【手続補正書】
【提出日】平成28年10月17日(2016.10.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
この発明は，互いに対向する板状のマグネットヨークを構成する長尺でなる板状のベッド，前記ベッドの長手方向に直動案内ユニットを介して往復移動自在な可動テーブル，前記マグネットヨークの対向面における長手方向に交互に極性が異なり且つ対向する前記極性が反対極性にそれぞれ配設された複数のマグネットから構成された界磁マグネット，前記界磁マグネット間の空隙に位置し且つ前記可動テーブルに固定されたコイル基板に配設された複数の電機子コイルを備えた電機子組立体を有し，前記電機子組立体を流れる電流と前記界磁マグネットに生じる磁束との電磁相互作用で前記ベッドに対して前記可動テーブルを往復移動させる可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置において，
前記可動テーブルは，長手方向に延びる第１通し孔が形成されたテーブル本体，前記テーブル本体の下側に連結されて前記第１通し孔に連通する第２通し孔を備えた筒状先端ノズル，及び前記テーブル本体の上側に連結されて前記第１通し孔に連通する第３通し孔を備えた筒状後端ノズルを有し，一方の前記直動案内ユニットは前記ベッドに固定された軌道レールと前記可動テーブルに固定されて前記軌道レール上を往復移動するスライダから構成されており，他方の前記直動案内ユニットは，前記可動テーブルに固定された前記後端ノズルを構成する軌道軸と前記軌道軸を移動自在に案内する前記ベッドに固定された外筒から構成されていることを特徴とする可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置に関する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向する板状のマグネットヨークを構成する長尺でなる板状のベッド，前記ベッドの長手方向に直動案内ユニットを介して往復移動自在な可動テーブル，前記マグネットヨークの対向面における長手方向に交互に極性が異なり且つ対向する前記極性が反対極性にそれぞれ配設された複数のマグネットから構成された界磁マグネット，前記界磁マグネット間の空隙に位置し且つ前記可動テーブルに固定されたコイル基板に配設された複数の電機子コイルを備えた電機子組立体を有し，前記電機子組立体を流れる電流と前記界磁マグネットに生じる磁束との電磁相互作用で前記ベッドに対して前記可動テーブルを往復移動させる可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置において，
前記可動テーブルは，長手方向に延びる第１通し孔が形成されたテーブル本体，前記テーブル本体の下側に連結されて前記第１通し孔に連通する第２通し孔を備えた筒状先端ノズル，及び前記テーブル本体の上側に連結されて前記第１通し孔に連通する第３通し孔を備えた筒状後端ノズルを有し，
一方の前記直動案内ユニットは前記ベッドに固定された軌道レールと前記可動テーブルに固定されて前記軌道レール上を往復移動するスライダから構成されており，
他方の前記直動案内ユニットは，前記可動テーブルに固定された前記後端ノズルを構成する軌道軸と前記軌道軸を移動自在に案内する前記ベッドに固定された外筒から構成されていることを特徴とする可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
【請求項２】
前記ベッドの下端部に固定されて前記先端ノズルが嵌挿するスプリングストッパと前記テーブル本体との間に配設されて前記可動テーブルを上限位置へと付勢するスプリングが設けられていることを特徴とする請求項１に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
【請求項３】
前記後端ノズルは，前記軌道軸が前記外筒に嵌挿して案内支持され，前記先端ノズルは，前記ベッドに固定された前記スプリングストッパに設けたワッシャに嵌挿して案内支持されることを特徴とする請求項２に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
【請求項４】
前記他方の直動案内ユニットは，往復有限動作を行なうストロークロータリブッシングに構成されており，前記ストロークロータリブッシングが前記後端ノズルの前記軌道軸，前記軌道軸を移動自在に案内する前記外筒，前記外筒の両端内周面に固定された止め輪，及び前記止め輪間を転動する転動体と該転動体を保持する保持器によって構成されており，前記外筒の前記内周面と前記軌道軸の外周面とは，前記転動体の軌道面にそれぞれ構成していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
【請求項５】
前記テーブル本体の前記第１通し孔，前記先端ノズルの前記第２通し孔，及び前記後端ノズルの前記第３通し孔は，同一径の空孔に形成されて機器吸着用のエア通孔を構成することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
【請求項６】
前記ベッドは，互いに対向する前記マグネットヨークの一方を構成する長尺の矩形板状の基板部，前記マグネットヨークの他方を構成して前記基板部に所定の間隔を有して平行に対向配置され且つ前記基板部よりも短尺で幅小の矩形板状の対向板部，及び前記基板部の取付け基準面となって前記基板部と前記対向板部との一方の側部に固定された側板部から構成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
【請求項７】
前記対向板部に対向する部分以外の前記基板部の部分は，前記基板部に対して所定間隔で固設されて前記対向板部と面一に配設されるカバーで覆われており，前記基板部に対向する前記対向板部の平面が前記リニアモータの取付け基準面に形成されて前記基板部の前記取付け基準面から前記カバーの外側平面までが当該装置の幅寸法に構成されていることを特徴とする請求項６に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
【請求項８】
前記外筒に対向する前記ベッドの前記基板部の部分と前記カバーの部分には，逃げ孔が形成されると共に，それぞれの前記逃げ孔に嵌入した前記外筒の部分は，前記基板部と前記カバーとの厚さ寸法内に収まる平面に形成されていることを特徴とする請求項６又は７に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
【請求項９】
前記可動テーブルを構成する前記テーブル本体の長手方向一端面には前記先端ノズルがねじ止めされており，前記テーブル本体の長手方向他端面には前記後端ノズルがねじ止めされており，前記テーブル本体と前記先端ノズルと前記後端ノズルとが前記可動テーブルとして一体化されていることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
【請求項１０】
前記可動テーブルを構成する前記先端ノズルと前記後端ノズルは，前記ベッドの前記長手方向の端面から突出入して往復移動することを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
【請求項１１】
前記可動テーブルは，前記ベッドに固定されたストッパによって往復移動の上限と下限が規制されていることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
【請求項１２】
前記可動テーブルの長手方向に配設された６個の前記電機子コイルに対して対向した前記ベッドの長手方向に配設された前記マグネットが２４個配設されており，或いは前記可動テーブルの長手方向に配設された９個の前記電機子コイルに対して対向した前記ベッドの長手方向に配設された前記マグネットが３２個配設されていることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
【請求項１３】
当該スライド装置は厚さ方向に複数個積層して配設されており，それぞれの前記可動テーブルがアクチュエータを構成することを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１項に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。