(57)【要約】【課題】簡単な構成で段取り中のアイドルタイムをなくすことが可能な比較的小型の基板供給装置を提供する。【解決手段】複数の基板１４が収容されるメイントレイ１６から基板１４を取り出して供給する基板供給装置１２であって、基板１４が複数収容されるメイントレイ１６を支持しながらｙ軸方向に移動できるメインテーブル２０と、メイントレイ１６の交換時に供給される基板１４が複数収容されるサブトレイ３４を支持しながらｙ軸方向に移動できるサブテーブル２２と、メイントレイ１６またはサブトレイ３４から基板１４を取り出し、取り出した基板１４を保持しながら、ｙ軸方向に直交するｘ軸方向へ移動することによって、基板１４を供給する基板供給ヘッド２４とを備え、サブテーブル２２は、基板供給ヘッド２４がメインテーブル２０の交換時に基板１４を継続的に供給するために必要な基板１４の数量以上の基板が収容されたサブトレイ３４を支持できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板が複数収容される第１トレイを支持しながら第１方向に移動できる第１テーブルと、
前記第１方向に直交する第２方向に並設され、前記第１トレイの交換時に供給される基板が複数収容される第２トレイを支持しながら前記第１方向に移動できる第２テーブルと、
前記第１トレイまたは前記第２トレイから前記基板を取り出し、前記取り出した基板を保持しながら前記第２方向へ移動することによって、基板を供給する基板供給ヘッドとを備え、
前記第２テーブルは、前記基板供給ヘッドが前記第１トレイの交換時に継続的に供給するために必要な基板の数量以上を単位数量として、当該単位数量の整数倍以上の基板が収容された前記第２トレイを支持できる
ことを特徴とする基板供給装置。
【請求項２】
前記第２テーブルが支持する第２トレイに収容された基板がなくなった場合に、前記第２トレイでの基板切れを作業者に通知する通知手段を備える
ことを特徴とする請求項１に記載の基板供給装置。
【請求項３】
前記第１テーブルは、未使用の第１トレイが前記第１テーブルに供給されるトレイ供給位置と、使用済みの第１トレイが前記第１テーブルから回収されるトレイ回収位置との間を第１方向に移動可能であり、
前記基板供給装置は、
未使用の第１トレイを支持する供給用トレイ載置台と、
前記供給用トレイ載置台に支持された未使用の第１トレイを保持しながら上下方向に移動することによって、未使用の第１トレイを前記トレイ供給位置の前記第１テーブルに載置するトレイ供給ヘッドと、
使用済みの第１トレイを支持する回収用トレイ載置台と、
前記トレイ回収位置の前記第１テーブルに載置された使用済みの第１トレイを保持しながら上下方向に移動することによって、使用済みの第１トレイを前記回収用トレイ載置台に載置するトレイ回収ヘッドとを備える
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の基板供給装置。
【請求項４】
前記供給用トレイ載置台が支持する未使用の第１トレイの高さを前記第１テーブルの移動を妨げない高さに維持するように、前記供給用トレイ載置台を昇降させる供給用トレイ載置台の昇降部と、
前記回収用トレイ載置台が支持する使用済みの第１トレイの高さを前記第１テーブルの移動を妨げない高さに維持するように、前記回収用トレイ載置台を昇降させる回収用トレイ載置台の昇降部とを有する
ことを特徴とする請求項３に記載の基板供給装置。
【請求項５】
実装基板が複数収容される第１トレイを支持しながら第１方向に移動できる第１テーブルと、
前記第１トレイの交換時に回収される実装基板が複数収容される第２トレイを支持しながら前記第１方向に移動できる第２テーブルと、
前記実装基板を保持しながら前記第１方向に直交する第２方向へ移動し、前記第１トレイまたは前記第２トレイに前記実装基板を収容することによって、実装基板を回収する基板回収ヘッドとを備え、
前記第２テーブルは、前記基板供給ヘッドが前記第１トレイの交換時に継続的に回収するために必要な実装基板の数量以上の実装基板を収容できる前記第２トレイを支持する
ことを特徴とする実装基板回収装置。
【請求項６】
基板が複数収容される第１トレイを支持する第１テーブルを第１方向に移動させるステップと、
前記第１トレイの交換時に供給される基板が複数収容される第２トレイを支持する第２テーブルを前記第１方向に移動させるステップと、
前記第１トレイから前記基板を取り出し、前記取り出した基板を保持しながら前記第１方向に直交する第２方向へ移動することによって、前記第１トレイから基板を供給するステップと、
前記第２テーブルに支持され、前記第１トレイの交換時に継続的に供給するために必要な基板の数量以上の基板が収容された第２トレイから前記基板を取り出し、前記取り出した基板を保持しながら前記第２方向へ移動することによって、前記第２トレイから基板を供給するステップとを含む
ことを特徴とする基板供給方法。
【請求項７】
前記第１トレイが使用済みとなった場合に、前記第１方向に前記第１テーブルを移動させる第１トレイ用の移動機構部が、基板供給位置からトレイ回収位置に前記第１テーブルを移動させるステップと、
前記トレイ回収位置に前記第１テーブルを移動させた場合に、トレイ回収ヘッドが、前記第１テーブルに載置された使用済みの第１トレイを保持して移動させるステップと、
前記使用済みの第１トレイが前記第１テーブルから移動した場合に、前記第１トレイ用の移動機構部が、前記トレイ回収位置から前記第１テーブルを移動させるステップと、
前記トレイ回収位置から前記第１テーブルを移動させた場合に、前記トレイ回収ヘッドが、前記保持した使用済みの第１トレイを回収用トレイ載置台の上に載置するステップとを含む
ことを特徴とする請求項６に記載の基板供給方法。
【請求項８】
トレイ供給ヘッドが、供給用トレイ載置台の上に載置された未使用の第１トレイを保持して移動させるステップと、
前記トレイ回収位置から前記第１テーブルを移動させた場合に、前記第１トレイ用の移動機構部が、トレイ供給位置に前記第１テーブルを移動させるステップと、
前記トレイ供給位置に前記第１テーブルを移動させた場合に、前記トレイ供給ヘッドが、前記保持した未使用の第１トレイを前記第１テーブルに載置するステップと、
前記未使用の第１トレイを前記第１テーブルに載置した場合に、前記第１トレイ用の移動機構部が、前記トレイ供給位置から前記基板供給位置に前記第１テーブルを移動させるステップとを含む
ことを特徴とする請求項７に記載の基板供給方法。
【請求項９】
前記実装基板が複数収容される前記第１トレイを支持する第１テーブルを前記第１方向に移動させるステップと、
前記第１トレイの交換時に回収される実装基板が複数収容される第２トレイを支持する第２テーブルを第１方向に移動させるステップと、
前記実装基板を保持しながら前記第１方向に直交する第２方向へ移動し、前記第１トレイに前記実装基板を収容するステップと、
前記実装基板を保持しながら前記第２方向へ移動し、前記第１トレイの交換時に継続的に回収するために必要な実装基板の数量以上の実装基板を収容できる前記第２トレイに前記実装基板を収容するステップとを含む
ことを特徴とする実装基板回収方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、実装装置等に基板を供給する基板供給装置及びその方法と、実装基板を回収する実装基板回収装置及びその方法とに関する。
【背景技術】
【０００２】
基板に部品が実装された実装基板を製造する実装システムは、一般に、実装システムが形成する実装ラインに基板を供給する基板供給装置と、供給された基板に部品を実装する実装装置と、基板に部品が実装された実装基板を回収する実装基板回収装置とを備える。実装装置には実装のための部品を収容したトレイ等が装着される。トレイに収容された全ての部品が実装に使用されると、使用済みのトレイが、部品が収容された未使用のトレイに交換される、いわゆる段取りが行われる。段取り中は、使用済みのトレイに収容されていた部品を実装することができないため、実装ラインでの生産が停止するという実装システムのアイドルタイムが発生する。
【０００３】
生産性の向上は、実装システムでの重要な課題の１つである。従来、実装装置において、段取りによるアイドルタイムをなくすことによって稼働効率低下を防ぐ技術が提案されている（特許文献１参照）。特許文献１に記載の電子部品実装装置（実装装置）は、単一の部品を供給可能な複数のトレイフィーダを備え、１つのトレイフィーダ内のトレイについて実装可能な電子部品がなくなった場合、一定条件の下、ヘッドユニットの取り出し先を別のトレイフィーダ内のトレイに切り替える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−１２４６７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
基板供給装置においても、例えば携帯電話、コンパクトカメラ等の表示部に使用されるガラス製のパネル（以下、基板という。）のように、比較的小さくて傷付きやすい基板を供給する場合、複数の基板を収容するトレイが使用される。特許文献１は実装装置に関する技術であるが、段取り中のアイドルタイムをなくすために、これを基板供給装置に適用することが考えられる。
【０００６】
しかしながら、複数のトレイフィーダを備えると、装置の構成が複雑になるとともに、装置のサイズが大きくなるという問題がある。本発明は、この問題を解決するため、簡単な構成で段取り中のアイドルタイムをなくすことが可能な比較的小型の基板供給装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る基板供給装置の第１の形態は、基板が複数収容される第１トレイを支持しながら第１方向に移動できる第１テーブルと、前記第１方向に直交する第２方向に並設され、前記第１トレイの交換時に供給される基板が複数収容される第２トレイを支持しながら前記第１方向に移動できる第２テーブルと、前記第１トレイまたは前記第２トレイから前記基板を取り出し、前記取り出した基板を保持しながら前記第２方向へ移動することによって、基板を供給する基板供給ヘッドとを備え、前記第２テーブルは、前記基板供給ヘッドが前記第１トレイの交換時に継続的に供給するために必要な基板の数量以上を単位数量として、当該単位数量の整数倍以上の基板が収容された前記第２トレイを支持できる。
【０００８】
本発明に係る基板供給装置の第２の形態は、第１の形態に係る基板供給装置であって、前記第２テーブルが支持する第２トレイに収容された基板がなくなった場合に、前記第２トレイでの基板切れを作業者に通知する通知手段を備える。
【０００９】
本発明に係る基板供給装置の第３の形態は、第１または第２の形態に係る基板供給装置であって、前記第１テーブルは、未使用の第１トレイが前記第１テーブルに供給されるトレイ供給位置と、使用済みの第１トレイが前記第１テーブルから回収されるトレイ回収位置との間を第１方向に移動可能であり、前記基板供給装置は、未使用の第１トレイを支持する供給用トレイ載置台と、前記供給用トレイ載置台に支持された未使用の第１トレイを保持しながら上下方向に移動することによって、未使用の第１トレイを前記トレイ供給位置の前記第１テーブルに載置するトレイ供給ヘッドと、使用済みの第１トレイを支持する回収用トレイ載置台と、前記トレイ回収位置の前記第１テーブルに載置された使用済みの第１トレイを保持しながら上下方向に移動することによって、使用済みの第１トレイを前記回収用トレイ載置台に載置するトレイ回収ヘッドとを備える。
【００１０】
本発明に係る基板供給装置の第４の形態は、第３の形態に係る基板供給装置であって、前記供給用トレイ載置台が支持する未使用の第１トレイの高さを前記第１テーブルの移動を妨げない高さに維持するように、前記供給用トレイ載置台を昇降させる供給用トレイ載置台の昇降部と、前記回収用トレイ載置台が支持する使用済みの第１トレイの高さを前記第１テーブルの移動を妨げない高さに維持するように、前記回収用トレイ載置台を昇降させる回収用トレイ載置台の昇降部とを有する。
【００１１】
本発明に係る実装基板回収装置は、実装基板が複数収容される第１トレイを支持しながら第１方向に移動できる第１テーブルと、前記第１トレイの交換時に回収される実装基板が複数収容される第２トレイを支持しながら前記第１方向に移動できる第２テーブルと、前記実装基板を保持しながら前記第１方向に直交する第２方向へ移動し、前記第１トレイまたは前記第２トレイに前記実装基板を収容することによって、実装基板を回収する基板回収ヘッドとを備え、前記第２テーブルは、前記基板供給ヘッドが前記第１トレイの交換時に継続的に回収するために必要な実装基板の数量以上の実装基板を収容できる前記第２トレイを支持する。
【００１２】
本発明に係る基板供給方法の第１の形態は、基板が複数収容される第１トレイを支持する第１テーブルを第１方向に移動させるステップと、前記第１トレイの交換時に供給される基板が複数収容される第２トレイを支持する第２テーブルを前記第１方向に移動させるステップと、前記第１トレイから前記基板を取り出し、前記取り出した基板を保持しながら前記第１方向に直交する第２方向へ移動することによって、前記第１トレイから基板を供給するステップと、前記第２テーブルに支持され、前記第１トレイの交換時に継続的に供給するために必要な基板の数量以上の基板が収容された第２トレイから前記基板を取り出し、前記取り出した基板を保持しながら前記第２方向へ移動することによって、前記第２トレイから基板を供給するステップとを含む。
【００１３】
本発明に係る基板供給方法の第２の形態は、第１の形態に係る基板供給方法であって、前記第１トレイが使用済みとなった場合に、前記第１方向に前記第１テーブルを移動させる第１トレイ用の移動機構部が、基板供給位置からトレイ回収位置に前記第１テーブルを移動させるステップと、前記トレイ回収位置に前記第１テーブルを移動させた場合に、トレイ回収ヘッドが、前記第１テーブルに載置された使用済みの第１トレイを保持して移動させるステップと、前記使用済みの第１トレイが前記第１テーブルから移動した場合に、前記第１トレイ用の移動機構部が、前記トレイ回収位置から前記第１テーブルを移動させるステップと、前記トレイ回収位置から前記第１テーブルを移動させた場合に、前記トレイ回収ヘッドが、前記保持した使用済みの第１トレイを回収用トレイ載置台の上に載置するステップとを含む。
【００１４】
本発明に係る基板供給方法の第３の形態は、第２の形態に係る基板供給方法であって、トレイ供給ヘッドが、供給用トレイ載置台の上に載置された未使用の第１トレイを保持して移動させるステップと、前記トレイ回収位置から前記第１テーブルを移動させた場合に、前記第１トレイ用の移動機構部が、トレイ供給位置に前記第１テーブルを移動させるステップと、前記トレイ供給位置に前記第１テーブルを移動させた場合に、前記トレイ供給ヘッドが、前記保持した未使用の第１トレイを前記第１テーブルに載置するステップと、前記未使用の第１トレイを前記第１テーブルに載置した場合に、前記第１トレイ用の移動機構部が、前記トレイ供給位置から前記基板供給位置に前記第１テーブルを移動させるステップと含む。
【００１５】
本発明に係る実装基板回収方法は、前記実装基板が複数収容される前記第１トレイを支持する第１テーブルを前記第１方向に移動させるステップと、前記第１トレイの交換時に回収される実装基板が複数収容される第２トレイを支持する第２テーブルを第１方向に移動させるステップと、前記実装基板を保持しながら前記第１方向に直交する第２方向へ移動し、前記第１トレイに前記実装基板を収容するステップと、前記実装基板を保持しながら前記第２方向へ移動し、前記第１トレイの交換時に継続的に回収するために必要な実装基板の数量以上の実装基板を収容できる前記第２トレイに前記実装基板を収容するステップとを含む。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る基板供給装置では、第１トレイの交換時（段取り時）には第２テーブルに支持される第２トレイから基板が供給される。また、第２テーブルは基板供給ヘッドが段取り中に供給可能な基板の数量以上の基板を保持する。そのため、段取り中のアイドルタイムをなくすことが可能になる。
【００１７】
また、本発明に係る基板供給装置では、第１および第２トレイには複数の基板が収容されており、第１および第２テーブルが第１方向に移動し、基板供給ヘッドが第２方向に移動することによって、第１および第２トレイの基板の各々に対して基板供給ヘッドを位置付ける。そのため、第１および第２テーブルと基板供給ヘッドとの各々を移動させるための移動機構を、一方向に移動させるための簡単な構成を備えた小型のものにすることが可能になり、それによって、基板供給装置を簡単な構成とし、かつ小型にすることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施の形態１に係る基板供給装置の構成の概要を示す斜視図である。
【図２】（ａ）本発明の実施の形態１に係る基板供給装置の構成の概要を示す側面図である。（ｂ）実施の形態１に係る基板供給装置の構成の概要を示す平面図である。（ｃ）実施の形態１に係る基板供給装置の構成の概要を示す正面図である。
【図３】実施の形態１に係る基板供給装置の動作を示すタイムチャートである。
【図４】メイントレイに収容された最後の基板が供給される直前の基板供給装置の状態を示す図である。
【図５】メイントレイがトレイ回収位置にあるメインテーブルから上方へ移動した状態を示す図である。
【図６】トレイ回収位置からトレイ供給位置にメインテーブルが移動する途中の状態を示す図である。
【図７】メインテーブルがトレイ供給位置にある状態を示す図である。
【図８】未使用のメイントレイから基板の供給が開始される状態を示す図である。
【図９】本発明の実施の形態２に係る実装基板回収装置の構成の概要を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１について、図を参照して説明する。図および説明には、方向を表すために、互いに直交するｘ軸、ｙ軸およびｚ軸を用いる。ｘ軸は装置の幅方向（第２方向）であり、ｙ軸は装置の前後方向（第１方向）であり、ｚ軸は装置の高さ方向（上下方向）である。なお、ｘ軸およびｙ軸は互いに交差する方向を向いた軸の一例であり、ｚ軸はｘ軸およびｙ軸に直交する方向を向いた軸の一例である。
【００２０】
図１および図２は、本発明の実施の形態１に係る基板供給装置の構成の概要を示す。図１は斜視図、図２（ａ）は図１の矢印２から見た側面図、図２（ｂ）は図１の矢印３から見た平面図、図２（ｃ）は図１の矢印４から見た正面図である。
【００２１】
基板供給装置１２は、ＴＣＰ（Ｔａｐｅ  Ｃａｒｒｉｅｒ  Ｐａｃｋａｇｅ）、ドライバＩＣ、フレキシブル基板等の電子部品を例えばガラス製のパネル、フレキシブル基板、プリント基板等（以下、基板という。）１４に実装する実装システムに備えられる装置の１つである。
【００２２】
基板供給装置１２は、基板１４が収容されるメイントレイ（第１トレイ）１６から基板１４を取り出し、その取り出した基板１４を、電子部品を実装する装置である実装装置等の後続する装置に設けられた基板載置位置１８に供給する。基板供給装置１２は、基板１４を支持してｙ軸方向に移動可能なメインテーブル（第１テーブル）２０およびサブテーブル（第２テーブル）２２を備える。また、基板供給装置１２は、ｘ軸方向およびｚ軸方向に移動可能であって、メインテーブル２０またはサブテーブル２２に支持される基板１４を基板載置位置１８に供給する基板供給ヘッド２４を備える。
【００２３】
メインテーブル２０は、複数の基板１４が収容されたメイントレイ１６を所定位置に支持する台である。メインテーブル２０は、メインテーブル用の移動機構部（第１トレイ用の移動機構部）２１によって、メイントレイ１６を支持しながらｙ軸方向に移動可能であり、トレイ供給位置３８とトレイ回収位置４０との間を移動する。トレイ供給位置３８は、基板１４が満載された未使用のメイントレイ１６がメインテーブル２０に載置される位置である。トレイ回収位置４０は、基板１４が空になった使用済みのメイントレイ１６がメインテーブル２０から回収される位置である。なお、本実施の形態の使用済みには、例えば基板１４がメイントレイ１６に残っている場合であってもメイントレイ１６に収容された基板１４の残り枚数が所定枚数以下になること等によってオペレータが使用済み、または交換すべきと判断した場合も含んでもよい。
【００２４】
メイントレイ１６は、縦横に配置された複数の窪みを有するトレイであって、窪みがｘ軸方向およびｙ軸方向に並ぶようにメインテーブル２０に載置される。各窪みには、基板１４が収容される。このようなメイントレイ１６に基板１４を収容することによって、ガラス製等の傷付きやすい基板１４が損傷することを防ぐとともに、基板１４をメインテーブル２０上の所定位置に位置付けることができる。
【００２５】
また、基板１４は、基板供給ヘッド２４がｚ軸方向に持ち上げることによって、メイントレイ１６から取り出される。そのため、メイントレイ１６の各窪みは、基板１４を上方から容易に取り出すことができる形状および寸法を有する。
【００２６】
基板供給ヘッド２４は、基部２６と、基部２６に固定された、例えば４つの吸引ノズル２８とを有する。基板供給ヘッド２４は、ｘ軸方向には第１の基板供給ヘッド用の移動機構部３０によって移動し、ｚ軸方向には第２の基板供給ヘッド用の移動機構部３２によって移動する。
【００２７】
吸引ノズル２８の各々は、減圧手段（図示せず）に連通する下方に向けた開口を有する。各開口は、同じ高さに位置付けられ、基板１４内の四隅近傍に当接できるように基部２６に設けられる。基板供給ヘッド２４は、吸引ノズル２８の吸引力によって、上方から基板１４を吸着して保持し、メイントレイ１６から基板１４を取り出す。
【００２８】
サブテーブル２２は、段取り中に供給される複数の基板１４が収容されたサブトレイ（第２トレイ）３４を所定位置に支持する台であって、サブテーブル用の移動機構部３６によってｙ軸方向に移動できる。サブテーブル２２は、ｘ軸方向にメインテーブル２０と並べて設けられ、メインテーブル２０と基板載置位置１８との間に配置される。
【００２９】
ここで、段取りとは、メインテーブル２０上に載置されているメイントレイ１６の交換作業であって、詳細には、メイントレイ１６に収容された基板１４がすべて供給された場合に、使用済みのメイントレイ１６を基板１４が収容された未使用のメイントレイ１６に交換する作業をいう。
【００３０】
サブテーブル２２は、段取り中に継続的に基板１４を供給するために必要な基板１４の数量以上の一定の数量（以下、単位数量という。）以上の基板１４を支持できる。
【００３１】
ここで、単位数量の算出方法について具体例を挙げて説明する。基板供給ヘッド２４がサブテーブル２２から１枚の基板１４を供給するために要する時間（タクト）Ａが３秒であり、段取りに要する時間Ｂが１２秒であるとする。この場合、段取り中に継続的に基板１４を供給するために必要な基板１４の数量は、段取りに要する時間ＢをタクトＡで除した数である４枚となる。この場合、単位数量は少ない方がサブテーブル２２を小さくできる。そのため、単位数量は、好ましくは４枚と決定されるが、それ以上、例えば５枚であってもよい。単位数量を５枚にした場合、タクトＡを３秒、段取りに要する時間Ｂを１２秒とすると、サブテーブル２２から単位数量の基板１４が供給される時間は、１５秒（＝タクトＡ３秒×５枚）となり、段取りに要する時間Ｂの１２秒よりも長い。ここで、サブテーブル２２に１枚の基板１４を残して、段取りが終了したメインテーブル２０から基板１４を供給することも考えられるが、同一の動作は継続して実行する方が望ましいため、通常サブテーブル２２から単位数量の基板１４が供給される。そのため、タクトＡと段取りに要する時間Ｂとから算出される数量よりも多い数量を単位数量とした場合、メインテーブル２０は、段取りが終了した状態で、しばらく（上述の例で単位数量を５枚とした場合は、３秒間）待機することになる。
【００３２】
また例えば、タクトＡが３秒であり、段取りに要する時間Ｂが１１秒であるとする。この場合、ＢはＡで割り切れないため、段取り中に継続的に基板１４を供給するために必要な基板１４の数量は、ＢをＡで除した数より大きい最小の数である４枚となる。従って、この場合の単位数量は、上の例と同様に４枚以上の任意の枚数に決定されてよいが、好ましくは４枚である。
【００３３】
このように、サブテーブル２２が段取り中に基板１４を継続的に供給するために必要な単位数量以上の基板１４を支持することによって、段取り中であっても継続して基板１４をサブテーブル２２から供給することができ、段取り中のアイドルタイムをなくすことが可能になる。
【００３４】
また、サブテーブル２２が支持する基板１４の数量は、好ましくは単位数量の整数倍である。これによって、段取りが終了した時にサブトレイ３４に収容された基板１４を使い切ることができ、実装基板の生産管理が容易になる。
【００３５】
サブトレイ３４は、概ねメイントレイ１６と同様に、例えば縦横に配置された複数の窪みを有しており、サブトレイ３４の各窪みは、基板１４の位置を保持でき、かつ、基板１４を上方から容易に取り出すことができる形状および寸法を有する。サブトレイ３４は、基板１４が収容される複数の窪みがｘ軸方向およびｙ軸方向に並ぶようにサブテーブル２２に載置される。
【００３６】
なお、サブテーブル２２には、単位数量の整数倍以上の基板を収容できる１つのサブトレイ３４が載置されてもよいが、サブトレイ３４は収容可能枚数が少ない複数の小トレイから構成されてもよく、その場合、複数の小トレイがサブテーブル２２に載置されることによって、サブテーブル２２は単位数量の整数倍以上の基板が収容されたサブトレイ３４を支持する。すなわち、小トレイは、サブトレイ３４が複数のトレイによって構成される場合の各トレイであって、単位数量の整数倍未満の基板が収容されるトレイである。
【００３７】
さらに、基板供給装置１２は、段取りのために、メインテーブル２０にメイントレイ１６を供給するメイントレイ供給装置４２と、メインテーブル２０からメイントレイ１６を回収するメイントレイ回収装置４４とを備える。
【００３８】
メイントレイ供給装置４２は、メインテーブル２０がトレイ供給位置３８にある場合にメインテーブル２０に未使用のメイントレイ１６を供給する装置である。メイントレイ供給装置４２は、基板が収容された未使用のメイントレイ１６を支持する供給用トレイ載置台４６と、供給用トレイ載置台４６をｚ軸方向に移動させる供給用トレイ載置台の昇降部４８とを有する。
【００３９】
供給用トレイ載置台４６は、トレイ供給位置３８の下方に重ね置かれた複数の未使用のメイントレイ１６を支持する。未使用のメイントレイ１６は、オペレータによって適宜、供給用トレイ載置台４６に載置される。
【００４０】
供給用トレイ載置台の昇降部４８は、未使用のメイントレイ１６が載置された状態で供給用トレイ載置台４６を昇降させることができ、トレイ供給位置３８よりも下方の一定の高さに、最上段の未使用のメイントレイ１６の上端を維持する。最上段の未使用のメイントレイ１６の上端の高さは、例えば図示しないセンサ等によって監視され、供給用トレイ載置台の昇降部４８の動作は、そのセンサ等から取得される情報に基づいて制御される。これによって、供給用トレイ載置台４６に載置されたメイントレイ１６の上端は、例えばメインテーブル２０の下端よりも低く、すなわちメインテーブル２０のｙ軸方向の移動を妨げない高さに維持される。
【００４１】
また、メイントレイ供給装置４２は、供給用トレイ載置台４６より未使用のメイントレイ１６を保持しメインテーブル２０に移載するために、基部５０と、基部５０に固定された４つの吸引ノズル５２とを有するメイントレイ供給ヘッド５４と、メイントレイ供給ヘッド５４をｚ軸方向に移動させるトレイ供給ヘッド用の移動機構部５６とを有する。
【００４２】
吸引ノズル５２の各々は、減圧手段（図示せず）に連通する下方に向けた開口を有する。各開口は、供給用トレイ載置台４６に載置されるメイントレイ１６内の四隅近傍に当接できるように配置される。このような吸引ノズル５２の吸引力によって、例えば供給用トレイ載置台４６に支持される未使用のメイントレイ１６の最上段のものが吸着して保持される。
【００４３】
メイントレイ回収装置４４は、メインテーブル２０がトレイ回収位置４０にある場合にメインテーブル２０から使用済みのメイントレイ１６を回収する装置である。メイントレイ回収装置４４は、使用済みのメイントレイ１６を支持する回収用トレイ載置台５８と、回収用トレイ載置台５８をｚ軸方向に移動させる回収用トレイ載置台の昇降部６０とを有する。
【００４４】
回収用トレイ載置台５８は、トレイ回収位置４０の下方に重ね置かれた複数の使用済みのメイントレイ１６を支持する。使用済みのメイントレイ１６は、オペレータによって適宜、回収用トレイ載置台５８から取り除かれる。
【００４５】
回収用トレイ載置台の昇降部６０は、使用済みのメイントレイ１６が載置された状態で回収用トレイ載置台５８を昇降させることができ、トレイ回収位置４０よりも下方の一定の高さに、最上段の使用済みのメイントレイ１６の上端を維持する。使用済みのメイントレイ１６の上端の高さは、例えば図示しないセンサ等によって監視され、回収用トレイ載置台の昇降部６０の動作は、そのセンサ等から取得される情報に基づいて制御される。これによって、回収用トレイ載置台５８に載置されたメイントレイ１６の上端は、例えばメインテーブル２０の下端よりも低く、すなわちメインテーブル２０のｙ軸方向の移動を妨げない高さに維持される。
【００４６】
また、メイントレイ回収装置４４は、使用済みのメイントレイ１６をメインテーブル２０から持ち上げ回収用トレイ載置台５８の上に移載するために、基部６２と、基部６２に固定された４つの吸引ノズル６４とを有するメイントレイ回収ヘッド６６と、メイントレイ回収ヘッド６６をｚ軸方向に移動させるトレイ回収ヘッド用の移動機構部６８とを有する。
【００４７】
吸引ノズル６４の各々は、減圧手段（図示せず）に連通する下方に向けた開口を有する。各開口は、メインテーブル２０の所定位置に支持されたメイントレイ１６内の四隅近傍に当接できるように配置される。このような吸引ノズル６４の吸引力によって、使用済みのメイントレイ１６は吸着して保持される。
【００４８】
基板供給装置１２は、さらに制御部７０を備える。制御部７０は、上述の各部の移動を制御するとともに、サブテーブル２２が支持する基板１４がすべて使用された場合にそのことをオペレータに通知するランプ、スピーカ等の通知部７２を有する。制御部７０は、基板供給ヘッド２４がサブトレイ３４から供給した基板１４の数量を計数すること、サブトレイ３４における部品の有無を検知する図示しないセンサから当該部品の有無に関する情報を取得すること等によって、サブテーブル２２が支持する基板１４がすべて使用されたか否かを判断する。
【００４９】
以上、本実施の形態に係る基板供給装置１２の構成について説明した。次に、基板供給装置１２の動作について、図３〜図８を参照して説明する。
【００５０】
図３は、基板供給装置１２の動作を示すタイムチャートである。図３は、未使用のメイントレイ１６から最初の基板１４の供給が開始される時刻Ｔ１０から２回の段取りが終了する時刻Ｔ３０までの基板供給ヘッド２４の位置およびメインテーブル２０の位置を示す。
【００５１】
まず、基板供給ヘッド２４は、メイントレイ１６の上方に位置して、メイントレイ１６から基板１４を供給する（時刻Ｔ１０〜Ｔ１３および時刻Ｔ２０〜Ｔ２３）。本実施の形態では、メイントレイ１６の基板１４はｘ軸方向の並びを行としてｙ軸方向に２行並べて配置される。そのため、メイントレイ１６から基板１４を供給する途中（時刻Ｔ１１〜Ｔ１２および時刻Ｔ２１〜Ｔ２２）に、メインテーブル２０は、基板供給位置においてｙ軸方向に移動して基板供給位置を切り替えることによって、供給される基板１４を基板供給ヘッド２４に対して位置付ける。
【００５２】
段取り中（時刻Ｔ１３〜Ｔ２０および時刻Ｔ２３〜Ｔ３０）、基板供給ヘッド２４は、サブトレイ３４の上方に位置してサブトレイ３４から基板１４を供給し（時刻Ｔ１４〜Ｔ１９および時刻Ｔ２４〜Ｔ２９）、基板１４を継続して供給可能なように、メインテーブル２０のメイントレイ１６およびサブテーブル２２のサブトレイ３４の間を移動して基板１４を取り出すトレイのテーブルを切り替える。段取り中に、メインテーブル２０は、基板供給位置からトレイ回収位置４０に移動し（時刻Ｔ１３〜Ｔ１５および時刻Ｔ２３〜Ｔ２５）、使用済みのメイントレイ１６が回収されるとトレイ供給位置３８に移動し（時刻Ｔ１５〜Ｔ１７および時刻Ｔ２５〜Ｔ２７）、未使用のメイントレイ１６が供給されると基板供給位置に戻る（時刻Ｔ１７〜Ｔ２０および時刻Ｔ２７〜Ｔ３０）。
【００５３】
このような基板供給装置１２の動作の詳細について図３を参照して時系列で説明する。また、図４から図８を参照して、段取りの直前から段取りが終了するまでの基板供給装置１２の主要構成部の位置関係について説明する。図４から図８にはサブテーブル２２が単位数量の２倍である８枚の基板１４を支持する例を示す。
【００５４】
時刻Ｔ１０：基板供給ヘッド２４が、メイントレイ１６から基板１４の供給を開始する。メインテーブル２０は、基板供給位置にある。基板１４の供給は、メイントレイ１６に収容される基板１４のうち、トレイ回収位置４０に最も近いｘ軸方向の並びである第１行目の窪みに収容され、かつ、基板載置位置１８に近いｙ軸方向の並びである第１列目の窪みに収容される基板１４から開始される。
【００５５】
ここで、基板供給ヘッド２４が１枚の基板１４を供給する基板供給動作の詳細について説明する。基板供給ヘッド２４は、下方へ移動して吸引ノズル２８の先端をメイントレイ１６（サブトレイ３４）内に収納された基板１４の四隅近傍に当接させ、吸引することによってその当接した基板１４を保持しながら上方へ戻る。これによって、メイントレイ１６（サブトレイ３４）から基板１４を取り出す。その後、基板供給ヘッド２４は、基板１４を保持しながら基板載置位置１８の上方までｘ軸方向に移動し、下方へ移動して基板載置位置１８に基板１４を載置し、吸引を停止して上方へ移動する。これによって、基板１４を基板載置位置１８に供給する。基板１４を供給した後、基板供給ヘッド２４は、メイントレイ１６の次の基板１４の上方までｘ軸方向に移動する。これにより、１回の基板供給動作が終了する。
【００５６】
時刻Ｔ１０〜Ｔ１１：基板供給ヘッド２４が、基板１４を取り出すメイントレイ１６の窪みを、第１列、第２列、第３列と順次、基板載置位置１８から離れる方向へ移動させて、基板供給動作を繰り返すことによって、メイントレイ１６の第１行目の窪みに収容される基板１４を供給する。
【００５７】
時刻Ｔ１１〜Ｔ１２：基板供給ヘッド２４が、メイントレイ１６の第１行目の窪みに収容される基板１４をすべて供給すると（時刻Ｔ１１）、メインテーブル２０は、メイントレイ１６の１行分に相当する距離だけ、トレイ回収位置４０の方へ移動する。これによって、トレイ回収位置４０から２番目に近いｘ軸方向の並びである第２行目の窪みが、基板供給ヘッド２４の下方に位置付けられる。
【００５８】
このように、メイントレイ１６から取り出す基板１４のｘ軸方向およびｙ軸方向の位置は、基板供給ヘッド２４およびメイントレイ１６の移動によって決定される。そのため、取り出す基板１４に対して基板供給ヘッド２４を位置付けるための移動機構は、メイントレイ１６と基板供給ヘッド２４とのそれぞれを一方向にのみ移動させるものですむため、移動機構を簡単な構成を備えた小型なものにすることが可能になる。
【００５９】
時刻Ｔ１２〜Ｔ１３：基板供給ヘッド２４が、メイントレイ１６の第２行目の窪みに収容される基板１４を順次供給し、メイントレイ１６の基板１４が全て供給される（時刻Ｔ１３）。図４は、メイントレイ１６に収容された最後の基板１４が供給される直前の基板供給装置１２の状態を示す。
【００６０】
時刻Ｔ１３：ここから、段取りが開始する。
【００６１】
段取り中の基板供給ヘッド２４の動作について、まず説明する。
時刻Ｔ１３〜Ｔ１４：基板供給ヘッド２４は、メイントレイ１６の上方からサブトレイ３４の上方へ移動する。
【００６２】
時刻Ｔ１４〜Ｔ１９：基板供給ヘッド２４は、メイントレイ１６の場合と同様に、サブトレイ３４に収容される基板１４のうち、トレイ回収位置４０に最も近いｘ軸方向の並びである第１行目の窪みに収容され、かつ、基板載置位置１８に近いｙ軸方向の並びである第１列目の窪みに収容される基板１４を供給する。サブトレイ３４の基板１４を供給する場合に基板供給ヘッド２４が１枚の基板を供給するために実行する動作は、上述のメイントレイ１６の基板を供給する場合と同様である。
【００６３】
基板供給ヘッド２４は、基板１４を取り出すサブトレイ３４の窪みを、第１列、第２列と順次、基板載置位置１８から離れる方向へ移動させて、サブトレイ３４の第１行目の窪みに収容される基板１４をすべて供給する。その後、サブテーブル２２が、サブトレイ３４の１行分に相当する距離だけ、基板載置位置１８の方へ移動する。これによって、トレイ回収位置４０から２番目に近いｘ軸方向の並びである第２行目の窪みが、基板供給ヘッド２４の下方に位置付けられる。基板供給ヘッド２４は、サブトレイ３４の第２行目の窪みに収容される基板１４を順次、供給する。
【００６４】
このように、サブトレイ３４から取り出す基板１４のｘ軸方向およびｙ軸方向の位置は、メイントレイ１６の場合と同様に、基板供給ヘッド２４およびサブトレイ３４の移動によって決定される。また、サブトレイ３４は、メイントレイ１６と同方向に移動可能に、メイントレイ１６と平行に配置される。そのため、取り出す基板１４に対して基板供給ヘッド２４を位置付けるための移動機構は、メイントレイ１６と基板供給ヘッド２４とのそれぞれを一方向にのみ移動させるものですむため、移動機構を簡単な構成を備えた小型なものにすることが可能になる。
【００６５】
時刻Ｔ１９〜Ｔ２０：基板供給ヘッド２４は、サブトレイ３４の上方からメイントレイ１６の上方へ移動する。この時、基板供給ヘッド２４は、基板載置位置１８に最も近いｙ軸方向の並びである第１列目の窪みに収容される基板１４の上方に移動する。
【００６６】
次に、段取り中のメインテーブル２０の動作について説明する。
時刻Ｔ１３〜Ｔ１５：メインテーブル２０は、基板供給位置からトレイ回収位置４０に移動する。また、時刻Ｔ１３〜Ｔ１５において、メイントレイ供給ヘッド５４は、供給用トレイ載置台４６に支持されたメイントレイ１６を保持して、トレイ供給位置３８の上方に移動させることによって、メイントレイ１６の供給準備を行う。
【００６７】
ここで、メイントレイ供給動作のうち、メイントレイの供給準備の詳細について説明する。なお、メイントレイの供給準備は、段取り開始時（時刻Ｔ１３）に近い時点から開始されることが好ましいが、時刻Ｔ１０〜Ｔ１７に終了すれば、いつ行われてもよい。
【００６８】
供給用トレイ載置台４６は、昇降部４８によって、メイントレイ１６の厚さに相当する高さだけ上昇するとともに、メイントレイ供給ヘッド５４は、下方へ移動する。これによって、供給用トレイ載置台４６の最上部に支持されるメイントレイ１６の四隅近傍に吸引ノズル５２の先端が当接する。この時、供給用トレイ載置台４６を上昇させるとともにメイントレイ供給ヘッド５４を下降させることによって、両者の移動範囲を小さくすることができるため、それぞれの移動機構４８，５６を小さくすることができる。
【００６９】
続けて、メイントレイ供給ヘッド５４は、メイントレイ１６の四隅近傍を吸引することによって当該メイントレイ１６を保持する。メイントレイ供給ヘッド５４は、トレイ供給位置３８に移動するメインテーブル２０とメイントレイ１６とが干渉しないように、メイントレイ１６を保持しながら上昇する。メイントレイ供給ヘッド５４は、メインテーブル２０がトレイ供給位置３８に移動するまで、メイントレイ１６を保持しながら上昇した状態で待機する。これにより、メイントレイの供給準備は終了し、メイントレイ供給動作の続きは、時刻Ｔ１７〜Ｔ１８に実行される。
【００７０】
時刻Ｔ１５〜Ｔ１６：メインテーブル２０がトレイ回収位置４０にあり、メイントレイ１６は、メイントレイ回収ヘッド６６によって保持され、上方に移動する。これによって、メイントレイ１６は、メインテーブル２０から回収される。図５は、メイントレイ１６が、トレイ回収位置４０にあるメインテーブル２０からメイントレイ回収ヘッド６６により上方へ移動した状態を示す。
【００７１】
ここで、メイントレイ回収動作の詳細について説明する。メインテーブル２０がトレイ回収位置４０に移動すると、メイントレイ回収ヘッド６６は、下方へ移動する。これによって、トレイ回収位置４０にあるメインテーブル２０の所定位置に載置された基板１４が取り出された使用済みのメイントレイ１６の四隅近傍に吸引ノズル２８の先端が当接する。次に、メイントレイ回収ヘッド６６は、メイントレイ１６の四隅近傍を吸引することによって当該メイントレイ１６を保持する。メイントレイ回収ヘッド６６は、トレイ回収位置４０からメインテーブル２０が退避できるように、メイントレイ１６を保持しながら上昇する。これにより、メインテーブル２０からの回収が終了し、メイントレイ回収動作の続きは、時刻Ｔ１７〜Ｔ２０に実行される。
【００７２】
時刻Ｔ１６〜Ｔ１７：メインテーブル２０は、メイントレイ１６が載置されていない状態で、トレイ回収位置４０からトレイ供給位置３８に移動する。図６は、トレイ回収位置４０からトレイ供給位置３８にメインテーブル２０が移動する途中の状態を示す。
【００７３】
時刻Ｔ１７〜Ｔ１８：メインテーブル２０がトレイ供給位置３８に位置付けられ、未使用のメイントレイ１６がメインテーブル２０に載置される。図７は、メインテーブル２０がトレイ供給位置３８にある状態（時刻Ｔ１７）を示す。メイントレイの供給準備動作（時刻Ｔ１３〜Ｔ１５）の後に待機していたメイントレイ供給ヘッド５４は、トレイ供給位置３８に移動したメインテーブル２０の上にメイントレイ１６を配置して、吸引を停止する。未使用のメイントレイ１６を供給した後、メイントレイ供給ヘッド５４は上昇し、段取り前の所定位置に戻る。以上により、メイントレイ供給動作は終了する。
【００７４】
またこの間に、メイントレイ回収ヘッド６６は、時刻Ｔ１３〜Ｔ１５において保持したメイントレイ１６をメインテーブル２０上に載置する。これによって、使用済みのメイントレイ１６が回収される。
【００７５】
ここで、時刻Ｔ１５〜Ｔ１６において説明したメイントレイ回収動作の続きについて説明する。メイントレイ回収ヘッド６６は、下方へ移動することによって、保持しているメイントレイ１６を回収用トレイ載置台５８の最上段に位置付けると、吸引を停止する。これによって、使用済みのメイントレイ１６が、回収用トレイ載置台５８の上に載置される。その後、回収用トレイ載置台５８は、昇降部６０によって、メイントレイ１６の厚さに相当する高さだけ下降する。メイントレイ１６を載置したメイントレイ回収ヘッド６６は、上昇して、段取り前の所定位置に戻る。以上により、メイントレイ回収動作は終了する。なお、トレイ回収動作は、好ましくは、メインテーブルから回収し（時刻Ｔ１５〜Ｔ１６）、メインテーブル２０がメイントレイ回収位置４０から移動した後に連続的に実行されるが、次のトレイ回収動作の開始時（時刻Ｔ２５）までに終了していればよい。
【００７６】
時刻Ｔ１８〜Ｔ２０：メイントレイ１６は、トレイ供給位置３８から基板供給位置に移動する。この時、メイントレイ１６は未使用の状態である。そのため、トレイ回収位置４０に最も近いｘ軸方向の並びである第１行目の窪みに収容される基板１４を供給できるように、メインテーブル２０はｙ軸方向に移動する。
【００７７】
時刻Ｔ２０：段取りが終了し、基板供給ヘッド２４は、再び、メイントレイ１６から基板１４の供給を開始する。図８は、未使用のメイントレイ１６から基板１４の供給が開始される状態を示す。
【００７８】
その後、基板供給装置１２は、時刻Ｔ２０〜Ｔ２３において、上述の時刻Ｔ１０〜Ｔ１３と同様の動作を実行する。これによって、メイントレイ１６に収容された基板１４が全て供給されると、続けて時刻Ｔ２３〜Ｔ３０において、基板供給装置１２は上述の時刻Ｔ１３〜Ｔ２０と同様の段取りを再び実行する。この時の段取りにおいてサブトレイ３４から供給される基板１４は、前回の段取りで供給された基板１４に続くものであって、基板供給ヘッド２４およびサブテーブル２２の動作が最小で済むものが望ましい。
【００７９】
具体的には、本実施の形態では、前回の段取りで供給された基板１４は、それが収容される行（サブトレイ３４の第２行目）の窪みに収容された最後の基板１４であるため、その行に隣接する行（サブトレイ３４の第３行目）の窪みに収容された基板が供給される。
【００８０】
なお、前回の段取りで供給された基板１４がそれの収容される行の途中の窪みに収容された基板であった場合には、その行に収容された基板１４のうち、前回の段取りで供給された基板１４に隣接する基板１４が供給される。
【００８１】
図３に戻って、本実施の形態では、２回の段取りが終了すると（時刻Ｔ３０）サブトレイ３４に収容される基板１４は全て供給されて、サブトレイ３４は使用済みになる。制御部７０は、サブテーブル２２が支持する基板１４がすべて使用されたと判断する。制御部７０の制御によって、通知部７２は、サブトレイ３４が使用済みであることをオペレータに通知する。通知を受けたオペレータが、使用済みのサブトレイ３４を未使用のサブトレイ３４と交換することによって、８枚の基板１４が再びサブテーブル２２に支持される。
【００８２】
これまで説明した動作を繰り返すことによって、基板供給装置１２は、段取り中にアイドルタイムを発生させることなく継続的に基板１４を供給することができる。
【００８３】
以上、本発明の実施の形態１について説明したが、実施の形態１はこれに限られない。
【００８４】
例えば、サブトレイには、条件出し基板等の特別な目的で使用される基板が収容されてもよい。条件出し基板とは、実装装置等の後続する装置における位置の調整、温度の調整等して実装条件を決定するために使用される基板である。
【００８５】
特別な目的で使用される基板は、例えばサブトレイにマーキングが付された一部の領域に配置される。これによって、サブトレイに収容された基板を使用して、段取り中に各装置の調整等を実行することができる。
【００８６】
例えば、基板供給ヘッド２４、メイントレイ供給ヘッド５４およびメイントレイ回収ヘッド６６はいずれも吸引することによって、基板１４またはメイントレイ１６を保持することとした。吸引は、基板１４またはメイントレイ１６を保持する方法の一例に過ぎない。例えば、基板供給ヘッドは、ｘ軸方向およびｙ軸方向に対向する４つのアームを有してもよい。この場合、各アームの一端は対向するアームが開閉するように基板１４に取り付けられる。各アームの他端はアームが閉じる方向へ突き出した爪を有する。このようなアームが閉じることによって、爪が基板１４の４辺のそれぞれの下方に潜り込み、基板供給ヘッドが上昇した時に基板１４を支持する。これによって、メイントレイ１６およびサブトレイ３４から基板１４を取り出し、また、取り出した基板１４を移動時に保持することができる。この変形例は、メイントレイ供給ヘッド５４およびメイントレイ回収ヘッド６６のいずれにも適用できる。
【００８７】
以上、説明したように本実施の形態によると、メインテーブル２０とサブテーブル２２とはそれぞれｙ軸方向に移動し、基板供給ヘッド２４はｘ軸方向に移動する。これによって、ｘ軸方向およびｙ軸方向に並べて収容された各基板の上方に基板供給ヘッド２４を位置付けることができ、基板１４をメイントレイ１６とサブトレイ３４とのそれぞれから取り出すことが可能になる。そのため、基板供給ヘッド２４をｙ軸方向に移動させる必要がなく、基板供給ヘッド２４の移動機構を簡単な構成とし、かつ小型にすることができる。また、メインテーブル２０とサブテーブル２２とをｘ軸方向に移動させる必要がなく、メインテーブル２０とサブテーブル２２とのそれぞれの移動機構を簡単な構成とし、かつ小型にすることができる。
【００８８】
また、メインテーブル２０は、段取りのためにｙ軸方向に移動する。これは、基板１４を供給するためにメインテーブル２０が移動する方向と同じである。また、基板供給時の移動範囲は、段取り時の移動範囲に含まれる。そのため、メインテーブル用の移動機構部２１が段取りのために必要な機能を備えるだけで、メインテーブル２０は基板供給に必要な移動を実現することができ、基板供給装置１２全体として移動機構を簡素化することが可能になる。
【００８９】
さらに、メイントレイ１６を載置するメインテーブル２０とサブトレイ３４を載置するサブテーブル２２とがｘ軸方向に並べて設けられるため、基板供給ヘッド２４をｙ軸方向に移動させることなく、メイントレイ１６とサブトレイ３４から基板を供給することができる。これによって、基板供給ヘッド２４の移動機構を簡素化することができる。
【００９０】
（実施の形態２）
実施の形態１において説明した基板供給装置１２の構成および動作は、図９に示す実装基板回収装置１１２の構成および動作に適用することもできる。実施の形態２では、実装基板回収装置１１２の例について説明する。
【００９１】
実装基板回収装置１１２は、実施の形態１と同様の実装する実装システムに備えられる装置の１つであって、実装システムにおいて製造された実装基板を回収する装置である。すなわち、実装基板は、ＴＣＰ（Ｔａｐｅ  Ｃａｒｒｉｅｒ  Ｐａｃｋａｇｅ）、ドライバＩＣ、フレキシブル基板等の電子部品が実装された、ガラス製のパネル、フレキシブル基板、プリント基板等の基板である。実装システムが形成する実装ラインにおいて、実装基板回収装置１１２の前段に備えられる装置が所定の基板載置位置１１８に実装基板１１４を位置付けると、実装基板回収装置１１２は、基板載置位置１１８に載置された実装基板１１４を順次、回収用のトレイ１１６，１３４に収容し、実装基板１１４が収容された回収用のトレイ１１６，１３４を回収する。
【００９２】
実装基板回収装置１１２は、部品が実装された複数の実装基板１１４をトレイ１１６，１３４に収容することによって、実装基板を回収する装置であって、実装システムにおいて前段に設けられた装置によって所定の基板載置位置１１８に載置された実装基板１１４を取り上げて移動させ、メイントレイ１１６に収容する。
【００９３】
実装基板回収装置１１２は、実装基板１１４を支持してｙ軸方向に移動可能なメインテーブル１２０およびサブテーブル１２２と、ｘ軸方向およびｚ軸方向に移動する基板回収ヘッド１２４とを備える。基板回収ヘッド１２４は、ｘ軸方向およびｚ軸方向に移動することによって、基板載置位置１１８から実装基板１１４を移動させて、メインテーブル１２０に載置されたメイントレイ１１６またはサブテーブル１２２に載置されたサブトレイ１３４に実装基板１１４を収容する。実装基板回収装置１１２の各構成部は、基板供給装置１２の対応する各構成部と同様である。違いは、サブテーブル１２２が配置される位置であって、サブテーブル１２２は、好ましくは、基板載置位置１１８とメインテーブル１２０との間に、メインテーブル１２０とｘ軸方向に並べて設けられる。これにより、メインテーブル１２０の周囲に駆動系をメンテナンスするためのスペースを確保することができ、メンテナンス性を向上させることが可能になる。
【００９４】
実装基板回収装置１１２は、未使用のメイントレイ１１６に実装基板を順次収容し、メイントレイ１１６が使用済みになると、メイントレイ１１６の交換（段取り）を行う。ここで、実装基板回収装置１１２において、未使用のメイントレイ１１６は、実施の形態１のメイントレイ１６と同様の構造をしたトレイであって、実装基板１１４が収容されていないものである。また、使用済みのメイントレイ１１６は、メイントレイ１１６に収容可能な数量の実装基板１１４が収容されたものである。なお、本実施の形態の使用済みには、例えば収容可能枚数に満たない場合であっても所定枚数の実装基板１１４が収容される等によってオペレータが使用済み、または交換すべきと判断した場合も含んでもよい。
【００９５】
段取り中、メインテーブル１２０は、実装基板１１４が収容されていない未使用のメイントレイ１１６が供給されるトレイ供給位置１３８と、使用済みのメイントレイ１１６が回収されるトレイ回収位置１４０との間をｙ軸方向に移動する。トレイ供給位置１３８のメインテーブル１２０には、実装基板回収装置１１２が備えるメイントレイ供給装置１４２によって、未使用のメイントレイ１１６が供給される。また、トレイ回収位置１４０のメインテーブル１２０には、実装基板回収装置１１２が備えるメイントレイ回収装置１４４によって、実装基板１１４が収容された使用済みのメイントレイ１１６が回収される。
【００９６】
実装基板回収装置１１２が備えるメイントレイ供給装置１４２およびメイントレイ回収装置１４４の構成はそれぞれ、基板供給装置１２が備えるメイントレイ供給装置４２およびメイントレイ回収装置４４の構成と同様である。
【００９７】
実装基板回収装置１１２が実行する動作は、基板供給装置１２がメイントレイ１６およびサブトレイ３４から基板を取り出して所定の基板載置位置１８に供給することを、所定の基板載置位置１１８から実装基板１１４を取り上げてメイントレイ１１６およびサブトレイ１３４に収容して回収することに置き換えたものと同様である。サブトレイ１３４は、基板回収ヘッド１２４がメイントレイ１１６の交換時に継続的に実装基板１１４を回収するために必要な実装基板１１４の数量以上の実装基板１１４を収容できる。
【００９８】
基板回収ヘッド１２４は、メイントレイ１１６の窪みに実装基板１１４を順次収容することによって、実装基板１１４を回収する。メイントレイ１１６が使用済みになると、メイントレイ１１６の段取りが行われ、その間サブトレイ１３４に実装基板１１４が回収される。
【００９９】
段取りにおいては、メインテーブル１２０がトレイ回収位置１４０にまで移動し、メイントレイ回収装置１４４が使用済みのメイントレイ１１６を回収する。その後、メインテーブル１２０がトレイ供給位置１３８にまで移動し、メイントレイ供給装置１４２が、実装基板１１４が収容されていない未使用のメイントレイ１１６を供給する。メイントレイ供給装置１４２およびメイントレイ回収装置１４４の詳細な動作は、基板供給装置１２が備えるメイントレイ供給装置４２およびメイントレイ回収装置４４と同様である。
【０１００】
以上の動作を繰り返すことによって、メイントレイ１１６の段取り時に実装基板１１４を収容するサブトレイ１３４の窪みの全てに実装基板１１４が収容されると、制御装置はその旨をオペレータに通知する。通知を受けたオペレータは、全ての窪みに実装基板１１４が収容された使用済みのサブトレイ１３４を実装基板１１４が収納されていない未使用のサブトレイ１３４に交換する。これによって、段取り中のアイドルタイムを発生させることなく実装基板を回収することが可能になる。
【０１０１】
また、基板供給装置１２の場合と同様に実装基板回収装置１１２においても、メイントレイ１１６を載置するメインテーブル１２０およびサブトレイ１３４を載置するサブテーブル１２２の移動機構と、基板回収ヘッド１２４の移動機構と、メイントレイ供給装置１４２およびメイントレイ回収装置１４４の昇降部の構成を簡単な構成を備えた小型のものにすることができる。従って、実装基板回収装置を簡単な構成とし、かつ小型にすることが可能になる。
【産業上の利用可能性】
【０１０２】
本発明に係る基板供給装置は、トレイに収容された基板を順次供給する装置に適用でき、基板供給方法はそのような基板供給装置に適用することができる。本発明に係る実装基板回収装置は、電子部品等が実装された実装基板を順次トレイに収容することによって、回収する装置に適用でき、実装基板回収方法はそのような実装基板回収装置に適用することができる。
【符号の説明】
【０１０３】
１２  基板供給装置
１４  基板
１６，１１６  メイントレイ
１８，１１８  基板載置位置
２０，１２０  メインテーブル
２１  メインテーブル用の移動機構部
２２，１２２  サブテーブル
２４  基板供給ヘッド
３４，１３４  サブトレイ
３０  第１の基板供給ヘッド用の移動機構部
３２  第２の基板供給ヘッド用の移動機構部
３６  サブテーブル用の移動機構部
３８，１３８  トレイ供給位置
４０，１４０  トレイ回収位置
４２，１４２  メイントレイ供給装置
４４，１４４  メイントレイ回収装置
４６  供給用トレイ載置台
４８  供給用トレイ載置台の昇降部
５４  メイントレイ供給ヘッド
５６  トレイ供給ヘッド用の移動機構部
５８  回収用トレイ載置台
６０  回収用トレイ載置台の昇降部
６６  メイントレイ回収ヘッド
６８  トレイ回収ヘッド用の移動機構部
７０  制御部
７２  通知部
１１２  実装基板回収装置
１１４  実装基板
１２４  基板回収ヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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