【手続補正書】
【提出日】平成28年6月14日(2016.6.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
並設して走行する複数のワイヤに一括して加工電源を供給する給電子を備え、当該複数のワイヤによる放電を用いてインゴットを加工するワイヤ放電加工装置であって、
前記複数のワイヤの走行方向に沿う向きで撮影された画像であって、当該複数のワイヤにより設けられる前記インゴットの複数の加工溝を識別可能な前記画像を取得する取得手段と、
前記取得手段で取得された前記画像に基づいて、前記複数の加工溝のうち加工深さが異なる加工溝があるか否かを判断する判断手段と、
前記判断手段により前記加工深さが異なる加工溝があると判断される場合には、前記複数のワイヤと前記インゴットとの相対的な距離を離した後に、前記複数のワイヤと前記インゴットとの相対的な距離を近づけて加工を再開するよう制御する制御手段と
を備えることを特徴とするワイヤ放電加工装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記判断手段により前記加工深さが異なる前記加工溝があると判断される場合には、前記複数のワイヤによる前記インゴットの放電を一時停止してから、前記複数のワイヤと前記インゴットとの相対的な距離を離すように制御し、前記複数のワイヤと前記インゴットの相対的な距離を放電が発生する放電間隔となるように近づけた後に、放電を再開するように制御する
ことを特徴とする請求項１に記載のワイヤ放電加工装置。
【請求項３】
前記取得手段は、前記判断手段により前記加工深さが異なる加工溝があると判断されたときから所定時間経過後に前記画像を再度取得し、
前記判断手段は、前記所定期間経過後に取得された前記画像に基づいて、前記加工深さが異なる加工溝があるか否かを再度判断する
ことを特徴とする請求項１または２に記載のワイヤ放電加工装置。
【請求項４】
前記制御手段は、前記判断手段により前記所定期間経過後に取得された前記画像に基づいて前記加工深さが異なる加工溝があると判断された場合に、前記インゴットの加工を中止するように制御する
ことを特徴とする請求項３に記載のワイヤ放電加工装置。
【請求項５】
前記給電子に加工電源を供給する加工電源部から当該給電子までの抵抗値が、当該給電子から前記インゴットに放電される放電部までの抵抗値よりも小さいことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のワイヤ放電加工装置。
【請求項６】
並設して走行する複数のワイヤに一括して加工電源を供給する給電子を備え、当該複数のワイヤによる放電を用いてインゴットを加工するワイヤ放電加工装置の制御方法であって、
前記ワイヤ放電加工装置が、
前記複数のワイヤの走行方向に沿う向きで撮影された画像であって、当該複数のワイヤにより設けられる前記インゴットの複数の加工溝を識別可能な前記画像を取得する取得工程と、
前記取得工程で取得された前記画像に基づいて、前記複数の加工溝のうち加工深さが異なる加工溝があるか否かを判断する判断工程と、
前記判断工程により前記加工深さが異なる加工溝があると判断される場合には、前記複数のワイヤと前記インゴットとの相対的な距離を離した後に、前記複数のワイヤと前記インゴットとの相対的な距離を近づけて加工を再開するよう制御する制御工程と
を備えることを特徴とするワイヤ放電加工装置の制御方法。
【請求項７】
並設して走行する複数のワイヤに一括して加工電源を供給する給電子を備え、当該複数のワイヤによる放電を用いてインゴットを加工するワイヤ放電加工装置で実行可能なプログラムであって、
前記ワイヤ放電加工装置を、
前記複数のワイヤの走行方向に沿う向きで撮影された画像であって、当該複数のワイヤにより設けられる前記インゴットの複数の加工溝を識別可能な前記画像を取得する取得手段と、
前記取得手段で取得された前記画像に基づいて、前記複数の加工溝のうち加工深さが異なる加工溝があるか否かを判断する判断手段と、
前記判断手段により前記加工深さが異なる加工溝があると判断される場合には、前記複数のワイヤと前記インゴットとの相対的な距離を離した後に、前記複数のワイヤと前記インゴットとの相対的な距離を近づけて加工を再開するよう制御する制御手段
として機能させることを特徴とするプログラム。
【請求項８】
並列して走行する複数のワイヤに一括して加工電源を供給する給電子を備え、当該複数のワイヤによる放電を用いてインゴットを加工するウエハの製造方法であって、
前記インゴットと前記複数のワイヤとを近接させ、前記複数のワイヤによる複数の加工溝を設ける加工溝形成工程と、
前記複数の加工溝の加工状態に応じて、前記複数のワイヤと前記インゴットとの相対的な距離を離す離間工程と、
前記離間工程の後に、前記複数のワイヤと前記インゴットとの距離を近づける近接工程と、
を備えることを特徴とするウエハの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ワイヤ放電加工装置、その制御方法及びプログラム、ウエハの製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、ワイヤ放電加工装置、その制御方法及びプログラム、ウエハの製造方法の技術に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は、並設されたワイヤでインゴットを放電加工する際にインゴットの加工の進行が遅れないように適切な制御を行うことが可能な仕組みを提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、並設して走行する複数のワイヤに一括して加工電源を供給する給電子を備え、当該複数のワイヤによる放電を用いてインゴットを加工するワイヤ放電加工装置であって、前記複数のワイヤの走行方向に沿う向きで撮影された画像であって、当該複数のワイヤにより設けられる前記インゴットの複数の加工溝を識別可能な前記画像を取得する取得手段と、前記取得手段で取得された前記画像に基づいて、前記複数の加工溝のうち加工深さが異なる加工溝があるか否かを判断する判断手段と、前記判断手段により前記加工深さが異なる加工溝があると判断される場合には、前記複数のワイヤと前記インゴットとの相対的な距離を離した後に、前記複数のワイヤと前記インゴットとの相対的な距離を近づけて加工を再開するよう制御する制御手段とを備えることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明により、並設されたワイヤでインゴットを放電加工する際にインゴットの加工の進行が遅れないように適切な制御を行うことが可能な仕組みを提供することが可能となる。