(57)【要約】      （修正有）【課題】圧着に供される部位を複数備え、該部位が比較的離れた位置に位置する部品であっても、熱による伸びなどの影響を抑制して熱圧着することのできる部品圧着装置の提供。【解決手段】基板２００の基板側圧着部２１０と、可撓部品２０１の部品側圧着部２１１とを異方性導電シートで熱圧着する部品圧着装置であって、複数箇所に配置され、加熱手段１１０を先端部に有し、基板２００に対し押圧力を付与する支承部１０１と、可撓部品を保持すると共に、複数の部品側圧着部２１１に対し同時に押圧力を付与する押圧体１２１を有する押圧装置１０２と、押圧装置１０２を回転させて可撓部品２０１を作業位置に配置する回転装置と、可撓部品２０１を供給する部品供給装置と、基板２００を配置する基板配置装置とを備える。【選択図】図３
2011100800.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の複数の箇所に位置する基板側圧着部と、可撓性を有する可撓部品の複数の箇所に位置し、複数の前記基板側圧着部に対応する箇所に位置する可撓部品の複数の部品側圧着部とを異方性導電シートを挟んだ状態で押圧し、複数の基板側圧着部と複数の部品側圧着部とをそれぞれ熱圧着する部品圧着装置であって、
基板側圧着部に対応する複数箇所に配置され、異方性導電シートを熱圧着に必要な温度に加熱させることのできる加熱手段を有し、複数の基板側圧着部に対応する基板の下面部分を下方からそれぞれ支承する複数の支承部と、
可撓部品を保持すると共に、可撓部品の複数の部品側圧着部に対し同時に押圧力を付与する押圧体を有する押圧装置と、
複数の前記押圧装置を同一円周上に保持し、前記押圧装置を前記円周に沿うように回転させて可撓部品を複数の前記支承部に支承される基板に熱圧着する作業位置に配置する回転装置と、
前記回転装置に対して同一円周上の基板に熱圧着する作業位置とは離れた位置の部品供給位置に配置され、前記押圧装置に可撓部品を供給する部品供給装置と、
前記支承部に対し基板を配置する基板配置装置と
を備える部品圧着装置。
【請求項２】
前記押圧体はさらに、可撓部品の部品側圧着部と当接する側に異方性導電シートからの熱の伝導を抑止する断熱部
を備える請求項１に記載の部品圧着装置。
【請求項３】
前記押圧体はさらに、可撓部品全体の形態が所定範囲内の姿勢に納まるように可撓部品の部品側圧着部以外の部位を保持する補助保持部
を備える請求項１に記載の部品圧着装置。
【請求項４】
さらに、
複数の前記支承部の間の領域に配置され、基板に附されるマークを撮像するカメラ
を備える請求項１に記載の部品圧着装置。
【請求項５】
複基板の複数の箇所に位置する基板側圧着部と、可撓性を有する可撓部品の複数の箇所に位置し、複数の前記基板側圧着部に対応する箇所に位置する可撓部品の複数の部品側圧着部とを異方性導電シートを介して熱圧着する部品圧着方法であって、
複数箇所に配置される複数の支承部のそれぞれに基板側圧着部が位置するように基板配置装置によって基板を配置し、
配置された基板を複数の支承部で支承し、
基板と当接する支承部に備えられる加熱手段により異方性導電シートを熱圧着に必要な温度に加熱し、
同一円周に沿うように配置される複数の押圧装置にそれぞれ保持される可撓部品を前記押圧装置と共に回転装置によって回転させて複数の前記支承部に支承される基板に熱圧着する作業位置に配置し、
押圧装置により可撓部品を異方性導電シートを介して基板に押圧し、複数の基板側圧着部と複数の部品側圧着部とをそれぞれ熱圧着する
部品圧着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、板状の基板に部品を圧着する部品圧着装置に関し、特に、フレキ基板と称されるような可撓性を有する比較的長尺の可撓部品の両端部側を基板の一端部と他端部にそれぞれ熱圧着するような部品圧着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイなどの薄型表示装置を構成するガラス基板の周縁部には、画像の表示を司るためのドライバＩＣ等の部品を取り付ける必要がある。この作業は、産業的には部品圧着装置と称される装置により自動的に行われている。この部品圧着装置が実施する工程とは概ね特許文献１に記載されている通りである。すなわち、バックアップステージと称される支承部にガラス基板の端縁部を載置する。一方、ドライバＩＣを保持し搬送しガラス基板に押し付けることのできるいわゆるヘッドでドライバＩＣを所定の位置に配置する。ドライバＩＣまたはガラス基板のいずれかには事前に異方性導電シート（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  Ｆｉｌｍ：ＡＣＦ）が取り付けられている（特許文献１に記載の発明では異方性導電シートがドライバＩＣに取り付けられる）。以上の状態において、ヘッドに取り付けられた加熱手段によりドライバＩＣは加熱されており、加熱されたドライバＩＣを、異方性導電シートを介してガラス基板に押し付けることで、異方性導電シートを加熱してドライバＩＣとガラス基板とを熱圧着する。なお、この一連の工程を「実装」と総称することがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第３１０４５９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが近年、薄型表示装置やタッチパネルの進展に伴い、細長いフレキ基板の両端部側に圧着するための部位が設けられ、該部位と薄型表示装置やタッチパネル等のガラス基板とを圧着する場合が登場してきている。この場合、異方性導電シートを介してフレキ基板とガラス基板とを熱圧着する際に、ひとつの圧着ヘッドに保持されるフレキ基板をその圧着ヘッドに備えられる加熱手段により加熱すると、フレキ基板全体が熱によって伸びたりねじれたりし、フレキ基板の圧着する部位とガラス基板の部位とが一致しない不都合が発生する。
【０００５】
この不都合を解消するためには、フレキ基板の圧着に供される複数の部位を異なる圧着ヘッドで同時に保持し、圧着に供されないフレキ基板の部位はできる限り加熱しない状態で、基板に対し熱圧着することが考えられるが、部品圧着装置の機構が複雑になり過ぎる等、装置設計上の困難性も多い。
【０００６】
本願発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、圧着に供される部位を複数備え、該部位が比較的離れた箇所に位置する部品であっても、装置の機構を複雑にすることなく基板に熱圧着することのできる部品圧着装置、部品圧着方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本願発明にかかる部品圧着装置は、基板の複数の箇所に位置する基板側圧着部と、可撓性を有する可撓部品の複数の箇所に位置し、複数の前記基板側圧着部に対応する箇所に位置する可撓部品の複数の部品側圧着部とを異方性導電シートを挟んだ状態で押圧し、複数の基板側圧着部と複数の部品側圧着部とをそれぞれ熱圧着する部品圧着装置であって、基板側圧着部に対応する複数箇所に配置され、異方性導電シートを熱圧着に必要な温度に加熱させることのできる加熱手段を有し、複数の基板側圧着部に対応する基板の下面部分を下方からそれぞれ支承する複数の支承部と、可撓部品を保持すると共に、可撓部品の複数の部品側圧着部に対し同時に押圧力を付与する押圧体を有する押圧装置と、複数の前記押圧装置を同一円周上に保持し、前記押圧装置を前記円周に沿うように回転させて可撓部品を複数の前記支承部に支承される基板に熱圧着する作業位置に配置する回転装置と、前記回転装置に対して同一円周上の基板に熱圧着する作業位置とは離れた位置の部品供給位置に配置され、前記押圧装置に可撓部品を供給する部品供給装置と、前記支承部に対し基板を配置する基板配置装置とを備えることを特徴としている。
【０００８】
これによれば、複数箇所に位置する基板側圧着部を基板の下面より個別に加熱するため、大きなブロック状の部材全体を加熱して圧着する場合に比べてエネルギーロスが少なく、効率的に異方性導電シートに熱を伝えて圧着することが可能となる。また、長尺の可撓部品全体を加熱することが無いため、可撓部品に発生する伸びや歪みを効果的に抑制することが可能となる。また、可撓部品を保持する押圧装置にて、事前に可撓部品を加熱することがないため、可撓部品の伸びや歪みをさらに抑制することが可能となる。また、回転する押圧装置に加熱手段を設ける必要が無いため、簡単な構造の部品圧着装置を提供することができる。また、一つの押圧体により複数箇所の部品側圧着部に同時に押圧するため、簡単な構造の部品圧着装置を提供することができる。
【０００９】
前記押圧体はさらに、可撓部品の部品側圧着部と当接する側に異方性導電シートからの熱の伝導を抑止する断熱部を備えることが好ましい。
【００１０】
これにより、支承部に備えられる加熱手段から伝わる熱により押圧体が昇温するのを抑制することができ、加熱された押圧体によって可撓部品が伸びることを回避できる。また、押圧体による放熱を抑えることができるため異方性導電シートを効率よく加熱することができ、省エネルギーに寄与することが可能となる。
【００１１】
前記押圧体はさらに、可撓部品全体の形態が所定範囲内の姿勢に納まるように可撓部品の部品側圧着部以外の部位を保持する補助保持部を備えてもよい。
【００１２】
これにより、撓みを抑制した状態で可撓部品を保持することができ、撓んだ部分と基板等との接触により発生する不具合を回避することが可能となる。
【００１３】
さらに、複数の前記支承部の間の領域に配置され、基板に附されるマークを撮像するカメラを備えてもよい。
【００１４】
これにより、基板側圧着部の近傍で基板を確認することができるため、基板を配置する際の位置を正確に把握することが可能となる。また、基板が透明な場合、圧着工程直前や圧着工程時の可撓部品の状態も把握することが可能となる。
【００１５】
上記目的を達成するために、本願発明に係る部品圧着方法は、基板の複数の箇所に位置する基板側圧着部と、可撓性を有する可撓部品の複数の箇所に位置し、複数の前記基板側圧着部に対応する箇所に位置する可撓部品の複数の部品側圧着部とを異方性導電シートを介して熱圧着する部品圧着方法であって、複数箇所に配置される複数の支承部のそれぞれに基板側圧着部が位置するように基板配置装置によって基板を配置し、配置された基板を複数の支承部で支承し、基板と当接する支承部に備えられる加熱手段により異方性導電シートを熱圧着に必要な温度に加熱し、同一円周に沿うように配置される複数の押圧装置にそれぞれ保持される可撓部品を前記押圧装置と共に回転装置によって回転させて複数の前記支承部に支承される基板に熱圧着する作業位置に配置し、押圧装置により可撓部品を、異方性導電シートを介して基板に押圧し、複数の基板側圧着部と複数の部品側圧着部とをそれぞれ熱圧着することを特徴とする。
【００１６】
これによれば、複数箇所に位置する基板側圧着部を基板の側縁部の下面より個別に加熱するため、大きなブロック状の部材全体を加熱して圧着する場合に比べてエネルギーロスが少なく、効率的に異方性導電シートに熱を伝えて圧着することが可能となる。また、長尺の可撓部品全体を加熱することが無いため、可撓部品に発生する伸びを効果的に抑制することが可能となる。また、可撓部品を保持する押圧装置にて、事前に可撓部品を加熱することがないため、可撓部品の伸びをさらに抑制することが可能となる。
【発明の効果】
【００１７】
本願発明に係る部品圧着装置、部品圧着方法によれば、簡単な装置構成であっても、熱によって発生する可撓性部品の伸びやねじれを可及的に抑制し、可撓性部品と基板とを正確な位置関係で圧着することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】部品圧着装置の実施の形態を模式的に示す側面図である。
【図２】部品圧着装置の実施の形態を模式的に示す平面図である。
【図３】支承部と押圧装置とを可撓部品と基板と共に示す斜視図である。
【図４】補助保持部を備えた押圧体を可撓部品と共に示す斜視図であり、（ａ）は、可撓部品を保持する前の状態を現している斜視図、（ｂ）は保持状態を現している斜視図、（ｃ）は保持状態を現している側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
次に、本願発明に係る部品圧着装置の実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。
【００２０】
図１は、部品圧着装置の実施の形態を模式的に示す側面図である。
【００２１】
図２は、部品圧着装置の実施の形態を模式的に示す平面図である。
【００２２】
これらの図に示すように、本願発明に係る部品圧着装置１００は、基板２００と可撓部品２０１とを異方性導電シート２１２を挟んだ状態で押圧し、熱圧着する装置であって、支承部１０１と、押圧装置１０２と、回転装置１０３と、部品供給装置１０４と、基板配置装置１０５とを備えている。また、部品圧着装置１００は、前記構成装置や構成部材を保持する基台１０６と、基板２００を基板配置装置１０５に対しロードアンロードする移載装置１０７とを備えている。
【００２３】
基板配置装置１０５は、基板２００の表面に貼り付けられている異方性導電シート２１２を熱圧着に必要な温度に基板２００の下面側から加熱して基板２００を支承する複数の支承部１０１に対し基板２００を配置する装置である。本実施の形態の場合、基板配置装置１０５は、基板２００を載せると共に、基板２００を吸着固定するテーブル１５１を備えており、テーブル１５１をｘ方向、ｙ方向、ｚ方向、θ方向に任意に移動させることで複数の支承部１０１に対する基板２００の位置を決定することができる装置である。また、基板配置装置１０５は、テーブル１５１を移動させるための動力を発生させる駆動装置１５２を備えている。
【００２４】
部品供給装置１０４は、回転装置１０３に対して所定の位置に配置され、押圧装置１０２に可撓部品２０１を供給する装置である。部品供給装置１０４は、複数の可撓部品２０１を並べて保持しており、順番に押圧装置１０２に可撓部品２０１を供給することができる機構を備えている。
【００２５】
回転装置１０３は、複数の押圧装置１０２を同一円周上に保持し、押圧装置１０２を前記円周に沿うように回転させて可撓部品２０１を複数の支承部１０１に支承される基板２００に熱圧着する作業位置に配置する装置である。本実施の形態の場合、回転装置１０３は、同一円周上に四つの押圧装置１０２を保持しており、θ方向に９０度ずつインデックス回転することにより、部品供給装置１０４から受け取った可撓部品２０１を順番に支承部１０１の上方に移送することができるものとなっている。
【００２６】
図３は、支承部と押圧装置とを可撓部品と基板と共に示す斜視図である。
【００２７】
基板２００は、部品圧着装置１００の圧着対象となる部品であり、複数箇所に基板側圧着部２１０が配置されている。本実施の形態の場合、基板２００は、タッチパネルであり、矩形板状の透明な部材である。また、基板側圧着部２１０は、基板２００の一端縁であって、該端縁の両端部に位置している。なお、基板側圧着部２１０の上面には異方性導電シート２１２が取り付けられている。
【００２８】
ここで、タッチパネルとは、ディスプレイの表面に配置され、タッチパネルの表面に指などが触れた箇所の位置データを出力することができるセンサである。従って、タッチパネルの表面には網の目のように透明な導線が張り巡らされており、これらの端部が集約されて、基板側圧着部２１０に配置されるものとなっている。例えば、一方の基板側圧着部２１０には、ｘ座標に沿って配置される導線の端部が集約されており、他方の基板側圧着部２１０には、ｙ座標に沿って配置される導線の端部が集約される。
【００２９】
また、異方性導電シート２１２とは、加熱状態で厚さ方向に押圧することで、力が加わった部分は厚さ方向にのみ、異方性導電シート２１２の内部に含まれる導電性粒子同士の圧接により導電性が表れ、それ以外は絶縁状態のまま維持される機能性部材である。
【００３０】
なお、基板２００はタッチパネルに限定されるわけではなく、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイに備えられる薄型表示装置用のガラス基板などでもよい。その他、当業者が思いつくあらゆる圧着対象となる部品が基板２００に含まれる。
【００３１】
可撓部品２０１は、部品圧着装置１００の圧着対象となる可撓性を有する部品であり、複数箇所に部品側圧着部２１１が位置している。本実施の形態の場合、可撓部品２０１は、いわゆるフレキ基板と称される部品であり、薄い樹脂（例えばポリイミド）製のフィルムに、複数の導線が配線され、基板２００の基板側圧着部２１０に集約される電線の端部と電気的に接続されて、タッチパネルから送信される信号を一箇所に集約するものとなっている。
【００３２】
なお、可撓部品２０１は、フレキ基板に限定されるわけではなく、熱圧着に必要な程度の加熱によって部品側圧着部２１１の間が延びたり、可撓部品２０１全体が歪んだりする部品であって、当業者が思いつくあらゆる圧着対象となる部品が含まれる。
【００３３】
押圧装置１０２は、可撓部品２０１を保持すると共に、複数の部品側圧着部２１１に対し同時に押圧力を付与する装置であり、押圧体１２１と、シャフト１２２と、押圧力発生装置１２３とを備えている。本実施の形態の場合、押圧装置１０２は、真空吸引装置（図示せず）と接続されている。また、押圧装置１０２は、可撓部品２０１と接触する押圧体１２１の部分に開口部が配置される管状の真空経路（図示せず）を備えており、当該真空経路を真空吸引装置で真空にすることで、可撓部品２０１を押圧体１２１に吸着させている。以上により、押圧装置１０２は、可撓部品２０１を保持することができるものとなっている。
【００３４】
また、押圧装置１０２は、押圧力発生装置１２３によりシャフト１２２を、図３中の矢印で示すように、出没させることができるものとなっている。また、押圧力発生装置１２３は、回転装置１０３に取り付けられており、シャフト１２２は先端に押圧体１２１が取り付けられている。以上から押圧装置１０２は、押圧体１２１を降下させて部品供給装置１０４に配置されている可撓部品２０１を押圧体１２１に吸着して保持し、基板２００の上方にて可撓部品２０１を保持した押圧体１２１を所定の力で降下させることで、可撓部品２０１を基板２００に押し付けて圧着することができるようになっている。
【００３５】
押圧体１２１は、可撓部品２０１を保持すると共に、所定の距離隔てて複数存在する部品側圧着部２１１に押圧力を付与することができる剛性のある部材である。本実施の形態の場合、押圧体１２１は、矩形棒状の部材であり、内部には真空経路が設けられている。また、部品側圧着部２１１と当接する部分には、熱の伝導を抑止する断熱部１２４が設けられている。断熱部１２４は、熱圧着に必要な押圧力を付与できる程度の剛性を備えた断熱材で構成されている。この断熱部１２４により、熱圧着する際の異方性導電シート２１２を効率的に加熱することができる。また、異方性導電シート２１２から押圧体１２１に熱が伝わり、押圧体１２１が加熱され、昇温された押圧体１２１に保持された可撓部品２０１が伸びたり歪んだりすることを断熱部１２４により抑止することが可能となる。
【００３６】
押圧体１２１はさらに、可撓部品２０１の全体の形態が所定範囲内の姿勢に納まるように可撓部品２０１の部品側圧着部２１１以外の部位を保持する補助保持部１２５を備えてもよい。
【００３７】
図４は、補助保持部を備えた押圧体を可撓部品と共に示す斜視図であり、（ａ）は、可撓部品を保持する前の状態を現している斜視図、（ｂ）は保持状態を現している斜視図、（ｃ）は保持状態を現している側面図である。
【００３８】
同図に示す押圧体１２１は、本体部１２６の中間部から補助保持部１２５が直交方向に突出状態で延出されている。また、補助保持部１２５は、伸縮可能で両端が開口する管状の蛇腹管１２７（ベローズ）を先端に備えている。補助保持部１２５は、内部に真空経路を備えており、当該真空経路の一端は、本体部１２６の内部に備えられる真空経路に接続されている。また、他端は、蛇腹管１２７に接続されている。
【００３９】
可撓部品２０１が柔らかく、２箇所を保持するだけでは他の場所が垂れてしまうような形状、例えば同図（ｂ）、（ｃ）に示すように、部品側圧着部２１１を本体部１２６の両端で保持するだけでは可撓部品２０１の突出部２１３が下方に向かって曲がり、先端が垂れ下がってしまう形状の場合、同図（ｂ）、（ｃ）のように、補助保持部１２５を用いて、可撓部品２０１の突出部２１３の先端を保持することで、可撓部品２０１の全体の形態を所定範囲内の姿勢、例えば同図（ｂ）、（ｃ）に示すようにほぼ平面内に納めることが可能となる。これにより、可撓部品２０１が撓んだり垂れ下がったりして可撓部品２０１の一部が所定の範囲よりも外に突出した状態で、可撓部品２０１を搬送することが無くなり、可撓部品２０１と部品圧着装置１００のいずれかの部分とが接触して可撓部品２０１が脱落したり、可撓部品２０１を圧着する際に、垂れ下がった部分が先に基板２００と接触して、可撓部品２０１の位置がずれてしまう等の不具合を回避することが可能となる。
【００４０】
複数の支承部１０１は、複数の基板側圧着部２１０に対応する複数の箇所にそれぞれ配置され、基板を下方から支承し、押圧装置１０２から受ける力に抗して基板２００と可撓部品２０１とを圧着できる剛性を有する部材である。
【００４１】
また、支承部１０１は、異方性導電シート２１２を、基板２００を介して熱圧着に必要な温度（例えば６０〜８０℃）に加熱させることのできる加熱手段１１０を先端部に備えている。加熱手段１１０は、電流を流すことにより発熱する金属からなるヒータである。
【００４２】
本実施の形態の場合、支承部１０１は、角柱状の部材であり、基板２００の一辺の両端に位置する基板側圧着部２１０に対応して、２本の支承部１０１が基台１０６に固定されている。また、支承部１０１の加熱手段１１０よりも先端には熱伝導性が高く剛性のある当接体１１１が取り付けられており、加熱手段１１０に対して当接体１１１と反対側には断熱材１１２が設けられている。このような構成とすることにより、支承部１０１は、加熱手段１１０で発生する熱が当接体１１１の方向にのみ伝導し易くなり、支承部１０１に対し、基板２００の反対側（基板２００の表面側）に配置される異方性導電シート２１２を効率よく加熱することが可能となる。
【００４３】
また、複数の支承部１０１が基板２００の基板側圧着部２１０をそれぞれその裏面側から支承する構造が採用されているため、支承部１０１の基板２００に当接する高さをそれぞれ調整することで、簡単に基板２００を水平に支承することが可能となる。なお、高さ調節はねじによるものでも、くさびによるものでも任意の機構を採用すればよい。さらに、支承部１０１の取付位置を変更することで、異なる大きさの基板に可撓部品を取り付ける場合に対応することが可能となる。
【００４４】
なお、支承部１０１の形状や構造は上記に限定されるわけではない。例えば、支承部１０１は円柱状でもかまわない。また、複数の支承部１０１は、一つの部材から複数の突起部が基板２００の複数の基板側圧着部２１０に対応する箇所をそれぞれ支承するように構成したものであってもよい。この場合は、複数の基板側圧着部２１０を支承する複数の突起部が複数の支承部１０１を構成している。また、加熱手段１１０は、セラミックヒータを採用してもかまわない。セラミックヒータは瞬時に昇温できるため、熱圧着に必要な時間のみ加熱手段１１０を昇温させることが可能となる。また、加熱手段１１０の加熱能力は熱圧着の対象によって異なるが、例えば、異方性導電シート２１２を７０度〜１００度程度に加熱できる能力を備えることが好ましい。また、セラミックヒータなど、短時間で加熱を行う場合、加熱手段１１０自体が１５０度程度になる能力を有することが好ましい。
【００４５】
以上のように、基板２００の基板側圧着部２１０に対応する基板２００の下面側の位置に加熱手段１１０を備えた支承部１０１がそれぞれ配置され、異方性導電シート２１２を基板２００の下面より個別に加熱するため、エネルギーロスが少なく、効率的に異方性導電シート２１２を加熱することが可能となる。一方、可撓部品２０１を保持する押圧装置１０２は、熱源を備えていないため、押圧装置１０２の長尺の押圧体１２１にて保持されて移載する過程で可撓部品２０１を加熱することなく基板２００に押し付けることができる。従って熱によって可撓部品２０１に発生する伸びを効果的に抑制することが可能となる。また、回転装置１０３によって回転し続ける押圧装置１０２に加熱手段１１０を設ける必要が無いため、加熱手段１１０に接続する電線などを配置する必要が無く回転装置１０３や押圧装置１０２を含む周辺の構造を簡単にすることができる。また、押圧装置１０２にヒータが備えられていないため、押圧装置１０２を軽量化でき、複数の押圧装置１０２を保持し、回転させる回転装置１０３の構造を簡素化することが可能となる。
【００４６】
また、基板２００に大きさの異なる基板側圧着部２１０が設けられるような場合であっても、基板側圧着部２１０の大きさに対応した支承部１０１を配置することが可能となる。また、特にそれぞれ独立して設けられる場合は、複数の支承部１０１にそれぞれ設けられる加熱手段１１０の発熱能力を変更し、個別に発熱を制御することができる為、各基板側圧着部２１０に適した加熱条件を選んで加熱することが可能となる。これにより、熱圧着状態を好適な状態とすることができると共に、エネルギーの無駄を省いて省エネルギーに寄与することが可能となる。
【００４７】
また、押圧体１２１に断熱部１２４を設けることで、熱容量の高い押圧体１２１が伝熱により加熱され、押圧体１２１の熱により可撓部品２０１が伸びたり歪んだりすることを効果的に抑制できる。また、熱圧着時の押圧体１２１による放熱あるいは伝熱を抑制できる為、省エネルギーに寄与することが可能となる。
【００４８】
部品圧着装置１００はさらに、複数の支承部１０１の間の領域に配置され、基板２００に附されるマークを撮像するカメラ１３０を備えている。本実施の形態の場合、カメラ１３０は、二つの支承部１０１の間であって、支承部１０１の近傍にそれぞれカメラ１３０が配置されている。
【００４９】
当該構造は、独立した複数の支承部１０１を配置することにより初めて実現できる構造である。また当該構造を採用することにより、基板側圧着部２１０の近傍で基板２００のマークを確認することができるため、基板２００を配置する際の位置を正確に把握することが可能となる。また、基板２００が透明な場合、圧着工程直前や圧着工程時の可撓部品２０１の状態も把握することが可能となる。
【００５０】
なお、本願発明に係る部品圧着装置１００は、上述した実施の形態に限定されるものではない。上述の構成要素やその別例を任意に組み合わせて実現される別の実施の形態も本願発明の実施の形態である。また、上記構成要素に対して本願発明の主旨を逸脱しない範囲で当業者が思いつく各種変形を施して得られる部品圧着装置１００も本願発明に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本願発明は、薄型テレビなどの表示装置を構成するガラス基板に可撓性のある部品を熱圧着する装置や、タッチパネルを構成する基板に可撓性のある部品を熱圧着する装置などに利用できる。
【符号の説明】
【００５２】
１００  部品圧着装置
１０１  支承部
１０２  押圧装置（圧着ヘッド）
１０３  回転装置
１０４  部品供給装置
１０５  基板配置装置
１０６  基台
１０７  移載装置
１１０  加熱手段
１１１  当接体
１２１  押圧体
１２２  シャフト
１２３  押圧力発生装置
１２４  断熱部
１２５  補助保持部
１２６  本体部
１２７  蛇腹管
１３０  カメラ
１５１  テーブル
１５２  駆動装置
２００  基板
２０１  可撓部品
２１０  基板側圧着部
２１１  部品側圧着部
２１２  異方性導電シート
２１３  突出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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