(57)【要約】  可変光減衰器が、互いに他と光学的に結合された第一の導波路（２０２）と第二の導波路（２０３）とを有している。導波路のうちの少なくとも一つは、両者の間を伝搬する光信号の減衰を制御するため他方に対して可動である可動カンチレバー部分（２０５、２０８）を有している。望ましくは、電気的に駆動されるアクチュエータは、所望の光減衰値が達成される相対位置に可動導波路を撓ませる。各可動導波路は、他方の導波路に対して反対の方向に撓んでよい。電気的に駆動されるアクチュエータは、撓みの量を制御する駆動信号を受信する。電気的に駆動されるアクチュエータは、静電、電熱、または電磁アクチュエータであってよい。電磁アクチュエータの実施例においては、一方の電極（２２０）は、可動導波路上に配設してよく、別の電極（２１８）は、可動導波路に隣接して配設し、導波路を移動させる静電力を生成してよい。
2007500378.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体部分と該基体部分から伸長する可動カンチレバー部分とを有する第一の導波路であって、該カンチレバー部分が第一の終端部を含む第一の導波路と、
該第一の導波路の基体部分を受け止めるようにされた第一の支持部と、
第二の終端部を有する第二の導波路と、
該第二の終端部と該第一の終端部とが、第一の光減衰量を有する第一の光学的に結合された状態となるように、該第二の導波路の少なくとも一部を受け止めるようにされた第二の支持部と、
該第一の終端部と該第二の終端部とが、ある範囲の所望の光減衰値を与える第二の光学的に結合された状態となるように、該第一の終端部を移動するようにされた電気的に駆動されるアクチュエータと、
を備えたことを特徴とする電気的に可変な光減衰器。
【請求項２】
該電気的に可変な光減衰器は、該可動カンチレバー部分上の少なくとも一つの電極と該可動カンチレバー部分に隣接して配設された少なくとも一つの固定電極とを備えたことを特徴とする請求項１に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項３】
該可動カンチレバー部分に隣接して配設された複数の電極とをさらに備えたことを特徴とする請求項２に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項４】
該複数の電極は、複数の駆動信号により駆動されて、該第一の終端部を該第二の終端部に対して複数の方向に選択的に移動させることを特徴とする請求項３に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項５】
第一のパラメータ値は、該第一の終端部の位置と共に変化することを特徴とする請求項１に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項６】
該第一のパラメータ値は、静電容量、インダクタンス、抵抗、電流および電圧からなるグループから選択された電気的に検知される値であることを特徴とする請求項５に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項７】
該第一のパラメータ値は、静電容量であることを特徴とする請求項５に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項８】
該第一のパラメータ値は、該電気的に駆動されるアクチュエータから決定されることを特徴とする請求項５に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項９】
該電気的に駆動されるアクチュエータは、該第一のパラメータ値と第一の所望のパラメータ値との比較に応答して該第一の終端部を移動させるようにされていることを特徴とする請求項５に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項１０】
該電気的に駆動されるアクチュエータは、固定されたバイアス電圧により駆動されることを特徴とする請求項５に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項１１】
該第二の導波路は、該第二の終端部を有する可動カンチレバー部分と基体部分とを含み、かつ、該第二の支持部は、該第二の導波路の基体部分を受け止め、該電気的に可変な光減衰器は、
該第二の終端部を該第一の終端部に対して移動させるように構成された第二の電気的に駆動されるアクチュエータと、
をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項１２】
該電気的に駆動されるアクチュエータは、該第一の導波路の可動カンチレバー部分上に配設された第一の電極と、該第一の電極に隣接して配設された少なくとも一つの第二の電極とを備え、かつ、該第二の電気的に駆動されるアクチュエータは、該第二の導波路の可動カンチレバー部分上に配設された第三の電極と、該第三の電極に隣接して配設された少なくとも一つの第四の電極とを備えたことを特徴とする請求項１１に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項１３】
該電気的に駆動されるアクチュエータは、該第一の終端部を第一の方向に撓ませるようにされており、かつ、該第二の電気的に駆動されるアクチュエータは、該第二の終端部を該第一の方向とは異なる第二の方向に撓ませるようにされていることを特徴とする請求項１１に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項１４】
該電気的に駆動されるアクチュエータは、少なくとも一つの第一の駆動信号により駆動され、かつ、該第二の電気的に駆動されるアクチュエータは、少なくとも一つの第二の駆動信号により駆動されることを特徴とする請求項１１に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項１５】
該少なくとも一つの第一の駆動信号と該少なくとも一つの第二の駆動信号とは、共に共通の駆動信号を備えたことを特徴とする請求項１４に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項１６】
複数の、請求項１１に記載の電気的に可変な光減衰器を備え、該複数の電気的に可変な光減衰器のそれぞれは、ある範囲の所望の光減衰量のうちのいずれか一つを個々に達成するようにされていることを特徴とする光減衰器アレイ。
【請求項１７】
外部的に供給される電力が減少した場合、該電気的に駆動されるアクチュエータを動作させるのに十分な電力を蓄えているバックアップ電源をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項１８】
該電気的に駆動されるアクチュエータは、電熱アクチュエータであることを特徴とする請求項１に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項１９】
該電気的に駆動されるアクチュエータは、電磁アクチュエータであることを特徴とする請求項１に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項２０】
該電気的に駆動されるアクチュエータは、静電アクチュエータであることを特徴とする請求項１に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項２１】
該第一の導波路は、クラッディングとコアとを有する第一の光ファイバであり、かつ、該第二の導波路は、クラッディングとコアとを有する第二の光ファイバであることを特徴とする請求項１に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項２２】
該第一の光ファイバまたは該第二の光ファイバのうちの少なくとも一つは、細くなったクラッディング部分を有していることを特徴とする請求項２１に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項２３】
複数の、請求項１に記載の電気的に可変な光減衰器を備え、該複数の電気的に可変な光減衰器のそれぞれは、ある範囲の所望の光減衰量のうちのいずれか一つを個々に達成するようにされていることを特徴とする光減衰器アレイ。
【請求項２４】
導電性の可動カンチレバー部分を有する第一の光導波路を支持する第一の支持部と、
導電性の可動カンチレバー部分を有する第二の光導波路を支持する第二の支持部と、
キャビティ面上に、かつ、該第一の光導波路の導電性の可動カンチレバー部分に隣接して配設された第一の複数の電極を有して、該第一の光導波路の導電性の可動カンチレバー部分を選択的に撓ませる第一の電気的に駆動可能なアクチュエータと、
該キャビティ面上に、かつ、該第二の光導波路の導電性の可動カンチレバー部分に隣接して配設された第二の複数の電極を有して、該第二の光導波路の導電性の可動カンチレバー部分を選択的に撓ませる第二の電気的に駆動可能なアクチュエータと、
を備えたことを特徴とする電気的に可変な光減衰器。
【請求項２５】
該キャビティ面は、少なくとも三つの側壁を備えたことを特徴とする請求項２４に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項２６】
第一のパラメータ値は、該第一の光導波路の導電性の可動カンチレバー部分の位置と共に変化し、かつ、第二のパラメータ値は、該第二の光導波路の導電性の可動カンチレバー部分の位置と共に変化し、かつ、該第一のパラメータ値と該第二のパラメータ値とは、静電容量、インダクタンス、抵抗、電流および電圧からなるグループから選択された電気的に検知される値であることを特徴とする請求項２４に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項２７】
該第一のパラメータ値および該第二のパラメータ値のうちの少なくとも一つは、静電容量であることを特徴とする請求項２６に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項２８】
該第一のパラメータ値は、該第一の電気的に駆動されるアクチュエータから決定され、かつ、該第二のパラメータ値は、該第二の電気的に駆動されるアクチュエータから決定されることを特徴とする請求項２６に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項２９】
該第一の電気的に駆動されるアクチュエータは、該第一のパラメータ値と第一の所望のパラメータ値との比較に応答して該第一の光導波路を移動させるようにされており、かつ、該第二の電気的に駆動されるアクチュエータは、該第二のパラメータ値と第二の所望のパラメータ値との比較に応答して該第二の光導波路を移動させるようにされていることを特徴とする請求項２６に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項３０】
該第一の複数の電極は、第一の複数の駆動信号により駆動され、かつ、該第二の複数の電極は、第二の複数の駆動信号により駆動されることを特徴とする請求項２４に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項３１】
該キャビティ面は、該第一の光導波路または該第二の光導波路に対して深さが変わることを特徴とする請求項２４に記載の電気的に可変な光減衰器。
【請求項３２】
第一の終端部を含む可動カンチレバー部分と基体部分とを有する第一の導波路と、
該第一の導波路の基体部分を受け止めるようにされた第一の支持部と、
第二の終端部を含む可動カンチレバー部分と基体部分とを有する第二の導波路と、
該第二の終端部と該第一の終端部とが、第一の光減衰量を有する第一の光学的に結合された状態となるように、該第二の導波路を受け止めるようにされた第二の支持部と、
該第二の終端部に対して該第一の終端部を移動させるようにされた第一の電気的に駆動されるアクチュエータと、
該第一の終端部に対して該第二の終端部を移動させるようにされた第二の電気的に駆動されるアクチュエータと、
を備えたことを特徴とする電気的に可変な光減衰器。
【請求項３３】
光導波路を第一の支持部に、かつ、電気的に駆動されるアクチュエータに隣接して配設する工程であって、該光導波路が、第一の終端部を含むカンチレバー部分を有している工程と、
第二の光導波路を第二の支持部に、該第二の光導波路の第二の終端部が該第一の終端部に第一の位置で光学的に結合されるように配設する工程と、
該電気的に駆動されるアクチュエータを駆動して、該第一の終端部を該第二の終端部に対して第二の位置に移動させて、ある範囲の所望の光減衰量のうちの一つを達成する工程と、
を備えたことを特徴とする可変光減衰法。
【請求項３４】
該カンチレバー部分上に少なくとも一つの電極を配設する工程と、
該カンチレバー部分に隣接して少なくとも一つの電極を配設する工程と、
をさらに備えたことを特徴とする請求項３３に記載の可変光減衰法。
【請求項３５】
複数の電極を該カンチレバー部分に隣接して配設する工程と、
該複数の電極を選択的に駆動して、該第一の終端部を複数の異なる方向のうちのいずれか一つに移動させる工程と、
をさらに備えたことを特徴とする請求項３４に記載の方法。
【請求項３６】
該カンチレバー部分に隣接した少なくとも一つの電極を、固定されたバイアス電圧で駆動する工程と、
をさらに備えたことを特徴とする請求項３４に記載の方法。
【請求項３７】
該第一の終端部の位置と共に変化する第一のパラメータ値を測定する工程と、
測定値に応答して、該第二の終端部に対する該第一の終端部の位置を調整して、所望の光減衰量を達成する工程と、
をさらに備えたことを特徴とする請求項３４に記載の方法。
【請求項３８】
該第一のパラメータ値は、静電容量、インダクタンス、抵抗、電流および電圧からなるグループから選択された電気的に検知される値であることを特徴とする請求項３７に記載の方法。
【請求項３９】
該位置を調整する工程は、該第一のパラメータ値と第一の所望のパラメータ値とを比較する工程を備えたことを特徴とする請求項３７に記載の方法。
【請求項４０】
該第二の光導波路は、前記第二の支持部から伸長するカンチレバー部分を含み、該方法は、
該第二の光導波路に隣接した第二の光学的に駆動されるアクチュエータを駆動して、該第一の終端部に対して該第二の終端部を移動させて、ある範囲の所望の光減衰量のうちのいずれか一つを達成する工程と、
をさらに備えたことを特徴とする請求項３３に記載の方法。
【請求項４１】
該電気的に駆動されるアクチュエータを少なくとも一つの第一の駆動信号により駆動する工程と、
該第二の電気的に駆動されるアクチュエータを少なくとも一つの第二の駆動信号により駆動する工程と、
をさらに備えたことを特徴とする請求項４０に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般に、光減衰器に関し、より詳しくは、可変光減衰のための方法および構造体に関する。
【背景技術】
【０００２】
光ネットワーク、例えば、遠隔通信ネットワークは、多数のデバイスで形成されている。スイッチ、ルータ、カプラー、（デ）マルチプレクサ、および増幅器は、ネットワークでは、普通のものである。これらデバイスは、それらが正しく機能するためには、互いに他とコンパチブルでなければならない。すなわち、コンパチブルな信号の送受信ができねばならない。そのため、ある種のネットワークでは、ネットワークのデバイスが、指定された強度範囲内の信号で動作することが必要である。この制約条件のため、ネットワークのパワーレベル管理が極めて重要となる。
【０００３】
システム設計者は、ネットワークのパワーレベルを正しく管理するのに、光減衰器に依存することが多い。これら減衰器は、スタンドアロン状態で、あるいは、他のデバイスと一体化して、信号強度を制御可能に設定することができる。強度は、増幅器の段などのシリアルデバイス間で、スイッチングバンクなどのパラレルデバイス間で、また、既存の波長分割多重（ＷＤＭ）デバイスに一体化された減衰器などの単一の光デバイス内ですら制御可能であり、これによりチャネル強度を正規化する。
【０００４】
多くの応用例において、減衰器は供給者により製造され、供給者はそれらを、ネットワーク装置（スイッチ、ルータなど）を組み立てる光デバイスメーカーに供給する。供給者は、異なるネットワークが、異なる光信号強度レベルに対して最適化される場合があることに配慮して、まず、同一の光デバイスのバッチを作り、次いでそれらのうちのいくつかを調整して、デバイスメーカーのニーズ、すなわち、特定のネットワークの条件を満たすことが多い。
【０００５】
可変光減衰器（ＶＯＡ）は、減衰量が調整可能であり、既知のものである。ＶＯＡは、一般に、入力導波路と出力導波路との間の自由空間領域内に配設されたブロッキング構造体（可動吸収体または部分的に反射する構造体）からなっている。減衰の量は、自由空間領域内のブロッキング構造体の位置で決定される。ブロッキング構造体としては、今まで、シャッター、ミラー、プリズムが使用され、また、液晶構造体も使用されてきた。
【０００６】
使用されている別の減衰法では、機械的なスプリングによりファイバを偏芯させるが、この方法では、顕著な温度依存不安定性が生ずる。ファイバ端部間の軸方向分離も提案されているが、この方法は、大きな変位および高価な移動部品を必要とする。
【０００７】
他の形態としては、２つの導波路を捻って融合させ、バルクスイッチング/減衰領域を形成させた連続波減衰デバイスが開発されている。この種デバイスのうちのいくつかは、選択的なスイッチングおよび減衰制御用の熱素子も使用している。さらに他の形態としては、ファラデー回転子またはポッケルセル様の構造体を用いて偏光状態に基づく減衰を行なうＶＯＡも開発されている。
【０００８】
これらの方法は、ある種の用途では有用であるかもしれないが、望ましくない製造コストおよび動作の複雑さを招来する。さらに、これらのデバイスはバルキーであり（場所を取り）、スペースが大きな関心事であるネットワーキング環境と両立しない。また、これらは、ネットワーク内にインストールするのが難しく、したがって、相当なネットワークダウンタイムまたはスローダウンを生ずる場合がある。また、これはさらに重要なことであろうが、これら既知のＶＯＡデバイスの多くは、相当量の意図しない、かつ、望ましくない損失を招来する。例えば、挿入損および偏光依存損失（ＰＤＬ）は、既知のＶＯＡデバイスの動作を大幅に制限している。さらに、既知のＶＯＡデバイスには、動作中に動かしたり突いたりすると、誤動作を起こすという安定性の問題も有る。
【０００９】
したがって、過度にバルキーでなく、部分的に反射する素子や熱スイッチなどの余分の部品を使用せず、製造コストがより安く、より少ない損失で動作するＶＯＡを供給することが望ましい。
【発明の開示】
【００１０】
一実施形態によれば、基体部分と該基体部分から伸長する可動カンチレバー部分とを有する第一の導波路であって、該カンチレバー部分が第一の終端部を含む第一の導波路と、該第一の導波路の基体部分を受け止めるようにされた第一の支持部と、を含むことを特徴とする電気的に可変な光減衰器が提供される。該電気的に可変な光減衰器は、第二の終端部を有する第二の導波路と、該第二の終端部と該第一の終端部とが、第一の光減衰量を有する第一の光学的に結合された状態となるように、該第二の導波路の少なくとも一部を受け止めるようにされた第二の支持部と、該第一の終端部と該第二の終端部とが、ある範囲の所望の光減衰値を与える第二の光学的に結合された状態となるように、該第一の終端部を移動するようにされた電気的に駆動されるアクチュエータと、を含んでいる。
【００１１】
別の一実施形態によれば、導電性の可動カンチレバー部分を有する第一の光導波路を支持する第一の支持部と、導電性の可動カンチレバー部分を有する第二の光導波路を支持する第二の支持部と、キャビティ面上に、かつ、該第一の光導波路の導電性の可動カンチレバー部分に隣接して配設された第一の複数の電極を有して、該第一の光導波路の導電性の可動カンチレバー部分を選択的に撓ませる第一の電気的に駆動可能なアクチュエータと、該キャビティ面上に、かつ、該第二の光導波路の導電性の可動カンチレバー部分に隣接して配設された第二の複数の電極を有して、該第二の光導波路の導電性の可動カンチレバー部分を選択的に撓ませる第二の電気的に駆動可能なアクチュエータと、を含むことを特徴とする電気的に可変な光減衰器が提供される。
【００１２】
別の一実施形態によれば、第一の終端部を含む可動カンチレバー部分と基体部分とを有する第一の導波路と、該第一の導波路の基体部分を受け止めるようにされた第一の支持部と、第二の終端部を含む可動カンチレバー部分と基体部分とを有する第二の導波路と、該第二の終端部と該第一の終端部とが、第一の光減衰量を有する第一の光学的に結合された状態となるように、該第二の導波路を受け止めるべく構成された第二の支持部と、該第二の終端部に対して該第一の終端部を移動可能に構成された第一の電気的に駆動されるアクチュエータと、該第一の終端部に対して該第二の終端部を移動可能に構成された第二の電気的に駆動されるアクチュエータと、を含むことを特徴とする電気的に可変な光減衰器が提供される。
【００１３】
別の一実施形態によれば、光導波路を第一の支持部に、かつ、電気的に駆動されるアクチュエータに隣接して配設する工程であって、該光導波路が、第一の終端部を含むカンチレバー部分を有している工程と、第二の光導波路を第二の支持部に、該第二の光導波路の第二の終端部が第一の位置で該第一の終端部に光学的に結合されるように配設する工程と、該電気的に駆動されるアクチュエータを駆動して、該第一の終端部を該第二の終端部に対して第二の位置に移動させて、ある範囲の所望の光減衰量のうちの一つを達成する工程と、を含むことを特徴とする可変光減衰法が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
好適な実施例およびそれらに対する多数の代替例を以下に提供するが、当業者であれば、これらは単に例に過ぎず、本発明全てを網羅することを意図したものでないことは理解されるであろう。それどころか、ここで提供する教示は、多くの光デバイスで使用可能である。さらに、以下に提供する説明は、一般に可変光減衰に関するものであるが、ここで提供する教示は、導波路を他の目的のために移動するのに使用可能であり、これは当業者にとって明らかであろう。ここで提供する教示は、減衰以外の目的のために、また、例示した構造体以外の構造体において、導波路間の偏芯を修正あるいは誘導するのにも使用できる。さらに、静電アクチュエータの形態での電気的に駆動されるアクチュエータが大部分の例で説明されたが、開示した例のいずれにおいても、他の電気的に駆動されるアクチュエータが使用可能である。電気的に駆動されるアクチュエータは、電気信号を受信して、導波路の移動を生じる。その例としては、静電、電熱、および電磁アクチュエータがあるが、当業者であれば、他の電気機械的アクチュエータを含む他の電気的に駆動されるアクチュエータも既知であろう。
【００１５】
図１は、入力導波路１０２を伝搬する入力光信号が、可変光減衰器１０６を介して、出力導波路１０４を伝搬する出力光信号となる一例としてのレーザシステム１００を示す。入力光信号は、ダイオードレーザ、ガスレーザ、増幅器、トランスポンダー、または他のレーザまたは光源からのものであってよい。入力光信号は、情報を担うレーザ信号、もしくは、パルス波または持続波などの単一周波数のレーザエネルギーであってよい。入力光信号は、例えば、光ファイバを介して、可変光減衰器１０６に結合してよい。可変光減衰器１０６は、コントローラ１０８によって制御される。
【００１６】
可変光減衰器１０６は、入力光信号を受信して、その信号を、コントローラ１０８の制御の下、減衰する。可変光減衰器１０６は、所望の強度範囲内のいかなる強度を有していてもよい出力光信号を提供することができる。一般の遠隔通信用途では、０ｄＢ〜２０ｄＢの減衰が必要である。本施例では、４０ｄＢまたはそれ以上の減衰が達成され得る。コントローラ１０８は、可変光減衰器１０６によって行なわれる減衰の量を決定する。一例においては、可変光減衰器１０６は、２つの光学的に結合された導波路を含み、そのうちの少なくとも一つは、他に対して可動である。コントローラ１０８は、可変光減衰器１０６の電気的に可変なアクチュエータ（ＥＶＡ）１１０に制御信号を供給して、可動導波路（複数も可）の位置を調整し、設定し、かつ（あるいは）決定する。電気的に可変なアクチュエータが静電アクチュエータである場合には、コントローラ１０８は、アクチュエータの電極に駆動電圧を供給する。可動導波路（複数も可）は、電極によって生成される静電力の下で移動する。ＥＶＡ１１０は、電熱アクチュエータであっても電磁アクチュエータであってもよい。電熱アクチュエータは、コントローラ１０８から電気制御信号を受信し、例えば、可動導波路上の素子を加熱して減衰器１０６内で熱的変化を生じさせ、膨張を生じさせて導波路を撓ませる。電磁アクチュエータは、電気信号を磁力に変換し、次いで、導波路（複数も可）を移動させるものである。
【００１７】
図２Ａは、可変光減衰器１０６として使用され得る一例としての光減衰器２００（図３Ａおよび３Ｂ参照）の一部を示す。光減衰器２００は、図示の実施例における光ファイバの形態では、２つの導波路２０２、２０３を支持する下部部材２０１を含む可変光減衰器である。シリコンは、下部部材２０１の材料の一例である。第一の導波路２０２は、基体部分２０４と、終端部２０６を有する可動式カンチレバー部分２０５とを有している。第二の導波路２０３は、基体部分２０７と、可動または固定のいずれでもよいカンチレバー部分２０８とを有している。カンチレバー部分２０８の端部には、終端部２０９が有る。
【００１８】
図示の非動作状態では、終端部２０６と終端部２０９とは、導波路間でのエネルギー結合を最高とすべく、軸方向に調芯（整合）されている。別法として、終端部２０６、２０９は、非動作位置で偏芯してよい。
【００１９】
カンチレバー部分２０５と２０８とは、凹部２１０の上方に伸長し、該凹部２１０は、例えば、写真製版的な画定および化学的エッチング法により、下部部材２０１内に形成してよい。カンチレバー部分２０５と２０８とは、凹部２１０の上方に懸架されており、終端部２０６、２０９の一方または両方を自由に移動させてよい。一実施形態では、カンチレバー部分２０５と２０８とは、溶融シリカ、すなわち、構造体をその最初の位置に付勢する復元ばね力を有する可撓性材料でできた略同一の光ファイバから形成されている。ファイバの例としては、終端部に角度付きあるいは平坦な端面を有する単一モード Corning SMF-28( ファイバがある。
【００２０】
基体部分２０４と２０７とは、例えば、接着剤（図示せず）を用いて、第一および第二の支持部２１１と２１２とに固着されている。下部部材２０１は、導波路２１１と２１２とが溶融シリカから形成されている場合、それらの膨張係数に正確に合うよう、溶融シリカウェーハから製造してよい。支持部２１１、２１２は、基体部分２０４および２０７を受け止める異方性エッチングされたＶ溝２１４および２１６（図２Ｂにおいて最も明瞭である）を有するシリコンウェーハから形成してよい。Ｖ溝２１４および２１６は、別法として、機械的に形成してよい。Ｖ溝２１４と２１６とを軸方向に調芯（整合）させることにより、終端部２０６と２０９とは、非動作位置で調芯（整合）される。しかしながら、Ｖ溝２１４と２１６とは、２つの導波路２０２と２０３とが非動作位置で軸方向に偏芯するよう（互いの軸がずれるよう）、偏芯させてもよい。導波路２０２と２０３とを軸方向に整合（調芯）させると、結合が最高となり、偏芯させると、非動作的な結合または減衰結合となる。
【００２１】
図示の実施例では、デバイス２００は、カンチレバー部分２０５および２０８の一方または両方を移動させて、導波路２０２、２０３の一方から他方に伝搬する信号を減衰し得るデュアルカンチレバーデバイスである。
【００２２】
図３Ａおよび３Ｂは、下部部材２０１とそれに付着された上部部材２２２とを有する組立てられた光減衰器２００の横断面図を示す。上部部材２２２は、下部部材２０１と略同一である。上部部材２２２は、電極２１８と同様の第三の電極２２６を有する凹部２２４を含んでいる。凹部２２４と２１０とは、キャビティ２２５を形成しており、該キャビティ２２５は、図示の例では、一様な深さを有している。第三の電極２２６とカンチレバー部分２０８における第四の電極２２８とは、第二の電気的に可変なアクチュエータを形成している。図３Ｂは、図３Ａの構造体を示し、該構造体の２つのカンチレバー部分２０５と２０８とは、それらの静電アクチュエータ電極２１８と２２６とに向けて、それぞれ、反対方向に撓んで、両者の間に伝搬する信号の所望の減衰を達成している状態にある。言い換えれば、図３Ａは、減衰量が最小となる第一の光減衰位置を示し、図３Ｂは、システムが、所望の減衰量を達成するよう調整された第二の光減衰位置を示す。
【００２３】
図３Ｂでは、終端部２０６と２０９とが、光学的に結合されているが、距離ｄだけ偏芯して（軸が互いにずれて）おり、その分だけ、光減衰が生じている。光学的に結合された終端部２０６と２０９との間の減衰は、軸方向のオフセット、すなわち、同軸に調芯された位置からのオフセットの関数として、非直線的に変化する。好適な例では、終端部２０６と２０９とは、常に光学的に結合されて、エネルギー変換を行なう。
【００２４】
図３Ａおよび３Ｂは、減衰状態の例を示す。カンチレバー部分２０５の起動は、凹部２１０における第一の電極２１８と、カンチレバー部分２０５の第二の電極２２０とによって成し遂げられる。電極２１８と２２０とは、第一の電気的に可変なアクチュエータを形成する。第一の電極２１８は、凹部２１０内に蒸着されてよく、第二の電極２２０は、カンチレバー部分２０５のクラッディングの周りに蒸着されてよい。カンチレバー部分２０５は、細くなったファイバ部分、すなわち、クラッディングが、減少しているかあるいは全くない部分（ファイバの撓み性が増大し得る部分）を有していてよい。カンチレバー部分２０５はまた、膨張したコア部も有していてよい。図示の例では、カンチレバー部分２０５と２０８とは、長さおよび直径を形状的に一致させて、温度および加速度の誤差を無くしている。
【００２５】
以下、動作を説明すると、コントローラ１０８などの制御デバイスが、電極２１８から電極２２０に静電アクチュエータの駆動信号を供給して、終端部２０６を凹部２１０に移動させる。電極２２６と電極２２８とには、別の駆動信号を印加してカンチレバー部分２０８を凹部２２４に移動させてよい。２つの駆動信号は、共通の駆動電圧であって、各カンチレバー部分２０５、２０８を等量、かつ、反対方向に移動させてよい。もちろん、２つの駆動信号は、異なっていてもよい。一実施形態では、駆動信号は、パルス幅変調（ＰＷＭ）電圧である。さらに、駆動信号は、所望の減衰値と対で駆動信号電圧を記憶しているルックアップ表に由来してよい。ルックアップ表は、アセンブリ２００で校正を行なって形成してよい。さらにまた、以下に追加して述べるように、駆動信号は、フィードバックループに由来してよく、駆動信号値は、該フィードバックループにおいて、静電容量、電圧、電流、インダクタンス、あるいは、周波数などの電気的な値を含む測定された減衰値または撓みに左右される測定されたパラメータ値に応答して、決定される。
【００２６】
図４Ａおよび４Ｂは、図３Ａおよび３Ｂの構造体２００と同様な構造体２００'の一例を示し、したがって、先述の形態におけるものと同様の参照数字を用いる。図４Ａおよび４Ｂの例は、深さが可変の凹部２１０'を有する下部部材２０１'と、深さが可変の凹部２２４'を有する上部部材２２２'とを有している。これらの凹部２１０'と２２４'とは、深さが可変のキャビティ２２５'を形成している。深さが可変のキャビティは、ある一定の撓みに対して電圧の大きさを下げることができる。
【００２７】
図５は、２つのＶ溝支持部３０４および３０６と凹部３０８とを有する下部部材３０２から形成された別の例の光減衰器３００の一部を示す。凹部３０８は、２つの側壁３１０、３１２を有している。導波路３２０のカンチレバー部分３１８に隣接した側壁３１０、３１２には、それぞれ、電極３１４と３１６とが配設されている。これらの電極３１４および３１６、並びに、本件明細書に記載の他の同様の電極は、下部部材３０２との直接の接触が電気的に絶縁されていてよい。図示の実施例においては、導波路３２０は、終端部３２１と、支持部３０４上の定位置に保持された基体部分３２３から少なくとも部分的に伸長する導電性の層３２２と、を有する光ファイバである。凹部３０８の反対の端部には、光ファイバ３３０のカンチレバー部分３２８に隣接して、２つの追加の電極３２４と３２６とが、位置しており、該光ファイバ３３０も、終端部３３１と導電性の層３３２と、支持部３０６上の定位置に保持された基体部分３３３と、を有している。導電性の層３２２および３３２は、それぞれ、ファイバ３２０および３３０の周りに金属層を塗布または蒸着することによって形成してよい。化学的な前駆体ステップを用いる無電解めっき法または物理的な蒸着法を用いてよい。光ファイバ３２０および３３０は、それらのカンチレバー部分３１８および３２８が凹部３０８上に伸長するように位置決めされる。
【００２８】
図５には、上部部材３３４も示してある。上部部材３３４は、２つの側壁３３８、３４０を有する凹部３３６を含んでいる。凹部３３６と凹部３０８とは、キャビティ３４２（図６参照）を形成し、その内部で、カンチレバー部分３１８と３２８とは、撓んでよい。キャビティ３４２は、横断面がダイヤモンド形であってよく、あるいは、他の形状を取ってもよい。下部部材３０２と上部部材３３４とは、接着、溶融、クランプ、もしくは他の方法で互いに他に対して取り付けて、図８に示す一体の構造体を形成してよい。側壁３３８、３４０には、それぞれ、電極３４４、３４６が形成されていて、電極３１４および３１６と同様、カンチレバー部分３１８に作用する。また、凹部３３６には、他の電極３４８および３５０が形成されていて、電極３２４および３２６と同様、カンチレバー部分３２８に作用する。
【００２９】
上部３３４にはまた、Ｖ溝支持部３５２および３５４が含まれており、これらは、それぞれ、支持部３０４および３０６に組み合わされて光ファイバ３２０および３３０の基体部分３２３および３３３を取り囲むことになる。
【００３０】
図６には、デバイス３００の組立て部品の動作の一例を部分的に示してあり、図５のＢＢ線に沿って見た導波路３３０の終端部３３１から臨む光ファイバ３２０の終端部３２１が横断面図で示してある。デバイス３００は、多重横方向ステアリング電極を用いて、導波路の位置を制御する。電極３１４、３１６、３４６および３４４は、光ファイバ３２０を撓ませるようにされている。図６に図示された実施例では、３２０'は、第一の方向に撓んだファイバ３２０を表わし、このとき、ファイバコア３５６は非動作位置から距離ｄ'だけオフセットされている。３２０''は、第二の方向に撓んだファイバ３２０を表わし、このとき、ファイバコア３５６は非動作位置から距離ｄ''だけオフセットされている。ファイバ３２０は、図示の方向とは異なる方向に撓んでよい。例えば、図７は、ファイバ３２０が、上下方向に撓んで位置３２０'および３２０''を取る場合を示す。図７に示すような隣接した電極を用いて導波路を移動させると、静電駆動信号値に顕著な減少が生ずる。図６および７では、ファイバ３２０が、互いに平行な第一および第二の方向に（位置３２０'および３２０''に向かって）移動する場合を示す。しかしながら、異なる方向への移動は、全範囲に亘る。図示のデバイス３００は、複数の電極３１４、３１６、３４４、３４６、および、３２４、３２６、３４８、および３５０を含んでおり、そのいくつかが、同一のまたは異なる駆動信号を受信してよい。さらに、駆動信号（複数も可）は、固定されたバイアス電圧を含んで、ファイバ３２０と３３０との間に、所望の非動作位置、例えば、「フルオン」、「フルオフ」、または「部分減衰」位置を実現してよい。
【００３１】
光ファイバ３３０の撓みは、ファイバ３２０について図６および７に示した例と同様である。図６および７の光ファイバの位置３２０は、撓みのない、軸方向に調芯された位置であってよく、一方、位置３２０'と３２０''は、偏芯された（該調芯位置からずれた）位置であってよい。さらに、Ｖ溝対３０４/３５２と３０６/３５４とは、軸方向に調芯されているが、これらの対は、軸方向に偏芯させて、その分だけ、デバイス３００にオフセットを組み込んでよい。
【００３２】
光ファイバ３２０の基体部分３２３は、支持部３０４と３５２とに装着される。支持部３０４は、金属層３２２に接触する電極３６０を有している。層３２２を電気的に励起するには、導電性パッド３６２と３６４とを用いればよい。電極３１４および３１６は、それぞれ、導電性パッド３６６および３６８に接続されている。光ファイバ３２０を、例えば、下方向に撓ませるためには、導電性パッド３６２（および（または）３６４）と、導電性パッド３６６および３６８の一方または両方との間に駆動信号を加えればよい。上部部材３３４が下部部材３０２上に形成されると、上部電極３４４および３４６は、それぞれ、導電性リード３７０および３７２に接続される。これらリードは、図８に示すように、組立てデバイス３００では、露出されている。パッド３６２（および（または）３６４）と、リード３７０および（または）リード３７２との間に電圧を印加すれば、光ファイバ３２０を上方に撓ませることができる。光ファイバ３３０を撓ませるには、リード３７４と３７６、並びに導電性パッド３７８、３８０、３８２、および３８４を用いて同様のやり方で行なう。
【００３３】
図９は、六つの壁４０４、４０６、４０８、４１０、４１２、および４１４から形成されたキャビティ４０２を有する別の光減衰器４００の横断面図を示す。下部部材４１６と上部部材４１８とが、デバイス４００を形成している。図示の例では、終端部４２１を有する光ファイバ４２０を、三つの異なる位置、４２０、４２０'、および４２０''で示してある。電極４２２、４２４、４２６、および４２８は、ファイバ４２０上の導電性電極（図示せず）と共に、ファイバ４２０を撓ませるべく電気的に駆動されるアクチュエータを形成するのに用いられる。制御は、図５を参照して上記したのと同様のやり方で行なえばよい。
【００３４】
図１０は、三つの壁５０４、５０６、および５０８から形成されたキャビティ５０２を有する別の光減衰器５００の横断面図を示す。下部部材５１０と上部部材５１２とが、デバイス５００を形成している。図示の実施例では、光ファイバ５１４を、三つの異なる位置、５１４、５１４'、および５１４''で示してある。電極５１６、５１８、および５２０は、ファイバ５１４上の導電性電極（図示せず）と共に、ファイバ５１４を撓ませるべく電気的に駆動されるアクチュエータを形成するのに用いられる。制御は、図５を参照して上記したのと同様のやり方で行なえばよい。
【００３５】
上記の実施例では、異なる方向に自由に撓み得る対称的な一対のカンチレバー導波路部分を使用したが、これは、ある一定の減衰を成し遂げるのに、各導波路の撓みがより少なくて済むことを意味する。結果として、導波路のカンチレバーの長さが短ければ短いほど、それだけ共振周波数が高くなり、かつ、それだけ応答時間が速くなる。また、加速度撓みで生じた誤差をコモンモードで解消することができ、また、温度で生じた誤差を低減することができる。さらに、自由に支持された、カンチレバー化された可動部分には、ヒステリシスがほとんどあるいは全くないが、これは、底部到達部分やころがり接触部分がなく、したがって、他のデバイスで問題となっている摩擦および滑りがないためである。
【００３６】
上記のキャビティおよび凹部については、他の形状を使用してよい。例えば、凹部は、横断面が、湾曲していてよく、すなわち、半円形であってよい。また、別の電極形状またはパターンを用いてよい。例えば、不安定な静電スナップダウン位置に達する前に撓みの量を増大させる電極形状および制御スキームを用いてよい。
【００３７】
スナップダウンとは、ファイバの端部が、制御不能に撓んで、実際にプリング電極と直接接触するまで移動する状態である。この状態は、以下の理由により生じる。被覆された光ファイバと隣接電極との間の静電力は、両者の間のギャップの２乗に略反比例する。しかしながら、光ファイバの復元ばね力は、撓みに正比例して増大する。駆動電圧が増大し、ファイバと隣接電極との間のギャップが減少すると、指数関数的に増大する静電力がファイバの直線的に増大するばね力に打克つ不安定な点に達し、ファイバは、突然プリング電極にスナップダウンする。
【００３８】
スナップダウン点は、凹部内の電極を、異なる駆動電圧を受信する多重電極に取り替えることにより調整できる。ここで引用により本件明細書に組み込む、「VARIABLE OPTICAL ATTENUATOR（可変光減衰器）」と称する２００２年９月３０日に出願の同時係属特許出願U.S. Serial No. 10/261,111には、適当な組み合わせ、あるいはインターディジタルな、電極パターンが記載されている。
【００３９】
当業者にとっては、多数の他の代替例が明白であろう。例えば、デバイス２００、３００、４００、および５００のキャビティに、絶縁油の充填材を入れて、駆動電圧を低減し、振動を弱め、端面の反射を無くすことも可能である。環境振動（一般に２ｋＨｚ以下）が存在すると、カンチレバー部分が、それらの共振周波数で振動する場合がある。このような共振は、カンチレバー部分の長さ、すなわち、基体部分から伸長している長さの設定次第で防ぐことができる。充填材を使用すれば、システムは、共振を無くすよう確実に減衰でき、カンチレバー化された部分のより長いアスペクト比が可能となる。
【００４０】
充填材が有っても無くても、各可動部分の終端部に角度を付けることが好ましい。例えば、８°の角度を付けて、端面のファイバへの戻り反射を減らすことが可能である。さらに、各終端部に反射防止コーティングを施して、伝送損失を減らすことも可能である。
【００４１】
図１１は、個々に制御される可変光減衰器６０２、６０４、および６０６から形成された可変減衰アレイデバイス６００を示す。アレイデバイス６００は、三つの異なる光通信経路の減衰を、同様のあるいは異なるレベルに設定するのに使用する。ただ一つのコントローラで、デバイス６０２、６０４、および６０６のそれぞれを個々に操作できる。アレイデバイス６００は、追加のあるいはより少ない光減衰器を含んでよい。デバイス６０２、６０４、または、６０６のそれぞれは、デバイス２００、３００、４００、５００、または本明細書に記載の他のデバイスのうちのいずれを表わしてもよい。
【００４２】
図１２は、光減衰器を動作させる処理システムの一例のブロック図を示す。制御ブロック７０２は、所望の減衰レベルを設定する入力信号またはコマンドを受信する。制御ブロック７０２は、メモリーと、読取可能かつ実行可能なソフトウェアルーチンを含んでいてよい。制御ブロック７０２は、駆動電圧対減衰レベルを表すデータのルックアップ表を記憶あるいは参照してよい。ブロック７０２からの信号は、ＥＶＡ（電気的に可変なアクチュエータ）およびＶＯＡ（可変光減衰器）ブロック７０４に供給される。制御ブロック７０２は、ＥＶＡおよびＶＯＡブロック７０４を制御し、該ＥＶＡおよびＶＯＡブロック７０４は、アセンブリ２００、３００、４００、および（または）５００を含んでいてよい。ブロック７０４は、さらに多重減衰器を含んでいてよい。ブロック７０４は、入力導波路７０５ａを介して、光信号を受信し、また、出力導波路７０５ｂを有していて、これは、オプショナルの受光素子ブロック７０６に接続してよく、該受光素子ブロック７０６は、光出力パワーを測定して、測定ブロック７０８に信号を供給する。
【００４３】
例えば、システム７００を光減衰器２００と共に使用する場合、可動部分２０５は、電極２１８に印加されるＤＣ信号により撓む。減衰が、静電容量などの電気的パラメータにより制御される場合は、制御ブロック７０２は、ＥＶＡおよびＶＯＡブロック７０４を介して、電極２１８と電極２２０との間にＡＣ信号を供給し、電気的パラメータの検出可能な値を検出することになろう。すなわち、ＡＣ信号は、電極２１８、２２０間の実際の静電容量を検出するのに使用される。静電容量、電流、インダクタンス、周波数、および他の電気的なパラメータが、同様のやり方で検出できる。したがって、ただ一つの電極対を用いて、導波路の可動部分を検出し、かつ、その可動部分の位置に関する電気的なパラメータの検出可能な値を測定または検知して、フィードバック制御を行なうことができる。別法として、移動用と検出用とに、別個の電極を用いてよい。
【００４４】
一構成においては、ブロック７０４からの検出可能な値は、測定ブロック７０８に供給され、該測定ブロック７０８は、実際のパラメータ値を導き出してよく（例えば静電容量の値をファラッド単位で計算してよく）、あるいは、該測定ブロック７０８は、検出可能な値を基に距離または減衰量を計算してよい。測定ブロック７０８は、図１２に示した他のブロックを含むコントローラまたはプロセッサの一部であってよい。電気的なパラメータの検出された値は、ブロック７０８によって、制御ブロック７０２に供給され、該制御ブロック７０２は、検出された値が、所望の電気的なパラメータ値に等しいかどうかを判定する。制御ブロック７０２はまた、所望の偏芯量、すなわち位置に関する値が達成されたかどうかを判定してもよい。２つの値が一致しない場合、制御ブロック７０２はブロック７０４に、可動部分の少なくとも一方を上記２つの値が一致するまで動かすよう指示する。上記２つの値が一致するが所望の減衰が達成されていない場合（その判定は、ブロック７０６により示されると共に、制御ブロック７０２に供給される入力を有する別個の受光素子の使用により可能であろう）、制御ブロック７０２は、システム内の終端部の位置を調整して、所望の減衰を達成することが可能である。制御ブロック７０２はまた、そのルックアップ表のデータにより、記憶された減衰量対電気的なパラメータのデータがもはや正確でないことが示唆されるような場合は、ルックアップ表のデータを更新してよい。
【００４５】
したがって、図１２は、光導波路の可動カンチレバー部分に対して、閉ループ位置安定化を行なうシステムを示す。当業者とって、制御システム７００に対する多数の代替例が既知であろう。例えば、測定ブロック７０８で温度を測定し、制御ブロック７０２と連絡して、あるいは、測定ブロック７０８単独で、ある一定の所望の光減衰に必要な可動カンチレバーの位置を決定する際に用いられる温度補償係数を提供してもよい。さらに、測定ブロック７０８は、光検出器ブロック７０６または光信号システム内の別のソースから出た光信号の波長を示す信号を受信してよい。その信号を基準波長と比較してよく、また、その比較を用いて、可動カンチレバー部分の位置を調整してもよい。
【００４６】
図１２の処理は、制御回路およびメモリー記憶装置を有する光減衰器チップ上で全て行なってよく、あるいは、該処理を外部コンポーネントから行なってよい。当業者であれば、図示の処理は、さらに、追加の処理ブロックおよび（または）キーボードなどの入力装置、タッチスクリーンまたは他の手動入力またはユーザインタフェースデバイス、並びに、コンピュータモニターなどの出力装置を含んでよいことが理解されよう。
【００４７】
図１３は、光減衰器の別の処理システム８００を示す。図示のように、制御ブロック８０２は、メモリー記憶装置またはアクセス、および、読取可能および実行可能なソフトウェアルーチンを有すると共に所望の駆動信号を決定し、これにより、ブロック８０２がその駆動信号をＥＶＡブロック８０４に供給したとき、導波路の可動部分を撓ませる。ブロック８０４は、ＶＯＡブロック８０６内の一つの導波路または多重導波路を撓ませる。入力導波路８０７ａおよび出力導波路８０７ｂは、ＶＯＡ８０６に結合した状態で示してある。
【００４８】
図１３は、さらに、パワーバックアップブロック８０８を含み、該パワーバックアップブロック８０８は、一定の駆動信号電圧がブロック８０４に印加されることを保証する。これにより、制御ブロック８０２への、または、ブロック８０４への電力が何らかの理由で供給されなくなっても、パワーバックアップブロック８０８がブロック８０４に電力を供給し、アクチュエータの電極（複数も可）への信号を保持して、終端部および可動部分をそれらの異常前の位置に保持する。図１３の処理は、ホールドインプレイス制御であり、異常時でも、光減衰量をある一定の値に維持する。別法として、システムブロック８００は、可動導波路（複数も可）の減衰位置を、定常位置、例えば、「フルオン」、「フルオフ」、または「部分減衰」位置にリセットしてよい。
【００４９】
パワーバックアップブロック８０８は、既知のやり方で実現してよい。パワーバックアップブロック８０８は、例えば、バッテリー電池、あるいは、スーパーコンデンサなどの、制御された速度の遅い漏れにより電力を供給する任意の電源であってよい。パワーバックアップブロック８０８は、さまざまな応答時間で使用できるが、好適な実施例では、パワーバックアップブロック８０８は、電気的な接続部８１０を介してＥＶＡブロック８０４に連続的に結合して、終端部の位置が異常時でも変わらないようにする。
【００５０】
本件明細書では、本発明の教示に従って構成されたある種の装置を説明したが、本発明の適用範囲は、それらに限定されない。それどころか、本特許は、字義通りに、あるいは、均等論によって添付の請求の範囲内に入る本発明の教示の全ての実施形態に適用される。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】レーザとレシーバとの間に配設された可変光減衰器を有する光減衰システムの一例のブロック図である。
【図２Ａ】下部部材上に配設された第一の導波路と第二の導波路とを示す光減衰器の一例の一実施形態の図である。
【図２Ｂ】導波路支持部を示す図２Ａの構造体の図である。
【図３Ａ】上部部材を含み、それぞれ別個の減衰状態を表わす光減衰器の一例の横断面図である。
【図３Ｂ】上部部材を含み、それぞれ別個の減衰状態を表わす光減衰器の一例の横断面図である。
【図４Ａ】上部部材を含み、それぞれ別個の減衰状態を表わす光減衰器の別の例の横断面図である。
【図４Ｂ】上部部材を含み、それぞれ別個の減衰状態を表わす光減衰器の別の例の横断面図である。
【図５】光減衰器の別の例の分解組立図である。
【図６】図５のＢＢ線に沿って見た図５の構造体（組立て後）の横断面図であり、導波路の可動カンチレバー部分の位置の例を示す図である。
【図７】図５のＢＢ線に沿って見た図５の構造体（組立て後）の横断面図であり、導波路の可動カンチレバー部分の位置の他の例を示す図である。
【図８】図５の組立て後の構造体の図である。
【図９】図６および７の横断面図と同様の横断面図であって、光減衰器の別の例を示す図である。
【図１０】図６、７および９の横断面図と同様の横断面図であって、光減衰器の更に別の例を示す図である。
【図１１】可変光減衰器アレイの図である。
【図１２】光減衰器を動作させるための閉ループ制御システムの一例を示すブロック図である。
【図１３】光減衰器を動作させるためのパワーバックアップシステムの一例を示すブロック図である。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【手続補正書】
【提出日】平成17年11月8日(2005.11.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2007500378.tif 000019
【国際調査報告】
2007500378.tif 000020
2007500378.tif 000021
2007500378.tif 000022
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