【事件の表示】
　特願２０１２−５５０７１７「検出素子及びこの検出素子を用いた角速度センサ」拒絶査定不服審判事件〔平成２４年　７月　５日国際公開、ＷＯ２０１２／０９０４５２、請求項の数（３）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　出願の経緯
　本願は、平成２３年１２月２２日（優先権主張　平成２２年１２月２８日（以下、「優先日」という。））を国際出願日とする出願であって、平成２７年６月１９日付けで拒絶理由が通知され、平成２７年７月８日付けで手続補正がなされたが、平成２７年１２月１５日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成２８年１月１８日に拒絶査定不服審判が請求され、同時に手続補正がなされたものである。
第２　平成２８年１月１８日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）の適否
１　補正の内容
（１）本件補正後の特許請求の範囲
　本件補正後の特許請求の範囲は、次のとおりのものである（下線は補正箇所を示す。）。
「【請求項１】
互いに直角のＸ軸とＹ軸とＺ軸とを有するＸＹＺ空間で定義される形状を有する検出素子
であって、
前記検出素子は、
　　　支持体と、
　　　前記支持体に接続された第１の端と、前記第１の端の反対側の第２の端とを有する第１のアームと、
　　　前記第１のアームの前記第２の端に接続され
、上面視で６角形である
を有し、
前記第１のアームは、
　　　前記第１の端から前記Ｙ軸の方向
に延
　　　前記第１
のアーム部
に延
　　　前記第２
のアーム部
を有し、前記第１のアーム部の前記Ｘ軸の方向の幅は前記第２のアーム部の前記Ｙ軸の方向の幅よりも大き
く、
前記第２のアーム部の前記Ｙ軸の方向の幅は前記第３のアーム部の前記Ｘ軸方向の幅よりも大きく、
前記第２の端は前記第１の部分の前記Ｙ軸方向の幅の中央に接続され、
前記第２の端は前記第１の部分の前記Ｘ軸方向の端に接続され、
前記第１の部分は前記第１のアームの内側に収まるように配置される
　　【請求項２】
前記第１のアーム部に設けられて前記第１の部分を振動させる駆動部と、
前記第２のアーム部に設けられて前記第１の部分の振動を検出する検出部と、
をさらに備えた、請求項１に記載の検出素子。
　　【請求項３】
請求項１
または２
前記検出素子を格納するパッケージと、を備えた角速度センサ。」
（２）請求項１についての補正内容
ア　第１の部分について、本件補正前に「前記第１のアームの前記第２の端に接続され、第１の角部、第２の角部、第３の角部、及び第４の角部を有する」とあったところを、「上面視で６角形である」と補正する。
イ　第１のアームについて、本件補正前に「前記第１の端から前記Ｙ軸の方向に第１の角部まで延びる第１のアーム部と、前記第１の角部から前記Ｘ軸の方向に第２の角部まで延びる第２のアーム部と、前記第２の角部から前記Ｙ軸の方向に前記第２の端まで延びる第３のアーム部とを有し、」とあったところを、「前記第１の端から前記Ｙ軸の方向に延びる第１のアーム部と、前記第１のアーム部から前記Ｘ軸の方向に延びる第２のアーム部と、前記第２のアーム部から前記Ｙ軸の方向に前記第２の端まで延びる第３のアーム部とを有し、」と補正する。
ウ　第１のアームの有する（支持体に接続された第１の端の反対側の）「第２の端」と、「第１の部分」との接続について、「前記第２の端は前記第１の部分の前記Ｙ軸方向の幅の中央に接続され、前記第２の端は前記第１の部分の前記Ｘ軸方向の端に接続され、前記第１の部分は前記第１のアームの内側に収まるように配置される」との事項を付加する。
（３）請求項２ないし５についての補正内容
　ア　本件補正前の請求項３、４を削除する。
　イ　本件補正前の請求項５を請求項３に繰り上げるとともに、本件補正前の請求項５に「請求項１から４のいずれかに記載の検出素子」とあったところを、「請求項１または２に記載の検出素子」と補正する。
２　補正の適否
（１）上記「１　補正の内容」について
ア　上記「１　補正の内容」「（２）」「ア」「イ」は、平成２７年１２月１５日付け拒絶査定の備考欄において、特許請求の範囲の記載が不明確であると指摘された点を明確にするため、同「（２）」「ウ」の「第１の部分は前記第１のアームの内側に収まるように配置される」との記載と相まって、「角部」との用語を使用せずに本件補正前の「第１の部分」及び「第１のアーム」の構成を言い替える補正であるから、明瞭でない記載の釈明を目的とする補正に該当する。
イ　次に、上記「１　補正の内容」「（２）」「ウ」は、第１のアームの有する（支持体に接続された第１の端の反対側の）「第２の端」と、「第１の部分」との接続について、限定を付加する補正であるから、特許請求の範囲の減縮を目的とする補正に該当する。
ウ　次に、上記「１　補正の内容」「（３）」「ア」は、請求項の削除を目的とする補正であり、同「（３）」「イ」は、本件補正前の請求項３、４の削除に伴って、本件補正前の請求項５が引用していた請求項を削除する補正である。
エ　以上のとおり、本件補正は、特許法第１７条の２第５項第１号、第２号及び第４号に掲げる事項を目的とし、また、特許法第１７条の２第３項、第４項に違反するところがない。
（２）独立特許要件について
　上記のとおり、請求項１についての本件補正は、特許請求の範囲の減縮を目的とするものであるから、以下、本件補正後の請求項１に係る発明が独立して特許を受けることができるものであるか、判断する。
ア　本願補正発明１
　本件補正によって補正された特許請求の範囲の請求項１に係る発明（以下、「本願補正発明１」という。）は、本件補正後の特許請求の範囲の請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものである（上記「１　補正の内容」「（１）」参照。）。
イ　引用例
（引用文献１）
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である、国際公開２０１０／０９２８０６号（以下、「引用文献１」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている（下線は当審で付与した。以下、引用文献２〜６、引用文献Ａについても同様。）。
「発明の名称：　慣性力センサとそれに用いる検出素子
技術分野
[0001]　本発明は、航空機、自動車、ロボット、船舶等の移動体の姿勢制御や、ゲーム機やナビゲーションの位置検出等、各種電子機器に用いられる慣性力センサとそれに用いる検出素子に関する。」
「[0012]　図３に示すように、この
角速度センサは検出素子１と駆動部８１と処理回路８２とを有する。検出素子１は
支持部６側から上下（Ｙ軸方向）に伸びる
第２アーム４
を有する。
[0013]　また第１アーム２の他端は基板に実装するための実装用アーム８（８Ａ、８Ｂ）に連結されている。２つの第１アーム２と支持部６とは一直線上に配置され、実装用アーム８は第１アーム２に対して直交するように配置されている。すなわち、第１アーム２Ａ、２Ｂと支持部６とは一直線上に配置されている。そして実装用アーム８Ａ、８Ｂは第１アーム２Ａ、２Ｂに対して直交するように配置されている。
[0014]　また、
第２アーム４は
Ｕ字形状に折曲し、その先端には質量部１０が形成されている。
さらに第２アーム４１Ａ
の先端には
質量部１０１Ａ
が形成されている。
[0015]　
検出素子１は、質量部１０と、励振部と、検出部とを有する。励振部は、互いに直交するＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向のうち、Ｚ軸方向に質量部１０を励振させる。検出部は、
角速度を検出する際、質量部１０の励振方向がＺ軸方向である時、処理回路８２は、質量部１０のＹ軸方向への変位に基づく検出部からの出力によりＸ軸回りの角速度を検出する。
[0016]　具体的には、励振部は、Ｙ軸の正側に配置された第２アーム４である第２アーム４１Ａ、４１Ｂの支持部６側にそれぞれ、第１励振用電極１２、第２励振用電極１４を配置して形成されている。一方、検出部は、Ｙ軸の負側に配置された第２アーム４である第２アーム４２Ａ、４２Ｂの支持部６側にそれぞれ、第１感知用電極１６、第２感知用電極１８を配置して形成されている。第１感知用電極１６は第２アーム４２Ａの歪を感知し、第２感知用電極１８は第２アーム４２Ｂの歪を感知する。励振部、検出部は検出素子１のＹＺ平面上に形成される。」
「[0020]　次に図３、図４を参照しながら、本実施の形態による角速度センサの動作を説明する。
互いに直交したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸において、
検出素子１の
第２アーム４をＹ軸方向に配置する。
[0021]　質量部１０の励振方向３１はＺ軸方向であって、質量部１０が互いに遠ざかる方向と近づく方向に、４つの質量部１０が同調して励振する。すなわち。質量部１０１Ａと質量部１０１Ｂは互いに遠ざかる方向と近づく方向に励振し、質量部１０２Ａと質量部１０２Ｂは互いに遠ざかる方向と近づく方向に励振する。また質量部１０１Ａと質量部１０２Ａは同じ方向に同調して励振する。
[0022]　この状態で、例えば、Ｘ軸回りに角速度が生じた場合は、質量部１０の励振と同調して、質量部１０に対して励振方向と直交したＹ軸方向にコリオリ力３２が発生し、第２アーム４１Ｂ、４２ＢにＹ軸方向への歪が発生する。この歪に応じた電流信号が第１、第２感知用電極１６、１８に生じる。処理回路８２はこの出力に基づきＸ軸回りの角速度を検出する。」
「[0025]　一般的に、
角速度を検出する際、励振用の周波数と感知用の周波数との周波数差（離調周波数）を小さくする方が、
角速度の検出感度も向上する。
[0026]　また、
励振用の周波数と感知用の周波数は、それぞれ、検出素子１の共振周波数になるように設計される。すなわち
励振用の周波数は、励振方向のＺ軸方向における共振周波数（Ｆｚｄ）とし、感知用の周波数は、歪の発生方向であるＸ軸方向の共振周波数（Ｆｓｘ）およびＹ軸方向の共振周波数（Ｆｓｙ）
「[0029]　したがって、本実施の形態では、図６に示すように、Ｆｚｄ＜Ｆｓｙ＜Ｆｓｘとしている。Ｆｚｄ＜Ｆｓｙ＜Ｆｓｘであれば、Ｘ軸、Ｙ軸方向の共振アドミタンス特性波が緩やかになるので、ＦｚｄとＦｓｘおよびＦｚｄとＦｓｙとの離調周波数を小さくしても、充分なゲインが得られやすい。また、ＦｓｘおよびＦｓｙが低周波数側にずれた場合でも、ゲインを著しく低下させることもない。なお、ＦｚｄとＦｓｘとＦｓｙの関係は、Ｆｚｄ＜Ｆｓｘ＜Ｆｓｙでもよく、ＦｓｘとＦｓｙがＦｚｄよりも大きければよい。
[0030]　
Ｆｓｘ、Ｆｓｙ、Ｆｚｄの大きさの関係は、例えば第２アーム４の断面の縦横比を変えることによって設定することができる。
第２アーム４は、Ｘ軸方向の厚み４Ｂと、支持部６からＹ軸方向に伸びる部分の幅４Ｃと、
Ｚ軸方向に伸びる部分の幅４Ａとを有する。ここで幅４Ａ、
幅４Ｃの値をそれぞれａ、
ｃとする。
Ｆｓｙは、ａ／ｃを大きくすれば大きくなり、ａ／ｃを小さくすれば小さくなる。またＦｚｄは、ｃ／ａを大きく
すれば大きくなり、ｃ／ａを小さく
すれば小さくなる。
[0031]　共振周波数が以上のような関係になるよう検出素子１を設計すれば、検出感度の感度効率が向上し、かつ、検出感度のバラツキが抑制され、感度特性が向上する。」
「[0049]　また以上の説明では慣性力センサとして角速度センサを中心に説明したが、加速度センサ等にも適用可能である。」
　また、図１、図４には、上面視で、質量部１０の形状が「第２アームの先端が連結される箇所に凹部を有する４角形」であることが示されている。
　以上より、引用文献１には、次の発明（以下、「引用発明１」という。）が記載されている。
「角速度センサは検出素子１と駆動部８１と処理回路８２とを有し、検出素子１は、支持部６側から上下（Ｙ軸方向）に伸びる第２アーム４を有し、
  第２アーム４は、Ｕ字形状に折曲し、その先端には質量部１０が形成されており、さらに第２アーム４１Ａの先端には、第２アームの先端が連結される箇所に凹部を有する４角形（図１より認定した。）の質量部１０１Ａが形成されており、
   検出素子１は、質量部１０と、励振部と、検出部とを有する。励振部は、互いに直交するＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向のうち、Ｚ軸方向に質量部１０を励振させる。検出部は、角速度を検出する際、質量部１０の励振方向がＺ軸方向である時、処理回路８２は、質量部１０のＹ軸方向への変位に基づく検出部からの出力によりＸ軸回りの角速度を検出し、互いに直交したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸において、検出素子１の第１アーム２第２アーム４をＹ軸方向に配置し、
　励振用の周波数は、励振方向のＺ軸方向における共振周波数（Ｆｚｄ）とし、感知用の周波数は、歪の発生方向であるＸ軸方向の共振周波数（Ｆｓｘ）の共振周波数（Ｆｓｙ）とすると、角速度を検出する際、励振用の周波数と感知用の周波数との周波数差（離調周波数）を小さくする方が、角速度の検出感度も向上し、
　Ｆｓｘ、Ｆｓｙ、Ｆｚｄの大きさの関係は、例えば第２アーム４の断面の縦横比を変えることによって設定することができ、 第２アーム４は、Ｘ軸方向の厚み４Ｂと、支持部６からＹ軸方向に伸びる部分の幅４Ｃと Ｚ軸方向に伸びる部分の幅４Ａとを有するが、ここで幅４Ａ、、幅４Ｃの値をそれぞれａ、ｃとすると、Ｆｓｙは、ａ／ｃを大きくすれば大きくなり、ａ／ｃを小さくすれば小さくなる。またＦｚｄは、ｃ／ａを大きくすれば大きくなり、ｃ／ａを小さくすれば小さくなる、
  角速度センサ。」
（引用文献２）
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である、国際公開２００８−２３６５３号公報（以下、「引用文献２」という。）には、次の事項が記載されている。
「請求の範囲 
 
 [1]慣性力を検出する検出素子を備え、 
   前記検出素子は、第1アームを第2アームに直交方向に連結して形成した 2つの直交アームと、 
   2つの前記第1アームを支持する支持部と、 
   前記支持部に連結し実装基板に固定する固定用アームと、 
   前記第2アームの先端部に連結した錘部と、を備え、 
   前記錘部には凹部が設けられ、前記凹部に前記第2アームの先端部が連結され、前記第2アームは対向するまで折曲し前記第2アームの対向方向に前記錘部が駆動振動する 
   慣性力センサ。
「技術分野 
 [0001] 本発明は、航空機、自動車、ロボット、船舶、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲーシヨン等、各種電子機器に用いる角速度を検出する角速度センサに関する。」
「[0015] 図1において、4つの第2アーム4の内、互いに対向する一方の2つの
第2アーム4の支持部6側
  
「[0025] 上記構成により、
互いに直交するX軸、Y軸、Z軸に対して、
第2アーム4をY軸方向に配置した場合、錘部11を第2アーム4の対向方向に駆動振動させれば、Y軸周りまたはZ軸周りの角速度に起因した歪を第2アーム4に発生させることができる。そして、この歪を検知すれば各々の軸周りの角速度を検出できる。
「[0026] 特に、錘部11には凹部12を設けるとともに凹部12に第2アーム4の先端部を連結しており、第2アーム4を錘部11と対向するまで折曲するとともに第2アーム4の対向方向に錘部11を駆動振動させるので、駆動振動数を低くすることが可能である。なお、このとき、錘部11は第2アーム4にぶら下がった状態で振動する。」
「[0028] 図3は、図1における検出素子1の錘部11の凹部12の深さ（D）と錘部11の長さ（L）に起因した共振周波数の変化を示す図である。図3からわかるように、錘部11の凹部12の深さ（D）は錘部11の長さ（U）の0. 25倍から0. 4倍が望ましい。共振周波数がほぼ最小に近づくからである。」
　以上より、引用文献２には、次の技術が記載されていると認められる。
「慣性力を検出する検出素子を備え、前記検出素子は、第1アームを第2アームに直交方向に連結して形成した 2つの直交アームと、2つの前記第1アームを支持する支持部と、前記支持部に連結し実装基板に固定する固定用アームと、前記第2アームの先端部に連結した錘部と、を備え、前記錘部には凹部が設けられ、前記凹部に前記第2アームの先端部が連結され、前記第 2アームは対向するまで折曲し前記第2アームの対向方向に前記錘部が駆動振動する慣性力センサであって、
　第2アーム4 は支持部6で支持され、互いに直交するX軸、Y軸、Z軸に対して、第1アーム2をX軸方向に配置し、第2アーム4をY軸方向に配置した場合、錘部11を第2アーム4の対向方向に駆動振動させれば、Y軸周りまたはZ軸周りの角速度に起因した歪を第2アーム4に発生させることができ、そして、この歪を検知すれば各々の軸周りの角速度を検出できる、
　慣性力センサ。」
（引用文献３）
　原査定の拒絶理由で引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である、特開２００１−８２９６３号公報（以下、「引用文献３」という。）には、次の事項が記載されている。
「【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は
振動体に作用するコリオリ力を利用して角速度を検出するジャイロスコープ用の運動センサ振動体
「【００１９】
【発明の実施の形態】図１は本発明の第１の実施の形態である
振動ジャイロスコープ用の運動センサ振動体
【００２０】
振動脚１Ｒ、１Ｌは軸が大きく屈曲した形状を呈し
各脚のバネ部は屈曲部毎に区切られ、固定端２Ｒ、２Ｌから自由端４Ｒ、４Ｌに向けて、３１Ｒ、３１Ｌ、３３Ｒ、３３Ｌより成る。バネ部３１Ｒ、３１Ｌの周囲４面には（ｂ）のように励振電極６Ｒ、６Ｌを設け、バネ部３３Ｒ、３３Ｌの周囲４面には（ｃ）のように検出電極７Ｒ、７Ｌを設ける。また振動脚の部分３２Ｒ、３２Ｌは短く撓み難いのでバネ性がなく、部分３４Ｒ、３４Ｌは断面（脚の巾）を太くし剛体的にしてバネ性を利用せず（この部分はＸ軸方向であり屈曲歪みの圧電効果が出せず弾性率の温度特性も悪いため）、また自由端に近い部分３５Ｒ、３５Ｌは付加質量５Ｒ、５Ｌの固着部となっている。
。なお固定端２Ｒ、２Ｌから自由端３Ｒ、３Ｌへ辿ると例えばバネ部３２Ｒ、３２Ｌと部分３５Ｒ、３５Ｌは向きを１８０°転じ（部分３２Ｒ、３２Ｌとは２７０°）た折り返し屈曲形状をしている。また振動質量の重心ＧＧＲ、ＧＧＬはそれぞれの振動脚の各部によって２７０°以上の角度で包囲されている。」
「【００２４】また検出を行うバネ部３３Ｒ、３３Ｌの部位では既述のように４面電極が可能で、またコリオリ力のモーメントが大きく作用するので検出に適するが、更に別の理由もある。付加質量５Ｒ、５Ｌ（各振動脚の部分３４Ｒ、３４Ｌ、３５Ｒ、３５Ｌ自体の質量も加算して考えておく）の重心ＧＲ、ＧＬの高さを適宜に設定すると、（ｄ）の左図のように
付加質量の慣性力の作用線（重心ＧＲの基本振動の速度ベクトルＵＲとほぼ一致すると考えられる）はバネ部３３Ｒの（電極部の）長さの中央を切る。
「【００４１】以上本発明の種々の実施の形態について述べたが、本発明の適用例は既述のものに限定されない。例えば振動体の材質は水晶に限らず、他の圧電性単結晶でもよい（カット角や結晶の対称性に応じてバネ部の屈折角度を決める）。また圧電性磁器を用いたり、金属に圧電素子を貼ったものでも許される場合があり得る。これらの場合も振動体上の電極膜の位置は既述の場合に準ずる。
振動脚の形状
例えば
渦巻き形状とする、
付加質量の位置や形状
等々は
種々あり得る
　よって、引用文献３には、次の技術が記載されているものと認められる。。
「振動体に作用するコリオリ力を利用して角速度を検出するジャイロスコープ用の運動センサ振動体であって、
　振動脚１Ｒ、１Ｌは軸が大きく屈曲した形状を呈し、各脚のバネ部は屈曲部毎に区切られ、固定端２Ｒ、２Ｌから自由端４Ｒ、４Ｌに向けて、３１Ｒ、３１Ｌ、３３Ｒ、３３Ｌより成る。バネ部３１Ｒ、３１Ｌの周囲４面には（ｂ）のように励振電極６Ｒ、６Ｌを設け、バネ部３３Ｒ、３３Ｌの周囲４面には（ｃ）のように検出電極７Ｒ、７Ｌを設け、また振動脚の部分３２Ｒ、３２Ｌは短く撓み難いのでバネ性がなく、部分３４Ｒ、３４Ｌは断面（脚の巾）を太くし剛体的にしてバネ性を利用せず（この部分はＸ軸方向であり屈曲歪みの圧電効果が出せず弾性率の温度特性も悪いため）、また自由端に近い部分３５Ｒ、３５Ｌは付加質量５Ｒ、５Ｌの固着部となっており、固定端２Ｒ、２Ｌから自由端３Ｒ、３Ｌへ辿ると例えばバネ部３２Ｒ、３２Ｌと部分３５Ｒ、３５Ｌは向きを１８０°転じ（部分３２Ｒ、３２Ｌとは２７０°）た折り返し屈曲形状をしており、また振動質量の重心ＧＧＲ、ＧＧＬはそれぞれの振動脚の各部によって２７０°以上の角度で包囲されており、付加質量の慣性力の作用線（重心ＧＲの基本振動の速度ベクトルＵＲとほぼ一致すると考えられる）はバネ部３３Ｒの（電極部の）長さの中央を切り、
　振動脚の形状（例えば渦巻き形状とする）、付加質量の位置や形状等々は、種々あり得る、
　運動センサ振動体。」
（引用文献４）
　原査定の拒絶理由で引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である、特開平９−１４９７２号公報（以下、「引用文献４」という。）には、次の事項が記載されている。
「【構成】振動片６は、恒弾性金属板を折り曲げて作製される。振動片６は、長手方向に形成された少なくとも１つ以上の折り線６ａを有し、
折り線６ａを挟んで一定角度をなすように少なくとも２つ以上の平板部６ｂ、６ｃを有する。平板部６ｂ、６ｃには、振動片６の折り線６ａを屈曲させる横振動を励振する圧電素子３ｈ〜３ｋを備える。
「【００１８】前記振動片６は、図１（Ａ）において、
平板部６ｂ、６ｃの法線方向ａ−ａおよびｂ−ｂ方向の共振周波数がほぼ一致するように、振動片６の折り曲げ角度θと折り曲げ曲率（Ｒ）の大きさ等が選ばれる。
　よって、引用文献４には、次の技術が記載されていると認められる。
「振動片６の折り曲げ角度θと折り曲げ曲率（Ｒ）の大きさ等を選んで、折り線６ａを挟んで一定角度をなす平板部６ｂ、６ｃの法線方向ａ−ａおよびｂ−ｂ方向の共振周波数をほぼ一致させる技術。」
（引用文献５）
　原査定の拒絶理由で引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である、特開２００３−３４４４４２号公報（以下、「引用文献５」という。）には、次の事項が記載されている。
「【解決手段】  
内側に凹部を有する一対の支持部材１５ａ，１５ｂ
によりその一端部が挟み込まれた
矩形状の圧電振動子１４と、圧電振動子１４の他端部と対向する支持部材１５ａ，１５ｂ間に挟まれるように設けた導電性部材１６と、
を備え、支持部材１５ａ，１５ｂの凹部を構成する角部は曲面とする。
「【００３１】また、圧電振動子１４の共振周波数は、圧電振動子１４の振動可能な長さにより決まるため、支持位置が変化すると電気的特性にばらつきが発生する。
【００３２】そこで、
支持部材１５ａ，１５ｂの凹部を構成する角部の内、圧電振動子１４と接する方の曲率半径を圧電振動子１４の振動可能な長さの２％以内とすることにより、共振周波数のばらつきすなわち、
が発生するのを抑制できる。
　よって、引用文献５には、次の技術が記載されていると認められる。
「内側に凹部を有する一対の支持部材１５ａ，１５ｂによりその一端部が挟み込まれた矩形状の圧電振動子１４と、圧電振動子１４の他端部と対向する支持部材１５ａ，１５ｂ間に挟まれるように設けた導電性部材１６と、を備え、支持部材１５ａ，１５ｂの凹部を構成する角部は曲面とし、支持部材１５ａ，１５ｂの凹部を構成する角部の内、圧電振動子１４と接する方の曲率半径を圧電振動子１４の振動可能な長さの２％以内とすることにより、共振周波数のばらつきが発生するのを抑制できる技術。」
（引用文献６）
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である、特開２００９−１７５５１１号公報（以下、「引用文献６」という。）には、次の事項が記載されている。
「【特許請求の範囲】
【請求項１】
  
梁をねじり回転軸として往復振動する、金属材料からなる振動子と、前記振動子に支持されたミラーとを備える振動ミラー
  前記金属材料からなる板材をプレス加工することにより、前記振動子を成形する工程と、
  前記振動子にミラーを固定する工程と、
  前記梁の支持端部を一部除去する形状加工により前記梁のばね剛性を変更し、共振周波数を調整する工程と、
を有することを特徴とする振動ミラーの製造方法。」
「【００６１】
  したがって、
梁３の支持端部の形状加工により、Ｒ面取りの曲率半径ｒを変更することで、
共振周波数ｆ0を調整することができることになる。
　従って、引用文献６には、次の技術が記載されていると認められる。
「梁をねじり回転軸として往復振動する、金属材料からなる振動子と、前記振動子に支持されたミラーとを備える振動ミラーにおいて、梁の支持端部の形状加工により、Ｒ面取りの曲率半径ｒを変更することで、共振周波数ｆ0を調整する技術。」
（引用文献Ａ）
　本願の優先日前に頒布された刊行物である、特開２００９−１５０８１５号公報（以下、「引用文献Ａ」という。）には、次の事項が記載されている。
「【００４３】
  なお、上記共振周波数の関係は、fy＜fx＜fzの方が望ましい。この理由を以下に説明する。
  本実施例の
角速度センサ１１０
  そこで、
スティッキング現象を回避するために、ビーム７０ａ，７０ｂ，７０ｃ，７０ｄのｚ軸方向のバネ剛性を高めることが望ましい。ビーム７０ａ，７０ｂ，７０ｃ，７０ｄのｚ軸方向のバネ剛性を高めると、z軸方向の共振周波数が高くなる。
【００４４】
  次に、角速度センサ１１０のビーム７０ａ，７０ｂ，７０ｃ，７０ｄに関して具体的に考察する。角速度センサ１１０のビーム７０ａ，７０ｂ，７０ｃ，７０ｄにおいて、共振周波数の関係をfy＜fx＜fzに設定する一例を以下に例示する。図１２（Ａ）に、フォールディッド型ビーム７３の要部拡大斜視図を示す。図１２（Ｂ）に、ストレート型ビーム７５の要部拡大斜視図を示す。
【００４５】
  ここで、
フォールディッド型ビーム７３のx軸ビームとストレート型ビーム７５のy軸ビーム形状を以下のように定義する。
E：シリコンのヤング率
Txx：x軸ビームのx軸方向の幅
Txz：x軸ビームのｚ軸方向の厚み
Lx：x軸ビームのy軸方向の長さ
Tyy：y軸ビームのy軸方向の幅
Tyz：y軸ビームのz軸方向の厚み
Ly：y軸ビームのx軸方向の長さ
M：質量（マス部４０の質量で代表する）
【００４６】
（マス部４０のz軸方向の振動をフォールディッド型ビーム７３で実現する場合）
  
フォールディッド型ビーム７３のx軸ビームに関しては、厚みTxzを幅Txxよりも大きくし、x軸ビームのz軸方向のバネ定数をx軸方向のバネ定数よりも大きくするのが望ましい。
 
 ストレート型ビーム７５のy軸ビームに関しては、z軸方向の剛性をy軸方向の剛性よりも十分に大きくし、y軸ビームがz軸方向に振動しないようにするのが望ましい。具体的な寸法は、Tyy：Tyz＝１：５以上とする。
　引用文献Ａより、「ビームの幅と厚みとの比を変更することで、厚み方向の共振周波数を高める」ことは、周知技術であると認められる。
ウ　対比
　本願補正発明１と引用発明１とを対比する。
　引用発明１における「検出素子１」は、「互いに直交したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸において」、「第２アーム」の形状が定義されているから、本願補正発明１における「互いに直角のＸ軸とＹ軸とＺ軸とを有するＸＹＺ空間で定義される形状を有する検出素子」に相当する。
　なお、引用文献１の図１と本願の図面における図１に示された座標軸とを対比すると、引用発明１における「Ｘ軸」、「Ｙ軸」及び「Ｚ軸」は、本願補正発明１における「Ｚ軸」、「Ｙ軸」及び「Ｘ軸」に対応する。
　次に、引用発明１における「検出素子１」における「支持部６」が、本願補正発明１における「前記検出素子」が有する「支持体」に相当する。
　次に、引用発明１における「検出素子１」における「支持部６側から上下（Ｙ軸方向）に伸びる第２アーム４」は、支持部６側に端部を有していることは明らかであって、また、支持部６側と反対の端に「その先端」を有しているから、本願補正発明１における「前記検出素子」が有する「前記支持体に接続された第１の端と、前記第１の端の反対側の第２の端とを有する第１のアーム」に相当する。
　次に、引用発明１における「検出素子１」における「第２アーム４」の「先端」に「形成」された「第２アームの先端が連結される箇所に凹部を有する４角形」の「質量部１０」と、本願補正発明１における「前記第１のアームの前記第２の端に接続され、上面視で６角形である第１の部分」とは、「前記第１のアームの前記第２の端に接続され、上面視で４角以上の多角形である第１の部分」の点で共通する。
　次に、引用発明１における「第２アーム４」が、「支持部６からＹ軸方向に伸びる部分」と「Ｚ軸方向に伸びる部分」とを有し、さらに「第２アーム４」は「Ｕ字形状に折曲し」ていることから、「その先端」まで「Ｙ軸方向に伸び」る部分を有していることが、本願補正発明１における「前記第１のアームは、前記第１の端から前記Ｙ軸の方向に延びる第１のアーム部と、前記第１のアーム部から前記Ｘ軸の方向に延びる第２のアーム部と、前記第２のアーム部から前記Ｙ軸の方向に前記第２の端まで延びる第３のアーム部と、を有」することに相当する。
　次に、引用発明１には、「第２アーム４は、Ｘ軸方向の厚み４Ｂと、支持部６からＹ軸方向に伸びる部分の幅４Ｃと Ｚ軸方向に伸びる部分の幅４Ａとを有するが、ここで幅４Ａ、幅４Ｃの値をそれぞれａ、ｃとすると、Ｆｓｙは、ａ／ｃを大きくすれば大きくな」ることが示されている。
　よって、引用発明１において「ａ／ｃを大きく」した場合が、本願補正発明１における「前記第１のアーム部の前記Ｘ軸の方向の幅は前記第２のアーム部の前記Ｙ軸の方向の幅よりも大き」いことに相当する。
　以上より、本願補正発明１と引用発明１との一致点、相違点は次のとおりのものである。
（一致点）
「互いに直角のＸ軸とＹ軸とＺ軸とを有するＸＹＺ空間で定義される形状を有する検出素子
であって、
前記検出素子は、
　　　支持体と、
　　　前記支持体に接続された第１の端と、前記第１の端の反対側の第２の端とを有する第１のアームと、
　　　前記第１のアームの前記第２の端に接続され、上面視で４角以上の多角形である第１の部分と、
を有し、
前記第１のアームは、
　　　前記第１の端から前記Ｙ軸の方向に延びる第１のアーム部と、
　　　前記第１のアーム部から前記Ｘ軸の方向に延びる第２のアーム部と、
　　　前記第２のアーム部から前記Ｙ軸の方向に前記第２の端まで延びる第３のアーム部と、
を有し、前記第１のアーム部の前記Ｘ軸の方向の幅は前記第２のアーム部の前記Ｙ軸の方向の幅よりも大きい、
　検出素子。」
（相違点１）
　本願補正発明１では、第１の部分の形状が「上面視で６角形」であるのに対し、引用発明１における質量部１０は、「第２アームの先端が連結される箇所に凹部を有する４角形」である点。
（相違点２）
　本願補正発明１では、「前記第１のアーム部の前記Ｘ軸の方向の幅は前記第２のアーム部の前記Ｙ軸の方向の幅よりも大き」いだけでなく、さらに「前記第２のアーム部の前記Ｙ軸の方向の幅は前記第３のアーム部の前記Ｘ軸方向の幅よりも大きく、前記第２の端は前記第１の部分の前記Ｙ軸方向の幅の中央に接続され、前記第２の端は前記第１の部分の前記Ｘ軸方向の端に接続され、前記第１の部分は前記第１のアームの内側に収まるように配置される」のに対し、引用発明１では、「ａ／ｃ」を大きくすること、言い替えると、「支持部６からＹ軸方向に伸びる部分の幅４Ｃ」を「Ｚ軸方向に伸びる部分の幅４Ａ」をより大きくすることは記載されているものの、そのような場合に、さらに「Ｚ軸方向に伸びる部分の幅４Ａ」を、Ｚ軸方向に伸びて「その先端」の質量部１０を形成する部分の幅より大きくすることは示されておらず、また、質量部１０の配置は、「Ｕ字形状に折曲」された「第２アーム４」の先端に配置されており、本願補正発明におけるような配置は示されていない点。
エ　判断
（ア）（相違点１）について
　引用文献２〜６には、質量部１０の形状を「上面視で６角形」とすることについて、記載も示唆もされていない。また、周知技術（引用文献Ａ参照。）を参酌しても、質量部１０の形状を「上面視で６角形」とすることが自明であるとすることもできない。
　かえって、引用文献２の段落００２８に「図3は、図1における検出素子1の錘部11の凹部12の深さ（D）と錘部11の長さ（L）に起因した共振周波数の変化を示す図である。図3からわかるように、錘部11の凹部12の深さ（D）は錘部11の長さ（U）の0. 25倍から0. 4倍が望ましい。共振周波数がほぼ最小に近づくからである。」と記載されているとおり、引用発明１において「質量部１０」の形状を「第２アームの先端が連結される箇所に凹部を有する４角形」とした技術的根拠は、共振周波数を所望の値にする点にあると認められるから、その形状を変更し、「上面視で６角形」とすることは当業者にとって動機付けられないことである。
　よって、引用発明１において、周知技術（引用文献Ａ参照。）及び引用文献２〜６に記載された技術を考慮しても、上記相違点１に係る本願補正発明１の構成を採用することは、当業者が容易になし得た事ではない。
（イ）（相違点２）について
　引用発明１には、「Ｚ軸方向に伸びる部分の幅４Ａ」と、Ｚ軸方向に伸びて「その先端」に至る部分の幅との比によって、Ｚ軸方向における共振周波数（Ｆｚｄ）やＸ軸方向の共振周波数（Ｆｓｘ）がどのように変化するのかについて、何らの技術的知見も開示されていない。さらに、質量部１０を、「Ｕ字形状に折曲」された「第２アーム４」のＺ軸方向に伸びた「その先端」に形成することに代え、「第２アーム４」の「その先端」を質量部１０の前記Ｙ軸方向の幅の中央に接続し、前記「その先端」は前記質量部１０の前記Ｚ軸方向の端に接続され、前記質量部１０は前記第２のアーム４の内側に収まるように配置することにより、Ｚ軸方向における共振周波数（Ｆｚｄ）やＸ軸方向の共振周波数（Ｆｓｘ）がどのように変化するのかについての技術的知見も何ら開示されていない。
　また、上記技術的知見は、周知技術（引用文献Ａ参照。）から自明であるとすることもできない。
　さらに、引用文献２〜６にも、上記技術的知見は、記載も示唆もされていない。
　よって、引用発明１において、周知技術（引用文献Ａ参照。）及び引用文献２〜６に記載された技術を考慮しても、上記相違点２に係る本願補正発明１の構成を採用することは、当業者が容易になし得た事ではない。
オ　独立特許要件についてのまとめ
　以上のとおり、請求項１についての本件補正は、特許法第１７条の２第６項で引用する同法第１２６条第７項の規定に適合する。
（３）　補正の適否についてのまとめ
　本件補正は、特許法第１７条の２第３項ないし第６項の規定に適合する。
第３　本願発明
　本件補正は上記のとおり、特許法第１７条の２第３項ないし第６項の規定に適合するから、本願の請求項１ないし３に係る発明は、本件補正により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし３に記載された事項により特定されるとおりのものである。
　そして、本願補正発明１は、上記「第２」「２」「（２）｝「ウ　対比」、「エ　判断」で述べたとおり、周知技術（引用文献Ａ参照。）及び引用文献２〜６に記載された技術を考慮しても、当業者が引用発明１に基づいて容易に発明をすることができたものではない。
　また、本件補正後の請求項２に係る発明は、本願補正発明１をさらに技術的に限定した検出素子に係る発明であり、本件補正後の請求項３に係る発明は、本願補正発明１に係る検出素子または本件補正後の請求項２に係る発明の検出素子と、前記検出素子を格納するパッケージと、を備えた角速度センサに係る発明であるから、本件補正後の請求項２、３に係る発明も、本願補正発明１について述べたのと同様の理由により、引用発明１に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではない。
　したがって、本願については原査定の拒絶理由を検討しても、その理由によって拒絶すべきものとすることはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。