【手続補正書】
【提出日】平成28年8月8日(2016.8.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
通常動作モードにおいて、所定のゲインに基づいて、第１の方向に関する第１の制御信号と、前記第１の方向に交差する第２の方向に関する第２の制御信号を出力し、
学習動作モードにおいて、前記第１の方向及び前記第２の方向ごとに設定されたゲインに基づいて第３の制御信号及び第４の制御信号をそれぞれ出力する制御手段（ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）と、
前記第３の制御信号と、前記第４の制御信号とを受け取り、移動体を駆動する少なくとも第１のモータ及び第２のモータそれぞれについて駆動パラメータに関する第５の制御信号及び第６の制御信号をそれぞれ出力する制御量演算部と、
を有し、
前記制御量演算部は、
前記第３の制御信号及び前記第４の制御信号に基づき、前記少なくとも第１のモータ及び第２のモータとの間の特性差を算出する特性差演算部と、
前記算出された前記少なくとも第１のモータ及び第２のモータの特性差に応じて前記少なくとも第１のモータ及び前記第２のモータの駆動パラメータに関する制御量を補正し、前記第５の制御信号及び前記第６の制御信号を出力するゲイン補償部と、
を備えていることを特徴とする制御装置。
【請求項２】
前記少なくとも２つのモータによって移動体を第１の方向に駆動し、
前記学習動作モードにおける前記特性差演算部での前記少なくとも第１のモータ及び第２のモータとの間の特性差の算出は、
前記第１の方向と交差する第２の方向の制御ゲインよりも小さい前記第１の方向における制御ゲイン、または通常動作モードよりも小さい制御ゲインで前記第１のモータ及び前記第２のモータを駆動した時の駆動力の差を元にした検出値に基づいて行われることを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
【請求項３】
前記制御量演算部は、位置指令に対してフィードバック制御する制御系の経路中に設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の制御装置。
【請求項４】
前記制御手段は、前記位置指令に対する前記移動体の位置データの、位相遅れ、またはゲインを補償する演算部であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の制御装置。
【請求項５】
前記第１の方向及び前記第２の方向は、１平面内における２つの直行座標であるＸＹ座標のＸ方向及びＹ方向であり、前記移動体は、前記第１の方向及び前記第２の方向に駆動可能に構成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の制御装置。
【請求項６】
前記制御手段は、前記Ｘ及びＹ方向において制御ゲインが調整可能なＰＩＤ補償器によって構成され、
前記制御量演算部は、前記Ｘ方向及び前記Ｙ方向の制御量に基づいて、前記少なくとも第１のモータ及び第２のモータの制御量を出力する行列演算部を備えることを特徴とする請求項５に記載の制御装置。
【請求項７】
前記少なくとも第１のモータ及び第２のモータに加え、第３のモータ及び第４のモータを有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の制御装置。
【請求項８】
前記移動体を、
１平面内における２つの直行座標であるＸＹ座標のＸ方向及びＹ方向と、前記ＸＹ座標の中心点を回転中心とする回転方向であるθ方向に駆動可能に構成されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の制御装置。
【請求項９】
前記制御手段は、更に、前記通常動作モードにおいて、所定のゲインに基づいて前記θ方向に関する第７の制御信号を出力し、
前記学習動作モードにおいて、前記θ方向において設定されたゲインに基づいて第８の制御信号を出力するように構成され、
前記制御量演算部は、更に、前記第８の制御信号を受け取り、前記第１のモータ及び第２のモータとの間の特性差の算出に用いるように構成されていることを特徴とする請求項８に記載の制御装置。
【請求項１０】
前記制御手段は、前記Ｘ、Ｙ、θ方向において制御ゲインが調整可能なＰＩＤ補償器によって構成され、
前記制御量演算部は、前記移動体の各駆動方向の制御量に基づいて前記少なくとも第１のモータ及び前記第２のモータの制御量を出力する行列演算部を備えることを特徴とする請求項８または請求項９に記載の制御装置。
【請求項１１】
前記制御量演算部は、前記θ方向における制御ゲインを、前記Ｘ方向及びＹ方向の制御ゲインよりも小さく設定し、または通常動作モードに対して制御ゲインを小さく設定して駆動し、
前記θ方向の検出回転角と、前記Ｘ方向及びＹ方向の指令値又は検出値を用いて、前記少なくとも第１のモータ及び第２のモータそれぞれの特性差を算出することを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか１項に記載の制御装置。
【請求項１２】
前記制御量演算部は、前記Ｘ方向における制御ゲインを、前記Ｙ及びθ方向の制御ゲインよりも小さく設定し、または通常動作モードに対して制御ゲインを小さく設定して駆動し、
前記Ｘ方向の検出位置と、前記Ｙ方向の指令値又は検出値を用いて、前記少なくとも第１のモータ及び第２のモータそれぞれの特性差を算出することを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか１項に記載の制御装置。
【請求項１３】
前記制御量演算部は、前記Ｙ方向における制御ゲインを、前記Ｘ及びθ方向の制御ゲインよりも小さく設定し、または通常動作モードに対して制御ゲインを小さく設定して駆動し、
前記Ｙ方向の検出位置と、前記Ｘ方向の指令値又は検出値を用いて、前記少なくとも第１のモータ及び第２のモータそれぞれの特性差を算出することを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか１項に記載の制御装置。
【請求項１４】
前記制御量演算部は、前記学習動作モードにおいて、同一方向に駆動力を発生する前記少なくとも第１のモータ及び第２のモータそれぞれの特性差を算出することを特徴とする請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の制御装置。
【請求項１５】
更に、第３のモータ及び第４のモータを有し、
前記少なくとも第１のモータ及び第２のモータは第３の方向に駆動力を発生し、
前記第３のモータ及び前記第４のモータは、前記第３の方向と交差する第４の方向に駆動力を発生し、
前記制御量演算部は、前記学習動作モードにおいて、前記少なくとも第１のモータ及び第２のモータの合成駆動力と、前記第３のモータ及び前記第４のモータの合成駆動力との間の特性差を検出することを特徴とする請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の制御装置。
【請求項１６】
前記少なくとも第１のモータ及び第２のモータは、それぞれ振動子であり、
前記それぞれの振動子には、それぞれ交番電圧の印加によって振動が励起され、
前記移動体は、前記それぞれ振動子との摩擦力による駆動力によって駆動されることを特徴とする請求項１乃至１５のいずれか１項に記載の制御装置。
【請求項１７】
前記少なくとも第１のモータ及び第２のモータは、それぞれボイスコイルモータであることを特徴とする請求項１乃至１５のいずれか１項に記載の制御装置。
【請求項１８】
請求項１乃至１７のいずれか１項に記載の制御装置と、
前記少なくとも第１のモータ及び第２のモータと、
前記移動体と、
前記移動体の位置を検出する位置センサと、を備えることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１９】
請求項１８に記載のアクチュエータと、レンズと、を備え、
前記アクチュエータの前記移動体を移動させることによりレンズを動かすことを特徴とする画像振れ補正装置。
【請求項２０】
レンズと、前記移動体を移動させることにより前記レンズを保持するレンズ保持部材を駆動する請求項１８項に記載のアクチュエータと、を備えたことを特徴とする交換用レンズ。
【請求項２１】
撮像素子と、レンズと、前記移動体を移動させることにより前記レンズを保持するレンズ保持部材を駆動する請求項１８に記載のアクチュエータと、を備えたことを特徴とする撮像装置。
【請求項２２】
レンズと、撮像素子と、前記移動体を移動させることにより前記撮像素子を駆動する請求項１８に記載のアクチュエータと、を備えたことを特徴とする撮像装置。
【請求項２３】
ステージと、前記移動体を移動させることにより前記ステージを駆動する請求項１８に記載のアクチュエータと、を備えたことを特徴とする自動ステージ。
【請求項２４】
請求項１乃至１７のいずれか１項に記載の制御装置を備えた機器。