【事件の表示】
　特願２０１１−５４５３２６「ウェーハを検査するためのシステム及び方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２２年　７月２２日国際公開、ＷＯ２０１０／０８２９０１、平成２４年　７月　５日国内公表、特表２０１２−５１５３３１、請求項の数（３１）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、平成２２年１月１３日（パリ条約による優先権主張　２００９年１月１３日（以下、「優先日」という。）　シンガポール、２００９年２月１６日　シンガポール）を国際出願日とする出願であって、平成２５年１０月２２日付けの拒絶理由通知に対して、平成２６年４月３０日付けで手続補正がなされ、平成２６年８月６日付けの最後の拒絶理由通知に対して、平成２７年２月１２日付けで手続補正がなされたが、平成２７年６月２６日付けで、平成２７年２月１２日付け手続補正書でした補正の却下の決定がなされるとともに、同日付で拒絶査定（以下、「原査定」という。）がなされ、これに対し、平成２７年１１月６日に拒絶査定不服審判が請求され、同時に手続補正がなされたものである。
　その後、当審において平成２８年８月２３日付けで最後の拒絶理由（以下、「当審拒絶理由」という。）が通知され、平成２８年１１月９日付けで手続補正がされたものである。
第２　平成２８年１１月９日付けの手続補正（以下、「本件補正」という。）の適否
１　補正の内容
（１）請求項１について
　本件補正は、特許請求の範囲の請求項１について、本件補正前に、
ア　「【請求項１】
　一検査システムであって、
　ウェーハが走査走行パスに沿って移動されている間に、ウェーハの一部が配置されている１つの検査位置に対して、第１の照明および第２の照明を連続して供給し、向かわせるように構成された照明設定であって、明視野照明と暗視野照明との組合せの少なくとも１つを出力するように構成されている、照明設定と、
　前記ウェーハが、前記走査走行パスに沿った検査位置の全域を移動された時に、前記ウェーハの一部に向かってきて、前記ウェーハの一部から反射される前記第１の照明および前記第２の照明のそれぞれを受け取るように構成され、前記照明設定によって出力された明視野照明と暗視野照明の任意の組合せとして受け取った前記第１の照明および前記第２の照明を、それぞれ、第１の光パスおよび第２の光パスに沿って反射させるように構成され、前記第１の光パスは前記第２の光パスとは異なる、ビーム分割器と、
　前記照明設定によって出力された明視野照明と暗視野照明の任意の組合せである、記第１の光パスおよび前記第２の光パスに沿って前記ビーム分割器によって反射された前記第１の照明および前記第２の照明を、ぞれぞれを受け取るように構成されている第１の画像収集装置および第２の画像収集装置であって、前記ウェーハが走査走行パスに沿った検査位置の全域を移動された時に、それぞれ前記ウェーハの第１の画像および第２の画像を収集するように構成されている第１の画像収集装置および第２の画像収集装置と、を備え、
　前記ウェーハが、各検査位置における前記第１の画像と前記第２の画像の収集の間である、前記走査走行パスに沿った距離だけ空間的に変位される、ことを特徴とするシステム。」
とあったところを、
イ　「【請求項１】
　一検査システムであって、
　ウェーハが走査走行パスに沿って移動されている間に、ウェーハの一部が配置されている１つの検査位置に対して、第１の照明および第２の照明を連続して供給し、向かわせるように構成された照明設定であって、明視野
広帯域
広帯域
　前記ウェーハが、前記走査走行パスに沿った検査位置の全域を移動された時に、前記ウェーハの一部に向かってきて、前記ウェーハの一部から反射される前記第１の照明および前記第２の照明のそれぞれを受け取るように構成され、前記照明設定によって出力された明視野
広帯域
広帯域
　前記照明設定によって出力された明視野
広帯域
広帯域
それぞれ
　前記ウェーハが、各検査位置における前記第１の画像と前記第２の画像の収集の間である、前記走査走行パスに沿った距離だけ空間的に変位される、ことを特徴とするシステム。」
とする補正（以下、「補正事項１」という。）を含むものである（下線は、補正箇所を示す。）。
（２）請求項４について
　本件補正は、特許請求の範囲の請求項４について、本件補正前に、
ア　「【請求項４】
　前記複数の広帯域照明器が、明視野照明と暗視野照明との複数の組合せを出力するように構成されている、ことを特徴とする請求項２に記載の検査システム。」
とあったところを、
イ　「【請求項４】
　前記複数の広帯域照明器が、明視野
広帯域
広帯域
とする補正（以下、「補正事項２」という。）を含むものである。
（３）請求項２４について
　本件補正は、特許請求の範囲の請求項２４について、本件補正前に、
ア　「【請求項２４】
　一検査方法であって、
　ウェーハが走査走行パスに沿って移動されている間に、前記ウェーハの一部が配置されている検査位置に対して、照明設定によって、第１の照明および第２の照明を連続して供給し、向かわせるステップであって、前記照明設定は、明視野照明と暗視野照明との組合せの少なくとも１つを出力するように構成されている、ステップと、
　前記検査位置に配置された前記ウェーハの一部から反射された前記第１の照明および前記第２の照明を、ビーム分割器において受け取るステップと、
　明視野照明と暗視野照明の組合せとして受け取った前記第１の照明および前記第２の照明を、それぞれ、第１の光パスおよび第２の光パスのそれぞれに沿って前記ビーム分割器によって反射させるステップであって、前記第１の光パスは前記第２の光パスとは異なる、ステップと、および、
　前記ウェーハが走査走行パスに沿って移動されている時に、前記照明設定によって出力される明視野照明と暗視野照明の組合せとして、前記第１の光パスに沿って向けられた前記第１の照明および前記第２の光パスに沿って向けられた前記第２の照明を受けることによって、複数の検査位置の各々において第１の画像および第２の画像を、それぞれ第１の画像収集装置および第２の画像収集装置で収集するステップと、を含み、
　前記ウェーハが、前記第１の画像の収集と前記第２の画像の収集との間にある前記走査経路に沿った距離だけ空間的に変位される、ことを特徴とする方法。」
とあったところを、
イ　「【請求項２４】
　一検査方法であって、
　ウェーハが走査走行パスに沿って移動されている間に、前記ウェーハの一部が配置されている検査位置に対して、照明設定によって、第１の照明および第２の照明を連続して供給し、向かわせるステップであって、前記照明設定は、明視野
広帯域
広帯域
　前記検査位置に配置された前記ウェーハの一部から反射された前記第１の照明および前記第２の照明を、ビーム分割器において受け取るステップと、
　明視野
広帯域
広帯域
　前記ウェーハが走査走行パスに沿って移動されている時に、前記照明設定によって出力される明視野
広帯域
広帯域
　前記ウェーハが、前記第１の画像の収集と前記第２の画像の収集との間にある前記走査経路に沿った距離だけ空間的に変位される、ことを特徴とする方法。」
とする補正（以下、「補正事項３」という。）を含むものである。
（４）請求項２５について
　本件補正は、特許請求の範囲の請求項２５について、本件補正前に、
ア　「【請求項２５】
　前記照明設定は、前記第１の照明と前記第２の照明の少なくとも１つの組合せとして明視野照明と暗視野照明の複数の組合せを出力するように構成された明視野照明エミッタおよび暗視野照明エミッタを含む複数の広帯域照明エミッタを備えることを特徴とする請求項２４に記載の検査方法。」
とあったところを、
イ　「【請求項２５】
　前記照明設定は、前記第１の照明と前記第２の照明の少なくとも１つの組合せとして明視野
広帯域
広帯域
とする補正（以下、「補正事項４」という。）を含むものである。
２　補正の適否
（１）補正事項１について
　本件補正の補正事項１は、
ａ　本件補正前の請求項１の「明視野照明と暗視野照明」について、「明視野
広帯域
広帯域
ｂ　本件補正前の請求項１の「ぞれぞれ」について、「
それぞれ
　上記ａに係る補正は、「明視野照明と暗視野照明」について、「明視野
広帯域
広帯域
　上記ｂに係る補正は、特許法第１７条の２第５項第３号（誤記の訂正）に掲げる事項を目的とするものである。
　したがって、本件補正の補正事項１は、特許法第１７条の２第５項第３号及び第４号に掲げる事項を目的とするものである。
　また、特許法第１７条の２第３項、第４項に違反するところはない。
（２）補正事項２ないし４について
　本件補正の補正事項２ないし４は、
　本件補正前の請求項４，２４及び２５の「明視野照明と暗視野照明」について、「明視野
広帯域
広帯域
　したがって、本件補正の補正事項２ないし４は、特許法第１７条の２第５項第４号に掲げる事項を目的とするものである。
　また、特許法第１７条の２第３項、第４項に違反するところはない。
３　むすび
　本件補正は、特許法１７条の２第３項ないし第５項の規定に適合する。
第３　本願発明
　本件補正は上記のとおり、特許法第１７条の２第３項ないし第５項の規定に適合するから、本願の請求項１ないし３１に係る発明は、本件補正により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし３１に記載された事項により特定されるとおりのものであるところ、請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、上記「第２　１（１）　イ」に記載したとおりのものである。
第４　原査定の理由について
１　原査定の拒絶の理由の概要
　平成２６年８月６日付けで通知した拒絶理由の概要は、次の通りである。
「　この出願の下記の請求項に係る発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　　　　　記　　　（引用文献等については引用文献等一覧参照）
・請求項１〜３２
・引用文献等１〜１５
・備考
（請求項１について）
　請求項１に係る発明は、「前記ウェーハが、前記第１の画像と前記第２の画像の収集の間である距離だけ空間的に変位される」構成を有しているのに対して、引用文献１（段落１５４〜１５８、第２６図等）には、該構成が記載されていない点（以下「相違点」という。）で相違しており、その他の点では一致している。
・・・　
　上記相違点について検討する。
　引用文献２には、明視野像と暗視野像を高いスループットで得ること等の課題を解決するために、上記相違点の構成を設けた点（請求項１、段落５、２６〜４８、第１〜３図、第６図等）が記載されている。
　してみれば、上記引用文献１記載の発明において、ウェーハの第１の画像および第２の画像を高いスループットで得ようとして、上記引用文献２記載の構成を採用して、請求項１に係る発明のように構成することは、当業者にとって容易である。
・・・
　　　　　　　　　　　引　用　文　献　等　一　覧
１.米国特許出願公開第２００４／０２０７８３６号明細書
２.特開２００５−２１４９７８号公報
３.特開２００７−２３２５５５号公報
４.特開２００６−１６２５００号公報
５.特表２００９−５１１９０８号公報
６.米国特許第５８２２０５５号明細書
７.特開２００５−３３７８５１号公報
８.特表２００５−５３６７３２号公報
９.米国特許出願公開第２００４／００９５５７３号明細書
１０.特開２０００−３３７８２３号公報
１１.特公昭４９−２５２２３号公報
１２.米国特許出願公開第２００８／０００２２０７号明細書
１３.米国特許出願公開第２００８／００３２４２９号明細書
１４.特開２００３−１４９１６９号公報
１５.特開２００５−２５０１５１号公報」
２　原査定の理由の判断
（１）　引用文献の記載事項
ア　原査定の拒絶の理由で引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である、米国特許出願公開第２００４／０２０７８３６号明細書（以下、「引用文献１」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている（下線は、当審で付与したものである。）。
ａ　「[0092] The invention is particularly applicable to semiconductor wafer substrate and disk drive substrate optical inspection systems and it is in these contexts that the invention will be described. It will be appreciated, however, that 
the optical inspection system
（当審訳：本発明は、半導体ウエハ基板とディスク駆動基板光学検査システムにも適用可能であるし、これらに関連して本発明について説明する。システムは、任意のタイプの基板上の粒子、欠陥等を検出し、測定するために使用することができるので、本発明によれば
光学検査システム
ｂ　「[0098] FIG. 5 is a block diagram illustrating a preferred embodiment of a broadband optical inspection system 1 in accordance with the invention. The optical inspection system provides simultaneous illumination of the top and bottom surface of a substrate 27. The scatter from scattering features that scatters light in the illuminated area is detected across the entire area simultaneously by high dynamic range and high precision array photodetectors. The scattering features may include, but are not limited to, defects in the substrate, scratches, pits, particles, device patterns and pattern anomalies, etched regions, polish roughness and texture on the surface of the substrate; embedded particles in films on a surface of the substrate and any aspect of the surface of the substrate that scatters light. In accordance with the invention, the light may include electromagnetic radiation energy from less than 200 nm in wavelength to more than 1100 nm in wavelength and preferably from deep ultraviolet electromagnetic radiation to visible electromagnetic radiation energy. Since each array photodetector pixel integrates scattered light individually, scatter signals can be acquired in parallel, thus significantly increasing measurement throughput. Further, neither the substrate nor the sources are scanned/moved and there are no moving parts during image acquisition thus further increasing throughput and system reliability. Since the optical inspection system provides simultaneous front and backside particle inspection, throughput is further improved by at least a factor of two. The system has very high dynamic range and high precision scatter detection such that particles ranging from sub tenth micron diameter through tens of microns diameter are detected in a single measurement pass in accordance with the invention, thus further improving throughput. The system is very compact, low cost and simple and thus can readily be integrated onto process or other tools. 
Because the whole substrate is illuminated and imaged simultaneously and the substrate is not in motion during the measurement,
（当審訳：図5は、本発明による広帯域光学検査システム1の好ましい実施形態を示すブロック図である。光学検査システムは、基板27の上面及び下面の同時照明を提供する。被照明領域における光を散乱させる散乱特徴からの散乱は、高ダイナミックレンジかつ高精度アレイ光検出器によって同時に全域にわたって検出される。散乱特徴は、限定はしないが、基板の欠陥は、スクラッチ、ピット、粒子、デバイスパターンとパターンに異常(anomaly)は、エッチングされた領域は、研磨粗さと基板の表面にテクスチャと、基板の表面と、光を散乱させる基板の表面の任意の態様に膜に埋め込まれた粒子を含むことができる。本発明によれば、光は、波長1100nm以上に、好ましくは深紫外域の電磁線の可視電磁放射線エネルギーに200nm未満からの電磁放射エネルギーを含むことができる。各アレイ光検出器ピクセルは、散乱光を積分して個別にため、散乱信号が並列に取得され、すなわち、測定スループットを大幅に増大させることができる。また、基板およびソースのいずれも走査移動させ、画像収集中に可動部のでスループットの向上やシステムの信頼性を向上させるものではない。光学検査システムは、同時表面画像と裏面異物検査を提供するので、スループットをさらに少なくとも2分の1によって改善される。システムは、非常に高いダイナミックレンジおよび高精度な散乱検出を直径10μmの第10のサブミクロン径の粒子は、本発明による単一の測定パスで検出することにより、スループットをより向上させることができるようになっている。システムは、非常に小型、低コスト、単純であり、したがってプロセスまたは他のツール上に集積することが容易である。
基板全体が照明され結像し基板を測定中に運動していないので、
ｃ　「[0154] FIG. 26A illustrates an optical system 320 in accordance with the invention that includes 
a second photodetector and a second broadband light source.
a broadband light source 322 is located so that it generates light at an angle other than normal to a substrate 27. 
high precision imaging detector 328A 
as shown so that a particle 321 scatter may be detected and measured
The second detector 327 also may provide darkfield scatter information from source 322
（当審訳：図26Aは、
第2の光検出器と第2の広帯域光源
基板27に対して垂直以外の角度で光を発生するように配置されている広帯域光源322が設けられている。
高ダイナミックレンジかつ高精度の撮像検出器328Aは、粒子321による散乱を、
検出および測定することができるようになっている。第2ソース325および第2高ダイナミックレンジかつ高精度の撮像検出器327は、
明視野検査画像を提供する
第2検出器327も、
光源322から暗視野照明のばらつき情報を提供することができる。
ｄ　図２６Ａには、広帯域光源322からの光の粒子321による散乱を、撮像検出器328aが検出することが示されている。
（ア）段落[００９２]の記載から、引用文献１には、「光学検査システム」が記載されている。
（イ）段落[００９８]の記載から、引用文献１には、「基板全体が照明され結像し基板を測定中に運動していない」ことが記載されている。
（ウ）段落[０１５４]の「第2の光検出器と第2の広帯域光源」と「第2ソース325および第2高ダイナミックレンジかつ高精度の撮像検出器327」は、対応した構成であるので、
　段落[０１５４]及び図２６Ａの記載から、引用文献１には、「基板27に対して垂直以外の角度で光を発生するように配置されている広帯域光源322が設けられており、高ダイナミックレンジかつ高精度の撮像検出器328Aは、広帯域光源322からの光の粒子321による散乱を検出および測定することができ、広帯域光源である第2ソース325および第2高ダイナミックレンジかつ高精度の撮像検出器327は、明視野検査画像を提供し、第2検出器327も、光源322から暗視野照明の散乱情報を提供すること」が記載されている。
　上記（ア）〜（ウ）より、引用文献１には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されている。
「光学検査システムであって、
　基板全体が照明され結像し基板を測定中に運動せず、
　基板27に対して垂直以外の角度で光を発生するように配置されている広帯域光源322が設けられており、
　高ダイナミックレンジかつ高精度の撮像検出器328Aは、広帯域光源322からの光の粒子321による散乱を検出および測定することができ、
　広帯域光源である第2ソース325および第2高ダイナミックレンジかつ高精度の撮像検出器327は、明視野検査画像を提供し、
　第2検出器327も、光源322から暗視野照明の散乱情報を提供するシステム。」
イ　原査定の拒絶の理由で引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である、特開２００５−２１４９７８号公報（以下、「引用文献２」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている（下線は、当審で付与したものである。）。
ａ　「【００２６】
  本発明に従うウェーハ検査装置を図５及び６に則して以下に記述する。図６は、本発明に従うウェーハ検査装置を示す概略的な側面図である。図６によれば、全体を参照番号１でラベルされた
ウェーハ検査装置は、ウェーハ６の表面３２の領域８を照らすために、それぞれの入射照明光ビーム３７を放出する二つの入射照明装置２、２’を含む。
ｂ　「【００２９】
  図６によれば、
入射照明装置２’は明視野配置に配置されており、
入射照明装置２は暗視野配置に配置されており、
【００３０】
  図６によれば、ウェーハ６はウェーハ受容装置７、例えば真空クランプ装置（真空チャック）又は静電クランプ装置（静電チャック）に保持される。ウェーハ６はウェーハ受容装置７において可動に保持され、それで、例えば入射点３５を通るウェーハ６の表面３２に垂直な線の回りのウェーハ６の回転によって、又はウェーハ６の面において二つの相互に直交する空間の方向にウェーハ６が並進移動することによって、
ウェーハ６は入射照明光ビームに対して連続的に又はタイミングを調節して動くことができる。
ｃ　「【００４３】
  図２は、図１に従う像の連続のために照明光フラッシュを制御するためのタイミングダイアグラムを示す。
明視野（ＢＦ）配置で像を感知するための照明光フラッシュが図２の上部に描かれる一方、暗視野（ＤＦ）配置で像を得るために用いられる光フラッシュは図２の下部に描かれる。明視野配置で像を得るための照明光フラッシュは、時間ｔ１、ｔ２、ｔ３などで放出される一方、暗視野配置で像を感知するための照明光フラッシュは時間ｔ１’、ｔ２’、ｔ３’などで放出される。
ｄ　図２から、照明光フラッシュ（ＩＢＦ）の放出（時間ｔ１）に引き続き、照明光フラッシュ（ＩＤＦ）が放出（時間ｔ１’）されていることが見て取れるので、図２には、明視野配置で像を得るための照明光フラッシュ（ＩＢＦ）の時間ｔ１、ｔ２、ｔ３と、暗視野配置で像を感知するための照明光フラッシュ（ＩＤＦ）の時間ｔ１’、ｔ２’、ｔ３’は連続していることが示されている。
　上記の段落【００２６】、【００２９】、【００３０】、【００４３】及び図２の記載から、引用文献２には、「ウェーハ検査装置において、連続的に動くことができるウェーハ６の表面３２の領域８を照らす、入射照明装置２’を明視野配置に配置し、入射照明装置２を暗視野配置に配置し、明視野の照明光フラッシュと暗視野の照明光フラッシュを連続して放出する技術。」が記載されている。
ウ　原査定の拒絶の理由で引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である、特開２００７−２３２５５５号公報（以下、「引用文献３」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている（下線は、当審で付与したものである。）。
「【００６７】
  この検出光学系の詳細を図１１（ａ）に示す。ここでＳ０はウェハ１で反射散乱されて対物レンズ２１及び結像レンズ２３を透過してきた光を示し、低角度照明系により照明された光がウェハ１で反射散乱した成分と高角度照明系により照明された光がウェハ１で反射散乱した成分とが混合された状態の光である。ビームスプリッタ２９の表面は、レーザ光源１１から発射されたレーザと同じ波長の光を反射する特性を持つ薄膜２９０１がコーティングされており、ウェハ１からの反射散乱光Ｓ０に含まれる成分のうち、レーザ光源１１から発射されたレーザによる反射散乱光成分Ｓ１はビームスプリッタ２９で反射されて光検出器２６ａに入射させる。
光検出器２６ａ
レーザの低角度照明によるウェハ１からの反射散乱光像を検出する。
光検出器２６ｂで広帯域波長光源１２からの高角度照明による反射散乱光像が検出される。
エ　原査定の拒絶の理由で引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である、特開２００６−１６２５００号公報（以下、「引用文献４」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている（下線は、当審で付与したものである。）。
ａ　「【００１４】
  
検出光学系１０４は、散乱光検出レンズ１１０および光電変換素子１１１から構成される。
ｂ　「【００２２】
  次に、本発明に係る半導体ウェハ上の異物や欠陥等を検査する欠陥検査装置の第２の実施例について図６を用いて説明する。図６は、本発明に係る半導体ウェハ上の異物や欠陥等を検査する欠陥検査装置の第２の実施例を示す構成図である。第２の実施例において、第１の実施例との相違点は、
照明光学系１０３ｂにおいて高角度照明光学系と低角度照明光学系とを切り替えて照明できるようにし、
照明光学系１０３ｂは、ガウス分布を有するレーザビームを出射するレーザ光源１０５と、偏光方向を任意の方向に調整する波長板１０６と、ビームエキスパンダ１０７と、平坦な照度分布に整形する整形光学系１０８とを共通にし、ミラー１１５と集光レンズ１０９とで低角度照明光学系を形成し、ミラー１１７と集光レンズ７０２とミラー１１６とで高角度照明光学系を形成し、進退するミラー７０１で切り替えるように構成する。
オ　原査定の拒絶の理由で引用された、特表２００９−５１１９０８号公報の公表日は、本願の優先日後であるが、参考として、本願の優先日前に電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった、国際公開第２００７／０４７２７２号（以下、「引用文献５」という。）に記載された事項を示す（下線は、当審で付与したものである。）。
「[0032] In an alternative embodiment, 
the light housing 60 may also contain mid- angle lighting and high-angle lighting in addition to the dark-field, low-angle lighting.
image is then captured by the camera 50 for image processing.
（特表２００９−５１１９０８号公報の対応する記載：
「【００１８】
  他の実施形態において、
光ハウジング６０は、暗視野・低角度照明に加えて、中角度照明および高角度照明を含んでもよい。
画像は、画像処理のためにカメラ５０によって取得される。
カ　原査定の拒絶の理由で引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である、米国特許第５８２２０５５号明細書（以下、「引用文献６」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている（下線は、当審で付与したものである。）。
「One physical optical embodiment of the present invention is shown in the simplified schematic diagram of FIG. 8. Here, wafer 14 is illuminated directly by a darkfield 
illumination source 12 
The combined brightfield and darkfield image reflected by wafer 14 travels upward through condensing lens 60, through beamsplitter 64 to beamsplitter 66. At beamsplitter 66 
the brightfield image
projected onto brightfield sensor 16. The darkfield image,
given
onto darkfield image sensor 16'.
（当審訳：本発明の1つの物理的な光学的な実施形態は、図8の単純化した概略図に示されている。ここで、ウェーハ14は
暗視野照明源12(例えば、レーザ)と
明視野照明源10(例えば、水銀アークランプ)
　ウエハ14で反射された合成明視野および暗視野像を、集光レンズ60を通って上方に移動し、ビームスプリッタ64を介してビームスプリッタ66に入力する。ビームスプリッタ66で
明視野画像を、
明視野センサ16上に投影された
暗視野画像は、
暗視野画像センサ16
　上記記載から、引用文献６には、「暗視野照明源12からの明視野像を投影する明視野センサ１６、明視野照明源10からの暗視野像を受け取る暗視野画像センサ１６’」が記載されている。
キ　原査定の拒絶の理由で引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である、特開２００５−３３７８５１号公報（以下、「引用文献７」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている（下線は、当審で付与したものである。）。
「【００１７】
  
検出光学系２０００は、被検査物Ｗから発生する反射散乱光（反射回折光）を集光する対物レンズ３と、被検査物Ｗの表面に存在する回路パターンの繰返されるエッジから生じる回折光パターンを遮光する空間フィルタ４と、結像レンズであるチューブレンズ５と、ＴＤＩセンサ、アンチブルーミングＴＤＩセンサまたはＣＣＤリニアイメージセンサ、ホトマルアレイ等の検出器（リニアセンサ）６とで構成される。
ク　原査定の拒絶の理由で引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である、特表２００５−５３６７３２号公報（以下、「引用文献８」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている（下線は、当審で付与したものである。）。
「【００３２】
  図１及び図２は、物体（対象）２を検査するための装置１を概要図として示している。この装置１は光学検査装置に係るものであり、この光学検査装置を用い、半導体産業用のマスク及びウェーハが特に欠陥に関して調べられ得る。この装置１は、
結像光学系３に対して形成されている明視野・光源５の明視野・照明光線路４を有する。結像光学系３に対しては更に暗視野・光源７の暗視野・照明光線路６が設けられている。物体２は結像光学系３を用いて検知器８上に結像され、この際、検知光線路９は物体２から検知器８へと延在している。物体２は両方の光源５及び７により同時に照明される。
ケ　原査定の拒絶の理由で引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である、米国特許出願公開第２００４／００９５５７３号明細書（以下、「引用文献９」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている（下線は、当審で付与したものである。）。
「[0175] In a further aspect, 
a tube lens group can be used with the 0.97, 0.98, and 0.99 NA objectives in systems having a 1.0 mm field size. 
（当審訳：さらなる態様では、
結像レンズ群は、1.0mm視野サイズを有するシステムでは0.97、0.98、および0.99NA目的に使用することができる。
コ　原査定の拒絶の理由で引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である、特開２０００−３３７８２３号公報（以下、「引用文献１０」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている（下線は、当審で付与したものである。）。
「【００２４】また、回転テーブル１１０及びＸＹテーブル１００の上方において、光学ヘッド２００を上下方向（Ｚ軸方向）に昇降可能に配置している。光学ヘッド２００は、図１に示すように、複数のレーザ光源１〜５及びＣＣＤカメラ６，１０等よりなり、これらの機能は前述した図５及び図６に示すものと基本的に同一である。即ち、本実施例では、バンプ高さ測定にはレーザ光切断法を用いる。レーザ光源としては、垂直面内にある散乱用レーザ光源１，２と、傾斜した面内にある正反射用レーザ光源３，４，５を用いる。
レーザ光源１〜５から照射されたシート状レーザ光１２，１３，１４〜１６は、バンプの形成されたウェハ１７で正反射光又は散乱光となり、ウェハ高さ及びバンプの形状を示す形状線として高さ検査用ＣＣＤカメラ１０で撮影され、バンプ高さ画像１９を得る。
サ　原査定の拒絶の理由で引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である特公昭４９−２５２２３号公報（以下、「引用文献１１」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている（下線は、当審で付与したものである。）。
「第１図はこの考案の一実施例の光学系配置図であって、１個の対物レンズが光切断の効果と観測拡大作用を同時に行なう単鏡筒式のものである。第１図において、ランプ１より発した光線は照明系レンズ２，４と対物レンズ７、後述の反射部材６，８，９等によって被検査面１０を照明する。３は可変開口絞り、５はスリットである。６はハーフミラーまたはハーフプリズムである。反射部材８および９はミラーまたはプリズムで
、前記スリット５および対物レンズ７を経由した照明光線を被検査面にθ°の角度をもって導き光切断を行う。この切断面の反射光を反対側の反射部材９および８で反射させ、対物レンズ７および接眼レンズ１１にて観測する。
シ　原査定の拒絶の理由で引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である米国特許出願公開第２００８／０００２２０７号明細書（以下、「引用文献１２」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている（下線は、当審で付与したものである。）。
「[００６３]
Another arrangement, additionally comprising a balance mass BN is shown in  FIG. 6 . 
（当審訳：
バランスマスＢＮをさらに備える別の構成が図６に示されている。
ス　原査定の拒絶の理由で引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である米国特許出願公開第２００８／００３２４２９号明細書（以下、「引用文献１３」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている（下線は、当審で付与したものである。）。
「[００５０]As shown in step 10 of FIG. 1, the method includes acquiring one or more images (hereinafter “inspector image(s)”) and data (hereinafter “inspector data”) from an inspection tool. The inspector image(s) illustrate an area on a specimen in which a defect to be reviewed is located. 
The inspector image(s) may include one or more bright field (BF) images, one or more dark field (DF) images, one or more laser DF images, one or more scanning electron microscope (SEM) images, or some combination thereof. 
（当審訳：図1のステップ10に示すように、この方法は、検査ツールから1つ以上の画像(以下、「検査画像(複数でも可)」)とデータ(以下、「検査者データ」)を収集することを含む。インスペクタ画像(複数可)は、レビューすべき欠陥が位置する試料上の領域を示す図である。
インスペクタ画像(複数可)は、1つまたは複数の明視野(BF)画像、1つ又はそれ以上の暗視野(DF)の画像は、1つ以上のレーザDF画像、1つ以上の走査型電子顕微鏡(SEM)画像、またはそれらの何らかの組合せを含むことができる。
セ　原査定の拒絶の理由で引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開２００３−１４９１６９号公報（以下、「引用文献１４」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている（下線は、当審で付与したものである。）。
「【００１５】明視野照明系と暗視野照明系のいずれか一方を使用するか、両方を使用するかを切り換える照明切換機構を備えることが望ましい。また、
明視野照明系と暗視野照明系は、照明光の強度を調整する光量調整機構をそれぞれ備え、明視野照明光と暗視野照明光の光量が独立して調整可能であることが望ましい。
ソ　原査定の拒絶の理由で引用された、本願の優先日前に頒布された刊行物である特開２００５−２５０１５１号公報（以下、「引用文献１５」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている（下線は、当審で付与したものである。）。
「【００４１】
  調光比記録部３４は、検鏡状態に対する調光比Ｇ２を記録してあるものであり、ここでは明視野観察光量を１とした場合の暗視野観察の調光比Ｇ２が記録されているものである。すなわち、
明視野観察時Ｇ２＝１，暗視野観察時Ｇ２＝２と設定することで、明視野観察の光量を１とした場合、暗視野観察時の光量が２倍に設定されるものである。
（２）　対比
　本願発明と引用発明を対比する。
ア　引用発明の「光学検査システム」は、本願発明の「一検査システム」に相当する。
イ　引用発明の「広帯域光源である第２ソース325」は、「明視野検査画像を提供」するので、本願発明の「明視野広帯域照明」に相当し、
　引用発明は、「第2検出器327も、光源322から暗視野照明の散乱情報を提供する」ので、引用発明の「広帯域光源322」は、本願発明の「暗視野広帯域照明」に相当する。
　したがって、引用発明の「第２ソース325」及び「広帯域光源322」からなる照明と、本願発明の「ウェーハが走査走行パスに沿って移動されている間に、ウェーハの一部が配置されている１つの検査位置に対して、第１の照明および第２の照明を連続して供給し、向かわせるように構成された照明設定であって、明視野広帯域照明と暗視野広帯域照明との組合せの少なくとも１つを出力するように構成されている、照明設定」とは、「明視野広帯域照明と暗視野広帯域照明との組合せの少なくとも１つを出力するように構成されている、照明設定」である点で共通する。
ウ　引用発明の「高ダイナミックレンジかつ高精度の撮像検出器328Aは、広帯域光源322からの光の粒子321による散乱を検出および測定することができ、広帯域光源である第2ソース325および第2高ダイナミックレンジかつ高精度の撮像検出器327は、明視野検査画像を提供し、第2検出器327も、光源322から暗視野照明の散乱情報を提供する」ことと、本願発明の「前記照明設定によって出力された明視野広帯域照明と暗視野広帯域照明の任意の組合せである、記第１の光パスおよび前記第２の光パスに沿って前記ビーム分割器によって反射された前記第１の照明および前記第２の照明を、それぞれを受け取るように構成されている第１の画像収集装置および第２の画像収集装置であって、前記ウェーハが走査走行パスに沿った検査位置の全域を移動された時に、それぞれ前記ウェーハの第１の画像および第２の画像を収集するように構成されている第１の画像収集装置および第２の画像収集装置」こととは、「前記照明設定によって出力された明視野広帯域照明と暗視野広帯域照明を受け取るように構成されている第１の画像収集装置および暗視野広帯域照明を受け取るように構成されている第２の画像収集装置であって、それぞれ前記ウェーハの第１の画像および第２の画像を収集するように構成されている第１の画像収集装置および第２の画像収集装置」である点で共通する。
　すると、本願発明と引用発明とは、次の一致点及び相違点を有する。
（一致点）
「一検査システムであって、
　明視野広帯域照明と暗視野広帯域照明との組合せの少なくとも１つを出力するように構成されている、照明設定と、
　前記照明設定によって出力された明視野広帯域照明と暗視野広帯域照明を受け取るように構成されている第１の画像収集装置および暗視野広帯域照明を受け取るように構成されている第２の画像収集装置であって、それぞれ前記ウェーハの第１の画像および第２の画像を収集するように構成されている第１の画像収集装置および第２の画像収集装置と、を備えたシステム。」
（相違点１）
　本願発明は、「ウェーハが走査走行パスに沿って移動されている間に、ウェーハの一部が配置されている１つの検査位置に対して、第１の照明および第２の照明を連続して供給し、向かわせるように構成された照明設定」であるのに対して、引用発明は、「基板全体が照明され」「基板を測定中に運動」しない点。
（相違点２）
　本願発明は、「前記ウェーハが、前記走査走行パスに沿った検査位置の全域を移動された時に、前記ウェーハの一部に向かってきて、前記ウェーハの一部から反射される前記第１の照明および前記第２の照明のそれぞれを受け取るように構成され、前記照明設定によって出力された明視野広帯域照明と暗視野広帯域照明の任意の組合せとして受け取った前記第１の照明および前記第２の照明を、それぞれ、第１の光パスおよび第２の光パスに沿って反射させるように構成され、前記第１の光パスは前記第２の光パスとは異なる、ビーム分割器」を備えるのに対して、引用発明は、そのような特定がない点。
（相違点３）
　本願発明の「第１の画像収集装置および第２の画像収集装置」は、「前記照明設定によって出力された明視野広帯域照明と暗視野広帯域照明の任意の組合せである」「前記第１の照明および前記第２の照明を、それぞれを受け取るように構成されている」のに対して、引用発明は、「撮像検出器327」が、「第２ソース325」及び「広帯域光源322」からの照明を受け取り、「撮像検出器328A」が、「広帯域光源322」からの照明を受け取る点。
（相違点４）
　本願発明の「第１の画像収集装置および第２の画像収集装置」は、「前記ウェーハが走査走行パスに沿った検査位置の全域を移動された時に、それぞれ前記ウェーハの第１の画像および第２の画像を収集するように構成されている」のに対して、引用発明は、「基板」を測定中に運動しない点。
（相違点５）
　本願発明は、「前記ウェーハが、各検査位置における前記第１の画像と前記第２の画像の収集の間である、前記走査走行パスに沿った距離だけ空間的に変位される」のに対して、引用発明は、「基板」を測定中に運動しない点。
（３）　判断
ア　上記相違点１について検討する。
　引用文献２には、ウェーハ検査装置において、連続的に動くことができるウェーハ６の表面３２の領域８を照らす、入射照明装置２’を明視野配置に配置し、入射照明装置２を暗視野配置に配置し、明視野の照明光フラッシュと暗視野の照明光フラッシュを連続して放出する技術が記載されている（上記（１）イ）。
　しかしながら、引用発明は「基板全体が照明され結像し基板を測定中に運動」しない「光学検査システム」に関するものであり、「連続的に動くことができるウェーハ６の表面３２の領域８を照らす」「ウェーハ検査装置」に関する、引用文献２に記載の上記技術を適用する動機がなく、
　引用発明及び引用文献２に記載された技術に基づいて、当業者が容易に上記相違点１に係る本願発明の構成を得るということはいえない。
　また、引用文献３ないし１５には、ウェーハが走査走行パスに沿って移動されている間に、ウェーハの一部が配置されている１つの検査位置に対して、第１の照明および第２の照明を連続して供給し、向かわせるように構成された照明設定は記載されていない。
　したがって、上記相違点１に係る本願発明の構成は、引用発明及び引用文献２ないし１５に記載された技術に基づいて、当業者が容易になし得たことであるとはいえない。
イ　上記相違点３について検討する。
　引用文献３には、光検出器２６ａでレーザの低角度照明によるウェハ１からの反射散乱光像を検出し、光検出器２６ｂで広帯域波長光源１２からの高角度照明による反射散乱光像が検出することが記載されている（上記（１）ウ）。
　引用文献６には、暗視野照明源12からの明視野像を投影する明視野センサ１６、明視野照明源10からの暗視野像を受け取る暗視野画像センサ１６’が記載されている（上記（１）カ）。
　しかしながら、引用文献３及び６には、「前記照明設定によって出力された明視野広帯域照明と暗視野広帯域照明の任意の組合せである」「前記第１の照明および前記第２の照明を、それぞれを受け取るように構成されている第１の画像収集装置および第２の画像収集装置」は記載されていない。
　また、引用文献２、４、５、７ないし１５にも、「前記照明設定によって出力された明視野広帯域照明と暗視野広帯域照明の任意の組合せである」「前記第１の照明および前記第２の照明を、それぞれを受け取るように構成されている第１の画像収集装置および第２の画像収集装置」は記載されていない。
　してみると、引用発明において、「撮像検出器327」及び「撮像検出器328A」を、「第２ソース325」及び「広帯域光源322」の任意の組み合わせの第１の照明および第２の照明を、それぞれを受け取るように構成することは、当業者といえども容易であるということはできない。
　したがって、上記相違点３に係る本願発明の構成は、引用発明及び引用文献２ないし１５に記載された技術に基づいて、当業者が容易になし得たことであるとはいえない。
エ　そして、本願発明は、上記相違点２、４及び５について検討するまでもなく、引用発明及び引用文献２ないし１５に記載された技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。
（４）小括
　したがって、本願発明は、引用発明及び引用文献２ないし１５に記載された技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。
　そして、本願の請求項２ないし２３に係る発明は、本願発明をさらに限定したものであるので、同様に、引用発明及び引用文献２ないし１５に記載された技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。
　また、請求項２４に係る発明は、「一検査システム」の発明である本願発明のカテゴリーを「一検査方法」に変更したものにすぎない。したがって、請求項２４に係る発明は、本願発明と同様の理由により、引用発明及び引用文献２ないし１５に記載された技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。
　さらに、本願の請求項２５ないし３１に係る発明は、請求項２４に係る発明をさらに限定したものであるので、同様に、引用発明及び引用文献２ないし１５に記載された技術に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたとはいえない。
　よって、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。
第５　当審拒絶理由について
１　当審拒絶理由の概要
　平成２８年８月２３日付け付けで通知した拒絶理由の概要は、次の通りである。
「　　　　　　　　　　　　　　　　理　由 
 　この出願は、特許請求の範囲の記載が下記の点で、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない。 
 　　 
 　　　　　　　　　　　　　　　　　記 
 １　発明の詳細な説明には、複数照明を備えた複像収集装置（ＭＩＣＤ）に関して「ＭＩＣＤを使用する装置は、広帯域を用いず、かつ劣った画質および柔軟でないシステム設定が欠点である。」（段落［００１３］）と、広帯域照明を用いていないことが、課題として記載されており、 
 　本発明の実施態様として「好ましくは、明視野照明器２６は実質的に３００ナノメートル以上１０００ナノメートル以下の波長を備える広帯域明視野照明を供給する。」（段落［００３９］）、「より詳しくは、低角度暗視野照明器２８および高角度暗視野照明器３０の各々によって供給される暗視野照明は、好ましくは実質的に３００ナノメートル以上１０００ナノメートル以下の波長を備える広帯域暗視野照明である。」（段落［００４２］）等と、明視野照明及び暗視野照明ともに、広帯域照明を用いることが専ら記載されている。 
 　しかしながら、請求項１には「第１の照明および第２の照明を連続して供給し、向かわせるように構成された照明設定であって、明視野照明と暗視野照明との組合せの少なくとも１つを出力するように構成されている、照明設定と」としか規定されておらず、 
 　請求項１の記載は、明視野照明及び暗視野照明が、広帯域照明以外の照明（例えば、狭帯域照明。）を用いるような、発明の詳細な説明に開示のない発明まで含むこととなる。 
・・・  
 　したがって、請求項１−２３は、発明の詳細な説明に記載した範囲を超えて特許を請求することとなり、請求項１−２３に係る発明は、発明の詳細な説明に記載したものでない。 
  
 ２　請求項２４の「照明設定によって、第１の照明および第２の照明を連続して供給し、向かわせるステップであって、前記照明設定は、明視野照明と暗視野照明との組合せの少なくとも１つを出力するように構成されている、ステップと」の記載も、請求項１と同様である。 
・・・ 
　したがって、請求項２４−３１は、発明の詳細な説明に記載した範囲を超えて特許を請求することとなり、請求項２４−３１に係る発明は、発明の詳細な説明に記載したものでない。 」
２　当審拒絶理由判断
（１）本件補正の補正事項１（上記第２　１（１））によって、本願の請求項１は「明視野
広帯域
広帯域
　また、請求項１を引用する請求項２ないし２３についても、同様に、発明の詳細な説明に記載したものとなった。
（２）本件補正の補正事項３（上記第２　１（３））によって、本願の請求項２４は「明視野
広帯域
広帯域
　また、請求項２４を引用する請求項２５ないし３１についても、同様に、発明の詳細な説明に記載したものとなった。
　よって、当審拒絶理由１及び２は解消した。
第６　むすび
　以上のとおり、原査定及び当審の拒絶の理由を検討しても、その理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。