【手続補正書】
【提出日】平成27年12月25日(2015.12.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放射線をシンチレーション光に変換するためのシンチレータパネルの製造方法であって、
表面及び裏面を有する基板の前記表面上に、前記裏面から前記表面に向かう所定の方向に突出する複数の凸部と、前記凸部によって規定される凹部とを形成する第１の工程と、
シンチレータ材料の柱状結晶を結晶成長させることにより、前記基板の前記凸部のそれぞれから前記所定の方向に沿って延びる第１のシンチレータ部を形成する第２の工程と、
前記凹部に沿ってレーザ光を走査することによって、互いに隣接する前記凸部から延びる前記第１のシンチレータ部同士の接触部分に前記レーザ光を照射し、互いに隣接する前記凸部から延びる前記第１のシンチレータ部同士を互いに分離する第３の工程と、
を含み、
前記第１の工程においては、前記複数の凸部を前記表面上に二次元アレイ状に周期的に形成する、
ことを特徴とするシンチレータパネルの製造方法。
【請求項２】
前記第３の工程よりも前に、前記基板の前記凹部の底面上に第２のシンチレータ部を形成する第４の工程を更に含む、ことを特徴とする請求項１に記載のシンチレータパネルの製造方法。
【請求項３】
前記第１の工程においては、前記凸部によって、前記基板の前記表面上に格子状に規定される前記凹部を形成し、
前記第４の工程においては、前記凹部の交差領域における前記第２のシンチレータ部の厚さを、前記交差領域を除く位置における前記第２のシンチレータ部の厚さよりも大きくする、ことを特徴とする請求項２に記載のシンチレータパネルの製造方法。
【請求項４】
放射線をシンチレーション光に変換するためのシンチレータパネルであって、
表面及び裏面を有すると共に、前記裏面から前記表面に向かう所定の方向に前記表面から突出する複数の凸部と、前記凸部によって規定される凹部とが形成された基板と、
前記凸部のそれぞれから前記所定の方向に沿って延びると共に、互いに分離した複数の第１のシンチレータ部と、を備え、
前記複数の凸部は、前記表面上に二次元アレイ状に周期的に配列されており、
前記第１のシンチレータ部は、それぞれ、前記凸部上に形成された複数の柱状結晶からなり、
前記第１のシンチレータ部を構成する前記柱状結晶は、前記凹部の底面上の少なくとも一部において、互いに融着している、
ことを特徴とするシンチレータパネル。
【請求項５】
前記基板の前記凹部の前記底面上に形成された第２のシンチレータ部を更に備える、ことを特徴とする請求項４に記載のシンチレータパネル。
【請求項６】
前記凹部は前記基板の前記表面上において前記凸部によって格子状に規定されており、
前記凹部の交差領域における前記第２のシンチレータ部の厚さは、前記交差領域を除く位置における前記第２のシンチレータ部の厚さよりも大きい、ことを特徴とする請求項５に記載のシンチレータパネル。
【請求項７】
表面及び裏面を有すると共に、前記裏面から前記表面に向かう所定の方向に前記表面から突出する複数の凸部と、前記凸部によって規定される凹部とが形成された基板と、
前記凸部のそれぞれから前記所定の方向に沿って延びると共に、互いに分離した複数の第１のシンチレータ部と、を備え、
前記基板は、複数の光電変換素子を有し、
前記凸部は、前記光電変換素子のそれぞれに対応するように形成されており、
前記第１のシンチレータ部は、それぞれ、前記凸部上に形成された複数の柱状結晶からなり、
前記第１のシンチレータ部を構成する前記柱状結晶は、前記凹部の底面上の少なくとも一部において、互いに融着している、
ことを特徴とする放射線検出器。
【請求項８】
前記基板の前記凹部の前記底面上に形成された第２のシンチレータ部を更に備える、ことを特徴とする請求項７に記載の放射線検出器。
【請求項９】
前記凸部は、前記基板の前記表面上に二次元状に配列されており、
前記凹部は前記基板の前記表面上において前記凸部によって格子状に規定されており、
前記凹部の交差領域における前記第２のシンチレータ部の厚さは、前記交差領域を除く位置における前記第２のシンチレータ部の厚さよりも大きい、ことを特徴とする請求項８に記載の放射線検出器。
【請求項１０】
表面及び裏面を有する基板の前記表面上に、前記裏面から前記表面に向かう所定の方向に突出する複数の凸部と、前記凸部によって規定される凹部とを形成する第１の工程と、
シンチレータ材料の柱状結晶を結晶成長させることにより、前記基板の前記凸部のそれぞれから前記所定の方向に沿って延びる第１のシンチレータ部を形成する第２の工程と、
前記凹部に沿ってレーザ光を走査することによって、互いに隣接する前記凸部から延びる前記第１のシンチレータ部同士の接触部分に前記レーザ光を照射し、互いに隣接する前記凸部から延びる前記第１のシンチレータ部同士を互いに分離する第３の工程と、
を含み、
前記基板は、複数の光電変換素子を有し、
前記第１の工程においては、前記複数の凸部を、前記光電変換素子のそれぞれに対応するように形成する、
ことを特徴とする放射線検出器の製造方法。
【請求項１１】
前記第３の工程よりも前に、前記基板の前記凹部の底面上に第２のシンチレータ部を形成する第４の工程を更に含む、ことを特徴とする請求項１０に記載の放射線検出器の製造方法。
【請求項１２】
前記第１の工程においては、前記基板の前記表面上に二次元状に配列されるように前記凸部を形成することによって、前記基板の前記表面上に格子状に規定される前記凹部を形成し、
前記第４の工程においては、前記凹部の交差領域における前記第２のシンチレータ部の厚さを、前記交差領域を除く位置における前記第２のシンチレータ部の厚さよりも大きくする、ことを特徴とする請求項１１に記載の放射線検出器の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
シンチレータパネルは、放射線をシンチレーション光に変換するためのシンチレータパネルであって、表面及び裏面を有すると共に、裏面から表面に向かう所定の方向に表面から突出する複数の凸部と、凸部によって規定される凹部とが形成された基板と、凸部のそれぞれから所定の方向に沿って延びると共に、互いに分離した複数の第１のシンチレータ部と、を備え、第１のシンチレータ部は、それぞれ、凸部上に複数の柱状結晶を結晶成長させることにより形成され、第１のシンチレータ部を構成する柱状結晶は、凹部の底面上の少なくとも一部において、レーザ光の照射により互いに融着している、ことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
シンチレータパネルにおいては、第２のシンチレータ部の少なくとも一部は、レーザ光の照射により溶融した後に固形化しているものとすることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
放射線検出器は、上述したシンチレータパネルを備え、基板は、第１のシンチレータ部に光学的に結合されるように配列された複数の光電変換素子を有するセンサパネルである、ことを特徴とする。この放射線検出器は、上述したように結晶の劣化を抑制しつつ厚膜化が可能なシンチレータパネルを備えるので、ＭＴＦ等の特性を向上することができる。特に、基板が光電変換素子を含むセンサパネルであるので、その光電変換素子上に直接凸部を形成し、その凸部の上にシンチレータ部を形成することができる。このため、別途用意したシンチレータパネルとセンサパネルとを張り合わせる必要がない。