【事件の表示】
　特願２０１２−　９４１２３「複数の投影対物レンズを備えた投影露光装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２４年　９月　６日出願公開、特開２０１２−１６８５５０、請求項の数（１５）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯　
　本願は、２００６年６月２８日（パリ条約による優先権主張　外国庁受理　２００５年７月１日、ドイツ）を国際出願日とする出願である特願２００８−５１８８４４号（以下、「原出願」という。）の一部を、２０１２年（平成２４年）４月１７日に新たな特許出願としたものであって、平成２４年５月１７日に手続補正がされ、平成２５年１１月１９日付けで拒絶理由が通知され、平成２６年５月２６日に手続補正がされるとともに意見書が提出されたが、同年６月１７日付けで拒絶査定（謄本送達日　同年同月２３日。以下、「原査定」という。）がされ、これに対し、同年１０月２３日に拒絶査定不服審判が請求され、同日に手続補正がされたものである。
　その後、当審において平成２７年１２月１０日付けで拒絶理由（以下、「当審拒絶理由１」という。）が通知され、平成２８年６月１４日に手続補正がされるとともに意見書が提出され、同年７月１４日付けで拒絶理由（以下、「当審拒絶理由２」という。）が通知され、同年１０月１８日に手続補正がされるとともに意見書が提出されたものである。
　
第２　本願発明
　本願の請求項１ないし１５に係る発明は、平成２８年１０月１８日付けの手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１ないし１５に記載された事項により特定されるものと認められるところ、本願の請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は以下のとおりである。
「【請求項１】
　少なくとも６つの投影対物系（２０）のうち各々が１つの物体視野（５０）を像視野（６０、６０’、６０”）の中に結像させる投影対物系を有し、
　前記像視野（６０、６０’、６０”）が、基板領域（４０）において１つの基板平面の中に配置され、前記基板領域（４０）が所定の走査方向（Ｓ）で複数の投影対物系（２０）と相対的に移動可能であり、
　前記投影対物系（２０）の少なくとも１つが前記基板平面に対して垂直に延びないその投影対物系の光軸の部分区間を有し、
　前記投影対物系（２０）のうち、少なくとも３つの投影対物系が２つの曲線それぞれに沿って配置されており、該２つの曲線は、該２つの曲線の間に延びる中軸に対して互いに凹面状に配置され、
　投影対物系（２０）が１つの結像倍率β＝１を有し、
　前記物体視野（５０）が、対応する前記像視野（６０、６０’、６０”）の真上に配置されている
ことを特徴とする投影露光装置。」　
　
第３　原査定の理由について
１　原査定の理由の概要
　本願発明は、その原出願の優先日前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、その原出願の優先日前ににその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
刊行物：
１．特開平１０−６４８０７号公報（以下、「引用文献１」という。）
２．特表２００５−５１２１５１号公報（以下、「引用文献２」という。）
３．特表２００５−５０８０１８号公報（以下、「引用文献３」という。）
４．特開平８−８１６９号公報（以下、「引用文献４」という。）
５．特開２００１−１５４３６８号公報（以下、「引用文献５」という。）
６．特開平７−５７９８６号公報（以下、「引用文献６」という。）
　
　引用文献１には、縮小投影露光装置に関し、複数の露光光学系ＯＰを用いること、各露光光学系ＯＰはウエハ表面に対して垂直に延びない光軸の部分区間を有することが記載されている。図２ないし６の記載から、前記部分区間の投影がウエハ平面の中で走査方向と平行に延びていないことは明らかである。
　引用文献１の段落【０００４】及び【０００５】には、図８のレンズ配置のように露光範囲を分割することにより、トータルの体積は４分の１に減らすことができるという効果や、合成の露光範囲を２倍にとることができるという効果を開示している。
　一方、同段落【０００６】には、図８のレンズの配置について「ところで、このような手段をとれるのは、通常の光学系においては、露光倍率が等倍の光学系のみである。」と記載されている。
　また、同段落【００２０】には、「しかも通常等倍を外れた縮小露光では、これまで分割露光の適当な手段が見当たらず、困難を極めていたが、本発明においては、この縮小露光にも適応できる優れた分割露光の手法が提供された。」と記載されている。
　そうすると、引用文献１の記載に触れた当業者であれば、従来は分割露光を行えるのは露光倍率が等倍の場合だけに制限されていたところ、引用文献１に記載された発明により分割露光を行える露光技術が等倍を外れた縮小露光にまで広がり、前記の「等倍の場合だけ」という制限が緩和されたと認識すると解するのが自然である。
　そして、引用文献１に記載された発明を、等倍露光に適用することに格別の困難性はない。
　投影光学系を反射屈折系からなる第一部分系と純屈折系からなる第二部分系とで構成することは、引用文献２及び引用文献３（特に図４２、４６）に記載されているように従来周知であり、引用文献１に記載された発明において、カタジオプトリック部分系と純屈折性の部分系との組み合わせを採用することに困難性があるとは認められない。
　等倍の投影露光装置や複数のダイソン型光学系やオフナー型光学系を組み合わせて用いることは、引用文献４ないし６に記載されているように従来周知であり、引用文献１に記載された発明において、複数のダイソン型光学系やオフナー型光学系を組み合わせて等倍の投影露光装置とすることに困難性があるとは認められない。
　　
２　原査定の理由の判断
（１）刊行物の記載事項
ア　引用文献１には、以下の記載がある（下線は当審が付した。）。
（ア）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体の製造に用いられるステッパーなどの縮小露光装置に関するものであり、光学系に１／４×〜１／５×程度の縮小露光光学系を用いることにより、走査型で投影露光を行う
縮小投影走査型露光装置
　
（イ）「【０００４】
【課題を解決するための手段】まず、走査型露光装置の露光範囲の形状は細長い矩形ないしは円弧状になっているが、この細長いスリット状の露光範囲を長さ方向に２分割し、２分割した各々の露光範囲に対して別々の光学系を構成することにより、半分の露光長さの露光装置を２台用意するだけで済むことになる。半分のものが２台では同じではないかと思われるが、光学系の大きさに関していえば、１台当たりの露光長さが半減するから体積は８分の１に激減し、これが２台としても、トータルの体積は４分の１に減らすことができるのである。
【０００５】以上のようにスリット状の露光範囲を長さ方向に接合することにより、露光範囲の拡大を図ることができるが、個々の露光範囲よりも個々の光学系の外径の方が大きいから、露光範囲を長さ方向に直接接合することはできない。そこで図８に示すように、第１の光学系ＯＰ1の露光範囲ｔ1と第２の光学系ＯＰ2の露光範囲ｔ2とを、幅方向（走査方向）に必要な分だけ、すなわち両光学系が干渉しないようにレンズの外径分だけずらして配置する。しかる後に被露光体（例えばウエハ）を走査すれば、一時に露光される範囲ｔ1、ｔ2は両光学系で離散しているものの、走査した結果得られる両光学系の露光範囲は接合されることになる。このように複数の露光範囲ｔ1、ｔ2を用いた走査型の露光では、個々のスリット状の露光範囲は長さ方向（走査方向と直交する方向）に接合されてさえいれば良く、幅方向（走査方向）には離散して配置することができる。こうして合成の露光範囲を２倍にとることができるのである。
【０００６】ところで、このような手段をとれるのは、通常の光学系においては、露光倍率が等倍の光学系のみである。なぜならば走査型の露光装置では、被露光体（例えばウエハ）の走査と同期して、被照明体（例えばレチクル）も走査するからである。レチクルの走査もウエハの走査と同じであり、個々の照明範囲は長さ方向に接合されてさえいれば良く、幅方向には離散して配置することができる。通常の光学系において露光倍率が等倍以外の、例えば１／２倍、１／４倍、等の縮小露光の場合では、露光範囲を長さ方向に次々と接合すると、照明範囲は長さ方向に重なりあってしまい、また、照明範囲を長さ方向に次々と接合すると、露光範囲は長さ方向に離散してしまう。」
　
（ウ）「【００１０】個々の露光光学系は以上のように形成されているが、
各光学系ＯＰ
1
〜ＯＰ
6
の照明範囲Ｔ
1
〜Ｔ
6
と露光範囲ｔ
1
〜ｔ
6
は、それぞれ同一の照明平面と同一の露光平面とに位置するように配置され、照明平面には被照明体（
レチクル）が配置され、露光平面には被露光体（
ウエハ）が配置され
各光学系の相似中心軸ｚは互いに一致するように配置され
各光学系ＯＰ
1
〜ＯＰ
6
の照明範囲Ｔ
1
〜Ｔ
6
と露光範囲ｔ
1
〜ｔ
6
は、レチクルとウエハの走査方向と直交する方向に連続するように配置され
【００１１】図２の例では
６個の露光光学系ＯＰ
1
〜ＯＰ
6
相似中心軸ｚを通る走査線に接するように、第３光学系ＯＰ
3
と第４光学系ＯＰ
4
の照明範囲Ｔ
3
、Ｔ
4
が互いに反対向きに配置され
第３光学系ＯＰ
3
と第４光学系ＯＰ
4
の照明範囲Ｔ
3
、Ｔ
4
の他端を通る走査線に接し、且つ他の光学系と干渉しないように、第２光学系ＯＰ
2
と第５光学系ＯＰ
5
の照明範囲Ｔ
2
、Ｔ
5
が配置され
第２光学系ＯＰ
2
と第５光学系ＯＰ
5
の照明範囲Ｔ
2
、Ｔ
5
の他端を通る走査線に接し、且つ他の光学系と干渉しないように、第１光学系ＯＰ
1
と第６光学系ＯＰ
6
の照明範囲Ｔ
1
、Ｔ
6
が配置され
相似中心軸ｚを中心として照明範囲Ｔ
1
〜Ｔ
6
を倍率βで縮小すれば、露光範囲ｔ
1
〜ｔ
6
に重ねることができ
後にレチクルとウエハとを互いに平行に、且つ縮小倍率βに応じた速度比にて走査することにより、走査方向と直交した方向に接合された露光を行うことができる
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を説明する。図３は第１実施例の個々の露光光学系を示し、各光学系はレチクルＲに描いた一部分のパターンの中間像を形成する第１結像光学系Ａと、中間像の近傍に配置した反射面Ｍ2と、中間像の再結像をウエハＷ上に形成する第２結像光学系Ｂとを有する。第１結像光学系Ａは、往路光学系Ａ1と往復光学系Ａ2とからなり、往復光学系Ａ2中には凹面鏡Ｍ1が配置されている。反射面Ｍ2は、往復光学系Ａ2を復路で通過した光を第２結像光学系Ｂに導くように配置されている。第２結像光学系Ｂ中には、反射面Ｍ3と反射面Ｍ4と開口絞りＳが配置されている。凹面鏡Ｍ1と各反射面Ｍ2、Ｍ3、Ｍ4は、照明光の光軸ｚTと露光光の光軸ｚtとが互いに平行で距離Ｄだけ離隔し、しかもこれらの光軸ｚT、ｚt方向から見た照明範囲Ｔと露光範囲ｔとが互いにシフトするように配置されている。
【００１３】図４は照明光の光軸ｚTと露光光の光軸ｚtとに直交する投影平面に投影した照明範囲Ｔと露光範囲ｔを示し、図５は概略正面図を示す。両図に示すように、この第１実施例は図１に示す露光光学系を２組有し、両光学系ＯＰ1、ＯＰ2はその相似中心軸ｚを共有している。両光学系ＯＰ1、ＯＰ2の照明範囲Ｔ1、Ｔ2は、相似中心軸ｚを通る走査線に接するように、互いに反対向きに配置されており、したがって両光学系の照明範囲Ｔ1、Ｔ2は走査方向と直交する方向に連続している。またこの結果、露光範囲ｔ1、ｔ2も走査方向と直交する方向に連続している。したがってレチクルＲとウエハＷとを互いに平行に、且つ縮小倍率βに応じた速度比にて走査することにより、走査方向と直交する方向に接合された露光を行うことができる。」
　
（エ）「【００１７】次に図６は第２実施例を示し、個々の光学系ＯＰ1〜ＯＰ4は上記第１実施例と同様に形成されているが、この第２実施例は光学系を４組用いたものである。したがって上記第１実施例の効果を一層大きく得ることができる。なお個々の光学系ＯＰ1〜ＯＰ4による露光量は当然に同一でなければならないから、照明範囲Ｔの走査方向に沿って測った幅Ｄは、個々の光学系ＯＰ1〜ＯＰ4について同一であり、また露光範囲ｔの走査方向に沿って測った幅ｄも、個々の光学系ＯＰ1〜ＯＰ4について同一である。この結果、相似中心軸ｚを通る走査線の近くに配置された第２の光学系ＯＰ2と第３の光学系ＯＰ3については、その照明範囲Ｔ2，Ｔ3ないしは露光範囲ｔ2，ｔ3の長手方向は、相似中心軸ｚを通る走査線と直交状態に近いから、照明範囲Ｔ2，Ｔ3ないしは露光範囲ｔ2ｔ3の長手方向と直交する幅Ｄ2，Ｄ3；ｄ2，ｄ3は、図６に示すように広くなる。他方、相似中心軸ｚを通る走査線から離れて配置された第１の光学系ＯＰ1と第４の光学系ＯＰ4については、その照明範囲Ｔ1、Ｔ4ないしは露光範囲ｔ1、ｔ4の長手方向は、相似中心軸ｚを通る走査線と直交状態から遠いから、照明範囲Ｔ1、Ｔ4ないしは露光範囲ｔ1、ｔ4の長手方向と直交する幅Ｄ1，Ｄ4；ｄ1，ｄ4は、同図に示すように狭くなる。・・・
【００２０】
【発明の効果】以上のように本発明は、縮小倍率が全く同じ小型の光学系を複数台使い、露光面積を一挙に複数倍程度にすることができる露光装置であり、その効果は大きいものがある。しかも通常等倍を外れた縮小露光では、これまで分割露光の適当な手段が見当たらず、困難を極めていたが、本発明においては、この縮小露光にも適応できる優れた分割露光の手法が提供された。さらに、光学系の小型化が実現でき、製作コストの点でも有利な点が多い。さらにコストの点では、複数台使用する光学系を同一の構成とすれば、量産効果が大きくなることも見逃せない効果である。」
　
（オ）図２ないし６及び８は次のものである。
　
（カ）上記（ア）ないし（オ）によれば、引用文献１には、次の発明（以下、「引用発明１」という。）が記載されていると認められる。
「各光学系ＯＰ1〜ＯＰ6の照明範囲Ｔ1〜Ｔ6と露光範囲ｔ1〜ｔ6は、それぞれ同一の照明平面と同一の露光平面とに位置するように配置され、照明平面には被照明体（レチクル）が配置され、露光平面には被露光体（ウエハ）が配置され、
　前記各光学系の相似中心軸ｚは互いに一致するように配置され、各光学系ＯＰ1〜ＯＰ6の照明範囲Ｔ1〜Ｔ6と露光範囲ｔ1〜ｔ6は、レチクルとウエハの走査方向と直交する方向に連続するように配置され、
　６個の前記露光光学系ＯＰ1〜ＯＰ6は、相似中心軸ｚを通る走査線に接するように、第３光学系ＯＰ3と第４光学系ＯＰ4の照明範囲Ｔ3、Ｔ4が互いに反対向きに配置され、第３光学系ＯＰ3と第４光学系ＯＰ4の照明範囲Ｔ3、Ｔ4の他端を通る走査線に接し、且つ他の光学系と干渉しないように、第２光学系ＯＰ2と第５光学系ＯＰ5の照明範囲Ｔ2、Ｔ5が配置され、第２光学系ＯＰ2と第５光学系ＯＰ5の照明範囲Ｔ2、Ｔ5の他端を通る走査線に接し、且つ他の光学系と干渉しないように、第１光学系ＯＰ1と第６光学系ＯＰ6の照明範囲Ｔ1、Ｔ6が配置され、相似中心軸ｚを中心として照明範囲Ｔ1〜Ｔ6を倍率βで縮小すれば、露光範囲ｔ1〜ｔ6に重ねることができ、
　後にレチクルとウエハとを互いに平行に、且つ縮小倍率βに応じた速度比にて走査することにより、走査方向と直交した方向に接合された露光を行うことができる縮小投影走査型露光装置。」
　
イ　引用文献２には、以下の記載がある。
（ア）「【技術分野】
【０００１】
　本発明は、物体平面上に配置されるパターンを像面上に結像させるカタジオプトリック投影対物レンズに関する。」
　
（イ）「【０００４】
　数種類の十分に透明な材料、特に合成石英ガラスおよびフッ化カルシウム、フッ化マグネシウム、フッ化バリウム、フッ化リチウム、フッ化リチウムカルシウムアルミニウムまたはフッ化リチウムストロンチウムアルミニウム等のフッ化物結晶のみが、この波長領域において光学素子の製造に利用可能である。利用可能な材料のアッベ定数は、互いに相対的に近い値であるため、十分な色誤差（色収差）補正を有する純粋な屈折系を得ることは困難である。この問題は、純粋な反射系を用いることによって解決されうる。しかしながら、このような鏡系の製造には、高い費用が必要になる。
【０００５】
　前記の問題を考慮して、主にカタジオプトリック系が、最高の解像度を有するとともに、屈折および反射素子、すなわち特にレンズと鏡とが組み合わされた前記種類の投影対物レンズに用いられる。」
　
（ウ）「【００９８】
　本発明にしたがったカタジオプトリック縮小対物レンズ１のひとつの態様の一般的な構造が、第１の実施例を用いて、図１に示されている。このレンズは、レクチル等の物体平面２に配置されるパターンを、単一の中間実像３を物体平面２に対して平行に配置される像面４において縮尺倍率、たとえば４：１の比率で生じしめることにより、結像させる役割を果たす。対物レンズ１は、物体平面２と像面３との間において、凹面鏡６と光線偏向装置７とを有する反射屈折性の第１の対物レンズ部分５を、前記光線偏向装置の後ろに、屈折性の光学素子のみを内蔵する屈折性の第２の対物レンズ部分８を有する。」
　
（エ）図１は次のものである。
　
ウ　引用文献３には、以下の記載がある。
（ア）「【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学系における収差の軽減に関する。特に、本発明は、固有複屈折を有する立方晶系光学要素を有するリソグラフィ撮像システムなどの光学系における、偏光収差を軽減する装置及び方法に関する。」
　
（イ）「【０１７８】
実施例５：
図４２に示されているような、屈折光学要素Ｌ１〜Ｌ１９と反射光学要素Ｍ１〜Ｍ３の両方を有する反射屈折光学系５００を、フォトリソグラフィ用の投影レンズとして用いることができる。・・・
【０１８６】
この波面収差を補正するために、光学系５００に２つの偏光回転子５１０及び５２０を付加し、図４６に示されている屈折光学要素Ｌ１〜Ｌ１９の固有複屈折によって発生するリターダンスを軽減する。すべてのこれらの光学要素Ｌ１〜Ｌ１９は、この実施形態では同一の三次元結晶格子方向に配向させられており、［１１１］要素である。各要素Ｌ１〜Ｌ１９の［１１１］結晶格子方向は、系の光軸に沿っている。・・・
【０２０５】
図４６のこの反射屈折レンズ５００は、２０個のレンズ要素Ｌ１〜Ｌ１９Ｂを有しており、このうちの６つは二重パスに用いられ（Ｌ３〜Ｌ８）、各レンズ要素は、［１１１］結晶軸がそれぞれのレンズ要素を通過する光軸に平行な［１１１］立方晶系材料を含んでいる。反射屈折レンズ５００は、１枚の被駆動ミラーＭ１と２枚の折り畳みミラーＭ２、Ｍ３とをさらに含んでいる。屈折光学要素Ｌ１〜Ｌ１９Ｂは、リターダンスを軽減するようにクロッキングされ、すなわち、そこを通過する光軸の周りを回転させられる。９０°偏光回転子５１０は、光学系５００を同様の正味の複屈折を有する２つの部分に分割し、２つの部分によって導入されるリターダンスを互いに補償させ打ち消させる。物体空間内の−９０°偏光回転子５２０は、９０°偏光回転子５１０によって生じる一定のリターダンスを補償する。図４２における像面に最も近い要素Ｌ１９は、それぞれの異なる相対クロッキングを有する２つの［１１１］要素Ｌ１９Ａ及びＬ１９Ｂに分割されており、要素の厚さ及び埋め込み面４１２の曲率は、正味のリターダンスを最小限に抑えるように最適化されている。それによって、山対谷リターダンスを１５．６Ｘから１８．９Ｘの範囲の係数だけ改善することができる。」
　
（ウ）図４２及び４６は次のものである。
　
エ　引用文献４には、以下の記載がある。
（ア）「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、走査型露光装置に関し、特に液晶ディスプレイパネル等の大型基板の露光に適した露光装置に関する。」
　
（イ）「【００３３】上記の図１〜図５に示す実施例においては、図４に示す如く、投影光学系を構成するオフナー型光学系ＯＦとダイソン型光学系ＤＹとが共通の光軸Axを持つように構成されている。ここで、投影光学系を構成するオフナー型光学系ＯＦ及びダイソン型光学系ＤＹは、それぞれの光軸が偏心した状態で構成されても良い。以下、図６を参照して、オフナー型光学系ＯＦに対してダイソン型光学系ＤＹの光軸を偏心させた投影光学系の構成と、それが取り得る露光領域とについて説明する。図６(a)は投影光学系の光路を展開した状態で示す図である。図６(a)において、投影光学系を構成するオフナー型光学系ＯＦとダイソン型光学系ＤＹとは、それぞれの有する光軸AxOF，AxDYが偏心した状態となっている。なお、光軸AxOF，AxDYが偏心した状態とは、オフナー型光学系ＯＦからダイソン型光学系ＤＹへ向かう光束の主光線の像高（オフナー型光学系ＯＦの光軸AxOFに対する像高）と、ダイソン型光学系ＤＹからオフナー型光学系へ向かう光束の主光線の像高（ダイソン型光学系ＤＹの光軸AxDYに対する像高）とが互いに異なることを指す。」
　
（イ）図６は次のものである。
　
オ　引用文献５には、以下の記載がある。
（ア）「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は露光装置及び露光方法に関し、特に露光精度が高く広い露光領域に適用可能な露光装置及び露光方法に関する。」
　
（イ）「【００２５】図３に示される実施形態における動作を説明するのに先立ち、その構成による優位性を明確にするために、図１に示される複数の投影光学系６Ａ〜６Ｅの各々に適用可能な従来の投影光学系の説明を図４に基づいて行う。
【００２６】図４に示される従来技術では、各々ダイソン型に構成される投影光学系ａ’，ｂ’を平行に２段並べて、レチクル１及び感光基板８をこの投影光学系に対して走査するようにされている。投影光学系ａ’は反射プリズム１７’、屈折光学系１８’及び凹面鏡１９’を有しており、投影光学系ｂ’は反射プリズム２０’、屈折光学系２１’及び凹面鏡２２’を有している。中間結像面１６は反射プリズム１７’，２０’の間に位置し、レチクル１及び感光基板８に対して平行である。
【００２７】屈折光学系１８’，２１’の構成要素としての投影レンズの解像力が比較的低い場合には、屈折光学系１８’からレチクル１及び中間結像面１６までの光学距離と、屈折光学系２１’から中間結像面１６及び感光基板８までの光学距離が比較的大きい場合であっても光学的収差を抑えることが可能であり、また、光学系の瞳径は解像力に比例するため、瞳径に略比例する凹面鏡１９’，２２’の直径を比較的小さくすることができる。例えば、紫外線を用いて３μｍＬ／Ｓ（ライン／スペース）程度以下の解像力の投影光学系では、レチクル１及び中間結像面１６間の距離を凹面鏡１９’の直径よりも大きくするとともに、中間結像面１６及び感光基板８間の距離を凹面鏡２２’の直径よりも大きくすることで、図４に示されるように投影光学系ａ’，ｂ’を平行に２段配置することができる。」
　
（ウ）図４は次のものである。
　
カ　引用文献６には、以下の記載がある。
（ア）「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、第１の物体と第２の物体とを移動させつつ露光を行なう走査型の投影露光装置に関する。」
　
（イ）「【００１３】
【実施例】以下、図面を参照して本発明による実施例を説明する。図１は、本発明による露光装置の斜視図である。なお、図１では、所定の回路パターンが設けられたマスク８と、ガラス基板上にレジストが塗布されたプレート９とが搬送される方向（走査方向）をＸ軸、マスク８の平面内でＸ軸と直交する方向をＹ軸、マスク８の法線方向をＺ軸とした座標系をとっている。」
　
（ウ）「【００１９】図４は、投影光学系２ａのレンズ構成図であり、この
投影光学系
は、２組のダイソン型光学系を組み合わせた構成であ
第１部分光学系
と、視野絞り２５と、第２部分光学系
とから構成され
【００２０】
第１部分光学系は、マスク８面に対して４５°の傾斜で配置された反射面を持つ直角プリズム２１と、マスク８の面内方向に沿った光軸を有し、凸面を直角プリズム２１の反対側に向けた平凸レンズ成分２２と、全体としてメニスカス形状であって凹面を平凸レンズ成分２２側に向けた反射面を有するレンズ成分２３と、直角プリズム２１の反射面と直交しかつマスク８面に対して４５°の傾斜で配置された反射面を持つ直角プリズム２４とを有
【００２１】そして、
マスク８を介した照明光学系からの光は、直角プリズム２１によって光路が９０°偏向され、直角プリズム２１に接合された平凸レンズ成分２２に入射
反射面２３ａで反射された光は、接合面２２ａで屈折され、レンズ成分２２に接合された直角プリズム２４に達
レンズ成分２２からの光は、直角プリズム２４により光路が９０°偏向されて、この直角プリズム２４の射出面側に、マスク８の１次像を形成
【００２２】
１次像からの光は、第２部分光学系
を介して、マスク８の２次像をプレート９上に形成する
【００２３】なお、上述の第１及び第２部分光学系は、反射面２３ａ，２８ａが共に同じ向きとなるように構成されている。これにより、投影光学系全体の小型化を図ることができる。本実施例による第１及び第２部分光学系は、平凸レンズ成分２２，２７と、反射面２３ａ，２８ａとの間の光路中を硝材で埋める構成となっている。これにより、平凸レンズ成分２２，２７と反射面２３ａ，２８ａとの偏心が生じない利点がある。
【００２４】また、図５に示すように、第１及び第２部分光学系は、平凸レンズ成分２２，２７と反射面２３ａ，２８ａとの間を空気とする、いわゆるダイソン型光学系そのものの構成でも良い。なお、このようなダイソン型光学系に関しては、J.O.S.A.vol.49(1959年発行)のP713〜P716に詳述されている。さて、本実施例においては、第１部分光学系が形成する１次像の位置に、視野絞り２５を配置している。視野絞り２５は、例えば図６(a)に示す如き台形状の開口部を有する。この視野絞り２５により、プレート９上の露光領域が台形状に規定される。ここで、図６(b)に破線で示すように、本実施例におけるダイソン型光学系において、レンズ成分２２、２３、２７、２８の断面（ＹＺ平面）形状が円形であるため、取り得る最大の視野の領域がほぼ半円形状となる。このとき、視野絞り２５にて規定される台形状の視野領域８ａは、一対の平行辺のうちの短辺が半円状の領域（最大の視野の領域）の円弧側を向くことが好ましい。これにより、ダイソン型光学系の取り得る最大の視野領域に対して、
視野領域の走査方向（Ｘ方向）
【００２５】また、視野絞り２５としては、図６(c)に示すように、六角形状の開口部を有する構成であっても良い。このとき、図６(d)に示す如く、六角形状の開口部の大きさは、図中破線で示される最大視野領域の範囲内となる。なお、図６(b)及び図６(d)に破線にて示す最大視野領域は、第１及び第２部分光学系をケラれなく通過する軸外光束のうち、最も外側を通過する光束がマスク８上で通過する点を囲む領域である。
【００２６】図１に戻って、投影光学系２ａ〜２ｇの配置について説明する。図１においては、
投影光学系２ａ〜２ｇは、投影光学系内の視野絞りによって規定される視野領域８ａ〜８ｇを有し
視野領域８ａ〜８ｇの像は、プレート９上の露光領域９ａ〜９ｇ上に等倍の正立像として形成され
投影光学系２ａ〜２ｄは、視野領域８ａ〜８ｄが
Ｙ方向に沿って配列されるように設けられ
また、投影光学系２ｅ〜２ｇは、
Ｘ方向で視野領域８ａ〜８ｄとは異なる位置に、視野領域８ｅ〜８ｇがＹ方向に沿って配列されるように設けられ
【００２７】
プレート９上には、投影光学系２ａ〜２ｄによって、
Ｙ方向に沿って配列された露光領域９ａ〜９ｄが形成され、投影光学系２ｅ〜２ｇによって、露光領域９ａ〜９ｄとは異なる位置にＹ方向に沿って配列された露光領域９ｅ〜９ｇが形成され
露光領域９ａ〜９ｇは、視野領域８ａ〜８ｄの等倍の正立像であ
【００２８】ここで、
マスク８は
マスクステージ上に載置され
プレート９は、プレートステージ６０上に載置され
マスクステージとプレートステージとは、
Ｘ方向に同期して移動
　
（エ）「【００３３】次に、図９を参照して、本実施例における投影光学系の望ましき配置関係について説明する。図９は、投影光学系の配置を説明するための平面図であり、投影光学系Ｄ1,Ｄ2,Ｄ3をマスク８側（物体側）から見た状態を示す。図９において、投影光学系Ｄ1,は、平凸レンズ成分Ｌ1と凹面鏡Ｍ1とから構成され、投影光学系Ｄ2は、平凸レンズ成分Ｌ2と凹面鏡Ｍ2とから構成され、投影光学系Ｄ3は、平凸レンズ成分Ｌ3と凹面鏡Ｍ3とから構成される。ここで、各投影光学系Ｄ1,Ｄ2,Ｄ3の構成は、共に同じである。なお、図９では、説明を簡単にするために、各投影光学系Ｄ1,Ｄ2,Ｄ3の光路は、物体から凹面鏡（反射鏡）Ｍ1,Ｍ2,Ｍ3へ向かう光路のみを示し、光路をＺ方向に偏向させる直角プリズムは図示省略している。
【００３４】さて、投影光学系Ｄ1,の取り得る最大の視野領域のＹ方向の幅をφF1、投影光学系Ｄ2の取り得る最大の視野領域のＹ方向の幅をφF2、投影光学系Ｄ3の取り得る最大の視野領域のＹ方向の幅をφF3とする。これらの視野領域のＹ方向の幅φF1〜φF3は、それぞれ図６(b),(d)に破線で示す最大視野領域の半径方向の長さに対応する。
【００３５】このとき、Ｙ方向に隣接して配置された投影光学系Ｄ1,Ｄ3の光軸間距離をＫとすると、
【００３６】
【数１】
　φF1／２＋φF2＋φF3／２＞Ｋ　…（１）
を満足することが望ましい。ここで、φF1＝φF2＝φF3＝φF（ただし、φF：各投影光学系の取り得る最大の視野領域のＹ方向の幅）とすると、上記（１）式は、以下の如く書換えることができる。
【００３７】
【数２】
　２φF＞Ｋ　…（２）
すなわち、各投影光学系の取り得る最大の視野領域のＹ方向の幅は、各投影光学系のＹ方向における光軸間距離の半分以上であることが望ましい。ここで、各投影光学系の配置が上記（１）式または（２）式の範囲から外れる場合には、各視野領域がＹ方向で重ならない恐れがあるため好ましくない。
【００３８】また、平凸レンズ成分Ｌ1〜Ｌ3の直径（Ｙ方向の長さ）をφL1〜φL3、凹面鏡Ｍ1〜Ｍ3の直径（Ｙ方向の長さ）をφM1〜φM3とし、これらの直径のなかで大きい方の直径（即ち、投影光学系Ｄ1,Ｄ2,Ｄ3の外径の最大値）をφD1〜φD3とする。ここで、各投影光学系Ｄ1,Ｄ2,Ｄ3の構成が共に同じであるため、
【００３９】
【数３】
φL1＝φL2＝φL3、
φM1＝φM2＝φM3、
φD1＝φD2＝φD3＝φD、
がそれぞれ成立する。このとき、各投影光学系の取り得る最大の視野領域のＹ方向の幅をφFとすると、
【００４０】
【数４】
　φF＞φD／２　…（４）
を満足することが望ましい。ここで、各投影光学系Ｄ1〜Ｄ3が上記（４）式を満足しない、即ち、各投影光学系の取り得る最大の視野領域のＹ方向の幅φFが各投影光学系の外径の最大値φDの半分以上でない場合には、Ｙ方向に隣接して配置された投影光学系Ｄ1,Ｄ3が互いに干渉する恐れがあるため好ましくない。尚、投影光学系の外径の最大値が光路を９０°偏向させる直角プリズムにより定まるときには、上記外径の最大値φDを直角プリズムのＹ方向の長さとすれば良い。また、上記（１）式〜（４）式の関係は、ダイソン型光学系に限ることなく、オフナー型光学系にも適用できる。
【００４１】さて、上述の実施例では、投影光学系として２組の光学系を組み合わせているが、その代わりに、図１０及び図１１に示す光学系を適用しても良い。図１０は、ダイソン型光学系の直角プリズムの代わりに、ダハ面を持つ直角ダハプリズム３４を適用したものである。図１０において、直角プリズム３１、平凸レンズ成分３２及び反射面３３ａを持つレンズ成分３３は、それぞれ図４に示す直角プリズム２１、平凸レンズ成分２２及びレンズ成分３３と同一の機能を有するため、ここでは説明を省略する。２組の直角プリズムを有するダイソン型光学系では、光軸に沿った方向の横倍率が正となり、かつ光軸直交方向（物体面及び像面に沿った方向）の横倍率が負となる像を形成する。図１０の如き直角ダハプリズム３４を有するダイソン型光学系では、ダハ面によって、物体面及び像面内での光軸直交方向（紙面垂直方向）の像向きが逆転するため、光軸に沿った方向（Ｘ方向）及び物体面及び像面内での光軸直交方向（Ｙ方向）の横倍率が共に正となる正立像を形成できる。
【００４２】図１１は、光路を折り返すための反射面を設けたダイソン型光学系の一例のレンズ構成図である。図１１において、マスク８からの光は、光の入射方向（Ｚ軸方向）に対して４５°に斜設された半反射面４１ａによって、光路が９０°偏向されて、平凸レンズ成分４２に入射する。なお、図１１に示す平凸レンズ成分４２及び平凸レンズ成分４２に接合されるレンズ成分４３は、それぞれ図４の平凸レンズ成分２２及びレンズ成分２３と同一の機能を有する。
【００４３】そして、平凸レンズ成分４２に入射した光は、反射面４３ａにて反射され、再び平凸レンズ成分４２を介して、平凸レンズ成分４２の射出側にマスク８の１次像を形成する。この１次像形成位置には、反射面４１ｂが設けられている。ここで、半反射面４１ａと反射面４１ｂとは、反射部材４１に設けられている。そして、反射面４１ｂ上の１次像からの光は、もとの光路を逆進して、平凸レンズ成分４２及びレンズ成分４３を介した後、半反射面４１ａを透過する。半反射面４１ａの透過方向には、光線の入射方向（透過方向）に対して１１２．５°で斜設された反射面４４ａと、この反射面４４ａに対して４５°で斜設された反射面４４ｂとを有する反射部材４４が設けられている。ここで、反射面４４ａ，４４ｂがペンタプリズムの機能を有するため、この反射部材４４に入射した光は、反射面４４ａ，４４ｂでの反射により、光路が９０°偏向される。
【００４４】反射面４４ａ，４４ｂで反射された光は、反射部材４４の射出側にマスク８の２次像を形成する。ここで、この２次像は、等倍の正立像となる。なお、図１１においては、マスク８から反射面４１ｂまでの光路長と、反射面４１ｂからプレート９までの光路長とが等しくなるように構成している。ここで、図１１に示す投影光学系においては、反射面４１ｂの形状が視野絞りの形状となる。例えば、ＹＺ平面内で短辺が紙面上側となる台形状の反射面４１ｂである場合には、視野領域及び露光領域は、ＸＹ平面で紙面右側に短辺が位置する台形状の領域となる。なお、図１１の投影光学系において、平凸レンズ成分４２及びレンズ成分４３の光軸近傍を通過する光束は、反射面４１ｂに達しないため結像に寄与しない。しかしながら、半反射面４１ａから反射面４３ａへ向かう光路と反射面４１ｂから反射面４３ａへ向かう光路とが混じることを避けるため、平凸レンズ成分４２及びレンズ成分４３の光軸上及びその近傍を通過する光束を用いることは少ない。従って、図１１のように、平凸レンズ成分４２及びレンズ成分４３の光軸近傍を通過する光束が遮光されていても、実用上何ら差し支えはない。・・・
【００４９】このように、本実施例による露光装置によれば、複数の投影光学系によって、走査方向と直交する幅が広い露光領域を形成しているため、個々の投影光学系を大型化することなく、露光領域の大画面化に対応できる。ここで、本実施例では、投影光学系の大型化を招かないため、比例拡大による収差の増大を防止できる利点がある。」
　
（オ）図１、９ないし１１は次のものである。
　
（カ）上記（ア）ないし（エ）の記載を踏まえて、上記（オ）の図１を見ると、視野領域８ａ〜８ｇは、対応する露光領域９ａ〜９ｇの真上に配置されていることが見てとれる。
　
（２）対比
　本願発明と引用発明１とを対比すると、引用発明１の「６個の露光光学系ＯＰ1〜ＯＰ6」、「照明範囲Ｔ1〜Ｔ6」、「露光範囲ｔ1〜ｔ6」、「露光平面」、「被露光体（ウエハ）」「相似中心軸ｚ」、「走査方向」及び「投影走査型露光装置」は、本願発明の「６つの投影対物系（２０）」、「物体視野（５０）」、「像視野（６０、６０’、６０”）」、「基板平面」、「基板領域（４０）」、「中軸」、「所定の走査方向（Ｓ）」及び「投影露光装置」に相当するから、両者は、
「少なくとも６つの投影対物系（２０）のうち各々が１つの物体視野（５０）を像視野（６０、６０’、６０”）の中に結像させる投影対物系を有し、
　前記像視野（６０、６０’、６０”）が、基板領域（４０）において１つの基板平面の中に配置され、前記基板領域（４０）が所定の走査方向（Ｓ）で複数の投影対物系（２０）と相対的に移動可能である、投影露光装置。」の点で一致している。
　他方、本願発明と引用発明１は、
ア　本願発明は、「投影対物系（２０）」が、「少なくとも１つが前記基板平面に対して垂直に延びないその投影対物系の光軸の部分区間を有し」、「少なくとも３つの投影対物系が２つの曲線それぞれに沿って配置されており、該２つの曲線は、該２つの曲線の間に延びる中軸に対して互いに凹面状に配置され」るのに対して、引用発明１は、このように特定されない点（以下、「相違点１」という。）、
イ　本願発明は、「１つの結像倍率β＝１を有し」ているのに対して、引用発明１は、このように特定されない点（以下、「相違点２」という。）、及び、
ウ　本願発明は、「物体視野（５０）」が、「対応する前記像視野（６０、６０’、６０”）の真上に配置されている」のに対して、引用発明１は、このように特定されない点（以下、「相違点３」という。）、
で相違する。
　
（３）判断
　上記相違点１について検討する。
　引用発明１の「６個の露光光学系ＯＰ1〜ＯＰ6」において、特に、少なくとも３つの露光光学系ＯＰが２つの曲線それぞれに沿って配置されており、該２つの曲線は、該２つの曲線の間に延びる相似中心軸ｚに対して互いに凹面状に配置されるとする動機がなく、また、引用文献２ないし６をみても、このように配置することを示す記載も示唆もない。
　一方で、本願発明は上記相違点１の構成により、「走査プロセス中に照明された基板平面内の視野の一定の総量に対する３列の配置によって、より多くの像視野が走査プロセス中に互いに接合されまたは重ね合わせられるので、個々の投影対物レンズによって生成された像視野をたとえば２列の配置の場合よりも小さくすることができる別の長所を有する。その結果、個々の投影対物レンズは再びより小さい光学素子を有することができ、それによって・・・より良好な空間領域を達成することができる。」（本願の発明の詳細な説明の段落【００５６】）という格別顕著な効果を奏するものであるから、引用発明１において、上記相違点の構成となすことが容易に想到し得たとはいえない。
　
（４）小括
　したがって、相違点２及び３について検討するまでもなく、本願発明は、当業者が引用発明１及び引用文献２ないし６の記載に基づいて容易に発明をすることができたとはいえない。
　また、本願の請求項２ないし１５に係る発明は、本願発明をさらに限定したものであるので、本願発明と同様に、当業者が引用発明１及び引用文献２ないし６の記載に基づいて容易に発明をすることができたとはいえない。
　よって、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　
第４　当審拒絶理由について
１　当審拒絶理由１の概要
［理由１］本願は、特許請求の範囲の記載が下記の点で不備であり、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない。
［理由２］本願は、特許請求の範囲の記載が下記の点で不備であり、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない。
［理由３］本願発明は、その原出願の優先日前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、その原出願の優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
［理由１］
　本願の請求項１（及び請求項１を直接的／間接的に引用する請求項２−１９）には、「前記部分区間の投影（ｐ１―ｐ７）が基板平面の中で走査方向（Ｓ）と平行に伸びておらず」と記載されている。
（１）一方、発明の詳細な説明には、「取付スペース」が「平行に伸びていない」ことは記載されているものの、「取付スペース」内でどのように部分区間を配置するかは、記載されておらず、すなわち、「部分空間の投影」が平行に伸びていないことについては何ら記載されていない。
　してみると、本願の請求項１に記載の発明は、発明の詳細な説明に記載されたものではない。
（２）単に「部分区間の投影」（ないし「取付スペース」）と、走査方向（Ｓ）との関係を規定したのみでは、例えば、「部分空間の投影」（ないし「取付スペース」）間を平行に配置した構成を含むものであって、その場合、「個々の対物レンズに対してより大きい取付スペースが可能になる複数の投影対物レンズを備えた投影露光装置を提供する」（【０００１】）という本願発明の課題を解決できない。
　したがって、本願の上記請求項に係る発明は、発明の詳細な説明に記載された、発明の課題を解決するための手段が反映されておらず、発明の詳細な説明に記載した範囲を超えるものであって、発明の詳細な説明に記載されたものではない。
　なお、本願の発明の詳細な説明の【００３９】には、取付スペースの配置に対応する「像視野」について、「本発明により目指されている取付スペースの追加利得は、湾曲した曲線上の他の好適な配置でも発生する。好ましくは湾曲した曲線Ａ、Ｂに沿って投影対物レンズ２０の像視野６０が配置された曲線はさらに好ましくは曲線Ａ、Ｂの間に延びる中軸に対して鏡像対称に配置された互いに凹面状の曲線である。」などと記載されている。
　
［理由２］
　本願の請求項１には、「物体視野（５０）が、対応する前記像視野（６０、６０’、６０”）の真上に配置されている」と記載されているところ、同請求項１を引用する請求項４には、投影対物系が２つの部分系を備える旨が記載されており、同請求項４をさらに引用する請求項５には、「両部分系の光軸が互いに平行に変位されている」と記載されている。
　しかしながら、２つの部分系の光軸が互いに平行に変位された上で、「前記物体視野（５０）が、対応する前記像視野（６０、６０’、６０”）の真上に配置」されるのは、技術的に矛盾しているものと認められ、他の請求項を引用したために技術的な不備を備える結果となっており、不明確である。
　
［理由３］
刊行物：
１．特開平７−５７９８６号公報（引用文献６）
２．特開２００５−１１５３号公報（以下、「引用文献７」という。）
　
　引用文献６には、分割露光を行う露光装置の発明が記載されており、引用文献７には、分割露光を行う露光装置として、短辺が走査方向に沿った矩形状で、走査方向に対し所定の角度θで傾斜した露光エリアによって露光することで、露光ヘッドによって形成される画像間のずれを小さくした分割露光装置の発明が記載されている。
　してみると、引用文献６、７はいずれも分割露光を行う露光装置の発明であり、引用文献６に記載の発明においても、画素間のずれを小さくするために、引用文献７に記載の発明のように、矩形状の露光エリアの短辺を、走査方向に対し所定の角度θで傾斜させることは、引用文献６，７に記載の発明に基づいて当業者が容易に想到しうる事項にすぎない。
　そして、その際、引用文献６における露光装置において、角度θ分の露光エリアの偏向に対し、図６に記載の露光エリアと最大視野領域との相対位置関係を保持し、露光エリアの長辺が半円形状の最大視野領域の弦に平行になるように光学系を配置すると、部分区間の投影が、走査方向と角度θで傾斜し、走査方向と平行に伸びない構造となるのは、当業者には明らかであるところ、半円形状の最大視野領域を有効活用するために、光学系を上記配置とすることは、当業者が当然なすべき事項にすぎない。
　してみると、本願発明は、引用文献６、７に記載の発明に基づいて当業者が容易に想到し得たものにすぎない。また、請求項２ないし１５に記載の発明についても格別のものではなく、引用文献６、７に記載の発明に基づいて当業者が容易に想到しうるものである。
　
２　当審拒絶理由２の概要
［理由１］本願は、特許請求の範囲の記載が下記の点で不備であり、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない。
［理由２］
　この出願は、特許請求の範囲の記載が下記の点で、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない。
　
［理由１］
　本願請求項１は、「少なくとも２つの投影対物系（２０）・・・を有し、・・・前記少なくとも２つの投影対物系が２つの曲線に沿って配置されており、該２つの曲線は、該２つの曲線の間に延びる中軸に対して互いに凹面状に配置され」ることを発明特定事項とする。
ア　上記発明特定事項によれば、本願請求項１に係る発明は、「投影対物系（２０）」が２つの場合を含むが、この場合は、「２つの投影対物系が２つの曲線に沿って配置され」たとしても、実体的には、「投影対物系（２０）」を単に２つ配置したにすぎず（後記参考図１参照）、このような配置状態からは、「曲線に沿って配置」されたとは判別できない。
　そうすると、上記発明特定事項が含む、「２つの投影対物系（２０）」の場合は、「曲線に沿って配置されており、該２つの曲線は、該２つの曲線の間に延びる中軸に対して互いに凹面状に配置され」るものとは特定できない。
【参考図１】
　
イ　１つの曲線に２つの「投影対物系（２０）」が配置される場合も同様であって、「４つの投影対物系が２つの曲線に沿って配置され」たものであっても、実体的には、２つの「投影対物系（２０）」を横に並べた（直線に沿って配置した）上で２列配置したにすぎず（後記参考図２参照）、このような配置状態からは、「曲線に沿って配置」されたとは判別できない。
　そうすると、上記発明特定事項が含む、「４つの投影対物系（２０）」の場合は、「曲線に沿って配置されており、該２つの曲線は、該２つの曲線の間に延びる中軸に対して互いに凹面状に配置され」るものとは特定できない。
【参考図２】
　
ウ　上記ア及びイでの検討によれば、「３つの投影対物系（２０）」の場合及び
「５つの投影対物系（２０）」の場合も同様であり、また、「６つ以上の投影対物系（２０）」の場合であっても、一方の曲線に沿って配置される「投影対物系（２０）」が２つ以下の場合は同様である。
　そうすると、本願請求項１に係る発明は、「曲線に沿って配置されており、該２つの曲線は、該２つの曲線の間に延びる中軸に対して互いに凹面状に配置され」るものとは特定できない構成を含むから、上記発明特定事項に係る記載は不明確である。
　したがって、本願は、特許請求の範囲の記載が、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない。
　請求項２ないし１５についても同様である。
（なお、「投影対物系が２つの曲線に沿って配置されており、該２つの曲線は、該２つの曲線の間に延びる中軸に対して互いに凹面状に配置され」ていると特定できるものとするためには、「前記少なくとも３つの投影対物系が２つの曲線それぞれに沿って配置されており、該２つの曲線は、該２つの曲線の間に延びる中軸に対して互いに凹面状に配置され」るものと特定する必要があると認められる。）
　
［理由２］
　上記［理由１］で検討したとおり、「少なくとも２つの投影対物系（２０）のうち・・・」、「前記少なくとも２つの投影対物系が２つの曲線に沿って配置されており、該２つの曲線は、該２つの曲線の間に延びる中軸に対して互いに凹面状に配置され」るとの構成を含む本願請求項１は、２つの「投影対物系（２０）」を単に２つ配置したもの、及び、２つの「投影対物系（２０）」を横に並べた上で２列配置したものを含むと認められる。
　しかしながら、当該配置は、「【発明が解決しようとする課題】・・・本発明の課題は個々の投影対物レンズに対してより大きい取付スペースが可能になる複数の投影対物レンズを備えた投影露光装置を提供することである。」（本願明細書　段落【０００６】）との本願発明の課題を解決できないものであって、このような発明は当初明細書等に記載されているものとは認められないから、本願は、特許請求の範囲の記載が、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない。
　請求項２ないし１５についても同様である。
　
３　当審拒絶理由１の［理由１］及び［理由２］、並びに、当審拒絶理由２の［理由１］及び［理由２］の判断
　平成２８年１０月１８日付け手続補正書によって、本願の請求項１は上記「第２」のとおり補正された。このことにより、請求項１に係る発明は明確となり、また、発明の詳細な説明に記載されたものとなった。
　よって、当審拒絶理由１の［理由１］及び［理由２］、並びに、当審拒絶理由２の［理由１］及び［理由２］は解消した。
　
４　当審拒絶理由１の［理由３］の判断
（１）刊行物の記載事項
ア　引用文献６には、上記「第３」「２」「（１）」「カ」に摘記した事項が記載されている。
　そうすると、引用文献６には、「投影光学系２ａ〜２ｇは、投影光学系内の視野絞りによって規定される視野領域８ａ〜８ｇを有し、前記視野領域８ａ〜８ｇの像は、プレート９上の露光領域９ａ〜９ｇ上に等倍の正立像として形成され、前記投影光学系２ａ〜２ｄは、視野領域８ａ〜８ｄがＹ方向に沿って配列されるように設けられ、また、前記投影光学系２ｅ〜２ｇは、Ｘ方向で視野領域８ａ〜８ｄとは異なる位置に、視野領域８ｅ〜８ｇがＹ方向に沿って配列されるように設けられ、
　前記プレート９上には、投影光学系２ａ〜２ｄによって、Ｙ方向に沿って配列された露光領域９ａ〜９ｄが形成され、投影光学系２ｅ〜２ｇによって、露光領域９ａ〜９ｄとは異なる位置にＹ方向に沿って配列された露光領域９ｅ〜９ｇが形成され、
　前記露光領域９ａ〜９ｇは、前記視野領域８ａ〜８ｇの等倍の正立像であり、
　マスク８はマスクステージ上に載置され、プレート９は、プレートステージ６０上に載置され、マスクステージとプレートステージとは、走査方向（Ｘ方向）に同期して移動し、
　前記視野領域８ａ〜８ｇは、対応する前記露光領域９ａ〜９ｇの真上に配置され、
　前記投影光学系は、２組のダイソン型光学系を組み合わせた構成であり、第１部分光学系と、視野絞り２５と、第２部分光学系とから構成され、前記第１部分光学系は、マスク８面に対して４５°の傾斜で配置された反射面を持つ直角プリズム２１と、マスク８の面内方向に沿った光軸を有し、凸面を直角プリズム２１の反対側に向けた平凸レンズ成分２２と、全体としてメニスカス形状であって凹面を平凸レンズ成分２２側に向けた反射面を有するレンズ成分２３と、直角プリズム２１の反射面と直交しかつマスク８面に対して４５°の傾斜で配置された反射面を持つ直角プリズム２４とを有し、前記マスク８を介した照明光学系からの光は、直角プリズム２１によって光路が９０°偏向され、直角プリズム２１に接合された平凸レンズ成分２２に入射し、反射面２３ａで反射された光は、接合面２２ａで屈折され、レンズ成分２２に接合された直角プリズム２４に達し、レンズ成分２２からの光は、直角プリズム２４により光路が９０°偏向されて、この直角プリズム２４の射出面側に、マスク８の１次像を形成し、１次像からの光は、第２部分光学系２６〜２９を介して、マスク８の２次像をプレート９上に形成するものである、
　露光装置。」の発明（以下、「引用発明６」という。）が記載されていると認められる。
　
イ　引用文献７には、以下の記載がある。
（ア）「【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、画素位置特定方法、画像ずれ補正方法および画像形成装置に関し、特に、複数の露光ヘッドを備え、前記露光ヘッドのぞれぞれに空間変調素子を設けた画像形成装置において、露光ヘッド間の相対位置が変化しても、前記露光ヘッドにおける繋ぎ画素の位置を高精度で特定できる画素位置特定方法、つなぎ目の目立たない高品質の画像が形成できる画像ずれ補正方法、および前記画像ずれ補正方法により露光ヘッド間の画像のずれを補正する画像形成装置に関する。」
　
（イ）「【００５４】
実施形態１に係る露光装置は、いわゆるフラットベッド型であり、図１に示すように、シート状の感光材料１５０を表面に吸着して保持する平板状のステージ１５２を備えている。ステージ１５２の感光材料１５０を吸着保持する側の面、および感光材料１５０の露光面は、本発明の画像形成装置における画像形成面に相当する。
【００５５】
前記露光装置は、４本の脚部１５４に支持された厚い板状の設置台１５６と、設置台１５６の上面に、図１において矢印で示すステージ移動方向に沿って設けられた２本のガイド１５８を備えている。ステージ１５２は、その長手方向がステージ移動方向を向くように配置されると共に、ガイド１５８によって往復移動可能に支持されている。ステージ１５２は、駆動装置（図示せず。）により、ガイド１５８に沿って移動する。
【００５６】
設置台１５６の中央部には、ステージ１５２の移動経路を跨ぐようにコ字状のゲート１６０が設けられている。コ字状のゲート１６０の各端部は、設置台１５６の両側面に固定されている。このゲート１６０を挟んで一方の側にはスキャナ１６２が設けられ、他方の側には感光材料１５０の先端及び後端を検知する複数（例えば、２個）の検知センサ１６４が設けられている。スキャナ１６２及び検知センサ１６４はゲート１６０に各々取り付けられて、ステージ１５２の移動経路の上方に固定配置されている。なお、スキャナ１６２及び検知センサ１６４は、これらを制御するコントローラ１００に接続されており、後述するように、露光ヘッド１６６によって露光する際に所定のタイミングで露光するように制御される。
【００５７】
ステージ１５２におけるステージ移動方向に沿って下流側の端縁部には、送り装置１８２によってステージ移動方向に対して直角な方向、即ち後述するＸ方向に沿って移動する面ディテクター１８０が設けられている。面ディテクター１８０は、露光ビームの照射位置を２次元で特定できるディテクターであり、本発明に係る画素位置特定方法、画像ずれ補正方法、画像形成装置におけるビーム位置検出手段に相当する。また、ステージ１５２の表面は、前記画素位置特定方法および画像ずれ補正方法における基準面に相当する。面ディテクター１８０として具体的にはＰＳＤや四分割フォトディテクターなどが使用できる。また、送り装置１８２としては、ボールねじやリニアガイドを使用したベルト駆動機構など、リニアな送り装置であればどのようなものも使用できる。
【００５８】
スキャナ１６２は、本発明に係る画像形成装置における露光手段に相当し、図２及び図３の（Ｂ）に示すように、ｍ行ｎ列（例えば、２行５列）の略マトリックス状に配列された複数の露光ヘッド１６６を備えている。
【００５９】
露光ヘッド１６６で露光される領域である露光エリア１６８は、図２に示すように、短辺が走査方向に沿った矩形状であり、走査方向に対し、所定の傾斜角θで傾斜している。そして、ステージ１５２の移動に伴い、感光材料１５０には露光ヘッド１６６毎に帯状の露光済み領域１７０が形成される。なお、図１および図２に示すように、走査方向は、ステージ移動方向とは向きが反対である。 」
　
（２）対比
　本願発明と引用発明６とを対比すると、引用発明６の「視野領域８ａ〜８ｇ」、「露光領域９ａ〜９ｇ」、「投影光学系」、「プレート９」、「マスク８の面内方向に沿った光軸」及び「露光装置」は、それぞれ、本願発明の「物体視野」、「像視野」、「投影対物系」、「基板平面」、「基板平面に対して垂直に延びないその投影対物系の光軸の部分区間」及び「投影露光装置」にそれぞれ相当するから、両者は、
「少なくとも６つの投影対物系（２０）のうち各々が１つの物体視野（５０）を像視野（６０、６０’、６０”）の中に結像させる投影対物系を有し、
　前記像視野（６０、６０’、６０”）が、基板領域（４０）において１つの基板平面の中に配置され、前記基板領域（４０）が所定の走査方向（Ｓ）で複数の投影対物系（２０）と相対的に移動可能であり、
　前記投影対物系（２０）の少なくとも１つが前記基板平面に対して垂直に延びないその投影対物系の光軸の部分区間を有し、
　投影対物系（２０）が１つの結像倍率β＝１を有し、
　前記物体視野（５０）が、対応する前記像視野（６０、６０’、６０”）の真上に配置されている
　投影露光装置。」
の点で一致している。
　他方、本願発明と引用発明６は、本願発明の「投影対物系（２０）」は、「前記投影対物系（２０）のうち、少なくとも３つの投影対物系が２つの曲線それぞれに沿って配置されており、該２つの曲線は、該２つの曲線の間に延びる中軸に対して互いに凹面状に配置され」るのに対して、引用発明６は、このように特定されるものではない点（以下、「相違点４」という。）で相違する。
　
（３）判断
　上記相違点４について検討する。
　引用発明６の「投影光学系」において、特に、少なくとも３つの投影光学系が２つの曲線それぞれに沿って配置されており、該２つの曲線は、該２つの曲線の間に延びる中軸に対して互いに凹面状に配置する動機がなく、また、引用文献７をみても、このように配置することを示す記載も示唆もない。
　一方で、本願発明は上記相違点４の構成により、「走査プロセス中に照明された基板平面内の視野の一定の総量に対する３列の配置によって、より多くの像視野が走査プロセス中に互いに接合されまたは重ね合わせられるので、個々の投影対物レンズによって生成された像視野をたとえば２列の配置の場合よりも小さくすることができる別の長所を有する。その結果、個々の投影対物レンズは再びより小さい光学素子を有することができ、それによって・・・より良好な空間領域を達成することができる。」（本願の発明の詳細な説明の段落【００５６】）という格別顕著な効果を奏するものであるから、引用発明６において、上記相違点４の構成となすことが容易に想到し得たとはいえない。
　
（４）小括
　したがって、本願発明は、当業者が引用発明６及び引用文献７の記載に基づいて容易に発明をすることができたものとはいえなくなった。
　また、本願の請求項２ないし１５に係る発明は、本願発明をさらに限定したものであるので、本願発明と同様に、当業者が引用発明６及び引用文献７の記載に基づいて容易に発明をすることができたものとはいえなくなった。
　そうすると、もはや、当審で通知した拒絶理由によって本願を拒絶することはできない。
　
第５　むすび
　以上のとおり、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。