(57)【要約】  第１の電極、第２の電極、及び遮蔽電極を含む構造は、電気回路に用いられる際に改良されたエネルギー調整を与える。この構造は、別個の構成要素として、インタポーザ又は第１レベルのインタコネクトの一部として、又は、集積回路の一部として存在し得る。
2007503732.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の電極と、
第２の電極と、
遮蔽電極と、
を含み、
前記遮蔽電極の少なくとも１つの板は、前記第１の電極の各板を前記第２の電極の任意の板から離し、
前記遮蔽電極の少なくとも２つの板は、該少なくとも２つの板の間に、前記第１の電極及び前記第２の電極の全ての板を挟み、
前記第１の電極は、第１の電極板主面及び少なくとも１つの第１の電極板エネルギーエントリ領域を有する第１の電極板を含み、
前記第２の電極は、少なくとも１つの第２の電極板エネルギーエントリ領域を有する第２の電極板を含み、
エネルギー経路線分が、（１）前記少なくとも１つの第１の電極板エネルギーエントリ領域の前記第１の電極板主面及び（２）前記少なくとも１つの第２の電極板エネルギーエントリ領域によって決定される平面に平行な平面の突起によって決定される領域において終端する線分によって決定され、
前記エネルギー経路線分は、エネルギー経路線分長を有し、
最大エネルギー垂直線分は、前記エネルギー経路線分に対応し、
前記最大エネルギー垂直線分は、最大エネルギー垂直線分長を有し、
前記最大エネルギー垂直線分長は、前記エネルギー経路線分長より大きい、構造。
【請求項２】
１０メガヘルツにおいて、少なくとも８０デシベルの前記第１の電極及び前記第２の電極に亘る挿入損を与える請求項１記載の構造。
【請求項３】
各エネルギー垂直線分の長さは、前記エネルギー経路線分長より大きい請求項１記載の構造。
【請求項４】
前記第１の電極板は、１つの第１の電極板エネルギーエントリ領域しか有さない請求項１記載の構造。
【請求項５】
前記第１の電極板は、複数の第１の電極板エネルギーエントリ領域を有する請求項１記載の構造。
【請求項６】
前記少なくとも１つの第１の電極板は、前記第１の電極板のエネルギーエントリ領域を決定する第１の電極板ネック領域を含む請求項１記載の構造。
【請求項７】
前記少なくとも１つの第１の電極板は、エネルギーエントリ領域交差点において少なくとも１つのワイヤ線と交差し、
前記少なくとも１つのワイヤ線は、前記第１の電極板主面に実質的に垂直に延在し、
前記エネルギーエントリ領域交差点は、前記第１の電極板のエネルギーエントリ領域を決定する請求項１記載の構造。
【請求項８】
前記第１の電極は、複数の第１の電極板を含み、
前記少なくとも１つのワイヤ線は、前記複数の第１の電極板のそれぞれを交差する請求項７記載の構造。
【請求項９】
前記エネルギーエントリ領域交差点は、前記第１の電極板の周辺エッジには接触しない請求項７記載の構造。
【請求項１０】
前記第１の電極は、５０ミクロン未満の厚さを有する第１の電極板を含む請求項１記載の構造。
【請求項１１】
前記第１の電極は、数十オングストロームより大きい厚さを有する第１の電極板を含む請求項１記載の構造。
【請求項１２】
前記少なくとも１つの第１の電極板は、前記第１の電極のエネルギーエントリ領域の少なくとも一部を決定する第１の電極板ネック領域を含む請求項１記載の構造。
【請求項１３】
前記少なくとも１つの第１の電極板は、略矩形であり、また、第１の電極板長側部と、前記第１の電極板長側部に隣接する２つの第１の電極板短側部を有する請求項１記載の構造。
【請求項１４】
前記少なくとも１つの第１の電極板は、前記第１の電極のエネルギーエントリ領域の少なくとも一部を形成する第１の電極板領域を有し、
前記第１の電極板領域は、前記２つの第１の電極板短側部より前記第１の電極板長側部に近い請求項１３記載の構造。
【請求項１５】
前記第１の電極板長側部は、第１の電極板長側部長を有し、
前記少なくとも１つの第１の電極板は、前記第１の電極のエネルギーエントリ領域の少なくとも一部を形成する第１の電極板領域を含み、
前記第１の電極板領域は、前記第１の電極板長側部に沿って、前記第１の電極板長側部長の少なくとも２０分の１の長さに延在する請求項１３記載の構造。
【請求項１６】
前記第１の電極板長側部は、第１の電極板長側部長を有し、
前記少なくとも１つの第１の電極板は、前記第１の電極のエネルギーエントリ領域の少なくとも一部を形成する第１の電極板領域を含み、
前記第１の電極板領域は、前記第１の電極板長側部に沿って、前記第１の電極板長側部長未満の長さに延在する請求項１３記載の構造。
【請求項１７】
前記第１の電極板長側部は、第１の電極板長側部長を有し、
前記少なくとも１つの第１の電極板は、前記第１の電極のエネルギーエントリ領域の少なくとも一部を形成する第１の電極板領域を含み、
前記第１の電極板領域は、前記第１の電極板長側部に沿って、前記第１の電極板長側部長の３分の２だけの長さに延在する請求項１３記載の構造。
【請求項１８】
前記少なくとも１つの第１の電極板は、前記第１の電極のエネルギーエントリ領域の少なくとも一部を形成する第１の電極板領域を含み、
前記長側部は、長側部中心と、２つの長側部端を有し、
前記第１の電極板領域は、前記２つの長側部端よりも前記長側部中心に近い請求項１３記載の構造。
【請求項１９】
前記構造は、別個の構成要素を形成する請求項１記載の構造。
【請求項２０】
前記構造は、集積回路へのインタポーザ又は第１レベルのインタコネクトの一部を形成する請求項１記載の構造。
【請求項２１】
前記構造は、集積回路の一部を形成する請求項１記載の構造。
【請求項２２】
前記エネルギー経路線分長に対する前記最大エネルギー垂直線分長の割合は、１．２より大きい請求項１記載の構造。
【請求項２３】
前記エネルギー経路線分長に対する全てのエネルギー垂直線分の長さの割合は、全て１．５より大きい請求項１記載の構造。
【請求項２４】
前記エネルギー経路線分長に対する前記エネルギー垂直線分長の割合は、２より大きい請求項１記載の構造。
【請求項２５】
前記エネルギー経路線分長に対する前記エネルギー垂直線分長の割合は、１００未満である請求項１記載の構造。
【請求項２６】
前記第１の電極板主面は、略矩形形状を有する請求項１記載の構造。
【請求項２７】
前記第１の電極板主面は、略楕円形状を有する請求項１記載の構造。
【請求項２８】
前記第１の電極板主面は、ネックを有し、該ネックは、前記エネルギー経路線分と平行な方向に前記第１の電極板の該ネック以外の部分から突出する請求項１記載の構造。
【請求項２９】
第１のエッジ相互接続構造を更に含み、
前記ネックは、前記第１のエッジ相互接続構造へのエッジ突出接続を形成する請求項２８記載の構造。
【請求項３０】
前記第１の電極は、複数の第１の電極板を含み、
前記複数の第１の電極板は、前記第１の電極板主面に垂直に延在する導電性材料によって互いに接続される請求項１記載の構造。
【請求項３１】
前記遮蔽電極は、複数の遮蔽電極板を含み、
前記複数の遮蔽電極板は、前記第１の電極板主面に垂直に延在する導電性材料によって互いに接続される請求項１記載の構造。
【請求項３２】
前記遮蔽電極は更に、少なくとも１つのエンドキャップ又は端子を含む請求項１記載の構造。
【請求項３３】
前記遮蔽電極の前記少なくとも２つの板は、該少なくとも２つの板の間に、前記第１の電極及び前記第２の電極の全ての板を挟み、
前記少なくとも１つのエンドキャップ又は端子は、前記第１の電極及び前記第２の電極を実質的に囲む請求項３２記載の構造。
【請求項３４】
前記遮蔽電極の前記少なくとも１つのエンドキャップ又は端子は、少なくとも第１の遮蔽電極エンドキャップ又は端子、及び第２の遮蔽電極エンドキャップ又は端子を含み、
導電性材料が、前記第１の遮蔽電極エンドキャップ又は端子を前記第２の遮蔽電極エンドキャップ又は端子に接続するよう前記第１の電極及び前記第２の電極の外側に延在する請求項３２記載の構造。
【請求項３５】
前記第１の電極及び前記第２の電極の外側にあり、前記遮蔽電極に電気的に接続され、前記遮蔽電極の板によって決定される少なくとも領域の表面領域を有する導電性素子を更に含む請求項１記載の構造。
【請求項３６】
請求項１記載の構造と、
前記構造に隣接し、前記構造用の遮蔽層として機能する導電性表面と、
を含む組み合わせ。
【請求項３７】
請求項１記載の構造と、
第１レベルのインタコネクトと、
を含み、
前記第１のレベルのインタコネクトは、導電性領域を有し、
前記導電性領域は、前記遮蔽電極の遮蔽板として機能する組み合わせ。
【請求項３８】
請求項１の構造を含み、
前記構造は、分圧器として機能するよう構成される、回路。
【請求項３９】
第１の電極と、
第２の電極と、
遮蔽電極と、
を含み、
前記遮蔽電極の少なくとも１つの板は、前記第１の電極の各板を前記第２の電極の任意の板から離し、
前記遮蔽電極の少なくとも２つの板は、該少なくとも２つの板の間に、前記第１の電極及び前記第２の電極の全ての板を挟み、
前記第１の電極は、第１の電極板及びエッジ相互接続構造を含み、
前記第１の電極板のエネルギー経路線分の方向に沿っての前記第１の電極板の長さは、前記エネルギー経路線分と非並行であり、また、前記第１の電極板の主面によって決定される平面に非垂直な方向における前記第１の電極板の長さ以下である、構造。
【請求項４０】
第１の電極と、
第２の電極と、
遮蔽電極と、
を含み、
前記遮蔽電極の少なくとも１つの板は、前記第１の電極の各板を前記第２の電極の任意の板から離し、
前記遮蔽電極の少なくとも２つの板は、該少なくとも２つの板の間に、前記第１の電極及び前記第２の電極の全ての板を挟み、
前記第１の電極は、第１の電極板及び第１の電極端子を含み、
前記第２の電極は、第２の電極板及び第２の電極端子を含み、
前記第１の電極板によって決定される平面において前記第１の電極端子から前記第２の電極端子まで延在する第１の線分の長さは、前記第１の電極板から前記平面における方向において延在し、また、前記第１の線分と非平行の第２の線分の長さと同じか又はより短い、構造。
【請求項４１】
第１の電極と、
第２の電極と、
遮蔽電極と、
を含み、
前記遮蔽電極の少なくとも１つの板は、前記第１の電極の各板を前記第２の電極の任意の板から離し、
前記遮蔽電極の少なくとも２つの板は、該少なくとも２つの板の間に、前記第１の電極及び前記第２の電極の全ての板を挟み、
第１のエッジ電極相互接続構造は、前記第１の電極の板を互いに電気的に接続し、
第２のエッジ電極相互接続構造は、前記第２の電極の板を互いに電気的に接続し、
前記第１の電極は、第１の電極板主面、及び、前記第１のエッジ電極相互接続構造に接触する第１の接触領域を含む少なくとも１つの第１の電極板エネルギーエントリ領域を有する第１の電極板を含み、
前記第２の電極は、第２の電極板主面、及び、前記第２のエッジ電極相互接続構造に接触する第２の接触領域を含む少なくとも１つの第２の電極板エネルギーエントリ領域を有する第２の電極板を含み、
エネルギー経路線分が、（１）前記第１の接触領域の前記第１の電極板主面及び（２）前記第２の接触領域によって決定される平面に平行な平面の突起によって決定される領域において終端する線分によって決定され、
前記エネルギー線路線分は、エネルギー経路線分長を有し、
最大エネルギー垂直線分は、前記エネルギー経路線分に対応し、
前記最大エネルギー垂直線分は、最大エネルギー垂直線分長を有し、
前記最大エネルギー垂直線分長は、前記エネルギー経路線分長より大きい、構造。
【請求項４２】
１０メガヘルツにおいて、少なくとも８０デシベルの前記第１の電極及び前記第２の電極に亘る挿入損を与える請求項４１記載の構造。
【請求項４３】
各エネルギー垂直線分の長さは、前記エネルギー経路線分長より大きい請求項４１記載の構造。
【請求項４４】
前記第１の電極板は、１つの第１の電極板エネルギーエントリ領域しか有さない請求項４４記載の構造。
【請求項４５】
構造を作成する方法であって、
第１の電極を形成する段階と、
第２の電極を形成する段階と、
遮蔽電極を形成する段階と、
を含み、
前記遮蔽電極の少なくとも１つの板は、前記第１の電極の各板を前記第２の電極の任意の板から離し、
前記遮蔽電極の少なくとも２つの板は、該少なくとも２つの板の間に、前記第１の電極及び前記第２の電極の全ての板を挟み、
前記第１の電極は、第１の電極板主面及び少なくとも１つの第１の電極板エネルギーエントリ領域を有する第１の電極板を含み、
前記第２の電極は、少なくとも１つの第２の電極板エネルギーエントリ領域を有する第２の電極板を含み、
エネルギー経路線分が、（１）前記少なくとも１つの第１の電極板エネルギーエントリ領域の前記第１の電極板主面及び（２）前記少なくとも１つの第２の電極板エネルギーエントリ領域によって決定される平面に平行な平面の突起によって決定される領域において終端する線分によって決定され、
前記エネルギー経路線分は、エネルギー経路線分長を有し、
最大エネルギー垂直線分は、前記エネルギー経路線分に対応し、
前記最大エネルギー垂直線分は、最大エネルギー垂直線分長を有し、
前記最大エネルギー垂直線分長は、前記エネルギー経路線分長より大きく、
前記形成段階は、蒸着構造を形成するために、前記第１の電極、前記第２の電極、及び前記遮蔽電極の板の材料を、層毎に蒸着する段階を有する方法。
【請求項４６】
前記第１の電極、前記第２の電極、及び前記遮蔽電極の層間に、絶縁材料及び絶縁材料用のプリカーサのうち少なくとも１つを蒸着する段階を更に含む請求項４５記載の方法。
【請求項４７】
前記構造を焼成する段階を更に含む請求項４５記載の方法。
【請求項４８】
前記蒸着段階は、真空において材料を蒸着する段階を含む請求項４５記載の方法。
【請求項４９】
前記蒸着段階は、気相から材料を蒸着する段階を含む請求項４８記載の方法。
【請求項５０】
レジストを蒸着する段階と、
前記レジストにパターンを露光する段階と、
前記パターンに対応するレジストを除去する段階と、
を更に含む請求項４５記載の方法。
【請求項５１】
前記パターンに対応する前記レジストを除去した後に蒸着する段階と、前記パターンに対応してエッチングする段階のうち少なくとも１つを更に含む請求項５０記載の方法。
【請求項５２】
折り畳み構造を形成するよう前記蒸着構造を折り畳む段階を更に含む請求項４５記載の方法。
【請求項５３】
略円筒形状のロール構造を形成するために前記蒸着構造を丸める段階を更に含む請求項４５記載の方法。
【請求項５４】
第１の電極と、
第２の電極と、
遮蔽電極と、
を含み、
前記遮蔽電極の少なくとも１つの板は、前記第１の電極の各板を前記第２の電極の任意の板から離し、
前記遮蔽電極の少なくとも２つの板は、該少なくとも２つの板の間に、前記第１の電極及び前記第２の電極の全ての板を挟み、
前記第１の電極は、第１の電極板主面及び少なくとも１つの第１の電極板エネルギーエントリ領域を有する第１の電極板を含み、
前記第２の電極は、少なくとも１つの第２の電極板エネルギーエントリ領域を有する第２の電極板を含み、
エネルギー経路線分が、（１）前記少なくとも１つの第１の電極板エネルギーエントリ領域の前記第１の電極板主面及び（２）前記少なくとも１つの第２の電極板エネルギーエントリ領域によって決定される平面に平行な平面の突起によって決定される領域において終端する線分によって決定され、
前記エネルギー経路線分は、エネルギー経路線分長を有し、
最大エネルギー垂直線分は、前記エネルギー経路線分に対応し、
前記最大エネルギー垂直線分は、最大エネルギー垂直線分長を有し、
前記最大エネルギー垂直線分長は、前記エネルギー経路線分長より大きい、構造を使用する方法であって、
前記第１の電極及び前記第２の電極をソースと負荷の間に電気的に接続する段階と、
前記ソースから前記負荷に電力を与える段階と、
を含む方法。
【請求項５５】
前記遮蔽電極を、前記第１の電極又は前記第２の電極のどちらにも電気的に接続されない相対的に大きい金属構造に接続する段階を更に含む請求項５４記載の方法。
【請求項５６】
前記相対的に大きい金属構造は、シャーシ接地である請求項５５記載の方法。
【請求項５７】
前記相対的に大きい金属構造は、アース接地である請求項５５記載の方法。
【請求項５８】
第１の電極と、
第２の電極と、
遮蔽電極と、
を含み、
前記遮蔽電極の少なくとも１つの板は、前記第１の電極の各板を前記第２の電極の任意の板から離し、
前記遮蔽電極の少なくとも２つの板は、該少なくとも２つの板の間に、前記第１の電極及び前記第２の電極の全ての板を挟み、
前記第１の電極は、長側部と２つの短側部を有する略矩形の板を含み、
前記第１の電極のエネルギーエントリ領域は、前記２つの短側部より前記略矩形の板の長側部に近い、構造。
【請求項５９】
第１の電極と、
第２の電極と、
遮蔽電極と、
を含み、
前記遮蔽電極の少なくとも１つの板は、前記第１の電極の各板を前記第２の電極の任意の板から離し、
前記遮蔽電極の少なくとも２つの板は、該少なくとも２つの板の間に、前記第１の電極及び前記第２の電極の全ての板を挟み、
前記第１の電極は、略矩形の板を含み、
前記略矩形の板は、長側部及び短側部を有し、
前記長側部は、前記短側部より長く、
前記長側部は、第１の長側部端、第２の長側部端、及び長側部中心を有し、
前記第１の電極のエネルギーエントリ領域は、前記第１の長側部端及び前記第２の長側部端より前記長側部中心に近い、構造。
【請求項６０】
第１の電極と、
第２の電極と、
遮蔽電極と、
を含み、
前記遮蔽電極の少なくとも１つの板は、前記第１の電極の各板を前記第２の電極の任意の板から離し、
前記遮蔽電極の少なくとも２つの板は、該少なくとも２つの板の間に、前記第１の電極及び前記第２の電極の全ての板を挟み、
前記第１の電極は、長側部及び短側部を有する略矩形の板を含み、
前記長側部は、前記短側部より長く、
前記第１の電極のエネルギーエントリ領域は、前記長側部に沿って延在する、構造。
【請求項６１】
第１の電極と、
第２の電極と、
遮蔽電極と、
を含み、
前記遮蔽電極の少なくとも１つの板は、前記第１の電極の各板を前記第２の電極の任意の板から離し、
前記遮蔽電極の少なくとも２つの板は、該少なくとも２つの板の間に、前記第１の電極及び前記第２の電極の全ての板を挟み、
前記第１の電極は、長側部及び短側部を有する板を含み、
前記長側部は、前記短側部より長く、
前記長側部は、長側部長を有し、
前記第１の電極について複数のエネルギーエントリ領域があり、
前記複数のエネルギーエントリ領域のうちの少なくとも２つの間の間隔は、前記長側部の一般的な延長部によって決定される方向において延在し、
前記間隔は、前記長側部長の約３分の２未満で延在する、構造。
【請求項６２】
第１の電極と、
第２の電極と、
遮蔽電極と、
を含み、
前記遮蔽電極の少なくとも１つの板は、前記第１の電極の各板を前記第２の電極の任意の板から離し、
前記遮蔽電極の少なくとも２つの板は、該少なくとも２つの板の間に、前記第１の電極及び前記第２の電極の全ての板を挟み、
前記第１の電極は、第１の電極板及びエッジ相互接続構造を含み、
前記第１の電極板のエネルギー経路線分の方向に沿っての前記第１の電極板の長さは、前記エネルギー経路線分に垂直であり、また、前記第１の電極板の主面によって決定される平面と平行な方向における前記第１の電極板の長さ以下である、構造。
【請求項６３】
第１の電極と、
第２の電極と、
遮蔽電極と、
を含み、
前記遮蔽電極の少なくとも１つの板は、前記第１の電極の各板を前記第２の電極の任意の板から離し、
前記遮蔽電極の少なくとも２つの板は、該少なくとも２つの板の間に、前記第１の電極及び前記第２の電極の全ての板を挟み、
前記第１の電極は、第１の電極板及び第１の電極エッジ相互接続構造を含み、
前記第２の電極は、第２の電極板及び第２の電極エッジ相互接続構造を含み、
前記第１の電極板によって決定される平面における前記第１の電極エッジ相互接続構造から前記第２の電極エッジ相互接続構造まで延在する垂直線分に沿っての長さは、前記平面において、また、前記垂直線分に垂直な方向における前記第１の電極板の長さと等しいか又はより短い、構造。
【発明の詳細な説明】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
［関連出願への相互参照］
本願は、２００３年５月２１日に出願した米国仮出願番号６０／４７２，１１３（代理人整理番号Ｘ２ＹＡ００１３Ｐ−ＵＳ）、２００３年２月１０日に出願した米国仮出願番号６０／４４５，８０２（代理人整理番号Ｘ２ＹＡ００１１２Ｐ−ＵＳ）、及び、２００３年１月３１日に出願した米国仮出願番号６０／４４３，８５５（代理人整理番号Ｘ２ＹＡ００１１Ｐ−ＵＳ）に基づいて優先権を主張する。これらの出願の内容は、本願に参考として組み込む。
［発明の背景］
本発明は、電気技術に係る。より具体的には、本発明は、低インダクタンスデバイス及びエネルギー調整に係る。
［背景の説明］
「端子」という用語は、電流が電気デバイスに入る又は出る点における導電性材料を意味する。
【０００２】
「Ｘ」コンデンサ及び「ラインツーライン（ｌｉｎｅ  ｔｏ  ｌｉｎｅ）コンデンサ」という用語は共に、２つの端子間の静電容量値を有する２端子パッシブ集中回路素子を意味し、ここでは、２つの端子は、回線負荷デバイスと並列構成で接続される。Ｘコンデンサは、主に、負荷の両端の電気ドループを阻止するよう使用される。つまり、Ｘコンデンサは、一般的に、エネルギーのソース又はシンクとして使用される電荷のストレージを供給するよう使用される。Ｘコンデンサは更に、少なくとも２つの電極を分離する導電性遮蔽を含んで形成されることが可能である。
【０００３】
「Ｙ」コンデンサ及び「ラインツーグランド（ｌｉｎｅ  ｔｏ  ｇｒｏｕｎｄ）コンデンサ」という用語は共に、２つの端子間の静電容量値を有する２端子パッシブ集中回路素子を意味し、ここでは、２つの端子のうちの１つの端子は、ソースと負荷との間の回路経路に位置付けられる線に接続され、もう１つの端子は、集中回路図では、通常、接地として示されるＰＣボード上の金属層といった導電性構造に接続される。しかし、接地の電圧電位は、それが受ける又は分配する電荷の量に基づいて異なり得る。適用において、接地は、一般的に、アース接地、浮動接地、及びシャーシ接地のうちの１つであり、これらのタイプの接地のそれぞれは、回路電圧基準として機能することが可能である。Ｙコンデンサは、主に、信号からのノイズを除去するよう使用される。
【０００４】
「板」という用語は、全体に亘って、一般的にレイヤリング処理によって形成された構造を意味するよう使用される。本願における「板」という用語の使用は、その形成時に一体にされる構造を意味する。本願で使用する板という用語は、少なくとも２つの相対的に大きい領域主面と、１つ以上の相対的に小さい領域エッジ面を有する構造を意味する。各主面は平坦であり得るが平坦でなくてもよい。
【０００５】
エネルギー調整は、ソースと負荷の間を伝搬する電気エネルギーのフィルタリング、減結合、及び過渡抑制のうちの少なくとも１つを意味する。
【０００６】
フィルタリングは、信号の周波数スペクトルの変更を意味する。
【０００７】
減結合は、アクティブ回路に一般的に適用される用語である。このような回路では、アクティブデバイスが、トランス−コンダクタンスといったその特性を変更し、これは、結合された素子にかかる電圧に影響を与える。減結合は、アクティブ回路における変化による結合された素子の電圧への影響の最小化を意味する。
【０００８】
過渡は、静電気放電といった外部の影響、及び、回路内にもたらされる自己誘導といった寄生振動によるエネルギー異常及びエネルギースパイクを含む。
【０００９】
米国特許第６，０１８，４４８号及び第６，３７３，６３７号は、電気エネルギー調整を与える様々なデバイスを開示する。これらの米国特許第６，０１８，４４８号及び第６，３７３，６３７号の教示内容は、本願に参照として組み込む。
【００１０】
本願に開示する新規の発明は、上述したデバイスに比べて少なくとも電気エネルギー調整の減結合の面を相当に改善する特定の性能特性を有する構造である。
［発明の概要］
本発明は、新規の構造、その構造を作成する方法、及びその構造を使用する方法を提供することを目的とし、この構造は、特定の静電容量を有し、また、超高挿入損及び改善された減結合をもたらすエネルギー調整を提供する。
【００１１】
本発明は、本発明の新規の構造を含む回路、その回路を作成する方法、及びその回路を使用する方法を提供することを別の目的とする。
【００１２】
本発明は、デバイス、回路、及び広い周波数範囲に亘って改善されたエネルギー調整を供給するそれらを使用する方法を提供することを更なる目的とする。
【００１３】
本発明のこれら又は他の目的は、第１の電極板を含む第１の電極、第２の電極板を含む第２の電極、及び、第１の電極板と第２の電極板の間の中心遮蔽部分と、中心遮蔽部分に面する側部とは反対側の第１の電極板及び第２の電極板の側部に面する外側遮蔽部分とを含む導電性遮蔽材を含む構造によって提供される。この構造の素子は、特定の幾何学値、相対値、相対位置、及び形状を有する。
【００１４】
一般的に、第１の電極の板は、板の相対的に長い側部の一部のみに接続する導電路に沿ってのみ電気エネルギーを受信する。同様に、一般的に、第１の電極は、板の相対的に長い側部の一部のみに接続する路に沿ってのみ電気エネルギーを受信する。
【００１５】
第１の電極の実質的に全ての板が、実質的に同じ形状を有し、互いに垂直方向に整列されて積み重ねられることが好適である。第２の電極の実質的に全ての板が、実質的に同じ形状を有し、互いに垂直方向に整列されて積み重ねられることが好適である。しかし、第１の電極及び第２の電極の板は、それぞれ、対称軸又は対称面を有してもよい。その場合、第２の電極の板は、板の平面に方向付けられ、第１の電極の板に対して対称軸又は対称面について逆にされ得る。
【００１６】
本発明の上述及び他の目的は、（Ａ）第１の電極第１の板と、（Ｂ）第１の電極に電気的に接触するための第１の電極接触領域面を有する第１の電極接触領域とを含む第１の電極と、（Ａ）第２の電極第１の板と、（Ｂ）第２の電極に電気的に接触するための第２の電極接触領域面を有する第２の電極接触領域とを含む第２の電極と、（１）内側遮蔽板、（２）第１の外側遮蔽板、（３）第２の外側遮蔽板、及び（４）遮蔽電極に電気的に接触するための遮蔽電極接触領域面を有する遮蔽電極接触領域を含む遮蔽電極とを含み、上述の第１の電極第１の板は、（１）第１の電極第１の板内面、（２）第１の電極第１の板外面、及び（３）第１の電極第１の板内面及び第１の電極第１の板外面の外辺部によって決定される第１の電極第１の板エッジ面を決定し、上述の第２の電極第１の板は、（１）第２の電極第１の板内面、（２）第２の電極第１の板外面、及び（３）第２の電極第１の板内面及び第２の電極第１の板外面の外辺部によって決定される第２の電極第１の板エッジ面を決定する構造であって、第１の電極第１の板内面は、第２の電極第１の板内面に面し、（Ａ）内側遮蔽板は、第１の電極第１の板内面と第２の電極第１の板内面との間にあり、（Ｂ）第１の外側遮蔽板に、第１の電極第１の板外面が面し、（Ｃ）第２の外側遮蔽板に、第２の電極第１の板外面が面する構造によって提供される。この構造の素子は、特定の幾何学値、相対値、相対位置、及び形状を有する。
【００１７】
以下において、遮蔽電極以外の本発明の構造の電極は、遮蔽電極から区別するために、特に、非遮蔽電極と称する。本発明の構造は、複数の遮蔽電極を含んでもよい。本発明の構造は、複数の非遮蔽電極を含んでもよい。
【００１８】
本発明の構造は更に、電極板のスタックにおいて、追加の第１の電極の第１の電極板、第２の電極の第２の電極板、及び、遮蔽電極の遮蔽電極板を含んでもよい。遮蔽電極は、遮蔽電極端子を含み、これは、キャップの形であり得、また、これは、第１及び第２の電極の板のエッジに面する表面と、構造の表面の一部を決定する表面を含む。遮蔽電極端子は更に、第１及び第２の電極の板の外面の一部に面する表面を含んでもよい。本発明の構造の表面領域の一部は、導電性材料によって決定されてもよい。各遮蔽電極は、キャップの形であり得る。
【００１９】
本発明の構造は、板間に絶縁性材料を有することが好適であり、それにより、電子が１つの電極から、絶縁性材料を通り別の電極に動くことを実質的に阻止する。この絶縁性材料は、誘電定数を有する任意の材料であり得る。絶縁性材料の例は、誘電定数１を有する空気、強磁性材料、フェライト材料、ダイアモンド材料、ＮＰＯ誘電性材料、ＣＯＦ誘電性材料、及び、Ｘ７Ｒである。Ｘ７Ｒは、約４６００の誘電定数を有する。
【００２０】
本発明の構造の特定の幾何学値、相対値、相対位置、及び形状は、第１の電極及び第２の電極の主面によって決定される平面における少なくとも第１の電極及び第２の電極の板のそれぞれの形状と、これらの板に電気エネルギーが接続する電極接触領域の場所及び相対延長部を含む。更に、板の形状は、板の厚さを含む。相対値は、板間の間隔と、互いに対する板の位置合わせを含む。
【００２１】
１つの実施例では、本発明の板は、フィンガ形状を有し、また、櫛を形成するよう構成される。
【００２２】
本発明の構造は、導電性ワイヤ線、絶縁部分、及び電極エッジ相互接続構造といった追加の内部構造素子を含んでもよい。本発明の構造は更に、電極端子を含んでもよい。電極端子は、他の回路素子への接触及び電気的接続のために設計された導電性構造である。本発明の構造は更に、非導電性又は導電性材料と整列され得、また、非導電性又は導電性材料によって部分的に又は完全に充填され得る開口を含んでもよい。これらの開口及びその内容は、構造の外側から構造内の１つ以上の電極の板に電気エネルギーを伝導するのに役に立ち得る。構造の板は、板における開口を決定する内側面を含み得、この開口内を、導電性ワイヤ線が延在する。開口中の材料自体が導電性であるよう作られ、導電性ワイヤの代わりに機能することも可能である。このようなタイプの開口は、導電性ビアとして周知である。様々な開口は更に、これらの開口があけられた電極の所定の領域から又は領域に電気を伝搬することを可能にするよう非導電性又は導電性領域である部分を有する。導電性ワイヤ線は、同じ電極の板に電気的に接続し、一方で、別の電極の板における開口内を延在して、その別の電極から絶縁され得る。電極端子を含む実施例では、電極端子は、同じ電極の板を互いに電気的に相互接続し、また、電極の板のエッジに物理的に接続し得る。ワイヤ線は、形成されてから開口内に挿入されるか、又は、開口内で形成されてもよい。
【００２３】
遮蔽電極の板は、互いに電気的に接続される。遮蔽電極の板は、各非遮蔽電極の各板を互いから実質的に遮蔽することが好適である。少なくとも１つの非遮蔽電極の板は、遮蔽電極によって、非遮蔽電極の他の全ての板から実質的に遮蔽される。遮蔽電極の板及び少なくとも導電性構造は、非遮蔽電極の板を互いから実質的に遮蔽するために、遮蔽電極の板を互いに電気的に接続する。
【００２４】
第１レベルのインタコネクトは、集積回路への初期回路接続を与える構造又はデバイスである。意図通りに使用されると、第１のレベルのインタコネクトは、少なくともエネルギーソース及び／又は少なくともエネルギー帰路に接続するエネルギー経路を有する。
【００２５】
インタポーザは、集積回路への回路接続を与える構造又はデバイスである。
【００２６】
本発明の構造は、ＰＣボードへの接続に適した構成要素といった別個の構成要素として形成され得る。或いは、本発明の構造は、ＰＣボード、第１レベルのインタコネクト、インタポーザ、又は、モノリシック集積回路を含む集積回路といった別の構造内に形成されるか又は別の構造の一部を形成し得る。本発明の別個の構成要素の実施例では、第１の電極接触領域面は、構造の表面の一部を画成し、第２の電極接触領域面は、構造の表面の一部を画成し、遮蔽電極接触領域面は、構造の表面の一部を画成する。
【００２７】
別個の構成要素と、本発明の新規の構造を組み込んだＰＣボードは、従来の多層レイヤリング、スクリーニング、ラミネーティング、及び焼成技術によって形成され得る。
【００２８】
ＰＣボード及び／又は集積回路実施例を含む適用に使用される別個の又は非別個の新規の構造の構成では、構造の表面の一部を画成する特定の電極接触領域面は、それ自体が存在しない。これは、別個の構成要素の終端を決定し得る表面の領域は、ビアに接続する、及び／又は、ＰＣボード、基板、第１レベルのインタコネクト、インタポーザ、及び／又は集積回路の一部から第１の電極、第２の電極、及び／又は遮蔽電極を含む領域を超えて延在する及び／又はその一部を通る導電性材料に接触するよう形成されるから出ある。使用される電極は、穴（開口）を有する又は有さない構成を含んでもよく、その任意の組み合わせは、発明者によって十分に考慮されている。
【００２９】
内側遮蔽板は、その主面によって画成される平面において、以下に説明する可能な例を除いて、隣接する板の両方（即ち、第１の電極の板及び第２の電極の板）を通る任意の線が内側遮蔽板を通る及び／又は接触するよう第１及び第２の電極の隣接板のエッジを超えて延在することが好適である。例外は、一部の実施例では、第１及び第２の電極のそれぞれの板の相対的に小さい領域が遮蔽板の延長部を超えて延在することである。遮蔽板の延長部を超えて延在する第１及び第２の電極の板の相対的に小さい部分は、電極エッジ相互接続構造か又は電極端子のいずれかに接触する。エッジ電極相互接続構造は、実質的に全ての第１の電極の板を互いに、及び／又は、実質的に全ての第２の電極の板を互いに電気的に接続するよう機能する。更に、又は、或いは、内側遮蔽板の少なくとも一部は、一般に、隣接する板から内側遮蔽板を離す距離の少なくとも１倍、好適には少なくとも５倍、より好適には少なくとも１０倍、そして最も好適には２０倍で、第１及び第２の電極の隣接板の延長部を超えて延在する。
【００３０】
電極エッジ相互接続構造及び／又は電極端子は、全ての又は実質的に全ての電極の板の１つ以上のエッジに電気的に接触し、それにより、電極のうちの１つを構成する板を互いに電気的に接続する構造である。１つの電極の電極エッジ相互接続構造及び／又は電極端子は、任意のもう１つの電極の板に接触しない。電極端子は、一般的に、別個の構成要素として存在する。
【００３１】
本発明の構造のＰＣボード及び集積回路の実施例では、電極エッジ相互接続構造又は電極端子がない場合がある。その代わりに、一般的に、同じ電極の全ての板を電気的に相互接続する構造があり、これは、同じ電極の板に接続する導電性ワイヤ線を含む。１つの電極の板を接続する導電性ワイヤ線は、もう１つの電極の板に電気的に接続しない。
【００３２】
１つの電極の板に接続される導電性ワイヤ線は、もう１つの電極の板における開口を、これらのワイヤ線がもう一つの電極の板に電気的に接続しないよう通る。他の実施例は、導電性ワイヤ線を有する構成又は導電性ワイヤ線を有さない構成を含み、そのような構成の任意の組み合わせは考慮されている。
【００３３】
本発明の構造の特定の実施例では、遮蔽板は、遮蔽電極が第１の電極及び第２の電極にファラデーケージ効果を与えるよう十分な密度の導電性ワイヤ線によって遮蔽板の外辺部において相互接続され得る。一般的に、少なくとも１つの導電性ワイヤ線を所定の間隔で又は遮蔽電極板の外辺部の付近に置くことによって、導電性ワイヤ線の密度は、第１の電極及び第２の電極にファラデーケージ効果を与えるのに十分であるようにされる。
【００３４】
一部の実施例では、好適には、遮蔽電極に電気的に接続し第１の電極及び第２の電極の板を囲む導電性ワイヤ線の密度は、１センチメートル当たりに少なくとも１つ、好適には、２ミリメートル毎に少なくとも１つ、そして、より好適には、１ミリメートル当たりに少なくとも１つである。これらの同じ実施例では、第１の電極の板に電気的に接続する少なくとも１つの、好適には幾つかの導電性ワイヤ線もあり得る。これらの導電性ワイヤ線は、開口を通り、また、もう１つの電極の板には電気的に接触しない。これらの同じ実施例では、第２の電極の板に電気的に接続し、また、開口を通り、もう１つの電極の板には電気的に接続しない少なくとも１つの、好適には幾つかの導電性ワイヤ線もあり得る。好適には、電極の１つの板を接続する任意の導電性ワイヤ線は、実質的に全てのその電極の残りの板に接続する。
【００３５】
導電性ワイヤ線は、構造の１つの電極の少なくとも１つの板によって決定される平面に実質的に非平行である方向において延在するよう方向付けられることが好適である。例えば、導電性ワイヤ線は、構造の１つの電極の少なくとも１つの板の主面によって決定される平面に実質的に垂直に方向付けられてもよい。導電性ワイヤ線は、略円形断面、略矩形断面、又は、ストリップ形状断面のいずれかを決定することが好適である。
【００３６】
板の主面が互いに対向するようスタック形成の構造に追加の電極の板があってもよい。これらの追加の電極の板は、上述した第１の電極の第１の板及び第２の電極の第２の板の間に挟まれる３つの遮蔽電極の板を含む。構造の追加の板のシーケンスは、以下を含み得る。繰り返しで、即ち、（１）第１の電極の板、その後に遮蔽板が続き、その後に第２の電極の板が続き、その後に遮蔽板が続く。（２）第１の電極の板、その後に１、２、３、４、又は５つの遮蔽板が続き、第２の電極の板、その後に１、２、３、４、又は５つの遮蔽板が続く。（３）第１又は第２の電極の板、その後に１、２、３、４、又は５つ以上の遮蔽板が続き、第１又は第２の電極のもう１つの板、その後に１、２、３、４、又は５つ以上の遮蔽板が続く。各構造内には、上述した板のシーケンスの数十又は数百の繰り返しがあることが好適である。各構造における遮蔽電極板のスタックは更に、少なくとも１つの遮蔽板で終端することが好適である。
【００３７】
或いは、上述した板のシーケンスは、第１の電極の第１の板及び第２の電極の第２の板の間に挟まれる３つの遮蔽電極の板に完全に差し替えられてもよい。
【００３８】
更に、任意の１つの電極の板は、板のスタックにおいて板が互いから離されている場合でも、同じ電極の各板のそれぞれの外辺部が、同じ電極の他の板と実質的に揃えられる、又は、重ねられる。例えば、１つの電極の板の主面は全て、矩形で同じサイズを有し、そして、その矩形板は、互いに矩形の長軸が揃えられる。或いは、板は、六角形、円形、五角形、及び位置的及び回転式に整列可能である様々な他の形状であってよい。
【００３９】
更に、１つの電極の板は、例えば、板の形状によって板の平面において決定される対称軸に沿ってもう１つの電極の板に位置的に又は回転式に揃えられ得る。更に、１つの電極の板は、もう１つの電極の板に対して位置的に横にオフセットで又は回転式にスキューされて揃えられ得る。
【００４０】
第１の電極、第２の電極、又は第１及び第２の電極の任意の２つの板の間に少なくとも１つの遮蔽板が常にあることが好適である。第１及び第２の電極の全ての板の外側に少なくとも１つの遮蔽板、即ち、外側遮蔽板が常にあることが好適である。板のスタックの何れかの端又は両方の端において、第１又は第２の電極の全ての板の外側に２、３、４、又は５つの遮蔽板があり得る。
【００４１】
第１の電極の全ての板は、実質的に（製造公差内の）互いと同じ寸法及び形状を有し、第２の電極の全ての板は、実質的に（製造公差内の）互いと同じ寸法及び形状を有し、また、外側遮蔽層を除いて遮蔽電極の略全ての板が、実質的に（製造公差内の）互いと同じ寸法及び形状を有することが好適である。第１の電極及び第２の電極の全ての板の外側にある層である外側遮蔽層は、遮蔽電極の他の板より板表面によって決定される平面において更に広がり得る。全ての板は、実質的に平坦、即ち、製造公差内の平らな板表面を有することが好適である。
【００４２】
本発明の追加の実施例は、本発明の任意の一体構造に組み合わせられる、第１レベルのインタコネクトといった構造を超えて見つけられる導電性領域を含み、その導電性領域は、本発明の構造の遮蔽電極の最終的な遮蔽板として機能する。全ての第１の電極の板及び全ての第２の電極の板は、実質的に、互いと同じ寸法及び形状であり得る。全ての第１の電極の板及び全ての第２の電極の板は更に、互いに対し相補的に位置付けられ対にされ得る。
【００４３】
板の厚さは、製造のタイプによって異なる。レイヤリング及び後続の焼成といった厚膜技術によって製造される別個の構成要素については、各層は、一般的に０．５乃至３０ミクロンであり、より好適には、１乃至１０ミクロンである。しかし、好適な層の厚さは、板層の導電性と各板の平らな面の領域に応じ、好適な厚さは、板の平らな面積が減少する又は板を形成する材料の導電性が増加すると減少する。従って、リソグラフィック処理を含む半導体製造によって形成された構造といった小型の構造は、好適な板の厚さは、数十又は数百オングストロームほどの小ささであり得る。
【００４４】
第１、第２、及び遮蔽電極の導電性板間の絶縁層の厚さは、導電性板の厚さと同じ大きさである。しかし、高圧回路用に設計される構造では、絶縁層は、絶縁層における絶縁破壊を阻止するために導電性層の板の厚さより厚い。というのは、厚い絶縁層は、所与の電圧に対する電界強度を低減するからである。高圧回路用に設計される構造は更に、ダイアモンドといったより高い絶縁破壊誘電性材料を組み込んでもよい。低圧回路での使用に設計される構造では、絶縁層の厚さは、導電性板の厚さより実質的に小さくてもよい。特に、集積回路といった半導体層構造で製造されるデバイスでは、絶縁層は、導電性板層の厚さの半分より小さい、好適には、５分の１より小さい。切替電圧が一般的に５ボルト未満であるデジタル半導体適用では、絶縁層の厚さは、好適には２０ミクロン未満、より好適には５ミクロン未満、更により好適には２ミクロン未満、そして最も好適には０．５ミクロン未満である。
【００４５】
別個の構造では、電気エネルギーは、一般的に、電気エッジ相互接続構造において構造にはいる。非別個の構造では、電気エネルギーは、第１の電極に電気的に接続された１つ以上の導電性経路の第１のセット、第２の電極に電気的に接続された１つ以上の導電性経路の第２のセット、及び、遮蔽電極に伝的に接続された１つ以上の導電性経路の第３のセットに沿って構造にはいる。導電性経路の第１のセット、第２のセット、及び第３のセットのうち任意の１つ以上のセットは、構造の１つの電極の板の主面によって決定される平面と実質的に同じ平面に延在する少なくとも１つの導電性経路を含み得る。導電性経路の第１のセット、第２のセット、及び第３のセットのうち任意の１つ以上のセットは、構造の１つの電極の板の主面によって決定される平面に実質的に非平行、例えば、実質的に垂直な方向に延在する少なくとも１つの導電性経路を含み得る。例えば、導電性経路の第１のセット、第２のセット、及び第３のセットは、それぞれ、板の１つの主面によって決定される平面にリソグラフィにより画成された導電性線を含むか、又は、それらは、それぞれ、平面に対し非平行、例えば、実質的に垂直に延在するビアを充填する導電性材料を含み得る。
【００４６】
第１、第２、及び遮蔽電極の板によって囲まれる容積に電気エネルギーが入る導電性経路の領域は、以下において、第１及び第２の電極のエネルギーエントリ領域と称する。
【００４７】
本発明の構造の重要な特徴は、板上のエネルギーエントリ領域の場所と、板の形状との関係である。本発明の特定の構造に関連付けられる１つの新規の限定は、第１及び第２の電極のエネルギーエントリ領域と、第１及び第２の電極のエネルギーエントリ領域の板の主面に平行な面の突起（ｐｒｏｊｅｃｔｉｏｎ）に接続する線に垂直な方向における板の延長部との距離に関する。
【００４８】
より具体的には、構造の第１及び第２の電極のエネルギーエントリ領域の第１の電極の第１の板の主面に平行な平面への投影に接続する線分を、エネルギー経路線分として決定する。
【００４９】
更に、エネルギー経路線分の長さを、エネルギー経路線分長と決定する。
【００５０】
更に、第１又は第２の電極の１つの板のエッジとの交差点において終端するエネルギー経路線分に垂直な任意の線分の長さを、エネルギー垂直線分と決定する。
【００５１】
最後に、エネルギー経路線分と交差する最長のエネルギー垂直線分を、最大エネルギー垂直線分として決定し、その分の長さを、最大エネルギー垂直線分長と決定する。
【００５２】
本発明の特定の構造の新規の限定は、最大エネルギー垂直線分長は、エネルギー経路線分長以上である点である。
【００５３】
少なくとも１つの略矩形の板を含む第１及び第２の電極を有する本発明の特定の構造のもう１つの新規の限定は、略矩形の板を含む電極のエネルギーエントリ領域は、その矩形板のどちらの短側部よりも矩形板の長側部に近いという点である。
【００５４】
少なくとも１つの略矩形の板を含む第１及び第２の電極を有する本発明の特定の構造のもう１つの新規の限定は、略矩形の板を含む電極のエネルギーエントリ領域は、矩形板の長側部の端より長側部の中心に近いという点である。
【００５５】
少なくとも１つの略矩形の板を含む第１及び第２の電極を有する本発明の特定の構造のもう１つの新規の限定は、略矩形の板を含む電極のエネルギーエントリ領域は、少なくとも１／２０、より好適には少なくとも１／１０、より好適には少なくとも約１／５、そして好適には約２／３未満の長側部の長さの割合で略矩形の板の長側部に沿って延在するという点である。
【００５６】
少なくとも１つの略矩形の板を含む第１及び第２の電極を有する本発明の特定の構造のもう１つの新規の限定は、略矩形の板を含む電極の複数のエネルギーエントリ領域があり、これらのエネルギーエントリ領域のうちの少なくとも２つの間の間隔は、略矩形の板の長側部によって決定される方向において、少なくとも１／２０、より好適には少なくとも１／１０、より好適には少なくとも約１／５、そしてより好適には１以下、更に好適には約２／３未満の長側部の長さの割合で延在する点である。
【００５７】
第１及び第２の電極を有する本発明の特定の構造のもう１つの新規の限定は、それらは、外辺部を形成する４つの側部を有し、その外辺部のうち２つの側部は、外辺部のもう２つの側部より長い点である。
【００５８】
１つ以上のエネルギーエントリ領域が、第１又は第２の電極の板の主面によって決定される平面に実質的に平行な平面、又は、第１又は第２の電極の板の主面によって決定される平面に垂直な平面にあり得る。
【００５９】
発明者は、各エネルギーエントリ領域は、数学的な点ではなく、特定の空間的な広がりを有することを認識する。従って、また、エネルギーエントリ領域の相対位置及び場所に関する上述した新規の幾何学的限定が、特定の構造にあるか否かを決定するために必要な度合のみまで、電極の１つ以上のエネルギーエントリ領域に、これらのエネルギーエントリ領域に関連付けられる全ての点の場所への二乗平均平方根（ｍｅａｎ  ｒｏｏｔ  ｓｑｕａｒｅ）の距離を最小限にする数学的な点を関連付ける。共通の言語において、電極に接続するエネルギーエントリ領域の最も中心の１つの点を関連付け、各電極に対して決定される対応点を、（１）上述した線分を決定するために、及び（２）エネルギーエントリ領域が、略矩形の板の短側部より略矩形の板の長側部に近いか否かを決定するために使用する。
【００６０】
電極エッジ相互接続構造又は電極端子を有する本発明の構造では、エネルギー経路線分の長さは、第１又は第２の電極の板の長さ以上であり得る。これらの構造において、本発明の新規の限定は、エネルギー経路線分に沿っての板の長さとして決定される第１の長さは、エネルギー経路線分に垂直な方向における板の長さとして決定される第２の長さ以下である点である。これらの構造において、本発明のもう１つの新規の限定は、第１の電極及び第２の電極の電極エッジ相互接続構造又は電極端子間の長さとして決定される第１の長さは、エッジ相互接続構造又は電極端子の主面によって決定される平面に垂直、及び、第１又は第２の電極の板の主面によって決定される板に平行な方向における長さとして決定される第２の長さ以下である点である。第１の長さに対する第２の長さの割合は、好適には１より大きい、より好適には１．１より大きい、より好適には１．２、１．３、１．４、１．５、２より大きい、そして最も好適には３より大きい。製造制限を鑑みて、この割合は１００未満であることが好適である。
【００６１】
エネルギー経路線分及びエネルギー垂直線分の上述した長さは、構造の単一の板に対して決定される。
【００６２】
エネルギー経路線分の長さに対する最大エネルギー垂直線分の長さの割合は、本願において、エネルギー経路比と称する。エネルギー経路比は、好適には１より大きい、好適には１．１より大きい、より好適には１．２、１．３、１．４、１．５、２より大きい、そして最も好適には３より大きい。製造制限を鑑みて、この割合は、１００未満であることが好適である。
【００６３】
第１及び第２の電極の板の形状は、略楕円形から略矩形と様々である。第１及び第２の電極の板の形状は、丸められた板のエッジを有する略矩形であることが好適であり、それにより、高い曲率半径の隅部を回避する。板のエッジ接続領域は、各板の平面において、同じ板の同じエッジの残りの部分に対して、エネルギー経路線分の方向に沿って突出することが好適である。エッジ突出距離は、その板をエッジ相互接続構造又は電極端子に接続することを可能にするのに十分である。
【００６４】
エネルギー経路線分及びエネルギー垂直線分に沿っての各板の実際の寸法は、実際の実施例に依存し、これは、構造の所望のＤＣ容量を含む意図する使用基準に依存する。別個の構成要素では、一般的な実際のエッジの平行寸法及びエッジの垂直寸法は、１ミリメートルの１０分の１から数センチメートルの範囲にある。しかし、大容量高出力適用に対しては、発明者は、実際のエッジ平行寸法及びエッジ垂直寸法は、数十のセンチメートル又はメートルにまで及び得ることを認識する。例えば、非常に大容量の構造は、負荷における高速変化の電源電圧への影響を低減するために電力供給網に使用され得る。
【００６５】
もう１つの電極の一部を形成する板のスタックにおける板に接触することなく板の大きい面によって決定される面と非平行に、例えば、垂直に延在する導電性材料は、本願において、エッジ突出接続と称する。
【００６６】
エッジ突出領域を含むことの代わりに又は加えて、同じ電極の板は、板の平面に非平行に、例えば、垂直に延在する導電性材料によって互いに電気的に接続される。これは、同じ電極の板に接触し、板の平面に非平行に、例えば、垂直に延在する導電性材料が、もう１つの電極の板に電気的に接触しないようもう１つの電極の板における開口を通る。
【００６７】
遮蔽電極の板の形状は、一般に、他の電極の板の形状と類似する。しかし、遮蔽板は、第１の電極及び第２の電極の延長部を超えて平面において延在することが好適である。しかし、遮蔽板は、エッジ突出領域の延長部を超えて延在しなくてもよく、それにより、第１の電極及び第２の電極のそれぞれのエッジ突出領域が各電極の板を、遮蔽電極に電気的に接続することなく互いに電気的に接続し得る。
【００６８】
１つの好適な実施例では、第１の電極及び第２の電極のそれぞれのエッジ突出接続は、構造の表面の一部も画成する表面を有する。この表面は、その電極の回路への電気的な接続を可能にする。この好適な実施例では、構造の表面の一部も画成する表面エッジ突出接続は、構造の３つの非平行、例えば、垂直の表面に亘って延在する。これらの表面のうち２つの表面は、電極の板の平面寸法に平行である。
【００６９】
好適には、遮蔽電極の遮蔽板は、一般に、第１の電極及び第２の電極の板の延長部を超えて板の平面において、第１の電極及び第２の電極のエッジ突出部を除いて、延在する。更に、遮蔽電極は、遮蔽電極の板を互いに電気的に接続する遮蔽電極エッジ接続も含むことが好適である。遮蔽電極エッジ接続は、構造の表面の一部を形成する遮蔽電極エッジ接続電極表面を有する。遮蔽電極エッジ接続電極表面は、板の大きい領域面によって決定される平面に非平行、例えば、垂直な第１の平面において延在することが好適である。遮蔽電極エッジ接続電極表面は更に、板の大きい領域面によって決定される平面に非垂直、例えば、平行な構造の両方の表面の一部に延在することが好適である。遮蔽電極エッジ接続電極表面は更に、板の大きい領域面によって決定される平面に非平行、例えば、垂直であり、また、板の大きい領域面によって決定される平面に垂直な第１の平面に非平行、例えば、垂直である構造の両方の表面の一部に延在することが好適である。従って、１つの好適な実施例では、遮蔽電極は、構造の１つの側部を覆う構造の表面の一部を形成する。遮蔽電極は、構造の反対側の側部及び／又は相補的な側部も覆う構造の表面の一部を形成することも好適である。一部の実施例では、構造の性能は、遮蔽電極を、実質的な表面領域が遮蔽電極の外側にある導電性材料に電気的に接続することによって向上され得る。実質的な表面領域が遮蔽電極の外側にある導電性材料は、遮蔽電極の板の表面領域と少なくとも同じ大きさの表面領域を有することが好適であり、より好適には、遮蔽電極の板の表面領域の少なくとも２、３、４、５、１０、又は１００倍の表面領域を有する。或いは、遮蔽電極を、実質的な表面領域を有する導電性材料に電気的に接続し、本発明の構造は、実質的な表面領域を有する導電性材料を含んで形成され得る。遮蔽電極の外部にあり、遮蔽電極に電気的に接続される導電性材料の表面領域は、導電性材料が、遮蔽電極用の固定電圧として作用する用十分に大きいことが最も好適である。
【００７０】
本発明の全ての実施例について、任意の第１の電極の板及び任意の第２の電極の板の間に少なくとも１つの遮蔽電極があることが好適である。本発明の全ての実施例について、両方の非遮蔽電極の全ての板の情報に少なくとも１つの遮蔽板、及び、両方の第１及び第２の電極の全ての板の下方に少なくとも１つの遮蔽板があることが好適である。
【００７１】
１つの面において、本発明は、第１の電極と、第２の電極と、遮蔽電極を含み、遮蔽電極の少なくとも１つの板は、第１の電極の各板を第２の電極の任意の板から離し、遮蔽電極の少なくとも２つの板は、該少なくとも２つの板の間に、第１の電極及び第２の電極の全ての板を挟み、第１の電極は、第１の電極板主面及び少なくとも１つの第１の電極板エネルギーエントリ領域を有する第１の電極板を含み、第２の電極は、少なくとも１つの第２の電極板エネルギーエントリ領域を有する第２の電極板を含み、エネルギー経路線分が、（１）少なくとも１つの第１の電極板エネルギーエントリ領域の第１の電極板主面及び（２）少なくとも１つの第２の電極板エネルギーエントリ領域によって決定される平面に平行な平面の突起によって決定される領域において終端する線分によって決定され、エネルギー経路線分は、エネルギー経路線分長を有し、最大エネルギー垂直線分は、エネルギー経路線分に対応し、最大エネルギー垂直線分は、最大エネルギー垂直線分長を有し、最大エネルギー垂直線分長は、エネルギー経路線分長より大きい、構造を提供する。
【００７２】
本発明の追加の面は、構造は、１０メガヘルツにおいて、少なくとも８０デシベルの第１の電極及び第２の電極に亘る挿入損を与え；各エネルギー垂直線分の長さは、エネルギー経路線分長より大きく；第１の電極板は、１つの第１の電極板エネルギーエントリ領域しか有さず；第１の電極板は、複数の第１の電極板エネルギーエントリ領域を有し；少なくとも１つの第１の電極板は、第１の電極板のエネルギーエントリ領域を決定する第１の電極板ネック領域を含み；少なくとも１つの第１の電極板は、エネルギーエントリ領域交差点において少なくとも１つのワイヤ線と交差し、少なくとも１つのワイヤ線は、第１の電極板主面に実質的に垂直に延在し、エネルギーエントリ領域交差点は、第１の電極板のエネルギーエントリ領域を決定し；第１の電極は、複数の第１の電極板を含み、少なくとも１つのワイヤ線は、複数の第１の電極板のそれぞれを交差し；エネルギーエントリ領域交差点は、第１の電極板の周辺エッジには接触せず；第１の電極は、５０ミクロン未満の厚さを有する第１の電極板を含み；第１の電極は、数十オングストロームより大きい厚さを有する第１の電極板を含み；少なくとも１つの第１の電極板は、第１の電極のエネルギーエントリ領域の少なくとも一部を決定する第１の電極板ネック領域を含み；少なくとも１つの第１の電極板は、略矩形であり、また、第１の電極板長側部と、第１の電極板長側部に隣接する２つの第１の電極板短側部を有し；少なくとも１つの第１の電極板は、第１の電極のエネルギーエントリ領域の少なくとも一部を形成する第１の電極板領域を有し、第１の電極板領域は、２つの第１の電極板短側部より第１の電極板長側部に近く；第１の電極板長側部は、第１の電極板長側部長を有し、少なくとも１つの第１の電極板は、第１の電極のエネルギーエントリ領域の少なくとも一部を形成する第１の電極板領域を含み、第１の電極板領域は、第１の電極板長側部に沿って、第１の電極板長側部長の少なくとも２０分の１の長さに延在し；第１の電極板長側部は、第１の電極板長側部長を有し、少なくとも１つの第１の電極板は、第１の電極のエネルギーエントリ領域の少なくとも一部を形成する第１の電極板領域を含み、第１の電極板領域は、第１の電極板長側部に沿って、第１の電極板長側部長未満の長さに延在し；第１の電極板長側部は、第１の電極板長側部長を有し、少なくとも１つの第１の電極板は、第１の電極のエネルギーエントリ領域の少なくとも一部を形成する第１の電極板領域を含み、第１の電極板領域は、第１の電極板長側部に沿って、第１の電極板長側部長の３分の２だけの長さに延在し；少なくとも１つの第１の電極板は、第１の電極のエネルギーエントリ領域の少なくとも一部を形成する第１の電極板領域を含み、長側部は、長側部中心と、２つの長側部端を有し、第１の電極板領域は、２つの長側部端よりも長側部中心に近く；構造は、別個の構成要素を形成し；構造は、集積回路へのインタポーザ又は第１レベルのインタコネクトの一部を形成し；構造は、集積回路の一部を形成し；エネルギー経路線分長に対する最大エネルギー垂直線分長の割合は、１．２より大きく；エネルギー経路線分長に対する全てのエネルギー垂直線分の長さの割合は、全て１．５より大きく；エネルギー経路線分長に対するエネルギー垂直線分長の割合は、２より大きく；エネルギー経路線分長に対するエネルギー垂直線分長の割合は、１００未満であり；第１の電極板主面は、略矩形形状を有し；第１の電極板主面は、略楕円形状を有し；第１の電極板主面は、ネックを有し、該ネックは、エネルギー経路線分と平行な方向に第１の電極板の該ネック以外の部分から突出し；第１のエッジ相互接続構造を更に含み、ネックは、第１のエッジ相互接続構造へのエッジ突出接続を形成し；第１の電極は、複数の第１の電極板を含み、複数の第１の電極板は、第１の電極板主面に垂直に延在する導電性材料によって互いに接続され；遮蔽電極は、複数の遮蔽電極板を含み、複数の遮蔽電極板は、第１の電極板主面に垂直に延在する導電性材料によって互いに接続され；遮蔽電極は更に、少なくとも１つのエンドキャップ又は端子を含み；遮蔽電極の少なくとも２つの板は、該少なくとも２つの板の間に、第１の電極及び第２の電極の全ての板を挟み、少なくとも１つのエンドキャップ又は端子は、第１の電極及び第２の電極を実質的に囲み；遮蔽電極の少なくとも１つのエンドキャップ又は端子は、少なくとも第１の遮蔽電極エンドキャップ又は端子、及び第２の遮蔽電極エンドキャップ又は端子を含み、導電性材料が、第１の遮蔽電極エンドキャップ又は端子を第２の遮蔽電極エンドキャップ又は端子に接続するよう第１の電極及び第２の電極の外側に延在し；第１の電極及び第２の電極の外側にあり、遮蔽電極に電気的に接続され、遮蔽電極の板によって決定される少なくとも領域の表面領域を有する導電性素子を更に含むことを含む。
【００７３】
別の面において、本発明は、第１の電極と、第２の電極と、遮蔽電極を含み、遮蔽電極の少なくとも１つの板は、第１の電極の各板を第２の電極の任意の板から離し、遮蔽電極の少なくとも２つの板は、該少なくとも２つの板の間に、第１の電極及び第２の電極の全ての板を挟み、第１のエッジ電極相互接続構造は、第１の電極の板を互いに電気的に接続し、第２のエッジ電極相互接続構造は、第２の電極の板を互いに電気的に接続し、第１の電極は、第１の電極板主面、及び、第１のエッジ電極相互接続構造に接触する第１の接触領域を含む少なくとも１つの第１の電極板エネルギーエントリ領域を有する第１の電極板を含み、第２の電極は、第２の電極板主面、及び、第２のエッジ電極相互接続構造に接触する第２の接触領域を含む少なくとも１つの第２の電極板エネルギーエントリ領域を有する第２の電極板を含み、エネルギー経路線分が、（１）第１の接触領域の第１の電極板主面及び（２）第２の接触領域によって決定される平面に平行な平面の突起によって決定される領域において終端する線分によって決定され、エネルギー線路線分は、エネルギー経路線分長を有し、最大エネルギー垂直線分は、エネルギー経路線分に対応し、最大エネルギー垂直線分は、最大エネルギー垂直線分長を有し、最大エネルギー垂直線分長は、エネルギー経路線分長より大きい、構造を提供する。
【００７４】
本発明の追加の面は、構造は、１０メガヘルツにおいて、少なくとも８０デシベルの第１の電極及び第２の電極に亘る挿入損を与え；各エネルギー垂直線分の長さは、エネルギー経路線分長より大きく；第１の電極板は、１つの第１の電極板エネルギーエントリ領域しか有さないことを含む。
【００７５】
別の面において、本発明は、構造を作成する方法であって、第１の電極を形成する段階と、第２の電極を形成する段階と、遮蔽電極を形成する段階とを含み、遮蔽電極の少なくとも１つの板は、第１の電極の各板を第２の電極の任意の板から離し、遮蔽電極の少なくとも２つの板は、該少なくとも２つの板の間に、第１の電極及び第２の電極の全ての板を挟み、第１の電極は、第１の電極板主面及び少なくとも１つの第１の電極板エネルギーエントリ領域を有する第１の電極板を含み、第２の電極は、少なくとも１つの第２の電極板エネルギーエントリ領域を有する第２の電極板を含み、エネルギー経路線分が、（１）少なくとも１つの第１の電極板エネルギーエントリ領域の第１の電極板主面及び（２）少なくとも１つの第２の電極板エネルギーエントリ領域によって決定される平面に平行な平面の突起によって決定される領域において終端する線分によって決定され、エネルギー経路線分は、エネルギー経路線分長を有し、最大エネルギー垂直線分は、エネルギー経路線分に対応し、最大エネルギー垂直線分は、最大エネルギー垂直線分長を有し、最大エネルギー垂直線分長は、エネルギー経路線分長より大きく、形成段階は、蒸着構造を形成するために、第１の電極、第２の電極、及び遮蔽電極の板のための材料を、層毎に蒸着する段階を有する方法を提供する。
【００７６】
本発明の追加の面は、第１の電極、第２の電極、及び遮蔽電極の層間に、絶縁材料及び絶縁材料用のプリカーサのうち少なくとも１つを蒸着する段階を更に含み；構造を焼成する段階を更に含み；蒸着段階は、真空において材料を蒸着する段階を含み；蒸着段階は、気相から材料を蒸着する段階を含み；レジストを蒸着し；レジストにパターンを露光する段階と、パターンに対応するレジストを除去する段階とを更に含み；パターンに対応するレジストを除去した後に蒸着する段階と、パターンに対応してエッチングする段階のうち少なくとも１つを更に含み；折り畳み構造を形成するよう蒸着構造を折り畳む段階を更に含み；略円筒形状のロール構造を形成するために蒸着構造を丸める段階を更に含む。
【００７７】
別の面において、本発明は、第１の電極と、第２の電極と、遮蔽電極とを含み、遮蔽電極の少なくとも１つの板は、第１の電極の各板を第２の電極の任意の板から離し、遮蔽電極の少なくとも２つの板は、該少なくとも２つの板の間に、第１の電極及び第２の電極の全ての板を挟み、第１の電極は、第１の電極板主面及び少なくとも１つの第１の電極板エネルギーエントリ領域を有する第１の電極板を含み、第２の電極は、少なくとも１つの第２の電極板エネルギーエントリ領域を有する第２の電極板を含み、エネルギー経路線分が、（１）少なくとも１つの第１の電極板エネルギーエントリ領域の第１の電極板主面及び（２）少なくとも１つの第２の電極板エネルギーエントリ領域によって決定される平面に平行な平面の突起によって決定される領域において終端する線分によって決定され、エネルギー経路線分は、エネルギー経路線分長を有し、最大エネルギー垂直線分は、エネルギー経路線分に対応し、最大エネルギー垂直線分は、最大エネルギー垂直線分長を有し、最大エネルギー垂直線分長は、エネルギー経路線分長より大きい、構造を使用する方法であって、第１の電極及び第２の電極をソースと負荷の間に電気的に接続する段階と、ソースから負荷に電力を与える段階とを含む方法を提供する。
【００７８】
本発明の方法の追加の面は、遮蔽電極を、第１の電極又は第２の電極のどちらにも電気的に接続されない相対的に大きい金属構造に接続する段階を更に含み；相対的に大きい金属構造は、シャーシ接地であり；相対的に大きい金属構造は、アース接地であることを含む。
【００７９】
別の面において、本発明は、第１の電極と、第２の電極と、遮蔽電極とを含み、遮蔽電極の少なくとも１つの板は、第１の電極の各板を第２の電極の任意の板から離し、遮蔽電極の少なくとも２つの板は、該少なくとも２つの板の間に、第１の電極及び第２の電極の全ての板を挟み、第１の電極は、長側部と２つの短側部を有する略矩形の板を含み、第１の電極のエネルギーエントリ領域は、２つの短側部より略矩形の板の長側部に近い、構造を提供する。
【００８０】
別の面において、本発明は、第１の電極と、第２の電極と、遮蔽電極とを含み、遮蔽電極の少なくとも１つの板は、第１の電極の各板を第２の電極の任意の板から離し、遮蔽電極の少なくとも２つの板は、該少なくとも２つの板の間に、第１の電極及び第２の電極の全ての板を挟み、第１の電極は、略矩形の板を含み、略矩形の板は、長側部及び短側部を有し、長側部は、短側部より長く、長側部は、第１の長側部端、第２の長側部端、及び長側部中心を有し、第１の電極のエネルギーエントリ領域は、第１の長側部端及び第２の長側部端より長側部中心に近い、構造を提供する。
【００８１】
別の面において、本発明は、第１の電極と、第２の電極と、遮蔽電極とを含み、遮蔽電極の少なくとも１つの板は、第１の電極の各板を第２の電極の任意の板から離し、遮蔽電極の少なくとも２つの板は、該少なくとも２つの板の間に、第１の電極及び第２の電極の全ての板を挟み、第１の電極は、長側部及び短側部を有する略矩形の板を含み、長側部は、短側部より長く、第１の電極のエネルギーエントリ領域は、長側部に沿って延在する、構造を提供する。
【００８２】
別の面において、本発明は、第１の電極と、第２の電極と、遮蔽電極とを含み、遮蔽電極の少なくとも１つの板は、第１の電極の各板を第２の電極の任意の板から離し、遮蔽電極の少なくとも２つの板は、該少なくとも２つの板の間に、第１の電極及び第２の電極の全ての板を挟み、第１の電極は、長側部及び短側部を有する板を含み、長側部は、短側部より長く、長側部は、長側部長を有し、第１の電極について複数のエネルギーエントリ領域があり、複数のエネルギーエントリ領域のうちの少なくとも２つの間の間隔は、長側部の一般的な延長部によって決定される方向において延在し、間隔は、長側部長の約３分の２未満で延在する、構造を提供する。
【００８３】
別の面において、本発明は、第１の電極と、第２の電極と、遮蔽電極とを含み、遮蔽電極の少なくとも１つの板は、第１の電極の各板を第２の電極の任意の板から離し、遮蔽電極の少なくとも２つの板は、該少なくとも２つの板の間に、第１の電極及び第２の電極の全ての板を挟み、第１の電極は、第１の電極板及びエッジ相互接続構造を含み、第１の電極板のエネルギー経路線分の方向に沿っての第１の電極板の長さは、エネルギー経路線分に垂直であり、また、第１の電極板の主面によって決定される平面と平行な方向における第１の電極板の長さ以下である、構造を提供する。
【００８４】
別の面において、本発明は、第１の電極と、第２の電極と、遮蔽電極とを含み、遮蔽電極の少なくとも１つの板は、第１の電極の各板を第２の電極の任意の板から離し、遮蔽電極の少なくとも２つの板は、該少なくとも２つの板の間に、第１の電極及び第２の電極の全ての板を挟み、第１の電極は、第１の電極板及びエッジ相互接続構造を含み、第１の電極板のエネルギー経路線分の方向に沿っての第１の電極板の長さは、エネルギー経路線分と非並行であり、また、第１の電極板の主面によって決定される平面に非垂直な方向における第１の電極板の長さ以下である、構造を提供する。
【００８５】
別の面において、本発明は、第１の電極と、第２の電極と、遮蔽電極とを含み、遮蔽電極の少なくとも１つの板は、第１の電極の各板を第２の電極の任意の板から離し、遮蔽電極の少なくとも２つの板は、該少なくとも２つの板の間に、第１の電極及び第２の電極の全ての板を挟み、第１の電極は、第１の電極板及び第１の電極端子を含み、第２の電極は、第２の電極板及び第２の電極端子を含み、第１の電極板によって決定される平面において第１の電極端子から第２の電極端子まで延在する第１の線分の長さは、第１の電極板から平面における方向において延在し、また、第１の線分と非平行の第２の線分の長さと同じか又はより短い、構造を提供する。
【００８６】
別の面において、本発明は、第１の電極と、第２の電極と、遮蔽電極とを含み、遮蔽電極の少なくとも１つの板は、第１の電極の各板を第２の電極の任意の板から離し、遮蔽電極の少なくとも２つの板は、該少なくとも２つの板の間に、第１の電極及び第２の電極の全ての板を挟み、第１の電極は、第１の電極板及び第１の電極端子を含み、第２の電極は、第２の電極板及び第２の電極端子を含み、第１の電極板によって決定される平面において第１の電極端子から第２の電極端子まで延在する第１の線分の長さは、第１の電極板から平面における方向において延在し、また、第１の線分と非平行の第２の線分の長さと同じか又はより短い、構造を提供する。
［実施例の詳細な説明］
本発明の上述及び他の面は、以下の図面を参照して説明する。図面中、同様の参照番号は、同一の又は対応する素子を意味する。
【００８７】
図１は、ソース１０、デバイス２０、メータ３０、共通点４０、５０、接地（又は電荷のソース或いはシンク）６０、及びデバイスコンタクト、即ち、端子ａ、ｂ、及びｇを含むテスト回路１を示す概略図である。ソース１０は、特定の周波数成を有する電圧、電流、又は、電力を供給可能なソースである。メータ３０は、ソース１０によって、デバイス２０の端子ａと端子ｂ間に与えられる信号の伝送を測定可能なデバイスである。
【００８８】
デバイス１０は、集中素子理論（ｌｕｍｐｅｄ  ｅｌｅｍｅｎｔ  ｔｈｅｏｒｙ）では、３端子デバイスと考えられるデバイスである。集中素子理論は、インダクタンス及び／又は静電容量の固定値を素子の物理構造に対応させる。集中素子理論は、デバイス１０の回路特性を適切に示さない場合がある。
【００８９】
デバイス１０は、分布素子理論（ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄ  ｅｌｅｍｅｎｔ  ｔｈｅｏｒｙ）では、少なくとも３つの端子を有するとして考えられるデバイスである。分布素子理論は、伝送線理論におけるように、インダクタンス及び／又は静電容量の値を、回路の各導電部に関連付ける。
【００９０】
デバイス１０は、エネルギーが与えられると、例えば、分圧器となるデバイスであり得る。非遮蔽電極（図示せず）間に遮蔽電極構造（図示せず）を配置することによって、点４０からのソースからメータ線／負荷接続Ａから、点５０からのメータからソース帰路接続Ｂを有する線に亘り測定されるエネルギー電位が、電圧Ｖ１を有し、また、これらの導体と接地６０間の電位が、電圧Ｖ１の約半分である電圧Ｖ２であるとき、位相釣り合わせデバイス及び分圧器が作成される。尚、この構成は、所望に応じて電圧Ｖ２を適応させるよう遮蔽電極板に対して非遮蔽電極板間に配置される実質的に少ない誘電性材料を用いて容易に且つ経済的に達成可能である。当然ながら、遮蔽電極板の構成又は場所、及び数は、電圧Ｖ１とＶ２との相対エネルギー関係における変化を反映させる又は変化を引き起こすよう変更されることが可能である。
【００９１】
デバイス１０の別の新規の構造を、以下に説明する。
【００９２】
図２は、ｘ軸は、１万ヘルツから１０ギガヘルツまでの周波数を示し、ｙ軸は、０乃至−１２０の伝送損をデシベル（ｄＢ）で示すグラフ２００である。グラフ２００は、構造４００ａ（図４ａ参照）に類似する従来技術のデバイス構造、デバイスＡについての曲線２１０と、構造４００ｂ（図４ｂ参照）に類似する新規のデバイス構造、デバイスＢについての曲線２２０を示す。曲線２１０、２２０は、５０ボルトのピークツーピーク電圧差に対する挿入損データを表す。両方のデバイス構造Ａ及びＢは、互いに１００ナノファラッド（Ｆａｒａｄｓ）の同じ公称ＤＣ静電容量を有し、互いに同じ構成の誘電材料を名目上含み、また、互いに３．２×１．６×１．１ミリメートルの同じ外部寸法を名目上有し、板は、１．１ミリメートルの寸法に沿って積み重ねられる。
【００９３】
従来技術のデバイスＡは、デバイス構造４００ａ（図４ａ参照）より多くの電極板層を有するという点以外は、デバイス構造４００ａと同じ内部電極層構成を有する。新規のデバイスＢは、デバイス構造４００ｂ（図４ｂ参照）より多くの電極板層を有するという点以外は、デバイス構造４００ｂと同じ内部電極層構成を有する。
【００９４】
曲線２１０（従来技術のデバイスＡ）及び２２０（新規のデバイスＢ）の挿入損を比較するサマリーデータを以下の表に示す。以下に示すデータ値は、図２に基づき、また、約２デシベルの不確定性を有する。
【００９５】
【表１】
2007503732.tif 000003
曲線２２０は、約３０キロヘルツから約１００メガヘルツまでのデバイスＢに対する挿入損を示し、これは、約−１１０デシベルのメータ３０のノイズ閾値である、又は、ノイズ閾値より下である。
【００９６】
曲線２１０及び２２０は、デバイスＡの挿入損は、１メガヘルツから１００メガヘルツの範囲において少なくとも約６４デシベルでデバイスＢの挿入損を上回ることを示す。曲線２２０は、１メガヘルツから１００メガヘルツの範囲で少なくとも約−１００デシベルの挿入損を示す。
【００９７】
曲線２２０は、３０キロヘルツ乃至５００メガヘルツの周波数範囲に亘って、デバイスＡに対する曲線２１０の挿入損より多い新規デバイスＢに対する挿入損を示す。３０キロヘルツから１００キロヘルツまでの周波数に対し、デバイスＡの挿入損は、デバイスＢの挿入損を、少なくとも４０デシベル上回る。３０キロヘルツから１０メガヘルツまででは、少なくとも３０デシベル上回る。１０メガヘルツから１００メガヘルツまででは、少なくとも約２５デシベル上回る。そして、３０キロヘルツから２００メガヘルツまででは、少なくとも約１０デシベル上回る。
【００９８】
３０キロヘルツから１００メガヘルツまでの全周波数範囲に亘って、デバイスＡの挿入損は、−６０デシベルより大きい、−７０デシベルより大きい、−８０デシベルより大きい、及び、約−９０デシベルより大きい。
【００９９】
図２は、構造４００ｂのような構造は、ゼロよりすぐ上から数百メガヘルツまでの周波数に対し、構造４００ａのような構造の挿入損より実質的に大きい挿入損を有することを示す。
【０１００】
本発明は、構造４００ａ及び４００ｂにおける差といった構造における差に関連し、これは、デバイス構造４００ａに対する新規のデバイス構造４００ｂのような構造の非常に大きな挿入損を提供する。
【０１０１】
図３は、従来のデバイス４００ａと新規のデバイスｂの両方の外部構造を示す。図４ａ及び１０−１４は、従来技術のデバイス４００ａの内部構造を示す。
【０１０２】
図４ｂ及び５−９は、新規のデバイス構造４００ｂの内部構造を示す。
【０１０３】
図３は、構造３００の斜視図を示す。デバイス４００ａ（図４ａ参照）及び４００ｂ（図４ｂ参照）の外部構造は、外部構造３００と同じである。
【０１０４】
構造３００は、側部電極端子３０１、３０５、前部電極端子３０６、後部電極端子３１０の形のエッジ相互接続構造を有する。側部電極端子３０１は、側部電極端子導電部３０２、３０３、３０４と、側部電極部３０３の反対側の隠れた面上の側部電極端子導電部を含む。前部電極端子３０６は、前部電極端子導電部３０７、３０８、３０９を含む。側部電極端子３０５と側部電極端子３０１は、互いの鏡像である。前部電極端子３０６及び後部電極端子３１０は、互いの鏡像である。
【０１０５】
構造３００は、絶縁性の上面部３１１を有し、絶縁性前面部３１２ａ、３１２ｂ、絶縁性背面部３１３ａ、３１３ｂ、及び絶縁性底面部３１４を有する。
【０１０６】
図３は、対向する矢印によって範囲が決められる後部電極端子の側部間幅３２０と、対向する矢印によって範囲が決められる後部電極端子の前後幅３２１と、対向する矢印によって範囲が決められる側部電極端子の導電部の側部間幅３２２も示す。
【０１０７】
図３は更に、構造３００の側面３２４、３２５、前面３２６、及び上面３２８を示し、また、構造３００の背面３２７及び底面３２９を特定する。図３は更に、対向する矢印によって範囲が決められる構造３００の側面から側面の長さＬと、対向する矢印によって範囲が決められる前部から後部の幅Ｗと、対向する矢印によって範囲が決められる上面から底面の高さＨも示す。
【０１０８】
電極端子３０１、３０５、３０６、３１０は、基本的な金属、合金、及び導電性プラスチック並びにポリマーを含む任意の導電性材料から形成され得る。電極端子３０１、３０５、３０６、３１０は、インジウム、アルミニウム、銅、ニッケル、コバルト、金、白金、パラジウム、イリジウム、ルテニウム、又はこれらの元素の少なくとも１つを含む合金から形成されることが好適である。
【０１０９】
電気絶縁性の表面部３１１、３１２ａ、３１２ｂ、３１３、及び３１４は、例えば、無機酸化物、窒化物、フッ化物、様々なセラミック並びにガラス、絶縁ポリマー並びに樹脂、及び半導体、炭素、炭化珪素、窒化ホウ素、ＩＩＩ−Ｖ半導体、及び、ＩＩ−ＶＩ半導体といったドープされていない絶縁半導体を含む任意の誘電性材料から形成され得る。
【０１１０】
図４ａは、図３の構造３００の外部構成を有する構造４００ａを示す。しかし、エッジ相互接続構造は、図４ａには含まれない。図３のエッジ相互接続構造の下の表面は、構造４００ａの外部表面を形成する。図４ａ及び次の図面は、図３に示す外部表面に対する向きを合わせるために図３の側面３２４に対応する側部又は側面３２４を示し、また、時には、図３の側面３２５−３２９に対する構造の向きに対応する、３２５−３２９と番号が付けられた表面を示す。
【０１１１】
図４ａは、電極板のスタックシーケンスを示す。このシーケンスは、以下の通りである。下部遮蔽電極板４０１ａ、第１の電極板４０２ａ、中心遮蔽板４０３ａ、第２の電極板４０４ａ、及び上部遮蔽電極板４０５ａである。第１の電極板４０２ａは、構造４００ａの側面３２４において露出されるエッジを有し、他の側部では有さない。第２の電極板４０４ａは、構造４００ａの側部３２４の反対側の側部３２５（構造３００の側面３２５に対応する）において露出されるエッジを有し、他の側部では有さない。遮蔽電極板４０１ａ、４０３ａ、及び４０５ａは、構造３００の前面３２６及び背面３２７に対応する構造４００ａの側面において露出されるエッジを有し、他の側部では有さない。
【０１１２】
図４ｂは、電極板のスタックシーケンスを有する構造４００ｂを示す。このシーケンスは、図４ａに示す構造４００ａに対するのと同様であり、以下の通りである。下部遮蔽電極板４０１ｂ、第１の電極板４０２ｂ、中心遮蔽板４０３ｂ、第２の電極板４０４ｂ、及び上部遮蔽電極板４０５ｂである。
【０１１３】
図４は、遮蔽電極板４０１ｂ、４０３ｂ、４０５ｂのエッジと側面３２４との間の電気絶縁性表面部３１２ａを示す。
【０１１４】
構造４００ａとは対照的に、構造４００ｂの第１の電極板４０２ｂは、構造４００ｂの前面３２６において露出されるエッジを有し、他の側部では有さない。第２の電極板４０４ｂは、構造４００ｂの背面３２７において露出されるエッジを有し、他の側部では有さない。遮蔽電極板４０１ａ、４０３ａ、及び４０５ａは、側面３２４、３２５に対応する構造４００ｂの側面において露出されるエッジを有し、他の側部では有さない。
【０１１５】
図５は、構造４００ｂの電極板の図４ｂにおけるＸ−Ｘに沿って切り取られた電極板４０１ｂ−４０５ｂについてのスタックシーケンスを示す。遮蔽電極板４０１ｂ、４０３ｂ、及び４０５ｂは、側面３２４から側面３２５の全長に延在する。遮蔽電極板４０１ｂ、４０３ｂ、及び４０５ｂはそれぞれ、側面３２４における電極遮蔽板エッジ５０１ｂ、５０３ｂ、５０５ｂと、反対側の側面３２５における対応エッジを含む。第１及び第２の電極板４０２ｂ、４０４ｂは、側面３２４、３２５に板エッジを含まない。
【０１１６】
図６は、構造４００ｂの電極板の図４ｂにおけるＹ−Ｙに沿って切り取られた電極板４０１ｂ−４０５ｂについてのスタックシーケンスを示す。遮蔽電極板４０１ｂ、４０３ｂ、４０５ｂは、前面３２６又は背面３２９まで延在しない。第１の電極板４０２ｂは、前面３２６におけるエッジ６０２ｂを有し、また、背面３２９又は側面３２４、３２５まで延在しない。第２の電極板４０４ｂは、背面３２９におけるエッジ（図示せず）を有し、また、前面３２６又は側面３２４、３２５まで延在しない。図６は、前面３２６に近接する遮蔽電極板４０５ｂのエッジから前面３２６に近接する第２の電極板４０４ｂのエッジまでの距離６２０を示す。図６は、第２の電極板４０４ｂと遮蔽電極板４０５ｂとの間の距離６３０を示す。
【０１１７】
図７は、下部遮蔽電極板４０１ｂと周りの誘電性材料７１０を示す。下部遮蔽電極板４０１ｂは、側面３２４、３２５において遮蔽電極板側部エッジ７２０、７３０を有する。下部遮蔽電極板４０１ｂは、略矩形の上部主面７４０を画成する。下部遮蔽電極板４０１ｂは、前面３２６又は背面３２７まで延在しない。下部遮蔽電極板４０１ｂは、下部遮蔽電極前部エッジ距離７７１で前面３２６から引っ込んで設けられた下部遮蔽電極板前部エッジ７７０を有する。下部遮蔽電極板４０１ｂは、下部遮蔽電極後部エッジ距離７８１で背面３２７から引っ込んで設けられた下部遮蔽電極板後部エッジ７８０を有する。周りの誘電性材料７１０は、前面３２６の一部を形成する表面７５０と、側面の背面３２７の一部を形成する別の表面７６０を画成する。
【０１１８】
遮蔽電極板４０３ｂ、４０５ｂは、遮蔽電極板４０１ｂと同じ全体構造を有する。
【０１１９】
図８は、下部電極板４０２ｂと、周りの誘電性材料７１０を示す。下部の第１の電極板４０２ｂは、下部の第１の電極板前部エッジ８２０と、下部の第１の電極板前部エッジ８３０、８４０と、下部の第１の電極板エッジ遷移領域８５０、８６０を有する。前部エッジ８２０は、側面３２４、３２５まで延在しない。下部の第１の電極板前部エッジ８２０、８３０、８４０は、エッジ遷移領域８５０、８６０を交差する。エッジ遷移領域８５０、８６０は、下部の第１の電極板４０２ｂの前部に面するエッジを、前面３２６にある前部エッジ８２０から前部エッジ８３０、８４０に移行させる。前部エッジ８３０、８４０は、前部エッジ入り込み（ｒｅｃｅｓｓ）距離８７０で前面３２６から引っ込んでいる。
【０１２０】
下部の第１の電極板４０２ｂは、下部の第１の電極板側部入り込み距離８８３で側面３２４、３２５から引っ込んでいる下部の第１の電極板側部エッジ８８０、８８１を画成する。下部の第１の電極板後部エッジ８８４は、下部の第１の電極板後部入り込み距離８８５で背面３２７から引っ込んでいる。
【０１２１】
下部の第１の電極板４０２ｂは、下部の第１の電極板隅部エッジ入り込み遷移部８９０ａ、８９０ｂ、８９０ｃ、８９０ｄを画成する。エッジ入り込み遷移部８９０ａ、８９０ｂ、８９０ｄは、９０度の角度を形成しない。その代わり、エッジ入り込み遷移部は、構造４００ｂの長さ又は幅寸法の一部分程度の有限の曲率半径を画成する。
【０１２２】
図９は、上部の第２の電極板４０４ｂと、周りの誘電性材料７１０を示す。図９は、側面３２４、３２５に沿って中間の中心線９１０を更に示す。上部板４０４ｂは、下部板４０２ｂの中心線９１０についての鏡像である。上部板前部エッジ９８４は、上部板前部入り込み距離９８５で前面３２７から引っ込んでいる。
【０１２３】
図１０は、構造４００ａの電極板の図４ａにおけるＸ−Ｘに沿って切り取られた電極板４０１ａ−４０５ａについてのスタックシーケンスを示す。遮蔽電極板４０１ａ、４０３ａ、及び４０５ａは、側面３２４、３２５まで延在しない。遮蔽電極板４０１ａ、４０３ａ、及び４０５ａは、側面３２４から側面３２５間での距離の実質的な一部分に延在する。電極板４０２ａ、４０４ａは、側面３２４、３２５において電極板エッジを含まない。Ｘ−Ｘ面において、遮蔽電極板４０１ａ、４０３ａ、４０５ａは、側面３２４、３２５の間で中心にされる。下部の第１の電極板４０２ａは、側面３２４にエッジを有する。上部の第２の電極板４０４ａは、隠れた側面３２５にエッジを有する。
【０１２４】
図１１は、構造４００ａの電極の図４ａにおけるＹ−Ｙに沿って切り取られた電極板４０１ａ−４０５ａについてのスタックシーケンスを示す。Ｙ−Ｙ面において、遮蔽板電極４０１ａ、４０３ａ、４０５ａは、それぞれ、前面３２６と背面３２７におけるエッジを有するよう側面の前面３２６及び背面３２７まで延在する。第１及び第２の電極板４０２ａ、４０４ａは、前面３２６又は背面３２７まで延在しない。
【０１２５】
図１２は、下部遮蔽電極板４０１ａと、周りの誘電性材料７１０を示す。下部遮蔽電極板４０１ａは、下部遮蔽電極板前部エッジ１２２０、下部遮蔽電極板前部エッジ１２３０、１２４０、及び下部遮蔽電極板前部エッジ遷移領域１２５０、１２６０を有する。前部エッジ１２２０は、側面３２４、３２５まで延在しない。下部電極板前部エッジ１２２０、１２３０、１２４０は、前部エッジ遷移領域１２５０、１２６０を交差する。前部エッジ遷移領域１２５０、１２６０は、下部遮蔽電極板４０１ａの前に面するエッジを、前面３２６にある前部エッジ１２２０から前部エッジ１２３０、１２４０のそれぞれに移行させる。前部エッジ１２３０、１２４０は、前部エッジ入り込み距離１２７０で前面３２６から引っ込んでいる。
【０１２６】
下部遮蔽電極板４０１ｂは、下部電極板側部入り込み距離１２８３で側面３２４、３２５から引っ込んでいる下部遮蔽電極板側部エッジ１２８０、１２８１を画成する。下部遮蔽電極板後部エッジ１２８４、１２８６は、下部遮蔽電極板後部入り込み距離１２８５で背面３２７から引っ込んでいる。
【０１２７】
下部の第１の電極板４０１ａは、下部の第１の電極板隅部エッジ入り込み遷移部１２９０ａ、１２９０ｂ、１２９０ｃ、１２９０ｄを画成する。エッジ入り込み遷移部１２９０ａ、１２９０ｂ、１２９０ｃ、１２９０ｄは、直角を形成しない。その代わり、エッジ入り込み遷移部は、構造４００ａの長さ又は幅寸法の一部分程度の有限の曲率半径を画成する。
【０１２８】
遮蔽電極板４０３ａ、４０５ａは、下部遮蔽電極板４０１ａと同じ全体形状を有する。
【０１２９】
図１３は、下部の第１の電極板４０２ａと、周りの誘電性材料７１０を示す。下部の第１の電極板４０２ａは、側面３２４において下部の第１の電極板側部エッジ１３２０を画成する。下部の第１の電極板４０２ａは、略矩形の上部の主面１３４０を画成する。しかし、下部の第１の電極板４０２ａは、側面３２５の付近に、直角ではなく、また、構造４００ａの長さ又は幅より小さい曲率半径を有する下部の第１の電極板側部エッジ１３３０ａ、１３３０ｂを画成する。下部の第１の電極板４０２ａは、前面３２６又は背面３２７まで延在しない。周りの誘電性材料７１０は、前面３２６の一部を形成する表面７５０と、側部の背面３２７の一部を形成する表面７６０を画成する。下部の第１の電極板４０２ａは、下部の第１の電極板前部エッジ入り込み距離１３７１で前面３２６から引っ込んでいる下部の第１の電極板前部エッジ１３７０を画成する。下部の第１の電極板４０２ａは、下部の第１の電極板後部エッジ入り込み距離１３８１で背面３２７から引っ込んでいる下部の第１の電極板後部エッジ１３８０を画成する。
【０１３０】
図１４は、上部の第２の電極板４０４ａと、周りの誘電性材料７１０を示す。上部の第２の電極板４０４ａは、略、図１３に示す電極４０２ａの中心を通る想像上の左右対称の垂直線について映される下部の第１の電極板４０２ａの鏡像である。
【０１３１】
図４ｂ及び図５−９は、図３に示す外部構造を有する本発明の１つの実施例の層の構造と、層のシーケンスを示す。この実施例は、遮蔽電極、第１の電極、及び、第２の電極の板の最小のシーケンスのみを示し、第１の電極の１つの板と第２の電極の１つの板を含む。第１及び第２の電極は、それぞれ、複数の電極板を含んでもよい。第１の電極は、第２の電極と同数の板を有することが好適である。第１の電極の板と第２の電極に板の間（即ち、第１及び第２の電極の板の外部の遮蔽電極の板を除外する）に置かれる遮蔽電極板の数は、第１の電極の電極板の数に、第２の電極の電極板の数を足して１を引いた計以上であることが好適である。
【０１３２】
図１５は、第１の電極及び第２の電極のそれぞれを形成する１つ以上の板を含む本発明の第２の実施例を示す。
【０１３３】
図１５は、図３に示す外部表面構造を有する別の新規のデバイス構造１５００を示す。構造１５００は、遮蔽電極底部板１５０１、遮蔽電極中間板１５０３、１５０５、１５０７、１５０９、１５１１、１５１３、１５１５、１５１７、１５１９、遮蔽電極上部板１５２１、第１の電極下部板１５０２、第１の電極中間板１５０６、１５１０、１５１４と、第１の電極上部板１５１８、第２の電極下部板１５０４、第２の電極板１５０４、１５０８、１５１２、１５１６、及び第２の電極上部板１５１８を含む。構造１５００は更に、上面３２８における側部電極端子導電部１５７１を画成する側部電極端子３０１と、側面３２４における電極端子側部１５５２の形のエッジ相互接続構造も含む。
【０１３４】
構造１５００は、遮蔽電極のための１１個の遮蔽板と、第１及び第２の電極のそれぞれのための５個の板を含む。第１の電極の各板は、遮蔽電極の板によって第２の電極の板から分離される。更に、構造の上部において第１及び第２の電極の全板の外部に遮蔽電極の板が、また、構造の底部において第１及び第２の電極の全板の外部に遮蔽電極のもう１つの板がある。
【０１３５】
構造１５００は、等しい数の第１の電極及び第２の電極の板が示され、これは、改善された信号調整を与えるので好適である。しかし、構造１５００のような構造が、第１及び第２の電極において十分に大きい数の板を含む場合、第１及び第２の電極における板の数の僅かな差は、信号調整機能に大幅に影響を与えることはない。
【０１３６】
従って、全ての実施例について、第１の電極の板の数と、第２の電極の板の数との差は、両方の電極の板の数の１パーセント未満であることが好適である。
【０１３７】
図１６ａ−ｄは、１つの電極の板を互いに電気的に接続するために１つ以上の電極の板における開口を通る導電路、及び／又は、遮蔽電極の板を互いに電気的に接続し、また、第１及び第２の電極の全ての板の周りに遮蔽電極板及び導電路を含むケージを画成するために１つ以上の電極の板における開口を通らない導電路を組み込んだ構造に関連する。１つ以上の電極の板における開口を通る導電路は、本発明の別個のＰＣボード及びＩＣ実施例に組み込まれることが可能である。
【０１３８】
図１６ａは、上部遮蔽電極板１６０１、遮蔽電極板１６０３、１６０５、１６０７、下部遮蔽電極板１６０９、第１の電極板１６０２、１６０６、第２の電極板１６０４、１６０８、第１の電極導電ワイヤ線１６１０、第２の電極導電ワイヤ線１６１１、第１の電極板延長部１６２０、１６２１、第１の電極板ワイヤ線交差点１６３０、１６３１、及び第１の電極ワイヤ線端点１６４０を含む。
【０１３９】
構造１６００では、第１の電極の各板は、遮蔽電極の板によって第２の電極の板から離され、また、遮蔽電極は、第１及び第２の電極の全板の上方に少なくとも１つの板と、第１及び第２の電極の全板の下方に少なくとも１つの板を含む。
【０１４０】
ワイヤ線１６１０は、板−ワイヤ線交差点１６３１において板１６０２に電気的に接続し、板−ワイヤ線交差点１６３０において板１６０６に電気的に接続する。ワイヤ線１６１１は、板１６０４及び１６０８を互いに電気的に接続する板−ワイヤ相互接続を含む。第１の電極板１６０２は、第１の電極板延長部１６２１を含んでもよい。
【０１４１】
板重なり領域は、２つの板の主面が重なる領域を意味する。
【０１４２】
板１６０２の第１の電極板延長部１６２１は、構造１６００における１つの別の板を有する板１６０２の板重なり領域から、その１つの別の板が完全にある側の反対のワイヤ線１６１０の側に延在する。その１つの別の板は、板１６０１、及び１６０３−１６０９のうちの任意の１つのであり得る。第１の電極板１６０６は、板延長部１６２０を含んでもよい。第２の電極板１６０４、１６０８のそれぞれは、図示するが番号が付けられていない板延長部を含んでもよい。
【０１４３】
ワイヤ線１６１０の図１６ａに示す垂直方向における延長部は、端点１６４０において終端する。端点１６４０は、信号線又は戻り線に接続されてもよい。
【０１４４】
第１の電極板延長部１６２１は、存在する場合は、第１の電極延長部終端１６５０において終端する。終端１６５０は、断面図では、点として示す。板１６０２の平面図では、終端１６５０は、板１６０２のエッジによって決定される。このエッジは、略直線であり得るが、板１６０２の幅未満の曲率半径を決定する丸められたエッジを有してもよく、又は、図８における板４０２ｂの前面エッジの遷移部８５０、８６０、及びエッジ８２０によって画成されるネック構造に対し示す一般的な形状を有するネック構造を画成し得る。
【０１４５】
破線１６７０によって示す第４の代替の実施例では、少なくとも１つの及び好適には全ての遮蔽電極板は、重なった板の領域及び／又はワイヤ線１６１０、１６１１間の領域から離れてワイヤ線１６４０を超えて延在し、好適には更に、第１の電極の板の少なくとも１つの延長領域１６２０、１６２１の延長部を超えて、更に好適には、第１及び第２の電極の全ての延長領域の延長部を超えて延在する遮蔽電極板１６０１の図１６ａにおいて破線で示す遮蔽電極板延長部１６７０といった遮蔽電極板延長部を有する。この第４の実施例では、板１６０１は、その中にワイヤ線１６１０の一部がある開口１６８０を含む。開口１６８０は、ワイヤ線１６１０の遮蔽電極板１６０１への電気的接触を阻止するよう十分に大きい。
【０１４６】
図１６ａに関連する別のまた第５の代替の実施例では、図１６ａにおいて破線により示す導電ワイヤ線１６９０は、遮蔽電極板延長部１６７０と交差し、また、電気的に接続する。導電ワイヤ線１６９０は更に、遮蔽電極の全ての他の板にも接続することが好適であり、これらの板も、ワイヤ線１６９０の経路に沿って遮蔽電極板延長部を有する。
【０１４７】
図１６ｂは、遮蔽電極の板を接続するワイヤ線を示す面における構造１６００の切断面を示す。この板は、一般的に非並列であり、例えば、一般的に、図１６ａに示す切断面に対し垂直である。遮蔽電極ワイヤ線１６１０ｂ、１６１１ｂは、遮蔽電極板１６０１、１６０３、１６０５、１６０７に交差し、遮蔽電極板を互いに電気的に接続する。ワイヤ線１６１０ｂは、終端１６４０ｂにおいて終端し、遮蔽板−ワイヤ交差点１６３０において遮蔽電極板と交差する。
【０１４８】
ワイヤ線１６１０ｂ、１６１１ｂは、遮蔽電極以外の全ての電極に対して板１６０２、１６０４、１６０６、１６０８の延長部を超えて存在する。
【０１４９】
図１６ｃは、構造１６００の遮蔽電極の板１６０３の表面を示す平面図である。図１６ｃでは、点によって示される遮蔽板−ワイヤ交差点１６３０ｂは、ワイヤ線が図１６ｃのページから延出し、板１６０３に交差しまた電気的に接続する場所である。遮蔽板−ワイヤ交差点１６３０ｂは、板１６０３の周辺部付近の閉路に沿って分配される。開口１６８０は、板１６０３の対向する側面３２４、３２５において分配される。
【０１５０】
図１６ｄは、電極板１６０２を示す平面図である。非遮蔽電極の他の板も対応する構造を有する。
【０１５１】
第６の代替の実施例では、板１６０２は、電極板１６０２の周辺部から離れた１つ以上の開口１６９１を含む。この第６の実施例では、非周辺部ワイヤ線は、非周辺部ワイヤ線が、電極板１６０２に電気的に接続せず、また、そのような非周辺部ワイヤ線のそれぞれが構造１６００における少なくとも他の板に電気的に接続するよう開口１６０２を通り延在する。例えば、非周辺部ワイヤ線は、１つの電極の全ての板を互いに接続する、各非遮蔽電極の全ての板を互いに接続する、又は、遮蔽電極の全ての板を互いに接続してもよい。
【０１５２】
図１７は、エネルギー経路線分及びエネルギー垂直線分の例を説明するために第１の電極板１７０１及び第２の電極板１７０２からなるスタックの可視セクションを示す平面図である。
【０１５３】
図１７は、上部板１７０１と底部板１７２０を含む板スタック１７００を示す。上部板１７０１は、ネック部分１７０８を含む。底部板１７２０は、ネック部分１７２１を含む。ネック部分１７０８、１７２１は、電極の板を、エッジ相互接続構造に電気的に接続する上述したネック部分に対応する。板スタック１７００は、右側面１７０４、左側面１７０５、及び、左側面部分１７０６、１７０７を含む。点１７１０、１７２３は、ネック部分１７０８、１７２１の幾何学的中心の場所を示す。
【０１５４】
線分１７５０は、点１７２３、１７１０と線分１７５０の間に延在する。線分１７５０は、エネルギー経路線分である。
【０１５５】
線分１７５１は、右側面１７０４から左側面１７０５の領域１７０７に延在し、線分１７５１は、一般的に線分１７５０に垂直である。線分１７５１は、エネルギー垂直線分を示す。
【０１５６】
線分１７５２は、右側面１７０４から左側面１７０５の領域１７０７に延在し、また、これは、線分１７５０に垂直である。線分１７５２は、最長のエネルギー垂直線分をもたらす場所において破線の線分１７５０に交差し、また、それは、最大エネルギー垂直線分である。線分１７５２は、線分１７５１より長い。何故なら、左側面エッジ領域１７０７は、左側面エッジ領域１７０６より右側面エッジ１７０４から遠いからである。
【０１５７】
代替の実施例
図１は、テスト回路を示す。本発明の構造を含む回路は、一般的に、電流、電圧、又は電力の電力ソースと、電力ソースから電力が供給される負荷と、新規のデバイスＢといった本発明の構造を含む。このデバイスＢでは、（１）構造の第１の電極は、電力ソース、又は、電力ソースに電気的に接続される導電路に電気的に接続され、第２の電極は、帰路、又は、帰路に電気的に接続される導電路に電気的に接続され、そして、遮蔽電極は、接地（又はソース或いは電荷のシンク）に電気的に接続される。一部の実施例では、遮蔽電極が電気的に接続されるソース又は電荷のシンクは、シャーシ接地である。導電路は、ワイヤ、同軸ケーブル、ストリップライン、コプラナー、導波管、又は、電気エネルギーを送信するようゼロから非常に高い周波数で使用される任意の他のタイプの導電路であり得る。
【０１５８】
図２は、デバイスＢの挿入損が、デバイスＡの挿入損を１００メガヘルツ範囲に亘って上回ることを示す。発明者は、本発明の構造の挿入損が、従来技術のデバイスの同様の寸法及び外部の形状を有する構造を上回る周波数範囲は、本発明の様々な構造が、例えば、１−１メガヘルツ、０−１０メガヘルツ、０―１０００メガヘルツ、０−１００００メガヘルツといった、挿入損が対応する従来技術のデバイスの挿入損を上回る異なる範囲を提供し得、また、これらの本発明の様々なデバイスの挿入損の絶対値は、周波数、本発明の構造の寸法、遮蔽電極に電気的に接続される導電構造の回路構成、及び、本発明の構造を形成する材料の組成に依存して、−４０デシベルより大きくて、−５０デシベル、−６０デシベル、−７０デシベル、−８０デシベル、−９０デシベル、−１００デシベル、−１１０デシベル、及び−１２０デシベルの範囲である。
【０１５９】
図３は、構造３００の外部寸法とそのエッジ相互接続構造を示し、そのエッジ相互接続構造では、側部電極端子３０１、３０５、前部電極端子３０６、後部電極端子３１０が、矩形である構造３００の各側部の一部を形成する。或いは、これらの側部、前部、及び後部電極端子の任意の部分は、不規則な形状、凹状、凸状、テーパ状、円形状のエッジを有するか、又は、丸みが付けられたエッジを有し得る。更に、エッジ相互接続構造は、構造におけるワイヤ線の板とは異なる導電性材料から形成されてもよい。例えば、少なくとも一部のエッジ相互接続構造は、実質的に純粋な金、白金、パラジウム、又はイリジウムといったより価格の高い導電性材料から形成されてもよく、また、構造の内部の少なくとも一部の導電性材料は、実質的にニッケル又は銅から形成されてもよい。
【０１６０】
前部電極端子３０６の中心は、側面３２５より側面３２４の付近に設けられ得る。又は、その反対でも設けられ得る。後部電極端子３１０の中心は、側面３２５より側面３２４の付近に設けられ得る。又は、その反対でも設けられ得る。前部電極端子３０６は、第１の電極板４０２ｂの前部エッジ８２０を覆うことが好適である。後部電極端子３１０は、前部エッジ８２０に形状において対応する上部板４０４ｂの後部エッジを覆うことが好適である。従って、前部電極端子又は後部電極端子が、１つの側部に向かってオフセットにされる場合、非遮蔽電極の電極板の対応するエッジも、電極端子によってそれぞれ覆われたままであるようその１つの側部に向かってオフセットにされることが好適である。
【０１６１】
側部電極端子３０１及び３０５は、前部電極端子３０６と後部電極端子３１０との間に延在する導電性材料を含み得、それにより、側部電極端子３０１、３０５を互いに電気的に接続して、遮蔽電極の板に接続する単一の外部電極端子を形成する。
【０１６２】
誘電性材料は、電極端子３０１、３０５、３０６、３１０の一部分を覆い得る。
【０１６３】
側部電極端子３０１、側部電極３０５、又はこれらの２つの端子を互いに電気的に接続する構造の一部は、前部電極３０６及び後部電極３１０の１つ又は両方の部分に重なり、そして、誘電性材料によってそこから電気的に絶縁され得る。
【０１６４】
後部電極端子の側部から側部への幅３２０は、側部から側部の幅Ｌの９５パーセント未満、好適には、側部から側部への幅Ｌの７０パーセント未満、より好適には、側部から側部への幅Ｌの３０パーセント未満である。側部電極端子導電部分の側部から側部への幅３２２は、ゼロ、側部から側部への幅Ｌの５パーセント未満、側部から側部への幅Ｌの１５パーセント未満、側部から側部への幅Ｌの４０パーセント未満であり得、そして、前部電極３０６と後部電極３１０との間の領域において側部電極端子３０５の導電性部分に相互接続されることが好適である。
【０１６５】
構造３００は、一般的に、３次元的に矩形であるように示される。或いは、構造３００は、側面から側面、又は前部から後部の湾曲を有するアーチ状の主面を有してもよい。
【０１６６】
構造３００は、側部電極端子３０１、３０５の１つが円筒の中心にあり、円筒軸と整列され、側部電極端子のもう１つは、円筒の外周にあり、円筒軸と整列されるコイル状の略円筒構造を形成するような度合いまで曲げられ得る。この代案では、前部電極３０６及び後部電極３１０は、円筒の端にあり、円筒の中心及び外周からはオフセットである。
【０１６７】
構造３００は、側部電極端子３０１、３０５が円筒の両端にあり、前部電極３０６及び後部電極３１０の１つは、円筒の中心にあり、前部電極及び後部電極のもう１つは、構造３００の中間において構造３００の円筒表面の一部を形成する表面部を有するコイル状の略円筒構造を形成するような度合いまで曲げられ得る。この代案では、円筒の中心における前部電極３０６及び後部電極３１０の１つは、円筒の軸に沿って円筒の１つの端に延在する導電路を含むよう変更され、また、円筒の端における側部電極端子３０６、３１０は、中心に位置付けられる端子に接続され、円筒の端まで延在する導電路の一部を囲む絶縁領域があるよう変更される。
【０１６８】
或いは、構造３００は、折り目軸が側部から側部、又は、前部から後部方向に沿ったジグザグ構造の一連の折り目を含んでもよい。
【０１６９】
本発明の任意の実施例の遮蔽電極に接続される接地又はソース或いは電荷のシンクは、遮蔽電極の任意の板の表面領域の少なくとも１、２、３、４、５、６、７、８、９、１０、５０、及び１００倍の表面領域を有することが好適である。
【０１７０】
或いは、構造３００は、前部電極端子３０６と形状及び寸法において類似するが、前面３２６（及び上面並びに底面の部分）に沿って分配される前部電極端子のセットか、及び／又は、背面３２７（及び上面及び底面の部分）に沿って分配される後部電極端子のセットを含んでもよい。或いは、前部電極端子３０６は、又は複数の前部及び後部電極のうちの任意の１つの電極は、構造３００の上面及び底面のいずれか又は両方上の部分を含まなくてもよい。複数の前部又は後部電極の実施例は、少なくとも１つの板において各前部又は後部電極に電気的に接続されることが好適である。
【０１７１】
複数の前部電極実施例は、前部板の各電極に電気的に接続される板の異なるセットを有し得る。同様に、複数の後部電極実施例は、後部板の各電極に電気的に接続される板の異なるセットを有し得る。複数の前部及び後部電極に接続される様々な電極板のセットは、２つ以上の非遮蔽電極を有する構造を提供する。このような複数の端子を有する構造は、複数の負荷又は複数のソースを有し、負荷とそのソースとの間の経路の各対は構造の端子に電気的に接触する回路アーキテクチャに組み込まれることが可能である。従って、１つ、２つ、３つ以上のソース及び／又は、１つ、２つ、３つ以上の負荷が、本発明の構造の全域に接続され得る。
【０１７２】
複数の前部電極実施例は、少なくとも１つの板において、それぞれは同じ電極か又は異なる電極に電気的に接続される複数の板を位置付けられ得る。これらの実施例において、同じ平面における複数の板は、遮蔽電極以外の電極の板であることが好適である。
【０１７３】
図４ｂは、構造４００ｂにおいて、図３に示す電極エッジ相互接続構造及び／又は電極端子に電気的に接続される電極板の一部を示す。図５−８は構造４００ｂの他の面を示す。
【０１７４】
或いは、上述したように、本発明の構造は、各電極に複数の板を含み得る。第１及び第２の電極のそれぞれの少なくとも１つ又は各板では、同様の追加の非遮蔽電極は、前面３２６又は背面３２７の一部を形成する複数のエッジを有し得る。下部電極板前部エッジ８２０及び遷移部８５０、８６０によって形成されるようなタイプのネック部分は、直角を形成し得るか、又は、それらは、エッジ８２０から隅部エッジ入り込み遷移部８９０ａ−ｄまで延在する比較的大きい曲率半径を有して非常に緩やかであり得る。１つの代替の実施例では、遷移部８５０、８６０、及び隅部エッジ入り込み遷移部８９０ａ−ｄは、エッジ８２０をもたらす実質的なネック部分がなくても実質的に円形の主面の形状をした板を形成するよう合わせられる。
【０１７５】
前部エッジ３２６又は後部エッジ３２７から前部エッジ入り込み距離８７０でしめされるようなタイプの引っ込んだ場所は、実質的にゼロから、前部から後部への幅Ｗの約４０パーセント、好適には少なくとも１パーセント、より好適には少なくとも４パーセント、更に、好適には前部から後部への幅Ｗの少なくとも１０パーセントの範囲の及ぶ長さを有し得る。
【０１７６】
距離６３０は、前部エッジ入り込み距離８７０の長さ以下又はより大きい場合がある。距離６３０は、ゼロであっても、板分離距離６３０の少なくとも１倍、より好適には、２、５、１０、又は２０倍であってもよい。非遮蔽電極板は、それらが電極相互接続構造に接続するネック領域以外はその全周囲に沿って隣接する遮蔽電極板に対して引っ込んでいることが好適である。
【０１７７】
前面３２６及び背面３２７からの、下部遮蔽電極前部エッジ距離７７１のような遮蔽電極板の後退距離は、非遮蔽電極板の入り込み距離８７０未満であることが好適である。図８に示す板４０２ｂのエッジ８２０といったように非遮蔽電極板のネックが重なる領域における前面に沿っての距離７７１は、遮蔽電極板と非遮蔽電極板との電気接続を阻止するよう十分でなければならない。一般的に、そのような領域における距離７７１は、少なくとも１ミクロンであり、好適には、少なくとも５ミクロン、また、１０、２０、３０、４０、５０以上のミクロンであってもよい。
【０１７８】
図７は、板４０１ｂ用の矩形遮蔽板電極主面を示す。或いは、前面３２６と背面３２７間の幅は、異なってもよい。この幅は、前面３２６と背面３２７との間の幅が側面３２４、３２５において大きいよう外方に張り出されてもよい。側面３２４、３２５における板４０１ｂの幅は、板の周りの材料７１０の前面から背面までの幅と等しくてもよい。板４０１ｂは、板４０１ｂの主面が、図８に示すネック領域８２０、８５０、８６０のような非遮蔽電極のネック領域に隣接する部分以外の全ての部分において幅Ｗを有する逆ネック状に形成されるよう形作られてもよい。
【０１７９】
図８及び９は、下部及び上部非遮蔽電極端子を図９の線９１０についての鏡像として示す。或いは、これらの板のそれぞれは、エッジ相互接続構造への複数の電気的コンタクトを形成するために１つ以上のネック領域のセットを含み得る。更に、ネック領域は、側面３２４、３２５の間の側面から側面までの長さに沿って様々な場所にあってもよい。更に、ネックは、同じ板上又は異なる板上で互いに異なるネック幅（即ち、８５０と８６０の間の幅）か、又は、異なるエッジ幅（即ち、エッジ８２の長さ）を有してもよい。更に、同じ板上又は異なる板上の様々なネック間で後退距離８７０は、異なり得る。例えば、２つ以上の非遮蔽電極端子を含む実施例では、１つの非遮蔽電極の板は全て同じネック幅と、互いに異なる後退距離を有し得、そして、いずれか又は両方の距離は、互いに異なるか、又は、構造における任意の他の非遮蔽電極の全ての他の板と異なり得る。
【０１８０】
板間で等しい距離を有する構造４０２ｂが示され、また、エネルギー経路として板を表す。しかし、非遮蔽電極及び遮蔽電極の各板は、互いに異なる厚さを有し得、また、上２つの板と下２つの板間の距離は、中心の３つの板間の距離とは異なり得る。
【０１８１】
図１５は、等間隔の層と、表面（例えば、構造の右側の表面）から、また、遮蔽層のエッジに対して等間隔の入り込み部を有する本発明の多層構造１５００を示す。或いは、各層の表面からの入り込み部の距離、遮蔽電極の板のエッジからの非遮蔽電極の板のエッジの入り込み部の長さ、及び、隣接板間の距離は、全て互いに異なり得る。一部の実施例では、上面又は底面のいずれか又は両方に隣接する幾つかの層間の距離は、構造の上面又は底面からより離れた層より、互いにより間隔が離されている。特定数の層の特定の厚さに関する製造要件は、その特定の厚さに見合うよう最終層の厚さを初期の層より厚く又は薄くなるよう調整することを必要とする。加熱といった製造処理が、結果として、最初は全て同じ公称厚さを有する層が、構造の上面又は底面のいずれか又は両方に向かって異なる厚さを有することをもたらし得る。
【０１８２】
多層構造１５００といった構造は、構造４０２ｂについて上述したような同じ特徴、板についての変化、及び全体的な形状を有し得る。
【０１８３】
図１６ａは、構造１６００の１つの断面図を示す。或いは、同じ断面図において、同じ非遮蔽電極の板を互いに接続する、導電ワイヤ線１６１０、１６１１のうちいずれかのみか、又は、２、３、４、５以上の導電ワイヤ線があってもよい。或いは、当然ながら、構造１６００は、例えば、構造１５００におけるように１１個の遮蔽板及び各非遮蔽電極における５個の板といったより大きい数の板、又は、又は、５０、１００、１５０、２００以上といったより多くの層を含んでもよい。より多くの層を有する構造では、各ワイヤ線は、同じ非遮蔽電極の各板に電気的に接続されなくてもよく、また、同じ非遮蔽電極の板を電気的に接続する２、３、４、５、１０、２０、５０以上の導電ワイヤ線があり得る。更に、板の形状におけるバリエーション、及び、構造４０２ｂ及び１５００について上述した後退及び入り込み部に関する限定は、構造１６００のような構造に適用可能である。後退距離、エッジ相互接続構造に対する構造４０２ｂの非遮蔽電極の板のエッジに対し述べた相対距離は、板の面において、構造１５００の非遮蔽電極の板のエッジから遮蔽板−線相互接続１６３０ｂの距離に対応する。
【０１８４】
本発明の構造は、誘電性及び導電性材料の好適なプリカーサ層を置いて続けて加熱することによって、薄膜蒸着、マスキング、及びリソグラフィ技術によって、マイクロ機械加工を含む機械加工技術によって形成され得る。
【０１８５】
回路は、上述した技術によって、また更には、構成要素を互いに及び支持構造に半田付けする、及び、機械的に及び／又は電気的に接続することによって構成され得る。
【０１８６】
１つの回路実施例では、図２に示すにおける接地（又はソース或いは電荷のシンク）６０といった接地（又はソース或いは電荷のシンク）は、側面３２４、３２５の両方において遮蔽電極相互接続構造に電気的に接続される。このような接続は、デバイスＡ及びデバイスＢがデバイスＡ及びデバイスＢのための構造３００の側面３２４、３２５に対応する各側面への接地（又はソース又は電荷のシンク）６０の機械的な接続によってテストされる回路においてなされる。
【０１８７】
上述の開示内容は、本発明の特定の実施例を例示するものである。しかし、発明者は、保護の範囲は、請求項及びその明らかな等価物に基づかせることを意図する。
【図面の簡単な説明】
【０１８８】
【図１】デバイスの挿入損をテストするために使用されるテスト回路を示す図である。
【図２】２つのデバイスに対しログのスイープモードで挿入損の測定を示すグラフである。
【図３】図１の回路を用いてテストされ、また、その挿入損が図２に示されるタイプのデバイスを示す斜視図である。
【図４ａ】図１の回路を用いてテストされ、また、その挿入損が図２に曲線２１０として示され、更に、エッジ相互接続構造及び／又は電極端子に電気的に接触する電極板の部分を示すためにエッジ相互接続構造及び／又は電極端子が取り除かれている、タイプの第１のデバイス構造の一部を示す斜視図である。
【図４ｂ】図１の回路を用いてテストされ、また、その挿入損が図２に曲線２２０として示され、更に、エッジ相互接続構造及び／又は電極端子に電気的に接触する電極板の一部を示すためにエッジ相互接続構造及び／又は電極端子が取り除かれている、タイプの第２のデバイス構造４００ａの一部を示す斜視図である。構造４００ａは、本発明の第１の実施例である。
【図５】電極板４０１ｂ−４０５ｂの配列を示す図４ｂにおける線Ｘ−Ｘについての断面斜視図である。
【図６】電極板４０１ｂ−４０５ｂの配列を示す図４ｂにおける線Ｙ−Ｙについての断面斜視図である。
【図７】図４ｂにおける線Ｚ１−Ｚ１についての断面の平面図である。即ち、３つの遮蔽電極板のうちの一番下の電極板４０１ｂの上面と周りの材料を示す。
【図８】図４ｂにおける線Ｚ２−Ｚ２についての断面の平面図である。即ち、下部の非遮蔽電極板４０２ｂの上面と周りの材料を示す。
【図９】図４ｂにおける線Ｚ４−Ｚ４についての断面の平面図である。即ち、非遮蔽電極板４０４ｂの上面と周りの材料を示す。
【図１０】電極板４０１ａ−４０５ａの配列を示す図４ａにおける線Ｘ−Ｘについての断面斜視図である。
【図１１】電極板４０１ａ−４０５ａの配列を示す図４ｂにおける線Ｙ−Ｙについての断面斜視図である。
【図１２】図４ａにおける線Ｚ１−Ｚ１についての断面の平面図である。即ち、下部の遮蔽電極層４０１ａの上面と周りの材料を示す。
【図１３】図４ａにおける線Ｚ２−Ｚ２についての断面の平面図である。即ち、下部の非遮蔽電極層４０２ａの上面と周りの材料を示す。
【図１４】図４ａにおける線Ｚ４−Ｚ４についての断面の平面図である。即ち、上部の非遮蔽電極層４０４ａの上面と周りの材料を示す。
【図１５】１１個の遮蔽電極の遮蔽板、５個の第１の電極の板、及び５個の第２の電極の板の部分と、本発明の第２の実施例の構造１５００の電極相互接続構造の一部を示す図である。
【図１６ａ】本発明の第３乃至第５の実施例の構造１６００の第１の電極の板を互いに電気的に接続する導電ワイヤ線と第２の電極の板を互いに電気的に接続する導電ワイヤ線とを交差させる面における部分断面概略図である。
【図１６ｂ】構造１６００の遮蔽電極の板を互いに電気的に接続する導電ワイヤ線を交差させる面における部分断面概略図である。
【図１６ｃ】構造１６００の導電ワイヤ線との交差点の場所と任意選択的な開口を示す遮蔽電極の板の表面を示す平面図である。
【図１６ｄ】構造１６００の導電ワイヤ線との交差点と任意選択的な開口を示す非遮蔽電極の板の表面を示す平面図である。
【図１７】２つの電極板と、エネルギー経路線分の例と、最大エネルギー垂直線分を含む２つのエネルギー垂直線分を示す平面図である。
【図１】
2007503732.tif 000004
【図２】
2007503732.tif 000005
【図３】
2007503732.tif 000006
【図４ａ】
2007503732.tif 000007
【図４ｂ】
2007503732.tif 000008
【図５】
2007503732.tif 000009
【図６】
2007503732.tif 000010
【図７】
2007503732.tif 000011
【図８】
2007503732.tif 000012
【図９】
2007503732.tif 000013
【図１０】
2007503732.tif 000014
【図１１】
2007503732.tif 000015
【図１２】
2007503732.tif 000016
【図１３】
2007503732.tif 000017
【図１４】
2007503732.tif 000018
【図１５】
2007503732.tif 000019
【図１６ａ】
2007503732.tif 000020
【図１６ｂ】
2007503732.tif 000021
【図１６ｃ】
2007503732.tif 000022
【図１６ｄ】
2007503732.tif 000023
【図１７】
2007503732.tif 000024
【国際調査報告】
2007503732.tif 000025