(57)【要約】【課題】簡素な構成でありながら、基本波の変換効率を高めることができる光共振器及び波長変換レーザ装置を提供する。【解決手段】非線形光学結晶を有する光共振器ＯＲ内に入射した基本波は、第１のミラーＭ１で反射した後、微小開口ＡＰを介して半導体レーザＬＤに戻りにくい構造となっており、これにより半導体レーザＬＤにモードホッピング等がおきにくく、安定した発振を行うことができると共に、高次高調波への変換効率を高めることができる。【選択図】図３
2011043546.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から出射された基本波を、レンズを介して入射することにより、前記基本波の波長を変換して高次高調波を出射する光共振器において、
前記基本波を反射し、高次高調波を透過する第１のミラーと、
微小開口を備え、前記微小開口以外で少なくとも前記基本波を反射する第２のミラーと、
前記第１のミラーと前記第２のミラーとの間に配置され、前記基本波を通過させることにより高次高調波を発生させる非線形光学結晶とを有し、
前記レンズにより集光された光は、前記微小開口を介して前記非線形光学結晶に入射し、前記非線形光学結晶で高次高調波に変換された成分は、前記第１のミラーを通過するが、高次高調波に変換されなかった基本波の成分は前記第１のミラーで反射されて前記非線形光学結晶に入射し、その後前記第２のミラーで反射されて再び前記非線形光学結晶に入射するようになっており、前記微小開口を介して進入した光束は前記第１のミラーを透過するまで単一の光軸に沿って進行するとともに、少なくとも前記第１のミラーで最初に反射したときに前記微小開口付近で集光しないことを特徴とする光共振器。
【請求項２】
前記微小開口の直径Δ（ｍｍ）は、前記光源のピーク値から1/e2強度の光線が前記レンズにより集光される開口数をNAe（ｍｍ）とし、前記光源の基本波長をλ0（μｍ）としたとき、以下の式を満足することを特徴とする請求項１に記載の光共振器。
λ0/（π・NAe） < Δ/2 < 5・λ0/（π・NAe）      （１）
【請求項３】
以下の式を満たすことを特徴とする請求項２に記載の光共振器。
０．０３  ≦  NAe  ≦  ０．０８      （２）
【請求項４】
前記第１のミラーの曲率半径をr1（ｍｍ）（但し、前記第１のミラーのパワーが正のときr1＞０とする）、前記第２のミラーの曲率半径をr2（ｍｍ）（但し、前記第２のミラーのパワーが正のときr2＞０とする）、前記第１ミラーと前記第２ミラーとの光学距離をＤ（ｍｍ）とすると、
-0.1  ＜  （1-Ｄ/r1）（1-Ｄ/r2）  ＜  0.1      （３）
を満たすことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の光共振器。
【請求項５】
以下の式を満たすことを特徴とする請求項４に記載の光共振器。
０．７  ＜  r1／Ｄ  ＜  ０．８      （４）
【請求項６】
以下の式を満たすことを特徴とする請求項４に記載の光共振器。
１．２  ＜  r1／Ｄ  ＜  １．５      （５）
【請求項７】
前記第１のミラーの曲率半径をr1（ｍｍ）（但し、前記第１のミラーのパワーが正のときr1＞０とする）、前記第２のミラーの曲率半径をr2（ｍｍ）（但し、前記第２のミラーのパワーが正のときr2＞０とする）、前記第１ミラーと前記第２ミラーとの光学距離をＤ（ｍｍ）とすると、
0.9  ＜  （1-Ｄ/r1）（1-Ｄ/r2）  ＜  1.1      （６）
を満たすことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の光共振器。
【請求項８】
以下の式を満たすことを特徴とする請求項７に記載の光共振器。
r1／Ｄ  ＜  −１．２      （７）
【請求項９】
以下の式を満たすことを特徴とする請求項７に記載の光共振器。
１．２  ＜  r1／Ｄ      （８）
【請求項１０】
前記第１のミラー及び前記第２のミラーは、曲率半径５０ｍｍ以上の面からなることを特徴とする請求項７〜９のいずれかに記載の光共振器。
【請求項１１】
前記光共振器に入射した基本波が前記第１のミラーにより反射し、前記第２のミラーにより反射した後に前記第１のミラーと前記第２のミラーとの間で初めて集光点を持つことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の光共振器。
【請求項１２】
前記光共振器に入射した基本波のうち、前記第１のミラーの反射後における前記光共振器内で最初に集光される第１集光点は、その次に集光される第２集光点と位置が異なることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の光共振器。
【請求項１３】
前記第１集光点は、前記第２集光点より光源側にあることを特徴とする請求項１２に記載の光共振器。
【請求項１４】
前記光共振器内の光束の往復回数をｎ、ミラーの反射によって前記光共振器内に基本波が集光される回数をｍとすると以下の式を満足することを特徴とする請求項１〜３，１１〜１３のいずれかに記載の光共振器。
ｎ−１  ＞  ｍ      （９）
【請求項１５】
前記光共振器に入射した基本波が、前記第１のミラーにより反射し前記第２のミラーにより反射した後、再度前記第１のミラーで反射するまでの間に、前記第１のミラーと前記第２のミラーとの間で集光点を持たないことを特徴とする請求項１４に記載の光共振器。
【請求項１６】
前記微小開口は、前記基本波を透過する部材により覆われていることを特徴とする請求項１〜１５のいずれかに記載の光共振器。
【請求項１７】
前記微小開口は、前記第２のミラーに形成された円孔もしくは楕円孔であることを特徴とする請求項１〜１５のいずれかに記載の光共振器。
【請求項１８】
請求項１〜１７のいずれかに記載の光共振器と、レーザ光源と、前記レーザ光源の出射光を前記光共振器内に集光させるレンズとを有することを特徴とする波長変換レーザ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特にレーザ光源から出射した光束を、第二高調波などの高次高調波に変換する光共振器及び波長変換レーザ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＧａＡｓ、ＧａＮなどの化合物半導体材料を使い、赤外、赤色、青色、紫色の各色の光束を出射できる半導体レーザが開発されている。ところが、５５０ｎｍ近傍の緑色光については、適切な材料が現在のところ発見されていないため、半導体レーザでの発振は困難であるとされている。そのため、従来から、緑色光の二倍の波長の半導体レーザからの出射光を、光波長変換素子に通して第二高調波に変換し、緑色レーザ光とする技術が用いられている。
【０００３】
ところが、一般的に非線形効果を利用する波長変換素子の変換効率は、基本波の入射パワーに比例するので、入射パワーの低い（ワット以下）の基本波では変換効率が低くなるという問題がある。そのため、ＫＴＰ（ＫＴｉＯＰＯ4）やＬＢＯ（ＬｉＢ3Ｏ5）などの非線形光学素子を、一対のミラーで挟んだ内部共振器構造を持つ波長変換素子を用いて変換効率を向上させる技術が開発された。特許文献１においては、ミラーで反射した基本波を非線形光学素子に３回通過させることで、変換効率を高めている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２１６５３１号公報
【特許文献２】特開２００６−８０４１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、このような波長変換素子における一つの問題は、反射された基本波が半導体レーザに戻ると、結晶内での共振状態が不安定となり、モードホッピング等による波長シフトが生じる恐れがあるということである。これに対し、特許文献１の構成においては、ミラーへの入射光の光軸と出射光の光軸とが異なっているために、本来的には半導体レーザへの戻り光を抑えることができる。しかしながら、かかる構成では反射の都度、基本波のミラーへの入射位置が変位するため、反射回数が増大すると、ミラーからずれた位置に照射されることとなり、変換効率を高めることができないという問題がある。又、ミラーが光軸非対称光学系であることから、ミラーの反射面を自由曲面として設計しなくてはならず、ミラーの設計・製造が困難であり、高精度の組付けも要求されるという問題もある。
【０００６】
これに対し、特許文献２の技術によれば、基本波を発生させる半導体レーザへの戻り光対策として、入射光は透過するが戻り光は透過させないアイソレータを導入している。しかるに、アイソレータに入射させる前に楕円光束を円形光束に圧縮することによってアイソレータを小型化する工夫を施してはいるものの、それでもアイソレータを使用しているため構成は大型化し、かつビーム圧縮やアイソレータを必要としているためコスト高を招くという問題がある。
【０００７】
本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、簡素な構成でありながら、基本波の変換効率を高めることができる光共振器及び波長変換レーザ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の光共振器は、光源から出射された基本波を、レンズを介して入射することにより、前記基本波の波長を変換して高次高調波を出射する光共振器において、
前記基本波を反射し、高次高調波を透過する第１のミラーと、
微小開口を備え、前記微小開口以外で少なくとも前記基本波を反射する第２のミラーと、
前記第１のミラーと前記第２のミラーとの間に配置され、前記基本波を通過させることにより高次高調波を発生させる非線形光学結晶とを有し、
前記レンズにより集光された光は、前記微小開口を介して前記非線形光学結晶に入射し、前記非線形光学結晶で高次高調波に変換された成分は、前記第１のミラーを通過するが、高次高調波に変換されなかった基本波の成分は前記第１のミラーで反射されて前記非線形光学結晶に入射し、その後前記第２のミラーで反射されて再び前記非線形光学結晶に入射するようになっており、前記微小開口を介して進入した光束は前記第１のミラーを透過するまで単一の光軸に沿って進行するとともに、少なくとも前記第１のミラーで最初に反射したときに前記微小開口付近で集光しないことを特徴とする。
【０００９】
本発明によれば、前記レンズにより集光された光は、前記微小開口を介して前記非線形光学結晶に入射し、前記非線形光学結晶で高次高調波に変換された成分は、前記第１のミラーを通過するが、高次高調波に変換されなかった基本波の成分は前記第１のミラーで反射され、その後前記第２のミラーで反射されて再び前記非線形光学結晶に入射するようになっており、前記微小開口を介して進入した光束は前記第１のミラーを透過するまで単一の光軸に沿って進行するともに、少なくとも前記第１のミラーで最初に反射したときに前記微小開口付近で集光しないので、一旦、前記微小開口を介して前記光共振器内に入射した基本波は、前記第１のミラーで反射した後、前記微小開口を介してのみ光源側に戻るため、前記微小開口を小さくすることで戻り光の量を絞ることができると共に、前記第１のミラーの最初の反射光を前記微小開口付近で集光させないことで、更に前記微小開口を通過する戻り光の割合を抑えることができる。これにより光源として半導体レーザを用いた場合でも、モードホッピング等がおきにくく、安定した発振を行うことができると共に、変換効率を高めることができる。
【００１０】
「非線形光学結晶」としては、例えば第二高調波発生（Second−Harmonic Generation；ＳＨＧ）素子が知られている。ＳＨＧ素子を用いることで、容易に入手可能な汎用の光源を用いて、所望の波長かつ十分な光量のレーザ光を供給することが可能となる。ＳＨＧ素子へ入射する入射光に対する波長変換効率は、結晶長さ、基本波のパワーにもよるが、およそ数％程度でしかないことが知られている。よって光源からの基本波光をＳＨＧ素子へ入射させるのみでは、光源の出力に対して、波長変換後の高調波光の光量が非常に小さくなってしまう。そこで、共振器構造内の光路中にＳＨＧ素子を設け、ＳＨＧ素子が設けられた光路中にてレーザ光を往復させることで、波長変換効率を向上させている。尚、基本波は、例えばλ０＝１．０６４μｍとするが、１．０６４±０．０１μｍであればよい。
【００１１】
請求項２に記載の光共振器は、請求項１に記載の発明において、前記微小開口の直径Δ（ｍｍ）は、前記光源のピーク値から1/e2強度の光線が前記レンズにより集光される開口数をNAe（ｍｍ）とし、前記光源の基本波長をλ0（μｍ）としたとき、以下の式を満足することを特徴とする。
λ0/（π・NAe） < Δ/2 < 5・λ0/（π・NAe）      （１）
【００１２】
図１において、レンズＬＳに光源から波長λ0の光線が入射したときに、光源のピーク値から1/e2強度の光線が、レンズＬＳにより集光され、そのビームウェストの半径Ｗ０は、λ0/（π・NAe）で表せる。このビームウェストの半径Ｗ０に対して、第２ミラーＭ２の微小開口ＡＰの半径Δ／２は、大きいことが望ましい。即ち、Δ/2が（１）式の下限以下であると、前記レンズにより集光される基本波が前記微小開口を通過しにくくなり、Δ/2が（１）式の上限以上であると、前記第１のミラーからの戻り光が前記微小開口を通過し易くなるから、（１）の範囲を満たすのが好ましい。
【００１３】
請求項３に記載の光共振器は、請求項２に記載の発明において、以下の式を満たすことを特徴とする。
０．０３  ≦  NAe  ≦  ０．０８      （２）
【００１４】
ＮＡeを大きくすれば、図２に示すように変換効率が増えるが、前記レンズにより集光される集光ビーム径も大きくなり戻り光が増えてしまう。集光ビーム径は1/ＮＡに比例し、それと同じ径の微小開口を通過できる平行光光束または微小開口面積は、微小開口径の２乗に比例することがわかる。光源の戻り光耐性や、微小開口を通過した戻り光のうち光源まで到達する割合などにもよるが、光共振器内で発生する戻り光量は極力小さくする事が望まれるが、変換効率も考慮するとおよそＮＡeは、（２）式に示すように0.０３から0.０8が望ましい。尚、入射光線の断面及び微小開口が楕円形状で或る場合には、長径Δｘ、短径Δｙについて、それぞれ（１）、（２）式を満たすようにすればよい。
【００１５】
請求項４に記載の光共振器は、請求項１〜３のいずれかに記載の発明において、前記第１のミラーの曲率半径をr1（ｍｍ）（但し、前記第１のミラーのパワーが正のときr1＞０とする）、前記第２のミラーの曲率半径をr2（ｍｍ）（但し、前記第２のミラーのパワーが正のときr2＞０とする）、前記第１ミラーと前記第２ミラーとの光学距離をＤ（ｍｍ）とすると、
-0.1  ＜  （1-Ｄ/r1）（1-Ｄ/r2）  ＜  0.1      （３）
を満たすことを特徴とする。
【００１６】
請求項５に記載の光共振器は、請求項４に記載の発明において、以下の式を満たすことを特徴とする。
０．７  ＜  r1／Ｄ  ＜  ０．８      （４）
【００１７】
請求項６に記載の光共振器は、請求項４に記載の発明において、以下の式を満たすことを特徴とする。
１．２  ＜  r1／Ｄ  ＜  １．５      （５）
【００１８】
請求項７に記載の光共振器は、請求項１〜３のいずれかに記載の発明において、前記第１のミラーの曲率半径をr1（ｍｍ）（但し、前記第１のミラーのパワーが正のときr1＞０とする）、前記第２のミラーの曲率半径をr2（ｍｍ）（但し、前記第２のミラーのパワーが正のときr2＞０とする）、前記第１ミラーと前記第２ミラーとの光学距離をＤ（ｍｍ）とすると、
0.9  ＜  （1-Ｄ/r1）（1-Ｄ/r2）  ＜  1.1      （６）
を満たすことを特徴とする。
【００１９】
請求項８に記載の光共振器は、請求項７に記載の発明において、以下の式を満たすことを特徴とする。
r1／Ｄ  ＜  −１．２      （７）
【００２０】
請求項９に記載の光共振器は、請求項７に記載の発明において、以下の式を満たすことを特徴とする。
１．２  ＜  r1／Ｄ      （８）
【００２１】
請求項１０に記載の光共振器は、請求項７〜９のいずれかに記載の発明において、前記第１のミラー及び前記第２のミラーは、曲率半径５０ｍｍ以上の面からなることを特徴とする。
【００２２】
共振器内での集光ビーム位置が周期的に変化する条件式は、以下のようになる。
０＜（1-Ｄ/r1）（1-Ｄ/r2）＜１      （１０）
ここで、（３）式は（１０）式の下限近傍であり、（６）式は（１０）式の上限近傍を規定する。これにより、変換効率を確保しつつ前記微小開口を介して出射する戻り光を抑制できる。仮に（１０）式の範囲を満足する光共振器を考えると、ミラーで反射された集光ビームの集光位置が周期的に変化していくこととなる。集光位置が周期的に変化するということは、レンズによる光共振器への入射位置が第２のミラーの微小開口付近であることを考慮すると、複数回往復しているうちに、いつかまた微小開口付近にビーム集光点が戻ってくるということになる。そうすると光共振器から光源側への戻り光が相当に増大してしまうため、好ましくない。これとは逆に、（１０）式の範囲外を満足する光共振器を考えてみると、集光ビームの集光点はある位置に収斂するので、収斂する位置が第２のミラー近傍でなければ戻り光自体は少なくなるが、収斂した時の次の１回往復分の倍率をｍeとしたときに、その後往復していくにつれ、トータルの倍率は、me×me×・・・・・と大きくなってしまう。つまりＮＡが指数関数的に大きくなってしまい、よって変換効率が悪化して、好ましくない。しかし、ビーム集光位置が周期的に変化して微小開口付近にビームが集光したとしても、それまでに基本波が十分減衰していれば戻り光量は少なくてすむ。またビーム集光位置が収斂条件にあったとしても、収斂する前までに基本波が高次高調波に十分変換されていれば光効率の波長変換が可能である。こういった理由から、戻り光量が少なくかつ高効率の波長変換をするためには条件式（３）、（６）の範囲を満たすことが望ましいと言える。
【００２３】
ここで、条件式（３）、（６）の範囲を満たす光共振器においては、光学的特長が若干異なるので、その差異について説明する。かかる光学的特長の差異とは、光学系の設定要素であるミラーの曲率半径ｒ1、ｒ2の設定の仕方によって変換効率と戻り光の挙動が異なるため、光学系の設定の思想に差がでることをいう。簡単のために代表値Ｔ＝（1-Ｄ/r1）（1-Ｄ/r2）＝0及び1を例に挙げて、図２６，２７を参照して説明する。尚、図２６，２７に示す表でそれぞれ４分類に分けているが、各分類毎に条件式Ｔ＝0,1を満足するｒ1、ｒ2の特徴点（ｒの値が0、Ｄ、無限となる時）が生じるため、これにより光学系を想像し易くなり、それを代表値とすることで光学系の振舞いを容易に理解できるため分類したものであるが、特徴点が必ずしも光学系の最適値となるとは限らない。また、光線の概略図に書かれているミラーＭ１，Ｍ２は全て平面で描かれているが、実際の形状とは異なる。
【００２４】
ここで、Ｔ＝（1-Ｄ/r1）（1-Ｄ/r2）＝０の場合について説明する。図２６に示す表は、第１のミラーの曲率半径ｒ１、第２のミラーの曲率半径ｒ２、ＮＡ、戻り光量の関係を示している。ミラーの曲率半径に対する光学的特長を見るために、曲率半径ｒ１の特徴点としてｒ１＝０、∞、−∞、さらに、Ｔ＝０とするには、（1-Ｄ/r1）＝０とすればよいので、r1＝Ｄ、の４分類にタイプを分けて、図２６にその光学的特長（共振したときのＮＡの振舞いと戻り光量）を示す。
【００２５】
まず、タイプ（i）の場合、ｒ１＝−∞、ｒ２＝Ｄである。第１のミラーは平面ミラーなのでＮＡは変わらないが、第２のミラーの正のパワーによって次第にＮＡが大きくなる。そのため微小開口でのスポット径は広がるため、微小開口を通過する戻り光の割合は小さくなる。よって同図における光線の概略（i）に示すように、ＮＡは大きくなり、戻り光量は中程度である。タイプ（i）の場合、ＮＡが大きくなるため、高次高調波への変換効率が低いことに加え、光共振器が大型化するという課題がある。
【００２６】
又、タイプ（ii）の場合、ｒ１≒０、ｒ２≒Ｄである。ｒ1≒0であるから第１のミラーのパワーは∞となり、光束は第１のミラーで反射したらＮＡ≒1となる。よって同図における光線の概略（ii）に示すように、ＮＡは１に近づき、また微小開口でのビームスポット径が無限大に広がるため戻り光量はほとんど無くなる。この場合、第１のミラーで光束が発散してしまい、波長変換がほとんどされず、共振器サイズも肥大化しすぎるため現実的な構成とは言い難い。
【００２７】
更に、タイプ（iii）の場合、ｒ１＝Ｄ、ｒ２＝任意である。このとき、微小開口から第１のミラーへの光路と第１のミラーから第２のミラーへの光路は同一となるため、第２のミラーから反射した光束の全てが微小開口を再度通過し、その全量が戻り光量となってしまう。一方、ＮＡは第１のミラーからの１回目の反射までは入射時のＮＡｅとなり、その後はもし仮に第１の反射後に微小開口が無いと仮想すれば、第２のミラーのパワーに依存してＮＡが変化する。例えば第２のミラーが平面であれば複数回往復後もＮＡ＝ＮＡeと想定できる。このためＮＡの増加は比較的小さく設定が可能であり大きな変換効率が望める。
【００２８】
又、タイプ（iv）の場合、ｒ１＝∞、ｒ２＝Ｄである。これはタイプ(i)と同じである。よって同図における光線の概略（iv）に示すように、反射回数の増大に連れてＮＡは大きくなり、戻り光量は中程度となる。
【００２９】
例えば、Ｔ＝０の場合、タイプ(ii)と（iii）及びタイプ（iii）と（iv）の境界を考えると、ＮＡと戻り光量とがトレードオフの関係となるため、変換効率優先か戻り光量低減優先かを決めた上で、システムの設計を行うことが望ましい。以下の式（４）又は（５）を満たすと、ＮＡの減少と戻り光量の抑制とが高次元でバランスされ好ましい。尚、第１のミラーの曲率半径が決まれば、条件式（３）のもと第２のミラーの曲率半径を決めることができる。
０．７  ＜  r1／Ｄ  ＜  ０．８      （４）
１．２  ＜  r1／Ｄ  ＜  １．５      （５）
【００３０】
次に、Ｔ＝（1-Ｄ/r1）（1-Ｄ/r2）＝１の場合について説明する。図２７に示す表は、第１のミラーの曲率半径ｒ１、第２のミラーの曲率半径ｒ２、ＮＡ、戻り光量の関係を示している。図２６と同様に特徴点をｒ１＝−∞、０、Ｄ、∞の４種類のタイプに分けて、図２７にその光学的特長を示す。
【００３１】
まず、タイプ（i）の場合、ｒ１＝−∞、ｒ２＝−∞であるとする。第１のミラー及び第２のミラーは平面ミラーなので反射を繰り返してもＮＡは変わらない。よって同図における光線の概略（i）に示すように、ＮＡはＮＡｅとなり、戻り光量は少なくなる。しかし、反射回数に応じて光束径が増大するので、光共振器が大型化するという課題がある。
【００３２】
又、タイプ（ii）の場合、ｒ１≒０、ｒ２≒Ｄである。ｒ1≒0であるから第１のミラーのパワーは∞となり、光束は第１のミラーで反射したらＮＡ≒1となる。よって同図における光線の概略（ii）に示すように、ＮＡは１に近づき、戻り光量はほとんど無くなる。この場合、波長変換がほとんどされず、共振器サイズも肥大化しすぎるため現実的な構成とは言い難い。
【００３３】
更にタイプ（iii）の場合、ｒ１≒Ｄ、ｒ２≒０である。このとき、微小開口から第１のミラーへの光路と第１のミラーから第２のミラーへの光路は同一となるため、第２のミラーから反射した光束の全てが微小開口を再度通過し、その全量が戻り光量となってしまう。一方、ＮＡは第１のミラーからの１回目の反射までは入射時のＮＡｅとなり、その後はもし仮に第１の反射後に微小開口が無いと仮想すれば、第２のミラーのパワーが無限なのでＮＡは増大する。
【００３４】
又、タイプ（iv）の場合、ｒ１＝∞、ｒ２＝∞である。これはタイプ(i)と同じである。よって、同図における光線の概略（iv）に示すように、ＮＡはＮＡｅとなり、戻り光量は少なくなる。
【００３５】
例えば、Ｔ＝１の場合、タイプ(i),(iv)のように、ｒ１が∞であるとＮＡも大きくならず変換効率が高く設定でき、光束も常に広がるので戻り光量も少なく抑える事が可能である。Ｔ＝０とは異なり、タイプ（iii）と（iv）の境界でＮＡと戻り光のトレードオフがないため両者を最適化でき、またタイプ（i）と（ii）の境界では戻り光量が少ないため弱いトレードオフとなっていることから、ｒ1＝ｒ2＝∞にすれば言いように思えるが、光束径が常に広がるため共振器のビーム広がり方向のサイズが大きくなってしまうという課題が出てくる。そこで、ＳＨＧ素子やミラーなどの光学系より外側に広がる前に十分な光量で波長変換できるように、ミラーにある程度曲率を持たせて、以下の式（７）又は（８）を満たすと、光束径の減少と戻り光量の抑制とが高次元でバランスされ好ましい。
r1／Ｄ  ＜  −１．２      （７）
１．２  ＜  r1／Ｄ      （８）
【００３６】
「光学距離」について説明する。光学距離とは、媒質の実距離ｄ、媒質の屈折率nとしたときに、ｄ/nで表される値である。例えば、ＳＨＧ素子の実距離（長さ）を5mm、屈折率を2.5とすると、ＳＨＧ素子の光学距離は5/2.5＝2 [mm]となる。又、基本波のパワーをＰ１とし、第二高調波のパワーをＰ２とすると、数１式が成立する。
【００３７】
【数１】
2011043546.tif 000003
但し、
n1：基本波屈折率
n2：倍波屈折率
ε0：真空の誘電率
ｃ：光速
λ：基本波の波長
Ｌ：結晶長
ｄeff：非線形光学定数
ｈ：Boyd-Kleinman factor
ｈはＬとフラウンフォーファー長Ｚｒより決まるパラメータ
【００３８】
集光ＮＡに対するＰ２/Ｐ12の値の例を図２に示す。図２によれば、およそＮＡが大きくなることで変換効率が低下する。このとき、キャビティー長を5mmとし、キャビティー内はＳＨＧ素子で満たされているとした。このようにＮＡが大きくなると変換パワーが減少していく様子が分かる。このため集光パワーのＮＡは極力大きくしないで変換効率を高くする必要がある。
【００３９】
請求項１１に記載の光共振器は、請求項１〜３のいずれかに記載の発明において、前記光共振器に入射した基本波が前記第１のミラーにより反射し、前記第２のミラーにより反射した後に前記第１のミラーと前記第２のミラーとの間で初めて集光点を持つことを特徴とする。これにより、前記微小開口を介して出射する戻り光を抑制し、変換効率を高めることができる。
【００４０】
請求項１２に記載の光共振器は、請求項１〜３のいずれかに記載の発明において、前記光共振器に入射した基本波のうち、前記第１のミラーの反射後における前記光共振器内で最初に集光される第１集光点は、その次に集光される第２集光点と位置が異なることを特徴とする。これにより、前記微小開口を介して出射する戻り光を抑制し、変換効率を高めることができる。
【００４１】
請求項１３に記載の光共振器は、請求項１２に記載の発明において、前記第１集光点は、前記第２集光点より光源側にあることを特徴とする。
【００４２】
請求項１４に記載の光共振器は、請求項１〜３、１１〜１３のいずれかに記載の発明において、前記光共振器内の光束の往復回数をｎ、ミラーの反射によって前記光共振器内に基本波が集光される回数をｍとすると以下の式を満足することを特徴とする。これにより、前記微小開口を介して出射する戻り光を抑制し、変換効率を高めることができる。
ｎ−１  ＞  ｍ      （５）
【００４３】
請求項１５に記載の光共振器は、請求項１４に記載の発明において、前記光共振器に入射した基本波が、前記第１のミラーにより反射し前記第２のミラーにより反射した後、再度前記第１のミラーで反射するまでの間に、前記第１のミラーと前記第２のミラーとの間で集光点を持たないことを特徴とする。これにより、前記微小開口を介して出射する戻り光を更に抑制し、変換効率を高めることができる。
【００４４】
請求項１６に記載の光共振器は、請求項１５に記載の発明において、前記微小開口は、前記基本波を透過する部材により覆われていることを特徴とする。微小開口が基本波を透過する部材により覆われる例を示すと、図２８に示すように、基材となるガラス（又は樹脂）ＧＬの一方の面に、中央小領域だけマスキングしながらアルミ蒸着ＡＬを行って形成された第２のミラーＭ２において、微小開口ＡＰはアルミ蒸着ＡＬされていない非コート部分に相当するが、ガラスＧＬには孔は形成されていないものである。かかる場合、ガラスＧＬが微小開口ＡＰを覆っていることとなる。
【００４５】
請求項１７に記載の光共振器は、請求項１〜１５のいずれかに記載の発明において、前記微小開口は、前記第２のミラーに形成された円孔もしくは楕円孔であることを特徴とする。
【００４６】
請求項１８に記載の波長変換レーザ装置は、請求項１〜１７のいずれかに記載の光共振器と、前記レーザ光源の出射光を前記光共振器内に集光させるレーザ光源と、レンズとを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００４７】
本発明によれば、簡素な構成でありながら、基本波の変換効率を高めることができる光共振器及び波長変換レーザ装置を提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】レンズＬＳに光源から波長λ0の光線が入射したときに、光源のピーク値から1/e2強度の光線が、レンズＬＳにより集光され、ビームウェストが形成される状態を示す図である。
【図２】ＮＡと変換効率とを示す図である。
【図３】本実施の形態の光共振器を含む波長変換レーザ装置の概略図である。
【図４】実施例１の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、第２のミラーＭ２によって集光される集光点の第２のミラーＭ２からの光学距離、及びトータル角倍率との関係を示すグラフである。
【図５】実施例１の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、微小開口から光源側へ戻る戻り光の光量との関係を示す図である。
【図６】実施例１の光共振器において、往復回数５回までの光線を示す図である。
【図７】実施例２の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、第２のミラーＭ２によって集光される集光点の第２のミラーＭ２からの光学距離、及びトータル角倍率との関係を示すグラフである。
【図８】実施例２の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、微小開口から光源側へ戻る戻り光の光量との関係を示す図である。
【図９】実施例２の光共振器において、往復回数５回までの光線を示す図である。
【図１０】実施例３の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、第２のミラーＭ２によって集光される集光点の第２のミラーＭ２からの光学距離、及びトータル角倍率との関係を示すグラフである。
【図１１】実施例３の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、微小開口から光源側へ戻る戻り光の光量との関係を示す図である。
【図１２】実施例３の光共振器において、往復回数５回までの光線を示す図である。
【図１３】実施例３の変形例にかかる基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、微小開口から光源側へ戻る戻り光の光量との関係を示す図である。
【図１４】実施例４の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、第２のミラーＭ２によって集光される集光点の第２のミラーＭ２からの光学距離、及びトータル角倍率との関係を示すグラフである。
【図１５】実施例４の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、微小開口から光源側へ戻る戻り光の光量との関係を示す図である。
【図１６】実施例４の光共振器において、往復回数５回までの光線を示す図である。
【図１７】実施例５の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、第２のミラーＭ２によって集光される集光点の第２のミラーＭ２からの光学距離、及びトータル角倍率との関係を示すグラフである。
【図１８】実施例５の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、微小開口から光源側へ戻る戻り光の光量との関係を示す図である。
【図１９】実施例５の光共振器において、往復回数５回までの光線を示す図である。
【図２０】実施例６の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、第２のミラーＭ２によって集光される集光点の第２のミラーＭ２からの光学距離、及びトータル角倍率との関係を示すグラフである。
【図２１】実施例６の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、微小開口から光源側へ戻る戻り光の光量との関係を示す図である。
【図２２】実施例６の光共振器において、往復回数５回までの光線を示す図である。
【図２３】比較例の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、第２のミラーＭ２によって集光される集光点の第２のミラーＭ２からの光学距離、及びトータル角倍率との関係を示すグラフである。
【図２４】比較例の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、微小開口から光源側へ戻る戻り光の光量との関係を示す図である。
【図２５】比較例の光共振器において、往復回数５回までの光線を示す図である。
【図２６】Ｔ＝０において、第１のミラーの曲率半径ｒ１、第２のミラーの曲率半径ｒ２、ＮＡ、戻り光量の関係を示す図である。
【図２７】Ｔ＝１において、第１のミラーの曲率半径ｒ１、第２のミラーの曲率半径ｒ２、ＮＡ、戻り光量の関係を示す図である。
【図２８】微小開口が基本波を透過する部材により覆われる例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００４９】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。図３は、本実施の形態の光共振器を含む波長変換レーザ装置の概略図である。図３において、波長変換レーザ装置は、基本波としてλ０＝1.064μmの光線を出射する光源としての半導体レーザＬＤと、レンズＬＳと、光共振器ＯＲとを有する。光共振器ＯＲは、光源側に配置された、円形又は楕円形状の微小開口ＡＰを有する第２のミラーＭ２と、第１のミラーＭ１と、第２のミラーＭ２と第１のミラーＭ１との間に配置されたバルク状のＳＨＧ素子ＳＨＧからなる。尚、微小開口ＡＰは、基本波を透過するガラス基板等によって塞がれていても良い。第１のミラーＭ１は、ＳＨＧ素子ＳＨＧにより変換された第二高調波は透過するが、基本波を反射するようになっている。第２のミラーＭ２は、微小開口ＡＰ以外、基本波を反射するようになっている。
【００５０】
半導体レーザＬＤから照射された基本波はレンズＬＳで集光され、微小開口ＡＰ付近でビームウエストを持ち、ＳＨＧ素子ＳＨＧを通過して、一部が波長０．５３２μｍの第二高調波に変換され、第二高調波は点線で示すように、第１のミラーＭ１を透過して光共振器ＯＲの外部へと出射される。一方、ＳＨＧ素子ＳＨＧで第二高調波に変換されなかった基本波は、第１のミラーＭ１で反射され、再びＳＨＧ素子を通過して一部が第二高調波に変換され、第２のミラーＭ２で反射され、その後初めて集光するようになっている。光共振器ＯＲに入射した基本波のうち、第１のミラーＭ１の反射後における光共振器ＯＲ内で最初に集光される第１集光点は、まず微小開口ＡＰ付近以外の位置に集光し、その次に集光される第２集光点と位置が異なると好ましい。かかる場合、第１集光点は第２集光点より光源側にあると好ましい。
【００５１】
光共振器ＯＲ内の光束の往復回数をｎ、ミラーＭ２の反射によって光共振器ＯＲ内に基本波が集光される回数をｍとすると以下の式を満足すると好ましい。
ｎ−１  ＞  ｍ      （５）
【００５２】
但し、光共振器に入射した基本波が、第１のミラーＭ１により反射し第２のミラーＭ２により反射した後、再度第１のミラーＭ１で反射するまでの間に、第１のミラーＭ１と第２のミラーＭ２との間で集光点を持たないようにしても良い。
【００５３】
集光された光線のうち基本波は、ＳＨＧ素子を通過して一部が第二高調波に変換され、第１のミラーＭ１を透過して光共振器ＯＲの外部へと出射される。一方、ＳＨＧ素子ＳＨＧで第二高調波に変換されなかった基本波は、第１のミラーで反射される。微小開口ＡＰを介して進入した光束は、第１のミラーＭ１を透過するまで単一の光軸に沿って進行する。このようにしてＳＨＧ素子ＳＨＧを、繰り返し５〜１０回通過させるうちに、光ロスで失われた以外の光線が第二高調波に変換されて、第１のミラーＭ１を透過して光共振器ＯＲの外部へと出射されることとなる。
【００５４】
本発明によれば、光共振器ＯＲ内に入射した基本波は、第１のミラーＭ１で反射した後、微小開口ＡＰを介して半導体レーザＬＤに戻りにくい構造となっており、これにより半導体レーザＬＤにモードホッピング等がおきにくく、安定した発振を行うことができると共に、変換効率を高めることができる。尚、トータルの戻り光は、ｄＢ＝１０・ｌｏｇ（戻り光量／出射光量）で表したとき、−１０ｄＢ以下に抑えられるのがよい。
【実施例１】
【００５５】
（実施例１）
図４は、実施例１の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、第２のミラーＭ２によって集光される集光点の第２のミラーＭ２からの光学距離、及びトータル角倍率との関係を示すグラフである。図５は、実施例１の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、微小開口から光源側へ戻る戻り光の光量との関係を示す図である。図６は、実施例１の光共振器において、往復回数５回までの光線を示す図である。実施例１の光共振器の仕様は以下の通りである。
基本波長：1.064μm
第１のミラーの曲率半径r1=5.631 [mm]  凹面鏡
第２のミラーの曲率半径r2=3.754 [mm]  凹面鏡
(1-D/r1)(1-D/r2)=  -0.019＜0（スポットが収斂する）
集光レンズのＮＡ（1/e2光線）＝0.05
微小開口の半径Δ/2=1.5・λ0/（π・NAe）= 1.5・1.064μm/（π・0.05）= 10.16[μm]
第１のミラーと第２のミラーの間隔（光学距離）：４ｍｍ
SHG素子長:5mm（ＳＨＧ屈折率2.5）
第２のミラーとＳＨＧ素子との距離（air）:1mm
ＳＨＧ素子と第１のミラーとの距離（air）:1mm
【００５６】
本実施例の場合、往復回数６回程度で集光位置が定まる。光線の広がり度合いを示すトータル角倍率は、往復回数が増えるに従って増大する。従って、低往復回数中に殆どの基本波が波長変換されればよい。角倍率が大きくなると変換効率が減少する。本実施例では、往復回数２０回でトータルの戻り光の割合は−１７ｄＢである。
【００５７】
（実施例２）
図７は、実施例２の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、第２のミラーＭ２によって集光される集光点の第２のミラーＭ２からの光学距離、及びトータル角倍率との関係を示すグラフである。図８は、実施例２の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、微小開口から光源側へ戻る戻り光の光量との関係を示す図である。図９は、実施例２の光共振器において、往復回数５回までの光線を示す図である。実施例２の光共振器の仕様は以下の通りである。
基本波長：1.064μm
第１のミラーの曲率半径r1=5.082 [mm]  凹面鏡
第２のミラーの曲率半径r2=4.032 [mm]  凹面鏡
(1-D/r1)(1-D/r2)=  0.0017>0（スポットが収斂しない）
集光レンズのＮＡ（1/e2光線）＝0.05
微小開口の半径Δ/2=1.5・λ0/（π・NAe）= 1.5・1.064μm/（π・0.05）= 10.16[μm]
第１のミラーと第２のミラーの間隔（光学距離）：４ｍｍ
SHG素子長:5mm（ＳＨＧ屈折率2.5）
第２のミラーとＳＨＧ素子との距離（air）:1.8mm
ＳＨＧ素子と第１のミラーとの距離（air）:0.2mm
【００５８】
本実施例の場合、往復回数に関わらず集光位置が定まらない。トータル角倍率は、往復回数が１６回前後で最大となる。従って、基本波が集光しないため、トータルの角倍率が抑えられている。よって、集光ＮＡが大きくなるのを抑えられるため変換効率が高い。本実施例では、往復回数２０回でトータルの戻り光の割合は−１４ｄＢである。
【００５９】
（実施例３）
図１０は、実施例３の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、第２のミラーＭ２によって集光される集光点の第２のミラーＭ２からの光学距離、及びトータル角倍率との関係を示すグラフである。図１１は、実施例３の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、微小開口から光源側へ戻る戻り光の光量との関係を示す図である。図１２は、実施例３の光共振器において、往復回数５回までの光線を示す図である。実施例３の光共振器の仕様は以下の通りである。
基本波長：1.064μm
第１のミラーの曲率半径r1=-70.000 [mm]  略平面鏡
第２のミラーの曲率半径r2=71.498 [mm]  略平面鏡
(1-D/r1)(1-D/r2)=  0.998>0（スポットが収斂しない）
集光レンズのＮＡ（1/e2光線）＝0.05
微小開口の半径Δ/2=2.0・λ0/（π・NAe）= 2.0・1.064μm/（π・0.05）= 13.55[μm]
第１のミラーと第２のミラーの間隔（光学距離）：４ｍｍ
SHG素子長:5mm（ＳＨＧ屈折率2.5）
第２のミラーとＳＨＧ素子との距離（air）:1.0mm
ＳＨＧ素子と第１のミラーとの距離（air）:1.0mm
【００６０】
本実施例の場合、第１のミラーと第２のミラーは略平面である。往復回数７，８回では、第２のミラーから遠方に集光する。トータル角倍率は、往復回数が増大するに連れて減少する。本実施例では、往復回数２０回でトータルの戻り光の割合は−２１ｄＢである。
【００６１】
尚、図１３は、本実施例の変形例として、微小開口の半径を、
Δ/2=4.5・λ0/（π・NAe）= 4.5・1.064μm/（π・0.05）= 30.48[μm]
とした場合における、光線の往復回数と、微小開口から光源側へ戻る戻り光の光量との関係を図示す図である。この場合でも、往復回数２０回でトータルの戻り光の割合は−１８ｄＢである。
【００６２】
（実施例４）
図１４は、実施例４の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、第２のミラーＭ２によって集光される集光点の第２のミラーＭ２からの光学距離、及びトータル角倍率との関係を示すグラフである。図１５は、実施例４の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、微小開口から光源側へ戻る戻り光の光量との関係を示す図である。図１６は、実施例４の光共振器において、往復回数５回までの光線を示す図である。実施例４の光共振器の仕様は以下の通りである。
基本波長：1.064μm
第１のミラーの曲率半径r1=-9.000 [mm]  凸面鏡
第２のミラーの曲率半径r2=5.820 [mm]  凹面鏡
(1-D/r1)(1-D/r2)=  0.219>0（スポットが収斂しない）
集光レンズのＮＡ（1/e2光線）＝0.06
微小開口の半径Δ/2=2.0・λ0/（π・NAe）= 2.0・1.064μm/（π・0.06）= 9.97[μm]
第１のミラーと第２のミラーの間隔（光学距離）：５ｍｍ
SHG素子長:7.5mm（ＳＨＧ屈折率2.5）
第２のミラーとＳＨＧ素子との距離（air）:1.8mm
ＳＨＧ素子と第１のミラーとの距離（air）:0.2mm
【００６３】
本実施例の場合、集光位置が周期的に変化する。従ってトータル角倍率も周期的に変化する。本実施例では、往復回数13回で集光スポットが第２のミラー付近に戻ってくるため戻り光量がその部分で大きくなるが、それまではトータルの戻り光の割合は-20dBに抑えられ、更に往復回数22回までは-15dB付近まで抑えられている。
【００６４】
（実施例５）
図１７は、実施例５の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、第２のミラーＭ２によって集光される集光点の第２のミラーＭ２からの光学距離、及びトータル角倍率との関係を示すグラフである。図１８は、実施例５の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、微小開口から光源側へ戻る戻り光の光量との関係を示す図である。図１９は、実施例５の光共振器において、往復回数５回までの光線を示す図である。実施例５の光共振器の仕様は以下の通りである。
基本波長：1.064μm
第１のミラーの曲率半径r1=-11.000 [mm]  凸面鏡
第２のミラーの曲率半径r2=19.934 [mm]  凹面鏡
(1-D/r1)(1-D/r2)=  1.09>1（スポットが収斂する）
集光レンズのＮＡ（1/e2光線）＝0.04
微小開口の半径Δ/2=2.0・λ0/（π・NAe）= 2.0・1.064μm/（π・0.04）= 16.93[μm]
第１のミラーと第２のミラーの間隔（光学距離）：４ｍｍ
SHG素子長:5mm（ＳＨＧ屈折率2.5）
第２のミラーとＳＨＧ素子との距離（air）:1.4mm
ＳＨＧ素子と第１のミラーとの距離（air）:0.6mm
【００６５】
本実施例の場合、往復回数８回以降、集光位置が遠方となる。トータル角倍率は往復回数６回以降一定となる。本実施例では、往復回数１０回でトータルの戻り光の割合は−２４ｄＢである。
【００６６】
（実施例６）
図２０は、実施例６の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、第２のミラーＭ２によって集光される集光点の第２のミラーＭ２からの光学距離、及びトータル角倍率との関係を示すグラフである。図２１は、実施例６の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、微小開口から光源側へ戻る戻り光の光量との関係を示す図である。図２２は、実施例６の光共振器において、往復回数５回までの光線を示す図である。実施例６の光共振器の仕様は以下の通りである。
基本波長：1.064μm
第１のミラーの曲率半径r1=∞  平面鏡
第２のミラーの曲率半径r2=∞  平面鏡
(1-D/r1)(1-D/r2)=  1.00（スポットが収斂する）
集光レンズのＮＡ（1/e2光線）＝0.05
微小開口の半径Δ/2=2.0・λ0/（π・NAe）= 2.0・1.064μm/（π・0.05）= 13.55[μm]
第１のミラーと第２のミラーの間隔（光学距離）：４ｍｍ
SHG素子長:5mm（ＳＨＧ屈折率2.5）
第２のミラーとＳＨＧ素子との距離（air）:1.0mm
ＳＨＧ素子と第１のミラーとの距離（air）:1.0mm
【００６７】
本実施例の場合、往復回数が増大するに連れて、集光位置が徐々に遠ざかる。トータル角倍率は往復回数に関わらず一定である。本実施例では、往復回数２０回でトータルの戻り光の割合は−２５ｄＢである。
【００６８】
（比較例）
図２３は、比較例の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、第２のミラーＭ２によって集光される集光点の第２のミラーＭ２からの光学距離、及びトータル角倍率との関係を示すグラフである。図２４は、比較例の光共振器において、基本波を入射させた場合における光線の往復回数と、微小開口から光源側へ戻る戻り光の光量との関係を示す図である。図２５は、比較例の光共振器において、往復回数５回までの光線を示す図である。比較例の光共振器の仕様は以下の通りである。
基本波長：1.064μm
第１のミラーの曲率半径r1=2.000 [mm]  凹面鏡
第２のミラーの曲率半径r2=1.860 [mm]  凹面鏡
(1-D/r1)(1-D/r2)=  1.15>1（スポットが収斂する）
集光レンズのＮＡ（1/e2光線）＝0.05
微小開口の半径Δ/2=2.0・λ0/（π・NAe）= 2.0・1.064μm/（π・0.05）= 13.55[μm]
第１のミラーと第２のミラーの間隔（光学距離）：４ｍｍ
SHG素子長:5mm（ＳＨＧ屈折率2.5）
第２のミラーとＳＨＧ素子との距離（air）:0.2mm
ＳＨＧ素子と第１のミラーとの距離（air）:1.8mm
【００６９】
比較例では、トータルの戻り光の割合は−３１ｄＢと低いものの、往復回数５回以降トータル角倍率が急激に増大するため、第１のミラーを透過する第二高調波が減少し変換効率が悪くなる。又、以上の実施例は球面ミラーの設計であるが、非球面ミラーを使用してもよい。非球面ミラーを使用すると、球面ミラーで発生する球面収差を補正でき集光スポットのビーム広がりを小さく抑えることができる。
【符号の説明】
【００７０】
ＡＰ 微小開口
ＬＳ レンズ
ＬＤ 半導体レーザ
Ｍ１ 第１のミラー
Ｍ２ 第２のミラー
ＯＲ 光共振器
ＳＨＧ ＳＨＧ素子
【図１】
2011043546.tif 000004
【図２】
2011043546.tif 000005
【図４】
2011043546.tif 000006
【図５】
2011043546.tif 000007
【図６】
2011043546.tif 000008
【図７】
2011043546.tif 000009
【図８】
2011043546.tif 000010
【図９】
2011043546.tif 000011
【図１０】
2011043546.tif 000012
【図１１】
2011043546.tif 000013
【図１２】
2011043546.tif 000014
【図１３】
2011043546.tif 000015
【図１４】
2011043546.tif 000016
【図１５】
2011043546.tif 000017
【図１６】
2011043546.tif 000018
【図１７】
2011043546.tif 000019
【図１８】
2011043546.tif 000020
【図１９】
2011043546.tif 000021
【図２０】
2011043546.tif 000022
【図２１】
2011043546.tif 000023
【図２２】
2011043546.tif 000024
【図２３】
2011043546.tif 000025
【図２４】
2011043546.tif 000026
【図２５】
2011043546.tif 000027
【図２６】
2011043546.tif 000028
【図２７】
2011043546.tif 000029
【図２８】
2011043546.tif 000030
【図３】
2011043546.tif 000031