(57)【要約】電極上に絶縁ポリマーをスクリーン印刷し、前記ポリマーを硬化することで絶縁ポリマー被膜で前記電極を被覆するステップと、前記絶縁ポリマー被膜を音波で剥離して複数の微小孔を作成するステップとを含む微小電極アレイの製造方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極上に絶縁ポリマーをスクリーン印刷し、次に、前記ポリマーを硬化することで絶縁ポリマー被膜で前記電極を被覆するステップと、
前記絶縁ポリマー被膜を音波で剥離して複数の微小孔を作成するステップと
を含む微小電極アレイの製造方法。
【請求項２】
前記微小電極アレイ上に第２のポリマーを付着させるステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
分析対象物を含む分析対象物収納媒体に微小電極アレイを接触させるステップと、微小電極を分極させ、分析対象物に関連する電気化学作用によって変化する電気特性を監視することで前記微小電極アレイから直接情報を得るステップとを含む分析対象物を検出する方法であって、ボルタンメトリー、電位差測定、または静電容量測定技法を用いて前記微小電極アレイから直接情報を得る方法。
【請求項４】
線形掃引ボルタンメトリー、サイクリック・ボルタンメトリー、方形波ボルタンメトリーまたはパルス・ボルタンメトリーを用いて微小電極アレイから直接情報が得られる、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記微小電極アレイと対向電極との間に流れる電流を監視すること、および前記微小電極アレイと第２の電極との間の電位差を監視することのうちの一方により前記微小電極アレイから直接情報が得られる、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
前記微小電極アレイが複数の微小電極上に付着した分析対象物試薬を含む、請求項３から５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
複数の微小電極を覆うように前記微小電極アレイのかなりの部分にわたって前記分析対象物試薬が層状に付着する、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記分析対象物試薬が複数の微小電極に離散的に付着する、請求項６に記載の方法。
【請求項９】
前記分析対象物試薬がマトリックス内に固定されるか、または直接表面吸着によって微小電極アレイ上に付着する請求項６から８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１０】
前記微小電極アレイが複数の微小電極上に付着したポリマーを含む、請求項３から５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１１】
電極と、前記電極を覆い、その内部に複数の微小孔が形成された絶縁ポリマー被覆とを含み、それにより複数の微小電極が露出された微小電極アレイであって、
ｉ）複数の微小電極を覆うように前記微小電極アレイのかなりの部分にわたって層状に付着した分析対象物試薬と、
ｉｉ）微小電極アレイ上への直接表面吸着または前記分析対象物試薬が固定された非導電性マトリックスの微小電極上への付着によっていくつかの微小電極に離散的に付着した分析対象物試薬と、
ｉｉｉ）複数の微小孔に付着した非導電性ポリマーと、
ｉｖ）複数の微小電極を覆うように前記微小電極アレイのかなりの部分にわたって層状に付着した導電性ポリマー
のうちの少なくとも１つをさらに含む微小電極アレイ。
【請求項１２】
前記分析対象物試薬が直接表面吸着によって前記微小電極アレイ上に付着する、請求項１１のオプションｉ）に記載の微小電極アレイ。
【請求項１３】
前記分析対象物試薬がディップ・コーティング、スピン・コーティング、スプレー・コーティング、スクリーン印刷、ステンシル印刷、インク・ジェット・コーティング技法またはスプレー・ジェット・コーティング技法によって付着する、請求項１１のオプションｉ）または請求項１２に記載の微小電極アレイ。
【請求項１４】
前記分析対象物試薬がマトリックス内に固定される、請求項１１のオプションｉ）に記載の微小電極アレイ。
【請求項１５】
前記マトリックスがポリマーである、請求項１４に記載の微小電極アレイ。
【請求項１６】
複数の微小電極アレイを覆うように前記微小電極アレイのかなりの部分にわたって非導電性ポリマーが層状に付着する、請求項１１のオプションｉｉｉ）に記載の微小電極アレイ。
【請求項１７】
いくつかの微小電極に離散的に前記非導電性ポリマーが付着する、請求項１１のオプションｉｉｉ）に記載の微小電極アレイ。
【請求項１８】
分析対象物試薬が非導電性ポリマー内に固定される、請求項１６または１７に記載の微小電極アレイ。
【請求項１９】
分析対象物試薬が非導電性ポリマーの表面に吸着される、請求項１６から１８のいずれか１項に記載の微小電極アレイ。
【請求項２０】
分析対象物試薬が前記導電性ポリマー内に固定される、請求項１１のオプションｉｖ）に記載の微小電極アレイ。
【請求項２１】
分析対象物試薬が前記導電性ポリマーの表面に吸着される、請求項１１のオプションｉｖ）に記載の微小電極アレイ。
【請求項２２】
絶縁ポリマー被覆で電極を被覆するステップと、
前記絶縁ポリマー被膜を音波で剥離して複数の微小孔を作成するステップと、
ｉ）微小電極アレイを、溶剤内に第２のポリマーを含む溶液に接触させ、ｉｉ）前記溶剤を前記微小電極アレイから蒸発させることで前記微小電極アレイ上に前記第２のポリマーを付着させるステップとを含む微小電極アレイの製造方法。
【請求項２３】
前記溶液が、スピン・コーティング、ディップ・コーティング、スプレー・コーティング、インク・ジェット・コーティング技法またはスプレー・ジェット・コーティング技法によって付着する、請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
前記第２のポリマーが微小電極アレイにおいてその場で重合される、請求項２２または２３に記載の方法。
【請求項２５】
前記第２のポリマーが化学、光化学または電気化学技法あるいは電離放射線への暴露によって重合される、請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
前記第２のポリマーが複数の微小電極に離散的に付着する、請求項２２から２５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２７】
前記第２のポリマーが複数の微小電極を覆うように微小電極アレイのかなりの部分にわたって層状に付着する、請求項２２から２５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２８】
分析対象物試薬が前記第２のポリマー内に固定される、請求項２２から２７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２９】
分析対象物試薬が前記第２のポリマーの表面に付着する、請求項２２から２８のいずれか１項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微小電極アレイ、微小電極アレイの製造方法、および微小電極アレイを用いて分析対象物を検出する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、分析対象物の存在下で作用電極と対向電極平面間の伝導特性を測定する分析対象物センサが開示されている。作用電極は、導電性有機ポリマーが内部に離散的に沈積された複数の微小孔を含む微小電極アレイである。この微小電極アレイは、非特許文献１に記載された技法のバリエーションを用いて製造される。非特許文献１は、ポリマー膜の音化学的剥離による微小アレイ電極の作成を開示し、そのような電極で得られた電気化学データを提示するが、そのような電極を分析対象物センサとして使用することについては開示していない。特許文献１および非特許文献１の内容は、参照により本明細書に組み込むものとする。
【特許文献１】国際公開ＷＯ９６／３３４０３号
【非特許文献１】Ｍａｄｉｇａｎ他（Ｊ．Ｅｌｅｃｔｒｏｃｈｅｍ．Ｓｏｃ．，Ｖｏｌ．１４１、Ｎｏ．３、１９９４年３月）に記載された技法の記事。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、改良型微小電極アレイ、改良型微小電極アレイの製造方法、および微小電極アレイを用いて分析対象物を検出する方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の第１の態様によれば、電極上に絶縁ポリマーをスクリーン印刷し、次に、このポリマーを硬化することで絶縁ポリマー被膜で電極を被覆するステップと、絶縁ポリマー被膜を音波で剥離して複数の微小孔を作成するステップとを含む微小電極アレイの製造方法が提供される。
【０００５】
硬化は、例えば、熱処理、化学処理、または紫外線、Ｘ線あるいはガンマ線への暴露を含むいくつかの手段によって達成することができる。
【０００６】
絶縁ポリマーは、例えば、ポリジアミノベンゼン、ＰＶＣ、テフロン（登録商標）（ＲＴＭ）、ポリエチルビニルベンゼンなどである。実施形態によっては、電子機器業界で使用する商用の「誘電性」ポリマー膜または「レジスト」は電極上にスクリーン印刷できる。
【０００７】
電極は、金、プラチナまたは炭素などの任意の適した導電性物質から形成できる。電極は、スパッタリング、気相成長法または他の任意の適した蒸着技法によって基板上に表面として付着させることができる。別の方法としては、電極は基板上に導電性インクをスクリーン印刷するなどのスクリーン印刷法によって形成できる。一般に、電極は平面状であるが、他の構成を考えることは少なくとも可能である。
【０００８】
他の製造技法も採用できる。例えば、この方法は、微小電極アレイ上に第２のポリマーを付着させるステップをさらに含むことができる。第２のポリマーの付着は、特許文献１および／または下記の方法に従って実行できる。第２のポリマーの付着は、下記のタイプの微小電極アレイを製造するように実行できる。第２のポリマーは導電性であっても、または非導電性であってもよい。さらに、第２のポリマーは、微小孔の位置（特許文献１で導電性ポリマーに関して述べたような）に離散的にまたはほぼアレイ全体に付着させることができる。
【０００９】
さらに別の製造ステップでは、特許文献１および／または下記の方法に従って、分析対象物試薬が微小電極アレイ上に配置される。分析対象物試薬は下記のタイプの微小電極アレイを製造するように配置することができる。分析対象物試薬は、微小電極アレイ上に直接付着させ、マトリックス内に固定し、例えば、表面への共有結合などの多数の異なる手段によって、マトリックス表面に付着させ、または、マトリックス表面に固定することができる。マトリックスは、導電性または非導電性の第２のポリマーでよい。分析対象物試薬は、微小電極アレイを用いて測定可能な感知システムへの摂動を（直接または間接に）生成するように分析対象物と相互作用する任意の成分でよい。分析対象物試薬は酸化還元工程に組み込まれてもよく、緩衝液の成分であってもよい。分析対象物試薬は、無機化学物質（塩など）、有機物質（モノマーなど）、ポリマー、または生物由来の物質（酵素、アプタマー、抗体、抗原、またはＤＮＡあるいはＲＮＡなどの核酸、またはオリゴヌクレオチド連鎖など）であってもよい。
【００１０】
本発明の第２の態様によれば、
分析対象物を含む分析対象物収納媒体に微小電極アレイを接触させるステップと、
微小電極を分極させ、分析対象物に関連する電気化学作用によって変化する電気特性を監視することで前記微小電極アレイから直接情報を得るステップと、
監視した電気特性を分析対象物の存在と相互に関係付けるステップとを含む分析対象物を検出する方法であって、
ボルタンメトリー、電位差測定、または静電容量測定技法を用いて前記微小電極アレイから直接情報を得る方法が提供される。
【００１１】
分析対象物収納媒体は、導電性溶液、好ましくは、水溶液である。分析対象物（および／または分析対象物試薬）を、マトリックス内への固定化などの適した方法で微小電極アレイに固定することも本発明の範囲内である。分析対象物が固定されるマトリックスは、分析対象物試薬を固定するといった意味での下記のタイプでよい。
【００１２】
線形掃引ボルタンメトリー、サイクリック・ボルタンメトリー、方形波ボルタンメトリーまたはパルス・ボルタンメトリーを用いて微小電極アレイから直接情報を得ることができる。ＡＣ分極電位、ＤＣバイアス電位とＡＣ電位波形との組み合わせ電位波形、および非ＡＣ電位の時間変化波形を使用できる。
【００１３】
微小電極アレイと対向電極との間に流れる電流を監視することで微小電極から直接情報を得ることができる。この場合、微小電極アレイは作用電極としての働きをする。いくつかの実施形態では、共通対向電極と共に複数の微小電極アレイが使用される。さらに、基準電極を使用することもできる。
【００１４】
微小電極アレイと第２の電極との間の電位差を監視することで微小電極アレイから直接情報を得ることができる。第２の電極は基準電極または対向電極である。第２の電極に関して微小電極アレイの表面に蓄積された電荷（電位差）を監視することもできる。電位差または静電容量特性も監視できる。
【００１５】
微小電極アレイは複数の微小電極上に付着した分析対象物試薬を含むことができる。複数の微小電極を覆うように微小電極アレイのかなりの部分にわたって分析対象物試薬を層状に付着させることができる。別の方法としては、複数の微小電極に分析対象物試薬を離散的に付着させることもできる。
【００１６】
分析対象物試薬を付着させるいくつかの方法がある。例えば、分析対象物試薬は、マトリックス内に固定することができ、または直接表面吸着によって微小電極アレイ上に付着させることができる。
【００１７】
微小電極アレイは、複数の微小電極上に付着したポリマーなどのマトリックスを含むことができる。別の方法としては、「裸の」微小電極アレイ、すなわち、微小電極上に物質が付着していない微小電極アレイを使用することもできる。分析対象物の検出で用いる微小電極アレイが本発明の別の態様で提供され、および／または本発明の別の態様による方法で製造できる。
【００１８】
本発明の第３の態様によれば、
電極と、電極を覆い、その内部に複数の微小孔が形成された絶縁ポリマー被覆とを有し、それにより複数の微小電極が露出された微小電極アレイであって、
ｉ）複数の微小電極を覆うように前記微小電極アレイのかなりの部分にわたって層状に付着した分析対象物試薬と、
ｉｉ）微小電極上への直接表面吸着または前記分析対象物試薬が固定された非導電性マトリックスの微小電極上への付着によっていくつかの微小電極に離散的に付着した分析対象物試薬と、
ｉｉｉ）複数の微小孔に付着した非導電性ポリマーと、
ｉｖ）複数の微小電極を覆うように前記微小電極アレイのかなりの部分にわたって層状に付着した導電性ポリマー
のうちの少なくとも１つをさらに含む微小電極アレイが提供される。
【００１９】
微小電極アレイの長所は分析対象物の径方向の移送が可能で、分析対象物検出が改善されることである。驚くべきことに、分析対象物試薬または導電性ポリマーなどのマトリックスが、微小電極アレイ全体に層状に付着する実施形態でも径方向の移送が可能であるということが分かっている。
【００２０】
上記オプションｉ）では、分析対象物試薬を直接表面吸着によって微小電極アレイ上に付着させることができる。この場合、または上記ｉｉ）で、分析対象物試薬を、ディップ・コーティング、スピン・コーティング、スプレー・コーティング、スクリーン印刷、ステンシル印刷、インク・ジェット・コーティング技法またはスプレー・ジェット・コーティング技法によって付着させることができる。
【００２１】
上記オプションｉ）では、分析対象物試薬をマトリックス内に固定することができる。マトリックスは、ゾル−ゲル、架橋たんぱく質、またはポリマーである。ポリマーは、非導電性ポリマーまたは導電性ポリマーである。
【００２２】
上記オプションｉｉｉ）では、複数の微小電極を覆うように微小電極アレイのかなりの部分にわたって非導電性ポリマーを層状に付着させることができる。
【００２３】
上記オプションｉｉｉ）では、いくつかの微小電極に離散的に非導電性ポリマーを付着させることができる。
【００２４】
分析対象物試薬は非導電性ポリマー内に固定することができる。
【００２５】
分析対象物試薬は非導電性ポリマーの表面に吸着することができる。
【００２６】
上記オプションｉｖ）では、分析対象物試薬を導電性ポリマー内に固定することができる。
【００２７】
上記オプションｉｖ）では、分析対象物試薬を導電性ポリマーの表面に吸着することができる。
【００２８】
分析対象物は適した方法で微小電極アレイに固定することができる。微小電極アレイは、一般に、特許文献１および／または本明細書に記載する方法に従って製造できる。微小電極は共通の下地電極を共用できるために並列に相互電気接続されていることを理解することができるだろう。
【００２９】
本発明の第４の態様によれば、
絶縁ポリマー被覆で電極を被覆するステップと、
絶縁ポリマー被膜を音波で剥離して複数の微小孔を作成するステップと、
ｉ）微小電極アレイを、溶剤内に第２のポリマーを含む溶液に接触させ、ｉｉ）溶剤を微小電極アレイから蒸発させることで微小電極アレイ上に第２のポリマーを付着させるステップとを含む微小電極アレイの製造方法が提供される。
【００３０】
溶液は、スピン・コーティング、ディップ・コーティング、スプレー・コーティング、インク・ジェット・コーティング技法またはスプレー・ジェット・コーティング技法によって付着させることができる。
【００３１】
第２のポリマーは微小電極アレイでのその場の重合が可能である。第２のポリマーは、化学、光化学または電気化学技法、あるいはＸ線またはガンマ線などの電離放射線への暴露によって重合できる。
【００３２】
第２のポリマーは導電性ポリマーでよい。
【００３３】
第２のポリマーは非導電性ポリマーでよい。
【００３４】
第２のポリマーは複数の微小電極に離散的に付着させることができる。
【００３５】
第２のポリマーは複数の微小電極を覆うように微小電極アレイのかなりの部分にわたって層状に付着させることができる。
【００３６】
分析対象物試薬は第２のポリマー内に固定することができる。
【００３７】
分析対象物試薬は第２のポリマーの表面に配置することができる。
【００３８】
以下の添付図面を参照しながら、本発明による微小電極アレイ、微小電極アレイの製造方法、および分析対象物を検出する方法について説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
図１は、作用電極１２および対向電極１４から成る全体を１０で示す第１の分析対象物検出の配置構成を示す図である。作用電極１２は微小電極アレイである。一般に、分析対象物検出の配置構成は、導電性溶液、好ましくは、水溶液内に配置される。１６および１８で作用電極１２と対向電極１４のそれぞれに電気的に接続され、電極１２、１４間に電気分極電位を印加し、電気的特性を監視することで作用電極１２から直接情報を得ることを可能にするのに適した電気的手段に接続される。作用電極１２からの直接の情報入手は、作用電極１２と対向電極１４との間を流れる電流を監視することで実行できる。作用電極１２からの直接の情報入手は、作用電極１２内で微小電極素子を分極させ、露出した電極表面で発生する電気化学作用に応答して流れる電流を監視するステップを含む、線形掃引ボルタンメトリー、サイクリック・ボルタンメトリー、方形波ボルタンメトリー、パルス・ボルタンメトリー、または他の技法を用いて実行できる。
【００４０】
図２は、図１に示す第１の配置構成の機能の多くを共用する全体を２０で示す検出配置構成の第２の実施形態を示す図である。そのような共用される機能を示すために同じ番号が使用される。図２に示す実施形態では、第２の作用電極２２が使用され、接続ポイント２４で作用電極２２に適当な電気的接続がなされている。作用電極２０は微小電極アレイでもある。作用電極１２と第２の作用電極２２とは共通の対向電極１４を共用する。共通の対向電極と組み合わせて別の作用電極を使用することもできる。
【００４１】
図３は、図１に示す第１の実施形態の機能の多くを共用する検出配置構成の第３の実施形態を示す図である。そのような共用される機能を示すために同じ番号が使用される。全体が３０で示される検出配置構成の第３の実施形態は、接続ポイント３４で適当な電気的接続がなされた基準電極３２を含む。
【００４２】
微小電極アレイから直接情報を得る手段として他の電気化学現象を監視することができる。例えば、第２の電極に関して微小電極アレイの表面に蓄積された電荷（電位差）を監視することもできる。第２の電極は対向電極でよく、その場合、図１に示すような配置構成を使用することができる。別の方法としては、第２の電極は基準電極でもよい。このタイプのいくつかの実施形態では、電位差測定による直接の情報入手技法が使用される。他の実施形態では、微小電極アレイ・ソリューション・インタフェースの静電容量特性が監視される。
【００４３】
図４は、微小電極アレイ４０の第１の実施形態の部分断面図である。微小電極アレイは、基板（図示せず）上にそれ自体配置することができる下地電極４２を含む。絶縁ポリマーの層４４が電極４２上に配置されている。絶縁ポリマーの層４４は内部に複数の微小孔４６を形成している。微小孔４６は絶縁ポリマーの層４４を通して電極４２を露出し、それ故、微小電極アレイを提供する。微小電極アレイは、一般に、非特許文献１および特許文献１に記載された技法に従って製造できる。図４に示す第１の実施形態では、分析対象物試薬層４８が微小電極アレイの表面全体に付着している。驚くべきことに、電気化学分析対象物検出システムの一部として微小電極アレイ４０を使用する時に、多くの場合、アレイ全体に分析対象物試薬層を付着させると分析対象物の径方向の移送が可能であるということが分かっている。図４に示すように、分析対象物試薬層４８と微小孔４６の付近の下地電極４２との間に空隙が存在する可能性があることに留意されたい。分析対象物試薬層４８と下地電極４２との間の空隙は微小孔の深さにほぼ等しく、非限定的な実施形態では、使用する絶縁ポリマーに応じて通常約３０〜１００ナノメートルである。しかし、微小孔４６を分析対象物試薬で充填することも可能である（使用する分析対象物試薬の厳密な性質次第では）。本発明は、両方の可能性を包含する。
【００４４】
図５は、微小電極アレイ５０の第２の実施形態の部分断面図である。微小電極アレイ５０は図４に示す微小電極アレイ４０の第１の実施形態の機能の多くを共用する。そのような共用される機能を示すために同じ番号が使用される。図４に示す実施形態とは対照的に、微小電極アレイ５０の第２の実施形態では、分析対象物試薬が微小孔４６の位置に離散的に付着している。分析対象物試薬５２は微小孔４６によって画定されるキャビティ内に付着し、使用する付着物の厳密な性質次第では、各微小孔４６の上部と周囲に多少広がることがある。図４に示す実施形態とは対照的に、微小電極アレイ５０の第２の実施形態では、分析対象物試薬５２が複数の離散的な「アイランド」として存在する（分析対象物試薬５２の個々の「アイランド」は結合して微小電極アレイの第１の実施形態に関連する種類のモノリシックな層を提供しない）。分析対象物試薬は電極４２への直接の表面吸着によって微小孔４６内に直接付着させることができる。このタイプの離散的付着は走査型電気化学鏡検法を用いて達成することができる。別の方法としては、分析対象物試薬が固定される複数のマトリックスを微小孔４６に離散的に付着させることができる。分析対象物試薬が固定されるマトリックスは、導電性でも非導電性でもよく、例えば、ゾル−ゲル、化学的架橋たんぱく質（例えば、熱、グルタルアルデヒド、または他の手段で化学的に架橋されたアルブミン）、非導電性ポリマー、または導電性ポリマーでもよい。別の方法としては、アレイでの分析対象物試薬の局所化を達成する試薬の固定のための他の構成も考えられる。
【００４５】
図６は、図４に示す微小電極アレイ４０の第１の実施形態の機能の多くを共用する微小電極アレイ６０の第３の実施形態の部分断面図である。そのような共用される機能を示すために同じ番号が使用される。第３と第２の実施形態の相違点は、分析対象物試薬層６２が微小孔４６によって画定されたウェル内に付着するだけでなく、微小孔４６上にアレイ全体を覆う層として付着している点である。第１および第３の実施形態では、分析対象物試薬をマトリックス内に固定することができる。
【００４６】
別の実施形態では、マトリックスを提供し、直接の表面吸着または表面への結合によって分析対象物試薬をマトリックスの頂面上に配置することができる。また、１つまたは複数の分析対象物試薬がマトリックス内に固定され、さらに、１つまたは複数の分析対象物試薬がマトリックス表面上に吸着される微小電極アレイを提供することができる。マトリックス表面上に吸着される分析対象物試薬はマトリックス内に固定される分析対象物試薬と異なっていてよいが、ある種の分析対象物試薬は固定されていると同時にマトリックス表面上に存在してもよい。これらの例では、マトリックス（層または微小電極の位置にある離散的な付着物として存在してもよい）はポリマーであることが好ましいが、他のタイプのマトリックスも本発明の範囲内である。
【符号の説明】
【００４７】
１０  第１の分析対象物検出の配置構成
１２、２２  作用電極
１４  対向電極
４０、５０、６０  微小電極アレイ
４２  下地電極
４４  絶縁ポリマーの層
４６  微小孔
４８  分析対象物試薬層
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】第１の分析対象物検出の配置構成を示す図である。
【図２】第２の分析対象物検出の配置構成を示す図である。
【図３】第３の分析対象物検出の配置構成を示す図である。
【図４】微小電極アレイの第１の実施形態を示す図である。
【図５】微小電極アレイの第２の実施形態を示す図である。
【図６】微小電極アレイの第３の実施形態を示す図である。
【図１】
2007535670.tif 000003
【図２】
2007535670.tif 000004
【図３】
2007535670.tif 000005
【図４】
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【図５】
2007535670.tif 000007
【図６】
2007535670.tif 000008
【国際調査報告】
2007535670.tif 000009
2007535670.tif 000010
2007535670.tif 000011