【手続補正書】
【提出日】平成28年7月19日(2016.7.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに反対側の第１面および第２面を有する半導体基板を含む固体撮像装置であって、
前記半導体基板に配された第１光電変換部および第２光電変換部、フローティングディフュージョン、前記第１光電変換部を前記フローティングディフュージョンに接続する第１トランジスタ、前記第２光電変換部を前記フローティングディフュージョンに接続する第２トランジスタ、および、前記フローティングディフュージョンの電位に応じた信号を出力する増幅トランジスタを各々が有する複数の画素集合と、
前記半導体基板の前記第１面の側に配された配線層と、
前記半導体基板の前記第２面の側に配された複数のマイクロレンズと、を備え、
前記複数のマイクロレンズの各々は、前記複数の画素集合のうちの対応する１つの画素集合の前記第１光電変換部および前記第２光電変換部に対応して配されている、
ことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項２】
前記複数の画素集合の各々における前記第１光電変換部および前記第２光電変換部の各々は、電荷を蓄積する第１導電型の半導体領域を含み、
同一の画素集合に属する前記第１光電変換部および前記第２光電変換部のそれぞれの前記半導体領域の間の領域における第２導電型の不純物濃度の最大値は、互いに異なる画素集合にそれぞれ属する前記半導体領域であって相互に最も近い前記半導体領域の間の領域における前記第２導電型の不純物濃度の最大値より小さい、
ことを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項３】
前記複数の画素集合の各々における前記第１光電変換部および前記第２光電変換部の各々は、電荷を蓄積する半導体領域を含み、
同一の画素集合にそれぞれ属する前記半導体領域の間の最小距離は、互いに異なる画素集合にそれぞれ属する前記半導体領域であって相互に最も近い前記半導体領域の間の最小距離より小さい、
ことを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項４】
前記複数の画素集合と前記半導体基板との間に配された複数のカラーフィルタを更に備え、前記複数のカラーフィルタは、互いに異なるカラーを有する複数の種類を含み、
前記複数のカラーフィルタは、前記複数のカラーフィルタの各々が前記複数の画素集合のうちの対応する１つの画素集合の前記第１光電変換部および前記第２光電変換部に対して共通に割り当てられるように配されている、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項５】
前記複数の画素集合と前記半導体基板との間に配された複数のカラーフィルタを更に備え、前記複数のカラーフィルタは、互いに異なるカラーを有する複数の種類を含み、
前記複数のカラーフィルタは、前記複数の画素集合の各々における前記第１光電変換部および前記第２光電変換部に対して１つの種類のカラーフィルタが割り当てられるように配されている、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項６】
前記第１面に平行な面における前記第１光電変換部および前記第２光電変換部の各々の、前記第１光電変換部と前記第２光電変換部の一方から他方への方向における寸法は、前記第１面の側よりも前記第２面の側の方が大きい、
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項７】
前記第１光電変換部は、前記第１面に対して垂直な方向において前記第１トランジスタのゲートと前記第２面との間に配された部分を含み、前記第２光電変換部は、前記第１面に対して垂直な方向において前記第２トランジスタのゲートと前記第２面との間に配された部分を含む、
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項８】
前記第１光電変換部および前記第２光電変換部の各々は、互いに同じ導電型の第１半導体領域および第２半導体領域を含み、前記第１半導体領域の不純物濃度の最大値は、前記第２半導体領域の不純物濃度の最大値より大きく、前記第２半導体領域は、前記第１半導体領域と前記第２面との間に配され、
前記第１光電変換部の前記第２半導体領域は、前記第１面に対して垂直な方向において前記第１トランジスタのゲートと前記第２面との間に配された部分を含み、
前記第２光電変換部の前記第２半導体領域は、前記第１面に対して垂直な方向において前記第２トランジスタのゲートと前記第２面との間に配された部分を含む、
ことを特徴とする請求項７に記載の固体撮像装置。
【請求項９】
互いに反対側の第１面および第２面を有する半導体基板を含む固体撮像装置であって、
前記半導体基板に配された第１光電変換部および第２光電変換部、ならびに、前記第１光電変換部および前記第２光電変換部に対して共通に設けられたフローティングディフュージョンを各々が含み、前記フローティングディフュージョンが前記第１光電変換部と前記第２光電変換部との間に配された、複数の画素集合と、
前記半導体基板の前記第１面の側に配された配線層と、
前記半導体基板の前記第２面の側に配された複数のマイクロレンズと、を備え、
前記複数のマイクロレンズの各々は、前記複数の画素集合のうちの対応する１つの画素集合の前記第１光電変換部および前記第２光電変換部に対応して配されている、
ことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項１０】
前記複数の画素集合の各々における前記第１光電変換部および前記第２光電変換部の各々は、電荷を蓄積する半導体領域を含み、
同一の画素集合にそれぞれ属する前記半導体領域の間の最小距離は、互いに異なる画素集合にそれぞれ属する前記半導体領域であって相互に最も近い前記半導体領域の間の最小距離より小さい、
ことを特徴とする請求項９に記載の固体撮像装置。
【請求項１１】
前記第１光電変換部は、撮影レンズの瞳における第１領域を通過した光を受け、前記第２光電変換部は、前記撮影レンズの前記瞳における第２領域を通過した光を受ける、
ことを特徴とする請求項９又は１０に記載の固体撮像装置。
【請求項１２】
前記複数の画素集合と前記半導体基板との間に配された複数のカラーフィルタを更に備え、前記複数のカラーフィルタは、互いに異なるカラーを有する複数の種類を含み、
前記複数のカラーフィルタは、前記複数の画素集合の各々における前記第１光電変換部および前記第２光電変換部に対して１つの種類のカラーフィルタが割り当てられるように配されている、
ことを特徴とする請求項９乃至１１のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項１３】
互いに反対側の第１面および第２面を有する半導体基板を含む固体撮像装置であって、
前記半導体基板に配された第１光電変換部および第２光電変換部を有する画素集合と、
前記半導体基板の前記第１面の側に配された配線層と、
前記半導体基板の前記第２面の側に、前記第１光電変換部および前記第２光電変換部に対して割り当てられるように配されたマイクロレンズと、を備え、
前記画素集合は、第１フローティングディフュージョン、第２フローティングディフュージョン、前記第１光電変換部の電荷を前記第１フローティングディフュージョンに転送する第１トランジスタ、前記第２光電変換部の電荷を前記第２フローティングディフュージョンに転送する第２トランジスタを含み、
前記第１フローティングディフュージョンは、前記第１光電変換部と前記第２光電変換部との間に配され、前記第２光電変換部は、前記第１フローティングディフュージョンと前記第２フローティングディフュージョンとの間に配されている、
ことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項１４】
前記画素集合は、複数の組を含み、各組が前記第１光電変換部、前記第２光電変換部、前記第１フローティングディフュージョン、前記第２フローティングディフュージョン、前記第１トランジスタおよび前記第２トランジスタを含む、
ことを特徴とする請求項１３に記載の固体撮像装置。
【請求項１５】
前記画素集合を含む複数の画素集合と、前記マイクロレンズを含む複数のマイクロレンズと、前記複数のマイクロレンズと前記半導体基板との間に配された複数のカラーフィルタとを含み、前記複数のマイクロレンズは、前記複数のマイクロレンズの各々が前記複数の画素集合の対応する１つに対して割り当てられるように配され、前記複数のカラーフィルタは、互いに異なるカラーを有する複数の種類を含む、
ことを特徴とする請求項１３又は１４に記載の固体撮像装置。
【請求項１６】
互いに反対側の第１面および第２面を有する半導体基板を含む固体撮像装置であって、
前記半導体基板に配された第１光電変換部および第２光電変換部を有する画素集合と、
前記半導体基板の前記第１面の側に配された配線層と、
前記半導体基板の前記第２面の側に、前記第１光電変換部および前記第２光電変換部に対して割り当てられるように配されたマイクロレンズと、を備え、
前記画素集合は、第１フローティングディフュージョン、第２フローティングディフュージョン、前記第１光電変換部の電荷を前記第１フローティングディフュージョンに転送する第１トランジスタ、前記第２光電変換部の電荷を前記第２フローティングディフュージョンに転送する第２トランジスタを含み、
前記第１光電変換部および前記第２光電変換部の双方が、前記第１フローティングディフュージョンと前記第２フローティングディフュージョンとの間に配されている、
ことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項１７】
前記画素集合を含む複数の画素集合と、前記マイクロレンズを含む複数のマイクロレンズと、前記複数のマイクロレンズと前記半導体基板との間に配された複数のカラーフィルタとを含み、前記複数のマイクロレンズは、前記複数のマイクロレンズの各々が前記複数の画素集合の対応する１つに対して割り当てられるように配され、前記複数のカラーフィルタは、互いに異なるカラーを有する複数の種類を含む、
ことを特徴とする請求項１６に記載の固体撮像装置。
【請求項１８】
請求項１乃至１７のいずれか１項に記載の固体撮像装置と、
前記固体撮像装置から出力される信号を処理する処理部と、
を備えることを特徴とするカメラ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の１つの側面は、互いに反対側の第１面および第２面を有する半導体基板を含む固体撮像装置に係り、前記固体撮像装置は、前記半導体基板に配された第１光電変換部および第２光電変換部、フローティングディフュージョン、前記第１光電変換部を前記フローティングディフュージョンに接続する第１トランジスタ、前記第２光電変換部を前記フローティングディフュージョンに接続する第２トランジスタ、および、前記フローティングディフュージョンの電位に応じた信号を出力する増幅トランジスタを各々が有する複数の画素集合と、前記半導体基板の前記第１面の側に配された配線層と、前記半導体基板の前記第２面の側に配された複数のマイクロレンズと、を備え、前記複数のマイクロレンズの各々は、前記複数の画素集合のうちの対応する１つの画素集合の前記第１光電変換部および前記第２光電変換部に対応して配されている。