【手続補正書】
【提出日】平成28年3月9日(2016.3.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物の、該表面に開口するように形成された微小空間内に、該被処理物表面上に供給した溶融金属を充填する金属充填装置であって、
前記被処理物を保持する保持部、及び該保持部に保持される被処理物の前記表面と対向して形成された処理室を具備した処理部本体と、
一端が前記処理室の内壁面に開口した通気路を備え、該通気路を介して前記処理室内を減圧する減圧機構と、
一端が前記処理室の内壁面に開口した通液路、及び該通液路の他端に接続され、溶融状態の金属が貯留された貯留タンクを具備し、前記通液路を介して前記処理室内に溶融金属を供給する溶融金属供給機構と、
前記溶融金属に高周波振動を付加する少なくとも１つの加振機構と、
前記処理室内に供給された溶融金属を加圧する加圧機構とを備えていることを特徴とする金属充填装置。
【請求項２】
前記溶融金属供給機構は、前記加振機構によって高周波振動が付加された溶融金属を処理室内に供給するように構成されていることを特徴とする請求項１記載の金属充填装置。
【請求項３】
前記加振機構は、溶融金属に対して、該溶融金属が貯留タンクから処理室へと流れる方向と同方向の高周波振動を直接付加するように構成されていることを特徴とする請求項２記載の金属充填装置。
【請求項４】
前記加振機構は、前記溶融金属に高周波振動を直接付加するように構成されていることを特徴とする請求項１乃至３記載のいずれかの金属充填装置。
【請求項５】
前記加振機構は、前記通液路における一端側と他端側との間に配設されており、前記通液路内を流通して前記処理室内に供給される溶融金属に高周波振動を直接付加するように構成されていることを特徴とする請求項１乃至３記載のいずれかの金属充填装置。
【請求項６】
前記加振機構は、
内部に、外部と連通するように形成された加振室を有する加振部と、
先端部が前記加振室内に位置するように配設されたホーンと、
前記ホーンを振動させる振動子とからなり、
前記加振部は、前記貯留タンクと処理室とが前記加振室を介して連通するように、前記通液路における、一端側と他端側との間に配設されており、
前記加振室内を流通する溶融金属に対し、ホーンを介して高周波振動を直接付加するように構成されていることを特徴とする請求項５記載の金属充填装置。
【請求項７】
前記加振機構は、前記貯留タンク内の溶融金属に高周波振動を直接付加するように構成されていることを特徴とする請求項２又は３記載の金属充填装置。
【請求項８】
第１加振機構及び第２加振機構を備えており、
前記第１加振機構は、前記通液路における一端側と他端側との間に配設されており、前記通液路内を流通して前記処理室内に供給される溶融金属に高周波振動を直接付加するように構成され、
前記第２加振機構は、前記貯留タンク内の溶融金属に高周波振動を直接付加するように構成されていることを特徴とする請求項２又は３記載の金属充填装置。
【請求項９】
前記第１加振機構は、
内部に、外部と連通するように形成された加振室を有する加振部と、
先端部が前記加振室内に位置するように配設されたホーンと、
前記ホーンを振動させる振動子とからなり、
前記加振部は、前記貯留タンクと処理室とが前記加振室を介して連通するように、前記通液路における、一端側と他端側との間に配設されており、
前記加振室内を流通する溶融金属に対し、ホーンを介して高周波振動を直接付加するように構成されていることを特徴とする請求項８記載の金属充填装置。
【請求項１０】
前記加振室内を流通する溶融金属に付加される高周波振動の方向は、前記加振室から前記処理室に向かう方向と一致することを特徴とする請求項６又は９記載の金属充填装置。
【請求項１１】
前記加振室内の溶融金属を回収する回収機構を備えたことを特徴とする請求項６、９又は１０記載の金属充填装置。
【請求項１２】
前記保持部は、前記被処理物の表面が水平方向に対して傾斜するように前記被処理物を保持するように構成され、
前記通気路は、前記被処理物の被処理面における最上端よりも上方、且つ前記通液路の開口部よりも上方の高さ位置に開口していることを特徴とする請求項１乃至１１記載のいずれかの金属充填装置。
【請求項１３】
前記水平方向に対する被処理面の傾斜角度は、３０°〜１５０°であることを特徴とする請求項１２記載の金属充填装置。
【請求項１４】
保持部に保持される被処理物の表面と対向して形成された処理室を具備した処理部本体と、
前記処理室内を減圧する減圧機構と、
貯留タンク内に貯留された溶融金属を、通液路を介して前記処理室内に供給する溶融金属供給機構と、
前記溶融金属に高周波振動を付加する加振機構と、
前記処理室内に供給された溶融金属を加圧する加圧機構とを備えた金属充填装置を用いて、
前記被処理物の、前記表面に開口するように形成された微小空間内に、該被処理物表面上に供給した溶融金属を充填する金属充填方法であって、
前記処理室内を減圧する減圧工程と、
前記貯留タンク内の溶融金属を、前記通液路を介して処理室内に供給する溶融金属供給工程と、
前記処理室内に供給された溶融金属を加圧する加圧工程とを行い、
前記溶融金属供給工程では、前記加振機構によって高周波振動が溶融金属に付加されることを特徴とする金属充填方法。
【請求項１５】
前記溶融金属供給工程では、処理室内の溶融金属に高周波振動が伝播されるように、溶融金属が貯留タンクから処理室へと流れる方向と同方向の高周波振動を直接付加した溶融金属を、前記通液路を介して処理室内に供給することを特徴とする請求項１４記載の金属充填方法。
【請求項１６】
前記溶融金属供給工程では、前記処理室の下方から溶融金属が満たされるように、該処理室内に溶融金属を供給することを特徴とする請求項１４又は１５記載の金属充填方法。
【請求項１７】
前記溶融金属供給工程において、時間の経過とともに、溶融金属に付加する高周波振動の出力を大きくしていくことを特徴とする請求項１４乃至１６記載のいずれかの金属充填方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記課題を解決するための本発明は、
被処理物の、該表面に開口するように形成された微小空間内に、該被処理物表面上に供給した溶融金属を充填する金属充填装置であって、
前記被処理物を保持する保持部、及び該保持部に保持される被処理物の前記表面と対向して形成された処理室を具備した処理部本体と、
一端が前記処理室の内壁面に開口した通気路を備え、該通気路を介して前記処理室内を減圧する減圧機構と、
一端が前記処理室の内壁面に開口した通液路、及び該通液路の他端に接続され、溶融状態の金属が貯留された貯留タンクを具備し、前記通液路を介して前記処理室内に溶融金属を供給する溶融金属供給機構と、
前記溶融金属に高周波振動を付加する少なくとも１つの加振機構と、
前記処理室内に供給された溶融金属を加圧する加圧機構とを備えている金属充填装置に係り、
この金属充填装置において、
前記溶融金属供給機構は、前記加振機構によって高周波振動が付加された溶融金属を処理室内に供給するように構成されていても良い。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
また、本発明は、
保持部に保持される被処理物の表面と対向して形成された処理室を具備した処理部本体と、
前記処理室内を減圧する減圧機構と、
貯留タンク内に貯留された溶融金属を、通液路を介して前記処理室内に供給する溶融金属供給機構と、
前記溶融金属に高周波振動を付加する加振機構と、
前記処理室内に供給された溶融金属を加圧する加圧機構とを備えた金属充填装置を用いて、
前記被処理物の、前記表面に開口するように形成された微小空間内に、該被処理物表面上に供給した溶融金属を充填する金属充填方法であって、
前記処理室内を減圧する減圧工程と、
前記貯留タンク内の溶融金属を、前記通液路を介して処理室内に供給する溶融金属供給工程と、
前記処理室内に供給された溶融金属を加圧する加圧工程とを行い、
前記溶融金属供給工程では、前記加振機構によって高周波振動が溶融金属に付加される金属充填装置に係り、
この金属充填方法において、前記溶融金属供給工程では、前記加振機構によって高周波振動が付加された溶融金属を、前記通液路を介して処理室内に供給するようにしても良い。