(57)【要約】【課題】正負イオンの偏在を抑制して、除電する能力を向上させる。【解決手段】各々、コロナ放電によりイオンを発生させる複数の放電電極４１が並んで設けられた除電装置４０ａであって、各放電電極４１で発生させるイオンの極性が互いに独立して切り替わると共に、複数の放電電極４１が隣り合う複数個毎にイオンの極性が切り替わり、正のイオン５ａが発生する正ブロックと負のイオン５ｂが発生する負ブロックとの極性の境界が時間の経過にしたがって複数の放電電極４１の並んだ方向に沿って移動するように構成された制御部を備えている。【選択図】図２
2011023123.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々、コロナ放電によりイオンを発生させる複数の放電電極が並んで設けられた除電装置であって、
上記各放電電極で発生させるイオンの極性が互いに独立して切り替わると共に、上記複数の放電電極が隣り合う複数個毎にイオンの極性が切り替わり、正のイオンが発生する正ブロックと負のイオンが発生する負ブロックとの極性の境界が時間の経過にしたがって該複数の放電電極の並んだ方向に沿って移動するように構成された制御部を備えていることを特徴とする除電装置。
【請求項２】
請求項１に記載された除電装置において、
上記制御部は、上記極性の境界が上記複数の放電電極の並んだ方向の一方端から他方端に向けて移動するように構成されていることを特徴とする除電装置。
【請求項３】
請求項１に記載された除電装置において、
上記制御部は、上記極性の境界が上記複数の放電電極の並んだ方向に沿う所定範囲を周期的に往復移動するように構成されていることを特徴とする除電装置。
【請求項４】
請求項３に記載された除電装置において、
上記制御部は、上記隣り合う複数個の個数が上記時間の経過に対して周期的に変化するように構成されていることを特徴とする除電装置。
【請求項５】
請求項３に記載された除電装置において、
上記制御部は、上記隣り合う複数個の個数が上記時間の経過に対して一定になるように構成されていることを特徴とする除電装置。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れか１つに記載された除電装置において、
上記各放電電極には、該各放電電極に印加する電圧の極性を切り替えて上記イオンの極性を切り替える電源が接続されていることを特徴とする除電装置。
【請求項７】
請求項１乃至５の何れか１つに記載された除電装置において、
上記各放電電極には、該各放電電極に正の電圧を印加する電源又は該各放電電極に負の電圧を印加する電源に接続して上記イオンの極性を切り替えるスイッチング素子が接続されていることを特徴とする除電装置。
【請求項８】
互いに平行に延びるように設けられた複数のシャフト、及び該各シャフトに取り付けられた円筒状の複数のコロを有し、該各コロの回転により被処理基板を搬送するコロコンベアと、
上記コロコンベアの上方に設けられ、各々、コロナ放電によりイオンを発生させる複数の放電電極が上記各シャフトの延びる方向に沿って並んで配置された除電装置とを備え、
上記各放電電極で発生させたイオンを上記被処理基板の表面に供給しながら、該被処理基板を搬送する搬送装置であって、
上記各放電電極で発生させるイオンの極性が互いに独立して切り替わると共に、上記複数の放電電極が隣り合う複数個毎にイオンの極性が切り替わり、正のイオンが発生する正ブロックと負のイオンが発生する負ブロックとの極性の境界が時間の経過にしたがって該複数の放電電極の並んだ方向に沿って移動するように構成された制御部を備えていることを特徴とする搬送装置。
【請求項９】
請求項８に記載された搬送装置において、
上記制御部は、上記極性の境界が上記複数の放電電極の並んだ方向の一方端から他方端に向けて移動するように構成されていることを特徴とする搬送装置。
【請求項１０】
請求項８に記載された搬送装置において、
上記各シャフトに支持された複数のコロは、上記被処理基板の搬送方向に沿って、互いに重なるように配置され、
上記制御部は、上記極性の境界が上記複数の放電電極の並んだ方向に沿う所定範囲を上記各コロの重なる位置を中心に周期的に往復移動するように構成されていることを特徴とする搬送装置。
【請求項１１】
請求項８に記載された搬送装置において、
上記各シャフトに支持された複数のコロは、上記被処理基板の搬送方向に沿って、互いに重なるように配置され、
上記制御部は、上記極性の境界が上記複数の放電電極の並んだ方向に沿う所定範囲を上記各コロの重なる位置の間を周期的に往復移動するように構成されていることを特徴とする搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、除電装置及びそれを備えた搬送装置に関し、特に、液晶表示パネルを構成するガラス基板を搬送する際にガラス基板に発生する静電気を除去するための除電装置及びそれを備えた搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルは、画像の最小単位である各画素毎に、例えば、スイッチング素子として、薄膜トランジスタ（以下、「ＴＦＴ」と称する）が設けられたＴＦＴ基板を備えている。このＴＦＴ基板を製造する際には、例えば、コロコンベア（disk conveyer）とよばれるコンベアにより、ガラス基板を次工程に搬送する必要があるので、ガラス基板の裏面とコンベアの接触面との摩擦などにより、ガラス基板が帯電するおそれがある。ここで、ガラス基板が帯電すると、ガラス基板に形成されたＴＦＴが破壊され易いので、ＴＦＴ基板の製造では、ガラス基板の搬送中に、例えば、イオナイザとよばれる除電装置で発生させたイオンをガラス基板の表面に供給して、ガラス基板の帯電を中和することにより、ガラス基板で発生した静電気を除去することが有効である。
【０００３】
例えば、特許文献１には、複数の放電電極に高電圧を印加してコロナ放電によりイオンを発生させるイオナイザにおいて、複数の放電電極を例えば２群の放電電極に分割し、個々の群に属する放電電極に対して一括して同位相の交流電圧を印加すると共に、群毎に異なる位相の交流電圧をそれぞれ印加することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２８７３３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１のイオナイザでは、各放電電極で発生させた正負イオンがほぼ均一に分布して帯電物の表面に到達するので、帯電物の表面における正負イオンの位置的偏在及び時間的偏在が解消される、といえるものの、各放電電極で発生させたイオン毎に基板の帯電を中和するので、除電する能力が低下して、静電気の除去が不十分になるおそれがある。
【０００６】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、正負イオンの偏在を抑制して、除電する能力を向上させることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は、複数の放電電極で発生させるイオンの極性が互いに独立してそれぞれ切り替わると共に、複数の放電電極が隣り合う複数個毎にイオンの極性が切り替わり、正のイオンが発生する正ブロックと負のイオンが発生する負ブロックとの極性の境界が時間の経過にしたがって電極の整列方向に沿って移動するように構成された制御部を備えるようにしたものである。
【０００８】
具体的に本発明に係る除電装置は、各々、コロナ放電によりイオンを発生させる複数の放電電極が並んで設けられた除電装置であって、上記各放電電極で発生させるイオンの極性が互いに独立して切り替わると共に、上記複数の放電電極が隣り合う複数個毎にイオンの極性が切り替わり、正のイオンが発生する正ブロックと負のイオンが発生する負ブロックとの極性の境界が時間の経過にしたがって該複数の放電電極の並んだ方向に沿って移動するように構成された制御部を備えていることを特徴とする。
【０００９】
上記の構成によれば、制御部により、各放電電極で発生させるイオンの極性が互いに独立して切り替わるので、色々なイオン発生パターンを組むことが可能になる。また、制御部により、複数の放電電極では、隣り合う複数個毎にイオンの極性が切り替わり、正のイオンが発生する正ブロックと負のイオンが発生する負ブロックとの極性の境界が電極の整列方向に沿って時間の経過と共に移動するので、正ブロックで発生した正のイオンが集まった領域、及び負ブロックで発生した負のイオンが集まった領域が電極の整列方向に沿って時間の経過と共に移動するイオン発生パターンが具体的に構成される。そして、このイオン発生パターンでは、正のイオンが集まった領域、及び負のイオンが集まった領域が時間の経過にしたがって移動するので、正負イオンの偏在が抑制されると共に、正及び負のイオンが集まった各領域では、放電電極の隣り合う複数個分だけイオンが集まっているので、各放電電極でイオンを単独で発生させる場合よりも除電する能力が向上する。したがって、正負イオンの偏在を抑制して、除電する能力を向上させることが可能になる。
【００１０】
上記制御部は、上記極性の境界が上記複数の放電電極の並んだ方向の一方端から他方端に向けて移動するように構成されていてもよい。
【００１１】
上記の構成によれば、制御部により、正のイオンが発生する正ブロックと負のイオンが発生する負ブロックとの極性の境界が、電極の整列方向の一方端から他方端に向けて時間の経過と共に移動するので、正のイオンが集まった領域、及び負のイオンが集まった領域が時間の経過と共に電極の整列方向の一方端から他方端に向けて移動するイオン発生パターンが具体的に構成される。
【００１２】
上記制御部は、上記極性の境界が上記複数の放電電極の並んだ方向に沿う所定範囲を周期的に往復移動するように構成されていてもよい。
【００１３】
上記の構成によれば、制御部により、正のイオンが発生する正ブロックと負のイオンが発生する負ブロックとの極性の境界が、電極の整列方向に沿う所定範囲を周期的に時間の経過と共に往復移動するので、正のイオンが集まった領域、及び負のイオンが集まった領域が時間の経過と共に電極の整列方向に沿う所定範囲を周期的に移動するイオン発生パターンが具体的に構成される。
【００１４】
上記制御部は、上記隣り合う複数個の個数が上記時間の経過に対して周期的に変化するように構成されていてもよい。
【００１５】
上記の構成によれば、制御部により、複数の放電電極のうち、互いに同じ極性のイオンを発生させる隣り合う複数個の個数が時間の経過に対して周期的に変化するので、正のイオンが集まった領域、及び負のイオンが集まった領域が時間の経過と共に電極の整列方向に沿う所定範囲を周期的に移動する際に、正のイオンが集まった領域の幅、及び負のイオンが集まった領域の幅が周期的に変動するイオン発生パターンが具体的に構成される。
【００１６】
上記制御部は、上記隣り合う複数個の個数が上記時間の経過に対して一定になるように構成されていてもよい。
【００１７】
上記の構成によれば、制御部により、複数の放電電極のうち、互いに同じ極性のイオンを発生させる隣り合う複数個の個数が時間の経過に対して一定になるので、正のイオンが集まった領域、及び負のイオンが集まった領域が時間の経過と共に電極の整列方向に沿う所定範囲を周期的に移動する際に、正のイオンが集まった領域の幅、及び負のイオンが集まった領域の幅が一定なイオン発生パターンが具体的に構成される。
【００１８】
上記各放電電極には、該各放電電極に印加する電圧の極性を切り替えて上記イオンの極性を切り替える電源が接続されていてもよい。
【００１９】
上記の構成によれば、各放電電極には、印加される電圧の極性を切り替えてイオンの極性を切り替える電源が接続されているので、イオンの極性が互いに独立して切り替わる複数の放電電極が具体的に構成される。
【００２０】
上記各放電電極には、該各放電電極に正の電圧を印加する電源又は該各放電電極に負の電圧を印加する電源に接続して上記イオンの極性を切り替えるスイッチング素子が接続されていてもよい。
【００２１】
上記の構成によれば、各放電電極には、正の電圧が印加される電源又は負の電圧が印加される電源に接続してイオンの極性を切り替えるスイッチング素子が接続されているので、イオンの極性が互いに独立して切り替わる複数の放電電極が具体的に構成される。
【００２２】
また、本発明に係る搬送装置は、互いに平行に延びるように設けられた複数のシャフト、及び該各シャフトに取り付けられた円筒状の複数のコロを有し、該各コロの回転により被処理基板を搬送するコロコンベアと、上記コロコンベアの上方に設けられ、各々、コロナ放電によりイオンを発生させる複数の放電電極が上記各シャフトの延びる方向に沿って並んで配置された除電装置とを備え、上記各放電電極で発生させたイオンを上記被処理基板の表面に供給しながら、該被処理基板を搬送する搬送装置であって、上記各放電電極で発生させるイオンの極性が互いに独立して切り替わると共に、上記複数の放電電極が隣り合う複数個毎にイオンの極性が切り替わり、正のイオンが発生する正ブロックと負のイオンが発生する負ブロックとの極性の境界が時間の経過にしたがって該複数の放電電極の並んだ方向に沿って移動するように構成された制御部を備えていることを特徴とする。
【００２３】
上記の構成によれば、制御部により、各放電電極で発生させるイオンの極性が互いに独立して切り替わるので、色々なイオン発生パターンを組むことが可能になる。また、制御部により、複数の放電電極では、隣り合う複数個毎にイオンの極性が切り替わり、正のイオンが発生する正ブロックと負のイオンが発生する負ブロックとの極性の境界が電極の整列方向に沿って時間の経過と共に移動するので、コロコンベアで搬送させる被処理基板の表面に対して、正ブロックで発生した正のイオンが集まった領域、及び負ブロックで発生した負のイオンが集まった領域が電極の整列方向に沿って時間の経過と共に移動するイオン発生パターンでイオンが供給される。そして、このイオン発生パターンでは、正のイオンが集まった領域、及び負のイオンが集まった領域が時間の経過にしたがって、すなわち、被処理基板の搬送に伴って、電極の整列方向、すなわち、被処理基板の搬送方向と直交する方向に沿って移動するので、被処理基板の表面における正負イオンの偏在が抑制されると共に、被処理基板の表面における正及び負のイオンが集まった各領域では、放電電極の隣り合う複数個分だけイオンが集まっているので、各放電電極でイオンを単独で発生させる場合よりも除電する能力が向上する。したがって、正負イオンの偏在を抑制して、除電する能力を向上させることが可能になる。
【００２４】
上記制御部は、上記極性の境界が上記複数の放電電極の並んだ方向の一方端から他方端に向けて移動するように構成されていてもよい。
【００２５】
上記の構成によれば、制御部により、正のイオンが発生する正ブロックと負のイオンが発生する負ブロックとの極性の境界が、電極の整列方向の一方端から他方端に向けて時間の経過と共に移動するので、コロコンベアで搬送させる被処理基板の表面に対して、正のイオンが集まった領域と負のイオンが集まった領域との境界が被処理基板の搬送に伴って被処理基板の搬送方向と直交する方向の一方端から他方端に向けて移動するイオン発生パターンでイオンが供給されることにより、各シャフトに支持された複数のコロの位置に関係なく、被処理基板で発生した静電気が、基板に対して偏りが無いように平均的に、且つ効率的に除去される。
【００２６】
上記各シャフトに支持された複数のコロは、上記被処理基板の搬送方向に沿って、互いに重なるように配置され、上記制御部は、上記極性の境界が上記複数の放電電極の並んだ方向に沿う所定範囲を上記各コロの重なる位置を中心に周期的に往復移動するように構成されていてもよい。
【００２７】
上記の構成によれば、制御部により、正のイオンが発生する正ブロックと負のイオンが発生する負ブロックとの極性の境界が、電極の整列方向に沿う所定範囲を各コロの重なる位置を中心に周期的に往復移動するので、コロコンベアで搬送させる被処理基板の表面に対して、正のイオンが集まった領域と負のイオンが集まった領域との境界が被処理基板の搬送に伴って被処理基板の搬送方向と直交する方向に沿う所定範囲を各コロの重なる位置を中心に周期的に往復移動するイオン発生パターンでイオンが供給されることにより、各シャフトに支持された複数のコロの位置で静電気が多く発生する場合において、被処理基板で発生した静電気が、基板に対して偏りが無いように平均的に、且つ効率的に除去される。
【００２８】
上記各シャフトに支持された複数のコロは、上記被処理基板の搬送方向に沿って、互いに重なるように配置され、上記制御部は、上記極性の境界が上記複数の放電電極の並んだ方向に沿う所定範囲を上記各コロの重なる位置の間を周期的に往復移動するように構成されていてもよい。
【００２９】
上記の構成によれば、制御部により、正のイオンが発生する正ブロックと負のイオンが発生する負ブロックとの極性の境界が、電極の整列方向に沿う所定範囲を各コロの重なる位置の間を周期的に往復移動するので、コロコンベアで搬送させる被処理基板の表面に対して、正のイオンが集まった領域と負のイオンが集まった領域との境界が被処理基板の搬送に伴って被処理基板の搬送方向と直交する方向に沿う所定範囲を各コロの重なる位置の間を周期的に往復移動するイオン発生パターンでイオンが供給されることにより、各シャフトに支持された複数のコロの位置の間で静電気が多く発生する場合において、被処理基板で発生した静電気が、基板に対して偏りが無いように平均的に、且つ効率的に除去される。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、複数の放電電極で発生させるイオンの極性が互いに独立してそれぞれ切り替わると共に、複数の放電電極が隣り合う複数個毎にイオンの極性が切り替わり、正のイオンが発生する正ブロックと負のイオンが発生する負ブロックとの極性の境界が時間の経過にしたがって電極の整列方向に沿って移動するように構成された制御部を備えているので、正負イオンの偏在を抑制して、除電する能力を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】実施形態１に係る搬送装置５０ａの斜視図である。
【図２】搬送装置５０ａの横断面図である。
【図３】搬送装置５０ａで搬送する被処理基板２０の断面図である。
【図４】搬送装置５０ａを構成する除電装置４０ａで発生させるイオンのイオン発生パターンＰａのイメージ図である。
【図５】除電装置４０ａで発生させるイオンのイオン発生パターンＰｂのイメージ図である。
【図６】除電装置４０ａで発生させるイオンのイオン発生パターンＰｃのイメージ図である。
【図７】除電装置４０ａで発生させるイオンのイオン発生パターンＰｄのイメージ図である。
【図８】除電装置４０ａで発生させるイオンのイオン発生パターンＰｅのイメージ図である。
【図９】除電装置４０ａで発生させるイオンのイオン発生パターンＰｆのイメージ図である。
【図１０】除電装置４０ａで発生させるイオンのイオン発生パターンＰｇのイメージ図である。
【図１１】除電装置４０ａで発生させるイオンのイオン発生パターンＰｈのイメージ図である。
【図１２】除電装置４０ａで発生させるイオンのイオン発生パターンＰｉのイメージ図である。
【図１３】実施形態２に係る搬送装置５０ｂの横断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は、以下の各実施形態に限定されるものではない。
【００３３】
《発明の実施形態１》
図１〜図１２は、本発明に係る除電装置及びそれを備えた搬送装置の実施形態１を示している。具体的に、図１は、本実施形態の搬送装置５０ａの斜視図であり、図２は、その横断面図である。また、図３は、搬送装置５０ａで搬送する被処理基板２０の断面図である。
【００３４】
まず、搬送装置５０ａで搬送する被処理基板２０の具体的な構成について説明する。
【００３５】
被処理基板２０は、ＴＦＴ基板を多面取りで製造するための基板であり、図３に示すように、例えば、２８５０ｍｍ×３０５０ｍｍ×０．７ｍｍのガラス基板１０と、各パネル構成単位において、絶縁基板１０上に互いに平行に延びるように設けられた複数のゲート線（不図示）と、各ゲート線と直交する方向に互いに平行に延びるように設けられた複数のソース線（不図示）と、各ゲート線及び各ソース線の交差部毎にそれぞれ設けられた複数のＴＦＴ１５とを備えている。
【００３６】
ＴＦＴ１５は、図３に示すように、例えば、各ゲート線の側方への突出部であるゲート電極１１と、ゲート電極１１を覆うように設けられたゲート絶縁膜１２と、ゲート絶縁膜１２上にゲート電極１１に重なるように島状に設けられた半導体層１３と、半導体層１３上にゲート電極１１にそれぞれ重なると共に互いに対峙するように設けられたソース電極１４ａ及びドレイン電極１４ｂとを備えている。ここで、半導体層１３は、下層の真性アモルファスシリコン層１３ａと、真性アモルファスシリコン層１３ａのチャネル領域が露出するように設けられた上層のｎ＋アモルファスシリコン層１３ｂとを備えている。また、ソース電極１４ａは、例えば、各ソース線の側方への突出部である。
【００３７】
被処理基板２０は、各パネル構成単位において、絶縁基板１０上の各ＴＦＴ１５を覆うように層間絶縁膜を形成した後に、その層間絶縁膜上にマトリクス状に複数の画素電極を形成することなどにより、複数のＴＦＴ基板がマトリクス状に配置されたＴＦＴ母基板となる。
【００３８】
なお、本実施形態では、被処理基板２０として、ＴＦＴ１５が形成された母基板（上記ＴＦＴ母基板の中間体）を例示するが、被処理基板は、ＴＦＴ全体が形成される前のガラス基板、ＴＦＴ母基板、及びＴＦＴ母基板とＣＦ母基板とを貼り合わせた液晶表示パネルの集合体などであってもよい。
【００３９】
次に、搬送装置５０ａの具体的な構成について説明する。
【００４０】
搬送装置５０ａは、図１及び図２に示すように、被処理基板２０を搬送するためのコロコンベア３０と、コロコンベア３０の上方に設けられた除電装置４０ａとを備えている。
【００４１】
コロコンベア３０は、図１に示すように、互いに平行に延びるように細長い板状に設けられた一対の側壁部３１と、一対の側壁部３１の間で互いに平行に延びるように設けられ、各々、駆動モーターなどにより回転可能に構成された複数のシャフト３２と、各シャフト３２に固定された樹脂製の円筒状の複数のコロ３３とを備え、各シャフト３２の回転に伴う各コロ３３の回転により被処理基板２０を搬送するように構成されている。ここで、一対の側壁部３１の間隔は、例えば、３ｍ程度であり、複数のシャフト３２の間隔は、例えば、２０ｃｍ〜３０ｃｍ程度であり、複数のコロ３３の間隔は、例えば、４０ｃｍ〜５０ｃｍ程度である。
【００４２】
除電装置４０ａは、図２に示すように、コロナ放電により正イオン５ａ又は負イオン５ｂのイオン５（図１参照）をそれぞれ発生させるために一列に並ぶように設けられた複数の放電電極４１と、各放電電極４１で発生させたイオン５を被処理基板２０の表面に吐出して供給するための複数のノズルＮが下面に設けられたカバー部材４２と、各放電電極４１に正の電圧を印加するための第１高圧電源４６と、電極の整列方向（図中横方向）に延びるように設けられ、第１高圧電源４６に接続された第１配線４３と、各放電電極４１に負の電圧を印加するための第２高圧電源４７と、電極の整列方向（図中横方向）に延びるように設けられ、第２高圧電源４７に接続された第２配線４４と、各放電電極４１と第１配線４３又は第２配線４４とを接続して、各放電電極４１で発生させるイオン５の極性をそれぞれ切り替えるための複数のスイッチング素子４５と、各スイッチング素子４５の動作を制御するための制御部４９（図１参照）とを備えている。
【００４３】
制御部４９は、各放電電極４１で発生させるイオン５の極性が互いに独立して切り替わると共に、複数の放電電極４１が隣り合う複数個毎にイオン５の極性が切り替わり、正イオン５ａが発生する正ブロックＢａと負イオン５ｂが発生する負ブロックＢｂとの極性の境界Ｌが時間の経過にしたがって電極の整列方向に沿って移動するように構成され、例えば、図４〜図１２のイオン発生パターンＰａ〜Ｐｉを組むように構成されている。
【００４４】
ここで、図４〜図１２は、それぞれ、除電装置４０ａで発生させるイオンのイオン発生パターンＰａ〜Ｐｈのイメージ図である。この図４〜図１２では、縦軸のＮ１〜Ｎ１０（Ｎ８）が、放電電極４１がそれぞれ設けられたノズルＮの位置を示し、横軸のＴ１〜Ｔ５が経過時間を示し、○で囲んだ＋及び−の印が各ノズルＮ（Ｎ１〜Ｎ１０）の下方におけるイオンの極性を示している。なお、被処理基板２０の搬送速度は、５ｍ／秒〜４０ｍ／秒程度であり、Ｔ１〜Ｔ５の間隔は、１ミリ秒〜１０秒程度である。より具体的には、被処理基板２０の搬送速度が１０ｍ／分程度である場合、Ｔ１〜Ｔ５の間隔が１６．７ミリ秒程度である。
【００４５】
イオン発生パターンＰａでは、図４に示すように、制御部４９により、正イオン５ａが発生する正ブロックＢａと負イオン５ｂが発生する負ブロックＢｂとの波形の極性の境界Ｌが、電極の整列方向に沿う所定範囲（ノズルＮ１〜Ｎ５／ノズルＮ６〜Ｎ１０）を各コロ３３の重なる位置を中心に周期的に往復移動する際に、複数の放電電極４１のうち、互いに同じ極性のイオン５を発生させる隣り合う複数個の個数が時間の経過に対して周期的に２個〜８個で変化するので、被処理基板２０の表面では、正イオン５ａが集まった領域（Ｂａ）と負イオン５ｂが集まった領域（Ｂｂ）との境界（Ｌ）が基板の搬送に伴って基板の搬送方向と直交する方向に沿う所定範囲を各コロ３３の重なる位置を中心に周期的に往復移動すると共に、正イオン５ａが集まった領域（Ｂａ）の幅、及び負イオン５ｂが集まった領域（Ｂｂ）の幅が周期的に変動することになる。このイオン発生パターンＰａによれば、各シャフト３２に支持された複数のコロ３３の位置で静電気が多く発生する場合において、被処理基板２０で発生した静電気を、基板に対して偏りが無いように平均的に、且つ効率的に除去することができる。
【００４６】
イオン発生パターンＰｂでは、図５に示すように、制御部４９により、正イオン５ａが発生する正ブロックＢａと負イオン５ｂが発生する負ブロックＢｂとの波形の極性の境界Ｌが、電極の整列方向に沿う所定範囲（ノズルＮ１〜Ｎ５／ノズルＮ６〜Ｎ１０）を各コロ３３の重なる位置を中心に周期的に往復移動する際に、複数の放電電極４１のうち、互いに同じ極性のイオン５を発生させる隣り合う複数個の個数が時間の経過に対して５個で一定になるので、被処理基板２０の表面では、正イオン５ａが集まった領域（Ｂａ）と負イオン５ｂが集まった領域（Ｂｂ）との境界（Ｌ）が基板の搬送に伴って基板の搬送方向と直交する方向に沿う所定範囲を各コロ３３の重なる位置を中心に周期的に往復移動すると共に、正イオン５ａが集まった領域（Ｂａ）の幅、及び負イオン５ｂが集まった領域（Ｂｂ）の幅が一定である。このイオン発生パターンＰｂによれば、各シャフト３２に支持された複数のコロ３３の位置で静電気が多く発生する場合において、被処理基板２０で発生した静電気を、基板に対して偏りが無いように平均的に、且つ効率的に除去することができる。
【００４７】
イオン発生パターンＰｃでは、図６に示すように、制御部４９により、正イオン５ａが発生する正ブロックＢａと負イオン５ｂが発生する負ブロックＢｂとのジグザグ形の極性の境界Ｌが、電極の整列方向に沿う所定範囲（ノズルＮ１〜Ｎ４／ノズルＮ５〜Ｎ８）を各コロ３３の重なる位置を中心に周期的に往復移動する際に、複数の放電電極４１のうち、互いに同じ極性のイオン５を発生させる隣り合う複数個の個数が時間の経過に対して周期的に２個〜８個で変化するので、被処理基板２０の表面では、正イオン５ａが集まった領域（Ｂａ）と負イオン５ｂが集まった領域（Ｂｂ）との境界（Ｌ）が基板の搬送に伴って基板の搬送方向と直交する方向に沿う所定範囲を各コロ３３の重なる位置を中心に周期的に往復移動すると共に、正イオン５ａが集まった領域（Ｂａ）の幅、及び負イオン５ｂが集まった領域（Ｂｂ）の幅が周期的に変動することになる。このイオン発生パターンＰｃによれば、各シャフト３２に支持された複数のコロ３３の位置で静電気が多く発生する場合において、被処理基板２０で発生した静電気を、基板に対して偏りが無いように平均的に、且つ効率的に除去することができる。
【００４８】
イオン発生パターンＰｄでは、図７に示すように、制御部４９により、正イオン５ａが発生する正ブロックＢａと負イオン５ｂが発生する負ブロックＢｂとのジグザグ形の極性の境界Ｌが、電極の整列方向に沿う所定範囲（ノズルＮ１〜Ｎ４／ノズルＮ５〜Ｎ８）を各コロ３３の重なる位置を中心に周期的に往復移動する際に、複数の放電電極４１のうち、互いに同じ極性のイオン５を発生させる隣り合う複数個の個数が時間の経過に対して４個で一定になるので、被処理基板２０の表面では、正イオン５ａが集まった領域（Ｂａ）と負イオン５ｂが集まった領域（Ｂｂ）との境界（Ｌ）が基板の搬送に伴って基板の搬送方向と直交する方向に沿う所定範囲を各コロ３３の重なる位置を中心に周期的に往復移動すると共に、正イオン５ａが集まった領域（Ｂａ）の幅、及び負イオン５ｂが集まった領域（Ｂｂ）の幅が一定である。このイオン発生パターンＰｄによれば、各シャフト３２に支持された複数のコロ３３の位置で静電気が多く発生する場合において、被処理基板２０で発生した静電気を、基板に対して偏りが無いように平均的に、且つ効率的に除去することができる。
【００４９】
イオン発生パターンＰｅでは、図８に示すように、制御部４９により、正イオン５ａが発生する正ブロックＢａと負イオン５ｂが発生する負ブロックＢｂとの波形の極性の境界Ｌが、電極の整列方向に沿う所定範囲（ノズルＮ１〜Ｎ５／ノズルＮ６〜Ｎ１０）を各コロ３３の重なる位置の間を周期的に往復移動する際に、複数の放電電極４１のうち、互いに同じ極性のイオン５を発生させる隣り合う複数個の個数が時間の経過に対して周期的に２個〜８個で変化するので、被処理基板２０の表面では、正イオン５ａが集まった領域（Ｂａ）と負イオン５ｂが集まった領域（Ｂｂ）との境界（Ｌ）が基板の搬送に伴って基板の搬送方向と直交する方向に沿う所定範囲を各コロ３３の重なる位置の間を周期的に往復移動すると共に、正イオン５ａが集まった領域（Ｂａ）の幅、及び負イオン５ｂが集まった領域（Ｂｂ）の幅が周期的に変動することになる。このイオン発生パターンＰｅによれば、各シャフト３２に支持された複数のコロ３３の位置の間で静電気が多く発生する場合において、被処理基板２０で発生した静電気を、基板に対して偏りが無いように平均的に、且つ効率的に除去することができる。
【００５０】
イオン発生パターンＰｆでは、図９に示すように、制御部４９により、正イオン５ａが発生する正ブロックＢａと負イオン５ｂが発生する負ブロックＢｂとの波形の極性の境界Ｌが、電極の整列方向に沿う所定範囲（ノズルＮ１〜Ｎ５／ノズルＮ６〜Ｎ１０）を各コロ３３の重なる位置の間を周期的に往復移動する際に、複数の放電電極４１のうち、互いに同じ極性のイオン５を発生させる隣り合う複数個の個数が時間の経過に対して５個で一定になるので、被処理基板２０の表面では、正イオン５ａが集まった領域（Ｂａ）と負イオン５ｂが集まった領域（Ｂｂ）との境界（Ｌ）が基板の搬送に伴って基板の搬送方向と直交する方向に沿う所定範囲を各コロ３３の重なる位置の間を周期的に往復移動すると共に、正イオン５ａが集まった領域（Ｂａ）の幅、及び負イオン５ｂが集まった領域（Ｂｂ）の幅が一定である。このイオン発生パターンＰｆによれば、各シャフト３２に支持された複数のコロ３３の位置の間で静電気が多く発生する場合において、被処理基板２０で発生した静電気を、基板に対して偏りが無いように平均的に、且つ効率的に除去することができる。
【００５１】
イオン発生パターンＰｇでは、図１０に示すように、制御部４９により、正イオン５ａが発生する正ブロックＢａと負イオン５ｂが発生する負ブロックＢｂとのジグザグ形の極性の境界Ｌが、電極の整列方向に沿う所定範囲（ノズルＮ１〜Ｎ５／ノズルＮ６〜Ｎ１０）を各コロ３３の重なる位置の間を周期的に往復移動する際に、複数の放電電極４１のうち、互いに同じ極性のイオン５を発生させる隣り合う複数個の個数が時間の経過に対して周期的に２個〜８個で変化するので、被処理基板２０の表面では、正イオン５ａが集まった領域（Ｂａ）と負イオン５ｂが集まった領域（Ｂｂ）との境界（Ｌ）が基板の搬送に伴って基板の搬送方向と直交する方向に沿う所定範囲を各コロ３３の重なる位置の間を周期的に往復移動すると共に、正イオン５ａが集まった領域（Ｂａ）の幅、及び負イオン５ｂが集まった領域（Ｂｂ）の幅が周期的に変動することになる。このイオン発生パターンＰｇによれば、各シャフト３２に支持された複数のコロ３３の位置の間で静電気が多く発生する場合において、被処理基板２０で発生した静電気を、基板に対して偏りが無いように平均的に、且つ効率的に除去することができる。
【００５２】
イオン発生パターンＰｈでは、図１１に示すように、制御部４９により、正イオン５ａが発生する正ブロックＢａと負イオン５ｂが発生する負ブロックＢｂとのジグザグ形の極性の境界Ｌが、電極の整列方向に沿う所定範囲（ノズルＮ１〜Ｎ５／ノズルＮ６〜Ｎ１０）を各コロ３３の重なる位置の間を周期的に往復移動する際に、複数の放電電極４１のうち、互いに同じ極性のイオン５を発生させる隣り合う複数個の個数が時間の経過に対して５個で一定になるので、被処理基板２０の表面では、正イオン５ａが集まった領域（Ｂａ）と負イオン５ｂが集まった領域（Ｂｂ）との境界（Ｌ）が基板の搬送に伴って基板の搬送方向と直交する方向に沿う所定範囲を各コロ３３の重なる位置の間を周期的に往復移動すると共に、正イオン５ａが集まった領域（Ｂａ）の幅、及び負イオン５ｂが集まった領域（Ｂｂ）の幅が一定である。このイオン発生パターンＰｈによれば、各シャフト３２に支持された複数のコロ３３の位置の間で静電気が多く発生する場合において、被処理基板２０で発生した静電気を、基板に対して偏りが無いように平均的に、且つ効率的に除去することができる。
【００５３】
イオン発生パターンＰｉでは、図１２に示すように、制御部４９により、正イオン５ａが発生する正ブロックＢａと負イオン５ｂが発生する負ブロックＢｂとのジグザグ形の極性の境界Ｌが、電極の整列方向の一方端（ノズルＮ１）から他方端（ノズルＮ８）に向けて時間の経過と共に移動するので、被処理基板２０の表面では、正イオン５ａが集まった領域（Ｂａ）と負イオン５ｂが集まった領域（Ｂｂ）との境界（Ｌ）が基板の搬送に伴って基板の搬送方向と直交する方向の一方端から他方端に向けて移動する。このイオン発生パターンＰｉによれば、各シャフト３２に支持された複数のコロ３３の位置に関係なく、被処理基板２０で発生した静電気を、基板に対して偏りが無いように平均的に、且つ効率的に除去することができる。
【００５４】
以上説明したように、本実施形態の除電装置４０ａ及びそれを備えた搬送装置５０ａによれば、制御部４９により、各放電電極４１で発生させるイオン５の極性が互いに独立して切り替わるので、色々なイオン発生パターンを組むことができる。また、制御部４９により、複数の放電電極４１では、隣り合う複数個毎にイオン５の極性が切り替わり、正イオン５ａが発生する正ブロックＢａと負イオン５ｂが発生する負ブロックＢｂとの極性の境界Ｌが電極の整列方向に沿って時間の経過と共に移動するので、コロコンベア３０で搬送させる被処理基板２０の表面に対して、正ブロックＢａで発生した正イオン５ａが集まった領域、及び負ブロックＢｂで発生した負イオン５ｂが集まった領域が電極の整列方向に沿って時間の経過と共に移動するイオン発生パターンＰａ〜Ｐｉでイオンを供給することができる。そして、このイオン発生パターンＰａ〜Ｐｉでは、正イオン５ａが集まった領域、及び負イオン５ｂが集まった領域が時間の経過にしたがって、すなわち、被処理基板２０の搬送に伴って、電極の整列方向、すなわち、被処理基板２０の搬送方向と直交する方向に沿って移動するので、被処理基板２０の表面における正負イオンの偏在を抑制することができると共に、被処理基板２０の表面における正及び負のイオンが集まった各領域では、放電電極４１の隣り合う複数個分だけイオンが集まっているので、各放電電極でイオンを単独で発生させる場合よりも除電する能力を向上させることができる。したがって、正負イオンの偏在を抑制して、除電する能力を向上させることができる。
【００５５】
《発明の実施形態２》
図１３は、本実施形態の搬送装置５０ｂの横断面図である。なお、以下の実施形態において、図１〜図１２と同じ部分については同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００５６】
上記実施形態１では、各放電電極４１にスイッチング素子４５を接続して各放電電極４１で発生させるイオンの極性を切り替える構成を例示したが、本実施形態では、各放電電極４１にスイッチング機能を有する高圧電源４８を接続して各放電電極４１で発生させるイオンの極性を切り替える構成を例示する。
【００５７】
搬送装置５０ｂは、図１３に示すように、被処理基板２０を搬送するためのコロコンベア３０と、コロコンベア３０の上方に設けられた除電装置４０ｂとを備えている。
【００５８】
除電装置４０ｂは、図１３に示すように、コロナ放電により正イオン５ａ又は負イオン５ｂをそれぞれ発生させるために一列に並ぶように設けられた複数の放電電極４１と、各放電電極４１で発生させたイオンを被処理基板２０の表面に吐出して供給するための複数のノズルＮが下面に設けられたカバー部材４２と、各放電電極４１にそれぞれ接続され、各放電電極４１に正の電圧を印加して正イオン５ａを発生させる又は負の電圧を印加して負イオン５ｂを発生させるスイッチング機能がそれぞれ内蔵された複数の高圧電源４８と、各高圧電源４８の動作を制御するための制御部４９（図１参照）とを備えている。
【００５９】
本実施形態の除電装置４０ｂ及びそれを備えた搬送装置５０ｂによれば、複数の放電電極４１で発生させるイオン５の極性が互いに独立してそれぞれ切り替わると共に、複数の放電電極４１が隣り合う複数個毎にイオン５の極性が切り替わり、正イオン５ａが発生する正ブロックＢａと負イオン５ｂが発生する負ブロックＢｂとの極性の境界Ｌが時間の経過にしたがって電極の整列方向に沿って移動するように構成された制御部４９を備えているので、上記実施形態１と同様に、正負イオンの偏在を抑制して、除電する能力を向上させることができる。
【００６０】
上記各実施形態では、搬送装置で搬送する被処理基板としてガラス基板を例示したが、本発明は、樹脂基板の搬送及び除電にも適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６１】
以上説明したように、本発明は、正負イオンの偏在を抑制して、除電する能力を向上させることができるので、大型のガラス基板を用いた液晶表示パネルの製造について有用である。
【符号の説明】
【００６２】
Ｂａ    正ブロック
Ｂｂ    負ブロック
Ｌ      境界
５      イオン
５ａ    正イオン
５ｂ    負イオン
２０    被処理基板
３０    搬送装置
３２    シャフト
３３    コロ
４０ａ，４０ｂ    除電装置
４１    放電電極
４５    スイッチング素子
４６    第１高圧電源
４７    第２高圧電源
４８    高圧電源
４９    制御部
５０ａ，５０ｂ      搬送装置
【図１】
2011023123.tif 000003
【図２】
2011023123.tif 000004
【図３】
2011023123.tif 000005
【図４】
2011023123.tif 000006
【図５】
2011023123.tif 000007
【図６】
2011023123.tif 000008
【図７】
2011023123.tif 000009
【図８】
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【図９】
2011023123.tif 000011
【図１０】
2011023123.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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