【手続補正書】
【提出日】平成28年9月16日(2016.9.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部から加えられた圧力によって発生する２枚の圧電シート間の電位差に基づいて前記圧力を検出するための圧力センサであって、
前記圧力が作用する第１面と、縁部が支持される第２面とを有するシート部材と、
前記シート部材の前記第２面側に設けられた第１圧電シートと、
前記第１圧電シートの前記シート部材と反対側において、前記第１圧電シートに対向して配置された第２圧電シートと、
前記第１圧電シートと前記第２圧電シートとの間に配置された中間層と、
前記第２圧電シートの前記第１圧電シートと反対側に配置された第１フィルム層と、
前記第１フィルム層の前記第２圧電シート側の面に形成された第１検出電極と、
前記第１フィルム層及び前記第１検出電極と前記第２圧電シートとの間に設けられた第１層と、
前記第１圧電シートの前記シート部材側に配置され、前記シート部材の前記第２面に固定された第２フィルム層と、
前記第２フィルム層の前記第１圧電シート側の面に形成された第２検出電極と、
前記第２フィルム層及び前記第２検出電極と前記第１圧電シートとの間に配置された第２層と、を備え、
使用温度範囲内で、前記第１層及び前記第２層、並びに、前記中間層の少なくとも一方の５０ｃｍ２の抵抗が１０ＭΩ以下又は１ＧΩ以上である、
圧力センサ。
【請求項２】
使用温度範囲内で、前記第１層及び前記第２層、並びに、前記中間層の一方の５０ｃｍ２の抵抗が１０ＭΩ以下で、他方の５０ｃｍ２の抵抗が１０ＧΩ以上である、請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記第１層、前記第２層及び前記中間層は接着剤である、請求項１又は２に記載の圧力センサ。
【請求項４】
外部から加えられた圧力によって発生する２枚の圧電シート間の電位差に基づいて前記圧力を検出するための圧力センサであって、
前記圧力が作用する第１面と、縁部が支持される第２面とを有するシート部材と、
前記シート部材の前記第２面側に設けられた第１圧電シートと、
前記第１圧電シートの前記シート部材と反対側において、前記第１圧電シートに対向して配置された第２圧電シートと、
前記第１圧電シートと前記第２圧電シートとの間に配置された中間層と、
前記第２圧電シートの前記第１圧電シートと反対側の面に形成された第１検出電極と、
前記第１圧電シートの前記シート部材側に配置され、前記シート部材の前記第２面に固定された第２フィルム層と、
前記第２フィルム層の前記第１圧電シート側の面に形成された第２検出電極と、
前記第２フィルム層及び前記第２検出電極と前記第１圧電シートとの間に配置された第
２層と、を備え、
使用温度範囲内で、前記第２層及び前記中間層の少なくとも一方の５０ｃｍ２の抵抗が１０ＭΩ以下又は１ＧΩ以上である、
圧力センサ。
【請求項５】
使用温度範囲内で、前記第２層及び前記中間層の一方の５０ｃｍ２の抵抗が１０ＭΩ以下で、他方の５０ｃｍ２の抵抗が１０ＧΩ以上である、請求項４に記載の圧力センサ。
【請求項６】
前記第２層及び前記中間層は接着剤である、請求項４又は５に記載の圧力センサ。
【請求項７】
外部から加えられた圧力によって発生する２枚の圧電シート間の電位差に基づいて前記圧力を検出するための圧力センサであって、
前記圧力が作用する第１面と、縁部が支持される第２面とを有するシート部材と、
前記シート部材の第２面側に設けられた第１圧電シートと、
前記第１圧電シートの前記シート部材と反対側において、前記第１圧電シートに対向して配置された第２圧電シートと、
前記第１圧電シートと前記第２圧電シートとの間に配置された中間層と、
前記第２圧電シートの前記第１圧電シートと反対側の面に形成された第１検出電極と、
前記第１圧電シートの前記シート部材側の面に形成された第２検出電極と、を備え、
使用温度範囲内で、前記中間層の５０ｃｍ２の抵抗が１０ＭΩ以下又は１ＧΩ以上である、圧力センサ。
【請求項８】
使用温度範囲内で、前記中間層の５０ｃｍ２の抵抗が１０ＭΩ以下又は１０ＧΩ以上である、請求項７に記載の圧力センサ。
【請求項９】
前記中間層は接着剤である、請求項７又は８に記載の圧力センサ。
【請求項１０】
外部から加えられた圧力によって発生する２枚の圧電シート間の電位差に基づいて前記圧力を検出するための圧力センサであって、
前記圧力が作用する第１面と、縁部が支持される第２面とを有するシート部材と、
前記シート部材の前記第２面側に設けられた第１圧電シートと、
前記第１圧電シートの前記シート部材と反対側において、前記第１圧電シートに対向して配置された第２圧電シートと、
前記第１圧電シートと前記第２圧電シートとの間に配置された中間層と、
前記第２圧電シートの前記第１圧電シートと反対側に配置された第１フィルム層と、
前記第１フィルム層の前記第２圧電シート側の面に形成された第１検出電極と、
前記第１圧電シートの前記シート部材側の面に形成された第２検出電極と、
前記第１フィルム層及び前記第１検出電極と前記第１圧電シートとの間に配置された第１層と、を備え、
使用温度範囲内で、前記第１層及び前記中間層の少なくとも一方の５０ｃｍ２の抵抗が１０ＭΩ以下又は１ＧΩ以上である、
圧力センサ。
【請求項１１】
使用温度範囲内で、前記第１層及び前記中間層の一方の５０ｃｍ２の抵抗が１０ＭΩ以下で、他方の５０ｃｍ２の抵抗が１０ＧΩ以上である、請求項１０に記載の圧力センサ。
【請求項１２】
前記第１層及び前記中間層は接着剤である、請求項１０又は１１に記載の圧力センサ。
【請求項１３】
外部から加えられた圧力によって発生する１枚の圧電シートの電位差に基づいて前記圧力を検出するための圧力センサであって、
前記圧力が作用する第１面と、縁部が支持される第２面とを有するシート部材と、
前記シート部材の前記第２面側に設けられた圧電シートと、
前記圧電シートの前記シート部材と反対側に配置された第１フィルム層と、
前記第１フィルム層の前記圧電シート側の面に形成された第１検出電極と、
前記第１フィルム層及び前記第１検出電極と前記圧電シートとの間に設けられた第１層と、
前記圧電シートの前記シート部材側に配置され、前記シート部材の前記第２面に固定された第２フィルム層と、
前記第２フィルム層の前記圧電シート側の面に形成された第２検出電極と、
前記第２フィルム層及び前記第２検出電極と前記圧電シートとの間に配置された第２層と、を備え、
使用温度範囲内で、前記第１層及び前記第２層の少なくとも一方の５０ｃｍ２の抵抗が１０ＭΩ以下又は１ＧΩ以上である、
圧力センサ。
【請求項１４】
使用温度範囲内で、前記第１層及び前記第２層の一方の５０ｃｍ２の抵抗が１０ＭΩ以下で、他方の５０ｃｍ２の抵抗が１０ＧΩ以上である、請求項１３に記載の圧力センサ。
【請求項１５】
前記第１層及び前記第２層は接着剤である、請求項１３又は１４に記載の圧力センサ。
【請求項１６】
外部から加えられた圧力によって発生する１枚の圧電シートの電位差に基づいて前記圧力を検出するための圧力センサであって、
前記圧力が作用する第１面と、縁部が支持される第２面とを有するシート部材と、
前記シート部材の前記第２面側に設けられた圧電シートと、
前記圧電シートの前記シート部材と反対側の面に形成された第１検出電極と、
前記圧電シートの前記シート部材側に配置され、前記シート部材の前記第２面に固定さ
れた第２フィルム層と、
前記第２フィルム層の前記圧電シート側の面に形成された第２検出電極と、
前記第２フィルム層及び前記第２検出電極と前記圧電シートとの間に配置された第２層と、を備え、
使用温度範囲内で、前記第２層の５０ｃｍ２の抵抗が１０ＭΩ以下又は１ＧΩ以上である、
圧力センサ。
【請求項１７】
使用温度範囲内で、前記第２層の５０ｃｍ２の抵抗が１０ＭΩ以下又は１０ＧΩ以上である、請求項１６に記載の圧力センサ。
【請求項１８】
前記第２層は接着剤である、請求項１６又は１７に記載の圧力センサ。
【請求項１９】
外部から加えられた圧力によって発生する２枚の圧電シート間の電位差に基づいて前記圧力を検出するための圧力センサであって、
前記圧力が作用する第１面と、縁部が支持される第２面とを有するシート部材と、
前記シート部材の前記第２面側に設けられた圧電シートと、
前記圧電シートの前記シート部材と反対側に配置された第１フィルム層と、
前記第１フィルム層の前記シート部材側の面に形成された第１検出電極と、
前記圧電シートの前記シート部材側の面に形成された第２検出電極と、
前記第１フィルム層及び前記第１検出電極と前記圧電シートとの間に配置された第１層と、を備え、
使用温度範囲内で、前記第１層の５０ｃｍ２の抵抗が１０ＭΩ以下又は１ＧΩ以上である、
圧力センサ。
【請求項２０】
使用温度範囲内で、前記第１層の５０ｃｍ２の抵抗が１０ＭΩ以下又は１０ＧΩ以上である、請求項１９に記載の圧力センサ。
【請求項２１】
前記第１層は接着剤である、請求項１９又は２０に記載の圧力センサ。