(57)【要約】【課題】着工優先順位を決める際、装置の負荷率、ロットの装置への到着順、ロットの着工予定日時に対する遅れ、特急ロットや通常ロットのそれぞれの順位を解析的に決定する方法を提供する。【解決手段】半導体製造のロット着工優先順位決定方法において、ロットの工程毎の完了予定日時と実績日時との差から遅れ時間を計算するロット進捗計算ステップ１０１と、装置の品種毎工程毎の装置稼働台数を取得する装置情報取得ステップ１０２と、遅れ時間と装置稼働台数と工程処理標準時間とから第１のロットの着工優先度決定指標を計算する挽回負荷・装置負荷計算ステップ１０３と、第１のロットの着工優先度決定指標から着工優先度を決定する着工優先度決定ステップ１０４と、を実行することにより、複数ロットの着工優先順位を決定する。【選択図】図１
2011100833.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンピュータを用いて、半導体デバイス製造ラインに仕掛っている複数ロットの着工優先順位を決定する半導体製造のロット着工優先順位決定方法であって、
前記コンピュータにより、
ロットの工程毎の完了予定日時と実績日時との差から遅れ時間を計算する第１ステップと、
装置の品種毎工程毎の装置稼働台数を取得する第２ステップと、
前記遅れ時間と前記装置稼働台数と工程処理標準時間とから第１のロットの着工優先度決定指標を計算する第３ステップと、
前記第１のロットの着工優先度決定指標から着工優先度を決定する第４ステップと、を実行することにより、
前記複数ロットの着工優先順位を決定することを特徴とする半導体製造のロット着工優先順位決定方法。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体製造のロット着工優先順位決定方法において、
前記第２ステップには、品種毎工程毎に着工可能な全装置台数を取得するステップを含み、
前記第３ステップには、前記遅れ時間と前記装置稼働台数と前記工程処理標準時間と前記品種毎工程毎に着工可能な全装置台数とから第２のロットの着工優先度決定指標を計算するステップを含み、
前記第４ステップでは、前記第１のロットの着工優先度決定指標と前記第２のロットの着工優先度決定指標とから前記複数ロットの着工優先順位を決定する、ことを特徴とする半導体製造のロット着工優先順位決定方法。
【請求項３】
コンピュータを用いて、半導体デバイス製造ラインに仕掛っている複数ロットの着工優先順位を決定する半導体製造のロット着工優先順位決定システムであって、
ロット別工程着工完了予定日時情報とロット別工程着工完了実績日時情報とからロット別進捗情報を生成するロット進捗計算部と、
品種別工程別に着工可能な装置の数である装置台数を登録する装置台数設定部と、
現時点で品種工程別に着工可能な装置の数である装置稼働台数を登録する装置稼働台数取得部と、
前記ロット別進捗情報と前記装置台数と前記装置稼働台数と品種別工程別処理標準時間情報とから、現状の装置稼働台数で挽回しなければならない遅れを示す挽回負荷と、現状の装置停止で大きくなる待ち時間を示す装置負荷とを含む挽回負荷・装置負荷情報を計算する挽回負荷・装置負荷計算部と、
前記挽回負荷・装置負荷情報から着工優先度を示す着工優先度情報を生成する着工優先順位決定部と、を有することを特徴とする半導体製造のロット着工優先順位決定システム。
【請求項４】
請求項３に記載の半導体製造のロット着工優先順位決定システムにおいて、さらに、
前記ロット別工程着工完了予定日時情報を保持するロット別工程着工完了予定日時情報保持部と、
前記ロット別工程着工完了実績日時情報を保持するロット別工程着工完了実績日時情報保持部と、
前記ロット別進捗情報を保持するロット別進捗情報保持部と、
前記装置台数と前記装置稼働台数とを保持する装置情報保持部と、
前記品種別工程別処理標準時間情報を保持する品種別工程別処理標準時間情報保持部と、
前記挽回負荷・装置負荷情報を保持する挽回負荷・装置負荷情報保持部と、
前記着工優先度情報を保持する着工優先度情報保持部と、を有することを特徴とする半導体製造のロット着工優先順位決定システム。
【請求項５】
請求項４に記載の半導体製造のロット着工優先順位決定システムにおいて、
前記ロット別工程着工完了予定日時情報は物流シミュレーション部から取得し、
前記ロット別工程着工完了実績日時情報は生産実績情報収集部から取得し、
前記着工優先度情報はディスパッチャに転送することを特徴とする半導体製造のロット着工優先順位決定システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製造ライン内の仕掛りロットの着工順位を決定する技術に関し、特に、半導体デバイス製造においてロットの着工予定日時に対する進度を適正化するために、工程毎の複数の仕掛りロットの中の着工優先順位を決定する方法、及び着工優先順位を決定するシステムに適用して有効な技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１３は、一般的な半導体デバイス製造ラインにおける半導体デバイス製造フローを示した図である。図１３に示す通り、半導体デバイス製造では、酸化膜や金属膜を半導体ウェハ上に形成する成膜プロセスや、回路パターンをウェハに転写するホトリソグラフィプロセス、化学処理によって所定のデバイスパターンを形成するエッチングプロセス、半導体デバイス内部に不純物を注入して膜の特性を変化させるイオン打込プロセスなどの多くの製造プロセスを製造フローに従い繰返し処理を行なうことで、ウェハ上に多層の半導体デバイスが作られる。通常、半導体デバイス製造ラインは、成膜、ホトリソグラフィ、エッチング工程などの各工程に対応した製造装置群をエリア毎に配置し、工程フローに応じて各エリアにロットを搬送するジョブ・ショップ生産方式である。
【０００３】
図１４は、一般的な半導体デバイス製造ラインの各工程における単位時間当りの着工ロット数を示しており、図１４（ａ）がある単位時間当りの各装置群の着工ロット数を示し、図１４（ｂ）がその次の単位時間当りの各装置群の着工ロット数を示している。半導体デバイス製造では、品種毎に製造フロー、着工可能装置、プロセス処理時間が異なるため、特に多品種変量形の生産ラインでは、装置群毎の単位時間当りの着工ロット数が異なり、各装置群の中で単位時間当りの着工数のばらつきが発生する。例えば、図１４の例ではホトリソ装置群の単位時間当りの着工数は図１４（ａ）が図１４（ｂ）に比べて多いため、図１４（ａ）は図１４（ｂ）に比べてロットの待ち時間が長くなり、また図１４（ｂ）は図１４（ａ）に比べて装置の空きが多くなる。すなわち、各装置群の単位時間当りの着工ロット数にばらつきが発生することにより、ロットの待ち時間が長くなったり、装置群の稼働率が低下したりすることになり、ロットのＴＡＴ（Ｔｕｒｎ  Ａｒｏｕｎｄ  Ｔｉｍｅ：生産開始から終了までの時間）が長くなる。
【０００４】
この問題を解決するために、例えば、特許文献１では、ロットを処理する際に用いる装置の負荷の程度を示す装置負荷率を装置ごとに決定する負荷率決定手段と、装置負荷率に応じて負荷率優先度を決定し、負荷率優先度を、ロットの処理順位を決める他の要素の優先度と統合することにより、複数のロット間の処理順位を決定する処理順位決定手段と、処理順位を出力する出力手段とを有する生産管理装置が記載されている。この生産管理装置は、半導体製造ラインにおいて、ライン内にロットが複数ある場合、複数のロット間の処理順位を処理ごとに決める生産管理装置であり、ロットを処理する際に用いる装置の負荷の程度を示す装置負荷率を装置ごとに計算し、その装置負荷率に応じて負荷率優先度を決定し、ロットの処理順位を決める他の要素の優先度と統合することにより、複数ロット間での処理順位を決定するものである。これにより、ロットの処理順位を決める際に、装置のトラブル等により処理能力の低下した装置にロットを送りすぎないようにし、ライン効率の低下を最小限に抑えられると記述されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−７３１４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前記特許文献１における生産管理装置では、装置の負荷率をその他の優先度決定要素と統合する必要があり、例えば、ロットの装置への到着順や、ロットの着工予定日時に対する遅れや、特急ロットや通常ロットなどに対して、どの程度の重みを付けて最終的にロットの着工優先順位を決定するか、経験的な知識に頼らざるを得ないため、判断ミスにより生産効率を悪化させたり、予定納期が守れなくなったりする恐れがあった。
【０００７】
そこで、本発明のロット着工優先順位決定方法及びシステムでは、ロットの着工予定に対する遅れと、今後着工予定の装置負荷の両方を数値化して、ロットの着工予定に対する遅れと今後着工予定の装置負荷の２つの数値を順位付けの決定要素として用いて優先度付けすることにより、前記特許文献１において、着工優先順位を決める際、装置の負荷率、ロットの装置への到着順、ロットの着工予定日時に対する遅れ、特急ロットや通常ロットのそれぞれの順位を人が主観的に決めていたものを解析的に決定する方法を提供することを目的とする。
【０００８】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【００１０】
すなわち、代表的なものの概要は、半導体製造のロット着工優先順位決定方法において、ロットの工程毎の完了予定日時と実績日時との差から遅れ時間を計算するステップと、装置の品種毎工程毎の装置稼働台数を取得するステップと、遅れ時間と装置稼働台数と工程処理標準時間とから第１のロットの着工優先度決定指標を計算するステップと、第１のロットの着工優先度決定指標から着工優先度を決定するステップと、を実行することにより、複数ロットの着工優先順位を決定する。
【００１１】
さらに、品種毎工程毎に着工可能な全装置台数を取得するステップと、遅れ時間と装置稼働台数と工程処理標準時間と品種毎工程毎に着工可能な全装置台数とから第２のロットの着工優先度決定指標を計算するステップとを含むことにより、第１のロットの着工優先度決定指標と第２のロットの着工優先度決定指標とから複数ロットの着工優先順位を決定する。
【００１２】
また、半導体製造のロット着工優先順位決定システムにおいて、ロット別工程着工完了予定日時情報とロット別工程着工完了実績日時情報とからロット別進捗情報を生成するロット進捗計算部と、品種別工程別に着工可能な装置の数である装置台数を登録する装置台数設定部と、現時点で品種工程別に着工可能な装置の数である装置稼働台数を登録する装置稼働台数取得部と、ロット別進捗情報と装置台数と装置稼働台数と品種別工程別処理標準時間情報とから、現状の装置稼働台数で挽回しなければならない遅れを示す挽回負荷と、現状の装置停止で大きくなる待ち時間を示す装置負荷とを含む挽回負荷・装置負荷情報を計算する挽回負荷・装置負荷計算部と、挽回負荷・装置負荷情報から着工優先度を示す着工優先度情報を生成する着工優先順位決定部と、を有する。
【００１３】
さらに、ロット別工程着工完了予定日時情報、ロット別工程着工完了実績日時情報、ロット別進捗情報、装置台数と装置稼働台数、品種別工程別処理標準時間情報、挽回負荷・装置負荷情報、着工優先度情報、を保持する各情報保持部を有する。
【発明の効果】
【００１４】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。
【００１５】
すなわち、代表的なものによって得られる効果は、半導体デバイス製造において、ロットの遅れと工程の着工能力を見た待ち時間の大きさを総合的に判断して、遅れの挽回と装置の稼働状況からみた負荷を加味した仕掛り偏在回避との両方において、装置の負荷率の他の優先度決定要素であるロットの装置への到着順や、ロットの着工予定日時に対する遅れや、特急ロットや通常ロットなどの優先度決定要素の重み付けを不要にしたうえで適正な着工優先度を決定できる。これにより、処理能力以上のロットを装置に送り込んで装置が過負荷になることがなくなり、着工待ち時間が減少し、ＴＡＴ短縮や納期遵守率向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の一実施の形態である半導体製造のロット着工優先順位決定方法の手順を示すフローチャートである。
【図２】図１における半導体製造のロット着工優先順位決定方法を適用するシステムの全体構成を示すブロック図である。
【図３】図２のうちの各情報保持部に保持されるデータフォーマットの構成を示す図である。
【図４】図１の半導体製造のロット着工優先順位決定方法において、ロット進捗計算ステップにおけるデータ処理例を説明する図である。
【図５】図１の半導体製造のロット着工優先順位決定方法において、装置情報取得ステップにおけるデータ処理例を説明する図である。
【図６】図１の半導体製造のロット着工優先順位決定方法において、挽回負荷・装置負荷計算ステップにおけるデータ処理例を説明する図である。
【図７】図１の半導体製造のロット着工優先順位決定方法において、挽回負荷・装置負荷計算ステップにおける図６に続くデータ処理例を説明する図である。
【図８】図１の半導体製造のロット着工優先順位決定方法において、挽回負荷・装置負荷計算ステップにおける図７に続くデータ処理例を説明する図である。
【図９】図１の半導体製造のロット着工優先順位決定方法において、着工優先度決定ステップにおけるデータ処理例を説明する図である。
【図１０】図１の半導体製造のロット着工優先順位決定方法において、着工優先度決定ステップにおける図９に続くデータ処理例を説明する図である。
【図１１】本発明を適用する半導体デバイス製造ラインの構成例を示した図である。
【図１２】本発明を適用する半導体デバイス製造ラインの別の構成例を示した図である。
【図１３】一般的な半導体デバイス製造ラインにおける半導体デバイス製造フローを示した図である。
【図１４】（ａ），（ｂ）は一般的な半導体デバイス製造ラインの各工程における単位時間当りの着工ロット数を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【００１８】
＜実施の形態の概要＞
本発明の一実施の形態は、半導体デバイス製造ラインのロット着工優先順位決定方法において、ロット進捗計算ステップと、装置情報取得ステップと、挽回負荷・装置負荷計算ステップと、着工優先度決定ステップとを実行することにより、ロットの着工予定に対する遅れと、今後着工予定の装置負荷の両方を考慮したうえで、複数ロットの着工優先順位を一意に決定するものである。さらに、このロット着工優先順位決定方法を適用するロット着工優先順位決定システムを提供するものである。
【００１９】
＜半導体製造のロット着工優先順位決定方法＞
図１は、本発明の一実施の形態である半導体製造のロット着工優先順位決定方法の手順を示すフローチャートである。図１において、半導体製造のロット着工優先順位決定方法の処理は、ロットの工程毎の完了予定日時と実績日時との差から遅れ時間を計算するロット進捗計算ステップ１０１と、装置の品種毎工程毎の装置稼働台数を取得する装置情報取得ステップ１０２と、遅れ時間と装置稼働台数と工程処理標準時間とから第１のロットの着工優先度決定指標を計算する挽回負荷・装置負荷計算ステップ１０３と、第１のロットの着工優先度決定指標から着工優先度を決定する着工優先度決定ステップ１０４とからなる。
【００２０】
さらに、装置情報取得ステップ１０２には、品種毎工程毎に着工可能な全装置台数を取得するステップを含み、挽回負荷・装置負荷計算ステップ１０３には、遅れ時間と装置稼働台数と工程処理標準時間と品種毎工程毎に着工可能な全装置台数とから第２のロットの着工優先度決定指標を計算するステップを含み、着工優先度決定ステップ１０４では、第１のロットの着工優先度決定指標と第２のロットの着工優先度決定指標とから複数ロットの着工優先順位を決定する。
【００２１】
＜半導体製造のロット着工優先順位決定システム＞
また、図２に図１における半導体製造のロット着工優先順位決定方法を適用するシステムの全体構成のブロック図を示す。図２において、半導体製造のロット着工優先順位決定システムは、コンピュータを用いて構築され、ソフトウェアによるプログラム処理により実現される各処理機能部と、これに限定されるものではないが、例えばハードディスク上のデータベースを用いる各情報保持部とから構成される。
【００２２】
各処理機能部は、ロット別工程着工完了予定日時情報とロット別工程着工完了実績日時情報とからロット別進捗情報を生成するロット進捗計算部２０５と、品種別工程別に着工可能な装置の数である装置台数を登録する装置台数設定部２０７と、現時点で品種工程別に着工可能な装置の数である装置稼働台数を登録する装置稼働台数取得部２０８と、ロット別進捗情報と装置台数と装置稼働台数と品種別工程別処理標準時間情報とから、現状の装置稼働台数で挽回しなければならない遅れを示す挽回負荷と現状の装置停止で大きくなる待ち時間を示す装置負荷とを含む挽回負荷・装置負荷情報を計算する挽回負荷・装置負荷計算部２１１と、挽回負荷・装置負荷情報から着工優先度を示す着工優先度情報を生成する着工優先順位決定部２１３とから構成される。
【００２３】
各情報保持部は、ロット別工程着工完了予定日時情報を保持するロット別工程着工完了予定日時情報保持部２０２と、ロット別工程着工完了実績日時情報を保持するロット別工程着工完了実績日時情報保持部２０４と、ロット別進捗情報を保持するロット別進捗情報保持部２０６と、装置台数と装置稼働台数とを保持する装置情報保持部２０９と、品種別工程別処理標準時間情報を保持する品種別工程別処理標準時間情報保持部２１０と、挽回負荷・装置負荷情報を保持する挽回負荷・装置負荷情報保持部２１２と、着工優先度情報を保持する着工優先度情報保持部２１４とから構成される。
【００２４】
この半導体製造のロット着工優先順位決定システムには、ロット別工程着工完了予定日時情報保持部２０２に物流シミュレーション部２０１が接続され、ロット別工程着工完了実績日時情報保持部２０４に生産実績情報収集部２０３が接続される。
【００２５】
また、図３に図２のうちの各情報保持部（２０２、２０４、２０６、２０９、２１０、２１２、２１４）に保持されるデータフォーマットの構成を示す。ロット別工程着工完了予定日時情報保持部２０２では、ロット名、品名、工程名、投入予定日時、工程完了予定日時のロット別工程着工完了予定日時情報を保持する。ロット別工程着工完了実績日時情報保持部２０４では、ロット名、品名、工程名、投入実績日時、工程完了実績日時のロット別工程着工完了実績日時情報を保持する。ロット別進捗情報保持部２０６では、ロット名、工程名、予定ＴＡＴ、実績ＴＡＴといったロット別進捗情報を保持する。装置情報保持部２０９では、品名、工程名、装置台数、装置稼働台数の装置情報を保持する。品種別工程別処理標準時間情報保持部２１０では、品名、工程名、標準処理時間の品種別工程別処理標準時間情報を保持する。挽回負荷・装置負荷情報保持部２１２では、ロット名、挽回負荷計算値、装置負荷計算値の挽回負荷・装置負荷情報を保持する。着工優先度情報保持部２１４では、ロット名、着工優先順位の着工優先度情報を保持する。
【００２６】
＜半導体製造のロット着工優先順位決定方法の処理フロー＞
以下、図１のフローチャートに沿って、図２、図３を参照し、さらに図４〜図１０を用いて、本実施の形態の半導体製造のロット着工優先順位決定方法を説明する。
【００２７】
ロット進捗計算ステップ１０１は、ロット進捗計算部２０５により実行され、物流シミュレーション部２０１により生成されてロット別工程着工完了予定日時情報保持部２０２に保持されるロット別工程着工完了予定日時情報と、生産実績情報収集部２０３により生成されてロット別工程着工完了実績日時情報保持部２０４に保持されるロット別工程着工完了実績日時情報とから、ロット名と工程名を検索キーに、全ロットの工程完了予定日時と完了実績日時を突き合わせることで、ロット別の予定ＴＡＴと実績ＴＡＴを計算したロット別進捗情報を生成する。このロット別進捗情報の予定ＴＡＴと実績ＴＡＴとの差分から遅れ時間（Ｄ）を計算する。なお、物流シミュレーション部２０１は一般に市販されている離散系物流シミュレータを用いることで実現可能である。
【００２８】
図４に示すデータサンプルを用いて具体的に説明する。物流シミュレーション部２０１により生成されるロット別工程着工完了予定日時情報は、ロット毎に品名と工程名と投入予定日時と工程完了予定日時を登録している。各ロットの各工程の予定ＴＡＴは、投入予定日時と工程完了予定日時との差分を計算することにより計算可能である。生産実績情報収集部２０３により生成されるロット別工程着工完了実績日時情報は、ロット毎に品名と工程名と投入実績日時と工程完了実績日時を登録している。各ロットの各工程の実績ＴＡＴは、投入実績日時と工程完了実績日時との差分を計算することにより計算可能である。ロット進捗計算部２０５により生成されるロット別進捗情報は、ロット別工程着工完了予定日時情報とロット別工程着工完了実績日時情報のロット名と工程名をキーに上位工程から順に突き合わせ、現時点で突き合わせのできる最後の工程が最新の完了工程を示すことになる。図４の例では、ＬＯＴ１、ＬＯＴ２は工程名Ｋ００２が最新の完了工程を示している。この最新の完了工程の予定ＴＡＴと実績ＴＡＴの差分を取ることで遅れ時間（Ｄ）を算出する。図４の例のロット進捗情報では、ＬＯＴ１のＫ００２工程での遅れ時間（Ｄ）は、実績ＴＡＴ−予定ＴＡＴ＝１．８８日−２．００日＝−０．１２日となり、０．１２日予定より早いことになる。
【００２９】
装置情報取得ステップ１０２は、装置台数設定部２０７と装置稼働台数取得部２０８とにより実行され、装置台数設定部２０７により、品種別工程別に着工可能な装置の数である装置台数（ＳＰ）をエンジニア等により事前に登録しておく。また、装置稼働台数取得部２０８では、装置メンテナンスや装置トラブル情報から現時点で品種工程別に着工可能な装置の数である装置稼働台数（ＡＰ）をエンジニア等により登録することで、図５に示す品種工程別の着工可能装置が登録された装置情報を作成する。なお、装置稼働台数（ＡＰ）の登録では、ＭＥＳ（Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ  Ｅｘｅｃｕｔｉｏｎ  Ｓｙｓｔｅｍ）から自動でメンテナンス情報やトラブル情報を収集し、自動で設定することも可能である。
【００３０】
図５に示すデータサンプルを用いて具体的に説明する。図５の例では、装置台数設定部２０７により品名Ｐ００１の工程Ｋ００１の装置台数（ＳＰ）が５、装置稼働台数（ＡＰ）が５と設定された状態を示し、品名Ｐ００１の工程Ｋ００１を着工できる装置が５台存在し、現時点で着工可能な装置が５台あることを意味する。その他の例として、品名Ｐ００１の工程Ｋ００３では、装置台数（ＳＰ）が３、装置稼働台数（ＡＰ）が２と設定された状態を示しており、品名Ｐ００１の工程Ｋ００３を着工できる装置が３台存在し、現時点で着工可能な装置が２台あり、１台はメンテナンス等により着工不可能な状態にあることを意味する。装置台数設定部２０７と装置稼働台数取得部２０８は、一般的なネットワークに接続されたパソコンを用いて、装置情報を装置情報保持部２０９のデータベースに登録する方法を取れば良い。なお、装置稼働台数取得部２０８では、ＭＥＳ上の装置メンテナンス情報やトラブル情報を参照して自動取得することも可能である。
【００３１】
挽回負荷・装置負荷計算ステップ１０３は、挽回負荷・装置負荷計算部２１１により実行され、挽回負荷（ＲＬ）は（数１）で、装置負荷（ＰＬ）は（数２）で計算する。
【００３２】
【数１】
2011100833.tif 000003
【００３３】
ここで、Ｄはロット遅れ時間、Ｋｐｉは工程ｉの処理標準時間、Ａｐｉは装置稼働台数を示しており、挽回負荷（ＲＬ）は、遅れ時間（Ｄ）が大きい程大きく、装置稼働台数（Ａｐｉ）が少ない程大きく、工程ｉの処理標準時間（Ｋｐｉ）が大きい程大きくなる。
【００３４】
【数２】
2011100833.tif 000004
【００３５】
ここで、Ｋｐｉは工程ｉの処理標準時間、Ａｐｉは装置稼働台数、Ｓｐｉは装置台数を示しており、装置負荷（ＰＬ）は、工程ｉの処理標準時間（Ｋｐｉ）が大きく、装置稼働率（Ａｐｉ／Ｓｐｉ）が低い程大きくなる。
【００３６】
（数１）で求めた挽回負荷（ＲＬ）は、現状の装置稼働台数でどれだけ遅れを挽回しなければならないかを求めるものであり、（数２）で求めた装置負荷（ＰＬ）は、現状の装置停止でどれだけ待ち時間が大きくなるかを求めるものである。なお、ｎはロットが指定期間あたりに進行する工程数を示しており、８時間単位、１日単位、２日単位のように目的の指定期間に合わせて決定すれば良い。
【００３７】
図６を用いてロットの進行工程数の指定期間が１日の場合の具体的な例を示す。まず、完了工程以降（ＬＯＴ１、ＬＯＴ２のＫ００３以降）の累積ＴＡＴが１日を超える工程、又は最終工程までの工程範囲を抽出する。図６の例のＬＯＴ１では、累積ＴＡＴが１日未満の０．７５日ではあるが、Ｋ００５が最終工程のため、範囲はＫ００３からＫ００５になる。また、ＬＯＴ２では、Ｋ００５で累積ＴＡＴが１．１２日と１日を超えるため、範囲はＫ００３からＫ００５になる。
【００３８】
次に、図７に示す品種別工程別処理標準時間情報を参照し、品名と工程名を検索キーとして、決定した範囲の品名別工程別の処理標準時間（Ｋｐ）を抽出し、図８のように、挽回負荷（ＲＬ）と装置負荷（ＰＬ）を計算する。図８の例では、ＬＯＴ１のＫ００３からＫ００５までの範囲で挽回負荷（ＲＬ）は−０．０２４２９、装置負荷（ＰＬ）は０．４３６５１になり、また、ＬＯＴ２のＫ００３からＫ００５までの範囲で挽回負荷（ＲＬ）は０．０６３２６、装置負荷（ＰＬ）は０．５６５４８になる。
【００３９】
着工優先度決定ステップ１０４は、着工優先順位決定部２１３により実行され、全ロットを次の（ａ）、（ｂ）の２つの優先度キーを設けて順位付けする。
（ａ）挽回負荷（優先キー１番目）
挽回負荷（ＲＬ）を優先キーの１番目とし、値が大きい順に並べる。
（ｂ）装置負荷（優先キー２番目）
装置負荷（ＰＬ）を優先キーの２番目とし、優先キー１番目が同値のグループ単位の値が大きい順に並べる。図９に並べ替え結果を示す。
【００４０】
以上説明した方法で、図１０に示す全ロット固有の着工優先度情報を生成する。図１０の例では、ＬＯＴ２のロットの着工優先順位が１になり、ＬＯＴ１のロットの着工優先順位が２になる。
【００４１】
以上の半導体製造のロット着工優先順位決定方法で生成された着工優先度情報を生産ラインのディスパッチシステム（ディスパッチャ）に転送することにより、優先順位付けされた通りに各工程でロットが着工可能になる。これにより、遅れの大きいロットの優先度を高くして遅れを挽回しつつ、中でも着工できる装置稼働台数の少ないロットの優先度を高くでき、遅れの拡大を抑える着工優先度決定を実現できる。なお、優先度キーにはどちらか一つを用いても良く、優先キーの順番を変えても良い。
【００４２】
＜半導体デバイス製造ライン＞
図１１に本発明を適用する半導体デバイス製造ラインの構成例の一つを示す。半導体デバイス製造ラインの構成において、製造ラインにある装置群（装置＃１〜ｎ）３０１はＭＥＳ３０２に接続している。生産実績管理サーバー３０３が図２の生産実績情報収集部２０３に該当し、ＭＥＳ３０２からロット別工程着工完了実績日時情報を取得し格納する。パーソナルコンピュータを用いて構築されるロット着工優先順位決定システム３０５は、生産実績情報収集部２０３から収集したロット別工程着工完了実績日時情報を取得する。物流シミュレータ３０４が図２の物流シミュレーション部２０１に該当し、ロット着工優先順位決定システム３０５は、物流シミュレーション部２０１から収集したロット別工程着工完了予定日時情報を取得し格納する。
【００４３】
また、図２に示すロット別工程着工完了予定日時情報保持部２０２とロット別工程着工完了実績日時情報保持部２０４とロット進捗計算部２０５とロット別進捗情報保持部２０６と装置台数設定部２０７と装置稼働台数取得部２０８と装置情報保持部２０９と品種別工程処理標準時間情報保持部２１０と挽回負荷・装置負荷計算部２１１と挽回負荷・装置負荷情報保持部２１２と着工優先順位決定部２１３と着工優先度情報保持部２１４は、ロット着工優先順位決定システム３０５としてパーソナルコンピュータ内に構築する。
【００４４】
そして、ロット着工優先順位決定システム３０５は、ディスパッチシステム３０６に着工優先度情報を転送し、クリーンストッカ３０７の表示端末に着工優先度を表示する。このようにして、製造ラインにある装置＃１〜ｎからなる装置群３０１において、優先順位付けされた通りに各工程でロットが着工可能になる。
【００４５】
図１２は、ディスパッチシステム３０６を、クリーンストッカ３０７から装置群３０１までを自動搬送する搬送システム３０８に接続している例を示しており、自動的に装置で着工できるロットのうち優先度の高いロットを自動的に装置に搬送することができる。
【００４６】
＜実施の形態の効果＞
以上に説明した本実施の形態によれば、ロット進捗計算部２０５、装置台数設定部２０７、装置稼働台数取得部２０８、挽回負荷・装置負荷計算部２１１、着工優先順位決定部２１３等を有するロット着工優先順位システムにおいて、ロット進捗計算ステップ１０１、装置情報取得ステップ１０２、挽回負荷・装置負荷計算ステップ１０３、着工優先度決定ステップ１０４等を含むロット着工優先順位決定方法を実行することで、以下のような効果を得ることができる。
【００４７】
すなわち、半導体デバイス製造において、ロットの遅れと工程の着工能力を見た待ち時間の大きさを総合的に判断して、遅れの挽回と装置の稼働状況からみた負荷を加味した仕掛り偏在回避との両方において、装置の負荷率の他の優先度決定要素であるロットの装置への到着順や、ロットの着工予定日時に対する遅れや、特急ロットや通常ロットなどの優先度決定要素の重み付けを不要にしたうえで適正な着工優先度を決定できる。これにより、処理能力以上のロットを装置に送り込んで装置が過負荷になることがなくなり、着工待ち時間が減少し、ＴＡＴ短縮や納期遵守率向上を図ることができる。
【００４８】
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明の製造ライン内の仕掛りロットの着工順位を決定する技術は、半導体デバイス製造においてロットの着工予定日時に対する進度を適正化するために、工程毎の複数の仕掛りロットの中の着工優先順位を決定する方法、及び着工優先順位を決定するシステムに適用して有効である。
【符号の説明】
【００５０】
１０１…ロット進捗計算ステップ、１０２…装置情報取得ステップ、１０３…挽回負荷・装置負荷計算ステップ、１０４…着工優先度決定ステップ、
２０１…物流シミュレーション部、２０２…ロット別工程着工完了予定日時情報保持部、２０３…生産実績情報収集部、２０４…ロット別工程着工完了実績日時情報保持部、２０５…ロット進捗計算部、２０６…ロット別進捗情報保持部、２０７…装置台数設定部、２０８…装置稼働台数取得部、２０９…装置情報保持部、２１０…品種別工程別処理標準時間情報保持部、２１１…挽回負荷・装置負荷計算部、２１２…挽回負荷・装置負荷情報保持部、２１３…着工優先順位決定部、２１４…着工優先度情報保持部、
３０１…装置群、３０２…ＭＥＳ、３０３…生産実績管理サーバー、３０４…物流シミュレータ、３０５…ロット着工優先順位決定システム、３０６…ディスパッチシステム、３０７…クリーンストッカ、３０８…搬送システム。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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