Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成28年3月8日(2016.3.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
車両のエンジンルーム内を車両側面付近で前後方向に延びるサイドメンバを備える車両前部構造において、
前記サイドメンバの車幅方向外側に立設され前記サイドメンバに接合される側面、天面および前面を有し該天面から車両前輪のサスペンションを懸垂するストラットタワーと、
車両のフロントピラーの根本から前方に延び前記ストラットタワーの車幅方向外側を通って該ストラットタワーの前面の上部に固定されるカウルサイドメンバとをさらに備え、
前記ストラットタワーは、その前面の車幅方向外側の端部から前方に延長され前記カウルサイドメンバと前記サイドメンバとの間で車幅方向外側に凹んだ凹形状を含む延長部をさらに有し、
当該車両前部構造は、前記ストラットタワーの前面に固定され前記延長部の凹形状を車内側から覆い前記サイドメンバに接合されるエクステンションパネルをさらに備え、前記カウルサイドメンバと前記サイドメンバとを繋ぐ閉断面を形成していることを特徴とする車両前部構造。
【請求項２】
前記エクステンションパネルは、その上縁から車外側に張り出した第１フランジを有し、
前記第１フランジは、前記カウルサイドメンバの先端から、該先端よりも前方に位置する前記サイドメンバまで繋がっていることを特徴とする請求項１に記載の車両前部構造。
【請求項３】
前記サイドメンバは、その上面から上方に張り出した第２フランジを有し、
前記第２フランジは、前記エクステンションパネルおよび前記ストラットタワーに接合されていることを特徴とする請求項２に記載の車両前部構造。
【請求項４】
当該車両前部構造は、前記エクステンションパネルから前記サイドメンバの上面を通り、該サイドメンバの車内側の側面まで延びて固定された第１エンジンマウント取付ブラケットおよび第２エンジンマウント取付ブラケットをさらに備え、
前記第１エンジンマウント取付ブラケットは、前記エクステンションパネルで覆われた前記延長部の凹形状と前記第２フランジとの交点付近に位置し、前記ストラットタワーの側面を覆い、
前記第２エンジンマウント取付ブラケットは、前記第１フランジと前記第２フランジとの交点付近に位置することを特徴とする請求項３に記載の車両前部構造。
【請求項５】
前記ストラットタワーは、前記側面と前記前面との境界に位置する湾曲部を有し、
前記湾曲部は、前記側面の上縁と前記前面の上縁とを繋ぐ円弧状の縁部を底面の一部とし、前記サイドメンバ付近に位置する角部を頂点とする円錐の一部を成すことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の車両前部構造。
【請求項６】
前記ストラットタワーの側面の車幅方向の位置は、前記エクステンションパネルと前記サイドメンバとの接合面と実質的に等しいことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の車両前部構造。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上記構成によれば、エクステンションパネルが延長部の凹形状を車内側から覆うことで、ストラットタワーの延長部に、カウルサイドメンバからサイドメンバに至る車両上下方向に延びる上記の閉断面が形成される。このため、カウルサイドメンバとサイドメンバとの間が閉断面によって補強され、車体剛性を向上させることができる。車体剛性が向上することで、例えばサイドメンバの上下方向の変形や、サイドメンバおよび車体の振動が抑えられ、さらにはストラットタワーの剛性も高くなるためストラットタワーの変形も抑制できる。また、ストラットタワーとエクステンションパネルとを用いて閉断面を形成しているので、新規に部材を追加することなく、重量増加も抑えことができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
ストラットタワー１１０は、側面１１６と前面１２０との境界に位置する湾曲部１４８を有する。なお境界は、図中鎖線で示している。湾曲部１４８は、側面１１６の上縁１５０ａと前面１２０の上縁１５０ｂとを繋ぐ円弧状の縁部１５２を含む。湾曲部１４８は、円弧状の縁部１５２を底面の一部とし、ストラットタワー１１０の側面１１６と前面１２０との間に形成された上記角部１３５を頂点とする円錐の一部を成している。なお角部１３５は、ストラットタワー１１０の下部に形成されているが、サイドメンバ１０６付近など下方に位置してもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
比較例の車両前部構造２００は、図４（ｂ）に示すように、ストラットタワー２０２の側面２０４の車幅方向の位置が、接合面２０６に対して寸法Ｌだけ車外側にオフセットしている。このため、車両前部構造２００では、例えばエクステンションパネル２０８が車両前側から見てストラットタワー２０２と重ならない脆弱部２１０が形成されてしまい、変形や振動が発生しやすくなってしまう。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
また、車両前部構造１００では、上記のようにストラットタワー１１０の延長部１３０とエクステンションパネル１１４とで、カウルサイドメンバ１１２からサイドメンバ１０６に至る車両上下方向に延びる閉断面１３４が形成され、車体剛性を向上させることができる。車体剛性が向上することで、例えばサイドメンバ１０６の上下方向の変形や、サイドメンバ１０６および車体の振動が抑えられ、さらにはストラットタワー１１０の剛性も高くなり、ストラットタワー１１０の変形も抑制できる。
【手続補正書】
【提出日】平成28年5月9日(2016.5.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
またさらに、フィルタ４６は、ケーシング４２の内部において上流側となる通風面４６ｃが外気導入口３８及び内気導入口４０に臨むように傾斜して配置されているため、前記外気導入口３８及び内気導入口４０から第２吸入口４８まで流通する空気の流通面積を大きく確保しつつ、該フィルタ４６を傾斜させずに直立させ配置した場合と比較して前記ケーシング４２の小型化を図ることが可能となり、それに伴って、車両用空調装置１０の小型化が可能となる。
【手続補正書】
【提出日】平成28年6月10日(2016.6.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクのパターンの像を基板に投影する投影光学系を用いて前記基板を露光する露光装置に用いられる前記マスクのパターンを情報処理装置による計算によって作成する作成方法において、
物体面に代表主パターンと代表補助パターンが配置されたときに像面に投影される代表主パターンの像の特性値を表す、前記代表補助パターンの各位置に対する前記代表主パターンの像の特性値の参照マップを取得するステップと、
取得した前記代表主パターンの参照マップを対象とする主パターンに適用して、補助パターンの各位置に対する前記主パターンの像の前記特性値のマップを計算するステップと、
前記主パターンの像の特性値のマップのデータを用いて前記補助パターンの位置を決定して、前記主パターン及び該決定された前記補助パターンを含むマスクのパターンを作成するステップとを有することを特徴とする作成方法。
【請求項２】
前記代表主パターン及び前記代表補助パターンのうち前記代表主パターンのみが前記投影光学系の物体面にあるときに像面に投影される前記代表主パターンの第１像を計算するステップと、
前記代表主パターン及び前記代表補助パターンが前記投影光学系の物体面にあるときに、前記代表補助パターンの位置を変えながら複数の位置のそれぞれについて、前記像面に投影される前記代表主パターンの第２像を計算するステップと、を有し、
前記第１像と前記第２像を用いて前記参照マップを求めることを特徴とする請求項１に記載の作成方法。
【請求項３】
前記像の特性値は、焦点深度、コントラスト、ＩＬＳ、ＮＩＬＳ、露光余裕度、プロセスウィンドウ、ＭＥＥＦ、及び、ＰＶバンドのうち少なくとも１つの値を示すことを特徴とする請求項１又は２に記載の作成方法。
【請求項４】
前記代表主パターンを点として計算された前記参照マップと、点よりも大きな寸法の前記主パターンと、の畳み込み積分をすることにより、前記主パターンの像の特性値のマップを求めることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の作成方法。
【請求項５】
前記代表主パターンを点よりも大きな寸法として計算された前記参照マップと、点とした前記主パターンと、の畳み込み積分をすることにより、前記主パターンの像の特性値のマップを求めることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項に記載の作成方法。
【請求項６】
前記代表補助パターンの振幅透過率は、前記代表主パターンの振幅透過率と前記マスクの背景の振幅透過率との間であることを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の作成方法。
【請求項７】
前記参照マップのある位置の特性値は、前記物体面に前記代表主パターンと前記位置に代表補助パターンが配置されたときに前記像面に投影される前記代表主パターンの像の特性値を表すことを特徴とする請求項１乃至６の何れか１項に記載の作成方法。
【請求項８】
請求項１乃至７の何れか１項に記載の作成方法を用いて、マスクのパターンのデータを作成するステップと、
作成されたマスクのパターンのデータを用いてマスクを製造するステップとを有することを特徴とするマスク製造方法。
【請求項９】
請求項８に記載のマスク製造方法を用いてマスクを製造するステップと、
製造されたマスクを用いて基板を露光するステップとを有することを特徴とする露光方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の露光方法を用いて基板を露光するステップと、
露光された基板を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項１１】
請求項１乃至７の何れか１項に記載の作成方法を情報処理装置に実行させるためのプログラム。
【請求項１２】
マスクのパターンの像を基板に投影する投影光学系を用いて前記基板を露光する露光装置に用いられる前記マスクのパターンを計算によって作成する処理部を有する情報処理装置において、
前記処理部は、物体面に代表主パターンと代表補助パターンが配置されたときに像面に投影される代表主パターンの像の特性値を表す、前記代表補助パターンの各位置に対する前記代表主パターンの像の特性値の参照マップを取得し、取得した前記代表主パターンの参照マップを対象とする主パターンに適用して、補助パターンの各位置に対する前記主パターンの像の特性値のマップを計算し、前記主パターンの像の特性値のマップのデータを用いて前記補助パターンの位置を決定して、前記主パターン及び該決定された前記補助パターンを含むマスクのパターンを作成することを特徴とする情報処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上記課題を解決する本発明の一側面としてのマスクパターンの作成方法は、マスクのパターンの像を基板に投影する投影光学系を用いて前記基板を露光する露光装置に用いられる前記マスクのパターンを情報処理装置による計算によって作成する作成方法において、物体面に代表主パターンと代表補助パターンが配置されたときに像面に投影される代表主パターンの像の特性値を表す、前記代表補助パターンの各位置に対する前記代表主パターンの像の特性値の参照マップを取得するステップと、取得した前記代表主パターンの参照マップを対象とする主パターンに適用して、補助パターンの位置に対する前記主パターンの像の前記特性値のマップを計算するステップと、前記主パターンの像の特性値のマップのデータを用いて前記補助パターンの位置を決定して、前記主パターン及び該決定された前記補助パターンを含むマスクのパターンを作成するステップとを有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
実施例５ではＭＥＥＦ（Ｍａｓｋ  Ｅｒｒｏｒ  Ｅｎｈａｎｃｅｍｅｎｔ  Ｆａｃｔｏｒ）の低減を目的とする。実施例４と重複する部分の説明は省略する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８６】
配置したＳＲＡＦ５３２、５３３の効果を調べるため、主パターン１００にＳＲＡＦ５３２、５３３を配置した場合と、配置しない場合とで、主パターン１００のＭＥＥＦを調べた。なお、ＭＥＥＦを調べる前に、ＳＲＡＦを配置した場合としない場合との両方に対してＯＰＣを行った。具体的には、デフォーカスがない状態で、各主図形１０２の像の幅が６６ｎｍになるように主図形１０２の各辺の位置と長さを調整した。そして、ＭＥＥＦを調べた場所は９つの主図形１０２それぞれのｘ方向とｙ方向の幅である。ＳＲＡＦを挿入しない場合のＭＥＥＦの最大は２．７で、ＳＲＡＦを挿入した場合は２．６となり、本実施例により、主パターンのＭＥＥＦが低減したことが分かる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2014240899.tif 000001
【手続補正書】
【提出日】平成28年6月8日(2016.6.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
直流光を生成する光源と、
前記直流光を変調する多値変調器と、
前記多値変調器の出力光を遮断する光遮断器と、
前記多値変調器を駆動する駆動信号を出力する駆動回路と、
前記多値変調器に対して与えられるバイアス電圧を前記多値変調器の前記出力光の光パワーに応じて制御するバイアス制御回路と、
前記光遮断器、前記駆動回路、及び前記バイアス制御回路を制御する制御回路と、を備え、
前記制御回路は、前記光遮断器が前記多値変調器の前記出力光を遮断したことに同期して、前記駆動回路から出力される前記駆動信号の振幅を減少させる、
光送信器。
【請求項２】
前記多値変調器は、１つ以上の半導体マッハツェンダ変調器を備え、
前記半導体マッハツェンダ変調器は、入力側において分岐した２つの光を通過させる第１及び第２の光導波路と、前記第１の光導波路に設けられた第１の電極と、前記第２の光導波路に設けられた第２の電極と、を有し、
前記バイアス制御回路は、前記第１及び第２の電極にそれぞれ個別の前記バイアス電圧を与え、
前記制御回路は、前記光遮断器が前記多値変調器の前記出力光を遮断したことに同期して、前記第１の光導波路を通過した光と前記第２の光導波路を通過した光との位相差がπとなるように前記バイアス電圧を調整するように、前記バイアス制御回路を制御する、
請求項１に記載の光送信器。
【請求項３】
前記多値変調器は、２つの前記半導体マッハツェンダ変調器を備え、
前記制御回路は、前記２つの前記半導体マッハツェンダ変調器のそれぞれについて時分割で、前記第１の光導波路を通過した光と前記第２の光導波路を通過した光との位相差がπとなるように前記バイアス電圧を調整するように、前記バイアス制御回路を制御する、
請求項２に記載の光送信器。
【請求項４】
前記制御回路の制御に応じて抵抗値が可変とされている可変抵抗素子をさらに備え、
前記多値変調器は、前記可変抵抗素子に接続され、前記多値変調器の前記出力光の光パワーを検出してモニタ電流を出力する光検出器をさらに備え、
前記バイアス制御回路は、前記モニタ電流が前記可変抵抗素子を流れることによって生じる電位を検知することによって、前記多値変調器の前記出力光の光パワーを検出し、
前記制御回路は、前記駆動回路から出力される前記駆動信号の振幅を減少させることに応じて、前記可変抵抗素子の抵抗値を増加させる、
請求項１記載の光送信器。
【請求項５】
前記駆動回路は、オープンコレクタ出力又はオープンドレイン出力を備える差動回路構成とされており、前記駆動信号は、交流結合で前記多値変調器に出力される、
請求項１〜４のいずれか一項に記載の光送信器。
【請求項６】
前記制御回路は、前記差動回路に含まれる電流源により規定される電流を減少させることにより、前記駆動回路から出力される駆動信号の振幅を減少させる、請求項５に記載の光送信器。
【請求項７】
多値変調器と、前記多値変調器の出力光を遮断する光遮断器と、前記多値変調器に対して与えられるバイアス電圧を前記多値変調器の前記出力光の光パワーに応じて制御するバイアス制御回路と、を備える光送信器の制御方法であって、
前記多値変調器は、１つ以上の半導体マッハツェンダ変調器を備え、
前記半導体マッハツェンダ変調器は、入力側において分岐した２つの光を通過させる第１及び第２の光導波路と、前記第１の光導波路に設けられた第１の電極と、前記第２の光導波路に設けられた第２の電極と、を有し、
前記バイアス制御回路は、前記第１及び第２の電極にそれぞれ個別の前記バイアス電圧を与え、
前記光遮断器が前記多値変調器の前記出力光を遮断したことに同期して、前記多値変調器を駆動する駆動信号の振幅を減少させるとともに、前記第１の光導波路を通過した光と前記第２の光導波路を通過した光との位相差がπとなるように、前記バイアス電圧を調整する、
光送信器の制御方法。
【請求項８】
前記光送信器は、電子制御によって抵抗値が可変とされている可変抵抗素子をさらに備え、
前記多値変調器は、前記可変抵抗素子に接続され、前記多値変調器の前記出力光の光パワーを検出してモニタ電流を出力する光検出器をさらに備え、
前記バイアス制御回路を用いて、前記モニタ電流が前記可変抵抗素子を流れることによって生じる電位を検知することによって、前記多値変調器の前記出力光の光パワーを検出し、
前記多値変調器を駆動する前記駆動信号の振幅を減少させることに応じて、前記可変抵抗素子の抵抗値を増加させる、
請求項７記載の光送信器の制御方法。
【請求項９】
前記多値変調器は、２つの前記半導体マッハツェンダ変調器を備え、
前記２つの前記半導体マッハツェンダ変調器のそれぞれについて時分割で、前記第１の光導波路を通過した光と前記第２の光導波路を通過した光との位相差がπとなるように前記バイアス電圧を調整する、
請求項７又は８に記載の光送信器の制御方法。
【手続補正書】
【提出日】平成28年4月21日(2016.4.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
有機溶剤を含有する原ガスから有機溶剤を分離することで原ガスを清浄化して排出するとともに、原ガスから分離した有機溶剤をキャリアガスを用いて回収する有機溶剤含有ガス処理システムであって、
キャリアガスが循環するように通流される循環経路と、
前記循環経路上に設けられ、有機溶剤を吸着および脱着する第１吸脱着素子を含む第１吸脱着処理装置と、
前記循環経路上に設けられ、有機溶剤を凝縮させることで有機溶剤を凝縮液として回収する凝縮回収装置と、
前記循環経路上に設けられ、有機溶剤を吸着および脱着する第２吸脱着素子を含む第２吸脱着処理装置とを備え、
前記第２吸脱着処理装置は、有機溶剤の吸着を行なう第１処理部と、有機溶剤の脱着を行なう第２処理部とを有し、
前記第２吸脱着素子は、その任意の部分が前記第１処理部と前記第２処理部との間で時間的に交互に移動するように構成され、
前記循環経路は、前記第１吸脱着処理装置から排出されたキャリアガスが前記凝縮回収装置および前記第１処理部をこの順で経由して再び前記第１吸脱着処理装置に供給されるように構成された主経路と、前記第１処理部から排出されたキャリアガスが前記第１吸脱着処理装置を経由することなく前記第２処理部を経由して再び前記凝縮回収装置に供給されるように構成された分岐経路と、前記第１処理部から排出されたキャリアガスを高温の状態に温度調節する温度調節手段とを有し、
前記第１吸脱着処理装置は、原ガスと、前記温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスとを、時間的に交互に前記第１吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を原ガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させ、
前記第２吸脱着処理装置は、前記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを前記第１処理部において前記第２吸脱着素子に接触させるとともに、前記温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスを前記第２処理部において前記第２吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を低温の状態にあるキャリアガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させ、
前記凝縮回収装置は、前記第１吸脱着処理装置および前記第２処理部から排出された高温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節することにより、有機溶剤を凝縮させる、有機溶剤含有ガス処理システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明に基づく有機溶剤含有ガス処理システムは、有機溶剤を含有する原ガスから有機溶剤を分離することで原ガスを清浄化して排出するとともに、原ガスから分離した有機溶剤をキャリアガスを用いて回収するものであって、キャリアガスが循環するように通流される循環経路と、上記循環経路上に設けられた第１吸脱着処理装置、凝縮回収装置および第２吸脱着処理装置とを備えている。上記第１吸脱着処理装置は、有機溶剤を吸着および脱着する第１吸脱着素子を含んでいる。上記凝縮回収装置は、有機溶剤を凝縮させることで有機溶剤を凝縮液として回収するものである。上記第２吸脱着処理装置は、有機溶剤を吸着および脱着する第２吸脱着素子を含んでいる。上記第２吸脱着処理装置は、有機溶剤の吸着を行なう第１処理部と、有機溶剤の脱着を行なう第２処理部とを有しており、上記第２吸脱着素子は、その任意の部分が上記第１処理部と上記第２処理部との間で時間的に交互に移動するように構成されている。上記循環経路は、上記第１吸脱着処理装置から排出されたキャリアガスが上記凝縮回収装置および上記第１処理部をこの順で経由して再び上記第１吸脱着処理装置に供給されるように構成された主経路と、上記第１処理部から排出されたキャリアガスが上記第１吸脱着処理装置を経由することなく上記第２処理部を経由して再び上記凝縮回収装置に供給されるように構成された分岐経路と、上記第１処理部から排出されたキャリアガスを高温の状態に温度調節する温度調節手段とを有している。上記第１吸脱着処理装置は、原ガスと、上記温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスとを、時間的に交互に上記第１吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を原ガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させる。上記第２吸脱着処理装置は、上記凝縮回収装置から排出された未凝縮の有機溶剤を含む低温の状態にあるキャリアガスを上記第１処理部において上記第２吸脱着素子に接触させるとともに、上記温度調節手段にて温度調節されて高温の状態にあるキャリアガスを上記第２処理部において上記第２吸脱着素子に接触させることにより、有機溶剤を低温の状態にあるキャリアガスから高温の状態にあるキャリアガスに移動させる。上記凝縮回収装置は、上記第１吸脱着処理装置および上記第２処理部から排出された高温の状態にあるキャリアガスを低温の状態に温度調節することにより、有機溶剤を凝縮させる。
【手続補正書】
【提出日】平成28年5月17日(2016.5.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
着色剤と、樹脂と、溶剤とを含有するカラーフィルタ用着色組成物であって、該着色剤が、下記一般式（１）で表わされる色素単量体（Ａ）と、顔料（Ｂ）とを含有し、顔料（Ｂ）が、フタロシアニン骨格を含むことを特徴とするカラーフィルタ用着色組成物。
一般式（１）
【化１】
2014240939.tif 000001
［一般式（１）中、Ｑは有機色素骨格を表す。
Ｘは、−Ｒ2−、−ＮＨ−Ｒ3−、−ＣＯＯ−Ｒ3−、または−Ｏ−ＣＯ−Ｒ3−を表す。
Ｒ1は、水素原子、またはメチル基を表す。
Ｒ2は、無置換のアルキレン基、または−Ｒ4−Ｏ−Ｒ5−を表す。
Ｒ3は、置換もしくは無置換のアルキレン基、置換もしくは無置換のアルケニレン基、置換もしくは無置換のアリーレン基、−Ｒ4−Ｏ−Ｒ5−、−Ｒ4−ＣＯ−Ｒ5−、−Ｒ4−Ｏ−ＣＯ−Ｒ5−、−Ｒ4−Ｏ−ＣＯＮＨ−Ｒ5−、または−Ｒ4−Ｏ−ＣＯ−Ｒ6−ＣＯ−Ｒ5−を表す。Ｒ4およびＲ6は、それぞれ独立に、置換もしくは無置換のアルキレン基、置換もしくは無置換のアルケニレン基、または置換もしくは無置換のアリーレン基を表す。Ｒ5は、置換もしくは無置換のアルキレン基、または−Ｏ−ＣＨ2−ＣＨＯＨ−ＣＨ2−を表す。］
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２２７】
【化２３】
2014240939.tif 000002
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２３４】
【表１】
2014240939.tif 000003
【手続補正書】
【提出日】平成28年5月17日(2016.5.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
インサート金属部材と樹脂部材とを一体化する方法としては、インサート金属部材側の接合面に物理的処理及び／又は化学的処理を施して、インサート金属部材と樹脂部材との密着性を向上させる方法、接着剤や両面テープを用いて接着する方法、インサート金属部材及び／又は樹脂部材に折り返し片や爪等の固定部材を設け、この固定部材を用いて両者を固着させる方法、ねじ等を用いて接合する方法等がある。これらの中でも、インサート金属部材側の接合面に物理的処理及び／又は化学的処理を施す方法や接着剤を用いる方法は、金属樹脂複合成形体を設計する自由度の点で有効である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
特に、インサート金属部材側の接合面に物理的処理及び／又は化学的処理を施す方法は、高価な接着剤を使用しない点において有利である。インサート金属部材側の接合面に物理的処理及び／又は化学的処理を施す方法としては、例えば、特許文献１に記載の方法が挙げられる。この方法は、インサート金属部材の表面における所望の範囲に粗面を形成可能であり、作業も簡便で、有効な方法の一つである。なお、特許文献１に記載の方法は、レーザーで上記表面に粗面を形成する方法である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
α，β−不飽和酸のグリシジルエステルとしては、特に限定されず、例えば、アクリル酸グリシジルエステル、メタクリル酸グリシジルエステル、エタクリル酸グリシジルエステル等が挙げられ、特にメタクリル酸グリシジルエステルが好ましい。α，β−不飽和酸のグリシジルエステルは、１種単独で使用することも、２種以上を併用することもできる。（Ｃ）エポキシ基含有オレフィン系共重合体がα，β−不飽和酸のグリシジルエステル由来の構成単位を含むことで、インサート金属部材と樹脂部材との間の接合強度が向上する効果が得られやすい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
（メタ）アクリル酸エステルとしては、特に限定されず、例えば、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸ｎ−プロピル、アクリル酸イソプロピル、アクリル酸ｎ−ブチル、アクリル酸ｎ−ヘキシル、アクリル酸ｎ−オクチル等のアクリル酸エステル；メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸ｎ−プロピル、メタクリル酸イソプロピル、メタクリル酸ｎ−ブチル、メタクリル酸イソブチル、メタクリル酸ｎ−アミル、メタクリル酸ｎ−オクチル等のメタクリル酸エステルが挙げられる。中でも、特にアクリル酸メチルが好ましい。（メタ）アクリル酸エステルは、１種単独で使用することも、２種以上を併用することもできる。（メタ）アクリル酸エステル由来の構成単位は、インサート金属部材と樹脂部材との間の接合強度の向上に寄与する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
α−オレフィン由来の構成単位とα，β−不飽和酸のグリシジルエステル由来の構成単位とを含むオレフィン系共重合体、及び、更に（メタ）アクリル酸エステル由来の構成単位を含むオレフィン系共重合体は、従来公知の方法で共重合を行うことにより製造することができる。例えば、通常よく知られたラジカル重合反応により共重合を行うことによって、上記共重合体を得ることができる。共重合体の種類は、特に問われず、例えば、ランダム共重合体であっても、ブロック共重合体であってもよい。また、上記オレフィン系共重合体に、例えば、ポリメタアクリル酸メチル、ポリメタアクリル酸エチル、ポリアクリル酸メチル、ポリアクリル酸エチル、ポリアクリル酸ブチル、ポリアクリル酸２−エチルヘキシル、ポリスチレン、ポリアクリロニトリル、アクリロニトリル・スチレン共重合体、アクリル酸ブチル・スチレン共重合体等が、分岐状に又は架橋構造的に化学結合したオレフィン系グラフト共重合体であってもよい。上記共重合体の種類としては、オレフィン系グラフト共重合体でないことが好ましく、ランダム共重合体及び／又はブロック共重合体であることがより好ましい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
表１及び表２に示す通り、（Ｂ）球状シリカ及び／又はガラスビーズと（Ｃ）エポキシ基含有オレフィン系共重合体とを併用し、各成分の含有量を所定の範囲に調整した実施例１〜１９では、金属樹脂複合成形体におけるインサート金属部材と樹脂部材との間の接合強度が強く、かつ、表面外観及び耐硫酸性に優れることが確認された。更に、（Ｃ）エポキシ基含有オレフィン系共重合体と（Ｄ）エポキシ基含有化合物とを併用し、これら各成分中のエポキシ基含有量を所定の範囲に調整した実施例１５〜１８の金属樹脂複合成形体では、インサート金属部材と樹脂部材との間で、接合強度が強く、かつ、耐剥離性に優れていた。
また、平均粒子径が１０μｍ以下の球状シリカ及び／又はガラスビーズのみを用いた場合、表面外観がより優れることが確認された。
【手続補正書】
【提出日】平成28年5月31日(2016.5.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の駆動装置は、移動体と、モータを駆動源として前記移動体を移動させる移動手段と、を備える駆動装置であって、前記移動体を基準位置から所定の移動範囲内を移動させるために、前記移動体に掛かる負荷の大きさが所定値より大きい場合でも前記移動体を移動可能なモータの第１の駆動力で、第１の駆動時間の間に前記モータを駆動する駆動手段と、前記移動体の移動量を測定する測定手段と、前記第１の駆動時間の間に前記測定手段によって測定された移動量が第１の閾値を越えない場合に、前記測定手段に異常が生じたと判定する判定手段と、を備えることを特徴とする。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動体と、モータを駆動源として前記移動体を移動させる移動手段と、を備える駆動装置であって、
前記移動体を基準位置から所定の移動範囲内を移動させるために、前記移動体に掛かる負荷の大きさが所定値より大きい場合でも前記移動体を移動可能なモータの第１の駆動力で、第１の駆動時間の間に前記モータを駆動する駆動手段と、
前記移動体の移動量を測定する測定手段と、
前記第１の駆動時間の間に前記測定手段によって測定された移動量が第１の閾値を越えない場合に、前記測定手段に異常が生じたと判定する判定手段と、
を備えることを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
前記駆動手段は、前記移動体を前記基準位置から前記所定の移動範囲の限界位置まで移動させるために、前記モータの第１の駆動力より小さいモータの第２の駆動力で、第２の時間の間に前記モータを駆動し、
前記判定手段は、前記第２の時間の間に前記測定手段によって測定された移動量が第２の閾値を越えない場合に、前記測定手段に異常が生じた又は前記移動体に過大な負荷が掛かったと判定することを特徴とする請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記駆動装置は、更に、前記移動体が前記所定の移動範囲内の前記基準位置に位置しているか否かを検出する検出手段を備え、
前記判定手段は、前記駆動手段による前記モータの駆動した後に、前記移動体が前記基準位置に位置していることを前記検出手段が検出した場合に、前記移動手段に異常が生じたと判定することを特徴とする請求項１または２に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記駆動手段は、前記基準位置に停止している前記移動体が所定時間内において所定の移動速度に達するように、前記モータを制御し、
前記判定手段は、前記移動体が前記所定の移動速度に達しない場合に、前記検出手段に異常が生じた又は前記移動体に過大な負荷が掛かったと判定することを特徴とする請求項３に記載の駆動装置。
【請求項５】
前記モータは、前記モータの動作位置に応じた信号を出力する信号出力手段を備え、
前記判定手段は、前記駆動手段による前記モータの駆動する前に前記信号出力手段から出力される前記信号に対応する前記モータの動作位置と、前記駆動手段による前記モータの駆動した後に前記信号出力手段から出力される前記信号に対応する前記モータの動作位置と、の間の前記モータの動作量が第３の閾値を越えない場合に、前記モータまたは前記モータを駆動するモータ駆動回路に異常が生じたと判定することを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項６】
前記駆動手段は、前記所定の移動範囲の端部側に複数の開始位置を定め、前記複数の開始位置のそれぞれの位置において、前記所定の移動範囲の一方から他方へ移動させるための駆動を行い、
前記判定手段は、前記複数の開始位置のそれぞれの位置において、前記移動体の移動量が第３の閾値を越えない場合に、前記移動体に過大な負荷が掛かったと判定することを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項７】
前記駆動装置は、更に、前記モータに供給される駆動電流を検出する電流検出手段を備え、
前記判定手段は、前記駆動手段による前記モータの駆動時に前記電流検出手段が検出する前記駆動電流が正常な範囲を越えている場合に、前記モータを駆動するモータ駆動回路に異常が生じたと判定することを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項８】
前記移動体の前記所定の移動範囲は、前記移動体がストッパに突き当たることにより規制されることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項９】
移動体と、モータを駆動源として前記移動体を移動させる移動手段と、所定の移動範囲内における前記移動体の移動量を測定する測定手段と、を備える駆動装置の異常を判別するための異常判別方法であって、
前記移動体を基準位置から前記所定の移動範囲内を移動させるために、前記移動体に掛かる負荷の大きさが所定値より大きいときにも前記移動体を移動可能な前記モータの第１の駆動力で、第１の時間の間に前記モータを駆動する駆動工程と、
前記駆動工程において、前記測定手段を用いて前記移動体の移動量を測定する測定工程と、
前記測定工程で測定された前記移動体の移動量が第１の閾値を越えない場合に、前記測定手段に異常が生じたと判定する判定工程と、
を含むことを特徴とする異常判別方法。
【請求項１０】
請求項１から８のいずれかに記載の駆動装置を備え、
前記移動体は、記録媒体に画像を記録するための記録ヘッドを搭載するキャリッジであることを特徴とする記録装置。
【手続補正書】
【提出日】平成28年2月23日(2016.2.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するために本発明は、エレベータの乗りかごに乗った乗客が行き先階を登録するために操作する行き先階ボタンと、前記乗りかご内に乗客が乗り込んだ後にドアを閉じるドア制御装置と、階毎に配置したかご呼びボタンとを備えたエレベータ装置において、前記ドア制御装置によって前記ドアが閉じられた後、一定時間経過しても前記行き先階ボタンが操作されないことを検出するボタン操作検出部と、前記ボタン操作検出部による検出があったとき前記かご呼びボタンによる他の階の呼び登録があるかどうかを検出する呼び登録判定部と、前記呼び登録判定部により他の階の呼び登録を検出したとき、前記乗りかご内の乗客に前記行き先階ボタンによる登録を促す報知を行う報知処理部を設けたことを特徴とする。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エレベータの乗りかごに乗った乗客が行き先階を登録するために操作する行き先階ボタンと、前記乗りかご内に乗客が乗り込んだ後にドアを閉じるドア制御装置と、階毎に配置したかご呼びボタンとを備えたエレベータ装置において、
前記ドア制御装置によって前記ドアが閉じられた後、一定時間経過しても前記行き先階ボタンが操作されないことを検出するボタン操作検出部と、前記ボタン操作検出部による検出があったとき前記かご呼びボタンによる他の階の呼び登録があるかどうかを検出する呼び登録判定部と、前記呼び登録判定部により他の階の呼び登録を検出したとき、前記乗りかご内の乗客に前記行き先階ボタンによる登録を促す報知を行う報知処理部を設けたことを特徴とするエレベータ装置。
【請求項２】
前記報知処理部は、前記乗りかご内の前記行き先階ボタンを使用し、定常時の使用と異なる報知に切り替えることを特徴とする請求項１に記載のエレベータ装置。
【請求項３】
前記報知処理部は、前記乗りかご内の音声案内装置を使用し、定常時の使用と異なる報知に切り替えることを特徴とする請求項１に記載のエレベータ装置。
【手続補正書】
【提出日】平成28年2月25日(2016.2.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
扁平箱型の電池容器内に正負の電極を捲回した電極群が収容配置された複数の角形二次電池を、厚さ方向にスペーサを介在させて積層させた組電池であって、
前記スペーサは、前記電池容器の幅広側面の幅方向端部領域に当接する当接部と、前記幅広側面の幅方向中間領域に対向する対向部と、前記幅広側面の幅方向において前記対向部の両端に隣接する傾斜面とを有し、
前記当接部と前記対向部は、前記傾斜面を介して前記幅広側面の幅方向に並んでおり、
前記傾斜面は、前記幅方向端部領域から前記幅方向中間領域に向かう方向において、前記スペーサの厚みが減少するように傾斜していることを特徴とする組電池。
【請求項２】
前記幅広側面の幅方向に沿う前記当接部の長さは、前記幅広側面の高さ方向中間領域から高さ方向端部領域に向かう方向において漸次長くなることを特徴とする請求項１に記載の組電池。
【請求項３】
前記幅広側面の幅方向に沿う前記対向部の長さは、前記幅広側面の高さ方向端部領域から高さ方向中間領域に向かう方向において漸次長くなることを特徴とする請求項１に記載の組電池。
【請求項４】
前記スペーサは、前記高さ方向端部領域に対向する位置に前記当接部、前記傾斜面および前記対向部を有し、前記高さ方向中間領域に対向する位置に前記傾斜面および前記対向部を有することを特徴とする請求項３に記載の組電池。
【請求項５】
前記スペーサは、前記高さ方向端部領域に対向する位置に前記当接部および前記対向部を有し、前記高さ方向中間領域に対向する位置に前記傾斜面および前記対向部を有することを特徴とする請求項３に記載の組電池。
【請求項６】
前記スペーサは、前記幅広側面の高さ方向において複数に分割されていることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の組電池。
【手続補正書】
【提出日】平成28年8月1日(2016.8.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】
体積抵抗率が、１．０×１０-3〜８．０×１０-3 Ω・ｃｍであることを特徴とする請求項４または５に記載の導電性粉体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
また、本発明は、体積抵抗率が、１．０×１０-3〜８．０×１０-3 Ω・ｃｍであることを特徴とする前記導電性粉体に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
導電性粉体の嵩密度は、0.01〜3.5g/ｍLの範囲内であることが好ましい。導電性粉体の嵩密度がこの範囲内であると、リチウム遷移金属複合酸化物粒子（Ｃ）の表面上に、十分な量の炭素繊維（Ｅ）が成長できるため、導電性が向上すると共に、組成物として使用する際の分散性も良好となる。また、導電性粉体の体積抵抗率は、１．０×１０-3〜８．０×１０-3 Ω・ｃｍの範囲内であることが好ましい。導電性粉体の体積抵抗率がこの範囲内であると、良好な導電性が得られる。尚、導電性粉体の製造方法については後述する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
表２に、実施例１〜８で得られた導電性粉体の体積抵抗率、嵩密度の測定結果を示す。導電性評価は、体積抵抗率が１０-3(Ω・ｃｍ)以下の場合を○（良）、１０-2(Ω・ｃｍ)以上の場合を×（不良）とした。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
表４に、比較例１〜２で得られた導電性粉体の体積抵抗率、嵩密度の測定結果を示す。導電性評価は、体積抵抗率が１０-3(Ω・ｃｍ)以下の場合を○（良）、１０-2(Ω・ｃｍ)以上の場合を×（不良）とした。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
表６に、参考例１〜４で得られた導電性粉体の体積抵抗率、嵩密度の測定結果を示す。導電性評価は、体積抵抗率が１０-3(Ω・ｃｍ)以下の場合を○（良）、１０-2(Ω・ｃｍ)以上の場合を×（不良）とした。
【手続補正書】
【提出日】平成28年8月1日(2016.8.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明に係る照明ランプは、口金部と、口金部が接続される第１の筐体部と、第１の筐体部が収容される第２の筐体部と、第２の筐体部の口金部とは反対側の外側面に取り付けられた光源と、第１の筐体部内に収容され、口金部を介して供給される商用電力を駆動電力に変換するとともに光源に駆動電力を供給することによって、光源を点灯させる点灯回路と、を有し、第１の筐体部の外側面と、第１の筐体部の外側面に対向する第２の筐体部の内側面との間には空隙が形成されているものである。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
口金部と、
前記口金部が接続される第１の筐体部と、
前記第１の筐体部が収容される第２の筐体部と、
前記第２の筐体部の前記口金部とは反対側の外側面に取り付けられた光源と、
前記第１の筐体部内に収容され、前記口金部を介して供給される商用電力を駆動電力に変換するとともに前記光源に前記駆動電力を供給することによって、前記光源を点灯させる点灯回路と、
を有し、
前記第１の筐体部の外側面と、前記第１の筐体部の外側面に対向する前記第２の筐体部の内側面との間には空隙が形成されている照明ランプ。
【請求項２】
前記第２の筐体部は、
前記光源が取り付けられる取付部と、
前記取付部側から前記第１の筐体部側にかけて延出するように形成された筒状の筒状部とを有し、
前記取付部との間及び前記筒状部の内側面との間に前記空隙が形成されている請求項１に記載の照明ランプ。
【請求項３】
前記第１の筐体部と前記第２の筐体部とを接続する固定手段を有し、
前記取付部には、
前記固定手段が挿入される開口が形成され、
前記第１の筐体部は、
端部から前記取付部の前記開口側に向かって突出するように形成され、前記固定手段が挿入されるボス部を有する請求項２に記載の照明ランプ。
【請求項４】
前記筒状部は、
前記第１の筐体部との間に形成される前記空隙が、前記取付部側から前記第１の筐体部側に向かうにしたがって小さくなるように形成されている請求項２又は３に記載の照明ランプ。
【請求項５】
前記第１の筐体部は、
水平断面視したときにおいて直線状に形成されている平面部と、
水平断面視したときにおいて前記平面部を弦とする円弧状に形成されている曲面部とを有している請求項１〜４のいずれか一項に記載の照明ランプ。
【請求項６】
前記第１の筐体部及び前記第２の筐体部は、
前記曲面部と前記筒状部とが当接し、前記平面部と前記筒状部との間に前記空隙が形成されるように構成されている請求項５に記載の照明ランプ。
【請求項７】
前記第１の筐体部は、
水平断面視したときにおいて外側面が円形状に形成され、
前記第２の筐体部は、
水平断面視したときにおいて前記内側面が正多角形状に形成されている請求項１〜４のいずれか一項に記載の照明ランプ。
【請求項８】
前記第１の筐体部は、
水平断面視したときにおいて外側面が正多角形状に形成され、
前記第２の筐体部は、
水平断面視したときにおいて前記内側面が円形状に形成されている請求項１〜４のいずれか一項に記載の照明ランプ。
【請求項９】
前記第１の筐体部は、絶縁性素材で構成され、
前記第２の筐体部は、熱伝導性素材で構成された請求項１〜８のいずれか一項に記載の照明ランプ。
【請求項１０】
前記第２の筐体部は、
一方側の端部の内側面に形成され、前記第１の筐体部と連結するのに利用される第１の係止部を有し、
前記第１の筐体部は、
前記第１の係止部の対向位置に形成され、前記第１の係止部に連結する第２の係止部を有する請求項１〜９のいずれか一項に記載の照明ランプ。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか一項に記載の照明ランプを有する照明装置。
【手続補正書】
【提出日】平成28年9月20日(2016.9.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記課題を解決するために、本願発明によれば、Ｘ線を試料に照射し、試料を透過したＸ線を検出することにより試料の磁気特性を測定する方法であって、Ｘ線を透過させる方向の試料の厚みが５０〜１０００ｎｍであることを特徴とする方法が提供される。
さらに本発明によれば、上記の磁気特性を測定する方法に用いられる磁気特性測定装置であって、
Ｘ線源から出射される左円偏光Ｘ線及び右円偏光Ｘ線を単色化するＸ線単色化部と、
前記Ｘ線単色化部によって単色化されたＸ線を入射するアパーチャースリット部と、
前記アパーチャースリット部から放射状に放射されるＸ線を受光し回折させて試料上の一点にＸ線を集光させるＦＺＰを載荷するＦＺＰステージと、
前記試料の手前に置かれ、前記ＦＺＰからの回折Ｘ線に含まれるＸ線を選択的に取り出すＯＳＡを載荷するＯＳＡステージと、
前記試料を載荷する試料ステージと、
前記試料ステージに載荷された試料を透過するＸ線を検出するＸ線検出器と
からなり、
Ｘ線源から出射される左円偏光Ｘ線及び右円偏光Ｘ線が前記Ｘ線単色化部に入れられて単色化され、前記アパーチャースリット部に入れられ、前記アパーチャースリット部から放射状に放射されるＸ線がＦＺＰによって受光され回折され、前記ＯＳＡに入れられ、前記回折Ｘ線に含まれるＸ線が選択的に取り出され、前記試料上の一点に集光され、試料を透過したＸ線が前記Ｘ線検出器に入れられ、Ｘ線磁気二色性を検出し、これにより試料の磁気特性が測定されることを特徴とする磁気特性測定装置が提供される。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本願発明によれば、試料を５０〜１０００ｎｍという、測定可能なＸ線の透過率を達成し、あるいは結晶粒径厚さに対応する厚さに加工することにより、高精度で透過Ｘ線を検出し、単一結晶粒の磁気特性を測定することができる。試料上の１０ｎｍ程度の一点にＸ線を集光させることが、多結晶性磁性試料のバルク体に含まれる結晶粒単位での高精度の磁気特性測定を可能にする。試料上の１０ｎｍ程度の一点にＸ線を集光させることは、ピエゾ駆動のＦＺＰステージ、ピエゾ駆動のＯＳＡステージ、ピエゾ駆動の試料ステージ及びピエゾ駆動のＸ線検出器ステージを用い、ｘ、ｙ、ｚの走査の３軸制御を行い、これらの位置制御、位置再現をナノメートル単位で行うことによって、はじめて達成することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線を試料に照射し、試料を透過したＸ線を検出することにより試料の磁気特性を測定する方法であって、Ｘ線を透過させる方向の試料の厚みが５０〜１０００ｎｍであることを特徴とする方法。
【請求項２】
前記Ｘ線が円偏光Ｘ線である、請求項１記載の方法。
【請求項３】
試料の同一の部位に右回り円偏光Ｘ線と左回り円偏光Ｘ線を入射させ、この右回り円偏光と左回り円偏光の入射におけるＸ線の吸収の差である磁気円二色性を検出し、これにより試料の磁気特性を測定することを特徴とする、請求項２記載の方法。
【請求項４】
偏光の向きに対し試料の磁場の方向とその反対の方向のＸ線の吸収の差を検出し、これにより試料の磁気特性を測定することを特徴とする、請求項２記載の方法。
【請求項５】
前記試料が、集束イオンビームを用いてエッチングすることにより、５０〜１０００ｎｍの厚みに加工される、請求項１〜４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
磁場中において測定を行うことを特徴とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の磁気特性を測定する方法に用いられる磁気特性測定装置であって、
Ｘ線源から出射される左円偏光Ｘ線及び右円偏光Ｘ線を単色化するＸ線単色化部と、
前記Ｘ線単色化部によって単色化されたＸ線を入射するアパーチャースリット部と、
前記アパーチャースリット部から放射状に放射されるＸ線を受光し回折させて試料上の一点にＸ線を集光させるＦＺＰを載荷するＦＺＰステージと、
前記試料の手前に置かれ、前記ＦＺＰからの回折Ｘ線に含まれるＸ線を選択的に取り出すＯＳＡを載荷するＯＳＡステージと、
前記試料を載荷する試料ステージと、
前記試料ステージに載荷された試料を透過するＸ線を検出するＸ線検出器と
からなり、
Ｘ線源から出射される左円偏光Ｘ線及び右円偏光Ｘ線が前記Ｘ線単色化部に入れられて単色化され、前記アパーチャースリット部に入れられ、前記アパーチャースリット部から放射状に放射されるＸ線がＦＺＰによって受光され回折され、前記ＯＳＡに入れられ、前記回折Ｘ線に含まれるＸ線が選択的に取り出され、前記試料上の一点に集光され、試料を透過したＸ線が前記Ｘ線検出器に入れられ、Ｘ線磁気二色性を検出し、これにより試料の磁気特性が測定されることを特徴とする磁気特性測定装置。
【請求項８】
前記試料ステージがＸ線を透過させる方向の厚みとして１５０ｎｍ〜１０００ｎｍを有する多結晶性磁性試料を載荷する試料ステージであり、前記ＦＺＰを載荷するＦＺＰステージ、前記ＯＳＡを載荷するＯＳＡステージ、前記試料ステージ及び前記Ｘ線検出器がそれぞれｘ、ｙ、ｚの走査の３軸制御が可能であり、それぞれの位置制御、位置再現をナノメートル単位で行うピエゾ駆動であり、それぞれの位置制御、位置再現がナノメートル単位で行われることによって、前記回折Ｘ線が前記試料上の１０ｎｍ程度の一点に集光され、Ｘ線磁気円二色性の二次元データを検出し、これにより、多結晶性磁性試料のバルク体に含まれる結晶粒単位での高精度の二次元磁気特性の測定を行うことを特徴とする、請求項７に記載の磁気特性測定装置。
【請求項９】
前記Ｘ線検出器が磁場中での使用が可能な光ファイバー及びダイナミックレンジを持つアバランシェフォトダイオードを有するＸ線検出器であり、真空中かつ磁場中での高効率なＸ線検出を行うことを特徴とする、請求項７又は８に記載の磁気特性測定装置。
【請求項１０】
前記磁気特性測定装置を構成する要素のすべてが非磁性材料製の要素であり、前記試料に磁場を印加する超伝導マグネットが用いられることによって、真空中かつ磁場中での高効率なＸ線検出を行うことを特徴とする、請求項７〜９のいずれか１項に記載の磁気特性測定装置。