【事件の表示】
　特願２０１５−５０２１６６「基板テーブルシステム、リソグラフィ装置および基板テーブル交換方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２５年１０月　３日国際公開、ＷＯ２０１３／１４３７７７、平成２７年　４月３０日国内公表、特表２０１５−５１３２２５、請求項の数（１２）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、２０１３年（平成２５年）２月１５日（パリ条約による優先権主張　外国庁受理　２０１２年３月２７日、米国）を国際出願日とする出願であって、平成２７年７月３１日（発送　同年８月４日）で拒絶理由が通知され、同年１０月２０日に手続補正がなされるとともに意見書が提出されたが、平成２８年１月５日付けで拒絶査定（謄本送達日　同年同月７日、以下「原査定」という。）がされ、これに対し、同年４月２８日に拒絶査定不服審判が請求されるとともに手続補正がなされ、平成２９年２月１５日付け（発送　同年同月１６日）で当審より拒絶理由（以下「当審拒絶理由１」という。）が通知され、同年５月１日に手続補正がなされるとともに意見書が提出され、同年６月１日付け（発送　同年同月５日）で当審より拒絶理由（以下「当審拒絶理由２」という。）が通知され、同年６月２７日に手続補正がなされるとともに意見書が提出されたものである。
　
第２　本願発明
　本願請求項１ないし１２に係る発明（以下、それぞれ「本願発明１」ないし「本願発明１２」という。）は、平成２９年６月２７付けの手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１ないし１２に記載された事項により特定される発明であり、本願発明１ないし１２は以下のとおりの発明である。
「【請求項１】
　基板テーブルと、第１方向および前記第１方向に直交する第２方向によって画定される水平な移動平面内で前記基板テーブルを移動させる双方向性モータと、を備える基板テーブルシステムであって、前記双方向性モータは、
　前記第１方向に延在する第１プッシャ構造であって、前記基板テーブルが前記第１プッシャ構造に対して移動可能であり、前記第１プッシャ構造および前記基板テーブルは、協働して、前記第１プッシャ構造と前記基板テーブルとの間に前記第１方向の力を及ぼす第１モータを形成する、第１プッシャ構造と、
　前記第１方向に延在する第２プッシャ構造であって、前記基板テーブルが前記第２プッシャ構造に対して前記第１および第２方向に沿って移動可能であり、前記第２プッシャ構造および前記基板テーブルは、協働して、前記第２プッシャ構造と前記基板テーブルとの間に前記第２方向の力を及ぼす第２モータを形成する、第２プッシャ構造と、を備え、
　前記第１および第２プッシャ構造は、前記第２方向に沿って延在するフレーム構造に移動可能に接続され、前記フレーム構造は、前記第２方向に沿って前記第１プッシャ構造を案内するためのガイドフレームであり、
　前記第１モータは前記基板テーブルの実質的に重心に力を及ぼすように構成され、前記第２モータは非接触モータである、基板テーブルシステム。
【請求項２】
　前記基板テーブルには、前記第１プッシャ構造の少なくとも一部を収容する、前記第１方向に沿って延在する開口が設けられる、請求項１に記載の基板テーブルシステム。
【請求項３】
　前記フレーム構造は、前記第２方向に沿って延在する２つの平行なガイドフレームを備え、前記第１プッシャ構造は、前記第１方向に沿って、一方の前記ガイドフレームから前記ガイドフレーム間の実質的に中間まで延在する、請求項１または２に記載の基板テーブルシステム。
【請求項４】
　前記第２プッシャ構造は、前記第１方向に沿って、一方の前記ガイドフレームから他方の前記ガイドフレームまで延在する、請求項３に記載の基板テーブルシステム。
【請求項５】
　前記第１プッシャ構造に含まれる前記第１モータの一部は、実質的に、前記第１プッシャ構造の長さに沿って前記第１方向に延在する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の基板テーブルシステム。
【請求項６】
　前記第２プッシャ構造に含まれる前記第２モータの一部は、前記第１プッシャ構造に沿って延在する前記第１モータの前記一部の長さと少なくとも同じ長さに沿って前記第１方向に延在する、請求項１〜５のいずれか１項に記載の基板テーブルシステム。
【請求項７】
　前記第１および第２モータはそれぞれ、前記第１、第２プッシャ構造それぞれに含まれる磁石と、前記基板テーブルに含まれるコイルとで形成される、請求項１〜６のいずれか１項に記載の基板テーブルシステム。
【請求項８】
　請求項１〜７のいずれか１項に記載の基板テーブルシステムを備えるリソグラフィ装置。
【請求項９】
　請求項１〜７のいずれか１項に記載の基板テーブルシステムを２つ備え、前記基板テーブルシステムの前記基板テーブルが、前記基板テーブルシステムの前記第２プッシャ構造同士の間に配置される、請求項８に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１０】
　前記第２方向に沿って見た場合、前記第１プッシャ構造は、前記第２プッシャ構造より低い高さを有し、前記基板テーブル同士の衝突を防ぐ中心クラッシュポールの周りに対称的に配置される、請求項９に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１１】
　前記基板テーブルはそれぞれ、当該基板テーブルがその第２プッシャ構造に対向する側と、当該基板テーブルが他方の第２プッシャ構造に対向する側とに前記第２モータのそれぞれの一部を備える、請求項９または１０に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１２】
　前記リソグラフィ装置の投影システムの下に一方の前記基板テーブルを位置決めすることと、
　他方の前記基板テーブルを、一方の前記基板テーブルに対して前記第１方向に隣接するように位置決めすることと、
　前記他方の基板テーブルが前記投影システムの下に位置決めされる位置まで、前記一方および前記他方の基板テーブルを前記第１方向に同期的に移動させることと、
　各基板テーブルに関して、それぞれの基板テーブルと、他方の前記基板テーブルシステムの前記第２プッシャ構造との間の接続を確立することと、各基板テーブルに関して、それぞれの基板テーブルと、その基板テーブルが交換前に接続されていた前記第２プッシャ構造との間の接続を解除することと、により前記基板テーブルシステムの前記基板テーブルを交換する、請求項９または１０に記載のリソグラフィ装置。」
　
　なお、本願発明２ないし７は、本願発明１を減縮した発明である。また、本願発明８は、本願発明２ないし７のいずれかの基板テーブルシステムを備えるリソグラフィ装の発明であり、さらに、本願発明９ないし１２は、本願発明８を減縮した発明である。
　
第３　引用文献、引用発明等
１　引用文献１について
（１）原査定の拒絶の理由に引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である引用文献１（特開２００４−１３４４５６号公報）には、図面とともに次の事項が記載されている（下線は当審にて付した。以下同じ。）。
ア　「【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、移動装置及び露光装置並びにデバイスの製造方法に関する。」
　
イ　「【００３２】
次に、本発明の好適な第１の実施の形態に係る移動装置のより具体的な構成について説明する。図２は、本発明の好適な実施形態に係る移動装置のより具体的な構成を示す図である。図２に示すように、
移動装置
平面ガイド面６は、基準構造体４上に設けられ
天板（Ｘ−Ｙステージ）５の下に設けられた可動部３
は、静圧軸受７によって、平面ガイド面６に対して非接触に支持されており、ＸＹ方向に移動することができ
可動部３の両脇には、可動部３をＹ方向の長ストロークおよびＸ方向の短ストロークに駆動するための電磁アクチュエータ８
、８’が設けられ
電磁アクチュエータ８、８’は、それぞれ左右に互いに分離・独立した可動子２、２’と固定子１、１’とを含
左右の可動子２、２’には、それぞれ左右２個の可動部Ｙマグネット１０と、左右２個の可動部Ｘマグネット１１とが取り付けられ
固定子１、１’は、静圧軸受９
によって、平面ガイド面６に対して非接触に支持されており、ＸＹ方向（平面方向）に移動することができ
また、固定子１、１’は、所定の質量を持ち、可動部３及び可動子２、２’を含む可動体３００の加減速によって生じる反力を、平面ガイド面６上を移動することによって吸収することができ
また、固定子１、１’の内部には、Ｘ軸リニアモータ単相コイル１２と、Ｙ方向に複数のコイルを並べたＹ軸リニアモータ多相コイル１３とが配置され、これらを切り替えてＸ軸及びＹ軸の移動を行うことができ
【００３３】
天板（Ｘ−Ｙステージ）５の位置は、レーザヘッド１６、Ｙ軸計測用ミラー１７、Ｘ軸計測用バーミラー１８、左右２個のＹ軸計測用ディテクタ１９、前後２個のＸ軸計測用ディテクタ２０等から構成されるレーザ干渉計によって計測される。即ち、天板５のＸ軸方向の位置は、天板５に塔載された光学素子２２、２２’にＹ方向からレーザ光が照射され、その計測光がＸ軸方向に反射または偏光されてＸ軸計測用バーミラー１８に照射されて、Ｘ軸計測用ディテクタ２０で計測される。また、天板５のＹ軸方向の位置は、Ｙ方向からレーザ光がＹ軸計測用バーミラー１７に照射されて、Ｘ軸計測用ディテクタ１９によって計測されることにより行われる。固定子１、１’のＹ軸方向の位置は、左右２つの固定子Ｙ軸計測用ディテクタ２１によって計測される。
【００３４】
天板（Ｘ−Ｙステージ）５上に基板（ウエハ）が載置された可動部３は、可動子２、２’と固定子１、１’とでそれぞれ構成される電磁アクチュエータ８、８’によってＸＹ方向に移動する。固定子１、１’は、可動部３及び可動子２、２’を含む可動体３００に作用する力の反力を受ける。固定子１、１’は、この反力によって、平面ガイド面６上を移動する。固定子１、１’は、平面ガイド面６上を移動することによって、反力を吸収することができる。本実施形態では、例えば、可動部３を含む可動体３００が＋Ｙ方向に移動すると、固定子１、１’は−Ｙ方向に反力を受けて、−Ｙ方向に移動する。
【００３５】
さらに、本実施形態では、
固定子１、１’をＹ軸方向へ駆動するアクチュエータとして、左右２個のＹ軸位置制御用リニアモータ１４、１４’が基準構造体４に設けられ
同様に、固定子１、１’をＸ軸方向へ駆動する左右前後４個のＸ軸位置制御用リニアモータ１５、１５’が基準構造体４に設けられている
【００３６】
また、Ｘ軸位置制御用リニアモータ１５、１５’の各々の支線の左右に、前後計４個のＸ方向位置測定器が設けられ（不図示）、固定子１、１’のＸ方向の位置を計測することができる。」
　
ウ　図１及び２は次のものである。
図２
　
（２）上記（１）によれば、引用文献１には、次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。
「平面ガイド面６は、基準構造体４上に設けられ、
　天板（Ｘ−Ｙステージ）５の下に設けられた可動部３は、静圧軸受７によって、平面ガイド面６に対して非接触に支持されており、ＸＹ方向に移動することができ、
　前記可動部３の両脇には、可動部３をＹ方向の長ストロークおよびＸ方向の短ストロークに駆動するための電磁アクチュエータ８、８’が設けられ、
　前記電磁アクチュエータ８、８’は、それぞれ左右に互いに分離・独立した可動子２、２’と固定子１、１’とを含み、
　前記左右の可動子２、２’には、それぞれ左右２個の可動部Ｙマグネット１０と、左右２個の可動部Ｘマグネット１１とが取り付けられ、
　前記固定子１、１’は、静圧軸受９によって、平面ガイド面６に対して非接触に支持されており、ＸＹ方向（平面方向）に移動することができ、また、固定子１、１’は、所定の質量を持ち、可動部３及び可動子２、２’を含む可動体３００の加減速によって生じる反力を、平面ガイド面６上を移動することによって吸収することができ、また、固定子１、１’の内部には、Ｘ軸リニアモータ単相コイル１２と、Ｙ方向に複数のコイルを並べたＹ軸リニアモータ多相コイル１３とが配置され、これらを切り替えてＸ軸及びＹ軸の移動を行うことができ、
　前記固定子１、１’をＹ軸方向へ駆動するアクチュエータとして、左右２個のＹ軸位置制御用リニアモータ１４、１４’が基準構造体４に設けられ、同様に、前記固定子１、１’をＸ軸方向へ駆動する左右前後４個のＸ軸位置制御用リニアモータ１５、１５’が基準構造体４に設けられている、移動装置。」
　
２　引用文献２について
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である引用文献２（特開２００８−１４７６３５号公報）には、図面とともに次の事項が記載されている。
ア　「【技術分野】
【０００１】
　本発明は、基板を露光する露光装置、露光方法及びデバイス製造方法に関する。」
　
イ　「【０１２９】
　
基板ステージ駆動システム
第１基板ステージ１と第２基板ステージ２とを同期移動させる
【０１３０】
　制御装置７は、透過部材８１、透過部材８２、第１基板ステージ１、及び第２基板ステージ２の少なくとも１つが、第１光学素子８との間で液体ＬＱを保持可能な空間を形成し続けるようにする。すなわち、透過部材８１の端面８１Ｅと透過部材８２の端面８２Ｅとを接近又は接触させた状態で、第１光学素子８と対向する位置を含むガイド面ＧＦの第１領域ＳＰ１で、基板ステージ駆動システム５を用いて、第１光学素子８に対して、第１基板ステージ１と第２基板ステージ２とをＸＹ平面内で同期移動する（ＳＥ３）。本実施形態においては、制御装置７は、第１基板ステージ１の透過部材８１の端面８１Ｅと第２基板ステージ２の透過部材８２の端面８２Ｅとを接近又は接触させた状態で、第１基板ステージ１と第２基板ステージ２とを＋Ｘ方向に同期移動する。これにより、図９に示すような、第１基板ステージ１及び透過部材８１の少なくとも一方と第１光学素子８とが対向する状態から、図１０に示すような、第２基板ステージ２及び透過部材８２の少なくとも一方と第１光学素子８とが対向する状態に変化させることができる。すなわち、第１基板ステージ１及び透過部材８１の少なくとも一方と第１光学素子８との間に液体ＬＱが保持されている状態から、第２基板ステージ２及び透過部材８２の少なくとも一方と第１光学素子８との間に液体ＬＱが保持される状態に変化させることができる。なお、図示はしていないが、図９に示す状態から図１０に示す状態に変化する過程で、制御装置７は、まず、第１基板ステージ１の透過部材８１の端面８１Ｅと第２基板ステージ２の透過部材８２の端面８２Ｅとを接近又は接触させた状態で、第１基板ステージ１と第２基板ステージ２とを−Ｙ方向に同期移動して、液浸空間ＬＳがＹ方向において透過部材８１の端面８１Ｅに形成されている段差８１Ｄの位置に至るまで移動する。次いで、制御装置は、第１基板ステージ１と第２基板ステージ２とを＋Ｘ方向に同期移動して、液浸空間ＬＳが透過部材８１、８２の端面８１Ｅ、８２Ｅに形成されている段差８１Ｄ、８２Ｄの上を通過して第２基板ステージ２上に移動することができる。そして、制御装置は、第１基板ステージ１と第２基板ステージ２とを＋Ｙ方向に同期移動して図１０に示すような配置に第１光学素子８を位置づけることができる。ここで、液浸空間ＬＳが第１基板ステージ１（または透過部材８１）から第２基板ステージ２（または透過部材８２）に移動した後、第１、第２基板ステージ１、２を図１０に示す配置にすることなく、第１基板ステージ１の第２領域ＳＰ２への移動、及び第２基板ステージ２の第１領域ＳＰ１内の所定位置、例えば光センサ７５による計測が行われる位置、あるいは露光開始位置への移動を開始しても良い。また、第１、第２基板ステージ１、２を図８、図９に示す配置にした時点で、Ｙ軸方向に関して第１光学素子８が透過部材８１、８２の段差８１Ｄ、８２Ｄとほぼ同一位置となるように第１、第２基板ステージ１、２を位置決めしても良い。」
　
ウ　図８ないし１０は次のものである。
　図８
　図９
　図１０
　
（２）上記（１）によれば、引用文献２には、次の事項（以下「引用文献２に記載の事項」という。）が記載されているものと認められる。
「第１基板ステージ１と第２基板ステージ２とを同期移動させる基板ステージ駆動システム。」
　
第４　対比・判断
１　本願発明１について
（１）対比
　本願発明１と引用発明とを対比すると、次のことがいえる。
ア　引用発明における「可動部３」及び「（可動部３の）移動装置」は、本願発明１における「基板テーブル」及び「基板テーブルシステム」に相当する。
　
イ　引用発明における「電磁アクチュエータ８、８’」は、「可動部３の両脇に」、「可動部３をＹ方向の長ストロークおよびＸ方向の短ストロークに駆動するため」に「設けられ」、「可動部３は、静圧軸受７によって、平面ガイド面６に対して非接触に支持されており、ＸＹ方向に移動することができ」るから、本願発明１における、「第１方向および前記第１方向に直交する第２方向によって画定される水平な移動平面内で前記基板テーブルを移動させる」「双方向性モータ」に相当する。
　
　したがって、本願発明１と引用発明との間には、次の一致点、相違点があるといえる。
　
（一致点）
「基板テーブルと、第１方向および前記第１方向に直交する第２方向によって画定される水平な移動平面内で前記基板テーブルを移動させる双方向性モータと、を備える基板テーブルシステム。」
　
（相違点）
　本願発明１の「双方向性モータ」は、「前記第１方向に延在する第１プッシャ構造であって、前記基板テーブルが前記第１プッシャ構造に対して移動可能であり、前記第１プッシャ構造および前記基板テーブルは、協働して、前記第１プッシャ構造と前記基板テーブルとの間に前記第１方向の力を及ぼす第１モータを形成する、第１プッシャ構造と、前記第１方向に延在する第２プッシャ構造であって、前記基板テーブルが前記第２プッシャ構造に対して前記第１および第２方向に沿って移動可能であり、前記第２プッシャ構造および前記基板テーブルは、協働して、前記第２プッシャ構造と前記基板テーブルとの間に前記第２方向の力を及ぼす第２モータを形成する、第２プッシャ構造と、を備え、前記第１および第２プッシャ構造は、前記第２方向に沿って延在するフレーム構造に移動可能に接続され、前記フレーム構造は、前記第２方向に沿って前記第１プッシャ構造を案内するためのガイドフレームであり、前記第１モータは前記基板テーブルの実質的に重心に力を及ぼすように構成され、前記第２モータは非接触モータである」（以下「構成Ｘ」という。）のに対し、引用発明の「電磁アクチュエータ８、８’」は、単一の「プッシャ構造」に相当するから、「第１プッシャ構造」及び「第２プッシャ構造」からなるものではなく（以下「相違点１」という）、また、「電磁アクチュエータ８、８’」が「基板テーブルの実質的に重心に力を及ぼすように構成され」るものとはされない点（以下「相違点２」という）。
　
（２）相違点についての判断
　上記相違点１について検討すると、引用発明の「電磁アクチュエータ８、８’」（プッシャ構造に相当）は「固定子１、１’の内部には、Ｘ軸リニアモータ単相コイル１２と、Ｙ方向に複数のコイルを並べたＹ軸リニアモータ多相コイル１３とが配置され、これらを切り替えてＸ軸及びＹ軸の移動を行うことができ」るものであるとともに、さらに、「前記固定子１、１’をＹ軸方向へ駆動するアクチュエータとして、左右２個のＹ軸位置制御用リニアモータ１４、１４’が基準構造体４に設けられ、同様に、前記固定子１、１’をＸ軸方向へ駆動する左右前後４個のＸ軸位置制御用リニアモータ１５、１５’が基準構造体４に設けられている」ものである。
　そうすると、「Ｘ軸及びＹ軸の移動を行うことができ」る「電磁アクチュエータ８、８’」、「Ｙ軸位置制御用リニアモータ１４、１４’」及び「Ｘ軸位置制御用リニアモータ１５、１５’」が設けられている引用発明の「電磁アクチュエータ８、８’」（プッシャ構造に相当）を、「第１プッシャ構造」及び「第２プッシャ構造」からなるものとする必要性がなく、引用発明において上記相違点に係る本願発明１の構成となす動機はない。
　また、引用文献２に記載の事項を見ても、引用発明において、「固定子１、１’をＸ軸方向へ駆動する左右前後４個のＸ軸位置制御用リニアモータ１５、１５’」にかえて、「電磁アクチュエータ８、８’」に相当するプッシャ構造を設けるとの記載も、また、このようにすることを示唆する記載もない。
　したがって、上記相違点２について判断するまでもなく、本願発明１は、当業者であっても引用発明、引用文献２に記載された事項に基づいて容易に発明できたものであるとはいえない。
　
２　本願発明２ないし１２について
　本願発明２も、本願発明１の「双方向性モータ」は、上記構成Ｘと同一の構成を備えるものであるから、本願発明１と同じ理由により、当業者であっても、引用発明、引用文献２に記載された事項に基づいて容易に発明できたものとはいえない。
　
第５　原査定の概要及び原査定についての判断
　原査定は、請求項１ないし１２について、上記引用文献１に記載された発明であるから、特許法第２９条第１項第３号の規定により特許を受けることができない、及び、上記引用文献１及び２に基づいて、当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないというものである。
　しかしながら、平成２９年６月２７日付け手続補正により補正された請求項１ないし１２は、それぞれ上記構成Ｘを有するものとなっており、上記のとおり、本願発明１ないし１２は、引用発明ではなく、また、引用発明及び引用文献２に記載された事項に基づいて、当業者が容易に発明できたものではない。
　したがって、原査定を維持することはできない。
　
第６　当審拒絶理由について
１　当審拒絶理由１の概要は次のとおりである。
　本願明細書によれば、本願発明の解決すべき課題は「第１モータが基板テーブルの実質的に重心に力を及ぼす構成であること」、及び、本願発明の解決すべき課題を解決する手段は「第２モータを非接触モータとすること」と理解される。
　しかしながら、本願請求項１に係る発明は、本願発明の解決すべき課題を解決する構成を特定しない。
　そして、本願発明の解決すべき課題を解決する構成を備えない本願請求項１に係る発明は、本願発明の解決すべき課題解決できない、本願明細書に記載されていない発明を含むと認められ、本願請求項１は、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない。
　
２　当審拒絶理由２の概要は次のとおりである。
　本願明細書には、「図２に示すような構成は、第１モータが基板テーブルの実質的に重心に力を及ぼし、かつ／または第２モータが基板テーブルの実質的に重心に力を及ぼすことを可能にし得る。」（【００２７】）、及び、「本明細書に開示される概念は、第１および第２モータによって基板テーブルの重心に力を及ぼすことを可能にすることに加えて、高い処理能力も可能にする。」（【００２８】）と記載される。
　しかるところ、「高い処理能力を可能にする基板テーブルシステムを提供する」（【０００７】）との課題を解決するためには、「第１モータが基板テーブルの重心に力を及ぼ」す必要がある。
　これに対して、請求項１は、「前記第１モータ及び／又は前記第２モータは、前記基板テーブルの実質的に重心に力を及ぼすように構成され」るものと特定されるため、課題を解決できない発明を含む表現となっているから、発明の詳細な説明に記載されたものとはいえないと認められ、本願請求項１は、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない。
　
３　平成２９年６月２７付けの手続補正により、本願請求項１は、「前記第１モータは前記基板テーブルの実質的に重心に力を及ぼすように構成され、前記第２モータは非接触モータである」と補正された結果、上記「１」及び「２」の拒絶の理由は解消した。
　
第７　むすび
　以上のとおり、本願発明１ないし１２は、当業者が引用発明及び引用文献２に記載された事項に基づいて容易に発明をすることができたものではない。
　したがって、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。