(57)【要約】      （修正有）【課題】複数の建屋間の位置に相対的な位置ずれが発生し搬送車の走行方向と異なる方向の変位が生じた場合でも、該搬送車が該複数の工場間を安定して搬送可能な半導体ウエハの搬送装置および搬送システムを提供する。【解決手段】搬送ユニット１００は、天井側吊り部材１と、吊りボルト２と、吊りサポート（可動サポート部）３と、軌道ユニット（軌道部）４と、搬送車走行面５と、接続板（接続部）６と、各部材同士を固定するボルトとを有し、変位追従部１０１は、ｙ軸方向に延びるスライド機構（スライド部）３１を有し、該搬送ユニット１００に該スライド機構３１を設けることで、搬送車７が移動できるように構成する。【選択図】図２
2011108789.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１および第２の建屋の天井に設けられ、半導体装置収納容器を搬送可能な搬送車を前記第１および第２の建屋間で走行させる搬送装置であって、
前記搬送車を走行させる搬送経路を形成する複数の搬送ユニットと、
前記複数の搬送ユニットのうちの少なくとも１つに設けられ、前記第１および第２の建屋間に相対的な変位が生じても、前記搬送車が前記第１および第２の建屋間での前記搬送車の走行が妨げられないように、前記複数の搬送ユニットのうちの少なくとも１つを前記相対的な変位を相殺する方向に移動させる変位追従部と、を備えることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記変位追従部は、前記第１または第２の建屋の天井に固定されて第１の方向に延びるスライド部を有し、
前記搬送ユニットは、
前記第１および第２の建屋間で前記第１の方向の変位が生じた場合に、前記スライド部に沿って前記第１の方向に移動して前記変位を相殺する可動サポート部と、
前記可動サポート部に固定され、前記第１の方向と異なる第２の方向に前記搬送車を走行させる軌道部と、
前記軌道部に沿って、隣接する前記搬送ユニット同士を接続する接続部と、を有することを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記スライド部は、前記可動サポート部の前記第１の方向への移動量を所定量以下に制限する移動制限部を有することを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記複数の搬送ユニットのうち少なくとも２つの隣接する搬送ユニットのそれぞれは、前記第１または第２の建屋の天井に固定されて前記２つの隣接する搬送ユニットの配置方向に沿って前記搬送車を移動させる可動軌道部を有し、
前記変位追従部は、前記第１および第２の建屋間で生じた前記搬送車の走行方向の変位が相殺されるように、前記可動軌道部に沿って前記搬送車を移動させる可変長通路部を有することを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記可変長通路部には、前記搬送車の移動方向に沿って位置決め溝が形成され、
前記可動軌道部は、前記位置決め溝に係合されて、前記第１および第２の建屋間で生じた前記搬送車の走行方向の変位に応じた距離だけ移動する位置決めピンを有することを特徴とする請求項４に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記位置決めピンは、前記第１および第２の建屋の変位が生じない状態では、前記位置決め溝の長手方向の略中央部に係合されることを特徴とする請求項５に記載の搬送装置。
【請求項７】
前記可変長通路部の端部は、前記搬送車が通過する際にガタが生じないようにスロープ状に形成されることを特徴とする請求項４乃至６のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項８】
前記複数の搬送ユニットのうち少なくとも２つの隣接する搬送ユニットのそれぞれは、前記第１または第２の建屋の天井に固定されて前記２つの隣接する搬送ユニットの配置方向に沿って前記搬送車を移動させる可動軌道部を有し、
前記変位追従部は、前記２つの隣接する前記可動軌道部同士を回転自在に接続して前記第１および第２の建屋間で生じた変位を相殺するように回転する回転部を有することを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項９】
第１および第２の建屋の天井に設けられ、半導体装置収納容器を搬送可能な搬送車を前記第１および第２の建屋間で走行させる搬送システムであって、
前記搬送車を走行させる搬送経路を有する複数の搬送ユニットと、
前記複数の搬送ユニットのうちの少なくとも１つに設けられ、前記第１および第２の建屋間に相対的な変位が生じても、前記搬送車が前記第１および第２の建屋間での前記搬送車の走行が妨げられないように、前記複数の搬送ユニットのうちの少なくとも１つを前記相対的な変位を相殺する方向に移動させる変位追従部と、
前記複数の搬送ユニットのうち少なくとも１つの移動量を取得する移動量取得部と、
前記取得した移動量が所定の閾値を超えるか否かを判定する走行判定部と、
前記移動量が前記所定の閾値を超える前記搬送ユニットへの前記搬送車の移動を禁止する搬送車制御部と、を備えることを特徴とする搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の建屋間で半導体装置収納容器を搬送する搬送装置および搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置製造工場では、半導体ウエハを搬送するための搬送装置が天井に設置されるのが一般的である。近年では、生産効率を向上させるため、１つの半導体装置製造工場内のみならず、複数の半導体装置製造工場間で半導体ウエハを搬送することが検討されている。これにより、半導体装置製造工場内の所望の製造装置が使用中であっても、別の半導体装置製造工場内の同一の製造装置が使用されていなければ、それを一時的に使用して半導体装置の製造を進めることで、生産効率を向上できる。
【０００３】
２つの半導体装置製造工場間で半導体ウエハを搬送する場合、工場間に棟間通路（渡り廊下）が設けられ、半導体装置製造工場および棟間通路の天井に搬送装置が設置される。２つの半導体装置製造工場の建築手法の違い等により、強風および地震等があると、両工場間の相対的な位置に変位が生じることがある。この変位は最大で１０ｃｍを超えることも想定される。そのため、搬送装置を半導体装置製造工場および棟間通路に完全に固定すると、強風および地震等による建屋間の相対的な位置ずれで搬送装置が破損するおそれがある。
【０００４】
特許文献１には、搬送車が走行するレール部材が熱膨張に起因して伸縮しても、可動レールを用いてその伸縮を吸収可能なレール装置が開示されている。しかしながら、建屋の相対的な変位をも吸収できる搬送機構は提案されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−８４２５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、複数の建屋間の位置に相対的な変位が生じても、半導体装置収納容器を搬送可能な搬送装置および搬送システムを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様によれば、第１および第２の建屋の天井に設けられ、半導体装置収納容器を搬送可能な搬送車を前記第１および第２の建屋間で走行させる搬送装置であって、前記搬送車を走行させる搬送経路を形成する複数の搬送ユニットと、前記複数の搬送ユニットのうちの少なくとも１つに設けられ、前記第１および第２の建屋間に相対的な変位が生じても、前記搬送車が前記第１および第２の建屋間での前記搬送車の走行が妨げられないように、前記複数の搬送ユニットのうちの少なくとも１つを前記相対的な変位を相殺する方向に移動させる変位追従部と、を備えることを特徴とする搬送装置が提供される。
【０００８】
また、本発明の一態様によれば、第１および第２の建屋の天井に設けられ、半導体装置収納容器を搬送可能な搬送車を前記第１および第２の建屋間で走行させる搬送システムであって、前記搬送車を走行させる搬送経路を形成する複数の搬送ユニットと、前記複数の搬送ユニットのうちの少なくとも１つに設けられ、前記第１および第２の建屋間に相対的な変位が生じても、前記搬送車が前記第１および第２の建屋間での前記搬送車の走行が妨げられないように、前記複数の搬送ユニットのうちの少なくとも１つを前記相対的な変位を相殺する方向に移動させる変位追従部と、前記複数の搬送ユニットのうち少なくとも１つの移動量を取得する移動量取得部と、前記取得した移動量が所定の閾値を超えるか否かを判定する走行判定部と、前記移動量が前記所定の閾値を超える前記搬送ユニットへの前記搬送車の移動を禁止する搬送車制御部と、を備えることを特徴とする搬送システムが提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、複数の建屋間の位置に相対的な変位が生じても、半導体装置収納容器を搬送できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る搬送システム２００の概略構成を示す図。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る搬送ユニット１００および変位追従部１０１の斜視図。
【図３】図２の軌道ユニット４のｙ軸方向の中心を含むｘｚ平面（図２の一点鎖線Ｐ）の断面図。
【図４】図２のスライド機構３１を含むｙｚ平面（図２の一点鎖線Ｑ）の断面図。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る搬送ユニット１００ａおよび変位追従部１０１ａの斜視図。
【図６】図５の吊りサポート３を含むｙｚ平面（図５の一点鎖線Ｒ）の断面図。
【図７】図６の一点鎖線Ｔを含む、軌道ユニット４およびその内部のｘｚ平面の断面図。
【図８】図５の軌道ユニット４のｙ軸方向の中心を含むｘｚ平面（図５の一点鎖線Ｓ）の断面図。
【図９】図６の破線Ｕを含むｘｙ平面の断面図。
【図１０】本発明の第３の実施形態に係る搬送ユニット１００ｂおよび変位追従部１０１ｂの斜視図。
【図１１】図１０の回転機構５１および軌道ユニット４の上面図。
【図１２】本発明の第４の実施形態に係る搬送システム２０１の概略構成を示す図。
【図１３】図１２の搬送システム２０１の処理動作の一例を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明に係る搬送装置および搬送システムの実施形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。
【００１２】
（第１の実施形態）
図１は本発明の第１の実施形態に係る搬送システム２００の概略構成を示す図、図２は搬送システム２００の一部の構成である搬送ユニット１００および変位追従部１０１の斜視図である。本搬送システム２００は、半導体ウエハ上に半導体装置を製造する第１および第２の半導体装置製造工場（以下、第１および第２の工場）１１０，１１１間で、棟間通路１１２を介して半導体ウエハ等の半導体装置を搬送するものである。なお、第１および第２の工場１１０，１１１と棟間通路１１２との接続部には、蛇腹状の建屋変位吸収部（不図示）が設けられ、第１および第２の工場１１０，１１１に変位が生じても、第１および第２の工場１１０，１１１と棟間通路１１２との接続を維持できるようになっている。
【００１３】
搬送システム２００は、複数の搬送ユニット１００と変位追従部１０１と搬送車７とを有する搬送装置と、搬送車制御部１０２とを備えている。
【００１４】
搬送ユニット１００は第１および第２の工場１１０，１１１と棟間通路１１２との天井に設置される。各搬送ユニット１００は内部に搬送車走行面５を備える。半導体ウエハを収納した収納容器８を把持した搬送車７が搬送車走行面５に沿って走行することにより、第１および第２の工場１１０，１１１間で半導体ウエハを搬送する。
【００１５】
変位追従部１０１は複数の搬送ユニット１００のうち少なくとも１つに設けられる。強風および地震等に起因して第１および第２の工場１１０，１１１間の相対的な位置に変位が生じても、変位追従部１０１は、搬送車７が第１および第２の工場１１０，１１１間での走行を妨げられないように、搬送ユニット１００の構成部品の少なくとも一部を移動させて、この変位を相殺する。
【００１６】
搬送車制御部１０２は搬送車７の走行を制御する。より具体的には、例えば、搬送車制御部１０２は搬送車７の車輪（図１および図２では不図示）を駆動するモータを制御して、搬送車７を走行させたり、停止させたりする。搬送車制御部１０２は、例えば、１台または複数台のコンピュータを用いてソフトウェアによって実現される。このコンピュータは第１または第２の工場１１０，１１１内に設置してもよいし、他の場所に設置してもよい。また、搬送車制御部１０２の少なくとも一部の制御をハードウェアで実現してもよい。
【００１７】
図２では、一方向に隣接して設置される２つの搬送ユニット１００および変位追従部１０１を図示している。以下では、同図の左右方向をｘ軸、上下方向をｚ軸、ｘ軸（第２の方向）およびｚ軸に垂直な方向をｙ軸（第１の方向）と定義する。
【００１８】
図２（ａ）は、第１および第２の工場１１０，１１１間の相対的な位置に変位がない状態（初期状態）の図であり、図２（ｂ）はｙ軸方向の変位が生じた状態（変位状態）の図である。このように、本実施形態は、第１および第２の工場１１０，１１１間にｙ軸方向の相対的な変位が生じた場合でも、搬送車７がその走行を妨げられずに第１および第２の工場１１０，１１１間を安定に走行できるようにすることを念頭に置いている。
【００１９】
搬送ユニット１００は、天井側吊り部材１と、吊りボルト２と、吊りサポート（可動サポート部）３と、軌道ユニット（軌道部）４と、搬送車走行面５と、接続板（接続部）６と、各部材同士を固定するボルト（図２では不図示）とを有する。また、本実施形態の変位追従部１０１はｙ軸方向に延びるスライド機構（スライド部）３１を有する。図２では、１つの搬送ユニット１００に２つのスライド機構３１を設けているが、１つの搬送ユニット１００に対して何個のスライド機構３１を設けるかは任意である。
【００２０】
搬送車７は半導体ウエハ収納容器８を把持した状態で、起動ユニット４内の搬送車走行面５に沿ってｘ軸方向を走行する。接続板６は隣接する軌道ユニット４同士を接続するものであり、接続板６の下方にも、搬送車走行面５が設けられている。これにより、接続板６は軌道ユニット４間で搬送車７の受け渡しを行い、搬送車７は隣接する搬送ユニット１００間を走行する。
【００２１】
天井側吊り部材１はボルトによって天井６１に固定される。スライド機構３１は吊りボルト２を介して天井側吊り部材１に固定される。これにより、スライド機構３１も天井６１に固定される。後述するように、吊りサポート３の一部はスライド機構３１内の空洞部にスライド自在に嵌合される。より詳細には、吊りサポート３はスライド機構３１の長手方向であるｙ軸方向にスライド可能となる。軌道ユニット４は吊りサポート３に固定されているため、吊りサポート３のスライドに合わせて軌道ユニット４もスライドする。起動ユニット４内の搬送車走行面５には搬送車７が移動可能に載置されており、吊りサポート３がｙ軸方向にスライドすると、それに合わせて搬送車７もｙ軸方向にスライドする。
【００２２】
図３は、図２の軌道ユニット４のｙ軸方向の中心を含むｘｚ平面（図２の一点鎖線Ｐ）の断面図である。スライド機構３１は内部が空洞になっており、下側に向かって開口している。この空洞部に吊りサポート３はｙ軸方向にスライド自在に嵌合される。より具体的には、スライド機構３１の内部に不図示のＬＭ（Linear Motion）ガイドまたはスライドレール等が設けられ、これに沿って吊りサポート３はスライドする。これにより、吊りサポート３は、天井６１に固定されるスライド機構３１と相対的にｙ軸方向にスライド可能となる。
【００２３】
図４は、図２のスライド機構３１を含むｙｚ平面（図２の一点鎖線Ｑ）の断面図である。軌道ユニット４はボルト９によって吊りサポート３に固定される。軌道ユニット４は内部が空洞になっており、下側に向かって開口している。この軌道ユニット４の内部に搬送車走行面５は設けられる。搬送車７は車輪１０を備えており、この車輪１０は搬送車走行面５に沿って走行する。この車輪１０は図１の搬送車制御部１０２によって駆動される。
【００２４】
図４に示すように、スライド機構３１はストッパ（移動制限部）３２を備えていてもよい。ストッパ３２はスライド機構３１と一体に形成されてもよいし、スライド機構３１に取り付けられる別個の部材でもよい。ストッパ３２が設けられる場合、吊りサポート３はストッパ３２の内側をｙ軸方向にスライドする。そのため、ストッパ３２で吊りサポート３のスライド量を制限でき、吊りサポート３が許容量を超えてスライドしたり、吊りサポート３がスライド機構３１から外れたりするのを防ぐことができる。
【００２５】
軌道ユニット４のｙ軸方向の長さは例えば４０ｃｍである。また、スライド機構３１のｙ軸方向の長さは例えば８０ｃｍであり、吊りサポート３のｙ軸方向の長さはこれより短く、例えば５５ｃｍである。さらに、ストッパ３２のｙ軸方向の長さは例えば５ｃｍである。この条件下では、吊りサポート３はスライド機構３１の空洞内を最大１５ｃｍスライド可能である。
【００２６】
なお、想定されるｙ軸方向の変位がスライド機構３１のｙ軸方向の長さと比べて十分小さい場合、スライド機構３１は必ずしもストッパ３２を備えていなくてもよい。この場合、スライド機構３１の長さを吊りサポート３のｙ軸方向の長さに近づけてもよい。
【００２７】
ここで、図２（ａ）の左側の搬送ユニット１００および変位追従部１０１が、図１の棟間通路１１２内の最も第２の工場１１１側（図１の符号ｍの位置）に設置され、図２（ａ）の右側の搬送ユニット１００および変位追従部１０１が、図１の第２の工場１１１内の最も棟間通路１１２側（図１の符号ｎの位置）に設置されているとする。この場合に、第２の工場１１１のみがｙ軸方向（つまり、搬送車７の走行方向に対して垂直な方向）にわずかな変位が生じたとする。図２（ｂ）は、このときの様子を示す図である。
【００２８】
第２の工場１１１にｙ軸方向の変位が生じた場合、第２の工場１１２内のスライド機構３１は天井６１に固定されているため、右側のスライド機構３１は天井６１の変位に従ってｙ軸方向に移動する。これに対して、上述のように、吊りサポート３はスライド機構３１の空洞内でスライド可能であり、かつ、この吊りサポート３に固定される左右の軌道ユニット４同士は接続板６によって接続されている。そのため、第２の工場１１１内の吊りサポート３は、スライド機構３１に沿って、変位を相殺するよう移動し、棟間通路１１２内の軌道ユニット４との接続が維持される。
【００２９】
また、棟間通路１１２と第２の工場１１１との接続部に設けられる蛇腹状の建屋変位吸収部により、棟間通路１１２は第２の工場１１１との接続を維持できる。
【００３０】
その結果、棟間通路１１２には変位が生じず、かつ、左右の軌道ユニット４を依然として一直線上に配置することができる。よって、これらの内部に設置される搬送車走行面５に沿って搬送車７は安定に走行でき、第１および第２の工場１１０，１１１間での半導体ウエハ収納容器８の搬送には支障は生じない。
【００３１】
なお、図２等では、搬送車７の走行方向であるｘ軸に対して垂直なｙ軸方向にスライド機構３１および吊りサポート３を設ける例を示したが、必ずしも垂直でなくても、ｘ軸と異なる方向に設けられていればよい。
【００３２】
このように、第１の実施形態では、搬送ユニット１００にスライド機構３１を設けて搬送車７がｙ軸方向に移動できるようにしたため、第１および第２の工場１１０，１１１間の相対的な位置ずれにより、搬送車７の走行方向と異なる方向（ｙ軸方向）の変位が生じた場合でも、その変位を相殺するように搬送車７を移動させることができ、搬送車７は第１および第２の工場１１０，１１１間で安定して半導体ウエハ収納容器８を搬送できる。
【００３３】
（第２の実施形態）
上述した第１の実施形態は第１および第２の工場１１０，１１１が搬送車７の走行方向に対して垂直に変位が生じる場合を想定していた。これに対し、以下に説明する第２の実施形態では、第１および第２の工場１１０，１１１がｘ軸、すなわち、搬送車７の走行方向に変位が生じる場合を想定している。なお、以下の説明では、第１の実施形態と共通する構成部分には同一の符号を付しており、以下では相違点を中心に説明する。
【００３４】
図５は、本発明の第２の実施形態に係る搬送ユニット１００ａおよび変位追従部１０１ａの斜視図であり、図２と同様にｘ軸、ｙ軸およびｚ軸を定義する。図５（ａ）は、第１および第２の工場１１０，１１１に変位がない状態（初期状態）の図であり、図５（ｂ）は第１および第２の工場１１０，１１１が互いに遠ざかる方向にｘ軸上で変位した状態（変位状態）を示す図であり、図５（ｃ）は第１および第２の工場１１０，１１１が互いに近づく方向にｘ軸上で変位した状態（変位状態）を示す図である。
【００３５】
このように、本実施形態は、第１および第２の工場１１０，１１１がｘ軸方向に相対的に変位した場合でも、搬送車７が第１および第２の工場１１０，１１１間を走行できるようにすることを念頭に置いている。
【００３６】
本実施形態では、図２と異なり接続板６が不要である代わりに、搬送装置は変位追従部１０１ａとして可変長通路部４１を有する。
【００３７】
後述するように、可変長通路部４１は隣接する軌道ユニット（可動軌道部）４内の空洞部にスライド自在に嵌合されるが、軌道ユニット４には固定されていない。可変長通路部４１内にも搬送車走行面４３（図５には不図示）が設けられ、搬送車７は軌道ユニット４内の搬送車走行面５および可変長通路部４１内の搬送車走行面４３に沿ってｘ軸方向に走行する。また、第１の実施形態と異なり、吊りサポート３は天井側吊り部材１および吊りボルト２を介して天井６１に固定される。
【００３８】
図６は、図５の吊りサポート３を含むｙｚ平面（図５の一点鎖線Ｒ）の断面図である。軌道ユニット４は内部が空洞になっており、下側に向かって開口している。この空洞内の搬送車走行面５上に可変長通路部４１が移動可能に載置されている。軌道ユニット４の空洞内において、可変長通路部４１は軌道ユニット４に固定されていないため、可変長通路部４１と軌道ユニット４とは相対的にｘ軸方向に移動可能である。すなわち、軌道ユニット４は天井６１に固定されているため、天井６１の変位に伴って移動するが、可変長通路部４１は移動しない。なお、可変長通路部４１および軌道ユニット４は第１および第２の工場１１０，１１１の変位に伴って相対的に移動するものであり、外部から駆動されて移動するわけではない。
【００３９】
また、可変長通路部４１の内部も空洞になっており、下側に向かって開口している。可変長通路部４１の内部には搬送車走行面４３が設けられる。軌道ユニット４内の搬送車走行面５の幅および可変長通路部４１内の搬送車走行面４３の幅は等しく設けられており、搬送車７の車輪１０は搬送車走行面５上も搬送車走行面４３上も走行できる。
【００４０】
図７は、図６の一点鎖線Ｔを含む、軌道ユニット４およびその内部のｘｚ平面の断面図である。搬送車７が軌道ユニット４内の搬送車走行面５から可変長通路部４１内の搬送車走行面４３にスムーズに乗り移り、また搬送車走行面４３から搬送車走行面５にスムーズに乗り移れるように、可変長通路部４１のｘ軸方向の両端付近にはスロープを形成するのが望ましい。このようなスロープを形成することで、ガタを生じさせることなく、搬送車７は搬送車走行面５と搬送車走行面４３の間で移動可能となる。
【００４１】
図８は、図５の軌道ユニット４のｙ軸方向の中心を含むｘｚ平面（図５の一点鎖線Ｓ）の断面図であり、図９は、図６の一点鎖線Ｕを含むｘｙ平面の断面図である。図８および図９に示すように、可変長通路部４１の上面には対向する軌道ユニット４の移動方向に沿って位置決め溝４２が形成されている。可変長通路部４１の左右２箇所に、別個の軌道ユニット４が配置されるため、位置決め溝４２もｘ軸方向の両側２箇所に設けられている。また、軌道ユニット４には、対応する位置決め溝４２と係合可能な位置決めピン１２が設けられている。位置決めピン１２は軌道ユニット４と一体に形成されてもよいし、軌道ユニット４に取り付けられる別個の部材を取り付けてもよい。
【００４２】
このように、軌道ユニット４は、その位置決めピン１２が位置決め溝４２に係合された状態で可変長通路部４１に沿ってｘ軸方向に移動する。その移動量は、位置決め溝４２のｘ軸方向長さによって規制される。また、図９に示すように、位置決めピン１２のｙ軸方向の長さは、位置決め溝４２のｙ軸方向の長さよりごくわずかに短い程度である。そのため、可変長通路部４１はｙ軸方向にはほとんど移動しない。このように、位置決めピン１２は位置決め溝４２内をｘ軸方向に所定範囲内で自由に移動でき、その結果、可変長通路部４１は軌道ユニット４に対して相対的にｘ軸方向に移動できる。
【００４３】
軌道ユニット４および可変長通路部４１のｘ軸方向の長さは、例えば、それぞれ１００ｃｍである。また、位置決め溝４２のｘ軸方向の長さは例えば３０ｃｍである。位置決めピン１２のｘ軸方向の長さは例えば４ｃｍである。ここで、第１および第２の工場１１０，１１１同士が近づく方向に変位が生じることもあるし、離れる方向に変位が生じることもあるので、初期状態では、各位置決めピン１２が位置決め溝４２のｘ軸方向の中央付近に入れられるのが望ましい。このとき、地震等で搬送ユニット１００ａ同士の距離が最大で１３ｃｍ伸びた場合あるいは縮んだ場合でも、搬送車７の走行が可能になる。
【００４４】
ここで、図５（ａ）の左側の搬送ユニット１００ａおよび変位追従部１０１ａが棟間通路１１２内の最も第２の工場１１１側（図１の符号ｍの位置）に設置され、右側の搬送ユニット１００ａおよび変位追従部１０１ａが第２の工場１１１内の最も棟間通路１１２側（図１の符号ｎの位置）に設置されているとする。この場合に、第２の工場１１１がｘ軸方向（つまり、搬送車７の走行方向）にわずかな変位が生じたとする。図５（ｂ）、図８（ｂ）および図９（ｂ）は、第２の工場１１１が棟間通路１１２と離れる方向の変位が生じたしたときの様子を示す図であり、図５（ｃ）、図８（ｃ）および図９（ｃ）は、近づく方向の変位が生じたときの様子を示す図である。
【００４５】
軌道ユニット４は天井側吊り部材１、吊りボルト２および吊りサポート３を介して天井６１に固定されているため、搬送ユニット１００ａは天井６１と同じ距離だけｘ軸方向に変位する。したがって、第２の工場１１１が棟間通路１１２と離れる方向に変位が生じる場合（図５（ｂ）等）、左右の軌道ユニット４同士の距離が伸びるが、搬送車７は可変長通路部４１を介して左右の軌道ユニット４間を走行できる。また、棟間通路１１２と第２の工場１１１との接続部に設けられる蛇腹状の建屋変位吸収部が伸びることにより、棟間通路１１２は第２の工場１１１との接続を維持できる。
【００４６】
一方、第２の工場１１１が棟間通路１１２と近づく方向に変位する場合（図５（ｃ）等）、左右の軌道ユニット４同士の距離が縮む。しかし、左右の軌道ユニット４が備える位置決めピン１２は、可変長通路部４１の位置決め溝４２の形成範囲でのみ移動できるため、搬送ユニット１００ａ同士が強い力で押し付け合うことはない。よって、搬送ユニット１００ａが破損することはなく、搬送車７は可変長通路部４１を介して左右の軌道ユニット４間を走行できる。また、棟間通路１１２と第２の工場１１１との接続部に設けられる蛇腹状の建屋変位吸収部が縮むことにより、棟間通路１１２は第２の工場１１１との接続を維持できる。
【００４７】
このように、第１および第２の工場１１０，１１１間にｘ軸方向の変位が生じても、可変長通路部４１が変位を相殺するように軌道ユニット４に沿って搬送車７を搬送させるため、搬送車７は軌道ユニット４内の搬送車走行面５および可変長通路部４１内の搬送車走行面４３を走行して、第１および第２の工場１１０，１１１間で半導体ウエハ収納容器８を搬送できる。
【００４８】
図１に示す複数の搬送ユニット１００ａのうち、少なくとも１つに図２の変位追従部１０１を設け、少なくとも１つに図５の変位追従部１０１ａを設けてもよい。これにより、ｘ軸およびｙ軸方向の両方の変位が生じる場合でも、搬送車７が第１および第２の工場１１０，１１１間を走行できるようになる。この場合、図２および図５の変位追従部１０１，１０１ａを同一の搬送ユニット１００に設けてもよいし、別個の搬送ユニット１００に設けてもよい。同一の搬送ユニット１００に設ける場合、図２に示す搬送ユニット１００において、接続板６の代わりに可変長通路部４１を設ければよい。
【００４９】
このように、第２の実施形態では、搬送ユニット１００ａに可変長通路部４１を設けるため、第１および第２の工場１１０，１１１が搬送車７の走行方向に相対的に変位した場合でも、搬送車７は第１および第２の工場１１０，１１１間で半導体ウエハ収納容器８を安定に搬送できる。さらに、第１の実施形態と組み合わせることにより、搬送車７の走行方向およびこれに垂直な方向の両方に変位が生じた場合にも、半導体ウエハ収納容器８を搬送できる。
【００５０】
（第３の実施形態）
以下に説明する第３の実施形態では、第１および第２の工場１１０，１１１がｘ軸およびｙ軸の両方に変位した場合にも、１つの変位追従部１０１ｂで変位を吸収することを想定している。なお、以下の説明では、第１および第２の実施形態と共通する構成部分には同一の符号を付しており、以下では第１の実施形態との相違点を中心に説明する。
【００５１】
図１０は、本発明の第３の実施形態に係る搬送ユニット１００ｂおよび変位追従部１０１ｂの斜視図であり、図２と同様にｘ軸、ｙ軸およびｚ軸を定義する。図１０（ａ）は、第１および第２の工場１１０，１１１に変位がない状態（初期状態）の図であり、図１０（ｂ）は第１および第２の工場１１０，１１１のうち少なくとも１つがｘ軸およびｙ軸方向に変位した状態（変位状態）の図である。
【００５２】
このように、本実施形態は、第１および第２の工場１１０，１１１がｘ軸およびｙ軸方向に相対的に変位した場合でも、搬送車７が第１および第２の工場１１０，１１１間を走行できるようにすることを念頭に置いている。
【００５３】
本実施形態では、図２と異なり接続板６が不要である代わりに、搬送装置は変位追従部１０１ｂとして２つの位置決め穴５２が形成された回転機構５１（回転部）を有する。
【００５４】
図１０に示すように、天井側吊り部材１、吊りボルト２、吊りサポート３および軌道ユニット４は天井６１に固定されている。また、回転機構５１は隣接する軌道ユニット４同士を接続する。ここで、隣接する２つの軌道ユニット４の間には、定常状態で例えば数ｃｍのわずかな隙間が存在する。この隙間は搬送車７が脱輪することなく軌道ユニット４間を走行可能な距離である。
【００５５】
図１１は、図１０の回転機構５１および軌道ユニット４の上面図である。回転機構５１には２つの位置決め穴５２が形成されている。また、軌道ユニット４の上面には、位置決め穴５２に回転自在に挿入される位置決めピン１３が設けられている。位置決めピン１３は軌道ユニット４と一体に形成されてもよいし、軌道ユニット４に取り付けられる別個の部材でもよい。回転機構５１の２つの位置決め穴５２に左右の軌道ユニット４の位置決めピン１３を挿入することにより、位置決めピン１３を支点として回転機構５１と軌道ユニット４とは回転自在に接続される。
【００５６】
位置決め穴５２の大きさは位置決めピン１３の大きさよりわずかに大きい程度であり、位置決めピン１３は位置決め穴５２内をｘ軸およびｙ軸方向にはほとんど移動できない。しかしながら、軌道ユニット４は、位置決めピン１３を回転支点として、ｘｙ平面を任意に回転できる。この回転により軌道ユニット４同士が接触するまで軌道ユニット４は回転でき、最大回転角度は例えば２度である。
【００５７】
このように、位置決めピン１３により軌道ユニット４と回転機構５１とが固定されているわけではなく、回転機構５１は、位置決めピン１３を支点として、第１および第２の工場１１０，１１１間で生じた相対的な変位を相殺するように回転可能である。
【００５８】
ここで、図１０（ａ）の左側の搬送ユニット１００ｂおよび変位追従部１０１ｂが棟間通路１１２内の最も第２の工場１１１側（図１の符号ｍの位置）に設置され、右側の搬送ユニット１００ｂおよび変位追従部１０１ｂが第２の工場１１１内の最も棟間通路１１２側（図１の符号ｎの位置）に設置されているとする。また、第２の工場１１１の天井６１がｘ軸およびｙ軸方向にわずかな変位が生じたとする。図１０（ｂ）、図１１（ｂ）はこの場合の様子を示す図である。
【００５９】
上述のように、軌道ユニット４等は天井６１に固定されているが、軌道ユニット４同士の間には隙間が存在するため、第１および第２の工場１１０，１１１間でｘ軸およびｙ軸方向の変位が生じた場合は、棟間通路１１２内に位置する左側の軌道ユニット４の位置決めピン１３を支点として、第２の工場１１１内の右側の起動ユニットが回転移動する。これにより、搬送車７は軌道ユニット４内の搬送車走行面５を走行して、第１および第２の工場１１０，１１１間で半導体ウエハ収納容器８を搬送できる。
【００６０】
１つの回転機構５１における最大回転角度は例えば２度であるが、複数の軌道ユニット４に回転機構５１を設けることで、全体として回転可能な角度をより大きくすることができる。
【００６１】
また、図１に示す複数の搬送ユニット１００ｂのうち、少なくとも１つに図１０に示す変位追従部１０１ｂを設け、さらに図２および図５の変位追従部１０１，１０１ａのうち少なくとも１つを設けてもよい。これにより、第１および第２の工場１１０，１１１にさらに大きな変位が生じた場合でも、搬送車７が両工場１１０，１１１間で走行可能となる。
【００６２】
このように、第３の実施形態では、搬送ユニット１００ｂに回転機構５１を設けるため、第１および第２の工場１１０，１１１が、搬送車７の走行方向を含む２次元方向に相対的に変位した場合でも、搬送車７は第１および第２の工場１１０，１１１間で半導体ウエハ収納容器８を搬送できる。
【００６３】
なお、軌道ユニット４同士の間に隙間を設けず、軌道ユニット４同士の間に蛇腹状の回転機構を設けて、第１および第２の工場１１０，１１１の変位を相殺できるようにしてもよい。
【００６４】
（第４の実施形態）
以下に説明する第４の実施形態は、第１および第２の工場１１０，１１１のうち少なくとも１つが変位した場合の搬送車７の制御に関するものである。
【００６５】
図１２は、本発明の第４の実施形態に係る搬送システム２０１の概略構成を示す図である。図１２では、図１と共通する構成部分には同一の符号を付しており、以下では相違点を中心に説明する。
【００６６】
図１２の搬送システム２０１は、図１の構成に加え、移動量取得部１０３および走行判定部１０４をさらに備えている。
【００６７】
移動量取得部１０３は搬送ユニット１００の移動量のうち少なくとも１つを取得する。移動量取得部１０３は搬送ユニット１００毎に取り付けられてもよいし、例えば第１および第２の工場１１０，１１１内と棟間通路１１２とに１つずつ設けられ、複数の移動量を取得してもよい。また、全ての搬送ユニット１００の移動量を取得するのではなく、移動量が特に大きくなると予想される搬送ユニット１００の移動量のみを取得してもよい。
【００６８】
変位追従部１０１は例えば第１〜第３の実施形態に係る変位追従部１０１，１０１ａ，１０１ｂである。変位追従部１０１が第１の実施形態に係る変位追従部１０１である場合は、スライド機構３１がスライドしたｙ軸方向の距離を移動量とすることができる。第２の実施形態に係る変位追従部１０１ａである場合は、軌道ユニット４同士の間隔が伸縮したｘ軸方向の距離を移動量とすることができる。第３の実施形態に係る変位追従部１０１ｂである場合は、回転機構５１の回転角度を移動量とすることができる。
【００６９】
走行判定部１０４は、移動量取得部１０３が取得した移動量が予め定めた閾値を超えるか否かを判定する。この閾値は搬送ユニット１００が移動しても搬送車７が第１および第２の工場１１０，１１１間を安定に走行可能な値に設定する。その理由は、第１の実施形態に係る変位追従部１０１でストッパ３２を設けない場合等に予期せず移動量が大きくなる可能性があり、この場合に搬送車７が走行を継続すると搬送車７が脱輪してしまうおそれがあるためである。
【００７０】
搬送車制御部１０２は、走行判定部１０４の判定結果に応じて、搬送車７の走行を許可または禁止する。走行判定部１０４および搬送車制御部１０２は、例えば１台または複数台のコンピュータを用いてソフトウェアによって実現される。また、走行判定部１０４および搬送車制御部１０２の少なくとも一部の制御をハードウェアで実現してもよい。
【００７１】
図１３は、図１２の搬送システム２０１の処理動作の一例を示すフローチャートである。まず、移動量取得部１０３は変位追従部１０１の搬送ユニット１００の移動量を取得する（ステップＳ１）。移動量取得部１０３が複数の移動量を取得できる場合は、取得可能なすべての移動量を取得する。次に、移動量取得部１０３は取得した移動量を走行判定部１０４に送信し（ステップＳ２）、走行判定部１０４はこれを受信する（ステップＳ３）。走行判定部１０４は受信した移動量が予め定めた閾値を超えるか否かを判定する（ステップＳ４）。移動量取得部１０３が複数の移動量を取得する場合、走行判定部１０４は各移動量が閾値を超えるか否かを判定する。
【００７２】
超えないと判定された場合（ステップＳ４のＮｏ）、搬送車制御部１０２は搬送車７の走行を許可し（ステップＳ５）、搬送車７は走行を継続する（ステップＳ６）。一方、移動量が閾値を超えると判定された場合（ステップＳ４のＹｅｓ）、搬送車制御部１０２は閾値を超えた搬送ユニットへの搬送車７の走行を禁止し（ステップＳ６）、搬送車７は停止する（ステップＳ７）。この場合、全ての搬送車７の移動を停止してもよいし、移動量が閾値を超えていない搬送ユニットでは搬送車７の移動を継続してもよい。
【００７３】
このように、第４の実施形態では、移動量取得部１０３を設け、搬送ユニット１００の移動量が所定の閾値より大きい場合は搬送車７の走行を停止するため、搬送車７が搬送ユニット１００の搬送車走行面５から脱輪するのを防止でき、破損等の事故および障害を未然に防止できる。また、移動量取得部１０３は、変位追従部１０１から容易に移動量のデータを取得できるため、移動量の評価を簡易かつ正確に、かつ迅速に行うことができる。
【００７４】
なお、上述した各実施形態では、半導体装置製造工場の天井６１に搬送ユニット１００および変位追従部１０１が設けられる例を示したが、これらは倉庫等他の建屋の天井６１に設けられてもよい。また、第１および第２の半導体製造工場１１０，１１１が近接している場合、棟間通路１１２は不要である。
【００７５】
上述した実施形態で説明した搬送システムの少なくとも一部は、ハードウェアで構成してもよいし、ソフトウェアで構成してもよい。ソフトウェアで構成する場合には、搬送システムの少なくとも一部の機能を実現するプログラムをフレキシブルディスクやＣＤ−ＲＯＭ等の記録媒体に収納し、コンピュータに読み込ませて実行させてもよい。記録媒体は、磁気ディスクや光ディスク等の着脱可能なものに限定されず、ハードディスク装置やメモリなどの固定型の記録媒体でもよい。
【００７６】
また、搬送システムの少なくとも一部の機能を実現するプログラムを、インターネット等の通信回線（無線通信も含む）を介して頒布してもよい。さらに、同プログラムを暗号化したり、変調をかけたり、圧縮した状態で、インターネット等の有線回線や無線回線を介して、あるいは記録媒体に収納して頒布してもよい。
【００７７】
上記の記載に基づいて、当業者であれば、本発明の追加の効果や種々の変形を想到できるかもしれないが、本発明の態様は、上述した個々の実施形態には限定されるものではない。特許請求の範囲に規定された内容およびその均等物から導き出される本発明の概念的な思想と趣旨を逸脱しない範囲で種々の追加、変更および部分的削除が可能である。
【符号の説明】
【００７８】
３  吊りサポート
４  軌道ユニット
６  接続板
７  搬送車
１２，１３  位置決めピン
３１  スライド機構
３２  ストッパ
４１  可変長通路部
４２  位置決め溝
５１  回転機構
５２  位置決め穴
６１  天井
１００〜１００ｂ  搬送ユニット
１０１〜１０１ｂ  変位追従部
１０２  搬送車制御部
１０３  移動量取得部
１０４  走行判定部
１１０  第１の半導体装置製造工場
１１１  第２の半導体装置製造工場
２００，２０１  搬送システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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