【手続補正書】
【提出日】平成28年8月30日(2016.8.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子線を放出する荷電粒子源と、
前記荷電粒子線を試料に照射する荷電粒子光学系と、
前記荷電粒子線の照射によって試料から発生した信号を検出する検出器と、
前記試料を保持し、試料を移動させる試料ステージと、
前記試料ステージが配置された試料室と、
前記信号に基づいて形成される試料画像を表示する表示部と、
前記荷電粒子源、前記荷電粒子光学系、前記検出器、前記試料ステージ、前記試料室、および前記表示部を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記試料画像に、画像がひずんでいる、明るさムラがある、立体感がない、または画像がぼけている、の現象のうち、少なくとも何れか一つが発生している場合に操作者が押下するボタンを前記表示部に表示し、
前記ボタンが押下された場合に、観察条件に応じて、その原因を記したメッセージを前記表示部に表示する、荷電粒子線装置。
【請求項２】
前記ボタンは、
前記試料画像に、画像がひずんでいる、明るさムラがある、または立体感がない現象が発生している場合に操作者が押下する第１ボタンと、前記試料画面に、画像がぼけている現象が発生している場合に操作者が押下する第２ボタンを示す、請求項１記載の荷電粒子線装置。
【請求項３】
前記制御部は、更に、
前記試料画像を別な像質で観察したいか操作者に確認するメッセージと、
前記試料画像を別な像質で観察する場合に操作者が押下する第３ボタンと、
を前記試料画像と共に前記表示部に表示し、前記第１乃至第３ボタンの何れかが押下された場合に、解決策を記したメッセージを前記表示部に表示する、請求項２記載の荷電粒子線装置。
【請求項４】
前記観察条件には、加速電圧、ワーキングディスタンス、コンデンサレンズ、対物可動絞り、検出信号、真空度、および画像取り込みの手法が含まれる、請求項１記載の荷電粒子線装置。
【請求項５】
前記観察条件には、観察目的が含まれる、請求項１記載の荷電粒子線装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記第１ボタンが押下された場合に、荷電粒子線装置が設定可能な試料室の真空度に応じて、原因および解決策を記したメッセージを前記表示部に表示する、請求項２記載の荷電粒子線装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記第１ボタンが押下された場合に、荷電粒子線装置に搭載されている検出器の種類に応じて、原因および解決策を記したメッセージを前記表示部に表示する、請求項２記載の荷電粒子線装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記第１ボタンが押下された場合に、高真空での観察条件において、原因としてチャージアップを記し、解決策として金属コーディングの追加を記したメッセージを前記表示部に表示する、請求項２記載の荷電粒子線装置。
【請求項９】
前記制御部は、前記第１ボタンが押下された場合に、高真空での観察条件において、原因としてチャージアップを記し、解決策としてより低い加速電圧への変更、または低真空モードへの切り替えを記したメッセージを前記表示部に表示する、請求項２記載の荷電粒子線装置。
【請求項１０】
前記制御部は、前記第１ボタンが押下された場合に、低真空での観察条件において、原因としてチャージアップを記し、解決策としてより低真空への変更を記したメッセージを前記表示部に表示する、請求項２記載の荷電粒子線装置。
【請求項１１】
前記制御部は、前記第１ボタンが押下された場合に、原因として試料取り付け不十分を記し、解決策として試料の固定の確認を記したメッセージを前記表示部に表示する、請求項２記載の荷電粒子線装置。
【請求項１２】
前記制御部は、前記第２ボタンが押下された場合に、原因として画像調整が不十分を記し、マニュアルフォーカス調整を記したメッセージを前記表示部に表示する、請求項２記載の荷電粒子線装置。
【請求項１３】
前記制御部は、前記第２ボタンが押下された場合に、原因として試料取り付け不十分を記し、解決策として試料の固定の確認を記したメッセージを前記表示部に表示する、請求項２記載の荷電粒子線装置。
【請求項１４】
前記制御部は、前記第２ボタンが押下された場合に、原因としてキャリブレーションのズレを記し、解決策としてキャリブレーションの再設定を記したメッセージを前記表示部に表示する、請求項２記載の荷電粒子線装置。
【請求項１５】
前記制御部は、前記第２ボタンが押下された場合に、低い加速電圧での観察条件において、原因として分解能が不十分を記し、解決策としてより高い加速電圧への変更を記したメッセージを前記表示部に表示する、請求項２記載の荷電粒子線装置。
【請求項１６】
荷電粒子線の照射によって試料から発生した信号を検出し、
検出した前記信号に基づいて試料画像を形成して表示部に表示し、
前記試料画像に、画像がひずんでいる、明るさムラがある、立体感がない、または画像がぼけている、の現象のうち、少なくとも何れか一つが発生している場合に操作者が押下するボタンを前記表示部に表示し、
前記ボタンが押下された場合に、観察条件に応じて、その原因を記したメッセージを前記表示部に表示する、荷電粒子線装置の試料観察方法。
【請求項１７】
前記ボタンは、
前記試料画像に、画像がひずんでいる、明るさムラがある、または立体感がない現象が発生している場合に操作者が押下する第１ボタンと、前記試料画面に、画像がぼけている現象が発生している場合に操作者が押下する第２ボタンを示す、請求項１６記載の荷電粒子線装置の試料観察方法。
【請求項１８】
前記試料画像を別な像質で観察したいか操作者に確認するメッセージと、前記試料画像を別な像質で観察する場合に操作者が押下する第３ボタンとを前記試料画像と共に前記表示部に表示し、前記第１乃至第３ボタンの何れかが押下された場合に、解決策を記したメッセージを前記表示部に表示する、請求項１７記載の荷電粒子線装置の試料観察方法。
【請求項１９】
前記第１ボタンが押下された場合に、高真空での観察条件において、原因としてチャージアップを記し、解決策として金属コーディングの追加を記したメッセージを前記表示部に表示する、請求項１７記載の荷電粒子線装置の試料観察方法。
【請求項２０】
前記第２ボタンが押下された場合に、原因として画像調整が不十分を記し、マニュアルフォーカス調整を記したメッセージを前記表示部に表示する、請求項１７載の荷電粒子線装置の試料観察方法。
【請求項２１】
荷電粒子線装置の荷電粒子線源から発生された荷電粒子線を試料に照射し、試料から発生した信号に基づいて試料画像を形成して表示部に表示し、
前記試料画像に、画像がひずんでいる、明るさムラがある、立体感がない、または画像がぼけている、の現象のうち、少なくとも何れか一つが発生している場合に操作者が押下するボタンを前記表示部に表示し、
前記ボタンが押下された場合に、観察条件に応じて、その原因を記したメッセージを前記表示部に表示する、前記表示部を制御するコンピュータの表示制御プログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
（３）初心者は、不具合に気づいても解決方法がわからないため、そのまま取得している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
本実施例では、ユーザが観察条件のパラメータを設定するのではなく、ユーザが選択した観察目的に応じて最適なパラメータ設定値が自動で設定されるようにしている。観察目的の選択肢は、ユーザがよく使用する、またはユーザに使用してほしい観察条件であり、初心者でも把握および選択できる条件である。観察目的の種類は全部で、「標準の観察」、「表面構造を強調する観察」、「材料分布を強調する観察」、「表面構造と材料分布を強調する観察」、「構造を強調する観察」、「元素を分析する観察」の６つであり、高真空観察のための観察目的は、「標準の観察」、「表面構造を強調する観察」、「材料分布を強調する観察」、「表面構造と材料分布を強調する観察」、「元素を分析する観察」の最大５つである。また、低真空観察のための観察目的は、「材料分布を強調する観察」、「表面構造と材料分布を強調する観察」、「構造を強調する観察」、「表面構造を強調する観察」、「元素を分析する観察」の最大５つである。