【事件の表示】
　特願２０１５−　９９３２６「回転機構、工作機械及び半導体製造装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２７年１０月１５日出願公開、特開２０１５−１８０８３２〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．手続の経緯
　本願は、平成２６年１月２８日（優先権主張　平成２５年１１月２０日、平成２６年１月１４日）に出願した特願２０１４−１３８０１号（以下、「原出願」という。）の一部を平成２７年５月１４日に新たな特許出願としたものであって、平成２７年８月１９日に手続補正書が提出され、平成２８年４月１４日付けで拒絶理由が通知され、同年６月１３日に意見書及び手続補正書が提出されたが、同年１１月１０日付けで拒絶査定がなされ、これに対し平成２９年２月１４日に拒絶査定不服審判の請求がなされたものである。
　そして、本願の請求項１〜１６に係る発明は、平成２８年６月１３日の手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１〜１６に記載された事項により特定されるとおりのものと認められるところ、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は次のとおりのものである。
「【請求項１】
　ハウジングと、
　前記ハウジングに設けられた孔に挿通されるシャフトと、
　前記ハウジングの内壁に接して前記シャフトの軸方向に固定されるとともに、前記シャフトの外周に接して前記軸方向に固定されて、前記シャフトを回転可能に支持する軸受と、
　前記シャフトの一端部に設けられて前記シャフトとともに回転し、かつ前記孔の径方向外側まで張り出した部分が前記ハウジングと所定の大きさの隙間を有して対向する回転部材と、
　前記ハウジングの、前記回転部材と対向する面に開口し、前記隙間と前記ハウジングの外側とを接続して、前記隙間の部分の気体を前記ハウジングの外部に通過させる気体通路と、
　を含み、
　前記軸受は、外輪、前記外輪の径方向内側に配置される内輪及び前記外輪と前記内輪との間に配置される転動体を有する転がり軸受であり、
　前記外輪が前記ハウジングの内壁に固定され、前記内輪が前記シャフトの外周に固定されて、前記ハウジングと前記シャフトとの前記軸方向の位置が固定されており、
　前記隙間は、前記ハウジングの内部と外部との間を封止するシール部であり、前記気体通路は、前記隙間に開口する回転機構。」
２．引用文献
（１）引用文献１に記載された事項及び引用発明
　原査定の拒絶の理由で引用され、原出願の優先日前に頒布された刊行物である特開２００１−２２１３４５号公報（以下、「引用文献１」という。）には、図面とともに次の事項が記載されている。
　なお、下線は当審で付したものである。以下同様。
ア
「【請求項１】　軸受と、当該軸受を介してハウジングに相対的に回転可能に支持された軸と、を備えたスピンドル装置の内部と外界とを密封可能なスピンドルシール装置であって、
前記軸受と前記外界との間に、気体軸受を配置したスピンドルシール装置。」
イ
「【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、スピンドル装置の内部と外界とを密封するスピンドルシール装置に関する。」
ウ
「【０００９】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するために、本発明は、軸受と、当該軸受を介してハウジングに相対的に回転可能に支持された軸と、を備えたスピンドル装置の内部と外界とを密封可能なスピンドルシール装置であって、前記軸受と前記外界との間に、気体軸受を配置したスピンドルシール装置を提供するものである。
【００１０】この構成を備えたスピンドルシール装置は、気体軸受を介して軸表面に気体（例えば、空気（エア）や窒素等）を吹き出させ、その部分の圧力を周囲より高く維持することによって、前記軸受と外界との間をシールすることができ、例えば、ダスト、グリースや潤滑油等の油分等の異物が、軸受内部から外界に放出されることを防止することができる。また、逆に外部からの切削油等の浸入を防止することもできる。」
エ
「【００１４】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態に係るスピンドルシール装置について、図面を参照して説明する。
（実施の形態１）図１は、実施の形態１に係るスピンドルシール装置の概略を示す一部断面図である。
【００１５】なお、この実施の形態１では、スピンドル装置１０は、ハウジング１２のフランジ２３の座ぐり穴を用いて、図示しない装置に取り付けられ、図１でフランジ２３から左側の部分が外界に曝されていることになる。
【００１６】図１に示すように、実施の形態１に係るスピンドルシール装置１は、
転がり軸受１１と、転がり軸受１１を介してハウジング１２に回転可能に支持された回転軸１３と、を備えたスピンドル装置１０の内部と、フランジ２３より左側の外界とを密封可能に構成されている
・・・
【００１８】この
スピンドルシール装置１は、転がり軸受１１と前記外界との間に配設された気体軸受１５を備えて構成されている
外部から供給された高圧の例えば空気を回転軸１３との間に形成されている隙間ｈ２に供給し、その空間の圧力を外部より高圧に維持し、シールを形成している
・・・
【００２０】なお、実施の形態１では、多孔質体からなる気体軸受を使用した。このように、多孔質体からなる気体軸受を使用することで、高い軸受面圧が得られ、シール性をより向上させることができる。また、この
気体軸受１５には
圧縮空気供給源から供給される圧縮空気が外部から軸受押え１４に設けられた空気供給孔１４ａを経由して供給される圧縮空気を気体軸受１５に供給する圧縮空気供給口１６が設けられている
・・・
【００２２】この構成を備えたスピンドルシール装置１は、気体軸受１５が対向する回転軸１３の円周上の圧力を均一に高く維持することができる。すなわち、気体軸受１５から回転軸１３の表面に向けて吹出される空気の圧力及び流れにより、転がり軸受１１と外界との間を確実にシールすることができる。したがって、スピンドル装置１０内部のダストやグリース等の油分等を含む異物は、前記空気によるシールを越えて外部に放出されたり、外部から異物が侵入したりすることが防止される。
・・・
【００２５】このように、実施の形態１に係るスピンドルシール装置１は、従来のスピンドルシール装置のように、シール手段として磁性流体を使用することなく、転がり軸受１１と外界との間を、気体軸受１５からの空気の吹付けにより確実にシールすることができる。」
オ
「【００３０】・・・
（実施の形態３）次に、本発明の実施の形態３に係るスピンドルシール装置について、図面を参照して説明する。
【００３１】図３は、実施の形態３に係るスピンドルシール装置の概略を示す一部断面図である。なお、実施の形態３では、実施の形態１と同様の部材には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００３２】図３に示すように、実施の形態３に係るスピンドルシール装置３の、実施の形態１に係るスピンドルシール装置２と異なる点は、実施の形態１では、気体軸受１５が半径方向のラジアル軸受を構成することによりシール作用を生じさせたのに対し、
実施の形態３では、軸方向のアキシアル軸受を構成することによりシール作用を生じさせている
・・・
【００３４】なお、図３に示す
気体軸受１５の左側端面が、気体軸受として作用する
・・・
【００３６】隙間ｈ２とｈ４の両方が微小に保たれ、
しかもシール作用を発生する
カ
　【図３】から、
（カ−１）回転軸１３はハウジング１２の孔に挿通されていること、
（カ−２）軸受押え１４は転がり軸受１１を回転軸１３の軸方向に押さえていること、
（カ−３）転がり軸受１１は外輪、内輪、転動体からなり、外輪がハウジング１２の孔内に固定され、内輪が回転軸１３の外周に固定されていること、
（カ−４）回転軸１３の端部に、ハウジング１２の孔の径方向外側まで張り出した部分がハウジング１２及び気体軸受１５と所定の大きさの隙間を有して対向する部材が設けられていること、
（カ−５）気体軸受１５はハウジング１２の孔に面した端部に設けられていること、
を看取しうる。
キ
　上記オの「【００３２】図３に示すように、・・・
実施の形態３では、軸方向のアキシアル軸受を構成することによりシール作用を生じさせている
気体軸受１５の左側端面が、気体軸受として作用する
外部から供給された高圧の例えば空気を回転軸１３との間に形成されている隙間ｈ２に供給し、その空間の圧力を外部より高圧に維持し、シールを形成している
（キ−１）上記（カ−３）で述べた回転軸１３の端部に設けた部材は回転軸１３とともに回転する部材であり、
（キ−２）上記（カ−４）で述べたハウジング１２及び気体軸受１５と回転軸１３とともに回転する部材との間の隙間は、気体軸受１５から供給された高圧の空気によりスピンドル装置１０の内部と外界とを密封可能とするシールを形成している、
と認められる。
　上記ア〜オの記載事項、上記カの図面の図示内容、【図１】、【図３】の記載、及び、上記キの認定事項から、引用文献１には次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
〔引用発明〕
「ハウジング１２と、
　ハウジング１２の孔に挿通され、軸方向に押さえられた転がり軸受１１を介してハウジング１２に回転可能に支持された回転軸１３と、
　回転軸１３の端部に設けられて、ハウジング１２の孔の径方向外側まで張り出した部分がハウジング１２及び気体軸受１５と所定の大きさの隙間を有して対向する、回転軸１３とともに回転する部材と、
　を含み、
　転がり軸受１１は外輪、内輪、転動体からなり、外輪がハウジング１２の孔内に固定され、内輪が回転軸１３の外周に固定され、
　ハウジング１２の孔に面した端部に設けられた気体軸受１５は、軸方向のアキシアル軸受を構成することによりシール作用を生じさせ、
　ハウジング１２及び気体軸受１５と回転軸１３とともに回転する部材との間の隙間は、気体軸受１５から供給された高圧の空気によりスピンドル装置１０の内部と外界とを密封可能とするシールを形成する、スピンドル装置１０。」
（２）引用文献２に記載された事項
　原査定の拒絶の理由で引用され、原出願の優先日前に頒布された刊行物である特開２０００−１００９０７号公報（以下、「引用文献２」という。）には、図面とともに次の事項が記載されている。
ク
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハや液晶表示器用のガラス基板、フォトマスク用のガラス基板、光ディスク用の基板などの基板を保持して回転させる基板保持回転手段と、基板保持回転手段で保持した基板に対して基板処理を行う処理空間と基板保持回転手段を回転させる電動モーターなどの駆動部品を配設する処理外空間とを分離するためのベース部との間にシール手段に備え、基板を保持して回転させながら洗浄乾燥処理や塗布膜の塗布処理、現像処理などの所定の基板処理を行う基板処理装置に係り、特には、
基板保持回転手段とベース部との間のシール手段の改良技術に関する。
ケ
「【００２７】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。図１は本発明の第１実施例に係る基板処理装置の全体構成を示す縦断面図であり、図２はスピンベースの底面を下方から見た図、図３はベース部の平面図、図４は要部の拡大縦断面図である。
【００２８】この実施例装置は、基板Ｗを保持して回転させる基板保持回転手段に相当するスピンチャック１を備えている。図に示すスピンチャック１は、電動モーター２の回転によって鉛直方向の軸芯Ｊ周りで回転可能な回転軸３の上端部に一体回転可能にスピンベース４が連結され、スピンベース４の上面に３個以上の保持部材５が設けられている。そして、保持部材５によって基板Ｗの外周部の３箇所以上を保持し、保持した基板Ｗを回転させながら所定の基板処理が行われる。
・・・
【００３０】この装置は、非回転部であるベース部６によって、スピンチャック１で保持した基板Ｗに対して基板処理を行う処理空間７と、電動モーター２などの駆動部品を配設する処理外空間８とを分離している。そして、回転シール機構１０によって、ベース部６に対してスピンチャック１が回転可能に処理空間７と処理外空間８との間をシールするようにしている。」
コ
「【００３１】以下、本発明の要部である回転シール機構１０の詳細な構成を説明する。この第１実施例装置の
回転シール機構１０は、スピンチャック１側（スピンベース４の底面）に設けられた環状（平面視でリング状）の回転側環状面１１と、この回転側環状面１１に対向させてベース部６側（ベース部６の上面）に設けられた環状（平面視でリング状）の非回転側環状面１２と、回転側環状面１１と非回転側環状面１２とを接近させる接近力を付与する接近力付与手段に相当するコイルバネ１３と、回転側環状面１１と非回転側環状面１２との間に気体を供給する気体供給手段に相当する気体供給機構１４とを備えている。
【００３２】スピンベース４の底面には円筒状の凹部１５が形成されており、この凹部１５に、セラミックやカーボンなどで形成した円筒状の回転側環状部材１６が組付け固定されている。この回転側環状部材１６の下面が上述した回転側環状面１１となっている。
【００３３】一方、ベース部６の上面にも円筒状の凹部１７が形成されており、この凹部１７に、セラミックやカーボンなどで形成した円筒状の非回転側環状部材１８がＯリング１９を介在させて嵌め込まれている。この非回転側環状部材１８の上面が上述した非回転側環状面１２となっている。
【００３４】ベース部６に形成した凹部１７の底面には、複数個（図では８個）のコイルバネ１３が、周方向に等間隔（図では４５°ごと）に配設されているとともに、・・・
・・・
【００３６】非回転側環状部材１８の上面（非回転側環状面１２）には、平面視で略リング状の溝を形成する４個の気体供給口２２が形成されている。各気体供給口２２は、非回転側環状部材１８内に穿設された気体供給路２３を介して、非回転側環状部材１８の外周壁面とそれに対向する凹部１７の外側の内周壁面と２個のＯリング１９とで囲まれる円筒状の気体供給バッファ部２４に連通接続されている。気体供給バッファ部２４には、気体供給管２５を介して気体供給源２６から清浄な気体が供給される。これにより、気体供給管２５、気体供給バッファ部２４、各気体供給路２３を介して各気体供給口２２から、回転側環状面１１と非回転側環状面１２との間に全周にわたって略均一に清浄な気体を供給することができる。
・・・
【００４０】次に、上記構成を有する実施例装置の動作を説明する。スピンチャック１の回転に先立ち、まず、開閉弁２７を開にして各気体供給口２２から回転側環状面１１と非回転側環状面１２との間に気体を供給させる。
【００４１】この
回転側環状面１１と非回転側環状面１２との間に供給される気体によって、図４（ｂ）に示すように、各コイルバネ１３による回転側環状面１１と非回転側環状面１２とを接近させる接近力Ｆ１に抗して、回転側環状面１１と非回転側環状面１２とが離間される離間力Ｆ２が働く。
【００４２】そして、回転側環状面１１と非回転側環状面１２との間に数十μｍ程度（例えば、２０μｍ程度）の僅かな隙間を形成して回転側環状面１１と非回転側環状面１２とを非接触状態にする。隙間の幅Ｂは、各コイルバネ１３のバネ定数や、各気体供給口２２から供給する気体の供給流量などにより調節することができる。
【００４３】回転側環状面１１と非回転側環状面１２との間への気体の供給を継続している間、この気体の供給による回転側環状面１１と非回転側環状面１２とを離間させる離間力Ｆ２と、各コイルバネ１３による回転側環状面１１と非回転側環状面１２とを接近させる接近力Ｆ１とが均衡して、回転側環状面１１と非回転側環状面１２との非接触状態（図４（ｂ）に示す状態）を維持することができる。
【００４４】この回転側環状面１１と非回転側環状面１２との非接触状態において、電動モーター２を駆動して、ベース部６に対してスピンチャック１を回転させると、ベース部６側の非回転側環状面１２に対してスピンチャック１側の回転側環状面１１が非接触状態で回転される。従って、非回転側環状面１２に対して回転側環状面１１を摺動させずに回転させることができ、回転側環状面１１及び非回転側環状面１２からのパーティクルの発生や発熱を起こさずに、ベース部６に対してスピンチャック１を回転させることができる。
【００４５】そして、
回転側環状面１１と非回転側環状面１２との間に供給させ続けている気体によって、回転側環状面１１と非回転側環状面１２との間の隙間の圧力が高められ、回転側環状面１１と非回転側環状面１２とが対向する環状面対向位置よりも外側と内側の空間である処理空間７と処理外空間８との間の雰囲気が遮断される。また、回転側環状面１１と非回転側環状面１２との間に供給させ続けている気体は、環状面対向位置を挟んだ処理空間７と処理外空間８とに向かって吹き出される。従って、処理外空間８で発生したパーティクルが処理空間７に漏れ出ることが防止され、処理外空間８で発生したパーティクルによる基板処理の処理精度の低下を防止することができる。また、基板処理で薬液を含む適宜の処理液を用いる場合でも、処理空間７から処理外空間８への処理液（薬液）雰囲気の進入が防止され、処理外空間８に配設した電動モーター２などの駆動部品が処理液（薬液）雰囲気にさらされることを防止することができ、駆動部品を耐薬性などで構成することなく、処理液（薬液）雰囲気による駆動部品の故障や寿命の短期化などを防止することができる。
【００４６】また、上述したように、本実施例に係る回転シール機構１０は、摺動する部分がなく、無摺動でシールするので、回転シール機構１０を構成する回転側環状面１１及び非回転側環状面１２をスピンベース４の外周部側に設けても、従来装置のようなパーティクルの発生量の増加や発熱の増大などの問題が起きない。従って、基板処理の処理精度の低下を招くことなく、図１に示すように、回転シール機構１０を構成する回転側環状面１１及び非回転側環状面１２をスピンベース４の外周部側に設けて、スピンチャック１を広い範囲にわたって処理外空間８に含ませることができ、スピンチャック１の構造の簡単化や低コスト化などを図ることができる。」
サ
「【００７２】次に、本発明の第３実施例装置の構成を図８ないし図１０を参照して説明する。図８は本発明の第３実施例装置の全体構成を示す縦断面図であり、図９はベース部の平面図、図１０は要部の拡大縦断面図である。
【００７３】この第３実施例装置の回転シール機構５０は、上記第１実施例装置の
回転シール機構１０に加えて、環状面対向位置よりも外側である処理空間７側に吸引口６１が配設された吸引手段に相当する吸引機構６０
をさらに備えたものである。
【００７４】
吸引機構６０の吸引口６１は、ベース部６の上面側
に配設されている。
【００７５】気体吹き出し機構７０の気体吹き出し口７１は、ベース部材６の上面側の、吸引機構６０の吸引口６１よりさらに外側である処理空間７側に配設されている。・・・
【００７６】また、
吸引口６１からの吸引効果
を高めるために、吸引口６１
の上方にスピンベース４の底面を配置させて、吸引口６１
付近にスピンベース４の底面とベース部６の上面とで挟まれた狭い空間を形成している
【００７７】この第３実施例によれば、以下のような作用効果が得られる。まず、
吸引機構６０によって、環状面対向位置よりも外側である処理空間７側に配設された吸引口６１から吸引を行うことで、基板処理で薬液を含む適宜の処理液を用いる場合でも、処理空間７から環状面対向位置に向かって流れてくる処理液（薬液）雰囲気が吸引口６１から吸引され、吸引口６１より環状面対向位置側に処理液（薬液）雰囲気が流れ込むことを防止することができ、環状面対向位置を挟んで処理空間７と反対側の処理外空間８に配設した駆動部品が処理液（薬液）雰囲気にさらされることをより確実に防止することができる。
【００７８】また、仮に、
気体供給機構１４の故障などの何らかの異常事態が発生してスピンチャック１の回転時に回転側環状面１１と非回転側環状面１２とが接触してパーティクルが発生しても、そのパーティクルは環状面対向位置よりも処理空間７側に配設された吸引口６１から吸引されて処理空間７に漏れ出ることが防止されるので、異常事態の発生時にも基板処理の処理精度の低下を防止することができる。
シ
「【００８３】また、上記第３実施例では、第１実施例の回転シール機構１０に吸引機構６０と気体吹き出し機構７０とを備えたが、いずれか一方の機構６０または７０を第１実施例の回転シール機構１０に備えただけでもよい。」
３．対比・判断
　本願発明と引用発明とを対比する。
　後者の「ハウジング１２」は、前者の「ハウジング」に相当する。
　後者の「ハウジング１２の孔に挿通され」た「回転軸１３」は、前者の「ハウジングに設けられた孔に挿通されるシャフト」に相当する。
　後者の「軸方向に押さえられた転がり軸受１１」は、回転軸１３とハウジング１２との間に介在して、回転軸１３をハウジング１２に回転可能に支持するものであり、「転がり軸受１１は外輪、内輪、転動体からなり、外輪がハウジング１２の孔内に固定され、内輪が回転軸１３の外周に固定され」るものであるので、前者の「ハウジングの内壁に接してシャフトの軸方向に固定されるとともに、シャフトの外周に接して軸方向に固定されて、シャフトを回転可能に支持する軸受」に相当し、また、後者の「転がり軸受１１は外輪、内輪、転動体からなり、外輪がハウジング１２の孔内に固定され、内輪が回転軸１３の外周に固定され」ることは、前者の「軸受は、外輪、前記外輪の径方向内側に配置される内輪及び前記外輪と前記内輪との間に配置される転動体を有する転がり軸受であ」ること、及び、「外輪がハウジングの内壁に固定され、内輪がシャフトの外周に固定されて、ハウジングとシャフトとの軸方向の位置が固定されて」いることに相当する。
　後者の「回転軸１３の端部に設けられてハウジング１２の孔の径方向外側まで張り出した部分がハウジング１２及び気体軸受１５と所定の大きさの隙間を有して対向する、回転軸１３とともに回転する部材」は、前者の「シャフトの一端部に設けられてシャフトとともに回転し、かつ孔の径方向外側まで張り出した部分がハウジングと所定の大きさの隙間を有して対向する回転部材」に相当する。
　後者の「ハウジング１２」「と回転軸１３とともに回転する部材との間の隙間は、気体軸受１５から供給された高圧の空気によりスピンドル装置１０の内部と外界とを密封可能とするシールを形成する」ことは、前者のハウジングと回転部材との間の「隙間は、ハウジングの内部と外部との間を封止するシール部であ」ることに相当する。
　後者の「スピンドル装置１０」は、前者の「回転機構」に相当する。
　そうすると、両者の一致点、相違点は次のとおりである。
〔一致点〕
「ハウジングと、
　前記ハウジングに設けられた孔に挿通されるシャフトと、
　前記ハウジングの内壁に接して前記シャフトの軸方向に固定されるとともに、前記シャフトの外周に接して前記軸方向に固定されて、前記シャフトを回転可能に支持する軸受と、
　前記シャフトの一端部に設けられて前記シャフトとともに回転し、かつ前記孔の径方向外側まで張り出した部分が前記ハウジングと所定の大きさの隙間を有して対向する回転部材と、
　を含み、
　前記軸受は、外輪、前記外輪の径方向内側に配置される内輪及び前記外輪と前記内輪との間に配置される転動体を有する転がり軸受であり、
　前記外輪が前記ハウジングの内壁に固定され、前記内輪が前記シャフトの外周に固定されて、前記ハウジングと前記シャフトとの前記軸方向の位置が固定されており、
　前記隙間は、前記ハウジングの内部と外部との間を封止するシール部である、回転機構。」
〔相違点〕
　本願発明は、「ハウジングの、回転部材と対向する面に開口し、隙間とハウジングの外側とを接続して、隙間の部分の気体をハウジングの外部に通過させる気体通路」を有し、「気体通路は、隙間に開口する」との事項を有しているのに対して、引用発明は、そのような構成を有していない点。
　上記相違点について以下検討する。
　引用文献２には、
ア　基板保持回転手段とベース部との間のシール手段の改良技術に関して（上記「２．（２）ク」参照）、
イ　スピンチャック１側（スピンベース４の底面）に設けられた環状の回転側環状面１１と、この回転側環状面１１に対向させてベース部６側（ベース部６の上面）に設けられた環状の非回転側環状面１２との間に気体を供給する気体供給手段に相当する気体供給機構１４とを備えた回転シール機構１０により、回転側環状面１１と非回転側環状面１２との間に供給させ続けている気体によって、回転側環状面１１と非回転側環状面１２との間の隙間の圧力が高められ、回転側環状面１１と非回転側環状面１２とが対向する環状面対向位置よりも外側と内側の空間である処理空間７と処理外空間８との間の雰囲気が遮断され（上記「２．（２）コ」の段落【００３１】、【００４５】参照）、
ウ　回転シール機構１０に加えて、環状面対向位置よりも外側である処理空間７側のベース部６の上面側に吸引口６１が配設された吸引機構６０をさらに備え、吸引口６１付近はスピンベース４の底面とベース部６の上面とで挟まれた狭い空間が形成され、吸引機構６０によって、環状面対向位置よりも外側である処理空間７側に配設された吸引口６１から吸引を行うことで、処理空間７から環状面対向位置に向かって流れてくる処理液（薬液）雰囲気が吸引口６１から吸引され、吸引口６１より環状面対向位置側に処理液（薬液）雰囲気が流れ込むことを防止することができ、また、環状面対向位置側からパーティクルが発生しても、そのパーティクルは環状面対向位置よりも処理空間７側に配設された吸引口６１から吸引されて処理空間７に漏れ出ることが防止される（上記「２．（２）サ」の段落【００７３】、【００７６】〜【００７８】参照）、
ことが記載されている。
　そうすると、引用文献２には、「空気供給による回転シール機構１０に加えて、スピンベース４の底面とベース部６の上面との間の空間に面してベース部６の上面側に吸入口６１を配設し、その吸入口６１から吸引を行うことで処理空間７と処理外空間８との間のシールを形成する機構を設けること」（以下、「引用文献２に記載の事項」という。）が記載されているといえる。
　引用発明と引用文献２に記載の事項とは、何れも回転機構の内と外とをシールする技術である点で共通するものであり、また、シール機能を更に向上させようとすることは一般的な課題といえるので、引用発明の気体軸受１５によるシールに対して、引用文献２に記載された、吸入によるシールの機構を追加するという事項を適用する動機付けは十分にあるといえる。
　そうしてみると、引用発明において、高圧の空気を供給する気体軸受１５より外周側でシールを形成している、ハウジング１２と回転軸１３とともに回転する部材との間の隙間に、引用文献２に記載の、空気供給による回転シール機構１０に加えて、スピンベース４の底面とベース部６の上面との間の空間の吸引を行うよう、ベース部６の上面側に吸入口６１を配設し、吸引によるシールをさらに形成するとの事項を適用することは、当業者が容易に想到し得ることといえ、その際に、排気先をワークの加工・処理に影響のないハウジングの外側とすることは、隙間の空気を吸引することの技術的意義に鑑みれば、当業者が適宜になし得ることといえる。
　よって、引用発明を相違点に係る本願発明の構成とすることは、引用文献２に記載の事項に基づいて当業者が容易に想到し得ることといえる。
　そして、本願発明の奏する作用及び効果を検討しても、引用発明及び引用文献２に記載の事項から予測できる程度のものであって格別のものではない。
　したがって、本願発明は、引用発明及び引用文献２に記載の事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
４．むすび
　以上のとおり、本願の請求項１に係る発明（本願発明）は、引用発明及び引用文献２に記載の事項に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、本願の他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。