(57)【要約】【課題】ウェハの品種によらないで、ウェハ単位でウェハの研削異常を検出する。【解決手段】本発明のウェハ研削装置は、回転軸に取り付けられ、ウェハを研削するホイールと、回転軸を回転させるモーターと、ウェハの研削開始後のモーターのスピンドル電流値を経時的に検出する検出部と、ウェハとホイールとが接触した後、検出部が検出したスピンドル電流値の最初のピーク値を記憶する記憶部と、記憶部が記憶した最初のピーク値と、検出部が検出するスピンドル電流値とを比較し、最初のピーク値を検出した後に検出部が検出したスピンドル電流値が、最初のピーク値を基準として定められた値を超えたか否かを判断する判断部と、判断部によってスピンドル電流値が最初のピーク値を基準として定められた値を超えたと判断されたとき、ウェハの研削状態が異常であることを出力する出力部と、を有する。【選択図】図１
2011189411.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸に取り付けられ、ウェハを研削する研削部と、
前記回転軸を回転させるモーターと、
前記ウェハの研削開始後の前記モーターの電流値を経時的に検出する検出部と、
前記ウェハと前記研削部とが接触した後、前記検出部が検出した前記電流値の最初のピーク値を記憶する記憶部と、
前記記憶部が記憶した前記最初のピーク値と、前記検出部が検出する前記電流値とを比較し、前記最初のピーク値を検出した後に前記検出部が検出した前記電流値が、前記最初のピーク値を基準として定められた値を超えたか否かを判断する判断部と、
前記判断部によって前記電流値が前記最初のピーク値を基準として定められた前記値を超えたと判断されたとき、前記ウェハの研削状態が異常であることを出力する出力部と、
を有するウェハ研削装置。
【請求項２】
前記最初のピーク値を基準として定められた値は、前記最初のピーク値である、請求項１に記載のウェハ研削装置。
【請求項３】
前記最初のピーク値を基準として定められた値は、前記最初のピーク値に対して１倍よりも大きい倍率を乗じた値である、請求項１に記載のウェハ研削装置。
【請求項４】
前記最初のピーク値を基準として定められた値は、前記最初のピーク値に対して所定の値を加算した値である、請求項１に記載のウェハ研削装置。
【請求項５】
前記ウェハと前記研削部とが接触した後、前記ウェハを安定に研削可能な位置に前記研削部が到達するまでの間に検出された前記電流値の最大値を前記最初のピーク値と判断する、請求項１乃至４いずれか１項に記載のウェハ研削装置。
【請求項６】
前記研削部をウェハに対して垂直方向に移動させて前記研削部と前記ウェハとを接触させる移動機構をさらに備え、
前記ウェハと前記研削部とが接触した後、前記ウェハを安定に研削可能な位置に前記研削部が到達するまでの間をｔ（秒）とし、前記研削部の垂直方向への移動速度をＶ（μｍ／秒）としたとき、ｔ＝１００／Ｖで示され、
前記ウェハと前記研削部とが接触した後、ｔ秒間に検出された前記電流値の最大値を前記最初のピーク値と判断する、請求項１乃至５いずれか１項に記載のウェハ研削装置。
【請求項７】
前記研削部を移動させる移動機構をさらに備え、
前記出力部が、前記ウェハの研削状態が異常であることを出力したとき、前記移動機構が前記研削部を前記ウェハから退避させる、請求項１乃至６いずれか１項に記載のウェハ研削装置。
【請求項８】
モーターが回転軸を回転させることにより、前記回転軸に取り付けられた研削部がウェハを研削するステップと、
コンピュータが、前記ウェハの研削開始後の前記モーターの電流値を経時的に検出するステップと、
コンピュータが、前記ウェハと前記研削部とが接触した後、検出した前記電流値の最初のピーク値を取得するステップと、
コンピュータが、取得した前記最初のピーク値と、検出した前記電流値とを比較し、前記最初のピーク値を検出した後に検出した前記電流値が、前記最初のピーク値を基準として定められた値を超えたか否かを判断するステップと、
前記電流値が前記最初のピーク値を基準として定められた前記値を超えたと判断されたとき、コンピュータが、前記ウェハの研削状態が異常であることを出力するステップと、
を含むウェハ研削方法。
【請求項９】
モーターに回転軸を回転させて、前記回転軸に取り付けられた研削部によりウェハを研削させる研削処理と、
前記ウェハの研削開始後の前記モーターの電流値を経時的に検出する検出処理と、
前記ウェハと前記研削部とが接触した後、前記検出処理により検出した前記電流値の最初のピーク値を記憶する記憶処理と、
前記記憶処理により記憶した前記最初のピーク値と、前記検出処理により検出する前記電流値とを比較し、前記最初のピーク値を検出した後に前記検出処理により検出した前記電流値が、前記最初のピーク値を基準として定められた値を超えたか否かを判断する判断処理と、
前記判断処理により前記電流値が前記最初のピーク値を基準として定められた前記値を超えたと判断されたとき、前記ウェハの研削状態が異常であることを出力する出力処理と、
をコンピュータに実行させるためのウェハ研削プログラム。
【請求項１０】
モーターに回転軸を回転させて、前記回転軸に取り付けられたウェハを研削する、ウェハ研削工程を制御するためのウェハ研削制御装置であって、
前記ウェハの研削開始後の前記モーターの電流値を経時的に検出する検出部と、
前記ウェハと前記研削部とが接触した後、検出した前記電流値の最初のピーク値を記憶する記憶部と、
前記記憶部が記憶した前記最初のピーク値と、前記検出部が検出する前記電流値とを比較し、前記最初のピーク値を検出した後に前記検出部が検出した前記電流値が、前記最初のピーク値を基準として定められた値を超えたか否かを判断する判断部と、
前記判断部によって前記電流値が前記最初のピーク値を基準として定められた前記値を超えたと判断されたとき、前記ウェハの研削状態が異常であることを出力する出力部と、
を有するウェハ研削制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハ研削装置、ウェハ研削方法、ウェハ研削プログラム、及び、ウェハ研削制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェハ研削装置としては、例えば特許文献１〜３に記載されたものがある。
【０００３】
特許文献１には、ウェハの表面研削中に取り込んだ研削抵抗値の波形に基づいて、ウェハの加工歪層深さの変化を検出するウェハ研削装置が記載されている。特許文献１では、こうすることで、研削抵抗値の平均的な値を得るようにした従来の表面研削方法よりも、微妙な研削加工状況を把握し、これにより、研削異常の検出にとどまることなく研削加工中のウェハ表面粗さ、ウェハ表面のスクラッチ発生による加工歪層深さの異常や砥石の目詰まり、砥石の摩耗等の広範囲にわたる研削状況を検出することができるとされている。
【０００４】
また、特許文献２のウェハ研削装置では、砥石を電歪素子又は磁歪素子を介して砥石軸に連結し、研削加工中の砥石軸負荷電流値をモニタリングし、前記砥石軸負荷電流値が予め定めた基準値以上に達したとき、砥石軸に連結した電歪素子又は磁歪素子を瞬時に起動させ、１０〜２０μｍだけ砥石軸の反切込方向に砥石軸を上昇させて砥石を退避させるようにしている。特許文献２では、こうすることで、砥石の目詰まり、砥粒の大きな単位での脱落を含む異常な加工状態が発生した場合、ウェハへのダメージを救済することができるとされている。
【０００５】
特許文献３には、研削抵抗のプロファイルとモーター電流またはモーター電力のプロファイルとを使用してその相似度を求めるウェハ研削装置が記載されている。特許文献３では、こうすることにより、研削抵抗またはモーター電流が所定値に達した場合を判定基準とするものに比べて、ワークの形状や研削条件などによらない判定が可能であり、しかも、ドレスのタイミングを適切に判定することができるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平９−２９６３０号公報
【特許文献２】特開２００６−３５４０６号公報
【特許文献３】特開２００８−６２３６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記文献の技術は、ウェハの品種によらないで、ウェハ単位ごとにウェハの研削異常を検出できる手法ではなかった。
【０００８】
特許文献１、２の技術では、あらかじめ閾値や研削プロファイルを取得する必要がある。そのため、ウェハの品種ごとにこれら閾値やプロファイルを取得する必要がある。
【０００９】
一方、特許文献３では、研削プロファイルの相似度をモニターすることで、ウェハの形状などによらないで、研削異常を検出することができる。しかしながら、通常のモーター電流のプロファイルや研削抵抗のプロファイルをあらかじめ取得する必要があるため、少なくとも２枚のウェハを用意する必要があり、ウェハ単位でウェハの研削異常を検出することはできない。
【００１０】
以上のように、上記文献の技術では、ウェハの品種によらないで、ウェハ単位でウェハの研削異常を検出することが困難であった。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明によれば、
回転軸に取り付けられ、ウェハを研削する研削部と、
前記回転軸を回転させるモーターと、
前記ウェハの研削開始後の前記モーターの電流値を経時的に検出する検出部と、
前記ウェハと前記研削部とが接触した後、前記検出部が検出した前記電流値の最初のピーク値を記憶する記憶部と、
前記記憶部が記憶した前記最初のピーク値と、前記検出部が検出する前記電流値とを比較し、前記最初のピーク値を検出した後に前記検出部が検出した前記電流値が、前記最初のピーク値を基準として定められた値を超えたか否かを判断する判断部と、
前記判断部によって前記電流値が前記最初のピーク値を基準として定められた前記値を超えたと判断されたとき、前記ウェハの研削状態が異常であることを出力する出力部と、
を有するウェハ研削装置
が提供される。
【００１２】
また、本発明によれば、
モーターが回転軸を回転させることにより、前記回転軸に取り付けられた研削部がウェハを研削するステップと、
コンピュータが、前記ウェハの研削開始後の前記モーターの電流値を経時的に検出するステップと、
コンピュータが、前記ウェハと前記研削部とが接触した後、検出した前記電流値の最初のピーク値を取得するステップと、
コンピュータが、取得した前記最初のピーク値と、検出した前記電流値とを比較し、前記最初のピーク値を検出した後に検出した前記電流値が、前記最初のピーク値を基準として定められた値を超えたか否かを判断するステップと、
前記電流値が前記最初のピーク値を基準として定められた前記値を超えたと判断されたとき、コンピュータが、前記ウェハの研削状態が異常であることを出力するステップと、
を含むウェハ研削方法
が提供される。
【００１３】
また、本発明によれば、
モーターに回転軸を回転させて、前記回転軸に取り付けられた研削部によりウェハを研削させる研削処理と、
前記ウェハの研削開始後の前記モーターの電流値を経時的に検出する検出処理と、
前記ウェハと前記研削部とが接触した後、前記検出処理により検出した前記電流値の最初のピーク値を記憶する記憶処理と、
前記記憶処理により記憶した前記最初のピーク値と、前記検出処理により検出する前記電流値とを比較し、前記最初のピーク値を検出した後に前記検出処理により検出した前記電流値が、前記最初のピーク値を基準として定められた値を超えたか否かを判断する判断処理と、
前記判断処理により前記電流値が前記最初のピーク値を基準として定められた前記値を超えたと判断されたとき、前記ウェハの研削状態が異常であることを出力する出力処理と、
をコンピュータに実行させるためのウェハ研削プログラム
が提供される。
【００１４】
さらに、本発明によれば、
モーターに回転軸を回転させて、前記回転軸に取り付けられたウェハを研削する、ウェハ研削工程を制御するためのウェハ研削制御装置であって、
前記ウェハの研削開始後の前記モーターの電流値を経時的に検出する検出部と、
前記ウェハと前記研削部とが接触した後、検出した前記電流値の最初のピーク値を記憶する記憶部と、
前記記憶部が記憶した前記最初のピーク値と、前記検出部が検出する前記電流値とを比較し、前記最初のピーク値を検出した後に前記検出部が検出した前記電流値が、前記最初のピーク値を基準として定められた値を超えたか否かを判断する判断部と、
前記判断部によって前記電流値が前記最初のピーク値を基準として定められた前記値を超えたと判断されたとき、前記ウェハの研削状態が異常であることを出力する出力部と、
を有するウェハ研削制御装置
が提供される。
【００１５】
この発明によれば、ウェハの研削開始後のモーターの電流値を経時的に検出し、ウェハと研削部とが接触した後に検出された電流値のうち最初のピーク値を記憶し、その後電流値が最初のピーク値を基準として定められた値を超えたとき、ウェハの研削状態が異常であることを出力する。これにより、事前に基準値を取得することなくウェハ単位でウェハの研削異常を検出することができる。したがって、ウェハの品種によらずウェハの研削異常を検出して対処することが可能になる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、ウェハの品種によらないで、ウェハ単位でウェハの研削異常を検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施の形態に係るウェハ研削装置を示す模式図である。
【図２】実施の形態に係るウェハ研削装置を用いたウェハ研削方法を説明するフローチャートである。
【図３】実施の形態に係るウェハ研削装置を説明する図である。
【図４】実施の形態に係るウェハ研削装置の検出部が検出するスピンドル電流の経時変化の例を示す図である。
【図５】最大高さ粗さ（Ｒｚ）を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１９】
図１は、本実施形態のウェハ研削装置を模式的に示す図である。このウェハ研削装置は、回転軸１２に取り付けられ、ウェハＷを研削するホイール（研削部）１４と、回転軸１２を回転させるモーター１１と、ウェハＷの研削開始後のモーター１１のスピンドル電流値を経時的に検出する検出部１７と、ウェハＷとホイール１４とが接触した後、検出部１７が検出したスピンドル電流値の最初のピーク値を記憶する記憶部１１１と、記憶部１１１が記憶した最初のピーク値と、検出部１７が検出するスピンドル電流値とを比較し、最初のピーク値を検出した後に検出部１７が検出したスピンドル電流値が、最初のピーク値を基準として定められた値を超えたか否かを判断する判断部１１２と、判断部１１２によってスピンドル電流値が最初のピーク値を基準として定められた値を超えたと判断されたとき、ウェハＷの研削状態が異常であることを出力する出力部１１３と、を有する。
【００２０】
まず、本実施形態のウェハ研削装置について説明する。このウェハ研削装置は、ウェハＷを搭載するチャックテーブル１６を備える。チャックテーブル１６は、チャック１５を備え、これにウェハＷを吸着させる。ウェハＷは、シリコン、サファイアなどからなる半導体基板である。ウェハＷは、裏面の付着膜種等が異なるなど、種々の品種を用いることができる。
【００２１】
ホイール１４は、電歪素子又は磁歪素子１９及びフランジ１３を介して回転軸１２に連結している。図３（ａ）は、ホイール１４を拡大して示す模式図である。図３（ａ）に示すように、ホイール１４は、砥石１４ａを備えており、砥石１４ａとウェハＷとが接触することで、ウェハＷが研削される。砥石１４ａは、例えば、ダイヤモンドとすることができる。回転軸１２は、モーター１１により、回転駆動され、モーター１１への回転軸負荷電流値（スピンドル電流値）が、検出部１７に入力され、検出部１７によって、モニタリングされる。検出部１７は、回転軸１２にかかるウェハＷからの負荷とともにスピンドル電流値を検出するため、ウェハＷとホイール１４とが接触したときを検出することも可能である。移動機構１８は、回転軸１２を垂直方向（方向ｄ）に移動させることができる。電歪素子又は磁歪素子１９は、図示しない歪量フィードバックセンサを内蔵し、この歪量フィードバックセンサの信号が後述するウェハ制御装置１０の制御部１１４に入力される。制御部１１４からの信号により、電歪素子又は磁歪素子１９が瞬時に起動し、回転軸１２の反切込方向−ｄに回転軸１２を上昇させてホイール１４を退避させる。
【００２２】
ウェハ制御装置１０は、入力部１１０と記憶部１１１と判断部１１２と出力部１１３と制御部１１４とを有する。入力部１１０は、検出部１７が検出したモーター１１のスピンドル電流値の経時変化を受け付け、記憶部１１１に記憶する。制御部１１４は、移動機構１８の移動方向及び移動速度を制御する。判断部１１２は、ウェハＷとホイール１４とが接触した後、検出部１７が検出したスピンドル電流値の最初のピーク値を抽出する。記憶部１１１には、制御部１１４から直接、又は、判断部１１２を介して、移動機構１８の移動速度を受け付け、これを記憶する。なお、記憶部１１１に記憶されるスピンドル電流値は、回転軸が受けるウェハ負荷とともに検出されているため、ウェハ１枚ごとに記憶されるようになっている。
【００２３】
本実施形態のウェハ研削装置の各部は、必要により各種のハードウェアを利用して実現される。しかし、ウェハ研削装置が実装されているコンピュータプログラムに対応して機能することにより実現することができる。
【００２４】
このようなコンピュータプログラムは、例えば、モーター１１に回転軸１２を回転させて、回転軸１２に取り付けられたホイール１４によりウェハＷを研削させる研削処理と、ウェハＷの研削開始後のモーター１１のスピンドル電流値を経時的に検出する検出処理と、ウェハＷとホイール１４とが接触した後、検出処理により検出したスピンドル電流値の最初のピーク値を記憶する記憶処理と、記憶処理により記憶した最初のピーク値と、検出したスピンドル電流値とを比較し、最初のピーク値を検出した後に検出したスピンドル電流値が、最初のピーク値を基準として定められた値を超えたか否かを判断する判断処理と、判断処理により電流値が最初のピーク値を基準として定められた値を超えたと判断されたとき、ウェハＷの研削状態が異常であることを出力する出力処理等の処理動作をＣＰＵ等に実行させるためのソフトウェアとしてＲＡＭ等の情報記憶媒体に格納されている。
【００２５】
つづいて、本実施形態のウェハ研削方法について図１、２を用いて説明する。図２は、本実施形態のウェハ研削方法を説明するフローチャートである。まず、図示しないウェハステージに少なくとも１枚以上のウェハＷを用意する。そして、モーター１４を回転させるとともに、検出部１７は、スピンドル電流の検出を開始する（Ｓ１０１）。ついで、図示しない治具を用いてワークからウェハＷを１枚ピックアップして、チャックテーブル１６に搬送し、チャック１５に吸着させる（Ｓ１０２）。
【００２６】
つづいて、移動機構１８を切込方向ｄに回転軸１４を所定の位置にまで下降した後、ウェハＷの研削を開始する（Ｓ１０３）。このとき、判断部１１２は、制御部１１４を介して、砥石１４ａがウェハＷに接触したことを把握する。その後、判断部１１２は、ウェハＷが安定に研削される程度に研削面に凹凸がなくなったことを把握する。このときのウェハＷの研削面の凹凸差は、例えば、Ｒｚ（最大高さ粗さ）：１０μｍ以下とすればよい。一般的に、Ｒｚは、図５で示されるように、基準長さ（ｌｒ）における輪郭曲線の山高さ（Ｒｐ）の最大値と谷深さ（Ｒｖ）の最大値との和で示される。そして、ウェハＷとホイール１４とが接触した後、ウェハＷが安定に研削される程度にウェハＷの研削面が平坦になるまでの間（研削初期時間（ｔ））に検出されたスピンドル電流値のうち、最も高いスピンドル電流値を最初のピーク値（初期ピーク値）として取得する（Ｓ１０４）。
【００２７】
図３を用いて初期ピーク値の求め方の一例について、具体的に説明する。図３は、図１で示すホイール１４とウェハＷとの接触部分を拡大して示す側面図である。移動機構１８は、移動速度Ｖ（μｍ／秒）でホイール１４を下降させることで、砥石１４ａをウェハＷに接触させることができる。砥石１４ａとウェハＷとが接触した当初は、図３（ａ）に示すように、ウェハＷの表面に凹凸があるため、砥石１４ａが当該凹凸に食い込み、スピンドル電流値が高めに出る。そして、スピンドル電流値がピーク値に達した後、ウェハが平坦化されるにつれ、徐々にスピンドル電流値が低下していく。その後、ウェハＷの研削面の凹凸差がＲｚ：１０μｍ以下になったとき、ウェハＷを安定に研削可能な位置に砥石１４ａが置かれることとなる（図３（ｂ））。
【００２８】
ウェハＷをある程度平坦化するためには、少なくとも数十μｍ以上ウェハ表面を研削することが好ましい。また、ウェハの研削面と反対側に貼り付けられた保護シート２０の表面粗さのばらつき（±１０μｍ）や、ウェハＷの厚みのばらつき（±１５μｍ）等を考慮すると、ウェハＷは、約１００μｍ程度研削させることがより好ましい。こうすることで、ウェハＷが安定に研削される程度にウェハの研削面が平坦化する。この場合、研削初期時間（ｔ）は、「ｔ（秒）＝１００／Ｖ」の式で表すことができる。したがって、判断部１１２は、制御部１１４からＶを受け付け、ウェハＷとホイール１４とが接触した後、時間の経過を把握し、ｔ秒内に検出されたスピンドル電流値の最も高いスピンドル電流値を抽出することで、初期ピーク値を取得することができる。
【００２９】
その後、ウェハＷを研削しながら、取得した初期ピーク値と、検出したスピンドル電流値とを比較し、初期ピーク値を検出した後に検出したスピンドル電流値が、初期ピーク値を基準として定められた値（初期ピーク基準値）を超えたか否かを判断する（Ｓ１０５）。
【００３０】
ここで、初期ピーク基準値は、初期ピーク値そのものを使用してもよいし、初期ピーク値に演算処理を加えたものであってもよい。演算処理としては、初期ピーク値に対して１倍よりも大きい倍率を乗じてもよいし、初期ピーク値に対して所定の値を加算した値としてもよい。初期ピーク基準値を最初のピーク値に対する倍率を規定する場合、初期ピーク基準値は、たとえば、初期ピーク値の１．２倍とすることができる。また、初期ピーク基準値を初期ピーク値に対して所定の値を加算した値とする場合、初期ピーク基準値は、たとえば、初期ピーク値に対して０．５Ａを加算した値とすることもできる。
【００３１】
そして、スピンドル電流値が、初期ピーク基準値を超えていないと判断する場合（Ｓ１０５Ｙ）、研削を継続するか否かを判断する（Ｓ１０６）。研削を継続するか否かは、あらかじめ定められたウェハ単位の研削時間に基づいて判断してもよいし、ウェハ表面の平坦度を検出することで判断してもよい。研削を継続すると判断した場合（Ｓ１０６Ｙ）、Ｓ１０５に戻り、引き続きウェハＷを研削しながら、取得した初期ピーク値と検出したスピンドル電流値との比較を行う。
【００３２】
また、研削を継続しない、すなわち、ウェハＷの研削が終わったと判断した場合は（Ｓ１０６Ｎ）、研削を終了する（Ｓ１０７）。そして、図示しないウェハステージにウェハＷがある場合には（Ｓ１０８Ｙ）、これをチャックテーブル１６にセットして（Ｓ１０２）、後の動作を繰り返す。このようにして、研削すべきウェハＷをすべて研削してウェハＷの研削工程を終了する（Ｓ１０８Ｎ）。
【００３３】
異常が検出されない場合、すなわち、ウェハＷが割れない場合のスピンドル電流値の経時変化の一例を図４（ａ）に示す。図４（ａ）の例では、研削初期に初期ピーク値が検出された後、スピンドル電流値は、初期ピーク値を超えることはない。
【００３４】
一方、スピンドル電流値が、初期ピーク基準値を超えたと判断する場合（Ｓ１０５Ｎ）、出力部１１０は、ウェハＷの研削状態が異常であることを制御部１１４に出力する。ウェハＷの研削状態が異常であるとは、ウェハＷが割れたか、あるいは、ウェハＷが割れかかっている状態である。制御部１１４は、出力部１１０からの異常信号を受け付け、電歪素子又は磁歪素子１９を瞬時に起動させ、移動機構１８を−ｄ方向に移動させて、ホイール１４を退避させる（Ｓ１０９）。ついで、制御部１１４は、回転軸１２を停止させてモーター１１を停止する（Ｓ１１０）。出力部１１０は、異常を検知したとき、ユーザに対しアラーム信号を出力してもよい。こうすることで、ユーザは、ウェハＷが割れたことを知って、研削装置を停止して研削装置のオペレーションを点検することができる。
【００３５】
図４（ｂ）は、異常が検出された場合、すなわち、ウェハＷが割れた場合のスピンドル電流値の経時変化の一例を図４（ｂ）に示す。図４（ｂ）の例で示すように、研削初期に初期ピーク値が検出された後、スピンドル電流値は、初期ピーク値を超えている。
【００３６】
つづいて、本実施形態の作用効果について説明する。本実施形態によれば、ウェハＷがホイール１４と接触してから安定して研削が行われるまでの間に検出されるスピンドル電流のピーク値を初期ピーク値として記憶し、記憶した初期ピーク値を検出した後にスピンドル電流値が初期ピーク基準値を超えたとき、ウェハＷの研削状態が異常であることを出力する。これにより、事前に基準値を取得することなくウェハ単位でウェハＷの割れを検出して、研削装置を停止させる等の対処をすることができる。したがって、ウェハの品種によらずウェハの研削の異常を検出することが可能になる。
【００３７】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。例えば、実施の形態では、移動機構を回転軸に対して垂直方向（方向ｄ）に移動させることによりウェハを研削する、インフィード方式によるウェハ研削を例に挙げて説明した。しかしながら、本発明は、移動機構を回転軸に対して水平方向に移動させることによりウェハを研削する、クリープフィード方式によるウェハ研削にも適用することが可能である。
【符号の説明】
【００３８】
１０      ウェハ制御装置
１１      モーター
１２      回転軸
１３      フランジ
１４      ホイール
１４ａ    砥石
１５      チャック
１６      チャックテーブル
１７      検出部
１８      移動機構
１９      電歪素子又は磁歪素子
２０      保護シート
１０２    回転軸
１１０    入力部
１１１    記憶部
１１２    判断部
１１３    出力部
１１４    制御部
【図１】
2011189411.tif 000003
【図２】
2011189411.tif 000004
【図３】
2011189411.tif 000005
【図４】
2011189411.tif 000006
【図５】
2011189411.tif 000007