【手続補正書】
【提出日】平成28年3月18日(2016.3.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理チャンバの上側電極および下側電極を備えたウエハ処理装置であって、
前記下側電極に接続された第１の高周波電源、第２の高周波電源、および第３の高周波電源と、
前記上側電極に接続された第４の高周波電源と、
前記上側電極および電気的接地の間に接続された第１の共振回路であって、前記第１の共振回路の周波数依存インピーダンスを変化させるよう動作可能な同調素子を備える第１の共振回路と
を備える装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置であって、前記同調素子は、前記周波数依存インピーダンスの最大値が前記第１の高周波電源の周波数に対応するように、前記第１の共振回路の前記周波数依存インピーダンスを設定するよう動作可能である装置。
【請求項３】
請求項１に記載の装置であって、前記第１の共振回路は、
インダクタと、
前記電気的接地および前記インダクタの間に直列接続された可変コンデンサと
を備え、
前記チャンバの浮遊容量が前記インダクタおよび前記接地の間に存在する装置。
【請求項４】
請求項１に記載の装置であって、さらに、
前記上側電極および前記電気的接地の間に接続された第２の共振回路を備える装置。
【請求項５】
請求項４に記載の装置であって、さらに、
前記上側電極および前記電気的接地の間に接続された第３の共振回路を備える装置。
【請求項６】
請求項１に記載の装置であって、さらに、
システムコントローラを備え、
前記システムコントローラは、前記第１、第２、第３、および第４の高周波電源の各々を、ウエハ処理動作中に独立してオンまたはオフのいずれかに設定するよう動作可能であると共に、前記第１の共振回路を前記上側電極に対して接続または切断するよう動作可能である装置。
【請求項７】
請求項６に記載の装置であって、前記システムコントローラは、さらに、前記上側電極を前記電気的接地に対して接続または切断するよう動作可能である装置。
【請求項８】
請求項１に記載の装置であって、前記ウエハ処理装置は、
前記第１の高周波電源は、６０ＭＨｚの周波数に設定可能であり、
前記第２の高周波電源は、２７ＭＨｚの周波数に設定可能であり、
前記第３の高周波電源は、２ＭＨｚの周波数に設定可能であり、
前記第４の高周波電源は、４００ｋＨｚの周波数に設定可能である
構成を備える装置。
【請求項９】
処理チャンバの上側電極および下側電極を備えたウエハ処理装置であって、
前記下側電極に接続された第１の高周波電源、第２の高周波電源、および第３の高周波電源と、
第４の高周波電源と、
第１の共振回路と、
第１のスイッチ、第２のスイッチ、および第３のスイッチと
を備え、
前記第１のスイッチは前記上側電極を前記第４の高周波電源に接続するよう動作可能であり、前記第２のスイッチは前記上側電極を前記第１の共振回路に接続するよう動作可能であり、前記第３のスイッチは前記上側電極を第１の電圧に接続するよう動作可能である装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の装置であって、さらに、
第２の共振回路と、
前記上側電極を前記第２の共振回路に接続するよう動作可能な第４のスイッチと
を備える装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の装置であって、さらに、
第３の共振回路と、
前記上側電極を前記第３の共振回路に接続するよう動作可能な第５のスイッチと
を備える装置。
【請求項１２】
請求項９に記載の装置であって、前記第１の高周波電源の周波数は６０ＭＨｚであり、前記第２の高周波電源の周波数は２７ＭＨｚであり、前記第３の高周波電源の周波数は２ＭＨｚであり、前記第４の高周波電源の周波数は４００ｋＨｚである装置。
【請求項１３】
請求項９に記載の装置であって、さらに、
前記ウエハを処理するためのレシピに基づいて前記第１の高周波電源を有効にするよう動作可能な第１の電力コントローラを備える装置。
【請求項１４】
請求項９に記載の装置であって、さらに、
前記第１、第２、第３、および第４の高周波電源の電力レベルを設定するよう動作可能なシステムコントローラを備える装置。
【請求項１５】
請求項９に記載の装置であって、前記第４の高周波電源の周波数は０．１から１０ＭＨｚの範囲にある装置。
【請求項１６】
処理チャンバの上側電極および下側電極を備えたウエハ処理装置においてウエハを処理するための方法であって、
前記ウエハを処理するためのレシピを受信する工程と、
前記レシピに基づいて、第１の高周波電源、第２の高周波電源、第３の高周波電源、および第４の高周波電源の各々を有効または無効にする工程であって、前記第１の高周波電源、前記第２の高周波電源、および前記第３の高周波電源は前記下側電極に接続されている工程と、
前記上側電極を前記第４の高周波電源に対して接続または切断するために、前記レシピに基づいて第１のスイッチのポジションを設定する工程と、
前記上側電極を第１の共振回路に対して接続または切断するために、前記レシピに基づいて第２のスイッチのポジションを設定する工程と、
前記上側電極を電気的接地に対して接続または切断するために、前記レシピに基づいて第３のスイッチのポジションを設定する工程と、
前記ウエハを処理する工程と
を備える方法。
【請求項１７】
請求項１６に記載の方法であって、さらに、
前記第１の共振回路の周波数依存インピーダンスの最大値が前記第１の高周波電源の周波数に対応するように、前記周波数依存インピーダンスを設定する工程を備え、
前記周波数依存インピーダンスを設定する工程は、前記第１の共振回路内の同調素子を調整する工程を含む方法。
【請求項１８】
請求項１６に記載の方法であって、さらに、
前記ウエハを処理するための前記レシピ内の次の動作を確認する工程と、
前記次の動作に基づいて、前記第１の高周波電源、第２の高周波電源、および第３の高周波電源の各々を有効または無効にする工程と、
前記次の動作に基づいて前記第１ないし第３のスイッチの前記ポジションを設定する工程と
を備える方法。
【請求項１９】
請求項１６に記載の方法であって、さらに、
前記ウエハを処理する前に、前記第１、第２、第３、および第４の高周波電源の電力レベルを前記レシピに基づいて設定する工程と、
前記第１の高周波電源の周波数で共振を達成するように、前記第１の共振回路の可変コンデンサの静電容量の値を設定する工程と
を備える方法。
【請求項２０】
請求項１６に記載の方法であって、前記方法の工程は、１または複数のプロセッサによって実施される場合にコンピュータプログラムによって実行され、前記コンピュータプログラムは、非一時的なコンピュータ読み取り可能記憶媒体に格納される方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９８】
理解を深めるために、本実施形態について、ある程度詳しく説明したが、添付の特許請求の範囲内でいくらかの変更および変形を行ってもよいことは明らかである。したがって、本実施形態は、例示的なものであって、限定的なものではないとみなされ、実施形態は、本明細書に示した詳細に限定されず、添付の特許請求の範囲および等価物の範囲内で変形されてよい。例えば、本発明は、以下の適用例としても実施可能である。
［適用例１］処理チャンバの上側電極および下側電極を備えたウエハ処理装置であって、
前記下側電極に接続された第１の高周波電源、第２の高周波電源、および第３の高周波電源と、
前記上側電極に接続された第４の高周波電源と、
前記上側電極および電気的接地の間に接続された第１の共振回路であって、前記第１の共振回路の周波数依存インピーダンスを変化させるよう動作可能な同調素子を備える第１の共振回路と
を備える装置。
［適用例２］適用例１に記載の装置であって、前記同調素子は、前記周波数依存インピーダンスの最大値が前記第１の高周波電源の周波数に対応するように、前記第１の共振回路の前記周波数依存インピーダンスを設定するよう動作可能である装置。
［適用例３］適用例１に記載の装置であって、前記第１の共振回路は、
インダクタと、
前記電気的接地および前記インダクタの間に直列接続された可変コンデンサと
を備え、
前記チャンバの浮遊容量が前記インダクタおよび前記接地の間に存在する装置。
［適用例４］適用例１に記載の装置であって、さらに、
前記上側電極および前記電気的接地の間に接続された第２の共振回路を備える装置。
［適用例５］適用例４に記載の装置であって、さらに、
前記上側電極および前記電気的接地の間に接続された第３の共振回路を備える装置。
［適用例６］適用例１に記載の装置であって、さらに、
システムコントローラを備え、
前記システムコントローラは、前記第１、第２、第３、および第４の高周波電源の各々を、ウエハ処理動作中に独立してオンまたはオフのいずれかに設定するよう動作可能であると共に、前記第１の共振回路を前記上側電極に対して接続または切断するよう動作可能である装置。
［適用例７］適用例６に記載の装置であって、前記システムコントローラは、さらに、前記上側電極を前記電気的接地に対して接続または切断するよう動作可能である装置。
［適用例８］適用例１に記載の装置であって、前記ウエハ処理装置は、
前記第１の高周波電源は、６０ＭＨｚの周波数に設定可能であり、
前記第２の高周波電源は、２７ＭＨｚの周波数に設定可能であり、
前記第３の高周波電源は、２ＭＨｚの周波数に設定可能であり、
前記第４の高周波電源は、４００ｋＨｚの周波数に設定可能である
構成を備える装置。
［適用例９］処理チャンバの上側電極および下側電極を備えたウエハ処理装置であって、
前記下側電極に接続された第１の高周波電源、第２の高周波電源、および第３の高周波電源と、
第４の高周波電源と、
第１の共振回路と、
第１のスイッチ、第２のスイッチ、および第３のスイッチと
を備え、
前記第１のスイッチは前記上側電極を前記第４の高周波電源に接続するよう動作可能であり、前記第２のスイッチは前記上側電極を前記第１の共振回路に接続するよう動作可能であり、前記第３のスイッチは前記上側電極を第１の電圧に接続するよう動作可能である装置。
［適用例１０］適用例９に記載の装置であって、さらに、
第２の共振回路と、
前記上側電極を前記第２の共振回路に接続するよう動作可能な第４のスイッチと
を備える装置。
［適用例１１］適用例１０に記載の装置であって、さらに、
第３の共振回路と、
前記上側電極を前記第３の共振回路に接続するよう動作可能な第５のスイッチと
を備える装置。
［適用例１２］適用例９に記載の装置であって、前記第１の高周波電源の周波数は６０ＭＨｚであり、前記第２の高周波電源の周波数は２７ＭＨｚであり、前記第３の高周波電源の周波数は２ＭＨｚであり、前記第４の高周波電源の周波数は４００ｋＨｚである装置。
［適用例１３］適用例９に記載の装置であって、さらに、
前記ウエハを処理するためのレシピに基づいて前記第１の高周波電源を有効にするよう動作可能な第１の電力コントローラを備える装置。
［適用例１４］適用例９に記載の装置であって、さらに、
前記第１、第２、第３、および第４の高周波電源の電力レベルを設定するよう動作可能なシステムコントローラを備える装置。
［適用例１５］適用例９に記載の装置であって、前記第４の高周波電源の周波数は０．１から１０ＭＨｚの範囲にある装置。
［適用例１６］処理チャンバの上側電極および下側電極を備えたウエハ処理装置においてウエハを処理するための方法であって、
前記ウエハを処理するためのレシピを受信する工程と、
前記レシピに基づいて、第１の高周波電源、第２の高周波電源、第３の高周波電源、および第４の高周波電源の各々を有効または無効にする工程であって、前記第１の高周波電源、前記第２の高周波電源、および前記第３の高周波電源は前記下側電極に接続されている工程と、
前記上側電極を前記第４の高周波電源に対して接続または切断するために、前記レシピに基づいて第１のスイッチのポジションを設定する工程と、
前記上側電極を第１の共振回路に対して接続または切断するために、前記レシピに基づいて第２のスイッチのポジションを設定する工程と、
前記上側電極を電気的接地に対して接続または切断するために、前記レシピに基づいて第３のスイッチのポジションを設定する工程と、
前記ウエハを処理する工程と
を備える方法。
［適用例１７］適用例１６に記載の方法であって、さらに、
前記第１の共振回路の周波数依存インピーダンスの最大値が前記第１の高周波電源の周波数に対応するように、前記周波数依存インピーダンスを設定する工程を備え、
前記周波数依存インピーダンスを設定する工程は、前記第１の共振回路内の同調素子を調整する工程を含む方法。
［適用例１８］適用例１６に記載の方法であって、さらに、
前記ウエハを処理するための前記レシピ内の次の動作を確認する工程と、
前記次の動作に基づいて、前記第１の高周波電源、第２の高周波電源、および第３の高周波電源の各々を有効または無効にする工程と、
前記次の動作に基づいて前記スイッチの前記ポジションを設定する工程と
を備える方法。
［適用例１９］適用例１６に記載の方法であって、さらに、
前記ウエハを処理する前に、前記第１、第２、第３、および第４の高周波電源の電力レベルを前記レシピに基づいて設定する工程と、
前記第１の高周波電源の前記周波数で共振を達成するように、前記第１の共振回路の可変コンデンサの静電容量の値を設定する工程と
を備える方法。
［適用例２０］適用例１６に記載の方法であって、前記方法の工程は、１または複数のプロセッサによって実施される場合にコンピュータプログラムによって実行され、前記コンピュータプログラムは、非一時的なコンピュータ読み取り可能記憶媒体に格納される方法。