【手続補正書】
【提出日】平成28年2月18日(2016.2.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板と、
前記第１基板に対向する第２基板と、
前記第１基板に設けられた第１反射膜と、
前記第２基板に設けられ、前記第１反射膜に対向して配置された第２反射膜と、
前記第１基板に設けられ、前記第１基板の上で前記第１反射膜と電気的に接続される第１接続電極と、
前記第２基板に設けられ、前記第２基板の上で前記第２反射膜と電気的に接続される第２接続電極と、
を備え、
前記第１接続電極の厚みは前記第１反射膜の厚みよりも大きく、
前記第２接続電極の厚みは前記第２反射膜の厚みよりも大きく、
前記第１接続電極は、前記第１反射膜と接続される端部において、前記第１反射膜の厚みよりも小さい段差の第１段差部を有し、
前記第２接続電極は、前記第２反射膜と接続される端部において、前記第２反射膜の厚みよりも小さい段差の第２段差部を有し、
前記第１反射膜は前記第１基板の表面から前記第１段差部の表面に延出し、
前記第２反射膜は前記第２基板の表面から前記第２段差部の表面に延出していることを特徴とする波長可変干渉フィルター。
【請求項２】
請求項１に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
前記第１接続電極または前記第２接続電極は、複数の導電膜が積層されており、前記第１接続電極または前記第２接続電極の前記端部には前記第１接続電極または前記第２接続電極の表面の層より下の層の前記導電膜の一部が露出していることを特徴とする波長可変干渉フィルター。
【請求項３】
請求項１または２に記載の波長可変フィルターにおいて、
前記第１接続電極は、第１導電層と第２導電層と、を含み、
前記第１導電層は、前記第１基板と前記第２導電層との間に配置され、
平面視において、前記第２導電層と前記第１反射膜とは間隔を有することを特徴とする波長可変干渉フィルター。
【請求項４】
請求項２に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
前記第１段差部または前記第２段差部から前記導電膜の厚みが漸増する斜面を有する斜面部を備え、
前記第１反射膜または前記第２反射膜が前記第１段差部または前記第２段差部から前記斜面部まで延出していることを特徴とする波長可変干渉フィルター。
【請求項５】
請求項１に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
前記第１接続電極または前記第２接続電極は単一の導電膜で形成されていることを特徴とする波長可変干渉フィルター。
【請求項６】
請求項４に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
前記第１段差部または前記第２段差部から前記導電膜の厚みが漸増する斜面を有する斜面部を備え、
前記第１反射膜または前記第２反射膜が前記第１段差部または前記第２段差部から前記斜面部まで延出していることを特徴とする波長可変干渉フィルター。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか一項に記載の波長可変干渉フィルターにおいて、
前記第２基板は、前記第２反射膜が設けられた可動部と、
平面視において前記可動部の外側に設けられ、前記可動部の厚み寸法より小さく、前記可動部を進退可能に保持する保持部と、を備えていることを特徴とする波長可変干渉フィルター。
【請求項８】
反射膜と、
前記反射膜と電気的に接続される接続電極と、を備え、
前記反射膜と接続される前記接続電極の端部において、前記反射膜の厚みよりも小さい段差を有する段差部を有し、
前記反射膜が前記段差部の表面と重なり接触していることを特徴とする波長可変干渉フィルター。
【請求項９】
第１基板と、
前記第１基板に対向する第２基板と、
前記第１基板に設けられた第１反射膜と、
前記第２基板に設けられ、前記第１反射膜に対向して配置された第２反射膜と、
前記第１基板に設けられ、前記第１基板の上で前記第１反射膜と電気的に接続される第１接続電極と、
前記第２基板に設けられ、前記第２基板の上で前記第２反射膜と電気的に接続される第２接続電極と、を有する波長可変干渉フィルターと、
前記波長可変干渉フィルターを収納する筐体と、
を備え、
前記第１接続電極の厚みは前記第１反射膜の厚みよりも大きく、
前記第２接続電極の厚みは前記第２反射膜の厚みよりも大きく、
前記第１接続電極は、前記第１反射膜と接続される端部において、前記第１反射膜の厚みよりも小さい段差の第１段差部を有し、
前記第２接続電極は、前記第２反射膜と接続される端部において、前記第２反射膜の厚みよりも小さい段差の第２段差部を有し、
前記第１反射膜は前記第１基板の表面から前記第１段差部の表面に延出し、
前記第２反射膜は前記第２基板の表面から前記第２段差部の表面に延出していることを特徴とする光学フィルターデバイス。
【請求項１０】
第１基板と、
前記第１基板に対向する第２基板と、
前記第１基板に設けられた第１反射膜と、
前記第２基板に設けられ、前記第１反射膜に対向して配置された第２反射膜と、
前記第１基板に設けられ、前記第１基板の上で前記第１反射膜と電気的に接続される第１接続電極と、
前記第２基板に設けられ、前記第２基板の上で前記第２反射膜と電気的に接続される第２接続電極と、
前記第１反射膜及び前記第２反射膜により取り出された光を検出する検出部と、
を備え、
前記第１接続電極の厚みは前記第１反射膜の厚みよりも大きく、
前記第２接続電極の厚みは前記第２反射膜の厚みよりも大きく、
前記第１接続電極は、前記第１反射膜と接続される端部において、前記第１反射膜の厚みよりも小さい段差の第１段差部を有し、
前記第２接続電極は、前記第２反射膜と接続される端部において、前記第２反射膜の厚みよりも小さい段差の第２段差部を有し、
前記第１反射膜は前記第１基板の表面から前記第１段差部の表面に延出し、
前記第２反射膜は前記第２基板の表面から前記第２段差部の表面に延出していることを特徴とする光学モジュール。
【請求項１１】
第１基板と、
前記第１基板に対向する第２基板と、
前記第１基板に設けられた第１反射膜と、
前記第２基板に設けられ、前記第１反射膜に対向して配置された第２反射膜と、
前記第１基板に設けられ、前記第１基板の上で前記第１反射膜と電気的に接続される第１接続電極と、
前記第２基板に設けられ、前記第２基板の上で前記第２反射膜と電気的に接続される第２接続電極と、を有する波長可変干渉フィルターと、
前記波長可変干渉フィルターを制御する制御部と、
を備え、
前記第１接続電極の厚みは前記第１反射膜の厚みよりも大きく、
前記第２接続電極の厚みは前記第２反射膜の厚みよりも大きく形成され、
前記第１接続電極は、前記第１反射膜と接続される端部において、前記第１反射膜の厚みよりも小さい段差の第１段差部を有し、
前記第２接続電極は、前記第２反射膜と接続される端部において、前記第２反射膜の厚みよりも小さい段差の第２段差部を有し、
前記第１反射膜は前記第１基板の表面から前記第１段差部の表面に延出し、
前記第２反射膜は前記第２基板の表面から前記第２段差部の表面に延出していることを特徴とする電子機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
本発明の一態様の波長可変干渉フィルターは、第１基板と、前記第１基板に対向する第２基板と、前記第１基板に設けられた第１反射膜と、前記第２基板に設けられ、前記第１反射膜に対向して配置された第２反射膜と、前記第１基板に設けられ、前記第１基板の上で前記第１反射膜と電気的に接続される第１接続電極と、前記第２基板に設けられ、前記第２基板の上で前記第２反射膜と電気的に接続される第２接続電極と、を備え、前記第１接続電極の厚みは前記第１反射膜の厚みよりも大きく、前記第２接続電極の厚みは前記第２反射膜の厚みよりも大きく、前記第１接続電極は、前記第１反射膜と接続される端部において、前記第１反射膜の厚みよりも小さい段差の第１段差部を有し、前記第２接続電極は、前記第２反射膜と接続される端部において、前記第２反射膜の厚みよりも小さい段差の第２段差部を有し、前記第１反射膜は前記第１基板の表面から前記第１段差部の表面に延出し、前記第２反射膜は前記第２基板の表面から前記第２段差部の表面に延出していることを特徴とする。