(57)【要約】  ２つの電気装置を一時的にインターフェイスで接続する柔軟電気接点アセンブリ（１１）である。そのアセンブリ（１１）には、向き合う接触点（１６、１８）を持つ閉じたコイルを形成する軸を持つループ（１４）を有する接点（１０）が含まれている。その軸は、電気装置の間に挟まれるアセンブリ（１１）を保持する圧縮力（１５）の方向（１７）と角度をなす。そのコイルの電気的に短絡されるループ（１４）は、圧縮力（１５）が加えられると相互の面でスライドし、柔軟性が提供される。接点（１６、１８）は、マイクロメーター範囲の、ピッチが非常に低いインダクタンス値で達成できるように、極めて小さく作ることができる。接点（１０）は、接触点（１６、１８）が貫通口（２４）の向き合う開口から延びるように、誘電体パネル（２６）の貫通口（２４）中に設置される。オプションとして、貫通口（２４）は、柔軟な導電エラストマ（３６）で充填される。
2007535795.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一の電気装置の導通点と第二の電気装置の導通点との間に一時的な電気接続を提供するよう適合された柔軟電気接点アセンブリであって、前記電気装置は、間にある前記アセンブリと一緒に圧縮の方向に圧縮力によって圧縮され、前記アセンブリは、
（ａ）少なくとも１つの柔軟電気接点であって、導電性があって、固有の弾性がある、ある長さの材料を含み、前記材料は、少なくともわずかに１を超えるループを有するコイルに形成されており、各ループが軸を有していて、前記ループ軸は前記圧縮の方向と第一の角度をなし、かつ前記接点は前記導通点との電気的な接続のために概ね向かい合う接触点を有し、前記接触点の一方は、前記コイルに対し、概ね接線方向であって、前記圧縮の方向に対して第二の角をなすリード線上にあり、前記接触点の他方は、鉤型のリード線上にある接点と、
（ｂ）前記少なくとも１つの電気接点の各々について貫通口を有する誘電体パネルであって、前記接点は、前記接触点が前記貫通口の向き合う開口を通って延びるように、前記貫通口に捕獲されている誘電体パネルと
を備えるアセンブリ。
【請求項２】
前記ループ軸が同軸である請求項１に記載の柔軟電気接点アセンブリ。
【請求項３】
前記第一の角度が約５度から約９０度の範囲にある請求項１に記載の柔軟電気接点アセンブリ。
【請求項４】
前記向かい合う開口の第一は、前記貫通口と一体のスロットであり、それを通して前記鉤型のリード線が延びており、かつ前記向かい合う開口の第二は、前記スロットと向かい合う前記貫通口の開放端内にはまり込む蓋内にある請求項１に記載の柔軟電気接点アセンブリ。
【請求項５】
前記蓋が前記開放端内に圧入される請求項１に記載の柔軟電気接点アセンブリ。
【請求項６】
第一の電気装置の導通点と第二の電気装置の導通点との間に一時的な電気接続を提供するよう適合された柔軟電気接点アセンブリであって、前記電気装置は、間にある前記アセンブリと一緒に圧縮の方向に圧縮力によって圧縮され、前記アセンブリは、
（ａ）少なくとも１つの柔軟電気接点であって、導電性があって、固有の弾性がある、ある長さの材料を含み、前記材料は、少なくともわずかに１を超えるループを有するコイルに形成されており、各ループが軸を有していて前記ループ軸は前記圧縮の方向と角度をなし、かつ前記接点は前記導通点との電気的な接続のために概ね向かい合う接触点を有する接点と、
（ｂ）前記少なくとも１つの電気接点の各々について軸を持つ貫通口を有する誘電体パネルであって、前記接点は、前記コイルを通って延びるピンによって前記貫通口に捕獲されている誘電体パネルと
を備えるアセンブリ。
【請求項７】
前記ループ軸は同軸である請求項６に記載の柔軟電気接点アセンブリ。
【請求項８】
前記角度が約５度から約９０度の範囲にある請求項６に記載の柔軟電気接点アセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気接点に関し、特に、高周波で非常に低いインダクタンスを持つ非常に小さい柔軟電気接点に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気接点の目的は、２つの電気導体間に分離可能な電気的相互接続を提供することである。分離可能性という特性は、導体がはんだ付けまたは接着のような永久的な機械手段によるのではなく、一時的な機械手段により相互接続されるということを意味する。従って、接点の有害な電気的影響を最小にしようとして良好な機械的接触を維持するために、何らかの形のばね力がこれら２つの導体を共に押圧するために使用される。これらの電気接点は（「可撓」接点の場合のように）柔軟接点（ｃｏｍｐｌｉａｎｔ  ｃｏｎｔａｃｔｓ）と呼ばれる。
【０００３】
小さな柔軟接点は、集積回路（ＩＣ）装置をユーザが欲するどのような電気装置にも分離可能に相互接続するために必要である。主な例は、ＩＣを製造中に試験し分類するために使用される試験装置または分類装置にこのＩＣを接続することである。柔軟接点は、誤った結果を生じる可能性のあるＩＣへの出入信号を変えるインダクタンスのような寄生的影響を最小にするために、できるだけ電気的に透明に近くあるべきである。
【０００４】
柔軟接点は、接続された試験中の電気ユニット（ＵＵＴ：Ｕｎｉｔ  Ｕｎｄｅｒ  Ｔｅｓｔ）の非共面性（ｎｏｎｃｏｐｌａｎａｒｉｔｉｅｓ）を補償することができるという点で、別の利点を有している。ＵＵＴ上の導通点は、正確には共平面ではなく、すなわち、互いに異なるＵＵＴ上の同一導通点間でさえ同一平面内には存在しない。柔軟接点は、導通点の実際の位置に依存して異なる量だけ変移する。
【０００５】
ＵＵＴに接続される従来形の柔軟接点は、ばねプローブ、導電ゴム、柔軟ビーム（ｂｅａｍ）接点及びファズ（ｆｕｚｚ）・ボタンと呼ばれる一まとめにされたワイヤを有している。各技術は、接触間の非共面性を克服するに必要な手段を提供すると共に、複数の接点にわたり一様な電気接触を提供する。各技術は、一つ又は他の特性に欠点を有していており、すべての技術は、大きな電気的寄生特性を有している。更に、それらは、比較的製造に費用がかかる。
【０００６】
代表的なばねプローブは、少なくとも３つまたは４つの部品、ばね付きの中空胴及び１つまたは２つのプランジャからなる。そのばねは、その中空胴内に収容されていて、プランジャの端部は、ばねの端部の所で中空胴の相対向開放端内にかしめられている。ばねは、プランジャを外方へ押圧し、それによりばね力をプランジャの先端に加える。ばねプローブは、非常に変る柔軟度と接触力を有し得るので、一般的には、何回もまたは何サイクルもの接点メークに非常に信頼性がある。ばねプローブは、パッド、コラム、ボールなどのような多くの異なる導通インターフェイスを収容することができる。しかし、ばねプローブには、ばね自体が非常に小さくは作り得ないという点で大きさの問題がある。その他の点では、接点が変わる毎に一貫したばね力を維持することができない面が有る。従って、ばねプローブは比較的大きく、より高い周波数の電気信号に使用される時に容認できないほどの大きなインダクタンスを示す。更に、ばねプローブは、３つの部品を別々に製造して組み立てなければならないから比較的高価である。
【０００７】
導電ゴムの接点は、埋め込みの導電金属部品を持つ種々の種類のゴムとシリコンからなっている。これらの接点ソリューションは、通常、ばねプローブよりも誘導性が低いが、柔軟性が小さくばねプローブよりもデューティ・サイクルを少なくすることができる。導電ゴムは、導通点がＵＵＴから持ち上げられる時に作用し、かくしてＵＵＴから突出する部分、または突出部材として動作するための第３の導電部品のこのシステムへの追加を必要とする。この第３の部材は、与えられた接触力に対する接触面積を減少させ、従って首尾一貫した接触がなし得るように単位面積あたりの力を増大させる。この第３の要素は、導通点間でゴム上に休止するねじ切りボタンであってもよい。この第３の要素は、インダクタンスをその接点系に加え得るだけである。
【０００８】
柔軟ビーム接点は、変移及び接触力がＵＵＴ導通点に対する一端において達せられ、一方、他端は他の導体に固定されたままとなるように形成された導電材料からなる。換言すれば、接触力は、１つ以上の導電板ばねにより提供される。これらの接点は、形状及び用途において大いに変化する。ある柔軟ビーム接点は、ＩＣと効果的に使用できるほど十分小さい。ある柔軟ビーム接点は、ビーム接触点に対し柔軟性または接触力を増すためにゴムのような他の柔軟材料を使用している。これらの更に後の種類は、伝統的な柔軟ビーム接点よりも小さくなる傾向があり、従って、インダクタンスは、小さくなってより高周波の装置の分類に更に適いている。しかし、これらの接点は、ある無線周波（ＲＦ）の用途で使用するには依然として幾分大きすぎる傾向がある。
【０００９】
ファズ・ボタンは、ワイヤを押圧して円筒形にする比較的古いが簡単な技術である。結果として生じる形状は、シール・ウールから作られた小さなシリンダに非常によく似ている。このシリンダは、非導電材料のシートの穴に配置されると、連続的に電気的ショートがされるばねのように動作する。それは、他の接点技術よりも誘導性の少ない電気路を提供する。ゴム接点に似て、ファズ・ボタンは、このファズ・ボタンとメイク・コンタクトをするために、その非導電材料のシートの穴内に達する必要のある第３の要素と非常によく使用される。この第３の要素は、寄生インダクタンスを増大させて、ＵＵＴに出入する信号の質を低下させる。
ＩＣパッケージ技術は、より小さく、より高周波（より速く）及びより安くなる方向に発展しつつあり、これらの種類の電気接点に対する新しい要件を生じさせている。それらは、最低のコストで適切に行う必要がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、現存の技術よりもより高周波でより低い自己インダクタンスを持つ柔軟接点を含むアセンブリを提供することである。
他の目的は、種々のＵＵＴを試験するために十分な柔軟性（ｃｏｍｐｌｉａｎｃｅ）を提供する低自己インダクタンス接点のアセンブリを提供することである。
更に他の目的は、接近した導通点を持つＵＵＴを試験するために極めて小さく作り得る低自己インダクタンス接点のアセンブリを提供することである。
更に他の目的は、製造するに比較的安価な低自己インダクタンス接点アセンブリを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、２つの電気装置の間の一時的なインターフェイスを提供するアセンブリである。そのアセンブリは、電気装置間に挟まれていて、圧縮力によってその組み合わせが一緒に保たれている。アセンブリには、非常に低い自己インダクタンスと、柔軟接点とが含まれている。その接点には、電気装置の導通点への接続のための一組の向かい合わせの接触点を備えるコイルが含まれている。そのコイルは、圧縮の方向に対し、ある角度をなす。その角度が小さくなるに従って、接点を圧縮するのに必要な力は大きくなる。圧縮中、コイル・ループは電気的にショートされ、その間、コイル・ループは互いに沿ってスライドする。コイルは、圧縮された時にリード線間に短絡を生じさせるに十分な、ちょうど３６０度を超える最小値のループを有するだけでよい。
【００１２】
材料は、固有の弾性を有するどのような導電材料でも良く、材料の断面形状は、丸形、四角形、三角形、楕円形、矩形、または星形を含むいずれの形状にもなし得るが、その断面寸法は、ワイヤの長さにわたり一様である必要もない。
接触点は、各々、様々な形状のうちの一つに構成され得る。
【００１３】
接点は、誘電体パネルの貫通口（ｔｈｒｏｕｇｈ  ａｐｅｒｔｕｒｅ）内に配置される。この貫通口は、中心部の両端に開口を有している。接点は、接点コイルの中心を通って延びるピンによってその開口内に捕獲されている。オプションとして、貫通口の残りの空間は、弾性を増しコイル・ループを電気的に短絡することを助ける柔軟性ある導電エラストマで充填される。
本発明の他の目的は、本発明の次の図面及び詳細な記載に照らして明らかとなろう。
【実施例１】
【００１４】
本発明は、２つの電気装置、典型的には、試験中の電気ユニット（ＵＵＴ）２と試験台４の間のインターフェイスを提供するアセンブリ１１である。アセンブリ１１には、非常に低い自己インダクタンスを持つ柔軟電気接点１０が含まれる。
【００１５】
接点１０は、ある長さの導電材料をコイル１２へと巻いてまたは成形して作る。コイル１２は、図１のように丸形であるか図２のように長円形であり得る。コイル１２は、一定の直径を有するか、または円錐形のように変化する直径を有し得る。コイル１２のループ１４は、図１のように唯一の軸３８を有するか、または各ループ１４が、図３のようにそれ自身の軸３８ａ乃至３８ｅを有していて、それらが全て互いに平行であっても良い。図４に示されるように、コイル１２のループ１４間のギャップ４４は、ほぼ無ギャップ（閉じコイル）からワイヤの最大の断面寸法の約１００％までの距離にわたっている。ワイヤの断面寸法が大きくなればなるほど、ギャップ４４は、断面寸法のパーセンテージとしてより大きくなることができる。例えば、ワイヤの断面寸法が０．０７８７４ｍｍ（０．００３１インチ）の場合、０．００２５４ｍｍ（０．０００１インチ）（３％）のギャップが受け入れ可能であり、一方、ワイヤの断面寸法が０．５０８ｍｍ（０．０２０インチ）の場合、０．２５４ｍｍ（０．０１０インチ）（５０％）のギャップが受け入れ可能である。本発明はまた、同じコイル１２の異なるギャップ４４が異なる大きさを有することも考慮している。例えば、図５に示されるように、あるループ１４’の間は無ギャップで、他のループ１４”の間にはギャップ４４があっても良い。
【００１６】
前述のように、また図４に示されるとおり、接点によって、ＵＵＴ２の導通点６、８と試験台４との間に一時的な電気接続が提供される。良好な電気接続を提供するために、ＵＵＴ２と試験台４との間の圧縮の方向１７に沿って圧縮力１５を加えることによって、接点１０が圧縮されるので、接点１０のバネの力によって、接点１０の接触点１６、１８がＵＵＴ導通点６および試験台導通点８に対して押し付けられる。
【００１７】
コイル１２は、圧縮の方向１７がコイル軸３８に対してある角度１９を成すように配向される。圧縮力１５を圧縮の方向１７に加えると、コイル１２は、ループ１４が互いに沿ってスライドするような柔軟性を提供する。圧縮力１５が取り除かれると、ループ１４はそれらの静止した状態に戻る。圧縮される間、コイル１２は、接触点１６、１８を導通点６、８に押し付けて、受け入れ可能な電気接続を提供する。加えて、コイル１２は、導通点６、８の非共面性についての調整に必要な特長を提供する。
【００１８】
一旦ギャップ４４が閉じられると、それらが互いに沿ってスライドしつつ、接点１０の残りの圧縮が行われる間はずっとループ１４が電気的に短絡されている。コイル１２は、圧縮されるとき、接触点１６、１８間で短絡を引き起こすのに十分なだけのループを有する必要があり、そうして、非常に低い電気的な寄生を有すべく極端に短いものであり得る。最小のコイルは、図６に示されるように、わずかに１ループを超えるものである。材料は最低３６０度を超えるだけ巻かれ、コイル１２の両端が圧縮中に接触するものとされる。
【００１９】
角度１９の大きさは、特定の用途およびその用途に必要なコンプライアンス力に依存する。角度１９が小さいほど接点１０を圧縮するのに必要な力は大きくなり、それは、接点１０が導通点６、８に対してより大きな力を提供するということを意味する。角度１９の大きさには制限がある。角度１９がゼロに近づくにつれ、すなわち、圧縮の方向１７に平行になるにつれ、接点１０は、コイルが一旦相互に接触するとさらには圧縮されなくなる。そして、角度１９が９０度を超えると、すなわち、圧縮の方向１７に対し垂直を超えると、ループ１２が相互に接触して接触点間の短絡を形成することがなくなってしまいそうになる。結果として、角度１９の実用上の範囲は、約５度から約９０度である。
【００２０】
スキュー角１９の他に、接点１０の力対変移曲線は、同様に、その接点の製造時に使用された材料の体積、例えば、ワイヤの断面寸法、コイルの直径、及びループの数並びに断面形状及び材料のような他のコイル・パラメーターにより決定される。材料の断面形状は、図１に示したように丸くすることができ、または図７のような正方形、三角形、楕円形、矩形、または星形を含む他の任意の形状にすることができる。本発明は、断面寸法が材料の長さにわたり一様である必要はないと考えてもいる。矩形または星形のような平坦側面を有する断面を持つ材料を使用する時に、隣接ループは、丸形または楕円形の断面を持つ材料を使用する時よりもより大きな表面積に沿って接触する。従って、可能な最短の電気路が形成され、結果として低インダクタンス接続が得られる。しかし、コスト及び他の理由で、平坦側面の材料は、丸形及び楕円形の材料に比較して必ずしも好ましいものではない。
【００２１】
材料は、固有の弾性特性を有する任意の導電材料、例えば、ステンレス・スチール、ベリリューム銅、銅、真ちゅう、ニッケル−クロム合金及び、３５％のパラジウム、３０％の銀、１４％の銅、１０％の金、１０％の白金および１％の亜鉛の合金であるパリネイ（ＰＡＬＩＮＥＹ）７（登録商標）のようなパラジウム‐貴金属合金から作ることができる。これら材料の全ては、アニーリングから完全硬化まで変わるテンパ度（ｄｅｇｒｅｅ  ｏｆ  ｔｅｍｐｅｒ）で使用することができる。
【００２２】
前述のように、接点１０は、２つの電気装置の間の導通点６、８に一時的な電気接続を提供するアセンブリ１１において用いられる。一般に、図８Ａおよび図８Ｂに示されるように、接点１０は、誘電体パネル２６の貫通口２４内に配置される。その貫通口２４は、接触点１６、１８が突出する部分３０の両端に開口２８を有する。
【００２３】
誘電体パネル２６の開口２８から突出する接触点１６、１８に対して圧縮方向１７に圧縮力１５が加えられると、図８Ａに示されるように、ループ１４の左側が圧縮され、ループの右側が拡張され、一般にはコイル１２の直径が増大する。貫通口２４は、圧縮力１５が加えられても接点１０の位置を保持する。貫通口２４はまた、コイル・ループ１４が圧縮されて分離するのを防ぐことによって接点１０の完全性（ｉｎｔｅｇｒｉｔｙ）を保持する。
【００２４】
０．５ｍｍ（０．０２０インチ）より小さなピッチでＵＵＴを試験するために、接点１０は、極めて小さなワイヤを使用すると共に絶縁パネル２６内に貫通口２４を形成することにより極めて小さくすることができる。接点１０は、数マイクロメートルピッチのシリコン・ウエハ・プロービング（ｐｒｏｂｉｎｇ）に適用可能である。
【００２５】
図８Ａ乃至図２２には、複数の異なる接触点、貫通口、誘電体パネルおよび接点捕獲の構成の例が示されている。各図の接触点１６、１８は双方とも同じ構成のものであることに注意する。本発明では、単一の接点の接触点１６、１８が双方とも同じであることが必要ではなく、２つの接触点１６、１８が異なる構成を有し得ることを考慮している。図示されている構成は、例に過ぎず、本発明を特定の接触点、貫通口または誘電体パネルの構成に制限する意図は無い。特定の用途に対して使用できるいかなる接触点、貫通口および／またはパネルの構成も本発明によるものと考えられる。
【００２６】
図８Ａ乃至図８Ｅにおいて、接触点１６は、中央の直線リード線７２の一端にある。コイル１２の一端は、７４で三次元的に曲がっており、圧縮の方向１７と概ね整列され、かつ接触点１６から見たときに概ねコイル１２の中心にあるリード線７２を形成する。貫通口２４の中心部３０の断面寸法は、リード線７２に垂直な接点１０の最大の寸法よりもわずかに大きい。図８Ｃの構成において、中心部３０は、長円形の断面を有しており、コイル１２が伸びる方向４０に大きなほうの寸法を有する。小さなほうの寸法４２はコイルの寸法と同じであり得、それは、コイル１２がその方向４２には伸びないからである。開口２８は中心部３０と概ね同軸であり、それは、リード線７２が貫通口２４の中心にあるからである。図８Ａの貫通口軸５８は、圧縮の方向１７と整列されている。開口２８は、コイル１２よりも小さいので、接点１０が貫通口２４に捕獲されている。
【００２７】
図８Ａの誘電体パネル２６は、開口２８の一つおよび中心部３０の大半を含むベースシート３４と、中心部の上部および他方の開口２８を含むトップシート３２とを有する。接点１０は、開口２４のベースシート部に配置され、またシート３２、３４は挟み合わされて貫通口２４内に接点１０を捕獲している。
【００２８】
誘電体パネル２６内の接点１０の代わりの配置が図８Ｄに示されている。一つの接触点１６が、他方の接触点１８よりもコイル１２からさらに延びていて、貫通口２４が長くなっていてずらされていることに注意する。この配列では、接点１０は相互により近く配置することができる。この配列の特定の用途には、各ＩＣリード線が、一方が駆動電流用で他方が高インピーダンス検出用である２つの接点を必要とする４ワイヤ試験が含まれる。
【００２９】
誘電体パネル２６内の接点１０の別の配置が、図８Ｅに示されている。貫通口軸５８が傾斜されているので、リード線７２が相互に整列されているが、圧縮の方向１７とは整列されていない。この配列によって、接触点１６と電気装置導通点６との間の平行移動が可能となる。パネル２６は、貫通口２４の２つの部分が互いからオフセットするように分割されている。
【００３０】
図９Ａおよび図９Ｂの構成において、接触点１６は、やはり圧縮の方向１７と整列するオフセットした真っ直ぐなリード線７６の一端にある。中心にある真っ直ぐなリード線７２との違いは、三次元においての曲げによって形成されて中心にあるよりもむしろ、コイル１２の一端が接線においてループ１４へと延び、そして二次元においてのみ曲がっていて、リード線７６が、コイル１２の一方の側のみにあることである。リード線７６は、接点１０の中心からオフセットしているので、開口２８は、中心部３０と同軸ではなく、一方の側にある。
【００３１】
図９Ａは、平行なリード線７６の利点を例示する。すなわち、接点１０は、図８Ｄにおける同軸リード線７２のように、リード線７６のいずれかを長くする必要がなくて、非常に近くに整列することができる。図８Ｄの配置のように、この配置の特定の用途には、一方が駆動電流のためで他方が高インピーダンス検出のための、２つの接点を各ＩＣのリード線が必要とする、４本ワイヤでの試験が含まれている。
【００３２】
図９Ａの誘電体パネル２６は、２つの鏡像シート４６、４８を有し、各シートは１つの開口２８と中心部３０の半分を有する。接点１０は、貫通口２４の一方の側にあり、シート４６、４８が挟み合わせになって貫通口２４内に接点１０を捕獲している。
【００３３】
図１０Ａおよび図１０Ｂの構成において、接触点１６は、傾いた真っ直ぐのリード線７８の一端にあるが、リード線７８は、ループ１４の接線方向に延びるようにループ１４を終えることによって形成されている。その結果、そのリード線は、図１０Ｂに示されるように、圧縮の方向１７と整列されていない。リード線７８は、コイル１２の接線方向にあるので、それはコイル軸３８に垂直である。貫通口の開口２８は、オフセットした真っ直ぐなリード線７６のもののように、中心部３０の一方の側にある。しかしながら、傾いた真っ直ぐなリード線７８は、圧縮の方向１７から傾いているので、開口２８は、圧縮の方向１７に垂直な動きが可能となるように伸長されてもよい。
【００３４】
オプションとして、図１０Ａおよび図１０Ｂに示されるように、接点１０が設置された後に残る貫通口２４内の空間は、柔軟な導電エラストマ３６で充填される。エラストマ３６は、二重の機能を発揮する。それは、接点１０の弾性力を増加させるが、これが意味するのは、エラストマ３６が無いときよりも、接点１０が、より多くの動作サイクルに耐えられるということである。エラストマ３６はまた、コイル・ループ１４を電気的に短絡させる助けとなり、そうして接点系の電気的寄生値を潜在的に最小にする。
【００３５】
図１１Ａおよび図１１Ｂの構成において、接触点１６は、鉤型リード線８０の側面８２である。コイル１２の一端は、オフセットした真っ直ぐなリード線７６のように、コイル１２から接線方向に延び、そして曲げられて鉤８４を形成し、接触点１６がリード線８０の一端８６にあるよりもむしろリード線８０の側面８２に沿うものである。鉤８４は、必要な機能を提供するいかなる形でもあり得る。図１１Ａの鉤８４は、２箇所の曲げ８８で形成されて間に直線部９０がある。代わりに、鉤８４は、９０度より大きな１つの曲げであっても良い。貫通口の開口２８は、中心部３０を横切るスロットであり、鍵８４が圧縮されるときそれがスロット内へと収縮できるものとなる。
【００３６】
図１２Ａ及び図１２Ｂの構成において、１つの接触点１６は、鉤１００の上面１０２である。コイル１２の一端がコイル１２から接線方向に延び、圧縮の方向１７に対してある角度を成し、そして曲げられて、接触点１６が、リード線の一端にあるよりもむしろ、鉤１００の側面１０２に沿うように鉤１００を形成する。鉤１００は、必要な機能を提供するいかなる形でもあり得る。図１２Ａの鉤１００は、約９０度の一つの曲げで形成される。他方の接触点１８は、図１２Ａに示されるように、概ねコイル１２の接線方向であって、圧縮の方向１７に対してある角度を成すリード線１０４の一端である。リード線１０４は、図１０Ｂと同様にコイルと整列されていてもよく、または図８および図１２Ｄのように、圧縮の方向１７とより密接に整列するように曲げられても良い。
【００３７】
接点１０は、鉤１００が貫通口の他端で貫通口の開口２８を通って延びるように、誘電体パネル２６の開口２４の開放端１０５に配置される。貫通口の開口２８は、貫通口２４と一体化されており、鉤１００が圧縮されるとき開口２８内に収縮できるように、貫通口２４を横切るスロットとなっている。貫通口２４の開放端１０５は、１０９で開放端１０５に圧入される蓋１０６を受け入れる。図１２Ｃおよび図１２Ｄに示されるように、蓋１０６は、開口１０７を有していて、それを通って接触点１８が延びている。開口１０７の内側には、接点リード線１０４が乗り込むスロット１１３があって、接点１０が圧縮される間に回転するのを防止している。開口１０７は、図１２Ｄに示されるように、スロット１１３と同じ形であり得るか、または開口１０７は大きさが異なっていて、例えば、接触点１８のみが開口１０７から延びるようにより小さなものであって良い。
【００３８】
接触点１８は、必ずしも開口１０７から外に延びている必要は無い。接触点１８は、誘電体パネル２６の下面１０８の平面上に概ね位置するのに十分なだけ、かつ圧縮される間（物品の物理的な配置に依存して）ＵＵＴ導通点６または試験台導通点８と接触するのに十分なだけ、開口１０７を通して延びておれば良い。この構成は、接点の構成のいずれについてのオプションとしても考慮される。唯一の制限は、接触点の１つが概ね誘電体パネルの表面の平面内にあるならば、他方の接触点は、圧縮の結果、接点と試験台およびＵＵＴとの間に良好な電気接続を生じるように、誘電体パネルから十分に延びていなければならないというものである。
【００３９】
図１３Ａおよび図１３Ｂの構成において、接触点１６は、こぶ（ｎｕｂ）９２であり、それは、ループ１４の曲がり以外に何の曲がりもないコイル１２の一端である。こぶ９２は、圧縮の方向１７と整列している。代わりに、図１４Ａおよび図１４Ｂに示されるように、こぶ９２は、コイル１２の接線方向の非常に短いリード線９４の一端にあって、それは圧縮の方向１７と整列していてもしていなくても良い。
【００４０】
図１５Ａおよび図１５Ｂの構成において、接触点１６は、ループ１４の側面９６である。それは本質的に、図１３Ａおよび図１３Ｂのこぶ９２と同じ設計であるが、コイル１２が回転していて、コイル１２の一端９８よりもむしろループ１４の側面９６が接触点１６になっている。双方の接触点１６、１８がループ１４の側面にあるならば、ループ１４は、少なくとも１．５ループなければならない。
【００４１】
図１３Ａ乃至図１５Ｂの接触点構成は、他の接触点構成のようにコイル１４から実質的に延びるリード線を有していないので、中心部およびそれより小さな開口を備える貫通口の構成は、必ずしも最適な性能を提供するものではない。図１６乃至図２２には、これらの接触点構成よりも適切な貫通口の構成が例示されている。狭められた貫通口の開口以外の方法によって接点１０を捕獲する、これらの貫通口の構成は、接点構成の全てについて適切なところに用いることができる。
【００４２】
図１６の貫通口２４は、圧縮の方向１７に整列する軸５８を有しており、ここで、接点１０は、開口２８から延びる接触点１６、１８を備える中心部３０に配置されている。埋め込み用材料５２が硬化して接点１０を正しい配向に固定する間、接点１０はきちんと保持されている。埋め込み用材料５２は、導電性でも非導電性でもあり得る。図１７の貫通口２４は、圧縮の方向１７から傾いた軸５８を有し、その傾きの角度は、コイル軸３８の角度に実質的に垂直である。接点１０は、摩擦嵌合、すなわち貫通口２４が接点１０よりもわずかに小さいことによるか、または図１６のような埋め込み用材料によって、中心部３０に固定される。接触点１６、１８は、開口２８から延びる。
【００４３】
図１８乃至図２２には、ある形状のピンがコイル１２の中心を通って延びる、様々な接点の捕獲方法が示されている。
【００４４】
図１８の開口２４は、圧縮の方向１７から傾いており、その傾きの角度は本質的にコイル軸３８の角度に垂直である。接点１０を固定するピンは、誘電体パネル２６の孔５６およびコイル１２の中心を通って延びる棒５４である。接触点１６、１８は開口２８から延びる。
【００４５】
図１９において、ピンは、圧縮の方向１７に対して傾いた貫通口２４の中心部３０の壁から延びる突起１１０である。突起１１０は、コイル１２の中に延びて貫通口２４中に接点１０を固定する。第二の突起１１１は、オプションである。図２０において、ピンは、圧縮の方向１７に対して傾いた貫通口２４の中心部３０の壁から延びる一組の同軸突起１１２である。誘電体パネル２６は、貫通口２４と交差する界面１１６で水平に分離する。接点１０は、貫通口２４の一方の側に設置され、そして双方の突起が接点１０の中に延びるように２つのパネル構成部１１８、１２０が水平に組み立てられる。
【００４６】
図２１のピンもまた、中心部３０の壁から延びる突起１２２である。接点１０が設置された後、プラグ１２６が貫通口２４に設置され、それは接点１０を貫通口に固定する。オプションとして、プラグ１２６に突起１２４がある。
【００４７】
図２２において、接点１０が貫通口２４に配置される。接点１０を貫通口２４に固定するピンは、誘電体パネル２６の孔６２およびコイル１２の中心を通って延びる弾性バンド６０である。バンド６０は、１つより多い接点１０を通って延び得る。バンド６０は弾性があるので、接点１０は孔６２が直線上に並ぶように整列される必要は無いが、コーナーの周りに曲線を描き得る。バンド６０は、シリコンゴムのような絶縁材料で構成される。
【００４８】
接触点１６、１８は、接点を完全とするのに役立つ形に構成され得る。接触点の形の一例は、ボール・グリッド・アレイ（ＢＧＡ）装置の試験の場合のように、ボール接点を受けるため図２３に示した半球またはリング２０である。他の例は、図２４に示した槍であり、導通点６、８において酸化物を突き刺す尖端（ｐｒｏｎｇ）２２を１個以上有している。
【００４９】
このように、上述の目的を果たす柔軟電気接点アセンブリが示され、かつ記述されている。
本発明の範囲から逸脱しなければ、本開示内で幾分かの変更を行なってもよいので、前記明細書に記載して添付図面に示した全ての事柄は、例示的であって制限的な意味はないと解釈されることを意図している。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】同軸リード線を持つ本発明の基本接点の斜視図である。
【図２】長円形のループを持つ接点の側面図である。
【図３】平行なループ軸を持つ接点の側面図である。
【図４】ＵＵＴと試験台を持つ本発明のアセンブリの断面図である。
【図５】ループ間で異なるギャップを持つコンタクトの側面図である。
【図６】最小限のコイルを持つ接点の斜視図である。
【図７】断面が長方形の材料からなる接点の側面図である。
【図８Ａ】アセンブリにおいて中心に真っ直ぐなリード線を持つ接点の部分断面図である。
【図８Ｂ】アセンブリにおいて中心に真っ直ぐなリード線を持つ接点の部分断面図である。
【図８Ｃ】アセンブリにおいて中心に真っ直ぐなリード線を持つ接点の部分断面図である。
【図８Ｄ】アセンブリにおいて中心に真っ直ぐなリード線を持つ接点の部分断面図である。
【図８Ｅ】アセンブリにおいて中心に真っ直ぐなリード線を持つ接点の部分断面図である。
【図９Ａ】アセンブリにおいてオフセットする真っ直ぐなリード線を持つコンタクトの正面部分断面図である。
【図９Ｂ】アセンブリにおいてオフセットする真っ直ぐなリード線を持つコンタクトの側面部分断面図である。
【図１０Ａ】アセンブリにおいて傾いた真っ直ぐなリード線を持つコンタクトの正面部分断面図である。
【図１０Ｂ】アセンブリにおいて傾いた真っ直ぐなリード線を持つコンタクトの側面部分断面図である。
【図１１Ａ】アセンブリにおいて鉤型のリード線を持つコンタクトの正面部分断面図である。
【図１１Ｂ】アセンブリにおいて鉤型のリード線を持つコンタクトの側面部分断面図である。
【図１２Ａ】鉤型リード線および接線リード線を持つ接点の正面図である。
【図１２Ｂ】鉤型リード線および接線リード線を持つ接点の側面図である。
【図１２Ｃ】図１２Ａおよび図１２Ｂの蓋の上からの斜視図である。
【図１２Ｄ】図１２Ａおよび図１２Ｂの蓋の下からの斜視図である。
【図１３Ａ】こぶの接触点を持つ接点の正面図である。
【図１３Ｂ】こぶの接触点を持つ接点の側面図である。
【図１４Ａ】接線リード線の形をしている代わりのこぶ接触点を持つ接点の正面図である。
【図１４Ｂ】接線リード線の形をしている代わりのこぶ接触点を持つ接点の側面図である。
【図１５Ａ】ループ接触点を持つ接点の正面図である。
【図１５Ｂ】ループ接触点を持つ接点の側面図である。
【図１６】接点を捕獲する様々な構成の側面断面図の１つである。
【図１７】接点を捕獲する様々な構成の側面断面図の１つである。
【図１８】接点を捕獲する様々な構成の側面断面図の１つである。
【図１９】接点を捕獲する様々な構成の側面断面図の１つである。
【図２０】接点を捕獲する様々な構成の側面断面図の１つである。
【図２１】接点を捕獲する様々な構成の側面断面図の１つである。
【図２２】接点を捕獲する構成の底面断面図である。
【図２３】リングに形成されたリード線を持つ接点の斜視図である。
【図２４】先端を尖らせたリード線を持つ接点の斜視図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図８Ｄ】
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【図８Ｅ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１２Ｃ】
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【図１２Ｄ】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【国際調査報告】
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