【手続補正書】
【提出日】平成28年9月30日(2016.9.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態に係る基板洗浄装置を備えた基板処理装置の全体構成を示す平面図である。
【図２】第２洗浄ユニットに使用されている本発明の実施形態に係る基板洗浄装置を示す斜視図である。
【図３】基板洗浄装置の構造の一実施形態を示す模式図である。
【図４】液体供給弁および液体吸引弁の開閉状態を示すグラフである。
【図５】図４に示すタイミングで液体供給弁および液体吸引弁が周期的に開閉しているときの液体の流量を示すグラフである。
【図６】液体吸引弁を閉じた状態で、液体供給弁を周期的に開閉させたときの液体の流量を示すグラフである。
【図７】ウェーハの表面に衝突する二流体噴流を示す模式図である。
【図８】基板洗浄装置の構造の他の実施形態を示す模式図である。
【図９】ピエゾインジェクターの縦断面図である。
【図１０】ピエゾインジェクターの底面図である。
【図１１】図９に示す液体室およびピエゾ素子を示す拡大図である。
【図１２】図１１に示すピエゾ素子に電圧を印加したときの状態を示す図である。
【図１３】液体移送管の下端に形成されたフランジを示す図である。
【図１４】ピエゾインジェクターの下端に形成されたフランジを示す図である。
【図１５】液体移送管に設けられた超音波振動子を示す図である。
【図１６】ピエゾインジェクター内の分散流路に設けられた超音波振動子を示す図である。
【図１７】従来の二流体洗浄装置を示す模式図である。
【図１８】二流体の液滴を示す模式図である。
【図１９】基板表面に衝突した液滴を示す模式図である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
図３は、基板洗浄装置の構造の一実施形態を示す模式図である。図３に示すように、二流体ノズル４２には、その内部に形成されている気体室６０を通じて混合室６１に気体を供給する気体供給ライン５５と、混合室６１に連通する液体移送管７７に液体（例えば、純水）を供給する液体供給ライン５７と、液体移送管７７を流れる液体を吸引する液体吸引ライン５８が接続されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
気体室６０、混合室６１、および液体移送管７７は、二流体ノズル４２内に配置されている。液体移送管７７は外筒７８に囲まれており、液体移送管７７と外筒７８との間に気体室６０が形成される。混合室６１は外筒７８の内部に形成されており、液体移送管７７および気体室６０の下方に位置している。気体室６０は混合室６１に連通しており、気体供給ライン５５からの気体は、気体室６０を通じて混合室６１に導かれる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
液体吸引ライン５８の一端は、液体移送管７７の側面に接続されている。すなわち、液体移送管７７は、その側面に液体吸引ポート７９を有しており、液体吸引ライン５８はこの液体吸引ポート７９に接続されている。液体吸引ライン５８の他端は、吸液ポンプ８８に接続されている。液体供給ライン５７は液体移送管７７の上端開口部に接続されている。液体供給弁８１および液体吸引弁８２はバルブ制御部７５に接続されており、液体供給弁８１および液体吸引弁８２の開閉動作はバルブ制御部７５によって制御される。より具体的には、液体移送管７７への液体の供給と、液体移送管７７からの液体の吸引が交互に繰り返されるように、液体供給弁８１および液体吸引弁８２の開閉動作は所定の周期で繰り返される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
このように液体供給弁８１および液体吸引弁８２が同じ周期で交互に開閉されることにより、液体移送管７７への液体の供給と、液体移送管７７からの液体の吸引が交互に行われる。液体供給弁８１および液体吸引弁８２の開閉動作は、バルブ制御部７５によって制御される。図４に示すように、バルブ制御部７５は、液体供給弁８１および液体吸引弁８２を同じ周期で交互に開閉させる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
図５は、図４に示すタイミングで液体供給弁８１および液体吸引弁８２が周期的に開閉しているときの液体の流量を示すグラフである。液体の供給と吸引が交互に行われるので、図５に示すように、液体移送管７７を流れる液体の流量が大きく変動する。結果として、液体は、液滴となって液体移送管７７の下端の液滴吐出口８０から吐出される。液滴は、液体移送管７７の下方に形成された混合室６１に供給される。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
図６は、液体吸引弁８２を閉じた状態で、液体供給弁８１を周期的に開閉させたときの液体の流量を示すグラフである。図６に示すように、液体供給弁８１のみを開閉させたとき、液体移送管７７を流れる液体の流量は大きく変動しない。図５のグラフと図６のグラフとの対比から分かるように、液体の供給と吸引を交互に繰り返すことにより、液体移送管７７を流れる液体を液滴に変換することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
気体室６０は液体移送管７７を囲むように形成されており、液体移送管７７の液滴吐出口８０は気体室６０に囲まれている。この気体室６０には、混合室６１に向かって進行する気流が形成される。液滴吐出口８０から吐出された液滴は、混合室６１内で気流によって破砕され、より微小な液滴となる。このような微小な液滴と気体とが混合室６１内で混合されて、二流体噴流を形成する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
本実施形態では、液滴形成装置９０は、液体供給ライン５７に接続され、混合室６１に連通する液体移送管７７と、液体供給ライン５７の液体流路を開閉する液体供給弁８１と、液体移送管７７を流れる液体を吸引する液体吸引ライン５８と、液体吸引ライン５８の液体流路を開閉する液体吸引弁８２と、液体供給弁８１と液体吸引弁８２を交互に開閉させるバルブ制御部７５とから構成される。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
上述した実施形態では、液滴が混合室６１に供給され、気流との衝突によりさらに微小な液滴となる。液滴と気流との衝突を促進させるために、混合室６１に気体の乱流を起こさせることが好ましい。具体的には、図１３および図１４に示すように、液滴形成装置９０は、液滴吐出口８０から外側に突出するフランジ１０５を有してもよい。図１３に示す例では、フランジ１０５は液体移送管７７の下端に形成されており、図１４に示す例では、フランジ１０５はピエゾインジェクター９５の下端に形成されている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
二流体噴流の洗浄効果をさらに向上させるために、図１５および図１６に示すように、液滴を形成する前の液体を振動させる超音波振動子１０７を設けてもよい。図１５に示す例では、超音波振動子１０７は液体移送管７７の一部を囲むように設けられ、図１６に示す例では、超音波振動子１０７はピエゾインジェクター９５内の分散流路９９の一部を囲むように設けられている。超音波振動子１０７を液体供給ライン５７に設けてもよい。超音波振動子１０７の振動周波数は、数十Ｈｚ〜数ＭＨｚであることが好ましい。さらに、振動周波数の異なる複数の超音波振動子１０７を液体移送管７７または分散流路９９に沿って設けてもよい。このように異なる周波数で液体を振動させることによって、異なるサイズのパーティクルをウェーハＷから除去することができる。超音波振動子１０７は、液滴吐出口８０から吐出される液滴を振動させることができ、これによってウェーハ上のパーティクルをより効果的に除去することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
１０    ハウジング
１２    ロードポート
１４ａ〜１４ｄ    研磨ユニット
１６    第１洗浄ユニット
１８    第２洗浄ユニット
２０    乾燥ユニット
２２    第１基板搬送ロボット
２４    基板搬送ユニット
２６    第２基板搬送ロボット
２８    第３基板搬送ロボット
３０    動作制御部
４１    基板保持部
４２    二流体ノズル
４４    ノズルアーム
４５    チャック
４８    モータ
５０    旋回軸
５１    ノズル移動機構
５２    ノズル昇降機構（距離調整機構）
５５    気体供給ライン
５７    液体供給ライン
５８    液体吸引ライン
６０    気体室
６１    混合室
７２    フィルタ
７５    バルブ制御部
７７    液体移送管
７８    外筒
７９    液体吸引ポート
８０    液滴吐出口
８１    液体供給弁
８２    液体吸引弁
８８    吸液ポンプ
９０    液滴形成装置
９５    ピエゾインジェクター
９７    液体室
９８    ピエゾ素子
９９    分散流路
１０５    フランジ
１０７    超音波振動子