(57)【要約】【課題】ウェハ上のどの位置にフェイルが密集しているのかを容易に判別し、フェイルの解析にかかる時間を短縮することが可能なフェイルビットマップ表示装置を実現することにある。【解決手段】複数の被試験対象デバイスのそれぞれの試験結果である複数のフェイルビットマップデータをフェイルビットマップの該当座標に圧縮して表示部に表示するフェイルビットマップ表示装置において、該当座標にあるフェイルの数に応じて該当座標の表示形態を決定する表示決定手段と、表示決定手段で決定された該当座標の表示形態を表示部に表示させる表示制御手段とを備える。【選択図】  図１
2011108787.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被試験対象デバイスのそれぞれの試験結果である複数のフェイルビットマップデータをフェイルビットマップの該当座標に圧縮して表示部に表示するフェイルビットマップ表示装置において、
前記該当座標にあるフェイルの数に応じて前記該当座標の表示形態を決定する表示決定手段と、
この表示決定手段で決定された前記該当座標の表示形態を前記表示部に表示させる表示制御手段と
を備えたことを特徴とするフェイルビットマップ表示装置。
【請求項２】
前記表示決定手段は、
圧縮により前記該当座標に含まれる前記被試験対象デバイス数に対する前記該当座標にある前記フェイルの数の割合に応じて前記該当座標の表示形態を決定することを特徴とする
請求項１記載のフェイルビットマップ表示装置。
【請求項３】
前記フェイルビットマップに表示する表示形態の種類または表示形態の数が設定される表示設定手段を有し、
前記表示決定手段は、前記表示設定手段に設定された表示形態の種類または表示形態の数を用いて前記該当座標の表示形態を決定することを特徴とする
請求項１または２に記載のフェイルビットマップ表示装置。
【請求項４】
前記該当座標の表示形態は、
前記フェイルの数に応じて異なる色で表されることを特徴とする
請求項１〜３のいずれかに記載のフェイルビットマップ表示装置。
【請求項５】
前記該当座標の表示形態は、
前記フェイルの数に応じて色の濃淡で表されることを特徴とする
請求項１〜３のいずれかに記載のフェイルビットマップ表示装置。
【請求項６】
前記該当座標の表示形態は、
前記フェイルの数に応じて異なる網掛けパターンで表されることを特徴とする
請求項１〜３のいずれかに記載のフェイルビットマップ表示装置。
【請求項７】
前記該当座標の表示形態は、
前記フェイルの数に応じて三次元の棒グラフで表されることを特徴とする
請求項１〜３のいずれかに記載のフェイルビットマップ表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の被試験対象デバイス（以下、ＤＵＴ（Device Under Test）という）のそれぞれの試験結果である複数のフェイルビットマップデータをフェイルビットマップの該当する座標に圧縮して表示部に表示するフェイルビットマップ表示装置に関し、詳しくは、ウェハ上のどの位置にフェイルが密集しているのかを容易に判別し、フェイルの解析にかかる時間を短縮することが可能なフェイルビットマップ表示装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの試験において、ＤＵＴが良品（パス）であるか不良品（フェイル）であるかの試験結果は、半導体試験装置の表示部またはプローバの表示部に表示される。プローバは、ウェハ上に形成されたＤＵＴの端子（パッド）とプローブカードのプローブ針との接触を制御する装置である。半導体試験装置とＤＵＴの間の信号の授受は、プローブカードを介して行われる。
【０００３】
表示される試験結果の１つとして、ＤＵＴがパスであるかフェイルであるかを示すフェイルビットマップデータがある。フェイルビットマップは、ＤＵＴの位置（座標）を示すマップにこのフェイルビットマップデータを反映させたものである。表示の一例としては、ＤＵＴが形成されたウェハの形を表示し、表示されたウェハ上の該当するチップ（ＤＵＴ）の位置（座標）にフェイルビットマップデータを反映していく。
【０００４】
しかし、例えば、ＤＵＴがメモリデバイスの場合、１枚のウェハ上に数千個のチップが形成されるため、全てのフェイルビットマップデータを表示すると、かなり見づらいものとなっていた。そこで、表示する範囲を圧縮して表示する手法が一般的になってきている。
【０００５】
図５は、従来のフェイルビットマップ表示装置の一例を示した構成図である。
図５において、フェイルビットマップ表示装置２０は、フェイル記憶部１、表示サイズ指定手段２、圧縮率算出手段３、データ取得手段４、フェイル数抽出手段５、表示部６、表示制御手段７、終了判断手段８および該当座標決定手段９を有している。
【０００６】
フェイル記憶部１は、ＤＵＴの試験結果であるフェイルビットマップデータが記憶されており、半導体試験装置のフェイルメモリ（図示せず）やハードディスク等に該当する。表示サイズ指定手段２は、フェイルビットマップの表示サイズがユーザにより指定される。圧縮率算出手段３は、表示サイズ指定手段２にて、指定されたフェイルビットマップの表示サイズに基づいて圧縮率を算出する。
【０００７】
データ取得手段４は、フェイル記憶部１からフェイルビットマップデータを取得する。フェイル数抽出手段５は、圧縮率算出手段３にて算出された圧縮率に基づいて、データ取得手段４にて取得されたフェイルビットマップデータからフェイルビットマップの該当座標にあるフェイルの数を抽出する。表示部６は、フェイルビットマップを表示するディスプレイである。
【０００８】
表示制御手段７は、フェイル数抽出手段５にて抽出された該当座標にあるフェイルの数に基づいて表示部６にフェイルビットマップを表示させる。終了判断手段８は、表示するフェイルビットマップの全ての座標について処理が終了したか否かを判断する。該当座標決定手段９は、終了判断手段８において表示するフェイルビットマップの全ての座標について処理が終了していないと判断された場合に、次に処理するフェイルビットマップの座標を決定する。
【０００９】
このようなフェイルビットマップ表示装置の動作を図６および図７を用いて説明する。
図６は、フェイルビットマップ表示装置の動作を示すフローチャートである。図７は、フェイルビットマップの表示で圧縮しない場合と圧縮する場合の一例を説明する説明図である。
【００１０】
半導体試験装置において、ＤＵＴの試験が行われるとパスまたはフェイルの試験結果がフェイル記憶部１に記憶される。半導体試験装置を使用するユーザは、表示サイズ指定手段２にて、表示部６に表示させるフェイルビットマップの表示サイズを指定する（図６のＳ００１）。
【００１１】
圧縮率算出手段３は、表示サイズ指定手段２にて指定されたフェイルビットマップの表示サイズに基づいて圧縮率を算出する（図６のＳ００２）。圧縮率は、実際のサイズ（圧縮しない場合のサイズ）を１とすると、（１）式で表される。
圧縮率＝√（実際のサイズ／指定された表示サイズ）    （１）
【００１２】
例えば、指定可能な表示サイズがＬａｒｇｅまたはＳｍａｌｌの２種類あり、Ｌａｒｇｅを指定した場合には、（１）式の「指定された表示サイズ」の値を１／４とすると予め決めておくと、圧縮率は２となる。一方、Ｓｍａｌｌを指定した場合には、（１）式の「指定された表示サイズ」の値を１／１６とすると予め決めておくと、圧縮率は４となる。
【００１３】
データ取得手段４は、該当するＤＵＴのフェイルビットマップデータをフェイル記憶部１から取得する（図６のＳ００３）。フェイル数抽出手段５は、圧縮率算出手段３にて算出された圧縮率に基づいて、データ取得手段４にて取得されたフェイルビットマップデータからフェイルビットマップの該当座標にあるフェイルの数を抽出する（図６のＳ００４）。
【００１４】
具体的な抽出方法を図７を用いて説明する。例えば、図７（ａ）は、圧縮率が１の時、すなわち、圧縮しない場合のフェイルビットマップを示している。この場合には、まず、座標（０，０）のフェイル数の抽出を行う。一方、図７（ｂ）は、圧縮率が４の時のフェイルビットマップを示している。この場合には、１つの座標に１６個分のフェイルビットマップデータが含まれている。例えば、圧縮後の座標（０，０）（図７（ｂ）右）には、圧縮前の座標（０，０）〜座標（３，３）（図７（ｂ）左）の１６個分のフェイルビットマップデータが含まれているので、この１６個の座標からフェイル数の抽出を行う。
【００１５】
図６のフローチャートの説明に戻る。表示制御手段７は、フェイル数抽出手段５にて抽出された該当座標にあるフェイルの数に基づいて表示部６にフェイルビットマップを表示させる（図６のＳ００５）。具体的には、該当座標にフェイルが１つ以上あれば、表示制御手段７は、表示部６にフェイルビットマップの該当座標を黒色に表示させ、該当座標にフェイルが無ければ、表示制御手段７は、表示部６にフェイルビットマップの該当座標を白色に表示させる。
【００１６】
終了判断手段８は、表示するフェイルビットマップの全ての座標について、フェイル数の抽出とフェイル数に基づく表示が終了したか否かを判断する（図６のＳ００６）。もし、表示するフェイルビットマップの全ての座標について、フェイル数の抽出とフェイル数に基づく表示が終了していない場合には、ステップＳ００７に進む。一方、表示するフェイルビットマップの全ての座標について、フェイル数の抽出とフェイル数に基づく表示が終了している場合には、一連の処理を終了する。
【００１７】
該当座標決定手段９は、終了判断手段８において表示するフェイルビットマップの全ての座標について処理が終了していないと判断された場合に、次に処理するフェイルビットマップの座標を決定する（図６のＳ００７）。例えば、図７（ｂ）の例では、座標（０，０）の次は座標（０，４）に移る。
【００１８】
以下同様に、表示するフェイルビットマップの全ての座標について、フェイル数の抽出とフェイル数に基づく表示が終了するまで、図６に示すステップＳ００４〜Ｓ００７を繰り返す。
【００１９】
このように、フェイル数抽出手段５が、圧縮率算出手段３にて算出された圧縮率に基づいて、データ取得手段４にて取得されたフェイルビットマップデータからフェイルビットマップの該当座標にあるフェイルの数を抽出し、表示制御手段７が、フェイル数抽出手段５にて抽出された該当座標にあるフェイルの数に基づいて表示部６にフェイルビットマップを表示させることにより、フェイルビットマップを圧縮させて表示しても、圧縮前のフェイルビットマップデータからフェイル数を抽出しているので、ウェハ上のフェイルの分布を把握することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２０】
【特許文献１】特開２００８−２３５３８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２１】
しかし、図５および図６に示す従来例では、フェイルビットマップを圧縮して表示した場合には、圧縮前の座標に１つでもフェイルがあると、圧縮後のフェイルビットマップの該当座標は黒色で表示されてしまうので、ウェハ上のどの位置にフェイルが密集しているのかまでは判別が付かないという問題があった。
【００２２】
一例として、図８を用いて説明する。図８は、フェイルビットマップの表示で圧縮した場合の一例を説明する説明図である。図８の例では、圧縮率が４の時のフェイルビットマップを示している。この場合、圧縮後の座標（０，０）（図８右）は、フェイルがあることを示す黒色になっているが、この内訳として、圧縮前の座標（０，０）〜座標（３，３）（図８左）には、座標（２，２）のみがフェイルで、その他の座標はパスとなっている。
【００２３】
このように、圧縮後の座標がフェイルを示す黒色を示していても、その座標にフェイルしているＤＵＴがどのくらいあるのかまでは分からないので、ウェハ上のどの位置にフェイルが密集しているのかまでは判別が付かない。従って、ウェハ上のフェイルが密集している位置を正確に把握するには、圧縮前の表示に戻す必要があり、フェイルの解析に時間がかかるという問題点もあった。
【００２４】
そこで本発明の目的は、ウェハ上のどの位置にフェイルが密集しているのかを容易に判別し、フェイルの解析にかかる時間を短縮することが可能なフェイルビットマップ表示装置を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
請求項１記載の発明は、
複数の被試験対象デバイスのそれぞれの試験結果である複数のフェイルビットマップデータをフェイルビットマップの該当座標に圧縮して表示部に表示するフェイルビットマップ表示装置において、
前記該当座標にあるフェイルの数に応じて前記該当座標の表示形態を決定する表示決定手段と、
この表示決定手段で決定された前記該当座標の表示形態を前記表示部に表示させる表示制御手段と
を備えたことを特徴とするものである。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、
前記表示決定手段は、
圧縮により前記該当座標に含まれる前記被試験対象デバイス数に対する前記該当座標にある前記フェイルの数の割合に応じて前記該当座標の表示形態を決定することを特徴とするものである。
請求項３記載の発明は、請求項１または２に記載の発明において、
前記フェイルビットマップに表示する表示形態の種類または表示形態の数が設定される表示設定手段を有し、
前記表示決定手段は、前記表示設定手段に設定された表示形態の種類または表示形態の数を用いて前記該当座標の表示形態を決定することを特徴とするものである。
請求項４記載の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載の発明において、
前記該当座標の表示形態は、
前記フェイルの数に応じて異なる色で表されることを特徴とするものである。
請求項５記載の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載の発明において、
前記該当座標の表示形態は、
前記フェイルの数に応じて色の濃淡で表されることを特徴とするものである。
請求項６記載の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載の発明において、
前記該当座標の表示形態は、
前記フェイルの数に応じて異なる網掛けパターンで表されることを特徴とするものである。
請求項７記載の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載の発明において、
前記該当座標の表示形態は、
前記フェイルの数に応じて三次元の棒グラフで表されることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、以下のような効果がある。
複数の被試験対象デバイスのそれぞれの試験結果である複数のフェイルビットマップデータをフェイルビットマップの該当座標に圧縮して表示部に表示するフェイルビットマップ表示装置において、該当座標にあるフェイルの数に応じて該当座標の表示形態を決定する表示決定手段と、表示決定手段で決定された該当座標の表示形態を表示部に表示させる表示制御手段とを備えたことにより、フェイルビットマップを圧縮して表示した場合でも該当座標の表示形態（異なる色、色の濃淡、網掛けパターン、三次元棒グラフ等）からフェイル数を把握できるので、ウェハ上のどの位置にフェイルが密集しているのかを容易に判別し、フェイルの解析にかかる時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明のフェイルビットマップ表示装置の一実施例を示した構成図である。
【図２】図１のフェイルビットマップ表示装置の動作を示すフローチャートである。
【図３】フェイルビットマップの表示の一例を説明する説明図である。
【図４】三次元の棒グラフを用いたフェイルビットマップの表示の一例を説明する説明図である。
【図５】従来のフェイルビットマップ表示装置の一例を示した構成図である。
【図６】図５のフェイルビットマップ表示装置の動作を示すフローチャートである。
【図７】フェイルビットマップの表示で圧縮しない場合と圧縮する場合の一例を説明する説明図である。
【図８】フェイルビットマップの表示で圧縮した場合の一例を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。
図１は、本発明のフェイルビットマップ表示装置の一実施例を示した構成図である。ここで、図５と同一のものは同一符号を付し、説明を省略する。  図１において、図５に示す構成と異なる点は、表示サイズ指定手段２の代わりに表示設定手段１０が設けられている点、新たに表示決定手段１１が増えている点、表示制御手段７の代わりに表示制御手段１２が設けられている点である。
【００２９】
フェイルビットマップ表示装置２１は、フェイル記憶部１、圧縮率算出手段３、データ取得手段４、フェイル数抽出手段５、表示部６、終了判断手段８、該当座標決定手段９、表示設定指定手段１０、表示決定手段１１および表示制御手段１２を有している。
【００３０】
表示設定手段１０は、ユーザにより、フェイルビットマップの表示サイズ、フェイルビットマップに表示する表示形態の種類または表示形態の数、および分割方法が設定される。表示決定手段１１は、フェイルビットマップの該当座標にあるフェイルの数に応じて該当座標の表示形態を決定する。表示制御手段１２は、表示決定手段１１で決定された該当座標の表示形態を表示部６に表示させる。
【００３１】
このようなフェイルビットマップ表示装置の動作を図２および図３を用いて説明する。
図２は、フェイルビットマップ表示装置の動作を示すフローチャートである。図３は、フェイルビットマップの表示の一例を説明する説明図である。以下の説明では、フェイルビットマップに表示される該当座標の表示形態を異なる色または色の濃淡として説明する。
【００３２】
半導体試験装置において、ＤＵＴの試験が行われるとパスまたはフェイルの試験結果がフェイル記憶部１に記憶される。半導体試験装置を使用するユーザは、表示設定手段１０にて、フェイルビットマップの表示サイズ、フェイルビットマップに表示する色の種類または色の数、および、分割方法を設定する（図２のＳ１０１）。
【００３３】
この分割方法に関しては、例えば、該当座標に含まれるフェイルビットマップデータの数（ＤＵＴの数）に対するフェイルの数の割合で分割する方法や該当座標に含まれるフェイルの数で分割する方法等がある。
【００３４】
該当座標に含まれるフェイルビットマップデータの数に対するフェイルの数の割合で分割する方法は、例えば、該当座標に含まれるフェイルビットマップデータの数に対するフェイルの数の割合が０％〜１００％の間で５色使用する場合には、０％以上〜２０％未満、２０％以上〜４０％未満、４０％以上〜６０％未満、６０％以上〜８０％未満、８０％以上〜１００％以下で区切って５分割になる。すなわち、フェイルビットマップに表示する色の数が分割数となる。
【００３５】
さらに、色の種類に関しても、分割する範囲を指定して、任意に設定することが可能である。具体的には、一例として、該当座標に含まれるフェイルビットマップデータの数に対するフェイルの数の割合が８０％以上〜１００％以下の範囲には黒色を設定し、６０％以上〜８０％未満の範囲には濃いグレー色を設定するというように、該当座標に含まれるフェイルビットマップデータの数に対するフェイルの数の割合が低くなるほどに色が薄くなっていくように設定してもよい。
【００３６】
一方、該当座標に含まれるフェイルの数で分割する方法は、例えば、該当座標に含まれるフェイルの数が０個〜１６個の間で５色使用する場合には、０個、１個〜４個、５個〜８個、９個〜１２個、１３個〜１６個で区切って５分割になる。この方法においても、フェイルビットマップに表示する色の数が分割数となる。
【００３７】
また、色の種類に関しても、該当座標に含まれるフェイルビットマップデータの数に対するフェイルの数の割合で分割する方法と同様に、分割する範囲を指定して、任意に設定することが可能である。具体的には、一例として、該当座標に含まれるフェイルの数が１３個〜１６個の範囲には黒色を設定し、９個〜１２個の範囲には濃いグレー色を設定するというように、該当座標に含まれるフェイルの数が低くなるほどに色が薄くなっていくように設定することが可能である。
【００３８】
圧縮率算出手段３は、表示設定手段１０にて指定されたフェイルビットマップの表示サイズに基づいて圧縮率を算出する（図２のＳ１０２）。圧縮率は、従来例と同様に、（１）式で表される。
【００３９】
データ取得手段４は、該当するＤＵＴのフェイルビットマップデータをフェイル記憶部１から取得する（図２のＳ１０３）。フェイル数抽出手段５は、圧縮率算出手段３にて算出された圧縮率に基づいて、データ取得手段４にて取得されたフェイルビットマップデータからフェイルビットマップの該当座標にあるフェイルの数を抽出する（図２のＳ１０４）。具体的な抽出方法は、従来例と同じため、説明を省略する。
【００４０】
表示決定手段１１は、表示設定手段１０にて指定されたフェイルビットマップに表示する色の種類または色の数、分割方法、および、圧縮率算出手段３にて算出された圧縮率に基づいて、フェイルビットマップの該当座標にあるフェイルの数に応じて該当座標の色を決定する（図２のＳ１０５）。
【００４１】
表示制御手段１２は、表示決定手段１１で決定されたフェイルビットマップの該当座標の色を表示部６に表示させる（図２のＳ１０６）。終了判断手段８は、表示するフェイルビットマップの全ての座標について、フェイル数の抽出とフェイル数に基づく表示が終了したか否かを判断する（図２のＳ１０７）。もし、表示するフェイルビットマップの全ての座標について、フェイル数の抽出とフェイル数に基づく表示が終了していない場合には、ステップＳ１０８に進む。一方、表示するフェイルビットマップの全ての座標について、フェイル数の抽出とフェイル数に基づく表示が終了している場合には、一連の処理を終了する。
【００４２】
該当座標決定手段９は、終了判断手段８において表示するフェイルビットマップの全ての座標について処理が終了していないと判断された場合に、次に処理するフェイルビットマップの座標を決定する（図２のＳ１０８）。
【００４３】
以下同様に、表示するフェイルビットマップの全ての座標について、フェイル数の抽出とフェイル数に基づく表示が終了するまで、図２に示すステップＳ１０４〜Ｓ１０８を繰り返す。
【００４４】
図３を用いて具体的に説明する。図３に示す例は、フェイルビットマップの圧縮率が４の場合である。この場合、圧縮率が４なので、該当座標には１６個分のフェイルビットマップデータが含まれている。図３（ａ）において、座標の中の数字は、その座標に含まれるフェイル数を示している。座標（０，０）はフェイル数が１個、座標（１２，０）はフェイル数が１６個、座標（８，４）はフェイル数が１０個、座標（８，８）はフェイル数が６個となっている。
【００４５】
図３（ｂ）は、図３（ａ）に示すフェイル数に基づいて作成されたフェイルビットマップの表示の一例である。また、表示設定手段１０にて、ユーザにより設定された分割方法が、該当座標に含まれるフェイルの数で分割する方法であり、５色の色を使用する場合を示している。具体的には、該当座標に含まれるフェイルの数が０個の時はフェイルビットマップを白色にし、１３個〜１６個の時はフェイルビットマップを黒色にする。そして、９個〜１２個の時は濃いグレー（以下、グレーＡという）にし、５個〜８個の時は９個〜１２個の時よりも薄いグレー（以下、グレーＢという）にし、１個〜４個の時は５個〜８個の時よりも薄いグレー（以下、グレーＣという）に設定する。
【００４６】
まず、表示決定手段１１は、フェイルビットマップの座標（０，０）のフェイル数をフェイル数抽出手段５より取得し、フェイル数が１であることから、座標（０，０）の色をグレーＣに決定する。そして、表示制御手段１２は、表示部６に表示されているフェイルビットマップの座標（０，０）の色をグレーＣにする。該当座標決定手段９は、次に処理するフェイルビットマップの座標を座標（４，０）とする。
【００４７】
以下、同様に該当座標の色を決定してフェイルビットマップに反映していく。その結果、座標（１２，０）は黒色、座標（８，４）はグレーＡ、座標（８，８）はグレーＢとなり、それ以外の座標は白色となる。
【００４８】
このように、フェイル数抽出手段５が、圧縮率算出手段３にて算出された圧縮率に基づいて、データ取得手段４にて取得されたフェイルビットマップデータからフェイルビットマップの該当座標にあるフェイルの数を抽出し、表示決定手段１１が、表示設定手段１０にて指定されたフェイルビットマップに表示する色の種類または色の数、分割方法、および、圧縮率算出手段３にて算出された圧縮率に基づいて、フェイルビットマップの該当座標にあるフェイルの数に応じて該当座標の色を決定する。
【００４９】
表示制御手段１２が、表示決定手段１１にて決定されたフェイルビットマップの該当座標の色を表示部６に表示させることにより、フェイルビットマップを圧縮して表示した場合でも該当座標の色からフェイル数を把握できるので、ウェハ上のどの位置にフェイルが密集しているのかを容易に判別し、フェイルの解析にかかる時間を短縮することができる。
【００５０】
なお、本発明はこれに限定されるものではなく、以下に示すようなものでもよい。
（１）図１〜３に示す実施例において、表示設定手段１０は、ユーザにより、フェイルビットマップの表示サイズ、フェイルビットマップに表示する表示形態の種類または表示形態の数、および分割方法が設定される構成を示したが、フェイルビットマップに表示する表示形態の種類または表示形態の数、および分割方法は、フェイルビットマップ表示装置で予め備えられている初期設定を使用するようにしてもよい。この場合、表示設定手段１０にて、ユーザからの設定と初期設定を選択できるようにしてもよい。
【００５１】
（２）図１〜３に示す実施例において、表示決定手段１１は、該当座標の表示形態をフェイルの数に応じて異なる色または色の濃淡で表す構成を示したが、該当座標の表示形態をフェイルの数に応じて異なる網掛けパターンで表すようにしてもよい。
【００５２】
（３）図１〜３に示す実施例において、表示決定手段１１は、フェイルビットマップの該当座標にあるフェイルの数に応じて該当座標の表示形態を決定する構成を示したが、該当座標にあるフェイルの数を三次元の棒グラフで表し、該当座標の表示形態をフェイルの数に応じて三次元の棒グラフの高さを決定するようにしてもよい。
【００５３】
図４は、三次元の棒グラフを用いたフェイルビットマップの表示の一例を説明する説明図である。図４（ａ）は、図３（ａ）と同じため、説明を省略する。図４（ｂ）は、図４（ａ）に示すフェイル数に基づいて作成されたフェイルビットマップの表示の一例である。図４（ｂ）に示すように、該当座標にあるフェイルの数が多ければ多いほど棒グラフの高さが高くなる。
【符号の説明】
【００５４】
１０  表示設定手段
１１  表示決定手段
１２  表示制御手段
２１  フェイルビットマップ表示手段
【図１】
2011108787.tif 000003
【図２】
2011108787.tif 000004
【図３】
2011108787.tif 000005
【図４】
2011108787.tif 000006
【図５】
2011108787.tif 000007
【図６】
2011108787.tif 000008
【図７】
2011108787.tif 000009
【図８】
2011108787.tif 000010