(57)【要約】  薄膜の特性を解析するためのシステムおよび方法が提供される。本発明は、適切に選択されたフィルタを備えた複数の検出チャンネルを構成することによって、薄膜を測定するようにＩＲセンサの能力を拡張する。多チャンネルの赤外センサで、吸収に基づく測定と同時に、またはその測定の代わりに、干渉縞の特有のシグナチュアが検出され得る。
2007534945.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）プローブ放射光線（４０、４１、４２、４３、４４）を発するステップと、
（ｂ）測定される膜（６９）を通して前記プローブ光線を透過させるステップと、
（ｃ）前記膜（６９）を透過した前記光線を、ビームスプリッタ（６６）で複数の平行光線に分割するステップと、
（ｄ）所定の周波数帯を通すように設計された個々のフィルタ（６７）中を各平行光線を通過させるステップと、
（ｅ）所定の各周波数帯を透過したエネルギーを光導電検出器（５７、６３）で検出し記録するステップと、
（ｆ）前記所定の周波数帯を透過したエネルギーのデータ（４５）を曲線あてはめアルゴリズムで利用してスペクトル縞の特性曲線全体を回復するステップと、
（ｇ）縞カウント法を利用して前記膜（６９）の特性を計算するステップとを含む、膜の特性の解析方法。
【請求項２】
前記フィルタ（６７）が帯域フィルタである請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記フィルタ（６７）が狭帯域フィルタである請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記選択された全周波数帯における前記透過したエネルギーが同時に読み取られる請求項１に記載の方法。
【請求項５】
周波数帯の異なる少なくとも２つのフィルタ（６７）が使用される請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記特性が前記膜の厚さを測定した、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
測定される膜（６９）を通るプローブ放射光線（４０、４１、４２、４３、４４）を発する手段と、
前記膜（６９）を透過した前記光線（６６）を複数の平行光線に分割する手段と、
それぞれ、様々な所定の周波数帯を平行光線が通過することを可能にする複数のフィルタ（６７）と、
所定の各周波数帯を透過した前記エネルギーを検出し記録するための光導電検出器手段（５７、６３）と、
前記所定の周波数帯を透過したエネルギーのデータを曲線あてはめアルゴリズムで利用してスペクトル縞の特性曲線全体を回復し、縞カウント法を利用して前記膜（６９）の特性を計算するための電子的手段（４５）とを含む、膜の特性の解析システム。
【請求項８】
前記フィルタ（６７）が帯域フィルタである請求項７に記載のシステム。
【請求項９】
前記フィルタ（６７）が狭帯域フィルタである請求項７に記載のシステム。
【請求項１０】
選択された全周波数帯における前記透過したエネルギーが同時に読み取られる請求項７に記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、厚さや斤量など薄膜の特性を測定するための装置および方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
薄膜は、紙など別の材料の表面上にある材料の層である。薄膜は多くの製品に不可欠な構成要素である。一般的な例には、粘着ラベル用の剥離材被覆として使用される紙上のシリコーン薄膜被覆、ならびに肌を乾燥させておく手段として水分を通さないようにおむつおよび他の衛生用品を内張りするシリコーン膜がある。これらの製品で一般に使用される膜の厚さは、１ナノメートル（１０Å）未満から数百マイクロメートルである。それらは、スピンコーティング、真空蒸着、スパッタリング、気相成長およびディップコーティングを含めた異なる多くの方法によって形成され得る。所望の機能を果たすために、薄膜は、適切な厚さ、組成および他の重要な特性を有する必要がある。これらの特性は、製造中も製造後も正確に監視されなければならない。
【０００３】
薄膜の厚さは、一般に、スタイラスベースの技術または光学技術によって測定される。スタイラス技法では、先端が細くなったスタイラスが膜の表面に沿って引きずられるときの偏光を監視することにより厚さを測定する。スタイラス器具は、測定されている薄膜を実際に損傷する恐れがあり、速度および精度が制限される。光学技法は、膜と光の相互作用を計測することにより膜厚を測定するものであり、非破壊でより正確である。光学技法はまた、供試体を下準備する必要が全くまたは殆どないので、通常好まれる。
【０００４】
ある光学技法は、赤外線（ＩＲ）スペクトルの２つ以上の波長帯域で供試体に吸収された光の相対量を測定することによって動作する。最も簡単な場合では、測定帯域と基準帯域の２つの帯域が使用される。測定帯域は、対象材料（測定される膜）中の強い吸収帯域と一致するように選択され、基準帯域は対象材料の吸収が弱い領域と合致するように選択される。より複雑な場合では、ある対象の測定帯域が別の対象の基準帯域であり得る。
【０００５】
透過測定は、Ｉ＝Ｉ０ｅ−μｗであるとするベールの法則に基づく。式中、Ｉ０は供試体がない場合の信号、Ｉは供試体がある場合の信号、μは吸収係数、ｗは供試体の重量である。これは、等価にはｗ＝（１／μ）ｌｎ（Ｉ０／Ｉ）と書かれ得る。したがって、ＩＲ放射の所与の波長において、膜の重量すなわち厚さは減衰の対数に比例する。
【０００６】
実際には、薄膜領域で測定するとき、干渉縞の影響により、そのような透過法の精度は制限される。膜表面から反射された光と膜を透過した光の干渉により、測定された薄膜の透過スペクトル中の縞が発生する。図１中に例が示されており、これは１６μｍポリアミド膜の透過が様々な波長で測定されたときに生じる干渉縞３１を示す。その結果、そのような膜用のセンサの較正誤差が著しく増加し、測定が不正確になる。ＩＲ放射の場合、下限は約１５〜３０ミクロンであり、膜の材料に依存する。
【０００７】
干渉縞の影響を理解するために、図２中に示されるように別の材料上に堆積された厚さｄおよび屈折率ｎの薄膜について考える。膜の上面および下面は、どちらも入射光の一部を反射するはずである。反射光の総量は、この２つの反射の和である。光の波としての性質のために、２つの境界面からの反射は、それらの位相関係に応じて、互いに強め合うかまたは弱め合うように加算し得る。それらの位相関係は、２つの反射の光学距離の差によって決定され、この距離の差は膜の厚さｄによって決定される。この光の通路が光の１波長と等しいとき、２つの反射は同相であり、したがって強め合う加算となる。膜上に垂直に入射する光では、２ｎｄ＝ｉλのときこれが起こる。式中、ｄは膜の厚さ、ｉは整数、λは入射放射の自由空間波長である。（係数２は、光が２つの境界面を通過することを反映している。）反対に、同相条件と異なって光の経路が波長の半分のとき、すなわち２ｎｄ＝（ｉ＋１／２）λのとき、反射は位相がずれており、弱め合う加算となる。
【０００８】
これらの反射の定性的な側面は、１つの式に組み合わされることができる。
Ｒ＝Ａ＋Ｂｃｏｓ（２πｎｄ／λ）
この式から、反射率が波数１／λで周期的に変化することが分かる。さらに、所与の波長（屈折率の係数ｎは波長に依存する）では、振動の周波数はフィルム厚ｄに比例する。反射されない光、すなわち透過光は、膜の反対側に配置されたセンサによって検出され得る。それは、非振動信号に重畳された同様の周期的成分を有することになる。
【０００９】
縞のスペクトル位置および強度が膜厚に依存するので、縞の形状を測定し、縞のパラメータから膜厚を抽出することにより、現行の透過センサを薄膜領域へ拡張することが可能である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、一部には、透過スペクトル中の干渉縞の形状を測定することにより透過センサの能力を薄膜測定用に拡張するための新規技法の開発に基づく。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一態様は、膜厚を測定する方法を対象とし、この方法は、
プローブ放射光線を発するステップと、
測定される膜を通して前記プローブ光線を透過させるステップと、
膜を透過した光線を、ビームスプリッタで複数の平行光線に分割するステップと、
所定の周波数帯を通すように設計された個々のフィルタ中を各平行光線を通過させるステップと、
所定の各周波数帯を透過したエネルギーを光導電検出器で検出し記録するステップと、
前記所定の周波数帯を透過したエネルギーのデータを曲線あてはめアルゴリズムで利用してスペクトル縞の特性曲線全体を回復するステップと、
縞カウント法を利用して膜の特性を計算するステップとを含む。
【００１２】
本発明の別の一態様は、膜厚を測定するためのシステムを対象とし、このシステムは、
測定される膜を通るプローブ放射光線を発する手段と、
膜を透過した光線を複数の平行光線に分割する手段と、
それぞれ、様々な所定の周波数帯を平行光線が通過することを可能にする複数のフィルタと、
所定の各周波数帯を透過したエネルギーを検出し記録するための光導電検出器手段と、
前記所定の周波数帯を透過したエネルギーのデータを曲線あてはめアルゴリズムで利用してスペクトル縞の特性曲線全体を回復し、縞カウント法を利用して膜の特性を計算するための電子的手段とを含む。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明によれば、新規な赤外線（ＩＲ）膜厚測定システムが提供される。具体的には、本発明は、適切に選択されたフィルタを備える多重検出チャンネルを構成することによって薄膜を測定するようにＩＲセンサの能力を拡張する新規な方法を提供する。本発明により、吸収に基づく測定と同時に、またはその測定の代わりに、干渉縞の特有のシグナチュアが検出され得る。
【００１４】
本システムは３つの主要部分を備える。（ｉ）変調されたＩＲエネルギーの発生源、（ｉｉ）ＩＲエネルギーと測定される供試体がその中で相互作用する供試体セル、および（ｉｉｉ）選択された全チャンネル上を伝達されるエネルギーが同時に読み取られる受光器／解析器。
【００１５】
図３はＩＲ源組立体４０を示す。ＩＲ源は、上部ヘッドと下部ヘッドの間の供試体に広帯域ＩＲのパルスを送る。ＩＲ源は、白熱灯４１、ミラー４２、およびＩＲエネルギーの変調を支援するためのハードウェアからなる。水晶タングステン・ハロゲン・ランプが、サイズがコンパクトであり、水晶の包絡面がこの応用例で対象となる周波数帯中のＩＲエネルギーに対して透過性であるために使用される。ランプのフィラメントが小さいので、ウィンドウ上にほとんどのエネルギーを集束させることが可能である。水晶タングステン・ハロゲン・ランプからの放射は、ミラー４２によって光導管に集束される。必要とされる調節は、受光器での信号強度を最大にするように、ホルダ中でランプをスライドさせることによってランプの焦点を合わせることだけである。
【００１６】
ＩＲエネルギーは、チョッパ４３（好ましくは８つの等間隔の穴を備えた軽量で回転するステンレス鋼ディスク）で変調される。チョッパ４３は、６２０±２５Ｈｚで放射を変調するブラシレス直流モータ４４によって駆動される。ＩＲエネルギーを変調すると、受光器内の検出器によって受け取られた信号が周囲光または検出器中で生成される低周波ノイズによって不明瞭になるのを防止することになる。
【００１７】
供試体セルは、ＩＲ源と受光器ウィンドウの間の空間に配置される。ここに、測定される供試体膜が、ＩＲエネルギーと相互作用するように置かれる。透過したＩＲエネルギーが、汚れや、ヘッドの位置ずれもしくは分離など外部からの影響によらず、供試体の特性のみによって決定されることが非常に重要である。
【００１８】
図４に受光器組立体５０が示されている。受光器の機能は、選択された全帯域の透過エネルギーを同時に読み取ることである。これは、ビームスプリッタ（図５中の６６）を使用してエネルギーを一連の平行光線に分割することによって行われる。次いで、各光線は、所定の周波数帯を通すように設計されたフィルタを通され、光導電検出器によってその帯域の総エネルギーが検出される。検出器は、硫化鉛（ＰｂＳ）タイプ、セレン化鉛（ＰｂＳｅ）タイプまたはシリコン（Ｓｉ）タイプから選択され得る。各検出器は、受け取った信号を増幅し、直流に変換し、受信器に伝達する、専用の従来型電子回路５７を有する。
【００１９】
受光器組立体５０は、好ましくは１２チャンネルまで対応する能力を有し、必要に応じて追加チャンネルを装備することができる。中央のアルミニウム支柱５１は、１２チャンネルまで対応することができるソケット５５を有する。中央の支柱５１は、センサを冷却するための天井（図示せず）の水冷プレートに取り付けられる。
【００２０】
図５は、中央の支柱６５に取り付けられたチャンネルを示す。理解しやすいように、この図中では６つのチャンネルだけ取り付けたものが示されている。必要に応じて、追加のチャンネルが、ソケット５５の所で中央の支柱５１に取り付けられ得る。各チャンネルは、検出器６３、ＩＲ帯域選択フィルタ６７、レンズ６８および支援電子回路を備える。本発明の一実施形態によれば、好ましくは１２チャンネルまで同時に利用される。電子回路からの熱および検出器のペルチエ冷却は、検出器組立体から支柱５５を通って水冷プレートまで導かれる。
【００２１】
薄膜供試体６９は、供試体セルに装着されて固定され、ＩＲ源４０が、供試体を通って広帯域ＩＲのパルスを透過させるように動作される。受光器が、選択された全帯域の透過エネルギーを同時に読み取り、各検出器の出力は、信号処理回路４５（図３、図４）に伝達されて信号を処理する。次いで、波長および透過率（％）が、電子的にグラフ上にプロットされ得る。
【００２２】
図６は、フーリエ変換赤外（ＦＴＩＲ）分光計を用いた５μｍおよび１６μｍのＮＹＬＯＮ膜の測定から形成された干渉縞を示す。干渉縞の特有のシグナチュアを検出するために、適切に選択された光フィルタが利用される。縞の下の斜線領域は、本発明の一実施形態による１２チャンネルＩＲセンサ向けに提案されたフィルタの波長を表す。
【００２３】
本発明の一実施形態では、狭帯域光フィルタが使用されることになる。これらのフィルタは、一般に、２つの阻止帯域で囲まれたスペクトル透過帯域を有する干渉フィルタであり、スペクトルの一部分のみを透過させる。これは、選択された波長を中心として高い透過をもたらす。ニュージャージー州パーシッパニーのＳｐｅｃｔｒｏｇｏｎ  ＵＳ社から入手可能な光フィルタが適している。
【００２４】
適切なフィルタが選択され得る前に、いくつかの条件が考慮に入れられなければならない。これらの条件は、利用可能なチャンネル数の制限および入手可能な市販フィルタの選択肢の制限によって規定される。
【００２５】
第１に、ＩＲセンサのチャンネルは、選択された光導電検出器が入射光に感応するスペクトル領域について較正されなければならない。光導電検出器用の感光素子（ＰｂＳ、ＰｂＳｅまたはＳｉ）のタイプを切り替えることによって、中間帯ＩＲ（ＰｂＳｅを使用）または可視（Ｓｉを使用）領域のスペクトルを検出することが可能である。ＰｂＳおよびＳｉ検出器を使用すると、ＩＲＰｌｕｓセンサの全動作スペクトル範囲は、４００ｎｍから５０００ｎｍである。しかし、多くのプラスチック膜がこのスペクトル範囲で強い表面散乱および強い基礎吸収線を示し、正確に干渉縞を調査することは困難になる。これらの理由で、ＰｂＳ検出器セルが好まれる。ＰｂＳ検出器セルは、１０００ｎｍから３０００ｎｍまでのスペクトル感応範囲を有する。１６００ｎｍと１８００ｎｍの間のスペクトル領域では、ほとんどのプラスチック膜は吸収線を示さないか、または弱い吸収線を示すだけである。このことは、測定可能な干渉縞の生成にとって重要である。
【００２６】
第２に、ＩＲ検出器からの信号を単一波長に起因するものにするために、各チャンネル用のフィルタが透過させる帯域は、できるだけ狭くするべきである。この波長は、以下に論じられる正弦波回復アルゴリズムで使用されることになる。
【００２７】
第３の要件は、干渉縞の形状を回復するために少なくとも半分の周期（Ｐ）が必要とされることから生じる。膜が薄いほど、スペクトルの縞の周期は幅が広くなる。（５μｍ膜および１６μｍ膜のスペクトルの縞の比較については図６を参照のこと。）このことから、より薄い膜のスペクトル範囲をカバーするために、選択されたフィルタの透過帯域の中心波長（ＣＷＬ）が、互いに十分大きなスペクトル間隔で配置されることが必要となる。
【００２８】
反対に、より厚い膜は、あてはめアルゴリズムで一意の解を見出すために、縞の各半周期ごとに少なくとも３つの測定点を必要とする。センサの測定範囲を、縞がより高いスペクトル振動周波数を有するより厚い膜へ拡張するために、スペクトルをオーバーラップさせることなく、互いにできるだけ近接するＣＷＬを有するフィルタを選ぶことが有利である。そうするには、薄膜および厚膜の両方をカバーするために、フィルタ選択の過程でトレードオフが必要となる。
【００２９】
本発明の一実施形態によれば、選択された１２のフィルタは、１６２０ｎｍから１８４０ｎｍの範囲のＣＷＬを有する。フィルタの特性は表１に示されている。フィルタの透過帯域の半値幅（ＨＷ）が、図６に斜線領域として示されている。
【００３０】
下の表に、Ｓｐｅｃｔｒｏｇｏｎ社製の選択されたフィルタを列記する。
【００３１】
【表１】
2007534945.tif 000003
【００３２】
図６のＦＴＩＲ測定を利用すると、提案された１２個のフィルタの通過帯域における透過率が確認され得る。５μｍおよび１６μｍのＮＹＬＯＮに対するこれら１２の値のセットにあてはめられた曲線は、シミュレートされた実験データとして使用され得る。これらのシミュレートされたＩＲ透過データは、図７および図８中にプロットされている。
【００３３】
次いで、Ｌｅｖｅｎｂｅｒｇ−Ｍａｒｑｕａｒｄｔの非線形あてはめアルゴリズムなどのあてはめアルゴリズムが適用され、測定データを正弦曲線にあてはめる。
【００３４】
計算は以下の通りである。Ｖｄ（ｘ）＝ｂ＋Ａｓｉｎ（２πｆ（ｘ−ｃ））
式中、
Ｖｄ−ＩＲ検出器出力であり、ＩＲ透過％の測度である
ｘ−波数（ｃｍ−１）＝１０００００００／波長（ｎｍ）
ｂ、ｃ−スケールオフセットのあてはめパラメータ
Ａ−縞の振幅
ｆ−波数空間における縞の振動周波数
あてはめアルゴリズムの目標は、測定された膜の所与の厚さに特有のパラメータｆを見出すことである。
【００３５】
あてはめた結果は、以下の表中に示されている。
【００３６】
【表２】
2007534945.tif 000004
【００３７】
Ｃｈｉ＾２は、あてはめの適合度を表す。縞のパラメータがＦＴＩＲ分光計を使用して測定されている場合は、それらのパラメータがあてはめから得られたパラメータと比較されることができる。このシミュレーションは、第１の方法として、たった１２のスペクトル位置における信号振幅を用いて、先行あてはめプロシージャを使用してスペクトルの縞の全体の形状を完全に回復することが可能なことを確認する。図９および図１０は、あてはめルーティンの計算結果を示す。
【００３８】
上記あてはめアルゴリズムは、波数空間における縞の振動周波数ｆを与える。回復されたスペクトル縞の曲線から、最初および最後の回復された干渉縞のスペクトル位置を調べることにより、次式を使用して膜厚ｄが抽出され得る。
【００３９】
【数１】
2007534945.tif 000005
【００４０】
または、
【００４１】
【数２】
2007534945.tif 000006
【００４２】
式中、λ１−最初の回復された干渉縞のスペクトル位置
λ２−最後の回復された干渉縞のスペクトル位置
ｎ１−波長λ１での膜の屈折率
ｎ２−波長λ２での膜の屈折率
Ｎ−λ１とλ２の間のスペクトルの縞の数
この縞カウント法を使用すると、２つの波長λ１およびλ２での屈折率が必要とされるだけである。
【００４３】
Ｈｏｎｅｙｗｅｌｌ  Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ社（ニュージャージー州モリスタウン）によってＩＲ−Ｐｌｕｓ赤外透過センサという名前で市販されているＩＲセンサが、上記ＩＲ膜厚測定システムで使用するために改造され得る。本発明の一実施形態によれば、ＩＲ−Ｐｌｕｓセンサは、同時に１２本までの受光器チャンネルを使用するように適合され得る。この１２本のチャンネルは、測定された膜の屈折率が既知かどうかによって、測定を行う前に較正を必要とすることがある。上記の式中で使用される正確な屈折率を決定するために、この手順中にいくつかの膜供試体が測定されるべきである。
【００４４】
本発明の別の実施形態では、上記の技法を使用して透過スペクトル中の干渉縞の形状の測定に取りかかる前に、従来の吸収モードでの膜特性を測定して予備的近似値を得るために多チャンネルのセンサが使用され得る。例えば、多重赤外線センサチャンネルの１２未満のチャンネル、例えば２本のチャンネルが吸収測定専用とされ、残りのチャンネルは干渉計測のために使用され得る。
【００４５】
本発明の別の実施形態では、上記の薄い厚さの測定システムは、紙または他のフラットシートの生産プロセスでの使用に適合され得る。ＩＲセンサは、欠陥を検出し、かつ斤量および厚さのパラメータを測定するために、動いている巻取り紙を端から端まで走査するように適合され得る。図１１は、そのようなシステムの概略図を示す。測定される巻取り紙１２０がコンベア１２１上に置かれ、コンベアが、ＩＲ源４０および受光器組立体５０を通って巻取り紙を移動させる。あるいは、ＩＲ源および受光器組立体は、互いに同期して移動可能であるように作製され得る。測定された厚さの変化は、測定された厚さと時間の関係をプロットするグラフで示され得る。
【００４６】
紙の生産では、紙および厚紙中の質量分布が不均一なので、厚さは測定するのが困難な特性である。その結果、紙の表面は、数μｍから数ｃｍまで様々なスケールの小さな凹みや割れ目を有する。新聞用紙の「厚さ」は、微視的なスケールでは短い距離で３０％変わることがある。厚さの正確な測定が、新聞紙の密度および斤量を計算するのに必要とされ、この測定は、強度および光学的性質に対して密度および斤量（ｂａｓｉｓ  ｗｅｉｇｈｔ）が影響を及ぼすことから重要である。斤量は、坪量（ｇｒａｍｍａｇｅ）とも連量（ｒｅａｍ  ｗｅｉｇｈｔ）とも呼ばれ、その紙の等級用の所与の標準サイズに切断された紙の連（５００枚）の重量をポンドで表したものである。ＩＳＯの用紙寸法を使用する国々では、斤量は１平方メートルの紙のグラムで示される。
【００４７】
１つの巻取り紙の厚さを測定し記録する際の困難を克服するために、代わりに有効厚が測定され得る。巻取り紙の厚さプロファイルは、上記の方法を使用して、巻取り紙に沿って２つの選択された個所で得られる。有効厚は、２つの測定値間の差の平均である。次いで、供試体の連の既知の重量および測定された紙の有効厚から、斤量が計算され得る。
【００４８】
上記の、本発明の好ましい実施形態の説明は、例示および説明のために提供されたものである。それは、網羅的なものでも、本発明を開示された形態に厳密に制限するように意図されたものでもない。本発明の原理および実用的応用例について最もよく説明するために、多くの実施形態が選択され説明された。それによって、当業者は、様々な実施形態における、また企図される特定の使用に適する様々な変更を加えた本発明を理解することができる。本発明の範囲が、特許請求の範囲およびそれらの等価物によって定義されることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】干渉縞を示す厚さ１６μｍのポリアミド膜について測定されたパーセント透過と波長の関係のグラフである。
【図２】厚さｄの薄膜を通過する光波の基本概念を示すグラフである。
【図３】本発明による赤外線膜厚測定システムの光源組立体を示す図である。
【図４】本発明による受光器組立体を示す図である。
【図５】受光器組立体の中央の支柱に取り付けられたチャンネルを示す図である。
【図６】５μｍおよび１６μｍのＮＹＬＯＮ膜の測定から形成された干渉縞を示す図である。
【図７】５μｍのＮＹＬＯＮ膜の測定から得られたデータをプロットしたグラフである。
【図８】１６μｍのＮＹＬＯＮ膜の測定から得られたデータをプロットしたグラフである。
【図９】図８中に示されたデータに曲線あてはめ計算を行った結果を示すグラフである。
【図１０】図９中に示されたデータに曲線あてはめ計算を行った結果を示すグラフである。
【図１１】動いている巻取り紙を測定するように適合されたシステムを示す概略図である。
【図１２】動いている巻取り紙で測定された厚さの経時的変化をプロットした例示的なグラフである。
【図１】
2007534945.tif 000007
【図２】
2007534945.tif 000008
【図３】
2007534945.tif 000009
【図４】
2007534945.tif 000010
【図５】
2007534945.tif 000011
【図６】
2007534945.tif 000012
【図７】
2007534945.tif 000013
【図８】
2007534945.tif 000014
【図９】
2007534945.tif 000015
【図１０】
2007534945.tif 000016
【図１１】
2007534945.tif 000017
【図１２】
2007534945.tif 000018
【国際調査報告】
2007534945.tif 000019
2007534945.tif 000020
2007534945.tif 000021