【手続補正書】
【提出日】平成28年3月11日(2016.3.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の面と第２の面とを有する基材と、前記第１の面側に設けられた剥離剤層とを備えるグリーンシート製造用剥離フィルムの前記剥離剤層の外表面に、セラミックスラリーを塗布してセラミックスラリー層を形成する工程と、
前記セラミックスラリー層を乾燥させる工程とを有し、
前記グリーンシート製造用剥離フィルムは、前記剥離剤層が、（メタ）アクリロイル基、アルケニル基およびマレイミド基から選択される反応性官能基を１分子中に３つ以上有する紫外線硬化性化合物（Ａ）と、ポリオルガノシロキサン（Ｂ）と、α−アミノアルキルフェノン系の光重合開始剤（Ｃ）とを含有する剥離剤層形成用材料を、前記基材の前記第１の面側に塗布して形成された塗布層に、紫外線を照射して、前記塗布層を硬化することにより形成されており、
前記剥離剤層の平均厚さは、０．３〜２μｍであり、
前記剥離剤層の外表面の算術平均粗さＲａ１が８ｎｍ以下であり、かつ、前記外表面の最大突起高さＲｐ１が５０ｎｍ以下であり、
前記基材の前記第２の面の算術平均粗さＲａ２が５〜４０ｎｍであり、かつ、前記第２の面の最大突起高さＲｐ２は、６０〜５００ｎｍであることを特徴とするグリーンシートの製造方法。
【請求項２】
前記剥離剤層形成用材料における前記ポリオルガノシロキサン（Ｂ）の固形分含有量が、０．５〜５質量％である請求項１に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項３】
前記ポリオルガノシロキサン（Ｂ）は、直鎖状または分岐状の分子鎖を有するポリオルガノシロキサンであり、（メタ）アクリロイル基、アルケニル基およびマレイミド基よりなる群から選択される少なくとも１種の反応性官能基を有し、
前記反応性官能基は、前記分子鎖の末端および前記分子鎖の側鎖のいずれか一方または両方に、直接または２価の連結基を介して、前記分子鎖のケイ素原子と結合されている請求項１または２に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項４】
前記基材は、積層体であり、積層された層のうちの少なくとも一つの層が、帯電防止層である請求項１ないし３のいずれか一項に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか一項に記載のグリーンシートの製造方法により製造されたことを特徴とするグリーンシート。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】グリーンシートの製造方法およびグリーンシート
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、グリーンシートの製造方法およびグリーンシートに関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の目的は、ピンホールや部分的な厚みのばらつきが発生するのが防止されたグリーンシートを製造することができるグリーンシートの製造方法を提供すること、および、ピンホールや部分的な厚みのばらつき等が発生するのが防止されたグリーンシートを提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
このような目的は、下記（１）〜（５）の本発明により達成される。
（１）  第１の面と第２の面とを有する基材と、前記第１の面側に設けられた剥離剤層とを備えるグリーンシート製造用剥離フィルムの前記剥離剤層の外表面に、セラミックスラリーを塗布してセラミックスラリー層を形成する工程と、
前記セラミックスラリー層を乾燥させる工程とを有し、
前記グリーンシート製造用剥離フィルムは、前記剥離剤層が、（メタ）アクリロイル基、アルケニル基およびマレイミド基から選択される反応性官能基を１分子中に３つ以上有する紫外線硬化性化合物（Ａ）と、ポリオルガノシロキサン（Ｂ）と、α−アミノアルキルフェノン系の光重合開始剤（Ｃ）とを含有する剥離剤層形成用材料を、前記基材の前記第１の面側に塗布して形成された塗布層に、紫外線を照射して、前記塗布層を硬化することにより形成されており、
前記剥離剤層の平均厚さは、０．３〜２μｍであり、
前記剥離剤層の外表面の算術平均粗さＲａ１が８ｎｍ以下であり、かつ、前記外表面の最大突起高さＲｐ１が５０ｎｍ以下であり、
前記基材の前記第２の面の算術平均粗さＲａ２が５〜４０ｎｍであり、かつ、前記第２の面の最大突起高さＲｐ２は、６０〜５００ｎｍであることを特徴とするグリーンシートの製造方法。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
（２）  前記剥離剤層形成用材料における前記ポリオルガノシロキサン（Ｂ）の固形分含有量が、０．５〜５質量％である上記（１）に記載のグリーンシートの製造方法。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
（３）  前記ポリオルガノシロキサン（Ｂ）は、直鎖状または分岐状の分子鎖を有するポリオルガノシロキサンであり、（メタ）アクリロイル基、アルケニル基およびマレイミド基よりなる群から選択される少なくとも１種の反応性官能基を有し、
前記反応性官能基は、前記分子鎖の末端および前記分子鎖の側鎖のいずれか一方または両方に、直接または２価の連結基を介して、前記分子鎖のケイ素原子と結合されている上記（１）または（２）に記載のグリーンシートの製造方法。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
（４）  前記基材は、積層体であり、積層された層のうちの少なくとも一つの層が、帯電防止層である上記（１）ないし（３）のいずれかに記載のグリーンシートの製造方法。
（５）  上記（１）ないし（４）のいずれかに記載のグリーンシートの製造方法により製造されたことを特徴とするグリーンシート。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
本発明によれば、グリーンシートにピンホールや部分的な厚みのばらつきが発生することが防止されたグリーンシートを得ることができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
【図１】図１は、本発明のグリーンシートの製造方法において用いるグリーンシート製造用剥離フィルムの横断面図である。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
以下、本発明を好適実施形態に基づいて詳細に説明する。
《グリーンシート製造用剥離フィルム》
本発明のグリーンシートの製造方法は、第１の面と第２の面とを有する基材と、前記第１の面側に設けられた剥離剤層とを備えるグリーンシート製造用剥離フィルムの前記剥離剤層の外表面に、セラミックスラリーを塗布してセラミックスラリー層を形成する工程と、
前記セラミックスラリー層を乾燥させる工程とを有している。
以下に、本発明のグリーンシートの製造に用いられるグリーンシート製造用剥離フィルムについて説明する。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
図１は、本発明のグリーンシートの製造方法において用いるグリーンシート製造用剥離フィルム１の横断面図である。
図１に示すように、グリーンシート製造用剥離フィルム１は、第１の面１１１と第２の面１１２とを有する基材１１と、基材１１の第１の面１１１上に設けられた剥離剤層１２とを有している。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
本発明のグリーンシートの製造方法において用いるグリーンシート製造用剥離フィルムは、第２の面の算術平均粗さＲａ２が５〜４０ｎｍであり、かつ、その最大突起高さＲｐ２が、剥離剤層が６０〜５００ｎｍである基材と、所定の成分を含む剥離剤層形成用材料で、所定の厚みに形成されており、剥離剤層の外表面の算術平均粗さＲａ１が８ｎｍ以下であり、かつ、その最大突起高さＲｐ１が５０ｎｍ以下である点に特徴を有している。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
本発明のグリーンシートの製造方法において、このようなグリーンシート製造用剥離フィルムを用いることにより、基材が直接グリーンシートに接することがないため、基材の比較的粗い表面形状がグリーンシートに転写されない。その結果、グリーンシートにピンホールや部分的な厚みのばらつき等が発生することを防止でき、良好なグリーンシートを形成できる。特に、グリーンシートの厚さが極薄（例えば厚さ５μｍ以下、特に厚さ０．５μｍ〜２μｍ）であっても、上記欠点のない良好なグリーンシートを形成できる。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
これに対して、本発明のグリーンシートの製造方法において使用するグリーンシート製造用剥離フィルムで用いる剥離剤層形成用材料は、硬化性の高い紫外線硬化性化合物（Ａ）を用いるとともに、酸素阻害を受けにくい光重合開始剤（Ｃ）を用いているため、大気雰囲気下においても特に優れた硬化性を得ることができる。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
また、本発明のグリーンシートの製造方法において用いるグリーンシート製造用剥離フィルムの製造方法は、上述した方法に限定されるものではなく、必要に応じて任意の工程が追加されてもよい。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８４】
次に、本発明のグリーンシートの製造方法において用いるグリーンシート製造用剥離フィルムの具体的実施例について説明する。
[１]グリーンシート製造用剥離フィルムの作製
（実施例１）
まず、基材としての二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム[厚み：３１μｍ、第１の面の算術平均粗さＲａ０：２９ｎｍ、第１の面の最大突起高さＲｐ０：２５７ｎｍ、第２の面の算術平均粗さＲａ２：２９ｎｍ、第２の面の最大突起高さＲｐ２：２５７ｎｍ]を用意した。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１７】
[２．２]セラミックスラリー塗工性評価
チタン酸バリウム粉末[堺化学工業社製、商品名「ＢＴ−０３」、ＢａＴｉＯ３]１００質量部、バインダーとしてのポリビニルブチラール[積水化学工業社製，商品名「エスレックＢ・Ｋ  ＢＭ−２」]８質量部、および可塑剤としてのフタル酸ジオクチル[関東化学社製、商品名「フタル酸ジオクチル  鹿１級」]４質量部に、トルエン／エタノール混合溶剤（質量比６／４）１３５質量部を加えた。これらの物質をボールミルにて混合分散させて、セラミックスラリーを調製した。各実施例および各比較例で得られたグリーンシート製造用剥離フィルムの剥離剤層表面に、上記セラミックスラリーをダイコーターにて、乾燥後の膜厚が１μｍ、幅２５０ｍｍ、長さ１０ｍになるように、塗布して塗布層（セラミックスラリー層）を得た。塗布層を８０℃で１分間乾燥させ、グリーンシートが成型されたグリーンシート製造用剥離フィルムを得た。その後、グリーンシートが成型されたグリーンシート製造用剥離フィルムについて、グリーンシート製造用剥離フィルム側から蛍光灯にて光を照射して、グリーンシート面を目視で観察した。以下の判断基準でセラミックスラリーの塗工性を評価した。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３１】
表２から明らかなように、本発明のグリーンシートの製造方法において用いるグリーンシート製造用剥離フィルムは、スラリーの塗工性、成膜されたグリーンシートの剥離性およびグリーンシートの表裏の平滑性に優れていた。また、本発明のグリーンシートの製造方法において用いるグリーンシート製造用剥離フィルムは、グリーンシートにピンホールや部分的な厚みのばらつきが発生することを抑制させる効果があった。また、本発明のグリーンシート製造用剥離フィルムは、ロール状にする際に、ハンドリング性がよく、さらに、ロール状にした際のブロッキングが生じにくいものであった。また、本発明のグリーンシートの製造方法において用いるグリーンシート製造用剥離フィルムは、剥離剤層形成用材料の硬化性が優れており、大気雰囲気中においても剥離剤層の形成が可能であった。これに対して、比較例では満足な結果が得られなかった。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３２】
本発明のグリーンシートの製造方法において用いるグリーンシート製造用剥離フィルムは、第１の面と第２の面とを有する基材と、（メタ）アクリロイル基、アルケニル基およびマレイミド基から選択される反応性官能基を１分子中に３つ以上有する紫外線硬化性化合物（Ａ）と、ポリオルガノシロキサン（Ｂ）と、α−アミノアルキルフェノン系の光重合開始剤（Ｃ）とを含有する剥離剤層形成用材料を、前記基材の前記第１の面側に塗布して形成された塗布層に、紫外線を照射して硬化することにより形成された剥離剤層とを有している。また、前記剥離剤層の平均厚さは、０．３〜２μｍであり、前記剥離剤層の外表面の算術平均粗さＲａ１が８ｎｍ以下であり、かつ、その最大突起高さＲｐ１が５０ｎｍ以下である。また、前記基材の前記第２の面の算術平均粗さＲａ２が５〜４０ｎｍであり、かつ、その最大突起高さＲｐ２は、６０〜５００ｎｍである。本発明によれば、ピンホールや部分的な厚みのばらつきが発生するのを防止することが可能なグリーンシートを得ることができる。また、前記グリーンシート製造用剥離フィルムは、剥離剤層の外表面の高平滑化が得られるとともに、優れた剥離性を備えることができる。したがって、本発明は産業上の利用可能性を有する。