【事件の表示】
　特願２０１６−５０９８８９「表面特性検査方法及び表面特性検査装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２７年１０月　１日国際公開、ＷＯ２０１５／１４５８３３、請求項の数（１１）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、２０１４年１０月８日（優先権主張２０１４年３月２４日）を国際出願日とする出願であって、平成２８年６月２７日付けで拒絶理由通知がされ、同年８月２６日付けで手続補正がされ、同年１０月２５日付けで拒絶査定がされ、これに対し、平成２９年１月２７日に拒絶査定不服審判の請求がされたものである。
第２　原査定の概要
　平成２８年１０月２５日付け拒絶査定（以下、「原査定」という。）の概要は、次のとおりである。
　本願請求項１−６、８−１１に係る発明は、以下の引用文献１−４に記載された発明に基づいて、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下「当業者」という。）が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
引用文献等一覧
　１.特表２０１３−５２９２８６号公報
　２.特開平１０−２１７１２２号公報
　３.特開昭５５−７６３０号公報
　４.特開平５−２０３５０３号公報
第３　本願発明
　本願請求項１−１１に係る発明（以下、それぞれ「本願発明１」−「本願発明１１」という。）は、平成２８年８月２６日付けの手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１−１１に記載された事項により特定される、次のとおりのものである。
「【請求項１】
　ショットピーニング処理された被検体の表面特性を検査する表面特性検査方法であって、
　交流ブリッジ回路と、
　前記交流ブリッジ回路に交流電力を供給する交流電源と、
　前記交流ブリッジ回路からの出力信号に基づいて、被検体の表面特性を評価する評価装置と、を備え、
　前記交流ブリッジ回路は、第１の抵抗と第２の抵抗とに分配比が可変に構成された可変抵抗と、交流磁気を励起可能なコイルを備え被検体に渦電流を励起するように当該コイルを配置可能に形成された検査検出器と、被検体と同一構造の基準検体を配置し、前記検査検出器からの出力と比較する基準となる基準状態を検出する基準検出器とを有し、前記第１の抵抗、前記第２の抵抗、前記基準検出器及び前記検査検出器がブリッジ回路を構成する表面特性検査装置を用意する検査装置準備工程と、
　前記評価装置における被検体の表面特性の評価に使用するしきい値を決定するしきい値設定工程と、
　表面から深部に残留応力を付与する第１ショットピーニング処理と、前記第１ショットピーニング処理後に前記第１ショットピーニング処理よりも低強度のショットピーニングを行い、前記第１ショットピーニング処理よりも浅い表面近傍に更に残留応力を付与する第２ショットピーニング処理と、が施された被検体に、前記検査検出器によって渦電流を励起する渦電流励起工程と、
　前記第２ショットピーニング処理後に実施された前記渦電流励起工程において前記交流ブリッジ回路から出力された出力信号と前記しきい値とを比較して、前記第１ショットピーニング処理が適正に行われたか否かを前記評価装置により判断する良否判断工程と、
　を有し、
　前記渦電流励起工程においては、前記交流ブリッジ回路に供給される交流電力の周波数が、前記第１ショットピーニング処理により残留応力が付与された深さまで前記渦電流が浸透するように設定されることを特徴とする表面特性検査方法。
　【請求項２】　前記渦電流励起工程は、前記基準検体として、表面処理を施していない未処理品を前記基準検出器に配置した状態で実施されることを特徴とする請求項１に記載の表面特性検査方法。
　【請求項３】　前記しきい値設定工程は、前記第１ショットピーニング及び前記第２ショットピーニング処理が適正に行われた被検体に渦電流を励起した際の前記交流ブリッジ回路の出力信号に基づいて前記しきい値を設定することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の表面特性検査方法。
　【請求項４】　更に、前記渦電流励起工程よりも高い周波数の交流電力を前記交流電源によって供給して、被検体に渦電流を励起する第２渦電流励起工程と、この第２渦電流励起工程により渦電流が励起されているときの前記交流ブリッジ回路の出力信号に基づいて、前記第２ショットピーニング処理が適正に行われたか否かを前記評価装置により判断する第２良否判断工程と、を備えたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の表面特性検査方法。
　【請求項５】　前記しきい値設定工程は、所定の第１周波数の交流電力を前記交流ブリッジ回路に供給して得られた出力信号に基づいて決定されるしきい値、及び前記第１周波数よりも高い第２周波数の交流電力を前記交流ブリッジ回路に供給して得られた出力信号に基づいて決定される第２しきい値を決定し、前記しきい値は前記良否判断工程における良否判断に使用され、前記第２しきい値は前記第２良否判断工程における良否判断に使用されることを特徴とする請求項４に記載の表面特性検査方法。
　【請求項６】　前記第２良否判断工程は、前記良否判断工程よりも前に実施されることを特徴とする請求項４に記載の表面特性検査方法。
　【請求項７】　前記しきい値設定工程は、前記検査検出器に未処理の被検体を配置したときの前記交流ブリッジ回路の出力信号ＥＡ、及び前記検査検出器に前記第１ショットピーニング及び前記第２ショットピーニング処理が適正に行われた被検体を配置したときの前記交流ブリッジ回路の出力信号ＥＢに基づいて、下式によりしきい値Ｅｔｈｉを設定することを特徴とする請求項３または請求項５に記載の表面特性検査方法。
Ｅｔｈｉ＝（ＥＡav・σＢ＋ＥＢav・σＡ）／（σＡ＋σＢ）
　　ＥＡav：出力信号ＥＡの平均値、ＥＢav：出力信号ＥＢの平均値、σＡ：出力信号ＥＡの標準偏差、σＢ：出力信号ＥＢの標準偏差
　【請求項８】　前記評価装置は記憶手段を備え、この記憶手段には、各被検体の識別情報と該被検体の表面特性の検査データが関連付けて記憶されることを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか１つに記載の表面特性検査方法。
　【請求項９】　ショットピーニング装置により表面から深部に残留応力を付与する第１ショットピーニング処理と、前記第１ショットピーニング処理後に前記第１ショットピーニング処理よりも低強度のショットピーニングを行い、前記第１ショットピーニング処理よりも浅い表面近傍に更に残留応力を付与する第２ショットピーニング処理と、が施された被検体の表面特性を検査する表面特性検査装置であって、
　交流ブリッジ回路と、
　前記交流ブリッジ回路に交流電力を供給する交流電源と、
　前記交流ブリッジ回路からの出力信号に基づいて、被検体の表面特性を評価する評価装置と、を備え、
　前記交流ブリッジ回路は、第１の抵抗と第２の抵抗とに分配比が可変に構成された可変抵抗と、交流磁気を励起可能なコイルを備え被検体に渦電流を励起するように当該コイルを配置可能に形成された検査検出器と、被検体と同一構造の基準検体を配置し、前記検査検出器からの出力と比較する基準となる基準状態を検出する基準検出器とを有し、前記第１の抵抗、前記第２の抵抗、前記基準検出器及び前記検査検出器はブリッジ回路を構成し、前記評価装置は、前記第２ショットピーニング処理後にのみ、前記交流ブリッジ回路に交流電力が供給され、前記検査検出器が前記被検体の電磁気特性を検出し、前記基準検出器が基準状態を検出している状態における前記交流ブリッジ回路からの出力信号としきい値とを比較して、前記被検体の表面特性を評価し、前記被検体に対する前記第１ショットピーニング処理が適正に行われたか否かを判断し、
　前記交流電源は、前記第１ショットピーニング処理により残留応力が付与された深さまで前記渦電流が浸透する周波数の交流電力を前記交流ブリッジ回路に供給することを特徴とする表面特性検査装置。
　【請求項１０】　前記基準検体は、表面処理を施していない未処理品であることを特徴とする請求項９に記載の表面特性検査装置。
　【請求項１１】　前記コイルは、リッツ線により形成されていることを特徴とする請求項９または請求項１０に記載の表面特性検査装置。」
　
第４　引用文献、引用発明等
１　引用文献１について
　原査定の拒絶の理由に引用された引用文献１には、図とともに次の事項が記載されている（下線は、当審による。）。
　ア　「【０００１】
　本発明は、
ショットピーニング処理や熱処理、窒化処理などの表面処理を施した処理材の表面処理状態の良否を非破壊で検査する
表面特性検査方法
　イ　「【００３３】
　図１に示すように、本発明の実施形態による
表面特性検査装置１は、交流電源１０、交流ブリッジ回路２０及び判断装置３０を備えている
【００３４】
　
交流電源１０は、交流ブリッジ回路２０に周波数が可変の交流電力を供給可能に構成されている
【００３５】
　
交流ブリッジ回路２０は、可変抵抗２１、基準検体Ｓの磁気的特性を検出する磁気センサを備えた基準検出器２２及び被検体Ｍの磁気的特性を検出する磁気センサを備えた検査検出器２３を備えている
【００３６】
　
可変抵抗２１は、抵抗ＲAを抵抗Ｒ１と抵抗Ｒ２とに分配比γを可変に分配することができるように構成されている
抵抗Ｒ１、抵抗Ｒ２は、基準検出器２２及び検査検出器２３とともにブリッジ回路を構成している
【００３７】
　
判断装置３０は、交流ブリッジ回路２０から出力される電圧信号
直流変換を行うローパスフィルタ（ＬＰＦ）３３
ＬＰＦ３３からの出力に基づいて被検体Ｍの表面状態の良否を判断する判断手段３６
を備えている
【００３８】
　増幅器３１は、点Ｃ及び点Ｄに接続され、点Ｃと点Ｄとの間の電位差が入力される。また、絶対値回路３２、ＬＰＦ３３の順に判断手段３６に接続されている。位相比較器３４は、交流電源１０、増幅器３１及び判断手段３６に接続されている。周波数調整器３５は、交流電源１０及び増幅器３１に接続されている。また、判断手段３６は、制御信号を出力することにより、交流ブリッジ回路２０の点Ａの位置、即ち、抵抗Ｒ１と抵抗Ｒ２の分配比γを変更することができるように構成されており、これにより、後述する可変抵抗設定工程が実行される。
【００３９】
　基準検出器２２及び検査検出器２３を構成する磁気センサとして、磁気センサと被検体の表面を当接、又は近接させることにより閉磁路を形成する形状の磁気センサを用いる。本実施形態では、図２に示すように、Ｅ字型のコアを備えた磁気センサを採用した。
【００４０】
　
磁気センサ４０は、中央の脚部４１ａと、脚部４１ａの両脇に配置された脚部４１ｂ、４１ｃとが被検体Ｍの表面Ｍａに対向して配置される基部４１ｄから表面Ｍａに向かってＥ字型になるように立設された磁性体からなるＥ字型のコア４１と、脚部４１ａに巻かれたコイル４２から構成されている。
【００４１】
　ここで、コア４１を磁性体により形成すると、コア４１内部の磁束密度を高くすることができ、Ｓ／Ｎ比（Ｓ：鋼材へ浸透する磁気、Ｎ：漏れ磁気）を高くすることができるので、磁気センサ４０による電磁気特性の検出感度を向上させることができ、好ましい。強磁性体としては、例えば鉄、スーパーマロイ、パーマロイ、珪素鋼、フェライト（Ｍｎ−Ｚｎ系、Ｎｉ−Ｚｎ系）、カーボニル鉄ダスト、モリブデン・パーマロイ、センダスト等が挙げられる。
【００４２】
　磁気センサ４０は、脚部４１、４１ｂ、４１ｃのそれぞれの先端部が被検体Ｍの表面に接触可能に形成されている。例えば、被検体Ｍが平板の場合には、脚部４１ａ、４１ｂ、４１の先端部を同一平面上になるように形成し、脚部４１ａ、４１ｂ、４１ｃが被検体Ｍの表面に夫々当接されるように磁気センサ４０が配置される。
　なお、本実施形態の表面特性検査装置１は、基準検出器２２の磁気センサに基準検体Ｓを当接させて配置するための基準検体配置装置５１、及び検査検出器２３の磁気センサに被検体Ｍを当接させて配置するための被検体配置装置５２を備えている（図１）。
【００４３】
　表面Ｍａ近傍にショットピーニングによる残留応力層Ｍｂが形成された鋼材を被検体Ｍの例として説明する。
交流電源１０によりコイル４２に所定の周波数の交流電力を供給すると、コア４１に交流磁界Ｈが発生し、周波数に応じて被検体Ｍの残留応力層Ｍｂの所定の深さまで磁気が浸透し
【００４４】
　コイル１２に鎖交する交流磁界Ｈは、磁気が浸透した残留応力層Ｍｂの電磁気特性に応じて変化するため、残留応力層Ｍｂの特性（表面処理状態）に応じてコイル４２のインピーダンスが変化する。このため、コイル４２により、残留応力層Ｍｂの電磁気特性を検出することができる。」
　ウ　「【００５９】
　次に、表面特性検査装置１による被検体の表面特性検査方法について図４を参照して説明する。
【００６０】
　まず、
準備工程Ｓ１では、本発明の実施形態による表面特性検査装置１を準備する
表面処理状態が良好であると保証されている基準検体及び表面処理を施していない検体または表面処理状態が不良な検体である参照検体を用意しておく
【００６１】
　次に、
可変抵抗設定工程Ｓ２
【００６２】
　続いて、交流電源１０から交流ブリッジ回路２０に交流電力を供給する。この状態で、表面特性検査装置１による不良な検体の検出感度が高くなるように、可変抵抗２１の分配比γを調整する。即ち、基準検出器２２に基準検体Ｓが押し付けられ、検査検出器２３に参照検体が押し付けられた状態で、交流ブリッジ回路２０から大きな出力信号が出力されるように、可変抵抗２１の分配比γを調整する。このように可変抵抗２１を設定しておくことにより、検査検出器２３に押し付けられた被検体Ｍの表面処理状態が不良である場合と、表面処理状態が良好である場合の出力信号の差異が大きくなり、検出精度を高くすることができる。具体的には、オシロスコープなど波形表示機能を持つ表示装置（例えば、判断手段３６が備えている）にて交流ブリッジ回路２０からの出力信号の電圧振幅、またはＬＰＦ３３からの電圧出力をモニターし、出力が大きくなるように分配比γを調整する。好ましくは、出力が最大値又は極大値（局所平衡点）をとるように、可変抵抗２１の分配比γを調整して、設定する。
【００６３】
　可変抵抗２１の分配比γの調整は、差分電圧（Ｅ２−Ｅ１）を大きくすることにより表面状態の差異に応じた出力差を増大させ、検査精度を向上させるために行われる。上述したように成分Ａ、Ｂは分配比γを調整することにより変化するため、基準検出器２２、検査検出器２３のインピーダンス（ＲS＋ｊωＬS）、（ＲT＋ｊωＬT）に応じて、可変抵抗２１の分配比γを調整し、交流ブリッジ回路２０からの出力である差分電圧（Ｅ２−Ｅ１）を大きくすることができ、検査精度を向上させることができる。
【００６４】
　
周波数設定工程Ｓ３
【００６５】
　周波数調整器３５は、周波数調整器３５において設定された初期周波数ｆ１になるように交流電源１０へ制御信号を出力し、周波数ｆ１における増幅器３１からの出力電圧Ｅｆ１が周波数調整器３５に入力され、記憶される。続いて、周波数ｆ１よりも所定の値、例えば１００Ｈｚ高い周波数ｆ２になるように交流電源１０へ制御信号を出力し、周波数ｆ２における増幅器３１からの出力電圧Ｅｆ２が周波数調整器３５に入力され、記憶される。
　続いて、Ｅｆ１とＥｆ２との比較を行い、Ｅｆ２＞Ｅｆ１であれば、周波数ｆ２よりも所定の値高い周波数ｆ３になるように制御信号を出力し、周波数ｆ３における増幅器３１からの出力電圧Ｅｆ３が周波数調整器３５に入力され、記憶される。そして、Ｅｆ２とＥｆ３との比較を行う。これを繰り返し、Ｅｆｎ＋１＜Ｅｆｎとなったときの周波数ｆｎ、つまり出力が最大となる周波数ｆｎを、しきい値設定工程Ｓ４及び交流供給工程Ｓ６で用いる周波数として設定する。これにより、表面処理状態、形状などが異なりインピーダンスが異なる被検体Ｍに対応して交流ブリッジ回路２０からの出力を大きくする周波数を一度の操作により設定することができる。最適な周波数は、被検体の材料、形状、表面処理状態により、変化することとなるが、これがあらかじめわかっている場合、周波数の設定は不要である。これにより、表面処理状態の変化に出力が敏感に対応し、検査の感度を向上させることができる。
　ここで、周波数設定工程Ｓ３は、可変抵抗設定工程Ｓ２よりも先に実施することもできる。
【００６６】
　
しきい値設定工程Ｓ４
　検査検出器２３に基準検体Ｓを当接させたときに判断手段３６へ出力された出力値を
正常しきい値、
不良しきい値として設定
【００６７】
　表面処理状態と電磁気特性との関係では、例えば、化合物層が形成されると透磁率は低下する。また、表面が硬化すると透磁率は上昇する。ショットピーニング処理などにより圧縮の残留応力を付与した場合には、逆磁歪効果により透磁率が低下する。不良しきい値は、透磁率の差に対応して正常しきい値から変化する。
　
後述する良否判断工程（Ｓ７）においては、被検体Ｍを検査検出器２３に当接させたときの出力値と、正常しきい値及び不良しきい値を比較して
被検体Ｍの良否が判断される
　なお、被検体の種類等によっては、不良しきい値の方が正常しきい値よりも大きくなる場合がある。このような場合には、被検体Ｍの出力値が正常しきい値以下のとき良品と判断され、被検体Ｍの出力値が不良しきい値以上のとき不良品と判断される。
【００６８】
　また、上記のように被検体Ｍの良否を判断した場合、被検体Ｍの出力値が、正常しきい値と不良しきい値の間の値である場合には、良否を判定できないことになる。そこで、表面状態が異なる複数の参照検体を用いて出力測定を行い、正常しきい値との差が小さくなるように不良しきい値を設定することもできる。また、被検体の破壊検査を併用することにより、不良しきい値をより精密に決定しても良い。
【００６９】
　
検体配置工程Ｓ５
被検体Ｍを検査検出器２３に当接させ
　次いで、
交流供給工程Ｓ６
周波数設定工程Ｓ３において設定された周波数の交流電力を交流電源１０から交流ブリッジ回路２０に供給する
　
良否判断工程Ｓ７
判断手段３６は
被検体Ｍの表面状態の良否を判断する
【００７０】
　
被検体Ｍの表面処理状態の良否の判断は、ＬＰＦ３３からの出力値（測定値）と、しきい値設定工程Ｓ４において設定された正常しきい値及び不良しきい値を比較することにより行われる
【００７１】
　検査状態判断工程Ｓ８では、位相比較器３４により交流電源１０から供給される交流電力の波形と交流ブリッジ回路２０から出力される交流電圧波形を比較し、それらの位相差を検出する。この位相差をモニターすることにより、検査状態が良好であるか否かを判断することができる。例えば、検査検出器２３の被検体Ｍへの接触状態が異なり検出器と被検体とのリフトオフが変化すると位相がずれる場合がある。このため、交流ブリッジ回路２０からの出力が同じであっても、位相差が大きく変化した場合には、検査状態に変化があり、検査が適正に行われていない可能性があると判断することができる。
【００７２】
　以上の工程により、被検体Ｍの表面処理状態の良否を簡単かつ高精度に検査することができる。検査を継続するには、被検体Ｍのみを交換して、検体配置工程Ｓ５、交流供給工程Ｓ６、良否判断工程Ｓ７、検査状態判断工程Ｓ８を繰り返し行えばよい。被検体Ｍの種類、表面処理の種類などを変更する場合には、再度、可変抵抗設定工程Ｓ２、周波数設定工程Ｓ３、しきい値設定工程Ｓ４を実施する。」　
　したがって、引用文献１には、次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
「ショットピーニング処理や熱処理、窒化処理などの表面処理を施した処理材の表面処理状態の良否を非破壊で検査する表面特性検査方法であって、
　交流電源１０、交流ブリッジ回路２０及び判断装置３０を備えている表面特性検査装置１であり、
　交流電源１０は、交流ブリッジ回路２０に周波数が可変の交流電力を供給可能に構成されており、
　交流ブリッジ回路２０は、可変抵抗２１、基準検体Ｓの磁気的特性を検出する磁気センサを備えた基準検出器２２及び被検体Ｍの磁気的特性を検出する磁気センサを備えた検査検出器２３を備えており、　
　可変抵抗２１は、抵抗ＲAを抵抗Ｒ１と抵抗Ｒ２とに分配比γを可変に分配することができるように構成され、抵抗Ｒ１、抵抗Ｒ２は、基準検出器２２及び検査検出器２３とともにブリッジ回路を構成しており、
　判断装置３０は、交流ブリッジ回路２０から出力される電圧信号を直流変換するローパスフィルタ（ＬＰＦ）３３からの出力に基づいて被検体Ｍの表面状態の良否を判断する判断手段３６を備えており、
　磁気センサ４０は、中央の脚部４１ａと、脚部４１ａの両脇に配置された脚部４１ｂ、４１ｃとが被検体Ｍの表面Ｍａに対向して配置される基部４１ｄから表面Ｍａに向かってＥ字型になるように立設された磁性体からなるＥ字型のコア４１と、脚部４１ａに巻かれたコイル４２から構成されている表面特性検査装置１を準備するとともに、表面処理状態が良好であると保証されている基準検体及び表面処理を施していない検体または表面処理状態が不良な検体である参照検体を用意する準備工程Ｓ１と、
　可変抵抗設定工程Ｓ２と、
　周波数設定工程Ｓ３と、
　後述する良否判断工程Ｓ７において被検体Ｍの良否を判断するために用いられる、正常しきい値と不良しきい値を設定するしきい値設定工程Ｓ４と、
　被検体Ｍを検査検出器２３に当接させる検体配置工程Ｓ５と、
　周波数設定工程Ｓ３において設定された周波数の交流電力を交流電源１０から交流ブリッジ回路２０に供給する交流供給工程Ｓ６と、
　被検体Ｍの表面処理状態の良否の判断が判断手段３６において、ＬＰＦ３３からの出力値（測定値）と、しきい値設定工程Ｓ４において設定された正常しきい値及び不良しきい値を比較することにより行われる良否判断工程Ｓ７と、
　を有し、
　交流電源１０によりコイル４２に所定の周波数の交流電力を供給すると、コア４１に交流磁界Ｈが発生し、周波数に応じて被検体Ｍの残留応力層Ｍｂの所定の深さまで磁気が浸透する、
　表面特性検査方法。」
２　引用文献２について
　原査定の拒絶の理由に引用された上記引用文献２には、図とともに次の事項が記載されている（下線は、当審による。）。
　ア　「【０００４】…、請求項３記載の発明における金型表面の処理方法は、熱処理された金型の表面をピーニング処理したときにこの処理面の表面近傍に圧縮残留応力の最大値を生成することが可能な方法であって、
熱処理した金型の表面に対して複数回のピーニング処理
　イ　「【０００９】この表１において、摘要における比較例は、この欄が一般的なピーニング処理の一つを行なったときのデータを示すことを意味する。また、摘要における未処理は、この欄がピーニング処理を行なわないことを意味する。さらに、摘要における１回目、２回目とは
同一の金型に対して投射材の比重、粒子径および硬度をぞれぞれ変えて二段階に亘りピーニング処理を行なった
　したがって、上記引用文献２には、「同一の金型に対して投射材の比重、粒子径および硬度をぞれぞれ変えて二段階に亘りピーニング処理を行う」という技術事項が記載されているものと認められる。
３　引用文献３について
　原査定の拒絶の理由に引用された上記引用文献３には、図とともに次の事項が記載されている（下線は、当審による。）。
　ア　「本発明は発電用ボイラーの過熱管等に使用される、例えばオーステナイトステンレス鋼管等の非磁性鋼製管体の内面に施されたピーニング加工層深さの検査方法に関するものである。」（第１頁左下欄第４〜７行）
　イ　「次に以上の如き、装置を用いて本発明方法を実施する場合の手順について説明する。まず第４図に示すように、被検管体と管径，
肉厚が同一であって内面にピーニング加工を施していない、すなわちピーニング加工層深さが０の基準管体ＰＳ１，ＰＳ２
　次に第５図に示すように
第１のコイルＬ１はそのまま基準管体ＰＳ１内に挿入した状態にしておく一方、第２のコイルＬ２は基準管体ＰＳ２から抜き出し、被検管体ＰＴ内に挿入
基準管体ＰＳ１の内面には加工層が存在しないのに対し被検管体ＰＴの内面には第６図に示す如く加工層ＰＮＧが存在するので両管体２内面表層部における硬度が異り、このために電気伝導度が相異し、その結果渦電流の深さ方向分布が両者で相異ることになる。この渦電流はコイルＬ１，Ｌ２に電圧を誘起せしめるので、結局コイルＬ１とＬ２のインピーダンスが変化することとなりブリッジ回路ＢＲＧは不平衡となる
　したがって、上記引用文献３には、「ピーニング加工を施していない管体を基準管体とし、ピーニング加工を施した管体を被検管体とし、渦電流の深さ方向分布が両者で相異ることを利用して、ピーニング加工層の深さを検査する」という技術事項が記載されているものと認められる。
４　引用文献４について
　原査定の拒絶の理由に引用された上記引用文献４には、図とともに次の事項が記載されている（下線は、当審による。）。
　ア　「【００１０】
【作用】
励磁コイルに励磁電流として高周波の交流電流を流すと、磁路における磁束は時間的に変化する。従って、電磁誘導により、鋼材の組織に渦電流が生じる
検出コイルの出力電圧値により、残留応力の程度が把握される
【００１１】また、
励磁コイルに流す励磁電流の周波数を変更すると、鋼材表面における磁束の浸透深さは変化する
そのため、励磁電流の周波数を変更すれば、鋼材の表面からの深さに応じた電圧信号が検出コイルから出力されることになる
　イ　「【００２４】そこで、
鋼材１の加工面１１の深さ方向における圧縮残留応力分布を測定する場合
ショットピーニングによる圧縮残留応力発生層は一般的に表面から深さ３００μｍ程度とされており、
励磁電流の周波数は１ＫＨｚ〜１ＭＨｚの範囲が適当と考えた
　したがって、上記引用文献４には、「鋼材の加工面の深さ方向における圧縮残留応力分布を測定する場合、励磁コイルに流す励磁電流の周波数を変更すると、鋼材表面における磁束の浸透深さが変化するので、深さ３００μｍ程度とされているショットピーニングによる圧縮残留応力発生層の残留応力の程度を把握するには、励磁電流の周波数を１ＫＨｚ〜１ＭＨｚの範囲で変更する。」という技術事項が記載されているものと認められる。
第５　対比・判断
１　本願発明１について
（１）対比
　本願発明１と引用発明を対比すると、次のことがいえる。
　ア　引用発明は、「ショットピーニング処理や熱処理、窒化処理などの表面処理を施した処理材の表面処理状態の良否を非破壊で検査する表面特性検査方法」であるから、本願発明１と同様に「ショットピーニング処理された被検体の表面特性を検査する表面特性検査方法」といえる。
　イ　引用発明の「交流ブリッジ回路２０」は、本願発明１の「交流ブリッジ回路」に相当する。
　ウ　引用発明の「交流電源１０」は、「交流ブリッジ回路２０に周波数が可変の交流電力を供給可能に構成されて」いるから、本願発明１の「前記交流ブリッジ回路に交流電力を供給する交流電源」に相当する。
　エ　引用発明の「判断装置３０」は、「交流ブリッジ回路２０から出力される電圧信号を直流変換するローパスフィルタ（ＬＰＦ）３３からの出力に基づいて被検体Ｍの表面状態の良否を判断する判断手段３６を備え」るものであるから、本願発明１の「前記交流ブリッジ回路からの出力信号に基づいて、被検体の表面特性を評価する評価装置」に相当する。
　オ　引用発明における「ブリッジ回路」の構成と、本願発明１における「ブリッジ回路」の構成とを対比すると、
（ア）引用発明の「可変抵抗２１」、「基準検体Ｓの磁気的特性を検出する磁気センサを備えた基準検出器２２」及び「被検体Ｍの磁気的特性を検出する磁気センサを備えた検査検出器２３」がそれぞれ、本願発明１の「可変抵抗」、「基準検出器」及び「検査検出器」に相当する。
（イ）引用発明の「可変抵抗２１」は、「抵抗ＲAを抵抗Ｒ１と抵抗Ｒ２とに分配比γを可変に分配することができるように構成され」ているから、本願発明１における「第１の抵抗と第２の抵抗とに分配比が可変に構成された可変抵抗」に相当する。
（ウ）引用発明の「検査検出器２３」の「磁気センサ」は、「中央の脚部４１ａと、脚部４１ａの両脇に配置された脚部４１ｂ、４１ｃとが被検体Ｍの表面Ｍａに対向して配置される基部４１ｄから表面Ｍａに向かってＥ字型になるように立設された磁性体からなるＥ字型のコア４１と、脚部４１ａに巻かれたコイル４２」から構成されており、「交流電源１０によりコイル４２に所定の周波数の交流電力を供給すると、コア４１に交流磁界Ｈが発生し、周波数に応じて被検体Ｍの残留応力層Ｍｂの所定の深さまで磁気が浸透」するものである。
　よって、引用発明における「検査検出器２３」と、本願発明１における「交流磁気を励起可能なコイルを備え被検体に渦電流を励起するように当該コイルを配置可能に形成された検査検出器」とは、「交流磁気を励起可能なコイルを備え被検体に交流磁気が浸透するように当該コイルを配置可能に形成された検査検出器」の点で共通する。
（エ）引用発明の「基準検体Ｓ」は、「表面処理状態が良好であると保証されている基準検体」であるから、「被検体Ｍ」とは、表面処理状態が異なるのみで、「同一構造」と認められる。よって、引用発明における「基準検体Ｓ」が、本願発明１における「被検体と同一構造の基準検体」に相当するといえる。
（オ）引用発明において、「抵抗Ｒ１、抵抗Ｒ２は、基準検出器２２及び検査検出器２３とともにブリッジ回路を構成して」いるから、上記（ア）−（エ）を踏まえると、引用発明における「交流ブリッジ回路２０」と、本願発明１における「第１の抵抗と第２の抵抗とに分配比が可変に構成された可変抵抗と、交流磁気を励起可能なコイルを備え被検体に渦電流を励起するように当該コイルを配置可能に形成された検査検出器と、被検体と同一構造の基準検体を配置し、前記検査検出器からの出力と比較する基準となる基準状態を検出する基準検出器とを有し、前記第１の抵抗、前記第２の抵抗、前記基準検出器及び前記検査検出器がブリッジ回路を構成」とは、「第１の抵抗と第２の抵抗とに分配比が可変に構成された可変抵抗と、交流磁気を励起可能なコイルを備え被検体に磁気が浸透するように当該コイルを配置可能に形成された検査検出器と、被検体と同一構造の基準検体を配置し、前記検査検出器からの出力と比較する基準となる基準状態を検出する基準検出器とを有し、前記第１の抵抗、前記第２の抵抗、前記基準検出器及び前記検査検出器がブリッジ回路を構成」する点で共通するものといえる。
　カ　引用発明の「（表面特性検査装置１を準備する）準備工程Ｓ１」は、次の相違点は除いて、本願発明１の「表面特性検査装置を用意する検査装置準備工程」に相当する。
　キ　引用発明の「しきい値設定工程Ｓ４」は、「後述する良否判断工程Ｓ７」（すなわち、「被検体Ｍの表面処理状態の良否の判断が（判断装置３０の）判断手段３６において…行われる良否判断工程Ｓ７」）において被検体Ｍの良否を判断するために用いられる、正常しきい値と不良しきい値を設定する工程であるから、本願発明１の「前記評価装置における被検体の表面特性の評価に使用するしきい値を決定するしきい値設定工程」に相当する。
　ク　引用発明において、「ショットピーニング処理」の施された「被検体Ｍを検査検出器２３に当接させる検体配置工程Ｓ５」、及び、「検査検出器２３」の「磁気センサ」が、「周波数設定工程Ｓ３において設定された周波数の交流電力を交流電源１０から交流ブリッジ回路２０に供給する交流供給工程Ｓ６」により「交流電源１０によりコイル４２に所定の周波数の交流電力を供給すると、コア４１に交流磁界Ｈが発生し、周波数に応じて被検体Ｍの残留応力層Ｍｂの所定の深さまで磁気が浸透」することと、本願発明１の「表面から深部に残留応力を付与する第１ショットピーニング処理と、前記第１ショットピーニング処理後に前記第１ショットピーニング処理よりも低強度のショットピーニングを行い、前記第１ショットピーニング処理よりも浅い表面近傍に更に残留応力を付与する第２ショットピーニング処理と、が施された被検体に、前記検査検出器によって渦電流を励起する渦電流励起工程」とは、「ショットピーニング処理が施された被検体に、前記検査検出器によって交流磁気を浸透させる工程」の点で共通する。
　ケ　引用発明の「良否判断工程Ｓ７」は、「ショットピーニング処理」の施された「被検体Ｍの表面処理状態の良否の判断が判断手段３６において、ＬＰＦ３３からの出力値（測定値）と、しきい値設定工程Ｓ４において設定された正常しきい値及び不良しきい値を比較することにより行われる」工程であり、ここで「判断手段３６」は、「判断装置３０」が備えるものであり、また、「ＬＰＦ３３からの出力」は、「交流ブリッジ回路２０から出力される電圧信号を直流変換するローパスフィルタ（ＬＰＦ）３３からの出力」であるから、本願発明１の「前記第２ショットピーニング処理後に実施された前記渦電流励起工程において前記交流ブリッジ回路から出力された出力信号と前記しきい値とを比較して、前記第１ショットピーニング処理が適正に行われたか否かを前記評価装置により判断する良否判断工程」と引用発明の「良否判断工程Ｓ７」とは、「ショットピーニング処理後に実施された前記交流磁気を浸透させる工程において前記交流ブリッジ回路から出力された出力信号と前記しきい値とを比較して、前記ショットピーニング処理が適正に行われたか否かを前記評価装置により判断する良否判断工程」の点で一致する。
　したがって、本願発明１と引用発明との間には、次の一致点、相違点があるといえる。
（一致点）
「ショットピーニング処理された被検体の表面特性を検査する表面特性検査方法であって、
　交流ブリッジ回路と、
　前記交流ブリッジ回路に交流電力を供給する交流電源と、
　前記交流ブリッジ回路からの出力信号に基づいて、被検体の表面特性を評価する評価装置と、を備え、
　前記交流ブリッジ回路は、第１の抵抗と第２の抵抗とに分配比が可変に構成された可変抵抗と、交流磁気を励起可能なコイルを備え被検体に交流磁気が浸透するように当該コイルを配置可能に形成された検査検出器と、被検体と同一構造の基準検体を配置し、前記検査検出器からの出力と比較する基準となる基準状態を検出する基準検出器とを有し、前記第１の抵抗、前記第２の抵抗、前記基準検出器及び前記検査検出器がブリッジ回路を構成する表面特性検査装置を用意する検査装置準備工程と、
　前記評価装置における被検体の表面特性の評価に使用するしきい値を決定するしきい値設定工程と、
　ショットピーニング処理が施された被検体に、前記検査検出器によって交流磁界を浸透させる工程と、
　ショットピーニング処理後に実施された前記交流磁気を浸透させる工程において前記交流ブリッジ回路から出力された出力信号と前記しきい値とを比較して、前記ショットピーニング処理が適正に行われたか否かを前記評価装置により判断する良否判断工程と、
　を有する表面特性検査方法。」
（相違点１）
　本願発明１においては、「被検体」が「表面から深部に残留応力を付与する第１ショットピーニング処理と、前記第１ショットピーニング処理後に前記第１ショットピーニング処理よりも低強度のショットピーニングを行い、前記第１ショットピーニング処理よりも浅い表面近傍に更に残留応力を付与する第２ショットピーニング処理と、が施された被検体」であるのに対し、引用発明の「被検体Ｍ」は、このような「第１ショットピーニング処理と第２ショットピーニング処理」がされたものとはされていない点。
（相違点２）
　本願発明１は、「前記検査検出器によって渦電流を励起する渦電流励起工程」を有し、「前記渦電流励起工程においては、前記交流ブリッジ回路に供給される交流電力の周波数が、前記第１ショットピーニング処理により残留応力が付与された深さまで前記渦電流が浸透するように設定される」ものであるのに対し、引用発明では、「検査検出器２３」の「磁気センサ」が、「周波数設定工程Ｓ３において設定された周波数の交流電力を交流電源１０から交流ブリッジ回路２０に供給する交流供給工程Ｓ６」により「交流電源１０によりコイル４２に所定の周波数の交流電力を供給すると、コア４１に交流磁界Ｈが発生し、周波数に応じて被検体Ｍの残留応力層Ｍｂの所定の深さまで磁気が浸透」ことは示されているものの、該「交流供給工程Ｓ６」が、渦電流を励起する工程であるか、また、該「交流供給工程Ｓ６」おける交流電力の周波数が、前記第１ショットピーニング処理により残留応力が付与された深さまで前記渦電流が浸透するように設定されるものであるか、不明な点。
（相違点３）
　本願発明１の「良否判断工程」は、「前記第２ショットピーニング処理後に実施された前記渦電流励起工程において前記交流ブリッジ回路から出力された出力信号と前記しきい値とを比較して、前記第１ショットピーニング処理が適正に行われたか否かを前記評価装置により判断する」ものであるのに対し、引用発明の「良否判断工程Ｓ７」は、このようなものでない点。
（相違点４）
　本願発明１は、「被検体に渦電流を励起するように」コイルを配置可能としているのに対し、引用発明では、コイル４２は、「コア４１に交流磁界Ｈが発生し、周波数に応じて被検体Ｍの残留応力層Ｍｂの所定の深さまで磁気が浸透」するように、「磁性体からなるＥ字型のコア４１」の「脚部４１ａに巻かれ」ているものの、該構成が、被検体Ｍに渦電流を励起するようにコイル４２を配置可能としたものであるか、明らかでない点。
（２）相違点についての判断
　事例に鑑み、上記相違点１−３について総合して検討する。
　引用文献１には、
ア　「表面から深部に残留応力を付与する第１ショットピーニング処理と、前記第１ショットピーニング処理後に前記第１ショットピーニング処理よりも低強度のショットピーニングを行い、前記第１ショットピーニング処理よりも浅い表面近傍に更に残留応力を付与する第２ショットピーニング処理と、が施された被検体」を、表面特性検査の「被検体Ｍ」とすることも、
イ　該「被検体Ｍ」に対し、交流電力を交流ブリッジ回路２０に供給し、「検査検出器２３」によって前記「被検体」に「磁気」を「浸透」させるにあたり、交流電力の「周波数が、前記第１ショットピーニング処理により残留応力が付与された深さまで前記渦電流が浸透するように設定され」ることも、
ウ　「前記第２ショットピーニング処理後に実施された前記渦電流励起工程において前記交流ブリッジ回路から出力された出力信号と前記しきい値とを比較して、前記第１ショットピーニング処理が適正に行われたか否かを前記評価装置により判断する」ことも、
　記載や示唆はなされていない。
　また、引用文献２−４には、「二段階」の「ピーニング処理」（引用文献２）、「渦電流の深さ方向分布」を「利用して、ピーニング加工層の深さを検査する」こと（引用文献３）、及び、「励磁コイルに流す励磁電流の周波数を変更」すると「磁束の浸透深さが変化する」ことを利用して、「ショットピーニング」による「加工面の深さ方向における圧縮残留応力分布を測定する」こと（引用文献４）が記載されているものの、これらは、上記相違点１〜３に関する断片的な記載にすぎず、引用文献２−４は、上記相違点１〜３に係る本願発明１の構成を有機的に組み合わせることについて、何ら記載ないし、示唆するものではない。
　したがって、本願発明１は、上記相違点４について検討するまでもなく、引用発明及び引用文献２−４に記載された技術事項に基づいて当業者が容易に発明できたものとはいえない。
２　本願発明２−６、８について
　本願発明２−６、８は、本願発明１の発明特定事項を全て含むものであるから、本願発明１と同じ理由により、当業者であっても、引用発明及び引用文献２−４に記載された技術事項に基づいて容易に発明できたものとはいえない。
３　本願発明９−１１について
　本願発明９は、本願発明１に対応する物の発明であり、本願発明１０、１１は、本願発明９の発明特定事項を全て含んでおり、本願発明９−１１は、本願発明１の検討において、相違点としてあげた事項に対応する発明特定事項を含むものであるから、本願発明１と同様の理由により、当業者であっても、引用発明及び引用文献２−４に記載された技術事項に基づいて容易に発明できたものとはいえない。
４　まとめ
　以上のとおり、本願発明１−６、８−１１は、当業者であっても、引用発明及び引用文献２−４に記載された技術事項に基づいて、容易に発明をすることができたものとはいえない。したがって、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　なお、本願発明７は、原査定の対象となっていない。
第６　むすび
　以上のとおり、本願発明１−１１は、当業者が引用発明及び引用文献２−４に記載された技術事項に基づいて容易に発明できたものではない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。