【手続補正書】
【提出日】平成28年2月9日(2016.2.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定波長のレーザ光を射出するレーザ光源部と、前記レーザ光を用いて被走査体を走査する走査部と、を少なくとも有する走査機構が配設される第１のベースと、
前記第１のベースの前記走査機構が配設された面と対向する面側に位置し、前記第１のベースから熱的に分離された第２のベースと、
前記第１のベースと前記第２のベースとの間に設けられ、前記走査機構の温度を調節する温度調節機構と、
を備える、走査ユニット。
【請求項２】
前記第２のベースの前記第１のベース側の面と対向する面側には、前記温度調節機構及び前記第２のベースによる前記走査機構からの排熱を系外へと排出する排熱部が設けられる、請求項１に記載の走査ユニット。
【請求項３】
前記排熱部は、前記排熱を系外へと排出する空冷ファンを少なくとも有する、請求項２に記載の走査ユニット。
【請求項４】
前記排熱部は、前記第２のベースに配設された、前記排熱を放散させるヒートシンクを更に有し、
前記空冷ファンは、前記ヒートシンクにより放散された前記排熱を系外へと排出する、請求項３に記載の走査ユニット。
【請求項５】
前記温度調節機構は、前記第１のベースから前記第２のベースへと向かう方向に沿って複数重ねて配設される、請求項１〜４の何れか１項に記載の走査ユニット。
【請求項６】
所定の断熱材からなる断熱壁を介して、前記被走査体が載置される被走査体載置ユニットに接続される、請求項１〜５の何れか１項に記載の走査ユニット。
【請求項７】
前記温度調節機構は、ペルチェ素子、ヒートパイプ又は熱伝導シートの少なくとも何れかである、請求項１〜６の何れか１項に記載の走査ユニット。
【請求項８】
前記レーザ光源部におけるレーザ光源は、半導体レーザと共振器とから構成される主発振器である、請求項１〜７の何れか１項に記載の走査ユニット。
【請求項９】
前記レーザ光源部におけるレーザ光源は、半導体レーザと共振器とから構成される主発振器と、当該主発振器からのレーザ光を増幅する光増幅器と、から構成される主発振器出力増幅器（Ｍａｓｔｅｒ  Ｏｓｃｉｌｌａｔｏｒ  Ｐｏｗｅｒ  Ａｍｐｌｉｆｉｅｒ：ＭＯＰＡ）である、請求項１〜７の何れか１項に記載の走査ユニット。
【請求項１０】
前記レーザ光源部におけるレーザ光源は、半導体レーザと共振器とから構成される主発振器と、当該主発振器からのレーザ光を増幅する光増幅器と、増幅された前記レーザ光の波長を変換する波長変換部と、を有する光源である、請求項１〜７の何れか１項に記載の走査ユニット。
【請求項１１】
所定波長のレーザ光を射出するレーザ光源部、及び、前記レーザ光を用いて被走査体を走査する走査部を少なくとも有する走査機構が配設される第１のベースと、前記第１のベースの前記走査機構が配設された面と対向する面側に位置し、前記第１のベースから熱的に分離された第２のベースと、前記第１のベースと前記第２のベースとの間に設けられ、前記走査機構の温度を調節する温度調節機構と、を有する走査ユニットと、
前記走査ユニットからの前記レーザ光を所定位置に載置された前記被走査体に集光させる集光光学系を少なくとも有し、前記走査ユニットとは熱的に分離された顕微鏡ユニットと、
を備える、レーザ走査型顕微鏡。
【請求項１２】
所定波長のレーザ光を射出するレーザ光源部と、前記レーザ光を用いて被走査体を走査する走査部と、を少なくとも有する走査機構を第１のベースに配設するとともに、前記第１のベースの前記走査機構が配設された面と対向する面側に、前記第１のベースから熱的に分離された第２のベースを設けることと、
前記第１のベースと前記第２のベースとの間に設けた温度調節機構により、前記走査機構の温度を調節することと、
を含む、温度調節方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
図２Ａは、レーザ光源部１０３に適用可能な半導体レーザの一例である、半導体レーザと共振器とから構成される主発振器１１１を模式的に示したものである。レーザ光源部１０３として設けられる主発振器１１１は、所定波長（例えば、波長４０５ｎｍ）のレーザ光を射出可能な半導体レーザユニット１１３と、半導体レーザユニット１１３から射出されたレーザ光を増幅させるための共振器部１１５と、から構成されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
図２Ｂは、レーザ光源部１０３に適用可能な半導体レーザの一例である、主発振器と光増幅器とを有する光源である主発振器出力増幅器（Ｍａｓｔｅｒ  Ｏｓｃｉｌｌａｔｏｒ  Ｐｏｗｅｒ  Ａｍｐｌｉｆｉｅｒ：ＭＯＰＡ）を、模式的に示したものである。かかる光源では、図２Ａに示した主発振器１１１の後段に、射出されたレーザ光を更に増幅させるための光増幅器１１７が設けられている。光増幅器１１７としては、例えば、半導体光増幅器（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｏｐｉｃａｌ  Ａｍｐｌｉｆｉｅｒ：ＳＯＡ）等を好適に用いることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
図２Ｃは、レーザ光源部１０３に適用可能な半導体レーザの一例である、ＭＯＰＡと波長変換部とを有する光源を、模式的に示したものである。かかる光源では、図２Ｂに示した光増幅器１１７の後段に、強度が増幅されたレーザ光の波長を変換するための波長変換部１１９が設けられている。波長変換部１１９としては、例えば、各種の非線形結晶を用いた光パラメトリック発振器（Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｐａｒａｍｅｔｒｉｃ  Ｏｓｃｉｌａｔｏｒ：ＯＰＯ）等を好適に用いることができる。また、光増幅器１１７と波長変換部１１９の間に、図２Ｄに示したように、レーザ光のビーム形状を補正するビーム形状補正部１２１を設けて、波長変換部１１９における波長変換効率を更に向上させてもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９３】
なお、以下のような構成も本開示の技術的範囲に属する。
（１）
所定波長のレーザ光を射出するレーザ光源部と、前記レーザ光を用いて被走査体を走査する走査部と、を少なくとも有する走査機構が配設される第１のベースと、
前記第１のベースの前記走査機構が配設された面と対向する面側に位置し、前記第１のベースから熱的に分離された第２のベースと、
前記第１のベースと前記第２のベースとの間に設けられ、前記走査機構の温度を調節する温度調節機構と、
を備える、走査ユニット。
（２）
前記第２のベースの前記第１のベース側の面と対向する面側には、前記温度調節機構及び前記第２のベースによる前記走査機構からの排熱を系外へと排出する排熱部が設けられる、（１）に記載の走査ユニット。
（３）
前記排熱部は、前記排熱を系外へと排出する空冷ファンを少なくとも有する、（２）に記載の走査ユニット。
（４）
前記排熱部は、前記第２のベースに配設された、前記排熱を放散させるヒートシンクを更に有し、
前記空冷ファンは、前記ヒートシンクにより放散された前記排熱を系外へと排出する、（３）に記載の走査ユニット。
（５）
前記温度調節機構は、前記第１のベースから前記第２のベースへと向かう方向に沿って複数重ねて配設される、（１）〜（４）の何れか１つに記載の走査ユニット。
（６）
所定の断熱材からなる断熱壁を介して、前記被走査体が載置される被走査体載置ユニットに接続される、（１）〜（５）の何れか１つに記載の走査ユニット。
（７）
前記温度調節機構は、ペルチェ素子、ヒートパイプ又は熱伝導シートの少なくとも何れかである、（１）〜（６）の何れか１つに記載の走査ユニット。
（８）
前記レーザ光源部におけるレーザ光源は、半導体レーザと共振器とから構成される主発振器である、（１）〜（７）の何れか１つに記載の走査ユニット。
（９）
前記レーザ光源部におけるレーザ光源は、半導体レーザと共振器とから構成される主発振器と、当該主発振器からのレーザ光を増幅する光増幅器と、から構成される主発振器出力増幅器（Ｍａｓｔｅｒ  Ｏｓｃｉｌｌａｔｏｒ  Ｐｏｗｅｒ  Ａｍｐｌｉｆｉｅｒ：ＭＯＰＡ）である、（１）〜（７）の何れか１つに記載の走査ユニット。
（１０）
前記レーザ光源部におけるレーザ光源は、半導体レーザと共振器とから構成される主発振器と、当該主発振器からのレーザ光を増幅する光増幅器と、増幅された前記レーザ光の波長を変換する波長変換部と、を有する光源である、（１）〜（７）の何れか１つに記載の走査ユニット。
（１１）
所定波長のレーザ光を射出するレーザ光源部、及び、前記レーザ光を用いて被走査体を走査する走査部を少なくとも有する走査機構が配設される第１のベースと、前記第１のベースの前記走査機構が配設された面と対向する面側に位置し、前記第１のベースから熱的に分離された第２のベースと、前記第１のベースと前記第２のベースとの間に設けられ、前記走査機構の温度を調節する温度調節機構と、を有する走査ユニットと、
前記走査ユニットからの前記レーザ光を所定位置に載置された前記被走査体に集光させる集光光学系を少なくとも有し、前記走査ユニットとは熱的に分離された顕微鏡ユニットと、
を備える、レーザ走査型顕微鏡。
（１２）
所定波長のレーザ光を射出するレーザ光源部と、前記レーザ光を用いて被走査体を走査する走査部と、を少なくとも有する走査機構を第１のベースに配設するとともに、前記第１のベースの前記走査機構が配設された面と対向する面側に、前記第１のベースから熱的に分離された第２のベースを設けることと、
前記第１のベースと前記第２のベースとの間に設けた温度調節機構により、前記走査機構の温度を調節することと、
を含む、温度調節方法。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９４】
１００    走査ユニット
１０１    走査機構
１０３    レーザ光源部
１０５    走査部
１０７    走査制御部
１１１    主発振器
１１３    半導体レーザユニット
１１５    共振器部
１１７    光増幅部
１１９    波長変換部
１２１    ビーム形状補正部
１５０    ベースプレート（第１のベース）
１５１    サブベースプレート
１６０    ヒートベース（第２のベース）
１７０    温度調節機構
１７１    ヒートパイプ
１７３    円筒形カラム
１８０    排熱部
１８１    空冷ファン
１８３    ヒートシンク
２００    顕微鏡ユニット
３００    断熱壁
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２Ａ】
2015152831.tif 000001
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２Ｂ】
2015152831.tif 000002
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２Ｃ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２Ｃ】
2015152831.tif 000003
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２Ｄ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２Ｄ】
2015152831.tif 000004