(57)【要約】  結晶性支持体上の光学多層系が開示され、これは、重合性及び／又は重縮合性有機基を有するナノ粒子を含有する組成物が結晶性支持体に適用され；ナノ粒子の基が、有機的に架橋した層を形成するために重合及び／又は重縮合され；同一の方法において１つ以上の更なる層が適用され、結果生じる層コンポジットは一段階で熱圧密化され、存在する有機成分がバーンアウトされ；最後に適用される層について、必要に応じて、有機的に架橋した層を形成するための該ナノ粒子の基の重合性及び／又は重縮合は、最終工程において直接的に実施され得、又は該ナノスケール無機固体粒子は、重合性及び／又は重縮合性有機基を有さなくてもよい；工程によって得られ得る。作製される光学多層系は、耐引掻性の干渉層系、例えば、結晶性支持体上の反射及び反射防止膜として好適である。該系は、例えば、サファイア支持体、例えば、サファイア時計ガラスに好適である。【特許請求の範囲】
【請求項１】
以下の工程：
ａ）  重合性及び／又は重縮合性（polycondensable）有機基を有するナノスケール無機固体粒子を含有する自由流動性組成物を結晶性支持体(crystalline substrate)に適用する工程；
ｂ）  有機的に架橋した層を形成するために、該固体粒子の該基を重合及び／又は重縮合する工程；
ｃ）  前記組成物と異なる屈折率を与える工程ａ）に従った更なる組成物を該有機的に架橋した層に適用する工程；
ｄ）  更なる有機的に架橋した層を形成するために、該固体粒子の該基を重合及び／又は重縮合する工程；
ｅ）  既に存在する該有機的に架橋した層及び／又は該支持体の他の表面上に更なる有機的に架橋した層を形成するために、工程ｃ）及びｄ）の必要に応じた1回又は複数回反復工程；
ｆ）  該層コンポジットの1段階の熱圧密化（thermal consolidation）及び存在する有機成分のバーンアウト(burnout)工程；
最後に適用される層について、
１）  必要に応じて、有機的に架橋した層を形成するための該固体粒子の該基の重合及び／又は重縮合は、最終工程ｆ）において直接的にももたらされ得、又は
２）  必要に応じて及び代替的に、ナノスケール無機固体粒子は、重合性及び／又は重縮合性有機基を有さず、この場合、最上層について、工程ｆ）の前又は間に、有機的架橋の形成を伴う該固体粒子の基の重合及び／又は重縮合は起こらない；
によって得られ得る、結晶性支持体上の光学多層系。
【請求項２】
該結晶性支持体が、シリコン、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、クオーツ、サファイア、他の貴石、又は準貴石、ＰｂＳ又はセレンから構成されることを特徴とする、請求項１に記載の光学多層系。
【請求項３】
該結晶性支持体が平面又は湾曲していることを特徴とする、請求項１又は２に記載の光学多層系。
【請求項４】
該支持体が透明であることを特徴とする、請求項１〜３の１項に記載の光学多層系。
【請求項５】
該支持体が両サイド上に光学多層系を備えることを特徴とする、請求項１〜４の１項に記載の光学多層系。
【請求項６】
該結晶性支持体が、特にサファイア、時計ガラス、特に、サファイア、インストルメントカバーガラス、ウエハ、特に、シリコン、結晶性デテクター又は光学フィルターのシートであることを特徴とする、請求項１〜５の１項に記載の光学多層系。
【請求項７】
以下の工程：
ａ）  重合性及び／又は重縮合性有機基を有するナノスケール無機固体粒子を含有する自由流動性組成物を結晶性支持体に適用する工程；
ｂ）  有機的に架橋した層を形成するために該固体粒子の該基を重合及び／又は重縮合する工程；
ｃ）  前記組成物と異なる屈折率を与える工程ａ）に従った更なる組成物を該有機的に架橋した層に適用する工程；
ｄ）  更なる有機的に架橋した層を形成するために、該固体粒子の該基を重合及び／又は重縮合する工程；
ｅ）  既に存在する有機的に架橋した層及び／又は該支持体の他の表面上に更なる有機的に架橋した層を形成するために、工程ｃ）及びｄ）の必要に応じた１回又は複数回反復工程；
ｆ）  該層コンポジットの1段階の熱圧密化及び存在する有機成分のバーンアウト工程；
最後に適用される層について、
１）  必要に応じて、有機的に架橋した層を形成するための該固体粒子の該基を重合及び／又は重縮合することは、最終工程ｆ）において直接的にももたらされ得、又は
２）  必要に応じて及び代替的に、該ナノスケール無機固体粒子は、重合性及び／又は重縮合性有機基を有さず、この場合、最上層について、有機的架橋の形成を伴う該固体粒子の該基の重合及び／又は重縮合は、工程ｆ）の前又は間に起こらない；
を特徴とする、結晶性支持体上に光学多層系を製造するための方法。
【請求項８】
該光学的に架橋された層の形成が、約１５０℃、好ましくは約１３０℃までの温度で実施されることを特徴とする、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
該有機的に架橋した層の形成が光化学重合及び／又は重縮合によってもたらされることを特徴とする、請求項７及び８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１０】
該１段階の圧密化及びバーンアウトが、４００〜８００℃、好ましくは４００〜６００℃の範囲の温度で実施されることを特徴とする、請求項７〜９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１１】
該１段階の圧密化及びバーンアウトが、該層コンポジットの加熱が、該支持体へ向かう方向において外側から内側へもたらされるように実施されることを特徴とする、請求項７〜１０のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１２】
該層の加熱速度が少なくとも１００°Ｋ／分であることを特徴とする、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
該ナノスケール粒子が、半金属及び金属化合物、特に半金属又は金属の酸化物、硫化物、セレン化物及びテルル化物、並びにこれらの混合物から選択されることを特徴とする、請求項７〜１２のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１４】
該ナノスケール粒子が、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２、ＺｎＯ、Ｔａ２Ｏ５、ＳｎＯ２及びＡｌ２Ｏ３並びにこれらの混合物のものから選択されることを特徴とする、請求項７〜１３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１５】
該重合性及び／又は重縮合性表面基が（メト）アクリロイル、ビニル、アリル、又はエポキシ基を有する有機基から選択されることを特徴とする、請求項７〜１４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１６】
使用される該固体粒子が、該好適な表面基を有するナノスケール固体粒子の表面改質によって作製されたことを特徴とする、請求項７〜１５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１７】
使用される該固体粒子が、好適な重合性／重縮合性基を有する少なくとも１つの化合物を用いて作製されたことを特徴とする、請求項７〜１６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１８】
該無機固体粒子が、ゾルゲル法によって作製されることを特徴とする、請求項７〜１７のいずれか1項に記載の方法。
【請求項１９】
該コーティング組成物が、３〜８の範囲のｐＨを有することを特徴とする、請求項７〜１８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２０】
請求項１〜６の1項に記載の該光学的多層系の干渉層系、特に反射防止層系としての使用。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一段階ベーキングプロセス（“スタック硬化（stack cure）”）によって得られ得る、結晶性支持体上の光学多層系、該光学多層系を製造するための方法、及びその使用に関する。
【背景技術】
【０００２】
スパッタリング及び気相堆積法以外に、光学特性を有する多層系は、いわゆるゾルゲル法によってガラス上に作製され得る（例えば、Ｄｉｓｌｉｃｈ  ｅｔ  ａｌ．  ＤＥ  １９４１１９１を参照）。この作製方法の原理は、好適なガラス支持体が浸漬方法によってゾルでコーティングされ、圧密化（consolidation）を達成するために、乾燥され比較的高い温度でベークされる。第一層を十分に化学的に安定にするために、比較的高い温度で予備乾燥（pre-drying）することが必要である（そうでなければ、それは新たなコーティングゾルによって部分的又は完全に溶解されるためである）。各層の適用後に４００〜５００℃の温度での熱処理が必要とされるため、そのプロセスは複雑である。これは多層系（特定の光学的用途において要求されるような（広域帯反射防止膜、冷光鏡等））の作製を、非常に労働集約的且つ費用のかかるものとする。
【０００３】
Ｐ．Ｗ．Ｏｌｉｖｅｉｒａ，  Ｈ．Ｋｒｕｇ，  Ａ．Ｆｒａｎｔｚｅｎ，  Ｍ．Ｍｅｎｎｉｇ，  Ｈ．ＳｃｈｍｉｄｔはＳＰＩＥ，ｖｏｌ．３１３６，ページ４５２−４６１において、有機的に修飾された無機マトリクスにおいて、３−グリシジルオキシプロピルトリメトキシシランを用いて表面改質されたナノスケール粒子を用いてプラスチック支持体上に光学多層系を作製するための方法を記載する。光分解性硬化（photolytic curing）が実施される。熱処理は最大８０℃までで実施される。これは、プラスティック支持体上に干渉層系が作製されることを可能にする。
【０００４】
ＷＯ  ９９／６１３８３は、ガラス支持体上に光学多層系を作製するための方法（ここにおいて、重合性及び／又は重縮合性（polycondensable）の有機表面基を有するナノスケール無機固体粒子を含む少なくとも２つのコーティング組成物が、一段階においてガラス支持体上に適用され、ベークされる）を記載する。
【０００５】
従来技術に従って得られるウェット−ケミカル光学多層系は、ガラス又はプラスチック支持体に基づく。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、結晶性支持体上の光学多層系を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この目的は、本発明に従って、以下の工程： 
ａ）重合性及び／又は重縮合性の有機基を有するナノスケール無機固体粒子を含有する自由流動性（free-flowing）組成物を結晶性支持体(crystalline substrate)に適用する工程；
ｂ）有機的に架橋した層を形成するために、該固体粒子の基を重合及び／又は重縮合する工程；
ｃ）該有機的に架橋した層に、前記組成物と異なる屈折率を与える工程ａ）に従った更なる組成物を適用する工程；
ｄ）更なる有機的に架橋した層を形成するために、該固体粒子の基を重合及び／又は重縮合する工程；
ｅ）既に存在する有機的に架橋した層及び／又は該支持体の他の表面上に、更なる有機的に架橋した層を形成するための、工程ｃ）及びｄ）の必要に応じた1回又は複数回の反復工程；及び
ｆ）該層コンポジットの1段階の熱圧密化（thermal consolidation）及び存在する有機成分のバーンアウト(burnout)工程；
最後に適用される層について、
１）必要に応じて、有機的に架橋した層を形成するための固体粒子の基の重合及び／又は重縮合は、最後の工程ｆ）において直接的にももたらされ得る、又は
２）必要に応じて及び代替的に、ナノスケール無機固体粒子は、重合性及び／又は重縮合性有機基を有さず、この場合、最上層について、工程ｆ）の前又は間において、有機架橋の形成を伴う固体粒子の基の重合及び／又は重縮合は起こらない；
を含む結晶性支持体上に光学多層系によって達成される。
【０００８】
本発明によって、光学多層系を結晶性、非金属性、無機支持体に適用することが可能である。結果生じる多層系は、高耐引掻性を特徴とする。結晶性支持体は、例えば、単結晶又は多結晶の材料であり得る。特定の目的に好適である任意の公知の結晶性材料を使用することが可能である。好ましい結晶性支持体の例は、シリコン、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、クオーツ、サファイア、他の貴石又は準貴石及び他の光学結晶、結晶性デテクター（crystalline detector）、例えば、ＰｂＳ又はセレン等の電磁放射のため、及び光学フィルター（ＵＶ、ＩＲ、ＮＩＲ及びＶＩＳ）の支持体であり、結晶性支持体の中でサファイアが特に好ましい。結晶性支持体は、好ましくは透明な支持体である。支持体は例えば他の材料の支持体上の表面層としても存在し得る。
【０００９】
支持体は、任意の所望される形状を有し得る。それは、例えば、平面又は、例えば凹又は凸など、湾曲状であり得る。支持体は、一側面又は両側面上に光学多層系を備え得る。支持体は、例えば、長方形又は丸いシート又はレンズ又は任意の他の形状の形態で存在し得る。好ましい実施形態において、支持体は、ウエハ、スクリーン、インストルメントカバーガラス、結晶性デテクター、光学フィルター又は特に結晶性材料の時計ガラスである。使用の幾つかの分野において、“ガラス”という用語は、結晶性支持体幾つかの実施形態のための商業又は産業において慣習的であり、例えば、その用途のために純粋なガラスを使用することも可能である。
【００１０】
支持体の特に好ましい特別な実施形態は、例えば、レーザースキャナーの勘定台、サファイアのインストルメントのカバーガラス及び特にサファイアの時計ガラスにおいて使用し得るような、シリコンウエハ、サファイアシートである。
【００１１】
光学多層系は、一般的に干渉多層系として、例えば、反射又は反射防止膜として好適であり、反射防止膜は好ましい用途である。更に好適な用途は、ＮＩＲ反射フィルター、エッジフィルター、及びバンドパスフィルターである。更なる用途は、以下に列挙される。
【００１２】
結晶性支持体上に光学多層系を作製するための方法は以下に詳細に説明される。
【００１３】
重合性及び／又は重縮合性の基でコーティングされたナノスケール粒子の使用は、例えば光重合によって（そして同一の方法による更なる層を適用するこの方法において）、非常に低い温度でさえも化学的に安定な層を作製する可能性を提供する。このコンテクストにおいて、驚くべきことに、これらの層は、１０以上の個別の層を有する層系の場合であっても、亀裂の形成なく結晶性支持体上に圧密化され得、それらの光学的作用が前もって正確に計算され得ることが見出された。これは、特別なコーティング系の無機成分の含有量、適用された量（層厚）及び熱エンド圧密化（thermal end consolidation）後に得られる屈折率から明らかである。
【００１４】
本願明細書及び添付の特許請求の範囲において、“ナノスケール無機固体粒子”は、２００ｎｍ以下、好ましくは１００ｎｍ以下、特に７０ｎｍ以下の平均粒度（平均粒子直径）を有するものを意味すると理解される。特に好ましい粒度範囲は、５〜５０ｎｍである。
【００１５】
平均粒度は、ここで、平均体積に基づく平均粒子直径を意味すると理解され、ＵＰＡ（Ｕｌｔｒａｆｉｎｅ  Ｐａｒｔｉｃｌｅ  Ａｎａｌｙｚｅｒ，  Ｌｅｅｄｓ  Ｎｏｒｔｈｒｕｐ（レーザー光学、ダイナミックレーザー光散乱））が測定のために使用され得る。非常に小さい粒子（例えば３．５ｎｍ未満）を測定するために、電子顕微鏡法（例えば、ＨＲ−ＴＥＭによる）を使用することも可能である。
【００１６】
ナノスケール無機固体粒子は、任意の材料から成り得るが、それらは好ましくは、金属又は半金属から成り、特に、半金属又は金属化合物、例えば（必要に応じて水和される）酸化物、例えば、ＺｎＯ、ＣｄＯ、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２、ＣｅＯ２、ＳｎＯ２、Ａｌ２Ｏ３、Ｉｎ２Ｏ３、Ｌａ２Ｏ３、Ｆｅ２Ｏ３，Ｃｕ２Ｏ、Ｔａ２Ｏ５、Ｎｂ２Ｏ５、Ｖ２Ｏ５、ＭｏＯ３又はＷＯ３；カルコゲニド、例えば、硫化物（例えば、ＣｄＳ、ＺｎＳ、ＰｂＳ及びＡｇ２Ｓ）セレン化物（例えば、ＧａＳｅ、ＣｄＳｅ及びＺｎＳｅ）及びテルル化物（例えば、ＺｎＴｅ又はＣｄＴｅ）、ハライド（例えば、ＡｇＣｌ、ＡｇＢｒ、ＡｇＩ、ＣｕＣｌ、ＣｕＢｒ、ＣｄＩ２及びＰｂＩ２；炭化物、例えば、ＣｄＣ２又はＳｉＣ；砒化物、例えば、ＡｌＡｓ、ＧａＡｓ及びＧｅＡｓ；アンチモン化物、例えばＩｎＳｂ；窒化物、例えば、ＢＮ、ＡｌＮ、Ｓｉ３Ｎ４及びＴｉ３Ｎ４：リン化物ＧａＰ、ＩｎＰ、Ｚｎ３Ｐ２、及びＣｄ３Ｐ２；ホスフェート、シリケート、ジルコネート、アルミネート、スタンネート及び対応する混合酸化物（例えば、ペルブスカイト構造を有するもの、例えばＢａＴｉＯ３及びＰｂＴｉＯ３）である。
【００１７】
本発明に従った方法において使用されるナノスケール無機固体粒子は、好ましくは、金属の酸化物、硫化物、セレン化物及びテルル化物及びこれらの混合物である。本発明に従って、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２、ＺｎＯ、Ｔａ２Ｏ５、ＳｎＯ２及びＡｌ２Ｏ３（全ての修飾物、特にベーマイト、ＡｌＯ（ＯＨ））及びこれらの混合物のナノスケール粒子が特に好ましい。
【００１８】
本発明に従って使用可能なナノスケール粒子は、広い範囲の屈折率に亘るため、これらのナノスケール粒子の好適な選択は、層の屈折率を従来の様式で所望の値に調節することを可能にする。
【００１９】
本発明に従って使用されるナノスケール固体粒子は、慣習的様式、例えば、熱分解（flame pyrolysis）、プラズマプロセス、気相凝縮法、コロイド技術、析出法、ゾルゲル法、制御された核形成及び成長法、ＭＯＣＶＤ方法、及び（ミクロ）エマルジョン法により調製され得る。これらの方法は、包括的に文献に記載される。特に、例えば、半金属又は金属（例えば、析出法の還元後）、セラミック酸化物系（溶液からの析出による）、そして塩様又は多成分系も使用することが可能である。塩様又は多成分系はまた、半導体系を含む。ナノスケール固体粒子は、好ましくはゾルゲル法によって調製される。
【００２０】
重合性及び／又は重縮合性の有機基を備え、本発明に従って使用されるナノスケール無機固体粒子は、２つの方法において原則として調製され得、第一に既に調製されたナノスケール無機固体粒子の表面改質、及び第二にこのような重合性及び／重縮合性基を有する１つ以上の化合物を用いてこれらの無機ナノスケール固体粒子を調製することによる。これら２つのルートは、以下に説明され、実施例において詳細に例証される。
【００２１】
有機重合性及び／又は重縮合性基は、当業者に公知の任意の基であり得、フリーラジカル、陽イオン又は陰イオン、熱又は光化学重合、或いは熱又は光化学重縮合（必要に応じて、好適な開始剤又は触媒の存在下）を受け易い。本発明に従って、（メト）アクリロイル、アリル、ビニル、エポキシ基を有する表面基が好ましく、（メト）アクリロイル及びエポキシ基が特に好ましい。重縮合性基のために、特に、ヒドロキシル、カルボキシル及びアミノ基が挙げられ、その補助を用いて、ナノスケール粒子間のエーテル、エステル及びアミド結合が得られ得る。
【００２２】
本発明に従って、重合性及び／又は重縮合性基を含有し、且つナノスケール粒子の表面上に存在する有機部分が比較的低分子量を有することも好ましい。特に、その（純粋に有機的）部分の分子量は、５００、好ましくは３００、より好ましくは２００を超えるべきではない。これは、勿論、これらの部分を含む化合物（分子）の顕著により高い分子量（例えば、２０００以下、又は１０００以下）を排除するのではない。
【００２３】
既に上記に記載するように、重合性／重縮合性基は、原則として２つの方法において提供され得る。既に調製されたナノスケール粒子の表面改質が実施される場合、この目的のための好適な化合物は、第一にナノスケール固体粒子の表面上に存在する官能基（例えば、酸化物の場合、ＯＨ基）と反応又は少なくとも相互作用をし得る１つ以上の基を有し、第二に少なくとも１つの重合性／重縮合性基を有する全ての（好ましくは低分子量の）化合物である。従って、対応する化合物は、ナノスケール固体粒子の表面に、例えば、共有及びイオン性（塩様）又は配位（錯体）結合の両方を形成し得、一方で純粋な相互作用は、例えば、双極子−双極子相互作用、水素結合及びファンデルワールス相互作用を含む。共有及び／又は配位結合の形成が好ましい。ナノスケール無機固体粒子の表面改質のために使用し得る有機化合物の特別な例は、例えば、不飽和カルボン酸、例えば、アクリル酸及びメタクリル酸、重合性二重結合を有するβ−ジカルボニル化合物（例えば、β-ジケトン又はβ−カルボニルカルボン酸）、エチレン性不飽和アルコール及びアミン、アミノ酸、エポキシド等である。本発明に従って特に好ましいこのような化合物は、特に酸化物粒子の場合、重合性炭素−炭素二重結合又はエポキシド環を有する少なくとも（好ましくは）１つの非加水分解性基を有する加水分解的に縮合可能なシランである。このようなシランは、好ましくは、以下の一般式（Ｉ）を有する：
Ｘ−Ｒ１−ＳｉＲ２３      （Ｉ）
式中、Ｘは、ＣＨ２＝ＣＲ３−ＣＯＯ、ＣＨ２＝ＣＨ又はグリシジルオキシであり、Ｒ３は、水素又はメチルであり、Ｒ１は、１〜１０、好ましくは１〜６炭素原子及び必要に応じて１つ以上のヘテロ原子部分（例えば、Ｏ、Ｓ、ＮＨ）（これらは、隣接する炭素原子を互いに隔離する）を有する二価の炭化水素基であり、Ｒ２基は互いに同一又は異なり、アルコキシ、アリールオキシ、アシルオキシ及びアルキルカルボニル基そしてまたハロゲン原子（特にＦ、Ｃｌ及び／又はＢｒ）から選択される。
【００２４】
Ｒ２基は、好ましくは同一であり、ハロゲン原子、Ｃ１−４−アルコキシ基（例えば、メトキシ、エトキシ、ｎ−プロポキシ、I−プロポキシ及びブトキシ）、Ｃ６−１０−アリールオキシ基（例えば、フェノキシ）、Ｃ１−４−アシルオキシ基（例えば、アセトキシ及びプロピオニルオキシ）及びＣ２−１０−アルキルカルボニル基（例えば、アセチル）から選択される。特に好ましいＲ２基は、Ｃ１−４−アルコキシ基及び特にメトキシ及びエトキシである。
【００２５】
Ｒ１基は、好ましくは、アルキレン基、特に１〜６炭素原子を有するものであり、例えば、エチレン、プロピレン、ブチレン及びヘキシレンである。ＸがＣＨ２＝ＣＨである場合、Ｒ１は、好ましくはメチレンであり、この場合、シンプル結合でもあり得る。
【００２６】
Ｘは、好ましくは、ＣＨ２＝ＣＲ３−ＣＯＯ（ここでＲ３は、好ましくはＣＨ３である）又はグリシジルオキシである。従って、特に好ましい一般式（Ｉ）のシランは、（メト）アクリロイルオキシアルキルトリアルコキシシラン、例えば、３−メタクリロイルオキシプロピルトリエトキシシラン、３−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、及びグリシジルオキシアルキルトリアルコキシシラン、例えば、３−グリシジルオキシプロピルトリエトキシシラン、３−グリシジルオキシプロピルトリメトキシシランである。
【００２７】
ナノスケール無機固形粒子が重合性／重縮合性基を有する１つ以上の化合物を用いて調製される場合、後の表面改質を省略することが可能である（勿論、これは、追加的手段として可能であるが）。
【００２８】
重合性／重縮合性表面基を有するナノスケール無機固体粒子のin situ調製は、例えば、ＳｉＯ２粒子の実施例を用いて以下に例証される。この目的のために、ＳｉＯ２粒子は、例えば、少なくとも１つの重合性／重縮合性基を有する少なくとも１つの加水分解的に重縮合可能なシランを用いてゾルゲル法によって調製され得る。このタイプの好適なシランは、例えば、上記に既に記載される一般式（Ｉ）のシランである。これらのシランは、単独又は以下の一般式（ＩＩ）の好適なシランとの組合せで好ましく使用される：
ＳｉＲ２４      （ＩＩ）
式中、Ｒ２は、上記に定義される通りである。上記の一般式（ＩＩ）の好ましいシランは、テトラメトキシシラン及びテトラエトキシシランである。
【００２９】
勿論、一般式（ＩＩ）のシランに追加的又は代替的に、他のシラン、例えば、官能基を有さない（非加水分解性）炭化水素基を有するもの、例えば、メチル−又はフェニルトリアルコキシシランを使用することも可能である。
【００３０】
本発明に従った方法において使用される組成物は、自由流動性物質（free flowing mass）（懸濁液）の形態で存在する。この物質の液体成分は、例えば、水及び／又は（好ましくは水混和性）有機溶媒及び／又はナノスケール粒子又はそれらの表面改質の調製の間に使用された又は得られた化合物（例えば、アルコキシシランの場合、アルコール）から成る。必要に応じて追加的に使用される好適な有機溶媒は、例えば、アルコール、エーテル、ケトン、エステル、アミンなどである。自由流動性物質の（追加的）成分は、例えば、ナノスケール粒子の表面上に存在する重合性／重縮合性基と反応（重合又は重縮合）し得る、少なくとも１つの基を有する少なくとも１つのモノマー又はオリゴマー種であってもよい。このような種には、例えば、重合性二重結合を有するモノマーが含まれ、例えば、アクリリックエステル、メタクリリックエステル、スチレン、ビニルアセテート及び塩化ビニルが挙げられる。１つよりも多い重合性結合を有する好ましいモノマー化合物は、特に、以下の一般式（ＩＩＩ）のものである：
（ＣＨ２＝ＣＲ３−ＣＯＺ−）ｎ−Ａ      （ＩＩＩ）
式中、ｎ＝２、３又は４、好ましくは、２又は３、そして特に２；
Ｚ＝Ｏ又はＮＨ、好ましくはＯ；
Ｒ３＝Ｈ、ＣＨ３；
Ａ＝２〜３０、特に２〜２０炭素原子を有し、１つ以上のヘテロ原子部分（この各々は、２つの隣接する炭素原子の間に配置される（このようなヘテロ原子部分の例は、Ｏ、Ｓ、ＮＨ、ＮＲ（Ｒ＝炭化水素基）、好ましくはＯである））を有し得るｎ価の炭化水素基。
【００３１】
炭化水素基Ａは、１つ以上の置換基も保持し得、これは、好ましくは、ハロゲン（特にＦ、Ｃｌ及び／又はＢｒ）、アルコキシ（特にＣ１−４−アルコキシ）、ヒドロキシル、必要に応じて置換されるアミノ、ＮＯ２、ＯＣＯＲ５、ＣＯＲ５（Ｒ５＝Ｃ１−６−アルキル又はフェニル）から好ましく選択される。しかし、Ａ基は、好ましくは、置換されない、又はハロゲン−及び／又はヒドロキシル−置換である。
【００３２】
本発明の一実施形態において、Ａは、脂肪族ジオール、アルキレングリコール、ポリアルキレングリコール、又は必要に応じてアルコキシレート化（例えば、エトキシレート化）されたビスフェノール（例えば、ビスフェノールＡ）由来である。
【００３３】
１つよりも多い二重結合を有する更なる使用可能な化合物は、例えば、アリル（メト）アクリレート、ジビニルベンゼン及びジアリルフタレートである。例えば、２つ以上のエポキシ基（エポキシ含有表面基の使用の場合）を有する化合物、例えば、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル又はエポキシ含有加水分解性シラン（例えば、グリシジルオキシプロピルトリメトキシシラン）の（オリゴマー）プレ縮合物を使用することも同様に可能である。
【００３４】
本発明に従って使用されるコーティング組成物における有機成分の含有量は、好ましくは、固体含有量に基づいて２０重量％以下である。それは、高屈折率を有する層については、例えば５重量％、又は低屈折率を有する層については例えば１５重量％であり得る。
【００３５】
本発明に従って使用されるコーティング組成物は、好ましくはｐＨ≧３、より好ましくは≧４を有する。一般的に、ｐＨは約８まで、好ましくは約７．５までの中性範囲内である。
【００３６】
本発明に従った方法の工程ａ）において、コーティング組成物は、結晶性支持体に適用され、それを完全に又は部分的にコーティングする。この目的に好適なコーティング方法は、従来型の方法及び当業者に公知のものである。その例は、浸漬、噴霧、ナイフ−コーティング、スプレッディング、ブラッシング又はスピン−コーティングである。
【００３７】
結晶性支持体への適用の前に、自由流動物質は、例えば、溶媒を添加すること又は揮発性成分（特に、既に存在する溶媒）を蒸発させることによって、好適な粘度に調節され得る。自由流動物質の適用の前に、支持体は、必要に応じて前処理（例えば、洗浄、脱脂等）に供され得る。
【００３８】
本発明に従った方法の工程ｂ）において、ナノスケール無機固体粒子の重合性及び／又は重縮合性表面基（及び、好適である場合、追加的に使用されるモノマー又はオリゴマー種の重合性及び／又は重縮合性基）の重合及び／又は重縮合が実施される。この重合／重縮合は、当業者によく知られる様式で実施され得る。好適な方法の例は、熱、光化学（例えば、ＵＶ照射を用いた）、電子ビーム硬化、レーザー硬化、室温硬化などである。このような重合／重縮合は、必要に応じて、好適な触媒又はスターター（開始剤）（これは、それが支持体に適用される直前までに自由流動物質に添加される）の存在下で実施される。
【００３９】
使用可能な開始剤／開始剤系には、当業者によく知られる及び公知の全てのスターター／スターター系が含まれ、フリーラジカル光開始剤、フリーラジカル熱開始剤、陽イオン性光開始剤、陽イオン性熱開始剤及びこれらの任意の組合せを含む。
【００４０】
有用なフリーラジカル光開始剤の具体例は、Ｉｒｇａｃｕｒｅ（登録商標）１８４（１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン）、Ｉｒｇａｃｕｒｅ（登録商標）５００（１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ベンゾフェノン）及びＣｉｂａ−Ｇｅｉｇｙから入手可能な他のＩｒｇａｃｕｒｅ（登録商標）光開始剤；Ｄａｒｏｃｕｒ（登録商標）１１７３、１１１６、１３９８、１１７４及び１０２０（Ｍｅｒｃｋから入手可能）；ベンゾフェノン、２−クロロチオキサントン、２−メチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、ベンゾイン、４，４’−ジメトキシベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンジルジメチルケタール、１，１，１−トリクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン及びジベンゾスベロンである。
【００４１】
フリーラジカル熱開始剤の例は、ジアシル過酸化物、ペルオキシジカーボネート、アルキルペルエステル、アルキル過酸化物、ペルケタール、ケトン過酸化物及びアルキルヒドロペルオキシドの形態の有機過酸化物及びアゾ化合物も挙げられる。具体例は、特に、ジベンゾイルペルオキシド、ｔｅｒｔ−ブチルペルベンゾエート及びアゾビスイソブチロニトリルが含まれる。陽イオン性光開始剤の１つの例は、Ｃｙｒａｃｕｒｅ（登録商標）ＵＶＩ−６９７４であり、一方で好ましい陽イオン性熱開始剤は、１−メチルイミダゾールである。
【００４２】
これらの開始剤は、当業者に公知の慣習的な量で使用される（好ましくは、コーティング組成物の総固形分に基づいて、０．０１〜５重量％、特に０．１〜２重量％である）。勿論、幾つかの状況において、例えば、電子ビーム又はレーザー硬化の場合に、開始剤を完全に省略することが可能である。
【００４３】
本発明に従った方法の工程ｂ）の重合／重縮合は、好ましくは熱的に又は照射（特にＵＶ光を用いた）によって実施される。光化学重合／重縮合又は熱及び光化学重合／重縮合の組合せが特に好ましい。
【００４４】
重合／重縮合は、支持体に適用された層からの更なる揮発性、非重合性／非重縮合性化合物の除去に先行され得る。この揮発性成分の除去は、重合／重縮合の段階において、又はその後に、同様に又は追加的に実施され得る。
【００４５】
本発明に従った典型的な方法は、以下の実施例によって概説され、特定された範囲及び手順は、特別に使用される材料と無関係に一般的に有効である。
【００４６】
例えば、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２、ＺｒＯ２又は他の酸化物又は硫化材料のナノスケール粒子（３０〜１００ｎｍ、好ましくは４０〜７０ｎｍの粒度）は、１〜２０重量％、好ましくは５〜１５重量％の濃度で溶媒（例えば、メタノール、エタノール、プロパノールなどの低級アルコール）中に分散され、好ましくは、２〜２５重量％、特に４〜１５重量％（総固形分に基づいて）の量の重合性／重縮合性基を有する表面改質剤と混合される。例えば、シランを使用する場合、表面改質は、数時間室温で撹拌することによって実施され得る。重合性／重縮合性基を有し、表面改質剤又は表面基と適合性のある他のモノマー及びオリゴマー材料は、次いで必要に応じて、例えば、２０重量％以下、好ましくは４〜１５重量％（総固形分に基づいて）の量で添加され得る。
【００４７】
溶媒を添加又は除去することによって粘性を調節した後、１つ以上の適切な開始剤（各々の場合、例えば、総固形分に基づいて、０．０１〜５重量％）及び必要に応じて他の慣習的添加剤が添加される。
【００４８】
コーティング組成物は、次いで支持体に適用され、５０〜２００ｎｍ、好ましくは１００〜１５０ｎｍの範囲の層の厚みを得るために、適用される量は、所望の屈折率及び使用の分野に一般的に依存する。
【００４９】
後の重合／重縮合（架橋）は、比較的低い温度で、好ましくは１０〜５０℃、特に１０〜３０℃、より好ましくは室温の温度範囲で実施される。他の実施形態において、例えば、熱架橋の場合、有機的に架橋した層は、好ましくは１５０℃以下、より好ましくは１３０℃以下の温度で形成される。
【００５０】
反応時間の短縮が望まれる場合、光重合を用いることが好ましい；ここで任意の光源、特にＵＶ光放射源（例えば、水銀蒸気ランプ、キセノンランプ、レーザー光）を使用することが可能である。
【００５１】
記載される様式において、所望の層コンポジットが得られるまで、１つ以上の更なる層が形成された有機的に架橋した層に適用される。最後の（最外）層の場合、別個の架橋工程は必要とされず、これは代わりに最後の圧密化及びバーンアウト工程ｆ）において直接的に実施され得る。
【００５２】
最後又は最外層について、重合性及び／又は重縮合性の有機基を有するナノスケール無機固体粒子を含み、先行する組成物と異なる屈折率を生じる自由流動性組成物の代わりに、先行する組成物と異なる屈折率を生じ、重合性及び／又は重縮合性有機基を有さないナノスケール無機固体粒子を含む自由流動性組成物を必要に応じて適用することが可能である。この場合、工程ｆ）の前又は間、最外層における有機架橋も当然存在しない。
【００５３】
圧密化及び存在する有機成分のバーンアウトが未だ実施されない層に対する損傷無く、更なる層が適用され得るために、有機的架橋が必要であることが見出された。最後又は最外層について更なる層が適用されないため、有機架橋剤も必要とされず、上述するように、最外層のための組成物におけるナノスケール無機粒子は重合性及び／又は重縮合性有機基を有する必要が無い。勿論、最後の層について重合性及び／又は重縮合性有機基を有するナノスケール無機固体粒子を含む自由流動性組成物を使用することも当然可能である。
【００５４】
例えば、多層系が二層から成る場合、第二層は、重合性及び／又は重縮合性基を有するナノスケール無機固体粒子を含有する自由流動性組成物を適用する代わりに、代替的に重合性及び／又は重縮合性基を有さないナノスケールの無機固体粒子を含有する自由流動性組成物を適用することによって形成され得る。結果生じる層コンポジットは、次いで、以下に説明される工程ｆ）に従って更に処理される。
【００５５】
重合性及び／又は重縮合性基を有さないナノスケール無機固体粒子を含有する最外ゾルゲル層のための最適組成物について、重合性及び／又は重縮合性基が存在しないことを除いて、既に記載される組成物についてと全く同じことがあてはまる。特に、ナノスケール無機固体粒子についての全ての上記記載は、例えば材料、サイズ、調製などに関して適用する。ナノスケール無機固体粒子は、未改質であり得る；しかしそれらは、表面改質されていてもよい。表面の改質されたナノスケール無機固体粒子について、表面に適用された基が重合性及び／又は重縮合性基を含有しないことを除いて、上記に説明されるように、表面改質に全く同じことが当てはまる。
【００５６】
重合性及び／又は重縮合性基を有さない表面改質のために使用され得る化合物の更なる例は、１〜２４炭素原子を有し、エーテル結合を有し得る、必要に応じて置換されたカルボン酸、及びその無水物、エステル（好ましくはＣ１−４−アルキルエステル）及びアミド、式ＮＲ６Ｒ７Ｒ８Ｒ９＋Ｘ−（ここでＲ６〜Ｒ９は、必要に応じて互いに異なり、好ましくは１〜１２、特に１〜８の炭素原子を有する脂肪族、芳香族又は脂環式基、例えば、１〜１２、特に１〜８、より好ましくは１〜６炭素原子を有するアルキル基（例えば、メチル、エチル、ｎ−及びｉ−プロピル、ブチル又はヘキシル）であり、Ｘ−は、無機又は有機陰イオン、例えば、アセテート、ＯＨ−、Ｃｌ−、ＢＲ−又はＩ−である）の第四級アンモニウム塩；モノ−及びポリ−アミン、特に一般式Ｒ３−ｎＮＨｎ（ここで、ｎ＝０、１又は２、Ｒ基は１〜１２、特に１〜８、より好ましくは１〜６の炭素原子を有する各々独立したアルキル基（例えば、メチル、エチル、ｎ−及びｉ−プロピル、ブチル又はヘキシル）及びエチレンポリアミン（例えば、エチレンジアミン、ジエチレントリアミンなど）のもの；アミノ酸；イミン；４〜１２、特に５〜８の炭素原子を有するβ−ジカルボニル化合物、例えば、アセチルアセトン、２，４−ヘキサンジオン、３，５−ヘプタンジオン、アセト酢酸、及びＣ１−４−アルキルアセトアセテート（例えば、エチルアセトアセテート）のもの；及びシランである。
【００５７】
改質に好適な加水分解性シランは、例えば、以下の一般式：
ＲｔｎＳｉＲ２（４−ｎ）      （ＩＶ）
（式中、Ｒ２基は、同一又は異なり、各々加水分解性基又はヒドロキシル基であり、式（Ｉ）において定義される通りであり、Ｒｔ基は、同一又は異なり、各々非加水分解性基であり、ｎは１、２又は３）のシラン又はそれ由来のオリゴマーである。
【００５８】
官能基を有さない非加水分解性Ｒｔ基は、例えば、アルキル（好ましくはＣ１−２４−アルキル（例えば、メチル、エチル、ｎ−プロピル、イソプロピル、ｎ−ブチル、ｓｅｃ−ブチル及びｔｅｒｔ−ブチル、ペンチル、ヘキシル、オクチル又はシクロヘキシル）、アルケニル（好ましくは、Ｃ２−２４−アルケニル、例えば、ビニル、１−プロペニル、２−プロペニル及びブテニル）、アルキニル（好ましくは、Ｃ２−２４−アルキニル、例えば、アセチレニル及びプロパルギル）、アリール（好ましくは、Ｃ６−１０−アリール、例えば、フェニル、及びナフチル）、またそれ由来のアルキルアリール及びアリールアルキルである。Ｒ及びＸ基は、必要に応じて、１つ以上の慣習的置換基、例えばハロゲン又はアルコキシを有し得る。
【００５９】
工程ｆ）において、層コンポジットは、４００〜８００℃、好ましくは４００〜６００℃、特に４００〜５００℃の温度に加熱され、例えば、１分〜１時間この温度に維持される。この間、亀裂の形成又は他の欠陥の存在無く、有機（炭素を含有する）成分の完全なバーンアウトが実施される
この目的のために、層コンポジットの加熱が結晶性支持体へ向かう方向で、外側から中へもたらされるように、工程ｆ）において圧密化及びバーンアウトを実施することが好ましい。これは、コンポジットの内側に存在する有機成分が既に加熱された外層を通って脱することを可能にする。同一の理由のために、層は好ましくは少なくとも１００°Ｋ／分の加熱速度で加熱される。
【００６０】
本発明に従って作製される光学多層系は、上記に説明される用途に加えて、以下の用途のために、例えば、反射及び反射防止膜等の干渉系としても好適である：
光学フィルター：眼鏡産業の分野における反射防止及び反射フィルター、ディスプレイ、ビジュアルディスプレーユニット、半導体レーザー、マイクロレンズコーティング、太陽電池、“耐損傷性（damage resistant）”レーザー層、バンドパスフィルター、反射防止フィルター、吸収フィルター及びビームディバイダー。
【００６１】
ホログラフィック層：光導系、情報蓄積、レーザーカップラー、導波管、装飾及びアーキテクチャー。
【００６２】
エンボス加工性層：反射防止系、検出分野におけるフォーカシング（focusing）、平坦なビジュアルディスプレーユニットの照明、複写機におけるイメージング、光ファイバー（光インジェクション）。
【００６３】
リソグラフィー：導波管などのミクロ光学素子の製造、グリッド、ピンホール、回折格子（ポイントグレーティング）及びディスプレイ技術の分野における、ファイバーチップカップリング（fiber-chip coupling）及びイメージング光学（imaging optics）。
【００６４】
続く実施例は、本発明を制限することなく、さらに例証する。
【実施例】
【００６５】
実施例−サファイア時計ガラス上のＡＲコーティング
Ａ．  ゾルの合成
１．  ベースゾル
１．１．  ＴｉＯ２ベースゾル
２８．４３ｇ（０．１モル）のテトライソプロピルオルトチタネートは、２０５．８３ｇのイソプロパノール中に溶解され、１０．００ｇ（０．１モル）のアセチルアセトンが撹拌下で添加される。室温で１５分間撹拌した後、２．７８ｇの水中の６．６５ｇの濃塩酸（ＨＣｌ、３７％）の溶液が撹拌下で添加される。混合物は、室温で２４時間撹拌される。
１．２．  ＧＰＴＳ加水分解物
還流冷却器、マグネチックスターラー及びオイルバスを有するワンネックフラスコは、２３，６３ｇ（０．１モル）の３−グリシジルオキシプロピルトリメトキシシラン（ＧＰＴＳ）及び２．７０ｇの塩酸（０．１Ｎ）で満たされ、これらは、４０℃で２４時間撹拌される。反応混合物は、ロータリーエバポレータ上で濃縮され（４５℃、５０ｍｂａｒ、１時間）、結果として、無色透明の僅かに粘性の液体を生じる。
１．３  ＴＥＯＳ加水分解物
２０．８３ｇ（０．１モル）のテトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）は、１５．２８ｇの水と混合され、０．２９ｇの濃塩酸（ＨＣｌ、３７％）が撹拌下で添加される。反応混合物が澄んだ後（約５分後）、２６．９０ｇのエタノールが添加され、混合物は室温で更に２時間撹拌される。
２．  コーティングゾル
２．１．  Ｈゾル
１００ｇのＨゾルを調製するために、６３．６６ｇのＴｉＯ２ベースゾルは２６．３７ｇのイソプロパノール及び６．５９ｇの１−ブタノール中に溶解され、０．０７ｇのＧＰＴＳ加水分解物及び３．３１ｇのＴＥＯＳ加水分解物が撹拌下で添加され、混合物は室温で５分間撹拌される。
２．２．  Ｌゾル
１００ｇのＬゾルを調製するために、６．４１ｇのＴｉＯ２ベースゾルは５２．１９ｇのイソプロパノール及び１３．０５ｇの１−ブタノール中に溶解され、２８．３４ｇのＴＥＯＳ加水分解物は撹拌下で添加され、混合物は５分間室温で撹拌される。
Ｂ．  サファイア支持体上の多層系の作製
ゾルは、スピンコーティング技術によってサファイア時計ガラスに適用される。その支持体は、エタノールで洗浄される。２ＡＲ層（Ｈ及びＬゾル）は、サファイア時計ガラスの各々の側面に適用される（２０００−２５００ｒｐｍ）。各コーティングの後、支持体は、１２０℃で１〜２分予備乾燥される。完全なコーティングに、４５０℃で３０分間のスタック硬化（stack cure）が続く。
Ｃ．  結果
透過率測定（ＣＡＲＹ  ５Ｅ  分光光度計、Ｖａｒｉａｎ、Ａｕｔｓｔｒａｌｉａ  ｐｔｙ，  Ｌｔｄ．）は、本発明に従った２段階においてコーティングされたサファイア時計ガラス（曲線２）の透過率は、コーティングされていない支持体（曲線１）と比較して、全可視スペクトル領域に亘って顕著に改善していること、及びそれは実際に５１０〜５７０ｎｍの範囲において９９％よりも優れていることを示す（図１）。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】図１は、以下の実施例と一致し、本発明に従った光学多層系（曲線２）及びコーティングされていない支持体のもの（曲線１）を備えた結晶性支持体の透過挙動を示す。
【図１】
2007529769.tif 000002
【国際調査報告】
2007529769.tif 000003
2007529769.tif 000004
2007529769.tif 000005
2007529769.tif 000006
2007529769.tif 000007
2007529769.tif 000008