(57)【要約】  合成石英ガラスより成る光学素子を製造するための公知の方法においては、外側のジャケットチューブ（４）と、内孔を有する内側のジャケットチューブ（３）と、前記内孔内で下端部が支持部に載っているコアロッド（１）とから成る構成部材を、垂直方向で整列させて加熱ゾーンに供給し、ゾーン毎に軟化させ、石英ガラス素子に伸張させるようになっている。このような方法から出発して、高品質の光学素子を同品質で大量に製造できる簡単で安価な方法を提供するために、本発明によれば、前記支持部を、内側のジャケットチューブの内孔の狭窄部（６）として構成するようにした。
2007529405.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外側のジャケットチューブと、内孔を有する内側のジャケットチューブと、前記内孔内で下端部が支持部に載っているコアロッドとから成る構成部材を、垂直方向で整列させて加熱ゾーンに供給し、ゾーン毎に軟化させ、石英ガラス素子に伸張させることによって、合成石英ガラスより成る光学素子を製造するための方法において、
前記支持部を、内側のジャケットチューブの内孔の狭窄部として構成することを特徴とする、合成石英ガラスより成る光学素子を製造するための方法。
【請求項２】
前記狭窄部に軸方向に貫通する開口を設ける、請求項１記載の方法。
【請求項３】
コアロッドに、外径"ｄｋ"を有するコア領域を形成し、このコア領域を、外径"ｄＭ"を有するジャケットガラス層で包囲し、この場合、外径"ｄｋ"に対する外径"ｄＭ"の比を２〜４、有利には２．５〜３．５とする、請求項１又は２記載の方法。
【請求項４】
コアロッドを、互いに並べて突き合わされた複数のコアロッド部分より形成する、請求項１から３までのいずれか１項記載の方法。
【請求項５】
複数のコアロッド部分を互いに緩く積み重ねる、請求項４記載の方法。
【請求項６】
引張方向に抗するコアロッドの上方運動を阻止する機械的なストッパを設ける、請求項１から５までのいずれか１項記載の方法。
【請求項７】
コアロッドと内側のジャケットチューブとの間に、０．５ｍｍ乃至１．５ｍｍの範囲の平均ギャップ幅を有する内側の環状ギャップを設ける、請求項１から６までのいずれか１項記載の方法。
【請求項８】
内側のジャケットチューブと外側のジャケットチューブとの間に、最大２ｍｍ、有利には最大で１ｍｍの平均ギャップ幅を有する外側の環状ギャップを設ける、請求項１から７までのいずれか１項記載の方法。
【請求項９】
内側のジャケットチューブを横方向移動可能に保持する、請求項１から８までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１０】
外側のジャケットチューブの上端部に、石英ガラスより成る保持シリンダを溶着する、請求項１から９までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１１】
前記保持シリンダが、グリッパを係合させるための環状溝を有している、請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
外側のジャケットチューブの上端部に第１の保持装置を係合させ、内側のジャケットチューブの上端部に第２の保持装置を係合させ、この場合、第１の保持装置と第２の保持装置とを機械的に互いに独立させる、請求項１から１１までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１３】
外側のジャケットチューブの上端部に第１の保持装置を係合させ、内側のジャケットチューブの上端部を、外側のジャケットチューブで又は第１の保持装置で保持するようにする、請求項１から１１までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１４】
内側のジャケットチューブの上端部又は内側のジャケットチューブの機械的な延長部に外側フランジを設け、この外側フランジを、外側のジャケットチューブ上、又はこの外側のジャケットチューブの機械的な延長部上に載せる、請求項１３記載の方法。
【請求項１５】
内側のジャケットチューブが、１質量ｐｐｍよりも少ない平均ヒドロキシル基含有量を有するようにする、請求項１から１４までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１６】
内側のジャケットチューブを、機械的に最終寸法に加工された中空シリンダを伸張させることによって形成する、請求項１から１５までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１７】
外側のジャケットチューブを、機械的に最終寸法に加工された中空シリンダとして提供する、請求項１から１６までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１８】
下方に向かって先細る下端部を有する外側のジャケットチューブを形成する、請求項１から１７までのいずれか１項記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外側のジャケットチューブと、内孔を有する内側のジャケットチューブと、前記内孔内で下端部が支持部に載っているコアロッドとから成る構成部材を、垂直方向で加熱ゾーンに整列させて供給し、ゾーン毎に軟化させ、伸張させて石英ガラス素子を形成することによって、合成石英ガラスより成る光学素子を製造するための方法に関する。
【０００２】
コアロッドと、該コアロッドを包囲する複数のジャケットチューブとから成る同軸的な構成部材を押しつぶして、伸張させることによって、光学繊維のための中間製品（プレフォーム;Vorformen又は簡単な中実シリンダ;Vollzylinder）が製作されるか、又は直接的に光学繊維が製作される。すべての方法の変化形において、コアロッドとジャケットチューブとを互いにできるだけ同軸的にガイドし、かつ固定することが重要とされている。
【０００３】
アメリカ合衆国再審査証明書第６４６０３７８号明細書によれば、冒頭に述べた方法で、コアロッドを、内側のジャケットチューブと外側のジャケットチューブによって同時に、伸張プロセスの枠内において垂直配置で溶融被覆することが公知である。コアロッドを固定するために、外側のジャケットチューブがその下端部の領域で狭窄部を備えている。狭窄部は、保持リングのための支持部として用いられ、この支持部は、垂直方向に方向付けられた外側のジャケットチューブにおいて、上方からジャケットチューブの内孔内に導入されるようになっている。保持リングは、外側のジャケットチューブの内径よりも小さい外径を有しており、しかもこの外径は狭窄部の内径よりもやや大きいので、保持リングは上方から、狭窄部の領域上に載せられるようになっている。保持リングの中央孔を貫通して、コアロッドの円錐形に形成された下端部が延在していて、コアロッドの内側のストッパを形成している。しかも第１の内側のジャケットチューブはその端面側が保持リング上に載っている。
【０００４】
この公知の方法においては、構成部材（コアロッドと２つのジャケットチューブ）を互いに固定するために、狭窄部を製作する必要がある。狭窄部を製作するためには、一般的に特に大きい横断面及びひいては大きい加熱部分を有する外側のジャケットチューブにおいて、特にコストの高い加熱成形ステップが必要となる。さらにまた、このような狭窄部に適合された、保持リングとして構成された、後で失われることになる石英ガラスエレメントが必要となる。各構成部分を互いに保持するための提案された形式は、このような保持リングをできるだけ精確に水平に配向する必要があるが、これは、狭窄部が、寸法精度に関して制約がある公知のガラス吹き技術で製作されることによって、困難である。
【０００５】
次いで保持リングによって互いに固定された構成部分は、その上端部が互いに溶融され、この際に、外側のジャケットチューブの内孔内に真空が生ぜしめられ、維持される。このために、内側のジャケットチューブと外側のジャケットチューブとの間のギャップをシールするシールリングが必要となる。このシールリングは、構成部材の上部領域内で構成部分を互いに固定するためにも役立つ。上端部を溶融するために、付加的な加熱プロセスステップが必要となり、この場合に生じる目標幾何学形状に対するずれは、後で殆ど修正されることはない。
【０００６】
高品質の光学素子を、この方法形式において同品質で大量に製造する場合、伸張プロセス前に、コアロッドとジャケットチューブとを互いに精確に同軸的に配置して固定するために、高い製造コスト及び時間が必要となる。
【０００７】
そこで本発明の課題は、コアロッドと複数のジャケットチューブとを同軸的に配置した構成部材を伸張することによって、高価値の光学素子を製作するための簡単で安価な方法を提供することである。
【０００８】
この課題は本発明によれば、冒頭に述べた方法から出発して、前記支持部を、内側のジャケットチューブの内孔の狭窄部として構成するようにしたことによって、解決された。
【０００９】
公知の方法とは異なり、コアロッドを固定するために、保持リングも、外側のジャケットチューブにおける内径の狭窄部も必要ない。
【００１０】
保持リングは省かれており、これによって保持リングを製造するための製造コストは省かれ、また保持リングの水平な配向、及びコアロッドと内側のジャケットチューブとの固定に伴って発生する前記問題が生じることはない。
【００１１】
内側のジャケットチューブは、一般的に外側のジャケットチューブよりも少ない質量を有している。従って、内側のジャケットチューブに内径の狭窄部を形成する作業はより安価であり、所定の幾何学形状を形成することは技術的に簡単である。
【００１２】
従って本発明の方法によれば、比較的安価なコストで、規格通りの光学素子（ロッド、プレフォーム、繊維）を同品質で大量に製造することができる。
【００１３】
外側のジャケットチューブは、単数又は複数のチューブより成っている。外側のジャケットチューブは、光学素子の光ガイドに重大な影響を及ぼすことはない。従って、外側のジャケットチューブのための石英ガラスの光学特性に関する要求は比較的低い。このために必要な石英ガラスは、内側のジャケットチューブのための石英ガラスと比較して、特に安価に製造可能である。このような理由により、高価な内側のジャケットチューブはできるだけ薄くすることができるが、必要な程度の厚さで構成することができる。典型的なケースでは、内側のジャケットチューブは、５ｍｍ〜２０ｍｍの壁厚を有している。光学素子において、外側のジャケットチューブの石英ガラスの体積割合（体積含有率）は、８０％又はそれ以上である。
【００１４】
狭窄部に基づいて、内側のジャケットチューブの内孔は完全に又は部分的に閉じられている。前記選択的な実施例において、狭窄部は軸方向に貫通して延在する開口を備えており、この開口は、伸張プロセス中に内孔が完全に押しつぶされるまで、内孔をガス洗浄することを可能にする。従ってこの方法の変化実施例は有利である。
【００１５】
コアロッドが、外径"ｄｋ"を備えたコア領域を有し、このコア領域が、外径"ｄＭ"を有するジャケットガラス層によって包囲され、この場合、外径"ｄｋ"に対する外径"ｄＭ"の比を２〜４、有利には２．５〜３．５とすれば、有利であることが分かった。
【００１６】
コアに近い、従って特に製造費用が高価である最も内側のジャケットガラス層の体積割合は、コストの理由により、十分に安価に製造可能なその他のジャケット材料（例えば内側のジャケットチューブの）のために、できるだけ少なく維持される。
【００１７】
有利な形式で、コアロッドは互いに並べて突き合わされた複数のコアロッド部分より形成される。
【００１８】
この場合、コアロッドを製作するために、製造がより簡単であるか又は安価であるより小さいコアロッドか、或いは選択された残りの部材を使用することができる。
【００１９】
コアロッド部材は互いに溶融されるか、又は互いに緩く積み重ねられる。このような方法は、コアロッド部材が一方では、ジャケットチューブとコアロッドとの間のより狭いセーフティーギャップを可能にし、さらに、伸張プロセスにおける内側のジャケットチューブの内孔内の半径方向の可動性に基づいて、端面が互いにしゅう動可能、つまり例えば平らに構成されていれば、自動的なセンタリングが得られる。
【００２０】
これに関連して、引張方向に抗するコアロッドの上方運動を阻止する機械的なストッパが設けられていれば有利である。
【００２１】
このストッパは、伸張プロセス時にコアロッドの「浮動」を阻止する。これは、特に直列に配置された複数のコアロッド部材を使用する場合に有利である。ストッパは例えば、内側のジャケットチューブの壁部を貫通してこの内側のジャケットチューブの内孔内に突入する、引き出し可能な保持ピンによって形成される。
【００２２】
コアロッドと内側のジャケットチューブとの間に、０．５ｍｍ乃至１．５ｍｍの範囲の平均ギャップ幅を有する内側の環状ギャップを設ければ、特に有利であることが分かった。
【００２３】
小さいギャップ幅は、伸張プロセスを軽減し、高い寸法精度、及び光学素子内でのコアの小さい偏心性を保証する。
【００２４】
これに関連して、内側のジャケットチューブと外側のジャケットチューブとの間に、最大２ｍｍ、有利には最大で１ｍｍの平均ギャップ幅を有する外側の環状ギャップを設ければ、有利であることが分かった。
【００２５】
本発明の方法の特に有利な実施態様によれば、内側のジャケットチューブが横方向移動可能に保持される。
【００２６】
内側のジャケットチューブが引張方向に対して直交する横方向で自由に可動であることによって、伸張プロセス時にセルフセンタリングが得られる。側方の可動性は、ジャケットチューブの上端部の保持形式によって得られる。この保持形式は、例えば引張方向に対して直交する横方向のしゅう動又はカルダン式の懸架による振り子運動によって可能である。
【００２７】
外側のジャケットチューブの上端部に、石英ガラスより成る保持シリンダを溶着すれば、特に有利であることが分かった。
【００２８】
保持シリンダは、低品質の石英ガラスより成っていて、外側のジャケットチューブのための保持装置の一部を形成している。保持シリンダは高価な石英ガラスの代わりに用いられ、従って材料損失を低減する。最も簡単な場合には、外側のジャケットチューブと同じ又は相似した側方寸法を有する中空シリンダが使用される。
【００２９】
外側のジャケットチューブを保持するために、保持シリンダに、グリッパを係合させるための環状溝を設ければ特に有利である。
【００３０】
本発明による方法の有利な実施態様によれば、外側のジャケットチューブの上端部に第１の保持装置を係合させ、内側のジャケットチューブの上端部に第２の保持装置を係合させ、この場合、第１の保持装置と第２の保持装置とを機械的に互いに独立させるようにした。
【００３１】
この実施態様によれば、このジャケットチューブ内に配置されたコアロッドを有する内側のジャケットチューブと、外側のジャケットチューブとは、引張方向で、及びこの引張方向に対して直交する横方向で互いに別個に移動させることができる。この付加的なパラメータ調節は、伸張プロセス時に、光学素子の所定の幾何学形状を維持する作業を軽減する。
【００３２】
本発明による方法のその他の特に有利な実施態様によれば、外側のジャケットチューブの上端部に第１の保持装置を係合させ、この場合、内側のジャケットチューブの上端部を、外側のジャケットチューブで又は第１の保持装置で保持するようにした。
【００３３】
この実施態様によれば、外側のジャケットチューブは同時に、内側のジャケットチューブを、このジャケットチューブの内部に配置されたコアロッドと共に、ガイドし、かつ固定するために用いられる。これによって、内側のジャケットチューブとコアロッドとをガイド及び固定することは避けられる。
【００３４】
以上の方法に関連して特に簡単な実施例では、内側のジャケットチューブの上端部又は内側のジャケットチューブの機械的な延長に外側フランジを設け、この外側フランジを、外側のジャケットチューブ上、又はこの外側のジャケットチューブの機械的な延長部上の載せるようにした。
【００３５】
外側フランジは、例えば外側に突き出す隆起部として、又は内側のジャケットチューブの上端部の外方に突き出す拡張部として構成されており、この場合、外側フランジは、外側のジャケットチューブの上側に載るか、又はこのジャケットチューブの延長部（例えば前記保持シリンダによって）上に載る程度に大きく突き出している。
【００３６】
有利な形式で、内側のジャケットチューブは、１質量ｐｐｍよりも少ない平均ヒドロキシル基含有量を有している。
【００３７】
内側のジャケットチューブの（特にその内孔の領域）の平均ＯＨ含有量が少なければ少ない程、ヒドロキシル基（OH groups）によって生ぜしめられる、光学素子内の減衰率が小さくなる。
【００３８】
内側のジャケットチューブが、機械的に最終寸法に加工された中空シリンダを伸張させることによって形成されるようになっていれば、さらに有利である。
【００３９】
特に穿孔、研削、ホーニング等の機械加工によって、公知の研削法、ホーニング法及びこれに適した市販されている装置を使用して、まず精確に規定された寸法を有する薄壁状の石英ガラスの円筒体を形成することができる。次いで行われる伸張プロセスに基づいて、薄壁状の円筒体から石英ガラスジャケットチューブが形成される。この石英ガラスジャケットチューブは、円筒体の長さの数倍の長さの、特に溶融状態で生ぜしめられた滑らかな内孔を有している。この内孔の滑らかな内周面は、溶融時にコアロッドに対する特に欠陥の少ない接触面を形成し、これが、光学素子の品質に有利に作用する。
【００４０】
精確な寸法を保証することを考慮して、有利な方法によれば、外側のジャケットチューブを、機械的に最終寸法に加工された中空シリンダとして提供するようにした。
【００４１】
この場合、最終寸法に加工されたジャケットチューブとは、内周面が機械的に最終寸法に加工されていて、次いでエッチングによって洗浄されたジャケットチューブのことでもある。均一なエッチングプロセスは、中空シリンダの幾何学的な最終形状を著しく変える（例えば横断面の湾曲又は楕円性のように）ことはない。
【００４２】
有利な形式で、下方に向かって先細る下端部を有する外側のジャケットチューブが形成されている。
【００４３】
外側のジャケットチューブの下端部の、引き伸ばした球体に近い形状によって、伸張プロセス（引張）の開始が容易になる。
【００４４】
次に本発明による方法を図示の実施例を用いて詳しく説明する。図面はそれぞれ概略図を示している。
【００４５】
図１は、伸張プロセスを実施する前における、コアロッド、内側のジャケットチューブ及び外側のジャケットチューブの構成部材の第１実施例を示す概略図、
図２は、第２実施例による構成部材を示す概略図である。
【００４６】
図１に示した構成部材は、コアロッドを示しており、このコアロッド１は、１質量ｐｐｍよりも少ないヒドロキシル基含有量を有する高純度合成石英ガラスの複数の部分より成っていて、これらの部分は、内側のジャケットチューブ３の内孔の中に互いに緩く重なり合って配置されている。
【００４７】
コアロッドの部分２の端面側は平らに構成されているので、この端面側は、内側のジャケットチューブ３の内孔の中において横方向で所定の範囲内で滑動し、それによって伸張プロセスの際にセルフセンタリング（自動調心）が行われる。コアロッドの部分２は、それぞれ１１ｍｍの外径"ｄｋ"を有するゲルマニウムドーピングされた（germanium-doped）石英ガラスより成るコア領域っており、この石英ガラスは、ドーピングされていない石英ガラスより成る内側のジャケット領域によって包囲されている。内側のジャケット領域の外径"ｄＭ"は２８ｍｍである。従って、"ｄｋ"に対する"ｄＭ"の比は２．５５である。
【００４８】
内部のジャケットチューブ３は、内径が３０．０ｍｍ、外径が５０ｍｍであって、外側のジャケットチューブ４によって包囲されている。この外側のジャケットチューブ４の内径は５２ｍｍ、外径は１５０ｍｍである。
【００４９】
これによって、内側のジャケットチューブ３とコアロッド１との間に、平均１ｍｍのギャップ幅を有する環状ギャプ２１が形成され、外側のジャケットチューブ４と内側のジャケットチューブ３との間に、平均１ｍｍのギャップ幅を有する環状ギャップ１３が形成される。
【００５０】
内側のジャケットチューブ３は、合成的に製造された、平均０．３質量ｐｐｍのヒドロキシル基含有量を有する高純度の石英ガラスより成っている。ジャケットチューブ３は、機械的に最終寸法に加工された中空シリンダに伸張させることによって形成され、従って溶融中に生ぜしめられた、約０．２μｍの平均的な表面粗さ（Rauhtief；Ｒａ値）を有する特に滑らかな内孔を有している。
【００５１】
内側のジャケットチューブ３の下端部は、下方に向かって円錐形の延びる領域を有しており、この領域は、内側のジャケットチューブ３の内孔の狭窄部６を形成している。内孔の狭窄部６は、内孔に対して１０ｍｍの開口幅を有する貫通する開口７が得られるように、形成されている。
【００５２】
この狭窄部６にコアロッド１の下端部が載っている。コアロッド１の上側は固定ロッド８によって形成されており、この固定ロッド８は、内側のジャケットチューブ３の壁部を貫通して差し込まれて内孔内まで達するピンによって、以下に詳しく説明されている伸張プロセス中における「フローティング；浮動」が阻止されるようになっている。
【００５３】
外側のジャケットチューブ４は機械的に最終寸法に加工され、同様に合成製造された石英ガラスより成っている。外側のジャケットチューブ４の下端部は、下方に向かって円錐形に延びており、これは伸張プロセス時における引張開始を容易にする。
【００５４】
外側のジャケットチューブ４は、低価値の石英ガラスより成る、溶融された保持シリンダ１０によって、上方に伸張される。中空シリンダ１０は断面が方形である方形溝１１を備えており、この方形溝１１は環状に延びている。この方形溝１１は、第１のグリッパ（図示せず）を受容するために用いられ、この第１のグリッパによって外側のジャケットチューブ４は保持され、移動せしめられる。
【００５５】
保持シリンダ１０と外側のジャケットチューブ４との接続部１４、並びに固定ロッド８と最上部のコアロッド部分２との接触部は、同じ高さ位置にある。
【００５６】
内側のジャケットチューブ３は、このジャケットチューブ３内に固定されたコアロッド１と一緒に、第２のグリッパによって把持され、ガイドされて、この第２のグリッパによって外側のジャケットチューブ４とは無関係に移動させることができる。特にグリッパは、内側のジャケットチューブ３を保持するためにカルダン自在式に支承されているので、カルダン懸架部を中心にして、引張方向（矢印５）に対して直交する横方向の、内側のジャケットチューブ３の旋回可能性が得られるようになっている。この旋回可能性によって、伸張プロセス中のセルフセンタリングが行われる。
【００５７】
図２において、図１と同じ符号が用いられている部材及び構成部分は、図１と同じ部材及び構成部分であるので、これらについては、図１の第１実施例が参照される。
【００５８】
図１に示した実施例の配置とは異なり、図２に示した実施例の配置では内側のジャケットチューブ３は、別個のグリッパによって保持されガイドされるのではなく、外側のジャケットチューブ４によって保持されガイドされる。このために内側のジャケットチューブ３の上端部は、外方に向けられたフランジ１６を備えており、このフランジ１６が保持シリンダ１０の上側に載っている。
【００５９】
以下に本発明による方法を、図１を用いて詳しく説明する。
【００６０】
まず、ＶＡＤ法に従ってコアロッド部分２を製造する。このために、中央のＧｅＯ２ドーピングされたコア層、及びこのコア層を包囲する、ドーピングされていないＳｉＯ２層を回転する支持体上に析出させることによって、スートボディ（Soot body）を形成し、次いでこのスートボディを、塩素を含有する大気内で脱水処理して、ガラス化処理炉内において約１３５０℃の温度範囲内でガラス化し、それによって、２８ｍｍの外径及び所望の屈折率プロフィールを有するコアロッドが得られる。
【００６１】
各コアロッド部分の重量はその長さに基づいており、コアロッドの長さはまちまちである。１２５μｍの外径を有する、製造しようとする光学繊維において、コアロッド部分２は約８．５μｍの直径を有するコア領域を形成する。
【００６２】
ＶＡＤ法によるコアロッドの前記製造法の代わりに、コアロッドを公知のＭＣＤ法、ＯＶＤ法、ＰＣＶＤ法又はＦＣＶＤ法（炉内化学蒸着；furnace chemical vapor deposition）に従って製造してもよい。
【００６３】
いずれの場合でも、ジャケットチューブ３及び４の形状の外側の外被ガラス層を形成するための別のジャケット材料が準備され、繊維引張プロセス時にこのコアロッド１上に押しつぶされる。ジャケットチューブ３，４の製造は、ドーピング材料を添加することなしに一般的なＯＶＤ法によって行われる。
【００６４】
得られた石英ガラスチューブの外周壁は、周方向ステッチ研削若しくは縦研削によって、次第に小さくなる粒度を用いて所望の外側寸法に研削される。同様に、内孔はドリルによって作孔され、形状及び表面品質に関連して高精度の仕上げ作業を行うために、ホーニングによって仕上げ加工される。それによって、正確な円形横断面を有する、長手方向の延びる真っ直ぐな孔が得られる。表面張力を低下させ、かつ表面加工による損傷を取り除くために、ＨＦ濃度が５％〜３０％であるフッ化水素酸浴内で短時間エッチングされる。
【００６５】
このようにして得られた石英ガラスチューブは、その初期長さの１２倍に伸張されるので、上記寸法を有する内側のジャケットチューブ３が得られる。次いで、内側のジャケットチューブ３の下端部は軟化されて、狭窄部６が形成される。
【００６６】
同様の形式で外側のジャケットチューブ４が形成され、この場合、伸張段階及び狭窄部の形成は省かれる。外側のジャケットチューブ４の円錐形の領域９は、機械加工によって形成される。周方向溝１１を粗な選った保持シリンダ１０は、外側のジャケットチューブ４の上端部に溶融される。
【００６７】
内側のジャケットチューブ３の内孔は、コアロッド部分２及び固定ロッド８によって満たされ、この場合、コアロッド部分２はその長さが短いので、コアロッド部分２を導入ガイドする作業は軽減される。次いで内側のジャケットチューブ３はグリッパに結合され、ジャケットチューブ３の上端部に係合し、外側のジャケットチューブ４内に挿入される。外側のジャケットチューブ４も、別のグリッパによって把持され、この別のグリッパは周方向溝１１内に係合する。
【００６８】
次いで、コアロッド１と内側のジャケットチューブ３と外側のジャケットチューブ４とから成る同軸的な構成部材が、垂直方向で下端部から領域毎に、環状の炉内において２０５０℃の温度に軟化され、この際に、光学繊維が軟化された領域から引き伸ばされる。この構成部材の下端部がまだ軟化しておらず、押しつぶされていない間は、ギャップ１２、ギャップ１３並びに内孔及び開口７を介して、窒素洗浄ガス流がガイドされ、この窒素洗浄ガス流が不純物の侵入を阻止する。
【００６９】
この引き伸ばし法の開始時に、コアロッド部分２が内側のジャケットチューブ３の狭窄部６上に載る。コアロッド部部分２も、また内側のジャケットチューブ３も、また外側のジャケットチューブ４も、互いに無関係に、引張方向に対して直交する横方向に移動可能であって、これによって、前記構成部材は伸張プロセス中にセルフセンタリングされるようになっている。
【００７０】
前記構成部材の軟化され、かつ押しつぶされた領域から、１２５μｍの外径を有する光学繊維が引き伸ばされる。同様の形式で光学繊維のためのプレフォーム（予備成形部）が形成される。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】張プロセスを実施する前における、コアロッド、内側のジャケットチューブ及び外側のジャケットチューブの構成部材の第１実施例を示す概略図である。
【図２】第２実施例による構成部材を示す概略図である。
【図１】
2007529405.tif 000003
【図２】
2007529405.tif 000004
【国際調査報告】
2007529405.tif 000005
2007529405.tif 000006
2007529405.tif 000007
2007529405.tif 000008
2007529405.tif 000009
2007529405.tif 000010