【手続補正書】
【提出日】平成28年5月12日(2016.5.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板に配列された複数の画素を有する固体撮像装置であって、
前記複数の画素のそれぞれは、
前記半導体基板に設けられた光電変換部と、
前記半導体基板上に配された絶縁部材と、
前記絶縁部材に内包された遮光部と、
前記絶縁部材の上に設けられたマイクロレンズと、
を含み、
前記複数の画素は、
前記マイクロレンズを通過した光を前記光電変換部で受けるように前記遮光部に開口が設けられ、該遮光部により隣接画素からの光を遮光する第１の画素と、
前記マイクロレンズを通過した光の一部を遮光するように、前記光電変換部に対して偏心した開口が前記遮光部に設けられた第２の画素と、
を含んでおり、
前記第１の画素および前記第２の画素の少なくとも一方の前記絶縁部材は、前記第１の画素では撮像レンズの瞳像の結像位置が前記遮光部よりも前記光電変換部側になるように、かつ、前記第２の画素では前記撮像レンズの瞳像の結像位置が前記光電変換部よりも前記遮光部側になるように、平板状の部材を有している
ことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項２】
前記絶縁部材は、前記平板状の部材において、前記半導体基板の表面に対して垂直な方向での屈折率が変化する
ことを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
【請求項３】
前記第１の画素および前記第２の画素の前記少なくとも一方では、前記半導体基板の上面に対する平面視において、前記平板状の部材は前記遮光部の前記開口と重なっている
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の固体撮像装置。
【請求項４】
前記平板状の部材は前記遮光部よりも厚い
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項５】
前記第１の画素および前記第２の画素の前記少なくとも一方では、前記半導体基板の上面に対する平面視において、前記平板状の部材は、その外縁が隣接画素との境界に沿うように配された
ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項６】
前記平板状の部材は、
前記第１の画素および前記第２の画素のうち前記第１の画素の前記絶縁部材に配されており、
前記半導体基板の上面に対する平面視において、その外縁が前記第１の画素とその隣接画素との境界に沿うように配された
ことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項７】
前記平板状の部材は、
前記第１の画素および前記第２の画素のうち前記第２の画素の前記絶縁部材に配されており、
前記半導体基板の上面に対する平面視において、その外縁が前記第２の画素とその隣接画素との境界に沿うように配された
ことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項８】
前記平板状の部材は前記遮光部の上方に配された
ことを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項９】
前記平板状の部材は、前記遮光部より下の側から前記遮光部より上の側にわたって前記遮光部をまたぐように設けられている
ことを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項１０】
前記第１の画素の前記絶縁部材における屈折率の平均値は、前記第２の画素の前記絶縁部材における屈折率の平均値よりも大きいこと、及び
前記第１の画素の前記絶縁部材における光路長は、前記第２の画素の前記絶縁部材における光路長よりも大きいこと、
の少なくとも一方を満たす
ことを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項１１】
半導体基板に配列された複数の画素を有する固体撮像装置であって、
前記複数の画素のそれぞれは、
前記半導体基板に設けられた光電変換部と、
前記半導体基板上に配された絶縁部材と、
前記絶縁部材の上に設けられたマイクロレンズと、
を含み、
前記複数の画素は、第１の画素と第２の画素とを含んでおり、
前記第１の画素および前記第２の画素の少なくとも一方の前記絶縁部材は、前記第１の画素では撮像レンズの瞳像の結像位置が前記半導体基板の表面から深い位置になるように、かつ、前記第２の画素では前記撮像レンズの瞳像の結像位置が前記第１の画素に比べて浅い位置になるように、平板状の部材を有している
ことを特徴とする固体撮像装置。
【請求項１２】
前記絶縁部材は、前記平板状の部材において、前記半導体基板の表面に対して垂直な方向での屈折率が変化する
ことを特徴とする請求項１１に記載の固体撮像装置。
【請求項１３】
前記第２の画素は、前記光電変換部を２つ含んでおり、
前記２つの光電変換部は、一方に前記マイクロレンズを通過した光の一部が入射し、かつ、他方に前記マイクロレンズを通過した光の他の一部が入射するように、前記半導体基板に設けられた
ことを特徴とする請求項１１または請求項１２に記載の固体撮像装置。
【請求項１４】
前記第１の画素および前記第２の画素の前記少なくとも一方では、前記半導体基板の上面に対する平面視において、前記平板状の部材は、その外縁が隣接画素との境界に沿うように配された
ことを特徴とする請求項１１から請求項１３のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項１５】
前記平板状の部材は、
前記第１の画素および前記第２の画素のうち前記第１の画素の前記絶縁部材に配されており、
前記半導体基板の上面に対する平面視において、その外縁が前記第１の画素とその隣接画素との境界に沿うように配された
ことを特徴とする請求項１１から請求項１４のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項１６】
前記平板状の部材は、
前記第１の画素および前記第２の画素のうち前記第２の画素の前記絶縁部材に配されており、
前記半導体基板の上面に対する平面視において、その外縁が前記第２の画素とその隣接画素との境界に沿うように配された
ことを特徴とする請求項１１から請求項１４のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項１７】
前記第１の画素の前記マイクロレンズと前記第２の画素の前記マイクロレンズとは互いに等しい屈折率の材料からなり、等しい形状を有する、
ことを特徴とする請求項１乃至１６のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【請求項１８】
請求項１乃至１７のいずれか１項に記載の固体撮像装置と、
前記固体撮像装置から出力される信号を処理する処理部と、
を備えることを特徴とするカメラ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の一つの側面は固体撮像装置に係り、前記固体撮像装置は、半導体基板に配列された複数の画素を有する固体撮像装置であって、前記複数の画素のそれぞれは、前記半導体基板に設けられた光電変換部と、前記半導体基板上に配された絶縁部材と、前記絶縁部材に内包された遮光部と、前記絶縁部材の上に設けられたマイクロレンズと、を含み、前記複数の画素は、前記マイクロレンズを通過した光を前記光電変換部で受けるように前記遮光部に開口が設けられ、該遮光部により隣接画素からの光を遮光する第１の画素と、前記マイクロレンズを通過した光の一部を遮光するように、前記光電変換部に対して偏心した開口が前記遮光部に設けられた第２の画素と、を含んでおり、前記第１の画素および前記第２の画素の少なくとも一方の前記絶縁部材は、前記第１の画素では撮像レンズの瞳像の結像位置が前記遮光部よりも前記光電変換部側になるように、かつ、前記第２の画素では前記撮像レンズの瞳像の結像位置が前記光電変換部よりも前記遮光部側になるように、平板状の部材を有していることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】固体撮像装置およびカメラ