(57)【要約】  本発明によると、ＴＦＴ  ＬＣＤパネルの電気的および電気光学的検査を行う検査システムにおいて、自動検査は、通常の再検査チャネルの一部として、スキャン処理中に、電気的または電気光学的検査システムの不良場所の特定および分類を支援するために空間撮像装置によってキャプチャされる一連の短パルスの照射を用いて、指定された領域における正確な高解像度の２次元画像をキャプチャすることにより、検査される対象物の限定された領域に対するオンデマンドの高解像度画像ＡＯＩスキャンを提供することによって、エンハンスされる。複数の画像をキャプチャする処理によって、１より多い不良箇所が特定されることができる。本発明による装置は、一定のタイプの不良の場所を正確に確定するために、不良がユーザまたは自動分類器によって再検査される前に、独立した装置として、または、検査ステーションまたは修理ステーションに組み込まれて使用されることができる。細かい画像解像度のため、サブピクセル補間の必要はない。特定の実施例では、毎秒６０フレーム以上をキャプチャできる高速エリアスキャンカメラは、約２０マイクロ秒以下、好ましくは８マイクロ秒以下の露光期間を有するフラッシュランプ画像をキャプチャする間に、毎秒３０ミリメートル以上の速度でスキャンすることができる。トライアンギュレーションを使用し、画像スキャンカメラと同一の光学パスを共有するハードウェアオートフォーカスセンサは、画像撮像機能のために、高速で継続的な焦点トラッキングを提供する。オンデマンド機能は、非ＡＯＩ検出機能および／または修復機能と順に動作し、不良の場所を確定し、不良を撮像するために、予め定められた限定された領域に対して実行される。本発明の特定の実施例は、非ＡＯＩ検査装置の機能的追加、および、非ＡＯＩ検査装置に関連して動作する修復装置の機能的追加の形式であってもよい。
2007537445.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査されるべき対象物上の異常を含む領域のみを特定でき、かつ、オンデマンドの自動光学検査を実行するために十分な解像度を有する光学撮像チャネルを有する、平面の電子回路である前記対象物を検査する不良検出システムにおいて、
不良が存在するかどうか、および前記不良が点まで特定されることができるかどうかを決定する第１のテストを実行することと、
前記領域を少なくとも１つの不良箇所へと特定するために、前記領域のスキャン時に短い期間の照明の少なくとも１パルスを用いる光学撮像チャネル光学素子を介して前記領域の領域画像をキャプチャすることによって、前記領域の高解像度光学再検査を実行する間に自動光学再検査をオンデマンドで実行することと
を備える前記対象物を検査する方法。
【請求項２】
前記少なくとも１つのパルスは、前記領域における複数の画像を照射するために用いられる集合であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
各画像に対して前記対象物に焦点を維持するために、スキャン中に、検査される前記対象物に対して継続的かつ自動的に焦点を合わせることを更に備える請求項１に記載の方法。
【請求項４】
複数の不良箇所は、前記領域の前記複数の画像から特定されることを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項５】
前記照明のパルスは、毎秒３０ミリメートルの継続的スキャン速度に対して８マイクロ秒以下の期間を有することを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項６】
検査される対象物上の異常を含む領域のみを特定することができ、オンデマンドで自動光学検査を実行するために十分な解像度の光学撮像チャネルを有する、平面の電子回路である前記対象物を検査および修復する不良検出／修復システムにおいて、
不良が存在するかどうか、および前記不良が点まで特定されることができるかどうかを決定するテスタと、
前記領域をスキャンするために配置されたパルス照明ソースを含む、前記不良を探すための前記領域のスキャン中に短期間のエネルギーパルスにより照射される領域画像をキャプチャする高解像度領域撮像カメラを有し、少なくとも１つの不良箇所を発見するために前記不良の前記領域に関する画像データをキャプチャおよび格納することを目的として、不良領域に検査光学素子を配置するオンデマンド自動光学検査サブシステムと、
を備える前記対象物を検査する装置。
【請求項７】
前記エネルギーパルスは、前記領域における複数の画像を照射するために使用される集合であることを特徴とする請求項６に記載のシステム。
【請求項８】
前記サブシステムは、スキャン中に検査される前記対象物上に継続的に焦点を合わせるための、ハードウェアオートフォーカス機構を更に備えることを特徴とする請求項６に記載のシステム。
【請求項９】
複数のフレームをキャプチャするための複数のフレームバッファと、前記領域の前記複数の画像から選択されたフレームを複数の不良箇所として特定する不良検出部とを更に含むことを特徴とする請求項７に記載のシステム。
【請求項１０】
前記照明のパルスは、毎秒３０ミリメートルの継続的スキャン速度に対して８マイクロ秒以下の期間を有することを特徴とする請求項７に記載のシステム。
【請求項１１】
検査される対象物上の異常を含む領域のみを特定することができ、オンデマンドで自動光学検査を実行するために十分な解像度の光学撮像チャネルを有する、平面の電子回路である前記対象物を検査および修復する不良検出／修復システムにおいて、
不良が存在するかどうか、および不良が点まで特定されることができるかどうかを決定するテスタと、
前記領域をスキャンするために配置され、前記不良の前記領域のスキャン中に短期間のエネルギーパルスにより照射される領域画像をキャプチャするパルス照明ソースを含む高解像度領域撮像カメラと、スキャン中に継続的に焦点を前記対象物に合わせるハードウェアオートフォーカスセンサおよびコントローラとを有し、不良箇所を発見するために前記不良領域の画像データをキャプチャおよび格納することを目的として、前記不良領域に検査光学素子を配置するオンデマンド自動光学検査サブシステムと、
を備える前記対象物を検査する装置。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
関連する適用へのクロスリファレンス：適用なし。
【０００２】
米国連邦政府の支援を受けた研究または開発による発明に関する権利について：適用なし。
【０００３】
本発明は、電気、電気光学、および光学技術を用いた製造の様々な段階における、フラットな電子回路パターンが設置された媒体の検査に関する。より具体的には、本発明は、（液晶フラットパネルディスプレイ（ＬＣＤ）の主要コンポーネントである）薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）アレイのようなフラットな電子基板の、自動化された電気的、電気光学的、および光学的検査に関する。特に、大きなガラスシート上に被着された、高密度な薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）パネルの検査に注目する。
【０００４】
ＴＦＴ  ＬＣＤパネルの製造期間中は、薄いガラスの大きく透明なシートは、複数の分離可能な同質のディスプレイパネルとして機能することを意図される電子回路を形成するために様々な物質のレイヤを被着する基盤として使用される。この被着は、概して、予め定められたパターンに従って、各段階において特定の物質（金属、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）、シリコン、アモルファスシリコンなど）が以前のレイヤ（またはガラス基板）上に被着される、複数の段階において実行される。各段階は、被着、マスキング、エッチング、ストリッピングなどの、様々な段階を含む。
【０００５】
これらの段階におけるそれぞれの期間中、および、ある段階内の様々なステップにおいて、最終的なＬＣＤ製品の性能に対して電気的および／または視覚的な影響を与える多くの製造不良が発生しうる。そのような不良は、例えば、回路のショート、オープン、外部粒子、被着の失敗、要素のサイズ問題、オーバーおよびアンダーエッチングを含む。最も一般的な不良は、図１に示されるように、ＩＴＯ１１２への金属突出部１１０、金属１１６へのＩＴＯ突出部１１４、いわゆるマウスバイト１１８、オープン回路１２０、トランジスタ１２４内のショート１２２、および外部粒子１２６を含む。
【０００６】
ＴＦＴ  ＬＣＤパネル検査の主に意図される適用範囲において、検査対象である不良は、小さく、厳しい不良検出制限を必要とする。
【０００７】
単なる不良の検出は、不十分である。検出された不良は、処理不良、すなわち、完成品の実行を損なわないがアレイ製造処理が最適な状態から離れていく初期兆候、アレイ生産収率を改善するために修復されることができる修復可能な不良、および最後に、ＴＦＴアレイの使用継続を不適当とするキラー不良に分類される必要がある。
【０００８】
前述の不良を検出および分類するために、広範囲の技術が使用されている。技術は、３つの広いカテゴリ、すなわち電気、電気光学、および光学に属する。
【０００９】
電気および電気光学技術は、検査対象がいくつかの計測可能な電気的または電気光学的性質を有することを必要とする。これは、主に意図されるＴＦＴ  ＬＣＤパネル検査の適用範囲の場合である。対象物は、電気的に励起されることができ、計測されかつ記録される電気的または電磁気的反応を生じる。そして、反応は、検査されている対象物における異常の存在または不在を判定するために、既知の通常の反応と比較される。
【００１０】
これらの技術について、電気的および／または電磁気的異常を生じる不良の物理的サイズまたは視認性は、概して、検出の限定要素ではない。不良が検査される対象物上の回路の電気的および／または電磁気的反応に対して著しいまたは計測可能な影響を有する限り、不良は、検出される。しかしながら、このタイプの検査特有の制限は、回路の電気的および／または電磁気的反応に影響を与える不良のみが検出されることができることである。他の異常は、不良のサイズに関係無く、検査システムによって見落とされる。更に、これらの不良のうちのいくつかは、物理的な不良のサイズよりも広い領域に影響を与えうる。従って、いくつかの一般的な場合では、電気的または電気光学的検査技術は、検査されている対象物上の異常の原因である物理的不良に必ずしも一致しない不良の形跡を検出しうる。
【００１１】
自動光学検査（ＡＯＩ）と称される純粋な光学的検査技術は、選択された光学的設定下において視認可能であれば、電気的性質に依存することなく不良を検出し、かつ不良の場所を特定できる。しかしながら、合理的な時間内に検出されることができる不良のサイズには、概して、厳しい制限がある。より良い制限（小さい不良）および短い検査時間は、共に、非常に重要な目標である。しかしながら、ＡＯＩシステムにおいて、これらは常に相反する目標であり、妥協される必要がある。実現可能な目標は、画像に使用可能な技術と処理するハードウェアとによって制限される。また、検査時間は、検査される対象物のサイズと共に長くなる。従って、ＡＯＩの適用に関して、結果として生じる高感度システムは、概して低速であり、高速なシステムは、粗い画像解像度を有するので検出感度が低い。
【００１２】
電気的および電気光学的検査方法は、不良が非常に小さい場合または不良が被着された他のレイヤの下に隠れており光学的に視認できない場合であっても不良を検出できるので、特に魅力的である。これは、特に、全ての物質のレイヤが被着され、ＬＣＤパネルが完全に動作し、電気的に励起されることができるようになった後の、ＴＦＴ  ＬＣＤパネルの最終検査において特に真である。従って、電気的および電気光学的検査方法における、不良の場所の特定および分類に関する制限を克服する改良を提供することは、重要な問題である。
【００１３】
パターンが設置されたフラットな媒体、特にＴＦＴ  ＬＣＤフラットパネルが被着されたガラス平面における異常の検出に関して、様々な従来技術の方法および装置が存在する。そのような方法の第１のカテゴリは、フラットな媒体上に被着された物質によって形成された回路の電気的テストである。これらの技術は、問題となるパターンが、励起されることができかつその電気的変化が計測されることができる、完全または不完全な電子回路を形成している場合に使用されることができる。
【００１４】
ＩＢＭ  Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｒｅｓｅａｒｃｈ  ＆  Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ，  Ｖｏｌ  ３６，  Ｎｏ．１，  Ｊａｎｕａｒｙ  １９９２に記載されている、Ｊｅｎｋｉｎｓその他による「Ｆｕｎｃｔｉｏｎａｌ Ｔｅｓｔｉｎｇ ｏｆ ＴＦＴ／ＬＣＤ Ａｒｒａｙｓ」と題された記事は、ピクセルを選択的に帯電し、検出回路を介してそれらを放電することによって、個々のＴＦＴ  ＬＣＤピクセルの帯電維持機能における不良および多くの他の不良の存在が検出されることができると主張している。この方法では、計測は、最初に格納された帯電がどれだけ回収されることができるかを計測する。
【００１５】
この方法の検出に関する特徴およびＬＣＤパネルピクセルへの接続は、Ｊｅｎｋｉｎｓその他による米国特許番号第５１７９３４５号において詳細に説明されている。ＴＦＴ  ＬＣＤパネルの不良検出装置は、Ｉｃｈｉｏｋａ他による、米国特許番号第５５４６０１３号に記載されている。
【００１６】
前述のテスト方法は、個々のピクセルに対応し、個々のピクセルを電気的にテストするために、ＴＦＴ  ＬＣＤパネル構造の全てのゲートおよびデータラインへのガルバニック接続を必要とする。この制限により、接触するハードウェアは、高額となり、かつ、維持が難しい。必要とされる接続の数を低減する方法による改善は、Ｊｅｎｋｉｎｓその他による米国特許番号第６４３７５９６号において提案されている。
【００１７】
フラットな媒体上のそのような回路に対する他のタイプの電気的テストは、検査される表面に照射される電子ビームによるものである。電子ビームを用いる多くのソリューションは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の基本原理を使用する。この方法では、低エネルギーの電子ビームで回路の要素を照射し、回路要素から散乱する派生的な電子のエネルギーレベルを記録することによって、検査される表面上における電圧分布が生成されることができる。この生成された電圧マップは、表面上の電気的不良の存在およびタイプの検出に使用されることができる。
【００１８】
Ｈａｒｔｍａｎその他による、米国特許番号第４８４３３１２号は、ＴＦＴ  ＬＣＤ回路構造における不良をテストするために、エネルギービーム（または粒子ビーム）を用いる一般的な手法を説明している。
【００１９】
また、Ｂｒｕｎｎｅｒその他による、米国特許番号第５４１４３７４号は、ＬＣＤパネル用の粒子ビームテスターを説明している。この場合、ＬＣＤピクセルの平面電極は、電極において電位を生成するために、ビームによってターゲットにされる。以下の計測サイクルにおいて、この電位は、同一または第２のビームの散乱した副次的電子により計測され、名目値と比較される。スイッチ要素は、また、計測されることができかつ名目の反応と比較されることができる時間的に変化する電位を提供するために、計測期間中に有効化される。
【００２０】
電子ビームテストの他の異なる適用は、回路要素の特定の場所に順に向けられる電子ビームを用いた、回路要素の帯電または放電によるものである。例えば、ＴＦＴ  ＬＣＤパネルピクセルアレイ内の個々のピクセルは、低エネルギーの電子ビームによって励起され、構造内における電気的不良の存在を判定するために計測される電流を誘発する。ＩＢＭ Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ｒｅｓｅａｒｃｈ  ＆  Ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ、Ｖｏｌ．３４、Ｎｏ  ２／３、Ｍａｒｃｈ／Ｍａｙ  １９９０に記載された、Ｇｏｌｌａｄａｙその他による「Ｅｌｅｃｔｒｏｎ−Ｂｅａｍ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ  ｆｏｒ  Ｏｐｅｎ／Ｓｈｏｒｔ  Ｔｅｓｔｉｎｇ  ｏｆ  Ｍｕｌｔｉ−Ｃｈｉｐ  Ｓｕｂｓｔｒａｔｅｓ」と題された記事は、この技術を示している。より最近の、Ｇｏｌｌａｄａｙその他による、米国特許番号第５６１２６２６号は、電子ビーム技術に基づく電子基盤不良検出システムを説明している。
【００２１】
不良検出方法の第２のカテゴリは、電気光学的技術の不良検出方法である。この方法のカテゴリでは、回路の電気的および／または電磁気的反応は、（概して、可視光、または、適切な変調装置により形成されたｅ−ビームの反射を介して）光学的に観察可能なものに変換される。次に、変調装置の出力は、検査される回路の電気的反応を示す画像を形成するために、光学的に撮像される。特に電界の画像および調査された回路の電圧分布は、電圧マップの形で生成されることができる。その後、これらの画像は、表面上の電気的不良を検出および特定するために使用されることができる。
【００２２】
Ｈｅｎｌｅｙによる、米国特許番号第４９８３９１１号、第５０９７２０１号、および第５１２４６３５号は、電圧とテスト対象の表面から生じる電界とが、適切な液晶の変形構造の光学的性質を変調するために使用される、電気光学的光変調器および関連する画像撮像手段の原理を説明している。従って、光学的画像は、画像キャプチャ装置によって作成され、記録される。この電気光学的変調装置とその製造方法の改良版は、Ｈｅｎｌｅｙによる米国特許番号第５６１５０３９号において開示されている。
【００２３】
Ｈｅｎｌｅｙによる米国特許番号第５５７０１１号は、既知の電気状態において励起されることができる電子デバイスをテストするためのテスト配置における、この電子光学的検出要素を用いた方法を説明している。この方法は、組み立てられて液晶で満たされる前の、製造の最終段階における、ＴＦＴ  ＬＣＤパネルの電気的機能の電気光学的テストにおいて、問題無く使用されている。
【００２４】
不良検出方法の他の主要なカテゴリである自動光学検査は、必要とされる倍率および解像度の光学撮像と、検査される対象物の予期される通常の変形態様から不良を検出するためにハードウェア／ソフトウェアを用いた画像処理技術の使用とに基づく。検出される異常は、電気的に著しい不良には限定されず、ある光学的設定、画像の拡大、およびシステムの解像度により判定される、光学的に特定可能なオブジェクトに限定される。また、解像度は、そのようなシステムの複雑さおよび動作速度を決定する。
【００２５】
そのような自動検査の実行の基本原理は、検査される対象物の選択された倍率および解像度による撮像と、ＣＣＤまたはＣＭＯＳセンサのような画像キャプチャ装置を用いた画像情報のデジタル化とに基づく。キャプチャされた画像は、検査される対象物の表面における通常の変形態様の参考資料を作成すること、および、参考資料との比較に基づき不良の検出を実行することを目的として使用されてもよい。比較処理は、テスト画像の参考資料からのずれを検出するために画像削減のような空間パターン比較技術が使用される空間において使用されてもよい。代わりに、比較は、適切に選択された代表的な機能を含む機能範囲内において実行されることができる。後者の場合、テスト対象物および参考資料は、共に、画像から得られた特徴のセットによって表現される。また、比較は、当該選択された機能空間において実行される。
【００２６】
光学的検査には多くの手法が存在する。例えば、Ｌｅｖｙその他による米国特許番号第４２４７２０３号および第４３４７００１号は、繰り返しの回路のダイに関するフォトマスクにおける不良を検出するために空間パターン比較技術を使用する、自動光学フォトマスク検査装置について説明している。
【００２７】
Ｓｐｅｃｈｔその他による米国特許番号第４８０５１２３号は、サブピクセル解像度における空間パターン比較による、そのような繰り返しのパターンを有する表面の検査における、改善された方法を開示している。画像撮像の解像度に近い検出感度は、参考資料とテスト画像の正確なサブピクセル配置により実現可能である。そのような検出速度は、特定の解像度で抽出された画像におけるエイリアシングノイズ（ピクセル化ノイズとも称される）のため、通常、可能ではない。この方法は、シリコンウエハ検査およびＴＦＴ  ＬＣＤ検査において使用されている。
【００２８】
また、フォトマスクおよび集積回路のダイのパターン検査に対して提案された他のソリューションが存在する。これらは、例えば、Ｄａｎｉｅｌｓｏｎその他による米国特許番号第４９２６４８９号、Ｊｏｒｄａｎその他による米国特許番号第５８６４３９４号、およびＥｍｅｒｙによる米国特許番号第６２８２３０９号において説明されている。
【００２９】
自動光学検査技術のＴＦＴ  ＬＣＤパネル検査への適用は、集積回路のダイの検査に対して確立されている技術のスケールアップから成る。しかしながら、物質のコントラストを改良するような、適用範囲における特定の問題を解決する他の技術が開示されている。例えば、Ｆｉｎａｒｏｖによる米国特許番号第５３３３０５２号は、コントラストの改善と、それによるＴＦＴ  ＬＣＤパネルにおける（ＩＴＯのような）透明物質の検出能の改善とに特に便利である、位相コントラスト画像技術を説明している。
【００３０】
ＡＯＩシステムは、電気的性質および非電気的性質の不良を検出および撮像できてもよく、従って、直ちに機能的不良に至らない不良を検知することにより処理制御を目的として使用されることができる。しかしながら、それらの性能および検査時間は、装置が動作する解像度に比例する。
【００３１】
回路において重大な電気的不良を生じる多くの不良は検査される対象物の全表面と比較して非常に小さいので、これらの重大な不良を検出するための要件は、高い光学的解像度を有する装置となる。これは、換言すると、非常に高価な装置、非常に遅い装置、またはその両方の結果を生じる。最も高額なハードウェアであっても、実現可能な検査速度に対する制限は、使用可能なハードウェア技術によって決定される。これらの制限は、ＴＦＴ  ＬＣＤパネルによって被着されたフラットな材質平面のサイズが回路機能のサイズより大きい場合における、ＴＦＴ  ＬＣＤパネル検査の好ましい適用領域において、特に著しい。
【００３２】
従って、物理的なサイズに依存することなく電気的に著しい不良を検出することができる、前記の電気的および電気光学的検査技術が必要とされている。しかしながら、電気的および電気光学的システムは、いくつかのタイプの不良において、不良の電気的形跡が、不良の物理的原因より広い領域をカバーしうるという困難に直面する。例えば、ＴＦＴ  ＬＣＤパネル回路におけるデータラインから共通ラインへのショートは、データライン全体をグラウンドし、その結果、不良の形跡は、データラインによって占有される全領域をカバーする。この検査は、不良の位置情報を提供せず、それは、そのようなシステムにおける主要な欠点である。不良位置情報は、オペレータが光学顕微鏡を用いて不良の性質をマニュアルで再検査すること、または、自動分類サブシステムが不良を撮像および処理することを目的とした処理の制御における、不良の再発生の監視に便利である。修復装置が処理に含まれている場合、位置情報は、更に、不良を発見し修理するために使用される。
【００３３】
「Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｖｉｓｕａｌ  Ｉｍａｇｉｎｇ  ａｎｄ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  Ｓｅｎｓｉｎｇ  Ｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎ  Ｓｙｓｔｅｍｓ」と題された、Ｃｌａｒｋその他による以前の米国特許番号第１０／２２３２８８号は、検出結果と分類結果とを組み合わせるために、独立したチャネルの両方によって検査される対象物の表面のスキャンを同時に実行することを目的として、非ＡＯＩ検査装置を、統合された視覚画像（ＡＯＩ）チャネルで増強する一般的な概念を開示している。
【００３４】
不良を検知および修復する従来技術の典型的な処理フローが、図２に示される。処理は、非ＡＯＩ検査システムに対してだけでなく、ＡＯＩシステムに対しても有効である。処理において、検査される対象物は、以前の処理ステップから到着し（ステップ２１０）、対象物における製造不良をスキャンするために、不良検出システム２１２に送られる。不良検出システムが対象物に対して動作した後、検査された対象物上において特定された不良のリストである出力が生成される。
【００３５】
不良検出システムの機能に応じて、不良は、正確に場所が特定された不良箇所、または、広い領域をカバーしうる大まかに場所が特定された不良領域であってもよい。例えば、電気的異常は物理的に不良が生じた領域だけでなくライン全体に影響を与えるので、一定の電気的テスト方法は、ラインショートの正確な場所を決定することができない。
【００３６】
（システム２１２内の）不良検出ステップによって不良が特定されることができなかった場合（ステップ２１４）、対象物は、次の処理ステップに送られる（ステップ２２４）。１以上の不良が特定された場合、これらの不良は、適切な修復システム２１８によって修復可能かどうかが判定される（ステップ２１６）。検査および修復システム２１２および２１８の機能に応じて、この判定は、検査システム２１２または修復システム２１８のいずれかにおいてされることができる。例えば、いくつかの検査システムは、修理可能かどうかに基づいて不良を分類するユーザの仕様に基づいて、自動再検査および分類を実行する機能を有する。
【００３７】
修復可能な不良は、修復システムによって処理され、処理が成功した場合（ステップ２２８）、検査されたパネルは、次の処理ステップに送られる（ステップ２２４）、また、成功しなかった場合は、代替処理に委ねられて代替処理フローに送られる（ステップ２２６）。修復できない不良サンプルの詳細な処理は、概して、製造工場に依存する。工場の方針により、代替処理および後続の処理フローは、全基板の廃棄、基板上の不良パネルのみの廃棄、または、全基板の解体と工程の最初に向けた全基板のリサイクルに続いてもよい。検査される対象物が処理を進む間、特定された不良に関する情報は、検査システムおよび修復システムの両方にアクセス可能なデータベース２２８を介して格納され、やりとりされる。
【００３８】
必要とされるのは、不良がユーザまたは自動分類器によって再検査される前に、一定のタイプの不良の場所を正確に確定するために、電気的および電気光学的技術に基づく非ＡＯＩシステムの多くの制限を特に解決する、パネル検査システムである。
【００３９】
業界では、そのような技術が１つだけ導入されている。韓国では、最近、Ｃｈａｒｍ社が、不良の修復を可能にするために、パネルにおける不良の場所を自動的に特定するステーションを開発した。この装置は、修復装置における処理の動作を改善した。装置は、独立したＴＤＩラインスキャンカメラを、独立して動作する修復ステーションの主要な再検査および修復光学素子として使用する。装置は、望まれる細かい解像度と検出感度とを確保するために、サブピクセル補間が必要とされる、粗いオブジェクト平面ピクセル解像度を使用する。 画像は、事実上、１次元であり、２つの顕著な結果を有する。画像は、即座にキャプチャされることができず、２方向に沿って不良を検出するために、直角をなす方向における異なる２回のスキャンが実行される必要がある。 従って、ラインスキャンカメラは、２つのスキャン方向間において、物理的に回転される必要がある。
【００４０】
本発明は、添付の図面と関連する以下の詳細な説明によって、理解されるである。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】不良のタイプを示すテスト対象物である。
【００４２】
【図２】不良検査システムおよび不良修復システムに関連するフロー図である。
【００４３】
【図３】不良検出装置側における処理の詳細を示す。
【００４４】
【図４】不良修復装置側における詳細を示す。
【００４５】
【図５】本発明の一実施例による、光学撮像装置の横断面図である。
【００４６】
【図６】ハードウェアオートフォーカスが使用される本発明の他の実施例による、光学撮像装置の横断面図である。
【００４７】
【図７】図７Ａは、本発明による、ストロボエリアスキャン画像処理を示す第１の図である。図７Ｂは、本発明による、ストロボエリアスキャン画像処理を示す第２の図である。図７Ｃは、本発明による、ストロボエリアスキャン画像処理を示す第３の図である。
【００４８】
【図８】本発明の特定の実施例に関する全体的なアーキテクチャを示す図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４９】
検査システム、または、検査および修復装置からなるシステムのグループにおいて、検査およびそれに続く任意の修復処理がどのように実行されるかを決定するために、詳細に定義された処理が使用される。この処理は、検査および修理処理および検査される対象物に対して実行される一連の処理に関るサブシステムの役割を説明している。
【００５０】
本発明は、ＡＯＩオンデマンドサブシステムを使用した改善を追加する、装置の増強を提案する。
【００５１】
追加されたサブシステムと共に不良を速く特定するために改善されたフローおよび追加された機能は、本発明の主要な貢献である。
【００５２】
図３では、新規機能が処理の検査側と検査装置とに組み込まれた、ＡＯＩオンデマンド処理の特定の実施例が示される。不良検査される対象物は、（ステップ３１２から始まる処理によって示される）検査装置に入力される（ステップ３１０）。検査装置は、不良を検出するために、対象物の表面をスキャンする（ステップ３１２）。不良の場所を特定できなかった場合（ステップ３１４）、対象物は、修復装置または装置群をスキップして、次の処理ステップに送られる（ステップ３１５）。不良の場所が特定された場合（ステップ３１４）、対象物は、装置に再検査ハードウェアが実装されている場合、（ステップ３１６から開始する）再検査ステップに委ねられる。
【００５３】
非ＡＯＩ検査装置は、概して、空間における単一の箇所に広がる電気的形跡を有する不良すなわち不良領域を示す。従来技術は、両方のタイプの不良を同様に扱う。すなわち、不良は、分類するために光学顕微鏡により再検査される、または、修復可能かどうかを判定するために（システムによって特定される電気的不良のタイプのような）非ＡＯＩ判定基準に従って処理される。これらのステップは、ステップ３１６とパス３３８、ステップ３１８、ステップ３３２、およびステップ３３０として、本発明に組み込まれる。
【００５４】
検査装置における不良の再検査は、不良箇所に高解像度の光学顕微鏡を配置すること（ステップ３２２）、および、選択された視界の再検査画像を取得すること（ステップ３２４）によって実行される。そして、画像は、不良のタイプおよび重大性を判定するために、人間オペレータによって確認される（ステップ３２６）または自動分類システムに委ねられる（ステップ３２８）。不良は、再び、修復可能（Ｙｅｓ）またはキラー（Ｎｏ）であると判定され（ステップ３３０）、パネルは、修復装置に送られる（ステップ３３６）または代替処理フローに送られる（ステップ３３４）。
【００５５】
従来技術では、不良について領域のみが特定されることができる場合、困難なマニュアルによる再検査処理が開始される。例えば、ラインのショートは、オペレータが、顕微鏡によって物理的不良を観察するために、パネル全体の長さ又は幅に広がるラインをスキャンし、不良の重大性を決定する必要があることを意味しうる。そして、それを行うことは、多くの場合では、高倍率の顕微鏡にとって、領域をカバーして不良の場所を特定するために極めて長い時間を必要とするので、不可能なタスクでありうる。最高の場合において、オペレータは、顕微鏡の倍率を切り替えて、低い倍率で不良の場所の特定を試みてもよい。これは、また、多くのオペレータ時間を要する。
【００５６】
一方、自動分類器は、概して、画像のフレームに対して動作するように設計され、不良の正確な位置が未知であるような場合に対応することができない。
【００５７】
本発明によると、不良の電気的形跡が、場所が特定された点ではなく「ゾーン」または領域である場合、ＡＯＩオンデマンド処理３２０サブシステムは、有効化される。適切な倍率および解像度を有する光学撮像システムは、この全領域をカバーするために非ＡＯＩ検査によって示された領域をスキャンすることを目的として配置され（ステップ３２１）、取得された画像ストリームは、後に使用または分析するために、キャプチャされ、システムメモリ内に格納される（ステップ３２３）。画像ストリームは、非ＡＯＩ方法によって検出された元の電気的不良の原因である物理的不良を抽出して正確な位置を取得するために、専用画像処理ハードウェア／ソフトウェアによって処理される（ステップ３２５）。不良が空間的に局所的な箇所に特定されると、不良箇所は、再検査処理に渡される（ステップ３１８）。
【００５８】
図４では、新規のＡＯＩオンデマンド機能が、処理の修復側すなわち修復装置に組み込まれる、本発明の他の実施例が示される。修復される必要がある対象物は、以前の処理ステップから修復システムに送られる（図３の検査ステップ３３６から直接送られてもよい）（ステップ４１０）。不良情報は、概して、検査システムによって以前に更新された共通データベースを介して、システムに送信される（図３のステップ３２６または３２８）。
【００５９】
（既知の技術では、修復装置は、不良が点または領域であるかどうかに関らず、不良が再検査に送られるように動作する（ステップ４１２、パス４１４、ステップ４１８）。処理の修復側におけるこの再検査は、一般的に、手作業である。オペレータは、修復される必要がある不良を選択する。高倍率かつ高解像度である光学顕微鏡は、不良箇所に向けて配置され（ステップ４１８）、オペレータは、不良の画像を提供される（ステップ４２０）。オペレータは、不良の修復方法を決定し、それに必要な処理を行い（ステップ４２４および４２６）、修復された対象物を次の処理ステップに転送する（ステップ４３２）。
不良が修復できない場合（ステップ４２８）、対象物は、修復不可能な不良パネルを処理するために、代替処理フローに送られる（ステップ４３０））。
【００６０】
（不良が領域としてのみ特定されることができる場合、従来技術を用いるオペレータは、全範囲をマニュアルでスキャンして実際の物理的不良を探し、次に、その物理的不良の修理を試みるタスクを有する。これは、多くのオペレータ時間を必要とし、更に、修復スループットに対して直接的な悪影響を与える。）
【００６１】
本発明は、更に他の実施例において、特定のＡＯＩオンデマンド機能を追加することによって、処理を改善する。これは、ダイレクトリンク（パス４１４）を処理（ステップ４１６）に置き換えることによって実行される。不良が場所を特定されたポイントではなく領域をカバーする形跡を有する場合、ＡＯＩオンデマンド機能が有効化される。適切な倍率および解像度を有する光学撮像システムは、全体の領域をカバーすることを目的として不良情報によって示された領域をスキャンするために配置され、収集された画像ストリームをシステムメモリ内に格納する（ステップ４２１および４２３）。画像ストリームは、元の電気的不良領域の原因である物理的不良を検出して正確な位置を取得するために、画像処理ハードウェア／ソフトウェアによって処理される（ステップ４２５）。各不良が空間的に局所的な箇所に特定されると、各不良箇所は、（ステップ４１８から開始する）残りの再検査および修復処理に渡される。
【００６２】
本発明による主要な貢献は、これらの装置を含む処理のスループットを改善するために、検査および／または修復装置の動作を改善することである。ＡＯＩオンデマンドの好ましいハードウェア実施例は、機能が装置に組み込まれる方法の例である。
【００６３】
本発明の特定のハードウェア実施例では、適切な倍率を有する専用撮像チャネルは、ＡＯＩオンデマンドサブシステムとして、一致する解像度のエリアスキャン画像キャプチャデバイスとストロボフラッシュランプの組合せと共に使用される。この撮像チャネル光学素子の配置に関する特定の実施例は、図５に示される。エリアスキャンカメラ５００の全コンポーネントは、中心光軸５１０および照射軸５２８に沿って配置される。顕微鏡対物レンズ５２６およびチューブレンズ５１８は、観察するために、光学的構成内に設置される。そして、エリアスキャン画像キャプチャデバイス（例：ＣＣＤまたはＣＭＯＳデバイス）５１４は、複合（対物レンズ５２６およびチューブレンズ５１８）撮像システムの撮像平面に設置される。センサ５１４は、カメラ配置５１２内に含まれる。画像キャプチャ処理期間中、撮像される対象物（図示されない）は、照明光学素子５２０を介して、高速なストロボフラッシュランプ５２２によって照射される。照射期間は、概して、２０マイクロ秒以下のオーダーであり、毎秒３０ミリメートルのスキャン速度に対しては８マイクロ秒以下であることが好ましい。照明は、ビームスプリッタ５２４を用いて主要な光軸と接続され、全構造は、マウントプレート５１６を介して検査または修復装置（図示されない）上にマウントされる。本発明による光学装置は、処理中においてターゲットに関連して移動されることができるように、すなわち、光学素子が固定されている間または固定されていない間にターゲットが移動されることができるように、マウントプレート５１６上にマウントされる。
【００６４】
ストロボ照明と組み合わされたエリアスキャンカメラ５００は、多くの有利な点を提供する。エリアスキャンカメラ５００は、エリアスキャンセンサ５１４がラインスキャン撮像装置と同じように方向性感度を有する画像キャプチャ装置ではないので、あらゆるスキャン方向に沿った画像取得の実行を可能にする。しかしながら、一般的に、エリアスキャン画像センサは、モーションの存在に関する感度を有し、理想的には、カメラが固定されている場合にのみ使用されるべきである。この欠点は、短パルスストロボフラッシュ光照明の使用によって軽減される。当該照明スキームによって生成される高輝度光の短パルスは、撮像チャネルアセンブリの動作中に、モーションをフリーズし、一連のシャープな画像のキャプチャを可能にする。当該処理は、装置内の振動の存在に対する画像のシャープネスの確実性を示す。フラッシュランプの短い負荷サイクルは、また、発光器の消費電力を最初化し、バルブの予期される寿命を延ばす。そのようなフラッシュランプは、代替の継続的発光器より、サイズが小さく、軽い。
【００６５】
図５に示される光学的配置は、本発明の特定のハードウェア実施例の１つにすぎない。
また、他の実施例が可能であり、以下に説明される。
【００６６】
図６は、ハードウェアベースのトラッキングオートフォーカスが、撮像チャネルに組み込まれた、本発明のある実施例を示す。本実施例では、オートフォーカス機構６１２は、位置を確定するために、例えばトライアンギュレーションを使用する。そして、撮像チャネルは、組立部品全体を支えるプラットフォーム５１６に関連するＺ軸に沿って制御されるモーション６１０を介して、最高の焦点を機械的に維持することができる。移動は、ステージ全体を動かすステッピングモータまたは音声コイルによって、または、顕微鏡対物レンズ５２６の音声コイル駆動によって、実現されることができる。ハードウェア焦点センサ６１２は、コラムにマウントされ、Ｚ軸位置および焦点状態を検出する。焦点センサ６１２は、ビームスプリッタ６１６と、画像を焦点検出部に向け、従来のカメラにおいて用いられるコンポーネント（図示されない）を制御する、レンズ６１４のような関連する光学素子とを介して撮像チャネルに組み込まれる。コントローラ部は、撮像チャネル上にマウントされることができる、または、独立した構成に設置されることができ、その出力は、レンズ部の全機構または一部の機械的な位置を制御するサーボを動作させる。
【００６７】
図７Ａ、図７Ｂ、および図７Ｃは、本発明によるストロボフラッシュ光照明を有するエリアスキャン撮像チャネルの動作を示す。撮像チャネルは、ストロボパルスのトリガ信号７１４の瞬間に画像の中心点を含む領域を表す指定された視界ＦＯＶ７１０を細かい解像度でカバーする。撮像チャネルが指定されたモーションパス７１６または７２２に沿って動作するにつれて、定期的な位置トリガ信号７１４によってトリガされたストロボフラッシュ光照明は、チャネルの動作に沿って画像をフリーズし、スキャンされる領域の画像をキャプチャする。フラッシュ光照明によってキャプチャされた各ＦＯＶは、概して１％のオーダーの小さい領域によって重なる。
【００６８】
図７Ｂは、特定の不良領域から不良箇所を特定する処理を示す。動作軌道に沿っていくつかの視界（ＦＯＶ）に広がるゾーンまたは領域７１８は、スキャンされ、撮像チャネル装置（図５または図６）は、全領域をカバーするために一連の高解像度の画像をキャプチャする。キャプチャされた各画像は、画像処理および不良検出によって処理される。１以上のキャプチャされた画像において、不良箇所７２０は、フラッシュランプおよびオートフォーカスの働きによって検出されることができる。検出は、領域から１以上の不良箇所を特定し、それによって、ＡＯＩオンデマンドスキャンの処理を完了する。
【００６９】
ＡＯＩオンデマンド機能によってスキャンされる不良領域は、図７Ａおよび図７Ｂに示されるような線形領域である必要はない。他の領域の任意の形状も、予期される。図７Ｃは、蛇行した軌道７２２によってカバーされた長方形領域を示す。そのような場合、適用可能なアルゴリズムは、エリアをカバーするために、撮像チャネルに対して合理的なスキャン軌道を決定する。
【００７０】
本発明の特定の実施例の機能的コンポーネントは、図８に示される。まず、個々の不良箇所に特定されることができなかった領域を指定する不良領域情報８１０がシステムに入力される。スキャン軌道生成部８１２は、不良領域情報８１０によって示されるように、高解像度の重なり部分フレームを含む領域をカバーする適切な軌道を生成する。軌道は、撮像チャネルを検査される対象物または材料に関連して動かすことを目的として、ＸＹステージコントローラ８１４を動かし、ＸＹステージ８１８（または、検査される対象物を有するプラットフォーム）を動かすように生成される。位置レジスタ８１６および関連するトリガロジック８１７は、この指示されたモーションをトラックし、同期されたトリガ信号８２０を生成する（図７Ａの７１４）。信号は、同期された画像取得を実行するために、画像センサ８２２、関連するフレーム取得手段８３８、およびフラッシュ光発光器８２６に送信される。当該ストロボ照明のキャプチャ処理期間中は、ハードウェアオートフォーカスセンサ８２４は、焦点品質の信号を（光信号調節部８２８を介して）ダイナミックトラッキングフィルタ８３０にフィードする。フィルタ８３０は、順に、Ｚ軸コントローラ８３２のために、トラッキングオートフォーカス制御ループをクローズすることを目的としてＺ軸モーションステージ８３４を動かす、一連のセットポイントを生成する。この設定は、対物レンズの検査される対象物８３６の表面への距離を調整することによって、画像キャプチャ処理全体において最高のピントを維持する。キャプチャされたフレームは、専用のフレームバッファ８４０内に一時的に格納され、適用可能な画像処理および検出サブシステム８４２によって処理される。これは、特定される必要がある元の領域から、個々の不良箇所としてフラグされたレコード８４４、８４５、および８４６を特定し、全処理を完了する。
【００７１】
電気回路ウエハ検査またはＴＦＴ  ＬＣＤパネル検査の適用領域において使用される精密な検査および修復装置は、概して、不良の再検査を目的とする光学顕微鏡および画像ハードウェアが予め装備されている。本発明のカメラは、一般的に、高倍率および高解像度を有するが、倍率を手早く変更するために、様々な倍率の対物レンズのタレットを有してもよい。
【００７２】
検査または修復される対象物の一部について、正確に場所を特定し、撮像するために、装置は、対象物が正確に配置されていることを必要とする。これは、概して、対象物上の配置マークの場所を特定し、配置マークを撮像することによって実現される。装置は、この機能を実行するために、独立した光学的システムを有してもよい。更に、調整および再検査機能は、提案されるＡＯＩオンデマンド機能と同時に有効にならないので、撮像チャネルは、提案されるＡＯＩオンデマンド処理の間は、待機する。
【００７３】
他の実施例は、ＡＯＩオンデマンド検出および場所の特定に必要とされる画像ストリームを取得するために、撮像チャネルとして再検査カメラを使用する。再検査システムが１つの倍率のみを有する場合、ＡＯＩオンデマンドの速度は、倍率によって決定され、非常に高倍率の再検査カメラに対しては実用には遅すぎる可能性がある。しかしながら、これは完全に自動化された処理であるので、いくつかの場合においては許容されることができる。再検査カメラは、代わりに、異なる解像度を有する対物レンズのタレットを備えてもよい。そのような場合では、適切な倍率を有する対物レンズは、スキャンを実行するために、ＡＯＩオンデマンドサブシステムによって選択される。
【００７４】
ＡＯＩオンデマンドシステムの更に他のハードウェア実施例は、 撮像チャネルが自動光学不良検知および場所の特定に必要とされる画像ストリームを取得する際に調整カメラを使用する。調整カメラは、概して、適切な倍率を有する、白黒カメラである。調整カメラは、いくつかの場合では、ＡＯＩオンデマンドスキャンに適切な倍率を有する、白黒カメラである。
【００７５】
同様の変更態様を有する他の実施例は、当業者にとって明らかであり、本明細書において明示的に説明されない。
【００７６】
本発明は、ＡＯＩオンデマンドスキャンから取得された画像ストリームを処理するために、使用可能な画像処理アルゴリズムを使用する。画像の処理および不良の検出を実行する特定のアルゴリズムの特定の詳細は、本発明における主要な関心ではない。しかしながら、撮像チャネルの倍率および解像度は、検出される必要がある最も小さい不良のサイズに従って選択される。非ＡＯＩ方法によって決定された限定された領域のみがサブシステムによってスキャンされるので、高倍率および高画像解像度は、検査される対象物の全表面のスキャンを実行できるＡＯＩシステムと比較して使用されることができる。従って、不良検出方法が従来の空間比較／パターンサブトラクション技術に基づく場合は、サブピクセル配置方法は、必要ない。他の光学的 フィルタリング技術は、ＡＯＩオンデマンドサブシステム上の不良検出手段として使用されることができる。
【００７７】
キャリブレーション処理およびアルゴリズムは、ＡＯＩオンデマンドサブシステムを適切なプラットフォームに組み込むために使用される。そのようなアルゴリズムの特定の詳細は、本発明の対象ではない。しかしながら、アルゴリズムは、検出されたオブジェクトが、非ＡＯＩ検出不良と関連づけられることができ、マップされることができ、顕微鏡によって再検査されることができ、かつ、表示されることができるように、取得されたイメージに関連する不良座標をシステム全体のグローバル座標に関係付けるための全ての要素を有する。
【００７８】
本発明は、特定の実施例を参照して説明された。通常の技術を有する当業者にとって、他の実施例は明白であろう。従って、本発明は、添付の請求項によってのみ限定されることが意図される。
【図１】
2007537445.tif 000003
【図２】
2007537445.tif 000004
【図３】
2007537445.tif 000005
【図４】
2007537445.tif 000006
【図５】
2007537445.tif 000007
【図６】
2007537445.tif 000008
【図７Ａ】
2007537445.tif 000009
【図７Ｂ】
2007537445.tif 000010
【図７Ｃ】
2007537445.tif 000011
【図８】
2007537445.tif 000012
【手続補正書】
【提出日】平成19年7月2日(2007.7.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査されるべき対象物上の異常を含む領域のみを特定でき、かつ、オンデマンドの自動光学検査を実行するために十分な解像度を有する光学撮像チャネルを有する、平面の電子回路である前記対象物を検査する不良検出システムにおいて、
不良が存在するかどうか、および前記不良が点まで特定されることができるかどうかを決定する第１のテストを実行することと、
前記領域を少なくとも１つの不良箇所へと特定するために、前記領域のスキャン時に短い期間の照明の少なくとも１つの光パルスを用いる光学撮像チャネル光学素子を介して前記領域の領域画像をキャプチャすることによって、前記領域の高解像度光学再検査を実行する間に自動光学再検査をオンデマンドで実行することと
を備える前記対象物を検査する方法。
【請求項２】
前記少なくとも１つの光パルスは、前記領域における複数の画像を照射するために用いられる集合であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
各画像に対して前記対象物に焦点を維持するために、スキャン中に、検査される前記対象物に対して継続的かつ自動的に焦点を合わせることを更に備える請求項１に記載の方法。
【請求項４】
複数の不良箇所は、前記領域の前記複数の画像から特定されることを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項５】
前記照明のパルスは、毎秒３０ミリメートルの継続的スキャン速度に対して８マイクロ秒以下の期間を有することを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項６】
検査される対象物上の異常を含む領域のみを特定することができ、オンデマンドで自動光学検査を実行するために十分な解像度の光学撮像チャネルを有する、平面の電子回路である前記対象物を検査および修復する不良検出／修復システムにおいて、
不良が存在するかどうか、および前記不良が点まで特定されることができるかどうかを決定するテスタと、
前記領域をスキャンするために配置されたパルス照明ソースを含む、前記不良を探すための前記領域のスキャン中に短期間のエネルギーパルスにより照射される領域画像をキャプチャする高解像度領域撮像カメラを有し、少なくとも１つの不良箇所を発見するために前記不良の前記領域に関する画像データをキャプチャおよび格納することを目的として、不良領域に検査光学素子を配置するオンデマンド自動光学検査サブシステムと、
を備える前記対象物を検査する装置。
【請求項７】
前記エネルギーパルスは、前記領域における複数の画像を照射するために使用される集合であることを特徴とする請求項６に記載のシステム。
【請求項８】
前記サブシステムは、スキャン中に検査される前記対象物上に継続的に焦点を合わせるための、ハードウェアオートフォーカス機構を更に備えることを特徴とする請求項６に記載のシステム。
【請求項９】
複数のフレームをキャプチャするための複数のフレームバッファと、前記領域の前記複数の画像から選択されたフレームを複数の不良箇所として特定する不良検出部とを更に含むことを特徴とする請求項７に記載のシステム。
【請求項１０】
前記照明のパルスは、毎秒３０ミリメートルの継続的スキャン速度に対して８マイクロ秒以下の期間を有することを特徴とする請求項７に記載のシステム。
【請求項１１】
検査される対象物上の異常を含む領域のみを特定することができ、オンデマンドで自動光学検査を実行するために十分な解像度の光学撮像チャネルを有する、平面の電子回路である前記対象物を検査および修復する不良検出／修復システムにおいて、
不良が存在するかどうか、および不良が点まで特定されることができるかどうかを決定するテスタと、
前記領域をスキャンするために配置され、前記不良の前記領域のスキャン中に短期間のエネルギーパルスにより照射される領域画像をキャプチャするパルス照明ソースを含む高解像度領域撮像カメラと、スキャン中に継続的に焦点を前記対象物に合わせるハードウェアオートフォーカスセンサおよびコントローラとを有し、不良箇所を発見するために前記不良領域の画像データをキャプチャおよび格納することを目的として、前記不良領域に検査光学素子を配置するオンデマンド自動光学検査サブシステムと、
を備える前記対象物を検査する装置。
【請求項１２】
電子部品を有すパネルを検査する方法であって、
撮像カメラの位置を前記パネルに対して動かすことと、
前記パネル上に少なくとも１つの光パルスを照射することと、
前記少なくとも１つの光パルスを利用して、前記撮像カメラが動いている間に、一以上の画像をキャプチャすることと、
前記動きの間、前記撮像カメラの前記パネルへの焦点を維持することと
を備える方法。
【請求項１３】
前記撮像カメラの前記パネルに対する前記動きの軌跡は、線により特徴付けられる請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記撮像カメラの前記パネルに対する前記動きの軌跡は、蛇行により特徴付けられる請求項１２に記載の方法。
【請求項１５】
前記撮像カメラの前記パネルに対する前記動きの軌跡は、領域を規定する経路により特徴付けられる請求項１２に記載の方法。
【請求項１６】
前記一以上の画像をキャプチャすべく前記パネル上に複数のパルスを照射することを更に含む請求項１２に記載の方法。
【請求項１７】
前記撮像カメラが焦点を維持すべく動いている間、前記パネルと前記撮像カメラのレンズとの間の距離を追跡することを更に含む請求項１２に記載の方法。
【請求項１８】
前記撮像カメラが前記パネルに対して動く際、前記パネルに対する前記撮像カメラのＸ／Ｙ座標と関連付けられたデータを記憶することを更に含む請求項１２に記載の方法。
【請求項１９】
前記撮像カメラが焦点を維持すべく動いている間、前記パネルと前記撮像カメラのレンズとの間の距離を追跡することを更に含む請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
電子部品を有すパネルを検査または修理するシステムであって、
前記パネルを支持するｘ―ｙステージと、
前記パネルに対して動いている間に、前記パネルの一以上の画像をキャプチャする撮像カメラと、
少なくとも１つの光パルスで前記パネルを照射するストローブ光源と、
前記パネルに対して前記撮像カメラの位置が変化する間、前記撮像カメラの焦点を前記パネルに維持するｚ軸コントローラと、
を備えるシステム。
【請求項２１】
前記撮像カメラの前記パネルに対する前記動きの軌跡は、線により特徴付けられる請求項２０に記載の検査／修理システム。
【請求項２２】
前記撮像カメラの前記パネルに対する前記動きの軌跡は、蛇行により特徴付けられる請求項２０に記載の検査／修理システム。
【請求項２３】
前記撮像カメラの前記パネルに対する前記動きの軌跡は、領域を規定する経路により特徴付けられる請求項２０に記載の検査／修理システム。
【請求項２４】
前記ストローブ光源は、前記パネル上に複数のパルスを照射して前記一以上の画像をキャプチャする請求項２０に記載の検査／修理システム。
【請求項２５】
前記撮像カメラが焦点を維持すべく動いている間、前記パネルと前記撮像カメラのレンズとの間の距離を追跡するオートフォーカスセンサを更に含む請求項２０に記載の検査／修理システム。
【請求項２６】
前記ｘ―ｙステージは、前記撮像カメラが前記パネルに対して動く際、前記パネルに対する前記撮像カメラのＸ／Ｙ座標と関連付けられたデータを維持するｘ―ｙステージコントローラを更に含む請求項２５に記載の検査／修理システム。
【請求項２７】
前記撮像カメラが焦点を維持すべく動いている間、前記パネルと前記撮像カメラのレンズとの間の距離を追跡するオートフォーカスセンサを更に含む請求項２６に記載の検査／修理システム。
【国際調査報告】
2007537445.tif 000013