【手続補正書】
【提出日】平成28年3月4日(2016.3.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶の電気軸としてのＸ軸、機械軸としてのＹ軸、光学軸としてのＺ軸からなる直交座標系の前記Ｘ軸を回転軸として、前記Ｚ軸を前記Ｙ軸の−Ｙ方向へ＋Ｚ側が回転するように回転角度φだけ傾けた軸をＺ´軸、前記Ｙ軸を前記Ｚ軸の＋Ｚ方向へ＋Ｙ側が回転するように前記回転角度φだけ傾けた軸をＹ´軸としたとき、
前記Ｘ軸および前記Ｙ´軸と、
前記Ｚ´軸を中心に、前記Ｘ軸の＋Ｘ側を＋Ｙ´方向へ１２０°回転したＸ１軸、および前記Ｘ軸の＋Ｘ側を＋Ｙ´方向へ２４０°回転したＸ２軸と、
前記Ｚ´軸を中心に、前記Ｙ´軸の＋Ｙ´側を−Ｘ方向へ１２０°回転したＹ´１軸、および前記Ｙ´軸の＋Ｙ´側を−Ｘ方向へ２４０°回転したＹ´２軸と、
を含む主面を有する水晶基板を準備する工程と、
基部と、
前記基部の端部から延在し、且つ、一体的に形成されている少なくとも１つの振動腕と、
を含む振動片に対応する外縁を有し、
前記主面と重ねたときに、前記外縁のうち、凹状の前記外縁において、凹状の前記外縁の法線ベクトルの方向が、前記Ｘ軸の正方向、前記Ｘ１軸の正方向、または前記Ｘ２軸の正方向、の何れかの方向を向いている箇所を含む領域の前記主面を覆う凸部を有するマスクを準備する工程と、
前記主面に前記マスクの形状に対応するエッチング保護膜を配置し、前記水晶基板の前記エッチング保護膜から露出する領域をウェットエッチングして前記振動片の外形を形成する工程と、
を有することを特徴とする振動片の製造方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記振動腕は、前記Ｙ´軸、前記Ｙ´１軸、前記Ｙ´２軸、の何れかの軸に沿って延在し、
平面視で、ウェットエッチング後の前記振動片の前記主面の外形と、前記マスクが前記主面に配置されたときの前記凸部が配置されていない領域における前記マスクの端部と、の間の長さをＬとしたとき、
前記凸部の前記何れかの方向に沿った長さは、Ｌ／２以上であることを特徴とする振動片の製造方法。
【請求項３】
請求項２において、
前記凸部の前記何れかの方向に沿った長さは、Ｌ以上１．５Ｌ以下であることを特徴とする振動片の製造方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項において、
前記回転角度φは、−１５°≦φ≦１５°の関係を満たしていることを特徴とする振動片の製造方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項において、
凹状の前記外縁は、前記振動腕と前記基部との連結部の外形であることを特徴とする振動片の製造方法。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一項において、
前記振動片は、前記基部と接続されている保持部を有し、
凹状の前記外縁は、前記基部と前記保持部との間にある切り欠き部の外形であることを特徴とする振動片の製造方法。
【請求項７】
請求項６において、
前記保持部は、湾曲部を含む保持腕を有し、
凹状の前記外縁は、前記湾曲部の内側の外形であることを特徴とする振動片の製造方法。
【請求項８】
請求項１乃至５のいずれか一項において、
前記振動片は、前記基部と接続されており、湾曲部を含む保持腕を有し、
凹状の前記外縁は、前記湾曲部の内側の外形であることを特徴とする振動片の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
［形態１］本形態に係る振動片の製造方法は、水晶の電気軸としてのＸ軸、機械軸としてのＹ軸、光学軸としてのＺ軸からなる直交座標系の前記Ｘ軸を回転軸として、前記Ｚ軸を前記Ｙ軸の−Ｙ方向へ＋Ｚ側が回転するように回転角度φだけ傾けた軸をＺ´軸、前記Ｙ軸を前記Ｚ軸の＋Ｚ方向へ＋Ｙ側が回転するように前記回転角度φだけ傾けた軸をＹ´軸としたとき、前記Ｘ軸および前記Ｙ´軸と、前記Ｚ´軸を中心に、前記Ｘ軸の＋Ｘ側を＋Ｙ´方向へ１２０°回転したＸ１軸、および前記Ｘ軸の＋Ｘ側を＋Ｙ´方向へ２４０°回転したＸ２軸と、前記Ｚ´軸を中心に、前記Ｙ´軸の＋Ｙ´側を−Ｘ方向へ１２０°回転したＹ´１軸、および前記Ｙ´軸の＋Ｙ´側を−Ｘ方向へ２４０°回転したＹ´２軸と、を含む主面を有する水晶基板を準備する工程と、基部と、前記基部の端部から延在し、且つ、一体的に形成されている少なくとも１つの振動腕と、を含む振動片に対応する外縁を有し、前記主面と重ねたときに、前記外縁のうち、凹状の前記外縁において、凹状の前記外縁の法線ベクトルの方向が、前記Ｘ軸の正方向、前記Ｘ１軸の正方向、または前記Ｘ２軸の正方向、の何れかの方向を向いている箇所を含む領域の前記主面を覆う凸部を有するマスクを準備する工程と、前記主面に前記マスクの形状に対応するエッチング保護膜を配置し、前記水晶基板の前記エッチング保護膜から露出する領域をウェットエッチングして前記振動片の外形を形成する工程と、を有することを特徴とする。
本形態によれば、水晶基板から振動腕を有する振動片を製造する方法において、振動片の外形形状で凹状の外縁にＸ軸、Ｘ１軸およびＸ２軸の各正方向に向けて、凸部を連結したマスクとすることで、振動片の外形を形成するエッチングにおいて、結晶の異方性により生じる、衝撃時に応力集中し易い直線的な結晶面同士が交差する交点の発生を防ぎ、耐衝撃特性に優れた振動片を得ることができるという効果がある。
［形態２］上記形態に記載の振動片の製造方法において、前記振動腕は、前記Ｙ´軸、前記Ｙ´１軸、前記Ｙ´２軸、の何れかの軸に沿って延在し、平面視で、ウェットエッチング後の前記振動片の前記主面の外形と、前記マスクが前記主面に配置されたときの前記凸部が形成されていない領域における前記マスクの端部と、の間の長さをＬとしたとき、前記凸部の前記何れかの方向に沿った長さは、Ｌ／２以上であることを特徴とする。
本形態によれば、マスクの凸部の各Ｘ軸の正方向の何れかの方向の長さを、マスクの端部とエッチングにより形成した振動片の外形との間の長さＬに対して、Ｌ／２以上とすることで、振動片の外形形状で凹状の外縁におけるＸ軸、Ｘ１軸およびＸ２軸の各正方向からのエッチングを遅らせることができるため、結晶の異方性により生じる、衝撃時に応力集中し易い直線的な結晶面同士が交差する交点の発生を防ぐことができるという効果がある。
［形態３］上記形態に記載の振動片の製造方法において、前記凸部の前記何れかの方向に沿った長さは、Ｌ以上１．５Ｌ以下であることを特徴とする。
本形態によれば、マスクの凸部の各Ｘ軸方向の何れかの方向の長さをＬ以上１．５Ｌ以下の範囲内とすることで、振動片の外形形状で凹状の外縁におけるＸ軸、Ｘ１軸およびＸ２軸の各正方向からのエッチングを遅らせることができるため、結晶の異方性により生じる、衝撃時に応力集中し易い直線的な結晶面同士が交差する交点の発生を防ぐことができ、また、逆に凸部を残すことがないという効果がある。
［形態４］上記形態に記載の振動片の製造方法において、前記回転角度φは、−１５°≦φ≦１５°の関係を満たしていることを特徴とする。
本形態によれば、水晶基板のＸ軸廻りに回転する回転角度φを−１５°≦φ≦１５°の範囲とすることで、振動片の有する２次曲線の温度特性における頂点温度を変化させることができるため、所定の温度範囲における温度特性規格を満足する振動片を得ることができるという効果がある。
［形態５］上記形態に記載の振動片の製造方法において、凹状の前記外縁は、前記振動腕と前記基部との連結部の外形であることを特徴とする。
本形態によれば、凸部を連結する外縁が振動腕と基部との連結部の外形であることにより、Ｘ１軸の正方向からのエッチングを遅らせることができるため、結晶の異方性により生じる、衝撃時に応力集中し易い直線的な結晶面同士の交点の発生を防ぐことができるという効果がある。
［形態６］上記形態に記載の振動片の製造方法において、前記振動片は、前記基部と接続されている保持部を有し、凹状の前記外縁は、前記基部と前記保持部との間に設けられた切り欠き部の外形であることを特徴とする。
本形態によれば、凸部を連結する外縁が基部と保持部との間に設けられた切り欠き部の外形であることにより、Ｘ軸、Ｘ１軸およびＸ２軸の各正方向からのエッチングを遅らせることができるため、結晶の異方性により生じる、衝撃時に応力集中し易い直線的な結晶面同士の交点の発生を防ぐことができるという効果がある。
［形態７］上記形態に記載の振動片の製造方法において、前記保持部は、湾曲部を含む保持腕を有し、凹状の前記外縁は、前記湾曲部の内側の外形であることを特徴とする。
［形態８］上記形態に記載の振動片の製造方法において、前記振動片は、前記基部と接続されており、湾曲部を含む保持腕を有し、凹状の前記外縁は、前記湾曲部の内側の外形であることを特徴とする。
本形態によれば、凸部を連結する外縁が保持腕に設けられた湾曲部の内側の外形であることにより、Ｘ１軸の正方向からのエッチングを遅らせることができるため、結晶の異方性により生じる、衝撃時に応力集中し易い直線的な結晶面同士の交点の発生を防ぐことができるという効果がある。