【手続補正書】
【提出日】平成28年9月2日(2016.9.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
上部バイアス電圧源１１４が、上部電極アセンブリ１０２に接続されている。下部バイアス電圧源１１６が、静電チャック１４０に接続されている。コントローラ１１０が、プラズマ処理チャンバ１００、１または複数の処理ガス源１１２、上部バイアス電圧源１１４、および、下部バイアス電圧源１１６に接続されている。コントローラ１１０は、様々なプラズマ処理および非プラズマ処理がプラズマ処理チャンバ内で実行される際にプラズマ処理チャンバ１００を作動させるためのロジック、オペレーティングシステム、オペレーションソフトウェア、および、レシピを備える。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
上部エッジリング１２２Ａ（図１に図示）が、上部層２１０の周囲に隣接している。下部エッジリング１２２Ｂが、上部エッジリング１２２Ａを支持しており、ベース２２０の外周２２０Ａに隣接している（図２Ａに図示）。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３９】
上部層２１０は、電極２２２Ａ、２２２Ｂ、２２４Ａ、２２４Ｂ、および、リフトピン穴２０３Ａ〜Ｃを備える。リフトピン（図示せず）は、リフトピン穴２０３Ａ〜Ｃ内で上下方向（上面２０２と実質的に垂直な方向）に移動可能である。リフトピンは、ワークピース１３０を上面から持ち上げるために上面２０２の上方に伸びることができる。また、リフトピンは、上面２０２へワークピース１３０を下げるために上面２１０内に後退されうる。リフトピン穴２０３Ａ〜Ｃは、図示および説明をしやすくするために、上部層２１０の直径に対して過度に大きく図示されていることに注意されたい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
エポキシバンド２３０の外縁２３０Ａおよび上部層２１０の外縁２１０Ａは、実質的に整列されている。ベース２２０の外周２２０Ａは、上部層２１０の外縁２１０Ａから外側に、約５．０ｍｍから約２５．０ｍｍの寸法Ｄ４だけ広がっており、ベース２２０の段部２１２を形成している。エポキシバンド２３０は、上部層２１０の下で、上部層の外縁２１０Ａから約１．０ｍｍないし約１０．０ｍｍの間の寸法Ｄ５だけ広がっている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
エポキシバンド２３０は、接着層２３６に対して第１の接着部２３４を形成する。エポキシバンド２３０は、さらに、上部層２１０の下面２１０Ｂに対して第２の接着部２１１を形成する。エポキシバンド２３０は、さらに、ベース２２０の上面２２０Ｂに対して第３の接着部２１３を形成する。エポキシバンド２３０は、接着部２１１、２１３、２３４によって処理チャンバから接着層２３６を効果的にシールおよび保護する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
ギャップ１２４は、プラズマエッチングおよび洗浄の副生成物の一部がエポキシバンド２３０の外縁２３０Ａに到達することを許容する。プラズマエッチングおよび洗浄の副生成物は、エポキシバンド２３０を損傷しうる。損傷は、エポキシバンド２３０の外縁２３０Ａ上にポリマ（例えば、エッチングおよび洗浄の副生成物）が堆積することを含みうる。損傷は、エポキシバンド２３０における材料の劣化も含みうる。いずれにしても、エポキシバンド２３０に対する損傷は、エポキシバンド２３０の外縁２３０Ａから分離して、ギャップ１２４を通して上部層２１０の上面２０２に移動し、静電チャック１４０に固定された現在のワークピース１３０および／または次のワークピースを汚染しうる粒子を生成する場合がある。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５４】
エポキシバンド２３０を静電チャックの他の部分と異なる温度に加熱または冷却するなど、熱的効果を用いて、エポキシバンドの除去を容易にする。エポキシバンド２３０は、しっかりとした接着部２１１、２１３、および、２３４を形成する強力な接着剤である。したがって、エポキシバンド２３０を接着層２３６の外周から物理的にはがすことは難しい。上部層２１０は非常に高価で比較的壊れやすいセラミック材料であり、１つの小さな欠けがあるだけでも上部層２１０全体が駄目になりうることを思い出すことが重要である。ベース２２０の上面２２０Ｂは、注意深く取り扱わなければ、損傷（例えば、穴があく、傷がつくなど）しうることに留意することも重要である。したがって、除去ツールは、除去処理中のさらなる損傷を避けるために、上部層２１０およびベース２２０の上面２２０Ｂと物理的に接触しないことが好ましい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５５】
図４Ａ〜図４Ｄは、本発明の実施形態に従って、加熱された先端ツール４０２でエポキシバンド２３０を除去する方法を示す簡略したダイアグラム４００，４３０，４４０，４５０である。加熱先端ツール４０２は、エポキシバンド２３０の厚さＤ３よりも小さい幅Ｄ９を有する。例えば、加熱先端ツール４０２は、エポキシバンド２３０の厚さＤ３よりも約１．０ｍｍ小さい幅Ｄ９を有する。加熱先端ツール４０２の幅Ｄ９は、加熱先端ツール４０２が、上部層２１０の下面２０２Ｂともベース２２０の上面２２０Ｂとも接触することなしにエポキシバンド２３０の外縁２３０Ａに熱を印加できるように、エポキシバンド２３０の厚さＤ３よりも小さい。加熱先端ツール４０２は、約１１５℃ないし約２００℃の間の温度までエポキシバンド２３０の外縁２３０Ａを加熱できる。加熱先端ツール４０２は、適切なサイズおよび形状の加熱される先端を備えたはんだごて型のツールであってよい。加熱先端ツール４０２は、約１５５℃以上に加熱される。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
動作５０６において、静電チャック１４０は、修理用固定具３００に固定される。エポキシバンド２３０の外縁２３０Ａは、動作５０８において、エポキシバンド上のエッチングまたは洗浄による任意の副生成物堆積の有無を検査される。エポキシバンド２３０上のエッチングまたは洗浄副生成物の小さい堆積物は、動作５１０において、クリーンルームに適したワイプ材およびイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）を用いて外縁２３０Ａを注意深く拭き取ることにより除去されうる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
動作５２０において、加熱先端ツール４０２は、約１５５℃以上の動作温度まで加熱される。動作５２２において、加熱先端ツール４０２は、エポキシバンド２３０の外縁２３０Ａに当てられる。加熱先端ツール４０２は、加熱先端ツール４０２の近傍のエポキシバンド２３０を十分に加熱および軟化させるために、約１０秒間から約６０秒間以上、外縁２３０Ａに当てられる。加熱先端ツール４０２は、エポキシバンド２３０を約１１５℃ないし約２００℃の温度まで加熱する。上部層２１０およびベース２２０の上面２２０Ｂへの接触および損傷を避けるために、加熱先端ツール４０２のセンターライン４０２Ａとベース２２０の上面２２０Ｂとの間で最小角度αが維持される。角度αは、例示の目的で誇張して図示されている。角度αは、加熱先端ツール４０２の中央線とベース２２０の段部２１２とがほぼ平行になるように、通例、非常にゼロに近い角度である。角度αが過剰であると、上部層２１０またはベース２２０への損傷につながりうる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６１】
動作５２４において、さらなる物理的押圧が、加熱先端ツール４０２によって外縁２３０Ａに印加される。さらなる物理的押圧は、図４Ｂに示すように、加熱先端ツール４０２をエポキシバンド２３０へ押し込み、エポキシバンド内に対応する穴を生成する。エポキシバンド２３０の加熱により、接着部２１１、２１３、および、２３４がはがれ、動作５２６において、エポキシバンドは、図４Ｃに示すように、上部層２１０およびベース２２０の上面２２０Ｂの間のスペースから出始める。加熱先端ツール４０２は、接着層２３６を損傷しうるので、エポキシバンド２３０を完全に貫通して接着部２３４を通り抜けないことが好ましい。また、適切なヒートガンを用いて、エポキシバンド２３０を約９０℃ないし約１１０℃以上まで加熱し、接着部２１１、２１３、および、２３４を弱めてはがし、エポキシバンドの除去を支援することも可能である。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
動作５３０において、図４Ｄに示すように、特別に設計されたピックツール４２０を用いて、加熱先端ツール４０２によって形成された穴から開始してエポキシバンド２３０を注意深く抜き取ることができる。ピックツール４２０は、任意の適切な材料から形成されてよく、セラミック上部層またはベースの表面を意図せずに損傷または傷つけないように、セラミック上部層２１０およびベース２２０の表面よりも柔らかい材料であることが好ましい。ピックツール４２０とベース２２０の上面２２０Ａとの間で鋭角αを維持することにより、上部層２１０およびベース２２０の上面２２０Ａへの接触とその結果起き得る損傷を避ける。動作５３２において、静電チャック１４０は、ピックが静電チャックの全周にわたってエポキシバンド２３０を引き出すことができるように回転される。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
エポキシバンド２３０に冷却剤を供給することにより、接着部２１１、２１３、および、２３４を弱くすることができるため、静電チャックからエポキシバンドを除去できるようになる。冷却剤を用いてエポキシバンド２３０を除去する方法は、寸法Ｄ３が約３．０ｍｍ未満である静電チャックの修復に特に有効である。Ｄ３が約３．０ｍｍ未満である場合、セラミック上部層２１０もベース２２０の表面２２０Ｂも損傷することなしに加熱先端ツール４０２をエポキシバンド２３０に挿入することは難しい。図６Ａ〜図６Ｃは、本発明の実施形態に従って、冷却剤ノズル６０２を用いてエポキシバンド２３０を除去する方法を示す簡略図６００である。図７は、本発明の実施形態に従って、冷却剤ノズル６０２を用いてエポキシバンド２３０を除去する際に実行される方法動作７００を示すフローチャートである。本明細書に示した動作は、例示を目的としたものであり、いくつかの動作はサブ動作を有してもよく、他の例において、本明細書で述べた特定の動作が図の動作に含まれなくてもよいことを理解されたい。このことを念頭に置いて、方法および動作７００について以下で説明する。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
動作７０６において、静電チャック１４０は、修理用固定具３００に固定される。エポキシバンド２３０の外縁２３０Ａは、動作７０８において、エポキシバンド上のエッチングまたは洗浄による任意の副生成物堆積の有無を検査される。エポキシバンド２３０上のエッチングまたは洗浄副生成物の小さい堆積物は、動作７１０において、クリーンルームに適したワイプ材およびイソプロピルアルコール（ＩＰＡ）を用いて外縁２３０Ａを注意深く拭き取ることにより除去されうる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
動作７１２において、冷却剤ノズル６０２が、エポキシバンドの外縁２３０Ａに向けられる。冷却剤ノズル６０２は、冷却剤供給部６１０に接続されている。冷却剤６０４は、静電チャック１４０の温度よりも約４０℃ないし約１００℃低い温度を有する。冷却剤の例には二酸化炭素（ＣＯ２）が含まれる。ＣＯ２は、約５０ｐｓｉないし約８０ｐｓｉの間の圧力でノズル６０２から放出される時、約−４０℃から−８０℃の温度を有する。ＣＯ２は冷却剤の一例であり、静電チャック１４０の温度よりも約４０℃ないし約１００℃低い温度にエポキシバンド２３０を冷却できるその他の冷却剤を用いてもよいことを理解されたい。適切な冷却剤は、液体、気体、または、固体であってよい。例えば、ドライアイス（固体のＣＯ２）を用いて、接着部を破壊するのに十分にエポキシバンド２３０を冷却することができる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
動作７１４において、冷却剤６０４は、エポキシバンド２３０を急速に冷却することで、エポキシバンドが硬くなり、容易に破砕または破壊されるようにする。冷却されたエポキシバンド２３０は、動作７１６において、図６Ｂに示すように収縮し、接着部２１１、２１３、２３４から離れるなどして接着部を引きはがす。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２Ａ】
2014068011.tif 000001
【手続補正１８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２Ｄ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２Ｄ】
2014068011.tif 000002
【手続補正１９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２Ｅ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２Ｅ】
2014068011.tif 000003
【手続補正２０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３Ｂ】
2014068011.tif 000004
【手続補正２１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４Ａ】
2014068011.tif 000005
【手続補正２２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４Ｂ】
2014068011.tif 000006
【手続補正２３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４Ｃ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４Ｃ】
2014068011.tif 000007
【手続補正２４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４Ｄ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４Ｄ】
2014068011.tif 000008
【手続補正２５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2014068011.tif 000009
【手続補正２６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６Ａ】
2014068011.tif 000010
【手続補正２７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６Ｂ】
2014068011.tif 000011
【手続補正２８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６Ｃ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６Ｃ】
2014068011.tif 000012
【手続補正２９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図７】
2014068011.tif 000013
【手続補正３０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８Ａ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８Ａ】
2014068011.tif 000014
【手続補正３１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８Ｂ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８Ｂ】
2014068011.tif 000015