【手続補正書】
【提出日】平成28年7月12日(2016.7.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ターゲット物質にレーザ光を照射して極端紫外光を生成し、前記極端紫外光を露光装置に出力する極端紫外生成システムであって、
前記ターゲット物質に照射する前記レーザ光を出力するレーザ装置と、
前記レーザ装置から出力された前記レーザ光を集光するように構成された集光光学系と、
前記ターゲット物質を出力するターゲット生成器と、
前記極端紫外光の生成位置を検出する極端紫外光モニタと、
前記極端紫外光の生成を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記極端紫外光の前記生成位置を所定の指定位置に指定する生成位置指定信号を受信すると、
前記レーザ光の集光位置が前記指定位置となるよう前記集光光学系を調節すると共に、
前記ターゲット物質が前記指定位置を通過するよう前記ターゲット生成器の位置を調節し、
前記極端紫外光モニタによって検出された前記生成位置を受信すると、
受信した前記生成位置が許容範囲内に含まれているか否かを判定した結果、受信した前記生成位置が前記許容範囲内に含まれていない場合に、
受信した前記生成位置が前記許容範囲内に含まれるよう前記ターゲット生成器の位置と前記集光光学系との少なくとも一方を調節する、
極端紫外光生成システム。
【請求項２】
前記生成位置指定信号は、前記露光装置から送信された信号である、
請求項１に記載の極端紫外光生成システム。
【請求項３】
前記制御部は、前記レーザ光を出力させるレーザ出力信号を前記レーザ装置に送信する、
請求項１に記載の極端紫外光生成システム。
【請求項４】
前記制御部は、前記極端紫外光モニタによって検出された前記生成位置を受信する前に、前記レーザ出力信号を送信する、
請求項３に記載の極端紫外光生成システム。
【請求項５】
前記制御部は、前記ターゲット物質を出力させるターゲット出力信号を前記ターゲット生成器に送信する、
請求項１に記載の極端紫外光生成システム。
【請求項６】
前記制御部は、前記ターゲット生成器の位置を調節する前に、前記ターゲット出力信号を送信する、
請求項５に記載の極端紫外光生成システム。
【請求項７】
前記制御部は、露光停止を通知する露光停止信号を前記露光装置に送信する、
請求項１に記載の極端紫外光生成システム。
【請求項８】
前記制御部は、前記生成位置指定信号を受信した後に、前記露光停止信号を送信する、
請求項７に記載の極端紫外光生成システム。
【請求項９】
前記制御部は、露光許可を通知する露光許可信号を前記露光装置に送信する、
請求項１に記載の極端紫外光生成システム。
【請求項１０】
前記制御部は、受信した前記生成位置が前記許容範囲内に含まれた後に、前記露光許可信号を送信する、
請求項９に記載の極端紫外光生成システム。
【請求項１１】
前記制御部は、
前記生成位置指定信号を受信した後に、露光停止を通知する露光停止信号を前記露光装置に送信し、
前記ターゲット生成器の位置を調節する前に、前記ターゲット物質を出力させるターゲット出力信号を前記ターゲット生成器に送信し、
前記極端紫外光モニタによって検出された前記生成位置を受信する前に、前記レーザ光を出力させるレーザ出力信号を前記レーザ装置に送信し、
受信した前記生成位置が前記許容範囲内に含まれた後に、露光許可を通知する露光許可信号を前記露光装置に送信する、
請求項１に記載の極端紫外光生成システム。
【請求項１２】
前記レーザ物質によって反射された前記レーザ光である戻り光を検出するように構成された検出器を更に備え、
前記制御部は、前記検出器の検出結果に基づいて、前記レーザ光の集光位置を制御する、
請求項１に記載の極端紫外光生成システム。
【請求項１３】
前記検出器は、イメージセンサ又は波面計を含む、
請求項１２に記載の極端紫外光生成システム。
【請求項１４】
前記制御部は、前記極端紫外光モニタによって検出された前記生成位置を受信する前に、前記検出器の検出結果に基づいて、前記レーザ光の集光位置を制御する、
請求項１２に記載の極端紫外光生成システム。
【請求項１５】
前記検出器は、前記戻り光の波面を検出する波面計を含み、
前記制御部は、前記波面計の検出結果を用いて、前記レーザ光の集光位置が、前記レーザ光の光軸方向に沿って、前記ターゲット物質の手前側にずれているか、奥側にずれているかを演算し、この演算結果に基づいて、前記レーザ光の集光位置を制御する、
請求項１２に記載の極端紫外光生成システム。
【請求項１６】
前記ターゲット物質を拡散させる第１レーザ光の集光位置を制御する第１レーザ光制御部を更に備え、
前記レーザ装置は、前記第１レーザ光を出力する第１レーザ装置を含み、
前記制御部は、前記第１レーザ光制御部を制御する、
請求項１２に記載の極端紫外光生成システム。
【請求項１７】
前記第１レーザ光制御部は、波面調節器を含む、
請求項１６に記載の極端紫外光生成システム。
【請求項１８】
前記第１レーザ光を減衰させる減衰部と、
前記第１レーザ光の光路に対する前記減衰部の出し入れを行う移動部と、
を更に備え、
前記制御部は、前記移動部の駆動を制御して、前記減衰部の出し入れが行われる出し入れ時期を制御する、
請求項１６に記載の極端紫外光生成システム。
【請求項１９】
前記制御部は、前記露光装置に出力される前記極端紫外光が生成されない期間において前記減衰部の出し入れが行われるよう前記出し入れ時期を制御する、
請求項１８に記載の極端紫外光生成システム。
【請求項２０】
前記減衰部の出し入れは、前記減衰部を前記第１レーザ光の光路上に移動させると共に前記光路上に移動された前記減衰部を前記第１レーザ光の光路外に移動させることであって、
前記制御部は、
前記生成位置指定信号を受信した後に、前記減衰部が前記光路上に移動し、
前記露光装置に出力される前記極端紫外光を生成するための前記レーザ光が出力される前に、前記光路上に移動された前記減衰部が前記光路外に移動するよう、
前記出し入れ時期を制御する、
請求項１８に記載の極端紫外光生成システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】極端紫外光生成システム
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本開示は、極端紫外光生成システムに関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本開示の一態様による極端紫外光生成システムは、ターゲット物質にレーザ光を照射して極端紫外光を生成し、前記極端紫外光を露光装置に出力する極端紫外生成システムであって、前記ターゲット物質に照射する前記レーザ光を出力するレーザ装置と、前記レーザ装置から出力された前記レーザ光を集光するように構成された集光光学系と、前記ターゲット物質を出力するターゲット生成器と、前記極端紫外光の生成位置を検出する極端紫外光モニタと、前記極端紫外光の生成を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記極端紫外光の前記生成位置を所定の指定位置に指定する生成位置指定信号を受信すると、前記レーザ光の集光位置が前記指定位置となるよう前記集光光学系を調節すると共に、前記ターゲット物質が前記指定位置を通過するよう前記ターゲット生成器の位置を調節し、前記極端紫外光モニタによって検出された前記生成位置を受信すると、受信した前記生成位置が許容範囲内に含まれているか否かを判定した結果、受信した前記生成位置が前記許容範囲内に含まれていない場合に、受信した前記生成位置が前記許容範囲内に含まれるよう前記ターゲット生成器の位置と前記集光光学系との少なくとも一方を調節してもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】削除
【補正の内容】