(57)【要約】【課題】適正な押圧条件で押圧作業を実施することができ、潜在的短絡欠陥の検出漏れを低減することが可能な液晶表示装置の検査方法および検査装置を提供する。【解決手段】液晶表示装置１の画像表示面１ａに加えられた圧力を定量的に検知する圧力情報取得手段と、その圧力を検知した位置を座標として取得する位置情報取得手段を有する圧力センサシート２を備えた検査装置を用いることにより、検査員６による押圧作業の圧力情報および位置情報を定量的に管理することが可能である。また、これらの圧力情報および位置情報をもとに算出した当該押圧作業の押圧パラメータと、予めメモリ３３に記憶された押圧条件規定値を比較して当該押圧作業の良否判定を行なうことができるため、常に適正な押圧条件で押圧作業を実施することができ、潜在的短絡欠陥の検出漏れを低減することが可能となり、検出精度が向上する。【選択図】図１
2011043380.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶表示装置の対向する基板にそれぞれ設けられた電極の間に発生する短絡欠陥を検出する液晶表示装置の検査方法であって、
液晶表示装置の画像表示面に対向して圧力センサシートを配置し、制御手段からの駆動信号により前記液晶表示装置を点灯させ、前記液晶表示装置の機種に対して予め設定された押圧条件規定値を記憶手段から読み込む準備工程と、
前記押圧条件規定値をもとに、検査員が前記圧力センサシート上から前記画像表示面を押圧する作業を実施する押圧作業工程と、
前記押圧作業毎の圧力情報および位置情報を前記圧力センサシートから取得し、これらをもとに当該押圧作業の押圧パラメータを算出する押圧パラメータ演算工程と、
前記押圧パラメータと前記押圧条件規定値を比較して当該押圧作業の良否判定を行ない、その良否判定結果を検査員に通知する作業良否判定工程と、
検査員が前記画像表示面上に短絡欠陥を検出した際に、これを欠陥検出情報として前記制御手段に入力する欠陥検出情報入力工程と、
検査員が検出した短絡欠陥の位置情報を前記圧力センサシートから取得し、前記記憶手段に記憶する欠陥座標記憶工程を含むことを特徴とする液晶表示装置の検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液晶表示装置の検査方法であって、前記押圧パラメータは、前記画像表示面上の押圧位置における荷重値、押圧面積、押圧力、押圧時間を含むことを特徴とする液晶表示装置の検査方法。
【請求項３】
請求項１に記載の液晶表示装置の検査方法であって、前記作業良否判定工程において、前記押圧作業の良否判定が「否」であった場合、当該押圧作業の作業補正指示を検査員にリアルタイムに通知することを特徴とする液晶表示装置の検査方法。
【請求項４】
請求項１に記載の液晶表示装置の検査方法であって、前記欠陥検出情報入力工程において、前記記憶手段は、検査員が欠陥検出情報を入力した場合、その直前の押圧作業の圧力情報および位置情報を記憶することを特徴とする液晶表示装置の検査方法。
【請求項５】
請求項１に記載の液晶表示装置の検査方法であって、前記欠陥検出情報入力工程において、前記制御手段は、前記欠陥検出情報を受信した場合、検査員に短絡欠陥の位置を押圧させる欠陥位置押圧指示を出力することを特徴とする液晶表示装置の検査方法。
【請求項６】
液晶表示装置の対向する基板にそれぞれ設けられた電極の間に発生する短絡欠陥を検出する液晶表示装置の検査装置であって、
液晶表示装置を点灯するための駆動信号を供給する制御手段、
前記液晶表示装置の画像表示面に対向して配置され、前記画像表示面に加えられた圧力を定量的に検知する圧力情報取得手段と、その圧力を検知した位置を座標として取得する位置情報取得手段を有する圧力センサシート、
検査員による前記画像表示面への押圧作業の度に、当該押圧作業の圧力情報および位置情報を前記圧力センサシートから取得し、これらをもとに算出した当該押圧作業の押圧パラメータと、予め記憶手段に記憶された押圧条件規定値を比較して当該押圧作業の良否判定を行なう作業良否判定手段、
画像表示手段を有し、前記作業良否判定手段により出力される良否判定結果および作業補正指示を表示する指示手段、
検査員が前記画像表示面上に短絡欠陥を検出した際にこれを欠陥検出情報として前記制御手段に入力する入力手段を備えたことを特徴とする液晶表示装置の検査装置。
【請求項７】
請求項６に記載の液晶表示装置の検査装置であって、前記圧力センサシートは、前記圧
力センサシートを介して検査員が前記画像表示面上の短絡欠陥を視認可能な透明材料からなることを特徴とする液晶表示装置の検査装置。
【請求項８】
請求項６に記載の液晶表示装置の検査装置であって、前記押圧パラメータは、前記画像表示面上の押圧位置における荷重値、押圧面積、押圧力、押圧時間を含むことを特徴とする液晶表示装置の検査装置。
【請求項９】
請求項６に記載の液晶表示装置の検査装置であって、前記押圧条件規定値は、液晶表示装置の機種毎に設定されていることを特徴とする液晶表示装置の検査装置。
【請求項１０】
請求項６に記載の液晶表示装置の検査装置であって、前記作業良否判定手段は、検査員による押圧作業の良否判定が「否」であった場合、当該押圧作業の作業補正指示を前記指示手段にリアルタイムに表示することを特徴とする液晶表示装置の検査装置。
【請求項１１】
請求項６に記載の液晶表示装置の検査装置であって、前記制御手段は、前記欠陥検出情報を受信した場合、検査員に対して短絡欠陥の位置を押圧させる欠陥位置押圧指示を前記指示手段に表示することを特徴とする液晶表示装置の検査装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の液晶表示装置の検査装置であって、前記記憶手段は、前記欠陥位置押圧指示に基づいて検査員が短絡欠陥の位置を押圧した際の前記圧力センサシートからの位置情報を、短絡欠陥の座標情報として記憶することを特徴とする液晶表示装置の検査装置。
【請求項１３】
請求項６に記載の液晶表示装置の検査装置であって、前記指示手段は、音声通知手段をさらに備えていることを特徴とする液晶表示装置の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置の対向する基板にそれぞれ設けられた電極の間に発生する短絡欠陥を検出する検査工程において、検出漏れを低減することが可能な検出精度の高い検査方法および検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は、対向配置された二枚のガラス基板にそれぞれ設けられた電極の間に液晶を挟装し、この液晶に画像表示指令信号として電圧を印加することにより、液晶分子の向きを制御するとともに、外部からの入射光やカラーフィルタ等を利用して画像を表示している。このように構成された液晶表示装置は、その製造過程において、対向する電極間への金属異物混入や電極形成時のエッチング不良等により電極間短絡が発生し、画像表示面の点欠陥や線欠陥となることがある。
【０００３】
このような短絡欠陥の発生は、混入した異物の形状や寸法および基板の撓み等の影響を受ける。このため、短絡欠陥を検出し位置を特定する短絡欠陥検査工程では、画像表示面を押圧して対向する電極間の距離を狭め、電極間短絡が発生する可能性のある潜在的短絡欠陥を顕在化させて検出を行っていた。この押圧作業は、コスト面や検査タクトタイムの面から自動化が困難であり、従来、検査員による手作業で実施されていた。例えば特許文献１では、押圧作業の作業性の向上を目的として、作業員の手指の代わりにゴムローラによって押圧し、短絡欠陥を検出する方法が提案されている。
【０００４】
また、液晶パネルの短絡欠陥を検出する検査方法として、例えば特許文献２では、表示パネルとタッチパネルを対向させた状態で位置決めし、タッチペンの操作点をタッチパネル上の座標として特定し、特定した座標を欠陥箇所として記憶する方法が提示されている。この例では、タッチペンに垂直位置決め手段を設けることにより、タッチパネル上に特定された座標と実際の欠陥位置との間にズレが生じないようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭６３−２９３５８１号公報
【特許文献２】特開２００８−２６６３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のように、従来の短絡欠陥検査方法では、画像表示面への押圧作業を検査員の手作業で実施していたため、押圧作業における押圧力、押圧時間、押圧位置等を定量的に管理できないという問題点があった。このため、適正な押圧条件で作業がなされず、押圧力不足および押圧時間不足等により潜在的短絡欠陥の検出漏れが生じるという問題点があった。これらの問題点は、特許文献1に提示されたゴムローラを用いた検査方法でも解決されない。
【０００７】
また、引用文献２に提示されたタッチパネルを用いた検査方法は、検査員がタッチパネル越しに認識した欠陥箇所に対応するタッチパネルの位置を、タッチペンにより押圧して座標特定を行っているもので、潜在的短絡欠陥を顕在化させるための押圧作業を実施しているものではない。このため、潜在的短絡欠陥の検出漏れの可能性がある。このように、従来の短絡欠陥検査方法では、潜在的短絡欠陥を顕在化させるための押圧作業を定量的に管理しているものはなかった。
【０００８】
本発明は、上記のような問題点を解消するためになされたもので、適正な押圧条件で押圧作業を実施することができ、潜在的短絡欠陥の検出漏れを低減することが可能な液晶表示装置の検査方法を提供することを目的とする。また、本発明は、短絡欠陥の検出精度の高い液晶表示装置の検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る液晶表示装置の検査方法は、液晶表示装置の対向する基板にそれぞれ設けられた電極の間に発生する短絡欠陥を検出する液晶表示装置の検査方法であって、液晶表示装置の画像表示面に対向して圧力センサシートを配置し、制御手段からの駆動信号により液晶表示装置を点灯させ、液晶表示装置の機種に対して予め設定された押圧条件規定値を記憶手段から読み込む準備工程と、押圧条件規定値をもとに、検査員が圧力センサシート上から画像表示面を押圧する作業を実施する押圧作業工程と、押圧作業毎の圧力情報および位置情報を圧力センサシートから取得し、これらをもとに当該押圧作業の押圧パラメータを算出する押圧パラメータ演算工程と、押圧パラメータと押圧条件規定値を比較して当該押圧作業の良否判定を行ない、その良否判定結果を検査員に通知する作業良否判定工程と、検査員が画像表示面上に短絡欠陥を検出した際に、これを欠陥検出情報として制御手段に入力する欠陥検出情報入力工程と、検査員が検出した短絡欠陥の位置情報を圧力センサシートから取得し、記憶手段に記憶する欠陥座標記憶工程を含むものである。
【００１０】
また、本発明に係る液晶表示装置の検査装置は、液晶表示装置の対向する基板にそれぞれ設けられた電極の間に発生する短絡欠陥を検出する液晶表示装置の検査装置であって、液晶表示装置を点灯するための駆動信号を供給する制御手段と、液晶表示装置の画像表示面に対向して配置され、画像表示面に加えられた圧力を定量的に検知する圧力情報取得手段と、その圧力を検知した位置を座標として取得する位置情報取得手段を有する圧力センサシートと、検査員による画像表示面への押圧作業の度に、当該押圧作業の圧力情報および位置情報を圧力センサシートから取得し、これらをもとに算出した当該押圧作業の押圧パラメータと、予め記憶手段に記憶された押圧条件規定値を比較して当該押圧作業の良否判定を行なう作業良否判定手段と、画像表示手段を有し、作業良否判定手段により出力される良否判定結果および作業補正指示を表示する指示手段と、検査員が画像表示面上に短絡欠陥を検出した際にこれを欠陥検出情報として制御手段に入力する入力手段を備えたものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係る液晶表示装置の検査方法によれば、予め設定された押圧条件規定値をもとに、検査員が圧力センサシート上から画像表示面を押圧する作業を実施するようにしたので、検査対象である液晶表示装置の特性に合った押圧条件で検査を行うことができ、潜在的短絡欠陥の検出漏れを低減することができる。また、押圧作業毎の圧力情報および位置情報を圧力センサシートから取得し、これをもとに押圧作業の良否判定を行い、検査員に通知するようにしたので、常に適正な押圧条件で押圧作業を実施することができ、検査員の作業ミスによる潜在的短絡欠陥の検出漏れを低減することができる。
【００１２】
また、本発明に係る液晶表示装置の検査装置によれば、液晶表示装置の画像表示面に加えられた圧力を定量的に検知する圧力情報取得手段と、その圧力を検知した位置を座標として取得する位置情報取得手段を有する圧力センサシートを備えているので、検査員による画像表示面への押圧作業の度に、当該押圧作業の圧力情報および位置情報を取得し、これらをもとに算出した当該押圧作業の押圧パラメータと、予め記憶手段に記憶された押圧条件規定値を比較して当該押圧作業の良否判定を行なうことができるため、常に適正な押圧条件で押圧作業を実施することができ、検査員の作業ミスによる潜在的短絡欠陥の検出漏れを低減することが可能となり、検出精度が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施の形態１に係る液晶表示装置の検査装置の構成を示す概略図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る液晶表示装置の検査装置の検査対象である液晶表示装置を示す部分断面図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係る液晶表示装置の検査方法を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
実施の形態１．
以下に、本発明の実施の形態１に係る液晶表示装置の検査装置について、図面に基づいて説明する。図１は、本発明の実施の形態１における液晶表示装置の検査装置を示す概略図である。また、図２は、本実施の形態１における検査装置の検査対象である液晶表示装置を模式的に示す部分断面図である。なお、本実施の形態１による液晶表示装置の検査装置は、透過型および半透過型の液晶表示装置の対向する基板にそれぞれ設けられた電極の間に発生する短絡欠陥を検出するもので、検査対象となる液晶表示装置の各電極の構成および配置については特に限定されるものではない。
【００１５】
まず、本実施の形態１における検査装置により検出される液晶表示装置の短絡欠陥について、図２を用いて説明する。液晶表示装置１００を構成する二枚のガラス基板１０１、１０３は対向配置され、一方のガラス基板１０１には対向電極１０２、他方のガラス基板１０３にはソースライン（またはゲートライン）１０４と絵素電極１０５が設けられている。これらの基板１０１、１０３は、液晶配向膜（図示せず）を介して液晶材１０６を挟持している。また、液晶表示装置１００の基板周辺部には駆動回路が実装され、背面にはバックライト（いずれも図示せず）が実装されている。
【００１６】
なお、本実施の形態１では、検査対象の液晶表示装置として、駆動回路やバックライトを実装したモジュール状態のものを用いているが、それぞれの回路を実装する前のパネル状態のものを用いてもよい。その場合は、駆動回路から検査用信号を入力して画像を表示するとともに、パネル背面にバックライトを配置する。
【００１７】
図２に示す例では、液晶表示装置１００の液晶材１０６中に、ダスト１０７、１０８が存在している。これらのダスト１０７、１０８は、パターニング工程で発生する剥がれや外部から侵入した塵等であるが、これらが導電性物質であった場合、短絡欠陥の原因となる可能性がある。例えばダスト１０７が導電性物質であり、対向電極１０２と絵素電極１０５に同時に接触した場合、電極１０２、１０５が短絡し、液晶表示装置１００の画像表示面に点欠陥や線欠陥を発生させる。
【００１８】
なお、図２では、ダスト１０７は絵素電極１０５に接触しており、対向電極１０２には接触していない。このように、両側の電極に同時に接触していないダスト１０７であっても、液晶材１０６中で移動することにより短絡欠陥を発生させる可能性がある。すなわち、ダスト１０７の存在する箇所は、「潜在的短絡欠陥」の箇所であると言える。一方、ダスト１０８のようにいずれの電極にも接触しておらず、且つ、液晶材１０６中で移動せず、ガラス基板１０１の撓みによっても両側の電極に接触しないダストや、非導電性物質のダストの場合は、潜在的短絡欠陥には該当しない。
【００１９】
本実施の形態１における液晶表示装置の検査装置は、すでに短絡欠陥が発生している箇所に加え、上記のような潜在的短絡欠陥の箇所を検出することを目的としている。潜在的短絡欠陥を検出するためには、ガラス基板１０１の適正な位置を、適正な圧力で押圧し、潜在的短絡欠陥を顕在化させることが有効である。図２に示す例の場合、弾性を有するガ
ラス基板１０１を画像表示面１０１ａ側（上側）から押圧して撓ませると、ガラス基板１０１に設けられた対向電極１０２も同様に撓み、導電性物質であるダスト１０７に接触して短絡が発生する。
【００２０】
次に、潜在的短絡欠陥を顕在化させる際の押圧作業における押圧条件（押圧パラメータ）について説明する。潜在的短絡欠陥を顕在化させるには、ガラス基板１０１の画像表示面１０１ａの撓み具合が重要であり、画像表示面１０１ａ全面について、適正な位置を適正な圧力で押圧する必要がある。その理由は、潜在的短絡欠陥は押圧位置付近で顕在化しやすいため、画像表示面１０１ａ内で押圧されていないポイントがあると、その付近に潜在的短絡欠陥が存在していても顕在化されず、検出漏れとなることがあるからである。
【００２１】
また、押圧力および押圧時間が不足している場合も、潜在的短絡欠陥を顕在化させるための十分な撓みを得ることができず、検出漏れの原因となる。検査対象となる液晶表示装置１００は、通常、その周囲をフレームにより固定されているので、画像表示面１０１ａの外側は内側より撓みにくく、中央部に向かうほど撓みやすい。このため、画像表示面１０１ａの中央部から端部に向かって連続的に押圧力（荷重値）を大きくする必要がある。また、液晶表示装置１の機種によって液晶内部構造、画像表示面サイズ、画素サイズが異なるため、必要な押圧条件は異なる。以上のような点を考慮した上で、押圧条件規定値が設定される。
【００２２】
本実施の形態１における液晶表示装置の検査装置の構成について、図１を用いて説明する。検査対象である液晶表示装置１は、検査ステージ(図示せず)上に載置され、固定されている。液晶表示装置１には、検査装置全体を制御する制御コンピュータ３が接続されている。制御手段である制御部３１は、液晶表示装置１を点灯するための駆動信号を供給する。この駆動信号が入力されることにより、液晶表示装置１は駆動状態となる。また、制御コンピュータ３をネットワークに接続し、液晶表示装置１の検査結果を集計、管理するようにしてもよい。
【００２３】
圧力センサシート２は、液晶表示装置１の画像表示面１ａに対向して配置され、固定されている。圧力センサシート２は、画像表示面１ａに加えられた圧力を定量的に検知する圧力情報取得手段と、その圧力を検知した位置を座標として取得する位置情報取得手段を備えている。位置情報取得手段としては、例えば、検査員６が押圧作業を行う押圧ツール（図示せず）の圧力センサシート２への接触に基づいて、当該接触面の重心位置を座標として特定するものがある。
【００２４】
圧力センサシート２を構成する材料としては、圧力センサシート２を介して検査員６が画像表示面１ａ上の短絡欠陥を視認可能な透明材料であることが好ましい。ただし、検査員６の目視の際の視認性を低下させない、あるいは視認性を向上させるものであれば、透明材料でなくても用いることができる。
【００２５】
圧力センサシート２には制御コンピュータ３が接続されている。制御コンピュータ３の作業良否判定手段である作業良否判定部３２は、検査員６による画像表示面１ａへの押圧作業の度に、当該押圧作業の圧力情報および位置情報を圧力センサシート２から取得し、これらをもとに当該押圧作業の押圧パラメータを算出する。さらに、算出した押圧パラメータと、予め記憶手段であるメモリ３３に記憶された押圧条件規定値を比較し、当該押圧作業の良否判定を行なう。なお、押圧パラメータは、画像表示面１ａへの荷重値、押圧面積、押圧力、押圧時間を含んでいる。
【００２６】
入力手段４は、検査員６が画像表示面１ａ上に短絡欠陥を検出した際に、これを「欠陥検出情報」として制御部３１に入力する手段であり、例えばキーボード、ボタンスイッチ
等で構成される。制御部３１は、検査員６により入力された欠陥検出情報を受信した場合、検査員６に短絡欠陥の位置を押圧させる「欠陥位置押圧指示」を出力する。また、メモリ３３は、検査員６が短絡欠陥を検出し、欠陥検出情報を入力した際に、その直前の押圧作業の圧力情報および位置情報を記憶する。さらに、メモリ３３は、欠陥位置押圧指示に基づいて検査員６が短絡欠陥の位置を押圧した際の圧力センサシート２からの位置情報を、短絡欠陥の座標情報として記憶する。
【００２７】
指示手段５は、画像表示手段を有し、作業良否判定部３２により出力される良否判定結果および作業補正指示を表示する。作業良否判定部３２は、検査員６による押圧作業の良否判定が「否」であった場合、当該押圧作業の作業補正指示を指示手段５にリアルタイムに表示する。また、指示手段５には、メモリ３３に予め記憶された押圧条件規定値、今回の押圧作業における圧力情報および位置情報、欠陥位置押圧指示等が表示され、検査員６に通知される。
【００２８】
指示手段５の画像表示手段に表示される画面の例として、作業補正指示は、押圧力等の数値的条件の場合、リアルタイムに更新されるグラフ表示とし、グラフ内に適切な数値範囲を表示することにより、検査員６が視覚的に認識しやすい。また、画像表示面１ａ中の全ての押圧ポイントを表示し、さらに、検査員６がすでに押圧したポイントと未押圧ポイントを区別して表示するようにしてもよい。または、未押圧ポイントを表示し、適切な条件で押圧されたポイントの表示が順次消え、未押圧ポイントの表示が全て消えれば作業完了としてもよい。これにより、検査員６は未押圧ポイントを容易に確認することができる。
【００２９】
さらに、指示手段５は、検査員６が画像表示手段による確認をせずに作業が継続可能であるように、音声通知手段を備えていることが好ましい。これにより、作業良否判定部３２による良否判定の結果が「否」であった場合のみ、音声やアラーム音で検査員６に通知することができ、作業の効率が上がる。
【００３０】
次に、液晶表示装置の短絡欠陥検査方法について、図３のフローチャートを用いて説明する。なお、図３において、楕円枠で囲まれた作業は検査員６による作業を示し、四角枠で囲まれた処理は検査装置による処理を示している。また、図３に示すステップ１（Ｓ１）よりも前の作業として、検査対象である液晶表示装置１の機種毎に、押圧パラメータの規定値である押圧条件規定値（画像表示面への荷重値、押圧面積、押圧力、押圧時間）を設定し、メモリ３３に記憶する作業が行われる。
【００３１】
まず、ステップ１（Ｓ１）では、検査対象である液晶表示装置１と制御コンピュータ３を接続し、液晶表示装置１の画像表示面１ａに対向して圧力センサシート２を配置する。次に、ステップ２（Ｓ２）では、液晶表示装置１のバックライトを点灯する。なお、検査中は、バックライトを常に点灯した状態にしておく。次に、制御コンピュータ３の制御部３１からの駆動信号により、液晶表示装置１を点灯して駆動状態とする。この時、液晶表示装置１の画像表示面１ａは、短絡欠陥が視認されやすい黒表示とする。さらに、ステップ２において、液晶表示装置１の機種に対して予め設定された押圧条件規定値をメモリ３３から読み込む。（以上、準備工程）。
【００３２】
続いてステップ３（Ｓ３）において、検査員６は、指示手段５に表示された押圧条件規定値をもとに、圧力センサシート２上から液晶表示装置１の画像表示面１ａを押圧する作業を実施する（押圧作業工程）。この押圧作業は、検査員６により操作される押圧ツールにより実施されるものを想定しているが、例えば押圧ツールの移動は検査員６が行い、押圧作業は検査員６のスイッチ操作により機械的に行うような半自動的な構成にすることも可能である。
【００３３】
次に、ステップ４（Ｓ４）において、制御コンピュータ３の作業良否判定部３２は、検査員６の１回の押圧作業毎の圧力情報と位置情報を圧力センサシート２から取得する。続いてステップ５（Ｓ５）では、ステップ４で取得した圧力情報と位置情報をもとに、当該押圧作業の押圧パラメータを算出する（押圧パラメータ演算工程）。なお、押圧パラメータは、画像表示面１ａへの荷重値、押圧面積、押圧力、押圧時間を含んでいる。
【００３４】
さらに、ステップ６（Ｓ６）において、作業良否判定部３２は、ステップ４で算出された押圧パラメータと、メモリ３３に記憶された押圧条件規定値を比較して、当該押圧作業の良否判定を行ない、その良否判定結果を指示手段５に表示し、検査員６に通知する（作業良否判定工程）。ステップ６において、今回の押圧作業の良否判定が「否」であった場合、ステップ７（Ｓ７）で、作業良否判定部３２は作業補正指示を更新し、指示手段５に表示する。
【００３５】
また、ステップ８（Ｓ８）において、検査員６が画像表示面１ａ上に短絡欠陥を検出した際に、ステップ９（Ｓ９）で検査員６はキーボード等の入力手段４により、制御部３１に欠陥検出情報を入力する（欠陥検出情報入力工程）。さらに、ステップ１０（Ｓ１０）において、制御部３１が欠陥検出情報の入力を確認した場合（Ｙｅｓ）、ステップ１１（Ｓ１１）へ進む。
【００３６】
ステップ１１では、検査員６が欠陥検出情報を入力した際の直前の押圧作業の圧力情報および位置情報をメモリ３３に記憶する。続いて、ステップ１２（Ｓ１２）において、制御部３１は、検査員６に短絡欠陥の位置を押圧させる欠陥位置押圧指示を出力し、指示手段５に表示する。この欠陥位置押圧指示を通知された検査員６は、ステップ１３（Ｓ１３）で、短絡欠陥の位置を圧力センサシート２上から押圧する。さらに、ステップ１４（Ｓ１４）で、メモリ３３は、圧力センサシート２から短絡欠陥の位置情報(座標)を取得し、これを記憶する（欠陥座標記憶工程）。
【００３７】
欠陥座標記憶工程を終了した後、ステップ１５（Ｓ１５）に進み、未押圧ポイントの有無を確認し、全面検査が完了していない場合（Ｎｏ）、ステップ３に戻り、検査員６は画像表示面１ａの次のポイントを押圧する作業を繰り返す。また、ステップ１５で全面検査が完了していた場合（Ｙｅｓ）、ステップ１６（Ｓ１６）に進み、液晶表示装置１を検査ステージから外し検査を終了する。
【００３８】
また、ステップ１０において、制御部３１が欠陥検出情報の入力を受信していない場合（Ｎｏ）にも、ステップ１５に進み、ステップ１５で全面検査が完了していない場合（Ｎｏ）、ステップ３に戻り、検査員６は画像表示面１ａの次のポイントを押圧する作業を繰り返す。ステップ１５で全面検査が完了していた場合（Ｙｅｓ）、ステップ１６に進み、検査を終了する。
【００３９】
以上のように、本実施の形態１における液晶表示装置の検査方法によれば、液晶表示装置１の画像表示面１ａに加えられた圧力を定量的に検知する圧力情報取得手段と、その圧力を検知した位置を座標として取得する位置情報取得手段を有する圧力センサシート２を備えた検査装置を用いることにより、検査員６による押圧作業の圧力情報および位置情報を定量的に管理することが可能である。また、これらの圧力情報および位置情報をもとに算出した当該押圧作業の押圧パラメータと、予めメモリ３３に記憶された押圧条件規定値を比較して当該押圧作業の良否判定を行なうことができるため、常に適正な押圧条件で押圧作業を実施することができ、潜在的短絡欠陥の検出漏れを低減することが可能となり、検出精度が向上する。
【００４０】
また、検査中にリアルタイムに押圧作業の良否判定を行い、作業補正を実施するようにしたので、検査員６の押圧力不足または押圧時間不足等の作業ミスによる潜在的短絡欠陥の検出漏れを防止することができる。さらに、検査員６は、作業補正指示を受けることにより、適正な押圧作業を学習することができるため、本検査装置は作業トレーニングツールとしての機能も有する。これにより、適正な押圧作業を検査員６に徹底することができる。
【００４１】
また、検査対象である液晶表示装置１の機種毎に押圧条件規定値を設定しているため、機種の特性、さらにはその機種における画像表示面１ａの各位置の撓み方の特性に合った適正な押圧パラメータで検査を行うことができ、潜在的短絡欠陥の検出漏れを低減することができる。
【００４２】
また、検査員６が短絡欠陥を検出した際の直前の押圧作業の圧力情報および位置情報をメモリ３３に記憶するようにしたので、短絡欠陥を顕在化できる押圧パラメータを蓄積することができ、これを解析することにより適正な押圧パラメータを抽出することができる。これにより、適正な押圧パラメータで検査が行えるようになるため、さらに潜在的短絡欠陥の検出漏れを低減することができる。
【００４３】
さらに、検査員６が短絡欠陥を検出した際に、欠陥位置を圧力センサシート２上から押圧することにより、短絡欠陥の位置情報をメモリ３３に容易に記憶することができるため、検査後のリペア工程では、メモリ３３に保存された位置情報をもとに欠陥位置を同定することができる。また、検査結果をもとに行なわれる欠陥発生要因等の技術解析においても、データ収集に要する時間を短縮することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明は、液晶表示装置の製造工程に含まれる短絡欠陥検査工程における検査方法、およびその検査工程で用いられる検査装置として利用することができる。
【符号の説明】
【００４５】
１、１００  液晶表示装置、１ａ、１０１ａ  画像表示面、２  圧力センサシート、
３  制御コンピュータ、３１  制御部、３２  作業良否判定部、３３  メモリ、
４  入力手段、５  指示手段、６  検査員、１０１、１０３  ガラス基板、
１０２  対向電極、１０４  ソースライン、１０５  絵素電極、１０６  液晶材、
１０７、１０８  ダスト。
【図１】
2011043380.tif 000003
【図２】
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【図３】
2011043380.tif 000005