(57)【要約】流体マニホルド（１０）、および複数の別個の流体流路を有する流体マニホルド（１０）を構築するための構成要素（１６、１８、２０）が、開示される。マニホルド（１０）は、複数のパイプモジュール（３４、３５、３８）および複数のブロックモジュール（２６、２８、３０、３２）を備え、これらのパイプモジュールは、流体流路を形成し、そしてこれらのブロックモジュールは、種々の構成で、パイプモジュール（３４、３６、３８）と一緒に配置されて、流体マニホルド（１０）を形成し得る。パイプモジュール（３４、３６、３８）は、末端のカラーまたはフランジ（４８、４９、５０、５４）を有し、これらの末端のカラーまたはフランジによって、これらのパイプモジュールは、ブロックモジュール（２６、２８、３０、３２）の内部に支持され、そしてこのブロックモジュールの構築は、モジュールが取り外され、そして交換されることを可能にする。
2007532844.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の別個の流体流路を有する流体マニホルドアセンブリを構築するための構成要素であって、該マニホルドアセンブリは、支持体上に設置されるように、そして複数の流体構成要素を該通路と流体連絡させて保持するように設計されており、該構成要素は、以下：
複数のパイプモジュールであって、該パイプモジュールは、該流体流路を形成し、そして各々が、細長パイプセクションおよび２つ以上のコネクタを備え、各コネクタは、該細長パイプセクションと流体連絡して接合される近位端セクションと、カラーで終結する遠位端セクションとを有する、複数のパイプモジュール；ならびに
複数のブロックモジュールであって、該ブロックモジュールは、互いと一緒に、そして該パイプモジュールと一緒に、該流体マニホルドを形成するように配置され得、各ブロックモジュールは、以下：
（ｉ）該ブロックモジュールの内部に形成される少なくとも１つの溝であって、２つのブロックが一緒に配置される場合に、該２つのモジュールにおける向かい合う溝が、開口部を形成するようになっており、該開口部内に、パイプモジュール内のコネクタが受容され得る、少なくとも１つの溝、
（ｉｉ）各溝に隣接する上表面領域であって、２つのブロックモジュールが一緒に配置される場合に、向かい合う表面領域が、支持表面を規定するようになっており、該支持表面は、該開口部にコネクタが受容されているパイプモジュールのカラーを支持するためのものである、上表面領域、および
（ｉｉｉ）構造体であって、該流体構成要素を該接合されたブロック上に設置し、そして該接合されたブロックを該支持体上に設置するための構造体、
を備える、複数のブロックモジュール、
を備え、
該パイプモジュールは、該パイプモジュールのカラーによって、該流体マニホルド内に、該ブロックモジュールによって形成される支持表面と接触して支持され、該ブロックモジュールまたはパイプモジュールが、隣接するブロックモジュールもパイプモジュールも取り外すことなく、取り外され、そして交換されることを可能にする、構成要素。
【請求項２】
前記パイプモジュールが、耐腐食性材料から形成されているが、前記ブロックモジュールは、耐腐食性材料から形成されていない、請求項１に記載の構成要素。
【請求項３】
前記パイプモジュールが、３０４ステンレス鋼、３１６Ｌ  ＶＩＭ−ＶＡＲ、ＨａｓｔｅｌｌｏｙＴＭ、アルミニウム、およびセラミックからなる群より選択される材料から形成されており、そして前記ブロックモジュールが、ステンレス鋼およびアルミニウムからなる群より選択される材料から形成されている、請求項２に記載の構成要素。
【請求項４】
前記パイプモジュールが、前記細長パイプセクションを前記コネクタに接合する、ブロックエルボコネクタから形成されており、そして前記構成要素における異なるパイプモジュールが、異なる長さのコネクタを有し、組み立てられた流体マニホルドにおける隣接するパイプコネクタのブロックエルボコネクタが、該コネクタの軸の方向にずれることを可能にする、請求項１に記載の構成要素。
【請求項５】
各パイプモジュールにおける前記細長パイプセクションが、パイプモジュールがブロックモジュール上に設定される場合の同じパイプモジュールのカラーの垂直位置の変動に適応するために十分に弾性である、請求項１に記載の構成要素。
【請求項６】
異なるパイプモジュールが、該モジュールの細長パイプセクションおよびコネクタにおいて、異なる内径を有する、請求項１に記載の構成要素。
【請求項７】
パイプモジュールにおける前記コネクタのうちの１つが、関連するコネクタカラーに隣接して、狭まった直径を有し、該モジュールを通る流体の流れを制限する、請求項１に記載の構成要素。
【請求項９】
カラーおよびブロックを有するキャップブロックをさらに備え、該カラーは、１対の適合するブロックモジュールによって形成される支持表面によって支持されるように適合されており、そして該ブロックは、塞がれた表面を提供するように適合されており、該塞がれた表面に対して、前記流体構成要素において流体を運んでいる導管がキャップされ得る、請求項１に記載の構成要素。
【請求項１０】
１つの交差マニホルドパイプモジュールをさらに備え、該交差マニホルドパイプモジュールは、隣接するマニホルドの間に流体流路を提供するように設計されており、各交差マニホルドパイプモジュールは、細長パイプセクション、第一のコネクタ、および第二のコネクタを備え、該第一のコネクタは、該細長パイプセクションと流体連絡して接合された近位端セクションと、カラーで終結する遠位端セクションを有し、該カラーは、１対の適合するブロックモジュールによって形成される支持表面によって支持されるように適合されており、そして該第二のコネクタは、該細長パイプセクションと流体連絡して接合される近位端と、コネクタブロックで終結遠位端セクションとを有し、該コネクタブロックは、該対のうちの他の交差マニホルドパイプモジュールにおけるコネクタブロックと嵌合して、該２つのパイプモジュールの間に密封された接続を形成するように適合されている、請求項１に記載の構成要素。
【請求項１１】
２つのモジュールが一緒に配置される場合に、該２つのモジュールによって形成される前記支持表面、および該２つのモジュールによって形成された開口部にコネクタが受容されているパイプモジュールのカラーが、インターロック形状を有し、該インターロック形状は、該支持表面に押し付ける力が該カラーに付与される場合に、該２つのブロックモジュールを一緒に保持するように働く、請求項１に記載の構成要素。
【請求項１２】
前記インターロック形状が、円弧状のさねはぎ形状である、請求項１１に記載の構成要素。
【請求項１３】
前記さねはぎとは、前記カラーの反対側に形成された舌と、前記ブロックモジュールによって形成される上表面の対向する面に形成された１対の溝との対をいう、請求項１２に記載の構成要素。
【請求項１４】
前記カラーが支持表面に接触する面とは反対側の、該カラーの面が、内部に環状シールを受容するための環状凹部を有し、該環状シールは、前記パイプモジュールのコネクタと流体構成要素との間の接続を密封するためのものである、請求項１１に記載の構成要素。
【請求項１５】
前記パイプモジュールのカラーの形状が、実質的に矩形であり、該カラーの長軸が、前記支持表面を規定する表面領域を橋渡しするように適合されており、このとき、２つのモジュールが一緒に配置され、そしてパイプモジュールのコネクタが、前記ブロックモジュールによって形成される関連する開口部に受容される、請求項１１に記載の構成要素。
【請求項１６】
前記ブロックモジュールの、前記支持表面を形成している表面領域が、凹んでおり、そして支持されたパイプモジュールの矩形のカラーを内部に受容するような寸法にされている、請求項１５に記載の構成要素。
【請求項１７】
前記流体構成要素を前記接合されたブロックに設置するための構造体が、該接合されたブロックを前記支持体に設置するための構造体と同じである、請求項１１に記載の構成要素。
【請求項１８】
前記ブロックモジュールが、ブロックを、互いに整列させて一緒に配置させて保持するための構造体を備える、請求項１に記載の構成要素。
【請求項１９】
前記流体構成要素を前記接合されたブロックに設置するための構造体が、該接合されたブロックを前記支持体に設置するための構造体とは別個であり、その結果、流体構成要素をブロックに設置することが、接合されたブロックを該支持体に設置することとは無関係に実施され得る、請求項１８に記載の構成要素。
【請求項２０】
前記接合されたブロックを前記支持体に設置するための構造体が、該ブロックの側面領域に形成された１つ以上のスロットを備え、該各スロットは、内部に座金の一部を受容するように適合されている、請求項１９に記載の構成要素。
【請求項２１】
複数の流体流路を有するモジュール式流体マニホルドアセンブリであって、該マニホルドは、支持体上に設置され、そして複数の流体構成要素を該通路と流体連絡させて保持するように設計されており、該マニホルドは、以下：
複数のパイプモジュールであって、該パイプモジュールは、該流体通路を形成し、そして各々が、細長パイプセクションおよび２つ以上のコネクタを備え、各コネクタが、該細長パイプセクションと流体連絡して接合された近位端セクションと、カラーで終結する遠位端セクションとを有する、複数のパイプモジュール；ならびに
複数のブロックモジュールであって、該ブロックモジュールは、互いに一緒に、そして該パイプモジュールと一緒に配置されて、該流体マニホルドを形成し得、各ブロックモジュールは、以下：
（ｉ）該ブロックモジュールに形成された少なくとも１つの溝であって、２つのブロックモジュールが一緒に配置される場合に、該２つのモジュールの向かい合う溝が開口部を形成するようにされており、該開口部内に、パイプモジュールのコネクタが受容され得る、少なくとも１つの溝、
（ｉｉ）各溝に隣接する表面領域であって、２つのブロックモジュールが一緒に配置される場合に、向かい合う表面領域が、支持表面を規定するようにされており、該支持表面は、該開口部にコネクタが受容されているパイプモジュールのカラーを支持するためのものである、表面領域、および
（ｉｉｉ）該流体構成要素を該接合されたブロックに設置し、そして該接合されたブロックを該支持体に設置するための構造体、
を提供する、複数のブロックモジュール、
を備え、該パイプモジュールは、該ブロックモジュールによって形成される支持表面と接触するカラーによって、該流体マニホルド内に支持され、そしてブロックモジュールは、隣接するブロックモジュールもパイプモジュールも取り外すことなく、取り外され得、そして交換され得る、モジュール式流体マニホルドアセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
（発明の分野）
本発明は、マニホルドアセンブリ、このようなマニホルドアセンブリを使用する気体パネル、および複数の別個の流体流路を有するマニホルドを構築するための構成要素に関する。
【背景技術】
【０００２】
（発明の背景）
半導体の製造は、非常に高純度の気体（例えば、酸素）および非常に腐食性の材料の使用を包含する。これらの気体は、弁、調節器、圧力変換器、マスフロー制御器および他の構成要素から作製される流体マニホルドによって制御され、これらは、この気体の純度を維持しなければならず、そしてまた、流体の腐食の影響に対する耐性を維持しなければならない。現在、気体パネルは、これらの気体を混合し、予め混合し、パージし、サンプリングし、そして排気するために使用される。代表的に、この気体パネルは、気体または気体混合物を、反応チャンバ内に提供するために使用される。これらの気体パネルは、伝統的に、何百もの不連続または個々の構成要素（例えば、弁、フィルタ、流れ調節器、圧力調節器、圧力変換器、および接続具）から作製されている。これらの流体マニホルドは、種々の不連続な構成要素を独特に構成することによって、所望の機能（例えば、混合およびパージ）を提供するように設計される。
【０００３】
モジュール式マニホルドシステムは、これらの問題を克服するために、産業に導入されている。ブロック内で経路決定された通路を有する複数のモジュール式ブロックを備える気体パネルは、特許文献１（Ｍａｒｋｕｌｅｃら）によって記載されている。方向性と横断方向との両方の流れ方向能力が単一のモジュール式基板ブロックに統合されているモジュール式基板ブロックは、特許文献２（Ｈｏｌｌｉｎｇｓｈｅａｄ）によって記載されている。これらのモジュール式システムは、代表的に、半導体の製造のために必要とされる、高純度の金属から作製される全体的なモジュール式ブロックから加工された。代表的に、これらのブロック構成要素は、その材料の費用、および単一のブロックにおける複数の通路の機械加工の複雑さに起因して、高い製造費用を有した。
【０００４】
流体通路およびブロックのために異なる材料を使用するモジュール式ブロックは、特許文献３（Ｅｉｄｓｍｏｒｅら）に記載されている。このシステムにおいて、このマニホルドシステムは、１つ以上の橋架け取付具を備え、これらの取付具は、構造的支持のためのバッキングプレートのチャネル内、または支持ブロック内に設置される。従って、これらの橋架け取付具は、下方から支持される。特許文献４（Ｏｈｍｉら）は、Ｕ字型の断面を有する保持部材、およびこの保持部材によって保持されるチャネル部材を有する、気体パネルを記載する。これらのシステムの欠点は、このシステムの構成が、このシステムを分解することなく改変し得ないことである。
【特許文献１】米国特許第５８３６３５５号明細書
【特許文献２】米国特許第６０８５７８３号明細書
【特許文献３】米国特許第６６２９５４６号明細書
【特許文献４】米国特許第６０３９３６０号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従って、本発明は、迅速に構成可能であり、容易に再構成可能であり、そして費用効果的である、流体マニホルドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（発明の要旨）
１つの局面において、本発明は、複数の別個の流体流路を有する流体マニホルドアセンブリを構築するための構成要素を包含し、このマニホルドアセンブリは、支持体上に設置され、そしてこの通路と流体連絡する複数の流体構成要素を保持するように設計されている。これらの構成要素は、複数のパイプモジュールを備え、これらのパイプモジュールは、流体流路を形成し、そして各々が、細長パイプセクションおよび２つ以上のコネクタを備え、各コネクタは、細長パイプセクションと流体連絡して接合される近位端セクションと、カラーで終結する遠位端セクションとを有する。この構成要素にはまた、複数のブロックモジュールが提供され、これらのブロックモジュールは、互いに、そしてパイプモジュールと一緒に配置されて、この流体マニホルドを形成し得る。各ブロックモジュールは、以下を提供する：（ｉ）このブロックモジュールに形成された少なくとも１つの溝であって、これらの溝は、２つのブロックモジュールが一緒に配置される場合に、これらの２つのモジュールにおける向かい合う溝が開口部を形成するようにされており、この開口部内に、パイプモジュールのコネクタが受容され得る、少なくとも１つの溝、（ｉｉ）各溝に隣接する上表面領域であって、この上表面領域は、２つのブロックモジュールが一緒に配置される場合に、向かい合う表面領域が支持表面を規定するようにされており、この支持表面は、開口部にコネクタが受容されているパイプモジュールのカラーを支持するためのものである、上表面領域；および（ｉｉｉ）流体構成要素を接合されたブロックに設置し、そして接合されたブロックを支持体に設置するための構造体。これらのパイプモジュールは、それらのカラーのマニホルドによって、ブロックモジュールによって形成される支持表面に接触して支持され、ブロックモジュールまたはパイプモジュールが、隣接するブロックモジュールもパイプモジュールも取り外すことなく取り外され、そして交換されることを可能にする。
【０００７】
パイプモジュールは、耐腐食性材料（例えば、３０４ステンレス鋼、３１６ＶＩＭ−ＶＡＲ、ＨａｓｔｅｌｌｏｙＴＭ、アルミニウム、またはセラミック）から形成され得るが、ブロックモジュールは、耐腐食性材料からは作製されないかもしれず、そしてこのブロックモジュールは、耐腐食性である必要はない、より安価な材料（例えば、ステンレス鋼またはアルミニウム）から形成され得る。
【０００８】
このパイプモジュールは、細長パイプセクションをコネクタに接合するブロックエルボコネクタを用いて形成され得、そしてこの構成要素における異なるパイプモジュールは、異なる長さのコネクタを有し得、組み立てられた流体マニホルドにおける隣接するパイプコネクタのブロックエルボコネクタが、コネクタの軸の方向にずれることを可能にする。
【０００９】
各パイプモジュールにおける細長パイプセクションは、パイプモジュールがブロックモジュールに設置される場合の同じパイプモジュールのカラーの垂直位置の変動に適応するために十分に順応性であり得る。
【００１０】
異なるパイプモジュールは、それらの細長パイプセクションとコネクタとにおいて、異なる内径を有し得る。パイプモジュールにおけるコネクタのうちの１つは、関連するコネクタカラーに隣接して狭まった直径を有し、このモジュールを通る流体の流れを制限し得る。
【００１１】
これらの構成要素は、フランジブロックおよびブロックをさらに有し得、このフランジブロックは、１対の向かい合うブロックモジュールによって形成される支持表面によって支持されるように適合され、そしてこのブロックは、塞がれた表面を提供するように適合され、この塞がれた表面に対して、このような流体構成要素において流体を運んでいる導管がシールされ得る。
【００１２】
これらの構成要素はまた、１対の交差マニホルドパイプモジュールを備え得、この交差マニホルドパイプモジュールは、隣接するマニホルドの間に流体流路を提供するように設計され、ここで、各交差マニホルドパイプモジュールは、細長パイプセクション、第一のコネクタ、および第二のコネクタを備え、この第一のコネクタは、細長パイプセクションと流体連絡して接合される近位端セクションと、カラーで終結する遠位端セクションとを有し、このカラーは、１対の向かい合うブロックモジュールによって形成される支持表面によって支持されるように適合され、そしてこの第二のコネクタは、細長パイプセクションと流体連絡して接合される近位端セクションと、コネクタブロックで終結する遠位端セクションとを有し、このコネクタブロックは、その対の他方の交差マニホルドパイプモジュールのコネクタブロックと嵌合して、これらの２つのパイプモジュールの間にシールされた接続を形成するように適合される。
【００１３】
１つの一般的な実施形態において、一緒に配置される場合に２つのモジュールによって形成される支持表面と、これらの２つのモジュールによって形成される開口部にコネクタが受容されているパイプモジュールのカラーとは、インターロック形状を有し、この形状は、支持表面に押し付ける力がカラーに付与される場合に、これらの２つのブロックモジュールを一緒に保持するように働く。このインターロック形状は、円弧状のさねはぎ形状であり得、ここで、このさねはぎとは、例えば、カラーの反対側に形成された１対の舌と、ブロックモジュールによって形成される支持表面の反対側に形成される１対の溝とをいい得る。
【００１４】
カラーが支持表面に接触する面とは反対側の、カラーの面は、内部に環状シールを受容するための環状凹部を有し得、この環状シールは、そのパイプモジュールのコネクタと流体構成要素との間に接続を密封するためのものである。
【００１５】
このパイプモジュールのカラーは、形状が実質的に矩形であり得、このカラーの長軸は、支持表面を規定する表面領域を橋渡しするように適合され、２つのブロックモジュールが一緒に配置され、そしてパイプモジュールコネクタは、ブロックモジュールによって形成される開口部に関連して受容される。ブロックモジュールの、支持表面を形成する表面領域は、凹み得、そして支持されたパイプモジュールの矩形のカラーを内部に受容するための寸法にされ得る。
【００１６】
上記流体構成要素を接合されたブロックに設置するための構造体は、接合されたブロックをこの支持体に設置するための構造体と同じであり得る。
【００１７】
別の一般的な実施形態において、これらのブロックモジュールは、互いに整列して一緒に配置されたブロックを保持するための構造体を備え、そして接合されたブロックに流体構成要素を設置するための構造体は、これらの接合されたブロックを支持体に設置するための構造体とは別体であり得、その結果、ブロックに流体構成要素を設置することは、接合されたブロックを支持体に設置することとは独立して実施され得る。
【００１８】
接合されたブロックを支持体に設置するための構造体は、このブロックの側面領域に形成された１つ以上のスロットを備え得、各スロットは、内部に座金の一部を受容するように適合される。
【００１９】
別の局面において、本発明は、上記パイプモジュールおよびブロックモジュールから形成された、モジュール式流体マニホルドアセンブリ、ならびにこのアセンブリおよびそこに設置された気体構成要素から構成される気体パネルを包含する。
【００２０】
本発明のこれらおよび他の目的および特徴は、添付の図面と組み合わせて以下の発明の詳細な説明を読むと、より完全に理解される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
（発明の詳細な説明）
（Ｉ．定義）
以下の用語は、他に示されない限り、以下の意味を有する。
【００２２】
用語「流体マニホルド」および「気体パネル」は、交換可能に使用され、そして要素のシステム（いくつかは、通路を備える）、ならびに流体、液体、および／または蒸気を調節し、移送し、そして／または制御するための流体構成要素をいう。
【００２３】
用語「流体」は、本明細書中で使用される場合、液体、気体、および／または蒸気をいう。
【００２４】
流体が、１つの要素から他の要素へと、毛管作用および／または重力を介して移動可能である場合、一方の要素は、他方の要素と「流体連絡」している。これらの要素は、必ずしも直接接触している必要はない。すなわち、流体が通過し得る他の要素が、介在し得る。
【００２５】
（ＩＩ．流体マニホルドおよびマニホルド構成要素）
本発明のマニホルド、およびその種々の構成要素は、本発明の１つの一般的な実施形態において図１〜７において、そして本発明の別の一般的な実施形態において図８〜１６において、図示される。上記のように、本明細書中に記載されるデバイスは、半導体の製造において使用されるような、高純度の液体、気体および蒸気と共に特に有用である。しかし、このマニホルドは、液体、気体または蒸気の流れを提供するか、維持するか、または調節するための、任意の用途について有用であることが理解される。
【００２６】
（Ａ．第一の実施形態：インターロックブロック構成）
図１を参照すると、以下に詳細に記載される構成要素は、本発明の第一の一般的な実施形態に従って構築される、モジュール式流体マニホルド（例えば、マニホルド１０、１１）を構築するように、組み合わせられる。以下でより完全に理解されるように、各マニホルドは、複数のパイプモジュール（図示せず）および複数のブロックモジュール（例えば、モジュール１２、１４）からなり、これらのパイプモジュールは、マニホルド内に流体通路を形成する。代表的なマニホルド１０は、この流体マニホルドと組み合わせて使用される流体構成要素または付属品（例えば、構成要素１６、１８、２０）と共に組み立てられて示される。これらの流体構成要素は、代表的に、流れ制御器または流れ調節器であり、弁、流れ調節器、圧力調節器、圧力指示器／変換器、およびフィルタが挙げられるが、これらに限定されない。これらの流体構成要素は、任意の数の種々の流体構成要素と流体連絡し得、これらの流体構成要素としては、流体流れ調節器、流体供給源、圧力変換器、流体出口などが挙げられる。これらの流体構成要素は、代表的に、流体マニホルドの表面に設置され、そしてこの流体マニホルドの構成要素との流体連絡のための、入口および／または出口を備える。これらの流体構成要素は、流体マニホルドに、直接設置されても間接的に設置されてもよいことが、理解される。この流体構成要素が、流体マニホルドに間接的に設置される場合、任意の数の構成要素（シール、加熱器、ロケーター、保持具、およびスペーサーが挙げられる）が、この流体構成要素とこの流体マニホルドとの間に配置され得る。
【００２７】
このマニホルドと、取り付けられる流体構成要素とは、点線で示される基部または支持体２２に設置される。この支持体は、代表的に、使用者のために好都合な高さまで支持体を持ち上げるために、壁に設置されるか、またはテーブルの脚の上に設置される。本明細書での支持体は、２つのマニホルド１０、１１を設置して示され、各マニホルドは、内部流体接続具を有し、そしてこれらのマニホルド自体は、これらのマニホルドの間に延びるパイプモジュールによって、相互接続され得る。代表的に、数個のマニホルドが、単一の支持体に設置される。
【００２８】
図２Ａ〜図２Ｃは、マニホルド１０における代表的なモジュール式ユニット２４を図示する。図２Ａに見られるように、４つのブロックモジュールモジュール２６、２８、３０および３２を含む）ならびに３つのパイプモジュール３４、３６、３８が、このモジュール式ユニットを形成する際に利用される。図２Ａは、完全に組み立てられた形態のユニットを示し、３つのパイプユニットの各々は、４つのブロックユニットによって形成される構造体の内部に支持される。モジュール式ユニットを形成するブロックモジュールのうちの少なくとも２つ（例えば、ブロックモジュール２６、３０）は、溝またはカットアウトセクション（例えば、モジュール２６における溝４およびモジュール２８における溝４２）を備え、その結果、２つのブロックモジュールが一緒に配置される場合に、これらの２つのモジュールにおける向かい合う溝が開口部を形成し、この開口部の中に、パイプモジュールにおけるコネクタが受容され得る。
【００２９】
各溝は、次に、ブロックモジュールの上部表面において凹み（例えば、モジュール２８における凹部４６、モジュール２６における凹部４７、およびモジュール３０における凹部５２）、カラーまたはフランジ（例えば、パイプモジュール３６におけるフランジ４８）のための座を提供し得、これらの２つの向かい合うブロックモジュール（この場合には、モジュール２６および２８）が、溝（例えば、溝４０、４２）が互いに向かい合うように一緒に接合される場合に、このブロックユニットにおけるパイプモジュールのフランジ付きの端部を支持する。すなわち、向かい合う溝は、開口部（例えば、開口部４４）を形成し、この開口部を通して、遠位パイプセクションが受容され、この時、このパイプの支持体のフランジは、これらの２つの溝によって形成される凹部の内部の表面で支持される。より一般的には、各ブロックモジュールは、各溝に隣接する上表面領域（例えば、ブロックモジュール２８の凹部およびブロックモジュール２６の凹部４７に対応する上表面領域）を提供し、これによって、２つのブロックモジュールが一緒に配置される場合に、各開口部に隣接する対面する表面領域は、カラー（例えば、開口部にコネクタが受容されたパイプモジュールのフランジ）を支持するための支持表面（例えば、凹部４６、４７によって形成される凹んだ支持表面４５）を規定する。
【００３０】
これらのブロックモジュールは、好ましくは、安価かつ／または軽量な材料から形成される。このような材料としては、様々な等級のステンレス鋼、様々な等級のアルミニウム、セラミック、焼結金属、打ち抜き金属、および鍛造された金属が挙げられる。好ましい実施形態において、これらのブロックモジュールは、ステンレス鋼またはアルミニウムから形成される。
【００３１】
図２Ａ〜図２Ｃに示される各パイプモジュールは、自由な、支持されていない端部を備え、この端部は、ユニット２４に隣接して構築された隣接ブロックユニットによって支持され、そしてまた、マニホルドの一部を形成する。すなわち、各パイプモジュールは、一端において、１つのモジュール式ユニットの内部に支持され、そして他端において、隣接するユニットによって支持される。より具体的には、以下に記載されるように、各パイプモジュールは、カラーまたはフランジ（例えば、ユニット２４内に支持されるフランジ４８および隣接するモジュール内に支持されるフランジ４９）を備える。これらのフランジ（例えば、フランジ４８、４９、５０、５４）は、向かい合うモジュールによって形成される支持表面（例えば、ブロック２８における凹部４６およびブロック２６における凹部４７によって形成される凹んだ支持表面）内に受容され、そしてこの支持表面上に支持されるような設計および寸法にされる。支持表面における凹部は、フランジが、ブロックモジュールの上表面と同一面に載るような寸法にされ得ることが、理解される。あるいは、この凹部は、フランジが、ブロックモジュールの上表面（図示せず）から凹まされるような寸法にされ得る。この実施形態において、このフランジは、シール（例えば、Ｏリング、金属座金、Ｃ字型シール、Ｗシール、または当該分野において公知である他の任意のシール）を部分的にかまたは完全に受容するために十分に、凹み得る。
【００３２】
図３Ａおよび図３Ｂ、図４Ａおよび図４Ｂは、本発明において適切な、２つの異なる型のパイプモジュール（５６および５８でそれぞれ示される）を図示する。図３Ａ〜図３Ｂは、パイプモジュール５６の斜視図および切取り図を示し、このパイプモジュールの流体流路は、それぞれの端部でコネクタ６１、６３に接合された、細長セクション５７を規定される。各コネクタは、遠位端セクション（例えば、コネクタ６１における遠位端セクション６０およびコネクタ６３における遠位端セクション６２）、ならびに近位端セクション例えば、コネクタ６１における近位端セクション６８およびコネクタ６３における近位端セクション７０）から形成され、この近位端セクションは、このコネクタを、細長パイプセクションの関連する端部に、流体連絡して接合する。従って、各パイプモジュールは、流体流路を形成し、この流体流路は、パイプモジュール５６において１２８で示され、細長パイプセクションおよび末端コネクタによって規定される。
【００３３】
図３Ａ〜図３Ｂに示される実施形態において、コネクタの遠位端セクションは、形作られた連続したパイプエルボを備える。図４Ａ〜図４Ｂに示される実施形態において、コネクタの遠位端セクションは、細長パイプセクション５９に接合された、ＭｉｃｒｏｆｉｔＴＭエルボ取付具７２、７４を備える。この細長セクションは、任意の適切な取付具または屈曲パイプセクションによって、コネクタに接合され得ることが理解される。
【００３４】
上記のように、このコネクタの遠位端セクションは、パイプモジュールをその反対側の端部にて、ブロックモジュールによって形成される関連する支持表面に支持するためのカラーを備える。本発明のこの第一の実施形態において、このカラーは、フランジ（例えば、パイプモジュール５６におけるフランジ７６、７８、およびパイプモジュール５８におけるフランジ８０、８２）である。他の実施形態（例えば、以下のＢ節に記載される実施形態）において、このカラーは、パイプの遠位端セクションに取り付けられた、矩形の支持プレートである。あるいは、このカラーは、これらのパイプモジュールを支持する２つのブロックモジュールにおける相補的な支持構造体に係合するための、１つ以上のピンの形態、または遠位端セクションに取り付けられたカラーの形態を採り得る。
【００３５】
細長セクションは、上記のように、コネクタに溶接されても、他の様式で永続的に接合されてもよい。別の実施形態において、特に、超清浄な用途のために、溶接なしのシステムが使用され得る。このパイプモジュールは、細長パイプセクションなしで一緒に結合された、２つのエルボ型の取付具をさらに備え得る（図示せず）。なお別の実施形態において、パイプモジュール（細長部材、コネクタセクション、およびフランジを含む）の全体または一部は、単一片から形成され得る（図示せず）。細長パイプセクションおよびコネクタセクションは、代表的に、Ｕ字型またはＷ字型（３つのコネクタ）を形成するように結合されるが、他の形状が可能である。別の実施形態において、これらのパイプモジュールは、１つ以上の外部接続具を備え、これらの外部接続具は、流体ラインまたは流体供給源、廃液または溢れのレセプタクル、あるいは反応チャンバの接続のための入口および／または出口として働き得る。これらの外部接続具は、外部の供給源、パージ、レセプタクルまたは廃液への接続のための、任意の適切な取付具（例えば、ＶＣＲ接続具（図示せず））を備え得る。
【００３６】
超高純度の実施形態については、流体流路（例えば、通路１２８）は、公知の方法に従って内部を電解研磨および／または仕上げられて、腐食を防止し得、そして超清浄な環境を提供し得る。好ましい実施形態において、流体流路およびフランジを含む全ての湿る表面が、電解研磨される。
【００３７】
パイプモジュールは、その用途に適切な任意の材料から形成され得る。超高純度の実施形態については、これらのパイプモジュールは、高い等級のステンレス鋼（例えば、３０４ＳＳおよび３１６ＳＳ）、ニッケル合金、焼結合金、セラミック、高い等級のアルミニウム、タングステン合金、およびチタン合金から形成され得る。好ましい実施形態において、これらのパイプモジュールの少なくとも湿る表面（流路およびフランジ）は、非腐食性であるか、耐腐食性であるか、または非反応性の金属または合金から形成される。より好ましい実施形態において、これらのパイプモジュールは、３１６Ｌ  ＶＩＭ−ＶＡＲまたは合金（例えば、ＨａｓｔｅｌｌｏｙＴＭ（Ｈａｙｎｅｓ  Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌから入手可能））から形成される。産業用の用途については、任意の適切なプラスチックまたは金属が適切である。細長セクション、コネクタセクションおよびフランジの各々が、異なる材料から形成され得ることが、理解される。ブロックモジュールは、パイプモジュールと同じ材料から形成され得るが、必ずしもそうでなくてもよいことが、さらに理解される。実際に、本発明の１つの重要な利点は、腐食性の気体および他の流体に曝露されるパイプモジュールが、高品質の、代表的にはより高価な金属または金属合金から形成され得、一方で、腐食性の流体には曝露されないブロックモジュールは、比較的安価な材料（例えば、異なる等級のステンレス鋼、異なる等級のアルミニウム、セラミック、焼結金属、打ち抜き金属、および鍛造された金属）から形成され得ることである。好ましい実施形態において、これらのブロックモジュールは、ステンレス鋼またはアルミニウムから形成される。
【００３８】
上記のように、パイプモジュールは、流体マニホルドの必要な機能に応じて、他の構成を有し得る。図５Ａ〜図５Ｂは、コネクタが３つのパイプモジュール８４の斜視図および切取り図を示し、このパイプモジュールは、両端ならびに示されるような内部コネクタ９４、９６、９８、ならびに２つの細長パイプセクション（例えば、セクション８６、８７）を備え、各パイプセクションは、一端において、示されるように、これらのコネクタに接続される。図５Ｃ〜図５Ｄに見られるように、このパイプモジュールは、取付具の組み合わせを備え得る。この実施形態において、パイプモジュール１０５は、１対の細長パイプセクション１０６、１０８を備え、各パイプセクションは、エルボジョイントを介して端部コネクタ（例えば、コネクタ１１０）に接合され、別の型の取付具を介して内部コネクタ（例えば、１１２）へと接合される。図示されるようなこのコネクタが３つのパイプモジュールは、２つの投入気体を単一の通路に入れてその中で混合することが望ましい場合、または単一の気体投入物が２つの異なる気体付属品に分配される場合に、使用される。
【００３９】
図２Ａ〜図２Ｃをさらに参照すると、本発明の一般的な実施形態におけるブロックモジュールは、互いに整列させてブロックモジュールを保持するための構造体を備え得る。１つの実施形態において、これらのブロックモジュールを整列させて保持するための構造体は、少なくとも１つの整列ピン（例えば、ピン１３０）および空洞または凹部（例えば、凹部１３２）を備える。この空洞または凹部は、隣接するブロックモジュールのピンを受容し、これによって、これらのブロックモジュールが接合される場合に、この整列ピンが少なくともこの空洞内に保持されるようにするためのものである。図２Ｂに示される別の実施形態において、このブロックモジュールは、これらのブロックモジュールは、重なるセクション（例えば、セクション１３４、１３６）を備えるように形成され得、その結果、これらのブロックモジュールが接合または嵌合される場合に、これらのセクションは、少なくとも部分的に互いに重なる。これらのブロックモジュールは、同じ型の整列構造体を１つより多く備え得ることが、理解される。
【００４０】
上記のように、流体構成要素は、モジュール式ブロックマニホルドの上表面に設置されるように、設計される。１つの実施形態において、これらのブロックモジュールは、これらの流体構成要素を、接合されたブロックの上表面に設置するための構造体を備える。好ましい実施形態において、これらのブロックモジュールは、このブロックモジュールに流体構成要素を固定するための、スロット（例えば、スロット１３８、１４０）を備える。１つの実施形態において、頂部スロット（例えば、スロット１３８）は、ボルトの挿入を可能にするための平滑なボアを有し得、そしてこのねじを固定するために、下スロットの少なくとも一部は、ねじ切りされる。ファスナーは、これらの流体構成要素の基部の開口部を通過して、これらの流体構成要素をこのブロックモジュールに固定する。さらなる実施形態において、ねじまたはボルトは、ブロックのスロット（例えば、スロット１３８、１４０）とブロックモジュール（例えば、モジュール３０、３２）との両方を通過し、そして基部２２に直接固定される。この実施形態において、気体構成要素をこのマニホルドに設置するための構造体はまた、このマニホルドを基部に設置する際に使用される構造体である。
【００４１】
図１、および図６Ａ〜図６Ｃに図示されるように、これらのブロックモジュールは、モジュールユニット１７６を支持体、基部プレートまたは背面プレート２２（図１に示される）に設置するための、別個の構造体を備え得る。図６Ａ〜図６Ｃに見られるように、この設置構造体は、ブロック１７８、１８０のうちの少なくともいくつかの側部領域に形成されたレッジまたはスロット１４２を備え得、このレッジまたはスロットは、ブロックモジュール、および従って、モジュールユニットを、背面プレートに設置するためのものである。この実施形態において、各スロットは、座金１４４または他の適切な構成要素の一部を受容するように適合され、その結果、この座金は、ブロックモジュールのレッジと少なくとも部分的に重なる。この座金は、ファスナー１４６または他の適切な手段（クランプ、ピン、およびねじが挙げられる）によって、基部プレートに固定される。好ましい実施形態において、ブロックユニットは、各角部において、設置構造体１４６と共に基部プレートに固定される。
【００４２】
基部プレートは、代表的に、平坦な矩形のプレートであるが、任意の適切な形状または構成であり得る。基部プレートの幅は、少なくとも１つのモジュールを収容するための大きさにされる。あるいは、この幅は、（図１においてのように）２つ以上のブロックモジュールを収容するような大きさにされ得る。あるいは、２つ以上の基部プレートが組み合わせて使用され得、この場合、これらの基部プレートは、端と端とを並べて隣接または配置されて、流体マニホルドを形成する。この基部プレートの長さは、その流体マニホルドのために必要とされるブロックモジュールの数に従った大きさにされる。２つ以上の流体マニホルドが接続され得ることが、理解される。この基部プレートは、代表的に、モジュールユニットファスナー１４６を受容するための、少なくとも１つの空洞を備える。この基部プレートは、任意の適切なモジュール（金属または金属マトリックス複合材料が挙げられるが、これらに限定されない）からなり得る。この基部プレートは、好ましくは、安価かつ／または軽量の材料（例えば、アルミニウムまたはステンレス鋼）からなる。別の実施形態において、この基部プレートは、プラスチックからなる。
【００４３】
別の実施形態において、この流体マニホルドは、２つ以上のレベルを有する多レベルマニホルドとして組み立てられ得る。この実施形態において、この流体マニホルドは、いくつかのマニホルドを用いて、先に記載されたように組み立てられる。この多レベルマニホルドは、上基部プレートおよび下基部プレートを備え、各基部プレートが、その上に流体マニホルドを組み立てられる。上基部プレートおよび下基部プレートは、必要に応じた支持ブロックによって、分離され得る。この流体マニホルドのレベルは、上レベルとしたレベルとを接続するパイプモジュールを使用して、流体連絡し得る。上基部プレートおよび下基部プレートは、任意の公知の手段（クリップ、クランプ、ボルトおよび／またはねじが挙げられる）によって、固定され得る。
【００４４】
本発明は、ユニットモジュールの好都合な再構築を可能にする。すなわち、本発明は、隣接するブロックモジュールを取り外すことも位置を調節することも必要とせずに、このマニホルドの構成を、例えば、別の型のパイプモジュールを導入するように改変することを可能にする。すなわち、支持モジュールを直接支持するブロックモジュール、または別の型のパイプモジュールを支持するために交換されることが必要なブロックモジュールのみが、取り外される必要がある。この特徴は、図７Ａ〜図７Ｆに図示されており、これらの図は、４つのブロックユニット１６２、１６４、１６６および１６９から構成され、そして２つの開口部１６８、１７０（それぞれパイプモジュール１５８、１６０のコネクタ端部を支持する）を提供する、ブロックユニット１４５を示す。図示される特定の例において、図７Ｆに示されるように、第三のパイプモジュール１７０を、これらの２つのパイプモジュールの端部に隣接させて、このマニホルドに追加することが望ましい。
【００４５】
この改変をこのマニホルドに対して行うために、このブロックユニット上の流体構成要素は、存在する場合に、このブロックモジュールの上表面から最初に取り外される。ブロックモジュール１６２を取り外すために、このブロックモジュールを支持体またバックプレートに設置するための任意の構造体が、取り外される。次いで、図７Ｂおよび図７Ｃにそれぞれ図示されるように、ブロックモジュール１６２、１６４が取り外される。図７Ｄに見られるように３つのパイプモジュールを受容するための溝を有するブロックモジュール１７２が、次いで追加され、このモジュールの取り付けは、パイプモジュール１５８、１６０をこのマニホルドに固定するように働く。次いで、さらなるパイプモジュール１７０が、図７Ｅに示されるように追加され、そしてこのパイプは、図７Ｆに示されるように、このマニホルドに新たなブロックモジュール１７４を取り付けることによって、適所に固定され、そして支持される。
【００４６】
任意の数のブロックモジュールおよび／またはパイプモジュールが、取り外され、そして／または追加されて、必要とされた構成を形成することが、理解される。この例において、存在するパイプモジュール１５８、１６０は、妨害も取り外されもされず、そして隣接するブロックモジュールの構成は、変化しなかったことが注目される。具体的には、これらのパイプモジュールは、それらの細長パイプセクションにおいてブロックの内部で支持されるのではなく、それらの上コネクタ端部のみが支持されているので、存在するパイプモジュールを取り外す必要なく、そして／または下にあるブロックモジュールを取り外すことなく、多数の改変および交換を実施することが可能である。
【００４７】
（Ｂ．第二の実施形態：インターロックブロック構成）
図８を参照すると、以下に詳細に記載される構成要素が、モジュール式流体マニホルド（例えば、マニホルド２１０、２１１および２１３）を構築するように組み合わせられて示されており、各マニホルドは、本発明の第二の一般的な実施形態に従って、構築される。上記節Ａに記載されたマニホルド１０と同様に、ここでのマニホルド（例えば、マニホルド２１０）は、各々が、複数のモジュール式ユニット（例えば、ユニット２１２、２１４）から構成され、各々が、パイプモジュール（図示せず）および複数のブロックモジュールから構成され、これらのパイプモジュールは、このマニホルドに内部に流体通路を形成し、そしてこれらのブロックモジュールは、例えば、パイプモジュールを支持し、そしてこれらのパイプモジュールおよび流体構成要素を、適所に固定するブロックモジュールである。これらのマニホルドは、流体構成要素（すなわち、付属品）（例えば、上記構成要素１６、１８、２０と類似の、この流体マニホルドと共に使用される、マニホルド２１０における構成要素２１６、２１８、２２０）と共に組み立てられて示されている。上記のように、流体構成要素は、任意の数の種々の流体構成要素（流体流れ調節器、流体供給源、圧力変換器、流体出口などが挙げられる）と流体連絡し得、そして代表的に、流体マニホルドの表面に設置され、そしてこの流体マニホルドの構成要素と流体連絡するための入口および／または出口を備える。
【００４８】
マニホルド、および取り付けられた流体構成要素は、基部または支持体２２２に設置され、これらは、各マニホルドに対して、Ｕ字型の軌道（例えば、軌道２２４）を提供し、このトラックは、図１６Ａ〜図１６Ｄに関して以下に記載されるように、マニホルド（２１０）を、支持体に設置するために使用される。この支持体は、代表的に、壁に設置されるか、またはテーブルの脚に設置され、使用者のために好都合な高さまでこの支持体を持ち上げる。
【００４９】
図９Ａ〜図９Ｃは、本発明のこの第二の一般的な実施形態に従って、マニホルドを形成する際に使用される、基本的なブロックモジュールおよびパイプモジュールを図示する。図９Ａおよび図９Ｂには、２つのブロックモジュール２３０、２３２が示されており、これらのブロックモジュールは、パイプモジュール２３４、２３６と一緒に、相互接続されたモジュール式ユニットのうちの１つ（例えば、ユニット２３８）を形成し、本発明のマニホルドを構成する。図９Ａに最もよく見られるように、各ブロックモジュール（例えば、モジュール２３２）は、１対の支持レッグ２４０、２４２およびこれらのレッグにまたがる上ブリッジ２４４から形成される、逆Ｕ字型の一般的な形状を有する。このブリッジの詳細は、図９Ｃにおいて最もよく見え、この図は、図９Ｂにおいてと同様に一緒に配置されるが図９Ｂにおいて９Ｃ−９Ｃで示される切断線に沿って２つにスライスされている、２つのブロックモジュール２３０、２３２を示すこの図に見られるように、ブロックモジュール２３２におけるブリッジ２４４は、複数の半円形の溝またはカットアウト（例えば、溝２４６、２４８）を備え、その結果、２つのブロックモジュールが一緒に配置される場合に、これらのブロックモジュールにおける対向する溝の各々が、円筒形の開口部（例えば、ブロックモジュール２３２、２３０それぞれの溝２４６および２５０によって形成される開口部２５２）を形成する。各ブロックモジュールはまた、１対の垂直開口部（例えば、ブロック２３０、２３２それぞれにおける開口部２３１、２３３）を備え、これらの垂直な開口部は、以下で記載されるように、パネル支持体のブロックを設置するために使用される。
【００５０】
図９Ｃの参照を続けて、各ブロックの中心上表面は、その長さに沿って切り欠きを設けられ、その結果、２つのブロックモジュールが一緒に配置される場合、これらのブロックモジュールの上表面が、これらの２つのブロックモジュールによって形成されるモジュール式ユニットの上表面に沿って延びる矩形のチャネル（例えば、チャネル２５４）を形成する。以下に見られるように、このチャネルは、パイプモジュールの矩形の形状のカラーを支持するための支持表面（例えば、チャネル２４における表面２５６）を形成し、このパイプモジュールのパイプコネクタは、これらのブロックモジュールによって形成される、付随する開口部に受容される。このことは、図９Ｂに最もよく見られる。この図は、パイプモジュールにおけるパイプカラー２５８の一部を示し、このパイプモジュールのパイプコネクタ（図示せず）は、これらの２つのブロックモジュールによって形成される中心開口部に受容され、そしてこのパイプモジュールのカラーは、これらの２つのブロックモジュールによって形成される矩形のチャネル内の表面２５６に支持される。従って、組み立てられたマニホルドにおいて、各パイプモジュールは、その反対側の端部にて、ブロックモジュールの向かい合う対によって形成される２つ以上の支持表面に載っている２つ以上のパイプモジュールのカラーによって、コネクタ（および必要に応じて、図１２Ａおよび図１２Ｂに見られるように、内部コネクタにて）支持される。代表的に、パイプモジュールは、２つ以上の異なるモジュール式ユニットの内部に収容され、そしてこれらのモジュール式ユニットによって支持される。
【００５１】
図９Ｂに最もよく見られるように、パイプモジュール２３４は、上記Ａ節に記載されたパイプモジュールと同じ一般的な構成を有する。簡単に言えば、このパイプモジュールは、各端部においてコネクタ２６０、２６２に接合された細長セクション２５８に規定される、流体流路を有する。各コネクタは、遠位端セクション（例えば、コネクタ２６０における遠位端セクション２６４）および近位端セクション（例えば、コネクタ２６０における近位端セクション）から形成され、この近位端セクションは、このコネクタを、細長パイプセクションの関連する端部に流体連絡させて接合する。図２Ａ〜図２Ｃに関して上で記載されたように、これらのパイプモジュールは、コネクタ遠位端セクションが、形成された連続的なパイプエルボを備えるように形成され得る。図９Ａ〜図９Ｃに示される実施形態において、これらのコネクタの遠位端セクションは、細長パイプセクション２５８に接合された、エルボ取付具（例えば、２６７で示されるＭｉｃｒｏｆｉｔＴＭエルボ取付具）を備える。この細長セクションは、任意の適切な取付具または屈曲したパイプセクションによって、コネクタに接合され得ることが理解される。
【００５２】
上記のように、このコネクタの遠位端セクションは、このパイプモジュールをその反対側の端部にて、ブロックモジュールによって形成される、付随する支持表面に支持するためのカラーを備える。本発明のこの第二の一般的な実施形態において、このカラー構造体は、好ましくは、矩形のフランジまたはプレート（例えば、パイプモジュール２３４におけるコネクタ２６０の遠位端にあるプレート２６８）である。上記のように、このフランジまたはカラーは、対応するパイプコネクタがブロックモジュールの開口部に受容される場合に、このカラーがブロックモジュールの支持表面と接触し、このパイプモジュールの端部を、２つの向かい合うブロックモジュールによって形成される支持表面に支持し得る構造を提供する限り、種々の形状を有し得、この形状としては、複数のピンまたは突出部が挙げられる。これらのパイプモジュールの一般的な構成は、その構成のための好ましい材料を含めて、節Ａにおいて上で記載されたとおりである。
【００５３】
図９Ｃを再度参照すると、ブロックモジュールの支持表面（一緒に配置される場合）、および２つのパイプモジュールによって形成される開口部にコネクタが受容されているパイプモジュールは、インターロック形状を有し、このインターロック形状は、流体構成要素をマニホルドに配置し、そしてシールする際に、支持表面に対してカラーに力が付与される場合、例えば、流体構成要素がカラーの上表面に取り付けられてこの上表面に対してシールされる場合に、これらの２つのブロックモジュールを一緒に保持するように働く。
【００５４】
図示される実施形態において、これらのインターロック形状は、円弧状のさねはぎ形状の形態を採り、ここで、さねはぎとは、パイプモジュールのカラーの反対側に形成された円弧状（例えば、半円形）の舌（例えば、舌２７０）と、各ブロックモジュール支持表面に形成された相補的に円弧状の溝（例えば、溝（図９Ｂ））との対をいう。理解され得るように、カラーが支持表面に押し付けて配置される場合、このカラーの２つの円弧状の舌は、対向する向かい合うブロックモジュールの付随する溝に受容される。従って、このカラーに付与される力は、これらの２つのブロックモジュールの間隔を空けるように働くのではなく、これらのモジュールの表面領域を一緒にロックするように働く。このロック構造体は、ブロックモジュールの支持体表面のカラーの２つの向かい合う表面が、相補的なインターロック表面特徴を有することのみを必要として、種々の形態を採り得ることが理解される。
【００５５】
図９Ａ〜図９Ｃに示されるものの説明を完了させると、各パイプモジュールカラーの上表面が内部に形成され、環状のリングまたは凹部（例えば、このカラーの上表面に形成された凹部２７４）は、シールを受容するように設計され、このシールは、気体構成要素におけるパイプ端部を、このパイプモジュールのパイプコネクタにシールする際に使用される。
【００５６】
上記節Ａに記載されるモジュール式ユニットと同様に、この実施形態におけるパイプモジュールは、腐食性の気体が使用される場合、高品質の耐腐食性の金属または金属合金（例えば、３１６Ｌ  ＶＩＭ−ＶＡＲまたはＨａｓｔｅｌｌｏｙＴＭのような合金（Ｈａｙｎｅｓ  Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌから入手可能））から形成され得、一方で、ブロックモジュールは、より安価な、耐腐食性が低い材料（例えば、ステンレス鋼、アルミニウム、または高強度プラスチック）から形成され得る。
【００５７】
上記のように、これらのパイプモジュールは、流体マニホルドの必要とされる機能に応じて、種々の構成を有し得る。図１０Ａは、ブロックモジュール（例えば、モジュール２８２、２８４）からそれぞれ形成される、複数のモジュール式ユニット（例えば、ユニット２７８、２８０）から構成されるマニホルド２７６の、斜視切取り図を示す。各モジュール式ユニットを形成しているこれらの２つのブロックモジュールのうちの、１つのみが示されている；他方のものは、このブロックモジュールに設置されるパイプモジュール（例えば、モジュール２８６、２８８）を露出させるように、取り外されている。ここで示されるパイプモジュールの具体的な構成は、パイプモジュールの、達成され得る密に充填された配置であって、同時になお、これらのパイプモジュールにおけるパイプセグメントを接続する際に使用される比較的嵩高いパイプ取付具を収容する配置を図示することを意図される。このことは、図示される実施形態において、いくつかのパイプモジュール（例えば、モジュール２８６）に、比較的短いパイプコネクタ（例えば、コネクタ２９０）を提供し、そして隣接して配置されるパイプモジュール（例えば、モジュール２８８、２９２）を提供し、これによって、隣接するパイプモジュールにおける取付具（例えば、取付具２９４、２９６）が垂直方向にずれ、これらの取付具が横方向に重なることを可能にすることによって、なされる。
【００５８】
図１０Ｂにおいてのように、パイプモジュール（例えば、モジュール２９８、３００）がより小さい取付具を備えるように設計される場合、または隣接するパイプモジュールが、より広く間隔を空ける場合、これらのパイプモジュールは、全て、同じ長さのコネクタを有し得、隣接する取付具（例えば、取付具３０２、３０４）は、垂直方向にずれて横方向に収容される。
【００５９】
図１１は、本発明のブロックモジュールおよびパイプモジュール構成要素を用いて形成されたマニホルドに構築された、気体パネル３１０の一部の図であり、このマニホルドは、図８に示されるものと類似であるが、ここに示されるものは、２つのモジュール式ユニット３１２、３１４およびそれらのそれぞれの気体構成要素３１６、３１８が、分解された形態で示され、この気体パネルが本発明の構成要素からどのように組み立てられるかを図示する。
【００６０】
代表的なモジュール式ユニット３１２は、ブロックモジュール３２０、３２２の対からなり、これらのブロックモジュールは、一緒になって、異なるパイプモジュールの支持カラー（例えば、異なるパイプモジュール上のカラー３２６、３２８）を形成する。ガスケットアセンブリ（例えば、ガスケットアセンブリ３００）は、１つ以上の座金ガスケット（例えば、座金ガスケット３３２）を保持し、これらのガスケットは、示されるように、パイプモジュールカラーの対応する凹部と整列し、その結果、組み立てられた気体パネルにおいて、これらの座金は、気体パネルの導管と、対応するパイプモジュールコネクタとの接合部をシールする。
【００６１】
これらのモジュール式ユニットおよび気体構成要素は、ナットプレート（例えば、プレート３３４、３３６）を通して、支持体に設置され、これらのナットプレートは、図８に見られ得るように、そして図１６Ａ〜図１６Ｄに関して以下でより完全に記載されるように、マニホルド支持体に保持される。これらのプレートは、ねじ切りされたスリーブ（例えば、３３７にて示される）を有し、これらのスリーブ内に、ねじ切りされた組み立てボルト（例えば、ボルト３３８）が固定され得る。
【００６２】
この気体パネルを組み立てるために、これらのナットプレートは、図８に示されるように、パネル支持体に配置され、そして個々のモジュール式ユニット（例えば、ユニット３１２および３１４であり、各々が、１対の向かい合うブロックモジュールおよび１つ以上のパイプモジュールからなる）が、これらのパネルに配置され、次いで、これらのユニットは、パイプモジュールのカラーが、対応する支持表面を、例えば、上記さねはぎ構成を介してロックするために位置決めするように、配置される。これらのモジュールがこのように配置されて所望のマニホルドを形成し、そして座金ガスケットが付随するモジュール式ユニット上に配置されると、示されるように、気体構成要素およびモジュール式ユニットは、互いに固定され、そしてこのナットプレートに組み立てボルトを締め付けることによって、この支持体に固定される。
【００６３】
上で示されたように、これらの組み立てボルトは、個々の気体構成要素と、パイプモジュールにおける付随するパイプとの間に気密シールを提供するために充分な力（すなわち、これらの間に位置するシールを変形させるために充分な力）で、締め付けられる。理解され得るように、この力は、向かい合うブロックモジュールの対を一緒にロックし、これらの表面が離れないように維持し、そして同時に、組み立てボルトが締め付けられる際に、パイプモジュールを位置決めして整列させて維持するように働く。これらの組み立てボルト、これらのボルトが受容されるブロックモジュールの開口部、ならびにこれらのボルトを受容してマニホルド構成要素および気体構成要素を支持体にロックするナットプレートはまた、本明細書中でまとめて、流体構成要素をブロックモジュールに設置し、そしてこのブロックモジュールを支持体に設置するための構造体と称される。
【００６４】
上記のことから、このように形成されたマニホルドは、特定のブロックモジュールおよび／またはパイプモジュールのみを必要に応じて取り外し、この気体パネルにおける他の気体構成要素および／またはモジュール式ユニットを解体する必要なく、パイプモジュールおよびブロックモジュールが交換されること（例えば、気体を運ぶ通路の新たな構成を形成するため）が理解される。
【００６５】
図１２Ａおよび図１２Ｂは、内部に４つのコネクタのパイプユニットを運ぶマニホルドの一部の切取り斜視図である。図１２Ａにおけるマニホルド３４０は、少なくとも４つのモジュール式ユニット（例えば、ユニット３４２、３４４）からなり、これらのユニットは、４つのコネクタを有するパイプモジュール３４６を、４つのコネクタカラー（例えば、カラー３４５、３４７）において支持するためのものである。図１２Ｂは、４つのコネクタを有するパイプモジュール３５４についての類似の配置を示すが、ここでは、このモジュールにおけるコネクタパイプの直径が、図１２Ａに示されるものよりかなり小さい。このことは、本発明が、種々のパイプモジュールの構成および流体を運ぶ能力をどのように可能にするかをさらに図示する。
【００６６】
図１２Ｃは、なお別のパイプモジュール構成を有するマニホルド３０６の一部を示す。ここで、隣接するパイプモジュール（例えば、モジュール３０８、３０９）は、異なる長さのパイプコネクタを有し、上記のような取付具の横方向の重なりを可能にし、そしてまた、パイプモジュールを通る流体の流れを制限するための、狭いパイプセクションを有する。もちろん、いずれのマニホルドにおいても、異なるパイプセクションの直径と異なる長さのパイプコネクタとの両方を備えるパイプモジュールが、使用され得る。
【００６７】
図１３Ａは、パイプコネクタ３５６の上部を示し、この上部は、パイプモジュールにおいて、本発明のマニホルドにおいて、流体流れの制限器として機能することが意図される。このコネクタは、制限器３５７を備え、この制限器３５７は、パイプモジュールに接続された気体構成要素と、このモジュールにおけるパイプセクションとの間に、狭い開口部３５９を有し、この制限器を横切る流体の流れの速度を制限する。この図において拡大スケールでまた見られるのは、円弧状の舌（例えば、舌３５８）であり、この舌は、このカラーを、ブロックモジュールの対によって形成される支持表面の対向する溝にロックするために使用され、そして気体構成要素をパイプコネクタにシールする際に使用される座金を受容するために、上カラー表面に凹部３６０が形成される。
【００６８】
図１３Ｂは、本発明のマニホルドに設置される気体構成要素からのパイプ接続部を塞ぐ際に使用することが意図される、ブロックプラグ３６２を示す。この単純な構成要素は、栓が望まれる位置にモジュール式ユニットを配置するように設計されるカラー３６４、および気体構成要素パイプが接続されて塞がれ得る上凹部３６６を備える。
【００６９】
図１４Ａおよび図１４Ｂは、パイプモジュール３７４、３７６をそれぞれ有する１対の交差マニホルドユニット３７０、３７２を図示し、これらのユニットは、隣接するマニホルドの間に流体流路を生じるために設計される。すなわち、モジュール式ユニット３７０は、第一のマニホルド（例えば、図８におけるマニホルド２１０）におけるユニットの１つであり、そしてモジュール式ユニット３７２は、第二のマニホルド（例えば、マニホルド２１１）におけるユニットのうちの１つであり、そしてこれらの２つのユニット内に運ばれるパイプモジュール３７４、３７６は、これらの２つのユニットの間、従って、これらの２つのマニホルドの間に、流体通路を作製する。
【００７０】
パイプモジュール３７４、３７６は、上に記載された２つのコネクタを有するパイプモジュールと類似の構成を有し、各々が、一端において垂直に延びるパイプコネクタの近位端に接続される、水平に延びるパイプセクション（図示せず）を有し、この垂直に延びるパイプコネクタは、モジュール３７４における３７７およびモジュール３７６における３７８に見られるように、カラーにおいて遠位端で終結する。各パイプモジュールのこの端部は、それぞれ、モジュール式ユニット３７０および３７２に支持され、これは、まさに上に記載されたとおりである。各パイプモジュールにおけるパイプセクションの反対側の端部は、コネクタブロック（例えば、モジュール３７４におけるブロック３８０およびモジュール３７６におけるブロック３８２）に接合される。これらの２つのブロックは、図１４Ｂに見られるように、垂直に間隔を空けており、その結果、組み立てられたマニホルドにおいて、これらの２つのブロックは、示されるように、重なる。
【００７１】
代表的なブロック３８０は、上に面する凹部３８４を有し、この凹部は、１対の開口部（例えば、このブロックを通って延びる開口部３８６）の側面におかれる。ブロック３８２は、同様に形成されるが、２つの向かい合う凹部の間に配置されてこれらの凹部の中にあるシーリング座金を通して、凹部３８４と嵌合するために、下に面する凹部を有し、そしてブロックの開口部の間に配置されるピンによって一緒に固定され、２つのパイプモジュールの間、従ってそれらの付随するマニホルドの間に、密封された接続を形成する。
【００７２】
図１５Ａおよび図１５Ｂは、パイプセクション３９０がその対向する端部において、上に詳述されたように、コネクタ３９２、３９４に接合された、パイプモジュール３８８を示す。これらの図は、パイプモジュールの２つの端部の間の支持高さの小さい変動（図１５Ａにおいてｄで誇張された垂直スケールで示される）が、図１５Ｂにおいて誇張されたスケールで示されるパイプセクション３９０の屈曲によって、どのように適応され得るかを図示する。支持高さのこれらの変動は、例えば、隣接するブロックモジュールの支持表面の垂直移動の変動、カラーの厚さの変動、および／またはコネクタの長さの変動に起因し得る。従って、これらの図は、このマニホルドにおける構成要素またはパネル支持表面における垂直寸法の不完全さが、このモジュール式ユニットにおける支持表面とパイプモジュールカラーとの間の角度ひずみなしでどのように適合され、ブロックモジュールの支持表面に対するカラーの効果的な密封を可能にし、そしてマニホルドに対する気体構成要素の効果的な密封を可能にするかを示す。
【００７３】
図１６Ａ〜図１６Ｄは、支持体上へのマニホルドの設置のための設置構造体を図示し、この設置構造体の一部は、図１６Ａにおいて２２２で示されており、そして図８により完全に見られる。上記のように、この支持体は、複数の軌道（例えば、図８における軌道２２４）を有し、この軌道内に、ナットプレート（例えば、ナットプレート３３４）が設置される。図８および図１１に最もよく見られるように、各ナットプレートは、モジュールユニットの角部を、１つのマニホルドおよび隣接するマニホルドにおけるモジュール式ユニットに固定する際に使用され、その結果、各モジュール式ユニットは、支持体への固定のために、４つのナットプレートを必要とし、そして各ナットプレートは、横に並んだ２つのモジュール式ユニットを異なるマニホルドに固定する際に機能する。
【００７４】
ナットプレートを支持体に配置するために、可撓性の管（例えば、ポリマーまたはゴムの管）の短いセクション３３６が、図１６Ｂおよび図１６Ｃに示されるように、ナットプレートに形成されたチャネル３３８に差し込まれ、これらの管セクションを、このナットプレートの下表面をわずかに越えてすぼませる。このナットプレートが軌道２２４に挿入されると、すぼまされた管セクションは、この軌道の下表面をこすり付け、このナットプレートが所望の位置まで移動されると、このプレートを適所に保持するように働く。複数のナットプレートが、支持軌道においてこのように配置されると、マニホルドおよびそれに支持される流体構成要素は、ここで、図１１に関して記載されたように、支持体に取り付けられる。
【００７５】
図１７Ａ〜図１７Ｄは、上に記載されたモジュール式構成要素が、パイプモジュールをチャンバ、タンクまたは他の大きい構成要素またはアセンブリに固定するためにどのように適合され得るかを図示する。これらの図は、パイプモジュール３４０の一端、およびこのパイプモジュールの一端が構成要素３４１に形成された流体通路開口部３４３との流体連絡のために取り付けられる構成要素３４１を示す。１対のブロックモジュール３４４、３４６もまた示され、これらのブロックモジュールは、パイプモジュールを構成要素に固定する際に使用される。
【００７６】
パイプモジュール３４０は、一端においてコネクタ３５０に接合されるパイプセクション３４８を備え、このコネクタは、カラー３５２で終結する。このカラーは、その上表面に、１対の円弧状の舌（例えば、上記パイプモジュールに関して記載されたものと類似の、３５４にて示されるもの）を形成され、これらの舌は、これもまた上に記載されたように、ブロックモジュール３４４、３４６によって形成される下支持表面に形成された対応する溝（図示せず）と係合するためのものである。
【００７７】
パイプモジュールを構成要素に設置するために（図１７Ａおよび図１７Ｂ）、座金ガスケット（図示せず）が、開口部３４３を覆って配置され、そしてこのパイプモジュールは、カラー３５２の下表面に形成された凹部に受容された状態で、この開口部を覆って配置される。ブロックモジュール３４４、３４６は、ここで、コネクタ３５０（図１７Ｃ）を覆う用に配置され、その結果、これらの下表面は、矩形のチャネル（図示せず）を有する支持表面を形成する。この矩形のチャネルは、内部にカラー３５２を受容し、そして１対の対向する溝（図示せず）を提供するためのものである。これらの溝の中に、上記のように、カラーの舌が受容されて、これらのブロックモジュールがカラーに対して締め付けられる場合に、２つのブロックモジュール表面を一緒に保持する。図１７Ｃおよび図１７Ｄに見られるように、これらのブロックモジュールは、固定部材３５４によって、構成要素に固定される。この固定部材は、１対の固定ボルトを有し、これらの固定ボルトは、ブロックモジュールの開口部を通して受容され、そして構成要素のねじ切りされたソケット内に締め付けられるために、ねじ切りされる。
【００７８】
図１８Ａ〜図１８Ｄは、拡張したブロックモジュール（例えば、モジュール３６０）を有する本発明の別の実施形態を図示する。このブロックモジュールは、複数のパイプモジュール（例えば、パイプモジュール３６２、３６４、３６６）を収容するためのものである。この構成は、例えば、１つのマニホルドにおけるパイプモジュールの数および配置が、通常の標準化された構成を超えたものである場合に、有用である。各拡張したモジュールは、その長さに沿って、複数の溝を提供し、そして各溝に付随して、付随するパイプモジュールのカラーを、２つの向かい合うブロックモジュール３６０、３６８によって形成される上表面にロックするための、１対のロック特徴（例えば、円弧状の表面溝）を提供する。一旦、これらのパイプモジュールが、図１８Ｂに示されるように、拡張したブロックモジュールの１つに配置されると、向かい合う、相補的に延びるブロックモジュール３６８が、第一のブロックモジュールに対して配置され、長さに沿って複数のパイプモジュールを備える拡張したマニホルド３７０を形成する。
【００７９】
図１８Ｂおよび図１８Ｃに見られる、２つのパイプコネクタ３７３、３７４は、交差マニホルドのパイプモジュールのパイプモジュールを代表することが意図され、これらのパイプコネクタは、図１８Ｄに示される、隣接する拡張したマニホルド３７２の内部に組み込まれる。これらの細長モジュールユニットは、各々が、気体パネルマニホルドを形成し、上記のように、流体構成要素に対する支持体に固定され得る。
【００８０】
本発明の実施形態の上記説明は、説明および記載の目的で提供された。上記説明は、排他的であることも、本発明を開示された正確な実施形態に限定することも意図されない。明らかに、多くに改変およびバリエーションが、当業者に明らかである。本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって規定されることが、意図される。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】図１は、本発明の１つの実施形態に従って構築された流体マニホルドアセンブリの斜視図であり、代表的な流体構成要素と共に示され、この実施形態は、図２〜図７にもまたさらに図示される。
【図２】図２Ａ〜図２Ｃは、流体マニホルドにおけるモジュール式ブロックを、斜視図（図２Ａ）、分解斜視図（図２Ｂ）および図１Ａにおける断面線２Ｃ−２Ｃを通して見た断面図（２Ｃ）で示す。
【図３】図３Ａ〜図３Ｂは、湾曲したエルボ接続部を有するパイプモジュールの斜視図および切取り図である。
【図４】図４Ａ〜図４Ｂは、ＭｉｃｒｏｆｉｔＴＭエルボ接続部を有するパイプの斜視図および切取り図である。
【図５】図５Ａ〜図５Ｄは、２つの異なる３コネクタパイプモジュールの斜視図および切取り図である。
【図６】図６Ａ〜図６Ｃは、マニホルドを支持体に設置する際に使用される構造体の実施形態を示す。
【図７】図７Ａ〜図７Ｆは、本発明に従うマニホルドパイプモジュール構成を変更する際に使用される工程の斜視図である。
【図８】図８は、本発明の別の実施形態に従って構築された、流体マニホルドアセンブリの斜視図であり、代表的な流体構成要素と共に示されており、この実施形態はまた、図９〜図１６にさらに図示される。
【図９】図９Ａ〜図９Ｃは、パイプモジュールとブロックモジュールとの対を、組み立て前の形態（図９Ａ）および組み立てられた形態（図９Ｂ）；ならびに図９Ｂの切断線９Ｃ−９Ｃに沿って取られた、図９Ｃに見られるモジュール式ユニットにおけるパイプモジュールの拡大切取り図である。
【図１０】図１０Ａおよび図１０Ｂは、本発明に従って構築されたマニホルドの切取り斜視図であり、各々は、複数のモジュール式ユニットから構成され、そしてここで、各ユニットにおける２つのブロックモジュールのうちの１つが取り外されており、内部のパイプモジュールが見えるようになっており、ここで、これらの２つの図は、エルボが垂直方向にずれているパイプモジュール（図１０Ａ）およびエルボが垂直方向に整列したパイプモジュール（図１０Ｂ）を示す。
【図１１】図１１は、本発明の第二の一般的な実施形態に従って形成された、気体パネルアセンブリの一部への、２つの気体パネル構成要素の設置、および支持体へのアセンブリ構成要素の設置を示す、分解斜視図である。
【図１２】図１２Ａ〜図１２Ｃは、異なるパイプモジュールを組み込むマニホルドの一部を示し、第一の２つのパイプモジュールは、４つのパイプコネクタ、ならびに比較的大きいパイプコネクタ直径（１２Ａ）および比較的小さいパイプコネクタ直径（図１２Ｂ）を有し、そして第三のパイプモジュールは、直径が小さいパイプコネクタを有する垂直方向にずれたエルボを有する（図１２Ｃ）。
【図１３】図１３Ａおよび図１３Ｂは、流体流れ制限器を有するパイプモジュールのカラー部分（図１３Ａ）、および気体パネル構成要素からの流体流れをキャップするためのキャップブロックを有するパイプモジュールのカラー部分（図１３Ｂ）の拡大図である。
【図１４】図１４Ａおよび図１４Ｂは、本発明における２つの隣接するマニホルドを接続するためのパイプモジュールを図示し、それぞれ、解体された形態および組み立てられた形態で示される。
【図１５】図１５Ａおよび図１５Ｂは、本発明のパイプモジュールがそれらの２つのカラーの支持部分の変動に適応し得る様式を、誇張された垂直方向の縮尺で図示する。
【図１６】図１６Ａ〜図１６Ｄは、本発明の１つの実施形態に従う、支持体にナットプレートを取り付けるための構成要素を図示する。
【図１７】図１７Ａ〜図１７Ｄは、本発明の別の局面に従う、チャンバ、タンク、または他の大きい構成要素もしくはアセンブリへの、パイプモジュールの接続を図示する。
【図１８】図１８Ａ〜図１８Ｄは、本発明の別の局面に従う、本発明のパイプモジュールを用いて１つ以上のマニホルドを形成するための延長ブロック構造体を図示する。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図５Ｄ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図７Ｄ】
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【図７Ｅ】
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【図７Ｆ】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図９Ｃ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１２Ｃ】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１６Ａ】
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【図１６Ｂ】
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【図１６Ｃ】
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【図１６Ｄ】
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【図１７Ａ】
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【図１７Ｂ】
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【図１７Ｃ】
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【図１７Ｄ】
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【図１８Ａ】
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【図１８Ｂ】
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【図１８Ｃ】
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【図１８Ｄ】
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【手続補正書】
【提出日】平成18年10月16日(2006.10.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の別個の流体流路を有する流体マニホルドアセンブリを構築するための構成要素であって、該マニホルドアセンブリは、支持体上に設置されるように、そして複数の流体構成要素を該通路と流体連絡させて保持するように設計されており、該構成要素は、以下：
Ａ．複数のパイプモジュールであって、該パイプモジュールは、該流体流路を形成し、そして各々が、細長パイプセクションおよび２つ以上のコネクタを備え、各コネクタは、該細長パイプセクションと流体連絡して接合される近位端セクションと、カラーで終結する遠位端セクションとを有する、複数のパイプモジュール；ならびに
Ｂ．複数のブロックモジュールであって、該ブロックモジュールの１対は、１つのブロックを形成するように向かい合う関係で一緒に配置され得、
（１）１つのブロックが、１つ以上のパイプモジュールのコネクタを支持し、そして個々の構成要素を表面に支持するように適合されており、
（２）２つ以上のブロックが、該支持体に固定されるように適合されており、各パイプモジュールのコネクタが、隣接するブロックによって支持され、該隣接するブロックの間、および該ブロックに支持される個々の構成要素の間に、流体流路を提供し、そして
（３）各ブロックモジュールは、以下：
（ａ）該ブロックモジュールの内部に形成される少なくとも１つの溝であって、２つのブロックモジュールが一緒に配置されて１つのブロックを形成する場合に、該２つのモジュールにおける向かい合う溝が、開口部を形成するようになっており、該開口部内に、パイプモジュール内のコネクタが受容され得る、少なくとも１つの溝、および
（ｂ）各溝に隣接する上表面領域であって、２つのブロックモジュールが一緒に配置される場合に、向かい合う表面領域が、支持表面を規定するようになっており、該支持表面は、該開口部にコネクタが受容されているパイプモジュールのカラーを支持するためのものである、上表面領域、
を提供する、複数のブロックモジュール、
を備え、
該パイプモジュールは、該パイプモジュールのカラーによって、該流体マニホルド内に、１つのブロックを形成している向かい合う該ブロックモジュールによって形成される支持表面と接触して支持され、該ブロックモジュールまたはパイプモジュールが、隣接するブロックモジュールもパイプモジュールも取り外すことなく、取り外され、そして交換されることを可能にする、構成要素。
【請求項２】
前記パイプモジュールが、耐腐食性材料から形成されているが、前記ブロックモジュールは、耐腐食性材料から形成されていない、請求項１に記載の構成要素。
【請求項３】
前記パイプモジュールが、３０４ステンレス鋼、３１６Ｌ  ＶＩＭ−ＶＡＲ、ＨａｓｔｅｌｌｏｙＴＭ、アルミニウム、およびセラミックからなる群より選択される材料から形成されており、そして前記ブロックモジュールが、ステンレス鋼およびアルミニウムからなる群より選択される材料から形成されている、請求項２に記載の構成要素。
【請求項４】
前記パイプモジュールが、ブロックエルボコネクタが前記細長パイプセクションを前記コネクタに接合することにより形成されており、そして前記構成要素における異なるパイプモジュールが、異なる長さのコネクタを有し、組み立てられた流体マニホルドにおける隣接するパイプコネクタのブロックエルボコネクタが、該コネクタの軸の方向にずれることを可能にする、請求項１に記載の構成要素。
【請求項５】
各パイプモジュールにおける前記細長パイプセクションが、パイプモジュールがブロックモジュール上に設定される場合の同じパイプモジュールのカラーの垂直位置の変動に適応するために十分に弾性である、請求項１に記載の構成要素。
【請求項６】
異なるパイプモジュールが、該モジュールの細長パイプセクションおよびコネクタにおいて、異なる内径を有する、請求項１に記載の構成要素。
【請求項７】
パイプモジュールにおける前記コネクタのうちの１つが、関連するコネクタカラーに隣接して、狭まった直径を有し、該モジュールを通る流体の流れを制限する、請求項１に記載の構成要素。
【請求項８】
カラーおよびブロックを有するキャップブロックをさらに備え、該カラーは、１対の向かい合うブロックモジュールによって形成される支持表面によって支持されるように適合されており、そして該ブロックは、塞がれた表面を提供するように適合されており、該塞がれた表面に対して、前記流体構成要素において流体を運んでいる導管がキャップされ得る、請求項１に記載の構成要素。
【請求項９】
１つの交差マニホルドパイプモジュールをさらに備え、該交差マニホルドパイプモジュールは、隣接するマニホルドの間に流体流路を提供するように設計されており、各交差マニホルドパイプモジュールは、細長パイプセクション、第一のコネクタ、および第二のコネクタを備え、該第一のコネクタは、該細長パイプセクションと流体連絡して接合された近位端セクションと、カラーで終結する遠位端セクションを有し、該カラーは、１対の向かい合うブロックモジュールによって形成される支持表面によって支持されるように適合されており、そして該第二のコネクタは、該細長パイプセクションと流体連絡して接合される近位端セクションと、コネクタブロックで終結遠位端セクションとを有し、該コネクタブロックは、該対のうちの他の交差マニホルドパイプモジュールにおけるコネクタブロックと嵌合して、該２つのパイプモジュールの間に密封された接続を形成するように適合されている、請求項１に記載の構成要素。
【請求項１０】
２つのモジュールが一緒に配置される場合に、該２つのモジュールによって形成される前記支持表面、および該２つのモジュールによって形成された開口部にコネクタが受容されているパイプモジュールのカラーが、インターロック形状を有し、該インターロック形状は、該支持表面に押し付ける力が該カラーに付与される場合に、該２つのブロックモジュールを一緒に保持するように働く、請求項１に記載の構成要素。
【請求項１１】
前記インターロック形状が、円弧状のさねはぎ形状である、請求項１０に記載の構成要素。
【請求項１２】
前記さねはぎとは、前記カラーの対向する面に形成された舌の対と、前記ブロックモジュールによって形成される支持表面の対向する面に形成された１対の溝とをいう、請求項１１に記載の構成要素。
【請求項１３】
前記カラーが支持表面に接触する面とは反対側の、該カラーの面が、内部に環状シールを受容するための環状凹部を有し、該環状シールは、前記パイプモジュールのコネクタと流体構成要素との間の接続を密封するためのものである、請求項１０に記載の構成要素。
【請求項１４】
前記パイプモジュールのカラーの形状が、実質的に矩形であり、該カラーの長軸が、前記支持表面を規定する表面領域を橋渡しするように適合されており、このとき、２つのモジュールが一緒に配置され、そしてパイプモジュールのコネクタが、前記ブロックモジュールによって形成される関連する開口部に受容される、請求項１０に記載の構成要素。
【請求項１５】
前記ブロックモジュールの、前記支持表面を形成している表面領域が、凹んでおり、そして支持されたパイプモジュールの矩形のカラーを内部に受容するような寸法にされている、請求項１４に記載の構成要素。
【請求項１６】
前記流体構成要素を前記接合されたブロックに設置するための構造体が、該接合されたブロックを前記支持体に設置するための構造体と同じである、請求項１０に記載の構成要素。
【請求項１７】
前記ブロックモジュールが、一緒に配置されたブロックを、互いに整列させて保持するための構造体を備える、請求項１に記載の構成要素。
【請求項１８】
前記流体構成要素を前記接合されたブロックに設置するための構造体が、該接合されたブロックを前記支持体に設置するための構造体とは別個であり、その結果、流体構成要素をブロックに設置することが、接合されたブロックを該支持体に設置することとは無関係に実施され得る、請求項１７に記載の構成要素。
【請求項１９】
前記接合されたブロックを前記支持体に設置するための構造体が、該ブロックの側面領域に形成された１つ以上のスロットを備え、該各スロットは、内部に座金の一部を受容するように適合されている、請求項１８に記載の構成要素。
【請求項２０】
複数の流体流路を有するモジュール式流体マニホルドアセンブリであって、該マニホルドは、支持体上に設置され、そして複数の流体構成要素を該通路と流体連絡させて保持するように設計されており、該マニホルドは、以下：
Ａ．複数のパイプモジュールであって、該パイプモジュールは、該流体通路を形成し、そして各々が、細長パイプセクションおよび２つ以上のコネクタを備え、各コネクタが、該細長パイプセクションと流体連絡して接合された近位端セクションと、カラーで終結する遠位端セクションとを有する、複数のパイプモジュール；ならびに
Ｂ．複数のブロックモジュールであって、該ブロックモジュールの１対は、１つのブロックを形成するように向かい合う関係で一緒に配置され得、
（１）１つのブロックが、１つ以上のパイプモジュールのコネクタを支持し、そして個々の構成要素を表面に支持するように適合されており、
（２）２つ以上のブロックが、該支持体に固定されるように適合されており、各パイプモジュールのコネクタが、隣接するブロックによって支持され、該隣接するブロックの間、および該ブロックに支持される個々の構成要素の間に、流体流路を提供し、そして
（３）各ブロックモジュールは、以下：
（ａ）該ブロックモジュールに形成された少なくとも１つの溝であって、２つのブロックモジュールが一緒に配置されて１つのブロックを形成する場合に、該２つのモジュールの向かい合う溝が開口部を形成するようにされており、該開口部内に、パイプモジュールのコネクタが受容され得る、少なくとも１つの溝、および
（ｂ）各溝に隣接する上表面領域であって、２つのブロックモジュールが一緒に配置される場合に、向かい合う表面領域が、支持表面を規定するようにされており、該支持表面は、該開口部にコネクタが受容されているパイプモジュールのカラーを支持するためのものである、表面領域、
を提供する、複数のブロックモジュール、
を備え、該パイプモジュールは、１つのブロックを形成している向かい合う該ブロックモジュールによって形成される支持表面と接触するカラーによって、該流体マニホルド内に支持され、ブロックモジュールまたはパイプモジュールが、隣接するブロックモジュールもパイプモジュールも取り外すことなく、取り外され、そして交換されることを可能にする、モジュール式流体マニホルドアセンブリ。
【国際調査報告】
2007532844.tif 000052
2007532844.tif 000053
2007532844.tif 000054