(57)【要約】  ＭＥＭＳデバイス内の妨害を相殺するためのシステム及び方法。システム２００は、基板２０５と、複数の個々に移動可能なＭＥＭＳ素子２０３−１〜２０３−Ｎを含むことができるＭＥＭＳデバイス２０３、並びに制御アセンブリ２０７を含む。光学システム２００は、ＭＥＭＳデバイスのアレイを使用する何れかの光学装置の一部において利用することができ、及び／又は該光学装置の一部を形成することができる。制御アセンブリ２０７は、ＭＥＭＳ２０３における妨害を相殺する、より詳細にはスイッチング又は動作ミラーによって引き起こされるＭＥＭＳデバイス２０３の非スイッチング又は静止ミラーでの妨害を相殺するフィードフォワード制御信号を使用する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
個々に動作可能な複数の素子を含むＭＥＭＳデバイスと、
前記ＭＥＭＳデバイスに通信可能に結合され、前記複数の素子を動作させるために前記素子に制御信号を供給する制御アセンブリと、
を備え、
前記制御信号が、動作する素子によって引き起こされる妨害を実質的に相殺する特定の素子へのフィードフォワード信号を含むことを特徴とする光学システム。
【請求項２】
前記複数の素子が、マイクロミラーを備えることを特徴とする請求項１に記載の光学システム。
【請求項３】
前記複数の素子が、一次元アレイで配列されることを特徴とする請求項１に記載の光学システム。
【請求項４】
前記複数の素子が、二次元アレイで配列されることを特徴とする請求項１に記載の光学システム。
【請求項５】
前記複数の素子の各々が、少なくとも１つの軸の周りに回転可能であることを特徴とする請求項１に記載の光学システム。
【請求項６】
前記複数の素子の各々が、２つ又はそれ以上の軸の周りに回転可能であることを特徴とする請求項１に記載の光学システム。
【請求項７】
前記制御信号が、前記素子において対応する回転角度を命令するＤＡＣ電圧値を含むことを特徴とする請求項１に記載の光学システム。
【請求項８】
前記特定の素子が、非動作素子を含むことを特徴とする請求項１に記載の光学システム。
【請求項９】
前記特定の素子が、動作素子の両側に近接する所定の数の素子を含むことを特徴とする請求項１に記載の光学システム。
【請求項１０】
前記素子の所定数が、前記ＭＥＭＳデバイスの物理的特性に基づくことを特徴とする請求項９に記載の光学システム。
【請求項１１】
前記制御アセンブリが、次式に従ってフィードフォワード制御信号を非動作素子に供給することを特徴とする請求項１に記載の光学システム。
ｕj＝Σ−ａjk・Δｕk・ｇ（・）
ここで、素子ｋは動作素子、ｕjは非動作素子ｊに対するフィードフォワード制御信号、ａjkは素子ｋから素子ｊへの結合係数、Δｕkは終値と開始値との間の差、ｇ（・）は非動作素子での妨害を特徴付ける正規化関数である。
【請求項１２】
前記総和が、全てのｋにわたって取られ、ここでｋは動作素子の添字でありａkk＝０であることを特徴とする請求項１１に記載の光学システム。
【請求項１３】
│ｊ−ｋ│＞Ｎの場合にａjk＝０であることを特徴とする請求項１２に記載の光学システム。
【請求項１４】
前記制御アセンブリが、次式に従ってフィードフォワード制御信号を非動作素子に供給することを特徴とする請求項１に記載の光学システム。
ｕ＝Ａ・Δｕk・ｇ（・）
式中、ｕは非動作素子に対する前記フィードフォワード制御信号、Ａは動作素子から非動作素子への結合係数の行列、Δｕkは終値と開始値との間の差、ｇ（・）は非動作素子での妨害を特徴付ける正規化関数である。
【請求項１５】
個々にスイッチング可能なＭＥＭＳミラーのアレイにおける妨害を相殺するための光学装置であって、
前記装置が、
前記ＭＥＭＳミラーに通信可能に結合され、スイッチングミラーによって引き起こされる妨害を実質的に相殺するのに有効なフィードフォワード信号を特定のミラーに伝送するコントローラを備えることを特徴とする光学装置。
【請求項１６】
前記ミラーが、一次元アレイで配列されることを特徴とする請求項１５に記載の光学装置。
【請求項１７】
前記ミラーが、二次元アレイで配列されることを特徴とする請求項１５に記載の光学装置。
【請求項１８】
前記ミラーが、少なくとも１つの軸の周りに旋回可能であることを特徴とする請求項１５に記載の光学装置。
【請求項１９】
前記ミラーが、２つ又はそれ以上の軸の周りに旋回可能であることを特徴とする請求項１５に記載の光学装置。
【請求項２０】
前記コントローラが、前記ＭＥＭＳミラーをスイッチングする制御信号を供給するように更に適合されることを特徴とする請求項１５に記載の光学装置。
【請求項２１】
前記制御信号が、前記ミラーにおいて対応する角度を命令するＤＡＣ電圧値を含むことを特徴とする請求項２０に記載の光学装置。
【請求項２２】
前記特定のミラーが、非スイッチング・ミラーであることを特徴とする請求項１５に記載の光学装置。
【請求項２３】
前記特定のミラーが、スイッチングミラーの両側に近接する所定の数のミラーを含むことを特徴とする請求項１５に記載の光学装置。
【請求項２４】
前記ミラーの所定の数が、前記ＭＥＭＳデバイスの物理的特性に基づくことを特徴とする請求項２３に記載の光学装置。
【請求項２５】
前記コントローラが、次式に従ってフィードフォワード制御信号を非スイッチング・ミラーに供給することを特徴とする請求項１５に記載の光学装置。
ｕj＝Σ−ａjk・Δｕk・ｇ（・）
ここで、素子ｋはスイッチングミラー、ｕjは非スイッチング・ミラーｊに対するフィードフォワード制御信号、ａjkはミラーｋからミラーｊへの結合係数、Δｕkは終値と開始値との間の差、ｇ（・）は非スイッチング・ミラーでの妨害を特徴付ける正規化関数である。
【請求項２６】
前記総和が、全てのｋにわたって取られ、ここでｋはスイッチングミラーの添字であり、ａkk＝０であることを特徴とする請求項２４に記載の光学装置。
【請求項２７】
│ｊ−ｋ│＞Ｎの場合にａjk＝０であることを特徴とする請求項２６に記載の光学装置。
【請求項２８】
前記コントローラが、次式に従ってフィードフォワード制御信号を非スイッチング・ミラーに供給することを特徴とする請求項１に記載の光学システム。
ｕ＝Ａ・Δｕk・ｇ（・）
式中、ｕは非スイッチング・ミラーに対する前記フィードフォワード制御信号、Ａはスイッチングミラーから非スイッチング・ミラーへの結合係数の行列、Δｕkは終値と開始値との間の差、ｇ（・）は非スイッチング・ミラーでの妨害を特徴付ける正規化関数である。
【請求項２９】
個々に移動可能な複数の素子を含むＭＥＭＳデバイスにおける妨害を相殺する方法であって、
前記ＭＥＭＳデバイス内の１つ又はそれ以上の素子にフィードフォワード信号を供給する段階を含み、前記フィードフォワード信号が、前記ＭＥＭＳデバイス内の動作する素子によって引き起こされる妨害を実質的に相殺するのに有効となることを特徴とする方法。
【請求項３０】
前記素子が、マイクロミラーを備えることを特徴とする請求項２９に記載の方法。
【請求項３１】
１つ又はそれ以上の素子が非動作素子であることを特徴とする請求項２９に記載の方法。
【請求項３２】
前記１つ又はそれ以上の素子が、動作素子の両側に近接する所定の数の素子を含むことを特徴とする請求項２９に記載の方法。
【請求項３３】
前記素子の所定の数が、前記ＭＥＭＳデバイスの物理的特性に基づくことを特徴とする請求項３２に記載の方法。
【請求項３４】
制御アセンブリが、次式に従ってフィードフォワード制御信号を非動作素子に供給することを特徴とする請求項１５に記載の光学装置。
ｕj＝Σ−ａjk・Δｕk・ｇ（・）
ここで、素子ｋは動作素子、ｕjは非動作素子ｊに対するフィードフォワード制御信号、ａjkは素子ｋから素子ｊへの結合係数、Δｕkは終値と開始値との間の差、ｇ（・）は非動作素子での妨害を特徴付ける正規化関数である。
【請求項３５】
前記総和が、全てのｋにわたって取られ、ここでｋは動作素子の添字でありａkk＝０であることを特徴とする請求項３４に記載の方法。
【請求項３６】
│ｊ−ｋ│＞Ｎの場合にａjk＝０であることを特徴とする請求項３５に記載の方法。
【請求項３７】
制御アセンブリが、次式に従ってフィードフォワード制御信号を非動作素子に供給することを特徴とする請求項２９に記載の方法。
ｕ＝Ａ・Δｕk・ｇ（・）
ここで、ｕは非動作素子への前記フィードフォワード制御信号、Ａは動作素子から非動作素子に対する結合係数の行列、Δｕkは終値と開始値との間の差、ｇ（・）は非動作素子での妨害を特徴付ける正規化関数である。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微小電子機械システム（ＭＥＭＳ）に関する。より詳細には、本発明は、ＭＥＭＳミラーのアレイのようなＭＥＭＳデバイスの妨害を相殺するためのシステム及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＭＥＭＳミラーのようなＭＥＭＳデバイスは、高速スキャン及び光スイッチングを含む様々な光学的用途に有用である。図１は、入力ファイバーから出力ファイバーに光を結合するためにＭＥＭＳミラーを使用する従来技術の光学システムを示す。詳細には、図１は、１つ又はそれ以上の入力及び出力ポート（例えばポート１１０−１から１１０−Ｎ）を提供するファイバーコリメータのアレイ１１０と；１つの形態において回折格子１０１とすることができる波長セパレータ；合焦レンズ１０２の形態のビームフォーカサー；及びマイクロミラーのアレイとすることができるＭＥＭＳデバイス１０３を含む波長分離ルーティング（ＷＳＲ）装置１００を示す。
【０００３】
動作中、多重波長光信号は、例えばポート１１０−１である１つ又はそれ以上の入力ポートから現れる。回折格子１０１は、この多重波長光信号を多重スペクトルチャネルに角度的に分離する。各スペクトルチャネルは、別個の中心波長（例えばλ1）及び関連する帯域幅に相当することができ、ＷＤＭ光ネットワークアプリケーションにおけるように固有の情報信号を伝送することができる。合焦レンズ１０２は、スペクトルチャンネルを対応する合焦スポットの空間アレイ（図１には示されず）に合焦する。各チャンネルマイクロミラーがスペクトルチャンネルのうちの１つを受け取るように、チャンネルマイクロミラー１０３は、スペクトルチャンネルによって形成される空間アレイに従って位置決めされる。チャンネルマイクロミラー１０３は、アナログ（又は連続）制御のもとで個々に制御可能及び動作可能とすることができ、例えば旋回可能（又は回転可能）であって、これにより、反射時にスペクトルチャンネルが、合焦レンズ１０２及び回折格子１０１により出力ポート（例えばポート１１０−２から１１０−Ｎ）のうちの選択されたものに配向されるようになる。このようにして、ＭＥＭＳデバイス１０３を用いて、システムの入力ポートと出力ポートとの間にスペクトルチャンネルを選択的に結合することができる。システム１００は、１／４波長プレート１０４もまた含むことができ、各スペクトルチャンネルが１／４波長プレート１０４を二回横断すると全体でおよそ９０度の回転の偏光が生じる。ＭＥＭＳデバイスのアレイを使用する光学システム（例えば、マイクロミラー）のこの実施例及び他の実施例は、米国特許第６，６８７，４３１号；第６，６６１，９４８号；第６，６２５，３４６号；及び第６，５４９，６９９号に記載されており、これらは本発明の譲受人に譲渡され引用により本明細書に組み込まれる。
【０００４】
図１に示されるシステムのようなＭＥＭＳデバイスを利用する光学システムにおいて、ＭＥＭＳ内部の個々の素子のスイッチングは、周辺の素子に妨害を発生させる可能性がある。例えば、ＭＥＭＳアレイにおけるミラーのスイッチングは、アレイ内の他のミラーとの空気力学的結合を引き起こすことが分かっており、このことは、静止状態を保持すべきミラーを妨害させる可能性がある。非スイッチング又は静止ミラーのこの妨害を相殺する取り組みがなされている。これらの取り組みは、スイッチングされるミラーの摂動作用を最小にする制御方法を選択することに集中していた。例えば、これまでの研究は、妨害を最小化するために、システム動力学の知識を組み込んでスイッチングミラーの最適軌道を設計することを伴っていた。１つのそのような解決法は、Ｔｒｅｍａｉｎｅの米国特許第５，６６８，６８０号で検討されている。他の取り組みには、スイッチングミラーの運動の遅延、ミラー運動をもたらす時間対電圧プロファイルの最適化、及びミラー間の機械的遮断が挙げられる。
【０００５】
本発明は、ＭＥＭＳデバイスでの妨害を相殺するためのシステム及び方法を提供し、摂動を抑制する方法でＭＥＭＳデバイス内の非スイッチング素子を制御する。
【０００６】
【特許文献１】米国特許第６，６８７，４３１号公報
【特許文献２】第６，６６１，９４８号公報
【特許文献３】第６，６２５，３４６号公報
【特許文献４】第６，５４９，６９９号公報
【特許文献５】米国特許第５，６６８，６８０号公報
【発明の開示】
【０００７】
本発明は、ＭＥＭＳデバイスにおける妨害を相殺するための方法及びシステムを提供する。本発明は、ＭＥＭＳデバイス内の非スイッチング素子を制御し、ＭＥＭＳデバイス内のスイッチング素子によって引き起こされる摂動を相殺するのに有効なフィードフォワード制御手法を利用する。１つの実施形態において、ＭＥＭＳデバイスは、ＭＥＭＳミラーのアレイとすることができ、制御手法は従来型のコントローラを使用して実装することができる。
【０００８】
本発明の１つの態様によれば、光学システムが提供される。光学システムは、個々に移動可能な複数の素子を含むＭＥＭＳデバイスと、ＭＥＭＳデバイスに通信可能に結合され、複数の素子を動作させるために該素子に制御信号を供給する制御アセンブリとを備え、該制御信号は、動作する素子によって引き起こされる妨害を実質的に相殺するのに有効な特定の素子へのフィードフォワード信号を含む。
【０００９】
本発明の別の態様によれば、個々にスイッチングできるＭＥＭＳミラーのアレイでの妨害を相殺するための光学装置が提供される。本装置は、ＭＥＭＳミラーに通信可能に結合され、スイッチングミラーによって引き起こされる妨害を実質的に相殺するのに有効な特定のミラーへのフィードフォワード信号を伝達するコントローラを含む。
【００１０】
本発明の別の態様によれば、個々に動作可能な複数の素子を含むＭＥＭＳデバイスにおける妨害を相殺するための方法が提供される。本方法は、ＭＥＭＳデバイス内の１つ又はそれ以上の素子にフィードフォワード信号を提供する段階を含み、該フィードフォワード信号は、ＭＥＭＳデバイス内の動作する素子によって引き起こされる妨害を実質的に相殺するのに有効である。
【００１１】
本発明の新規の特徴並びに本発明自体は、以下の図面及び詳細な説明から最も適切に理解されるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
ここで図面を参照しながら本発明を詳細に説明する。各図面では、当業者が本発明を実施できるように本発明の実施例が例証として提供される。特に、本発明の特定の要素の実装は、当業者であれば理解されるように、ソフトウェア、ハードウェア、ファームウェア及びこれらの何れかの組み合わせを使用して行うことができ、以下の図及び実施例は、本発明の範囲を限定するものではない。本発明の特定の要素が、既知の構成要素を用いて部分的又は完全に実装可能である場合、本発明の理解に必要なこうした既知の構成要素の該当部分のみが説明され、このような既知の構成要素の他の部分の詳細な説明は、本発明を曖昧にしないために省略される。本発明の好ましい実施形態が図において例示されており、種々の図面の同様の要素及び対応する要素を参照するために同じ符号が使用される。
【００１３】
更に、以下の図に示されるスペクトルチャンネルを表す光ビームは、説明の目的でのみ示されている。例えば、これらの寸法及び形状は、縮尺通りには描かれていない。更に、本明細書における添字ｉは、１からＮの間の何れかの整数値とみなすことができる点に留意されたい。
【００１４】
図２には、本発明による光学システム２００の部分図が示されている。光学システム２００は、基板２０５及び個々に動作可能な複数のＭＥＭＳ２０３−１〜２０３−Ｎを含むＭＥＭＳデバイス２０３と、制御アセンブリ２０７とを含む。光学システム２００は、図１に示された装置或いは譲受人の上述の特許の何れかに記載された装置のようなＭＥＭＳデバイスのアレイを利用する何れかの光学装置の一部で利用することができ、及び／又は該光学装置の一部を形成することができる。１つの実施形態において、ＭＥＭＳ素子２０３−１〜２０３−Ｎは、図１に示された光学装置１００で利用されるマイクロミラーと同様のマイクロミラー（例えば、シリコン微細加工ミラー）を備える。他の実施形態において、ＭＥＭＳデバイス２０３は、何れかの種類の旋回可能、回転可能、切替可能及び／又は動作可能な光学素子を含むことができる。更に、幾つかのチャンネルマイクロミラーをアレイ内に含めることができ、光学システム内のスペクトルチャンネルの数に対応することができる。
【００１５】
マイクロミラー２０３−１〜２０３−Ｎは、ｘ軸に沿った一次元アレイで配列することができ、空間的に分離したスペクトルチャンネルの合焦スポットを一対一の対応で受けるように光学装置内に位置付けることができる。図２に示されたマイクロミラーはミラーの線形アレイであるが、本発明はまた、二次元アレイ又はミラーのマトリクスにもまた適用可能である。各マイクロミラーの反射表面は、この図に定められるｘ−ｙ平面内にあり、ｘ方向に延びるロール軸２１２及びｙ方向に延びるピッチ軸２１４の周りで動作可能であり、例えば旋回可能（又は偏向可能）である。ミラーは、アナログ及び／又はデジタル制御により連続方式で旋回させることができる。各スペクトルチャンネルは、反射時に入射方向に対してｘ及びｙ方向で偏向され、光学システムの出力ポート（例えば図１に示されるシステム１００内のポート１１０−２）に配向できるようにする。図３は、ミラーの角度と、光学システム内の対応する出力ファイバーを用いた反射ビームの光学的結合との関係を示す。マイクロミラーアレイ２０３は、２つの回転軸を有するミラーを示しているが、本発明はどのようなの数の回転軸を有するＭＥＭＳミラーに適用してもよい。更に、本実施形態は静電ＭＥＭＳミラーに関して説明されているが、本発明はまた、ボイスコイルモータ又は静磁場のような他の駆動方法を用いるＭＥＭＳミラーにも適用することができる。
【００１６】
１つの実施形態において、制御アセンブリ２０７は、内蔵プログラム制御のもとで動作する、従来型のマイクロプロセッサベースのコントローラを含む。コントローラは、制御アセンブリ２０７の動作を導くＤＳＰファームウェア及びＦＰＧＡデバイスを含むことができる。他の実施形態においては、他の種類のハードウェア、ソフトウェア、及び／又はファームウェアを用いて、本発明を実施することができる。制御アセンブリ２０７は、例えば電圧信号Ｕ1からＵNであるミラー制御信号のセットを提供し、マイクロミラー２０３−１〜２０３−Ｎの動作を制御する。マイクロミラーは、対応する回転角を命令するＤＡＣ電圧値を用いてスイッチングすることができる。一例として、図２の点線のボックス２２０は、マイクロミラー２０３−ｉの略側面図を示す。ボックス２２０において、マイクロミラーは、ミラー制御信号Ｕiを受け、その結果として、ｘ軸（紙面の向き）の周りに旋回角θiで旋回する。
【００１７】
これらのミラー制御信号（例えばＤＡＣ値）は制御変数であり、線形アレイ内のｋ番目のミラーを記号ｕkで表すことになる。ミラーへの妨害は、ｄＢｍ単位で計測されるパワーレベルでの摂動として光学的に観測することができる。しかしながら、パワーレベルにより間接的に観測されものであるが、出力変数として本実施例でみなされる妨害にはミラー変位角θkがある。
【００１８】
動作中、制御アセンブリ２０７は、ＭＥＭＳデバイス２０３内の妨害を相殺するため、より詳細にはＭＥＭＳデバイス２０３の非スイッチングミラー又は静止ミラー内の妨害を相殺するためにフィードフォワード制御信号を使用する。制御アセンブリ２０７は、周辺ミラー（例えばスイッチングミラーに比較的近接するミラー）での結合を最小にする正規化プロファイルｆ（・）によりスイッチング又は動作されるミラー（スイッチングミラー）に制御信号を供給する。詳細には、制御アセンブリ２０７は、θj（ここでｊ≠ｋ）の過渡応答をｕjへのフィードフォワード制御によって最小にしながら、ミラーｋをθkの何れかの２つの位置の間で制御ｕkを用いて動作させるように適合される。この機能を実行するため、制御アセンブリ２０７は以下のように動作する。最終値と開始値との間の差をΔｕkで示すと、スイッチングミラーへの制御は、ｕk＝Δｕk・ｆ（・）である。妨害が最小化されていても、近接ミラーは、正規化関数ｇ（・）で特徴付けることができる残留妨害を有する。
【００１９】
実験的研究並びに流体力学計算により、ＭＥＭＳデバイス内の周辺ミラーに対する妨害がスイッチングミラーの速度並びにスイッチング回転角に比例することが示された。更に、流体流の運動方程式は、十分に一定の気体密度での層流形態の範囲内にある。レイノルズ数並びにクヌーセン数は、１よりもはるかに小さい。これらの結果は、システムが線形であり重ね合わせを適用できることを示唆している。線形性及び重ね合わせの仮定を用いれば、残留妨害は、ｕj＝ａjk・Δｕk・ｇ（・）によって与えられる制御ｕjの等価妨害として記述することができ、ここでａjkは、ミラーｋからミラーｊまでの結合係数として定義される。制御アセンブリ２０７は、ｋ番目のミラーからの妨害を相殺する追加制御ｕj＝−ａjk・Δｕk・ｇ（・）を用いて等価妨害制御を打ち消すためのフィードフォワード制御手法を提供する。ｊ番目のミラーの全体のフィードフォワード制御は、以下のように全てのスイッチングミラーにわたる総和である。
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この妨害は、ミラーアレイ全体ではなく周辺ミラー（例えばスイッチングミラーに比較的近接したミラー）だけに感知できるほどの影響を及ぼす。従って、ｕjの計算は、全ての周辺ミラー又は静止ミラーの一部にわたって必要とされ又は望ましいとされるだけである。例えば、１つの実施形態において、制御アセンブリ２０７は、スイッチングミラーに近接する周辺＋／−Ｎミラーを考慮するに過ぎない。これを解析的に言い換えれば、│ｊ−ｋ│＞Ｎの場合に係数ａjk＝０である。Ｎの値は、ＭＥＭＳデバイスの物理的幾何形状に基づいて変化する可能性がある。１つの実施形態において、Ｎは５に等しくすることができる。係数ａjkは、ゼロの主項と、非ゼロ係数が代入された上及び下の５つの項とを有する結合行列Ａ内に集められることができる。その結果、フィードフォワード制御は、ｕ＝Ａ・Δｕk・ｇ（・）として説明できる。
【００２０】
結合係数は、光検出器を用いて周辺ミラー内の妨害を測定しながら、反復的に各ミラーを順次スイッチングすることでデバイスを動作させる自動化スクリプトを使用して求めることができる。次いで、結合係数ａjkは、妨害を最小化するように調整される。このことは、結合行列Ａ内で必要な項が満たされるまで各ミラー及びその隣接した周辺ミラーに対して反復される。
【００２１】
本実施形態は、ロール軸に対する補償機能に適用されるが、代替の実施形態においては、別の補償機能をピッチ軸に同様に適用してもよい。
【００２２】
本発明の実施可能性をマイクロミラーアレイを含む光ルーターシステムであるＣａｐｅｌｌａ  Ｐｈｏｔｏｎｉｃｓ  ＷａｖｅＰａｔｈ  ４５００において実証した。図５及び図６は、フィードフォワード制御を使用しない結果（図５）と本発明のフィードフォワード制御を使用した結果とを示す例示的なプロットである。図４は、２つのミラーの例示的なＤＡＣプロファイルを示す。この場合において、ミラー１は、ソースポートから動作先ポートにスイッチングされる。ミラー１は、最初にピッチ軸上で回転し（曲線３０２）、次いでロール軸上で回転して（曲線３０４）、それぞれの波長を動作先ポートに伝達する。次に、ピッチ軸（曲線３０２）は、最適位置に回転して戻る。これらのＤＡＣ遷移は、上述のプロファイルｆ（・）に対応する。この実施例において、ロール軸上でのミラー１の回転（プロファイル３０４）と同時に、空気力学的結合からのロール軸周りのミラー２への妨害が、プロファイルｇ（・）（曲線３０６）を使用するフィードフォワード制御信号によって補償される。他の実施形態では、スイッチングミラーのピッチ運動及びロール運動に対してミラー２並びに周辺ミラーを補償することができる。図５及び図６で示されるように、本発明を用いて、非スイッチング・ミラーに対する妨害が効果的に相殺され、又は実質的に低減される。（例えば８．３ｄＢに対する０．５ｄＢ）
【００２３】
当業者であれば、上述の例示的な実施形態が本発明に従って構成可能な多くの光学システムのうちの幾つかだけを提示していることが理解されるであろう。種々の手段及び方法が、等価な方法で指定機能を実行するように考案することができる。更に、本発明の原理及び範囲を逸脱することなく本明細書で種々の変更、置き換え、及び代替を行うことができる。従って、本発明の範囲は、添付の請求項及びこれらの法的均等物によって決定されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】従来技術によるＭＥＭＳデバイスのアレイを利用する光学装置の概略図である。
【図２】本発明によるＭＥＭＳデバイスのアレイを含む光学システムを示す概略図である。
【図３】光学システムのミラー角度と、対応する出力ポート又はコリメータから出射する光の結合との関係を示す代表的な光結合曲線である。
【図４】本発明で使用可能なＤＡＣプロファイルの実施例を示す図である。
【図５】本発明を利用しないＭＥＭＳデバイスを含む従来型の光学システムでの光学的妨害を示す図である。
【図６】本発明を利用するＭＥＭＳデバイスを含む光学システムの光学的妨害を示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際調査報告】
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2007532975.tif 000011