(57)【要約】【課題】外調機を合理的に配置して、省スペース化及び省コスト化を図ったクリーンルーム施設及び外調機を提供する。【解決手段】クリーンルーム１を挟んで上部に天井チャンバ４、下部に床下チャンバ３を備えるとともに天井チャンバ４と床下チャンバ３を連通させるレターンシャフト７を備え、天井チャンバ４、レターンシャフト７、床下チャンバ３により室内空気を循環させる一連の循環経路を形成し、この循環経路の途中に設けた空調機８によって室内負荷を処理しつつ室内空気を循環させるクリーンルーム施設Ｂにおいて、外気ＯＡを取り入れるとともに外気負荷を処理して室内に供給するための外調機３０を備え、この外調機３０を床下チャンバ３の外周部２０側に形成した外調機室２２に設置して、取り入れた外気ＯＡを処理しつつ処理後の外気ＳＯＡを床下チャンバ３内に直接供給するようにした。【選択図】図１
2011047561.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンルームを挟んで上部に天井チャンバ、下部に床下チャンバを備えるとともに前記天井チャンバと前記床下チャンバを連通させるレターンシャフトを備え、前記天井チャンバ、前記レターンシャフト、前記床下チャンバにより室内空気を循環させる一連の循環経路を形成し、該循環経路の途中に設けた空調機によって室内負荷を処理しつつ前記室内空気を循環させるクリーンルーム施設において、
外気を取り入れるとともに外気負荷を処理して室内に供給するための外調機を備え、
該外調機を前記床下チャンバの外周部側に形成した外調機室に設置して、取り入れた前記外気を処理しつつ処理後の前記外気を前記床下チャンバ内に直接供給するようにしたことを特徴とするクリーンルーム施設。
【請求項２】
請求項１記載のクリーンルーム施設において、
前記外調機が、前記外気の外気負荷を処理するための各種処理コンポーネントを備えた外調機本体上に、前記外気を取り入れる取入口を備えた外気取入ダクトと、前記処理後の外気を前記床下チャンバ内に供給する給気口を備えた給気ダクトとが一体に設けられていることを特徴とするクリーンルーム施設。
【請求項３】
請求項２記載のクリーンルーム施設において、
前記外調機室に複数の前記外調機が並設され、隣り合う前記外調機の給気ダクト同士が繋げられていることを特徴とするクリーンルーム施設。
【請求項４】
請求項３記載のクリーンルーム施設において、
前記隣り合う外調機の給気ダクト同士が風量調節ダンパを介して繋げられていることを特徴とするクリーンルーム施設。
【請求項５】
クリーンルーム施設に設けられ、外気を取り入れるとともに外気負荷を処理して室内に供給するための外調機であって、
前記外気の外気負荷を処理するための各種処理コンポーネントを備えた外調機本体上に、前記外気を取り入れる取入口を備えた外気取入ダクトと、前記処理後の外気を前記床下チャンバ内に供給する給気口を備えた給気ダクトとが一体に設けられていることを特徴とする外調機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体や液晶パネルの製造工場等に適用されるクリーンルーム施設及び該クリーンルーム施設に設けられる外調機に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば半導体や液晶パネルの製造工場等においては、清浄度の高い空気環境下での作業を要するため、クリーンルーム施設が具備されている。そして、この種のクリーンルーム施設には、クリーンルームを挟んで上部に天井チャンバ、下部に床下チャンバを備えるとともに天井チャンバと床下チャンバを連通させるレターンシャフトを備えて構成したものがある（例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３参照）。
【０００３】
図５及び図６は、この種のクリーンルーム施設Ａの一例を示したものであり、このクリーンルーム施設Ａにおいては、クリーンルーム１の床面２をグレーティングで形成して床下部の床下チャンバ３とクリーンルーム１を連通させ、天井面５に送風機及びフィルタからなるファンフィルタユニット（ＦＦＵ）６を設置し、天井部に設けた天井チャンバ４をこのＦＦＵ６を介してクリーンルーム１と連通させている。また、周壁部（外周部）に床下チャンバ３と天井チャンバ４を連通させる（連絡する）レターンシャフト７を設け、床下チャンバ３、レターンシャフト７、天井チャンバ４により一連の循環経路を形成して、室内空気が循環するようにしている。
【０００４】
さらに、床下チャンバ３とレターンシャフト７の接続部（循環経路の途中）に、室内顕熱負荷を処理するためのドライコイルを備えた空調機８を設け、この空調機８によって室内空気を処理しつつ循環させる。すなわち、空調機８によって室内空気を床面２から還気ＲＡとして床下チャンバ３に吸い込み、空調機８で処理した給気ＳＡを、レターンシャフト７を通じて天井チャンバ４に供給し、ＦＦＵ６によってこの給気ＳＡを天井チャンバ４からクリーンルーム１内に下向きに吹き出して供給する。
【０００５】
また、この種のクリーンルーム施設Ａにおいては、複数の外調機１０が設けられ、これら外調機１０によって外気ＯＡを取り入れるとともに外気負荷を処理して室内に供給する。このように外気ＯＡを室内に供給することで、室内を外部に対して陽圧状態で保持し予期せぬ清浄度の低い外気ＯＡの室内への流入を防止している。また、このクリーンルーム施設Ａにおいて、外調機１０は、外気取入口１２からダクト１３を通じて新鮮な外気ＯＡを取り入れ、処理後の外気ＯＡを吹出口１５からダクト１４を通じて天井チャンバ４内に供給する。そして、天井チャンバ４内で空調機８からの給気ＳＡと外調機１０からの処理後の外気ＯＡを混合させて、ＦＦＵ６により室内に供給するようにしている。なお、図示せぬ排気ファン等によって加圧相当分を残して室内空気を排気することで、室内の陽圧状態を一定に保持するようにしている。
【０００６】
一方、このような外調機１０は、一般に機械室１１に設置され、機械室１１は、処理後の外気ＯＡを天井チャンバ４内にダクト１４を通じて供給するために、すなわち天井チャンバ４の近くに外調機１０を配置してダクト１４を極力短くするために、クリーンルーム１の床面２が設けられている階（２階）の周壁部に設けたレターンシャフト７の外側に設けられる場合が多い。なお、この機械室１１の下（１階）の室は、ユーティリティおよび居室等の諸室１６とされる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−３２２３７５号公報
【特許文献２】特開２００４−１９０９７２号公報
【特許文献３】特開２００６−１２５８１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、図５及び図６に示すような従来のクリーンルーム施設Ａにおいては、一般に、クリーンルーム１内に設置される各種機器に関連した補機類を床下チャンバ３に設置し、この床下チャンバ３を補機スペースとして兼用している。そして、このような補機類とともに、空調機８を床下チャンバ３とレターンシャフト７の接続部、すなわち補機スペースに設けることで、室内空気を循環させる循環系の省スペース化を図っている。
【０００９】
しかしながら、外調機１０においては、機械室１１に設置するようにしていため、この機械室１１のスペースを確保しなければならない。また、取り入れた外気ＯＡを処理し、この処理後の外気ＯＡを天井チャンバ４内全体に偏りなく、ひいてはクリーンルーム１全体に偏りなく供給するために天井チャンバ４内全体にダクト１４を敷設する必要がある。このため、クリーンルーム施設Ａの省スペース化並びに省コスト化を図る上で、この外調機１０が障害となっていた。
【００１０】
本発明は、上記事情に鑑み、外調機を合理的に配置して、省スペース化及び省コスト化を図ったクリーンルーム施設及び外調機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の目的を達するために、この発明は以下の手段を提供している。
【００１２】
本発明のクリーンルーム施設は、クリーンルームを挟んで上部に天井チャンバ、下部に床下チャンバを備えるとともに前記天井チャンバと前記床下チャンバを連通させるレターンシャフトを備え、前記天井チャンバ、前記レターンシャフト、前記床下チャンバにより室内空気を循環させる一連の循環経路を形成し、該循環経路の途中に設けた空調機によって室内負荷を処理しつつ前記室内空気を循環させるクリーンルーム施設において、外気を取り入れるとともに外気負荷を処理して室内に供給するための外調機を備え、該外調機を前記床下チャンバの外周部側に形成した外調機室に設置して、取り入れた前記外気を処理しつつ処理後の前記外気を前記床下チャンバ内に直接供給するようにしたことを特徴とする。
【００１３】
この発明においては、外調機を床下チャンバの外周部側に形成した外調機室に設置し、取り入れた外気を処理しつつ床下チャンバ内に直接供給することで、すなわち補機スペースを兼ねる床下チャンバ内に外調機を設け、処理後の外気を床下チャンバ内に給気することで、機械スペースを床下チャンバに集約することが可能になる。これにより、外調機を設置する機械室を別途設ける必要がないため、クリーンルーム施設の省スペース化を図ることが可能になる。また、処理後の外気を天井チャンバに供給するダクトを不要にできるため、省コスト化を図ることが可能になる。
【００１４】
さらに、このように天井チャンバ内全体に敷設されるダクトを不要にできることで、外気の取り入れ、処理後の外気を給気するための外調機が備えるファンの駆動力を低減することが可能になる。これにより、従来のクリーンルーム施設に設けられた外調機のファンと比較し、低駆動力のファンを用いて外気の取り入れ、処理後の外気の給気を行うことが可能になり、外調機のコンパクト化を図ることも可能になる。
【００１５】
また、本発明のクリーンルーム施設においては、前記外調機が、前記外気の外気負荷を処理するための各種処理コンポーネントを備えた外調機本体上に、前記外気を取り入れる取入口を備えた外気取入ダクトと、前記処理後の外気を前記床下チャンバ内に供給する給気口を備えた給気ダクトとが一体に設けられていることが望ましい。
【００１６】
この発明においては、外調機本体に一体に設けた外気取入ダクトと給気ダクトの取入口と給気口をそれぞれ外部と床下チャンバに連通させることで、容易に且つ好適に処理後の外気を循環経路に供給することができる。そして、このように外気取入ダクトと給気ダクトを外調機本体に設けて外調機を構成することで、外調機のコンパクト化を図ることができ、確実に省スペース化及び省コスト化を図ることが可能になる。
【００１７】
さらに、本発明のクリーンルーム施設においては、前記外調機室に複数の前記外調機が並設され、隣り合う前記外調機の給気ダクト同士が繋げられていることがより望ましい。
【００１８】
この発明においては、複数の外調機の給気ダクトを繋ぐことで、例えば一部の外調機に不具合が生じた場合においても、各外調機から床下チャンバ内に偏りなく好適に処理後の外気を供給することが可能になり、バックアップシステムを確立することが可能になる。
【００１９】
また、本発明のクリーンルーム施設においては、前記隣り合う外調機の給気ダクト同士が風量調節ダンパを介して繋げられていることがさらに望ましい。
【００２０】
この発明においては、複数の外調機の給気ダクトを、風量調節ダンパを介して繋げることによって、より確実に、各外調機から処理後の外気を床下チャンバの空間内に偏りなく供給することが可能になる。
【００２１】
本発明の外調機は、クリーンルーム施設に設けられ、外気を取り入れるとともに外気負荷を処理して室内に供給するための外調機であって、前記外気の外気負荷を処理するための各種処理コンポーネントを備えた外調機本体上に、前記外気を取り入れる取入口を備えた外気取入ダクトと、前記処理後の外気を前記床下チャンバ内に供給する給気口を備えた給気ダクトとが一体に設けられていることを特徴とする。
【００２２】
この発明においては、外気取入ダクトの取入口をクリーンルーム施設の外部と連通させ、給気ダクトの給気口を床下チャンバ内に連通させて外調機を設置することで、確実に外気を外調機本体に取り入れ、この外調機本体の各種処理コンポーネントで処理し、処理後の外気を床下チャンバ内に供給することができる。すなわち、外調機本体に一体形成された外気取入ダクトと給気ダクトの取入口と給気口をそれぞれ外部と床下チャンバに連通させることで、容易に且つ好適に処理後の外気を循環経路に供給することができる。これにより、外調機のコンパクト化を図ることが可能になるとともに、この外調機を設けるクリーンルーム施設の省スペース化を図ることが可能になる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明のクリーンルーム施設及び外調機によれば、外調機を床下チャンバ内に設置することによってクリーンルーム施設の機械スペースを床下チャンバに集約することができ、このように、外調機を合理的に配置することによって、処理後の外気を天井チャンバに供給するためのダクトを不要にでき、クリーンルーム施設の省スペース化及び省コスト化を図ることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施形態に係るクリーンルーム施設を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る外調機を示す平面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る外調機を示す側面図である。
【図４】本発明の一実施形態に係るクリーンルーム施設に設置した複数の外調機を示す斜視図である。
【図５】従来のクリーンルーム施設を示す平面図である。
【図６】図５のＸ−Ｘ線矢視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、図１から図４を参照し、本発明の一実施形態に係るクリーンルーム施設及び外調機について説明する。本実施形態は、例えば半導体や液晶パネルの製造工場などに具備されるクリーンルーム施設及びこのクリーンルーム施設に設けられる外調機に関するものである。
【００２６】
本実施形態のクリーンルーム施設Ｂは、図１に示すように、従来のクリーンルーム施設Ａ（図５及び図６）と同様、クリーンルーム１を挟んで上部に天井チャンバ４、下部に床下チャンバ３を備え、これら天井チャンバ４と床下チャンバ３を連通させるレターンシャフト７を備えて構成されている。また、このクリーンルーム施設Ｂにおいては、クリーンルーム１の床面２をグレーティングで形成して床下部の床下チャンバ３とクリーンルーム１を連通させ、天井面５に送風機及びフィルタからなるファンフィルタユニット（ＦＦＵ）６を設置し、天井部に設けた天井チャンバ４をこのＦＦＵ６を介してクリーンルーム１と連通させている。
【００２７】
一方、本実施形態においては、従来のクリーンルーム施設Ａと異なり、レターンシャフト７が外周部（周壁部）２０よりも内側に配置され、このレターンシャフト７と外周部２０の間にもクリーンルーム１が形成されている。すなわち、図５及び図６に示した従来のクリーンルーム施設Ａのように、外周部２０の外側に機械室１１が設けられていない。そして、このレターンシャフト７と外周部２０の間に形成された外周部２０側のクリーンルーム１の上部（上階）には天井チャンバ４が、下部（下階）には床下チャンバ３がそれぞれ設けられている。
【００２８】
また、床下チャンバ３には、レターンシャフト７の外周部２０側の壁部７ａの直下に仕切壁２１が設けられており、床下チャンバ３の外周部２０側には、クリーンルーム１の床面２及び外周部（周壁部）２０とともにこの仕切壁２１で区画した外調機室２２が形成されている。さらに、本実施形態のクリーンルーム施設Ｂにおいては、外調機室２２を区画する外周部２０側の床面２（２ａ）、すなわちレターンシャフト７と外周部２０の間のクリーンルーム１の床面２（２ａ）が例えばコンクリートスラブで形成されており、この部分のクリーンルーム１と外調機室２２（床下チャンバ３）は連通していない。
【００２９】
また、このクリーンルーム施設Ｂでは、室内顕熱負荷を処理するためのドライコイルを備えた空調機８が、床下チャンバ３に設けた仕切壁２１に隣接して、レターンシャフト７の直下に設置されている。さらに、外調機室２２に複数の外調機３０が設置されており、これら複数の外調機３０は、仕切壁２１に沿って且つ所定の間隔をあけて並設されている。
【００３０】
ここで、本実施形態の外調機３０は、図２から図４に示すように、外気ＯＡの外気負荷を処理するための各種処理コンポーネント３１を備えた外調機本体３２と、この外調機本体３２上に一体に設けられた外気取入ダクト３３及び給気ダクト３４とを備えて構成されている。
【００３１】
外調機本体３２は、略矩形箱状の外郭体３２ａの内部に各種処理コンポーネント３１を収容して構成されている。また、外郭体３２ａの上部には、長さ方向Ｔ１の一端３２ｂ側で且つ幅方向Ｔ２の一側端３２ｃ側に、外気ＯＡを外調機本体３２ａ内に導入する導入口３２ｄが、長さ方向Ｔ１の他端３２ｅ側で且つ幅方向Ｔ２の他側端３２ｆ側に、外調機本体３２の外郭体３２ａ内で処理した処理後の外気ＳＯＡを外部に送り出す送気口３２ｇがそれぞれ形成されている。さらに、本実施形態では、外郭体３２ａの内部に収容される処理コンポーネント３１として、図３に示すように、ロールフィルタ３１ａ、ファン３１ｂ、中性能フィルタ３１ｃ、ドライコイル３１ｄ、加湿器３１ｅ、再熱コイル３１ｆ、ＨＥＰＡフィルタ３１ｇ、ケミカルフィルタ３１ｈが、長さ方向Ｔ１の一端３２ｂから他端３２ｅに向けて（すなわち導入口３２ｄから送気口３２ｇ）に向けて順に並設されている。
【００３２】
外気取入ダクト３３は、断面矩形状に形成されており、図２から図４に示すように、外調機本体３２の外郭体３２ａの上面に下面を固定して設けられている。また、この外気取入ダクト３３は、長さ方向Ｔ１の一端３３ａから他端３３ｂまでの長さが外調機本体３２の長さと同等に形成され、幅方向Ｔ２の一側端（一側面）３３ｃから他側端（他側面）３３ｄまでの幅が外郭体３２ａの幅の略半分の寸法で形成されている。そして、外気取入ダクト３３は、外調機本体３２と互いの一側端同士３２ｃ、３３ｃを上下に一致させて、外郭体３２ａの上部に一体に設けられている。また、外気取入ダクト３３には、一端３３ａ側の下面に開口部３３ｅが形成されており、この開口部３３ｅが外郭体３２ａに形成された導入口３２ｄと上下に重なって、外気取入ダクト３３の内部と外調機本体３２の一端３２ｂ側の内部が連通されている。
【００３３】
また、外気取入ダクト３３の一側面３２ｃには、外気ＯＡを内部に取り入れる複数の取入口３３ｆが形成され、これら取入口３３ｆには、図１及び図４に示すように、幅方向Ｔ２外側に延びる外気取入用延長ダクト３５の一端が繋げられている。そして、外気取入用延長ダクト３５の他端が外周部（周壁部）２０に形成された開口に繋がって、この外気取入用延長ダクト３５を介して外部と外気取入ダクト３３の内部が連通されている。
【００３４】
一方、給気ダクト３４は、断面矩形状に形成されており、図２から図４に示すように、外調機本体３２の外郭体３２ａの上面に下面を固定して設けられている。また、給気ダクト３４は、外気取入ダクト３３と同様、長さ方向Ｔ１の一端３４ａから他端３４ｂまでの長さが外調機本体３２の長さと同等に形成され、幅方向Ｔ２の一側端（一側面）３４ｃから他側端（他側面）３４ｄまでの幅が外郭体３２ａの幅の略半分の寸法で形成されている。そして、給気ダクト３４は、外調機本体３２と互いの他側端同士３２ｆ、３４ｄを上下に一致させ、且つ一側面３４ｃを外気取入ダクト３３の他側面３３ｄに接触させて、外郭体３２ａの上部に一体に設けられている。また、給気ダクト３４には、他端３４ｂ側の下面に開口部３４ｅが形成されており、この開口部３４ｅが外郭体３２ａに形成された送気口３２ｇと上下に重なって、給気ダクト３４の内部と外調機本体３２の他端３２ｅ側の内部が連通されている。
【００３５】
また、給気ダクト３４の他側面３４ｄには、外調機本体３２で処理した処理後の外気ＳＯＡを床下チャンバ３内に供給（給気）するための複数の給気口３４ｆが形成され、これら給気口３４ｆには、図１及び図４に示すように、幅方向Ｔ２外側に延びる給気用延長ダクト３６の一端が繋げられている。そして、給気用延長ダクト３６の他端が仕切壁２１に形成された開口に繋がって、この給気用延長ダクト３６を介して仕切壁２１よりも内側の床下チャンバ３と給気ダクト３４の内部が連通されている。
【００３６】
さらに、本実施形態においては、外調機室２２に設置された複数の外調機３０は、図４に示すように、隣り合う外調機３０の給気ダクト３４同士が、連結ダクト３７を介して繋げられ、複数の外調機３０の給気ダクト３４が複数の連結ダクト３７を通じて連通されている。また、このように給気ダクト３４同士を繋ぐ連結ダクト３７には、風量調節ダンパ３８が設けられており、隣り合う外調機３０の給気ダクト３４同士がこの風量調節ダンパ３８を介して繋げられている。
【００３７】
ついで、上記のクリーンルーム施設Ｂ及び外調機３０によって静浄度を保持するように室内空気を処理しつつ循環する方法について説明し、本実施形態のクリーンルーム施設Ｂ及び外調機３０の作用及び効果について説明する。
【００３８】
本実施形態においては、床下チャンバ３の仕切壁３１に隣接して設置した空調機８によって室内空気を床面２から還気ＲＡとして床下チャンバ３に吸い込み、空調機８で処理した給気ＳＡを、レターンシャフト７を通じて天井チャンバ４に供給して、ＦＦＵ６によってこの給気ＳＡを天井チャンバ４からクリーンルーム１内に下向きに吹き出して供給する。このとき、レターンシャフト７から天井チャンバ４に供給した給気ＳＡは、レターンシャフト７を挟んで内側（中央側）と外周部２０側にそれぞれ供給され、このうち外周部２０側に供給された給気ＳＡは、外周部２０側の天井面５に設置したＦＦＵ６によってレターンシャフト７と外周部２０の間のクリーンルーム１に給気される。そして、このレターンシャフト７と外周部２０の間のクリーンルーム１に供給した給気ＳＡは、レターンシャフト７の壁部７ａに形成された開口を通じてクリーンルーム１からレターンシャフト７に送気される。
【００３９】
一方、外調機３０によって外気ＯＡを取り入れ、取り入れた外気ＯＡを処理するとともに室内に処理後の外気ＳＯＡを供給する際には、外調機本体３２に収容したファン３１ｂを駆動するとともに、外気ＯＡが外気取入用延長ダクト３５を通じ且つ取入口３３ｆを通じて外気取入ダクト３３に取り入れられる。そして、外気取入ダクト３３内を流通した外気ＯＡが、一端３２ａ側に形成した導入口３２ｄから外調機本体３２に導入され、外調機本体３２の一端３２ａ側から他端３２ｅ側に向けて流通する。このとき、ロールフィルタ３１ａ、中性能フィルタ３１ｃ、ドライコイル３１ｄ、加湿器３１ｅ、再熱コイル３１ｆ、ＨＥＰＡフィルタ３１ｇ、ケミカルフィルタ３１ｈによって順次外気ＯＡの外気負荷が処理されてゆく。
【００４０】
このように処理した処理後の外気ＳＯＡは、ケミカルフィルタ３１ｈを通過するとともに、送気口３２ｇから給気ダクト３４に送られ、この給気ダクト３４の給気口３４ｆを通じて給気用延長ダクト３６に流通する。そして、処理後の外気ＳＯＡが、仕切壁２１より内側でレターンシャフト７の直下の床下チャンバ３内に直接供給される。
【００４１】
また、このとき、本実施形態においては、外調機室２２に設置した複数の外調機３０の給気ダクト３４が連結ダクト３７を介して繋げられているため、各外調機３０で処理した処理後の外気ＳＯＡは、連絡ダクト３７を通じて他の外調機３０の給気ダクト３４にも流通することになる。すなわち、例えば一部の外調機３０に不具合が生じてこの外調機３０による外気処理を停止した場合においても、停止した外調機３０の給気ダクト３４に他の外調機３０で処理した処理後の外気ＳＯＡが流通し、連結した全ての外調機３０の給気口３４ｆ及び給気用延長ダクト３６から処理後の外気ＳＯＡが床下チャンバ３内に給気される。これにより、常時、床下チャンバ３内には、偏りなく確実に処理後の外気ＳＯＡが供給され、外調機３０の不具合発生など予期せぬ事態が発生した場合に対するバックアップシステムが確立される。
【００４２】
さらに、このとき、各連結ダクト３７に風量調節ダンパ３８が設置されているため、連結した全ての外調機３０の給気ダクト３４を流通し、各外調機３０の給気口３４ｆ及び給気用延長ダクト３６から給気する処理後の外気ＳＯＡの風量が一定の風量（所定の風量）で保持される。これにより、常時、安定的に床下チャンバ３内に偏りなく処理後の外気ＳＯＡが供給され、安定したバックアップシステムが確立される。
【００４３】
このように床下チャンバ３内に供給した処理後の外気ＳＯＡは、空調機８で処理した給気ＳＡと混合されながら、レターンシャフト７を通じて天井チャンバ４に供給され、外部に対して陽圧状態で保持しつつクリーンルーム１内が所望の静浄度で維持される。
【００４４】
そして、本実施形態のクリーンルーム施設Ｂにおいては、上記のように外調機３０を床下チャンバ３内に形成した外調機室２２に設置することで、クリーンルーム１内に設置される各種機器に関連した補機類や空調機８を設置した補機スペースを兼ねる床下チャンバ３に機械スペースを集約することが可能になり、従来のように外調機３０（１０）を設置するための機械室１１を別途設ける必要がないため、クリーンルーム施設Ｂの省スペース化を図ることが可能になる。
【００４５】
また、床下チャンバ３の外周部２０側に外調機３０を設置し、処理後の外気ＳＯＡを床下チャンバ３内に供給するように構成することで、外気取入ダクト３５の取入口３３ｆを、外気取入用延長ダクト３５を介して容易に短経路で外部と連通させることができるとともに、給気ダクト３６の給気口３４ｆを、給気用延長ダクト３６を介して容易に短経路で床下チャンバ３内に連通させることができる。そして、このように設置した外調機３０で外気ＯＡを取り入れるとともに処理し、処理後の外気ＳＯＡを床下チャンバ３内に供給して、処理後の外気ＳＯＡと空調機８で処理した給気ＳＡとをレターンシャフト７内で混合させながら確実に天井チャンバ４に供給することが可能になる。これにより、従来のクリーンルーム施設Ａ（外調機１０）のように、天井チャンバ４内全体に吹出口１５を有するダクト１４を敷設する必要がないため、省コスト化を図ることが可能になる。
【００４６】
また、処理後の外気ＳＯＡを床下チャンバ３内に直接供給することで、すなわち天井チャンバ４内全体に敷設されるダクト１４を不要にできることで、外気ＯＡの取り入れ、処理後の外気ＳＯＡの給気の駆動源である外調機３０のファン３１ｂの駆動力を小さくしても（低減しても）、所要量の処理後の外気ＳＯＡを確実に室内に供給することが可能になる。これにより、従来のクリーンルーム施設Ａが具備する外調機１０と比較し、低駆動力のファン３１ｂを用いることができ、外調機３０のコンパクト化及び省コスト化を図ることも可能になる。
【００４７】
さらに、外調機室２２に設置した複数の外調機３０の給気ダクト３４を繋げてバックアップシステムを確立することにより、例えば一部の外調機３０に不具合が生じて外気処理を停止した場合においても、常時、床下チャンバ３内に偏りなく処理後の外気ＳＯＡを供給することができる。また、風量調節ダンパ３８を介して給気ダクト３４同士を繋げることによって、より確実に床下チャンバ３内に偏りなく処理後の外気ＳＯＡを供給することが可能なバックアップシステムを確立することができる。
【００４８】
よって、本実施形態のクリーンルーム施設Ｂ及び外調機３０によれば、外調機３０を床下チャンバ３内に設置することによってクリーンルーム施設Ｂの機械スペースを床下チャンバ３に集約することができ、このように、外調機３０を合理的に配置することによって、処理後の外気ＳＯＡを天井チャンバ４に供給する従来のダクト１４を不要にでき、クリーンルーム施設Ｂの省スペース化及び省コスト化を実現することが可能になる。
【００４９】
以上、本発明に係るクリーンルーム施設及び外調機の一実施形態について説明したが、本発明は上記の一実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、本実施形態では、外調機３０に備えた各種処理コンポーネント３１が、ロールフィルタ３１ａ、ファン３１ｂ、中性能フィルタ３１ｃ、ドライコイル３１ｄ、加湿器３１ｅ、再熱コイル３１ｆ、ＨＥＰＡフィルタ３１ｇ、ケミカルフィルタ３１ｈであるものとしたが、所望の静浄度に外気ＯＡを処理することができれば、特に上記の処理コンポーネント３１に限定する必要はなく、適宜各種処理コンポーネント３１を選択的に採用して外調機３０を構成すればよい。
【００５０】
また、本実施形態では、外調機３０の外気取入ダクト３３の取入口３３ｆに外気取入用延長ダクト３５を、給気ダクト３５の給気口３４ｆに給気用延長ダクト３６を取り付けて、これら外気取入用延長ダクト３５と給気用延長ダクト３６を介して外気ＯＡの取り入れ、処理後の外気ＳＯＡの給気を行うものとしたが、外気取入用延長ダクト３５と給気用延長ダクト３６を用いずに、取入口３３ｆや給気口３４ｆを外部や床下チャンバ３内に直接繋げて外調機３０を構成、設置するようにしてもよい。
【００５１】
さらに、本実施形態では、外調機室２２に設置した複数の外調機３０の給気ダクト３４が連結ダクト、風量調節ダンパを介して繋げられているものとしたが、複数の外調機３０の給気ダクト３４を繋げずに、各外調機３０でそれぞれ個別に外気ＯＡの取り入れ、処理後の外気ＳＯＡの給気を行うようにしてもよい。また、クリーンルーム施設Ａに設けられる外調機３０は、一つの外調機３０であってもよい。
【符号の説明】
【００５２】
１      クリーンルーム
３      床下チャンバ
４      天井チャンバ
６      ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）
７      レターンシャフト
８      空調機
２０    外周部（周壁部）
２１    仕切壁
２２    外調機室
３０    外調機
３１    処理コンポーネント
３２    外調機本体
３２ａ  外郭体
３２ｄ  導入口
３２ｇ  送気口
３３    外気取入ダクト
３３ｆ  取入口
３４    給気ダクト
３４ｆ  給気口
３５    外気取入用延長ダクト
３６    給気用延長ダクト
３７    連結ダクト
３８    風量調節ダンパ
Ａ      従来のクリーンルーム施設
Ｂ      クリーンルーム施設
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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