(57)【要約】【課題】顕微鏡装置において、顕微鏡観察を行いつつ作業を行う場合に、試料あるいは試料の周囲の作業領域の清浄性を保つことができるとともに作業性が良好となるようにする。【解決手段】試料Ｓを載置面３ａに載置して、試料Ｓを載置面３ａの上方から観察する双眼実体顕微鏡５０であって、試料Ｓを観察する観察光学系Ｍが内蔵された鏡筒部１と、鏡筒部１を載置面３ａの上方に支持するフレーム２と、フレーム２に設けられ、載置面３ａと鏡筒部１との間の領域に対して清浄化された空気を送風する送風機４と、を備える構成とする。【選択図】図１
2011221342.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を載置面に載置して、前記試料を前記載置面の上方から観察する顕微鏡装置であって、
前記試料を観察する観察光学系が内蔵された鏡筒部と、
該鏡筒部を前記載置面の上方に支持する支持部材と、
該支持部材に設けられ、前記載置面と前記鏡筒部との間の領域に対して清浄化された空気を送風する送風機と、
を備えることを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項２】
前記鏡筒部を厚さ方向に貫通させるとともに前記載置面の上方を覆って配置された仕切り板を備える
ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡装置。
【請求項３】
前記送風機は、前記鏡筒部によって前記試料を観察する際に観察者が位置する側である装置手前側に対して前記載置面を挟んで対向するように装置奥側に設けられた送風口から送風する
ことを特徴とする請求項１または２に記載の顕微鏡装置。
【請求項４】
前記載置面と前記鏡筒部との間の領域は、前記載置面に載置した試料を前記鏡筒部で観察作業を行う作業領域である
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の顕微鏡装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、精密部品の組立作業や、生物試料の観察作業または実験作業においては、作業対象（以下、試料）を清浄な状態に保つことが求められる。このため、これらの組立作業、観察作業、実験作業などは、従来、クリーンベンチを用いて行われることが多い。特に、試料が小さい場合には、顕微鏡をクリーンベンチの内部に持ち込んで作業が行われる。
このようなクリーンベンチとして、特許文献１には、作業台の上側に前面作業用開口部を除き準密閉状態の作業室が形成され、該前面作業用開口部の少なくとも上半部はシャッターにより開閉可能であり、且つ、作業室内で発生する汚染空気を一側から吸引回収し無菌清浄化する手段と、作業室内に他側から清浄空気を供給する手段を備えた内部陰圧式清浄作業台において、作業室前面のシャッター部に、作業室内に設置した顕微鏡の接眼レンズ部を貫通させ作業室外部に出すための小開口部を設けたことを特徴とする内部陰圧式清浄作業台が記載されている。
特許文献１の装置では、清浄空気を送風するターボファンは前面作業用開口部に対向して設けられ、顕微鏡の背面から前面作業用開口部側に送風されるようになっている。
また、特許文献２には、作業室と、この作業室の上方に配置されてこの作業室に清浄空気を供給するフィルタおよび送風機が格納された天井ケースと、上記作業室の下方に配設された作業台を備え、上記作業室に供給された清浄空気中でガスバーナを用いた作業が行われる卓上型清浄作業台であって、上記ガスバーナに遮風板を設けたことを特徴とする卓上型清浄作業台が記載されている。
特許文献２には、作業台が作業室より前方に突出するように形成され、前窓によって作業用開口部の開口面積が小さくなるためその部分の吹出風速が大きくなってエアカーテン作用により作業台上にも清浄空気を得ることができることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２１４６７５号公報
【特許文献２】特開平９−１７８２３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のようなクリーンベンチに持ち込んだ顕微鏡による従来の作業には、以下のような問題があった。
特許文献１に記載の技術では、準密閉状態の作業室の中で作業中に清浄空気が顕微鏡の奥側から前面側に送風される。
顕微鏡は、試料を載置する載置台上に鏡筒部を支持するための支持フレームが設けられており、支持フレームは、特許文献１にも図示されているように、観察者が観察者の前側で作業が行いやすいように、観察者に対して奥側となる位置に設けられている。
このため、特許文献１の内部陰圧式清浄作業台では、顕微鏡を作業室内に持ち込んで作業する場合に、清浄空気の気流が支持フレームによって遮られてしまい、載置台上の試料や試料の周辺で作業を行う作業領域における気流の勢いが低下してしまう。このため、試料の表面や作業領域を場所によっては清浄に保つことができないおそれがあるという問題がある。
支持フレームを、作業を行う観察者に対して左右方向に設けることも考えられるが、この場合、試料に対して側方から作業を行う場合の妨げとなるため作業性が悪化するという問題がある。
また、特許文献２に記載の技術でも、送風方向は観察者に対して奥側から手前側であるため、同様の問題がある。
【０００５】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、顕微鏡観察を行いつつ作業を行う場合に、試料あるいは試料の周囲の作業領域の清浄性を保つことができるとともに作業性が良好となる顕微鏡装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明では、顕微鏡装置において、試料を載置面に載置して、前記試料を前記載置面の上方から観察する顕微鏡装置であって、前記試料を観察する観察光学系が内蔵された鏡筒部と、該鏡筒部を前記載置面の上方に支持する支持部材と、該支持部材に設けられ、前記載置面と前記鏡筒部との間の領域に対して清浄化された空気を送風する送風機と、を備える構成とする。
【０００７】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の顕微鏡装置において、前記鏡筒部を厚さ方向に貫通させるとともに前記載置面の上方を覆って配置された仕切り板を備える構成とする。
【０００８】
請求項３に記載の発明では、請求項１または２に記載の顕微鏡装置において、前記送風機は、前記鏡筒部によって前記試料を観察する際に観察者が位置する側である装置手前側に対して前記載置面を挟んで対向するように装置奥側に設けられた送風口から送風する構成とする。
【０００９】
請求項４に記載の発明では、請求項１〜３のいずれかに記載の顕微鏡装置において、前記載置面と前記鏡筒部との間の領域は、前記載置面に載置した試料を前記鏡筒部で観察作業を行う作業領域である構成とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の顕微鏡装置によれば、鏡筒部を支持する支持部材に送風機が設けられ、送風機から清浄化された空気が載置面と鏡筒部との間の領域に対して送風されるため、顕微鏡観察を行いつつ作業を行う場合に、試料あるいは試料の周囲の作業領域の清浄性を保つことができるとともに作業性が良好となるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る顕微鏡装置の構成を示す模式的な右側面図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る顕微鏡装置の構成を示す模式的な正面図である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係る顕微鏡装置の構成を示す模式的な斜視図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る顕微鏡装置の構成を示す模式的な右側面図である。
【図５】本発明の第２の実施形態の変形例に係る顕微鏡装置の構成を示す模式的な斜視図である。
【図６】本発明の第３の実施形態に係る顕微鏡装置の構成を示す模式的な斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下では、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一の符号を付し、共通する説明は省略する。
【００１３】
［第１の実施形態］
本発明の第１の実施形態に係る顕微鏡装置について説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態に係る顕微鏡装置の構成を示す模式的な右側面図である。図２は、本発明の第１の実施形態に係る顕微鏡装置の構成を示す模式的な正面図である。
【００１４】
本実施形態の双眼実体顕微鏡５０（顕微鏡装置）は、図１、２に示すように、観察者が両眼で覗くことによって、試料Ｓの上方から立体的な拡大像を観察することができるようにしたものである。双眼実体顕微鏡５０は、試料Ｓの立体形状を観察したり、試料Ｓを組立相手部品に組み立てたり、試料Ｓを実験するといった作業に好適に用いることができる。
双眼実体顕微鏡５０の概略構成は、鏡筒部１、フレーム２（支持部材）、試料載置台３、および送風機４を備える。
【００１５】
鏡筒部１は、対物レンズＬＯを内蔵する対物レンズユニット１ａと、接眼レンズＬＥを内蔵する１対の接眼レンズユニット１ｂと、対物レンズユニット１ａおよび１対の接眼レンズユニット１ｂを一体に保持するとともに、対物レンズユニット１ａに入射した光束を１対の接眼レンズユニット１ｂにそれぞれ分岐させる分岐光学系Ｐを内蔵する鏡筒本体１ｃとを備える。
対物レンズＬＯ、接眼レンズＬＥ、および分岐光学系Ｐは、試料を観察する観察光学系Ｍを構成している。
鏡筒部１の具体的な構成は、観察光学系Ｍの構成も含めて、双眼実体顕微鏡における周知の構成を適宜採用することができる。
特に詳細は図示しないが、鏡筒部１には、焦点調整を行うための対物レンズユニット１ａを昇降させる昇降機構や、昇降機構を操作するための操作ハンドルなどが適宜設けられている。
【００１６】
フレーム２は、鏡筒部１を支持する支持部材であり、本実施形態では、板状の底面部２ａと、底面部２ａの一端部において底面部２ａに対して垂直上向きに立設された板状の背面部２ｂと、背面部２ｂの上端から底面部２ａと対向するよう底面部２ａと平行に延ばされた板状の上面部２ｃとからなる。このため、フレーム２は、側面視では、図１に示すように底面部２ａと上面部２ｃとの間が一方側に開口したコ字状の形状を有している。
なお、底面部２ａは傾斜面上に配置することもできるが、以下では、簡単のため、図１、２に示すような、底面部２ａが水平面上に配置された位置関係に基づいて説明する。このため、例えば、上面部２ｃは底面部２ａに対して鉛直上方に水平に配置されており、背面部２ｂは底面部２ａ上に鉛直上方に延ばされているものとして方向を説明する場合がある。
【００１７】
上面部２ｃは、図２に示すように、本実施形態では、正面視の幅が、底面部２ａの正面視の幅よりも小さく、正面視では、底面部２ａの中心部において底面部２ａと対向されている。
また、上面部２ｃには、鏡筒部１を板厚方向に貫通させた状態で取り付ける取付穴２ｅが設けられている。取付穴２ｅに貫通された鏡筒部１は、例えば、鏡筒本体１ｃの側方に延ばされたフランジ（不図示）を介して固定ネジ（不図示）などによって上面部２ｃと固定されている。
【００１８】
鏡筒部１は、本実施形態では、対物レンズユニット１ａの光軸が底面部２ａと直交する方向（鉛直方向）に整列され、接眼レンズユニット１ｂの光軸が、対物レンズユニット１ａの光軸に対して、側面視において背面部２ｂと反対側に傾斜される姿勢で固定されている。
このため、双眼実体顕微鏡５０を用いて試料Ｓを観察する観察者は、背面部２ｂと対向する位置において、１対の接眼レンズユニット１ｂを両眼で覗いて、対物レンズユニット１ａによる像を観察することができるようになっている。
以下では、水平方向において１対の接眼レンズユニット１ｂを両眼で覗く観察者が位置する側を、双眼実体顕微鏡５０の「装置手前側」、これと反対の背面部２ｂ側を「装置奥側」と称する。すなわち、装置手前側は、双眼実体顕微鏡５０の正面側である。
また、鏡筒部１の正面視の位置は、対物レンズユニット１ａの光軸が、上面部２ｃの正面視の幅方向の中心軸と一致する位置とされている。
【００１９】
また、フレーム２の底面部２ａ上には、鏡筒部１の対物レンズユニット１ａと対向する位置に試料載置台３が配置されている。
試料載置台３は、底面部２ａと平行に設けられた円板状部材であり、上面に試料Ｓを載置する載置面３ａが設けられている。載置面３ａの直径は、上面部２ｃの正面視の幅よりも狭くなっている。
このような配置により、フレーム２は、鏡筒部１を載置面３ａの上方に支持する支持部材となっている。
また、フレーム２の背面部２ｂには、図２に示すように、装置手前側から見て、少なくとも対物レンズユニット１ａと試料載置台３との間の領域に重なる位置に、背面部２ｂの板厚方向に貫通された孔部である送風機取付開口部２ｄが設けられている。
本実施形態では、送風機取付開口部２ｄは、鉛直方向には上面部２ｃの下面よりわずかに下側から載置面３ａよりわずかに上側まで開口され、水平方向には上面部２ｃの正面視の幅と略同じ幅を有する矩形孔とされている。
【００２０】
送風機４は、矩形状に開口された送風口４ｄが一端側に形成された筐体４ａと、筐体４ａの内部において送風口４ｄと対向して設けられ、不図示の吸気口から空気を吸い込んで送風口４ｄ側に送風する回転ファン４ｂと、送風口４ｄを覆うように設けられ、回転ファン４ｂから送風される空気を清浄化するフィルタ４ｃとを備える。
フィルタ４ｃとしては、例えば、ＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ、不織布等を採用することができる。
このような構成の送風機４は、背面部２ｂに対して装置奥側に配置され、送風口４ｄが送風機取付開口部２ｄの内部に嵌合された状態で固定されている。なお、好ましくはフィルタの吹き出し側にルーバーが取り付けられて層流効果を生むことで、更に粉塵が巻き込まれない構成にすることも可能である。
【００２１】
このため、送風機４は、フレーム２に設けられており、回転ファン４ｂを回転させることで、載置面３ａと鏡筒部１との間の領域の側方から、フィルタ４ｃを通して清浄化された空気を送風することができるようになっている。
また、送風口４ｄは、装置手前側に対して載置面３ａを挟んで対向するように装置奥側に設けられている。
【００２２】
次に、このような構成を有する双眼実体顕微鏡５０の作用について説明する。
双眼実体顕微鏡５０では、載置面３ａ上に試料Ｓを配置し、送風機４の回転ファン４ｂを回転させると、不図示の吸気口から吸い込まれた空気が送風口４ｄから水平方向に送風される。このため、図１に示すように、送風された空気はフィルタ４ｃを通過して、気流Ｆ１として水平方向に沿って装置手前側に流れていく。このとき、気流Ｆ１は、フィルタ４ｃを通過することで空気中の塵埃などが除去されるため清浄化されている。
この気流Ｆ１は、送風口４ｄから送風方向の側方に拡散しつつ進むため、少なくとも、上面部２ｃの正面視の幅で上面部２ｃと底面部２ａとの間に位置する矩形状の領域である作業エリアＷ１（作業領域）に吹き付けられる。これにより少なくとも作業エリアＷ１内の載置面３ａ、載置面３ａ上に配置された試料Ｓ、および対物レンズユニット１ａなどが清浄に保たれる。
また、気流Ｆ１は、上方からの落下物に対してエアカーテンとしても機能するため、上方からの落下物は、気流Ｆ１の上層側で装置手前側に吹き飛ばされる。このため、下方側の試料Ｓなどに上方からの落下物が付着しにくくなる。
【００２３】
双眼実体顕微鏡５０によれば、送風機４がフレーム２の背面部２ｂに設けられ、送風口４ｄが試料Ｓの側方に対向して設けられているため、試料Ｓとの間に送風の障害となる部材が存在しない。このため、フィルタ４ｃから送風された気流Ｆ１が弱まることなく試料Ｓに吹き付けられる。
したがって、双眼実体顕微鏡５０では、従来のように装置奥側に支柱がある顕微鏡をクリーンベンチに持ち込んで観察を行う場合のように、装置奥側から送風される清浄空気が支柱に当たって弱まってしまう場合に比べて、対物レンズユニット１ａや試料Ｓをより清浄な状態に保つことができる。
【００２４】
このような状態で、観察者は、装置手前側に位置して、１対の接眼レンズユニット１ｂを両眼で覗くことにより、作業エリアＷ１内の試料Ｓを立体的に観察することができる。
また、観察者は、鏡筒部１によって試料Ｓを観察しながら、作業エリアＷ１内で試料Ｓに対する実験を行ったり、試料Ｓを組み立てたりすることができる。
また、このとき、フレーム２は、水平方向において側面視でコ字状に開口されているため、観察者の手や作業治具などを、作業エリアＷ１の側方から自由に出し入れすることができる。このため、作業エリアＷ１の側方に支持部材が配置されている場合に比べて作業性が良好となる。
【００２５】
このように、双眼実体顕微鏡５０によれば、顕微鏡観察を行いつつ作業を行う場合に、試料Ｓ、あるいは試料Ｓの周囲の作業エリアＷ１の清浄性を保つことができるとともに作業性が良好となる。
また、双眼実体顕微鏡５０によれば、双眼実体顕微鏡５０をクリーンベンチなどに持ち込むことなく作業エリアＷ１のみを清浄な環境とすることができるため、双眼実体顕微鏡５０を種々の場所に移動しても、同様に清浄な環境で試料Ｓを観察したり、試料Ｓに対して作業を行ったりすることができて便利である。また、高価なクリーンベンチを用いることなく、作業スペースも省スペース化することができる。
【００２６】
［第２の実施形態］
次に、本発明の第２の実施形態に係る顕微鏡装置について説明する。
図３は、本発明の第２の実施形態に係る顕微鏡装置の構成を示す模式的な斜視図である。図４は、本発明の第２の実施形態に係る顕微鏡装置の構成を示す模式的な右側面図である。
【００２７】
本実施形態の双眼実体顕微鏡５１（顕微鏡装置）は、図３、４に示すように、上記第１の実施形態の双眼実体顕微鏡５０に仕切り板５を追加したものである。以下、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００２８】
仕切り板５は、上面部２ｃの下面に固定され、装置奥側から装置手前側に向かって上面部２ｃの端部の近傍まで水平方向（上面部２ｃと平行な方向）に延ばされた水平部５ａと、水平部５ａの装置手前側の端部から下方側に屈曲された傾斜部５ｂとを備える。
仕切り板５の平面視の形状は、上面部２ｃの側方および装置手前側に延ばされ、底面部２ａとほぼ重なる大きさの矩形形状とされている。
【００２９】
このような構成の双眼実体顕微鏡５２によれば、送風機４によって底面部２ａと仕切り板５との間の作業エリアＷ２（作業領域）において清浄化された空気が送風されて気流Ｆ２が形成されるため、上記第１の実施形態と同様に、載置面３ａ上に載置された試料Ｓを観察しながら作業を行うことができる。
本実施形態では、このような仕切り板５を備えるため、仕切り板５よりも上方から落下する落下物を遮蔽することができる。このため、例えば、接眼レンズユニット１ｂをのぞき込む観察者落下する皮脂や頭髪など異物が試料Ｓ上に落下して付着することを確実に防止することができる。
【００３０】
また、仕切り板５は、送風口４ｄから送風される気流Ｆ２の上側の流路を規制する整風板の機能を有している。
このため、本実施形態では、送風口４ｄから水平方向に送風された気流Ｆ２は、図４に示すように、側面視では、装置手前側に近づくにつれて気流Ｆ２の進行方向が斜め下方側曲げられることになる。この結果、装置手前側に抜ける気流Ｆ２は、観察者の下半身側に進むため、観察者の顔、つまり接眼レンズユニット１ｂの方向に向かう気流が低減されて、より快適に観察を行うことができる。
【００３１】
［変形例］
次に、本発明の第２の実施形態の変形例に係る顕微鏡装置について説明する。
図５は、本発明の第２の実施形態の変形例に係る顕微鏡装置の構成を示す模式的な斜視図である。
【００３２】
本変形例の双眼実体顕微鏡５２（顕微鏡装置）は、図５に示すように、上記第２の実施形態の双眼実体顕微鏡５１のフレーム２、仕切り板５に代えて、それぞれフレーム１２（支持部材）、仕切り板１５を備え、さらに送風機４が２台追加されたものである。
以下、上記第２の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００３３】
フレーム１２は、上記第２の実施形態のフレーム２の底面部２ａおよび背面部２ｂの装置手前側から装置奥側を見たとき（以下、正面視と称する）の幅を左右方向に拡げて、それぞれ３倍以上とした底面部１２ａおよび背面部１２ｂを備える。
本変形例では、試料載置台３は、底面部１２ａの正面視の幅方向の中央に設けられている。
また、上面部２ｃは、背面部１２ｂの上端部において正面視の幅方向の中央には、試料載置台３と対向するように設けられ、上記第２の実施形態と同様にして鏡筒部１が取り付けられている。
また、背面部１２ｂの正面視の幅方向の中央には、上記第２の実施形態の送風機取付開口部２ｄと同様な形状を有する中央開口部１２ｅが板厚方向に貫通して設けられている。中央開口部１２ｅには、上記第２の実施形態と同様に送風機４が設けられている。なお、図５では、中央開口部１２ｅにおいては、フィルタ４ｃの図示を省略し筐体４ａの内部を描いている。
中央開口部１２ｅの正面視の左右には、それぞれ、送風機取付開口部２ｄと同様な形状を有する左側開口部１２ｄ、右側開口部１２ｆが板厚方向に貫通して設けられている。
左側開口部１２ｄおよび右側開口部１２ｆには、上記第２の実施形態と同様にそれぞれ送風機４が設けられている。
【００３４】
仕切り板１５は、上記第２の実施形態の仕切り板５の正面視の幅を、底面部１２ａの幅に合わせて拡げたものであり、水平部５ａ、傾斜部５ｂに対応して、正面視の幅のみが異なる水平部１５ａ、傾斜部１５ｂを備える。
【００３５】
このような構成の双眼実体顕微鏡５２によれば、３台の送風機４の各回転ファン４ｂを回転させることにより、左側開口部１２ｄ、中央開口部１２ｅ、右側開口部１２ｆの３箇所に設けられた送風機４の送風口４ｄから、装置手前側に清浄化された空気を送風することができる。
これにより、上記第２の実施形態の双眼実体顕微鏡５１に比べて３倍以上の幅を有する底面部１２ａ上で、清浄化された空気が送風され、上記第２の実施形態の双眼実体顕微鏡５１に比べてより幅広い作業エリアＷ３（作業領域）に清浄な雰囲気が形成される。
このため、観察者は、上記第２の実施形態と同様にして、載置面３ａ上で、試料Ｓを観察しながら試料Ｓに対する作業を行うことができる。
その際、本変形例では、さらに、試料載置台３の左右の底面部１２ａ上に、例えば、複数の部品が収容された部品パレットや、作業を行うための治具などを、清浄な状態を保ちつつ配置しておくことができる。
したがって、観察者は、左右に配置されたこれらの部品、部品パレット、治具などを適宜使用しながら、清浄な環境で作業を行うことができる。
この結果、クリーンベンチなどを用いることなく、種々の部品や治具などを用いつつ、試料Ｓに対する作業を行うことができる。
また、作業エリアＷ３は、双眼実体顕微鏡５２の装置手前側に開口しているため、作業エリアＷ３内に配置する試料Ｓ、部品、部品パレット、および治具等を、観察者が装置手前側から、自由に出し入れすることができる。
【００３６】
［第３の実施形態］
次に、本発明の第３の実施形態に係る顕微鏡装置について説明する。
図６は、本発明の第３の実施形態に係る顕微鏡装置の構成を示す模式的な斜視図である。
【００３７】
本実施形態の双眼実体顕微鏡５３（顕微鏡装置）は、図６に示すように、上記第１の実施形態の双眼実体顕微鏡５０の試料載置台３を削除し、フレーム２に代えて、箱型フレーム２２（支持部材）を備えたものである。以下、上記第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００３８】
双眼実体顕微鏡５３は、試料載置台３を有しないため、試料Ｓを載置する作業台２０上に配置して用いる。作業台２０は、試料Ｓを載置できる平面２０ａを有し、双眼実体顕微鏡５３を配置するスペースを備える部材であれば特に限定されない。
【００３９】
箱型フレーム２２は、水平に配置され、上記第１の実施形態の上面部２ｃと同様にして鏡筒部１が取り付けられた天板部２２ｂと、天板部２２ｂの装置奥側の端部を支持する鉛直方向に延ばされた背面板部２２ｄと、天板部２２ｂおよび背面板部２２ｄを装置手前側から装置奥側を見たとき（以下、正面視と称する）天板部２２ｂおよび背面板部２２ｄの左右方向から挟むように取り付けられた同形の１対の矩形板である左側板部２２ａおよび右側板部２２ｃとを備える。
【００４０】
左側板部２２ａ、背面板部２２ｄ、および右側板部２２ｃの下端部は、同一平面に整列されている。また、左側板部２２ａ、天板部２２ｂ、および右側板部２２ｃの装置手前側の端部は、背面板部２２ｄに平行な平面に整列されている。
このような構成により、箱型フレーム２２は、正面視では、装置手前側に左側板部２２ａ、天板部２２ｂ、および右側板部２２ｃで囲まれた矩形状の開口が形成されている。
また箱型フレーム２２を、作業台２０の平面２０ａ上に配置した場合、平面２０ａの一部が、箱型フレーム２２の左側板部２２ａ、背面板部２２ｄ、および右側板部２２ｃによって三方からが囲まれることになる。この領域は、天板部２２ｂおよび天板部２２ｂに設けられた鏡筒部１と対向する平面であり、試料Ｓを載置する載置面２０ｂとして用いることができる。
【００４１】
背面板部２２ｄには、上記第１の実施形態の背面部２ｂと同様に、送風機４を取り付けることができる送風機取付開口部２２ｅが厚さ方向に貫通して設けられている。
送風機取付開口部２２ｅの内部には、装置奥側から送風機４の送風口４ｄが嵌合されている。
【００４２】
このような構成により、載置面２０ｂ上には、上方に鏡筒部１が配置され、箱型フレーム２２によって囲まれた直方体状の空間である作業エリアＷ４（作業領域）が、装置奥側から装置手前側の開口部に向かって形成されている。
【００４３】
このような構成の双眼実体顕微鏡５３によれば、載置面２０ｂに載置された試料Ｓを上記第１の実施形態と同様に観察しながら作業を行うことができる。
その際、送風機４から清浄化された空気を送風すると、気流は作業エリアＷ４内を装置奥側から装置手前側に向かって流れる。作業エリアＷ４は、左側板部２２ａ、天板部２２ｂ、および右側板部２２ｃによって囲まれているため、気流は作業エリアＷ４の側方に漏れることなく装置手前側の開口部に向かって流れる。このため、気流が効率的に試料Ｓに吹き付けられ、試料Ｓを清浄化する作用が高められる。
また、箱型フレーム２２は、作業エリアＷ４の上方および側方から塵埃の侵入を防止できるため、作業エリアＷ４内の清浄性をより良好に保つことができる。すなわち、天板部２２ｂは、載置面２０ｂの上方を覆うように送風口の上側から送風方向に沿って延ばされるとともに、鏡筒部１を厚さ方向に貫通させるように配置された仕切り板としても機能している。
【００４４】
また、双眼実体顕微鏡５３は、載置台を備えず、試料Ｓが配置された適宜の作業台２０上に配置して試料Ｓの観察を行うことができるため、例えば、試料Ｓが特定の作業台２０から移動しにくい場合でも容易に試料Ｓを観察したり作業を行ったりすることができる。
【００４５】
なお、上記の説明では、支持部材は、フレーム２、フレーム１２等は、平板部材の組合せで構成されたフレーム構造の場合の例で説明したが、トラスからなるフレーム構造を採用してもよい。
【００４６】
また、上記第２の実施形態およびその変形例における仕切り板５、１５は、装置手前側に傾斜部が設けられた場合の例で説明したが、これは一例であって、仕切り板は、少なくとも載置面の上方を覆うように設けられていれば、適宜の形状に形成することができる。
例えば、単に水平方向に延びる平板としてもよいし、アーチ形状が送風方向に延ばされたドーム状の湾曲板などとしてもよい。
【００４７】
また、上記第３の実施形態の説明では、試料Ｓが作業台２０上の平面２０ｂ上に配置された場合の例で説明したが、作業台２０上の載置面の形状は、双眼実体顕微鏡５３を載置することができれば、平面には限定されない。例えば、作業台２０上で試料Ｓの姿勢を安定して載置するため、試料Ｓの形状に応じた凹凸部や湾曲面などが設けられた構成としてもよい。
【００４８】
また、上記の各実施形態、各変形例に説明したすべての構成要素は、本発明の技術的思想の範囲で適宜組み合わせを代えたり、削除したりして実施することができる。
例えば、上記の第３の実施形態では、箱型フレーム２２が平板部材の組合せで構成されたフレーム構造からなり、これにより、作業エリアＷ４を囲むダクトが構成されている場合の例で説明したが、気流の左側板部２２ａおよび右側板部２２ｃをトラス構造として、天板部２２ｂに仕切り板の機能のみを残して、第２の実施形態と同様に、気流が側方に拡散できる構成としてもよい。
また、さらに天板部２２ｂをトラス構造として、上記第１の実施形態と同様に仕切り板を用いることなく、作業エリアＷ４に清浄化された空気を送風するようにしてもよい。
また箱型フレーム２２の一部または全てを、光を透過する部材を用いることで、試料Sに外部からの視認性が高まり、作業性が向上する。また箱型フレーム２２の一部または全てを一部の波長を遮蔽する部材を用いてもよい。
同様に上記第１の実施形態におけるフレーム２、上記第２の実施形態における仕切り板５、上記第２の実施形態の変形例における仕切り板１５やフレーム１２においても、一部または全てを、光を透過する部材を用いたり、一部の波長を遮蔽する部材を用いてもよい。
【符号の説明】
【００４９】
１  鏡筒部
２、１２  フレーム（支持部材）
３  試料載置台
３ａ、２０ｂ  載置面
４  送風機
４ｃ  フィルタ
４ｄ  送風口
５、１５  仕切り板
１２ｄ  左側開口部
１２ｅ  中央開口部
１２ｆ  右側開口部
２２  箱型フレーム（支持部材）
２２ｂ  天板部（仕切り板）
５０、５１、５２、５３  双眼実体顕微鏡（顕微鏡装置）
Ｆ１、Ｆ２  気流
Ｍ  観察光学系
Ｓ  試料
Ｗ１、Ｗ２、Ｗ３、Ｗ４  作業エリア（作業領域）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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