(57)【要約】      （修正有）【課題】偏波状態を保持しながら信号光を効率良く光増幅して高出力の基本波レーザ光を生成することが可能な光増幅器、レーザ装置、及び光源装置を提供する。【解決手段】光増幅器２０は励起光を発生させる励起用光源２１と、第１信号光Ｌｓ１と励起光Ｌｐとを入力しＬｓ１とＬｐの一方の偏波成分の光とを合波してＬｓ１の偏波状態を保持しつつ該合波した光とＬｐの他方の偏波成分の光とを出力する第１ＷＤＭカプラ２３と、第２信号光Ｌｓ２と第１ＷＤＭカプラからの他方の偏波成分の光とを入力して合波しＬｓ２の偏波状態を保持しつつ該合波した光を出力する第２ＷＤＭカプラ２４と、第１ＷＤＭカプラから導入される合波した光に基づいて偏波状態を保持しつつＬｓ１を増幅して出力する第１光増幅用ファイバ２５と、第２ＷＤＭカプラから導入される合波した光に基づいて偏波状態を保持しつつＬｓ２を増幅して出力する第２光増幅用ファイバ２６とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力される第１及び第２信号光の各々を、偏波状態を保持しつつ励起光に応じて増幅して出力する光増幅器であって、
励起光を発生させる励起用光源と、
前記第１信号光と前記励起光とを入力し、前記第１信号光と前記励起光の一方の偏波成分の光とを合波して、前記第１信号光の偏波状態を保持しつつ該合波した光と前記励起光の他方の偏波成分の光とを出力する第１光合波器と、
前記第２信号光と前記第１光合波器からの前記他方の偏波成分の光とを入力して合波し、前記第２信号光の偏波状態を保持しつつ該合波した光を出力する第２光合波器と、
前記第１光合波器から導入される前記合波した光に基づいて、偏波状態を保持しつつ前記第１信号光を増幅して出力する第１偏波保持光増幅媒体と、
前記第２光合波器から導入される前記合波した光に基づいて、偏波状態を保持しつつ前記第２信号光を増幅して出力する第２偏波保持光増幅媒体とを備えたことを特徴とする光増幅器。
【請求項２】
前記光合波器は、２本の光ファイバを溶融延伸して構成される溶融型の偏波保持ＷＤＭカプラを含むことを特徴とする請求項１に記載の光増幅器。
【請求項３】
前記偏波保持光増幅媒体が、希土類元素が添加された偏波保持光ファイバであることを特徴とする請求項１または２に記載の光増幅器。
【請求項４】
単一波長のパルス光である第１及び第２信号光をそれぞれ発生するレーザ光発生部と、
請求項１〜３のいずれか一項に記載の光増幅器とを備え、
前記レーザ光発生部により発生された前記第１及び前記第２信号光とが、前記光増幅器により増幅されてそれぞれ出力されるように構成したことを特徴とするレーザ装置。
【請求項５】
請求項４に記載のレーザ装置と、
前記レーザ装置から出射された赤外〜可視領域の光を紫外領域の光に変換する波長変換部とを備え、
前記レーザ装置から出射された光が前記波長変換部により紫外光に変換されて出力されるように構成したことを特徴とする光源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、入力された信号光を励起光に応じて増幅して出力する光増幅器、レーザ装置、及び光源装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスに微細構造を形成する露光装置、微細構造を観察するレーザ顕微鏡、眼科治療に用いる医療装置等の分野において紫外光の利用が促進されている。これらの装置に用いられる紫外光出力の光源装置として、ＫｒＦエキシマレーザ、ＡｒＦエキシマレーザ、Ｆ２レーザ等のガスレーザが従来から用いられてきた。近年では、半導体レーザ等のレーザ光発生部により発生された赤外〜可視領域のレーザ光を、光ファイバアンプ等の光増幅器により増幅し、これを波長変換光学系により波長変換して紫外光を出力する全固体型の光源装置が開発され実用化が進んでいる（例えば、特許文献１を参照）。
【０００３】
上記のような光源装置では、紫外光を効率よく発生させるために、レーザ装置に複数の光ファイバアンプより構成される光増幅器を利用している。図３を用いて、従来の光増幅器１２０を備えたレーザ装置１１０について説明する。このレーザ装置１１０は、信号光となる基本波レーザ光を発生するレーザ光発生部１１１と、励起光を発生する励起用光源部１２１と、励起用光源部１２１からの励起光を分岐するための光ファイバカプラ１２９と、信号光の増幅媒体である光増幅用ファイバ（ＥＤＦ）１２５，１２６と、信号光と励起光とを合波してこの合波した光をＥＤＦに入射させるためのＷＤＭカプラ１２３，１２４とを有して構成され、これらはシングルモード光ファイバ等により接続されている。
【０００４】
このレーザ装置１１０において、励起用光源部１２１から出力された励起光は光ファイバカプラ１２９によって２つに分岐されてＷＤＭカプラ１２３，１２４にそれぞれ入力される。一方、レーザ光発生部１１１から出力された信号光は図示しないカプラ等により２つに分けられ、各々の信号光はＷＤＭカプラ１２３，１２４を通じて励起光と合波された上で光増幅用ファイバ１２５，１２６に入力される。光増幅用ファイバ１２５，１２６において誘導放出によって光増幅された信号光は波長変換光学系（図示しない）に入力され、この波長変換光学系はレーザ装置１１０（光増幅器１２０）から出力される１５４７ｎｍの基本波レーザ光の波長変換を行い、その８倍波である波長１９３ｎｍのレーザ光を放出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−２２７１７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記従来のレーザ装置１１０において用いられている光増幅用ファイバ１２５，１２６等はシングルモード光ファイバであり、直交する２つの偏波面を持つモードを有しているが、外力の印加（捻れ、曲げ）等により偏波面が変動するおそれがあった。そのため、近年では偏波保持型の光ファイバが提案されており、光増幅器を偏波保持化（ＰＭ化）することにより偏波面が変わるのを抑止している。
【０００７】
図４に、このような偏波保持型の光増幅器（「ＰＭ−ＥＤＦＡ」とも称される）２２０を備えたレーザ装置２１０の概略構成を示している。この構成において、光増幅器２２０は、上述の光増幅器１２０で用いたシングルモードの素子（ＷＤＭカプラ１２３，１２４、ＥＤＦ１２５，１２６等）を偏波保持型の素子（ＰＭ−ＷＤＭカプラ２２３，２２４、ＰＭ−ＥＤＦ２２５，２２６等）に切り替えて構成したものである。このような光増幅器２２０では、信号光と励起光とを合波してこの合波を光増幅用ファイバ（ＰＭ−ＥＤＦ）２２５，２２６に入射させるために、例えば２本の光ファイバを融着延伸して形成される偏波保持型のＷＤＭカプラ（ＰＭ−ＷＤＭカプラ）２２３，２２４が必要になるが、このＷＤＭカプラ２２３，２２４では入射した励起光のうちの一方の偏波成分の光のみしか利用できないため、入射した励起光の半分程度しか信号光と合波することができない（励起光のうちの他方の偏波成分の光は捨て光となる）。したがって、この構成では信号光と励起光とを効率良く合波できず、偏波面を保持しながら高出力の基本波レーザ光を生成することができないという課題があった。
【０００８】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、偏波状態を保持しながら信号光を効率良く光増幅して、高出力の基本波レーザ光を生成することが可能な構成の光増幅器、レーザ装置、及び光源装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明を例示する第１の態様に従えば、入力される第１及び第２信号光の各々を、偏波状態を保持しつつ励起光に応じて増幅して出力する光増幅器であって、励起光を発生させる励起用光源と、第１信号光と励起光とを入力し、第１信号光と励起光の一方の偏波成分の光とを合波して、第１信号光の偏波状態を保持しつつ該合波した光と励起光の他方の偏波成分の光とを出力する第１光合波器と、第２信号光と第１光合波器からの他方の偏波成分の光とを入力して合波し、第２信号光の偏波状態を保持しつつ該合波した光を出力する第２光合波器と、第１光合波器から導入される合波した光に基づいて、偏波状態を保持しつつ第１信号光を増幅して出力する第１偏波保持光増幅媒体と、第２光合波器から導入される合波した光に基づいて、偏波状態を保持しつつ第２信号光を増幅して出力する第２偏波保持光増幅媒体とを備えたことを特徴とする光増幅器が提供される。なお、前記光合波器は、２本の光ファイバを溶融延伸して構成される溶融型の偏波保持ＷＤＭカプラを含むことが好ましい。また、偏波保持光増幅媒体が、希土類元素が添加された偏波保持光ファイバである構成も好ましい態様である。
【００１０】
本発明を例示する第２の態様に従えば、単一波長のパルス光である第１及び第２信号光をそれぞれ発生するレーザ光発生部と、上記いずれかの光増幅器とを備え、レーザ光発生部により発生された第１及び第２信号光とが、光増幅器により増幅されてそれぞれ出力されるように構成したことを特徴とするレーザ装置が提供される。
【００１１】
本発明を例示する第３の態様に従えば、上記構成のレーザ装置と、レーザ装置から出射された赤外〜可視領域の光を紫外領域の光に変換する波長変換部とを備え、レーザ装置から出射された光が波長変換部により紫外光に変換されて出力されるように構成したことを特徴とする光源装置が提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、偏波面を保持しながら、励起光を有効利用して信号光の増幅を効率良く行うことができ、ひいてはレーザの高出力化を図ることが可能な構成の光増幅器、レーザ装置及び光源装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の適用例として示す光源装置の概要構成図である。
【図２】偏波保持光ファイバの一例を示す断面図である。
【図３】従来の方式による光増幅器を備えたレーザ装置の概要構成図である。
【図４】従来の方式による偏波保持型の光増幅器を備えたレーザ装置の概略構成図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照しながら説明する。本発明を適用した光源装置の概要構成を図１に示す。
【００１５】
光源装置１は、大別的には、赤外〜可視領域の基本波レーザ光を出射するレーザ装置１０と、レーザ装置１０から出射された基本波レーザ光を紫外光に変換する波長変換部４０とを備え、出力端から紫外光が出力されるように構成される。
【００１６】
ここで、レーザ装置１０及び波長変換部４０の具体的な構成は、光源装置１の用途及び機能に応じて適宜な構成が用いられる。そこで、本実施形態では、マスク（レクチルとも称される）に形成されたパターンを半導体ウェハ等の基板に転写する露光装置に用いられる光源装置を例として、各部の構成について説明する。
【００１７】
レーザ装置１０は、赤外〜可視領域における単一波長（例えばλ＝１．５４７［μｍ］）のパルス光（種光）を発生するレーザ光発生部１１と、レーザ光発生部１１により発生されたパルス光を増幅して出力する光増幅器２０とを備えて構成される。
【００１８】
レーザ光発生部１１及び光増幅器２０は、レーザ装置の用途・機能に応じて適宜な発振波長、発振形態、増幅率のものが用いられる。露光装置のレーザ装置では、レーザ光発生部１１として、例えば、ＩｎＧａＡｓＰの分布帰還型半導体レーザ（ＤＦＢ半導体レーザ）が用いられる。
【００１９】
光増幅器２０は、光カプラ等によって分岐された光ファイバ１２，１３を介してレーザ光発生部１１に接続されている。光増幅器２０は、励起光（ポンプ光）を発生する励起用光源部２１と、レーザ光発生部１１からの信号光と励起用光源部２１からの励起光とを合波するための偏波保持型のＷＤＭカプラ（「ＰＭ−ＷＤＭカプラ」とも称する）２３，２４と、励起光のエネルギを信号光に移動させ光増幅させる偏波保持型の光増幅用ファイバ（「ＰＭ−ＥＤＦ」とも称する）２５，２６と、光増幅用ファイバ２５，２６から出射された光を平行光に変換するコリメータ２７，２８とを備えて構成されており、これらがシングルモード光ファイバ（「ＳＭＦ」とも称する）３１及び偏波保持光ファイバ（「ＰＭＦ」とも称する）３２，３３等を介して接続されている。
【００２０】
励起用光源部２１は、例えば半導体レーザ等を用いて構成されており、所定波長域（例えばλ＝１．４８０［μｍ］）の励起光Ｌｐをシングルモードで発振し、かかるシングルモードの励起光をＳＭＦ３１に入力する。ＳＭＦ３１の出力端はコネクタ２２を介してＰＭＦ３２の入力端に接続されている。
【００２１】
偏波保持光ファイバ（ＰＭＦ）３２，３３の断面図を図２に示しており、本実施形態ではＰＡＮＤＡ型ファイバを例示している。この偏波保持光ファイバ３２，３３は、偏波保持機能を有するシングルモード光ファイバであり、中心のコア３２ａ（３３ａ）と、コアの両側に配置された断面円形状の一対の応力付与部３２ｂ（３３ｂ）と、これらを囲むクラッド３２ｃ（３３ｃ）とを備えて構成される。偏波保持光ファイバ３２，３３は、互いに直交する２つの偏波面をそれぞれ規定するｓｌｏｗ軸及びｆａｓｔ軸を有しており、ｓｌｏｗ軸方向に偏波する光とｆａｓｔ軸方向に偏波する光をその偏波面を保持しつつ伝播する。
【００２２】
偏波保持型のＷＤＭカプラ２３，２４は、例えば２本のＰＡＮＤＡファイバの偏波軸をあわせて並列し、加熱・延伸することにより形成された溶融型の光合波器である。第１ＷＤＭカプラ２３において、入力ポートＡにはレーザ光発生部１１から分岐された一方の信号光が入力され、入力ポートＢには偏波保持光ファイバ３２を伝播した励起光が入力される。
【００２３】
このとき、第１ＷＤＭカプラ２３では、入力される光の偏波特性の違いによって光を合波する。入力ポートＢから入力された励起光Ｌｐのうち一方の偏波成分の光（ｓｌｏｗ軸方向に偏波する光）については、入力ポートＡから入力された信号光Ｌｓ１と合波して出力ポートＣから第１光増幅用ファイバ２５へ出力する。一方、入力ポートＢから入力された励起光Ｌｐのうち他方の偏波成分の光（ｆａｓｔ軸方向に偏波する光）については、入力ポートＡから入力された信号光Ｌｓ１とは合波されず、そのまま出力ポートＤから出力される。ここで従来においては、第１ＷＤＭカプラ２３で信号光と合波されなかった励起光のみを出力する出力ポート（ポートＤ）については無反射終端処理等がなされて、所謂、捨て光として処理されていた。そのため、「発明が解決しようとする課題」においても述べたように、励起光のうちの半分程度しか信号光と合波できず、信号光を効率良く増幅することができないという問題があった。
【００２４】
そこで、このような不具合を是正するために本実施形態においては、第１ＷＤＭカプラ２３の出力ポートＤを、偏波保持光ファイバ３３を介して第２ＷＤＭカプラ２４の入力ポートに繋いで、出力ポートＤから出力される他方の偏波成分の光（ｆａｓｔ軸方向に偏波する光）を第２ＷＤＭカプラ２４においてレーザ光発生部１１から分岐されたもう一方の信号光Ｌｓ２と合波させて、第２光増幅用ファイバ２６に出力する構成としている。
【００２５】
これにより、レーザ光発生部１１から出力された第１の信号光Ｌｓ１は第１ＷＤＭカプラ２３によってｓｌｏｗ軸の偏波成分を持つ励起光と合波され、第１光増幅用ファイバ２５へ入射される。また、レーザ光発生部１１から出力された第２の信号光Ｌｓ２は第２ＷＤＭカプラ２４によってｆａｓｔ軸の偏波成分を持つ励起光と合波され、第２光増幅用ファイバ２６へ入射される。したがって、励起用光源部２１から出力された励起光を２つのＷＤＭカプラ２３，２４により無駄なく信号光と合波させることができるため、励起用光源部２１から出力される励起光を効率良く利用することができる（励起光のパワーを必要以上に高くしなくてもよい）。
【００２６】
光増幅用ファイバ２５，２６は、ＰＡＮＤＡ型もしくは楕円クラッド型の偏波保持光ファイバのコア部にエルビウムを添加した光増幅媒体（ＰＭ−ＥＤＦ）であり、伝播する光（ｓｌｏｗ軸方向もしくはｆａｓｔ軸方向に偏波した光）の偏波状態を保持する偏波保持機能と光増幅機能とを兼ね備えている。
【００２７】
ＷＤＭカプラ２３，２４を介して励起光が光増幅用ファイバ２５，２６に入射すると、コア部に添加されたエルビウム（Ｅｒ）イオンが励起され、この励起状態にあるＥｒイオンに蓄えられたエネルギは、ＷＤＭカプラ２３，２４を介して波長λの信号光が入射されると、誘導放出によって同じ波長（λ）の光に転化され光増幅作用を生じる。
【００２８】
光増幅用ファイバ２５，２６において誘導放出により光増幅された信号光はコリメータ２７，２８を介してそれぞれ平行光であるレーザ光Ｌｒ１，Ｌｒ２として波長変換部４０へ出力される。
【００２９】
このように、光増幅部２０おいては、光結合器（ＷＤＭカプラ）における励起光の損失を低減して、レーザ光発生部１１からの信号光を効率良く増幅することができるため、高いパワー（高ピークパワー）の基本波レーザ光を出力することができる。
【００３０】
波長変換部４０は、レーザ光発生部１１から出射され光増幅器２０により増幅された基本波レーザ光Ｌｒを、所定波長の紫外光に波長変換する。レーザ装置１においては、レーザ装置１０から出射された波長λ＝１．５４７［μｍ］の基本波レーザ光を、複数の波長変換光学素子によって順次波長変換し、最終的に基本波の８倍波（第８次高調波）でＡｒＦエキシマレーザと同一波長である波長λ＝１９３［μｍ］の紫外光を出力する。
【００３１】
このように、赤外領域（あるいは可視領域）の基本波レーザ光を紫外光に波長変換する波長変換部４０の構成（波長変換光学素子の種別や組み合わせ）には、種々の公知の形態がある。本実施形態では、波長変換部の一例として、レーザ装置１０において、１つのレーザ光源（レーザ光発生部）１１から出射された基本波レーザ光を２つに分岐して各々を光増幅器２０により増幅し、増幅された２つの基本波レーザ光Ｌｒ（Ｌｒ１，Ｌｒ２）を波長変換部４０に入射させて、基本波、２倍波（λ＝７７３［ｎｍ］）、３倍波（λ＝５１５［ｎｍ］）及び５倍波（λ＝３０９［ｎｍ］）を生成し、これらの和周波発生により７倍波（λ＝２２１ｎｍ［ｎｍ］）、８倍波（λ＝１９３「ｎｍ」）を発生される構成例を図１に示している。
【００３２】
まず、第２の基本波レーザ光Ｌｒ２は、レンズ５５により波長変換光学素子４４に集光入射され、第２高調波発生（ＳＨＧ）により周波数が基本波（ω）の２倍、波長λが半分の２倍波を発生させる。波長変換光学素子４４としては、例えば、ＰＰＬＮ結晶、ＰＰＬＴ結晶、ＰＰＫＴＰ結晶、ＬＢＯ結晶等が用いられる。
【００３３】
波長変換光学素子４４から射出した基本波と２倍波は、ダイクロイックミラー６１に入射され、基本波は透過し、２倍波は反射される。ダイクロイックミラー６１を透過した基本波は、レンズ５６を通ってミラー６２で反射され、ダイクロイックミラー６４に入射する。ダイクロイックミラー６１で反射された２倍波は、ミラー６３で反射されレンズ５７を通った後、ダイクロイックミラー６４で反射され、分岐されていた基本波とほぼ同軸上に合成されてダイクロイックミラー６５に入射される。なお、第２の基本波レーザＬｒ２の光路において、ダイクロイックミラー６１により基本波と２倍波を分岐しているが、このようにすることで波長変換効率及びビームの品質を向上することができる。
【００３４】
一方、第１の基本波レーザ光Ｌｒ１は、レンズ５１により波長変換光学素子４１に集光入射され、第２高調波発生により２倍波を発生させる。波長変換光学素子４１から射出した基本波と２倍波は、レンズ５２により波長変換光学素子４２に集光入射される。波長変換光学素子４２では、基本波と２倍波による和周波発生（ω＋２ω）が行われて、３倍波（３ω）が発生される。
【００３５】
更に、波長変換光学素子４２から射出した２倍波及び３倍波は、レンズ５３により波長変換光学素子４３に集光入射され、和周波発生（２ω＋３ω）により５倍波（５ω）を発生させる。
【００３６】
これらの波長変換光学素子４１，４２，４３は、例えば、２倍波発生用の波長変換光学素子４１として、ＰＰＬＮ結晶、ＰＰＬＴ結晶、ＰＰＫＴＰ結晶、ＬＢＯ結晶等、３倍波発生用の波長変換光学素子４２として、ＬＢＯ結晶、ＰＰＬＮ結晶、ＰＰＬＴ結晶、ＰＰＫＴＰ結晶等、５倍波発生用の波長変換光学素子４３として、ＢＢＯ結晶、ＬＢＯ結晶等が用いられる。
【００３７】
波長変換光学素子４３から射出した５倍波は、レンズ５４を通った後、ダイクロイックミラー６５に入射される。ダイクロイックミラー６５は、基本波、２倍波を透過し、５倍波を反射するように構成されており、波長変換光学素子４３により発生されダイクロイックミラー６５に入射した５倍波と、波長変換光学素子４４から射出されてダイクロイックミラー６５に入射した基本波及び２倍波とがほぼ同軸上に合成される。
【００３８】
このように同軸上に合成した基本波、２倍波及び５倍波を、波長変換光学素子４５に入射させる。ここで、基本波、２倍波、５倍波の各光路には各レンズ５６，５７，５４が設けられており、同軸上に合成された各波長の光が波長変換光学素子４５に集光入射するようになっている。波長変換光学素子４５では、２倍波と５倍波による和周波発生（２ω＋５ω）が行われ７倍波（７ω）が発生される。波長変換光学素子４５からは、この波長変換光学素子４５により発生された７倍波とともに、波長変換光学素子４５を透過した上記各波長の光が出射される。７倍波を発生させる波長変換光学素子４５として、ＣＬＢＯ結晶、ＢＢＯ結晶等が用いられる。
【００３９】
これらの光は、波長変換光学素子４６に入射し、ここで基本波と７倍波が和周波発生（ω＋７ω）により合成され、波長１９３［ｎｍ］の８倍波（８ω）が発生される。８倍波を発生させる波長変換光学結晶４６として、ＣＬＢＯ結晶、ＬＢＯ結晶等が用いられる。なお、波長変換光学素子４６からは、この波長変換光学素子４６により発生された８倍波以外に、波長変換光学素子４６を透過した基本波、２倍波等の他の波長成分の光が出射されるが、波長変換部４０（光源装置１）から８倍波のみを出力させる場合には、ダイクロイックミラーや偏光ビームスプリッタ、プリズムを使用することにより、これらを分離すればよい。
【００４０】
このようにして、レーザ装置１０から出力された波長１．５４７［μｍ］の基本波レーザ光（Ｌｒ１，Ｌｒ２）が波長変換部４０により順次波長変換され、波長変換部４０から波長１９３［ｎｍ］の紫外光Ｌｖが出力される。このとき、光源装置１においては、レーザ光発生部１１からの種光が光増幅器２０によって高ピークパワーのレーザ光に増幅されて波長変換部４０に入射されるため、波長変換部４０において高い波長変換効率を得ることができ、光源装置１から高出力のレーザ光（紫外光）を生成することが可能になる。
【００４１】
以上説明したように、本実施形態の光増幅器２０、レーザ装置１０、及び光源装置１によれば、レーザ光発生部１１からの信号光を、その偏波状態を保持しながら励起光を有効利用して光増幅を効率良く行うことができ、ひいてはレーザの高出力化を図ることが可能になる。
【００４２】
これまで本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこの実施形態に限定されるものではない。例えば、光源装置１からの紫外光Ｌｖの波長は１９３ｎｍに限定されるものではなく、ＫｒＦエキシマレーザやＦ２レーザ等と同様の波長帯域であってもよい。さらに、本発明による光源装置の適用例としては露光装置に限らず、各種の光学式検査装置や、レーザ治療装置など、他の種々の装置においても用いることができる。
【００４３】
また、上述の実施形態においては、光増幅用ファイバを、エルビウムをコア部に添加して構成された偏波保持型のエルビウム添加光ファイバ（ＰＭ−ＥＤＦ）を例示して説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、エルビウム以外の他の希土類元素を添加した偏波保持型の光増幅用ファイバとして構成してもよい。
【符号の説明】
【００４４】
１  光源装置
１０  レーザ装置
１１  レーザ光発生部
２０  光増幅器
２１  励起用光源部
２３  第１ＷＤＭカプラ
２４  第２ＷＤＭカプラ
２５  第１光増幅用ファイバ
２６  第２光増幅用ファイバ
４０  波長変換部
Ｌｓ１  第１信号光
Ｌｓ２  第２信号光
Ｌｐ  励起光
Ｌｒ  基本波レーザ光
【図１】
2011023532.tif 000003
【図２】
2011023532.tif 000004
【図３】
2011023532.tif 000005
【図４】
2011023532.tif 000006