(57)【要約】  様々なＭＥＭＳ濾過体要素またはモジュールが開示されるが、これらは緑内障インプラント（４９０）で使用可能である。このような１つのＭＥＭＳ濾過体モジュール（３４）が、第１の薄膜（７０）と、複数の支持体（７８）によって離間されかつ相互連結される第２の薄膜（４６）とを含み、複数の第１の流れ口（７４）が第１の薄膜（７０）を貫通し、さらに複数の第２の流れ口（５０）が第２の薄膜（４６）を貫通する。複数の環状濾過体壁（５４）が、第２の薄膜（４６）から第１の薄膜（７０）に向かって延び、それから濾過体トラップ間隙（５８）によって離隔される。
2007534373.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の身体領域の内部の圧力に対処するためのインプラントであって、
第１の流路を含み、前記第１の身体領域と流体連通するようになっている導管と、
前記第１の流路の内部に配置されたＭＥＭＳ濾過体モジュールとを備え、前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、
少なくとも１つの第１の流れ口を含む第１の薄膜と、
少なくとも１つの第２の流れ口を含み、前記第１の薄膜から離間される第２の薄膜と、
前記第２の薄膜から少なくとも前記第１の薄膜に向かって延びる第１の濾過体壁とを含み、前記第１の濾過体壁と前記第１の薄膜との間の間隙が濾過体トラップを画成することを特徴とするインプラント。
【請求項２】
前記第１の薄膜および前記第２の薄膜は、それぞれ約１０ミクロンの最大厚さを有することを特徴とする請求項１に記載のインプラント。
【請求項３】
前記第１および第２の薄膜は、前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールの両極端を画成することを特徴とする請求項１に記載のインプラント。
【請求項４】
前記少なくとも１つの第１の流れ口と流体連結する第１の室と、
前記少なくとも１つの第２の流れ口と流体連結する第２の室とをさらに備え、
前記濾過体トラップは前記第１および第２の室を流体的に相互連結することを特徴とする請求項１に記載のインプラント。
【請求項５】
前記第１および第２の室は前記第１の濾過体壁の両側に配置されることを特徴とする請求項４に記載のインプラント。
【請求項６】
前記第１の濾過体壁は平面図が環状区域であることを特徴とする請求項１に記載のインプラント。
【請求項７】
前記第１の濾過体壁は、前記第２の薄膜に面する前記第１の薄膜の表面に到達する前に終端することを特徴とする請求項１に記載のインプラント。
【請求項８】
前記第１の濾過体壁を前記第１の薄膜上に向かって突出させることによって画成された領域が、前記第１の流れ口をいずれも含まないことを特徴とする請求項１に記載のインプラント。
【請求項９】
少なくとも２つの前記第１の流れ口および少なくとも２つの前記第２の流れ口が、前記濾過体トラップに関連することを特徴とする請求項１に記載のインプラント。
【請求項１０】
前記間隙は約０．４ミクロン以下にすぎないことを特徴とする請求項１に記載のインプラント。
【請求項１１】
前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、第１および第２の製造水準をさらに含み、前記第１の薄膜は少なくとも前記第１の製造水準に存在し、前記第２の薄膜は少なくとも前記第２の製造水準に存在し、さらに前記第１の濾過体壁は前記第２の製造水準に存在することを特徴とする請求項１に記載のインプラント。
【請求項１２】
前記ＭＥＭＳ濾過体の前記第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在する第１の環状封止体と、
前記第１の環状封止体によって区切られた濾過領域とをさらに備え、前記第１の濾過体壁、前記濾過体トラップ、それぞれの前記第１の流れ口、およびそれぞれの前記第２の流れ口は前記濾過領域内に配置されることを特徴とする請求項１に記載のインプラント。
【請求項１３】
前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールの前記第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在し、前記第１の環状封止体に対して離間関係で配置される第２の環状封止体をさらに備え、前記第２の環状封止体は前記第１の環状封止体の外側に配置されることを特徴とする請求項１２に記載のインプラント。
【請求項１４】
前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、前記濾過領域内で前記第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在する複数の支持体をさらに含むことを特徴とする請求項１２に記載のインプラント。
【請求項１５】
前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、前記第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在する複数の支持体をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のインプラント。
【請求項１６】
前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、複数の前記第１の濾過体壁をさらに含むことを特徴とする請求項１５に記載のインプラント。
【請求項１７】
前記支持体の数は前記第１の濾過体壁の数を下回らないことを特徴とする請求項１６に記載のインプラント。
【請求項１８】
それぞれの第１の濾過体壁は環状区域であることを特徴とする請求項１６に記載のインプラント。
【請求項１９】
それぞれの前記第１の濾過体壁は前記支持体の少なくとも１つの周囲に配置されることを特徴とする請求項１６に記載のインプラント。
【請求項２０】
前記インプラントは、
第１の筐体と、
前記第１の筐体の内部に少なくとも一部が配置された第２の筐体とをさらに備え、前記第２の筐体は前記導管の前記第１の流路と流体連通する第２の流路を含み、前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、前記第２の流路を通過するすべての流れが前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールに通して誘導されるように前記第２の筐体に関連し、前記第１の筐体は前記導管の前記第１の流路の内部に少なくとも一部が配置されることを特徴とする請求項１に記載のインプラント。
【請求項２１】
前記第１の筐体は、第１および第２の端部、ならびに前記第１の端部と第２の端部との間に延在する開口を含み、前記第２の筐体は前記開口の内部に配置されることを特徴とする請求項２０に記載のインプラント。
【請求項２２】
前記第１および第２の筐体はそれぞれが剛性であることを特徴とする請求項２０に記載のインプラント。
【請求項２３】
前記第１および第２の筐体は、ポリメタクリル酸メチル、セラミック、珪素、チタン、移植可能な金属、および移植可能なプラスチックから成る群から選択された材料からそれぞれ形成されることを特徴とする請求項２０に記載のインプラント。
【請求項２４】
前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは前記第２の筐体の内部に後退していることを特徴とする請求項２０に記載のインプラント。
【請求項２５】
前記第２の筐体は第１および第２の端部を含み、前記第２の流路は前記第１の端部と第２の端部との間に延在し、さらに前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、前記第２の筐体の内部で前記第１の端部と第２の端部との間のどこかに配置されることを特徴とする請求項２０に記載のインプラント。
【請求項２６】
前記第２の筐体は第１および第２の端部を含み、前記第２の流路は前記第１の端部と第２の端部との間に延在し、さらに前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは前記第２の筐体の前記第１の端部の上に配置されることを特徴とする請求項２０に記載のインプラント。
【請求項２７】
前記インプラントは、
前記第１の筐体の内部に少なくとも一部が配置された第３の筐体をさらに備え、前記第３の筐体は第３の流路を含み、前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは前記第２の筐体と前記第３の筐体との間に、それによって前記第２の流路と第３の流路との間にサンドイッチ状に挟まれることを特徴とする請求項２６に記載のインプラント。
【請求項２８】
前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは前記第２の筐体に対して固定位置に維持されることを特徴とする請求項２０に記載のインプラント。
【請求項２９】
前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは前記第２の筐体に接着されることを特徴とする請求項２０に記載のインプラント。
【請求項３０】
前記インプラントは、
導管の内部に少なくとも一部が配置されて第１および第２の端部を含む筐体をさらに備え、前記筐体は、前記導管の前記第１の流路と流体連通して前記第１の端部と第２の端部との間に延在する第２の流路を含み、前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、前記第２の流路を通過するすべての流れが前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールに通して誘導されるように前記第２の筐体の前記第１の端部の上に装着されることを特徴とする請求項１に記載のインプラント。
【請求項３１】
前記第１の身体領域は眼球の前房であることを特徴とする請求項１に記載のインプラント。
【請求項３２】
第１の身体領域の内部の圧力に対処するためのインプラントであって、
第１の流路を含み、前記第１の身体領域と流体連通するようになっている導管と、
前記第１の流路の内部に配置されたＭＥＭＳ濾過体モジュールとを備え、前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、
第１の構造を含む第１の製造水準と、
濾過体トラップを画成する第１の空間によって前記第１の構造から変位される第２の構造を含む別個の第２の製造水準とを含み、前記第１および第２の構造は相互に対して少なくとも実質的に固定位置に維持され、さらに前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールを通過する流れの少なくとも一部が前記第１の空間を通過することを特徴とするインプラント。
【請求項３３】
前記第１の構造は第１の薄膜を含み、この薄膜は次に少なくとも１つの第１の流れ口を含み、前記第２の構造は第２の薄膜を含み、この薄膜は次に少なくとも１つの第２の流れ口を含み、前記第２の薄膜は前記第１の薄膜から離間され、前記第２の構造は前記第２の薄膜から少なくとも前記第１の薄膜に向かって延びる第１の濾過体壁をさらに含み、前記第１の濾過体壁および前記第１の薄膜は前記第１の空間によって離隔されることを特徴とする請求項３２に記載のインプラント。
【請求項３４】
前記第１の薄膜および前記第２の薄膜は、それぞれ約１０ミクロンの最大厚さを有することを特徴とする請求項３３に記載のインプラント。
【請求項３５】
前記第１および第２の薄膜は前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールの両極端を画成することを特徴とする請求項３３に記載のインプラント。
【請求項３６】
前記少なくとも１つの第１の流れ口と流体連結する第１の室と、
前記少なくとも１つの第２の流れ口と流体連結する第２の室とをさらに備え、
前記第１の空間は、前記第１および第２の室を流体的に相互連結することを特徴とする請求項３３に記載のインプラント。
【請求項３７】
前記第１および第２の室は前記第１の濾過体壁の両側に配置されることを特徴とする請求項３６に記載のインプラント。
【請求項３８】
前記第１の濾過体壁は平面図が環状区域であることを特徴とする請求項３３に記載のインプラント。
【請求項３９】
前記第１の濾過体壁は、前記第２の薄膜に面する前記第１の薄膜の表面に到達する前に終端することを特徴とする請求項３３に記載のインプラント。
【請求項４０】
前記第１の濾過体壁を前記第１の薄膜上に向かって突出させることによって画成された領域が、前記第１の流れ口をいずれも含まないことを特徴とする請求項３３に記載のインプラント。
【請求項４１】
少なくとも２つの前記第１の流れ口および少なくとも２つの前記第２の流れ口は、前記第１の空間に関連することを特徴とする請求項３３に記載のインプラント。
【請求項４２】
前記空間の高さは約０．４ミクロン以下にすぎないことを特徴とする請求項３３に記載のインプラント。
【請求項４３】
前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールの前記第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在する第１の環状封止体と、
前記第１の環状封止体によって区切られた濾過領域とをさらに備え、前記第１の濾過体壁、前記濾過体トラップ、それぞれの前記第１の流れ口、およびそれぞれの前記第２の流れ口は前記濾過領域内に配置されることを特徴とする請求項３３に記載のインプラント。
【請求項４４】
前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールの前記第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在し、前記第１の環状封止体に対して離間関係で配置された第２の環状封止体をさらに備え、前記第２の環状封止体は前記第１の環状封止体の外側に配置されることを特徴とする請求項４３に記載のインプラント。
【請求項４５】
前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、前記濾過領域内で前記第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在する複数の支持体をさらに含むことを特徴とする請求項４３に記載のインプラント。
【請求項４６】
前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、前記第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在する複数の支持体をさらに備えることを特徴とする請求項３３に記載のインプラント。
【請求項４７】
前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは複数の前記第１の濾過体壁をさらに含むことを特徴とする請求項４６に記載のインプラント。
【請求項４８】
前記支持体の数は前記第１の濾過体壁の数を下回らないことを特徴とする請求項４７に記載のインプラント。
【請求項４９】
それぞれの第１の濾過体壁は環状区域であることを特徴とする請求項４７に記載のインプラント。
【請求項５０】
それぞれの前記第１の濾過体壁は前記支持体の少なくとも１つの周囲に配置されることを特徴とする請求項４７に記載のインプラント。
【請求項５１】
前記インプラントは、
第１の筐体と、
前記第１の筐体の内部に少なくとも一部が配置された第２の筐体とをさらに備え、前記第２の筐体は前記導管の前記第１の流路と流体連通する第２の流路を含み、前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、前記第２の流路を通過するすべての流れが前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールに通して誘導されるように、前記第２の筐体に関連し、前記第１の筐体は前記導管の前記第１の流路の内部に少なくとも一部が配置されることを特徴とする請求項３２に記載のインプラント。
【請求項５２】
前記第１の筐体は、第１および第２の端部、ならびに前記第１の端部と第２の端部との間に延在する開口を含み、前記第２の筐体は前記開口の内部に配置されることを特徴とする請求項５１に記載のインプラント。
【請求項５３】
前記第１および第２の筐体はそれぞれが剛性であることを特徴とする請求項５１に記載のインプラント。
【請求項５４】
前記第１および第２の筐体は、ポリメタクリル酸メチル、セラミック、珪素、チタン、移植可能な金属、および移植可能なプラスチックから成る群から選択された材料からそれぞれ形成されることを特徴とする請求項５１に記載のインプラント。
【請求項５５】
前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは前記第２の筐体の内部に後退していることを特徴とする請求項５１に記載のインプラント。
【請求項５６】
前記第２の筐体は第１および第２の端部を含み、前記第２の流路は前記第１の端部と第２の端部との間に延在し、さらに前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、前記第２の筐体の内部で前記第１の端部と第２の端部との間のどこかに配置されることを特徴とする請求項５１に記載のインプラント。
【請求項５７】
前記第２の筐体は第１および第２の端部を含み、前記第２の流路は前記第１の端部と第２の端部との間に延在し、さらに前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは前記第２の筐体の前記第１の端部の上に配置されることを特徴とする請求項５１に記載のインプラント。
【請求項５８】
前記インプラントは、
前記第１の筐体の内部に少なくとも一部が配置された第３の筐体をさらに備え、前記第３の筐体は第３の流路を含み、前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは前記第２の筐体と前記第３の筐体との間に、それによって前記第２の流路と第３の流路との間にサンドイッチ状に挟まれることを特徴とする請求項５７に記載のインプラント。
【請求項５９】
前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは前記第２の筐体に対して固定位置に維持されることを特徴とする請求項５１に記載のインプラント。
【請求項６０】
前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは前記第２の筐体に接着されることを特徴とする請求項５１に記載のインプラント。
【請求項６１】
前記インプラントは、
導管の内部に少なくとも一部が配置されて第１および第２の端部を含む筐体をさらに備え、前記筐体は、前記導管の前記第１の流路と流体連通して前記第１の端部と第２の端部との間に延在する第２の流路を含み、前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、前記第２の流路を通過するすべての流れが前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールに通して誘導されるように、前記第２の筐体の前記第１の端部の上に装着されることを特徴とする請求項３２に記載のインプラント。
【請求項６２】
前記第１の身体領域は眼球の前房であることを特徴とする請求項３２に記載のインプラント。
【請求項６３】
第１の身体領域の内部の圧力に対処するためのインプラントであって、
第１の流路を含み、前記第１の身体領域と流体連通するようになっている導管と、
前記第１の流路の内部に配置されたＭＥＭＳ濾過体モジュールとを備え、前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、
複数の第１の流れ口を含む第１の薄膜と、
複数の第２の流れ口を含み、前記第１の薄膜から離間される第２の薄膜と、
複数の濾過体壁であって、前記第２の薄膜上に離間関係で配置され、前記第２の薄膜から前記第１の薄膜に向かって延び、さらに前記複数の濾過体壁が延びる前記第２の薄膜の表面の平面図が環状区域であり、それぞれの前記濾過体壁と前記第１の薄膜との間の間隙が、それによって同様に環状区域である濾過体トラップを画成する、複数の濾過体壁と、
前記第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在する第１の環状封止体と、
前記第１の環状封止体によって区切られた濾過領域であって、前記濾過体壁、前記濾過体トラップ、前記第１の流れ口、および前記第２の流れ口はすべて前記濾過領域内に配置される、濾過領域と
前記濾過領域内で前記第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在する複数の支持体とを含むことを特徴とするインプラント。
【請求項６４】
前記第１の身体領域は眼球の前房であることを特徴とする請求項６３に記載のインプラント。
【請求項６５】
第１の身体領域の内部の圧力に対処するためのインプラントであって、
第１の流路を含み、前記第１の身体領域と流体連通するようになっている導管と、
前記第１の流路の内部に配置されたＭＥＭＳ濾過体モジュールとを備え、前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、
複数の第１の流れ口を含む第１の薄膜と、
複数の第２の流れ口を含み、前記第１の薄膜から離間される第２の薄膜と、
複数の濾過体壁であって、前記第２の薄膜上に離間関係で配置され、さらに前記第２の薄膜から前記第１の薄膜に向かって延び、それぞれの前記濾過体壁と前記第１の薄膜との間の間隙が濾過体トラップを画成する、複数の濾過体壁と、
前記第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在する第１の環状封止体と、
前記第１の環状封止体によって区切られた濾過領域であって、前記濾過体壁、前記濾過体トラップ、前記第１の流れ口、および前記第２の流れ口はすべて前記濾過領域内に配置される、濾過領域と
前記濾過領域内で前記第１の薄膜と前記第２の薄膜との間に延在する複数の支持体であって、前記支柱の数が前記濾過体壁の数を下回らない、複数の支持体とを含むことを特徴とするインプラント。
【請求項６６】
前記第１の身体領域は眼球の前房であることを特徴とする請求項６５に記載のインプラント。
【請求項６７】
第１の身体領域の内部の圧力に対処するためのインプラントであって、
第１の流路を含み、前記第１の身体領域と流体連通するようになっている導管と、
前記第１の流路の内部に配置されたＭＥＭＳ濾過体モジュールとを備え、前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、
複数の第１の流れ口を含む第１の薄膜と、
複数の第２の流れ口を含み、前記第１の薄膜から離間される第２の薄膜と、
複数の濾過体壁であって、前記第２の薄膜上に離間関係で配置され、さらに前記第２の薄膜から前記第１の薄膜に向かって延び、それぞれの前記濾過体壁と前記第１の薄膜との間の間隙が濾過体トラップを画成し、少なくとも２つの前記第１の流れ口および少なくとも２つの前記流れ口がそれぞれの前記濾過体トラップと関連する、複数の濾過体壁と、
前記第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在する第１の環状封止体と、
前記第１の環状封止体によって区切られた濾過領域であって、前記濾過体壁、前記濾過体トラップ、前記第１の流れ口、および前記第２の流れ口はすべて前記濾過領域内に配置される、濾過領域と、
前記第１の薄膜と前記第２の薄膜との間に延在する複数の支持体とを含むことを特徴とするインプラント。
【請求項６８】
前記第１の身体領域は眼球の前房であることを特徴とする請求項６７に記載のインプラント。
【請求項６９】
第１の身体領域の内部の圧力に対処するためのインプラントであって、
第１の流路を含み、前記第１の身体領域と流体連通するようになっている導管と、
前記第１の流路の内部に配置されたＭＥＭＳ濾過体モジュールとを備え、前記ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、
第１の薄膜であって、前記第１の薄膜を貫通する複数の第１の流れ口を含む第１の薄膜と、
前記第１の流れ口の少なくとも１つと流体連結する第１の室と、
第２の薄膜であって、前記第２の薄膜を貫通する複数の第２の流れ口を含み、前記第１の薄膜から離間される第２の薄膜と、
前記第２の流れ口の少なくとも１つと流体連結する第２の室と、
前記第２の薄膜から前記第１の薄膜の方向へ延びる第１の濾過体壁であって、前記第１および第２の室は前記第１の濾過体壁の両側に配置される、第１の濾過体壁と、
前記第１の濾過体壁によって一部が画成され、前記第１および第２の室を流体的に相互連結する第１の濾過体トラップと、
前記第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在する第１の環状封止体とを含むことを特徴とするインプラント。
【請求項７０】
前記第１の身体領域は眼球の前房であることを特徴とする請求項６９に記載のインプラント。
【請求項７１】
複数の第１の流れ口を含む第１の薄膜と、
複数の第２の流れ口を含み、前記第１の薄膜から離間される第２の薄膜と、
複数の濾過体壁であって、前記第２の薄膜上に離間関係で配置され、前記第２の薄膜から前記第１の薄膜に向かって延び、さらに前記複数の濾過体壁が延びる前記第２の薄膜の表面の平面図が環状区域であり、それぞれの前記濾過体壁と前記第１の薄膜との間の間隙が、それによって同様に環状区域である濾過体トラップを画成する、複数の濾過体壁と、
前記第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在する第１の環状封止体と、
前記第１の環状封止体によって区切られた濾過領域であって、前記濾過体壁、前記濾過体トラップ、前記第１の流れ口、および前記第２の流れ口はすべて前記濾過領域内に配置される、濾過領域と、
前記濾過領域内で前記第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在する複数の支持体とを備えることを特徴とする濾過体モジュール。
【請求項７２】
前記第１の薄膜および前記第２の薄膜は、それぞれ約１０ミクロンの最大厚さを有することを特徴とする請求項７１に記載の濾過体モジュール。
【請求項７３】
前記第１および第２の薄膜は前記濾過体モジュールの両極端を画成することを特徴とする請求項７１に記載の濾過体モジュール。
【請求項７４】
前記第１の流れ口の少なくとも１つと流体連結する第１の室と、
前記第２の流れ口の少なくとも１つと流体連結する第２の室とをさらに備え、
前記濾過体トラップが前記第１および第２の室を流体的に相互連結することを特徴とする請求項７１に記載の濾過体モジュール。
【請求項７５】
前記複数の濾過体壁のそれぞれは、前記複数の濾過体壁の前記環状区域を画成するために前記平面図が任意の形状であり得ることを特徴とする請求項７１に記載の濾過体モジュール。
【請求項７６】
前記複数の濾過体壁のそれぞれは、前記第２の薄膜に面する前記第１の薄膜の表面に到達する前に終端することを特徴とする請求項７１に記載の濾過体モジュール。
【請求項７７】
前記複数の濾過体壁のそれぞれを前記第１の薄膜上に向かって突出させることによって画成された領域が、前記第１の流れ口をいずれも含まないことを特徴とする請求項７１に記載の濾過体モジュール。
【請求項７８】
前記支持体の数は前記濾過体壁の数を下回らないことを特徴とする請求項７１に記載の濾過体モジュール。
【請求項７９】
少なくとも２つの前記第１の流れ口および少なくとも２つの前記第２の流れ口は、それぞれの前記濾過体トラップに関連することを特徴とする請求項７１に記載の濾過体モジュール。
【請求項８０】
それぞれの前記間隙の高さが約０．３ミクロンであることを特徴とする請求項７１に記載の濾過体モジュール。
【請求項８１】
前記第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在し、前記第１の環状封止体に対して離間関係で配置される第２の環状封止体をさらに備え、前記第２の環状封止体は前記第１の環状封止体の外側に配置されることを特徴とする請求項７１に記載の濾過体モジュール。
【請求項８２】
請求項７１の前記濾過体モジュールを濾過体筐体の中に備えることを特徴とする濾過体。
【請求項８３】
複数の第１の流れ口を含む第１の薄膜と、
複数の第２の流れ口を含み、前記第１の薄膜から離間される第２の薄膜と、
複数の濾過体壁であって、前記第２の薄膜の上に離間関係で配置され、さらに前記第２の薄膜から前記第１の薄膜に向かって延び、それぞれの前記濾過体壁と前記第１の薄膜との間の間隙が濾過体トラップを画成する、複数の濾過体壁と、
前記第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在する第１の環状封止体と、
前記第１の環状封止体によって区切られた濾過領域であって、前記濾過体壁、前記濾過体トラップ、前記第１の流れ口、および前記第２の流れ口はすべて前記濾過領域内に配置される、濾過領域と、
前記濾過領域内で前記第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在する複数の支持体であって、前記支柱の数が前記濾過体壁の数を下回らない、複数の支持体とを備えることを特徴とする濾過体モジュール。
【請求項８４】
前記第１の薄膜および前記第２の薄膜は、それぞれ約１０ミクロンの最大厚さを有することを特徴とする請求項８３に記載の濾過体モジュール。
【請求項８５】
前記第１および第２の薄膜は前記濾過体モジュールの両極端を画成することを特徴とする請求項８３に記載の濾過体モジュール。
【請求項８６】
前記第１の流れ口の少なくとも１つと流体連結する第１の室と、
前記第２の流れ口の少なくとも１つと流体連結する第２の室とをさらに備え、
前記濾過体トラップは前記第１および第２の室を流体的に相互連結することを特徴とする請求項８３に記載の濾過体モジュール。
【請求項８７】
前記複数の濾過体壁のそれぞれは、前記複数の濾過体壁が延びる前記第２の薄膜の表面の平面図が環状区域であり、それぞれの濾過体トラップは、それによって同様に環状区域であることを特徴とする請求項８３に記載の濾過体モジュール。
【請求項８８】
前記複数の濾過体壁のそれぞれは、前記複数の濾過体壁の前記環状区域を画成するために前記平面図が任意の形状であり得ることを特徴とする請求項８７に記載の濾過体モジュール。
【請求項８９】
前記複数の濾過体壁のそれぞれは、前記第２の薄膜に面する前記第１の薄膜の表面に到達する前に終端することを特徴とする請求項８３に記載の濾過体モジュール。
【請求項９０】
前記複数の濾過体壁のそれぞれを前記第１の薄膜上に向かって突出させることによって画成された領域が、前記第１の流れ口をいずれも含まないことを特徴とする請求項８３に記載の濾過体モジュール。
【請求項９１】
少なくとも２つの前記第１の流れ口および少なくとも２つの前記第２の流れ口は、それぞれの前記濾過体トラップに関連することを特徴とする請求項８３に記載の濾過体モジュール。
【請求項９２】
それぞれの前記間隙の高さが約０．３ミクロンであることを特徴とする請求項８３に記載の濾過体モジュール。
【請求項９３】
前記第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在し、前記第１の環状封止体に対して離間関係で配置される第２の環状封止体をさらに備え、前記第２の環状封止体は前記第１の環状封止体の外側に配置されることを特徴とする請求項８３に記載の濾過体モジュール。
【請求項９４】
請求項８３の前記濾過体モジュールを濾過体筐体の中に備えることを特徴とする濾過体。
【請求項９５】
複数の第１の流れ口を含む第１の薄膜と、
複数の第２の流れ口を含み、前記第１の薄膜から離間される第２の薄膜と、
複数の濾過体壁であって、前記第２の薄膜の上に離間関係で配置され、さらに前記第２の薄膜から前記第１の薄膜に向かって延び、それぞれの前記濾過体壁と前記第１の薄膜との間の間隙が濾過体トラップを画成し、少なくとも２つの前記第１の流れ口および少なくとも前記第２の流れ口が、それぞれの前記濾過体トラップに関連する、複数の濾過体壁と、
前記第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在する第１の環状封止体と、
前記第１の環状封止体によって区切られた濾過領域であって、前記濾過体壁、前記濾過体トラップ、前記第１の流れ口、および前記第２の流れ口はすべて前記濾過領域内に配置される、濾過領域と、
前記第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在する複数の支持体とを備えることを特徴とする濾過体モジュール。
【請求項９６】
前記第１の薄膜および前記第２の薄膜は、それぞれ約１０ミクロンの最大厚さを有することを特徴とする請求項９５に記載の濾過体モジュール。
【請求項９７】
前記第１および第２の薄膜は前記濾過体モジュールの両極端を画成することを特徴とする請求項９５に記載の濾過体モジュール。
【請求項９８】
前記第１の流れ口の少なくとも１つと流体連結する第１の室と、
前記第２の流れ口の少なくとも１つと流体連結する第２の室とをさらに備え、
前記濾過体トラップが前記第１および第２の室を流体的に相互連結することを特徴とする請求項９５に記載の濾過体モジュール。
【請求項９９】
前記複数の濾過体壁のそれぞれは、前記複数の濾過体壁が延びる前記第２の薄膜の表面の平面図が環状区域であり、それぞれの前記濾過体トラップが、それによって同様に環状区域であることを特徴とする請求項９５に記載の濾過体モジュール。
【請求項１００】
前記複数の濾過体壁のそれぞれは、前記複数の濾過体壁の前記環状区域を画成するために前記平面図が任意の形状であり得ることを特徴とする請求項９９に記載の濾過体モジュール。
【請求項１０１】
前記複数の濾過体壁のそれぞれは、前記第２の薄膜に面する前記第１の薄膜の表面に到達する前に終端することを特徴とする請求項９５に記載の濾過体モジュール。
【請求項１０２】
前記複数の濾過体壁のそれぞれを前記第１の薄膜上に向かって突出させることによって画成された領域が、前記第１の流れ口をいずれも含まないことを特徴とする請求項９５に記載の濾過体モジュール。
【請求項１０３】
前記支持体の数が前記濾過体壁の数を下回らないことを特徴とする請求項９５に記載の濾過体モジュール。
【請求項１０４】
それぞれの前記間隙の高さが約０．３ミクロンであることを特徴とする請求項９５に記載の濾過体モジュール。
【請求項１０５】
前記第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在し、さらに前記第１の環状封止体に対して離間関係で配置される第２の環状封止体をさらに備え、前記第２の環状封止体は前記第１の環状封止体の外側に配置されることを特徴とする請求項９５に記載の濾過体モジュール。
【請求項１０６】
請求項９５の前記濾過体モジュールを濾過体筐体の中に備えることを特徴とする濾過体。
【請求項１０７】
第１の薄膜であって、前記第１の薄膜を貫通する複数の第１の流れ口を含む第１の薄膜と、
前記第１の流れ口の少なくとも１つと流体連結する第１の室と、
第２の薄膜であって、前記第２の薄膜を貫通する複数の第２の流れ口を含み、前記第１の薄膜から離間される第２の薄膜と、
前記第２の流れ口の少なくとも１つと流体連結する第２の室と、
前記第２の薄膜から前記第１の薄膜の方向へ延びる第１の濾過体壁であって、前記第１および第２の室は前記第１の濾過体壁の両側に配置される第１の濾過体壁と、
前記第１の濾過体壁によって一部が画成され、前記第１および第２の室を流体的に相互連結する第１の濾過体トラップと、
前記第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在する第１の環状封止体とを備えることを特徴とする濾過体モジュール。
【請求項１０８】
前記第１および第２の薄膜は、それぞれ約１０ミクロンの最大厚さを有することを特徴とする請求項１０７に記載の濾過体モジュール。
【請求項１０９】
前記第１および第２の薄膜は前記濾過体モジュールの両極端を画成することを特徴とする請求項１０７に記載の濾過体モジュール。
【請求項１１０】
前記第１の濾過体壁は、第１の濾過体壁が延びる前記第２の薄膜の表面の平面図が環状区域であることを特徴とする請求項１０７に記載の濾過体モジュール。
【請求項１１１】
前記第１の濾過体壁は、前記第１の濾過体壁の前記環状区域を画成するために前記平面図が任意の形状であり得ることを特徴とする請求項１１０に記載の濾過体モジュール。
【請求項１１２】
前記複数の濾過体壁のそれぞれは、前記第２の薄膜に面する前記第１の薄膜の表面に到達する前に終端することを特徴とする請求項１０７に記載の濾過体モジュール。
【請求項１１３】
前記複数の濾過体壁のそれぞれを前記第１の薄膜上に向かって突出させることによって画成された領域が、前記第１の流れ口をいずれも含まないことを特徴とする請求項１０７に記載の濾過体モジュール。
【請求項１１４】
前記第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在する前記第１の濾過体壁と関連する少なくとも１つの支持体をさらに備えることを特徴とする請求項１０７に記載の濾過体モジュール。
【請求項１１５】
前記支持体の数は前記濾過体壁の数を下回らないことを特徴とする請求項１０７に記載の濾過体モジュール。
【請求項１１６】
少なくとも２つの前記第１の流れ口および少なくとも２つの前記第２の流れ口は、前記第１の濾過体トラップに関連することを特徴とする請求項１０７に記載の濾過体モジュール。
【請求項１１７】
それぞれの前記間隙の高さが約０．３ミクロンであることを特徴とする請求項１０７に記載の濾過体モジュール。
【請求項１１８】
前記第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在し、さらに前記第１の環状封止体に対して離間関係で配置される第２の環状封止体をさらに備え、前記第２の環状封止体は前記第１の環状封止体の外側に配置されることを特徴とする請求項１０７に記載の濾過体モジュール。
【請求項１１９】
請求項１０７の前記濾過体モジュールを濾過体筐体の中に備えることを特徴とする濾過体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、概して濾過体の分野に関し、さらに詳細には、少なくとも２つの異なる製造水準にある薄膜を使用して微細製造される濾過体モジュールを利用する、緑内障の治療に使用できるインプラントに関する。
【背景技術】
【０００２】
濾過体は数多くの用途で使用される。濾過体によって使用される濾過材は、多孔材料または多孔材料の組合せの形態にあり得る。孔径および孔の分布は、当然のことであるが濾過材の濾過能力に対して影響を与え得る。例えば、隣接する孔が重なり得る様態で濾過材が製作される場合には、より大きな孔が形成され得る。これは、幾つかの用途では許容され得るが、それは他（例えば、生物流体の濾過）では許容外である。
【０００３】
【特許文献１】米国特許第６０８２２０８号明細書（「Method For Fabricating Five-Level Microelectromechanical Structures and Microelectromechanical Transmission Formed」、２０００年７月４日付与）
【特許文献２】米国特許出願公開第２００３／０２１２３８３号明細書
【特許文献３】米国特許第３７８８３２７号明細書
【特許文献４】米国特許第５７４３８６８号明細書
【特許文献５】米国特許第５８０７３０２号明細書
【特許文献６】米国特許第６６２６８５８号明細書
【特許文献７】米国特許第６６３８２３９号明細書
【特許文献８】米国特許第６５３３７６８号明細書
【特許文献９】米国特許第６５９５９４５号明細書
【特許文献１０】米国特許第６６６６８４１号明細書
【特許文献１１】米国特許第６７３６７９１号明細書
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は概して、任意適切な種類の流れの中へ任意適切な様態で挿入可能な微小電子機械システム（ＭＥＭＳ）濾過体モジュール（例えば、流れが通過するように誘導される筐体の中へＭＥＭＳ濾過体モジュールを配置することによって）に関する。概して、本明細書に説明のＭＥＭＳ濾過体モジュールは微細製造される（microfabricated）。「微細加工」として通常特徴付けられる幾つかの微細製造技術が存在し、限定するものではないが、ＬＩＧＡ（リソグラフィ、電鋳、成形）、ＳＬＩＧＡ（犠牲ＬＩＧＡ）、バルク微細加工、表面微細加工、微細放電加工（ＥＤＭ）、レーザ微細加工、３次元立体リソグラフィ、および他の技法が含まれる。以降で「ＭＥＭＳ濾過体モジュール」という用語または同様のものは、約１０ミクロン以下の構造サイズの実現を可能にする技術を使用して製造されるこのような任意の濾過装置を意味する。
【０００５】
本発明に係る１つの濾過体モジュールは一般に、複数の第１の流れ口を有する第１のプレートまたは薄膜（これらの流れ口はその垂直長さすなわち厚さ全体を貫通する）と、この第１の薄膜から離間され（例えば、濾過体モジュールが第１の向きにあるときのように、垂直に）、複数の第２の流れ口を有する第２のプレートまたは薄膜（これらの流れ口はその垂直長さすなわち厚さ全体を貫通する）とを含む。複数の濾過体壁が、第２の薄膜上で離間されかつそこから第１の薄膜の方向へ延びる。それぞれの濾過体壁と第１の薄膜との間の間隙が濾過体トラップを画成し、その場合に複数の濾過体トラップが存在するようになっている。第１の環状封止体が第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在し、第１の薄膜、第２の薄膜、および第１の環状封止体が共同して密封空間を画成するようになっている。この第１の環状封止体によって区切られた領域を濾過領域として特徴付けることができる。濾過体壁、濾過体トラップ、第１の流れ口、および第２の流れ口は、すべてこの濾過領域内に配置される。複数の支柱または他の支持体も、この濾過領域内で第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在し、かつこれらを相互に連結する。
【０００６】
第１の態様は、濾過体壁のそれぞれが第２の薄膜の表面（そこから複数の濾過体壁が延びる）の平面図の中に環状区域を有する、上で留意した種類のＭＥＭＳ濾過体モジュールに関する。第１の態様に関する「環状」とは、それぞれの濾過体壁が閉じた周辺によって画成されることを言い、留意した平面図の中の「円形」構成に濾過体壁を限定するものではない。第２の態様は、濾過領域内の支持体の数が濾過体壁の数を下回ることがない、上で留意した種類のＭＥＭＳ濾過体モジュールに関する。換言すれば、濾過領域内には、濾過体壁が存在する数と少なくとも同じ数の支持体が存在する。第３の態様は、少なくとも２つの第１の流れ口（第１の薄膜）と、それぞれの濾過体トラップに関連する少なくとも２つの第２の流れ口（第２の薄膜）とが存在する、上で留意した種類のＭＥＭＳ濾過体モジュールに関する。したがって、特定の第１の流れ口または第２の流れ口の「目詰まり」がいずれも、その対応する濾過体トラップを完全に不能にすることはまずあり得ない。
【０００７】
本発明の第１の態様から第３の態様までのいずれかに関連するＭＥＭＳ濾過体モジュールに関して留意した特徴の様々な改良点が存在する。他の特徴も、本発明の第１の態様から第３の態様までのいずれかに関連するＭＥＭＳ濾過体モジュールに組み込むことができる。これらの改良点および追加的な特徴は個別にまたは任意の組合せで存在し得る。最初に、上で留意した第１、第２、および第３の態様は個別にまたは任意の組合せで使用可能である。ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、任意適切な構成が可能であり、同モジュールを収容するための任意適切な濾過体筐体または構造で使用するために対応可能であり、任意適切な流体を濾過するために使用可能であり、任意適切な流れを濾過するために使用可能であり、さらに任意適切な用途に使用可能である。ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、典型的には、濾過体筐体とは別個に製造され、それに任意適切な様態で別個に装着されるが、本発明はそのような構成に限定されるものではない。
【０００８】
第１の態様から第３の態様までのいずれかに関連するＭＥＭＳ濾過体モジュールの第１の薄膜および第２の薄膜は共に、約１０ミクロンの最大厚さ、より典型的には約１ミクロンから約３ミクロンの範囲内にある最大厚さを有することができる。任意適切な材料が第１および第２の薄膜に使用可能である。このＭＥＭＳ濾過体モジュールに関して、任意適切な微細製造技法が使用可能であるが、第１および第２の薄膜ばかりでなく、濾過体壁にも多結晶シリコン、炭化珪素、窒化珪素、多結晶シリコンゲルマニウム、およびタングステンのような材料を使用する表面微細加工が好ましい手法である。典型的には、第１および第２の薄膜、ならびに１つまたは複数の濾過体壁はすべて同じ材料から製造される。ＭＥＭＳ濾過体モジュールはまた、典型的には、同モジュールを濾過用途で使用する前に（例えば、ＭＥＭＳ濾過体モジュールを収容するための関係する濾過体筐体または構造の中に同モジュールを配置する前に）、ＭＥＭＳ濾過体モジュールの製造で使用される任意の基板から分離される。
【０００９】
第１の態様から第３の態様までのいずれかのＭＥＭＳ濾過体モジュールによって使用される第１および第２の薄膜は、ＭＥＭＳ濾過体モジュールに関して、その上部および下部境界すなわち両極端を画成し得る。第１および／または第２の薄膜はそれぞれ、ＭＥＭＳ濾過体モジュールの中の「中間」薄膜でもあり得る。１つの実施形態は下部薄膜を有するが、この下部薄膜は、その対向側で第２の薄膜に対して第１の薄膜から垂直方向に離間されている。すなわち、第１の薄膜は、第２の薄膜と下部薄膜との間の中間の高さに配置される。この下部薄膜も、それを貫通する複数の流れ口を含むことができる。
【００１０】
第１の態様から第３の態様までのいずれかのＭＥＭＳ濾過体モジュールによって使用される濾過体壁は、環状構成が可能であり、すなわち、閉じた周辺を有し得る。濾過体壁に関する代表的な環状構成には、限定するものではないが、円形、正方形、長方形が含まれる。濾過体壁が環状である場合では、したがって、その対応する濾過体トラップも環状である。これは、ＭＥＭＳ濾過体モジュールを通過する望ましい流量を維持するために有益であり得る。環状以外の濾過体壁構成も上で留意した第２および第３の態様に関して使用可能である。１つの実施形態では、それぞれの濾過体壁が、第２の薄膜から延び、この濾過体壁が延びる第２の薄膜の表面に面する第１の薄膜の表面に到達する前に終端する。この場合では、それぞれの濾過体トラップ間隙が、濾過体壁の末端と、濾過体壁が延びる第２の薄膜表面に面する第１の薄膜の表面とによって画成される。別の実施形態では、濾過体壁のそれぞれを第１の薄膜上に向かって突出させることによって囲まれた領域が、第１の流れ口をいずれも含まない（例えば、第１の流れ口のそれぞれが濾過体壁のそれぞれからずれている）。
【００１１】
第１の態様から第３の態様までのいずれかのＭＥＭＳ濾過体モジュールに関連する濾過体トラップは、第１の薄膜と、第２の薄膜から延びる様々な濾過体壁のそれぞれとの間の空間よってそれぞれ画成される。濾過体トラップは、濾過体壁のそれぞれの末端と第１の薄膜との間の空間によって画成されることが好ましい。すなわち、この特定の場合では、濾過体壁は第１の薄膜まで完全に到達しない。１つの実施形態では、この間隙の高さは約０．４ミクロン以下である。任意適切な間隙サイズが使用可能である。
【００１２】
濾過領域全体にわたって第１および第２の薄膜を相互に連結する支持体の「密度」は、第１の態様から第３の態様までのいずれかのＭＥＭＳ濾過体モジュールを通過する１つまたは複数の予想流量に対して、望ましい程度の剛性を与えるように選択可能であるし、第１の態様から第３の態様までのいずれかのＭＥＭＳ濾過体モジュールを通過する１つまたは複数の予想流量に対して、濾過領域全体にわたってそれぞれの濾過体トラップの大きさを厳密に維持するように選択可能であるし、または両方が選択可能である。第２の態様も、それぞれの濾過体壁のために、濾過領域内に少なくとも１つのこのような支持体の存在を確保する。１つの実施形態では、濾過領域内の隣接する支持体対の間の最大間隔が１００ミクロン以下にすぎず、５ミクロンから約２０ミクロンほどであり得る。これらの支持体は、任意適切なサイズ、形状、および／または構成であり得る。
【００１３】
幾つかの濾過体トラップ室が、第１の態様から第３の態様までのいずれかのＭＥＭＳ濾過体モジュールのそれぞれの濾過体トラップに関連し得る。このような濾過体トラップ室のそれぞれは、第１の薄膜と第２の薄膜との間の空間によって画成され得る。第１の濾過体トラップ室はそれぞれの環状濾過体壁によって「区切られた」空間であり得るし、第２の濾過体トラップ室は様々な環状濾過体壁間の空間でもあり得る。それぞれの第１の濾過体トラップ室の容積および第２の濾過体トラップ室の容積は第１の流れ口または第２の流れ口のいずれの容積よりも大きい容積であり得るが、但し、これはそうである必要はない。いずれの場合も、ＭＥＭＳ濾過体モジュールを通過する流路は、第１の濾過体トラップ室に進入し、それに関連する濾過体トラップを通過して、次に第２の濾過体トラップ室に進入するか、またはその逆である。
【００１４】
第１の態様から第３の態様までのいずれかのＭＥＭＳ濾過体モジュールの場合では、２つ以上の環状封止体を第１の薄膜と第２の薄膜との間に設けることができる。例えば、第２の環状封止体が第１の環状封止体の外側に離間され、第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在しかつこれらを相互連結することもできる。第３の環状封止体が第２の環状封止体の外側に離間され、第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在しかつこれらを相互連結することもできる。幾つかの環状封止体を使用すると、濾過領域からの望ましくない漏洩の恐れが低減する。換言すれば、幾つもの環状封止体が、ＭＥＭＳ濾過体モジュールを通過するすべての流れが様々な濾過体トラップに通して誘導される可能性を増大させる。１つの実施形態では、少なくとも１つの環状封止体を有する周辺領域の幅が少なくとも約３ミクロンから約４ミクロンであり、約２０ミクロンから約２５ミクロンほどであり得る。
【００１５】
本発明の第４の態様は一般に、複数の第１の流れ口を有する第１の薄膜を含むＭＥＭＳ濾過体モジュールに関する。第１の室が第１の流れ口の少なくとも１つに流体連結される。第２の薄膜は、第１の薄膜から離間されて（例えば、ＭＥＭＳ濾過体モジュールが第１の向きに配置されるとき、垂直に）複数の第２の流れ口を含み、第２の室が第２の流れ口の少なくとも１つに流体連結される。第１の濾過体壁が、第２の薄膜から第１の薄膜の方向へ延び、第１の濾過体トラップが、この第１の濾過体壁によって一部が画成される。第１および第２の室は濾過体トラップ間隙によって流体連結される。
【００１６】
第４の態様のＭＥＭＳ濾過体モジュールに関連して留意した特徴の様々な改良点が存在する。他の特徴も第４の態様のＭＥＭＳ濾過体モジュールに組み込むことができる。これらの改良点および追加的な特徴は個別にまたは任意の組合せで存在し得る。最初に、第１の態様から第３の態様までのいずれかのＭＥＭＳ濾過体モジュールに関連して上で論じた様々な特徴が、この第４の態様によって個別にまたは任意の組合せで使用され得る。
【００１７】
第１および第２の薄膜は、第４の態様の場合では、ＭＥＭＳ濾過体モジュールの極端を画成し得る。第１および第２の薄膜の一方または両方は、ＭＥＭＳ濾過体モジュール内部の中間位置または高さにも配置され得る。１つの実施形態では、濾過体トラップ間隙は第１の濾過体壁と第１の薄膜との間に画成される。別の実施形態では、少なくとも１つの中間薄膜区分が、第１の薄膜と第２の薄膜との間の中間位置または高さに配置され、適切な支持体によって互いに相互連結される。この場合に、濾過体トラップ間隙は、第１の濾過体壁と中間薄膜区分との間に画成される。複数の濾過体壁が使用される場合では、対応する幾つかの中間薄膜区分が存在する。環状の間隙が、下部薄膜中の下部流れ口と流体連通するように、このような中間薄膜区分のそれぞれの周辺回りに存在し得る。
【００１８】
本発明の第５の態様は、ＭＥＭＳ濾過体モジュールを製造する方法に関する。第１の薄膜が基板に対して上に重なる関係で形成される。第１の流れ穴が第１の薄膜の垂直長さ全体を貫通して下向きに形成される。第１の犠牲薄膜が第１の薄膜の上部表面上に直に形成され、典型的には第１の流れ口穴を埋める。濾過体壁穴が、第１の犠牲薄膜の垂直長さ全体を貫通して下向きに形成され、それによって第１の薄膜の対応部分を露出させる。その後で、追加的な犠牲材料が、濾過体壁穴によって露出される第１の薄膜の少なくとも当該部分の上に（すなわち、濾過体壁穴の「底」の上に、この底は第１の薄膜によって画成される）かつ典型的には第１の犠牲薄膜の上部表面全体の上に堆積される。このような後続の犠牲材料の堆積物は、依然として第１の犠牲薄膜の一部であると見なされる。いずれの場合も、第２の薄膜が、第１の犠牲薄膜の上に形成され、第１の薄膜に向かって延びるが、それに到達しない（濾過体壁穴の中に先に堆積された犠牲材料のために）濾過体壁を画成するように濾過体壁穴の内部に達する。第２の流れ口穴が第２の薄膜の垂直長さ全体を貫通して下向きに形成される。一旦第１の犠牲層が除去されると、濾過体壁と第１の薄膜との間の間隙が濾過体トラップを画成する。
【００１９】
本発明の第５の態様に関連して留意した特徴の様々な改良点が存在する。他の特徴も本発明の第５の態様に組み込むことができる。これらの改良点および追加的な特徴は個別にまたは任意の組合せで存在し得る。このような第５の態様の１つの利点は、犠牲材料、さらに具体的には、当該犠牲材料の厚さを濾過体壁穴の中に堆積できる精度である。したがって、１つまたは複数の濾過体トラップ間隙のサイズを厳密に制御することができる。１つの実施形態では、濾過体壁穴の中に堆積された犠牲材料の厚さは、目標厚さからのばらつきが約２％以下にすぎない。
【００２０】
任意の製造技法が第５の態様に関連して使用可能であるが、表面微細加工が好ましい。典型的には、第１の薄膜が中間犠牲層によって基板から分離される。これは、ＭＥＭＳ濾過体モジュールの解放後にＭＥＭＳ濾過体モジュールを基板から分離可能にする（例えば、犠牲材料をエッチングで除去することによって）。例えば、ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、このような解放後にはいずれも、１つまたは複数の構造的な相互連結部によって基板の上方に支持された状態に留まり得る。このような任意の相互連結部は不能にすることが可能であり（電気的／熱的に、かつ／または機械的に破壊される）、その時点でＭＥＭＳ濾過体モジュールは基底を成す基板上に（または基板上に直に形成された任意の１つまたは複数の薄膜上に）落下し得る。１つまたは複数の構造をＭＥＭＳ濾過体モジュールの周囲の基板上に形成し、それ以後はこのＭＥＭＳ濾過体モジュールが基板から回収されるまで、それが基板に対して横方向に移動するのを制限することが好ましい。別の随意選択肢は、ＭＥＭＳ濾過体モジュールを犠牲材料の層の上に製造し、基底を成す基板とＭＥＭＳ濾過体モジュールを構造的に相互連結しないものである。この場合では、犠牲材料を除去すると、ＭＥＭＳ濾過体モジュールが基板から分離する。
【００２１】
本発明の第６の態様は、基板を使用してＭＥＭＳ濾過体モジュールを製造する方法に関する。第１の犠牲薄膜が基板上に（直接的にまたは間接的に）形成され、その後で複数の犠牲および構造薄膜を形成することによって、ＭＥＭＳ濾過体モジュールが製造される。複数の構造的な相互連結部がＭＥＭＳ濾過体モジュールと基板との間に設けられる。第１の犠牲薄膜は、濾過体モジュールが構造的な相互連結部によって基板の上方に懸架されるように除去される。次いで構造的な相互連結部のそれぞれは、ＭＥＭＳ濾過体モジュールが、基底を成す基板またはこの基板上に直に形成された薄膜の上に落下または脱落し得るように不能にされる。
【００２２】
本発明の第６の態様に関連して留意した特徴の様々な改良点が存在する。他の特徴も本発明の第６の態様に組み込むことができる。これらの改良点および追加的な特徴は個別にまたは任意の組合せで存在し得る。ＭＥＭＳ濾過体モジュールと基板との間の構造的な相互連結部を不能にする任意適切な方法が使用可能である。１つの場合では、電気的信号が、それぞれの構造的な相互連結部に印加され、同連結部を少なくとも熱的に劣化させるようになっている。別の随意選択肢は、様々な構造的連結部を機械的に破壊するために、ＭＥＭＳ濾過体モジュールに機械的な力を（例えば、基底を成す基板の方向へ）印加するものである。いずれの場合も、様々な構造的連結部が不能にされるかまたは解除された後で、ＭＥＭＳ濾過体モジュールが基板上で横方向に移動するのを制限するために、１つまたは複数の構造がＭＥＭＳ濾過体モジュールの周囲の基板上に形成され得る。
【００２３】
本発明の第７の態様は、第１の身体領域の内部の圧力に対処するためのインプラントに関する。このインプラントは、流路を有する導管を含み、第１の身体領域と流体連結するようになっている。ＭＥＭＳ濾過体モジュールが導管流路の内部に配置され、離間関係で配置される第１の薄膜および第２の薄膜を含む。第１の薄膜は少なくとも１つの第１の流れ口を含み（したがって、複数のこのような第１の流れ口を有することを包含する）、第２の薄膜は少なくとも１つの第２の流れ口を含む（したがって、複数のこのような第２の流れ口を有することを包含する）。ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、特定の濾過体壁と第１の薄膜との間の間隙が濾過体トラップを画成するように、第２の薄膜から少なくとも第１の薄膜に向かって延びる少なくとも１つの濾過体壁をさらに含む。
【００２４】
本発明の第７の態様に関して留意した特徴の様々な改良点が存在する。他の特徴も本発明の第７の態様に組み込むことができる。これらの改良点および追加的な特徴は個別にまたは任意の組合せで存在し得る。第１および第２の薄膜は、予想流量／圧力では、相互に対して少なくとも実質的に固定位置に維持されることが好ましい。第７の態様のＭＥＭＳ濾過体モジュールによって使用される第１および第２の薄膜は共に、約１０ミクロンの最大厚さ、より典型的には約１ミクロンから約３ミクロンの範囲内にある最大厚さを有することができる。任意適切な材料が第１および第２の薄膜に使用可能である。このＭＥＭＳ濾過体モジュールに関して任意適切な微細製造技法が使用可能であるが、第１および第２の薄膜ばかりでなく、それぞれの濾過体壁にも多結晶シリコン、炭化珪素、窒化珪素、多結晶シリコンゲルマニウム、およびタングステンのような材料を使用する表面微細加工が好ましい手法である。典型的には、第１および第２の薄膜、ならびにそれぞれの濾過体壁はすべて同じ材料から製造される。ＭＥＭＳ濾過体モジュールはまた、典型的には、同モジュールを濾過用途で使用する前に（例えば、ＭＥＭＳ濾過体モジュールを収容するための関係する１つまたは複数の濾過体筐体または他の構造の中に同モジュールを配置する前に）、ＭＥＭＳ濾過体モジュールの製造で使用される任意の基板から分離される。
【００２５】
第７の態様のＭＥＭＳ濾過体モジュールによって使用される第１および第２の薄膜は、ＭＥＭＳ濾過体モジュールに関して、その上部および下部境界すなわち両極端を画成し得る。第１および／または第２の薄膜はそれぞれ、ＭＥＭＳ濾過体モジュール中の「中間」薄膜でもあり得る。１つの実施形態は下部薄膜を有するが、この下部薄膜は、その対向側で第２の薄膜に対して第１の薄膜から垂直方向に離間されている。すなわち、第１の薄膜は、第２の薄膜と下部薄膜との間の中間の高さに配置される。この下部薄膜も、それを貫通する複数の流れ口を含むことができる。
【００２６】
第７の態様のＭＥＭＳモジュールによって使用される濾過体壁のそれぞれは適切な構成であり得る。１つの実施形態では、それぞれの濾過体壁は環状構成すなわち閉じた周辺を有する。「環状」とは、特定の濾過体壁がある一定の点または軸回りに完全に３６０度延在することを意味し、この濾過体壁が円形である必要はない。それぞれの濾過体壁に関する代表的な環状構成には、限定するものではないが、円形、正方形、および長方形が含まれる。特定の濾過体壁が環状である場合では、したがって、その対応する濾過体トラップも環状である。これは、ＭＥＭＳ濾過体モジュールを通過する望ましい流量を維持するために有益であり得る。
【００２７】
第７の態様の１つの実施形態では、それぞれの濾過体壁が、第２の薄膜から延び、この第２の薄膜の表面に面する第１の薄膜の表面に到達する前に終端する。この場合では、濾過体トラップが、特定の濾過体壁の末端と、この濾過体壁が延びる第２の薄膜の表面に面する第１の薄膜の表面とによって画成される。少なくとも２つの第１の流れ口および少なくとも２つの第２の流れ口が、それぞれの濾過体トラップに関連し得る。第１および第２の流れ口は共に、任意適切なサイズ、形状、および構成でよく、さらに任意適切な配置で配置可能である。例えば、第１の薄膜を貫通する幾つかの第１の流れ口は、濾過体壁を第１の薄膜上へ向かって突出させることによって囲まれた領域が第１の流れ口をいずれも含まないように配置可能である（例えば、それぞれの第１の流れ口がこのような濾過体壁からずれ得る）。
【００２８】
第７の態様のＭＥＭＳ濾過体モジュールと関連する特定の濾過体トラップが、第１の薄膜と第２の薄膜から延びる濾過体壁との間の空間によって画成される。それぞれの濾過体トラップは、その対応する濾過体壁の末端と第１の薄膜との間の空間によって画成されることが好ましい。すなわち、このような特定の場合では、それぞれの濾過体壁は第１の薄膜まで完全に到達することはない。１つの実施形態では、このような間隙の高さが約０．４ミクロン以下にすぎない。任意適切な間隙サイズが使用可能である。
【００２９】
第７の態様の場合では、第１の環状封止体が第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在して、第１の薄膜、第２の薄膜、および第１の環状封止体が共同して密封空間を画成できるようになっている。このような第１の環状封止体によって区切られた領域を濾過領域として特徴付けることができる。濾過体壁、濾過体トラップ、第１の流れ口、および第２の流れ口は、すべてこのような濾過領域内に配置され得る。複数の支柱または他の適切な支持体も、濾過領域内で第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在しかつこれらを相互連結し得る。
【００３０】
第７の態様の場合では、２つ以上の環状封止体を第１の薄膜と第２の薄膜との間に設けることができる。例えば、第２の環状封止体が第１の環状封止体の外側に離間され、第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在しかつこれらを相互連結することもできる。第３の環状封止体が第２の環状封止体の外側に離間され、第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在しかつこれらを相互連結することもできる。幾つかの径方向に離間された環状封止体を使用すると、濾過領域からの望ましくない漏洩に対する恐れが低減する。１つの実施形態では、少なくとも１つの環状封止体を有する周辺領域の幅が少なくとも約３ミクロンから約４ミクロンであり、約２０ミクロンから約２５ミクロンほどであり得る。
【００３１】
第７の態様によれば、複数の支柱または他の支持体が、第１の薄膜と第２の薄膜との間に延在しかつこれらを相互連結し得る。これらの支柱または支持体は任意のサイズ、形状、および／または構成であり得る。様々な支柱が、上で留意した濾過領域全体にわたって分布され得る。複数の濾過体壁も濾過領域の内部で使用可能である。１つの実施形態では、支持体の数は濾過体壁の数を下回ることがない。換言すれば、少なくとも濾過体壁が存在する数と同じ数の支柱が存在する。濾過体壁が環状である場合では、このような濾過体壁のそれぞれが少なくとも１つの支持体を包囲するかまたはその周囲に配置される。すなわち、少なくとも１つの支持体が、それぞれの環状濾過体壁の内側に配置される。濾過領域全体にわたって第１および第２の薄膜を相互連結できる、上で留意した支持体の「密度」は、ＭＥＭＳ濾過体モジュールを通過する１つまたは複数の予想流量に対して、望ましい程度の剛性を与えるように（例えば、第２の薄膜が第１の薄膜に対して撓む量を低減させるように、それは１つまたは複数の濾過体トラップのサイズを変更し得る）選択可能であるし、ＭＥＭＳ濾過体モジュールを通過する１つまたは複数の予想流量に対して、濾過領域全体にわたってそれぞれの濾過体トラップの大きさを厳密に維持するように選択可能であるし、あるいは両方が選択可能である。１つの実施形態では、濾過領域内の隣接する支持体対の間の最大間隔は１００ミクロン以下にすぎず、約５ミクロンから約２０ミクロンほどであり得る。
【００３２】
幾つかの濾過体トラップ室が、第７の態様のＭＥＭＳ濾過体モジュールのそれぞれの濾過体トラップに関連し得る。このような濾過体トラップ室のそれぞれは、第１の薄膜と第２の薄膜との間の空間によって画成され得る。第１の濾過体トラップ室は環状濾過体壁によって「区切られた」空間であり得るし、第２の濾過体トラップ室はこのような環状濾過体壁の外部周辺を越えて位置し得る。それぞれの第１の濾過体トラップ室の容積およびそれぞれの第２の濾過体トラップ室の容積は第１の流れ口または第２の流れ口のいずれの容積よりも大きいが、但し、これはそうである必要はない。いずれの場合も、ＭＥＭＳ濾過体モジュールを通過する流路は、第１の濾過体トラップ室に進入し、それに関連する濾過体トラップを通過して、次に第２の濾過体トラップ室に進入するか、またはその逆である。
【００３３】
第７の態様によって使用される導管は、特定のインプラント用途に適切な任意の構成でよく、このインプラントは任意適切な用途に使用可能である。ＭＥＭＳ濾過体モジュールを導管内部に直接配置することによって、または１つもしくは複数の筐体を使用することによってなど、ＭＥＭＳ濾過体モジュールを導管と一体化する任意の方法が使用可能である。ＭＥＭＳ濾過体モジュールはまた、任意適切な様態で導管流路の内部に保持され得る。第１から第６の態様までに関連して上で論じたＭＥＭＳ流れモジュールはいずれも、このような第７の態様によって同様に使用することができる。
【００３４】
第７の態様の場合では、任意適切な被膜がＭＥＭＳ濾過体モジュールの様々な表面および／またはそれに関連する任意の筐体の様々な表面にも施し得るが、この被膜には、限定するものではないが、生体適合性を高め、このような表面をより親水性にし、かつ／または生物付着に対する恐れを低減させる被膜が含まれる。１つの実施形態では、ＭＥＭＳ濾過体モジュールのすべての露出表面および導管内部に位置決めするためにＭＥＭＳ濾過体モジュールを組み込む任意の筐体のすべての露出表面に、自己集合単一層被膜（例えば、ポリエチレングリコール）が任意適切な様態で（例えば、液相または気相、気相が好ましい技法である）施される。この種の被膜は、本明細書に説明の本発明の他の態様に関しても使用可能である。
【００３５】
留意したように第７の態様では、１つまたは複数の筐体を使用してＭＥＭＳ濾過体モジュールを導管と一体化させることができる。例えば、ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、筐体の端部上にまたはその内部に配置可能であり（例えば、下で論じる外部筐体に従って）、次に、この筐体は少なくとも一部がインプラントの導管内部に配置される。別の随意選択肢は、第１の流路を有する外部筐体の内部に第１の内部筐体の少なくとも一部を配置するものであり、第１の流路を通過する流れがすべてＭＥＭＳ濾過体モジュールに通して誘導されるように、ＭＥＭＳ濾過体モジュールを第１の内部筐体の上に装着するかまたはそれに隣接して配置するものであり、さらに外部筐体の少なくとも一部をインプラントの導管内部に配置するものである。外部筐体および内部筐体はＭＥＭＳ濾過体モジュールに構造的な完全性を与え、さらにＭＥＭＳ濾過体モジュールを保護することができる。この点に関して、外部筐体および第１の内部筐体は共に剛性構造であり得るか、または少なくともＭＥＭＳ濾過体モジュールよりも剛性であり得る。外部筐体および第１の内部筐体を共に形成できる代表的な材料には、限定するものではないが、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）、セラミック、珪素、チタン、ならびに他の移植可能な金属およびプラスチックが含まれる。
【００３６】
外部筐体および第１の内部筐体は共に任意適切な形状（例えば、円筒形）であり得る。典型的には、外部筐体は、何らかの様態で少なくとも一部が導管内部に配置されるようになっており、第１の内部筐体は、何らかの様態で少なくとも一部が外部筐体の内部に配置されるようになっている。例えば、外部筐体は、第１の内部筐体の全長に沿って（例えば、第１の内部筐体のそれぞれの端部が外部筐体の対応する端部と面一であり得るか、またはそれから内側に後退し得る）、または第１の内部筐体の長さの一部のみに沿って（第１の内部筐体の一端または両端が外部筐体の対応する端部を越えて延在し得る）、第１の内部筐体の周囲に配置可能である。
【００３７】
第７の態様の場合では、第１の内部筐体が、外部筐体に対して静止または固定位置に維持されることが好ましい。例えば、第１の内部筐体は外部筐体に接着可能であり、外部筐体と第１の内部筐体との間にプレス嵌めが利用可能であり、外部筐体は第１の内部筐体の周囲に焼嵌め可能であり、またはこれらの任意の組合せが可能である。第２の内部筐体も少なくとも一部が外部筐体の内部に配置可能であり、ＭＥＭＳ濾過体モジュールは第１の内部筐体および第２の内部筐体の隣接端部間に配置され、好ましくは第１の内部筐体および第２の内部筐体の少なくとも一方に装着される。このような第２の内部筐体も、第１の内部筐体と同じ様態で外部筐体に対して静止または固定位置に維持されることが好ましい。
【００３８】
第７の態様の場合では、追加的な特徴付けが、外部筐体および第１の内部筐体を使用してＭＥＭＳ濾過体モジュールを組み込むことに関連して実施可能である。ＭＥＭＳ濾過体モジュールを第１の内部筐体の内部へ後退させることができる。第１の内部筐体が第１および第２の端部を有し、さらに第１の流路がこれらの第１および第２の端部間に延在する場合を考えられたい。ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、これらの第１および第２の端部間の任意の個所に配置可能である。別の随意選択肢は、ＭＥＭＳ濾過体モジュールを第１の内部筐体の第１または第２の端部上に装着するものである。
【００３９】
第７の態様の場合では、ＭＥＭＳ濾過体モジュールを第１の内部筐体に装着する任意適切な方法が使用可能である。例えば、ＭＥＭＳ濾過体モジュールは第１の内部筐体に接着可能であり、ＭＥＭＳ濾過体モジュールと第１の内部筐体との間にプレス嵌めが存在可能であり、または両方が可能である。いずれの場合も、ＭＥＭＳ濾過体モジュールが第１の内部筐体に対して固定位置に維持されることが好ましい。
【００４０】
表面微細加工が、本明細書で説明のＭＥＭＳ濾過体モジュールを製造するための好ましい技術である。この点に関して、これらのＭＥＭＳ濾過体モジュールは、相互から離間される少なくとも２つの異なる製造水準（以降では、第１の製造水準および第２の製造水準）で製造され得る。「製造水準」とは、上に重なる犠牲材料層を形成すべき前に構造材料の堆積物によって（例えば、構造層または薄膜の単一堆積物から）形成され得るものに対応する。第１の薄膜は少なくとも第１の製造水準で製造可能であり、第２の薄膜は少なくとも第２の製造水準で製造可能である。第１の薄膜が「第１の製造水準」にあり、第２の薄膜が「第２の製造水準」にあるという特徴付けは、決して、第１の製造水準が「最初に」堆積される水準であり、第２の製造水準が「２番目に」堆積される水準であることを要求するものではないことが理解されるべきである。さらには、第１の製造水準および第２の製造水準が直に隣接している必要もない。これらのＭＥＭＳ濾過体モジュールは適切な基板上に形成可能であり、その場合に、第１の薄膜は、この基板と第２の薄膜が内部に製造される別の構造層との間のどこかに配置される１つの構造層の中に製造されるか、または逆に第２の薄膜が、この基板と第１の薄膜が内部に製造される別の構造層との間のどこかに配置される１つの構造層の中に製造される。
【００４１】
第１および第２の薄膜はそれぞれ単一の製造水準に存在し得るかまたは幾つかの製造水準に存在し得る。上で留意した第１の場合では、単一の製造水準における構造材料の堆積物が、少なくとも概ね平面的な層を画成する。第１の場合に関する別の随意選択肢は、単一製造水準における構造材料の堆積物が少なくとも概ね平面的な部分に加えて、下に位置する製造水準における下に位置する構造層に向かって延びるが、それに到達しない１つまたは複数の構造を画成するものである。したがって、第２の薄膜およびそれぞれの濾過体壁は共通の製造水準に存在し得る。
【００４２】
上で留意した第２の場合では、隣接する製造水準からの２つ以上の構造層または薄膜が、直接的な界接関係で配置され得る（例えば、一方の層が直に他方の層上に位置する）。これは、次の製造水準で構造材料を堆積する前に、１つの製造水準における構造材料の上に堆積される犠牲材料の除去を必要とする。上で留意した第２の場合に関する別の随意選択肢は、異なる製造水準における構造層または薄膜間の離隔距離を維持するが、それらの間に適切な構造的な相互連結（例えば、異なる離間した製造水準における隣接構造層または薄膜間に延びる複数の柱、支柱、または同様物）を設けるものである。
【００４３】
以上に説明のＭＥＭＳ濾過体モジュールは、受動デバイス（どのような種類の外部的な電気信号も必要としない）であることが好ましく、任意適切な用途に使用可能である。これらのＭＥＭＳ濾過体モジュールの別の特徴付けは、それらが自立型構造であり、さらに外部動力を必要としないという点で自律的であることである。例えば、これらのＭＥＭＳ濾過体モジュールはいずれも任意の種類の流路の中に（例えば、人工貯槽、生物貯槽、および／または体外のような１対の任意適切な種類の供給源の間に）配置可能であり、さらには任意適切な用途に使用可能である。すなわち、これらのＭＥＭＳ濾過体モジュールのいずれかの１つまたは複数は幾つかの（例えば、２つ以上の）供給源を流体的に相互連結する導管の中に配置可能であり、それぞれの供給源は、人工貯槽、生物貯槽、体外、または任意適切な供給源であり得る。１つの実施例は、これらのＭＥＭＳ濾過体モジュールの１つまたは複数を眼球の前房と眼球の角膜外側の個所との間に延びる導管の中に配置するものである。別の実施例は、これらのＭＥＭＳ濾過体モジュールの１つまたは複数を眼球の前房と眼球の強膜外側の別の個所との間に延びる導管の中に配置するものである。さらに別の実施例は、これらのＭＥＭＳ濾過体モジュールの１つまたは複数を眼球の前房と眼球内部（例えば、シュレム管の中へ）または身体内部における別の個所との間に延びる導管の中に配置するものである。いずれの場合も、これらのＭＥＭＳ濾過体モジュールはいずれもこのような導管の中へ直に配置可能であるし、または１つもしくは複数の筐体を使用してこれらのＭＥＭＳ濾過体モジュールをいずれも導管と一体化することが可能である。さらには、上で留意した実施例のそれぞれでは、導管は、緑内障患者に装着されるときに房水のための出口通路となる。すなわち、これらの実施例のそれぞれは、緑内障を治療する方法または眼内圧を少なくともある程度制御する方法と考えることができる。
【００４４】
本発明の第８の態様は、第１の身体領域の内部の圧力に対処するためのインプラントによって具現化される。このインプラントは流路を有する導管を含み、第１の身体領域と流体的に相互連結するようになっている。ＭＥＭＳ濾過体モジュールが導管流路の内部に配置される。第１の構造がＭＥＭＳ濾過体モジュールの第１の製造水準に存在し、第２の構造が第１の製造水準とは別個のまたは異なる、ＭＥＭＳ濾過体モジュールの第２の製造水準に存在する。第１の空間が第１の構造と第２の構造との間に存在し、ＭＥＭＳ濾過体モジュールのための少なくとも１つの濾過体トラップを画成する。第１および第２の構造は、予想流量／圧力では、相互に対して少なくとも実質的に固定位置に維持される。ＭＥＭＳ濾過体モジュールを通過する流れの少なくとも一部は、この第１の空間に通して誘導される。
【００４５】
本発明の第８の態様に関して留意した特徴の様々な改良点が存在する。他の特徴も本発明の第８の態様に組み込むことができる。これらの改良点および追加的な特徴は個別にまたは任意の組合せで存在し得る。例えば、第１の構造は第７の態様からの第１の薄膜の形態でよく、第２の構造は第７の態様からの第２の薄膜および１つまたは複数の濾過体壁の形態でよい。第７の態様に関連して上で論じた対応する特徴のそれぞれは、この第８の態様によっても使用可能である。１つの実施形態では、第１の身体領域は眼球の前房であり、第８の態様を使用して緑内障を治療できるか、または眼内圧を少なくとも何らかの点で別様に制御できるようになっている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４６】
本発明の様々な関連特徴を例示する際に少なくとも助けとなる添付の図面に関連して本発明をこれから説明する。図１は、相互に固定した関係に維持された複数の離間プレートまたは薄膜から形成されたＭＥＭＳ濾過体モジュール３４を利用する濾過体１０の１つの実施形態を例示する。これらの「薄膜」は、典型的に約１０ミクロン以下にすぎない厚さすなわち垂直長さ、より典型的には約１ミクロンから約３ミクロンの範囲内の厚さを有する。いずれの場合も、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４は、濾過体筐体１４の中に着脱自在に配置されることが好ましく、この筐体１４を上部室２６および下部室３０に分離する。少なくとも１つの上部流れ口１８が、上部室２６と流体連通するように濾過体筐体１４の個所を貫通する。同様に、少なくとも１つの下部流れ口２２が、下部室３０と流体連通するように濾過体筐体１４の個所を貫通する。流れは、図１の矢印によって示すように、いずれかの方向へ濾過体筐体１４に通して誘導され得る。
【００４７】
濾過体筐体１４は、任意適切な構成でよく、任意適切な材料から製作可能であり、さらに任意適切な様態で（好ましくは、濾過体１０を通過するすべての流れがＭＥＭＳ濾過体モジュール３４に通して誘導されるべきであるように）ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４を収容／係止することができる。任意の数の流れ口１８、２２が上部室２６および下部室３０とそれぞれ関連可能であり、これらの流れ口１８、２２は、任意適切なサイズおよび／または形状であり得る。濾過体１０の上部室２６および下部室３０がＭＥＭＳ濾過体モジュール３４までの／そこからの適切な流路を設ける限り、上部室２６および下部室３０もそれぞれ任意適切なサイズおよび／または構成であり得る。
【００４８】
濾過体１０は、任意適切な用途に使用可能である。濾過体１０を通過する「流れ」は、任意適切な種類（例えば、連続的、断続的）でよく、任意適切な流体であり得る。この流れを濾過体１０に通過させるために、典型的には、少なくとも何らかの種類の力が流体に及ぼされる。このような力は、圧力源（例えば、ポンプ）、重力、またはそれらの組合せのような任意適切な供給源に由来し得る。いずれの場合も、濾過体１０は、流体から少なくとも何かを除去しようとする。濾過体１０は、この濾過体１０からの流体出力が何らかの望ましい目的に使用されるように、この濾過体１０内部に保持された物質が何らかの望ましい目的のために使用されるように、またはそれらを組み合わせた目的のために使用することができる。
【００４９】
ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４に関する幾つかの細部が図２Ａ〜Ｆに例示されている。ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の２つの主要区域または領域、すなわち、濾過領域３８および周辺領域４２が存在する。濾過領域３８および周辺領域４２の両方で、少なくとも２つの離間薄膜またはプレートがＭＥＭＳ濾過体モジュール３４によって使用される。下でさらに詳細に論じるように、微細製造技法を利用してＭＥＭＳ濾過体モジュール３４を適切な基板（例えば、ウェーハ）の上に製造することが好ましい。この点に関して留意すべきは、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４が、濾過体筐体１４の中に装着される前に基板から分離されることである。
【００５０】
ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４は、第１のプレートまたは薄膜７０と第２のプレートまたは薄膜４６とを含み、これらはＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の中に離間関係でまたは異なる高さに配置される。これらの薄膜７０、４６は、予想流量／圧力では、相互に対して少なくとも実質的に固定位置に維持されることが好ましい。これらの薄膜７０、４６のそれぞれは、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の極端を画成し得るか（例えば、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の上部および下部範囲を画成し得るか）、またはＭＥＭＳ濾過体モジュール３４内部の中間位置に配置され得る（例えば、２つの離間薄膜の間に「サンドイッチ状に挟まれ」、これらの薄膜のそれぞれに対して離間関係に配置される）。すなわち、第１の薄膜７０は、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の下部極端であり得るか、またはＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の上部極端と下部極端との間の中間位置に存在し得る。同様に、第２の薄膜４６は、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の上部極端であり得るか、またはＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の上部極端と下部極端との間の中間位置に存在し得る。いずれの場合も、第１の薄膜７０は複数の第１の流れ口７４を含み、第２の薄膜４６は複数の第２の流れ口５０を含む。すべての第１の流れ口７４およびすべての第２の流れ口５０は、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の濾過領域３８内に（すなわち、周辺領域４２内ではなく）配置される。
【００５１】
少なくとも１つの支持体７８（例えば、支柱または柱）がＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の濾過領域３８内の第１の薄膜７０と第２の薄膜４６との間に延在して、これらを構造的に相互連結する。このような複数の支持体７８が、濾過領域３８全体にわたって反復模様でかつ相互に離間関係で分布されることが好ましい。濾過領域３８内の支持体７８は任意適切なサイズおよび／または構成であり得る。少なくとも１つの濾過体壁５４が第２の薄膜４６に付着されて、そこから少なくとも第１の薄膜７４（の方向に）向かって延びる。このような濾過体壁５４は、第２の薄膜４６に面する第１の薄膜７０の主要表面に到達する前に終端する。換言すれば、それぞれの濾過体壁５４は、第１の薄膜７０と第２の薄膜４６との間の間隙よりも短い。さらには、それぞれの濾過体壁５４は複数の第１の流れ口７４のそれぞれからずれている。すなわち、様々な濾過体壁５４を第２の薄膜４６に面する第１の薄膜７０の主要表面上に向かって突出させることによって画成した区域は、第１の流れ口７４をいずれも含むことがない。それぞれの濾過体壁５４は、予想流量／圧力では、第１の薄膜７０に対して少なくとも実質的に固定位置に維持されることが好ましい。
【００５２】
任意の数の濾過体壁５４を濾過領域３８内で使用することができる。任意の数の支持体７８も濾過領域３８内で使用できるが、支持体７８の数および位置は濾過領域３８に関する幾つかの特徴付けによって決まる。１つは、それぞれの濾過体壁５４がそれに関連して好ましくは少なくとも１つの支持体７８を有することである。もう１つは、少なくとも濾過体壁５４の数と同数の支持体７８が存在することである。もう１つは、それぞれの対の隣接する支持体７８間の最大間隔が、１つの実施形態では約１００ミクロンにすぎず、より典型的には、別の実施形態では約５ミクロンから約２０ミクロンの範囲内にあることである。
【００５３】
ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４のそれぞれの濾過体壁５４は、環状構成を有することが好ましい。このような文脈における「環状」とは、濾過体壁５４の末端（第２の薄膜４６と境界面を接する濾過体壁５４の端部に対向する端部）から見るとき、濾過体壁５４が閉じた周辺を有することを意味する。換言すれば、それぞれの濾過体壁５４は、任意適切な通路に沿ってある一定の基準軸回りに完全に３６０度延在する。任意の構成を使用して濾過体壁５４の望ましい環状区域を実現することができる（例えば、円形、楕円形、正方形、長方形）。それぞれの濾過体壁５４はまた、留意したように第１の薄膜７０まで完全に到達することはない。完全に到達するのではなく、それぞれの濾過体壁５４の末端と第１の薄膜７０との間に濾過体トラップまたは濾過体トラップ間隙５８が存在する。それぞれの濾過体壁５４が好ましい構成では環状であるので、それぞれの濾過体トラップ間隙５８も環状である。したがって、特定の濾過体トラップ間隙５８を通過できないことによって「トラップされる」成分はいずれも、その場合にこの濾過体トラップ間隙５８を完全に「目詰まりさせる」ことはない。それぞれの濾過体壁５４に関連する環状の濾過体トラップ間隙５８を有することによって、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４を通過する望ましい流量も与えられる。
【００５４】
流れは、第２の流れ口５０を通過するか（この場合では、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４から流出する流れが第１の流れ口７４を通過することになる）、または第１の流れ口７４を通過して（この場合では、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４を流出する流れが第２の流れ口５０を通過することになる）ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４に進入し得る。いずれの場合も、流れは、特定の濾過体壁５４に関連する濾過体トラップ間隙５８を通過しようとする前に、第１の薄膜７０から第２の薄膜４６まで延在する空間６２の中へ誘導されることになる。濾過領域３８内のこれらの空間６２のそれぞれを濾過体トラップ室６２として特徴付けることができる。それぞれの濾過体トラップ室６２の高さは第１の薄膜７０と第２の薄膜４６との間の間隔に対応し、この間隔は濾過体トラップ間隙５８の高さよりも大きい。それぞれの濾過体トラップ室６２の容積は、関連する第１の流れ口７０のいずれの容積よりも大きく、さらには関連する第２の流れ口５０のいずれの容積よりも大きい容積であり得るが、但し、このようなことは要件ではない。流れが第１の流れ口７４を通過してＭＥＭＳ濾過体モジュール３４に進入しようが、あるいは第２の流れ口５０を通過してそれに進入しようが、流れは濾過体トラップ室６２を通過し、次いで濾過体トラップ間隙５８を通過して、次に別の濾過体トラップ室６２を通過することになる。それぞれの濾過体トラップ室６２は同じ構成および容積であり得るが、１つの実施形態では、少なくとも幾つかの点（例えば、異なる容積／構成）で相互に異なる濾過体トラップ室６２の２つの別個の群が存在する。
【００５５】
上で留意したように、流れは、いずれの方向においても濾過体１０に通して誘導され得る。１つまたは複数の第１の流れ口７４が、それぞれの濾過体壁５４の内側に配置可能であり（単一の濾過体壁５４によって仕切られた濾過体トラップ室６２と流体的に相互連結するように）、他方では１つまたは複数の第２の流れ口５０がそれぞれの濾過体壁５４の周辺を越えて配置可能である（幾つかの濾過体壁５４間の間隔によって画成された濾過体トラップ室６２と流体的に相互連結するように）（図２Ｅ）。逆に、１つまたは複数の第２の流れ口５０が、それぞれの濾過体壁５４の内側に配置されてもよく（単一の濾過体壁５４によって仕切られた濾過体トラップ室６２と流体的に相互連結するように）、他方では１つまたは複数の第１の流れ口５０がそれぞれの濾過体壁５４の周辺を越えて配置されてもよい（幾つかの濾過体壁５４間の間隔によって画成された濾過体トラップ室６２と流体的に相互連結するように）（図２Ｅ）。いずれ場合も、流れは、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４を退出する前に、第１の濾過体壁５４によって一部が画成された濾過体トラップ間隙５８を通過しなければならない。
【００５６】
ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４を通過する流れに関する幾つかの特徴付けが存在する。１つは、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４を通過する流れは、それが、限定するものではないが、第１の濾過体トラップ間隙５８を通過することを含めて、少なくとも１つの方向変化を受けねばならない点で軸流ではないことである。別の特徴付けは、濾過体トラップ間隙５８を通過する流れの方向が、第１の薄膜７０および第２の薄膜４６と少なくとも概ね平行な次元にあることである。別の特徴付けは、濾過体トラップ間隙５８を通過する流れが、第１の薄膜７０および第２の薄膜４６を通過する流れの方向に対して少なくとも概ね直交することである。
【００５７】
流れは、濾過機能を与えるように第１の濾過体トラップ間隙５８に通して誘導される。流れの中の成分（例えば、少なくともある一定サイズの微粒子、細胞）で濾過体トラップ間隙５８の高さよりも大きいものはいずれも、典型的には、第１の濾過体壁５４および第１の薄膜７０によって（すなわち、濾過体間隙５８を通過し得ないことによって）纏めて保持されるのが典型である。様々な支持体７８の数および位置の選択は、濾過領域３８全体にわたって、それぞれの濾過体トラップ間隙５８の高さが、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の設計が意図する最大流量のわずかな許容範囲内に維持されるように行われることが好ましい。それぞれの濾過体トラップ間隙５８の高さが約０．４ミクロン以下の場合では、濾過体１０にその設計が意図する最大流量を通過させるときに、このような濾過体トラップ間隙５８のそれぞれの高さが約数十ナノメートル以下にすぎないばらつきで変動するように（例えば、第１の薄膜７０および／または第２の薄膜４６の撓みによって）、支持体７８は濾過領域３８全体にわたって分布される。
【００５８】
１つまたは複数の環状封止体６６が、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の周辺領域４２内に配置され、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の濾過領域３８の境界または周辺を画成する。１つまたは複数の環状封止体６６の文脈における「環状」とは、これらの１つまたは複数の封止体６６が、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の濾過領域３８の閉じた周辺または境界を「横方向の」次元において画成することを意味する。換言すれば、それぞれの封止体６６はある一定の軸回りに完全に３６０度延在する。いずれの場合も、それによって第１の薄膜７０に関連するすべての第１の流れ口７４および第２の薄膜４６に関連するすべての第２の流れ口５０が、それぞれの環状封止体６０の内側に配置される。任意の数の環状封止体６６が使用可能であり（例示の実施形態では３個）、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の濾過領域３８を横方向の次元で冗長的な封止能力を与えるように、横方向に離間関係で同心円状に配置されることが好ましい。すなわち、これらの環状封止体６６は、少なくともすべての流れをＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の濾過領域３８に強制的に通過させようとする。環状封止体６６のそれぞれは同じ幅でよいし、または環状封止体６６の少なくとも１つが異なる幅であってもよい。１つの実施形態では、最も外側に配置される環状封止体６６が他の環状封止体６６のいずれよりも幅が広い。
【００５９】
ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４が使用するそれぞれの環状封止体６６の別の機能は、構造的な強度または剛性をＭＥＭＳ濾過体モジュール３４に与えることである。それぞれの環状封止体６６は、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の周辺領域４２内で第１の薄膜７０を第２の薄膜４６と構造的に相互連結する。これは、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の物理的構造に損傷を与える恐れを低減する様態で、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４を取り扱ったり／係合させたりするために使用可能である。ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の周辺領域４２は、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の濾過領域３８よりも剛性が大きいことが好ましい。それによって、周辺領域４２は、濾過体筐体１４または中間封止構造と係合するための望ましい、十分に強固な境界面となり得る。周辺領域４２の幅は、１つの実施形態では少なくとも約３または４ミクロンであり、別の実施形態では約２０ミクロンから約２５ミクロンほどであり得る。
【００６０】
それによって、第１の薄膜７０（複数の第１の流れ口７４を有する）および第２の薄膜４６（複数の第２の流れ口５０を有する）は共に、それぞれの環状封止体６６によって、それらのそれぞれの周辺領域の周囲で支持される。すなわち、第１の薄膜７０（複数の第１の流れ口７４を有する）および第２の薄膜４６（複数の第２の流れ口５０を有する）は共に、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４全体にわたって連続的構造である。換言すれば、第１の薄膜７０に沿ってＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の周辺領域４２内の１つの個所から、濾過領域３８を通って、第１の薄膜７０によって画成された連続通路に沿って周辺領域４２内の任意の他の個所に進むことができる（場合によっては蛇行路に沿いであっても）。同様に、第２の薄膜４６に沿ってＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の周辺領域４２内の１つの個所から、濾過領域３８を通って、第２の薄膜４６によって画成された連続通路に沿って周辺領域４２内の任意の他の個所に進むことができる（場合によっては蛇行路に沿いであっても）。
【００６１】
ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４は、任意の数の薄膜によって画成可能であり、任意適切な材料から製作可能であり、望ましい用途に任意適切な構成が可能であり、さらに任意適切な平面図形であり得る（図２Ａ）。第１の薄膜７０、第２の薄膜４６、１つまたは複数の濾過体壁５４、１つまたは複数の支持支柱７８、および１つまたは複数の環状封止体６６が、図３Ａ〜Ｉに関して下でさらに詳細に論じる表面微細加工によって製造する目的のために同じ材料（例えば、多結晶シリコン）から製作されることが好ましい。濾過体壁５４は、限定するものではないが、円形、楕円形、三角形、正方形、または長方形を含めて、好ましい実施形態のための環状区域を画成する任意の構成であり得る。同様に、それぞれの環状封止体６６も、限定するものではないが、円形、楕円形、三角形、正方形、または長方形を含めて、環状区域を画成する任意の構成であり得る。
【００６２】
複数の第１の流れ口７４および複数の第２の流れ口５０が流れを任意特定の濾過体トラップ間隙５８に通過させ得ることが好ましいけれども、任意の数の第１の流れ口７４および任意の数の第２の流れ口５０を使用することができる。すなわち、少なくとも２つの第１の流れ口７４および少なくとも２つの第２の流れ口５０が、それぞれの濾過体壁５４に関連していることが好ましい。したがって、特定の第１の流れ口７４または第２の流れ口５０が「目詰まり」しても、濾過体トラップ間隙５８のどれも完全に不能にすることはまずあり得ない。別の随意選択肢は、単一の微粒子または成分が流れ口を完全に目詰まりさせ得る恐れを低減するように、第１の流れ口７４および第２の流れ口５０をサイズ決め／構成できることである。いずれの場合も、第１の流れ口７４および第２の流れ口５０は共に、限定するものではないが、第１の薄膜７０と第２の薄膜４６との間に延在する支持体７８の望ましい数／配置、およびＭＥＭＳ濾過体モジュール３４を通過する望ましい流れに適合することを含めて、任意適切なサイズおよび／または構成であり得る。ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の濾過領域３８全体にわたって、第１の流れ口７４、第２の流れ口５０、濾過体壁５４、および支持体７８に反復模様を使用することが好ましい。
【００６３】
本明細書に説明した様々な濾過体モジュールのための好ましい製造技法は、表面微細加工である。表面微細加工は一般に、得られる微細構造のための土台として機能する適切な基板（例えば、シリコンウェーハ）を使用して構造材料および犠牲材料の層を交互に堆積させる必要がある。様々なパターン形成作業（一括してマスキング、エッチング、およびマスク除去作業を含む）が、次の層が堆積される前に、望ましい微細構造を画成するために１つまたは複数のこれらの層の上に実施可能である。このような一般的な様態で微細構造が画成された後で、微細構造および様々な犠牲層を１つまたは複数のエッチング剤に曝すことによって様々な犠牲層の全部または一部が除去される。これは一般に、典型的には微細構造と基板との間に少なくともある程度の相対移動を可能にするために微細構造を基板から「解放する」と呼ばれる。１つの具体的な望ましい表面微細加工技法が開示されており、その開示全体が参照により本明細書に組み込まれている（例えば、特許文献１参照、以降２０８号特許と呼ぶ）。
【００６４】
本明細書で使用する「犠牲層または薄膜」という用語は、微細構造を製作するために使用されるが一般には最終的な構成には存在することがない、表面微細加工を施した任意の微細構造の任意の層またはその一部を意味する（例えば、１つまたは複数の目的のために犠牲材料の１つまたは複数の個所を構造材料によって被覆することが可能であり、その結果として、このような被覆された材料は解放によって除去されることがない）。本明細書で説明の犠牲層の典型的な材料には、非ドープ二酸化シリコンまたは酸化シリコンおよびドープ二酸化シリコンまたは酸化シリコンが含まれる（「ドープ」とは、堆積時または堆積後に追加的な要素材料が薄膜に追加されることを意味する）。本明細書で使用される「構造層または薄膜」という用語は、犠牲層、および微細構造が上に製作される基板以外の表面微細加工を施した微細構造の任意の他の層またはその一部を意味する。本明細書に説明の構造層の典型的な材料には、ドープまたは非ドープの多結晶シリコン、およびドープまたは非ドープのシリコンが含まれる。本明細書で説明の基板の典型的な材料には、シリコンが含まれる。本明細書で説明の様々な層は、低圧ＣＶＤ（ＬＰＣＶＤ）、大気圧ＣＶＤ（ＡＰＣＶＤ）、プラズマ促進ＣＶＤ（ＰＥＣＶＤ）を含む化学蒸着法（ＣＶＤ）；熱酸化過程；および蒸発系ＰＶＤおよびスパッタ系ＰＶＤを含む物理蒸着法（ＰＶＤ）などの技法によって形成／堆積可能である。
【００６５】
さらに一般的に言えば、表面微細加工は、基板、１つまたは複数の犠牲薄膜または層、および１つまたは複数の構造薄膜または層の任意適切なシステムを使用して実施可能である。シリコンウェーハは、それらの偏在性および入手可能性の故に使用される傾向にあるが、数多くの基板材料を表面微細加工作業で使用することができる。基板は、本質的には微細構造が上に製作される土台である。この土台材料は、１つまたは複数の微細構造を画成するために使用されている過程に対して安定である必要があり、１つまたは複数の微細構造を画成するために使用されている犠牲／構造薄膜の処理に悪影響を及ぼしてはならない。犠牲および構造薄膜に関して言えば、主要な差別化要因は、１つまたは複数の望ましい／必要な解放エッチング剤に対する犠牲薄膜と構造薄膜との間の選択性の差である。このような選択性の比率は、約１０：１程度でよいが、数百対１またはそれを大幅に超えることがより好ましく、無限選択性比率が最も好ましい。このような犠牲薄膜／構造薄膜システムの実施例には、様々な酸化シリコン／シリコンの様々な形態；ポリゲルマニウム／ポリゲルマニウムシリコン；様々な高分子薄膜／様々な金属薄膜（例えば、フォトレジスト／ニッケル）；様々な金属／様々な金属（アルミニウム／ニッケル）；ポリシリコン／炭化珪素；二酸化シリコン／ポリシリコン（すなわち、異なる解放エッチング剤、例えば、水酸化カリウムを使用する）が含まれる。二酸化シリコンおよび酸化シリコンの犠牲材料用の解放エッチング剤の実施例は、典型的にはフッ化水素（ＨＦ）酸系である（例えば、実際には４９重量％のＨＦと５１重量％の水である濃縮ＨＦ酸；水を含有する濃縮ＨＦ酸；緩衝ＨＦ酸（ＨＦ酸とフッ化アンモニウム）である）。
【００６６】
図３Ａは、基板８０の上方に形成された第１の犠牲薄膜８４（２０８号特許で説明の処理では、一般にＳａｃＯｘ１層または水準と呼ばれる）を例示する。第１の犠牲薄膜８４は基板８０の上に直に形成され得るが、典型的には１つまたは複数の介在層または薄膜が存在することになる（それらを図示しないが、２０８号特許に説明の処理ではＰ０層または水準と一般に呼ばれるが、それから電気トレースまたは同様物が形成され、次にそれは酸化または窒化薄膜もしくは層によって基板材料から分離される）。いずれの場合も、第１の薄膜８８（２０８号特許に説明の処理では、一般に結合Ｐ２／Ｐ１層または製造水準と呼ばれる）が第１の犠牲薄膜８４の上に形成される。次いで、第１の薄膜８８は図３Ｂに例示した第１の流れ口穴９２を画成するようにパターン形成される。この第１の流れ口穴９２は、ＭＥＭＳ濾過体モジュールが製造の最後で解放されるとき（図３Ｉ）、第１の薄膜８８のための第１の流れ口１２０になる。
【００６７】
次いで、第２の犠牲薄膜９４（２０８号特許に説明の処理では、一般にＳａｃＯｘ層または水準と呼ばれる）が第１の薄膜８８の上に形成される（図３Ｃ）。この第２の犠牲薄膜９４は、第１の薄膜８８中の第１の流れ口穴９２の内部に達し、典型的にはそれを少なくとも実質的に「埋める」ことになる。次いで、第２の犠牲薄膜９４は濾過体壁穴９８を画成するようにパターン形成される（図３Ｄ）。この濾過体壁穴９８は第１の薄膜８８に到達するまで下方に延びる。典型的には、第２の犠牲薄膜９４は、第１の薄膜８８の上部表面のわずかな部分も濾過体壁穴９８の形成によって同様にエッチングされるように、過剰エッチングされることになる。すなわち、濾過体壁穴９８を画成するために第２の犠牲薄膜９４をパターン形成した後に、第１の薄膜８８の上部表面上には、第２の犠牲薄膜９４中の濾過体壁穴９８に対応する小さい凹みが存在し得る（図示せず）。
【００６８】
図３Ｅは、追加的な犠牲材料１０２が第２の犠牲薄膜９４の上部表面上に形成されることを例示する。第２の犠牲薄膜９４中の犠牲材料１０２は図３Ｅ〜Ｈでは別個の構造として示されているが、この追加的な犠牲材料１０２は、実際には第２の犠牲薄膜９４とほとんど区別不可能であり、その一部となる。犠牲材料１０２は、第２の犠牲薄膜９４中の濾過体壁穴９８によって露出される第１の薄膜８８の表面上にも堆積される。ある一定量の犠牲材料１０２は、第２の犠牲薄膜９４中の濾過体壁穴９８の側壁上にも堆積され得る（図示せず）。犠牲材料１０２の厚さは、非常に厳密な制御が可能であり、得られるＭＥＭＳ濾過体モジュール中の濾過体トラップ間隙１２３（図３Ｉ）の厚さを画成するために使用される。例えば、犠牲材料１０２を目標厚さの＋／−２％の許容範囲内で堆積することが可能である。
【００６９】
次いで、犠牲材料１０２の薄膜は、第１の薄膜８８の上部表面の対応する部分を露出する支持体支柱穴１０６を画成するためにパターン形成される（図３Ｆ）。すなわち、支持体支柱穴１０６は、完全に犠牲材料１０２の層を貫通し、さらに第２の犠牲薄膜９４を貫通して下に位置する第１の薄膜８８に到達する。次いで、第２の薄膜１１０が、図３Ｇに例示するように犠牲材料１０２の層の上部表面上に、第１の薄膜８８とは異なる製造水準に形成される。この第２の薄膜１１０は、１）ＭＥＭＳ濾過体モジュールのための支持体１１８を画成するように、犠牲材料１０２の層および第２の犠牲薄膜９４の中の支持体支柱穴１０６の内部に達し、典型的にはそれを少なくとも実質的に「埋め」、さらに２）ＭＥＭＳ濾過体モジュールのための濾過体壁１２１（図３Ｉ）を画成するように、犠牲材料１０２の層および第２の犠牲薄膜９４の中の濾過体壁穴９８の内部に達し、典型的にはそれを少なくとも実質的に「埋める」。濾過体壁１２１（図３Ｉ）の末端は、犠牲材料１０２（図３Ｇ）の対応部分によって第１の薄膜８８から離隔される。この犠牲材料１０２は、濾過体トラップまたは濾過体トラップ間隙１２３（図３Ｉ）を画成するために、濾過体モジュールの解放によって除去される。
【００７０】
次いで、第２の薄膜１１０は、図３Ｈに例示するように第２の流れ口穴１１４を画成するためにパターン形成される。この第２の流れ口穴１１４は、ＭＥＭＳ濾過体モジュールが製造の最後で解放されるとき、第２の薄膜１１０のための第２の流れ口１２２になる。この点に関して、また図３Ｉを参照すると、このような「積層」が、次には第１の犠牲薄膜８４、第２の犠牲薄膜９４、および犠牲材料１０２を除去する適切なエッチング剤に曝される。ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、下でさらに詳細に論じるように、解放後に基板８０の上方で構造的に支持された状態に留まり得る（図示せず）。しかし、ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、図１０Ａ〜１１Ｂに関連して下でさらに詳細に論じるように、最終的には濾過体１０の中に組み込むために基板８０から分離される。
【００７１】
図２Ａ〜ＦのＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の原理にしたがうＭＥＭＳ濾過体モジュールの様々な実施形態が、図４Ａ〜８Ｄに例示されている。本明細書で別途に留意しない限り、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の説明は、これらのＭＥＭＳ濾過体モジュールのそれぞれに等しく該当し得る。これらのＭＥＭＳ濾過体モジュールによって使用されるＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の構成要素に関して以上に供した説明を参照すべきである。さらには、これらのＭＥＭＳ濾過体モジュールのそれぞれは、図１の濾過体１０の中のＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の代わりに使用可能である。これらの場合のそれぞれにおいて、協働して濾過機能を与える薄膜またはプレートは、予想流量／圧力では、相互に対して少なくとも実質的に固定位置に維持される。さらには、協働して濾過体トラップ間隙を画成するそれぞれの濾過体壁および薄膜またはプレートも相互に対して少なくとも実質的に固定位置に維持される。
【００７２】
図４Ａ〜Ｆは、濾過領域１２６を有するＭＥＭＳ濾過体モジュール１２４の１つの実施形態を例示する。濾過体モジュール１２４は、離間関係でまたは異なる高さに配置される第１の薄膜１３０および第２の薄膜１３８を含む。これらの薄膜１３０、１３８のそれぞれが、濾過領域１２６およびその周辺領域４２（図示しないが、図２Ａ〜Ｆの実施形態にしたがう）における濾過体モジュール１２４の極端を画成する。したがって、薄膜１３０、１３８は、それらのそれぞれの周辺領域の周囲で、濾過体１２４が使用するそれぞれの環状封止体６６によって相互連結されかつ支持される。したがって、薄膜１３０、１３８は、薄膜７０、４６に関して上で論じた同じ様態で「連続的な」構造である。
【００７３】
第１の薄膜１３０は複数の第１の流れ口１３４を含み、第２の薄膜１３８は複数の第２の流れ口１４２を含む。すべての第１の流れ口１３４およびすべての第２の流れ口１４２は、濾過体モジュール１２４の濾過領域１２６内にのみ配置される。複数の支持体１５４が、濾過領域１２６内の第１の薄膜１３０と第２の薄膜１３８との間に延在し、これらを構造的に相互連結する。これらの支持体１５４は、反復模様で濾過領域１２６全体にわたって分布され、相互に対して離間関係で配置され、さらに任意適切な構成であり得る。複数の濾過体壁１５０が、第２の薄膜１３８に付着され、そこから少なくとも第１の薄膜１３０（の方向に）に向かって延びる。任意の数の濾過体壁１５０を濾過体モジュール１２４の濾過領域１２６内で使用することができる。任意の数の支持体１５４も使用可能であるが、支持体１５４の数および位置は、支持体７８に関して上で論じた同じ特徴付けによって決まる。さらには、また濾過体モジュール１２４の濾過領域１２６の場合では、１つの支持体１５４がそれぞれの濾過体壁１５０の内側の中心位置に位置決めされ、複数の支持体１５４がそれぞれの濾過体壁１５０の周囲に配置される。任意の数の支持体１５４がそれぞれの濾過体壁１５０の周囲に配置可能である（例示の実施形態では４つであり、１つの支持体１５４が、４つの隣接する濾過体壁１５０の各２×２の組分けの角と角との間の中心に配置される）。
【００７４】
それぞれの濾過体壁１５０は環状構成を有する。このような文脈における「環状」とは、濾過体壁１５０の末端（第２の薄膜１３８と境界面を接する濾過体壁１５０の端部に対向する端部）から見るとき、それぞれの濾過体壁１５０が閉じた周辺を有することを意味する。換言すれば、それぞれの濾過体壁１５０は、任意適切な通路に沿ってある一定の基準軸回りに完全に３６０度延在する。それぞれの濾過体壁１５０は、例示の実施形態では正方形の環状区域を有するが、濾過体壁１５０が留意した環状区域を実現するように任意の構成を利用し得る（例えば、長方形、円形、楕円形、三角形）。それぞれの濾過体壁１５０はまた、第１の薄膜１３０まで完全に到達することはない。完全に到達するのではなく、それぞれの濾過体壁１５０の末端と第１の薄膜１３０との間に濾過体トラップまたは濾過体トラップ間隙１５２が存在する。それぞれの濾過体壁１５０が環状であるので、それに対応する濾過体トラップ間隙１５２も同様に環状になる。それぞれの濾過体壁１５０はまた、様々な第１の流れ口１３４および第２の流れ口１４２からずれており、それによってＭＥＭＳ濾過体モジュール１２４を通過する流れの方向に少なくとも１つの変化を引き起こすことに留意されたい。
【００７５】
流れは、濾過機能を与えるためにそれぞれの濾過体トラップ間隙１５２に通して誘導され得る。この流れの中で特定の濾過体トラップ間隙１５２の高さよりも大きな成分（例えば、ある一定のサイズの微粒子、細胞）はいずれも、典型的には、対応する濾過体壁１５０および第１の薄膜１３０によって（すなわち、濾過体トラップ間隙１５２を通過し得ないことによって）纏めて保持される。それぞれの濾過体トラップ間隙１５２は環状であるので、その場合に特定の濾過体トラップ間隙１５２を通過し得ないことによって「トラップされる」成分はいずれも濾過体トラップ間隙１５２を完全に「目詰まりさせる」ことはない。それぞれの濾過体壁１５０に関連する環状濾過体トラップ間隙１５２を有することによって、ＭＥＭＳ濾過体モジュール１２４を通過する望ましい流量も与えられる。様々な支持体１５４の数および位置の選択は、それぞれの濾過体トラップ間隙１５２の高さが、濾過領域１２６全体にわたって、濾過体トラップ間隙５８に関連して上で論じた同じ様態で、濾過体モジュール１２４の設計が意図する最大流量のわずかな許容範囲内に維持されるように行われる。
【００７６】
流れは、第２の流れ口１４２を通過するか（この場合では、ＭＥＭＳ濾過体モジュール１２４から流出する流れが第１の流れ口１３４を通過することになる）、または第１の流れ口１３４を通過して（この場合では、ＭＥＭＳ濾過体モジュール１２４を流出する流れが第２の流れ口１４２を通過することになる）ＭＥＭＳ濾過体モジュール１２４に進入し得る。いずれの場合も、流れは、特定の濾過体壁１５０に関連する濾過体トラップ間隙１５２を通過しようとする前に、第１の薄膜１３０から第２の薄膜１３８まで延在する空間１４８ａまたは空間１４８ｂの中へ誘導されることになる。濾過領域１２６内のこれらの空間１４８ａ、１４８ｂのそれぞれを濾過体トラップ室１４８ａ、１４８ｂとして特徴付けることができる。それぞれの濾過体トラップ室１４８ａ、１４８ｂの高さは第１の薄膜１３０と第２の薄膜１３８との間の間隔に対応し、この間隔は濾過体トラップ間隙１５２の高さよりも大きい。それぞれの環状濾過体壁１５０は濾過体トラップ室１４８ａを画成し、他方で様々な濾過体壁１５０間の空間は単一の濾過体トラップ室１４８ｂを画成する。
【００７７】
それぞれの濾過体トラップ室１４８ａの容積は関連する第１の流れ口１３４のいずれの容積よりも大きく、濾過体トラップ室１４８ｂの容積は関連する第２の流れ口１４２のいずれの容積よりも大きい容積であり得るが、但し、このようなことは要件ではない。流れが第１の流れ口１３４を通過してＭＥＭＳ濾過体モジュール１２４に進入しようが、あるいは第２の流れ口１４２を通過してそれに進入しようが、流れは濾過体トラップ室１４８ａまたは濾過体トラップ室１４８ｂを通過し、次いで濾過体トラップ間隙１５２を通過して、次に、濾過体モジュール１２４の場合では、濾過体トラップ室１４８ａまたは濾過体トラップ室１４８ｂの他方を通過することになる。具体的には、第２の流れ口１４２を通過してＭＥＭＳ濾過体モジュール１２４に進入する流れが、濾過体トラップ室１４８ａに流入し、対応する濾過体トラップ間隙１５２を通過して濾過体トラップ室１４８ａに流入し、次いで第１の流れ口１３４を通過してＭＥＭＳ濾過体モジュール１２４から流出することになる。この逆は、第１の流れ口１３４を通過してＭＥＭＳ濾過体モジュール１２４に進入する流れの場合である。
【００７８】
第１の流れ口１３４と第２の流れ口１４２と濾過体壁１５０との間の相互関係を識別する目的のために、図４Ａは３つの別個の環状濾過体壁１５０ａ、１５０ｂ、および１５０ｃを識別し、図４Ｂは２つの別個の環状濾過体壁１５０を識別する。一般に、それぞれの第１の流れ口１３４が環状濾過体壁１５０の内側に配置され、他方ではそれぞれの第２の流れ口１４２が様々な環状濾過壁１５０間に配置される。
【００７９】
複数の第１の流れ口１３４が、それぞれの濾過体トラップ室１４８ａ（単一の濾過体壁１５０によって画成された周辺を有する）と流体的に相互連結し、それらの対応する濾過体壁１５０の内側に配置されて、第１の流れ口群１３６を画成する。任意の数の第１の流れ口１３４がそれぞれの第１の流れ口群１３６の中に含まれてもよく、さらに第１の流れ口１３４は任意適切なサイズおよび／または構成であり得る（例えば、支持体１５４の望ましい数／配置およびＭＥＭＳ濾過体モジュール１２４を通過する望ましい流れに適合するように）。濾過領域１２６は複数の第１の流れ口群１３６を使用する。それによって、それぞれの濾過体壁１５０は専用の第１の流れ口群１３６を有する。それぞれの濾過体壁１５０に幾つかの第１の流れ口１３４を設けると、任意特定の第１の流れ口１３４が目詰まりする影響が低減する。特定の濾過体壁１５０に関連する第１の流れ口１３４の数が減少すると、この濾過体壁１５０によって画成された対応する濾過体トラップ室１４８ａを通過する流量を減少させ得るが、その関連する第１の流れ口１３４のすべてが目詰まりしない限り、そのような数の減少は濾過体壁１５０をその濾過機能に関して完全に不能にすることはない。
【００８０】
濾過領域１２６内の第２の薄膜１３８に関連する様々な第２の流れ口１４２が、第２の薄膜１３８と境界を接しかつそれから延びる様々な濾過体壁１５０間の空間に配置される。複数の第２の流れ口１４２が、それぞれの濾過体壁１５０（を越えて）外側にかつその周囲に配置され、第２の流れ口群１４６を画成する。任意の数の第２の流れ口１４２がそれぞれの濾過体壁１５０の周囲に配置可能であり、第２の流れ口１４２は任意適切なサイズおよび／または構成であり得る（例えば、支持体１５４の望ましい数／配置およびＭＥＭＳ濾過体モジュール１２４を通過する望ましい流れに適合するように）。濾過領域１２６は複数の第２の流れ口群１４６を使用する。所与の第２の流れ口１４２は、濾過領域１２６の場合では、２つ以上の第２の流れ口群１４６に関連し得ることが理解されるべきである。
【００８１】
それぞれの濾過体壁１５０が幾つかの第２の流れ口１４２に関連する。それぞれの濾過体壁１５０に幾つかの第２の流れ口１４２を設けると、任意特定の第２の流れ口１４２が目詰まりすることによって所与の濾過体壁１５０に及ぶ影響が低減する。実際に、濾過領域１２６によって使用されるそれぞれの第２の流れ口群１４６を使用して任意の濾過体トラップ室１４８ａに流れを供給できるし、またはそれから流れを受け入れできることが理解されるべきである。すなわち、特定の第２の流れ口群１４６のそれぞれの第２の流れ口１４２は目詰まりする恐れがあるが、様々な第２の流れ口群１４６からの１つまたは複数の第２の流れ口１４２を含む他の第２の流れ口１４２によって、流れは、関連する濾過体壁１５０の流体トラップ室１４８ａから依然として受け入れ可能であるし、またはそれに誘導され得る。利用可能な第２の流れ口１４２の数を減少させると、当然のことであるが、濾過体モジュール１２４を通過する流量が減少し得る。
【００８２】
上述のことに基づいて、第１の流れ口１３６、第２の流れ口１４２、濾過体壁１５０、および支持体１５４は、反復模様で濾過体モジュール１２４の濾過領域１２６全体にわたって分布されることが理解されるべきである。このような模様を特徴付ける１つの方式は、第１の流れ口群１３６、濾過体壁１５０、および支持体１５４の幾つかを複数の横列１５８および複数の縦列１６０として配置し、同じ様態で複数の第２の流れ口１４２をそれぞれの横列１５８中の濾過体壁１５０の周囲に配置するものである。これらの横列１５８は、縦列１６０と同様に、平行関係で配置され、また等間隔に離間される。横列１５８は、縦列１６０が延びる方向と直交する方向に延びる。任意の数の横列１５８および縦列１６０を濾過領域１２６内で使用することができる。第１の流れ口群１３６は、それぞれの横列１５８および縦列１６０において等間隔に離間され、隣接する第１の流れ口群１３６間の同じ間隔が、それぞれの横列１５８および縦列１６０において使用される。濾過体壁１５０もそれぞれの横列１５８および縦列１６０において等間隔に離間され、隣接する濾過体壁１５０間の同じ間隔がそれぞれの横列１５８および縦列１６０において使用される。支持体１５４もそれぞれの横列１５８および縦列１６０において等間隔に離間され、隣接する支持体１５４間の同じ間隔がそれぞれの横列１５８および縦列１６０において使用される。
【００８３】
上で留意した横列１５８のそれぞれの間には支持体１５４の複数の横列１６２も存在し、かつ上で留意した縦列１６０のそれぞれの間には支持体１５４の複数の縦列１６４も存在する。そのために、これらの横列１６２は、縦列１６４と同様に、平行関係で配置され、また等間隔に離間される。支持体１５４はそれぞれの横列１６２および縦列１６４において等間隔に離間される。上述の模様が濾過領域１２６内で必ずしも完全に反復されない場合もあり得ることが理解されるべきである。
【００８４】
図５Ａ〜Ｅは、濾過領域１７０を有するＭＥＭＳ濾過体モジュール１６６の１つの実施形態を例示する。濾過体モジュール１６６は第１の薄膜１７４および第２の薄膜１８４を含み、これらは離間関係でまたは異なる高さに配置される。これらの薄膜１７４、１８４のそれぞれは、濾過領域１７０およびその周辺領域（図示しないが、図２Ａ〜ＦのＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の周辺領域４２にしたがう）においてＭＥＭＳ濾過体モジュール１２４の極端を画成する。したがって、薄膜１７４、１８４は、ＭＥＭＳ濾過体モジュール１６６が使用するそれぞれの環状封止体６６によって、それらの周辺領域のそれぞれが相互連結され、かつその周囲で支持される。したがって、薄膜１７４、１８４は、薄膜７０、４６に関して上で論じた同じ様態で「連続的な」構造である。
【００８５】
第１の薄膜１７４は複数の第１の流れ口１７８を含み、第２の薄膜１８４は複数の第２の流れ口１８８を含む。すべての第１の流れ口１７８およびすべての第２の流れ口１８８は、濾過体モジュール１６６の濾過領域１７０内にのみ配置される（すなわち、どれも周辺領域４２内には存在しない）。複数の支持体１９６が、濾過領域１７０内で第１の薄膜１７４と第２の薄膜１８４との間に延在し、これらを構造的に相互連結する。これらの支持体１９６は、反復模様で濾過領域１７０全体にわたって分布され、相互に離間関係で配置され、さらに任意適切な構成であり得る。複数の濾過体壁１９２が、第２の薄膜１８４に付着され、そこから少なくとも第１の薄膜１７４（の方向に）向かって延びる。任意の数の濾過体壁１９２をＭＥＭＳ濾過体モジュール１６６の濾過領域１７０内で使用することができる。任意の数の支持体１９６も使用可能であるが、支持体１９６の数および位置は、支持体７８に関して上で論じた特徴付けによって決まる。支持体１９６は、幾つかの追加的な特徴付けによっても決まる。１つは、単一の支持体１９６がそれぞれの濾過体壁１９２内側の中心位置に位置決めされることである。もう１つは、隣接する濾過体壁１９２間の空間に支持体１９６が存在しないことである。
【００８６】
それぞれの濾過体壁１９２は環状構成を有する。このような文脈における「環状」とは、濾過体壁１９２の末端（第２の薄膜１８４と境界面を接する濾過体壁１９２の端部に対向する端部）から見るとき、それぞれの濾過体壁１９２が閉じた周辺を有することを意味する。換言すれば、それぞれの濾過体壁１９２は、任意適切な通路に沿ってある一定の基準軸回りに完全に３６０度延在する。それぞれの濾過体壁１９２は、例示の実施形態では円形の環状区域を有するが、濾過体壁１９２が留意した環状区域を実現するように任意の構成を利用し得る（例えば、長方形、正方形、楕円形、三角形）。それぞれの濾過体壁１９２はまた、第１の薄膜１７４まで完全に到達することはない。完全に到達するのではなく、それぞれの濾過体壁１９２の末端と第１の薄膜１７４との間に濾過体トラップまたは濾過体トラップ間隙１９４が存在する。それぞれの濾過体壁１９２が環状であるので、その濾過体トラップ間隙１９４も同様に環状である。それぞれの濾過体壁１９２はまた、様々な第１の流れ口１７８および第２の流れ口１８８からずれており、それによってＭＥＭＳ濾過体モジュール１６６を通過する流れの方向に少なくとも１つの変化を引き起こすことに留意されたい。
【００８７】
流れは、濾過機能を与えるためにそれぞれの濾過体トラップ間隙１９４に通して誘導され得る。この流れの中で特定の濾過体トラップ間隙１９４の高さよりも大きな成分（例えば、ある一定のサイズの微粒子、細胞）はいずれも、典型的には、対応する濾過体壁１９２および第１の薄膜１７４によって（すなわち、濾過体トラップ間隙１９４を通過し得ないことによって）纏めて保持される。それぞれの濾過体トラップ間隙１９４は、ＭＥＭＳ濾過体モジュール１６６の場合では環状であるので、その場合に特定の濾過体トラップ間隙１９４を通過し得ないことによって「トラップされる」成分はいずれも濾過体トラップ間隙１９４を完全に「目詰まりさせる」ことはない。それぞれの濾過体壁１９２に関連する環状濾過体トラップ間隙１９４を有することによって、ＭＥＭＳ濾過体モジュール１６６を通過する望ましい流量も与えられる。様々な支持体１９６の数および位置の選択は、それぞれの濾過体トラップ間隙１９４の高さが、濾過領域１７０全体にわたって、濾過体トラップ間隙５８に関連して上で論じた同じ様態で、濾過体モジュール１７０の設計が意図する最大流量のわずかな許容範囲内に維持されるように行われることが好ましい。
【００８８】
流れは、第２の流れ口１８８を通過するか（この場合では、ＭＥＭＳ濾過体モジュール１６６から流出する流れが第１の流れ口１７８を通過することになる）、または第１の流れ口１７８を通過して（この場合では、ＭＥＭＳ濾過体モジュール１６６を流出する流れが第２の流れ口１８８を通過することになる）ＭＥＭＳ濾過体モジュール１６６に進入し得る。いずれの場合も、流れは、特定の濾過体壁１９２に関連する濾過体トラップ間隙１９４を通過しようとする前に、第１の薄膜１７４から第２の薄膜１８４まで延在する空間１９０ａまたは空間１９０ｂの中へ誘導されることになる。濾過領域１７０内のこれらの空間１９０ａ、１９０ｂのそれぞれを濾過体トラップ室１９０ａ、１９０ｂとして特徴付けることができる。それぞれの濾過体トラップ室１９０ａ、１９０ｂの高さは第１の薄膜１７４と第２の薄膜１８４との間の間隔に対応し、この間隔は濾過体トラップ間隙１９４の高さよりも大きい。それぞれの環状濾過体壁１９２は濾過体トラップ室１９０ａを画成し、他方で様々な濾過体壁１９２間の空間は単一の濾過体トラップ室１９０ｂを画成する。
【００８９】
それぞれの濾過体トラップ室１９０ａの容積は関連する第１の流れ口１７８のいずれの容積よりも大きく、濾過体トラップ室１９０ｂの容積は関連する第２の流れ口１８８のいずれの容積よりも大きい容積であり得るが、但し、このようなことは要件ではない。流れが第１の流れ口１７８を通過してＭＥＭＳ濾過体モジュール１６６に進入しようが、あるいは第２の流れ口１８８を通過してそれに進入しようが、流れは、濾過体トラップ室１９０ａまたは濾過体トラップ室１９０ｂを通過し、次いで濾過体トラップ間隙１９４を通過して、次に、濾過体トラップ室１９０ａまたは濾過体トラップ室１９０ｂの他方を通過することになる。具体的には、第２の流れ口１８８を通過してＭＥＭＳ濾過体モジュール１６６に進入する流れが、濾過体トラップ室１９０ｂに流入し、対応する濾過体トラップ間隙１９４を通過して、対応する濾過体トラップ室１９０ａに流入し、次いで第１の流れ口１７８を通過してＭＥＭＳ濾過体モジュール１６６から流出することになる。この逆は、第１の流れ口１７８を通過してＭＥＭＳ濾過体モジュール１６６に進入する流れの場合である。
【００９０】
複数の第１の流れ口１７８はそれぞれの濾過体トラップ室１９０ａ（単一の濾過体壁１９２によって画成された周辺を有する）と流体的に相互連結し、それらの対応する濾過体壁１９２の内側に配置されて、第１の流れ口群１８２を画成する。任意の数の第１の流れ口１７８がそれぞれの第１の流れ口群１８２の中に含まれてもよく、第１の流れ口１７８は任意適切なサイズおよび／または構成であり得る（例えば、支持体１９６の望ましい数／配置およびＭＥＭＳ濾過体モジュール１６６を通過する望ましい流れに適合するように）。濾過領域１７０は複数の第１の流れ口群１８２を使用する。それによって、それぞれの濾過体壁１９２は専用の第１の流れ口群１８２を有する。それぞれの濾過体壁１９２に幾つかの第１の流れ口１７８を設けると、任意特定の第１の流れ口１７８が目詰まりする影響が低減する。特定の濾過体壁１９２に関連する第１の流れ口１７８の数が減少すると、この第１の濾過体壁１９２によって画成された対応する濾過体トラップ室１９０ａを通過する流量を減少させ得るが、その関連する第１の流れ口１７８のすべてが目詰まりしない限り、そのような数の減少は濾過体壁１９２をその濾過機能に関して完全に不能にすることはない。
【００９１】
濾過領域１７０内の第２の薄膜１８４に関連する様々な第２の流れ口１８８が、第２の薄膜１８４と境界を接しかつそれから延びる様々な濾過体壁１９２間の空間に配置される。複数の第２の流れ口１８８が、それぞれの濾過体壁１９２（を越えて）外側にかつその周囲に配置される。例示の実施形態では、６つの第２の流れ口１８８がそれぞれの濾過体壁１９２の周囲に配置され、１つの第２の流れ口１８８がそれぞれの隣接する３つ組の濾過体壁１９２間の中心に配置される。任意の数の第２の流れ口１８８がそれぞれの濾過体壁１９２の周囲に配置可能であり、第２の流れ口１８８は任意適切なサイズおよび／または構成であり得る（例えば、支持体１９６の望ましい数／配置およびＭＥＭＳ濾過体モジュール１６６を通過する望ましい流れに適合するように）。それによって、それぞれの濾過体壁１９２も幾つかの第２の流れ口１８８に関連する。それぞれの濾過体壁１９２に幾つかの第２の流れ口１８８を設けると、任意特定の第２の流れ口１８８が目詰まりすることによって所与の濾過体壁１９２が受ける影響が低減する。実際に、濾過領域１７０によって使用される任意特定の第２の流れ口１８８を使用して任意の濾過体トラップ室１９０ａに流れを供給できるし、またはそれから流れを受け入れできることが理解されるべきである。すなわち、特定の濾過体壁１９２の周囲に配置された第２の流れ口１８８のそれぞれは目詰まりする恐れがあるが、流れは、この特定の濾過体壁１９２が周囲に配置されている対応する濾過体トラップ室１９０ａから依然として受け入れられるし、またはそれに誘導され得る。利用可能な第２の流れ口１８８の数を減少させると、当然のことであるが、濾過体モジュール１６６を通過する流量が減少し得る。
【００９２】
上述のことに基づいて、第１の流れ口１７８、第２の流れ口１８８、濾過体壁１９２、および支持体１９６は、反復模様で濾過体モジュール１６６の濾過領域１７０全体にわたって分布されることが理解されるべきである。このような模様を特徴付ける１つの方式は、第１の流れ口群１８２、濾過体壁１９２、および支持体１９６を複数の横列１９８として配置し、複数の第２の流れ口１８８を同じ様態でそれぞれの横列１９８中の濾過体壁１９２の周囲に配置するものである。これらの横列１９８は、平行関係に配置され、また等間隔に離間される。任意の数の横列１９８を濾過領域１７０内で使用することができる（例示の実施形態では４つ横列１９８）。第１の流れ口群１８２は、それぞれの横列１９８において等間隔に離間され、隣接する第１の流れ口群１８２間の同じ間隔が、それぞれの横列１９８おいて使用される。濾過体壁１９２もそれぞれの横列１９８において等間隔に離間され、隣接する濾過体壁１９２間の同じ間隔がそれぞれの横列１９８において使用される。支持体１９６もそれぞれの横列１９８において使用され、隣接する支持体支柱１９６間の同じ間隔がそれぞれの横列１９８において使用される。
【００９３】
隣接する横列１９８間に、第１の流れ口群１８２、濾過体壁１９２、および支持体１９６の「千鳥状」関係が存在する。具体的には、１つの横列１９８におけるそれぞれの第１の流れ口群１８２が、隣接する横列１９８における第１の流れ口群１８２の隣接対の間の「中間」に配置され、１つの横列１９８におけるそれぞれの濾過体壁１９２が、隣接する横列１９８における濾過体壁１９２の隣接対の間の「中間」に配置され、さらに１つの横列１９８におけるそれぞれの支持体１９６が、隣接する横列１９８における支持体１９６の隣接対の間の「中間」に配置される。１つの横列１９８における第１の流れ口群１８２、濾過体壁１９２、および支持体１９６が、それぞれの隣接する横列１９８における第１の流れ口群１８２、濾過体壁１９２、および支持体１９６と１８０度「位相ずれ」していると説明することも可能である。上で留意した模様が必ずしも完全に反復されない場合もあり得ることが理解されるべきである。別の随意選択肢は、第１の流れ口群１８２および濾過体壁１９２が複数の横列および複数の縦列として配置され得ることであるが、その場合には、図５Ａ〜Ｅに関して例示した模様は濾過領域１７０内の濾過体壁１９２の密度を増大させるが、横列は縦列が延びる方向に対して垂直に延びる（例示しないが、図４Ａ〜Ｆの実施形態の模様に類似する）。
【００９４】
図６Ａ〜Ｄは、濾過領域２０４を有するＭＥＭＳ濾過体モジュール２００の１つの実施形態を例示する。濾過体モジュール２００は第１の薄膜２０８および第２の薄膜２２０を含み、これらは離間関係でまたは異なる高さに配置される。これらの薄膜２０８、２２０のそれぞれは、濾過領域２０４およびその周辺領域（図示しないが、図２Ａ〜ＦのＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の周辺領域４２にしたがう）においてＭＥＭＳ濾過体モジュール２００の極端を画成する。したがって、薄膜２０８、２２０は、ＭＥＭＳ濾過体モジュール２００が使用するそれぞれの環状封止体６６によって、それらの周辺領域のそれぞれが相互連結され、かつその周囲で支持される。したがって、薄膜２０８、２２０は、薄膜７０、４６に関して上で論じた同じ様態で「連続的な」構造である。
【００９５】
第１の薄膜２０８は複数の第１の流れ口２１２を含み、第２の薄膜２２０は複数の第２の流れ口２２４を含む。任意の数の第１の流れ口２１２および第２の流れ口２２４が使用可能であり、これらは任意適切なサイズおよび／または構成であり得る（例えば、支持体２３２の望ましい数／配置およびＭＥＭＳ濾過体モジュール２００を通過する望ましい流れに適合するように）。すべての第１の流れ口２１２およびすべての第２の流れ口２２４は、濾過体モジュール２００の濾過領域２０４内にのみ配置される（すなわち、周辺領域４２内ではない）。複数の支持体２３２が、濾過領域２０４内で第１の薄膜２０８と第２の薄膜２２０との間に延在し、これらを構造的に相互連結する。これらの支持体２３２は、反復模様で濾過領域２０４全体にわたって分布され、相互に離間関係で配置され、さらに任意適切な構成であり得る。濾過体壁格子２２７が、複数の環状濾過体壁区分２２８によって画成され、第２の薄膜２２０に付着されて、そこから少なくとも第１の薄膜２０８（の方向に）向かって延びる。任意の数の濾過体壁区分２２８を使用することができる。任意の数の支持体２３２も使用可能であるが、支持体２３２の数および位置は、支持体７８に関して上で論じた特徴付けによって決まる。支持体２３２は、幾つかの追加的な特徴付けによっても決まる。１つは、単一の支持体２３２または１対の支持体２３２がそれぞれの環状濾過体壁区分２２８の内側に配置されるものである。もう１つは、単一の支持体２３２が、環状濾過体壁区分２２８（それによって囲まれた第２の流れ口２２４を有さないか、またはそれによって囲まれた１対の第２の流れ口２２４を有する）のそれぞれの内部に配置されるものである。さらにもう１つは、１対の支持体２３２が、それぞれの環状濾過体壁区分２２８（それによって囲まれた単一の第２の流れ口２２４を有する）の内部に配置されるものである。
【００９６】
それぞれの濾過体壁区画２２８は環状構成を有する。このような文脈における「環状」とは、濾過体壁格子２２７の末端（第２の薄膜２２０と境界面を接する濾過体壁格子２２７の端部に対向する端部）から見るとき、それぞれの濾過体壁区分２２８が閉じた周辺を有することを意味する。換言すれば、それぞれの濾過体壁区分２２８は、任意適切な通路に沿ってある一定の基準軸回りに完全に３６０度延在する。それぞれの濾過体壁区分２２８は、例示の実施形態では長方形の環状区域を有するが、濾過体壁区分２２８が留意した環状区域を実現するために、任意の形状を利用し得る（例えば、正方形、円形、楕円形、三角形）。濾過体壁格子２２７（したがって、それぞれの環状濾過体壁区分２２８）はまた、第１の薄膜２０８まで完全に到達することはない。完全に到達するのではなく、濾過体壁格子２２７（したがって、それぞれの環状濾過体壁区分２２８）の末端と第１の薄膜２０８との間に濾過体トラップまたは濾過体トラップ間隙２３０が存在する。それぞれの濾過体壁区分２２８が環状であるので、その対応する濾過体トラップ２３０も同様に環状である。それぞれの濾過体壁区分２２８はまた、様々な第１の流れ口２１２および第２の流れ口２２４からずれており、それによってＭＥＭＳ濾過体モジュール２００を通過する流れの方向に少なくとも１つの変化を引き起こすことに留意されたい。
【００９７】
流れは、濾過機能を与えるためにそれぞれの濾過体トラップ間隙２３０に通して誘導され得る。この流れの中で特定の濾過体トラップ間隙２３０の高さよりも大きな成分（例えば、ある一定のサイズの微粒子、細胞）はいずれも、典型的には、対応する濾過体壁区分２２８および第１の薄膜２０８によって（すなわち、濾過体トラップ間隙２３０を通過し得ないことによって）纏めて保持される。ＭＥＭＳ濾過体モジュール２００の場合では、それぞれの濾過体トラップ間隙２３０は環状であるので、その場合に特定の濾過体トラップ間隙２３０を通過し得ないことによって「トラップされる」成分はいずれも濾過体トラップ間隙２３０を完全に「目詰まりさせる」ことはない。それぞれの濾過体壁区分２２８に関連する環状濾過体トラップ間隙２３０を有することによって、ＭＥＭＳ濾過体モジュール２００を通過する望ましい流量も与えられる。様々な支持体２３２の数および位置の選択は、それぞれの濾過体トラップ間隙２３０の高さが、濾過領域２０４全体にわたって、濾過体トラップ間隙５８に関連して上で論じた同じ様態で、濾過体モジュール２００の設計が意図する最大流量のわずかな許容範囲内に維持されるように行われることが好ましい。
【００９８】
流れは、第２の流れ口２２４を通過するか（この場合では、ＭＥＭＳ濾過体モジュール２００から流出する流れが第１の流れ口２１２を通過することになる）、または第１の流れ口２１２を通過して（この場合では、ＭＥＭＳ濾過体モジュール２００を流出する流れが第２の流れ口２２４を通過することになる）ＭＥＭＳ濾過体モジュール２００に進入し得る。いずれの場合も、流れは、特定の濾過体壁区分２２８に関連する濾過体トラップ間隙２３０を通過しようとする前に、第１の薄膜２０８から第２の薄膜２２０まで延在する空間２２６の中へ誘導されることになる。濾過体領域２０４内のこれらの空間２２６のそれぞれは、濾過体トラップ室２２６として特徴付けられ、環状濾過体壁区分２２８によって区切られている。それぞれの濾過体トラップ室２２６の高さは第１の薄膜２０８と第２の薄膜２２０との間の間隔に対応し、この間隔は濾過体トラップ間隙２３０の高さよりも大きい。それぞれの濾過体トラップ室２６の容積は、関連する第１の流れ口２１２のいずれの容積よりも大きく、さらには関連する第２の流れ口２２４のいずれの容積よりも大きい容積であり得るが、但し、このようなことは要件ではない。流れが第１の流れ口２１２を通過してＭＥＭＳ濾過体モジュール２００に進入しようが、あるいは第２の流れ口２２４を通過してそれに進入しようが、流れは、濾過体トラップ室２２６を通過し、次いで濾過体トラップ間隙２３０を通過して、次に別の濾過体トラップ室２２６を通過することになる。ＭＥＭＳ濾過体モジュール２００の場合では、それぞれの環状濾過体壁区分２２８が同じサイズであるので、それぞれの濾過体トラップ室２２６の周辺または外部境界も同様に同じである。
【００９９】
特定の濾過体トラップ室２２６に関連して少なくなくとも１つの第１の流れ口２１２が存在するか、または同じ濾過体トラップ室２２６に関連して少なくとも１つの第２の流れ口２２４が存在するように、複数の第１の流れ口２１２は複数の第２の流れ口２２４に対して配置される。すなわち、濾過体トラップ室２２６には、それに関連して１つまたは複数の第１の流れ口２１２と１つまたは複数の第２の流れ口２２４とを両方とも有するものは存在しない。特定の濾過体トラップ室２２６が、それに関連する第１の流れ口２１２を有さない（第１の薄膜２０８上へと向かう関連する濾過体壁区分２２８の突出部が第１の流れ口２１２をいずれも含まない）場合では、支持体２３２の数に応じて、それに関連する単一の第２の流れ口２２４、またはそれに関連する１対の第２の流れ口２２４が存在することになる（単一の支持体２３２が濾過体トラップ室２２６の中に配置されていれば、そのそれぞれの側に１つの第２の流れ口２２４が配置され、１対の支持体２３２が濾過体トラップ室２２６の中に配置されていれば、それらの間に単一の第２の流れ口２２４が延在することになる）。特定の濾過体トラップ室２２６が、それに関連する第２の流れ口２２４を有さない（関連する濾過体壁区分２２８が第２の流れ口２２４をいずれも含まない）場合では、支持体２３２の数に応じて、それに関連する単一の第１の流れ口２１２、またはそれに関連する１対の第１の流れ口２１２が存在することになる（単一の支持体２３２が濾過体トラップ室２２６の中に配置されていれば、そのそれぞれの側に１つの第１の流れ口２１２が配置され、１対の支持体２３２が濾過体トラップ室２２６の中に配置されていれば、それらの間に単一の第１の流れ口２１２が延在することになる）。第１の流れ口２１２および第２の流れ口２２４は、その中にトラップされた単一の成分がこの流れ口を完全に目詰まりさせることがないようにそれぞれに細長い。
【０１００】
上述のことに基づいて、第１の流れ口２１２、第２の流れ口２２４、濾過体壁区分２２８、および支持体２３２は、反復模様で濾過体モジュール２００の濾過領域２０４全体にわたって分布されることが理解されるべきである。このような模様を特徴付ける１つの方式は、第１の流れ口２１２、第２の流れ口２２４、濾過体壁区分２２８、および支持体２３２を複数の横列２３４および複数の縦列２３６として配置することである。これらの横列２３４は、縦列２３６と同様に、相互に対して平行関係に配置される。任意の数の横列２３４および縦列２３６を濾過領域２０４内で使用することができる。個々の横列２３４中の模様は、支持体２３２の数が横列２３４の横方向に１つと２つの間を交互するものである（すなわち、特定の横列２３４中の１つの縦列２３６は単一の支柱２３２を有し、その同じ横列中の隣接する１つの縦列２３６はそれぞれ２つの支持体２３２を有することになる）。個々の縦列２３６中の模様は、支持体２３２の数が１つと２つとの間を交互して縦列２３６内部を進行し、横列の２３４の対を通過するものである（すなわち、それぞれの縦列２３６の中では、それぞれが単一の支持体２３２を有する２つの横列２３４が存在し、その後にそれぞれが１対の支持体２３２を有する２つの横列２３４が続くことになる）。この模様は、必ずしも完全に反復されない場合もあり得ることが理解されるべきである。
【０１０１】
図７Ａ〜Ｅは、濾過領域２３８を有するＭＥＭＳ濾過体モジュール２３７の１つの実施形態を例示する。濾過体モジュール２３７は第１の薄膜２４２および第２の薄膜２５０を含み、これらは離間関係でまたは異なる高さに配置される（ＭＥＭＳ濾過体モジュール２３７の単一の濾過体壁２６２を示すのに必要なこれらの薄膜２４２、２５０の一部のみが示されている）。これらの薄膜２４２、２５０のそれぞれが、濾過領域２３８およびその周辺領域（図示しないが、図２Ａ〜ＦのＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の周辺領域４２にしたがう）における濾過体モジュール２３７の極端を画成する。したがって、薄膜２４２、２５０は、それらのそれぞれの周辺領域の周囲で、濾過体モジュール２３７が使用するそれぞれの環状封止体６６によって相互連結されかつ支持される。したがって、薄膜２４２、２５０は、薄膜７０、４６に関して上で論じた同じ様態で「連続的な」構造である。
【０１０２】
少なくとも１つの、典型的には複数の濾過体壁２６２が、第２の薄膜２５０に付着され、そこから少なくとも第１の薄膜２４２（の方向に）向かって延びる。任意の数の濾過体壁２６２を濾過体モジュール２３７の濾過領域２３８内で使用することができる。第１の薄膜２４２は、それぞれの濾過体壁２６２に関する第１の流れ口群２４８（それぞれが次に複数の第１の流れ口２４６を有する）を含み、第２の薄膜２５０は第２の流れ口群２５６（それぞれが次に複数の第２の流れ口２５４を有する）を含む。すべての第１の流れ口２４６およびすべての第２の流れ口２５４は、濾過体モジュール２３７の濾過領域２３８内にのみ配置される（すなわち、どれも周辺領域４２内には存在しない）。第１の支持体２７０が、それぞれの濾過体壁２６２に関連し、その対応する濾過体壁２６２内側の位置で、第１の薄膜２４２と第２の薄膜２５０との間に延在し、かつこれらを構造的に相互連結する。（任意の「環状」構成の）環状支持体２７６もそれぞれの濾過体壁２６２に関連し、その対応する濾過体壁２６２（を越えて）外側およびその周囲で、第１の薄膜２４２と第２の薄膜２５０との間に延び、かつそれらを構造的に相互連結する。したがって、単一の環状支持体２７６は、その対応する濾過体壁２６２の周囲で同心配置されることが好ましく、他方では単一の第１の支持体２７０が、その対応する環状支持体２７６および濾過体壁２６２に対して中心に配置される。それぞれの濾過体壁２６２に対して環状支持体２７６および第１の支持体２７０を使用しないで、それぞれの濾過体壁２６２に対して環状支持体２７６のみを使用することが可能である。
【０１０３】
それぞれの濾過体壁２６２は環状構成を有する。このような文脈における「環状」とは、濾過体壁２６２の末端（第２の薄膜２５０と境界面を接する濾過体壁２６２の端部に対向する端部）から見るとき、それぞれの濾過体壁２６２が閉じた周辺を有することを意味する。換言すれば、それぞれの濾過体壁２６２は、任意適切な通路に沿ってある一定の基準軸回りに完全に３６０度延在する。例示の実施形態では、それぞれの濾過体壁２６２は円形の環状区域を有するが、留意した環状区域を実現するために濾過体壁２６２には任意の構成（例えば、長方形、正方形、楕円形、三角形）が使用可能である。それぞれの濾過体壁２６２はまた、第１の薄膜２４２まで完全に到達することはない。完全に到達するのではなく、それぞれの濾過体壁２６２の末端と第１の薄膜２４２との間に濾過体トラップまたは濾過体トラップ間隙２６６が存在する。それぞれの濾過体壁２６２が環状であるので、その対応する濾過体トラップ間隙２６６も同様に環状である。それぞれの濾過体壁２６２はまた、様々な第１の流れ口２４６および第２の流れ口２５４からずれており、それによってＭＥＭＳ濾過体モジュール２３７を通過する流れの方向に少なくとも１つの変化を引き起こすことに留意されたい。
【０１０４】
流れは、濾過機能を与えるためにそれぞれの濾過体トラップ間隙２６６に通して誘導され得る。この流れの中で特定の濾過体トラップ間隙２６６の高さよりも大きな成分（例えば、ある一定のサイズの微粒子、細胞）はいずれも、典型的には、対応する濾過体壁２６２および第１の薄膜２４２によって（すなわち、濾過体トラップ間隙２６６を通過し得ないことによって）纏めて保持される。ＭＥＭＳ濾過体モジュール２３７の場合では、それぞれの濾過体トラップ間隙２６６が環状であるので、その場合に特定の濾過体トラップ間隙２６６を通過し得ないことによって「トラップされる」成分はいずれも濾過体トラップ間隙２６６を完全に「目詰まりさせる」ことはない。それぞれの濾過体壁２６２に関連する環状濾過体トラップ間隙２６６を有することによって、ＭＥＭＳ濾過体モジュール２３７を通過する望ましい流量も与えられる。様々な支持体２７０およびその対応する環状支持体２７６の数および位置の選択は、それぞれの濾過体トラップ間隙２６６の高さが、濾過領域２３８全体にわたって、濾過体トラップ間隙５８に関連して上で論じた同じ様態で、濾過体モジュール２３７の設計が意図する最大流量のわずかな許容範囲内に維持されるように行われることが好ましい。
【０１０５】
流れは、１つまたは複数の第２の流れ口群２５６を通過するか（この場合では、ＭＥＭＳ濾過体モジュール２３７から流出する流れが１つまたは複数の第１の流れ口群２４８を通過することになる）、または１つまたは複数の第１の流れ口群２４８を通過して（この場合では、ＭＥＭＳ濾過体モジュール２３７を流出する流れが１つまたは複数の第２の流れ口群２５６を通過することになる）ＭＥＭＳ濾過体モジュール２３７に進入し得る。いずれの場合も、流れは、特定の濾過体壁２６２に関連する濾過体トラップ間隙２６６を通過しようとする前に、第１の薄膜２４２から第２の薄膜２５０まで延在する空間２５８ａまたは空間２５８ｂの中へ誘導されることになる。濾過領域２３８内のこれらの空間２５８ａ、２５８ｂのそれぞれを濾過体トラップ室２５８ａまたは濾過体トラップ室２５８ｂとして特徴付けることができる。それぞれの濾過体トラップ室２５８ａ、２５８ｂの高さは第１の薄膜２４２と第２の薄膜２５０との間の間隔に対応し、この間隔はその対応する濾過体トラップ間隙２６６の高さよりも大きい。それぞれの濾過体トラップ室２５８ａの容積はその対応する第１の流れ口群２４８におけるそれぞれの第１の流れ口２４６の容積よりも大きく、それぞれの濾過体トラップ室２５８ｂの容積はその対応する第２の流れ口群２５６におけるそれぞれの第２の流れ口２５４の容積よりも大きい容積であり得るが、但し、このようなことは要件ではない。濾過体トラップ室２５８ａはその対応する第１の流れ口群２４８と直に流体連通し、濾過体トラップ室２５８ｂはその対応する第２の流れ口群２５６と直に流体連通する。したがって、流れが、１つまたは複数の第１の流れ口群２４８を通過してＭＥＭＳ濾過体モジュール２３７に進入しようが、あるいは１つまたは複数の第２の流れ口群２５６を通過してそれに進入しようが、流れは、濾過体トラップ室２５８ａまたは２５８ｂを通過し、次いで濾過体トラップ間隙２６６を通過して、次に対応する他の濾過体トラップ室２５８ａまたは２５８ｂを通過することになる。
【０１０６】
複数の第１の流れ口２４６が、それぞれの濾過体トラップ室２５８ａと流体的に相互連結して第１の流れ口群２４８を画成する。任意の数の第１の流れ口２４６がそれぞれの第１の流れ口群２４８の中に含まれてもよく、第１の流れ口２４６は任意適切なサイズおよび／または構成であり得る（例えば、支持体２７０、２７６の望ましい数／配置およびＭＥＭＳ濾過体モジュール２３７を通過する望ましい流れに適合するように）。濾過領域２３８は、この場合も複数の第１の流れ口群２４８を典型的に使用する。それによって、それぞれの濾過体壁２６２は専用の第１の流れ口群２４８を有する。それぞれの濾過体壁２６２に幾つかの第１の流れ口２４６を設けると、任意特定の第１の流れ口２４６が目詰まりする影響が低減する。特定の濾過体壁２６２に関連する第１の流れ口２４６の数が減少すると、その対応する濾過体トラップ室２５８ａを通過する流量を減少させ得るが、それに関連する第１の流れ口２４６のすべてが目詰まりしない限り、そのような数の減少は濾過体壁２６２をその濾過機能に関して完全に不能にすることはない。
【０１０７】
複数の第２の流れ口２５４が、それぞれの濾過体トラップ室２５８ｂと流体的に相互連結して第２の流れ口群２５６を画成する。任意の数の第２の流れ口２５４がそれぞれの第２の流れ口群２５６の中に含まれてもよく、第２の流れ口２５４は任意適切なサイズおよび／または構成であり得る（例えば、支持体２７０、２７６の望ましい数／配置およびＭＥＭＳ濾過体モジュール２３７を通過する望ましい流れに適合するように）。濾過領域２３８は、この場合も複数の第２の流れ口群２５４を典型的に使用する。それによって、それぞれの濾過体壁２６２は専用の第２の流れ口群２５６を有する。それぞれの濾過体壁２６２に幾つかの第２の流れ口２５４を設けると、任意特定の第２の流れ口２５４が目詰まりする影響が低減する。特定の濾過体壁２６２に関連する第２の流れ口２５４の数が減少すると、それに対応する濾過体トラップ室２５８ｂを通過する流量を減少させるが、その関連する第２の流れ口２５４のすべてが目詰まりしない限り、そのような数の減少は濾過体壁２６２をその濾過機能に関して完全に不能にすることはない。
【０１０８】
典型的には、複数の濾過体壁２６２、その対応する第１の支持体２７０、その対応する環状支持体２７６、第１の流れ口群２４８、および第２の流れ口群２５６が、適切な反復模様でＭＥＭＳ濾過体モジュール２３７の濾過領域２３８全体にわたって分布される。このような模様の１つは、図５Ａ〜ＥのＭＥＭＳ濾過体モジュール１６６によって使用されたものである（そこでは濾過領域２３８は、それぞれが複数の等間隔の濾過体壁２６２を有する複数の平行な横列を使用し、かつ、そこでは隣接横列の濾過体壁２６２は、任意の１つまたは複数の隣接する横列中の濾過体壁２６２と千鳥状または１８０度位相ずれになる）。このような模様のもう１つは、図４Ａ〜ＥのＭＥＭＳ濾過体モジュール１２４によって使用されたものである（そこでは濾過領域２３８は、それぞれが複数の等間隔の濾過体壁２６２を有する複数の平行な横列ばかりでなく、それぞれが複数の等間隔の濾過体壁２６２を有する複数の平行な縦列も使用しており、横列は縦列に対して垂直に延びる）。
【０１０９】
図８Ａ〜Ｄは、濾過領域２８０を有するＭＥＭＳ濾過体モジュール２７８の１つの実施形態を例示する。ＭＥＭＳ濾過体モジュール２７８は第１の薄膜２８４および第２の薄膜２９６を含み、これらは離間関係でまたは異なる高さに配置される。これらの薄膜２８４、２９６のそれぞれが、濾過領域２８０およびその周辺領域（図示しないが、図２Ａ〜ＦのＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の周辺領域４２にしたがう）における濾過体モジュール２７８の極端を画成する。したがって、薄膜２８４、２９６は、それらのそれぞれの周辺領域の周囲で、濾過体モジュール２７８が使用するそれぞれの環状封止体６６によって相互連結されかつ支持される。したがって、薄膜２８４、２９６は、薄膜７０、４６に関して上で論じた同じ様態で「連続的な」構造である。
【０１１０】
第１の薄膜２８４は複数の第１の流れ口２８８を含み、第２の薄膜２９６は複数の第２の流れ口３００を含む。任意の数の第１の流れ口２８８および第２の流れ口３００が使用可能であり、これらの流れ口は任意適切なサイズおよび／または構成であり得る（例えば、支持体３１６の望ましい数／配置およびＭＥＭＳ濾過体モジュール２７８を通過する望ましい流れに適合するように）。すべての第１の流れ口２８８およびすべての第２の流れ口３００は、濾過体モジュール２７８の濾過領域２８０内のみに配置される（すなわち、どれも周辺領域４２内には存在しない）。複数の支持体３１６が、濾過領域２８０内で第１の薄膜２８４と第２の薄膜２９６との間に延在し、かつこれらを構造的に相互連結する。これらの支持体３１６は、反復模様で濾過領域２８０全体にわたって分布され、相互に離間関係で配置され、さらに任意適切な構成であり得る。濾過体壁格子３０６が、複数の環状濾過体壁区分３０８によって画成され、第２の薄膜２９６に付着されて、そこから少なくとも第１の薄膜２８４（の方向に）向かって延びる。任意の数の濾過体壁区分３０８が使用可能である。任意の数の支持体３１６も使用可能であるが、支持体３１６の数および位置は、支持体７８に関して上で論じた特徴付けによって決まる。支持体３１６は、幾つかの追加的な特徴付けによっても決まる。１つは、単一の支持体３１６または１対の支持体支柱３１６がそれぞれの環状濾過体壁区分３０８の内側に配置されるものである。もう１つは、単一の支持体３１６が、１対の第２の流れ口３００を取り囲むそれぞれの環状濾過体壁区分３０８の内部に配置され、第１の流れ口２８８が、第１の薄膜２８４の上へ向かう環状濾過壁区分３０８の突出部によって画成される領域内に含まれていないものである。もう１つは、１対の支持体３１６が、第２の流れ口３００を取り囲んでいないそれぞれの環状濾過体壁区分３０８の内部に配置され、１対の第１の流れ口２８８が、第１の薄膜２８４の上へ向かう環状濾過壁区分３０８の突出部によって画成される領域内に含まれているものである。
【０１１１】
それぞれの濾過体壁区分３０８は環状構成を有する。このような文脈における「環状」とは、濾過体壁格子３０６の末端（第２の薄膜２９６と境界面を接する濾過体壁格子３０６の端部に対向する端部）から見るとき、それぞれの濾過体壁区分３０８が閉じた周辺を有することを意味する。換言すれば、それぞれの濾過体壁区分３０８は、任意適切な通路に沿ってある一定の基準軸回りに完全に３６０度延在する。それぞれの濾過体壁区分３０８は、例示の実施形態では長方形の環状区域を有するが、濾過体壁区分３０８が留意した環状区域を実現するために任意の構成を利用し得る（例えば、正方形、円形、楕円形、三角形）。濾過体壁格子３０６（したがって、それぞれの環状濾過体壁区分３０８）はまた、第１の薄膜２８４まで完全に到達することはない。完全に到達するのではなく、濾過体壁格子３０６（したがって、それぞれの環状濾過体壁区分３０８）の末端と第１の薄膜２８４との間に濾過体トラップまたは濾過体トラップ間隙３１２が存在する。それぞれの濾過体壁区分３０８が環状であるので、それに対応する濾過体トラップ３１２も同様に環状である。それぞれの濾過体壁区分３０８はまた、様々な第１の流れ口２８８および第２の流れ口３００からずれており、それによってＭＥＭＳ濾過体モジュール２７８を通過する流れの方向に少なくとも１つの変化を引き起こすことに留意されたい。
【０１１２】
流れは、濾過機能を与えるためにそれぞれの濾過体トラップ間隙３１２に通して誘導され得る。この流れの中で特定の濾過体トラップ間隙３１２の高さよりも大きな成分（例えば、ある一定のサイズの微粒子、細胞）はいずれも、典型的には、対応する濾過体壁区分３０８および第１の薄膜２８４によって（すなわち、濾過体トラップ間隙３１２を通過し得ないことによって）纏めて保持される。それぞれの濾過体トラップ間隙３１２が、ＭＥＭＳ濾過体モジュール２７８の場合では環状であるので、その場合に特定の濾過体トラップ間隙３１２を通過し得ないことによって「トラップされる」成分はいずれも、濾過体トラップ間隙３１２を完全に「目詰まりさせる」ことはない。それぞれの濾過体壁区分３０８に関連する環状濾過体トラップ間隙３１２を有することによって、ＭＥＭＳ濾過体モジュール２７８を通過する望ましい流量も与えられる。様々な支持体３１６の数および位置の選択は、それぞれの濾過体トラップ間隙３１２の高さが、濾過領域２８０全体にわたって、濾過体トラップ間隙５８に関連して上で論じた同じ様態で、ＭＥＭＳ濾過体モジュール２７８の設計が意図する最大流量のわずかな許容範囲内に維持されるように行われることが好ましい。
【０１１３】
流れは、第２の流れ口３００を通過するか（この場合では、ＭＥＭＳ濾過体モジュール２７８から流出する流れが第１の流れ口２８８を通過することになる）、または第１の流れ口２８８を通過して（この場合では、ＭＥＭＳ濾過体モジュール２７８を流出する流れが第２の流れ口３００を通過することになる）ＭＥＭＳ濾過体モジュール２７８に進入し得る。いずれの場合も、流れは、特定の濾過体壁区分３０８に関連する濾過体トラップ間隙３１２を通過しようとする前に、第１の薄膜２８４から第２の薄膜２９６まで延在する空間３０４の中へ誘導されることになる。濾過領域２８０内のこれらの空間３０４のそれぞれは、濾過体トラップ室３０４として特徴付けることが可能であり、環状濾過体壁区分３０８によって区切られる。それぞれの濾過体トラップ室３０４の高さは第１の薄膜２８４と第２の薄膜２９６との間の間隔に対応し、この間隔は濾過体トラップ間隙３１２の高さよりも大きい。それぞれの濾過体トラップ室３０４の容積は関連する第１の流れ口２８８のいずれの容積よりも大きく、さらには関連する第２の流れ口３００のいずれの容積よりも大きい容積であり得るが、但し、このようなことは要件ではない。流れが第１の流れ口２８８を通過してＭＥＭＳ濾過体モジュール２７８に進入しようが、あるいは第２の流れ口３００を通過してそれに進入しようが、流れは、濾過体トラップ室３０４を通過し、次いで濾過体トラップ間隙３１２を通過して、次に別の濾過体トラップ室３０４を通過することになる。それぞれの環状濾過体壁区分３０８は、濾過体モジュール２７８の場合では同じサイズであるので、それぞれの濾過体トラップ室３０４の周辺または境界も同様に同じである。
【０１１４】
特定の濾過体トラップ室３０４に関連する少なくなくとも１つの第１の流れ口２８８が存在するか、または同じ濾過体トラップ室３０４に関連する少なくとも１つの第２の流れ口３００が存在するように、複数の第１の流れ口２８８は複数の第２の流れ口３００に対して配置される。すなわち、濾過体トラップ室３０４には、それに関連して１つまたは複数の第１の流れ口２８８と１つまたは複数の第２の流れ口３００とを両方とも有するものは存在しない（図８Ｃおよび８Ｄを参照されたい。そこでは濾過体壁格子３０６の区分Ｓ１が、図８Ｃ〜８Ｄのそれぞれにおける基準枠として識別されている）。特定の濾過体トラップ室３０４が、それに関連する第１の流れ口２８８を有さない（第１の薄膜２０８上へ向かう関連する濾過体壁区分３０８の突出部が第１の流れ口２８８をいずれも含まない）場合には、例示の実施形態では、それに関連する１対の第２の流れ口３００が存在することになる。特定の濾過体トラップ室３０４が、それに関連する第２の流れ口３００を有さない場合では（関連する濾過体壁区分３０８が第２の流れ口３００をいずれも含まない場合）、例示の実施形態（第１の薄膜２８４の上へ向かう関連する濾過体壁区分３０８の突出部が１対の第１の流れ口２８８を含む）では、それに関連する１対の第１の流れ口２８８が存在する。第１の流れ口２８８および第２の流れ口３００は、その中にトラップされた単一の成分がこれらの流れ口を完全に目詰まりさせることがないようにそれぞれ細長い。
【０１１５】
上述のことに基づいて、第１の流れ口２８８、第２の流れ口３００、濾過体壁区分３０８、および支持体３１６は、反復模様で濾過体モジュール２７８の濾過領域２８０全体にわたって分布されることが理解されるべきである。このような模様を特徴付ける１つの方式は、第１の流れ口２８８、第２の流れ口３００、濾過体壁区分３０８、および支持体３１６を複数の横列３１７および複数の縦列３１８として配置することであり、縦列３１８が、横列３１７が延びる方向に対して垂直に延びる。これらの横列３１７は、縦列３１８と同様に、相互に対して平行関係で配置される。任意の数の横列３１７および縦列３１８を濾過領域２８０内で使用することができる。特定の横列３１７中の模様は、１）同じ数の第１の流れ口２８８、第２の流れ口３００、および支持体３１６が、横列３１７中のそれぞれの環状濾過体壁区分３０８に関して同じであるもの、さらに２）横列３１７が、それぞれの環状濾過体区分３０８に関して、１対の支持体３１６を有し、かつ１対の第２の流れ口３００を有するが、第１の流れ口２８８を有さないことによって、またはそれぞれの環状濾過体区分３０８に関して、単一の支持体支柱３１６を有し、第２の流れ口３００を有さないが、１対の第１の流れ口２８８を有することによって、横列３１７が交互するものである。上で留意した模様は、必ずしも完全に反復されない場合もあり得ることが理解されるべきである。
【０１１６】
図９Ａ〜Ｅは、濾過領域３２０を有するＭＥＭＳ濾過体モジュール３１９の１つの実施形態を例示する。ＭＥＭＳ濾過体モジュール３１９は第１の薄膜３２４、複数の第２の薄膜区分３３２、および第３の薄膜３２４を含み、これらは離間関係でまたは異なる高さに配置され、複数の第２の薄膜区分３３２は第１薄膜３２４と第３の薄膜３３６との間の中間の高さに配置される。第１の薄膜３２４および第３の薄膜３３６は、濾過領域３２０およびその周辺領域（図示しないが、図２Ａ〜ＦのＭＥＭＳ濾過体モジュール３４の周辺領域４２にしたがう）における濾過体モジュール３１９の極端を画成する。したがって、薄膜３２４、３３６は、それらのそれぞれの周辺領域の周囲で、濾過体モジュール１６６が使用するそれぞれの環状封止体６６によって相互連結されかつ支持される。したがって、薄膜３２４、３３６は、薄膜７０、４６に関して上で論じた同じ様態で「連続的な」構造である。他方では、例示の実施形態における複数の第２の薄膜区分３３２は連続構造を画成しない（すなわち、それぞれの第２の薄膜区分３３２の周囲には環状の間隙（第２の流れ通路３３４）が存在する）。隣接する第２の薄膜区分３３２が、１つまたは複数の連結体（図示せず）によって構造的に相互連結され得るが、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３１９を通過する望ましい流れに適合するような様態になっている。この場合では、幾つかの流れ通路がそれぞれの第２の薄膜区分３３２の周囲に設けられる。
【０１１７】
第１の薄膜３２４は複数の第１の流れ口３２８を含み、複数の第２の薄膜区分３３２のそれぞれが、その周囲に配置された環状の第２の流れ通路３３４を有し、さらに第３の薄膜３３６は複数の第３の流れ口３４０を含む。すべての第１の流れ口３２８、すべての第２の流れ通路３３４、およびすべての第３の流れ口３４０は濾過体モジュール３１９の濾過領域３２０内のみに配置される（すなわち、どれも周辺領域４２内には存在しない）。下部支持体３３０が、濾過領域３２０内で第１の薄膜３２４とそれぞれの特定の第２の薄膜区分３３２との間に延在し、かつそれらを構造的に相互連結する。これらの下部支持体３３０は、反復模様で濾過領域３２０全体にわたって分布され、相互に離間関係で配置され、さらに任意適切な構成であり得る。上部支持体３５６が、濾過領域３２０内で第３の薄膜３３６とそれぞれの特定の第２の薄膜区分３３２との間に延在し、かつそれらを構造的に相互連結する。これらの上部支持体３５６は、反復模様で濾過領域３２０全体にわたって分布され、相互に離間関係で配置され、さらに任意適切な構成であり得る。
【０１１８】
複数の濾過体壁３４８が、第３の薄膜３３６に付着されて、そこから少なくとも対応する第２の薄膜区分３３２（の方向に）向かって延びる。すなわち、濾過体壁３４８と第２の薄膜区分３３２との間に１対１の関係が存在する（すなわち、それぞれの濾過体壁３４８は別個の第２の薄膜区分３３２と関連する）。任意の数の濾過体壁３４８（したがって、第２の薄膜区分３３２）を濾過体モジュール３１９の濾過領域３２０内で使用することができる。任意の数の支持体３３０、３５６も同様に使用可能であるが、支持体３３０、３５６の数および位置は、支持体７８に関して上で論じた特徴付けによって決まる。支持体３３０、３５６は、幾つかの追加的な特徴付けによっても決まる。１つは、単一の上部支持体３５６がそれぞれの濾過体壁３４８内側の中心位置に配置され、単一の下部支持体３３０も、濾過体壁３４８に対して同様に中心に配置されるようにそれぞれの上部支持体３５６と軸方向に位置合わせされる。
【０１１９】
それぞれの濾過体壁３４８は環状構成を有する。このような文脈における「環状」とは、濾過体壁３４８の末端（第３の薄膜３３６と境界面を接する濾過体壁３４８の端部に対向する端部）から見るとき、それぞれの濾過体壁３４８が閉じた周辺を有することを意味する。換言すれば、それぞれの濾過体壁３４８は、任意適切な通路に沿ってある一定の基準軸回りに完全に３６０度延在する。それぞれの濾過体壁３４８は、例示の実施形態では六角形の環状区域を有するが、濾過体壁３４８が留意した環状区域を実現するために任意の構成を利用し得る（例えば、長方形、正方形、楕円形、三角形）。それぞれの濾過体壁３４８はまた、その対応する第２の薄膜区分３３２まで完全に到達することはない。完全に到達するのではなく、それぞれの濾過体壁３４８の末端とそれに対応する第２の薄膜区分３３２との間に濾過体トラップまたは濾過体トラップ間隙３５２が存在する。それぞれの濾過体壁３４８が環状であるので、それに対応する濾過体トラップ３５２も同様に環状である。それぞれの濾過体壁３４８はまた、様々な第１の流れ口３２８からずれており、それによってＭＥＭＳ濾過体モジュール３１９を通過する流れの方向に少なくとも１つの変化を引き起こすことに留意されたい。
【０１２０】
流れは、濾過機能を与えるためにそれぞれの濾過体トラップ間隙３５２に通して誘導され得る。この流れの中で特定の濾過体トラップ間隙３５２の高さよりも大きな成分（例えば、ある一定のサイズの微粒子、細胞）はいずれも、典型的には、その対応する濾過体壁３４８および第２の薄膜区分３３２によって（すなわち、濾過体トラップ間隙３５２を通過し得ないことによって）纏めて保持される。それぞれの濾過体トラップ３５２は、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３１９の場合では環状であるので、その場合に特定の濾過体トラップ間隙３５２を通過し得ないことによって「トラップされる」成分はいずれも、濾過体トラップ間隙３５２を完全に「目詰まりさせる」ことはない。それぞれの濾過体壁３４８に関連する環状濾過体トラップ間隙３５２を有することによって、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３１９を通過する望ましい流量も与えられる。様々な支持体３３０、３５６の数および位置の選択は、それぞれの濾過体トラップ間隙３５２の高さが、濾過領域３２０全体にわたって、濾過体トラップ間隙５８に関連して上で論じた同じ様態で、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３１９の設計が意図する最大流量のわずかな許容範囲内に維持されるように行われることが好ましい。
【０１２１】
流れは、第３の流れ口３４０を通過するか（この場合では、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３１９から流出する流れが第１の流れ口３２８を通過することになる）、または第１の流れ口３２８を通過して（この場合では、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３１９を流出する流れが第３の流れ口３４０を通過することになる）ＭＥＭＳ濾過体モジュール３１９に進入し得る。いずれの場合も、流れは、特定の濾過体壁３４８に関連する濾過体トラップ間隙３５２を通過しようとする前に、空間３４４ａまたは３４４ｂの中へ誘導されることになる。濾過領域３２０内のこれらの空間３４４ａ、３４４ｂのそれぞれを濾過体トラップ室３４４ａ、３４４ｂとして特徴付けることが可能である。それぞれの濾過体トラップ室３４４ａの高さは第３の薄膜３３６とそれに対応する第２の薄膜区分３３２との間の間隔に対応し（かつ特定の濾過体壁３４８によって区切られ）、この間隔は濾過体トラップ間隙３５２の高さよりも大きい。濾過体トラップ室３４４ｂの高さは第１の薄膜３２４と様々な第２の薄膜区分３３２との間の間隔に対応し、この間隔も同様に濾過体トラップ間隙３５２の高さよりも大きい。それぞれの濾過体トラップ室３４４ａの容積は関連する第３の流れ口３４０のいずれの容積よりも大きく、濾過体トラップ室３４４ｂの容積は関連する第１の流れ口３２８のいずれの容積よりも大きいが、但し、このようなことは要件ではない。流れが第１の流れ口３２８を通過してＭＥＭＳ濾過体モジュール３１９に進入しようが、あるいは第３の流れ口３４０を通過してそれに進入しようが、流れは、濾過体トラップ室３４４ａまたは濾過体トラップ室３４４ｂを通過し、次いで対応する濾過体トラップ間隙３５２を通過し、次に濾過体トラップ室３４４ａまたは濾過体トラップ室３４４ｂの他方を通過することになる。
【０１２２】
複数の第３の流れ口３４０はそれぞれの濾過体トラップ室３４４ａと流体的に相互連結する。任意の数の第３の流れ口３４０が使用可能であり、第３の流れ口３４０は任意適切なサイズおよび／または構成であり得る（例えば、支持体３５６の望ましい数／配置およびＭＥＭＳ濾過体モジュール３１９を通過する望ましい流れに適合するように）。濾過領域３２０は複数の第３の流れ口群３４２を使用する。したがって、それぞれの濾過体壁３４８は専用の第３の流れ口群３４２を有する。それぞれの濾過体壁３４８に幾つかの第３の流れ口３４０を設けると、任意特定の第３の流れ口３４０が目詰まりする影響が低減する。特定の濾過体壁３４８に関連する第３の流れ口３４０の数が減少すると、この濾過体壁３４８によって画成された対応する濾過体トラップ室３４４ａを通過する流量を減少させ得るが、その関連する第３の流れ口３４０のすべてが目詰まりしない限り、そのような数の減少は濾過体壁３４８をその濾過機能に関して完全に不能にすることはない。
【０１２３】
環状の第２の流れ通路３３４がそれぞれの第２の薄膜区分３３２の周囲に配置される。それぞれの濾過体壁３４８に環状の第２の流れ通路３３４を有すると、それは当然のことであるが濾過体モジュール３１９を通過する流量に対して影響を与え得るが、このような環状の第２の流れ通路３３４が目詰まりする影響が低減する。さらには、それぞれの環状の第２の流れ通路３３４は、特定の濾過体トラップ室３４４ａの専用ではない。したがって、それに対応する濾過体トラップ間隙３５２において不能にならなくても、特定の環状の第２の流れ通路３３４の全体が目詰まりし得る。この場合も、第２の流れ通路３３４全体が目詰まりすると、濾過体モジュール３１９を通過する流量に影響を与え得る。
【０１２４】
それぞれの濾過体壁３４８は幾つかの第１の流れ口３２８にも関連する。任意の数の第１の流れ口３２８が使用可能であり、第１の流れ口３２８は任意の適切なサイズおよび／または構成であり得る（例えば、支持体３３０の望ましい数／配置およびＭＥＭＳ濾過体モジュール３１９を通過する望ましい流れに適合するように）。それぞれの濾過体壁３４８に幾つかの第１の流れ口３２８を設けると、任意特定の第１の流れ口３２８が目詰まりすることによって所与の濾過体壁３４８が受ける影響が低減する。実際に、濾過領域３２０によって使用される任意特定の第１の流れ口３２８を使用して任意の濾過体トラップ室３４４ａに流れを供給できるし、またはそれから流れを受け入れできることが理解されるべきである。利用可能な第１の流れ口３２８の数を減少させると、当然のことであるが濾過体モジュール３１９を通過する流量が減少し得る。
【０１２５】
上述のことに基づいて、第１の流れ口３２８、環状の第２の流れ通路３３４、濾過体壁３４８、および支持体支柱３３０、３５６は、図５Ａ〜Ｅの濾過体モジュール１６６の濾過領域１７０で使用された模様にしたがう反復模様で、濾過体モジュール３１９の濾過領域３２０全体にわたって分布されることが理解されるべきである。したがって、このような模様に関して上で留意した説明は、図９Ａ〜Ｅの濾過体モジュール３１９の濾過領域３２０にも等しく該当する。１つの実施形態では、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３１９は、第１の薄膜３２４および様々な下部支持体３３０を使用しないように変更可能である（図示せず）。
【０１２６】
本明細書で説明の様々なＭＥＭＳ濾過体モジュールのそれぞれは、先に留意したようにまた図３Ａ〜Ｉに関連して上で一般的に説明したように、表面微細加工によって製造され得る。ＭＥＭＳ濾過体モジュールは、犠牲材料の下に位置する層による以外は基底を成す基板と構造的に相互連結される必要はない。したがって、製造の最後にエッチング解放においてこの犠牲材料を除去すると、ＭＥＭＳ濾過体モジュールが基板から分離される。別の随意選択肢は、ＭＥＭＳ濾過体モジュールの最下層の薄膜が、エッチング解放後に、基板に対して離間関係で配置された状態に留まるように製造されるものである（例えば、図３Ｉ）。すなわち、ＭＥＭＳ濾過体モジュールは適切な様態で基板の上方で支持され得る。これを実施できる１つの方法が図１０Ａ〜Ｂに例示されている。本明細書で説明した種類のＭＥＭＳ濾過体モジュール３６０が、濾過領域３６４および周辺領域３６８を含む。このＭＥＭＳ濾過体モジュール３６０は、基板３８４の上方で支持される。この点に関して、複数の接着パッド３７２が、基板３８４に繋止され、基板３８４から上向きに延び、さらにＭＥＭＳ濾過体モジュール３６０の周辺を越えて配置される。連結体３７６が、それぞれの接着パッド３７２からＭＥＭＳ濾過体モジュール３６０まで延びる。それぞれの連結体３７６は、任意適切な構成でよく、基板３８４に対して任意適切な高さに配置され得る。それによって、連結体３７６はＭＥＭＳ濾過体モジュール３６０を基板３８４の上方に懸架する。ＭＥＭＳ濾過体モジュール３６０を基板３８４から脱着することが望ましいとき、接着パッド３７２に適切な電極を接触させる。得られる電気信号がそれぞれの連結体３７６を破壊し、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３６０が基板３８４上へ「落下する」ようになっている。複数の動作制限体３８０が、基板３８４に繋止され、そこから上向きに延び、さらにＭＥＭＳ濾過体モジュール３６０の周囲に配置されて、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３６０が一旦基板３８４上に直に位置決めされると、その横方向次元の動きを制約する。動作制限体３８０は任意適切な構成でよい。次いで、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３６０は任意適切な方法で基板３８４から回収され得る（例えば、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３６０を少なくとも主として垂直方向の次元に移動させて基板３８４から分離することによって）。
【０１２７】
図１１Ａ〜Ｂは、エッチング解放後にＭＥＭＳ濾過体モジュール３６０を基板３８４の上方で支持するための別の随意選択肢を提示する。この場合では、複数の濾過体モジュール繋止体３８８が、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３６０の周辺回りに配置されるように基板３８４上の個所に製作されかつそこから外向きに延びる。これらの濾過体モジュール繋止体３８８は任意適切な構成でよい。連結体３９２がそれぞれの濾過体モジュール繋止体３８８からＭＥＭＳ濾過体モジュール３６０まで延びる。連結体３９２は、任意適切な構成でよく、基板３８４の上方の適切な高さに配置され得る。ＭＥＭＳ濾過体モジュール３６０を基板３８４から脱着することが望ましいとき、適切な力（例えば、基底を成す基板３８４に対して少なくとも概ね垂直な力）をＭＥＭＳ濾過体モジュール３６０に対して及ぼすことができる。このような力はそれぞれの連結体３９２を破壊して、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３６０が基板３８４の上へ「落下」し得るようになっている。この場合も複数の動作制限体３８０が基板３８４に繋止され、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３６０の周囲に配置されて、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３６０が一旦基板３８４上に位置すると、その横方向次元の動きを制約する。次いで、濾過体モジュール３６０は任意適切な方法で基板３８４から回収される（例えば、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３６０を少なくとも主として垂直方向の次元に移動させて基板３８４から分離することによって）。
【０１２８】
表面微細加工は、上で説明したＭＥＭＳ濾過体モジュールを製造するための好ましい技術である。この点に関して、これらのＭＥＭＳ濾過体モジュールは、異なる高さに配置される少なくとも２つの異なる水準（以降では、第１の製造水準および第２の製造水準）において製造され得る。「製造水準」とは、上に重なる犠牲材料層を形成すべき前に構造材料の堆積物によって（例えば、構造層または薄膜の単一堆積物から）形成され得るものに対応する。一般に、これらのＭＥＭＳ濾過体モジュールはそれぞれ、少なくとも１つの第１の流れ口が貫通している第１の薄膜、少なくとも１つの第２の流れ口が貫通している第２の薄膜、および第２の薄膜から第１の薄膜の方向へ延びる少なくとも１つの濾過体壁を含み、この濾過体壁および第１の薄膜が協働して濾過体トラップを画成するようになっている。第１の薄膜は少なくとも第１の製造水準において製造可能であり、第２の薄膜は少なくとも第２の製造水準において製造可能である。第１の薄膜が「第１の製造水準」にあり、第２の薄膜が「第２の製造水準」にあるという特徴付けは、決して、第１の製造水準が「最初に」堆積される水準であり、第２の製造水準が「２番目に」堆積される水準であることを要求するものではないことが理解されるべきである。さらには、第１の製造水準および第２の製造水準が直に隣接している必要もない。
【０１２９】
第１および第２の薄膜はそれぞれ、単一の製造水準に存在可能であるし、または幾つかの製造水準に存在可能である。上で留意した第１の場合では、単一の製造水準における構造材料の堆積物は、少なくとも概ね平面的な層を画成する。第１の場合に関する別の随意選択肢は、単一の製造水準における構造材料の堆積物が、少なくとも概ね平面的な部分に加えて、下に位置する製造水準における下に位置する構造層に向かって延びるが、それに到達しない１つまたは複数の構造（例えば、第２の薄膜、すなわち、この第２の薄膜から第１の薄膜の方向へ延びる１つまたは複数の濾過体壁を有する薄膜）を画成するものである。どちらの状況でも、また解放前では、少なくとも幾つかの場合に、濾過体壁全体と第１の薄膜との間に配置された犠牲材料の少なくとも多少の厚さが存在することになる。
【０１３０】
上で留意した第２の場合では、隣接する製造水準からの２つ以上の構造層または薄膜が、直接的な界接関係で配置され得る（例えば、一方の層が直に他方の層上に位置する）。第１または第２の薄膜を画成すべき領域上では、これは、次の製造水準で構造材料を堆積する前に、１つの製造水準における構造材料の上に堆積される犠牲材料の除去を必要とする。上で留意した第２の場合に関する別の随意選択肢は、第１および／または第２の薄膜のための異なる製造水準における構造層または薄膜間の離隔距離を維持するが、それらの間に適切な構造的な相互連結（例えば、異なる製造水準における隣接構造層または薄膜間に延びる複数の柱、支柱、または同様物）を設けるものである。
【０１３１】
図１２Ａ〜Ｂは、任意適切な用途のために使用可能な流れ組立体４１０の１つの実施形態を模式的に示す（例えば、この流れ組立体４１０は、任意の種類の流れの中に配置可能であり；任意の種類の流体の流れを濾過および／または制御するために使用可能であり；任意適切な種類の幾つかの供給源（例えば、人工貯槽、生物貯槽、体外、もしくは他の任意適切な供給源、またはそれらの組合せのような幾つかの流体あるいは圧力源の間（１つが体外である場合を含む））を流体的に相互連結する導管の中に配置可能である。１つの実施例は、流れ組立体４１０を眼球の前房と眼球の角膜外側の個所との間に延びる導管の中に配置するものである。別の実施例は、流れ組立体４１０を眼球の前房と眼球の強膜外側の別の個所との間に延びる導管の中に配置するものである。さらに別の実施例は、流れ組立体４１０を眼球の前房と眼球内部（例えば、シュレム管の中へ）または身体内部における別の個所との間に延びる導管の中に配置するものである。これらの実施例のそれぞれでは、導管は、緑内障患者に装着されるときに房水のための出口通路となる。すなわち、これらの実施例のそれぞれは、緑内障を治療する方法または眼内圧を少なくともある程度まで制御する方法と考えることができる。
【０１３２】
流れ組立体４１０の構成要素には、外部筐体４１４、内部筐体４１８、およびＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２が含まれる。本明細書に説明のＭＥＭＳ濾過体モジュールはいずれも、限定するものではないが、ＭＥＭＳ濾過体モジュール３４、１２４、１６６、２００、２３７、２７８、３１９、３６０を含めて、ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２の代わりに使用可能である。ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２および内部筐体４１８の位置が、これらの構成要素の組立状態における相対的な位置決めを示すために（外部筐体４１４が透明構造の形態である必要性を伝えるためではなく）、図１２Ｂの外部筐体４１４の内部に少なくとも全体として図示されている。必ずしもＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２および内部筐体４１８のすべての細部が図１２Ｂに例示されているわけではない。
【０１３３】
ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２は、図１２Ａ〜Ｂに模式的にのみ示されているが、少なくとも濾過機能を与える。ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２は、任意適切な設計、サイズ、形状、および構成でよく、さらには関係する微細製造技術によって使用されるのに適切な任意の材料または材料の組合せから製作可能である。任意適切な被膜または被膜の組合せも、ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２の露出表面に施すことができる。例えば、ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２の生体適合性を高めるために、ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２の露出表面をより親水性にするために、ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２が何らかの生物付着を引き起こす恐れを低減するために、またはこれらの任意の組合せのために被膜を施すことができる。１つの実施形態では、自己集合単一層被膜（例えば、ポリエチレングリコール）が、任意適切な様態で（例えば、液相または気相、気相が好ましい技法である）ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２のすべての露出表面に施される。ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２の主な要件は、それがＭＥＭＳデバイスであることである。
【０１３４】
外部筐体４１４および内部筐体４１８の主要機能は、ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２に構造的な完全性を与えたりまたはＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２を支持したり、さらにはＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２を保護することである。この点に関して、外部筐体４１４および内部筐体４１８はそれぞれ、典型的には、流れ組立体４１０の組立時ばかりでなく、その設計が意図する用途における流れ組立体４１０の使用時にも、それに対して影響が及ぶことが当然予想され得る力によってＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２が損傷されないように保護するために十分に剛性である構造の形態にある。
【０１３５】
内部筐体４１８は、この内部筐体４１８を（例示の実施形態では、その両端間を）貫通する中空内部または流路４２０を含む。ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２は、任意適切な様態でかつ内部筐体４１８内部の任意適切な位置で（例えば、内部筐体４１８がＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２の周囲に配置されるような任意の位置で）、内部筐体４１８を貫通する流路４２０の内部に配置され得る。ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２は内部筐体４１８に対して固定位置に維持されることが好ましい。例えば、ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２は、内部筐体４１８の内部側壁に、もしくはこの内部側壁上に形成された突縁に付着または接着され得るか、内部筐体４１８とＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２との間でプレス嵌めされ得るか、またはその組合せが可能である。ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２はまた、下でさらに詳細に論じる図１４Ａ〜Ｂの実施形態の様態で内部筐体４１８の端部に付着され得る。
【０１３６】
内部筐体４１８は、少なくとも一部が外部筐体４１４の内部に配置される（それによって、外部筐体４１４が、内部筐体４１８の周囲に、内部筐体４１８の全長に沿ってまたは内部筐体４１８の長さの一部に沿って配置されることを含む）。この点に関して、外部筐体４１４は、内部筐体４１８を受け入れるように、また他の適切な機能（例えば、流路が内部筐体４１８を貫通する流路４２０と流体連結される）を与え得るように中空内部４１６を含む。外部筐体４１４の外部および内部側壁は、内部筐体４１８の外部および内部側壁がそうであり得るように、円筒形または他の任意適切な形状でよい。内部筐体４１８は任意適切な様態で外部筐体４１４に対して保持され得る。例えば、内部筐体４１８は外部筐体４１４の内部側壁に付着または接着され得るか、内部筐体４１８と外部筐体４１４の間でプレス嵌めされ得るか、内部筐体４１８と外部筐体４１４の間で焼嵌めされ得るか、またはそれらの組合せが可能である。
【０１３７】
内部筐体４１８も同様に図１２Ａ〜Ｂに模式的にのみ示されているが、それは任意適切な形状／構成、任意適切なサイズでよく、さらに任意の材料または材料の組合せ（例えば、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）、セラミック、珪素、チタン、ならびに他の移植可能な金属およびプラスチック）から製作可能である。典型的には、その外部輪郭は、少なくともその一部が内部に配置される外部筐体４１４の内部輪郭に一致するようになっている。１つの実施形態では、内部筐体４１８に関する例示の円筒形構成は、皮下注射針備品から適切な長さを切断することによって実現される。内部筐体４１８はまた、望ましい／必要な形状に微細製造され得る（例えば、ＬＩＧＡ処理の少なくとも一部を使用して）。しかし、内部筐体４１８を製作する任意の方法が使用可能である。内部筐体４１８も同様に、所望／必要に応じて１つまたは複数の被膜を含み得ることも理解されるべきである（例えば、金属電気メッキ；内部筐体４１８の生体適合性を高めたり、内部筐体４１８の露出表面をより親水性にしたり、内部筐体４１８が生物付着を引き起こす恐れを低減したり、またはこれらの任意の組合せを実現するための被膜）。１つの実施形態では、自己集合単一層被膜（例えば、ポリエチレングリコール）が、任意適切な様態で（例えば、液相または気相、気相が好ましい技法である）内部筐体４１８のすべての露出表面に施される。
【０１３８】
外部筐体４１４も同様に図１２Ａ〜Ｂに模式的にのみ示されているが、それは任意適切な形状／構成、任意適切なサイズでよく、さらに任意の材料または材料の組合せ（例えば、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）、セラミック、珪素、チタン、ならびに他の移植可能な金属およびプラスチック）から製作可能である。典型的には、その外部輪郭は、少なくともその一部が内部に配置される筐体または導管の内部輪郭に一致するようになっている。外部筐体４１４も望ましい／必要な形状に微細製造され得る（例えば、ＬＩＧＡ処理の少なくとも一部を使用して）。しかし、外部筐体４１４を製作する任意の方法が使用可能である。外部筐体４１４も同様に、所望／必要に応じて１つまたは複数の被膜を含み得ることも理解されるべきである（例えば、金属電気メッキ；外部筐体４１４の生体適合性を高めたり、外部筐体４１４の露出表面をより親水性にしたり、外部筐体４１４が生物付着を引き起こす恐れを低減したり、またはこれらの任意の組合せを実現するための被膜）。１つの実施形態では、自己集合単一層被膜（例えば、ポリエチレングリコール）が、任意適切な様態で（例えば、液相または気相、気相が好ましい技法である）外部筐体４１４のすべての露出表面に施される。
【０１３９】
流れ組立体の別の実施形態が図１３Ａ〜Ｂ（模式図のみ）に例示されており、参照番号４２６によって識別される。流れ組立体４２６は任意適切な用途に使用可能である（例えば、この流れ組立体４２６は、任意の種類の流れの中に配置可能であり；任意の種類の流体の流れを濾過するために使用可能であり；さらに任意適切な種類の幾つかの供給源（例えば、人工貯槽、生物貯槽、体外、もしくは他の任意適切な供給源、またはその任意の組合せのような幾つかの流体または圧力源（１つが体外である場合を含む））を流体的に相互連結する導管の中に配置可能である。流れ組立体４１０に関して上で留意した用途は、流れ組立体４２６にも等しく該当する。流れ組立体４１０に関して上で論じた被膜の種類も流れ組立体４２６によって同様に使用可能である。
【０１４０】
流れ組立体４２６の構成要素には、外部筐体４３０、第１の内部筐体４３４、第２の内部筐体４３８、およびＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２が含まれる。ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２および内部筐体４３４、４３８は、これらの構成要素の組立状態における相対的な位置決めを示すために（外部筐体４３０が透明構造の形態である必要性を伝えるためではなく）、図１３Ｂの外部筐体４３０の内部に少なくとも全体として図示されている。必ずしもＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２および内部筐体４３４、４３８のすべての細部が図１３Ｂに例示されているわけではない。
【０１４１】
外部筐体４３０、第１の内部筐体４３４、および第２の内部筐体４３８の主要機能は、ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２に構造的な完全性を与えたりまたはＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２を支持したり、さらにはＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２を保護することである。この点に関して、外部筐体４３０、第１の内部筐体４３４、および第２の内部筐体４３８はそれぞれ、典型的には、流れ組立体４２６の組立時ばかりでなく、その設計が意図する用途における流れ組立体４２６の使用時にも、それに対して影響が及ぶことが当然予想され得る力によってＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２が損傷されないように保護するために十分に剛性である構造の形態にある。
【０１４２】
第１の内部筐体４３４は、この第１の内部筐体４３４を貫通する中空内部または流路４３６を含む。同様に、第２の内部筐体４３８も、この第２の内部筐体４３８を貫通する中空内部または流路４４０を含む。第１の内部筐体４３４および第２の内部筐体４３８は端々接合関係で配置され、ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２は第１の内部筐体４３４および第２の内部筐体４３８の隣接する端部間に配置される。したがって、第１の流路４３６を通過して第２の流路４４０に進む流れ、またはその逆の流れが、ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２を通過する。
【０１４３】
ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２は、それぞれの内部筐体４３４、４３８に対して固定位置に維持され、その周辺は、組立または接合状態で内部筐体４３４、４３８の隣接する側壁を越えて突出しないことが好ましい。例えば、ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２は、ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２に構造的な完全性を与えるように、第１の内部筐体４３４（より詳細にはその一端）および第２の内部筐体４３８（より詳細にはその一端）の少なくとも一方に、より好ましくは両方に接着され得る（例えば、シアノアクリル酸エステル、熱的接着、ＵＶ硬化性樹脂、または他の樹脂を使用して）。別の随意選択肢は、少なくとも主として内部筐体４３４、４３８のそれぞれの位置を外部筐体４３０に対して固定することによって（すなわち、必ずしもＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２が筐体４３４、４３８のどちらかに接着される必要はない）、ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２の位置を流れ組立体４２６の中で固定するものである。１つの実施形態では、ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２が上に配置された第１の内部筐体４３４を外部筐体４３０の中へ押込みできるように、エラストマー材料がＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２と第１の内部筐体４３４との間に配置され得る（例えば、このエラストマー材料は、ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２が、外部筐体４３０の中に装着されている間に、第１の内部筐体４３４に対して少なくとも一時的に定位置に保持されるように十分に「粘着性」である）。第２の内部筐体４３８も外部筐体４３０の中へ押し込まれ（第１の内部筐体４３４が外部筐体４３０の中に配置される前に、しかし大抵はその後に）、ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２を外部筐体４３０内部の位置で内部筐体４３４、４３８間に「サンドイッチ状に挟む」ことができる（すなわち、外部筐体４３０がＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２の周囲に配置されるように）。ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２は、外部筐体４３０内部に配置されるとき、第１の内部筐体４３４および第２の内部筐体４３８の両方によって接触されるのが典型である。第１の内部筐体４３４および第２の内部筐体４３８のそれぞれの位置を外部筐体４３０に対して固定することによって、実質的にＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２の位置が外部筐体４３０に対して固定されることになる。第１の内部筐体４３４および第２の内部筐体４３８は共に、少なくとも一部が外部筐体４３０の内部に配置され（それによって、外部筐体４３０が筐体４３４、４３８のどちらかまたは両方の周囲に、その全長に沿って、またはその長さの一部のみに沿って配置されることを含む）、この場合も、ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２は第１の内部筐体４３４および第２の内部筐体４３８の隣接する端部間に配置される。この点に関して、第１の内部筐体４３４の少なくとも一部、第２の内部筐体４３８の少なくとも一部、およびこれらの間に配置されたＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２を受け入れるように、また他の適切な機能を与えるように（例えば、流路が、第１および第２の内部筐体４３４、４３８をそれぞれ貫通する流路２３６、２４０と流体連結される）、外部筐体４３０は中空内部４３２を含む。外部筐体４３０の外部および内部側壁は、内部筐体４３４、４３８の外部および内部側壁がそうであり得るように、円筒形または他の任意適切な形状でよい。第１の内部筐体４３４および第２の内部筐体４３８は共に、図１２Ａ〜Ｂの実施形態の内部筐体４１８および外部筐体４１４に関して上で論じた様態を含めて、任意適切な様態で外部筐体４３０に固定可能である。
【０１４４】
それぞれの内部筐体４３４、４３８も同様に図１３Ａ〜Ｂに模式的にのみ示されているが、それは任意適切な形状／構成、任意適切なサイズでよく、さらに図１２Ａ〜Ｂの実施形態の内部筐体４１８と同じ様態で任意の材料または材料の組合せから製作可能である。典型的には、両方の内部筐体４３４、４３８の外部輪郭は、少なくともそれらの一部が内部に配置される外部筐体４３０の内部輪郭に一致するようになっている。１つの実施形態では、内部筐体４３４、４３８に関する例示の円筒形構成は、皮下注射針備品から適切な長さを切断することによって実現される。内部筐体４３４、４３８はまた、それぞれに望ましい／必要な形状に微細製造され得る（例えば、ＬＩＧＡ処理の少なくとも一部を使用して）。しかし、内部筐体４３４、４３８を製作する任意の方法が使用可能である。内部筐体４３４、４３８も上述したことに従って、所望／必要に応じて１つまたは複数の被膜を含み得ることも理解されるべきである。
【０１４５】
外部筐体４３０も同様に図１３Ａ〜Ｂに模式的にのみ示されているが、それは任意適切な形状／構成、任意適切なサイズでよく、さらに図１２Ａ〜Ｂの実施形態の外部筐体４１４と同じ様態で任意の材料または材料の組合せから製作可能である。典型的には、外部筐体４３０の外部輪郭は、少なくともその一部が内部に配置されるかまたは別様に取り付けられる筐体または導管の内部輪郭に一致するようになっている。外部筐体４３０は、望ましい／必要な形状に微細製造され得る（例えば、ＬＩＧＡ処理の少なくとも一部を使用して）。しかし、外部筐体４３０を製作する任意の方法が使用可能である。外部筐体４３０も上述したことに従って、所望／必要に応じて１つまたは複数の被膜を含み得ることも理解されるべきである。
【０１４６】
流れ組立体の別の実施形態が図１４Ａ〜Ｂ（模式図のみ）に例示されており、参照番号４４３によって識別される。流れ組立体４４３は任意適切な用途に使用可能である（例えば、この流れ組立体４４３は、任意の種類の流れの中に配置可能であり；任意の種類の流体の流れを濾過するために使用可能であり；任意適切な種類の幾つかの供給源（例えば、人工貯槽、生物貯槽、体外、もしくは他の任意適切な供給源、またはその任意の組合せのような幾つかの流体または圧力源の間）を流体的に相互連結する導管の中に配置可能である。流れ組立体４４３の構成要素には、上で留意した図１３Ａ〜Ｂからの筐体４３４およびＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２を含む。流れ組立体４４３の場合では、ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２は筐体３４３の一端に付着または接着される（例えば、シアノアクリル酸エステル、熱的接着、ＵＶ硬化性樹脂、または他の樹脂を使用して）。流れ組立体４４３は、図１２Ａ〜Ｂの実施形態の様態で外部筐体の内部に配置可能であるし、または「その状態のまま」で使用可能である。流れ組立体４１０に関して上で留意した用途は、流れ組立体４４３にも等しく該当する。流れ組立体４１０に関して上で論じた被膜の種類も流れ組立体４４３によって同様に使用可能である。
【０１４７】
以上に論じたように、図１２Ａ〜１４Ｂの流れ組立体４１０、４２６、および４４３に関する１つの特に望ましい用途は、眼球の前房内部の圧力に対処するために装着されるインプラントに使用するためのものである。すなわち、それらは、緑内障患者を治療するために、房水が通過する出口通路の中に配置可能である。流れ組立体４１０、４２６、４４３はそれぞれ、眼球内部で感染が生じる恐れを低減するために細菌濾過機能を与えることが好ましい。流れ組立体４１０、４２６、および４４３によって使用される様々な筐体およびＭＥＭＳ濾過体モジュールのそれぞれは任意適切な色でよいが、その色が少なくともある程度まで眼と「溶け込む」ように選択されることが望ましい。
【０１４８】
上で留意した用途の１つの実施例が図１５Ａに模式的に例示されている。この図では、患者の眼球の前房４４２（またはさらに言えば他の身体領域、すなわち、第１の身体領域）が、インプラント４４６（このように特に留意した場合では「緑内障インプラント」）によって適切な排液域（４４４で示す）と流体的に相互連結されている。排液域４４４は、眼球の外部（例えば、角膜の外部表面上）、眼球の内部（例えば、シュレム管）、または一般に患者の体内（第２の身体領域）のような任意適切な個所であり得る。
【０１４９】
一般に、インプラント４４６は、１対の端部４５８ａ、４５８ｂを有する導管４５０を含み、その間に流路４５４が延在する。導管４５０のサイズ、形状、および構成は、４４４で示す特定の使用排液域に適合することを含めて、所望／必要に応じて対応可能である。導管４５０に関する代表的な構成が開示されており、その開示全体が参照により本明細書にすべてが組み込まれる（例えば、特許文献２、ならびに特許文献３、特許文献４、特許文献５、特許文献６、特許文献７、特許文献８、特許文献９、特許文献１０、および特許文献１１を参照されたい）。
【０１５０】
流れ組立体４６２が導管４５０の流路４５４の内部に配置される。それによって、インプラント４４６を通過して前房４４２を退出するすべての流れは、流れ組立体４６２に通して誘導される。同様に、排液域（４４４で示す）からインプラント４４６の中へ流入する流れはいずれも流れ組立体４６２を通過しなければならない。流れ組立体４６２は、任意適切な様態でかつ任意適切な位置で（例えば、それはどちらかの端４５８ａ、４５９ｂ、またはそれらの間の任意の中間位置に配置可能である）、導管４５０内部に保持され得る。流れ組立体４６２は、以上に論じた流れ組立体４１０、４２６、または４４３のいずれかの形態でよく、ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２をＭＥＭＳ濾過体モジュール３４、１２４、１６６、２００、２３７、２７８、３１９、３６０のいずれかと置き換えることができる。別法として、流れ組立体４６２は、単にＭＥＭＳ濾過体モジュール３４、１２４、１６６、２００、２３７、２７８、３１９、３６０の形態であってもよい。限定するものではないが、生体適合性を高め、このような表面をより親水性にし、かつ／または生物付着の恐れを低減する被膜を含めて、任意適切な被膜を生物物質／流体に曝される少なくともこれらのインプラント４４６表面に施すことができる。１つの実施形態では、自己集合単一層被膜（例えば、ポリエチレングリコール）が、任意適切な様態で（例えば、液相または気相、気相が好ましい技法である）留意した表面に施される。
【０１５１】
図１５Ｂは、図１５Ａにしたがう代表的な実施形態を例示する。角膜４６８、虹彩４７２、瞳４７４、水晶体４７６、前房４８４、後房４８６、シュレム管４７８、線維柱網４８０、および房水静脈４８２を含めて、眼球４６６の様々な部分が図１５Ｂで識別されている。この図では、適切に形作られた導管４９２を有する緑内障インプラントまたはバイパス４９０が角膜４６８を貫通して誘導される。導管４９２は任意適切な形態であり得るが、典型的には、少なくとも１対の端部４９４ａ、４９４ｂおよびこれらの間に延在する流路４９６を含む。端部４９４ａは角膜４６８の外部表面上に配置され、端部４９４ｂは眼球４６６の前房４８４の内部に配置される。
【０１５２】
流れ組立体４９８は導管４９２の流路４９６の内部に配置される。それによって、バイパス４９０を通って前房４８４を退出するすべての流れは、流れ組立体４９８に通して誘導される。同様に体外からバイパス４９０の中へ戻る流れはいずれも、同様に流れ組立体４９８を通過しなければならない。流れ組立体４９８は、インプラント４９０の使用時に眼球内部で感染が生じる恐れを低減するように細菌濾過機能を与えることが好ましい。流れ組立体４９８は、任意適切な様態でかつ任意適切な位置で（例えば、それはどちらかの端４９４ａ、４９４ｂ、またはそれらの間の任意の中間位置に配置可能である）、導管４９２の内部に保持され得る。流れ組立体４９８は、以上に論じた流れ組立体４１０、４２６、または４４３のいずれかの形態でよく、ＭＥＭＳ濾過体モジュール４２２をＭＥＭＳ濾過体モジュール３４、１２４、１６６、２００、２３７、２７８、３１９、３６０のいずれかと置き換えることができる。別法として、流れ組立体４９８は、単にＭＥＭＳ濾過体モジュール３４、１２４、１６６、２００、２３７、２７８、３１９、３６０の形態であってもよい。限定するものではないが、生体適合性を高め、このような表面をより親水性にし、かつ／または生物付着の恐れを低減する被膜を含めて、任意適切な被膜を生物物質／流体に曝される少なくともこれらのバイパス４９０表面に施すことができる。１つの実施形態では、自己集合単一層被膜（例えば、ポリエチレングリコール）が、任意適切な様態で（例えば、液相または気相、気相が好ましい技法である）留意した表面に施される。
【０１５３】
本発明の以上の説明は、例示および説明目的のために提供されている。さらには、その説明は本発明を本明細書に開示した形態に限定しようとするものではない。したがって、以上の教示ならびに当業の技術および知識に対応する変形および変更は、本発明の範囲内である。さらには、以上に説明した実施形態は、このようなまたは他の実施形態において、かつ本発明の１つもしくは複数の用途または使用状況が必要とする様々な変更によって、本発明を実施する知られた最良の様式を説明し、かつ他の当業者が本発明を利用できるように意図するものである。添付の特許請求の範囲は、従来技術によって許容される範囲まで別法による実施形態を包含するものと解釈すべきことが意図されている。
【図面の簡単な説明】
【０１５４】
【図１】ＭＥＭＳ濾過体モジュールを使用する１つの実施形態を模式的に示す側面図である。
【図２Ａ】図１の濾過体によって使用されるＭＥＭＳ濾過体モジュールを示す上面図であり、その濾過領域および周辺領域を例示する。
【図２Ｂ】図２ＡのＭＥＭＳ濾過体モジュールのための上部薄膜の１つの実施形態を示す破断側面図であり、この上部薄膜はＭＥＭＳ濾過体モジュールを流入／流出する流れに適応するための複数の流れ口を含む。
【図２Ｃ】図２ＡのＭＥＭＳ濾過体モジュールのための下部薄膜の１つの実施形態を示す破断側面図であり、この下部薄膜はＭＥＭＳ濾過体モジュールを流入／流出する流れに適応するための複数の流れ口を含む。
【図２Ｄ】図２ＡのＭＥＭＳ濾過体モジュールの濾過領域内で使用可能な濾過体トラップの１つの実施形態を示す破断側面図である。
【図２Ｅ】図２Ｄの濾過体トラップによって使用可能な濾過体壁の１つの実施形態を示す、底面平面図である。
【図２Ｆ】図２ＡのＭＥＭＳ濾過体モジュールの線Ｅ−Ｅに沿って取った断面図であり、ＭＥＭＳ濾過体モジュールのための周辺領域の１つの実施形態を例示する。
【図３Ａ】第１の薄膜と、この第１の薄膜から離間される第２の薄膜から延びる濾過体壁とから濾過体トラップを画成するための１つの製造技法を例示する図である。
【図３Ｂ】第１の薄膜と、この第１の薄膜から離間される第２の薄膜から延びる濾過体壁とから濾過体トラップを画成するための１つの製造技法を例示する図である。
【図３Ｃ】第１の薄膜と、この第１の薄膜から離間される第２の薄膜から延びる濾過体壁とから濾過体トラップを画成するための１つの製造技法を例示する図である。
【図３Ｄ】第１の薄膜と、この第１の薄膜から離間される第２の薄膜から延びる濾過体壁とから濾過体トラップを画成するための１つの製造技法を例示する図である。
【図３Ｅ】第１の薄膜と、この第１の薄膜から離間される第２の薄膜から延びる濾過体壁とから濾過体トラップを画成するための１つの製造技法を例示する図である。
【図３Ｆ】第１の薄膜と、この第１の薄膜から離間される第２の薄膜から延びる濾過体壁とから濾過体トラップを画成するための１つの製造技法を例示する図である。
【図３Ｇ】第１の薄膜と、この第１の薄膜から離間される第２の薄膜から延びる濾過体壁とから濾過体トラップを画成するための１つの製造技法を例示する図である。
【図３Ｈ】第１の薄膜と、この第１の薄膜から離間される第２の薄膜から延びる濾過体壁とから濾過体トラップを画成するための１つの製造技法を例示する図である。
【図３Ｉ】第１の薄膜と、この第１の薄膜から離間される第２の薄膜から延びる濾過体壁とから濾過体トラップを画成するための１つの製造技法を例示する図である。
【図４Ａ】図２ＡのＭＥＭＳ濾過体モジュールの濾過領域全体にわたって使用可能な濾過領域構成の１つの実施形態を示す斜視断面図である。
【図４Ｂ】図４Ａの濾過領域構成によって使用される１対の濾過体トラップを示す断面図である。
【図４Ｃ】図４Ａの濾過領域構成によって使用される１対の下部薄膜の一部を示す斜視図である。
【図４Ｄ】図４Ａの濾過領域構成の一部を示す斜視図であり、上部薄膜が除去されている。
【図４Ｅ】図４Ａの濾過領域構成の上部薄膜の一部を示す斜視図であり、この薄膜から濾過体壁および支持体が延びているのを例示する。
【図４Ｆ】図４Ａの濾過領域の一部を示す斜視図であり、上部薄膜が下部薄膜から引き離されて分解されている。
【図５Ａ】図２ＡのＭＥＭＳ濾過体モジュールの濾過領域全体にわたって使用可能な濾過領域構成の別の実施形態を示す断面図である。
【図５Ｂ】図５Ａの濾過領域構成によって使用される下部薄膜の一部を示す斜視図である。
【図５Ｃ】図５Ａの濾過領域構成の一部を示す斜視図であり、上部薄膜が除去されている。
【図５Ｄ】図５Ａの濾過領域構成の上部薄膜の一部を示す斜視底面図であり、この薄膜から濾過体壁および支持体が延びているのを例示する。
【図５Ｅ】図５Ａの濾過領域の一部を示す斜視図であり、上部薄膜が下部薄膜から引き離されて分解されている。
【図６Ａ】図２ＡのＭＥＭＳ濾過体モジュールの濾過領域全体にわたって使用可能な濾過領域構成の別の実施形態を示す断面図である。
【図６Ｂ】図６Ａの濾過領域によって使用される下部薄膜の一部を示す斜視図である。
【図６Ｃ】図６Ａの濾過領域構成の一部を示す斜視図であり、上部薄膜が除去されている。
【図６Ｄ】図６Ａの濾過領域構成の上部薄膜の一部を示す斜視底面図であり、この薄膜から濾過体壁および支持体が延びているのを例示する。
【図７Ａ】図２ＡのＭＥＭＳ濾過体モジュールの濾過領域全体にわたって使用可能な濾過領域構成の別の実施形態を示す斜視断面図である。
【図７Ｂ】図７Ａの濾過領域によって使用される下部薄膜の一部を示す上部平面図である。
【図７Ｃ】図７Ａの濾過領域によって使用される１つの中央支持体およびその対応する環状支持体／封止体を示す上部平面図である。
【図７Ｄ】図７Ａの濾過領域によって使用される１つの環状濾過体壁を示す上部平面図である。
【図７Ｅ】図７Ａの濾過領域によって使用される上部薄膜の一部を示す上部平面図である。
【図８Ａ】図２ＡのＭＥＭＳ濾過体モジュールの濾過領域全体にわたって使用可能な濾過領域構成の別の実施形態を示す斜視断面図である。
【図８Ｂ】図８Ａの濾過領域構成によって使用される下部薄膜の一部を示す斜視図である。
【図８Ｃ】図８Ａの濾過領域構成の一部を示す斜視図であり、上部薄膜が除去されている。
【図８Ｄ】図８Ａの濾過領域構成の上部薄膜の一部を示す斜視底面図であり、この薄膜から濾過体壁および支持体が延びているのを例示する。
【図９Ａ】図２ＡのＭＥＭＳ濾過体モジュールの濾過領域全体にわたって使用可能な濾過領域構成の別の実施形態を示す斜視断面図である。
【図９Ｂ】図９Ａの濾過領域構成によって使用される下部薄膜および下部支持体の一部を示す斜視図である。
【図９Ｃ】図９Ｂに例示した下部支持体上に位置決めされた第２の薄膜区分の一部を示す斜視図である。
【図９Ｄ】図９Ｂに例示した第２の薄膜区分の上方に位置決めされた濾過体壁ばかりでなく、図９Ａの濾過領域構成によって使用された上部支持体も示す斜視図である。
【図９Ｅ】図９Ａの濾過領域構成の追加的な部分を示す斜視断面図である。
【図１０Ａ】ＭＥＭＳ濾過体モジュールと、このＭＥＭＳ濾過体モジュールが上に製造される基板との間の界接面の１つの実施形態を示す斜視図である。
【図１０Ｂ】図１０ＡのＭＥＭＳ濾過体モジュールを基板の上方で支持するために使用される横方向動作拘束体および連結部の１つを示す拡大斜視図である。
【図１１Ａ】ＭＥＭＳ濾過体モジュールと、このＭＥＭＳ濾過体モジュールが上に製造される基板との間の界接面の別の実施形態を示す斜視図である。
【図１１Ｂ】図１１ＡのＭＥＭＳ濾過体モジュールを基板の上方に支持するために使用される横方向動作拘束体および連結部の１つを示す拡大斜視図である。
【図１２Ａ】ＭＥＭＳ濾過体モジュールを使用する流れ組立体の１つの実施形態を示す分解斜視図である。
【図１２Ｂ】組立状態にある図１２Ａの流れ組立体を示す斜視図である。
【図１３Ａ】ＭＥＭＳ濾過体モジュールを使用する流れ組立体の別の実施形態を示す分解斜視図である。
【図１３Ｂ】組立状態にある図１３Ａの流れ組立体を示す斜視図である。
【図１４Ａ】ＭＥＭＳ濾過体モジュールを使用する流れ組立体の別の実施形態を示す分解斜視図である。
【図１４Ｂ】組立状態にある図１４Ａの流れ組立体を示す斜視図である。
【図１５Ａ】本明細書で説明されるＭＥＭＳ濾過体モジュールのいずれかを使用できる緑内障または眼球内インプラントの１つの実施形態を示す模式図である。
【図１５Ｂ】眼球の前房内部の圧力を軽減し、本明細書で説明されるＭＥＭＳ濾過体モジュールのいずれかを使用できる緑内障または眼球内インプラントもしくはバイパスの１つの実施形態を示す断面図である。
【図１】
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【図２Ａ】
2007534373.tif 000004
【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図２Ｄ】
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【図２Ｅ】
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【図２Ｆ】
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【図３Ａ】
2007534373.tif 000010
【図３Ｂ】
2007534373.tif 000011
【図３Ｃ】
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【図３Ｄ】
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【図３Ｅ】
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【図３Ｆ】
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【図３Ｇ】
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【図３Ｈ】
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【図３Ｉ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図４Ｅ】
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【図４Ｆ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図５Ｄ】
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【図５Ｅ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図６Ｄ】
2007534373.tif 000033
【図７Ａ】
2007534373.tif 000034
【図７Ｂ】
2007534373.tif 000035
【図７Ｃ】
2007534373.tif 000036
【図７Ｄ】
2007534373.tif 000037
【図７Ｅ】
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【図８Ａ】
2007534373.tif 000039
【図８Ｂ】
2007534373.tif 000040
【図８Ｃ】
2007534373.tif 000041
【図８Ｄ】
2007534373.tif 000042
【図９Ａ】
2007534373.tif 000043
【図９Ｂ】
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【図９Ｃ】
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【図９Ｄ】
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【図９Ｅ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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