(57)【要約】【課題】  低圧ＥＧＲシャフトの軸中心線を吸気通路に交差させて低圧ＥＧＲ調整弁と吸気絞り弁を接近配置し、吸気通路と低圧ＥＧＲ流路の接続通路の内部にリンク装置を配置する構成を採用しても、吸気通路における吸気量の低下を抑える。【解決手段】  低圧ＥＧＲ装置は、低圧ＥＧＲ調整弁５と吸気絞り弁６の両方を１つの電動アクチュエータ８で駆動して軽量、小型化、コスト低減を図る。また、吸気通路３と低圧ＥＧＲ流路４の接続通路内にリンク装置９を配置することによって小型化を達成する。さらに、低圧ＥＧＲ調整弁５を吸気絞り弁６に接近配置させるために低圧ＥＧＲシャフト１１の軸中心線Ｆが吸気通路３に交差する構成であっても、吸気通路３内において低圧ＥＧＲシャフト１１を分断する構成を採用することにより、吸気通路３における吸気量の低下を抑えることができる。【選択図】  図１
2011043143.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）エンジン（２）の排気ガスを吸気通路（３）の低吸気負圧発生範囲へ戻す低圧ＥＧＲ流路（４）と、
（ｂ）この低圧ＥＧＲ流路（４）の開度を調整することでＥＧＲガスの流量調整を行なう低圧ＥＧＲ調整弁（５）と、
（ｃ）前記吸気通路（３）を絞ることで前記低圧ＥＧＲ流路（４）のＥＧＲ流量を増加させる吸気絞り弁（６）と、
（ｄ）前記吸気通路（３）を内部に形成するとともに、この吸気通路（３）に対して直交方向に接続する前記低圧ＥＧＲ流路（４）を内部に形成するハウジング（７）と、
を備える低圧ＥＧＲ装置（１）において、
（ｅ）前記低圧ＥＧＲ調整弁（５）および前記吸気絞り弁（６）のバルブ駆動手段は、前記低圧ＥＧＲ調整弁（５）を駆動する１つの電動アクチュエータ（８）と、前記低圧ＥＧＲ調整弁（５）に伝達された回動特性を変換して前記吸気絞り弁（６）を駆動するリンク装置（９）とを備え、
（ｆ）前記低圧ＥＧＲ調整弁（５）は、前記低圧ＥＧＲ流路（４）の開閉および通路面積の可変を行なう低圧ＥＧＲ弁本体（１０）と、前記ハウジング（７）に対して回転自在に支持されて前記低圧ＥＧＲ弁本体（１０）を回動駆動する低圧ＥＧＲシャフト（１１）とを具備し、
（ｇ）前記吸気絞り弁（６）は、前記吸気通路（３）内で回動することで当該吸気通路（３）の通路面積の可変を行なう絞り弁本体（１２）と、前記ハウジング（７）に対して回転自在に支持されて前記絞り弁本体（１２）と一体に回動する絞り弁シャフト（１３）と、この絞り弁シャフト（１３）を介して前記絞り弁本体（１２）を全開側へ付勢する吸気絞り弁リターンスプリング（１４）とを備え、
（ｈ）前記低圧ＥＧＲシャフト（１１）の軸中心線（Ｆ）が前記吸気通路（３）に対して交差して、前記低圧ＥＧＲ弁本体（１０）と前記絞り弁本体（１２）が、前記吸気通路（３）に対する前記低圧ＥＧＲ流路（４）の接続部分において接近配置され、
（ｉ）前記リンク装置（９）は、前記吸気通路（３）と前記低圧ＥＧＲ流路（４）の接続通路内に配置され、
（ｊ）前記低圧ＥＧＲシャフト（１１）は、前記電動アクチュエータ（８）より回動方向の駆動力が付与される第１ＥＧＲシャフト（１５）と、この第１ＥＧＲシャフト（１５）の軸中心線（Ｆ）上に配置される第２ＥＧＲシャフト（１６）とからなり、前記第１ＥＧＲシャフト（１５）と前記第２ＥＧＲシャフト（１６）とが前記吸気通路（３）の内部で離れた状態で配置されるものであり、
（ｋ）前記低圧ＥＧＲ弁本体（１０）は、円板形状を呈して前記低圧ＥＧＲ流路（４）を閉塞可能な円板弁（１７）と、この円板弁（１７）の外周側に設けられて当該円板弁（１７）と前記第１ＥＧＲシャフト（１５）を連結する第１弁支持部（１８）と、この第１弁支持部（１８）とは異なった側における前記円板弁（１７）の外周側に設けられて当該円板弁（１７）と前記第２ＥＧＲシャフト（１６）を連結する第２弁支持部（１９）とを備え、
前記円板弁（１７）の板面に沿う方向から見て、前記円板弁（１７）、前記第１、第２弁支持部（１８、１９）の３者によって略コ字形状を呈する
ことを特徴とする低圧ＥＧＲ装置。
【請求項２】
請求項１に記載の低圧ＥＧＲ装置（１）において、
前記リンク装置（９）は、前記低圧ＥＧＲ調整弁（５）と一体に回転する駆動アーム（４２）と、前記吸気絞り弁（６）と一体に回転する従動カム（４３）とを備え、
前記駆動アーム（４２）と前記従動カム（４３）の係合範囲、および前記駆動アーム（４２）と前記従動カム（４３）の接触範囲に設けられた出力特性変換用のカム形部（４３ａ）によって、前記低圧ＥＧＲ調整弁（５）の回動に対して所定の回動特性で前記吸気絞り弁（６）が回動動作することを特徴とする低圧ＥＧＲ装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の低圧ＥＧＲ装置（１）において、
前記円板弁（１７）、前記第１、第２弁支持部（１８、１９）の３者は、金属板のプレス成形品によって設けられていることを特徴とする低圧ＥＧＲ装置。
【請求項４】
請求項３に記載の低圧ＥＧＲ装置（１）において、
この低圧ＥＧＲ装置（１）は、前記低圧ＥＧＲ弁本体（１０）が前記低圧ＥＧＲ流路（４）を閉塞する際に前記円板弁（１７）の外周部に当接して、前記低圧ＥＧＲ流路（４）と前記円板弁（１７）との隙間を閉塞する弁座リング（５１）を有する弁座部品（５２）を備え、
前記弁座リング（５１）において前記円板弁（１７）が当接する弁座シート面は、前記円板弁（１７）の配置方向に向かって曲線的あるいは直線的に拡径するテーパ面に設けられ、
前記弁座部品（５２）は、前記弁座リング（５１）を前記低圧ＥＧＲ流路（４）におけるＥＧＲガスの流れ方向へ変位可能に支持するベローズ（５３）と、前記弁座リング（５１）の外周部に３箇所以上設けられた径方向にバネ作用を有する薄肉膨出部（５４）とを有することを特徴とする低圧ＥＧＲ装置。
【請求項５】
請求項４に記載の低圧ＥＧＲ装置（１）において、
前記第１、第２ＥＧＲシャフト（１５、１６）には、前記円板弁（１７）が前記低圧ＥＧＲ流路（４）を開く際に前記弁座リング（５１）と接触して、この弁座リング（５１）を前記円板弁（１７）から離れる側に押圧移動させるシャフトカム部（５５）が形成されていることを特徴とする低圧ＥＧＲ装置。
【請求項６】
請求項４または請求項５に記載の低圧ＥＧＲ装置（１）において、
前記低圧ＥＧＲ流路（４）の内部には、当該低圧ＥＧＲ流路（４）の内部を通過するＥＧＲガスの濾過を行なうメッシュフィルタ（５６）が配置され、
このメッシュフィルタ（５６）は、前記低圧ＥＧＲ流路（４）の上流側あるいは下流側へ膨出するお碗形状を呈することを特徴とする低圧ＥＧＲ装置。
【請求項７】
請求項６に記載の低圧ＥＧＲ装置（１）において、
前記メッシュフィルタ（５６）は、前記ベローズ（５３）の内側に挿入配置される筒状部（５６ａ）を備えることを特徴とする低圧ＥＧＲ装置。
【請求項８】
請求項１〜請求項７のいずれかに記載の低圧ＥＧＲ装置（１）において、
前記低圧ＥＧＲ調整弁（５）および前記吸気絞り弁（６）が組付けられる前記ハウジング（７）は、前記低圧ＥＧＲ調整弁（５）のＥＧＲガスの上流側において前記低圧ＥＧＲ流路（４）を通過するＥＧＲガスの冷却を行なう低圧ＥＧＲクーラ（３７）を備えることを特徴とする低圧ＥＧＲ装置。
【請求項９】
請求項８に記載の低圧ＥＧＲ装置（１）において、
前記ハウジング（７）は、樹脂材料によって設けられていることを特徴とする低圧ＥＧＲ装置。
【請求項１０】
請求項１〜請求項８のいずれかに記載の低圧ＥＧＲ装置（１）において、
前記ハウジング（７）が金属材料によって設けられ、前記低圧ＥＧＲシャフト（１１）および前記絞り弁シャフト（１３）が前記ハウジング（７）に直接摺動支持される場合、それぞれの摺動箇所には、前記低圧ＥＧＲシャフト（１１）および前記絞り弁シャフト（１３）の摺動性を高める被膜がコーティングされていることを特徴とする低圧ＥＧＲ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エンジン（燃料の燃焼により動力を発生させる内燃機関）の排気ガスの一部を、吸気通路の低吸気負圧発生範囲（吸気負圧の発生が弱い範囲：スロットルバルブの吸気上流側）へ戻す低圧ＥＧＲ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
本発明の背景技術を、図１０、図１１を参照して説明する。なお、符号は後述する［発明を実施するための形態］および［実施例］と同一機能物に同一符号を付したものである。
〔従来技術〕
エンジン２の排気ガス中におけるＮＯｘ（窒素酸化物）の発生を抑える技術として、高圧ＥＧＲ装置３１が知られている。この高圧ＥＧＲ装置３１の概略を図１０を参照して説明する。
高圧ＥＧＲ装置３１は、従来より一般的にＥＧＲ装置と呼ばれているものであり、排気通路２０を流れる排気ガスの一部をＥＧＲガスとして、吸気通路３におけるスロットルバルブ２５の吸気下流側（高吸気負圧発生範囲）に戻すことで、吸気の一部に不燃ガスであるＥＧＲガスを混入させて、エンジン燃焼室の燃焼温度を抑え、効果的にＮＯｘの発生を抑える技術である。
【０００３】
なお、高圧ＥＧＲ装置３１においてＥＧＲガスを吸気側へ戻す高圧ＥＧＲ流路３２には、高圧ＥＧＲ流路３２の開度調整を行なう高圧ＥＧＲ調整弁３３が設けられており、この高圧ＥＧＲ調整弁３３は、エンジン２の運転状態（エンジン回転数、エンジン負荷など）に応じたＥＧＲ量（単位時間あたりの排気ガス還流量）が得られるようにＥＣＵ（エンジン・コントロール・ユニットの略）により開度制御される。
【０００４】
一方、エンジン２には、ＮＯｘの発生をより少なくするための技術が常に要求されている。
近年では、ＮＯｘの発生をより少なくするための技術として、高圧ＥＧＲ装置３１とは別に、低圧ＥＧＲ装置１を搭載する技術が提案されている。この低圧ＥＧＲ装置１の概略を図１１を参照して説明する。
低圧ＥＧＲ装置１は、排気通路２０における低排気圧範囲（排気圧の低い範囲）の排気ガスの一部を、吸気通路３における低吸気負圧発生範囲に戻すことで、少量のＥＧＲガスを比較的高い精度でエンジン２の吸気側へ戻す装置である。
【０００５】
具体的に、例えば、ターボチャージャを搭載する車両の低圧ＥＧＲ装置１は、ＤＰＦ（ディーゼル・パティキュレート・フィルタの略）２８の排気下流側のＥＧＲガスを、スロットルバルブ２５の吸気上流側に配置されるコンプレッサ２３のさらに吸気上流側へ戻す装置であり、低排気圧範囲の排気ガスが低吸気負圧発生範囲に戻されることで、少量のＥＧＲガスをエンジン２に戻すことが可能になる。
このため、高圧ＥＧＲ装置３１では実現困難であった、例えばエンジン負荷の大きい運転領域など、低濃度のＥＧＲガスが求められる運転領域であってもＮＯｘの発生を抑えることが可能になる。
【０００６】
なお、低圧ＥＧＲ装置１においてＥＧＲガスを吸気側へ戻す低圧ＥＧＲ流路４には、低圧ＥＧＲ流路４の開度調整を行なう低圧ＥＧＲ調整弁５が設けられており、この低圧ＥＧＲ調整弁５も、上述した高圧ＥＧＲ調整弁３３と同様、エンジン２の運転状態（エンジン回転数、エンジン負荷など）に応じたＥＧＲ量が得られるように、ＥＣＵにより開度制御される。
【０００７】
〔従来技術の問題点〕
低圧ＥＧＲ装置１は、排気ガスの一部を吸気通路３における低吸気負圧発生範囲に戻すものである。
このため、低圧ＥＧＲ装置１は、少量のＥＧＲガスをエンジン２に戻すことを得意とする反面、低圧ＥＧＲ装置１を用いて多量のＥＧＲガスをエンジン２に戻すことが困難であった。即ち、低圧ＥＧＲ装置１を用いて多量のＥＧＲガスをエンジン２に戻すことが要求されるエンジン２の運転領域が存在しても、その要求に対応することができなかった。
【０００８】
そこで、ＥＧＲガスを戻す部位の吸気通路３に、吸気負圧を発生可能な吸気絞り弁６（吸気負圧発生用バルブ）を設け、低圧ＥＧＲ装置１を用いて多量のＥＧＲガスをエンジン２へ戻したい運転領域では、吸気絞り弁６を閉じる方向（吸気負圧が発生する方向）に制御することが考えられる。即ち、低圧ＥＧＲ装置１により大きなＥＧＲ量を得たい運転領域では、吸気絞り弁６で吸気負圧を発生させて多量のＥＧＲガスをエンジン２に戻すことが考えられる。
【０００９】
しかるに、低圧ＥＧＲ調整弁５は、上述したように、エンジン回転数やエンジン負荷等に応じて開度制御されるものである。
一方、吸気絞り弁６は、ＥＣＵにより大きなＥＧＲ量を得たい運転領域の時だけ、閉じる方向に制御されるものである。
【００１０】
このように、低圧ＥＧＲ調整弁５と吸気絞り弁６は、それぞれが別の運転要因に基づいて作動制御されるものであるため、低圧ＥＧＲ調整弁５と吸気絞り弁６は、それぞれが独立して操作される。
このため、低圧ＥＧＲ装置１には、低圧ＥＧＲ調整弁５を駆動するための専用のアクチュエータＪ１と、吸気絞り弁６を駆動するための専用のアクチュエータＪ２とが必要となり、コストアップ、体格アップ、重量アップの要因になってしまう（例えば、特許文献１参照）。
【００１１】
このため、小型化、軽量化、コスト削減などの目的で、低圧ＥＧＲ調整弁５と吸気絞り弁６との両方を、１つの電動アクチュエータ（電動モータを用いた駆動装置）で駆動する要求がある。
そこで、図７に示すように、１つの電動アクチュエータ８で低圧ＥＧＲ調整弁５を駆動するように設けるとともに、１つの電動アクチュエータ８の出力をリンク装置９（動力伝達機構）を介して吸気絞り弁６に伝えるように設けることが考えられる（周知技術ではない）。
この場合、リンク装置９に電動アクチュエータ８の出力特性を変化して吸気絞り弁６へ伝達するカムを用いた特性変換部を設けることで、低圧ＥＧＲ調整弁５が所定開度より大きくなってから低圧ＥＧＲ調整弁５の開度アップに連動させて吸気絞り弁６の開度を小さく（負圧アップ）することが可能になる。
【００１２】
しかるに、リンク装置９を用いて電動アクチュエータ８の出力を吸気絞り弁６に伝達する構造を採用する場合、リンク装置９をハウジング（バルブハウジング）の外部に設けることが考えられる。
しかし、リンク装置９をハウジングの外部に設けると、低圧ＥＧＲ調整弁５と吸気絞り弁６を設けたバルブ装置の体格が大きくなってしまう。
【００１３】
そこで、低圧ＥＧＲ調整弁５と吸気絞り弁６を接近配置し、吸気通路３に対して低圧ＥＧＲ流路４が接続する通路（以下、接続通路）の内部にリンク装置９を配置して、低圧ＥＧＲ調整弁５と吸気絞り弁６を設けたバルブ装置の体格を小さくすることが考えられる（周知技術ではない）。
しかし、吸気通路３内に配置される吸気絞り弁６に低圧ＥＧＲ調整弁５を接近配置することで、低圧ＥＧＲ調整弁５のシャフト（以下、低圧ＥＧＲシャフト）が吸気通路３に対して交差してしまう。即ち、低圧ＥＧＲシャフトが吸気通路３の内部に挿入配置されてしまう。このため、吸気絞り弁６が吸気通路３を大きく開く側（以下、全開側）であっても、低圧ＥＧＲシャフトが吸気通路３内で圧力損失を生じさせてしまい、吸気通路３を通過する吸気量が低下する不具合が生じてしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開２００８−２４８７２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、低圧ＥＧＲシャフトの軸中心線を吸気通路に交差させて低圧ＥＧＲ調整弁と吸気絞り弁を接近配置し、吸気通路と低圧ＥＧＲ流路の接続通路内にリンク装置を配置する構成を採用しても、吸気通路における吸気量の低下を抑えることのできる低圧ＥＧＲ装置の提供にある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
〔請求項１の手段〕
請求項１の手段の低圧ＥＧＲ装置は、低圧ＥＧＲシャフトの軸中心線を吸気通路に交差させて低圧ＥＧＲ調整弁と吸気絞り弁を接近配置し、吸気通路と低圧ＥＧＲ流路の接続通路内にリンク装置を配置する。これにより、低圧ＥＧＲ調整弁と吸気絞り弁を設けたバルブ装置の体格を小型化することができる。
【００１７】
さらに、請求項１の手段の低圧ＥＧＲ装置の低圧ＥＧＲシャフトは、電動アクチュエータより回動方向の駆動力が付与される第１ＥＧＲシャフトと、この第１ＥＧＲシャフトの軸中心線（軸芯）上に配置される第２ＥＧＲシャフトとからなり、第１ＥＧＲシャフトと第２ＥＧＲシャフトとが吸気通路の内部で離れた状態で配置される。
一方、低圧ＥＧＲ弁本体は、円板形状を呈して低圧ＥＧＲ流路を閉塞可能な円板弁と、この円板弁の外周側に設けられて円板弁と第１ＥＧＲシャフトを連結する第１弁支持部と、この第１弁支持部とは異なった側における円板弁の外周側に設けられて円板弁と第２ＥＧＲシャフトを連結する第２弁支持部とを備え、円板弁の板面に沿う方向から見て、円板弁、第１、第２弁支持部の３者によって略コ字形状を成すように設けられている。
【００１８】
このように設けられることにより、低圧ＥＧＲシャフトが吸気通路を塞ぐ割合を抑えることができる。これにより、吸気絞り弁の全開側において、吸気通路における吸気量の低下を抑えることができる。
即ち、請求項１の手段の低圧ＥＧＲ装置は、
（イ）低圧ＥＧＲ調整弁と吸気絞り弁の両方を１つの電動アクチュエータで駆動して軽量、小型化、コスト低減を図る効果と、
（ロ）吸気通路と低圧ＥＧＲ流路の接続通路内にリンク装置を配置することによって小型化を達成する効果と、
（ハ）低圧ＥＧＲ調整弁を吸気絞り弁に接近配置させるために低圧ＥＧＲシャフトの軸中心線（軸芯）が吸気通路に交差する構成であっても吸気量の低下を抑える効果と、
を得ることができる。
【００１９】
〔請求項２の手段〕
請求項２の手段の低圧ＥＧＲ装置におけるリンク装置は、低圧ＥＧＲ調整弁と一体に回転する駆動アームと、吸気絞り弁と一体に回転する従動カムとを備えるものであり、駆動アームと従動カムの係合範囲、および駆動アームと従動カムの接触範囲に設けられた出力特性変換用のカム形部によって、低圧ＥＧＲ調整弁の回動に対して所定の回動特性で吸気絞り弁が回動動作するように設けられている。
この駆動アームと従動カムの係合状態（係合の有無）、およびカム形部のカムプロフィールによって、低圧ＥＧＲ調整弁に要求される特性と吸気絞り弁に要求される特性の両方を満足することができる。
【００２０】
〔請求項３の手段〕
請求項３の手段の低圧ＥＧＲ装置における円板弁、第１、第２弁支持部の３者は、金属板のプレス成形によって一体に設けられる。
このように、弁本体を構成する円板弁、第１、第２弁支持部の３者を金属板のプレス成形品で設けることで、弁本体を極めて薄くすることができ、低圧ＥＧＲ全開側の圧力損失を極めて小さくすることができる。
また、弁本体をプレス成形品で設けることができるため、弁本体のコストを低く抑えることができ、低圧ＥＧＲ装置のコストを抑えることができる。
【００２１】
〔請求項４の手段〕
請求項４の手段の低圧ＥＧＲ装置は、低圧ＥＧＲ弁本体が低圧ＥＧＲ流路を閉塞する際に円板弁の外周部に当接して、低圧ＥＧＲ流路と円板弁との隙間を閉塞する弁座リングを有した弁座部品を備えるものであり、弁座リングにおいて円板弁が当接する弁座シート面は、円板弁が配置される方向に向かって曲線的あるいは直線的に拡径するテーパ面に設けられている。
そして、弁座部品は、弁座リングを低圧ＥＧＲ流路におけるＥＧＲガスの流れ方向へ変位可能に支持するベローズと、弁座リングを低圧ＥＧＲ流路を成す通路の全ての径方向へ変位可能に支持する３箇所以上の薄肉膨出部とを有するものである。
これにより、（ｉ）ベローズと３箇所以上の薄肉膨出部によって弁座リングが三次元の全方向へ変位可能に支持されることと、（ｉｉ）閉弁時に円板弁が弁座シート面（テーパ面）に着座することで生じる調芯作用とによって、弁本体をプレス成形品で設けることで生じた精度低下を吸収させることができる。
即ち、弁本体をプレス成形品で設けても、低圧ＥＧＲ閉弁時のシール漏れを防ぐことができる。
【００２２】
〔請求項５の手段〕
請求項５の手段の低圧ＥＧＲ装置における第１、第２ＥＧＲシャフトには、円板弁が低圧ＥＧＲ流路を開く際に弁座リングと接触し、この弁座リングを円板弁から離れる側に押圧して移動させるシャフトカム部が形成される。
これにより、第１、第２ＥＧＲシャフトが回動して、円板弁が低圧ＥＧＲ流路を開く際に、第１、第２ＥＧＲシャフトの回動に伴うシャフトカム部の作用によって、弁座リングが円板弁から離れる側へ移動して、弁座リングと円板弁の間に隙間が形成される。
このように、円板弁が低圧ＥＧＲ流路を開く際に、弁座リングと円板弁の間に隙間が形成されることにより、弁座リングと円板弁の接触摩耗を回避することができるとともに、弁座リングと円板弁の接触抵抗が抑えられるので、円板弁（第１、第２ＥＧＲシャフト）の回動に要するトルクを減らすことができ、電動アクチュエータを小型化することができる。
また、低圧ＥＧＲ開弁時に弁座リングと円板弁とが強制的に離されることで、円板弁が閉弁ロックする不具合を回避することができ、低圧ＥＧＲ装置の信頼性を高めることができる。
【００２３】
〔請求項６の手段〕
請求項６の手段の低圧ＥＧＲ装置における低圧ＥＧＲ流路の内部には、当該低圧ＥＧＲ流路の内部を通過するＥＧＲガスの濾過を行なうメッシュフィルタが配置される。
このメッシュフィルタにより、低圧ＥＧＲ流路の異物（デポジット等）が吸気通路に侵入する不具合を回避することができる。
また、メッシュフィルタの形状を、低圧ＥＧＲ流路の上流側あるいは下流側へ膨出するお碗形状に設けることにより、フィルタの濾過面積を増やすことができ、メッシュフィルタの圧力損失を抑えることができる。
【００２４】
〔請求項７の手段〕
請求項７の手段の低圧ＥＧＲ装置におけるメッシュフィルタは、ベローズの内側に挿入配置される筒状部を備える。
この筒状部の内側をＥＧＲガスが沿って流れることで、ベローズの蛇腹の凹凸で生じるガス流速の乱れを抑えることができる。
【００２５】
〔請求項８の手段〕
請求項８の手段の低圧ＥＧＲ装置において低圧ＥＧＲ調整弁および吸気絞り弁が設けられるハウジングは、低圧ＥＧＲ調整弁のＥＧＲガスの上流側において低圧ＥＧＲ流路を通過するＥＧＲガスの冷却を行なう低圧ＥＧＲクーラを備える。
これにより、低圧ＥＧＲクーラのＥＧＲガスの下流側の温度を下げることができ、低圧ＥＧＲクーラのＥＧＲガスの下流側に配置される部品を樹脂化することができる。
【００２６】
〔請求項９の手段〕
上記請求項８の手段によってハウジングに低圧ＥＧＲクーラを設けたことにより、ハウジングを樹脂化することができる。
そこで、この請求項９の手段では、ハウジングを樹脂材料によって設けている。
このように、ハウジングを樹脂材料で設けることにより、低圧ＥＧＲ調整弁および吸気絞り弁のシャフト（低圧ＥＧＲシャフトおよび絞り弁シャフト）を樹脂製のハウジングにより直接支持することができる。これにより、別途用いていた軸受（部品）を廃止することができ、コストを抑えることができる。
【００２７】
〔請求項１０の手段〕
請求項１０の手段の低圧ＥＧＲ装置において、ハウジングが金属材料によって設けられ、低圧ＥＧＲシャフトおよび絞り弁シャフトがハウジングに直接摺動支持される場合、それぞれの摺動箇所には、低圧ＥＧＲシャフトおよび絞り弁シャフトの摺動性を高める被膜がコーティングされている。
これにより、ハウジングを金属材料で設けても、別途用いていた軸受（部品）を廃止することができ、コストを抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】吸気絞り弁の全開時において吸気の流れ方向から見た吸気絞り弁および低圧ＥＧＲ調整弁を示すバルブ装置の概略断面図である（実施例１）。
【図２】低圧ＥＧＲ調整弁の開度変化に伴う弁座リング、リンク装置および吸気絞り弁の作動説明図である（実施例１）。
【図３】低圧ＥＧＲ調整弁の回転角度に応じたＥＧＲ量と、吸気流量との関係を示すグラフである（実施例１）。
【図４】弁座部品を吸気の流れ方向から見た正面図、および側面断面図である（実施例１）。
【図５】シャフトカム部のカム形状を示す断面図である（実施例１）。
【図６】低圧ＥＧＲ弁本体の外周縁の端部形状を示す断面図である（実施例１）。
【図７】エンジンの吸排気システムの概略説明図である（実施例１）。
【図８】高圧／低圧ＥＧＲ量制御プログラムにおけるＥＧＲ制御の説明図である（実施例１）。
【図９】メッシュフィルタの配置例を示すバルブ装置の概略断面図である（実施例２）。
【図１０】エンジンの吸排気システムの概略説明図である（従来例１）。
【図１１】エンジンの吸排気システムの概略説明図である（従来例２）。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
図面を参照して［発明を実施するための形態］を説明する。
○低圧ＥＧＲ装置１は、
エンジン２の排気ガスを吸気通路３の低吸気負圧発生範囲へ戻す低圧ＥＧＲ流路４と、  この低圧ＥＧＲ流路４の開度を調整することでＥＧＲガスの流量調整を行なう低圧ＥＧＲ調整弁５と、
吸気通路３を絞ることで低圧ＥＧＲ流路４のＥＧＲ流量を増加させる吸気絞り弁６と、  内部に吸気通路３を形成するとともに、この吸気通路３に対して直交方向に接続される低圧ＥＧＲ流路４を内部に形成するハウジング７と、
を備える。
【００３０】
〇低圧ＥＧＲ装置１は、（イ）低圧ＥＧＲ調整弁５と吸気絞り弁６の両方を１つの電動アクチュエータ８で駆動して、低圧ＥＧＲ調整弁５および吸気絞り弁６が設けられたバルブ装置の軽量、小型化、コスト低減を図るために、以下の構成を採用する。
低圧ＥＧＲ調整弁５および吸気絞り弁６を駆動するバルブ駆動手段は、低圧ＥＧＲ調整弁５を駆動する１つの電動アクチュエータ８と、低圧ＥＧＲ調整弁５に伝達された回動特性を変換して吸気絞り弁６を駆動するリンク装置９とを備える。
【００３１】
なお、低圧ＥＧＲ調整弁５は、低圧ＥＧＲ流路４の開閉および通路面積の可変を行なう低圧ＥＧＲ弁本体１０と、ハウジング７に対して回転自在に支持されて低圧ＥＧＲ弁本体１０を回動駆動する低圧ＥＧＲシャフト１１とを具備する。
また、吸気絞り弁６は、吸気通路３内で回動することで吸気通路３の通路面積の可変を行なう絞り弁本体１２と、ハウジング７に対して回転自在に支持されて絞り弁本体１２と一体に回動する絞り弁シャフト１３と、この絞り弁シャフト１３を介して絞り弁本体１２を全開側へ付勢する吸気絞り弁リターンスプリング１４とを備える。
【００３２】
〇低圧ＥＧＲ装置１は、（ロ）低圧ＥＧＲシャフト１１の軸中心線Ｆを吸気通路３に交差させて低圧ＥＧＲ調整弁５と吸気絞り弁６を接近配置し、吸気通路３と低圧ＥＧＲ流路４の接続通路内にリンク装置９を配置して、バルブ装置のさらなる小型化を図るために、以下の構成を採用する。
低圧ＥＧＲシャフト１１の軸中心線Ｆは、吸気通路３に交差するものであり、低圧ＥＧＲ弁本体１０と絞り弁本体１２が、吸気通路３に対する低圧ＥＧＲ流路４の接続部分において接近配置される。
そして、リンク装置９は、吸気通路３と低圧ＥＧＲ流路４の接続通路の内部に配置される。
【００３３】
〇低圧ＥＧＲ装置１は、（ハ）低圧ＥＧＲ調整弁５を吸気絞り弁６に接近配置させるために低圧ＥＧＲシャフト１１の軸中心線Ｆが吸気通路３に交差する構成であっても吸気量の低下を抑えるために、以下の構成を採用する。
低圧ＥＧＲシャフト１１は、電動アクチュエータ８より回動方向の駆動力が付与される第１ＥＧＲシャフト１５と、この第１ＥＧＲシャフト１５の軸中心線Ｆ上に配置される第２ＥＧＲシャフト１６とからなり、第１ＥＧＲシャフト１５と第２ＥＧＲシャフト１６とが吸気通路３の内部で離れた状態で配置される。
低圧ＥＧＲ弁本体１０は、円板形状を呈して低圧ＥＧＲ流路４を閉塞可能な円板弁１７と、この円板弁１７の外周側に設けられて円板弁１７と第１ＥＧＲシャフト１５を連結する第１弁支持部１８と、この第１弁支持部１８とは異なった側における円板弁１７の外周側に設けられて円板弁１７と第２ＥＧＲシャフト１６を連結する第２弁支持部１９とを備える。そして、低圧ＥＧＲ弁本体１０は、円板弁１７の板面に沿う方向から見て（図１参照）、円板弁１７、第１、第２弁支持部１８、１９の３者によって略コ字形状を呈するものである。
【実施例１】
【００３４】
次に、低圧ＥＧＲ装置１の具体的な一例を、図１〜図８を参照して説明する。なお、本実施例において、上記［発明を実施するための形態］と同一符号は、同一機能物を示すものである。
〔エンジン吸排気システムの概略説明〕
先ず、図７、図８を参照してエンジン２の吸排気システムを説明する。
この実施例に示すエンジン２は、車両駆動用のディーゼルエンジンであり、吸気を気筒内に導く吸気通路３と、気筒内で発生した排気ガスを大気中に排出する排気通路２０とを備える。
【００３５】
吸気通路３は、吸気管、インテークマニホールドおよび吸気ポートの各内部通路によって構成される。
吸気管は、外気の取入口からインテークマニホールドまで吸気通路３を形成する通路部材であり、その吸気管には、エンジン２に吸い込まれる吸気中に含まれる塵や埃を除去するエアクリーナ２１、吸気流量を測定するエアフロメータ２２、ターボチャージャのコンプレッサ２３（吸気羽根車）、このコンプレッサ２３によって圧縮されて高圧になり温度上昇した吸気を強制冷却するインタークーラ２４、気筒内に吸引される吸気流量の調整を行なうスロットルバルブ２５などが設けられている。
インテークマニホールドは、吸気管から供給される吸気をエンジン２の各気筒内に分配する分配管であり、その内部には流量センサの精度に悪影響を与える吸気脈動や吸気干渉を防ぐためのサージタンク２６が設けられている。
吸気ポートは、エンジン２のシリンダヘッドにおいて気筒毎に形成されて、インテークマニホールドにより分配された吸気を気筒内に導く。
【００３６】
排気通路２０は、排気ポート、エキゾーストマニホールドおよび排気管の各内部通路によって構成される。
排気ポートは、吸気ポートと同様、エンジン２のシリンダヘッドにおいて気筒毎に形成されて、気筒内で発生した排気ガスをエキゾーストマニホールドへ導く。
エキゾーストマニホールドは、各排気ポートから排出される排気ガスの集合管であり、エキゾーストマニホールドの排気出口と排気管との接合部には、ターボチャージャの排気タービン２７（排気羽根車）が配置されている。
排気管は、排気タービン２７を通過した排気ガスを大気に向けて放出する通路部材であり、その排気管には、排気ガス中に含まれるパティキュレートを捕集するＤＰＦ２８、このＤＰＦ２８の排気上流および排気下流の排気温度を検出する排気温度センサ２９、ＤＰＦ２８の排気上流および排気下流の圧力差を検出する差圧センサ等が設けられている。
【００３７】
上述した吸気ポートおよび排気ポートが形成されるシリンダヘッドには、各気筒毎に、吸気ポートの出口端（吸気ポートと気筒内との境界部）を開閉する吸気バルブと、排気ポートの入口端（気筒内と排気ポートとの境界部）を開閉する排気バルブとが設けられている。
エンジン２の各気筒は、吸入、圧縮、爆発、排気の各行程を順次繰り返すものである。そして、吸気の開始時（ピストンの下降に伴う気筒内容積の増加時）に吸気バルブが開かれ、吸気の終了時（ピストンの下降終了に伴う気筒内容積の増加終了時）に吸気バルブが閉じられる。このエンジン２の吸気作動により、吸気通路３には外気取入口からエンジン２の気筒内に向かう吸気の流れが生じる。
同様に、排気の開始時（ピストンの上昇に伴う気筒内容積の減少時）に排気バルブが開かれ、排気の終了時（ピストンの上昇終了に伴う気筒内容積の減少終了時）に排気バルブが閉じられる。このエンジン２の排気作動により、排気通路２０にはエンジン２の気筒内から大気放出部（排気出口）に向かう排気ガスの流れが生じる。
【００３８】
ここで、図７に示すエンジン２の吸排気システムには、高圧ＥＧＲ装置３１と、本発明が適用される低圧ＥＧＲ装置１とが設けられている。
高圧ＥＧＲ装置３１は、高排気圧範囲（ＤＰＦ２８の排気上流側で、高い排気圧が発生する範囲）の排気通路２０の内部と、高吸気負圧発生範囲（スロットルバルブ２５の吸気下流側で、高い吸気負圧が発生する範囲）の吸気通路３の内部とを接続して、多量のＥＧＲガスをエンジン２へ戻すことを得意とする排気ガス再循環装置であり、排気ガスの一部をＥＧＲガスとして吸気通路３の吸気下流側へ戻す高圧ＥＧＲ流路３２を備えている。具体的に、この実施例の高圧ＥＧＲ流路３２は、排気通路２０側がエキゾーストマニホールドに接続され、吸気通路３側がインテークマニホールドのサージタンク２６に接続されるものである。
【００３９】
高圧ＥＧＲ流路３２の途中には、高圧ＥＧＲ流路３２の開度を調整することでＥＧＲガスの流量調整を行なう高圧ＥＧＲ調整弁３３と、吸気側に戻されるＥＧＲガスの冷却を行なう高圧ＥＧＲクーラ３４と、吸気側に戻されるＥＧＲガスを高圧ＥＧＲクーラ３４から迂回させる高圧クーラバイパス３５と、高圧ＥＧＲクーラ３４と高圧クーラバイパス３５の切り替えを行なう高圧ＥＧＲクーラ切替弁３６とが設けられている。
なお、高圧ＥＧＲ調整弁３３、高圧ＥＧＲクーラ３４、高圧クーラバイパス３５および高圧ＥＧＲクーラ切替弁３６を、予め高圧ＥＧＲモジュールとして一体的に設けて車両に搭載することが望ましいが、限定されるものではない。
【００４０】
低圧ＥＧＲ装置１は、低排気圧範囲（ＤＰＦ２８の排気下流側で、低い排気圧が発生する範囲）の排気通路２０の内部と、低吸気負圧発生範囲（スロットルバルブ２５の吸気上流側で、低い吸気負圧が発生する範囲）の吸気通路３の内部とを接続して、少量のＥＧＲガスを高い精度でエンジン２に戻すことを得意とする排気ガス再循環装置であり、排気ガスの一部をＥＧＲガスとして吸気通路３の吸気上流側に戻す低圧ＥＧＲ流路４を備えている。具体的に、この実施例の低圧ＥＧＲ流路４は、排気通路２０側がＤＰＦ２８より排気下流側の排気管に接続されるものであり、吸気通路３側がターボチャージャのコンプレッサ２３より吸気上流側の吸気管に接続されるものである。
【００４１】
また、低圧ＥＧＲ装置１には、低圧ＥＧＲ流路４の開度を調整することでＥＧＲガスの流量調整を行なう低圧ＥＧＲ調整弁５と、吸気側に戻されるＥＧＲガスの冷却を行なう低圧ＥＧＲクーラ３７とが設けられている。
一方、吸気管における低圧ＥＧＲ流路４の接続部分より吸気上流側には、低圧ＥＧＲ流路４の接続部分に吸気負圧を発生させるための吸気絞り弁６（吸気負圧発生用バルブ）が設けられている。この吸気絞り弁６は、吸気通路３を最大に絞った状態であっても、吸気通路３の一部を開放するように設けられるものである。具体的には、吸気絞り弁６が吸気通路３を最大に絞った状態であっても、吸気通路３の例えば１０％ほどを開放するように設けられるものである｛図３（ａ）の破線Ｙの最小流量参照｝。
なお、この実施例１のように（図１参照）、低圧ＥＧＲ調整弁５、吸気絞り弁６、低圧ＥＧＲクーラ３７を、予め低圧ＥＧＲモジュールとして一体的に設けて車両に搭載することが望ましいが、限定されるものではない。
【００４２】
ここで、高圧ＥＧＲクーラ３４および低圧ＥＧＲクーラ３７は、エンジン２を循環冷却するエンジン冷却水と高温のＥＧＲガスとの熱交換を行なって高温のＥＧＲガスを冷却する水冷式ガス冷却器であり、エンジン冷却水とＥＧＲガスとの熱交換を行なう熱交換器を備えるものである。
【００４３】
次に、高圧ＥＧＲ装置３１および低圧ＥＧＲ装置１の制御を行なうＥＣＵ３８を説明する。
ＥＣＵ３８は、高圧ＥＧＲ装置３１における高圧ＥＧＲ調整弁３３と高圧ＥＧＲクーラ切替弁３６、および低圧ＥＧＲ装置１における低圧ＥＧＲ調整弁５と吸気絞り弁６の開度制御（切替制御を含む）を行なうものである。
ＥＣＵ３８は、制御処理、演算処理を行うＣＰＵ、各種プログラムおよびデータを保存する記憶装置（ＲＯＭやＲＡＭ等のメモリ）、入力回路、出力回路等の機能を含んで構成される周知構造のマイクロコンピュータを搭載するエンジン制御用の電子制御装置である。
【００４４】
ＥＣＵ３８は、記憶装置に格納された制御プログラムと、種々のセンサ信号（乗員の操作信号、各種検出センサ信号等）とに基づいて、エンジン２の運転制御（燃料噴射制御など）を行なうものであり、このＥＣＵ３８の記憶装置には、高圧ＥＧＲ装置３１および低圧ＥＧＲ装置１の運転制御を行なうＥＧＲ制御プログラムが搭載されている。
このＥＧＲ制御プログラムは、エンジン２の暖気状態（例えば、エンジン冷却水の温度）に基づいて高圧ＥＧＲクーラ切替弁３６の切り替えを行なう高圧ＥＧＲクーラ切替プログラムと、エンジン回転数とエンジン負荷（エンジントルク）に応じて高圧ＥＧＲ調整弁３３、低圧ＥＧＲ調整弁５および吸気絞り弁６の開度制御を行なう高圧／低圧ＥＧＲ量制御プログラムとを備えている。
【００４５】
高圧／低圧ＥＧＲ量制御プログラムの概略を、図８を参照して説明する。
高圧／低圧ＥＧＲ量制御プログラムは、
（ｉ）図８に示す破線α以下における運転領域（エンジン回転数とエンジントルクの関係によるエンジン運転領域）の時に、低圧ＥＧＲ装置１を停止させ、高圧ＥＧＲ装置３１の高圧ＥＧＲ調整弁３３の開度制御のみによってＥＧＲ制御を行ない（具体的には、低圧ＥＧＲ流路４を低圧ＥＧＲ調整弁５によって閉塞させ、高圧ＥＧＲ調整弁３３をエンジン回転数とエンジントルクの関係に応じた開度に制御する）、
（ｉｉ）図８に示す破線αと破線βの間の運転領域の時に、高圧ＥＧＲ装置３１の高圧ＥＧＲ調整弁３３の開度制御と、低圧ＥＧＲ装置１の低圧ＥＧＲ調整弁５および吸気絞り弁６の開度制御の両方によってＥＧＲ制御を行ない（具体的には、高圧ＥＧＲ調整弁３３をエンジン回転数とエンジントルクの関係に応じた開度に制御するとともに、低圧ＥＧＲ調整弁５および吸気絞り弁６をエンジン回転数とエンジントルクの関係に応じた開度に制御する）、
（ｉｉｉ）図８に示す破線β以上における運転領域の時に、高圧ＥＧＲ装置３１を停止させ、低圧ＥＧＲ装置１の低圧ＥＧＲ調整弁５および吸気絞り弁６の開度制御のみによってＥＧＲ制御を行なう（具体的には、高圧ＥＧＲ流路３２を高圧ＥＧＲ調整弁３３によって閉塞させ、低圧ＥＧＲ調整弁５および吸気絞り弁６をエンジン回転数とエンジントルクの関係に応じた開度に制御する）制御プログラムである。
【００４６】
〔実施例１の背景技術〕  
低圧ＥＧＲ装置１は、低排気圧範囲のＥＧＲガスを、低吸気負圧発生範囲に戻すものであるため、少量のＥＧＲガスを高い精度でエンジン２に戻すことを得意とする。しかるに、低圧ＥＧＲ装置１を用いて多量のＥＧＲガスをエンジン２へ戻したい運転領域が存在しても、低吸気負圧発生範囲にＥＧＲガスを戻す構造の低圧ＥＧＲ装置１では多量のＥＧＲガスをエンジン２へ戻すことが困難である。
そこで、低圧ＥＧＲ装置１は、ＥＧＲガスを戻す吸気通路３内に積極的に吸気負圧を発生させるための吸気絞り弁６を設け、低圧ＥＧＲ装置１において大きなＥＧＲ量を得たい運転領域では、吸気絞り弁６を閉じる方向（吸気負圧が発生する方向）に開度制御し、低圧ＥＧＲ装置１において多量のＥＧＲガスをコントロールすることを可能にしている。
【００４７】
しかし、吸気絞り弁６は、（ｉ）低圧ＥＧＲ装置１を用いて少量のＥＧＲガスをエンジン２へ戻す「低濃度制御状態」の時に、負圧を発生させないように最大開度（全開開度）で固定されて、低圧ＥＧＲ調整弁５のみを開度制御する必要があり、（ｉｉ）低圧ＥＧＲ装置１を用いて多量のＥＧＲガスをエンジン２へ戻す「高濃度制御状態」の時に、低圧ＥＧＲ調整弁５の開度を増加するとともに、負圧を増加させるべく吸気絞り弁６の開度を小さくする必要がある（図３参照）。
【００４８】
このように、「低濃度制御状態」では吸気絞り弁６が全開に固定されて低圧ＥＧＲ調整弁５のみが開度制御され、「高濃度制御状態」では低圧ＥＧＲ調整弁５の開度に対応して吸気絞り弁６の開度も変化するものであるため、従来技術では、低圧ＥＧＲ調整弁５を駆動するための専用のアクチュエータＪ１（符号は図１１参照）と、吸気絞り弁６を駆動するための専用のアクチュエータＪ２（符号は図１１参照）とが必要となり、コストアップ、体格アップ、重量アップの要因になっていた。
【００４９】
〔実施例１の特徴技術〕
そこで、この実施例１の低圧ＥＧＲ装置１は、
（イ）低圧ＥＧＲ調整弁５と吸気絞り弁６の両方を１つの電動アクチュエータ８で駆動して、低圧ＥＧＲ調整弁５と吸気絞り弁６を搭載するバルブ装置の軽量、小型化、コスト低減を図ることと、
（ロ）吸気通路３と低圧ＥＧＲ流路４の接続通路内にリンク装置９を配置することによって、低圧ＥＧＲ調整弁５と吸気絞り弁６を搭載するバルブ装置をさらに小型化することと、
（ハ）低圧ＥＧＲ調整弁５を吸気絞り弁６に接近配置させるために低圧ＥＧＲシャフト１１の軸中心線Ｆが吸気通路３に交差する構成であっても吸気量の低下を抑えることと、
を達成するために、以下の技術的手段を採用している。
【００５０】
（特徴技術１）
先ず、（イ）低圧ＥＧＲ調整弁５と吸気絞り弁６の両方を１つの電動アクチュエータ８で駆動して、低圧ＥＧＲ調整弁５と吸気絞り弁６を搭載するバルブ装置の軽量、小型化、コスト低減を図る技術を説明する。
低圧ＥＧＲ装置１は、低圧ＥＧＲ調整弁５と吸気絞り弁６を組付けるハウジング７を備えるものであり、このハウジング７は、吸気通路３を内部に形成するとともに、この吸気通路３に対して直交方向に接続する低圧ＥＧＲ流路４を内部に形成する。即ち、ハウジング７の内部には、略直線状に延びる吸気通路３と、その側方に接続される低圧ＥＧＲ流路４とが設けられるものであり、吸気通路３と低圧ＥＧＲ流路４によって略Ｔ字形の内部通路が形成されるものである。
そして、低圧ＥＧＲ装置１は、図７に示すように、低圧ＥＧＲ調整弁５を駆動する１つの電動アクチュエータ８と、この電動アクチュエータ８の出力特性を変換して吸気絞り弁６を駆動するリンク装置９とを備え、リンク装置９を介して伝達された電動アクチュエータ８の出力によって吸気絞り弁６を駆動する。
【００５１】
リンク装置９は、図２に示すように、電動アクチュエータ８の出力特性を変換して吸気絞り弁６へ伝達するカム形部４３ａ等を用いた特性変換部を備えるものであり、低圧ＥＧＲ調整弁５が所定開度より大きくなってから低圧ＥＧＲ調整弁５の開度アップに連動させて吸気絞り弁６の開度を小さくするように設けられている（図３参照）。なお、リンク装置９の詳細は後述する。
【００５２】
ここで、図３（ａ）の実線Ｘは低圧ＥＧＲ調整弁５の回転角度に対するＥＧＲ流量（Ｑ）の変化を示し、図３（ａ）の破線Ｙは低圧ＥＧＲ調整弁５の回転角度に対する吸気絞り弁６による吸気流量の変化を示すものである。
また、図２（ａ）は低圧ＥＧＲ調整弁５の回転角度が０°付近（低圧ＥＧＲ調整弁５が全閉位置）における作動状態を示し、図２（ｂ）は低圧ＥＧＲ調整弁５の回転角度が所定の切替開度Ｚ付近（吸気絞り弁６が絞りを開始する回動位置）における作動状態を示し、図２（ｃ）は低圧ＥＧＲ調整弁５の回転角度が９０°付近（低圧ＥＧＲ調整弁５が全開位置）における作動状態を示す。
即ち、図２（ａ）〜（ｂ）の開度状態が「低濃度制御状態」であり、図２（ｂ）〜（ｃ）の開度状態が「高濃度制御状態」である。
【００５３】
ここで、図１を参照して、低圧ＥＧＲ調整弁５、吸気絞り弁６および電動アクチュエータ８の概略構成を説明する。
低圧ＥＧＲ調整弁５は、回転変位によって低圧ＥＧＲ流路４の開閉および開度調整を行なう低圧ＥＧＲ弁本体１０（詳細は後述する）と、この低圧ＥＧＲ弁本体１０が固定されて低圧ＥＧＲ弁本体１０を回転自在に支持する低圧ＥＧＲシャフト１１（詳細は後述する）と、低圧ＥＧＲシャフト１１を介して低圧ＥＧＲ弁本体１０を全閉側（低圧ＥＧＲ流路４を閉じる側）へ付勢する低圧ＥＧＲリターンスプリングとを備える。なお、低圧ＥＧＲリターンスプリングは、電動アクチュエータ８に内蔵されるものである。
これにより、電動アクチュエータ８の通電停止時（無負荷時）に、低圧ＥＧＲリターンスプリングの作用により低圧ＥＧＲ流路４が閉塞される。
【００５４】
吸気絞り弁６は、回転変位によって吸気通路３の開度調整を行なう絞り弁本体１２と、この絞り弁本体１２が固定されて絞り弁本体１２を回転自在に支持する絞り弁シャフト１３と、絞り弁シャフト１３を介して絞り弁本体１２を全開側へ付勢する吸気絞り弁リターンスプリング１４とを備える。
これにより、リンク装置９を介して低圧ＥＧＲ調整弁５側より回動トルクが与えられていない時（無負荷時：低濃度制御状態）に、吸気絞り弁リターンスプリング１４の作用により吸気通路３が全開に開かれる。
【００５５】
低圧ＥＧＲシャフト１１と絞り弁シャフト１３は、図１に示すように、平行に伸びて配置されるものであり、吸気通路３の一部および低圧ＥＧＲ流路４の一部を成す金属製（例えば、アルミニウム製）のハウジング７（通路形成部材）にシールドタイプの軸受４１を介して回転自在に支持される。
軸受４１は、ボールベアリング、ローラベアリング等の転がりベアリング、あるいはメタルベアリング等の滑りベアリングであり、ハウジング７に形成されたベアリング収容筒の内部に圧入等の結合手段によって固定されて、内周に挿通されたシャフトを回転自在に支持する。なお、軸受４１には、内外の連通を防ぐシールドタイプが用いられるものである。
【００５６】
電動アクチュエータ８は、ハウジング７に固定されて、低圧ＥＧＲシャフト１１を回転駆動するものであり、通電により回転動力を発生する周知の電動モータを搭載している。なお、電動モータの一例として、通電による回転角度制御が可能なＤＣモータを用いたものである。
ここで、電動アクチュエータ８は、電動モータだけで設けられるもの（電動モータの出力軸により低圧ＥＧＲシャフト１１を直接駆動するもの）であっても良いし、電動モータと低圧ＥＧＲシャフト１１の間に減速機構（電動モータの回転出力を減速して、減速により増大化した回転トルクを低圧ＥＧＲシャフト１１に伝える例えば歯車減速機構）を介在するものであっても良い。
【００５７】
（特徴技術２）
次に、（ロ）吸気通路３と低圧ＥＧＲ流路４の接続通路内にリンク装置９を配置することによって、低圧ＥＧＲ調整弁５と吸気絞り弁６を搭載するバルブ装置をさらに小型化する技術を説明する。
絞り弁本体１２に低圧ＥＧＲ弁本体１０を接近配置する目的で、図１に示すように、低圧ＥＧＲシャフト１１の軸中心線Ｆを、吸気通路３に対して交差するように設けて、低圧ＥＧＲ弁本体１０と絞り弁本体１２を、吸気通路３と低圧ＥＧＲ流路４の接続部分において接近配置している。
そして、リンク装置９を、絞り弁本体１２と低圧ＥＧＲ弁本体１０の間に設けて、リンク装置９を、吸気通路３と低圧ＥＧＲ流路４の接続する通路内に配置している。
【００５８】
ここで、リンク装置９を説明する。
リンク装置９は、電動アクチュエータ８からハウジング７内の低圧ＥＧＲ調整弁５に与えられる出力特性（回転特性）を、特性変換部で変換して吸気絞り弁６を駆動するものであり、低圧ＥＧＲ調整弁５と一体に回転する駆動アーム４２と、吸気絞り弁６と一体に回転する従動カム４３とを備える。
駆動アーム４２は、低圧ＥＧＲ弁本体１０と一体（具体的には、後述する第１弁支持部１８と一体）に設けられている。この駆動アーム４２は、低圧ＥＧＲシャフト１１に対して垂直方向に延びて設けられ、先端部には従動カム４３に駆動トルクを付与する接触子が設けられている。なお、駆動アーム４２は、低圧ＥＧＲ調整弁５と一体に回動するものであれば良く、別体に設けられて低圧ＥＧＲシャフト１１や低圧ＥＧＲ弁本体１０に固定配置されるものであっても良い。具体的に、駆動アーム４２は、低圧ＥＧＲ弁本体１０に、樹脂モールドにより形成されるものであっても良い。
【００５９】
従動カム４３は、耐摩耗性に優れた材料（例えば、ナイロン系樹脂など）により成形された板部材であり、従動カム４３が絞り弁シャフト１３に対して直角に配置され、ネジやリベット等の結合手段４４によって絞り弁シャフト１３に固定されている。なお、従動カム４３は、吸気絞り弁６と一体に回動するものであれば良く、絞り弁本体１２と別体のものであっても、一体に設けられるものであっても良い。
【００６０】
リンク装置９において電動アクチュエータ８の出力特性を変換する特性変換部は、（ａ）駆動アーム４２の回動に対して、駆動アーム４２と従動カム４３の「非接触範囲」と「接触範囲」の切り替わりと、（ｂ）駆動アーム４２と従動カム４３の接触範囲において従動カム４３に形成されたカム形部４３ａと、駆動アーム４２における接触子との摺動軌跡とで設けられる。
【００６１】
具体的に、（ａ’）駆動アーム４２と従動カム４３の「非接触範囲」は、低圧ＥＧＲ調整弁５が低圧ＥＧＲ流路４を閉塞する開度から所定切替開度Ｚに至る開度範囲｛図３（ａ）の開度０°〜開度Ｚの角度範囲：低濃度制御状態｝である。
また、（ａ”）駆動アーム４２と従動カム４３の「接触範囲」は、低圧ＥＧＲ調整弁５が所定切替開度Ｚから最大開度に至る開度範囲｛図３（ａ）の開度Ｚ〜開度９０°の角度範囲：高濃度制御状態｝である。
【００６２】
なお、駆動アーム４２あるいは従動カム４３の「形状」、「取付位置」、「取付角度」などを変更することで、「非接触範囲」と「接触範囲」との切り替わり開度を変更することができる。そして、この切り替わり開度を変更することにより、低圧ＥＧＲ調整弁５の開度に対する吸気絞り弁６の吸気開始の開度（低濃度制御状態と高濃度制御状態との切替開度）を変更することができる｛例えば、図３（ｂ）の一点鎖線Ｚ’および破線Ｚ”参照｝。
【００６３】
一方、駆動アーム４２と従動カム４３の「接触範囲（高濃度制御状態）」では、上述したように、従動カム４３に形成されたカム形部４３ａと駆動アーム４２における接触子との摺動軌跡によって、電動アクチュエータ８の出力特性が変換されて、吸気絞り弁６に伝達される。
なお、従動カム４３のカム形部４３ａのカム形状（カムプロフィール）を変更することで、低圧ＥＧＲ調整弁５の開度に対する吸気絞り弁６の開度特性を変更することができる｛例えば、図３（ｂ）の一点鎖線Ｙ’および破線Ｙ”参照｝。
【００６４】
（特徴技術３）
次に、（ハ）低圧ＥＧＲ調整弁５を吸気絞り弁６に接近配置させるために低圧ＥＧＲシャフト１１の軸中心線Ｆが吸気通路３に交差する構成であっても吸気量の低下を抑える技術を説明する。なお、以下では、図１の図示上側を上、図示下側を下と称して説明するが、この上下は実施例の説明のための方向であり、限定されるものではない。
絞り弁本体１２に低圧ＥＧＲ弁本体１０を接近配置する目的で、低圧ＥＧＲシャフト１１を吸気通路３に対して交差させると、低圧ＥＧＲシャフト１１が吸気通路３に挿入配置されることで低圧ＥＧＲシャフト１１が吸気通路３で抵抗となる。このため、吸気絞り弁６が全開であっても、吸気通路３内に挿入された低圧ＥＧＲシャフト１１によって吸気量が低下する不具合が生じてしまう。
【００６５】
そこで、この実施例１では、吸気量の低下を防ぐ手段として、以下に示す技術を採用している。
軸中心線Ｆが吸気通路３内に交差する低圧ＥＧＲシャフト１１は、電動アクチュエータ８より駆動力が付与される第１ＥＧＲシャフト１５と、この第１ＥＧＲシャフト１５と同芯上に配置される第２ＥＧＲシャフト１６とからなり、図１に示すように、第１ＥＧＲシャフト１５と第２ＥＧＲシャフト１６とが吸気通路３の内部で離れた状態で配置されるものである。
【００６６】
第１ＥＧＲシャフト１５は、耐熱性、耐腐食性に優れた部材（例えば、ステンレス鋼）よりなる円柱棒状を呈し、ハウジング７の上側において上下方向に延びて配置されるものであり、ハウジング７に取り付けられた軸受４１によって回転自在に支持されるものである。この第１ＥＧＲシャフト１５の下端には、低圧ＥＧＲ弁本体１０の上部（具体的には、後述する第１弁支持部１８）と一体に回転するように接続するための連結手段として、一段細くなった第１二面幅が設けられている（図２参照）。
【００６７】
第２ＥＧＲシャフト１６も、第１ＥＧＲシャフト１５と同様、耐熱性、耐腐食性に優れた部材（例えば、ステンレス鋼）よりなる円柱棒状を呈するものであり、ハウジング７の下側において上下方向に延びて配置され、ハウジング７に取り付けられた軸受４１によって回転自在に支持されるものである。この第２ＥＧＲシャフト１６の上端にも、低圧ＥＧＲ弁本体１０の下部（具体的には、後述する第２弁支持部１９）と一体に回転するように接続するための連結手段として、一段細くなった第２二面幅が設けられている。
なお、第１、第２ＥＧＲシャフト１５、１６に設けられるシャフトカム部５５については後述する。
【００６８】
低圧ＥＧＲ弁本体１０は、第１、第２ＥＧＲシャフト１５、１６の間に設けられるものであって、低圧ＥＧＲ流路４を開閉可能な円板弁１７と、この円板弁１７の上部において第１ＥＧＲシャフト１５の下端に連結される第１弁支持部１８と、円板弁１７の下部において第２ＥＧＲシャフト１６の上端に連結される第２弁支持部１９とからなり、図１に示すように円板弁１７の板面に沿う方向から見て、円板弁１７、第１、第２弁支持部１８、１９の３者によって略コ字形状を成すものである。
【００６９】
円板弁１７は、厚み寸法の小さい円板体であり、図１に示すように低圧ＥＧＲ流路４に対して垂直に配置されることで、低圧ＥＧＲ流路４を閉塞するものである。
第１弁支持部１８は、円板弁１７の端部に連続して円板弁１７と一体に設けられた厚み寸法の小さい板材であり、第１弁支持部１８の板面が円板弁１７に対して垂直方向に延びるように設けられている。この第１弁支持部１８は、第１ＥＧＲシャフト１５の下端と一体に回転するように連結されるものであり、第１弁支持部１８には、第１ＥＧＲシャフト１５の下端と一体に回転する連結手段として、第１ＥＧＲシャフト１５の下端に形成された第１二面幅と嵌合する略長丸の第１貫通穴が形成されている（図２参照）。
【００７０】
第２弁支持部１９は、第１弁支持部１８とは異なった側における円板弁１７の端部において、円板弁１７と連続して円板弁１７と一体に設けられた厚み寸法の小さい板材であり、第２弁支持部１９の板面が第１弁支持部１８と対向し、且つ第２弁支持部１９の板面が円板弁１７に対して垂直に延びるように設けられている。この第２弁支持部１９は、第２ＥＧＲシャフト１６の上端と一体に回転するように連結されるものであり、第２弁支持部１９には、第２ＥＧＲシャフト１６の上端と一体に回転する連結手段として、第２ＥＧＲシャフト１６の上端に形成された第２二面幅と嵌合する略長丸の第２貫通穴が形成されている。
【００７１】
なお、第１二面幅と第１貫通穴、および第２二面幅と第２貫通穴は、低圧ＥＧＲ調整弁５の組付け時において、圧入嵌合（あるいはルーズ嵌合）の後、溶接されて固定されるものである。
【００７２】
（特徴技術３の効果）
この実施例１では、上記技術を採用することにより、低圧ＥＧＲシャフト１１が吸気通路３を塞ぐ不具合を回避することができ、吸気絞り弁６の全開側において、吸気通路３における吸気量の低下を抑えることができる。
また、低圧ＥＧＲ調整弁５の全開側（全開を含む）においても、（ｉ）低圧ＥＧＲ流路４の流れ方向から見て低圧ＥＧＲシャフト１１が低圧ＥＧＲ流路４の内部に存在しないため、低圧ＥＧＲ流路４の開口面積を低圧ＥＧＲシャフト１１が塞ぐ割合を減らすことができるとともに、（ｉｉ）低圧ＥＧＲ弁本体１０をＥＧＲガスの流れ方向から見て略コ字形状に設け、且つ低圧ＥＧＲ弁本体１０において略コ字形状を成す円板弁１７、第１、第２弁支持部１８、１９の板厚を薄く設けたことで低圧ＥＧＲ流路４の開口面積を低圧ＥＧＲ弁本体１０が塞ぐ割合を極めて小さく減らすことができる。これにより、低圧ＥＧＲ調整弁５の全開側における低圧ＥＧＲ流路４内の流路抵抗を極めて小さくすることができ、低圧ＥＧＲ全開側における低圧ＥＧＲ調整弁５の圧力損失を極めて小さくすることができる。
【００７３】
〔実施例１の効果〕
この実施例１の低圧ＥＧＲ装置１は、上記の構成を採用することにより、
（イ）低圧ＥＧＲ調整弁５と吸気絞り弁６の両方を１つの電動アクチュエータ８で駆動して軽量、小型化、コスト低減を図る効果と、
（ロ）吸気通路３と低圧ＥＧＲ流路４の接続通路内にリンク装置９を配置することによって小型化を達成する効果と、
（ハ）低圧ＥＧＲ調整弁５を吸気絞り弁６に接近配置させるために低圧ＥＧＲシャフト１１の軸中心線Ｆが吸気通路３に交差する構成であっても吸気量の低下を抑える効果と、
（ニ）低圧ＥＧＲ調整弁５を低圧損化することができ、低圧ＥＧＲ全開側でＥＧＲガスを大量に流すことができる。あるいは、低圧ＥＧＲ全開側でＥＧＲガスを大量に流すことができるため、低圧ＥＧＲ調整弁５を小型化することができる。
【００７４】
〔実施例１における他の特徴技術１〕
この実施例１の低圧ＥＧＲ弁本体１０は、薄板金属（例えば、ステンレス薄板）をプレス加工（打ち抜きと曲折加工）によって略コ字形状の円板弁１７、第１、第２弁支持部１８、１９の３者を一体に設けたものであり、低圧ＥＧＲ弁本体１０は金属板のプレス成形品によって設けられる。
このように、低圧ＥＧＲ弁本体１０を構成する円板弁１７、第１、第２弁支持部１８、１９を金属板のプレス成形品によって設けることで、低圧ＥＧＲ弁本体１０を極めて薄くすることができ、低圧ＥＧＲ全開側の圧力損失を極めて小さくすることができる。
また、低圧ＥＧＲ弁本体１０をプレス成形品で設けることで、低圧ＥＧＲ弁本体１０のコストを低く抑えることができ、結果的に低圧ＥＧＲ調整弁５のコストを抑えることができる。
【００７５】
〔実施例１における他の特徴技術２〕
この実施例１の低圧ＥＧＲ調整弁５は、その閉弁時（低圧ＥＧＲ弁本体１０が低圧ＥＧＲ流路４を閉塞する際）に円板弁１７の外周部に当接してＥＧＲガスの漏れを防ぐ弁座リング５１（シールリング）を有した弁座部品５２を備えている。
弁座リング５１において円板弁１７が当接する弁座シート面（バルブ着座面）は、図１に示すように、円板弁１７が配置される方向（ＥＧＲガス流の下流方向）に向かって直線的に拡径するテーパ面に設けられている。
【００７６】
一方、弁座部品５２には、（ｉ）図１に示すように、弁座リング５１をＥＧＲガスの流れ方向へ変位可能に支持するベローズ５３が設けられるとともに、（ｉｉ）図４に示すように、弁座リング５１を低圧ＥＧＲ流路４の全ての径方向へ変位可能に支持する３つの薄肉膨出部５４が設けられる。
【００７７】
これにより、（ｉ）ベローズ５３と、３つの薄肉膨出部５４によって弁座リング５１が全三次元方向（三次元を示すＸ軸Ｙ軸Ｚ軸の全方向）へ変位可能に支持されるとともに、（ｉｉ）閉弁時に円板弁１７が弁座リング５１の弁座シート面（テーパ面）に着座することで生じる調芯作用によって、低圧ＥＧＲ弁本体１０をプレス成形品で設けることで生じた精度低下を吸収させることができる。
即ち、低圧ＥＧＲ弁本体１０をプレス成形品で設けても、閉弁時に低圧ＥＧＲ調整弁５においてＥＧＲガスが漏れる不具合を回避することができ、信頼性を高めることができる。
【００７８】
〔実施例１における他の特徴技術３〕
この実施例１における第１、第２ＥＧＲシャフト１５、１６には、図２および図５に示すように、円板弁１７が低圧ＥＧＲ流路４を開く際に弁座リング５１と接触して、この弁座リング５１を円板弁１７から離れる側に押圧して移動させるシャフトカム部５５が形成されている。
このシャフトカム部５５は、弁座リング５１に対向する部位の第１、第２ＥＧＲシャフト１５、１６に設けられる。具体的に、シャフトカム部５５は、低圧ＥＧＲ弁本体１０が低圧ＥＧＲ流路４を少量開く開度から所定の開度に至る範囲において弁座リング５１をＥＧＲガスの上流側へ移動させるものであり、低圧ＥＧＲ弁本体１０の開度と、弁座リング５１がＥＧＲガスの上流側に押されて移動する移動距離との関係は、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、シャフトカム部５５の形状（カムプロフィール）によって決定されるものである。
【００７９】
このように、第１、第２ＥＧＲシャフト１５、１６にシャフトカム部５５を設けることにより、第１、第２ＥＧＲシャフト１５、１６が回動して、円板弁１７が低圧ＥＧＲ流路４を開く際に、シャフトカム部５５の作用によって、弁座リング５１が円板弁１７から離れる側へ移動することで（図２参照）、弁座リング５１と円板弁１７の間に隙間が形成される。
このように、円板弁１７が低圧ＥＧＲ流路４を開く際に、弁座リング５１と円板弁１７の間に隙間が形成されることにより、円板弁１７と弁座リング５１の接触摩耗を回避することができるとともに、円板弁１７と弁座リング５１の接触抵抗が抑えられることで、円板弁１７を駆動するために第１ＥＧＲシャフト１５の回動に要するトルクを減らすことができ、電動アクチュエータ８を小型化することができる。
また、開弁時に弁座リング５１と円板弁１７とが強制的に離されることで、低圧ＥＧＲ弁本体１０が閉弁ロックする不具合を回避することができ、低圧ＥＧＲ調整弁５の信頼性を高めることができる。
【００８０】
〔実施例１における他の特徴技術４〕
ベローズ５３は、円板弁１７よりＥＧＲガス流の上流側に配置され、弁座リング５１と一体に設けられた蛇腹形状のフレキシブル配管である。
このベローズ５３のＥＧＲガス流の上流側には、ハウジング７内に存在する低圧ＥＧＲ流路４の内壁に形成された段差（ＥＧＲガス流の上流側に向かって拡径する部位の段差）に係合する環状係合部が設けられており、この環状係合部が段差に着座することで、低圧ＥＧＲ流路４と弁座部品５２との間の隙間がシールされる。
【００８１】
〔実施例１における他の特徴技術５〕
弁座リング５１の外周側に略等間隔に配置された３箇所の薄肉膨出部５４は、図４（ａ）に示すように、径方向へ円弧状に膨らむ膨出部の内側をナイフ型で打ち抜き、厚み（径方向の厚みと、流体流れ方向の厚みの両方）を薄く設けることでバネ性を持たせたものである。そして、弁座リング５１を低圧ＥＧＲ流路４内における所定の組付位置に挿入配置することで、３箇所の薄肉膨出部５４が低圧ＥＧＲ流路４の内壁によって内側へ少し弾性変形した状態で組付けられるものであり、この薄肉膨出部５４によるバネ作用によって弁座リング５１が低圧ＥＧＲ流路４の全ての径方向へ変位可能に支持される。
このように、低圧ＥＧＲ流路４の内壁の内側において３つの薄肉膨出部５４を介して弁座リング５１が支持される構造であるため、弁座リング５１の耐振動性を向上させることができ、振動による開弁（閉弁時におけるＥＧＲガスの漏れ）を防ぐことができる。
【００８２】
〔実施例１における他の特徴技術６〕
この実施例１の弁座部品５２は、表面が円滑な樹脂材料｛例えばテフロン（登録商標）や、耐熱性に優れたナイロン樹脂等｝によって一部品で設けられている。即ち、３つの薄肉膨出部５４を含む弁座リング５１や、環状係合部を含むベローズ５３が、１つの樹脂材料により一体に設けられている。
このように、表面が円滑な樹脂材料によって弁座部品５２が設けられることにより、低圧ＥＧＲ弁本体１０と弁座リング５１との接触抵抗を下げることができるとともに、シャフトカム部５５と弁座リング５１との接触抵抗を下げることができ、電動アクチュエータ８を小型化することができる。
【００８３】
また、弁座リング５１の弁座シート面にデポジットが付着する不具合が抑えられる。これにより、デポジットの付着による低圧ＥＧＲ弁本体１０の回動抵抗の増加や低圧ＥＧＲ弁本体１０の閉弁固着が抑えられることになり、電動アクチュエータ８を小型化することができる。
あるいは、弁座シート面への水滴の付着が防がれるため、付着した水滴が凍結して起きる低圧ＥＧＲ弁本体１０の回動抵抗の増加が抑えられることになり、電動アクチュエータ８を小型化することができる。
【００８４】
〔実施例１における他の特徴技術７〕
この実施例１の円板弁１７は、低圧ＥＧＲ閉弁時において弁座リング５１に当接する弁側当接部（弁座シート面に着座する部分）が、球面形状に設けられている。
これにより、円板弁１７が弁座リング５１に接触して回動する範囲（閉弁状態から開弁側に僅かに開いた回動範囲）において円板弁１７の駆動トルクを小さくでき、電動アクチュエータ８を小型化することができる。
また、低圧ＥＧＲ閉弁時における円板弁１７と弁座リング５１の接触面積が大きくなり、円板弁１７と弁座シート面の接触摩耗を抑えることができる。
【００８５】
〔実施例１における他の特徴技術８〕
この実施例１の円板弁１７は、図６に示すように、弁側当接部よりさらに外周に存在する外周先端１７ａが、全周に亘ってナイフエッジ形状（ナイフの刃のように尖った形状）に設けられている。このナイフエッジ形状は、円板弁１７をプレス形成する際に、プレス加工によって同時に加圧形成され、塑性変形して設けられたものである。
このように、円板弁１７の外周先端１７ａがナイフエッジ形状に設けられることにより、ＥＧＲ開弁時において、円板弁１７がＥＧＲガスの流れから受ける影響を小さくすることができる。これによって、電動アクチュエータ８を小型化することができる。
【００８６】
〔実施例１における他の特徴技術９〕
この実施例１の低圧ＥＧＲ流路４の内部には、図１に示すように、低圧ＥＧＲ流路４の内部を通過するＥＧＲガスの濾過を行なうメッシュフィルタ５６（ステンレス網等よりなる濾材）が配置されている。
このメッシュフィルタ５６を設けたことにより、低圧ＥＧＲ流路４の異物（デポジット等）が吸気通路３に侵入する不具合を回避することができる。
また、メッシュフィルタ５６の形状を、低圧ＥＧＲ流路４の下流側へ膨出するお碗形状に設けている。このように設けることにより、フィルタの濾過面積を増やすことができ、メッシュフィルタ５６による圧力損失を抑えることができる。
【００８７】
〔実施例１における他の特徴技術１０〕
実施例１のハウジング７は、図１に示すように、低圧ＥＧＲ調整弁５のＥＧＲガスの上流側に低圧ＥＧＲクーラ３７を内蔵している。
このように、ハウジング７に低圧ＥＧＲクーラ３７を設けることで、ハウジング７の温度を下げることができるとともに、低圧ＥＧＲクーラ３７を通過したＥＧＲガスの温度が下がり、低圧ＥＧＲクーラ３７のＥＧＲガスの下流側に配置される部品を樹脂化することができる。
【００８８】
なお、図１における符号５７は、低圧ＥＧＲクーラ３７へＥＧＲガスを供給する低圧ＥＧＲパイプ（低圧ＥＧＲ流路４の一部）である。
また、ハウジング７と低圧ＥＧＲパイプ５７の間に挟まれた符号５８は、低圧ＥＧＲクーラ３７の固定を行なうとともに、ＥＧＲガスの漏れを防ぐシール用のシートであり、ベローズ５３のＥＧＲ上流側の端部（環状係合部）とメッシュフィルタ５６の外周縁は、低圧ＥＧＲ流路４の内壁に形成された段差と低圧ＥＧＲクーラ３７に挟まれて固定されるものである。
さらに、図１における符号５９は、低圧ＥＧＲクーラ３７へ冷却水（エンジン冷却水）を導く冷却水配管である。
【実施例２】
【００８９】
図９を参照して実施例２を説明する。
〔実施例２の特徴技術１〕
実施例２のメッシュフィルタ５６は、ベローズ５３の内側に挿入配置される筒状部５６ａを備える。この筒状部５６ａは、お碗形状を成すメッシュ部と一体の網材で設けられており、ベローズ５３の内径寸法より僅かに小径の円筒に設けられている。
このように、ベローズ５３の内側にメッシュフィルタ５６における筒状部５６ａを挿入配置することで、筒状部５６ａの内側をＥＧＲガスが沿って流れ、ベローズ５３の蛇腹の凹凸で生じるガス流速の乱れを抑えることができ、ガス流速の乱れによるＥＧＲ量の低下を防ぐことができる。
なお、メッシュフィルタ５６においてお碗形状を成すメッシュ部は、低圧ＥＧＲ流路４の上流側へ膨出して、低圧ＥＧＲ弁本体１０がメッシュフィルタ５６に干渉しないように設けられている。
【００９０】
〔実施例２の特徴技術２〕
実施例２のハウジング７は、実施例１と同様、低圧ＥＧＲ調整弁５のＥＧＲガスの上流側に低圧ＥＧＲクーラ３７を内蔵している。これにより、ハウジング７の温度が下がるため、この実施例２は、ハウジング７を樹脂材料によって設けている。
具体的に、この実施例２のハウジング７は、耐熱性に優れ、且つ耐摩耗性に優れた樹脂材料（例えば、ナイロン系樹脂など）により成形されている。
このように、ハウジング７を樹脂材料で設けることにより、低圧ＥＧＲ調整弁５および吸気絞り弁６のシャフト（低圧ＥＧＲシャフト１１および絞り弁シャフト１３）を樹脂製のハウジング７により直接摺動自在に支持することができる。これにより、実施例１にて用いていた軸受４１を廃止することができ、コストを抑えることができる。
【００９１】
なお、この実施例２では、ハウジング７を樹脂材料で設けることで、実施例１にて用いていた軸受４１を廃止しているが、ハウジング７をアルミニウムなどの金属材料で設ける場合であっても、低圧ＥＧＲシャフト１１および絞り弁シャフト１３をハウジング７によって直接摺動支持させても良い。
このように、金属製のハウジング７によって低圧ＥＧＲシャフト１１および絞り弁シャフト１３を直接摺動支持する場合には、それぞれの摺動箇所に、低圧ＥＧＲシャフト１１および絞り弁シャフト１３の摺動性を高める被膜をコーティング（被覆）することが望ましい。
【産業上の利用可能性】
【００９２】
上記の実施例では、リンク装置９の一例として駆動アーム４２と従動カム４３を組み合わせて用いる例を示したが、カム溝が形成されたカムプレートを用いるなど、他のリンク構成を採用しても良い。
【符号の説明】
【００９３】
１  低圧ＥＧＲ装置
２  エンジン
３  吸気通路
４  低圧ＥＧＲ流路
５  低圧ＥＧＲ調整弁
６  吸気絞り弁
７  ハウジング
８  電動アクチュエータ
９  リンク装置
１０  低圧ＥＧＲ弁本体
１１  低圧ＥＧＲシャフト
１２  絞り弁本体
１３  絞り弁シャフト
１４  吸気絞り弁リターンスプリング
１５  第１ＥＧＲシャフト
１６  第２ＥＧＲシャフト
１７  円板弁
１８  第１弁支持部
１９  第２弁支持部
２０  排気通路
３７  低圧ＥＧＲクーラ
４２  駆動アーム
４３  従動カム
４３ａ  カム形部
５１  弁座リング
５２  弁座部品
５３  ベローズ
５４  薄肉膨出部
５５  シャフトカム部
５６  メッシュフィルタ
５６ａ  筒状部
Ｆ  低圧ＥＧＲシャフトの軸中心線
【図１】
2011043143.tif 000003
【図２】
2011043143.tif 000004
【図３】
2011043143.tif 000005
【図４】
2011043143.tif 000006
【図５】
2011043143.tif 000007
【図６】
2011043143.tif 000008
【図７】
2011043143.tif 000009
【図８】
2011043143.tif 000010
【図９】
2011043143.tif 000011
【図１０】
2011043143.tif 000012
【図１１】
2011043143.tif 000013