【手続補正書】
【提出日】平成28年6月2日(2016.6.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸性又はアルカリ性の液体に過酸化水素水を混合して混合液を生成し、その生成した混合液の圧力を前記過酸化水素水が分解して生じた酸素ガス又は反応熱により発生した蒸気により高める密閉構造の混合部と、
前記混合部に前記液体を供給する第１の供給部であって、前記液体が流れる方向を前記混合部側への一方向にして逆流を防止する逆止弁を介して接続された第１の供給部と、
前記混合部に前記過酸化水素水を供給する第２の供給部であって、前記過酸化水素水が流れる方向を前記混合部側への一方向にして逆流を防止する逆止弁を介して接続された第２の供給部と、
前記混合部の流出側に接続され、前記混合液が通過する貫通孔を有し、前記混合部によって圧力の高められた前記混合液を前記貫通孔に通して、前記混合部により高められた前記混合液の圧力を開放し、前記混合液中に複数の微小気泡を発生させる気泡発生部と、
この気泡発生部により発生した前記複数の微小気泡を含む混合液を吐出する吐出配管と、
を有し、
前記気泡発生部に設けられる前記貫通孔は、前記吐出配管の内径よりも細く、かつ、前記混合部の配管の内径よりも細いことを特徴とする洗浄液生成装置。
【請求項２】
前記液体を加熱する加熱部をさらに備え、
前記混合部は、前記加熱部により加熱された前記液体と前記過酸化水素水とを混合することを特徴とする請求項１に記載の洗浄液生成装置。
【請求項３】
前記混合部の配管の内径は、前記第１の供給配管の内径及び前記第２の供給配管の内径よりも大きくなっていることを特徴とする請求項１または２に記載の洗浄液生成装置。
【請求項４】
前記混合部は、前記液体と前記過酸化水素水とを攪拌する攪拌構造を有していることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の洗浄液生成装置。
【請求項５】
前記気泡発生部は、
前記貫通孔の開口度を調整する調整機構を具備していることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の洗浄液生成装置。
【請求項６】
前記混合部内の前記混合液の温度及び圧力の両方又はどちらか一方を検出する検出部と、
前記検出部により検出された前記温度及び圧力の両方又はどちらか一方に基づいて、前記調整機構により前記貫通孔の開口度を制御する制御部と、
をさらに備えることを特徴とする請求項５に記載の洗浄液生成装置。
【請求項７】
前記吐出配管は、４５度以上の屈曲部を少なくとも一個有していることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の洗浄液生成装置。
【請求項８】
前記吐出配管の途中に設けられた網部材と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の洗浄液生成装置。
【請求項９】
前記混合部はセラミック材料により形成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項８のいずれか一項に記載の洗浄液生成装置。
【請求項１０】
酸性又はアルカリ性の液体に過酸化水素水を混合して混合液を生成し、その生成した混合液の圧力を前記過酸化水素水が分解して生じた酸素ガス又は反応熱により発生した蒸気により高める密閉構造の混合部と、
前記混合部に前記液体を供給する第１の供給部であって、前記液体が流れる方向を前記混合部側への一方向にして逆流を防止する逆止弁を介して接続された第１の供給部と、
前記混合部に前記過酸化水素水を供給する第２の供給部であって、前記過酸化水素水が流れる方向を前記混合部側への一方向にして逆流を防止する逆止弁を介して接続された第２の供給部と、
前記混合部の流出口側に接続され、前記混合液が通過する貫通孔を有し、前記混合部によって圧力の高められた前記混合液を前記貫通孔を通して、前記混合部の圧力を開放し、前記混合液中に複数の微小気泡を発生させる気泡発生部と、
この気泡発生部により発生した前記複数の微小気泡を含む混合液を吐出する吐出配管と、
前記気泡発生部により発生した前記複数の微小気泡を含む混合液を前記吐出配管から吐出することにより基板を洗浄する洗浄部と、を備え、
前記気泡発生部に設けられる前記貫通孔は、前記吐出配管の内径よりも細く、かつ、前記混合部の配管の内径よりも細いことを特徴とする基板洗浄装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】洗浄液生成装置及び基板洗浄装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明の実施形態は、洗浄液生成装置及び基板洗浄装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明が解決しようとする課題は、洗浄性能を向上させることができる洗浄液生成装置及び基板洗浄装置を提供することである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
実施形態に係る洗浄液生成装置は、酸性又はアルカリ性の液体に過酸化水素水を混合して混合液を生成し、その生成した混合液の圧力を前記過酸化水素水が分解して生じた酸素ガス又は反応熱により発生した蒸気により高める密閉構造の混合部と、前記混合部に前記液体を供給する第１の供給部であって、前記液体が流れる方向を前記混合部側への一方向にして逆流を防止する逆止弁を介して接続された第１の供給部と、前記混合部に前記過酸化水素水を供給する第２の供給部であって、前記過酸化水素水が流れる方向を前記混合部側への一方向にして逆流を防止する逆止弁を介して接続された第２の供給部と、前記混合部の流出側に接続され、前記混合液が通過する貫通孔を有し、前記混合部によって圧力の高められた前記混合液を前記貫通孔に通して、前記混合部により高められた前記混合液の圧力を開放し、前記混合液中に複数の微小気泡を発生させる気泡発生部と、この気泡発生部により発生した前記複数の微小気泡を含む混合液を吐出する吐出配管と、を有し、前記気泡発生部に設けられる前記貫通孔は、前記吐出配管の内径よりも細く、かつ、前記混合部の配管の内径よりも細いことを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
実施形態に係る基板洗浄装置は、酸性又はアルカリ性の液体に過酸化水素水を混合して混合液を生成し、その生成した混合液の圧力を前記過酸化水素水が分解して生じた酸素ガス又は反応熱により発生した蒸気により高める密閉構造の混合部と、前記混合部に前記液体を供給する第１の供給部であって、前記液体が流れる方向を前記混合部側への一方向にして逆流を防止する逆止弁を介して接続された第１の供給部と、前記混合部に前記過酸化水素水を供給する第２の供給部であって、前記過酸化水素水が流れる方向を前記混合部側への一方向にして逆流を防止する逆止弁を介して接続された第２の供給部と、前記混合部の流出口側に接続され、前記混合液が通過する貫通孔を有し、前記混合部によって圧力の高められた前記混合液を前記貫通孔を通して、前記混合部の圧力を開放し、前記混合液中に複数の微小気泡を発生させる気泡発生部と、この気泡発生部により発生した前記複数の微小気泡を含む混合液を吐出する吐出配管と、前記気泡発生部により発生した前記複数の微小気泡を含む混合液を前記吐出配管から吐出することにより基板を洗浄する洗浄部と、を備え、前記気泡発生部に設けられる前記貫通孔は、前記吐出配管の内径よりも細く、かつ、前記混合部の配管の内径よりも細いことを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】