない、非浸出接着剤系に、関する。その用語“非浸出”は、ここでは、その接着剤が使用される用途に不利益である化合物の浸出の欠如を指す。
【背景技術】
【０００２】
このような用途の例は、高密度の光ディスクの遠紫外の原型作製における使用、シリコンウェハの遠紫外のリソグラフィーにおける使用、生物学の分野での液浸リソグラフィーにおける及び浸漬顕微鏡法における使用である。さらに重要な用途は、カテーテル並びにバイオセンサーの構築におけるのみならず流体及び組織と接触することがありそうな用途用の他の生物医学的なデバイスの、特に、組み立てられた微小流体の構造を含有するものの、組み立てにある。また、獣医の及び食品＆飲料の産業において、多くの用途が、見出される。このような最大限に重要な用途には、硬化した接着剤と接触する液体が、極度に純粋な、このように、どんな汚染も無いままであることがある。
【０００３】
液浸顕微鏡法においては、例えば、その顕微鏡の対物系の開口数（ＮＡ）及びその結果として分解能は、安定したレンズと安定した物体との間に浸液を適用することによって、増加させられる。その液体の接着力は、その物体が浸漬された状態にしておく。しかしながら、その物体が移動するとき、浸漬の崩壊が、そのレンズからその液体を引くことによってか又はその対物系の下における気体を引くことによってかのいずれかで、起こることもある。従って、原型作製機のような動的な系において液体の浸漬を適用する際に鍵となる点は、その静止したレンズとその移動する基板との間に安定な液体の膜を維持することである。
【０００４】
例えば、原型のディスク上のフォトレジスト層における情報の書き込み用の高いＮＡの液浸対物系を使用する高い密度の光ディスク（ブルー・レイ・ディスク）の遠紫外の原型作製のような重大な用途において、そのフォトレジストの適切な現像は、しばしば、その浸液における低い濃度の不純物によって、妨げられる。（非常に少ないかもしれない）この汚染は、その対物系及び浸漬付属品を構築する際に使用された接着剤からの不純物の浸出による。
【０００５】
通常、二成分のエポキシ−アミン又はエポキシ−無水物（anhydride）の接着剤系が、使用される。そのとき、その接着剤からのアルカリ性の不純物が、又はその接着剤を投与してしまったとき、不適切に混合した及び／又は硬化した未反応のアミン類が、水相中に、及び、次に、そのレジスト中に浸出することが、しばしば、起こる。（エポキシ−無水物の系でさえも、浸出可能な第三級アミンの促進剤を含有することがある。）そして、露出された領域と露出されてない領域との間の目指したコントラストは、局所的に、変化させられることになるか、又は、取り除かれることになることさえあり、原型のディスクにおける点欠陥として又は染みとして出現することになる。その後、このような欠陥は、また、スタンパー及びこのような原型のディスクから作られた複製されたディスクへ移されることになる。
【０００６】
部分的に又は全体として現像されていないレジストの同じ問題が、例えば、ノボラック−ジアゾキノンタイプのレジストに属する、数個のポジティブトーンのレジストと共に認められてきた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
今、本発明は、有害な不純物又は成分を浸出しない、且つ、露出されたレジスト層の適切な現像及びその後のスタンパーの製造を可能にする、接着剤系を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
より具体的には、本発明は、アクリラート単量体及びメタクリラート単量体、アリル系の単量体、ノルボルネン単量体、前記の単量体の混合物、並びに、一つの単量体に化学的に異なる重合性基を含有するハイブリッド単量体、並びに、前記の非チオール単量体の少なくとも一つとの組み合わせで使用されるとの条件で、多官能性のチオール単量体の群の間より選択された、少なくとも一つの単量体、並びに、重合開始剤を含む、非浸出硬化性接着剤系に関する。好ましくは、チオールではない、前記の単量体の少なくとも一つには、少なくとも二つの官能基が提供され、それらの基は、架橋した重合体のネットワークを得るための、重合過程に関与することになる。ここで使用したような、その用語“多官能性”は、単量体当りに結合させられる単量体の数が、１よりも大きいことを意味する。
【０００９】
事実上、フリーラジカル開始反応によって重合可能などんな単量体も、本接着剤系において使用することができるとはいえ、ガラス及び金属に対する良好な接着性を備えた架橋した生産物を提供する、それらの化合物は、好適である。ここで使用されるようなその用語“ガラス”が、また、石英ガラスをも指すことが、認められる。
【００１０】
本接着剤系において、より好ましく使用されるジアクリラート単量体は、２，２−ビス［４−（３−アクリロイルオキシ−２−ヒドロキシプロポキシ）フェニル］プロパンである。
【００１１】
あるいは、多価チオール類（multithiols）及び多価アリル系の（multiallylic）単量体で構成されたチオール−エン（thiol-ene）の系並びに（ラジカル）重合開始剤を、別個にか、又は、上に示唆した（メタクリラート類）アクリラート類との組み合わせでかのいずれかで、使用することができる。チオール類の非限定的な例は、トリメチロールプロパン＝トリチオール、ペンタエリスリトール＝テトラチオール、及び、それらのエトキシ化された（ethoxylated）同族体である。アリル系の単量体の非限定的な例は、イソホロン＝ジイソシアナートのジアリルエステル（diallylic ester）、トリアリル＝シアヌラート及びイソシアヌラート、並びに、トリメチロールプロパンのジ及びトリアリルエーテル類である。
【００１２】
上に示唆したように、その接着剤系は、また、重合開始剤を含有する。好ましくは、熱的に及び放射、好ましくはＵＶ放射の両方で活性化させることができる単一の開始剤が、使用される。
【００１３】
アゾビスイソブチロニトリルは、多くのアゾエステル類を、同様に使用してもよいとはいえ、良好な例である。
【００１４】
アゾエステルの開始剤は、それらが、それらの光化学的な分解を除けば、相対的に低い温度でむしろ高い分解速度を有し、それは、低い温度及び適度に高い温度でもまた、それらの使用を可能にするという利点を有する。
【００１５】
より高い温度でのみ分解すると共に本発明においてもまた使用することができる光開始剤の例は、Ｉｒｇａｃｕｒｅ  １８４及びＤａｒｏｃｕｒｅ１１７３（両方ともＣｉｂａ−Ｇｅｉｇｙ  ＡＧの商標）のようなα−ヒドロキシケトン類、Ｉｇｒａｃｕｒｅ  ９０７及びＩｒｇａｃｕｒｅ  ３６９（両方ともＣｉｂａ−Ｇｅｉｇｙ  ＡＧの商標）のようなα−アミノケトン類、並びに、Ｉｒｇａｃｕｒｅ  ６５１（＝ＤＭＰＡ：α，α−ジメトキシ−α−フェニル−アセトフェノン）（Ｃｉｂａ−Ｇｅｉｇｙ  ＡＧの商標）のようなベンジルジメチルケタールである。
【００１６】
本接着剤系は、適切な実施形態において、反応性希釈剤をさらに含む。この点において、本接着剤系において使用されるジアクリラート（ジメタクリラート）の単量体が、結合させられる損傷しやすい基体における適切な適用には高過ぎである、例えば、６０℃の動作温度において、ある粘度を有してもよいことが、認められる。これらの場合においては、反応性希釈剤を使用することが、好適である。
【００１７】
前記の反応性希釈剤は、モノアクリラート、しかし好ましくはジアクリラート若しくは多価アクリラートか、及び／又は、メタクリラートかのいずれかの希釈剤であり、例えば、その例は、１，６−ヘキサンジオール＝ジアクリラート及びトリプロピレングリコール＝ジアクリラートである。さらなる例は、十分に低い粘度の、エトキシ化されたトリメチロールプロパン＝トリアクリラート類（トリメタクリラート類）及びペンタエリスリトール＝テトラアクリラート類（テトラメタクリラート類）を含む。
【００１８】
基体、特に金属又はガラスの基体に対する本接着剤系の接着性を援助するために、適切な界面活性剤でこのような基体を予備処理することは、好適である。このような表面の予備処理は、その基体からのその接着剤の剥離の予防又はその基体からのその接着剤の解放の他の手段を援助することになる。
【００１９】
従って、本発明は、また、（ａ）上に定義したような接着剤系及び（ｂ）界面活性剤を含む、単量体を主材料とした、非浸出硬化性接着剤組成物にも関する。
【００２０】
前記の界面活性剤は、好ましくは、アクリル系の又はメタクリル系のシランカップリング剤である。これらの試剤を、アクリラート（メタクリラート）の系及びチオール−エンの系の両方と、使用することができる。
【００２１】
あるいは、チオール又はアリル系のカップリング剤もまた、チオール−エンの系と使用してもよい。この点において、金属の基体を結合させるための接着剤組成物と一緒のシランカップリング剤の使用が、欧州特許出願公開第１００５０３７号明細書からのそのようなものとして知られていることが、認められる。にもかかわらず、このようなカップリング剤の具体的な例は、この参照文献には、欠けている。さらに、欧州特許出願公開第１００５０３７号明細書は、好ましくは主要な成分としてのエポキシ樹脂及びカチオン重合タイプの光開始剤からなる、カチオンＵＶ硬化性組成物に関する。このような系は、そのレジストの挙動に影響を及ぼすことになりそうであるイオン性化合物を浸出させるそれらの可能性によって特徴付けられる。
【００２２】
上に示唆したように、本発明は、これに反して、アクリラート単量体及び／又はメタクリラート単量体、アリル系の単量体、ノルボルネン単量体、化学的に異なる重合性基を含有する前記の単量体のハイブリッド単量体、前記の単量体の混合物、並びに、前記の他の非チオール単量体の少なくとも一つとの組み合わせで使用されるとの条件で、多官能性のチオール単量体、並びに、重合開始剤を主材料とした接着剤系に関し、その系は、それを硬化させてしまったとき、前記の接着剤系と接触する液体中へどんな有害な成分をも浸出させない。
【００２３】
本発明のメタクリル系のシランカップリング剤は、好ましくは、γ−メタクリロイルオキシプロピル＝トリメトキシシランである。
【００２４】
本発明は、さらに、接合される部品の表面へ、上で定義したような、非浸出硬化性接着剤系の被覆物を適用することによって、前記の部品のこのように被覆された表面を接合すると共にその組み合わせを硬化させて、金属対金属及び金属対ガラスの接着を保証するための工程に関し、ここで、接合される表面は、その接着剤系の適用の前に、界面活性剤で予備処理される。
【００２５】
このような予備処理は、上で示唆しておいたように、剥離及び／又は水の漏出をさらに予防することになる。
【００２６】
その界面活性剤は、好ましくは、アクリル系の又はメタクリル系のシランカップリング剤、より好ましくは、γ−メタクリロイルオキシプロピル＝トリメトキシシランである。
【００２７】
本発明に従って接着剤が提供される表面の予備処理は、好ましくは、必要であれば、適切な溶媒に溶解させた、そのカップリング剤の蒸気への前記の表面の露出か、若しくは、適切な溶媒における前記のカップリング剤の溶液での前記の表面の処理か、又は、任意の他の適切な工程からなる。
【００２８】
本発明は、さらに、基体、特に原型の光ディスクの調製に使用される、金属膜の、別の金属膜に対する、又は、液浸対物系のガラスの基体に対する、接着のための本接着剤系の使用に関する。
【００２９】
前に説明しておいたように、浸液中への、その浸漬対物系及び浸漬付属品を構築する際に使用された、その接着剤からのごくわずかの成分の浸出は、しばしば、前記の浸漬顕微鏡において原型のディスクにおけるレジスト層の適切な現像が妨げられるという結果を有する。このように得られた欠陥は、点欠陥として又は染みとして出現する。それらは、その原型のディスクのレジスト層において現れるだけでなく、それらスタンパー及びこのような原型のディスクから作られた複製されたディスクにもまた移されることになる。
【００３０】
本接着剤の使用は、驚くべきことに、徹底的に、この浸出の問題を予防する。
【００３１】
本発明は、さらに、請求項１６において定義されるような液浸対物系に関する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
本発明の上に示唆した及び他の態様は、いずれの点においても本発明の範囲を限定するとうに解釈されるものではない、図面及び引き続く例から明らかであると共に図面及び引き続く例の参照で解明されると思われる。
【００３３】
ブルー・レイ・ディスク用の原型のディスクの浸漬書き込みに使用される設定において、これは、図１Ａ、Ｂ及びＣに図解されるような液浸の概念を使用して、実現されてきた。
【００３４】
液浸は、対物系６の最終レンズ素子５とフォトレジスト４を備えた回転する原型作製ディスク２との間に水の膜を局所的に維持することによって、達成される（図１Ａを参照のこと）。水は、それが、書き込み使用される２５７ｎｍの波長を備えた放射について透明であると共にレジストを処理することを両立すると、浸液についてのこの用途においては、自然な選択である。使用された対物系は、（示さない）ほとんど半球状の最終レンズ素子を添加することによってＮＡ＝１．２３の水浸漬レンズへ変換される商業的に入手可能なレンズ（開口数（ＮＡ）＝０．９，λ＝２５７ｎｍ）であった。その水は、気体の包含を回避するために十分に高いと共に溶解した気体の解放を予防するために十分に低い、ある圧力で、浸漬レンズ５のちょうど上流で、穴９を通じて連続的に供給される。図１Ｂにおける底面図は、焦点の位置のまわりにおける安定な水の痕跡に帰着する、レンズ及び被覆されたディスクの相対速度が、そのレンズの下の水をどのように引くかを示す。その水の痕跡は、典型的には、５ｍ／秒までの書き込み速度で７μｍの高さ及び２００μｍの幅である。レンズ５上にこの狭い水の痕跡によって発揮された力は、その力の作動が、その水の膜の存在によって阻害されないように、最小限のものである。
【００３５】
その浸漬レンズの架台及び水の供給品の構築は、たった２５０μｍである、遠視野の対物系の元来の作動距離内で実現される必要がある。これは、水供給流路８を含有する、たった２００μｍの厚さの、その浸漬レンズ用の非常に薄っぺらな台に帰着してきた。そのレンズの台は、水供給流路８が作り出されるように形作られると共に互いに接着される、図１Ｃに示した、四つの金属箔７の積み重ねからなる。
【００３６】
その水は、対物系６とディスク２との間の界面に到達するために、箔７の積み重ねのより下側の箔における穴９を通過する。これは、浸漬に使用された水が、その接着剤と密接に接触することを意味する。箔７の積み重ねにおける接着剤は、それが、ＵＶ光に対して利用しやすいものではないので、熱的に硬化される必要がある。
【００３７】
その最終浸漬レンズ素子は、その箔の付属品に堅固に付けられる必要がある。これは、また、接着することによっても達成される。ここで、ＵＶ硬化性接着剤は、高い温度が応力の増強、それの緩和、及びその結果として、浸漬レンズ素子５の不正確な位置決めを減少させるために、回避されるので、好適である。
【００３８】
エポキシ−アミン／無水物を主材料とした接着剤のような、従来の接着剤が使用されるとき、そのレジストが、水性の現像剤の溶液でのすすぎ若しくは噴霧又は現像剤の水溶液中へ浸すことの後に、部分的に又は全体として現像されないままであることは、しばしば起こる。それら欠陥は、点欠陥（図２）として又は染み（図３）として出現する。それら欠陥は、そのレジスト層に出現するだけでなく、また、スタンパー及びこのような原型から作られた複製されたディスクにも移される。原型のスタンパーにおける点欠陥の詳細を、図４に示す。そのレジストは、局所的に現像されてない。
【００３９】
図４におけるトラックのピッチが、３２０ｎｍであった一方で、図２及び３におけるトラックの幅は、０．７ｍｍであった。
【００４０】
図５Ａ及び図５Ｂは、図１Ａ、１Ｂ及び１Ｃに記載された浸漬顕微鏡を使用することによって生産された、且つ、本発明に従った接着剤を使用することによって取り付けられた、複製されたディスクを示す。図５Ａ及び５Ｂにおけるトラックの幅は、０．４ｍｍであった。
【実施例１】
【００４１】
［例１］
１，６−ヘキサンジオール＝アクリラート中の２，２−ビス［４−（３−アクリロイルオキシ−２−ヒドロキシプロポキシ）フェニル］プロパン（＝ビス−ＧＡＡ）の８０％（重量／重量）の溶液を０．１（重量）％のアゾビスイソブチロニトリルと混合することによって、接着剤を調製した。
【００４２】
この接着剤を、箔の積み重ねの積層並びに図１Ａ及び１Ｂに示すような対物系レンズの接着において使用した。それら箔の間の接着剤を、１２時間の間に９０℃まで箔の積み重ねを加熱することによって、硬化させた。その対物系レンズを、ＵＶ光（波長の範囲：３２０−３９０ｎｍ，強度：４０ｍＷｃｍ−２，露出時間：１分）に対する同じ接着剤の露出によって、箔の積み重ねに対して固定した。
【００４３】
その接着剤系が、露出されたレジスト層の適切な現像及び図１Ａ、１Ｂ及び１Ｃに示すような浸漬顕微鏡対物系によるその後のスタンパーの製造によって示されるような不純物を浸出させなかったように見えた。
【００４４】
その接着剤系の優れた品質は、図５Ａ及び５Ｂに示すような、複製されたディスク上の染み及び針穴の欠如によって、さらに図解される。
【００４５】
［例２］
接着剤を、例１に従って、しかし、ビス−ＧＡＡを、トリプロピレングリコール＝ジアクリラート中の７５％（重量／重量）の溶液として使用することによって、調製した。
【００４６】
例１に示唆したのと同じ結果が得られた。
【００４７】
［例３］
剥離及び／又は水の漏出をさらに（もしも可能であれば、全く）予防するために、互いに結合させられる表面を、液体のシランカップリング剤での予備処理にかけた。より具体的には、金属の箔及び浸漬レンズを、γ−メタクリロイルオキシプロピル＝トリメトキシシランを備えた開放した容器を含有した、乾燥器中に置いた。
【００４８】
その乾燥器を、排気し、且つ、それら金属の箔及びレンズを、一晩中、前記のカップリング剤の蒸気に露出させた。その後で、それらの部品を、その接着剤を使用すること及び例１に示唆した手順によって、結合させた。
【００４９】
染みも点欠陥もどちらも、図１Ｂに描いた原型作製デバイスを使用して作られた原型のディスクの現像で、観察されなかった。
【００５０】
［比較例１］
従来のエポキシ−アミン接着剤、すなわち、Ａｒａｌｄｉｔｅ  ２０１１（Ｖａｎｔｉｃｏの商標）を使用することによって構築された、図１Ｃで概略を述べたような液浸顕微鏡系を使用して作られたスタンパーから複製されたディスクは、図２及び３に示すような多くの点欠陥及び染みを示した。それら欠陥は、すでに、それらディスクを複製するために使用されたスタンパーに存在した（図４）。
【００５１】
本発明が、それの具体的な実施形態に関して記載される一方で、それらの様々な変更及び変形を、ここに添付した特許請求の範囲の参照によってより明らかに理解される、本発明の範囲及び主旨を逸脱することなく、なしてもよいことは、認識される。さらに、特許請求の範囲におけるいずれの符号も、本発明の範囲を限定するように解釈されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１Ａ】光ディスクの原型作製において使用される液浸の概念の断面を示す。
【図１Ｂ】光ディスクの原型作製において使用される液浸の概念の底面図を示す。
【図１Ｃ】図１Ａの浸漬レンズの台及び水供給付属品の実施形態の詳細を示す。
【図２】液浸顕微鏡において従来の接着剤を使用することによって、複製されたディスクに得られた、点欠陥を示す。
【図３】液浸対物系において従来の接着剤を使用することによって、複製されたディスクに得られた、染みを示す。
【図４】液浸対物系において従来の接着剤を使用することによって生産された原型のスタンパーにおける点欠陥を示すＡＦＭの写真である。
【図５Ａ】染み又は点欠陥無しに、本発明に従って接着剤を使用することによって得られた、複製されたディスクを示す（倍率１０倍）。
【図５Ｂ】２０倍の倍率だが、図５Ａに示したのと同じディスクを示す。
【図１Ａ】
2007502882.tif 000002
【図１Ｂ】
2007502882.tif 000003
【図１Ｃ】
2007502882.tif 000004
【図２】
2007502882.tif 000005
【図３】
2007502882.tif 000006
【図４】
2007502882.tif 000007
【図５ａ】
2007502882.tif 000008
【図５ｂ】
2007502882.tif 000009
【国際調査報告】
2007502882.tif 000010
2007502882.tif 000011
2007502882.tif 000012