【手続補正書】
【提出日】平成28年9月8日(2016.9.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
共通コネクタ（２０）によって共に電気的に接続されている第１の可動アクチュエータ（１７）と第２の可動アクチュエータ（１９）とを備えたビーム（１６）を有する少なくとも１つのマイクロエレクトロメカニカルシステムスイッチ（３６）を備えており、前記スイッチの対応する第１および第２のゲート（２２）に印加される単一のゲート制御信号に応答して、前記第１および第２の可動アクチュエータ（１７、１９）を通過する電流経路を選択的に確立し、前記スイッチの前記第１および第２の可動アクチュエータ（１７、１９）を作動させるように構成された、スイッチング回路（３４）と、
前記スイッチの前記第１および第２のゲート（２２）に印加される前記単一のゲート制御信号を生成するゲート回路（３２）であって、前記スイッチの前記共通コネクタ（２０）に電気的に結合されており、変動するビーム電圧に対して電気的に浮遊するように構成され、前記変動するビーム電圧と前記ゲート回路（３２）のローカルな電気的グランドとの間に電気的基準を有するドライバチャネル（４０）を備えた、ゲート回路（３２）と、
を備えているスイッチング装置。
【請求項２】
前記共通コネクタ（２０）が、前記第１および第２の可動アクチュエータ（１７、１９）を共にサポートするアンカを備えている、請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記スイッチング回路（３４）が、直列回路として相互に接続されておりそれぞれの対応するスイッチの前記第１および第２の可動アクチュエータ（１７、１９）を通過する前記電流経路を確立する対応するマイクロエレクトロメカニカルシステムスイッチ（３６1、３６2）のアレイを備えており、前記ゲート回路は、対応するゲート制御信号を対応するスイッチの前記対応する第１および第２のゲートに印加して前記対応するスイッチの前記第１および第２の可動アクチュエータ（１７、１９）を作動させるようにそれぞれが構成された対応の複数の更なる対応するゲート回路（３２１、３２２）を備えている、請求項１または２に記載の装置。
【請求項４】
対応するマイクロエレクトロメカニカルシステムスイッチ（３６１、３６２）の前記アレイが、並列回路、直列回路、または両方として接続された更なるマイクロエレクトロメカニカルシステムによって拡張可能である、請求項３記載の装置。
【請求項５】
対応するマイクロエレクトロメカニカルシステムスイッチ（３６１、３６２）の前記アレイが、オンチップ、オフチップ、または両方に構成されている、請求項４記載の装置。
【請求項６】
それぞれの対応するゲート回路（３２１、３２２）が、前記対応するスイッチの対応する共通コネクタに電気的に結合されており、前記対応するスイッチの変動するビーム電圧に対して電気的に浮遊するように構成され、前記対応するスイッチの前記変動するビーム電圧と前記対応するゲート回路のローカルな電気的グランドとの間に電気的基準を有する対応するドライバチャネル（４０）を備えている、請求項３記載の装置。
【請求項７】
前記複数の対応するゲート回路（３２１、３２２）が、前記複数の対応するゲート回路に同時的にまたは非同時的に印加される単一のスイッチング制御信号または別々の制御信号に応答する、請求項３記載の装置。
【請求項８】
前記ゲート回路（３２）が、ハーフブリッジ回路（４２）を画定するように接続された１対のトランジスタを備えており、前記ハーフブリッジ回路（４２）の第１の側は、前記スイッチの前記対応する第１および第２のゲート（２２）に印加されると前記第１および第２の可動アクチュエータ（１７、１９）を作動させるのに十分な電圧レベルを受け取る入力段（４４）を備え、前記ハーフブリッジ回路の第２の側は、前記スイッチの前記共通コネクタ（２０）における電位を基準とし、前記ハーフブリッジ回路（４２）の中間ノード（４６）は、前記ドライバチャネル（４０）と前記スイッチの前記第１および第２のゲート（２２）とに電気的に結合されており、スイッチング制御信号の論理レベルに基づいて前記スイッチの前記第１および第２の可動アクチュエータ（１７、１９）を作動させるように前記ゲート信号を印加する、請求項１乃至７のいずれかに記載の装置。
【請求項９】
前記ゲート回路（３２）が、ハーフブリッジ回路、線形増幅器、圧電変圧器、電荷ポンプ、コンバータ、および光駆動ゲート回路からなる群から選択される回路を備えている、請求項１乃至８のいずれかに記載の装置。
【請求項１０】
前記ハーフブリッジ回路の前記中間ノード（４６）が、抵抗素子によって前記スイッチの前記第１および第２のゲート（２２）に電気的に結合されている、請求項８記載の装置。
【請求項１１】
信号処理モジュール（５６）に結合され前記ハーフブリッジ回路（７２）の前記入力段（４４）に供給される前記電圧レベルを生成する第１の電圧源（５２）を備えた電力回路（５０）を更に備えており、前記電圧レベルは、前記スイッチの前記共通コネクタ（２０）における電位に関する基準となる、請求項１乃至１０のいずれかに記載の装置。
【請求項１２】
前記電力回路（５０）が前記１対のトランジスタのドライバ（６０）に結合された第２の電圧源（５４）を更に備え、前記第２の電圧源（５４）が前記１対のトランジスタの前記ドライバのハイ側の出力（５７）を付勢する浮遊電圧を供給するように構成され、前記浮遊電圧が前記ハーフブリッジ回路（４２）の前記中間ノード（４６）における電位に関する基準となる、請求項１１記載の装置（３０）。
【請求項１３】
前記第２の電圧源（５４）を、比較的長い時間周期の間前記１対のトランジスタの前記ドライバの前記ハイ側の出力を付勢する前記浮遊電圧を連続的に供給するように設定可能である、請求項１２記載の装置。
【請求項１４】
前記対応するマイクロエレクトロメカニカルシステムスイッチ（３６）に電気的に結合されたグレーディドネットワーク（７０）を更に備えており、前記グレーディドネットワーク（７０）が、前記スイッチの前記第１の可動アクチュエータ（１７）に接続可能な第１の接点（１２）と前記共通コネクタ（２０）との間に接続された第１のＲＣ回路（７２）を備え、前記スイッチの前記第２の可動アクチュエータ（１９）に接続可能な第２の接点（１４）と前記共通コネクタ（２０）との間に接続された第２のＲＣ回路（７４）を更に備え、前記第１および第２のＲＣ回路（７２、７４）の対応する時定数が、スイッチングイベントの間に、前記第１および第２の接点（１２、１４）における対応する電位に対し、前記共通コネクタ（２０）における電位の変化を動的に平衡させるように選択される、請求項１乃至１３のいずれかに記載の装置。
【請求項１５】
請求項１乃至１４のいずれかに記載の装置を備えた接点の組。
【請求項１６】
前記スイッチング回路（３４）によって確立される前記電流経路が負荷に動作的に結合されており、前記負荷が、直流（ＤＣ）負荷、交流（ＡＣ）負荷、および無線周波数（ＲＦ）負荷からなる群から選択される負荷を含んでいる、請求項１乃至１５のいずれかに記載のスイッチング装置。
【請求項１７】
前記スイッチング回路（３４）によって確立される前記電流経路が交流（ＡＣ）負荷に動作的に結合されており、前記ＡＣ負荷が、前記スイッチの周波数スイッチング速度よりも相対的に低い周波数値を有する信号と前記スイッチの前記周波数スイッチング速度よりも相対的に高い周波数値を有する信号とからなる群から選択される、請求項１乃至１６のいずれかに記載のスイッチング装置。
【請求項１８】
前記マイクロエレクトロメカニカルシステムスイッチ（３６）の対応する接点（１２）の間に結合された電気アーク保護回路を更に備えている、請求項１乃至１７のいずれかに記載のスイッチング装置。