【手続補正書】
【提出日】平成27年12月10日(2015.12.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を製造する装置において、
第１装置と、
第２装置と、
前記基板に対して検査工程を遂行するテストハンドラーモジュールを有する検査装置を含み、
前記第１装置と、前記検査装置と、前記第２装置とが順次的にインラインに配置され、
前記第１装置は、
基板上に素子を装着するマウントモジュールと、
前記素子が装着された基板に対してリフロ工程を遂行するリフロモジュールと、を含み、
前記テストハンドラーモジュールは、
前記基板を搬送するコンベヤーユニットと、
前記基板上の複数の単位基板に対して前記検査工程を遂行するハンドラーユニットと、
前記コンベヤーユニットと前記ハンドラーユニットとの間へ前記基板を搬送する、搬送ロボットを含む搬送ユニットと、を含み、
前記コンベヤーユニットは、
供給コンベヤーと、
前記供給コンベヤーから一方の側に対して離隔された排出コンベヤーと、を有し、
前記第２装置は、複数の単位基板を分離する切断モジュールを含む、基板製造装置。
【請求項２】
前記供給コンベヤーは第１方向と平行に延長され、
前記排出コンベヤーは上部から見る時、前記第１方向に対して垂直である第２方向に沿って前記供給コンベヤーから離隔されるように提供され、前記第１方向と平行に延長される請求項１に記載の基板製造装置。
【請求項３】
搬出コンベヤーを有するローダーモジュールと、
アンロードコンベヤーを有するアンローダーモジュールと、をさらに含み、
前記ローダーモジュール、前記テストハンドラーモジュール、及び前記アンローダーモジュールは順次的に前記第１方向に沿って配置され、
前記供給コンベヤーは前記搬出コンベヤーから直接基板を引き受けるように提供され、
前記排出コンベヤーは前記アンロードコンベヤーに直接基板を引き渡すように提供される請求項２に記載の基板製造装置。
【請求項４】
前記供給コンベヤーは前記排出コンベヤーより前記ローダーモジュールにさらに隣接するように提供され、
前記ローダーモジュールの前記排出コンベヤーは前記供給コンベヤーより前記アンローダーモジュールにさらに隣接するように提供される請求項３に記載の基板製造装置。
【請求項５】
前記供給コンベヤーは下方向に凹んでいるように提供された屈曲部を有し、
前記搬送ユニットは前記供給コンベヤーの前記屈曲部に対向するように提供される供給リフト部材を有し、
前記搬送ロボットは前記供給リフト部材から基板が引き渡されるロードアームを有し、
前記供給リフト部材は前記供給コンベヤーの屈曲部を通じて、前記基板が前記供給コンベヤーから持ち上げられるように提供される請求項２に記載の基板製造装置。
【請求項６】
前記搬送ユニットは前記供給コンベヤーで前記基板の移動を停止させるストッパー部材をさらに含み、
前記ストッパー部材は、
遮断板と、
前記遮断板を乗下降させる駆動器と、を有する請求項５に記載の基板製造装置。
【請求項７】
前記搬送ユニットは、
固定板と、
前記固定板に支持されるロードアームと、
前記固定板に支持されるアンロードアームと、を具備し、
前記ロードアームと前記アンロードアームは前記第２方向に沿って互いに離隔されるように提供される請求項２に記載の基板製造装置。
【請求項８】
前記搬送ユニットはピックアップヘッドを有する搬送ロボットを具備し、
前記ピックアップヘッドは、
プレートと、
前記プレートの底面から下に突出され、基板と接触する接触部材と、を含み、
前記接触部材は、
前記プレートの前方縁領域に提供される前面接触部と、
前記プレートの両側方縁領域に各々提供される側面接触部と、を含み、
前記前面接触部と前記側面接触部によって前記プレートの下には後方及び下方が開放された挿入空間が形成される、請求項２に記載の基板製造装置。
【請求項９】
前記ハンドラーユニットは、
内部空間を有するハウジングと、
前記内部空間に位置され検査工程が遂行される検査チャンバーと、
前記検査チャンバーのソケットに結合されるテスター器と、を含み、
前記ハウジングの内部空間には前記検査チャンバーを囲む循環空間が提供され、
前記検査チャンバーの側面には前記循環空間と通じる開口が形成され、
前記ハンドラーユニットは前記循環空間内の気体の温度を調節する温度調節器をさらに含む請求項１に記載の基板製造装置。
【請求項１０】
前記ハンドラーユニットは検査工程が遂行される検査チャンバーを含み、
前記検査チャンバーは、
内部空間を有する本体と、
前記内部空間を開閉するドアと、
基板と電気的に接続できるパッドを有するソケットと、
検査工程進行の時、前記本体内で基板を支持する支持台と、を含み、
前記支持台は前記ドアに固定結合され、
前記ドアは前記本体からスライド移動できるように提供される請求項１に記載の基板製造装置。
【請求項１１】
前記ハンドラーユニットは検査工程が遂行される検査チャンバーを含み、
前記検査チャンバーは、
内部空間を有する本体と、
前記内部空間を開閉するドアと、
基板と電気的に接続できるパッドを有するソケットと、
検査工程進行の時、前記内部空間内で基板を支持する支持台と、を含み、
前記支持台は前記ドアに固定結合され、
前記ドアは前記本体からスライド移動できるように提供される請求項１に記載の基板製造装置。
【請求項１２】
前記支持台は基板に提供された通孔へ挿入される整列ピンを有する請求項１１に記載の基板製造装置。
【請求項１３】
前記搬送ユニットは、
基板を検査チャンバーへ搬送する搬送ロボットと、
前記内部空間を開閉するように前記ドアを移動させるドアオープナと、を含み、
前記ドアオープナは前記搬送ロボットに設置される請求項９に記載の基板製造装置。
【請求項１４】
前記ドアには貫通ホールが形成されたドアノブが提供され、
前記ドアオープナは、
前記ドアノブの貫通ホールに挿入できるように提供される掛けがねと、
前記ドアノブへ前記掛けがねが嵌められるようにする手掴み位置と前記ドアノブから前記掛けがねが分離されるようにする解除位置との間へ前記掛けがねを移動させる掛けがね駆動器と、を有する請求項１３に記載の基板製造装置。
【請求項１５】
前記第１方向に沿って複数のセットの前記ハンドラーユニットが提供され、
各々の前記セットのハンドラーユニットには前記第２方向に沿って前記ハンドラーユニットが複数個提供され、
各々の前記セットの前記ハンドラーユニットの前方には各々前記搬送ユニットが配置される請求項２に記載の基板製造装置。
【請求項１６】
前記ローダーモジュールは、
基板を検査する電気検査ユニットと、
前記電気検査ユニットへ基板を搬入する搬入ユニットと、
前記電気検査ユニットから基板を搬出する搬出ユニットと、を含む請求項３に記載の基板製造装置。
【請求項１７】
前記電気検査ユニットは複数個が相互間に積層されるように配置され、
前記搬入ユニットは、
搬入コンベヤーと、
前記搬入コンベヤーを支持する搬入載置台と、
前記複数の電気検査ユニットの中で選択された電気検査ユニットに対応する高さに前記搬入載置台を乗下降させる搬入乗降部材と、を含み、
前記搬出ユニットは、
搬出コンベヤーと、
前記搬出コンベヤーを支持する搬出載置台と、
前記複数の電気検査ユニットの中で選択された電気検査ユニットに対応する高さに前記搬出載置台を乗下降させる搬出乗降部材と、を含む請求項１６に記載の基板製造装置。
【請求項１８】
前記ローダーモジュールは、不良であると判定された基板を保管する保管マガジンをさらに含み、
前記搬入ユニットは前記搬入載置台に設置され、前記保管マガジンへ基板を搬送するグリッパ部材をさらに含む請求項１７に記載の基板製造装置。
【請求項１９】
前記基板は連配列印刷回路基板である請求項１に記載の基板製造装置。