(57)【要約】【課題】駆動側リールの回転駆動力が小さくてもペーパー部材のクリーニング領域の更新を行うことができるマスククリーニング装置、スクリーン印刷機、マスククリーニング方法及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。【解決手段】ノズル４２が格納位置に位置した状態でブレーキ５１による従動側リール４４の回転規制を解除したうえで、ノズル４２をベース部４１に対して上昇させて従動側リール４４よりペーパー部材４８を引き出し、従動側リール４４から引き出すことによって進行したペーパー部材４８の進行量が所定値に達したことが検出されたとき、ブレーキ５１により従動側リール４４の回転を規制したうえでノズル４２を張り出し位置まで上昇させ、駆動側リール４３を従動回転させながら駆動側リール４３よりペーパー部材４８を引き出してペーパー部材４８の新たなクリーニング領域４８ａをノズル４２の上面に位置させる。【選択図】図１９
2011189668.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクリーン印刷機が備えるマスクの下方をマスクに対して平行に相対移動するベース部と、
ベース部に設けられてベース部に対する上昇位置である張り出し位置とベース部に対する下降位置である格納位置との間で移動自在な押し当て部材と
ベース部に設けられた駆動側リール及び従動側リールと、
駆動側リールと従動側リールの間に掛け渡され、張り出し位置に位置した押し当て部材の上面に位置するクリーニング領域が押し当て部材によってマスクの下面に押し当てられるペーパー部材と、
従動側リールから引き出されることによって進行したペーパー部材の進行量の検出を行うペーパー部材進行量検出装置と、
従動側リールの回転を規制するブレーキと、
押し当て部材が格納位置に位置した状態でブレーキによる従動側リールの回転規制を解除したうえで、押し当て部材をベース部に対して上昇させて従動側リールよりペーパー部材を引き出し、ペーパー部材進行量検出装置により検出されるペーパー部材の進行量に基づいて、従動側リールより引き出すことによって進行したペーパー部材の進行量が所定値に達したことが検出されたとき、ブレーキにより従動側リールの回転を規制したうえで押し当て部材を張り出し位置まで上昇させ、駆動側リールをペーパー部材の巻き取り方向とは反対の方向に従動回転させながら駆動側リールよりペーパー部材を引き出してペーパー部材の新たなクリーニング領域を押し当て部材の上面に位置させるクリーニング領域更新動作制御手段と、
ペーパー部材の新たなクリーニング領域を押し当て部材によってマスクの下面に押し当てた状態でベース部をマスクに対して相対移動させてマスクの下面に付着したペーストを拭き取るペースト拭き取り動作制御手段とを備えたことを特徴とするマスククリーニング装置。
【請求項２】
ペーパー部材進行量検出装置が、従動側リールに巻き付けられたロール状のペーパー部材の外周面に接触して設けられた回転部材と、従動側リールからのペーパー部材の引き出しに応じて回転した回転部材の回転数を検出する回転数検出部と、回転数検出部によって検出された回転部材の回転数に基づいて、従動側リールから引き出されることによって進行したペーパー部材の進行量の算出を行う進行量算出部とを備えて成ることを特徴とする請求項１に記載のマスククリーニング装置。
【請求項３】
基板の電極に対応するパターン孔を有し、基板の電極とパターン孔が合致するように基板に接触されるマスクと、
基板に接触されたマスク上を摺動し、マスク上に供給されたペーストをマスク上で掻き寄せることにより、マスクのパターン孔を介して基板の電極にペーストを転写させるスキージと、
マスクの下方をマスクに対して平行に相対移動するベース部と、
ベース部に設けられてベース部に対する上昇位置である張り出し位置とベース部に対する下降位置である格納位置との間で移動自在な押し当て部材と、
ベース部に設けられた駆動側リール及び従動側リールと、
駆動側リールと従動側リールの間に掛け渡され、張り出し位置に位置した押し当て部材の上面に位置するクリーニング領域が押し当て部材によってマスクの下面に押し当てられるペーパー部材と、
従動側リールから引き出されることによって進行したペーパー部材の進行量の検出を行うペーパー部材進行量検出装置と、
従動側リールの回転を規制するブレーキと、
押し当て部材が格納位置に位置した状態でブレーキによる従動側リールの回転規制を解除したうえで、押し当て部材をベース部に対して上昇させて従動側リールよりペーパー部材を引き出し、ペーパー部材進行量検出装置により検出されるペーパー部材の進行量に基づいて、従動側リールより引き出すことによって進行したペーパー部材の進行量が所定値に達したことが検出されたとき、ブレーキにより従動側リールの回転を規制したうえで押し当て部材を張り出し位置まで上昇させ、駆動側リールをペーパー部材の巻き取り方向とは反対の方向に従動回転させながら駆動側リールよりペーパー部材を引き出してペーパー部材の新たなクリーニング領域を押し当て部材の上面に位置させるクリーニング領域更新動作制御手段と、
ペーパー部材の新たなクリーニング領域を押し当て部材によってマスクの下面に押し当てた状態でベース部をマスクに対して相対移動させてマスクの下面に付着したペーストを拭き取るペースト拭き取り動作制御手段と、
下面に付着したペーストが拭き取られたマスクを基板に接触させ、マスク上でスキージを摺動させることによって基板の電極にペーストを転写させるスクリーン印刷実行制御手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項４】
スクリーン印刷機が備えるマスクの下方をマスクに対して平行に相対移動するベース部と、ベース部に設けられてベース部に対する上昇位置である張り出し位置とベース部に対する下降位置である格納位置との間で移動自在な押し当て部材と、ベース部に設けられた駆動側リール及び従動側リールと、駆動側リールと従動側リールの間に掛け渡され、張り出し位置に位置した押し当て部材の上面に位置するクリーニング領域が押し当て部材によってマスクの下面に押し当てられるペーパー部材と、従動側リールから引き出されることによって進行したペーパー部材の進行量の検出を行うペーパー部材進行量検出装置と、従動側リールの回転を規制するブレーキとを備えたマスククリーニング装置によるマスククリーニング方法であって、
押し当て部材が格納位置に位置した状態でブレーキによる従動側リールの回転規制を解除する工程と、
ブレーキによる従動側リールの回転規制を解除した状態で押し当て部材をベース部に対して上昇させて従動側リールよりペーパー部材を引き出す工程と、
ペーパー部材進行量検出装置により検出されるペーパー部材の進行量に基づいて、従動側リールより引き出すことによって進行したペーパー部材の進行量が所定値に達したことが検出されたとき、ブレーキにより従動側リールの回転を規制する工程と、
従動側リールの回転を規制した状態で押し当て部材を張り出し位置まで上昇させ、駆動側リールをペーパー部材の巻き取り方向とは反対の方向に従動回転させながら駆動側リールよりペーパー部材を引き出してペーパー部材の新たなクリーニング領域を押し当て部材の上面に位置させる工程と、
ペーパー部材の新たなクリーニング領域を押し当て部材によってマスクの下面に押し当てた状態でベース部をマスクに対して相対移動させてマスクの下面に付着したペーストを拭き取る工程とを含むことを特徴とするマスククリーニング方法。
【請求項５】
基板の電極に対応するパターン孔を有し、基板の電極とパターン孔が合致するように基板に接触されるマスクと、基板に接触されたマスク上を摺動し、マスク上に供給されたペーストをマスク上で掻き寄せることにより、マスクのパターン孔を介して基板の電極にペーストを転写させるスキージと、マスクの下方をマスクに対して平行に相対移動するベース部と、ベース部に設けられてベース部に対する上昇位置である張り出し位置とベース部に対する下降位置である格納位置との間で移動自在な押し当て部材と、ベース部に設けられた駆動側リール及び従動側リールと、駆動側リールと従動側リールの間に掛け渡され、張り出し位置に位置した押し当て部材の上面に位置するクリーニング領域が押し当て部材によってマスクの下面に押し当てられるペーパー部材と、従動側リールから引き出されることによって進行したペーパー部材の進行量の検出を行うペーパー部材進行量検出装置と、従動側リールの回転を規制するブレーキとを備えたスクリーン印刷機によるスクリーン印刷方法であって、
押し当て部材が格納位置に位置した状態でブレーキによる従動側リールの回転規制を解除する工程と、
ブレーキによる従動側リールの回転規制を解除した状態で押し当て部材をベース部に対して上昇させて従動側リールよりペーパー部材を引き出す工程と、
ペーパー部材進行量検出装置により検出されるペーパー部材の進行量に基づいて、従動側リールより引き出すことによって進行したペーパー部材の進行量が所定値に達したことが検出されたとき、ブレーキにより従動側リールの回転を規制する工程と、
従動側リールの回転を規制した状態で押し当て部材を張り出し位置まで上昇させ、駆動側リールをペーパー部材の巻き取り方向とは反対の方向に従動回転させながら駆動側リールよりペーパー部材を引き出してペーパー部材の新たなクリーニング領域を押し当て部材の上面に位置させる工程と、
ペーパー部材の新たなクリーニング領域を押し当て部材によってマスクの下面に押し当てた状態でベース部をマスクに対して相対移動させてマスクの下面に付着したペーストを拭き取る工程と、
下面に付着したペーストが拭き取られたマスクを基板に接触させ、マスク上でスキージを摺動させることによって基板の電極にペーストを転写させる工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷機が備えるマスクの下面に付着したペーストを拭き取るマスククリーニング装置、スクリーン印刷機、マスククリーニング方法及びスクリーン印刷方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷機は、基板の電極に対応するパターン孔を有したマスクと、マスクと平行な方向に移動自在なスキージとを備え、マスクのパターン孔が基板の電極と合致するように基板とマスクを接触させた状態でスキージをマスク上で摺動させ、マスク上に供給された半田ペースト等のペーストをマスク上で掻き寄せることにより、マスクのパターン孔を介して基板の電極にペーストを転写させる構成になっている。
【０００３】
このようなスクリーン印刷機では、基板へのスクリーン印刷を終えた後、次に投入される基板に対して行うスクリーン印刷に備えるため、マスクの下面に付着したペーストを拭き取るマスククリーニング装置を備えている（例えば、特許文献１）。このマスククリーニング装置は、マスクの下方をマスクに対して平行に相対移動するベース部に、ベース部に対する上昇位置である張り出し位置とベース部に対する下降位置である格納位置との間で移動自在な押し当て部材と、ベース部に設けられた駆動側リール及び従動側リールを備えており、駆動側リールと従動側リールの間に掛け渡されたペーパー部材の一部を、張り出し位置に位置した押し当て部材によってマスクの下面に押し当て、この状態でベース部がマスクの下方をマスクに対して平行に相対移動することによって、ペーパー部材により、マスクの下面に付着したペーストを拭き取る。
【０００４】
このようなスクリーン印刷機のマスククリーニング装置では、マスクを数枚クリーニングした後は、ペーパー部材の押し当て部材によって支持される部分（クリーニング領域）を更新させる必要があるが、この場合には、従動側リールの回転を規制するブレーキによって従動側リールの回転を規制した状態で駆動側リールをペーパー部材の巻き取り方向に回転駆動し、ブレーキによる規制力に抗して従動側リールを回転させることによって、従動側リールに巻き付けられたロール状のペーパー部材を所定量引き出すようにしていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１４４６８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、近年の電子部品実装用装置のスリム・コンパクト化に伴ってスクリーン印刷機の全体を小型化しようとすると、マスククリーニング装置の駆動側リールを回転駆動するモータも小型化せざるを得なくなることから、モータの出力低下を招き、従来のようにブレーキによる規制力に抗して従動側リールを回転させてペーパー部材を引き出すことが難しくなってペーパー部材のクリーニング領域の更新を行うことができなくなるという問題点があった。
【０００７】
そこで本発明は、駆動側リールの回転駆動力が小さくてもペーパー部材のクリーニング領域の更新を行うことができるマスククリーニング装置、スクリーン印刷機、マスククリーニング方法及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載のマスククリーニング装置は、スクリーン印刷機が備えるマスクの下方をマスクに対して平行に相対移動するベース部と、ベース部に設けられてベース部に対する上昇位置である張り出し位置とベース部に対する下降位置である格納位置との間で移動自在な押し当て部材と、ベース部に設けられた駆動側リール及び従動側リールと、駆動側リールと従動側リールの間に掛け渡され、張り出し位置に位置した押し当て部材の上面に位置するクリーニング領域が押し当て部材によってマスクの下面に押し当てられるペーパー部材と、従動側リールから引き出されることによって進行したペーパー部材の進行量の検出を行うペーパー部材進行量検出装置と、従動側リールの回転を規制するブレーキと、押し当て部材が格納位置に位置した状態でブレーキによる従動側リールの回転規制を解除したうえで、押し当て部材をベース部に対して上昇させて従動側リールよりペーパー部材を引き出し、ペーパー部材進行量検出装置により検出されるペーパー部材の進行量に基づいて、従動側リールより引き出すことによって進行したペーパー部材の進行量が所定値に達したことが検出されたとき、ブレーキにより従動側リールの回転を規制したうえで押し当て部材を張り出し位置まで上昇させ、駆動側リールをペーパー部材の巻き取り方向とは反対の方向に従動回転させながら駆動側リールよりペーパー部材を引き出してペーパー部材の新たなクリーニング領域を押し当て部材の上面に位置させるクリーニング領域更新動作制御手段と、ペーパー部材の新たなクリーニング領域を押し当て部材によってマスクの下面に押し当てた状態でベース部をマスクに対して相対移動させてマスクの下面に付着したペーストを拭き取るペースト拭き取り動作制御手段とを備えた。
【０００９】
請求項２に記載のマスククリーニング装置は、請求項１に記載のマスククリーニング装置であって、ペーパー部材進行量検出装置が、従動側リールに巻き付けられたロール状のペーパー部材の外周面に接触して設けられた回転部材と、従動側リールからのペーパー部材の引き出しに応じて回転した回転部材の回転数を検出する回転数検出部と、回転数検出部によって検出された回転部材の回転数に基づいて、従動側リールから引き出されることによって進行したペーパー部材の進行量の算出を行う進行量算出部とを備えて成る。
【００１０】
請求項３に記載のスクリーン印刷機は、基板の電極に対応するパターン孔を有し、基板の電極とパターン孔が合致するように基板に接触されるマスクと、基板に接触されたマスク上を摺動し、マスク上に供給されたペーストをマスク上で掻き寄せることにより、マスクのパターン孔を介して基板の電極にペーストを転写させるスキージと、マスクの下方をマスクに対して平行に相対移動するベース部と、ベース部に設けられてベース部に対する上昇位置である張り出し位置とベース部に対する下降位置である格納位置との間で移動自在な押し当て部材と、ベース部に設けられた駆動側リール及び従動側リールと、駆動側リールと従動側リールの間に掛け渡され、張り出し位置に位置した押し当て部材の上面に位置するクリーニング領域が押し当て部材によってマスクの下面に押し当てられるペーパー部材と、従動側リールから引き出されることによって進行したペーパー部材の進行量の検出を行うペーパー部材進行量検出装置と、従動側リールの回転を規制するブレーキと、押し当て部材が格納位置に位置した状態でブレーキによる従動側リールの回転規制を解除したうえで、押し当て部材をベース部に対して上昇させて従動側リールよりペーパー部材を引き出し、ペーパー部材進行量検出装置により検出されるペーパー部材の進行量に基づいて、従動側リールより引き出すことによって進行したペーパー部材の進行量が所定値に達したことが検出されたとき、ブレーキにより従動側リールの回転を規制したうえで押し当て部材を張り出し位置まで上昇させ、駆動側リールをペーパー部材の巻き取り方向とは反対の方向に従動回転させながら駆動側リールよりペーパー部材を引き出してペーパー部材の新たなクリーニング領域を押し当て部材の上面に位置させるクリーニング領域更新動作制御手段と、ペーパー部材の新たなクリーニング領域を押し当て部材によってマスクの下面に押し当てた状態でベース部をマスクに対して相対移動させてマスクの下面に付着したペーストを拭き取るペースト拭き取り動作制御手段と、下面に付着したペーストが拭き取られたマスクを基板に接触させ、マスク上でスキージを摺動させることによって基板の電極にペーストを転写させるスクリーン印刷実行制御手段とを備えた。
【００１１】
請求項４に記載のマスククリーニング方法は、スクリーン印刷機が備えるマスクの下方をマスクに対して平行に相対移動するベース部と、ベース部に設けられてベース部に対する上昇位置である張り出し位置とベース部に対する下降位置である格納位置との間で移動自在な押し当て部材と、ベース部に設けられた駆動側リール及び従動側リールと、駆動側リールと従動側リールの間に掛け渡され、張り出し位置に位置した押し当て部材の上面に位置するクリーニング領域が押し当て部材によってマスクの下面に押し当てられるペーパー部材と、従動側リールから引き出されることによって進行したペーパー部材の進行量の検出を行うペーパー部材進行量検出装置と、従動側リールの回転を規制するブレーキとを備えたマスククリーニング装置によるマスククリーニング方法であって、押し当て部材が格納位置に位置した状態でブレーキによる従動側リールの回転規制を解除する工程と、ブレーキによる従動側リールの回転規制を解除した状態で押し当て部材をベース部に対して上昇させて従動側リールよりペーパー部材を引き出す工程と、ペーパー部材進行量検出装置により検出されるペーパー部材の進行量に基づいて、従動側リールより引き出すことによって進行したペーパー部材の進行量が所定値に達したことが検出されたとき、ブレーキにより従動側リールの回転を規制する工程と、従動側リールの回転を規制した状態で押し当て部材を張り出し位置まで上昇させ、駆動側リールをペーパー部材の巻き取り方向とは反対の方向に従動回転させながら駆動側リールよりペーパー部材を引き出してペーパー部材の新たなクリーニング領域を押し当て部材の上面に位置させる工程と、ペーパー部材の新たなクリーニング領域を押し当て部材によってマスクの下面に押し当てた状態でベース部をマスクに対して相対移動させてマスクの下面に付着したペーストを拭き取る工程とを含む。
【００１２】
請求項５に記載のスクリーン印刷方法は、基板の電極に対応するパターン孔を有し、基板の電極とパターン孔が合致するように基板に接触されるマスクと、基板に接触されたマスク上を摺動し、マスク上に供給されたペーストをマスク上で掻き寄せることにより、マスクのパターン孔を介して基板の電極にペーストを転写させるスキージと、マスクの下方をマスクに対して平行に相対移動するベース部と、ベース部に設けられてベース部に対する上昇位置である張り出し位置とベース部に対する下降位置である格納位置との間で移動自在な押し当て部材と、ベース部に設けられた駆動側リール及び従動側リールと、駆動側リールと従動側リールの間に掛け渡され、張り出し位置に位置した押し当て部材の上面に位置するクリーニング領域が押し当て部材によってマスクの下面に押し当てられるペーパー部材と、従動側リールから引き出されることによって進行したペーパー部材の進行量の検出を行うペーパー部材進行量検出装置と、従動側リールの回転を規制するブレーキとを備えたスクリーン印刷機によるスクリーン印刷方法であって、押し当て部材が格納位置に位置した状態でブレーキによる従動側リールの回転規制を解除する工程と、ブレーキによる従動側リールの回転規制を解除した状態で押し当て部材をベース部に対して上昇させて従動側リールよりペーパー部材を引き出す工程と、ペーパー部材進行量検出装置により検出されるペーパー部材の進行量に基づいて、従動側リールより引き出すことによって進行したペーパー部材の進行量が所定値に達したことが検出されたとき、ブレーキにより従動側リールの回転を規制する工程と、従動側リールの回転を規制した状態で押し当て部材を張り出し位置まで上昇させ、駆動側リールをペーパー部材の巻き取り方向とは反対の方向に従動回転させながら駆動側リールよりペーパー部材を引き出してペーパー部材の新たなクリーニング領域を押し当て部材の上面に位置させる工程と、ペーパー部材の新たなクリーニング領域を押し当て部材によってマスクの下面に押し当てた状態でベース部をマスクに対して相対移動させてマスクの下面に付着したペーストを拭き取る工程と、下面に付着したペーストが拭き取られたマスクを基板に接触させ、マスク上でスキージを摺動させることによって基板の電極にペーストを転写させる工程とを含む。
【発明の効果】
【００１３】
本発明では、押し当て部材を格納位置から張り出し位置へ上昇させる動作によって従動側リールからペーパー部材を引き出してペーパー部材のクリーニング領域の更新を行うようにしており、この間、駆動側リールは駆動させることがないので、駆動側リールを回転駆動力が小さくてもペーパー部材のクリーニング領域の更新を行うことができ、マスククリーニング装置の小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の正面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の側面図
【図４】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクの平面図
【図５】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスククリーニング装置の斜視図
【図６】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスククリーニング装置の側面図
【図７】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスククリーニング装置の一部断面側面図
【図８】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスククリーニング装置によりマスクのクリーニングをしている状態を示す図
【図９】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図
【図１０】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるペーパー部材進行量検出装置の構成を示す図
【図１１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷動作の実行手順を示すフローチャート
【図１２】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図１３】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図１４】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図１５】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図１６】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図１７】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が行うマスククリーニング動作の実行手順を示すフローチャート
【図１８】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスククリーニング装置のクリーニング領域の更新動作の説明図
【図１９】（ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスククリーニング装置のクリーニング領域の更新動作の説明図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１、図２及び図３に示すスクリーン印刷機１は、実装基板生産用の電子部品実装ラインを構成する電子部品実装用装置の一種であり、基板２を搬入してその基板２の表面に設けられた電極３上に半田ペーストや導電性ペースト等のペーストＰｓｔ（図３参照）を転写するスクリーン印刷を行った後、その基板２を下流側の電子部品実装機（図示せず）等に搬出する動作を連続実行するものである。以下、説明の便宜上、このスクリーン印刷機１における基板２の搬送方向をＸ軸方向（図１の紙面左右方向）、Ｘ軸方向と直交する水平面内方向をＹ軸方向（図１の紙面上下方向）とし、上下方向をＺ軸方向とする。また、Ｙ軸方向をスクリーン印刷機１の前後方向、Ｘ軸方向をスクリーン印刷機１の横方向とする。更に、前後方向のうち、スクリーン印刷機１のオペレータＯＰ（図１）がスクリーン印刷機１に対して作業を行う側（図１の紙面下方）をスクリーン印刷機１の前方、その反対側（図１の紙面上方）をスクリーン印刷機１の後方とする。
【００１６】
図１、図２及び図３において、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は、基台１１上に設けられた基板保持移動ユニット１２、基板保持移動ユニット１２の上方に設けられたプレート状のマスク１３、前後一対のスキージ１４、カメラユニット１５及びマスククリーニング装置１６を備えている。
【００１７】
図２及び図３において、基板保持移動ユニット１２は、水平移動部２１、昇降部２２、コンベア部２３及び基板保持部２４から成る。
【００１８】
水平移動部２１は、Ｙテーブル駆動モータＭｙの作動によって基台１１に対してＹ軸方向に移動するＹテーブル２１ａ、Ｘテーブル駆動モータＭｘの作動によってＹテーブル２１ａに対してＸ軸方向に移動するＸテーブル２１ｂ、Ｘテーブル２１ｂに対してＺ軸回りに回転するθテーブル２１ｃ、θテーブル２１ｃの上面に固定されたベーステーブル２１ｄ及びベーステーブル２１ｄの上面から上方に延びて設けられた複数の昇降テーブルガイド２１ｅから成る。
【００１９】
昇降部２２は、水平移動部２１の複数の昇降テーブルガイド２１ｅにガイドされてベーステーブル２１ｄに対して昇降する昇降テーブル２２ａ及び昇降テーブル２２ａの上面から上方に延びて設けられた複数の下受けユニット昇降ガイド２２ｂから成る。
【００２０】
図３において、コンベア部２３は昇降テーブル２２ａとともにベーステーブル２１ｄに対して昇降する前後一対のコンベア機構２３ａから成る。各コンベア機構２３ａは、Ｘ軸方向に延びて設けられ、下受けユニット昇降ガイド２２ｂの上端に取り付けられたベルトコンベア支持部材３１と、ベルトコンベア支持部材３１に支持されてＸ軸方向に延びるベルトコンベア３２から成り、これら前後のコンベア機構２３ａが（ベルトコンベア３２が）同期して作動することにより、基板２のＸ軸方向への搬送がなされる。
【００２１】
図２及び図３において、基板保持部２４は、コンベア部２３が備える前後一対のベルトコンベア支持部材３１それぞれの上部にＹ軸方向に移動自在に設けられた前後一対のクランプ部材２４ａ（図１も参照）、コンベア部２３の下方において、下受けユニット昇降ガイド２２ｂにガイドされて昇降する下受けユニット支持テーブル２４ｂ及び下受けユニット支持テーブル２４ｂの上面に設けられた下受けユニット２４ｃから成る。下受けユニット２４ｃは、下受けユニット支持テーブル２４ｂとともに昇降テーブル２２ａに対して昇降することにより、コンベア部２３上の基板２を下方から支持する。前後のクランプ部材２４ａは、前後のベルトコンベア３２によって両端部が支持され、下受けユニット２４ｃによって下面が支持された基板２のＹ軸方向の両側部を基板２の外方から挟んでクランプする。
【００２２】
図１及び図２において、基板保持移動ユニット１２を構成するコンベア部２３のＸ軸方向の両側（基板２の搬送方向の上流側と下流側）の位置には、スクリーン印刷機１の外部（図１及び図２の紙面左側）から投入された基板２を搬送（搬入）してコンベア部２３に受け渡す基板搬入コンベア２５と、コンベア部２３から受け渡された基板２をスクリーン印刷機１の外部（図１及び図２の紙面右側）に搬送（搬出）する基板搬出コンベア２６が備えられている。基板搬入コンベア２５及び基板搬出コンベア２６はそれぞれ、コンベア部２３と同様に前後一対のコンベア機構（図１では符号を２５ａ及び２６ａとする）から成っている。
【００２３】
図１及び図４において、マスク１３は平面視において矩形の枠状部材から成るマスク枠１３ｗによって四辺が支持されており、マスク枠１３ｗによって囲まれた矩形の領域には、基板２上の複数の電極３に対応した多数のパターン孔１３ａが設けられている。すなわちマスク１３は、基板２の電極３の配置に応じて形成された多数のパターン孔１３ａを有したものとなっている。
【００２４】
図１において、基板２の対角位置には２つ一組の基板側位置決め用マークｍｋが設けられている。一方、図４において、マスク１３には、基板側位置決め用マークｍｋに対応して配置された２つ一組のマスク側位置決め用マークＭＫが設けられている。これら基板側位置決め用マークｍｋとマスク側位置決め用マークＭＫが上下に合致する状態で基板２をマスク１３に接触させると、基板２の電極３とマスク１３のパターン孔１３ａは上下に合致した状態となる。
【００２５】
マスク１３は、オペレータＯＰがこのマスク１３の両端部を両手で把持してスクリーン印刷機１の前方から基板保持移動ユニット１２の上方をＹ軸方向に延びて設けられた一対のマスク支持レール２７（図１及び図４）の間に挿入し、マスク枠１３ｗの先頭部がマスク支持レール２７上に設けられたストッパ２７ａ（図１及び図４）に当接するまで後方に押し込むことによって、所定の位置に設置される。
【００２６】
図１及び図２において、基台１１上には基板搬入コンベア２５及び基板搬出コンベア２６をそれぞれＹ軸方向に跨ぐ一対の門型フレーム２８が設けられており、これら一対の門型フレーム２８にはＸ軸方向に延びたＸ軸ステージ２９ａの両端部がＹ軸方向にスライド自在に支持されている。Ｘ軸ステージ２９ａ上にはカメラ支持ステージ２９ｂがＸ軸方向に移動自在に設けられており、カメラ支持ステージ２９ｂには前述のカメラユニット１５が取り付けられている。カメラユニット１５は、撮像視野を下方に向けた第１カメラ１５ａと撮像視野を上方に向けた第２カメラ１５ｂを備えている（図３）。
【００２７】
図１において、上記一対の門型フレーム２８にはＸ軸方向に延びたスキージベース４０の両端が支持されており、スキージベース４０は門型フレーム２８に沿ってＹ軸方向に往復移動自在となっている。このスキージベース４０には前述の前後一対のスキージ１４がＹ軸方向に対向して設けられている。各スキージ１４はＸ軸方向に延びた「へら」状の部材から成り、それぞれスキージベース４０に対して昇降自在に取り付けられている。
【００２８】
図５及び図６（ａ），（ｂ）において、スクリーン印刷機１が備えるマスククリーニング装置１６は、全体が水平面内方向（ここではＹ軸内方向）に移動自在に設けられており、上記Ｘ軸ステージ２９ａに取り付けられてマスク１３の下方をマスク１３に対して平行に相対移動するベース部４１に、押し当て部材としてのノズル４２、一対のリール（駆動側リール４３及び従動側リール４４）、複数のテンションローラ４５及びペーパー部材進行量検出装置４６が設けられた構成となっている。
【００２９】
ノズル４２は全体としてＸ軸方向に延びた長方形枠形状を有しており、ベース部４１に対して昇降自在に設けられている。ノズル４２はベース部４１のシリンダ取り付け部４１ａに上下方向に延びて取り付けられたノズル昇降シリンダ４７によって、ベース部４１に対する上昇位置である張り出し位置（図６（ａ））と下降位置である格納位置（図６（ｂ））との間で移動（昇降）させることができる。
【００３０】
図５及び図６（ａ），（ｂ）において、駆動側リール４３と従動側リール４４はベース部４１に設けられた２つの平行な水平軸（軸部材４３ａ，４４ａ）に回転自在に取り付けられており、複数のテンションローラ４５もこれら軸部材４３ａ，４４ａと水平な軸部材に取り付けられている。駆動側リール４３と従動側リール４４の間には、複数のテンションローラ４５を介してペーパー部材４８が掛け渡されている。
【００３１】
駆動側リール４３はベース部４１に設けられたリール駆動モータ５０によってペーパー部材４８を巻き取る方向に駆動することができる。一方、従動側リール４４はペーパー部材４８が引き出されたときにペーパー部材４８により回転させられるが、従動側リール４４の回転を規制するブレーキ５１（図５及び図６（ａ），（ｂ））を作動させることにより、従動側リール４４からペーパー部材４８が引き出されないようにすることができる。
【００３２】
図６（ａ），（ｂ）において、ペーパー部材進行量検出装置４６は、従動側リール４４の回転軸４４ａと平行な軸部材回りに回転自在な円筒状の回転部材４６ａを備えており、この回転部材４６ａは、ベース部４１のシリンダ取り付け部４１ａに設けられた回転部材付勢機構５２によって付勢されて、円筒状の外周面が従動側リール４４に巻き付けられたロール状のペーパー部材４８の外周面に接触されるようになっている。ペーパー部材進行量検出装置４６は、回転部材４６ａの回転数に基づいて、従動側リール４４から引き出されることによって進行するペーパー部材４８の進行量（ここでは引き出し量）の検出を行う。
【００３３】
ノズル４２が張り出し位置（図６（ａ））又は格納位置（図６（ｂ））に位置した状態では、従動側リール４４はブレーキ５１によってその回転作動が規制されるとともに、リール駆動モータ５０に微弱な電流が供給されて駆動側リール４３にペーパー部材４８の巻き取り方向への駆動力が与えられ、ペーバー部材４８に弛みが生じないように一定のテンションが付与される。
【００３４】
図６（ａ）及び図７において、ペーパー部材４８の、ノズル４２が張り出し位置に位置した状態でノズル４２の上面に位置している（ノズル４２によって支持されている）部分は、ノズル４２によって、下面にペーストＰｓｔ（ペーストＰｓｔの残り滓）が付着したマスク１３の下面に押し当てられるクリーニング領域４８ａである（図８も参照）。
【００３５】
図７において、マスククリーニング装置１６のノズル４２の内部は上下に貫通する空気吸引管路４２ａとなっており、この空気吸引管路４２ａ内に真空圧を供給することにより、ペーパー部材４８のクリーニング領域４８ａを介して空気吸引管路４２ａ内に空気を吸引することができる。
【００３６】
このスクリーン印刷機１において、基板２の搬送を行う基板搬送路としての基板搬入コンベア２５、基板保持移動ユニット１２のコンベア部２３及び基板搬出コンベア２６の各動作は、制御装置６０（図９）が図示しないアクチュエータ等から成る基板搬送路作動機構６１（図９）の作動制御を行うことによってなされ、クランプ部材２４ａによる基板２のクランプ動作は、制御装置６０が図示しないアクチュエータ等から成るクランプ部材作動機構６２（図９）の作動制御を行うことによってなされる。
【００３７】
基台１１に対するＹテーブル２１ａのＹ軸方向への移動、Ｙテーブル２１ａに対するＸテーブル２１ｂのＸ軸方向への移動、Ｘテーブル２１ｂに対するθテーブル２１ｃの（すなわちベーステーブル２１ｄの）Ｚ軸回りの回転、ベーステーブル２１ｄに対する昇降テーブル２２ａの昇降、昇降テーブル２２ａに対する下受けユニット支持テーブル２４ｂの（すなわち下受けユニット２４ｃの）昇降の各動作は、制御装置６０がＹテーブル駆動モータＭｙやＸテーブル駆動モータＭｘを含むアクチュエータ等から成る基板保持移動ユニット作動機構６３（図９）の作動制御を行うことによってなされる。
【００３８】
カメラユニット１５の水平面内での移動動作、すなわち一対の門型フレーム２８に対するＸ軸ステージ２９ａのＹ軸方向への移動動作及びＸ軸ステージ２９ａに対するカメラ支持ステージ２９ｂのＸ軸方向への移動動作の各制御は、制御装置６０が図示しないアクチュエータから成るカメラユニット移動機構６４（図９）の作動制御を行うことによってなされる。また、マスククリーニング装置１６のマスク１３に対する相対移動動作も、制御装置６０がカメラユニット移動機構６４の作動制御を行ってＸ軸ステージ２９ａをＹ軸方向に移動させることによってなされる。
【００３９】
前後のスキージ１４をＹ軸方向に往復移動させるスキージベース４０の作動制御は、制御装置６０が図示しないアクチュエータ等から成るスキージ移動機構６５（図９）の制御を行うことによってなされる。また、各スキージ１４のスキージベース４０に対する昇降動作は、制御装置６０がスキージベース４０の上部に取り付けられたスキージ昇降シリンダ６６（図２、図３及び図９）の作動制御を行うことによってなされる。
【００４０】
カメラユニット１５を構成する第１カメラ１５ａは、制御装置６０に制御されて、基板保持移動ユニット１２が備える基板保持部２４によって保持された基板２の基板側位置決め用マークｍｋの撮像を行い、第２カメラ１５ｂは、制御装置６０に制御されて、マスク１３に設けられたマスク側位置決め用マークＭＫの撮像を行う。第１カメラ１５ａの撮像によって得られた画像データと第２カメラ１５ｂの撮像によって得られた画像データはともに制御装置６０に入力される（図９）。
【００４１】
マスククリーニング装置１６のベース部４１に対するノズル４２の昇降作動制御は、制御装置６０が前述のノズル昇降シリンダ４７の作動制御を行うことによってなされる（図９）。また、マスククリーニング装置１６の駆動側リール４３の回転作動によるペーパー部材４８の巻き取り動作は、制御装置６０が前述のリール駆動モータ５０の作動制御を行うことによってなされ（図９）、従動側リール４４の回転規制は、制御装置６０が前述のブレーキ５１の作動制御を行うことによってなされる（図９）。
【００４２】
図６（ａ），（ｂ）において、ペーパー部材進行量検出装置４６は、従動側リール４４に巻き付けられたロール状のペーパー部材４８の外周面に接触して設けられ、ペーパー部材４８が従動側リール４４から引き出されたときに従動側リール４４とは反対の方向に回転する前述の回転部材４６ａのほか、従動リール４４からのペーパー部材４８の引き出しに応じて回転した回転部材４６ａの回転数を検出する回転数検出部４６ｂ（図９）と、回転数検出部４６ｂによって検出された回転部材４６ａの回転数に基づいて、従動側リール４４から引き出されることによって進行したペーパー部材４８の進行量の算出を行う進行量算出部４６ｃを備えて成り、進行量算出部４６ｃにおいて算出されたペーパー部材４８の進行量の情報は、制御装置６０に入力される（図９）。
【００４３】
ペーパー部材進行量検出装置４６によりペーパー部材４８の進行量を検出する構成は任意であるが、例えば、図１０に示すように、回転部材４６ａの円筒状の外周面に、回転部材４６ａの回転軸と平行な方向（ここではＸ軸方向）に延びた複数のスリットＳＬを回転部材４６ａの回転方向に等間隔に設ける（例えば、１８°間隔で２０個のスリットを設ける）とともに、回転数検出部４６ｂとしての発光素子Ｆ１と受光素子Ｆ２をそれぞれ回転部材４６ａの外部と内部に設けた構成とすることができる。このような構成のペーパー部材進行量検出装置４６では、従動側リール４４を回転させながら従動側リール４４からペーパー部材４８が引き出されたときには（図１０中に示す矢印Ａ）、これに伴って回転部材４６ａが回転し（図１０中に示す矢印Ｂ）、受光素子Ｆ２が受光する発光素子Ｆ１からの検査光Ｌの断続回数に基づいて回転部材４６ａの回転角度θを求めることができ、その回転部材４６ａの回転角度θに基づいて、ペーパー部材４８の進行量を検出（算出）することができる。ここで、例えば、回転部材４６ａに、円周方向に１８度間隔で２０個のスリットＳＬが設けられており、ペーパー部材４８の引き出しに応じて検出した検査光の断続回数がＮ回であった場合には、回転部材４６ａはＮ／２０回転したといえ、したがって回転部材４６ａの半径がｒである場合には、このときのペーパー部材４８の従動側リール４４からのペーパー部材４８の進行量（引き出し量）Ｍは、進行量算出部４６ｃにおいてＭ＝２π×ｒ×Ｎ／２０と算出され、その情報が制御装置６０に入力される。
【００４４】
このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１が備えるペーパー部材進行量検出装置４６は、リール（従動側リール４４）から引き出されることによって進行するペーパー部材４８の進行量の検出を行うペーパー部材進行量検出方法を実行するものであり、従動側リール４４に巻き付けられたロール状のペーパー部材４８の外周面に接触して設けられた回転部材４６ａが、従動側リール４４からのペーパー部材４８の引き出しに応じて回転した回転数を検出する工程と、検出した回転部材４６ａの回転数に基づいて、従動側リール４４から引き出されることによって進行したペーパー部材４８の進行量の算出を行う工程を含むものとなっている。
【００４５】
また、マスククリーニング装置１６のペーパー部材４８（クリーニング領域４８ａ）を介して行う空気の吸引動作は、制御装置６０が図示しないアクチュエータ等から成る吸引機構６７（図９）の作動制御を行って、ノズル４２の空気吸引管路４２ａ内に真空圧を供給することによってなされる。
【００４６】
次に、図１１のフローチャート及び図１２〜図１６の説明図を加えてスクリーン印刷機１の動作手順を説明する。スクリーン印刷機１の制御装置６０は、昇降テーブル２２ａをベーステーブル２１ｄに対する下降位置に位置させるとともに、下受けユニット２４ｃを昇降テーブル２２ａに対する下降位置に位置させた状態で（図１２（ａ））、図示しない検知手段によってスクリーン印刷機１の上流側に設置された他の装置等（図示せず）から基板搬入コンベア２５に基板２が投入されたことを検知した場合には、基板搬入コンベア２５とコンベア部２３を連動作動させてスクリーン印刷機１内に基板２を搬入し（図１２（ａ）中に示す矢印Ｃ）、更に、図示しない検知手段により、コンベア部２３が搬入する基板２が所定の搬送停止位置に到達したことを検知したところでコンベア部２３の作動を停止させて、基板２を静止させる（図１２（ｂ）。図１１のステップＳＴ１に示す基板搬入工程）。
【００４７】
制御装置６０は、基板２の搬入が終わったら、昇降テーブル２２ａをベーステーブル２１ｄに対する下降位置に位置させたまま、下受けユニット２４ｃを（下受けユニット支持テーブル２４ｂを）昇降テーブル２２ａに対して上昇させ（図１３（ａ）中に示す矢印Ｄ１）、下受けユニット２４ｃの上端が基板２の下面に接触したところで下受けユニット２４ｃの上昇を停止させる（図１３（ａ））。そして、クランプ部材２４ａを作動させ（図１３（ｂ）中に示す矢印Ｅ１）、コンベア部２３上の基板２の両側部を前後のクランプ部材２４ａによりクランプする（図１３（ｂ））。
【００４８】
制御装置６０は、前後のクランプ部材２４ａにより基板２をクランプしたら、昇降テーブル２２ａをベーステーブル２１ｄに対する下降位置に位置させたまま、下受けユニット２４ｃを更に昇降テーブル２２ａに対して上昇させて、下受けユニット２４ｃで基板２を押し上げる（図１４（ａ）。図中に示す矢印Ｄ２）。これにより基板２はＹ軸方向の両端をクランプ部材２４ａに対して摺動させながら上昇し（基板２はコンベア部２３の両ベルトコンベア３２から上方に離間する）、下受けユニット２４ｃが昇降テーブル２２ａに対する上昇位置に位置して基板２の上面が両クランプ部材２４ａの上面とほぼ同じ高さになったところで、下受けユニット２４ｃの押し上げを停止させる。これにより基板保持部２４によって基板２が保持された状態となる（図１４（ａ）。図１１のステップＳＴ２に示す基板保持工程）。
【００４９】
制御装置６０は、上記のようにして基板保持部２４により基板２を保持したら、カメラユニット移動機構６４の作動制御を行い（Ｘ軸ステージ２９ａをＹ軸方向に移動させるとともに、カメラ支持ステージ２９ｂをＸ軸方向に移動させ）、第１カメラ１５ａを基板２に設けられた基板側位置決め用マークｍｋの直上に位置させて、第１カメラ１５ａに基板側位置決め用マークｍｋの撮像を行わせる一方、第２カメラ１５ｂをマスク１３に設けられたマスク側位置決め用マークＭＫの直下に位置させて、第２カメラ１５ｂにマスク側位置決め用マークＭＫの撮像を行わせる。そして、制御装置６０は、得られた基板側位置決め用マークｍｋの画像データから基板２の位置を把握するとともに、得られたマスク側位置決め用マークＭＫの画像データからマスク１３の位置を把握し、基板保持移動ユニット１２が備える水平移動部２１の作動制御を行って基板保持部２４を（したがって基板２を）水平面内方向に移動させ、基板側位置決め用マークｍｋとマスク側位置決め用マークＭＫが上下に対向するようにして、マスク１３に対する基板２の水平面内方向の位置決めを行う（図１１のステップＳＴ３に示す位置決め工程）。
【００５０】
制御装置６０は、上記基板２とマスク１３の水平面内方向の位置決めが終わったら、昇降テーブル２２ａをベーステーブル２１ｄに対して上昇させ（図１４（ｂ）中に示す矢印Ｆ１）、基板２の被印刷面である上面をマスク１３に下方から接触させる（図１４（ｂ）。図１１のステップＳＴ４に示す接触工程）。これによりマスク１３のパターン孔１３ａと基板２上の電極３とが上下方向に合致した状態となる。
【００５１】
制御装置６０は、基板２をマスク１３に接触させたら、スクリーン印刷機１の動作を一時中断したうえで、図示しないディスプレイ装置による画像表示等を介して、オペレータＯＰにペーストＰｓｔの供給を促す。オペレータＯＰは、現在マスク１３上に残っているペーストＰｓｔの量に基づいて、ペーストＰｓｔの供給（補充）を行うべきかどうかの判断を行い、ペーストＰｓｔの供給を行うべきと判断したときには、別途用意したペースト供給シリンジ７０（図１５（ａ））により、マスク１３上にペーストＰｓｔの供給を行う。そして、ペーストＰｓｔの供給が終わったら、図示しない動作再開ボタンの操作を行う。オペレータＯＰは、ペーストＰｓｔの供給が不要と判断した場合においても、動作再開ボタンの操作を行う。
【００５２】
制御装置６０はステップＳＴ４の後、動作再開ボタンの操作が行われたかどうかの判断を行い（図１１のステップＳＴ５に示す第１の判断工程）、動作再開ボタンの操作が行われたと判断した場合には、スクリーン印刷機１の動作中断を解除し、スキージ１４を（スキージベース４０を）Ｙ軸方向に往復移動させて、マスク１３のパターン孔１３ａ内にペーストＰｓｔを充填させることによって、ペーストＰｓｔを基板２の電極３上に転写させる（図１１のステップＳＴ６に示す転写工程）。
【００５３】
スキージ１４によるペーストＰｓｔの基板２への転写動作では、先ず、前方のスキージ１４（図１５における紙面左側のスキージ１４）を下降させてその下縁をマスク１３の上面に接触（当接）させた後、スキージベース４０をＹ軸方向の後方に移動させ、前方のスキージ１４をマスク１３上で摺動させることによって、後方のクランプ部材２４ａの上面領域までペーストＰｓｔを掻き寄せる（図１５（ｂ）中に示す矢印Ｇ１）。ペーストＰｓｔを後方のクランプ部材２４ａの上面領域まで掻き寄せたら、スキージベース４０の移動を停止させたうえで、前方のスキージ１４を上昇させてマスク１３から離間させるとともに、後方のスキージ１４（図１５における紙面右側のスキージ１４）を下降させてその下縁をマスク１３の上面に接触（当接）させる。そして、スキージベース４０を矢印Ｇ１とは反対の方向に移動させ、後方のスキージ１４をマスク１３上で摺動させることによって、前方のクランプ部材２４ａの上面領域までペーストＰｓｔを掻き寄せる（図１５（ｃ）中に示す矢印Ｇ２）。これによりマスク１３のパターン孔１３ａを介して基板２の電極３上にペーストＰｓｔが転写される。
【００５４】
制御装置６０は、基板２の電極３上にペーストＰｓｔを転写させたら、昇降テーブル２２ａをベーステーブル２１ｄに対して下降させ（図１６（ａ）中に示す矢印Ｆ２）、マスク１３から基板２を離間させる（図１６（ａ））。これにより版離れが行われ、ペーストＰｓｔが基板２の電極３上に印刷された状態となる（図１１のステップＳＴ７に示す版離れ工程）。
【００５５】
制御装置６０は、基板２へのペーストＰｓｔの印刷が終了したら、クランプ部材２４ａを作動させて基板２のクランプを解除したうえで（図１６（ｂ）中に示す矢印Ｅ２）、下受けユニット２４ｃを（下受けユニット支持テーブル２４ｂを）昇降テーブル２２ａに対して下降させ（図１６（ｃ）中に示す矢印Ｄ３）、基板２をコンベア部２３上に降ろす（図１６（ｃ））。これにより基板保持部２４による基板２の保持が解除される（図１１のステップＳＴ８に示す基板保持解除工程）。
【００５６】
制御装置６０は、基板２の保持を解除したら、基板保持移動ユニット１２が備える水平移動部２１を作動させ、基板搬出コンベア２６に対するコンベア部２３の位置調整を行ったうえで、コンベア部２３と基板搬出コンベア２６を連動作動させ、コンベア部２３上の基板２を基板搬出コンベア２６に受け渡してそのまま基板２をスクリーン印刷機１の外部に搬出する（図１１のステップＳＴ９に示す基板搬出工程）。
【００５７】
制御装置６０は、基板２を搬出したら、他にスクリーン印刷を施す基板２があるかどうかの判断を行う（図１１のステップＳＴ１０に示す第２の判断工程）。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板２があった場合にはステップＳＴ１に戻って新たな基板２の搬入を行い、他にスクリーン印刷を施す基板２がなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。
【００５８】
本実施の形態におけるスクリーン印刷機１では、上記の手順によって基板２にペーストＰｓｔの印刷を施すが、スクリーン印刷機１の制御装置６０は、基板２の数枚分についてのスクリーン印刷工程を終了したら、マスククリーニング装置１６を用いてマスク１３の下面のクリーニングを行う。以下、図１７〜図１９を加えてマスククリーニング装置１６によるマスク１３のクリーニングの動作手順を説明する。
【００５９】
マスク１３のクリーニングでは、制御装置６０は先ず、Ｘ軸ステージ２９ａを移動させてマスククリーニング装置１６をマスク１３の下方の所定のクリーニング開始位置に移動させ（図１７のステップＳＴ１１）、マスククリーニング装置１６におけるクリーニング領域４８ａの更新が必要であるか否かの判断を行う（図１７のステップＳＴ１２）。この判断は例えば、現在のクリーニング領域４８ａにおいてクリーニングを行ったマスク１３の枚数が予め定めた所定の枚数に達しているか否か等に基づいて行う。
【００６０】
制御装置６０は、上記ステップＳＴ１２において、クリーニング領域４８ａの更新が必要でないと判断したときには、ベース部４１に対するノズル４２の上昇を開始し（図１７のステップＳＴ１３）、ノズル４２が張り出し位置まで上昇したところでノズル４２の上昇を停止させる（図１７のステップＳＴ１４及びステップＳＴ１５）。この間、従動側リール４４はブレーキ５１によりその回転が規制された状態にあり、ノズル４２が格納位置にある状態で、ノズル４２の上面よりも駆動側リール４３の側に位置していた領域Ｓ１がノズル４２の上面に移動してクリーニング領域４８ａとなる（図１８（ａ））。また、ノズル４２が張り出し位置まで上昇することにより、ノズル４２に支持されたペーパー部材４８のクリーニング領域４８ａがマスク１３の下面に下方から押し当てられた状態となる（図８）。
【００６１】
制御装置６０は、ノズル４２を張り出し位置まで上昇させてペーパー部材４８をマスク１３の下面に接触させたら、Ｘ軸ステージ２９ａをＹ軸方向に移動させてマスククリーニング装置１６をマスク１３に対して相対移動させ（図８中に示す矢印Ｈ）、マスク１３の下面に付着していたペーストＰｓｔ（ペーストＰｓｔの残り滓ＤＳ）をペーパー部材４８のクリーニング領域４８ａにおいてクリーニングする（拭き取る）（図１７のステップＳＴ１６）。
【００６２】
なお、制御装置６０は、上記マスク１３のクリーニングを行う際には吸引機構６７の作動制御を行い、空気吸引管路４２ａからペーパー部材４８のクリーニング領域４８ａを介して空気を真空吸引するようにする。これによりマスク１３の下面に付着したペーストＰｓｔはペーパー部材４８側に吸い出され、ペーストＰｓｔの除去が効果的に行われる。
【００６３】
制御装置６０は、上記のようにしてマスク１３のクリーニングを行ったら、ノズル４２の下降（図１８（ｂ）中に示す矢印Ｋ１）と駆動側リール４３によるペーパー部材４８の巻き取り（図１８（ｂ）中に示す矢印Ｐ１）を開始し（図１７のステップＳＴ１７）、ノズル４２が格納位置に達したところでノズル４２の下降と駆動側リール４３によるペーパー部材４８の巻き取りを停止させる（図１７のステップＳＴ１８及びステップＳＴ１９）。これによりペーパー部材４８のうち、先ほどクリーニング領域４８ａとなっていた領域Ｓ１は駆動側リール４３の側へ移動した状態となる（図１８（ｂ））。なお、このノズル４２の下降時におけるペーパー部材４８の巻き取り速度は、ペーパー部材４８に弛みが生じない速度とする。
【００６４】
制御装置６０は、ノズル４２を格納位置まで下降させたら、マスククリーニング装置１６を所定の待機位置に移動させ、次のマスク１３のクリーニングを行うまで待機状態に入る（図１７のステップＳＴ２０）。
【００６５】
一方、制御装置６０は、前述のステップＳＴ１２において、クリーニング領域４８ａの更新が必要であると判断したときには、ブレーキ５１による従動側リール４４の回転規制を解除したうえで（図１７のステップＳＴ２１）、ノズル４２の上昇を開始する（図１７のステップＳＴ２２。図１９（ａ）中に示す矢印Ｋ２）。このノズル４２の上昇の間、ペーパー部材４８はノズル４２によって引っ張られ、従動側リール４４は従動回転させられて（図１９（ａ）中に示す矢印Ｑ）、従動側リール４４からペーパー部材４８が引き出される（図１９（ａ）及び図１０中に示す矢印Ａ）。この間、駆動側リール４３は停止したままであるので、先ほどクリーニング領域４８ａとなっていた領域Ｓ１は更に駆動側リール４３の側へ移動し、その領域Ｓ１に隣接する従動側リール４４の側の領域Ｓ２が、ノズル４２よりも駆動側リール４３の側に移動する（図１９（ａ））。
【００６６】
制御装置６０は、ブレーキ５１による従動側リール４４の回転規制を解除した状態でノズル４２を上昇させている間、ペーパー部材進行量検出装置４６の回転部材４６ａが従動側リール４４とは反対の方向に回転する（図１９（ａ）及び図１０中に示す矢印Ｂ）することによって検出されるペーパー部材４８の進行量の情報に基づいて、ペーパー部材４８の進行量が予め定めた所定値に達したことを検知したときには、ブレーキ５１により従動側リール４４の回転を規制して（図１７のステップＳＴ２３及びステップＳＴ２４）、従動側リール４４からのペーパー部材４８の引き出しを停止させる。これにより、以後のノズル４２の上昇中（図１９（ｂ）中に示す矢印Ｋ３）、ノズル４２により引っ張られるペーパー部材４８によって駆動側リール４３がペーパー部材４８の巻き取り方向とは反対の方向に従動回転させられて（図１９（ｂ）中に示す矢印Ｐ２）、駆動側リール４３からペーパー部材４８が引き出される。
【００６７】
制御装置６０は、従動側リール４４の回転を規制した後、ノズル４２が張り出し位置に達したところでノズル４２の上昇を停止させる（図１７のステップＳＴ１４及びステップＳＴ１５）。これにより、先ほどクリーニング領域４８ａとなっていた領域Ｓ１に隣接する従動側リール４４の側の領域Ｓ２がノズル４２の上面に移動してクリーニング領域４８ａとなって（図１９（ｂ））、ペーパー部材４８のクリーニング領域４８ａの更新は完了し、以後はクリーニング領域４８ａの更新をしなかった場合と同様の手順により、マスク１３の下面のクリーニングを行う（ステップＳＴ１６〜ステップＳＴ２０）。
【００６８】
なお、上記ペーパー部材４８の進行量の「所定値」は、上記の手順によってノズル４２を張り出し位置に位置させたときに、クリーニング領域４８ａが更新されるような値として任意に決定される。
【００６９】
このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１では、制御装置６０が、ノズル４２が格納位置に位置した状態でブレーキ５１による従動側リール４４の回転規制を解除したうえで、ノズル４２をベース部４１に対して上昇させて従動側リール４４よりペーパー部材４８を引き出し、ペーパー部材進行量検出装置４６により検出されるペーパー部材４８の進行量に基づいて、従動側リール４４より引き出すことによって進行したペーパー部材４８の進行量が所定値に達したことが検出されたとき、ブレーキ５１により従動側リール４４の回転を規制したうえでノズル４２を張り出し位置まで上昇させ、駆動側リール４３をペーパー部材４８の巻き取り方向とは反対の方向に従動回転させながら駆動側リール４３よりペーパー部材４８を引き出してペーパー部材４８の新たなクリーニング領域４８ａをノズル４２の上面に位置させる（すなわち、進行量算出部４６ｃにより算出されたペーパー部材４８の進行量に基づいて、ペーパー部材４８の新たなクリーニング領域４８ａをノズル４２の上面に位置させる）クリーニング領域更新動作制御手段として機能している。
【００７０】
また、制御装置６０は、ペーパー部材４８の新たなクリーニング領域４８ａをノズル４２によってマスク１３の下面に押し当てた状態でベース部４１をマスク１３に対して相対移動させてマスク１３の下面に付着したペーストＰｓｔを拭き取るペースト拭き取り動作制御手段としても機能している。
【００７１】
更に制御装置６０は、下面に付着したペーストＰｓｔが拭き取られたマスク１３を基板２に接触させ、マスク１３上でスキージ１４を摺動させることによって基板２の電極３にペーストＰｓｔを転写させるスクリーン印刷実行制御手段としても機能している。
【００７２】
このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１では、押し当て部材であるノズル４２を格納位置から張り出し位置へ上昇させる動作によって従動側リール４４からペーパー部材４８を引き出してペーパー部材４８のクリーニング領域４８ａの更新を行うようにしており、この間、駆動側リール４３は駆動させることがないので、リール駆動モータ５０による駆動側リール４３の回転駆動力が小さくてもペーパー部材４８のクリーニング領域４８ａの更新を行うことができ、マスククリーニング装置１６の小型化を図ることができる。
【００７３】
また、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１が備えるペーパー部材進行量検出装置４６では、従動側リール４４に巻き付けられたロール状のペーパー部材４８の外周面に接触して設けられた回転部材４６ａの回転数によって従動側リール４４から引き出されるペーパー部材４８の進行量の算出を行うようにしているので、従動側リール４４に巻き付けられたロール状のペーパー部材４８の半径方向の寸法によらず、ペーパー部材４８の進行量を正確に検出することができる。したがって、このようなペーパー部材進行量検出装置４６を備えたスクリーン印刷機１では、マスククリーニング装置１６におけるクリーニング領域４８ａの正確な更新動作を行うことができ、更新の前後で新旧のクリーニング領域４８ａがだぶってマスク１３のクリーニング時にマスク１３を汚したり、新旧のクリーニング領域４８ａの間隔が開き過ぎてペーパー部材４８に無駄が生じたりするようなことが起きにくい。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
駆動側リールの回転駆動力が小さくてもペーパー部材のクリーニング領域の更新を行うことができるマスククリーニング装置、スクリーン印刷機、マスククリーニング方法及びスクリーン印刷方法を提供する。
【符号の説明】
【００７５】
１  スクリーン印刷機
２  基板
３  電極
１３  マスク
１３ａ  パターン孔
１４  スキージ
１６  マスククリーニング装置
４１  ベース部
４２  ノズル（押し当て部材）
４３  駆動側リール
４４  従動側リール
４６  ペーパー部材進行量検出装置
４６ａ  回転部材
４６ｂ  回転数検出部
４６ｃ  進行量算出部
４８  ペーパー部材
４８ａ  クリーニング領域
５１  ブレーキ
６０  制御装置（クリーニング領域更新動作制御手段、ペースト拭き取り動作制御手段、スクリーン印刷実行制御手段）
Ｐｓｔ  ペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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