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【手続補正書】
【提出日】平成27年12月22日(2015.12.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
また、空乏化されたＰ−型耐圧保持領域７内の電界強度分布は均一ではなく、Ｐ型ウェル領域６とＰ−型耐圧保持領域７との接合部や、第１のフィールドプレート１１および第２のフィールドプレート１３の端部（すなわち、深さ方向において互いの端部が重なる部分）の直下において電界が高くなり、アバランシェ降伏が生じる。特に、第２のフィールドプレート１３の直下において電界が高くなる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
図３に示すように、本実施の形態１による半導体装置では、第２のフィールドプレート１３の直下に形成される第１の絶縁膜１０の膜厚が、Ｘ方向直線部２２およびＹ方向直線部２３よりもコーナー部２４の方が厚くなるように形成している。このような構成とすることによって、第２のフィールドプレート１３の直下における電界強度のピーク値を低減することができ、コーナー部２４における電界の集中を緩和することができる。従って、エミッタ電極３を基準としてコレクタ電極２に正電位を印加したときにおける半導体装置の耐圧を向上させることが可能となる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
図１０に示すように、本発明の実施の形態４では、凹部領域１５は、基板表面９の非凹部領域（凹部領域１５が形成されていない領域）との境界面が基板表面９に対して９０度以下のテーパー角度１８の傾斜を有するテーパー形状で形成されていることを特徴とする。その他の構成は、実施の形態２，３と同様であるため、ここでは説明を省略する。
【手続補正書】
【提出日】平成28年7月8日(2016.7.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電灯に駆動電力を供給する放電灯駆動部と、
前記放電灯駆動部を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記放電灯の点灯開始から所定時間までの立上期間と、前記立上期間の後に設けられ、前記放電灯に第１駆動電力が供給される定常点灯期間と、が設けられるように前記放電灯駆動部を制御し、
前記立上期間は、前記放電灯に供給される前記駆動電力が前記第１駆動電力よりも大きい第２駆動電力に向けて増加する第１立上期間と、前記第２駆動電力が前記放電灯に供給される第２立上期間と、を含み、
前記第２立上期間において前記放電灯に供給される駆動電流の周波数は、前記第１立上期間における前記駆動電流の周波数よりも小さいことを特徴とする放電灯駆動装置。
【請求項２】
請求項１に記載の放電灯駆動装置であって、
前記制御部は、前記放電灯の劣化の程度に応じて、前記第１立上期間における前記周波数および前記第２立上期間における前記周波数のうち少なくともいずれかを変化させることを特徴とする放電灯駆動装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の放電灯駆動装置であって、
前記制御部は、前記定常点灯期間において、前記放電灯の定格電力が前記放電灯に供給されるモードと、前記定格電力よりも小さい駆動電力が前記放電灯に供給される低電力モードと、を実行可能であり、
前記第１駆動電力は、前記低電力モードにおける駆動電力であることを特徴とする放電灯駆動装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の放電灯駆動装置であって、
前記制御部は、前記第２立上期間において、前記駆動電流の基本波形パターンである第１波形パターンよりも前記放電灯への負荷が強い第２波形パターンを間欠的に挿入することを特徴とする放電灯駆動装置。
【請求項５】
請求項４に記載の放電灯駆動装置であって、
前記制御部は、前記第２波形パターンの挿入時間、前記第２波形パターンの挿入間隔、前記第２波形パターンの挿入回数、および前記第２波形パターンの構成のうちの少なくとも一つを、前記放電灯の劣化の程度に応じて変化させることを特徴とする放電灯駆動装置。
【請求項６】
請求項４または請求項５に記載の放電灯駆動装置であって、
前記第２波形パターンは、周波数が５００Ｈｚ以下の交流電流であるパターン、もしくは直流電流と交流電流とを組み合わせたパターンを含むことを特徴とする放電灯駆動装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の放電灯駆動装置であって、
前記制御部は、前記定常点灯期間における前記放電灯の電極間電圧を参照することにより前記放電灯の劣化の程度を検出することを特徴とする放電灯駆動装置。
【請求項８】
請求項７に記載の放電灯駆動装置であって、
前記制御部は、前記第１立上期間における電極間電圧を参照し、前記電極間電圧の参照結果から前記定常点灯期間における電極間電圧を推定することを特徴とする放電灯駆動装置。
【請求項９】
請求項７に記載の放電灯駆動装置であって、
前記制御部は、前回の放電灯点灯時に参照して記憶しておいた電極間電圧を次回の放電灯点灯時に読み出し、前記電極間電圧の読み出し結果から前記定常点灯期間における電極間電圧を推定することを特徴とする放電灯駆動装置。
【請求項１０】
請求項１から請求項９のいずれか一項に記載の放電灯駆動装置であって、
前記第１立上期間における前記駆動電流の周波数は、５００Ｈｚ以上であることを特徴とする放電灯駆動装置。
【請求項１１】
光を射出する放電灯と、
請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載の放電灯駆動装置と、
を備えることを特徴とする光源装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の光源装置と、
前記光源装置から射出される光を映像信号に応じて変調する光変調素子と、
前記光変調素子により変調された光を投射する投射光学系と、
を備えることを特徴とするプロジェクター。
【請求項１３】
放電灯に駆動電力を供給して前記放電灯を駆動させる放電灯駆動方法であって、
前記放電灯の点灯開始から所定時間までの立上期間と、前記立上期間の後に設けられ、前記放電灯に第１駆動電力が供給される定常点灯期間と、を有する駆動電力を前記放電灯に供給するステップを備え、
前記立上期間は、前記放電灯に供給される前記駆動電力が前記第１駆動電力よりも大きい第２駆動電力に向けて増加する第１立上期間と、前記第２駆動電力が前記放電灯に供給される第２立上期間と、を含み、
前記第２立上期間において前記放電灯に供給される駆動電流の周波数は、前記第１立上期間における前記駆動電流の周波数よりも小さいことを特徴とする放電灯駆動方法。
【手続補正書】
【提出日】平成28年9月22日(2016.9.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材と、
前記基材の上に位置する第１電極と、
前記第１電極よりもシート抵抗が低い第２電極と、
前記第１電極と前記第２電極の間に位置する発光層と、
前記基材の第１辺に設けられ、前記第１電極に接続している第１端子と、
前記第１辺と交わる第２辺に設けられ、前記第２電極に接続している第２端子と、
を備え、
前記第２電極は、
前記第１端子から離れる方向に沿って複数のサブ電極に分割されており、
さらに、前記複数のサブ電極と前記第２端子のそれぞれの間にそれぞれ異なる抵抗値の複数の抵抗部を備える発光装置。
【請求項２】
請求項１に記載の発光装置において、
前記複数の抵抗部それぞれの抵抗値は、前記第１端子から離れるに従って小さくなっている発光装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の発光装置において、
前記第１電極は、前記基材の第１面に形成されており、かつ透明導電材によって形成されており、
前記複数の抵抗部は、前記基材の前記第１面に形成されており、かつ前記透明導電材によって形成されている発光装置。
【請求項４】
請求項３に記載の発光装置において、
前記複数の抵抗部は、
前記透明導電材からなる透明電極層と、
前記透明電極層の少なくとも一部の上に形成されていて前記透明導電材よりも抵抗値の低い材料からなる低抵抗層と、
を備え、
前記複数の抵抗部は、前記透明電極層に対する前記低抵抗層の面積比率が互いに異なっている発光装置。
【請求項５】
請求項１に記載の発光装置において、
前記基材の平面形状は矩形であり、
前記第２端子は、前記第２辺、及び前記第２辺に対向する第４辺のそれぞれに沿って設けられている発光装置。
【請求項６】
基材と
前記基材の上に位置する第１電極と、
前記第１電極よりもシート抵抗が低い第２電極と、
前記第１電極と前記第２電極の間に位置する発光層と、
前記基材の第１辺に設けられ、前記第１電極に接続している第１端子と、
前記第１辺とは交差しない第２辺に設けられ、前記第２電極に接続している第２端子と、
を備え、
前記第２電極は前記第１端子から離れる方向に沿って膜厚が変化している発光装置。
【請求項７】
請求項６に記載の発光装置において、
前記第２電極の膜厚は、前記第１端子から離れるに従って厚くなっている発光装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
請求項１に記載の発明は、
基材と、
前記基材の上に位置する第１電極と、
前記第１電極よりもシート抵抗が低い第２電極と、
前記第１電極と前記第２電極の間に位置する発光層と、
前記基材の第１辺に設けられ、前記第１電極に接続している第１端子と、
前記第１辺と交わる第２辺に設けられ、前記第２電極に接続している第２端子と、
を備え、
前記第２電極は、
前記第１端子から離れる方向に沿って複数のサブ電極に分割されており、
さらに、前記複数のサブ電極と前記第２端子のそれぞれの間にそれぞれ異なる抵抗値の複数の抵抗部を備える発光装置である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
請求項６に記載の発明は、
基材と
前記基材の上に位置する第１電極と、
前記第１電極よりもシート抵抗が低い第２電極と、
前記第１電極と前記第２電極の間に位置する発光層と、
前記基材の第１辺に設けられ、前記第１電極に接続している第１端子と、
前記第１辺とは交差しない第２辺に設けられ、前記第２電極に接続している第２端子と、
を備え、
前記第２電極は前記第１端子から離れる方向に沿って膜厚が変化している発光装置である。
【手続補正書】
【提出日】平成28年1月14日(2016.1.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
イオンを開裂させるコリジョンセルを挟んで前後に四重極マスフィルタを有するタンデム四重極型質量分析装置であって、試料に対する多重反応モニタリング（ＭＲＭ）測定を行いつつ１又は複数の化合物に対する最適なＭＲＭ測定条件を探索するＭＲＭ測定条件最適化を実施するタンデム四重極型質量分析装置において、  a)ＭＲＭ測定条件を最適化するための測定条件として、ターゲットとして除外する１又は複数のプロダクトイオンの質量電荷比をプリカーサイオン毎に登録しておく除外イオン登録部と、  b)一つの化合物由来のプリカーサイオンをターゲットとするＭＲＭ測定条件最適化を実行する際に、該プリカーサイオンに対応する除外プロダクトイオンについての情報を前記除外イオン登録部から取得し、該プリカーサイオンに対するプロダクトイオンとして検出されたイオンから少なくとも前記除外プロダクトイオンを除き、そのプリカーサイオンと除外された残りのプロダクトイオンの質量電荷比の組み合わせに対するＭＲＭ測定条件最適化を行って最適な制御パラメータを取得するように各部を制御するＭＲＭ測定条件最適化実行部と、  を備えることを特徴とするタンデム四重極型質量分析装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】  また上記課題を解決するために成された本発明の第二の態様は、イオンを開裂させるコリジョンセルを挟んで前後に四重極マスフィルタを有するタンデム四重極型質量分析装置であって、試料に対する多重反応モニタリング（ＭＲＭ）測定を行いつつ１又は複数の化合物に対する最適なＭＲＭ測定条件を探索するＭＲＭ測定条件最適化を実施するタンデム四重極型質量分析装置において、  a)ＭＲＭ測定条件を最適化するための測定条件として、ターゲットとして除外する１又は複数のプロダクトイオンの質量電荷比をプリカーサイオン毎に登録しておく除外イオン登録部と、  b)一つの化合物由来のプリカーサイオンをターゲットとするＭＲＭ測定条件最適化を実行する際に、該プリカーサイオンに対応する除外プロダクトイオンについての情報を前記除外イオン登録部から取得し、該プリカーサイオンに対するプロダクトイオンとして検出されたイオンから少なくとも前記除外プロダクトイオンを除き、そのプリカーサイオンと除外された残りのプロダクトイオンの質量電荷比の組み合わせに対するＭＲＭ測定条件最適化を行って最適な制御パラメータを取得するように各部を制御するＭＲＭ測定条件最適化実行部と、を備えることを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】  この第二の態様のタンデム四重極型質量分析装置によれば、例えば信号強度が大きいプロダクトイオンであっても、除外イオン登録部に登録しておくことによって、確実にＭＲＭ測定条件最適化の対象から除外することができる。それにより、信号強度が大きくても不要である又は分析上、有意でないプロダクトイオンについてはＭＲＭ測定条件最適化が行われないので、ＭＲＭ測定条件最適化に無駄な時間を費やすことを避けることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】  具体的には、分析者が入力部６で所定の操作を行うと、制御部５において最適化測定条件設定部５３は図３に示すようなＭＲＭ測定条件設定画面１００を表示部７の画面上に表示する。ＭＲＭ測定条件として各部の印加電圧やコリジョンエネルギを最適化する場合には、このＭＲＭ測定条件設定画面１００中の項目設定部１０１において「電圧最適化」のチェックボックス１０１ａにチェックマークを入れることでこれを選択する。また、化合物毎にターゲットとするプロダクトイオンの質量電荷比を直接入力するのではなく、プロダクトイオンの自動探索を行う場合には、「プロダクトイオン自動選択」のチェックボックス１０１ｂにチェックマークを入れることでこれを選択する。そして、測定対象化合物テーブル１０２中に、目的化合物の化合物名、該化合物についてターゲットとするプリカーサイオンの質量電荷比（「プリカーサm/z」）、プリカーサイオンの極性（「+/-」）、測定開始時間（「開始(min)」）、測定終了時間（「終了(min)」）などをそれぞれ記入する。測定開始時間及び測定終了時間は目的化合物の既知の保持時間を基準とし、その前後に適宜の時間的余裕（この例では±０．５min）を見込んで決めればよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】  「プロダクトイオン自動選択」が選択された場合には、各プリカーサイオンに対してターゲットとされるプロダクトイオンについて優先イオンと除外イオンとを設定することができる。即ち、ＭＲＭ測定条件設定画面１００の測定対象化合物テーブル１０２中で任意の行、つまりは所望のプリカーサイオンの質量電荷比などが設定されている行を分析者が入力部６でクリック操作すると、最適化測定条件設定部５３は指定されたプロダクトイオンについて、図４に示すようなプロダクトイオン選択条件設定画面２００を表示部７の画面上に表示する。プロダクトイオン選択条件設定画面２００上には、設定対象であるプリカーサイオン情報表示部２０５と、除外イオンリスト２０６と、優先イオンリスト２０３とが配置されている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】  分析者はＭＲＭ測定条件最適化の際にプロダクトイオンとして除外したいイオンの質量電荷比と、優先的にＭＲＭ測定条件最適化を実施したいイオンの質量電荷比とを、それぞれ除外イオンリスト２０６及び優先イオンリスト２０３に入力する。例えば、液体クロマトグラフの移動相に既知の夾雑物が混入している可能性があるような場合に、該夾雑物由来のプロダクトイオンを除外イオンとして登録したり、保持時間が近い別の成分由来のプロダクトイオンを除外イオンとして登録したりすればよい。また、目的化合物由来のプリカーサイオンから生成されるプロダクトイオンが或る程度既知である場合には、それらプロダクトイオンを優先イオンとして登録すればよい。そして、除外イオンや優先イオンの入力が終了したならば、「ＯＫ」ボタン２０４をクリック操作すると入力が確定する。確定した優先イオン及び除外イオンの情報は、優先／除外イオン情報記憶部５４に格納される。測定対象化合物テーブル１０２に記載したプリカーサイオン毎に上記作業を行うことで、全てのプリカーサイオンに対しそれぞれ異なる優先イオン及び除外イオンを指定することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2015076338.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成28年10月4日(2016.10.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】
前記平行四辺形電極は、導電性材料からなる電極プレートと、該電極プレートに囲設される無機系絶縁体若しくは有機系絶縁体からなる絶縁材とによって構成されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載のプラズマ処理装置
【手続補正書】
【提出日】平成28年8月26日(2016.8.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に設けられた複数のマークを検出する検出装置であって、
前記複数のマークのうち第１マークに照射される第１の光を射出し、前記第１マークで反射された光によって前記第１マークを検出する第１スコープと、
前記複数のマークのうち前記第１マークとは異なる第２マークに照射される第２の光を射出し、前記第２マークで反射された光によって前記第２マークを検出する第２スコープと、
前記第１の光を透過させて前記基板に入射させる透過部と、前記第２の光を反射して前記基板に入射させる面とを有する光学部材と、
を含み、
前記第１の光が前記第１マークに照射され且つ前記第２の光が前記第２マークに照射されるように、前記第１マークと前記第２マークとの間隔に応じて、前記第１の光が入射する前記透過部の入射位置と前記第２の光が反射される前記面の反射位置との相対位置を変える、ことを特徴とする検出装置。
【請求項２】
前記光学部材は、前記透過部を透過した前記第１の光の主光線と、前記面で反射された前記第２の光の主光線とが平行になるように構成されている、ことを特徴とする請求項１に記載の検出装置。
【請求項３】
前記光学部材は、前記透過部を透過した前記第１の光の主光線と、前記面で反射された前記第２の光の主光線とが前記基板の表面に対してそれぞれ垂直になるように構成されている、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の検出装置。
【請求項４】
前記光学部材における前記面は、前記第１スコープから射出された前記第１の光を透過し、かつ前記第２スコープから射出された前記第２の光を反射するように構成されている、ことを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載の検出装置。
【請求項５】
前記第１の光および前記第２の光は、互いに異なる偏光特性を有し、
前記面には、入射した光の偏光特性に応じて当該光を反射または透過させる偏光ビームスプリッタ膜が設けられている、ことを特徴とする請求項４に記載の検出装置。
【請求項６】
前記第１の光は、第１の波長帯域における光であり、
前記第２の光は、前記第１の波長帯域とは異なる第２の波長帯域における光であり、
前記面には、入射した光の波長帯域に応じて当該光を反射または透過させるダイクロイック膜が設けられている、ことを特徴とする請求項４に記載の検出装置。
【請求項７】
前記面には、前記第２スコープから射出された前記第２の光を反射する反射膜が設けられている、ことを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載の検出装置。
【請求項８】
前記第１スコープは、前記透過部を透過した前記第１の光の焦点の高さが変わらないように前記光学部材に対して相対的に移動する、ことを特徴とする請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載の検出装置。
【請求項９】
前記第１スコープは、その光軸が前記基板の表面に垂直になるように配置され、
前記第２スコープは、前記第１スコープの光軸と前記第２スコープの光軸との間の角度が９０度未満になるように配置されている、ことを特徴とする請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載の検出装置。
【請求項１０】
前記光学部材における前記面にプリズムが接合されている、ことを特徴とする請求項１乃至９のうちいずれか１項に記載の検出装置。
【請求項１１】
前記第１マークと前記第２マークとが並んでいる方向において前記相対位置を変える、ことを特徴とする請求項１乃至１０のうちいずれか１項に記載の検出装置。
【請求項１２】
基板にパターンを形成するリソグラフィ装置であって、
前記基板に設けられた複数のマークを検出する請求項１乃至１１のうちいずれか１項に記載の検出装置を含む、ことを特徴とするリソグラフィ装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載のリソグラフィ装置を用いて基板にパターンを形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を加工する工程と、
を含む、ことを特徴とする物品の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての検出装置は、基板に設けられた複数のマークを検出する検出装置であって、前記複数のマークのうち第１マークに照射される第１の光を射出し、前記第１マークで反射された光によって前記第１マークを検出する第１スコープと、前記複数のマークのうち前記第１マークとは異なる第２マークに照射される第２の光を射出し、前記第２マークで反射された光によって前記第２マークを検出する第２スコープと、前記第１の光を透過させて前記基板に入射させる透過部と、前記第２の光を反射して前記基板に入射させる面とを有する光学部材と、を含み、前記第１の光が前記第１マークに照射され且つ前記第２の光が前記第２マークに照射されるように、前記第１マークと前記第２マークとの間隔に応じて、前記第１の光が入射する前記透過部の入射位置と前記第２の光が反射される前記面の反射位置との相対位置を変える、ことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成28年6月15日(2016.6.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｓｉ層とＳｉＧｅ層が交互に積層された積層膜の前記ＳｉＧｅ膜を前記Ｓｉ層に対して選択的に等方性エッチングするドライエッチング方法において、
パルス変調された高周波電力により生成されＮＦ3ガスを用いたプラズマにより前記ＳｉＧe膜をプラズマエッチングすることを特徴とするドライエッチング方法。
【請求項２】
請求項１に記載のドライエッチング方法において、
前記ＮＦ3ガスにＯ2ガス、Ｎ2ガス、ＣＯ2ガスまたはＣＯガスを混合することを特徴とするドライエッチング方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２のいずれか一項に記載のドライエッチング方法において、
前記パルス変調のデューティー比を５０％以下とすることを特徴とするドライエッチング方法。
【請求項４】
Ｓｉ層とＳｉＧｅ層が交互に積層された積層膜の前記ＳｉＧｅ膜を前記Ｓｉ層に対して選択的に等方性エッチングするドライエッチング方法において、
連続プラズマにより前記積層膜に所定の深さの溝を形成し、
前記所定深さの溝を形成した後、パルス変調された高周波電力により生成されＮＦ3ガスを用いたプラズマにより前記ＳｉＧe膜をプラズマエッチングすることを特徴とするドライエッチング方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明は、Ｓｉ層とＳｉＧｅ層が交互に積層された積層膜の前記ＳｉＧｅ膜を前記Ｓｉ層に対して選択的に等方性エッチングするドライエッチング方法において、パルス変調された高周波電力により生成されＮＦ3ガスを用いたプラズマにより前記ＳｉＧe膜をプラズマエッチングすることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
さらに本発明は、Ｓｉ層とＳｉＧｅ層が交互に積層された積層膜の前記ＳｉＧｅ膜を前記Ｓｉ層に対して選択的に等方性エッチングするドライエッチング方法において、連続プラズマにより前記積層膜に所定の深さの溝を形成し、前記所定深さの溝を形成した後、パルス変調された高周波電力により生成されＮＦ3ガスを用いたプラズマにより前記ＳｉＧe膜をプラズマエッチングすることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成28年7月11日(2016.7.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光信号を発信または受信する光素子と、電気信号を光信号に変換するために光素子を駆動し、または、光信号から変換された電気信号を増幅する電子回路とが電気配線用基板に搭載された光サブアセンブリと、
前記光素子と光信号を伝送する光伝送体を光学的に結合可能とする光コネクタと、
前記電気配線用基板と装置ボードとを電気的に結合可能とする電気コネクタ用ソケットと電気コネクタとを含む光電気変換モジュールにおいて、
前記光コネクタは、前記光サブアセンブリの前記装置ボードと向い合う面に設置され、
前記光伝送体は光サブアセンブリと前記装置ボードとの間を通り、前記光サブアセンブリの前記装置ボードと向い合う面に設置される前記電気コネクタが前記電気コネクタ用ソケットに挿入された状態で、前記光サブアセンブリの少なくとも向い合う二辺に前記光伝送体を通すことができるように二辺が開放されており、
前記光伝送体を前記光サブアセンブリと前記装置ボードとの間に上下に重ねて通すことができるように構成した光電気変換モジュール。
【請求項２】
請求項１に記載の光電気変換モジュールにおいて、
少なくとも２チャンネルの前記電子回路が、前記電気配線用基板の、前記装置ボードと向い合う面とは反対側の面上に載置され、少なくとも２チャンネルの、光信号を発信または受信する前記光素子のうち少なくとも一方が、前記電気配線用基板の電子回路搭載面とは別の面に載置されている光電気変換モジュール。
【請求項３】
請求項１に記載の光電気変換モジュールにおいて、
光信号を発信または受信する前記光素子は、それぞれ少なくとも２チャンネル以上のアレイ光素子であり、前記光コネクタは、少なくとも４チャンネル以上の前記光伝送体が載置されたアレイ光コネクタであり、前記少なくとも1つの発光または受光素子アレイと、前記１つの光ファイバアレイが光学的に接続されるように構成された光電気変換モジュール。
【請求項４】
請求項２に記載の光電気変換モジュールにおいて、
前記電気配線用基板に載置された前記電子回路のうち、電気信号を光信号に変換するために光素子を駆動する電子回路と、光信号から変換された電気信号を増幅する電子回路とが、少なくとも２つの前記光素子の、発光または受光部をそれぞれ結ぶ一直線を中心として互いに向かい合うように載置されている光電気変換モジュール。
【請求項５】
請求項２に記載の光電気変換モジュールにおいて、
前記電子回路が搭載された前記電気配線用基板と同一面上に、前記電子回路を放熱するための放熱器が載置され、前記電気配線用基板の面上で、前記電子回路および接地と電気的に接続された金属パタンが形成され、前記放熱器と前記金属パタンとが接触されている光電気変換モジュール。
【請求項６】
請求項３に記載の光電気変換モジュールにおいて、
前記電気配線用基板の装置ボードと向い合う面上に発光素子アレイが載置され、前記電気配線用基板の装置ボードと向い合う面とは反対側の面上に受光素子アレイが載置されている光電気変換モジュール。
【請求項７】
請求項１に記載の光電気変換モジュールにおいて、
前記電気コネクタが、前記光伝送体と略平行となるように、前記光サブアセンブリの一辺に配置されている光電気変換モジュール。
【請求項８】
請求項１に記載の光電気変換モジュールにおいて、
前記電気コネクタが、前記光伝送体と略平行となるように、前記光サブアセンブリの向かい合う二辺に配置されている光電気変換モジュール。
【請求項９】
請求項１に記載の光電気変換モジュールにおいて、
前記電気コネクタが、前記光コネクタの周囲を取り囲む構造であり、少なくとも向かい合う二つの辺に、前記光伝送体を通すための少なくとも二つの窓領域を有する光電気変換モジュール。
【請求項１０】
請求項９に記載の光電気変換モジュールにおいて、
前記電気コネクタは、電気パッドが二次元配列している光電気変換モジュール。
【請求項１１】
請求項１に記載の光電気変換モジュールにおいて、
前記装置ボードの上に電気コネクタのソケットを設置するとともに、当該電気コネクタのソケットに光コネクタを固定し、前記光サブアセンブリに電気コネクタと光コネクタのソケットを搭載し、前記電気コネクタと前記光コネクタを一括して接続することを可能とした光電気変換モジュール。
【請求項１２】
請求項１に記載の光電気変換モジュールにおいて、
前記光素子と前記光伝送体との光結合を可能にする光接続部が、第一レンズと、当該第一レンズを収納するレンズホルダーを有する光コネクタ用ソケットと、第二レンズと光方向変換ミラーを有する光コネクタから構成されており、前記第二レンズから出射または当該第二レンズに入射する光が略平行光である光電気変換モジュール。
【請求項１３】
請求項１２に記載の光電気変換モジュールにおいて、
複数の光電気変換モジュールの間で、前記光コネクタの厚さを変化させた光電気変換モジュール。
【請求項１４】
請求項１から１３の何れか一つに記載された光電気変換モジュールを、装置ボード上に二次元配列し、前記光サブアセンブリの前記光コネクタが搭載されている面とは反対側の面に、水冷式または空冷式の一括型放熱器を設置した伝送装置。
【手続補正書】
【提出日】平成28年9月27日(2016.9.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を有するケースと、
コイルと、
前記ケースへの放熱経路を有する圧粉放熱磁芯と、
絶縁体と、
電気絶縁性を有する固定樹脂を備え、
前記ケース内に少なくとも前記コイル、前記圧粉放熱磁芯、及び前記絶縁体が収容され、
前記ケース内の隙間は、前記固定樹脂で充填され、
前記圧粉放熱磁芯の表面のうち、少なくとも前記コイル表面からの経路を有する部分に前記絶縁体が配され、
前記コイルで生じた熱を、前記圧粉放熱磁芯を介して前記ケースに放熱する経路を有し、
前記コイルへの通電により生じる前記圧粉放熱磁芯の前記コイルの周囲を周回する磁束は、前記絶縁体の少なくとも一部を貫くことを特徴とするリアクトル。
【請求項２】
前記開口部を覆う蓋部を有することを特徴とする請求項１に記載のリアクトル。
【請求項３】
前記ケースは１面の前記開口部、及び前記開口部と対向する底部を有し、
前記コイルの巻き軸は、前記ケース全体の中心より前記開口部の中心へ向かう向きと平行であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のリアクトル。
【請求項４】
前期圧粉放熱磁芯の全ての表面が前記絶縁体により被覆されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のリアクトル。
【請求項５】
前記絶縁体の厚さは０．３ｍｍ以上であり、
前記圧粉放熱磁芯の比透磁率は５０以上であることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載のリアクトル。
【手続補正書】
【提出日】平成28年9月13日(2016.9.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケースと、
コイルと、
前記ケースへの放熱経路を有する圧粉放熱磁芯と、
絶縁体を備え、
前記ケースに少なくとも前記コイル、前記圧粉放熱磁芯及び前記絶縁体が収容され、
前記圧粉放熱磁芯の表面のうち、少なくとも前記コイル表面からの経路を有する部分に前記絶縁体が配され、
前記コイルで生じた熱を、前記圧粉放熱磁芯を介して前記ケースに放熱する経路を有し、
前記コイルへの通電により生じる前記圧粉放熱磁芯の前記コイルの周囲を周回する磁束は、前記絶縁体の少なくとも一部を貫くことを特徴とするリアクトル。
【請求項２】
前記圧粉放熱磁芯表面が全て前記絶縁体で覆われていることを特徴とする請求項１に記載のリアクトル。
【請求項３】
さらに結合剤と金属軟磁性粉を主に含有する複合磁性体を有し、
前記金属軟磁性粉は、表面に絶縁皮膜を有し、
前記複合磁性体が前記ケース内部の隙間を充填していることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のリアクトル。
【請求項４】
前記絶縁体の厚さは０．３ｍｍ以上であり、
前記コイル表面から前記ケースまでの間の前記複合磁性体の厚さは２ｍｍ以上であり、
前記圧粉放熱磁芯の比透磁率は５０以上であり、
前記複合磁性体の比透磁率は５０未満であることを特徴とする請求項３に記載のリアクトル。
【手続補正書】
【提出日】平成28年8月8日(2016.8.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサーが実装される実装領域を第１面に設けた基材を備え、
前記実装領域には、前記センサーに設けられている端子が接続される実装端子が設けられた第１部分と、絶縁部を含む第２部分と、が設けられ、
前記実装端子から前記実装領域の外側に向かって配線が延設され、
前記第２部分には、陥没部または貫通穴が設けられていること、を特徴とする実装基板。
【請求項２】
前記実装領域の前記絶縁部は、基材の表面に設けられた絶縁層、および、基材表面が露出した部分の少なくとも一方を備えていることを特徴とする請求項１に記載の実装基板。
【請求項３】
前記基材は、複数の層を備えた多層構造であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の実装基板。
【請求項４】
前記配線は、前記複数の層の少なくとも一つに設けられ、前記第１面と交差する垂直方向から前記基材を平面視した場合において、前記実装領域を迂回して設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の実装基板。
【請求項５】
接続面に端子が設けられているセンサーと、
前記センサーが実装されている実装領域を第１面に有する基材と、を備え、
前記実装領域には、前記センサーに設けられている端子が接続される実装端子が設けられた第１部分と、絶縁部を含む第２部分と、が設けられ、
前記実装端子から前記実装領域の外側に向かって配線が延設され、
前記第２部分には、陥没部または貫通穴が設けられていること、を特徴とするセンサーユニット。
【請求項６】
前記センサーの前記接続面には、溝部が設けられていることを特徴とする請求項５に記載のセンサーユニット。
【請求項７】
請求項５または請求項６に記載したセンサーユニットが搭載されていることを特徴とする電子機器。
【請求項８】
請求項５または請求項６に記載したセンサーユニットが搭載されていることを特徴とする移動体。
【手続補正書】
【提出日】平成28年10月11日(2016.10.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
［第１の実施形態］
以下では、図１乃至図７、図１２を参照して、本発明の第１の実施形態について説明する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
制御部２００は、ＣＰＵ２０１、ＲＯＭ２０２、ＲＡＭ２０３、ＨＤＤ２０４、操作部インタフェース（Ｉ／Ｆ）２０５、プリンタＩ／Ｆ２０６、スキャナＩ／Ｆ２０７及びネットワークＩ／Ｆ２０８を備える。制御部２００は、これらのデバイスによってＭＦＰ１０１全体の動作を制御する。操作部Ｉ／Ｆ２０５、プリンタＩ／Ｆ２０６及びスキャナＩ／Ｆ２０７には、それぞれ操作部２０９、プリンタ２１０及びスキャナ２１１が接続されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
一方、図１２（Ａ）に示すように、ユーザ名が「uchida」のユーザについては、ユーザ情報管理部３１１によって認証パスワードが管理されている。これは、図１２（Ｂ）に示すように、そのユーザのユーザ情報が、ＭＦＰ用のユーザ情報管理部３２１によって管理されていないためである。ユーザ情報管理部３１１は、ユーザ情報管理部３２１によってユーザ情報が管理されていないユーザについてのみ、認証パスワードを管理する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
具体的には、ユーザ情報編集部３１２は、ＭＦＰ認証用のユーザ情報管理部３２１が管理しているユーザ情報に、入力されたユーザ名と同一のユーザ名を示す情報が存在するか否かを、ユーザ情報管理部３２１に問い合わせる。なお、ユーザ情報編集部３１２は、Ｓ６０２におけるユーザ情報の存在の確認を、存在確認ボタン４１０の押下に応じて行うのではなく、Ｓ６０１でユーザ名が入力されたことに応じて、自動的に実行してもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
次に、Ｓ９０４で、ユーザ情報編集部３１２は、ユーザによってＯＫボタン４０９が押下されたことが操作部２０９によって検知されると（Ｓ９０４で「ＹＥＳ」）、処理をＳ９０５に進める。Ｓ９０６で、ユーザ情報編集部３１２は、編集画面８００を介して入力されたユーザ情報を、ＳＮＭＰ認証用のユーザ情報としてユーザ情報管理部３１１に登録する。その際、ユーザ情報編集部３１２は、認証パスワードを登録することなく、選択されたユーザ名を含む情報を、ユーザ情報としてユーザ情報管理部３１１に登録する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項７】
前記第２の認証手段は、前記第２の認証手段で管理しているユーザ情報が更新されると、更新されたユーザ情報を前記第１の認証手段に通知し、
前記第１の認証手段は、前記第２の認証手段から、更新されたユーザ情報が通知されると、通知されたユーザ情報で、前記第１の認証手段で管理しているユーザ情報を更新する
ことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【手続補正７】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項８】
前記第１の認証手段は、前記第１の認証手段で管理しているユーザ情報が更新されると、更新されたユーザ情報を前記第２の認証手段に通知し、
前記第２の認証手段は、
前記第１の認証手段から、更新されたユーザ情報が通知されると、
通知されたユーザ情報に対応するユーザ情報を前記第２の認証手段で管理している場合には、通知されたユーザ情報で、当該管理しているユーザ情報を更新し、
通知されたユーザ情報に対応するユーザ情報を前記第２の認証手段で管理していない場合には、通知されたユーザ情報を用いて、前記第２の認証方式によるユーザ認証用のユーザ情報を新規に登録する
ことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【手続補正８】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１２】
それぞれ第１及び第２の認証方式によるユーザ認証を行うとともに、ユーザ認証用に登録されたユーザ情報をそれぞれ個別に管理する第１及び第２の認証手段を備える情報処理装置の制御方法であって、
前記第１の認証方式によるユーザ認証用に登録すべきユーザ情報の入力を受け付ける入力工程と、
前記入力工程でユーザ情報が入力されると、当該ユーザ情報が示すユーザについて、前記第２の認証手段によって前記第２の認証方式によるユーザ認証用のユーザ情報が管理されているか否かを確認する確認工程と、
前記確認工程で、前記第２の認証方式によるユーザ認証用のユーザ情報が管理されていないと確認された場合には、前記入力工程で入力されたユーザ情報を登録し、前記第２の認証方式によるユーザ認証用のユーザ情報が管理されていると確認された場合には、前記入力工程で入力されたユーザ情報のうち、前記第１の認証方式に固有の情報を登録するよう、前記第１の認証手段を制御する制御工程と
を含むことを特徴とする情報処理装置の制御方法。
【手続補正書】
【提出日】平成28年8月5日(2016.8.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
直流電源を交流電源に変換する第１の直流−交流変換器と、
第１の直流−交流変換器からの交流電源を直流電源に変換する第１の交流−直流変換器と、
正極性電圧と第１の負極性電圧とに交互に変化する交流電圧に、第１の交流−直流変換器の出力直流電圧を変換して、１対のケーブルを介して溶接負荷に供給する第２の直流−交流変換器と、
前記正極性電圧から前記第１の負極性電圧への移行時から前記第１の負極性電圧の期間よりも短い期間に亘って、第２の負極性電圧を前記溶接負荷に前記１対のケーブルを介して供給する重畳電源と、
前記１対のケーブルに誘起された電圧に起因して前記重畳電源の電圧が予め定めた電圧を超えたとき、前記１対のケーブル間の電圧を前記第１の交流−直流変換器の入力側に回生する回生回路とを、
有するアーク溶接機用電源装置。
【手続補正書】
【提出日】平成28年10月6日(2016.10.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
給電装置であって、
電子機器に無線給電を行う給電手段と、
前記電子機器との近接無線通信のための認証処理を実行した後に、前記電子機器と近接無線通信を行う通信手段と、
前記通信手段による前記近接無線通信を繰り返し実行するよう制御する制御手段と、
所定の範囲に前記電子機器及び前記電子機器と異なる機器の少なくとも一つが存在することを検出する検出手段とを有し、
前記検出手段により、前記電子機器と異なる機器が検出された状態で、前記通信手段による前記近接無線通信を実行するタイミングになった場合、前記制御手段は、前記認証処理を再実行するよう制御することを特徴とする給電装置。
【請求項２】
前記検出手段によって前記所定の範囲に前記電子機器と異なる機器が存在することが検出されていない状態で前記通信手段による前記近接無線通信を実行するタイミングになった場合、前記制御手段は、前記認証処理を行うことなく、前記通信手段による前記近接無線通信を実行することを特徴とする請求項１に記載の給電装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記通信手段による前記近接無線通信と、前記給電手段による無線給電とを、交互に実行するよう制御することを特徴とする請求項１または２に記載の給電装置。
【請求項４】
前記制御手段は、前記通信手段による前記近接無線通信によって前記電子機器から受信した情報に基づき、次に実行する前記給電手段による無線給電で出力する電力を決定することを特徴とする請求項３に記載の給電装置。
【請求項５】
前記制御手段は、前記給電手段によって出力される電力が所定値以下であるか否かに応じて、前記通信手段による前記近接無線通信を実行するタイミングになった場合に前記認証処理を再実行するか否かを制御することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の給電装置。
【請求項６】
前記制御手段は、前記電子機器に接続される電池の残容量に応じて、前記通信手段による前記近接無線通信を実行するタイミングになった場合に前記認証処理を再実行するか否かを制御することを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の給電装置。
【請求項７】
前記制御手段は、前記電子機器の動作モードに応じて、前記通信手段による前記近接無線通信を実行するタイミングになった場合に前記認証処理を再実行するか否かを制御することを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の給電装置。
【請求項８】
前記通信手段は、ＮＦＣ（Ｎｅａｒ  Ｆｉｅｌｄ  Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ）に基づいて、近接無線通信を行うことを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の給電装置。
【請求項９】
給電装置の制御方法であって、
電子機器に無線給電を行う給電ステップと、
前記電子機器との近接無線通信のための認証処理を実行する認証ステップと、
前記認証ステップの後に、前記電子機器と近接無線通信を行う通信ステップと、
前記通信ステップを繰り返し実行するよう制御する制御ステップと、
所定の範囲に前記電子機器及び前記電子機器と異なる機器の少なくとも一つが存在することを検出する検出ステップとを有し、
前記検出ステップにて前記電子機器と異なる機器が検出された状態で、前記通信ステップを実行するタイミングになった場合、前記制御ステップでは、前記認証処理を再実行するよう制御することを特徴とする給電装置の制御方法。
【請求項１０】
コンピュータを、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の給電装置の各手段として機能させるための、コンピュータが読み取り可能なプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明に係る給電装置は、給電装置であって、電子機器に無線給電を行う給電手段と、前記電子機器との近接無線通信のための認証処理を実行した後に、前記電子機器と近接無線通信を行う通信手段と、前記通信手段による前記近接無線通信を繰り返し実行するよう制御する制御手段と、所定の範囲に前記電子機器及び前記電子機器と異なる機器の少なくとも一つが存在することを検出する検出手段とを有し、前記検出手段により、前記電子機器と異なる機器が検出された状態で、前記通信手段による前記近接無線通信を実行するタイミングになった場合、前記制御手段は、前記認証処理を再実行するよう制御することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成28年5月10日(2016.5.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一台の内線電話機を収容する主装置であって、
制御内容の識別情報を含む少なくとも一つの制御コマンドが制御対象の前記内線電話機の内線番号に対応付けられて記述された電子メールである制御依頼メールを受信する制御依頼メール受信手段と、
前記制御依頼メール受信手段により受信された制御依頼メールに記述されている制御コマンドに対応付けられている内線番号により特定される前記内線電話機に対して、当該制御コマンドに含まれている識別情報により特定される制御内容に従った制御を行う制御コマンド処理手段と、を有する
ことを特徴とする主装置。
【請求項２】
請求項１に記載の主装置であって、
前記制御コマンドは、表示メッセージを含んでおり、
前記制御コマンド処理手段は、
前記制御依頼メール受信手段により受信された制御依頼メールに記述されている制御コマンドに対応付けられている内線番号により特定される前記内線電話機に対して、当該制御コマンドに含まれている表示メッセージの表示を行う
ことを特徴とする主装置。
【請求項３】
少なくとも一台の内線電話機を収容する主装置を通信端末から遠隔制御する主装置の遠隔制御方法であって、
前記通信端末は、
操作者の指示に従い、制御依頼メールとして、制御内容の識別情報を含む少なくとも一つの制御コマンドが制御対象の前記内線電話機の内線番号に対応付けられて記述された電子メールを作成し、当該制御依頼メールを主装置に送信し、
前記主装置は、
前記通信端末から前記制御依頼メールを受信すると、当該制御依頼メールに記述されている制御コマンドに対応付けて登録されている内線番号により特定される内線電話機に対して、当該制御コマンドに含まれている識別情報により特定される制御内容に従った制御を行う
ことを特徴とする主装置の遠隔制御方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明では、少なくとも一台の内線電話機を収容する主装置に電子メールクライアント機能を搭載し、通信端末による主装置の遠隔制御に電子メールを用いた。すなわち、通信端末は、制御依頼メールとして、制御内容の識別情報を含む少なくとも一つの制御コマンドが制御対象の内線電話機の内線番号に対応付けられて記述された電子メールを主装置に送信する。主装置は、受信した電子メールが制御依頼メールであることを認識すると、この制御依頼メールに記述されている制御コマンドに対応付けられている内線番号により特定される内線電話機に対して、この制御コマンドに含まれている識別情報により特定される制御内容に従った制御を行う。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
例えば、本発明は、少なくとも一台の内線電話機を収容する主装置であって、
制御内容の識別情報を含む少なくとも一つの制御コマンドが制御対象の前記内線電話機の内線番号に対応付けられて記述された電子メールである制御依頼メールを受信する制御依頼メール受信手段と、
前記制御依頼メール受信手段により受信された制御依頼メールに記述されている制御コマンドに対応付けられている内線番号により特定される前記内線電話機に対して、当該制御コマンドに含まれている識別情報により特定される制御内容に従った制御を行う制御コマンド処理手段と、を有する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明によれば、ユーザは、制御依頼メールを作成して、携帯端末等の通信端末から主装置に送信することにより、主装置に対する遠隔制御を、内線電話機毎に実施させることができる。したがって、簡単な操作で効率よく主装置を遠隔制御することができる。