【誤訳訂正書】
【提出日】平成28年11月8日(2016.11.8)
【誤訳訂正１】
【訂正対象書類名】特許請求の範囲
【訂正対象項目名】全文
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記一般式（Ｉ）：
【化１】
2012149252.tif 000001
（式中、Ｌは単結合、またはＣ１〜Ｃ１０有機基を表し；Ｒ１は水素、またはＣ１〜Ｃ３アルキル基を表し；Ｒ２は独立して水素原子、またはＣ１〜Ｃ１０有機基を表し；Ｒ３は独立して水素原子、またはＣ１〜Ｃ１０有機基を表し、共通の炭素原子に結合されているこれらは場合によっては一緒になって環を形成しており；並びに、Ｒ４はそれぞれ独立してＣ１〜Ｃ１０有機基を表し、共通の炭素原子に結合されているこれらは場合によっては一緒になって環を形成している）
のモノマーから形成される第１の単位、並びに
下記モノマー：
【化２】
2012149252.tif 000002
（式中、Ｒ１は水素およびＣ１〜Ｃ３アルキルから選択される）からなる群から選択される１以上のモノマーから形成される、ラクトン部分を含む第２の単位
を含むポリマー。
【請求項２】
エーテル、エステル、アルコール基、フルオロアルコール基、ポリマーのエステルのカルボキシル酸素に共有結合した第三級非環式アルキル炭素もしくは第三級脂環式炭素を含む酸不安定エステル基、または２−メチル−アクリル酸２−（１−エトキシ−エトキシ）−エチルエステル、２−メチル−アクリル酸２−エトキシメトキシ−エチルエステル、２−メチル−アクリル酸２−メトキシメトキシ−エチルエステル、２−（１−エトキシ−エトキシ）−６−ビニル−ナフタレン、２−エトキシメトキシ−６−ビニル−ナフタレン、および２−メトキシメトキシ−６−ビニル−ナフタレンから形成される第３の単位を含む第３の単位をさらに含み、前記第３の単位は第１の単位および第２の単位とは異なっている、請求項１に記載のポリマー。
【請求項３】
第三級非環式アルキル炭素もしくは第三級脂環式炭素がポリマーのエステルのカルボキシル酸素に共有結合している第三級非環式アルキルもしくは第三級脂環式アルキル（メタ）アクリラートまたはアルキルオキシ（メタ）アクリラートであるモノマーから形成される第３の単位をさらに含む、請求項１に記載のポリマー。
【請求項４】
下記一般式（Ｉ）：
【化３】
2012149252.tif 000003
（式中、Ｌは単結合、またはＣ１〜Ｃ１０有機基を表し；Ｒ１は水素、またはＣ１〜Ｃ３アルキル基を表し；Ｒ２は独立して水素原子、またはＣ１〜Ｃ１０有機基を表し；Ｒ３は独立して水素原子、またはＣ１〜Ｃ１０有機基を表し、共通の炭素原子に結合されているこれらは場合によっては一緒になって環を形成しており；並びに、Ｒ４はそれぞれ独立してＣ１〜Ｃ１０有機基を表し、共通の炭素原子に結合されているこれらは場合によっては一緒になって環を形成している）
のモノマーから形成される第１の単位を含むポリマー、並びに
光酸発生剤、
を含むフォトレジスト組成物。
【請求項５】
前記ポリマーがラクトン部分を含む第２の単位をさらに含む、請求項４に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項６】
エーテル、エステル、極性基または酸不安定部分を含む第３の単位を前記ポリマーがさらに含み、前記第３の単位は第１の単位および第２の単位とは異なっている、請求項５に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項７】
酸不安定アルキルもしくはアルキルオキシ（メタ）アクリラートであるモノマーから形成される単位を前記ポリマーがさらに含む、請求項５に記載のフォトレジスト組成物。
【請求項８】
基体と、当該基体の表面上の請求項４〜７のいずれか１項に記載のフォトレジスト組成物の層とを含むコーティングされた基体。
【請求項９】
（ａ）パターン形成される１以上の層を基体の表面上に含む基体を提供し；
（ｂ）請求項４〜７のいずれか１項に記載のフォトレジスト組成物の層を前記パターン形成される１以上の層上に適用し；
（ｃ）前記フォトレジスト組成物層を化学線でパターン様式で露光し；
（ｄ）露光した前記フォトレジスト組成物層を露光後べークプロセスにおいて加熱し；並びに
（ｅ）現像剤を前記フォトレジスト組成物層に適用して、前記フォトレジスト層の一部分を除去し、それによりフォトレジストパターンを形成する；
ことを含む、フォトリソグラフィパターンを形成する方法。
【請求項１０】
フォトレジスト層の未露光領域が現像剤によって除去されて、フォトレジストパターンを形成する請求項９に記載の方法。
【誤訳訂正２】
【訂正対象書類名】明細書
【訂正対象項目名】００２２
【訂正方法】変更
【訂正の内容】
【００２２】
このポリマーのために好適な他の追加のモノマー単位には、例えば、以下の１種以上が挙げられる：第１の単位とは異なる式（Ｉ）の部分を含むモノマーから形成されるモノマー単位；エーテル、ラクトンもしくはエステルを含むモノマー単位、例えば、２−メチル−アクリル酸テトラヒドロ−フラン−３−イルエステル、２−メチル−アクリル酸２−オキソ−テトラヒドロ−フラン−３−イルエステル、２−メチル−アクリル酸５−オキソ−テトラヒドロ−フラン−３−イルエステル、２−メチル−アクリル酸３−オキソ−４，１０−ジオキサ−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デシ−８−イルエステル、２−メチル−アクリル酸３−オキソ−４−オキサ−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デシ−８−イルエステル、２−メチル−アクリル酸５−オキソ−４−オキサ−トリシクロ［４．２．１．０３，７］ノニ−２−イルオキシカルボニルメチルエステル、アクリル酸３−オキソ−４−オキサ−トリシクロ［５．２．１．０２，６］デシ−８−イルエステル、２−メチル−アクリル酸５−オキソ−４−オキサ−トリシクロ［４．２．１．０３，７］ノニ−２−イルエステル、および２−メチル−アクリル酸テトラヒドロ−フラン−３−イルエステル；極性基を有するモノマー単位、例えば、アルコールおよびフッ素化アルコール、例えば、２−メチル−アクリル酸３−ヒドロキシ−アダマンタン−１−イルエステル、２−メチル−アクリル酸２−ヒドロキシ−エチルエステル、６−ビニル−ナフタレン−２−オール、２−メチル−アクリル酸３，５−ジヒドロキシ−アダマンタン−１−イルエステル、２−メチル−アクリル酸６−（３，３，３−トリフルオロ−２−ヒドロキシ−２−トリフルオロメチル−プロピル）−ビシクロ［２．２．１］ヘプチ−２−イル、および２−ビシクロ［２．２．１］ヘプテ−５−エン−２−イルメチル−１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−プロパン−２−オール；酸不安定部分を有するモノマー単位、例えば、ポリマーのエステルのカルボキシル酸素に共有結合した、ｔ−ブチルのような第三級非環式アルキル炭素を含むエステル基、またはメチルアダマンチルもしくはエチルフェンキルのような第三級脂環式炭素を含むエステル基、２−メチル−アクリル酸２−（１−エトキシ−エトキシ）−エチルエステル、２−メチル−アクリル酸２−エトキシメトキシ−エチルエステル、２−メチル−アクリル酸２−メトキシメトキシ−エチルエステル、２−（１−エトキシ−エトキシ）−６−ビニル−ナフタレン、２−エトキシメトキシ−６−ビニル−ナフタレン、および２−メトキシメトキシ−６−ビニル−ナフタレン。このような追加の単位に好適なモノマーは商業的に入手可能でありおよび／または既知の方法を用いて合成されうる。追加の単位は典型的には４０〜７０モル％の量でポリマー中に存在する。