(57)【要約】  自動試験機器（ＡＴＥ）における試験の実施において、ＲＦ（無線周波数）電力を正確に生成する及び測定することは、難題である。例示的な一実施例においては、増幅器（１４０）の入力及び出力特性を測定するのに使用される試験装置（１００）において、試験プログラムパラメータを決定する方法が提供される。前記方法（２００）は、前記試験装置の電源から増幅器（２２０）の入力までの入力損失を計算するステップと、入力損失補正係数を規定するステップとを有する。前記増幅器（２２０）の出力から前記試験装置の電力計までの出力損失が計算され、出力損失補正係数が規定される。前記入力損失補正係数（２３０）を使用して、実際の入力電力レベルが決定され、前記出力損失補正係数（２３０）を使用して、実際の出力レベルが決定される。
2007502402.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
増幅器の入力及び出力特性を測定するのに使用される試験装置において、試験プログラムパラメータを決定する方法であって、前記試験装置の電源から前記増幅器の入力までの入力損失を計算するステップと、入力損失補正係数を規定するステップと、前記増幅器の出力から前記試験装置の前記電力計までの出力損失を計算するステップと、出力損失補正係数を規定するステップと、前記入力損失補正係数を使用して実際の入力電力レベルを決定するステップと、前記出力損失補正係数を使用して実際の出力レベルを決定するステップとを有する方法。
【請求項２】
前記入力損失補正係数と前記出力損失補正係数との関数として、入力電力、出力電力、利得、効率、検出器エラー、線形性及び雑音指数のうちの少なくとも１つを含むＲＦ試験を較正するステップを更に有する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
ＡＴＥプログラムに較正係数を挿入する方法であって、ａ）ラボ利得とラボ入力電力とラボ出力電力とを含むパラメータを少なくとも１つのゴールデンサンプルから得るステップと、ｂ）前記ゴールデンサンプルからのパラメータをＡＴＥ試験プログラムにプログラムするステップと、ｃ）前記ゴールデンサンプルに関してＡＴＥにおける測定値を得て、該測定値をルックアップテーブルに分類するステップと、ｄ）少なくとも１つの小さい入力信号値に関して小さい入力信号における補正されていない利得を計算するステップと、ｅ）第１入力損失と第１出力損失との第１総和を決定し、該第１総和から第１利得変化を決定するステップと、ｆ）第１初期出力損失を規定するステップと、ｇ）前記第１利得変化と前記第１初期出力損失との差分から初期入力損失を計算するステップと、ｈ）前記ＡＴＥの電力レベルを入力電力ラボと初期入力損失との総和に設定するステップと、ｉ）前記ＡＴＥにおける、入力電力に対応する出力電力を測定するステップと、ｊ）前記ＡＴＥにおける出力電力と初期出力損失との総和である補正された出力電力を計算するステップとを有する方法。
【請求項４】
ｋ）補正された値を入力電力及び出力電力に関して前記ＡＴＥ試験プログラムに挿入するか又は他の初期出力損失を規定し、ステップｇ）ないしｊ）を再び実施するかを決定する、前記補正された出力電力とラボ出力電力との間の相関関係の程度を決定するステップを更に有する、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
増幅器の入力及び出力特性を測定するための試験プログラムのパラメータを較正するシステムであって、前記試験装置の電源から前記増幅器の入力までの入力損失を計算し、入力損失補正係数を規定する手段と、前記増幅器の出力から前記試験装置の電力計までの出力損失を計算し、出力損失補正係数を規定する手段と、前記入力損失補正係数を使用して実際の入力電力レベルを決定する手段と、前記出力損失補正係数を使用して実際の出力レベルを決定する手段とを有するシステム。
【請求項６】
前記入力損失補正係数と前記出力損失補正係数とを使用して、出力電力、利得、効率、検出器エラー、線形性及び雑音指数の少なくとも１つを含んでいるＲＦ試験を較正する手段を更に有する、請求項５に記載のシステム。
【請求項７】
増幅器の入力及び出力特性の測定において使用される、複数のコンピュータ命令を含む機械読み取り可能な媒体であって、前記コンピュータ命令は、前記試験装置の電源から前記増幅器の入力までの入力損失を計算するステップと、入力損失補正係数を規定するステップと、前記増幅器の出力から前記試験装置の電力計までの出力損失を計算するステップと、出力損失補正係数を規定するステップと、前記入力損失補正係数を使用して、実際の入力電力レベルを決定するステップと、前記出力損失補正係数を使用して、実際の出力電力レベルを決定するステップと、出力電力、利得、効率、検出器エラー、線形性及び雑音指数のうちの少なくとも１つを含むＲＦ試験を、前記入力損失補正係数と前記出力損失補正係数との関数として較正するステップと、前記ＲＦ試験の較正が完了したことをユーザに示すステップとを有する、機械読み取り可能な媒体。
【請求項８】
増幅器の入力及び出力特性の測定において使用される、複数のコンピュータ命令を含む機械読み取り可能な媒体であって、前記コンピュータ命令は、較正係数をＡＴＥプログラムに挿入するステップを有しており、該ステップは、ａ）少なくとも１つのゴールデンサンプルから、ラボ利得、ラボ入力電力及びラボ出力電力を含むパラメータを得るステップと、ｂ）前記ゴールデンサンプルからのパラメータをＡＴＥ試験プログラムにプログラムするステップと、ｃ）前記ゴールデンサンプルに関してＡＴＥにおける測定値を得て、該測定値をルックアップテーブルに分類するステップと、ｄ）少なくとも１つの小さい入力信号値に関して小さい入力信号における補正されていない利得を計算するステップと、ｅ）第１入力損失と第１出力損失との第１総和を決定し、該第１総和から第１利得変化を決定するステップと、ｆ）第１初期出力損失を規定するステップと、ｇ）前記第１利得変化と前記第１初期出力損失との差分から初期入力損失を計算するステップと、ｈ）前記ＡＴＥの電力レベルを、入力電力ラボと初期入力損失との総和に設定するステップと、ｉ）入力電力に対応している出力電力を前記ＡＴＥにおいて測定するステップと、ｊ）補正された出力電力を計算するステップであって、該補正された出力電力は、前記ＡＴＥにおける出力電力と初期出力損失との総和であるステップと、ｋ）入力電力及び出力電力に関して前記ＡＴＥ試験プログラムに補正された値を挿入するか、又は他の初期出力損失を規定し、ステップｇ）ないしｊ）を再び実施するかを決定する、前記補正された出力電力とラボ出力電力との間の相関関係の程度を決定するステップとを有している、機械読み取り可能な媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器の製造に関する。より詳細には、本発明は、電子デバイスを検査するのに使用される試験装置の較正に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器産業は、より小さい面積で高機能デバイスを実現するために半導体技術の進歩に頼り続けている。多くの用途の場合、高機能デバイスを実現するには、多数の電子デバイスを単一のシリコンウェハに集積することが必要である。前記シリコンウェハの所与の面積当たりの電子デバイスの数が増加するほど、製造工程は難しくなる。
【０００３】
多数の分野における様々な用途を有する多種類の半導体デバイスが、製造されている。このようなシリコンベースの半導体デバイスは、しばしば、例えば、ｐチャネル型ＭＯＳ（ＰＭＯＳ）、ｎチャネル型ＭＯＳ（ＮＭＯＳ）及び相補型ＭＯＳ（ＣＭＯＳ）トランジスタのような金属酸化物半導体（ＭＯＳ）トランジスタと、バイポーラトランジスタと、ＢｉＣＭＯＳトランジスタとを含んでいる。
【０００４】
このような半導体デバイスの各々は、一般に、半導体基板を含んでおり、該半導体基板上に複数の能動デバイスが形成されている。所与の能動デバイスの詳細な構造は、デバイスの種類の間で異なり得る。例えば、ＭＯＳトランジスタにおいて、能動デバイスは、一般に、ソース及びドレイン領域と、該ソース領域と該ドレイン領域との間の電流を調整するゲート電極とを含んでいる。
【０００５】
典型的な集積回路（ＩＣ）デバイスにおいて、トランジスタと他の構成要素とは、所望の機能を達成するように一緒に設けられている。前記所望の機能は、マイクロプロセッサ、マイクロコントローラ、デジタル信号処理（ＤＳＰ）、アナログ増幅器及び無線周波数（ＲＦ）デバイス等を含むが、これらに限定されるものではない。
【０００６】
前記デバイスが、これらの選択された用途において使用されることができる前に、機能性を検査することが必要である。自動試験機器（ＡＴＥ）は、デバイスが所定の仕様（例えば、タイミング仕様）を満たしているかどうかを判定するように、該電子デバイスの性能を効率的に評価するのにしばしば使用されている。各デバイスに関して、前記ＡＴＥは、前記デバイスが動作中にどれだけ速く機能しているかを表わす入力ピンと出力との間の遅延の測定値を得るように該デバイスを試験することができる。
【０００７】
例示的な工程において、ウェハ製作の一連の製造ステップを経た後、前記ＩＣデバイスは、ウェハプローブで試験されることができる。前記ウェハプローブ（又は他の適切なコンタクト）は、ハードウェアインターフェースを介してダイを自動試験機器（ＡＴＥ）に接続する。不合格のダイは、インクドットによってマークされる。この後、ウェハは鋸で切り離され、良好なダイは、パッケージングのために解析（parsed out）される。これらのパッケージされたダイは、次いで、ＡＴＥによって試験される。要件を満たしているパッケージされたダイが収集され、これらの最終的な用途に送り出される。
【０００８】
ＩＣデバイスの試験において、前記ＡＴＥは較正手順を経ることができる。通常の手順では、前記ＡＴＥの装置は周期的に（例えば週ごとに）較正される。ユーザは、この目的のために特に適応化されている（しばしば前記ＡＴＥの製造者から供給される）較正ボードを測定する機器を、設定及び調整する。この較正手順は、通常、前記ＡＴＥによって提供される。前記較正は、標準の長さの遅延線を介したテスタハードウェア内の遅延の時間計測（timing）、精密なインピーダンス負荷を介した電圧及び電流の測定、電圧及び電流源の測定、並びにリレーの機能試験等を含み得るが、これらに限定されるものではない。較正は、ユーザに、測定におけるドリフトと該試験装置が必要とし得る他のメンテナンスとを知らせるために定期的に行われる。
【０００９】
Ａｈｍｅｄらの米国特許第５，２５６，９６４号は、試験システムの精度を検査する装置及び方法に関する。より詳細には、好適実施例において、この発明は、試験システムの評価と、テスタの較正の工程の向上と、試験システム間のトラッキングとに関する。
【００１０】
Ｇｒｅｇｏｒｙ，Ｊｒらの米国特許第５，２６２，７１６号は、一般にはボードテスタに関し、より詳細には、改善されたテスタ較正技術に関する。
【００１１】
Ｂｅｃｋｅｒらの米国特許第５，９２９，６２８号は、一般には自動試験機器に関し、より詳細には、被試験電子デバイスによって生じる信号を正確に測定するための、振幅較正フィーチャを有する自動試験機器に関する。
【００１２】
Ｈｉｔｃｈｃｏｃｋらの米国特許第６，０３２，１０７号は、試験機器の較正に関する。この発明は、概ね、試験機器の少なくとも１つのチャネルにおいて較正するための電気識別子（electrical identification）を有する基準電子デバイスの使用に向けられている。
【００１３】
Ｎａｙｌｅｒらの米国特許第６，４８０，０１３  Ｂ１号は、ＡＣ信号を無線周波数（ＲＦ）領域において受信又は供給するように設計されている入力及び出力を有する所謂ＲＦ集積回路の電気的試験に関する。この発明は、より詳細には、ウェハが個々の構成要素にスライスされる前の、シリコンウェハ上に存在するＲＦ集積回路の電気的試験に関する。この参考文献及び上述で引用した文献は、全体的に参考により、本明細書に組み込まれている。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の実施例によれば、増幅器の入力及び出力特性を測定するのに使用される試験装置と、試験プログラムパラメータを決定する方法とが提供される。前記方法は、前記試験装置の電源から前記増幅器の入力までの入力損失を計算するステップと、入力損失補正係数を規定するステップとを有する。前記増幅器の出力から前記試験装置の電力計までの出力損失が計算され、出力損失補正係数が規定される。前記入力損失補正係数を使用して、ユーザは、実際の入力レベルを決定し、前記試験装置に設定することができる。前記出力補正係数を使用して、ユーザは、測定されるべき実際の出力電力レベルを決定することができる。この実施例のフィーチャは、ＲＦ試験が、前記入力損失補正係数及び前記出力損失補正係数の関数として較正されることができることである。前記ＲＦ試験は、出力電力、利得、効率、検出器エラー、線形性及び雑音指数のうちの少なくとも１つを含んでいる。
【００１５】
本発明の他の実施例によれば、較正係数をＡＴＥプログラムに挿入する方法が提供される。前記方法は、少なくとも１つのゴールデンサンプルからパラメータを得るステップを有しており、該パラメータとは、ラボ利得（lab gain）、ラボ入力電力及びラボ出力電力である。前記ゴールデンサンプルからの前記パラメータが、ＡＴＥ試験プログラムにプログラムされる。前記ＡＴＥに関する測定値が前記ゴールデンサンプルから得られ、ルックアップテーブル内に分類される。少なくとも１つの小さい入力信号の値に関しての小さい入力信号における補正されていない利得が、計算される。第１利得変化が、第１入力損失と第１出力損失との第１の和から決定される。第１初期出力損失が規定される。初期入力損失は、前記第１利得変化と第１初期出力損失との差から計算される。当該ＡＴＥの電力レベルは、入力電力ラボと初期入力損失との和に設定される。前記ＡＴＥにおける出力電力が測定される（該出力電力は入力電力に対応する）。補正された出力電力が計算される（前記補正された出力電力は、当該ＡＴＥにおける出力電力と前記初期出力損失との和である）。この実施例のフィーチャは、前記補正された出力電力とラボ出力電力との間の相関関係の程度の決定を更に含む。前記相関関係の程度は、入力電力及び出力電力に対する補正された値がＡＴＥ試験プログラムに挿入されるか、又は他の初期出力損失が規定され、工程が繰り返されるかを決定する。
【００１６】
増幅器の入力及び出力特性の測定において使用される本発明の更に他の実施例によれば、機械読み取り可能な媒体が、複数のコンピュータ命令を含んでいる。前記コンピュータ命令は、前記試験装置の電源から前記増幅器の入力までの入力損失を計算するステップと、入力損失補正係数を規定するステップと、前記増幅器の出力から前記試験装置の電力計までの出力損失を計算するステップと、出力損失補正係数を規定するステップとを含む。前記入力損失補正係数を使用して、実際の入力出力レベルが決定され、前記出力損失補正係数を使用して、実際の出力電力レベルが決定される。前記入力損失補正係数と前記出力損失補正係数との関数として、ＲＦ試験が較正される。前記ＲＦ試験は、出力電力、入力電力、利得、効率、検出器エラー、線形性及び雑音指数のうちの少なくとも１つを含んでいる。前記コンピュータ命令は、ユーザに、ＲＦ試験の較正が完了したことを示す。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明の上述の概要は、本発明の、各々の開示された実施例（又は全ての見地）を表わしているわけではない。他の見地及び例示的な実施例が、添付図面及び以下の詳細な記載において与えられる。
【００１８】
本発明は、添付図面と関連付けられている本発明の様々な実施例の以下の詳細な説明を考慮において、より完全に理解されることができる。
【００１９】
本発明は、増幅器回路の当該試験のためのロードボード及び試験装置の較正に便利であることが分かっている。本発明は、アナログ回路を試験する特定用途を有しているが、提示される技術は、デバイスの他の仲間にも利用可能である。
【００２０】
ＲＦ電力の生成及び測定において、ユーザは、テスタの精度の獲得及び維持に直面する。ある組の試験装置に対して、所与のテスタに関して得られる結果は、許容可能なものであり得る。しかしながら、他のテスタに関する同じ組の装置の再試験は、異なる結果を生じる。試験ハードウェアボードとは、前記試験装置と実際のチップとの間のインターフェースである。
【００２１】
図１を参照されたい。ＣＳテスタ装置１１０とロードボード１２０との例示的なセットアップ１００は、損失がどこで生じ得るかを示している。ロードボード１２０は、被試験デバイス１４０（ＤＵＴ）が試験される場合にボードからボードまで変化する入力損失１２５と出力損失１３５とを有する。高い電力は入力損失１２５を克服するので、電源１０５は、ＤＵＴ１４０において測定される電力よりも高い電力を駆動しなければならない。同様に、ＤＵＴ１４０の出力電力は出力損失１３５を介して減衰されるので、電力計１１５は、ＤＵＴ１４０の出力電力の低い値を測定する。これらの損失が、考慮に入れられなければならない。
【００２２】
前記デバイスの試験の間、試験ハードウェアの損失が測定され、考慮に入れることができる場合でさえも、前記テスタの精度は、難題のままである。前記入力又は出力における軽微な反射でさえも、該入力又は出力における０．５ｄＢの得られる測定値に差を生じさせる。前記反射は、当該テスタと、試験ソケットを含むハンドラ（handler）との間の長い相互接続ケーブルのために、互いに速く追従（follow）する。前記長い相互接続ケーブルは、しばしば、パッケージ取り扱い機器の機械的制約によって必要とされている。例えば、２．５ＧＨｚ動作領域における周波数の５０ＭＨｚの変化は、付加的に０．５ｄＢだけ前記損失を変化させ得る。従って、多くのサンプルが測定され、補正係数の平均が求められる。この較正は、周波数領域全体に渡って実施される。
【００２３】
本発明の一実施例による特定の用途において、電力増幅器（フィリップスセミコンダクタ株式会社製  ＳＡ２４１１）が、試験される。ＳＡ２４１１のゴールデンサンプルが試験される。「ゴールデンサンプル」なる語は、模範的な態様において動作している際に予め試験されたデバイス（即ち、成功裏に試験された基準サンプル）を称している。絶対入力損失及び出力損失が決定される。これら２つのパラメータは、ソース電力とＤＵＴにおいて測定された電力とを補償するように、ＡＴＥ試験プログラム全体を通して使用される。精度は、観測された前記入力及び出力損失を較正する及び平均するように、十分な最低限の数のゴールデンサンプルを使用して確実にされることができる。ＡＴＥ試験プログラム内の反復ループによって、前記入力及び出力損失係数が、微調整される。
【００２４】
図２を参照されたい。前記ＳＡ２４１１の最終試験プログラムは、フロー２００に従っている。ゴールデンサンプル２１０は、試験ハードウェアインターフェースにプラグ接続される。当該試験プログラムのこの部分は、前記試験ハードウェアインターフェースに関連する損失２２０と、ＡＴＥ自体の内部における未知の損失とを判定する。この較正の結果は、２つの補正係数である。一方は前記入力損失に関し、他方は前記出力損失に関する。これらの補正係数２２０は、最終試験プログラム２３０内に挿入される。前記補正係数は、予め前記入力電力を調整するのに使用される、又は測定の後、前記出力電力を調整するのに使用される。利得、効率及び検出器精度のような他の試験は、補正された前記入力電力及び前記出力電力に基づく。前記補正された係数が挿入され、ユーザはデバイスに対する試験を実施し２４０、この結果、飽和によって入力と出力損失との間を区別することができる。
【００２５】
前記ＳＡ２４１１の場合、出力電力（Ｐｏｕｔ）、利得、効率（Ｅｆｆ）及び検出器エラー（Det_err）のＲＦ試験が実施される。これら４つの試験が較正される。これらのパラメータ間の関係の分析によると、Ｐｉｎ及びＰｏｕｔに対する２つの前記補正係数は、前記４つの試験をカバーするのに十分である。測定されることができる他のパラメータは、雑音指数、ＩＰ３、ＩＰ５及びＩＰＣ等を含んでいるが、これらに限定されるものではない。更なる情報に関しては、Ｐａｕｌ  Ｒ．  Ｇｒａｙ及びＲｏｂｅｒｔ  Ｇ．  Ｍｅｙｅｒによる「集積回路の分析及び設計  第１版」という題名の文献の第９ないし１１章を参照することができる。この文献は、全体的に参考により、本明細書に含まれている。
【００２６】
図３を参照されたい。ＣＳテスタにおける、４つのＲＦ試験の関係３００が示されている。前記ＣＳテスタは、電源電力（Ｐｓｏｕｒｃｅ）３０５を供給するように設定されている。当該ＳＡ２４１１の入力に到達するものは、電力レベルＰｉｎ３１５である。この差分が、前記補正係数「入力損失」３２５である。実際の入力電力Ｐｉｎ３１５は、前記ＣＳテスタによって設定されている電力レベルＰｓｏｕｒｃｅ３０５よりも小さい。
【００２７】
ＤＵＴから出てくる実際の出力電力「Ｐｏｕｔ」３１０は、該出力電力が、ＣＳテスタの電力測定入力（Ｐｍｅａｓｕｒｅ）３２０に到達する前に、減衰される。前記ＣＳテスタは、当該ＳＡ２４１１によって実際に供給されるものよりも低い電力レベルを測定している。この差分は、前記補正係数「出力損失」３３０である。
【００２８】
当該ＳＡ２４１１の利得は、前記実際の入力電力３１５「Ｐｉｎ」と実際の出力電力３１０「Ｐｏｕｔ」とに基づく関数である。利得３４０を所定の入力電力レベルで測定することは、ＣＳテスタによって設定されている前記電力レベルＰｓｏｕｒｃｅが、入力損失３２５だけ増加されなければならず、測定される出力電力Ｐｍｅａｓｕｒｅ３２０が、前記出力損失に関して補正されなければならないことを意味する。利得３４０は、「Ｐｏｕｔ」と「Ｐｉｎ」との間の差分である。どちらの値も「Ｐｓｏｕｒｃｅ」及び「Ｐｍｅａｓｕｒｅ」ではない。
【００２９】
効率３４５は、ＲＦ出力電力と、該ＲＦ出力電力における直流電流と、該ＲＦ出力電力における直流供給電圧との関数３５０である。この式は、Ｅｆｆ＝Ｐｏｕｔ［Ｗ］／（Ｉｄｃ＊Ｖｄｃ）＊１００％である。実際の出力電力「Ｐｏｕｔ」は、単位［ｄＢｍ］から［Ｗ］に変換されなくてはならないことに留意されたい。直流電流及び直流電圧は、補正係数を必要としない。これらの値は、０Ｈｚにおいて正確に測定される。前記式における唯一のＲＦパラメータは、「Ｐｏｕｔ」である。これは、実際の出力電力である。再び「Ｐｏｕｔ」は、前記出力損失によって測定された出力電力「Ｐｍｅａｓｕｒｅ」を補正することによって計算されることができる。
【００３０】
検出器エラー３６０は、ＲＦ出力電力と、直流検出器電圧と、結合係数ｎ及びｋとの関数である。前記結合係数ｎ及びｋは、デバイスの設計によって決定される。
【００３１】
発見された前記入力及び出力損失を較正する及び平均するために、当該デバイスの十分最低限の数のゴールデンサンプルが試験される。異常値からのデータは、破棄される。目的は、再現可能な結果を有することである。当該ＳＡ２４１１は例として使用されているが、本発明によって概略を示されている技術は、ユーザが既知の態様で前記出力を飽和させることができるいかなるデバイスにも利用されることができる。
【００３２】
図４を参照されたい。プロット４００は、Ｘ軸上に、入力電力４１０対出力電力と、入力電力対利得４２０とを示している。理想的な場合の入力電力対出力電力４０５と入力電力対利得４２５とが、破線で示されている。前記利得は、−２０ｄＢｍのあたりでは平坦である。前記入力電力が実際に−２５ｄＢｍ又は−１５ｄＢｍであるかどうかは、ユーザは同じ利得値を読んでいるため、関係ない。
【００３３】
前記利得は、２つのの絶対出力Ｐｏｕｔ及びＰｉｎの組み合わせであるので、２つの補正が存在し得る。一方は前記入力電力の補正であり、他方は前記出力電力の補正である。従って、前記利得の測定は、入力及び出力損失の組み合わせのみを与える。前記利得の測定によって、入力損失又は出力損失の間を区別する仕方は存在しない。しかしながら、ユーザが、前記入力損失又は前記出力損失を知っている場合、彼又は彼女は、上述の測定によって他方を計算することができる。
【００３４】
前記出力損失は、測定されることができる。上述の図において、理想的な場合、前記出力電力は、２２．５ｄＢｍにおいて強く飽和していることは明らかである。前記入力電力が＋１０ｄＢｍ又は＋１４ｄＢｍであるかどうかは、前記出力電力が常に＋２２．５ｄＢｍであるので、関係ない。この飽和した出力電力を測定し、次いで、該出力電力を前記既知の値と比較すると、前記出力損失が得られる。前記入力損失は、（−２０ｄＢｍにおける）先行の測定と、この測定とを使用して計算されることができる。
【００３５】
不運にも、前記飽和は、当該例のＳＡ２４１１の場合、強い飽和ではない。入力電力が１ｄＢ増加するごとに、前記出力電力は、約０．３ｄＢだけ増加する。従って、前記入力電力が１ｄＢだけ離れている（ｏｆｆ）場合、前記出力電力は０．３ｄＢだけ離れ、従って前記出力補正は０．３ｄＢだけ誤っており、前記入力補正は０．３ｄＢだけ誤っている。前記初期入力補正と、新しく発見された入力補正とを知ることにより、新しい入力電力が規定されることができる。前記出力損失の測定を繰り返すことで、より正確な補正が得られる。前記補正が、前記入力電力に対して依然として（例えば、０．３ｄＢ）離れている場合、前記出力損失測定を繰り返し続ける。
【００３６】
図５を参照されたい。本発明による例示的な実施例において、ゴールデンサンプルが、−２０ｄＢｍの入力に設定されたベンチ（bench）において測定され５０５、１５．３ｄＢの利得を有している。＋１２．５ｄＢｍの実際の入力電力において、前記実際の入力電力は＋２２．７ｄＢｍである。これらの得られたデータは、後に較正されるＡＴＥ試験プログラムにプログラムされる５１０。パラメータ、即ちラボ利得、ラボ入力電力及びラボ出力電力は、５０５で得られたものであり、デバイスの測定における非常に高い精度を達成するための精密な試験セットアップから得られる。試験ボード、ケーブル及びＡＴＥ電子機器からの損失及び他の効果は、前記測定から取り除かれ、この結果、ユーザは、被試験デバイス（ＤＵＴ）のパラメータ自体のみを観測する。
【００３７】
様々なテスタ入力電力レベルにおいて、デバイスの出力が、前記テスタに関して測定される５１５。Ｐｉｎ及びＰｏｕｔは、ルックアップテーブル内に位置される。表１を参照されたい。
【００３８】
【表１】
2007502402.tif 000003
【００３９】
ステップ１：小さい入力信号（−２０ｄＢｍ）において補正されていない利得（Gain_uncorrected）を計算する５２０。これを、ラボにおいて測定された利得（Gain_lab）から減算する。この数（Data_gain）が、入力及び出力損失の和を表わしている５２５。
【数１】
2007502402.tif 000004
【００４０】
ステップ２：第１初期出力損失を＋１０ｄＢに規定する５３０（これは略正しいが、この数は、より正確な較正を得るために後に変更される）。初期入力損失を計算する５４０。ＣＳテスタの電力レベルを、１２．５ｄＢｍ＋入力損失に設定する５４５。出力電力を測定する５５０。補正された出力電力を決定し５５５、出力電力が、ラボから期待されていた値に近いかどうかを照合する５６０。
【数２】
2007502402.tif 000005
【００４１】
補正された出力電力５５５は、２２．７ｄＢの期待されていた値から略１ｄＢだけ離れている。前記出力損失は、推定中である。前記初期出力損失は、前記の差分だけ増加されなければならない。ステップ２を繰り返し、これをステップ３とする。
【００４２】
ステップ３：初期出力損失を、ステップ２において分かった値に設定する５３５：ステップ２における測定を繰り返す。
【数３】
2007502402.tif 000006
【００４３】
前記補正された出力電力は、ここで、前記２２．７ｄＢｍの期待されていた値から０．２ｄＢだけ離れている。前記テスタは、より正確な入力電力を見出すために、このステップを繰り返すことができる。前記出力損失、従って前記入力損失は、所定の値に収束する。これは、当該プログラムにおいて、更に先で使用される値５６５である。
【００４４】
前記精度を向上させるために、前記較正の手順は、複数のゴールデンサンプルに関して繰り返されても良い。平均の出力損失及び入力損失が計算されることができる。サンプルからサンプルへの変化が、平均される。例えば、互いに短期間において試験される１０個のサンプルに対するテスタの反復率は、十分なものであるように示されている。
【００４５】
他の実施例において、本発明によれば、前記補正係数を設定するための所与の電力レベルにおける小さい信号利得の１つの値を使用するというよりも、ユーザは、３つ以上の電力レベルにおいて小さい信号利得を測定することができる。例えば、−２５ｄＢ、−２０ｄＢ及び−１５ｄＢの小さい信号入力電力レベルは、前記サンプルのデバイスに利用されることができる。前記利得は、全ての場合において同じものに関するものでなくてはならない。様々な信号レベルにおける前記出力の測定と電源の電力レベルとの不正確さは低減される。従って、より正確な較正が得られる。前記ユーザは、スループット要件及び機器等のような生産コストの点から必要とされる精度を向上させる値を決定しなければならない。
【００４６】
本明細書に概要を示された手順は、ＡＴＥ又は他の等価なもののような、コンピュータシステムに記憶されることができる。例えば、ワークステーションを介するユーザインターフェースは、ユーザが、当該ＡＴＥと通信することを可能にする。前記ＡＴＥは、しばしば、デバイス試験の必要性のために再書き込みされることができる特定のプログラミング言語を有する。前記のようなコンピュータシステムは、磁気ディスク、光ディスク及びメモリのような記憶媒体を含む。例示的な実施例において、当該較正の手順は、クライアントがアクセス可能なリモートホストサーバー上に常駐されることもできる。これらのサーバ／クライアントシステムは、組織のイントラネットの一部であっても良く、インターネット上で利用可能なものであっても良い。
【００４７】
他の実施例において、前記ベンチのセットアップ自体は、ネットワークを介して、前記較正の手順が利用される当該ＡＴＥにリンクされても良い。これらのリンクは、ワイヤー、光ファイバ又はワイヤレス等を含み得る。
【００４８】
本発明は、幾つかの特定の例示的な実施例を参照して記載されているが、当業者であれば、多くの変形が、添付請求項に記載されている本発明の精神及び範囲から逸脱することなく作ることができると認識するであろう。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】電力増幅器の試験において生じ得る損失を示している。
【図２】本発明の実施例による較正手順の概要を示している。
【図３】本発明の実施例による補正係数の導出及びＲＦ試験を示している。
【図４】例示的なデバイスに対する出力電力／利得対入力電力の曲線を示している。
【図５】本発明の実施例による較正手順の概要を示している。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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