【手続補正書】
【提出日】平成28年3月11日(2016.3.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の面と第２の面とを有する基材と、前記第１の面側に設けられた剥離剤層と、前記第２の面側に設けられた背面コート層とを備えるグリーンシート製造用剥離フィルムの前記剥離剤層の外表面に、セラミックスラリーを塗布してセラミックスラリー層を形成する工程と、
前記セラミックスラリー層を乾燥させる工程とを有し、
前記グリーンシート製造用剥離フィルムは、前記剥離剤層が、ポリオルガノシロキサン（ｂ１）以外の活性エネルギー線硬化性化合物（ａ１）と、ポリオルガノシロキサン（ｂ１）とを含有する剥離剤層形成用材料を、前記基材の前記第１の面側に塗布して形成された第１の塗布層に、活性エネルギー線を照射して、前記第１の塗布層を硬化することにより形成されており、
前記背面コート層が、活性エネルギー線硬化性化合物（ａ２）を含有する背面コート層形成用材料を、前記基材の前記第２の面側に塗布して形成された第２の塗布層に、活性エネルギー線を照射して、前記第２の塗布層を硬化することにより形成されており、
前記剥離剤層の外表面の算術平均粗さＲａ２が８ｎｍ以下であり、かつ、前記剥離剤層の前記外表面の最大突起高さＲｐ２が５０ｎｍ以下であり、
前記背面コート層の外表面の算術平均粗さＲａ３が５〜４０ｎｍであり、かつ、前記背面コート層の前記外表面の最大突起高さＲｐ３が６０〜５００ｎｍであることを特徴とするグリーンシートの製造方法。
【請求項２】
前記背面コート層形成用材料が、さらに、ポリオルガノシロキサン（ｂ２）を含む請求項１に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載のグリーンシートの製造方法により製造されたことを特徴とするグリーンシート。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】グリーンシートの製造方法およびグリーンシート
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、グリーンシートの製造方法およびグリーンシートに関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の目的は、ピンホールや部分的な厚みのばらつき等が発生するのが防止されたグリーンシートを製造することができるグリーンシートの製造方法を提供すること、および、ピンホールや部分的な厚みのばらつき等が発生するのが防止されたグリーンシートを提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
このような目的は、下記（１）〜（３）の本発明により達成される。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
（１）第１の面と第２の面とを有する基材と、前記第１の面側に設けられた剥離剤層と、前記第２の面側に設けられた背面コート層とを備えるグリーンシート製造用剥離フィルムの前記剥離剤層の外表面に、セラミックスラリーを塗布してセラミックスラリー層を形成する工程と、
前記セラミックスラリー層を乾燥させる工程とを有し、
前記グリーンシート製造用剥離フィルムは、前記剥離剤層が、ポリオルガノシロキサン（ｂ１）以外の活性エネルギー線硬化性化合物（ａ１）と、ポリオルガノシロキサン（ｂ１）とを含有する剥離剤層形成用材料を、前記基材の前記第１の面側に塗布して形成された第１の塗布層に、活性エネルギー線を照射して、前記第１の塗布層を硬化することにより形成されており、
前記背面コート層が、活性エネルギー線硬化性化合物（ａ２）を含有する背面コート層形成用材料を、前記基材の前記第２の面側に塗布して形成された第２の塗布層に、活性エネルギー線を照射して、前記第２の塗布層を硬化することにより形成されており、
前記剥離剤層の外表面の算術平均粗さＲａ２が８ｎｍ以下であり、かつ、前記剥離剤層の前記外表面の最大突起高さＲｐ２が５０ｎｍ以下であり、
前記背面コート層の外表面の算術平均粗さＲａ３が５〜４０ｎｍであり、かつ、前記背面コート層の前記外表面の最大突起高さＲｐ３が６０〜５００ｎｍであることを特徴とするグリーンシートの製造方法。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
（２）前記背面コート層形成用材料が、さらに、ポリオルガノシロキサン（ｂ２）を含む上記（１）に記載のグリーンシートの製造方法。
（３）上記（１）または（２）に記載のグリーンシートの製造方法により製造されたことを特徴とするグリーンシート。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明によれば、グリーンシートにピンホールや部分的な厚みのばらつきが発生することが防止されたグリーンシートを得ることができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
【図１】図１は、本発明のグリーンシートの製造方法において用いるグリーンシート製造用剥離フィルムの横断面図である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
（グリーンシート製造用剥離フィルム）
本発明のグリーンシートの製造方法は、第１の面と第２の面とを有する基材と、第１の面側に設けられた剥離剤層と、第２の面側に設けられた背面コート層とを備えるグリーンシート製造用剥離フィルムの剥離剤層の外表面に、セラミックスラリーを塗布してセラミックスラリー層を形成する工程と、セラミックスラリー層を乾燥させる工程とを有している。
以下に、本発明のグリーンシートの製造に用いられるグリーンシート製造用剥離フィルムについて説明する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
図１は、本発明のグリーンシートの製造方法において用いるグリーンシート製造用剥離フィルム１の横断面図である。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明のグリーンシートの製造方法において用いるグリーンシート製造用剥離フィルムは、剥離剤層が、活性エネルギー線硬化性化合物（ａ１）と、ポリオルガノシロキサン（ｂ１）とを含有する剥離剤層形成用材料を、前記基材の第１の面側に塗布して形成された第１の塗布層に、活性エネルギー線を照射して、それを硬化することにより形成されており、背面コート層が、活性エネルギー線硬化性化合物（ａ２）を含有する背面コート層形成用材料を、前記基材の第２の面側に塗布して形成された第１の塗布層に、活性エネルギー線を照射して、それを硬化することにより形成されており、前記剥離剤層の外表面の算術平均粗さＲａ２が８ｎｍ以下であり、かつ、前記剥離剤層の外表面の最大突起高さＲｐ２が５０ｎｍ以下であり、前記背面コート層の外表面の算術平均粗さＲａ３が５〜４０ｎｍであり、かつ、前記背面コート層の外表面の最大突起高さＲｐ３が６０〜５００ｎｍである点に特徴を有している。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
本発明のグリーンシートの製造方法において、このようなグリーンシート製造用剥離フィルムを用いることにより、基材が直接グリーンシートに接することがないため、基材の比較的粗い表面形状がグリーンシートに転写されない。その結果、グリーンシートにピンホールや部分的な厚みのばらつき等が発生することを防止でき、良好なグリーンシートを形成できる。特に、グリーンシートの厚さが極薄（例えば厚さ５μｍ以下、特に厚さ０．５μｍ〜２μｍ）であっても、上記欠点のない良好なグリーンシートを形成できる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
また、上述したようなグリーンシート製造用剥離フィルムは、剥離剤層の外表面の平滑性が高く、優れた剥離性を備えている。このことからも本発明のグリーンシートの製造方法によれば、良好なグリーンシートを形成できる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９０】
具体的には、まず、基材１１の第１の面１１１に、剥離剤層形成用材料を塗布して、それを乾燥させることで塗布層（第１の塗布層）を得る。剥離剤層形成用材料は、塗布プロセスから乾燥プロセスの間に、基材１１の第１の面１１１の凹凸の凹部の空間及び凸部の斜面を埋め、それによって、平滑化された塗布層を形成する。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９７】
具体的には、まず、基材１１の第２の面１１２に、背面コート層形成用材料を塗布して、それを乾燥させることで塗布層（第２の塗布層）を形成する。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０７】
また、本発明のグリーンシートの製造方法において用いるグリーンシート製造用剥離フィルムの製造方法は、上述した方法に限定されるものではなく、必要に応じて任意の工程が追加されてもよい。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０８】
次に、本発明のグリーンシートの製造方法において用いるグリーンシート製造用剥離フィルムの具体的実施例について説明する。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４６】
［２．５］スラリー塗工性評価
チタン酸バリウム粉末［堺化学工業社製、商品名「ＢＴ−０３」、ＢａＴｉＯ３］１００質量部、バインダーとしてのポリビニルブチラール［積水化学工業社製，商品名「エスレックＢ・Ｋ  ＢＭ−２」］８質量部、および可塑剤としてのフタル酸ジオクチル［関東化学社製、商品名「フタル酸ジオクチル  鹿１級」］４質量部に、トルエン／エタノール混合溶剤（質量比６／４）１３５質量部を加えた。これらの物質をボールミルにて混合分散させて、セラミックスラリーを調製した。各実施例、および各比較例で得られたグリーンシート製造用剥離フィルムの剥離剤層の外表面に、上記セラミックスラリーをダイコーターにて、乾燥後の膜厚が１μｍ、幅２５０ｍｍ、長さ１０ｍになるように、塗布して塗布層（セラミックスラリー層）を得た。塗布層を８０℃で１分間乾燥させ、グリーンシートが成型されたグリーンシート製造用剥離フィルムを得た。その後、グリーンシートが成型されたグリーンシート製造用剥離フィルムについて、グリーンシート製造用剥離フィルム側から蛍光灯にて光を照射して、グリーンシート面を目視で観察した。以下の判断基準でセラミックスラリーの塗工性を評価した。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６８】
表２から明らかなように、本発明のグリーンシートの製造方法において用いるグリーンシート製造用剥離フィルムでは、スラリーの塗工性、成膜されたグリーンシートの剥離性およびグリーンシートの表裏の平滑性に優れていた。また、本発明のグリーンシートの製造方法において用いるグリーンシート製造用剥離フィルムは、グリーンシートにピンホールや部分的な厚みのばらつきが発生することを抑制させる効果があった。また、本発明のグリーンシート製造用剥離フィルムは、ロール状にした際のブロッキングが生じにくいものであった。また、本発明のグリーンシートの製造方法において用いるグリーンシート製造用剥離フィルムは、ロール状にしてから巻き出す際の帯電量を低減できるものであった。また、本発明のグリーンシート製造用剥離フィルムは、剥離フィルム背面へのグリーンシートの転着を防止できるものであった。これに対して、比較例では満足な結果が得られなかった。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６９】
グリーンシートの製造方法において用いるグリーンシート製造用剥離フィルムは、第１の面と第２の面とを有する基材と、活性エネルギー線硬化性化合物（ａ１）と、ポリオルガノシロキサン（ｂ１）とを含有する材料を、前記基材の第１の面側に塗布し、それを硬化することにより形成された剥離剤層と、活性エネルギー線硬化性化合物（ａ２）を含有する材料を、基材の第２の面側に塗布して、それを硬化することにより形成された背面コート層とを有し、剥離剤層の外表面の算術平均粗さＲａ２が８ｎｍ以下であり、かつ、前記剥離剤層の外表面の最大突起高さＲｐ２が５０ｎｍ以下であり、背面コート層の外表面の算術平均粗さＲａ３が５〜４０ｎｍであり、かつ、前記背面コート層の外表面の最大突起高さＲｐ３が６０〜５００ｎｍである。本発明によれば、ピンホールや部分的な厚みのばらつきの発生が抑制されたグリーンシートを得ることができる。したがって、本発明は産業上の利用可能性を有する。