【手続補正書】
【提出日】平成28年3月23日(2016.3.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面から他方の面に貫通する開口部が形成された基板と、
前記基板の他方の面に接合された第１の透明基板と、
前記基板の一方の面に接合された第２の透明基板と、
を有し、
前記基板の開口部において、前記第１の透明基板と前記第２の透明基板とにより囲まれた空間にはアルカリ金属が封入されており、
前記基板と前記第２の透明基板とは、第１の接合金属により形成された第１の接合金属層と、第２の接合金属により形成された第２の接合金属層とによる接合により、前記空間が密閉されており、
前記第２の接合金属層は、前記第１の接合金属層よりも接合温度が高いことを特徴とするアルカリ金属セル。
【請求項２】
一方の面から他方の面に貫通する開口部が形成された基板と、
前記基板の他方の面に接合された第１の透明基板と、
前記基板の一方の面に接合された第２の透明基板と、
を有し、
前記基板の開口部において、前記第１の透明基板と前記第２の透明基板とにより囲まれた空間にはアルカリ金属が封入されており、
前記基板と前記第２の透明基板とは、第１の接合金属により形成された第１の接合金属層と、第２の接合金属により形成された第２の接合金属層とによる接合により、前記空間が密閉されており、
前記第１の接合金属層は、前記第２の接合金属層よりも溶融温度が高いことを特徴とするアルカリ金属セル。
【請求項３】
前記第１の接合金属層は、Ａｕを含む材料により形成されているものであることを特徴とする請求項１または２に記載のアルカリ金属セル。
【請求項４】
前記第２の接合金属層は、ＡｕＳｎ、ＡｕＧｅ、ＡｕＳｉのうちのいずれかを含む材料により形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のアルカリ金属セル。
【請求項５】
前記第１の接合金属層で接合されている領域と、前記第２の接合金属層で接合されている領域は、前記基板と前記第２の透明基板との間隔が同じであることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のアルカリ金属セル。
【請求項６】
前記基板と前記第２の透明基板の間には、第１の接合金属層、及び第２の接合金属層により接合されていない領域が存在し、前記接合されていない領域は、アルカリ金属ガスが進入できる空隙があることを特徴とする請求項５に記載のアルカリ金属セル。
【請求項７】
前記基板の一方の面には、前記開口部につながる溝部が形成されており、
前記基板は、前記溝部において前記第２の接合金属層により前記第２の透明基板と接合されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のアルカリ金属セル。
【請求項８】
前記溝部は、前記基板の一方の面の表面側が広く、底面側が狭く形成されていることを特徴とする請求項７に記載のアルカリ金属セル。
【請求項９】
前記基板は、シリコン基板であることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載のアルカリ金属セル。
【請求項１０】
前記第１の透明基板及び前記第２の透明基板のうちのいずれか一方、または、双方がガラス基板であることを特徴とする請求項１から９のいずれかに記載のアルカリ金属セル。
【請求項１１】
前記基板の他方の面と前記第１の透明基板とは、陽極接合、または、直接接合により接合されていることを特徴とする請求項１から１０のいずれかに記載のアルカリ金属セル。
【請求項１２】
前記アルカリ金属は、セシウムまたはルビジウムであることを特徴とする請求項１から１１のいずれかに記載のアルカリ金属セル。
【請求項１３】
請求項１から１２のいずれかに記載のアルカリ金属セルと、
前記アルカリ金属セルにレーザ光を照射する光源と、
前記光源より前記アルカリ金属セルに照射されたレーザ光のうち、前記アルカリ金属セルを透過した光を検出する光検出器と、
を有することを特徴とする原子発振器。
【請求項１４】
前記光源より出射されたサイドバンドを含む光のうち、２つの異なる波長の光を前記アルカリ金属セルに入射させることにより、２種類の共鳴光による量子干渉効果による光吸収特性により発振周波数を制御することを特徴とする請求項１３に記載の原子発振器。
【請求項１５】
基板に前記基板を貫通する２以上の開口部と、前記基板の一方の面に前記２つの開口部を空間的に接続する溝部を形成する工程と、
前記基板の他方の面に第１の透明基板を接合する工程と、
前記開口部のうちの一の開口部にアルカリ金属を含む化合物を設置する工程と、
前記基板の一方の面の前記２以上の開口部の周囲、または、第２の透明基板の一方の面において前記２以上の開口部の周囲に対応する部分に、第１の接合金属により形成された第１の接合金属部材を形成する工程と、
前記基板の溝部、または、前記第２の透明基板の一方の面において前記溝部に対応する部分に、第２の接合金属により形成された第２の接合金属部材を設置する工程と、
前記基板の一方の面と前記第２の透明基板の一方の面とを第１の接合金属部材を圧着することにより形成された第１の接合金属層により接合する工程と、
前記アルカリ金属を含む化合物よりアルカリ金属を発生させて、前記一の開口部より前記溝部を介し、他の開口部に前記アルカリ金属を供給する工程と、
前記他の開口部に前記アルカリ金属を供給した後、前記溝部において前記第２の接合金属部材を加熱することにより形成される第２の接合金属層により、前記基板と前記第２の透明基板とを接合する工程と、
を有することを特徴とするアルカリ金属セルの製造方法。
【請求項１６】
基板の一方の面に前記基板を貫通しない一の開口部と、前記基板を貫通する他の開口部と、前記基板の一方の面に前記一の開口部と前記他の開口部とを空間的に接続する溝部を形成する工程と、
前記基板の他方の面に第１の透明基板を接合する工程と、
前記一の開口部にアルカリ金属を含む化合物を設置する工程と、
前記基板の一方の面の前記１の開口部及び前記他の開口部の周囲、または、第２の透明基板の一方の面において前記１の開口部及び前記他の開口部の周囲に対応する部分に、第１の接合金属により形成された第１の接合金属部材を形成する工程と、
前記基板の溝部、または、前記第２の透明基板の一方の面において前記溝部に対応する部分に、第２の接合金属により形成された第２の接合金属部材を設置する工程と、
前記基板の一方の面と前記第２の透明基板の一方の面とを第１の接合金属部材を圧着することにより形成された第１の接合金属層により接合する工程と、
前記アルカリ金属を含む化合物よりアルカリ金属を発生させて、前記一の開口部より前記溝部を介し、前記他の開口部に前記アルカリ金属を供給する工程と、
前記他の開口部に前記アルカリ金属を供給した後、前記溝部において前記第２の接合金属部材を加熱することにより形成される第２の接合金属層により、前記基板と前記第２の透明基板とを接合する工程と、
を有することを特徴とするアルカリ金属セルの製造方法。
【請求項１７】
基板に前記基板を貫通する２以上の開口部を形成する工程と、
前記基板の他方の面に第１の透明基板を接合する工程と、
前記開口部のうちの一の開口部にアルカリ金属を含む化合物を設置する工程と、
前記基板の一方の面の前記２以上の開口部の周囲、または、第２の透明基板の一方の面において前記２以上の開口部の周囲に対応する部分に、第１の接合金属により形成された第１の接合金属部材を形成する工程と、
前記基板の一方の面、または、前記第２の透明基板の一方の面において，前記一の開口部と他の開口部の間に対応する部分に、第２の接合金属により形成された第２の接合金属部材を設置する工程と、
前記基板の一方の面と前記第２の透明基板の一方の面とを第１の接合金属部材を圧着することにより形成された第１の接合金属層により接合する工程と、
前記基板の一方の面と前記第２の透明基板の一方の面の間に、前記一の開口部と前記他の開口部を空間的に繋ぐ空隙を形成する工程と、
前記アルカリ金属を含む化合物よりアルカリ金属を発生させて、前記一の開口部より前記基板と前記第２の透明基板との間にある空隙を介し、前記他の開口部に前記アルカリ金属を供給する工程と、
前記他の開口部に前記アルカリ金属を供給した後、前記一の開口部と前記他の開口部の間に対応する部分において，前記第２の接合金属部材を加熱することにより形成される第２の接合金属層により、前記基板と前記第２の透明基板とを接合する工程と、
を有することを特徴とするアルカリ金属セルの製造方法。
【請求項１８】
前記一の開口部と前記他の開口部の間に対応する部分に設置された第２の接合金属により形成された第２の接合金属部材の厚さは、前記第１の接合金属層の厚さよりも小さいことを特徴とする請求項１７に記載のアルカリ金属セルの製造方法。
【請求項１９】
前記１の開口部と前記他の開口部の間を切断することにより、前記他の開口部を分離し、前記分離された他の開口部によりアルカリ金属セルの内部が形成されることを特徴とする請求項１５から１８のいずれかに記載のアルカリ金属セルの製造方法。
【請求項２０】
前記第１の接合金属は、金属の微粒子により形成されたものであることを特徴とする請求項１５から１９のいずれかに記載のアルカリ金属セルの製造方法。
【請求項２１】
前記金属の微粒子は、Ａｕを含む材料により形成された微粒子であって、
前記微粒子の粒径は、０．０５μｍ以上、１μｍ以下であることを特徴とする請求項２０に記載のアルカリ金属セルの製造方法。
【請求項２２】
前記第２の接合金属は、ＡｕＳｎ、ＡｕＧｅ、ＡｕＳｉのうちのいずれかを含む材料であることを特徴とする請求項１５から２１のいずれかに記載のアルカリ金属セルの製造方法。
【請求項２３】
前記第２の接合金属部材を用いて接合する際の接合温度は、前記第１の接合金属部材を用いて接合する際の接合温度よりも、高いことを特徴とする請求項１５から２２のいずれかに記載のアルカリ金属セルの製造方法。
【請求項２４】
前記第１の接合金属層の溶融温度は、前記第２の接合金属層の溶融温度よりも、高いことを特徴とする請求項１５から２３のいずれかに記載のアルカリ金属セルの製造方法。
【請求項２５】
前記アルカリ金属を含む化合物に、レーザ光を照射、紫外光を照射、加熱のいずれかを行うことにより、前記アルカリ金属を発生させることを特徴とする請求項１５から２４のいずれかに記載のアルカリ金属セルの製造方法。