(57)【要約】【課題】  半導体製造システムの不良を修正する方法およびシステムを提供することである。【解決手段】  半導体製造システムの不良を修正するための方法とシステムは、記載されている。サービス部品に対する不良修正は、サービスオペレータでインタラクティブケーススタディを使用して達成される。インタラクティブケーススタディは、現在のサービスアクティビティデータが実質的に過去のサービスにアクティビティデータに適合する１つ以上のケースを特定することができ、サービス部品修理を行う際のサービスオペレータをアシストするように、この相関を利用することができる。必要に応じて、インタラクティブケーススタディは、適合しているケースの数を狭めるために実行する１つ以上の試験を特定することができる。【選択図】
2007529898.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造のためのプロセスツールの不良を修正する方法であって：
前記プロセスツールの古い不良に対する古いサービスアクティビティデータを収集することと；
前記プロセスツールの新しい不良に対する新しいサービスアクティビティデータを受けることと；
前記新しいサービスアクティビティデータを前記古いサービスアクティビティデータと比較することと；
前記比較からサービスアクティビティデータに適合させることを特定することと；
前記適合させているサービスアクティビティデータに基づいて修正アクションを実行することとを具備する方法。
【請求項２】
前記適合させているサービスアクティビティデータを使用して、新しい適合させているサービスアクティビティデータを生成するために、前記プロセスツールで１つ以上の試験を実行することをさらに具備し、
前記新しい適合させているサービスアクティビティデータは、前記適合させているサービスアクティビティデータを狭くする請求項１の方法。
【請求項３】
前記１つ以上の試験を前記実行することは、ランクを付けられた試験が合格となるときに、残ると予測される前記適合させているサービスアクティビティデータの古い不良の数に対応する前記１つ以上の試験の各々の試験にランクを付けることを含んでいる請求項２の方法。
【請求項４】
前記ランクを付けられた試験のランクは、前記ランクを付けられた試験が合格を減少させることとなるときに、残ると予測されている前記適合させているサービスアクティビティデータの古い不良の数として増加させる請求項３の方法。
【請求項５】
前記１つ以上の試験を前記実行することは、前記ランクを付けられた試験が失敗になるときに、残ると予測されている前記適合させているサービスアクティビティの古い不良の数に対応する前記１つ以上の試験の各々の試験にランク付けすることを含んでいる請求項２の方法。
【請求項６】
前記ランクを付けられた試験のランクは、前記ランクを付けられた試験が失敗を増加させることとなるときに、残ると予測される前記適合させているサービスアクティビティデータの古い不良の数として増加する請求項５の方法。
【請求項７】
前記修正アクションを前記実行することは、前記プロセスツールの１つ以上の製造システム（ＭＳ）部品を交換することを含んでいる請求項１の方法。
【請求項８】
前記１つ以上のＭＳ部品を前記交換することは、ランクを付けられたＭＳ部品交換の交換において修正される前記適合させているサービスアクティビティデータの古い不良の数に対応する各々のＭＳ部品交換をランク付けすることを含んでいる請求項７の方法。
【請求項９】
前記ランクを付けられたＭＳ部品交換のランクは、前記ランク付けされたＭＳ部品交換の交換における増加が修正させる前記適合させているサービスアクティビティデータの古い不良の数として増加する請求項８の方法。
【請求項１０】
前記１つ以上のＭＳ部品を前記交換することは、前記ランク付けされたＭＳ部品交換の交換が修正させない前記適合させているサービスアクティビティデータの古い不良の数に対応する各々のＭＳ部品交換をランク付けすることを含んでいる請求項７の方法。
【請求項１１】
前記ランクを付けられたＭＳ部品交換のランクは、前記ランク付けされたＭＳ部品交換の交換における減少が修正させる前記適合させているサービスアクティビティデータの古い不良の数として増加する請求項１０の方法。
【請求項１２】
前記プロセスツールに対する前記古いサービスアクティビティデータを前記収集することは、エッチングシステム、堆積システム、トラックシステム、サーマルシステム、イオンインプラントシステム、リソグラフィシステム、平坦化システム、測定システム、およびテストシステムのうちの少なくとも１つに対する古いサービスアクティビティデータを収集することを含んでいる請求項１の方法。
【請求項１３】
修正アクションを前記実行することは、前記不良を収集するように前記プロセスツールを自動的に制御することを含んでいる請求項１の方法。
【請求項１４】
修正アクションを前記実行することは、前記プロセスツールの前記不良の収集におけるサービスオペレータをアシストするサービスオペレータにサービスアクションデータを提供することを含んでいる請求項１の方法。
【請求項１５】
修正アクションを前記実行することは、前記プロセスツールの前記不良を分離することを含んでいる請求項１の方法。
【請求項１６】
プロセッサ上で実行するためのプログラム命令を含むコンピュータ読み取り可能なメディアであって、
前記プロセッサによって実行されるときに、請求項１において記載された方法におけるステップを実行するように、コンピュータシステムを起動させるコンピュータ読み取り可能なメディア。
【請求項１７】
半導体製造のためのプロセスツールの不良を修正するためにコンピュータシステムを使用するシステムであって：
前記プロセスツールの古い不良に対する古いサービスアクティビティデータを収集するための手段と；
前記プロセスツールの新しい不良に対する新しいサービスアクティビティデータを受けるための手段と；
前記新しいサービスアクティビティデータを前記古いサービスアクティビティデータと比較するための手段と；
前記比較からサービスアクティビティデータに適合させることを特定するための手段と；
前記適合させているサービスアクティビティデータに基づいて修正アクションを実行するための手段とを具備するシステム。
【請求項１８】
半導体製造のためのプロセスツールの不良を修正するシステムであって：
前記不良を修正するために必要なデータを保存するように構成されたメモリと；
前記プロセスツールの古い不良に対する古いサービスアクティビティデータを収集し、
前記プロセスツールの新しい不良に対する新しいサービスアクティビティデータを受け、
前記新しいサービスアクティビティデータを前記古いサービスアクティビティデータと比較し、
前記比較からサービスアクティビティデータに適合させることを特定し、
および、前記プロセスツールの前記新しい不良を修正するために、前記適合させているサービスアクティビティデータに基づいて修正アクションを実行するように構成されたコントロールシステムと；を具備するシステム。
【請求項１９】
前記コントロールシステムは、新しい適合させているサービスアクティビティデータを生成するために前記適合させているサービスアクティビティデータを使用して前記プロセスツール上で１つ以上の試験を実行するように構成され、
前記新しい適合させているサービスアクティビティデータは、前記適合させているサービスアクティビティデータを狭くする請求項１８のシステム。
【請求項２０】
前記プロセスツールは、エッチングシステム、堆積システム、トラックシステム、サーマルシステム、イオンインプラントシステム、リソグラフィシステム、平坦化システム、測定システム、およびテストシステムのうちの少なくとも１つを含んでいる請求項１８のシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本出願は、２００４年３月１５日出願の代理人整理番号２５００４９ＵＳ６  ＹＡ／ＴＥＡ−０１１の出願中の米国特許出願シリアル番号１０／７９９，８９２号、名称「アクティビティ管理システム及び使用方法」に関連するものである。この出願の全体の内容は、それらの全体の参照によってここに取り入れられる。
【０００２】
本発明は、半導体製造システムの不良を修正する方法とシステムに関し、より詳しくは、サービスオペレータでインタラクティブケーススタディを使用して不良を修正する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００３】
半導体製造施設の維持は、機器メーカーと製造施設との間の共同作業を含む、時間を要し、費用もかかる手順である。半導体機器メーカーと半導体製造施設側との間の非効率な相互作業によって施設の休止時間が生じ、全体の作業コストを増大させ、過大なエンジニアリング時間とハードウェアの交換を要することになる。
【０００４】
電子産業においては、機器メーカーは、製造システムのメンテナンスから、製造システムのトラブルシューティング、ハードウェアの交換及び承認、部品交換及び承認等に及ぶアクティビティに対処するように構成された多数の個別の独立したサービスモデルを利用している。その結果、これらのサービスモデルは、相互にデータの通信ができず、大幅な重複により、冗長となり、機器サービスを容易にするように設計された構造内で仮想限界を生成する。本発明の発明者らは、独立のサービスモデルをこのように使用することがサービスコストを増大させ、作業効率を低下させることに気付いた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
したがって、本発明の一態様は、上述の問題点のいくつか又は全てを低減又は除去することである。
【０００６】
本発明の別の目的は、半導体製造施設のメンテナンスにおけるサービスコストを低減し作業効率を最大限にすることである。
【０００７】
本発明のさらに別の目的は、半導体製造の不良を分け、修正するシステムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
これらの、および、他の本発明の目的は、半導体製造であるところのプロセスツールの不良を修正する方法によりもたらされる。方法は、プロセスツールの古い不良に対する古いサービスアクティビティデータを収集し、プロセスツールの新しい不良のための新しいサービスアクティビティデータを受け、新しいサービスアクティビティデータを古いサービスアクティビティデータと比較することを包含する。サービスアクティビティデータに適合させることは、比較から特定され、修正アクションは、サービスアクティビティデータの適合に基づいて実行される。
【０００９】
別の態様に係る、半導体製造のプロセスツールの不良を修正するシステムは、プロセスツールの古い不良のための古いサービスアクティビティデータを収集し、プロセスツールの新しい不良のための新しいサービスアクティビティデータを受け、新しいサービスアクティビティデータを古いサービスアクティビティデータと比較するように構成されているコントロールシステムを具備する。コントロールシステムは、比較からサービスアクティビティデータの適合を特定し、プロセスツールの新しい不良を軽減するために、サービスアクティビティデータの適合に基づいて修正アクションを実行する。
【００１０】
本発明の更に別の態様は、プロセッサ上の実行のためのプログラム命令を含むコンピュータ読み取り可能なメディアであり、それは、プロセッサによって実行されるときに、請求項の方法で詳述される方法のステップを実行するように、コンピュータシステムを起動させる。
【００１１】
本発明の更に別の態様は、半導体製造のためのプロセスツールの不良を修正するシステムである。システムは、プロセスツールの古い不良のための古いサービスアクティビティデータを収集するための手段と；プロセスツールの新しい不良のための新しいサービスアクティビティデータを受けるための手段と；新しいサービスアクティビティデータを古いサービスアクティビティデータと比較するための手段と；比較からサービスアクティビティデータの適合を特定するための手段と；サービスアクティビティデータの適合に基づいて修正アクションを実行するための手段とを具備する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
ここで図を参照し、参照符号は、いくつかの図を通して同一もしくは対応する部分を示し、図１は、半導体製造のための処理システム１を示す。処理システム１は、基板にプロセスを実行するように構成されたプロセスツール１０と、プロセスツール１０に組み合わせられ、サービスアクティビティデータを使用してプロセスツール１０を修正するためのサービス機能を実行するように構成されたコントロールシステム２０とを具備する。コントロールシステムによって実行されるサービス機能は、プロセスツール１０の不良を修正するサービスオペレータに有効なサービスアクションデータを提供することができ、または不良を修正するためにプロセスツールの自動制御を提供することができる「この自動不良は、ＯＫＡＹであるか？それは、ＴＥＡ  ０１１にあるべきでもあるか？」。１つの実施形態に係るコントロールシステム２０は、サービス機能を実行し、プロセスツール１０の不良を修正するために使用されるサービスアクティビティデータを保存する。
【００１３】
コントロールシステム２０は、プロセスツール１０に直接組み合わせられることができ、または、それは、例えば半導体製造設備または材料処理設備内で、ローカルイントラネットを介して、プロセスツール１０に組み合わせられることができる。加えて、コントロールシステム２０は、インターネット接続と、イントラネット接続とのうちの少なくとも１つを介してプロセスツール１０に接続させられることができる。別の形態として、コントロールシステム２０は、独立型（ｓｔａｎｄａｌｏｎｅ）コントロールシステムであり得て、そこにおいて、独立型コントロールシステムは、手動データ入力と、フロッピー（登録商標）ディスク、磁気テープ、光ディスクまたはフラッシュドライブのようなデータ媒体とのうちの少なくとも１つのを介してサービスアクティビティデータを受けるように構成されている。
【００１４】
さらに図１を参照して、処理システム１は、コントロールシステム１０に組み合わせられたオペレータインタフェース（図示せず）を更に含むことができる。例えば、オペレータインタフェースは、グラフィックユーザーインターフェース（ＧＵＩ）を包含することができる。ＧＵＩは、コントロールシステム２０が、サービスアクティビティデータを収集することと、不良を修正することと、不良を修正するサービスオペレータをアシストするためのサービスアクションデータを提供することとのうちの少なくとも１つを実行することを可能にする。ここで使用しているように、「不良を修正する」ことは、データを提供すること、または不良の修正を完了するように中間ステップとしてのアクションを実行することを包含する。したがって、不良を修正することは、プロセスツールの問題を解決するのをアシストするサービスオペレータにデータを提供すること、または原因の数を限定するように不良を分けることであり得る。当業者は、選択タブ構造および／またはナビゲーションツリー構造を含むＧＵＩスクリーンを認識することができる。加えて、インターフェース、キーボード、マウス、タッチスクリーンの部分、または、それのいくつかの組合せは、提供されることができる。
【００１５】
プロセスツールは、例えば、製造システム（ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  ｓｙｓｔｅｍ：ＭＳ）ツールに組み合わせられた製造システム（ＭＳ）プラットフォームを包含することができる。例えば、ＭＳプラットフォームは、半導体製造工程を実行するための、東京エレクトロン株式会社（〒１０７−８４８１  東京都港区赤坂５丁目３−６、ＴＢＳ放送センター）から市販されている、Ｕｎｉｔｙ  ＩＩ、Ｕｎｉｔｙ  ＩＩｅ、Ｕｎｉｔｙ  Ｍ  もしくはＵｎｉｔｙ  ＭＥなどのクラスタ・ツール配置又は、Ｔｅｌｉｕｓプラットフォームなどのシリアルツール配置を含むことができる。さらに、例えば、ＭＳプラットフォームは、東京エレクトロン株式会社から市販されているＡＣＴ８、ＡＣＴ１２又はＬｉｔｈｉｕｓ  Ｔｒａｃｋ  Ｓｙｓｔｅｍを含むこともできる。さらに、例えば、ＭＳプラットフォームは、東京エレクトロン株式会社から市販されている、Ａｌｐｈａ  Ｓｅｒｉｅｓ又はＴＥＬＦｏｒｍｕｌａバッチ処理温度処理システムを含むことができる。さらに、例えば、ＭＳプラットフォームは、東京エレクトロン株式会社から市販されているＴｒｉａｓ処理システムを含むことができる。ＭＳツールは、例えば、ＤＲＭ、Ａ−ＤＲＭ、ＤＲＭＩＩ、ＳＣＣＭ−ＤＴ、ＳＣＣＭ−Ｏｘ又はＳＣＣＭ−Ｐｏｌｙエッチングシステム又はＳＰＡ処理システムを含むことができる。より一般的には、ＭＳツールは、例えば、エッチングシステムと、熱蒸着システム、化学蒸着（ＣＶＤ）システム、原子層蒸着（ＡＬＤ）システム、物理蒸着（ＰＶＤ）システム又はイオン化ＰＶＤ（Ｉ−ＰＶＤ）システムなどの蒸着システムと、フォトレジストスピンコーティングシステムと、スピンオン誘電システムと、液浸システム又は超臨界流体クリーニングシステムなどのクリーニングシステムと、バッチ処理酸化、拡散、低圧ＣＶＤ炉又は熱硬化システムなどの熱処理システムと、急速熱処理（ＲＴＰ）システムと、リソグラフィーシステムと、イオン注入システムと、平坦化システムと、電気めっきシステムと、デバイス検査システムと、計測システムなどを含むことができる。
【００１６】
図３Ａにて図示したように、グラフィックユーザーインターフェース（ＧＵＩ）の典型的な概略図は、コントロールシステム２０によって提供される１つ以上のサービス機能を強調するために提供される。例えば、ＧＵＩは、プロセスツールを修復するサービスファンクションキー、すなわち「修理機械」キーを提供する。
【００１７】
１つの実施形態に係るコントロールシステム２０は、プロセスツール１０からサービスアクティビティデータを収集し、そしてサービスアクティビティデータを保存する。サービスアクティビティデータは、一般に、半導体製造において実行されるサービスに関するデータを含み、特に半導体処理ツール１０の不良を修正することに関連するデータに関するものである。例えば、サービスオペレータが、サービスをプロセスツール１０に提供するときに、サービスアクティビティデータは、サービス修理日付、サービス修復時間、サービス修理タイプ、サービス修理説明、サービス修理試験、サービス修理修正アクション、およびサービス修理理由を含むがこれに限られるものではなく、コントロールシステム２０に入力されることができ、および、保存されることができる。
【００１８】
プロセスツール１０についてのサービスオペレータに対応する他のサービスアクティビティデータは、サービスオペレータの名前、サービスオペレータのタイトル（肩書き）、サービスオペレータが彼または彼女の主要な任務（例えば、製造設備、顧客サイト、など）を実行するサイト、スーパーバイザの名前、電話番号、アドレス、電子メールアドレス、参照ファイル、写真ファイルなどが含まれる。
【００１９】
加えて、例えば、プロセスツール１０に対応する他のサービスアクティビティデータは、ＭＳプラットフォームのタイプ、ＭＳプラットフォームのモデル番号、、ＭＳプラットフォームのためのシリアル番号、ＭＳツールのタイプ、特定のＭＳツールと関連しているプロセス、ＭＳツールのモデル番号、ＭＳツールのシリアル番号、特定のＭＳツールと関連しているＭＳ部品、ＭＳ部品のタイプ、ＭＳ部品の型番、ＭＳ部品のシリアル番号、予備部品の存在の識別、消耗部品の識別、およびＭＳ部品費用（複数含む）を包含することができる。
【００２０】
半導体処理の不良の修正料金は、サービス勘定または保守契約の下で義務から生じ得る。したがって、プロセスツール１０のための保守契約に対応する他のサービスアクティビティデータは、例えば、合意番号、保守契約（例えば１年２４ｘ７部品及び労働を保証）のタイトル、範囲（ｃｏｖｅｒａｇｅ）時間（２４ｘ７）、範囲アイテム（例えば非消耗品、修理労働、スタートアップ労働）の識別、非範囲アイテム（例えば消耗品、顧客の損傷）、表示価格（例えば、表示価格は、コントロールシステムの既存のサービスアクティビティデータに基づくことができる）、罰則（ペナルティ）（例えば月９３％の稼動率を下回る場合に１月加算される）、製造設備、保証または契約開始の日付、保証または契約終了の日付、保証または契約請求書の日付、保証または契約支払い日付に対するサービスオペレータの献呈（ｄｅｄｉｃａｔｉｏｎ）などを包含することができる。そして、製造設備（すなわち顧客）に関しても同様に、保守契約は、プロセスツールに担当責任が負わされ得る。
【００２１】
本発明の一実施例に係るコントロールシステム２０は、上記の通りに不良を分離し、修正するように、サービスアクティビティデータを修理サービス機能を実行するために提供する。例えば、コントロールシステム２０は、サービス部品修理のためのインタラクティブケーススタディを実行するように構成されている。本実施例において、コントロールシステム２０は、古いサービスアクティビティデータに関連する１つ以上のケースを特定することができ、ここで、新しいサービスアクティビティデータは、例えば、プロセスツール１０の不良に対応し、実質的に古いサービスアクティビティデータに適合させ、すなわち、修理サービスを行う際のサービスオペレータをアシストするためにこの相関を利用することができる。そして、不良を修正する。ここで使用しているように、「サービスアクティビティデータに適合させる」ことは、オブジェクト指向の、ルールベースの、または従来技術において当業者にとって知られている他のいかなるプログラム方法によって規定され得る近似した適合と同様の同じ適合を含む。必要に応じて、コントロールシステム２０は、サービスアクティビティデータに適合する数を狭めるために実行するように、１つ以上の試験を特定することができる。加えて、プロセスツール１０を特定する（例えばＭＳプラットフォーム、およびＭＳツール）試験手続は、サービスオペレータにアクセスされ得ることができる。試験手続は、コントロールシステム２０に保存されることができる。試験が実行され、そして結果がコントロールシステム２０によって取り出されるとき、サービスアクティビティデータに適合する数は減少する。例えば、コントロールシステム２０が不良を修正するためにプロセスツール１０において交換するＭＳ部品を特定する際にアシストすることができる。一旦、ＭＳ部品が特定されると、プロセスツール１０を特定する（例えばＭＳプラットフォーム、およびＭＳツール）手続は、サービスオペレータにアクセスされ得ることができる。交換手順は、コントロールシステム２０に保存されることができる。
【００２２】
再び図２Ａを参照して、この図は、コントロールシステム２０を使用してサービス部品修理を実行するための典型的なオペレータインタフェースを示す。この例では、サービスオペレータは、プロセスツールから不良を受け、そして不良を分離し、不良のための修正アクションを決定するためにインタラクティブケーススタディを利用するように選択される。不良は、例えば、エッチングシステムのようなプラズマ処理システムの入力電気インピーダンスを有するラジオ周波数（ＲＦ）発生器の出力電気インピーダンスに適合させるために使用するインピーダンスマッチングネットワーク上の高い反射パワーを含むことができる。図２Ａに示すように、サービスオペレータは、コントロールシステム２０と相互交渉（ｉｎｔｅｒａｃｔ）して、「修理機械」キーを選択によって、サービス部品修理機能をアクティブにする。
【００２３】
一旦、アクティブにされると、コントロールシステム２０のオペレータインタフェースは、図２Ｂ参照し、サービスオペレータがプロセスツール（例えばＭＳプラットフォームシリアル番号またはＭＳツールシリアル番号によって）、プロセスツールのタイプ、およびサービス勘定（または購入アカウント）と関連したプロセスタイプを特定することを可能にする。その後、コントロールシステムは、図２Ｃを参照し、修理履歴のリストを特定されたプロセスツールに提供することができる。例えば、図２Ｃに示すように、コントロールシステムは、メモリから古いサービスアクティビティデータを収集し、そしてサービスオペレータにこの古いサービスアクティビティデータを示す。サービスアクティビティデータは、サービス日付、サービスタイプ、サービス説明、およびサービス理由を含む。例えば、サービスタイプは、サービスが試験を含むかまたは修正アクションを含むかを示す。
【００２４】
さらに、コントロールシステム２０によって、サービスオペレータは、故障を識別又は不合格だった検査を識別することができる。図２Ｄ参照のこと。図２Ｄの実施形態において、仮に検査不合格（又は故障）が既知の故障である場合、これはオペレータインタフェースの左手側に表示される。検査不合格が既知の故障ではない場合、インタフェースによって、サービスオペレータは検査不合格を入力できる。
【００２５】
次に図２Ｅを参照すると、サービスオペレータは、プロセスツールから報告された検査不合格の結果を入力する。このサービスアクティビティデータはメモリ内に格納される。図２Ｅでも示されるように、コントロールシステムは、例えば、不合格下限値、警告下限値、目標結果、警告上限値、不合格上限値、目標と実際の結果とを比較するための数学演算器、測定単位、及び結果が個人的評価に基づくか否かを含むいくつかの検査プランデータを提供する。
【００２６】
次に図２Ｆを参照すると、コントロールシステム２０は、現在の検査不合格又は故障に一致する他のサービスアクティビティ（又はケース）についてそのメモリを探索する。例えば、コントロールシステムは、現在のサービスアクティビティ（又はケース）に対して実行される検査及び修正アクションを示すことができる。さらに、例えばコントロールシステムは、現在のサービスアクティビティ（又はケース）に対して予定される検査及び修正アクションを示すことができる。さらに、例えば、コントロールシステムは、現在のサービスアクティビティ（又はケース）に関係したＭＳ部品を示すことができる。さらに、コントロールシステムは、一致ケースで完了した修正アクションはもちろん、一致ケースで完了した検査を示すことができる。図２Ｆで示されているように、３０の過去のケースは現在のケースと一致している。完了した検査及び修正アクションリストにおいて、サービスオペレータは結果を編集し、完了した別の検査又は修正アクションをリストの最後に付け加え、別の検査又は修正アクションを予定された検査又は修正アクションのリストに付け加え、特定のＭＳプラットフォーム、ＭＳツール、ＭＳ部品又はＭＳサービス契約に対する検査手順を見直し、特定の検査に対する検査の詳細を再検討し、又は、特定の修正アクションに対する手順を再検討することができる。予定された検査及び修正アクションリストにおいては、サービスオペレータは、検査又は修正アクションを完成したリストに付け加え、検査又は修正アクションを削除し、検査又は修正アクションをリストの上又は下に移動させ、特定のＭＳプラットフォーム、ＭＳツール、ＭＳ部品又はＭＳサービス契約に対する検査手順を再検討し、特定の検査に対する検査の詳細を再検討し、又は特定の修正アクションに対する手順を再検討することができる。
【００２７】
例えば、コントロールシステム２０は、上述のように対話式ケーススタディを提供することができ、一致ケースで完了した検査と、一致ケースで完了した修正アクションとが明細に示される。一致ケースで完了した検査に対しては、コントロールシステムは、検査が実行され合格する場合に残されるケースの数と、検査が実行され不合格となる場合に残されるケースの数とを表示することによって検査をランク付けする（又は優先順位を付ける）ことができる。例えば、Ｃ４Ｆ８処理ガスの質量流量制御器が検査されると、検査が合格の場合に残るケースの数は２１で、検査が不合格の場合に残るケースの数は７である。さらに、一致ケースで完了する修正アクションについては、コントロールシステムは、修正アクションが実行されると修正されるケースの数（又はケースの百分率（％））と、修正アクションが実行されると修正されないケースの数とを表示することによって修正アクションをランク付けする（又は優先順位を付ける）ことができる。例えば、Ｃ４Ｆ８処理ガスに対する質量流量制御器が交換されるとき、修正されたケースの数は４で、修正されないケースの数は０であった。
【００２８】
コントロールシステムによって示されるサービスアクションデータを用いることにより（図２Ｅ参照のこと）、サービスオペレータは、例えば、検査を実行することを選択できる。例えば、サービスオペレータは１つ以上の検査を実行し、「Ｍａｔｃｈｅｒ  Ｍｏｄｅ  Ｓｅｔｔｉｎｇ」と「ＰＣ  Ｐｒｅｓｓｕｒｅ  Ｃｏｎｔｒｏｌ」と「Ｃ４Ｆ８  Ｆｌｏｗ」とをチェックできる。サービスオペレータが１つ以上の検査を実行することを決定し、これら検査の実行に進むと、サービスオペレータは、ＭＳ部品に特定で、ＭＳツールに特定で、ＭＳプラットフォームに特定の検査を実行するための検査手順を得ることができる。この例においては、この検査結果は、図２Ｇで示されるとおり、合格、合格、不合格をそれぞれ含んでいる。これらの検査を実施している間、一致ケースの数は３０から２１、１５、４へと低減する。さらに、一致ケースでの修正アクションは、Ｃ４Ｆ８質量流量制御器（ＭＦＣ）を交換する単一動作に低減される。したがって、サービスオペレータは、各ＭＳ部品、すなわちＣ４Ｆ８質量流量制御器に対して要求を出すことによって修正アクションを実行することを決定できる。図２Ｈ参照のこと。ＭＳ部品の注文に関連したサービスアクティビティデータは、コントロールシステム内に格納できる。サービスアクティビティデータは、例えば、ＭＳ部品の数、量、ＭＳプラットフォーム及びその状態、ＭＳツール及びその状態、出荷情報、要求情報、承認情報、サービス会計及び交換理由を含むことができる。
【００２９】
次に図２Ｉを参照すると、コントロールシステムは、現在のケースに関連したＭＳ部品を表示できる。例えば、ＭＳ部品ソース、ＭＳ部品、ＭＳ部品番号（Ｐ／Ｎ）、ＭＳ部品シリアル番号（Ｓ／Ｎ）及びＭＳ部品状態を表示できる。例えば、ＭＳ部品状態には、「注文済み」「支払い済み」「出荷済み」「取付け済み」又は「取外し済み」を含むことができる。ＭＳ部品が要求されると、ＭＳ部品状態が修正され、ＭＳ部品が「出荷され」、サービス会計によって「支払いされた」と表示するように進行する。一方では、サービスオペレータがコントロールシステムを利用してＭＳ部品を要求するが、他方では、別のサービスオペレータがコントロールシステムを利用して、承認、出荷等を含む要求を処理する。さらに、ＭＳ部品が要求者によって受取られると、出荷状態は受取り済みに変更され、ＭＳ部品のシリアル番号がサービスオペレータによって入力できる。図２Ｉはまた、現在のケースに予定された検査及び修正アクションも示す。例えば、Ｃ４Ｆ８質量流量制御器が交換される。
【００３０】
図２Ｊに示すように、サービスオペレータが要請されたＭＳ部品を受け、ＭＳツールのＭＳ部品を交換へと続くときに、サービスオペレータは、プロセスツールに特定であるＭＳ部品を交換するための命令を得ることができる。修正アクション手順は、コントロールシステムに保存されることができ、コントロールシステムを介してサービスオペレータに与えられる。例えば、図２Ｊは、Ｃ４Ｆ８マスフローコントローラを交換するための修正アクション手順を示す。修正アクション手順は、ＭＳ部品に特定で、および、プロセスツールに特定である。
【００３１】
修正アクションが完了すると、コントロールシステムは、変更を反映するように更新される。図２Ｋ参照のこと。例えば、予定された修正アクションは、完了した修正アクションに移され、このケースに関連したＭＳ部品が、ＭＳ部品ソース、ＭＳ部品、ＭＳ部品番号、ＭＳ部品シリアル番号及びＭＳ部品状態を含む、除去されたＭＳ部品を示すように更新される。その後、サービスオペレータは続けて、最初に不合格であった検査を再検査することもできる。例えば、この場合、サービスオペレータは検査５１Ａ５とＣ４Ｆ８流量検査を再チェックする。検査が合格の場合、このケースのように、コントロールシステム２０はこれらの追加検査と検査結果を反映するように更新される。ＭＳ部品はその後、そうすることが選択された場合は、削除して、廃棄することができる。
【００３２】
第１の例として記載したこのサービス工程中どこでも、サービス監督者などの別のサービスオペレータが特定ケースの進行を監視できる。例えば、対話式ケーススタディが実施されず、ＭＳ部品が散発的に交換される（すなわち、ショットガン方式）場合、サービス監督者は、ＭＳ部品に対する支払いを否定し、ＭＳ部品を要求するサービスオペレータに対話式ケーススタディに従うように指示することよってサービスアクティビティに影響を与えることができる。
【００３３】
更にコンピュータシステムによって実行されるサービス機能の詳細は、出願中の米国特許出願、名称「使用するアクティビティ管理システム及び方法」（代理人整理番号２４８１３２ＵＳ）において提供される。そして、それは全体として本願明細書に引用したものとする。
【００３４】
ここで図３を参照して、半導体製造システムの不良を修正する方法は、記載されている。方法は、プロセスツールの古い不良のための古いサービスアクティビティデータを収集することに関する１１０において開始しているフローチャート１００として示される。例えば、古いサービスアクティビティデータは、不良のタイプ、不良の原因を診断するために実行される試験、および不良を修正する試みに対してとられる修正アクションとを含む。いずれが各々の不良に対してメモリに全て保存されることができる。例えば、古いサービスアクティビティデータは、コントロールシステム２０に入力されることができ、そして、マニュアルで、または自動的にサービスオペレータにもアクセスできる。古いサービスアクティビティデータがコントロールシステムに入力されると、それは、直接コントロールシステムによって提供されるオペレータインタフェースを介して、またはインターネット／イントラネット接続を介してアクセスされることができる。
【００３５】
１２０において、新しいサービスアクティビティデータは、新しい不良のために受けられる。新しいサービスアクティビティデータは、マニュアルでまたは自動的に、コントロールシステムにも入力される。
【００３６】
１３０において、１４０のサービスアクティビティデータも適合を特定するために、新しいサービスアクティビティデータは、古いサービスアクティビティデータと比較される。サービスアクティビティデータの適合は、不良を修正するようなサービスアクションを実行するサービスオペレータをアシストするためにサービス機能によって提供されるサービスアクションデータを形成するものである。
【００３７】
１５０において、修正アクションは、決定されて、そしてサービスアクティビティデータの適合を使用して実行される。修正アクションは、プロセスツールのＭＳ部品を交換することを包含することができる。加えて、方法は、サービスアクティビティデータの適合を減少させるために、１つ以上の試験を実行することを包含することができる。例えば、古いサービスアクティビティデータに基づいて、１つ以上の試験は、適合ケースの数を狭めるために実行されることができ、不良を修正するために実行する可能な修正アクションの減少されたセットを提供することができる。
【００３８】
図４は、本発明の実施形態が実施されることができるコンピュータシステム１２０１を示す。コンピュータシステム１２０１は、上述の機能のいずれか又はすべてを実行する図１のコントロールシステム２０として利用され得る。コンピュータシステム１２０１はバス１２０２又は情報を通信するための他の通信メカニズムと、情報を処理するためのバス１２０２に接続されたプロセッサ１２０３とを含む。コンピュータシステム１２０１はさらに、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）又は他のダイナミック記憶デバイス（例えば、ダイナミックＲＡＭ（ＤＲＡＭ）、スタティックＲＡＭ（ＳＲＡＭ）及び同期ＤＲＡＭ（ＳＤＲＡＭ））などのメインメモリ１２０４を含み、このメインメモリはバス１２０２に接続されており、情報及びプロセッサ１２０３により実行される命令を格納する。さらに、メインメモリ１２０４は、プロセッサ１２０３による命令の実行の間に、一時的変数又は他の中間情報を格納するために利用できる。コンピュータシステム１２０１はさらに、バス１２０２に接続されて、静的情報及びプロセッサ１２０３のための命令を格納するリードオンリメモリ（ＲＯＭ）１２０５又は他のスタティック記憶デバイス（例えば、プログラマブルＲＯＭ（ＰＲＯＭ）、消去可能ＰＲＯＭ（ＥＰＲＯＭ）、及び電気的消去可能ＰＲＯＭ（ＥＥＰＲＯＭ））を含む。
【００３９】
コンピュータシステム１２０１はまた、バス１２０２に接続されたディスクコントローラ１２０６を含み、このコントローラ１２０６は、磁気ハードディスク１２０７のような情報及び命令を格納するための１つ以上の記憶デバイスと、リムーバブルメディアドライブ１２０８（例えば、フロッピー（登録商標）・ディスクドライブ、リードオンリ・コンパクトディスクドライブ、リード／ライト・コンパクトディスクドライブ、コンパクトディスク・ジュークボックス、テープドライブ、及びリムーバブル光磁気ドライブ）とを制御する。適切なデバイスインタフェース（例えば、ＳＣＳＩ（ｓｍａｌｌ  ｃｏｍｐｕｔｅｒ  ｓｙｓｔｅｍ  ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）、ＩＤＥ（ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  ｄｅｖｉｃｅ  ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ）、Ｅ−ＩＤＥ（ｅｎｈａｎｃｅｄ−ＩＤＥ）、ＤＭＡ（ｄｉｒｅｃｔ  ｍｅｍｏｒｙ  ａｃｃｅｓｓ）、ウルトラＤＭＡ（ｕｌｔｒａ−ＤＭＡ））を用いて、記憶デバイスをコンピュータシステム１２０１に追加できる。
【００４０】
コンピュータシステム１２０１はさらに、特殊目的論理デバイス（例えば、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ））又は設定変更可能論理デバイス（例えば、シンプル・プログラマブル論理デバイス（ＳＰＬＤ））、結合プログラマブル論理デバイス（ＣＰＬＤ）、及びフィールド・プログラマブル・ゲート・アレイ（ＦＰＧＡ）を含むこともできる。コンピュータシステムはさらに、例えば、テキサスインスツルメント（Ｔｅｘａｓ  Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ）社のＴＭＳ３２０シリーズのチップ、モトローラ（Ｍｏｔｏｒｏｌａ）社のＤＳＰ５６０００、ＤＳＰ５６１００、ＤＳＰ５６３００、ＤＳＰ５６６００、ＤＳＰ９６０００シリーズのチップ、ルセントテクノロジ（Ｌｕｃｅｎｔ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ）社のＤＳＰ１６００及びＤＳＰ３２００、又はアナログデバイス（Ａｎａｌｏｇ  Ｄｅｖｉｃｅｓ）社のＡＤＳＰ２１００及びＡＤＳＰ２１０００シリーズなど、１つ以上のデジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）を含むこともできる。デジタルドメインに変換されたアナログ信号を処理するために特に設計された他のプロセッサを使用することもできる。
【００４１】
コンピュータシステム１２０１はさらに、バス１２０２に接続され、例えばＣＲＴ（陰極線管）などのディプレイ１２１０を制御するディスプレイコントローラ１２０９を含み、コンピュータユーザに情報を表示することもできる。コンピュータシステムは、キーボード１２１１及びポインティングデバイス１２１２などの入力デバイスを含み、これにより、コンピュータユーザと対話し、プロセッサ１２０３に情報を提供する。ポインティングデバイス１２１２は、例えばマウス、トラックボード、又はポインティングスティックであってもよく、これらにより、プロセッサ１２０３に方向情報及びコマンド選択を通信し、ディスプレイ１２１０上のカーソル移動を制御する。さらに、プリンタがコンピュータシステム１２０１により格納及び／又は生成されたデータの印刷リストを提供できる。
【００４２】
コンピュータシステム１２０１は、メインメモリなどのメモリに格納された１つ以上の命令の１つ以上のシーケンスを実行するプロセッサに応じて本発明の処理ステップの一部又は全部を実行する。このような命令は、ハードディスク１２０７又はリムーバブルメディアドライブ１２０８などの別のコンピュータ読取り可能媒体からメインメモリ１２０４に読み込まれる。マルチプロセス機構内の１つ以上のプロセッサを利用して、メインメモリ１２０４に格納された命令シーケンスを実行することもできる。代替の実施形態においては、ソフトウェア命令の代わり又はソフトウェア命令と組み合わせてハードワイヤ回路を使用できる。このように、本発明の実施形態はハードウェア回路及びソフトウェアの任意の特定の組み合わせに限定されるものではない。
【００４３】
上述のとおり、コンピュータシステム１２０１は少なくとも１つのコンピュータ読取可能媒体又はメモリを含み、これらは、本発明の教示に従ってプログラムされた命令を保持し、データ構造、テーブル、レコード、又は本明細書に記載される別のデータを格納する。コンピュータ読取可能媒体の例には、コンパクトディスク、ハードディスク、フロッピー（登録商標）ディスク、テープ、光磁気ディスク、ＰＲＯＭ（ＥＰＲＯＭ、ＥＥＰＲＯＭ、フラッシュＥＰＲＯＭ）、ＤＲＡＭ、ＳＲＡＭ、ＳＤＲＡＭ、又は任意の他の磁気媒体、コンパクトディスク（例えば、ＣＤ−ＲＯＭ）、又は任意の他の光媒体、パンチカード、ペーパーテープ、又は孔のパターンを有する他の物理媒体、搬送波（以下に説明）、又はコンピュータが読取りできる任意の他の媒体がある。
【００４４】
本発明はコンピュータ読取可能媒体の任意の１つ又は組み合わせに格納されるソフトウェアを含み、このソフトウェアにより、コンピュータシステム１２０１を制御し、本発明を実施するデバイス又は複数デバイスを駆動し、コンピュータシステム１２０１とユーザ（例えば、プリント作成者）との対話を可能にする。このようなソフトウェアにはデバイスドライバ、オペレーションシステム、開発ツール、及びアプリケーションソフトウェアを含む（ただし、これらには限定されない）。このようなコンピュータ読取可能媒体にはさらに、本発明において実行される処理の全て又は一部（処理が分散している場合）を実行するための、本発明のコンピュータプログラムプロダクトを含む。
【００４５】
本発明のコンピュータコードデバイスは、スクリプト、機械言語に翻訳可能なプログラム、ダイナミックリンクライブラリ（ＤＬＬ）、Ｊａｖａ（登録商標）クラス及び完全な実行可能プログラムを含む（ただし、これらに限定されない）、任意の機械言語に翻訳可能なコード又は実行可能コードメカニズムであってもよい。さらに、本発明の処理の各部分を分散することにより、機能の向上、高信頼性、及び／又はコストダウンを実現できる。
【００４６】
本明細書で使用される用語「コンピュータ読取可能媒体」は、プロセッサ１２０３に実行のための命令を提供する任意の媒体を指す。コンピュータ読取可能媒体は、不揮発性媒体、揮発性媒体、及び伝送媒体を含む（ただし、これらには限定されない）様々な形態を取ることができる。不揮発性媒体には、例えば、ハードディスク１２０７又はリムーバブルメディアドライブ１２０８などの光ディスク、磁気ディスク、及び光磁気ディスクを含む。揮発性媒体には、メインメモリ１２０４のようなダイナミクメモリを含む。伝送媒体には、バス１２０２を形成するワイヤを含む同軸ケーブル、銅ワイヤ及び光ファイバが挙げられる。伝送媒体はさらに、無線波及び赤外線通信において生成される音波又は光波の形態を取ることができる。
【００４７】
コンピュータ読取可能媒体の様々な形態は、プロセッサ１２０３に実行のための１つ以上の命令の１つ以上のシーケンスの実行に含まれてもよい。例えば、命令は、最初は遠隔コンピュータの磁気ディスク上に格納されてもよい。遠隔コンピュータは、本発明の全て又は一部を実行する命令を遠隔のダイナミックメモリにロードし、その命令を、モデムを用いて電話線を介して送ることができる。コンピュータシステム１２０１のローカルモデムは電話線上のデータを受け取り、赤外線送信機を用いてデータを赤外信号に変換することができる。バス１２０２に接続された赤外線検出器は赤外信号で伝送されたデータを受け取り、そのデータをバス１２０２に乗せる。バス１２０２はデータをメインメモリ１２０４に送り、そのメインメモリからプロセッサ１２０３が命令を取り出して実行する。メインメモリ１２０４で受け取られた命令は、随意に、プロセッサ１２０３による実行の前又は後のいずれかに記憶デバイス１２０７又は１２０８に格納される。
【００４８】
コンピュータシステム１２０１はさらに、バス１２０２に接続されたコミュニケーションインタフェース１２１３を含む。コミュニケーションインタフェース１２１３は、例えばＬＡＮ（ｌｏｃａｌ  ａｒｅａ  ｎｅｔｗｏｒｋ）１２１５あるいはインターネットのような他のコミュニケーションネットワーク１２１６に接続されるネットワークリンク１２１４に接続する双方向データ通信を提供する。例えば、コミュニケーションインタフェース１２１３は、任意のパケット交換ＬＡＮに結合するネットワークインタフェースカードであってもよい。他の例として、コミュニケーションインタフェース１２１３は、通信ラインの対応する種類とのデータ通信コネクションを提供する非対称デジタル加入者線（ＡＤＳＬ）カード、総合サービスデジタルネットワーク（ＩＳＤＮ）カード、又はモデムであってもよい。無線リンクも実現できる。このような実現形態においては、コミュニケーションインタフェース１２１３は様々な種類の情報を表すデジタルデータストリームを搬送する電気信号、電気磁気信号又は光信号を送信及び受信する。
【００４９】
ネットワークリンク１２１４は一般に、１つ以上のネットワークを介する他のデータデバイスへのデータ通信を実現する。例えば、ネットワークリンク１２１４は、ローカルネットワーク（例えば、ＬＡＮ）を介して、あるいはコミュニケーションネットワーク１２１６を介する通信サービスを提供するサービスプロバイダによりオペレーションされる機器を介して、別のコンピュータとのコネクションを提供できる。ローカルネットワーク１２１４及びコミュニケーションネットワーク１２１６は、例えば、デジタルデータストリームを搬送する電気信号、電気磁気信号又は光信号と、結合された物理層（例えば、ＣＡＴ５ケーブル、同軸ケーブル、光ファイバ等）とを用いる。コンピュータシステム１２０１との間でデジタルデータを搬送する、様々なネットワークを介する信号及びネットワークリンク１２１４上の信号及びコミュニケーションインタフェース１２１３を介する信号は、ベースバンド信号又は搬送波ベースの信号の形態で実現されることが多い。ベースバンド信号はデジタル信号を、デジタルデータビットのストリームの記述である非変調電気パルスとして搬送する。ここでの用語「ビット」は広く記号を意味すると解釈されるべきであり、各記号は少なくとも１つ以上の情報ビットを搬送する。デジタルデータを用いて搬送波を振幅変調、位相変調及び／又は周波数偏移変調することにより、導電媒体を介して伝播するか、又は伝播媒体を介して電磁波として送信することができる。このように、デジタルデータは、非変調ベースバンドデータとして「有線」通信チャネルを介して送信し、及び／又は搬送波を変調することにより、ベースバンドと異なる所定の周波数帯域内で送信することができる。コンピュータシステム１２０１は、プログラムコードを含むデータを、ネットワーク１２１５及び１２１６、ネットワークリンク１２１４、及びコミュニケーションインタフェース１２１３を介して送信及び受信できる。さらに、ネットワークリンク１２１４はＬＡＮ１２１５を介して、ＰＤＡ（携帯情報端末）、ラップトップコンピュータ、又は携帯電話などのモバイル機器とのコネクションを実現できる。
【００５０】
これまで本発明の特定の単に例示的な実施形態を説明してきたが、当業者であれば、本発明の新しい教示及び利点から実質的に逸脱することなくこの例示的な実施形態に関する多くの変更形態が実現可能であることは容易に理解されるであろう。したがって、このような変更形態の全ては本発明の範囲に包含されるものとする。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の実施形態に係る処理システムの概略図を示す図である。
【図２Ａ】サービス機能にアクセスするための典型的なオペレータインタフェースを示す図である。
【図２Ｂ】図２Ａに記載される実行しているサービス機能のための別の典型的なオペレータインタフェースを示す図である。
【図２Ｃ】図２Ａに記載される実行しているサービス機能のための別の典型的なオペレータインタフェースを示す図である。
【図２Ｄ】図２Ａに記載される実行しているサービス機能のための別の典型的なオペレータインタフェースを示す図である。
【図２Ｅ】図２Ａに記載される実行しているサービス機能のための別の典型的なオペレータインタフェースを示す図である。
【図２Ｆ】図２Ａに記載される実行しているサービス機能のための別の典型的なオペレータインタフェースを示す図である。
【図２Ｇ】図２Ａに記載される実行しているサービス機能のための別の典型的なオペレータインタフェースを示す図である。
【図２Ｈ】図２Ａに記載される実行しているサービス機能のための別の典型的なオペレータインタフェースを示す図である。
【図２Ｉ】図２Ａに記載される実行しているサービス機能のための別の典型的なオペレータインタフェースを示す図である。
【図２Ｊ】図２Ａに記載される実行しているサービス機能のための別の典型的なオペレータインタフェースを示す図である。
【図２Ｋ】図２Ａに記載される実行しているサービス機能のための別の典型的なオペレータインタフェースを示す図である。
【図３】本発明の他の実施形態に係る処理システムの不良を修正する方法を示す図である。
【図４】本発明の実施形態が実施され得るコンピュータシステムを示す図である。
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図２Ｄ】
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【図２Ｅ】
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【図２Ｆ】
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【図２Ｇ】
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【図２Ｈ】
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【図２Ｉ】
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【図２Ｊ】
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【図２Ｋ】
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【図３】
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【図４】
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【国際調査報告】
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