【手続補正書】
【提出日】平成28年1月21日(2016.1.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物を置くための載置部と、
前記載置部の表面に並んで配されている複数の電極と、
前記複数の電極のうち、異なる２つの電極に電圧を掛けることができる電圧印加部と、
前記測定対象物を介して前記２つの電極に流れる電流の値を測定できる電流測定部と、
前記載置部とともに、前記測定対象物を挟んで押圧する押圧部と、を備える、面圧分布検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の面圧分布検査装置であって、
さらに、前記２つの電極の電位差を測定できる電位測定部、を備える、面圧分布検査装置。
【請求項３】
請求項１から請求項２のいずれか１項に記載する面圧分布検査装置であって、
前記複数の電極の間隔が、１００μｍ以下である、面圧分布検査装置。
【請求項４】
面圧分布を検査する方法であって、
（ａ）表面に複数の電極が並んで配されている載置部と接するように拡散層を置き、前記拡散層に対して前記載置部とは反対側に、平面部を有する基準部材を、前記平面部が前記拡散層と向かい合うように置く工程と、
（ｂ）前記載置部と前記拡散層と前記基準部材とを積層方向に、異なる大きさの力で押圧した状態において、前記複数の電極のうち、異なる組み合わせの２つの電極に、それぞれ電圧を掛け、前記拡散層を介して前記２つの電極に流れるそれぞれの電流の値を測定する工程と、
（ｃ）前記異なる組み合わせの２つの電極ごとに、前記電圧と前記電流の値とから算出される抵抗値と、前記異なる大きさの力と、の関係を得る工程と、
（ｄ）前記載置部と接するように前記拡散層を置き、前記拡散層に対して前記載置部とは反対側に、流路溝を有するセパレータを、前記流路溝が前記拡散層と向かい合うように置く工程と、
（ｅ）前記載置部と前記拡散層と前記セパレータとを積層方向に、所定の大きさの力で押圧した状態において、前記複数の電極のうち、異なる組み合わせの２つの電極に、それぞれ電圧を掛け、前記拡散層を介して前記２つの電極に流れるそれぞれの電流の値を測定する工程と、
（ｆ）前記（ｅ）工程における前記電圧と前記電流の値とから算出される抵抗値と、前記関係と、により、前記異なる組み合わせの２つの電極ごとに掛かる力の大きさを得ることにより、面圧分布を得る工程と、を備える、面圧分布を検査する方法。
【請求項５】
請求項４に記載の面圧分布を検査する方法であって、
前記（ｅ）工程と、前記（ｆ）工程との間に、さらに、
（ｇ）前記載置部と接するように前記拡散層を置き、前記拡散層に対して前記載置部とは反対側に、前記基準部材を、前記平面部が前記拡散層と向かい合うように置く工程と、
（ｈ）前記載置部と前記拡散層と前記基準部材とを積層方向に、前記（ｂ）工程における前記異なる大きさの力よりも大きい力を含む、異なる大きさの力で押圧した状態において、前記複数の電極のうち、異なる組み合わせの２つの電極に、それぞれ電圧を掛け、前記拡散層を介して前記２つの電極に流れるそれぞれの電流の値を測定する工程と、
（ｉ）前記異なる組み合わせの２つの電極ごとに、前記（ｈ）工程における前記電圧と前記電流の値とから算出される抵抗値と、前記（ｈ）工程における前記異なる大きさの力と、の関係を得る工程と、を備え、
前記（ｂ）工程における前記異なる大きさの力は、閾値以下の力のうち、異なる大きさの力であり、
前記（ｆ）工程は、前記（ｃ）工程と前記（ｉ）工程とによって得られた前記関係と、前記（ｅ）工程における前記電圧と前記電流の値とから算出される抵抗値と、により、前記異なる組み合わせの２つの電極ごとに掛かる力の大きさを得ることにより、面圧分布を得る工程である、面圧分布を検査する方法。
【請求項６】
請求項４または請求項５に記載の面圧分布を検査する方法であって、
前記（ｂ）工程と、前記（ｅ）工程と、前記（ｈ）工程とにおいて、
押圧する時は、力を０から一定の割合で増加させる、面圧分布を検査する方法。
【請求項７】
請求項５に記載の面圧分布を検査する方法であって、さらに、
前記（ｂ）工程と、前記（ｈ）工程の前工程として、
力を０から一定の割合で前記閾値以下まで増加させる工程を３回繰り返す工程と、
前記（ｅ）工程の前工程として、
力を０から一定の割合で前記所定の力以下まで増加させる工程を３回繰り返す工程と、を備える、面圧分布を検査する方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
（４）本発明の一形態によれば、面圧分布を検査する方法が提供される。この面圧分布検査装置は、（ａ）表面に複数の電極が並んで配されている載置部と接するように拡散層を置き、前記拡散層に対して前記載置部とは反対側に、平面部を有する基準部材を、前記平面部が前記拡散層と向かい合うように置く工程と；（ｂ）前記載置部と前記拡散層と前記基準部材とを積層方向に、異なる大きさの力で押圧した状態において、前記複数の電極のうち、異なる組み合わせの２つの電極に、それぞれ電圧を掛け、前記拡散層を介して前記２つの電極に流れるそれぞれの電流の値を測定する工程と；（ｃ）前記異なる組み合わせの２つの電極ごとに、前記電圧と前記電流の値とから算出される抵抗値と、前記異なる大きさの力と、の関係を得る工程と；（ｄ）前記載置部と接するように前記拡散層を置き、前記拡散層に対して前記載置部とは反対側に、流路溝を有するセパレータを、前記流路溝が前記拡散層と向かい合うように置く工程と；（ｅ）前記載置部と前記拡散層と前記セパレータとを積層方向に、所定の大きさの力で押圧した状態において、前記複数の電極のうち、異なる組み合わせの２つの電極に、それぞれ電圧を掛け、前記拡散層を介して前記２つの電極に流れるそれぞれの電流の値を測定する工程と；（ｆ）前記（ｅ）工程における前記電圧と前記（ｅ）工程における前記電流の値とから算出される抵抗値と、前記関係と、により、前記異なる組み合わせの２つの電極ごとに掛かる力の大きさを得ることにより、面圧分布を得る工程と、を備える。この形態の面圧分布を検査する方法によれば、拡散層と電極を直接接触させ、面圧の変化による拡散層と電極との間の抵抗値の変化を計測することにより、面圧分布を細かく測定できる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
（５）上記形態の面圧分布を検査する方法は、前記（ｅ）工程と、前記（ｆ）工程との間に、さらに、（ｇ）前記載置部と接するように前記拡散層を置き、前記拡散層に対して前記載置部とは反対側に、前記基準部材を、前記平面部が前記拡散層と向かい合うように置く工程と；（ｈ）前記載置部と前記拡散層と前記基準部材とを積層方向に、前記（ｂ）工程における前記異なる大きさの力よりも大きい力を含む、異なる大きさの力で押圧した状態において、前記複数の電極のうち、異なる組み合わせの２つの電極に、それぞれ電圧を掛け、前記拡散層を介して前記２つの電極に流れるそれぞれの電流の値を測定する工程と；（ｉ）前記異なる組み合わせの２つの電極ごとに、前記（ｈ）工程における前記電圧と前記（ｈ）工程における前記電流の値とから算出される抵抗値と、前記（ｈ）工程における前記異なる大きさの力と、の関係を得る工程と、を備え；前記（ｂ）工程における前記異なる大きさの力は、閾値以下の力のうち、異なる大きさの力であり、前記（ｆ）工程は、前記（ｃ）工程と前記（ｉ）工程とによって得られた前記関係と、前記（ｅ）工程における前記電圧と前記（ｅ）工程における前記電流の値とから算出される抵抗値と、により、前記異なる組み合わせの２つの電極ごとに掛かる力の大きさを得ることにより、面圧分布を得る工程としてもよい。この形態の面圧分布を検査する方法によれば、面圧の検査工程である（ｅ）工程を行う前に、拡散層に大きい力を与えないため、拡散層の劣化を抑制できる。