【手続補正書】
【提出日】平成28年4月14日(2016.4.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４２】
Ｃ７．電磁放射線の発生源と組み合わされ、電磁放射線の発生源は電磁放射線を犠牲光起電性電池に向けるように向きを決められ、犠牲光起電性電池がカソード部と犠牲アノード部との間に電位差を発生させるように、電磁放射線の波長および電磁放射線の強度の少なくとも１つが選択され、電位差は導電性流体中の犠牲アノード部の溶解をもたらし、さらに犠牲アノード部の一部は導電性流体中で溶解する、段落Ｃ１からＣ６のいずれかに記載の電気化学電池。
また、本発明は以下に記載する態様を含む。
（態様１）
電子組立体（３０）と、基板（４０）と、前記電子組立体と前記基板との間に位置し、前記電子組立体を前記基板に動作可能に取り付けている犠牲アノード部（４４）と、を含む電子部品の多層積層体（２０）から前記電子組立体（３０）を分離する方法であって、前記電子組立体はカソード部（３６）と、デバイス部（３２）とを含み、前記方法（１００）は
電気化学電池（１０）を形成するために導電性流体（１２）中の前記多層積層体の位置を決定すること（１１５）と、
前記カソード部が前記電気化学電池のカソード（１７）を形成し、前記犠牲アノード部が前記電気化学電池のアノード（１８）を形成するように、前記カソード部と前記犠牲アノード部との間に電位差を発生させること（１２０）と、
前記導電性流体中で前記犠牲アノード部を溶解するために前記犠牲アノード部を電気化学的に酸化することによって前記基板から前記電子組立体を分離すること（１３０）と、を含む方法（１００）。
（態様２）
前記電子組立体（３０）は、前記カソード部（３６）と前記犠牲アノード部（４４）との間に位置し、かつ、これらと電気的に連絡および機械的に連結する犠牲光起電性電池（４８）をさらに含み、さらに前記発生させること（１２０）は、前記犠牲光起電性電池を使用して前記電位差を発生させることを含み、前記方法は
前記発生させることを開始するために前記犠牲光起電性電池上に電磁放射線（８４）を向けること（１２２）をさらに含む、態様１に記載の方法（１００）。
（態様３）
前記カソード部（３６）と外部電源（７０）の正極との間に第１の電気的接続を確立すること（１２４）と、
前記犠牲アノード部（４４）と前記外部電源の負極との間に第２の電気的接続を確立することであって、前記発生させることは前記外部電源を使用して前記電位差を発生させることを含む、確立することとをさらに含む、態様１または２に記載の方法（１００）。
（態様４）
前記多層積層体（２０）は第１の多層積層体であり、前記電子組立体（３０）は前記第１の多層積層体の第１の電子組立体であり、前記犠牲アノード部（４４）は前記第１の多層積層体の第１の犠牲アノード部であり、さらに前記分離すること（１３０）に続いて、前記方法は
第２の電子組立体と、前記基板（４０）と、前記第２の電子組立体と前記基板との間に位置し、前記第２の電子組立体を前記基板に動作可能に取り付けている第２の犠牲アノード部とを含む、第２の多層積層体を形成することをさらに含む態様１から３のいずれか一つに記載の方法（１００）。
（態様５）
前記カソード部（３６）および前記導電性流体（１２）は、第１の半電池電圧を規定する第１の半電池（１４）を規定し、前記犠牲アノード部（４４）および前記導電性流体は、第２の半電池電圧を規定する第２の半電池（１６）を規定し、さらに電位差を発生させること（１２０）は、前記第１の半電池電圧と前記第２の半電池電圧との差よりも大きな電位差を発生させることを含む、態様１から４のいずれか一つに記載の方法（１００）。
（態様６）
電子材料の多層積層体（２０）であって、
基板（４０）と、
犠牲アノード部（４４）と、
電子組立体（３０）とを含み、前記犠牲アノード部は前記電子組立体と前記基板との間に位置し、かつ、前記電子組立体を前記基板に動作可能に取り付け、さらに前記電子組立体は、
前記犠牲アノード部と電気的に連絡している犠牲光起電性電池（４８）と、
前記犠牲光起電性電池と電気的に連絡しているカソード部（３６）であって、前記犠牲光起電性電池は前記カソード部を前記犠牲アノード部から電気的に分離しているカソード部と、
デバイス部（３２）であって、前記犠牲光起電性電池は前記基板と前記デバイス部との間に位置するデバイス部と
を含む多層積層体（２０）。
（態様７）
前記犠牲光起電性電池（４８）と前記デバイス部（３２）との間に位置し、かつ、前記犠牲光起電性電池を前記デバイス部に動作可能に取り付けているエッチング停止部であって、エピタキシャルエッチング停止層（５２）を含むエッチング停止部をさらに含む、態様６に記載の多層積層体（２０）。
（態様８）
前記犠牲アノード部（４４）はエピタキシャル犠牲アノード層である、態様６または７に記載の多層積層体（２０）。
（態様９）
前記犠牲光起電性電池（４８）は、電磁放射線（８４）を受光するように、かつ、前記電磁放射線の受光に応じて前記犠牲アノード部（４４）と前記カソード部（３６）との間に電位差を発生させるように構成され、さらに前記電位差の大きさは少なくとも０．１ボルト（Ｖ）かつ５Ｖ未満である、態様６から８のいずれか一つに記載の多層積層体（２０）。
（態様１０）
前記犠牲光起電性電池（４８）はエピタキシャル犠牲光起電性電池を含む、態様６から９のいずれか一つに記載の多層積層体（２０）。
（態様１１）
導電性流体（１２）と、
態様６に記載の前記多層積層体（２０）とを含み、前記多層積層体は前記導電性流体中に位置する、
電気化学電池（１０）。
（態様１２）
電磁放射線（８４）の発生源（８０）と組み合わされ、前記電磁放射線の発生源は、前記電磁放射線を前記犠牲光起電性電池（４８）に向けるように向きを決められ、前記犠牲光起電性電池が前記カソード部（３６）と前記犠牲アノード部（４４）との間に電位差を発生させるように、前記電磁放射線の波長および前記電磁放射線の強度の少なくとも１つが選択され、前記電位差は前記導電性流体（１２）中の前記犠牲アノード部の溶解をもたらし、さらに前記犠牲アノード部の一部は前記導電性流体中で溶解する、態様１１に記載の電気化学電池（１０）。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子組立体（３０）と、基板（４０）と、カソード部（３６）と、前記電子組立体（３０）と前記基板（４０）との間に位置し、前記電子組立体（３０）を前記基板（４０）に動作可能に取り付けている犠牲アノード部（４４）と、を含む電子部品の多層積層体（２０）から前記電子組立体（３０）を分離する方法であって、
前記方法（１００）は
電気化学電池（１０）を形成するために導電性流体（１２）中の前記多層積層体（２０）の位置を決定すること（１１５）と、
前記カソード部（３６）と前記犠牲アノード部（４４）との間に電位差を発生させること（１２０）と、
前記導電性流体（１２）中で前記犠牲アノード部（４４）を溶解するために前記犠牲アノード部（４４）を電気化学的に酸化することによって前記基板（４０）から前記電子組立体（３０）を分離すること（１３０）と、を含む方法（１００）。
【請求項２】
前記電子組立体（３０）は、前記カソード部（３６）と前記犠牲アノード部（４４）との間に位置し、かつ、これらと電気的におよび機械的に連通する犠牲光起電性電池（４８）をさらに含み、前記発生させること（１２０）は、前記犠牲光起電性電池（４８）を使用して前記電位差を発生させることをさらに含み、前記方法は
前記発生させること（１２０）を開始するために前記犠牲光起電性電池（４８）上に電磁放射線（８４）を向けること（１２２）をさらに含む、請求項１に記載の方法（１００）。
【請求項３】
前記カソード部（３６）と外部電源（７０）の正極との間に第１の電気的接続を確立すること（１２４）と、
前記犠牲アノード部（４４）と前記外部電源（７０）の負極との間に第２の電気的接続を確立することであって、前記発生させること（１２０）は前記外部電源（７０）を使用して前記カソード部（３６）と前記犠牲アノード部（４４）との間に前記電位差を発生させることを含む、確立することとをさらに含む、請求項１または２に記載の方法（１００）。
【請求項４】
前記多層積層体（２０）は第１の多層積層体であり、前記電子組立体（３０）は前記第１の多層積層体の第１の電子組立体であり、前記犠牲アノード部（４４）は前記第１の多層積層体の第１の犠牲アノード部であり、さらに前記分離すること（１３０）に続いて、前記方法は
第２の電子組立体と、前記基板（４０）と、前記第２の電子組立体と前記基板（４０）との間に位置し、前記第２の電子組立体を前記基板（４０）に動作可能に取り付けている第２の犠牲アノード部とを含む、第２の多層積層体を形成することをさらに含む請求項１から３のいずれか一項に記載の方法（１００）。
【請求項５】
前記カソード部（３６）および前記導電性流体（１２）は、第１の半電池電圧を規定する第１の半電池（１４）を規定し、前記犠牲アノード部（４４）および前記導電性流体（１２）は、第２の半電池電圧を規定する第２の半電池（１６）を規定し、さらに電位差を発生させること（１２０）は、前記第１の半電池電圧と前記第２の半電池電圧との差よりも大きな電位差を発生させることを含む、請求項１から４のいずれか一項に記載の方法（１００）。
【請求項６】
電子材料の多層積層体（２０）であって、
基板（４０）と、
電子組立体（３０）と、
犠牲アノード部（４４）と、を含み、
前記犠牲アノード部（４４）は前記電子組立体（３０）と前記基板（４０）との間に位置し、かつ、前記電子組立体（３０）を前記基板（４０）に動作可能に取り付け、
前記犠牲アノード部（４４）はさらに電気化学的酸化により溶解され、前記電子組立体（３０）の前記基板（４０）からの分離を可能にするよう構成されている、
多層積層体（２０）。
【請求項７】
前記電子組立体（３０）は、
前記犠牲アノード部（４４）と電気的に連通していて、前記犠牲アノード部（４４）の溶解に給電するための電圧を前記犠牲アノード部（４４）に印加するよう構成されている犠牲光起電性電池（４８）と、
前記犠牲光起電性電池（４８）と電気的に連通しているカソード部（３６）であって、前記犠牲光起電性電池（４８）は前記犠牲アノード部（４４）の溶解に給電するために、前記カソード部（３６）と前記犠牲アノード部（４４）との間に電位差を生成するよう構成されているカソード部（３６）と、
デバイス部（３２）であって、前記犠牲光起電性電池（４８）が前記基板（４０）と前記デバイス部との間に位置するデバイス部（３２）と
を含む、請求項６に記載の多層積層体（２０）。
【請求項８】
前記犠牲光起電性電池（４８）と前記デバイス部（３２）との間に位置し、かつ、前記犠牲光起電性電池（４８）を前記デバイス部（３２）に動作可能に取り付けているエッチング停止部であって、エピタキシャルエッチング停止層（５２）を含むエッチング停止部をさらに含む、請求項７に記載の多層積層体（２０）。
【請求項９】
前記犠牲アノード部（４４）はエピタキシャル成長犠牲アノード部である、請求項７または８に記載の多層積層体（２０）。
【請求項１０】
前記犠牲光起電性電池（４８）はエピタキシャル犠牲光起電性電池を含む、請求項７または８に記載の多層積層体（２０）。
【請求項１１】
前記犠牲光起電性電池（４８）は、電磁放射線（８４）を受光するように、かつ、前記電磁放射線（８４）の受光に応じて前記犠牲アノード部（４４）と前記カソード部（３６）との間に電位差を発生させるように構成され、さらに前記電位差の大きさは少なくとも０．１ボルト（Ｖ）かつ５Ｖ未満である、請求項７から１０のいずれか一項に記載の多層積層体（２０）。
【請求項１２】
導電性流体（１２）と、
請求項６から１１のいずれか一項に記載の前記多層積層体（２０）とを含み、前記多層積層体（２０）は前記導電性流体（１２）中に位置する、
電気化学電池（１０）。
【請求項１３】
導電性流体（１２）と、
請求項７から１１のいずれか一項に記載の前記多層積層体（２０）とを含み、前記多層積層体（２０）は前記導電性流体（１２）中に位置し、
電磁放射線（８４）の発生源（８０）と組み合わされ、前記電磁放射線（８４）の発生源（８０）は、前記電磁放射線（８４）を前記犠牲光起電性電池（４８）に向けるように向きを決められ、前記犠牲光起電性電池（４８）が前記カソード部（３６）と前記犠牲アノード部（４４）との間に電位差を発生させるように、前記電磁放射線（８４）の波長および前記電磁放射線（８４）の強度の少なくとも１つが選択され、前記電位差は前記導電性流体（１２）中の前記犠牲アノード部（４４）の溶解をもたらし、さらに前記犠牲アノード部（４４）の一部は前記導電性流体（１２）中で溶解する、請求項１２に記載の電気化学電池（１０）。