【手続補正書】
【提出日】平成27年12月21日(2015.12.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一の半導体装置に対して第１周波数の入力信号および前記第１周波数と異なる第２周波数の入力信号を入力してそれぞれの出力電力を測定する検査を、複数の半導体装置に逐次的に行う半導体装置の検査方法であって、
第１入力電力に対する前記半導体装置の第１出力電力を測定し、測定した前記第１出力電力が第１所定範囲内に無い場合には前記第１出力電力が前記第１所定範囲内となるように前記第１入力電力を調整し、前記第１所定範囲内の前記第１出力電力となる前記第１入力電力で前記第１周波数の第１入力信号を前記半導体装置に与え、前記半導体装置の特性を測定する第１測定ステップと、
第２入力電力に対する前記半導体装置の第２出力電力を測定し、測定した前記第２出力電力が第２所定範囲内に無い場合には前記半導体装置の第２出力電力が前記第２所定範囲内となるように前記第２入力電力を調整し、前記第２所定範囲内の前記第２出力電力となる前記第２入力電力で前記第２周波数の第２入力信号を前記半導体装置に与え、前記第２入力信号に応じた前記半導体装置の特性を測定する第２測定ステップと、
前記第１入力信号を与えたときの前記第１入力電力の値と前記第１入力信号を与えたときの前記第１入力電力を得るために調整した電力制御値とのうちのいずれかの値である第１検査入力値と前記第２入力信号を与えたときの前記第２入力電力の値と前記第２入力信号を与えたときの前記第２入力電力を得るために調整した電力制御値とのうちのいずれかの値である第２検査入力値との組を前記半導体装置ごとに求め、前記半導体装置ごとに求めた複数の前記第１検査入力値および複数の前記第２検査入力値の組から、前記第１検査入力値と前記第２検査入力値との関係を求める回帰分析を行う回帰分析ステップと、
を備え、
前記回帰分析の結果が得られた後の検査においては、前記第１測定ステップを行った前記半導体装置に対して前記第１測定ステップで用いた前記第１検査入力値を前記回帰分析で求めた式にあてはめて算出した値に基づいて、前記第２測定ステップの第２入力電力の初期値を決定することを特徴とする半導体装置の検査方法。
【請求項２】
複数の半導体装置に対して逐次的に検査を行う半導体装置の検査方法であって、
前記半導体装置に入力電力を与えて前記入力電力に対する前記半導体装置の出力電力を測定し、測定した出力電力が所定範囲内に無い場合には出力電力が前記所定範囲内となるように前記半導体装置への入力電力を調整して、前記所定範囲内の出力電力となる入力電力で前記半導体装置に入力信号を与えて前記半導体装置の特性を測定する測定ステップを備え、
複数の前記測定ステップでそれぞれ前記入力信号を与えたときの入力電力の値と前記入力信号を与えたときの前記入力電力を得るために調整した電力制御値とのうちのいずれかの値である検査入力値を取得し、取得した複数の前記検査入力値の代表値を計算し、前記代表値に基づいて、次に検査すべき前記半導体装置に対する前記測定ステップの入力電力の初期値を計算することを特徴とする半導体装置の検査方法。
【請求項３】
前記代表値は、複数の前記検査入力値の平均値、複数の前記検査入力値の中央値、および複数の前記検査入力値の最頻値からなる群から選択した１つの値であることを特徴とする請求項２に記載の半導体装置の検査方法。
【請求項４】
前記半導体装置に対して前記入力信号を与えて前記出力電力を測定することを行う前に前記半導体装置を加熱する加熱ステップを、さらに備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の半導体装置の検査方法。
【請求項５】
前記加熱ステップは、前記半導体装置に対して定格の直流バイアス電圧および定格電力の入力信号を与えることにより前記半導体装置を自己発熱させるステップを含むことを特徴とする請求項４に記載の半導体装置の検査方法。
【請求項６】
入力端子と出力端子を備える半導体装置を置くために設けられ、前記入力端子と接続すべき入力電極および前記出力端子と接続すべき出力電極を備えた設置部と、
前記入力電極に入力信号を与える信号発生器と、
前記出力電極からの出力電力を測定する電力測定器と、
前記半導体装置の特性を測定する検査手段と、
前記電力測定器の測定結果に基づいて前記信号発生器を制御するコントローラと、
を備え、
前記コントローラは、
第１入力電力に対する前記半導体装置の第１出力電力を測定し、測定した前記第１出力電力が第１所定範囲内に無い場合には前記第１出力電力が前記第１所定範囲内となるように前記第１入力電力を調整し、前記第１所定範囲内の前記第１出力電力となる前記第１入力電力で第１周波数の第１入力信号を前記半導体装置に与え、前記半導体装置の特性を測定する第１測定処理と、
第２入力電力に対する前記半導体装置の第２出力電力を測定し、測定した前記第２出力電力が第２所定範囲内に無い場合には前記半導体装置の第２出力電力が前記第２所定範囲内となるように前記第２入力電力を調整し、前記第２所定範囲内の前記第２出力電力となる前記第２入力電力で第２周波数の第２入力信号を前記半導体装置に与え、前記第２入力信号に応じた前記半導体装置の特性を測定する第２測定処理と、
を実行し、
前記コントローラは、前記第１入力信号を与えたときの前記第１入力電力の値と前記第１入力信号を与えたときの前記第１入力電力を得るために調整した電力制御値とのうちのいずれかの値である第１検査入力値と前記第２入力信号を与えたときの前記第２入力電力の値と前記第２入力信号を与えたときの前記第２入力電力を得るために調整した電力制御値とのうちのいずれかの値である第２検査入力値について、複数の前記第１検査入力値および複数の前記第２検査入力値の関係を定めた情報を記憶しており、
前記第１測定処理を行った前記半導体装置に対して、前記第１検査入力値を前記情報にあてはめて算出した値に基づいて、前記第２測定処理の第２入力電力の初期値を決定する算出処理をさらに備えることを特徴とする半導体装置の検査装置。
【請求項７】
入力端子と出力端子を備える半導体装置を置くために設けられ、前記入力端子と接続すべき入力電極および前記出力端子と接続すべき出力電極を備えた設置部と、
前記入力電極に入力信号を与える信号発生器と、
前記出力電極からの出力電力を測定する電力測定器と、
前記半導体装置の特性を測定する検査手段と、
前記電力測定器の測定結果に基づいて前記信号発生器を制御するコントローラと、
を備え、
前記コントローラは、
前記半導体装置に入力電力を与えて前記入力電力に対する前記半導体装置の出力電力を測定し、測定した出力電力が所定範囲内に無い場合には出力電力が前記所定範囲内となるように前記半導体装置への入力電力を調整して、前記所定範囲内の出力電力となる入力電力で前記半導体装置に入力信号を与えて前記半導体装置の特性を測定する測定処理と、
複数の前記測定処理でそれぞれ前記入力信号を与えたときの入力電力の値と前記入力信号を与えたときの前記入力電力を得るために調整した電力制御値とのうちいずれかの値である検査入力値を取得し、取得した複数の前記検査入力値の代表値を計算し、前記代表値に基づいて、次に検査すべき前記半導体装置に対する前記測定処理の入力電力の初期値を計算する計算処理と、
を実行することを特徴とする半導体装置の検査装置。
【請求項８】
前記計算処理は、
複数の前記検査入力値の平均値を計算し、前記平均値を代表値とする処理と、
複数の前記検査入力値のなかから中央値を選択し、前記中央値を代表値とする処理と、
複数の前記検査入力値のなかから最頻値を選択し、前記最頻値を代表値とする処理と、
からなる群から選択した１つの処理であることを特徴とする請求項７に記載の半導体装置の検査装置。
【請求項９】
前記設置部が、前記半導体装置の電源端子に接続すべき電源電極を備え、
前記電源電極に直流電圧を与える直流電源を備え、
前記コントローラは、
前記半導体装置に対して前記入力信号を与えて前記出力電力を測定することを行う前に、前記半導体装置に定格試験を実施するための電圧を前記直流電源に発生させ且つ前記半導体装置に定格試験を実施するための入力電力を与えるように前記信号発生器を制御する定格試験処理をさらに実行することを特徴とする請求項６乃至８のいずれか１項に記載の半導体装置の検査装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
第１の発明は、半導体装置の検査方法であって、
同一の半導体装置に対して第１周波数の入力信号および前記第１周波数と異なる第２周波数の入力信号を入力してそれぞれの出力電力を測定する検査を、複数の半導体装置に逐次的に行う半導体装置の検査方法であって、
第１入力電力に対する前記半導体装置の第１出力電力を測定し、測定した前記第１出力電力が第１所定範囲内に無い場合には前記第１出力電力が前記第１所定範囲内となるように前記第１入力電力を調整し、前記第１所定範囲内の前記第１出力電力となる前記第１入力電力で前記第１周波数の第１入力信号を前記半導体装置に与え、前記半導体装置の特性を測定する第１測定ステップと、
第２入力電力に対する前記半導体装置の第２出力電力を測定し、測定した前記第２出力電力が第２所定範囲内に無い場合には前記半導体装置の第２出力電力が前記第２所定範囲内となるように前記第２入力電力を調整し、前記第２所定範囲内の前記第２出力電力となる前記第２入力電力で前記第２周波数の第２入力信号を前記半導体装置に与え、前記第２入力信号に応じた前記半導体装置の特性を測定する第２測定ステップと、
前記第１入力信号を与えたときの前記第１入力電力の値と前記第１入力信号を与えたときの前記第１入力電力を得るために調整した電力制御値とのうちのいずれかの値である第１検査入力値と前記第２入力信号を与えたときの前記第２入力電力の値と前記第２入力信号を与えたときの前記第２入力電力を得るために調整した電力制御値とのうちのいずれかの値である第２検査入力値との組を前記半導体装置ごとに求め、前記半導体装置ごとに求めた複数の前記第１検査入力値および複数の前記第２検査入力値の組から、前記第１検査入力値と前記第２検査入力値との関係を求める回帰分析を行う回帰分析ステップと、
を備え、
前記回帰分析の結果が得られた後の検査においては、前記第１測定ステップを行った前記半導体装置に対して前記第１測定ステップで用いた前記第１検査入力値を前記回帰分析で求めた式にあてはめて算出した値に基づいて、前記第２測定ステップの第２入力電力の初期値を決定することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
第２の発明は、半導体装置の検査方法であって、
複数の半導体装置に対して逐次的に検査を行う半導体装置の検査方法であって、
前記半導体装置に入力電力を与えて前記入力電力に対する前記半導体装置の出力電力を測定し、測定した出力電力が所定範囲内に無い場合には出力電力が前記所定範囲内となるように前記半導体装置への入力電力を調整して、前記所定範囲内の出力電力となる入力電力で前記半導体装置に入力信号を与えて前記半導体装置の特性を測定する測定ステップを備え、
複数の前記測定ステップでそれぞれ前記入力信号を与えたときの入力電力の値と前記入力信号を与えたときの前記入力電力を得るために調整した電力制御値とのうちのいずれかの値である検査入力値を取得し、取得した複数の前記検査入力値の代表値を計算し、前記代表値に基づいて、次に検査すべき前記半導体装置に対する前記測定ステップの入力電力の初期値を計算することを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
第３の発明は、半導体装置の検査装置であって、
入力端子と出力端子を備える半導体装置を置くために設けられ、前記入力端子と接続すべき入力電極および前記出力端子と接続すべき出力電極を備えた設置部と、
前記入力電極に入力信号を与える信号発生器と、
前記出力電極からの出力電力を測定する電力測定器と、
前記半導体装置の特性を測定する検査手段と、
前記電力測定器の測定結果に基づいて前記信号発生器を制御するコントローラと、
を備え、
前記コントローラは、
第１入力電力に対する前記半導体装置の第１出力電力を測定し、測定した前記第１出力電力が第１所定範囲内に無い場合には前記第１出力電力が前記第１所定範囲内となるように前記第１入力電力を調整し、前記第１所定範囲内の前記第１出力電力となる前記第１入力電力で第１周波数の第１入力信号を前記半導体装置に与え、前記半導体装置の特性を測定する第１測定処理と、
第２入力電力に対する前記半導体装置の第２出力電力を測定し、測定した前記第２出力電力が第２所定範囲内に無い場合には前記半導体装置の第２出力電力が前記第２所定範囲内となるように前記第２入力電力を調整し、前記第２所定範囲内の前記第２出力電力となる前記第２入力電力で前記第２周波数の第２入力信号を前記半導体装置に与え、前記第２入力信号に応じた前記半導体装置の特性を測定する第２測定処理と、
を実行し、
前記コントローラは、前記第１入力信号を与えたときの前記第１入力電力の値と前記第１入力信号を与えたときの前記第１入力電力を得るために調整した電力制御値とのうちのいずれかの値である第１検査入力値と前記第２入力信号を与えたときの前記第２入力電力の値と前記第２入力信号を与えたときの前記第２入力電力を得るために調整した電力制御値とのうちのいずれかの値である第２検査入力値について、複数の前記第１検査入力値および複数の前記第２検査入力値の関係を定めた情報を記憶しており、
前記第１測定処理を行った前記半導体装置に対して、前記第１検査入力値を前記情報にあてはめて算出した値に基づいて、前記第２測定処理の第２入力電力の初期値を決定する算出処理をさらに備えることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
第４の発明は、半導体装置の検査装置であって、
入力端子と出力端子を備える半導体装置を置くために設けられ、前記入力端子と接続すべき入力電極および前記出力端子と接続すべき出力電極を備えた設置部と、
前記入力電極に入力信号を与える信号発生器と、
前記出力電極からの出力電力を測定する電力測定器と、
前記半導体装置の特性を測定する検査手段と、
前記電力測定器の測定結果に基づいて前記信号発生器を制御するコントローラと、
を備え、
前記コントローラは、
前記半導体装置に入力電力を与えて前記入力電力に対する前記半導体装置の出力電力を測定し、測定した出力電力が所定範囲内に無い場合には出力電力が前記所定範囲内となるように前記半導体装置への入力電力を調整して、前記所定範囲内の出力電力となる入力電力で前記半導体装置に入力信号を与えて前記半導体装置の特性を測定する測定処理と、
複数の前記測定処理でそれぞれ前記入力信号を与えたときの入力電力の値と前記入力信号を与えたときの前記入力電力を得るために調整した電力制御値とのうちいずれかの値である検査入力値を取得し、取得した複数の前記検査入力値の代表値を計算し、前記代表値に基づいて、次に検査すべき前記半導体装置に対する前記測定処理の入力電力の初期値を計算する計算処理と、
を実行することを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
なお、高周波信号の入力端子Ｅｉｎの電力反射（リターンロス）も、検査項目に含めてもよい。この場合には、図１の信号発生器１４と設置部１２の入力電極１２ａとの間に、方向性結合器および電力測定器を設けて、電力反射を測定すればよい。これらの各検査項目を測定する手段が、上記課題を解決するための手段にかかる「検査手段」に相当している。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
そこで、実施の形態１のステップＳ１１２にかかる平均値Ｐａｖｅの計算を、入力電力の値ではなく電力制御電圧の値を検査入力値として用いて行うことができる。図４のフローチャートにおいて、ステップＳ１００、Ｓ１０６，およびＳ１１２の内容を、入力電力ではなく電力制御電圧を検査入力値として行えばよい。このようにすることで、実施の形態１において入力電力の調整頻度を減らして検査時間短縮を行ったのと同じように、電力制御電圧の調整頻度を減らして検査時間短縮を行うことができる。この「電力制御電圧」は、出力電力を制御する制御値であり、上記課題を解決するための手段にかかる「電力制御値」に相当している。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５６】
なお、上記説明した変形例では、電力制御電圧による入力電力制御が可能な高周波電力増幅器を説明した。一方、原理的に、電圧ではなく電流により出力電力を制御する高周波電力増幅器も想定される。この場合には、入力端子への入力電力は一定とし、電力制御端子に供給する電流（「電力制御電流」）の大きさによって、出力電力を調節する。この「電力制御電流」も、出力電力を制御する制御値であり、上記課題を解決するための手段にかかる「電力制御値」に相当している。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８４】
図７は、本発明の実施の形態３にかかる半導体装置の検査方法のフローチャートである。また、このフローチャートは、実施の形態１において検査装置１０のコントローラ２４が実行するルーチンのフローチャートでもある。ステップＳ３００が追加されている点を除き、図７のフローチャートの内容は、図４に示した実施の形態１の検査方法のフローチャートと同じ内容である。