【手続補正書】
【提出日】平成28年7月4日(2016.7.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品又は光学部品（７）を基板（３）上に実装する装着装置の装着ヘッド（２）のキネマティック保持システムであって、
前記装着ヘッド（２）を保持する装着ヘッド支持体（１）を備える装着ヘッドガイドデバイス（１８）、及び
前記装着ヘッド支持体（１）に対する前記装着ヘッド（２）の位置合わせを調整する装着ヘッド位置合わせデバイス
を備え、
前記装着ヘッド位置合わせデバイスは継手（４、４’）を含み、該継手（４、４’）によって、前記装着ヘッド（２）が前記装着ヘッド支持体（１）上で傾き調整可能に支持され、前記装着ヘッド位置合わせデバイスは、少なくとも１つの可変長さの保持部材であって、前記装着ヘッド支持体（１）と前記装着ヘッド（２）との間に前記継手（４、４’）から或る距離を置いて配置されるとともに前記装着ヘッド支持体（１）に対する前記装着ヘッド（２）の回動位置を決め、装着動作中に、前記装着ヘッドガイドデバイス（１８）の変形によって生じる前記装着ヘッド（２）の軸誤差（傾斜）を相殺するように、前記基板（３）に対する前記装着ヘッド（２）の押圧力によって生じる前記装着ヘッドガイドデバイス（１８）の前記変形に応じて長さを変更可能である、少なくとも１つの可変長さの保持部材を含む、キネマティック保持システム。
【請求項２】
前記可変長さの保持部材は、前記装着ヘッド（２）の長手方向軸（８）に対して平行に又は横断方向に配置される長手方向軸を有する、請求項１に記載の保持システム。
【請求項３】
前記装着ヘッド（２）は、装着ヘッドコンソール（１１）によって前記装着ヘッド支持体（１）に回動可能に取り付けられ、前記可変長さの保持部材は前記装着ヘッドコンソール（１１）上で支持される、請求項１又は２に記載の保持システム。
【請求項４】
前記装着ヘッド位置合わせデバイスは、継手を介して前記装着ヘッド（２）及び前記装着ヘッド支持体（１）の双方に接続されるとともに前記装着ヘッド（２）を前記装着ヘッド支持体（１）に対して所定の可変位置に保持する複数の継手ロッド（１５ａ、１５ｂ）を含み、該継手ロッド（１５ａ、１５ｂ）の相対位置は、前記装着ヘッド（２）の変形により誘導される軸誤差（傾斜）が相殺されるように、前記可変長さの保持部材によって可変である、請求項１〜３のいずれか一項に記載の保持システム。
【請求項５】
前記可変長さの保持部材は、ばね（１２）の形態の受動要素からなり、該ばね（１２）の形態の受動要素は、前記装着ヘッド支持体（１）と前記装着ヘッド（２）との間に、前記押圧力が前記装着ヘッド支持体（１）によって一方では前記継手（４）を介して、他方では前記ばね（１２）を介して前記装着ヘッド（２）に伝達されるように配置され、前記押圧力によって生成される反力は前記ばね（１２）の長さの変化をもたらす、請求項１〜４のいずれか一項に記載の保持システム。
【請求項６】
前記可変長さの保持部材は、移動が制御されるか又は力が制御されるアクチュエーター（１３）からなる、請求項１〜４のいずれか一項に記載の保持システム。
【請求項７】
前記アクチュエーター（１３）は、電動直接駆動装置、ボイスコイル又はピエゾ駆動装置を含む、請求項６に記載の保持システム。
【請求項８】
前記アクチュエーター（１３）は、レバー機構又はギアを介して前記装着ヘッド（２）の軸方向位置に作用する、請求項６又は７に記載の保持システム。
【請求項９】
前記装着ヘッド位置合わせデバイスは、前記装着ヘッド支持体（１）に対する前記装着ヘッド（２）の相対移動を阻止する移動阻止デバイスを含む、請求項１〜８のいずれか一項に記載の保持システム。
【請求項１０】
前記アクチュエーター（１３）はロック可能なアクチュエーター（１３）として形成される、請求項６〜９のいずれか一項に記載の保持システム。
【請求項１１】
前記装着ヘッド（２）の上端領域又は下端領域が前記装着ヘッド支持体（１）上で振り子状に懸架され、前記装着ヘッド（２）は少なくとも１つの回転自由度を有する継手（４、４’）によってＺ方向に支持され、前記装着ヘッド支持体（１）に対する前記装着ヘッド（２）の傾きを調整する前記少なくとも１つの可変長さの保持部材が、前記継手（４、４’）の下又は上に設けられる、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の保持システム。
【請求項１２】
前記継手（４、４’）は、単軸継手、玉継手又は自在継手として構成される、請求項１１に記載の保持システム。
【請求項１３】
前記装着ヘッド（２）が空間内で多次元に回動することができるように、前記装着ヘッド（２）に対して異なる方向から作用するように配置される複数の可変長さの保持部材が設けられる、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の保持システム。
【請求項１４】
電子部品又は光学部品（７）を基板（３）上に実装する装着装置の装着ヘッド（２）のキネマティック保持システムであって、
前記装着ヘッド（２）を保持する装着ヘッド支持体（１）を備える装着ヘッドガイドデバイス（１８）、及び
前記装着ヘッド支持体（１）に対する前記装着ヘッド（２）の位置合わせを調整する装着ヘッド位置合わせデバイスを備え、前記装着ヘッド位置合わせデバイスは固体継手（２０）を含み、該継手（２０）によって、前記装着ヘッド（２）が前記装着ヘッド支持体（１）上で傾き調整可能に支持され、前記固体継手（２０）は、前記装着ヘッド支持体（１）に強固に接続されている少なくとも１つの第１の固体継手アーム（２２）を有する少なくとも１つの固体継手要素（２１）と、前記装着ヘッド（２）に強固に接続されているとともに、前記少なくとも１つの第１の固体継手アーム（２２）に弾性的に接続されている少なくとも１つの第２の固体継手（２３）を含み、該少なくとも１つの第２の固体継手アーム（２３）は、前記装着ヘッドガイドデバイス（１８）の変形によって生じる前記装着ヘッド（２）の軸誤差（傾斜）を相殺するように、前記基板（３）に対する前記装着ヘッド（２）の押圧力によって生じる前記装着ヘッドガイドデバイス（１８）の変形に応じて、前記少なくとも１つの第１の固体継手アーム（２２）に対して弾性変形可能である、キネマティック保持システム。
【請求項１５】
前記固体継手要素（２１）は、２つの第１の固体継手アーム（２２）と１つの第２の継手アーム（２３）を備え、該２つの第１の固体継手アーム（２２）は互いに平行に延び、前記装着ヘッド（２）の反対側に配置され、前記装着ヘッド（２）から横方向に離間し、かつ端部側が横行アーム（２４）によって互いに接続されており、また、前記固体継手要素（２１）は、前記２つの第１の固体継手アーム（２２）間の中央に配置されているとともに前記横行アーム（２４）にも接続されている、請求項１４に記載のキネマティック保持システム。
【請求項１６】
前記固体継手（２０）の回転軸（２６）が、変形回転軸（２５）に対して配置され、該変形回転軸（２５）を中心に、前記固体継手（２０）の前記回転軸（２６）及び前記変形回転軸（２５）を通る直線（１）が、前記装着ヘッド（２）の無負荷状態及び負荷状態において、前記変形回転軸（２５）が配置される水平面（ｈ）に対して−４５°〜＋４５°の角度範囲にあるように、前記押圧力に反応して前記装着ヘッドガイドデバイス（１８）の変形が生じる、請求項１４又は１５に記載の保持システム。
【請求項１７】
前記固体継手（２０）の前記回転軸（２６）は前記装着ヘッド（２）の無負荷状態では前記変形回転軸（２５）の下に配置され、全装着力下では前記変形回転軸（２５）の上に配置される、請求項１６に記載の保持システム。