【手続補正書】
【提出日】平成28年10月28日(2016.10.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部から第１方向に沿って延出されていて、前記第１方向に交差する第２方向に沿って並んで配置されている２つの振動腕と、
前記基部を支持する支持部と、
を備え、
前記２つの振動腕が前記第２方向に沿って互いに反対方向に振動する駆動振動モードの共振周波数がｆ１［Ｈｚ］であり、前記支持部の変形を伴って前記基部が振動する第１の振動モードの共振周波数がｆ２［Ｈｚ］であり、前記駆動振動モードおよび前記第１の振動モードとは異なり、かつ、前記支持部の変形を伴う前記基部の振動および前記２つの振動腕の振動のうちの少なくとも一方を含む第２の振動モードの共振周波数がｆ３［Ｈｚ］であり、１以上の整数をｎとしたとき、
ｎ×ｆ１≠ｆ２＋ｆ３の関係を満たすことを特徴とする振動片。
【請求項２】
前記第１の振動モードおよび前記第２の振動モードのうちの少なくとも一方は、前記第１方向と異なる方向の振動成分を含んでいる請求項１に記載の振動片。
【請求項３】
前記第１の振動モードおよび前記第２の振動モードは、互いに直交する方向の振動成分を含んでいる請求項２に記載の振動片。
【請求項４】
前記第１の振動モードおよび前記第２の振動モードは、一方の振動モードが前記第２方向に沿った方向の振動成分を含み、他方の振動モードが前記第１方向および前記第２方向の双方に交差する第３方向に沿った方向の振動成分を含んでいる請求項２または３に記載の振動片。
【請求項５】
｜ｆ１−ｆ２−ｆ３｜≧１０Ｈｚの関係を満たす請求項１ないし４のいずれか１項に記載の振動片。
【請求項６】
前記２つの振動腕は、前記基部の前記第１方向での一端側と他端側とにそれぞれ配置されており、
前記基部の前記一端側に配置されている前記２つの振動腕と、前記基部の前記他端側に配置されている前記２つの振動腕とが互いに同じ方向に駆動振動する請求項１ないし５のいずれか１項に記載の振動片。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動片を備えることを特徴とする角速度センサー。
【請求項８】
基部と、
前記基部から第１方向に沿って延出されていて、前記第１方向に交差する第２方向に沿って並んで配置されている２つの振動腕と、
前記基部を支持する支持部と、
を備え、
前記２つの振動腕が前記第２方向に沿って互いに反対方向に振動する駆動振動モードの共振周波数がｆ１［Ｈｚ］であり、前記支持部の変形を伴って前記基部が振動する第１の振動モードの共振周波数がｆ２［Ｈｚ］であり、前記駆動振動モードおよび前記第１の振動モードとは異なり、かつ、前記支持部の変形を伴う前記基部の振動および前記２つの振動腕の振動のうちの少なくとも一方を含む第２の振動モードの共振周波数がｆ３［Ｈｚ］であり、１以上の整数をｎとしたとき、
ｎ×ｆ１≠ｆ２＋ｆ３の関係を満たすことを特徴とする角速度センサー。
【請求項９】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動片を備えていることを特徴とする電子機器。
【請求項１０】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動片を備えていることを特徴とする移動体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の振動片は、基部と、
前記基部から第１方向に沿って延出されていて、前記第１方向に交差する第２方向に沿って並んで配置されている２つの振動腕と、
前記基部を支持する支持部と、
を備え、
前記２つの振動腕が前記第２方向に沿って互いに反対方向に振動する駆動振動モードの共振周波数がｆ１［Ｈｚ］であり、前記支持部の変形を伴って前記基部が振動する第１の振動モードの共振周波数がｆ２［Ｈｚ］であり、前記駆動振動モードおよび前記第１の振動モードとは異なり、かつ、前記支持部の変形を伴う前記基部の振動および前記２つの振動腕の振動のうちの少なくとも一方を含む第２の振動モードの共振周波数がｆ３［Ｈｚ］であり、１以上の整数をｎとしたとき、
ｎ×ｆ１≠ｆ２＋ｆ３の関係を満たすことを特徴とする。
このような振動片によれば、支持部の弾性に起因するパラメトリック励振による出力変動を低減することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
［適用例２］
本発明の振動片では、前記第１の振動モードおよび前記第２の振動モードのうちの少なくとも一方は、前記第１方向と異なる方向の振動成分を含んでいることが好ましい。
駆動振動以外の振動のうち振動腕の延出方向に平行な方向成分のみの振動は、パラメトリック励振への影響がないかまたは極端に小さい。したがって、振動腕の延出方向と異なる方向成分を含む振動を第１の振動および第２の振動のうちの少なくとも一方に用いることにより、支持部の弾性に起因するパラメトリック励振による出力変動を効率的に低減することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
［適用例３］
本発明の振動片では、前記第１の振動モードおよび前記第２の振動モードは、互いに直交する方向の振動成分を含んでいることが好ましい。
このような場合、第１の振動および第２の振動により駆動振動のパラメトリック励振が生じるおそれがある。したがって、この場合に本発明を適用することによる効果が顕著に発揮される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
［適用例４］
本発明の振動片では、前記第１の振動モードおよび前記第２の振動モードは、一方の振動モードが前記第２方向に沿った方向の振動成分を含み、他方の振動モードが前記第１方向および前記第２方向の双方に交差する第３方向に沿った方向の振動成分を含んでいることが好ましい。
このような場合、仮にｆ１＝ｆ２＋ｆ３の関係を満たしていると、第１の振動および第２の振動との組み合わせるによってパラメトリック励振に起因する駆動振動の振動形状の変化を生じやすい。したがって、この場合に本発明を適用することによる効果が顕著に発揮される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
［適用例６］
本発明の振動片では、前記２つの振動腕は、前記基部の前記第１方向での一端側と他端側とにそれぞれ配置されており、
前記基部の前記一端側に配置されている前記２つの振動腕と、前記基部の前記他端側に配置されている前記２つの振動腕とが互いに同じ方向に駆動振動することが好ましい。
これにより、いわゆるダブルＴ型の振動片において、本発明の効果を発揮させることができる。
［適用例７］
本発明の角速度センサーは、本発明の振動片を備えることを特徴とする。
このような角速度センサーによれば、パラメトリック励振による出力変動を低減することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
［適用例８］
本発明の角速度センサーは、基部と、
前記基部から第１方向に沿って延出されていて、前記第１方向に交差する第２方向に沿って並んで配置されている２つの振動腕と、
前記基部を支持する支持部と、
を備え、
前記２つの振動腕が前記第２方向に沿って互いに反対方向に振動する駆動振動モードの共振周波数がｆ１［Ｈｚ］であり、前記支持部の変形を伴って前記基部が振動する第１の振動モードの共振周波数がｆ２［Ｈｚ］であり、前記駆動振動モードおよび前記第１の振動モードとは異なり、かつ、前記支持部の変形を伴う前記基部の振動および前記２つの振動腕の振動のうちの少なくとも一方を含む第２の振動モードの共振周波数がｆ３［Ｈｚ］であり、１以上の整数をｎとしたとき、
ｎ×ｆ１≠ｆ２＋ｆ３の関係を満たす。
このような角速度センサーによれば、パラメトリック励振による出力変動を低減することができる。