(57)【要約】トリプルコーナーキューブ（１８）などのような、高度に精密な光学アセンブリを組み立て、計測するための、干渉装置（２０）および方法である。その装置および方法は、一つ以上の表面の形、方位、および、表面までの距離を同時に計測することが可能な、一つ以上の干渉計を使用する。その形、方位、および、計測されたそれぞれの表面までの距離を指し示す情報を提供するために、その表面が、干渉計測システムに順次に提示され得るように、多数の表面を有する光学アセンブリを、精密に、移動可能に、取り付けるための手段を有する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数の表面を有する光学アセンブリを計測する干渉計測装置であって、該干渉計測装置は、
形、方位、および、表面までの距離を計測するように構成および配置される、少なくとも一つの干渉計測システムと、
多数の表面を有する光学アセンブリを、精密に、移動可能に、取り付けるための手段であって、該形、該方位、および、該計測されたそれぞれの表面までの距離を指し示す情報を提供するために、その表面が該干渉計測システムに順次に提示され得る、手段と、
該干渉計測システムと、多数の表面を有する光学アセンブリを、精密に、移動可能に、取り付けるための該手段との間において、信号およびデータを交換するための制御手段であって、該計測システムから該情報を受信し、品質および、該表面の間の関係を決定し、該干渉計測システムによって得られたデータと連携して、該表面の位置および動きに対して正確な制御を提供するために信号を提供する、制御手段と
を備える、干渉計測装置。
【請求項２】
前記干渉計測システムが、フーリエ変換位相シフト干渉法（ＦＴＰＳＩ）を用いたフィゾー干渉計を備える、請求項１に記載の干渉計測装置。
【請求項３】
二つ以上の表面が同時に計測され得るように、少なくとも二つの干渉計測システムを備える、請求項１に記載の干渉計測装置。
【請求項４】
前記多数の表面を有する光学アセンブリを、精密に、移動可能に、取り付けるための手段が、精密な回転テーブルを備える、請求項１に記載の干渉計測装置。
【請求項５】
前記多数の表面を有する光学アセンブリが、半径方向に配置されたキューブコーナーアセンブリを備える、請求項４に記載の干渉計測装置。
【請求項６】
組み立ての間、その性能仕様を有する前記多数の表面を有するアセンブリの適合を監視し、リアルタイムの計測データと連携して、フィードバック制御を提供することによって、その製造に役に立つために、該多数の表面を有するアセンブリの表面を支える様々な構成要素を精密に配置および調整する、精密なメカニカル・マニピュレータ手段をさらに含む、請求項１に記載の干渉計測装置。
【請求項７】
前記表面の前記位置が、二つの平面間の交線を含む、請求項１に記載の干渉計測装置。
【請求項８】
前記表面の前記位置が、三つの平面間の交差点を含む、請求項１に記載の干渉計測装置。
【請求項９】
前記多数の表面を有する光学アセンブリが、共通する取付け台に配置された、多数の別個の光学的構成要素およびサブシステムの一群を備える、請求項１に記載の干渉計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は一般に、干渉分光法に関する。より詳細には、超高性能宇宙光学（ｓｐａｃｅ  ｏｐｔｉｃｓ）における組み立て法および最終品質保証の測定における基本的問題を解決する。
【背景技術】
【０００２】
変位計測干渉計におけるプリズムアセンブリまたはキューブコーナーアセンブリなどの、複合精密光学アセンブリにとって、反射面、２面角、ならびに、交差および頂点の場所の相対的な位置を、極めて厳密な精度で、把握し、制御することがしばしば要求される。通常、これは、表面の方位を規定する干渉計および／またはオートコリメータの複合組み２合わせ、ならびに、変位を計測するために、適切なメカニズムを用いて使用される機械的指示器を使用することで達成される。時折、機械的な絞り（ｓｔｏｐ）が、方位または位置の参照を提供するために使用される。例えば、Ｐｅｔｅｒ  Ｇ．Ｈａｌｖｅｒｓｏｎらの、「Ｐｒｏｇｒｅｓｓ  Ｔｏｗａｒｄｓ  Ｐｉｃｏｍｅｔｅｒ  Ａｃｃｕｒａｃｙ  Ｌａｓｅｒ  Ｍｅｔｒｏｌｏｇｙ  Ｆｏｒ  Ｔｈｅ  Ｓｐａｃｅ  Ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｒｙ  Ｍｉｓｓｉｏｎ」（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ  ｏｆ  Ｓｐａｃｅ  Ｏｐｔｉｃｓ  ＩＣＳＯ  １２月５日、６日、７日、２０００年  ツールーズ、フランス）、およびＥ．Ｓｃｈｍｉｄｔｌｉｎの「Ｗｉｄｅ−Ａｎｇｌｅ，  Ｏｐｅｎ−Ｆａｃｅｄ  Ｒｅｔｒｏｒｅｆｌｅｃｔｏｒｓ  ｆｏｒ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｍｅｔｒｏｌｏｇｙ」（Ｐｈｏｔｏｎｉｃｓ  Ｔｅｃｈ  Ｂｒｉｅｆｓ，２３，３，１５ａページ〜１６ａページ、１９９９年３月）を参照。現在、宇宙飛行に適した光学・機械的アセンブリに要求される許容誤差は、上記先行引用文献に記載されたものよりも、はるかに要求が厳しい。
【０００３】
ホローコーナーキューブなどのような精密光学アセンブリの計測に対する先行アプローチは多くの不都合を有する。主に、それらは、しばしば異なる計測ツールを使用し、多数の自由度の、一連の独立した計測に依存し、それらの全ては、所望される結果を達成するように折り合わなければならないが、かなりの不確定性を保有するプロセスである。例えば、角度および変位を別個に計測することは、ドリフトのために、エラーを招く。さらに、光学システムに組み立てられる物体の表面が柔らかい材料（例えば、金）で覆われている場合、機械的指示器および／または機械的配置が、これらの被覆物にダメージを生じさせ得る。従来のフィゾー干渉計などのような、組み立ての間の、計測のための最も通常の光学装置は、試験中に組み立て部品の方位を操作する間に、その計測ビームが損傷した場合、絶対的位置を見失ってしまう。これらの困難の一部を克服するために、同時に多数の表面を計測することを容易にするために、マスタープリズムなどのような、光学的固定物にしばしば依存する。しかし、これらの光学的固定物は、極めて高精度のアセンブリにとっては、信頼し得ない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
したがって、複合の超高性能宇宙光学アセンブリが計測され得、および／または組み立てられ得る、好都合な装置および方法を提供することが、本発明の第１の目的である。
【０００５】
本発明の他の目的は、詳細な記載が添付された図面を伴って理解される場合、以下において明らかになる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、複合光学アセンブリにおける表面、ならびに、表面の位置およびそれらの交差（実と虚）の位置の、正確な表面測定法を提供するための、少なくとも一つの光学計測システムおよびメカニカル・マニピュレータシステムを含む。光学アセンブリそれ自体は、多数の別個の光学的構成要素またはサブシステムを含み得、共通の取付け台において互いに関連されるゆえに、一群として、正確に特徴付けられ得る。光学計測システムは、少なくとも一つの絶対距離、少なくとも一つの表面形状、および、少なくとも二つの表面間で少なくとも一つの角度を計測することが可能である。メカニカル・マニピュレータシステムによって生成された、距離および方位の変化を有して、光学システムによって提供される、絶対距離と角度の情報とを組み合わせることは、複合構造を正確に計測する。表面形状は計測され得、単一のセットアップにおいて、複合光学アセンブリの広い特徴を提供する。光学システムのサブ開口部は、特徴（表面および交差）間、または特徴と基準との間の相対的な計測をするように用いられ得る。光学システムはまた、組み立ての間、構成要素の相対的位置を調整するマニピュレーターと結合され得る。一実施形態において、本発明は、二つの平面間の交差の線を配置するために、光学計測システムを、精密なステージングと結合する。
【０００７】
一実施形態において、本発明は、三つの平面間の交差の点を配置するために、光学計測システムを精密なステージングおよび固定（ｆｉｘｔｕｒｉｎｇ）に結合する。
【０００８】
一実施形態において、本発明は、共通の固定具における三つのコーナーキューブのアセンブリを監視するために、フーリエ変換位相シフト干渉法（ＦＴＰＳＩ）、精密な機械的ステージング、ならびにクロージャーおよびリバーサルの原理を組み合わせる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の構造、動作、および方法論は、他の目的および利点とともに、図面と関連して、詳細な記述を読むことによって最も良く理解され得る。それぞれの部分は、割り当てられた参照番号または参照ラベルを有し、様々な図面を通して、識別される。
【００１０】
図１は、三つの個別のプリズムセグメント１２、１４および１６が組み込まれた円筒形の基部１０を含む、キューブコーナーアセンブリ１８の略図を示す。キューブコーナーアセンブリ１８は、例えば、Ｅ．Ｓｃｈｍｉｄｔｌｉｎの「Ｗｉｄｅ−Ａｎｇｌｅ，  Ｏｐｅｎ−Ｆａｃｅｄ  Ｒｅｔｒｏｒｅｆｌｅｃｔｏｒｓ  ｆｏｒ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｍｅｔｒｏｌｏｇｙ」（Ｐｈｏｔｏｎｉｃｓ  Ｔｅｃｈ  Ｂｒｉｅｆｓ，２３，３，１５ａページ〜１６ａページ、１９９９年３月）において記載されたタイプである。キューブコーナーアセンブリ１８は、複合精密光学アセンブリの代表的なタイプであり、本発明は特に、その組み立てを計測し、容易にするように適応させる。
【００１１】
本発明の実施形態は図２ａにおいて示される。図２ａは、円筒形の基部１０の中央が、回転テーブル２６の回転軸上にあるように調整された、精密な回転テーブル２６に配置されたキューブコーナーアセンブリ１８を示す、概略正面図である。キューブコーナーアセンブリ１８との絶対距離、キューブコーナーアセンブリ１８の方位、および、キューブコーナーアセンブリ１８の表面の形を計測するための光学システム２０がまた、示される。光学システム２０は、光学干渉計システムを含み、それは、好ましくは、システムと相互作用するためのグラフィックユーザインターフェース（ＧＵＩ）を装備し、適切にプログラムされたコンピュータ１３の制御下にあり、データ処理、命令の転送、結果の表示、および、データを格納およびフォーマットすることを実行し、ならびに、通常のハウスキーピング機能を実行する。コンピュータ１３はまた、公知の方法で、回転テーブル２６の精密な制御を提供し、および、常に、回転テーブル２６の正確な方位および位置を指示するフィードバック情報を受信するように、適応される。別の方法として、回転テーブル２６は、コンピュータ１３から分離されて配置されるコントローラ電気機器によって制御され得ることを、当業者は理解されたい。
【００１２】
図２ｂを参照すると、図２ｂは、光学干渉計システム２０の基準（伝送）フラット２４（ＴＦによってもまた示される）の概略平面図であり、システムは、ＴＦに対して、異なる角度の位置において、キューブコーナーアセンブリ１８のセグメントを計測する。計測の一部が図に示されるが、その一方で、キューブコーナーアセンブリは、様々な異なる角度の位置にある。
【００１３】
多数の光学（干渉計）計測システムは、原則として、表面の方位、および、一部の基準点、通常は、干渉計の基準表面からの距離を同時に計測することが可能である。そのような技術は、ＦＴＰＳＩ（フーリエ変換位相シフト干渉法（Ｆｏｕｒｉｅｒ  Ｔｒａｎｓｆｏｒｍ  Ｐｈａｓｅ  Ｓｈｉｆｔｉｎｇ  Ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｒｙ））、波長シフト干渉法、白色光干渉法、および結合空洞型干渉法などを含むが、それらに制限されるわけではない。精密な動作段階のアセンブリ（例えば、直線および回転の空気軸受の組み合わせなど）は、光学システムの前にある光学アセンブリなどを含む、異なる表面の連続的な提示を与える。平面、球形、または円筒形の波面は、光学計測システムの全体の開口部に亘って使用され得る。別の方法では、計測システムの開口部は、細分化され、異なるタイプの波面（平面、球形、その他）を用いて、異なる特性を同時に計測し得る。多数の光学干渉計システムが本発明を実施するために使用され得るが、好ましい光学干渉計システムは、Ｌｅｓｌｉｅ  Ｌ．Ｄｅｃｋの名において、米国公開特許出願番号第ＵＳ−２００２−０１０９８５１−Ａ１号、「ＦＯＵＲＩＥＲ  ＴＲＡＮＳＦＯＲＭ  ＰＨＡＳＥ  ＳＨＩＦＴＩＮＧ  ＩＮＴＥＲＦＥＲＯＭＥＴＲＹ」と題され、２００２年８月１５日に出願されており、その内容全体はここにおいて援用される。コネチカット州、Ｍｉｄｄｌｅｆｉｅｌｄの、Ｚｙｇｏ  Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎはまた、ＶｅｒｉＦｉｒｅ  ＭＳＴ（登録商標）という商標名のもとで、そのようなシステムを販売している。
【００１４】
一例として、本発明が、精密な宇宙機器の、重要な複合光学サブシステムを計測するために使用され得る方法を考察する。宇宙干渉計ミッション（ＳＩＭ）にとって、多数のホローキューブコーナー、逆反射体は、極めて厳しい精度を要求される。図１を再び参照し、一つの可能なデザイン１８が例示されている。このデザインは、基部１０および、それぞれ３０度の挟角を有する、パイ型のミラーセグメント１２、１４、および１６を規定する、共通のミラーセグメントを含むアセンブリに基づく。それらが共通セグメントを含む限りでは、表面Ｓ７、Ｓ８、およびＳ９は、全て同一平面にある。相互に直角であり、反射する、三つの隣接する表面の任意のセット（例えば、Ｓ１、Ｓ２、およびＳ７）は、逆反射体である。ウェッジ部（Ｓ１とＳ６との間、Ｓ２とＳ３との間、Ｓ４とＳ５との間）の表面間の頂角、すなわち、通常の内部３０度の頂角、隣接するウェッジの表面間の角度（すなわち、Ｓ１とＳ２との間、Ｓ３とＳ４との間、Ｓ５とＳ６との間）、それぞれのウェッジ部と円筒形の基部１０の上面との間の角度（すなわち、Ｓ１とＳ７との間、Ｓ２とＳ７との間、Ｓ３とＳ８との間、Ｓ４とＳ８との間、Ｓ５とＳ９との間、Ｓ６とＳ９との間）、これらの表面に対する平面のかみ合う間にて交差する線の位置、および、三つのホローキューブコーナーの頂点の位置、すなわち交点、を正確に把握することが要求される。
【００１５】
最初にホローキューブコーナーの頂点を検討する。キューブコーナーの頂点は、三つの平面が交差する場所に位置される。その三つの平面が物理的に交差する場合、それは実頂点であり、一つ以上の平面が延長される場合、その頂点は虚像（ｖｉｒｔｕａｌ）である。この例において、全ての三つのホローキューブコーナーの頂点は、基部１０の平面を規定する、共通のミラーセグメントに自動的に位置される。ここで、精密な回転テーブル２６に配置されるアセンブリ１８を用いて、コンピュータ１３の制御下の回転テーブル２６は、その部分（計測システム２０に関連するセグメント１２、１４、１６のアセンブリ、および円形基部１０）（図２ａ）を操作するために使用される。回転テーブル２６の回転の軸は、光学計測システムの軸に対して垂直である。光学システム２０は再び、好ましくは、ＦＴＰＳＩを用いたフィゾー干渉計である。すなわち、基準表面（または、伝送フラット２４）は、ホルダー２２において取り付けられる。
【００１６】
円筒形の基部１０の位置は、任意の所望される基準点が回転ステージ２６の回転軸に位置されるように調整される。好都合な基準選択は、円筒形の基部１０の軸である。これは、変位指示器の任意の形式を用いて、逃げを最小にすることによって、回転軸（中央）に位置され得る。本発明の趣旨において、光学システム２０自体は、必要である場合、中間の焦点レンズ１１を用いて、使用され得る。そのようなレンズ１１は、図２ａに概略的に示されており、距離ｄ３を計測する。補助レンズ１１は、円筒形の基部１０の曲率と一致する波面を生成する円筒形のレンズか、または、キャッツアイポジション（ｃａｔ’ｓ  ｅｙｅ  ｐｏｓｉｔｉｏｎ）に対する距離を計測する球状レンズであり得ることに留意されたい。適切に配置された、選択された基準点を用いて、平面の表面（Ｓ１からＳ６）が光学システム２０の前に、順次に提示されるように、回転ステージ２６は精密に回転される。この動作の平面図は図２（ｂ）に概略的に示され、セグメント１２は、その平面の表面（Ｓ１、Ｓ６）の延長が、回転軸を正確に通過する、従って、基準点を通過するように配置される。図２（ｂ）の上図において、セグメント１２の表面は、光学システム２０の伝送フラット（基準表面２４）に対して並行であり、伝送フラット（基準表面２４）からセグメント１２の表面Ｓ１への距離ｄ１は、光学システム２０から発生するビームＢ１を用いて、計測され得る。図２ｂの左下部分において、アセンブリ１８は回転し、セグメント１２の反対側表面（Ｓ６）を、光学システム２０の基準表面２４の別の部分に提示する。基準表面からそのセグメントへの距離ｄ１は、最初の位置において計測されたものと同じである。図２ｃは、図２ｂと類似しているが、図２ｃにおいては、セグメント１２が所望される位置から移動させられて、示される。光学システムの基準表面２４からセグメント（Ｓ１、Ｓ６）の平らな表面までの間の距離ｄ１の差異は、回転軸からセグメントを含む表面の延長の変位の２倍であることは、直ちに明らかである。二つの隣接するセグメント（例えば、Ｓ１およびＳ２）の隣接表面の変位のベクトルの組み合わせは、基準点から頂点を変位させる。
【００１７】
本発明は、正確な表面の位置、方位、ならびに、構成要素およびアセンブリが性能仕様に適合することを保証するために、アセンブリに付け加えられ、および／または順次に調整される、それぞれのセグメントの型情報を提供することによって、コーナーキューブアセンブリの組み立てを容易にするために使用され得る。例えば、多数のセグメントは、組み立てに先立って、適合されるセットとして、計測され、適格とされ得る。次いで、後に、それらの位置および方位は、組み立てが進む間、監視され得る。光学計測システム２０が、円筒（距離ｄ３）の外側の変位を計測する場合、それは、回転軸上の円筒形の基部１０の中央からのずれを計測するか、または、変位のデータを訂正するために使用され得る。それによって、精密な中心取りが不必要になる。円形物または円筒形物はまた、ｄ３データから計測され得る。
【００１８】
二つの光学システム（２０、３０）が、二つのＮ平面のセットとの間の公称角度、すなわち、３６０°／Ｎにて、セットアップ（例えば図３）され、次いで、セグメント１２およびセグメント１４の面の間の角度は、クロージャー（ｃｌｏｓｕｒｅ）によって同じセットアップにおいて計測され得、それは、この分野の実施者には公知の角度測定法である。セグメントの外層の位置はまた、ｄ３の計測と類似した方法において、補助的な光学システムを用いて、計測され得る。
【００１９】
第３の光学システム４０は、例えば図４において示されたセットアップにおいて、異なる角度を計測するために追加され得、Ｓ２とＳ６との間、および、Ｓ２とＳ４との間の、１２０度の名目角度を計測させる。表面Ｓ１、Ｓ２、…Ｓ６の平面もまた、計測され得る。本発明の利点は、以下を含む。
・無接触で、傷が付きやすい表面にダメージを与えない
・高度に反射する、または低い反射率の研磨面にてインプリメントされ得る
・組み立ての間の、多数の臨界寸法（ｃｒｉｔｉｃａｌ  ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ）の同時計測が、全て対する適合を可能にするために実行され得る
・計測の間、光学ビームの破損があっても、表面間の関係を絶対計測する
この例は本発明およびその利点を例証的に表すことを意図するのみである。当業者は、上で例示された基本的構想の変形を即座に理解する。例えば、単純なペンタプリズムが、Ｓ１に対するＳ７の方位を計測するために、ビームＢ１によって照らされた開口部の使用部分に挿入され得る。別の例では、アセンブリの構成要素が伝達可能であり、次いで、そのような構成要素を介して、距離および角度の計測がなされ得る。さらなる例は、例えば、アセンブリに接合される前に、構成要素を正確に配置するために使用される、極微操作装置（例えば、Ｐｈｙｓｉｋｅ  Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｅによって提供されるような）を用いた計測の組み合わせである。
【００２０】
本発明の他の変形は、その教示に基づき、当業者によってなされ、そのような変形は、本発明の範囲内であるべきことが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】Ｓｐａｃｅ  Ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ  Ｍｉｓｓｉｏｎの開発下のタイプのキューブコーナーアセンブリの概略斜視図であり、接合された三つの個別のプリズムセグメントである円筒形の基部を含む。
【図２ａ】コーナーキューブアセンブリの円筒形の基部が回転テーブルの回転軸上になるように調整された精密な回転テーブルに配置される、コーナーキューブアセンブリの、概略側面図である。キューブコーナーの表面までの距離、方位、形を計測する光学システムはまた、特定の計測された距離に沿って、示される。
【図２ｂ】一部の計測に沿って、異なる位置におけるキューブコーナーアセンブリのセグメントを計測する干渉計機具の、基準（伝送）フラットの、概略平面図を示す。
【図２ｃ】キューブコーナーの組み立ての間、異なる位置におけるキューブコーナーアセンブリのセグメントの、特定の計測をするために使用される干渉計機具の基準(伝送）フラットの、概略平面図である。
【図３】円筒形の基部、およびキューブコーナーアセンブリからなる様々な面を、同時に計測することを表す、概略平面図である。
【図４】キューブコーナーアセンブリ内にて、角度を計測するための、公知のクロージャーの技術を用いて使用され得る、様々なセットアップを示す、概略平面図である。
【図１】
2007502987.tif 000003
【図２ａ】
2007502987.tif 000004
【図２ｂ】
2007502987.tif 000005
【図２ｃ】
2007502987.tif 000006
【図３】
2007502987.tif 000007
【図４】
2007502987.tif 000008
【手続補正書】
【提出日】平成18年3月9日(2006.3.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数の表面を有する光学アセンブリを計測する干渉計測装置であって、該干渉計測装置は、
形、方位、および、表面までの距離を計測するように構成および配置される、少なくとも一つの干渉計測システムであって、該干渉計測システムが、単一の基準表面を有する、干渉計測システムと、
多数の表面を有する光学アセンブリを、精密に、移動可能に、取り付けるためのモーションステージであって、該形、該方位、および、計測されたそれぞれの表面までの距離を指し示す情報を提供するための、該単一の基準表面に関連する計測に対して、その表面が該干渉システムに順次に提示され得る、モーションステージと、
該干渉計測システムと、多数の表面を有する光学アセンブリを、精密に、移動可能に、取り付けるための該モーションステージとの間において、信号およびデータを交換し、該干渉計測システムに提示される該多数の表面を有する光学アセンブリの該表面のそれぞれについて、該計測システムから該情報を受信し、品質および、該表面の間の関係を決定し、該干渉計測システムによって得られたデータと連携して、該表面の位置および動きに対して正確な制御を提供するために信号を提供する、制御手段と
を備える、干渉計測装置。
【請求項２】
前記干渉計測システムが、フーリエ変換位相シフト干渉法（ＦＴＰＳＩ）を用いたフィゾー干渉計を備える、請求項１に記載の干渉計測装置。
【請求項３】
少なくとも二つの干渉計測システムであって、それぞれが単一の基準表面を有する、干渉計測システムを備え、二つ以上の表面が、対応する干渉計測システムの該単一の基準表面に関して、同時に計測され得る、請求項１に記載の干渉計測装置。
【請求項４】
前記多数の表面を有する光学アセンブリを、精密に、移動可能に、取り付けるための前記モーションステージが、精密な回転テーブルを備える、請求項１に記載の干渉計測装置。
【請求項５】
前記多数の表面を有する光学アセンブリが、半径方向に配置されたキューブコーナーアセンブリを備える、請求項４に記載の干渉計測装置。
【請求項６】
組み立ての間、その性能仕様を有する前記多数の表面を有するアセンブリの適合を監視し、リアルタイムの計測データと連携して、フィードバック制御を提供することによって、その製造に役に立つために、該多数の表面を有するアセンブリの表面を支える様々な構成要素を精密に配置および調整する、精密なメカニカル・マニピュレータをさらに含む、請求項１に記載の干渉計測装置。
【請求項７】
前記計測された表面が、名目上複数の平面であり、該計測された表面の前記位置が、二つの平面間の交線を含む、請求項１に記載の干渉計測装置。
【請求項８】
前記表面の前記位置が、三つの平面間の交差点を含む、請求項７に記載の干渉計測装置。
【請求項９】
前記多数の表面を有する光学アセンブリが、共通する取付け台に配置された、多数の別個の光学的構成要素およびサブシステムの一群を備える、請求項１に記載の干渉計測装置。
【国際調査報告】
2007502987.tif 000009
2007502987.tif 000010