(57)【要約】【課題】本発明は、角速度センサの耐衝撃性を向上させることを目的とする。【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、駆動信号を出力する駆動回路（図示せず）と、前記駆動信号が入力されることにより慣性力が検出可能となる検出素子と１１を備え、前記検出素子１１は、基部１２と、前記基部１２にその一端が接続されるとともに前記駆動信号により振動するアーム１３と、前記アーム１３の他端に接続されるとともに前記アーム１３の振動に伴い振動する錘１４と、を有し、前記錘１４の振動方向には前記錘１４と空隙を介して第１の振幅上限部１６が設けられた角速度センサとしたものである。【選択図】図１
2011043397.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動信号を出力する駆動回路と、
前記駆動信号が入力されることにより慣性力が検出可能となる検出素子とを備え、
前記検出素子は、
基部と、
前記基部にその一端が接続されるとともに前記駆動信号により振動するアームと、
前記アームの他端に接続されるとともに前記アームの振動に伴い振動する錘と、
を有し、
前記錘の振動方向には
前記錘と空隙を介して第１の振幅上限部が設けられた
角速度センサ。
【請求項２】
前記錘の振動方向に垂直な方向に
前記錘と空隙を介して第２の振幅上限部が設けられた
請求項１に記載の角速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、車両制御やカーナビゲーション装置、デジタルカメラの手振れ補正等に用いられる角速度センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来この種の角速度センサは、図７に示すごとく、駆動信号を出力する駆動回路（図示せず）と、前記駆動信号が入力されることにより慣性力が検出可能となる検出素子１とを備え、前記検出素子１は、基部２と、前記基部２にその一端が接続されるとともに前記駆動信号により振動するアーム３と、前記アーム３の他端に接続されるとともに前記アーム３の振動に伴い振動する錘４と、を有する構成としていた。
【０００３】
なお、この出願に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１９８７７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような従来の角速度センサでは、耐衝撃性が低いことが問題となっていた。
【０００６】
すなわち、上記従来の構成においては、外部衝撃が印加された場合、その衝撃が前記アーム３の振動に重畳され、アーム３が想定外に大きく撓んでしまう可能性があるため、当該アーム３が折れてしまう可能性があり、その結果として耐衝撃性が低くなってしまっていた。
【０００７】
そこで本発明は、角速度センサの耐衝撃性を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
そして、この目的を達成するために本発明は、駆動信号を出力する駆動回路と、前記駆動信号が入力されることにより慣性力が検出可能となる検出素子とを備え、前記検出素子は、基部と、前記基部にその一端が接続されるとともに前記駆動信号により振動するアームと、前記アームの他端に接続されるとともに前記アームの振動に伴い振動する錘と、を有し、前記錘の振動方向には前記錘と空隙を介して第１の振幅上限部が設けられた角速度センサとしたものである。
【発明の効果】
【０００９】
この構成により、外部衝撃がアームの振動に重畳され、アームが想定外に大きく撓んでしまう場合であっても、アームの他端に接続された錘の振動方向に、空隙を介して設けられた第１の振幅上限部が存在するため、前記アームの想定外の撓みを抑制し、当該アームが折れてしまう可能性を低減し、その結果として耐衝撃性を向上させることができるのである。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施の形態１における角速度センサの上面図
【図２】本発明の実施の形態１における角速度センサの振動状態を示す上面図
【図３】本発明の実施の形態１における角速度センサの振動状態を示す上面図
【図４】図１のＡ−ＡＡ断面図
【図５】本発明の実施の形態１における角速度センサの他の実施例を示す上面図
【図６】図５のＡ−ＡＡ断面図
【図７】従来の角速度センサの上面図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１における角速度センサについて図面を参照しながら説明する。
【００１２】
図１に示すごとく、駆動信号を出力する駆動回路（図示せず）と、前記駆動信号が入力されることにより慣性力が検出可能となる検出素子１１とを備え、前記検出素子１１は、基部１２と、前記基部１２にその一端が接続されるとともに前記駆動信号により振動するアーム１３と、前記アーム１３の他端に接続されるとともに前記アーム１３の振動に伴い振動する錘１４と、を有している。なお、基部１２は外装体１５により固定されている。
【００１３】
そして、前記錘１４の振動方向には、空隙を介して第１の振幅上限部１６を設けた構成としている。
【００１４】
このような構成により、外部衝撃が前記アーム１３の振動に重畳され、前記アーム１３が想定外に大きく撓んでしまう場合であっても、前記アーム１３の他端に接続された錘１４の振動方向に、空隙を介して設けられた第１の振幅上限部１６が存在するため、前記アーム１３の想定外の撓みを抑制し、当該アーム１３が折れてしまう可能性を低減し、その結果として耐衝撃性を向上させることができるのである。
【００１５】
具体的には、図２に示すごとく、前記駆動信号によりアーム１３がＸ軸方向に振動するとともに、このアーム１３の振動に伴い前記錘１４がＸ軸方向に振動するような場合においては、前記錘１４の振動方向、即ちＸ軸方向に空隙を介して設けられた第１の振幅上限部１６に前記錘１４の先端が接触することにより、前記アーム１３における想定外のＸ軸方向の撓みを抑制し、当該アーム１３が折れてしまう可能性を低減することができる。
【００１６】
また、図３に示すごとく、前記駆動信号によりアーム１３がＹ軸方向に振動するとともに、このアーム１３の振動に伴い前記錘１４がＹ軸方向に振動するような場合においては、前記錘１４の振動方向、即ちＹ軸方向に空隙を介して設けられた第１の振幅上限部１６に前記錘１４の先端が接触することにより、前記アーム１３における想定外のＹ軸方向の撓みを抑制し、当該アーム１３が折れてしまう可能性を低減することができる。
【００１７】
なお、図１に示した第１の振幅上限部１６は、図４に示すごとく、外装体１５の底面から上方に向けて伸びる角柱形状の物体により形成することができるが、その他、外装体１５の天井から下方に向けて伸びる角柱状の物体により形成してもよく、またその形状は、角柱形状に限定されず、前記錘１４の振動方向に空隙を介して配置されるとともに、前記アーム１３の想定外の撓みを抑制することができる形状であれば構わない。
【００１８】
また、第１の振幅上限部１６を外装体１５と別体に設ける構成のみならず、図５、図６に示すごとく、外装体１５の一部に凸部を設け、これを第１の振幅上限部１６としても構わない。
【００１９】
さらに、本実施の形態においては、図１、図４、図５、図６に示すごとく、錘１４の振動方向に垂直な方向、即ちＺ軸方向に、前記錘１４と空隙を介して第２の振幅上限部１７を設ける構成としている。
【００２０】
このような構成とすることにより、所謂スティッキング現象の発生を抑制することができ望ましい。即ち、外装体１５の天井と底面、及び錘１４を金属で構成するような場合において、前記錘１４がＺ軸方向へ移動すると、前記外装体１５の天井あるいは底面と前記錘１４とが接着されてしまう、所謂スティッキング現象が発生し得るが、錘１４の振動方向に垂直な方向、即ちＺ軸方向に、前記錘１４と空隙を介して第２の振幅上限部１７を設けることにより、上述したスティッキング現象の発生を抑制することができ望ましい。
【産業上の利用可能性】
【００２１】
本発明の角速度センサは、耐衝撃性を向上させることができるという効果を有し、車両制御やカーナビゲーション装置、デジタルカメラの手振れ補正等において有用である。
【符号の説明】
【００２２】
１１  検出素子
１２  基部
１３  アーム
１４  錘
１６  第１の振幅上限部
【図１】
2011043397.tif 000003
【図２】
2011043397.tif 000004
【図３】
2011043397.tif 000005
【図４】
2011043397.tif 000006
【図５】
2011043397.tif 000007
【図６】
2011043397.tif 000008
【図７】
2011043397.tif 000009