【事件の表示】
　特願２０１１−２１５５１２「静電誘導式発電デバイスのための誘電体薄膜デバイス」拒絶査定不服審判事件〔平成２５年　４月２５日出願公開、特開２０１３−　７７６４６〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成２３年９月２９日を出願日とする出願であって、平成２６年９月２６日付で審査請求がなされ、平成２７年７月１４日付で拒絶理由が通知され、同年９月２５日付で意見書が提出されるとともに、同日付で手続補正がなされ、同年１０月２０日付で拒絶査定がなされたものである。
　これに対して、平成２８年１月２７日付で拒絶査定不服審判が請求されるとともに、同日付で手続補正がなされ、当審において同年１１月７日付で補正却下の決定がなされるとともに、同日付で拒絶理由が通知され、平成２９年１月６日付で意見書が提出されるとともに、同日付で手続補正がなされたものである。
第２　本願発明
　本願の請求項１に係る発明は、平成２９年１月６日付の手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定される、以下のとおりのものである（以下「本願発明」という。）。
「板状金属基板の上に堆積した圧電体薄膜と、前記圧電体薄膜の上に堆積した電極と、前記板状金属基板及び電極に取り付けた導線と、錘と、を備え、振動すると前記圧電体薄膜が歪み前記板状金属基板と電極の間に電圧を生じる圧電発電装置であって、
　前記圧電体薄膜が、電子サイクロトロン共鳴スパッタにより堆積された窒化アルミニウム（AlN）からなり、
　前記圧電体薄膜、前記板状金属基板及び前記錘から成る振動部の機械的共振周波数を200 Hz以下としたことを特徴とする圧電発電装置。」
第３　当審の判断
１　引用例について
（１）引用例１
ア　引用例１の記載について
　当審の拒絶の理由に引用された、W.T.CHANG（他５名），Wind-power generators based on ZnO piezoelectric thin films on stainless steel substrates，Current Applied Physics，NL，Elsevier，２０１１年　１月，Volume 11, Issue 1，pp.S333-S338（以下、「引用例１」という。）には、図面とともに、以下のことが記載されている。（なお、下線は、当審において付与した。以下、同じ。）　
（ア）「
This report develops wind generators based on ZnO transducers that are integrated with stainless steel substrate (SUS304).
（当審訳：
この報告は、ステンレス鋼（SUS304）を基板に統合されたＺｎＯ変換器に基づいた風力発電機を詳説します。
（イ）「2. Experimental details
 In this study, 
the reactive radio-frequency (RF)magnetron sputtering method was employed to deposit ZnO piezoelectric thin films.
The SUS304 substrates with 50 μm thickness were adopted as flexible substrates and bottom electrodes in wind generators.
After the ZnO/SUS304 structure was formed, a copper(Cu) layer was attached to the ZnO/SUS3O4 substrate as the top electrode in a piezoelectric transducer, because it has a low resistivity and is inexpensive.
To increase the amplitude of vibration of the transducers to facilitate measurement an additional mass loading of 0.57g on the cantilever was attached to the transducer.
（当審訳：２．実験の詳細
　この研究では、
高周波（ＲＦ）マグネトロンスパッタリング反応法が、ＺｎＯの圧電薄膜を作製するために使われた。
５０μｍのＳＵＳ３０４基板は、弾力性がある基板で且つ下部電極として風力発電機に採用されました。
ＺｎＯ／ＳＵＳ３０４構造が構成された後、低抵抗で高価でないために、圧電変換器の上部電極として、銅（Ｃｕ）層をＺｎＯ／ＳＵＳ３０４基板に取り付けます。
測定を容易にするために変換器の振幅を増やすように、変換器の片側に０．５７ｇの錘を付加します。
（ウ）「3.3. Electrical properties of generators
 
According to the Investigation, the excitation frequency and the amplitude of vibration critically influence the output voltage of a generator. Fig. 10 plots the variation of open circuit voltage(V
DC
) with excitation frequencies, in which a maximum V
DC
 of 7.52V was achieved at an excitation frequency of 75 Hz. Clearly, the ZnO-based generator in this study is suitable for low frequecy application.
The maximum VDC of 10.5V is reached at the vibration amplitude of 1.19mm and vibration frequency of 75 Hz.」(S337頁左欄７行乃至S338左欄７行)
（当審訳：３．３．発電機の電気特性
　
研究によると、加えられる周波数と振幅は、甚だしく発電機の出力電圧に影響を与えます。図１０は、加えられる周波数における開回路の電圧の変化（Ｖ
ＤＣ
）を描いたもので、７５Ｈｚの周波数を加えることで７．５２Ｖの最大Ｖ
ＤＣ
が得られます。
イ　引用例１発明について
　上記アの記載から、引用例１には、実質的に次の発明（以下、「引用例１発明」という。）が記載されているものと認められる。
「下部電極であるステンレス鋼（SUS304）基板の上に高周波（ＲＦ）マグネトロンスパッタリング反応法により堆積したＺｎＯ圧電薄膜と、
　前記ＺｎＯ圧電薄膜上に上部電極として取り付けられた銅（Ｃｕ）層と、
　錘とを備え、
　７５Ｈｚの周波数を加えることで最大の電圧が得られる、
　風力発電機。」
（２）引用例２
ア　引用例２の記載について
　当審の拒絶の理由に引用された、特開２０１１−１９２７３６号公報（以下、「引用例２」という。）には、図面とともに、以下のことが記載されている。
（ア）「【００２２】
　図１に示すように、
圧電体薄膜素子１は、基板２上に下部電極３、圧電体薄膜４、上部電極５を順次形成したものである。
・・・　中　略　・・・
【００２８】
　
上部電極５としては
Ｃｕ
用いることができる。
上部電極５は、例えば、ＲＦマグネトロンスパッタリング法により成膜される。
イ　引用例２記載事項について
　上記アの記載から、引用例２には、実質的に次の事項（以下、「引用例２記載事項」という。）が記載されているものと認められる。
「圧電体薄膜上に形成された上部電極であるＣｕは、ＲＦマグネトロンスパッタリング法により成膜されること。」
（３）引用例３
ア　引用例３の記載について
　当審の拒絶の理由に引用された特開２０１１−１５２００４号公報（以下、「引用例３」という。）には、図面とともに、以下のことが記載されている。
（ア）「【００３０】
　なお、
各圧電素子Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３の出力は、筐体Ｃ４の外側に設けられた出力端子へ導かれている
出力端子の一方には、各圧電素子Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３の一方の電極が接合された各振動板Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３の各端部に結線されている。出力端子の他方は、各圧電素子Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３の他方の電極にそれぞれ結線されている。
イ　引用例３記載事項について
　上記アの記載から、引用例３には、実質的に次の事項（以下、「引用例３記載事項」という。）が記載されているものと認められる。
「圧電素子の出力を得るために、出力端子と圧電素子の一方の電極が接合された振動板とは結線し、他方の出力端子と圧電素子の他方の電極は結線すること。」
（４）引用例４
ア　引用例４の記載について
　当審の拒絶の理由に引用された特開２００７−２８０３６８号公報（以下、「引用例４」という。）には、図面とともに、以下のことが記載されている。
（ア）「【００４０】
圧電膜には、
酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）
等の圧電材料を用いることができる。
圧電素子より得られた起電力は交流電圧となるため、
イ　引用例４記載事項について
　上記アの記載から、引用例４には、実質的に次の事項（以下、「引用例４記載事項」という。）が記載されているものと認められる。
「圧電素子より起電力を得るために、圧電膜には、酸化亜鉛（ＺｎＯ）や窒化アルミニウム（ＡｌＮ）等の圧電材料を用いること。」
（５）周知技術
ア　引用例５の記載について
　本願の出願日前に公開された特開２００５−１５０９９０号公報（以下、「引用例５」という。）には、図面とともに、以下のことが記載されている。
（ア）「【００２９】
　圧電膜１０３の材料としては、上述の通り、ＺｎＯ、ＡｌＮ、ＧａＮ等のウルツァイト型結晶構造を有する圧電材料を用いることができる。
圧電膜１０３の材料として、ＡｌＮやＺｎＯなどのウルツァイト型結晶構造を持つ圧電材料を用いる場合、その形成方法としては、
ＥＣＲスパッタリング
ＥＣＲスパッタリング法を用いた場合でも不純物の極めて少ない高結晶性薄膜が作製できる。
イ　引用例６の記載について
　本願の出願日前に公開された特開２００５−１９７９８３号公報（以下、「引用例６」という。）には、図面とともに、以下のことが記載されている。
（ア）「【００３１】
　
圧電膜１０３は、
窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、
等のウルツァイト型結晶構造を有する圧電材料
を用いることができる。
【００３２】
　
圧電膜１０３の材料として、ウルツァイト型結晶構造を持つ圧電材料を用いる場合、その形成方法としては、
ＥＣＲスパッタリング
ＥＣＲスパッタリング法を用いた場合でも不純物の極めて少ない高結晶性薄膜が作製できる
ウ　引用例７の記載について
　本願の出願日前に公開された特開２００５−２５２０６９号公報（以下、「引用例７」という。）には、図面とともに、以下のことが記載されている。
（ア）「【００３４】
　機能膜１３の材料として、
ＡｌＮやＺｎＯなどのウルツァイト型結晶構造を持つ圧電材料を用いる場合、
ＥＣＲスパッタリング
ＥＣＲスパッタリング法を用いた場合でも不純物の極めて少ない高結晶性薄膜が作製できる。
エ　周知技術
　上記アないしウの記載から、次の事項は、本願出願前周知技術であると認められる。
「ＡｌＮやＺｎＯなどのウルツァイト型結晶構造を持つ圧電材料を用いる場合、不純物の極めて少ない高結晶性薄膜を作製するために、ＥＣＲスパッタリング法をもちいること。」
２　対比・判断
（１）本願発明と引用例１発明とを対比する。
ア　引用例１発明の「ステンレス鋼（SUS304）基板」，「ＺｎＯ圧電薄膜」，「銅（Ｃｕ）層」および「錘」は、それぞれ、本願発明の「板状金属板」，「圧電体薄膜」，「電極」および「錘」に相当する。
イ　引用例１発明は、振動により「ＺｎＯ圧電薄膜」が歪み、「下部電極であるステンレス鋼（SUS304）基板」と「上部電極として取り付けられた銅（Ｃｕ）層」との間で生じる電圧差により発電するものであることは、当業者にとって明らかであるから、引用例１発明も本願発明の「振動すると前記圧電体薄膜が歪み前記板状金属基板と電極の間に電圧を生じる」と同様の動作を行っていると認められる。してみれば、引用例１発明の「風力発電機」は、本願発明の「振動すると前記圧電体薄膜が歪み前記板状金属基板と電極の間に電圧を生じる圧電発電装置」に相当する。
　そうすると、本願発明と引用例１発明とは、以下の点で一致し、また、相違する。
　
［一致点］
「板状金属基板の上に堆積した圧電体薄膜と、前記圧電体薄膜の上の電極と、錘と、を備え、振動すると前記圧電体薄膜が歪み前記板状金属基板と電極の間に電圧を生じる圧電発電装置。」
[相違点１]
　本願発明の「電極」は、「前記圧電体薄膜の上に堆積」することにより構成されているが、引用例１発明の「銅（Ｃｕ）層」は、どのようにして構成されたか不明である点。
［相違点２］
　本願発明は「前記板状金属基板及び電極に取り付けた導線」を備えているのに対して、引用例１発明は対応する構成の明記がない点。
［相違点３］
　本願発明は「前記圧電体薄膜が、電子サイクロトロン共鳴スパッタにより堆積された窒化アルミニウム（AlN）からな」っているのに対して、引用例１発明はそのようになっていない点。
［相違点４］
　本願発明は「前記圧電体薄膜、前記板状金属基板及び前記錘から成る振動部の機械的共振周波数を200 Hz以下とし」ているのに対して、引用例１発明は機械的共振周波数について記載されていない点。
（２）以下、上記相違点について検討する。
［相違点１］について
　引用例２に記載されているように、上部電極として銅（Ｃｕ）層を用いる際に、ＲＦマグネトロンスパッタリング法等の堆積をもちいることは公知の技術である。そして、引用例１に記載された、「前記ＺｎＯ圧電薄膜上に上部電極として」「銅（Ｃｕ）層」を取り付ける際に、上記公知技術をもちい、「電極」を「前記圧電体薄膜の上に堆積」することにより構成し、本願発明と同様の手法を採用することは、当業者が適宜為し得る事項である。
［相違点２］について
　引用例３に記載されているように、「圧電素子の出力を得るために、出力端子と圧電素子の一方の電極が接合された振動板とは結線し、他方の出力端子と圧電素子の他方の電極は結線すること」は公知の構成であり、引用例１発明のおいても「ＺｎＯ圧電薄膜」の出力を得るために、「ステンレス鋼（SUS304）基板」と出力端子の間、および、「銅（Ｃｕ）層」と出力端子の間を結線することは当業者が当然行うことである。そしてその際に、本願発明の「前記板状金属基板及び電極に取り付けた導線」と同様の「導線」を採用することは、当業者が容易に想到した事項である。
［相違点３］について
　引用例４に記載されているように、「圧電素子より起電力を得るために、圧電膜には、酸化亜鉛（ＺｎＯ）や窒化アルミニウム（ＡｌＮ）等の圧電材料を用いること」は、公知の技術である。
　そして、引用例１発明の圧電薄膜を構成する際に、「ＺｎＯ圧電薄膜」を、ＡｌＮを用いた薄膜とすることは、当業者が設計時に適宜選択する事項である。
　また、前記１（５）のとおり、ＺｎＯ膜やＡｌＮ膜を形成する際に、不純物の極めて少ない高結晶性薄膜を得るためにＥＣＲスパッタリング法（本願発明の「電子サイクロトロン共鳴スパッタ」に相当する。）を採用することは、周知技術であるから、引用例１発明の圧電薄膜としてＡｌＮを用いた薄膜を採用した際に、不純物の極めて少ない高結晶性薄膜を得るために、本願発明と同様に「前記圧電体薄膜が、電子サイクロトロン共鳴スパッタにより堆積された窒化アルミニウム（AlN）からな」るようにすることは、当業者が適宜為し得る事項である。
［相違点４］について
　引用例１発明は「７５Ｈｚの周波数を加えることで最大の電圧が得られる」ものであり、共振周波数を７５Ｈｚとすれば、最も効率よく発電が行われることは、当業者にとって自明である。
　そして、引用例１発明において、効率よく発電を行うために、共振周波数を７５Ｈｚとし、より大きな出力電圧を得るようにすることは、当業者が適宜為し得る事項である。
　そうすると、引用例１発明において本願発明と同様に、「前記圧電体薄膜、前記板状金属基板及び前記錘から成る振動部の機械的共振周波数を200 Hz以下」とすることは、当業者が容易に想到した事項である。
３　小括
　そして、上記相違点を総合的に勘案しても、本願発明の奏する作用効果は、引用例１発明及び引用例２ないし４に記載された技術、並びに、引用例５ないし７に記載された周知技術の構成から当業者にとって予測される範囲内のものにすぎず、格別顕著なものということはできない。
　よって、本願発明は、引用例１発明および引用例２ないし４に記載された技術、並びに、引用例５ないし７に記載された周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
第４　むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用例１ないし７記載の発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　
　したがって、本願は他の請求項について検討するまでもなく拒絶されるべきものである。
　
　よって、結論のとおり審決する。