(57)【要約】  液体中の不純物を分析するための装置及び方法が提供される。この装置は、光源１０２に結合されたセル２０４と検出器１１４とを備えている。セル２０４は、該セル２０４の第１の端部に配置され、光を受け取って該セル２０４の長手方向の軸に沿って該セル２０４内に導入する第１の鏡１０８を備えるとともに、該セル２０４の第２の端部に配置され、上記光を少なくとも部分的に反射させる第２の鏡１１０を備えている。液体供給装置２１０は、第１の鏡１０８と第２の鏡１１０との間で、セル２０４の長手方向の軸と交差するように、液体の流れ２０８を投与する。検出器１１４がセル２０４の第２の端部に結合され、液体を透過する光に基づいて、セル２０４内の光の減衰率を決定する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源とともに用いて、液体中の不純物を分析する装置であって、
該装置は、上記光源に結合されたセルを備えていて、上記セルには、
該セルの第１の端部に配置され、上記光源から出た光を受け取り、上記光を、該セルの長手方向の軸に沿って該セル内に導入する第１の鏡と、
該セルの第２の端部に配置され、上記第１の鏡からの光を少なくとも部分的に反射させて該光を上記長手方向の軸に沿って上記第１の鏡に戻す第２の鏡とが設けられ、
該装置は、さらに
上記第１の鏡と上記第２の鏡との間に、上記セルの長手方向の軸と交差するように、上記液体の第１の流れを供給するようになっている第１の液体供給装置と、
上記セルの第２の端部に結合され、上記液体を透過した光に基づいて、上記セル内の光の減衰率を決定するようになっている検出器とを備えている装置。
【請求項２】
上記光源と上記セルとの間に結合された偏光器をさらに備えている、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
上記液体の流れを上記セル内に自由状態で供給するようになっている、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
上記セルが実質的に開放されている、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
上記液体の流れが、予め設定された角度で上記セルの長手方向の軸と交差し、上記液体の流れによる光の反射を実質的に低減するようになっている、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
上記交差角度がブルースター角の余角である、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
上記検出器に結合され、上記セル内の光の減衰率に基づいて上記液体中の上記不純物のレベルを決定する処理装置をさらに備えている、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
上記処理装置が、上記不純物のプロファイルの非ピーク波長のところで測定された第１のリングダウン率と、上記不純物のプロファイルのピーク波長のところで測定された第２のリングダウン率との間の差に基づいて、上記液体中の上記不純物のレベルを決定するようになっている、請求項７に記載の装置。
【請求項９】
上記処理装置が、全ピークプロファイルの測定に基づいて、上記液体中の上記不純物のレベルを決定するようになっている、請求項７に記載の装置。
【請求項１０】
該装置は、
上記光源に結合されるとともに上記セルに結合され、光源からの光を第１の光ビームと第２の光ビームとに分ける光学スプリッタと、
上記光学スプリッタに結合された第２のセルとを備えていて、上記第２のセルには、
該第２のセルの第１の端部に配置され、上記第２の光ビームを受け取り、上記第２の光ビームを、該第２のセルの長手方向の軸に沿って該第２のセル内に導入する第１の鏡と、
該第２のセルの第２の端部に配置され、上記第２の光ビームを少なくとも部分的に反射させて該第２の光ビームを上記長手方向の軸に沿って上記第１の鏡に戻す第２の鏡とが設けられ、
該装置は、さらに
上記第１の鏡と上記第２の鏡との間において、上記第２のセルの長手方向の軸と交差するように、上記不純物を実質的に含まない第２の液体の第２の流れを上記第２のセル内に供給するようになっている第２の液体供給装置と、
上記第２のセルの第２の端部に結合され、上記第２のセル内の第２の光の減衰率を決定するようになっている第２の検出器とを備えている、請求項１に記載の装置。
【請求項１１】
上記第１の検出器と上記第２の検出器とに結合された処理装置をさらに備えていて、
上記処理装置が、上記セル内の減衰率と上記第２のセル内の減衰率との差に基づいて上記液体中の上記不純物のレベルを決定するようになっている、請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
光源を用いて、液体中の微量種を分析する方法であって、
上記光源から光を放射させるステップと、
上記光を、上記液体の第１の流れを透過させるステップと、
上記液体を透過した光の減衰率を測定するステップと、
上記減衰率に基づいて、上記微量種のレベルを決定するステップとを含む方法。
【請求項１３】
光を放射させる上記ステップの後において上記光を偏光させるステップをさらに含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
上記光源からの光を、第１の光ビームと第２の光ビームとに分けるステップと、
上記第１の光ビームを、上記微量種を含む液体の第１の流れを透過させるステップと、
上記第２の光ビームを、上記微量種を実質的に含まない液体の第２の流れを透過させるステップと、
上記液体の第１の流れを透過した上記第１の光ビームの第１の減衰率を測定するステップと、
上記液体の第２の流れを透過した上記第２の光ビームの第２の減衰率を測定するステップと、
上記第１の減衰率と上記第２の減衰率との差に基づいて、上記液体の第１の流れ中の上記微量種のレベルを決定するステップとをさらに含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１５】
上記液体中の上記微量種の吸収スペクトルの決定を、上記微量種のプロファイルの非ピーク波長のところで測定された第１のリングダウン率と、上記微量種のプロファイルのピーク波長のところで測定された第２のリングダウン率との間の差に基づいて行う、請求項１２に記載の方法。
【請求項１６】
上記微量種のレベルを決定する上記ステップを、第１の全ピークプロファイルの測定に基づいて行う、請求項１２に記載の方法。
【請求項１７】
上記液体の第１の流れを、予め設定された角度で上記光と交差するように供給するステップをさらに含む、請求項１２に記載の方法。
【請求項１８】
上記の予め設定された角度を、上記光の外部反射を低減するように選択する、請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
上記の予め設定された角度がおおむねブルースター角の余角である、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
液体中の微量種を分析する装置であって、
光を放射する手段と、
上記光を、液体の第１の流れを透過させる手段と、
上記液体の第１の流れを透過した光の減衰率を測定する手段と、
上記減衰率に基づいて、上記微量種のレベルを決定する手段とを含む装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般的には吸収分光法（absorption spectroscopy）に関するものであり、とくにはキャビティリングダウン分光法（cavity ring-down spectroscopy）を用いた、液体中の微量種（trace species）の検出に向けられたものである。
【背景技術】
【０００２】
以下、図面を参照しつつ説明するが、これらの図面において、同様の参照番号は、同様の要素を示している。図１Ａは、対数目盛上の電磁スペクトルを示している。分光学（science of spectroscopy）は、スペクトルを研究するものである。スペクトルのその他の部分に関する科学とは対照的に、光（optics）は、とくに可視光及び近可視光（near-visible light）を含んでいる。――およそ１ｍｍからおよそ１ｎｍまでの波長に広がる利用可能なスペクトルの非常に狭い部分――近可視光は、赤よりも赤い色（赤外光）と、紫よりも紫の色（紫外光）とを含んでいる。この範囲は、各可視側に対して、光を通常の材料でつくられた大半のレンズ及びミラーによって取り扱うのに十分な範囲に広がっている。大抵の場合、材料の光学的特性の波長依存性を考慮しなければならない。
【０００３】
吸収型分光法は、感度が高く、マイクロ秒のオーダーでの応答時間が良く、被毒からの耐性（immunity from poisoning）が良く、かつ研究対象となっている種以外の分子種（molecular species）からの干渉が限定されるといった特徴がある。種々の分子種は、吸収分光法によって検出又は特定することができる。かくして、吸収分光法は、重要な微量の種（trace species）を検出する一般的な方法を提供する。気相において、この方法の感度及び選択性（selectivity）は最適なものとなる。なぜなら、種は、一群の鋭いスペクトル線において集中された吸収強度を有するからである。スペクトルにおける狭い線は、大半の干渉種に対して、識別するのに用いることができる。
【０００４】
多くの工業プロセスにおいては、流れている気体及び液体の中の微量の種の濃度を測定して、高速かつ高精度で分析することが必要である。汚染物質の濃度は、しばしば最終製品の品質に対して決定的に重要であるので、このような測定及び分析が要求される。Ｎ２、Ｏ２、Ｈ２、Ａｒ及びＨｅなどの気体は、例えば、集積回路を製造するのに用いられるが、これらのガス中における不純物の存在は――たとえ１０億分の１（ｐｐｂ）のレベルであっても――有害であり、操作回路の収率（yield of operational circuits）を低下させる。それゆえ、水を分光法で監視することができるほどの比較的高い感度が、半導体工業で用いられる高純度の気体の製造にとって必要（重要）である。種々の不純物は、その他の工業分野（用途）においても検出しなければならない。さらに、液体中における、元々含まれていたか、又は意図的に加えられた不純物の存在は、近年、特別な関心事となっている。
【０００５】
分光法は、高純度の気体中の気体状の汚染物質に対して、１００万分の１（ｐｐｍ）レベルの検出を実現している。ｐｐｂレベルでの検出感度が実現可能な場合もある。したがって、従来の長光路セル（long pathlength cells）中における吸収測定、光音響分光法（photoacoustic spectroscopy）、周波数変調分光法（frequency modulation spectroscopy）、及び、キャビティ内レーザ吸収分光法（intracavity laser absorption spectroscopy）を含む、いくつかの分光法が、気体中における定量的な汚染物質の監視などの分野に応用されている。これらの分光法は、レーマン（Lehmann）に係る特許文献１中で論じられているいくつかの特徴を有している。しかし、これらは、工業に用いるのが困難であり、実用的ではない。それゆえ、それらは、大半は研究所での研究に限定されている。
【０００６】
これに対して、連続波キャビティリングダウン分光法（ＣＷ−ＣＲＤＳ）は、科学、工業プロセス制御、及び大気中の微量ガス検出への応用において、重要な分光技術となっている。ＣＷ−ＣＲＤＳは、従来の方法では感度が不十分である低吸光度形態（low-absorbance regime）において優れた光学吸収測定のための技術として紹介されている。ＣＷ−ＣＲＤＳは、吸収感応性がある観測可能な要素（absorption-sensitive observable）として、高性能光学共鳴器（high finesse optical resonator）中の光子の平均寿命（mean lifetime）を利用する。
【０００７】
典型的には、共鳴器は、帯域が狭く極めて高い反射率をもつ１対の誘電体の鏡（ミラー）で形成され、適切に配置されて安定な光学共鳴器を形成する。レーザパルスは、１つの鏡を通して共鳴器に注入され、平均寿命をもつ。この平均寿命は、光子往復通過時間と、共鳴器の長さと、種の数密度及び吸収断面と、固有の共鳴器損失の原因となる因子（これは、回折損失が無視できるときには、大半は、周波数に依存する鏡の反射率に起因する。）とに依存する。それゆえ、光学吸収の決定は、従来の出力比（power-ratio）の測定から遅延時間の測定に変わる。ＣＷ−ＣＲＤＳの最終的な感度は、超低損失光学製品の製作を可能にする超研磨（superpolishing）などの技術でもって最小化することができる固有の共鳴器損失の大きさによって決定される。
【０００８】
図１Ｂは、ガラスセル１０９内に収容された液体１１１中の不純物を測定するための従来のＣＷ−ＣＲＤＳ装置１００を示している。図１Ｂに示すように、光１０４は、狭周波数帯可変調連続波ダイオードレーザ１０２（narrow band, tunable, continuous wave diode laser）によって生成される。このレーザ１０２は、温度及び／又は電流制御器（図示せず）により温度及び／又は電流を調整して、その周波数を、不純物の望ましいスペクトル線に合わせることができる。集束レンズ１０６（又はレンズ系）が、レーザ１０２から放射された光１０４に合わせて位置決めされている。光１０４は集束レンズ１０６を出て光学セル１１２に入る。光学セル１１２は、その入力側に鏡１０８を備える一方、その出力側に鏡１１０を備えている。光１０４は、光学セル１１２に入った後、セル１１２の長手方向の軸に沿って進み、セル内の鏡１０８と鏡１１０との間を繰り返し行き来するのに伴って、指数関数的に（exponentially）減衰する。この減衰の測定は、ガラスセル１０９内に収容されている液体１１１中の不純物の存在又は欠如（lack）を示す。
【特許文献１】米国特許第５，５２８，０４０号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
光学セル１１２の出力部と処理装置１１６との間に、検出器１１４が結合されている。処理装置１１６は、ガラスセル１０９内の不純物のレベルを決定するために、光学検出器１１４から入力される信号を処理する。このシステムの欠点は、以下のとおりである。すなわち、ガラスセル１０９は光１０４に対してブルースター角の方向を向いているのにもかかわらず、ガラスセル１０９の表面からの屈折が、光１０４が液体１１１内を進むのに伴って、該光１０４の経路をブルースター角から逸脱ないしは偏倚させてしまうということである。しかし、この屈折を補償するためにガラスセル１０９の方向を調整すると、ガラスセル１０９の外表面での外部反射（external reflection）を生じさせることになる。かくして、光１０４が透過して進まなければならないガラスセル１０９の壁部は、必然的に、望ましくない屈折を生じさせる界面を増加させることになる。その結果、装置の感度を低下させる信号損失（signal loss）を増加させる。
【００１０】
本発明の目的は、従来のシステムの欠点を克服し、ＣＷ−ＣＲＤＳを用いて液体中の不純物を分析するための改良されたシステム及び方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、液体中の不純物を定量的に測定するための装置及び方法を提供する。本発明に係る装置は、ＣＷ−ＣＲＤＳの第１の鏡と第２の鏡との間で、液体の流れをセル内に供給する装置が設けられた連続波キャビティリングダウン分光器（ＣＷ−ＣＲＤＳ）を備えている。セルを抜け出る光は検出器によって監視される。検出器の信号は、分析のために処理装置に出力される。セル内に伝達された光の波長が不純物の吸収スペクトル内で調整された（tuned）ときに、処理装置は、セル内の光の減衰を、液体中の不純物の濃度に関係づける。
【００１２】
光に対する、液体の流れを供給する角度は、液体の流れの表面から光の外部反射（フレネル反射）を低減するように調整することができる。液体の流れと光との間の理想的な交差角度は、当業者にはブルースター角として知られている。
【００１３】
ガラス又はその他の誘電体材料については、偏光角と呼ばれている（デビッド・ブルースターによって実験的に発見されたのでブルースター角ΘＢとも呼ばれている）特定の入射角が存在する。この偏光角においては、Ｐ偏光成分（P-polarization component）に対する反射係数はゼロである。かくして、ガラスから反射した、強度が低い光は、面偏光され（plane-polarized）、入射面に対して垂直な振動面を備えている。偏光角におけるＰ偏光成分は、屈折角Θｒで全面的に屈折させられる。Ｓ偏光成分（S-polarization component）は、部分的に屈折させられるだけである。かくして、伝達された強度が高い光は、部分的に偏光されるだけである。
【００１４】
本発明では、液体を、光の経路と交差する自由な流れとして供給するので、１つ又は複数の容器壁によって生成される干渉（interference）が起こらない。容器壁の存在は、セルの両鏡間の界面を増加させることになる。この増加する界面により生成されるすべての屈折は、液体を透過する光の経路において、光をブルースター角から逸脱ないしは偏倚させ、外部反射に起因する光の損失を生じさせる結果となる。このように容器を取り除いた場合、光の損失は、不純物によって生じる損失にまで低減され、液体の流れの表面で生じる散乱の量を低減することができる。
【００１５】
本発明のもう１つの態様によれば、光源と検出器との間にｐ偏光器（p-polarizer）が設けられる。
【００１６】
本発明のさらにもう１つの態様によれば、液体の流れが自由に（freely）セル内に供給ないしは投入される（projected）。
【００１７】
本発明のさらにもう１つの態様によれば、ＣＷ−ＣＥＤＳセルは実質的に開放され、光ビームと交差する液体の流れの供給ないしは投入を促進する。
【００１８】
本発明のさらにもう１つの態様によれば、該装置は、液体の流れと光ビームとの間の交差角度を調整して、光ビームの外部反射を低減することが可能となるように構成されている。
【００１９】
本発明のさらにもう１つの態様によれば、処理装置は、不純物のピーク波長と非ピーク波長との間のリングダウン率（ring-down rate）の差に基づいて、液体中の不純物の濃度を決定するように構成されている。
【００２０】
本発明のさらにもう１つの態様によれば、処理装置は、全ピークプロファイル（whole peak profile）に基づいて、不純物の濃度を決定するように構成されている。
【００２１】
本発明のさらにもう１つの態様によれば、該装置にはまた、光学スプリッタと、第２のセルと、第２の流れ供給装置と、第２の検出器とが設けられている。第１のセル内の液体との比較のために、第２の液体が第２のセル内に導入される。第２の検出器は、その検出信号を、第１の検出器からも信号を受け取る処理装置に出力する。この後、処理装置は、各検出器からのデータを比較することにより、第１の流れ中の不純物の濃度を決定する。
【００２２】
本発明のさらにもう１つの態様によれば、該装置にはまた、第２の光源が設けられている。この第２の光源は、他の不純物の分析のための、又は第１の波長との基準線比較（baseline comparison）の比較のための第２の波長に調整する（tune）ことができる。
【００２３】
本発明のさらにもう１つの態様によれば、該装置にはまた、第２の光源と、第２の流れ供給装置と、第２の検出器とが設けられている。第１の流れ及び第２の流れは、第１の光ビーム及び第２の光ビームの両方と交差して投与され、複数の不純物の分析のため、又は２つの流れ間の比較のため、２つの波長で２つの流れの測定を同時に実施することを可能にする。
【００２４】
前記の一般的な説明及び以下の詳細な説明は、いずれも本発明の典型例を示すものであって、本発明を制限するものではないということを理解すべきである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
本発明は、添付の図面を参照しつつ以下の詳細な説明を読むことにより最も良く理解されるであろう。一般的な実務慣行により、図面の種々の特徴は正確な寸法のものではないということが強調される。また、種々の特徴の寸法は、特徴を明瞭化するために、任意に拡張又は縮小されている。図面は、図１Ａ、図１Ｂ、図２及び図３を含んでいる。
【００２６】
図２は、本発明の典型的な実施の形態２００を示している。図２に示すように、光１０４は、例えば狭周波数帯可変調連続波ダイオードレーザ（narrow band, tunable, continuous wave diode laser）などの光源１０２によって生成される。この光源１０２は、温度及び／又は電流制御器（図示せず）により温度及び／又は電流を調整して、その周波数を、微量種などの対象不純物の望ましいスペクトル線に合わせる（put on）ことができる。光１０４は、集束レンズ又は集束レンズ系１０６によって集束ないいは焦点合わせされ、順に、光１０４をｐ方向に偏光させる（polarize）ｐ偏光器２０２（p-polarizer）に供給される。Ｐ偏光２０５（P-polarized light）は、偏光器２０２から第１の鏡１０８に伝達され、さらにセル長手方向の軸に沿って開放セルなどのセル２０４に伝達される。液体の流れ２０８を供給するための、液体ジェット（liquid jet）などの供給装置２１０が、第１の鏡１０８と第２の鏡１１０との間に液体の流れ２０８を供給できるように、かつある角度２０６でセル２０４の長手方向の軸と交差するように位置決めされている。１つの実施の形態においては、角度２０６は、光１０４の外部反射を低減するように調整される。この角度２０６は、スルースター角の余角（complementary to Brewster's angle）又はその近傍に設定するのが好ましい。この場合、ジェットはブルースター角であるので、フレネル反射は最小となる。さらに、１つの実施の形態においては、液体２０８は、自由な状態で、すなわちガラス導管やその他の規制要素によって閉じ込められることなくセル２０４内に導入される。
【００２７】
供給装置２１０は、該供給装置２１０に実質的に連続な液体の流れ２０８を供給するポンプ機構２１２又はその他の供給源に結合されている。液体の流れ２０８を透過した光２０５は、第２の鏡１１０によって、セル２０４の長手方向の軸に沿って反射させられ元の位置に戻る。セル２０４に結合された検出器１１４は、セル２０４内における光２０５の減衰率を監視し（monitor）、この減衰率を示す出力信号２１４を生成する。処理装置１１６は、検出器１１４に結合され、液体の流れ２０８中の１つ又は複数の不純物又は分析物（analyte）のレベル（level）を決定するように構成されている。非制限的な１つの具体例においては、この決定は、不純物のピークプロファイル（peak profile）から適当な距離のところで選択された波長で測定された第１のリングダウン率を、不純物のピークプロファイル内で選択されたもう１つの波長で測定された第２のリングダウン率と比較することにより行うことができる。この決定を行う技術の代替的な具体例においては、全ピークプロファイル（whole peak profile）の測定を行い、線形（lineshape）のフィッティングを行うであろう。この典型的な実施の形態においては、ｐ偏光器２０２を用いているが、本発明は、これに限定されるものではなく、ｐ偏光器２０２の設置は任意であって、必要がなければ省いてもよい。さらに、この典型的な実施の形態では、液体の不純物について説明を行っているが、本発明はまた、それらを搬送液体（carrier liquid）に溶解させることにより、固体の試料の分析にも用いることができる。
【００２８】
図３は、本発明のもう１つの典型的な実施の形態３００を示している。この実施の形態には、さらに、光１０４を第１の光ビーム３０３と第２の光ビーム３０５とに分ける光学スプリッタ３０２が設けられている。必要であれば、２つの光ビームは、それぞれ、鏡３０４によってセル２０４及びセル３１０に向かうように再度方向づけされる。１つの典型的な具体例においては、第１のセル２０４と第２のセル３１０とを同時に操作することができる。第２のセル３１０は、第１の典型的な実施の形態において説明した前記のセル２０４と同様のものであり、第１の鏡３０６と第２の鏡３０８とを備えている。第２の光ビーム３０５は、第１の鏡３０６を通ってセル３１０に入り、セル３１０内の長手方向の経路に沿って進む。供給装置３１６は、第１の鏡３０６と第２の鏡３０８との間に、第２の液体の流れ３１４を供給し、ある角度３１２で光ビーム３０５と交差する。第１の典型的な実施の形態と同様に、角度３１２は、光の外部反射を低減するように調整され、好ましくはブルースター角の余角となるように調整される。
【００２９】
第２の供給装置３１６は、該第２の供給装置３１６に実質的に連続な第２の液体の流れ３１４を供給するポンプ機構３１４又はその他の供給源に結合されている。第２の液体の流れ３１４は、分析対象である不純物（又は分析物）を実質的に含まない基準液体（reference liquid）であってもよく、第１の液体との比較のための第２の活性的な液体試料（active sample of liquid）であってもよく、あるいは実質的に同時に分析を行うための他の液体試料であってもよく、その選択は随意である。第２の液体の流れ３１４を透過した第２の光ビーム３０５は、第２の鏡３０８によって、セル３１０の長手方向の軸に沿って反射させられ元の位置に戻る。第２のセル３１０に結合された第２の検出器３１６は、第２のセル３１０内における第２の光ビーム３０５の減衰率を監視し、この減衰率を示す出力信号３２０を生成する。処理装置１１６はまた、第１の検出器１１４及び第２の検出器３１６の両方に結合され、液体の流れ２０８及び液体の流れ３１４の一方又は両方の中の不純物のレベルを決定するように構成されている。その他のすべての態様において、この典型的な実施の形態は第１の典型的な実施の形態と同様である。
【００３０】
本明細書では、ある特定の実施の形態を参照しつつ図示及び説明が行われている。しかしながら、本発明は、このような詳細な記載に限定される趣旨でない。むしろ、請求の範囲の記載と等価な範囲及び領域内において、本発明の趣旨から離脱することなく、種々の修正がきめ細かくなされることができるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１Ａ】対数目盛による電磁スペクトルを示す図である。
【図１Ｂ】液体を分析するための、従来技術に係るＣＷ−ＣＲＤＳシステムを示す図である。
【図２】本発明の典型的な実施の形態を示す図である。
【図３】本発明のもう１つの典型的な実施の形態を示す図である。
【符号の説明】
【００３２】
１０２  光源、１０４  光、１０６  レンズ系、１０８  第１の鏡、１１０  第２の鏡、１１４  検出器、１１６  処理装置、２０２  偏光器、２０４  セル、２０５  偏光、２０６  角度、２０８  液体の流れ、２１０  液体供給装置、２１２  ポンプ機構。
【図１Ａ】
2007534931.tif 000003
【図１Ｂ】
2007534931.tif 000004
【図２】
2007534931.tif 000005
【図３】
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【国際調査報告】
2007534931.tif 000007
2007534931.tif 000008
2007534931.tif 000009