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【手続補正書】
【提出日】平成28年4月19日(2016.4.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記のＡ成分，Ｂ成分，Ｃ成分及びＤ成分を含む水溶性金属加工油剤であって、
該Ａ成分がペンタエリスリトール、ネオペンチルグリコール、トリメチロールプロパンからなる群より選択されるポリオールと、ミリスチン酸、パルミチン酸、ステアリン酸、アラキジン酸、ベヘン酸、リグノセリン酸、オレイン酸、エライジン酸、エルカ酸、ネルボン酸、リノール酸、γ−リノレン酸、アラキドン酸、α−リノレン酸、ステアリドン酸、エイコサペンタエン酸、及びドコサヘキサエン酸からなる群より選択されるカルボン酸とのポリオールエステルであり、かつＪＩＳ  Ｋ２２４２に基づいて測定される特性温度が５７０℃以上を満たし、該水溶性金属加工油剤の全量に対して１０質量％以上含まれ、
該Ｂ成分がヒドロキシカルボン酸を脱水縮合させることにより得られる縮合脂肪酸（１）、及び該縮合脂肪酸（１）のアルコール性水酸基と１価のカルボン酸とを脱水縮合させることにより得られる縮合脂肪酸（２）のうち少なくともいずれか１種の縮合脂肪酸であり、かつＪＩＳ  Ｋ２２４２に基づいて測定される特性温度が６５０℃以上を満たし、さらに該水溶性金属加工油剤の全量に対して７．５質量％以上含まれ、
該Ｃ成分が炭素数１６以上のカルボン酸及び炭素数１２以下のカルボン酸を含み、該Ｃ成分が該水溶性金属加工油剤の全量に対して２質量％以上含まれ、
該Ｄ成分が塩基性化合物であり、少なくとも前記Ｂ成分と前記Ｃ成分との和の酸価を中和する中和当量分含まれる
ことを特徴とする水溶性金属加工油剤。
【請求項２】
前記Ｃ成分が含む炭素数１２以下のカルボン酸の炭素数が１０以下である請求項１に記載の水溶性金属加工油剤。
【請求項３】
前記Ｃ成分が、ジカルボン酸を含む請求項１又は２に記載の水溶性金属加工油剤。
【請求項４】
前記Ｃ成分が、炭素数１０以下のモノカルボン酸及び炭素数１０以下のジカルボン酸を含む請求項１〜３のいずれか１項に記載の水溶性金属加工油剤。
【請求項５】
前記Ａ成分の前記特性温度が６５０℃以上を満たす請求項１〜４のいずれか１項に記載の水溶性金属加工油剤。
【請求項６】
前記ポリオールエステルがペンタエリスリトールとミリスチン酸、パルミチン酸、ステアリン酸、アラキジン酸、ベヘン酸、リグノセリン酸、オレイン酸、エライジン酸、エルカ酸、ネルボン酸、リノール酸、γ−リノレン酸、アラキドン酸、α−リノレン酸、ステアリドン酸、エイコサペンタエン酸、及びドコサヘキサエン酸からなる群より選択されるカルボン酸とのポリオールエステルである請求項１〜５のいずれか１項に記載の水溶性金属加工油剤。
【請求項７】
前記Ｂ成分の酸価が４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下である請求項１〜６のいずれか１項に記載の水溶性金属加工油剤。
【請求項８】
前記Ｂ成分の水酸基価が５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下である請求項１〜７のいずれか１項に記載の水溶性金属加工油剤。
【請求項９】
前記Ｄ成分がアミン化合物又はアルカリ金属化合物である請求項１〜８のいずれか１項に記載の水溶性金属加工油剤。
【請求項１０】
さらに、水を含む請求項１〜９のいずれか１項に記載の水溶性金属加工油剤。
【請求項１１】
前記請求項１〜１０のいずれか１項に記載の水溶性金属加工油剤が水で希釈された金属加工液。
【請求項１２】
前記請求項１〜１０のいずれか１項に記載の水溶性金属加工油剤を用いて、金属からなる被加工材を加工する金属加工方法。
【請求項１３】
前記請求項１１に記載の金属加工液を用いて、金属からなる被加工材を加工する金属加工方法。
【請求項１４】
前記被加工材が、チタン、チタン合金、ニッケル合金、ニオブ合金、タンタル合金、モリブデン合金、タングステン合金、ステンレス鋼、及び高マンガン鋼難加工材を含む群から選ばれる少なくとも１種である請求項１２又は１３に記載の金属加工方法。
【請求項１５】
金属加工方法が、断続切削である請求項１２〜１４のいずれか１項に記載の金属加工方法。
【手続補正書】
【提出日】平成28年7月25日(2016.7.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明に係る密閉形圧縮機は、密閉容器内に圧縮機構部が固定された密閉形圧縮機において、前記圧縮機構部は、前記密閉容器内に隙間嵌めされるフランジ部を備え、該フランジ部は、焼結体で構成され、一部に前記密閉容器との固定部を有し、該固定部は、前記フランジ部の一端面から他端面側に延出する係止溝を備え、前記密閉容器には、前記係止溝に進入する突部が設けられ、前記圧縮機構部の前記係止溝と前記密閉容器の前記突部とによって、前記圧縮機構部と前記密閉容器とが相互に固定される。
また、本発明に係る冷凍サイクル装置は、前記の密閉形圧縮機を備えたものである。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
密閉容器内に圧縮機構部が固定された密閉形圧縮機において、
前記圧縮機構部は、
前記密閉容器内に隙間嵌めされるフランジ部を備え、
該フランジ部は、
焼結体で構成され、一部に前記密閉容器との固定部を有し、
該固定部は、
前記フランジ部の一端面から他端面側に延出する係止溝を備え、
前記密閉容器には、前記係止溝に進入する突部が設けられ、
前記圧縮機構部の前記係止溝と前記密閉容器の前記突部とによって、前記圧縮機構部と前記密閉容器とが相互に固定される、密閉形圧縮機。
【請求項２】
前記係止溝は、複数本が１組となり、前記フランジ部に１組以上設けられていることを特徴とする請求項１記載の密閉形圧縮機。
【請求項３】
前記密閉容器の前記突部は、前記密閉容器の前記係止溝に対向する部分が加熱状態下で前記係止溝の底部の方向に押し付けられて該密閉容器の内周部に成形されたものである、請求項１又は２記載の密閉形圧縮機。
【請求項４】
前記密閉容器の前記係止溝に対向する部分が加熱される温度は、前記密閉容器の材料の軟化する温度以上でかつ融点未満の温度である、請求項３記載の密閉形圧縮機。
【請求項５】
密閉容器内に圧縮機構部が固定された密閉形圧縮機において、
前記圧縮機構部は、前記密閉容器内に締まり嵌めされる、フランジ部を備え、
該フランジ部は、焼結体で構成され、一部に前記密閉容器との固定部を有し、
該固定部は、
前記フランジ部の一端面から他端面側に延出する係止溝を備え、
前記密閉容器には、前記係止溝に対向する部分に、該係止溝内に進入する突部が設けられ、
前記圧縮機構部の前記係止溝と前記密閉容器の前記突部とによって、前記圧縮機構部と前記密閉容器とが相互に固定される、密閉形圧縮機。
【請求項６】
前記係止溝は、複数本が１組となり、前記フランジ部に１組以上設けられている、請求項５記載の密閉形圧縮機。
【請求項７】
前記密閉容器の前記突部は、前記密閉容器の前記係止溝に対向する部分が加熱状態下で前記係止溝の底部の方向に押し付けられて該密閉容器の内周部に成形されたものである、請求項５又は６記載の密閉形圧縮機。
【請求項８】
前記密閉容器の前記係止溝に対向する部分が加熱される温度は、前記密閉容器の材料の軟化する温度以上でかつ融点未満の温度である、請求項７記載の密閉形圧縮機。
【請求項９】
前記圧縮機構部の前記係止溝は、該圧縮機構部の軸方向と同一方向の貫通溝である、請求項１〜８のいずれか一項に記載の密閉形圧縮機。
【請求項１０】
前記圧縮機構部の前記係止溝は、該圧縮機構部の軸方向と同一方向の止まり溝である、請求項１〜８のいずれか一項に記載の密閉形圧縮機。
【請求項１１】
前記圧縮機構部の前記係止溝は、該圧縮機構部の軸方向に対し傾斜させた貫通溝である、請求項１〜８のいずれか一項に記載の密閉形圧縮機。
【請求項１２】
前記圧縮機構部の前記係止溝は、前記フランジ部の両端面からそれぞれ成形された止まり溝であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の密閉形圧縮機。
【請求項１３】
前記圧縮機構部の前記係止溝は、同一軸線上で対向するように前記フランジ部の両端面からそれぞれ成形された止まり溝であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の密閉形圧縮機。
【請求項１４】
請求項１〜１３のいずれか一項に記載の密閉形圧縮機を備える、冷凍サイクル装置。
【手続補正書】
【提出日】平成28年9月28日(2016.9.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
動力源である主機の出力を補助する補機を駆動する複数の駆動装置それぞれが備える制御装置のうち、一つの駆動装置の内部に組み込まれた制御装置であって、
前記一つの駆動装置の制御を行うための駆動制御部と、
前記一つの駆動装置を含む前記複数の駆動装置全ての制御を行い、前記補機の制御を行う補機制御部と、
を備える制御装置。
【請求項２】
前記一つの駆動装置は、アクチュエータである
請求項１に記載の制御装置。
【請求項３】
前記補機は、電動式ターボチャージャであり、
前記一つの駆動装置は、モータ装置である
請求項１に記載の制御装置。
【請求項４】
請求項２に記載の制御装置を備えたアクチュエータ。
【請求項５】
請求項３に記載の制御装置を備えたモータ装置。
【請求項６】
請求項４に記載のアクチュエータと、請求項５に記載のモータ装置とのうち、
少なくとも一方を搭載した過給機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の第１の態様は、動力源である主機の出力を補助する補機を駆動する複数の駆動装置それぞれが備える制御装置のうち、一つの駆動装置の内部に組み込まれた制御装置であって、前記一つの駆動装置の制御を行うための駆動制御部と、前記一つの駆動装置を含む前記複数の駆動装置全ての制御を行い、前記補機の制御を行う補機制御部と、を備える制御装置である。
【手続補正書】
【提出日】平成28年7月27日(2016.7.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心軸（ＣＡ２０）方向の一端に形成され燃料を噴射する噴孔（３１０）、及び、前記噴孔の周囲に形成される弁座（３２２）を有するハウジング（２０）と、
前記ハウジング内に固定される固定コア（３５）と、
前記固定コアの前記弁座側に往復移動可能に設けられる可動コア（３７）と、
電力が供給されると前記可動コアを前記固定コア側に吸引可能なコイル（３８）と、
前記可動コアと一体となって前記ハウジング内を往復移動可能に設けられ、前記噴孔側の端部に形成される第一シール部（４１、５１、７１）、及び、前記第一シール部の前記固定コア側に形成される第二シール部（４２、５２、６２、８２）を有し、前記第一シール部と前記第二シール部との境界（４００、５００、６００、７００、８００）が前記弁座から離間または前記弁座に当接すると前記噴孔が開閉するニードル（４０、５０、６０、７０、８０）と、
前記ニードルを閉弁方向に付勢する付勢部材（２４）と、
を備え、
前記第二シール部の外壁である第二外壁（５２１、６２１、８２１）は、前記ニードルの内部から外部側へ突出する凸球面状に形成され、
前記中心軸を含む断面において前記境界における前記第一シール部の外壁である第一外壁（４１１、７１１）の接線と前記中心軸とがなす角度（θ４１１、θ５１１、θ７１１）は、前記境界における前記第二外壁の接線と前記中心軸とがなす角度（θ４２１、θ５２１、θ６２１、θ８２１）より大きいことを特徴とする燃料噴射弁（１、２、３、４、５）。
【請求項２】
前記第一外壁は、前記中心軸方向において前記噴孔に向かうに従って内径が小さくなるようテーパ状に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の燃料噴射弁。
【請求項３】
前記第一外壁は、前記中心軸を含む断面形状が前記ニードルの内部から外部側へ突出する凸状の曲線であることを特徴とする請求項１に記載の燃料噴射弁。
【請求項４】
前記第一外壁は、前記中心軸を含む断面形状が前記ニードルの外部から内部側へ凹む凹状の曲線であることを特徴とする請求項１に記載の燃料噴射弁。
【請求項５】
前記第一外壁は、球面状に形成されることを特徴とする請求項１、３、４のいずれか一項に記載の燃料噴射弁。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、燃料噴射弁であって、ハウジング、固定コア、可動コア、コイル、ニードル、及び、付勢部材を備える。
ニードルは、噴孔側端部に形成される第一シール部、及び、第一シール部の固定コア側に設けられる第二シール部を有する。
本発明の燃料噴射弁は、第一シール部と第二シール部との境界が弁座から離間または弁座に当接すると噴孔が開閉することを特徴とする。また、本発明の燃料噴射弁は、第二シール部の外壁である第二外壁がニードルの内部から外部側へ突出する凸球面状に形成されていることを特徴とする。また、本発明の燃料噴射弁は、中心軸を含む断面において境界における第一シール部の外壁である第一外壁の接線と中心軸とがなす角度が境界における第二外壁の接線と中心軸とがなす角度より大きいことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明の燃料噴射弁では、第二外壁は、ニードルの内部から外部側へ突出する凸球面状に形成されている。第二外壁とハウジングの内壁との隙間は、第二外壁の両方をテーパ状に形成する場合に比べ広くなるため、境界と弁座とが離間するとき、噴射に必要な量の燃料を噴孔まで確実に供給することができる。
また、本発明の燃料噴射弁では、第一外壁は、中心軸を含む断面において境界における第一外壁の接線と中心軸とがなす角度が境界における第二外壁の接線と中心軸とがなす角度より大きくなるよう形成されている。これにより、弁座と当接可能なシール部の外壁が球面状に形成されている場合に比べて、境界と弁座との間に入り込む異物を壊すことで異物を排除することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
このように、本発明の燃料噴射弁は、シート径を安定させることによって燃料噴射量の経時変化を小さくしつつ境界と弁座との間に入り込む異物を排除し、境界上流側である第二外壁とハウジングの内壁との隙間を広くすることによって噴射に必要な量の燃料を噴孔まで確実に供給することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成28年8月26日(2016.8.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロータ軸に取り付けられるとともに取込口から流入する流体を圧縮して吐出口から吐出する羽根車と、
該羽根車を収容するとともに前記ロータ軸の軸線方向に延在し、前記流体を吸入する吸入口が設けられた案内筒と、
該案内筒よりも前記軸線方向に直交する径方向の外周側に配置されるとともに前記吐出口から吐出された圧縮流体が流入する渦形室を形成するスクロール部と、
前記案内筒を前記スクロール部に取り付けるとともに頭部と軸部とを備える締結ボルトとを備え、
前記スクロール部は、前記吐出口側に設けられた内周側端部と、該内周側端部と前記軸線方向に離間して、前記吸入口側に設けられた端部とを備え、
前記内周側端部には、前記締結ボルトの前記軸部の先端が締結される締結穴が形成され、
前記端部には、前記締結ボルトの前記軸部が挿入される貫通穴が形成されており、
前記締結ボルトは、前記頭部が前記案内筒の前記流体を吸入する吸入口側の端部に取り付けられるとともに前記軸部の先端が前記締結穴に締結される遠心圧縮機。
【請求項２】
前記吐出口から吐出された前記流体を前記渦形室へ導くとともに前記スクロール部の前記内周側端部に取り付けられるディフューザ部を備える請求項１に記載の遠心圧縮機。
【請求項３】
前記スクロール部は、前記渦形室を形成する部分から前記径方向の内周側に突出する突出部を有し、
前記締結穴が前記突出部に形成されている請求項１に記載の遠心圧縮機。
【請求項４】
複数の前記締結ボルトを備え、
前記締結穴は、前記内周側端部の前記軸線回りの複数箇所に形成されており、
前記複数の締結ボルトのそれぞれは、前記頭部が前記案内筒の前記吸入口側の端部に取り付けられるとともに前記軸部の先端が前記複数の締結穴のそれぞれに締結される請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の遠心圧縮機。
【請求項５】
前記締結ボルトは、圧延鋼材により形成されている請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の遠心圧縮機。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の遠心圧縮機と、
前記軸線回りに回転するとともに前記ロータ軸に連結されるタービンと、を備える過給機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は、以下の手段を採用する。
本発明の一態様に係る遠心圧縮機は、ロータ軸に取り付けられるとともに取込口から流入する流体を圧縮して吐出口から吐出する羽根車と、該羽根車を収容するとともに前記ロータ軸の軸線方向に延在し、前記流体を吸入する吸入口が設けられた案内筒と、該案内筒よりも前記軸線方向に直交する径方向の外周側に配置されるとともに前記吐出口から吐出された圧縮流体が流入する渦形室を形成するスクロール部と、前記案内筒を前記スクロール部に取り付けるとともに頭部と軸部とを有する締結ボルトとを備え、前記スクロール部は、前記吐出口側に設けられた内周側端部と、該内周側端部と前記軸線方向に離間して、前記吸入口側に設けられた端部とを備え、前記内周側端部には、前記締結ボルトの前記軸部の先端が締結される締結穴が形成され、前記端部には、前記締結ボルトの前記軸部が挿入される貫通穴が形成されており、前記締結ボルトは、前記頭部が前記案内筒の前記流体が流入する吸入口側の端部に取り付けられるとともに前記軸部の先端が前記締結穴に締結される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記態様の遠心圧縮機においては、前記吐出口から吐出された前記圧縮流体を前記渦形室へ導くとともに前記スクロール部の前記内周側端部に取り付けられるディフューザ部を有してもよい。
このようにすることで、締結ボルトの軸部の先端を、ディフューザ部が取り付けられるスクロール部の軸線方向の端部に至るまでの十分な長さとすることができる。これにより、案内筒からの衝撃力に対して軸部が軸線方向に十分な延び量を確保することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上記態様の遠心圧縮機においては、複数の前記締結ボルトを備え、前記締結穴は、前記内周側端部の前記軸線回りの複数箇所に形成されており、前記複数の締結ボルトのそれぞれは、前記頭部が前記案内筒の前記吸入口側の端部に取り付けられるとともに前記軸部の先端が前記複数の締結穴のそれぞれに締結されるようにしてもよい。
このようにすることで、下流側筒部の軸線回りの複数箇所に締結ボルトが配置され、複数の締結ボルトによって下流側筒部が取り囲まれた状態となる。これにより、破断部材が下流側筒部に衝突して下流側筒部に隙間が生じ、その隙間から破断部材が径方向に飛散する場合であっても、破断部材が更に径方向に飛散することが抑制される。
【手続補正書】
【提出日】平成28年9月20日(2016.9.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記式（１Ａ）で表される化合物、下記式（１Ｂ）で表される化合物、下記式（２Ａ）で表される化合物および下記式（２Ｂ）で表される化合物を含有するＤ−グルコピラノシルグリセロール組成物であって、
下記式（１Ａ）で表される化合物および下記式（１Ｂ）で表される化合物の合計質量（Ｓ１）と、下記式（２Ａ）で表される化合物および下記式（２Ｂ）で表される化合物の合計質量（Ｓ２）の比率が、８０：２０〜９０：１０（Ｓ１とＳ２の合計を１００とする。）であり、かつ
下記式（１Ａ）で表される化合物および下記式（２Ａ）で表される化合物の合計質量（ＳＡ）と、下記式（１Ｂ）で表される化合物および下記式（２Ｂ）で表される化合物の合計質量（ＳＢ）の比率が、５５：４５〜７０：３０（ＳＡとＳＢの合計を１００とする。）であることを特徴とする、Ｄ−グルコピラノシルグリセロール組成物。
【化１】
2016084299.tif 000001
【請求項２】
さらにグリセリンを含有する、請求項１に記載のＤ−グルコピラノシルグリセロール組成物。
【請求項３】
請求項１または２に記載のＤ−グルコピラノシルグリセロール組成物を含有する、化粧品または医薬部外品。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】Ｄ−グルコピラノシルグリセロール組成物
【手続補正書】
【提出日】平成28年3月25日(2016.3.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
図１１で示した外装材用取付部材は、Ｈ形鋼への取り付けには課題があった。具体的には、保持部に荷重がかかった際に、外装材用取付部材が構造材から抜けやすかった。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
締付手段受部３２は、本実施例において断面略コ字状になるように折り曲げられている。このとき、押圧体側壁部３１.３１の内面に近接するように折り曲げられていることが望ましい。このようにすることによって、押圧体側壁部３１.３１の変形を防止する効果がある。また、締付手段４として六角ボルトを用いる場合、断面略コ字状の二面幅を六角ボルト頭部の二面幅に合わせることによって、その回り止めとしての機能を付加することもできる。こうすることによって、取付金具の取り付けやすさが向上する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
第２締付手段受け８１が、断面略コ字状になるように折り曲げられる場合、図１０のようにその上面８１ａを軸ボルト挿通部８２.８２の外側まで延出させてもよい。こうすることによって、上面８１ａが台座２の側壁部２２.２２の上縁２２ｂ.２２ｂに当接され、軸ボルト５を中心に第２締付手段受け８１が回転することを防ぐことができる。このように第２締付手段受け８１を回転させないようにすることで、第２締付手段受け８１の孔が、常に抜け防止手段６の第２締付手段挿通部６１に対面された状態になり、第２締付手段７を挿通しやすくできる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2016084591.tif 000001
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2016084591.tif 000002
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2016084591.tif 000003
【手続補正書】
【提出日】平成27年12月16日(2015.12.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
前記不良信号が出力された際の供給コンベヤ１６における第１の送り制御について、図２および図３を参照して説明する。なお、本例では、フィルムＦの継ぎ目が含まれる包装サイクルとその次の包装サイクルとの２包装サイクル分についてを包装不良品Ｂとして取り扱う場合について例示する。前記検知センサ３４で検知された継ぎ目についてのフィルム搬送方向の送り位置を特定する不良信号が出力されてから、所定の包装サイクル数経過後に前記継ぎ目に応じて包装不良品ＢとすべきフィルムＦが製袋手段１４に至る。そして、前記包装不良品ＢとすべきフィルムＦが製袋手段１４に至る包装サイクルに合わせて、フィルムＦに供給コンベヤ１６からの物品Ｇの送り込みを休止すべく、供給コンベヤ１６を減速走行して停止した後に加速して走行を再開するよう、供給コンベヤ１６の駆動モータ１８を変速制御する。それにより、包装速度が高速に設定されている場合に、供給コンベヤ１６の走行速度が速いので、供給コンベヤ１６の走行を一時停止したのに関わらず該物品Ｇが慣性によって先走りしてしまい、図３(ｂ)に示すように、製袋手段１４で成形されたフィルムＦへの物品Ｇの送り込み位置が下流側へ位置ずれして、継ぎ目を含む包装サイクルとその次の包装サイクルとのフィルムＦに跨った状態で物品Ｇが供給される。そして、１包装サイクル分の供給コンベヤ１６の走行休止制御が行われて、図３(ｃ)に示すように、筒状に成形されたフィルムＦが前記横シール位置まで搬送された際の包装サイクルにおいて、前述の如くフィルムＦ中に位置ずれ状態で供給された物品Ｇが、前記シール体２８で噛み込まないようにするために、継ぎ目が横シール位置へ搬送されたときの包装サイクルとその次の包装サイクルとの間における横シール動作を休止するよう、横シール手段２６の駆動モータ３０が前記制御部３６により制御される。すなわち、検知センサ３４から前記不良信号が出力されてから、搬送されるフィルムＦは所定包装サイクル経過後において下流側の横シール手段２６に至り、継ぎ目が位置する２包装長分のフィルムＦの前後位置を横シール・切断することで、１包装分の物品Ｇが収容されて前記継ぎ目が存在する２包装長分のフィルム長さからなる袋として包装不良品Ｂを得ることができる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
〔実施例の作用〕
次に、実施例の作用について説明する。製袋手段１４に向けて搬送されるフィルムＦの不良箇所に関してその位置を特定する不良信号出力に基づき、前記不良箇所に応じて包装不良品ＢとすべきフィルムＦがフィルム成形位置に至る包装サイクル数経過後に、供給コンベヤ１６からの物品供給を休止すべく供給コンベヤ１６を減速・増速走行するように制御することで、包装不良品ＢとすべきフィルムＦに供給コンベヤ１６から送り込む物品Ｇを制限し、包装不良品Ｂとして取り扱う物品Ｇの絶対数を減らすことができる。このようなフィルムＦの不良で包装不良品Ｂとなった包装を解袋して袋と物品Ｇとを分別して回収するときの物品Ｇの回収数を減少することができる。そして、食品包装においては、包装不良品Ｂとして区分された包装済の内容物も含めて不良品として処分しなくてはならないこともある。前述した供給コンベヤ１６の送り制御によれば、いずれも物品ＧのフィルムＦへの送り込みを制限することができるので、そのような物品Ｇの無駄を削減することができる。また、供給コンベヤ１６の送り制御によってフィルムＦにずれた状態で物品Ｇが供給されても、横シール手段２６による横シール動作を休止するので、横シール手段２６で位置ずれしている物品Ｇを噛み込んで損傷するようなことがないので、解袋して回収する物品Ｇは、包装前と同じ良品として回収することができる。包装不良品Ｂとして、１包装長より長いフィルムＦ中に少なくとも１個の物品Ｇが収容された良品と異なる形態となるので、良品と不良品との判別が容易で、目視など、人手により包装不良品Ｂを分別する場合における選別漏れを防止できる。そして、包装不良率を低減できると共に、包装稼動率を向上できるなど、包装作業に係る効率化をなし得る。
【手続補正書】
【提出日】平成28年11月10日(2016.11.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリエステル繊維が、少なくとも（Ａ）ポリエポキシド化合物、（Ｂ）ガラス転移温度（Ｔｇ）が−４０℃〜１０℃であるゴムラテックス、（Ｃ）クロロ変性レゾルシンの３種を含む第１処理剤によって被覆され、さらにその外層としてレゾルシン・ホルマリン・ゴムラテックス（ＲＦＬ）を含む第２処理剤によって被覆されてなるホース補強用ポリエステル繊維コードであって、かつ、第１処理剤に含まれる（Ｃ）クロロ変性レゾルシンが、第１処理剤の固形分１００重量％に対して、０．２〜１０重量％であること、およびガーレー硬さが５ｍＮ〜８０ｍＮであることを特徴とするホース補強用ポリエステル繊維コード。
【請求項２】
前記第１処理剤に含まれる（Ｂ）ゴムラテックスが、第１処理剤の固形分１００重量％に対して２０〜７０重量％であることを特徴とする請求項１に記載のホース補強用ポリエステル繊維コード。
【請求項３】
前記第１処理剤に含まれる（Ａ）ポリエポキシド化合物が、第１処理剤の固形分１００重量％に対して２０〜７０重量％である請求項１〜２いずれかに記載のホース補強用ポリエステル繊維コード。
【請求項４】
前記第１処理剤に含まれる（Ａ）ポリエポキシド化合物、（Ｂ）ゴムラテックス、（Ｃ）クロロ変性レゾルシンの３種の合計が、第１処理剤の固形分１００重量％に対して８５〜１００重量％である請求項１〜３いずれかに記載のホース補強用ポリエステル繊維コード。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
（１）ポリエステル繊維が、少なくとも（Ａ）ポリエポキシド化合物、（Ｂ）ガラス転移温度（Ｔｇ）が−４０℃〜１０℃であるゴムラテックス、（Ｃ）クロロ変性レゾルシンの３種を含む第１処理剤によって被覆され、さらにその外層としてレゾルシン・ホルマリン・ゴムラテックス（ＲＦＬ）を含む第２処理剤によって被覆されてなるホース補強用ポリエステル繊維コードであって、かつ、第１処理剤に含まれる（Ｃ）クロロ変性レゾルシンが、第１処理剤の固形分１００重量％に対して、０．２〜１０重量％であること、およびガーレー硬さが５ｍＮ〜８０ｍＮであるホース補強用ポリエステル繊維コード。
【手続補正書】
【提出日】平成28年4月4日(2016.4.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
複数の表示部にそれぞれ異なる情報を表示する情報表示システム（１０）であって、
ドライバの視線を特定する視線特定手段（３２）と、
前記視線特定手段が特定した視線方向の前記表示部を、前記ドライバにより認知された認知表示部として特定する認知表示部特定手段（３３）と、
前記認知表示部として特定されていない前記表示部を非認知表示部として特定する非認知表示部特定手段（３４）と、
前記非認知表示部に表示されている情報に基づいて当該非認知表示部或いは当該非認知表示部に表示されている表示情報に優先順位を付与する優先順位付与手段（３５）と、
前記優先順位付与手段により前記優先順位が付与された後において、前記優先順位が上位の前記非認知表示部或いは前記表示情報が表示された表示部に、前記視線特定手段が特定したドライバの視線が向いていない場合に、当該非認知表示部或いは前記表示情報が表示された表示部に前記ドライバの視線を誘導するための誘導処理を実行する誘導処理実行手段（３６）と、
を備えることを特徴とする情報表示システム。
【手続補正書】
【提出日】平成28年9月20日(2016.9.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記一般式（I）で表されるクマリン誘導体並びにその薬学的に許容される塩及び水和物の少なくとも一種を含有する医薬（但し、炎症性疾患又は椎間板変性疾患の予防又は治療剤を除く）。
【化３】
2015193610.tif 000001
〔式中、R1及びR2は同一又は異なって、（a）アルコキシ、アルキル、シアノ、ニトロ、ヒドロキシ、トリフルオロメチル、アミノ、カルボキシ、アルコキシカルボニル、フェニル又は1若しくは2のハロゲンで置換されていてもよいフェニル、（b）ピリジル、（c）アルキル又は（d）チエニルを表す。〕
【請求項２】
R1及びR2が同一又は異なって、アルコキシ、アルキル、シアノ、ニトロ、ヒドロキシ、トリフルオロメチル、アミノ、カルボキシ、アルコキシカルボニル、フェニル又は1若しくは2のハロゲンで置換されていてもよいフェニルである請求項１に記載の医薬。
【請求項３】
R1及びR2が同一又は異なって、アルコキシ、アルキル、シアノ、ニトロ、ヒドロキシ、トリフルオロメチル、アミノ、カルボキシ、アルコキシカルボニル、フェニル又は1若しくは2のハロゲンで置換されているフェニルである請求項２に記載の医薬。
【請求項４】
R1及びR2の両方がトリフルオロメチルで置換されているフェニルである請求項３に記載の医薬。
【請求項５】
R1又はR2の一方がトリフルオロメチルで置換されているフェニルである請求項３に記載の医薬。
【請求項６】
R1又はR2の一方がトリフルオロメチルで置換されているフェニルで、他方がハロゲンで置換されているフェニルである請求項５に記載の医薬。
【請求項７】
ハロゲンが臭素である請求項６に記載の医薬。
【請求項８】
関節症の予防又は治療剤である請求項１乃至７のいずれか一項に記載の医薬。
【請求項９】
関節症が変形性関節症である請求項８に記載の医薬。
【請求項１０】
関節症が関節リウマチである請求項８に記載の医薬。
【請求項１１】
経口剤である請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の医薬。
【請求項１２】
注射剤である請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の医薬。
【請求項１３】
ヒアルロン酸が配合された注射剤である請求項１２に記載の医薬。
【手続補正書】
【提出日】平成27年12月2日(2015.12.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
治療有効量の結晶性ゲニステインナトリウム塩二水和物と、少なくとも１種の薬学的に許容されるキャリアとを含む治療用組成物であって、
前記結晶性ゲニステインナトリウム塩二水和物が、６．０、７．１、１５．３および２５．０°２θ±０．２°２θにおけるピークと、３つのピーク２８．３、２８．６および２９．１°２θ±０．２°２θのうちの少なくとも２つとを有するＸＲＰＤパターンを特徴とする、治療用組成物。
【請求項２】
治療有効量の結晶性ゲニステインナトリウム塩二水和物と、少なくとも１種の薬学的に許容されるキャリアとを含む治療用組成物であって、
前記結晶性ゲニステインナトリウム塩二水和物が、６．０、７．１、１５．３、２５．０および２８．３°２θ±０．２°２θにおけるピークを有するＸＲＰＤパターンを特徴とする、治療用組成物。
【請求項３】
癌を治療または予防するための、請求項１または２に記載の組成物。
【請求項４】
以下の（ｉ）または（ｉｉ）の結晶性ゲニステインナトリウム塩二水和物：
（ｉ）６．０、７．１、１５．３および２５．０°２θ±０．２°２θにおけるピークと、３つのピーク２８．３、２８．６および２９．１°２θ±０．２°２θのうちの少なくとも２つとを有するＸＲＰＤパターンを特徴とする、結晶性ゲニステインナトリウム塩二水和物；または
（ｉｉ）６．０、７．１、１５．３、２５．０および２８．３°２θ±０．２°２θにおけるピークを有するＸＲＰＤパターンを特徴とする、結晶性ゲニステインナトリウム塩二水和物；
であって、治療有効量の前記結晶性ゲニステインナトリウム塩二水和物を必要な患者に投与する工程を含む癌の治療方法において使用するための、結晶性ゲニステインナトリウム塩二水和物。
【手続補正書】
【提出日】平成27年12月3日(2015.12.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
患者において心房性不整脈を治療するための組成物であって、
前記組成物は、クラスＩａ、クラスＩｂ、およびクラスＩｃ抗不整脈薬からなる群から選択される有効量の少なくとも１つの薬学的抗不整脈薬を含み、前記少なくとも１つの薬学的抗不整脈薬が、最初に肺静脈を通って患者の心臓に侵入し、冠状静脈洞に到達するようにし、ここで、前記薬学的抗不整脈薬は、吸入を介して投与され、前記少なくとも１つの薬学的抗不整脈薬の量は、前記投与の開始から１０秒〜３０分の時点で、前記心臓の前記冠状静脈洞内でピークに達し、
ここで、吸入を介して投与された前記少なくとも１つの薬学的抗不整脈薬の放出量は、静脈内投与された同一の前記薬学的抗不整脈薬の量以下であり、前記冠状静脈洞内で前記薬学的抗不整脈薬の治療上有効量を達成することを特徴とする、組成物。
【請求項２】
請求項１に記載の組成物であって、前記患者が前記投与の開始から３０分以内に正常洞律動を有し、ここで、前記患者に侵入する前記少なくとも１つの薬学的抗不整脈薬の有効量が０．１ｍｇ〜５００ｍｇの範囲であり、ここで、前記心臓の前記冠状静脈洞内の前記少なくとも１つの薬学的抗不整脈薬の濃度は、投与の開始後２．５分で、０．１ｍｇ／Ｌ〜６０ｍｇ／Ｌの範囲であり、ここで、前記心臓の前記冠状静脈洞内の前記少なくとも１つの薬学的抗不整脈薬の濃度は、投与の開始後３０分で、０．１ｍｇ／Ｌ未満であるか、あるいは前記投与された少なくとも１つの薬学的抗不整脈薬の名目投与量の１０％〜６０％が、前記冠状静脈洞に到達する、組成物。
【請求項３】
請求項１あるいは２に記載の組成物であって、ここで、前記少なくとも１つの薬学的抗不整脈薬の量は、前記投与の開始から１０秒〜３０分の時点で、前記心臓の前記冠状静脈洞内でピークに達し、ここで、前記心臓の前記冠状静脈洞内の前記少なくとも１つの薬学的抗不整脈薬の濃度は、投与の開始後３０分で、０．１ｍｇ／Ｌ未満であるか、または前記組成物中の前記薬学的抗不整脈薬の量は０．１重量％〜１００重量％である、組成物。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の組成物であって、前記少なくとも１つの薬学的抗不整脈薬が１〜６回の吸入で投与されることを特徴とする、組成物。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の組成物であって、ここで、前記心房性不整脈が、上室性頻拍症、発作性上室性頻拍のような頻拍、心房細動、発作性心房細動、持続性および永久的な心房細動における急性発作、心房粗動、発作性心房粗動または孤立性心房細動を含む、組成物。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の組成物であって、前記少なくとも１つの薬学的抗不整脈薬を含む液体、乾燥粉末、凝縮エアロゾル、または噴霧溶液を含み、ここで前記粉末、エアロゾルまたは噴霧液滴が１０μｍ未満の空気動力学的中央粒子径を有する、組成物。
【請求項７】
患者において心房性不整脈を治療する組成物であって、
前記組成物が、クラスＩａ、クラスＩｂ、およびクラスＩｃ抗不整脈薬からなる群から選択される有効量の少なくとも１つの薬学的抗不整脈薬を含む前記組成物を吸入によって投与され、ここで、電気生理学的効果は、心電図検査法を介して、前記投与の開始から１０秒〜３０分の時点で観察されることを特徴とする、組成物。
【請求項８】
請求項７に記載の組成物であって、前記電気生理学的効果は、不整脈から正常洞律動への移行を含む、組成物。
【請求項９】
請求項７または８に記載の組成物であって、前記電気生理学的効果は、Ｐ波の非存在からＰ波の存在への移行を含む、組成物。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれかに記載の組成物であって、前記少なくとも１つの薬学的抗不整脈薬の前記有効量は、全体血液量によって希釈される場合、治療量以下である、組成物。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれかに記載の組成物であって、１０μｍ未満の空気動力学的中央粒子径を有する粒子であって、ここで前記粒子が、少なくとも１つの薬学的抗不整脈薬を、前記冠状静脈洞内で最小有効量を達成する、静脈内投与された同一の少なくとも１つの薬学的抗不整脈薬の量以下の量で含む粒子と、
薬学的に許容される賦形剤および溶媒と、
を含むエアロゾルを含む、組成物。
【手続補正書】
【提出日】平成28年1月8日(2016.1.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
排ガスをＣＯ２吸収塔に導入し、前記排ガスをＣＯ２吸収液に接触させてＣＯ２を回収する際、前記ＣＯ２吸収塔の系外へのＣＯ２吸収液の飛散を抑制するＣＯ２吸収液の飛散抑制方法であって、
前記排ガスをＣＯ２吸収塔に導入する前に、前記排ガス中の硫黄酸化物を除去する脱硫段階と、
前記脱硫段階の後、前記排ガス中に含まれ、前記ＣＯ２吸収塔内で前記ＣＯ２吸収液を取り込んで系外へ飛散する要因となるミストの発生源であるミスト発生物質を、湿式電気集塵機によって荷電することにより除去するミスト発生物質除去段階と、
前記ミスト発生物質除去段階の後、前記排ガスをＣＯ２吸収塔内に導入し、前記排ガスをＣＯ２吸収液に接触させてＣＯ２を回収するＣＯ２回収段階と、を含むことを特徴とする、ＣＯ２吸収液の飛散抑制方法。
【請求項２】
前記ミスト発生物質はＳＯ３を含む、請求項１に記載のＣＯ２吸収液の飛散抑制方法。
【請求項３】
前記脱硫段階の前に、前記排ガス中の窒素酸化物を除去する脱硝段階と、前記排ガス中の煤塵を除去する煤塵除去段階とを更に含む、請求項１又は請求項２に記載のＣＯ２吸収液の飛散抑制方法。
【請求項４】
排ガスをＣＯ２吸収塔に導入し、前記排ガスをＣＯ２吸収液に接触させてＣＯ２を回収する際、前記ＣＯ２吸収塔の系外へのＣＯ２吸収液の飛散を抑制するＣＯ２吸収液飛散抑制方法であって、
前記排ガスをＣＯ２吸収塔に導入する前に、前記排ガス中の硫黄酸化物を除去する脱硫段階と、
前記脱硫段階の後、前記排ガスの排ガス温度を冷却塔の冷却部によって下げる冷却段階と、
前記排ガスをＣＯ２吸収塔内に導入し、前記排ガスをＣＯ２吸収液に接触させてＣＯ２を回収するＣＯ２回収段階と、を含み、
前記脱硫段階と前記冷却段階との間の段階であって、前記排ガス中に含まれ、前記ＣＯ２吸収塔内で前記ＣＯ２吸収液を取り込んで系外へ飛散する要因となるミストの発生源であるミスト発生物質を、前記冷却塔に設けられた湿式電気集塵機によって荷電することにより除去するミスト発生物質除去段階と、を有することを特徴とする、ＣＯ２吸収液の飛散抑制方法。
【請求項５】
前記脱硫段階と前記ミスト発生物質除去段階との間の段階であって、前記冷却塔に設けられた仕上げ脱硫部によって脱硫の仕上げを行う脱硫仕上げ段階を更に含む請求項４に記載のＣＯ２吸収液の飛散抑制方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ＣＯ２吸収液の飛散抑制方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は、前記問題に鑑み、系外にＣＯ２を除去した排ガスを排出する際に、ＣＯ２吸収液の同伴を大幅に低減すると共に、適正な排ガス処理を行うことができるＣＯ２吸収液の飛散抑制方法を提供することを課題とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明のＣＯ２吸収液の飛散抑制方法は、排ガスをＣＯ２吸収塔に導入し、前記排ガスをＣＯ２吸収液に接触させてＣＯ２を回収する際、前記ＣＯ２吸収塔の系外へのＣＯ２吸収液の飛散を抑制するＣＯ２吸収液の飛散抑制方法であって、前記排ガスをＣＯ２吸収塔に導入する前に、前記排ガス中の硫黄酸化物を除去する脱硫段階と、前記脱硫段階の後、前記排ガス中に含まれ、前記ＣＯ２吸収塔内で前記ＣＯ２吸収液を取り込んで系外へ飛散する要因となるミストの発生源であるミスト発生物質を、湿式電気集塵機によって荷電することにより除去するミスト発生物質除去段階と、前記ミスト発生物質除去段階の後、前記排ガスをＣＯ２吸収塔内に導入し、前記排ガスをＣＯ２吸収液に接触させてＣＯ２を回収するＣＯ２回収段階と、を含むことを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明のＣＯ２吸収液の飛散抑制方法においては、前記ミスト発生物質はＳＯ３を含むことが好ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明のＣＯ２吸収液の飛散抑制方法においては、前記脱硫段階の前に、前記排ガス中の窒素酸化物を除去する脱硝段階と、前記排ガス中の煤塵を除去する煤塵除去段階とを更に含むことが好ましい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明のＣＯ２吸収液の飛散抑制方法は、排ガスをＣＯ２吸収塔に導入し、前記排ガスをＣＯ２吸収液に接触させてＣＯ２を回収する際、前記ＣＯ２吸収塔の系外へのＣＯ２吸収液の飛散を抑制するＣＯ２吸収液飛散抑制方法であって、前記排ガスをＣＯ２吸収塔に導入する前に、前記排ガス中の硫黄酸化物を除去する脱硫段階と、前記脱硫段階の後、前記排ガスの排ガス温度を冷却塔の冷却部によって下げる冷却段階と、前記排ガスをＣＯ２吸収塔内に導入し、前記排ガスをＣＯ２吸収液に接触させてＣＯ２を回収するＣＯ２回収段階と、を含み、前記脱硫段階と前記冷却段階との間の段階であって、前記排ガス中に含まれ、前記ＣＯ２吸収塔内で前記ＣＯ２吸収液を取り込んで系外へ飛散する要因となるミストの発生源であるミスト発生物質を、前記冷却塔に設けられた湿式電気集塵機によって荷電することにより除去するミスト発生物質除去段階と、を有することを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明のＣＯ２吸収液の飛散抑制方法においては、前記脱硫段階と前記ミスト発生物質除去段階との間の段階であって、前記冷却塔に設けられた仕上げ脱硫部によって脱硫の仕上げを行う脱硫仕上げ段階を更に含むことが好ましい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明のＣＯ２吸収液の飛散抑制方法によれば、ＣＯ２回収装置に導入する以前において、ミスト発生物質除去装置を設けたので、ＣＯ２吸収塔に導入される排ガス中のミスト発生物質の量が大幅に低減する。この結果、ミストに同伴されて系外へ飛散するＣＯ２吸収液の量が低減する。よって、系外へ飛散するＣＯ２吸収液のロスを大幅に低減することができると共に、排ガス処理におけるランニングコストの増大を抑制することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成28年1月14日(2016.1.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
フッ化物膜２６は、フッ化炭素系化合物で構成されることが好ましい。フッ化炭素系化合物は、フッ化炭素で形成される鎖状部位と、他の物質と結合する反応基とで構成される。  フッ化炭素系化合物としては、例えば、パーフルオロアルキルシラン類、パーフルオロポリエーテル基含有シラン化合物類などが挙げられる。
パーフルオロアルキルシラン類としては、下記式（１）や式（２）で表される化合物が挙げられる。
ＣＦ３（ＣＦ２）ｎＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＭｅ）ｍ  …（１）
ＣＦ３（ＣＦ２）ｎＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＲ）ｍ    …（２）
ただし、前記式（１）において、ｎは、１，３，５，または７であり、ｍは、２または３であり、Ｍｅは、メチル基またはエチル基である。
また、前記式（２）において、ｎは、１，３，５，または７であり、ｍは、２または３であり、Ｒは、ハロゲン元素である。
前記式（１）や式（２）で表される化合物の具体例としては、ＣＦ３（ＣＦ２）５ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３（例えば、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ製のＴＳＬ８２５７）、ＣＦ３（ＣＦ２）７ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３（例えば、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ製のＴＳＬ８２３３）、ＣＦ３（ＣＦ２）７ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣＨ３）２（例えば、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ製のＴＳＬ８２３１、または信越化学工業製のＫＢＭ７８０３）、ＣＦ３（ＣＦ２）７ＣＨ２ＣＨ２Ｓｉ（ＯＣ２Ｈ５）３（例えば、東レ・ダウコーニング製のＡＹ４３−１５８Ｅ）などが挙げられる。
パーフルオロポリエーテル基含有シラン化合物類には、パーフルオロポリエーテル変性アミノシラン、パーフルオロポリエーテル変性ポリシラザンなどがある。具体的には、例えば、信越化学工業製のＫＹ−１６４、ダイキン工業製のオプツールシリーズなどが挙げられる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本実施形態では、フッ化物含有溶液は、フッ化物および溶媒を含む。フッ化物は、上述のフッ化炭素系化合物で構成されることが好ましい。溶媒としては、フッ化物を溶解させ得ることができる溶媒であれば特に限定されないが、有機溶媒が好ましい。有機溶媒としては、例えば、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素系溶媒、酢酸エチル、酢酸ブチルなどのエステル系溶媒、ジオキサン、ジエチルエーテルなどのエーテル系溶媒、ブチルアルコールなどのアルコール系溶媒、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンなどのケトン系溶媒などが挙げられる。溶媒としては、１種類からなる単独の溶媒でもよいし、複数種類を混合させた混合溶媒でもよい。
フッ化物含有溶液を乾燥させる際に、溶媒を除去するとともに、フッ化物を窒化物膜２５に化学結合させてフッ化物膜２６を形成することが好ましい。窒化物膜２５にフッ化物を化学結合させる際には、予め窒化物膜２５に活性化処理を施しておくことが好ましい。活性化処理によって窒化物膜２５の表面に活性化処理を施して活性化層が形成される。この窒化物膜２５の表面に形成された活性化層に対して、フッ化物を化学結合させることが好ましい。活性化層を形成するための活性化処理を行うことで、窒化物膜２５の表面に付着した汚れが分解されて清浄化され、窒化物膜表面には分子結合手を有する活性化層が形成され、この分子結合手に水酸基が吸着し、フッ化炭素系化合物の反応基と反応して結合し易くなる。
【手続補正書】
【提出日】平成28年4月8日(2016.4.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）基板に対して、不活性ガスを供給しつつ、ハロゲン元素と金属元素とを含有するハロゲン含有金属原料を供給する工程と、
（ｂ）前記工程（ａ）の後、前記ハロゲン含有金属原料を除去する工程と、
（ｃ）前記工程（ｂ）の後、前記基板に対して、前記工程（ａ）で供給する前記不活性ガスの流量より多い流量で前記不活性ガスを供給しつつ、窒素元素を含む反応ガスを供給する工程と、
（ｄ）前記工程（ｃ）の後、前記反応ガスを除去する工程と、
を１回以上行うことにより前記基板上に金属含有窒化膜を形成し、前記工程（ｃ）で供給する前記不活性ガスの流量が、前記工程（ａ）で供給する前記不活性ガスの流量、前記工程（ｂ）で供給する不活性ガスの流量および前記工程（ｄ）で供給する前記不活性ガスの流量より多い半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記工程（ｃ）では、前記不活性ガスを、前記反応ガスの流量の１／２以上である流量で供給する請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記工程（ａ）で供給する不活性ガスの流量が、前記工程（ｂ）で供給する不活性ガスの流量および前記工程（ｄ）で供給する不活性ガスの流量より多い請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記工程（ａ）では、前記不活性ガスを、前記ハロゲン含有金属原料の流量の１／２以上である流量で供給する請求項３に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記ハロゲン元素は、塩素より結合エネルギーが小さいハロゲン元素である請求項１から請求項４のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
【請求項６】
前記ハロゲン元素は、ヨウ素、臭素のいずれかである請求項５に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項７】
基板を処理する処理室と、
前記処理室に、ハロゲン元素と金属元素とを含有するハロゲン含有金属原料、窒素元素を含む反応ガス、不活性ガスを供給するガス供給系と、
前記処理室を排気する排気系と、
（ａ）前記処理室に収容された基板に対して、前記不活性ガスを供給しつつ、前記ハロゲン含有金属原料を供給する処理と、（ｂ）前記処理（ａ）の後、前記ハロゲン含有金属原料を除去する処理と、（ｃ）前記処理（ｂ）の後、前記基板に対して、前記処理（ａ）で供給する前記不活性ガスの流量より多い流量で前記不活性ガスを供給しつつ、前記反応ガスを供給する処理と、（ｄ）前記処理（ｃ）の後、前記反応ガスを除去する処理と、を１回以上行うことにより前記基板上に金属含有窒化膜を形成し、前記工程（ｃ）で供給する前記不活性ガスの流量が、前記工程（ａ）で供給する前記不活性ガスの流量、前記工程（ｂ）で供給する不活性ガスの流量および前記工程（ｄ）で供給する前記不活性ガスの流量より多くなるよう前記ガス供給系および前記排気系を制御するように構成される制御部と、
を有する基板処理装置。
【請求項８】
（ａ）基板に対して、不活性ガスを供給しつつ、ハロゲン元素と金属元素とを含有するハロゲン含有金属原料を供給する手順と、
（ｂ）前記工程（ａ）の後、前記ハロゲン含有金属原料を除去する手順と、
（ｃ）前記工程（ｂ）の後、前記基板に対して、前記工程（ａ）で供給する前記不活性ガスの流量より多い流量で前記不活性ガスを供給しつつ、窒素元素を含む反応ガスを供給する手順と、
（ｄ）前記工程（ｃ）の後、前記反応ガスを除去する手順と、
を１回以上行うことにより前記基板上に金属含有窒化膜を形成し、前記手順（ｃ）で供給する前記不活性ガスの流量を、前記手順（ａ）で供給する前記不活性ガスの流量、前記手順（ｂ）で供給する不活性ガスの流量および前記手順（ｄ）で供給する前記不活性ガスの流量より多くする手順をコンピュータにより基板処理装置に実行させるプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム
【手続補正書】
【提出日】平成28年8月9日(2016.8.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３６】
本発明例のＮｏ．３２、３３では、最大粗さが３μｍ以下の滑らかな表面外観を得ながら、低光沢外観を得ることができた。これは、二流体ノズルに用いた気体の酸素濃度が高いため、未凝固状態のめっき浴表面が酸化され、これに対して、Ｎｏ．３１では酸素濃度が低く、めっき浴表面の酸化が促進されず、低光沢外観が得られなかった。