【手続補正書】
【提出日】平成27年12月8日(2015.12.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板のエッジ部の研磨異常を検出する方法であって、
基板を回転させ、
前記基板のエッジ部に研磨具を押し付けて該基板のエッジ部を研磨し、
前記研磨具の前記基板の表面に対する相対位置を測定し、
前記基板の研磨量を前記研磨具の相対位置から決定し、
前記基板の研磨量から研磨レートを算出し、
前記研磨レートが予め定められた範囲から外れた回数が所定の回数に達したときは、研磨異常が起きたと判断することを特徴とする研磨異常検出方法。
【請求項２】
研磨異常が起きたと判断されたときは、前記基板のエッジ部の研磨を停止することを特徴とする請求項１に記載の研磨異常検出方法。
【請求項３】
研磨異常が起きたと判断されたときは、警報を発することを特徴とする請求項１または２に記載の研磨異常検出方法。
【請求項４】
前記研磨具は、研磨テープであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の研磨異常検出方法。
【請求項５】
前記研磨具は、固定砥粒であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の研磨異常検出方法。
【請求項６】
前記研磨レートが前記所定の範囲よりも低い場合には、前記研磨具から後続の基板に対する押し付け圧力を高くすることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の研磨異常検出方法。
【請求項７】
前記研磨レートが前記所定の範囲よりも低い場合には、後続の基板の回転速度を高くすることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の研磨異常検出方法。
【請求項８】
基板を回転させ、
前記基板のエッジ部に研磨具を押し付けて該基板のエッジ部を研磨し、
前記研磨具の前記基板の表面に対する相対位置を測定し、
前記基板の研磨量を前記研磨具の相対位置から決定し、
前記基板の研磨量から研磨レートを算出し、
前記研磨レートが予め定められた範囲から外れた時間が所定のしきい値を超えたときは、研磨異常が起きたと判断することを特徴とする研磨異常検出方法。
【請求項９】
研磨異常が起きたと判断されたときは、前記基板のエッジ部の研磨を停止することを特徴とする請求項８に記載の研磨異常検出方法。
【請求項１０】
研磨異常が起きたと判断されたときは、警報を発することを特徴とする請求項８または９に記載の研磨異常検出方法。
【請求項１１】
前記研磨具は、研磨テープであることを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか一項に記載の研磨異常検出方法。
【請求項１２】
前記研磨具は、固定砥粒であることを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか一項に記載の研磨異常検出方法。
【請求項１３】
前記研磨レートが前記所定の範囲よりも低い場合には、前記研磨具から後続の基板に対する押し付け圧力を高くすることを特徴とする請求項８乃至１２のいずれか一項に記載の研磨異常検出方法。
【請求項１４】
前記研磨レートが前記所定の範囲よりも低い場合には、後続の基板の回転速度を高くすることを特徴とする請求項８乃至１３のいずれか一項に記載の研磨異常検出方法。
【請求項１５】
基板を回転させ、
前記基板のエッジ部よりも内側に位置する前記基板の表面と垂直な方向に、研磨具を前記エッジ部に対して押し付け、
前記エッジ部を研磨することで、前記基板の前記表面に平行な水平面と、前記基板の前記表面と垂直な垂直面を形成し、
前記研磨具の前記基板の前記表面に対する相対位置を測定し、
前記基板の研磨量を前記研磨具の相対位置から決定し、
前記基板の研磨量から研磨レートを算出し、
前記研磨レートが予め定められた範囲から外れたときは、研磨異常が起きたと判断する工程を含み、
前記研磨異常の発生は、前記垂直面が平坦でないことを示していることを特徴とする研磨異常検出方法。
【請求項１６】
研磨異常が起きたと判断されたときは、前記基板のエッジ部の研磨を停止することを特徴とする請求項１５に記載の研磨異常検出方法。
【請求項１７】
研磨異常が起きたと判断されたときは、警報を発することを特徴とする請求項１５または１６に記載の研磨異常検出方法。
【請求項１８】
前記研磨具は、研磨テープであることを特徴とする請求項１５乃至１７のいずれか一項に記載の研磨異常検出方法。
【請求項１９】
前記研磨具は、固定砥粒であることを特徴とする請求項１５乃至１７のいずれか一項に記載の研磨異常検出方法。
【請求項２０】
前記研磨レートが前記所定の範囲よりも低い場合には、前記研磨具から後続の基板に対する押し付け圧力を高くすることを特徴とする請求項１５乃至１９のいずれか一項に記載の研磨異常検出方法。
【請求項２１】
前記研磨レートが前記所定の範囲よりも低い場合には、後続の基板の回転速度を高くすることを特徴とする請求項１５乃至２０のいずれか一項に記載の研磨異常検出方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明者は、研磨が正しく行われていないときの研磨レート（単位時間当たりに研磨（除去）されたウェハの量、除去レートともいう）は、研磨が正しく行われているときの研磨レートとは異なることをウェハの研磨結果から発見した。
したがって、上述した目的を達成するための本発明の一態様は、基板のエッジ部の研磨異常を検出する方法であって、基板を回転させ、前記基板のエッジ部に研磨具を押し付けて該基板のエッジ部を研磨し、前記研磨具の前記基板の表面に対する相対位置を測定し、前記基板の研磨量を前記研磨具の相対位置から決定し、前記基板の研磨量から研磨レートを算出し、前記研磨レートが予め定められた範囲から外れた回数が所定の回数に達したときは、研磨異常が起きたと判断することを特徴とする研磨異常検出方法である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の一参考例は、前記研磨レートが前記予め定められた範囲から外れた時間が所定のしきい値を超えたときは、研磨異常が起きたと判断することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、研磨異常が起きたと判断されたときは、前記基板のエッジ部の研磨を停止することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、研磨異常が起きたと判断されたときは、警報を発することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記研磨具は、研磨テープであることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記研磨具は、固定砥粒であることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明の他の参考例は、基板を保持して回転させる基板保持部と、研磨具を前記基板のエッジ部に押し付ける押圧機構と、研磨中に前記研磨具の前記基板の表面に対する相対位置を測定する相対位置測定器と、前記基板の研磨量を前記研磨具の相対位置から決定し、前記基板の研磨量から研磨レートを算出する研磨制御部とを備え、前記研磨制御部は、前記研磨レートが予め定められた範囲から外れたときは、研磨異常が起きたと判断することを特徴とする研磨装置である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記参考例の好ましい態様は、前記研磨制御部は、前記研磨レートが前記予め定められた範囲から外れた回数が所定の回数に達したときは、研磨異常が起きたと判断することを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記研磨制御部は、前記研磨レートが前記予め定められた範囲から外れた時間が所定のしきい値を超えたときは、研磨異常が起きたと判断することを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記研磨制御部は、研磨異常が起きたと判断したときは、前記基板のエッジ部の研磨を停止することを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記研磨制御部は、研磨異常が起きたと判断したときは、警報を発することを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記研磨具は、研磨テープであることを特徴とする。
上記参考例の好ましい態様は、前記研磨具は、固定砥粒であることを特徴とする。