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【手続補正書】
【提出日】平成28年6月14日(2016.6.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
薄膜トランジスタを有するアクティブマトリクス基板であって、
前記薄膜トランジスタは、
基板上に配設された半導体膜と、
前記半導体膜上に配設されたソース電極およびドレイン電極と、
前記ソース電極と前記ドレイン電極との間に配設された前記半導体膜の部分であるチャネル部と、
前記ソース電極、前記ドレイン電極および前記チャネル部を覆う絶縁膜と、
前記チャネル部の上方に前記絶縁膜を介して配設されたゲート電極とを含み、
前記アクティブマトリクス基板は、
前記薄膜トランジスタの前記ドレイン電極に接続された画素電極と、
前記薄膜トランジスタの前記ソース電極に接続されたソース配線と、
前記薄膜トランジスタの前記ゲート電極に接続されたゲート配線とをさらに備え、
前記ソース電極、ドレイン電極および前記ソース配線は、前記画素電極と同層の導電膜を含み、
前記ソース配線および前記画素電極の下には、前記半導体膜と同層の半導体層が配設されている
ことを特徴とするアクティブマトリクス基板。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
前記ソース配線の端部に設けられたソース端子と、
前記ゲート配線の端部に設けられたゲート端子とをさらに備え、
前記絶縁膜は、前記ソース配線およびソース端子も覆っており、
前記絶縁膜上に、前記ゲート端子と同層の導電膜によりなりコンタクトホールを通して前記ソース端子に接続したソース端子パッドをさらに備える
請求項１記載のアクティブマトリクス基板。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項９】
前記共通電極と同層の導電膜によりなり、前記共通電極に共通電位を供給する共通配線をさらに備える
請求項５から請求項８のいずれか一項記載のアクティブマトリクス基板。
【手続補正４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１０】
前記ソース配線と同層の導電膜によりなり、前記共通配線に並列接続する冗長共通配線をさらに備える
請求項９記載のアクティブマトリクス基板。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明に係るアクティブマトリクス基板は、薄膜トランジスタを有するアクティブマトリクス基板であって、前記薄膜トランジスタは、基板上に配設された半導体膜と、前記半導体膜上に配設されたソース電極およびドレイン電極と、前記ソース電極と前記ドレイン電極との間に配設された前記半導体膜の部分であるチャネル部と、前記ソース電極、前記ドレイン電極および前記チャネル部を覆う絶縁膜と、前記チャネル部の上方に前記絶縁膜を介して配設されたゲート電極とを含み、前記アクティブマトリクス基板は、前記薄膜トランジスタの前記ドレイン電極に接続された画素電極と、前記薄膜トランジスタの前記ソース電極に接続されたソース配線と、前記薄膜トランジスタの前記ゲート電極に接続されたゲート配線とをさらに備え、前記ソース電極、ドレイン電極、前記ソース配線は、前記画素電極と同層の導電膜を含み、前記ソース配線および前記画素電極の下には、前記半導体膜と同層の半導体層が配設されていることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成28年1月7日(2016.1.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
（銅箔）
本発明で用いられる銅箔は、回路基板において用いられる銅箔であれば、特に限定されず、圧延銅箔、電解銅箔のいずれであってもよい。また、銅箔は、銅と他の金属の合金であってもよい。
銅箔の厚さは、例えば、５〜１５０μｍであってもよく、好ましくは６〜１３０μｍ、より好ましくは９〜１１０μｍの範囲であってもよい。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９６】
（比較例２）
粗化処理において、亜塩素酸ナトリウム３１ｇ／Ｌ、水酸化ナトリウム１５ｇ／Ｌ、およびリン酸三ナトリウム１２ｇ／Ｌを含む黒化処理液を用い、９５℃で２分間粗化処理を行う以外は、実施例１と同様にして多層配線板を作製した。粗化処理後の銅箔表面を５０００倍で拡大した走査型顕微鏡写真を図５に示す。図５に示すように、銅箔表面には、とげ状の先端を有する突出部が数多く形成されている。
【手続補正書】
【提出日】平成28年6月24日(2016.6.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ媒質に対する励起光を発生させるフラッシュランプと、前記フラッシュランプの駆動を行う電源回路と、前記電源回路を制御するレーザ制御手段と、を有し、被検体に対してレーザ光を照射するレーザ装置と、
前記レーザ光に起因して前記被検体内で発生する音響波を受信する音響波探触子と、
前記レーザ制御手段および前記音響波探触子を制御し、前記受信した音響波に基づいて、前記被検体内の情報を取得する測定制御手段と、
を有し、
前記測定制御手段は、前記フラッシュランプの発光開始時刻および放電開始時刻の少なくとも一方において、前記レーザ制御手段との入出力を停止する
ことを特徴とする、被検体情報取得装置。
【請求項２】
前記レーザ制御手段は、前記測定制御手段との入出力を停止する場合に、前記測定制御手段に対して入出力を禁止する命令を送信し、
前記測定制御手段は、前記命令に基づいて、前記フラッシュランプの発光開始時刻および前記放電開始時刻の少なくとも一方を含む所定の期間における入出力を停止する
ことを特徴とする、請求項１に記載の被検体情報取得装置。
【請求項３】
前記測定制御手段が前記入出力を停止する期間の終期は、前記フラッシュランプに印加されている電圧または前記フラッシュランプに流れている電流が所定値以下となった時刻である
ことを特徴とする、請求項１または２に記載の被検体情報取得装置。
【請求項４】
レーザ媒質に対する励起光を発生させるフラッシュランプと、
前記フラッシュランプの駆動を行う電源回路と、
前記励起光によって発生するレーザ光に関する制御を少なくとも行う周辺回路と、
前記電源回路および前記周辺回路を制御する制御手段と、
を有するレーザ装置であって、
前記制御手段は、前記フラッシュランプの発光開始時刻において、前記周辺回路との入出力を停止する
ことを特徴とするレーザ装置。
【請求項５】
前記電源回路は、
予備放電を行うための電圧を発生させるシマー回路と、
前記フラッシュランプを発光させるためのパルス電流を発生させるパルス回路と、からなり、
前記制御手段が前記入出力を停止する期間の終期は、前記フラッシュランプに流れている電流が所定値以下となった時刻である
ことを特徴とする、請求項４に記載のレーザ装置。
【請求項６】
前記制御手段は、前記周辺回路との入出力を停止する場合に、前記周辺回路に対して入出力を禁止する命令を送信し、
前記周辺回路は、前記命令に基づいて、前記フラッシュランプの発光開始時刻を含む所定の期間における前記制御手段との入出力を停止する
ことを特徴とする、請求項４または５に記載のレーザ装置。
【請求項７】
レーザ媒質に対する励起光を発生させるフラッシュランプと、
前記フラッシュランプの駆動を行う電源回路と、
前記励起光によって発生するレーザ光に関する制御を少なくとも行う周辺回路と、
前記電源回路および前記周辺回路を制御する制御手段と、
を有するレーザ装置であって、
前記制御手段は、前記フラッシュランプの放電開始時刻において、前記周辺回路との入出力を停止する
ことを特徴とするレーザ装置。
【請求項８】
前記電源回路は、
予備放電を行うための電圧を発生させるシマー回路と、
前記予備放電を開始させるためのトリガ電圧を発生させるトリガ回路と、からなり、
前記制御手段が前記入出力を停止する期間の終期は、前記フラッシュランプに印加されているトリガ電圧が所定値以下となった時刻である
ことを特徴とする、請求項７に記載のレーザ装置。
【請求項９】
前記制御手段は、前記周辺回路との入出力を停止する場合に、前記周辺回路に対して入出力を禁止する命令を送信し、
前記周辺回路は、前記命令に基づいて、前記フラッシュランプの放電開始時刻を含む所定の期間における前記制御手段との入出力を停止する
ことを特徴とする、請求項７または８に記載のレーザ装置。
【請求項１０】
レーザ媒質に対する励起光を発生させるフラッシュランプと、
前記フラッシュランプの駆動を行う電源回路と、
前記励起光によって発生するレーザ光に関する制御を少なくとも行う周辺回路と、
前記電源回路および前記周辺回路を制御する制御手段と、
を有するレーザ装置の制御方法であって、
前記フラッシュランプの放電開始時刻および発光開始時刻の少なくとも一方において、前記制御手段と前記周辺回路との間の通信を停止する
ことを特徴とするレーザ装置の制御方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係る被検体情報取得装置は、
レーザ媒質に対する励起光を発生させるフラッシュランプと、前記フラッシュランプの駆動を行う電源回路と、前記電源回路を制御するレーザ制御手段と、を有し、被検体に対してレーザ光を照射するレーザ装置と、前記レーザ光に起因して前記被検体内で発生する音響波を受信する音響波探触子と、前記レーザ制御手段および前記音響波探触子を制御し、前記受信した音響波に基づいて、前記被検体内の情報を取得する測定制御手段と、を有し、前記測定制御手段は、前記フラッシュランプの発光開始時刻および放電開始時刻の少なくとも一方において、前記レーザ制御手段との入出力を停止することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
また、本発明の第一の形態に係るレーザ装置は、
レーザ媒質に対する励起光を発生させるフラッシュランプと、前記フラッシュランプの駆動を行う電源回路と、前記励起光によって発生するレーザ光に関する制御を少なくとも行う周辺回路と、前記電源回路および前記周辺回路を制御する制御手段と、を有するレーザ装置であって、前記制御手段は、前記フラッシュランプの発光開始時刻において、前記周辺回路との入出力を停止することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明の第二の形態に係るレーザ装置は、
レーザ媒質に対する励起光を発生させるフラッシュランプと、前記フラッシュランプの駆動を行う電源回路と、前記励起光によって発生するレーザ光に関する制御を少なくとも行う周辺回路と、前記電源回路および前記周辺回路を制御する制御手段と、を有するレーザ装置であって、前記制御手段は、前記フラッシュランプの放電開始時刻において、前記周辺回路との入出力を停止することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
また、本発明に係るレーザ装置の制御方法は、
レーザ媒質に対する励起光を発生させるフラッシュランプと、前記フラッシュランプの駆動を行う電源回路と、前記励起光によって発生するレーザ光に関する制御を少なくとも
行う周辺回路と、前記電源回路および前記周辺回路を制御する制御手段と、を有するレーザ装置の制御方法であって、前記フラッシュランプの放電開始時刻および発光開始時刻の少なくとも一方において、前記制御手段と前記周辺回路との間の通信を停止することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成28年1月6日(2016.1.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放送波および前記放送波に重畳されて伝送される信号の少なくとも一方を受信する第１および第２のアンテナエレメントと、
前記第１および前記第２のアンテナエレメントの共通のグランドとして機能するグランドエレメントとを有し、
前記第１のアンテナエレメントおよび前記第２のアンテナエレメントの少なくとも一方の取付角度が調整可能とされる
アンテナ装置。
【請求項２】
前記第１のアンテナエレメントが所定面に設置された状態で前記第２のアンテナエレメントが前記所定面に対する高さ方向に位置する
請求項１に記載のアンテナ装置。
【請求項３】
前記所定面は、車のダッシュボードである
請求項２に記載のアンテナ装置。
【請求項４】
前記グランドエレメントが、当該アンテナ装置が設置される車の車体の金属部分との間で容量結合するようになされた
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のアンテナ装置。
【請求項５】
前記第１および前記第２のアンテナエレメントと、前記グランドエレメントとが接続され、前記第１および前記第２のアンテナエレメントが受信した信号が取り出される給電部を有する
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のアンテナ装置。
【請求項６】
前記給電部が所定のケースに収納され、
前記第１および前記第２のアンテナエレメントの少なくとも一方が、前記ケースに対して着脱自在とされる
請求項５に記載のアンテナ装置。
【請求項７】
前記第１および前記第２のアンテナエレメントの少なくとも一方が、丸型のコネクタを介して前記ケースに装着される
請求項６に記載のアンテナ装置。
【請求項８】
前記ケースの主面を上下に反転させた状態で使用できるようにした
請求項６または請求項７に記載のアンテナ装置。
【請求項９】
前記主面および前記主面の反対面に、当該アンテナ装置の設置方向を示すマークが付される
請求項８に記載のアンテナ装置。
【請求項１０】
前記第１および前記第２のアンテナエレメントが所定の設置状態において、両者の相関係数が設定値に比して小となる
請求項１乃至請求項９のいずれかに記載のアンテナ装置。
【請求項１１】
前記給電部上に、前記第１のアンテナエレメントに接続される第１のアンプと、前記第２のアンテナエレメントに接続される第２のアンプとが形成される
請求項５乃至請求項１０のいずれかに記載のアンテナ装置。
【請求項１２】
前記給電部に対して前記信号を伝送するためのケーブルが接続され、
前記ケーブルにフェライト材が使用される
請求項５乃至請求項１１のいずれかに記載のアンテナ装置。
【請求項１３】
前記ケーブルが同軸ケーブルとして構成され、網組線の外側に前記フェライト材が被覆される
請求項１２に記載のアンテナ装置。
【請求項１４】
前記ケーブルに金属箔テープが使用される
請求項１３に記載のアンテナ装置。
【請求項１５】
前記給電部に対して前記信号を伝送するためのケーブルが接続され、
前記ケーブルが差動線路により構成される
請求項５乃至請求項１１のいずれかに記載のアンテナ装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
図１３および図１５から、ワイヤーアンテナエレメント１０２およびロッドアンテナエレメント１０３の指向性が互いに異なり、かつ、その指向性を互いに補完しうるものであることが確認された。具体的には、ワイヤーアンテナエレメント１０２のヌル点をロッドアンテナエレメント１０３が補完し、また、ロッドアンテナエレメント１０３のヌル点をワイヤーアンテナエレメント１０２が補完していることが確認された。この結果、アンテナ装置１０全体としてヌル点を低減できる、ダイバーシティ機能を実現することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
一実施形態では、同軸ケーブルの引き出し方向をフロントガラス側とした。しかしながら、図１９に示すように、ケースの同一側面にロッドアンテナエレメントと同軸ケーブルを接続するようにしても良い。そして、同軸ケーブルを、例えば、運転者側に引き出すようにしても良い。このように、アンテナエレメントやグランドエレメント、同軸ケーブルのケースへの接続箇所は、適宜変更することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成28年6月23日(2016.6.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに感度が異なる第１感度及び第２感度で放射線を検知する複数のセンサが配列されたセンサアレイと、
前記センサアレイの各センサを行ごとに選択する行選択部と、
前記行選択部により選択された行の各センサから信号を読み出す信号読出部と、
制御部と、を備え、
前記複数のセンサのそれぞれは、前記第１感度で取得した第１信号を保持する第１保持部と、前記第２感度で取得した第２信号を保持する第２保持部とを有し、
前記制御部は、
前記複数のセンサにおいて前記第１信号が前記第１保持部に一括で保持され、且つ、前記複数のセンサにおいて前記第２信号が前記第２保持部に一括で保持されるように前記センサアレイを制御する第１の制御と、
当該第１の制御により得られた前記第１信号と前記第２信号とが前記信号読出部により各センサから行ごとに読み出されるように前記行選択部を制御する第２の制御と
を行い、
前記第２の制御では、前記行選択部は、前記行選択部により選択されている行の各センサの前記第１保持部が保持する前記第１信号と前記第２保持部が保持する前記第２信号とが前記信号読出部により読み出された後に、前記選択されている行とは異なる他の行の各センサを選択する、
ことを特徴とする放射線撮像装置。
【請求項２】
前記行選択部により選択されている行の各センサのうち、前記信号読出部により信号が読み出されるべきセンサを列ごとに選択する列選択部をさらに備え、
前記第２の制御では、前記制御部は、前記列選択部により選択されている列のセンサの前記第１保持部が保持する前記第１信号と前記第２保持部が保持する前記第２信号とが前記信号読出部により読み出された後に、次の列のセンサが選択されるように前記列選択部をさらに制御する、
ことを特徴とする請求項１に記載の放射線撮像装置。
【請求項３】
前記行選択部により選択されている行の各センサのうち、前記信号読出部により信号が読み出されるべきセンサを列ごとに選択する列選択部をさらに備え、
前記第２の制御では、前記制御部は、前記行選択部により選択されている行の各センサの前記第１保持部が保持する前記第１信号が前記信号読出部により読み出された後に、当該行の各センサの前記第２保持部が保持する前記第２信号が前記信号読出部により読み出されるように前記列選択部をさらに制御する、
ことを特徴とする請求項１に記載の放射線撮像装置。
【請求項４】
動作モードに応じて、前記第１信号と、前記第２信号と、前記第１信号と前記第２信号との合成信号と、のいずれか１つを出力する、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の放射線撮像装置。
【請求項５】
前記第１信号及び前記第２信号の一方を出力する動作モードにおいて当該一方を出力することができない場合に、前記第１信号及び前記第２信号の他方に基づく信号を当該一方の代わりに出力する、
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の放射線撮像装置。
【請求項６】
前記複数のセンサのそれぞれは、放射線量に応じた電気信号を出力する変換素子と、前記変換素子に接続された第１容量と、前記変換素子にスイッチ素子を介して接続された第２容量とを有し、
前記制御部は、前記スイッチ素子を用いて各センサの感度を変更する、
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の放射線撮像装置。
【請求項７】
前記センサアレイは、各々が複数のセンサを有する複数のセンサユニットが基台の上に配列されて形成されている、
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の放射線撮像装置。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の放射線撮像装置と、
前記放射線撮像装置からの信号を処理する処理部と、
を備えることを特徴とする放射線検査装置。
【請求項９】
互いに感度が異なる第１感度及び第２感度で放射線を検知する複数のセンサが配列されたセンサアレイと、前記センサアレイの各センサを行ごとに選択する行選択部と、前記行選択部により選択された行の各センサから信号を読み出す信号読出部と、を備える放射線撮像装置の制御方法であって、
前記複数のセンサのそれぞれは、前記第１感度で取得した第１信号を保持する第１保持部と、前記第２感度で取得した第２信号を保持する第２保持部とを有し、
前記放射線撮像装置の制御方法は、
前記複数のセンサにおいて前記第１信号が前記第１保持部に一括で保持され、且つ、前記複数のセンサにおいて前記第２信号が前記第２保持部に一括で保持されるように前記センサアレイを制御する第１の制御工程と、
前記第１の制御工程により得られた前記第１信号と前記第２信号とが前記信号読出部により各センサから行ごとに読み出されるように前記行選択部を制御する第２の制御工程とを有し、
前記第２の制御工程では、前記行選択部は、前記行選択部により選択されている行の各センサの前記第１保持部が保持する前記第１信号と前記第２保持部が保持する前記第２信号とが前記信号読出部により読み出された後に、前記選択されている行とは異なる他の行の各センサを選択する、
ことを特徴とする放射線撮像装置の制御方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の一つの側面は放射線撮像装置にかかり、互いに感度が異なる第１感度及び第２感度で放射線を検知する複数のセンサが配列されたセンサアレイと、前記センサアレイの各センサを行ごとに選択する行選択部と、前記行選択部により選択された行の各センサから信号を読み出す信号読出部と、制御部と、を備え、前記複数のセンサのそれぞれは、前記第１感度で取得した第１信号を保持する第１保持部と、前記第２感度で取得した第２信号を保持する第２保持部とを有し、前記制御部は、前記複数のセンサにおいて前記第１信号が前記第１保持部に一括で保持され、且つ、前記複数のセンサにおいて前記第２信号が前記第２保持部に一括で保持されるように前記センサアレイを制御する第１の制御と、当該第１の制御により得られた前記第１信号と前記第２信号とが前記信号読出部により各センサから行ごとに読み出されるように前記行選択部を制御する第２の制御とを行い、前記第２の制御では、前記行選択部は、前記行選択部により選択されている行の各センサの前記第１保持部が保持する前記第１信号と前記第２保持部が保持する前記第２信号とが前記信号読出部により読み出された後に、前記選択されている行とは異なる他の行の各センサを選択することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成28年6月28日(2016.6.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
動画データを再生する再生手段と、
前記再生手段により再生された動画データを表示装置に出力する出力手段と、
動画データを取得する撮像手段と、
動画データを記録する記録手段と、
前記再生手段により第１の動画データを再生して前記出力手段により前記第１の動画データを前記表示装置に出力しながら、前記撮像手段により第２の動画データを取得して前記記録手段により前記第２の動画データを記録する場合に、前記第２の動画データにおける複数のフレームについて、前記複数のフレームがそれぞれ前記撮像手段により取得されたときに前記表示装置に出力されていた前記第１の動画データにおけるフレームを識別するための付加情報を生成し、前記付加情報を前記第２の動画データと共に記録するように前記記録手段を制御する制御手段とを備える画像処理装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記第２の動画データを再生しながら前記第１の動画データを再生するように前記再生手段を制御し、前記第２の動画データを再生しながら前記第１の動画データを再生する場合に、前記第２の動画データと共に記録された前記付加情報に基づいて、前記第２の動画データの複数のフレームがそれぞれ前記撮像手段により取得されたときに前記表示装置に出力されていた前記第１の動画データにおけるフレームが、前記第２の動画データの複数のフレームに同期して再生されるように、前記再生手段を制御することを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記第２の動画データを記録したときに再生されていた前記第１の動画データを識別するための情報を含む前記付加情報を生成することを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項４】
前記再生手段は、通常再生速度とは異なる再生速度で動画データを再生可能であり、前記制御手段は、前記第２の動画データにおける複数のフレームについて、前記第２の動画データの記録中に再生されている前記第１の動画データの再生速度に関する情報を生成し、前記再生速度に関する情報を含む前記付加情報を記録するように前記記録手段を制御することを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項５】
前記再生手段は、動画データの再生方向を順方向と逆方向とに変更することが可能であり、前記制御手段は、前記第２の動画データにおける複数のフレームについて、前記第２の動画データの記録中に再生されている前記第１の動画データの再生方向に関する情報を生成し、前記再生方向に関する情報を含む前記付加情報を記録するように前記記録手段を制御することを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項６】
前記再生手段は、記録媒体から前記第１の動画データを再生し、前記記録手段は、前記記録媒体に前記第２の動画データと前記付加情報とを記録することを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項７】
動画データを再生する再生手段と、
前記再生手段により再生された動画データを表示装置に出力する出力手段と、
動画データを取得する撮像手段と、
動画データを記録する記録手段と、
前記再生手段により第１の動画データを再生しながら、前記撮像手段により第２の動画データを取得して前記記録手段により前記第２の動画データを記録する場合に、前記第２の動画データにおける複数のフレームがそれぞれ前記撮像手段により取得されたときに前記表示装置に出力されていた前記第１の動画データにおけるフレームを用いて第３の動画データを生成すると共に前記第３の動画データと前記第２の動画データとを関連づけるための付加情報を生成し、前記第３の動画データと前記付加情報とを前記第２の動画データと共に記録するように前記記録手段を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記第３の動画データと共に記録された前記付加情報に基づいて、前記第２の動画データを再生しながら、前記第３の動画データを再生するように前記再生手段を制御する画像処理装置。
【請求項８】
動画データを再生する再生工程と、
前記再生工程において再生された動画データを表示装置に出力する出力工程と、
動画データを取得する撮像工程と、
動画データを記録する記録工程と、
前記再生工程において第１の動画データを再生して前記第１の動画データを前記出力工程により前記表示装置に出力しながら、前記撮像工程において第２の動画データを取得して前記記録工程において前記第２の動画データを記録する場合に、前記第２の動画データにおける複数のフレームについて、前記複数のフレームがそれぞれ前記撮像工程において取得されたときに前記表示装置に出力されていた前記第１の動画データにおけるフレームを識別するための付加情報を生成し、前記付加情報を前記第２の動画データと共に記録するように前記記録工程を制御する制御工程とを備える画像処理方法。
【請求項９】
動画データを再生する再生工程と、
前記再生工程において再生された動画データを表示装置に出力する出力工程と、
動画データを取得する撮像工程と、
動画データを記録する記録工程と、
前記再生工程において第１の動画データを再生して前記第１の動画データを前記出力工程により前記表示装置に出力しながら、前記撮像工程により第２の動画データを取得して前記記録工程において前記第２の動画データを記録する場合に、前記第２の動画データにおける複数のフレームがそれぞれ前記撮像工程により取得されたときに前記表示装置に出力されていた前記第１の動画データにおけるフレームを用いて第３の動画データを生成すると共に前記第３の動画データと前記第２の動画データとを関連づけるための付加情報を生成し、前記第３の動画データと前記付加情報とを前記第２の動画データと共に記録するように前記記録工程を制御する制御工程とを備え、
前記制御工程は、前記第３の動画データと共に記録された前記付加情報に基づいて、前記第２の動画データを再生しながら、前記第３の動画データを再生するように前記再生工程を制御する画像処理方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の画像処理装置は、動画データを再生する再生手段と、前記再生手段により再生された動画データを表示装置に出力する出力手段と、動画データを取得する撮像手段と、動画データを記録する記録手段と、前記再生手段により第１の動画データを再生して前記出力手段により前記第１の動画データを前記表示装置に出力しながら、前記撮像手段により第２の動画データを取得して前記記録手段により前記第２の動画データを記録する場合に、前記第２の動画データにおける複数のフレームについて、前記複数のフレームがそれぞれ前記撮像手段により取得されたときに前記表示装置に出力されていた前記第１の動画データにおけるフレームを識別するための付加情報を生成し、前記付加情報を前記第２の動画データと共に記録するように前記記録手段を制御する制御手段とを備える。
【手続補正書】
【提出日】平成28年6月24日(2016.6.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
近接無線通信を行う通信手段及び印刷手段を有し、前記通信手段を介して通信端末から要求されたデータの印刷を実行する印刷装置であって、
前記通信手段を介して前記通信端末から、当該通信端末または当該通信端末のユーザを特定するためのＩＤ情報を受信する受信手段と、
該受信手段でＩＤ情報を受信した場合、通信端末から前記通信手段を介して要求された印刷対象のデータの印刷に対する料金支払い手続きのための通信待機状態に遷移する遷移手段と、
該遷移手段による前記通信待機状態で前記通信手段を介して通信端末を検出したとき、当該通信端末のＩＤ情報が、前記受信手段により受信されたＩＤ情報と一致することを条件に、前記印刷対象のデータの印刷に対する課金処理と、当該印刷対象のデータの前記印刷手段による印刷処理とを実行する実行手段と、
を有することを特徴とする印刷装置。
【請求項２】
前記遷移手段によって通信待機状態にあるときに、前記通信手段を介して通信端末を検出し、当該通信端末に対応するＩＤ情報が、前記受信手段により受信されたＩＤ情報と一致し、かつ、当該通信端末が追加の印刷対象のデータの印刷を要求している場合、当該追加の印刷対象のデータを受信することを特徴とする請求項１に記載の印刷装置。
【請求項３】
前記遷移手段によって通信待機状態にあるときに、前記通信手段を介して通信端末を検出し、当該通信端末に対応するＩＤ情報が、前記受信手段により受信されたＩＤ情報と一致せず、当該通信端末が印刷対象のデータの印刷を要求している場合、当該印刷対象のデータを受信することを特徴とする請求項１又は２に記載の印刷装置。
【請求項４】
前記受信手段により複数の通信端末から複数のＩＤ情報が受信され、且つ前記遷移手段による前記通信待機状態で前記通信手段を介して通信端末を検出した場合、前記実行手段は、前記複数のＩＤ情報のうちの当該通信端末に対応するＩＤ情報に基づき、当該ＩＤ情報に対応する印刷対象のデータの印刷と、当該印刷に対する課金処理とを実行することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の印刷装置。
【請求項５】
前記通信手段による無線通信は、ＮＦＣであることを請求項１乃至４のいずれか１項に記載の印刷装置。
【請求項６】
前記通信手段により検出された通信端末がＮＦＣにおけるイニシエータであることを条件として、当該通信端末から印刷対象のデータを受信し、当該通信端末がＮＦＣにおけるターゲットであることを条件として、前記実行手段により当該通信端末に対する課金処理を実行することを請求項１乃至５のいずれか１項に記載の印刷装置。
【請求項７】
無線通信による通信端末と印刷装置の通信方法であって、
前記印刷装置が前記通信端末から、当該通信端末または当該通信端末のユーザを特定するためのＩＤ情報を受信する受信工程と、
該受信工程においてＩＤ情報を受信した場合、前記印刷装置が、通信端末から前記印刷装置に要求された印刷に対する料金支払い手続きのための通信待機状態に遷移する遷移工程と、
該遷移工程による前記通信待機状態で前記印刷装置が通信端末を検出したとき、当該通信端末のＩＤ情報が、前記受信工程において受信されたＩＤ情報と一致することを条件に、前記印刷装置が印刷対象のデータの印刷に対する課金処理と、当該印刷対象のデータの前記印刷装置による印刷処理とを実行する実行工程と、
を有することを特徴とする通信方法。
【請求項８】
請求項７に記載の通信方法の各工程をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成28年6月29日(2016.6.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
上記目的を達成するために、請求項１の画像形成装置は、印刷データを用いて画像を記録紙に形成する画像形成手段と、前記画像形成手段により画像が形成された前記記録紙である印刷物から画像を読み取る読取手段と、前記記録紙に形成された画像のうち、前記読取手段により読み取れない画像を除いた画像である参照画像を作成する作成手段と、前記読取手段により前記印刷物から読み取られた画像である読取画像と、前記作成手段により作成された前記参照画像とを比較することで前記印刷物を検品する検品手段とを備えたことを特徴とする。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷データを用いて画像を記録紙に形成する画像形成手段と、
前記画像形成手段により画像が形成された前記記録紙である印刷物から画像を読み取る読取手段と、
前記記録紙に形成された画像のうち、前記読取手段により読み取れない画像を除いた画像である参照画像を作成する作成手段と、
前記読取手段により前記印刷物から読み取られた画像である読取画像と、前記作成手段により作成された前記参照画像とを比較することで前記印刷物を検品する検品手段とを備えたことを特徴とする画像形成装置。
【請求項２】
前記検品手段は、前記読取画像と前記参照画像との差異が予め定められた閾値以下のときは、前記印刷物を検品合格とし、前記差異が予め定められた閾値より大きいときは、前記印刷物を検品不良とすることを特徴とする請求項１記載の画像形成装置。
【請求項３】
前記画像には大ドットと小ドットで構成される地紋画像を含み、
前記作成手段は、前記画像から前記小ドットを示す画像データを除いて前記参照画像を生成することを特徴とする請求項１記載の画像形成装置。
【請求項４】
大ドットと小ドットで構成される地紋画像と印刷画像とを合成した合成画像に基づいて用紙に印刷をする印刷手段と、
前記印刷手段によって印刷が実行された用紙を読取ることで検品画像を取得する取得手段と、
前記小ドットを示す画像データは含まずに、前記大ドットを示す画像データと前記印刷画像とで構成される参照画像を生成する生成手段と、
前記検品画像と前記参照画像とを比較することで、印刷不良が発生しているか否かを判定する判定手段とを備えたことを特徴とする画像形成装置。
【請求項５】
前記検品画像と前記参照画像の差異が所定の閾値以下である場合に、前記判定手段は、印刷不良が発生していないと判定し、前記検品画像と前記参照画像の差異が所定の閾値より大きい場合に、前記判定手段は、印刷不良が発生していると判定することを特徴とする請求項４に記載の画像形成装置。
【請求項６】
画像形成装置の制御方法であって、
印刷データを用いて画像を記録紙に形成する画像形成ステップと、
前記画像形成ステップにおいて画像が形成された前記記録紙である印刷物から画像を読み取る読取ステップと、
前記記録紙に形成された画像のうち、前記読取ステップにおいて読み取れない画像を除いた画像である参照画像を作成する作成ステップと、
前記読取ステップにおいて前記印刷物から読み取られた画像である読取画像と、前記作成ステップにおいて作成された前記参照画像とを比較することで前記印刷物を検品する検品ステップと
を備えたことを特徴とする制御方法。
【請求項７】
画像形成装置の制御方法であって、
大ドットと小ドットで構成される地紋画像と印刷画像とを合成した合成画像に基づいて用紙に印刷をする印刷ステップと、
前記印刷ステップにおいて印刷が実行された用紙を読み取ることで検品画像を取得する取得ステップと、
前記小ドットを示す画像データは含まずに、前記大ドットを示す画像データと前記印刷画像とで構成される参照画像を生成する生成ステップと、
前記検品画像と前記参照画像とを比較することで、印刷不良が発生しているか否かを判定する判定ステップと
を備えたことを特徴とする制御方法。
【請求項８】
画像形成装置の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記制御方法は、
印刷データを用いて画像を記録紙に形成する画像形成ステップと、
前記画像形成ステップにおいて画像が形成された前記記録紙である印刷物から画像を読み取る読取ステップと、
前記記録紙に形成された画像のうち、前記読取ステップにおいて読み取れない画像を除いた画像である参照画像を作成する作成ステップと、
前記読取ステップにおいて前記印刷物から読み取られた画像である読取画像と、前記作成ステップにおいて作成された前記参照画像とを比較することで前記印刷物を検品する検品ステップと
を備えたことを特徴とするプログラム。
【請求項９】
画像形成装置の制御方法をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
前記制御方法は、
大ドットと小ドットで構成される地紋画像と印刷画像とを合成した合成画像に基づいて用紙に印刷をする印刷ステップと、
前記印刷ステップにおいて印刷が実行された用紙を読み取ることで検品画像を取得する取得ステップと、
前記小ドットを示す画像データは含まずに、前記大ドットを示す画像データと前記印刷画像とで構成される参照画像を生成する生成ステップと、
前記検品画像と前記参照画像とを比較することで、印刷不良が発生しているか否かを判定する判定ステップとを備えたことを特徴とするプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成28年3月11日(2016.3.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１０】
前記便座は、
前記第１の側縁の接線と直交する断面において略直線状に表れる第１の座面であって、水平面に対し、前記開口部へ向けて下方へ傾斜する前記第１の座面の傾斜角度が、前記便座の後部から前部へ向かうにつれて連続的に増加し、そしてその後連続的に減少して略水平となるように形成された前記第１の座面と、そして
前記第２の側縁の接線と直交する断面において略直線状に表れる第２の座面であって、水平面に対し、前記開口部へ向けて下方へ傾斜する前記第２の座面の傾斜角度が、前記便座の後部から前部へ向かうにつれて連続的に増加し、そしてその後連続的に減少して略水平となるように形成された前記第２の座面とを備えていることを特徴とする請求項８又は９に記載のポータブルトイレ。
【手続補正書】
【提出日】平成27年11月26日(2015.11.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱電変換材料およびドーパントを含有する熱電変換層と、前記熱電変換層上に設けられる一対の電極とを有し、
一方の電極側となる前記熱電変換層の半分の領域である第１の領域における前記ドーパントのドープ率の平均が、他方の電極側となる前記熱電変換層の半分の領域である第２の領域における前記ドーパントのドープ率の平均よりも大きく、
前記熱電変換層の前記熱電変換材料が、有機材料であり、
一方の電極側が高温部であり、他方の電極側が低温部であることを特徴とする熱電変換素子。
【請求項２】
前記第１の領域におけるドープ率が３〜１０ｍｏｌ％である請求項１に記載の熱電変換素子。
【請求項３】
前記ドーパントは、酸化合物である請求項１または２に記載の熱電変換素子。
【請求項４】
前記酸化合物が、オニウム塩化合物に熱または活性エネルギー線を照射して発生するものである請求項３に記載の熱電変換素子。
【請求項５】
前記熱電変換層の前記ドープ率は、前記他方の電極側から前記一方の電極側に向かうに従って、漸次、増加する請求項１〜４のいずれか１項に記載の熱電変換素子。
【請求項６】
前記一方の電極に接する領域における前記ドープ率が、前記他方の電極に接する領域における前記ドープ率よりも大きい請求項１〜５のいずれか１項に記載の熱電変換素子。
【請求項７】
前記熱電変換層の前記第１の領域側に熱源との接触部を有する請求項１〜６のいずれか１項に記載の熱電変換素子。
【手続補正書】
【提出日】平成28年7月4日(2016.7.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原版の第１のパターン領域の像と原版の第２のパターン領域の像とを一部が互いに重なり合うように基板上のパターン形成領域に露光する露光装置であって、
前記基板上のパターン形成領域に前記第１のパターン領域の像と前記第２のパターン領域の像を露光する際に、前記第１のパターン領域の像と前記第２のパターン領域の像とが前記パターン形成領域で互いに重なり合うつなぎ領域に、前記第１のパターン領域および前記第２のパターン領域とは異なるパターン領域の像を露光するときの位置合わせに用いられるマークの像を形成することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記パターン形成領域に前記第１のパターン領域の像と前記第２のパターン領域の像を露光する際に前記マークの像が形成されるようなマークパターンを含む前記第１のパターン領域と前記第２のパターン領域とを有する前記原版を用いることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。 
【請求項３】
前記第１のパターン領域と前記第２のパターン領域とを有する前記原版において、前記第１のパターン領域に有する前記マークパターンと前記第２のパターン領域に有する前記マークパターンとは、同一であることを特徴とする請求項２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記マークの像は、前記つなぎ領域に、前記基板を露光する際に前記原版を走査する走査方向で２つ以上形成され、
前記パターン形成領域に形成された前記第１のパターン領域の像および前記第２のパターン領域の像の上に前記第１のパターン領域および前記第２のパターン領域とは異なるパターンを形成する際の、前記位置合わせのときに、前記マークの像を用いて前記つなぎ領域の重ね合わせ精度を優先して、前記パターン形成領域に対する前記異なるパターンの位置の補正量を求め、該補正量に基づいて位置を補正する、
ことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項５】
前記補正量は、前記原版を走査する走査方向と直交する方向のシフト成分のずれ量、前記原版を走査する走査方向のシフト成分のずれ量、前記原版を走査する走査方向と直交する方向の倍率成分、前記原版を走査する走査方向の倍率成分のずれ量、または回転成分のずれ量の少なくとも１つであることを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
【請求項６】
前記基板を露光する際の前記基板の走査に同期して移動し、前記第１のパターン領域と前記第２のパターン領域とを照明する照明光を遮蔽可能とする遮光部材を有し、
前記第１のパターン領域の像に含まれる前記つなぎ領域を露光するときは、前記照明光を徐々に遮蔽するように前記遮光部材を移動させて露光量を減少させ、前記第２のパターン領域の像に含まれる前記つなぎ領域を露光するときは、前記照明光を徐々に照射するように前記遮光部材を移動させて露光量を増加させる、
ことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項７】
原版の第１のパターン領域の像と原版の第２のパターン領域の像とを一部が互いに重なり合うように基板上のパターン形成領域に露光する露光方法であって、
前記基板上のパターン形成領域に前記第１のパターン領域の像と前記第２のパターン領域の像を露光する際に、前記第１のパターン領域の像と前記第２のパターン領域の像とが前記パターン形成領域で互いに重なり合うつなぎ領域に、前記第１のパターン領域および前記第２のパターン領域とは異なるパターン領域の像を露光するときの位置合わせに用いられるマークの像を形成する工程を含むことを特徴とする露光方法。
【請求項８】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の露光装置、または請求項７に記載の露光方法を用いて基板を露光する工程と、
その露光した基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、原版の第１のパターン領域の像と原版の第２のパターン領域の像とを一部が互いに重なり合うように基板上のパターン形成領域に露光する露光装置であって、基板上のパターン形成領域に第１のパターン領域の像と第２のパターン領域の像を露光する際に、第１のパターン領域の像と第２のパターン領域の像とがパターン形成領域で互いに重なり合うつなぎ領域に、第１のパターン領域および第２のパターン領域とは異なるパターン領域の像を露光するときの位置合わせに用いられるマークの像を形成することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成28年5月16日(2016.5.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂を有する基体と、
前記基体に接着剤を介して配置された複数の配線部と、
前記配線部が離間して設けられる溝部と、
前記溝部の少なくとも一部を跨ぐように配置される発光素子と、を有し、
前記接着剤は前記溝部を覆うように延在されており、
前記接着剤に前記発光素子からの光を遮光する遮光部材を含有していることを特徴とする発光装置。
【請求項２】
前記基体が可撓性を有する請求項１に記載の発光装置。
【請求項３】
前記遮光部材は、光吸収材、波長変換材、光反射材よりなる群から選択される少なくとも１種である請求項１又は２に記載の発光装置。
【請求項４】
少なくとも前記発光素子の配置される領域およびその近傍に、前記配線部及び前記溝部の一部が露出される開口部を形成するように、反射膜が形成されている請求項１〜３のいずれか１つに記載の発光装置。
【請求項５】
前記開口部内であって前記発光素子の周囲に配置される樹脂層を有し、前記樹脂層よりも前記接着剤のほうが前記発光素子からの光に対する光透過率が低い請求項４に記載の発光装置。
【請求項６】
前記基体は、ポリイミド（ＰＩ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）よりなる群から選択される少なくとも１種である請求項１〜５のいずれか１つに記載の発光装置。
【請求項７】
前記遮光部材はカーボンブラックである請求項１〜６のいずれか１つに記載の発光装置。
【請求項８】
前記遮光部材は光吸収材および光反射材が含有されている請求項１〜７のいずれか１つに記載の発光装置。
【請求項９】
前記接着剤は樹脂によって構成されている請求項１〜８のいずれか１つに記載の発光装置。
【手続補正書】
【提出日】平成28年6月1日(2016.6.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
高品質な半導体膜を成膜する方法として、ウェハ等の基板に気相成長により単結晶膜を成長させるエピタキシャル成長技術がある。エピタキシャル成長技術を用いる気相成長装置では、常圧または減圧に保持された反応室内の支持部にウェハを載置する。そして、このウェハを加熱しながら、成膜の原料となるソースガス等のプロセスガスを、反応室上部の、例えば、シャワープレートからウェハ表面に供給する。ウェハ表面ではソースガスの熱反応等が生じ、ウェハ表面にエピタキシャル単結晶膜が成膜される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
そして、加熱部１６は、回転軸１８の内部に貫通する支持軸２２に固定される支持台２４上に固定して設けられる。加熱部１６には、図示しない電流導入端子と電極により、電力が供給される。この支持台２４には半導体ウェハＷを支持部１２から脱着させるための、例えば突き上げピン（図示せず）が設けられている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
第１のガス供給路３１には、シャワープレート１００と、第１のガス供給源（Ａ）５１ａおよび第１のガス供給源（Ｂ）５１ｂとの間に、流路切替バルブ６１が設けられる。流路切替バルブ６１により、反応室１０に供給するガスを分離ガスとクリーニングガスとの間で切り替えることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
一般にシャワープレートにプロセスガスの供給口として設けられるガス噴出孔から、反応室１０内に噴出するプロセスガスの流量は、成膜の均一性を確保する観点から、各ガス噴出孔間で均一であることが望ましい。本実施の形態のシャワープレート１００によれば、プロセスガスを複数の横方向ガス流路に分配し、さらに、縦方向ガス流路に分配してガス噴出孔から噴出させる。この構成により、簡便な構造で各ガス噴出孔間から噴出するプロセスガス流量の均一性を向上させることが可能となる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
そして、上記真空ポンプによる排気を続行すると共に、回転体ユニット１４を所要の速度で回転させながら、第１〜第３のガス噴出孔１１１、１１２、１１３から所定の第１〜第３のプロセスガスを噴出させている。第１のプロセスガスは、第１のガス供給路３１から第１のマニュフォールド１３１、第１の接続流路１４１、第１の横方向ガス流路１０１、第１の縦方向ガス流路１２１を経由して第１のガス噴出孔１１１から反応室１０内に噴出させている。また、第２のプロセスガスは、第２のガス供給路３２から第２のマニュフォールド１３２、第２の接続流路１４２、第２の横方向ガス流路１０２、第２の縦方向ガス流路１２２を経由して第２のガス噴出孔１１２から反応室１０内に噴出させている。また、第３のプロセスガスは、第３のガス供給路３３から第３のマニュフォールド１３３、第３の接続流路１４３、第３の横方向ガス流路１０３、第３の縦方向ガス流路１２３を経由して第３のガス噴出孔１１３から反応室１０内に噴出させている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
次に、半導体ウェハＷが所定の温度に安定した後、例えば突き上げピンにより半導体ウェハＷを支持部１２から脱着させる。そして、再びゲートバルブを開いてハンドリングアームをシャワープレート１００および支持部１２の間に挿入し、その上に半導体ウェハＷを載せる。そして、半導体ウェハＷを載せたハンドリングアームをロードロック室に戻す。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
クリーニングガスが、第１のガス供給路３１から第１のマニュフォールド１３１、第１の接続流路１４１、第１の横方向ガス流路１０１、第１の縦方向ガス流路１２１を経由して第１のガス噴出孔１１１から反応室１０内に噴出される。これにより、反応室１０および反応室１０内の部材、例えば、支持部１２、回転体ユニット１４等のクリーニングが行われる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９０】
本実施の形態では、第１または第２の実施の形態の効果に加え、シャワープレートの構造をより簡易な構造にすることが可能となる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９１】
以上、具体例を参照しつつ本発明の実施の形態について説明した。上記、実施の形態はあくまで、例として挙げられているだけであり、本発明を限定するものではない。また、各実施の形態の構成要素を適宜組み合わせてもかまわない。シャワープレートの構造は、シャワープレート内部で、アンモニアガスとハロゲン系ガスが異なる流路を通る構造であれば、上述の構造である必要はない。
【手続補正書】
【提出日】平成28年6月24日(2016.6.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板上に、半導体層と、前記半導体層上に設けられた下側クラッド領域と、前記下側クラッド領域上に設けられた光導波路層と、前記光導波路層上に設けられた上側クラッド領域と、を有する積層半導体層を形成する工程と、
ストライプ状の第１のマスク層を用いて前記積層半導体層のうち、前記下側クラッド領域と前記光導波路層と前記上側クラッド領域をエッチングし、前記光導波路層の側面が露出した第１のメサストライプを形成する工程と、
前記第１のメサストライプの両側に埋め込み層を形成する工程と、
前記第１のマスク層の幅より大きいストライプ状の第２のマスク層を用いて前記積層半導体層をエッチングし、前記半導体層の側面が露出した第２のメサストライプを形成する工程と、
前記第２のメサストライプに対して酸化雰囲気中で熱処理を行い、前記半導体基板と前記光導波路層の間に設けられた前記半導体層の側面から前記半導体層を酸化させる工程と、
前記第２のメサストライプ上に、ヒータを形成する工程と、を備える、光半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記半導体層を酸化させる工程は、酸化作用を有する気体を１％以上含む雰囲気中で、３００℃以上且つ７００℃未満の温度で熱処理を行う、請求項１に記載の光半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記半導体基板および前記下側クラッド領域は、ＩｎＰの材料を含み、
前記半導体層は、ＧａＸＡｌＹＩｎ（１−Ｘ−Ｙ）ＰＺＡｓ（１−Ｚ）（但し、０≦Ｘ≦０．０８、０．２０≦Ｙ≦０．４０、０＜Ｚ＜１．０）を含む、請求項１または２に記載の光半導体装置の製造方法。
【請求項４】
半導体基板と、
前記半導体基板上に設けられた下側クラッド領域と、
前記下側クラッド領域上に設けられた光導波路層と、
前記光導波路層上に設けられた上側クラッド領域と、
前記半導体基板と前記光導波路層の間に配置され、前記下側クラッド領域より小さい熱伝導率を有し、かつ、酸化された半導体層を含む熱伝導抑制層と、
を含むメサストライプと、
前記メサストライプ上に配置されたヒータと、を備え、
前記熱伝導抑制層の熱伝導率が、前記熱伝導抑制層の中央部より側面の方が小さい、光半導体装置。