(57)【要約】【課題】第２減衰力発生装置をコンパクトかつシンプルに構成しつつ、第２減衰力発生装置によって逐次必要とされる減衰力を得易い車両用サスペンション装置を提供すること【解決手段】サスペンション装置ＳＰの第１減衰力発生装置Ａ１は、バネ上部材ＳＵに組付けられるモータ２０を備える。第２減衰力発生装置Ａ２は、バネ下部材ＳＤに組付けられるシリンダ部材５０と、ボールネジ軸３１に連設されシリンダ部材５０に対して上下方向に相対移動可能な軸部材５１と、軸部材５１に組付けられていてシリンダ部材５０と軸部材５１の上下方向の相対移動によって弾性変形する上下一対の上方ブッシュ５４Ｕ，下方ブッシュ５４Ｄとを備える。上方ブッシュ５４Ｕの上方および下方ブッシュ５４Ｄの下方にシリンダ部材５０と軸部材５１により区画されて連通路５１ｃを通して互いに連通する上下一対の上方エアチャンバ５６Ｕ，下方エアチャンバ５６Ｄが形成される。【選択図】  図１
2011106488.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
バネ上部材とバネ下部材の間にバネ上部材とバネ下部材の接近動作または離間動作に対して減衰力を発生させる第１減衰力発生装置および第２減衰力発生装置が直列に配置されていて、
前記第１減衰力発生装置は、バネ上部材に組付けられるモータと、回転部材と直動部材とを有し前記モータの回転出力に伴う前記回転部材の回転運動を前記直動部材の直線運動に変換する変換機構とを備え、
前記第２減衰力発生装置は、バネ下部材に組付けられていて上下方向に延在するシリンダ部材と、前記変換機構の前記直動部材に連設され前記シリンダ部材内に配置されていて前記シリンダ部材に対して上下方向に相対移動可能な軸部材と、この軸部材と前記シリンダ部材の間に直列に組付けられていて前記シリンダ部材と前記軸部材の上下方向の相対移動によって弾性変形する上方粘弾性体および下方粘弾性体とを備えた車両用サスペンション装置において、
前記上方粘弾性体の上方および前記下方粘弾性体の下方に、前記シリンダ部材と前記軸部材とにより区画されて連通路を通して互いに連通する上下一対のエアチャンバが形成されていることを特徴とする車両用サスペンション装置。
【請求項２】
請求項１に記載の車両用サスペンション装置において、
前記第１減衰力発生装置と前記第２減衰力発生装置の外周には、加圧エアが封入されたエア室とこのエア室に加圧エアを給排可能なエア給排手段とを有しバネ上部材とバネ下部材にバネ力を作用させるエアスプリング装置が配設されていて、
このエアスプリング装置の前記エア室と前記各エアチャンバの何れか一方とを連通させる連通手段が設けられていることを特徴とする車両用サスペンション装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の車両用サスペンション装置において、
バネ上部材に組付けられていて前記モータを支持する支持部材に、前記シリンダ部材の外周にまで上下方向に延在する筒部を連設して、この筒部と前記シリンダ部材の間に軸受けが設けられていることを特徴とする車両用サスペンション装置。
【請求項４】
請求項１ないし３の何れか一項に記載の車両用サスペンション装置において、
前記モータはアッパーサポートを介してバネ上部材に弾性的に連結されていて、
前記アッパーサポートは環状の弾性部を有し、この弾性部の内孔の径は前記モータの外周の径より小さいことを特徴とする車両用サスペンション装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、車両用サスペンション装置に関し、特に、バネ上部材とバネ下部材の間にバネ上部材とバネ下部材の接近動作または離間動作に対して減衰力を発生させる第１減衰力発生装置および第２減衰力発生装置が直列に配置された車両用サスペンション装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の車両用サスペンション装置は、例えば、下記特許文献１に記載されている。下記特許文献１に記載されている車両用サスペンション装置においては、第１減衰力発生装置が、バネ上部材に組付けられるモータと、ボールネジナット（回転部材）とボールネジ軸（直動部材）とを有しモータの回転出力に伴うボールネジナットの回転運動をボールネジ軸の直線運動に変換するボールネジ機構（変換機構）とを備えている。このため、下記特許文献１に記載されている第１減衰力発生装置においては、モータが、バネ上部材とバネ下部材の振動に応じて直動部材を直線運動（上下動）させることができ、バネ上部材とバネ下部材の接近動作または離間動作に対して減衰力だけでなく、バネ上部材とバネ下部材を積極的に相対動作させる推進力をも作用させることが可能である。
【０００３】
また、下記特許文献１に記載されている車両用サスペンション装置においては、第２減衰力発生装置が、バネ下部材に組付けられていて上下方向（軸方向）に延在するシリンダ部材と、ボールネジ機構のボールネジ軸に連設されシリンダ部材内に配置されていてシリンダ部材に対して上下方向に相対移動可能な軸部材とを備えている。また、この第２減衰力発生装置は、軸部材に固定されている内筒と、この内筒の外周に配置されシリンダ部材に固定されている外筒と、この外筒と内筒とを弾性的に連結する上下一対の上方ゴム弾性体および下方ゴム弾性体と、上方ゴム弾性体の下方および下方ゴム弾性体の上方に作動液が充填されている上下一対の液室と、作動液の流れを制限しつつ各液室を連通する連通路とを備えている。
【０００４】
下記特許文献１に記載されている車両用サスペンション装置においては、外筒と内筒（シリンダ部材と軸部材）が上下方向に相対移動すると、各ゴム弾性体が弾性変形し、各液室内の容積が変化する。これにより、一方の液室内の作動液が連通路を通って他方の液室内へ流れるときに、作動液の流通が連通路によって制限されて、外筒と内筒の上下方向の相対移動に対して抵抗力（減衰力）が作用する。このため、下記特許文献１に記載されている第２減衰力発生装置においては、各ゴム弾性体の弾性変形によりバネ上部材とバネ下部材の接近動作または離間動作に対して減衰力を作用させることができ、特に第１減衰力発生装置では効果的な減衰が困難である高周波数の振動（例えば１０Ｈｚ以上の振動）を、減衰させることが可能である。加えて、第２減衰力発生装置が両液室および両ゴム弾性体を備えた構成であるため、第２減衰力発生装置がダンパ装置およびコイルスプリングを備えた構成に比して、第２減衰力発生装置をコンパクトかつシンプルに構成することが可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−２４７０５４号公報
【発明の概要】
【０００６】
ところで、上記特許文献１に記載された車両用サスペンション装置においては、第２減衰力発生装置が作動液（油等）を用いて減衰力を発生させているため、作動液の温度変化および劣化により作動液の粘性特性が変化し易く、所期の減衰力が得難い。また、上記した第２減衰力発生装置では、各ゴム弾性体の弾性変形と、両液室間での連通路を通した液流通とが連係していて、シリンダ部材と軸部材の相対速度が所定値（作動液の粘性や連通路の大きさ等によって定まる値）以上に大きくなると、両液室間での液流動が上記相対速度に追従し得なくなって、各ゴム弾性体の弾性変形も上記相対速度に追従し得なくなり、上記相対速度に応じた所期の減衰力が得られなくなる。したがって、上記特許文献１に記載された車両用サスペンション装置においては、第２減衰力発生装置の構成はコンパクトかつシンプルであるものの、第２減衰力発生装置によって逐次必要とされる減衰力が得られないおそれがある。
【０００７】
本発明は、上記した課題に対処すべくなされたものであり、その目的は、第２減衰力発生装置をコンパクトかつシンプルに構成しつつ、第２減衰力発生装置によって逐次必要とされる減衰力を得易い車両用サスペンション装置を提供することにある。
【０００８】
上記した課題を達成するために、本発明は、バネ上部材とバネ下部材の間にバネ上部材とバネ下部材の接近動作または離間動作に対して減衰力を発生させる第１減衰力発生装置および第２減衰力発生装置が直列に配置されていて、前記第１減衰力発生装置は、バネ上部材に組付けられるモータと、回転部材と直動部材とを有し前記モータの回転出力に伴う前記回転部材の回転運動を前記直動部材の直線運動に変換する変換機構とを備え、前記第２減衰力発生装置は、バネ下部材に組付けられていて上下方向に延在するシリンダ部材と、前記変換機構の前記直動部材に連設され前記シリンダ部材内に配置されていて前記シリンダ部材に対して上下方向に相対移動可能な軸部材と、この軸部材と前記シリンダ部材の間に直列に組付けられていて前記シリンダ部材と前記軸部材の上下方向の相対移動によって弾性変形する上方粘弾性体（ゴム、ウレタン等）および下方粘弾性体（ゴム、ウレタン等）とを備えた車両用サスペンション装置において、前記上方粘弾性体の上方および前記下方粘弾性体の下方に、前記シリンダ部材と前記軸部材とにより区画されて連通路を通して互いに連通する上下一対のエアチャンバが形成されていることに特徴がある。
【０００９】
本発明における車両用サスペンション装置においては、車両走行時にバネ上部材およびバネ下部材の振動に応じて、モータが電子制御装置により制御されて回転駆動し、変換機構により回転部材の回転運動が直動部材の直線運動（上下動）に変換される。また、このとき、シリンダ部材と軸部材の上下動（相対移動）に応じて、上方粘弾性体および下方粘弾性体が弾性変形し得る。このため、モータの回転駆動により、第１減衰力発生装置にて減衰力を得ることができるとともに、上方粘弾性体および下方粘弾性体の弾性変形により、第２減衰力発生装置にて減衰力を得ることができ、バネ上部材とバネ下部材の振動を抑制することが可能である。
【００１０】
ここで、バネ上部材およびバネ下部材の振動が低周波数の振動（例えば、５Ｈｚ以下の振動）であるとき、上記した低周波数の振動に対してモータ（第１減衰力発生装置）が十分に追従することができて、第１減衰力発生装置にて必要十分な減衰力（抵抗力）を得ることができる。しかし、このとき、シリンダ部材が軸部材とともに上下動して、上方粘弾性体および下方粘弾性体が弾性変形しなくて、第２減衰力発生装置にて減衰力が得られない。
【００１１】
一方、バネ上部材およびバネ下部材の振動が高周波数の振動（例えば、１０Ｈｚ以上の振動）であるとき、上記した高周波数の振動に対してモータが追従し難くなるため、第１減衰力発生装置にて必要十分な減衰力が得られない。しかし、このとき、シリンダ部材が軸部材に対して上下方向に相対移動し、上方粘弾性体および下方粘弾性体が弾性変形して、第２減衰力発生装置にて減衰力を得ることができる。
【００１２】
また、シリンダ部材と軸部材が上下方向に相対移動するとき（バネ上部材およびバネ下部材の振動が高周波数の振動であるとき）、上方粘弾性体および下方粘弾性体の弾性変形により、各エアチャンバ内の容積が変化する。このため、このときには、各エアチャンバ内の加圧エア（高圧エア）が連通路を流動し、シリンダ部材と軸部材の相対移動に対して抵抗力（減衰力）が作用して、第２減衰力発生装置にて更に減衰力を得ることができる。
【００１３】
ところで、本発明における車両用サスペンション装置においては、第２減衰力発生装置がエアを用いて減衰力を発生させているため、エアの温度変化および劣化を考慮する必要がなくて、所期の減衰力を得易い。また、上方粘弾性体および下方粘弾性体の弾性変形に連係する作動流体がエアであって、作動流体として作動液（例えば油）を採用した場合に比して粘性が低いため、シリンダ部材と軸部材の相対速度が大きくなっても、両エアチャンバ間でエア（作動流体）の流動が上記相対速度に十分追従し得る。更に、エアが各エアチャンバ内にて圧縮可能な圧縮性流体であるため、仮に、両エアチャンバ間でエアの流動が上記相対速度に追従し得なくなった場合には、各エアチャンバ内でエアの圧縮によって上方粘弾性体および下方粘弾性体の弾性変形が保証されるため、この場合にも上記相対速度に応じた所期の減衰力が得られる。したがって、第２減衰力発生装置によって逐次必要とされる減衰力を得易くすることが可能である。
【００１４】
また、第２減衰力発生装置が両エアチャンバおよび両粘弾性体を備えた構成であり、第２減衰力発生装置にダンパ装置およびコイルスプリングが設けられていない。このため、第２減衰力発生装置がダンパ装置およびコイルスプリングを備えた構成に比して、第２減衰力発生装置（シリンダ部材）をコンパクトかつシンプルに構成することが可能である。したがって、サスペンション装置の軸方向長さおよび径方向長さを小さくすることができ、サスペンション装置の軽量化および低コスト化を図ることが可能である。
【００１５】
また、本発明の実施に際して、前記第１減衰力発生装置と前記第２減衰力発生装置の外周には、加圧エアが封入されたエア室とこのエア室に加圧エアを給排可能なエア給排手段とを有しバネ上部材とバネ下部材にバネ力を作用させるエアスプリング装置が配設されていて、このエアスプリング装置の前記エア室と前記各エアチャンバの何れか一方とを連通させる連通手段を設けることも可能である。この場合には、仮に各エアチャンバに微小なエア漏れが発生しても、エア給排手段がエア室に加圧エアを供給することで、エア室から連通手段を通ってエアチャンバ内に加圧エアを供給することが可能である。したがって、エア室および各エアチャンバの内圧を常に所期の圧力に保つことが可能である。
【００１６】
また、この場合には、例えば孔径が小さい連通手段（連通孔、連通管等）を設けると、シリンダ部材と軸部材の相対速度が大きいときには、連通手段を流動する加圧エアの流量が小さくなって、両エアチャンバの内圧に差が生じ易い。一方、シリンダ部材と軸部材の相対速度が小さいときには、連通手段を流動する加圧エアの流量が大きくなって、両エアチャンバの内圧に差が生じ難い。このため、シリンダ部材と軸部材の相対速度が大きいときには、大きな減衰力を発生させることができ、シリンダ部材と軸部材の相対速度が小さいときには、小さな減衰力を発生させることが可能である。したがって、連通手段によって、第２減衰力発生装置により発生させる減衰力をシリンダ部材と軸部材の相対速度に対応して容易に変化させることが可能である。
【００１７】
また、本発明の実施に際して、バネ上部材に組付けられていて前記モータを支持する支持部材に、前記シリンダ部材の外周にまで上下方向に延在する筒部を連設して、この筒部と前記シリンダ部材の間に軸受けを設けることも可能である。この場合には、バネ下部材の一部であるロアアームに横力（軸直方向の外力）が作用すると、この横力が、シリンダ部材から軸受けに伝達されて、主に軸受けにて受承される。そして、この軸受けは、バネ下部材に組付けられているシリンダ部材と、同シリンダ部材の外周にまで上下方向に延在する支持部材の筒部との間に設けられたものであるため、ロアアームから軸受けまでの上下方向距離が短い。したがって、横力を受承する部材（軸受け）に生じる回転モーメント（こじりモーメント）を小さくすることができ、横力を受承する部材の信頼性を高めることが可能である。
【００１８】
また、本発明の実施に際して、前記モータはアッパーサポートを介してバネ上部材に弾性的に連結されていて、前記アッパーサポートは環状の弾性部を有し、この弾性部の内孔の径は前記モータの外周の径より小さいことも可能である。この場合には、例えば上記特許文献１に記載されているようにアッパーサポートの弾性部がモータに貫通されないため、上記特許文献１に比して、アッパーサポートの弾性部の容積を増やすことが可能で、アッパーサポートの弾性部のバネ定数（バネ特性）を小さくすることが可能である。したがって、アッパーサポートの弾性部のバネ定数を小さくすることにより、高周波数の振動（ごつごつを感じる振動）に対する乗り心地を向上させるとともに、ノイズやバイブレーションを低減させることができ、また、バネ下部材の突き上げによる衝撃を緩和することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明における車両用サスペンション装置の第１実施形態を示した正面断面図である。
【図２】図１の下方側を拡大した正面断面図である。
【図３】本発明における車両用サスペンション装置の第２実施形態を示した正面断面図である。
【図４】本発明における車両用サスペンション装置の第３実施形態を示した正面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下に本発明の各実施形態を図１〜図４に基づいて説明する。図１は、本発明における車両用サスペンション装置の第１実施形態を示していて、このサスペンション装置ＳＰは、車両の前後左右の車輪毎に設けられていて、マウント部ＨＡとロアアームＬＡとの間に設けられている。なお、マウント部ＨＡやマウント部ＨＡに支持されている車体などが、バネ上部材ＳＵであり、ロアアームＬＡやロアアームＬＡにナックルを介して連結されている車輪などが、バネ下部材ＳＤである。
【００２１】
サスペンション装置ＳＰは、図１に示したように、バネ上部材ＳＵとバネ下部材ＳＤの接近動作または離間動作に対して減衰力を発生させる第１減衰力発生装置Ａ１および第２減衰力発生装置Ａ２と、バネ上部材ＳＵとバネ下部材ＳＤにバネ力を作用させるエアスプリング装置Ａ３と、ロアアームＬＡに作用する横力（軸直方向の外力）を受承する横力ガイド機構Ａ４とを備えている。第１減衰力発生装置Ａ１と第２減衰力発生装置Ａ２は、直列に配置されていて、第１減衰力発生装置Ａ１は、上方（バネ上部材ＳＵ側）に設けられていて、第２減衰力発生装置Ａ２は、下方（バネ下部材ＳＤ側）に設けられている。
【００２２】
第１減衰力発生装置Ａ１は、図１に示したように、マウント部ＨＡに組付けられているホルダ１０と、このホルダ１０に支持されているモータ２０と、このモータ２０の回転出力を直線運動に変換するボールネジ機構３０と、ホルダ１０に設けられているボールスプライン機構４０とを備えていて、モータ２０の回転駆動により減衰力を発生させるものである。
【００２３】
ホルダ１０は、アッパーサポート１１を介してバネ上部材ＳＵに弾性的に連結されていて、上下方向（軸方向）に延在している。また、ホルダ１０は、モータ２０およびボールネジ機構３０を収容するホルダ本体１０ａを有し、下方にボールスプライン機構４０を収容する小径筒部１０ｂを有している。ホルダ本体１０ａの下端部には、横力ガイド機構Ａ４における上方筒部材７０（筒部）が連設されている。
【００２４】
アッパーサポート１１は、上方金具１１ａと、下方金具１１ｂと、弾性部１１ｃとを有している。上方金具１１ａは、環状に形成されていて、三個のボルトＢＴを用いてマウント部ＨＡに固定されている。下方金具１１ｂは、環状に形成されていて、ホルダ本体１０ａの上端部に固定されている。この下方金具１１ｂの内孔１１ｂ１に、キャップ１２が組付けられている。このキャップ１２により、モータ２０は配線１３を除いてホルダ１０とアッパーサポート１１の中に封入されている。弾性部１１ｃは、環状に形成されていて、上方金具１１ａと下方金具１１ｂの間に介装されている。この弾性部１１ｃの内孔１１ｃ１の径は、モータ２０の外周の径より小さくなっている。
【００２５】
モータ２０は、アッパーサポート１１を介してマウント部ＨＡに弾性的に連結されている。このモータ２０は、電子制御装置（図示省略）により回転駆動を制御されて回転駆動するものであり、モータ軸２１を備えている。モータ軸２１は、中空状に形成されていて、ベアリング（図示省略）を介してホルダ本体１０ａに回転可能に支持されている。このモータ軸２１は、電子制御装置から出力される駆動電流に応じて、ホルダ本体１０に対して回転する。
【００２６】
ボールネジ機構３０は、直動部材としてのボールネジ軸３１と、回転部材としてのボールネジナット３２と、複数のボール（図示省略）とを備えていて、モータ２０の回転出力に伴うボールネジナット３２の回転運動をボールネジ軸３１の直線運動に変換するものである。ボールネジ軸３１は、モータ軸２１内を貫通していて、雄ネジ溝３１ａと外スプライン溝３１ｂとを有している。ボールネジナット３２は、筒状に形成されていて、ベアリングＢｒ１を介してホルダ本体１０ａに回転可能に支持されている。また、ボールネジナット３２は、モータ軸２１に一体回転可能（トルク伝達可能）に連結されている。このボールネジナット３２は、内周に雌ネジ溝（図示省略）を有していて、このボールネジナット３２の雌ネジ溝とボールネジ軸３１の雄ネジ溝３１ａの間に複数のボールが介装されている。これにより、ボールネジナット３２が回転すると、ボールネジ軸３１が上下方向に移動可能である。
【００２７】
ボールスプライン機構４０は、ボールスプラインナット４１と、複数のボール（図示省略）とを備えていて、ボールネジ軸３１をホルダ１０に対して回転不能かつ上下方向に移動可能に支持するものである。ボールスプラインナット４１は、筒状に形成されていて、ホルダ１０の小径筒部１０ｂにキー４２を用いて固定されている。また、ボールスプラインナット４１は、内周に内スプライン溝（図示省略）を有していて、このボールスプラインナット４１の内スプライン溝とボールネジ軸３１の外スプライン溝３１ｂの間に複数のボールが介装されている。
【００２８】
上記した第１減衰力発生装置Ａ１では、バネ上部材ＳＵとバネ下部材ＳＤの振動に応じて、電子制御装置がモータ２０を回転駆動させ、ボールネジナット３２の回転運動がボールネジ軸３１の直線運動（上下動）に変換される。このため、モータ２０は、バネ上部材ＳＵおよびバネ下部材ＳＤの振動に応じてボールネジ軸３１が上下動するとき、ボールネジナット３２を回転させて、ボールネジ軸３１の上下動に抵抗力（減衰力）を作用させることが可能である。
【００２９】
第２減衰力発生装置Ａ２は、図１および図２に示したように、ロアアームＬＡに組付けられているシリンダ部材５０と、ボールネジ軸３１に連設されている軸部材５１と、カラー５２、上下一対の環状プレート５３Ｕ，５３Ｄ、上下一対の上方ブッシュ５４Ｕ（上方粘弾性体）および下方ブッシュ５４Ｄ（下方粘弾性体）と、ナット５５とを備えていて、各ブッシュ５４Ｕ，５４Ｄの弾性変形により減衰力を発生するものである。
【００３０】
シリンダ部材５０は、上下方向（軸方向）に延在していて、有底筒状に形成されている。また、シリンダ部材５０は、軸部材５１、カラー５２、各環状プレート５３Ｕ，５３Ｄ、各ブッシュ５４Ｕ，５４Ｄ、ナット５５を収容していて、上下方向の中間部に内向フランジ部５０ａを有している。このシリンダ部材５０の底部５０ｂは、ロアブッシュ（図示省略）を介してロアアームＬＡに固定されている。シリンダ部材５０の上部５０ｃは、ホルダ１０の小径筒部１０ｂ外周および横力ガイド機構Ａ４における上方筒部材７０内周に対して、上下方向に相対移動可能である。
【００３１】
軸部材５１は、ボールネジ軸３１と同軸的に延在していて、シリンダ部材５０内に配置されている。また、軸部材５１は、上方に大径軸部５１ａを有し、下方に小径軸部５１ｂを有している。この軸部材５１には加圧エアが流動可能な連通路５１ｃが形成されている。小径軸部５１ｂは、シリンダ部材５０の内向フランジ部５０ａを貫通していて、小径軸部５１ｂの下端部には、ナット５５と螺合するためのネジが形成されている。連通路５１ｃの一端は大径軸部５１ａの周面に設けられ、連通路５１ｃの他端は小径軸部５１ｂの下端に設けられている。なお、軸部材５１は、ボールネジ軸３１と一体で構成されていてもよく、別体で構成されていてもよい。
【００３２】
カラー５２は、上方の環状プレート５３Ｕと下方の環状プレート５３Ｄの間の上下方向の距離を規定するためのものであり、軸部材５１の小径軸部５１ｂの外周に組付けられている。上方の環状プレート５３Ｕは、軸部材５１の小径軸部５１ｂに貫通されていて、軸部材５１の大径軸部５１ａと上方ブッシュ５４Ｕに挟持されている。下方の環状プレート５３Ｄは、軸部材５１の小径軸部５１ｂに貫通されていて、ナット５５と下方ブッシュ５４Ｄに挟持されている。
【００３３】
上方ブッシュ５４Ｕおよび下方ブッシュ５４Ｄは、粘弾性体（減衰性能を有する弾性体）であるゴムであり、筒状に形成されている。また、上方ブッシュ５４Ｕおよび下方ブッシュ５４Ｄは、それぞれ弾性圧縮変形量を調整するための隙間５４Ｕ１，５４Ｄ１（図２参照）を有している。これら上方ブッシュ５４Ｕおよび下方ブッシュ５４Ｄは、軸部材５１の小径軸部５１ｂとシリンダ部材５０の間に直列に組付けられていて、所定量弾性圧縮変形した状態で、シリンダ部材５０の内向フランジ部５０ａを挟持している。上方ブッシュ５４Ｕの下面とシリンダ部材５０の内向フランジ部５０ａの上面の間では、加圧エアが流動不能であり、下方ブッシュ５４Ｄの上面とシリンダ部材５０の内向フランジ部５０ａの下面の間でも、加圧エアが流動不能である。
【００３４】
ここで、上記のように構成されている第２減衰力発生装置Ａ２の組付け手順を説明する。まず、軸部材５１の小径軸部５１ｂの上端に上方の環状プレート５３Ｕを組付けて、小径軸部５１ｂの上方部外周に上方ブッシュ５４Ｕを組付ける。次に、軸部材５１の外周にシリンダ部材５０を組付けて、上方ブッシュ５４Ｕを上方の環状プレート５３Ｕとシリンダ部材５０の内向フランジ部５０ａで挟持する。そして、軸部材５１の小径軸部５１ｂの下方部外周に下方ブッシュ５４Ｄを組付けて、小径軸部５１ｂの外周と各ブッシュ５４Ｕ，５４Ｄの内周の間にカラー５２を組付ける。最後に、軸部材５１の小径軸部５１ｂの下端部外周に下方の環状プレート５３Ｄを組付けて、各ブッシュ５４Ｕ，５４Ｄを所定量弾性圧縮変形させた状態で、小径軸部５１ｂに形成されているネジにナット５５を螺合させる。このナット５５の螺合量は、カラー５２の軸方向長さ（上下方向長さ）を調整することにより、適宜調整可能である。このため、ナット５５の螺合量を調整することで、各ブッシュ５４Ｕ，５４Ｄの弾性圧縮量を調整し、各ブッシュ５４Ｕ，５４Ｄのバネ定数を調整することが可能である。なお、ナット５５を小径軸部５１ｂのネジに螺合することに換えて、固定部材を小径軸部５１ｂの下端部にかしめてもよい。
【００３５】
上記した第２減衰力発生装置Ａ２では、上方ブッシュ５４Ｕの上方に、シリンダ部材５０と軸部材５１とにより区画された上方エアチャンバ５６Ｕが形成されている。この上方エアチャンバ５６Ｕには、加圧エアが封入されている。また、下方ブッシュ５４Ｄの下方に、シリンダ部材５０と軸部材５１とにより区画された下方エアチャンバ５６Ｄが形成されている。この下方エアチャンバ５６Ｄには、加圧エアが封入されている。上方エアチャンバ５６Ｕと下方エアチャンバ５６Ｄは、軸部材５１に形成された連通路５１ｃを通して互いに連通している。この第２減衰力発生装置Ａ２によって発生させる減衰力は、各ブッシュ５４Ｕ，５４Ｄの形状、材質、軸部材５１の連通路５１ｃの径を変更するだけでなく、各エアチャンバ５６Ｕ，５６Ｄの内圧、各エアチャンバ５６Ｕ，５６Ｄの容積を変更することで、容易に調整することが可能である。
【００３６】
エアスプリング装置Ａ３は、図１に示したように、第１減衰力発生装置Ａ１と第２減衰力発生装置Ａ２の外周に配設されていて、エア外筒６０と、エア内筒６１と、ダイヤフラム６２と、エア給排手段６３とを有している。エア外筒６０は、上下方向に延在する筒体であり、ホルダ１０およびアッパーサポート１１を介してマウント部ＨＡに連結されている。エア内筒６１は、上下方向に延在する有底筒体であり、エア内筒６１の底部がシリンダ部材５０の外周に固定されている。ダイヤフラム６２は、円環状に形成されていて、径外方端部６２ａがエア外筒６０の下端部に固定されていて、径内方端部６２ｂがエア内筒６１の上端部に固定されている。これにより、エア外筒６０とエア内筒６１とダイヤフラム６２とホルダ本体１０ａと上方筒部材７０と後述する下方筒部材７１とによって区画されたエア室６４が形成されていて、このエア室６４に加圧エアが封入されている。
【００３７】
エア給排手段６３は、エア外筒６０に接続されている給排制御弁６３ａと、この給排制御弁６３ａに接続されているポンプ（図示省略）と、圧力センサ（図示省略）等を有していて、エア室６４に加圧エアを給排可能である。このため、エアスプリング装置Ａ３は、エア給排手段６３を用いてエア室６４内の加圧エアの容量を調整し、バネ上部材ＳＵおよびバネ下部材ＳＤに作用させるバネ力を調整するとともに、バネ上部材ＳＵとバネ下部材ＳＤの間の距離を調整（車高を調整）することが可能である。
【００３８】
横力ガイド機構Ａ４は、図１および図２に示したように、ホルダ本体１０ａに固定されている上方筒部材７０と、この上方筒部材７０に固定されている下方筒部材７１と、上方筒部材７０に組付けられている上方滑り軸受７２と、下方筒部材７１に組付けられている下方滑り軸受け７３とを有している。なお、上方筒部材７０および下方筒部材７１は、ホルダ本体１０ａと一体的に構成されていてもよい。
【００３９】
上方筒部材７０は、ホルダ本体１０ａの下端部からシリンダ部材５０の中間部外周にまで上下方向（軸方向）に延在していて、上端部にエアスプリング装置Ａ３のエア室６４と上方エアチャンバ５６Ｕとを連通させる連通孔７０ａ（連通手段）を有している。エア室６４から連通孔７０ａを通って上方筒部材７０内に流動した加圧エアは、ホルダ１０の小径筒部１０ｂ外周とシリンダ部材５０の上部５０ｃ内周の間に形成されている環状孔５０ｃ１（連通手段）を通って上方エアチャンバ５６Ｕに流動可能である。連通孔７０ａは、同連通孔７０ａの孔径が軸部材５１の連通路５１ｃの孔径より小さくなるように、形成されている。また、上述した環状孔５０ｃ１は、同環状孔５０ｃ１を流動する加圧エアの流量が軸部材５１の連通路５１ｃを流動する加圧エアの流量より少なくなるように、形成されている。
【００４０】
上方滑り軸受け７２は、円環状に形成されていて、上方筒部材７０の取付け部７０ｂに圧入等によって固定されている。下方滑り軸受け７３は、円環状に形成されていて、下方筒部材７１の取付部７１ａに圧入等によって固定されている。これら上方滑り軸受け７２，下方滑り軸受け７３は、シリンダ部材５０を上方筒部材７０，下方筒部材７１に対して円滑に上下方向に移動させることができるとともに、シリンダ部材５０に作用する横力（軸直方向の外力）を受承することが可能である。
【００４１】
上記のように構成した第１実施形態においては、車両走行時にバネ上部材ＳＵおよびバネ下部材ＳＤの振動に応じて、モータ２０が電子制御装置により制御されて回転駆動し、ボールネジ機構３０によりボールネジナット３２の回転運動がボールネジ軸３１の直線運動（上下動）に変換される。また、このとき、シリンダ部材５０と軸部材５１の上下動（相対移動）に応じて、上方ブッシュ５４Ｕおよび下方ブッシュ５４Ｄが弾性変形し得る。このため、モータ２０の回転駆動により、第１減衰力発生装置Ａ１にて減衰力を得ることができるとともに、上方粘弾性体および下方粘弾性体が弾性変形することにより、第２減衰力発生装置にて減衰力を得ることができ、バネ上部材ＳＵとバネ下部材ＳＤの振動を抑制することが可能である。
【００４２】
ここで、バネ上部材ＳＵおよびバネ下部材ＳＤの振動が低周波数の振動（例えば、５Ｈｚ以下の振動）であるとき、上記した低周波数の振動に対してモータ２０が十分に追従すること（モータ２０の回転駆動に応じてボールネジ軸３１および軸部材５１が円滑に上下動すること）ができて、第１減衰力発生装置Ａ１にて必要十分な減衰力（抵抗力）を得ることができる。しかし、このとき、シリンダ部材５０のフランジ部５０ａが軸部材５１の小径軸部５１ｂとともに上下動して、上方ブッシュ５４Ｕおよび下方ブッシュ５４Ｄが弾性変形しなくて、第２減衰力発生装置Ａ２にて減衰力が得られない。
【００４３】
一方、バネ上部材ＳＵおよびバネ下部材ＳＤの振動が高周波数の振動（例えば、１０Ｈｚ以上の振動）であるとき、上記した高周波数の振動に対してモータ２０が追従し難くなるため、第１減衰力発生装置Ａ１にて必要十分な減衰力が得られない。しかし、このとき、シリンダ部材５０のフランジ部５０ａが軸部材５１の小径軸部５１ｂに対して上下方向に相対移動する。この相対移動により、上方ブッシュ５４Ｕおよび下方ブッシュ５４Ｄの一方が伸長されるとともに、上方ブッシュ５４Ｕおよび下方ブッシュ５４Ｄの他方が圧縮されて、第２減衰力発生装置Ａ２にて減衰力を得ることができる。
【００４４】
また、シリンダ部材５０のフランジ部５０ａと軸部材５１の小径軸部５１ｂが上下方向に相対移動するとき（バネ上部材ＳＵおよびバネ下部材ＳＤの振動が高周波数の振動であるとき）、上方ブッシュ５４Ｕおよび下方ブッシュ５４Ｄの弾性変形により、各エアチャンバ５６Ｕ，５６Ｄ内の容積が変化する。このため、このときには、各エアチャンバ５６Ｕ，５６Ｄ内の加圧エア（高圧エア）が軸部材５１の連通路５１ｃを流動し、シリンダ部材５０と軸部材５１の相対移動に対して抵抗力（減衰力）が作用して、第２減衰力発生装置にて更に減衰力を得ることができる。
【００４５】
ところで、この第１実施形態においては、第２減衰力発生装置Ａ２がエアを用いて減衰力を発生させているため、エアの温度変化および劣化を考慮する必要がなくて、所期の減衰力を得易い。また、上方ブッシュ５４Ｕおよび下方ブッシュ５４Ｄの弾性変形に連係する作動流体がエアであって、作動流体として作動液（例えば油）を採用した場合に比して粘性が低いため、シリンダ部材５０と軸部材５１の相対速度が大きくなっても、両エアチャンバ５６Ｕ，５６Ｄ間でエアの流動が上記相対速度に十分追従し得る。更に、エアが各エアチャンバ５６Ｕ，５６Ｄ内にて圧縮可能な圧縮性流体であるため、仮に、両エアチャンバ５６Ｕ，５６Ｄ間でエアの流動が上記相対速度に追従し得なくなった場合には、各エアチャンバ５６Ｕ，５６Ｄ内でエアの圧縮によって上方ブッシュ５６Ｕおよび下方ブッシュ５６Ｄの弾性変形が保証されるため、この場合にも上記相対速度に応じた所期の減衰力が得られる。したがって、第２減衰力発生装置Ａ２によって逐次必要とされる減衰力を得易くすることが可能である。
【００４６】
また、この第１実施形態においては、サスペンション装置ＳＰにエアスプリング装置Ａ３が配設されていて、このエアスプリング装置Ａ３のエア室６４と上方エアチャンバ５６Ｕとを連通させる連通孔７０ａおよび環状孔５０ｃ１（連通手段）が設けられている。このため、仮に、各エアチャンバ５６Ｕ，５６Ｄに微小なエア漏れが発生しても、エア給排手段６３からエア室６４に加圧エアが供給されることで、エア室６４から連通孔７０ａおよび環状孔５０ｃ１を通って上方エアチャンバ５６Ｕ内に加圧エアを供給することが可能である。したがって、エア室６４および各エアチャンバ５６Ｕ，５６Ｄの内圧を常に所期の圧力に保つことが可能である。
【００４７】
また、この第１実施形態においては、連通孔７０ａは、同連通孔７０ａの孔径が軸部材５１に形成された連通路５１ｃの孔径に比して小さくなるように形成されていて、環状孔５０ｃ１は、同環状孔５０ｃ１を流動する加圧エアの流量が軸部材５１の連通路５１ｃを流動する加圧エアの流量より少なくなるように、形成されている。これにより、シリンダ部材５０と軸部材５１の相対速度が大きいとき、すなわち、バネ上部材ＳＵおよびバネ下部材ＳＤの振動が高周波数の振動であるとき、連通孔７０ａおよび環状孔５０ｃ１を流動する加圧エアの流量が少なく（ほぼゼロに）なって、両エアチャンバ５６Ｕ，５６Ｄの内圧に差が生じ易い。一方、シリンダ部材５０と軸部材５１の相対速度が小さいとき、すなわち、バネ上部材ＳＵおよびバネ下部材ＳＤの振動が低周波数の振動であるとき、連通孔７０ａおよび環状孔５０ｃ１を流動する加圧エアの流量が多くなって、両エアチャンバ５６Ｕ，５６Ｄの内圧に差が生じ難い。
【００４８】
このため、シリンダ部材５０と軸部材５１の相対速度が大きいときには、大きな減衰力を発生させることができ、シリンダ部材５０と軸部材５１の相対速度が小さいときには、小さな減衰力を発生させることが可能である。したがって、連通孔７０ａおよび環状孔５０ｃ１によって、第２減衰力発生装置Ａ２により発生させる減衰力をシリンダ部材５０と軸部材５１の相対速度に対応して容易に変化させることが可能である。
【００４９】
ところで、第１減衰力発生装置Ａ１がモータ２０の回転駆動により減衰力を発生させるサスペンション装置（電動アクティブサスペンション装置）においては、バネ上部材ＳＵおよびバネ下部材ＳＤの振動が低周波数の振動であるとき（シリンダ部材５０と軸部材５１の相対速度が小さいとき）、モータ２０（第１減衰力発生装置Ａ１）は上記した低周波数の振動に対して十分に追従することができて、大きな減衰力を発生させることができる。しかしながら、バネ上部材ＳＵおよびバネ下部材ＳＤの振動が高周波数の振動であるとき（シリンダ部材５０と軸部材５１の相対速度が大きいとき）、モータ２０は上記した高周波数の振動に対して追従し難くなり、第１減衰力発生装置Ａ１により発生する減衰力が小さくなる。このため、電動アクティブサスペンション装置においては、バネ上部材ＳＵおよびバネ下部材ＳＤの振動が高周波数の振動であるとき、第２減衰力発生装置Ａ２により発生する減衰力に頼る比率が大きくなる。
【００５０】
したがって、上述したように、連通孔７０ａおよび環状孔５０ｃ１（連通手段）を用いた第２減衰力発生装置Ａ２の減衰力特性（バネ上部材ＳＵおよびバネ下部材ＳＤの振動が高周波数の振動であるときには、大きな減衰力を発生し、バネ上部材ＳＵおよびバネ下部材ＳＤの振動が低周波数の振動であるときには、小さな減衰力を発生する減衰力特性）は、電動アクティブサスペンション装置にとって、好ましい減衰力特性である。
【００５１】
また、この第１実施形態においては、ホルダ１０に上方筒部材７０および下方筒部材７１（筒部）が連設されていて、上方筒部材７０とシリンダ部材５０の間に上方滑り軸受け７２が設けられ、下方筒部材７１とシリンダ部材５０の間に下方滑り軸受け７３が設けられている。このため、バネ下部材ＳＤの一部であるロアアームＬＡに横力（軸直方向の外力）が作用すると、この横力が、シリンダ部材５０から上方滑り軸受け７２および下方滑り軸受け７３に伝達されて、主に上方滑り軸受け７２および下方滑り軸受け７３にて受承される。そして、これら上方滑り軸受け７２，下方滑り軸受け７３は、バネ下部材ＳＤに組付けられているシリンダ部材５０と、ホルダ１０からシリンダ部材５０の外周にまで上下方向に延在する上方筒部材７０，下方筒部材７１との間に設けられたものであるため、ロアアームＬＡから上方滑り軸受け７２，下方滑り軸受け７３までの上下方向距離が、小さい。したがって、横力を受承しながら摺動する部材（上方滑り軸受け７２，下方滑り軸受け７３）に生じる回転モーメント（こじりモーメント）を低減させることができ、横力を受承する部材の信頼性を高めることが可能である。
【００５２】
また、この第１実施形態においては、アッパーサポート１１における弾性部１１ｃの内孔１１ｃ１の径がモータ２０の外周の径より小さい。このため、例えば上記特許文献１に記載されているようにアッパーサポートの弾性部がモータに貫通されないため、アッパーサポート１１の弾性部１１ｃの容積を増やすことが可能で、アッパーサポート１１の弾性部１１ｃのバネ定数（バネ特性）を小さくすることが可能である。したがって、アッパーサポート１１の弾性部１１ｃのバネ定数を小さくすることにより、高周波数の振動（ごつごつを感じる振動）に対する乗り心地を向上させるとともに、ノイズやバイブレーションを低減させることができ、また、バネ下部材ＳＤの突き上げによる衝撃を緩和することが可能である。
【００５３】
なお、アッパーサポート１１における弾性部１１ｃのバネ定数を小さくすることで、サスペンション装置ＳＰの下端側がサスペンション装置ＳＰの上端側に対して傾動（首振り）し易くなる。このため、横力がロアアームＬＡに作用するとき、サスペンション装置ＳＰの各構成部品に集中的な荷重が作用することを低減できて、サスペンション装置ＳＰの各構成部品の信頼性を高めることが可能である。
【００５４】
また、この第１実施形態においては、アッパーサポート１１における下方金具１１ｂの内孔１１ｂ１に、キャップ１２が組付けられていて、このキャップ１２により、モータ２０は配線１３を除いてホルダ１０とアッパーサポート１１の中に封入されている。このため、モータ２０の作動音を低減させることが可能である。また、この第１実施形態においては、第２減衰力発生装置Ａ２が各ブッシュ５４Ｕ，５４Ｄおよび加圧エアを用いた構成であるため、第２減衰力発生装置が例えば油圧式のダンパ装置を用いた構成に比して、第２減衰力発生装置をリサイクル性などを考慮した環境に適した構成とすることが可能である。
【００５５】
上記のように構成した第１実施形態においては、上方筒部材７０とシリンダ部材５０の間に上方滑り軸受け７２を設け、下方筒部材７１とシリンダ部材５０の間に下方滑り軸受け７３を設けて実施したが、図３に示した第２実施形態のように、筒部材１７０とシリンダ部材５０の間に転がり軸受け１７２を設けて実施することも可能である。
【００５６】
この第２実施形態においては、図３に示したように、筒部材１７０は、ホルダ本体１０ａの下端部からシリンダ部材５０の外周にまで上下方向に延在していて、単一の部材で構成されている。上記した第２実施形態の構成以外の構成は、上記した第１実施形態の構成と実質的に同一であるため、対応する部位に同一の符合を付してその説明を省略する。
【００５７】
上記した第２実施形態においては、筒部材１７０とシリンダ部材５０の間に転がり軸受け１７２が設けられているため、上記した第１実施形態（各滑り軸受け７２，７３が設けられている場合）に比して、シリンダ部材５０に対する摺動抵抗を小さくすることができ、シリンダ部材５０を筒部材１７０に対して円滑に軸方向に移動させることが可能である。しかしながら、シリンダ部材５０が転がり軸受け１７２に対して点接触するため、上記した第１実施形態（シリンダ部材５０が各滑り軸受け７２，７３に対して線接触または面接触する場合）比して、横力が作用したときのシリンダ部材に作用する荷重（面圧）が大きくなる。その他の第２実施形態の作用効果は、上記した第１実施形態の作用効果と実質的に同一であるため、省略する。
【００５８】
上記のように構成した第２実施形態においては、ホルダ１０にシリンダ部材５０の外周まで上下方向に延在する筒部材１７０（筒部）を連設して、この筒部材１７０とシリンダ部材５０の間に転がり軸受け１７２を設けて実施したが、図４に示した第３実施形態のように、シリンダ部材５０にホルダ１０の外周まで上下方向に延在する筒部２７０を連設して、この筒部２７０とホルダ１０の間に転がり軸受け２７２を設けて実施することも可能である。
【００５９】
この第３実施形態においては、上記したエアスプリング装置Ａ３におけるエア内筒６１が設けられておらず、ダイヤフラム２６２の径外方端部２６２ａがエア外筒６０の下端部に固定されていて、ダイヤフラム２６２の径内方端部２６２ａがシリンダ部材５０に固定されている。上記した第３実施形態の構成以外の構成は、上記した第２実施形態の構成と実質的に同一であるため、対応する部位に同一の符合を付してその説明を省略する。
【００６０】
上記した第３実施形態においては、シリンダ部材５０の外周にホルダ１０から上下方向に延在する筒部が設けられておらず、かつ、シリンダ部材５０の外周にエアスプリング装置Ａ３におけるエア内筒が設けられていないため、上記した第２実施形態に比して、ダイヤフラム２６２の外径を小さくすることができ、エアスプリング装置Ａ３のバネ定数を小さくすることが可能である。しかしながら、横力を受承する転がり軸受け２７２とロアアームＬＡの間の上下方向距離が、上記した第２実施形態の転がり軸受け１７２とロアアームＬＡの間の上下方向距離に比して大きくなるため、上記した第２実施形態に比して、転がり軸受け２７２に作用する回転モーメント（ねじりモーメント）が大きくなる。その他の第３実施形態の作用効果は、上記した第２実施形態の作用効果と実質的に同一であるため、省略する。
【００６１】
上記した各実施形態においては、上方ブッシュ５４Ｕおよび下方ブッシュ５４Ｄを、粘弾性体（減衰性能を有する弾性体）であるゴムで構成して実施したが、上方ブッシュ５４Ｕおよび下方ブッシュ５４Ｄは粘弾性体であればよく、例えば、上方ブッシュ５４Ｕおよび下方ブッシュ５４Ｄを、発泡ウレタン、硬質ウレタンで構成して実施することも可能である。
【００６２】
また、上記した各実施形態においては、上方エアチャンバ５６Ｕと下方エアチャンバ５６Ｄとを連通する連通路５６ｃを、軸部材５１に設けて実施したが、上方エアチャンバ５６Ｕと下方エアチャンバ５６Ｄとを連通する連通路を、シリンダ部材５０の周壁に設けて実施することも可能である。また、上方エアチャンバ５６Ｕと下方エアチャンバ５６Ｄを接続する連通管を設けて、上方エアチャンバ５６Ｕと下方エアチャンバ５６Ｄとを連通する連通路を設けて実施することも可能である。
【００６３】
また、上記した各実施形態においては、エアスプリング装置Ａ３のエア室６４と上方エアチャンバ５６Ｕを連通させる連通孔７０ａおよび環状孔５０ｃ１（連通手段）を設けて実施したが、エアスプリング装置Ａ３のエア室６４と下方エアチャンバ５６Ｄを連通させる連通手段を設けて実施することも可能である。
【００６４】
また、上記した各実施形態においては、第１減衰力発生装置Ａ１と第２減衰力発生装置Ａ２の外周に、バネ上部材ＳＵとバネ下部材ＳＤにバネ力を作用させるエアスプリング装置Ａ３を配設して実施したが、このエアスプリング装置Ａ３に換えて、バネ上部材ＳＵとバネ下部材ＳＤにバネ力を作用させるコイルスプリングを配設して実施することも可能である。
【００６５】
また、上記した各実施形態においては、第１減衰力発生装置Ａ１を上方に設け（モータ２０をバネ上部材ＳＵに組付けて）、第２減衰力発生装置Ａ２を下方に設けて（シリンダ部材５０をバネ下部材ＳＤに組付けて）実施したが、第１減衰力発生装置を下方に設け（モータをバネ下部材ＳＤに組付けて）、第２減衰力発生装置Ａ２を上方に設けて（シリンダ部材をバネ上部材ＳＵに組付けて）実施することも可能である。
【符号の説明】
【００６６】
ＳＰ…サスペンション装置、ＳＵ…バネ上部材、ＳＤ…バネ下部材、ＨＡ…マウント部、ＬＡ…ロアアーム、Ａ１…第１減衰力発生装置、Ａ２…第２減衰力発生装置、Ａ３…エアスプリング装置、Ａ４…横力ガイド機構、１０…ホルダ、１１…アッパーサポート、１１ｃ…弾性部、１１ｃ１…内孔、１２…キャップ、２０…モータ、３０…ボールネジ機構、３１…ボールネジ軸、３２…ボールネジナット、４０…ボールスプライン機構、４１…ボールスプラインナット、５０…シリンダ部材、５０ａ…内向フランジ部、５０ｃ１…環状孔、５１…軸部材、５１ｃ…連通路、５２…カラー、５３Ｕ，５３Ｄ…環状プレート、５４Ｕ…上方ブッシュ、５４Ｄ…下方ブッシュ、５５…ナット、５６Ｕ…上方エアチャンバ、５６Ｄ…下方エアチャンバ、６０…エア外筒、６１…エア内筒、６２…ダイヤフラム、６３…エア給排手段、６３ａ…給排制御弁、６４…エア室、７０…上方筒部材、７０ａ…連通孔、７１…下方筒部材、７２…上方滑り軸受け、７３…下方滑り軸受け、１７０…筒部材、１７２…転がり軸受け、２６２…ダイヤフラム、２７０…筒部、２７２…転がり軸受け
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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