(57)【要約】【課題】太陽電池基板の裏面が鏡面でも凹凸面でも検出が可能な太陽電池基板検出装置を提供する。【解決手段】基板検出器４１は発光部４２と受光部４３をパッケージ化したもので、発光部４２は太陽電池基板１に対して１０〜４５度傾斜している。太陽電池基板１の反射面が鏡面の場合、発光部４２から出射された光はトレイ３１上に搭載された太陽電池基板１に開口部３２を介して照射され、その反射光は、トレイ３１の開口部３２の側面において反射されて受光部４３に入射される。また、太陽電池基板１の反射面が凹凸面の場合、図４に図示されるように、反射面からの散乱光が、直接、受光部４３に入射される。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理を行う太陽電池基板をロードロック室に移送するローダまたは処理済の太陽電池基板をアンローダに移送するロードロック室に設けられた太陽電池基板検出装置であって、
複数の太陽電池基板が搭載される太陽電池基板搭載面を有し、かつ、前記複数の太陽電池基板の載置箇所に設けられた複数の開口部を有するトレイと、
前記各開口部に対応して設けられ、前記トレイの太陽電池基板搭載面に対して光軸が傾斜して設けられた発光部と、この発光部と一体的に設けられた受光部とを有する基板検出器と、を具備し、
前記基板検出器の前記発光部で発光され、前記太陽電池基板の一面で反射された正反射光が前記トレイの側面で反射されて前記受光部に入射される戻り光、または、前記太陽電池基板の一面で散乱し、直接、前記受光部に入射される戻り光の光量に基づいて前記太陽電池基板の有無を検出するように前記基板検出器を前記トレイの下側に配置したことを特徴とする太陽電池基板検出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の太陽電池基板検出装置において、前記発光部の光軸は前記太陽電池基板搭載面に対して１０度〜４５度傾斜していることを特徴とする太陽電池基板検出装置。
【請求項３】
請求項１または２のいずれか１項に記載の太陽電池基板検出装置において、前記トレイは厚さが１０〜２０ｍｍの平板状部材であることを特徴とする太陽電池基板検出装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の太陽電池基板検出装置において、前記トレイの前記各開口部の側面は粗面とされていることを特徴とする太陽電池基板検出装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の太陽電池基板検出装置において、前記トレイの太陽電池搭載面に反射防止膜が形成される太陽電池基板または反射防止膜が形成された太陽電池基板が搭載されることを特徴とする太陽電池基板検出装置。
【請求項６】
開口部が形成され、太陽電池基板が搭載される太陽電池基板搭載面を有するトレイと、前記開口部に対応して設けられ、前記トレイの太陽電池基板搭載面に対して光軸が傾斜して設けられた発光部および前記発光部と一体的に設けられた受光部を有する基板検出器とが設けられたローダに、太陽電池基板を前記開口部に対応して搭載する工程と、
前記ローダに設けられた前記トレイの太陽電池搭載面に搭載された前記太陽電池基板の有無を前記基板検出器により検出する工程と、
前記基板検出器で太陽電池基板有と判断された場合は、吸着器により太陽電池基板を吸着してロードロック室に移送する工程と、
を備え、前記基板検出器による太陽電池基板有無の判断は、前記基板検出器の前記発光部で発光され、前記太陽電池基板の一面で反射された正反射光が前記トレイの側面で反射されて前記受光部に入射される戻り光、または、前記太陽電池基板の一面で散乱し、直接、前記受光部に入射される戻り光の光量に基づいて行うことを特徴とする太陽電池基板の検出方法。
【請求項７】
請求項６に記載の太陽電池基板の検出方法において、前記吸着器により太陽電池基板を吸着してロードロック室に移送する工程は、前記吸着器を下降し、前記太陽電池基板を吸着して上昇する工程と、前記吸着器を上昇する工程の後、前記太陽電池基板の有無を検出する工程を含むことを特徴とする太陽電池基板の検出方法。
【請求項８】
開口部が形成され、太陽電池基板が搭載される太陽電池基板搭載面を有するトレイと、前記開口部に対応して設けられ、前記トレイの太陽電池基板搭載面に対して光軸が傾斜して設けられた発光部および前記発光部と一体的に設けられた受光部を有する基板検出器とが設けられたロードロック室に、処理室において処理された太陽電池基板を移送し、前記太陽電池基板を前記太陽電池基板搭載面の前記トレイの開口部に対応する位置に搭載する工程と、
前記ロードロック室に設けられた前記トレイの太陽電池搭載面に搭載された太陽電池基板の有無を前記基板検出器で検出する工程と、
前記基板検出器で太陽電池基板有と判断された場合は、吸着器により太陽電池基板を吸着してアンローダに搬送する工程と、
を備え、前記基板検出器による太陽電池基板有無の判断は、前記基板検出器の前記発光部で発光され、前記太陽電池基板の一面で反射された正反射光が前記トレイの側面で反射されて前記受光部に入射される戻り光、または、前記太陽電池基板の一面で散乱し、直接、前記受光部に入射される戻り光の光量に基づいて行うことを特徴とする太陽電池基板の検出方法。
【請求項９】
請求項８に記載の太陽電池基板の検出方法において、前記吸着器により太陽電池基板を吸着してアンローダに移送する工程は、前記吸着器を下降し、前記太陽電池基板を吸着して上昇する工程と、前記吸着器を上昇する工程の後、前記太陽電池基板の有無を検出する工程を含むことを特徴とする太陽電池基板の検出方法。
【請求項１０】
請求項６乃至９にいずれか１項に記載の太陽電池基板の検出方法において、前記トレイは複数の開口部を有し、前記太陽電池搭載部上に前記複数の開口部全てに対応する複数の太陽電池基板が搭載され、前記基板検出器は前記太陽電池搭載部上に搭載される全ての前記太陽電池基板に対応して設けられており、前記基板検出器の全てから基板検出信号が送出された場合に前記基板検出器で太陽電池基板有と判断することを特徴とする太陽電池基板の検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、太陽電池基板検出装置および太陽電池基板の検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池を形成するには、単結晶シリコン基板、多結晶シリコン基板等の太陽電池基板の一面にｐ型拡散層およびｎ型拡散層を形成して光起電力を発生するｐｎ接合部を構成し、この上面に反射防止膜を形成する。反射防止膜は、通常、窒化シリコン膜からなり、入射光線のうち特定波長の光を効率よく閉じ込めるための光学膜厚から形成される。窒化シリコン膜に含有されるＨ2は半導体基板のダングリングボンドを終結し欠陥密度を小さくするので光照射によって生成された電子と正孔のライフタイムを長くする。
上記のような反射防止膜を成膜するために、吸着器により太陽電池基板を吸着してローダからロードロック室へ、またはロードロック室からアンローダに太陽電池基板を移送する工程が必要とされている。
【０００３】
この場合、太陽電池基板を移送する際、吸着器による移送が間違いなく行われたか否かを検出する必要がある。
一般的に、基板の有無を検出する方法として、トレイ上に基板を搭載し、投光器により基板に対して傾斜した方向からレーザ光を照射し、基板によって反射された反射光を投光器とは反対側に配置した受光器により受光し、受光器の受光量に基づいて基板の有無を検出する検出装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平８−２１８１６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
基板の反射部を境に投光器と受光器を反対側に配置する検出装置であるので、検出装置の設置に広いスペースが必要とされ、多数の基板の有無を同時に検出する装置に適用することができない。
また、太陽電池基板には、表面が鏡面となっている単結晶シリコン基板と、表面が粗く、照射光を散乱する多結晶シリコン基板とがあり、どちらのシリコン基板に対しても適用可能な太陽電池基板検出装置が必要とされている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の太陽電池基板検出装置は、処理を行う太陽電池基板をロードロック室に移送するローダまたは処理済の太陽電池基板をアンローダに移送するロードロック室に設けられた太陽電池基板検出装置であって、複数の太陽電池基板が搭載される太陽電池基板搭載面を有し、かつ、複数の太陽電池基板の載置箇所に設けられた複数の開口部を有するトレイと、各開口部に対応して設けられ、トレイの太陽電池基板搭載面に対して光軸が傾斜して設けられた発光部と、この発光部と一体的に設けられた受光部とを有する基板検出器と、を具備し、基板検出器の発光部で発光され、太陽電池基板の一面で反射された正反射光がトレイの側面で反射されて受光部に入射される戻り光、または、太陽電池基板の一面で散乱し、直接、受光部に入射される戻り光の光量に基づいて太陽電池基板の有無を検出するように基板検出器を前記トレイの下側に配置したことを特徴とする。
【０００７】
本発明の太陽電池基板の検出方法は、開口部が形成され、太陽電池基板が搭載される太陽電池基板搭載面を有するトレイと、開口部に対応して設けられ、トレイの太陽電池基板搭載面に対して光軸が傾斜して設けられた発光部および発光部と一体的に設けられた受光部を有する基板検出器とが設けられたローダに、太陽電池基板を前記開口部に対応して搭載する工程と、ローダに設けられたトレイの太陽電池搭載面に搭載された太陽電池基板の有無を基板検出器により検出する工程と、基板検出器で太陽電池基板有と判断された場合は、吸着器により太陽電池基板を吸着してロードロック室に移送する工程と、を備え、基板検出器による太陽電池基板有無の判断は、基板検出器の発光部で発光され、太陽電池基板の一面で反射された正反射光がトレイの側面で反射されて受光部に入射される戻り光、または、太陽電池基板の一面で散乱し、直接、受光部に入射される戻り光の光量に基づいて行うことを特徴とする。
また、本発明の太陽電池基板の検出方法は、開口部が形成され、太陽電池基板が搭載される太陽電池基板搭載面を有するトレイと、開口部に対応して設けられ、トレイの太陽電池基板搭載面に対して光軸が傾斜して設けられた発光部および発光部と一体的に設けられた受光部を有する基板検出器とが設けられたロードロック室に、処理室において処理された太陽電池基板を移送し、太陽電池基板を太陽電池基板搭載面のトレイの開口部に対応する位置に搭載する工程と、ロードロック室に設けられたトレイの太陽電池搭載面に搭載された太陽電池基板の有無を基板検出器で検出する工程と、基板検出器で太陽電池基板有と判断された場合は、吸着器により太陽電池基板を吸着してアンローダに搬送する工程と、を備え、基板検出器による太陽電池基板有無の判断は、基板検出器の発光部で発光され、太陽電池基板の一面で反射された正反射光がトレイの側面で反射されて受光部に入射される戻り光、または、太陽電池基板の一面で散乱し、直接、受光部に入射される戻り光の光量に基づいて行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
この発明によれば、発光部と受光部が基板に対して同一側に位置しているので、設置スペースを小さくすることができる。また、正反射光および散乱光のいずれでも受光することができるので、鏡面または散乱面のいずれの反射面を有するシリコン基板に対しても、その有無を検出することが可能である
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】この発明の太陽電池基板検出装置の一実施形態を示す平面図である。
【図２】図１に示された太陽電池基板検出装置の要部の断面図である。
【図３】太陽電池基板の反射面が鏡面である場合の太陽電池基板検出装置の受光を説明するための図である。
【図４】太陽電池基板の反射面が散乱面である場合の太陽電池基板検出装置の受光を説明するための図である。
【図５】この発明の太陽電池基板の検出方法を示すフローチャートである。
【図６】太陽電池基板の反射面が鏡面である場合に、太陽電池基板を上昇した状態における反射光の光路を説明するための図。
【図７】太陽電池基板の反射面が凹凸面である場合に、太陽電池基板を上昇した状態における戻り光の光路を説明するための図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１は、本発明の太陽電池基板検出装置を有する太陽電池の反射防止膜製造装置（反射防止膜製造装置）１０の平面図である。
反射防止膜製造装置１０は、ローダ１１、ロードロック室１２、処理室１３およびアンローダ１４を備えたインライン式プラズマＣＶＤ装置の構造を有する。
ローダ１１は、図示しないが、ロボットにより搬送された太陽電池基板１をロードロック室１２に移送する。ロボットにより搬送される太陽電池基板１は、単結晶シリコンまたは多結晶シリコンからなり、その主面に光の照射により起電力を発生するｐｎ接合部が形成されている。ロードロック室１２は、真空ポンプ（図示せず）により真空に排気され、ローダ１１から移送された太陽電池基板１を別のロボット（図示せず）により処理室１３に搬送する。
【００１１】
処理室１３では、窒化シリコンからなる太陽電池反射防止膜を形成する。処理室１３は、図示はしないが、内部に高周波電極、対向電極、シーズヒータ等を有する。また、処理室１３には、原料ガスが導入される原料ガス導入管、反応活性用のプロセスガスが導入されるプロセスガス導入管、ＲＦ電源、真空ポンプ等が接続されている。真空ポンプにより真空に排気された処理室１３内に、プロセスガス導入管よりＮ2ガス、Ｏ2ガス、ＳｉＨ3等のプロセスガスを導入し、太陽電池基板１を２８０℃以上に加熱し、プラズマを発生し、原料ガス導入管よりＳｉＨ4ガスを導入して太陽電池基板１の主面に窒化シリコン膜が形成される。窒化シリコン膜はＨ2を含有し、このＨ2がシリコン基板の主面のダングリングボンドに結合するため、欠陥密度を小さくし発光寿命を長くする効果を有する。
【００１２】
処理室１３で反射防止膜が形成された太陽電池基板１は、ロボットにより、再度、ロードロック室１２に搬送される。反射防止膜が形成された太陽電池基板１は、アンローダ１４に移送される。アンローダ１４では、ロードロック室１２から移送された太陽電池基板１をロボット（図示せず）によりストッカ（図示せず）に収納する。
ローダ１１およびロードロック室１２には、太陽電池基板検出装置が設けられている。但し、後述するがロードロック室１２では移送装置は室外に設けられている。以下、太陽電池基板検出装置について説明する。なお、図１において、１６は仕切弁である。
【００１３】
図２は、本発明の太陽電池検出装置の一例を示す。太陽電池検出装置２０は、吸着移送機構２１、トレイ３１および基板検出器４１を備えている。
吸着移送機構２１は、多数の吸着器２２と、各吸着器２２を連結し、且つ、各吸着器２２に圧縮気体を供給する連結管２３を備える。また、吸着移送機構２１は、図示はしないが、シリンダまたはモータ等により多数の吸着器２２と共に連結管２３をロードロック室１２に移動する移送機構部を備える。
各吸着器２２は、ベルヌーイ効果を利用した構造を有し、連結管２３から供給された圧縮気体を、周辺部に形成された渦巻状の流路から放出することにより中央部に負圧を生じさせ、太陽電池基板１を非接触で吸着する。このような吸着器についての詳細は、特開２００８−２８８５２１号公報、特開平７−８８７９２号公報に開示されている。
【００１４】
トレイ３１は、多数の太陽電池基板１を搭載する太陽電池基板搭載面３１ａを有する。トレイ３１は、例えば、厚さ１０〜２０ｍｍのアルミニウム板等により形成されており、図１に図示されるように、マトリクス状に配列された多数の開口部３２を有する。各開口部３２の側面３２ａには粗面加工が施されており、その表面粗さは太陽電池基板搭載面３１ａまたは裏面３１ｂと同一もしくはそれよりも粗面となっている。限定する意味ではないが、側面３２ａの表面粗さを例示すれば、Ｒａ≧１０μｍである。その理由については後述する。太陽電池基板１は、例えば、１辺が、１００〜２００ｍｍ程度の矩形形状を有し、それぞれ、その中心を開口部３２の中心に位置を合わせて、開口部３２を塞ぐように太陽電池基板搭載面３１ａ上に搭載される。
【００１５】
基板検出器４１は、トレイ３１に形成された各開口部３２の下方に設けられる。各基板検出器４１は、ＬＥＤ素子が内蔵された発光部４２と、光電変換素子が内蔵された受光部４３とを一体的にパッケージして形成されている。
【００１６】
図３および図４は、それぞれ、太陽電池基板１が単結晶シリコン基板および多結晶シリコン基板である場合において、基板検出器４１により太陽電池基板３１の有無を検出する方法を説明するための図である。
各基板検出器４１は、太陽電池基板１からの距離が５０ｍｍ〜３００ｍｍ程度の位置に設けられる。発光部４２は、その光軸が反射面に対して角度θ＝１０度〜４５度傾斜して設けられている。発光部４２のＬＥＤ素子からは赤色が発光される。太陽電池基板１は単結晶シリコン基板の場合、ｐｎ接合部が形成された主面と反対側の裏面は１ａは鏡面である。太陽電池基板１の反射面が鏡面の場合、ＬＥＤ素子から出射された光は鏡面で正反射され、反射した光がトレイ３１の開口部３２の側面３２ａで反射されて受光部４３に入射する。従って、太陽電池基板１が単結晶シリコン基板の場合においては、受光部４３に入射される戻り光は、正反射光が主体である。ここで、正反射とは、反射光が反射の法則に従い、入射光の入射角に等しい角度で表面から反射していく光として定義される。
【００１７】
上記において、トレイ３１の開口部３２の側面３２ａは粗面となっている。側面３２ａを鏡面とした場合は、正反射光が大きくなりすぎ、この結果、散乱光が小さくなりすぎる。このため、太陽電池検出器４１の僅かな取り付けのずれによっても、受光部４３での受光量が急激に低下して、太陽電池基板１の有無の検出に支障が生じる。従って、開口部３２の側面３２ａにおける反射は、正反射光のみでなく散乱光も含まれるようにする方が望ましい。
【００１８】
図４は太陽電池基板１が多結晶シリコン基板である場合の検出方法を説明するための図である。太陽電池基板１が多結晶シリコン基板である場合、ｐｎ接合部が形成された主面と反対側の裏面は１ａは凹凸面である。このため、多結晶シリコン基板の裏面１ａでの反射光は散乱光となり、直接、受光部４３に入射される範囲の戻り光が反射光量となる。ここでは、正反射光は、殆ど受光部４３に入射されない。すなわち、太陽電池基板１が多結晶シリコン基板である場合には、戻り光の光量は実質的に太陽電池基板１の反射面で散乱される散乱光の強度によって決定される。
【００１９】
次に、図５を参照して、本発明の太陽電池基板検出装置２０による太陽電池基板の検出方法を含め、反射防止膜製造装置１０による太陽電池の反射防止膜の形成方法を説明する。
先ず、太陽電池反射防止膜が形成されていない太陽電池基板１が収納されたカセットから、ロボットにより太陽電池基板１を取り出し、ローダ１１に移送する（ステップＳ１）。ローダ１１には、開口部３２がマトリクス状に配列されたトレイ３１が設けられており、各太陽電池基板１は、１枚毎に各開口部３２を塞ぐようにトレイ３１の太陽電池基板搭載面３１ａ上に搭載される。
【００２０】
ローダ１１に設けられた太陽電池基板検出装置２０の基板検出器４１には、常時、電源電圧が印加されており、発光部４２に内蔵されたＬＥＤ素子から赤色の光が、水平面に対する傾斜角θ＝１０度〜４５度の角度で出射されている。
ステップＳ２では、基板検出器４１の受光部４３に予め設定した閾値以上の戻り光があるか否かを判断する。
図３および図４に関して説明した通り、基板検出器４１は、太陽電池基板１が単結晶シリコン基板の場合でも、多結晶シリコン基板の場合でも、トレイ３１上に搭載された太陽電池基板１の反射面で反射された戻り光を検出することが可能な傾斜角θで設けられている。
このため、全ての開口部３２に対応する太陽電池基板搭載面３１ａ上に太陽電池基板１が搭載されると、全ての基板検出器４１から検出信号が送出される。基板検出器４１からの検出信号の数が、基板検出器４１の数よりも少ない場合はステップＳ３の処理として、例えば、警告を行う。同時に、太陽電池検出装置２０を停止してもよい。全ての基板検出器４１から検出信号が送出された場合は、ステップＳ４の処理を行う。
【００２１】
ステップＳ４では、吸着移送機構２１を駆動して各吸着器２２が太陽電池基板１に対応する位置に移動し、各吸着器２２を下降して各吸着器２２に太陽電池基板１を吸着する。吸着移送機構２１により各吸着器２２が所定の位置に下降し所定の時間が経過すると太陽電池基板１の吸着が完了することになり、ステップＳ５が終了する。
ステップＳ５が終了すると、吸着移送機構２１を駆動して全ての吸着器２２を上昇し、吸着器２２と共に、吸着器２２に吸着された太陽電池基板１をロードロック室１２に移送する（ステップＳ６）。
【００２２】
次に、ステップＳ７の処理として、基板検出器４１により太陽電池基板１で反射した戻り光の有無が判断される。
図６および図７は、太陽電池基板１を吸着器２２に吸着した状態で吸着器２２を上昇した場合における反射光の光路を説明するための図であり、図６は太陽電池基板１が単結晶シリコン基板の場合であり、図７は太陽電池基板１が多結晶シリコン基板の場合である。
太陽電池基板１が単結晶シリコン基板の場合には、太陽電池基板１の反射面である裏面１ａは鏡面であるから、正反射が主体である。正反射光ＬRは入射光と同じ角度で反射される、すなわち、図６に図示するように、基板検出器４１から遠ざかる方向に反射される。従って、受光部４３に入射される光はなく基板検出器４１から太陽電池基板１の検出信号は送出されない。
【００２３】
一方、太陽電池基板１が多結晶シリコン基板である場合には、図７に図示されるように、太陽電池基板１の裏面１ａにおいて、正反射光ＬR’と散乱光LSとして反射される。正反射光ＬR’は基板検出器４１から遠ざかる方向に反射され、受光部４３に入射されることはない。しかし、散乱光LSの一部は受光部４３に入力される。但し、図４に図示される場合と比較して図７における散乱光LSの光量は、太陽電池基板１が上昇している分だけ小さくなる。この場合、基板検出器４１の受光部４３に、予め設定した閾値以上の戻り光があるか否かを判断するので、太陽電池基板１が載置されていると誤検出することはない。
従って、太陽電池基板１を上昇した後であれば、太陽電池基板１の有無を判断することが容易である。
【００２４】
ステップＳ７において基板検出器４１の１つからでも検出信号が検出されると、すなわち、戻り光有と判断されると、太陽電池基板１の移送が正常に行われなかったとして、ステップＳ８において警告がなされる。また、基板検出器４１の全てについて太陽電池検出信号が検出されない場合は、吸着器２２による全ての太陽電池基板１の吸着および上昇が正常に行われたとしてステップＳ９の処理を行う。
ステップＳ９では、図示しない搬送機構により太陽電池基板１をロードロック室１２から処理室１３に搬送する。そして、処理室１３において、太陽電池基板１の主面に反射防止膜を形成する。反射防止膜は、真空ポンプにより真空に排気された処理室１３内にプロセスガス導入管よりＮ2ガス、Ｏ2ガス、ＳｉＨ3等のプロセスガスを導入し、太陽電池基板１を２８０℃以上に加熱し、プラズマを発生し、原料ガス導入管よりＳｉＨ4ガスを導入して形成される。このプロセスにより太陽電池基板１の主面に窒化シリコン膜が形成され、成膜が完了する（ステップＳ１０）と、ステップＳ１１において、搬送機構により太陽電池基板１を処理室１３からロードロック室１２に戻す。
【００２５】
ロードロック室１２に戻された太陽電池基板１はアンローダ１４に移送されるが、この際にも、太陽電池検出装置２０を動作する。
ロードロック室１２内にはトレイ３１’（図１参照）が設けられている。トレイ３１’は、カーボンで形成されている点を除けば、ローダ１１に設けられたトレイ３１と同一であり、マトリクス状に配列された開口部３２を有する。また、図２に図示されるように、トレイ３１’の下方にはトレイ３１’の各開口部３２に対応して発光部４２および受光部４３が一体化された基板検出器４１が配列されている。トレイ３１’の開口部３２の側面も例えば、表面粗さＲａ≧１０μｍの粗面となっている。また、ロードロック室１２の室外には、ローダ１１に設けられた太陽電池検出装置２０と同様に吸着移送機構２１が設けられている。
【００２６】
ステップＳ１１において、処理室１３からロードロック室１２に戻される太陽電池基板１は、トレイ３１’の各開口部３２を覆うように配列される。そして、ステップＳ１２において、太陽電池基板１の有無が判断される。このステップＳ１２は、ステップＳ２と同様に行われるものであり、全ての基板検出器４１から検出信号が送出されればステップＳ１４の処理を行い、基板検出器４１からの検出信号の数が、基板検出器４１の数よりも少ない場合はステップＳ１３に記載されたように警告を行う。
【００２７】
ステップＳ１４では、吸着移送機構２１を駆動して各吸着器２２を太陽電池基板１に対応する位置に移動し、各吸着器２２を下降して各吸着器２２に反射防止膜が形成された太陽電池基板１を吸着する。吸着移送機構２１により各吸着器２２が所定の位置に下降し所定の時間が経過すると太陽電池基板１の吸着が完了することになり、ステップＳ１５が終了る。
ステップＳ１５が終了すると、吸着移送機構２１を駆動して全ての吸着器２２を上昇し、吸着器２２と共に、吸着器２２に吸着された太陽電池基板１をアンローダ１４に移送し（ステップＳ１６）、次にステップＳ１７の処理を行う。
【００２８】
ステップＳ１７は、ステップＳ７と同様に行われるものであり、基板検出器４１の１つからでも検出信号が検出されると、すなわち、戻り光有と判断されると、太陽電池基板１の移送が正常に行われなかったとして、ステップＳ１８において警告がなされる。また、基板検出器４１の全てについて太陽電池検出信号が検出されない場合は、吸着器２２による全ての太陽電池基板１の吸着および上昇が正常に行われたとしてステップＳ１９の処理を行う。ステップＳ１９では図示しない搬送機構により太陽電池基板１をアンローダ１４からストッカ（図示せず）に搬送する。太陽電池基板１をアンローダ１４からストッカに搬送した後は、ステップ１の処理に戻り、反射防止膜を形成する次の太陽電池基板１をローダ１１に設けられたトレイ３１上に配列する。以下、ステップ１〜ステップ１９を繰り返す。
【００２９】
上述した本発明の太陽電池基板検出装置によれば、太陽電池基板１に対して発光部に一体的に設けられた受光部を有する基板検出器を配列するので、換言すれば、反射部に対し発光部と受光部が同一側に配置されるので、基板検出器を設置するスペースを小さくすることができる。
ここで、基板検出器を太陽電池基板の直下に配列する方式を採用する場合には下記に示す不具合が発生する。
（１）発光部４２から出射され、吸着移送機構４１に照射された光の散乱光が迷光として受光部に入力され、太陽電池基板１の検出を不正確にする、
（２）トレイ３１の開口部３２を介して太陽電池基板１などから異物が落下し基板検出器４１に付着するので、太陽電池基板１の検出を不正確にする、
（３）通常、基板検出器４１の保証温度は５０〜６０℃程度であるが、トレイ３１（３１’）上に配列される太陽電池基板１は４５０℃程度の温度になっているので、太陽電池基板１からの熱輻射により基板検出器４１が保証温度以上の高温となってしまう。
【００３０】
これに対し、本発明の太陽電池基板検出装置では、（１）太陽電池基板１に対して基板検出器４１を傾斜して配置するので、吸着移送機構４１からの散乱光が受光部４２に入射されることはなく、（２）基板検出器４１がトレイ３１の開口部３２直下から外れた位置に配列されるので、太陽電池基板１などから落下する異物が基板検出器４１に付着することはなく、（３）基板検出器４１がトレイ３１の開口部３２直下から外れた位置に配列されるので、太陽電池基板１からの熱輻射による基板検出器４１の温度上昇を小さくすることが可能となる、という利点を得ることができる。
【００３１】
そして、上記のような利点を有するものでありながら、太陽電池基板１の反射面で反射された正反射光をトレイ３１の開口部３２の側面で、再度、反射して受光部４３に取り込み、また、太陽電池基板１の反射面で散乱された散乱光の一部を、直接、受光部４３に取り込むことができる。従って、太陽電池基板１が単結晶シリコン基板の場合でも、多結晶シリコン基板の場合でも、太陽電池基板の有無の検出を正確に行うことができる。この場合、トレイ３１の開口部３２の側面は粗面とされているので、正反射光のみでなく散乱光を合わせた戻り光を受光部４３に取り込むことができる。このため、太陽電池基板１の有無の検出を正確にすることが可能であり、かつ、基板検出器４１の位置や傾斜角の公差を大きくすることができる。
【００３２】
太陽電池には、アモルファスシリコンを用いたものもあるが、上述した如く、本発明の太陽電池基板検出装置は、反射面が鏡面の場合でも、凹凸面の場合でも正確に検出することができるものであるので、表面の粗さが単結晶シリコンと多結晶シリコンの中間であるアモルファスシリコン基板に対しても適用することができる。
【００３３】
なお、上記実施形態において、吸着器２２は、ベルヌーイ効果を利用した機構を有するものとして説明したが、これに限られるものではなく、基板接触型の吸着器を用いるようにしてもよい。
トレイ１に形成される開口部３２は、矩形形状としたが、円形、あるいは楕円形でもよい。また、開口部３２のサイズは、全体が太陽電池基板１の外形より小さいものに限らず、長方形状の長辺部を太陽電池基板１の一辺部より大きいサイズとする等、一部が搭載される太陽電池基板１の外方に突き出すサイズとしてもよい。
その他、本発明の太陽電池基板検出装置は、発明の趣旨の範囲内において、種々、変形して構成することが可能であり、要は、処理を行う太陽電池基板をロードロック室に移送するローダまたは処理済の太陽電池基板をアンローダに移送するロードロック室に設けられた太陽電池基板検出装置であって、複数の太陽電池基板が搭載される太陽電池基板搭載面を有し、かつ、複数の太陽電池基板の載置箇所に設けられた複数の開口部を有するトレイと、各開口部に対応して設けられ、トレイの太陽電池基板搭載面に対して光軸が傾斜して設けられた発光部と、この発光部と一体的に設けられた受光部とを有する基板検出器と、を具備し、基板検出器の発光部で発光され、太陽電池基板の一面で反射された正反射光がトレイの側面で反射されて受光部に入射される戻り光、または、太陽電池基板の一面で散乱し、直接、受光部に入射される戻り光の光量に基づいて太陽電池基板の有無を検出するように基板検出器を前記トレイの下側に配置したものであればよい。
【００３４】
本発明の太陽電池基板の検出方法は、開口部が形成され、太陽電池基板が搭載される太陽電池基板搭載面を有するトレイと、開口部に対応して設けられ、トレイの太陽電池基板搭載面に対して光軸が傾斜して設けられた発光部および発光部と一体的に設けられた受光部を有する基板検出器とが設けられたローダに、太陽電池基板を前記開口部に対応して搭載する工程と、ローダに設けられたトレイの太陽電池搭載面に搭載された太陽電池基板の有無を基板検出器により検出する工程と、基板検出器で太陽電池基板有と判断された場合は、吸着器により太陽電池基板を吸着してロードロック室に移送する工程と、を備え、基板検出器による太陽電池基板有無の判断は、基板検出器の発光部で発光され、太陽電池基板の一面で反射された正反射光がトレイの側面で反射されて受光部に入射される戻り光、または、太陽電池基板の一面で散乱し、直接、受光部に入射される戻り光の光量に基づいて行うものであればよい。
また、本発明の太陽電池基板の検出方法は、開口部が形成され、太陽電池基板が搭載される太陽電池基板搭載面を有するトレイと、開口部に対応して設けられ、トレイの太陽電池基板搭載面に対して光軸が傾斜して設けられた発光部および発光部と一体的に設けられた受光部を有する基板検出器とが設けられたロードロック室に、処理室において処理された太陽電池基板を移送し、太陽電池基板を太陽電池基板搭載面のトレイの開口部に対応する位置に搭載する工程と、ロードロック室に設けられたトレイの太陽電池搭載面に搭載された太陽電池基板の有無を基板検出器で検出する工程と、基板検出器で太陽電池基板有と判断された場合は、吸着器により太陽電池基板を吸着してアンローダに搬送する工程と、を備え、基板検出器による太陽電池基板有無の判断は、基板検出器の発光部で発光され、太陽電池基板の一面で反射された正反射光がトレイの側面で反射されて受光部に入射される戻り光、または、太陽電池基板の一面で散乱し、直接、受光部に入射される戻り光の光量に基づいて行うものであればよい。
【符号の説明】
【００３５】
１    太陽電池基板
１０  反射防止膜製造装置
１１  ローダ
１２  ロードロック室
１３  処理室
１４  アンローダ
２０  太陽電池検出装置
２１  吸着移送機構
２２  吸着器
３１  トレイ
３２  開口部
４１  基板検出器
４２  発光部
４３  受光部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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