(57)【要約】  光学組立体が、少なくとも２自由度で可動の少なくとも一つの光学部品（１）及び少なくとも一つの光学部品（１）を調節する少なくとも一つのアクチュエータ（２，３，４）と、少なくとも２自由度で少なくとも一つの光学部品の位置を検出する少なくとも一つのセンサ（７，８，９）とを有し、少なくとも一つのセンサ（７，８，９）が少なくとも一つのアクチュエータ（２，３，４）と対角線上略反対に配置されていることを特徴とする。
2007528125.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２自由度で可動の少なくとも一つの光学部品（１，１４，１８）及び該少なくとも一つの光学部品（１，１４，１８）を調節する少なくとも一つのアクチュエータ（２，３，４）と、少なくとも２自由度で前記少なくとも一つの光学部品（１，１４，１８）の位置を検出する少なくとも一つのセンサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）、特にエンコーダ又は別の増分測定システムとを具備する光学組立体において、前記少なくとも一つのセンサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）が前記少なくとも一つのアクチュエータ（２，３，４）と対角線上略反対に配置されていることを特徴とする光学組立体。
【請求項２】
前記少なくとも一つの光学部品の位置を検出する前記少なくとも一つのセンサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）が、前記少なくとも一つのアクチュエータ（２，３，４）の位置を前記光学部品（１，１４，１８）の中心と連絡する対角線から多くて３０度逸れている請求項１に記載の光学組立体。
【請求項３】
一つのアクチュエータと、当該光学組立体の１自由度及び５自由度間をそれぞれ検出する二つのセンサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）とを具備し、それぞれが光学中心又は重力中心に対して互いから約１２０度の好適な角度の間隔を有し、各機器が前記好適な角度の間隔から１０度以上逸れない請求項１又は２に記載の光学組立体。
【請求項４】
一つのアクチュエータと、当該光学組立体の１自由度及び５自由度間をそれぞれ検出する二つのセンサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）とを具備し、前記センサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）は、互いに対角線上反対に配置されると共に、前記アクチュエータは前記センサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）の位置に対して少なくとも略直角に配置される請求項１又は２に記載の光学組立体。
【請求項５】
一つのアクチュエータと、当該光学組立体の１自由度及び５自由度間をそれぞれ検出すると共に互いに対角線上反対に配置される二つのセンサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）とを具備し、前記アクチュエータが、当該光学組立体又は前記光学部品（１，１４，１８）の略重力中心に配置され、その配置位置がアクチュエータによって変更される請求項１に記載の光学組立体。
【請求項６】
一つのアクチュエータと、当該光学組立体の１自由度及び４自由度間をそれぞれ検出する三つのセンサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）とを具備し、前記センサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）が互いに略直角に配置され、前記アクチュエータが前記センサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）の一つと対角線上反対に配置される請求項１又は２に記載の光学組立体。
【請求項７】
前記アクチュエータがその位置が変更される当該光学組立体又は前記光学部品（１，１４，１８）の一つの支持点に配置される請求項１から６のいずれか一つに記載の光学組立体。
【請求項８】
前記少なくとも一つの光学部品（１，１４，１８）を調節する三つのアクチュエータと、当該光学組立体の１自由度及び６自由度間を検出すると共に前記アクチュエータの一つと対角線上反対に配置される少なくとも一つのセンサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）とを具備する請求項１又は２に記載の光学組立体。
【請求項９】
前記アクチュエータが、前記光学部品（１，１４，１８）の光学中心又は重力中心に対して、互いに略１２０度で配置されている請求項８に記載の光学組立体。
【請求項１０】
前記アクチュエータそれぞれが、当該光学組立体又は前記光学部品（１，１４，１８）の支持点に配置されている請求項８又は９に記載の光学組立体。
【請求項１１】
第１のセンサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）が水平面の３自由度（Ｘ，Ｙ，Ｒｚ）について当該光学組立体又は前記光学部品（１，１４，１８）の位置を測定するのに対して、三つの第２のセンサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）それぞれが鉛直面（Ｚ，Ｒｘ，Ｒｙ）の１自由度を測定する請求項１から１０のいずれか一つに記載の光学組立体。
【請求項１２】
前記センサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）がエンコーダを具備する請求項１から１１のいずれか一つに記載の光学組立体。
【請求項１３】
前記センサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）が、当該光学組立体又は前記光学部品（１，１４，１８）の絶対位置を測定する第１手段と、当該光学組立体又は前記光学部品（１，１４，１８）の相対位置を測定する第２手段とを具備する請求項１から１２のいずれか一つに記載の光学組立体。
【請求項１４】
前記第１手段がコンデンサであって前記第２手段が干渉計である請求項１３に記載の光学組立体。
【請求項１５】
前記少なくとも一つの光学部品（１，１４，１８）が、当該光学組立体又は前記少なくとも一つの光学部品（１，１４，１８）の少なくとも一つの座標をそれぞれ測定する少なくとも三つのエンコーダを備える請求項１から１２のいずれか一つに記載の光学組立体。
【請求項１６】
前記エンコーダが前記少なくとも一つの光学部品（１，１４，１８）の周辺周りに略等しく離間している請求項１５に記載の光学組立体。
【請求項１７】
前記少なくとも三つのエンコーダによって用いられる測定線が、当該光学組立体又は前記少なくとも一つの光学部品（１，１４，１８）の光学中心を向いている請求項１６に記載の光学組立体。
【請求項１８】
前記光学中心が凸面又は凹面の反射面に配置されている請求項１７に記載の光学組立体。
【請求項１９】
光学部品を操作し、且つ、複数の自由度を有する少なくとも一つのアクチュエータを備えた光学組立体であって、前記アクチュエータが少なくとも二つの方向に運動又は力又はモーメントを生じさせることが可能であり、少なくとも一つのセンサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）、特に、少なくとも２自由度に光学部品（１，１４，１８）の位置を検出するエンコーダを備え、前記少なくとも一つのセンサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）が前記少なくとも一つのアクチュエータに対して少なくとも対角線上略反対に配置されている光学組立体。
【請求項２０】
前記光学部品上の効果的な作用点で、線形若しくは１軸回転の変位又は力又はモーメントを働かせるアクチュエータのグループを備えている請求項１９に記載の光学組立体。
【請求項２１】
前記アクチュエータが、略一致している前記光学部品上の効果的な作用点を有する請求項１９又は２０に記載の光学組立体。
【請求項２２】
前記アクチュエータが六脚のアクチュエータグループとして取り付けられている請求項１９から２０のいずれか一つに記載の光学組立体。
【請求項２３】
前記アクチュエータが、前記光学部品に共通の作用点を備える二つのアクチュエータの二光束アクチュエータのグループである請求項２１に記載の光学組立体。
【請求項２４】
複数の自由度を備えたセンサを具備する請求項１から２３のいずれか一つに特に記載の光学組立体。
【請求項２５】
少なくとも一つのセンサが測定機器及び計測器の目盛を具備する請求項２４に記載の光学組立体。
【請求項２６】
前記計測器の目盛が、二次元格子、特に交差線又は位置測定の領域のチェッカーボードシステムから成るか又はそれを具備する請求項２５に記載の光学組立体。
【請求項２７】
その機械的特性、特に、振動特性、その剛性、及びその慣性モーメントに関して略回転対称形状をしている請求項１から２６のいずれか一つに記載の光学組立体。
【請求項２８】
前記光学部品が少なくとも一つの球面レンズ若しくは少なくとも一つの非球面レンズ又は鏡を具備する請求項２７に記載の光学組立体。
【請求項２９】
前記光学部品が略円形の最大面積の平面を有している請求項２７又は２８に記載の光学組立体。
【請求項３０】
前記光学部品が、拡張部、特に取り付けパッド、又は切り抜き部を備えた形状を有する請求項２７から２９のいずれか一つに記載の光学組立体。
【請求項３１】
少なくとも２自由度で可動の少なくとも一つの光学部品（１，１４，１８）及び該少なくとも一つの光学部品（１，１４，１８）を調節するための少なくとも一つのアクチュエータ（２，３，４）と、少なくとも三つのセンサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）とを具備し、前記少なくとも一つのアクチュエータが前記光学部品に、特に、その重力中心若しくはその近傍に、又は前記センサの測定面の法線若しくは交差点若しくはその近傍に、効果的な作用点を有する光学組立体。
【請求項３２】
少なくとも一つの光学部品と、該少なくとも一つの光学部品に取り付けられた少なくとも一つのアクチュエータとを具備し、前記アクチュエータが前記光学部品の複数の自由度の運動を有し、少なくとも一つの位置センサが前記光学部品に取り付けられるか又は、特に円筒のフレームに取り付けられ、前記少なくとも一つの位置センサが前記少なくとも一つの光学部品の位置の測定の複数の次元を有する光学組立体。
【請求項３３】
前記少なくとも一つの光学部品が最大幅を有し、少なくとも一つの前記アクチュエータ及び少なくとも一つの前記位置センサが、前記最大幅の三分の一だけ互いから離れている請求項３２に記載の光学組立体。
【請求項３４】
前記光学部品が、回転対称の外径及び軸と、前記光学部品上に一つの前記アクチュエータを取り付ける位置によって形成される角度とを備える少なくとも一つの略回転対称形状を有し、前記回転対称軸と前記位置センサの一つの取り付け位置とが９０度及び２７０度間の範囲内である請求項３２又は３３に記載の光学組立体。
【請求項３５】
前記アクチュエータが前記光学部品に、特に接着又は密着によって固定されている請求項１から３４のいずれか一つに記載の光学組立体。
【請求項３６】
前記センサが検出ヘッド及び検出計測器を具備し、前記検出ヘッド又は前記検出計測器が、特に接着又は密着によって前記光学部品に固定されている請求項１から３５のいずれか一つに記載の光学組立体。
【請求項３７】
４自由度以上で作動する少なくとも一つの光学部品から成り、前記作動の自由度における前記光学部品の位置が少なくとも一つの増分エンコーダによって測定されることを特徴とする光学組立体。
【請求項３８】
前記少なくとも一つのエンコーダが、その受動部分として光学格子を具備する請求項３７に記載の光学組立体。
【請求項３９】
前記少なくとも一つのエンコーダが少なくとも２自由度を測定する請求項３７又は３８に記載の光学組立体。
【請求項４０】
各エンコーダが動作範囲内で測定された各自由度におけるインデックス（ホーム）パルスを備える請求個３７から３９のいずれか一つに記載の光学組立体。
【請求項４１】
各自由度における前記エンコーダの光軸又は測定軸が一つの点、すなわち一致点で略一致する請求項３７から４０のいずれか一つに記載の光学組立体。
【請求項４２】
前記一致点が前記光学部品の略熱的中心であるか、又は熱的中心近くである請求項４１に記載の光学組立体。
【請求項４３】
前記少なくとも一つのエンコーダの光学格子がモノリシック構造の光学部品に直接取り付けられている請求項３８に記載の光学組立体。
【請求項４４】
前記光学格子が密着又は接着又はコールド接着によって前記光学部品に取り付けられている請求項４３に記載の光学組立体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくとも２自由度で可動の少なくとも一つの光学部品及びその少なくとも一つの光学部品を調節するための少なくとも一つのアクチュエータと、少なくとも２自由度で少なくとも一つの光学部品の位置を検出するための少なくとも一つのセンサ、特に、エンコーダ又は別の増分測定システム及びその均等物とを有する光学組立体に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＥＵＶ（極紫外線）リソグラフィに用いられる投影光学部品のような反射光学組立体にとって、光学部品がサブナノメートルレベルで互いに安定する高い光学的仕様が必要である。この要求は、光学部品に吸収される熱量を処理する必要性に加えて、光学組立体を操作するためのアクチュエータの受動システムの実装を非常に困難なものにしている。例えば、インバール（登録商標）上に１ｍ離れた二つの鏡の相対位置は、１ｍＫの温度変化で１ｎｍ変化するであろう。これには、材料の応力緩和のような、組立体の耐用年数（典型的には１０年）の間の経年の寸法変化が、特に設計で用いられる結合部に加わる。また、振動運動の全ての変化も加わる。
【０００３】
もちろん、この様な長期間の影響は、一つ又は複数の光学部品が元の位置に調節可能である場合には補正可能である。使用中に複数の自由度で複数の光学部品を作動させることは、長年、屈折光学部品に適用されてきた。さらに、光学部品から生じる光学波面の質を測定する能力を備える。製造誤差のみならずより重要な長期間の使用中の熱が大幅に補正可能である。
【０００４】
正確な測定及びサブナノメートルレベルの分解能を提供する多数の測定システムが既に存在する。これらの最も一般的なものは、レーザー干渉計及びコンデンサセンサである。レーザー干渉計は、基本的に初期状態からの位置変化を登録することができる増分の相対的な測定システムであって、高測定バンド幅を提供する。コンデンサは、非常に限定された範囲を有し、検出面と非常に近接することを必要とし、そして、限定されたバンド幅を有する絶対センサである。
【０００５】
アクティブ光位置決めシステム、すなわち、その位置変化を認め、且つ、ＥＵＶ又は他の精密光学部品に適用可能なシステムにおいて、前述の両方の組合せが必須である。これは、高アクティブ位置決め組立体が、ほとんどの容量検出システムの能力を超える非常に高いサーボバンド幅を必要とするからである。レーザー干渉計がこのような要求を満たすことができる一方で、レーザー干渉計は、組立体の画像の質が起動中にすでに十分に良好であるか、或いは、少なくとも光学部品を最終的に理想的な位置にする任意の画質検出手段のキャプチャレンジ内であるような初期の理想状態である光学部品が必要である。これは、光学部品の位置をナノメートルレベルで保持するいくつかの手段が、電源オフ中に備わっていなければならず、そしてそれによって、作動コンセプトの選択を大きく制限することを意味する。
【０００６】
特許文献１によって、変位測定システムを有するリソグラフィ投影装置が公知である。
【０００７】
特許文献２は、投影光学システムを構成する複数の鏡の位置、傾き、又は形状のような情報が鏡モニター機構で測定される露光装置に関する。
【０００８】
特許文献３は、温度制御熱遮蔽を有するリソグラフィ投影装置に関する。また、特許文献４には、投影装置が、フレームに取り付けられた複数の光学部品又はセンサを有するリソグラフィ装置が記載されている。
【０００９】
特許文献５によると、複数の光学部品を備え、光学部品によって加えられる力を分散する負荷受容部分を有する光学システムが提供される。
【００１０】
特許文献６によって、光学システムの所定の場所にマウントを固定する周囲の環帯から切り離された光学部品の取付座部が公知である。
【００１１】
特許文献７は、光学部品保持装置に関する。
【００１２】
特に、特許文献８に光学部品の保持機器が示されている。全ての引用文献を引用することによって本明細書の記載に替えることとする。ここで、それらの記載は完全ではなく、従来技術の入る余地を構成しない。
【００１３】
【特許文献１】欧州特許出願公開第１１８２５０９号明細書
【特許文献２】米国特許第６５４９２７０号明細書
【特許文献３】欧州特許出願公開第１１２４１６１号明細書
【特許文献４】欧州特許出願公開第１２７８０８９号明細書
【特許文献５】米国特許出願公開第２００３／１０９０２号明細書
【特許文献６】米国特許第５４８８５１４号明細書
【特許文献７】欧州特許出願公開第１３１１２９６５号明細書
【特許文献８】米国特許出願公開第２００１／００３５８５００号明細書
【特許文献９】欧州特許出願公開第１２７５９９５号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明の目的は、高い精度の位置測定を可能にする光学組立体を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の態様によると、この目的は、少なくとも一つのセンサが少なくとも一つのアクチュエータと対角線上略反対に配置される組立体によって達せされる。
【００１６】
「対角線」は非常に広義に解釈される。それは、その光学的に使用される部分（照射反射面）に関して、光学部品（鏡）及びその実装組立体の熱機械的及び振動機構的の（動的）安定性に基づいて定義される。
【００１７】
対角線上に配置されるアクチュエータ及びセンサ間を接続する線は、このアクチュエータ及びセンサの対の点を含む平面上に、光学部品の光学的に使用される部分の突起部を通っている。好ましくは、この線はこの突起部の中心を略通る。
【００１８】
光学的組立体が略回転対称の形状であるため、対称軸を通る対角線の単語の定義は、（アクチュエータ及びセンサ間の線とアクチュエータ及び軸間の線との間の角度が）±３０度内又は他の主張されるような角度の変動と共に含まれている。
【００１９】
また、略多角形の組立体において、この「対角線上」の単語は、最大長さの６０％以上の長さを有する縁から縁への線及びその中間の線を含んでもよい。
【００２０】
センサ又は測定機器が、測定される対象物に少なくとも１自由度で力を加えるアクチュエータの位置からできるだけ離れた位置にあるとき、センサ又は測定機器の位置の変位は、組立体が傾くか又は回転するなら最大限可能となる。例え組立体が移動されても、測定機器とアクチュエータ間の距離の利点は、センサ又は測定機器及びアクチュエータの相互効果が減少するということである。
【００２１】
本発明の有利な実施形態及び設計は、従属特許請求の範囲、説明、及び図面、それらの組合せの中に、明確に記載されたそれらに限定されることなく含まれている。
【００２２】
少なくとも一つの部品の位置を検出するように構成された本発明による実施形態において、センサの位置は、一つのアクチュエータとの対角線から多くて３０度逸れている。これによって、部品の位置の十分に正確な測定が可能となる。
【００２３】
別の実施形態において、一つのアクチュエータと、組立体の１自由度及び５自由度間をそれぞれ検出する二つのセンサとを備え、それぞれは、光学中心又は重力中心に対して互いから約１２０度の好適な間隔を有し、各機器が好適な間隔から１０度以上逸れない。好ましくは、この実施形態において、円筒座標系は、その構成の略回転対称軸であるそのシリンダー軸が適用される。
【００２４】
本発明のさらなる有利な設計は、一つのアクチュエータと、組立体の１自由度及び５自由度間をそれぞれ検出する二つのセンサであって、これら二つのセンサを接続する線に対して直交する略中心に配置されたセンサとを有する光学組立体である。
【００２５】
本発明の別の実施形態において、光学組立体は、一つのアクチュエータと、組立体又は光学部品上の少なくとも一つのアクチュエータの１自由度及び５自由度間をそれぞれ検出する二つのセンサとを有し、アクチュエータは、位置がアクチュエータによって変更される組立体又は光学部品の略重力中心に配置される。
【００２６】
本発明の別の有利な設計によると、光学組立体は、一つのアクチュエータと、組立体の１自由度及び４自由度間をそれぞれ検出する三つのセンサとを有し、これらセンサ及びアクチュエータは、組立体の略円形の外側縁の四つ角で互いから略等しい距離離れて配置されている。
【００２７】
また、本発明は、光学組立体に関し、アクチュエータが、位置が変更される組立体又は光学部品の単一の支持部に配置される。単一点支持が、支持される組立体又はマウントの最も単純で最小の撓みを提供する。
【００２８】
少なくとも一つの光学部品を調節する三つのアクチュエータと組立体の１自由度及び６自由度間を検出する少なくとも一つのセンサとがある場合には、好ましくは、少なくとも一つの光学部品は、アクチュエータの一つと対角線上反対に配置されている。
【００２９】
好ましくは、三つのアクチュエータは三つのセンサに対応し、これらアクチュエータは、組立体の中心に対して互いに略１２０度の角度で配置されている。
【００３０】
別の好適な実施形態において、アクチュエータはそれぞれ光学組立体又は少なくとも一つの光学部品の支点に配置されている。従って係るアクチュエータは、組立体又は光学部品を支持する付加的な物をそれぞれ有してもよい。
【００３１】
本発明の実施形態において、光学組立体又は光学部品の位置を、三つのセンサが鉛直面の１自由度、例えば、Ｚ，Ｒｘ，Ｒｙ方向についてそれぞれ測定するのに対して、水平面の３自由度、例えば、Ｘ、Ｙ，Ｒｚ方向について測定する一つのセンサを備える。ここで、Ｘ，Ｙ，Ｚは、鉛直方向を向いたＺ軸を備えた関連する直動の自由度のデカルト座標軸である。Ｒｘ，Ｒｙ，Ｒｚは、インデックスデカルト座標軸方向における、回転自由度に関する回転軸である。光学三角測量、ファイバー光学の後方散乱、（空気中に非常に短い光学経路を有し、それ故、環境変動にかなりの耐性がある）干渉センサ、容量センサなど、様々な短い範囲の変位のセンシングテクノロジーが使用可能である。特に、エンコーダが使用されてもよい。係るセンサはピコメータレベルの分解能を有する。
【００３２】
標準的なエンコーダは読み取りヘッドと格子とからなり、後者は純粋受動部分であり、好ましくは格子上へのケーブル配線を避けるために可動体に取り付けられるので、ケーブル配線が、位置決め中に動く物体に外乱力を発生させる。格子を可動体に取り付けることは、安定性に関して大きな利点であり、物理的接着又は物理的密着によって有利に達成される。
【００３３】
また、干渉計の高バンド幅と容量センサの初期化能力とを組み合わせることに加えて、エンコーダは、スペースを節約するのみならず、質量を移動させ、そして位置決めシステムの動力を強化するのによりいっそう小型の形状に製造可能である。唯一の欠点は、恐らく、真空内の干渉計と比べて減衰直線であることであるが、これは、エンコーダの高い再現性を十分に活用して、エラーマッピング技術を用いて補正可能である。
【００３４】
エンコーダは、読み取りヘッドと格子間の相対運動を測定するのみなので、読み取りヘッドを互いに対して及び光学組立体の機械的構造に対して取り付けることは重要である。好ましくは、特許文献９から公知のような任意の作動反力から動的に完全に分離された分離したセンサの取り付けフレームが用いられる。好ましくは、フレームの材料は、例えば特許文献４に開示されているように、任意の温度変化にほとんど無影響である。
【００３５】
読み取りヘッドをフレームに取り付けるとき、動的取付原理が、フレームに対する読み取りヘッドの位置が静的に測定されるように留意すべきである。センサヘッドは、密着によってフレームに取り付け可能である。センサフレームの熱的安定性をさらに改善するために、熱遮蔽が特許文献３に公知のように、略一定の温度であって外部の熱負荷及び／又は環境の熱変化から略独立した、熱的に付勢され且つ安定化された環境を提供するために組み込まれている。
【００３６】
前述の全ての引用文献を引用することによって本明細書の記載に替えることとする。
【００３７】
可能な限り最高の熱安定性を保証するために、読み取りヘッドの光学部品は、ショットグラス（Ｓｃｈｏｔｔ  Ｇｌａｓ）によるＺＥＲＯＤＵＲ（登録商標）又はコーニング（Ｃｏｒｎｉｎｇ）によるＩＮＶＡＲ（登録商標）若しくはＵＬＥ（登録商標）のような、非常に低い（「ゼロ」の）熱膨張を有する材料からできており、密着又は物理的若しくは化学的接着によって互いに保持されている。また、読み取りヘッド近傍から潜在的な熱源を取り除くため、（光源、検出器、及び評価電子機器のような）エンコーダの全ての活性化したエネルギーの消散させる部品が、好ましくは、遠く離れた位置に配置され、光学的又は電気的のいずれか一方で読み取りヘッドに接続されている。
【００３８】
熱的安定性は、測定干渉計を用いてウエハーレベルで視線誤差及び投影画像の収差誤差を断続的、例えば五分に一度、直接測定することによって著しく改善される。
【００３９】
別の実施形態において、センサは、組立体又は光学部品の絶対位置を測定する容量センサのような絶対位置センサと、例えば干渉計のような相対位置センサとを有する。
【００４０】
本発明の別の実施形態によると、光学組立体の少なくとも一つの光学部品は、光学組立体又は少なくとも一つの光学部品の少なくとも一つの座標軸でそれぞれ測定するための少なくとも三つのエンコーダを備えている。
【００４１】
最大六つの単一座標軸若しくは三つの二座標軸のエンコーダ又は任意の他の増分測定システムは、最大６自由度で配置されるためにそれぞれの光学部品に用いられている。エンコーダが、例えば、光学部品の中心に対して互いから略１２０度離れるように、少なくとも一つの光学部品の周囲のバイアス周りに略等しく離間しているとき有利なのは明らかである。
【００４２】
この実施形態において、少なくとも三つのエンコーダによって用いられる測定軸、すなわち、測定が行われる方向は、組立体又は少なくとも一つの光学部品の光学中心を少なくとも略向いている。つまり、測定軸は、単一点、すなわち、反射面の光学中心と略一致する測定点に理想的に向いている。
【００４３】
光学部品が鏡であるとき、光学中心は、好ましくは、反射面に配置されている。しかしまた、光学部品は、レンズのような透過性部品であってもよく、密着によって接続されているレンズ、プリズム、格子、又は干渉計のようなグループであってもよい。
【００４４】
このように、光学部品の均一の熱膨張は、全ての測定軸上に等しい誤差を生じさせ、従って、それらは相殺される。仮に二座標軸のエンコーダが用いられる場合に、二つの軸の測定点が略一致する。二つの測定点間の残余のオフセットは、最低値に保たれるべきであって、センサに関する測定学モデルのために事前にキャリブレーションされると共に補正されている。
【００４５】
任意の作動力による光学部品の局部的な変形が位置測定に最低限の影響しか与えないように、アクチュエータは、エンコーダから可能な限り離れて取り付けられているので有利である。１２０度の配置の場合、アクチュエータはエンコーダ間に６０度で置かれている。
【００４６】
本発明の別の設計によると、少なくとも一つのアクチュエータを有した光学部品を備え、アクチュエータが光学部品を操ると共に、複数の自由度を有し、アクチュエータは少なくとも二つの方向に運動又は力又はモーメントを生じさせることが可能であり、少なくとも一つのセンサ、特に、少なくとも２自由度を有する位置エンコーダを備え、少なくとも一つのセンサは、少なくとも一つのアクチュエータに対して、少なくとも対角線上略反対に配置されている。
【００４７】
別の実施形態によると、光学部品上の効果的な作用点で、線形若しくは１軸回転の変位又は力又はモーメントを働かせるアクチュエータのグループを備えている。
【００４８】
さらに、光学部品は、略一致している光学部品上の効果的な作用点を有するアクチュエータを備えている。
【００４９】
好ましくは、アクチュエータのグループは、光学部品に共通の作用点を備える二つのアクチュエータの二光束アクチュエータのグループである。
【００５０】
好適な実施形態において、光学部品又は光学組立体は複数の自由度を備えたセンサを有する。
【００５１】
また、本発明は、光学部品又は光学組立体に関し、少なくとも一つのセンサが測定機器及び計測器の目盛を有している。
【００５２】
さらに、光学部品は、二次元格子、特に交差線又は位置測定の領域のチェッカーボードシステムから成るか又はそれを備える計測器の目盛を有してもよい。
【００５３】
本発明の別の実施形態において、光学部品は略回転対称形状をしており、係る対称性は、高度の対称的な機械的な特性、特に、光学部品の振動特性、その剛性、及びその慣性モーメント特性を特徴とする。
【００５４】
本発明の別の設計によると、光学部品が、少なくとも一つの球面レンズ若しくは非球面レンズ又は少なくとも一つの鏡を有する。
【００５５】
本発明による光学部品は、略円形の最大面積の平面を有してもよい。
【００５６】
別の実施形態において、光学部品は拡張部、特に取付パッド、又は切り抜き部を備えた形状を有する。
【００５７】
好適な光学組立体は、少なくとも２自由度で可動の少なくとも一つの光学部品及び少なくとも一つの光学部品を調節するための少なくとも一つのアクチュエータと、少なくとも三つのセンサとを有し、少なくとも一つのアクチュエータが光学部品の効果的な作用点、特に、その重力中心若しくはその近傍に、又はセンサの測定面の法線の交差点若しくはその近傍に配置されている。
【００５８】
別の好適な光学部品は、少なくとも一つ光学部品と、少なくとも一つの光学部品に取り付けられた少なくとも一つのアクチュエータとを有し、アクチュエータが光学部品の複数の自由度の運動を有し、少なくとも一つの位置センサが前記光学部品に取り付けられるか又は、特に円筒の保持機器のフレームに取り付けられ、少なくとも一つの位置センサは、少なくとも一つの光学部品の位置の測定の複数の次元を有する。
【００５９】
特に、光学組立体は、少なくとも一つの光学部品が最大幅を有し、少なくとも一つの前記アクチュエータ及び少なくとも一つの前記位置センサは、前記最大幅の三分の一だけ互いから離れている。
【００６０】
光学組立体の別の好適な実施形態において、光学部品は、回転対称の外径及び軸と、光学部品上に一つのアクチュエータを取り付ける位置によって形成される角度とを備える少なくとも略回転対称形状を有し、回転対称軸と前記位置センサの一つの取り付け位置とは、９０度及び２７０度間の範囲内である。
【００６１】
本発明は、アクチュエータが光学部品に固定されている光学組立体に関する。アクチュエータが、組立体のソケット又は支持部に配置されていなければならず、それによってさらなる位置合わせ作業が生じる背景技術で述べた光学部品と比較すると、光学部品は、その縁、その境界線、又はその外周でアクチュエータを支持する。アクチュエータは、異なる手段によって固定されていてもよいが、接着及び密着、またそれらの組み合わせによって固定されるのが望ましい。
【００６２】
さらに、光学組立体は、検出ヘッド及び検出計測器を備えるセンサを有し、検出ヘッド又は検出計測器は、特に、接着又は密着によって光学部品に固定されている。
【００６３】
本発明の別の実施形態において、４自由度以上で作動する少なくとも一つの光学部品から成る光学組立体を備えている。光学組立体は、作動の自由度における前記光学部品の位置が少なくとも一つの増分エンコーダによって測定されることを特徴とする。
【００６４】
少なくとも一つのエンコーダがその受動部分として光学格子を有してもよい。
【００６５】
好ましくは、少なくとも一つのエンコーダが少なくとも２自由度を測定する。
【００６６】
好ましくは、各エンコーダは、動作範囲内で測定された各自由度におけるインデックス（ホーム）パルスを備える。
【００６７】
係る光学組立体において、各自由度におけるエンコーダの光軸又は測定軸が一つの点、すなわち一致点で略一致する。
【００６８】
好ましくは、一致点は、光学部品の略熱的中心であるか、又は熱的中心近くである。
【００６９】
係る光学組立体において、少なくとも一つのエンコーダの光学格子（受動部分）は、モノリシック構造の光学部品に、直接、すなわち中間の保持機器なしで、取り付けられてもよい。
【００７０】
好適な実施形態において、光学格子は、密着又は接着又はコールド接着によって光学部品に取り付けられている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００７１】
本発明の実施形態を、添付図面を参照して例示のみによって、これから記載する。
【００７２】
本発明による実施形態（図１）において、マウント１００は鏡の基板１０１を支持する。基板１０１は照射領域１０２を有する。基板１０１の位置は、好ましくは、照射領域１０２の光学中心１０５に対して互いに略９０度（±１０度又は１５度）又はそれ以下の角度で配置された少なくとも二つのアクチュエータ１０３，１０４によって可動であり、それに対して、アクチュエータ１０３，１０４の位置と反対側に、二つのセンサ１０６，１０７を配置している。センサ１０６，１０７は、アクチュエータ１０３及びセンサ１０６を接続する線とアクチュエータ１０４及びセンサ１０７を接続する線とが、光学中心１０５近くで又はまさに光学中心で交差するように配置されている。
【００７３】
或いは、それら線は光学中心１０５と一致する基板１０１の重力中心で交差している。
【００７４】
アクチュエータ１０３，１０４は、例えば、それらがマウント１００及び基板１０１間に配置される場合に、基板と直接接触して又は、例えばロッド１０８若しくはギヤのような接続部品によって立っている。例えば、アクチュエータ１０３はＸ及びＲｚ方向に基板１０１の可動性を提供するのに対して、アクチュエータ１０４はＹ及びＲｘ方向に基板１０１を移動させる。
【００７５】
マウント１００は不均一の多角形状であるが、別の方法では正多角形又は対称形状であってもよい。
【００７６】
図２は八角形の基板１１０が配置された正方形状のマウント１０９を示す。基板１１０は照射領域１１１を有している。好ましくは、アクチュエータ１１２，１１３，１１４は、基板１１０周り又はその境界でマウント１０９に三角形状に配置され、マウント１０９に対して基板１１０を回転運動又は直進運動させ、センサ１１５，１１６，１１７がマウント１０９の反対側に配置されている。
【００７７】
アクチュエータ１１２，１１３，１１４をセンサ１１５，１１６，１１７と基板１１０の対応する反対側で接続する対角線は、基板１１０の光学中心又は重力中心と一致するか又はほとんど一致する点で交差する。しかし、センサ１１５，１１６，１１７の位置は、基板１１０を対称的に交差する対角線から線１１９のように最大１０度の角度αだけ逸れてもよい。
【００７８】
図３は、角Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆ，Ｇ，Ｈで不均一な多角形を形成する基板１２０の外側縁又は境界でアクチュエータの好適な位置を概略的に示す。対角線は点Ａを点Ｃ及びＥと接続する。他の対角線は点Ｄを点Ｈと接続すると共に点Ｅを点Ｇと接続する。Ａ−Ｅは、基板１２０の最も長い対角線であり、従って点Ａにアクチュエータを配置し、点Ｅにセンサを配置するのが特に適しており、逆もまた同様である。
【００７９】
アクチュエータ及びセンサを配置可能な最も遠い点での対角線の長さは、本発明によると、基板１２０の最も長い対角線、すなわち、対角線Ａ−Ｅの長さの少なくとも６０％である。従って、対角線Ａ−Ｃ及びＧ−Ｅの長さは、その両端にアクチュエータ及びセンサを配置するのには短すぎる。
【００８０】
図４は、光線Ｍ，Ｎを反射する凹面の反射領域１２２を備えた鏡１２１を示す。光線Ｍ，Ｎが反射される点１２３，１２４間の領域のみ光学的に使用される。鏡１２１は、マウント１２５に配置される。マウント１２５に対する鏡１２１の位置は、投影面１２７内でアクチュエータ１２６によって変位可能である。アクチュエータ１２６によって行われる任意の変位は、鏡１２１の反対側に配置されたセンサ１２８によって測定される。
【００８１】
光学組立体は、レンズ１（図５）から成るか又はそれを有している。レンズ１は、すべての６自由度にレンズ１を移動させる三つのアクチュエータ２，３，４によって保持されると共に可動である。好ましくは、各アクチュエータ２，３，４がレンズ１を２自由度で移動させる。或いは、アクチュエータ２，３，４の組合せで、一つのアクチュエータが３自由度に変化し、第二のアクチュエータが２自由度に変化し、それに対して、第三のアクチュエータが１自由度のみ変更することが可能である。好ましくは、アクチュエータは、圧電性のスタック駆動のように線形経路のアクチュエータによって構成されるか、又は直線力のアクチュエータ（ボイスコイル又はローレンツアクチュエータ）によって構成される。
【００８２】
すべての６自由度でレンズ１の位置の変化を測定する三つのセンサ５，６，７が各アクチュエータ２，３，４と対角線上反対側に配置されている。
【００８３】
好ましくは、センサ５，６，７を通る対称線８，９，１０は、レンズ１の光学中心及び各機器５，６，７と対角線上反対側のアクチュエータ２，３，４を向いている。通常、光学中心１１はレンズの重力中心と一致する。
【００８４】
機器５，６，７は、エンコーダ又は干渉計測機器であってもよい。それらは、光学中心１１に対して互いからレンズ１の境界線周りで略等しく離間、すなわち、１２０度離間している。機器５，６，７と対角線上反対側に配置されたアクチュエータ２，３，４の対称性のため、アクチュエータ２，３．４はそれぞれ、隣接した機器５，６，７に対して６０度の距離離れている。各アクチュエータ２，３，４及び機器５，６，７間の長い距離は測定誤差を減少させ、測定の正確さを増加させる。
【００８５】
図５に示す測定機器及びアクチュエータの配置は、すべてのレンズ、鏡、及び密着又は他の任意の技術によって結合された光学部品の組合せに対して適用可能である。光学機器が鏡を含む場合において、アクチュエータは、鏡の裏面であって光学中心又は重力中心にできるだけ近づくように配置される。この構成の唯一の欠点は、アクチュエータによって生じる熱が鏡自体に直接影響を及ぼし、それ故、鏡に余分な熱負荷を生じさせる。
【００８６】
別の実施形態（図６）において、二つのセンサ１２，１３は、別の光学機器１４上に対角線上反対に配置される。各センサ１２，１３は、最大３自由度まで測定する。アクチュエータ（図示略）は下面に配置されている。各センサ１２，１３及びアクチュエータ間に９０度の角度が得られる。
【００８７】
本発明による光学機器に適用される一つのアクチュエータ及び二つのセンサの場合において、これらは間に最大限の距離を備えるために、光学中心又は重力中心に対して互いから１２０度の角度で配置可能である。
【００８８】
図７の実施形態において、三つのセンサ１５，１６，１７が光学機器１８に適用されている。各センサ１５，１６，１７は１，２，又は３自由度（次元）を測定する。アクチュエータ（図示略）は、センサ１５，１６，１７が配置される同一平面内で、機器１８の下面又はセンサ１６と対角線上反対側に配置されている。
【００８９】
好ましくは、アクチュエータは、すべての６自由度で剛性を有しなければならない一点支持に取り付けられている。一点支持に比べて、三点支持は機器のよりよい安定性を提供するという利点を有する。支持される対象物が一つの捩り軸に弱い場合には、四点支持で実現してもよい。二つのアクチュエータを組み込んだ構成から派生する特別な実施形態は、３自由度に調節可能な一つのアクチュエータと１自由度のみにそれぞれ調節可能な三つのアクチュエータとを含んでいる。係る構成は、一つのアクチュエータがウエハー（又はレチクル）チャックを水平面（Ｘ，Ｙ，Ｒｚ）内で位置合わせし、三つの鉛直アクチュエータ（Ｚ１，Ｚ２，Ｚ３）がＲｘ及びＲｙと同様にＺを測定する（ウエハー又はレチクル）ステージ技術において公知である。好ましくは、三つのＺアクチュエータは、ピッチ及びロールの補正に十分なモーメントを生じさせるために比較的大きく離れて配置されている。
【００９０】
好適な実施形態において、アクチュエータによって、すべての６自由度の運動、すなわち、三つの並進運動自由度（例えば、デカルトのＸ，Ｙ，Ｚ座標）及び三つの回転自由度（ピッチＲｘ運動，ロールＲｙ運動，ヨーＲｚ運動）が可能になる。従って、三つのアクチュエータ１９，２０，２１（図８）は光学部品の外側縁に備わっている。各アクチュエータは、Ｚ方向で個々に移動可能であり、それによって、全ての６自由度方向に移動を可能にし、各アクチュエータ１９，２０，２１は一つの回転運動及び一つの過渡的な運動を行う。アクチュエータ１９，２０，２１は、好ましくは、等間隔で配置されている。それらは、光学中心又は重力中心に対して１２０度の角度を形成し、少なくとも略正三角形２２の角に配置されている。正三角形２２の平均線２３，２４，２５は、好ましくは、光学部品の光学中心であって、さらに、光学部品の重力中心の鉛直軸線にある一点で一致している。そしてまた、各二つの平均線２３，２４，２５は前記軸に対して１２０度の角度を有する。
【００９１】
別の実施形態において、三つのアクチュエータ２６，２７，２８（図９）のそれぞれは、Ｚ方向に移動する。アクチュエータ２６，２７は互いに反対に配置される一方で、アクチュエータ２８は、アクチュエータ２６，２７に対して略９０度で配置されている。さらに、アクチュエータ２６，２７は、Ｙ方向に光学部品を移動させる。アクチュエータ２８はＸ方向に移動可能である。
【００９２】
別の実施形態において、四つのアクチュエータ２９，３０，３１，３２（図１０）は、全ての自由度で運動可能なように設計されている。アクチュエータ２９，３０は、光学部品の両側に配置され、光学部品をＺ方向及びＸ方向の両方に移動させるのに対して、アクチュエータ３１，３２はＸ方向及びＺ方向にそれぞれ移動させ、アクチュエータ３１，３２は１自由度のみを有する。
【００９３】
さらなる実施形態において、互いに反対に配置された二つのアクチュエータ３３，３４（図１１）を備えている。アクチュエータ３３は、Ｘ，Ｙ，Ｚ方向に可動であるのに対して、アクチュエータ３４は、Ｒｘ，Ｙ，Ｚ方向に可動であり、それによって、全ての６自由度に光学部品を移動可能である。
【００９４】
アクチュエータ３５，３６，３７（図１２）は、別の光学部品が６自由度で動くことを可能にし、アクチュエータ３５は、Ｚ方向及びＹ方向に移動する。アクチュエータ３６は、Ｒｘ，Ｙ，Ｚ方向に移動する。アクチュエータ３７は、Ｘ方向にのみ移動する。
【００９５】
別の実施形態において、四つのアクチュエータ３８，３９，４０，４１（図１３）を備えている。アクチュエータ３８，３９，４０は、好ましくは、図４のアクチュエータ１９，２０，２１と同じ位置にある。各アクチュエータ３９，４０，４１は、Ｚ方向の運動を生じさせることが可能である。さらなるアクチュエータ４２は、好ましくは鏡である光学部品の下面に位置している。アクチュエータ４２は、Ｘ，Ｙ，Ｒｚ方向で可動である。
【００９６】
図１４は本発明の実施形態を示し、三つのアクチュエータ４１，４２，４３のそれぞれが、Ｚ方向に可動であるのに対して、別のアクチュエータ４４が、好ましくは鏡の下面で、中心に配置され、Ｘ方向及びＹ方向に可動である。従って、この実施形態は、全体として５自由度を有している。ヨー方向には提供されない。
【００９７】
アクチュエータ４４，４５，４６それぞれがＺ方向に可動である実施形態（図１５）は５自由度を可能にしている。さらに、アクチュエータ４４は、Ｘ方向に可動であるのに対して、アクチュエータ４６はＹ方向に可動である。
【００９８】
別の実施形態において、アクチュエータ４７（図１６）は中心に配置されるのに対して、その縁のアクチュエータ４８，４９のＸ，Ｙ，Ｚ方向の移動は、アクチュエータ４７によって提供される。アクチュエータ４８，４９それぞれはＺ方向に可動である。
【００９９】
本発明の別の設計（図１７）において、二つのアクチュエータ５０，５１を備え、アクチュエータ５０はＸ，Ｚ方向の運動を可能にする。アクチュエータ５１はＸ，Ｚ，Ｒｙ方向の運動を可能にする。
【０１００】
４自由度のみが、二つのアクチュエータ５２，５３が光学部品の境界に配置されている実施形態（図１８）で可能にされている。アクチュエータ５２はＹ，Ｒｘ方向に移動し、アクチュエータ５３はＸ，Ｒｙ方向に移動する。同様に、４自由度は、アクチュエータ５４，５５（図１９）がＸ，Ｒｘ方向、Ｙ，Ｒｙ方向にそれぞれ移動する場合に提供される。
【０１０１】
本発明による各光学機器において、アクチュエータは図２０に示すように、接着又は密着によって保持される二つのアクチュエータ５７，５８を支持する部品５６で光学部品の境界で固定されてもよい。Ｘ方向及びＹ方向における部品５６の位置をそれぞれ測定するために格子又は目盛６１，６２を有するエンコーダ６０の検出ヘッド５９が部品５６の下面に固定されている。（より理解しやすいように、目盛６１は大きく拡大して描かれている。）格子又は目盛６１，６２は光学組立体又は光学部品の固定支持又は固定ソケットで固定され、光学組立体又は光学部品は固定支持又は固定ソケットに対して可動である。各目盛６１，６２は指標を有してもよい。
【０１０２】
別の方法では、検出ヘッドは、固定ソケット又は固定支持によって支持され、或いは、検出ヘッドは固定ソケットに取り付けられる一方で、目盛又は格子が光学部品又は光学組立体の境界又は縁で固定されている。
【図面の簡単な説明】
【０１０３】
【図１】鏡の基板を載せた多角形の非対称のマウントであり、鏡は非対称の照射領域を有する。
【図２】基板を載せた回転対称の照射領域を備えた矩形対称のマウントである。
【図３】非対称の光学部品の枠組みである。
【図４】マウント上に配置された非対称の鏡の断面図である。
【図５】三つのアクチュエータによって可動のレンズの断面図である。
【図６】センサを備えた二つの異なる構成の一つを示す。
【図７】センサを備えた二つの異なる構成の別の一つを示す。
【図８】アクチュエータが実装されている光学部品を示す。
【図９】アクチュエータが実装されている光学部品を示す。
【図１０】アクチュエータが実装されている光学部品を示す。
【図１１】アクチュエータが実装されている光学部品を示す。
【図１２】アクチュエータが実装されている光学部品を示す。
【図１３】アクチュエータが実装されている光学部品を示す。
【図１４】アクチュエータが実装されている光学部品を示す。
【図１５】アクチュエータが実装されている光学部品を示す。
【図１６】アクチュエータが実装されている光学部品を示す。
【図１７】アクチュエータが実装されている光学部品を示す。
【図１８】アクチュエータが実装されている光学部品を示す。
【図１９】アクチュエータが実装されている光学部品を示す。
【図２０】二つのアクチュエータ及びエンコーダを備えた光学部品を通る長手方向断面を示す。
【図１】
2007528125.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2007528125.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
2007528125.tif 000017
【図１６】
2007528125.tif 000018
【図１７】
2007528125.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【手続補正書】
【提出日】平成19年5月16日(2007.5.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２自由度で可動の少なくとも一つの光学部品（１，１４，１８）及び該少なくとも一つの光学部品（１，１４，１８）を調節する少なくとも一つのアクチュエータ（２，３，４）と、少なくとも２自由度で前記少なくとも一つの光学部品（１，１４，１８）の位置を検出する少なくとも一つのセンサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）、特にエンコーダ又は別の増分測定システムとを具備する光学組立体において、前記少なくとも一つのセンサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）が前記少なくとも一つのアクチュエータ（２，３，４）と対角線上略反対に配置されていることを特徴とする光学組立体。
【請求項２】
前記少なくとも一つの光学部品の位置を検出する前記少なくとも一つのセンサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）が、前記少なくとも一つのアクチュエータ（２，３，４）の位置と前記光学部品（１，１４，１８）の中心とを結ぶ対角線から多くて３０度逸れている請求項１に記載の光学組立体。
【請求項３】
一つのアクチュエータと、当該光学組立体の１自由度及び５自由度間をそれぞれ検出する二つのセンサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）とを具備し、それぞれが光学中心又は重力中心に対して互いから約１２０度の好適な角度の間隔を有し、各機器が前記好適な角度の間隔から１０度以上逸れない請求項１又は２に記載の光学組立体。
【請求項４】
一つのアクチュエータと、当該光学組立体の１自由度及び５自由度間をそれぞれ検出する二つのセンサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）とを具備し、前記センサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）は、互いに対角線上反対に配置されると共に、前記アクチュエータは前記センサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）の位置に対して少なくとも略直角に配置される請求項１又は２に記載の光学組立体。
【請求項５】
一つのアクチュエータと、当該光学組立体の１自由度及び５自由度間をそれぞれ検出すると共に互いに対角線上反対に配置される二つのセンサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）とを具備し、前記アクチュエータが、該アクチュエータによって位置が変わる当該光学組立体又は前記光学部品（１，１４，１８）の略重力中心に配置される請求項１に記載の光学組立体。
【請求項６】
一つのアクチュエータと、当該光学組立体の１自由度及び４自由度間をそれぞれ検出する三つのセンサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）とを具備し、前記センサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）が互いに略直角に配置され、前記アクチュエータが前記センサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）の一つと対角線上反対に配置される請求項１又は２に記載の光学組立体。
【請求項７】
前記アクチュエータが、位置が変わる当該光学組立体又は前記光学部品（１，１４，１８）の一つの支持点に配置される請求項１から６のいずれか一つに記載の光学組立体。
【請求項８】
前記少なくとも一つの光学部品（１，１４，１８）を調節する三つのアクチュエータと、当該光学組立体の１自由度及び６自由度間を検出すると共に前記アクチュエータの一つと対角線上反対に配置される少なくとも一つのセンサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）とを具備する請求項１又は２に記載の光学組立体。
【請求項９】
前記アクチュエータが、前記光学部品（１，１４，１８）の光学中心又は重力中心に対して、互いに略１２０度で配置されている請求項８に記載の光学組立体。
【請求項１０】
前記アクチュエータそれぞれが、当該光学組立体又は前記光学部品（１，１４，１８）の支持点に配置されている請求項８又は９に記載の光学組立体。
【請求項１１】
第１のセンサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）が水平面の３自由度（Ｘ，Ｙ，Ｒｚ）について当該光学組立体又は前記光学部品（１，１４，１８）の位置を測定するのに対して、三つの第２のセンサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）それぞれが鉛直面（Ｚ，Ｒｘ，Ｒｙ）の１自由度を測定する請求項１から１０のいずれか一つに記載の光学組立体。
【請求項１２】
前記センサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）がエンコーダを具備する請求項１から１１のいずれか一つに記載の光学組立体。
【請求項１３】
前記センサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）が、当該光学組立体又は前記光学部品（１，１４，１８）の絶対位置を測定する第１手段と、当該光学組立体又は前記光学部品（１，１４，１８）の相対位置を測定する第２手段とを具備する請求項１から１２のいずれか一つに記載の光学組立体。
【請求項１４】
前記第１手段がコンデンサであって前記第２手段が干渉計である請求項１３に記載の光学組立体。
【請求項１５】
前記少なくとも一つの光学部品（１，１４，１８）が、当該光学組立体又は前記少なくとも一つの光学部品（１，１４，１８）の少なくとも一つの座標をそれぞれ測定する少なくとも三つのエンコーダを備える請求項１から１２のいずれか一つに記載の光学組立体。
【請求項１６】
前記エンコーダが前記少なくとも一つの光学部品（１，１４，１８）の周辺周りに略等しく離間している請求項１５に記載の光学組立体。
【請求項１７】
前記少なくとも三つのエンコーダによって用いられる測定線が、当該光学組立体又は前記少なくとも一つの光学部品（１，１４，１８）の光学中心を向いている請求項１６に記載の光学組立体。
【請求項１８】
前記光学中心が凸面又は凹面の反射面に配置されている請求項１７に記載の光学組立体。
【請求項１９】
光学部品を操作し且つ複数の自由度を有する少なくとも一つのアクチュエータであって該アクチュエータが少なくとも二つの方向に運動又は力又はモーメントを生じさせることが可能なアクチュエータと、少なくとも一つのセンサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）、特に、少なくとも２自由度に光学部品（１，１４，１８）の位置を検出するエンコーダとを備え、前記少なくとも一つのセンサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）が前記少なくとも一つのアクチュエータに対して少なくとも対角線上略反対に配置されている光学組立体。
【請求項２０】
前記光学部品上の効果的な作用点で、線形若しくは１軸回転の変位又は力又はモーメントを働かせるアクチュエータのグループを備えている請求項１９に記載の光学組立体。
【請求項２１】
前記アクチュエータが、略一致している前記光学部品上の効果的な作用点を有する請求項１９又は２０に記載の光学組立体。
【請求項２２】
前記アクチュエータが六脚のアクチュエータグループとして取り付けられている請求項１９から２１のいずれか一つに記載の光学組立体。
【請求項２３】
前記アクチュエータが、前記光学部品に共通の作用点を備える二つのアクチュエータの二光束アクチュエータのグループである請求項２１に記載の光学組立体。
【請求項２４】
複数の自由度を備えたセンサを具備する請求項１から２３のいずれか一つに特に記載の光学組立体。
【請求項２５】
少なくとも一つのセンサが測定機器及び計測器の目盛を具備する請求項２４に記載の光学組立体。
【請求項２６】
前記計測器の目盛が、二次元格子、特に交差線又は位置測定の領域のチェッカーボードシステムから成るか又はそれを具備する請求項２５に記載の光学組立体。
【請求項２７】
その機械的特性、特に、振動特性、その剛性、及びその慣性モーメントに関して略回転対称形状をしている請求項１から２６のいずれか一つに記載の光学組立体。
【請求項２８】
前記光学部品が少なくとも一つの球面レンズ若しくは少なくとも一つの非球面レンズ又は鏡を具備する請求項２７に記載の光学組立体。
【請求項２９】
前記光学部品が略円形の最大面積の平面を有している請求項２７又は２８に記載の光学組立体。
【請求項３０】
前記光学部品が、拡張部、特に取り付けパッド、又は切り抜き部を備えた形状を有する請求項２７から２９のいずれか一つに記載の光学組立体。
【請求項３１】
少なくとも２自由度で可動の少なくとも一つの光学部品（１，１４，１８）及び該少なくとも一つの光学部品（１，１４，１８）を調節するための少なくとも一つのアクチュエータ（２，３，４）と、少なくとも三つのセンサ（７，８，９；１２，１３；１５，１６，１７）とを具備し、前記少なくとも一つのアクチュエータが前記光学部品に、特に、その重力中心若しくはその近傍に、又は前記センサの測定面の法線の交差点若しくはその近傍に、効果的な作用点を有する光学組立体。
【請求項３２】
少なくとも一つの光学部品と、該少なくとも一つの光学部品に取り付けられた少なくとも一つのアクチュエータとを具備し、前記アクチュエータが前記光学部品の運動の複数の自由度を有し、少なくとも一つの位置センサが前記光学部品に取り付けられるか、又はフレーム、特に円筒のフレームに取り付けられ、前記少なくとも一つの位置センサが前記少なくとも一つの光学部品の位置の測定の複数の次元を有する光学組立体。
【請求項３３】
前記少なくとも一つの光学部品が最大幅を有し、少なくとも一つの前記アクチュエータ及び少なくとも一つの前記位置センサが、前記最大幅の少なくとも三分の一だけ互いから離れている請求項３２に記載の光学組立体。
【請求項３４】
前記光学部品が、外径及び回転対称軸を備える少なくとも一つの略回転対称形状と、前記光学部品上に一つの前記アクチュエータを取り付ける位置によって形成される角度とを有し、前記回転対称軸と前記位置センサの一つの取り付け位置とが９０度及び２７０度間の範囲内である請求項３２又は３３に記載の光学組立体。
【請求項３５】
前記アクチュエータが前記光学部品に、特に接着又は密着によって固定されている請求項１から３４のいずれか一つに記載の光学組立体。
【請求項３６】
前記センサが検出ヘッド及び検出計測器を具備し、前記検出ヘッド又は前記検出計測器が、特に接着又は密着によって前記光学部品に固定されている請求項１から３５のいずれか一つに記載の光学組立体。
【請求項３７】
４自由度以上で作動する少なくとも一つの光学部品から成り、前記作動の自由度における前記光学部品の位置が少なくとも一つの増分エンコーダによって測定されることを特徴とする光学組立体。
【請求項３８】
前記少なくとも一つのエンコーダが、その受動部分として光学格子を具備する請求項３７に記載の光学組立体。
【請求項３９】
前記少なくとも一つのエンコーダが少なくとも２自由度を測定する請求項３７又は３８に記載の光学組立体。
【請求項４０】
各エンコーダが、測定された各自由度において動作範囲内のインデックス（ホーム）パルスを備える請求個３７から３９のいずれか一つに記載の光学組立体。
【請求項４１】
各自由度における前記エンコーダの光軸又は測定軸が一つの点、すなわち一致点で略一致する請求項３７から４０のいずれか一つに記載の光学組立体。
【請求項４２】
前記一致点が前記光学部品の略熱的中心であるか、又は熱的中心近くである請求項４１に記載の光学組立体。
【請求項４３】
前記少なくとも一つのエンコーダの光学格子がモノリシック構造の光学部品に直接取り付けられている請求項３８に記載の光学組立体。
【請求項４４】
前記光学格子が密着又は接着又はコールド接着によって前記光学部品に取り付けられている請求項４３に記載の光学組立体。
【国際調査報告】
2007528125.tif 000023
2007528125.tif 000024