(57)【要約】  固体レーザモジュール用のモジュールは、光学的放射を励起するよう適合されたレーザダイオードアレイと、レーザダイオードアレイに結合された熱交換器と、部分的に熱交換器を通して形成され、熱交換器に加圧された冷却流体を供給可能な冷媒マニホールドと、レーザダイオードアレイ、熱交換器、およびレーザ利得媒質が封入されている内側部分を有し、少なくとも加圧された冷却流体と同じぐらい高いレベルでの内側部分の加圧を可能にするよう適合された気密筐体と、内側部分を加圧するために気密筐体を通って延びている加圧剤供給ラインとを含む。モジュールはまた、光学的放射を受けて、入射したレーザビームから増幅されたレーザビームを生成するよう適合され位置付けられたレーザ利得媒質も含んでいてもよい。
2007517402.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学的放射を生成するよう適合されたレーザダイオードアレイと、
前記レーザダイオードアレイに結合された熱交換器と、
部分的に前記熱交換器を通して形成され、前記熱交換器に加圧された冷却流体を供給可能な冷媒マニホールドと、
前記レーザダイオードアレイおよび前記熱交換器が封入されている内側部分を有し、少なくとも前記加圧された冷却流体と同じぐらい高いレベルでの前記内側部分の加圧を可能にするよう適合された気密筐体と、
前記内側部分を加圧するために前記気密筐体を通って延びている加圧剤供給ラインとを含む、レーザダイオードアセンブリ。
【請求項２】
前記気密筐体の一部として形成され、前記光学的放射を伝えるよう適合され位置付けられたダイオード放射窓をさらに含む、請求項１に記載のレーザダイオードアセンブリ。
【請求項３】
前記気密筐体の一部として形成され、前記光学的放射を前記筐体の外部に伝えて集中させるよう適合され位置付けられたダイオード放射窓をさらに含む、請求項１に記載のレーザダイオードアセンブリ。
【請求項４】
光学的放射を生成するよう適合されたレーザダイオードアレイと、
前記レーザダイオードアレイに結合された熱交換器と、
部分的に前記熱交換器を通して形成され、前記熱交換器に加圧された冷却流体を供給可能な冷媒マニホールドと、
前記光学的放射を受けて、入射したレーザビームから増幅されたレーザビームを生成するよう適合され位置付けられたレーザ利得媒質と、
前記レーザダイオードアレイ、前記熱交換器、および前記レーザ利得媒質が封入されている内側部分を有し、少なくとも前記加圧された冷却流体と同じぐらい高いレベルでの前記内側部分の加圧を可能にするよう適合された気密筐体と、
前記内側部分を加圧するために前記気密筐体を通って延びている加圧剤供給ラインとを含む、固体レーザモジュール。
【請求項５】
前記気密筐体の一部として形成され、前記入射したレーザビームを前記レーザ利得媒質に伝えるよう適合され位置付けられた第１のレーザ窓と、
前記気密筐体の一部として形成され、前記増幅されたレーザビームを前記気密筐体の外部に伝えるよう適合され位置付けられた第２のレーザ窓とをさらに含む、請求項４に記載の固体レーザモジュール。
【請求項６】
前記レーザ利得媒質に結合されたレーザ利得媒質熱交換器と、
部分的に前記レーザ利得媒質熱交換器を通して形成され、前記レーザ利得媒質熱交換器に冷却流体を供給可能な第２の冷媒マニホールドとをさらに含む、請求項４に記載の固体レーザモジュール。
【請求項７】
前記内側部分に配置され、前記レーザ利得媒質が配置されるレーザ経路を有する空洞共振器をともに形成するよう適合され位置付けられた第１および第２のミラーをさらに含む、請求項４に記載の固体レーザモジュール。
【請求項８】
前記気密筐体の一部として形成され、前記増幅されたレーザビームを前記気密筐体の外部に伝えるよう適合され位置付けられたレーザ窓をさらに含む、請求項４に記載の固体レーザモジュール。
【請求項９】
光学的放射を励起するよう適合されたレーザダイオードアレイと、
前記レーザダイオードアレイに結合された熱交換器と、
部分的に前記熱交換器を通して形成され、前記熱交換器に加圧された冷却流体を供給可能な冷媒マニホールドと、
前記レーザダイオードアレイおよび前記熱交換器が封入されている内側部分を有し、少なくとも前記加圧された冷却流体と同じぐらい高いレベルでの前記内側部分の加圧を可能にするよう適合された気密筐体と、
前記内側部分を加圧するために前記気密筐体を通って延びている加圧剤供給ラインと、
前記光学的放射を受けて、入射したレーザビームから増幅されたレーザビームを生成するよう適合され、前記気密筐体の外部に位置付けられたレーザ利得媒質とを含む、固体レーザアセンブリ。
【請求項１０】
前記気密筐体の一部として形成され、前記光学的放射を伝えるよう適合され位置付けられたダイオード放射窓をさらに含む、請求項９に記載の固体レーザアセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は一般に固体レーザに、より特定的にはダイオードを採用している固体レーザに関し、かつ、レーザダイオードの冷媒の漏洩を防止するための方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
背景
ダイオード励起固体レーザ（ＳＳＬ）は典型的には、ＩｎＧａＡｓレーザダイオードまたはＡｌＧａＡｓレーザダイオードといった半導体ダイオードを複数含む。レーザダイオード励起は、フラッシュランプまたはアークランプといった非干渉性の光励起源の代用品として半導体レーザを採用しており、現在のレーザ開発の最も活発な分野に含まれている。ダイオードがより安価に、より強力になり、かつ寿命がより長くなったため、ダイオード励起の開発は急速に向上した。ダイオード励起は比較的コンパクトなレーザシステムをもたらし、冷却の減少、消費電力の減少、壁プラグ効率の向上、高平均パワー（ＨＡＰ）動作条件、および非常に良好なビーム品質といった利点を提供している。
【０００３】
個々のレーザダイオード素子は、約１ワットの平均光出力を生成する。１０ｋＷの高平均パワー固体レーザ（ＨＡＰＳＳＬ）は、約２０〜約４０ｋＷの光励起パワー、または約２万〜約４万個のダイオードを必要とする場合がある。範囲が１〜１０ｋＷのＨＡＰＳＳＬ装置は、たとえば自動車、航空宇宙、電気製品、および造船業界において切削溶接ツールとして世界的に使用されている。将来の１０〜１００ｋＷの工業用ＨＡＰＳＳＬ装置は、石油およびガス探査用の岩盤掘削といった新しい用途を可能にすると期待されている。したがって、ＨＡＰＳＳＬに対する商業的需要は、指数関数的な割合で増加している。
【０００４】
ＨＡＰＳＳＬに対する高い需要とともに、長い使用寿命を有するレーザのための効率的な製造方法に対する必要性も、継続して存在している。高平均パワー固体レーザを励起するためのダイオードは普通、一次元のリニアアレイで製造される。ダイオードアレイは典型的には、少なくとも１０個のダイオードを含み、電気端子を備え、約１０〜約１００Ｗの平均パワーを生成する。ダイオードアレイの過熱を防止するために、アレイは典型的には、水冷式の熱交換器の上に搭載される。ダイオードアレイと熱交換器との組合せは、半導体バーまたはダイオードバーとして周知である。図１は、冷媒が通過するポート１２として機能する２つのスルーホールを有する熱交換器１１の上に搭載されたダイオードアレイ１０を含む一般的なダイオードバー１４の等角図である。ポート１２が別の表面と接続する際の冷媒漏洩を防止するために、Ｏリング１３が冷媒ポート周辺に設けられている。以下にさらに説明されるように、冷媒漏洩は、ダイオードの使用寿命を低減させ、ひいては関連するＨＡＰＳＳＬの使用寿命を低減させるおそれがある。
【０００５】
熱交換器の上に搭載されたダイオードバーをさらに積み重ねて、マルチｋＷの平均パワー出力を有する、スタックとして周知の二次元アレイを作製することができる。図２は、冷媒マニホールド／パワーバス１５の断面図である。冷媒マニホールド／パワーバス１５は、冷媒ポート１７ａ、１７ｂが内部に形成された２つの熱交換器１５ａ、１５ｂの間に挟まれたダイオードスタック１６を含む。冷媒ポート１７ａ、１７ｂは、ダイオードバー１４のポート１２と連通して、冷媒マニホールドを形成している。ダイオードスタックが組立てられると、隣り合うダイオードバー１４の間の界面に位置するＯリング１３は圧縮され、冷媒の損失を防止する。４０ｋＷのダイオード励起パワーを必要とする典型的な１０ｋＷのＨＡＰＳＳＬは、１０００個もの４０Ｗのダイオードバーと２０００個ものＯリングとを含む場合がある。ダイオードスタック１６は高価であり、ダイオードスタック１６を通過する冷媒マニホールドが損傷なく保持されなければ、冷媒は漏洩して半導体材料
の切り子面に永続的に損傷を与え、ダイオードを動作不能にするかもしれない。
【０００６】
冷媒漏洩のリスクを減少させる最近の一アプローチは、中間に配置されるＯリング無しでダイオードバーが互いに永続的に取付けられているダイオードスタックを構築することを伴う。しかしながら、そのようなダイオードスタックは約１０〜約２０個のダイオードバーを組込んでおり、制限された構造信頼性と比較的高い電気的故障のリスクとを有している。ダイオードバーは互いに永続的に取付けられているため、１つのダイオードバーの故障はスタック全体の交換を必要とする。大型のスタックにおいて単一の欠陥ダイオードバーを交換する能力は、Ｏリングの故障および結果として生じるダイオードの損傷のリスクを上回る。にもかかわらず、冷媒漏洩による欠陥ダイオードバーの故障の数を減らすことが必要である。さらに、ＨＡＰＳＳＬは、ダイオードの近傍にある他の冷媒ライン接続と、利得媒質コーティング、レーザミラー、電子制御および電子センサといった他の高感度構成要素とに関連しており、それらはすべて、冷媒、特に水にさらされると著しい損傷を受けやすい。
【０００７】
したがって、ＳＳＬおよびダイオードレーザ（ＤＬ）環境で冷媒にさらされるダイオードおよび他の高感度構成要素についての故障発生度を低減させることが望ましい。加えて、ダイオードの冷媒とダイオードバーの外部との大きい圧力差を減らすための装置および方法を提供し、それにより、Ｏリングの故障または他の冷媒マニホールドの故障についての可能性を減少させることが望ましい。さらに、この発明の他の望ましい特徴および特性は、この後の詳細な説明および添付された特許請求の範囲を、添付図面および前述の技術分野ならびに背景とともに検討することから明らかとなるであろう。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００８】
簡単な概要
レーザダイオード用のアセンブリが提供される。このアセンブリは、光学的放射を励起するよう適合されたレーザダイオードアレイと、レーザダイオードアレイに結合された熱交換器と、部分的に熱交換器を通して形成され、熱交換器に加圧された冷却流体を供給可能な冷媒マニホールドと、レーザダイオードアレイおよび熱交換器が封入されている内側部分を有し、少なくとも前記加圧された冷却流体と同じぐらい高いレベルでの内側部分の加圧を可能にするよう適合された気密筐体と、内側部分を加圧するために気密筐体を通って延びている加圧剤（pressurant）供給ラインとを含む。
【０００９】
固体レーザモジュール用のモジュールも提供される。この固体モジュールは、光学的放射を励起するよう適合されたレーザダイオードアレイと、レーザダイオードアレイに結合された熱交換器と、部分的に熱交換器を通して形成され、熱交換器に加圧された冷却流体を供給可能な冷媒マニホールドと、光学的放射を受けて、入射したレーザビームから増幅されたレーザビームを生成するよう適合され位置付けられたレーザ利得媒質と、レーザダイオードアレイ、熱交換器、およびレーザ利得媒質が封入されている内側部分を有し、少なくとも加圧された冷却流体と同じぐらい高いレベルでの内側部分の加圧を可能にするよう適合された気密筐体と、内側部分を加圧するために気密筐体を通って延びている加圧剤供給ラインとを含む。
【００１０】
固体レーザアセンブリ用のアセンブリも提供される。このアセンブリは、光学的放射を励起するよう適合されたレーザダイオードアレイと、レーザダイオードアレイに結合された熱交換器と、部分的に熱交換器を通して形成され、熱交換器に加圧された冷却流体を供給可能な冷媒マニホールドと、レーザダイオードアレイおよび熱交換器が封入されている内側部分を有し、少なくとも加圧された冷却流体と同じぐらい高いレベルでの内側部分の加圧を可能にするよう適合された気密筐体と、内側部分を加圧するために気密筐体を通っ
て延びている加圧剤供給ラインと、光学的放射を受けて、入射したレーザビームから増幅されたレーザビームを生成するよう適合され、前記気密筐体の外部に位置付けられたレーザ利得媒質とを含む。
【００１１】
以下に、この発明を以下の図面とともに説明する。図中、同様の符号は同様の要素を示す。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
詳細な説明
以下の詳細な説明は本質的に単なる例示であり、この発明またはこの発明の用途および使用を限定するよう意図されてはいない。さらに、前述の技術分野、背景、簡単な概要、または以下の詳細な説明に提示されている、明示された、または暗示されたどの理論にも束縛される意図はない。
【００１３】
この発明の一実施例は、半導体レーザダイオードといったレーザ用の光学的放射源を収容する、気密封止された加圧型励起コンテナを利用している。ダイオードは、熱交換器に取付けられた基板の上に搭載されてもよく、レーザ利得媒質をレーザ遷移に励起するよう機能する。加圧型コンテナは、ＨＡＰＳＳＬ半導体ダイオードスタックの冷媒チャネルにおける何百または何千ものＯリング継目によって提示される冷媒漏洩のリスクを大幅に減少させ、また、ＤＬにおいてダイオードアレイを保護するためにも使用できる。
【００１４】
図３を参照すると、レーザ利得媒質２６に光学的放射３６を提供するダイオードアレイ６６を含むレーザ増幅器モジュール１００の断面図が示されている。ここで使用されるようなダイオードアレイ６６はダイオードバーを含むが、１つ以上のレーザダイオードを含むどんな使用可能集合体であってもよい。ダイオードアレイ６６は電気端子３２と機械的に、および／または電気的に接続されてもよく、電気端子３２を備えていてもよい。ここで使用されるようなレーザ利得媒質２６は、レーザ遷移に励起された好適なイオンをドープしたホスト格子を有する光学材料を指す。この発明は特定のレーザ材料または特定の励起源に限定されていないが、例示的なホスト格子材料は、イットリウム・アルミニウム・ガーネット（ＹＡＧ）、ガドリニウム・ガリウム・ガーネット（ＧＧＧ）、ガドリニウム・スカンジウム・ガリウム・ガーネット（ＧＳＧＧ）、リチウム・イットリウム・フロライド（ＹＬＦ）、イットリウム・バナデート、リン酸レーザガラス、ケイ酸レーザガラス、およびサファイアである。
【００１５】
レーザ利得媒質は、棒、厚板、円板、および繊維を含むもののそれらに限定されないさまざまな形状に形成されてもよい。レーザ利得媒質はまた、ドープセクションと非ドープセクションとを含む、または異なるイオンをドープしたセクションを含む複合構造であってもよい。レーザ媒質にとって好適なドーパントは、Ｔｉ、Ｃｕ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｙｂ、Ｈｏ、Ｄｙ、およびＴｍを含むがそれらに限定されない。レーザ利得媒質をドープするイオンはレーザ遷移を用いて励起され、入射した光学的放射３６のかなりの部分を吸収する。レーザ利得媒質２６はこのように、入射したレーザビーム６４に対して増幅器として機能できる。
【００１６】
ダイオードアレイ６６は、気密封止されガスで充填された筐体２２内に配置される。好適な封入ガスは、空気、窒素、ヘリウム、アルゴン、および他の概して非反応性のガスを含むがそれらに限定されない。ダイオード切り子面上での起こり得る水分凝結を防止するには、封入ガスに水蒸気がほとんどないことが必要である。筐体２２内の水分量を減少させる一方法は、その中に好適な乾燥剤を配置することである。
【００１７】
筐体２２は、光励起放射３６がダイオードアレイ６６からレーザ利得媒質２６に伝わる
際に通過するダイオード放射窓２８を有する。ここで使用されるようなダイオード放射窓２８は、レーザダイオードによって生成された光学的放射を著しい反射および減衰無く伝えるのに好適な構成要素である。伝わる放射についての波長に依存して、窓２８を作製するのに好適な例示的な材料は、光学ガラス、溶融石英、およびサファイアを含む。窓２８の面は、レーザダイオード波長での反射を防止するコーティングで覆われていてもよい。この実施例では、ダイオード放射窓２８は、ダイオード波長での透明性が高い１つ以上の材料でできている。この発明の例示的な一実施例では、ダイオード放射窓２８には、反射による損失を減少させるために１つ以上の反射防止コーティングが施されている。ダイオード放射窓２８は、筐体内部と外部環境との圧力差による過度の応力を避けるために十分厚くなっている。
【００１８】
ダイオードアレイ６６には、好適なフィードスルー３４によって筐体の壁を通って挿入される導電体３２がさらに設けられている。半導体ダイオードレーザは、レーザ励起に好適な光学的放射に電気エネルギを変換する際、通常約３０％〜約５０％効率的である。光学的放射に変換されない電気エネルギは熱に変換され、それは、ダイオードアレイ６６の過熱を防止するために除去されなければならない。ダイオードアレイの温度を制御するために、冷媒が、少なくとも１つの冷媒注入孔５４によって筐体２２内に供給され、少なくとも１つの放出孔５６を通って取出される。冷媒注入孔５４および冷媒放出孔５６の各々は、好適なフィードスルー５８によって筐体の壁を通って挿入され、ダイオードアレイに供給される。冷媒は、低い粘性と、高い熱伝導性と、高い熱容量を有するべきである。好適な冷媒は、脱イオン水、水とアルコールとの混合物、および、フレオン（Freon：登録商標）族からの或る構成要素といった好適なクロロフルオロカーボンを含んでいてもよい。
【００１９】
摩擦に関連する流れ抵抗を克服するため、冷媒は、通常約１０ｐｓｉ〜６０ｐｓｉの範囲のかなりの圧力を受けてダイオードアレイ６６に供給される。筐体２２内のガスは冷媒の圧力とほぼ同じレベルにまで加圧され、それにより、冷媒と筐体内部との圧力差を除去し、または実質的に減少させる。その結果、筐体２２内のどこかにある不完全な、または破損した継目による冷媒漏洩の可能性が、大幅に減少する。任意で、筐体２２内のガスは、冷媒マニホールド内の圧力よりも高い圧力で維持されてもよい。そのような場合、筐体２２内の冷媒マニホールドにおける不完全な、または破損した継目により、加圧されたガスが冷媒マニホールドに漏洩するようになる。そのような漏洩は容易に検出可能であり、レーザ増幅器モジュール１００は点検を受けられる。筐体内部がたとえば２００ｐｓｉよりも高い圧力に達した際の安全上の予防措置として、バーストディスクまたは圧力解放弁といった圧力解放機構が、筐体の壁を通って延びていてもよい。コンテナ内部が予め定められた圧力を超さないようにするガス注入孔調整器といった追加の機構も、内部圧力を制御するために組込可能である。
【００２０】
筐体２２内のガスは、その中に永続的に封止されてもよい。また、これに代えて、筐体２２は、加圧ライン２４を介して一定圧力でガス源と流体連通していてもよい。ガス源は、筐体２２内の一定圧力を維持するために圧力調整器を備えていてもよい。
【００２１】
同様の加圧型筐体を含むこの発明の第２の実施例を次に説明する。この筐体は、レーザ利得媒質をさらに含むよう適合されており、筐体外部からのレーザをレーザ利得媒質に射出し、かつ増幅されたレーザビームを筐体外部に通すのに好適な１つ以上の窓を備えている。図４は、この発明の第２の実施例に従ったレーザ増幅器モジュール２００の断面図である。このモジュールは、レーザ利得媒質２６に光学的放射３６を提供するダイオードアレイ６６を含んでおり、それらはともに筐体２２ｂの内部に配置されている。
【００２２】
筐体２２ｂは、レーザビーム６４が筐体２２ｂに入り、レーザ利得媒質２６によって増
幅され、次に筐体２２ｂを出るようにするレーザ窓２４によって、部分的に規定されている。ここで使用されるように、レーザ窓２４とは、レーザ利得媒質２６によって増幅されたレーザ放射を著しい反射および減衰無く伝えるのに好適な構成要素を指す。伝わる放射波長に依存して、例示的なレーザ窓の作製材料は、光学ガラス、溶融石英、およびサファイアを含むがそれらに限定されない。レーザ利得窓の面には、レーザ波長での反射を防止するコーティングが施されてもよい。窓の厚さは、筐体内部と外部との圧力差による過度の変形を回避するよう選択される。なぜなら、過度の機械的変形は、光学波面を歪めてビーム品質を低下させるおそれがあるためである。
【００２３】
レーザ利得媒質２６を励起してそこからレーザパワーを抽出するプロセスは、レーザ利得媒質２６によって吸収されて熱エネルギに変換されるかなりの量の未使用エネルギを作り出す。廃熱は、レーザ利得媒質２６をヒートシンクと接触させるか、またはレーザ利得媒質を好適な冷却流体に浸すことによって、取除くことができる。図４は、冷媒注入孔７４によって供給され、冷媒放出孔７６によって排出される液冷式の熱交換器７２と接触しているレーザ利得媒質２６を示している。冷媒注入孔７４および放出孔７６は、好適なフィードスルー７８を用いて筐体の壁を通って形成されている。
【００２４】
第１の実施例と同様、筐体２２ｂは気密封止され、乾燥ガスで充填されている。封入ガスの圧力は、ダイオードアレイ６およびレーザ利得媒質熱交換器７２の内部の冷媒圧力とほぼ同じかまたはそれより高い。そのような条件下では、筐体内部への冷媒漏洩の可能性は大幅に減少する。
【００２５】
別の同様の加圧型筐体を含むこの発明の第３の実施例を次に説明する。この加圧型筐体は、レーザ利得媒質とレーザ発振器構成要素とをさらに含むよう適合されており、増幅されたレーザビームを筐体の外部に通すのに好適な１つ以上の窓を備えている。図５は、この発明の第３の実施例に従ったレーザ発振器３００の断面図である。モジュール３００は、エンドミラー４６と結合ミラー（outcoupling mirror）４４との間の経路に配置されたレーザ利得媒質２６に光学的放射３６を提供するダイオードアレイ６６を含み、それらはすべて、筐体２２ｃの内部に配置されている。筐体２２ｃは、レーザ共振器から抽出されたレーザビーム６４を筐体から出すようにするレーザ窓２４を備えている。
【００２６】
最後に、ダイオードレーザアセンブリ４００の断面図である図６を参照して、この発明の第４の実施例を説明する。この発明の第４の実施例は第１の実施例と同様であるが、ダイオードアレイ６６によって生成される光学的放射３６が、レーザ利得媒質にというよりもむしろ加工済み材料８２に向けられている点が異なる。
【００２７】
また、第４の実施例は、光学的放射３６の束を集中させるために任意で使用されるレンズ８４を含んでいてもよい。レンズ８４に加え、レンズ系またはミラー系（図示せず）が採用可能であり、ダイオード放射窓２８はレンズ素子として機能するように適合可能である。
【００２８】
加工済み材料８２は通常、入射した光学的放射３６の一部を少なくとも部分的に吸収する。そのような吸収は加工済み材料の表面および／または内部で起こり、放射は熱エネルギに変換される。入射した光学的放射によって材料を加熱することは、たとえば熱処理、表面清浄、材料改質、材料除去、切削、および溶接といった方法のための一般的な業界慣行である。
【００２９】
この発明の第４の実施例によれば、筐体２２ｄ内部のガスは、冷却回路内部の圧力に整合するというよりもむしろ、ほぼ周囲の圧力で維持されてもよく、このため、冷媒マニホールドの内部と外部との比較的大きな圧力差を許容する。比較的大きな圧力差による冷媒
漏洩についてより大きなリスクが存在するものの、乾燥した封入ガスは、ダイオードアレイ６６のダイオード面上での水分凝結の可能性を減少させる。乾燥した封入ガスは、ダイオード冷媒がダイオードの電気光学効率を高めるために準周囲温度で流れる際に特に有利である。
【００３０】
前述の詳細な説明において少なくとも１つの例示的な実施例が提示されたが、多数の変型が存在することが理解されるべきである。また、例示的な実施例は単なる例示であり、この発明の範囲、利用可能性、または構成を制限することは決して意図されていないことが理解されるべきである。むしろ、前述の詳細な説明は、例示的な実施例を実現するための便利な道筋を当業者に提供するであろう。添付された特許請求の範囲およびその法的同等物に述べられているようなこの発明の範囲から逸脱することなく、要素の機能および構成においてさまざまな変更がなされ得ることが、理解されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】冷媒が通過するポートとして機能する２つのスルーホールを有する熱交換器の上に搭載されたダイオードアレイを含む、この発明の一部として使用可能な一般的なダイオードバーの等角図である。
【図２】ダイオードスタックを含む、この発明の一部として使用可能な冷媒マニホールド／パワーバスの等角図である。
【図３】レーザ利得媒質に光学的放射を提供するためにダイオードアレイが封入されている気密筐体を含む、この発明の一実施例に従ったレーザ増幅器モジュールの断面図である。
【図４】レーザ利得媒質に光学的放射を提供するダイオードアレイを含み、それらはともに気密筐体の内部に配置されている、この発明の一実施例に従ったレーザ増幅器モジュールの断面図である。
【図５】エンドミラーと結合ミラーとの間の経路に配置されたレーザ利得媒質に光学的放射を提供するダイオードアレイを含み、それらはすべて、気密筐体の内部に配置されている、この発明の一実施例に従ったレーザ発振器の断面図である。
【図６】図３に示すものと同様であるものの、ダイオードアレイによって生成される光学的放射がレーザ利得媒質にというよりもむしろ加工済み材料に向けられている点が異なっている、この発明の一実施例に従ったダイオードレーザアセンブリの断面図である。
【図１】
2007517402.tif 000003
【図２】
2007517402.tif 000004
【図３】
2007517402.tif 000005
【図４】
2007517402.tif 000006
【図５】
2007517402.tif 000007
【図６】
2007517402.tif 000008
【国際調査報告】
2007517402.tif 000009
2007517402.tif 000010
2007517402.tif 000011