【事件の表示】
　特願２０１２−１６５３０１「プローブユニット、基板検査装置およびプローブユニット製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２６年　２月　６日出願公開、特開２０１４−　２５７６９、請求項の数（５）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成２４年７月２６日の出願であって、平成２８年３月１６日付けで拒絶理由通知がされ、同年７月２７日付けで手続補正がされ、同年８月１７日付けで拒絶査定（原査定）がされ、これに対し、同年１１月２２日に拒絶査定不服審判の請求がされると同時に手続補正がされたものである。
第２　原査定の概要
　原査定（平成２８年８月１７日付け拒絶査定）の概要は、次のとおりである。
　本願請求項１−５に係る発明は、以下の引用文献１−６に基づいて、その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下「当業者」という。）が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
引用文献等一覧
　１.特開２００８−２８６７８８号公報
　２.特開２０１０−１５６６４８号公報
　３.特開２０１２−７８２９７号公報
　４.特開２００２−９０４１０号公報
　５.特開２０１０−６６０５１号公報
　６.特開２００８−２９８５５５号公報
第３　本願発明
　本願請求項１−５に係る発明（以下、それぞれ「本願発明１」−「本願発明５」という。）は、平成２８年１１月２２日付けの手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１−５に記載された事項により特定される発明であり、以下のとおりの発明である。
「【請求項１】　基板の導体部に先端部を接触させて電気信号の入出力を行うための複数のプローブと、当該プローブを支持する支持部とを備えたプローブユニットであって、
　前記支持部は、第１の支持孔を有して当該第１の支持孔に挿通させた前記先端部を支持する第１の支持板と、第２の支持孔を有して当該第２の支持孔に挿通させた前記プローブの基端部を支持する第２の支持板と、第３の支持孔を有して当該第３の支持孔に挿通させた前記基端部を支持する第３の支持板とを備えて当該各支持板がこの順序で対向するように配置されると共に、前記第１の支持板と前記第２の支持板との間に配設されたスペーサを備えて構成され、
　前記各支持板は、前記第２の支持板および前記第３の支持板が当接または近接した状態で前記第１の支持板と当該第２の支持板とが離間すると共に当該各支持板の積層方向に対して傾斜する傾斜方向に沿って前記第１の支持孔、前記第２の支持孔および前記第３の支持孔の各開口面が仮想直線上で対向する姿勢で前記スペーサに固定され、
　前記プローブは、前記先端部が前記第１の支持孔に沿って延在すると共に当該先端部を除く部分が前記傾斜方向に沿って延在する状態に維持され、
　前記第１の支持板には、第１の位置決めピンおよび第２の位置決めピンを挿通可能な第１の挿通孔が形成され、
　前記第２の支持板および前記第３の支持板には、前記第１の位置決めピンを挿通可能な第２の挿通孔と第３の位置決めピンを挿通可能な第３の挿通孔とがそれぞれ形成され、
　前記スペーサには、前記第２の位置決めピンを挿入可能な第１の挿入孔が前記第１の支持板に対向する面に形成されると共に、第３の位置決めピンを挿入可能な第２の挿入孔が前記第２の支持板に対向する面に形成され、
　前記第１の挿通孔および前記第２の挿通孔は、前記各支持板に対して垂直な垂直方向に沿って前記第１の支持孔、前記第２の支持孔および前記第３の支持孔の各開口面が仮想直線上で対向するように当該各支持板が互いに当接または近接して積み重ねられたときに当該各挿通孔の中心軸が同軸となる位置にそれぞれ形成され、
　前記第１の挿入孔は、前記各支持板が前記姿勢のときに当該第１の挿入孔の中心軸と前記第１の挿通孔の中心軸とが同軸となる位置に形成され、
　前記第３の挿通孔および前記第２の挿入孔は、前記各支持板が前記姿勢のときに当該第３の挿通孔の中心軸と当該第２の挿入孔の中心軸とが同軸となる位置にそれぞれ形成され、
　前記第１の支持板、前記第２の支持板および前記第３の支持板は、平面視四角形にそれぞれ形成され、
　前記第１の挿通孔は、前記第１の支持板における一対の対角位置に１つずつ形成され、
　前記第２の挿通孔は、前記第１の支持板の前記各対角位置に対向する前記第２の支持板における一対の対角位置に１つずつ形成されると共に、前記第１の支持板の前記各対角位置に対向する前記第３の支持板における一対の対角位置に１つずつ形成され、
　前記第３の挿通孔は、前記第２の支持板における前記一対の対角位置とは異なる他の一対の対角位置に１つずつ形成されると共に、前記第３の支持板における前記一対の対角位置とは異なる他の一対の対角位置に１つずつ形成されているプローブユニット。
　【請求項２】　前記スペーサは、前記各プローブを取り囲む平面視コ字状に形成されている請求項１記載のプローブユニット。
　【請求項３】　請求項１または２記載のプローブユニットと、基板の導体部に接触させた前記プローブユニットの前記プローブを介して入力した電気信号に基づいて当該基板を検査する検査部とを備えている基板検査装置。
　【請求項４】　基板の導体部に先端部を接触させて電気信号の入出力を行うための複数のプローブと、当該プローブを支持する支持部とを備えたプローブユニットを製造するプローブユニット製造方法であって、
　第１の支持孔を有して当該第１の支持孔に挿通させた前記先端部を支持する第１の支持板と、第２の支持孔を有して当該第２の支持孔に挿通させた前記プローブの基端部を支持する第２の支持板と、第３の支持孔を有して当該第３の支持孔に挿通させた前記基端部を支持する第３の支持板とを備えて当該各支持板がこの順序で対向するように配置されると共に、前記第１の支持板と前記第２の支持板との間に配設されたスペーサを備えて構成され、前記第１の支持板、前記第２の支持板および前記第３の支持板が平面視四角形にそれぞれ形成された前記支持部を用いて、
　前記第１の支持板における一対の対角位置に１つずつ形成されている第１の挿通孔と、前記第１の支持板の前記各対角位置に対向する前記第２の支持板における一対の対角位置に１つずつ形成されると共に当該第１の支持板の当該各対角位置に対向する前記第３の支持板における一対の対角位置に１つずつ形成されている第２の挿通孔とに第１の位置決めピンを挿通させて、前記各支持板に対して垂直な垂直方向に沿って前記第１の支持孔、前記第２の支持孔および前記第３の支持孔の各開口面が仮想直線上で対向するように前記各支持板を互いに当接または近接させて積み重ねた状態を維持し、その状態で前記各支持孔に前記プローブを挿通させ、その後に、
　前記第２の支持板および前記第３の支持板を当接または近接させた状態で前記第１の支持板と当該第２の支持板とを離間させ、前記第１の位置決めピンを引き抜き、前記第１の支持板と前記第２の支持板との間に前記スペーサを配設し、
　前記第１の挿通孔と前記スペーサにおける前記第１の支持板に対向する面に形成されている第１の挿入孔とに第２の位置決めピンを挿入すると共に、前記第２の支持板における前記一対の対角位置とは異なる他の一対の対角位置に１つずつ形成されかつ前記第３の支持板における前記一対の対角位置とは異なる他の一対の対角位置に１つずつ形成されている第３の挿通孔と前記スペーサにおける当該第２の支持板に対向する面に形成されている第２の挿入孔とに第３の位置決めピンを挿入して、当該各支持板の積層方向に対して傾斜する傾斜方向に沿って前記第１の支持孔、前記第２の支持孔および前記第３の支持孔の各開口面が仮想直線上で対向する姿勢に当該各支持板を移行させ、その状態で前記各支持板を前記スペーサに固定して前記先端部が前記第１の支持孔に沿って延在すると共に当該先端部を除く部分が前記傾斜方向に沿って延在する状態に前記プローブを維持させて前記プローブユニットを製造するプローブユニット製造方法。
　【請求項５】　平面視コ字状に形成された前記スペーサを前記各プローブを取り囲むように前記第１の支持板と前記第２の支持板との間に配設する請求項４記載のプローブユニット製造方法。」　
第４　引用文献、引用発明等
１　引用文献１について
　原査定の拒絶の理由に引用された引用文献１には、図とともに次の事項が記載されている（下線は、当審による。）。
「【００１２】
　本発明に係る一実施形態の
基板検査用治具１は、接触子２、接触子保持体３と接続電極体４を有してなる
　接触子２は、可撓性及び導電性を有し、針状や長尺状などの棒状に形成されている。この接触子２は、一方が被検査基板の検査点に圧接され、他方が後述する接続電極部と接触される。このため、接触子２は検査信号処理部１０４からの電気信号を検査点に送信するとともに、検査点からの電気信号を検査信号処理部１０４へ送信することができる。
　この接触子２は、可撓性を有しているため、後述する接触子保持体３の内部に形成される空間で、接触子２の長軸方向に対して直角方向に撓む（バックリングする）ことになる。このため、この接触子２が使用される場合には、被検査基板の検査点や接続電極部からの荷重を受けて撓み、この撓みにより各接触部に対して押圧力を生じることになる。」
「【００１７】
　
接触子保持体３は、
複数の接触子２を保持するために、第一案内板３１と第二案内板３２を有してなる
　図２で示される接触子保持体３は、紙面奥手側に第一案内板３１が配置され、紙面手前側に第二案内板３２が配置され、
第一案内板３１は接触子２の先端を検査点へ案内し、第二保持体３２は接触子２の他端を接続電極部４へ案内する
　
第一案内板３１は、所定の接触子２を所定検査点へ案内するための第一案内孔３３を有している
　
第二案内孔３２は、所定の接触子２を所定接続電極部へ案内するための第二案内孔３４を有している。
　このため、接触子２を抜き差しする場合には、例えば、第二案内板３２側を上方に第一案内板３１を下方に向けて配置して、第二案内板３２の第二案内孔３４より接触子２の抜き差しを行う。
【００１８】
　
第一案内板３１と第二案内板３２は、支柱３５ａを介して、所定間隔を有して配置される
　この支柱３５ａによる空間の長さは、使用者により適宜設定される。
　尚、図２の図には、符号３５ｂで示される支柱が示されている。この支柱３５ｂは後述する第二案内板３２の3つの板部材を把持するための支柱である。
【００１９】
　図２では、第一案内板３１が三枚の板部材により形成されている。これらの板部材は、第一案内孔３３を形成するための板部材と、支柱３５ａに固着するための螺子穴を形成する板部材として設けられている。これら板部材の数は、特に限定されるものではなく、少なくとも上記の機能を有するのであれば一枚又は二枚であっても、三枚以上でも構わない。」
「【００２３】
　また、図２では、第二案内板３２は三枚の板部材により形成されている。これらの板部材は、第二案内孔３４を形成するための板部材と、支柱３５ａを固着するための螺子穴を形成するための板部材として設けられている。これら板部材の数は、特に限定されるものではなく、少なくとも上記の機能を有するのであれば一枚又は二枚であっても三枚以上でも構わない。
　図５には、第二案内板３２と接触子２の位置関係を示す概略拡大断面図である。
　この図５では、第二案内板３２は、内側案内板３２１、中側案内板３２２と外側案内板３２３を有してなる。
　
第二案内板３２は、内側案内板３２１、中側案内板３２２と外側案内板３２３を有している。内側案内板３２１は、複数の接触子２全てを含む孔３４１が形成されており、この内側案内板３２１は、第一案内板３１と接続する支柱３５を保持するために用いられている
　
中側案内板３２２は、内側案内板３２１よりも僅かに板部材の平面方向にスライドするように形成されている。この中側案内板３２２は、小径案内孔３４２ａと大径案内孔３４２ｂを有してなる。
　外側案内板３２３は、接触子２の端部を接続電極部へ案内する案内孔が設けられている
　第二案内孔３４の径は、接触子２の絶縁部２３よりも大きい径を有している。このため、接触子２をこの第二案内孔３４を介して抜き差しすることができる。」
「【００２５】
　
第二案内板３２は、上記の如く、複数の板部材から形成されるとともに、これら板部材が接触子２に対して直角方向（図２では左右方向）に夫々所定長さ分だけずらして配置される。
　このように複数の板部材を徐々にずらして配置することにより、第二案内孔３４が傾斜して形成されることになる
　またさらに、接触子２が接触子保持体３に保持された際に、接触子２が軽く撓むことになり、板部材と接触抵抗が生じることになり接触子２が安定性を有して保持されることになる。
　図５では、内側案内板３４１は、第一案内板３１に対して平面方向には移動せず固定されている。中側案内板３４２は、第二案内板３２の平面方向に僅かにスライドする。さらに、外側案内板３４３は、中側案内板３４２よりも僅かに該平面方向にスライドする。つまり、
外側案内孔３４３
「【００４０】
　次に、本発明の基板検査用治具に接触子２を取り付ける場合を説明する。
　図１２は、接触子を取り付ける場合を示す工程を表す。
　まず、第一案内孔３３と第二案内孔３４が整合するように配置する。このとき、保護部３６は、第二案内板３２に当接させておく。
　図１２の実施形態で示される場合には、
第一案内孔３３と第二案内孔３４が垂直方向に一列に配置されるように配置する
　この場合、第二案内板３２が上側に配置され、第一案内板３１が下側に配置されている。この配置位置は特に限定されるものではないが、第一案内孔３３から接触子２が抜け落ちることがないために、このように配置されることが好ましい。
【００４１】
　次に、接触子２を第二案内孔３４から挿入する（図１２（ｂ）参照）。
　この場合、上記の如く、第一案内孔３３は接触子２の絶縁部２３の径よりも小さく形成されているので、接触子２が抜け落ちることがない。
　
接触子２が挿入されると、第二案内板３２と保護部３６を同時にスライドさせる
　このとき、第二案内板３２の第二案内孔３４には接触子２の絶縁部２３が係合することになる（図５参照）。
　つまり、
接触子２は、第二案内板３２と保護部３６がスライドすることにより、湾曲することになり、接触子２は可撓性であるため、第一案内孔３３を形成する第一案内板３１の側部と、第二案内孔３４を形成する第二案内板３２の側部（表面部）と係合することになる
　このとき、
スライドさせる量は、上記の如く、第二案内板３２の外側板部材のほうが大きくスライドさせることになる
【００４２】
　次に、保護部３６を第二案内板３２から突出させる（図１２（ｄ）参照）。
　保護部３６を突出させることにより、接触子２の端部が保護されることになる。
　このようにして、接触子２を取り付けることができ、また、取り外す場合には、この逆の手順を行う。」
　したがって、引用文献１には、次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる（なお、「第二案内板３２」を「第二保持体３２」と記載している等の誤記は、適宜訂正している。）。
「接触子２、接触子保持体３と接続電極体４を有する基板検査用治具１であって、（【００１２】）
　接触子保持体３は、複数の接触子２を保持するために、第一案内板３１と第二案内板３２を有し、
　第一案内板３１は接触子２の先端を検査点へ案内し、第二案内板３２は接触子２の他端を接続電極部４へ案内するものであり、
　第一案内板３１は、所定の接触子２を所定検査点へ案内するための第一案内孔３３を有し、
　第二案内板３２は、所定の接触子２を所定接続電極部へ案内するための第二案内孔３４を有し、（【００１７】）
　第一案内板３１と第二案内板３２は、支柱３５ａを介して、所定間隔を有して配置され、（【００１８】）
　第二案内板３２は、内側案内板３２１、中側案内板３２２と外側案内板３２３を有し、
　内側案内板３２１は、複数の接触子２全てを含む孔３４１が形成され、第一案内板３１と接続する支柱３５を保持するために用いられ、
　中側案内板３２２は、内側案内板３２１よりも僅かに板部材の平面方向にスライドするように形成され、小径案内孔３４２ａと大径案内孔３４２ｂを有し、
　外側案内板３２３は、接触子２の端部を接続電極部へ案内する外側案内孔３４３が設けられ、（【００２３】）
　第二案内板３２の各部材（内側案内板３２１、中側案内板３２２、外側案内板３２３）が接触子２に対して直角方向に夫々所定長さ分だけずらして配置されることにより、第二案内孔３４が傾斜して形成されている（【００２５】）基板検査用治具１。」
２　引用文献２について
　また、原査定の拒絶の理由に引用された引用文献２の
「【００４２】　最初に、
プローブ先端側プレート２１、中間プレート２２及びプローブ後端側プレート２３を重ね合わせ、所定の位置に穴２４の開いたものを準備する
その後、図４（Ａ）に示すように、その穴２４にプローブ１０を通す
「【００４４】　次に、図５（Ａ）に示すように、プローブ先端側プレート２１と中間プレート２２との間に所定長さＬ２の湾曲部１３を形成するようにプローブ
先端側プレート２１を移動させるとともに、プローブ後端側プレート２３を中間プレート２２から所定長さＬ３離間する
「重ね合わせたプレートの穴にプローブを通した後（【００４２】）、先端側プレートを移動させることにより、プレートを所定長さ離間する（【００４４】）」という技術的事項が記載されているものと認められる。
３　引用文献３について
　また、原査定の拒絶の理由に引用された引用文献３の
「【００２６】　図５は、本発明に係るワイヤープローブ用治具１Ａのプレート積層体１１を構成する薄板プレート１１１、１１２、１１３の最上部のプローブガイド孔１１１ａ、１１２ａ、１１３ａに、上記の如きワイヤープローブ３を挿通した状態を示している。挿通作業を容易にするために、これらのプローブガイド孔１１１ａ、１１２ａ、１１３ａの中心軸が揃うよう
仮位置決め用のピン孔１１１ｄ、１１２ｄ、１１３ｄ
に仮位置決めピン１１４を挿入してある
取付ピン１１５ａを挿通させる薄板プレート１１１、１１２の挿通孔１１１ｅ、１１２ｅ
「【００２７】　図６は、図５に示した状態から、各薄板プレート１１１、１１２、１１３の各プローブガイド孔１１１ａ、１１２ａ、１１３ａへワイヤープローブ３を保持する保持手段１１５Ａの一例を示す。図面によれば、図５に示した状態から、
仮位置決めピン１１４を抜いて、その最下層の薄板プレート１１３に対してそれより上層の薄板プレート１１２及び又は１１１を
僅かにずらし、ワイヤープローブ３を図示する如く傾斜した状態にした上で、保持手段１１５Ａとしての締付ネジ１１５を取付ピン１１５ａにねじ込んで、ワイヤープローブ３を一定状態に保持した
「仮位置決め用のピン孔１１１ｄ、１１２ｄ、１１３ｄに仮位置決めピン１１４を挿入して位置決めをした後（【００２６】）、仮位置決めピン１１４を抜いて、その最下層の薄板プレート１１３に対してそれより上層の薄板プレート１１２及び又は１１１を僅かにずらし、ワイヤープローブ３を傾斜した状態にした上で、締付ネジ１１５を挿通孔１１１ｅ、１１２ｅ、１１３ｅ内の（【００２６】、図５、図６）取付ピン１１５ａにねじ込んで、ワイヤープローブ３を一定状態に保持する（【００２７】）」という技術事項が記載されているものと認められる。
４　引用文献４について
　また、原査定の拒絶の理由に引用された引用文献４の
「【００２２】まず最初に同図（ａ）に示すように、
第１プレート１２
第２プレート１３
【００２３】また、このように
プレート１２
１３を積層配置しながら、位置決め孔１２２
および組立用位置決め孔１３２にピン１５を挿通する
これによってプローブ孔１２１
および貫通孔１３１が一直線上に整列
プローブ４を挿入し
【００２４】次に、同図（ｂ）に示すように、プローブ４の後端部４４を電極部２の接続用電極２１に嵌入させる。この電極部２は、電極ガイドプレート２２に複数の接続用電極２１がプローブ４の後端部４４と１対１で対応して設けられている。また、各接続用電極２１の先端部２１１は凹状形状となっており、プローブ後端部４４をその凹部（先端部）２１１に嵌入可能となっている。そのため、接触部１と電極部２とを相対的に接近移動させると、すべてのプローブ４について、各プローブ後端部４４がそれに対応する接続用電極２１の先端部２１１に嵌入されて電気的に接続される。
【００２５】それに続いて、同図（ｃ）に示すように、
組立用位置決め孔１３２からピン１５を抜き
第２プレート１３
を
第１プレート１２
に対して相対的に矢印方向に平行シフトさせた後
ピン１５をセット用位置決め孔１３３に挿入
「第１プレート１２の位置決め孔１２２と第２プレート１３の組立用位置決め孔１３２にピン１５を挿通することにより、第１プレート１２のプローブ孔１２１と第２プレート１３の貫通孔１３１を整列させ、プローブ４を挿入した後（【００２２】、【００２３】、図３（ａ）、図６（ａ））、（第２プレート１３の）組立用位置決め孔１３２からピン１５を抜き、第２プレート１３を第１プレート１２に対して相対的に平行シフトさせた後、ピン１５を（第２プレート１３の）セット用位置決め孔１３３に挿入する（【００２５】、図３（ｃ）、図６（ｂ））」という技術事項が記載されていると認められる。
５　引用文献５について
　また、原査定の拒絶の理由に引用された引用文献５の
「【００１６】　保持部１２は、図２に示すように、２枚の側板２１、および４枚の保持板３１〜３４を備えて構成されている。側板２１は、非導電性を有する樹脂材料等によって矩形の板状に形成されている。また、側板２１には、同図に示すように、保持板３２，３３をスライド可能に支持するための段部２１ａが形成されている。また、
側板２１の段部２１ａ
固定ピン６１を挿通可能な挿入孔５１ａ，５１ｂ
【００１７】　保持板３１は、本発明における第１保持板に相当し、非導電性を有する樹脂材料等によって矩形の板状に形成されている。また、保持板３１は、図２に示すように、各側板２１の一端部（同図における下端部）にその両側部が固定されている。さらに、保持板３１には、図３に示すように、プローブ１１の先端部１１ａ側を挿通させるための複数の挿通孔４１（本発明における第１挿通孔）が形成されている。この場合、このプローブユニット２では、一例として、挿通孔４１の直径が６０μｍに規定され、隣り合う一対の挿通孔４１間の最小のピッチ（両挿通孔４１における各々の中心間の最短の長さ）が７０μｍに規定されている。
【００１８】　
保持板３２
保持板３２には
固定ピン６１を挿通可能な挿入孔５２ａ，５２ｂ
【００１９】　
保持板３３
保持板３３には
固定ピン６１を挿通可能な挿入孔５３ａ，５３ｂ
【００２０】
　保持板３４は、非導電性を有する樹脂材料等によって矩形の板状に形成されている。また、保持板３４には、図３に示すように、プローブ１１の基端部１１ｂ側を挿通させるための複数の挿通孔４４が形成されている。この場合、各挿通孔４４の直径は、例えば保持板３１の各挿通孔４１と同じ直径（この例では、６０μｍ）に規定されている。また、各挿通孔４４は、保持板３１の各挿通孔４１と同じ配置パターンで形成されている。また、保持板３４は、図２に示すように、保持板３１に対して平行に対向し、かつ挿通孔４４および挿通孔４１における各々の中心が直線上に位置するようにしてその両側部が各側板２１の他端部（同図における上端部）に固定されている。
【００２１】
　この場合、このプローブユニット２は、図４，５に示すように、上記した第１の向きおよび第２の向きにそれぞれスライドさせる前の位置（以下、この位置を
「初期位置」ともいう）に保持板３２および保持板３３がそれぞれ位置している状態において、プローブ１１を非変形状態（真っ直ぐな状態）で挿通
各挿入孔５１ａ，５２ａ，５３ａに固定ピン６１を挿入することにより、保持板３２，３３を初期位置に固定する
保持板３２，３３をスライド位置に位置させて、各挿入孔５１ｂ，５２ｂ，５３ｂに固定ピン６１を挿入する
「側板２１の段部２１ａの挿入孔５１ａ（【００１６】）、保持板３２の挿入孔５２ａ（【００１８】）、保持板３３の挿入孔５３ａ（【００１９】）に固定ピン６１を挿入することにより、保持板３２，３３を初期位置に固定し、プローブ１１を挿入した後（【００２１】、図４）、固定ピン６１を抜き、保持板３２，３３をスライド位置に位置させて、側板２１の段部２１ａの挿入孔５１ｂ（【００１６】）、保持板３２の挿入孔５２ｂ（【００１８】）、保持板３３の挿入孔５３ｂ（【００１９】）に固定ピン６１を挿入する（【００２１】、図３）」という技術事項が記載されていると認められる。
６　引用文献６について
　また、原査定の拒絶の理由に引用された引用文献６の
「【００３３】　まず、図５に示すように、
第１支持部３１における第１挿通孔３１ａ
第１支持板４１における小径孔４１ａ
第２支持板４２における大径孔４２ａ
第２支持板４２における挿入孔４２ｃの中心軸と第１支持板４１における挿入孔４１ｃの中心軸とが同軸状態となる。次いで、挿入孔４２ｃ，４１ｃに固定ピン４３を挿入する。これにより、第１支持板４１と第２支持板４２とが第１の位置に位置合わせされた状態に維持される
【００３４】　続いて、図５に示すように、
プローブピン１１
、第１支持部３１に向けてプローブピン１１を押し込む
【００３５】　ここで、このプローブピン１１では、コーティング材料がコーティングされた中央部１２３の端部を第１支持部１３１における挿通孔１３１ａの縁部に当接させることで突出側へのプローブピン１１１の移動を規制して先端部１２１の突出長を調整する従来の構成とは異なり、上記したように第１支持板４１における小径孔４１ａの縁部に大径部２４の端部を当接させることで突出側へのプローブピン１１の移動を規制して先端部２１の突出長が調整される。このため、第１支持部３１と第１支持板４１との間の距離を変更することで、先端部２１の突出長を任意に変更することができる結果、同じプローブピン１１を用いて、先端部２１の突出長が異なる複数種類のプローブユニット２を製造することが可能となっている。したがって、このプローブユニット２では、プローブピン１１を共通化できる分、製造コストを低減することが可能となっている。
【００３６】　次いで、すべてのプローブピン１１の各第１挿通孔３１ａおよび各小径孔４１ａへの挿入が終了した後に、
固定ピン４３を挿入孔４１ｃ，４２ｃから引き抜く
第２支持板４２をスライドさせ
第２支持板４２における挿入孔４２ｄの中心軸と第１支持板４１における挿入孔４１ｄの中心軸と同軸状態となる
挿入孔４２ｄ，４１ｄに固定ピン４３を挿入
「第２支持板４２における挿入孔４２ｃと第１支持板４１における挿入孔４１ｃに固定ピン４３を挿入することにより、第１支持板４１と第２支持板４２を位置合わせし（【００３３】）、プローブピン１１を挿入した（【００３４】、図５）後、固定ピン４３を引き抜き、第２支持板４２をスライドさせ、第２支持板４２における挿入孔４２ｄの中心軸と第１支持板４１における挿入孔４１ｄの中心軸を同軸状態とし、挿入孔４２ｄ，４１ｄに固定ピン４３を挿入する（【００３６】、図６）」という技術事項が記載されていると認められる。
第５　対比・判断
１　本願発明１について
（１）対比
　本願発明１と引用発明を対比すると、次のことがいえる。
　ア　引用発明における「接触子２」、「接触子保持体３」及び「基板検査用治具１」は、それぞれ、本願発明１における「プローブ」、「支持部」及び「プローブユニット」に相当する。
　イ　引用発明における「第一案内板３１」は、「所定の接触子２を所定検査点へ案内するための第一案内孔３３を有」するものであるから、「第一案内孔３３」が本願発明の「第１の支持孔」に相当するところであり、本願発明１の「第１の支持孔を有して当該第１の支持孔に挿通させた前記先端部を支持する第１の支持板」に相当する。
　ウ　引用発明における「第二案内板３２」は、「所定の接触子２を所定接続電極部へ案内するための第二案内孔３４を有」するものであるところ、「（第二案内板３２が有する）中側案内板３２２」は、「小径案内孔３４２ａと大径案内孔３４２ｂを有し」ており、この「小径案内孔３４２ａと大径案内孔３４２ｂ」が本願発明１の「第２の支持孔」に相当するところであり、引用発明における「中側案内板３２２」は、本願発明１の「第２の支持孔を有して当該第２の支持孔に挿通させた前記プローブの基端部を支持する第２の支持板」に相当する。。
　エ　また、引用発明における「（第二案内板３２が有する）外側案内板３２３」は、「接触子２の端部を接続電極部へ案内する外側案内孔３４３が設けられ」ており、この「外側案内孔３４３」が本願発明の「第３の支持孔」に相当するところであり、本願発明１の「第３の支持孔を有して当該第３の支持孔に挿通させた前記基端部を支持する第３の支持板」に相当する。
　オ　引用発明において、「第一案内板３１は接触子２の先端を検査点へ案内し、第二案内板３２は接触子２の他端を接続電極部４へ案内するものであり」、「第二案内板３２は、内側案内板３２１、中側案内板３２２と外側案内板３２３を有し」、「内側案内板３２１は、…、第一案内板３１と接続する支柱３５を保持するために用いられ」、「外側案内板３２３は、接触子２の端部を接続電極部へ案内する外側案内孔３４３が設けられ」るものであることに鑑みれば、引用発明における「第一案内板３１」、「中側案内板３２２」及び「外側案内板３２３」は、本願発明１における「第１の支持板」、「第２の支持板」及び「第３の支持板」と同様に「この順序で対向するように配置され」ていると認められる。
　カ　引用発明において、「第一案内板３１と第二案内板３２は、支柱３５ａを介して、所定間隔を有して配置され」ているから、引用発明の「第一案内板３１」と「「中側案内板３２２」の間には、「支柱３５ａ」が配設されているといえ、「支柱３５ａ」が本願発明の「スペーサ」に相当するところであり、引用発明は、本願発明１と同様に「前記第１の支持板と前記第２の支持板との間に配設されたスペーサを備えて構成され」るものといえる。
　キ　引用発明は、「第一案内板３１と第二案内板３２は、支柱３５ａを介して、所定間隔を有して配置され」、「第二案内板３２の各部材（内側案内板３２１、中側案内板３２２、外側案内板３２３）が接触子２に対して直角方向に夫々所定長さ分だけずらして配置されることにより、第二案内孔３４が傾斜して形成されている」というものであるから、引用発明の「中側案内板３２２」と「外側案内板３２３」は、（ともに第二案内板３２の部材であるから、）当接または近接した状態であると認められ、また、（「第一案内板３１」と「第二案内板３２」は、「所定間隔を有して配置され」ているから、）「第一案内板３１」と「（第二案内板３２）の中側案内板３２２」は、離間しているものと認められ、さらに、（「第二案内板３２の各部材（内側案内板３２１、中側案内板３２２、外側案内板３２３）が接触子２に対して直角方向に夫々所定長さ分だけずらして配置されることにより、第二案内孔３４が傾斜して形成されている」から、）「所定の接触子２を所定検査点へ案内するための（第一案内板３１の）第一案内孔３３」、「（中側案内板３２２の）小径案内孔３４２ａと大径案内孔３４２ｂ」及び「（外側案内板３２３の）外側案内孔３４３」の各開口面は、支持板の積層方向に対して傾斜する直線上に位置するものと認められるところであり、本願発明１と同様に「前記各支持板は、前記第２の支持板および前記第３の支持板が当接または近接した状態で前記第１の支持板と当該第２の支持板とが離間すると共に当該各支持板の積層方向に対して傾斜する傾斜方向に沿って前記第１の支持孔、前記第２の支持孔および前記第３の支持孔の各開口面が仮想直線上で対向する姿勢で前記スペーサに固定され」ているものといえる。
　ク　引用発明において「第一案内板３１は接触子２の先端を検査点へ案内」するから、引用発明の「接触子２」の先端部は、「（第一案内板３１の）第一案内孔３３」に沿って延在していると認められ、また、引用発明の「第二案内板３２」は、「接触子２の他端を接続電極部４へ案内する」ところ、「（第二案内板３２の）第二案内孔３４が傾斜して形成されている」から、引用発明の「接触子２」の先端部を除く部分は、傾斜方向に沿って延在していると認められるところであり、引用発明の「接触子２」は、本願発明１の「プローブ」と同様に「前記先端部が前記第１の支持孔に沿って延在すると共に当該先端部を除く部分が前記傾斜方向に沿って延在する状態に維持され」ているといえる。
　　
　したがって、本願発明１と引用発明との間には、次の一致点、相違点があるといえる。
（一致点）
「基板の導体部に先端部を接触させて電気信号の入出力を行うための複数のプローブと、当該プローブを支持する支持部とを備えたプローブユニットであって、
　前記支持部は、第１の支持孔を有して当該第１の支持孔に挿通させた前記先端部を支持する第１の支持板と、第２の支持孔を有して当該第２の支持孔に挿通させた前記プローブの基端部を支持する第２の支持板と、第３の支持孔を有して当該第３の支持孔に挿通させた前記基端部を支持する第３の支持板とを備えて当該各支持板がこの順序で対向するように配置されると共に、前記第１の支持板と前記第２の支持板との間に配設されたスペーサを備えて構成され、
　前記各支持板は、前記第２の支持板および前記第３の支持板が当接または近接した状態で前記第１の支持板と当該第２の支持板とが離間すると共に当該各支持板の積層方向に対して傾斜する傾斜方向に沿って前記第１の支持孔、前記第２の支持孔および前記第３の支持孔の各開口面が仮想直線上で対向する姿勢で前記スペーサに固定され、
　前記プローブは、前記先端部が前記第１の支持孔に沿って延在すると共に当該先端部を除く部分が前記傾斜方向に沿って延在する状態に維持されているプローブユニット。」
（相違点）
（相違点１）　本願発明１は、
「前記第１の支持板には、第１の位置決めピンおよび第２の位置決めピンを挿通可能な第１の挿通孔が形成され、
　前記第２の支持板および前記第３の支持板には、前記第１の位置決めピンを挿通可能な第２の挿通孔と第３の位置決めピンを挿通可能な第３の挿通孔とがそれぞれ形成され、
　前記スペーサには、前記第２の位置決めピンを挿入可能な第１の挿入孔が前記第１の支持板に対向する面に形成されると共に、第３の位置決めピンを挿入可能な第２の挿入孔が前記第２の支持板に対向する面に形成され、
　前記第１の挿通孔および前記第２の挿通孔は、前記各支持板に対して垂直な垂直方向に沿って前記第１の支持孔、前記第２の支持孔および前記第３の支持孔の各開口面が仮想直線上で対向するように当該各支持板が互いに当接または近接して積み重ねられたときに当該各挿通孔の中心軸が同軸となる位置にそれぞれ形成され、
　前記第１の挿入孔は、前記各支持板が前記姿勢のときに当該第１の挿入孔の中心軸と前記第１の挿通孔の中心軸とが同軸となる位置に形成され、
　前記第３の挿通孔および前記第２の挿入孔は、前記各支持板が前記姿勢のときに当該第３の挿通孔の中心軸と当該第２の挿入孔の中心軸とが同軸となる位置にそれぞれ形成され」という構成を備えるのに対し、引用発明は、このような構成を特定するものでない点。
（相違点２）　本願発明１は、
「前記第１の支持板、前記第２の支持板および前記第３の支持板は、平面視四角形にそれぞれ形成され、
　前記第１の挿通孔は、前記第１の支持板における一対の対角位置に１つずつ形成され、
　前記第２の挿通孔は、前記第１の支持板の前記各対角位置に対向する前記第２の支持板における一対の対角位置に１つずつ形成されると共に、前記第１の支持板の前記各対角位置に対向する前記第３の支持板における一対の対角位置に１つずつ形成され、
　前記第３の挿通孔は、前記第２の支持板における前記一対の対角位置とは異なる他の一対の対角位置に１つずつ形成されると共に、前記第３の支持板における前記一対の対角位置とは異なる他の一対の対角位置に１つずつ形成されている」という構成を備えるのに対し、引用発明は、このような構成を特定するものでない点。
　
（２）相違点についての判断
　事例に鑑み、上記相違点１について検討するに、引用発明は、「第一案内板３１」と「第二案内板３２」が「支柱３５ａ」により保持されることを特定するだけであって、本願発明１の「第１の挿通孔」、「第２の挿通孔」、「第３の挿通孔」、「第１の挿入孔」及び「第２の挿入孔」に関して示唆するものではなく、また、以下のとおり、引用文献２−６もこれらを記載ないし示唆するものでないから、上記相違点１に係る本願発明１の構成について、当業者が容易に想到し得たと認めることはできない。
　引用文献２には、「重ね合わせたプレートの穴にプローブを通した後、先端側プレートを移動させることにより、プレートを所定長さ離間する」という技術的事項が記載されており、引用発明の「第一案内板３１」と「第二案内板３２」に、引用文献２に記載の技術事項を適用したとしても、「第一案内板３１」と「第二案内板３２」を重ねあわせて、その「第一案内孔３３」と「第二案内孔３４」に「接触子２」を挿入した後、「第一案内板３１」と「第二案内板３２」を所定長さ離間させることが示唆されるだけで、引用発明の「第一案内板３１」に本願発明１の「第１の位置決めピンおよび第２の位置決めピンを挿通可能な第１の挿通孔」に相当する孔が形成されること、引用発明の「（第二案内板３２）の中側案内板３２２」と「（第二案内板３２）の外側案内板３２３」に本願発明１の「前記第１の位置決めピンを挿通可能な第２の挿通孔」に相当する孔と「第３の位置決めピンを挿通可能な第３の挿通孔」に相当する孔とがそれぞれ形成されること、引用発明の「支柱３５ａ」に本願発明１の「前記第２の位置決めピンを挿入可能な第１の挿入孔」に相当する孔が「第一案内板３１」に対向する面に形成されると共に、第３の位置決めピンを挿入可能な第２の挿入孔に相当する孔が「第二案内板３２」に対向する面に形成されることが示唆されるとはいえない。
　引用文献３には、「仮位置決め用のピン孔１１１ｄ、１１２ｄ、１１３ｄに仮位置決めピン１１４を挿入して位置決めをした後、仮位置決めピン１１４を抜いて、その最下層の薄板プレート１１３に対してそれより上層の薄板プレート１１２及び又は１１１を僅かにずらし、ワイヤープローブ３を傾斜した状態にした上で、締付ネジ１１５を挿通孔１１１ｅ、１１２ｅ、１１３ｅ内の取付ピン１１５ａにねじ込んで、ワイヤープローブ３を一定状態に保持する」という技術事項が記載されており、その「ピン孔１１１ｄ」及び「１１２ｄ、１１３ｄ」は、それぞれ、本願発明１の「（第１の支持板に形成された）第１の位置決めピンを挿通可能な第１の挿通孔」及び「（第２の支持板および第３の支持板に形成された）第１の位置決めピンを挿通可能な第２の挿通孔」を示唆するものといえ、また、「挿通孔１１２ｅ、１１３ｅ」は、本願発明１の「（第２の支持板および第３の支持板に形成された）第３の位置決めピンを挿通可能な第３の挿通孔」に関連するものといえるが、引用文献３は、本願発明１の「スペーサ」に相当する構成を記載するものでないから、本願発明１の「（スペーサに形成された）第１の挿入孔」及び「（スペーサに形成された）第２の挿入孔」を示唆するものとはいえない。
　引用文献４には、「第１プレート１２の位置決め孔１２２と第２プレート１３の組立用位置決め孔１３２にピン１５を挿通することにより、第１プレート１２のプローブ孔１２１と第２プレート１３の貫通孔１３１を整列させ、プローブ４を挿入した後、組立用位置決め孔１３２からピン１５を抜き、第２プレート１３を第１プレート１２に対して相対的に平行シフトさせた後、ピン１５をセット用位置決め孔１３３に挿入する」という技術事項が記載されており、その「位置決め孔１２２」、「組立用位置決め孔１３２」及び「セット用位置決め孔１３３」は、それぞれ、本願発明１の「（第１の支持板に形成された）第１の位置決めピンを挿通可能な第１の挿通孔」、「（第２の支持板に形成された）第１の位置決めピンを挿通可能な第２の挿通孔」及び「（第２の支持板に形成された）位置決めピンを挿通可能な第３の挿通孔」を示唆するものといえるが、引用文献４には、本願発明１の「第３の支持板」に相当する構成の記載がなく、また、本願発明１の「（スペーサに形成された）第１の挿入孔」及び「（スペーサに形成された）第２の挿入孔」に関連する記載がないから、引用文献４は、上記相違点１に係る本願発明１の構成を示唆するものとはいえない。
　引用文献５には、「側板２１の段部２１ａの挿入孔５１ａ、保持板３２の挿入孔５２ａ、保持板３３の挿入孔５３ａに固定ピン６１を挿入することにより、保持板３２，３３を初期位置に固定し、プローブ１１を挿入した後、固定ピン６１を抜き、保持板３２，３３をスライド位置に位置させて、側板２１の段部２１ａの挿入孔５１ｂ、保持板３２の挿入孔５２ｂ、保持板３３の挿入孔５３ｂに固定ピン６１を挿入する」という技術事項が記載されており、その「保持板３２の挿入孔５２ａと保持板３３の挿入孔５３ａ」、「保持板３２の挿入孔５２ｂと保持板３３の挿入孔５３ｂ」及び「側板２１の段部２１ａの挿入孔５１ｂ」は、それぞれ、本願発明１の「（第２の支持板および第３の支持板に形成された）第１の位置決めピンを挿通可能な第２の挿通孔」、「（第２の支持板および第３の支持板に形成された）第３の位置決めピンを挿通可能な第３の挿通孔」及び「（スペーサの第２の支持板に対向する面に形成された）第３の位置決めピンを挿入可能な第２の挿入孔」を示唆するものと認められるが、引用文献５は、本願発明１の「（第１の支持板に形成された）第１の位置決めピンおよび第２の位置決めピンを挿通可能な第１の挿通孔」及び「（スペーサの第１の支持板に対向する面に形成された）第２の位置決めピンを挿入可能な第１の挿入孔」に相当する事項を記載するものでないから、上記相違点１に係る本願発明１の構成を示唆するものとはいえない。
　引用文献６には、「第２支持板４２における挿入孔４２ｃと第１支持板４１における挿入孔４１ｃに固定ピン４３を挿入することにより、第１支持板４１と第２支持板４２を位置合わせし、プローブピン１１を挿入した後、固定ピン４３を引き抜き、第２支持板４２をスライドさせ、第２支持板４２における挿入孔４２ｄの中心軸と第１支持板４１における挿入孔４１ｄの中心軸を同軸状態とし、挿入孔４２ｄ，４１ｄに固定ピン４３を挿入する」という技術事項が記載されており、その「第２支持板４２における挿入孔４２ｃと第１支持板４１における挿入孔４１ｃ」及び「第２支持板４２における挿入孔４２ｄと第１支持板４１における挿入孔４１ｄ」は、それぞれ、本願発明１の「（第２の支持板および第３の支持板に形成された）第１の位置決めピンを挿通可能な第２の挿通孔」及び「（第２の支持板および第３の支持板に形成された）第３の位置決めピンを挿通可能な第３の挿通孔」を示唆するものと認められるが、引用文献６は、本願発明１の「（第１の支持板に形成された）第１の位置決めピンおよび第２の位置決めピンを挿通可能な第１の挿通孔」、「（スペーサに形成された）第１の挿入孔」及び「（スペーサに形成された）第２の挿入孔」に相当する事項を記載するものでないから、上記相違点１に係る本願発明１の構成を示唆するものとはいえない。
　そして、本願発明１は、上記「第１の挿通孔」、「第２の挿通孔」、「第３の挿通孔」、「第１の挿入孔」及び「第２の挿入孔」の位置について、「前記第１の挿通孔および前記第２の挿通孔は、前記各支持板に対して垂直な垂直方向に沿って前記第１の支持孔、前記第２の支持孔および前記第３の支持孔の各開口面が仮想直線上で対向するように当該各支持板が互いに当接または近接して積み重ねられたときに当該各挿通孔の中心軸が同軸となる位置にそれぞれ形成され、前記第１の挿入孔は、前記各支持板が前記姿勢のときに当該第１の挿入孔の中心軸と前記第１の挿通孔の中心軸とが同軸となる位置に形成され、
　前記第３の挿通孔および前記第２の挿入孔は、前記各支持板が前記姿勢のときに当該第３の挿通孔の中心軸と当該第２の挿入孔の中心軸とが同軸となる位置にそれぞれ形成され」ることにより、作用効果を奏するものと認められるところ、引用文献１−６は、このような製造方法を可能とする構成について示唆するものとはいえない。
　したがって、相違点２について検討するまでもなく、本願発明１は、当業者であっても、引用発明及び引用文献２−６に記載された技術事項に基づいて容易に発明できたものとはいえない。
２　本願発明２、３について
　本願発明２、３は、本願発明１の発明特定事項を全て含むものであるから、本願発明１と同じ理由により、当業者であっても、引用発明及び引用文献２−６に記載された技術事項に基づいて容易に発明できたものとはいえない。
３　本願発明４、５について
　本願発明４は、本願発明１の検討において相違点としてあげた事項に対応する発明特定事項を有し、これを製造方法の発明として記載するものであって、本願発明１の「第１の挿通孔」、「第２の挿通孔」、「第３の挿通孔」、「第１の挿入孔」及び「第２の挿入孔」を用いて次の事項、具体的には、
「前記各支持板（第１、２、３の支持板）を互いに当接または近接させて積み重ねた状態を維持し、その状態で前記各支持孔に前記プローブを挿通させ、その後に、
　前記第２の支持板および前記第３の支持板を当接または近接させた状態で前記第１の支持板と当該第２の支持板とを離間させ、前記第１の位置決めピンを引き抜き、前記第１の支持板と前記第２の支持板との間に前記スペーサを配設し、
　前記第１の挿通孔と前記スペーサにおける前記第１の支持板に対向する面に形成されている第１の挿入孔とに第２の位置決めピンを挿入すると共に、前記第２の支持板における前記一対の対角位置とは異なる他の一対の対角位置に１つずつ形成されかつ前記第３の支持板における前記一対の対角位置とは異なる他の一対の対角位置に１つずつ形成されている第３の挿通孔と前記スペーサにおける当該第２の支持板に対向する面に形成されている第２の挿入孔とに第３の位置決めピンを挿入して、当該各支持板の積層方向に対して傾斜する傾斜方向に沿って前記第１の支持孔、前記第２の支持孔および前記第３の支持孔の各開口面が仮想直線上で対向する姿勢に当該各支持板を移行させ、その状態で前記各支持板を前記スペーサに固定」することを特定するものである。したがって、本願発明１と同様に、当業者であっても、引用発明及び引用文献２−６に記載された技術事項に基づいて容易に発明できたものとはいえない。
　本願発明５は、本願発明４の発明特定事項を全て含むものであるから、当業者であっても、引用発明及び引用文献２−６に記載された技術事項に基づいて容易に発明できたものとはいえない。
第６　原査定について
　以上のとおりであって、本願発明１−５は、当業者であっても、拒絶査定において引用された引用文献１−６に基づいて、容易に発明できたものとはいえない。したがって、原査定の理由を維持することはできない。
第７　むすび
　以上のとおり、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。