【手続補正書】
【提出日】平成28年9月5日(2016.9.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体処理システムであって、
前記半導体処理システムの動作をスケジュールするように構成されるコントローラを備え、
前記コントローラは、
前記半導体処理システムの現在の状態を判定し、前記現在の状態は、一又はそれ以上の基板の位置及び前記一又はそれ以上の基板の処理状態により少なくとも定義され、
一又はそれ以上の分岐経路を有する探索木を生成し、各分岐経路は、前記現在の状態における前記半導体処理システムにより行うことが可能な後続の動作の一又はそれ以上のシーケンスを識別し、
生成された前記探索木の各分岐経路を点数化し、
前記分岐経路の点数の少なくとも一部に基づいて分岐経路を選択する、
ようにプログラムされる半導体処理システム。
【請求項２】
前記コントローラは、前記探索木の選択された前記分岐経路における一又はそれ以上の識別された前記後続の動作を実行するように前記半導体処理システムに命令するようにプログラムされ、各分岐経路及び前記分岐経路における各動作は、関連する期間を有し、生成された分岐経路又は各分岐経路において識別された動作により経過される全ての期間が所定の計画対象期間に到達するまでに、追加分岐経路が生成される又は各分岐経路の追加動作が識別される、請求項１に記載の半導体処理システム。
【請求項３】
前記コントローラは、一又はそれ以上の識別された前記後続の動作のそれぞれに対して、
識別された前記後続の動作のそれぞれのために、識別された前記後続の動作が行われた場合に、前記半導体処理システムの後続の状態を判定し、前記後続の状態は、一又はそれ以上の基板の位置及び前記一又はそれ以上の基板の処理状態により少なくとも定義され、
前記半導体処理システムが前記後続の状態にある場合に、実行可能な一又はそれ以上の動作のセットを判定するために前記後続の状態を分析する、
請求項１に記載の半導体処理システム。
【請求項４】
前記コントローラは、
前記分岐経路の各動作を行うために掛かる時間、
前記半導体処理システムのリアクタがアイドル中である時間、
前記一又はそれ以上の基板のそれぞれの処理状態、
前記半導体処理システムにおける一以上のボートの処理状態、
後続の処理工程へ進むための前記半導体処理システムの一以上のボートの性能
のうちの一以上の少なくとも一部に基づいて各分岐経路を点数化するようにプログラムされる、請求項１に記載の半導体処理システム。
【請求項５】
前記コントローラは、処理のボトルネックを生じる分岐経路にネガティブな又はわずかな重みを割り当てることにより、処理のボトルネックを生じる前記探索木の分岐経路にペナルティを科すようにプログラムされる、請求項１に記載の半導体処理システム。
【請求項６】
前記コントローラは、前記一又はそれ以上の基板の処理シーケンスにおいて最大数の工程を完了するための最短時間を有する前記分岐経路を選択するようにプログラムされる、請求項１に記載の半導体処理システム。
【請求項７】
リアクタモジュールをさらに備え、
前記リアクタモジュールは、
第１のリアクタと、
少なくとも交換位置と前記第１のリアクタとにおいて前記基板のボートを移送するように構成される移送装置と、を含む、請求項１に記載の半導体処理システム。
【請求項８】
前記リアクタモジュールは、さらに、
第２のリアクタと、
前記基板の前記ボートを支持するように構成される少なくとも２つのカルーセル位置を有する回転可能なカルーセルと、を備え、前記カルーセルは、少なくとも前記第１のリアクタと前記第２のリアクタとにおいて前記基板の前記ボートを移送するように構成され、前記半導体処理システムの前記現在の状態は、さらに、前記カルーセルの向きにより少なくとも定義される、請求項７に記載の半導体処理システム。
【請求項９】
前記半導体処理システムの前記現在の状態は、さらに、
ボートが前記第１のリアクタに挿入されるようにスケジュールされるまでの時間、
処理が前記第１のリアクタにおいて続けられるようにスケジュールされる時間、及び
ボートが前記第１のリアクタを離れるまでの時間
の一又はそれ以上により定義される、請求項８に記載の半導体処理システム。
【請求項１０】
前記リアクタモジュールは、さらに、
基板のボートを前記カルーセルから前記第１のリアクタへ移動するように構成される第１のボートエレベータと、
基板のボートを前記カルーセルから前記第２のリアクタへ移動するように構成される第２のボートエレベータと、を備える、請求項９に記載の半導体処理システム。
【請求項１１】
複数のボートをさらに備え、各ボートは、複数の基板を支持するように構成され、前記半導体処理システムの前記現在の状態は、さらに、前記複数のボートの位置により定義され、前記半導体処理システムの前記現在の状態は、さらに、
各ボートを冷却するようにスケジュールされる時間、及び
各ボートの後続の処理工程
の少なくとも１つにより定義される、請求項１に記載の半導体処理システム。
【請求項１２】
リアクタモジュールが前記現在の状態にある場合に、実行されることが可能な前記一又はそれ以上の動作は、
カルーセルを９０°回転すること、
前記カルーセルを１８０°回転すること、
移送装置を用いて前記カルーセルからボートを除去すること、
前記移送装置を用いて前記カルーセルにボートを配置すること、
交換位置におけるボートの基板を交換すること、
第１のリアクタ又は第２のリアクタにボートを位置付けること、
ボートを処理すること、
前記第１のリアクタ又は前記第２のリアクタからボートを除去すること、及び
ボートを冷却すること
の少なくとも１つを含む、請求項１に記載の半導体処理システム。
【請求項１３】
前記コントローラは、さらに、リアルタイムで変化する半導体処理システム状況に適合するようにプログラムされる、請求項１に記載の半導体処理システム。
【請求項１４】
前記半導体処理システムは、クラスタツール処理システムであり、前記半導体処理システムは、前記コントローラと通信する複数の基板処理ステーションをさらに含む請求項１に記載の半導体処理システム。
【請求項１５】
各基板処理ステーションは、一度に単一の基板を処理するように構成される、請求項１４に記載の半導体処理システム。
【請求項１６】
半導体処理のための方法であって、
半導体処理システムの現在の状態を判定ステップであって、前記現在の状態は、一又はそれ以上の基板の位置及び前記一又はそれ以上の基板の処理状態により少なくとも定義される、ステップと、
一又はそれ以上の分岐経路を有する探索木を生成するステップであって、各分岐経路は、前記半導体処理システムが前記現在の状態にある場合に、行うことが可能な後続の動作の一又はそれ以上のシーケンスを識別する、ステップと、
生成された前記探索木の各分岐経路を点数化するステップと、
前記分岐経路の点数の少なくとも一部に基づいて分岐経路を選択するステップと、を含む方法。
【請求項１７】
前記探索木の選択された前記分岐経路における一又はそれ以上の識別された前記後続の動作を実行するステップをさらに含み、各分岐経路及び前記分岐経路における各動作は、関連する期間を有し、生成された分岐経路又は各分岐経路における動作により経過される全ての期間が所定の計画対象期間に到達するまでに、追加分岐経路が生成される又は各分岐経路の追加動作が識別される、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
一又はそれ以上の識別された前記後続の動作の識別された各後続の動作に対して、
識別された前記後続の動作が行われた場合に、前記半導体処理システムの後続の状態を判定するステップであって、前記後続の状態は、一又はそれ以上の基板の位置及び前記一又はそれ以上の基板の処理状態により少なくとも定義される、ステップと、
前記半導体処理システムが前記後続の状態にある場合に、実行可能な一又はそれ以上の動作のセットを判定するために前記後続の状態を分析するステップと、をさらに含む請求項１６に記載の方法。
【請求項１９】
前記半導体処理システムのリアクタがアイドル中である時間、
一又はそれ以上のボートそれぞれの処理状態、
後続の処理工程へ進むための各ボートの性能
のうちの一以上の少なくとも一部に基づいて各分岐経路を点数化するステップをさらに含む請求項１６に記載の方法。
【請求項２０】
実行した時に請求項１６に記載の方法を行うコードを記憶する一時的でないコンピュータ可読媒体。