【手続補正書】
【提出日】平成27年11月12日(2015.11.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
蛇腹の伸縮方向に一定間隔をもって互いに平行に複数形成される第１面蛇腹部形成用の第１山折り線と、
前記第１山折り線に屈折点を介して一直線状に連なる第２面蛇腹部形成用の第２山折り線と、
蛇腹の伸縮方向に隣接する前記屈折点同士を繋ぐ第３山折り線と、
隣接する前記第１山折り線の間にあって前記第１山折り線と平行に形成されて前記第３山折り線の中点に接続される第１谷折り線と、
隣接する前記第２山折り線の間にあって前記第２山折り線と平行に形成される第２谷折り線と、
前記第２谷折り線の内方端と前記第３山折り線の中点とに亘って形成される第４山折り線と、
前記屈折点と前記第２谷折り線の内方端とに亘って形成される第３谷折り線と、
を備え、
前記第３山折り線、前記第４山折り線、及び前記第３谷折り線によって囲まれた三角形状の折込み部が、蛇腹圧縮に伴って第２面蛇腹部の内部に畳み込まれるよう構成し、
前記第４山折り線の長さを前記第３山折り線の長さより大きく設定してある、
ことを特徴とする蛇腹機構。
【請求項２】
前記第４山折り線と前記第３谷折り線とでなされる内角を４５度未満に設定してある、
ことを特徴とする請求項１に記載の蛇腹機構。
【請求項３】
前記第３山折り線と前記第３谷折り線とでなされる内角を４５度に設定してある、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の蛇腹機構。
【請求項４】
前記屈折点それぞれを、前記第１山折り線の長手方向同一位置に設け、
前記第３山折り線の中点を、隣接する前記屈折点を結ぶ線上より前記第２谷折り線側に配置し、
隣接する前記屈折点を結ぶ線と前記第３山折り線とでなされる内角を３〜２７度に設定してある、
ことを特徴とする請求項３に記載の蛇腹機構。
【請求項５】
前記屈折点それぞれを、前記第１山折り線の長手方向同一位置に設け、
前記第３山折り線の中点を、隣接する前記屈折点を結ぶ線上より前記第２谷折り線側に配置し、
隣接する前記屈折点を結ぶ線と前記第３山折り線とでなされる内角を５〜２５度に設定してある、
ことを特徴とする請求項３に記載の蛇腹機構。
【請求項６】
前記屈折点それぞれを、前記第１山折り線の長手方向同一位置に設け、
前記第３山折り線の中点を、隣接する前記屈折点を結ぶ線上より前記第２谷折り線側に配置し、
隣接する前記屈折点を結ぶ線と前記第３山折り線とでなされる内角を１５度に設定してある、
ことを特徴とする請求項３に記載の蛇腹機構。
【請求項７】
屈折形成状態では、前記第３山折り線の中点が前記第２山折り線よりも外方に位置する、
ことを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の蛇腹機構。
【請求項８】
基板が吸着保持されるチャックテーブルを備えて往復移動する可動台と、前記可動台を往復移動させる駆動機構と、前記駆動機構を収容した固定台枠と、基板切断用の回転ブレードとを備え、前記可動台の移動方向両端部と前記固定台枠との間に、前記可動台の往復移動に伴って伸縮する蛇腹機構を配備して、前記駆動機構を前記蛇腹機構で覆うよう構成し、
前記蛇腹機構を、請求項１ないし７のいずれかに記載の構造としてある、
ことを特徴とする基板切断装置。
【請求項９】
テーブルを備えて往復移動する可動台と、前記可動台を往復移動させる駆動機構と、前記駆動機構を収容した固定台枠とを備え、前記可動台の移動方向両端部と前記固定台枠との間に前記可動台の往復移動に伴って伸縮する蛇腹機構を配備して、前記駆動機構を前記蛇腹機構で覆うよう構成し、
前記蛇腹機構を、請求項１ないし７のいずれかに記載の構造としてある、
ことを特徴とする装置。
【請求項１０】
テーブルを備えて往復移動する可動台と、前記可動台を往復移動させる駆動機構と、前記駆動機構を収容した固定台枠とを備え、前記可動台の移動方向両端部と前記固定台枠との間に前記可動台の往復移動に伴って伸縮する蛇腹機構を配備して、前記駆動機構を前記蛇腹機構で覆うよう構成し、
前記蛇腹機構を、請求項１ないし７のいずれかに記載の構造としてある装置であって、
前記装置は、エレクトロニクスの分野において使用される研磨装置、塗布装置、露光装置又は現像装置のうちいずれか１つである、
ことを特徴とする装置。
【請求項１１】
テーブルを備えて往復移動する可動台と、前記可動台を往復移動させる駆動機構と、前記駆動機構を収容した固定台枠とを備え、前記可動台の移動方向両端部と前記固定台枠との間に前記可動台の往復移動に伴って伸縮する蛇腹機構を配備して、前記駆動機構を前記蛇腹機構で覆うよう構成し、
前記蛇腹機構を、請求項１ないし７のいずれかに記載の構造としてある装置であって、前記装置は、機械加工装置又は医療装置である、
ことを特徴とする装置。
【請求項１２】
テーブルを備えて往復移動する可動台と、前記可動台を往復移動させる駆動機構と、前記駆動機構を収容した固定台枠とを備え、前記可動台の移動方向両端部と前記固定台枠との間に前記可動台の往復移動に伴って伸縮する蛇腹機構を配備して、前記駆動機構を前記蛇腹機構で覆うよう構成し、
前記蛇腹機構を、請求項１ないし７のいずれかに記載の構造としてある装置であって、前記装置は、洗浄装置、搬送装置、試験装置又は乾燥装置のうちいずれか１つである、
ことを特徴とする装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】蛇腹機構並びにそれを備えた基板切断装置及び装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、各種の機械加工装置における可動部位と固定部位とに亘って装備される防水用あるいは防塵用の蛇腹機構並びにそれを備えた基板切断装置及び装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、このような実情に着目してなされたものであって、繰り返しの伸縮に対する耐久性に優れた蛇腹機構並びにそれを備えた基板切断装置及び装置を提供することを目的とするものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
（６）本発明に係る基板切断装置または装置は、
基板を吸着保持するチャックテーブルを備えて往復移動する可動台と、可動台を往復移動させる駆動機構と、駆動機構を収容した固定台枠と、基板切断用の回転ブレードとを備え、前記可動台と固定台枠との間に、可動台の往復移動に伴って伸縮する蛇腹機構を配備して、前記駆動機構を蛇腹機構で覆うよう構成した基板切断装置、またはテーブルを備えて往復移動する可動台と、前記可動台を往復移動させる駆動機構と、前記駆動機構を収容した固定台枠とを備え、前記可動台の移動方向両端部と前記固定台枠との間に前記可動台の往復移動に伴って伸縮する蛇腹機構を配備して、前記駆動機構を前記蛇腹機構で覆うよう構成した装置において、
前記蛇腹機構を、上記構成（１）ないし（５）のいずれかに記載の構造としてある、
ことを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
このように、本発明によれば、シート材に形成する折り線の改良によって、繰り返しの伸縮に対する耐久性に優れた蛇腹機構を提供することができ、またこの蛇腹機構を備えることで、メンテナンス性に優れた稼働効率の高い基板切断装置及び装置を提供することができる。