【手続補正書】
【提出日】平成28年10月6日(2016.10.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、シャックハルトマンセンサと、計測光学系と、演算部と、を備える形状計測装置により、被検物を計測する計測方法において、
前記演算部は、
前記被検物に対して投光された光の反射光から前記シャックハルトマンセンサにて複数の光スポットの位置を計測し、前記複数の光スポットの位置を被検位置データとして取得する取得工程と、
既知の形状を有する基準面と該基準面の周囲の外周部とを備えると共に該外周部と光軸との位置関係が既知である基準物により形成される複数の光スポットの位置である基準位置データ及び前記被検位置データに基づき、前記被検物の光軸に対する前記被検物の外周部の位置を演算することで計測する第１の計測工程と、
前記基準位置データ及び前記被検位置データに基づき、前記被検物の被検査面の形状を演算することで計測する第２の計測工程と、を実行する、
ことを特徴とする計測方法。
【請求項２】
前記第１の計測工程では、前記基準位置データに基づき、前記基準物の光軸と前記計測光学系の光軸との位置の差分である第１の差分を演算し、前記被検位置データに基づき、前記被検物の光軸と前記計測光学系の光軸との位置の差分である第２の差分を演算し、前記第１の差分と前記第２の差分とに基づき、光軸同士の相対位置関係を演算し、前記相対位置関係と前記基準物の光軸及び外周部との関係に基づき、前記被検物の光軸に対する前記被検物の外周部の位置を演算することで計測する、
ことを特徴とする請求項１記載の計測方法。
【請求項３】
前記第１の計測工程では、前記基準位置データに基づき、前記基準物の光軸の位置を演算し、前記被検位置データに基づき、前記被検物の光軸の位置を演算し、前記基準物の光軸の位置と前記被検物の光軸の位置とに基づき、光軸同士の相対位置関係を演算し、前記相対位置関係と前記基準物の光軸及び外周部との関係に基づき、前記被検物の光軸に対する前記被検物の外周部の位置を演算することで計測する、
ことを特徴とする請求項１記載の計測方法。
【請求項４】
前記被検物及び前記基準物の少なくとも一方を位置決めして設置する設置部を前記計測光学系に対して相対的に移動させる移動機構を備え、
前記第１の計測工程では、前記基準面の形状を計測する際に、前記基準物の光軸と前記計測光学系の光軸とを一致させるように、前記移動機構により前記設置部を介して前記基準物を移動させ、前記被検査面の形状を計測する際に、前記被検物の光軸と前記計測光学系の光軸とを一致させるように、前記移動機構により前記設置部を介して前記被検物を移動させ、前記移動機構による前記基準物の移動量と、前記移動機構による前記被検物の移動量と、に基づき、光軸同士の相対位置関係を演算し、前記相対位置関係と前記基準物の光軸及び外周部との関係に基づき、前記被検物の光軸に対する前記被検物の外周部の位置を演算することで計測する、
ことを特徴とする請求項１記載の計測方法。
【請求項５】
光学素子をモールド成形する成形工程と、
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の計測方法を用いて、前記被検物である前記光学素子の形状を計測することにより、成形された前記光学素子を評価する評価工程と、を備える、
ことを特徴とする光学素子の製造方法。
【請求項６】
光源と、シャックハルトマンセンサと、計測光学系と、演算部と、を備え、被検物を計測する形状計測装置において、
前記演算部は、
前記被検物に対して投光された光の反射光から前記シャックハルトマンセンサにて複数の光スポットの位置を計測し、前記複数の光スポットの位置を被検位置データとして取得し、
既知の形状を有する基準面と該基準面の周囲の外周部とを備えると共に該外周部と光軸との位置関係が既知である基準物により形成される複数の光スポットの位置である基準位置データ及び前記被検位置データに基づき、前記被検物の光軸に対する前記被検物の外周部の位置を演算することで計測し、
前記基準位置データ及び前記被検位置データに基づき、前記被検物の被検査面の形状を演算することで計測する、
ことを特徴とする計測装置。
【請求項７】
前記演算部は、前記基準位置データに基づき、前記基準物の光軸と前記計測光学系の光軸との位置の差分である第１の差分を演算し、前記被検位置データに基づき、前記被検物の光軸と前記計測光学系の光軸との位置の差分である第２の差分を演算し、前記第１の差分と前記第２の差分とに基づき、光軸同士の相対位置関係を演算し、前記相対位置関係と前記基準物の光軸及び外周部との関係に基づき、前記被検物の光軸に対する前記被検物の外周部の位置を演算することで計測する、
ことを特徴とする請求項６記載の計測装置。
【請求項８】
前記演算部は、前記基準位置データに基づき、前記基準物の光軸の位置を演算し、前記被検位置データに基づき、前記被検物の光軸の位置を演算し、前記基準物の光軸の位置と前記被検物の光軸の位置とに基づき、光軸同士の相対位置関係を演算し、前記相対位置関係と前記基準物の光軸及び外周部との関係に基づき、前記被検物の光軸に対する前記被検物の外周部の位置を演算することで計測する、
ことを特徴とする請求項６記載の計測装置。
【請求項９】
前記被検物及び前記基準物の少なくとも一方を位置決めして設置する設置部を前記計測光学系に対して相対的に移動させる移動機構を備え、
前記演算部は、前記基準面の形状を計測する際に、前記基準物の光軸と前記計測光学系の光軸とを一致させるように、前記移動機構により前記設置部を介して前記基準物を移動させ、前記被検査面の形状を計測する際に、前記被検物の光軸と前記計測光学系の光軸とを一致させるように、前記移動機構により前記設置部を介して前記被検物を移動させ、前記移動機構による前記基準物の移動量と、前記移動機構による前記被検物の移動量と、に基づき、光軸同士の相対位置関係を演算し、前記相対位置関係と前記基準物の光軸及び外周部との関係に基づき、前記被検物の光軸に対する前記被検物の外周部の位置を演算することで計測する、
ことを特徴とする請求項６記載の計測装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明は、光源と、シャックハルトマンセンサと、計測光学系と、演算部と、を備える形状計測装置により、被検物を計測する計測方法において、前記演算部は、前記被検物に対して投光された光の反射光から前記シャックハルトマンセンサにて複数の光スポットの位置を計測し、前記複数の光スポットの位置を被検位置データとして取得する取得工程と、既知の形状を有する基準面と該基準面の周囲の外周部とを備えると共に該外周部と光軸との位置関係が既知である基準物により形成される複数の光スポットの位置である基準位置データ及び前記被検位置データに基づき、前記被検物の光軸に対する前記被検物の外周部の位置を演算することで計測する第１の計測工程と、前記基準位置データ及び前記被検位置データに基づき、前記被検物の被検査面の形状を演算することで計測する第２の計測工程と、を実行することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、本発明は、光源と、シャックハルトマンセンサと、計測光学系と、演算部と、を備え、被検物を計測する形状計測装置において、前記演算部は、前記被検物に対して投光された光の反射光から前記シャックハルトマンセンサにて複数の光スポットの位置を計測し、前記複数の光スポットの位置を被検位置データとして取得し、既知の形状を有する基準面と該基準面の周囲の外周部とを備えると共に該外周部と光軸との位置関係が既知である基準物により形成される複数の光スポットの位置である基準位置データ及び前記被検位置データに基づき、前記被検物の光軸に対する前記被検物の外周部の位置を演算することで計測し、前記基準位置データ及び前記被検位置データに基づき、前記被検物の被検査面の形状を演算することで計測することを特徴とする。