【手続補正書】
【提出日】平成28年7月26日(2016.7.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ナノメートル規模の特徴部分を有する加工物を、少なくとも１つの荷電粒子ビームを使用することにより、全自動手順と手動補助手順の両方によって画像化および処理する装置であって、
ａ．加工物を処理する荷電粒子ビーム装置と、
ｂ．スケジュール入力エントリー装置と、第１の状態または第２の状態に置くことができ、前記荷電粒子ビームを使用する動作を操作員が実行可能かどうかを示す操作員準備完了入力とを含むユーザ・インタフェースと、
ｃ．全自動手順および手動補助手順を含む手順のスケジュールを前記スケジュール入力エントリー装置から受け取る手順スケジューラと、
ｄ．前記操作員準備完了入力が前記第２の状態にあるときに、前記操作員準備完了入力が前記第１の状態に置かれるまで、前記全自動手順をシーケンス処理し、前記操作員準備完了入力が前記第１の状態に置かれたときに、実行中の前記全自動手順に対する安全な終止点に到達した後、前記手動補助手順のシーケンス処理を開始する手順シーケンサと
を備える装置。
【請求項２】
前記装置が欠陥分析装置である、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記装置が微小寸法測定ＴＥＭまたはＳＴＥＭである、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記装置が、ウェーハから複数の薄片を抜き取り、それらを画像化用に調製するＴＥＭ調製装置である、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
１つの手動補助手順が、手順の終点を判定する手順である、請求項１から４のいずれか一項に記載の装置。
【請求項６】
１つの全自動手順が自動薄化手順である、請求項１から５のいずれか一項に記載の装置。
【請求項７】
前記装置がマイクロプロセッサを含み、さらに、前記マイクロプロセッサに通信可能に接続されたマイクロプロセッサ可読の非一時的記憶装置を含み、前記マイクロプロセッサ可読の非一時的記憶装置が、前記マイクロプロセッサ上で実行されたときに前記スケジューラを実現するプログラムを有する、請求項１から６のいずれか一項に記載の装置。
【請求項８】
前記装置がマイクロプロセッサを含み、さらに、前記マイクロプロセッサに通信可能に接続されたマイクロプロセッサ可読の非一時的記憶装置を含み、前記マイクロプロセッサ可読の非一時的記憶装置が、前記マイクロプロセッサ上で実行されたときに前記シーケンサを実現するプログラムを有する、請求項１から６のいずれか一項に記載の装置。
【請求項９】
前記シーケンサが、全自動手順の待ち行列および手動補助手順の待ち行列を維持する、請求項１から８のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１０】
前記シーケンサが、間に手動補助手順が差し込まれた全自動手順の単一の待ち行列を維持する、請求項１から８のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１１】
前記加工物が、前記装置によって順番に画像化および処理される一連の加工物のうちの１つの加工物であり、第１の加工物に対する前記全自動手順の実行が全て完了し、かつ前記操作員準備完了入力が作動状態にない場合に、前記シーケンサが、前記一連の加工物のうちの第２の加工物に対する全自動手順に進む、請求項１から１０のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１２】
前記第２の加工物に対する全自動手順に進んだ後に、前記操作員準備完了入力が押されたときに、前記シーケンサが、前記第１の加工物に対する手動補助手順に戻る、請求項１から１１のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１３】
前記スケジュール入力エントリー装置が、前記スケジュールを遠隔装置から受け取るためにネットワークに接続されたポートを含む、請求項１から１２のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１４】
ナノメートル規模の特徴部分を有する加工物を、少なくとも１つの荷電粒子ビームを使用することにより、全自動手順と手動補助手順の両方によって画像化および処理する装置であって、
ａ．荷電粒子ビーム装置と、
ｂ．スケジュール入力エントリー装置と、第１の状態または第２の状態に置くことができ、前記荷電粒子ビームを使用する動作を操作員が実行可能かどうかを示す操作員準備完了入力とを含むユーザ・インタフェースと、
ｃ．全自動手順および手動補助手順を含む手順のスケジュールを前記スケジュール入力エントリー装置から受け取る手順スケジューラと、
ｄ．前記操作員準備完了入力が前記第１の状態にあるときに、前記操作員準備完了入力が前記第２の状態に置かれるまで、手動補助手順をシーケンス処理し、前記操作員準備完了入力が前記第２の状態に置かれたときに、前記全自動手順のシーケンス処理を開始する手順シーケンサと
を備える装置。
【請求項１５】
前記装置が欠陥分析装置である、請求項１４に記載の装置。
【請求項１６】
前記装置が、手動補助手順が手順の終点を決定する手順である、請求項１４または１５に記載の装置。
【請求項１７】
全自動手順が自動薄化手順である、請求項１４から１６のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１８】
前記装置がマイクロプロセッサを含み、さらに、前記マイクロプロセッサに通信可能に接続されたマイクロプロセッサ可読の非一時的記憶装置を含み、前記マイクロプロセッサ可読の非一時的記憶装置が、前記マイクロプロセッサ上で実行されたときに前記スケジューラを実現するプログラムを有する、請求項１４から１７のいずれか一項に記載の装置。
【請求項１９】
前記装置がマイクロプロセッサを含み、さらに、前記マイクロプロセッサに通信可能に接続されたマイクロプロセッサ可読の非一時的記憶装置を含み、前記マイクロプロセッサ可読の非一時的記憶装置が、前記マイクロプロセッサ上で実行されたときに前記シーケンサを実現するプログラムを有する、請求項１４から１７のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２０】
前記シーケンサが、全自動手順の待ち行列および手動補助手順の待ち行列を維持する、請求項１４から１９のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２１】
前記シーケンサが、間に手動補助手順が差し込まれた全自動手順の単一の待ち行列を維持する、請求項１４から２９のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２２】
前記加工物が、前記装置によって順番に画像化および処理される一連の加工物のうちの１つの加工物であり、第１の加工物に対する前記手動補助手順の実行が全て完了し、かつ前記操作員準備完了入力が依然として前記第１の状態にある場合に、前記シーケンサが、前記一連の加工物のうちの第２の加工物での手動補助手順に進む、請求項１４から２１のいずれか一項に記載の装置。
【請求項２３】
前記第２の加工物に対する手動補助手順に進んだ後に、前記操作員準備完了入力が非作動状態に置かれたときに、前記シーケンサが、前記第１の加工物に対する全自動手順に戻る、請求項２２に記載の装置。
【請求項２４】
ナノメートル規模の特徴部分を有する加工物を、少なくとも１つの荷電粒子ビームを使用することにより、全自動手順と手動補助手順の両方によって画像化および処理する装置で使用する方法であって、前記装置が、スケジュール入力エントリー装置と、第１の状態または第２の状態に置くことができ、操作員が動作を実行可能かどうかを示す操作員準備完了入力とを含むユーザ・インタフェースを有しており、
ａ．前記スケジュール入力エントリー装置を介して導入された前記スケジュールを受け取るステップと、
ｂ．前記操作員準備完了入力が前記第１の状態にあるときに、前記操作員準備完了入力が前記第２の状態に置かれるまで、前記手動補助手順をシーケンス処理し、次いで前記全自動手順をシーケンス処理するステップであって、前記全自動手順は、前記加工物を画像化または処理するために、前記少なくとも１つの荷電粒子ビームを前記加工物に導くことを含む、ステップと
を含む方法。
【請求項２５】
前記スケジュールが、全自動手順のリストと、別個の手動補助手順のリストとを含む、請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
前記装置が欠陥分析装置である、請求項２４または２５に記載の方法。
【請求項２７】
前記装置が、微小寸法測定ＴＥＭまたはＳＴＥＭである、請求項２４または２５に記載の方法。
【請求項２８】
前記装置が、ウェーハから複数の薄片を抜き取り、それらを画像化用に調製するＴＥＭ調製装置である、請求項２４または２５に記載の方法。
【請求項２９】
前記スケジュールが、間に手動補助手順が差し込まれた全自動手順のリストを含む、請求項２４から２８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３０】
前記加工物が、前記装置によって順番に画像化および処理される一連の加工物のうちの１つの加工物であり、第１の加工物に対する前記手動補助手順の実行が全て完了し、かつ前記操作員準備完了入力が依然として前記第１の状態にある場合に、前記シーケンスが、前記一連の加工物のうちの第２の加工物に対する手動補助手順に進む、請求項２４から２９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３１】
前記第２の加工物に対する手動補助手順に進んだ後に、前記操作員準備完了入力が前記第２の状態に置かれたときに、前記シーケンスが、前記第１の加工物に対する全自動手順に戻る、請求項３０に記載の方法。
【請求項３２】
ナノメートル規模の特徴部分を有する加工物を、少なくとも１つの荷電粒子ビームを使用することにより、全自動手順と手動補助手順の両方によって画像化および処理する装置で使用する方法であって、前記装置が、スケジュール入力エントリー装置と、第１の状態または第２の状態に置くことができ、操作員が動作を実行可能かどうかを示す操作員準備完了入力とを含むユーザ・インタフェースを有しており、
ａ．前記スケジュール入力エントリー装置を介して導入された前記スケジュールを受け取るステップと、
ｂ．前記操作員準備完了入力が前記第２の状態にあるときに、前記操作員準備完了入力が前記第１の状態に置かれるまで、前記全自動手順をシーケンス処理し、次いで、実行中の前記自動手順に対する安全な終止点に到達した後に、前記手動補助手順をシーケンス処理するステップと
を含む方法。
【請求項３３】
前記スケジュールが、全自動手順のリストと、別個の手動補助手順のリストとを含む、請求項３２に記載の方法。
【請求項３４】
前記スケジュールが、間に手動補助手順が差し込まれた全自動手順のリストを含む、請求項３２または３３に記載の方法。
【請求項３５】
前記加工物が、前記装置によって順番に画像化および処理される一連の加工物のうちの１つの加工物であり、第１の加工物に対する前記全自動手順の実行が全て完了し、かつ前記操作員準備完了入力が押されていない場合に、前記シーケンスが、前記一連の加工物のうちの第２の加工物に対する全自動手順に進む、請求項３２から３４のいずれか一項に記載の方法。
【請求項３６】
前記第２の加工物に対する全自動手順に進んだ後に、前記操作員準備完了入力が押されたときに、前記シーケンスが、前記第１の加工物に対する手動補助手順に戻る、請求項３５に記載の方法。