(57)【要約】【課題】異なるテストフイクスチャを用いた場合に同一または近似の測定値を得る方法の提供【解決手段】テストシステムによって作成された被測定物の測定値を変換する方法であって、基準テストフィクスチャと生産テストフィクスチャとの間の差であって、前記テストフィクスチャの対応するテストポートにおける差を表すポート固有の差分アレイを決定する段階と、前記テストシステムを使用して、前記生産テストフィクスチャ内に取り付けられている前記被測定物の性能を測定する段階と、前記ポート固有の差分アレイを適用して、前記測定された被測定物の性能が、前記基準テストフィクスチャ内に取り付けられ前記テストシステムによって測定された前記被測定物の仮定的な被測定物の性能に近づくようにする段階を有する。【選択図】図1
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テストシステムによって作成された被測定物の測定値を変換する方法であって、
第１のテストフィクスチャと第２のテストフィクスチャとの間の差であって、前記テストフィクスチャの対応するテストポートにおける差を表すポート固有の差分アレイを決定する段階と、
前記テストシステムを使用して、前記第２のテストフィクスチャ内に取り付けられている前記被測定物の性能を測定する段階と、
前記ポート固有の差分アレイを適用して、前記測定された被測定物の性能が、前記第１のテストフィクスチャ内に取り付けられ前記テストシステムによって測定された前記被測定物の仮定的な被測定物の性能に近づくようにする段階とを有することを特徴とする測定値を変換する方法。
【請求項２】
前記決定されたポート固有の差分アレイが、前記測定された性能に対して前記第２のテストフィクスチャのポート部分の影響を実質的に除去しかつ前記第１のテストフィクスチャの対応するポート部分の影響を実質的に加えるように前記被測定物の前記測定された性能に適用されるエラーアダプタであることを特徴とする請求項１に記載の測定値変換方法。
【請求項３】
前記ポート固有の差分アレイを決定する段階が、
前記第１のテストフィクスチャと前記第２のテストフィクスチャの対応するポートにおける１組の校正標準器の特性を、前記１組の各校正標準器を各テストフィクスチャのそれぞれのポートに個別に挿入することによって測定する段階と、
各テストフィクスチャにセットされた前記校正標準器の特性を測定することにより得られた結果を使用して前記差分アレイの要素について解く段階とを含むことを特徴とする請求項１に記載の測定値変換方法。
【請求項４】
前記被測定物の前記測定した性能に前記差分アレイを適用する段階が、前記測定された被測定物の性能を前記仮定的性能の近似値に直接変換することを特徴とする請求項１に記載の測定値変換方法。
【請求項５】
前記差分アレイを適用する段階が、前記テストシステムを使用して作成された前記被測定物の前記測定された性能が前記仮定的な測定された性能になるようにテストシステムの校正を修正することを特徴とする請求項１に記載の測定値変換方法。
【請求項６】
前記第１のテストフィクスチャと前記第２のテストフィクスチャの一方または両方の性能と、前記ポート固有の差分アレイを決定する際に使用される前記１組のうちの１つまたは複数の校正標準器の性能が、未知かまたは十分に知られていないことを特徴とする請求項１に記載の測定値変換方法。
【請求項７】
決定する段階が、前記テストフィクスチャの測定値を前記被測定物の対象とする周波数範囲内の複数の周波数において使用することを特徴とする請求項１に記載の測定値変換方法。
【請求項８】
前記１組の前記校正標準器が、対応するポート対を各テストフィクスチャごとに互いに接続し、それにより前記特性を測定するために各テストフィクスチャ内のポートのすべての組み合わせが対で個別に接続されるようにすることを特徴とする請求項３に記載の測定値変換方法。
【請求項９】
測定する段階が、
前記１組の校正標準器の各標準器の反射パラメータを、前記第１のテストフィクスチャの各ポートごとに別々に測定する段階と、
前記１組の校正標準器の各標準器の反射パラメータを、前記第２のテストフィクスチャのそれぞれの対応するポートごとに別々に測定する段階とを含み、
前記１組の前記標準器の１つまたは複数が、それぞれのポートを前記それぞれのテストフィクスチャの他のポートから分離することを特徴とする請求項３に記載の測定値変換方法。
【請求項１０】
測定する段階が、
前記１組の前記校正標準器の各標準器のＳパラメータを、前記第１のテストフィクスチャの各ポート対ごとに別々に測定する段階と、
前記１組の前記校正標準器の各標準器のＳパラメータを、前記第２のテストフィクスチャのそれぞれの対応するポート対ごとに別々に測定する段階とを含み、
前記１組の前記標準器が、対のポートを接続して前記ポート対を形成するｔｈｒｕ標準器であることを特徴とする請求項３に記載の測定値変換方法。
【請求項１１】
要素について解く段階が、
前記測定された結果を使用していくつかの式をいくつかの未知数について解く段階であって、前記解かれた未知数が前記差分アレイ要素を表すことを特徴とする請求項３に記載の測定値変換方法。
【請求項１２】
要素について解く段階が、
各テストフィクスチャの前記測定された結果を使用してモデルを最適化する段階を含み、前記モデルが、１つまたは複数の前記ポート固有差分アレイを表し、最適化する段階が、テストフィクスチャ測定値間の差が最小になるまでモデルのパラメータを調整する段階を含み、前記テストフィクスチャ測定値が、前記第２のテストフィクスチャの前記測定された結果と前記第１のテストフィクスチャの前記測定された結果を使用して前記モデルによって作成された前記第２のテストフィクスチャの変換された測定値であり、前記モデルパラメータが、前記差分アレイの前記要素を表すことを特徴とする請求項３に記載の測定値変換方法。
【請求項１３】
測定する段階と解く段階が、前記テストフィクスチャのそれぞれの各ポートまたは各ポート対に繰り返されることを特徴とする請求項３に記載の測定値変換方法。
【請求項１４】
前記差分アレイの要素について解く段階が、前記要素のうちの１つの複素平方根を決定する段階を含み、前記平方根が、前記要素を表すデータを使用して複数の周波数で決定されることを特徴とする請求項３に記載の測定値変換方法。
【請求項１５】
複数のテストフィクスチャに関してテストシステムの校正する方法であって、
第１のテストフィクスチャ内に取り付けられた校正標準器を有する第１のテストフィクスチャのパラメータを測定する段階であって、前記第１のテストフィクスチャに接続された前記テストシステムを使用して実行される段階と、
第２のテストフィクスチャ内に取り付けられた前記校正標準器を有する第２のテストフィクスチャのパラメータを測定する段階であって、前記第２のテストフィクスチャに接続された前記テストシステムを使用して実行される段階と、
各前記テストフィクスチャ対応するポートについて測定されたパラメータ間の差を使用して前記テストシステムの構成を調整する段階とを有し、
前記調整された校正は、前記テストシステムで得られたいずれの前記テストフィクスチャ内の被測定物の測定値も互いに近づくような、前記テストシステムのポート固有校正であることを特徴とする校正方法。
【請求項１６】
前記第１のテストフィクスチャと前記第２のテストフィクスチャのパラメータを測定する段階が、
各テストフィクスチャの対応する１対のポート間に接続する校正標準器を取り付ける段階と、
１組の校正標準器を使用して前記テストフィクスチャの対応するポート対のそれぞれについてパラメータを測定する段階とを含み、異なる標準器が各測定ごとに異なる対応するポート対を接続し、前記１組の前記校正標準器の少なくとも１つがｔｈｒｕ標準器であることを特徴とする請求項１５に記載の校正方法。
【請求項１７】
調整する段階が、
パラメータの測定結果からの前記第２のテストフィクスチャの各ポートのポート固有の差分アレイを決定する段階を含み、前記ポート固有の差分アレイが、前記第２のテストフィクスチャ内の前記被測定物の前記測定値を、あたかも前記第１のテストフィクスチャによって測定されたかのような前記被測定物の測定値に変換するエラーアダプタを表すことを特徴とする請求項１５に記載の校正方法。
【請求項１８】
前記決定する段階が、
１対のポートの各ポートに取り付けられた固有のエラーアダプタと、前記１対のポートを接続する前記第２のテストフィクスチャ内に取り付けられたｔｈｒｕ校正標準器とによって、前記第２のテストフィクスチャのポート対モデルを構成し、それにより、前記第２のテストフィクスチャの各ポート対ごとに個別のモデルが  構成され、各ポート対モデルが、それぞれの測定されたパラメータを前記第２のテストフィクスチャの対応する変換された測定パラメータに変換するようにする段階と、
前記第２のテストフィクスチャの各ポート対ごとに前記ポート対モデルを最適化して、それにより、前記変換された測定パラメータが、前記第１のテストフィクスチャの前記測定されたパラメータに近づくようにする段階とを含むことを特徴とする請求項１７に記載の校正方法。
【請求項１９】
最適化する段階が、前記第２のテストフィクスチャの前記変換された測定パラメータと前記第１のテストフィクスチャの前記測定されたパラメータとの差を小さくすることを試みて、それにより最適化目標が達成されたときに、前記ポート固有の差分アレイの前記エラーアダプタが決定されたものと見なされるようにすることを特徴とする請求項１８に記載の校正方法。
【請求項２０】
パラメータを測定する段階が、前記被測定物の対象とする周波数範囲内の複数の周波数ポイントで測定する段階を含むことを特徴とする請求項１５に記載の校正方法。
【請求項２１】
様々なテストフィクスチャを使用して被測定物を測定するテストシステムであって、
テスト機器と、
前記被測定物を前記テスト機器に接続するテストフィクスチャと、
前記テスト機器からデータを受け取り処理するように接続されたコンピュータと、
前記コンピュータによって実行されるコンピュータプログラムであって、前記コンピュータによって実行されたときに、測定のために前記被測定物を接続するために第１のテストフィクスチャと第２のテストフィクスチャがそれぞれ使用されるときに前記第１のテストフィクスチャと前記第２のテストフィクスチャとの差を調整するポート固有の差分アレイを決定する段階を実施する命令を含むコンピュータプログラムとを有することを特徴とするテストシステム。
【請求項２２】
前記コンピュータプログラムが、さらに、前記第２のテストフィクスチャを使用して前記被測定物が前記テスト機器に接続されたときに前記被測定物の性能を測定する段階を実施する命令と、前記被測定物の前記測定された性能を補正または調整するために差分アレイを適用する段階を実行し、前記第２のテストフィクスチャを使用して測定された前記被測定物の性能が、あたかも前記テスト機器に前記被測定物を接続するために前記第１のテストフィクスチャを使用して測定されたかのような仮定的な被測定物の性能に近づくようにする命令とを含むことを特徴とする請求項２１に記載のテストシステム。
【請求項２３】
適用する段階を実施する命令が、前記テストシステムによって作成された前記被測定物の前記測定された性能に前記差分アレイを直接適用して前記測定された被測定物の性能を前記仮定的な被測定物の性能に変換する段階を含むことを特徴とする請求項２２に記載のテストシステム。
【請求項２４】
適用する段階を実施する前記命令が、前記被測定物の前記測定された性能が前記仮定的な被測定物の性能と同等になるように前記テスト機器の校正に前記差分アレイを適用して前記テスト機器の校正係数を補正する段階を含むことを特徴とする請求項２２に記載のテストシステム。
【請求項２５】
前記コンピュータプログラムが、さらに、前記差分アレイの要素の複素平方根を前記要素の値を使用して複数の周波数で決定する段階を実施する命令を含むことを特徴とする請求項２１に記載のテストシステム。
【請求項２６】
テストシステムを使用して第２のテストフィクスチャ内の被測定物の測定値を第１のテストフィクスチャ内の被測定物の仮定的測定値に整合させる方法であって、
ポート固有の差分アレイを決定する段階を含み、前記差分アレイが、前記第１のテストフィクスチャと前記第２のテストフィクスチャの間の差であって、前記テストフィクスチャの対応するテストポートにおける差を示し、前記差分アレイの要素が、前記テストフィクスチャ内の１組の校正標準器の測定値を使用して決定され、前記測定値が、前記テストシステムによって複数の周波数で実行されることを特徴とする測定値整合方法。
【請求項２７】
前記テストシステムを使用して、前記第２のテストフィクスチャ内に取り付けられた前記被測定物の性能を測定する段階と、
前記第２のテストフィクスチャ内に取り付けられた前記被測定物の測定値に前記ポート固有の差分アレイを適用して、前記測定値を、前記第１のテストフィクスチャ内の前記被測定物の前記仮定的測定値と整合する測定値に変換する段階とを有することを特徴とする請求項２６に記載の測定値整合方法。
【請求項２８】
前記要素が、前記校正標準器の測定値を使用して前記複数の周波数にわたってモデルを最適化することによって決定されることを特徴とする請求項２６に記載の測定値整合方法。
【請求項２９】
前記要素が、前記校正標準器の測定値から決定されたポート固有のエラーアダプタ項の複素平方根から決定され、前記複素平方根が、前記複数の周波数に対応する前記エラーアダプタ項の複数の値を使用して計算されることを特徴とする請求項２６に記載の測定値整合方法。
【請求項３０】
前記複素平方根を計算する段階が、
様々な周波数において前記要素を表すデータポイントの位相部分をアンラップして位相アンラップデータポイントを生成する段階と、
前記データポイントのラップ正規化位相を２で割って前記平方根の位相部分を生成する段階と、
前記データポイントの振幅の正の実数値の平方根を計算して前記平方根の振幅部分を生成する段階とを含むことを特徴とする請求項２９に記載の測定値整合方法。
【請求項３１】
ラップ正規化位相を分割する前に、さらに、
前記位相アンラップデータポイントの群遅延を推定する段階と、
前記位相アンラップデータポイントの前記位相部分から第１のデータポイントと関連するいくつかの完全位相ラップを除去して、前記ラップ正規化位相を有するデータポイントを生成する段階とを含み、前記いくつかの完全位相ラップが、前記推定された群遅延を使用して計算される段階とを有することを特徴とする請求項３０に記載の測定値整合方法。
【請求項３２】
複数のテストフィクスチャのテストシステムを校正する方法であって、
前記テストシステムを第１のテストフィクスチャに接続する段階と、
校正標準器に従って前記第１のテストフィクスチャのパラメータを測定する段階と、
前記テストシステムを第２のテストフィクスチャに接続する段階、
前記校正標準器に従って前記第２のテストフィクスチャのパラメータを測定する段階と、
前記テストフィクスチャの前記測定されたパラメータに従って１組の校正係数を計算する段階と、
前記２つのテストフィクスチャのどちらが前記被測定物の測定に利用されるかに関係なく前記被測定物の測定によってほぼ同じ結果が得られるように前記校正係数に従って前記テストシステムを調整する段階とを有することを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本特許出願は、２００３年６月１１日に出願され参照により本明細書に組み込まれる仮出願番号６０／４７８，０３４の正規出願でありこの仮出願から優先権を請求する。
【背景技術】
【０００２】
テストシステムは、マイクロ波装置、携帯電話、電気通信およびコンピュータネットワーク、およびテレビ放送設備を含むがこれらに限定されない最新の電子装置およびシステムの製造と保守に不可欠である。そのようなテスト機器のいくつかの例は、スカラーネットワークアナライザ、ベクトルネットワークアナライザ、スペクトルアナライザ、および電力計である。これらのテストシステムのほとんどは、被測定物（以下、ＤＵＴとも称する）の測定値からテストシステムの不完全性の影響を緩和しまたは除去するために校正されることがある。そのような校正は、テストシステムを使用して校正標準器を測定する。校正標準器は、単に、既知の性能特性を有するＤＵＴである。テストシステムは、校正標準器の既知の性能特性と、校正標準器の測定によって得られた測定結果との差を使用して校正される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
多くの状況において、テストシステムによる特定のＤＵＴのテストを容易にするためにテストフィクスチャが使用される。テストフィクスチャは、実質的にテストシステムをＤＵＴに接続する。テストフィクスチャが使用される状況によっては、テストフィクスチャの影響を含めるようにテストシステムの校正することが困難であったり実用的でない場合がある。また別の状況では、ＤＵＴは、単に、所定のテストフィクスチャ（例えば、基準テストフィクスチャ（ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ  ｔｅｓｔ  ｆｉｘｔｕｒｅ））の性能によって指定される場合がある。いずれの場合も、テストシステムは、テストフィクスチャとＤＵＴの間の境界で校正され、それにより、テストフィクスチャ内のＤＵＴの誤差を補正した測定値が、ＤＵＴの実際の性能と基準テストフィクスチャの性能の両方を含むことがある。基準テストフィクスチャでそれぞれの複製をテストすることによって、元のＤＵＴとその後のＤＵＴの複製を比較し評価することができる。
【０００４】
残念ながら、基準テストフィクスチャは、ＤＵＴの大量生産の際の生産テストに使用するにはあまり適していない場合がある。代わりに、例えば、高速生産テスト用に適応された生産テストフィクスチャ（ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ  ｔｅｓｔ  ｆｉｘｔｕｒｅ）が使用される場合がある。生産テストフィクスチャは、基準テストフィクスチャと物理的に異なるので、一般に、生産テストフィクスチャは基準テストフィクスチャと異なる性能特性を有する。従って、一般に、生産テストフィクスチャの入力でテストシステムを校正すると、所定のＤＵＴの測定結果が、そのＤＵＴを基準テストフィクスチャ内でテストした場合に得られる測定結果と異なることになる。基準フィクスチャと生産フィクスチャの測定結果の違いによって、実際には適正に動作しているＤＵＴを不合格にしたり、受け入れ可能な許容限度内で動作していないＤＵＴを合格にしたりするなど、生産テストの結果が不正確になることがあり、これは単にテストフィクスチャの違いによってＤＵＴの本当の性能が不明瞭になるからである。
【０００５】
したがって、異なるテストフィクスチャ内のＤＵＴを測定するテストシステムの校正を補正する方法、または、異なるテストフィクスチャ内で得られたＤＵＴの測定値をテストシステムと関連付ける方法を有することが有利になる。そのような補正または変換は、複数のテストフィクスチャを使用する被校正テストシステムの長年の必要性を満たすことになる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のいくつかの実施形態において、テストシステムによって作成された被測定物（ＤＵＴ）の測定値を変換する方法が提供される。この方法は、ポート固有の差分アレイを決定する段階を含み、差分アレイは、第１のテストフィクスチャと第２のテストフィクスチャとの差であって、テストフィクスチャの対応するテストポートにおける差を示す。この方法は、さらに、テストシステムを使用してＤＵＴの性能を測定する段階を含み、そのＤＵＴは、第２のテストフィクスチャ内に取り付けられている。この方法は、さらに、ポート固有の差分アレイを適用して、それにより測定されたＤＵＴ性能が、第１のテストフィクスチャ内に取り付けられ前記テストシステムによって測定されたＤＵＴの仮定的ＤＵＴ性能に近づくようにする段階を含む。
【０００７】
本発明のいくつかの実施形態において、複数のテストフィクスチャに関してテストシステムを校正する方法が提供される。この校正する方法は、第１のテストフィクスチャ内に取り付けられた校正標準器を有する第１のテストフィクスチャのパラメータを測定する段階を含む。テストシステムは、パラメータ測定のために第１のテストフィクスチャに接続されている。校正する方法は、さらに、同様に第２のテストフィクスチャ内に取り付けられた校正標準器を有する第２のテストフィクスチャのパラメータを測定する段階を含む。テストシステムは、パラメータ測定のために第２のテストフィクスチャに接続されている。校正する方法は、さらに、各テストフィクスチャの対応するポートに関して測定されたパラメータの差を使用してテストシステムの校正を調整する段階を含む。調整された校正は、テストシステムのポート固有の校正であり、それにより、テストシステムによって得られた、どちらのテストフィクスチャ内の被測定物（ＤＵＴ）に関する測定値も互いに近づく。
【０００８】
本発明のいくつかの実施形態において、複数のテストフィクスチャのテストシステムを校正する方法が提供される。この校正する方法は、テストシステムを第１のテストフィクスチャに接続する段階と、校正標準器に従って第１のテストフィクスチャのパラメータを測定する段階を含む。校正する方法は、さらに、テストシステムを第２のテストフィクスチャに接続する段階と、校正標準器に従って第２のテストフィクスチャのパラメータを測定する段階を含む。この方法は、さらに、テストフィクスチャの測定されたパラメータに従って１組の校正係数を計算する段階と、校正係数に従って校正係数を調整して、それによりＤＵＴ測定に２つのテストフィクスチャのどちらが利用されたかに関係なく被測定物（ＤＵＴ）の測定がほぼ同じ結果が得られるようにする段階とを含む。
【０００９】
本発明のいくつかの実施形態において、テストシステムを使用して第２のテストフィクスチャ内の被測定物（ＤＵＴ）の測定値を第１のテストフィクスチャ内のＤＵＴの仮定的測定値に整合させる方法が提供される。この方法は、テストフィクスチャの対応するテストポートにおいて第１のテストフィクスチャと第２のテストフィクスチャとの差を示すポート固有の差分アレイを決定する段階を含む。テストフィクスチャ内の１組の校正標準器の測定値を使用して差分アレイの要素が決定される。測定は、テストシステムによって複数の周波数で実行される。
【００１０】
本発明のいくつかの実施形態において、様々なテストフィクスチャを使用して被測定物（ＤＵＴ）を測定するテストシステムが提供される。このテストシステムは、テスト機器と、ＤＵＴをテスト機器に接続するテストフィクスチャと、テスト機器からデータを受け取り処理するように接続されたコンピュータと、コンピュータによって実行されるコンピュータプログラムとを含む。コンピュータプログラムは、コンピュータによって実行されたときに、測定のためにＤＵＴを接続するために第１のテストフィクスチャと第２のテストフィクスチャがそれぞれ使用されるときに第１のテストフィクスチャと第２のテストフィクスチャの間の差を調整するポート固有の差分アレイを決定する段階を実施する命令を含む。
【００１１】
本発明の特定の実施形態は、以上に説明した特徴の追加および代替の他の特徴を有する。本発明の以上その他の特徴は、添付図面を参照して以下に詳細に説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の様々な特徴および実施形態は、添付図面と併せて行われる以下の詳細な説明を参照することによってより容易に理解することができ、類似の参照数字は類似の構造要素を示す。
【００１３】
本発明の様々な実施形態は、複数のテストフィクスチャ内の被測定物（ＤＵＴ）の測定と、複数のテストフィクスチャと共に使用するテスト機器の校正を容易にする。本発明の様々な実施形態により、第２のテストフィクスチャすなわち生産テストフィクスチャを使用するＤＵＴの測定値が、第１のテストフィクスチャすなわち基準テストフィクスチャ内のＤＵＴによって得られたＤＵＴの仮定的測定値（ｈｙｐｏｔｈｅｔｉｃａｌ  ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓ）に「合致」または対応するように「補正」または変換される。詳細には、生産テストフィクスチャ内のＤＵＴによって得られたＤＵＴの測定値が、基準テストフィクスチャ内のＤＵＴによって得られるであろう測定値とほぼ等しくなるように補正または変換される。いくつかの実施形態では、測定されたＤＵＴ性能に対するテストフィクスチャ間の違いの影響を含むテスト機器の「校正」と共にテストフィクスチャの測定値の間の相関性が提供される。他の実施形態では、第２のテストフィクスチャと第１のテストフィクスチャのＤＵＴ測定値の差を直接調整する測定値変換が提供される。
【００１４】
本発明の実施形態は、ＤＵＴの「フィクスチャ内（インフィクスチャ、ｉｎ−ｆｉｘｔｕｒｅ）」テストまたは測定を利用するテスト機器またはテストシステムのいわゆる「標準ベース校正（ｓｔａｎｄａｒｄｓ−ｂａｓｅｄ  ｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎ）」を実行するのに適している。本発明の特定の実施形態が適用可能なテスト機器またはテストシステムには、スカラーネットワークアナライザ、ベクトルネットワークアナライザ（ＶＮＡ）、インピーダンスアナライザ、電力計、およびスペクトルアナライザがあるがこれらに限定されない。
【００１５】
本明細書で使用する用語「フィクスチャ内テスト」は、ＤＵＴがテストフィクスチャ内に取り付けられている間にＤＵＴをテストすることを指す。一般に、テストフィクスチャは、主に２つの役割を果たし、それは、テストシステム（例えば、ＶＮＡ）の標準インタフェースをＤＵＴの標準インタフェースに適応させることと、ＤＵＴの取り付け環境を物理的／電気的に模倣することである。テストフィクスチャは、ＤＵＴについて実行されるテストによって必要とされる程度に単純でも複雑でもよい。例えば、ＶＮＡの典型的な標準インタフェースは、いくつかの標準コネクタタイプのうちの１つを終端に有する１組の同軸ケーブルである。テストフィクスチャは、同軸ケーブルの標準コネクタと非標準ＤＵＴインタフェース（例えば、はんだピンまたはタブ）の間の移行部またはアダプタとして働くことができる。他の状況では、テストフィクスチャは、取り付けと電源接続を提供し、さらに標準コネクタのないＤＵＴのインタフェースアダプタとして働く。代替として、テストフィクスチャは、単にケーブルの端部のコネクタでもよく、あるいはＤＵＴが標準コネクタを備えている場合には、あるコネクタタイプを別のコネクタタイプに適応させるコネクタアダプタでよい。テストフィクスチャは、さらに、無損失で電気的長さがゼロで寄生成分のないヌルフィクスチャでもよい。当業者は、テストフィクスチャおよびＤＵＴのテストと関連したその使用に精通している。
【００１６】
本明細書で使用するとき、「未知の」または「よく分かっていない」測定または「校正」標準器とは、性能パラメータおよびそれに対応する１組の校正標準係数の少なくとも一方が、従来の方法を使用して所望の測定または校正を行う対象となる周波数範囲全体にわたって全く未知であるかあるいは十分な精度で分かっていないものである。いくつかの実施形態において、未知の標準器は、従来の標準器ベース校正で使用されるひとつのタイプの既知の標準器に近い。テストシステムとしてＶＮＡを使用する場合、通常の性能パラメータは、Ｓパラメータである。一般に、ＤＵＴの動作範囲が、対象となる周波数範囲を定義する。本発明の実施形態は、所望または適切な校正または変換を実現するためにＤＵＴの対象とする周波数範囲よりも広い周波数範囲を含むかまたは必要とすることがある。当業者は、過度の実験なしにＤＵＴの対象となる周波数範囲から周波数範囲を容易に決定することができる。
【００１７】
さらに、本明細書において、第１のテストフィクスチャと第２のテストフィクスチャを区別するためにそれぞれ「基準」と「生産」の名称が使用されるが、この名称は、任意であり、単なる説明のためであることに注意されたい。すなわち、本発明の様々な実施形態を同じように使用して、例えば、基準テストフィクスチャ内のＤＵＴの測定値を、あたかも生産テストフィクスチャ内で測定されたかのようなＤＵＴの測定値に変換することができる。さらに、第１と第２のテストフィクスチャは、２つの異なる生産フィクスチャでもよく２つの異なる基準フィクスチャでもよい。さらに、様々な実施形態は、そのような２つのテストフィクスチャに限定されず、３つ以上でもよい。
【００１８】
図１は、本発明の実施形態による被測定物（ＤＵＴ）の測定値を変換する方法１００のフローチャートを示す。この測定値を変換する方法１００は、実質的に、第２のテストフィクスチャすなわち生産テストフィクスチャ内のＤＵＴ性能の測定値を、これと対応する第１のテストフィクスチャすなわち基準テストフィクスチャ内のＤＵＴ性能の仮定的測定値と関係付け、「合致」させ、または関連付ける。方法１００による変換の後、生産テストフィクスチャ内のＤＵＴのＤＵＴ性能の測定値は、まるでその測定値が基準テストフィクスチャ内のＤＵＴによって行われたかまたは得られたかのように見える。従って、調整された測定値は、方法１００により、生産テストフィクスチャと基準テストフィクスチャ間の違いの測定性能に対する影響を実質的に考慮している。
【００１９】
図１に示したように、測定値を変換する方法１００は、ポート固有の差分アレイ（ｄｉｆｆｅｒｅｎｃｅ  ａｒｒａｙ）を決定する段階１１０を含み、この差分アレイは、フィクスチャのテストポートにおける第１のテストフィクスチャと第２のテストフィクスチャ間の差分を示す。第１と第２のテストフィクスチャはそれぞれ、ＤＵＴをテストするように適応されている。一般に、テストフィクスチャの対応する各ポートごとに個別の差分アレイが決定される（１１０）。すなわち、第１のテストフィクスチャの各ポートとそれに対応する第２のテストフィクスチャのポートについて差分アレイ１１０が決定される。従って、差分アレイ１１０は「ポート固有」である。
【００２０】
例えば、第１のテストフィクスチャの第１のテストポートと第２のテストフィクスチャの第１のテストポート間の性能差を示す第１の差分アレイを決定する（１１０）。第１と第２のテストフィクスチャのそれぞれの第２のポートについて第２の差分アレイを決定し、その他も同様に決定する。一般に、Ｎ個のポートを有するテストフィクスチャ（すなわち、Ｎポートテストフィクスチャ）ではＮ個の個別のポート固有の差分アレイが決定され（１１０）、ここで、Ｎは、「１」以上の整数である。実施形態によっては、Ｎは「３」以上の場合もある。
【００２１】
いくつかの実施形態において、ポート固有の差分アレイを決定する段階１１０は、第１のテストフィクスチャすなわち基準テストフィクスチャのポートとそれに対応する第２のテストフィクスチャすなわち生産テストフィクスチャのポートで１組の測定標準器または校正標準器の特性を測定する段階を含み、その組の校正標準器が、各テストフィクスチャ内に別々に挿入される。そのような実施形態のいくつかにおいて、図４に関して後で説明するように、１組の校正標準器は、測定（１１２）の際にポートをテストフィクスチャの他のポートから実質的に分離する。さらに、校正標準器は、一般に、性能を測定するＤＵＴの特性に対応するかまたはその性能に適合する特性を有するように選択される。校正標準器の具体的な特性は分かっていなくてもよい。換言すると、校正標準器は、未知の標準器でよい。未知の標準器が使用される際、その組の標準器はそれぞれ、その性能パラメータがその組の他の標準器の性能パラメータと異なる。いくつかの実施形態において、標準器間の差は、性能パラメータの領域に関して実質的に最大にされる。
【００２２】
例えば、ＤＵＴをＶＮＡで測定するとき（１１２）、１組の標準器は、開回路（すなわち、ｏｐｅｎまたは「ｏ」）を模倣した第１の標準器と、短絡回路（すなわち、ｓｈｏｒｔまたは「ｓ」）を模倣した第２の標準器と、負荷（すなわち、ｌｏａｄまたは「ｌ」）を模倣した第３の標準器を含む。そのような１組の標準器は、ＯＳＬ標準器セットと呼ばれる場合がある。当業者が容易に証明できるように、ｓｈｏｒｔ、ｏｐｅｎ、およびｌｏａｄは、Ｓパラメータ領域内（すなわち、スミス図表上）で実質的に最大限互いに分離されたＳパラメータを有する標準器である。
【００２３】
これらの他の実施形態において、前述のようにポートを実質的に分離する１組の標準器とは対照的に、対になったポートを互いに接続する１組の校正標準器が使用される。そのような実施形態では、図５を参照して後で説明するように、ポート固有の差分アレイを決定する段階１１０’は、基準テストフィクスチャのポート対とそれに対応する生産テストフィクスチャのポート対で１組の校正標準器の特性を測定する段階１１２’を含む。その組の校正標準器が各テストフィクスチャに別々に挿入され、その１組の標準器は、テストフィクスチャのポートのすべての組み合わせ（すなわち、すべてのポート対）を対として接続するのに十分な標準器を含む。
【００２４】
例えば、３ポートＤＵＴのＳパラメータをＶＮＡを使用して測定するときは、テストフィクスチャがそれぞれ３つのポートを有する。同様に、１組の校正標準器は、３つのいわゆるｔｈｒｕ標準器を含む場合がある。本明細書で使用されるとき、ｔｈｒｕ標準器は、テストフィクスチャの１対のポート間で比較的低損失の信号伝送路を実現する。したがって、第１のｔｈｒｕ（例えば、ｔｈｒｕ12）はポート１をポート２に接続し、第２のｔｈｒｕ（例えば、ｔｈｒｕ13）はポート１をポート３に接続し、第３のｔｈｒｕ（例えば、ｔｈｒｕ23）は、ポート２をポート３に接続することがある。従って、例えば、３つのｔｈｒｕ標準器は一緒に、例示的な３ポートテストフィクスチャのポートのすべての可能な組み合わせをポート対として接続する。
【００２５】
さらに、決定する段階１１０、１１０’は、測定結果から差分アレイの要素について解く段階を含む。図４を参照して後で説明するようないくつかの実施形態において、解く段階１１４は、測定（１１２）の結果を使用していくつかの式をいくつかの未知数について解く段階を含む。段階１１４で解いた未知数は、求めている差分アレイ要素を表す。したがって、測定（１１２）の結果を使用して未知数について解く（１１４）ことによって、差分アレイの要素が決定される１１０。
【００２６】
例えば、Ｓパラメータが測定され、テストフィクスチャが受動的で相反であると仮定された場合は、差分アレイが３つの独立した要素によって定義されることがある。従って、１組の３つの標準器を測定する（１１２）ことにより、３つの式を３つの未知数について解いてポート固有の差分アレイを決定する（１１０）のに十分な情報が生成される。
【００２７】
図５に関して後で示すようないくつかの実施形態において、解く段階１１４’は、測定（１１２’）の結果を使用してポート固有の差分アレイを表すモデルを最適化する段階を含む。そのような実施形態では、テストフィクスチャ間の「測定値変換」を実質的に表すモデルが構築される。このモデルは、第２のテストフィクスチャの測定した１１２’結果を入力として受け入れ、変換した測定値を出力として生成する。変換した測定値は、第１のテストフィクスチャと関連した測定値と比較される。モデルのパラメータは、最適化する際、変換した測定値と第１のテストフィクスチャの測定値との差が最小になるまで調整される。最適化によって生成されるモデルのパラメータは、真の要素の近似値であるが、求めているポート固有の差分アレイの要素を表す。
【００２８】
例えば、モデルは、生産テストフィクスチャの測定結果を、基準テストフィクスチャに対応する結果に変換する。最適化する際のパラメータ調整によって、変換した生産テストフィクスチャの測定結果と基準テストフィクスチャの測定結果との差が、所定の測定規準（ｍｅｔｒｉｃ）に対して最小化される。測定規準が最小になると最適化が終了する。最適化が終了した時で、モデルのパラメータは、段階１１０’で決定された差分アレイの近似的な要素を表す。
【００２９】
測定する段階１１２、１１２’に使用される１組の校正標準器は、必要に応じて、ポートを接続するかポート対を接続するために使用される追加の標準器を含むことができる。例えば、段階１１２’で測定する組は、３つのｔｈｒｕ標準器の他に、ｓｈｏｒｔ、ｏｐｅｎ、およびｌｏａｄ標準器のうちの１つまたは複数を含むことができる。追加の標準器は、特に例えば測定ノイズが在る状態で様々な差分アレイ演算１１４、１１４’の解空間を適切に定義するのに役立つ場合がある。さらに、ポート固有の差分アレイを決定する段階１１０、１１０’が、実施形態によって、特性を測定し（１１２）要素について解いたり（１１４’）、特性を測定し（１１２’）要素について解いたり（１１４）するような、図４と図５に具体的に示したもの以外の段階の組み合わせを含むことができることは本発明の範囲内である。
【００３０】
測定値を変換する方法１００は、さらに、ＤＵＴの性能を測定する段階１２０を含み、ＤＵＴは、第２のテストフィクスチャに取り付けられている。詳細には、ＤＵＴは、第２のテストフィクスチャに取り付けられており、テストシステムが、第２のテストフィクスチャ内のＤＵＴの１つまたは複数の性能測定を行うために使用される。例えば、このテストシステムはＶＮＡであり、性能測定は、ＤＵＴのＳパラメータを周波数の関数として含む。
【００３１】
測定値を変換する方法１００は、さらに、段階１２０で測定したＤＵＴの性能にポート固有の差分アレイを適用する段階１３０を含み、それにより、ＤＵＴ性能が、第１のテストフィクスチャ内に取り付けられたＤＵＴによる仮定的ＤＵＴ性能に近くなるように調整される。換言すると、差分アレイを適用した１３０後、第２のテストフィクスチャ内のＤＵＴの測定された性能が、まるでＤＵＴが第１のテストフィクスチャに取り付けられ測定されたかのように見えるようになる（すなわち、変換される）。
【００３２】
本発明の様々な実施形態によれば、個々のテストフィクスチャの性能特性が事前に分かっていなくてもよい。詳細には、実施形態は、テストフィクスチャの正確な特性に依存しない。さらに、テストフィクスチャの性能特性は、従来の校正方法を使用し正確な「フィクスチャ内」校正標準器を使用することによって正確に決定されなくてもよい。さらに、実施形態は、正確な校正標準器や既知の校正標準器を使用しなくてもよい。
【００３３】
その代わりに、これらの従来の要件に取って代わるように、本発明による方法１００に関して前に述べたような差分アレイが使用される。差分アレイは、実質的に、基準テストフィクスチャと生産テストフィクスチャの性能の「数学的な差」を表す。従って、差分アレイは、各テストフィクスチャ内のＤＵＴの測定値を「連結（ｌｉｎｋ）」する。決定（１１０）後、テストフィクスチャのうちの１つのＤＵＴの測定（１２０）した結果に差分アレイを適用して（１３０）、測定値を他のテストフィクスチャ内のＤＵＴの性能を表す同等な測定値に変換する。代替として、差分アレイを使ってテストシステムの校正係数を「補正」することができ、それにより、調整し校正したテストシステムを使用した生産テストフィクスチャ内のＤＵＴの測定値が、あたかも基準テストフィクスチャ内のＤＵＴの通常通り校正したテストシステムによって生成された測定値と実質的に等しくなるように変換される。
【００３４】
例えば、生産テストフィクスチャ内のＤＵＴを測定する１２０。次に、生産テストフィクスチャを基準テストフィクスチャに連結する、段階１１０で決定されたポート固有の差分アレイが、ＤＵＴ測定値に適用され（１３０）、変換された測定値が生成される。前に説明したように、変換された測定値は、基準テストフィクスチャ内のＤＵＴを測定した場合にＤＵＴがどのように機能するかを実質的に表す。したがって、ポート固有の差分アレイによって、生産テストフィクスチャを使用したときの測定値と基準テストフィクスチャを仮定的に使用したときの測定値とを関連付けあるいは「合致」させることが実質的に容易になる。
【００３５】
信号流れ図（シグナルフロー図）に関して、差分アレイは、実質的に、生産テストフィクスチャのポートとカスケード（縦列接続）された「エラーアダプタ（ｅｒｒｏｒ  ａｄａｐｔｏｒ）」である。エラーアダプタは、ポートで得た測定値を基準テストフィクスチャのポートに対応する測定値に数学的に変換する。すなわち、エラーアダプタは、それぞれのテストフィクスチャからの測定値の間の誤差を「除去」するように測定値を適応させる。
【００３６】
テストフィクスチャの信号流れ図と関連付けられた本発明の個々のエラーアダプタ（すなわち、テストフィクスチャの各ポートごとのエラーアダプタ）を、テストシステムで従来使用されていた通常のベクトルエラー補正アレイ（ｎｏｒｍａｌ  ｖｅｃｔｏｒ  ｅｒｒｏｒ  ｃｏｒｒｅｃｔｉｏｎ  ａｒｒａｙ）と結合して、エラー補正項を修正することができる。従って、エラー補正の従来の適用は、差分アレイの影響を含む。したがって、実質的に追加のデータ処理なしに測定値変換を実現することができる。当業者は、従来のエラー補正に精通している。
【００３７】
例えば、ＶＮＡに適用されるエラー補正の考察、ならびに校正標準器、ＳＯＬＴ校正方法とＴＲＬ校正方法、および従来のフィクスチャ内校正の考察は、アジレント・テクノロジーズ・インクのアプリケーションノートＡＮ１２８７−３「ネットワークアナライザの測定に対する誤差補正の適用（Ａｐｐｌｙｉｎｇ  Ｅｒｒｏｒ  Ｃｏｒｒｅｃｔｉｏｎ  ｔｏ  Ｎｅｔｗｏｒｋ  Ａｎａｌｙｚｅｒ  Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｓ）」、ＰＮ８５１０−５Ａ「アジレント（商標）８５１０ネットワークアナライザの校正標準器について（Ｓｐｅｃｉｆｙｉｎｇ  Ｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎ  Ｓｔａｎｄａｒｄｓ  ｆｏｒ  ｔｈｅ  Ａｇｉｌｅｎｔ  ８５１０  Ｎｅｔｗｏｒｋ  Ａｎａｌｙｚｅｒ）」、ＡＮ１２８７−９「ベクトルネットワークアナライザを用いたインフィクスチャ測定（Ｉｎ−Ｆｉｘｔｕｒｅ  Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ  Ｕｓｉｎｇ  Ｖｅｃｔｏｒ  ＮｅｉｗｏｒｋＡｎａｌｙｚｅｒｓ）」に示されており、これらの３つはすべて参照により本明細書に組み込まれる。
【００３８】
以下において、「アレイ」は、一般に、Ｓパラメータに関する性能を考察するときに使用され、「アダプタ」は、信号流れ図または信号流れグラフ（シグナルフローグラフ）に関する性能を考察するときに使用される。しかしながら、ＳパラメータとそのＳパラメータの信号流れ図の間には一対一の対応があるので、以下の説明の多くにおいて「アレイ」と「アダプタ」の区別は重要でないことがある。
【００３９】
概念的に、エラーアダプタの信号流れ図は、生産テストフィクスチャ（例えば、第２のテストフィクスチャ）のポートに適用される２つの２ポートアダプタのカスケード（従属接続）と見なすことができる。そのように適用されたとき、エラーアダプタは、生産テストフィクスチャを、実質的にあたかも基準テストフィクスチャ（例えば、第１のテストフィクスチャ）のポートにあるかのように「見える」ようにする。２つの２ポートアダプタの第１のアダプタは、生産テストフィクスチャのポートに適用され、実質的に「逆」アダプタ（ｉｎｖｅｒｓｅ  ａｄａｐｔｏｒ）を表す。逆アダプタは、テストフィクスチャポートを表す流れ図とカスケードされたときに、「ユニット」流れ図を作成する２ポートアダプタとして定義される。「ユニット」流れ図は、対角要素の０と非対角要素の１を有するＳパラメータ行列または配列によって表される。換言すると、逆アダプタは、実質的にＤＵＴの測定値に対するポートの性能の影響を相殺する。２つの２ポートアダプタのうちの第２のアダプタは、基準テストフィクスチャ（例えば、第１のテストフィクスチャ）から、対応するポートの性能を実質的に導入する。したがって、２つの２ポートアダプタのカスケードによって、テストフィクスチャのポートに関連した性能が、別のテストフィクスチャのものと置き換えられる。さらに、エラーアダプタの信号流れ図は、カスケードされた２つの２ポートアダプタに代用され、テストフィクスチャポートの等価な流れ図が得られる。
【００４０】
図２は、本発明の実施形態による例示的なテストフィクスチャ２１０と被測定物（ＤＵＴ）２２０のＳパラメータの信号流れ図２００を示す。３ポートテストフィクスチャ２１０および対応する３ポートＤＵＴ２２０として示したが、以下の考察は、一般に、ＮポートのテストフィクスチャによるＮポートのＤＵＴのテストにも当てはまることに注意されたい。ここで、Ｎは正整数である。本明細書での３ポートの使用は、単に考察のためであり、限定としてではない。さらに、ＤＵＴについて測定するものとしてＳパラメータを使用するのは、単に考察のためである。さらに、以下において、単に考察のために、テストフィクスチャ２１０が受動的で相反であると仮定する。
【００４１】
例として図２に示したように、テストフィクスチャ２１０とＤＵＴ２２０はそれぞれ３つのポートを有する。ＤＵＴ２２０の各ポートは、ポートと関連付けられたテストフィクスチャ２１０の対応するポートまたは部分２１１、２１２、２１３に接続されている（すなわち「ポート部分」）。したがって、ＤＵＴ２２０の第１のポート（ａ1−ｂ1）は、テストフィクスチャ２１０の第１のポート部分２１１に接続されており、ＤＵＴ２２０の第２のポート（ａ2−ｂ2）は、テストフィクスチャ２１０の第２のポート部分２１２に接続されており、ＤＵＴ２２０の第３のポート（ａ3−ｂ3）は、テストフィクスチャ２１０の第３のポート部分２１３に接続されている。
【００４２】
Ｓパラメータ測定を実行するテストシステム（図示せず）が、ポート１、ポート２、ポート３の３つのテストフィクスチャポートにおいて、テストフィクスチャ２１０とそれに取り付けられたＤＵＴ２２０と接続し測定する。したがって、テストシステムは、テストフィクスチャ２１０とそれに取り付けられたＤＵＴ２２０の組み合わされた性能を測定する。すなわち、ＤＵＴ２２０の性能は、テストフィクスチャのポート部分２１１、２１２、２１３による影響を受ける。
【００４３】
一般に、テストフィクスチャ２１０は流れ図は、基準テストフィクスチャ２１０と生産テストフィクスチャ２１０’のどちらも表すことができる。テストフィクスチャ２１０、２１０’が基準テストフィクスチャ２１０であるとき、テストシステムによって、基準テストフィクスチャ２１０のそれぞれのポート部分２１１、２１２、２１３のＳパラメータがＤＵＴ２２０のＳパラメータと一緒に測定される。代替として、テストフィクスチャ２１０、２１０’が、生産テストフィクスチャ２１０’であるとき、テストフィクスチャ２１０’とＤＵＴ２２０の測定値は、生産テストフィクスチャのそれぞれのポート部分２１１’、２１２’、２１３’のＳパラメータとＤＵＴ２２０のＳパラメータの組み合わせたものを表す。基準テストフィクスチャ２１０と生産テストフィクスチャ２１０’のＳパラメータ性能は、ポート部分２１１、２１１’、２１２、２１２’、２１３、２１３’のうちの少なくとも１つにおいて異なると考えられる。
【００４４】
例えば、基準テストフィクスチャ２１０の第１のポート部分２１１は、以下の記号によって指定されるＳパラメータアレイによって表される。
【００４５】
【数１】
2007519892.tif 000003
なお、上記の記号を文中で直接表記できないので、文中では次に示すルールに基づく代替記号を使用する。ここで、ｎおよびｍは、任意の文字または文字列である。従って、基準テストフィクスチャ２１０の第１のポート部分２１１は、Ｓパラメータアレイ［Ｓ］R,P1によって表されることとなる。
【００４６】
【数２】
2007519892.tif 000004
さて、生産テストフィクスチャ２１０’の第１のポート部分２１１’は、Ｓパラメータアレイ［Ｓ］P,P1によって表される。同様に、Ｓパラメータアレイ［Ｓ］R,P2と［Ｓ］P,P2はそれぞれ、基準テストフィクスチャ２１０と生産テストフィクスチャ２１０’の第２のポート部分２１１、２１１’のＳパラメータを表し、Ｓパラメータアレイ［Ｓ］R,P3と［Ｓ］P,P3はそれぞれ、基準テストフィクスチャ２１０と生産テストフィクスチャ２１０’の第３のポート部分２１１、２１１’のＳパラメータを表す。
【００４７】
前述のように、生産テストフィクスチャ２１０’内のＤＵＴ２２０の測定値を、ＤＵＴ２２０が基準テストフィクスチャ２１０内に取り付けられた場合に測定されるはずのものを表す測定値に変換するために、段階１１０で決定した差分アレイを表すエラーアダプタが開発された。ＤＵＴ２２０のＳパラメータは、どのテストフィクスチャ２１０が使用されるかに関係なく同じなので、基準テストフィクスチャと生産テストフィクスチャの測定結果に現れる差は、それぞれ基準テストフィクスチャ２１０と生産テストフィクスチャ２１０’のそれぞれのＳパラメータアレイまたはポート部分２１１、２１２、２１３の信号流れ図によって完全に「捕捉」される。
【００４８】
例えば、基準テストフィクスチャ２１０と生産テストフィクスチャ２１０’がそれぞれＳパラメータアレイ［Ｓ］R,P1と［Ｓ］P,P1によって表される場合の基準テストフィクスチャ２１０と生産テストフィクスチャ２１０’のそれぞれのポート１を検討する。図３Ａは、本発明の実施形態による、基準テストフィクスチャ２１０と生産テストフィクスチャ２１０’のポート部分２１１、２１１’の信号流れ図を示す。図３Ｂは、２つの２ポートアダプタ２１１ａ’、２１１ｂ’（すなわち、基準テストフィクスチャ２１０ポート部分２１１に対応する逆アダプタ２１１ａ’とアダプタ２１１ｂ’）のカスケードを、本発明の実施形態による生産テストフィクスチャ２１０’のポート部分２１１’の信号流れ図に概念的に適用したものを示す。図３Ｃは、エラーアダプタ２１１’が、図３Ｂに示したカスケードされた２つの２ポートアダプタ２１１ａ’、２１１ｂ’と等価な場合の生産テストフィクスチャ２１０’のポート部分２１１’の信号流れ図とカスケードされたエラーアダプタ２１１”を示す。図３Ｂと図３Ｃに表されたどちらかの条件で生産テストフィクスチャ２１０’内に取り付けられたＤＵＴ２２０の測定値は、あたかも測定値が基準テストフィクスチャ２１０内に取り付けられたＤＵＴ２２０で得られたかのように見える。
【００４９】
図３Ｄは、ポート固有の差分アレイ［Ｄ］pnによって示されたエラーアダプタの流れ図であり、添字「Ｐｎ」は、本発明の実施形態によりエラーアダプタ（または、差分アレイ）が適用されるポート（例えば、Ｐ１、Ｐ２、…）に対応する。差分アレイ［Ｄ］pnの要素は、図３Ｄに示したように、信号流れ図の頂点に対応するかまたはその頂点とそれぞれ関連付けられる。さらに、テストフィクスチャ２１０、２１０’が受動的で相反なので、差分アレイ［Ｄ］pnも同様に相反である。したがって、差分アレイが、行列要素Ｄ11、Ｄ21、Ｄ22、およびＤ12によって示される場合、２つの非対角行列要素（すなわち、Ｄ21＝Ｄ12）は等価である。差分アレイ［Ｄ］P1は、図３Ｃに示したエラーアダプタ２１１”と等価である。
【００５０】
図３Ｄに示したエラーアダプタに第１の表記を使用して、エラーアダプタの各「伝達（ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ）」枝（例えば、順方向と逆方向）は、非対角行列要素に対応する。したがって、非対角行列要素が互いに等しいので、両方の伝達枝は、図３Ｄに示したように単一の「伝達項」ｔで表されることがある（すなわち、ｔ＝Ｄ21＝Ｄ12）。さらに、そのような表記において、図３Ｄに示したように、差分アレイの第１の対角項Ｄ11は「方向性（ｄｉｒｅｃｔｉｖｉｔｙ）」枝または項ｄに対応し、第２の対角項Ｄ22は「ソース整合」枝またはｍで示した項に対応する。
【００５１】
図３Ｅは、本発明の実施形態による第２の表記を使用して図３Ｄのエラーアダプタを示す。具体的には、第２の表記は、ベクトルネットワークアナライザなどであるがこれに限定されないテストシステムと関連したエラー補正技術および方法でしばしば使用される表記と一致するものである。
【００５２】
図３Ｅの第２の表記によれば、エラーアダプタの伝達枝は、順方向枝が１になるように正規化される（例えば、図３Ｅの「１」）。正規化された状態で、本明細書において反射トラッキング項（ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ  ｔｒａｃｋｉｎｇ  ｔｅｒｍ）Ｅｒと呼ばれる逆方向枝は、差分アレイの非対角行列要素の積である（すなわち、Ｅｒ＝Ｄ21Ｄ12）。正規化は、エラーアダプタの方向性項と整合項に影響を及ぼさない。従って、図３Ｅに示した第２の表記によれば、方向性項Ｅｄは第１の対角要素Ｄ11と等しく、ソース整合項Ｅｓは第２の対角要素Ｄ22と等しい。第２の表記は、後で説明するように、３つの校正標準器を使用して様々なアレイ要素を決定するのに適している。
【００５３】
しかしながら、ある一定の環境下で表記の便利さを提供するが、図３Ｄと図３Ｅと関連して前に説明した第１と第２の表記は、様々なポート固有のエラーアダプタをポート固有の差分アレイ［Ｄ］pnによって示すのと実質的に等価な手法であることを考慮されたい。また、一般に、差分アレイ［Ｄ］pnの要素（すなわち、Ｄ11、Ｄ21、Ｄ22、およびＤ12）ならびに様々なエラーアダプタ項（すなわち、ｔ、ｄ、ｍまたはＥｒ、Ｅｄ、Ｅｓ）は複素数値化され、各要素または各項は、振幅と位相または実部と虚部を有する。さらに、ある範囲または帯域の周波数にわたって測定値を検討するとき、様々なアレイ要素とエラーアダプタは、周波数の関数である。詳細には、それぞれの差分アレイ要素とエラーアダプタ項は、一連のデータポイントによって示されることがあり、各データポイントは、測定周波数範囲内の異なる周波数に対応する（例えば、Ｅｒ＝｛｜Ｅｒ（ｆ）｜，ａｒｇ［Ｅｒ（ｆ）］｝）。
【００５４】
図３Ｅを再び参照すると、基準テストフィクスチャ２１０と生産テストフィクスチャ２１０’からポート固有の差分アレイ［Ｄ］pnを段階１１０で決定するいくつかの実施形態により、反射トラッキング項Ｅｒが得られる。前述のように、反射トラッキング項Ｅｒは、実質的に、差分アレイ要素Ｄ21とＤ12の複素積である。状況によって、反射トラッキング項Ｅｒをそれぞれの差分アレイ要素Ｄ21、Ｄ12に分割しなければならない場合がある。そのような状況は、本発明の様々な実施形態により複数のテストフィクスチャを考慮するために差分アレイ［Ｄ］pnを使用してＤＵＴの測定値を変換しまたはテストシステムの校正を補正するときを含む。差分アレイ要素Ｄ21とＤ12のそのような分割が望ましいとき、本発明により決定される複素平方根が使用されることがある。
【００５５】
当業者が熟知しているように、複素平方根の決定は、関連する様々なあいまいさのために難しいことがある。例えば、一般に、テストフィクスチャ２１０、２１０’が、周波数範囲内の最も高い周波数において約１８０度以上の電気的長さを有するときに、複素平方根の位相にはあいまいさがある。幸いにも、本発明の実施形態によって、そのようなあいまいさが実質的にない複素平方根の適切な解決を、いくつかの周波数または周波数ポイントにおけるテストフィクスチャ２１０、２１０’の測定値１１２を使用することによって実現することができる。具体的には、いくつかの測定周波数ポイントに対応する複素積（すなわち、Ｄ21Ｄ12）を表す一連のデータポイントを使用して複素平方根の決定のあいまいさをなくすことができる。
【００５６】
テストフィクスチャ２１０、２１０’は、一般に、テストフィクスチャ２１０、２１０’の周波数応答が、周波数範囲全体にわたって適切に挙動しまたは制御されるように直流（ＤＣ）結合されるかあるいは少なくとも構造的特性を有することに注意されたい。従って、テストフィクスチャ２１０、２１０’のそれぞれの群遅延は、周波数範囲全体にわたって比較的一定であると考えることができる。テストフィクスチャ２１０、２１０’を測定する段階１１２から得た測定データが、複素積または等価物に対応するデータ内の「アンダーサンプリングされた」いくつかのデータポイントではないと仮定すると、反射トラッキング項Ｅｒを使用して複素積の位相を「アンラップ（ｕｎｗｒａｐ）」することができ、それによりそれぞれの周波数における複素平方根の位相の明確な決定が容易になる。いくつかの実施形態において、いくつかのデータポイントは、複素積の群遅延を推定するためにも使用され、さらに複素平方根の位相の決定を支援する。本明細書で使用されるとき、「アンダーサンプリングされた」は、データポイント間に１８０度を超える位相ずれが起こることを意味する。
【００５７】
いくつかの実施形態によれば、複素平方根位相を決定する段階は、１８０度の位相間隔で生じる位相変化点を除去するために複素積データポイントの位相をアンラップする段階を含む。位相をアンラップする段階は、複素積データ内のデータポイントを周波数の関数として調べ、隣り合ったデータポイント間に１８０度を超える位相変化が起こるかどうかを決定する段階を含む。位相変化が１８０度より大きいときは「位相ラップ」が想定される。次に、３６０度と等しい位相の大きさが、位相ラップに続く複素積データの各データポイントから減算される（すなわち、位相ラップに先行する前のデータポイントより周波数が高い）。アンラップは、複素積のすべてのデータポイントに実行される。アンラップの後、データポイント内の周波数の関数としての位相が３６０度を超えることがある。
【００５８】
次に、各データポイントのアンラップ位相を２で割って、複素積の適正な平方根のデータポイントの位相部分または位相（すなわち、周波数の関数としてのデータポイント位相）を得る。データポイントの各振幅部分または振幅（すなわち、周波数の関数としてのデータポイント振幅）の正の標準（すなわち、非複素）の平方根を計算して、複素積の適正な平方根の振幅部分を提供する。
【００５９】
いくつかの実施形態において、群遅延は、１対の複素積データポイントを選択することによって位相アンラップデータポイントから推定される。例えば、所定の位相差を有する２つの複素積データポイントを選択してデータポイント対として使用する。群遅延が一定の場合、データポイント対の選択は、実質的に任意でよい。いくつかの実施形態において、測定値に存在するノイズが計算した遅延結果を実質的に変化させないように１対のデータポイントが選択される。対の間に十分な位相変化があるデータポイントがない場合、群遅延は無視できるほど十分に小さい（すなわち、群遅延０）と見なすことができる。群遅延が一定でないときやデータ内のノイズが問題となるときは、いくつかの対を選択し、以上で得た結果を平均化して群遅延を決定することができる。
【００６０】
次に、当技術分野において既知の従来の群遅延計算方法を使用して、第１の対のデータポイントから群遅延の推定値を計算する。いくつかの実施形態において、群遅延推定値は、データポイントの周波数差に対する位相差の比率として計算される。
【００６１】
群遅延推定値から、１組の中の第１のデータポイント（すなわち、周波数範囲の低い方の端の複素積データポイント）の群遅延と周波数を掛けることによって、その組の第１のデータポイントとＤＣとの位相ずれが計算される。乗算の結果は、位相として度によって表わされる。次に、計算された第１のデータポイントの位相で表されたいくつかの完全な３６０度の位相ラップを決定する。例えば、計算された第１のデータポイントの位相を３６０で割り、その結果を整数に切り捨てる。この整数と３６０度を掛けたものを前にアンラップしたデータポイント位相から減算する。最後に、前述のように、各データポイントのアンラップ位相を２で割り、データポイントの位相部分または位相を得る。その平方根を決定すると、差分アレイ要素Ｄ21とＤ12の分割が達成される。
【００６２】
重要なことは、前述のように、テストフィクスチャ２１０、２１０’の各ポートごとにポート固有の差分アレイ［Ｄ］pnの要素を決定する段階１１０の後で、図３Ｅに示したエラーアダプタの適用１３０によって、生産テストフィクスチャ２１０’内のＤＵＴ２２０の測定値１２０が、あたかもその測定値が基準テストフィクスチャ２１０内に取り付けられたＤＵＴ２２０のものであるかのように見えることである。様々な実施形態において、本発明は、ポート固有の差分アレイ［Ｄ］pnまたはそれの等価物を決定する（１１０）。さらに、実施形態により、フィクスチャ２１０、２１０’における不正確な標準器または正確な標準器のいずれかを測定することによって、ポート固有の差分アレイ［Ｄ］pnまたはその等価物を決定することができる（１１０）。
【００６３】
以下の考察において、テストシステムは、ＤＵＴのＳパラメータを測定するベクトルネットワークアナライザ（ＶＮＡ）であると想定する。本明細書において、テストシステムは、考察を容易にするためにＶＮＡだけによって表されるが、本発明の範囲をいかなる形でも限定するものではない。当業者は、校正の考察を、過度の実験なしに他のテストシステムの標準器を利用した校正に容易に拡張することができる。さらにまた、限定ではなく単に考察のために、３ポートＤＵＴとそれに対応する３ポートテストフィクスチャを想定する。
【００６４】
図４は、本発明の測定値を変換する方法１００の実施形態によって差分アレイを決定する（１１０）実施形態のフローチャートを示す。詳細には、差分アレイを決定する段階１１０により、テストフィクスチャの各ポートのエラーアダプタが得られる。ポート固有のエラーアダプタは、図３Ｅに示しまたこの図に関して前に示した形のものであり、アダプタ項Ｅｒ、ＥｓおよびＥｄを含む。今後、ポート固有の差分アレイを決定する段階１１０は、エラーアダプタまたはポート固有エラーアダプタを決定する段階１１０と呼ぶこともある。
【００６５】
前述のように、ポート固有エラーアダプタを決定する段階１１０は、基準テストフィクスチャと生産テストフィクスチャのそれぞれにおいて別々に１組の校正標準器の各標準器の反射パラメータΓを測定する段階１１２を含む。一般に、測定する段階１１２に使用される１組の標準器は、基準テストフィクスチャと生産テストフィクスチャ内の取り付けられるように適応されている。
【００６６】
いくつかの実施形態において、１組の校正標準器は、本明細書においてｓｈｏｒｔ（ショート）、ｏｐｅｎ（オープン）、およびｌｏａｄ（ロード）と呼ばれる３つの標準器を含み、この組全体でＯＳＬセットと呼ばれる。決定する段階１１０に関して前に考察したように、ｏｐｅｎ、ｓｈｏｒｔおよびｌｏａｄ標準器は、異なるＳパラメータを有する任意の３つの装置を表すことができ、装置のＳパラメータ間の分離は、実質的に互いに対して最大にされる。一般に、その他の点では標準器は未知でもよい。
【００６７】
いくつかの実施形態において、ｏｐｅｎは、開回路を表す装置であり、ｓｈｏｒｔは、短絡開路を表す装置であり、ｌｏａｄは、実質的に比較的低い反射減衰量（例えば、−１５ｄＢ以下）でテストフィクスチャにインピーダンス整合される装置である。正確なｏｐｅｎ、ｓｈｏｒｔおよびｌｏａｄ標準器を使用することができるが、これは本発明によれば不要である。反射特性Γは、ＤＵＴの対象とする周波数範囲内の１つまたは複数の周波数ポイントで測定される（１１２）。このように、反射パラメータΓは、一般に、周波数の関数（すなわち、Γ（ｆ））である。しかしながら、考察のためまた表記的便宜とわかりやすさのため、特に断らない限り、以下において、段階１１２で測定した反射パラメータの周波数依存は行われない。
【００６８】
図４を参照すると、測定する段階１１２は、基準フィクスチャ内で、組内の各標準器の反射パラメータΓを測定する段階１１２ａを含む。測定１１２ａの結果は、以下の３つのパラメータ測定値であり、ここで、上付き文字「Ｒ」は、測定が基準テストフィクスチャ内で行われたことを示し、下付き文字は、３つの標準器（すなわち、「０」＝ｏｐｅｎ、「ｓ」＝ｓｈｏｒｔ、「ｌ」＝ｌｏａｄ）のうちのどれが測定されたかを示す。
【００６９】
【数３】
2007519892.tif 000005
【００７０】
測定する段階１１２は、さらに、生産テストフィクスチャ内で、１組の中の各標準器の反射パラメータΓを測定する段階１１２ｂを含む。測定１１２ｂの結果は、以下の３つの測定パラメータ測定値であり、ここで、上付き文字「Ｐ」は、測定が生産テストフィクスチャで行われたことを示し、下付き文字は、３つの標準器のうちのどれが測定されたかを示す。
【００７１】
【数４】
2007519892.tif 000006
【００７２】
決定する段階１１０は、さらに、測定する段階１１２の結果から差分アレイの要素について解く段階１１４を含む。図４に示したように、解く段階１１４は、以下に定義する行列［Ａ］を形成する段階１１４ａを含む。
【００７３】
【数５】
2007519892.tif 000007
【００７４】
解く段階１１４は、さらに、以下の式を使用して３つのエラーアダプタ項Ｅｓ、ＥｄおよびＥｒのそれぞれについて解く段階１１４ｂを含む。
【００７５】
【数６】
2007519892.tif 000008
ここで、「｜・｜」は、行列式を示す。
【００７６】
測定する段階１１２ａ、測定する段階１１２ｂ、形成する段階１１４ａ、および解く段階１１４ｂを含むエラーアダプタを決定する段階１１０は、テストフィクスチャの各ポートごとに繰り返される。したがって、各ポートごとに個別のエラーアダプタが決定される１１０。例えば、３ポートテストフィクスチャ（すなわち、基準テストフィクスチャと生産テストフィクスチャが両方ともそれぞれ３つのポートを有する）によって、各テストフィクスチャに３つのエラーアダプタが決定される（１１０）。
【００７７】
エラーアダプタまたはその項Ｅｓ、ＥｄおよびＥｒを決定する段階１１０は、変換する方法１００に従って段階１２０で測定したＤＵＴの性能結果に直接適用する（１３０）ことができる。例えば、エラーアダプタは、カルフォルニア州パロアルトのＡｇｉｌｅｎｔ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ社によって製造されたＥＮＡシリーズおよびＰＮＡシリーズベクトルネットワークアナライザを含むがこれに限定されない多数のＶＮＡによって提供されるソフトウェア「フィクスチャ作成」能力および機能を使用して測定に埋め込まれる。さらに、生産テストフィクスチャと基準テストフィクスチャのそれぞれの各ポートにＯＳＬ標準器のそれぞれを順次挿入することをユーザに促すコンピュータプログラムがＶＮＡに書き込まれインストールされてもよい。コンピュータプログラムは、また、例えばＶＮＡの組み込まれた埋め込みアルゴリズムを使用して結果を適用する１３０ことができる。
【００７８】
図５は、本発明の測定値を変換する方法１００の実施形態によりポート固有の差分アレイを決定する（１１０’）もう１つ実施形態のフローチャートを示す。詳細には、差分アレイを決定する段階１１０’は、図３Ｄに示し関連して前に説明した形のポート固有エラーアダプタを生成し、アダプタ項ｔ、ｍおよびｄを含む。決定する段階１１０’は、機能を信号ブロックまたは差分アレイから外す（ｄｅ−ｅｍｂｅｄ）段階と信号ブロックまたは差分アレイに埋め込む段階の両方を含むと考えることができる。適用（１３０）の結果は、生産テストフィクスチャ測定を基準テストフィクスチャのものと同じになるように「読ませ」または見せることである。
【００７９】
決定する段階１１０’は、基準テストフィクスチャと生産テストフィクスチャのそれぞれで１組の校正標準器を測定する段階１１２’を含む。前述のように、決定する段階１１０’は、図４に関して前に説明した決定する段階１１０で行ったものと対照的に、テストフィクスチャの個々のポートを分離しないｔｈｒｕ標準器を使用する。その代わりに、測定する段階１１２’でｔｈｒｕ標準器を使用することにより、実質的にポートがポート対に分離される。例えば、３ポートテストフィクスチャの場合、ポート１／ポート２、ポート１／ポート３、およびポート２／ポート３を含むポート対がそれぞれ、１組の「ｔｈｒｕ12」「ｔｈｒｕ13」および「ｔｈｒｕ23」と指定されるｔｈｒｕ標準器を使用して測定される（１１２’）。前述の１組の校正標準器と同じように、ｔｈｒｕ標準器は、未知の標準器かまたは十分に分かっていない標準器でもよく、あるいは正確な標準器でもよい。
【００８０】
ｔｈｒｕ標準器はテストフィクスチャ内で使用するのに適しており、したがってこの標準器は実際には容易に実装されることがある。例えば、そのような校正標準器は、テストフィクスチャ内に取り付けるように適応されたパッケージ内でボンドワイヤを取り付けるだけで実装されることがある。いくつかの実施形態では、ｔｈｒｕ標準器の他に、例えばｏｐｅｎ、ｓｈｏｒｔ、およびｌｏａｄのうちの１つまたは複数の追加の校正標準器が使用されることがある。また、図４の前述の決定する段階１１０と異なり、決定する段階１１０’は、エラーアダプタ項に達するために、閉じた形の式の代わりに最適化を使用する。
【００８１】
図５を参照すると、測定する段階１１２’は、基準テストフィクスチャ内に取り付けられたｔｈｒｕ標準器のそれぞれのＳパラメータを測定する段階１１２ａ’を含む。測定する段階１１２ａ’の結果は、３組のＳパラメータ、［Ｓ］R,12、［Ｓ］R,13、［Ｓ］R,23であり、ここで、上付き文字「Ｒ」は、測定が基準テストフィクスチャ内で行われたことを示し、下付き文字は、３つのｔｈｒｕ標準器のうちのどれが測定されたかを示す（すなわち、「１２」＝ｔｈｒｕ12、「１３」＝ｔｈｒｕ13、ｔｈｒｕ「２３」＝ｔｈｒｕ23）。
【００８２】
測定する段階１１２’は、さらに、生産テストフィクスチャ内に取り付けられたｔｈｒｕ標準器のそれぞれのＳパラメータを測定する段階１１２ｂ’を含む。測定する段階１１２ｂ’の結果は、３組の測定されたＳパラメータ［Ｓ］P,12、［Ｓ］P,13、［Ｓ］P,23であり、ここで、上付き文字「Ｐ」は、測定が生産テストフィクスチャ内で行われたことを示し、下付き文字は、３つのｔｈｒｕ標準器のうちのどれが測定されたかを示す。
【００８３】
決定する段階１１０’は、さらに、測定する段階１１２’の結果を使用して差分アレイについて解く段階１１４’を含む。図５に示したように、解く段階１１４’は、エラーアダプタがポート対のそれぞれのポートに取り付けられた生産テストフィクスチャの「ポート対」を構成する段階１１４ａ’を含む。一般に、生産テストフィクスチャのポート対のそれぞれの組み合わせに個別のポート対モデルが構成される（１１４ａ’）。
【００８４】
図６Ａは、本発明の実施形態に従ってｔｈｒｕ12標準器３０１が取り付けられた３つのポート（すなわち、ポート１、ポート２、ポート３）を有する例示的な生産テストフィクスチャ３００の実施形態の平面図である。矢印３０５は、ｔｈｒｕ12標準器３０１によって提供されるポート１からポート２までの経路を示す。
【００８５】
図６Ｂは、本発明の実施形態により、図６Ａに示した例示的な生産テストフィクスチャ３００の第１のポート対（すなわち、ポート１／ポート２）に関して段階１１４ａ’構成されたポート対モデル３００ａの実施形態の信号流れ図を示す。図６Ｂに示したポート対モデル３００ａは、テストフィクスチャ３００内の第１のポート対ｔｈｒｕ12標準器３０１の測定されたＳパラメータ［Ｓ］P,1を表し、ポート１とモデル部分３１２の間に接続され、パラメータｔ１、ｍ１およびｄ１によって定義される第１のエラーアダプタ３１０を含む。パラメータｔ２、ｍ２およびｄ２によって定義される第２のエラーアダプタ３２０は、ポート対モデル３００ａのポート２とモデル部分３１２の間に接続される。
【００８６】
図６Ｃは、本発明の実施形態により、第２のｔｈｒｕ13標準器が取り付けられた例示的な３ポート生産テストフィクスチャ３００に関して段階１１４ａ’で校正された第２のポート対（すなわち、ポート１／ポート３）のポート対モデル３００ｂの実施形態の信号流れ図である。図６Ｃに示したポート対モデル３００ｂは、テストフィクスチャ３００内の第２のｔｈｒｕ13標準器（図示せず）の測定されたＳパラメータ［Ｓ］P,13を表し、ポート１とモデル部分３１３との間に接続され、パラメータｔ１、ｍ１およびｄ１によって定義される第１のエラーアダプタ３１０を含む。パラメータｔ３、ｍ３およびｄ３によって定義される第３のエラーアダプタ３３０は、ポート対モデル３００ｂのポート３とモデル部分３１３の間に接続されている。
【００８７】
図６Ｄは、本発明の実施形態により、第３のｔｈｒｕ23標準器が取り付けられた例示的な３ポート生産テストフィクスチャ３００の第３のポート対（すなわち、ポート２／ポート３）に関して段階１１４ａ’で構成されたポート対モデル３００ｃの実施形態の信号流れ図である。図６Ｄに示したポート対モデル３００ｃは、テストフィクスチャ３００内の第３のｔｈｒｕ23標準器（図示せず）の測定されたＳパラメータ［Ｓ］P,23を表し、ポート２とモデル部分３２３の間に接続され、パラメータｔ２、ｍ２およびｄ２によって定義される第２のエラーアダプタ３２０を含む。パラメータｔ３、ｍ３およびｄ３によって定義される第３のエラーアダプタ３３０は、ポート対モデル３００ｃ内のポート３とモデル部分３２３の間に接続されている。
【００８８】
各ポート対モデル３００ａ、３００ｂ、３００ｃは、測定されたＳパラメータ［Ｓ］P,12、［Ｓ］P,13、［Ｓ］P,23のそれぞれを対応する変換された以下のＳパラメータ測定値に変換する。
【００８９】
【数７】
2007519892.tif 000009
なお、上記の記号を文中で直接表記できないので、文中では次に示す代替記号を使用する。
【００９０】
【数８】
2007519892.tif 000010
この変換は、所定のモデル３００ａ、３００ｂ、３００ｃによって定義されるようなそれぞれのエラーアダプタ３１０、３２０、３３０のパラメータｔ１、ｔ２、ｔ３、ｍ１、ｍ２、ｍ３、ｄ１、ｄ２、およびｄ３のうちの適切な１つのパラメータの特定の値に依存する。
【００９１】
図５を再び参照すると、測定段階１１２’の結果を使用して差分アレイの要素について解く段階１１４’は、さらに、変換されたＳパラメータ測定値［Ｓ］P-,12、［Ｓ］P-,13、［Ｓ］P-,23は、基準テストフィクスチャ（図示せず）のＳパラメータ測定値［Ｓ］R,12、［Ｓ］R,13、［Ｓ］R,23に近づくように、ポート対モデル３００ａ、３００ｂ、３００ｃを最適化する段階１１４ｂ’を含む。詳細には、エラーアダプタパラメータｔ１、ｔ２、ｔ３、ｍ１、ｍ２、ｍ３、ｄ１、ｄ２およびｄ３は、変換されたＳパラメータ測定値［Ｓ］P-,12、［Ｓ］P-,13、［Ｓ］P-,23と基準テストフィクスチャのＳパラメータ測定値［Ｓ］R,12、［Ｓ］R,13、［Ｓ］R,23の差を小さくしようとする最適化（１１４ｂ’）によって調整される。最適化する段階１１４ｂ’は、すべてのポート対モデルに実質的に同時に実行される。
【００９２】
いくつかの実施形態において、変換されたＳパラメータ測定値［Ｓ］P-,12、［Ｓ］P-,13、［Ｓ］P-,23と基準テストフィクスチャのＳパラメータ測定値［Ｓ］R,12、［Ｓ］R,13、［Ｓ］R,23のそれぞれの要素またはデータポイント間の差や平均平方差などであるがこれらに限定されない測定規準が選択される。例えば、要素ごとに測定されたＳパラメータ［Ｓ］R,12から変換されたＳパラメータ［Ｓ］P-,12を減算し、要素ごとに測定されたＳパラメータ［Ｓ］R,13から変換されたＳパラメータ［Ｓ］P-,13を減算し、要素ごとに測定されたＳパラメータ［Ｓ］R,23から変換されたＳパラメータ［Ｓ］P-,23を減算する段階を含む段階によって測定規準が計算される。測定規準を計算する段階は、さらに、減算結果の合計を計算して測定規準を得る段階を含む。
【００９３】
最適化する段階１１４ｂ’は、次に、測定規準を最小化するためにポート対モデル３００ａ、３００ｂ、３００ｃ内のエラーアダプタパラメータｔ１、ｔ２、ｔ３、ｍ１、ｍ２、ｍ３、ｄ１、ｄ２、およびｄ３を調整することによって進行する。最適化目標に対して十分に測定規準が最小化されたとき、エラーアダプタパラメータｔ１、ｔ２、ｔ３、ｍ１、ｍ２、ｍ３、ｄ１、ｄ２およびｄ３は、方法１００に従って決定された（１１０’）と見なされる。一般に、測定規準の十分な最小化を定義する最適化目標は個別に決定されなければならない。しかしながら、当業者は、過度の実験なしに所定の最適化と測定規準の目標を容易に決定することができる。
【００９４】
実質的に、決定する段階１１０’で、任意の最適化方法と、当面の問題に適用される任意のモデリング環境を使用することができる。例えば、カリフォルニア州パロアルトのアジレント・テクノロジーズ・インクによって製造されたＡｇｉｌｅｎｔ  ＥＥｓｏｆ  Ａｄｖａｎｃｅｄ  Ｄｅｓｉｇｎ  Ｓｙｓｔｅｍ  （ＡＤＳ）を使用することができる。当業者は、本発明による決定する段階１１０’を実施するために使用できる種々様々な最適化方法とモデリング環境に精通している。
【００９５】
いくつかの実施形態において、前述の決定する段階１１０’で、前述のｔｈｒｕ標準器の代わりまたは追加として、追加の標準器を使用することができる。３つのｔｈｒｕ標準器の他にｓｈｏｒｔとｏｐｅｎも測定する段階１１２’を、追加のポート対モデルを使用して解く段階１１４’に含めることができる。場合によっては、追加の標準器を加えることにより、決定する段階１１０’で使用される最適化１１４ｂ’の集束が改善される。また、追加の標準器を使用すると、測定値にノイズがある状態での決定する段階１１０’の結果を改善することができる。一般に、ある程度のノイズがある状態でも、Ｓパラメータ要素間の約−３５ｄＢの相関性を示す測定規準の最小化が達成可能であることが分かった。そのような相関性は、典型的なテストフィクスチャの接続再現性と一致している。
【００９６】
最適化する段階１１４ｂ’は、対象とする周波数範囲内のいくつかの周波数で実行されることがある。例えば、最適化する段階１１４ｂ’は、周波数範囲内に３つの周波数ポイントを含む。一般に、測定規準は、常にではないが、いくつかの周波数で最適化１１４ｂ’を実行することによって暗示される周波数依存を含む。
【００９７】
いくつかの実施形態において、テストフィクスチャと校正標準器の一方または両方のコンピュータモデルを使用することができ、このモデルは、物理要素の数学的表現を利用する。一般に、モデルは、抵抗器、キャパシタ、インダクタなどの個別の構成要素を表す要素と、伝送線路のモデルなどの分散構造（分布構造）を表す要素とを含むことができる。そのようなモデルは、前述のポート対モデル３００ａ、３００ｂ、３００ｃの代用としても追加としても使用することができる。
【００９８】
任意の妥当なモデルを使用することができるが、一般に、そのようなモデルは、テストフィクスチャと校正標準器の既知の物理特性にできるだけ基づく要素からなる。例えば、テストフィクスチャがある長さの伝送線路を備える場合、テストフィクスチャのモデルは、その伝送線路に対応する要素を有する。しかしながら、代替として、物理要素の表現に基づくモデルの代わりに、調整可能な係数を有する単なる数式のモデルを使用することもできる。当業者は、数式に基づくコンピュータモデルと要素の数学的表現を使用するコンピュータモデルが同等であることをよく知っている。
【００９９】
図７は、本発明の実施形態によるテストシステム４００のブロック図を示す。テストシステム４００は、一例として図７に示したようなｓｈｏｒｔおよびｏｐｅｎおよびｌｏａｄを含むことができる１組の校正標準器（４２０）ならびにｔｈｒｕ標準器（図示せず）の少なくとも一方を含むことができる。
【０１００】
テストシステム４００は、被測定物（ＤＵＴ）に適応されたテスト機器４１０とテストフィクスチャ４３０を含む。テストフィクスチャ４３０は、テスト機器４１０とＤＵＴの間の接続を提供する。テストフィクスチャ４３０は、入力部４３０Ａと出力部４３０Ｂを有する。特定のＤＵＴとテスト機器により、いくつかのテストフィクスチャ４３０には、入力部４３０Ａと出力部４３０Ｂの一方しかないのものがある。他のテストフィクスチャ（図示せず）には、１つまたは複数の追加の入力部と１つまたは複数の追加の出力部があることがある（例えば、３ポートテストフィクスチャ）。テストフィクスチャ４３０は、第１のテストフィクスチャすなわち基準テストフィクスチャ、および、第２のテストフィクスチャすなわち生産テストフィクスチャのいずれかを表す。
【０１０１】
テストシステム４００は、さらに、コンピュータ４４０またはそれと同等なプロセッサ装置４４０もしくはコントローラ装置４４０を含む（以下では、限定なしに「コンピュータ」と呼ぶ）。コンピュータ４４０は、独立した汎用プロセッサを含んでもよく、テスト機器４１０に組み込まれた専用プロセッサでもよい。コンピュータ４４０は、テスト機器４１０からデータを受け取ってそのデータを処理する。さらに、コンピュータ４４０は、モデルを作成し、必要に応じてモデル最適化を実行するモデリング環境を提供する。テスト機器４１０は、テストフィクスチャ４３０の入力部４３０Ａと出力部４３２Ｂの１つまたは複数のテスト機器ポート４３２Ａ、４３２Ｂでテストフィクスチャ４３０に取り付けられることがある。
【０１０２】
テストシステム４００は、さらに、コンピュータ４４０によって実行されるコンピュータプログラム４５０を含む。いくつかの実施形態において、コンピュータプログラム４５０は、テストシステム４００がテストしているＤＵＴの測定値を変換する段階を実施する命令を含む。詳細には、命令は、ポート固有の差分アレイを決定する段階を実施し、この差分アレイは、第１のテストフィクスチャすなわち基準テストフィクスチャと第２のテストフィクスチャすなわち生産テストフィクスチャとの差分を示し、テストフィクスチャ４３０はそれぞれＤＵＴをテストするように適応されている。ＤＵＴが第２のテストフィクスチャに取り付けられているとき、コンピュータプログラム４５０は、さらに、ＤＵＴの性能を測定する段階を実施する命令を含む。コンピュータプログラム４５０は、さらに、ＤＵＴの測定された性能に差分アレイを適用して、ＤＵＴが第１のテストフィクスチャ内に取り付けられた状態のＤＵＴ性能に近づくようにＤＵＴ性能を調整する段階を実施する命令を含む。いくつかの実施形態において、前述のように、コンピュータプログラム４５０は、ＤＵＴの測定値を変換する方法１００の様々な実施形態を実現する命令を含む。いくつかの実施形態において、コンピュータプログラム４５０は、後述の方法５００および方法６００の少なくとも一方の様々な実施形態を実現する命令を含む。
【０１０３】
本発明のいくつかの実施形態において、複数のテストフィクスチャに関しテストシステムを校正する方法を提供する。詳細には、いくつかの実施形態により、校正する方法は、第２のテストフィクスチャ内の被測定物（ＤＵＴ）について得た測定値が第１のテストフィクスチャ内のＤＵＴの測定値と一致するかまたは近づくようにテストシステムの校正を調整しまたは適応させる。図８は、本発明の実施形態によるテストシステムの複数のテストフィクスチャを校正する方法５００のフローチャートを示す。
【０１０４】
テストシステムを校正する方法５００は、テストシステムを第１のテストフィクスチャに接続する段階５１０と、校正標準器に従って第１のテストフィクスチャのパラメータを測定する段階５２０とを含む。方法５００は、さらに、テストシステムを第２のテストフィクスチャに接続する段階５３０と、校正標準器に従って第２のテストフィクスチャのパラメータを測定する段階５４０を含む。方法５００は、さらに、１組の校正係数を計算する段階５５０と、ＤＵＴの測定によって、ＤＵＴ測定にどのテストフィクスチャを利用するかに関係なくほぼ同じ結果が得られるように校正係数を調整する段階５６０とを含む。これらの方法段階は、各テストフィクスチャのそれぞれの対応するポートに繰り返されることがある。さらに、この方法段階は、複数の様々なテストフィクスチャの追加のテストフィクスチャに繰り返されることがある。
【０１０５】
いくつかの実施形態において、測定する段階５２０、５４０は、それぞれ差分アレイ１１０、１１０’を決定するために図４と図５を参照して前に説明した測定する段階１１２と測定する段階１１２’のどちらを使用することもできる。さらに、１組の校正係数は、従来の方法を使用する段階と、決定する段階１１０、１１０’に関して前にも述べたような解く段階１１４または解く段階１１４’のいずれかの段階を含む段階によって計算（５５０）することができる。調整する段階５６０は、変換する方法１００に関して前に述べた実施形態のいずれかの適用する段階１３０を使用することができる。代替として、調整する段階５６０は、各テストフィクスチャの対応するポートの測定されたパラメータ間の差を使用することによってテストシステムの校正に校正係数を適用してテストシステムのポート固有の校正を提供する段階を含む。この校正係数は、テストシステムの校正係数を補正する。
【０１０６】
図９は、本発明の実施形態による第２のテストフィクスチャ内の被測定物（ＤＵＴ）の測定値を第１のテストフィクスチャ内のＤＵＴの仮定的測定値に整合させる方法６００のフローチャートを示す。整合させる方法６００は、ポート固有の差分アレイを決定する段階６１０、６１０’を含む。差分アレイは、テストフィクスチャの対応するテストポートでの第１のテストフィクスチャと第２のテストフィクスチャとの差分を示す。差分アレイの要素は、第１および第２のテストフィクスチャ内における１組の校正標準器の測定値を使用して決定される。校正標準器の測定は、テストシステムによって複数の周波数で実行される。
【０１０７】
測定値を整合させる方法６００は、さらに、テストシステムを使用してＤＵＴの性能を測定する段階６２０を含み、このＤＵＴは、第２のテストフィクスチャ内に取り付けられている。方法６００は、さらに、測定する段階６２０で得られたＤＵＴの測定値にポート固有の差分アレイを適用する段階６３０を含み、それにより、その測定値を第１のテストフィクスチャ内のＤＵＴの仮定的測定値と整合する測定値に変換する。
【０１０８】
いくつかの実施形態において、決定する段階６１０は、第１のテストフィクスチャと第２のテストフィクスチャの対応するポートにおいて複数の周波数で１組の校正標準器の特性を測定する段階を含む。特性を測定する段階は、測定値を変換する方法１００の決定する段階１１０、１１０’に関して前に説明した測定する段階１１２、１１２’と実質的に類似していてもよい。具体的には、１つまたは複数のｏｐｅｎおよびｓｈｏｒｔおよびｌｏａｄおよびｔｈｒｕを含む１組の標準器が、各テストフィクスチャに挿入され、テストフィクスチャと組み合わせた標準器のパラメータが複数の周波数で測定される。
【０１０９】
決定する段階６１０は、さらに、各テストフィクスチャの校正標準器の特性を複数の周波数で測定することによって得られた結果を使用してエラーアダプタの項について解く段階を含む。エラーアダプタの項について解く段階は、測定値を変換する方法１００の決定する段階１１０、１１０’に関して前に説明した解く段階１１４、１１４’と実質的に類似していてもよい。
【０１１０】
いくつかの実施形態において、ポート固有の差分アレイを決定する段階６１０の間に、要素は、両方のテストフィクスチャに関して測定された１組の標準器の特性から決定されたポート固有のエラーアダプタの項の複素平方根を計算することによって決定される。複素平方根は、複数の周波数に対応するエラーアダプタ項の複数の値を使用して計算される。他の実施形態において、決定する段階６１０’で、要素は、両方のテストフィクスチャに関して測定された１組の標準器の特性を使用して、複数の周波数にわたってモデルを最適化することにより決定される。詳細には、最適化によって要素を決定する段階は、測定値を変換する方法１００の決定する段階１１０’に関して前に説明した解く段階１１４’と類似している。例えば、決定する段階６１０’を実施するために、解く段階１１４’は、両方のテストフィクスチャに関して測定された１組の標準器の特性を使用して複数の周波数で実行される。
【０１１１】
決定する段階６１０において、ポート固有のエラーアダプタの項の複素平方根を計算するときに、差分アレイの要素が生成される。例えば、エラーアダプタ項は、差分アレイの２つの要素の複素積（例えば、Ｅｒ＝Ｄ21Ｄ12）である。エラーアダプタ項は、複数の周波数のうちの各周波数で各テストフィクスチャ内の１組の標準器の測定された特性から得られたデータによって表される。従って、エラーアダプタ項データは一連のデータポイントであり、各データポイントは位相と振幅を有する。
【０１１２】
いくつかの実施形態において、計算する段階は、エラーアダプタ項データの位相部分をアンラップする段階を含み、アンラップすることにより位相部分から相転移が除去される。アンラップする段階は、エラーアダプタ項データ内のデータポイントを周波数の関数として調べる段階と、隣り合ったデータポイント間に１８０度以上の位相変化（すなわち、位相ラップ）が起きたかどうかを判定する段階とを含む。アンラップする段階は、さらに、位相ラップの後にエラーアダプタ項データの各データポイントから３６０度を減算する段階を含む。一般に、アンラップする段階は、すべてのデータポイントに実行される。
【０１１３】
いくつかの実施形態において、計算する段階は、さらに、位相アンラップデータポイントからのエラーアダプタ項の群遅延を推定する段階を含む。群遅延を推定する段階は、１対のデータポイントを選択する段階を含む。例えば、所定の位相差を有する２つのデータポイントが選択され対で使用される。推定する段階は、さらに、データポイントから群遅延推定値を計算する段階と含む。例えば、群遅延推定値は、１対のデータポイントの周波数差に対する位相差の比率として計算される。一般に、群遅延を推定する際に、当技術分野で知られている任意の従来の群遅延計算方法を含む任意の方法を使用することができる。
【０１１４】
計算する段階は、さらに、位相アンラップデータポイントから、第１のデータポイントの位相と関連したいくつかの完全位相ラップを除去する段階を含む。第１のデータポイントは、直流（ＤＣ）すなわちゼロＨｚに最も近い周波数を有するデータポイントである（すなわち、周波数範囲の下端におけるエラーアダプタ項データポイント）。第１のデータポイント位相の完全位相ラップの数は、ＤＣと第１のデータポイント位相との位相ずれを計算することによって決定される。次に、第１のデータポイントの位相ずれが、推定群遅延と第１のデータポイントの周波数とを乗じることによって計算される。乗算結果は、位相として度によって表わされる。
【０１１５】
完全位相ラップは、３６０度の位相ラップである。したがって、完全位相ラップの数は、乗算の結果を３６０で割り、次に整数に切り捨てることによって、乗算結果から決定される。従って、除去する段階は、得られた整数に３６０度を掛け、その積をデータポイントのそれぞれのアンラップ位相から減算して、ラップ正規化された（ｗｒａｐ−ｎｏｒｍａｌｉｚｅｄ）データポイントを得る段階を含む。なお、ラップ正規化とは、ラップ処理により所定の範囲に収まるように値を正規化することをいう。この場合、位相ラップ処理により、データポイントの位相が所定の範囲に収まるように正規化される。
【０１１６】
計算する段階は、さらに、ラップ正規化されたデータポイントのそれぞれの位相を２で割って複素平方根の位相部分を生成する段階を含む。決定する段階６１０は、さらに、各データポイントの振幅の正の実数値の平方根をとって平方根の振幅部分を生成する段階を含む。
【０１１７】
以上、複数のテストフィクスチャ内のＤＵＴの測定を容易にする本発明の様々な実施形態を説明した。以上説明した実施形態が、単に本発明の原理を表す多数の特定の実施形態のうちのいくつかの例示であることを理解されたい。当業者は、本発明の範囲から逸脱せずに多数の他の構成を考案することができる。最後に、本発明の実施形態を以下に簡単に列挙する。
【０１１８】
（実施態様１）
テストシステムによって作成された被測定物の測定値を変換する方法であって、
第１のテストフィクスチャと第２のテストフィクスチャとの間の差であって、前記テストフィクスチャの対応するテストポートにおける差を表すポート固有の差分アレイを決定する段階と、
前記テストシステムを使用して、前記第２のテストフィクスチャ内に取り付けられている前記被測定物の性能を測定する段階と、
前記ポート固有の差分アレイを適用して、前記測定された被測定物の性能が、前記第１のテストフィクスチャ内に取り付けられ前記テストシステムによって測定された前記被測定物の仮定的な被測定物の性能に近づくようにする段階とを有することを特徴とする測定値を変換する方法。
【０１１９】
（実施態様２）
前記決定されたポート固有の差分アレイが、前記測定された性能に対して前記第２のテストフィクスチャのポート部分の影響を実質的に除去しかつ前記第１のテストフィクスチャの対応するポート部分の影響を実質的に加えるように前記被測定物の前記測定された性能に適用されるエラーアダプタであることを特徴とする実施態様１に記載の測定値変換方法。
【０１２０】
（実施態様３）
前記ポート固有の差分アレイを決定する段階が、
前記第１のテストフィクスチャと前記第２のテストフィクスチャの対応するポートにおける１組の校正標準器の特性を、前記１組の各校正標準器を各テストフィクスチャのそれぞれのポートに個別に挿入することによって測定する段階と、
各テストフィクスチャにセットされた前記校正標準器の特性を測定することにより得られた結果を使用して前記差分アレイの要素について解く段階とを含むことを特徴とする実施態様１に記載の測定値変換方法。
【０１２１】
（実施態様４）
前記被測定物の前記測定した性能に前記差分アレイを適用する段階が、前記測定された被測定物の性能を前記仮定的性能の近似値に直接変換することを特徴とする実施態様１に記載の測定値変換方法。
【０１２２】
（実施態様５）
前記差分アレイを適用する段階が、前記テストシステムを使用して作成された前記被測定物の前記測定された性能が前記仮定的な測定された性能になるようにテストシステムの校正を修正することを特徴とする実施態様１に記載の測定値変換方法。
【０１２３】
（実施態様６）
前記第１のテストフィクスチャと前記第２のテストフィクスチャの一方または両方の性能と、前記ポート固有の差分アレイを決定する際に使用される前記１組のうちの１つまたは複数の校正標準器の性能が、未知かまたは十分に知られていないことを特徴とする実施態様１に記載の測定値変換方法。
【０１２４】
（実施態様７）
決定する段階が、前記テストフィクスチャの測定値を前記被測定物の対象とする周波数範囲内の複数の周波数において使用することを特徴とする実施態様１に記載の測定値変換方法。
【０１２５】
（実施態様８）
前記１組の前記校正標準器が、対応するポート対を各テストフィクスチャごとに互いに接続し、それにより前記特性を測定するために各テストフィクスチャ内のポートのすべての組み合わせが対で個別に接続されるようにすることを特徴とする実施態様３に記載の測定値変換方法。
【０１２６】
（実施態様９）
測定する段階が、
前記１組の校正標準器の各標準器の反射パラメータを、前記第１のテストフィクスチャの各ポートごとに別々に測定する段階と、
前記１組の校正標準器の各標準器の反射パラメータを、前記第２のテストフィクスチャのそれぞれの対応するポートごとに別々に測定する段階とを含み、
前記１組の前記標準器の１つまたは複数が、それぞれのポートを前記それぞれのテストフィクスチャの他のポートから分離することを特徴とする実施態様３に記載の測定値変換方法。
【０１２７】
（実施態様１０）
測定する段階が、
前記１組の前記校正標準器の各標準器のＳパラメータを、前記第１のテストフィクスチャの各ポート対ごとに別々に測定する段階と、
前記１組の前記校正標準器の各標準器のＳパラメータを、前記第２のテストフィクスチャのそれぞれの対応するポート対ごとに別々に測定する段階とを含み、
前記１組の前記標準器が、対のポートを接続して前記ポート対を形成するｔｈｒｕ標準器であることを特徴とする実施態様３に記載の測定値変換方法。
【０１２８】
（実施態様１１）
要素について解く段階が、
前記測定された結果を使用していくつかの式をいくつかの未知数について解く段階であって、前記解かれた未知数が前記差分アレイ要素を表すことを特徴とする実施態様３に記載の測定値変換方法。
【０１２９】
（実施態様１２）
要素について解く段階が、
各テストフィクスチャの前記測定された結果を使用してモデルを最適化する段階を含み、前記モデルが、１つまたは複数の前記ポート固有差分アレイを表し、最適化する段階が、テストフィクスチャ測定値間の差が最小になるまでモデルのパラメータを調整する段階を含み、前記テストフィクスチャ測定値が、前記第２のテストフィクスチャの前記測定された結果と前記第１のテストフィクスチャの前記測定された結果を使用して前記モデルによって作成された前記第２のテストフィクスチャの変換された測定値であり、前記モデルパラメータが、前記差分アレイの前記要素を表すことを特徴とする実施態様３に記載の測定値変換方法。
【０１３０】
（実施態様１３）
測定する段階と解く段階が、前記テストフィクスチャのそれぞれの各ポートまたは各ポート対に繰り返されることを特徴とする実施態様３に記載の測定値変換方法。
【０１３１】
（実施態様１４）
前記差分アレイの要素について解く段階が、前記要素のうちの１つの複素平方根を決定する段階を含み、前記平方根が、前記要素を表すデータを使用して複数の周波数で決定されることを特徴とする実施態様３に記載の測定値変換方法。
【０１３２】
（実施態様１５）
複数のテストフィクスチャに関してテストシステムの校正する方法であって、
第１のテストフィクスチャ内に取り付けられた校正標準器を有する第１のテストフィクスチャのパラメータを測定する段階であって、前記第１のテストフィクスチャに接続された前記テストシステムを使用して実行される段階と、
第２のテストフィクスチャ内に取り付けられた前記校正標準器を有する第２のテストフィクスチャのパラメータを測定する段階であって、前記第２のテストフィクスチャに接続された前記テストシステムを使用して実行される段階と、
各前記テストフィクスチャ対応するポートについて測定されたパラメータ間の差を使用して前記テストシステムの構成を調整する段階とを有し、
前記調整された校正は、前記テストシステムで得られたいずれの前記テストフィクスチャ内の被測定物の測定値も互いに近づくような、前記テストシステムのポート固有校正であることを特徴とする校正方法。
【０１３３】
（実施態様１６）
前記第１のテストフィクスチャと前記第２のテストフィクスチャのパラメータを測定する段階が、
各テストフィクスチャの対応する１対のポート間に接続する校正標準器を取り付ける段階と、
１組の校正標準器を使用して前記テストフィクスチャの対応するポート対のそれぞれについてパラメータを測定する段階とを含み、異なる標準器が各測定ごとに異なる対応するポート対を接続し、前記１組の前記校正標準器の少なくとも１つがｔｈｒｕ標準器であることを特徴とする実施態様１５に記載の校正方法。
【０１３４】
（実施態様１７）
調整する段階が、
パラメータの測定結果からの前記第２のテストフィクスチャの各ポートのポート固有の差分アレイを決定する段階を含み、前記ポート固有の差分アレイが、前記第２のテストフィクスチャ内の前記被測定物の前記測定値を、あたかも前記第１のテストフィクスチャによって測定されたかのような前記被測定物の測定値に変換するエラーアダプタを表すことを特徴とする実施態様１５に記載の校正方法。
【０１３５】
（実施態様１８）
前記決定する段階が、
１対のポートの各ポートに取り付けられた固有のエラーアダプタと、前記１対のポートを接続する前記第２のテストフィクスチャ内に取り付けられたｔｈｒｕ校正標準器とによって、前記第２のテストフィクスチャのポート対モデルを構成し、それにより、前記第２のテストフィクスチャの各ポート対ごとに個別のモデルが  構成され、各ポート対モデルが、それぞれの測定されたパラメータを前記第２のテストフィクスチャの対応する変換された測定パラメータに変換するようにする段階と、
前記第２のテストフィクスチャの各ポート対ごとに前記ポート対モデルを最適化して、それにより、前記変換された測定パラメータが、前記第１のテストフィクスチャの前記測定されたパラメータに近づくようにする段階とを含むことを特徴とする実施態様１７に記載の校正方法。
【０１３６】
（実施態様１９）
最適化する段階が、前記第２のテストフィクスチャの前記変換された測定パラメータと前記第１のテストフィクスチャの前記測定されたパラメータとの差を小さくすることを試みて、それにより最適化目標が達成されたときに、前記ポート固有の差分アレイの前記エラーアダプタが決定されたものと見なされるようにすることを特徴とする実施態様１８に記載の校正方法。
【０１３７】
（実施態様２０）
パラメータを測定する段階が、前記被測定物の対象とする周波数範囲内の複数の周波数ポイントで測定する段階を含むことを特徴とする実施態様１５に記載の校正方法。
【０１３８】
（実施態様２１）
様々なテストフィクスチャを使用して被測定物を測定するテストシステムであって、
テスト機器と、
前記被測定物を前記テスト機器に接続するテストフィクスチャと、
前記テスト機器からデータを受け取り処理するように接続されたコンピュータと、
前記コンピュータによって実行されるコンピュータプログラムであって、前記コンピュータによって実行されたときに、測定のために前記被測定物を接続するために第１のテストフィクスチャと第２のテストフィクスチャがそれぞれ使用されるときに前記第１のテストフィクスチャと前記第２のテストフィクスチャとの差を調整するポート固有の差分アレイを決定する段階を実施する命令を含むコンピュータプログラムとを有することを特徴とするテストシステム。
【０１３９】
（実施態様２２）
前記コンピュータプログラムが、さらに、前記第２のテストフィクスチャを使用して前記被測定物が前記テスト機器に接続されたときに前記被測定物の性能を測定する段階を実施する命令と、前記被測定物の前記測定された性能を補正または調整するために差分アレイを適用する段階を実行し、前記第２のテストフィクスチャを使用して測定された前記被測定物の性能が、あたかも前記テスト機器に前記被測定物を接続するために前記第１のテストフィクスチャを使用して測定されたかのような仮定的な被測定物の性能に近づくようにする命令とを含むことを特徴とする実施態様２１に記載のテストシステム。
【０１４０】
（実施態様２３）
適用する段階を実施する命令が、前記テストシステムによって作成された前記被測定物の前記測定された性能に前記差分アレイを直接適用して前記測定された被測定物の性能を前記仮定的な被測定物の性能に変換する段階を含むことを特徴とする実施態様２２に記載のテストシステム。
【０１４１】
（実施態様２４）
適用する段階を実施する前記命令が、前記被測定物の前記測定された性能が前記仮定的な被測定物の性能と同等になるように前記テスト機器の校正に前記差分アレイを適用して前記テスト機器の校正係数を補正する段階を含むことを特徴とする実施態様２２に記載のテストシステム。
【０１４２】
（実施態様２５）
前記コンピュータプログラムが、さらに、前記差分アレイの要素の複素平方根を前記要素の値を使用して複数の周波数で決定する段階を実施する命令を含むことを特徴とする実施態様２１に記載のテストシステム。
【０１４３】
（実施態様２６）
テストシステムを使用して第２のテストフィクスチャ内の被測定物の測定値を第１のテストフィクスチャ内の被測定物の仮定的測定値に整合させる方法であって、
ポート固有の差分アレイを決定する段階を含み、前記差分アレイが、前記第１のテストフィクスチャと前記第２のテストフィクスチャの間の差であって、前記テストフィクスチャの対応するテストポートにおける差を示し、前記差分アレイの要素が、前記テストフィクスチャ内の１組の校正標準器の測定値を使用して決定され、前記測定値が、前記テストシステムによって複数の周波数で実行されることを特徴とする測定値整合方法。
【０１４４】
（実施態様２７）
前記テストシステムを使用して、前記第２のテストフィクスチャ内に取り付けられた前記被測定物の性能を測定する段階と、
前記第２のテストフィクスチャ内に取り付けられた前記被測定物の測定値に前記ポート固有の差分アレイを適用して、前記測定値を、前記第１のテストフィクスチャ内の前記被測定物の前記仮定的測定値と整合する測定値に変換する段階とを有することを特徴とする実施態様２６に記載の測定値整合方法。
【０１４５】
（実施態様２８）
前記要素が、前記校正標準器の測定値を使用して前記複数の周波数にわたってモデルを最適化することによって決定されることを特徴とする実施態様２６に記載の測定値整合方法。
【０１４６】
（実施態様２９）
前記要素が、前記校正標準器の測定値から決定されたポート固有のエラーアダプタ項の複素平方根から決定され、前記複素平方根が、前記複数の周波数に対応する前記エラーアダプタ項の複数の値を使用して計算されることを特徴とする実施態様２６に記載の測定値整合方法。
【０１４７】
（実施態様３０）
前記複素平方根を計算する段階が、
様々な周波数において前記要素を表すデータポイントの位相部分をアンラップして位相アンラップデータポイントを生成する段階と、
前記データポイントのラップ正規化位相を２で割って前記平方根の位相部分を生成する段階と、
前記データポイントの振幅の正の実数値の平方根を計算して前記平方根の振幅部分を生成する段階とを含むことを特徴とする実施態様２９に記載の測定値整合方法。
【０１４８】
（実施態様３１）
ラップ正規化位相を分割する前に、さらに、
前記位相アンラップデータポイントの群遅延を推定する段階と、
前記位相アンラップデータポイントの前記位相部分から第１のデータポイントと関連するいくつかの完全位相ラップを除去して、前記ラップ正規化位相を有するデータポイントを生成する段階とを含み、前記いくつかの完全位相ラップが、前記推定された群遅延を使用して計算される段階とを有することを特徴とする実施態様３０に記載の測定値整合方法。
【０１４９】
（実施態様３２）
複数のテストフィクスチャのテストシステムを校正する方法であって、
前記テストシステムを第１のテストフィクスチャに接続する段階と、
校正標準器に従って前記第１のテストフィクスチャのパラメータを測定する段階と、
前記テストシステムを第２のテストフィクスチャに接続する段階、
前記校正標準器に従って前記第２のテストフィクスチャのパラメータを測定する段階と、
前記テストフィクスチャの前記測定されたパラメータに従って１組の校正係数を計算する段階と、
前記２つのテストフィクスチャのどちらが前記被測定物の測定に利用されるかに関係なく前記被測定物の測定によってほぼ同じ結果が得られるように前記校正係数に従って前記テストシステムを調整する段階とを有することを特徴とする方法。
【図面の簡単な説明】
【０１５０】
【図１】本発明の実施形態により被測定物の測定値を変換する方法のフローチャートである。
【図２】本発明の実施形態による例示的なテストフィクスチャと被測定物のＳパラメータの信号流れ図である。
【図３Ａ】本発明の実施形態による基準テストフィクスチャと生産テストフィクスチャのポート部分の信号流れ図である。
【図３Ｂ】本発明の実施形態による生産テストフィクスチャのポート部分の信号流れ図に対する２つの２ポートアダプタのカスケードの概念的な適用を示す図である。
【図３Ｃ】エラーアダプタが図３Ｂに示した２つの２ポートアダプタと等価な生産テストフィクスチャポート部分の信号流れ図とカスケードされたエラーアダプタを示す図である。
【図３Ｄ】本発明の実施形態による差分アレイによって示されたエラーアダプタの流れ図である。
【図３Ｅ】本発明の実施形態による第２の表記を使用して図３Ｄのエラーアダプタを示した図である。
【図４】本発明の測定値を変換する方法の実施形態により差分アレイを決定する実施形態のフローチャートである。
【図５】本発明の測定値を変換する方法の実施形態により差分アレイを決定するもう１つの実施形態のフローチャートである。
【図６Ａ】本発明の実施形態によりｔｈｒｕ標準器が取り付けられた３つのポートを有する例示的な生産テストフィクスチャの実施形態の平面図である。
【図６Ｂ】本発明の実施形態による図６Ａに示した例示的な生産テストフィクスチャの第１のポート対に構成されたモデルの実施形態の信号流れ図である。
【図６Ｃ】本発明の実施形態による第２のｔｈｒｕ標準器が取り付けられた例示的な３ポート生産テストフィクスチャの第２のポート対のために構成されたモデルの実施形態の信号流れ図である。
【図６Ｄ】本発明の実施形態による第３のｔｈｒｕ標準器が取り付けられた例示的な３ポート生産テストフィクスチャの第３のポート対のために構成されたモデルの実施形態の信号流れ図である。
【図７】本発明の実施形態によるテストシステムのブロック図である。
【図８】本発明の実施形態による複数のテストフィクスチャのテストシステムの校正する方法のフローチャートである。
【図９】本発明の実施形態により第２のテストフィクスチャ内の被測定物（ＤＵＴ）の測定値を第１のテストフィクスチャ内のＤＵＴの仮定的測定値に整合させる方法のフローチャートである。
【符号の説明】
【０１５１】
４００  テストシステム
４１０  テスト機器
４３０  テストフィクスチャ
４３０Ａ、４３２Ａ  入力部
４３０Ｂ、４３２Ｂ  出力部
４４０  コンピュータ
４５０  コンピュータプログラム
【図１】
2007519892.tif 000011
【図２】
2007519892.tif 000012
【図３Ａ】
2007519892.tif 000013
【図３Ｂ】
2007519892.tif 000014
【図３Ｃ】
2007519892.tif 000015
【図３Ｄ】
2007519892.tif 000016
【図３Ｅ】
2007519892.tif 000017
【図４】
2007519892.tif 000018
【図５】
2007519892.tif 000019
【図６Ａ】
2007519892.tif 000020
【図６Ｂ】
2007519892.tif 000021
【図６Ｃ】
2007519892.tif 000022
【図６Ｄ】
2007519892.tif 000023
【図７】
2007519892.tif 000024
【図８】
2007519892.tif 000025
【図９】
2007519892.tif 000026
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月28日(2007.5.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テストシステムによって作成された被測定物の測定値を変換する方法であって、
第１のテストフィクスチャと第２のテストフィクスチャとの間の差であって、前記テストフィクスチャの対応するテストポートにおける差を表すポート固有の差分アレイを決定する段階と、
前記テストシステムを使用して、前記第２のテストフィクスチャ内に取り付けられている前記被測定物の性能を測定する段階と、
前記ポート固有の差分アレイを適用して、前記測定された被測定物の性能が、前記第１のテストフィクスチャ内に取り付けられ前記テストシステムによって測定された前記被測定物の仮定的な被測定物の性能に近づくようにする段階とを有することを特徴とする測定値を変換する方法。
【請求項２】
前記決定されたポート固有の差分アレイが、前記測定された性能に対して前記第２のテストフィクスチャのポート部分の影響を実質的に除去しかつ前記第１のテストフィクスチャの対応するポート部分の影響を実質的に加えるように前記被測定物の前記測定された性能に適用されるエラーアダプタであることを特徴とする請求項１に記載の測定値変換方法。
【請求項３】
前記ポート固有の差分アレイを決定する段階が、
前記第１のテストフィクスチャと前記第２のテストフィクスチャの対応するポートにおける１組の校正標準器の特性を、前記１組の各校正標準器を各テストフィクスチャのそれぞれのポートに個別に挿入することによって測定する段階と、
各テストフィクスチャにセットされた前記校正標準器の特性を測定することにより得られた結果を使用して前記差分アレイの要素について解く段階とを含むことを特徴とする請求項１に記載の測定値変換方法。
【請求項４】
前記被測定物の前記測定した性能に前記差分アレイを適用する段階が、前記測定された被測定物の性能を前記仮定的性能の近似値に直接変換することを特徴とする請求項１に記載の測定値変換方法。
【請求項５】
前記差分アレイを適用する段階が、前記テストシステムを使用して作成された前記被測定物の前記測定された性能が前記仮定的な測定された性能になるようにテストシステムの校正を修正することを特徴とする請求項１に記載の測定値変換方法。
【請求項６】
前記第１のテストフィクスチャおよび前記第２のテストフィクスチャの一方または両方の性能と、前記ポート固有の差分アレイを決定する際に使用される前記１組のうちの１つまたは複数の校正標準器の性能が、未知かまたは十分に知られていないことを特徴とする請求項１に記載の測定値変換方法。
【請求項７】
決定する段階が、前記テストフィクスチャの測定値を前記被測定物の対象とする周波数範囲内の複数の周波数において使用することを特徴とする請求項１に記載の測定値変換方法。
【請求項８】
前記１組の前記校正標準器が、対応するポート対を各テストフィクスチャごとに互いに接続し、それにより前記特性を測定するために各テストフィクスチャ内のポートのすべての組み合わせが対で個別に接続されるようにすることを特徴とする請求項３に記載の測定値変換方法。
【請求項９】
前記測定する段階が、
前記１組の校正標準器の各標準器の反射パラメータを、前記第１のテストフィクスチャの各ポートごとに別々に測定する段階と、
前記１組の校正標準器の各標準器の反射パラメータを、前記第２のテストフィクスチャの対応するポートごとに別々に測定する段階とを含み、
前記１組の前記標準器の１つまたは複数が、それぞれのポートを前記それぞれのテストフィクスチャの他のポートから分離することを特徴とする請求項３に記載の測定値変換方法。
【請求項１０】
前記測定する段階が、
前記１組の前記校正標準器の各標準器のＳパラメータを、前記第１のテストフィクスチャの各ポート対ごとに別々に測定する段階と、
前記１組の前記校正標準器の各標準器のＳパラメータを、前記第２のテストフィクスチャの対応するポート対ごとに別々に測定する段階とを含み、
前記１組の前記標準器が、対のポートを接続して前記ポート対を形成するｔｈｒｕ標準器であることを特徴とする請求項３に記載の測定値変換方法。
【請求項１１】
前記要素について解く段階が、
前記測定された結果を使用していくつかの式をいくつかの未知数について解く段階を含み、前記解かれた未知数が前記差分アレイ要素を表すことを特徴とする請求項３に記載の測定値変換方法。
【請求項１２】
前記要素について解く段階が、
各テストフィクスチャの前記測定された結果を使用してモデルを最適化する段階を含み、前記モデルが１つまたは複数の前記ポート固有差分アレイを表し、最適化する段階がテストフィクスチャ測定値間の差が最小になるまでモデルのパラメータを調整する段階を含み、前記テストフィクスチャ測定値が前記第２のテストフィクスチャの前記測定された結果と前記第１のテストフィクスチャの前記測定された結果とを使用して前記モデルによって作成された前記第２のテストフィクスチャの変換された測定値であり、前記モデルパラメータが前記差分アレイの前記要素を表すことを特徴とする請求項３に記載の測定値変換方法。
【請求項１３】
前記測定する段階および前記解く段階が、前記テストフィクスチャのそれぞれの各ポートまたは各ポート対に繰り返されることを特徴とする請求項３に記載の測定値変換方法。
【請求項１４】
前記差分アレイの要素について解く段階が、前記要素のうちの１つの複素平方根を決定する段階を含み、前記平方根が前記要素を表すデータを使用して複数の周波数で決定されることを特徴とする請求項３に記載の測定値変換方法。
【請求項１５】
複数のテストフィクスチャに関してテストシステムの校正する方法であって、
第１のテストフィクスチャ内に取り付けられた校正標準器を有する第１のテストフィクスチャのパラメータを測定する段階であって、前記第１のテストフィクスチャに接続された前記テストシステムを使用して実行される段階と、
第２のテストフィクスチャ内に取り付けられた前記校正標準器を有する第２のテストフィクスチャのパラメータを測定する段階であって、前記第２のテストフィクスチャに接続された前記テストシステムを使用して実行される段階と、
各前記テストフィクスチャの対応するポートについて測定されたパラメータ間の差を使用して前記テストシステムの校正を調整する段階とを有し、
前記調整された校正が、前記テストシステムで得られたいずれの前記テストフィクスチャ内の被測定物の測定値も互いに近づくような、前記テストシステムのポート固有校正であることを特徴とする校正方法。
【請求項１６】
前記第１のテストフィクスチャのテストフィクスチャのパラメータを測定する段階および前記第２のテストフィクスチャのパラメータを測定する段階が、
各テストフィクスチャの対応する１対のポート間に接続する校正標準器を取り付ける段階と、
１組の校正標準器を使用して前記テストフィクスチャの対応するポート対のそれぞれについてパラメータを測定する段階であって、異なる標準器が各測定ごとに異なる対応するポート対を接続し、前記１組の前記校正標準器の少なくとも１つがスルー標準器である段階を含むことを特徴とする請求項１５に記載の校正方法。
【請求項１７】
前記調整する段階が、
パラメータの測定結果から前記第２のテストフィクスチャのポートごとにポート固有の差分アレイを決定する段階であって、前記ポート固有の差分アレイが前記第２のテストフィクスチャ内の前記被測定物の前記測定値をあたかも前記第１のテストフィクスチャによって測定されたかのような前記被測定物の測定値に変換するエラーアダプタを表す段階を含むことを特徴とする請求項１５に記載の校正方法。
【請求項１８】
前記決定する段階が、
１対のポートの各ポートに取り付けられた固有のエラーアダプタと、前記１対のポートを接続する前記第２のテストフィクスチャ内に取り付けられたスルー校正標準器とによって、前記第２のテストフィクスチャのポート対モデルを構成し、それにより、前記第２のテストフィクスチャの各ポート対ごとに個別のモデルが構成され、各ポート対モデルが前記第２のテストフィクスチャの測定されたパラメータのそれぞれを対応する変換された測定パラメータに変換するようにする段階と、
前記第２のテストフィクスチャのポート対ごとに前記ポート対モデルを最適化して、それにより、前記変換された測定パラメータが前記第１のテストフィクスチャの前記測定されたパラメータに近づくようにする段階とを含むことを特徴とする請求項１７に記載の校正方法。
【請求項１９】
最適化する段階が、前記第２のテストフィクスチャの前記変換された測定パラメータと前記第１のテストフィクスチャの前記測定されたパラメータとの差を小さくすることを試みて、それにより最適化目標が達成されたときに、前記ポート固有の差分アレイの前記エラーアダプタが決定されたものと見なされるようにすることを特徴とする請求項１８に記載の校正方法。
【請求項２０】
パラメータを測定する段階が、前記被測定物の対象とする周波数範囲内の複数の周波数ポイントで測定する段階を含むことを特徴とする請求項１５に記載の校正方法。
【請求項２１】
様々なテストフィクスチャを使用して被測定物を測定するテストシステムであって、
テスト機器と、
前記被測定物を前記テスト機器に接続するテストフィクスチャと、
前記テスト機器からデータを受け取り処理するように接続されたコンピュータと、
前記コンピュータによって実行されるコンピュータプログラムであって、前記コンピュータによって実行されたときに、測定のために前記被測定物を接続すべく第１のテストフィクスチャおよび第２のテストフィクスチャのそれぞれが使用されるときに前記第１のテストフィクスチャと前記第２のテストフィクスチャとの差を調整するポート固有の差分アレイを決定する段階を実施する命令を含むコンピュータプログラムとを有することを特徴とするテストシステム。
【請求項２２】
前記コンピュータプログラムが、さらに、前記第２のテストフィクスチャを使用して前記被測定物が前記テスト機器に接続されたときに前記被測定物の性能を測定する段階を実施する命令と、前記被測定物の前記測定された性能を補正または調整するために差分アレイを適用する段階を実行し、前記第２のテストフィクスチャを使用して測定された前記被測定物の性能が、あたかも前記テスト機器に前記被測定物を接続するために前記第１のテストフィクスチャを使用して測定されたかのような仮定的な被測定物の性能に近づくようにする命令とを含むことを特徴とする請求項２１に記載のテストシステム。
【請求項２３】
適用する段階を実施する命令が、前記テストシステムによって作成された前記被測定物の前記測定された性能に前記差分アレイを直接適用して前記測定された被測定物の性能を前記仮定的な被測定物の性能に変換する段階を含むことを特徴とする請求項２２に記載のテストシステム。
【請求項２４】
適用する段階を実施する前記命令が、前記被測定物の前記測定された性能が前記仮定的な被測定物の性能と同等になるように前記テスト機器の校正に前記差分アレイを適用して前記テスト機器の校正係数を補正する段階を含むことを特徴とする請求項２２に記載のテストシステム。
【請求項２５】
前記コンピュータプログラムが、さらに、前記差分アレイの要素の複素平方根を前記要素の値を使用して複数の周波数で決定する段階を実施する命令を含むことを特徴とする請求項２１に記載のテストシステム。
【請求項２６】
テストシステムを使用して第２のテストフィクスチャ内の被測定物の測定値を第１のテストフィクスチャ内の被測定物の仮定的測定値に整合させる方法であって、
ポート固有の差分アレイを決定する段階を含み、前記差分アレイが前記第１のテストフィクスチャと前記第２のテストフィクスチャとの間の差であって前記テストフィクスチャの対応するテストポートにおける差を示し、前記差分アレイの要素が前記テストフィクスチャ内の１組の校正標準器の測定値を使用して決定され、前記測定値が前記テストシステムによって複数の周波数で取得されることを特徴とする測定値整合方法。
【請求項２７】
前記テストシステムを使用して、前記第２のテストフィクスチャ内に取り付けられた前記被測定物の性能を測定する段階と、
前記第２のテストフィクスチャ内に取り付けられた前記被測定物の測定値に前記ポート固有の差分アレイを適用して、前記測定値を前記第１のテストフィクスチャ内の前記被測定物の前記仮定的測定値と整合する測定値に変換する段階とを有することを特徴とする請求項２６に記載の測定値整合方法。
【請求項２８】
前記要素が、前記校正標準器の測定値を使用して、前記複数の周波数にわたってモデルを最適化することによって決定されることを特徴とする請求項２６に記載の測定値整合方法。
【請求項２９】
前記要素が、前記校正標準器の測定値から決定されたポート固有のエラーアダプタ項の複素平方根から決定され、前記複素平方根が前記複数の周波数に対応する前記エラーアダプタ項の複数の値を使用して計算されることを特徴とする請求項２６に記載の測定値整合方法。
【請求項３０】
前記複素平方根を計算する段階が、
様々な周波数において前記要素を表すデータポイントの位相部分をアンラップして位相アンラップデータポイントを生成する段階と、
前記データポイントのラップ正規化位相を２で割って前記平方根の位相部分を生成する段階と、
前記データポイントの振幅の正の実数値の平方根を計算して前記平方根の振幅部分を生成する段階とを含むことを特徴とする請求項２９に記載の測定値整合方法。
【請求項３１】
ラップ正規化位相を割る前に、さらに、
前記位相アンラップデータポイントの群遅延を推定する段階と、
前記位相アンラップデータポイントの前記位相部分から第１のデータポイントと関連する完全位相ラップの少なくとも一部を除去して、前記ラップ正規化位相を有するデータポイントを生成する段階とを含み、前記完全位相ラップが、前記推定された群遅延を使用して計算される段階とを有することを特徴とする請求項３０に記載の測定値整合方法。
【請求項３２】
複数のテストフィクスチャのテストシステムを校正する方法であって、
前記テストシステムを第１のテストフィクスチャに接続する段階と、
校正標準器に従って前記第１のテストフィクスチャのパラメータを測定する段階と、
前記テストシステムを第２のテストフィクスチャに接続する段階、
前記校正標準器に従って前記第２のテストフィクスチャのパラメータを測定する段階と、
前記テストフィクスチャの前記測定されたパラメータに従って１組の校正係数を計算する段階と、
前記２つのテストフィクスチャのどちらが前記被測定物の測定に利用されるかに関係なく前記被測定物の測定によってほぼ同じ結果が得られるように前記校正係数に従って前記テストシステムを調整する段階とを有することを特徴とする方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７９】
図６Ｂは、本発明の実施形態により、図６Ａに示した例示的な生産テストフィクスチャ３００の第１のポート対（すなわち、ポート１／ポート２）に関して段階１１４ａ’で構成されたポート対モデル３００ａの実施形態の信号流れ図を示す。図６Ｂに示したポート対モデル３００ａは、テストフィクスチャ３００内の第１のポート対ｔｈｒｕ１２標準器３０１の測定されたＳパラメータ［Ｓ］Ｐ，１を表し、ポート１とモデル部分３１２の間に接続され、パラメータｔ１、ｍ１およびｄ１によって定義される第１のエラーアダプタ３１０を含む。パラメータｔ２、ｍ２およびｄ２によって定義される第２のエラーアダプタ３２０は、ポート対モデル３００ａのポート２とモデル部分３１２の間に接続される。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
図６Ｃは、本発明の実施形態により、第２のｔｈｒｕ１３標準器が取り付けられた例示的な３ポート生産テストフィクスチャ３００に関して段階１１４ａ’で構成された第２のポート対（すなわち、ポート１／ポート３）のポート対モデル３００ｂの実施形態の信号流れ図である。図６Ｃに示したポート対モデル３００ｂは、テストフィクスチャ３００内の第２のｔｈｒｕ１３標準器（図示せず）の測定されたＳパラメータ［Ｓ］Ｐ，１３を表し、ポート１とモデル部分３１３との間に接続され、パラメータｔ１、ｍ１およびｄ１によって定義される第１のエラーアダプタ３１０を含む。パラメータｔ３、ｍ３およびｄ３によって定義される第３のエラーアダプタ３３０は、ポート対モデル３００ｂのポート３とモデル部分３１３の間に接続されている。