(57)【要約】【課題】低コストでかつ小型の半導体装置及び半導体装置の製造方法を提供すること。【解決手段】半導体装置が、互いの端子面を有さない背面同士が接着剤層を介して接着された第1の半導体素子と第２の半導体素子と、第２の半導体素子の端子面と同一面に設けられた端子部材と、前記端子部材と前記第１の半導体素子の端子面とを接続する導電性ワイヤとを備える。【選択図】図１
2011023407.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いの端子面を有さない背面同士が接着剤層を介して接着された第1の半導体素子と第２の半導体素子と、
前記第２の半導体素子の端子面と同一面に設けられた端子部材と、
前記端子部材と前記第１の半導体素子の端子面とを接続する導電性ワイヤと
を備えることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
粘着性を有するシート上に、第１の半導体素子と接続される端子部材を形成するステップと、
前記端子部材が形成された前記シート上に第２の半導体素子を搭載するステップと、
前記第２の半導体素子上に接着剤層を介して前記第１の半導体素子を搭載するステップと、
前記第１の半導体素子と、前記端子部材とをワイヤを介して接続するステップと、
前記第１、第２の半導体素子、端子部材、ワイヤを含む樹脂層を前記シート上に形成するステップと、
前記シートの粘着性を低下させるステップと、
前記粘着性が低下したシートから前記樹脂層を剥離するステップと
を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記端子部材は、前記粘着シートより弱い粘着力の粘着フィルム上に形成され、前記粘着フィルムの裏面からの加圧により前記粘着シート上に転写することで前記端子部材が前記粘着シート上に形成されることを特徴とする請求項２記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記端子部材の形状に対応する穴部を有する部材にペースト状の金属を流入させ、前記流入した金属を前記シートに印刷することで前記端子部材が前記シート上に形成されることを特徴とする請求項２記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記端子部材の形状に対応する穴部を有するマスク部材を前記シート上に被せ、スパッタリングによって前記端子部材が前記シート上に形成されることを特徴とする請求項２記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置及び半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、粘着シート上に複数の半導体チップを平面的に配置し、樹脂でコーティングした後、複数の半導体チップに対して電極を一括形成して半導体部品を製造する技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。
複数の半導体チップに対して電極を一括形成することにより低コストで半導体部品が製造できる。
ところで近年、携帯端末やデジタル家電においてＳｉＰ（System in Package）と呼ばれる高機能でかつ小型の半導体装置の使用が広がっている。
ＳｉＰの半導体装置を上記した従来技術を用いて製造する場合、半導体素子が平面的に配置されるため、半導体装置の小型化が困難である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−３０８１１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、かかる従来の問題を解消すべくなされたもので、低コストでかつ小型の半導体装置及び半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の目的を達成するために本発明の一態様にかかる半導体装置は、互いの端子面を有さない背面同士が接着剤層を介して接着された第1の半導体素子と第２の半導体素子と、前記第２の半導体素子の端子面と同一面に設けられた端子部材と、前記端子部材と前記第１の半導体素子の端子面とを接続する導電性ワイヤとを備える。
【０００６】
本発明の一態様にかかる半導体装置の製造方法は、粘着性を有するシート上に、第１の半導体素子と接続される端子部材を形成するステップと、前記端子部材が形成された前記シート上に第２の半導体素子を搭載するステップと、前記第２の半導体素子上に接着剤層を介して前記第１の半導体素子を搭載するステップと、前記第１の半導体素子と、前記端子部材とをワイヤを介して接続するステップと、前記第１、第２の半導体素子、端子部材、ワイヤを含む樹脂層を前記シート上に形成するステップと、前記シートの粘着性を低下させるステップと、前記粘着性が低下したシートから前記樹脂層を剥離するステップと
を備える。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、低コストでかつ小型の半導体装置及び半導体装置の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一つの実施の形態の半導体装置１を示す断面図。
【図２】半導体装置１の製造プロセスを順に示す断面図。
【図３】半導体装置１の製造プロセスを順に示す断面図。
【図４】半導体装置１の製造プロセスを順に示す断面図。
【図５】半導体装置１の製造プロセスを順に示す断面図。
【図６】半導体装置１の製造プロセスを順に示す断面図。
【図７】半導体装置１の製造プロセスを順に示す断面図。
【図８】半導体装置１の製造プロセスを順に示す断面図。
【図９】半導体装置１の製造プロセスを順に示す断面図。
【図１０】半導体装置１の製造プロセスを順に示す断面図。
【図１１】半導体装置１の製造プロセスを順に示す断面図。
【図１２】半導体装置１の製造プロセスを順に示す断面図。
【図１３】半導体装置１の製造プロセスを順に示す断面図。
【図１４】半導体装置１の製造プロセスを順に示す断面図。
【図１５】半導体装置１の製造プロセスを順に示す断面図。
【図１６】半導体装置１の製造プロセスを順に示す断面図。
【図１７】半導体装置１の製造プロセスを順に示す断面図。
【図１８】変更例１にかかる再配線用端子１０１形成のプロセスを順に示す断面図。
【図１９】変更例１にかかる再配線用端子１０１形成のプロセスを順に示す断面図。
【図２０】変更例１にかかる再配線用端子１０１形成のプロセスを順に示す断面図。
【図２１】変更例１にかかる再配線用端子１０１形成のプロセスを順に示す断面図。
【図２２】変更例３にかかる再配線用端子１０１形成のプロセスを順に示す断面図。
【図２３】変更例３にかかる再配線用端子１０１形成のプロセスを順に示す断面図。
【図２４】変更例３にかかる再配線用端子１０１形成のプロセスを順に示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
（第１の実施の形態）
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づき説明する。図１は本発明の第１の実施の形態にかかる半導体装置１を示す断面図である。
図１に示すように半導体装置１は、再配線用端子１０１、半導体チップ１０２、チップ部品１０３、半導体チップ１０４、素子接着剤層１０５、ワイヤ１０６、封止樹脂１０７、絶縁膜１０８、配線１０９、保護膜１１０、ＵＢＭ（Under Bump Metal）膜１１１及びはんだバンプ１１２を備える。
【００１０】
再配線用端子１０１は、ワイヤ１０６を介して半導体チップ１０４と接続される端子部材である。再配線用端子１０１は、例えば銅、銀、金などの導体により形成され、さらに表面に銀メッキ、ニッケルと金の多層メッキ、ニッケルとパラジウムと金の多層メッキの少なくともいずれかが施される。この結果、再配線用端子１０１とワイヤ１０６のボンディングが可能となる。
【００１１】
半導体チップ１０２は、第２の半導体素子であり、例えば演算処理部としての機能を備える。半導体チップ１０２は、端子面及びこの端子面と側面を介して接続される背面を備え、略直方体状に形成された電子素子である。「端子面」は、電気信号が入出力される面を指し、図示はしない電極などが配置される。半導体チップ１０２は、端子面が図１における下方向に向けられて配置される。
【００１２】
チップ部品１０３は、電極を備える電子素子であり、例えばコンデンサや抵抗である。
半導体チップ１０４は、第１の半導体素子であり、例えばメモリとしての機能を備える。半導体チップ１０４は、半導体チップ１０２と同様に端子面及び背面を備える。半導体チップ１０４は、端子面が図１における上方向に向けられ、背面が半導体チップ１０２の背面に対面するように配置される。半導体チップ１０４の端子面は、ワイヤ１０６によって、再配線用端子１０１に接続される。
【００１３】
素子接着剤層１０５は、半導体チップ１０２及び半導体チップ１０４を接着するための接着剤により構成され、例えば銀ペーストである。
封止樹脂１０７は、再配線用端子１０１、半導体チップ１０２、チップ部品１０３、半導体チップ１０４、素子接着剤層１０５及びワイヤ１０６を封止するための部材であり、例えば、石英の微粉末などを充填剤とした熱硬化性樹脂である。
封止樹脂１０７の熱硬化によって、再配線用端子１０１、半導体チップ１０２、チップ部品１０３、半導体チップ１０４、素子接着剤層１０５及びワイヤ１０６をまとめて一つの部材として扱うことができる。封止樹脂１０７及びこの封止樹脂１０７によって封止された再配線用端子１０１、半導体チップ１０２、チップ部品１０３、半導体チップ１０４、素子接着剤層１０５及びワイヤ１０６を擬似ウェーハ１００と称す。
【００１４】
擬似ウェーハ１００は、既存の半導体製造装置のウェーハプロセスで処理可能となるように、両端をカットされる。要するに、擬似ウェーハ１００は、既存のウェーハプロセスで処理可能なサイズ、すなわち、既存の半導体ウェーハと対応するサイズである。
擬似ウェーハ１００の高さ方向の厚みはワイヤ１０６が隠れる程度が好ましいが、封止樹脂１０７の硬化後の反りや強度、ウェーハプロセスで処理可能な厚みなどを考慮して適宜変更が可能である。
擬似ウェーハ１００において、半導体チップ１０２の端子面、チップ部品１０３の端子面及び再配線用端子１０１の１つの面が同一平面上に露出する。これら半導体チップ１０２の端子面、チップ部品１０３の端子面及び再配線用端子１０１の１つの面が露出する擬似ウェーハ１００の面上には、ウェーハプロセスの過程で絶縁膜１０８、配線１０９、保護膜１１０、ＵＢＭ膜１１１及びはんだバンプ１１２が順に形成される。
【００１５】
絶縁膜１０８は、例えば、半導体チップ１０４及びチップ部品１０３間のショートを防止するための部材である。配線１０９は、例えば、半導体チップ１０２及びチップ部品１０３間の電気的接続を行うための部材である。保護膜１１０は、配線１０９のショートなどを防止するための部材である。ＵＢＭ膜１１１は、はんだバンプ１１２を形成するための土台として機能する。
はんだバンプ１１２は、半導体装置１が搭載される図示しないプリント基板との接合部であり、はんだバンプ１１２を介して、半導体チップ１０２、１０４、チップ部品１０３及びプリント基板との間で電気信号の送受信が行われる。
はんだバンプ１１２は、ＵＢＭ膜１１１上に、メッキを付けた後、はんだを供給し、このはんだを加熱して溶解させることによって形成される。はんだバンプ１１２は、ＵＢＭ膜１１１上に、はんだペーストを印刷することでも形成可能である。すなわち、印刷されたはんだペーストは、はんだバンプ１１２の元となる。
また、ＵＢＭ膜１１１間のピッチが０.３ｍｍ以上の場合、はんだバンプ１１２に替えてはんだボール（図示せず）をＵＢＭ膜１１１上に取り付けることもできる。
はんだボールをＵＢＭ膜１１１上に取り付ける場合、ＵＢＭ膜１１１上に酸化物を溶解するためのフラックスを塗布したのち、はんだボールを搭載する。そして、リフローすることではんだボールが溶解し、はんだボールとＵＢＭ膜１１１が接合する。
【００１６】
次に、図２〜図１７を参照して、上記した半導体装置１の製造プロセスを順に説明する。図２〜図１７は、半導体装置１の製造プロセスを順に示す断面図である。
図２に示すように、半導体装置１の製造には、粘着シート１２０が張られた支持基板１３０が用いられる。
支持基板１３０は、擬似ウェーハ１００を形成する土台である。支持基板１３０は、平坦性、強度、寸法安定性が良好なものであるものが好ましく、例えば、ガラス板や石英板が好ましい。また、支持基板１３０は、擬似ウェーハ１００を既存のウェーハプロセスで処理可能なように円状であることが好ましい。既存のウェーハプロセスが矩形状のウェーハを処理可能ならば、支持基板１３０も矩形状でよい。すなわち、支持基板１３０の形状は、既存のウェーハプロセスに対応させて種々の変形が可能である。
支持基板１３０の外形寸法は、擬似ウェーハ１００を既存のウェーハサイズに合わせてカットすることを考慮して、ウェーハプロセスで処理される通常のウェーハサイズよりも数ｍｍ程度大きくしておくことが望ましい。
【００１７】
粘着シート１２０は、UV（Ultraviolet：紫外線）の照射によって粘着力が低下する材料（例えば、アクリル系）を用いる。なお、粘着シート１２０には、熱や光の照射によって粘着力が低下する材料を用いてもよい。
粘着シート１２０の弾性率及びまたは厚さは、ワイヤ１０６がボンディング可能であることが望ましい。粘着シート１２０は、図示しないローラ装置に、同様に図示しない剥離用フィルムを介して取り付けられ、このローラ装置によって支持基板１３０に貼り付けられる。
【００１８】
次に、図３に示すように、転写用シート１４０を粘着シート１２０に対向するよう配置する。転写用シート１４０は、ベースフィルム１４０ａ及びこのベースフィルム１４０ａに張り付けられた粘着剤フィルム１４０ｂを備える。
粘着剤フィルム１４０ｂは、粘着シート１２０よりも弱い粘着性を備える。粘着剤フィルム１４０ｂは、のり残りなどせず綺麗に剥離可能な材料で形成されることが望ましい。粘着剤フィルム１４０ｂには、あらかじめ再配線用端子１０１を形成しておくことが望ましい。例えば、粘着剤フィルム１４０ｂに、銅拍を張り、この銅拍にメッキ、マスクを用いた選択的エッチングを施して再配線用端子１０１を形成する。
再配線用端子１０１は、粘着剤フィルム１４０ｂの粘着力によって保持される。なお、粘着剤フィルム１４０ｂは、再配線用端子１０１が形成される位置にのみ粘着性を備えればよく、再配線用端子１０１形成の過程において、再配線用端子１０１が形成される位置以外の粘着性が失われても問題ない。
【００１９】
次に、図４、５に示すように、圧着ヘッド１５０によって、転写用シート１４０を粘着シート１２０に押し付ける。転写用シート１４０を粘着シート１２０に押し付けた後、圧着ヘッド１５０及び転写用シート１４０を粘着シート１２０から離すことによって、粘着シート１２０よりも粘着力が弱い粘着剤フィルム１４０ｂから再配線用端子１０１が剥離し、再配線用端子１０１が粘着シート１２０上に転写される。
なお、後述の工程において、半導体チップ１０２、チップ部品１０３を粘着シート１２０上に載置するが、再配線用端子１０１に対する位置精度を上げるため、前述の転写工程において、アライメントマークになる端子を再配線用端子と一緒に粘着シート１２０上に転写するのがよい。転写されたアライメントマークを目標に半導体チップ１０２、チップ部品１０３を載置すれば、良好な相対位置精度を得ることができる。
【００２０】
次に、図６に示すように、再配線用端子１０１が転写された粘着シート１２０に対して、半導体チップ１０２及びチップ部品１０３を載置する。半導体チップ１０２及びチップ部品１０３は、粘着シート１２０の粘着力によって固定される。半導体チップ１０２及びチップ部品１０３は、端子面が粘着シート１２０に対向（接する）するように配置される。
さらに、図７に示すように、粘着シート１２０に載置された半導体チップ１０２上に、素子接着剤層１０５を介して半導体チップ１０４を載置する。
なお、半導体チップ１０２、チップ部品１０３は粘着シート１２０上に複数配置することができる。また、チップ部品１０３は、粘着シート１２０上に配置されない場合もある。
また、半導体チップ１０４と半導体チップ１０２の配置関係は、逆にすることもできる。すなわち、半導体チップ１０４を粘着シート１２０上に配置し、半導体チップ１０２を半導体チップ１０４上に積載するようにしてもよい。その場合は、半導体チップ１０４の端子面が下方向に、半導体チップ１０２の端子面が上方向に配置され、それぞれのチップの背面が対面するようになる。
【００２１】
次に、図８に示すように、半導体チップ１０４と再配線用端子１０１をワイヤ１０６を用いて接続する。次に、図９に示すように封止樹脂１０７を用いて再配線用端子１０１、半導体チップ１０２、チップ部品１０３、半導体チップ１０４、素子接着剤層１０５及びワイヤ１０６を封止する。具体的には、図示しない金型とプレス機を用いる。まず支持基板１３０を加熱した金型にセットし、次に封止樹脂１０７を供給する。そして、プレス機で閉じて成形を行う。このとき、封止樹脂１０７は、金型内で受熱し、溶解し、流動性を帯びて支持基板１３０上に充填され、その後硬化する。ここで、封止樹脂１０７の硬化が不十分となる場合がある。この場合、金型から不十分に硬化した状態の封止樹脂１０７を取り出し、さらに過熱するポストキュアを行うことにより、封止樹脂１０７を十分に硬化させるができる。
なお封止樹脂１０７を支持基板１３０に印刷することで再配線用端子１０１、半導体チップ１０２、チップ部品１０３、半導体チップ１０４、素子接着剤層１０５及びワイヤ１０６を封止することもできる。この場合、支持基板１３０の上にマスクを掛けマスクの上から液状の封止樹脂１０７を滴下する。次に、マスク上面をスクイージングし、所定の厚さに仕上げる。スクイージング終了後に、マスクを外し、支持基板１３０ごとオーブンに入れ、加熱することで封止樹脂１０７を硬化させる。
【００２２】
次に、図１０に示すように、支持基板１３０の裏面１３０ａ方向より紫外線を照射して、粘着シート１２０の粘着力を弱くして、粘着シート１２０から擬似ウェーハ１００を剥離する。
次に、図１１〜図１５に示すように、粘着シート１２０から剥離した擬似ウェーハ１００に絶縁膜１０８、配線１０９、保護膜１１０、ＵＢＭ膜１１１及びはんだバンプ１１２を順に形成していく。
【００２３】
次に、図１６に示すように、はんだバンプ１１２が形成された擬似ウェーハ１００の下面（はんだバンプ１１２が形成された面と逆の面）に、ダイシングテープ１６０を張る（ここで、図１６では、擬似ウェーハ１００を見やすくするためにダイシングテープ１６０についてはハッチングを省略する）。ダイシングテープ１６０は、図示をしないチャックテーブルに擬似ウェーハ１００を固定するためのものである。
チャックテーブルは、擬似ウェーハ１００の所定箇所（例えば、図１６中の保護膜１１０などが形成されていない封止樹脂１０７の一部分）を既存の半導体ウェーハと同様のサイズに切断するための台である。チャックテーブルに固定した擬似ウェーハ１００をダイシングブレード１７０を用いて切断する（図１６において、ダイシングブレード１７０もダイシングテープ１６０と同様にハッチングを省略する）。
【００２４】
以上説明した工程により図１７に示すように個別の半導体装置１が得られる。この実施の形態の半導体装置１は、再配線用端子１０１を備えることで、ワイヤ１０６を安定して接続することが可能となる。この結果、半導体チップ１０２及び半導体チップ１０４を積載することが可能となる。
近年、従来の半導体装置の高性能化に伴い、この半導体装置で使用されるメモリ素子のチップサイズは大型化する傾向にある。メモリ素子及びこのメモリ素子に接続される演算素子を平面上に並べて配置した場合、メモリ素子のチップサイズに対応して半導体装置の外形寸法が大きくなる。
この実施の形態の半導体装置１では、半導体チップ１０２及び半導体チップ１０４を積載することで、粘着シート１２０上での搭載面積を狭くでき、半導体装置１の外形寸法が大きくなることを抑制することができる。
また擬似ウェーハ１００に対して一括して配線処理及びバンプ処理が可能となり、低コストで半導体装置１を製造することができる。
さらに、半導体装置１の製造過程において、ダイシングブレード１７０で擬似ウェーハ１００から半導体装置１を切りだす際に、封止樹脂１０７を切断するので、半導体チップ１０２及び半導体チップ１０４への悪影響（歪みや亀裂の発生など）を抑制できる。
要するに、この実施の形態に係る製造方法によれば、小型化の要求が強い携帯端末用途において、擬似ウェーハ１００を使った半導体ウェーハの一括処理の製造方法のメリット（高密度、高信頼性、ローコスト）を生かしつつ、メモリ混載型のＳｉＰの小型化が可能となる。
【００２５】
また、上記したように、半導体装置１では、半導体チップ１０２と半導体チップ１０４とを素子接着剤層１０５を介して背中合わせに接合することで、半導体チップ１０２と半導体チップ１０４とを背中合わせに接合しない場合に比べて種々の良好な効果が得られる。
（効果例１）
例えば、半導体チップ１０２の端子面が半導体チップ１０４の背面と対向するよう（すなわち、半導体チップ１０２の端子面が図１７中の下側を向くよう）に半導体チップ１０２を配置し、半導体チップ１０２と半導体チップ１０４を接合する場合がある。この場合には、半導体チップ１０２の端子面の所定の領域に、半導体チップ１０４の背面との接合面を設け、この領域に素子接着剤層１０５を形成するが、このとき、素子接着剤層１０５には半導体チップ１０２に形成された接続端子のショート防止のために絶縁性を有する接着材を使用する必要がある。
一方、半導体装置１のように半導体チップ１０２と半導体チップ１０４とを背中合わせに接合する場合には素子接着剤層１０５に銀ペーストのような導電性を有する接着剤を使用できる。銀ペーストを使用した場合、半導体チップ１０２を発生源とする電磁波（ノイズ）を吸収させることができ、電磁波による半導体チップ１０４の誤動作を防止することができる。
（効果例２）
同様に、半導体チップ１０２の端子面と半導体チップ１０４の背面とを対向させて接合する場合、ブリードによって半導体チップ１０２の端子面が汚染され、半導体チップ１０２に形成された接続端子の劣化や導通不良が起きる可能性がある。ブリードとは、素子接着剤層１０５に含まれる溶剤が端子面などに広がりながら染み出す現象である。
半導体チップ１０２と半導体チップ１０４とを背中合わせに接合する場合、ブリードが発生しても接続端子の劣化や導通不良を防止することができる。
（効果例３）
また、半導体チップ１０４の端子面と半導体チップ１０２の背面とを対向させて接合する場合がある。このとき、半導体チップ１０４が半導体チップ１０２より小さい場合、半導体チップ１０４の接続端子と再配線用端子１０１をワイヤ１０６で接続するためには、半導体チップ１０４と半導体チップ１０２の間にスペーサを挿入する必要がある。半導体チップ１０２と半導体チップ１０４とを背中合わせに接合する場合、スペーサを挿入する必要がなくなり、半導体装置１製造のためのコストを抑えることができる。
【００２６】
以上、本発明の一態様に係る半導体装置１及び半導体装置１の製造方法について説明したが、本発明は上記の実施の形態にのみ限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。例えば、粘着シート１２０への再配線用端子１０１の形成方法を適宜変更することができる。
（変更例１）
次に図１８〜図２１を用いて、再配線用端子１０１形成方法の変更例１を説明する。図１８〜図２１は、変更例１にかかる再配線用端子１０１形成のプロセスを順に示す断面図である。
上記第１の実施の形態では、転写によって再配線用端子１０１を支持基板１３０上に形成したが、この変更例１では、凹板２００を用いた印刷によって再配線用端子１０１を形成する。
具体的には、まず、凹板２００の所定の位置に金属ペースト２１０を滴下する。例えば、図１８の金属ペースト２１０を示す破線の位置に滴下する。金属ペースト２１０は、銀、銅、金、アルミの少なくとも１つの金属粉末を主原料とする。
その後、スクイージー２２０によって滴下した金属ペースト２１０をならす。この結果、凹板２００に形成された凹部２００ａに金属ペースト２１０の一部が流入し、再配線用端子部材１０１ａが形成される。凹部２００ａは、再配線用端子部材１０１ａの厚みが１０μｍ〜１００μｍ程度になるような深さであることが望ましい。
【００２７】
次に、図１９に示すように、転写パット２３０の下面を凹板２００の凹部２００ａが形成された面に接触させる。この結果、凹部２００ａに流入した金属ペースト２１０によって形成された再配線用端子部材１０１ａが転写パット２３０と接触する。
次に、転写パット２３０を支持基板１３０上へ移動する。このとき、転写パット２３０には、再配線用端子部材１０１ａが張り付いている。
図２０に示すように再配線用端子部材１０１ａが粘着シート１２０に接触するように転写パット２３０を支持基板１３０に接触させることにより、支持基板１３０上（粘着シート１２０上）に再配線用端子部材１０１ａが印刷される。この印刷方法はパット印刷と呼ばれる。
なお、再配線用端子部材１０１ａは、１回の工程で支持基板１３０上に印刷してもよいし、再配線用端子部材１０１ａの支持基板１３０上での厚みが所定の厚みに達するまで印刷を繰り返し行ってもよい。
また、半導体装置１を複数製造する場合がある。この場合、製造する複数の半導体装置１に対応する複数の支持基板１３０に対して一括して再配線用端子部材１０１ａの印刷を行ってもよく、また、複数の支持基板１３０に対して順次再配線用端子部材１０１ａの印刷を行ってもよい。さらに、所定数の支持基板１３０をグループ分けし、グループ毎に再配線用端子部材１０１ａを印刷してもよい。
【００２８】
次に、再配線用端子部材１０１ａが印刷された支持基板１３０を乾燥または焼成することにより、図２１に示す再配線用端子１０１が形成される。なお、焼成は、粘着シート１２０の耐熱温度を超えない温度で行う。
【００２９】
以上説明したように、この変更例１では、再配線用端子部材１０１ａを印刷することによって再配線用端子１０１を形成することができる。なお、上記したパット印刷以外にも、マスクを使用したスクリーン印刷によって再配線用端子１０１を形成してもよい。さらに、金属ペースト２１０が吐出されるノズルやインクジェットを使用して再配線用端子１０１を形成してもよい。
【００３０】
（変更例２）
上記の第１の実施の形態または変更例１では、転写用シート１４０を用いて粘着シート１２０上に再配線用端子１０１を転写し、または転写パット２３０を用いて再配線用端子部材１０１ａを印刷したが、支持基板１３０そのものを転写用シート１４０または転写パット２３０の代わりにしてもよい。
すなわち、第１の実施の形態で説明した転写用シート１４０に替えて支持基板１３０の粘着シート１２０上に直接、再配線用端子１０１を形成してもよいし、変更例１で説明した凹板２００に対して、転写パット２３０ではなく、支持基板１３０上の粘着シート１２０を接触させるようにしてよい。
この場合、転写用シート１４０や転写パット２３０を使用しなくて済み半導体装置１の製造にかかるコストを抑えることができる。また、支持基板１３０そのものを転写用シート１４０または転写パット２３０の代わりにすることで、再配線用端子１０１を形成するための工程数が少なくなり、半導体装置１を効率良く製造することができる。
【００３１】
（変更例３）
再配線用端子１０１の形成方法はさらなる変更が可能である。次に図２２〜図２４を用いて、再配線用端子１０１形成の変更例３を説明する。図２２〜図２４は、変更例３にかかる再配線用端子１０１形成のプロセスを順に示す断面図である。
この変更例３では、スパッタ装置３００を用いて再配線用端子１０１を形成する。スパッタ装置３００で使用されるターゲット３１０は、例えば、金やアルミである。
まず、再配線用端子１０１を粘着シート１２０上の所定の位置に形成するための開口部３２０ａを備えるマスク３２０を粘着シート１２０上に配置する。
マスク３２０は、粘着シート１２０から容易に剥離できる素材で形成するか、粘着シート１２０から容易に剥離できるような表面処理を施すことが望ましい。
【００３２】
次に、マスク３２０が配置された支持基板１３０を、スパッタ装置３００のステージ電極３３０に載置する。
スパッタ装置３００において、高圧電圧の印加に伴ってイオン化した充填ガスがターゲット３１０に衝突し、この結果ターゲット３１０から金属粒子が飛び出し、金属の薄膜１０１ｂが形成される。具体的には、図２３に示すように、マスク３２０の上に薄膜１０１ｂが形成される。また、開口部３２０ａを通過した金属粒子によって粘着シート１２０上にも薄膜１０１ｂが形成される。
粘着シート１２０上に形成された薄膜１０１ｂが再配線用端子１０１として機能する。アルミ製の再配線用端子１０１を形成する場合、再配線用端子１０１の高さ方向の厚みが約２００ｎｍ以上あれば、ワイヤ１０６の接続に必要なボンディング性を得ることができる。なお、薄膜１０１ｂの厚み、すなわち、再配線用端子１０１の厚みは、スパッタ装置３００の操作により、適宜調整することができる。
【００３３】
薄膜１０１ｂを形成したのち、スパッタ装置３００から支持基板１３０を取り出して粘着シート１２０からマスク３２０を剥離する。この結果、図２４に示すように、粘着シート１２０上には再配線用端子１０１として機能する薄膜１０１ｂのみが残る。
以上説明したように、この変更例３によれば、スパッタ装置３００を用いることにより再配線用端子１０１を形成することができる。
（その他の変更例）
上記変更例３において、再配線用端子１０１の形成のためにマスク３２０を用いたが、粘着シート１２０に張り付けられた図示しない剥離用フィルムをマスク３２０の代用品としてもよい。この場合、剥離用フィルムには、開口部３２０ａに対応する開口を設けておく。そして、粘着シート１２０を支持基板１３０に張り付ける際に、この剥離用フィルムを粘着シート１２０のマスク用フィルムとしてそのまま残しておく。この状態でスパッタ装置３００によるスパッタリングを行うことで、マスク３２０を用いたときと同様に再配線用端子１０１を粘着シート１２０に形成することができる。
保護フィルムをマスク３２０の代わりとすることで、粘着シート１２０へのマスク３２０の貼り付けや剥離する工程を省略でき、再配線用端子１０１を効率良く製造することができる。そして、再配線用端子１０１を効率良く製造することで、結果的に半導体装置１を効率よく製造することができる。また、保護フィルムをマスク３２０の代わりとすることで、マスク３２０にかかるコストを削減することができる。
【符号の説明】
【００３４】
１…半導体装置、１００…擬似ウェーハ、１０１…再配線用端子、１０１ａ…再配線用端子部材、１０１ｂ…薄膜、１０２…半導体チップ、１０３…チップ部品、１０４…半導体チップ、１０５…素子接着剤層、１０６…ワイヤ、１０７…封止樹脂、１０８…絶縁膜、１０９…配線、１１０…保護膜、１１１…ＵＢＭ膜、１１２…はんだバンプ、１２０…粘着シート、１３０…支持基板、１３０ａ…裏面、１４０…転写用シート、１４０ａ…ベースフィルム、１４０ｂ…粘着剤フィルム、１５０…圧着ヘッド、１６０…ダイシングテープ、１７０…ダイシングブレード、２００ａ…凹部、２００…凹板、２１０…金属ペースト、２２０…スクイージー、２３０…転写パット、３００…スパッタ装置、３１０…ターゲット、３２０…マスク、３２０ａ…開口部、３３０…ステージ電極。
【図１】
2011023407.tif 000003
【図２】
2011023407.tif 000004
【図３】
2011023407.tif 000005
【図４】
2011023407.tif 000006
【図５】
2011023407.tif 000007
【図６】
2011023407.tif 000008
【図７】
2011023407.tif 000009
【図８】
2011023407.tif 000010
【図９】
2011023407.tif 000011
【図１０】
2011023407.tif 000012
【図１１】
2011023407.tif 000013
【図１２】
2011023407.tif 000014
【図１３】
2011023407.tif 000015
【図１４】
2011023407.tif 000016
【図１５】
2011023407.tif 000017
【図１６】
2011023407.tif 000018
【図１７】
2011023407.tif 000019
【図１８】
2011023407.tif 000020
【図１９】
2011023407.tif 000021
【図２０】
2011023407.tif 000022
【図２１】
2011023407.tif 000023
【図２２】
2011023407.tif 000024
【図２３】
2011023407.tif 000025
【図２４】
2011023407.tif 000026