【手続補正書】
【提出日】平成28年9月20日(2016.9.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被制御流体の流入部に接続された流入側チャンバと被制御流体の流出部に接続された流出側チャンバの間の流路に設けられた絞り部と、前記流出側チャンバに形成された弁座を有する弁本体部と、
前記流入側チャンバに配置され該流入側チャンバを被制御流体と接する第１チャンバと該第１チャンバの背面側となり被制御流体と接しない第２チャンバとに区画し、前記第１チャンバ内の流体圧力を受圧しかつ加圧手段によって常時一定圧力で前記第１チャンバ側に加圧される第１ダイヤフラムと、
前記流出側チャンバに配置され該流出側チャンバを被制御流体と接する第３チャンバと該第３チャンバの背面側となり被制御流体と接しない第４チャンバとに区画し、前記第３チャンバ内の流体圧力を受圧しかつ前記弁座に対し進退動する弁体を備えた第２ダイヤフラムを有し、
前記第２チャンバに前記第１ダイヤフラムとともに進退動する第１可動部が形成され、かつ、前記第４チャンバに前記第２ダイヤフラムとともに進退動する第２可動部が形成され、
前記第２チャンバと第４チャンバとの間には接続チャンバが形成され、該接続チャンバに前記第１可動部及び第２可動部と係合して一の可動部の変動を他の可動部に伝達する中間伝達部材が配置されていて、前記絞り部の前後の圧力変動による前記第１ダイヤフラム及び前記第２ダイヤフラムの進退動により前記弁体を前記弁座に対して進退動させ被制御流体の流量を一定に保持するようにしているとともに、
前記絞り部には絞り開口部が形成されており、
前記絞り開口部に対して進退することによって前記絞り部を通過する被制御流体の流量を制御する絞り制御弁体と、
前記絞り制御弁体を進退動させる絞り制御弁体進退手段が備えられる
ことを特徴とする流量制御弁。
【請求項２】
前記第１可動部及び前記第２可動部がそれぞれ棒状部材からなり、前記第１可動部の後端と前記中間伝達部材の一端とが少なくとも一方に形成された傾斜面を介して係合しているとともに、前記第２可動部の後端と前記中間伝達部材の他端とが少なくとも一方に形成された傾斜面を介して係合している請求項１に記載の流量制御弁。
【請求項３】
前記第１可動部及び前記第２可動部がそれぞれ棒状部材からなり、前記中間伝達部材が複数個の球部材を備えている請求項１に記載の流量制御弁。
【請求項４】
前記加圧手段がばねである請求項１に記載の流量制御弁。
【請求項５】
前記絞り制御弁体進退手段がモータである請求項１に記載の流量制御弁。
【請求項６】
前記絞り制御弁体進退手段が加圧気体である請求項１に記載の流量制御弁。
【請求項７】
前記絞り制御弁体進退手段がねじ部材である請求項１に記載の流量制御弁。
【請求項８】
前記絞り開口部が平坦状の絞り弁座として形成され、かつ前記絞り弁座と対向する前記絞り制御弁体の先端も平板状の平板先端部として形成されている請求項１に記載の流量制御弁。
【請求項９】
請求項１に記載の流量制御弁と、被制御流体の流量検知部と、演算部とを備え、
前記流量制御弁及び前記流量検知部が、被制御流体の供給部と被制御流体の流体混合部との間の流体配管に接続していることを特徴とする流量制御装置。
【請求項１０】
前記絞り制御弁体進退手段を制御する信号を生成する制御部が設けられる請求項９に記載の流量制御装置。
【請求項１１】
前記演算部が前記流量検知部の流量計測値に基づいてフィードバック制御を行う請求項９に記載の流量制御装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
すなわち、請求項１の発明は、被制御流体の流入部に接続された流入側チャンバと被制御流体の流出部に接続された流出側チャンバの間の流路に設けられた絞り部と、前記流出側チャンバに形成された弁座を有する弁本体部と、前記流入側チャンバに配置され該流入側チャンバを被制御流体と接する第１チャンバと該第１チャンバの背面側となり被制御流体と接しない第２チャンバとに区画し、前記第１チャンバ内の流体圧力を受圧しかつ加圧手段によって常時一定圧力で前記第１チャンバ側に加圧される第１ダイヤフラムと、前記流出側チャンバに配置され該流出側チャンバを被制御流体と接する第３チャンバと該第３チャンバの背面側となり被制御流体と接しない第４チャンバとに区画し、前記第３チャンバ内の流体圧力を受圧しかつ前記弁座に対し進退動する弁体を備えた第２ダイヤフラムを有し、前記第２チャンバに前記第１ダイヤフラムとともに進退動する第１可動部が形成され、かつ、前記第４チャンバに前記第２ダイヤフラムとともに進退動する第２可動部が形成され、前記第２チャンバと第４チャンバとの間には接続チャンバが形成され、該接続チャンバに前記第１可動部及び第２可動部と係合して一の可動部の変動を他の可動部に伝達する中間伝達部材が配置されていて、前記絞り部の前後の圧力変動による前記第１ダイヤフラム及び前記第２ダイヤフラムの進退動により前記弁体を前記弁座に対して進退動させ被制御流体の流量を一定に保持するようにしているとともに、前記絞り部には絞り開口部が形成されており、前記絞り開口部に対して進退することによって前記絞り部を通過する被制御流体の流量を制御する絞り制御弁体と、前記絞り制御弁体を進退動させる絞り制御弁体進退手段が備えられることを特徴とする流量制御弁に係る。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
請求項１の発明に係る流量制御弁によると、被制御流体の流入部に接続された流入側チャンバと被制御流体の流出部に接続された流出側チャンバの間の流路に設けられた絞り部と、前記流出側チャンバに形成された弁座を有する弁本体部と、前記流入側チャンバに配置され該流入側チャンバを被制御流体と接する第１チャンバと該第１チャンバの背面側となり被制御流体と接しない第２チャンバとに区画し、前記第１チャンバ内の流体圧力を受圧しかつ加圧手段によって常時一定圧力で前記第１チャンバ側に加圧される第１ダイヤフラムと、前記流出側チャンバに配置され該流出側チャンバを被制御流体と接する第３チャンバと該第３チャンバの背面側となり被制御流体と接しない第４チャンバとに区画し、前記第３チャンバ内の流体圧力を受圧しかつ前記弁座に対し進退動する弁体を備えた第２ダイヤフラムを有し、前記第２チャンバに前記第１ダイヤフラムとともに進退動する第１可動部が形成され、かつ、前記第４チャンバに前記第２ダイヤフラムとともに進退動する第２可動部が形成され、前記第２チャンバと第４チャンバとの間には接続チャンバが形成され、該接続チャンバに前記第１可動部及び第２可動部と係合して一の可動部の変動を他の可動部に伝達する中間伝達部材が配置されていて、前記絞り部の前後の圧力変動による前記第１ダイヤフラム及び前記第２ダイヤフラムの進退動により前記弁体を前記弁座に対して進退動させ被制御流体の流量を一定に保持するようにしているとともに、前記絞り部には絞り開口部が形成されており、前記絞り開口部に対して進退することによって前記絞り部を通過する被制御流体の流量を制御する絞り制御弁体と、前記絞り制御弁体を進退動させる絞り制御弁体進退手段が備えられるため、弁座と弁体等との想定外の接触を抑制して流体の清浄度をより高い状態で一定流量を維持し、しかも流通する流体流量域の設定を変更可能として装置の集約を進めることができる。