【手続補正書】
【提出日】平成28年2月12日(2016.2.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光装置及びデバイス製造方法
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、露光装置及びデバイス製造方法に係り、さらに詳しくは、半導体素子（集積回路）、液晶表示素子等の電子デバイスを製造するためのリソグラフィ工程で用いられる露光装置及び該露光装置を用いるデバイス製造方法に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の第１の態様によれば、照明光でマスクを照明する照明光学系と、前記マスクのパターン像を基板上に投影する投影光学系と、を有し、前記照明光に対して前記マスクと前記基板をそれぞれ相対移動して前記基板を走査露光する露光装置であって、前記投影光学系を支持するメトロロジーフレームと、前記投影光学系の上方に配置され、前記照明光が通過する開口を有する定盤と、を有するボディ機構と、前記照明光が通過する開口内で前記マスクを保持するチャック部材を有し、前記走査露光において前記マスクが移動される、前記投影光学系の光軸と直交する所定面内の第１方向に関して移動可能なスライダを有し、前記定盤上に配置されるステージと、一部が前記ステージに設けられるモータを有し、前記モータによって前記ステージを移動する駆動系と、前記照明光学系と前記ステージとの間に配置され、前記照明光の光路を含む第１空間を形成するための隔壁部材と、を備え、前記隔壁部材は、前記光路を囲む筒状部と、前記筒状部の下端側に配置され、前記筒状部に対して前記第１方向の一側と他側にそれぞれ延設される一対の板状部と、を有し、前記一対の板状部はそれぞれ、前記走査露光においてその下方で移動される前記ステージの上面と対向可能な下面を有し、前記下面が前記所定面と実質的に平行となるように配置され、前記走査露光において、前記隔壁部材、前記ステージおよび前記マスクによって前記第１空間が実質的に気密に形成されるように、前記ステージはその上面が前記一対の板状部の下面と近接しつつ移動される露光装置が、提供される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
これによれば、マスクを保持するスライダを、大きな気密型の遮蔽容器で取り囲む必要が無くなる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明の第２の態様によれば、デバイス製造方法であって、第１の態様に係る露光装置を用いて基板を露光することと、前記露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法が、提供される。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４１】
本発明の露光装置は、基板を露光するのに適している。また、本発明のデバイス製造方法は、マイクロデバイスの製造に適している。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明光でマスクを照明する照明光学系と、前記マスクのパターン像を基板上に投影する投影光学系と、を有し、前記照明光に対して前記マスクと前記基板をそれぞれ相対移動して前記基板を走査露光する露光装置であって、
前記投影光学系を支持するメトロロジーフレームと、前記投影光学系の上方に配置され、前記照明光が通過する開口を有する定盤と、を有するボディ機構と、
前記照明光が通過する開口内で前記マスクを保持するチャック部材を有し、前記走査露光において前記マスクが移動される、前記投影光学系の光軸と直交する所定面内の第１方向に関して移動可能なスライダを有し、前記定盤上に配置されるステージと、
一部が前記ステージに設けられるモータを有し、前記モータによって前記ステージを移動する駆動系と、
前記照明光学系と前記ステージとの間に配置され、前記照明光の光路を含む第１空間を形成するための隔壁部材と、を備え、
前記隔壁部材は、前記光路を囲む筒状部と、前記筒状部の下端側に配置され、前記筒状部に対して前記第１方向の一側と他側にそれぞれ延設される一対の板状部と、を有し、
前記一対の板状部はそれぞれ、前記走査露光においてその下方で移動される前記ステージの上面と対向可能な下面を有し、前記下面が前記所定面と実質的に平行となるように配置され、
前記走査露光において、前記隔壁部材、前記ステージおよび前記マスクによって前記第１空間が実質的に気密に形成されるように、前記ステージはその上面が前記一対の板状部の下面と近接しつつ移動される露光装置。
【請求項２】
請求項１に記載の露光装置において、
前記走査露光において、前記ステージは、前記開口が形成される前記スライダの上面が前記一対の板状部の下面と近接しつつ移動される露光装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の露光装置において、
前記スライダは、前記第１方向の一端側と他端側にそれぞれ上面を有するカバー部材を有し、
前記走査露光において、前記ステージは、前記カバー部材の上面が前記一対の板状部の下面と近接しつつ移動される露光装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記筒状部は上端側が前記照明光学系に接続され、
前記第１空間内は湿度が１０％以下のガスが供給されるパージ空間である露光装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第１空間は湿度が１％以下のクリーンドライエアが供給されるパージ空間である露光装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記投影光学系と前記ステージとの間で前記照明光の光路を含む第２空間を形成するための第２隔壁部材を、さらに備え、
前記第２空間は、前記第２隔壁部材、前記定盤、前記ステージ、および前記マスクによって気密に形成される露光装置。
【請求項７】
請求項６に記載の露光装置において、
前記第２隔壁部材は上端側が前記定盤に接続され、下端側が前記投影光学系に接続され、
前記第２空間は湿度が１％以下のクリーンドライエアが供給されるパージ空間である露光装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記駆動系によって移動される前記ステージが近接可能に配置され、前記スライダおよび前記マスクの少なくとも一方を冷却する冷却部材を、さらに備える露光装置。
【請求項９】
請求項８に記載の露光装置において、
前記冷却部材は、前記一対の板状部の少なくとも一部として設けられる露光装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記定盤上に配置され、前記スライダを囲む枠状のカウンタマスを、さらに備え、
前記モータは、前記所定面内で前記第１方向と直交する第２方向に関して前記スライダの開口を挟んで配置される一対の可動子と、前記カウンタマスに配置される一対の固定子と、を有し、前記第１方向を含む複数の方向に関して前記ステージを移動可能である露光装置。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記チャック部材は、前記スライダの開口内で前記第２方向に離れて配置され、それぞれ前記マスクの下面を保持する一対のバキュームチャックを有し、
前記ステージは、前記スライダに配置され、前記マスクを複数点で押圧する固定装置を有し、
前記マスクは、前記一対のバキュームチャックと前記固定装置によって前記スライダに保持される露光装置。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記定盤は、複数の防振ユニットを介して設けられ、
前記複数の防振ユニットで支持される前記定盤を駆動する複数のアクチュエータを、さらに備える露光装置。
【請求項１３】
デバイス製造方法であって、
請求項１〜１２のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
前記露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。