【手続補正書】
【提出日】平成28年9月16日(2016.9.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
溶液の液滴を吐出する複数のノズルが配列された塗布ヘッドの各ノズルから吐出する液滴を撮影するカメラと、該カメラでの撮影により得られる各ノズルから吐出される液滴の飛翔跡を含む画像データを画像処理する画像処理手段とを有する液滴吐出状態確認装置であって、
前記カメラの被写界深度が、前記カメラの光軸方向において、当該カメラに最も近い位置にあるノズルの該カメラに最も近い外縁部位と、前記カメラから最も遠い位置にあるノズルの前記カメラから最も遠い外縁部位との間の距離の１倍以上２倍以下の範囲内の距離に設定された液滴吐出状態確認装置。
【請求項２】
前記塗布ヘッドは、複数のノズルが配列された第１の列と、該第１の列と平行に配列された第２の列と備え、
前記カメラの被写界深度が、前記第１の列の各ノズルの前記カメラに最も近い外縁部位と、前記第２の列の各ノズルの前記カメラから最も遠い外縁部位との間の距離の１倍以上２倍以下の範囲内の距離に設定された請求項１記載の液滴吐出状態確認装置。
【請求項３】
溶液の液滴を吐出する複数のノズルが配列された塗布ヘッドの各ノズルから吐出する液滴をカメラによって撮影する撮影ステップと、
前記カメラの撮影により得られる各ノズルから吐出される液滴の飛翔跡を含む画像データを画像処理するステップとを有し、前記塗布ヘッドの各ノズルから吐出される液滴の吐出状態を確認する液滴吐出状態確認方法であって、
前記カメラの被写界深度が、前記カメラの光軸方向において、当該カメラに最も近い位置にあるノズルの該カメラに最も近い外縁部位と、前記カメラから最も遠い位置にあるノズルの前記カメラから最も遠い外縁部位との間の距離の１倍以上２倍以下の範囲内の距離に設定される液滴吐出状態確認方法。
【請求項４】
溶液の液滴を吐出する複数のノズルが配列された塗布ヘッドの各ノズルから吐出する液滴を撮影するカメラと、該カメラでの撮影により得られる各ノズルから吐出される液滴の飛翔跡を含む画像データを画像処理する画像処理手段とを有する液滴吐出状態確認装置であって、
前記複数のノズルの前記カメラの光軸方向における配列形態に応じて前記カメラの被写界深度を制御するカメラ制御部を有する液滴吐出状態確認装置。
【請求項５】
前記カメラ制御部は、前記カメラの被写界深度を、前記カメラの光軸方向において、当該カメラに最も近い位置にあるノズルの該カメラに最も近い外縁部位と、前記カメラから最も遠い位置にあるノズルの前記ノズルから最も遠い外縁部位との間の距離の１倍以上２倍以下の範囲内の距離に設定する請求項４記載の液滴吐出状態確認装置。
【請求項６】
溶液の液滴を吐出する複数のノズルが配列された塗布ヘッドの各ノズルから吐出する液滴をカメラにて撮影する撮影ステップと、
前記カメラでの撮影により得られる各ノズルから吐出される液滴の飛翔跡を含む画像データを画像処理するステップとを有し、前記塗布ヘッドの各ノズルから吐出される液滴の吐出状態を確認する液滴吐出状態確認方法であって、
前記複数のノズルの前記カメラの光軸方向における配列形態に応じて前記カメラの被写界深度を制御するカメラ制御ステップを有する液滴吐出状態確認方法。
【請求項７】
前記カメラ制御ステップは、前記カメラの被写界深度を、前記カメラの光軸方向において、当該カメラに最も近い位置にあるノズルの該カメラに最も近い外縁部位と、前記カメラから最も遠い位置にあるノズルの前記カメラから最も遠い外縁部位との間の距離の１倍以上２倍以下の範囲内の距離に設定する請求項６記載の液滴吐出状態確認方法。
【請求項８】
前記カメラ制御部は、前記塗布ヘッドの回動角度位置に応じて前記カメラの被写界深度を制御する請求項４または５記載の液滴吐出状態確認装置。
【請求項９】
前記カメラ制御ステップは、前記塗布ヘッドの回動角度位置に応じて前記カメラの被写界深度を制御する請求項６または７記載の液滴吐出状態確認方法。
【請求項１０】
溶液の液滴を吐出する複数のノズルが配列された塗布ヘッドと、
被塗布物を支持する支持機構と、
前記塗布ヘッドを前記支持機構に支持された前記被塗布物に対向させた状態で、前記塗布ヘッドと前記支持機構とを相対的に移動させる駆動機構と、を備えた液滴塗布装置において、
請求項１、２、４、５及び８のいずれかに記載の液滴吐出状態確認装置を有する液滴塗布装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【発明の名称】液滴吐出状態確認装置、液滴吐出状態確認方法及び液滴塗布装置。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出状態確認装置、液滴吐出状態確認方法、及び液滴塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置や半導体装置等の製造工程において、配向膜の材料（例えば、ポリイミド）溶液やレジスト溶液等の溶液を基板に塗布する液滴塗布装置が用いられる。例えば、特許文献１に開示される液滴塗布装置が知られている。この従来の液滴塗布装置は、塗布液としての溶液の液滴を一定方向に吐出する複数のノズルの形成された塗布ヘッドを備えており、被塗布物である基板と塗布ヘッドとを対向させた状態で、塗布ヘッドの各ノズルから溶液の液滴を吐出させつつ当該塗布ヘッドと基板とを相対的に移動させる。これにより、塗布ヘッドの各ノズルから液滴として吐出される溶液が基板の表面に塗布される。
【０００３】
この種の溶液塗布装置では、塗布ヘッドにおける各ノズルから吐出される液滴の吐出状態を確認するために、液滴吐出状態確認装置が用いられる。この液滴吐出状態確認装置は、塗布ヘッドの各ノズルから吐出して飛翔中の液滴を撮影するカメラを有し、そのカメラでの撮影により得られる各ノズルから吐出されたる液滴の飛翔跡を含む画像が生成される。そして、その画像に含まれる各ノズルから吐出された液滴の飛翔跡から、各ノズルから吐出されたる液滴の状態を確認することができる。例えば、その画像における液滴の飛翔跡の欠落により、ノズルの液づまりがあることを判断することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１１−５０９３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、塗布ヘッドにおける各ノズルからは、主となる液滴のほか、各液滴の周囲に微細な液粒子がミスト状にまとわりついたり、吐出された液滴を受けるドレインパンからミスト状に微細液粒子が舞いあがったりし得る。一方、カメラの焦点位置がベストの位置から多少ずれても、飛翔する液滴を鮮明に撮れるようにするため、一般に、カメラの被写界深度は深く設定される。
【０００６】
しかしながら、従来の液滴吐出状態確認装置では、カメラの被写界深度が深く設定されると、例えば、図７に示すように、カメラでの撮影により得られた画像Ｉに、塗布ヘッドの画像部分ＩＨ及びノズルから吐出する液滴の飛翔跡ＩＦＹだけでなく、多くの前記ミスト状の微細液粒子跡Ｉａまでも現れるおそれがある。このため、前記カメラでの撮影により得られた画像Ｉから、塗布ヘッドに形成された本来のノズルの数より多くの数のノズルがあると誤判定してしまったり、更に、液づまりのノズルがあるにもかかわらず、前記微細液粒子跡Ｉａを正規の液滴の飛翔跡ＩＦＹとして、液づまりのノズルはない、と誤判定してしまったりする場合がある。
【０００７】
本発明は、カメラでの撮影により得られる画像から塗布ヘッドの各ノズルから吐出される液滴の吐出状態を正確に確認することができる液滴吐出状態確認装置、液滴吐出状態確認方法、及び液滴塗布装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る液滴吐出状態確認装置は、溶液の液滴を吐出する複数のノズルが配列された塗布ヘッドの各ノズルから吐出する液滴を撮影するカメラと、該カメラでの撮影により得られる各ノズルから吐出される液滴の飛翔跡を含む画像データを画像処理する画像処理手段とを有する液滴吐出状態確認装置であって、前記カメラの被写界深度が、前記カメラの光軸方向において、当該カメラに最も近い位置にあるノズルの該カメラに最も近い外縁部位と、前記カメラから最も遠い位置にあるノズルの前記カメラから最も遠い外縁部位との間の距離の１倍以上２倍以下の範囲内の距離に設定された構成となる。
【０００９】
本発明に係る液滴吐出状態確認装置において、前記塗布ヘッドは、複数のノズルが配列された第１の列と、該第１の列と平行に配列された第２の列と備え、前記カメラの被写界深度が、前記第１の列の各ノズルの前記カメラに最も近い外縁部位と、前記第２の列の各ノズルの前記カメラから最も遠い外縁部位との間の距離の１倍以上２倍以下の範囲内の距離に設定された構成とすることができる。
【００１０】
本発明に係る液滴吐出状態確認方法は溶液の液滴を吐出する複数のノズルが配列された塗布ヘッドの各ノズルから吐出する液滴をカメラによって撮影する撮影ステップと、前記カメラの撮影により得られる各ノズルから吐出される液滴の飛翔跡を含む画像データを画像処理するステップとを有し、前記塗布ヘッドの各ノズルから吐出される液滴の吐出状態を確認する液滴吐出状態確認方法であって、前記カメラの被写界深度が、前記カメラの光軸方向において、当該カメラに最も近い位置にあるノズルの該カメラに最も近い外縁部位と、前記カメラから最も遠い位置にあるノズルの前記カメラから最も遠い外縁部位との間の距離の１倍以上２倍以下の範囲内の距離に設定される構成となる。
【００１１】
また、本発明に係る液滴吐出状態確認装置は、溶液の液滴を吐出する複数のノズルが配列された塗布ヘッドの各ノズルから吐出する液滴を撮影するカメラと、該カメラでの撮影により得られる各ノズルから吐出される液滴の飛翔跡を含む画像データを画像処理する画像処理手段とを有する液滴吐出状態確認装置であって、前記複数のノズルの前記カメラの光軸方向における配列形態に応じて前記カメラの被写界深度を制御するカメラ制御部を有する構成となる。
【００１２】
本発明に係る液滴吐出状態確認装置において、前記カメラ制御部は、前記カメラの被写界深度を、前記カメラの光軸方向において、当該カメラに最も近い位置にあるノズルの該カメラに最も近い外縁部位と、前記カメラから最も遠い位置にあるノズルの前記ノズルから最も遠い外縁部位との間の距離の１倍以上２倍以下の範囲内の距離に設定する構成とすることができる。
【００１３】
また、本発明に係る液滴吐出状態確認方法は、溶液の液滴を吐出する複数のノズルが配列された塗布ヘッドの各ノズルから吐出する液滴をカメラにて撮影する撮影ステップと、前記カメラでの撮影により得られる各ノズルから吐出される液滴の飛翔跡を含む画像データを画像処理するステップとを有し、前記塗布ヘッドの各ノズルから吐出される液滴の吐出状態を確認する液滴吐出状態確認方法であって、前記複数のノズルの前記カメラの光軸方向における配列形態に応じて前記カメラの被写界深度を制御するカメラ制御ステップを有する構成となる。
【００１４】
本発明に係る液滴吐出状態確認方法において、前記カメラ制御ステップは、前記カメラの被写界深度を、前記カメラの光軸方向において、当該カメラに最も近い位置にあるノズルの該カメラに最も近い外縁部位と、前記カメラから最も遠い位置にあるノズルの前記カメラから最も遠い外縁部位との間の距離の１倍以上２倍以下の範囲内の距離に設定する構成とすることができる。
【００１５】
更に、本発明に係る液滴吐出状態確認装置において、前記カメラ制御部は、前記塗布ヘッドの回動角度位置に応じて前記カメラの被写界深度を制御する構成とすることができる。
【００１６】
更に、本発明に係る液滴吐出状態確認方法において、前記カメラ制御ステップは、前記塗布ヘッドの回動角度位置に応じて前記カメラの被写界深度を制御する構成とすることができる。
【００１７】
本発明に係る液滴塗布装置は、溶液の液滴を吐出する複数のノズルが配列された塗布ヘッドと、被塗布物を支持する支持機構と、前記塗布ヘッドを前記支持機構に支持された前記被塗布物に対向させた状態で、前記塗布ヘッドと前記支持機構とを相対的に移動させる駆動機構と、を備えた液滴塗布装置において、請求項１、２、４、５及び８のいずれかに記載の液滴吐出状態確認装置を有する構成となる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、カメラでの撮影により得られる画像から塗布ヘッドの各ノズルから吐出される液滴の吐出状態を正確に確認することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施の形態に係る溶液塗布装置の基本的な構成を示す図である。
【図２Ａ】図１に示す溶液塗布装置に備えられる液滴吐出状態確認装置の主要部の側方から見た構成を示す図である。
【図２Ｂ】図１に示す溶液塗布装置に備えられる液滴吐出状態確認装置の主要部の正面から見た構成を示す図である。
【図２Ｃ】図１に示す溶液塗布装置に備えられる液滴吐出状態確認装置の主要部の下方から見た構成を示す図である。
【図３】図１乃至図２Ｃに示す液滴吐出状態確認装置におけるカメラの光軸と塗布ヘッドの各ノズルとの位置関係と、そのカメラの被写界深度を示す図である。
【図４Ａ】カメラでの撮影により得られた画像の一例を示す図である。
【図４Ｂ】カメラでの撮影により得られた画像の他の一例を示す図である。
【図５Ａ】図１に示す溶液塗布装置に用いられる他のタイプの塗布ヘッドにおけるノズルの配列形態を示すとともに、該塗布ヘッドの各ノズルとカメラの光軸との位置関係及びそのカメラの被写界深度を示す図である。
【図５Ｂ】図５Ａに示す塗布ヘッドについて、カメラの被写界深度を決めるためのノズルの位置関係を拡大して示す図である。
【図６Ａ】回動可能な塗布ヘッドの各ノズルとカメラの光軸との位置関係（その１）を示す図である。
【図６Ｂ】回動可能な塗布ヘッドの各ノズルとカメラの光軸との位置関係（その２）を示す図である。
【図６Ｃ】回動可能な塗布ヘッドの各ノズルとカメラの光軸との位置関係（その３）を示す図である。
【図７】従来の液滴吐出状態確認装置におけるカメラでの撮影により得られた画像の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００２１】
本発明の実施の一形態に係る溶液塗布装置は、図１に示すように構成される。
【００２２】
図１において、この溶液塗布装置は、被塗布物である基板Ｗ（例えば、液晶の基板）を支持する支持機構６０及び塗布ヘッド１０を有し、通常、塗布ヘッド１０は、塗布位置にあって（図１における破線参照）、支持機構６０に支持される基板Ｗに対向可能に設けられる。溶液塗布装置は、更に、基板Ｗを支持する支持機構６０を水平方向に移動させる駆動機構７０を有している。塗布ヘッド１０は、基板Ｗに対向する面に後に詳述するように複数のノズルが設けられ、図示外の吐出機構（例えば、圧電素子等を用いて構成される）の動作により各ノズルから塗布液としての溶液（例えば、配向膜の材料溶液（ポリイミド溶液））の液滴が吐出される。そして、塗布ヘッド１０が支持機構６０に支持された基板Ｗに対向した状態で、駆動機構７０によって支持機構６０が水平移動しつつ、塗布ヘッド１０の各ノズルから液滴として吐出する溶液が基板Ｗの表面に塗布される。
【００２３】
前記溶液塗布装置は、カメラ２０、光源２１及びドレインパン２３を有するとともに、コントローラ５０、パーソナルコンピュータ（以下、ＰＣという）１００及び表示装置１１０を有している。コントローラ５０は、ＰＣ１００による制御のもと、塗布ヘッド１０の吐出機構（図示略）の駆動制御、及び光源２１の点灯制御を行う。コントローラ５０は、また、カメラ２０からの映像信号を画像データに変換してＰＣ１００に供し、ＰＣ１００による制御のもと、カメラ２０におけるレンズの絞りの駆動制御を行う。
【００２４】
ＰＣ１００は、コントローラ５０からの前記画像データに基づいて、カメラ２０での撮影により得られる画像を表示装置１１０に表示させる。また、ＰＣ１００は、コントローラ５０から送られたカメラ２０による画像データを画像処理し、後述する塗布ヘッド２０の各ノズル１２から吐出された液滴の吐出状態の判定処理を行う機能を備える。さらに、ＰＣ１００は、溶液の基板Ｗへの塗布に際して、支持機構６０が所定のパターンで移動するように駆動機構７０を制御する。
【００２５】
ドレインパン２３は、溶液塗布装置における所定の位置に設けられており、塗布ヘッド１０は、前述した塗布位置（図１の破線参照）と、ドレインパン２３に対向する待機位置との間で移動可能となっている。なお、塗布ヘッド１０を前記塗布位置と前記待機位置との間で移動させる機構は、当業者であれば公知の技術で構成可能であり、図示を省略する。なお、塗布ヘッド１０を移動させる代わりに、カメラ２０、光源２１及びドレインパン２３を移動させるようにしてもよい。
【００２６】
本発明の実施の一形態に係る液滴吐出状態確認装置は、カメラ２０、光源２１、ドレインパン２３、コントローラ５０及び制御装置としてのＰＣ１００それぞれの機能、及び表示装置１１０にて構成される。この液滴吐出状態確認装置の機構系は、図１とともに、図２Ａ〜図２Ｃに示すように、構成される。なお、図２Ａは、液滴吐出確認装置の機構系を側方から見た構成を示し、図２Ｂは、その機構系を正面から見た構成を示し、図２Ｃは、その機構系を下方から見た構成を示している。
【００２７】
図２Ｃに示すように、塗布ヘッド１０には、複数のノズル１２が所定の間隔で一定方向に配列された単一のノズル列１１が設けられている。また、図２Ａ〜図２Ｃに示すように、カメラ２０は、その光軸方向ｙ（本実施の形態では、ｙ軸方向に一致）がノズル列１１の延びる方向ｘ（本実施の形態では、ｘ軸方向に一致）を横切る方向、例えば、そのノズル列１１の延びる方向ｘに直交する方向に合致するように所定の位置に設置される。光源２１は、待機位置にある塗布ヘッド１０の各ノズル１２から吐出される液滴Ｌdrpをカメラ２０との間に挟むように所定の位置に設置される（図２Ａ、図２Ｂ参照）。これにより、カメラ２０は、塗布ヘッド１０の各ノズル１２から吐出される液滴Ｌdrpを光源２１からの光を背景に撮影することができる。
【００２８】
利用者は、操作部（図示略）を操作してカメラ２０におけるレンズの絞りを調整することにより、カメラ２０の被写界深度Ｌdpを、図３に示すように、ノズル列１１の各ノズル１２の直径ｄの１倍以上２倍以下の範囲内の所定の距離に設定する。
ｄ≦Ｌdp≦２ｄ
例えば、ノズル１２の直径が５０μｍの場合、カメラ２０の被写界深度Ｌdpは、５０μｍ以上１００μｍ以下の範囲内の所定の距離（５０μ≦Ｌdp≦１００μｍ）に設定される。
【００２９】
液滴吐出状態確認装置では、待機位置にある塗布ヘッド１０の各ノズル１２からドレインパン２３に向けて溶液の液滴が順次吐出される。その過程で、光源２１からの光が照射された状態で、カメラ２０が、その各ノズル１２から吐出する液滴を撮影する（撮影ステップ）。そして、その撮影に際してカメラ２０から出力される映像信号がコントローラ５０によって画像データに変換され、その画像データがＰＣ１００に供給される。ＰＣ１００は、その画像データを公知の画像処理技術によって画像処理し、カメラ２０による撮像画像中に、液滴の飛翔跡（飛翔中の液滴の画像）がノズル１２の個数分含まれているか否かを判定する（吐出状態判定ステップ）。また、ＰＣ１００は、その画像データに基づいてカメラ２０での撮影より得られた画像を表示装置１１０に表示させる（画像提供ステップ・画像提供手段）。
【００３０】
表示装置１１０には、例えば、図４Ａに示すような画像Ｉが表示される。この画像Ｉには、塗布ヘッド１０の画像部分ＩＨのほか、塗布ヘッド１０の各ノズル１２から吐出された液滴の飛翔跡ＩＦＹが、液滴を吐出したノズル１２の数（図４Ａの場合、全てのノズル１２から液滴を吐出させた状態）に対応した数のスジとして現れる。そして、塗布ヘッド１０のあるノズル１２が液づまりになっている場合、例えば、図４Ｂに示すように、表示装置１１０に表示される画像Ｉにおける液滴の飛翔跡ＩＦＹに対応した多くのスジに欠落ａが生じる。利用者は、図４Ａに示す画像データにおける液滴の飛翔跡ＩＦＹが、表示装置１１０に表示される画像Ｉを用いて塗布ヘッド１０の各ノズル１２から吐出される液滴の吐出状態を確認することができる。例えば、図４Ａに示すような画像Ｉであれば、塗布ヘッド１０の各ノズル１２から吐出される液滴の吐出状態が正常であることを確認することができる。一方、例えば、図４Ｂに示すような画像Ｉであれば、塗布ヘッド１０の各ノズル１２から吐出される液滴の吐出状態は、一部のノズルで生じた液づまりによって正常でないことを確認することができる。
【００３１】
ＰＣ１００は、次のように、吐出状態判定ステップを実行する。
【００３２】
ＰＣ１００は、図４Ａ、図４Ｂに示す画像Ｉにおける液滴の飛翔跡ＩＦＹの画像を、予め設定された水平方向の走査ラインＳに沿って、所定の閾値で２値化処理する。ここで、閾値は、液滴の飛翔跡ＬＦＹと背景画像とを分離可能な値である。この２値化処理の結果、液滴の飛翔跡ＬＦＹを示す信号が、液滴を吐出したノズル１２の個数分得られれば、液滴の吐出状態が正常であると判定する。この場合、塗布ヘッド１０をそのまま塗布位置に移動させて、塗布ヘッド１０の各ノズル１２から液滴として吐出する溶液を基板Ｗに塗布する。一方、液滴の飛翔跡ＬＦＹを示す信号が、液滴を吐出したノズル１２の個数と異なっていた場合（通常は、ノズル１２の個数よりも少ない。）、液滴の吐出状態は正常ではないと判定（例えば、ノズル１２に液づまりが生じていると判定）する。この場合、塗布ヘッド１０のノズルの液づまり等を解消した後、カメラ２０による再度の液滴の撮影により、正常の判定が得られれば、塗布ヘッド１０を塗布位置に移動させて、塗布ヘッド１０の各ノズル１２から液滴として吐出する溶液を基板Ｗに塗布する。
【００３３】
上述したような液滴吐出状態確認装置では、塗布ヘッド１０の各ノズル１２から吐出する液滴を撮影するカメラ２０の被写界深度Ｌdpが、各ノズル１２の径の１倍以上２倍以下の範囲内の距離に設定されるので、カメラ２０の焦点を、当該カメラ２０の光軸方向ｙにおける各ノズル１２の位置に調整することにより、各ノズル１２から吐出される液滴を当該カメラ２０によってボケルことなく鮮明に写すことができるとともに、画像Ｉに写り込み得るミスト状の微細液粒子は、高々、各ノズル１２の径の２倍の範囲内のものでしかない。従って、塗布ヘッド１０の各ノズル１２から吐出する液滴の吐出状態を正確に表す画像を表示装置１１０に表示させることができる。そして、このような画像を用いて、塗布ヘッド１０の各ノズル１２から吐出する液滴の吐出状態を確認することができるので、カメラ２０での撮影により得られる前記画像Ｉ（図４Ａ及び図４Ｂ参照）からより正確に塗布ヘッド１０の各ノズ１２ルから吐出される液滴の吐出状態を判定できるとともに、確認することができる。
【００３４】
また、上述した液滴吐出状態確認装置では、本来、塗布ヘッド１０のノズル１２の位置に調整されるべきカメラ２０の焦点位置のずれが、ノズル１２の直径ｄの半分の距離以内であれば、塗布ヘッド１０の全てのノズル１２から吐出される液滴をピントずれなく適正に写すことができる。
【００３５】
図２Ｃに示すように複数のノズル１２が形成された塗布ヘッド１０に代えて、図５Ａに示すように複数のノズルが形成された塗布ヘッド１０を用いることができる。
【００３６】
この場合、塗布ヘッド１０は、複数のノズル１２ａが一定の方向に配列された第１の列１１ａと、第１の列１１ａと平行であって、複数のノズル１２ｂが第１の列１１ａの各ノズル１２ａとその配列方向ｘにおいて重なり合うことなく配列された第２の列１１ｂとを備える。このように、塗布ヘッド１０の複数のノズル１２ａ、１２ｂが、カメラ２０の光軸方向ｙにおいて２列１１ａ、１１ｂに配列される場合、利用者は、操作部を操作してカメラ２０におけるレンズの絞りを調整することにより、カメラ２０の被写界深度Ｌdpを、図５Ａ及び図５Ｂに示すように、カメラ２０の光軸方向ｙにおいて、カメラ２０に最も近い第１の列１１ａのノズル１２ａのカメラ２０に最も近い外縁部位ＥＤＧａと、カメラ２０から最も遠い第２の列１１ｂのノズル１２ｂのカメラ２０から最も遠い外縁部位ＥＧＧｂとの間の距離Ｄの１倍以上２倍以下の範囲内の所定の距離に設定する。
Ｄ≦Ｌdp≦２Ｄ
例えば、第１の列１１ａのノズル１２ａのカメラ２０に最も近い外縁部位ＥＤＧａと、第２の列１１ｂのノズル１２ｂのカメラ２０から最も遠い外縁部位ＥＤＧｂとの間の距離が８ｍｍである場合、カメラ２０の被写界深度Ｌdpは、８ｍｍ以上１６ｍｍ以下の範囲内の所定の距離（８ｍｍ≦Ｌdp≦１６ｍｍ）に設定される。
【００３７】
上述したような塗布ヘッド１０（図５Ａ及び図５Ｂ）を備える液滴塗布装置における液滴吐出状態確認装置では、塗布ヘッド１０の各ノズル１２ａ、１２ｂから吐出する液滴を撮影するカメラ２０の被写界深度Ｌdpが、前記第１の列１１ａの各ノズル１２ａのカメラ２０に最も近い外縁部位ＥＤＧａ（図５Ｂ参照）と、第２の列１１ｂの各ノズル１２ｂのカメラ２０から最も遠い外縁部位ＥＤＧｂ（図５Ｂ参照）との間の距離Ｄの１倍以上２倍以下の範囲内の距離に設定されるので、カメラ２０の焦点を、第１の列１１ａと第２の列１１ｂとの間の中心に調整することにより、少なくとも、第１の列１１ａの各ノズル１２ａ及び第２の列１１ｂの各ノズル１２ｂから吐出される液滴を当該カメラ２０によってボケルことなく適正に写すことができる。また、画像Ｉ（図４Ａ及び図４Ｂ参照）に明確に写り込み得るミスト状の微細液粒子は、高々、第１の列１１ａのノズル１２ａのカメラ２０に最も近い外縁部位ＥＤＧａと第２の列１１ｂのノズル１２ｂのカメラ２０から最も遠い外縁部位ＥＤＧｂとの間の距離Ｄの２倍の範囲内のものでしかない。従って、カメラ２０によって、塗布ヘッド１０の各ノズル１２ａ、１２ｂから吐出する液滴の吐出状態を正確に表す画像を表示装置１１０に表示させることができる。そして、このような画像を用いて、塗布ヘッド１０の各ノズル１２ａ、１２ｂから吐出する液滴の吐出状態を確認することができるので、カメラ２０での撮影により得られる前記画像Ｉ（図４Ａ及び図４Ｂ参照）からより正確に塗布ヘッド１０の各ノズ１２ルから吐出される液滴の吐出状態を判定できるとともに、確認することができる。
【００３８】
また、本来、第１の列１１ａと第２の列１１ｂとの間の中心に調整されるカメラ２０の焦点位置のずれが、第１の列１１ａの当該カメラ２０に最も近い外縁部位ＥＤＧａと第２の列１１ｂの当該カメラ２０から最も遠い外縁部位ＥＤＧｂとの間の距離Ｄの半分の距離以内であれば、塗布ヘッド１０の全てのノズル１２ａ、１２ｂ（第１の列１１ａ及び第２の列１１ｂ）から吐出される液滴をピントずれなく鮮明に写すことができる。
【００３９】
前述した例では、塗布ヘッド１０は、複数のノズル１２ａ、１２ｂが２列１１ａ、１１ｂにて配列されるものであったが、３列以上にて配列されるものであってもよい。この場合、カメラ２０の被写界深度Ｌdpは、カメラ２０の光軸方向において、当該カメラ２０に最も近い位置にあるノズル１２の該カメラ２０に最も近い外縁部位ＥＤＧａと、該カメラ２０から最も遠い位置にあるノズル１２の当該カメラ２０から最も遠い外縁部位ＥＤＧｂとの間の距離の１倍以上２倍以下の範囲内の距離に設定される。この場合も、カメラ２０の焦点を、カメラ２０に最も近い位置にあるノズル１２とカメラ２０から最も遠い位置にあるノズル１２との間の中心に調整することにより、少なくとも、当該カメラ２０に最も近い位置にあるノズル１２、前記カメラから最も遠い位置にあるノズル１２、及びそれらの間にあるノズル１２の全てから吐出される液滴を当該カメラ２０によってボケルことなく鮮明に写すことができる。また、画像Ｉに明確に写り込み得るミスト状の微細液粒子は、高々、当該カメラ２０に最も近い位置にあるノズル１２の該カメラ２０に最も近い外縁部位ＥＤＧａと、該カメラ２０から最も遠い位置にあるノズル１２の該カメラ２０から最も遠い外縁部位ＥＤＧｂとの間の距離の２倍の範囲内のものでしかない。よって、塗布ヘッド１０の各ノズル１２から吐出する液滴の吐出状態を正確に表す画像を表示装置１１０に表示させることができる。
【００４０】
ＰＣ１００及びコントローラ５０（カメラ制御部）は、一体となって、塗布ヘッド１０の複数のノズル１２のカメラ２０の光軸方向ｙにおける配列形態に応じて当該カメラ２０の絞り、即ち、被写界深度を制御することができる。
【００４１】
例えば、図５Ａに示すように複数のノズル１２ａ、１２ｂが２列（第１の列１１ａ、第２の列１１ｂ）に配列される塗布ヘッド１０を用いる液滴塗布装置では、第１の列１１ａのノズル１２ａからだけ溶液の液滴を吐出させて基板Ｇに当該溶液を塗布することと、第１の列１１ａのノズル１１ａ及び第２の列１１ｂのノズル１２ｂの全てのノズルから溶液の液滴を吐出させて基板Ｇに当該溶液を塗布することとを切り換えるように構成することができる。この場合、液滴吐出状態確認装置は、実際に溶液を基板Ｗに塗布する状態で、塗布ヘッド１０の各ノズル１２から吐出する溶液の液滴をカメラ２０で撮影し、その撮影により得られた画像ＩをＰＣ１００による吐出状態の良否の判定に供したり、表示装置１１０に表示させたりすることができる。
【００４２】
第１の列１１ａの複数のノズル１２ａからだけ溶液の液滴が吐出される場合、図３に示したように、ＰＣ１００の制御のもとコントローラ５０は、カメラ２０の被写界深度Ｌdp（カメラ２０のレンズの絞り）を、ノズル列１１ａの各ノズル１２ａの直径ｄの１倍以上２倍以下の範囲内の所定の距離に設定する（ｄ≦Ｌdp≦２ｄ）。一方、第１の列１１ａの複数のノズル１２ａと第２の列１１ｂの複数のノズル１２ｂとの全てから溶液の液滴が吐出される場合、図５Ａ及び図５Ｂに示すように、ＰＣ１００の制御のもとコントローラ５０は、第１の列１１ａのノズル１２ａのカメラ２０に最も近い外縁部位ＥＤＧａと、第２の列１１ｂのノズル１２ｂのカメラ２０から最も遠い外縁部位ＥＧＧｂとの間の距離Ｄの１倍以上２倍以下の範囲内の所定の距離に設定する（Ｄ≦Ｌdp≦２Ｄ）。なお、この場合、被写界深度Ｌｄｐの調整と共に、カメラ２０の焦点位置を、溶液が吐出されるノズル列１１ａ、１１ｂの位置に一致させる調整をあわせて行うようにするとよい。
【００４３】
このように、実際に溶液の液滴を一定方向に吐出する複数のノズル１２のカメラ２０の光軸方向ｙにおける配列形態が変化する場合、その複数のノズル１２の配列形態に応じて、カメラ２０の被写界深度Ｌdpが制御されるので、塗布ヘッド１０の各ノズル１２から吐出する液滴を、複数のノズル１２のカメラ２０の光軸方向ｙにおける配列形態に応じてカメラ２０によって適正に撮影することができる。その結果、カメラ２０によって、塗布ヘッド１０の各ノズル１２から吐出する液滴の吐出状態を正確に表す画像Ｉを表示装置１００に表示させることができる。
【００４４】
また、塗布ヘッド１０の複数のノズル１２のカメラ２０の光軸方向ｙにおける配列形態は、塗布ヘッド１０を交換した場合にも、変えるようにしてもよい。
例えば、ノズル列１１が２列の塗布ヘッド１０から１列の塗布ヘッド１０に交換された場合や、反対に、ノズル列１１が１列の塗布ヘッド１０から２列の塗布ヘッド１０に交換された場合、さらには、２列のノズル列１１ａ、１１ｂを有する塗布ヘッド１０から、ノズル列の間隔が異なる他の塗布ヘッド１０に交換された場合に、交換後の塗布ヘッド１０のノズル列１１に合わせて、カメラ２０の被写界深度Ｌｄｐを調整できる。
さらに、塗布ヘッド１０の複数のノズル１２のカメラ２０の光軸方向ｙにおける配列形態は、塗布ヘッド１０をノズル１２の配列面に平行な面内で回動させることにより変えることによっても変えることができる。
【００４５】
例えば、図２Ａ〜図２Ｃに示すように、塗布ヘッド１０に対してカメラ２０が配置される場合、塗布ヘッド１０を、例えば、図６Ａ〜図６Ｃに示すように、ノズル１２の配列面（図面の紙面）に平行な面内で回動させることができる。これにより、溶液を塗布する際のノズル１２の所定方向（カメラ２０の光軸方向ｙに垂直な方向ｘに相当する方向）における実質的な間隔を変化させることができる。
【００４６】
この場合、ＰＣ１００の制御のもとコントローラ５０（カメラ制御部）は、塗布ヘッド１０の回動角度位置θを取得し、その回動角度位置θに応じて、つまり、姿勢の変化に応じて、カメラ２０の被写界深度Ｌpd（カメラ２０の絞り）を制御する。具体的には、図６Ａ〜図６Ｃに示すように、塗布ヘッド１０が回動角度位置θ１、θ２、θ３のそれぞれにある場合、カメラ２０の光軸方向ｙにおいて、ノズル列１１内における当該カメラ２０に最も近い一端に位置するノズル１２ａの該カメラ２０に最も近い外縁部位ＥＤＧａ（図５Ｂ参照）と、ノズル列１１内におけるカメラ２０から最も遠い他端に位置するノズル１２ｂの該カメラ２０から最も遠い外縁部位ＥＤＧｂ（図５参照）との間の距離Ｄθ１、Ｄθ２、Ｄθ３の１倍以上２倍以下の範囲の距離に設定される。また、特に、複数のノズル１２の配列方向がカメラ２０の光軸方向ｙと直交する塗布ヘッド１０の回転角度位置では（図２Ｃ及び図３参照）、カメラ２０の被写界深度Ｌdpは、各ノズルの直径ｄの１倍以上２倍以下の範囲内の距離に設定される。
【００４７】
このように、塗布ヘッド１０が、複数のノズル１２の配列面に平行な面内で回動することにより、塗布ヘッド１０における複数のノズル１２のカメラ２０の光軸方向ｙにおける配列形態が変化する場合、その塗布ヘッド１０の回動角度位置（例えば、θ１、θ２、θ３：図６Ａ〜図６Ｃ参照）に応じてカメラの被写界深度Ｌdpが制御されるので、塗布ヘッド１０の回動角度位置（例えば、θ１、θ２、θ３）に対応した複数のノズル１２のカメラ２０の光軸方向ｙにける配列形態に応じた適正な被写界深度Ｌdpのカメラ２０によって、当該塗布ヘッド２０の各ノズル１２から吐出される液滴が撮影される。そのため、そのカメラ２０によって、塗布ヘッド１０の各ノズル１２から吐出する液滴の吐出状態を正確に表す画像を得ることができる。なお、この実施の形態においては、塗布ヘッド１０の回転中心をノズル列１１中央に設定し、カメラ２０の焦点位置を塗布ヘッド１０の回転中心位置となるように調整しているので、距離Ｄθ１、Ｄθ２、Ｄθ３は回転中心を中心としてカメラ２０の光軸方向ｙに均等に広がることとなるので、カメラの被写界深度Ｌdpを調整さえすれば、カメラ２０の焦点位置を調整せずともよい。
【００４８】
上述した各塗布ヘッド１０は、複数のノズル１２が直線状に配列されたものであったが、複数のノズル１２が曲線状に配列されるものであっても、カメラ２０の光軸方向ｙに相当する方向に重なり合わなければ、ランダムに配置されるものであってもよい。この場合であっても、カメラ２０の被写界深度Ｌdpは、カメラ２０の光軸方向ｙにおいて、当該カメラ２０に最も近い位置にあるノズル１２の該カメラ２０に最も近い外縁部位ＥＤＧａと、カメラ２０から最も遠い位置にあるノズル１２の当該カメラ２０から最も遠い外縁部位ＥＤＧｂとの間の距離の１倍以上２倍以下の範囲内の距離に設定される。
【００４９】
上述した各液滴吐出状態確認装置では、カメラ２０の撮影により得られる画像は、表示装置１１０に表示させることで、提供されるものであったが、例えば、その画像をプリンタにて印字することにより、あるいは、通信装置や通信インフラを用いて遠隔地に配信することにより提供するものであってもよい。
【００５０】
また、光源２１が、カメラ２０に対向配置されたものとしたが、これに限られるものではなく、カメラ２０と同じ側に配置し、反射光を撮像するようにしても良い。要は、液滴の画像が撮像できるのであれば、光源２１の配置位置や構成は限定されるものではない。
また、塗布液が、ポリイミド溶液を用いる例としたが、これに限られるものではなく、ノズルから吐出可能な塗布液であれば、適用可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１０  塗布ヘッド
１１  ノズル列
１１ａ  第１の列
１１ｂ  第２の列
１２、１２ａ、１２ｂ  ノズル
２０  カメラ
２１  光源
２３  ドレインパン
５０  コントローラ
６０  支持機構
７０  駆動機構