【手続補正書】
【提出日】平成28年6月1日(2016.6.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検光学素子の光学性能を測定する測定装置であって、
球面波の光を射出する照明光学系と、
前記照明光学系からの前記光によって回折光を射出する回折格子と、
前記回折格子が形成した干渉縞を撮像する撮像手段と、
前記回折格子と前記撮像手段の少なくとも一方を前記照明光学系の光軸方向に移動させる移動手段と、
前記移動手段を介して前記少なくとも一方を前記光軸方向に移動させ、移動の前後で前記撮像手段に複数枚の前記干渉縞を撮像させ、前記移動手段による前記少なくとも一方の移動量と前記複数枚の干渉縞の空間周波数から前記照明光学系の集光点位置を算出する制御手段と、
を有することを特徴とする測定装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記被検光学素子を前記照明光学系の光軸上に配置した状態で前記撮像手段により取得された干渉縞に基づいて、前記被検光学素子の透過波面を算出することを特徴とする請求項１に記載の測定装置。
【請求項３】
前記照明光学系からの前記光が透過し、屈折率が既知の媒質を収納する液槽を更に有し、
前記制御手段は、前記被検光学素子を前記液槽内の前記照明光学系の光軸上に配置した状態で前記撮像手段により取得された干渉縞に基づいて、前記被検光学素子の透過波面を算出し、該被検光学素子の透過波面を用いて前記被検光学素子の屈折率分布を算出することを特徴とする請求項１に記載の測定装置。
【請求項４】
前記制御手段は、前記被検光学素子を前記被検光学素子とは屈折率が異なる２種類の媒質に浸漬した状態で前記撮像手段により取得された干渉縞に基づいて、前記被検光学素子の透過波面を算出し、該被検光学素子の透過波面を用いて前記被検光学素子の屈折率分布を算出することを特徴とする請求項３に記載の測定装置。
【請求項５】
前記照明光学系は、２種類の波長の光を切り替えて射出し、
前記制御手段は、前記被検光学素子を前記被検光学素子と屈折率分散の異なる媒質に浸漬した状態で前記２種類の波長の光のそれぞれに対して前記撮像手段により取得された干渉縞に基づいて、前記被検光学素子の透過波面を算出し、該被検光学素子の透過波面を用いて前記被検光学素子の屈折率分布を算出することを特徴とする請求項３に記載の測定装置。
【請求項６】
前記照明光学系からの前記光が透過し、厚みと屈折率が既知の透過部材を更に有し、
前記制御手段は、前記透過部材の既知の厚みと既知の屈折率から前記集光点位置を修正することを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載の測定装置。
【請求項７】
前記回折格子は直交する２方向に周期をもつ正方格子であり、
前記制御手段は、前記複数枚の干渉縞の直交する２方向の空間周波数を求め、前記２方向の空間周波数の平均値から前記集光点位置を算出することを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか１項に記載の測定装置。
【請求項８】
前記制御手段は、前記被検光学素子が前記照明光学系の光軸から退避した状態で前記集光点位置を算出することを特徴とする請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載の測定装置。
【請求項９】
前記制御手段は、前記回折格子と前記撮像手段の光軸方向の間隔と前記照明光学系の前記集光点位置を用いて、前記回折格子の空間周波数を算出することを特徴とする請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載の測定装置。
【請求項１０】
球面波の光を射出する照明光学系と、前記照明光学系からの前記光によって回折光を射出する回折格子と、前記回折格子が形成した干渉縞を撮像する撮像手段と、前記回折格子と前記撮像手段の少なくとも一方を前記照明光学系の光軸方向に移動させる移動手段と、を有し、被検光学素子の光学性能を測定する測定装置を制御するコンピュータのプログラムであって、
前記移動手段を介して前記少なくとも一方を前記光軸方向に移動させるステップと、
移動の前後で前記撮像手段に複数枚の前記干渉縞を撮像させるステップと、
前記移動手段による前記少なくとも一方の移動量と前記複数枚の干渉縞の空間周波数から前記照明光学系の集光点位置を算出するステップを前記コンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【請求項１１】
球面波の光を射出する照明光学系と、前記照明光学系からの前記光によって回折光を射出する回折格子と、前記回折格子が形成した干渉縞を撮像する撮像手段と、前記回折格子と前記撮像手段の少なくとも一方を前記照明光学系の光軸方向に移動させる移動手段と、を有し、被検光学素子の光学性能を測定する測定装置の制御方法であって、
前記移動手段を介して前記少なくとも一方を前記光軸方向に移動させるステップと、
移動の前後で前記撮像手段に複数枚の前記干渉縞を撮像させるステップと、
前記移動手段による前記少なくとも一方の移動量と前記複数枚の干渉縞の空間周波数から前記照明光学系の集光点位置を算出するステップを含むことを特徴とする制御方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】被検光学素子の光学性能の測定装置、その測定装置を制御するプログラムおよび方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明によれば、比較的簡単かつ高精度に照明光学系の集光点位置と検出器の位置関係を測定することが可能な測定装置を提供することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
【図１】本発明の透過波面測定装置のブロック図である。（実施例１）
【図２】図１に示す演算部が実行する透過波面測定方法のフローチャートである。（実施例１）
【図３】図２に示すＳ１０１の詳細を示すフローチャートである。（実施例１）
【図４】図３に示すＳ１４において干渉縞基本周波数の算出方法の説明図である。（実施例１）
【図５】本発明の屈折率分布測定装置のブロック図である。（実施例２）
【図６】図５に示す演算部が実行する屈折率分布測定方法のフローチャートである。（実施例２）
【図７】回折格子の空間周波数を測定する測定装置のブロック図である。（実施例３）
【図８】照明光学系の集光点位置と検出器の位置関係を測定するフローチャートである。（実施例３）
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
Ｓ１０１で、演算部１２は、集光点位置Ｓと検出器９の間隔を測定する（キャリブレーション）。駆動手段８と駆動手段１０の再現性がよければ、Ｓ１０１は測定ごとに行う必要はない。測定装置立ち上げ時やコリメーターレンズ交換時などに行えばよい。Ｓ１０１において集光点位置Ｓを後述するように測定する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
Ｓ２０１では、演算部１２は、集光点位置Ｓと検出器９の間隔を測定する（キャリブレーション）。駆動手段８、１０の再現性がよければ、Ｓ２０１は測定ごとに行う必要はなく、装置立ち上げ時や定期点検時のみ行えばよい。Ｓ２０１の詳細は後で説明する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
図８は、実施例３の回折格子の空間周波数を測定する測定方法のフローチャートであり、図３と同一のステップには同一の符号が付されている。Ｓ１０〜Ｓ１７で、ｆ１、ｆ２、Ｚ０を求める。Ｓ１８で、演算部１２は、数式８を計算し、回折格子７の空間周波数ｆを求める。
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
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