(57)【要約】テストカセット（１１０）に配置されたベースコントローラ（２１０）は、複数の電子デバイス（２３６ａ、２３６ｂ）をテストするためのテストデータを受信する。ベースコントローラは、テストデータを複数の無線テスト制御チップ（２１４ａ、２１４ｂ、２１４ｃ、２１４ｄ、２１４ｅ、２１４ｆ、２１４ｇ）へ無線を使って伝送し、当該チップはテストデータを電子デバイスのそれぞれに書き込む。その後、無線テスト制御チップ（２１４ａ、２１４ｂ、２１４ｃ、２１４ｄ、２１４ｅ、２１４ｆ、２１４ｇ）は、電子デバイス（２３６ａ、２３６ｂ）によって生成された応答データを読み出し、無線テスト制御チップは、応答データをベースコントローラ（２１０）へ無線を使って伝送する。
2007532884.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テスタに接続可能な複数のコネクタを備えるベースコントローラと、
電子デバイスに接続可能な複数のコネクタを備えるテストコントローラと、
該ベースコントローラと該テストコントローラとの間で無線を使ってテストデータの通信を行う無線手段と
を備える、テスト用装置。
【請求項２】
複数の前記テストコントローラであって、各テストコントローラが複数の前記電子デバイスの１つに接続可能な複数のコネクタを備えるテストコントローラをさらに備え、
前記無線手段は前記ベースコントローラと該テストコントローラのそれぞれとの間で通信を行う、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記テストコントローラの少なくとも一部は前記電子デバイス上に配置されている、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記装置は密閉することが可能な筐体を備える、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記電子デバイスは半導体ダイを備える、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
複数の前記電子デバイスをさらに備え、各前記ダイは半導体ダイを備え、該ダイは個片切断されていない半導体ウェハを構成する、請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記無線手段は、前記テストコントローラと電気的に接続された第１の送受信機と、前記ベースコントローラと電気的に接続された第２の送受信機とを備える、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
複数のプローブであって、それぞれが前記電子デバイスの端子と接触するように配置されたプローブをさらに備え、該電子デバイスに接続可能な前記複数のコネクタは、該プローブと電気的に接続される、請求項１に記載の装置。
【請求項９】
前記テストデータは、テストベクトルまたはテストコマンドのうちの少なくとも１つを含む、請求項１に記載の装置。
【請求項１０】
複数の電子デバイスをテストする方法であって、
ベースコントローラにおいてテストデータを受信するステップと、
該テストデータを該ベースコントローラから複数のテストコントローラへ無線を使って伝送するステップと、
該テストデータを該テストコントローラのそれぞれから該電子デバイスの１つに書き込むステップと
を包含する、方法。
【請求項１１】
前記電子デバイスによって生成された応答データを前記テストコントローラに読み込むステップと、
該応答データを該テストコントローラから前記ベースコントローラへ無線を使って伝送するステップと
をさらに包含する、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記テストデータをテスタから前記ベースコントローラへ送信するステップと、
前記応答データを該ベースコントローラから該テスタへ送信するステップと
をさらに包含する、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記テストデータは、テストベクトルまたはテストコマンドのうちの少なくとも１つを含む、請求項１０に記載の方法。
【請求項１４】
テスタと、
テストステーションと、
該テスタと該テストステーションとの間の通信リンクと、
該テストステーションに配置された基板であって、
該通信リンクと通信を行っているベースコントローラと、
テストされる複数の電子デバイスの１つに接続可能な複数のコネクタをそれぞれが備える複数のテストコントローラと、
該ベースコントローラと該複数のテストコントローラとの間で無線を使ってテストデータの通信を行う無線手段とを備える、基板と
を備える、テストシステム。
【請求項１５】
前記テストコントローラのうち１つの少なくとも一部は前記電子デバイスの１つに配置されている、請求項１４に記載のテストシステム。
【請求項１６】
複数のプローブであって、それぞれが前記電子デバイスの１つの端子に接触するように配置されたプローブをさらに備え、該電子デバイスの１つに接続可能な前記複数のコネクタは、前記プローブと電気的に接続される、請求項１４に記載のテストシステム。
【請求項１７】
複数の前記テスタであって、それぞれ前記通信リンクと通信を行っているテスタをさらに備える、請求項１４に記載のテストシステム。
【請求項１８】
複数の前記テストステーションであって、それぞれ前記通信リンクと通信を行っているテストステーションをさらに備える、請求項１７に記載のテストシステム。
【請求項１９】
前記電子デバイスは半導体ダイである、請求項１８に記載のテストシステム。
【請求項２０】
前記半導体ダイは、個片切断されていない半導体ウェハを構成する、請求項１９に記載のテストシステム。
【請求項２１】
前記テストデータは、テストベクトルまたはテストコマンドのうち少なくとも１つを含む、請求項１４に記載のテストシステム。
【請求項２２】
前記基板が配置されているカセットをさらに備える、請求項１４に記載のテストシステム。
【請求項２３】
前記カセットは密閉可能である、請求項２２に記載のテストシステム。
【請求項２４】
前記基板はプローブカードを構成する、請求項１４に記載のテストシステム。
【請求項２５】
複数の電子デバイスをテストする方法であって、
第１のベースコントローラにおいて、第１のテストを実行するための第１のテストデータを第１のテスタから受信するステップと、
無線を使って該第１のテストデータを該第１のベースコントローラから複数のテストコントローラへ伝送するステップと、
該第１のテストを該電子デバイスの第１のセット上で実行するステップと、
該第１のベースコントローラにおいて、該第２のテストを該電子デバイスの第１のセット上で実行するための第２のテストデータを第２のテスタから受信するステップと、
該第２のテストデータを該第１のベースコントローラから該複数の第１のテストコントローラへ無線を使って伝送するステップと、
該第２のテストを該電子デバイスの第１のセット上で実行するステップと
を包含する方法。
【請求項２６】
前記第１のテストの結果を前記テストコントローラの第１のセットのそれぞれから前記第１のベースコントローラへ無線を使って伝送するステップと、
無線を使って前記第２のテストの結果を前記テストコントローラの第１のセットのそれぞれから前記第１のベースコントローラへ伝送するステップと
をさらに包含する、請求項２５に記載の方法。
【請求項２７】
第２のベースコントローラにおいて、前記第１のテストを実行するための前記第１のテストデータを前記第１のテスタから受信するステップと、
前記第１のテストデータを該第２のベースコントローラから複数の第２のテストコントローラへ無線を使って伝送するステップと、
該第１のテストを前記電子デバイスの第２のセット上で実行するステップと、
該第２のベースコントローラにおいて、前記第２のテストを実行するための前記第２のテストデータを前記第２のテスタから受信するステップと、
前記第２のテストデータを該第２のベースコントローラから該複数の第２のテストコントローラへ無線を使って伝送するステップと、
該第２のテストを該電子デバイスの第２のセット上で実行するステップと
をさらに包含する、請求項２５に記載の方法。
【請求項２８】
無線を使って前記第１のテストの結果を前記テストコントローラの第２のセットのそれぞれから前記第２のベースコントローラへ伝送するステップと、
無線を使って前記第２のテストの結果を前記テストコントローラの第２のセットのそれぞれから前記第２のベースコントローラへ伝送するステップと
をさらに包含する、請求項２７に記載の方法。
【請求項２９】
前記テストデータは、テストベクトルまたはテストコマンドのうち少なくとも１つを含む、請求項２５に記載の方法。
【請求項３０】
複数のテスタと、
テストされる複数の電子デバイスとの無線リンクをそれぞれが備える複数のベースコントローラと、
該テスタのうちの幾つかと該ベースコントローラのうちの幾つかとの間の複数の通信リンクとを備え、
該通信リンクのそれぞれのデータ転送速度は、該テストシステムのデータスループットを最適化するために選択される、テストシステム。
【請求項３１】
前記通信リンクのうち少なくとも２つは、前記ベースコントローラのうち１つを前記テスタのうち少なくとも２つに接続する、請求項３０に記載のテストシステム。
【請求項３２】
前記通信リンクのうち少なくとも２つは、前記テスタのうち１つを前記ベースコントローラのうち少なくとも２つに接続する、請求項３０に記載のテストシステム。
【請求項３３】
前記テストシステムのデータスループットを最適化するステップは、該テストシステムのデータスループットの均衡を保たせるステップを包含する、請求項３０に記載のテストシステム。
【請求項３４】
前記第１の無線リンクは、信号反応器またはケーブル相互接続ブロードキャストステーションのうち少なくとも１つを備える、請求項３０に記載のテストシステム。
【請求項３５】
半導体ダイの作成方法であって、
ダイを備える半導体ウェハを提供するステップと、
該ウェハをホルダ内に配置するステップと、
該ホルダに関連するベースコントローラにおいてテストデータを受信するステップと、
該テストデータを該ベースコントローラからテストコントローラへ無線を使って伝送するステップと、
該テストデータを該テストコントローラから該ダイに書き込むことによって、該ダイをテストするステップと
を包含する、方法。
【請求項３６】
前記ウェハは複数の前記ダイを備え、
前記テストデータを無線を使って伝送するステップは、該テストデータを複数の前記テストコントローラへ無線を使って伝送するステップを包含し、
前記テストするステップは、該テストデータを該テストコントローラのうちの１つから前記ダイのセットのうちの１つのダイに書き込むことによって、該ダイの該セットをテストするステップを包含する、請求項３５に記載の方法。
【請求項３７】
前記テストするステップは、前記ダイにより生成された応答データを、前記ダイから前記テストコントローラに読み込むステップをさらに含む、請求項３５に記載の方法。
【請求項３８】
前記応答データを前記ベースコントローラへ無線を使って伝送するステップをさらに含む、請求項３７に記載の方法。
【請求項３９】
請求項３５に記載の方法を使用して作成されたダイ。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
本発明は、概して一般的なテストシステムおよび方法に適用できるが、特に半導体デバイステストに適している。
【０００２】
既知であるように、半導体デバイスは一般に半導体ウェハ上の「ダイ」として一度に多数製造され、その後、顧客に出荷される前、または様々な製品に設置される前に、ダイは更なるプロセスを受ける。この更なるプロセスは、様々な形態をとる場合がある。おそらく最も一般的な製造後プロセスにおいて、ダイはウェハ形態のままでプローブおよびテストされる。その後、ダイはウェハから個片切断され、最初のプローブテストに合格したダイは、パッケージされ、バーンインされ、さらにテストされる。別の一般的なプロセスにおいて、ダイはウェハから個片切断された後、パッケージされず、「既知の優良なダイ」を生産するためにさらにテストされ頻繁にバーンインされ、全テストされたパッケージされないダイとなる。より進歩したプロセスにおいて、ダイはウェハ形態のままでバーンインされ、全テストされる。
【０００３】
これらの典型的な製造後プロセスのすべてにおいて、あらゆる種類の電子デバイスがテストされるその他のシナリオと同様に、ダイまたはその他の電子デバイスのテストおよび／または試験を制御する必要性がある。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、概して、テスト信号の無線伝送に関する。本発明の典型的な実施形態において、テストカセットに配置されたベースコントローラは、複数の電子デバイスをテストするためのテストデータを受信する。ベースコントローラは、無線を使ってテストデータを複数の無線テスト制御チップへ伝送し、当該チップはテストデータを電子デバイスのそれぞれに書き込む。その後、無線テスト制御チップは、電子デバイスによって生成された応答データを読み出し、無線テスト制御チップは、無線を使って応答データをベースコントローラへ伝送する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】
本発明は、概して、テスト信号の無線伝送に関する。この明細書は、本発明の典型的な実施形態および用途を説明している。しかしながら、本発明はこれらの実施形態および用途、典型的な実施形態および用途が動作する、または本明細書に記載されている様式に限定されるものではない。
【０００６】
図１は、半導体ダイなどの電子デバイスをテストするための典型的なテストシステム１００を示す。テストシステム１００は、テスタ１０２、テストステーション１０４、および通信リンク１０６を含む。テスタ１０２は、個片切断されていない半導体ウェハの半導体ダイまたは個片切断されたダイ（パッケージされたもの、またはされていないもの）などの電子デバイスをテストするいかなるテスタであってもよい。該当するテスタは既知であり、適合するいかなるテスタを使用してもよい。テストステーション１０４は、１つ以上のカセット１１０および１１２（例示目的で２つを示す）を含む。カセット１１０および１１２は、テストされる電子デバイスを保持し、通信バックプレーン１０８と電気的に接続される。通信リンク１０６は、ケーブル、光ファイバ、ツイストペア、無線通信リンク等を含むがこれらに限定されない、いかなるタイプの通信リンクであってもよく、テスタ１０２とテストステーション１０４との間の通信を提供する。ほんの一例として、通信リンク１０６は、参照することでその全体が本明細書に組み込まれる、２００３年１０月２１日に出願されたＫｈａｎｄｒｏｓらによる「Ｗｉｒｅｌｅｓｓ  Ｔｅｓｔ  Ｓｙｓｔｅｍ」と題された米国特許出願第１０／６９０，１７０号（代理人整理番号Ｐ１９７−ＵＳ）に記載されているように、無線であってよい。バックプレーン１０８は、通信リンク１０６ならびにカセット１１０および１１２のそれぞれにインターフェイスを提供し、したがって、通信リンク１０６をカセット１１０および１１２のそれぞれと電気的に接続する。テストシステム１００の基本動作において、テスタ１０２は、各カセット１１０および１１２内のテスト中の電子デバイスに伝えられるテストデータを生成する。テスト用デバイスにより生成された応答データは、テスタ１０２へ送り返される。テスタ１０２とテスト中のデバイスとの間の通信パスは、通信リンク１０６、バックプレーン１０８、ならびにカセット１１０および１１２を含む。
【０００７】
図２Ａ、図２Ｂ、および図２Ｃは、カセット１１０の典型的な実施形態を示す。カセット１１２も同様であってよい。（図２Ａは、カバー２３５を除去したカセット１１０の平面図を示し、図２Ｂは、デバイス板２３８を除去したカセット１１０の底面図を示し、図２Ｃは、カバー２３５およびデバイス板２３８を適所に有するカセット１１０の側断面図を示す。）
図２Ａ〜図２Ｃに示す典型的なカセット１１０は、フレーム２１８、カバー２３５、およびテストされる電子デバイスを保持するためのデバイス板２３８を含む。この例では、テストされる電子デバイスは、図３に示す個片切断されていないウェハ２３４のダイである。図３に示すように、典型的なウェハ２３４は、７つのダイ２３６ａ、２３６ｂ、２３６ｃ、２３６ｄ、２３６ｅ、２３６ｆ、および２３６ｇを備え、各ダイは、４つの端子のセット３２８ａ、３２８ｂ、３２８ｃ、３２８ｄ、３２８ｅ、３２８ｆおよび３２８ｇを含み、その外側の端子は、それぞれ接地用および電力用で、その内側の２つの端子は、ダイへのデータ入力用およびダイからのデータ出力用である。（各ダイ上の端子の数および配置に加えて、ウェハ上のダイの数および配置は、例示および考察のみを目的とするものであり、ウェハ上のダイおよび各ダイ上の端子についていかなる数および配置を使用してもよい。例えば、ダイの配列は縦であっても横であってもよい。さらに、ダイは、メモリチップ、マイクロプロセッサまたはマイクロコントローラ、シグナルプロセッサ、アナログチップ、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）、デジタル論理回路等を含むがこれらに限定されない、いかなるタイプの集積回路チップであってもよい）。しかしながら、テストされているデバイスは、個片切断されていないウェハのダイである必要はなく、個片切断されたダイ（パッケージされたもの、またはされていないもの）を含むがこれに限定されない、いかなるタイプの電子デバイスであってもよい。例えば、デバイス板２３８は、個片切断されたダイを保持するためのトレイを含んでよい。図２Ａ、図２Ｂ、および図２Ｃを再度参照すると、フレーム２１８、カバー２３５、およびデバイス板２３８が筐体を形成する。筐体内にはテストボード２３２（プリント基板、セラミック、多層回路基板、半導体ウェハ、シリコンウェハ、またはその他の配線基板であってよい）およびウェハ２３４（または個片切断されたダイ）があり、デバイス板２３８によってサポートされる。
【０００８】
テストボード２３２は、バックプレーン１０８との電気的接続を作り出すために、フレーム２１８、カバー２３５、およびデバイス板２３８によって形成された筐体の外側に伸びる複数のエッジコネクタ２０２、２０４、および２０６を含む。図示するように、エッジコネクタ２０２および２０６は、電源用および接地用である。一方、エッジコネクタ２０４は、データ信号用である。（データという用語は、本明細書においては、データ信号、アドレス信号、制御信号、ステータス信号等、ならびに、ダイに書き込まれるためのテスタにより生成されたテスト信号、および、ダイにより生成された応答信号を広範に含むために使用される。）エッジコネクタ２０４は、バックプレーン１０８と電気的に接続し、図２Ａに示すように、電導線２０８は、エッジコネクタ２０４のそれぞれをベースコントローラ（またはベースコントローラ）２１０と電気的に接続する。したがって、ベースコントローラ２１０には、テスタ１０２とやりとりする通信チャネルが提供されることが明らかとなるはずである。すなわち、通信リンク１０６、バックプレーン１０８、エッジコネクタ２０４、および導線２０８は、テスタ１０２とベースコントローラ２１０との間に通信チャネルを提供する。ウェハ２３４のダイ２３６をテストするためにテスタ１０２により生成されたテストデータは、これらのチャネル上でテスタからベースコントローラ２１０へ移動し、ダイ２３６によって生成された応答データは同様にこれらのチャネル上でベースコントローラからテスタへ移動する。上述し、図３に示したように、ウェハ２３４のダイ２３６ａ、２３６ｂ、２３６ｃ、２３６ｄ、２３６ｅ、２３６ｆ、および２３６ｇは、それぞれ４つの端子のセット３２８ａ、３２８ｂ、３２８ｃ、３２８ｄ、３２８ｅ、３２８ｆ、および３２８ｇを含む。各端子のセット３２８内にある外側の２つの端子は接地および電源用であり、内側の２つの端子はデータ入力および出力用である。この例では、テスタへの２つのチャネルは１つのダイ（ダイ２３６における各データ入力／出力につき１つのチャネル）をテストする必要がある。図２Ａに示すように、ベースコントローラ２１０とテスタ１０２との間には４つのチャネルがある。したがって、この簡略化した例において、ベースコントローラ２１０は２つのダイのみをテストするために十分なテストデータをテスタ１０２から受信する。しかしながら、図示するように、ベースコントローラ２１０はテスタ１０２から受信したテストデータを複数の無線テスト制御チップ２１４へ伝送し、これがダイ２３６へテストデータの通信を行う。ベースコントローラ２１０と無線テスト制御チップとの間にインターフェイスを構成することにより、実際にテストされるダイの数は増加する場合がある。
【０００９】
図２Ａに示すように、テストボード２３２は７つの無線テスト制御（Ｗｉｒｅｌｅｓｓ  Ｔｅｓｔ  Ｃｏｎｔｒｏｌ；「ＷＴＣ」）チップ２１４ａ、２１４ｂ、２１４ｃ、２１４ｄ、２１４ｅ、２１４ｆ、および２１４ｇを含み、これらはそれぞれテストコントローラとして機能する。（この例では、ウェハ２３４上の各ダイ２３６につき１つのＷＴＣチップ２１４があるが、ＷＴＣチップのダイに対する１対１以外の比がインプリメントされる場合もある。）ベースコントローラ２１０は送受信機２１２を含み、ＷＴＣチップ２１４のそれぞれも送受信機２１６を含む。ベースコントローラ２１０は、したがって、無線を使ってＷＴＣチップ２１４のそれぞれと通信を行うことができる。
【００１０】
図２Ｂに示すように、テストボード２３２は、各セットが４つのプローブを有する導電プローブの７つのセット２２８ａ、２２８ｂ、２２８ｃ、２２８ｄ、２２８ｅ、２２８ｆ、および２２８ｇを含む。（プローブ２２８は、針状プローブ、バックリングビーム（ｂｕｃｋｌｉｎｇ  ｂｅａｍ）プローブ、バンプ、ポスト、およびスプリングプローブを含むがこれらに限定されない、いかなるタイプのプローブであってもよい。スプリングプローブの非排他的な例としては、米国特許第５，９１７，７０７号、第６，２５５，１２６号、第６，４７５，８２２号、および第６，４９１，９６８号ならびに米国特許出願公開第２００１／００４４２２５号、米国特許出願公開第２００１／００１２７３９号、および米国特許出願公開第２００２／０１３２５０１号に記載されているスプリングコンタクトが挙げられる。前述の特許および特許出願は、参照することによりその全体が本明細書に援用される。）プローブ２２８の各セットはウェハ２３４上のダイ２３６の１つに対応し、より具体的には、各セット内の各プローブは、ダイ２３６の４つの端子３２８のうち１つに対応する。各ダイ２３６上の４つの端子に対応して、プローブ２２８の各セット内にある内側の２つのプローブは各ダイ２３６上のデータ入力／出力端子に対応し、プローブ２２８の各セット内にある外側の２つのプローブは各ダイ２３６上の電源および接地端子に対応する。各ＷＴＣチップ２１４は、導電バイアス（図示せず）によってテストボード２３２を介しプローブセット２２８の内側の２つのプローブと電気的に接続されている。したがって、各ＷＴＣチップ２１４は、ウェハ２３４のダイ２３６のデータ入力／出力端子３２８と電気的に接続されることができる。プローブ２２８ａ〜２２８ｇは、テストボード２３２に取り付けられているものとして図２Ｂおよび図２Ｃに示されているが、プローブ２２８ａ〜２２８ｇは、代替としてダイ２３６ａ〜２３６ｇの端子に取り付けられてよく、テストボード２３２上のプローブ２２８ａ〜２２８ｇはパッドで置き換えてもよい。さらに別の代替として、プローブ２２８ａ〜２２８ｇは、各対の一方のパッドがテストボード２３２上にあり、各対の他方のパッドがウェハ２３４上にあるパッドの対の間で浮動してよい。その他の代替も可能である。例えば、プローブはポゴピン（ｐｏｇｏ  ｐｉｎ）であってよく、米国特許出願公開第２００２／０１３２５０１号に示すような構成を使用してよい。考えられる様々な使用において、追加のパッド、バンプ、プローブ（図示せず）等が存在してよい。
【００１１】
ベースコントローラ２１０は、無線を使って上記で説明したベースコントローラとテスタ１０２との間の４つのチャネルを複数のＷＴＣチップ２１４とインターフェイスし、これらのそれぞれはテストされているダイ２３６のデータ入力／出力端子との電気的接続を提供することが明らかなはずである。示されている例において、および上述のように、テスタ１０２とベースコントローラ２１０との間には、同時に２つのダイ２１４のみをテストするのに十分なチャネルがある。しかしながら、ベースコントローラ２１０とＷＴＣチップ２１４との間の無線インターフェイスを通して、７つのダイ２３６がテストされる。７つのダイに対し４つのチャネルという比率は典型的なものにすぎず、その他の比率を使用してもよい。実際、単にＷＴＣチップ２１４の数を変更し、ベースコントローラ２１０とＷＴＣチップ２１４との間に無線インターフェイスを再構成することにより、テスタ１０２へのチャネル接続数を変更することなく、実際にテストされるダイ２３６の数が変更される場合がある。
【００１２】
図２Ｂに示すように、各プローブセット２２８内の外側のプローブ（各ダイ２３６上の電源および接地端子３２８に対応するもの）は、電導線２２２または電導線２２６によってエッジコネクタ２０２または２０６に接続され、次にバックプレーン１０８を介して、それぞれ電源接続および接地される。すなわち、各プローブセット２２８内の右端の（図２Ｂとの関係で）プローブは導線２２２によってエッジコネクタ２０２に接続され、これがバックプレーン１０８を介して電源に接続される。同様に、各プローブセット２２８内の左端の（図２Ｂとの関連で）プローブは、導線２２６によってエッジコネクタ２０６に接続され、これがバックプレーン１０８を介して接地される。電力および接地の本源は、テスタ１０２（通信リンク１０６を介して電力および接地を供給するもの）もしくはテストステーション１０４またはカセット１１０内部の源を含む他の源であってよい。絶縁抵抗器（図示せず）または電気的絶縁のその他の手段（例えば、電圧調整器、分離電源等）を使用して、テストボード２３２上の各パワープローブを電気的に絶縁し、その結果、テスト中はダイを電気的に絶縁することができる。これにより、１つのダイが故障しても、テストシステムが不能になることは妨げられる。当該技術分野では既知であるように、コンデンサの分断が含まれる場合もある。該当する絶縁抵抗器または電気的絶縁のその他の手段を、都合の良いいかなる場所に配置してもよい（例えば、テストボード上でもよいし、ダイに組み込んでもよい）。
【００１３】
フレーム２１８、カバー２３５、およびデバイス板２３８によって形成された筐体は、必要に応じて、任意のクリーンルーム基準またはその他の必要性を満たすように、気密であるなしに関わらず、密閉されることがある。業界で知られるように、これを実現するために、ガスケット（図示せず）および／またはシーリング材（図示せず）が、フレーム２１８、カバー２３５、およびデバイス板２３８とともに、設けられる場合がある。
フレーム、カバー、およびデバイスをともに保持するためのメカニズム（図示せず）も含まれてよい。また、カセット１１０は、オプションとして、ウェハ２３４および無線コンポーネントを電気的に遮蔽するためのシールドを含んでよい。また、カセット１１０は、オプションとして、ウェハ２３４の温度を制御するために、加熱および／または冷却デバイス（図示せず）を含んでもよい。あるいは、カセットは外部温度制御システム（図示せず）と連結されてよい。また、カセット１１０は、自身をバックプレーン１０８またはテストステーション１０４のその他の部分に固定する手段（図示せず）を含んでもよい。
【００１４】
図２Ｄは、半導体プローバ２５９において使用するために「カセット」が修正される「カセット」の代替的な実施形態を示す。図２Ｄは、半導体デバイスをテストするためのプローバテストシステムの、基本的要素のブロック図を含む。既知であるように、テスタ２５２は、半導体ダイをテストするためのテストデータを生成する。テストデータは、通信リンク２５４上でプローブヘッド２５６へ、ポゴピン２７２またはその他の電気的コネクタを介して、プローブカード２５８の端子２７０への通信が行われる。テストデータはその後プローブカードを通過して、テストされるべきダイ２６２の端子（図示せず）に接触するプローブ２７８へ届く。プローバ２５９は、テストされているダイ２６２を備えるウェハ２６０をサポートし移動させる可動チャック２６４を含む。図２Ｄに示すダイ２６２はウェハ形態でテストされているが、代替として、ダイ２６２はまずウェハから個片切断され、次にテストするためのチャック２６４上の位置に固定されてよいことに留意すべきである。ダイによって生成された応答データは、プローブカード２５８、プローブヘッド２５６、および通信リンク２５４を介してテスタ２５２に伝え返される。
【００１５】
プローブカード２５８の端子２７０はベースコントローラ２７６に接続され、これはＷＴＣチップ２７４と無線を使って通信を行う。ベースコントローラ２７６は、概して、図２Ａ〜図２Ｃのベースコントローラ２１０に類似していてよい。ＷＴＣチップ２７４は、同様に、図２Ａ〜図２ＣのＷＴＣチップ２１４（ａ）〜２１４（ｇ）に類似していてよい。ベースコントローラ２７６およびＷＴＣチップ２７４は、ベースコントローラ２１０およびＷＴＣチップ２１４（ａ）〜２１４（ｇ）に対して、上述したように動作し互いに通信を行うことができる。電力および接地は、電力および接地が図２Ａ〜図２Ｃのエッジコネクタ２０２および２０６から直接的に配信されると同時に、端子２７０の選択されたものから直接的にダイ２６２へ配信されることができる。ベースコントローラ２７６およびＷＴＣチップ２７４を電気的に遮蔽するためのシールド筐体２８０をオプションとして含んでもよい。
【００１６】
図４は、１つ以上の集積回路としてインプリメントされ得る、典型的なベースコントローラ２１０の簡略化したブロック図を示す。図示するように、ベースコントローラ２１０は、コントローラ４０２、データストレージ４０８、バックプレーン入力／出力回路網４１２、および送受信機入力／出力回路網４０６を含む。コントローラ４０２は、ベースコントローラ２１０の動作全体を制御する。コントローラ４０２は、ソフトウェア制御下で動作するマイクロプロセッサを備えてよい。あるいは、コントローラ４０２はハードワイヤド論理回路を備えてよく、またはコントローラ４０２は、マイクロプロセッサとハードワイヤド論理回路の組み合わせを備えてよい。ストレージ４０８は、コントローラ４０２において起動されるデータおよび／またはソフトウェアを格納するメモリを提供する。バックプレーン入力／出力回路網４１２は、電導線２０８からの信号の入力および電導線２０８への信号の出力を提供する。送受信機入力／出力回路網４０６は、１つ以上のＷＴＣチップ２１４へ伝送される信号の出力および送受信機２１２によりＷＴＣチップから受信した信号の入力を送受信機２１２に提供する。
【００１７】
図５は、１つ以上の集積回路としてインプリメントされ得る、典型的なＷＴＣチップ２１４の簡略化したブロック図を示す。ＷＴＣチップの一部またはすべては、テストされている電子デバイスに組み込まれてよい（例えば、テストされている電子デバイスが半導体ダイである場合、ＷＴＣチップの一部またはすべては、ダイに組み込まれてよい）。図示するように、ＷＴＣチップ２１４は、コントローラ５０２、データストレージ５０８、プローブ入力／出力回路網５１２、および送受信機入力／出力回路網５０６を含む。コントローラ５０２は、ＷＴＣチップ２１４の動作全体を制御する。コントローラ４０２と同様に、コントローラ５０２は、ソフトウェア制御下で動作するマイクロプロセッサ、ハードワイヤド論理、またはマイクロプロセッサとハードウェア論理の組み合わせを備えてよい。ストレージ５０８は、コントローラ５０２において起動されるデータおよび／またはソフトウェアを格納するメモリを提供する。プローブ入力／出力回路網５１２は、プローブ２２８への信号の出力およびプローブからの信号の入力を提供する。送受信機入力／出力回路網５０６は、ベースコントローラ２１０へ伝送される信号の出力および送受信機２１６によりベースコントローラ２１０から受信した信号の出力を送受信機２１６に提供する。ＷＴＣチップ２１４は、オプションとして、ダイへの配電を管理するための電源管理回路網を含んでよい。あるいは電源管理回路網は、テストボード２３２上に設けられるか、ダイ自体に内蔵されてよい。
【００１８】
図６は、図１に示すテストシステム１００の典型的な動作を示す。ステップ６０２において、カセット１１０および１１２が初期化され、当該カセットは、識別子をカセット内のベースコントローラ２１０へ伝送し、ＷＴＣチップによるベースコントローラへの通信用のタイミングまたはコードベースのプロトコルを確立するカセット内にある各ＷＴＣチップ２１４のようなものを含んでよい。例えば、複数のＷＴＣチップ２１４からカセット上のベースコントローラ２１０への通信のために、時分割多重化または周波数分割多重化が確立される場合がある。別の例として、ベースコントローラ２１０によるポーリング（ｐｏｌｌｉｎｇ）に応じる場合のみ、特定のＷＴＣチップ２１４による通信が可能になる場合がある。カセット１１０は複数のベースコントローラ２１０を有してよく、その場合、初期化は、例えば均衡を保っているデータスループットを実現するために、カセット内のそれぞれのＷＴＣチップ２１４特定のベースコントローラ２１０に割り振ることを含んでよい。複数のベースコントローラがある場合、各ベースコントローラ２１０は、異なる周波数でその割り振られたＷＴＣチップ２１４と通信を行ってよく、または各ベースコントローラ２１０は、ＷＴＣチップ２１４のすべてが特定のベースコントローラから伝送を受信する場合であっても、ＷＴＣチップ２１４はそれらに割り振られたベースコントローラのみに応答するように、自身を識別するコードを含んでよい。ＷＴＣチップ２１４は、許容可能なデータ転送または挙動必要性と一致する構成を出力を上げる際に求める「自己組織型ネットワーク」を構成することができる。
【００１９】
ステップ６０４において、各カセット１１０および１１２内のベースコントローラ２１０は、各カセットの構成を記述するテスタ１０２へ情報を送信する。カセット１１０および１１２内のウェハ２３４のダイ２３６は次にステップ６０６においてテストされ、テストの結果はステップ６０８において収集される。結果を収集するステップ６０８は、テスト６０６が完了する前に開始してよく、したがって、ステップ６０６および６０８は、少なくとも部分的に、同時に動作してよいことに留意すべきである。必要に応じてステップ６０６および６０８を繰り返してよく、特定のカセットにおけるテストが完了し、テストされるダイを持つシステムに新しいカセットが追加された際に、ステップ６０２および６０４を繰り返してよい。
【００２０】
ステップ６０６および６０８の典型的なインプリメンテーションを図７に示す。ステップ７０２において、テスタ１０２は、通信リンク１０６上でテストデータおよび／または命令をテストステーション１０４のバックプレーン１０８へ送信する。ステップ７０４において、各カセット１１０および１１２内のベースコントローラ２１０は、テストデータおよび／または命令を受信し、そのカセット上の７つのＷＴＣチップ２１４ａ、２１４ｂ、２１４ｃ、２１４ｄ、２１４ｅ、２１４ｆおよび２１４ｇのそれぞれへ無線を使ってブロードキャストする。各ダイのテストデータが同一である場合、これはおそらくウェハ上のダイが一般に同一であるためであるが、ベースコントローラ２１０は、単純にテストデータを７つすべてのＷＴＣチップ２１４へ伝送してよい。あるいは、ベースコントローラ２１０は、１つのデバイス固有のテストコマンドをＷＴＣチップのそれぞれ（例えば、２１４ａ、２１４ｂ、２１４ｃ、２１４ｄ、２１４ｅ、２１４ｆ、および２１４ｇ）へ伝送してよい。ベースコントローラ２１０は、多くの手法のうちいずれかにより、７つのＷＴＣチップ２１４のうち１つまたはサブセットのみへ選択的に伝送してよい。例えば、ベースコントローラ２１０は、１つの周波数でＷＴＣチップ２１４の１つのセットへ伝送し、ＷＴＣチップの別のセットへ異なる周波数で伝送してよい。別の例として、ベースコントローラ２１０は、その伝送中に、伝送の対象とする受信者を識別するコードを含んでよい。伝送する前に、データを圧縮してよい。
【００２１】
テストデータは、大幅な修正なく単にＷＴＣチップ２１４へ通過するテストベクトルであってよい。あるいは、ベースコントローラ２１０はテストデータを修正してよく、もしくはテスタ１０２から受信されたテストデータは、テストデータとしてＷＴＣチップ２１４へブロードキャストされるコマンドまたはテストコマンドをコントローラ２１０に生成させるコマンドであってよい。ステップ７０６において、各ＷＴＣチップ２１４は、ステップ７０４でベースコントローラ２１０から受信したテストデータをその対応するダイ２３６へ送る。ＷＴＣチップ２１４からその対応するダイ２３６へ送られたテストデータは、ＷＴＣチップ２１４によってベースコントローラ２１０から受信したテストデータと同一であってよい。あるいは、ＷＴＣチップ２１４はテストデータを修正してよく、もしくはベースコントローラ２１０から受信したテストデータは、対応するダイ２３６へテストデータとして送信されるその他のコマンドまたはテストベクトルをＷＴＣチップ２１４に生成させるコマンドであってよい。ダイによって受信されたテストデータは、単に各ダイ２３６に書き込まれたテストベクトルであってよい。あるいは、ダイ２３６によって受信されたテストデータは、ダイ２３６上の組み込み自己テスト（ｂｕｉｌｔ−ｉｎ−ｓｅｌｆ−ｔｅｓｔ）（ＢＩＳＴ）回路網（図示せず）に、当該技術分野では既知であるように、自己テストを実行させるコマンドを含んでよい。また、その他のタイプのテストデータを使用してもよい。
【００２２】
ステップ７０８において、ＷＴＣチップ２１４は、テストデータを受けて、そのダイ２３６により生成された応答データを読み出す。ＷＴＣチップ２１４は、ダイに接触しているプローブ２２８を介してダイ２３６から応答データを読み出す。ステップ７１０において、ＷＴＣチップ２１４は、その送受信機２１６を介し、応答データをベースコントローラ２１０の送受信機２１２へ無線を使って送信する。ステップ７１２において、ベースコントローラ２１０は、導線２０８、エッジコネクタ２０４、バックプレーン１０８、および通信リンク１０６を介して応答データをテスタ１０２へ送信する。応答データは、応答データを発生したダイ２３６を識別する識別子とともにテスタ１０２へ送信されるのが好ましい。オプションとして、データ圧縮または様々な伝送技術のいずれかを使用してもよい。必要に応じて、ステップ７０２、７０４、７０６、７０８、７１０および７１２のうち１つ以上を繰り返してもよい。
【００２３】
ステップ７０８、７１０、および７１２をインプリメントするための様々な手法があることが明らかなはずである。例えば、応答データは、その対応するダイ２３６のテストが完了するまでＷＴＣチップ２１４においてバッファリングされてよく、その後、ＷＴＣチップがそのベースコントローラ２１０へ信号を送り、次いで、ダイにより生成されたすべての応答データを、無線を使って伝送する。別の例として、応答データは、カセット内にあるすべてのダイ２３６のテストが完了するまでベースコントローラ２１０においてバッファリングされてよく、その後、ベースコントローラはすべての応答データをテスタ１０２へ送信する。その他のバリエーションも可能である。例えば、ＷＴＣチップ２１４内のコントローラ５０２は、計算を実行、またはそうでなければダイによって生成された応答データを解析し、該当する計算または解析の結果をベースコントローラ２１０へ伝送することができる。コントローラ４０２も同様に、応答データを解析し、その解析をテスタ１０２へ送信することができる。
【００２４】
図８は、別の典型的なテストシステム８００を示し、当該システムは、３つのテスタ（テスタＩ８０２ａ、テスタＩＩ８０２ｂ、およびテスタＩＩＩ８０２ｃ）ならびに２つのテストステーション（テストステーションＡ８０４ａおよびテストステーションＢ８０４ｂ）を含む。テスタＩ８０２ａ、テスタＩＩ８０２ｂ、およびテスタＩＩＩ８０２ｃのそれぞれは、概して、上述したテスタ１０２と類似していてよい。同様に、テストステーションＡ８０４ａおよびテストステーションＢ８０４ｂのそれぞれは、これも上述したテストステーション１０４と類似していてよい。カセット８１０ａ、８１２ａ、８１０ｂ、および８１２ｂは、図２Ａ、図２Ｂ、図２Ｃ、図４、および図５に示し、また上述したカセット１１０と類似していてよい。各カセット８１０ａ、８１２ａ、８１０ｂ、８１２ｂ内のウェハ（図８には示さず）は、概して、図３に示し、またこれも上述したウェハ２３４に類似していてよい。通信リンクは、図１の通信リンク１０６に関連して上述したタイプの通信リンクを含む、いかなるタイプのリンクであってもよい。図８に示すシステムには、オプションとして、その他の要素を含んでもよい。例えば、テストデータを格納するためにデータベース（図示せず）を含んでよい。データベース（図示せず）は、すべてのテスタに接続され、テストされているすべての電子デバイスに関するテストデータを格納することができる。
【００２５】
複数のテスタおよび複数のテストステーションを使って、テストシステム８００は多数の異なる手法で構成され得る。例えば、テストシステム８００は、２つ以上のテスタが特定のテストステーション内のデバイスについてテストを実行するように構成されてよい。すなわち、１つのテスタはテストステーション内のデバイスについてテストを実行することができ、その後、別のテスタが同一のテストステーション内のデバイスについてテストを実行することができる。別の例として、複数のテスタが複数のテストステーションで同時にテストを実行することができる。
【００２６】
図９、図１０、および図１１は、図８のテストシステムの典型的な動作を示す。図９、図１０、および図１１の典型的な動作を示す目的で、テストステーションＡ８０４ａ内のカセット８１０ａおよび８１２ａならびにテストステーションＢ８０４ｂ内のカセット８１０ｂおよび８１２ｂは、同一タイプの個片切断されていない半導体ウェハを含有すると仮定する。さらに、各カセット内のウェハは、まず動的なバーンイン（バーンイン中のいくつかのテストを含む）を、続いて全機能テストを行うと仮定する。テスタＩ８０２ａはバーンインを制御し、テスタＩＩ８０２ｂおよびテスタＩＩＩ８０２ｃは機能テストを制御する。テスタＩ８０２ａは、２つのテストステーションにおいて同時にウェハのバーンインを管理するために十分なリソースを有するが、テスタＩＩ８０２ｂおよびテスタＩＩＩ８０２ｃは、１つのテストステーションのみにおいてウェハの機能テストをするのに十分なリソースを有する。前述の仮定はすべてこの例示および考察を簡略化することのみを目的とするものであり、限定的なものではない。多数のバリエーションが可能である。例えば、テストステーション内のウェハは異なってよい。
【００２７】
図示するように、テスタＩ８０２ａは、テストステーションＡ８０４ａおよびテストステーションＢ８０４ｂ両方内のウェハのバーンインを開始する。テストステーションＡ８０４ａにおいてバーンインが完了すると、テスタＩ８０２ａはテスタＩＩ８０２ｂへメッセージを送信し、テストステーションＡ８０４ａにおいてテスタＩＩ８０２ｂに機能テストを開始させる。同様に、テストステーションＢ８０４ｂにおいてバーンインが完了すると、テスタＩ８０２ａはテスタＩＩＩ８０２ｃへメッセージを送信し、テストステーションＢ８０４ｂにおいてテスタＩＩＩ８０２ｃに機能テストを開始させる。
【００２８】
ここで図９を参照すると、当該図は、上述したように、バーンインを実行し、２つのテストステーション内のウェハについてバーンインを実行するのに十分なリソースを有するよう構成された、テスタＩ８０２ａの典型的な動作を示す。（図９のプロセスは、当該技術分野においては既知であるように、メモリ（図示せず）内に格納されたソフトウェアにおいてインプリメントされ、テスタＩ８０２ａ内のコントローラ（図示せず）上で実行されることができる。）ステップ９０２において、テスタＩ８０２ａは１つ以上のテストステーションがバーンインの準備が整ったウェハを有するか否かを判断する。図１１のステップ１１０２および１１０４に関連して後述するように、テストステーションのカセットに新しいウェハがロードされると、当該テストステーションは、バーンインの準備が整った新しいウェハを有することを示すメッセージをテスタＩ８０２ａに送信する。この例では、テストステーションＡ８０４ａおよびテストステーションＢ８０４ｂに新しいウェハがロードされ、両方のテストステーションはバーンインの準備が整っていることを示すメッセージをテスタＩ８０２ａに送信すると仮定している。したがって、図９のプロセスは、ステップ９０２からステップ９０４へ分岐する。
【００２９】
ステップ９０４において、テスタＩ８０２ａは、テストステーションＡ８０４ａおよびテストステーションＢ８０２ｂの両方にあるカセット内のウェハのバーンインを開始する。半導体ウェハをバーンインするための手法は多数あり、適合するいかなる手法を使用してもよい。例えば、バーンインは静的であっても動的であってもよく、動的なバーンインは、カセット８１０ａ、８１２ａ、８１０ｂ、および８１２ｂ内のウェハのダイにクロック信号を提供すること、またはダイの実際の機能試験を含んでよい。この考察を目的として、テスタＩ８０２ａは、バーンイン中、カセット８１０ａ、８１２ａ、８１０ｂ、および８１２ｂ内のウェハの各ダイが機能的に試験またはテストされるようにすると仮定する。したがって、ステップ９０４において、テスタＩ８０２ａは、通信リンク８０６上で、カセット８１０ａ、８１２ａ、８１０ｂ、および８１２ｂ内のすべてのダイを強化するコマンドをテストステーションＡ８０４ａおよびテストステーションＢ８０４ｂへブロードキャストし、それぞれのカセット内の温度を望ましい温度に設定する。例えば、各カセット内の温度は高温に設定してよい。あるいは、温度は低温に設定してもよい。これらのコマンドは、カセット８１０ａ、８１２ａ、８１０ｂ、および８１２ｂのそれぞれのベースコントローラ２１０により受信および実行されることができる。
【００３０】
上述したように、この例を目的として、テスタＩ８０２ａはバーンイン中、ダイについての限られたテストを実行すると仮定する。したがって、カセット内の温度を設定しダイを強化した後、テスタＩ８０２ａは、通信リンク８０６上で、カセット８１０ａ、８１２ａ、８１０ｂ、および８１２ｂのそれぞれにあるベースコントローラ２１０へテストデータを送信する。これは、概して、図７のステップ７０２に関連して上述したように実現される。当然ながら、ステップ９０４においてバーンインを実行することは、複数のサブステップを必要とする場合があり、時間がかかる場合がある。ステップ９０４の実行中、当該プロセスは、ステップ９０６でメッセージを、ステップ９０２で新しいテストステーションを、周期的に確認することができる。
【００３１】
ステップ９０４の後（すなわち、バーンインが完了した後）、図９のプロセスは分岐して、ステップ９０２へ戻り、ここで、バーンインの準備が整ったテストステーションがさらにあるか否かが判断される。１つ以上のテストステーションに新しいウェハをロードし、システム８００に追加することが可能であり、この場合、図９のプロセスは再びステップ９０４へ進み、それらの新しいテストステーションのウェハについてバーンインを実行するであろう。しかしながら、考察中の例においては、システム内のテストステーションとしてはテストステーションＡ８０４ａおよびテストステーションＢ８０４ｂしかなく、バーンインはそれらのテストステーションで既に実行されている。したがって、当該プロセスはステップ９０６へ進み、受信されたメッセージがあるか否かを判断する。ない場合、当該プロセスは分岐して、ステップ９０２へ戻る。
【００３２】
ステップ９０６においてメッセージがある場合、図９のプロセスは当該メッセージを復号化し、メッセージによって示されているどのようなアクションでも行う。メッセージは、何らかのアクションを行うためのテスタＩ８０２ａへの信号である。任意の数の考えられるメッセージおよびメッセージの源がある。２つの典型的なメッセージを図９に示す。それらメッセージは、現在システム内にあるテストステーションからオフラインで取れるように要求するメッセージ、または、新しいテストステーションからオンラインに入れるように要求するメッセージ；および、カセット内のウェハについてバーンインが完了したことを示すテストステーションからのメッセージである。前述のメッセージのそれぞれを受けてテスタＩ８０２ａによって行われるアクションについて、以下に述べる。
【００３３】
図９のプロセスは、ステップ９１０において、オンラインに入れるように、またはオフラインで取れるように要求するテストステーションからのメッセージを探す。該当するメッセージが検出された場合、テスタＩ８０２ａはステップ９１２においてテストステーションを追加または除去する。テスタＩ８０２ａは、テスタＩのメモリ内に格納されているオンラインのテストステーションのリストに新しいテストステーションの識別子を追加することによって、新しいテストステーションを追加することができる。同様に、テスタＩ８０２ａは、テスタＩのメモリ内に格納されているオンラインのテストステーションのリストから識別子を除去することによって、テストステーションをオフラインにすることができる。
【００３４】
図９のプロセスは、ステップ９１４において、カセット内のウェハについてバーンインが完了したことを示すカセットからのメッセージを探す。該当するメッセージが検出された場合、テスタＩ８０２ａは、ステップ９１６において、カセットからバーンイン中に生じたテスト結果を収集する。（上述のように、この例を目的として、バーンイン中にいくつかのテストが発生すると仮定していることに留意されたい。）テスタＩ８０２ａは、図７のステップ７１２に関連して上述したように、テスト結果を要求することによってカセットのベースコントローラ２１０からテスト結果を収集する。テスタＩ８０４ａは、カセット内の温度をリセットするなどを行ってもよい。ステップ９１８において、テスタＩ８０２ａは、当該テストステーション内のすべてのカセットにおいてバーンインテストが完了したか否かを判断する。完了していなければ、テスタＩ８０２ａはステップ９０２へ戻る。完了していれば、テスタＩ８０２ａは、当該テストステーションにおいてバーンインが完了したという信号をテスタＩＩ８０２ｂまたはテスタＩＩＩ８０２ｃへ送る。図９のステップ９２２において、テスタＩ８０２ａは、雑多なタスクを実行する。あるいは、テストステーション内のその他のカセットではバーンインが完了していなくても、テストステーション内の１つのカセットにおいてバーンインが完了すると直ちに、テスタＩＩ８０２ｂまたはテスタＩＩＩ８０２ｃはカセット内でそのテストを始めることができる。その後、テスタＩＩ８０２ｂまたはテスタＩＩＩ８０２ｃがカセット内においてそのテストを完了すると、当該カセットは新しいウェハをロードし（テストステーション内のその他のカセットにおいてまだテストが生じていても）、それらの新しいウェハについてバーンインを始めることができる。
【００３５】
図１０は、テスタＩＩ８０２ｂおよびテスタＩＩＩ８０２ｃの典型的な動作を示す。すなわち、図１０のプロセスは、テスタＩＩ８０２ｂおよびテスタＩＩＩ８０２ｃの両方において個別に起動する。（図１０のプロセスは、当該技術分野においては既知であるように、メモリ（図示せず）に格納されたソフトウェアにおいてインプリメントされ、テスタＩＩ８０２ｂ内のコントローラ（図示せず）上で起動することができ、当該プロセスは同様にテスタＩＩＩ８０２ｃ上でも起動することができる）。上述したように、この例を目的として、テスタＩＩ８０２ｂおよびテスタＩＩＩ８０２ｃのいずれもカセット８１０ａ、８１２ａ、８１０ｂ、および８１２ｂ内のウェハのダイについて全機能テストを実行するように構成され、各テスタは１つのテストステーション内のダイをテストするのに十分なリソースを有すると仮定する。（しかしながら、この仮定はこの考察を簡略化する目的のみのために行われるものである。各テスタが有するリソースは１つのテストステーション内のダイをテストするのに必要なリソースよりも少なくてもよく、または各テスタは２つ以上のテストステーション内のウェハをテストするためのリソースを有してもよい。）
テストステーションＡ８０４ａ内のダイについて機能テストを実行するテスタＩＩ８０２ｂに関連して、図１０を説明する。しかしながら、図１０のプロセスは、テストステーションＢ８０４ｂ内のダイについてテストを実行するテスタＩＩ８０２ｂ、もしくは、テストステーションＡ８０４ａまたはテストステーションＢ８０４ｂのいずれかのダイについて機能テストを実行するテスタＩＩＩ８０４ｃにも同様に適用できる。
【００３６】
ステップ１００２において、テスタＩＩ８０４ｂはメッセージを待ち、メッセージが受信された場合、図１０のプロセスは当該メッセージを復号化し、メッセージによって示されているどのようなアクションでも行う。任意の数の考えられるメッセージおよびメッセージの源がある。メッセージの一例は、テストステーションＡ８０４ａまたはテストステーションＢ８０４ｂのうち１つにおいてバーンインが完了したことを示すテスタＩ８０２ａからのメッセージである。ステップ１００４において該当するメッセージが検出された場合、テスタＩＩ８０２ｂはステップ１００６においてカセット内のダイについて機能テストを開始する。ここで、テストステーションＡ８０４ａにおいてバーンインが完了したことを示す当該メッセージが受信されたものとする。テスタＩＩ８０２ｂはしたがって、通信リンク８０６上で、テストステーションＡ８０４ａ内のカセット８１０ａおよび８１２ａのそれぞれにあるベースコントローラ２１０へテストデータを送信する。これは、図７のステップ７０２に関連して上述したように実現され得る。テストステーションＡのカセット８１０ａおよび８１２ａ内のデバイスをテストするステップ１００６は、複数のサブステップを必要とする場合があり、時間がかかる場合がある。ステップ１００６の実行中、当該プロセスは、ステップ１００２でその他のメッセージを周期的に確認することができる。
【００３７】
考えられる別のメッセージは、テストステーションＡ８０４ａ内のカセット８１０ａまたは８１２ａのうち１つにおいて機能テスト（ステップ１００６）の結果の準備が整っているというものである。ステップ１０１０において該当するメッセージが検出された場合、テスタＩＩ８０２ｂはステップ１０１２において当該カセットから機能テストの結果を収集し、概して図７のステップ７１２に関連して上述したように、テスタＩＩ８０２ｂは、カセットのベースコントローラ２１０からテスト結果を要求することによって、これを行うことができる。ステップ１０１４において、テスタＩＩ８０２ｂは雑多なタスクを実行する。
【００３８】
図１１は、カセット８１０ａ、８１２ａ、８１０ｂ、および８１２ｂのそれぞれにおけるベースコントローラ２１０の典型的な動作を示す。すなわち、図１１のプロセスは、カセット８１０ａ、８１２ａ、８１０ｂ、および８１２ｂのそれぞれにおけるベースコントローラ２１０において個別に起動する。考察を容易にするため、テストステーションＡ８０４ａ内のカセット８１０ａのベースコントローラに関連して、図１１を説明する。（当該技術分野においては既知であるように、図１１のプロセスは、ストレージ４０８に格納されたソフトウェアにおいてインプリメントされ、コントローラ４０２上で起動することができる。）
ステップ１１０２、１１０６、１１１０、１１１４、および１１１８において、図１１のプロセスはメッセージを探す。考えられる１つのメッセージは、新しいウェハがカセット８１０ａにロードされ、当該カセットがテストステーションＡ８０４ａにロードされ、既にテストの準備が整っていることを示すものである。該当するメッセージは、ベースコントローラ２１０によって内部で生成されてよく、または、オペレータ起動ボタンなどの外部ソースから受信されてもよい。ステップ１１０２において該当するメッセージが検出された場合、テストされる新しいウェハの存在を示す別のメッセージが生成され、ステップ１１０４においてテスタＩ８０２ａへ送信される。ステップ１１０４は、テストステーション内のすべてのカセットに新しいウェハがロードされるとテストステーションから１つのメッセージが送信されるように、テストステーション内のその他のカセットと連携していることが好ましい。（該当するメッセージは、図９のステップ９０６、９１０、および９１２においてテスタＩ８０２ａにより検出および実行されることに留意されたい。）
考えられる別のメッセージは、テスタＩ８０２ａからのバーンイン／テストデータの受信である。（バーンイン／テストデータは、バーンイン中のダイにおいて起動されるテストデータに加えて、バーンインを制御するための制御信号を含んでよい。）ステップ１１０６においてバーンイン／テストデータの受信が検出された場合、ベースコントローラ２１０は、バーンインを制御するために当該データを処理し、カセット８１０ａ内のすべてのＷＴＣチップ２１４へテストデータを送信する。これは、概して図７のステップ７０４に関連して上述したように実現され得る。図７のステップ７０６および７０８に関連してこれも上述したように、各ＷＴＣチップ２１４は、カセット８１０ａ内のウェハの対応するダイにテストデータを書き込み、ダイにより生成された応答データを読み出す。応答データを読み出した後、ＷＴＣチップ２１４は、応答データの準備が整っていることを示すメッセージをベースコントローラ２１０へ送信することができる。カセット８１０ａ内のベースコントローラ２１０がステップ１１１０において該当するメッセージを検出した場合、ベースコントローラは図１１のステップ１１１２において応答データを収集し、これは、概して図７のステップ７１０に関連して説明したように実現され得る。
【００３９】
考えられる別のメッセージは、テスタＩ８０２ａ、テスタＩＩ８０２ｂ、またはテスタＩＩＩ８０２ｃのうち１つからの、ベースコントローラ２１０により収集されたテスト結果の要求である。ステップ１１１４において該当するメッセージが検出された場合、ベースコントローラ２１０は、通信リンク８０６上で、要求されたテスト結果を要求中のテスタへ送信する。ステップ１１１８および１１２０は、その他の雑多なコマンドまたはメッセージの検出および実行を表す。
【００４０】
図１２は、半導体ダイの製造プロセスを示す。ステップ１２０２において、１つ以上のダイを持つ製造されたウェハが提供される。ステップ１２０４において、ウェハはカセットにロードされ、これが図１または図８に示すテストシステムなどのテストシステムにロードされる。ステップ１２０６において、ウェハのダイはテストされ、バーンインされ、かつ／または上述のいずれかのプロセスを使用して試験される。ステップ１２０８において、機能性ダイは顧客に出荷される。
【００４１】
図６、図７、図９、図１０、図１１および図１２に示すすべてのプロセスは、典型的なものであり簡略化されていることが明らかなはずである。エラー処理、プロセス終了、およびその他類似機能に関する規定も追加し得るし、当業者には周知であるが、本明細書では考察する必要はない。
【００４２】
電子デバイスをテストするために無線通信を使用することの限定的でない利点は、テスタによって同時にテストされる電子デバイスの数が、テスタのリソースを超えて増加してもよいことである。
【００４３】
図１３は、プローブカード１３３２を使用してウェハ１３３４をテストするための従来技術のテストシステムを示す。説明を容易にするために、ウェハ１３３４は４つのダイ（図示せず）を有し、各ダイは２つのデータ入力パッドおよび２つのデータ出力パッドを含むと仮定する。したがって、通信リンク１３０６内の４つのデータチャネルは、ウェハ１３３４上の各ダイをテストする必要がある。ウェハ１３３４上の４つのダイすべてを同時にテストするために、通信リンク１３０６内には１６のデータチャネルが必要である。それらチャネルのうち８つは、ウェハ１３３４上の４つあるダイのそれぞれのうち２つのデータ入力パッドへテストデータを搬送するためのダウンリンクチャネルとなるように構成され、それらチャネルのうち他の８つは、各ダイによって生成された応答データを搬送するためのアップリンクチャネルとして構成される。プローブカード１３３２は、ウェハ１３３４の４つのダイのそれぞれにある４つのパッドのそれぞれに接触するために１つずつ、つまり１６のプローブを必要とする。
【００４４】
この例ではさらに、テスタ１３０２は通信リンク１３０６内の１６のデータチャネルとインターフェイスするために十分なリソースを有すると仮定する。したがって、この簡略化した例では、ウェハ１３３４の４つすべてのダイを同時にテストするために、テスタのリソースのすべて（この例では１６のチャネル）が使用される。しかしながら、ウェハ１３３４上のダイの数が増加した場合（例えば、半導体業界ではよく見られるようなデバイスのシュリンクのため）、テスタはもはやウェハ１３３４のすべてのダイを同時にテストするために十分なリソースを有さないであろう。例えば、デバイスのシュリンクによって、６つのダイがウェハ１３３４上には作られ、ウェハ１３３４の６つすべてのダイを同時にテストするために、通信リンク１３０６内には２４のデータチャネルが必要となる。
【００４５】
ダイとの無線通信を使用することにより、テスタ１３０２のリソースのより効率的な割り振りが可能になる。図１４は、テスタ１３０２、通信リンク１３０６、ベースコントローラ１４３２（例えば、図４に示すベースコントローラと類似のもの）、およびテストされるダイを有するウェハ１３３４を含む、典型的なテストシステムの簡略化したブロック図を示す。図示されていないが、ウェハ１３３４のダイとベースコントローラ１４３２との間の無線通信を制御するため、ＷＴＣチップ（例えば、図５に示すＷＴＣチップと類似のもの）が、ウェハ１３３４またはそれ以外の箇所に配置される。
【００４６】
上述の例を再度参照すると、ウェハ１３３４は６つのダイ（それぞれ２つの入力データパッドおよび２つのデータ出力パッドを有する）を有し、テスタ１３０２は通信リンク１３０６内の１６のデータチャネルとインターフェイスするために十分なリソースを有し、図１４の無線システムはウェハ１３３４の６つすべてのダイを同時にテストするように構成されることができる。通信リンク１３０６内の１６あるチャネルのうち２つは、テスタ１３０２からウェハ１３３４のダイへテストデータを搬送するためのダウンリンクチャネルとして構成され、チャネルのうち１２は、ダイにより生成された応答データを搬送してテスタへ返すアップリンクチャネルとして構成される。（通信リンク１３０６内の１６あるチャネルのうち２つは、この例では使用されていない。）ベースコントローラ１４３２は、２つのダウンリンクチャネルでテストデータを受信し、（無線リンク１４５０を介して）ウェハ１３３４の６つすべてのダイにテストデータを無線を使ってブロードキャストする。ベースコントローラ１４３２は、（無線リンク１４５０を介して）６つのダイのそれぞれによって生成された応答データを無線を使って受信し、ベースコントローラ１４３２は、通信リンク１３０６の１２あるアップリンクチャネルを介して、応答データをテスタ１３０２へ送信する。したがって、図１４に示す無線テストシステムは、ダイの数がテスタ１３０２のリソースを超えた場合であっても、ウェハ１３３４を同時にテストすることができる。
【００４７】
別の簡略化した例として、別のデバイスでシュリンクが生じ、今回ウェハ１３３４上には８つのダイが作られると想定する。通信リンク１３０６内の１６あるチャネルのうち２つは、ここでもテスタ１３０２からベースコントローラ１４３２へテストデータを搬送するためのダウンリンクチャネルとして構成されることができ、通信リンク１３０６内の残り１４のチャネルはすべてアップリンクチャネルとして構成される。この場合もやはり、ベースコントローラ１４３２は、２つのダウンリンクチャネルでテストデータを受信し、（無線リンク１４５０を介して）ウェハ１３３４の８つすべてのダイにテストデータを無線を使ってブロードキャストする。ベースコントローラ１４３２は次に、（無線リンク１４５０を介して）８つのダイそれぞれによって生成された応答データを無線を使って受信する。この例では、ベースコントローラ１４３２は、８つのダイから応答データを受信しており、テスタ１３０２へ戻るために１６のアップリンクチャネルを必要とする。しかしながら、利用可能なアップリンクチャネルは１４しかない。多重化技術を使用して、ベースコントローラ１４３２は、１４の利用可能なアップリンクチャネル上で、通常は１６のアップリンクチャネルを必要とする応答データをテスタ１３０２へ送信する。
【００４８】
図１５は、複数（この例では２つ）のベースコントローラ１４３２ａおよび１４３２ｂが使用される典型的なテストシステムを示す。上記の簡略化した例で続けると、テスタ１３０２は、通信リンク１３０６の１６あるデータチャネルとインターフェイスするために十分なリソースを有する。さらに別のデバイスでシュリンクが生じ、今回はウェハ１３３４上に１６のダイが作られると想定する。図１５に示す例において、これら１６のチャネルのうち２つはベースコントローラＡ１４３２ａへのダウンリンクチャネルとして構成され、６つのチャネルはベースコントローラＡ１４３２ａからのアップリンクチャネルとして構成される。同様に、２つのチャネルはベースコントローラＢ１４３２ｂへのダウンリンクチャネルとして構成され、６つのチャネルはベースコントローラＢ１４３２ｂからのアップリンクチャネルとして構成される。ベースコントローラＡ１４３２ａおよびベースコントローラＢ１４３２ｂはいずれも、それぞれのダウンリンクチャネルを介してテストデータを受信し、ベースコントローラ１４３２ａおよび１４３２ｂはそれぞれ、ウェハ１３３４上の８つあるダイの異なるグループへテストデータをブロードキャストする。ベースコントローラＡ１４３２ａは無線リンク１４５０ａを介してテストデータをブロードキャストし、ベースコントローラＢ１４３２ｂは無線リンク１４５０ｂを介してテストデータをブロードキャストする。次に、ベースコントローラ１４３２ａおよび１４３２ｂはそれぞれ、同一の無線リンク１４５０ａおよび１４５０ｂを介して、８つあるダイのいくつかのグループにより生成された応答データを受信する。次に、多重化を使用して、ベースコントローラＡ１４３４ａは、通信リンク１３０６のその６つのアップリンクチャネル上で、８つのダイから収集した応答データをテスタ１３０２へ送信する。同じく多重化を使用して、ベースコントローラＢ１４３４ｂは、通信リンク１３０６のその６つのアップリンクチャネル上で、他の８つのダイから収集した応答データをテスタ１３０２へ送信する。複数のベースコントローラの使用は、特定のテスト要求が、ベースコントローラとダイとの間の通信リンクの帯域幅に近づき始めるか、超え始める状況において、特に有用となり得る。
【００４９】
データスループットの均衡を保たせ、効率を最大化するために、テストシステムにおいて無線通信を使用してもよい。図１６は、２つのテスタ（テスタＡ１６０２およびテスタＢ１６０４）ならびに３つのウェハ（ウェハＡ１６２６、ウェハＢ１６２８、およびウェハＣ１６３０）をテストするための３つのベースコントローラ（ベースコントローラＡ１６１４、ベースコントローラＢ１６１６、およびベースコントローラＣ１６１８）を含む、典型的なテストシステムを示す。通信リンク１６０６、１６０８、１６１０、および１６１２は、テスタＡおよびＢ（１６０２および１６０４）をベースコントローラＡ、Ｂ、およびＣ（１６１４、１６１６、および１６１８）と接続し、無線リンク１６２０、１６２２、および１６２４は、ベースコントローラＡ、Ｂ、およびＣ（１６１４、１６１６、および１６１８）を、ウェハＡ、Ｂ、およびＣ（１６２６、１６２８、および１６３０）上に配置されたＷＴＣチップ（図示しないが、図５と類似のものであってよい）と無線を使って接続する。（テスタＡ１６０２およびテスタＢ１６０４は上述したテスタのいずれに類似していてもよく、ベースコントローラＡ１６１４、ベースコントローラＢ１６１６、およびベースコントローラＣ１６１８は図４に示すベースコントローラに類似していてよい。）テストされているダイのデータスループット要求、またはシステムの他の要求に応じて、テスタ（１６０２および１６０４）はベースコントローラ（１６１４、１６１６、および１６１８）に、ベースコントローラ（１６１４、１６１６、および１６１８）はウェハ（１６１６、１６２８、および１６３０）に、データスループットの均衡を保ち、かつ効率を最大化ような手法で接続されてよい。この結果として、通信リソースの割り振りに不均衡が生じる場合がある。
【００５０】
例えば、図１６に示すように、１つの通信リンク１６０６はテスタＡ１６０２をベースコントローラＡ１６１４に接続し、１つの通信リンク１６１２はテスタＢ１６０４をベースコントローラ１６１８に接続するが、２つの通信リンク１６０８および１６１０はベースコントローラＢ１６１６をテスタＡ１６０２およびテスタＢ１６０４のそれぞれに接続する。同じく図１６に示すように、無線リンク１６２０は、ベースコントローラＡをウェハＡ１６２６のダイの一部に無線を使って接続し、無線リンク１６２２は、ベースコントローラＢをウェハＡ１６２６のダイの一部およびウェハＢ１６２８のダイの一部に無線を使って接続し、無線リンク１６２４は、ベースコントローラＣ１６１８をウェハＢ１６１８のダイの一部およびウェハＣ１６３０のダイのすべてに無線を使って接続する。
【００５１】
図１６に示すシステムのためにデータスループットの平衡を保つ、限定的でない一例を以下に提供する。この例では、テスタＡ１６０２は最大１００メガビット／秒（ＭＢＰＳ）の速度でデータ転送をサポートし、テスタＢは最大２０ＭＢＰＳの速度でデータ転送をサポートすると仮定する。また、ウェハＡは最大６０ＭＢＰＳの速度でデータを転送でき、ウェハＢ１６２８は最大５０ＭＢＰＳの速度でデータを転送でき、ウェハＣ１６３０は最大１０ＭＢＰＳの速度でデータを転送できると仮定する。
【００５２】
前述の仮定を踏まえると、図１６に示すシステムは、テスタＡ１６０２から利用可能な１００ＭＢＰＳのうち、６０ＢＭＰＳを通信リンク１６０６（テスタＡ１６０２とベースコントローラＡ１６１４との間の通信リンク）に；テスタＡ１６０２から利用可能な１００ＭＢＰＳのうち、残りの４０ＢＭＰＳを通信リンク１６０８（テスタＡ１６０２とベースコントローラＢ１６１６との間の通信リンク）に；テスタＢ１６０４から利用可能な２０ＭＢＰＳのうち、１０ＢＭＰＳを通信リンク１６１０（テスタＢ１６０４とベースコントローラＢ１６１６との間の通信リンク）に；テスタＢ１６０４から利用可能な２０ＭＢＰＳのうち、残りの１０ＢＭＰＳを通信リンク１６１２（テスタＢ１６０４とベースコントローラＣ１６１８との間の通信リンク）に割り振ることによって、均衡を保つことができる。テストデータは、６０ＭＢＰＳで無線リンク１６２０（すなわち、ベースコントローラＡ１６１４と、ベースコントローラＡ１６１４によってテストされるウェハＡ１６２６の一部との間）を通じて転送され；テストデータは５０ＭＢＰＳで無線リンク１６２２（すなわち、ベースコントローラＢ１６１６と、ベースコントローラＢ１６１６によってテストされるウェハＡ１６２６の一部およびウェハＢ１６２８の一部との間）を通じて転送され；テストデータは、１０ＭＢＰＳで無線リンク１６２４（すなわち、ベースコントローラＣ１６１８と、ベースコントローラＣ１６１８によってテストされるウェハＢ１６２８の一部およびウェハＣ１６３０の一部との間）を通じて転送される。図１６に示すシステムの、前述したデータ速度等の数値は例に過ぎず、考察および例示目的のみのために与えられるものである。
【００５３】
前述の実施形態は例に過ぎず、多数のバリエーションおよび修正が可能である。例えば、「無線」インターフェイスは「無線」のハイブリッド型バリエーションを含んでよい。複合型工場床環境では、同時に無線通信に携わっている何百または何千もの機器がある場合がある。該当する環境においては、通信を管理する様々な方法が使用され得る。ケーブルを使用して、広域無線ブロードキャスティングステーションに通信信号を分配することができる。信号反応器などの該当するデバイスを（例えば、指向性アンテナとともに）使用してもよい。したがって、例えば、無線リンク１６２０、１６２２、および１６２４は、ケーブル相互接続ブロードキャスティングステーションおよび／または信号反応器のようなデバイスを含んでよい。考えられるバリエーションの別の例として、各プローブセット２２８内の２つのデータプローブは、非接触でテストデータとテスト結果の通信を実現する電磁結合で置き換えてもよい。これについては、参照することでその全体が本明細書に組み込まれる、Ｍｉｌｌｅｒらによる「Ｃｏｎｔａｃｔｌｅｓｓ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｉｎｇ  Ｏｆ  Ｔｅｓｔ  Ｓｉｇｎａｌｓ  Ｗｉｔｈ  Ａ  Ｄｅｖｉｃｅ  Ｕｎｄｅｒ  Ｔｅｓｔ」と題された米国特許出願第１０／７７２，９７０号（代理人整理番号Ｐ１９９−ＵＳ）に記載されている。電磁結合は、米国特許出願公開第２００２０１８６１０６号にも記載されており、これも参照することによりその全体が本明細書に組み込まれる。さらに別の例として、上記の例においてはテスト中のダイ１つにつき１つのＷＴＣチップが示されているが、１つのＷＴＣチップは２つ以上のテスト中のダイに対応してよく、または２つ以上のＷＴＣチップは１つのテスト中のダイに対応してもよい。別の例として、ＷＴＣチップ回路網（例えば、図５参照）の一部は、ダイ上でインプリメントされ得る。実際に、ＷＴＣチップ回路網全体を代替としてダイ上でインプリメントしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】図１は、典型的なテストシステムを示す。
【図２】図２Ａは、カバーを除去した典型的なカセットの平面図を示す。図２Ｂは、デバイス板を除去した図２Ａのカセットの底面図を示す。図２Ｃは、カバーおよびデバイス板を持つ図２Ａのカセットの側断面図を示す。図２Ｄは、典型的なプロービングシステムを示す。
【図３】図３は、典型的なウェハを示す。
【図４】図４は、典型的なベースコントローラの簡略化したブロック図を示す。
【図５】図５は、典型的な無線通信制御チップの簡略化したブロック図を示す。
【図６】図６は、図１のテストシステムの典型的な動作を示す。
【図７】図７は、図６のステップ６０６および６０８の典型的な動作を示す。
【図８】図８は、別の典型的なテストシステムを示す。
【図９】図９は、図８のテストシステムのテスタＩ８０２ａの典型的な動作を示す。
【図１０】図１０は、図８のテストシステムのテスタＩＩ８０２ｂの典型的な動作を示す。
【図１１】図１１は、図８のテストシステムのカセット８１０ａ内にあるベースコントローラの典型的な動作を示す。
【図１２】図１２は、半導体ダイの典型的な製造を示す。
【図１３】図１３は、従来技術のテストシステムを示す。
【図１４】図１４は、典型的なテストシステムを示す。
【図１５】図１５は、典型的なテストシステムを示す。
【図１６】図１６は、典型的なテストシステムを示す。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図２Ｄ】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【国際調査報告】
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