【事件の表示】
　特願２０１５−２５５５０５「精密傾斜ステージ」拒絶査定不服審判事件〔平成２９年　６月２９日出願公開、特開２０１７−１１６５１４、請求項の数（２）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成２７年１２月２６日の出願であって、平成２８年５月１０日付けで拒絶理由が通知され、平成２８年７月１１日付けで手続補正がなされたが、平成２８年９月１５日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成２８年１２月１９日付けで拒絶査定不服審判が請求され、同時に手続補正がなされ、当審において、平成２９年６月２９日付けで拒絶理由が通知され、平成２９年８月３１日付けで手続補正がなされたものである。
第２　本願発明
　本願請求項１−２に係る発明（以下、それぞれ「本願発明１」−「本願発明２」）という。）は、平成２９年８月３１日付け手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１−２に記載された事項により特定される、次のとおりのものである。
「【請求項１】
　ステージ中央部に直立して設けた支柱の側面に、角部を直角に形成した横方向の角溝を切り欠いて当該方向に対応した単一のヒンジ部を構成し、センサ素子を前記ヒンジ部に設けた精密傾斜ステージ。
【請求項２】
　前記角溝を異なる高さに直交して設けた、請求項１記載の精密傾斜ステージ。」
第３　引用文献、引用発明等
１　引用文献１について
　原査定の拒絶の理由に引用された引用文献１（特開平４−３４８８３４号公報）には、図面とともに、次の事項が記載されている（下線は当審で付与した。）。
ア　「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、
微小単位移動するＸ−Ｙテーブル
イ　「【０００５】
【作用】移動部と固定部の間に設けられた平行板バネがＸ，Ｙ軸に対して垂直の方向に直線状に伸びているので、
Ｘ軸およびＹ軸駆動装置により移動部に推力を作用させると、平行板バネのＸ切欠き部およびＹ切欠き部が互いに干渉することなく独立して弾性変形し、平行バネのＸ軸、Ｙ軸両方向のばね定数に応じた変位を移動部に発生させる。
【０００６】
【実施例】本発明を図に示す実施例について説明する。
図１は本発明の実施例を示す斜視図で、
箱形の移動部１の底面の４か所の角部付近にＸ，Ｙ軸の両移動方向に対して垂直に伸びる４本の平行板バネ６の一方端がそれぞれ固定され、他方端は固定部３にそれぞれ固定されている。平行板バネ６の両端付近にはＸ軸方向に切り欠いたＸ切欠き部６１とＹ軸方向に切り欠いたＹ切欠き部６２とを隣接して設け、Ｘ切欠き部６１とＹ切欠き部６２のばね定数が同じ値になるような断面形状にしてある。移動部１のＸ軸方向に垂直な側面１１およびＹ軸方向に垂直な側面１２にそれぞれ対向して移動部１を駆動するＸ軸駆動装置４およびＹ軸駆動装置５が設けられ、固定部３から伸びる支柱３１に固定されている。
ウ　「【０００７】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、Ｘ，Ｙ方向の駆動装置の推力によって弾性変形し、移動部に変位を与える平行板バネのＸ切欠き部およびＹ切欠き部は互いに干渉することなく、独立して弾性変形するので、それぞれの駆動装置の駆動力と移動部の変位とが誤差のない比例関係を維持できる。また、移動部に作用する推力が中心からずれたり、平行板バネの加工誤差のため移動部に回転モーメントが作用しても移動部に変位を発生せず、
移動部は直線運動をするので高精度の位置決めができる
　したがって、引用文献１には、次の発明（以下、「引用発明１」という。）が記載されているものと認められる。
「微小単位移動するＸ−Ｙテーブル（段落【０００１】より）であって、
　箱形の移動部１の底面の４か所の角部付近にＸ，Ｙ軸の両移動方向に対して垂直に伸びる４本の平行板バネ６の一方端がそれぞれ固定され、他方端は固定部３にそれぞれ固定され、平行板バネ６の両端付近にはＸ軸方向に切り欠いたＸ切欠き部６１とＹ軸方向に切り欠いたＹ切欠き部６２とを隣接して設け、Ｘ切欠き部６１とＹ切欠き部６２のばね定数が同じ値になるような断面形状にしてあり、移動部１のＸ軸方向に垂直な側面１１およびＹ軸方向に垂直な側面１２にそれぞれ対向して移動部１を駆動するＸ軸駆動装置４およびＹ軸駆動装置５が設けられ、固定部３から伸びる支柱３１に固定され（段落【０００６】より） 、
  Ｘ軸およびＹ軸駆動装置により移動部に推力を作用させると、平行板バネのＸ切欠き部およびＹ切欠き部が互いに干渉することなく独立して弾性変形し、平行バネのＸ軸、Ｙ軸両方向のばね定数に応じた変位を移動部に発生させ（段落【０００５】より）、移動部は直線運動をするので高精度の位置決めができる（段落【０００７】より）、
　微小単位移動するＸ−Ｙテーブル（段落【０００１】より）。」
２　引用文献２
　原査定の拒絶の理由で引用された引用文献２（特表２００２−５０１２２２号公報）には、図面とともに、次の事項が記載されている（下線は当審で付与した。）。
ア　「【０００１】
　（技術分野）
　本発明は、
支持構造体に装置を均衡に取り付け、６の自由度に沿ってこの装置の位置に対する補正を可能にするために設計された小型および一体型のアセンブリ
イ　「【００１８】
　（発明の説明）
　本発明の主な目的は、１マイクロメートルの数１０分の１の分解能で、並進運動においては数１００マイクロメートル、また回転においては数１００マイクロラジアンまでの距離を超えて、
６の自由度まわりに自動位置および姿勢補正を可能にする、支持構造体に装置を取り付けるための小型で一体化されたアセンブリ
ウ　「【００３８】
　（発明の実施形態の詳細な説明）
　図１および図２に図示されている本発明の好ましい実施形態は、このアセンブリによって支持される装置（図示せず）の対称軸１０まわりに対称的に配置される取付けアセンブリの場合に関する。その他の実施形態（図示せず）において、支持されるべき装置が対称軸を有していないか、あるいはこの対称がサイズの問題などの実際上の理由のために考慮することができないかのいずれかの理由で、この対称性は存在していない。
【００３９】
　既に述べたように、本発明による取付けアセンブリは、特に、支持されるべき装置が宇宙望遠鏡の副鏡などの鏡である場合に適している。しかし、その他の適用は、本発明の枠から外れることなしに考慮されることができる。
【００４０】
　図１に示されるように、本発明による
取付けアセンブリは、同一であることが好ましい３つの取付け装置１２を備え
対称的な配置において、３つの取付け装置１２は、支持される装置の対称軸１０まわりに互いに１２０度の間隔で均等に配置され
【００４１】
　図２に一層明瞭に示されるように、
各取付け装置１２は、支持される装置の対称軸１０に平行な平面においてほぼ変形可能な三角形の形状をなしている。
取付け装置１２のそれぞれによって形成される三角形の平面は、対称軸１０（図１）の中心に置かれる円にほぼ接している。
【００４２】
　より正確には、
取付け装置１２のそれぞれによって形成される変形可能な三角形は、２つのアンカー部分１６によって支持構造体（図示せず）に取付けられるように設計される第１可変長アーム１４を備えている。変形可能な三角形はさらに、通常等しい長さであり、第１アーム１４と対向する三角形の第１頂点で互いに接続され、かつ支持部分２０によって実現（具体化）される２つの第２側辺部（サイド）１８を備えている。
エ　「【００４６】
 　図２により詳細に図示されている本発明の好ましい実施形態において、
第２側辺部１８のそれぞれの１つの端部は、遊びのない(zero play)無摩擦(friction free)ヒンジ２６によって支持部分２０に接続されている。第２側辺部１８のそれぞれの第２端部は、遊びのない別の無摩擦ヒンジ２６によって第１アーム１４の対応する端部に固定された連結部分２８に接続されている。
オ　「【００５７】
　
三角形の種々の変形は、第１アーム３０の種々の長さの変化を制御することによって得ることが可能である。従って、要求される運動に応じて、組み合わされたあるいは独立した方法で、軸１０の方向に、またこの軸の中心に置かれる円の接線方向に、支持部分２０を移動することが可能である。
カ　「【００６０】
　取付け装置１２のそれぞれによって与えられる種々の変位の組み合わせは、取付けアセンブリ上の支持装置のために必要とされる６の自由度を得るために使用されることが可能である。」
　したがって、引用文献２には、次の発明（以下、「引用発明２」という。）が記載されているものと認められる。
「６の自由度まわりに自動位置および姿勢補正を可能にする、支持構造体に装置を取り付けるための小型で一体化されたアセンブリ（段落【００１８】より）であって、
　取付けアセンブリは、同一であることが好ましい３つの取付け装置１２を備え、対称的な配置において、３つの取付け装置１２は、支持される装置の対称軸１０まわりに互いに１２０度の間隔で均等に配置され（段落 【００４０】より）、
　各取付け装置１２は、支持される装置の対称軸１０に平行な平面においてほぼ変形可能な三角形の形状をなし、取付け装置１２のそれぞれによって形成される三角形の平面は、対称軸１０の中心に置かれる円にほぼ接しており（段落 【００４１】より）、
　取付け装置１２のそれぞれによって形成される変形可能な三角形は、２つのアンカー部分１６によって支持構造体に取付けられるように設計される第１可変長アーム１４を備え、変形可能な三角形はさらに、通常等しい長さであり、第１アーム１４と対向する三角形の第１頂点で互いに接続され、かつ支持部分２０によって実現（具体化）される２つの第２側辺部（サイド）１８を備え（段落【００４２】より）、
　第２側辺部１８のそれぞれの１つの端部は、遊びのない(zero play)無摩擦(friction free)ヒンジ２６によって支持部分２０に接続され、第２側辺部１８のそれぞれの第２端部は、遊びのない別の無摩擦ヒンジ２６によって第１アーム１４の対応する端部に固定された連結部分２８に接続され（段落【００４６】より）、
  三角形の種々の変形は、第１アーム３０の種々の長さの変化を制御することによって得ることが可能であり、従って、要求される運動に応じて、組み合わされたあるいは独立した方法で、軸１０の方向に、またこの軸の中心に置かれる円の接線方向に、支持部分２０を移動することが可能である（段落【００５７】より）、
　取付けアセンブリ（段落 【００４０】より）。」
３　その他の引用文献について
　原査定の拒絶の理由で引用された、引用文献３（特開平５−３０４３２３号公報）には、次の事項が記載されているものと認められる（下線は、当審で付与した。）。
「【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の変位拡大機構は、
固定部と、上記固定部に対向する変位部と、
伸張する２つの圧電素子とを有し、
上記固定部と上記変位部との相互の面間の角度変位を２方向制御する変位拡大機構において、
【０００５】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する。
【０００６】図１は本発明の一実施例の側面図である。図１の
変位拡大機構は、
圧電素子２と３との間に、両端にヒンジ部４ａおよび４ｂを有し上記ヒンジ部４ａおよび４ｂによって上記変位部１の面１ａおよび固定部５の面５ａに固定された棒状の変位調整部４を備え
　よって、引用文献３には、次の技術的事項が記載されているものと認められる。
「固定部と、上記固定部に対向する変位部と、伸張する２つの圧電素子とを有し、上記固定部と上記変位部との相互の面間の角度変位を２方向制御する変位拡大機構において、上記変位拡大機構は、圧電素子２と３との間に、両端にヒンジ部４ａおよび４ｂを有し上記ヒンジ部４ａおよび４ｂによって上記変位部１の面１ａおよび固定部５の面５ａに固定された棒状の変位調整部４を備える、変位拡大機構。」
　次に、拒絶査定の備考欄で新たに引用された引用文献４（特開昭６１−４５３０４号公報）には、次の技術的事項が記載されているものと認められる。
「ロボットに付与される外力によるたわみを検出するバネ機構であって、力センサと一体化されたバネ機構５は互いに直交するＸ方向、Ｙ方向に変位可能な２組の平行板バネ５１、５２によって構成され、歪ゲージ５６ａ、５６ｂが、各々Ｘ方向平行バネ５１、Ｙ方向平行バネ５２の壁面に設けられ、平行バネに付与されるモーメントＭｅ、Ｍｆを検出する」ことが記載されていると認められる（【特許請求の範囲】（１）、第６頁左上欄第１７〜１９行、同頁右上欄第８〜１０行、同頁左下欄第６〜１０行の各記載より。）。
　また、拒絶査定の備考欄で新たに引用された引用文献５（特開平１１−３０４４５９号公報）には、次の技術的事項が記載されているものと認められる。
「精密位置ステージが移動すると移動に伴い板バネ２に変形が加わり、板バネ２の両側に付いている２つの歪みゲージにも変形が加わり、前記歪みゲ−ジ５の抵抗値の変化から、ステージの移動量を求める。」（段落【０００６】、【０００７】より）
第４　対比・判断
１　本願発明１について
（１）引用文献１を主引用例とした場合
ア　対比
　本願発明１と引用発明１とを対比すると、以下のことがいえる。
（ア）引用発明１における「微小単位移動するＸ−Ｙテーブル」が、本願発明１における「ステージ」に相当する。
（イ）引用発明１における「Ｘ，Ｙ軸の両移動方向に対して垂直に伸びる４本の平行板バネ６」は、「箱形の移動部１の底面の４か所の角部付近に」「一方端がそれぞれ固定され、他方端は固定部３にそれぞれ固定され」ているから、本願発明１における「ステージ中央部に直立して設けた支柱」とは、「ステージに直立して設けた支柱」の点で共通する。
（ウ）引用発明１における「平行板バネ６の両端付近」に設けられた「Ｘ軸方向に切り欠いたＸ切欠き部６１とＹ軸方向に切り欠いたＹ切欠き部６２」は、「Ｘ切欠き部６１とＹ切欠き部６２のばね定数が同じ値になるような断面形状にしてあり」、「Ｘ軸およびＹ軸駆動装置により移動部に推力を作用させると、平行板バネのＸ切欠き部およびＹ切欠き部が互いに干渉することなく独立して弾性変形し、平行バネのＸ軸、Ｙ軸両方向のばね定数に応じた変位を移動部に発生させ」るから、本願発明１における「支柱の側面に、角部を直角に形成した横方向の角溝を切り欠いて当該方向に対応した単一のヒンジ部を構成」したものとは、「支柱の側面に、横方向の溝を切り欠いて当該方向に対応した単一のヒンジ部を構成」したものである点で共通する。
（エ）引用発明１における「移動部は直線運動をするので高精度の位置決めができる」「微小単位移動するＸ−Ｙテーブル」と、本願発明１における「精密傾斜ステージ」とは、「微動ステージ」の点で共通する。
　したがって、本願発明１と引用発明１との一致点、相違点は次のとおりである。
（一致点）
「ステージに直立して設けた支柱の側面に、横方向の溝を切り欠いて当該方向に対応した単一のヒンジ部を構成した微動ステージ。」
（相違点１）
　本願発明１は、「支柱」が「ステージ中央部」に設けられた「精密傾斜ステージ」であるのに対し、引用発明１では、「平行板バネ６」が「箱形の移動部１の底面の４か所の角部付近」に設けられた、「移動部は直線運動をする」「微小単位移動するＸ−Ｙテーブル」である点。
（相違点２）
　本願発明１では、ヒンジ部における支柱の側面の切り欠きが、「角部を直角に形成した横方向の角溝」であるのに対し、引用発明１では、Ｘ切欠き部６１とＹ切欠き部６２の形状が特定されていない点。
（相違点３）
　本願発明１では、「センサ素子を前記ヒンジ部に設け」ているのに対し、引用発明１では、センサ素子を用いることが示されていない点。
イ　相違点についての判断
　事案に鑑み、相違点１及び相違点３についてまとめて検討する。
　本願発明１は、「精密傾斜ステージ」における角度傾斜を精密に制御するため、支柱を「ステージ中央部」に設け、かつ、「センサ素子」を前記支柱の「ヒンジ部」に設けたものである。
　これに対し、引用発明１では、「移動部」を「直線運動」させて「高精度の位置決めができる」ようにするため、「箱形の移動部１の底面の４か所の角部付近にＸ，Ｙ軸の両移動方向に対して垂直に伸びる４本の平行板バネ６の一方端がそれぞれ固定され、他方端は固定部３にそれぞれ固定され」ているのであるから、「移動部」を傾斜させるため、「板バネ６」を「箱形の移動部１の底面」の中央部に設けることは、当業者に動機付けられないことである。
　また、引用発明１には、「センサ素子」を「バネ６」に設けることも示されていない。
　よって、
（ア）引用文献３に、「固定部」と「変位部との相互の面間の角度変位を２方向制御する変位拡大機構」として、「圧電素子２と３との間」（つまり、「変位部」の中央部）に、「両端にヒンジ部４ａおよび４ｂを有し上記ヒンジ部４ａおよび４ｂによって上記変位部１の面１ａおよび固定部５の面５ａに固定された棒状の変位調整部４を備える」ことが記載され、
（イ）引用文献４に、「歪ゲージ５６ａ、５６ｂが、各々Ｘ方向平行バネ５１、Ｙ方向平行バネ５２の壁面に設けられ、平行バネに付与されるモーメントＭｅ、Ｍｆを検出する」ことが記載され、
（ウ）引用文献５に、「板バネ２の両側に付いている２つの歪みゲージ」の「抵抗値の変化から、ステージの移動量を求める。」ことが記載されているとしても、
　引用発明１において、上記相違点１及び相違点３に係る本願発明１の構成を採用することは、当業者といえども、容易になし得たことではない。
（２）引用文献２を主引用例とした場合
ア　対比
　本願発明１と引用発明２とを対比する。
　引用発明２における「３つの取付け装置」は、「６の自由度まわりに自動位置および姿勢補正を可能に」「装置」の「姿勢補正」を可能にする自由度を含んでいることは明らかであるから、引用発明２の「取付けアセンブリ」における、「装置」を支持する「３つの取付け装置」と、本願発明１における「精密傾斜ステージ」とは、「精密傾斜が可能なステージ」の点で共通する。
　次に、引用発明２における、各「取付け装置１２」の「三角形」の「２つの第２側辺部（サイド）１８」は、「第２側辺部１８のそれぞれの１つの端部」が「遊びのない(zero play)無摩擦(friction free)ヒンジ２６によって支持部分２０に接続され、第２側辺部１８のそれぞれの第２端部は、遊びのない別の無摩擦ヒンジ２６によって」「連結部分２８に接続され」ているから、本願発明１における「ステージ中央部に直立して設けた支柱の側面に、角部を直角に形成した横方向の角溝を切り欠いて当該方向に対応した単一のヒンジ部を構成」したものとは、「ステージに設けた支柱の側面に、角部を直角に形成した横方向の角溝を切り欠いて当該方向に対応した単一のヒンジ部を構成」したものである点で共通する。
  したがって、本願発明１と引用発明２との一致点、相違点は次のとおりである。
（一致点）
「ステージに設けた支柱の側面に、角部を直角に形成した横方向の角溝を切り欠いて当該方向に対応した単一のヒンジ部を構成した、精密傾斜が可能なステージ。」
（相違点）
　本願発明１では、「ステージ中央部に直立して設けた支柱の側面に、角部を直角に形成した横方向の角溝を切り欠いて当該方向に対応した単一のヒンジ部を構成し、センサ素子を前記ヒンジ部に設け」ているのに対し、引用発明２では、「装置を取り付けるための小型で一体化されたアセンブリ」を有し、「取付けアセンブリ」は、「３つの取付け装置１２を備え、対称的な配置において、３つの取付け装置１２は、支持される装置の対称軸１０まわりに互いに１２０度の間隔で均等に配置され」、各「取付け装置１２」の「三角形」の「２つの第２側辺部（サイド）１８」は、「第２側辺部１８のそれぞれの１つの端部」が「遊びのない(zero play)無摩擦(friction free)ヒンジ２６によって支持部分２０に接続され、第２側辺部１８のそれぞれの第２端部は、遊びのない別の無摩擦ヒンジ２６によって」「連結部分２８に接続され」ている点。
イ　相違点についての判断
　上記相違点について検討すると、上記「（１）」「イ　相違点についての判断」で述べたとおり、本願発明１は、「精密傾斜ステージ」における角度傾斜を精密に制御するため、支柱を「ステージ中央部」に設け、かつ、「センサ素子」を前記支柱の「ヒンジ部」に設けたものである。
　これに対し、引用発明２では、「６の自由度まわりに自動位置および姿勢補正を可能にする」ために、「３つの取付け装置１２は、支持される装置の対称軸１０まわりに互いに１２０度の間隔で均等に配置され」ているのであるから、引用発明２において「取付け装置１２」を中央に配置し、「対称軸１０」の位置に「直立」して設けたのでは、位置および姿勢について補正可能な自由度が限定されてしまい、引用発明２の目的にそぐわないものとなる。
　よって、引用発明２において、「支持される装置」を傾斜させるため、「３つの取付け装置１２」を中央に配置し、「対称軸１０」の位置に「直立」して設けることは、当業者に動機付けられないことである。
　従って、引用文献３−５に、上記「（１）」「イ」、「（ア）」−「（ウ）」に記載したとおりの技術的事項が記載されていたとしても、引用発明２において、上記相違点に係る本願発明１の構成を採用することは、当業者といえども、容易になし得たことではない。
（３）まとめ
　以上のとおり、本願発明１は、引用発明１及び引用文献３−５に記載された技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではなく、また、引用発明２及び引用文献３−５に記載された技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
２　本願発明２について
　本願発明２は、本願発明１の上記「１」「（１）」「ア」の（相違点１）−（相違点３）に係る構成、及び上記「１」「（２）」「ア」の（相違点）に係る構成を備えるものであるから、本願発明１と同様の理由により、当業者であっても、引用発明１及び引用文献３−５に記載された技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものではなく、また、引用発明２及び引用文献３−５に記載された技術的事項に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものでもない。
第５　原査定の概要及び原査定についての判断
　原査定は、請求項１−２に係る発明について、上記引用文献１−５に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないというものである。
　しかしながら、本願発明１−２が、上記引用文献１−５に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものでないことは、上記「第４　対比・判断」にて述べたとおりである。
　したがって、原査定を維持することはできない。
第６　当審拒絶理由について
　当審では、請求項１の「センサ素子を設けた」との記載では、センサ素子が、支柱の側面のどこに設けられているのか、明確でないから、本願は、特許請求の範囲の記載が、特許法第３６条第６項第２号に規定する要件を満たしていない、との拒絶理由を通知しているが、平成２９年８月３１日付けの手続補正において、上記「センサ素子を設けた」との記載が「センサ素子を前記ヒンジ部に設けた」と補正された結果、この拒絶理由は解消した。
第７　むすび
　以上のとおり、本願発明１−２は、当業者が、上記引用文献１−５に基づいて、容易に発明をすることができたものでない。
　したがって、原査定の理由によっては、本願を拒絶することができない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。