【手続補正書】
【提出日】平成28年9月8日(2016.9.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部空間、前記内部空間と外部とを連通する孔を有する構造体を準備する準備工程と、
前記孔を通じて前記内部空間に金属原子およびコーティング剤を送入する送入工程と、
前記孔に配置している封止材を溶融して前記孔を封止する封止工程と、
を含むことを特徴とする原子セルの製造方法。
【請求項２】
前記送入工程は、前記構造体の温度を前記コーティング剤の沸点未満とした状態で、前記コーティング剤を前記内部空間に送入する請求項１に記載の原子セルの製造方法。
【請求項３】
前記送入工程は、
前記コーティング剤を前記内部空間に送入するコーティング剤送入ステップと、
前記金属原子を前記内部空間に送入する金属原子送入ステップと、
を含んでいる請求項１または２に記載の原子セルの製造方法。
【請求項４】
前記金属原子送入ステップは、前記コーティング剤送入ステップよりも前記構造体の温度が低い請求項３に記載の原子セルの製造方法。
【請求項５】
前記コーティング剤は、フッ素系樹脂、シロキサン系化合物および鎖式飽和炭化水素のうちのいずれかの化合物またはその前駆体を含んでいる請求項１ないし４のいずれか１項に記載の原子セルの製造方法。
【請求項６】
前記送入工程は、前記金属原子送入ステップの後に、緩衝ガスを前記内部空間に送入するステップを含んでいる請求項３ないし５のいずれか１項に記載の原子セルの製造方法。
【請求項７】
前記準備工程は、加熱接合法を用いて前記構造体を製造するステップを含んでいる請求項１ないし６のいずれか１項に記載の原子セルの製造方法。
【請求項８】
前記加熱接合法は、陽極接合法である請求項７に記載の原子セルの製造方法。
【請求項９】
前記準備工程において、前記構造体は、複数組の前記内部空間および前記孔を有しており、
前記封止工程の後に、前記構造体を前記組ごとに個片化する工程を有する請求項１ないし８のいずれか１項に記載の原子セルの製造方法。
【請求項１０】
金属原子が封入されている内部空間と、
前記内部空間を構成し、コーティング膜を有する壁面と、
前記内部空間と外部とを連通する孔と、
前記孔を封止する封止材と、
を備えることを特徴とする原子セル。
【請求項１１】
請求項１０に記載の原子セルを備えることを特徴とする量子干渉装置。
【請求項１２】
請求項１０に記載の原子セルを備えることを特徴とする原子発振器。
【請求項１３】
請求項１０に記載の原子セルを備えることを特徴とする電子機器。
【請求項１４】
請求項１０に記載の原子セルを備えることを特徴とする移動体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
［適用例５］
本発明の原子セルの製造方法では、前記コーティング剤は、フッ素系樹脂、シロキサン系化合物および鎖式飽和炭化水素のうちのいずれかの化合物またはその前駆体を含んでいることが好ましい。
このような化合物により得られるコーティング膜は、金属原子が衝突した際の挙動の変化を効果的に低減することができ、また、化学的安定性に優れる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
［適用例６］
本発明の原子セルの製造方法では、前記送入工程は、前記金属原子送入ステップの後に、緩衝ガスを前記内部空間に送入するステップを含んでいることが好ましい。
これにより、コーティングに悪影響を与えるのを防止しつつ、内部空間に金属原子とともに緩衝ガスを封入することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
［適用例７］
本発明の原子セルの製造方法では、前記準備工程は、加熱接合法を用いて前記構造体を製造するステップを含んでいることが好ましい。
このような加熱接合法を用いて製造される構造体は、加熱接合の際、内部空間全体が高温にさらされるが、加熱接合の後に、コーティングを行うこととなるため、コーティングが加熱接合の熱により溶けることがない。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
［適用例８］
本発明の原子セルの製造方法では、前記加熱接合法は、陽極接合法であることが好ましい。
陽極接合法は、接合時の温度が極めて高い。したがって、このような場合、仮に陽極接合前にコーティングを行おうとすると、コーティング剤の選定が困難となる。そのため、このような場合に本発明を適用すると、その効果が顕著となる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
［適用例９］
本発明の原子セルの製造方法では、前記準備工程において、前記構造体は、複数組の前記内部空間および前記孔を有しており、
前記封止工程の後に、前記構造体を前記組ごとに個片化する工程を有することが好ましい。
これにより、複数の原子セルを効率的に製造することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
［適用例１０］
本発明の原子セルは、金属原子が封入されている内部空間と、
前記内部空間を構成し、コーティング膜を有する壁面と、
前記内部空間と外部とを連通する孔と、
前記孔を封止する封止材と、
を備えることを特徴とする。
このような原子セルによれば、原子セルの内壁面に容易にコーティングを行うことができる。特に、原子セルの内壁面にコーティングを一様に形成することができる。そのため、原子セルを小型化しても、金属原子が原子セルの内壁面に衝突することによる挙動の変化が特性に悪影響を与えるのを抑制することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
［適用例１１］
本発明の量子干渉装置は、本発明の原子セルを備えることを特徴とする。
これにより、小型で優れた信頼性を有する量子干渉装置を提供することができる。
［適用例１２］
本発明の原子発振器は、本発明の原子セルを備えることを特徴とする。
これにより、小型で優れた信頼性を有する原子発振器を提供することができる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
［適用例１３］
本発明の電子機器は、本発明の原子セルを備えることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有する電子機器を提供することができる。
［適用例１４］
本発明の移動体は、本発明の原子セルを備えることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有する移動体を提供することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
ここで、コーティング剤は、前述したような機能を有するコーティング膜２４を形成することができるものであれば、特に限定されないが、フッ素系樹脂、シロキサン系化合物および鎖式飽和炭化水素のうちのいずれかの化合物またはその前駆体であることが好ましい。
このような化合物により得られるコーティング膜２４は、アルカリ金属が衝突した際の挙動の変化を効果的に低減することができ、また、化学的安定性に優れる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
またこのとき、内部空間Ｓの壁面は、冷却部６０２により冷却されているが、その温度は、内部空間Ｓに送入されるアルカリ金属の沸点未満（より好ましくは融点未満）であることが好ましい。