【手続補正書】
【提出日】平成28年9月23日(2016.9.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長辺および短辺を有する長方形の撮像領域を構成するように配列された複数の光電変換部を有する半導体基板と、前記複数の光電変換部に各々対応する複数のマイクロレンズとを有する固体撮像装置であって、
前記複数のマイクロレンズのうち前記長辺に平行な第１方向に配列された第１グループのマイクロレンズにおける頂部と前記第１グループのマイクロレンズの間の谷部との高低差は、前記複数のマイクロレンズのうち前記短辺に平行な第２方向に配列された第２グループのマイクロレンズにおける頂部と前記第２グループのマイクロレンズの間の谷部との高低差より大きく、
前記第１グループのマイクロレンズのそれぞれの中心を通り且つ前記半導体基板の表面の法線に平行な断面における前記第１グループのマイクロレンズの表面のうち最外周部における接線と前記法線に垂直な面とがなす第１角度が、前記第２グループのマイクロレンズのそれぞれの中心を通り且つ前記法線に平行な断面における前記第２グループのマイクロレンズの表面のうち最外周部における接線と前記法線に垂直な面とがなす第２角度と等しいか、前記第２角度より小さい、
ことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項２】
前記第１方向における前記光電変換部の配列ピッチと前記第２方向における前記光電変換部の配列ピッチとが互いに等しい、
ことを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項３】
前記複数のマイクロレンズは、互いに接して配置されている、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の固体撮像装置。
【請求項４】
前記半導体基板は、第１面および第２面を有し、前記複数のマイクロレンズは、前記半導体基板の前記第１面の側に配置され、前記半導体基板の前記第２面の側に配線構造が配置されている、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項５】
前記第１グループのマイクロレンズの間の前記谷部と前記半導体基板との間、および、前記第２グループのマイクロレンズの間の前記谷部と前記半導体基板との間に、遮光部材が配置されている、
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項６】
長辺および短辺を有する長方形の撮像領域を構成するように配列された複数の光電変換部を有する半導体基板と、前記複数の光電変換部に各々対応する複数のマイクロレンズとを有する固体撮像装置であって、
前記複数のマイクロレンズのうち前記長辺に沿った第１方向に隣接する第１および第２マイクロレンズの間の第１谷部と前記第１および第２マイクロレンズの頂部との第１高低差が、前記複数のマイクロレンズのうち前記短辺に沿った第２方向に隣接する第３および第４マイクロレンズの間の第２谷部と前記第３および第４マイクロレンズの頂部との第２高低差より大きく、
前記第１および第２マイクロレンズのそれぞれの中心を通り且つ前記半導体基板の表面の法線に平行な断面における前記第１マイクロレンズの表面のうち前記第１谷部に接する最外周部における接線と前記法線に垂直な面とがなす第１角度が、前記第３および第４マイクロレンズのそれぞれの中心を通り且つ前記法線に平行な断面における前記第３マイクロレンズの表面のうち前記第２谷部に接する最外周部における接線と前記法線に垂直な前記面とがなす第２角度と等しいか、前記第２角度よりも小さく、
前記複数のマイクロレンズのうち前記複数のマイクロレンズからなるアレイの最外周部を構成するマイクロレンズ以外のマイクロレンズは、同一の形状を有する、
ことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項７】
長辺および短辺を有する長方形の撮像領域を構成するように配列された複数の光電変換部を有する半導体基板と、前記複数の光電変換部に各々対応する複数のマイクロレンズとを有する固体撮像装置であって、
前記複数のマイクロレンズのうち前記長辺に沿った第１方向に隣接する第１および第２マイクロレンズの間の第１谷部と前記第１および第２マイクロレンズの頂部との第１高低差が、前記複数のマイクロレンズのうち前記短辺に沿った第２方向に隣接する第３および第４マイクロレンズの間の第２谷部と前記第３および第４マイクロレンズの頂部との第２高低差より大きく、
前記第１および第２マイクロレンズのそれぞれの中心を通り且つ前記半導体基板の表面の法線に平行な断面における前記第１マイクロレンズの表面のうち前記第１谷部に接する最外周部における接線と前記法線に垂直な面とがなす第１角度が、前記第３および第４マイクロレンズのそれぞれの中心を通り且つ前記法線に平行な断面における前記第３マイクロレンズの表面のうち前記第２谷部に接する最外周部における接線と前記法線に垂直な前記面とがなす第２角度と等しいか、前記第２角度よりも小さく、
前記第１マイクロレンズの前記第１方向に関するパワーは、前記第１マイクロレンズの前記第２方向に関するパワーよりも大きい、
ことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項８】
長辺および短辺を有する長方形の撮像領域を構成するように配列された複数の光電変換部を有する半導体基板と、前記複数の光電変換部に各々対応する複数のマイクロレンズとを有する固体撮像装置であって、
前記長辺に平行な方向に関する前記複数のマイクロレンズの各々のパワーは、前記短辺に平行な方向に関する前記複数のマイクロレンズの各々のパワーより大きい、
ことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項９】
長辺および短辺を有する長方形の撮像領域を構成するように配列された複数の光電変換部を有する半導体基板と、前記複数の光電変換部に各々対応する複数のマイクロレンズとを有する固体撮像装置であって、
前記複数のマイクロレンズは、前記長辺に平行な方向に関するパワーが前記短辺に平行な方向に関するパワーより大きいマイクロレンズを含む、
ことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか１項に記載の固体撮像装置と、
前記固体撮像装置から出力される信号を処理する処理部と、
を備えることを特徴とするカメラ。
【請求項１１】
請求項１乃至９のいずれか１項に記載の固体撮像装置の製造方法であって、
前記複数のマイクロレンズを形成するためのフォトレジスト膜を前記半導体基板の上に形成し、グレースケールマスクを使って前記フォトレジスト膜を露光し、露光された前記フォトレジスト膜を現像することによって前記複数のマイクロレンズを形成する工程を含む、
ことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の１つの側面は、長辺および短辺を有する長方形の撮像領域を構成するように配列された複数の光電変換部を有する半導体基板と、前記複数の光電変換部に各々対応する複数のマイクロレンズとを有する固体撮像装置であって、前記複数のマイクロレンズのうち前記長辺に平行な第１方向に配列された第１グループのマイクロレンズにおける頂部と前記第１グループのマイクロレンズの間の谷部との高低差は、前記複数のマイクロレンズのうち前記短辺に平行な第２方向に配列された第２グループのマイクロレンズにおける頂部と前記第２グループのマイクロレンズの間の谷部との高低差より大きく、前記第１グループのマイクロレンズのそれぞれの中心を通り且つ前記半導体基板の表面の法線に平行な断面における前記第１グループのマイクロレンズの表面のうち最外周部における接線と前記法線に垂直な面とがなす第１角度が、前記第２グループのマイクロレンズのそれぞれの中心を通り且つ前記法線に平行な断面における前記第２グループのマイクロレンズの表面のうち最外周部における接線と前記法線に垂直な面とがなす第２角度と等しいか、前記第２角度より小さい。