(57)【要約】  電子センサ・デバイス２０用のセンサ素子２４に関する。センサ素子２４は、基板４３、一対のプルーフマス３４ａ，３４ｂ、一対の駆動ビーム４４、及び１つ以上の基部ビーム４６を備える。一対のプルーフマス３４ａ，３４ｂは基板４３の上方に懸架され、係留点５０にて基板４３に取り付けられている。一組の駆動ビーム４４はプルーフマス３４ａ，３４ｂと係留点５０との間に配設されている。各駆動ビーム４４は、第１の方向に延在する第１の長尺状基部６２と、第２の方向に沿って延在する第１の可撓性バネ部材６４とを含む。基部ビーム４６は一組の駆動ビーム４４を相互接続し、第２の長尺状基部７２及び第２の可撓性バネ部材７４とを備える。第２の長尺状基部７２は第２の方向に延在し、第２の可撓性バネ部材７４は第１の方向に延在する。第１及び第２の可撓性バネ部材６４，７４は、折り曲げたビームの柱又は襞状バネなど、蛇行形状であってよい。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサ・デバイス用のセンサ素子において、
基板と、
固定係留点にて基板に取り付けられ、且つ基板の上方に懸架されている一対のプルーフマスと、
プルーフマスと固定係留点との間に配設されている一組の駆動ビームとからなり、
駆動ビームは第１の方向に沿って延在する第１の可撓性バネ部材を含む第１の基部と、第１の方向に対し垂直である第２の方向に沿って延在する可撓性バネ部材を含む第２の基部とを有することと、
第１の可撓性バネ部材及び第２の可撓性バネ部材はプルーフマスの駆動周波数及び感知周波数がほぼ整合するように構成されていることとを含むセンサ素子。
【請求項２】
第２の方向に沿って延在する第１の可撓性バネ部材を含む第１の長尺状基部と、第１の方向に沿って延在する第２の可撓性バネ部材を含む第２の基部とを有し、且つ一組の駆動ビームを相互接続する１つ以上の基部ビームを含む請求項１に記載のセンサ素子。
【請求項３】
可撓性バネ部材の形状は蛇行状である請求項１に記載のセンサ素子。
【請求項４】
基板はガラスからなり、プルーフマス及び駆動ビームはシリコンからなる請求項１に記載のセンサ素子。
【請求項５】
ジャイロスコープにおける外部的に誘起される角速度の感知に用いられる請求項１に記載のセンサ素子。
【請求項６】
第１の平面における第１の方向に駆動周波数にてプルーフマスを駆動する第１の櫛歯電極対を含む請求項１に記載のセンサ素子。
【請求項７】
第１の平面におけるプルーフマスの運動を感知することが可能な第２の櫛歯電極対と、第１の平面とは異なる第２の平面におけるプルーフマスの感知周波数による運動を感知することが可能な面外電極対とを含む請求項６に記載のセンサ素子。
【請求項８】
ディジタル処理ユニット及びセンサ素子からなる電子センサにおいて、センサ素子は、
基板と、
固定係留点にて基板に取り付けられ、且つ基板の上方に懸架されている一対のプルーフマスと、
プルーフマスと固定係留点との間に配設されている一組の駆動ビームとからなり、
各駆動ビームは１つの平面における第１の方向及び第１の可撓性バネ部材に沿って延在する第１の長尺状基部と、第１の方向に対し垂直である同平面における第２の方向に沿って延在する第２の可撓性バネ部材を含む第２の基部とを有することと、
第１の可撓性バネ部材及び第２の可撓性バネ部材は同平面における第１の方向のプルーフマスの駆動周波数及び同平面外のプルーフマスの感知周波数がほぼ整合し、且つ同平面における第２の方向の振動周波数の１つ以上に整合しないように構成されていることと、
第２の方向に沿って延在する第１の可撓性バネ部材を含む第２の長尺状基部と、第１の方向に沿って延在する第２の可撓性バネ部材を含む第２の基部とを有し、且つ一組の駆動ビームを相互接続する１つ以上の基部ビームとを含む電子センサ。
【請求項９】
可撓性バネ部材の形状は蛇行状である請求項８に記載の電子センサ。
【請求項１０】
センサ素子は第１の平面における第１の方向に駆動周波数にてプルーフマスを駆動する第１の櫛歯電極対を備えることと、
第１の櫛歯電極対はディジタル処理ユニットから信号を受信することと、
センサ素子は第１の平面におけるプルーフマスの運動を感知することが可能な第２の櫛歯電極対と、第１の平面とは異なる第２の平面におけるプルーフマスの感知周波数による運動を感知することが可能な面外電極対とを備えることと、
第２の櫛歯電極対及び面外電極対はディジタル処理ユニットに対し信号を送信することが可能であることとを含む請求項８に記載の電子センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ジャイロスコープなどのセンサにおける微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）に関する。より詳細には、本発明は、それらのデバイスにおける可撓性振動部材の使用に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＭＥＭＳ技術により製造される電子センサ・デバイスは、多くの分野で主要な役割を担っている。例えば、輸送用途及び商業用途においては、微小機械ジャイロスコープにより幾つかの重要な制御システムが可能となった。ＭＥＭＳ技術により製造される圧力センサ、加速度計、アクチュエータ、及び共振子など、他の微小デバイスも多くの分野で使用されている。
【０００３】
微小ジャイロスコープのうちの１つの型は、２つの可動プルーフマスを備える。プルーフマスは支持構造体により基板の上方に懸架されている。ジャイロスコープのモータはプルーフマスを所定の周波数にて同一平面（面内）で振動させる。このモータは、同一平面で振動するようにプルーフマスを駆動する電極を備える場合もある。プルーフマスの振動は、プルーフマスの共振周波数近傍の周波数に制御される。
【０００４】
一組のプルーフマス及び駆動電極に加え、ジャイロスコープはプルーフマスの周囲に感知電極を備える。この感知電極は、各プルーフマスの運動を示す信号を出力する。詳細には、一定の電極はプルーフマスの面内運動を感知し、他の電極はプルーフマスの面外運動を感知する。適切な信号処理・抽出回路を用いて、プルーフマスの面外運動を感知する電極により出力される信号から、角速度成分を復元することが可能である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来のジャイロスコープにおけるプルーフマス及び支持構造体は極めて薄い。支持構造体のビームの厚さは１０μｍ未満、ビームの幅は５μｍ未満であり、加工許容差は非常に狭いことが知られている。プルーフマスを厚くすることにより、大量生産における歩留まりを改良する必要、及び加工許容差を緩和する必要が存在する。これは特に、自動車用途の低コストなジャイロスコープ・デバイスにおいて重要である。しかしながら、プルーフマスを厚くすることにより他の問題が生じる。例えば、種々の振動モードのうちの一定の周波数が所望されないものとなり、信号雑音を受け易くなる場合がある。
【０００６】
可動プルーフマスを用いるジャイロスコープにおける異なる振動モードの周波数を再調整させる機構の必要が存在する。この機構では、より厚い可動プルーフマス及び支持構造体をセンサ・デバイスに用いることを可能とし、大量生産用途における歩留まりを改良する。したがって、全てではなくとも、上述の問題のうちの多くを克服する機構をセンサに提供することが所望される。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
種々の振動モードにおける相対周波数の再調整を可能とする、電子センサ・デバイスのセンサ素子における改良された機構及び構造を記載する。これにより、より厚い可動プルーフマスをセンサ・デバイスに用いることを可能とし、大量生産用途における歩留まりを改良するとともに、加工許容差の緩和を可能とする。この目的のために、一実施形態では、基板、一対のプルーフマス、及び一組の駆動ビームからなるセンサ・デバイス用のセンサ素子が存在する。一対のプルーフマスは基板の上方に懸架され、固定係留点にて基板に取り付けられている。一組の駆動ビームは、プルーフマスと固定係留点との間に配設されている。駆動ビームは第１の方向に沿って延在する長尺状基部と、第２の方向に沿って延在する可撓性バネ部材とを有する。第２の方向は第１の方向に対し垂直であってよく、可撓性バネ部材の形状は折り曲げたビームの柱（ｆｏｌｄｅｄ  ｂｅａｍ−ｃｏｌｕｍｎ）又は襞状バネ（ｗｒｉｎｋｌｅ  ｓｐｒｉｎｇ）など、蛇行状であってよい。
【０００８】
センサ素子はさらに、一組の駆動ビームを相互接続する１つ以上の基部ビームを備えてもよい。基部ビームは第２の方向に沿って延在する自身の長尺状基部と、第１の方向に沿って延在する第２の可撓性バネ部材をとを有してもよい。基部ビームの可撓性バネ部材の形状もまた、折り曲げたビームの柱又は襞状バネなど蛇行状であってよい。センサ素子はさらに、第１の平面においてプルーフマスを駆動する第１の櫛歯電極対を備えてよい。また、センサ素子は第２の櫛歯電極対と、面外電極対とを備えてよい。第２の櫛歯電極対は第１の平面におけるプルーフマスの運動を感知することが可能であり、面外電極対は第１の平面とは異なる第２の平面におけるプルーフマスの運動を感知することが可能である。
【０００９】
別の実施形態では、基板、一対のプルーフマス、一組の駆動ビーム、及び１つ以上の基部ビームからなるセンサデバイス用のセンサ素子が存在する。一対のプルーフマスは基板の上方に懸架され、固定係留点にて基板に取り付けられている。一組の駆動ビームは、プルーフマスと固定係留点との間に配設されている。各駆動ビームは第１の方向に沿って延在する第１の長尺状基部と、第２の方向に沿って延在する第１の可撓性バネ部材とを有する。基部ビームは一組の駆動ビームを相互接続し、且つ第２の長尺状基部と、第２の可撓性バネ部材とを有する。第２の長尺状基部は第２の方向に沿って延在し、第２の可撓性バネ部材は第１の方向に沿って延在する。ここで、第１及び第２の可撓性バネ部材の形状は、折り曲げたビームの柱又は襞状バネなど蛇行状であってよい。
【００１０】
また、ディジタル処理ユニット及びセンサ素子からなる電子センサも存在する。センサ素子は、基板、一対のプルーフマス、一組の駆動ビーム、及び１つ以上の基部ビームを備えてよい。一対のプルーフマスは基板の上方に懸架され、固定係留点にて基板に取り付けられている。一組の駆動ビームは、プルーフマスと固定係留点との間に配設されている。各駆動ビームは第１の方向に沿って延在する第１の長尺状基部と、第２の方向に沿って延在する第１の可撓性バネ部材とを有する。基部ビームは駆動ビームの組を相互接続し、且つ第２の長尺状基部と第２の可撓性バネ部材とを有する。第２の長尺状基部は第２の方向に沿って延在し、第２の可撓性バネ部材は第１の方向に沿って延在する。
【００１１】
センサ素子はさらに、第１の平面においてプルーフマスを駆動する第１の櫛歯電極対を備えてもよい。第１の櫛歯電極対はディジタル処理ユニットから信号を受信するように構成されてよい。センサ素子はさらに、第２の櫛歯電極対及び面外電極対を備えてよい。第２の櫛歯電極対は第１の平面におけるプルーフマスの運動を感知し、ディジタル処理ユニットに対し信号を送信することが可能である。面外電極対は別の平面におけるプルーフマスの運動を感知し、別の信号をディジタル処理ユニットに対し送信することが可能である。ディジタル処理ユニットに対し出力された信号は、デバイスに対し外部的に誘起される角速度を反映する角速度成分を抽出するために、デバイスにより用いられる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明には種々の変更形態及び代替形態が存在するが、特定の実施形態を例として図面に示し、本明細書において詳細に説明する。しかしながら、本発明は開示の特定の形態に限定されるものではないことが理解される。むしろ本発明は、添付の特許請求の範囲により規定される本発明の範囲内にある変更物、均等物、及び代替物の全てを包含するものである。
【００１３】
これより図面を参照する。図１には、ディジタル処理ユニット２２及びセンサ素子２４を有する電子センサ２０の一実施形態を示す。電子センサ２０の例示的な一実施形態として微小ジャイロスコープセンサを用いて本発明を示す。
【００１４】
一実施形態では、ディジタル処理ユニット２２は、複数の機能ブロックを含むディジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）コントローラにて実装され得る。この複数の機能ブロックは、本出願と同一の譲受人に譲渡された米国特許出願である、スティーブン・ジェイ・ローバー（Ｓｔｅｐｈｅｎ  Ｊ．  Ｒｏｂｅｒ）による「電子センサにおける信号抽出方法及び装置（Ｍｅｔｈｏｄ  ａｎｄ  Ａｐｐａｒａｔｕｓ  ｆｏｒ  Ｓｉｇｎａｌ  Ｅｘｔｒａｃｔｉｏｎ  ｉｎ  ａｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  Ｓｅｎｓｏｒ）」と題する２００３年１０月１８日出願の米国特許出願第１０／２７３，８０５号明細書に記載されており、その出願の全体を引用により本明細書に援用する。一般に、一実施形態では、ディジタル処理ユニット２２はモータ駆動信号２６をセンサ素子２４に送信することにより、センサ素子２４のプルーフマスの運動を１つの平面において制御する。これに代えて、当業者に周知のように、別個のアナログシステムを用いてセンサ素子２４のプルーフマスの運動を制御することが可能である。また、ディジタル処理ユニット２２は、センサ素子２４に対し外部的に誘起される角速度を反映する角速度２８を抽出及び出力し得る。角速度２８を抽出及び出力するために、本発明ではディジタル処理ユニット２２を用いて、センサ素子２４から第１の信号３０及び第２の信号３２を受信する。さらに後述のように、第１の信号３０は、プルーフマスと同一平面の感知電極から出力される。第２の信号３２は、プルーフマスと同一平面にない感知電極から出力される。
【００１５】
図２を参照すると、一般にセンサ素子２４は、一対の可動プルーフマス３４ａ，３４ｂ、一対の外側櫛歯３６ａ，３６ｂ、一対の内側櫛歯３８ａ，３８ｂ、一対の面外感知電極４０ａ，４０ｂ、及び支持構造体４２を備える。支持構造体４２は、可動プルーフマスと、その下に位置する基板４３との間に取り付けられる。一実施形態では、下に位置する基板４３はガラスからなり、プルーフマス３４ａ，３４ｂ、及び支持構造体４２はシリコンからなる。
【００１６】
本発明の一実施形態では、図２に示すように、支持構造体４２は一連の駆動ビーム４４、基部ビーム４６、及び捻れビーム４８からなる。センサ素子２４の構成要素は、支持構造体４２を介し、固定係留点５０にて基板４３に取り付けられる。好適には、センサ素子２４の構成要素は、真空封止されたキャビティ内に収容される。
【００１７】
プルーフマス３４ａ，３４ｂは基板４３の上方に懸架される。詳細には、後述のように、支持構造体４３のビーム４４，４６，４８により、プルーフマス３４ａ，３４ｂが一連の係留点５０に関して運動することが可能となる。係留点５０は、基板４３に対し頑強に取り付けられている。プルーフマス３４ａ，３４ｂは異なる平面において運動することが可能である。第１の平面（面内）は、図２に示すようにｘ軸により規定される。他の平面（面外）はｙ軸及びｚ軸により規定される。
【００１８】
一対の外側櫛歯３６ａ，３６ｂは、ｘ軸により規定される第１の平面においてプルーフマス３４ａ，３４ｂを駆動する電極である。この運動（駆動モード）を図３Ａ，Ｂに強調して示す。駆動モードでは、電極により動きが駆動され、プルーフマス３４ａ，３４ｂにコリオリ力を生じる。一対の外側櫛歯３６ａ，３６ｂを基板に取り付けて、入力電圧の変動する静電気力を提供し、プルーフマスを駆動してもよい。
【００１９】
一対の内側櫛歯３８ａ，３８ｂは、プルーフマス３４ａ，３４ｂと同一平面に存在する。一対の内側櫛歯３８ａ，３８ｂは基板に取り付けられてもよい。一対の内側櫛歯３８ａ，３８ｂは、ｘ軸におけるプルーフマス３４ａ，３４ｂの運動を感知する電極であってもよい。一対の内側櫛歯３８ａ，３８ｂは、第１の信号３０をディジタル処理ユニット２２に対し出力するために用いられる。
【００２０】
一対の面外感知電極４０ａ，４０ｂは、プルーフマス３４ａ，３４ｂの面外運動を感知する。例えば、主な種類の面外運動のうちの１つ（感知モード）を図４Ａ，Ｂに強調して示す。これは、プルーフマス３４ａ，３４ｂが互いにｚ軸において反対方向に運動する場合である。一対の面外感知電極４０ａ，４０ｂは、一対のプルーフマス３４ａ，３４ｂの下方に配設されてもよい。一対の面外感知電極４０ａ，４０ｂは、第２の信号３２をディジタル処理ユニット２２に対し出力するために用いられる。第２の信号３２は、センサ素子２４に対して外部的に誘起される角速度を反映する角速度成分を含む。ディジタル処理ユニット２２は第２の信号３２を受信し、角速度成分を抽出して角速度２８を出力する。
【００２１】
上述のように、図３Ａ，Ｂ，図４Ａ，Ｂには、駆動モード（図３Ａ，Ｂ）及び感知モード（図４Ａ，Ｂ）におけるプルーフマス３４ａ，３４ｂの振動運動を強調して示す。他の振動モード及び信号雑音を防止するため、プルーフマス３４ａ，３４ｂが振動する周波数は近くあることが必要である。現行では、これら２つのモードの周波数を近くに保持するために、加工厚範囲が非常に限定された、非常に薄いプルーフマス及び支持構造体を用いることが知られている。薄い構造体の使用及び限定された加工許容差により、製造工程における歩留まりは低下する。大量生産における歩留まりを改良するとともに、加工許容差を緩和するには、より厚いプルーフマスを用いることが有利であろう。
【００２２】
しかしながら、より厚いプルーフマスを用いると他の問題が生じる。例えば、駆動モード（図３Ａ，Ｂに示す）及び感知モード（図４Ａ，Ｂに示す）における振動周波数が非常に離間し得る。さらに、後述の振動モードなど、他の所望されない振動モードが生じる場合がある。本発明による機構なしでは、他の所望されない振動モードにより駆動モードの周波数と感知モードの周波数とが隔てられ、デバイスが正しく機能しない場合がある。
【００２３】
例えば、より厚い構造体を用いる時に発生し得る１つの振動モードを、フラ（ｈｕｌａ）モードと称する。フラモードにおけるプルーフマス３４ａ，３４ｂの運動を図５Ａ，Ｂに強調して示す。この図では、プルーフマス３４ａ，３４ｂは、ｘ軸において同じ方向に運動する。発生し得る別の振動モードを、トランポリンモードと称する。トランポリンモードにおけるプルーフマス３４ａ，３４ｂの運動を図６Ａ，Ｂに強調して示す。この図では、プルーフマス３４ａ，３４ｂはｚ軸において同じ方向に運動する。発生し得るさらなる振動モードを、捻れモードと称する。捻れモードにおけるプルーフマス３４ａ，３４ｂの運動を図７Ａ，Ｂに強調して示す。この図では、プルーフマス３４ａ，３４ｂはｙ軸平面にて捻れ、ｚ軸の周囲に回転する。発生し得るさらに別の振動モードを、フリップフラップモードと称する。フリップフラップモードにおけるプルーフマス３４ａ，３４ｂの運動を図８Ａ，Ｂに強調して示す。この図では、プルーフマス３４ａ，３４ｂはｙ軸の周囲に回転する。
【００２４】
感知素子２４においてより厚い構造を可能とするため、有利には、本発明は後述の機構を含む。詳細には、支持構造体４２は、プルーフマス３４ａ，３４ｂと係留点５０との間に配設される一組の駆動ビーム４４を有する。各駆動ビーム４４は、第１の方向に沿って延在する長尺状基部６２と、第２の方向に沿って延在する可撓性バネ部材６４とを有する。図３〜８に示す実施形態では、第１の方向はｙ軸に沿っており、第２の方向はｘ軸に沿っている。本開示の利点により、軸の実際の定義は実施態様によることを当業者は認識するであろう。しかしながら、第１の方向は第２の方向と異なる。図３〜８に示す実施形態には、第２の方向を第１の方向に対し垂直に示す。さらに、一実施形態では、可撓性バネ部材６４は蛇行状、すなわち折り曲げたビームの柱又は襞状バネの形状に形成され、長尺状基部６２の一部と一様である。
【００２５】
図９には、従来のデバイスに見られる、より厚いプルーフマスを用いる本発明の一実施形態における、種々の振動モードの相対周波数を示す。破線枠には、駆動ビーム４４に可撓性バネ部材６４を用いる種々の振動モードの相対周波数を示す。実線枠には、可撓性バネ部材６４を用いない種々の振動モードの相対周波数を示す。駆動ビーム４４に可撓性バネ部材６４を用いることにより、駆動モードの相対周波数と感知モードの相対周波数とを、より近くに整合させる（ａｌｉｇｎ）ことが可能となる。さらなる一実施形態では、さらに支持構造体４２の基部ビーム４６を用いて駆動ビーム４４を相互接続する。基部ビーム４６は、第２の方向に沿って延在する長尺状基部７２と、第１の方向に沿って延在する可撓性バネ部材７４とを有する。上述のように、第２の方向はｘ軸に沿っており、第１の方向はｙ軸に沿っている。ここでも、本開示の利点により、軸の実際の定義は実施態様によることを当業者は認識するであろう。しかしながら、第１の方向は第２の方向と異なる。図３〜８に示す実施形態には、第２の方向を第１の方向に対し垂直に示す。この実施形態では、可撓性バネ部材７４は蛇行状、すなわち折り曲げたビームの柱又は襞状バネの形状に形成され、長尺状基部７２の一部と一様である。
【００２６】
図１０には、従来のデバイスに見られる、より厚いプルーフマスを用いる本発明の一実施形態における、種々の振動モードの相対周波数を示す。この実施形態では、駆動ビーム４４における可撓性バネ部材６４と、基部ビーム４６における可撓性バネ部材７４との両方を用いる。詳細には、点破線枠には、可撓性バネ部材６４，７４を両方とも用いる種々の振動モードの相対周波数を示す。実際に、可撓性バネ部材７４を用いることにより、感知モードの周波数は駆動モードの周波数のより近くに変位する。破線枠には、駆動ビーム４４における可撓性バネ部材６４のみを用いる種々の振動モードの相対周波数を示す。可撓性バネ部材６４，７４は、既存のデバイスに対しさらなる改良を提供するとともに、駆動モードの相対周波数と感知モードの相対周波数とをより近くに整合させることを可能とする。
【００２７】
種々の振動モードにおける周波数の再調整を可能とする、センサ素子における改良された機構及び構造を記載した。これにより、より厚い可動プルーフマス及び構造体をセンサ・デバイスに用いることを可能とし、大量生産用途における歩留まりを改良するとともに、加工許容差の緩和を可能とする。結果として、本発明には、センサ・デバイスの製造コストを低減するという利点が存在する。この機構及び構造では、蛇行形状、すなわち折り返しビームコラム又は襞状バネを用いることにより、さらなる可撓性を可能とし、他の所望されない振動モードによる干渉なしで、駆動モードの周波数と感知モードの周波数とをより近くに整合させることを可能とする。この機構では、蛇行状ループの数、ループの幅、及びループ間の間隙を調整し、剛性を微調整するとともに、構造の周波数全体を調整することを可能とし、設計者に柔軟な設計を可能とする。
【００２８】
本発明の上記の説明は例示のみを意図したものであり、本出願により付与される任意のの特許の範囲を限定する意図はない。本発明は、続く特許請求の範囲によってのみ限定されるものである。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明による電子センサの一実施形態の高位ブロック図。
【図２】本発明によるセンサ素子の一実施形態の平面図。
【図３Ａ】センサ素子の一組のプルーフマスが駆動モードで運動する（プルーフマスはｘ軸において反対方向に運動する）本発明の一実施形態の平面図。
【図３Ｂ】センサ素子の一組のプルーフマスが駆動モードで運動する（プルーフマスはｘ軸において反対方向に運動する）本発明の一実施形態の平面図。
【図４Ａ】センサ素子の一組のプルーフマスが感知モードで運動する（プルーフマスはｚ軸において反対方向に運動する）本発明の一実施形態の斜視図。
【図４Ｂ】センサ素子の一組のプルーフマスが感知モードで運動する（プルーフマスはｚ軸において反対方向に運動する）本発明の一実施形態の斜視図。
【図５Ａ】センサ素子の一組のプルーフマスがフラモードで運動する（プルーフマスはｘ軸において同じ方向に運動する）本発明の一実施形態の平面図。
【図５Ｂ】センサ素子の一組のプルーフマスがフラモードで運動する（プルーフマスはｘ軸において同じ方向に運動する）本発明の一実施形態の平面図。
【図６Ａ】センサ素子の一組のプルーフマスがトランポリンモードで運動する（プルーフマスはｚ軸において同じ方向に運動する）本発明の一実施形態の斜視図。
【図６Ｂ】センサ素子の一組のプルーフマスがトランポリンモードで運動する（プルーフマスはｚ軸において同じ方向に運動する）本発明の一実施形態の斜視図。
【図７Ａ】センサ素子の一組のプルーフマスが捻れモードで運動する（プルーフマスがｙ軸平面にて捻れる）本発明の一実施形態の斜視図。
【図７Ｂ】センサ素子の一組のプルーフマスが捻れモードで運動する（プルーフマスがｙ軸平面にて捻れる）本発明の一実施形態の斜視図。
【図８Ａ】センサ素子の一組のプルーフマスがフリップフラップモードで運動する（プルーフマスはｙ軸の周囲に捻れる）本発明の一実施形態の斜視図。
【図８Ｂ】センサ素子の一組のプルーフマスがフリップフラップモードで運動する（プルーフマスはｙ軸の周囲に捻れる）本発明の一実施形態の斜視図。
【図９】本発明の種々の実施形態を用いることにより得られる相対周波数を示す図。
【図１０】本発明の種々の実施形態を用いることにより得られる相対周波数を示す図。
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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