(57)【要約】  幅全体に亘ってほぼ一様な厚さを有するガラスシート（３０６）を提供する方法は、ガラスを垂直に延伸する工程を含む。この方法は、アイソパイプ（３０２）からのガラスの質量または粘度を、または双方を制御してガラスシートの水平移動を実質的に排除する。この方法を実施する装置も記載されている。この装置は、加熱要素（３１４）および冷却ジェット（３０３）を備えて粘度を制御し、かつアイソパイプを傾ける機構を備えて質量を制御する。
2007528338.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
延伸ガラスシートの製造方法であって、
１個のアイソパイプを提供し、
該アイソパイプにガラスを提供し、
前記アイソパイプから延伸されているガラスシートの第１の部分および第２の部分においてパラメータを測定し、前記第１の部分におけるパラメータと前記第２の部分におけるパラメータとの比を所定の範囲内に維持する、
各工程を含むことを特徴とするガラスシートの製造方法。
【請求項２】
前記パラメータが粘度であることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記パラメータが質量であることを特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項４】
前記粘度が、前記第１の部分および第２の部分における温度の測定によって間接的に決定されることを特徴とする請求項２記載の方法。
【請求項５】
延伸ガラスシートの製造装置であって、
１個のアイソパイプと、
該アイソパイプのトラフをオーバーフローするガラスを選択的に加熱または冷却することによって、ガラスの温度を調節するデバイスと、
該デバイスを選択的に調節して、前記アイソパイプの第１の側の粘度と該アイソパイプの第２の側の粘度との比を所定の範囲内に維持するコントローラと、
を備えていることを特徴とするガラスシートの製造装置。
【請求項６】
前記第１の側におけるガラスを第１の温度に維持しかつ前記第２の側におけるガラスを第２の温度に維持することによって、前記粘度比が維持されることを特徴とする請求項５記載の装置。
【請求項７】
前記第１の温度および前記第２の温度が、前記ガラスをヒータで加熱することによって維持されることを特徴とする請求項６記載の装置。
【請求項８】
記第１の温度および前記第２の温度が、前記ガラスを加圧エアで冷却することによって維持されることを特徴とする請求項６記載の装置。
【請求項９】
延伸ガラスシートの製造装置であって、
１個のアイソパイプと、
該アイソパイプを選択的に傾けて、前記ガラスシートの第１の側の質量と該ガラスシートの第２の側の質量との比を所定の範囲内に維持するコントローラと、
を備えていることを特徴とするガラスシートの製造装置。
【請求項１０】
前記アイソパイプを選択的に傾けることが、前記第１の側からの第１の質量と前記第２の側からの第２の質量とに基いて実行されることを特徴とする請求項９記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
ディスプレー装置が種々の用途に用いられている。例えばガラスディスプレーは、僅かのみの名前を挙げると、ノートパソコン、フラットパネル・デスクトップモニタ、ＬＣＤテレビ、ならびにインターネットおよび通信装置のための薄膜トランジスタ液晶ディスプレー（ＴＦＴ−ＬＣＤ）に用いられるアクティブマトリクス液晶ディスプレー（ＡＭＬＣＤ）のガラス基板に用いられる。
【０００２】
上述のような多くのディスプレー装置において、これらディスプレー装置に用いられるガラス基板上に、電子部品を直接組み込むことが有用である。これらは、相補形金属酸化物半導体（ＣＭＯＳ）デバイスである薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）であることが多い。これらの用途では、ディスプレーのガラス材料上に直接半導体構造を形成するのが有利である。
【０００３】
したがって、多くのＬＣＤディスプレーは、ガラス基板上に、そしてＬＣ材料層の下に形成されたトランジスタを備えたガラス基板を有することが多い。これらトランジスタは、アレイ状に配置され、かつ周辺回路によって駆動されて所望の電圧を提供して、ＬＣ材料の分子を所望の態様に配向する。これらトランジスタは、ディスプレーの画素（ピクセル）に不可欠な部品である。認識されているように、ガラスパネルの厚さの変化、またはガラスパネル内の欠陥は、トランジスタと画素との間の間隔の変化を齎す。これにより、ディスプレーパネルに歪が生じ得る。もし、上記間隔の変化量が大き過ぎると、ディスプレーの品質が悪影響を受ける。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
それ故に、ＬＣＤその他のディスプレーの用途においては、厚さおよび欠陥に関して許容誤差範囲内のガラス基板を提供して、上述した歪んだガラスの問題を少なくとも回避することは、極めて有益である。
【０００５】
したがって、必要とされるのは、少なくとも上述の問題を解決した、実質的に欠陥が無く、かつ厚さが実質的に一様なガラスを製造する方法である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一つの実施の形態によれば、延伸ガラスシートの製造方法は、１個のアイソパイプを提供し、このアイソパイプにガラスを提供する工程を含む。この方法はまた、上記アイソパイプから延伸されたガラスシートの第１の部分および第２の部分におけるパラメータを測定し、上記第１の部分におけるパラメータと上記第２の部分におけるパラメータとの比を所定の範囲内に維持する工程を含む。
【０００７】
本発明の別の実施の形態によれば、延伸ガラスシートの製造装置は、１個のアイソパイプと、ガラスの温度を調節するデバイスとを備えている。このデバイスは、上記アイソパイプのトラフをオーバーフローするガラスを選択的に加熱または冷却するものである。またこの装置は、上記デバイスを選択的に調節して、上記アイソパイプの第１の側の粘度とこのアイソパイプの第２の側の粘度との比を所定の範囲内に維持するコントローラを備えている。
【０００８】
本発明の別の実施の形態によれば、延伸ガラスシートの製造装置は、１個のアイソパイプと、このアイソパイプを選択的に傾けて、上記ガラスシートの第１の側の質量と上記ガラスシートの第２の側の質量との比を所定の範囲内に維持するコントローラとを備えている。
【０００９】
本発明の別の実施の形態によれば、幅全体に亘って実質的に一様な厚さを有するガラスシートを提供する方法は、ガラスを垂直に延伸し、１個のアイソパイプからのガラスの質量と粘度とを制御して、ガラスシートの水平方向の移動を実質的に排除する工程を含む。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明は、以下の詳細な説明を添付図面とともに読む場合に最も良く理解される。種々の特徴部分は必ずしも実際の比率で描かれてはいない。事実、説明を明白にするために、寸法は任意に拡大または縮小されている。
【００１１】
以下の詳細な説明においては、本発明を完全に理解するために、限定のためではなく説明のための複数の実施の形態が述べられている。しかしながら、本発明は、ここに記載された実施の形態から離れた別の形態においても実施が可能なことが当業者には明らかであろう。さらに、周知の装置、方法および材料についての記載は、本発明の説明が不明瞭にならない限り省略する。
【００１２】
簡潔に言えば、ここに記載されている実施の形態は、ディスプレー装置に用いるためのガラスシートの製造に利用される方法および装置である。数々の実施の形態によれば、これらの装置ならびに方法は、ガラスの粘度および流動するガラスの質量の制御を行なうものである。この制御は、安定した態様での、かつ水平方向の移動を排除したガラスの延伸を助長する。その結果、破損が低減され、かつ形成されたガラスシートまたは基板は、品質領域全体に亘って約１２．０μｍから約２．０μｍ以下の範囲の一様性を有する。厚さの一様性が、ガラスシートの品質領域全体に亘って約５．０μｍから約１．０μｍ以下であるのは効果的である。さらに、ガラスシートの品質領域全体に亘って欠陥が存在しても、直径または深さが約１．０μｍ以下である。
【００１３】
さらに、一つの実施の形態によれば、この実施の形態の方法および装置によって製造されたガラスシートの応力レベルは、ゼロから約１３８０ｋＰａ（２００psi）未満である。当業者には直ちに明らかであるが、 ディスプレーパネルとして用いられるガラス基板において応力レベルが低ければ、画素の位置ずれによる画像歪が低減される。すなわち、ガラス基板のサイズに裁断された後、約２．０μｍ未満の歪を示すに過ぎない。
【００１４】
本発明の詳細な説明の進行につれて、より明らかになるであろうが、ガラスの厚さおよび応力は、ガラスシートの形成時におけるガラスの粘度を望ましい範囲内に維持することによって、またはガラスシートの形成時における各シート半体間の一様な質量バランスを提供することによって、あるいは双方によって、ガラスの厚さおよび応力が有利な範囲内に維持される。
【００１５】
一つの好ましい実施の形態によれば、ガラスの粘度は２箇所の領域で測定され、測定された粘度の比が決定される。望ましい比は、アイソトープから現われるときのガラスの温度を選択的に変えることによって維持される。この温度変更は、保熱覆い内の加熱要素でガラスを加熱することによって、あるいは底において冷却要素を用いることによって、あるいは双方によって達成することができる。
【００１６】
別の実施の形態によれば、ガラスシートの選択された複数の場所におけるガラスの温度を測定することによって、粘度が間接的に測定される。これらの測定は、それぞれがこの技術分野では良く知られている、温度計、熱電対、またはサーミスタなどの適当な温度測定デバイスを用いて行なわれる。
【００１７】
別の実施の形態によれば、アイソパイプの一方側または他方側に出現するガラスの質量を変えることによっても、厚さが維持される。これらおよび他の実施の形態は、それらの他の様相とともに、ここにさらに詳細に記載されている。
【００１８】
さらに別の実施の形態によれば、ガラスシートの各半体における質量の比を維持することによって、ガラスシートの二つの半体間の一様な質量バランスが提供される。この比を維持するための一様な質量バランスは、延伸中に必要に応じて多少のガラスをガラスシートの一方の側に供給することによって達成される。これは、アイソパイプの一方の側における粘度の調整によって、またはアイソパイプを傾けて、アイソパイプの特定の端部に単位時間当りより多くのガラスを供給することによって、あるいは双方の組合せによって達成される。
【００１９】
図１は本発明の実施の形態によるアイソパイプ１００を示す。このアイソパイプ１００は、溶融ガラスが注ぎ口（図１には示されていない）から流し込まれるトラフ１０１を備えている。ガラスはアイソパイプ１００の両側１０２，１０３をオーバーフローし、各側からのガラスが、一般に根元１０４と呼ばれる、アイソパイプ１００の下端で合流する。アイソパイプ１００は、ガラスを受け取るための入口を備えた保熱覆い（図１には示されていない）内に配置される。ここに記載されている特定の実施の形態と同様に、保熱覆いは、ガラスを加熱して、ガラスシートの取入れ半体におけるガラスの粘度とガラスシートの圧縮側半体の粘度との比を所望の値に維持する加熱要素を備えている。本実施の形態に関係のある部分は詳細に説明されているが、アイソパイプを越えるガラスの流れについてはこの技術分野では良く知られているので、本実施の形態の説明を不明瞭にしない限り、一部の詳細説明が省略されていることに注目すべきである。
【００２０】
加熱要素に加えて、アイソパイプ１００の軸線周りの回動が実行されて、ガラスシートの一方の半体の他方の半体に対する一様な質量バランスが維持されることを確実にしている。（ここでの「半体」は、ガラスを等分する仮想線によって決定されることに注目すべきである。）この回動は、図示の点において両側面１０２，１０３にほぼ直交し、かつアイソパイプの重心を通る軸線１０５周りの回動である。軸線１０５周りの矢印によって示されている回動は、正に傾け動作である。
【００２１】
この説明が進むにつれてより明らかになるように、稼動時に、もしアイソパイプ１００を軸線の周りで傾けることによって、アイソパイプの一方側から他方側への一様な質量バランスが達成されるならば、各側において実質的に等しいガラスの垂直な流れを維持するためには、より多くのガラスの流れを必要とするガラスシートの片側に、より多量の（すなわち、単位時間当りより多くの質量の）ガラスが供給されることになる。
【００２２】
アイソパイプの「傾け」操作に加えて、またはその代わりに、一方の側または他方の側におけるアイソパイプからのガラスの流量は、前述のように、加熱に差を設けることによって一方の側におけるガラスの粘度を選択的に変えることにより制御可能である。究極的には、アイソパイプの傾斜による、または加熱による、あるいはそれらの双方による、アイソパイプ１００の両側におけるガラスの流れが実質的に等しくなるようにする制御は、延伸工程におけるガラスシートの水平方向の移動を実質的に阻止する。このことは、ガラスの品質領域全体に亘る厚さの一様性を向上させ、破損を低減し、かつ最終製品中の応力を軽減する。
【００２３】
図２Ａおよび図２Ｂは、アイソパイプ２００内における液状のガラス２０１を示す。前述のように、ガラス２０１はうまくオーバーフローしてアイソパイプ２００の両側面２０３に沿って垂直（ｙ方向）に流れる。ガラス２０１はアイソパイプ２００の両側面２０３に沿って流れ、再び合流してガラスシート２０２を形成する。ガラスシートは牽引ローラ（図２Ａおよび図２Ｂには示されていない）によって最初に、そして最終的にｙ方向へ牽引される。ここに詳述されている本発明の実施の形態においては、アイソパイプ２００からのガラスの各端２０５，２０６の単位体積当りの質量の制御によって、ガラスシート２０２は、ｘ方向、すなわち水平方向の移動が実質的に阻止される。「ウォーキング」と呼ばれることが多いガラスシートのｘ方向の移動は、ガラスシートの破損およびそれに付随する生産量の低下、ガラスシートの品質領域の一方側（または半体）２０５から他方側（または半体）２０６への容認できない厚さの変動、ガラス内の容認できない応力のうちの一つまたは複数を招く可能性がある。
【００２４】
上記「ウォーキング」は、振り子の振動に類似したガラスシートの振動と呼ばれることに注目すべきである。ガラスシートの幅の視点から、振り子の端にある錘はガラスシートと同じ平面にある。上記「ウォーキング」は、図２Ａおよび図２Ｂの実施の形態におけるガラスシートの厚さ方向（図２Ａおよび図２Ｂの実施の形態においてはｚ方向）には通常は発生しないことに注目すべきである。「ウォーキング」は多くの要因によって生じ得るが、主として、延伸中におけるアイソパイプ２００の一端２０７または他端２０８上のガラスの等しくない流れによって生じるガラスシートの水平方向（ｘ方向）の移動に起因する。
【００２５】
アイソパイプの一端と他端との流れの差は、ガラスの温度勾配から、したがってガラスの粘度勾配から発生することが多い。ガラスシートの粘度の低い側は、他の側よりも流速が大きく、同じ時間の間により多くの（すなわちより大きい質量の）ガラスが運ばれる。これが振り子のような運動を発生させ、最終的に、応力による破損、容認できない厚さの差、および／または最終的なガラスシートにおける容認できない応力を発生させる。これらに代わり、またはこれらに加えて、この流れにおける差は、アイソパイプの一端に単位時間に運ばれた過大な質量から発生し、同様の問題を発生させる。
【００２６】
本実施の形態によれば、このアイソパイプは両方の側２０７，２０８間のガラスの供給量の差を排除するためにアイソパイプが傾けられ、あるいは一方の側におけるガラスの粘度を増減して流量を変えるために加熱または冷却するように調節され、あるいは、上記傾け操作と加熱・冷却との組合せが実行される。最終的に、本実施の形態の制御対策は、ガラスシートの各半体２０５，２０６間に供給されるガラスの質量の実質的に一様なバランスを維持する。（上記「半体」は、ガラスを等分するｙ方向の仮想線によって決定される。）この結果、牽引ローラ（図２Ａには示されていない）を設けたことにより、ガラスシートの水平方向（ｘ方向）の移動を伴わないガラスシート２０２全体の垂直方向（ｙ方向）の同一速度での移動が生じる。
【００２７】
図３は、本発明の実施の形態によるガラスシート延伸装置３００を示す。この装置３００は、溶融ガラスをアイソパイプ３０２に注ぎ込む注入口３０１を備えている。アイソパイプ３０２は、このアイソパイプから流出するガラスの粘度を制御するのに用いられる加熱要素を備えた保熱覆い３０７によって実質的に囲まれている。さらにアイソパイプ３０２の根元でガラスを冷却するためにエアチューブ３０３が用いられる。
【００２８】
注入口から供給されたガラスは、図２Ａおよび図２Ｂに関して説明した態様でアイソパイプ３０２をオーバーフローしてガラス３０８として現われ、そこで、端縁牽引ローラ３０４に掴まれる。端縁牽引ローラ３０４は、半液体状態にあるガラス３０８の衰弱を防止するのに有用である。これら端縁牽引ローラ３０４は、このようにしてガラス３０８の形成を助長してガラスシート３０６にする。さらに、金属製であって冷却する必要がある端縁牽引ローラ３０４は、ガラスのエッジのみに係合して、ガラスのどちらか一方のエッジにビード３０９を形成する。良く知られているように、ビード３０９は、ガラスシートの品質領域の厚さの約２．０倍から２．５倍までの厚さと、全体の幅が１５００ｍｍのガラスシートにおいて約２５ｍｍから５０ｍｍの幅（ｘ方向の）とを有する。さらに、ガラスの品質領域とは、両ビード３０９間の領域であることに注目すべきである。
【００２９】
装置３００はまた、少なくとも一対の牽引ローラ３０５を備えている。各牽引ローラ３０５は、ガラスシートの両側においてガラスの外側エッジに係合して（例えばビード３０９において）、特定の垂直（ｙ方向）速度でガラスを牽引する。良く知られているように、ガラスが牽引ローラ３０５によって牽引される垂直速度は、形成されるガラスシートの厚さを決定する。例えば、本実施の形態によれば、品質領域における厚さを約０．２５ｍｍから約３．０ｍｍにするためには、牽引ローラは、それぞれ毎分約７．６２ｍ（３００インチ）から毎分約５２ｃｍ（２０インチ）の速度でガラスを牽引するのに十分な回転速度を有する。牽引ロ−ラとしては、米国特許出願公開第２００３／０１８１３０２ Ａ２号明細書に記載されたものを用いることができる。この公報の記載内容全体が引例として本明細書に組み入れる。
【００３０】
牽引ローラ３０５は、ガラスシートの厚さの疎調整を行なうのに有用である。微調製は、アイソパイプから現れたときのガラスに対しエアチューブ３０３を用いて制御された冷却を行なうことによりなされる。これらエアチューブ３０３の具体例は、１．３ｍの幅に亘る５５００番であり、エアを選択的に供給してガラスを冷却し、極めて制御された態様でその粘度を変える。アイソパイプからのガラスの各側に供給されるエアをバランスさせることが有用であることに注目すべきである。しかしながら、ガラスシートの一端または半体に対するエアが増減されて粘度を正確に変えることが必要である。
【００３１】
一つの実施の形態によれば、ガラスシートの品質領域全体に亘って実質的に一様な厚さを有するガラスシート３０６を牽引ローラが形成する。さらに、もしＴＦＴ ＬＣＤディスプレーなどの用途のためのガラス基板が要求されなければ、上述したような欠陥および応力のレベルの低減されたガラスがことのほか有用である。これらは、本実施の形態のガラスの流動制御方法および装置を用いて達成される。
【００３２】
本実施の形態によれば、ガラスシート３０６の水平方向（ｘ方向）の移動は最少にされ、あるいは実質的に排除され、アイソパイプ３０２を物理的に傾けることによって、アイソパイプ３０２の一方側３１０および他方側３１１から供給されるガラスの量を変えることにより、あるいは一方側３１０または他方側３１１に加える熱を変えることにより、ガラスの質量の一様性が実質的に釣り合わせられる。前者におけるアイソパイプの軸線３１２周りの傾け操作は、ステップモータのような適当なモータ（図示せず）によって行なわれる。後者における温度、したがって粘度は、加熱要素の出力を変えることによって変えることができる。
【００３３】
図示の実施の形態においては、アイソパイプの傾け操作は、保温覆いの圧縮端（アイソパイプにガラスが流入する端部である入力端とは反対側の端部）を昇降させることによって行なわれる。この昇降動作については、公知のモーター・ジャッキ装置が用いられる。
【００３４】
一つの実施の形態においては、アイソパイプの加熱要素３１４（保温覆い３０７の切除により示されている）、アイソパイプの傾け機構、およびアイソパイプのエアチューブにはコントローラ３１３が接続されている。このコントローラ３１３は、オペレータからの、またはセンサからのフィードバックからの、あるいは双方からの指令入力に応答して、傾き、加熱状態およびエアの流れを変える。コントローラ３１３は、傾き、加熱状態およびエアの流れを変えるようにプログラムされたマイクロコンピュータ、または特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）のような公知のまたは標準的な電子装置であることに注目すべきである。コントローラのさらなる詳細は、本実施の形態の説明を不明瞭にしない限り省略する。
【００３５】
ガラスシート３０６の一方の半体の一方側のガラスの質量は、有効に他方側に対して所定の比率の範囲内に維持されている。一つの実施の形態によれば、この比は約０．９から約１．１の範囲内である。もしガラスシートの取入れ側半体３１０のガラスと圧縮側半体３１１のガラスとの質量の比が０．９〜１．１の範囲を外れるならば、ガラスシート３０６の一方側における垂直速度が他方側よりも容認できない程速く（または遅く）なり、有害なレベルの水平移動が生じる結果となる。
【００３６】
同様に、複数の実施の形態によれば、第１の側３１０におけるガラスの粘度と第２の側３１１におけるガラスの粘度の比が約０．９から約１．１の範囲内に維持されている。もしガラスシートの第１の側３１０におけるガラスの粘度と第２の側３１１におけるガラスの粘度との比が０．９〜１．１の範囲外にあるならば、一方側と他方側との垂直速度の差が、有害な程度の水平移動を生じさせる結果となる。
【００３７】
一つの実施の形態によれば、上記質量は、幅方向に沿った位置でのガラスの厚さの測定および双方の半体の質量の計算によって決定される。そこから上記比が計算される。厚さの測定は、周知のレーザー測定技法またはこの分野で周知の他の技法によって行なうことができる。あるいは、ガラスが切断された後に、ガラスシートの各側縁のビード３０９の質量が測定される。等しい長さセグメントの重量（質量）の比が計算され、もしこの比が基準範囲外にあるならば、ここに記載されている矯正的な処置が採られて、上記比が基準範囲内に復帰する。
【００３８】
さらに別の実施の形態においては、所望の粘度比を維持するために加熱要素が用いられる。このために、既知の形式のガラスと、他のガラスシート製造工程からのデータとが用いられ、加熱要素の設定からガラスの温度が決定される。温度から各端部における粘度がその場で決定され、各側における粘度の比が決定される。一つの実施の形態においては、第１の側３１０のガラスの粘度と第２の側３１１のガラスの粘度との比は約０．９から約１．１の範囲内に維持される。
【００３９】
一つの実施の形態においては、アイソパイプを傾けることによって、そして加熱要素の設定を変えることによって、アイソパイプからガラスシートの取入れ側半体３１０に供給されるガラスの質量とガラスシートの圧縮側半体３１１に供給されるガラスの質量との比が約０．９から約１．１の範囲内に維持され、かつガラスシートの取入れ側半体３１０の粘度と、ガラスシートの圧縮側半体３１１の粘度との比が約０．９から約１．１の範囲内に維持されるように、上記質量および熱的条件を変えることができる。
【００４０】
他の実施の形態によれば、厚さを制御するために用いられるエアチューブ３０３からのエアのバランスは、ガラスシートの取入れ側半体３１０とガラスシートの圧縮側半体３１１との質量バランスの一様性の測定として用いられる。このため、一つの実施の形態によれば、アイソパイプの取入れ側半体および圧縮側半体におけるエアの総量のバランスが、約０．９から約１．１の比の範囲内に維持される。もしこの比がこの範囲から外れると、ガラスシートの取入れ側半体またはガラスシートの圧縮側半体に供給されるガラスの質量の変更が、必要に応じてアイソパイプを傾けることにより、または加熱要素の変更により調節され、あるいは上記比が上述した範囲内に収まるまで双方が実行される。
【００４１】
これら実施の形態により、垂直に延伸されるガラスシートの水平方向の移動が、もし実質的に排除されなくとも最少になるように、質量および熱的条件が制御される。形成されるガラスシートの厚さは、ガラスの品質領域全体に亘って実質的に一様であり、ガラス中も応力が最小化される。最後に、破損を伴うことなく罫書きが容易に行なわれ、生産環境において製品が改良される。
【００４２】
以上種々の実施の形態について詳細に説明したが、本明細書を読んだ当業者には、本発明の変形が可能なことは明らかである。このような変形および変更は、添付の請求項の範囲内に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の一つの実施の形態によるアイソパイプの斜視図
【図２Ａ】本発明の一つの実施の形態によるアイソパイプからのガラスの流動を示す正面図
【図２Ｂ】ガラスの流動を示す図２Ａのアイソパイプの断面図
【図３】本発明の一つの実施の形態によるガラスシート製造装置の正面図
【符号の説明】
【００４４】
１００，２０２，３０２    アイソパイプ
１０１    トラフ
１０５，３１５    軸線
２０１，３０８    ガラス
２０２，３０６    ガラスシート
３００    ガラスシート延伸装置
３０３    エアチューブ
３０５    牽引ローラ
３０７    保温覆い
３０９    ビード
３１３    コントローラ
３１４    加熱要素
【図１】
2007528338.tif 000003
【図２Ａ】
2007528338.tif 000004
【図２Ｂ】
2007528338.tif 000005
【図３】
2007528338.tif 000006
【国際調査報告】
2007528338.tif 000007
2007528338.tif 000008