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【手続補正書】
【提出日】平成27年12月17日(2015.12.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
【図１】本発明による屈折撮影光学系を有する電動駆動装置を適用した撮像ユニットの一実施形態を示す平面図である。
【図２】図１のII-II線に沿う断面図である。
【図３】図２のIII-III線に沿う断面図である。
【図４】撮像ユニットの第１群ブロック、可動の第２群、可動の第３群、プリズム、撮像素子及び可動の第２群と可動の第３群のガイド軸を描いた斜視図である。
【図５】図４の要素にさらに可動の第２群用及び可動の第３群用のモータとリードスクリューを組み合わせた状態の斜視図である。
【図６】図５の要素にさらにモータフランジを描いた斜視図である。
【図７】図５の状態の平面図である。
【図８】図５の状態の正面図である。
【図９】プリズムと、一対のモータ及びスクリューシャフトの関係を誇張して描いた平面図である。
【図１０】図９のＸ矢視図である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
図２に示すように、撮像ユニット１０の撮像光学系は、被写体側から光路順に、負のパワーの第１群（前方レンズ群）Ｇ１と、正のパワーの可動の第２群（後方レンズ群、可動光学要素、レンズ要素）Ｇ２と、正のパワーの第３群（後方レンズ群、可動光学要素、レンズ要素）Ｇ３と、正のパワーの固定レンズ群Ｇ４と、第２プリズム（反射光学要素）Ｌ１２を有し、第１群Ｇ１に含まれる第１プリズム（反射光学要素）Ｌ１１と固定レンズ群Ｇ４の後方(像側)に位置する第２プリズムＬ１２でそれぞれ略直角に光束を反射させている。すなわち、この屈曲光学系は、第１プリズムＬ１１の入射面Ｌ１１ａから反射面Ｌ１１ｂに至る光軸Ｏ１、反射面Ｌ１１ｂで反射して出射面Ｌ１１ｃから出射し、第２群Ｇ２と第３群Ｇ３、及び固定レンズ群Ｇ４を通って、第２プリズムＬ１２の入射面Ｌ１２ａから反射面Ｌ１２ｂに至る光軸Ｏ２、及び第２プリズムＬ１２の反射面Ｌ１２ｂで反射し出射面Ｌ１２ｃから出射して撮像素子ＩＳに入射する光軸Ｏ３が同一平面に位置している。なお第１群Ｇ１は、第１プリズムＬ１１の入射面Ｌ１１ａの前方（被写体側）に位置する第１レンズＬ１と、第１プリズムＬ１１と、第１プリズムＬ１１の出射面Ｌ１１ｃの後方（像側）に位置する第２レンズＬ２とから構成されている。第２群Ｇ２と第３群Ｇ３は、可動光学要素の一対のレンズ要素を構成している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
第２プリズムＬ１２は、樹脂材料から射出成形によって成形できる。第２プリズムＬ１２が樹脂材料の成形品からなる場合、両側面Ｌ１２ｄ、Ｌ１２ｄに成形時の抜け勾配を設定する。例えば、入射面Ｌ１２ａを光軸Ｏ２方向から見て（図３）、出射面Ｌ１２ｃと接する辺（上の辺）よりも、この辺と対向する辺（下の辺）の方が短くなるように（台形となるように）、両側面Ｌ１２ｄ、Ｌ１２ｄに勾配を設定する。このように両側面Ｌ１２ｄ、Ｌ１２ｄは、光軸Ｏ２及び光軸Ｏ３に対して平行でない場合もある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光軸上を移動する可動光学要素と、上記光軸上に配置された反射光学要素とを有する屈曲撮影光学系；及び
上記可動光学要素を駆動する上記光軸と平行なリードスクリューを有するモータ；を有し、
上記リードスクリューは、上記可動光学要素のナット部材と螺合する雄ねじ部と上記反射光学要素の側面に位置する該雄ねじ部より小径の小径部とを有すること；
を特徴とする屈曲撮影光学系の電動駆動装置。
【請求項２】
請求項１記載の屈曲撮影光学系の電動駆動装置において、上記モータは、その一部が上記反射光学要素の反射面の背面にオーバラップして位置している屈曲撮影光学系の電動駆動装置。
【請求項３】
請求項１または２記載の屈曲撮影光学系の電動駆動装置において、上記リードスクリューの小径部は、無ねじ部である屈曲撮影光学系の電動駆動装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項記載の屈曲撮影光学系の電動駆動装置において、上記リードスクリューは、上記モータ側が上記小径部である屈曲撮影光学系の電動駆動装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項記載の屈曲撮影光学系の電動駆動装置において、上記リードスクリューは、軸線方向から見たとき、その雄ねじ部が反射光学要素の側面と接しまたは干渉する程度に反射光学要素に接近している屈曲撮影光学系の電動駆動装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項記載の屈曲撮影光学系の電動駆動装置において、屈曲撮影光学系の上記可動光学要素は、一対のレンズ要素であり、上記モータ及びリードスクリューは、該一対のレンズ要素に対応させて上記反射光学要素の両側面に位置させて一対が配置されている屈曲撮影光学系の電動駆動装置。
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
2014149336.tif 000001
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
2014149336.tif 000002
【手続補正書】
【提出日】平成27年12月21日(2015.12.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
なお、この実施の形態１のマスクブランク用基板の製造方法で説明した方法により製造したマスクブランク用基板Ｍは、バイナリーマスクブランク、位相シフトマスクブランク、ナノインプリント用マスクブランクの製造に使用することができる。バイナリーマスクブランクは、ＭｏＳｉ系、Ｔａ系、Ｃｒ系のいずれであってもよい。位相シフトマスクブランクは、ハーフトーン型位相シフトマスクブランク、レベンソン型位相シフトマスクブランク、クロムレス型位相シフトマスクブランクのいずれであってもよい。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１７】
Ｄ．反射型マスクの製造
次に、このようにして作製された反射型マスクブランク上に、電子線描画（露光）用化学増幅型レジストをスピンコート法により塗布し、加熱及び冷却工程を経て、膜厚が１５０ｎｍのレジスト膜を形成した。
その後、形成されたレジスト膜に対し、電子線描画装置を用いて所望のパターン描画を行った後、所定の現像液で現像してレジストパターンを形成した。
その後、このレジストパターンをマスクにして、吸収体膜のドライエッチングを行って、保護膜上に吸収体膜パターンを形成した。ドライエッチングガスとしては、塩素（Ｃｌ２）ガスを用いた。
その後、レジストパターンを除去し、洗浄を行なった。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２４】
得られたガラス基板の主表面に対して、表面粗さ、平坦度を測定した。
表面粗さは、基板の中心の１μｍ×１μｍの領域に対して、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）により測定した。表面粗さは、二乗平均平方根粗さ（ＲＭＳ）で０．１０ｎｍであった。
平坦度は、基板の周縁領域を除外した１３２ｍｍ×１３２ｍｍの領域に対して、平坦度測定装置（トロペル社製  ＵｌｔｒａＦｌａｔ２００）により測定した。平坦度は５０ｎｍであった。
また、この比較例１の方法により、ガラス基板を５０枚作製したところ、平坦度３０ｎｍ以下のガラス基板の収率は８％であった。
【手続補正書】
【提出日】平成28年4月20日(2016.4.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】半導体装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
演算部と、データ退避部と、を有し、
前記データ退避部は、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、を有し、
前記第１のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記演算部のノードと電気的に接続され、
前記第１のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第２のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
前記第１のトランジスタは、酸化物半導体に形成されたチャネル形成領域を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
演算部と、データ退避部と、を有し、
前記データ退避部は、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、容量素子と、を有し、
前記第１のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記演算部のノードと電気的に接続され、
前記第１のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第２のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
前記第１のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記容量素子の電極と電気的に接続され、
前記第１のトランジスタは、酸化物半導体に形成されたチャネル形成領域を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２において、
前記データ退避部は、さらに、第１のアナログスイッチと、第２のアナログスイッチと、インバータと、を有し、
前記第１のアナログスイッチは、前記ノードと、前記第１のトランジスタのソース又はドレインの一方との電気的な接続を制御する機能を有し、
前記第２のアナログスイッチは、配線と、前記第１のトランジスタのソース又はドレインの一方との電気的な接続を制御する機能を有し、
前記インバータは、前記第１のアナログスイッチと、前記第２のアナログスイッチとを反転動作させる機能を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項４】
請求項１又は請求項２において、
前記データ退避部は、さらに、アナログスイッチと、第３のトランジスタと、を有し、
前記第１のアナログスイッチは、前記ノードと、前記第１のトランジスタのソース又はドレインの一方との電気的な接続を制御する機能を有し、
前記第３のトランジスタは、配線と、前記第１のトランジスタのソース又はドレインの一方との電気的な接続を制御する機能を有することを特徴とする半導体装置。
【手続補正書】
【提出日】平成28年1月15日(2016.1.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
ブッシュ１０５は、回転軸１１５の外径より所定寸法だけ大きい径の内周面１２３を有する円筒状部材である。ブッシュ１０５の内周面１２３には、内周面１２３と面一に延在するラジアル軸受面１０８が形成され、ラジアル軸受面１０８と、回転軸１１５の外周面であるラジアル受面１１２との間にラジアルすきま１１４が形成される。なお、ラジアル受面１１２は、回転子１０３を構成する回転軸１１５と回転軸心Ｏ方向に離間配置される２つのスラストプレート１１７とにより規定される回転子隅部Ｓ間に延在する。スラスト受面１１１は、回転子隅部Ｓからスラストプレート１１７の外径方向に延在し、スラストプレート１１７のリング状面で構成される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
さらに、ブッシュ１０５には、その半径方向に延在するスラスト給気口１３５が設けられ、スラスト給気口１３５の一端がブッシュ１０５の外周面で開口し、他端が、スラスト給気貫通孔１３７に連通する。スラスト給気貫通孔１３７は、ブッシュ１０５の軸方向（図３の左右方向）に延び、その両端部がそれぞれ、スラスト給気溝１３３に連通する。従って、不図示の圧縮気体源から供給される所定圧力及び所定流量の圧縮気体は、スラスト給気口１３５からブッシュ１０５内に導入され、スラスト給気貫通孔１３７及びスラスト給気溝１３３を介し、スラスト多孔質体１３１へ到達する。このように、スラスト給気溝１３３、スラスト給気口１３５、及びスラスト給気貫通孔１３７が、スラスト多孔質体１３１へ圧縮気体を供給するためのスラスト給気経路を構成する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
以下に上記実施形態の変形例について説明する。下記の変形例に係るエアスピンドル用静圧気体軸受の構成は、ラジアル多孔質体１２５、スラスト多孔質体１３１の変形及びその変更に伴うブッシュの１０５の変形を除き、実施形態に係るエアスピンドル用静圧気体軸受１０１の構成と同じであり、特に言及しない場合には、変形例は、実施形態と同様の作用、効果を奏する。さらに、後述する変形例は、図５に示す部位に対応する部位のみを示す図面を用いて説明する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
また、ラジアル多孔質体１２５とスラスト多孔質体１３１とは、第３の吐出規制手段であるブッシュ１０５の隔壁部１０５ａを介して配置されている。従って、ラジアル多孔質体１２５の細孔とスラスト多孔質体１３１の細孔とが連通しないため、両多孔質体１２５、１３１から吐出する圧縮気体を互いに独立して制御できる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
（第２の変形例）
図７は、図５に対応する図であり、図４のＶ部に対応する部分を示す拡大断面図である。
図７に示されるように、実施形態と同様に、ラジアル多孔質体１２５のスラスト領域１２５ａが、スラストすきま１１３に露出している。一方、スラスト多孔質体１３１のラジアル領域１３１ａは、スラストすきま１１３の近傍に延在するラジアル多孔質体１２５の管状領域１２５ｂに当接している。なお、本変形例には、ブッシュ１０５に隔壁部１０５ａは設けられていない。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
また、本変形例のスラスト多孔質体１３１及びラジアル多孔質体１２５の構成によれば、図７に示す第２の変形例と異なり、スラストすきま１１３に面するスラスト領域１２５ａ（又はラジアルすきま１１４に面するラジアル領域１３１ａ）をそれぞれ、スラスト多孔質体１３１（又はラジアル多孔質体１２５）を配置し、スラスト方向（又はラジアル方向）への浮上力を効率的に付与できる。
さらに、スラストすきま１１３に面するスラスト領域１２５ａ（又はラジアルすきま１１４に面するラジアル領域１３１ａ）が生じないため、スラスト領域１２５ａ（又はラジアル領域１３１ａ）の封止処理を行う必要がなく、製造コストを削減することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
上記実施形態及び変形例では、スラスト多孔質体及びラジアル多孔質体を固定子に配置する構成であるが、本発明は、この構成に限定されない。回転子及び固定子の少なくとも一方にスラスト多孔質体及びラジアル多孔質体を設け、回転子及び固定子が互いに離間できる構成であれば適宜変更できる。また、この変更により、回転子にスラスト多孔質体及びラジアル多孔質体が設けられる場合には、隔壁部は回転子に設けられる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
上記実施形態及び変形例では、ラジアル軸受面１０８が回転軸心Ｏと平行に延在することで圧縮気体によるラジアル方向へ浮動力を生じさせ、スラスト軸受面１０７が回転軸心Ｏ対して直交するように延在することで圧縮気体によるスラスト方向へ浮動力を生じさせる構成としたが、本発明はこの構成に限定されない。ラジアル軸受面が回転軸心Ｏに対し交差する方向に延びる構成や、スラスト軸受面が回転軸心Ｏに対し直交せずに延在する構成のエアスピンドル用静圧気体軸受に本発明を適用できることは言うまでもない。この場合には、ラジアルすきま又はスラストすきまが回転軸心Ｏに対し所定角度で延在する構成となる。
【手続補正書】
【提出日】平成28年2月29日(2016.2.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項３】
前記各厚肉部の内接円の直径と、前記各内径側係止部の内接円の直径とが実質的に等しい、請求項２に記載したラジアルニードル軸受用保持器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１０】
前記各厚肉部の内接円の直径と、前記各内径側係止部の内接円の直径とが実質的に等しい、請求項７〜９のうちの何れか１項に記載したラジアルニードル軸受用保持器。
【手続補正書】
【提出日】平成28年1月28日(2016.1.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
止水機構を有する止水栓本体に軸装部を設け、この軸装部の隣接位置に分岐機構を設けると共に、この分岐機構の分岐口を前記止水栓本体の流路方向と交差する方向に配置した状態で前記止水機構の軸装部と前記分岐機構の軸装部の一部を一体化させたことを特徴とする二栓式止水栓。
【請求項２】
前記止水機構の軸装部に装着した止め輪と前記分岐機構の軸装部に装着した止め輪を交互に配置した請求項１に記載の二栓式止水栓。
【請求項３】
前記分岐機構の軸装部内に設けた内ネジ部を前記止水栓本体の耐圧部に対向配置した請求項１又は２に記載の二栓式止水栓。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記目的を達成するため、請求項１に係る発明は、止水機構を有する止水栓本体に軸装部を設け、この軸装部の隣接位置に分岐機構を設けると共に、この分岐機構の分岐口を前記止水栓本体の流路方向と交差する方向に配置した状態で止水機構の軸装部と分岐機構の軸装部の一部を一体化させた二栓式止水栓である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
請求項２に係る発明は、止水機構の軸装部に装着した止め輪と分岐機構の軸装部に装着した止め輪を交互に配置した二栓式止水栓である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項３に係る発明は、分岐機構の軸装部内に設けた内ネジ部を止水栓本体の耐圧部に対向配置した二栓式止水栓である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
しかも、止水機構の軸装部と分岐機構の軸装部とを一体化した状態で隣接させ、これらの軸装部同士の耐圧部を共有しながら面間を極限まで小さくできることで、強度を確保しながら全体のコンパクト化が可能になる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項２に係る発明によると、止め輪を交互に配置することで肉厚を確保しながら止水機構の軸装部と分岐機構の軸装部とを設けることができ、これらの軸装部付近の強度を維持しながらコンパクト性を確保し、狭い設置箇所に設けた場合にも各軸装部を介して主流側、分岐側を高い操作性により給水、給湯又は止水状態にできる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項３に係る発明によると、軸装部の内ネジ部付近の強度を確保し、耐圧性を保持しながらこの軸装部を介して給水、給湯又は止水の何れの状態にも操作でき、操作後にもシール性を確保しながら所定の流路状態を維持できる。
【手続補正書】
【提出日】平成27年12月9日(2015.12.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端が開口するシリンダと、前記シリンダ内に摺動可能に設けられるピストンと、前記ピストンによってディスクロータへ押し付けられるパッドと、を有するディスクブレーキであって、
前記ピストンは、パッド側が開口したカップ形状であり、開口側端部の外周側角部に外周面と連続する凸形状の曲面が形成され、少なくとも前記外周面にめっき層を有することを特徴とするディスクブレーキ。
【請求項２】
前記ピストンは、前記開口側端部の内周側角部に凸形状の曲面を有することを特徴とする請求項１に記載のディスクブレーキ。
【請求項３】
前記外周側角部の曲率は、前記内周側角部の曲率よりも小さいことを特徴とする請求項２に記載のディスクブレーキ。
【請求項４】
前記開口側端部の内周側角部に平面または凸形状の曲面からなる面取り部が形成され、前記面取り部の開始位置は、前記外周側角部に形成された前記凸形状の曲面の開始位置よりもパッド側であることを特徴とする請求項１に記載のディスクブレーキ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明のディスクブレーキは、一端が開口するシリンダと、前記シリンダ内に摺動可能に設けられるピストンと、前記ピストンによってディスクロータへ押し付けられるパッドと、を有するディスクブレーキであって、前記ピストンは、パッド側が開口したカップ形状であり、開口側端部の外周側角部に外周面と連続する凸形状の曲面が形成され、少なくとも前記外周面にめっき層を有することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成27年11月25日(2015.11.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、容量素子と、を有し、
前記第１のトランジスタのソース又はドレインの一方は、第１の配線と電気的に接続され、
前記第１のトランジスタのソース又はドレインの他方は、第２の配線と電気的に接続され、
前記第２のトランジスタのソース又はドレインの一方は、第３の配線と電気的に接続され、
前記第２のトランジスタのゲートは、第４の配線と電気的に接続され、
前記容量素子の第１の電極は、前記第２の配線と電気的に接続され、
前記容量素子の第２の電極は、前記第２のトランジスタのソース又はドレインの他方と電気的に接続され、
前記第１の配線は、第１の信号を供給することができる機能を有し、
前記第４の配線は、第２の信号を供給することができる機能を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
請求項１において、
第３のトランジスタを有し、
前記第３のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第１のトランジスタのソース又はドレインの一方と電気的に接続され、
前記第３のトランジスタのゲートは、前記第１のトランジスタのゲートと電気的に接続されることを特徴とする半導体装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２において、
前記第１のトランジスタのＷ（Ｗはチャネル幅）／Ｌ（Ｌはチャネル長）比は、前記第２のトランジスタのＷ／Ｌ比よりも大きい値を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項において、
前記第１の信号がロウレベル又はハイレベルの一方であり、且つ前記第２の信号がロウレベル又はハイレベルの他方である第１の期間と、
前記第１の信号がロウレベル又はハイレベルの他方であり、且つ前記第２の信号がロウレベル又はハイレベルである第２の期間と、を有することを特徴とする半導体装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の半導体装置と、
筐体、スピーカー、表示部、操作キー又は音声入力部と、
を有する電子機器。
【手続補正書】
【提出日】平成27年12月25日(2015.12.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ストレージ媒体であって、
基板上に形成されたパターンであって、第１材料から作成された第１領域と、前記第１材料とは異なる第２材料から作成された第２領域とを有し、前記第１領域は前記第２領域に対して横方向に隣接している、パターン、
前記パターン上に形成された磁性層であって、非磁性分離体境界によって分離された磁性粒子を有し、前記磁性粒子のうち少なくとも１つは前記第１領域の上方に位置し、前記磁性粒子のうち少なくとも１つは前記第２領域の上方に位置し、前記非磁性分離体境界は前記第１領域と前記第２領域の間に規定されるエッジの上方に位置する、磁性層と、
を有する磁気ストレージ媒体。
【請求項２】
前記パターンは、複数の前記第１領域と複数の前記第２領域を有し、
各前記第１領域は、隣接する前記第２領域の間に位置する、
請求項１記載の磁気ストレージ媒体。
【請求項３】
前記パターンは、約１粒子の幅〜約６粒子の幅の範囲のピッチを有する、請求項１記載の磁気ストレージ媒体。
【請求項４】
前記ピッチは、約２粒子の幅〜約４粒子の幅の範囲である、請求項３記載の磁気ストレージ媒体。
【請求項５】
前記ピッチは、約３粒子の幅の範囲である、請求項３記載の磁気ストレージ媒体。
【請求項６】
磁気ストレージ媒体を製造する方法であって、
基板上に形成されるパターンのピッチを決定するステップであって、前記パターンは第１および第２特徴体を有し、個々の前記第１および第２特徴体の間に交差部が規定され、前記第１特徴体は第１材料から作成され、前記第２特徴体は前記第１材料とは異なる第２材料から作成され、前記第１特徴体は前記第２特徴体に対して横方向に隣接している、ステップ、
前記決定されたピッチを有する前記パターンに従って前記基板をパターン化するステップ、
前記基板上に磁性粒子および非磁性材料の被覆を堆積させるステップであって、前記非磁性材料は前記第１および第２特徴体の前記交差部それぞれの上方に蓄積して分離体境界を形成し、前記磁性粒子は前記分離体境界間に蓄積し、前記磁性粒子のうち少なくとも１つは前記第１特徴体の上方に位置し、前記磁性粒子のうち少なくとも１つは前記第２特徴体の上方に位置する、ステップ、
を有する方法。
【請求項７】
前記ピッチは、約２磁性粒子の幅〜約６磁性粒子の幅である、請求項６記載の方法。
【請求項８】
前記ピッチは、約３磁性粒子の幅〜約６磁性粒子の幅である、請求項６記載の方法。
【請求項９】
前記第１材料は磁性材料を含み、前記第２材料は非磁性材料を含む、請求項１記載の磁気ストレージ媒体。
【手続補正書】
【提出日】平成27年12月25日(2015.12.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カーボンナノチューブを組み込んだタッチダウン検出器を備えた磁気記録ヘッドであって、
データを磁気記録ディスクに書き込むように構成された書き込み要素と、
前記磁気記録ディスクからデータを読み出すように構成された読み出し要素と、
前記磁気記録ヘッドのディスク対向面上に配置されたオーバーコート層と、
タッチダウン検出器であって、
熱を電圧信号に変換するように構成された熱センサと、
前記磁気記録ディスクにタッチダウンするように構成されたカーボンナノチューブ部分であって、前記熱センサに接続され、かつ、前記カーボンナノチューブ部分と前記磁気記録ディスクとの接触によって発生する熱を前記熱センサに伝達するように構成されたカーボンナノチューブ部分と、を含むタッチダウン検出器と、
を含み、
前記オーバーコート層のディスク対向面は、空気軸受面の一部を規定し、前記オーバーコート層は、そこを通って前記カーボンナノチューブ部分が磁気記録ディスクの表面に向かって延長するように構成された開口部を含む磁気記録ヘッド。
【請求項２】
前記カーボンナノチューブ部分は、前記磁気記録ヘッドの空気軸受面に配置される、請求項１に記載の磁気記録ヘッド。
【請求項３】
前記熱センサは、前記空気軸受面が配置される前記磁気記録ヘッドの面とは反対側の前記磁気記録ヘッドの面に配置される、請求項２に記載の磁気記録ヘッド。
【請求項４】
前記カーボンナノチューブ部分は、少なくとも１つのカーボンナノチューブを含み、前記カーボンナノチューブは、約１ナノメートル（ｎｍ）より小さい直径を有する、請求項１に記載の磁気記録ヘッド。
【請求項５】
前記カーボンナノチューブ部分は、単一壁カーボンナノチューブを含み、前記単一壁カーボンナノチューブは、そのチューブ軸が前記磁気記録ヘッドの空気軸受面に対してほぼ垂直に配向している、請求項１に記載の磁気記録ヘッド。
【請求項６】
前記カーボンナノチューブ部分は、複数の単一壁カーボンナノチューブを含み、前記複数の単一壁カーボンナノチューブは、束で配置され、それらのチューブ軸が互いにほぼ平行かつ前記磁気記録ヘッドの空気軸受面に対して垂直に配向される、請求項１に記載の磁気記録ヘッド。
【請求項７】
前記複数の単一壁カーボンナノチューブの前記束は、前記空気軸受面において、約１０平方ナノメートル（ｎｍ2）を下回る総面積の範囲を定める、請求項６に記載の磁気記録ヘッド。
【請求項８】
前記カーボンナノチューブ部分は、空気軸受面に対して垂直方向に沿って位置合わせされる、請求項１に記載の磁気記録ヘッド。
【請求項９】
前記熱センサは、サーモカップルを含む、請求項１に記載の磁気記録ヘッド。
【請求項１０】
前記サーモカップルは、バイメタル構造を含み、前記バイメタル構造は、前記カーボンナノチューブ部分から前記熱センサに伝達された熱に応答して電圧を生成するのに十分敏感である、請求項９に記載の磁気記録ヘッド。
【請求項１１】
前記熱センサは、レジスタを含む、請求項１に記載の磁気記録ヘッド。
【請求項１２】
前記レジスタは、抵抗材料の単一層を含み、前記抵抗材料は、前記カーボンナノチューブ部分から前記熱センサへと伝達された熱に応答して前記レジスタの抵抗を変化させるのに十分敏感な抵抗温度係数を有する、請求項１１に記載の磁気記録ヘッド。
【請求項１３】
前記カーボンナノチューブ部分は、前記磁気記録ヘッドの空気軸受面側に配置されたオーバーコート層以上の垂直寸法を有する、請求項１に記載の磁気記録ヘッド。
【請求項１４】
カーボンナノチューブを組み込んだタッチダウン検出器を備えた磁気記録ヘッドを有するハードディスクドライブであって、
ディスクエンクロージャと、
前記ディスクエンクロージャのディスクエンクロージャ基部に搭載されたスピンドルモータと、
前記スピンドルモータに接続されたスピンドルと、
前記スピンドル上に回転可能に搭載された少なくとも１つの磁気記録ディスクと、
少なくとも１つの磁気記録ヘッドであって、
データを磁気記録ディスクに書き込むように構成された書き込み要素と、
前記磁気記録ディスクからデータを読み出すように構成された読み出し要素と、
タッチダウン検出器であって、
熱を電圧信号に変換するように構成された熱センサと、
前記磁気記録ディスクにタッチダウンするように構成されたカーボンナノチューブ部分であって、前記熱センサに接続され、かつ、前記カーボンナノチューブ部分と前記磁気記録ディスクとの接触によって発生する熱を前記熱センサに伝達するように構成されたカーボンナノチューブ部分と、
を含むタッチダウン検出器と、
を含む少なくとも１つの磁気記録ヘッドと、
を含み、
前記カーボンナノチューブ部分は、前記磁気記録ヘッドの空気軸受面側に配置されたオーバーコート層以上の垂直寸法を有する、ハードディスクドライブ。
【請求項１５】
前記カーボンナノチューブ部分は、前記磁気記録ヘッドの空気軸受面に配置される、請求項１４に記載のハードディスクドライブ。
【請求項１６】
前記熱センサは、前記空気軸受面が配置される前記磁気記録ヘッドの面とは反対側の前記磁気記録ヘッドの面に配置される、請求項１５に記載のハードディスクドライブ。
【請求項１７】
前記カーボンナノチューブ部分は、少なくとも１つのカーボンナノチューブを含む、請求項１４に記載のハードディスクドライブ。
【請求項１８】
前記カーボンナノチューブ部分は、空気軸受面に対して垂直方向に沿って位置合わせされる、請求項１４に記載のハードディスクドライブ。
【請求項１９】
前記熱センサは、サーモカップルを含む、請求項１４に記載のハードディスクドライブ。
【請求項２０】
前記サーモカップルは、バイメタル構造を含み、前記バイメタル構造は、前記カーボンナノチューブ部分から前記熱センサに伝達された熱に応答して電圧を生成するのに十分敏感である、請求項１９に記載のハードディスクドライブ。
【請求項２１】
前記熱センサは、レジスタを含む、請求項１４に記載のハードディスクドライブ。
【請求項２２】
前記レジスタは、抵抗材料の単一層を含み、前記抵抗材料は、前記カーボンナノチューブ部分から前記熱センサへと伝達された熱に応答して前記レジスタの抵抗を変化させるのに十分敏感な抵抗温度係数を有する、請求項２１に記載のハードディスクドライブ。
【手続補正書】
【提出日】平成27年12月14日(2015.12.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上流ケーシング及び下流ケーシングを含む環状部を備えるガスタービン燃焼器の流れスリーブであって、
前記上流ケーシングは、第１乃至第３の燃料供給部を形成し、
前記下流ケーシングは、第１及び第２の連通口及び第１及び第２の予混合通路を形成し、
前記第１の連通口は、前記第１の予混合通路を形成する壁に配置され、
前記第２の連通口は、前記第２の予混合通路を形成する壁に配置され、
前記第１の燃料供給部は、前記第１の予混合通路に結合する第１の燃料連結部を有し、
前記第２の燃料供給部は、前記第２の予混合通路に結合する第２の燃料連結部を有し、
前記第３の燃料供給部は、前記第１の予混合通路に結合する第３の燃料連結部と、前記第２の予混合通路に結合する第４の燃料連結部を有し、
前記第１及び第２の予混合通路は、燃料及び空気を対応する前記第１乃至第３の燃料供給部及び前記第１及び第２の連通口からそれぞれ受け取って、燃料及び空気の混合気を生成する、流れスリーブ。
【請求項２】
前記上流ケーシング及び前記下流ケーシングは、複数の円周位置において、これに対応して、前記第１乃至第３の燃料供給部、前記第１及び第２の連通口、及び前記第１及び第２の予混合通路をそれぞれ形成する、請求項１に記載の流れスリーブ。
【請求項３】
前記第１乃至第３の燃料供給部は、複数の円周位置の各々において形成される、請求項２に記載の流れスリーブ。
【請求項４】
前記第１及び第２の連通口及び前記第１及び第２の予混合通路は、それぞれ複数の円周位置の各々において、それぞれの対として形成される、請求項２に記載の流れスリーブ。
【請求項５】
前記第１及び第２の連通口から供給される前記空気は、圧縮機吐出空気から成る、請求項１乃至４のいずれかに記載の流れスリーブ。
【請求項６】
前記下流ケーシングは、細長い形状の前記連通口を形成し、前記予混合通路の幅は、前記第１及び第２の連通口の長さと実質的に同じである、請求項１乃至５のいずれかに記載の流れスリーブ。
【請求項７】
前記下流ケーシングは、前記第１及び第２の予混合通路の下流端部においてプレナムを更に形成する、請求項１乃至６のいずれかに記載の流れスリーブ。
【請求項８】
前記上流ケーシングの周りに配置され、前記第１乃至第３の燃料供給部に結合される燃料入口を形成するマニホールドを更に備える、請求項１乃至７のいずれかに記載の流れスリーブ。
【請求項９】
前記下流ケーシングは、  前記上流ケーシングに溶接される、請求項１乃至８のいずれかに記載の流れスリーブ。
【請求項１０】
燃焼が起こる第１の内部領域を定める上流端部と、燃焼生成物が流れる第２の内部領域を定める下流端部とを有する第１のベッセルと、
前記第１のベッセルの下流端部の周りに配置されるように構成され、請求項１乃至９のいずれかに記載の流れスリーブを形成する第２のベッセルと、
前記予混合通路に結合され、前記燃料及び空気の混合気を前記第２の内部領域に移送するように構成される噴射装置と、
を備える、ガスタービン燃焼器。
【請求項１１】
ガスタービン燃焼器であって、
燃焼が起こる第１の内部領域を定める上流端部と、燃焼生成物が流れる第２の内部領域を定める下流端部とを有する第１のベッセルと、
前記第１のベッセルの下流端部の周りに配置されるように構成され、複数の円周位置を定める第２のベッセルと、
第１乃至第３の燃料供給部と、
第１及び第２の連通口と、
第１及び第２の予混合通路と、
を備え、
前記第１の連通口は、前記第１の予混合通路を形成する壁に配置され、
前記第２の連通口は、前記第２の予混合通路を形成する壁に配置され、
前記第１の燃料供給部は、前記第１の予混合通路に結合する第１の燃料連結部を有し、
前記第２の燃料供給部は、前記第２の予混合通路に結合する第２の燃料連結部を有し、
前記第３の燃料供給部は、前記第１の予混合通路に結合する第３の燃料連結部と、前記第２の予混合通路に結合する第４の燃料連結部を有し、
前記第１乃至第４の燃料連結部が、前記第１及び第２の連通口の下流に配置され、
前記第１及び第２の予混合通路の各々が、燃料及び空気のそれぞれを前記第１乃至第３の燃料供給部から受け取って、前記燃料及び空気の混合気を生成するために合体させることができる通路内部領域を有し、
ガスタービン燃焼器がさらに、
前記予混合通路の下流端部のプレナムと、
各々が前記プレナムに結合して前記燃料及び空気の混合気を前記第２の内部領域に移送する複数の噴射装置と、
を備える、ガスタービン燃焼器。
【手続補正書】
【提出日】平成27年12月4日(2015.12.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部区域を画成するアセンブリであって、空気が前記内部区域の周りを第１の方向に環状区域に沿って流れ、次いで前記第１の方向とは実質的に反対の第２の方向に前記内部区域へ向かって流れるように、該空気を導く構成を持つアセンブリと、
燃料が供給されるように構成されたマニホルドと、
前記第１及び第２の方向に対して横断する方向である第３の方向に、前記環状区域から前記内部区域へ空気を伝送できる通路を画成する管状体であって、当該管状体が、前記マニホルドを通って延在できる側壁を含み、前記側壁が、前記マニホルド内に、伝送された空気を燃料と混合させることのできる注入孔を画成している、管状体と、
を有するターボ機械の燃焼器。
【請求項２】
前記管状体の配向は軸方向成分または接線方向成分を持っている、請求項１記載の燃焼器。
【請求項３】
前記管状体は複数の管状体を有している、請求項１記載の燃焼器。
【請求項４】
前記複数の管状体は、
複数の軸方向段を成すように配列されている、
または、
複数の軸方向段の内の１つ以上の段で複数の円周方向位置に配置されている、請求項３記載の燃焼器。
【請求項５】
内部区域を画成するセンターボディと、
前記センターボディの周りに配置された第１の容器であって、第１の流体が供給されるように構成されたマニホルドを含んでいる第１の容器と、
前記第１の容器の周りに配置されて、第１の軸方向の第２の流体の流れのための環状区域を画成し、前記第２の流体が、前記第１の軸方向と反対方向で、前記内部区域に向かう流れに再配向される領域を画成する第２の容器と、
第２の流体を前記環状区域から前記センターボディの前記内部区域へ伝送することのできる半径方向通路を画成する管状体であって、当該管状体が、前記領域から軸方向で下流に位置し、前記マニホルドを通って延在できる側壁を含み、前記側壁が、伝送された第２の流体に第１の流体を混合させることのできる注入孔を、前記マニホルド内に画成している、管状体と、
を有するターボ機械の燃焼器。
【請求項６】
前記第１の流体は燃料を有し、また前記第２の流体は空気を有する、請求項５記載の燃焼器。
【請求項７】
更に、前記第１の流体を前記マニホルドへ供給するための前記マニホルドに流体結合された供給回路を有している請求項５または６に記載の燃焼器。
【請求項８】
更に、前記環状区域から前記センターボディへ前記第２の流体を導くように構成された端蓋を有している請求項５乃至７のいずれかに記載の燃焼器。
【請求項９】
内部区域を画成するセンターボディと、
前記センターボディの周りに配置された第１の容器であって、第１の流体が供給されるように構成されたマニホルドを含んでいる第１の容器と、
前記第１の容器の周りに配置されて、第１の軸方向の第２の流体の流れのための環状区域を画成する第２の容器と、
第２の流体を前記環状区域から前記センターボディの前記内部区域へ伝送することのできる半径方向通路を画成する管状体であって、当該管状体が、前記マニホルドを通って延在できる側壁を含み、前記側壁が、伝送された第２の流体に第１の流体を混合させることのできる注入孔を、前記マニホルド内に画成している、管状体と、
前記環状区域から前記センターボディへ前記第２の流体を導くように構成された端蓋と、
を備え、
前記センターボディは、
それを通って前記管状体が延在することのできる後側部分と、
前記後側部分の前側端部に配置され、且つ端蓋から前記センターボディの前記内部区域へ前記第２の流体を流すための中央通路を画成する前側部分と、
を有する、燃焼器。
【請求項１０】
前記端蓋は更に、前記環状区域から前記後側部分へ向かって前記第２の流体を導くように構成されている、請求項９記載の燃焼器。
【請求項１１】
前記後側部分は断熱被覆（ＴＢＣ）及び乱流器の内の１つ以上を有している、請求項９または１０に記載の燃焼器。
【請求項１２】
前記後側部分は滲出孔を画成するように構成されている、請求項９乃至１１のいずれかに記載の燃焼器。
【請求項１３】
更に、前記第１の流体を受け取る前記前側部分内に配置された旋回器を有している、請求項９乃至１２のいずれかに記載の燃焼器。
【請求項１４】
前記管状体の配向が軸方向成分及び接線方向成分の内の少なくとも１つを持っている、請求項９乃至１３のいずれかに記載の燃焼器。
【請求項１５】
前記管状体は複数の管状体を有し、
前記複数の管状体は、
複数の軸方向段を成すように配列されている、
または、
複数の軸方向段の内の１つ以上の段で複数の円周方向位置に配置されている、請求項９乃至１４のいずれかに記載の燃焼器。
【請求項１６】
端蓋と、
前記端蓋に近接して配置され且つ内部区域を画成するセンターボディと、
前記センターボディの周りに配置された第１の容器であって、第１の流体が供給されるように構成されたマニホルドを含んでいる第１の容器と、
前記端蓋に結合され且つ前記第１の容器の周りに配置されて、第１の軸方向で前記端蓋へ向けて、半径方向に前記端蓋に沿って、次いで前記第１の軸方向と反対の第２の軸方向で前記センターボディの前記内部区域へ向けて第２の流体を流れさせるための環状区域を画成する第２の容器と、
第２の流体を前記環状区域から前記センターボディの前記内部区域へ伝送することのできる半径方向通路を画成する管状体であって、当該管状体が、前記マニホルドを通って延在できる側壁を含み、前記側壁が、伝送された第２の流体に第１の流体を混合させることのできる注入孔を、前記マニホルド内に画成している、管状体と、
を有し、
前記管状体が、前記第２の流体が前記半径方向に流れ、前記第2の軸方向に配向される領域から軸方向で下流に位置するターボ機械の燃焼器。
【手続補正書】
【提出日】平成27年12月3日(2015.12.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスタービンエンジンであって、
流れスリーブ内に配置されたライナ（３００）を備える燃焼器と、
前記燃焼器の端部に配置された燃料ノズルであって、前記流れスリーブと前記ライナ（３００）により規定される環を通る空気が前記燃料ノズルに流れる、前記燃料ノズルと、
前記流れスリーブと前記環の間に規定され、圧縮機吐出ケーシングから空気流を受け取るよう構成された通路と、
を備え、前記通路が、前記燃料ノズルと同心の第１のチャンバからの空気流を前記ノズル及び、前記第１のチャンバの下流側の第２のチャンバに配向し、チャンバ圧力が前記圧縮機吐出ケーシングの圧力よりも低く、
前記ガスタービンエンジンが更に、
前記圧縮機吐出ケーシングから前記通路への空気流を制御するよう構成された流量制御装置を備える、ガスタービンエンジン。
【請求項２】
ガスタービンエンジンであって、
圧縮機と、
流れスリーブ内に配置されたライナ（３００）を備えるタービンと、
燃焼器の端部に配置された燃料ノズルであって、前記流れスリーブと前記ライナ（３００）により規定される環を通る空気が前記燃料ノズルに流れる、前記燃料ノズルと、
第１の圧力を有する圧縮機吐出ケーシングと流体連通した燃焼室と、
を備え、前記燃焼室が第２の圧力を有し、前記第１及び第２の圧力の圧力差により、前記流れスリーブと前記環の間に規定された通路を介して前記燃料ノズルと同心の第１のチャンバから前記燃料ノズルの下流側の前記燃焼室に空気流を配向し、
前記ガスタービンエンジンが更に、
前記圧縮機吐出ケーシングから前記燃焼室への前記空気流を制御するよう構成された流量制御装置を備え、前記流量制御装置が、ターンダウン状態にて前記燃焼室に実質的に制限のない空気流を可能にする開放位置と、全負荷状態にて空気流を実質的に制限する閉鎖位置とを有する、ガスタービンエンジン。
【請求項３】
前記通路が、実質的に軸方向の空気流を可能にする環状通路を含む、請求項１または２に記載のガスタービンエンジン。
【請求項４】
前記通路が、前記燃焼器の外部の導管を介して前記圧縮機吐出ケーシングから前記空気流を受け取るよう構成される、請求項１乃至３のいずれかに記載のガスタービンエンジン。
【請求項５】
前記通路が、スリーブとケーシングとの間のチャンバを介して前記圧縮機吐出ケーシングから前記空気流を受け取るよう構成される、請求項１乃至４のいずれかに記載のガスタービンエンジン。
【請求項６】
前記流量制御装置が、前記ガスタービンエンジンのターンダウン状態にて前記チャンバへの実質的に制限されない空気流を可能にして前記燃料ノズルに供給される空気の量を低減し、これにより前記ターンダウン状態の間のガスタービンからの一酸化炭素の生成を低減する開放位置を有する、請求項１乃至５のいずれかに記載のガスタービンエンジン。
【請求項７】
前記流量制御装置が、全負荷状態にて空気流を実質的に制限する閉鎖位置を有し、
前記燃料ノズルに供給される空気の量が、前記流量制御装置が前記閉鎖位置にあるときに増大される、請求項６記載のガスタービンエンジン。
【請求項８】
前記空気流が、燃料なしで前記通路を通って前記チャンバに配向され、該空気流は前記チャンバに配向されたときに燃焼しない、請求項１乃至７のいずれかに記載のガスタービンエンジン。
【請求項９】
前記流量制御装置が、前記燃焼器の外部の導管において前記空気流を受け取る通路に配置される、請求項１乃至８のいずれかに記載のガスタービンエンジン。
【請求項１０】
流れスリーブ内に配置されたライナ（３００）を有する燃焼器と、前記燃焼器の端部に配置された燃料ノズルとを備えるタービンエンジン内で空気を流す方法であって、
前記流れスリーブと前記ライナ（３００）により規定される環に空気を通すステップと、
圧縮機吐出ケーシングから前記流れスリーブと前記環の間に規定される通路において空気を受け取るステップと、
前記通路に沿って、前記燃料ノズルと同心の第１のチャンバからの空気を前記燃料ノズルの下流側及び、燃焼室の燃焼領域の下流側に配置された燃焼器チャンバに配向するステップと、
前記タービンエンジンの作動状態に基づいて前記燃焼室への空気の流れを制御するステップと、
を含む、方法。
【請求項１１】
前記空気を配向するステップが、前記圧縮機吐出ケーシングの高い圧力から前記燃焼室内の相対的に低い圧力に前記空気を配向するステップを含む、請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
前記通路において空気を受け取るステップが、燃焼器の外部の導管から前記通路において空気を受け取るステップを含む、請求項１０または１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記空気の流れを制御するステップが、ターンダウン状態にて前記燃焼室への実質的に制限されない空気流を可能にする開放位置に流量制御装置を位置付けるステップを含む、請求項１０乃至１２のいずれかに記載の方法。
【請求項１４】
前記流量制御装置が開放位置にあるときに燃料ノズルに供給される空気の量が低減され、これにより前記ターンダウン状態の間前記ガスタービンからの一酸化炭素の生成が減少する、請求項１３記載の方法。
【請求項１５】
前記空気の流れを制御するステップが、ターンダウン状態の間前記空気の流れを増大させ、全負荷状態の間前記空気の流れを減少させるステップを含む、請求項１０乃至１４のいずれかに記載の方法。
【請求項１６】
前記圧縮機吐出ケーシングから前記通路において空気を受け取るステップが、スリーブとケーシングとの間のチャンバから前記空気を受け取るステップを含む、請求項１０乃至１５のいずれかに記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成27年12月15日(2015.12.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のＬＥＤ（発光ダイオード）ダイ上に蛍光体含有材料層を堆積させる方法であって、この方法は、
複数の開口を有するテンプレートを接着テープ上に配置するステップと、
前記テンプレートを前記接着テープ上に配置した後、前記複数のＬＥＤダイそれぞれを、前記テンプレートの前記複数の開口のそれぞれ１つを通して前記接着テープ上に直接配置するステップと、
前記ＬＥＤダイを前記接着テープ上に配置した後、それぞれの前記ＬＥＤダイの上部表面を露出させるように構成された複数の開口を有するステンシルを、前記テンプレートおよび前記複数のＬＥＤダイを覆うように配置するステップと、
前記ステンシルを配置した後、それぞれの前記ＬＥＤダイの前記上部露出表面上に蛍光体含有材料を堆積させるステップと、
前記蛍光体含有材料を堆積させた後、前記ステンシルを除去し、前記テンプレートを前記接着テープから除去するステップとから構成されることを特徴とする方法。
【請求項２】
前記接着テープはガラス板上に配置される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記接着テープは熱リリース・テープである、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記接着テープはＵＶリリース・テープである、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記テンプレート内の前記開口の面積は、前記ＬＥＤダイのそれぞれ１つの寸法にほぼ等しい、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記テンプレート内の前記開口の１つの厚さは、前記ＬＥＤダイのそれぞれ１つの厚さに実質上等しい、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記ステンシルは、前記ＬＥＤダイ上のボンド・パッド領域を覆うように構成される、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記ステンシル内の前記開口の深さは、前記蛍光体含有材料の所望の厚さに等しい、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記ステンシルはテフロン（登録商標）の商標を付したポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）で被覆される、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記ステンシルは金属から作られる、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
前記ステンシルは絶縁材料から作られる、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
複数のＬＥＤ（発光ダイオード）ダイ上に蛍光体含有材料層を堆積させる方法であって、この方法は、
複数の開口を有するテンプレートを接着テープ上に配置するステップと、
前記テンプレートを前記接着テープ上に配置した後、前記複数のＬＥＤダイそれぞれを、前記テンプレートの前記複数の開口のそれぞれ１つを通して前記接着テープ上に直接配置するステップと、
前記ＬＥＤダイを前記接着テープ上に配置した後、それぞれの前記ＬＥＤダイの上部表面を露出させるように構成された複数の開口を有するステンシルを、前記テンプレートおよび前記複数のＬＥＤダイを覆うように配置するステップと、
前記ステンシルを配置した後、それぞれの前記ＬＥＤダイの前記上部露出表面上に蛍光体含有材料を堆積させるステップと、
前記蛍光体含有材料を堆積させた後、前記金属ステンシルを除去し、前記テンプレートを除去するステップとから構成されることを特徴とする方法。
【手続補正書】
【提出日】平成27年12月15日(2015.12.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のＬＥＤ（発光ダイオード）ダイに、蛍光体を含んだ材料の層を堆積する方法であって、この方法は、
接着テープに、複数の開口を有するテンプレートを配置するステップと、
前記テンプレートの前記複数の開口のうちの１つに複数のＬＥＤダイのそれぞれを配置するステップと、
前記テンプレートおよび前記複数のＬＥＤダイの上に、前記ＬＥＤダイのそれぞれの上部表面を暴露するように構成された複数の開口を有する、パターニングされたフォトレジスト層を形成するステップと、
それぞれの前記ＬＥＤダイの前記暴露された上部表面に、蛍光体を含んだ材料を堆積するステップと、
前記フォトレジスト層を除去するステップと、
前記テンプレートを除去するステップと
から構成されることを特徴とする方法。
【請求項２】
前記接着テープは、ガラス・プレートに載置される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記接着テープは、熱剥離テープである、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記接着テープは、ＵＶ剥離テープである、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記テンプレートの前記開口の領域は、前記ＬＥＤダイの大きさとほぼ等しい、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記テンプレートの前記開口の厚さは、前記ＬＥＤダイの厚さと実質的に等しい、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記フォトレジスト層は、前記ＬＥＤダイの接合パッド領域をカバーするように構成されている、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記ステンシルの前記開口のそれぞれに、前記蛍光体を含んだ材料を堆積するステップは、
前記フォトレジスト層および前記ＬＥＤダイに、前記蛍光体を含んだ材料を堆積するステップと、
前記フォトレジスト層の前記上部表面から、および前記ステンシルの上部表面よりも上に突出している前記ＬＥＤダイの前記上部表面の前記蛍光体を含んだ材料を除去するステップと
を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記フォトレジスト層の前記開口の深さは、前記蛍光体を含んだ材料の所望の厚さと等しい、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記フォトレジスト層を形成するステップは、
前記テンプレートの上にドライ・フォトレジスト・フィルムの層を配置するステップと、
前記フォトレジスト層の上にマスク層を配置するステップと、
前記フォトレジスト層に複数の開口を形成するステップと
を含む、請求項１に記載の方法。