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【手続補正書】
【提出日】平成28年7月20日(2016.7.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体源から送られる気体を容器内の水もしくは所定の溶液中に供給するナノバブル水・フォーム生成器において、
前記気体は、水素ガスと炭酸ガスとのいずれかであり、
前記容器は、底板と、その底板の周囲に立設された側板とからなり、
前記底板に前記気体の吹き出す吹き出し口が設けられるとともにその吹き出し口には多孔質板が配置され、
前記容器の内部に収容された前記水もしくは前記溶液の中に前記多孔質板を介して前記気体を吹き込むことによりナノバブル水もしくは塊状のフォームを生成するように構成されている
ことを特徴とするナノバブル水・フォーム生成器。
【請求項２】
前記溶液は、界面活性剤溶液を含み、
前記側板の頂部に、前記塊状のフォームを前記容器からはみ出させないエアカーテンを形成するように前記気体を噴出する噴気孔が設けられている
ことを特徴とする請求項１に記載のナノバブル水・フォーム生成器。
【請求項３】
気体源から送られた気体を水もしくは所定の溶液中に供給するナノバブル水・フォーム生成器であって、
前記気体は、水素ガスと炭酸ガスとのいずれかであり、
前記水もしくは前記溶液の中に浸漬される棒状体を有し、
前記棒状体の表面に該棒状体の内部から前記気体が噴出する多数の細孔が形成され、
前記棒状体の内部に前記気体源から送られる前記気体が導入させられ、
前記水もしくは前記溶液の中に浸漬された前記棒状体によって前記水もしくは前記溶液が攪拌されることによりナノバブル水もしくは塊状のフォームが形成されるように構成されている
ことを特徴とするナノバブル水・フォーム生成器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
請求項１に記載の本発明は、気体源から送られる気体を容器内の水もしくは所定の溶液中に供給するナノバブル水・フォーム生成器において、前記気体は、水素ガスと炭酸ガスとのいずれかであり、前記容器は、底板と、その底板の周囲に立設された側板とからなり、前記底板に前記気体の吹き出す吹き出し口が設けられるとともにその吹き出し口には多孔質板が配置され、前記容器の内部に収容された前記水もしくは前記溶液の中に前記多孔質板を介して前記気体を吹き込むことによりナノバブル水もしくは塊状のフォームを生成するように構成されていることを特徴とするものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記溶液は、界面活性剤溶液を含み、前記側板の頂部に、前記塊状のフォームを前記容器からはみ出させないエアカーテンを形成するように前記気体を噴出する噴気孔が設けられていることを特徴とするナノバブル水・フォーム生成器である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
請求項３の発明は、気体源から送られた気体を水もしくは所定の溶液中に供給するナノバブル水・フォーム生成器であって、前記気体は、水素ガスと炭酸ガスとのいずれかであり、前記水もしくは前記溶液の中に浸漬される棒状体を有し、前記棒状体の表面に該棒状体の内部から前記気体が噴出する多数の細孔が形成され、前記棒状体の内部に前記気体源から送られる前記気体が導入させられ、前記水もしくは前記溶液の中に浸漬された前記棒状体によって前記水もしくは前記溶液が攪拌されることによりナノバブル水もしくは塊状のフォームが形成されるように構成されていることを特徴とするものである。
【手続補正書】
【提出日】平成28年4月7日(2016.4.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
植物が栽培される栽培エリアに向けて光を発光する発光部と、
前記栽培エリアの空気に含まれる検査対象成分の濃度を測定する濃度測定部と、
前記濃度測定部の測定結果の経時的変化に基づいて前記発光部の発光量を制御する制御部と、
を備える発光制御装置。
【請求項２】
請求項１に記載の発光制御装置において、
前記制御部は、前記濃度測定部の測定結果の時間による微分値を用いて前記発光部の発光量を制御する発光制御装置。
【請求項３】
請求項２に記載の発光制御装置において、
前記検査対象成分は二酸化炭素であり、
前記制御部は、二酸化炭素の濃度の変化の時間による２回微分値が基準値になるまで、前記発光部の発光量を増大させる発光制御装置。
【請求項４】
請求項２に記載の発光制御装置において、
前記検査対象成分は二酸化炭素であり、
前記制御部は、前記発光部の発光量を増大させていき、かつ前記微分値が正から０または負となったタイミングで前記発光部の発光量の増大を停止する発光制御装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の発光制御装置において、
前記発光部は、前記栽培エリアを側方及び上方から取り囲み、かつ折りたたまれた状態から開くことによって垂直方向に伸張する伸張部を備える発光制御装置。
【請求項６】
請求項５に記載の発光制御装置において、
前記伸張部は、前記栽培エリアに対して着脱可能である発光制御装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の発光制御装置において、
前記検査対象成分は二酸化炭素であり、
前記栽培エリアからは空気が排出されており、かつ排出された空気に二酸化炭素が添加されて前記栽培エリアに戻されており、
前記濃度測定部は、前記排出された空気の二酸化炭素濃度を測定する発光制御装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項に記載の発光制御装置において、
前記発光部は、透光性の発光素子を有する発光制御装置。
【請求項９】
請求項８に記載の発光制御装置において、
前記発光素子は有機ＥＬ素子である発光制御装置。
【請求項１０】
発光部に、植物が栽培される栽培エリアに向けて光を発光させ、
前記栽培エリアの空気に含まれる検査対象成分の濃度を測定した結果の経時的変化に基づいて、前記発光部の発光量を制御する発光制御方法。
【請求項１１】
コンピュータを、発光部の制御部として機能させるためのプログラムであって、
前記発光部は、植物が栽培される栽培エリアに向けて光を発光し、
前記コンピュータに、
前記栽培エリアの空気に含まれる検査対象成分の濃度を測定した結果を取得し、前記結果の経時的変化を算出する機能と、
前記経時的変化を用いて前記発光部の発光量を制御する機能と、
を実現させるプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、植物が栽培される栽培エリアに向けて光を発光する発光部と、
前記栽培エリアの空気に含まれる検査対象成分の濃度を測定する濃度測定部と、
前記濃度測定部の測定結果の経時的変化に基づいて前記発光部の発光量を制御する制御部と、
を備える発光制御装置である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
請求項１０に記載の発明は、発光部に、植物が栽培される栽培エリアに向けて光を発光させ、
前記栽培エリアの空気に含まれる検査対象成分の濃度を測定した結果の経時的変化に基づいて、前記発光部の発光量を制御する発光制御方法である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項１１に記載の発明は、コンピュータを、発光部の制御部として機能させるためのプログラムであって、
前記発光部は、植物が栽培される栽培エリアに向けて光を発光し、
前記コンピュータに、
前記栽培エリアの空気に含まれる検査対象成分の濃度を測定した結果を取得し、前記結果の経時的変化を算出する機能と、
前記経時的変化を用いて前記発光部の発光量を制御する機能と、
を実現させるプログラムである。
【手続補正書】
【提出日】平成28年11月15日(2016.11.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
非接触で電力伝送と通信を行う機能を有する、送電装置と受電装置を備える非接触電力
伝送装置であって、
前記受電装置は、
前記送電装置から送出された電磁波を受電する受電アンテナと、
前記受電アンテナに接続されて電気的な共振を生じさせる共振回路と、
前記共振回路からの交流出力を直流に変換する整流回路と、
前記整流回路からの直流を平坦にする平滑回路と、
前記平滑回路からの直流電力を負荷に給電する電源回路と、
前記共振回路の共振周波数設定定数を切り換える制御回路を備え、
前記制御回路は、前記電力伝送から前記通信への移行および前記通信から前記電力伝送へ
の移行の検出信号に応じて前記切り換えを行うことを特徴とする非接触電力伝送装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
非接触で電力伝送と通信を行う機能を有する、送電装置と受電装置を備える非接触電力
伝送装置であって、
前記受電装置は、
前記送電装置から送出された電磁波を受電する受電アンテナと、
前記受電アンテナに接続されて電気的な共振を生じさせる共振回路と、
前記共振回路からの交流出力を直流に変換する整流回路と、
前記整流回路からの直流を平坦にする平滑回路と、
前記平滑回路からの直流電力を負荷に給電する電源回路と、
前記平滑回路と前記電源回路を接続する負荷接続スイッチと、
前記共振回路の共振周波数設定定数と前記負荷接続スイッチを切り換える制御回路を備え
、
前記制御回路は、前記電力伝送から前記通信への移行および前記通信から前記電力伝送へ
の移行の検出信号に応じて前記切り換えを行い、
前記共振回路が、前記通信が可能となる共振周波数設定定数に設定されているときは、前
記負荷接続スイッチにより前記平滑回路と前記電源回路を切断し、
前記共振回路が、前記電力伝送が可能となる共振周波数設定定数に設定されているときは
、前記負荷接続スイッチにより前記平滑回路と前記電源回路を接続することを特徴とする
非接触電力伝送装置。
【手続補正書】
【提出日】平成28年6月22日(2016.6.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検眼角膜を微小変形させるための超音波を出射する振動子と、
前記超音波によって変形される角膜の変形量と変形速度を測定するための測定手段と、
前記測定手段によって測定された前記変形量と前記変形速度に基づいて、前記被検眼の眼圧を算出する眼圧算出手段と、を備えることを特徴とする非接触式超音波眼圧計。
【請求項２】
請求項１の非接触式超音波眼圧計は
前記測定手段によって測定された前記変形速度に基づいて、前記角膜のヒステリシスを算出するヒステリシス算出手段を備え、
前記眼圧算出手段は、前記角膜の変形量と、前記ヒステリシス算出手段によって算出された前記ヒステリシスと、に基づいて前記被検眼の眼圧を算出する非接触式超音波眼圧計。
【請求項３】
請求項１の非接触式超音波眼圧計において、
前記振動子を制御し、前記角膜に対してパルス波を連続的に照射することによって角膜を振動させるための制御手段を備え、
前記眼圧算出手段は、振動中における角膜の変形量と変形速度に基づいて前記被検眼の眼圧を測定するための非接触式超音波眼圧計。
【手続補正書】
【提出日】平成28年4月14日(2016.4.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
着用物品の外面を形成する外装体を備え、前身頃における外装体の両側縁部と後身頃における外装体の両側縁部とが接合されて一対のサイドシール部、ウエスト開口部及び一対のレッグ開口部が形成されているパンツ型着用物品であって、
前記サイドシール部は、前身頃における外装体の縁部と後身頃における外装体の縁部が、該サイドシール部の長手方向に延在する連続線状の融着部で結合したシール縁部を有すると共に、前身頃における外装体の縁部と後身頃における外装体の縁部が非結合状態で対向する非シール部を部分的に有しており、
前記サイドシール部が延びる方向と直交する断面において、前記シール縁部の外縁には、前記外装体を構成するシートどうしの融着部が形成され、該融着部は、該外装体の厚み方向の中央部が両端部に比して幅が広い、パンツ型着用物品。
【請求項２】
前記サイドシール部が延びる方向と直交する断面において、前記シール縁部の外縁は、着用物品の内方に向かって凸の弧状をなし、且つ該外縁を含んでそれよりも着用物品の内方に、前記外装体を構成するシートどうしの融着部が形成され、該融着部は、該外装体の厚み方向の中央部が両端部に比して幅が広い、請求項１記載のパンツ型着用物品。
【請求項３】
着用時に、前記非シール部における両縁部間に生じる隙間を介して着用者の肌が外部から視認可能になされている、請求項１又は２記載のパンツ型着用物品。
【請求項４】
前記前身頃における外装体及び前記後身頃における外装体は、それぞれ、２枚のシート間に弾性部材が配置された構造を有しており、前記非シール部を挟んで、その両側に位置する部位に、それぞれ少なくとも１本の前記弾性部材が配設されている、請求項１〜３の何れか１項に記載のパンツ型着用物品。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか１項に記載のパンツ型着用物品の製造方法であって、
前身頃側と後身頃側とを重ねた状態の帯状の外装体におけるサイドシール部の形成予定部位を加圧状態にする重合加圧工程と、
加圧状態にある前記サイドシール部の形成予定部位に、前記外装体の搬送方向と交差する方向に延在する光通過部を介してレーザー光を照射することにより、該外装体を分断すると共に、その分断によって生じた積層状態の外装体の切断縁部どうしを融着させて前記サイドシール部を形成するサイドシール部形成工程とを具備し、
前記サイドシール部形成工程においては、相互に幅が異なる幅広部と幅狭部とを有する光通過部を介してレーザー光を照射し、前記幅狭部を介したレーザー光の照射により前記シール縁部を形成し、前記幅広部を介したレーザー光により前記非シール部を形成する、パンツ型着用物品の製造方法。
【請求項６】
請求項１〜４の何れか１項に記載のパンツ型着用物品の製造方法であって、
前身頃側と後身頃側とを重ねた状態の帯状の外装体におけるサイドシール部の形成予定部位を加圧状態にする重合加圧工程と、
加圧状態にある前記サイドシール部の形成予定部位に、前記外装体の搬送方向と交差する方向に延在する光通過部を介してレーザー光を照射することにより、該外装体を分断すると共に、その分断によって生じた積層状態の外装体の切断縁部どうしを融着させて前記サイドシール部を形成するサイドシール部形成工程とを具備し、
前記サイドシール部形成工程においては、外装体が接する外面における前記光通過部の近傍に、該外装体側に突出する高さが相互に異なる高位部と低位部とを設けた支持部材を用い、該高位部により強く加圧された部位に対するレーザー光の照射により前記シール縁部を形成し、前記低位部により相対的に弱く加圧された部位に対するレーザー光の照射により前記非シール部を形成する、パンツ型着用物品の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成28年4月28日(2016.4.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
着用物品の外面を形成する外装体を備え、前身頃における外装体の両側縁部と後身頃における外装体の両側縁部とが接合されて一対のサイドシール部、ウエスト開口部及び一対のレッグ開口部が形成されているパンツ型着用物品であって、
前記サイドシール部は、前身頃における外装体の縁部と後身頃における外装体の縁部が、該サイドシール部の長手方向に延在する連続線状の融着部で結合したシール縁部を形成してなり、前記シール縁部は、前記サイドシール部の全長に亘って連続しており、その長手方向に、融着強度の強弱を有しており、
前記シール縁部の外縁に溶融されていない外装体が存在しない、パンツ型着用物品。
【請求項２】
前記サイドシール部が延びる方向と直交する断面において、前記シール縁部の外縁には、前記外装体を構成するシートどうしの融着部が形成され、該融着部は、該外装体の厚み方向の中央部が両端部に比して幅が広い、請求項１記載のパンツ型着用物品。
【請求項３】
前記サイドシール部が延びる方向と直交する断面において、前記シール縁部の外縁は、着用物品の内方に向かって凸の弧状をなし、且つ該外縁を含んでそれよりも着用物品の内方に、前記外装体を構成するシートどうしの融着部が形成され、該融着部は、該外装体の厚み方向の中央部が両端部に比して幅が広い、請求項１記載のパンツ型着用物品。
【請求項４】
前記シール縁部は、前記ウエスト開口部側の端部又は前記レッグ開口部側の端部に、融着強度が相対的に低い端部弱接合領域を有し、前記サイドシール部の長手方向における、該端部弱接合領域の隣接部位に、融着強度が相対的に高い高接合領域を有している、請求項１〜３の何れか１項に記載のパンツ型着用物品。
【請求項５】
前記シール縁部は、前記ウエスト開口部側の端部又は前記レッグ開口部側の端部に、融着強度が相対的に高い端部高接合領域を有し、前記サイドシール部の長手方向における中央部に融着強度が相対的に低い低接合領域を有している、請求項１〜３の何れか１項に記載のパンツ型着用物品。
【請求項６】
前記シール縁部は、融着強度が相互に異なる弱接合領域と高接合領域を、前記サイドシール部の長手方向に交互に複数有している、請求項１〜５の何れか１項に記載のパンツ型着用物品。
【請求項７】
前記シール縁部は、その長手方向において、融着強度が連続的に変化している、請求項１〜５の何れか１項記載のパンツ型着用物品。
【請求項８】
前記融着部は、前記サイドシール部の長手方向の全長に亘って、パンツ型着用物品の外面に表れる幅が一定である、請求項１〜６の何れかに記載のパンツ型着用物品。
【請求項９】
請求項１〜８の何れか１項記載のパンツ型着用物品の製造方法であって、
前身頃側と後身頃側とを重ねた状態の帯状の外装体におけるサイドシール部の形成予定部位を加圧状態にする重合加圧工程と、
加圧状態にある前記サイドシール部の形成予定部位に、前記外装体の搬送方向と交差する方向に延在する光通過部を介してレーザー光を照射することにより、該外装体を分断すると共に、その分断によって生じた積層状態の外装体の切断縁部どうしを融着させて前記サイドシール部を形成するサイドシール部形成工程とを具備し、
前記サイドシール部形成工程においては、前記光通過部の幅が、該光通過部の長手方向に非連続的又は連続的に変化する支持部材を用いて、前記シール縁部に融着強度の強弱を形成する、パンツ型着用物品の製造方法。
【請求項１０】
請求項１〜８の何れか１項記載のパンツ型着用物品の製造方法であって、
前身頃側と後身頃側とを重ねた状態の帯状の外装体におけるサイドシール部の形成予定部位を加圧状態にする重合加圧工程と、
加圧状態にある前記サイドシール部の形成予定部位に、前記外装体の搬送方向と交差する方向に延在する光通過部を介してレーザー光を照射することにより、該外装体を分断すると共に、その分断によって生じた積層状態の外装体の切断縁部どうしを融着させて前記サイドシール部を形成するサイドシール部形成工程とを具備し、
前記サイドシール部形成工程においては、外装体が接する外面における前記光通過部の近傍に、該外装体側に突出する突出部を有し、該突出部の突出高さ又は幅が該光通過部の長手方向に沿って非連続的又は連続的に変化する支持部材を用いて、前記シール縁部に融着強度の強弱を形成する、パンツ型着用物品の製造方法。
【請求項１１】
請求項１〜８の何れか１項記載のパンツ型着用物品の製造方法であって、
前身頃側と後身頃側とを重ねた状態の帯状の外装体におけるサイドシール部の形成予定部位を加圧状態にする重合加圧工程と、
加圧状態にある前記サイドシール部の形成予定部位に、前記外装体の搬送方向と交差する方向に延在する光通過部を介してレーザー光を照射することにより、該外装体を分断すると共に、その分断によって生じた積層状態の外装体の切断縁部どうしを融着させて前記サイドシール部を形成するサイドシール部形成工程とを具備し、
前記サイドシール部形成工程においては、照射するレーザー光の出力又は走査速度を変化させることによって、前記シール縁部に融着強度の強弱を形成する、パンツ型着用物品の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成28年4月28日(2016.4.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
着用物品の外面を形成する外装体を備え、前身頃における外装体の両側縁部と後身頃における外装体の両側縁部とが接合されて一対のサイドシール部、ウエスト開口部及び一対のレッグ開口部が形成されているパンツ型着用物品であって、
前記サイドシール部は、前身頃における外装体の縁部と後身頃における外装体の縁部が、該サイドシール部の長手方向に延在する連続線状の融着部で結合したシール縁部を形成してなり、
前記シール縁部は、前身頃側の外装体を構成するシートと後身頃側の外装体を構成するシートの合計積層枚数が相互に異なる複数の部位に形成されており、
前記シール縁部は、前記複数の部位における融着強度が等しく、
前記シール縁部の外縁に溶融されていない外装体が存在しない、パンツ型着用物品。
【請求項２】
前記サイドシール部が延びる方向と直交する断面において、前記シール縁部の外縁には、前記外装体を構成するシートどうしの融着部が形成され、該融着部は、該外装体の厚み方向の中央部が両端部に比して幅が広い、請求項１記載のパンツ型着用物品。
【請求項３】
前記サイドシール部が延びる方向と直交する断面において、前記シール縁部の外縁は、着用物品の内方に向かって凸の弧状をなし、且つ該外縁を含んでそれよりも着用物品の内方に、前記外装体を構成するシートどうしの融着部が形成され、該融着部は、該外装体の厚み方向の中央部が両端部に比して幅が広い、請求項１記載のパンツ型着用物品。
【請求項４】
前記複数の部位として、８枚又は６枚のシートが重ねられた８又は６層構造部分と、４枚のシートが重ねられた４層構造部分とを備えている、請求項１〜３の何れか１項に記載のパンツ型着用物品。
【請求項５】
着用物品の外面を形成する外装体を備え、前身頃における外装体の両側縁部と後身頃における外装体の両側縁部とが接合されて一対のサイドシール部、ウエスト開口部及び一対のレッグ開口部が形成されており、前記サイドシール部は、前身頃における外装体の縁部と後身頃における外装体の縁部が、該サイドシール部の長手方向に延在する連続線状の融着部で結合したシール縁部を有するパンツ型着用物品の製造方法であって、
前身頃側と後身頃側とを重ねた状態の帯状の外装体におけるサイドシール部の形成予定部位を加圧状態にする重合加圧工程と、
加圧状態にある前記サイドシール部の形成予定部位に、前記外装体の搬送方向と交差する方向に延在する光通過部を介してレーザー光を照射することにより、該外装体を分断すると共に、その分断によって生じた積層状態の外装体の切断縁部どうしを融着させて前記シール縁部を形成するサイドシール部形成工程とを具備し、
前記帯状の外装体は、前身頃側の外装体を構成するシートと後身頃側の外装体を構成するシートの合計積層枚数が相互に異なる部位を有しており、
前記サイドシール部形成工程においては、前身頃側の外装体を構成するシートと後身頃側の外装体を構成するシートの合計積層枚数が相互に異なる複数の部位に、前記レーザー光を、該部位毎に出力又は走査速度を異ならせて照射し、各部位に形成されるシール縁部の融着強度の差を減少させる、パンツ型着用物品の製造方法。
【請求項６】
着用物品の外面を形成する外装体を備え、前身頃における外装体の両側縁部と後身頃における外装体の両側縁部とが接合されて一対のサイドシール部、ウエスト開口部及び一対のレッグ開口部が形成されており、前記サイドシール部は、前身頃における外装体の縁部と後身頃における外装体の縁部が、該サイドシール部の長手方向に延在する連続線状の融着部で結合したシール縁部を有するパンツ型着用物品の製造方法であって、
前身頃側と後身頃側とを重ねた状態の帯状の外装体におけるサイドシール部の形成予定部位を加圧状態にする重合加圧工程と、
加圧状態にある前記サイドシール部の形成予定部位に、前記外装体の搬送方向と交差する方向に延在する光通過部を介してレーザー光を照射することにより、該外装体を分断すると共に、その分断によって生じた積層状態の外装体の切断縁部どうしを融着させて前記シール縁部を形成するサイドシール部形成工程とを具備し、
前記帯状の外装体は、前身頃側の外装体を構成するシートと後身頃側の外装体を構成するシートの合計積層枚数が相互に異なる部位を有しており、
前記サイドシール部形成工程においては、前身頃側の外装体を構成するシートと後身頃側の外装体を構成するシートの合計積層枚数が相互に異なる複数の部位に、前記レーザー光を、該部位毎に幅が異なる光通過部を介して照射し、各部位に形成されるシール縁部の融着強度の差を減少させる、パンツ型着用物品の製造方法。
【請求項７】
着用物品の外面を形成する外装体を備え、前身頃における外装体の両側縁部と後身頃における外装体の両側縁部とが接合されて一対のサイドシール部、ウエスト開口部及び一対のレッグ開口部が形成されており、前記サイドシール部は、前身頃における外装体の縁部と後身頃における外装体の縁部が、該サイドシール部の長手方向に延在する連続線状の融着部で結合したシール縁部を有するパンツ型着用物品の製造方法であって、
前身頃側と後身頃側とを重ねた状態の帯状の外装体におけるサイドシール部の形成予定部位を加圧状態にする重合加圧工程と、
加圧状態にある前記サイドシール部の形成予定部位に、前記外装体の搬送方向と交差する方向に延在する光通過部を介してレーザー光を照射することにより、該外装体を分断すると共に、その分断によって生じた積層状態の外装体の切断縁部どうしを融着させて前記シール縁部を形成するサイドシール部形成工程とを具備し、
前記帯状の外装体は、前身頃側の外装体を構成するシートと後身頃側の外装体を構成するシートの合計積層枚数が相互に異なる部位を有しており、
前記サイドシール部形成工程においては、前記帯状の外装体が接する外面における前記光通過部の近傍に、該外装体側に突出する突出部を有し、前身頃側の外装体を構成するシートと後身頃側の外装体を構成するシートの合計積層枚数が相互に異なる複数の部位毎に、該突出部の突出高さ又は幅が異なる支持部材を用いて、該各部位にレーザー光の照射を行い、該各部位に形成されるシール縁部の融着強度の差を減少させる、パンツ型着用物品の製造方法。
【請求項８】
前記サイドシール部の形成予定部位におけるシート間に、接着剤が存在するか否か又は接着剤が存在する態様に応じて、前記合計積層枚数が異なる部位の融着強度の差を調整する手段として採用した手段を微調整する、請求項５〜７の何れか１項に記載のパンツ型着用物品の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成28年4月19日(2016.4.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ゲームプレーヤの識別子にそのゲームプレーヤが属するグループの識別子を関連付けて記憶するグループ管理部と、
ゲームプレーヤの識別子に対してそのゲームプレーヤの有する端末装置において実行されるゲームにより獲得されるポイントを加算するポイント加算部と、
前記ゲームの実行に使用されるアイテムの販売金額を加算する販売額加算部と、
前記販売額加算部により加算された販売金額に関する情報を前記ゲームが実行されている端末装置に出力する金額出力部と、
前記ゲームの実行により、前記販売金額の一部または全てが支払われるべきグループを、決定するグループ決定部と、
前記決定されたグループの識別子に関連付けて記憶されているゲームプレーヤの識別子に対して加算されたポイントに応じて、支払われるべき前記販売金額の一部または全ての分配を、決定する分配決定部と
を有するサーバ装置。
【請求項２】
前記グループ決定部は、グループごとに属するゲームプレーヤの識別子についての前記ゲームの実行により前記ポイント加算部に加算されたポイントの総和を求め、総和が大きくなる順にグループを決定する請求項１に記載のサーバ装置。
【請求項３】
前記分配決定部は、グループごとに定められている分配規則に従って分配を決定する請求項１に記載のサーバ装置。
【請求項４】
前記ゲームは、グループ間の対戦型ゲームである請求項１に記載のサーバ装置。
【請求項５】
前記ポイントは、前記対戦型ゲームにより相手方のグループに属するゲームユーザに与えたダメージを表わす請求項４に記載のサーバ装置。
【請求項６】
前記ポイントは、パズルゲームにおいて到達できたレベルを数値化したポイントである請求項１に記載のサーバ装置。
【請求項７】
前記ポイントは、物を獲得するゲームにおいて獲得された物の大きさを数値化したポイントである請求項１に記載のサーバ装置。
【請求項８】
前記ポイントは、物を獲得するゲームにおいて獲得された物の種類を数値化したポイントである請求項１に記載のサーバ装置。
【請求項９】
前記端末装置において実行されるゲームを提供するゲーム提供部を有する請求項１に記載のサーバ装置。
【請求項１０】
前記ゲーム提供部は、対戦ゲームを提供し、対戦の後に勝者となったグループと敗者となったグループとにグループを選別し、前記勝者となったグループ間および前記敗者となったグループ間で対戦を行わせる請求項９に記載のサーバ装置。
【請求項１１】
前記グループ決定部により決定されたグループに支払われる前記販売金額の一部は、前記販売額加算部により加算された販売金額の２％以下である請求項１に記載のサーバ装置。
【請求項１２】
前記グループ決定部は、グループごとに属するゲームプレーヤの識別子についての前記ゲームの実行により前記ポイント加算部に加算されたポイントの総和が最も大きくなるグループを決定する請求項２に記載のサーバ装置。
【請求項１３】
ゲームプレーヤの識別子にそのゲームプレーヤが属するグループの識別子を関連付けて記憶するグループ管理部と、
ゲームプレーヤの識別子に対してそのゲームプレーヤの有する端末装置において実行されるゲームにより獲得されるポイントを加算するポイント加算部と、
前記ゲームの実行に使用されるアイテムの販売金額を加算する販売額加算部と、
前記ゲームの実行により、前記販売金額の一部または全てが支払われるべきグループを、決定するグループ決定部と、
前記決定されたグループの識別子に関連付けて記憶されているゲームプレーヤの識別子に対して加算されたポイントに応じて、支払われるべき前記販売金額の一部または全ての分配を、決定する分配決定部と
を有するサーバ装置。
【請求項１４】
前記グループ決定部は、グループごとに属するゲームプレーヤの識別子についての前記ゲームの実行により前記ポイント加算部に加算されたポイントの総和を求め、総和が大きくなる順にグループを決定する請求項１３に記載のサーバ装置。
【請求項１５】
前記分配決定部は、グループごとに定められている分配規則に従って分配を決定する請求項１３に記載のサーバ装置。
【請求項１６】
ゲームプレーヤの識別子にそのゲームプレーヤが属するグループの識別子を関連付けて記憶し、
ゲームプレーヤの識別子に対してそのゲームプレーヤの有する端末装置において実行されるゲームにより獲得されるポイントを加算し、
前記ゲームの実行に使用されるアイテムの販売金額を加算し、
前記ゲームの実行により、前記販売金額の一部または全てが支払われるべきグループを決定し、
前記決定されたグループの識別子に関連付けて記憶されているゲームプレーヤの識別子に対して加算されたポイントに応じて、支払われるべき前記販売金額の一部または全ての分配を決定すること
を含むサーバ装置の動作方法。
【請求項１７】
前記ゲームの実行により、前記販売金額の一部または全てが支払われるべきグループを決定するとき、グループごとに属するゲームプレーヤの識別子についての前記ゲームの実行により前記加算されたポイントの総和を求め、総和が大きくなる順にグループを決定する請求項１６に記載のサーバ装置の動作方法。
【請求項１８】
前記ゲームプレーヤの識別子に対して加算されたポイントに応じて、
支払われるべき前記販売金額の一部または全ての分配を決定するとき、グループごとに定められている分配規則に従って分配を決定する請求項１６に記載のサーバ装置の動作方法。
【請求項１９】
前記ゲームは、グループ間の対戦型ゲームである請求項１６に記載のサーバ装置の動作方法。
【請求項２０】
前記加算された販売金額に関する情報を前記ゲームが実行されている端末装置に出力することを含む請求項１６に記載のサーバ装置の動作方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】サーバ装置及びサーバ装置の動作方法
【手続補正書】
【提出日】平成28年6月22日(2016.6.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パルスレーザ光を患者眼の透明組織内に集光させることで、前記透明組織におけるパルスレーザの集光位置に非線形相互作用を生じさせて前記透明組織を処置することが可能な眼科用レーザ手術装置であって、
パルスレーザ光を発振する発振器を有すると共に、パルス幅が１ピコ秒以上２００ピコ秒以下、且つ波長が３００ナノメートル以上７００ナノメートル以下のパルスレーザ光を出射可能なレーザユニットと、
前記レーザユニットによって出射されたパルスレーザ光を前記透明組織内の三次元上の目標位置に集光させる照射手段と
を備えたことを特徴とする眼科用レーザ手術装置。
【請求項２】
前記レーザユニットは、
前記発振器によって発振されたパルスレーザ光の波長を変換する波長変換手段と、
前記波長変換手段によるパルスレーザ光の波長変換を実行するか否かを切り換える切替手段とを備え、
前記眼科用レーザ手術装置は、
前記レーザユニットからのレーザの出射を制御する制御手段をさらに備え、
前記制御手段は、
前記切替手段による波長変換の実行の切り替えを制御することで、少なくとも、波長が３００ナノメートル以上７００ナノメートル以下である第一パルスレーザ光、および、前記第一パルスレーザ光よりも波長が長い第二パルスレーザ光のいずれかを選択的に前記レーザユニットに出射させることを特徴とする請求項１に記載の眼科用レーザ手術装置。
【請求項３】
前記患者眼の第一部位に対する処置を行う第一モード、および、前記患者眼のうち前記第一部位よりも後側に位置する第二部位に対する処置を行う第二モードを含む複数のモードの１つを選択する指示を受け付ける受付手段をさらに備え、
前記制御手段は、
前記受付手段によって前記第一モードの選択が受け付けられた場合に、前記第一パルスレーザ光を前記レーザユニットに出射させると共に、
前記受付手段によって前記第二モードの選択が受け付けられた場合に、前記第二パルスレーザ光を前記レーザユニットに出射させることを特徴とする請求項２に記載の眼科用レーザ手術装置。
【手続補正書】
【提出日】平成28年7月1日(2016.7.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
展開状態にて、長方形の外フィルム(２)と該外フィルム(２)の裏面側に配備された内フィルム(３)との間にシート状食品(５)を挟んだものであり、前記外フィルム(２)と前記内フィルム(３)は、シート状食品(５)の外周が溶着一体化されている飯塊(６)の包装シートであって、
前記外フィルム(２)及び前記内フィルム(３)には、長手方向に分断することのできる分断可能部(21)(34)が形成されており、
前記外フィルム(２)と前記シート状食品(５)との間には、前記外フィルム(２)の分断可能部(21)と、外フィルム(２)の幅方向の端縁(27)との間に位置する掴み部(41)と、該掴み部(41)に連続し、前記外フィルム(２)の前記分断可能部(21)との対向位置を越えて延びるはみ出し部(42)を具える手汚れ防止シート(４)を配備してなる、
ことを特徴とする包装シート。
【請求項２】
前記手汚れ防止シート(４)は、包装される飯塊の底面(61)及び対向する２側面(62)(62)の一部に被さる長さである、
請求項１に記載の包装シート。
【請求項３】
前記手汚れ防止シート(４)は、前記外フィルム(２)に剥離可能に熱溶着されている、
請求項１又は請求項２に記載の包装シート。
【請求項４】
前記分断可能部(21)(34)は、前記外フィルム(２)及び前記内フィルム(３)の幅方向の中央からズレた位置に形成されており、前記分断可能部(21)(34)で分断することで、前記外フィルム(２)及び前記内フィルム(３)は、幅広部(25)と幅狭部(26)とに分割されるものである、
請求項１乃至請求項３の何れかに記載の包装シート。
【請求項５】
前記手汚れ防止シート(４)は、前記外フィルム(２)の前記幅狭部(26)側に配備されている、
請求項４に記載の包装シート。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５に記載の包装シート(１)によって飯塊(６)が包装されている包装飯塊。
【請求項７】
請求項６に記載の包装飯塊(７)の包装を解く方法であって、
前記外フィルム(２)の前記分断可能部(21)は、カットテープであって、
前記外フィルム(２)の前記分断可能部(21)にて、前記外フィルム(２)を分断し、
前記手汚れ防止シート(４)の掴み部(41)が配備されている側の前記外フィルム(２)を前記飯塊(６)の上から把持し、
前記手汚れ防止シート(４)の掴み部(41)が配備されていない側の前記外フィルム(２)を内フィルム(３)と共に引っ張って取り除き、
前記手汚れ防止シート(４)のはみ出し部(42)を前記飯塊(６)の上から掴み、
残りの前記外フィルム(２)と前記内フィルム(３)を引っ張ることにより、
前記手汚れ防止シート(４)が前記シート状食品(５)を介して前記飯塊(６)に被さる、
包装飯塊の包装を解く方法。
【請求項８】
請求項６に記載の包装飯塊(７)の包装を解く方法であって、
前記外フィルム(２)の前記分断可能部(21)は、断続的な切条であって、
前記手汚れ防止シート(４)の掴み部(41)が配備されている側の前記外フィルム(２)を前記飯塊(６)の上から把持し、
前記手汚れ防止シート(４)の掴み部(41)が配備されていない側の前記外フィルム(２)を内フィルム(３)と共に引っ張ることで、前記分断可能部(21)(34)にて前記包装シート(１)を分断し、前記手汚れ防止シート(４)の掴み部(41)が配備されていない側の前記外フィルム(２)と前記内フィルム(３)を取り除き、
前記手汚れ防止シート(４)のはみ出し部(42)を前記飯塊(６)の上から掴み、
残りの前記外フィルム(２)と前記内フィルム(３)を引っ張ることにより、
前記手汚れ防止シート(４)が前記シート状食品(５)を介して前記飯塊(６)に被さる、
包装飯塊の包装を解く方法。
【手続補正書】
【提出日】平成28年4月1日(2016.4.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁層と、
前記絶縁層の一方の面の上に配設される、チタン製のバリア層と、
前記バリア層の上に配設され、Ｃｕ３Ｓｎ又はＣｕ６Ｓｎ５製の第１金属層と、
前記第１金属層の上に配設されるニッケル層と、前記ニッケル層の上に配設される金層とを有する第２金属層と
を含み、
前記バリア層、前記第１金属層、及び前記第２金属層の側面は、面一である、パッド構造。
【請求項２】
前記第１金属層は、前記Ｃｕ３Ｓｎ又はＣｕ６Ｓｎ５製の層に加えて、前記前記Ｃｕ３Ｓｎ又はＣｕ６Ｓｎ５製の層と、前記ニッケル層との間に配設される、錫層をさらに含む、請求項１記載のパッド構造。
【請求項３】
４
絶縁層と、
前記絶縁層の一方の面の上に配設されるバリア層と、
前記バリア層の上に配設され、Ｃｕ３Ｓｎ又はＣｕ６Ｓｎ５製の第１金属層と、
前記第１金属層の上に配設される、ニッケル製の第２金属層と
前記第２金属層の上に接続されるはんだ層と、
前記はんだ層の上に接続される接続部と
を含み、
前記バリア層、前記第１金属層、及び前記第２金属層の側面は、面一である、実装構造。
【請求項４】
前記第１金属層と前記第２金属層との間に配設され、Ｎｉ３Ｓｎ４、Ｎｉ３Ｓｎ２、又はＮｉ３Ｓｎの組成を有するニッケルと錫の金属間化合物層をさらに含む、請求項３記載の実装構造。
【請求項５】
絶縁層の一方の面の上に、チタン製のバリア層を形成する工程と、
前記バリア層の上に、銅シード層を形成する工程と、
前記銅シード層に対して、錫を用いた置換めっきを行うことにより、Ｃｕ３Ｓｎ又はＣｕ６Ｓｎ５製の第１金属層を形成する工程と、
前記第１金属層の上に、ニッケル層と、前記ニッケル層の上に配設される金層とを有する第２金属層を形成する工程と
を含む、パッド構造の製造方法。
【請求項６】
前記第１金属層を形成する工程は、前記Ｃｕ３Ｓｎ又はＣｕ６Ｓｎ５製の層に加えて、前記前記Ｃｕ３Ｓｎ又はＣｕ６Ｓｎ５製の層の上に錫層をさらに形成する工程であり、
前記第２金属層を形成する工程は、前記錫層の上に、前記ニッケル層と、前記ニッケル層の上に配設される前記金層とを有する前記第２金属層を形成する工程である、請求項５記載のパッド構造の製造方法。
【請求項７】
絶縁層の一方の面の上に、チタン製のバリア層を形成する工程と、
前記バリア層の上に、銅シード層を形成する工程と、
前記銅シード層に対して、錫を用いた置換めっきを行うことにより、銅及び錫の金属間化合物層の上に錫層が積層された第１金属層を形成する工程と、
前記第１金属層の前記錫層の上に、ニッケル層を有する第２金属層を形成する工程と、
前記第２金属層を加熱した状態で、接続部が上部に接続されたはんだ層を前記第２金属層の上に接続する工程と
を含み、
前記はんだ層を前記第２金属層の上に接続する工程は、前記第１金属層に含まれる前記錫層を、錫と前記第２金属層に含まれるニッケルとの錫−ニッケル金属間化合物層にする工程であり、前記金属間化合物層は、Ｎｉ３Ｓｎ４層、Ｎｉ３Ｓｎ２層、又はＮｉ３Ｓｎ層である、実装構造の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の実施の形態のパッド構造は、絶縁層と、前記絶縁層の一方の面の上に配設される、チタン製のバリア層と、前記バリア層の上に配設され、Ｃｕ３Ｓｎ又はＣｕ６Ｓｎ５製の第１金属層と、前記第１金属層の上に配設されるニッケル層と、前記ニッケル層の上に配設される金層とを有する第２金属層とを含み、前記バリア層、前記第１金属層、及び前記第２金属層の側面は、面一である。
【手続補正書】
【提出日】平成28年6月29日(2016.6.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の材料種を備えた試料の照射された表面から放出される電子の検出に対応する情報を受信するステップと、
前記試料の前記複数の材料種間で放出された前記電子の収率の変動を補償するための較正係数を計算するステップと、
前記試料の照射された表面から放出された前記電子の検出に対応する受信された情報と、前記試料の前記複数の材料種間で放出された前記電子の収率の変動を補償するための較正係数とに基づいて、処理装置によって、前記試料の前記表面の３次元モデルを計算するステップと
を備えた方法。
【請求項２】
放出された前記電子の検出に対応する前記情報は、前記試料の照射された表面に対して異なる位置に関連付けられている複数の検出器出力に対応する請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記試料の表面の３次元モデルを計算するステップは、
前記試料の表面の表面高さ勾配を生成するステップと、
前記表面高さ勾配を積分するステップと
を備えた請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記試料の表面の前記表面高さ勾配を生成するステップは、
前記試料の前記表面上の所与の点に対して、反射率関数に対応する一組の式を定義するステップと、
前記一組の式を解いて前記所与の点における対応する表面高さ勾配を導出するステップと
を備えた請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記３次元モデルを算出するステップは、
前記試料の前記複数の材料種を補償するために、前記較正係数を、前記試料の照射された表面から放出された電子の検出に対応する前記情報に適用するステップを備えた請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記較正係数を適用するステップは、
前記材料種に対して計算された較正係数の特定の較正係数を用いることによって、ある材料種を含む材料の表面上の点に対応する放出された電子の検出に関連付けられた所与の検出器の反射率関数を規格化することを備えた請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記試料の照射された表面から放出された電子の検出に対応する前記情報は、少なくとも１つの走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）画像を備えている請求項１に記載の方法。
【請求項８】
メモリと、
複数の材料種を備えた試料の照射された表面から放出される電子の検出に対応する情報を受信し、
前記試料の前記複数の材料種間で放出された前記電子の収率の変動を補償するための較正係数を計算し、
前記試料の照射された表面から放出された前記電子の検出に対応する受信された情報と、前記試料の前記複数の材料種間で放出された前記電子の収率の変動を補償するための較正係数とに基づいて、前記試料の前記表面の３次元モデルを計算する
ように前記メモリに動作可能に接続された処理装置と
を備えたシステム。
【請求項９】
放出された前記電子の検出に対応する前記情報は、前記試料の照射された表面に対して異なる位置に関連付けられている複数の検出器出力に対応する請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
前記試料の表面の３次元モデルの計算は、
前記試料の表面の表面高さ勾配を生成し、
前記表面高さ勾配を積分する
ことを備えた請求項８に記載のシステム。
【請求項１１】
前記試料の表面の前記表面高さ勾配の生成は、
前記試料の前記表面上の所与の点に対して、反射率関数に対応する一組の式を定義し、
前記一組の式を解いて前記所与の点における対応する表面高さ勾配を導出する
ことを備えた請求項８に記載のシステム。
【請求項１２】
前記３次元モデルの算出は、
前記試料の前記複数の材料種を補償するために、前記較正係数を、前記試料の照射された表面から放出された電子の検出に対応する前記情報に適用することを備えた請求項８に記載のシステム。
【請求項１３】
前記較正係数を適用することは、
前記材料種に対して計算された較正係数の特定の較正係数を用いることによって、ある材料種を含む材料の表面上の点に対応する放出された電子の検出に関連付けられた所与の検出器の反射率関数を規格化することを備えた請求項１２に記載のシステム。
【請求項１４】
前記試料の照射された表面から放出された電子の検出に対応する前記情報は、少なくとも１つの走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）画像を備えている請求項８に記載のシステム。
【請求項１５】
処理装置によってアクセスされたときに、前記処理装置に、
複数の材料種を備えた試料の照射された表面から放出される電子の検出に対応する情報を受信させ、
前記試料の前記複数の材料種間で放出された前記電子の収率の変動を補償するための較正係数を計算させ、
前記試料の照射された表面から放出された前記電子の検出に対応する受信された情報と、前記試料の前記複数の材料種間で放出された前記電子の収率の変動を補償するための較正係数とに基づいて、前記試料の前記表面の３次元モデルを計算させる
データを有する非一時的な機械可読記憶媒体。
【請求項１６】
放出された前記電子の検出に対応する前記情報は、前記試料の照射された表面に対して異なる位置に関連付けられている複数の検出器出力に対応する請求項１５に記載の非一時的な機械可読記憶媒体。
【請求項１７】
前記試料の表面の３次元モデルの計算は、
前記試料の表面の表面高さ勾配を生成し、
前記表面高さ勾配を積分する
ことを備えた請求項１５に記載の非一時的な機械可読記憶媒体。
【請求項１８】
前記試料の表面の前記表面高さ勾配の生成は、
前記試料の前記表面上の所与の点に対して、反射率関数に対応する一組の式を定義し、
前記一組の式を解いて前記所与の点における対応する表面高さ勾配を導出する
ことを備えた請求項１５に記載の非一時的な機械可読記憶媒体。
【請求項１９】
前記３次元モデルの算出は、
前記試料の前記複数の材料種を補償するために、前記較正係数を、前記試料の照射された表面から放出された電子の検出に対応する前記情報に適用することを備えた請求項１５に記載の非一時的な機械可読記憶媒体。
【請求項２０】
前記較正係数を適用することは、
前記材料種に対して計算された較正係数の特定の較正係数を用いることによって、ある材料種を含む材料の表面上の点に対応する放出された電子の検出に関連付けられた所与の検出器の反射率関数を規格化することを備えた請求項１９に記載の非一時的な機械可読記憶媒体。
【手続補正書】
【提出日】平成27年11月27日(2015.11.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属を含有する膜が配置された試料をプラズマ処理するプラズマ処理方法において、
ハロゲン含有ガスと窒素ガスとの混合ガスを用いて前記試料をプラズマ処理し、
前記プラズマ処理された試料が後処理される後処理室と異なるプラズマ生成室にて酸素ガスと窒素ガスとの混合ガスのみを用いてプラズマを生成し、
前記プラズマ生成室と前記後処理室の間に配置された輸送経路を介して前記酸素ガスと窒素ガスとの混合ガスのみを用いて生成されたプラズマを後処理室に輸送することによりラジカルを前記プラズマ処理された試料に照射しながら後処理し、
前記酸素ガスと窒素ガスとの混合ガスに対する前記酸素ガスの割合は、１％から１０％の範囲内の割合であることを特徴とするプラズマ処理方法。
【請求項２】
請求項１に記載のプラズマ処理方法において、
リモートプラズマ装置を用いて前記後処理を行うことを特徴とするプラズマ処理方法。
【請求項３】
請求項１に記載のプラズマ処理方法において、
前記後処理する時の処理温度を２０℃から前記試料の材質固有の転移温度までの範囲内の温度とすることを特徴とするプラズマ処理方法。
【請求項４】
試料がプラズマ処理されるプラズマ処理室と、前記プラズマ処理された試料を大気側に搬出するアンロードロック室と、前記プラズマ処理室と前記アンロードロック室と異なるプラズマ生成室にてプラズマを生成するリモートプラズマ装置とを備える真空処理装置において、
前記アンロードロック室は、前記リモートプラズマ装置にて生成されたプラズマを輸送する輸送経路を介して前記リモートプラズマ装置にて生成されたプラズマを輸送されることによりラジカル照射による前記プラズマ処理された試料の後処理が行われ、
前記輸送経路の材質は、石英または、表面が酸化処理されたアルミであることを特徴とする真空処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明は、金属を含有する膜が配置された試料をプラズマ処理するプラズマ処理方法において、ハロゲン含有ガスと窒素ガスとの混合ガスを用いて前記試料をプラズマ処理し、前記プラズマ処理された試料が後処理される後処理室と異なるプラズマ生成室にて酸素ガスと窒素ガスとの混合ガスのみを用いてプラズマを生成し、前記プラズマ生成室と前記後処理室の間に配置された輸送経路を介して前記酸素ガスと窒素ガスとの混合ガスのみを用いて生成されたプラズマを後処理室に輸送することによりラジカルを前記プラズマ処理された試料に照射しながら後処理し、前記酸素ガスと窒素ガスとの混合ガスに対する前記酸素ガスの割合は、１％から１０％の範囲内の割合であることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明は、試料がプラズマ処理されるプラズマ処理室と、前記プラズマ処理された試料を大気側に搬出するアンロードロック室と、前記プラズマ処理室と前記アンロードロック室と異なるプラズマ生成室にてプラズマを生成するリモートプラズマ装置とを備える真空処理装置において、前記アンロードロック室は、前記リモートプラズマ装置にて生成されたプラズマを輸送する輸送経路を介して前記リモートプラズマ装置にて生成されたプラズマを輸送されることによりラジカル照射による前記プラズマ処理された試料の後処理が行われ、前記輸送経路の材質は、石英または、表面が酸化処理されたアルミであることを特徴とする。