(57)【要約】【課題】振動波のピークの誤検出を補正し高い信頼性をもって高精度に損傷長を測定する。【解決手段】振動子３で発振され部材１，２からなる被測定物を伝播する振動を３つのセンサ４，５，６でそれぞれ検出する。計測装置７でその振動波を解析し、最大ピークの到達時間を測定する。予め測定した損傷の無い被測定物についての最大ピークの到達時間を記録しておき、これとの差分（最大ピークの遅延時間）に基づき損傷長を算出する。本発明においては、距離の決まっている２つの振動検知センサ間を波が伝播する時間は一定であることを利用して、２つのセンサ間の到達時間差が２つの振動検知センサ間の振動伝播時間を含めて定められる基準範囲に入るか否かにより正誤判断する。誤りと判断した場合、誤った波が本来捉えるべき波に比較して遅れることを利用して、最大ピークより先に到達した所定振幅以上のピークを検出してこれに置き換えて損傷長を計算する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物に超音波振動を加える振動子と、
前記振動子から発振され前記被測定物を伝播する振動波を異なる位置で検知する複数の振動検知センサと、
前記振動子の発振を制御し、前記振動検知センサの検知信号を演算処理して各振動検知センサが検出した振動波を解析する計測装置とを備え、
前記計測装置は、
（１）前記複数の振動検知センサから選択された少なくとも２つのセンサにより検出した振動波の最大ピークの到達時間をそれぞれ算出し、その差分を算出する処理を実行し、
（２）前記（１）の処理に続き、当該差分が、前記選択されたセンサ間の振動伝播時間を含めて定められる基準範囲に入るか否か判断する処理を実行し、
（３）前記（２）の処理で当該差分が前記基準範囲に入ると判断した場合、前記最大ピークの到達時間のキャリブレーション値に対する遅延時間に基づき損傷長を算出する処理を実行し、
（４）前記（２）の処理で当該差分が前記基準範囲に入らないと判断した場合、当該差分に関係する少なくとも一方の振動検知センサに関して前記最大ピークより先に到達した所定振幅以上のピークを検出する処理を実行し、
（５）前記（４）の処理で前記所定振幅以上のピークを検出できた場合、当該ピークの到達時間に置き換えて前記差分を計算した上で、前記（２）（３）の処理を実行する損傷長測定システム。
【請求項２】
前記振動検知センサを３つ以上備え、
前記計測装置は、前記（４）の処理で、特定の振動検知センサにより検出した振動波の最大ピークと他の振動検知センサにより検出した振動波の最大ピークとの差分をそれぞれ算出し、当該差分のいずれも前記基準範囲に入らなかった場合に、当該特定の振動検知センサにより検出した振動波を、前記所定振幅以上のピークを検出する処理の対象として前記（４）の処理を実行する請求項１に記載の損傷長測定システム。
【請求項３】
被測定物に振動子により超音波振動を加え、
前記振動子から発振され前記被測定物を伝播する振動波を複数の振動検知センサにより異なる位置で検知し、
前記振動子の発振を制御し、前記振動検知センサの検知信号を演算処理して各振動検知センサが検出した振動波を解析する計測処理を実行し、
前記計測処理において、
（１）前記複数の振動検知センサから選択された少なくとも２つのセンサにより検出した振動波の最大ピークの到達時間をそれぞれ算出し、その差分を算出する処理を実行し、
（２）前記（１）の処理に続き、当該差分が、前記選択されたセンサ間の振動伝播時間を含めて定められる基準範囲に入るか否か判断する処理を実行し、
（３）前記（２）の処理で当該差分が前記基準範囲に入ると判断した場合、前記最大ピークの到達時間のキャリブレーション値に対する遅延時間に基づき損傷長を算出する処理を実行し、
（４）前記（２）の処理で当該差分が前記基準範囲に入らないと判断した場合、当該差分に関係する少なくとも一方の振動検知センサに関して前記最大ピークより先に到達した所定振幅以上のピークを検出する処理を実行し、
（５）前記（４）の処理で前記所定振幅以上のピークを検出できた場合、当該ピークの到達時間に置き換えて前記差分を計算した上で、前記（２）（３）の処理を実行する損傷長測定方法。
【請求項４】
前記振動検知センサを３つ以上用い、
前記（４）の処理で、特定の振動検知センサにより検出した振動波の最大ピークと他の振動検知センサにより検出した振動波の最大ピークとの差分をそれぞれ算出し、当該差分のいずれも前記基準範囲に入らなかった場合に、当該特定の振動検知センサにより検出した振動波を、前記所定振幅以上のピークを検出する処理の対象として前記（４）の処理を実行する請求項３に記載の損傷長測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動子と複数の振動検知センサとを被測定物に設置し、振動子から被測定物を介して各振動検知センサに伝播する振動の到達時間を計測し、損傷の無い場合に対するこの到達時間の遅延時間から損傷長を測定する損傷長測定システム及び損傷長測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図３に示すようにして部材１と部材２とを接合した被測定物の損傷長を測定することができる。
すなわち、部材１にピエゾ素子等からなる振動子３を設置し、部材２にFBG（Fiber Bragg Grating）光ファイバセンサ等の振動検知センサ４を設置する。振動子３により加振して、振動子３から被測定物を介して振動検知センサ４に伝播する振動の到達時間を計測する。
到達時間の測定は、まずキャリブレーションとして図３(a)に示すように損傷の無い被測定物に対して行う。この場合、図３(a)に示すような振動伝播経路１１ａで振動子３から振動検知センサ４に振動（弾性波）は伝播する。この振動の到達時間を記録保持する。
【０００３】
次に、実測定として図３(b)(c)に示すように損傷の有無のみ不明の同構造の被測定物に対して原則同じ位置に振動子３及び振動検知センサ４を設置して到達時間を測定する（同じ位置に設置しない場合は、その分の伝播時間を差し引く）。
図３(b)に示すように、損傷として接着層１０に剥離１２ａが生じている場合、図示するような振動伝播経路１１ｂで振動は伝播するが、剥離１２ａは振動検知センサ４下まで進展していないため、振動の到達時間にほとんど影響は生じない。
一方、図３(c)に示すように振動検知センサ４下まで進展した剥離１２ｂが生じている場合、図示するような振動伝播経路１１ｃで振動は剥離１２ｂを迂回するように伝播し、振動の到達時間に遅れが生じる。
したがって、実測定時の到達時間とキャリブレーション時の到達時間との差を計算することにより、剥離が振動検知センサ４下まで進展したか否かを判断することができる。さらに、剥離が振動検知センサ４下まで進展した場合、次のようにして剥離長を計算することができる。
【０００４】
図３に示すように、振動子３と振動検知センサ４との間の接着層１０の端部位置から振動子３までの距離をａとし、振動検知センサ４までの距離をｂとする。距離ａ，ｂは既知の値となる。
到達時間に遅延が生じていることにより剥離が振動検知センサ４下まで進展したと判断できた場合、図３(c)に示すように振動検知センサ４下からさらに進展した剥離長を距離ｃとする。求める剥離長は（ｂ＋ｃ）となる。
到達時間の遅延時間をΔｔとすると、振動伝播経路１１ａに沿った伝播距離と振動伝播経路１１ｃに沿った伝播距離との差は（２×ｃ）であるから、振動の群速度をＶとすると、Δｔ＝（２×ｃ）／Ｖ  となり、この式を変形して  ｃ＝（Ｖ×Δｔ）／２  となる。したがって、測定したΔｔを代入することにより、ｃが求まり、剥離長（ｂ＋ｃ）＝（ｂ＋（Ｖ×Δｔ）／２）が求まる。
【０００５】
振動検知センサ４が検知する振動の分析は、特許文献１に記載されるような光フィルタを利用した波動解析装置により可能となっており、検出した波動信号を演算処理することによって、図４に示すように振動の時間変化を取得することができ、振動のピークを特定することができる。そして、最大ピークの時間的ずれにより到達時間の遅延を計算し上述のようにして損傷長を測定することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−１３９１７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図４(a)に示すような振動波形の場合は、その最大ピークｐ１の到達時間Ｔａに基づく損傷長の推定は信頼性が高い。
しかしながら、損傷の状態によっては、図４(b)に示すように振動波形に反射等の複数の波が重なり、本来捉えるべきピークｐ２とは違った場所に最大ピークｐ３が発生してしまい、その到達時間Ｔｂに基づき誤った損傷長を推定してしまうことがある。
従来、最大ピークｐ３が図３を参照して説明した上記理論に従った振動の遅延によるピークであるか、反射等の他の要因で高くなったピークであるのか判別が付かないため、誤った計測により損傷が進展していると判断されてしまうおそれがある。
【０００８】
本発明は、以上の従来技術における問題に鑑みてなされたものであって、高い信頼性をもって高精度に損傷長を測定することができる損傷長測定システム及び損傷長測定方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
以上の課題を解決するための請求項１記載の発明は、被測定物に超音波振動を加える振動子と、
前記振動子から発振され前記被測定物を伝播する振動波を異なる位置で検知する複数の振動検知センサと、
前記振動子の発振を制御し、前記振動検知センサの検知信号を演算処理して各振動検知センサが検出した振動波を解析する計測装置とを備え、
前記計測装置は、
（１）前記複数の振動検知センサから選択された少なくとも２つのセンサにより検出した振動波の最大ピークの到達時間をそれぞれ算出し、その差分を算出する処理を実行し、
（２）前記（１）の処理に続き、当該差分が、前記選択されたセンサ間の振動伝播時間を含めて定められる基準範囲に入るか否か判断する処理を実行し、
（３）前記（２）の処理で当該差分が前記基準範囲に入ると判断した場合、前記最大ピークの到達時間のキャリブレーション値に対する遅延時間に基づき損傷長を算出する処理を実行し、
（４）前記（２）の処理で当該差分が前記基準範囲に入らないと判断した場合、当該差分に関係する少なくとも一方の振動検知センサに関して前記最大ピークより先に到達した所定振幅以上のピークを検出する処理を実行し、
（５）前記（４）の処理で前記所定振幅以上のピークを検出できた場合、当該ピークの到達時間に置き換えて前記差分を計算した上で、前記（２）（３）の処理を実行する損傷長測定システムである。
【００１０】
請求項２記載の発明は、前記振動検知センサを３つ以上備え、
前記計測装置は、前記（４）の処理で、特定の振動検知センサにより検出した振動波の最大ピークと他のそれぞれの振動検知センサにより検出した振動波の最大ピークとの差分を計算し、いずれの差分も前記基準範囲に入らなかった場合に、当該特定の振動検知センサにより検出した振動波を、前記所定振幅以上のピークを検出する処理の対象として前記（４）の処理を実行する請求項１に記載の損傷長測定システムである。
【００１１】
請求項３記載の発明は、被測定物に振動子により超音波振動を加え、
前記振動子から発振され前記被測定物を伝播する振動波を複数の振動検知センサにより異なる位置で検知し、
前記振動子の発振を制御し、前記振動検知センサの検知信号を演算処理して各振動検知センサが検出した振動波を解析する計測処理を実行し、
前記計測処理において、
（１）前記複数の振動検知センサから選択された少なくとも２つのセンサにより検出した振動波の最大ピークの到達時間をそれぞれ算出し、その差分を算出する処理を実行し、
（２）前記（１）の処理に続き、当該差分が、前記選択されたセンサ間の振動伝播時間を含めて定められる基準範囲に入るか否か判断する処理を実行し、
（３）前記（２）の処理で当該差分が前記基準範囲に入ると判断した場合、前記最大ピークの到達時間のキャリブレーション値に対する遅延時間に基づき損傷長を算出する処理を実行し、
（４）前記（２）の処理で当該差分が前記基準範囲に入らないと判断した場合、当該差分に関係する少なくとも一方の振動検知センサに関して前記最大ピークより先に到達した所定振幅以上のピークを検出する処理を実行し、
（５）前記（４）の処理で前記所定振幅以上のピークを検出できた場合、当該ピークの到達時間に置き換えて前記差分を計算した上で、前記（２）（３）の処理を実行する損傷長測定方法である。
【００１２】
請求項４記載の発明は、前記振動検知センサを３つ以上用い、
前記（４）の処理で、特定の振動検知センサにより検出した振動波の最大ピークと他の振動検知センサにより検出した振動波の最大ピークとの差分をそれぞれ計算し、当該差分のいずれも前記基準範囲に入らなかった場合に、当該特定の振動検知センサにより検出した振動波を、前記所定振幅以上のピークを検出する処理の対象として前記（４）の処理を実行する請求項３に記載の損傷長測定方法である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、複数の振動検知センサによりそれぞれ検出した複数の振動波に基づいて損傷長を算出するので、例えば平均値を算出することにより高精度に損傷長を測定することができる。
反射等の他の要因で高くなった最大ピークを捕られている場合は、ピーク検出に誤りがありそのままだと計測を誤ってしまうが、本発明によれば、距離の決まっている２つの振動検知センサ間を弾性波が伝播する時間は一定であることを利用することで、ピーク到達時間に矛盾があるかどうかを判定する。そして、反射波が損傷を回折して直接到達する波に比較して遅れることを利用して、最大ピークより先に到達するピークの到達時間を計算に用いる。
すなわち、本発明によれば、２つの振動検知センサによりそれぞれ検出した振動波の最大ピークの到達時間の差分が２つの振動検知センサ間の振動伝播時間を含めて定められる基準範囲に入るか否か判断し、基準範囲に入る場合はそのまま正しく計算でき、基準範囲に入らない場合には、最大ピークより先に到達した所定振幅以上のピークに置き換えることでピーク検出の誤りを補正して高精度に測定でき、測定値の信頼性を向上することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態に係る被測定物及び損傷長測定システムの構成図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る損傷長測定システム及び損傷長測定方法による処理の流れを示すフローチャートである。
【図３】損傷長測定の原理を説明するための構成図である。
【図４】振動検知センサにより検出され計測装置で解析される振動波形を示す波形図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に本発明の一実施形態につき図面を参照して説明する。以下は本発明の一実施形態であって本発明を限定するものではない。
【００１６】
図１に示すように、本実施形態の損傷長測定システムは、部材１と部材２とを接合した被測定物を測定対象とする。
そのために本実施形態の損傷長測定システムは、振動子３と、３つの振動検知センサ４，５，６と、計測装置７とを備える。
振動子３は被測定物に超音波振動を加えるものでピエゾ素子からなる。振動子３は部材１に設置される。
振動検知センサ４，５，６は、FBG（Fiber Bragg Grating）光ファイバセンサである。振動検知センサ４，５，６は、部材２に設置される。部材１と部材２との接着層１０の端部から内方へ向かって振動検知センサ４、振動検知センサ５、振動検知センサ６の順に並べられる。接着層１０の端部から各振動検知センサ４，５，６までの距離を順にＰ１，Ｐ２，Ｐ３とする。
計測装置７は、振動子３の発振を制御し、振動検知センサ４，５，６の検知信号を演算処理して各振動検知センサ４，５，６が検出した振動波を以下に説明するように解析し、損傷長を計算する。
【００１７】
計測装置７は、まず、図２のフローチャート中に示す処理ステップＳａ〜Ｓｄからなるキャリブレーションを実行する。キャリブレーションは、損傷の無い健全な部材１，２及び接着層１０からなる被測定物に対して行い、この健全な被測定物を伝播する振動波の最大ピークの到達時間をキャリブレーション値として記録する。  
【００１８】
キャリブレーションにあっては、まず計測装置７は、計測を開始するために振動子３を制御して振動子３により振動を発生させ（処理ステップＳａ）、その一方で各振動検知センサ４，５，６が検出した振動波を取得する（処理ステップＳｂ）。すなわち、計測装置７は、処理ステップＳｂにおいて振動検知センサ４，５，６の出力値の時間変化を数値データ化する。これを可視化すれば、図４の波形図に示すようなものである。
次に、計測装置７は、各振動波における最大ピークを計算により求める（処理ステップＳｃ）。その方法は限定されないが、例えば、振動波データにヒルベルト変換をかけることにより求めることができる。
次に、計測装置７は、振動波の最大ピークの到達時間として計測開始時点から振動波が最大ピークになる時間を特定し、内部メモリ等に記録保存する（処理ステップＳｄ）。この記録された値がキャリブレーション値となる。
以上によりキャリブレーションが終了する。
【００１９】
次に、図２のフローチャート中に示す処理ステップＳｅ〜Ｓｑからなる実測定につき説明する。
本損傷長測定システムにより、上述のようにしてキャリブレーション値が記録された部材１，２及び接着層１０からなる構造と同構造物の損傷を測定することができる。この同構造物である被測定物に対し振動子３及び振動検知センサ４，５，６を上記キャリブレーション時と同じ位置に設置する。
キャリブレーション時と同様に計測装置７は、計測を開始するために振動子３を制御して振動子３により振動を発生させ（処理ステップＳｅ）、その一方で各振動検知センサ４，５，６が検出した振動波を取得する（処理ステップＳｆ）。
次に、計測装置７は、各振動波における最大ピークを計算により求める（処理ステップＳｇ）。
次に、計測装置７は、振動波の最大ピークの到達時間として計測開始時点から振動波が最大ピークになる時間を特定し、内部メモリ等に記録保存する（処理ステップＳｈ）。この記録された値が振動波の最大ピークの到達時間の実測値に相当する。
【００２０】
次に、計測装置７は、処理ステップＳｄで記録したキャリブレーション値trと、処理ステップＳｈで記録した実測値tとの差分であるキャリブレーション差分を算出する（処理ステップＳｉ）。ここで、理論説明のために各振動検知センサ４，５，６が検出した値に基づくこのキャリブレーション差分を、順にΔt1=t1-tr1，Δt2=t2-tr2，Δt3 =t3-tr3とする。
次に、計測装置７は、処理ステップＳｉで計算したキャリブレーション差分Δt1，Δt2，Δt3から２つ選ばれる各組合せに係る２つ同士の差分であるセンサ間差分、すなわち、（Δt1−Δt2），（Δt2−Δt3），（Δt3−Δt1）を算出する（処理ステップＳｊ）。
処理ステップＳｇ及び本処理ステップＳｊが、上記（１）の処理に相当する。各センサ間差分（Δt1−Δt2），（Δt2−Δt3），（Δt3−Δt1）は、振動検知センサ間の往復の振動伝播時間に相等する。
【００２１】
次に、計測装置７は、各センサ間差分（Δt1−Δt2），（Δt2−Δt3），（Δt3−Δt1）が、２つの振動検知センサ間の振動伝播時間を含めて定められる基準範囲に入るか否か判断する（処理ステップＳｋ、上記（２）の処理に相当）。
ここで基準範囲につき説明する。
振動の群速度をＶとすると、図３を参照して上述した剥離長の理論式（ｂ＋（Ｖ×Δｔ）／２）による剥離長は、Δt1とＰ１とを用いれば（Ｐ１＋（Ｖ×Δt1）／２）と、Δt2とＰ２とを用いれば（Ｐ２＋（Ｖ×Δt2）／２）と、Δt3とＰ３とを用いれば（Ｐ３＋（Ｖ×Δt3）／２）となる。
これらの剥離長は等しいので、（Ｐ１＋（Ｖ×Δt1）／２）＝（Ｐ２＋（Ｖ×Δt2）／２），（Ｐ２＋（Ｖ×Δt2）／２）＝（Ｐ３＋（Ｖ×Δt3）／２），（Ｐ３＋（Ｖ×Δt3）／２）＝（Ｐ１＋（Ｖ×Δt1）／２）との３つの等式が成り立つ。
これら３つの等式を変形すると、（Δt1−Δt2）＝２(Ｐ２−Ｐ１) ／Ｖ，（Δt2−Δt3）＝２(Ｐ３−Ｐ２) ／Ｖ，（Δt3−Δt1）＝２(Ｐ１−Ｐ３) ／Ｖとなる。
これら３式の各右辺は定数となり、２つの振動検知センサ間の往復振動伝播時間に相等する。すなわち、２(Ｐ２−Ｐ１) ／Ｖは、振動検知センサ４，５間の被測定物を介した往復振動伝播時間に相等し、２(Ｐ３−Ｐ２) ／Ｖは、振動検知センサ５，６間の被測定物を介した往復振動伝播時間に相等し、２(Ｐ１−Ｐ３) ／Ｖは、振動検知センサ４，６間の被測定物を介した往復振動伝播時間に相等する。波の伝播距離と速度が決まっているからそれぞれ定数となるわけである。これら２(Ｐ２−Ｐ１) ／Ｖ，２(Ｐ３−Ｐ２) ／Ｖ，２(Ｐ１−Ｐ３) ／Ｖを基準値として、各基準値が含まれる基準範囲をそれぞれ定める。通常は、基準値を中心値とした所定幅の数値範囲である。
実測定に基づいた各センサ間差分（Δt1−Δt2），（Δt2−Δt3），（Δt3−Δt1）が、この基準範囲に入るか否かにより正しく最大ピークを検出できたか否かを前記所定幅に応じた一定の信頼性により判断することができる。基準範囲を外れている場合は、計測装置７が捕捉した各最大ピークが同じ波を捉えたものでない可能性が高いからである。
【００２２】
計測装置７は、処理ステップＳｋにおいて、処理ステップＳｊで算出された各センサ間差分のうち前述した基準範囲に入らないものがないか判断を行う。そして、基準範囲に入らないセンサ間差分が存在すると判断した場合、計測装置７は、当該センサ間差分に関係する振動検知センサの少なくとも一方に関して最大ピークより先に到達した所定振幅以上のピークを検出するデータの補正処理を実行する（処理ステップＳｌ）。
例えば、処理ステップＳｋで、センサ間差分（Δt1−Δt2）及びセンサ間差分（Δt3−Δt1）がそれぞれの基準範囲に入っていないと判断し、センサ間差分（Δt2−Δt3）がその基準範囲に入っていると判断した場合は、Δt1に問題がある蓋然性が高いので、処理ステップＳｌでは、振動検知センサ４により検出した振動波に関して最大ピークより先に到達した所定振幅以上のピークを検出する補正処理を実行する。この処理としては例えば、基準範囲外となった振動波の最大ピークの振幅の半分を所定振幅として、計測開始時点から最大ピーク到達時点まで所定振幅以上のピークを再検索し、最初に現れるピークを置き換えるべきピークとすることができる。同様にしてΔt2に問題がある蓋然性が高い場合も振動検知センサ５により検出した振動波に関して、Δt3に問題がある蓋然性が高い場合も振動検知センサ６により検出した振動波に関して、同様に処理する。
このように計測装置７は、振動検知センサが３つ以上ある場合、特定の振動検知センサ（例えば振動検知センサ４）により検出した振動波の最大ピークと、他のそれぞれの振動検知センサ（例えば振動検知センサ５，６）により検出した振動波の最大ピークとのセンサ間差分のいずれもが基準範囲に入らなかったときに、当該特定の振動検知センサ（例えば振動検知センサ４）により検出した振動波を、補正処理の対象と判断する。
【００２３】
計測装置７は、処理ステップＳｌにおいて、上記のようにして先に到達した所定振幅以上のピークを検出できた場合、最大ピークの到達時間を当該ピークの到達時間に置き換える補正を行い、処理ステップＳｍで「補正完了」と判断して処理ステップＳｈへ回帰し、補正された新たな最大ピーク到達時間の値に基づいて処理ステップＳｈ以降の処理を実行する。
【００２４】
計測装置７は、処理ステップＳｌにおいて、先に到達した所定振幅以上のピークが一つも検出できなかった場合、処理ステップＳｍで「補正不可」と判断して処理ステップＳｎに処理を進める。そして、処理ステップＳｎでは、「補正不可」と判断された当該特定の振動検知センサにより検出したキャリブレーション差分データを「使用しないデータ」として認定し、処理ステップＳｊへ回帰する。そして処理ステップＳｊでは、「使用しないデータ」と認定されたキャリブレーション差分データを除いたデータのみでセンサ間差分を再計算し、処理ステップＳｋ以降の処理を実行する。
例えば、処理ステップＳｋで、センサ間差分（Δt1−Δt2）及びセンサ間差分（Δt3−Δt1）がそれぞれの基準範囲に入っていないと判断し、センサ間差分（Δt2−Δt3）がその基準範囲に入っていると判断した場合、振動検知センサ４により検出した振動波に関して最大ピークより先に到達した所定振幅以上のピークを検出する処理を実行する。その結果、先に到達した所定振幅以上のピークを検出できなかった場合は、振動検知センサ４により検出したキャリブレーション差分Δt1を使用せず、振動検知センサ５，６により検出した振動波について最大ピークの到達時間のキャリブレーション値Δt2、Δt3を用いたセンサ間差分（Δt2−Δt3）を再計算することになる。
このように、処理ステップＳｍから処理ステップＳｈへの回帰処理および処理ステップＳｍから処理ステップＳｎを介した処理ステップＳｊへの回帰処理は、処理ステップＳｋにおいて、基準範囲に入っていないセンサ間差分が存在しないと判断されるまで繰り返し計算される。換言すれば、残されているすべてのセンサ間差分が基準範囲に入っているか、或いは２つ以上の「使用できる」キャリブレーション差分データが残らずセンサ間差分が再計算できなくなるまで、繰り返し実行される。
【００２５】
計測装置７は、処理ステップＳｋで、基準範囲に入っていないセンサ間差分が存在しないと判断した場合、処理ステップＳｏに進む。計測装置７は、処理ステップＳｏでは、基準範囲に入っていると判断されたセンサ間差分が存在しているか否か、即ち使用可能と判断されたキャリブレーション差分データがあるか否か判断する。使用可能なキャリブレーション差分データがあれば処理ステップＳｐに進む。
計測装置７は、処理ステップＳｐにおいて、すべての使用可能なキャリブレーション差分データに基づく剥離長をそれぞれ計算し、さらにその平均剥離長を計算する。
例えば、上述の例のように、振動検知センサ４により検出したキャリブレーション差分Δt1が「使用しないデータ」と認定され、最終的に、処理ステップＳｋで、センサ間差分（Δt2−Δt3）が基準範囲に入っていると判断された場合、振動検知センサ５，６により検出した振動波について最大ピークの到達時間のキャリブレーション値に対する遅延時間Δt2、Δt3に基づき損傷長を算出する処理を実行する。すなわち、キャリブレーション差分Δt2，Δt3を活かして、（Ｐ２＋（Ｖ×Δt2）／２），（Ｐ３＋（Ｖ×Δt3）／２）により剥離長を計算し、その平均値を測定値として出力する。
【００２６】
一方、計測装置７は、処理ステップＳｏで、使用可能なキャリブレーション差分データがないと判断した場合は処理ステップＳｑに進み、最も振動子に近接した振動検知センサ４により検出した振動波についての最大ピークの到達時間のキャリブレーション値に対する遅延時間Δt1に基づき損傷長を算出する処理を実行する。すなわち、Δt1を用いて、（Ｐ１＋（Ｖ×Δt1）／２）により剥離長を計算し、これを測定値として出力する。
【００２７】
なお、上記の実施形態においては、振動検知センサが３つの場合について述べたが、４つ以上の場合についても上記と同様にして測定可能であることは言うまでもない。
また、振動検知センサが例えば振動検知センサ４，５の２つだけの場合については、処理ステップＳｋ以後の処理を以下のように行うことができる。
処理ステップＳｋにおいて、センサ間差分（Δt1−Δt2）がその基準範囲に入らない場合は、Ｓｌにおいて、振動検知センサ４、５により検出した振動波の少なくとも一方に関して最大ピークより先に到達した所定振幅以上のピークを検出する処理を実行する。例えば、振動検知センサ４あるいは振動検知センサ５により検出した振動波に関して最大ピークより先に到達した所定振幅以上のピークを検出できた場合、振動検知センサ４あるいは振動検知センサ５により検出した振動波に関して最大ピークの到達時間を当該所定振幅以上のピークの到達時間に置き換える補正を行い、処理ステップＳｍで「補正完了」と判断して処理ステップＳｈへ回帰し、補正された新たな最大ピーク到達時間の値に基づいて処理ステップＳｈ以後の処理を実行する。計測装置７は、振動検知センサ４，振動検知センサ５により検出した振動波に関して最大ピークより先に到達した所定振幅以上のピークが一つも検出できなかった場合、「補正不可」と判断して処理ステップＳｎに処理を進め、振動検知センサ４，振動検知センサ５により検出したキャリブレーション差分データを「使用しないデータ」として認定する。
【００２８】
また、上記の実施形態においては、損傷の先端が振動検知センサ４の位置を超える程度、すなわち損傷長がＰ１程度以上である場合を想定して説明した。理論上は、損傷長がＰ１に満たない場合には全てのキャリブレーション差分がゼロとなる。このため、図４において、全てのキャリブレーション差分がゼロか否かの判断処理ステップを処理ステップＳｉの直後に設け、全てのキャリブレーション差分がゼロであれば損傷長を便宜上Ｐ１あるいはゼロとして算出して処理を終了することができる。
【００２９】
以上の実施形態においては、損傷を接着層剥離としたが、部材の亀裂等の損傷についても上記と同様にして測定可能であることは言うまでも無い。
【符号の説明】
【００３０】
１，２ 被測定物を構成する部材
３     振動子
４，５，６    振動検知センサ
７     計測装置
１０   接着層
１２   剥離（損傷）
１２ａ 剥離（損傷）
１２ｂ 剥離（損傷）
【図１】
2011185921.tif 000003
【図２】
2011185921.tif 000004
【図３】
2011185921.tif 000005
【図４】
2011185921.tif 000006