【手続補正書】
【提出日】平成28年9月27日(2016.9.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学部材の射出面側に液浸空間を形成するとともに、基板の一部を覆う前記液浸空間の液体を介して前記光学部材からの露光光を基板に照射する露光装置であって、
前記露光光が通過する前記液浸空間を形成すると共に、少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材と、
前記光学部材の光軸に垂直な方向に、前記可動部材を移動させる移動装置と
前記基板を保持する保持部と、前記保持部に保持された前記基板の周囲に、前記基板の上面と同一面内に位置するように設けられた上面とを有し、前記液浸部材の下方で移動可能な基板ステージと
を備え、
前記液浸部材は、前記基板の上面及び前記基板ステージの上面の少なくとも一方と、前記可動部材との間に前記液浸空間を形成可能であり、
前記基板ステージの移動中に、前記基板の上面と前記基板ステージの上面との間隙上に前記液浸空間が形成されないように、前記移動装置により前記光軸に垂直な方向に前記可動部材を移動可能な露光装置。
【請求項２】
光学部材の射出面側に液浸空間を形成するとともに、基板の一部を覆う前記液浸空間の液体を介して前記光学部材からの露光光を基板に照射する露光装置であって、
前記露光光が通過する前記液浸空間を形成すると共に、少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材と、
前記光学部材の光軸に垂直な方向に、前記可動部材を移動させる移動装置と
前記基板を保持する保持部と、前記保持部に保持された前記基板の周囲に、前記基板の上面と同一面内に位置するように設けられた上面とを有し、前記液浸部材の下方で移動可能な基板ステージと
を備え、
前記液浸部材は、前記基板の上面及び前記基板ステージの上面の少なくとも一方と、前記可動部材との間に前記液浸空間を形成可能であり、
前記基板の上面と前記基板ステージの上面との間隙が前記液浸空間の界面の一部に近づくように前記基板ステージが前記光軸に垂直な第１方向に移動しているときに、前記移動装置により前記第１方向の成分を含む方向に前記可動部材を移動可能な露光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０３４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０３４７】
上述の各実施形態の要件は、適宜組み合わせることができる。上述の各実施形態の要件のうちの一部が用いられなくてもよい。また、法令で許容される限りにおいて、上述の各実施形態で引用した露光装置等に関する全ての公開公報及び米国特許の開示を援用して本文の記載の一部とする。
以上、本明細書で説明した実施形態について、以下の付記を更に記載する。
［付記１］
光学部材から液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光装置であって、
前記露光光が通過する前記液浸空間を形成すると共に、少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材と、
前記可動部材を移動させる移動装置と
を備え、
前記可動部材の少なくとも一部は、前記光学部材の下方で移動可能な第１物体の少なくとも一部に対向し、
前記移動装置は、前記第１物体が前記可動部材の少なくとも一部の下方で前記光学部材の光軸に垂直な方向成分を含む方向に沿って移動する第１期間の少なくとも一部において、前記光軸に垂直な方向成分を含む方向に沿って前記可動部材を移動させる露光装置。
［付記２］
前記可動部材は、少なくとも一部が前記第１物体の少なくとも一部に対向する下面を備え、
前記移動装置は、前記第１物体の上面の少なくとも一部が前記下面の少なくとも一部に対向しながら前記第１物体が前記光軸に垂直な方向成分を含む方向に沿って移動する前記第１期間の少なくとも一部において、前記光軸に垂直な方向成分を含む方向に沿って前記可動部材を移動させる付記１に記載の露光装置。
［付記３］
前記第１物体は、前記基板を含む付記１又は２に記載の露光装置。
［付記４］
前記基板の上面の少なくとも一部は、夫々が前記露光光によって露光される複数の露光領域を備えており、
前記複数の露光領域は、前記光軸に垂直な第１方向成分を含む第１方向に向かって前記基板が移動する期間の少なくとも一部において前記露光光によって露光される第１領域を含んでおり、
前記第１期間は、前記第１領域が前記露光光によって露光される第２期間の少なくとも一部を含む付記３に記載の露光装置。
［付記５］
前記移動装置は、前記第２期間のうち前記第１領域に対する露光が開始されてから第１時間が経過した後の期間において、前記移動部材を移動させる付記４に記載の露光装置。
［付記６］
前記移動装置は、前記第１領域に対する露光が開始されてから前記第１時間が経過した後に前記移動部材の移動を開始する付記５に記載の露光装置。
［付記７］
前記移動装置は、前記第１領域に対する露光が開始されてから前記第１時間が経過するまでは前記移動部材を移動させない付記５又は６に記載の露光装置。
［付記８］
前記移動装置は、前記可動部材を、前記第１方向成分を含む第２方向に向かって移動させる付記４に記載の露光装置。
［付記９］
前記移動装置は、前記第２期間のうち前記第１領域に対する露光が開始されてから第１時間が経過した後の期間において、前記第２方向に向かって前記移動部材を移動させる付記８に記載の露光装置。
［付記１０］
前記移動装置は、前記第１領域に対する露光が開始されてから前記第１時間が経過した後に前記第２方向に向かう前記移動部材の移動を開始する付記９に記載の露光装置。
［付記１１］
前記移動装置は、前記第１領域に対する露光が開始されてから前記第１時間が経過するまでは、前記第２方向に向かって前記移動部材を移動させない付記９又は１０に記載の露光装置。
［付記１２］
前記複数の露光領域は、前記第１領域に対する露光が終了した後の期間であって、且つ、前記第１方向成分とは逆向きである前記光軸に垂直な第２方向成分を含む第３方向に向かって前記基板が移動する期間の少なくとも一部において前記露光光によって露光される第２領域を含んでおり、
前記第１期間は、前記第１領域に対する露光が終了してから前記第２領域に対する露光が開始されるまでの間の第３期間の少なくとも一部を含む付記４から１１のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記１３］
前記移動装置は、前記第３期間の少なくとも一部において、前記可動部材を、前記光軸、前記第１方向成分及び前記第２方向成分の夫々に垂直な第３方向成分を含む第４方向に向かって移動させる付記１２に記載の露光装置。
［付記１４］
前記移動装置は、前記第２期間の少なくとも一部において、前記可動部材を、前記第３方向成分とは逆向きである前記光軸に垂直な第４方向成分を含む第５方向に向かって移動させる付記１３に記載の露光装置。
［付記１５］
前記第１物体の移動態様に基づいて、前記可動部材を移動させる移動タイミングを決定する付記１から１４のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記１６］
前記第１物体が所定態様で移動した時点で前記可動部材の移動を開始するように前記移動タイミングを決定する付記１５に記載の露光装置。
［付記１７］
前記第１物体が所定位置に到達した時点で前記可動部材の移動を開始するように前記移動タイミングを決定する付記１５又は１６に記載の露光装置。
［付記１８］
前記可動部材は第１液体回収口を備える付記１から１７のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記１９］
前記第１液体回収口による液体回収の態様に基づいて、前記可動部材を移動させる移動タイミングを決定する付記１８に記載の露光装置。
［付記２０］
前記液体回収における回収量及び回収圧の両方又は一方が所定条件を満たした時点で前記可動部材の移動を開始するように前記移動タイミングを決定する付記１９に記載の露光装置。
［付記２１］
前記液浸空間の界面の少なくとも一部と前記第１液体回収口の少なくとも一部との間の位置関係に基づいて、前記可動部材を移動させる移動タイミングを決定する付記１８から２０のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記２２］
前記第１物体の移動方向に沿った前方側に位置する前記界面の少なくとも一部と前記第１物体の移動方向に沿った前方側に位置する前記第１液体回収口の少なくとも一部との間の位置関係に基づいて、前記移動タイミングを決定する付記２１に記載の露光装置。
［付記２３］
前記界面の少なくとも一部と前記第１液体回収口の少なくとも一部との間の位置関係が所定関係になると推定される時点で前記可動部材の移動を開始するように、前記移動タイミングを決定する付記２１又は２２に記載の露光装置。
［付記２４］
前記界面の少なくとも一部が前記第１液体回収口の少なくとも一部に到達すると推定される、前記界面の少なくとも一部が前記第１液体回収口の少なくとも一部に到達してから第２時間が経過したと推定される又は前記界面の少なくとも一部が前記第１液体回収口の少なくとも一部に到達するまでに要する時間が第３時間未満であると推定される時点で前記可動部材の移動を開始するように、前記移動タイミングを決定する付記２１から２３のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記２５］
前記第１物体の移動態様及び前記第１液体回収口による液体回収の態様の両方又は一方に基づいて、前記界面の少なくとも一部の間の位置を推定する付記２１から２４のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記２６］
前記第１物体の移動態様及び前記第１液体回収口による液体回収の態様の両方又は一方に基づいて、前記界面の少なくとも一部と前記第１液体回収口の少なくとも一部との間の位置関係を推定する付記２１から２５のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記２７］
前記移動装置は、前記光軸に対して前記第１液体回収口の外周端部の内側に前記液浸空間の界面が位置するように、前記可動部材を移動させる付記１８から２６のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記２８］
前記移動装置は、前記第１物体の移動方向に沿った前方側に位置する前記第１液体回収口の外周端部の内側に、前記第１物体の移動方向に沿った前方側に位置する前記界面の少なくとも一部が位置するように、前記可動部材を移動させる付記２７に記載の露光装置。
［付記２９］
前記移動装置は、前記可動部材を、前記第１物体の移動方向と同一の方向に向かって移動させる付記１から２８のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記３０］
前記移動装置は、前記第１物体上の又は第１物体と前記光学部材の下方で移動可能な第２物体との間の所定箇所と前記液浸部材の少なくとも一部との間の位置関係に応じて定まる第４期間の少なくとも一部において、前記可動部材の移動態様を調整する付記１から２９のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記３１］
前記第４期間は、前記所定箇所と前記液浸部材の少なくとも一部との間の距離が第１距離以下となる期間を含む付記３０に記載の露光装置。
［付記３２］
前記第４期間は、前記液浸部材の少なくとも一部が前記所定箇所の上方を通過する期間を含む付記３０又は３１に記載の露光装置。
［付記３３］
前記移動装置は、前記移動態様を調整する場合には、前記移動態様を調整しないと仮定した場合と比較して、前記可動部材の前記第１物体に対する相対速度が小さくなるように、前記可動部材の移動態様を調整する付記３０から３２のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記３４］
前記移動装置は、前記移動態様を調整する場合には、前記移動態様を調整しないと仮定した場合の前記可動部材の位置を基準として、前記第１物体の移動方向とは異なる又は逆の方向に向かって前記可動部材が付加的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記３０から３３のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記３５］
前記移動装置は、前記第１物体に対して、前記第１物体の移動方向とは異なる又は逆の方向に向かって前記可動部材が相対的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記３０から３４のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記３６］
前記移動装置は、前記移動態様を調整する場合には、前記移動態様を調整しないと仮定場合の前記可動部材の位置を基準として、前記第１物体の移動方向と同一の方向に向かって前記可動部材が付加的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記３０から３５のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記３７］
前記移動装置は、前記第１物体に対して、前記第１物体の移動方向と同一の方向に向かって前記可動部材が相対的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記３０から３６のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記３８］
前記可動部材は第２液体回収口を備える付記３０から３７のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記３９］
前記第４期間は、前記所定箇所と前記第２液体回収口の少なくとも一部との間の位置関係に応じて定まる期間を含む付記３８に記載の露光装置。
［付記４０］
前記第４期間は、前記所定箇所と前記第２液体回収口の少なくとも一部との間の距離が第２距離以下となる期間を含む付記３８又は３９に記載の露光装置。
［付記４１］
前記第４期間は、前記第２液体回収口の少なくとも一部が前記所定箇所の上方を通過する期間を含む付記３８から４０のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記４２］
前記第４期間は、前記第１物体の移動方向に沿った前方側又は後方側に位置する前記第２液体回収口の少なくとも一部が前記所定箇所の上方を通過する期間を含む付記３８から４１のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記４３］
前記移動装置は、前記移動態様を調整する場合には、前記移動態様を調整しないと仮定した場合の前記第２液体回収口の少なくとも一部の位置を基準として、前記第１物体の移動方向とは異なる又は逆の方向に向かって前記第２液体回収口の少なくとも一部が付加的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記３８から４２のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記４４］
前記移動装置は、前記第１物体に対して、前記第１物体の移動方向とは異なる又は逆の方向に向かって前記第２液体回収口の少なくとも一部が相対的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記３８から４３のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記４５］
前記移動装置は、前記移動態様を調整する場合には、前記移動態様を調整しないと仮定した場合の前記第２液体回収口の少なくとも一部の位置を基準として、前記第１物体の移動方向と同一の方向に向かって前記第２液体回収口の少なくとも一部が付加的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記３８から４４のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記４６］
前記移動装置は、前記第１物体に対して、前記第１物体の移動方向と同一の方向に向かって前記第２液体回収口の少なくとも一部が相対的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記３８から４５のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記４７］
前記第４期間は、前記所定箇所と前記液浸空間の界面の少なくとも一部との間の位置関係に応じて定まる期間を含む付記３０から４６のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記４８］
前記第４期間は、前記所定箇所と前記液浸空間の界面の少なくとも一部との間の距離が第３距離以下となる期間を含む付記３０から４７のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記４９］
前記第４期間は、前記液浸空間の界面の少なくとも一部が前記所定箇所の上方を通過する期間を含む付記３０から４８のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記５０］
前記所定期間は、前記第１物体の移動方向に沿った前方側又は後方側に位置する前記液浸空間の界面の少なくとも一部が前記所定箇所の上方を通過する期間を含む付記３０から４９のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記５１］
前記移動装置は、前記移動態様を調整する場合には、前記移動態様を調整しないと仮定場合の前記液浸空間の界面の少なくとも一部の位置を基準として、前記第１物体の移動方向とは異なる又は逆の方向に向かって前記界面の少なくとも一部が付加的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記３０から５０のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記５２］
前記移動装置は、前記第１物体に対して、前記第１物体の移動方向とは異なる又は逆の方向に向かって前記液浸空間の界面の少なくとも一部が相対的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記３０から５１のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記５３］
前記移動装置は、前記移動態様を調整する場合には、前記移動態様を調整しないと仮定場合の前記液浸空間の界面の少なくとも一部の位置を基準として、前記第１物体の移動方向と同一の方向に向かって前記界面の少なくとも一部が付加的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記３０から５２のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記５４］
前記移動装置は、前記第１物体に対して、前記第１物体の移動方向と同一の方向に向かって前記液浸空間の界面の少なくとも一部が相対的に移動するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記３０から５３のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記５５］
前記移動装置は、前記移動態様を調整する場合には、前記移動態様を調整しないと仮定した場合の前記液浸空間の界面の少なくとも一部の位置を基準として、前記光軸に対して前記界面の少なくとも一部が内側又は外側に位置することになるように、前記可動部材の移動態様を調整する付記３０から５４のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記５６］
前記移動装置は、前記光軸に対して前記界面の少なくとも一部が前記所定箇所よりも内側又は外側に位置するように、前記可動部材の移動態様を調整する付記３０から５５のいずれか一項に記載の露光装置。
［付記５７］
液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光装置であって、
前記露光光が通過する前記液浸空間を形成すると共に、少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材と、
前記可動部材を移動させる移動装置と
を備え、
前記可動部材は第１液体回収口を備え、
前記第１液体回収口による液体回収の態様に基づいて、前記可動部材を移動させる移動タイミングを決定する露光装置。
［付記５８］
液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光装置であって、
前記露光光が通過する前記液浸空間を形成すると共に、少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材と、
前記可動部材を移動させる移動装置と
を備え、
前記可動部材は第１液体回収口を備え、
前記液浸空間の界面の少なくとも一部と前記第１液体回収口の少なくとも一部との間の位置関係に基づいて、前記可動部材を移動させる移動タイミングを決定する露光装置。
［付記５９］
光学部材から液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光装置であって、
前記露光光が通過する前記液浸空間を形成すると共に、少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材と、
前記可動部材を移動させる移動装置と
を備え、
前記移動装置は、前記光学部材の下方で移動可能な第１物体上の又は前記第１物体と前記光学部材の下方で移動可能な第２物体との間の所定箇所と前記液浸部材の少なくとも一部との間の位置関係に応じて定まる第４期間の少なくとも一部において、前記可動部材の移動態様を調整する露光装置。
［付記６０］
液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光装置であって、
前記露光光が通過する前記液浸空間を形成すると共に、少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材と、
前記可動部材を移動させる移動装置と
を備え、
前記移動装置は、前記光学部材の下方で移動可能な第１物体上の又は前記第１物体と前記光学部材の下方で移動可能な第２物体との間の所定箇所の上方を前記液浸部材の少なくとも一部が通過する期間の少なくとも一部において、前記所定箇所の上方を前記液浸部材の少なくとも一部が通過する前と比較して、前記可動部材の前記第１物体に対する相対速度が小さくなるように、前記可動部材を移動させる露光装置。
［付記６１］
液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光装置であって、
前記露光光が通過する前記液浸空間を形成すると共に、少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材と、
前記可動部材を移動させる移動装置と
を備え、
前記移動装置は、前記第１物体に対して、前記第１物体の移動方向と同一の又は異なる若しくは逆の方向に向かって前記可動部材が相対的に移動するように、前記可動部材を移動させる露光装置。
［付記６２］
光学部材から液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光方法であって、
少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材を用いて、前記露光光が通過する前記液浸空間を形成することと、
前記可動部材を移動させることと
を備え、
前記可動部材の少なくとも一部は、前記光学部材の下方で移動可能な第１物体の少なくとも一部に対向し、
前記可動部材を移動させることは、前記第１物体が前記可動部材の少なくとも一部の下方で前記光学部材の光軸に垂直な方向成分を含む方向に沿って移動する第１期間の少なくとも一部において、前記光軸に垂直な方向成分を含む方向に沿って前記可動部材を移動させることを含む露光方法。
［付記６３］
液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光方法であって、
少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材を用いて、前記露光光が通過する前記液浸空間を形成することと、
前記可動部材を移動させることと
を備え、
前記可動部材は第１液体回収口を備え、
前記露光方法は、前記第１液体回収口による液体回収の態様に基づいて、前記可動部材を移動させる移動タイミングを決定することを備える露光方法。
［付記６４］
液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光方法であって、
少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材を用いて、前記露光光が通過する前記液浸空間を形成することと、
前記可動部材を移動させることと
を備え、
前記可動部材は第１液体回収口を備え、
前記露光方法は、前記液浸空間の界面の少なくとも一部と前記第１液体回収口の少なくとも一部との間の位置関係に基づいて、前記可動部材を移動させる移動タイミングを決定することを備える露光方法。
［付記６５］
光学部材から液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光方法であって、
少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材を用いて、前記露光光が通過する前記液浸空間を形成することと、
前記可動部材を移動させることと
を備え、
前記可動部材を移動させることは、前記光学部材の下方で移動可能な第１物体上の又は前記第１物体と前記光学部材の下方で移動可能な第２物体との間の所定箇所と前記液浸部材の少なくとも一部との間の位置関係に応じて定まる第４期間の少なくとも一部において、前記可動部材の移動態様を調整することを含む露光方法。
［付記６６］
液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光方法であって、
少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材を用いて、前記露光光が通過する前記液浸空間を形成することと、
前記可動部材を移動させることと
を備え、
前記可動部材を移動させることは、前記光学部材の下方で移動可能な第１物体上の又は前記第１物体と前記光学部材の下方で移動可能な第２物体との間の所定箇所の上方を前記液浸部材の少なくとも一部が通過する期間の少なくとも一部において、前記所定箇所の上方を前記液浸部材の少なくとも一部が通過する前と比較して、前記可動部材の前記第１物体に対する相対速度が小さくなるように、前記可動部材を移動させることを含む露光方法。
［付記６７］
液浸空間を介して照射される露光光を用いて基板を露光する露光方法であって、
少なくとも一部が移動可能な可動部材である液浸部材を用いて、前記露光光が通過する前記液浸空間を形成することと、
前記可動部材を移動させることと
を備え、
前記可動部材を移動させることは、前記第１物体に対して、前記第１物体の移動方向と同一の又は異なる若しくは逆の方向に向かって前記可動部材が相対的に移動するように、前記可動部材を移動させることを含む露光方法。
［付記６８］
付記１から６１のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと
を備えるデバイス製造方法。
［付記６９］
付記６２から６７のいずれか一項に記載の露光方法を用いて基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと
を備えるデバイス製造方法。