【事件の表示】
　特願２０１１−　３１０１６「光学装置」拒絶査定不服審判事件〔平成２３年　９月　１日出願公開、特開２０１１−１７０３５４〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　事案の概要
１　手続の経緯
　本願は，２０１１年（平成２３年）２月１６日にされた特許出願であって（パリ条約による優先権主張　平成２２年２月１７日　独国），その後の手続の概要は，以下のとおりである。
平成２６年　９月１８日：拒絶理由通知（同年同月３０日発送） 
平成２６年１２月２５日：意見書 
平成２６年１２月２５日：手続補正書
平成２７年　５月２７日：拒絶査定（同年６月２日送達） 
平成２７年１０月　１日：審判請求 
２　本願発明について
　本件出願の特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は，以下のとおりである。
「光学素子（１２；６２）と，
　前記光学素子（１２；６２）が固定されているマウント（１６；６６）とを備え，
　前記光学素子（１２；６２）は少なくとも１つのコンプライアントな支持部（２２ａ−ｃ；７２ａ―ｄ）を介して前記マウント（１６；６６）に固定され，
　前記支持部（２２ａ−ｃ；７２ａ―ｄ）は，第１のスプリングストラット（２６；７６）及び少なくとも１つの第２のスプリングストラット（２８；７８）を含む複数のスプリングストラットと，前記光学素子（１２；６２）が接触点（３２；８２）にて固定される接触領域（３０；８０）とを有するスプリングストラット配列（２４；７４）を有しており，
　前記複数のスプリングストラット（２６，２８；７６，７８）は，第１の端部（３４，３６；８４，８６）を介して前記接触領域（３０；８０）に，及び前記接触領域から遠い第２の端部（３８，４０；８８，９０）を介して前記マウントの外縁部（４２；９２）に，それぞれ連結される光学装置において，
　前記複数のスプリングストラット（２６，２８；７６，７８）は，前記接触領域（３０；８０）の同じ側のみにて前記接触領域（３０；８０）から延び，互いにコンプライアンスの方向において隔てられ，実質的に互いに平行である
ことを特徴とする光学装置。」
３　原査定の拒絶の理由
　原査定の拒絶の理由は，概略，この出願の請求項１に係る発明は，本願の優先権主張の日（以下「優先日」という。）前に日本国内又は外国において，頒布された刊行物に記載されたまたは電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった下記の引用文献１〜３に記載された発明に基づいて，その優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない，というものである。
引用文献１．特開２００６−３４９９４６号公報
引用文献２．特開昭６３−２０２７０７号公報
引用文献３．特開２０００−２８８８６号公報
第２　当審判体の判断
１　引用例の記載及び引用発明
(1)　引用例１の記載
　原査定の拒絶の理由に引用された特開２００６−３４９９４６号公報（以下「引用例１」という。）には，以下の事項が記載されている。なお，下線は当審判体が付したものである。（以下同様。） 
ア　「【請求項１】
光学素子を保持する光学素子保持装置において，
　枠体と，前記枠体に設けられる保持部とを有し，前記保持部は，前記光学素子の周縁部を載置する載置部と，前記光学素子の接線方向に，または前記光学素子の接線方向に所定の角度をもって交差する方向に延在し，かつ前記光学素子の半径方向に所定間隔離して設けられ，前記載置部を前記光学素子の半径方向に変位可能に接続する複数の弾性変形部とを備えることを特徴とする光学素子保持装置。
【請求項２】
前記弾性変形部は，前記光学素子の光軸方向において，前記載置部とほぼ同等の長さを有する薄板状の弾性変形片を有するものであることを特徴とする請求項１に記載の光学素子保持装置。
【請求項３】
前記弾性変形部は，前記接線方向または前記交差する方向に関して，前記載置部の一方側と他方側とに設けられる一対の弾性変形片を有することを特徴とする請求項１または２に記載の光学素子保持装置。」
イ　「【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
　本発明は，例えば，レンズ，ミラー等の光学素子を保持するための光学素子保持装置に関するものである。また，本発明は，少なくとも１つの光学素子を有する鏡筒に関するものである。さらに，本発明は，例えば半導体素子，液晶表示素子，薄膜磁気ヘッド等のデバイスの製造工程で使用される露光装置及びそのデバイスの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
　この種の露光装置における光学系では，厳密に光学調整が行われており，その光学系を構成するレンズ，ミラー等の光学素子は，精密に加工された光学素子保持装置で保持されている。また，光学系の組立時，保存時，搬送時さらに露光装置の動作時においては，温度変化と，個々の光学素子及び光学系の両方にかかる重力，衝撃等の外力の作用による個々の光学素子の歪みをできるだけ小さくする必要がある。
【０００３】
　ここで，露光装置の重要な一部分を構成する投影光学系の各レンズは，一般的にレンズセルに取り付けられた状態で鏡筒内に収容されている。このレンズセルには，投影光学系の組立中に生じる機械的な問題（例えば鏡筒に加えられた衝撃のレンズへの伝達），温度変化により生じることのある機械的な問題（例えばレンズの伸縮）を解消するような設計がなされていることがある。
【０００４】
　例えば，半導体素子では，近年の著しい高集積度化要求に伴って，回路パターンがますます微細化してきている。このため，半導体製造用露光装置では，さらなる露光精度の向上及び高解像度化の要求が高まっており，光学素子の光学面を良好な状態に保つ技術はその重要性を増してきている。
【０００５】
　このようなレンズに作用する種々の機械的な問題を解消する構造を有するレンズ保持装置としては，例えばレンズを，レンズセル内に形成されたカンチレバータイプの屈曲部の上に配置された３つの受座位置に接着したものが提案されている（特許文献１参照）。この従来構成では，温度変化により生じるレンズセル及びレンズの伸縮及び収縮を，カンチレバー屈曲部の曲がりによって吸収し，レンズが機械的応力により歪曲しないようになっている。
【特許文献１】米国特許４，７３３，９４５号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
　ところが，前記従来構成においては，１つのカンチレバー屈曲部が，レンズを接着した受座を片持ち構造で支持している。このため，カンチレバー屈曲部におけるレンズの光軸方向の剛性が不足がちになりやすく，カンチレバー屈曲部は光軸方向の荷重（例えば，レンズ自身の重量等）によりねじれ応力を受けやすい。これにより，カンチレバー屈曲部の固有振動数が低くなり，場合によってはレンズの望ましくない振動と光学特性の歪みを増大させるおそれがある。
【０００７】
　本発明は，このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的としては，温度変化，光学素子自身の重量，外部からの衝撃等による光学素子の歪みの発生を効果的に抑制することのできる光学素子保持装置及び鏡筒を提供することにある。」
ウ　「【０００９】
　前記目的を達成するために，請求項１に記載の発明は，光学素子を保持する光学素子保持装置において，枠体と，前記枠体に設けられる保持部とを有し，前記保持部は，前記光学素子の周縁部を載置する載置部と，前記光学素子の接線方向に，または前記光学素子の接線方向に所定の角度をもって交差する方向に延在し，かつ前記光学素子の半径方向に所定間隔離して設けられ，前記載置部を前記光学素子の半径方向に変位可能に接続する複数の弾性変形部とを備えることを特徴とするものである。
【００１０】
　この請求項１に記載の発明では，光学素子が温度変化により伸縮したときには，複数の弾性変形部が光学素子の半径方向に変位することで，光学素子の伸縮または収縮が吸収される。このため，光学素子保持装置における，温度変化，光学素子自身の重量及び外部からの衝撃による光学素子の歪みの発生が，効果的に抑制される。これにより，光学素子を，使用中における状態変化に起因するへの影響を低減して，光学性能を安定に保つことが可能となる。
【００１１】
　また，請求項２に記載の発明は，請求項１に記載の発明において，前記弾性変形部は，前記光学素子の光軸方向において，前記載置部とほぼ同等の長さを有する薄板状の弾性変形片を有するものであることを特徴とするものである。
【００１２】
　この請求項２に記載の発明では，請求項１に記載の発明の作用に加えて，弾性変形片における光学素子の半径方向への十分な弾性変形性を確保しつつ，光学素子の光軸方向の剛性をさらに高めることができて，一層安定に光学素子を保持することが可能となる。
【００１３】
　また，請求項３に記載の発明は，請求項１または２に記載の発明において，前記弾性変形部は，前記接線方向または前記交差する方向に関して，前記載置部の一方側と他方側とに設けられる一対の弾性変形片を有することを特徴とするものである。
【００１４】
　この請求項３に記載の発明では，請求項１または２に記載の発明の作用に加えて，載置部が，一対の弾性変形片により両持ち構造で支持されることになり，弾性変形部における光学素子の光軸方向の剛性が格段に高められる。
【００１５】
　また，請求項４に記載の発明は，請求項３に記載の発明において，前記載置部が前記枠体に対して前記光学素子の光軸方向に貫通するスリットで区画され，前記弾性変形片が前記枠体に対して前記光学素子の光軸方向に貫通するスリットで区画された板バネからなることを特徴とするものである。
【００１６】
　この請求項４に記載の発明では，簡単な構成で，請求項３に記載の発明の作用を奏させることが可能となる。また，枠体と弾性変形片と載置部とを，一体の部材で構成することができ，光学素子保持装置における部品点数及び組立工数の削減を図ることが可能となる。
【００１７】
　また，請求項５に記載の発明は，請求項３または４に記載の発明において，前記載置部における前記光学素子の支持点を，前記弾性変形片の各々による前記光学素子の支持剛性がほぼ等しくなる中立軸上に形成したことを特徴とするものである。
【００１８】
　この請求項５に記載の発明では，請求項３または４に記載の発明の作用に加えて，光学素子を載置部に載置した際に生じる光学素子の接線方向を軸線とする回転モーメントを小さくすることができる。このため，載置部に生じる光学素子の光軸方向へのねじり応力を小さくすることが可能となり，光学素子が一層安定に保持される。
【００１９】
　また，請求項６に記載の発明は，請求項２〜５のうちいずれか一項に記載の発明において，前記弾性変形片の各々の前記光学素子の半径方向における厚さが均一であることを特徴とするものである。
【００２０】
　この請求項６に記載の発明では，請求項２〜５のうちいずれか一項に記載の発明の作用に加えて，構成が簡単で，弾性変形片の加工を容易に行うことが可能となる。
　また，請求項７に記載の発明は，請求項３〜６のうちいずれか一項に記載の発明において，前記光学素子側の前記一対の弾性変形片と，前記枠体側の前記一対の弾性変形片とが，前記光学素子の接線方向にずれた位置で前記載置部に接続されていることを特徴とするものである。
【００２１】
　この請求項７に記載の発明では，請求項３〜６のうちいずれか一項に記載の発明の作用に加えて，外側の一対の弾性変形片を内側の一対の弾性変形片より間隔が狭くなるように配置することで，弾性変形部を小型化することができて，ひいては円環状の枠体であっても該枠体の小型化を図ることが可能となる。」
エ　「【発明の効果】
【００３０】
　以上詳述したように，本発明によれば，温度変化，光学素子自身の重量，外部からの衝撃等による光学素子の歪みの発生を効果的に抑制することのできる光学素子保持装置及び鏡筒を提供することができる。また，高集積度のデバイスを効率よく，また歩留まりよく製造することのできる露光装置及びデバイスの製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
　（第１実施形態）
　以下に，本発明の露光装置と光学素子保持装置と鏡筒とを，例えば半導体素子製造用の露光装置と，レンズ等の光学素子を保持する光学素子保持装置と，投影光学系を収容する鏡筒とに具体化した第１実施形態について図１〜図８に基づいて説明する。
【００３２】
　図１は，露光装置２１の概略構成を示す図である。図１に示すように，露光装置２１は，光源２２と，照明光学系２３と，マスクとしてのレチクルＲを保持するレチクルステージ２４と，投影光学系２５と，基板としてのウエハＷを保持するウエハステージ２６とから構成されている。
【００３３】
　前記光源２２は，ＡｒＦエキシマレーザ光源からなっている。照明光学系２３は，図示しないリレーレンズ，フライアイレンズ，ロッドレンズ等のオプティカルインテグレータ，コンデンサレンズ等の各種レンズ系及び開口絞り等を含んで構成されている。そして，光源２２から出射される露光光ＥＬが，この照明光学系２３を通過することにより，レチクルＲ上のパターンを均一に照明するように調整される。
【００３４】
　前記レチクルステージ２４は，照明光学系２３の下方，すなわち，後述する投影光学系２５の物体面側において，そのレチクルＲの載置面が投影光学系２５の光軸方向とほぼ直交するように配置されている。投影光学系２５は，鏡筒２７内に，光学素子としての複数のレンズ２８を，光学素子保持装置としてのレンズセル２９を介して収容保持するように構成されている。ウエハステージ２６は，投影光学系２５の像面側において，ウエハＷの載置面が投影光学系２５の光軸方向と交差するように配置されている。そして，前記露光光ＥＬにて照明されたレチクルＲ上のパターンの像が，投影光学系２５を通して所定の縮小倍率に縮小された状態で，ウエハステージ２６上のウエハＷに投影転写されるようになっている。
【００３５】
　次に，レンズセル２９の詳細構成について説明する。
　図２は，レンズセル２９を示す部分破断斜視図である。図２に示すように，前記レンズ２８は合成石英や蛍石等の硝材からなり，その周縁部にはフランジ部２８ａが形成されている。
レンズセル２９は，
枠体３２と，その枠体３２上に等角度間隔をおいて配設された３つの保持部３３とから構成され
保持部３３において，レンズ２８のフランジ部２８ａが保持され
【００３６】
　図３は保持部３３を示す斜視図であり，図４はその保持部３３を分解して示す斜視図である。図３及び図４に示すように，
保持部３３は
載置部３４とクランプ部材３５を備え
【００３７】
　図５は，載置部３４を中心とした枠体３２の部分平面図である。なお，図５においては，理解を容易にするために，切り欠きバネ３７ａ，３７ｂの厚さＴを大きくした状態で描いている。
【００３８】
　図５に示すように，
枠体３２には，
レンズ２８の光軸と平行な方向に貫通した複数のスリット３６ａ〜３６ｃが形成され，これらのスリット３６ａ〜３６ｃによって，平面略凸字状の載置部３４が区画形成され
載置部３４が，枠体３２に対して，薄板状をなす
２対
の弾性変形片としての切り欠きバネ３７ａ，３７ｂを介して，レンズ２８の半径方向に変位可能な状態で連結され
【００３９】
　ここで，
載置部３４と切り欠きバネ３７ａ，３７ｂとは，ともに枠体３２と一体に
形成され，レンズ２８と枠体３２とのレンズ２８の半径方向における相対変位を許容する
弾性変形部３８を構成
各切り欠きバネ３７ａ，３７ｂは，レンズ２８の接線方向に対する直交平面内にある載置部３４の側面３４ａ，３４ｂから，レンズ２８の接線方向に延びるように形成され
【００４０】
　
載置部３４の内周側に
凹部３９が形成され
この凹部３９の中央には，レンズ２８のフランジ部２８ａを支持する座面４０を有する座面ブロック４１が形成され
座面４０は，その中心が切り欠きバネ３７ａと切り欠きバネ３７ｂとによる載置部３４の支持剛性がほぼ等しくなる中立軸ＮＡ上に位置するように形成され
【００４１】
　図６は，図５の６−６線における断面図であり，保持部３３を中心としたレンズセル２９の部分断面図である。図６に示すように，座面４０は，レンズ２８の光軸方向において載置部３４の高さのほぼ半分の高さとなるように形成されている。また，図５に示すように，切り欠きバネ３７ａと切り欠きバネ３７ｂとは，厚さＴが等しくなるように形成されているので，中立軸ＮＡは，切り欠きバネ３７ａと切り欠きバネ３７ｂとの中間においてレンズ２８の接線方向に延びるとともに，レンズ２８の光軸方向において載置部３４の肉厚のほぼ半分の位置を通る軸線となる。
【００４２】
　図４に示すように，クランプ部材３５は，座面ブロック４１の上方に対応して配置され，クランプ本体４２とパッド部材４３とからなっている。
　クランプ本体４２は，押さえ面ブロック４４と，枠体３２に取り付けるための取付部４５と，押さえ面ブロック４４と取付部４５とを連結する腕部４６とからなっている。これら押さえ面ブロック４４と取付部４５と腕部４６とは，一体に形成されている。
【００４３】
　押さえ面ブロック４４の下面には，座面ブロック４１の座面４０に対向するように押さえ面４７が形成されている。取付部４５と押さえ面ブロック４４とは所定の間隔をおいて離間されている。そして，この取付部４５を，パッド部材４３を介して枠体３２に接合させた状態でボルト４８により締結することにより，クランプ部材３５が枠体３２に対して固定されるようになっている。
【００４４】
　また，腕部４６は，押さえ面ブロック４４と取付部４５との両端を接続するように一対設けられている。各腕部４６は，平面コ字状になし，取付部４５を枠体３２にパッド部材４３を介して接合させた状態で弾性変形可能なだけの長さをもって形成されている。
【００４５】
　パッド部材４３は，クランプ本体４２の取付部４５と枠体３２との間に挟持される挟持部４９と，押さえ面４７とレンズ２８のフランジ部２８ａの上面との間に介装される作用部５０と，それら挟持部４９と作用部５０とを連結するとともに弾性変形可能な薄板状の薄板部５１とからなっている。作用部５０の下面には，レンズ２８のフランジ部２８ａの上面に係合する作用面５２が，座面ブロック４１の座面４０に対応するように平面状に形成されている。
【００４６】
　そして，このように構成された
クランプ部材３５は，
押圧力を付与する。この押圧力は，
レンズ２８のフランジ部２８ａの上面に作用する。
【００４７】
　図７は，隣り合う保持部３３間において，枠体３２に複数配設されている重量支持機構５３の具体的構成を示す平面図である。この重量支持機構５３の数は，レンズ２８の重量，厚さ，直径，形状，材質及び保持部３３の数の少なくとも１つに応じて設定されている。ちなみに，この実施形態では，隣り合う保持部３３間に，それぞれ３つの重量支持機構５３が配設されている。
【００４８】
　図７に示すように，各重量支持機構５３は，枠体３２の下面側に凹設された切欠部５４内に配置される支持板バネ５５で構成されている。支持板バネ５５には，レンズ２８のフランジ部２８ａの下面に当接する当接部５６と，一対のボルト５７により枠体３２に取り付け支持される一対の支持部５８と，当接部５６及び支持部５８間を接続する一対の屈曲部５９とが設けられている。そして，この支持板バネ５５の弾性作用により，レンズ２８の重量の一部が支持されるようになっている。
【００４９】
　ところで，本実施形態のように，載置部３４を複数対の切り欠きバネ３７ａ，３７ｂで支持する場合には，切り欠きバネ３７ａ，３７ｂ全体でのレンズ２８が熱変形したときに，レンズ２８に作用する反力を，一対の切り欠きバネで支持する場合と同等またはそれ以下に設定する必要がある。図８は，厚さｈの一対の切り欠きバネで載置部３４を支持した場合と同等の反力を生じせしめる複数対の切り欠きバネ３７ａ，３７ｂの厚さの設定方法に関する説明図である。
【００５０】
　ここでは，図８に示すように，載置部３４にレンズ２８の半径方向への所定の力が作用したときにおいて，切り欠きバネに生じる断面二次モーメントＩが一定となるように設定することとする。断面二次モーメントＩは，次式により求められる。
　Ｉ　＝　ｂｈ３／１２　　　　　……（１）
　　なお，ｂは，切り欠きバネのレンズ２８の光軸方向における長さ。
　　　　　ｈは，切り欠きバネの径方向における厚さ。
【００５１】
ここで，各切り欠きバネの光軸方向における長さが一定であるので，ｂを定数として取り扱うことができる。そして，上記（１）より，複数対の切り欠きバネにおける各切り欠きバネの厚さを，一対の切り欠きバネの厚さｈの何倍とすればよいかを求めると，次のようになる。
【００５２】
　２対の場合では，切り欠きバネ３７ａ，３７ｂの厚さを，一対の場合の１／３√２倍（≒０．７９４倍），つまりおおよそ０．８ｈとすれば，レンズ２８に与える反力がほとんど同等となる。この場合，２対の切り欠きバネ３７ａ，３７ｂ合計での厚さ（総厚さ）は，１．５８８ｈでおおよそ１．６ｈとなる。このため，レンズ２８に与える反力をほとんど同等に保ちながら，載置部３４を合計１．６ｈの厚さの切り欠きバネ３７ａ，３７ｂで支持することができて，レンズ２８をその光軸方向においてより安定した状態で保持することができるようになる。
【００５３】
　以下，３対以上の切り欠きバネの厚さについて列挙すると，以下のようになる。
　　　　　　　　　　　　　　　　１枚の厚さ　　　　　総厚さ
　３対の場合：１／３√３倍　　　０．６９３ｈ　　　２．０７９ｈ
　４対の場合：１／３√４倍　　　０．６３０ｈ　　　２．５２０ｈ
　５対の場合：１／３√５倍　　　０．６９３ｈ　　　２．９２５ｈ
　従って，切り欠きバネの数が多くなるほど，載置部３４におけるレンズ２８の光軸方向の支持剛性は大きくなることになる。
【００５４】
　従って，本実施形態によれば，以下のような効果を得ることができる。
　（ア）　このレンズセル２９では，レンズ２８のフランジ部２８ａを載置する載置部３４からレンズ２８の接線方向に延在し，レンズ２８の半径方向に所定間隔離して設けられ，載置部３４をレンズ２８の半径方向に変位可能に接続する複数の切り欠きバネ３７ａ，３７ｂを備えている。
【００５５】
　このため，
レンズ２８が温度変化により伸縮または収縮したときには，切り欠きバネ３７ａ，３７ｂがレンズ２８の半径方向に変位することで，レンズ２８の伸縮または収縮が吸収され
【００５６】
　（イ）　このレンズセル２９では，切り欠きバネ３７ａ，３７ｂが，薄板状をなし，レンズ２８の光軸方向において，載置部３４とほぼ同等の長さを有するものとなっている。
　このため，切り欠きバネ３７ａ，３７ｂにおけるレンズ２８の半径方向への十分な弾性変形性を確保しつつ，レンズ２８の光軸方向の剛性をさらに高めることができて，一層安定にレンズ２８を保持することができる。
【００５７】
　（ウ）　このレンズセル２９では，
切り欠きバネ３７ａ，３７ｂ
載置部３４の一方側の側面３４ａと他方側の側面３４ｂとから
形成され
【００５８】
　このため，載置部３４が，切り欠きバネ３７ａ，３７ｂにより，両持ち構造で支持され，しかも複数対の切り欠きバネ３７ａ，３７ｂで支持されている。これにより，弾性変形部３８におけるレンズ２８の光軸方向の支持剛性が格段に高められ，レンズセル２９におけるレンズ２８自身の重量及び外部からの衝撃によるレンズ２８の歪みの発生を効果的に抑制することができる。
【００５９】
　（エ）　このレンズセル２９では，載置部３４が枠体３２に対してレンズ２８の光軸方向に貫通するスリット３６ａ〜３６ｃで区画され，切り欠きバネ３７ａ，３７ｂが枠体３２に対してレンズ２８の光軸方向に貫通するスリット３６ａ〜３６ｃで区画された板バネとなっている。
【００６０】
　このため，このレンズセル２９では，簡単な構成で，前記（ア）〜（ウ）に記載の効果を発揮させることができる。また，枠体３２と切り欠きバネ３７ａ，３７ｂと載置部３４とを，一体の部材で構成することができ，レンズセル２９における部品点数及び組立工数の削減を図ることができる。
【００６１】
　（オ）　このレンズセル２９では，載置部３４におけるレンズ２８を座面４０の中心が，切り欠きバネ３７ａ，３７ｂの各々によるレンズ２８の支持剛性がほぼ等しくなる中立軸ＮＡ上に形成されている。
【００６２】
　このため，レンズ２８を載置部３４に載置した際に生じるレンズ２８の接線方向を軸線とする回転モーメントを小さくすることができる。従って，載置部３４に生じるレンズ２８の光軸方向へのねじり応力を小さくすることができ，レンズ２８を一層安定に保持することができる。
【００６３】
　（カ）　このレンズセル２９では，切り欠きバネ３７ａ，３７ｂの各々のレンズ２８の半径方向における厚さが，均一なものとなっている。
　このため，レンズセル２９の構成が簡単なものとなり，切り欠きバネ３７ａ，３７ｂの加工を容易に行うことができる。
【００６４】
　（キ）　このレンズセル２９では，載置部３４の両側に配置される切り欠きバネ３７ａ，３７ｂが，一方は載置部３４の１つの側面３４ａ上に接続されるとともに，他方は載置部３４の側面３４ａと対向する側面３４ｂ上に接続されている。
【００６５】
　このため，弾性変形部３８の構成を簡素化することができて，弾性変形部３８の加工を容易に行うことができる。」
オ　「【図１】
」
カ　「【図２】
」
キ　「【図４】
」
ク　「【図５】
」
ケ　「【図６】
」
コ　「【００７７】
　（変形例）
　なお，本発明の実施形態は，以下のように変形してもよい。
（中略）
【００７９】
　・　前記各実施形態において，各切り欠きバネ３７ａ，３７ｂを，レンズ２８の接線方向に関して，載置部３４の一方の側面３４ａまたは他方の側面３４ｂのいずれかのみに，レンズ２８の半径方向に所定の間隔をおいて設けるようにしてもよい。
【００８０】
　・　前記各実施形態において，各切り欠きバネ３７ａ，３７ｂをレンズ２８の接線と交差するように，例えば斜めになるように形成してもよい。
　・　前記各実施形態において，切り欠きバネ３７ａ，３７ｂと載置部３４との少なくとも１つを，枠体３２とは別体の部材で形成してもよい。」
(2)　引用発明
　上記(1)からみて，引用例１には，第１実施形態として，以下の発明が記載されている（以下「引用発明」という。）。なお，引用発明の認定に際して参考にした引用例１の記載箇所を，段落番号で付記する。
「【００３５】レンズセル２９は，枠体３２と，その枠体３２上に等角度間隔をおいて配設された３つの保持部３３とから構成され，
保持部３３において，レンズ２８のフランジ部２８ａが保持され，
【００３６】保持部３３は，載置部３４とクランプ部材３５を備え，
【００３８】枠体３２には，レンズ２８の光軸と平行な方向に貫通した複数のスリット３６ａ〜３６ｃが形成され，これらのスリット３６ａ〜３６ｃによって，平面略凸字状の載置部３４が区画形成され，載置部３４が，枠体３２に対して，薄板状をなす２対の弾性変形片としての切り欠きバネ３７ａ，３７ｂを介して，レンズ２８の半径方向に変位可能な状態で連結され，
【００３９】各切り欠きバネ３７ａ，３７ｂは，レンズ２８の接線方向に対する直交平面内にある載置部３４の【００５７】一方側の側面３４ａと他方側の側面３４ｂとから，レンズ２８の接線方向に延びるように形成され，
【００３９】載置部３４と切り欠きバネ３７ａ，３７ｂとは，ともに枠体３２と一体に形成され，レンズ２８と枠体３２とのレンズ２８の半径方向における相対変位を許容する弾性変形部３８を構成し，
【００５５】レンズ２８が温度変化により伸縮または収縮したときには，切り欠きバネ３７ａ，３７ｂがレンズ２８の半径方向に変位することで，レンズ２８の伸縮または収縮が吸収され，
【００４０】載置部３４の内周側には，凹部３９が形成され，この凹部３９の中央には，レンズ２８のフランジ部２８ａを支持する座面４０を有する座面ブロック４１が形成され，【００４０】座面４０は，その中心が切り欠きバネ３７ａと切り欠きバネ３７ｂとによる載置部３４の支持剛性がほぼ等しくなる中立軸ＮＡ上に位置するように形成され，
【００４６】クランプ部材３５は，レンズ２８のフランジ部２８ａの上面に作用する押圧力を付与する
【００３５】レンズセル２９。」
(3)　引用例２の記載
　原査定の拒絶の理由に引用された特開昭６３−２０２７０７号公報（以下「引用例２」という。）には，以下の事項が記載されている。 
ア　（９頁右上欄６行目〜左下欄３行目）
「　第２Ａ図は本発明によるたわみ機構の１実施例を示す。
　たわみ機構２２はレンズセル８５の内側壁と一体である。レンズ座２９は，たわみ機構２２から半径方向内向きに延びかつそれに取付けられている。レンズ座２９はそれに形成されたトラフ３８を有し，該トラフは第３図を参照して以下に説明するような接着剤の受けとして役立ちかつ特殊な接着剤層厚さを規定する。
　たわみ機構２２は，例えばレンズ８５の壁内にスロット４２をワイヤ電子放出加工又はフライス削りより形成される。このようなスロット４２は半径方向でレンズセル８５の内側壁内の深さ“ｄ″に配置されている。スロット４２はレンズ座２９の一方端部から始りかつレンズセル８５の中心のまわりに長さ“ａ”の弧を描く。出来上つたたわみ機構２２の幅は“ｗ“で示されている。」
イ　（９頁左下欄４行目〜７行目）
「　第２Ｂ図は，レンズ３６をたわみ機構２２に結着する形式を示す。接着剤，例えば３Ｍ社から市販のＥＣ１８３８は，レンズ３６をレンズ座２９に接着するためにトラフ内に充填される。」
ウ　（第２図）
エ　（１０頁左上欄１行目〜右上欄１行目）
「　次に第２Ａ図及び第２Ｂ図を参照して，たわみ機構２２の動作を説明する。周囲温度サイクルが昇降すると，レンズセル８５の相対的直径及びレンズ３６の直径は変化する。例として，レンズセル８５の膨張率がレンズ３６のそれよりも著しく大きい場合を考察する。温度が基準温度から上昇すると，レンズセル８５は膨張しかつレンズセル８５の内径は大きくなる。同時にレンズ３６，ひいてはその外径は大きくなるが，但しレンズセル８５と同じ程度には増大しない。たわみ機構が存在しない先行技術の構成においては，レンズはレンズ座に対して相対的運動を行い，ひいては応力が発生することにより接着剤結合部がずれ又は破壊される。第２Ａ図及び第２Ｂ図に示した本発明の実施例においては，レンズ座２９はレンズ３６に対して実質的に固定位置に残る。レンズセル８５の内径はレンズ３６から遠ざかる方向に膨張するので，たわみ機構２２のアーム２５は曲げられる。すなわち，アーム２５はたわみ機構のスロット幅ｆが増大するように運動する。」
(4)　引用例３の記載
　原査定の拒絶の理由に引用された特開２０００−２８８８６号公報（以下「引用例３」という。）には，以下の事項が記載されている。 
ア　「【特許請求の範囲】
【請求項１】　光学要素（１）とマウント（５）とを有するアセンブリであって，
アセンブリされた光学要素は，多数の接合板（２）を介して剛性のある中間リング（３）と結合されていて，その中間リングはアクチュエータ（４），あるいは受動的減少結合器（３５）を介してハウジング（７）および／または別のフレームに接続するためにマウント（５）と結合されているアセンブリ。
【請求項２】　前記接合板（２２）は，バネリンク，とりわけ板バネとして設計されていることを特徴とする請求項１に記載のアセンブリ。
【請求項３】　前記接合板（２）は，光学要素と結合されていることを特徴とする請求項１，あるいは２に記載のアセンブリ。
【請求項４】　前記光学要素（１）と前記接合板（２）との結合は，紫外線，とりわけ波長３００ｎｍ以下の紫外線に対して耐久性があることを特徴とする請求項３に記載のアセンブリ。
【請求項５】　前記光学要素（１）は，ガラス，あるいは結晶によって構成され，前記接合板（２）は金属製であり，そして前記結合は有機成分を含んでいないことを特徴とする請求項４に記載のアセンブリ。
【請求項６】　前記結合は，とりわけ拡散溶接，あるいは超音波溶接によって溶接されていることを特徴とする請求項５に記載のアセンブリ。
【請求項７】　前記結合は，ろう付けされていることを特徴とする請求項５に記載のアセンブリ。
【請求項８】　前記接合板（２２）は，中間リング（３２）と一体に形成していることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載のアセンブリ。
【請求項９】　前記接合板（２）は，中間リング（３）に結合されていることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載のアセンブリ。
【請求項１０】　前記接合板（２）と中間リング（３）との結合は，紫外線，とりわけ波長３００ｎｍ以下の紫外線に対して耐久性があることを特徴とする請求項９に記載のアセンブリ。
【請求項１１】　前記結合は，有機成分を含んでいないことを特徴とする請求項１０に記載のアセンブリ。
【請求項１２】　前記結合は，とりわけレーザ溶接によって溶接されていることを特徴とする請求項１１に記載のアセンブリ。」
イ　「【請求項１９】　前記光学要素（１）は，主平面（Ｈ）を有し，その主平面は光学要素の縁部を閉じた曲線を突き通していることを特徴とする請求項１から１８のうちの少なくとも１つの項に記載のアセンブリ。
【請求項２０】　前記接合板（２２）は，基本的に前記主平面（Ｈ）に対して垂直に配置されていることを特徴とする請求項１９に記載のアセンブリ。」
ウ　「【００２６】図４は，同じ上面図でレンズ１に接線方向で作用している接合板２４を有する本発明に基づく装置を示している。この接合板は，ここでは紙面に対して垂直にもなっていて，このため請求項２０の意味においてｘ軸とｙ軸を有する主平面Ｘ，Ｙに（図１の懸下式接合板と同様に）垂直になっている。中間リング３４は，ここでは図１に記述した構造を有する，１２０°の等間隔で配置された３つのアクチュエータ４を介してマウント５と結合されている。」
エ　「【図４】
」
２　対比 
　本願発明と引用発明を対比すると，以下のとおりとなる。
（1）　光学素子，マウント
　引用発明の「レンズ２８」は，本願発明の「光学素子」に相当する。
　そして，引用発明において「レンズセル２９は，枠体３２と，その枠体３２上に等角度間隔をおいて配設された３つの保持部３３とから構成され」，３つの「保持部３３において，レンズ２８のフランジ部２８ａが保持され」ている。また，引用発明の「保持部３３は，載置部３４とクランプ部材３５を備え」るところ，「クランプ部材３５は，レンズ２８のフランジ部２８ａの上面に作用する押圧力を付与し」，「載置部３４の内周側には，凹部３９が形成され，この凹部３９の中央には，レンズ２８のフランジ部２８ａを支持する座面４０を有する座面ブロック４１が形成され」ている。
　そうしてみると，引用発明の「枠体３２」は，本願発明の「マウント」に相当する。また，引用発明の「枠体３２」は，本願発明の「前記光学素子（１２；６２）が固定されているマウント（１６；６６）」との要件を満たす。
（2）　コンプライアントな支持部，スプリングストラット，スプリングストラット配列
　引用発明において，３つの「保持部３３は，載置部３４とクランプ部材３５を備え」，「載置部３４」は，「枠体３２に対して，薄板状をなす２対の弾性変形片としての切り欠きバネ３７ａ，３７ｂを介して，レンズ２８の半径方向に変位可能な状態で連結され」ている。そうしてみると，引用発明の「レンズ２８」は，少なくとも１つの「保持部３３」（の載置部３４）と「薄板状をなす２対の弾性変形片としての切り欠きバネ３７ａ，３７ｂ」を併せた部材（以下「弾性支持部材」という。）を介して「枠体３２」に保持されている。したがって，引用発明の「切り欠きバネ」，「保持部３３」及び「弾性支持部材」は，本願発明の「スプリングストラット」，「接触領域」及び「マウント」に相当するとともに，引用発明の３つの「弾性支持部材」は，本願発明の「少なくとも１つのコンプライアントな支持部」との要件を満たす。加えて，引用発明は，本願発明の「前記光学素子（１２；６２）は少なくとも１つのコンプライアントな支持部（２２ａ−ｃ；７２ａ―ｄ）を介して前記マウント（１６；６６）に固定され」るとの要件を満たすとともに，引用発明の３つの「弾性支持部材」と，本願発明の「支持部」は，「第１のスプリングストラット（２６；７６）及び少なくとも１つの第２のスプリングストラット（２８；７８）を含む複数のスプリングストラットと，前記光学素子（１２；６２）が」「固定される接触領域（３０；８０）とを有するスプリングストラット配列（２４；７４）を有しており」の点で共通する。
（3）　第１の端部，第２の端部
　引用発明の「保持部３３」の「載置部３４」は，「枠体３２に対して，薄板状をなす２対の弾性変形片としての切り欠きバネ３７ａ，３７ｂを介して，レンズ２８の半径方向に変位可能な状態で連結され」ているから，引用発明の「切り欠きバネ」は，その一端に「載置部３４」との連結部を具備し，その他端に「枠体３２」との連結部を具備するといえる（図５からも見て取れる事項である。以下「一端の連結部」及び「他端の連結部」という。）。そうしてみると，引用発明の「一端の連結部」及び「他端の連結部」は，それぞれ，本願発明の「第１の端部」及び「第２の端部」に相当する。また，引用発明の「他端の連結部」は，「保持部３３」の「載置部３４」からみて，「一端の連結部」よりも遠い位置にある。
　そうしてみると，引用発明の「切り欠きバネ３７ａ，３７ｂ」と本願発明の「複数のスプリングストラット」は，「第１の端部（３４，３６；８４，８６）を介して前記接触領域（３０；８０）に，及び前記接触領域から遠い第２の端部（３８，４０；８８，９０）を介して前記マウント」「に，それぞれ連結される」点で共通する。
（4）　複数のスプリングストラット
　引用発明の「切り欠きバネ３７ａ，３７ｂ」は，「レンズ２８の接線方向に対する直交平面内にある載置部３４の」「一方側の側面３４ａと他方側の側面３４ｂとから，レンズ２８の接線方向に延びるように形成され」たものである。
　したがって，引用発明の「切り欠きバネ３７ａ，３７ｂ」は，「載置部３４」から延びたものであり，また，互いに隔てられ，実質的に互いに平行である（図５からも見て取れる事項である。）。また，引用発明の「切り欠きバネ３７ａ，３７ｂ」は，「レンズ２８が温度変化により伸縮または収縮したときには，切り欠きバネ３７ａ，３７ｂがレンズ２８の半径方向に変位することで，レンズ２８の伸縮または収縮が吸収され」る，というものであるから，引用発明の「切り欠きバネ３７ａ，３７ｂ」は，コンプライアンスの方向において互いに隔てられている。
　そうしてみると，引用発明の「切り欠きバネ３７ａ，３７ｂ」と本願発明の「複数のスプリングストラット」は，「前記接触領域（３０；８０）から延び，互いにコンプライアンスの方向において隔てられ，実質的に互いに平行である」点で共通する。
（5）　光学装置
　したがって，引用発明の「レンズセル２９」は，本願発明の「光学装置」に相当し，上記(1)〜（4）の範囲で本願発明の「光学装置」の要件を満たす。
３　一致点 
　本願発明と引用発明は，以下の構成において一致する。 
「光学素子と，
　前記光学素子が固定されているマウントとを備え，
　前記光学素子は少なくとも１つのコンプライアントな支持部を介して前記マウントに固定され，
　前記支持部は，第１のスプリングストラット及び少なくとも１つの第２のスプリングストラットを含む複数のスプリングストラットと，前記光学素子が固定される接触領域とを有するスプリングストラット配列を有しており，
　前記複数のスプリングストラットは，第１の端部を介して前記接触領域に，及び前記接触領域から遠い第２の端部を介して前記マウントに，それぞれ連結される光学装置において，
　前記複数のスプリングストラットは，前記接触領域から延び，互いにコンプライアンスの方向において隔てられ，実質的に互いに平行である
光学装置。」
　
４　相違点 
　本願発明と引用発明は，以下の点で相違する。
（1）　相違点１
　本願発明の「接触領域」は，「前記光学素子（１２；６２）が接触点（３２；８２）にて固定される」のに対して，引用発明の「保持部３３」は，レンズ２８が「接触点」にて固定されるものか，必ずしも明確ではない点。
（2）　相違点２
　本願発明の「スプリングストラット」の端部は，マウントの「外縁部」に連結されるのに対して，引用発明の「切り欠きバネ」の端部は，枠体の「外縁部」に連結されるか，必ずしも明確ではない点。 
（3）　相違点３
　本願発明の「複数のスプリングストラット」は，「接触領域の同じ側のみにて前記接触領域から延び」るのに対して，引用発明の「切り欠きバネ」は，「載置部の一方側の側面と他方側の側面とから」延びるように形成される点。 
５　判断 
（1）　相違点１について 
　引用発明の「座面４０」は，「レンズ２８のフランジ部２８ａを支持する」ものであり，「クランプ部材３５」は，「レンズ２８のフランジ部２８ａの上面に作用する押圧力を付与」している。そして，引用発明の「座面４０は，その中心が切り欠きバネ３７ａと切り欠きバネ３７ｂとによる載置部３４の支持剛性がほぼ等しくなる中立軸ＮＡ上に位置するように形成され」ているところ，引用例１の段落【００６１】及び【００６２】には，それぞれ，「このレンズセル２９では，載置部３４におけるレンズ２８を座面４０の中心が，切り欠きバネ３７ａ，３７ｂの各々によるレンズ２８の支持剛性がほぼ等しくなる中立軸ＮＡ上に形成されている。」及び「このため，レンズ２８を載置部３４に載置した際に生じるレンズ２８の接線方向を軸線とする回転モーメントを小さくすることができる。従って，載置部３４に生じるレンズ２８の光軸方向へのねじり応力を小さくすることができ，レンズ２８を一層安定に保持することができる。」と記載されている。
　そうしてみると，引用発明の「座面４０」は，「レンズ２８」との関係においては，レンズ２８を中立軸ＮＡ上で支持する接触点として機能し，この位置で固定されていることが理解できる。
　したがって，相違点１は，実質的な相違点であるとはいえないか，少なくとも，当業者が容易に発明できた事項である。
（2）　相違点２について 
　引用発明において，例えば，引用例１の【図１】のレチクルＲ側のレンズセル２９のように「枠体３２」を比較的薄く設計した場合や，「切り欠きバネ３７ａ，３７ｂ」を比較的長く設計した場合には，「切り欠きバネ３７ａ，３７ｂ」の他端の端部は，「枠体３２」の「外縁部」に連結されるレイアウトとなる。あるいは，引用例１の段落【００８０】には，「前記各実施形態において，各切り欠きバネ３７ａ，３７ｂをレンズ２８の接線と交差するように，例えば斜めになるように形成してもよい。」と記載されているところ，例えば，引用例１の【図１】のウエハＷ側のレンズセル２９のようにレンズの径が小さい場合や，保持部３３の数を増やした場合には，「切り欠きバネ３７ａ，３７ｂ」が枠体３２の外縁部に延びるようレイアウトしなければ，「切り欠きバネ３７ａ，３７ｂ」の長さを確保できない（引用発明のスリットは，枠体３２を貫通するものであるから，重ねてレイアウトできない。）。
　したがって，相違点２は，「切り欠きバネ３７ａ，３７ｂ」等のレイアウト設計上の事項に過ぎず，少なくとも，当業者が容易に発明できた事項である。
（2）　相違点３について 
　引用発明の「切り欠きバネ３７ａ，３７ｂ」は，「レンズ２８の接線方向に対する直交平面内にある載置部３４の」「一方側の側面３４ａと他方側の側面３４ｂとから，レンズ２８の接線方向に延びるように形成され」たものであるから，引用発明は，引用例１の特許請求の範囲に記載された各発明のうち，請求項３の「前記弾性変形部は，前記接線方向または前記交差する方向に関して，前記載置部の一方側と他方側とに設けられる一対の弾性変形片を有する」という構成を具備した発明に対応する。
　しかしながら，引用例１には，請求項１に係る発明として，請求項３の「前記弾性変形部は・・・前記載置部の一方側と他方側とに設けられる一対の弾性変形片を有」しない発明も記載されているから，引用例１には，弾性変形片が載置部の一方側のみに設けられた，いわゆるカンチレバータイプ（引用例２の第２Ａ図及び第２Ｂ図のアーム２５，引用例３の図４の接合板２４を参照。）のものであっても良いことが，示唆されている。
　そうしてみると，引用例１の記載に接した当業者が，引用例２及び３に記載された構成を踏まえ，引用発明の「切り欠きバネ３７ａ，３７ｂ」の構成を「レンズ２８の接線方向に対する直交平面内にある載置部３４の」「一方側の側面３４ａ」「から，レンズ２８の接線方向に延びるように形成され」たものとすることは，引用例１の記載が示唆する範囲内の事項にすぎない。
　また，そのようにしてなるものは，相違点３に係る構成を具備したものとなる。
６　効果について 
　本願発明の効果に関して，本件出願の発明の詳細な説明には明示的な記載が存在しないが，段落【００１３】には，「本発明は，マウントによって光学素子ができるだけ安定かつできるだけ低応力な状態で固定される，最初に言及した種類の，光学装置を提供することを目的としている。」と記載されているから，この目的を達成することが本願発明の課題であると解される。
　しかしながら，引用発明においてもこの目的は達成されているから，引用発明は本願発明と同じ効果を奏するといえる。
　なお，段落【００１５】には，「本発明による光学装置の平行スプリングストラットは，光学素子の膨張が生じた場合に，接着剤又はハンダの接触点での剥離を生じさせるような，接触領域と光学素子との間の接触点におけるトルクを発生させない利点を有する。これは，平行スプリングストラット自身がその構造によって最初から接触領域において，光学素子の中心の移動を伴わない光学素子の回転のみをもたらすような接触領域の平行移動しか生じさせないモーメントを発生させるからである。」と記載されている。
　しかしながら，引用発明は，本願発明のスプリングストラット配列（平行スプリングストラット）と同じ構成を具備している。あるいは，引用例１の段落【００６１】及び【００６２】には，上記５（1）で指摘したとおりの記載があるから，この利点は，引用発明も具備する利点である。
　以上のとおりであるから，本願発明が奏する効果は，引用発明が奏する効果であるか，あるいは，引用発明から予測可能な効果に過ぎない。
７　請求人の主張について 
　請求人は，審判請求書の３．（２）において「引用文献１の切り欠きバネ３７ａ，３７ｂを，レンズの載置部３４の接線方向両側に設ける構成は，光学素子の光軸方向の剛性を格段に高めるものである（段落［００１３］）。引用文献２および３に開示された構成では，そのような光軸方向の剛性を高めるという効果がないため，当業者は，引用文献２および３を参照しても，引用文献１の切り欠きバネ３７ａ，３７ｂを片持ち構造とすることは，容易に想到し得ないものと思量する。また，引用文献１においては，カンチレバータイプの屈曲部を用いた，レンズの片持ち構造の問題点を指摘しており（段落［０００６］参照），引用文献１において，載置部の単一の側面のみから切り欠きバネを延びるように形成する構成を採用することは当業者に困難である。」と主張する。
　しかしながら，引用例１には，（A）発明が解決しようとする課題として，「１つのカンチレバー屈曲部が，レンズを接着した受座を片持ち構造で支持している。このため，カンチレバー屈曲部におけるレンズの光軸方向の剛性が不足がちになりやすく，カンチレバー屈曲部は光軸方向の荷重（例えば，レンズ自身の重量等）によりねじれ応力を受けやすい。これにより，カンチレバー屈曲部の固有振動数が低くなり，場合によってはレンズの望ましくない振動と光学特性の歪みを増大させるおそれがある。」（段落【０００６】）と記載され，（B）発明の目的として「温度変化，光学素子自身の重量，外部からの衝撃等による光学素子の歪みの発生を効果的に抑制することのできる光学素子保持装置及び鏡筒を提供することにある。」（段落【０００７】）と記載され，（C）課題を解決するための手段として，（C1）まず，「請求項１に記載の発明は，光学素子を保持する光学素子保持装置において，枠体と，前記枠体に設けられる保持部とを有し，前記保持部は，前記光学素子の周縁部を載置する載置部と，前記光学素子の接線方向に，または前記光学素子の接線方向に所定の角度をもって交差する方向に延在し，かつ前記
光学素子の半径方向に所定間隔離して設けられ，前記載置部を前記光学素子の半径方向に変位可能に接続する複数の弾性変形部
前記弾性変形部は，
前記載置部の一方側と他方側とに設けられる一対の弾性変形片を有する
　すなわち，引用例１において，弾性変形片（切り欠きバネ３７ａ，３７ｂ）の両持ち構造は，「弾性変形部における光学素子の光軸方向の剛性が格段に高められる」構造であるとしても必須の構造ではなく，引用例１には，「光学素子保持装置における，温度変化，光学素子自身の重量及び外部からの衝撃による光学素子の歪みの発生が，効果的に抑制される」ことを目的課題とした，「前記光学素子の半径方向に所定間隔離して設けられ，前記載置部を前記光学素子の半径方向に変位可能に接続する複数の弾性変形部とを備える」構造を有する（しかし，両持ち構造ではない）発明も示唆されている。
　この点は，引用例１の段落【００７９】に，「前記各実施形態において，各切り欠きバネ３７ａ，３７ｂを，レンズ２８の接線方向に関して，載置部３４の一方の側面３４ａまたは他方の側面３４ｂのいずれかのみに，レンズ２８の半径方向に所定の間隔をおいて設けるようにしてもよい。」と記載されていることからみても明らかである。
　したがって，請求人の主張は採用できない。
第３　まとめ 
　以上のとおり，本件出願の特許請求の範囲の請求項１に係る発明は，引用例１に記載された発明及び引用例２及び３に記載された技術に基づいて，その優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから，特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって，他の請求項に係る発明について審究するまでもなく，本願は拒絶すべきものである。
　よって，結論のとおり審決する。