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【手続補正書】
【提出日】平成28年10月7日(2016.10.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気コネクタの第１の端部と第２の端部との間に介在し、複数の電気的接点を支持するように構成される非導電性部材を備える電気コネクタであって、
前記複数の電気的接点は前記非導電性部材を通過して電気信号を伝達するように構成され、
前記非導電性部材は、少なくとも一対の隣接する電気的接点間の前記非導電性部材の表面上に配置された１つまたは複数の山部を有し、
前記非導電性部材は、前記非導電性部材の前記表面上に配置された谷部を有し、
前記少なくとも一対の隣接する電気的接点の各々は、前記谷部に位置し、前記１つまたは複数の山部のうちの１つは、各電気的接点を包囲する隆起部を形成し、
前記非導電性部材は、ガラスまたはセラミックの誘電体材料を含み、前記電気コネクタの前記第１の端部と前記第２の端部との間の圧力境界を形成する、
電気コネクタ。
【請求項２】
前記１つまたは複数の山部は、前記非導電性部材の前記表面上に堆積された低い表面エネルギーを有する材料を含む、請求項１に記載の電気コネクタ。
【請求項３】
前記１つまたは複数の山部は、前記非導電性部材と一体となって形成される、請求項１に記載の電気コネクタ。
【請求項４】
前記１つまたは複数の山部が配置された前記非導電性部材の前記表面は、低い表面エネルギーを有する材料により被覆されている、請求項１に記載の電気コネクタ。
【請求項５】
前記一対の隣接する電気的接点間の、前記１つまたは複数の山部が配置された前記非導電性部材の前記表面に沿った長さは、前記一対の隣接する電気的接点間の直線距離よりも長い、請求項１に記載の電気コネクタ。
【請求項６】
前記１つまたは複数の山部が配置された前記非導電性部材の前記表面の第１の表面積は、前記非導電性部材の反対側の表面の第２の表面積よりも大きい、請求項１に記載の電気コネクタ。
【請求項７】
少なくとも前記非導電性部材の前記表面と結合するために前記電気コネクタの開放端内に導入される注封材料をさらに含む、請求項１に記載の電気コネクタ。
【請求項８】
電気コネクタ内の接点間で流体によって引き起こされる電気的短絡の危険性を低減する方法であって、
前記電気コネクタの前記接点間に、ガラスまたはセラミックの誘電体材料を含む非導電性部材を与えることと、
前記非導電性部材の表面上に、前記接点の各々を包囲する隆起部を形成する、前記ガラスまたはセラミックの誘電体材料を含む１つまたは複数の山部を配置することと、
前記非導電性部材の前記表面上に、その中に前記電気コネクタの各接点が位置する谷部を配置することと、
前記電気コネクタの第１の端部と第２の端部との間に前記非導電性部材を与えることにより、前記電気コネクタの前記第１の端部と前記第２の端部との間に圧力境界を形成することと、
を含む、方法。
【請求項９】
前記非導電性部材の前記表面上に前記１つまたは複数の山部を配置することは、前記接点間の前記非導電性部材の前記表面に沿った漏れ経路距離を長くする、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記電気コネクタの開放端内に注封材料を導入して、前記非導電性部材の前記表面と結合することを更に含み、前記非導電性部材の前記表面上に前記１つまたは複数の山部を配置することは、前記注封材料が結合することができる前記非導電性部材の前記表面の表面積を拡大する、請求項８に記載の方法。
【請求項１１】
前記非導電性部材の前記表面上に前記１つまたは複数の山部を配置することは、前記１つまたは複数の山部および前記非導電性部材を一体の構成要素として形成することを含む、請求項８に記載の方法。
【請求項１２】
前記１つまたは複数の山部が配置された前記非導電性部材の前記表面を低表面エネルギー材料で被覆することを更に含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
シェルと、
電気信号を伝達するように構成される複数の接点と、
前記シェルの第１の端部と第２の端部との間に介在し、前記複数の接点を支持するように構成される非導電性部材と、
を備えるシステムであって、
前記非導電性部材は、
少なくとも一対の隣接する電気的接点間の前記非導電性部材の表面上に配置され、各電気的接点を包囲する隆起部を形成する山部と、
前記非導電性部材の前記表面上に配置され、その中に前記少なくとも一対の隣接する電気的接点の各電気的接点が位置する谷部と、
を含み、前記一対の隣接する接点間の前記非導電性部材の前記表面に沿った漏れ経路距離が、前記一対の隣接する接点間の直線距離よりも長くなるようにし、
前記非導電性部材は、ガラスまたはセラミックの誘電体材料を含み、かつ、前記シェルの前記第１の端部と前記第２の端部との間に圧力境界を形成する、
システム。
【請求項１４】
前記シェルの開放端内に導入されて、前記非導電性部材の前記表面と結合する注封材料を更に備え、前記非導電性部材の前記表面上に配置される前記山部は、前記注封材料が結合することができる前記非導電性部材の前記表面の表面積を拡大する、請求項１３に記載のシステム。
【請求項１５】
前記山部は前記非導電性部材と一体品となって形成される、請求項１３に記載のシステム。
【手続補正書】
【提出日】平成28年4月28日(2016.4.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、簡易な操作で仮想キーによる情報入力を可能とする仕組みを提供することを目的とする。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の情報処理装置は、仮想キーによる情報入力を可能とする情報処理装置であって、前記仮想キーを、複数の階層のうち当該仮想キーの属する階層と、当該階層における当該仮想キーの位置と対応付けて記憶する対応記憶手段と、前記仮想キーを操作する指示体を検出部で検出することにより、当該指示体の３次元空間上の位置を特定する位置特定手段と、仮想キーに接触した指示体が、当該仮想キーに接触した後に当該仮想キーに反するように上方向に移動したか否かを、前記位置特定手段で特定された前記指示体の位置と前記対応記憶手段に記憶されている仮想キーの位置とに基づいて判定する判定手段と、前記判定手段で、当該指示体が当該仮想キーに接触した後に当該仮想キーに反するように上方向に移動したと判定された場合に、当該仮想キーによる情報の入力を決定する決定手段と、前記決定手段で入力が決定された情報を入力部に入力する制御をする入力手段と、を備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明によれば、簡易な操作で仮想キーによる情報入力を可能とする仕組みを提供することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
仮想キーによる情報入力を可能とする情報処理装置であって、
前記仮想キーを、複数の階層のうち当該仮想キーの属する階層と、当該階層における当該仮想キーの位置と対応付けて記憶する対応記憶手段と、
前記仮想キーを操作する指示体を検出部で検出することにより、当該指示体の３次元空間上の位置を特定する位置特定手段と、
仮想キーに接触した指示体が、当該仮想キーに接触した後に当該仮想キーに反するように上方向に移動したか否かを、前記位置特定手段で特定された前記指示体の位置と前記対応記憶手段に記憶されている仮想キーの位置とに基づいて判定する判定手段と、
前記判定手段で、当該指示体が当該仮想キーに接触した後に当該仮想キーに反するように上方向に移動したと判定された場合に、当該仮想キーによる情報の入力を決定する決定手段と、
前記決定手段で入力が決定された情報を入力部に入力する制御をする入力手段と、
を備えることを特徴とする情報処理装置。
【請求項２】
前記情報処理装置は表示部を備え、
前記位置特定手段で特定された前記指示体の位置に従って、前記指示体が位置する前記階層を特定する階層特定手段と、
前記対応記憶手段で、前記階層特定手段で特定された階層に対応付けて記憶されている前記仮想キーを前記表示部に表示させるべく制御する表示制御手段と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項３】
前記表示制御手段は、前記位置特定手段で特定された前記指示体の位置を識別可能に前記表示部に表示する制御を行うことを特徴とする請求項２に記載の情報処理装置。
【請求項４】
前記表示制御手段は、前記指示体が接触した仮想キーを識別可能に前記表示部に表示することを特徴とする請求項２又は３に記載の情報処理装置。
【請求項５】
前記決定手段は、前記指示体と前記仮想キーが接触したまま所定の時間が経過した場合に、当該指示体と接触している仮想キーによる情報の入力を、入力部に対して連続して行うことを決定し、
前記入力手段は、前記決定手段により連続して入力することが決定された情報を、前記入力部に連続して入力することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項６】
前記位置特定手段は、物体の位置を測定するセンサ、又は前記指示体を撮像した画像を用いて、前記指示体の位置を特定することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項７】
前記入力部は、前記情報処理装置の表示部に表示されている入力部であって、
前記入力手段は、前記表示部に表示されている入力部上に入力した情報を表示させるべく、当該入力部に前記決定手段で入力することが決定された情報の入力を行うことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項８】
前記指示体の面積と、当該面積の指示体がいずれの仮想キーに接触したか特定するための情報を記憶する情報記憶手段と、
前記指示体を撮像した画像から、前記指示体が前記仮想キーに接触したことを特定するために用いる、前記指示体の面の面積を特定する面積特定手段と、
前記面積特定手段で特定された前記面積の広さの情報と前記情報記憶手段に記憶されている情報を用いて、前記指示体が、いずれの仮想キーに接触したかを特定する、接触キー特定手段と、
を備えることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項９】
仮想キーによる情報入力を可能とし、前記仮想キーを、複数の階層のうち当該仮想キーの属する階層と、当該階層における当該仮想キーの位置と対応付けて記憶する対応記憶手段と、前記仮想キーを操作する指示体を検出部で検出することにより、当該指示体の３次元空間上の位置を特定する位置特定手段と、を備える情報処理装置の制御方法であって、
仮想キーに接触した指示体が、当該仮想キーに接触した後に当該仮想キーに反するように上方向に移動したか否かを、前記位置特定手段で特定された前記指示体の位置と前記対応記憶手段に記憶されている仮想キーの位置とに基づいて判定する判定工程と、
前記判定工程で、当該指示体が当該仮想キーに接触した後に当該仮想キーに反するように上方向に移動したと判定された場合、当該仮想キーによる情報の入力を決定する決定工程と、
前記決定工程で入力が決定された情報を入力部に入力する制御をする入力工程と、
を含むことを特徴とする情報処理装置の制御方法。
【請求項１０】
仮想キーによる情報入力を可能とし、前記仮想キーを、複数の階層のうち当該仮想キーの属する階層と、当該階層における当該仮想キーの位置と対応付けて記憶する対応記憶手段と、前記仮想キーを操作する指示体を検出部で検出することにより、当該指示体の３次元空間上の位置を特定する位置特定手段と、を備える情報処理装置で実行が可能なプログラムであって、
前記情報処理装置を、
仮想キーに接触した指示体が、当該仮想キーに接触した後に当該仮想キーに反するように上方向に移動したか否かを、前記位置特定手段で特定された前記指示体の位置と前記対応記憶手段に記憶されている仮想キーの位置とに基づいて判定する判定手段と、
前記判定手段で、当該指示体が当該仮想キーに接触した後に当該仮想キーに反するように上方向に移動したと判定された場合、当該仮想キーによる情報の入力を決定する決定手段と、
前記決定手段で入力が決定された情報を入力部に入力する制御をする入力手段として機能させることを特徴とする情報処理装置のプログラム。
【手続補正書】
【提出日】平成28年6月13日(2016.6.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
異なる励起波長への曝露時に異なる色の光を発光できる複数の蛍光材料を含む蛍光インクであって、
前記複数の蛍光材料のいずれか２つの吸収最大値の差異が少なくとも３０ｎｍである蛍光インク。
【請求項２】
前記蛍光インクが相転移インクである、請求項１に記載の蛍光インク。
【請求項３】
前記複数の蛍光材料が、第１の蛍光材料および第２の蛍光材料を含み、前記蛍光インクが、第１の励起波長への曝露時に第１の色の光を発光し、第２の励起波長への曝露時に第２の色の光を発光する、請求項１に記載の蛍光インク。
【請求項４】
前記第１の蛍光材料と前記第２の蛍光材料との重量比が、１０：１〜１：１０である、請求項３に記載の蛍光インク。
【請求項５】
前記複数の蛍光材料のうちの１つの励起波長が、２８０ｎｍ〜３６０ｎｍである、請求項３に記載の蛍光インク。
【請求項６】
前記複数の蛍光材料が、第３の蛍光材料をさらに含む、請求項１に記載の蛍光インク。
【請求項７】
前記複数の蛍光材料の総量が、前記蛍光インクの０．０１重量％〜１５重量％をなす、請求項１に記載の蛍光インク。
【請求項８】
前記複数の蛍光材料が、独立に、ローダミン、フルオレセイン、クマリン、ナフタルイミド、ベンゾキサンテン、アクリジン、アゾ、レアアース金属の配位錯体、およびこれらの混合物からなる群から選択される、請求項１に記載の蛍光インク。
【請求項９】
前記複数の蛍光材料のうちの１つの励起波長が、１８０ｎｍ〜３００ｎｍである、請求項１に記載の蛍光インク。
【請求項１０】
前記複数の蛍光材料のうちの１つの励起波長が、３２０ｎｍ〜４００ｎｍである、請求項１に記載の蛍光インク。
【請求項１１】
前記蛍光インクが、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラック、およびこれらの混合物からなる群から選択される着色非蛍光材料をさらに含む、請求項１に記載の蛍光インク。
【請求項１２】
前記蛍光インクが、着色非蛍光材料を含まない、請求項１に記載の蛍光インク。
【請求項１３】
エチレン／プロピレンコポリマー、酸化された合成または石油ワックスのウレタン誘導体、ｎ−パラフィン炭化水素、分岐パラフィン炭化水素、ナフタレン炭化水素、高度に分岐した炭化水素、線状アルコール、炭化水素系ワックス、グラフト共重合によって調製されるポリオレフィンの変性無水マレイン酸炭化水素付加体、脂肪族アミド、ロジンエステル、ポリアミド、ダイマー酸アミド、脂肪酸アミド、ポリビニルアルコール樹脂、ポリオール、セルロースエステル、セルロースエーテル、ポリビニルピリジン樹脂、脂肪酸、脂肪酸エステル、ポリスルホンアミド、フタレート可塑剤、シトレート可塑剤、マレエート可塑剤、スルホン、線状一級アルコールと線状長鎖アミドまたは脂肪酸アミドとの混合物、およびこれらの混合物からなる群から選択されるインクビヒクルをさらに含む、請求項１に記載の蛍光インク。
【請求項１４】
前記インクビヒクルが、４０℃未満にて固体であり、６０℃〜１５０℃の噴出温度にて１〜２０ｃＰの粘度を有する、請求項１３に記載の蛍光インク。
【請求項１５】
第１の蛍光材料および第２の蛍光材料を含み、前記第１の蛍光材料と前記第２の蛍光材料との重量比が１０：１〜１：１０であり、前記第１の蛍光材料の吸収最大値と前記第２の蛍光材料の吸収最大値との差異が少なくとも３０ｎｍである蛍光インクであって、
前記蛍光インクが、第１の励起波長への曝露時に第１の色の光を発光し、第２の励起波長への曝露時に第２の色の光を発光し、
前記第１の励起波長と前記第２の励起波長との差異が少なくとも３０ｎｍである、蛍光インク。
【請求項１６】
前記蛍光インクが、第３の蛍光材料をさらに含み、
前記蛍光インクが、第３の励起波長への曝露時に第３の色の光を発光し、
前記第１の励起波長と前記第３の励起波長との差異が少なくとも３０ｎｍであり、前記第１の励起波長と前記第３の励起波長との差異は少なくとも３０ｎｍである、請求項１５に記載の蛍光インク。
【請求項１７】
認証方法であって、
基材を提供することと、
基材を、異なる励起波長への曝露時に異なる光の色を発光する複数の蛍光材料を含む蛍光インクであって、前記複数の蛍光材料のいずれか２つの吸収最大値の差異が少なくとも３０ｎｍである蛍光インクと接触させることと、
異なる励起波長下で発光を検出することと、を含む、認証方法。
【請求項１８】
前記複数の蛍光材料が、第１の蛍光材料および第２の蛍光材料を含み、
前記蛍光インクが、第１の励起波長への曝露時に第１の色の光を発光し、第２の励起波長への曝露時に第２の色の光を発光し、
前記第１の蛍光材料の吸収最大値と前記第２の蛍光材料の吸収最大値との差異が少なくとも３０ｎｍであり、
前記第１の励起波長と前記第２の励起波長との差異が少なくとも３０ｎｍである、請求項１７に記載の認証方法。
【請求項１９】
前記蛍光インクが、第３の蛍光材料をさらに含み、
前記蛍光インクが、第３の励起波長への曝露時に第３の色の光を発光し、
前記複数の蛍光材料のいずれかの吸収最大値の差異が少なくとも３０ｎｍであり、
前記複数の蛍光材料のいずれかの第１の励起波長の差異が少なくとも３０ｎｍである、請求項１７に記載の認証方法。
【手続補正書】
【提出日】平成28年6月21日(2016.6.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トランジションダクト（２６）であって、
ａ．トランジションダクト（２６）の後方端（４８）のフレーム（５０）であって、下流端（５４）、半径方向外側部分（６０）、半径方向外側部分（６０）と対向する半径方向内側部分（５８）、半径方向外側部分（６０）と内側部分（５８）の間の第１の側面部分（６２）、及び半径方向外側部分（６０）と内側部分（５８）の間にあって第１の側面部分（６２）と対向する第２の側面部分（６４）を有するフレーム（５０）と、
ｂ．フレーム（５０）の第１の側面部分（６２）のスロット（６６）であって、フレーム（５０）の下流端（５４）に隣接する下流側表面（７０）を有するスロット（６６）と、
ｃ．内側表面（７４）、外側表面（７６）、及び内側表面（７４）から外に突き出た複数のスペーサ（７８）を有する熱シールド（７２）であって、内側表面（７４）がスロット（６６）の下流側表面（７０）及びフレーム（５０）の下流端（５４）に隣接しており、熱シールド（７２）がスロット（６６）の下流側表面（７０）及びフレーム（５０）の下流端（５４）に圧縮力を加えるように構成されている、熱シールド（７２）と、
ｄ．熱シールド（７２）の内側表面（７４）と、スロット（６６）の下流側表面（７０）と、フレーム（５０）の第１及び／又は第２の側面部分（６２，６４）と、フレーム（５０）の下流端（５４）との間に画成される第１の冷却流通路（８２）と
を備えるトランジションダクト（２６）。
【請求項２】
複数のスペーサ（７８）の少なくとも一部が、熱シールド（７２）の内側表面（７４）からフレーム（５０）の下流端（５４）に向かって延在する、請求項１記載のトランジションダクト（２６）。
【請求項３】
複数のスペーサ（７８）の少なくとも一部が、熱シールド（７２）の内側表面（７４）からスロット（６６）の下流側表面（７０）に向かって延在する、請求項１又は請求項２記載のトランジションダクト（２６）。
【請求項４】
熱シールド（７２）が、熱シールド（７２）の外側表面（７６）から外に突き出た１以上のスペーサ（７８）をさらに備える、請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載のトランジションダクト（２６）。
【請求項５】
熱シールド（７２）の少なくとも一部が、耐熱材料又は耐摩耗材料の少なくとも１種類でコートされる、請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載のトランジションダクト（２６）。
【請求項６】
熱シールド（７２）の内側表面（７４）の少なくとも一部がフレーム（５０）の第１の側面部分（６２）の一部に隣接した、請求項１乃至請求項５のいずれか１項記載のトランジションダクト（２６）。
【請求項７】
複数のスペーサ（７８）の少なくとも一部が、熱シールド（７２）の内側表面（７４）からフレーム（５０）の第１の側面部分（６２）に向かって延在する、請求項６記載のトランジションダクト（２６）。
【請求項８】
少なくとも部分的にスロット（６６）内に配置された半径方向シール（８４）をさらに備える、請求項１乃至請求項７のいずれか１項記載のトランジションダクト（２６）。
【請求項９】
熱シールド（７２）の外側表面（７６）の一部が半径方向シール（８４）に隣接した、請求項８記載のトランジションダクト（２６）。
【請求項１０】
熱シールド（７２）のスペーサ（７８）のうちの少なくとも１つが、熱シールド（７２）の外側表面（７６）から半径方向シール（８４）の第２の表面（８８）に向かって延在する、請求項８又は請求項９記載のトランジションダクト（２６）。
【請求項１１】
少なくとも部分的に半径方向シール（８４）の第２の表面（８８）と熱シールド（７２）の外側表面（７６）の間に画成される第２の冷却流通路（９０）をさらに備える、請求項８乃至請求項１０のいずれか１項記載のトランジションダクト（２６）。
【請求項１２】
燃焼器（１４）であって、請求項１乃至請求項１１のいずれか１項記載のトランジションダクト（２６）が少なくとも部分的に当該燃焼器（１４）内に延在している、燃焼器（１４）。
【請求項１３】
トランジションダクト（２６）が、前方端（４６）及び後方端（４８）を有する管状体（４４）を含んでおり、前方端（４６）が、燃焼器（１４）の燃焼器ライナ（３０）と係合する、請求項１２記載の燃焼器（１４）。
【手続補正書】
【提出日】平成28年6月13日(2016.6.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のメカノルミネッセンス材料(１０２、１０４)を含む第１のターボ機械構成要素(１２、１４、１８、１６、２２、２４)を備えるターボ機械（１０）であって、前記第１のターボ機械構成要素(１２、１４、１８、１６、２２、２４)が、前記第１のメカノルミネッセンス材料(１０２、１０４)によってメカノルミネッセンスが生じるのに十分な機械的刺激に曝されると、第１の光の放射(８６、９０)を生成する、ターボ機械（１０）と、
前記第１の光の放射(８６、９０)と前記第１のターボ機械構成要素(１２、１４、１８、１６、２２、２４)の前記メカノルミネッセンスとの相関による前記第１の光の放射(８６、９０)の分析に基づいて、前記第１のターボ機械構成要素(１２、１４、１８、１６、２２、２４)の構造上の健全性を監視し、及び／又は、前記第１のターボ機械構成要素(１２、１４、１８、１６、２２、２４)の前記構造上の健全性を示すユーザが認知できる表示を提供し、及び／又は、前記第１の光の放射(８６、９０)に応じて前記ターボ機械（１０）の運転速度を調整するように構成されたデータ取得および分析回路を含む制御装置（５０、５２、６０）を備えるターボ機械監視システム（２０）と
を具備するシステム。
【請求項２】
前記ターボ機械監視システム（２０）が、
前記第１の光の放射（８６、９０)を検知し、前記第１の光の放射（８６、９０)を表す第１の電気信号を生成するように構成された光検出器(４６、４８、６６)を備え、
前記制御装置（５０、５２、６０）は、前記第１の電気信号を分析して、前記第１の光の放射（８６、９０)に関するパラメータを測定するように構成される、請求項１記載のシステム。
【請求項３】
前記制御装置（５０、５２、６０）が、前記パラメータを測定することで、前記第１の光の放射（８６、９０）が、前記第１のターボ機械構成要素(１２、１４、１８、１６、２２、２４)の機械的故障を示すものか、または初期の機械的故障を示すものかを判定するように構成されている、請求項２記載のシステム。
【請求項４】
前記パラメータが、前記検知された第１の光の放射（８６、９０）の強度、前記第１の光の放射（８６、９０）における１つまたは複数の波長の相対的強度、前記第１の光の放射（８６、９０）のタイミング、前記第１の光の放射（８６、９０）の波長、前記第１の光の放射（８６、９０）の周波数、またはそれらの任意の組合せを含む、請求項２記載のシステム。
【請求項５】
前記ターボ機械監視システム（２０）が、前記第１のターボ機械構成要素(１２、１４、１８、１６、２２、２４)を前記光検出器（４６、４８、６６）に光学的に結合する光ファイバケーブル（７４、７６）を備える、請求項２記載のシステム。
【請求項６】
前記ターボ機械監視システム（２０）が、前記第１の光の放射（８６、９０）の少なくとも一部を捕捉するように構成されたカメラ（４６、４８、６６）を備える、請求項１乃至５のいずれかに記載のシステム。
【請求項７】
前記ターボ機械（１０）が、タービン（１４）、圧縮機（１２）またはポンプを備え、前記第１のターボ機械構成要素(１２、１４、１８、１６、２２、２４)が、燃料ノズル（１８）、燃焼器（１６）、排気部分、回転ブレード（２２、２４）、またはそれらの任意の組合せのうちの少なくとも一部を備える、請求項１乃至５のいずれかに記載のシステム。
【請求項８】
前記第１のターボ機械構成要素(１２、１４、１８、１６、２２、２４)が、複数の積み重ねられた層(１００、１０６、１０８、１１０、１１２、１１４、１１６、１２０)を備え、前記複数の積み重ねられた層のそれぞれがセラミックマトリクス複合体（ＣＭＣ）から形成される、請求項１乃至７のいずれかに記載のシステム。
【請求項９】
前記ターボ機械（１０）が、第２のメカノルミネッセンス材料（１０２、１０４）を有する第２のターボ機械構成要素(１２、１４、１８、１６、２２、２４)を備え、前記第２のターボ機械構成要素(１２、１４、１８、１６、２２、２４)が、前記第２のメカノルミネッセンス材料(１０２、１０４)によって第２の光の放射(８６、９０)が生じるのに十分な第２の機械的刺激に曝されると、前記放射(８６、９０)を生成するように構成されており、前記ターボ機械監視システム（２０）が、前記第２の光の放射(８６、９０)の検知に基づいて前記第２の構成要素(１２、１４、１８、１６、２２、２４)の構造上の健全性を監視するように構成されている、請求項１乃至８のいずれかに記載のシステム。
【請求項１０】
前記第１の光の放射（８６、９０）および前記第２の光の放射（８６、９０）がそれぞれ、１つまたは複数の特徴的な放射パラメータを含み、前記ターボ機械監視システム（２０）が、前記第１の光の放射(８６、９０)と、前記第２の光の放射(８６、９０)を差別化することで、前記第１のターボ機械構成要素(１２、１４、１８、１６、２２、２４)および前記第２のターボ機械構成要素(１２、１４、１８、１６、２２、２４)の機械的故障が示されているか、または初期の機械的故障が示されているかを判定するように構成されている、請求項９記載のシステム。
【請求項１１】
前記機械的刺激が、前記第１のメカノルミネッセンス材料（１０２、１０４）に対する圧力、前記第１のメカノルミネッセンス材料（１０２、１０４）に対する摩耗、前記第１のメカノルミネッセンス材料（１０２、１０４）に対する振動性かつ固定式の負荷、または前記第１のメカノルミネッセンス材料（１０２、１０４）に対する異物損傷のうちの少なくとも１つを含む、請求項１乃至１０のいずれかに記載のシステム。
【手続補正書】
【提出日】平成28年6月13日(2016.6.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ａ．内側面（１６）と、
ｂ．前記内側面（１６）の反対側の外側面（１８）であって、正圧側（２０）、前記正圧側（２０）の反対側の負圧側（２２）、前記正圧側（２０）と前記負圧側（２２）との間の淀み線（２４）、および前記正圧側（２０）と前記負圧側（２２）との間に、前記淀み線（２４）から下流にある後縁（２６）を備える外側面（１８）と、
ｃ．前記外側面（１８）上の淀み溝区分（４０）の縦列（４２）を形成する複数の淀み溝区分（４０）であって、前記淀み線（２４）が各前記淀み溝区分（４０）の少なくとも部分を通過し、前記複数の淀み溝区分（４０）が、第２の端部から半径方向及び軸方向に隔てられた第１の端部を有する第１の淀み溝区分と、前記第１の淀み溝区分に半径方向で隣接して配置され、第２の端部から半径方向及び軸方向に隔てられた第１の端部を有する第２の淀み溝区分と、を含み、前記第１の淀み溝区分の前記第２の端部が、前記第２の淀み溝区分の前記第１の端部に対して半径方向で重なる、複数の淀み溝区分（４０）と、
ｄ．前記各淀み溝区分（４０）内の少なくとも１つの冷却通路（４４）であって、前記内側面（１６）から前記外側面（１８）に流体連通をもたらす、冷却通路（４４）と
を備える、エーロフォイル（１０）。
【請求項２】
前記少なくとも１つの淀み溝区分（４０）が、弓型である、請求項１記載のエーロフォイル（１０）。
【請求項３】
前記少なくとも１つの淀み溝区分（４０）が、前記少なくとも１つの淀み溝区分（４０）の長さ（３０、３２）に沿って異なる寸法を含む、請求項１乃至２のいずれか記載のエーロフォイル（１０）。
【請求項４】
前記少なくとも１つの淀み溝区分（４０）が、減少する寸法を含み、前記少なくとも１つの淀み溝区分（４０）内の前記少なくとも１つの冷却通路（４４）が、前記減少する寸法の方へ屈曲している、請求項１乃至３のいずれか記載のエーロフォイル（１０）。
【請求項５】
前記正圧側（２０）上の重なり型正圧側溝区分（４６）の縦列（４８）をさらに備える、請求項１乃至４のいずれか記載のエーロフォイル（１０）。
【請求項６】
前記負圧側（２２）上の重なり型負圧側溝区分（５０）の縦列（５２）をさらに備える、請求項５記載のエーロフォイル（１０）。
【請求項７】
前記各正圧側溝区分（４６）内に少なくとも１つの側面冷却通路（５８）をさらに備え、前記側面冷却通路（５８）が、前記内側面（１６）から前記外側面（１８）に流体連通をもたらす、請求項５乃至６のいずれか記載のエーロフォイル（１０）。
【請求項８】
前記正圧側溝区分（４６）が、前記淀み溝区分（４０）内の前記冷却通路（５８）から半径方向にオフセットされている、請求項７記載のエーロフォイル（１０）。
【手続補正書】
【提出日】平成28年6月22日(2016.6.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
タービンの燃焼器キャップアセンブリを整備するための方法であって、
複数のベーン内に配置された、前記キャップアセンブリの中央リング内に欠陥があると決定するステップと、
前記キャップアセンブリから前記中央リングを除去するステップと、
前記キャップアセンブリを固定具に取り付けるステップであって、前記固定具が、
前記キャップアセンブリから軸方向に離間したベースと、
前記ベースから軸方向に延びる細長い支持体と、
前記細長い支持体の軸端部に結合し、交換用中央リングを前記複数のベーンに対して位置決めするように構成され、前記複数のベーンの径方向中心と実質的に同軸であるプラットフォームと、
前記キャップアセンブリの配向用穴を係合し、前記固定具が前記複数のベーンに対して位置決めするために、前記プラットフォームに結合する少なくとも１つの径方向支持体と、
を備える、ステップと、
除去された前記中央リングと寸法が実質的に同じである交換用中央リングを、前記固定具の前記プラットフォーム上で接触するように、前記キャップアセンブリ内に配置するステップと、
前記交換用中央リングを前記複数のベーンにろう付けするステップであって、
ろう付け材料を所定の期間の間、約１１００〜１３００°Ｆの範囲の温度に加熱するステップと、
前記ろう付け材料を、最終の所定期間の間、約２０６０〜約２１６０°Ｆの範囲の温度に加熱するステップと、
を含む、ステップと、
を含む、方法。
【請求項２】
前記ろう付け材料が、ニッケル合金化合物を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記キャップアセンブリから前記中央リングを除去するステップが、高速フライス加工、レーザ除去、およびウォータージェット法からなる群から選択されるプロセスによって前記中央リングを除去するステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記キャップアセンブリから前記中央リングを除去するステップが、前記複数のベーンに実質的に負荷をかけないプロセスによって前記中央リングを除去するステップであって、それにより、前記複数のベーンが構造的に元のままであることを可能にする、ステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記キャップアセンブリから前記中央リングを除去するステップが、前記キャップアセンブリの他の部分を除去または分解することなしに前記キャップアセンブリから前記中央リングを除去するステップを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
タービンの燃焼器キャップアセンブリを整備するための方法であって、
複数のベーン内に配置された、前記キャップアセンブリの中央リング内に欠陥があると決定するステップと、
前記キャップアセンブリの他の部分を除去または分解することなしに前記キャップアセンブリから前記中央リングを除去するステップと、
前記キャップアセンブリを固定具に取り付けるステップであって、前記固定具が、
前記キャップアセンブリから軸方向に離間したベースと、
前記ベースから軸方向に延びる細長い支持体と、
前記細長い支持体の軸端部に結合し、交換用中央リングを前記複数のベーンに対して位置決めするように構成され、前記複数のベーンの径方向中心と実質的に同軸であるプラットフォームと、
前記キャップアセンブリの配向用穴を係合し、前記固定具が前記複数のベーンに対して位置決めするために、前記プラットフォームに結合する少なくとも１つの径方向支持体と、
を備える、ステップと、
前記交換用中央リングを前記複数のベーンにろう付けするステップと、
前記交換用中央リングを前記複数のベーンにろう付けするステップであって、
ろう付け材料を所定の期間の間、約１１００〜１３００°Ｆの範囲の温度に加熱するステップと、
前記ろう付け材料を、最終の所定期間の間、約２０６０〜約２１６０°Ｆの範囲の温度に加熱するステップと、
を含む、ステップと、
を含む、方法。
【請求項７】
前記交換用中央リングの寸法が、除去された前記中央リングと実質的に同じである、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記ろう付け材料が、ニッケル合金化合物を含む、請求項６に記載の方法。
【請求項９】
前記キャップアセンブリから前記中央リングを除去するステップが、高速フライス加工、レーザ除去、およびウォータージェット法からなる群から選択されるプロセスによって前記中央リングを除去するステップを含む、請求項６に記載の方法。
【請求項１０】
前記キャップアセンブリから前記中央リングを除去するステップが、前記複数のベーンに実質的に負荷をかけないプロセスによって前記中央リングを除去するステップであって、それにより、前記複数のベーンが構造的に元のままであることを可能にする、ステップを含む、請求項６に記載の方法。
【請求項１１】
キャップアセンブリを含む、タービンの燃焼器を整備するための方法であって、
複数のベーン内に配置された、前記キャップアセンブリの中央リング内に欠陥があると決定するステップと、
前記複数のベーンに実質的に負荷をかけないプロセスによって前記キャップアセンブリから前記中央リングを除去するステップであって、それにより、除去中に前記複数のベーンが構造的に元のままであることを可能にする、ステップと、
前記キャップアセンブリを固定具に取り付けるステップであって、前記固定具が、
前記キャップアセンブリから軸方向に離間したベースと、
前記ベースから軸方向に延びる細長い支持体と、
前記細長い支持体の軸端部に結合し、交換用中央リングを前記複数のベーンに対して位置決めするように構成され、前記複数のベーンの径方向中心と実質的に同軸であるプラットフォームと、
前記キャップアセンブリの配向用穴を係合し、前記固定具が前記複数のベーンに対して位置決めするために、前記プラットフォームに結合する少なくとも１つの径方向支持体と、
を備える、ステップと、
除去された前記中央リングと寸法が実質的に同じである交換用中央リングを、前記固定具の前記プラットフォーム上で接触するように、前記キャップアセンブリ内に配置するステップと、
前記交換用中央リングを、ろう付けプロセスにより前記複数のベーンに結合するステップであって、前記ろう付けプロセスが、
ろう付け材料を所定の期間の間、約１１００〜１３００°Ｆの範囲の温度に加熱するステップと、
前記ろう付け材料を、最終の所定期間の間、約２０６０〜約２１６０°Ｆの範囲の温度に加熱するステップと、
を含む、ステップと、
を含む方法。
【請求項１２】
前記材料が、ニッケル合金化合物を含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記キャップアセンブリから前記中央リングを除去するステップが、高速フライス加工、レーザ除去、およびウォータージェット法からなる群から選択されるプロセスによって前記中央リングを除去するステップを含む、請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
前記キャップアセンブリから前記中央リングを除去するステップが、前記キャップアセンブリの他の部分を除去または分解することなしに前記キャップアセンブリから前記中央リングを除去するステップを含む、請求項１１に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成27年12月14日(2015.12.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボンドウェーハの表面に、水素イオン、希ガスイオンの少なくとも一種類のガスイオンをイオン注入してイオン注入層を形成し、前記ボンドウェーハのイオン注入した表面と、ベースウェーハの表面とを直接または絶縁膜を介して貼り合わせた後、熱処理を加えて前記イオン注入層で前記ボンドウェーハの一部を剥離させることにより、前記ベースウェーハ上に薄膜を有する貼り合わせウェーハを作製する貼り合わせウェーハの製造方法において、
前記ボンドウェーハおよび／または前記ベースウェーハとして、前記貼り合わせウェーハの製造方法において貼り合わせウェーハを作製する際に副生された剥離ウェーハに、減厚を伴う再生加工を行った再生ウェーハを用い、
前記ボンドウェーハおよび前記ベースウェーハがシリコン単結晶ウェーハからなり、
前記ボンドウェーハとベースウェーハを貼り合わせる前に、前記ボンドウェーハと前記ベースウェーハの厚さを測定し、両ウェーハの厚さの差が５μｍ未満である前記ボンドウェーハと前記ベースウェーハとなる組み合わせを選択して貼り合わせることを特徴とする貼り合わせウェーハの製造方法。
【請求項２】
前記再生ウェーハは、前記減厚を伴う再生加工が２回以上行われたものであることを特徴とする請求項１に記載された貼り合わせウェーハの製造方法。
【請求項３】
前記再生ウェーハは、前記減厚を伴う再生加工として５μｍ以上の減厚が行われたものであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載された貼り合わせウェーハの製造方法。
【請求項４】
前記絶縁膜がシリコン酸化膜からなり、前記薄膜がＳＯＩ層であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載された貼り合わせウェーハの製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成28年5月27日(2016.5.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
収納庫内壁や建屋の壁等に取り付けられるダイキャスト成形された有底の筐体と、この
筐体の底面に熱伝導性を保って取り付けられる発熱性の電気部品と、この電気部品の前面
側を覆うように設けられこの電気部品の制御にかかる信号を生成する電装基板と、この電
装基板の側方に設けられ前記電気部品と前記電装基板との間に空気の流れを作る送風装置
と、前記筐体の底面から立ち上がる複数の壁面のうち上側の壁面に前記筐体の内側に向か
って突出し前記筐体の底面から前面側に向かって成形されるリブとを有することを特徴と
する電気機器。
【請求項２】
前記筐体の前面側に取り付けられる蓋を有することを特徴とする請求項１に記載の電気
機器。
【請求項３】
前記リブは前記筐体と共に単一にダイキャスト成形されていることを特徴とする請求項
２に記載の電気機器。
【請求項４】
前記リブは前記電装基板の付近まで突出していることを特徴とする請求項３に記載の電気
機器。
【請求項５】
前記送風装置は前記電気部品と前記電装基板との間に向けて空気を出力することを特徴
とする請求項４に記載の電気機器。
【請求項６】
前記送風装置は前記電気部品と前記電装基板との間から空気を吸うことを特徴とする請
求項４に記載の電気機器。
【手続補正書】
【提出日】平成28年6月27日(2016.6.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷電粒子線で基板に描画を行う描画装置であって、
第１方向に沿って前記基板上のショット領域の幅より大きい間隔で配置された複数の荷電粒子光学系と、
前記第１方向において前記基板上のショット領域を分割して得られるサブ描画領域を単位として、前記複数の荷電粒子光学系により共用される描画データを格納する格納部と、
前記複数の荷電粒子光学系それぞれの前記基板上の描画領域を前記サブ描画領域の集合として決定し、前記複数の荷電粒子光学系に前記描画を並行して行わせるように、前記複数の荷電粒子光学系それぞれを前記集合に基づいて制御する制御部と、
を備えることを特徴とする描画装置。
【請求項２】
前記複数の荷電粒子光学系それぞれは、前記第１方向に沿って前記基板上で荷電粒子線を偏向する偏向器を含み、
前記制御部は、前記複数の荷電粒子光学系それぞれの前記偏向器を前記集合に基づいて制御する、ことを特徴とする請求項１記載の描画装置。
【請求項３】
前記基板を保持して前記第１方向に沿って移動可能なステージを備え、
前記制御部は、前記描画を開始する場合、前記第１方向において、前記複数の荷電粒子光学系のうちの少なくとも１つの荷電粒子光学系の前記描画領域の一端が前記基板上のショット領域の一端と重なるように、前記ステージを制御する、ことを特徴とする請求項２記載の描画装置。
【請求項４】
前記基板を保持して前記第１方向に沿って移動可能なステージを備え、
前記制御部は、前記複数の荷電粒子光学系それぞれによる前記描画領域の描画と、前記ステージを前記第１方向に前記描画領域の幅だけ移動させるステップ移動とを繰り返すように、前記複数の荷電粒子光学系および前記ステージを制御する、ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の描画装置。
【請求項５】
前記基板を保持して前記第１方向に沿って移動可能なステージを備え、
前記制御部は、前記複数の荷電粒子光学系それぞれによる前記描画領域の描画と、前記ステージを前記第１方向に前記描画領域の幅だけ移動させる第１ステップ移動とを繰り返し行うことによって、前記複数の荷電粒子光学系それぞれにより前記基板上のショット領域の幅だけ第１の描画を行い、前記第１の描画での描画対象の各ショット領域と前記複数の荷電粒子光学系それぞれとの相対位置関係が第２の描画での描画対象の各ショット領域と前記複数の荷電粒子光学系それぞれとの相対位置関係となるようにして、前記複数の荷電粒子光学系それぞれによる前記描画領域の描画と、前記ステージを前記第１方向に前記描画領域の幅だけ移動させる第２ステップ移動とを繰り返し行うことによって、前記複数の荷電粒子光学系それぞれにより前記基板上のショット領域の幅だけ前記第２の描画を行うように、前記複数の荷電粒子光学系および前記ステージを制御する、ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の描画装置。
【請求項６】
前記描画領域は、その端部に、スティッチング領域としてのサブ描画領域を含む、ことを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の描画装置。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の描画装置を用いて基板に描画を行う工程と、
前記工程で描画を行われた基板を現像する工程と、
を含む、ことを特徴とする物品の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の一側面は、荷電粒子線で基板に描画を行う描画装置に係り、第１方向に沿って前記基板上のショット領域の幅より大きい間隔で配置された複数の荷電粒子光学系と、前記第１方向において前記基板上のショット領域を分割して得られるサブ描画領域を単位として、前記複数の荷電粒子光学系により共用される描画データを格納する格納部と、前記複数の荷電粒子光学系それぞれの前記基板上の描画領域を前記サブ描画領域の集合として決定し、前記複数の荷電粒子光学系に前記描画を並行して行わせるように、前記複数の荷電粒子光学系それぞれを前記集合に基づいて制御する制御部と、を備えることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成28年6月3日(2016.6.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体上の目標箇所に関して複数のビームをそれぞれ選択的にブランキングする複数のブランカと、
前記複数のブランカを駆動する駆動部と、を含み、
前記駆動部は、前記複数のビームのうち前記目標箇所に関してブランキングされるべきでないビームの組み合せと目標線量との関係を変更する変更部を含む、
ことを特徴とするブランキング装置。
【請求項２】
前記関係を示す情報に基づいて前記変更部を制御する制御部を含む、ことを特徴とする請求項１に記載のブランキング装置。
【請求項３】
前記駆動部は、前記複数のブランカにそれぞれ対応する複数の駆動回路を有し、
前記複数の駆動回路のそれぞれは、前記目標線量と前記複数のブランカのうち当該駆動回路に対応するブランカへの駆動信号との関係を示す情報を有し、前記目標線量と前記関係とに基づいて当該ブランカを駆動する、ことを特徴とする請求項１又は２に記載のブランキング装置。
【請求項４】
前記目標線量は、複数のビットによって表され、
前記複数のブランカは、前記複数のビットのうち少なくとも１つのビットにそれぞれ対応するように、複数のグループに分けられ、
前記複数のグループにそれぞれ含まれるブランカの数は、それぞれ対応する前記少なくとも１つのビットの桁に応じて、互いに異なり、
前記変更部は、前記複数のグループのそれぞれに関して前記関係を変更する、ことを特徴とする請求項１又は２に記載のブランキング装置。
【請求項５】
前記駆動部は、前記複数のブランカにそれぞれ対応する複数の駆動回路を有し、
前記複数の駆動回路のそれぞれは、前記少なくとも１つのビットと前記複数のブランカのうち当該駆動回路に対応するブランカへの駆動信号との関係を示す情報を有し、前記少なくとも１つのビットと前記関係とに基づいて当該ブランカを駆動する、ことを特徴とする請求項４に記載のブランキング装置。
【請求項６】
前記目標線量の階調レベルの数は、前記複数のビームにおけるビームの数より少ない、ことを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載のブランキング装置。
【請求項７】
前記物体上の箇所における線量は、前記複数のビームのうち当該箇所に入射させるビームの前記組み合わせによって制御され、
前記駆動部は、前記関係と前記目標線量とに基づいて決定された前記ビームが前記目標箇所に入射するように前記複数のブランカを駆動する、ことを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか１項に記載のブランキング装置。
【請求項８】
前記情報は、互いに異なる複数の線量の各々に関して前記関係を含み、
前記制御部は、前記情報に基づいて前記変更部に前記関係を変更させる、ことを特徴とする請求項２に記載のブランキング装置。
【請求項９】
物体上の目標箇所に関して複数のビームをそれぞれ選択的にブランキングする複数のブランカと、
前記複数のブランカを駆動する駆動部と、を含み、
前記駆動部は、前記複数のビームのうち前記目標箇所に関してブランキングされるべきでないビームの組み合わせと前記目標箇所に関しての目標線量との関係を変更する変更部を含む、
ことを特徴とするブランキング装置。
【請求項１０】
前記変更部は、前記複数のビームのうち対応するものを選択的にブランキングするように、前記目標線量に対応する信号をそれぞれ出力する複数のフリップフロップを含む、ことを特徴とする請求項９に記載のブランキング装置。
【請求項１１】
前記変更部に前記関係を変更させるように、前記関係を示す情報に基づいて前記変更部を制御する制御部を含む、ことを特徴とする請求項９又は１０に記載のブランキング装置。
【請求項１２】
前記変更部に前記関係を変更させるように、前記複数のフリップフロップそれぞれの出力信号を設定する制御部を含む、ことを特徴とする請求項１０に記載のブランキング装置。
【請求項１３】
基板に描画を行う描画装置であって、
複数のビームで前記基板を照射する照射部と、
前記基板を保持して移動可能なステージと、
を含み、
前記照射部は、請求項１乃至１２のうちいずれか１項に記載のブランキング装置を含む、ことを特徴とする描画装置。
【請求項１４】
前記複数のビームのそれぞれを検出する検出部と、
前記検出部の出力に基づいて前記関係を示す情報を得る制御部と、
を含む、ことを特徴とする請求項１３に記載の描画装置。
【請求項１５】
請求項１３又は１４に記載の描画装置を用いて基板に描画を行う工程と、
前記工程で描画を行われた前記基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としてのブランキング装置は、物体上の目標箇所に関して複数のビームをそれぞれ選択的にブランキングする複数のブランカと、前記複数のブランカを駆動する駆動部と、を含み、前記駆動部は、前記複数のビームのうち前記目標箇所に関してブランキングされるべきでないビームの組み合せと目標線量との関係を変更する変更部を含む、ことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成28年6月27日(2016.6.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インプリント処理に用いられ、凹部が形成されたモールドであって、
基板上のインプリント材に転写されるべきパターンが設けられたパターン部とそれを取り囲む周辺部とを含む第１面と、前記第１面の反対側の面であって前記凹部の底面を構成する第２面とを有する第１部分と、
前記第１部分を取り囲み、内側の側面が前記凹部の側面を構成するように前記第１部分の厚さより厚い第２部分と、
を含み、
前記凹部には、前記第２面のうちの前記周辺部の反対側の領域と、前記第２部分の前記内側の側面とに遮光部が設けられている、ことを特徴とするモールド。
【請求項２】
前記パターン部には、前記凹部の反対側の方向に向けて突出した突出部が設けられ、
前記パターンは、前記突出部に形成されている、ことを特徴とする請求項１に記載のモールド。
【請求項３】
前記遮光部は、前記突出部に形成された前記パターンと、その周辺における前記突出部の一部とを光が透過するように構成されている、ことを特徴とする請求項２に記載のモールド。
【請求項４】
前記遮光部は、保護膜によって覆われている、ことを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載のモールド。
【請求項５】
前記遮光部は、前記凹部から取り外しできるように構成されている、ことを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載のモールド。
【請求項６】
前記遮光部は、前記遮光部に形成された貫通穴に、前記凹部に設けられたピンを貫通させることによって前記モールドに固定されている、ことを特徴とする請求項５に記載のモールド。
【請求項７】
前記第１部分の前記第２面と前記第２部分の前記内側の側面とともに前記凹部を含む空間を規定するように前記凹部を覆う面を有する部材を更に含む、ことを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか１項に記載のモールド。
【請求項８】
前記第１面の前記周辺部に第２遮光部が設けられている、ことを特徴とする請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載のモールド。
【請求項９】
前記第２部分は、前記第１面の前記周辺部に連続した第３面と、前記第３面の反対側の面であってインプリント装置の保持部により保持される第４面とを有する、ことを特徴とする請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載のモールド。
【請求項１０】
インプリント装置により保持されて、当該インプリント装置によって基板上のインプリント材に接触させるべきパターンを有するモールドであって、
前記基板上の前記インプリント材に接触させるべき前記パターンが設けられたパターン部と、
前記パターン部を有する面と反対側の面に形成された凹部と、
前記凹部の少なくとも一部に形成された遮光部と、
を含み、
前記凹部は、前記モールドが前記インプリント材により保持されたときに密閉される、ことを特徴とするモールド。
【請求項１１】
インプリント装置により保持されて、当該インプリント装置によって基板上のインプリント材に接触させるべきパターンを有するモールドであって、
前記基板上の前記インプリント材に接触させるべき前記パターンが設けられたパターン部を含む第１面と、
前記第１面の反対側の面であって、凹部を有する第２面と、
前記凹部を規定する面に形成された遮光部と、
を含み、
前記遮光部は、前記第２面のうちインプリント装置によって保持される一部には形成されていない、ことを特徴とするモールド。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としてモールドは、インプリント処理に用いられ、凹部が形成されたモールドであって、基板上のインプリント材に転写されるべきパターンが設けられたパターン部とそれを取り囲む周辺部とを含む第１面と、前記第１面の反対側の面であって前記凹部の底面を構成する第２面とを有する第１部分と、前記第１部分を取り囲み、内側の側面が前記凹部の側面を構成するように前記第１部分の厚さより厚い第２部分と、を含み、前記凹部には、前記第２面のうちの前記周辺部の反対側の領域と、前記第２部分の前記内側の側面とに遮光部が設けられている、ことを特徴とする。