(57)【要約】【課題】画像データセットの解析を開始するまでの時間を短縮する。【解決手段】本発明の画像データ配信方法および検査装置は、検査対象に定められた検査ポイントの画像データを撮像する撮像部、撮像部が撮像した画像データを受け取り、画像データの画像データセットを予め定めた配信グループへ転送する転送装置（配信部）、ホスト、および、配信グループに含まれ、ホストからの検査ポイントを含む解析指示を受け取り、解析指示が自らへの指示でないとき、解析指示に含まれる検査ポイントを解析不要な検査ポイントとして記憶し、検査ポイントが記憶されているか否かに応じて、選択的に配信グループに参加する解析用処理ノードを備える。【選択図】図１
2011100323.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象に定められた検査ポイントの画像データを撮像する撮像部を有する検査装置における画像データ配信方法であって、前記検査装置に含まれる1つ以上の解析用処理ノードを有する配信グループを定義しておき、
前記撮像部が撮像した前記画像データを受け取った配信部は、前記画像データの画像データセットを前記配信グループに含まれる前記解析用処理ノードへ転送し、
前記解析用処理ノードは、自ノードに対する解析不要を示す解析指示に含まれる前記検査ポイントに応じて、選択的に前記配信グループに参加することを特徴とする画像データ配信方法。
【請求項２】
請求項１記載の画像データ配信方法において、前記解析不要を示す前記解析指示に含まれる前記検査ポイントに応じて離脱検査ポイントリストを形成し、形成した前記離脱検査ポイントリストに基づいて選択的に前記配信グループに参加することを特徴とする画像データ配信方法。
【請求項３】
請求項２記載の画像データ配信方法において、前記検査対象の切り替えに応じて、前記離脱検査ポイントリストに含まれる離脱検査ポイントに対応する前記画像データセットを削除することを特徴とする画像データ配信方法。
【請求項４】
請求項３記載の画像データ配信方法において、前記離脱検査ポイントリストに含まれる前記離脱検査ポイントに対応する前記画像データセットの削除した後に、前記離脱検査ポイントリストを更新することを特徴とする画像データ配信方法。
【請求項５】
請求項１記載の画像データ配信方法において、前記配信部は、前記画像データセットを所定のサイズに分割し、分割された前記画像データセットの各々に少なくとも前記検査ポイントを識別するIDを付した複数の画像データグラムを生成し、複数の前記画像データグラムを前記配信グループに含まれる前記解析用処理ノードへ転送することで、前記画像データセットを前記配信グループに含まれる前記解析用処理ノードへ転送することを特徴とする画像データ配信方法。
【請求項６】
請求項５記載の画像データ配信方法において、生成する前記画像データグラムは、さらに前記検査対象物を識別する検査対象物IDを含むことを特徴とする画像データ配信方法。
【請求項７】
請求項５記載の画像データ配信方法において、前記解析用処理ノードは、自ノードに対する前記解析不要を示す解析指示に含まれる前記検査ポイントと前記画像データグラムに付されたＩＤに対応する前記検査ポイントとの比較に基づいて選択的に前記配信グループに参加することを特徴とする画像データ配信方法。
【請求項８】
請求項１記載の画像データ配信方法において、前記配信グループに参加しない場合、転送される前記画像データセットを受信しない動的フィルタ処理および既に受信した前記画像データセットを削除する事後フィルタ処理の少なくとも一方を実行することを特徴とする画像データ配信方法。
【請求項９】
請求項１記載の画像配信方法において、解析用処理ノードにおける解析処理フローの予め定めた通過点と他の通過点との間の処理時間に基づいて、新たな前記検査ポイントに対する解析用を示す前記解析指示を前記解析用処理ノードに割り当てることを特徴とする画像データ配信方法。
【請求項１０】
請求項９記載の画像データ配信方法において、前記通過点と前記通過点の処理を実行した日時との組合せに基づいて前記処理時間を求めることを特徴とする画像データ配信方法。
【請求項１１】
検査対象に定められた検査ポイントの画像データを撮像する撮像部、
前記撮像部が撮像した前記画像データを受け取り、前記画像データの画像データセットを予め定めた配信グループへ転送する転送装置、
ホスト、および、
前記配信グループに含まれ、前記ホストからの前記検査ポイントを含む解析指示を受け取り、前記解析指示が自らへの指示でないとき、前記解析指示に含まれる前記検査ポイントを解析不要な検査ポイントとして記憶し、前記検査ポイントが記憶されているか否かに応じて、選択的に前記配信グループに参加する解析用処理ノードを備えることを特徴とする検査装置。
【請求項１２】
請求項１１記載の検査装置において、前記検査ポイントを前記解析不要な検査ポイントとして記憶する離脱検査ポイントリスト格納領域を有することを特徴とする検査装置。
【請求項１３】
請求１１記載の検査装置において、前記解析用処理ノードは、前記配信グループに参加しない場合、転送される前記画像データセットを受信しない動的フィルタ処理および既に受信した前記画像データセットを削除する事後再構成の少なくとも一方を実行することを特徴とする検査装置。
【請求項１４】
請求項１１記載の検査装置において、前記解析用処理ノードは、自ノードID格納領域を有し、前記解析指示に含まれる解析用処理ノードIDが自ノードID格納領域に格納されているIDと異なるとき、前記解析指示が自らへの指示でないとすることを特徴とする検査装置。
【請求項１５】
請求項１１記載の検査装置において、前記解析用処理ノードは、前記解析不要である前記解析指示に含まれる前記検査ポイントを離脱検査ポイントとして離脱検査ポイントリストに記憶し、前記離脱検査ポイントリストに基づいて選択的に前記配信グループに参加することを特徴とする検査装置。
【請求項１６】
請求項１５記載の検査装置において、前記解析用処理ノードは、前記検査対象の切り替えに応じて、前記離脱検査ポイントリストに含まれる前記離脱検査ポイントに対応する前記画像データセットを削除する仲介部が通過点報告を備える検査装置。
【請求項１７】
請求項１１記載の検査装置において、前記転送装置は、前記画像データセットを所定のサイズに分割し、分割された前記画像データセットの各々に少なくとも前記検査ポイントを識別するIDを付した複数の画像データグラムを生成し、複数の前記画像データグラムを前記配信グループに含まれる前記解析用処理ノードへ転送することにより、前記画像データセットを前記配信グループに含まれる前記解析用処理ノードへ転送することを特徴とする検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
検査対象（LSIチップ製造用ウェーハなど）を検査するための画像データ配信方法及び検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
LSIチップ製造用ウェーハなどの検査対象を撮像して検査する従来技術として、リニアセンサなどを使用して画像データを取得し、取得した画像データを複数領域に分割して並列処理を施す技術が活用されている。例えば、特許文献１には、複数のプロセッサユニットを有する並列データ処理装置において、正常なプロセッサユニットにのみ処理を割当て処理の最適化を図りつつ、システムのリソースを有効活用し、システムの変更や故障にも柔軟に対処できるとされる並列データ処理装置および方法の記載がある。特許文献１では、制御ＣＰＵが、各プロセッサユニットの動作テストを実行し、その動作テストの結果、正常に動作すると確認されたプロセッサユニットに対して、プログラム分配制御手段により、データ処理プログラムを各プロセッサユニットに分配して、かつ、データ分割手段により、分割されたデータを各プロセッサユニットに割り当てる。また、その割り当てるデータ量は、プロセッサユニットの性能、プログラムの命令の種類等の性質により最適化する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平10-162130
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
検査対象に割り当てられた複数の検査ポイントをそれぞれ撮像した画像データを生成して、各画像データに所定の解析を施して解析結果を報告する検査装置がある。このような検査装置に、特許文献１に記載の技術を適用すると、プログラムの分配とデータ割当てなどの性能最適化のための前処理を、画像データを生成する毎に実行しなければならず、画像データを生成してから解析を開始するまでの待ち時間が検査ポイントの数に応じて積算され、結果として画像データ処理のスループットが低下するという問題が生じる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明における画像データ配信方法および検査装置は、次のように構成する。検査対象に定められた検査ポイントの画像データを撮像する撮像部、撮像部が撮像した画像データを受け取り、画像データの画像データセットを予め定めた配信グループへ転送する転送装置（配信部）、ホスト、および、配信グループに含まれ、ホストからの検査ポイントを含む解析指示を受け取り、解析指示が自らへの指示でないとき、解析指示に含まれる検査ポイントを解析不要な検査ポイントとして記憶し、検査ポイントが記憶されているか否かに応じて、選択的に配信グループに参加する解析用処理ノードを備える。
【０００６】
他の望ましい態様は、解析用処理ノードは、解析不要を示す解析指示に含まれる検査ポイントに応じて離脱検査ポイントリストを形成し、形成した離脱検査ポイントリストに基づいて選択的に配信グループに参加する。
【０００７】
さらに他の望ましい態様は、配信部は、画像データセットを所定のサイズに分割し、分割された画像データセットの各々に少なくとも検査ポイントを識別するIDを付した複数の画像データグラムを生成し、複数の画像データグラムを配信グループに含まれる解析用処理ノードへ転送することで、画像データセットを配信グループに含まれる解析用処理ノードへ転送する。
【０００８】
さらに他の望ましい態様は、解析用処理ノードは、配信グループに参加しない場合、転送される画像データセットを受信しない動的フィルタ処理および既に受信した前記画像データセットを削除する事後フィルタ処理の少なくとも一方を実行する。
【０００９】
さらに他の望ましい態様は、ホストは、解析用処理ノードにおける解析処理フローの予め定めた通過点と他の通過点との間の処理時間に基づいて、新たな検査ポイントに対する解析用を示す解析指示を解析用処理ノードに割り当てる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、解析用処理ノードへ予め画像データセットが転送され、解析用処理ノードで解析不要との判定に基づいて、転送されている画像データセットを受信しない、又は既に受信されている画像データセットを削除するので、解析すべき画像データセットの解析を開始するまでの時間を短縮できる。。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】検査装置のデータフローである。
【図２】仲介部と解析処理部のデータフローである。
【図３】解析指示１１８を受付けた仲介部の処理フローチャートである。
【図４】転送機器が画像データセットを転送する処理フローチャートである。
【図５】仲介部が画像データセットを受信する処理フローチャートである。
【図６】検査フロー分析する処理フローチャートである。
【図７】解析処理部１０５のプログラム構造の一部である。
【図８】指示部が解析指示を出力する処理フローチャートである。
【図９】検査装置および検査システムの構成図である。
【図１０】解析指示の例である。
【図１１】仲介部が画像データを削除する処理フローチャートである。
【図１２Ａ】１番目の画像データグラムの構成である。
【図１２Ｂ】Ｎ番目の画像データグラムの構成である。
【図１３】離脱検査ポイントリスト格納領域の構成である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図９は、本実施形態に係る検査装置９０６の構成図を示す。検査装置９０６は、他検査装置９０４や歩留り管理サーバ９０５に接続し、全体として検査システムを構成する。検査装置９０６は、ホスト１０１、解析用処理ノード（１０４、１０７．１１０）、および転送機器１１３をネットワーク９０１で接続した構成を有する。ホスト１０１および解析用処理ノード（１０４、１０７．１１０）は、ＣＰＵを有する計算機である。転送機器１１３は、撮像機器９０３と接続し、撮像機器９０３からの画像データを取得する。検査装置９０６に含まれるホスト１０１が、他検査装置９０４や歩留り管理サーバ９０５に接続する。本実施形態における検査対象物９０２は、LSIチップ製造用ウェーハである。
【００１３】
本実施形態では、他検査装置９０４が、予め検査対象物９０２の欠陥をおおまかに検出し、欠陥のおおまかな検出に基づいて検査対象物９０２の検査ポイント群を生成し、検査装置９０６のホスト１０１へ検査ポイント群を転送する。検査対象物９０２のホスト１０１は、解析結果を歩留り管理サーバ９０５へ転送する。すなわち、検査装置９０６は、他検査装置９０４から与えられた検査対象物９０２の検査ポイント群の画像データを撮像機器９０３から取得し、各画像データを解析して、その解析結果を歩留り管理サーバ９０５へ報告する。なお、検査装置９０６は、検査ポイント群の画像データを取得するために、ホスト１０１が撮像機器９０３を制御する。
【００１４】
図１は、検査装置９０６のデータフローを示す。検査装置９０６は、指示部１０２と結果管理部１０３を備えるホスト１０１と、仲介部１０６と解析処理部１０５を備える解析用処理ノード（１０４、１０７、１１０）と、転送機器１１３とを有する。
【００１５】
指示部１０２は、他検査装置９０４から検査ポイント群１１６を受付ける。指示部１０２は、受け付けた検査ポイント群１１６の各検査ポイントの画像を撮像できるように撮像機器９０３を制御すると共に、各検査ポイントの画像取得指示１２０を転送機器１１３へ出力する。また、指示部１０２は、転送機器１１３へ画像取得指示した検査ポイントの画像データ（１つの検査ポイントに関して、複数の方向から撮像した複数の画像のデータ）を解析すべき解析処理ノード及び検査ポイントID（指示部１０２が検査ポイント毎に識別子を割当てる）を含む解析指示１１８を各解析用処理ノード（１０４、１０７、１１０）に出力する。また、指示部１０２は、後述する通過点１１９を解析用処理ノード（１０４、１０７、１１０）から受付ける。
【００１６】
結果管理部１０３は、解析用処理ノード（１０４、１０７、１１０）から解析結果１２１を受付けて、その解析結果１１７を歩留まり管理サーバ９０５へ出力する。
【００１７】
転送機器（配信部とも言う。）１１３は、指示部１０２からの画像取得指示１２０に応じた画像データ１２５を撮像機器９０３から受付けて、解析用処理ノード（１０４、１０７、１１０）へ画像データグラム１２３を出力する。画像データグラム１２３については、図１２を用いて後述する。
【００１８】
ここで、解析用処理ノード（１０４、１０７、１１０）（以下、単にノードと呼ぶこともある。）において、任意の時点を基準として、転送機器１１３から転送される画像データセット（１つの検査ポイントに関して、複数の方向から撮像した複数の画像のデータ）は、（1）受信済みである画像データセット、（2）受信中である画像データセット、（3）将来受信する画像データセットに分類できる。さらに、（1）を（1）−A受信済みであって自ノードで必要な（解析すべき）画像データセットと、（1）−B受信済みであって自ノードに不要な（解析不要な）画像データセットに分類できる。また、（2）を（2）−受信中であって自ノードに必要な画像データセットと、（2）−B受信中であって自ノードに不要な画像データセットに分類できる。また、（3）を（3）−A将来受信するもので自ノードに必要な画像データセットと、（3）−B将来受信するもので自ノードに不要な画像データセットに分類できる。
【００１９】
解析用処理ノード（１０４、１０７、１１０）は、仲介部（１０６、１０９、１１２）と解析処理部（１０５、１０８、１１１）を有する。仲介部（１０６、１０９、１１２）は、指示部１０２から受付けた解析指示１１８に基づいて離脱検査ポイントリストを形成し、この離脱検査ポイントリストに従って、検査ポイント毎に画像データセットの配信グループを制御する。仲介部（１０６、１０９、１１２）は、検査ポイント毎に画像データセットの配信グループを制御することで、前述の分類（1）−Bの受信済みであって自ノードに不要な画像データセットを削除する（これを、事後再構成と呼ぶ）。さらに、仲介部（１０６、１０９、１１２）は、検査ポイント毎に画像データセットの配信グループを制御することで、前述の分類（2）−Bの受信中であって自ノードに不要な画像データセットと分類（3）−B将来受信するもので自ノードに不要な画像データセットを受信拒否する（これを、動的フィルタと呼ぶ）。
【００２０】
図２は、解析用処理ノード１０４を対象として、仲介部１０６と解析処理部１０５を中心としたデータフローを示す。解析用処理ノード（１０７、１１０）を構成する仲介部（１０９、１１２）と解析処理部（１０８、１１１）のデータフローも同様である。。仲介部１０６は、解析指示受付け２０１、配信グループ制御２２４、通過点報告２０２、結果報告２０３、および画像データ管理２０７を有する。解析指示受付け２０１は、一時メモリ領域２２０及び自ノードID格納領域２２１を備える。配信グループ制御２２４は、離脱検査ポイントリスト格納領域２２８、動的フィルタ２２５、および事後再構成２２６を備える。通過点報告２０２は通過点格納領域２３１を備える。画像データ管理２０７は、画像データ２３２、画像データグラム受信バッファ２３０、および画像データ受信２０８を備える。
【００２１】
解析指示受付け２０１は、指示部１０２から解析指示１１８を受付けて、離脱検査ポイント２０９を配信グループ制御２２４へ出力し、検査対象物IDおよび検査ポイントID２２３を解析処理部１０５へ出力する。配信グループ制御２２４は、参入・離脱確認結果２１６と事後再構成要求２１８とを画像データ管理２０７へ出力する。画像データ管理２０７は、転送機器１１３から画像データグラム１２３を受付けて、画像データ２１５を解析処理部１０５へ出力し、参入・離脱確認要求２１９および事後再構成完了通知２２９を配信グループ制御２２４へ出力する。通過点報告２０２は、通過点１１９を指示部１０２へ出力する。結果報告２０３は、解析結果１２１を結果管理部１０３へ出力する。解析処理部１０５は、通過点２１１を通過点報告２０２へ出力し、解析結果２１２を結果報告２０３へ出力し、画像データ取得要求２２２を画像データ管理２０７へ出力する。
【００２２】
配信グループ制御２２４の動的フィルタ２２５は、離脱確認要求２１９に含まれる検査対象物ID及び検査ポイントIDと離脱検査ポイントリスト格納領域２２８に格納された検査対象物ID及び検査ポイントIDとを比較することで、該当する検査対象物と検査ポイントに関して配信グループに参入しているか否かを判定する。動的フィルタ２２５は、この判定に基づいた離脱確認結果２１６を画像データ受信２０８に出力することで動的な画像データの受信フィルタリングを可能とする。また、配信グループ制御２２４の事後再構成２２６は、離脱検査ポイントリスト格納領域２２８に格納された検査対象物ID及び検査ポイントIDの集合を指定して事後再構成要求２１８を画像データ管理２０７に出力することで画像データの再構成を可能とする。
【００２３】
図１０は、解析指示１１８の例を示す。解析指示１１８は、マルチキャストアドレス１００５、ポート番号１００４、検査対象物ID１００３、検査ポイントID１００２、および解析用処理ノードID１００１を有する。
【００２４】
図１２Ａ及び図１２Ｂは、画像データグラム１２３の構成を示す。図１２Ａに1番目の画像データグラムの構成を示し、図１２ＢにN番目の画像データグラムの構成を示す。図示するように、画像データグラム１２３は、マルチキャストアドレス１２０７、ポート番号１２０６、検査対象物ID１２０５、検査ポイントID１２０４、全通番数１２０３、通番１２０２と、データ１２０１とを含む。通番とは、通し番号である。図１２ＢのN番目の画像データグラムは、全通番数１２０３を保持しないものとするが、全通番数１２０３を保持してもよい。ある検査対象物ID１２０５および検査ポイントID１２０４に関して、全通番数１２０３に示される全ての通番の一連の画像データグラム１２３のデータ１２０１が、その画像データセットである。
【００２５】
図１３は、離脱検査ポイントリスト格納領域２２８の構成を示す。離脱検査ポイントリスト格納領域２２８は、日時１３０１、検査対象ID１３０２、および検査ポイントID１３０３とを含む構成である。
【００２６】
図３は、仲介部１０６が解析指示１１８を受付けて実行する処理フローチャートを示す。仲介部１０６の解析指示受付け２０１は、指示部１０２から解析指示１１８を受付ける（ステップ３０１）。解析指示受付け２０１は、解析指示１１８に含まれる検査対象物ID１００３、検査ポイントID１００２、および解析用処理ノードID１００１を一時メモリ領域２２０に記憶し、指示部１０２へ受信応答を送信する。解析指示受付け２０１は、自ノードID格納領域２２１に予め格納されている自ノードIDと解析指示１１８に含まれ、一時メモリ領域２２０に記憶した解析用処理ノードID１００１が一致するか否かを判定する（ステップ３０２）。一致するならば、解析指示受付け２０１は、解析指示１１８に含まれ、一時メモリ領域２２０に記憶した検査対象物ID１００３と検査ポイントID１００２から検査対象物ID・検査ポイントID２２３を生成して解析処理部１０５に出力する（ステップ３０３）。ステップ３０２において、不一致ならば、解析指示受付け２０１は、日時と、解析指示１１８に含まれ、一時メモリ領域２２０に記憶した検査対象物ID１００３と検査ポイントID１００２とを含む離脱検査ポイント２０９を生成して配信グループ制御２２４に出力する。配信グループ制御２２４は、解析指示受付け２０１から出力された検査対象物ID１００３と検査ポイントID１００２を離脱検査ポイントリスト格納領域２２８に登録する（ステップ３０４）。なお、ステップ３０１において、仲介部１０６は、既に受付けた解析指示１１８に含まれる検査対象物ID１００３および検査ポイントID１００２と、新たに受付けた解析指示１１８に含まれる検査対象物ID１００３および検査ポイントID１００２が同一か否かを判定し、同一であれば、新たに受付けた解析指示１１８を破棄して受信応答を送信して本処理フローを終了する。
【００２７】
図４は、転送機器１１３が画像データセットを転送する処理フローチャートを示す。転送機器１１３は、指示部１０２から画像取得指示１２０に含まれる検査対象物ID１００３と検査ポイントID１００２に対応した画像データ１２５を読み込む（ステップ４０１）。前述のように、指示部１０２は、画像取得指示１２０を出力するタイミングで、画像取得を指示する画像データを転送機器１１３が読み込めるように撮像機器９０３を制御している。転送機器１１３は、画像取得指示１２０に含まれる検査対象物ID１００３と検査ポイントID１００２に対応する画像データセットの読み込みを完了したか否かを判定する（ステップ４０２）。完了していないならば、読み込みを完了するまで、ステップ４０１を繰返し実行する。読み込みを完了したならば、転送機器１１３は、画像データセットを予め定められたサイズに分割する（ステップ４０３）。
【００２８】
前述のように、画像データセットとは、１つの検査ポイントに対応する画像データの集合である。1つの検査ポイントに対応する画像データの集合は、たとえば、撮像機器９０３が検査対象物９０２を真上から撮像した画像データAと、右斜め上から撮像した画像データBと、および左斜め上から撮像した画像データCとから構成される。ステップ４０１を繰返し実行することで、順に、画像データA、画像データB、画像データCが読み込まれる。ステップ４０２を実行した際に、画像データA、画像データB、画像データCのすべてが読み込まれた段階でステップ４０２において、検査対象物ID１００３と検査ポイントID１００２に対応する画像データセットを読み込み完了したと判定する。
【００２９】
転送機器１１３は、分割した各データグラムに対して通番を割り当てる。検査対象物ID１２０５及び検査ポイントID１２０４と、予め割り当てられたマルチキャストアドレス１２０７とポート番号１２０６を含む、図１２Ａ又は図１２Ｂに示す構成の画像データグラム１２３を生成する。検査対象物ID１２０５及び検査ポイントID１２０４は、画像取得指示１２０に含まれる検査対象物ID１００３と検査ポイントID１００２である。ここで、1番目の画像データグラム（図１２Ａ）には、この画像データセットの通番の総数を示す全通番数１２０３を含む（ステップ４０４）。転送機器１１３は、生成した画像データグラム１２３を一括転送する（ステップ４０５）。ここで、一括転送とは、マルチキャストアドレスとポート番号を指定したマルチキャスト通信を使用した転送である。画像データグラム１２３の一括転送において、仲介部１０６の画像データ受信２０８から再送要求を受信した場合には、再送要求された画像データグラム１２３を再転送する。たとえば、再送要求に画像データ受信２０８が受信できなかったデータグラム１２３の通番を含むようにして、その通番に対応するデータグラム１２３を再転送する。転送機器１１３は、画像取得指示１２０に含まれる検査対象物ID１００３と検査ポイントID１００２に対応する画像データセットを構成する画像データグラム１２３の転送が完了した否かを判定し（ステップ４０６）、完了していなければ、ステップ４０５を繰返し実行する。完了していれば、処理を終了する。
【００３０】
図５は、仲介部１０６が画像データセットを受信する処理フローチャートを示す。なお、仲介部１０６の処理フローを示すが、仲介部１０９と仲介部１１２の処理フローも同様である。画像データ管理２０７の画像データ受信２０８は、転送機器１１３から画像データグラム１２３を受信する（ステップ５０１）。画像データ受信２０８は、画像データグラム１２３に含まれる検査対象物ID１２０５及び検査ポイントID１２０４の組合せを含んだ参入・離脱確認要求２１９を配信グループ制御２２４へ出力する。配信グループ制御２２４の動的フィルタ２２５は、画像データ受信２０８からの離脱確認要求２１９に含まれる検査対象物ID１２０５及び検査ポイントID１２０４の組合せをキーとして離脱検査ポイントリスト格納領域２２８を検索する。検査対象物ID１２０５及び検査ポイントID１２０４の組合せに一致するものがある場合には、配信グループ制御２２４の動的フィルタ２２５は、検査対象物ID１２０５及び前記検査ポイントID１２０４の組合せに対応する配信グループからは離脱していると判定する。一方、一致するものがない場合には検査対象物ID１２０５及び検査ポイントID１２０４の組合せに対応する配信グループに参入していると判定する（ステップ５０２）。動的フィルタ２２５が離脱していると判定した場合には、離脱していることを示すフラグを含んだ参入・離脱確認結果２１６を画像データ受信２０８へ出力する。画像データ受信２０８は、離脱していることを示すフラグを含んだ参入・離脱確認結果２１６を確認して、処理を終了する。ステップ５０２において、動的フィルタ２２５が参入していると判定した場合には、参入していることを示すフラグを含んだ参入・離脱確認結果２１６を画像データ受信２０８へ出力する。画像データ受信２０８は、参入していることを示すフラグを含んだ参入・離脱確認結果２１６を確認した後、マルチキャストアドレス１２０７とポート番号１２０６を除去したデータグラム１２３を画像データグラム受信バッファ２３０に格納する。（ステップ５０３）。
【００３１】
画像データ受信２０８は、画像データグラム受信バッファ２３０に格納されている画像データグラム１２３群の検査対象物ID１２０５と検査ポイント１２０４と全通番数１２０３と通番１２０２を参照することで画像データセットを組み立てるための画像データグラム１２３の受信を完了したか否かを判定する（ステップ５０４）。受信を完了したと判定した場合には、画像データセットを組立てて処理を終了する（ステップ５０９）。
【００３２】
ステップ５０４において、受信を完了してないと判定した場合には、予め定めた時間だけ処理を停止し（ステップ５０５）、画像データ受信２０８は、画像データグラムを受信したか否かを判定する（ステップ５０６）。画像データグラムを受信したと判定した場合には、ステップ５０３を実行する。ステップ５０６において、画像データグラムを受信していないと判定した場合には、予め定めたタイムアウト時間を経過した否かを判定する（ステップ５０７）。タイムアウト時間を経過したと判定した場合には、転送機器１１３へ再送要求を送信する（ステップ５０８）。ステップ５０７において、タイムアウト時間を経過していないと判定した場合には、ステップ５０５を実行する。
上述のように、本実施形態では、ステップ５０１の後に、ステップ５０２を実行するが、ステップ５０２を実行する形態としては必ずしもこのかぎりではない。例えば、ステップ５０６において、画像データグラムを受信したと判定した場合にも、ステップ５０２を実行してもよい。このような形態では、仲介部１０６が、画像データセットの受信を開始して、受信を完了する前に、配信グループから離脱することができる。
【００３３】
図１１は、仲介部１０６が、離脱検査ポイントリスト格納領域２２８に格納された離脱検査ポイントに対応する画像データを削除する処理フローチャートである。この処理は、任意のタイミングで実行される。なお、仲介部１０６の処理フローを示すが、仲介部１０９と仲介部１１２の処理フローも同様である。配信グループ制御２２４は、離脱検査ポイントリスト格納領域２２８の検査対象物ID１３０２と検査ポイントID１３０３を参照し、離脱検査ポイントが登録されているか否かを判定する（ステップ１１０１）。登録されていないと判定した場合には、処理を終了する。
【００３４】
登録されていると判定した場合には、離脱検査ポイントリスト格納領域２２８の日時１３０１、検査対象ID１３０２、および検査ポイントID１３０３を参照し、検査対象が切り替えられたか否かを判定する（ステップ１１０２）。図１３においては、検査対象物IDが５と６である検査対象物に関して検査ポイントが登録されている。配信グループ制御２２４は、日時１３０１に基づいて、検査対象物IDが５である検査対象物から検査対象物IDが６である検査対象物に切り替えられたと判定する。ステップ１１０２において、切り替えられていないと判定した場合には、処理を終了する。切り替えられたと判定した場合には、切り替えられる前の検査対象物に割り当てられた検査対象物IDを選択する。さらに、検査対象物IDをキーとして離脱検査ポイントリスト格納領域２２８から対応する検査ポイントIDを選択する（ステップ１１０３）。図１３に示す例では、検査対象物IDとして５が選択され、検査ポイントIDとして１２５６、１２６５、１２７８が選択される。配信グループ制御２２４は、選択した検査対象物IDと検査ポイントIDとを事後再構成２２６に渡す。事後再構成２２６は、渡された検査対象物IDと検査ポイントIDとを含んだ事後再構成要求２１８を画像データ管理２０７へ出力する。画像データ管理２０７は、事後再構成要求２１８に含まれる検査対象物IDと検査ポイントIDに対応する画像データセットを削除し、削除を完了したならば、事後再構成完了通知２２９を事後再構成２２６へ出力する（１１０４）。配信グループ制御２２４は、事後再構成完了通知２２９を受付け、画像データセットを削除した検査対象物ID１３０２、検査ポイントID１３０３、および日時１３０１を離脱検査ポイントリスト格納領域２２８から削除する（ステップ１１０５）。
【００３５】
図７は、解析処理部１０５のプログラム構造の一部を示す。解析処理部１０５のプログラムは、分岐条件（1）７０１、分岐条件（2）７０４、解析処理A７０２、解析処理B７０３、解析処理C７０５、および解析処理D７０６を含んでいる。解析処理部１０５のプログラムは、図示していない終了点を含む。解析処理部１０５は、画像データセットを解析する中で分岐条件（1）７０１や分岐条件（2）７０４を実行し、各分岐条件での判定に基づいて解析フロー（７０７、７０８、７０９）を生成する。分岐条件（1）７０１、分岐条件（2）７０４、解析処理A７０２、解析処理B７０３、解析処理C７０５、および解析処理D７０６の各々を総称して通過点と呼ぶ。
【００３６】
図６は、解析処理ノード１０４の仲介部１０６及び解析処理部１０５と、ホスト１０１の指示部１０２が通過点を検出して検査フローを分析する処理フローチャートを示す。なお、解析処理ノード１０４の処理フローを示すが、解析処理ノード１０７と解析処理ノード１１０の処理フローも同様である。解析処理部１０５は、画像データ（画像データセット）２１５の解析処理を進める中で通過点の実行を検出し（ステップ６０１）、画像データセットの検査対象物IDおよび検査ポイントID、通過点を検出した日時、および検出した通過点を含んだ通過点２１１を通過点報告２０２へ出力する。仲介部１０６の通過点報告２０２は、解析処理部１０５から出力された通過点２１１を受付けて、それを通過点１１９として指示部１０２へ出力する（ステップ６０２）。ここで、、通過点報告２０２が受付けた通過点２１１が分岐条件であれば、通過点格納領域２３１に通過点２１１を格納し、次の通過点２１１を受付けた時点で通過点１１９として纏めて指示部１０２へ出力する。指示部１０２は、通過点１１９を受付ける。指示部１０２は、図示していない検査フローDBを保持しており、受け付けた通過点１１９と過去の（直前に受け付けた）通過点とを結合して解析フローDBに格納する（ステップ６０３）。指示部１０２は、解析フローDBを解析することで、通過点と所要時間との相関を把握して処理を終了する（ステップ６０４）。具体的には、解析フロー毎に、分岐条件と解析処理と終了点を含む通過点毎と日時との相関を分析することで、通過点間とその通過点間の所要時間（処理時間）との相関を把握する。検査対象物や検査ポイントが異なれば、所要時間（処理時間）が異なる。
【００３７】
図８は、指示部１０２が解析指示１１８を出力する処理フローチャートを示す。指示部１０２は、解析用処理ノード（１０４、１０７、１１０）から通過点１１９を受付けて、通過点１１９と検査フローDBに格納された通過点と所要時間との相関から解析指示割り振り先を確定する（ステップ８０１）。指示部１０２は、図１０に示す構成の解析指示１１８を生成し（ステップ８０２）、解析指示１１８を解析用処理ノード（１０４、１０７、１１０）へ出力する（ステップ８０３）。指示部１０２は、予め定められた時間だけ待つ（ステップ８０４）。次に、指示部１０２は、解析用処理ノード（１０４、１０７、１１０）からの受信応答を受信できたか否かを判定する（ステップ８０５）。受信応答を確認できなければステップ８０３を実行し、受信応答を確認できれば処理を終了する。
【符号の説明】
【００３８】
１０１…ホスト、１０２…指示部、１０４、１０７、１１０…解析用処理ノード、１０５、１０８、１１１…解析処理部、１０６、１０９、１１２…仲介部、１１３…転送機器、２０２…通過点報告、２０３…結果報告、２０７…画像データ管理、２０８…画像データ受信、２２０…一時メモリ領域、２２１…自ノードID格納領域、２２４…配信グループ制御、２２５…動的フィルタ、２２６…事後再構成、２２８…離脱検査ポイントリスト格納領域、２３０…画像データグラム受信バッファ、２３２…画像データ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２Ａ】
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【図１２Ｂ】
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【図１３】
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