【手続補正書】
【提出日】平成28年5月30日(2016.5.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を走査方向に移動しながら、液体を介して前記基板に露光光を照射して、前記基板を露光する露光装置において、
像面に最も近い最終光学素子を有する投影光学系と、
複数の液体供給口と液体回収口と複数の気体供給口とを有し、前記最終光学素子を囲むように配置されたシール部材と、
前記複数の液体供給口から供給される液体の温度を調整する液体温調装置と、
前記複数の気体供給口から供給される気体の温度を調整する気体温調装置と、
を備え、
前記複数の液体供給口は、前記基板の表面が対向可能に配置され、且つ前記走査方向において前記最終光学素子から射出される露光光の光路空間の両側に配置され、
前記液体回収口は、前記基板の表面が対向可能に配置され、且つ前記光路空間に対して前記液体供給口の外側に、前記光路空間を囲むように配置され、
前記気体供給口は、前記基板の表面が対向可能に配置され、且つ前記光路空間に対して前記液体回収口の外側に、前記光路空間を囲むように配置されている露光装置。
【請求項２】
前記気体温調装置は、前記気体供給口から供給される気体の温度と、前記光路空間に満たされた液体の温度とがほぼ等しくなるように、前記気体供給口から供給される気体の温度を調整する、請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記気体温調装置は、前記気体供給口から供給される気体の温度と、前記基板の温度とがほぼ等しくなるように、前記気体供給口から供給される気体の温度を調整する、請求項１または２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記気体温調装置は、
第１気体供給口から供給される気体の温度を調整する第１気体温調装置と、
前記光路空間に対して前記第１気体供給口よりも外側に設けられた第２気体供給口から供給される気体の温度を調整する第２気体温調装置と、
を含む、請求項１に記載の露光装置。
【請求項５】
前記第１気体温調装置は、前記第１気体供給口から供給される気体の温度と、前記光路空間に満たされた液体の温度とがほぼ等しくなるように、前記第１気体供給口から供給される気体の温度を調整する、請求項４に記載の露光装置。
【請求項６】
前記第１気体温調装置は、前記第１気体供給口から供給される気体の温度と、前記基板の温度とがほぼ等しくなるように、前記第１気体供給口から供給される気体の温度を調整する、請求項４または５に記載の露光装置。
【請求項７】
前記液体温調装置は、前記液体供給口から前記光路空間に供給される液体の温度と、前記基板の温度とがほぼ等しくなるように、前記液体供給口から供給される液体の温度を調整する、請求項１から６のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項８】
前記液体温調装置は、前記液体供給口から前記光路空間に供給される液体の温度と、前記露光装置を収容するチャンバの内部の温度と、がほぼ等しくなるように、前記液体供給口から供給される液体の温度を調整する、請求項１から７のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項９】
前記基板の温度を調整する基板温調装置をさらに備える、請求項１から８のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１０】
前記基板温調装置は、前記液体供給口から供給される液体の温度と、前記基板の温度と、がほぼ等しくなるように、前記基板の温度を調整する、請求項９に記載の露光装置。
【請求項１１】
前記基板温調装置は、前記基板を保持する基板ホルダに設けられたホルダ温調装置を含む、請求項９または１０に記載の露光装置。
【請求項１２】
前記ホルダ温調装置は、前記基板ホルダのうち前記基板の裏面と対向する位置に設けられ前記基板に熱を放射する第１放射部を含む、請求項１１に記載の露光装置。
【請求項１３】
前記シール部材には、断熱構造が設けられている、請求項１から１２のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１４】
前記シール部材の前記液体と接触し得る部分、及び前記基板と対向する部分の少なくとも一部には、前記断熱構造が設けられている、請求項１３に記載の露光装置。
【請求項１５】
前記シール部材の前記投影光学系と対向する部分に、前記断熱構造が設けられている、請求項１３または１４に記載の露光装置。
【請求項１６】
前記気体供給口を気体供給装置と接続する供給流路を囲むように、前記断熱構造が設けられている、請求項１３から１５のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１７】
前記シール部材の温度を調整する機構をさらに備える、請求項１から１６のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項１８】
請求項１から１７のいずれか一項に記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。
【請求項１９】
基板を走査方向に移動しながら、液体を介して前記基板に露光光を照射して、前記基板を露光する露光方法において、
像面に最も近い最終光学素子から露光光を射出することと、
前記基板の表面が対向可能に配置され、且つ前記走査方向において前記最終光学素子から射出される露光光の光路空間の両側に配置された複数の液体供給口から供給される液体の温度を調整することと、
前記基板の表面が対向可能に配置され、且つ前記光路空間に対して前記液体供給口の外側に、前記光路空間を囲むように配置された液体回収口から液体を回収することと、
前記基板の表面が対向可能に配置され、且つ前記光路空間に対して前記液体回収口の外側に、前記光路空間を囲むように配置された複数の気体供給口から供給される気体の温度を調整することと、
を含む露光方法。
【請求項２０】
前記気体の温度を調整することは、前記気体供給口から供給される気体の温度と、前記光路空間に満たされた液体の温度とがほぼ等しくなるように、前記気体供給口から供給される気体の温度を調整することを含む、請求項１９に記載の露光方法。
【請求項２１】
前記気体の温度を調整することは、前記気体供給口から供給される気体の温度と、前記基板の温度とがほぼ等しくなるように、前記気体供給口から供給される気体の温度を調整することを含む、請求項１９または２０に記載の露光方法。
【請求項２２】
前記気体の温度を調整することは、
第１気体供給口から供給される気体の温度を調整することと、
前記光路空間に対して前記第１気体供給口よりも外側に設けられた第２気体供給口から供給される気体の温度を調整することと、
を含む、請求項１９から２１のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項２３】
前記第１気体供給口から供給される気体の温度を調整することは、前記第１気体供給口から供給される気体の温度と、前記光路空間に満たされた液体の温度とがほぼ等しくなるように、前記第１気体供給口から供給される気体の温度を調整することを含む、請求項２２に記載の露光方法。
【請求項２４】
前記第１気体供給口から供給される気体の温度を調整することは、前記第１気体供給口から供給される気体の温度と、前記基板の温度とがほぼ等しくなるように、前記第１気体供給口から供給される気体の温度を調整することを含む、請求項２２または２３に記載の露光方法。
【請求項２５】
前記液体の温度を調整することは、前記液体供給口から前記光路空間に供給される液体の温度と、前記基板の温度とがほぼ等しくなるように、前記液体供給口から供給される液体の温度を調整することを含む、請求項１９から２４のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項２６】
前記液体の温度を調整することは、前記液体供給口から前記光路空間に供給される液体の温度と、露光装置を収容するチャンバの内部の温度と、がほぼ等しくなるように、前記液体供給口から供給される液体の温度を調整することを含む、請求項１９から２５のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項２７】
前記基板の温度を調整することをさらに含む、請求項１９から２６のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項２８】
前記基板の温度を調整することは、前記液体供給口から供給される液体の温度と、前記基板の温度と、がほぼ等しくなるように、前記基板の温度を調整することを含む、請求項２７に記載の露光方法。
【請求項２９】
前記複数の液体供給口と前記液体回収口と前記複数の気体供給口とを有し、前記最終光学素子を囲むように配置されたシール部材の温度を調整することをさらに含む、請求項１９から２８のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項３０】
前記複数の液体供給口と前記液体回収口と前記複数の気体供給口とを有し、前記最終光学素子を囲むように配置されたシール部材には、断熱構造が設けられている、請求項１９から２９のいずれか一項に記載の露光方法。
【請求項３１】
請求項１９から３０のいずれか一項に記載の露光方法を用いるデバイス製造方法。