【手続補正書】
【提出日】平成28年3月24日(2016.3.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スルーホールを有する基板をめっき液中に浸漬させ、
基板の表面と該表面と対向する位置にめっき液中に配置されるアノードとの間、及び基板の裏面と該裏面と対向する位置にめっき液中に配置されるアノードとの間にめっき電流を供給して、第１段めっき、第２段めっき、及び第３段めっきを連続して行うスルーホールの電気めっき方法であって、
前記第１段めっきは、スルーホールの内部に均一な厚さの金属膜を形成することでスルーホールの径を小さくするめっきであり、前記第１段めっきで使用されるめっき電流は、金属析出に使用される順方向電流と金属溶解に使用される逆方向電流を交互に繰返すＰＲパルス電流であり、
前記第２段めっきは、金属析出に使用される順方向電流と金属溶解に使用される逆方向電流を交互に繰返すＰＲパルス電流であって、順方向電流値を前記第１段めっきで金属析出に使用される順方向電流の電流値よりも小さくしたＰＲパルス電流を使用して、スルーホールの内部に形成される金属膜でスルーホールの中央部を閉塞させるめっきであり、
前記第３段めっきは、前記第２段めっきに使用されるＰＲパルスの順方向電流値よりもめっき電流の値を上げて、金属膜のスルーホール内への埋込みを完了させるめっきであることを特徴とするスルーホールの電気めっき方法。
【請求項２】
前記第２段めっきに使用されるＰＲパルス電流の逆方向電流持続時間は、前記第１段めっきに使用されるＰＲパルス電流の逆方向電流持続時間よりも長いことを特徴とする請求項１に記載のスルーホールの電気めっき方法。
【請求項３】
前記第３段めっきは、金属析出に使用される順方向電流と金属溶解に使用される逆方向電流を交互に繰返すＰＲパルス電流であって、順方向電流値が前記第２段めっきに使用されるＰＲパルス電流の順方向電流値よりも大きいＰＲパルス電流を使用して行われることを特徴とする請求項１に記載のスルーホールの電気めっき方法。
【請求項４】
前記第２段めっきに使用されるＰＲパルス電流の順方向電流持続時間の逆方向電流持続時間に対する比は、７５よりも大きく、１２０よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載のスルーホールの電気めっき方法。
【請求項５】
前記第２段めっきに使用されるＰＲめっき電流の逆方向電流持続時間は、０．５ｍsecより長く、１０ｍsecより短いことを特徴とする請求項１に記載のスルーホールの電気めっき方法。
【請求項６】
前記スルーホールの直径が３０μｍ〜１００μｍの範囲内にある場合は、前記第２段めっきは、逆方向電流値の順方向電流値に対する比が１５よりも大きく、５０よりも小さいＰＲパルス電流を使用して行われることを特徴とする請求項１に記載のスルーホールの電気めっき方法。
【請求項７】
前記第３段めっきは、金属析出に使用される順方向電流と金属溶解に使用される逆方向電流を交互に繰返すＰＲパルス電流であって、逆方向電流値の順方向電流値に対する比が４よりも大きく、１５よりも小さいＰＲパルス電流を使用して行われることを特徴とする請求項１に記載のスルーホールの電気めっき方法。
【請求項８】
前記第３段めっきは、金属析出に使用される順方向電流と金属溶解に使用される逆方向電流を交互に繰返すＰＲパルス電流であって、逆方向電流値の順方向電流値に対する比が１５よりも大きく、５０よりも小さいＰＲパルス電流を使用して行われることを特徴とする請求項１に記載のスルーホールの電気めっき方法。
【請求項９】
前記第３段めっきに使用されるＰＲパルス電流の逆方向電流値は、前記第２段めっきで使用されるＰＲパルス電流の逆方向電流値よりも小さいことを請求項８に記載のスルーホールの電気めっき方法。
【請求項１０】
基板の表面と該表面と対向する位置に配置されるアノードとの間、及び基板の裏面と該裏面と対向する位置に配置されるアノードとの間にパドルをそれぞれ配置し、前記パドルを１．３ｍ/sec以上２．６ｍ／sec以下の最大線速度で往復運動させてめっき液を攪拌することを特徴とする請求項１に記載にスルーホールの電気めっき方法。
【請求項１１】
めっき液を内部に保持するめっき槽と、
スルーホールを有する基板を該基板の表裏両面を露出させて保持し前記めっき槽内のめっき液に浸漬させる基板ホルダと、
前記めっき液中に浸漬された前記基板の表裏両面にそれぞれ対向して配置される一対のアノードと、
めっき電流の流れる方向及び電流値を変更可能で、基板の表面と該表面に対向して配置される一方のアノード、及び基板の裏面と該裏面に対向して配置される他方のアノードと間にめっき電流を供給するめっき電源と、
前記めっき電源を制御する制御部を有し、
前記制御部は、
金属析出に使用される順方向電流と金属溶解に使用される逆方向電流を交互に繰返すＰＲパルス電流を使用して、スルーホールの内部に均一な厚さの金属膜を形成することでスルーホールの径を実質的に小さくする第１段めっき、
金属析出に使用される順方向電流と金属溶解に使用される逆方向電流を交互に繰返すＰＲパルス電流であって、順方向電流値を前記第１段めっきで金属析出に使用される順方向電流の電流値よりも小さくしたＰＲパルス電流を使用して、スルーホールの内部に形成される金属膜でスルーホールの中央部を閉塞させる第２段めっき、及び
前記第２段めっきに使用されるＰＲパルスの順方向電流値よりも金属析出に使用されるめっき電流の電流値を上げて、金属膜のスルーホール内への埋込みを完了させる第３段めっきを順次行うように前記めっき電源を制御することを特徴とするスルーホールの電気めっき装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の一態様は、スルーホールを有する基板をめっき液中に浸漬させ、基板の表面と該表面と対向する位置にめっき液中に配置されるアノードとの間、及び基板の裏面と該裏面と対向する位置にめっき液中に配置されるアノードとの間にめっき電流を供給して、第１段めっき、第２段めっき、及び第３段めっきを連続して行うスルーホールの電気めっき方法であって、前記第１段めっきは、スルーホールの内部に均一な厚さの金属膜を形成することでスルーホールの径を小さくするめっきであり、前記第１段めっきで使用されるめっき電流は、金属析出に使用される順方向電流と金属溶解に使用される逆方向電流を交互に繰返すＰＲパルス電流であり、前記第２段めっきは、金属析出に使用される順方向電流と金属溶解に使用される逆方向電流を交互に繰返すＰＲパルス電流であって、順方向電流値を前記第１段めっきで金属析出に使用される順方向電流の電流値よりも小さくしたＰＲパルス電流を使用して、スルーホールの内部に形成される金属膜でスルーホールの中央部を閉塞させるめっきであり、前記第３段めっきは、前記第２段めっきに使用されるＰＲパルスの順方向電流値よりもめっき電流の値を上げて、金属膜のスルーホール内への埋込みを完了させるめっきであることを特徴とするスルーホールの電気めっき方法である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
前記第１段めっきは、金属析出に使用される順方向電流と金属溶解に使用される逆方向電流を交互に繰返すＰＲパルス電流を使用して行われる。
このように、ＰＲパルス電流を使用して第１段めっきを行うことで、金属析出速度が等しい直流電流を使用して第１段めっきを行った場合と比較して、スルーホールの開口部を含むスルーホールの内部、および基板フィールド部に、より均一な膜厚の金属膜を形成することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の好ましい一態様において、前記第３段めっきは、金属析出に使用される順方向電流と金属溶解に使用される逆方向電流を交互に繰返すＰＲパルス電流であって、順方向電流値が前記第２段めっきに使用されるＰＲパルス電流の順方向電流値よりも大きいＰＲパルス電流を使用して行われる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明の他の態様は、めっき液を内部に保持するめっき槽と、スルーホールを有する基板を該基板の表裏両面を露出させて保持し前記めっき槽内のめっき液に浸漬させる基板ホルダと、前記めっき液中に浸漬された前記基板の表裏両面にそれぞれ対向して配置される一対のアノードと、めっき電流の流れる方向及び電流値を変更可能で、基板の表面と該表面に対向して配置される一方のアノード、及び基板の裏面と該裏面に対向して配置される他方のアノードと間にめっき電流を供給するめっき電源と、前記めっき電源を制御する制御部を有し、前記制御部は、金属析出に使用される順方向電流と金属溶解に使用される逆方向電流を交互に繰返すＰＲパルス電流を使用して、スルーホールの内部に均一な厚さの金属膜を形成することでスルーホールの径を実質的に小さくする第１段めっき、金属析出に使用される順方向電流と金属溶解に使用される逆方向電流を交互に繰返すＰＲパルス電流であって、順方向電流値を前記第１段めっきで金属析出に使用される順方向電流の電流値よりも小さくしたＰＲパルス電流を使用して、スルーホールの内部に形成される金属膜でスルーホールの中央部を閉塞させる第２段めっき、及び前記第２段めっきに使用されるＰＲパルスの順方向電流値よりも金属析出に使用されるめっき電流の電流値を上げて、金属膜のスルーホール内への埋込みを完了させる第３段めっきを順次行うように前記めっき電源を制御することを特徴とするスルーホールの電気めっき装置である。