(57)【要約】  接近して位置した２つの高電圧モジュールを、ほとんど又は全く曲げない状態で且つ電気的相互接続同軸ケーブルにループができない状態で電気的に接続するための装置及び方法であって、ケーブルの少なくとも一端においてケーブルの少なくとも一部分に取り付けられた高電圧コネクタと；一方のモジュール内のプッシュスルー高電圧コネクタレセプターと；その一方のモジュール内にあって、高電圧コネクタと、その高電圧コネクタがコネクタレセプターを経て取り付けられたケーブルの少なくとも一部分とを、高電圧接続がなされる他方のモジュールから離れる方向に接触位置から収容位置へ移動するように適応された切断メカニズムと；を備えた装置及び方法が開示される。高電圧コネクタレセプターは、開放した円筒状コネクタを備え、その円筒状コネクタの内壁には接触面が含まれる。この装置は、更に、切断メカニズムと動作接続されるインターロックメカニズムであって、高電圧コネクタがコネクタレセプターに対して接触位置以外の位置にあるという指示を与えるよう適応されたインターロックメカニズムと、高電圧コネクタが接触位置と収容位置との間を移動するときにケーブルに係合してケーブルを切断メカニズムに対して固定位置に保持する係合メカニズムとを備えることができる。この装置は、更に、クランプメカニズムであって、高電圧コネクタが接触位置にあってこのクランプメカニズムと協働するときに、切断メカニズムと協働接続状態になって、高電圧コネクタが接触位置から移動するのを防止するためのクランプメカニズムを備えることができる。又、本発明は、第２のモジュール内にある引っ込み可能なコネクタであって、引っ込められた位置から、第２の高電圧コネクタとの電気的接触がなされる延びた位置へと第１コネクタに向かって移動できる引っ込み可能なコネクタも備えることができる。【特許請求の範囲】
【請求項１】
接近して位置された２つの高電圧モジュールを、ほとんど又は全く曲がらない状態で、且つ電気的な相互接続同軸ケーブルにループができない状態で、電気的に接続するための装置において、
前記ケーブルの少なくとも一端において前記ケーブルの少なくとも一部分に取り付けられた高電圧コネクタと、
一方のモジュール内のプッシュスルー高電圧コネクタレセプターと、
前記一方のモジュール内にあって、前記高電圧コネクタと、前記高電圧コネクタが前記コネクタレセプターを経て取り付けられたケーブルの少なくとも一部分とを、高電圧接続がなされる他方のモジュールから離れる方向に接触位置から収容位置へ移動するように適応された切断メカニズムと、
を備えた装置。
【請求項２】
前記高電圧コネクタレセプターは、開放した円筒状コネクタを備え、該円筒状コネクタの内壁には接触面が含まれる、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記切断メカニズムと動作接続されるインターロックメカニズムであって、前記高電圧コネクタが前記コネクタレセプターに対して前記接触位置以外の位置にあるという指示を与えるよう適応されたインターロックメカニズムを更に備えた、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記切断メカニズムと動作接続されるインターロックメカニズムであって、前記高電圧コネクタが前記コネクタレセプターに対して前記接触位置以外の位置にあるという指示を与えるよう適応されたインターロックメカニズムを更に備えた、請求項２に記載の装置。
【請求項５】
前記高電圧コネクタが前記接触位置と前記収容位置との間を移動するときに前記ケーブルに係合して前記ケーブルを前記切断メカニズムに対して固定位置に保持する係合メカニズムを更に備えた、請求項３に記載の装置。
【請求項６】
前記高電圧コネクタが前記接触位置と前記収容位置との間を移動するときに前記ケーブルに係合して前記ケーブルを前記切断メカニズムに対して固定位置に保持する係合メカニズムを更に備えた、請求項４に記載の装置。
【請求項７】
クランプメカニズムであって、前記高電圧コネクタが前記接触位置にあって該クランプメカニズムと協働するときに、前記切断メカニズムと協働接続状態となって、前記高電圧コネクタが前記接触位置から移動するのを防止するためのクランプメカニズムを更に備えた、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記高電圧コネクタが前記接触位置にあって前記切断メカニズムと協働するときに、前記切断メカニズムと協働接続状態となって、前記高電圧コネクタが前記接触位置から移動するのを防止するためのクランプメカニズムを更に備えた、請求項２に記載の装置。
【請求項９】
前記高電圧コネクタが前記接触位置にあって前記切断メカニズムと協働するときに、前記切断メカニズムと協働接続状態となって、前記高電圧コネクタが前記接触位置から移動するのを防止するためのクランプメカニズムを更に備えた、請求項３に記載の装置。
【請求項１０】
前記高電圧コネクタが前記接触位置にあって前記切断メカニズムと協働するときに、前記切断メカニズムと協働接続状態となって、前記高電圧コネクタが前記接触位置から移動するのを防止するためのクランプメカニズムを更に備えた、請求項４に記載の装置。
【請求項１１】
前記高電圧コネクタが前記接触位置にあって前記切断メカニズムと協働するときに、前記切断メカニズムと協働接続状態となって、前記高電圧コネクタが前記接触位置から移動するのを防止するためのクランプメカニズムを更に備えた、請求項５に記載の装置。
【請求項１２】
前記高電圧コネクタが前記接触位置にあって前記切断メカニズムと協働するときに、前記切断メカニズムと協働接続状態となって、前記高電圧コネクタが前記接触位置から移動するのを防止するためのクランプメカニズムを更に備えた、請求項６に記載の装置。
【請求項１３】
接近して位置された２つの高電圧モジュールを、ほとんど又は全く曲がらない状態で、且つ電気的な相互接続同軸ケーブルにループができない状態で、電気的に接続するための装置において、
前記ケーブルの少なくとも一端において前記ケーブルの少なくとも一部分に取り付けられた高電圧コネクタと、
一方のモジュール内にあって、前記高電圧コネクタをそのモジュールに接続したり切断したりするためのプッシュスルー高電圧コネクタレセプター手段と、
前記一方のモジュール内にあって、前記高電圧コネクタと、前記高電圧コネクタが取り付けられたケーブルの少なくとも一部分とを、高電圧接続がなされる他方のモジュールから離れる方向にケーブルを移動することにより収容位置に位置させるための切断手段と、
を備えた装置。
【請求項１４】
前記高電圧コネクタレセプターは、開放した円筒状コネクタを備え、該円筒状コネクタの内壁には接触面が含まれる、請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】
前記切断手段と協働し、前記高電圧コネクタが前記コネクタレセプターに対して前記接触位置以外の位置にあるという指示を与えるためのインターロック手段を更に備えた、請求項１３に記載の装置。
【請求項１６】
前記切断手段と協働し、前記高電圧コネクタが前記コネクタレセプターに対して前記接触位置以外の位置にあるという指示を与えるためのインターロック手段を更に備えた、請求項１４に記載の装置。
【請求項１７】
前記高電圧コネクタが前記接触位置と前記収容位置との間を移動するときに前記ケーブルに係合して前記ケーブルを前記切断手段に対して固定位置に保持する係合メカニズムを更に備えた、請求項１５に記載の装置。
【請求項１８】
前記高電圧コネクタが前記接触位置と前記収容位置との間を移動するときに前記ケーブルに係合して前記ケーブルを前記切断手段に対して固定位置に保持する係合メカニズムを更に備えた、請求項１６に記載の装置。
【請求項１９】
前記高電圧コネクタが前記接触位置にあって前記切断手段と協働するときに、前記切断手段と協働接続状態となって、前記高電圧コネクタが前記接触位置から移動するのを防止するためのクランプ手段を更に備えた、請求項１３に記載の装置。
【請求項２０】
前記高電圧コネクタが前記接触位置にあって前記切断手段と協働するときに、前記切断手段と協働接続状態となって、前記高電圧コネクタが前記接触位置から移動するのを防止するためのクランプ手段を更に備えた、請求項１４に記載の装置。
【請求項２１】
前記高電圧コネクタが前記接触位置にあって前記切断手段と協働するときに、前記切断手段と協働接続状態となって、前記高電圧コネクタが前記接触位置から移動するのを防止するためのクランプ手段を更に備えた、請求項１５に記載の装置。
【請求項２２】
前記高電圧コネクタが前記接触位置にあって前記切断手段と協働するときに、前記切断手段と協働接続状態となって、前記高電圧コネクタが前記接触位置から移動するのを防止するためのクランプ手段を更に備えた、請求項１６に記載の装置。
【請求項２３】
前記高電圧コネクタが前記接触位置にあって前記切断手段と協働するときに、前記切断手段と協働接続状態となって、前記高電圧コネクタが前記接触位置から移動するのを防止するためのクランプ手段を更に備えた、請求項１７に記載の装置。
【請求項２４】
前記高電圧コネクタが前記接触位置にあって前記切断手段と協働するときに、前記切断手段と協働接続状態となって、前記高電圧コネクタが前記接触位置から移動するのを防止するためのクランプ手段を更に備えた、請求項１８に記載の装置。
【請求項２５】
接近して位置された２つの高電圧モジュールを、ほとんど又は全く曲がらない状態で、且つ電気的な相互接続同軸ケーブルにループができない状態で、電気的に接続する方法において、
前記ケーブルの少なくとも一端において前記ケーブルの少なくとも一部分に高電圧コネクタを取り付けるステップと、
前記高電圧コネクタをモジュールに接続したり切断したりするためにプッシュスルー高電圧コネクタレセプターを一方のモジュール内に設けるステップと、
前記高電圧コネクタと、前記高電圧コネクタが取り付けられたケーブルの少なくとも一部分とを、高電圧接続がなされる他方のモジュールから離れる方向に前記プッシュスルー高電圧コネクタレセプターを経て前記ケーブルを移動することにより収容位置に位置させるステップと、
を備えた方法。
【請求項２６】
前記高電圧コネクタレセプターは、開放した円筒状コネクタを備え、該円筒状コネクタの内壁には接触面が含まれる、請求項２５に記載の方法。
【請求項２７】
前記高電圧コネクタが前記接触位置以外にあるときに前記ケーブルを付勢するのを防止するために、前記高電圧コネクタが前記コネクタレセプターに対して前記接触位置以外の位置にあるという指示を与えるステップを更に備えた、請求項２５に記載の方法。
【請求項２８】
前記高電圧コネクタが前記接触位置以外にあるときに前記ケーブルを付勢するのを防止するために、前記高電圧コネクタが前記コネクタレセプターに対して前記接触位置以外の位置にあるという指示を与えるステップを更に備えた、請求項２６に記載の方法。
【請求項２９】
前記高電圧コネクタが前記接触位置以外にあるときに前記ケーブルを付勢するのを防止するために、前記高電圧コネクタが前記コネクタレセプターに対して前記接触位置以外の位置にあるという指示を与えるステップを更に備えた、請求項２７に記載の方法。
【請求項３０】
前記高電圧コネクタが前記接触位置以外にあるときに前記ケーブルを付勢するのを防止するために、前記高電圧コネクタが前記コネクタレセプターに対して前記接触位置以外の位置にあるという指示を与えるステップを更に備えた、請求項２８に記載の方法。
【請求項３１】
前記高電圧コネクタが前記接触位置から移動するのを防止するために切断手段をクランプするステップを更に備えた、請求項２５に記載の装置。
【請求項３２】
前記高電圧コネクタが前記接触位置から移動するのを防止するために切断手段をクランプするステップを更に備えた、請求項２６に記載の装置。
【請求項３３】
前記高電圧コネクタが前記接触位置から移動するのを防止するために切断手段をクランプするステップを更に備えた、請求項２７に記載の装置。
【請求項３４】
前記高電圧コネクタが前記接触位置から移動するのを防止するために切断手段をクランプするステップを更に備えた、請求項２８に記載の装置。
【請求項３５】
前記高電圧コネクタが前記接触位置から移動するのを防止するために切断手段をクランプするステップを更に備えた、請求項２９に記載の装置。
【請求項３６】
前記高電圧コネクタが前記接触位置から移動するのを防止するために切断手段をクランプするステップを更に備えた、請求項３０に記載の装置。
【請求項３７】
接近して位置された第１及び第２の高電圧モジュールを、ほとんど又は全く曲がらない状態で、且つ電気的な相互接続同軸ケーブルにループができない状態で、電気的に接続するための装置において、
前記ケーブルの一端において前記ケーブルの少なくとも一部分に取り付けられた第１の高電圧コネクタ、及び前記ケーブルの第２端において前記ケーブルの少なくとも一部分に取り付けられた第２の高電圧コネクタと、
第１モジュール内のプッシュスルー高電圧コネクタレセプターと、
前記第１モジュール内にあって、前記高電圧コネクタと、前記高電圧コネクタが前記コネクタレセプターを経て取り付けられたケーブルの少なくとも一部分とを、高電圧接続がなされる他方のモジュールから離れる方向に接触位置から収容位置へ移動するように適応された切断メカニズムと、
前記第２モジュール内にあって、引っ込んだ位置から延びた位置へ前記第１モジュールに向かって移動できる引っ込め可能なコネクタであって、前記延びた位置において前記第２の高電圧コネクタとの電気的接触をなすような引っ込め可能なコネクタと、
を備えた装置。
【請求項３８】
接近して位置された第１及び第２の高電圧モジュールを、ほとんど又は全く曲がらない状態で、且つ電気的な相互接続同軸ケーブルにループができない状態で、電気的に接続するための装置において、
前記ケーブルの各端において前記ケーブルの少なくとも一部分に取り付けられた第１及び第２の高電圧コネクタと、
前記第１モジュール内にあって、前記高電圧コネクタを前記第１モジュールに接続したり切断したりするためのプッシュスルー高電圧コネクタレセプター手段と、
前記第１モジュール内にあって、前記高電圧コネクタと、前記高電圧コネクタが取り付けられた前記ケーブルの少なくとも一部分とを、高電圧接続がなされる他方のモジュールから離れる方向に前記ケーブルを移動することにより収容位置に位置させるための切断手段と、
前記第２モジュール内にあって、引っ込んだ位置から延びた位置へ前記第１モジュールに向かって移動できる引っ込め可能なコネクタ手段であって、前記第２の高電圧コネクタとの電気的接触をなすための引っ込め可能なコネクタと、
を備えた装置。
【請求項３９】
接近して位置された第１及び第２の高電圧モジュールを、ほとんど又は全く曲がらない状態で、且つ電気的な相互接続同軸ケーブルにループができない状態で、電気的に接続する方法において、
前記ケーブルの各端において前記ケーブルの少なくとも一部分に第１及び第２の高電圧コネクタを配置し、
前記第１モジュール内にあって、前記高電圧コネクタを前記第１モジュールに接続したり切断したりするためのプッシュスルー高電圧コネクタレセプター手段を配置し、
前記第１モジュール内にあって、前記高電圧コネクタと、前記高電圧コネクタが取り付けられた前記ケーブルの少なくとも一部分とを、高電圧接続がなされる他方のモジュールから離れる方向に前記ケーブルを移動することにより収容位置に位置させるための切断手段を配置し、そして
前記第２モジュール内にあって、引っ込んだ位置から延びた位置へ前記第１モジュールに向かって移動できる引っ込め可能なコネクタ手段であって、前記第２の高電圧コネクタとの電気的接触をなすための引っ込め可能なコネクタを配置する、
という段階を備えた方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高パルス付勢の電気装置及び他の高電圧電気装置をモジュールへと分離し、次いで、これらモジュールを、例えば、キャビネット内で互いに比較的接近して位置させたものであって、このキャビネットが、他の装置、例えば、非常に高電力で非常に高パルスレートのエキシマーレーザのための光学系、レーザチャンバー及びそれに関連した他の装置を収容しているものに係る。
【背景技術】
【０００２】
高パルス付勢の電気装置及び他の高電圧電気装置をモジュールへと分離し、次いで、これらモジュールを、例えば、キャビネット内で互いに比較的接近して位置させたものであって、このキャビネットが、他の装置、例えば、非常に高電力で非常に高パルスレートのエキシマーレーザのための光学系、レーザチャンバー及びそれに関連した他の装置を収容しているものにおいては、スペースを保存することが要望される。又、同時に、比較的頑丈で、ひいては、比較的柔軟性のない高電圧ケーブル、例えば、内部の高電圧接続ワイヤ、例えば、銅のワイヤを、比較的柔軟性のない絶縁材料、例えば、ポリエチレンの比較的厚いシースで取り巻き、更に、例えば、導電性材料の織られたメッシュ、例えば、銅のメッシュで作られた比較的柔軟な接地接続で取り巻き、次いで、絶縁材料、例えば、プラスチック又は合成或いは実際のゴム、例えば、ネオプレンの比較的柔軟性のない外部シースで取り巻いたもので形成された同軸ケーブルを経てモジュールに高電圧を相互接続することが必要である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ある用途、例えば、半導体製造のリソグラフィー用途のための非常に微同調の非常に短い波長及び狭い帯域巾の光を発生する場合には、相互接続ケーブルに望ましからぬループができたり又はおそらくケーブルが曲がったりすると、望ましからぬ電気的作用、例えば、望ましからぬ及び／又は誤ったインダクタンスを引き起こすことがある。設置を容易にすると共に、保守又は交換のための取り外しを容易にするためには、ケーブルの著しい曲げ、ねじれ、圧着又はループ形状等を生じさせて、設置又は取り外しプロセス中に上述した悪い作用を引き起こしたり、又はおそらく、モジュール内のコンポーネントパーツにダメージを及ぼしたりすることなく、このようなモジュールをこのような比較的柔軟性のないケーブルに相互接続できる能力が要望される。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
接近して位置した２つの高電圧モジュールを、ほとんど又は全く曲げない状態で且つ電気的相互接続同軸ケーブルにループができない状態で電気的に接続するための装置及び方法であって、ケーブルの少なくとも一端においてケーブルの少なくとも一部分に取り付けられた高電圧コネクタと；一方のモジュール内のプッシュスルー高電圧コネクタレセプターと；その一方のモジュール内にあって、高電圧コネクタと、その高電圧コネクタがコネクタレセプターを経て取り付けられたケーブルの少なくとも一部分とを、高電圧接続がなされる他方のモジュールから離れる方向に接触位置から収容位置へ移動するように適応された切断メカニズムと；を備えた装置及び方法が開示される。高電圧コネクタレセプターは、開放した円筒状コネクタを備え、その円筒状コネクタの内壁には接触面が含まれる。この装置は、更に、切断メカニズムと動作接続されるインターロックメカニズムであって、高電圧コネクタがコネクタレセプターに対して接触位置以外の位置にあるという指示を与えるよう適応されたインターロックメカニズムと、高電圧コネクタが接触位置と収容位置との間を移動するときにケーブルに係合してケーブルを切断メカニズムに対して固定位置に保持する係合メカニズムとを備えることができる。この装置は、更に、クランプメカニズムであって、高電圧コネクタが接触位置にあってこのクランプメカニズムと協働するときに、切断メカニズムと協働接続状態になって、高電圧コネクタが接触位置から移動するのを防止するためのクランプメカニズムを備えることができる。又、本発明は、第２のモジュール内にある引っ込み可能なコネクタであって、引っ込められた位置から、第２の高電圧コネクタとの電気的接触がなされる延びた位置へと第１コネクタに向かって移動できる引っ込み可能なコネクタも備えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】
図１及び２には、高電圧パルス電力モジュール２０、例えば、圧縮ヘッドが示されている。このモジュール２０は、ベース２２と、モジュール後壁２４と、モジュール前壁２６とを有している。高電圧入力コネクタアッセンブリ３０も示されており、これは、例えば、高電圧コネクタ３２及び高電圧コネクタレセプター３４を含むことができる。高電圧コネクタ３２は、高電圧ケーブル３６の終端に取り付けることができ、このケーブルは、タイムズマイクロウェーブによりＲＧ１７７又はＲＧ２２０の名称で販売されているか、或いは仕様ＭＩＬＡ／６７−ＰＧ−１７７及び／又はＭＩＬ１７／８１−００００１に適合する同軸ケーブルであって、例えば、高電圧中心ワイヤ３７と、例えば、織られた円筒状の銅メッシュ３５で作られた接地シースとを有する同軸ケーブルでよい。
【０００６】
又、モジュール２０には、磁気誘導性リアクタ素子３８も含まれ、これは、例えば、ハウジング３９に収容することができる。磁気誘導性リアクタ素子３８は、これもハウジング３９内に収容される磁気コア(図示せず)の周りの例えば第１ターンの一部分を形成する素子(図示せず)と電気的に接触する誘導性リアクタ入力接触プレート４０を有することができる。高電圧コネクタレセプター３４は、スクリュー４１により前部キャパシタバンク入力接触プレート４２に取り付けることができる。又、前部キャパシタ入力接触プレート４２は、複数のスタンドオフ４６により、誘導性リアクタ入力プレート４０に電気的に接続することができる。又、リアクタ入力接触プレート４０は、別の複数のスタンドオフ４６により後部キャパシタ入力接触プレート４４に電気的に接続することもできる。
【０００７】
複数の前部キャパシタバンク下部キャパシタ６０の各々は、前部キャパシタバンク入力コネクタプレート４２に電気的に接続されると共に、共通電位即ち接地電位に維持できるモジュールベース２２にも電気的に接続される。複数の前部キャパシタバンク上部キャパシタ６２の各々は、前部キャパシタバンク入力プレート４２に電気的に接続されると共に、前部キャパシタ接地プレート５０にも電気的に接続され、該接地プレート５０は、複数のスタンドオフ７０によりベース２２に電気的に接続することができる。複数の後部キャパシタバンク下部キャパシタ６４の各々は、後部キャパシタバンク入力プレート４４及びベース２２に電気的に接続することができる。複数の後部キャパシタバンク上部キャパシタ６６の各々は、後部キャパシタバンク入力コネクタプレート４４に接続されると共に、後部キャパシタバンク上部キャパシタ接地プレート５２接続され、該接地プレート５２は、別の複数のスタンドオフ７０によりベース２２に接続することができる。
【０００８】
図３には、図１及び２のモジュールが部分的に切断され且つ図２の断面線３、４−３、４に沿った断面で示されている。高電圧コネクタアッセンブリ３０は、例えば、高電圧入力コネクタベースチューブ８０を含むように示されており、該ベースチューブは、図５には、斜視図で示されていると共に、図６には、図５の断面線６−６に沿った断面図で示されている。ベースチューブ８０は、細長い円筒状区分８２を有し、該円筒状区分８２の一端は、丸み付けされた端８４を有する。円筒状区分８２の他端は、フレア付きの端８６を形成していて、フラットな端部８６で終わり、ここには、複数のねじ切りされたスクリュー開口９６を含むことができる。又、フレア付きの端８６は、若干大きな円筒内径をもつ開口９０も有する。又、ベースチューブ８０は、円筒状区分８２内に、一般的に円筒状の窓９８も形成している。細長い円筒状区分８２及び拡大部分９０は、一緒に、細長い円筒状通路１００を形成する。
【０００９】
ベースチューブ８０内をスライド移動するように細長い円筒状区分８２の内部に挿入されるのは、高電圧入力アッセンブリの中心チューブ１１０であり、これは、図７に斜視図で示されると共に、図７の断面線８−８に沿った断面図でも示されている。中心チューブ１１０は、比較的厚壁の細長い円筒状区分１１２で形成されると共に、その一端に、薄壁のクランプ区分１１４を有する。中心チューブ１１０の内部は、細長い中心通路１１６を形成する。中心チューブ１１０の細長い円筒状区分１１２の他端は、フレア付きの開口区分１２０を形成することができ、中心チューブ１１０の外部シェルは、フレア付き部分１２０に本質的に長さが対応するテーパー付き区分１２４においてテーパーが付けられている。中心チューブ１１０の細長い円筒状区分１１２の外壁には、環状のクランプ及びインターロックグルーブ１３０を形成することができる。
【００１０】
図９には、高電圧入力コネクタクランプ１４０が斜視図で示されている。これは、図１に示すピボットピン１４４を、クランプ１４０を形成する弓形部材１４１の一端に設けられたピボットピン開口１４２に挿入することにより、モジュール前壁２６に枢着することができる。弓形部材１４１は、その内側の弓形面１４５にクランプ突起１４８をもつことができる。
【００１１】
図１０には、高電圧入力コネクタ３２が示されており、これは、図１１にも、図１０の断面線１１−１１に沿った断面図で示されている。高電圧コネクタ３２は、短い円筒状区分１５０と、丸み付けされた前部区分１５４とで形成できる。短い円筒状区分１５０と、丸み付けされた区分１５４の小さな部分とは、それらの中に、ねじ切りされたチャンネル１５６を形成することができ、このチャンネルは、大きな開口区分１６０をもつことができる。このチャンネルは、図３及び４に示すように、高電圧ケーブル３６のワイヤ部分３７を受け入れることができ、このワイヤ部分は、高電圧コネクタのねじ切りされたセットスクリュー開口１５８にねじ込むことのできるセットスクリュー(図示せず)により、その位置に保持されて、高電圧コネクタ３２と電気的接触することができる。
【００１２】
図１２には、高電圧コネクタレセプター３４が斜視図で示されており、これは、図１３にも平面図で示されると共に、図１４には、図１３の断面線１４−１４に沿った断面図で示されている。高電圧コネクタレセプター３４は、ファウンド状(founded)前面１７２及びブルード状(brooded)後面１７４を有する短い円筒状区分１７０で形成され、これは、一対の突出面１８０の各々により形成された前部及び後部に若干狭い内径を有する一般的に円筒状の開口１７８を形成する。高電圧コネクタレセプターの円筒状部分１７０は、プレート区分１８２に取り付けることができ、このプレート区分には、例えば、図１−４に示す複数のスクリュー４１を受け入れるための複数の開口を形成することができる。
【００１３】
図１−４を参照すれば、動作中に、高電圧コネクタ３２は、高電圧コネクタレセプター３４の内部通路１７８内に係合されて、そこに比較的ぴったり位置保持されることが明らかである。同時に、ケーブル３６は、ケーブルクランプ１７０により高電圧入力コネクタアッセンブリ３０内に保持され、ケーブルクランプ１７０は、中心チューブ１１０のケーブルクランプスリーブ１１４に摩擦係合する。同時に、中心チューブ１１０は、ベースチューブ８０の細長い円筒状通路１００の内面にぴったり嵌合し且つそれに摩擦係合し、これは、次いで、スクリュー１１８によりハウジング前壁２６に接続される。又、ケーブル３６と電気的接触するためにマルチラム(multilam)(図示せず)も使用できる。
【００１４】
高電圧コネクタアッセンブリ３０のこの位置では、高電圧入力コネクタクランプ１４０のクランプ突出部１４８が内部チューブ１１０の環状グルーブ１３０に係合して、高電圧コネクタ３２が高電圧コネクタレセプター３４の開口１７８内から移動するのを防止する。更に、ベースチューブ８０の窓９８を通して延びるマイクロスイッチ１６０の接点１６２が、中心チューブ１１０のテーパー付けされた外面１２４に係合する。
【００１５】
モジュール２０が最初に設置され、及び／又はオペレータがモジュールを除去したいときには、ケーブル３６及び高電圧コネクタアッセンブリ３０が、図４に示す位置となり又はその位置へ移動される。この位置では、高電圧コネクタ３２が、高電圧コネクタレセプターの開口１７８を経てモジュール２０の後壁２４に向けて押し込まれている。これを行うために、オペレータは(又は出荷前に工場において)、クランプ１４０を環状グルーブ１３０から解除し、そしてベースチューブ８０内の内部チューブ１１０を、例えば、ケーブルスリーブクランプ１７０がクランプ１４０に当接する位置まで押す。更に、クランプ１４０が環状グルーブ１３０から外れた状態では、モジュール２０の前壁２６に取り付けられたマイクロスイッチ１４６が、環状グルーブ１３０からクランプ１４０が解離されたことを指示する位置へ移動され、そして接点素子１６２をスプリング負荷するマイクロスイッチ１６０が、内部チューブ１１０の円筒状外壁１１２に対して静止する位置にあり、これは、ケーブルが「収容」位置にあり、即ち動作電気的接触位置にないことを指示する。又、このマイクロスイッチは、環状グルーブ１３０がモジュール２０の後壁２４に向かってマイクロスイッチ１６０を通過しそして逆方向には係合ステップ中に高電圧コネクタ３２が高電圧コネクタレセプター３４と電気的に接触係合されるという指示を与えるのにも使用できる。或いは又、ケーブル３６は、運搬中、モジュール２０を最初に設置する前、又はモジュール２０を保守のために除去した後、完全に取り外し、そしてモジュール２０を最初に設置するか又は保守の後に交換したときに、挿入して、ケーブル３６がスラストスルー位置となるようにすることができる。
【００１６】
このような係合ステップ中に、モジュール２０が挿入又は再挿入された後に、内部チューブ１１０は、ベースチューブ８０を通して（ここでは、ベースチューブにぴったり嵌合し摩擦係合するが、依然、スライド可能に係合している）、ある位置、即ちクランプ１４０が再び環状グルーブ１３０に係合し且つ高電圧コネクタが次いで高電圧コネクタレセプター３４の開口１７８内に入る位置へと引き出すことができる。
【００１７】
リミットスイッチ１４６及び１６０は、インターロック及び安全入力をコントローラ（図示せず）に与えることができ、高電圧コネクタ３２が動作位置にあるときにはケーブル３６に高電圧を接続するのを許し、そして高電圧コネクタ３２が「収容」位置を含む他の位置にあるときには高電圧の印加を許さないことが理解されよう。それ故、コネクタ３２及びコネクタレセプター３４は、「プッシュスルー」高電圧コネクタを形成し、即ちコネクタ３２と、それが取り付けられるケーブル３６であって、高電圧接続ワイヤ３７及びその周囲の絶縁クラッドを形成するケーブル部分を少なくとも含むケーブル３６は、高電圧接続が望まれる隣接モジュールから離れる方向にコネクタレセプターを通して接触位置から収容位置へ移動し、このとき、ケーブル３６は、収容位置から接続位置へ移動され、ケーブル３６を逆方向に即ち隣接モジュールに向けて移動させる。
【００１８】
隣接モジュール、例えば、コミュテータモジュールは、図１−１４に示されたものと本質的に同一の構成をもつことができるが、ケーブル３６が、１つのモジュール、例えば、図１−１４の圧縮ヘッドモジュール２０の「収容」位置から移動されるときに、ケーブル３６は、それ自身の高電圧コネクタ３２’（図示せず）と共に、高電圧コネクタレセプター３４’（図示せず）との電気的接続接触に向かって移動し、そして高電圧コネクタ３２及び３２’（図示せず）は、ケーブル３６のその同じ移動により各高電圧接触レセプター３４及び３４’（図示せず）と各々電気的接続接触するように変更されることが理解されよう。
【００１９】
このように、比較的厚くて柔軟性のないケーブル３６は、望ましからぬインダクタンスを招くことのある曲げやループをケーブル３６に生じることなく、２つの高電圧モジュールを比較的接近して相互接続するのに使用できると同時に、キャビネットに設置されたモジュールが比較的接近し且つ相対的移動の融通性がほとんどない状態で比較的容易に互いに接続及び切断でき、ケーブル端を各モジュールに接続／切断することができる。
【００２０】
接続／切断プロセスに更に融通性を付加するために、本発明の別の実施形態を使用することができ、例えば、図１５−１７に示すように、引っ込め可能なコネクタ１８０を、他のモジュール、例えば、コミュテータモジュール１８２のような高電圧モジュールにおいて形成することができる。
【００２１】
図１５−１７には、引っ込め可能な高電圧コネクタ１８０で実施される本発明の別の実施形態が示されており、このコネクタは、図１５では、引っ込んだ／切断位置において断面図で示され、そして図１６では、延びた／接続位置において断面図で示されている。引っ込め可能な高電圧コネクタ１８０は、例えば、ベースチューブ１９０を含むことができ、その短い円筒状チューブ１９０は、高電圧モジュール１８２の内部に収容されて、スクリュー１９２により壁１８４に取り付けられる。又、ベースチューブ１９０は、その内部円筒状開口２０４内に、マルチコンタクトＵＳＡで製造された環状のマルチラム(Multilam)接点１９６を含むことができ、これは、ベースチューブ１９０の内壁に摩擦係合して内部チューブ２００に摩擦係合させるように使用できる。この内部チューブ２００は、一端にフランジ２０６をもつ細長い円筒状チューブで形成できる。
【００２２】
又、内部チューブ２００は、高電圧ケーブルワイヤ２１２を絶縁材２１０、例えば、テフロンのようなプラスチックで取り巻いたものを含むことができ、この絶縁材は、内部チューブ２００の内壁面に、例えば、接着剤で取り付けることができ、この絶縁材は、又、高電圧接触ワイヤ２１２を同軸的に取り巻く細長いシリンダーへと形成されてもよい。絶縁材２１０の端に取り付けられて、例えば、エンドキャップ２０８を経てワイヤ２１２に電気的に接続されるのは、ドーナツ型の高電圧コネクタ２１４である。エンドキャップ２０８は、ドーナツ型コネクタ２１４の中心開口２０９に挿入することができ、そしてドーナツ型コネクタ２１４は、絶縁材料２１０に適当な手段により取り付けることができ、例えば、穴２０９の内面にタッピングしそしてエンドキャップ２０８の外面にねじ切りすることにより、取り付けることができる。或いは又、エンドキャップ２０８をコネクタ２１４ａに半田付けすることもできる。
【００２３】
内部チューブ２００の他端には、同軸ケーブルコネクタ２４０（図１７に示す）を受け入れてロックするための開口２１６を形成することができる。この開口２１６は、内部スリーブ２２６により同軸ケーブル受け入れ通路２１８へと細くすることができ、これは、絶縁材２１０に形成されたバナナプラグレセプター２２４へと通じていて、高電圧コネクタワイヤ２１２に電気的接触される。
【００２４】
開口２０４の広い部分２１６は、同軸ケーブルコネクタ２４０の一部分を形成する同軸ケーブルコネクタロックプラグ２５０の外部に形成されたねじ（図示せず）を受け入れるように内部にねじを切ることができる。ロックプラグ２５０は、同軸ケーブルを挿入できる内部通路を有することができ、同軸ケーブルは、例えば、黄銅のような適当な導電性材料で作られたロックプラグを通して接地接続するために外部絶縁材の一部分が剥離され、そして内部チューブ２１０の壁は、ベースチューブ１９０及び接地されたコミュテータモジュール１８２の壁１８４に接触される。図１７から明らかなように、同軸ケーブルの絶縁材外部スリーブ２４４は、コネクタロックプラグ２５０の外部端から延び、一方、バナナプラグ２４６が取り付けられて、例えば、プラスチック、例えば、テフロン２４８の絶縁材の周囲チューブでシールドされた高電圧ワイヤは、コネクタプラグ２５０の内部端から延び、そして通路２１８に挿入され、コネクタプラグ２５０がねじ込まれたときにバナナプラグレセプター２２４と接触をなす。当業者に明らかなように、コネクタプラグ２５０及び同軸ケーブルは、このように、例えば、２つの相互メッシュ同軸シリンダーのコネクタプラグを形成して、コネクタプラグ２５０のねじ切りされた部分（図示せず）をねじ込み挿入プロセス中に同軸ケーブルの周りで回転式に移動可能とし、電気的接続されるモジュール２０、１８２間でケーブルにねじれを生じないように、形成及び接続することができる。或いは又、同軸ケーブルの他端、即ちコネクタ３２は、そのコネクタレセプター３４にまだ挿入されず、或いはコネクタ３２は、もし挿入されても、コネクタレセプター３４内で回転することが許されるので、このようなねじれを許容することができる。
【００２５】
動作に際し、引っ込め可能なコネクタ１８０は、これを使用しないときに、例えば、図１５に示すような収容位置にあり、内部チューブ２１０は、モジュール１８２内に本質的に完全に引っ込められている。電気的接触が望まれるときには、例えば、ケーブル３６が接触位置に移動される前に、即ちコネクタ３２がコネクタレセプター３４に係合された状態で、引っ込め可能なコネクタをモジュール１８２から引っ込めることができ、これは、高電圧コネクタ２１４が高電圧コネクタレセプター２２０内に係合するまで、ベースチューブ１９０を経て内部チューブ２００をスライドさせることで行われ、コネクタレセプター２２０は、その内部円筒開口内にマルチラン摩擦接点２２２を有することができる。又、この点において、内部チューブ２１０の端に環状ストップリング２３０を位置させて、例えば、コネクタレセプター２２０の内部開口を通過した後に、ベースチューブの内部端に係合させ、これにより、延長／接続方向における内部チューブ２００の移動の程度を確立することができる。又、この環状ストップリング２３０は、電界勾配を与えることもできる。
【００２６】
この点において、同軸ケーブル３６及びコネクタ３２は、他のモジュールのコネクタレセプター３４と係合するように移動されてもよく、コネクタプラグ２５０を、延長された引っ込め可能なコネクタ１８０の開口２０４に向けて延ばして、コネクタプラグ２５０を受け入れ開口２１６へねじ込み、バナナプラグ２４０をバナナプラグレセプター２２４に接続して、モジュール間に高電圧の電気的接続を確立することができ、２つの間の比較的柔軟性のないケーブルは最小であり、接続中のケーブルの曲がり又は撓みは最小であり、且つ相互接続高電圧ケーブルにおける曲がりが最小であると共にループが排除され、例えば、最小限の漂遊インダンクタンスへと減少される。
【００２７】
当業者であれば、本発明の上述した実施形態は、例示のためのものに過ぎず、そして特許請求の範囲の精神及び範囲から逸脱せずに、ここに開示する実施形態に対して多数の変更や修正がなされ得ることが明らかであろう。それ故、本発明は、ここに開示した好ましい実施形態に限定されず、特許請求の範囲及びその等効物によりカバーされるものとする。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の一実施形態による高電圧パルス電力システムモジュールの斜視図である。
【図２】図１のモジュールの上面図である。
【図３】図１及び２のモジュールの一部分を、図２の断面線３、４−３、４に沿った断面図で、本発明の一実施形態により高電圧コネクタが接触位置にある状態を示す図である。
【図４】図１及び２のモジュールの一部分を、図２の断面線３、４−３、４に沿った断面図で、本発明の一実施形態により高電圧コネクタが収容位置にある状態を示す図である。
【図５】本発明の実施形態による高電圧コネクタベースチューブの斜視図である。
【図６】図５のコネクタベースチューブを、図５の断面線６−６に沿って示す断面図である。
【図７】本発明の実施形態による中央チューブを示す斜視図である。
【図８】図７の中央チューブを、図７の断面線８−８に沿って示す断面図である。
【図９】本発明の実施形態による高電圧入力クランプの斜視図である。
【図１０】本発明の実施形態による高電圧入力コネクタの斜視図である。
【図１１】図１０の高電圧入力コネクタを、図１０の断面線１１−１１に沿って示す断面図である。
【図１２】本発明の実施形態による高電圧入力コネクタレセプターの斜視図である。
【図１３】図１２の高電圧入力コネクタレセプターの上面図である。
【図１４】図１３の高電圧入力コネクタレセプターを、図１３の断面線１４−１４に沿って示す断面図である。
【図１５】本発明の第２の実施形態を接触位置で示す断面図である。
【図１６】図１５の第２の実施形態を収容位置で示す断面図である。
【図１７】図１５及び１６の第２の実施形態による同軸ケーブルコネクタの斜視図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【手続補正書】
【提出日】平成19年6月13日(2007.6.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接近して位置された２つの高電圧モジュールを、ほとんど又は全く曲がらない状態で、且つ電気的な相互接続同軸ケーブルにループができない状態で、電気的に接続するための装置において、前記ケーブルの少なくとも一端において前記ケーブルの少なくとも一部分に取り付けられた高電圧コネクタと、一方のモジュール内のプッシュスルー高電圧コネクタレセプターと、前記一方のモジュール内にあって、前記高電圧コネクタと、前記高電圧コネクタが前記コネクタレセプターを経て取り付けられたケーブルの少なくとも一部分とを、高電圧接続がなされる他方のモジュールから離れる方向に接触位置から収容位置へと移動するように適応された切断メカニズムと、を備えた装置。
【請求項２】
クランプメカニズムであって、前記高電圧コネクタが前記接触位置にあって該クランプメカニズムと協働するときに、前記切断メカニズムと協働接続となって、前記高電圧コネクタが前記接触位置から移動するのを防止するためのクランプメカニズムを更に備えた、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記高電圧コネクタレセプターは、開放した円筒状コネクタを備え、該円筒状コネクタの内壁には接触面が含まれる、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記切断メカニズムと動作接続されるインターロックメカニズムであって、前記高電圧コネクタが前記コネクタレセプターに対して前記接触位置以外の位置にあるという指示を与えるよう適応されたインターロックメカニズムを更に備えた、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記高電圧コネクタが前記接触位置と前記収容位置との間を移動するときに前記ケーブルに係合して前記ケーブルを前記切断メカニズムに対して固定位置に保持する係合メカニズムを更に備えた、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
接近して位置された２つの高電圧モジュールを、ほとんど又は全く曲がらない状態で、且つ電気的な相互接続同軸ケーブルにループができない状態で、電気的に接続するための方法において、前記ケーブルの少なくとも一端において前記ケーブルの少なくとも一部分に高電圧コネクタを取り付けるステップと、前記高電圧コネクタをモジュールに接続したり切断したりするためにプッシュスルー高電圧コネクタレセプターを一方のモジュール内に設けるステップと、前記高電圧コネクタと、前記高電圧コネクタが取り付けられたケーブルの少なくとも一部分とを、高電圧接続がなされる他方のモジュールから離れる方向に前記プッシュスルー高電圧コネクタレセプターを経て前記ケーブルを移動することにより収容位置に位置させるステップと、を備えた方法。
【請求項７】
前記高電圧コネクタレセプターは、開放した円筒状コネクタを備え、該円筒状コネクタの内壁には接触面が含まれる、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記高電圧コネクタが前記接触位置以外にあるときに前記ケーブルを付勢するのを防止するために、前記高電圧コネクタが前記コネクタレセプターに対して前記接触位置以外の位置にあるという指示を与えるステップを更に備えた、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記高電圧コネクタが前記接触位置から移動するのを防止するために切断手段をクランプするステップを更に備えた、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
接近して位置された第１及び第２の高電圧モジュールを、ほとんど又は全く曲がらない状態で、且つ電気的な相互接続同軸ケーブルにループができない状態で、電気的に接続するための装置において、前記ケーブルの一端において前記ケーブルの少なくとも一部分に取り付けられた第１の高電圧コネクタ、及び前記ケーブルの第２端において前記ケーブルの少なくとも一部分に取り付けられた第２の高電圧コネクタと、前記第１モジュール内のプッシュスルー高電圧コネクタレセプターと、前記第１モジュール内にあって、前記高電圧コネクタと、前記高電圧コネクタが前記コネクタレセプターを経て取り付けられたケーブルの少なくとも一部分とを、高電圧接続がなされる他方のモジュールから離れる方向に接触位置から収容位置へと移動するように適応された切断メカニズムと、前記第２モジュール内にあって、引っ込んだ位置から延びた位置へ前記第１モジュールに向かって移動できる引っ込め可能なコネクタであって、前記延びた位置において前記第２の高電圧コネクタとの電気的接触をなすような引っ込め可能なコネクタと、を備えた装置。
【請求項１１】
接近して位置された第１及び第２の高電圧モジュールを、ほとんど又は全く曲がらない状態で、且つ電気的な相互接続同軸ケーブルにループができない状態で、電気的に接続するための方法において、前記ケーブルの各端において前記ケーブルの少なくとも一部分に第１及び第２の高電圧コネクタを配置し、前記高電圧コネクタを前記第１モジュールに接続したり切断したりするためのプッシュスルー高電圧コネクタレセプター手段を前記第１モジュール内に配置し、前記高電圧コネクタと、前記高電圧コネクタが取り付けられた前記ケーブルの少なくとも一部分とを、高電圧接続がなされる他方のモジュールから離れる方向に前記ケーブルを移動することにより収容位置に位置させるための切断手段を前記第１モジュール内に配置し、そして引っ込んだ位置から延びた位置へ前記第１モジュールに向かって移動して、前記第２の高電圧コネクタとの電気的接触をなすことができる引っ込め可能なコネクタを前記第２モジュール内に配置する、という段階を備えた方法。
【請求項１２】
接近して位置された第１及び第２の高電圧モジュールを、ほとんど又は全く曲がらない状態で、且つ電気的な相互接続同軸ケーブルにループができない状態で、電気的に接続するための装置において、前記ケーブルの一端において前記ケーブルの少なくとも一部分に電気的に接続された第１の高電圧コネクタ、及び前記ケーブルの第２端において前記ケーブルの少なくとも一部分に電気的に接続された第２の高電圧コネクタと、前記第１モジュール内のプッシュスルー高電圧コネクタレセプターと、前記第１モジュール内にあって、前記高電圧コネクタを、高電圧接続がなされる他方のモジュールから離れる方向に接触位置から収容位置へと前記コネクタレセプターを通して移動するように適応された切断メカニズムと、前記第２モジュール内にあって、引っ込んだ位置から延びた位置へ前記第１モジュールに向かって移動できる引っ込め可能なコネクタであって、前記延びた位置において前記第２の高電圧コネクタとの電気的接触をなすような引っ込め可能なコネクタと、を備えた装置。
【請求項１３】
接近して位置された第１及び第２の高電圧モジュールを、ほとんど又は全く曲がらない状態で、且つ電気的な相互接続同軸ケーブルにループができない状態で、電気的に接続するための方法において、第１及び第２の高電圧コネクタを前記ケーブルの各端において前記ケーブルの少なくとも一部分に電気的に接続するステップと、前記高電圧コネクタを前記第１モジュールに接続したり切断したりするためのプッシュスルー高電圧コネクタレセプターを前記第１モジュール内に設けるステップと、高電圧接続がなされる他方のモジュールから離れる方向に前記高電圧コネクタを移動することにより前記高電圧コネクタを収容位置に位置させることで前記第１モジュール内の前記高電圧コネクタを切断するステップと、込んだ位置から延びた位置へ前記第１モジュールに向かって移動して、その延びた位置で前記第２の高電圧コネクタとの電気的接触をなすことができる引っ込め可能なコネクタを前記第２モジュール内に設けるステップと、を備えた方法。
【国際調査報告】
2007528576.tif 000019