(57)【要約】  少量かつ精確な容積の流体を提供するための計量型のポンプが提供される。ポンプピストン、及び／又は、シリンダの内部は、選択された範囲内の粗さ平均を示す表面仕上げ部と、蒸着されたポリマー例えばポリテトラフルオロエチレンとを有している。円筒形の室内で同時的に回転及び往復動するピストンのために、駆動機構が提供される。これにより、流体は室内に引き込まれ、吐出される。【特許請求の範囲】
【請求項１】
少量かつ精確な容積の流体を配量するための計量型のポンプであって、
ポンプハウジングと、
該ポンプハウジング内の室であって、前記ハウジング内の円筒形の壁によって画成されている室と、
前記室内に延在する円筒形本体部を有するピストンであって、前記円筒形本体部が、円筒形の外面と該外面に形成されたダクトとを有するピストンと、
前記ポンプハウジングを通って延在し、かつ前記室に連通している２つ以上の通路と、
前記ピストンを前記室内で回転及び往復動させるために前記ピストンに連結された駆動機構と、
を備えて成っており、
前記ピストンの前記円筒形本体部の前記外面が、少なくとも約４マイクロインチの粗さ平均を示す表面仕上げ部と、蒸着されたポリマーとを有していることを特徴とする計量型のポンプ。
【請求項２】
前記ポリマーがポリテトラフルオロエチレンである、請求項１記載の計量型のポンプ。
【請求項３】
前記ポリマーが本質的にポリテトラフルオロエチレンから成る、請求項１記載の計量型のポンプ。
【請求項４】
前記ピストンの前記円筒形の外面と前記室の前記円筒形の壁との間の直径方向の全クリアランスが、約０．００００５０〜０．０００１００インチ（０．００１２７〜０．００２５４ｍｍ）である、請求項１記載の計量型のポンプ。
【請求項５】
前記表面仕上げ部が、少なくとも約８マイクロインチ（０．２μｍ）の粗さ平均を示す、請求項４記載の計量型のポンプ。
【請求項６】
前記ピストンがセラミック材料から成り、かつ前記表面仕上げ部が、約８〜１６マイクロインチ（０．２〜０．４μｍ）の粗さ平均を示す、請求項５記載の計量型のポンプ。
【請求項７】
前記円筒形の壁が、少なくとも約８マイクロインチの粗さ平均を示す表面仕上げ部を有している、請求項５記載の計量型のポンプ。
【請求項８】
前記円筒形の壁が、約８〜１６マイクロインチの粗さ平均を示す表面仕上げ部を有している、請求項７記載の計量型のポンプ。
【請求項９】
前記ポンプハウジング内にシールを有しており、該シールが前記ピストンの前記円筒形のボディに係合している、請求項７記載の計量型のポンプ。
【請求項１０】
前記ハウジング内にセラミックライナを有しており、該セラミックライナが前記室を制限若しくは画成している、請求項９記載の計量型のポンプ。
【請求項１１】
少量かつ精確な容積の流体を配量するための計量型のポンプであって、
少なくとも約４マイクロインチの粗さ平均を示す表面仕上げ部を有するほぼ円筒形の外面と、該外面に形成されたダクトとを有するピストンと、
円筒形の室を規定している内面を有するハウジングであって、前記ピストンが前記円筒形の室内に延在するハウジングと、
該ハウジングを通って延在する流入通路と、
前記ハウジングを通って延在する流出通路と、
前記ピストンを長手軸線回りに回転させるための手段と、
流体が前記流入通路を通って前記室内に引き込まれかつ前記流出通路を通って吐出されるように、前記ピストンを前記室内で往復動させるための手段と、
前記ピストンの前記ほぼ円筒形の外面に蒸着されたポリマーと、
を備えて成っている計量型のポンプ。
【請求項１２】
前記ポリマーがポリテトラフルオロエチレンである、請求項１１記載の計量型のポンプ。
【請求項１３】
前記ポリマーが本質的にポリテトラフルオロエチレンから成っている、請求項１１記載の計量型のポンプ。
【請求項１４】
前記ピストンの前記外面と前記ハウジングの前記内面との間の直径方向の全クリアランスが、約０．００００５０〜０．０００１００インチである、請求項１１記載の計量型のポンプ。
【請求項１５】
前記ピストンの前記表面仕上げ部が、約８〜１６マイクロインチの粗さ平均を示す、請求項１４記載の計量型のポンプ。
【請求項１６】
前記ハウジングの前記内面が、少なくとも約４マイクロインチの粗さ平均を示す、請求項１４記載の計量型のポンプ。
【請求項１７】
前記ハウジングの前記内面と前記ピストンの前記外面とが、セラミック材料から成っている、請求項１６記載の計量型のポンプ。
【請求項１８】
少量かつ精確な容積の流体を配量するための計量型のポンプ用のピストン及びシリンダアセンブリであって、
少なくとも約４マイクロインチの粗さ平均を示す表面仕上げ部を有するほぼ円筒形の外面と、該面に形成されたダクトとを有するセラミックピストンと、
円筒形の室を規定していて少なくとも約４マイクロインチの粗さ平均を示すセラミック内面を有するハウジングであって、前記ピストンが前記室内に延在するハウジングと、
前記ピストンの前記ほぼ円筒形の外面及び前記ハウジングの前記内面のうちの少なくとも一方に蒸着された、ポリテトラフルオロエチレンを備えて成るポリマーと、
を備えて成っているアセンブリ。
【請求項１９】
前記ピストンの前記円筒形の外面と前記ハウジングの前記内面との間の直径方向の全クリアランスが、約０．００００５０〜０．０００１００インチである、請求項１８記載のアセンブリ。
【請求項２０】
前記ハウジングに組み付けられたシールを有しており、該シールが前記ピストンの前記円筒形の外面に係合している、請求項１８記載のアセンブリ。
【請求項２１】
前記ピストンの前記表面仕上げ部が、少なくとも約８マイクロインチの粗さ平均を示し、かつ前記ポリマーが前記ピストンの前記外面に存在する、請求項１８記載のアセンブリ。
【請求項２２】
前記ハウジングを通って延在する流入通路と、前記ハウジングを通って延在する流出通路とを有している、請求項２１記載のアセンブリ。
【請求項２３】
前記ハウジングが、前記ハウジングに組み付けられていて前記セラミック内面を規定しているセラミックライナと、前記流入通路及び前記流出通路にそれぞれ連通している前記ライナにおける第１の開口及び第２の開口とを有している、請求項２１記載のアセンブリ。
【請求項２４】
前記ピストンの前記外面と前記セラミック内面との前記粗さ平均が、約１６マイクロインチよりも小さい、請求項２３記載のアセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の技術分野は、流体の比較的精密な容積をポンピングするための計量型のポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
容積移送式計量型のポンプ及び配量装置（ディスペンサ）は、種々の産業においてシングルショット又はマルチプル配量及び連続配量への適用といった形で使用されている。幾つかの例は、医学上の診断、産業上の診断、及び農業上の診断等である。特許文献１、特許文献２及び特許文献３には、ピストンを回転及び往復運動させるための並びにピストン行程長を調整するための種々の手段を備えた容積移送式ポンプが開示されている。これらの特許は参照により本願に組み込まれているものとする。往復動する間に自身の長手軸線を中心として連続的に回転させられるピストンを有する容積移送式ポンプも存在すれば、自身の軸線に沿って往復動する間に自身の長手軸線を中心として後方及び前方へ振動するピストンを有する別の容積移送式ポンプも存在する。これらのポンプは、往復振動ポンプと呼ばれることもある。
【０００３】
精密容積移送式計量型のポンプ及び配量装置は、流体システムを通る流体の移動及び搬送を所望のように精確に制御するために使用される。このようなポンプ及び配量装置は、容積の極めて小さい所定の流体を、容積の正確さ及び精密さに関して誤差の極めて小さい許容範囲で搬送すべき場合に使用される。（「ポンプ」という用語は、一般に、実質的に連続的な方式で流体が搬送されるよう適用するものについて使用される。「配量装置」（dispenser）という用語は、要求に応じて流体が配量されるか又は選択された間隔で流体が配量されるよう適用されるものについて使用される。本特許出願においては、「ポンプ」及び「配量装置」といった用語は、相互交換可能に使用される。）
【０００４】
結晶形成侵食作用の強い溶液を移動させる場合に先述の計量型のポンプ及び配量装置に伴う１つの問題は、ポンプ／ピストンアセンブリが焼き付く、すなわち固着及び／又は凝固するおそれを有していることである。最悪条件では、断続運転をした場合に、ポンプがドライ状態とされ、固形物がポンプ室内に形成されて、焼付き状況が生じてしまう。焼付きを防止するために、ポンプは、可能な限り常時、ウェット状態に（wet）保たれるべきであり、また、稼働中及びいかなる休止時間又は遊び時間の間にもフラッシングされるべきである。計量型ポンプは、通常、嵌合公差の極めて小さい構成要素を有しており、かつ、システムを完全にフラッシングすることが極めて困難である。
【０００５】
焼付き状況を防止するために使用される別の解決手段は、ピストン外周面（piston O.D.）に平滑表面成形部（smooth-surface-profile）、滑り表面を形成することである。この平滑表面成形部は、表面基材における結晶形成を防止し得る。超平滑表面は、結晶が乾燥してピストン外周面基材に付着し、かつ最終的には凝固状況を引き起こしてしまうことを低下させることができる。超仕上げによる解決手段に伴う１つの問題は、シール漏出状況（seal-weepage condition）である。超仕上げ状況は、さらに、適切なポンプシールが研磨されるか又は摩耗することを防止し得る。表面成形部が平滑に過ぎる場合には、スリップスティック状況が生じることである。すなわち、いかなる材料も、シールから対応シール面に移動することはない。このことは、適切なシール作動にとって本質的なことである。ポンプシール製造業者は、特定のシール表面成形部を推奨する。平滑仕上げ部によって漏出状況が惹起される。この漏出状況が、ポンプの性能に直接的には影響を及ぼすことはないが、製品信頼性全般に影響を及ぼす。漏出した流体は時間の経過に伴って完全に乾燥して、結晶を形成し、この結晶がシール機能故障の発生を促してしまう。このことに加えて、前記漏出が、時間の経過に伴って、外部のポンプ構成要素を攻撃することがおこり得る。このことを防止するために、ポンプユーザは、予防的なメンテナンス処理法、すなわち、アセンブリへの洗浄溶液の吹付けを用いる。しかしながらそうすると今度は、前記外部のポンプ構成要素が、腐食性でありかつポンプボディに損傷を与える可能性のある洗浄媒体によって攻撃されることになる。
【０００６】
超仕上げ解決手段に伴う別の問題は、精密さ及び正確さに関するポンプ性能、並びにサイフォン作用である。精密容積移送式ポンプ及び配量装置は、適切な作動を保証するために、嵌合部分に極めて狭小な公差を要求する。平滑仕上げ表面成形部によって、平均粗さ及び山対谷の比も著しく低減される。この状況はポンプ構成要素クリアランスを相当に増大させ、このことはまた、ポンプによるサイフォン作用を増大させる。サイフォン作用が最小であることは、容積移送式計量型のポンプ及び配量装置の重要な特徴である。
【０００７】
ピストン表面成形部に関する計量型のポンプに伴う別の問題は、ピストン表面における微視的な不完全性である。所定の流体をポンプが配量モード又は連続モードで移動させている場合、当該流体は、内部接線剪断応力を被ることになる。この応力はピストンの表面に沿って該表面に対して平行に作用する。これにより、ピストン表面にシステム摩擦が生じる。理想的には、ポンピング室を通る流体流路は層状であるが、前記表面成形部における微視的な不完全性によって生ぜしめられる乱流が、当該不完全性を高めてしまう。この不完全性は、滑らかな層流を予測不能な乱流に急変させ、このことはまた、精密さ及び正確さに関するポンプシステム不正確さの原因となる。この作用を低減するためにポンプユーザは、通常は、流体媒体に界面活性剤を添加する。これにより、含水性の、潤滑性の表面の形成が助成される。
【特許文献１】米国特許第３，１６８，８７２号明細書
【特許文献２】米国特許第５，０２０，９８０号明細書
【特許文献３】米国特許第５，０１５，１５７号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
焼付き、固着又は凝固状況の発生が減少され、シール漏出及びサイフォン作用が低減され、かつ流れ特性が改良された、ポンプ／シール組合せ（すなわち、ポンプとシールとの組合せ）を得ることが望ましいであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
円筒形の作用室と該作用室内に少なくとも部分的に位置決めされたピストンとを有するハウジングを備えて成っている容積移送式ポンプが提供される。ピストンはダクトを有している。２つ以上の通路がハウジングを通って延在していて、作用室に流体連通（fluid communication）している。前記通路は、さらに、ピストンの位置に依存してダクトに連通可能である。駆動機構が、ピストンを回転及び往復動させるためにピストンに連結されており、これにより、流体が、前記通路のうちの１つ以上の通路を通って作用室内に引き込まれ、前記通路のうちの１つ以上の通路を通って圧出される。ピストン回転は、３６０°にわたるか又は、往復振動ポンプの事例では、より小さい円弧にわたるものであってよい。ピストンの表面は、蒸着されたポリマー、有利にはポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）を有している。必要とされるわけではないが、作用室の表面も、蒸着されたポリマーを有していてよい。
【００１０】
ピストンの表面は、有利には、ポリマーの適用前に所定の程度の粗さを有している。換言すれば、超仕上げによる先述の解決手段は使用されていない。より粗い仕上げ部と蒸着されたポリマーコーティングとの組合せが、焼付き状況を防止するであろう優秀な製品を提供する。しかも、前記組合せは、ポンプ又は配量装置が新品である場合には、迅速な「バーンイン」を可能にするであろう。ピストンの表面は、有利には、寸法安定性の材料例えばセラミック又はセラミックタイプの材料を備えて成っている。しかしながら、アルミナ及びステンレススチールのような他の寸法安定性の材料が使用され得る。該材料は、場合によっては少なくとも選択された適用状態で使用され得るかもしれない、蒸着された摩擦減少材料で処理され得る。本発明の有利な実施態様では、ピストンの外面は、少なくとも約４マイクロインチ（０．１μｍ）、有利には少なくとも約８マイクロインチの粗さ平均Ｒａを備えた仕上げ部を有しており、有利な表面成形部の平均最大高さＲｚは、約５０μｉｎである。前記平均Ｒａは、有利には、約４〜１６μｉｎ、さらに有利には８〜１６μｉｎの範囲内にある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明は、種々の多くの形式での実施態様によって満足させられ、これらの実施態様は図面に示されており、本発明の有利な実施態様が、ここで詳細に説明される。この詳細な説明は、現在の開示内容が本発明の原理の例示的なものとみなされるべきであって、発明の範囲を図示の実施態様に制限することを意図するものではないという理解のもとに行われる。本発明の範囲は、添付された特許請求の範囲及びこれと等価な記載によって確定されるであろう。
【００１２】
図１を参照すれば、計量型のピストンのためのピストン／シリンダアセンブリの分解図が示されている。外部にねじ山が設けられたねじ山付き端部１２を有するシリンダハウジング１０が、円筒形の室を規定している。ハウジングには一対の開口１４が、直径方向で対向する関係になるように設けられている。前記ハウジングは、有利には、良好な耐化学薬品性及び耐温度性並びに良好な機械的強度を提供する材料、例えばエチレン−テトラフルオロエチレンから製作されている。円筒形のライナ１６がハウジング１０内に組み付けられている。ライナは、直径方向で対向した一対の開口１８を有しており、これら開口１８は、ケーシング１０における開口１４に位置合わせされている。ライナは計量型ピストンの作用室を規定している。ハウジング及びライナがそれぞれ２つ以上の開口を有していてよいことが理解されるであろう。ハウジング及びライナは、場合によっては、同一材料から成る一体構造体として組み合わせたものとしてもよい。
【００１３】
押さえナット２２とピストン２４とを含むピストンアセンブリ２０は、ハウジング１０に連結するように適合されている。ピストン２４は、円筒形のボディと、該ボディの一端に形成された平坦部２６の形状のダクトとを有している。一般的なピストン直径は約１／４〜１／２インチ（約６．３５ｍｍ〜１２．７ｍｍ）であるが、この範囲外の直径も使用される。あるいは、平坦部の代わりにピストンに流路が形成されていてよい。ピストンの円筒形の部分とライナ１６との間の直径方向の全クリアランスは、有利には、０．００００５０〜０．０００１００インチである。ピン２８が、押さえナット２２の反対の側におけるピストン２４の端部から、半径方向に延在する。このピンは、ピストン２４を回転させるために、かつこのピストンをポンプ作用室内で往復動させるために使用される。米国特許第３，１６８，８７２号明細書、米国特許第５，０２０，９８０号明細書及び米国特許第５，０１５，１５７号明細書に開示されているように、ピンに結合するための、かつポンプ速度及びピストン行程の調節装置を提供するための種々の機構が周知である。有利な一機構は、モータ４４の駆動軸４２に連結された駆動シリンダ４０を有している。このような連結は止めねじ４６によってもたらされる。ボール及びソケット嵌合部材が駆動シリンダに組み付けられ、ピン２８の端部を収容する。行程の長さは、ピストン２４の長手軸線と駆動シリンダ４０の長手軸線との間に形成される角度によって決定される。別の駆動機構（図示せず）は、正弦曲線状の溝を有する駆動部材の使用を伴い、前記溝内にピンが位置決めされる。ピストンは、ピンが溝を通って走行させられる間、ライナ１６内で軸方向に後方及び前方へ運動する。先述のように、ピストンの完全な回転は必要とされず、実際に、制限された回転だけが、往復振動ポンプ内で提供される。作動時には流体は、ピストンが第１の軸方向に運動すると、位置合わせされた１セットの開口１４，１８を通って作用室内に引き込まれ、ピストンが前記第１の軸方向とは反対の方向に運動すると、位置合わせされた別セットの開口１４，１８を通って吐出される。ピストンの回転によって平坦部２６は、前記位置合わせされた１セットの開口に向かって、かつ前記別セットの開口に向かって方向付けられ、これにより、流体の精密な容積の搬送が可能になる。
【００１４】
押さえナット２２は内部にねじ山が設けられており、ハウジング１０の前記ねじ山付き端部１２に連結され得る。押さえワッシャ３０と３つのリップシール３２とが、流体漏れを防止するために設けられている。カートリッジシール又は他のタイプのシーリング機構が使用され得ることが理解されるであろう。前記ワッシャ及びシールのための材料としては、ポンピングすべき流体と適合し得る特定の材料を選択すべきである。ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）から製作されたワッシャと、低摩擦を示す耐食性及び耐摩耗性の材料から製作されたシールとの適用範囲は広い。ＰＴＦＥをベースとする材料例えば“ＲＵＬＯＮ  ＡＲ”が、バージンＰＴＦＥと同様に、シーリング目的で産業界で使用されている。上述のシールの数及びその組成は本実施例の場合について示したものであること、及び作用室をシールするための別の構成が本発明に従って使用され得ることが、理解されるであろう。
【００１５】
ピストン２４及びライナ１６は、それぞれ有利には、セラミック材料例えばアルミナ又はジルコニアから成っている。多くの場合、ＹＴＺＰ（イットリア添加正方晶ジルコニア多結晶体）が、多くの適用のために適した形態のジルコニアである。ＺＴＡ（ジルコニア強化アルミナ）は、前記部材のための、別の受容可能な材料である。
【００１６】
ピストン２４における仕上げ加工は、ポンプの最適性能にとって重要である。仕上げ加工と相俟って、ピストンに蒸着されたポリマーの存在が、有意な性能利点を提供する。図２Ａを参照すれば、蒸着されたポリマー３４がピストンの一端から、ポンプシールを越えて延在する作用室の外側の位置まで延在する。したがって、ピストンの、流体及びシールに接触するであろう部分は、蒸着されたポリマー、有利にはＰＴＦＥを備えている。ポリマーの蒸着によって、ポリマーが使用中にピストンを摩耗させないことが保証される。これとは対照的に、コーティング層として付着されたポリマーは、時間の経過に伴って摩耗する傾向がある。この結果としての、ポンプ性能の低下のほかに、計量型ポンプのピストンを摩耗させるか又はそうでなければ劣化させるコーティング層は、容積移送式計量型のポンプが使用される適用形態において、別の潜在的な深刻な問題を有している。例えば、計量型のポンプは、半導体ウェーハの製造時に使用され、ここでは、摩耗又は劣化させるコーティング層からの何らかの不純物を導入することが、最終製品の品質を深刻に減損することが起こり得る。さらに、計量型のポンプが、医学的適用において又は科学的研究のために流体の精密な量を送り出すために使用される所では、不純物は回避されなければならない。
【００１７】
図２Ｂを参照すれば、ピストン２４及びライナ１６との仕上げ部は、粗さ平均Ｒａ、平均最大粗さＲｚ及び最大成形部深さＲｍを有している。（この図２Ｂは、例証的な目的のためのものであって、ピストン及びライナ表面の実際の表面成形部を表すものではない。）ピストンの表面仕上げは、ポンプの回転及び往復動につれて当該ポンプのシールを摩耗させる恐れのないように、ポリマー蒸着を許容し得る表面を提供するように、かつライナ１６内におけるピストン２４の円滑な運動を可能にするようになされる。この有利な実施態様では、ライナの内面に蒸着されたポリマーは存在せず、ピストンもライナも共に、少なくとも約４マイクロインチ（０．１μｍ）、さらに有利には少なくとも約８マイクロインチの粗さ平均、しかしながら約１６マイクロインチよりも小さい粗さ平均を有している。有利な平均最大表面粗さＲｚは約５０マイクロインチである。さらに、最大成形部深さＲｍは有利には約５０マイクロインチである。適切な粗さの表面仕上げ部と、蒸着されたポリマー例えばＰＴＦＥと、相応の範囲内のピストン／ライナクリアランスとの組合せは、流体の精密な量を信頼性の高い方式で送り出すのに極めて適したポンプ又は配量装置を提供する。場合によっては、ピストン及びライナの一方又は両方の表面仕上げ部は、これらの部材がバインディングする恐れがないという条件下では、１６マイクロインチの粗さ平均を上回ることができよう。両部材の最大粗さは、係合する他方の部材の表面仕上げ部の粗さと両部材の製作に際しての出発材料とシールを構成する材料とに依存して、変更されることが見込まれるであろう。２０マイクロインチ又はそれどころか２４マイクロインチまでの粗さ平均が、先述のセラミック材料の使用時には可能であろう。とはいえ、Ｒｍ及びＲｚがやはり前記限界内にある場合には、１６マイクロインチよりも小さい平均が、満足すべき性能を保証するという点で確実であることが証明されている。
【００１８】
図３Ａ及び図３Ｂに概略的に示された変化実施例では、両ピストン及びライナは、セラミック又はセラミックタイプの材料、例えばアルミナ又はジルコニアから製作されていて、図２Ａ及び図２Ｂの実施例に関して説明したように表面仕上げ部を有している。前記変形実施例では、ライナ１６の内面とピストン２４の外面とは共に、蒸着されたポリマー３４を有している。このポリマーは有利にはＰＴＦＥから成っており、さらに有利には、図２Ａ及び図２Ｂに示されたピストン２４におけるポリマーのように、実質的に純ＰＴＦＥである。択一的な可能な第３の実施例（図示せず）は、蒸着されたポリマーを有するライナと、蒸着された物質を有していないピストンとを有していてよい。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明による計量型のポンプを示す立面展開図である。
【図２Ａ】図１に図示したピストン／シリンダアセンブリを拡大して示す立面側断面図である。
【図２Ｂ】図２Ａを高度に拡大して示す断面図である。
【図３Ａ】本発明の第２の実施例によるピストン／シリンダアセンブリを拡大して示す立面側断面図である。
【図３Ｂ】図３Ａを高度に拡大して示す断面図である。
【符号の説明】
【００２０】
１０  ハウジング（シリンダハウジング）
１２  ねじ山付き端部
１４  開口
１６  ライナ
１８  開口
２０  ピストンアセンブリ
２２  平坦部
２４  ピストン
２８  ピン
３０  押さえワッシャ
３２  リップシール
３４  ポリマー
４０  駆動シリンダ
４２  駆動軸
４４  モータ
４６  止めねじ
４８  ボール及びソケット嵌合部材
【図１】
2007502939.tif 000002
【図２Ａ】
2007502939.tif 000003
【図２Ｂ】
2007502939.tif 000004
【図３Ａ】
2007502939.tif 000005
【図３Ｂ】
2007502939.tif 000006
【国際調査報告】
2007502939.tif 000007