(57)【要約】【課題】基板上の誘電体レイヤにおいてトレンチ深さまでトレンチをエッチングする方法を提供する。【解決手段】ＡＲＣが前記誘電体レイヤ上に設けられる。厚さを有するフォトレジストマスクが前記ＡＲＣ上に形成される。前記ＡＲＣがエッチングされる。１：１および２：１の間であるフォトレジストに対する誘電体のエッチング選択性で、トレンチが前記誘電体レイヤ中へエッチングされる。【選択図】図２
2007511096.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上の誘電体レイヤにおいてトレンチ深さまでトレンチをエッチングする方法であって、
ＡＲＣを前記誘電体レイヤ上に設けること、
厚さを有するフォトレジストマスクを前記ＡＲＣ上に形成すること、
前記ＡＲＣを通してエッチングすること、および
１：１および２：１の間であるフォトレジストに対する誘電体のエッチング選択性で、トレンチを前記誘電体レイヤ中へエッチングすること
を含む方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法であって、前記フォトレジストマスクを前記形成することは、約２０００Åおよび４０００Åの間の厚さまでの前記フォトレジストマスクを形成する方法。
【請求項３】
請求項１〜２のいずれかに記載の方法であって、前記フォトレジストマスクを前記形成することは、１９３ｎｍまたはそれより新しい世代のフォトレジストの前記フォトレジストマスクを形成する方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の方法であって、前記フォトレジストマスクは、ラインエッジ粗さの制御についてアグレッシブなエッチング化学物質に敏感である方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の方法であって、
対向電極を前記基板に対向して置いて、前記基板をエッチングチャンバ中に置くこと、および
前記対向電極を加熱し、それにより前記トレンチを前記誘電体レイヤへとエッチングするあいだに、前記対向電極が少なくとも１４０℃の温度に達するようにすること
をさらに含む方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の方法であって、前記トレンチを前記エッチングするあいだ、前記チャンバ圧力は、約６０mTorrおよび４００mTorrの間に維持される方法。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載の方法であって、前記トレンチを前記エッチングするあいだ、高周波数電力源は、５００Ｗおよび２０００Ｗの間の電力を供給する方法。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載の方法であって、前記トレンチを前記エッチングするあいだ、バイアス電力源は、０Ｗおよび１０００Ｗの間の電力を供給する方法。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載の方法であって、前記トレンチを前記エッチングすることは、ＣＦ4、Ｃ2Ｆ6、ＮＦ3、およびＳＦ6のグループから選択されるエッチャントガスを供給することを含む方法。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれかに記載の方法であって、前記エッチャントガスは、５％より少ない、重いポリマーを形成するエッチャントガスを有する方法。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれかに記載の方法によって形成された半導体デバイス。
【請求項１２】
基板上の誘電体レイヤにおいてトレンチ深さまでトレンチをエッチングする方法であって、
ＡＲＣを前記誘電体レイヤ上に設けること、
約２０００Åおよび４０００Åの間の厚さを有する感光フォトレジストマスクを前記ＡＲＣ上に形成すること、
前記ＡＲＣを通してエッチングすること、および
クリーンエッチングでトレンチを前記誘電体レイヤ中へエッチングすること
を含む方法。
【請求項１３】
請求項１２に記載の方法であって、前記フォトレジストに対する誘電体のエッチング選択性は１：１および２：１の間である方法。
【請求項１４】
誘電体レイヤ中にフィーチャをエッチングする装置であって、
プラズマプロセスチャンバであって、
プラズマプロセスチャンバエンクロージャを形成するチャンバ壁、
基板を前記プラズマプロセスチャンバエンクロージャ内で支持する基板支持部、
前記プラズマプロセスチャンバエンクロージャ中の圧力を制御する圧力レギュレータ、
前記基板支持部に対向し、前記基板支持部から距離が置かれた電極、
前記電極を加熱する前記電極に接続されたヒーター、
前記プラズマプロセスチャンバエンクロージャ内にガスを供給するガス吸気口、および
前記プラズマプロセスチャンバエンクロージャからガスを排気するガス排気口
を備えるプラズマプロセスチャンバ、
前記ガス吸気口と流体連通したガス源、
前記ガス源、前記電極、前記ヒーター、前記圧力レギュレータ、前記ガス吸気口、および前記ガス排気口のうちの少なくとも１つに制御可能に接続されたコントローラ
を備える装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載の装置であって、前記コントローラは、
少なくとも１つのプロセッサ、および
コンピュータで読み取り可能な媒体であって、
誘電体レイヤ中にフィーチャをエッチングするエッチングプラズマを供給するコンピュータで読み取り可能なコード、および
エッチング中に前記電極を加熱することによって、前記電極が少なくとも７０℃の温度に到達するようにするコンピュータで読み取り可能なコード
を備えるコンピュータで読み取り可能な媒体
を備える装置。
【請求項１６】
請求項１４〜１５のいずれかに記載の装置であって、前記コンピュータで読み取り可能な媒体は、前記圧力を６０mTorrおよび４００mTorrの間に維持するコンピュータで読み取り可能なコードをさらに備える装置。
【請求項１７】
請求項１４〜１６のいずれかに記載の装置であって、誘電体レイヤ中にフィーチャをエッチングするエッチングプラズマを供給するコンピュータで読み取り可能なコードは、５００Ｗおよび２０００Ｗの間の高周波数電力を供給するコンピュータで読み取り可能なコードを備える装置。
【請求項１８】
請求項１４〜１７のいずれかに記載の装置であって、エッチング中に前記電極を加熱するコンピュータで読み取り可能なコードは、前記電極を加熱することによって、前記電極が少なくとも９０℃の温度に到達するようにする装置。
【請求項１９】
請求項１４〜１７のいずれかに記載の装置であって、エッチング中に前記電極を加熱するコンピュータで読み取り可能なコードは、前記電極を加熱することによって、前記電極が少なくとも１４０℃の温度に到達するようにする装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シングルおよびデュアルダマシン金属集積（Single and Dual Damascene metal integration）のためのトレンチエッチングのための改良されたラインエッジを提供する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
本発明は、半導体デバイスの形成に関する。
【０００３】
半導体ウェーハ処理のあいだ、半導体デバイスのフィーチャは、よく知られたパターニングおよびエッチングプロセスを用いてウェーハ中で定義される。これらのプロセスにおいて、フォトレジスト（ＰＲ）材料がウェーハ上に堆積され、それからレチクルによってフィルタがかけられた光に曝される。このレチクルは、一般には、レチクルを通して伝搬する光を阻止する例示的なフィーチャ幾何学的形状でパターンが付けられたガラス板である。
【０００４】
レチクルを通った後、光はフォトレジスト材料の表面に接する。光はフォトレジスト材料の化学的組成を変化させ、現像剤がフォトレジスト材料の一部を除去できるようにする。ポジ型フォトレジスト材料の場合、露光された領域が除去され、ネガ型フォトレジスト材料の場合、露光されていない領域が除去される。その後、ウェーハがエッチングされ、フォトレジスト材料によってもはや保護されていない領域から、下にある材料が除去され、それによって所望のフィーチャがウェーハ中に定義される。
【０００５】
フォトレジストにはさまざまな世代が知られる。深紫外（ＤＵＶ）フォトレジストは、２４８ｎｍの光に曝される。理解を促すために、図１Ａは、基板１０４上のレイヤ１０８の概略断面図であり、レイヤ１０８は、パターン付けされたフォトレジストレイヤ１１２を持ち、これはエッチングされるべきレイヤ１０８の上にあるＡＲＣ（反射防止膜）１１０の上にあり、これらが積層体１００を形成する。フォトレジストパターンは、微小寸法（ＣＤ）を有し、これは最も小さいフィーチャの幅１１６でありえる。現在、２４８ｎｍのフォトレジストについては、このフォトレジストについての典型的なＣＤは、従来のプロセスを用いると２３０〜２５０ｎｍでありえる。波長に依存する光学的特性のために、フォトレジストが長い波長によって露光されるほど、理論的最小微小寸法も長くなる。
【０００６】
図１Ｂに示されるように、フォトレジストパターンを通してそれからトレンチ１２０がエッチングされえる。より小さいＣＤを持つフィーチャを提供するために、より短い波長の光を用いて形成されたフィーチャが求められている。１９３ｎｍフォトレジストは、１９３ｎｍの光によって露光される。位相シフトレチクルおよび他の技術を用いて、１９３ｎｍフォトレジストを用いると、９０〜１００ｎｍのＣＤフォトレジストパターンが形成されえる。これは９０〜１００ｎｍのＣＤを持つフィーチャを提供できる。
【０００７】
より短い波長のフォトレジストの使用は、より長い波長を用いたフォトレジストに比較して、さらなる問題をもたらしえる。理論上の限界に近いＣＤを得るためには、リソグラフィ装置はより正確でなければならず、これはより高価なリソグラフィ機器を要求する。現在、１９３ｎｍフォトレジストは、より長い波長のフォトレジストほど高い選択性を有しないかもしれず、プラズマエッチング条件下ではより簡単に変形しえる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
シングルおよびデュアルダマシン構造の形成においては、接続ラインを形成するために、広いトレンチが誘電体を通して部分的にまたは完全にエッチングされる（Ｍ１エッチング（M1 etch））。より狭いバイアは、コンタクトを形成するために、誘電体レイヤを通してその後、完全にエッチングされる。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前述のことを達成するために、本発明の目的によれば、基板上の誘電体レイヤにおいてトレンチ深さまでトレンチをエッチングする方法が提供される。ＡＲＣが前記誘電体レイヤ上に設けられる。厚さを有するフォトレジストマスクが前記ＡＲＣ上に形成される。前記ＡＲＣがエッチングされる。１：１および２：１の間であるフォトレジストに対する誘電体のエッチング選択性で、トレンチが前記誘電体レイヤ中へエッチングされる。
【００１０】
本発明の他の実施形態において、基板上の誘電体レイヤにおいてトレンチ深さまでトレンチをエッチングする方法が提供される。ＡＲＣが前記誘電体レイヤ上に設けられる。約２０００Åおよび４０００Åの間の厚さを有する感光フォトレジストマスクが前記ＡＲＣ上に形成される。前記ＡＲＣがエッチングされる。クリーンエッチングでトレンチが前記誘電体レイヤ中へエッチングされる。
【００１１】
本発明の他の実施形態において、誘電体レイヤ中にフィーチャをエッチングする装置が提供される。プラズマプロセスチャンバが提供される。プラズマプロセスチャンバは、プラズマプロセスチャンバエンクロージャを形成するチャンバ壁、基板を前記プラズマプロセスチャンバエンクロージャ内で支持する基板支持部、前記プラズマプロセスチャンバエンクロージャ中の圧力を制御する圧力レギュレータ、前記基板支持部に対向し、前記基板支持部から距離が置かれた電極、前記電極を加熱する前記電極に接続されたヒーター、前記プラズマプロセスチャンバエンクロージャ内にガスを供給するガス吸気口、および前記プラズマプロセスチャンバエンクロージャからガスを排気するガス排気口を備える。ガス源は、前記ガス吸気口と流体連通する。コントローラは、前記ガス源、前記電極、前記ヒーター、前記圧力レギュレータ、前記ガス吸気口、および前記ガス排気口のうちの少なくとも１つに制御可能に接続される。
【００１２】
本発明のこれらおよび他の特徴は、本発明の詳細な説明において、添付の図を参照して以下により詳細に説明される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明は、添付図面の図中で限定によってではなく例示によって示され、同様の番号は同様の要素を示す。
【００１４】
本発明は、添付の図面に示されるように、そのいくつかの好ましい実施形態を参照して詳細に説明される。以下の記載において、本発明の完全な理解を提供するために多くの具体的な詳細が述べられる。しかし当業者には、本発明はこれら具体的な詳細の一部または全てがなくても実施できることが明らかだろう。他の場合には、本発明の趣旨を不必要にぼかさないために、よく知られたプロセスステップおよび／または構成は詳細に記載されていない。
【００１５】
図２は、本発明による誘電体中にトレンチを形成するプロセスのフロー図である。ＡＲＣ（反射防止膜）は、誘電体レイヤ上に形成される（ステップ２０４）。図３Ａは、基板３０４上の誘電体レイヤ３０８の断面図である。ＡＲＣ３１０は、示されるように誘電体レイヤ３０８上に設けられる。ＡＲＣ３１０は、有機または無機ＡＲＣでありえる。この誘電体レイヤは、トレンチ誘電体レイヤであり、ここでデュアルダマシントレンチがエッチングされる。このような誘電体レイヤは、ハードマスクレイヤではない。
【００１６】
感光トレンチフォトレジストマスク（sensitive trench photoresist mask）３１２がＡＲＣ３１０上に形成される（ステップ２０８）。感光トレンチフォトレジストマスクは、薄いマスクである。好ましい実施形態においては、この薄い感光トレンチフォトレジストマスクは、２０００Åおよび４０００Åの間にある。より好ましい実施形態においては、この薄い感光トレンチフォトレジストマスクは、２５００Åおよび３０００Åの間にある。感光フォトレジスト材料は、容易にエッチングされる材料である。薄い１９３ｎｍフォトレジストおよび新しい世代のフォトレジストは、感光フォトレジスト材料と考えられる。このトレンチパターン３１４は、図示されるように幅３１６を有する。このフォトレジストは、図示されるように厚さ３１８を有する。感光トレンチフォトレジストマスクは、感光フォトレジスト材料の薄いマスクを提供することによって、何らかのさらなる保護なしに、トレンチが所望の深さにエッチングされる前に、トレンチエッチングがこの感光トレンチフォトレジストマスクをエッチングして除去するようにする。
【００１７】
ＡＲＣ３１０が開かれる（ステップ２１２）。従来のＡＲＣ開放ステップが用いられえる。図３Ｂは、ＡＲＣ３１０が開かれた後の基板３０４上の誘電体レイヤ３０８の断面図である。
【００１８】
それからトレンチは、クリーンエッチングで誘電体レイヤまでエッチングされる（ステップ２１６）。クリーンエッチングでは、重いポリマー形成ガスは、任意のキャリアガスを含むエッチャントガスの５％未満を構成する。クリーンエッチングは、最も好ましくは、主要ガスとしてＣＦ4またはＣ2Ｆ6を含むもののような低重合化プロセスである。他の好ましい実施形態は、主要構成ガスとしてＮＦ3またはＳＦ6を有しえるが、これはこれらのガスとのフッ素の高い解離速度のためである。あまり好ましくない実施形態は、炭素がより高いレベルのガスであり、これはおそらくはＣＦXのような分子に分解し、これは同様のものと結合し、より長いＭＥＲ鎖（MER chains）を形成しえる。これらガスの例には、ＣＨ2Ｆ2、ＣＨ3Ｆ、Ｃ2Ｈ4のような高度に飽和した炭化水素分子のＣ4Ｆ8、Ｃ5Ｆ8、Ｃ4Ｆ6が含まれる。より好ましくは、クリーンエッチングにおいて、重いポリマー形成ガスは、エッチャントガスの２％未満を構成する。好ましくは、これらガスは、ポリマー形成ガス成分に対するフッ素の比を少なくとも３：１未満に維持する。本発明の好ましい実施形態において、トレンチエッチングは、低い選択性（selectivity）を有する。より好ましくは、フォトレジストに対する誘電体のトレンチエッチング選択性は、約１：１および２：１の間であり、ここでフォトレジストに対する誘電体のエッチング選択性が２：１であるということは、誘電体レイヤが、フォトレジストの２倍速くエッチングされることを意味する。図３Ｃは、トレンチ３２４がエッチングされた後の、誘電体レイヤ３０８の断面図である。好ましい実施形態において、トレンチは、約２００および４００ｎｍの間の深さまでエッチングされる。
【００１９】
好ましい実施形態において、このフォトレジストは、アグレッシブなエッチング（aggressive etch）に敏感（sensitive）である。アグレッシブなエッチングに敏感なフォトレジストは、アグレッシブなエッチングによって、誘電体レイヤと同じように速くエッチングされるフォトレジストであり、その結果、低いエッチング選択性がある。
【００２０】
図５は、本発明の好ましい実施形態において用いられえるプロセスチャンバ５００の概略図である。この実施形態において、プラズマ処理チャンバ５００は、閉じ込めリング５０２、上部電極５０４、下部電極５０８、ガス源５１０、および排気ポンプ５２０を備える。プラズマ処理チャンバ５００内には、基板ウェーハ３０４が下部電極５０８上に配置される。下部電極５０８は、基板ウェーハ３０４を保持する適切な基板チャッキングメカニズム（例えば静電、機械クランピングなど）を組み込む。リアクタトップ５２８は、下部電極５０８に直接に対向するよう配置される上部電極５０４を組み込む。上部電極５０４、下部電極５０８、および閉じ込めリング５０２は、閉じ込めプラズマ容積５４０を定義する。ガスがガス源５１０によってガス吸気口５４３を通して閉じ込めプラズマ容積に供給され、排気ポンプ５２０によって閉じ込めリング５０２および排気口を通して閉じ込めプラズマ容積から排気される。排気ポンプ５２０は、このプラズマ処理チャンバのガス出口を形成する。第１ＲＦ源５４４は、電気的に上部電極５０４に接続される。第２ＲＦ源５４８は、電気的に下部電極５０８に接続される。チャンバ壁５５２は、その中に閉じ込めリング５０２、上部電極５０４、および下部電極５０８が置かれるプラズマエンクロージャを定義する。ある実施形態において、ＲＦ源５４８は、２７ＭＨｚ電源および２ＭＨｚ電源を備えうる一方、上部電極５０４は接地される。ＲＦ電源を電極群に接続する異なる組み合わせが可能である。ヒーター５４５は、上部電極に接続され、上部電極を加熱することができる。
【００２１】
コントローラ５３５は、第１ＲＦ源５４４、第２ＲＦ源５４８、排気ポンプ５２０、ヒーター５４５、およびガス源５１０に制御可能に接続される。シャワーヘッドがガス吸気口５４３に接続されえる。ガス吸気口５４３は、それぞれのガス源について単一の吸気口であってもよく、またはそれぞれのガス源について異なる吸気口であってもよく、またはそれぞれのガス源について複数の吸気口であってもよく、または他の可能な組み合わせであってもよい。
【００２２】
図６Ａおよび６Ｂは、本発明の実施形態において用いられるコントローラ５３５を実現するのに適したコンピュータシステム８００を示す。図６Ａは、このコンピュータシステムの一つの可能な物理的形態を示す。もちろんコンピュータシステムは、集積回路、プリント基板、および小型携帯機器から、大型のスーパーコンピュータに至るまで多くの物理的形態をとりえる。コンピュータシステム８００は、モニタ８０２、ディスプレイ８０４、筐体８０６、ディスクドライブ８０８、キーボード８１０、およびマウス８１２を含む。ディスク８１４は、データをコンピュータシステム８００に転送し、かつデータをコンピュータシステム８００から転送するために用いられるコンピュータ読み取り可能な媒体である。
【００２３】
図６Ｂは、コンピュータ８００のブロック図の例である。システムバス８２０に接続されているのは、さまざまなサブシステムである。プロセッサ（群）８２２（中央処理装置、すなわちＣＰＵとも呼ばれる）は、メモリ８２４を含む記憶装置に結合されている。メモリ８２４は、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）および読み出し専用メモリ（ＲＯＭ）を含む。この技術ではよく知られるようにＲＯＭは、データおよび命令を単一方向にＣＰＵおよびＲＡＭに転送するようにはたらき、ＲＡＭは、典型的にはデータおよび命令を双方向に転送するのに用いられる。メモリのこれら両方のタイプは、以下に述べるコンピュータ読み出し可能な適当な媒体を含みえる。固定ディスク８２６はまた、双方向でＣＰＵ８２２に結合され、追加のデータ記憶容量を提供し、また以下に述べるコンピュータ読み出し可能な適当な媒体を含みえる。固定ディスク８２６は、プログラム、データなどを記憶するのに用いられえて、典型的には一次記憶よりも低速な二次記憶媒体（ハードディスクのような）である。固定ディスク８２６内に保持された情報は、適切な場合においては、メモリ８２４の仮想メモリとして標準的なかたちで統合されえることが理解されよう。取り外し可能なディスク８１４は、以下に説明するコンピュータ読み出し可能な媒体のいかなる形態をも取りえる。
【００２４】
ＣＰＵ８２２はまた、ディスプレイ８０４、キーボード８１０、マウス８１２およびスピーカ８３０のようなさまざまな入力／出力装置に結合される。一般に入力／出力装置は、ビデオディスプレイ、トラックボール、マウス、キーボード、マイク、タッチパネルディスプレイ、トランスデューサカードリーダ、磁気または紙テープリーダ、タブレット、スタイラス、音声または手書き認識機、生体情報読み取り機、または他のコンピュータのいずれでもよい。ＣＰＵ８２２は追加で、ネットワークインタフェース８４０を用いて他のコンピュータまたは通信ネットワークに結合されてもよい。そのようなネットワークインタフェースによりＣＰＵは、上述の方法ステップを実行する過程で、ネットワークから情報を受け取り、または情報をネットワークに出力してもよい。さらに本発明の方法の実施形態は、ＣＰＵ８２２上だけで実行されてもよく、またはインターネットのようなネットワーク上で、処理の一部を担当する遠隔地にあるＣＰＵと協働して実行されてもよい。
【００２５】
さらに本発明の実施形態は、コンピュータによって実現できるさまざまな操作を実行するコンピュータコードを格納した、コンピュータによって読み出し可能な媒体を持つコンピュータ記憶製品に関する。媒体およびコンピュータコードは、本発明の目的のために特別に設計され構築されたものでもよく、またはコンピュータソフトウェア技術の当業者に既知の利用可能なものであってもよい。コンピュータ読み出し可能な媒体の例としては、これらに限定はされないが、ハードディスク、フレキシブルディスク、および磁気テープのような磁気媒体、ＣＤ−ＲＯＭおよびＤＶＤおよびホログラフィックデバイスのような光媒体、フロプティカルディスクのような光磁気媒体、特定アプリケーション向け集積回路（ＡＳＩＣ）、プログラム可能な論理デバイス（ＰＬＤ）、およびＲＯＭおよびＲＡＭデバイスのように、プログラムコードを記憶し実行するために特別に構成されたハードウェアデバイスが挙げられる。コンピュータコードの例としては、コンパイラによって生成される機械語、およびインタープリタを用いてコンピュータによって実行可能なより高いレベルのコードを含むファイルが挙げられる。コンピュータで読み取り可能な媒体は、搬送波中で実現される、プロセッサによって実行される一連の命令を表すコンピュータデータ信号によって搬送されるコンピュータコードでありえる。
【００２６】
図４Ａは、誘電体レイヤ４０８にエッチングされたトレンチ４０４の概略上面図である。トレンチの壁４１２は、相当なラインエッジ粗さ（line edge roughness）を示す。図４Ｂは、誘電体レイヤ４２８にエッチングされたトレンチ４２４の概略上面図である。トレンチ４２４の壁４３２は、より少ないラインエッジ粗さを示す。ＩＣＭＩカンファレンスにおいて２００３年に刊行されたCalvin Gabrielによる論文においては、ラインエッジ粗さを計測する業界標準は、以下のように論じられる。
【００２７】
「2002 ITRS計測ロードマップ[4]は、どのようにＬＥＲを定量化すべきかについての一つの定義を与える。すなわち、テクノロジーノード（technology node）の４倍に等しい距離に沿って評価された局所的線幅バラツキ（３ｓトータル（3s total）、全ての周波数成分が含まれる、両エッジ）である。このような定義は、VeraSEMまたはNanoSEM上で容易にプログラムされる。なぜならこれらツールは、対象となるフィーチャにわたって３２以上のラインスキャンを行うことによって微小寸法を計測し、それぞれのラインスキャンは、ユーザによって定義される計測ボックスに従う小さな増分だけ前のスキャンから離れているからである。これらスキャンのこの３シグマ標準偏差は、ITRS定義に従い、Sigma(B)としてソフトウェアによって報告される。」
【００２８】
「しかしITRS定義は、「４テクノロジーノード（four technology nodes）」の条件の下で問題がある。６５ｎｍ技術については、これは２６０ｎｍ高のボックスを要求するだけである。スキャンされたラインのこのように小さい長さは、低周波数ＬＥＲを見いださないかもしれず、テクノロジーが４５ｎｍから３２ｎｍへと発展するに従い状況は悪化する。」
【００２９】
したがって、ラインエッジ粗さは、一連の位置群においてトレンチの幅を計測し、ある間隔にわたって変動を平均化することによって定量化されえ、この間隔は、フィーチャの幅の少なくとも４倍である。Hitachi CD SEMは、ラインエッジ粗さを計測するために１μｍのボックスにわたって３２点を計測する。Applied Materials NanoSEMは、２μｍの長方形にわたって６０点を計測する。Calvinの論文は、小さいフィーチャについて２μｍより上に行くことのメリットを示していないが、もし２μｍボックスより下に行くならある程度の敏感性（sensitivity）が失われた。
【００３０】
ラインエッジ粗さを低減するアプローチは、重いポリマー形成ガス（heavy polymer forming gas）を与えることによって、４：１より高い選択性を有するフォトレジストエッチングに誘電体でエッチングを提供することである。そのような重いポリマー形成物（heavy polymer formers）は、フォトレジストの上部に重いポリマーを形成し、それによってフォトレジストを保護し、エッチング選択性を改善する。理論に束縛されることは望ましくないが、このような重いポリマーは離れにくく、フォトレジストマスク上にラインエッジ粗さを増すストレスを与えると考えられる。フォトレジスト内で起こる反応が荒れ（roughening）を増すとも考えられる。
【００３１】
ラインエッジ荒れ（Line edge roughening）は、ストレスに関連すると考えられるマウスバイティング（mouse biting）によっても引き起こされえ、このストレスは、プラズマから堆積されたポリマーによってＰＲレイヤの上部において誘起される。それで、ＰＲを保護するポリマーは、マスクを変形させ、薄いＰＲについてより荒れた側壁を生じる機械的な力を誘起しえる。この現象は、厚いＰＲマスクの場合（＞３００ｎｍ）には典型的には見られない。１９３ｎｍのＰＲでは、Ｃ4Ｆ6ガスはポリマーになり、これがＣＦ4またはＣ4Ｆ8よりも重く堆積しえるが、堆積特性のために、ホール中のストライエーションおよびトレンチ中の粗さは、ＰＲマスクの変化から生じえることがわかっている。また、側壁プロファイルの荒れは、垂直平面に従うマイクロボイドを生じえる。これらは、エッチング中のフォトレジストの完全性の崩壊によって引き起こされえる。
【００３２】
本発明は、重いポリマーを作る重いポリマーの形成物を減らすこと、またはなくすことによってラインエッジ粗さを低減する。その代わりに、よりクリーンな成分ガスが用いられる。炭素に対するフッ素の高い比を持つこのようなよりクリーンな成分ガスは、最も好ましくはＡｒを持つＣＦ4であるが、より一般には、Ｃ2Ｆ6のような高いＦ解離を持つガス、またはＮＦ3またはＳＦ6のような高いフッ素解離を有するガスも含みえる。Ｆの解離を助けるガスの追加は、ＬＥＲにも利点を提供しえる。少量のＯ2（２〜１５sccm）および／またはＮ2（２０〜２００sccm）のフローの追加は、反応ガスの炭素成分と結合することによって、より多くの自由フッ素の生成を助けることが知られている。従来のエッチングプロセスの下では、このような成分ガスは、選択性を増すための保護性ポリマーをフォトレジスト上に形成しないと考えられる。本発明は、これらのクリーンな成分ガスがある程度の保護性ポリマーをフォトレジスト上に形成し、それによってエッチング選択性を増すようなプラズマパラメータを提供し、ここでフォトレジストに対する誘電体のエッチングの選択性は２：１より上に増加されない。このような技術は、重いポリマー（heavy polymers）ほど粘着性（sticky）ではないポリマーを提供し、このような技術については、そのようなポリマーの堆積位置がより容易に制御されえる。これを行うのに役立つある技術は、上部電極の温度を２０℃から少なくとも１４０℃に増すことである。よりクリーンな成分ガスからのポリマーは、上部電極上に堆積し、フォトレジスト上にはより少ない量しか堆積しないと考えられる。上部電極を少なくとも１４０℃まで加熱することによって、上部電極上への堆積が低減され、間接的にフォトレジスト表面上への堆積がより多く生じる。ヒーター５４５は、上部電極温度を少なくとも７０℃まで上げ、制御するのに役立つ。好ましい実施形態においては、上部電極温度は、エッチング中に少なくとも７０℃まで高くされる。より好ましい実施形態においては、上部電極温度は、少なくとも９０℃まで高くされる。最も好ましい実施形態においては、上部電極温度は、少なくとも１４０℃まで高くされる。上部電極は、基板がマウントされておらず、基板に対向して配置された電極であり、非マウント電極（non-mounting electrode）である。もし基板が上部電極上にマウントされたなら、下部電極が、基板がマウントされておらず、基板に対向する電極なので、下部電極が加熱される。
【００３３】
加えて、高い周波数（２７ＭＨｚのような）においてより高い電力を供給することは、より高い密度のプラズマを作り、クリーンエッチャント（clean etchants）を用いてさらに選択性を増すことがわかっている。好ましい実施形態において、高周波数電力源は、５００Ｗおよび２０００Ｗの間の電力を供給する。より好ましい実施形態においては、高周波数電力源は、５００Ｗおよび１２００Ｗの間の電力を供給する。最も好ましい実施形態においては、高周波数電力源は、５００Ｗおよび１０００Ｗの間の電力を供給する。
【００３４】
加えて、低周波数のＲＦ（２ＭＨｚのような）へより少ない電力を供給することによって、より低いバイアス電力を有することは、選択性を増す衝突を低減する。好ましい実施形態において、バイアス電力源は、０Ｗおよび１０００Ｗの間の電力を供給する。より好ましい実施形態において、バイアス電力源は、０Ｗおよび６００Ｗの間の電力を供給する。
【００３５】
加えて、より低いチャンバ圧力を供給することは選択性を増す。例えば、８０mTorrの圧力が役立つことがわかっている。したがって好ましい実施形態においては、６０mTorrおよび４００mTorrの間のチャンバ圧力が供給される。より好ましい実施形態においては、７０mTorrおよび３００mTorrの間のチャンバ圧力が供給される。最も好ましい実施形態においては、８０mTorrおよび２５０mTorrの間のチャンバ圧力が供給される。
【００３６】
最後に、全体のＬＥＲを低減しつつ、全体のＣＤを維持する重合化領域（polymerization regime）を見つけるために、プロセスのさらなる変更によって、プロセスのある程度のファインチューニングが達成されえる。Ｃ4Ｆ8、ＣＨ3Ｆ、Ｈ2、ＣＨ2Ｆ2などのような重合化を増すことが知られるガス群の追加は、ＰＲのエロージョンを遅めるために少量追加されえ、ＬＥＲをわずかに減らすのに役立つ。例えば、非常にクリーンなＡｒ／ＣＦ4／Ｎ2／Ｏ2プロセスに追加された５sccmのＣ4Ｆ8は、ある場合にはＬＥＲを約１０％だけ低減した。ＣＨＦ3、ＣＨ2Ｆ2、ＣＨ3Ｆまたは他のハイドロフルオロカーボンも役立ちえるが、必要とされるガスの量はガスの解離特性に依存する。
【００３７】
したがって、本発明のこの局面は、クリーンなガスが低い選択性で堆積しても、堆積される全体のポリマーを増す代わりに、ポリマーが堆積される場合にこれを制御し、クリーンなエッチャントガスからポリマーを供給する。
【００３８】
好ましくは、トレンチ深さは最小に維持されるが、その一方で充分な電気的相互接続を提供する。この理由の一つは、薄いトレンチ深さは、選択性が低いときに、薄いフォトレジストマスクを可能にするからである。薄いフォトレジストマスクは、より良い微小寸法を可能にする。好ましい実施形態において、フォトレジストマスクは、より高い世代のフォトレジスト材料と同じ微小寸法を提供するだけ充分に薄い。これは、新しくより高価なリソグラフィおよびステッパシステムなしで、改良された微小寸法を可能にする。加えて、全ての、またはほとんど全てのフォトレジストが除去され、それによってＣＤを最小化するために所望のトレンチ深さを提供するのに充分なだけのフォトレジストが用いられるようにすることが好ましい。
【００３９】
例えば、安定したフォトレジストマスクを形成するために、もしそれが４０００Åの厚さに堆積されるなら、２４８ｎｍフォトレジストが用いられえる。しかしそれほど厚いマスクは０．２ｎｍまでにしか画像化されえない。画像化する解像度を０．２ｎｍより下に増すために、２４８フォトレジストマスクはより薄くされ、例えば３２００Åの厚さにされる。前述のように、トレンチをエッチングするのに用いられるべき薄いフォトレジストマスクを可能にするために選択性を増すための重いポリマー形成物の使用は、ラインエッジ粗さを増す。したがって、本発明は、よりクリーンなポリマー形成物を用いることによって、トレンチをエッチングするのに充分な点まで選択性を増し、低減されたラインエッジ粗さを実現し、なおかつ２：１より小さい選択性を有するようにする。低い選択性の化学物質の使用は、メインエッチング中にバリアが除去されないことを確実にするために、充分な選択性を提供するのには適さないので、より高い選択性を持つオーバーエッチ（overetch）がエッチングの最後の終末ステップのためには好ましい。
【００４０】
例
例１
本発明のある例において、２５００Åのシリコン酸化物レイヤが、基板上に形成された３００Åのシリコン窒化物エッチストップ上に形成される。２つの異なるシリコンオキシナイトライド（ＳＩＯＮ）レイヤがシリコン酸化物レイヤ上に形成され、ＡＲＣレイヤを形成する。この例では、一方のＳｉＯＮレイヤは２８５Åであり、他方のＳｉＯＮレイヤは３００Åであった。２１０ｎｍのフォトレジストの３２００Åのパターン付けされたフォトレジストマスクがＡＲＣレイヤ上に形成された。このＡＲＣレイヤは、従来のＡＲＣエッチングを用いて開口が設けられた。
【００４１】
シリコン酸化物レイヤは、以下のレシピでエッチングされる。上部電極は１４０℃より上に加熱されることを許される。圧力は１８０mTorrに設定される。２７ＭＨｚのＲＦ源は８００ワットを供給する。２ＭＨｚのＲＦ源は０ワットを供給する。エッチャントガス化学物質は、７０sccmのＣＦ4、１００sccmのＡｒ、および１００sccmのＮ2である。このエッチングは３２秒間行われる。
【００４２】
オーバーエッチステップは、シリコン酸化物レイヤのエッチングを完了させるが、シリコン窒化物エッチストップについて、より大きな選択性を提供する。上部電極は少なくとも１４０℃に維持される。圧力は８０mTorrに設定される。２７ＭＨｚのＲＦ源は６００ワットを供給する。２ＭＨｚのＲＦ源は６００ワットを供給する。エッチャントガス化学物質は、７sccmのＣ4Ｆ8、３sccmのＯ2、３００sccmのＡｒ、および１００sccmのＮ2である。このエッチングは１４秒間行われる。オーバーエッチは、トレンチバリアおよびフォトレジストについて、シリコン酸化物をより選択性高くエッチングする。このエッチングおよびオーバーエッチからのトレンチの最終的な深さは約２６０ｎｍおよび３００ｎｍの深さの間である。したがって、３００ｎｍ未満の深さのトレンチをエッチングするためには３２０ｎｍの厚さのフォトレジストレイヤが用いられる。このようなプロセスにおいては、フォトレジストの半分だけがこのエッチング中に除去される。
【００４３】
フォトレジストはアッシングステップを用いて除去される。この例でアッシングを行うために、圧力は４００mTorrに設定される。２７ＭＨｚのＲＦ源は４００ワットを供給する。２ＭＨｚのＲＦ源は０ワットを供給する。エッチャントガス化学物質は、５００sccmのＯ2である。このエッチングは４０秒間行われる。
【００４４】
エッチングストップＳｉＮレイヤにそれから開口が設けられる。圧力は２５０mTorrに設定される。２７ＭＨｚのＲＦ源は１５０ワットを供給する。２ＭＨｚのＲＦ源は１５０ワットを供給する。エッチャントガス化学物質は、９０sccmのＣＦ4、３０sccmのＣＨＦ3、２００sccmのＡｒ、および２００sccmのＮ2である。この開口形成は１４秒間行われる。
【００４５】
例２
第２例において、同じシリコン酸化物レイヤ、同じＡＲＣレイヤ、および同じパターン付けされたフォトレジストレイヤを持つ同じ基板が用いられる。ＡＲＣレイヤに開口を形成するために同じ開口プロセスが用いられる。
【００４６】
シリコン酸化物レイヤは、以下のレシピでエッチングされる。上部電極は１４０℃より上に加熱されることを許される。圧力は１８０mTorrに設定される。２７ＭＨｚのＲＦ源は８００ワットを供給する。２ＭＨｚのＲＦ源は０ワットを供給する。エッチャントガス化学物質は、５sccmのＣ4Ｆ8、７０sccmのＣＦ4、１００sccmのＡｒ、および１００sccmのＮ2である。約２６０ｎｍおよび３００ｎｍの深さの間のトレンチをエッチングするために、このエッチングは３２秒間行われる。
【００４７】
オーバーエッチステップは、シリコン酸化物レイヤのエッチングを完了させるが、シリコン窒化物エッチストップについて、より大きな選択性を提供する。上部電極は少なくとも１４０℃に維持される。圧力は８０mTorrに設定される。２７ＭＨｚのＲＦ源は６００ワットを供給する。２ＭＨｚのＲＦ源は６００ワットを供給する。エッチャントガス化学物質は、７sccmのＣ4Ｆ8、３sccmのＯ2、３００sccmのＡｒ、および１００sccmのＮ2である。このエッチングは１８秒間行われる。
【００４８】
フォトレジストはアッシングステップを用いて除去される。この例でアッシングを行うために、圧力は４００mTorrに設定される。２７ＭＨｚのＲＦ源は４００ワットを供給する。２ＭＨｚのＲＦ源は０ワットを供給する。エッチャントガス化学物質は、５００sccmのＯ2である。このエッチングは４０秒間行われる。
【００４９】
エッチングストップＳｉＮレイヤにそれから開口が設けられる。圧力は２５０mTorrに設定される。２７ＭＨｚのＲＦ源は１５０ワットを供給する。２ＭＨｚのＲＦ源は１５０ワットを供給する。エッチャントガス化学物質は、９０sccmのＣＦ4、３０sccmのＣＨＦ3、２００sccmのＡｒ、および２００sccmのＮ2である。この開口形成は１４秒間行われる。
【００５０】
本発明は、トレンチＣＤおよびラインエッジ粗さを改善する。より好ましい実施形態は、それほど好ましくない実施形態よりもさらにラインエッジ粗さを低減すると考えられる。本発明のこれらの例は、６〜７ｎｍのラインエッジ粗さを提供することができ、ここでラインエッジ粗さを決定するために１ミクロンレンジにわたって３２個の計測が用いられ、ここでフォトレジストマスクは、８〜１０ｎｍの初期ラインエッジ粗さを有しえる。したがって、本発明は、オリジナルのフォトレジストマスクに比較して、実際にラインエッジ粗さを減少しえる。
【００５１】
本発明は、２４８ｎｍまたは１９３ｎｍフォトレジストを用いる９０ｎｍノードテクノロジーを用いて、０．１１から０．１４ミクロンの間のフィーチャ幅を提供することができる。
【００５２】
ヒーターは、上部電極を１４０℃にまで加熱しなくてもよい。代わりに、ヒーターは、上部電極を９０℃のような中間温度に加熱してもよく、それからエッチングプロセスが、上部電極を１４０℃にまで加熱する追加の熱を加えてもよい。
【００５３】
本発明の他の実施形態において、ＡＲＣは、誘電体レイヤ上に形成されることによって、ＡＲＣが誘電体レイヤ上にあるか、またはＡＲＣおよび誘電体レイヤの間に１つ以上のレイヤが存在するかのいずれでもよい。ＡＲＣレイヤは、ＰＲの底部上に焦点深度が来るのを助けるために、リソグラフィの完全性を助けるために提供される。エッチング中に異なる指定されたタスクを実行するためにはハードマスクが用いられる。ハードＡＲＣ（ＳｉＯＮ）は、ウェーハパターニングについて有機ＡＲＣと同じ役割を果たし、このＳｉＯＮは、メタライゼーションのＣｕ ＣＭＰステップのあいだに「ストップインジケータ（stop-indicator）」として用いられえる。キャッピングレイヤ（capping layer）は、拡散バリア（すなわち、ＦがＦＳＧ上でＰＲ層間剥離を起こしえるので、Ｆ拡散バリアのような）として働くために、誘電体レイヤおよびＡＲＣの間に提供されえ、またはキャッピングレイヤは、ＴＥＯＳまたはＦＳＧキャップを持つ有機低ｋ材料のような、ＣＭＰに対してより機械的に耐性があるようなより強いレイヤを提供しえる。もし誘電体が「ソフト」過ぎて、機械的研磨に耐えられないなら、このようなキャッピングレイヤが望ましく、よって、エッチングされるときに構造の完全性を維持するためには、ときには薄いものかもしれないが、より強いレイヤが必要である。
【００５４】
本発明は、いくつかの好ましい実施形態について説明されてきたが、本発明の範囲に含まれる変更、組み合わせ、および等価物が存在する。また本発明の方法および装置を実現する多くの代替手段が存在ことにも注意されたい。したがって添付の特許請求の範囲は、全てのそのような変更、組み合わせ、改変、およびさまざまな代替等価物を本発明の真の精神および範囲に含まれるものとして解釈されるべきであることが意図されている。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１Ａ】従来技術による誘電体レイヤ中にエッチングされたトレンチの断面図である。
【図１Ｂ】従来技術による誘電体レイヤ中にエッチングされたトレンチの断面図である。
【図２】本発明の実施形態において用いられるプロセスのフロー図である。
【図３Ａ】本発明の実施形態によってエッチングされたトレンチの断面図である。
【図３Ｂ】本発明の実施形態によってエッチングされたトレンチの断面図である。
【図３Ｃ】本発明の実施形態によってエッチングされたトレンチの断面図である。
【図４Ａ】エッチングされたトレンチの上面の概略図である。
【図４Ｂ】エッチングされたトレンチの上面の概略図である。
【図５】本発明の好ましい実施形態において用いられえるプロセスチャンバの概略図である。
【図６Ａ】コントローラを実現するのに適するコンピュータシステムの図である。
【図６Ｂ】コントローラを実現するのに適するコンピュータシステムの図である。
【図１Ａ】
2007511096.tif 000003
【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６Ａ】
2007511096.tif 000012
【図６Ｂ】
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【国際調査報告】
2007511096.tif 000014