【事件の表示】
　上記当事者間の特許第５８１５８２６号発明「粒子分光計のための分析装置」の特許無効審判事件について、次のとおり審決する。
【結　論】
　特許第５８１５８２６号の明細書及び特許請求の範囲を訂正請求書に添付された訂正明細書及び訂正特許請求の範囲のとおり訂正することを認める。
　特許第５８１５８２６号の請求項〔１〜５、７、８〕、〔９〜１６、１８〕に係る発明についての本件審判の請求は、成り立たない。
　特許第５８１５８２６号の請求項６、１７についての本件審判請求を却下する。
　審判費用は、請求人の負担とする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本件特許は、ヴィゲー・シエンタ・アーベーにより出願された、２０１２年３月６日を国際出願日とする出願である特願２０１４−５６０８８８号の一部を、平成２６年１０月７日に新たな出願とした特願２０１４−２０６１８５号に係り、平成２７年７月２日付けの手続補正によって補正された願書に添付された明細書、特許請求の範囲及び図面の内容について、特許第５８１５８２６号として平成２７年１０月２日に設定登録されたものである。（ヴィゲー・シエンタ・アーベーは、特許権設定登録後に、シエンタ・オミクロン・アーベー（以下「被請求人」という。）に表示変更登録された。）
　本件特許無効審判事件は、請求人　エム・ベー・サイエンティフィック・アクチボラゲット（以下「請求人」という。）が、「特許第５８１５８２６号の特許請求の範囲の請求項１から１８に記載された発明に係る特許を無効とする。審判費用は被請求人の負担とする、との審決を求める。」として、平成２８年３月３１日に請求したものであって、当該審判請求後の手続は以下のとおりである。 
平成２８年　８月１２日　審判事件答弁書、訂正請求書
平成２８年１０月１４日　審判事件弁駁書
平成２９年　１月１０日　被請求人　口頭審理陳述要領書
平成２９年　１月１２日　請求人　　口頭審理陳述要領書
平成２９年　１月２４日　口頭審理
第２　平成２８年８月１２日付け訂正請求について
　平成２８年８月１２日付け訂正請求（以下「本件訂正請求」という。）の適否について、以下に検討する。
１　本件訂正請求の内容
　本件訂正請求は、本件特許の願書に添付した明細書、特許請求の範囲（以下、これらと図面を併せて、「本件特許明細書等」という。）について、訂正請求書に添付した訂正明細書、訂正特許請求の範囲のとおりに訂正することを求めるものであって、その内容は以下のとおりである。（下線は、被請求人が付したものであり、訂正箇所である。）
　
（１）訂正事項１
　請求項１について、訂正前の、
「前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回、前記粒子ビームを偏向させるステップ」
を、
「前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回
目の
の偏向を行う
に訂正する。
（２）訂正事項２
　請求項１について、訂正前の、
「ステップを特徴とする方法」
を、
「ステップ
と、
　
前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の所定の部分（Ａ、Ｂ）が前記測定領域（３）の前記入口（８）を通過するように、前記粒子ビームの前記偏向を制御するステップと、をさらに備えること
に訂正する。
（３）訂正事項３
　請求項６を削除する。
（４）訂正事項４
　請求項７について、訂正前の、
「請求項６に記載の方法」
を
「請求項
１〜５の何れか一項
に訂正する。 
（５）訂正事項５
　請求項８について、訂正前の
「請求項１〜７の何れか一項に記載の方法」
を、
「請求項
１〜５、７
に訂正する。
（６）訂正事項６
　特許明細書の段落【００１９】について、訂正前の、
「さらに、その方法は、粒子ビームが測定領域に入射する前に、少なくとも同じ第１座標方向に少なくとも二回、粒子ビームを偏向させるステップを備える。」
を
「さらに、その方法は、粒子ビームが測定領域に入射する前に、少なくとも同じ第１座標方向に少なくとも二回
目の
の偏向を行う
に訂正する。
（７）訂正事項７
　請求項９について、訂正前の、
「前記粒子ビームが前記測定領域（３）に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回前記粒子ビームを偏向させるための少なくとも第２の偏向器（３３Ａ’／３３Ｃ’、３３Ｂ’／３３Ｄ’）」
を、
「前記粒子ビームが前記測定領域（３）に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回
目の
の偏向を行う
に訂正する。
（８）訂正事項８
　請求項９に、
「
前記光電子分光計は、前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の所定の部分（Ａ、Ｂ）が前記測定領域（３）の前記入口（８）を通過するように、前記偏向装置（３１）が前記粒子ビームを偏向させるように操作可能な制御ユニット（３５）をさらに備える
を追加する。
（９）訂正事項９
　請求項１７を削除する。
（１０）訂正事項１０
　請求項１８について、訂正前の、
「請求項１７に記載の方法」
を
「請求項
９〜１６の何れか一項に
に訂正する。 
（１１）訂正事項１１
　特許明細書の段落【００３１】について、訂正前の、
「粒子ビームが測定領域に入射する前に、少なくとも同じ第１座標方向に少なくとも二回粒子ビームを偏向させるように操作可能な少なくとも第２の偏向器と、を備える偏向装置をさらに含む。」
を
「粒子ビームが測定領域に入射する前に、少なくとも同じ第１座標方向に少なくとも二回
目の
の偏向を行う
に訂正する。
２　本件訂正請求の訂正の目的、新規事項の有無及び拡張・変更の存否
（１）訂正事項１について
ア　訂正の目的
　訂正前の請求項１の「少なくとも二回、前記粒子ビームを偏向させる」との記載は、願書に添付した外国語特許請求の範囲の請求項１の「deflecting the particle beam ... at least a seccond time ...」との記載を誤訳したものであるところ、「少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行う」と訂正するものである。
　したがって、訂正事項１は、特許法第１３４の２第１項ただし書き第２号に規定される誤訳の訂正を目的とするものである。
イ　新規事項の有無
　上記「ア」で検討したとおりであるから、訂正事項１は、外国語書面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　したがって、訂正事項１は、特許法第１３４の２第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
ウ　拡張・変更の存否
　訂正前の請求項１の「少なくとも二回、前記粒子ビームを偏向させる」との記載は、本件特許明細書等の全記載を参照すれば、「少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行う」の誤記であることは、当業者であれば、容易に把握し得ることであるから、訂正事項１が、特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでないことは明らかである。
　したがって、訂正事項１は、特許法第１３４の２第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合するものである。
（２）訂正事項２について
ア　訂正の目的
　訂正事項２は、実質的に、訂正前の請求項１に、
「前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の所定の部分（Ａ、Ｂ）が前記測定領域（３）の前記入口（８）を通過するように、前記粒子ビームの前記偏向を制御するステップと、をさらに備えること」
を追加するものである。
　この訂正事項２で追加される事項は、訂正前の請求項１の「前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、前記レンズシステムの前記光学軸と直交する少なくとも第１座標方向（ｘ、ｙ）において前記粒子ビームを偏向させるステップ」、「前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回、前記粒子ビームを偏向させるステップ」について、どのように制御するかをより具体的に限定するものである。
　したがって、訂正事項２は、特許法第１３４の２第１項ただし書き第１号に規定される特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
イ　新規事項の有無
　訂正事項２で追加される事項は、訂正前の請求項６に記載された事項と同一のものであるから、訂正事項２は、本件特許明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　したがって、訂正事項２は、特許法第１３４の２第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
ウ　拡張・変更の存否
　本件特許明細書等の全記載を参照すれば、粒子放出試料からある限られた角度範囲内で放出された荷電粒子を、光電子分光計の測定領域の入口を通過させるための方法として、従来の６自由度の試料マニピュレーターにより試料を回転及び傾斜させる方法が有する種々の問題を解決することを目的として、従来の方法に変えて、粒子ビームを偏向させる方法を採用するという技術事項が把握できると認められる。
　すると、訂正前の請求項１に係る「方法」の発明は、そもそも、「粒子ビームを偏向させるステップ」により、粒子放出試料からある限られた角度範囲内で放出された荷電粒子を、光電子分光計の測定領域の入口を通過させることを目的とするものであることは、本件特許明細書等の全記載からみて、明らかである。
　したがって、訂正事項２により追加される事項は、訂正前の請求項１に係る「方法」の発明がそもそも目的とする技術事項を限定するものであって、訂正前の請求項１に係る「方法」の発明に含まれていた事項であると認められるから、訂正事項２が、特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでないことは明らかである。
　したがって、訂正事項２は、特許法第１３４の２第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合するものである。
（３）訂正事項３について
ア　訂正の目的
　訂正事項３は、訂正前の請求項６を削除するものであるから、特許法第１３４の２第１項ただし書き第１号に規定される特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
イ　新規事項の有無
　上記「ア」で検討したとおりであるから、訂正事項３は、特許法第１３４の２第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
ウ　拡張・変更の存否
　上記「ア」で検討したとおりであるから、訂正事項３は、特許法第１３４の２第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合するものである。
（４）訂正事項４について
ア　訂正の目的
　訂正事項４は、訂正前の請求項６の削除に伴い、請求項７の引用請求項を適正に修正するものであるから、特許法第１３４の２第１項ただし書き第３号に規定される明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
イ　新規事項の有無
　上記「ア」で検討したとおりであるから、訂正事項４は、特許法第１３４の２第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
ウ　拡張・変更の存否
　上記「ア」で検討したとおりであるから、訂正事項４は、特許法第１３４の２第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合するものである。
（５）訂正事項５について
ア　訂正の目的
　訂正事項５は、訂正前の請求項６の削除に伴い、請求項８の引用請求項から請求項６を削除するものであるから、特許法第１３４の２第１項ただし書き第３号に規定される明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
イ　新規事項の有無
　上記「ア」で検討したとおりであるから、訂正事項５は、特許法第１３４の２第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
ウ　拡張・変更の存否
　上記「ア」で検討したとおりであるから、訂正事項５は、特許法第１３４の２第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合するものである。
（６）訂正事項６について
ア　訂正の目的
　訂正事項６は、請求項１の訂正（訂正事項１）に合わせて、明細書の記載を訂正するものであるから、特許法第１３４の２第１項ただし書き第３号に規定される明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
イ　新規事項の有無
　上記「（１）」「イ」での検討と同様、訂正事項６は、特許法第１３４の２第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
ウ　拡張・変更の存否
　上記「（１）」「ウ」での検討と同様、訂正事項６は、特許法第１３４の２第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合するものである。
（７）訂正事項７について
ア　訂正の目的
　訂正前の請求項９の「少なくとも二回、前記粒子ビームを偏向させる」との記載は、願書に添付した外国語特許請求の範囲の請求項９の「deflecting the particle beam ... at least a seccond time ...」との記載を誤訳したものであるところ、「少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行う」と訂正するものである。
　したがって、訂正事項７は、特許法第１３４の２第１項ただし書き第２号に規定される誤訳の訂正を目的とするものである。
イ　新規事項の有無
　上記「ア」で検討したとおりであるから、訂正事項７は、外国語書面に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　したがって、訂正事項１は、特許法第１３４の２第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
ウ　拡張・変更の存否
　訂正前の請求項７の「少なくとも二回、前記粒子ビームを偏向させる」との記載は、本件特許明細書等の全記載を参照すれば、「少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行う」の誤記であることは、当業者であれば、容易に把握し得ることであるから、訂正事項１が、特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでないことは明らかである。
　したがって、訂正事項１は、特許法第１３４の２第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合するものである。
（８）訂正事項８について
ア　訂正の目的
　訂正事項８は、訂正前の請求項９に、
「前記光電子分光計は、前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の所定の部分（Ａ、Ｂ）が前記測定領域（３）の前記入口（８）を通過するように、前記偏向装置（３１）が前記粒子ビームを偏向させるように操作可能な制御ユニット（３５）をさらに備える」
を追加するものである。
　この訂正事項８で追加される事項は、訂正前の請求項９の「光電子分光計」が、「前記粒子ビームが前記測定領域（３）に入射する前に、前記レンズシステムの前記光学軸と直交する少なくとも第１座標方向（ｘ、ｙ）において前記粒子ビームを偏向させるための第１の偏向器（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ）を備える偏向装置（３１）」、「前記偏向装置（３１）は、前記粒子ビームが前記測定領域（３）に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回前記粒子ビームを偏向させるための少なくとも第２の偏向器（３３Ａ’／３３Ｃ’、３３Ｂ’／３３Ｄ’）」を制御する制御ユニットを備えることを限定するものである。
　したがって、訂正事項８は、特許法第１３４の２第１項ただし書き第１号に規定される特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
イ　新規事項の有無
　訂正事項８で追加される事項は、訂正前の請求項１７に記載された事項と同一のものであるから、訂正事項８は、本件特許明細書等に記載した事項の範囲内においてしたものである。
　したがって、訂正事項８は、特許法第１３４の２第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
ウ　拡張・変更の存否
　本件特許明細書等の全記載を参照すれば、粒子放出試料からある限られた角度範囲内で放出された荷電粒子を、光電子分光計の測定領域の入口を通過させるための方法として、従来の６自由度の試料マニピュレーターにより試料を回転及び傾斜させる方法が有する種々の問題を解決することを目的として、従来の方法に変えて、粒子ビームを偏向させる方法を採用するという技術事項が把握できると認められる。
　すると、訂正前の請求項９に係る「光電子分光計」の発明は、そもそも、「偏向装置（３１）」により、粒子放出試料からある限られた角度範囲内で放出された荷電粒子を、光電子分光計の測定領域の入口を通過させることを目的とするものであることは、本件特許明細書等の全記載からみて、明らかである。
　したがって、訂正事項８により追加される事項は、訂正前の請求項９に係る「光電子分光計」の発明がそもそも目的とする技術事項を限定するものであって、訂正前の請求項９に係る「光電子分光計」の発明に含まれていた事項であると認められるから、訂正事項８が、特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものでないことは明らかである。
　したがって、訂正事項８は、特許法第１３４の２第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合するものである。
（９）訂正事項９について
ア　訂正の目的
　訂正事項９は、訂正前の請求項１７を削除するものであるから、特許法第１３４の２第１項ただし書き第１号に規定される特許請求の範囲の減縮を目的とするものである。
イ　新規事項の有無
　上記「ア」で検討したとおりであるから、訂正事項９は、特許法第１３４の２第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
ウ　拡張・変更の存否
　上記「ア」で検討したとおりであるから、訂正事項９は、特許法第１３４の２第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合するものである。
（１０）訂正事項１０について
ア　訂正の目的
　訂正事項１０は、訂正前の請求項１７の削除に伴い、請求項１８の引用請求項を適正に修正するものであるから、特許法第１３４の２第１項ただし書き第３号に規定される明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
イ　新規事項の有無
　上記「ア」で検討したとおりであるから、訂正事項１０は、特許法第１３４の２第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
ウ　拡張・変更の存否
　上記「ア」で検討したとおりであるから、訂正事項１０は、特許法第１３４の２第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合するものである。
（１１）訂正事項１１について
ア　訂正の目的
　訂正事項１１は、請求項９の訂正（訂正事項７）に合わせて、明細書の記載を訂正するものであるから、特許法第１３４の２第１項ただし書き第３号に規定される明瞭でない記載の釈明を目的とするものである。
イ　新規事項の有無
　上記「（７）」「イ」での検討と同様、訂正事項１１は、特許法第１３４の２第９項で準用する同法第１２６条第５項の規定に適合するものである。
ウ　拡張・変更の存否
　上記「（７）」「ウ」での検討と同様、訂正事項１１は、特許法第１３４の２第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合するものである。
３　一群の請求項について
（１）訂正事項１〜５
　訂正事項１〜５は、訂正前の請求項１〜８からなる一群の請求項ごとに請求するものであるから、特許法第１３４の２第３項の規定に適合するものである。
（２）訂正事項６
　訂正事項６は、訂正前の請求項１〜８からなる一群の請求項の全てに係るものであるから、特許法第１３４の２第９項で準用する同法第１２６条第４項の規定に適合するものである。
（３）訂正事項７〜１０
　訂正事項７〜１０は、訂正前の請求項９〜１８からなる一群の請求項ごとに請求するものであるから、特許法第１３４の２第３項の規定に適合するものである。
（４）訂正事項１１
　訂正事項１１は、訂正前の請求項９〜１８からなる一群の請求項の全てに係るものであるから、特許法第１３４の２第９項で準用する同法第１２６条第４項の規定に適合するものである。
４　請求人の主張について
（１）請求人の主張
　本件訂正について、請求人は、２つの裁判例を示して、特許請求の範囲を減縮する訂正について、特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものではないというためには、訂正により付加された構成が、出願当時、当業者にとって周知技術である必要があるところ、被請求人は、訂正事項２及び８により追加される事項が、本件特許の国際出願日当時、当業者にとって周知技術であるとは何ら言及していない。
　したがって、訂正事項２及び８は、特許請求の範囲を拡張し、又は変更するものであって、特許法第１３４の２第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合するものではないから、当該訂正は認められないと主張する。
　そこで、請求人の上記主張について、以下、検討する。
（２）特許法第１２６条第６項について
　特許法第１２６条第６項の規定の趣旨は、第三者に不測の不利益が生じることを防止する観点から、訂正前の特許請求の範囲には含まれないこととされた発明が訂正後の特許請求の範囲に含まれるという事態が生じないことを担保することにある。
　また、特許権が設定登録により発生すると、願書に添付した明細書及び特許請求の範囲に記載した事項並びに図面の内容が特許公報に掲載されて、第三者に公示され（特許法第６６条第１、３項）、第三者が利害関係を有する特許権の禁止権の範囲である特許発明の技術的範囲は、この願書に添付した特許請求の範囲に基づいて定められ、その用語の意義はこの願書に添付した明細書及び図面を考慮して解釈するものとされている（特許法第７０条第１、２項）。（知財高平成２８年８月２９日判決言渡・平成２７年（行ケ）第１０２１６号参照）
　そして、同項の「拡張」及び「変更」の文言からも明らかなとおり、同項の規定を満たすか否かの判断は、訂正前後の特許請求の範囲の対比に基づき、訂正前の特許請求の範囲には含まれないこととされた発明が訂正後の特許請求の範囲に含まれているか否かを判断することであり、また、その特許請求の範囲の記載は、願書に添付した明細書及び図面を考慮して解釈するものである。
　すると、同項の規定を満たすか否かの判断は、必ずしも、請求人が主張するように、単に、訂正により付加された構成が、出願当時、当業者にとって周知技術であるか否かを判断することのみによってなされるものではない。
（３）訂正事項２及び８について
　上記「２」「（２）」「ウ」及び「（８）」「ウ」で検討したとおり、訂正事項２及び８で追加される事項は、本件特許明細書等の全記載を考慮すると、訂正前の本件特許発明１及び９に含まれていたものと認められるから、訂正事項２及び８により、訂正前の特許請求の範囲には含まれないこととされた発明が訂正後の特許請求の範囲に含まれることとはならない。
　すると、訂正事項２及び８は、上記「２」「（２）」「ウ」及び「（８）」「ウ」で、特許法第１３４の２第９項で準用する同法第１２６条第６項の規定に適合すると判断したとおりである。
（４）結論
　上述のとおりであるから、請求人の訂正事項２及び８の訂正は認められないとする主張は採用しない。
５　本件訂正請求についてのむすび
　以上のとおりであるから、本件訂正は、特許法第１３４条の２第１項ただし書き出し１〜３号に掲げられた事項を目的としており、また、特許法第１３４の２第３項、特許法第１３４条の２第９項で準用する特許法第１２６条第３〜６項の規定に適合する。
　よって、本件訂正請求による訂正を認め、以下、訂正後の請求項１〜１８に係る発明（以下「訂正特許発明１」〜「訂正特許発明１８」という。）について、請求人の主張する無効理由を検討する。
第３　訂正特許発明
　訂正特許発明１〜１８は、訂正特許請求の範囲の請求項１〜１８に記載された事項により特定される次のとおりのものである。 
　
「　【請求項１】
　粒子放出試料（１１）から放出された荷電粒子に関する少なくとも一つのパラメーターを決定するための方法であって、
　前記荷電粒子の粒子ビームを形成し、実質的に一直線の光学軸（１５）を有するレンズシステム（１３）によって前記粒子放出試料（１１）と測定領域（３）の入口（８）との間で粒子を輸送するステップと、
　前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、前記レンズシステムの前記光学軸と直交する少なくとも第１座標方向（ｘ、ｙ）において前記粒子ビームを偏向させるステップと、
　前記測定領域における前記荷電粒子の位置を検出するステップと、を備え、前記位置は、少なくとも一つの前記パラメーターの指標となり、
　前記荷電粒子の前記位置を検出する前記ステップは、二つの次元での位置の検出を含み、前記二つの次元での位置の一方は前記粒子のエネルギーの指標となり、前記二つの次元での位置の他方は前記粒子の開始方向の指標となり、
　前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うステップと、
　前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の所定の部分（Ａ、Ｂ）が前記測定領域（３）の前記入口（８）を通過するように、前記粒子ビームの前記偏向を制御するステップと、
をさらに備えることを特徴とする方法。
　　【請求項２】
前記粒子ビームの一回目の偏向は、第１の偏向器（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ）によって実現され、前記粒子ビームの少なくとも二回目の偏向は、少なくとも第２の偏向器（３３Ａ’／３３Ｃ’、３３Ｂ’／３３Ｄ’）によって実現され、前記第２の偏向器は、前記第１の偏向器の下流に前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）に沿って前記第１の偏向器から離間して配置される、請求項１に記載の方法。
　　【請求項３】
　前記粒子ビームは、前記粒子ビームが前記測定領域（３）に入射する前に、前記第１座標方向（ｘ）及び前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と直交する第２座標方向（ｙ）においても少なくとも二回偏向される、請求項１又は２に記載の方法。
　　【請求項４】
　前記粒子ビームの偏向はすべてレンズシステム（１３）内で起こり、少なくとも一つのレンズ（Ｌ１）が前記粒子ビームの前記一回目の偏向の前に前記粒子に作用し、少なくとも一つのレンズ（Ｌ３）が前記粒子ビームの最後の偏向の後に前記粒子に作用する、請求項１〜３の何れか一項に記載の方法。
　　【請求項５】
　前記粒子ビームの少なくとも一つの偏向は、偏向器パッケージ（２９）によって実現され、前記偏向器パッケージ（２９）は本質的に四極対称な形態で配置される四つの電極（３３Ａ〜３３Ｄ）を備え、前記四つの電極（３３Ａ〜３３Ｄ）は二つの電極対（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ）を形成し、前記二つの電極対（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ）はそれぞれの座標方向（ｘ、ｙ）における偏向器の役割を果たし、
　前記偏向器パッケージ（２９）の前記二つの電極対の一方（３３Ａ／３３Ｃ）の間に第１の偏向器電圧（Ｖｘ）を印加するステップと、
　前記偏向器パッケージ（２９）の前記二つの電極対の他方（３３Ｂ／３３Ｄ）の間に第２の偏向器電圧（Ｖｙ）を印加するステップと、
　前記偏向器パッケージ（２９）の前記電極（３３Ａ〜３３Ｄ）に四極対称の電圧（±Ｖｑ）を印加し、前記偏向器電圧（Ｖｘ、Ｖｙ）に重畳させるステップと、をさらに備える、請求項１〜４の何れか一項に記載の方法。
　　【請求項６】（削除）
　　【請求項７】
　前記粒子の前記角度分布の前記所定の部分（Ａ、Ｂ）が、前記測定領域（３）の前記入口（８）を前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に通過するように、前記粒子ビームの前記偏向を制御するステップをさらに備える、請求項１〜５の何れか一項にに記載の方法。
　　【請求項８】
　前記少なくとも一つのパラメーターは、
　前記荷電粒子のエネルギー、
　前記荷電粒子の開始方向、
　前記荷電粒子の開始位置、及び
　前記荷電粒子のスピン、
のうち少なくとも一つに関する、請求項１〜５お及び７の何れか一項に記載の方法。
　　【請求項９】
　粒子放出試料（１１）から放出された荷電粒子に関する少なくとも一つのパラメーターを決定することにより前記粒子放出試料（１１）を分析するための半球状偏向器型の光電子分光計であって、
　測定領域（３）であって、前記粒子が前記測定領域に入射することを可能にする入口（８）を有する測定領域（３）と、
　前記荷電粒子の粒子ビームを形成し、前記粒子放出試料と前記測定領域の前記入口との間で前記粒子を輸送するためのレンズシステム（１３）であって、実質的に一直線の光学軸（１５）を有するレンズシステム（１３）と、
　前記粒子ビームが前記測定領域（３）に入射する前に、前記レンズシステムの前記光学軸と直交する少なくとも第１座標方向（ｘ、ｙ）において前記粒子ビームを偏向させるための第１の偏向器（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ）を備える偏向装置（３１）と、
　前記測定領域における前記荷電粒子の位置を検出するための検出装置（９）と、を備え、前記位置は前記少なくとも一つのパラメーターの指標となり、
　前記検出装置（９）は、二つの次元での前記荷電粒子の位置を決定するように構成され、前記二つの次元での位置の一方は前記粒子のエネルギーの指標となり、前記二つの次元での位置の他方は前記粒子の開始方向の指標となり、
　前記偏向装置（３１）は、前記粒子ビームが前記測定領域（３）に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うための少なくとも第２の偏向器（３３Ａ’／３３Ｃ’、３３Ｂ’／３３Ｄ’）をさらに備え、
　前記光電子分光計は、前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の所定の部分（Ａ、Ｂ）が前記測定領域（３）の前記入口（８）を通過するように、前記偏向装置（３１）が前記粒子ビームを偏向させるように操作可能な制御ユニット（３５）をさらに備えることを特徴とする半球状偏向器型の光電子分光計。
　　【請求項１０】
　前記第２の偏向器（３３Ａ’／３３Ｃ’、３３Ｂ’／３３Ｄ’）は、前記第１の偏向器（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ）の下流に、前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）に沿って前記第１の偏向器から離間して配置される、請求項９に記載の半球状偏向器型の光電子分光計。
　　【請求項１１】
　前記偏向装置（３１）は、前記粒子ビームが前記測定領域（３）に入射する前に、前記第１座標方向（ｘ）及びレンズシステム（１３）の光学軸（１５）と直交する第２座標方向（ｙ）においても少なくとも二回前記粒子ビームを偏向させるように操作可能である、請求項９又は１０に記載の半球状偏向器型の光電子分光計。
　　【請求項１２】
　前記偏向装置（３１）は、本質的に四極対称な形態で配置される四つの電極（３３Ａ〜３３Ｄ）を備える少なくとも一つの偏向器パッケージ（２９）を備え、前記偏向器パッケージ（２９）の前記四つの電極（３３Ａ〜３３Ｄ）は二つの電極対（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ）を形成し、前記二つの電極対（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ）は前記第１座標方向（ｘ）及び前記第２座標方向（ｙ）のそれぞれの座標方向における偏向器の役割を果たす、請求項１１に記載の半球状偏向器型の光電子分光計。
　　【請求項１３】
　前記電極（３３Ａ〜３３Ｄ）のそれぞれに個別の電圧を印加するように構成された制御ユニット（３５）をさらに備える、請求項１２に記載の半球状偏向器型の光電子分光計。
　　【請求項１４】
　前記レンズシステムの少なくとも一つのレンズ要素（Ｌ１）が前記偏向装置のすべての偏向器（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ、３３Ａ’／３３Ｃ’、３３Ｂ’／３３Ｄ’）の上流に位置し、前記レンズシステムの他の少なくとも一つのレンズ要素（Ｌ３）が前記偏向装置のすべての偏向器の下流に位置するように、前記偏向装置（３１）と前記レンズシステム（１３）とが配置される、請求項９〜１３の何れか一項に記載の半球状偏向器型の光電子分光計。
　　【請求項１５】
　前記偏向装置（３１）のすべての偏向器（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ、３３Ａ’／３３Ｃ’、３３Ｂ’／３３Ｄ’）は、レンズ装置（１３）の同じレンズ要素（Ｌ２）内に配置される、請求項９〜１４の何れか一項に記載の半球状偏向器型の光電子分光計。
　　【請求項１６】
　前記偏向装置（３１）は、前記レンズシステム（１３）の一体部品を形成する、請求項９〜１５の何れか一項に記載の半球状偏向器型の光電子分光計。
　　【請求項１７】（削除）
　　【請求項１８】
　前記制御ユニット（３５）は、前記粒子の前記角度分布（３９）の前記所定の部分（Ａ、Ｂ）が、前記測定領域（３）の前記入口（８）を前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に通過するように、前記偏向装置（３１）が前記粒子ビームを偏向させるように操作可能である、請求項９〜１６の何れか一項に記載の半球状偏向器型の光電子分光計。」
第４　請求人の主張する無効理由
１　本件特許発明
　訂正前の本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項１〜１８に係る発明（以下「本件特許発明１」〜「本件特許発明１８」という。）は、本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項１〜１８に記載された事項により特定される次のとおりのものである。 
「　【請求項１】
　粒子放出試料（１１）から放出された荷電粒子に関する少なくとも一つのパラメーターを決定するための方法であって、
　前記荷電粒子の粒子ビームを形成し、実質的に一直線の光学軸（１５）を有するレンズシステム（１３）によって前記粒子放出試料（１１）と測定領域（３）の入口（８）との間で粒子を輸送するステップと、
　前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、前記レンズシステムの前記光学軸と直交する少なくとも第１座標方向（ｘ、ｙ）において前記粒子ビームを偏向させるステップと、
　前記測定領域における前記荷電粒子の位置を検出するステップと、を備え、前記位置は、少なくとも一つの前記パラメーターの指標となり、
　前記荷電粒子の前記位置を検出する前記ステップは、二つの次元での位置の検出を含み、前記二つの次元での位置の一方は前記粒子のエネルギーの指標となり、前記二つの次元での位置の他方は前記粒子の開始方向の指標となり、
　前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回、前記粒子ビームを偏向させるステップを特徴とする方法。
　　【請求項２】
前記粒子ビームの一回目の偏向は、第１の偏向器（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ）によって実現され、前記粒子ビームの少なくとも二回目の偏向は、少なくとも第２の偏向器（３３Ａ’／３３Ｃ’、３３Ｂ’／３３Ｄ’）によって実現され、前記第２の偏向器は、前記第１の偏向器の下流に前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）に沿って前記第１の偏向器から離間して配置される、請求項１に記載の方法。
　　【請求項３】
　前記粒子ビームは、前記粒子ビームが前記測定領域（３）に入射する前に、前記第１座標方向（ｘ）及び前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と直交する第２座標方向（ｙ）においても少なくとも二回偏向される、請求項１又は２に記載の方法。
　　【請求項４】
　前記粒子ビームの偏向はすべてレンズシステム（１３）内で起こり、少なくとも一つのレンズ（Ｌ１）が前記粒子ビームの前記一回目の偏向の前に前記粒子に作用し、少なくとも一つのレンズ（Ｌ３）が前記粒子ビームの最後の偏向の後に前記粒子に作用する、請求項１〜３の何れか一項に記載の方法。
　　【請求項５】
　前記粒子ビームの少なくとも一つの偏向は、偏向器パッケージ（２９）によって実現され、前記偏向器パッケージ（２９）は本質的に四極対称な形態で配置される四つの電極（３３Ａ〜３３Ｄ）を備え、前記四つの電極（３３Ａ〜３３Ｄ）は二つの電極対（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ）を形成し、前記二つの電極対（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ）はそれぞれの座標方向（ｘ、ｙ）における偏向器の役割を果たし、
　前記偏向器パッケージ（２９）の前記二つの電極対の一方（３３Ａ／３３Ｃ）の間に第１の偏向器電圧（Ｖｘ）を印加するステップと、
　前記偏向器パッケージ（２９）の前記二つの電極対の他方（３３Ｂ／３３Ｄ）の間に第２の偏向器電圧（Ｖｙ）を印加するステップと、
　前記偏向器パッケージ（２９）の前記電極（３３Ａ〜３３Ｄ）に四極対称の電圧（±Ｖｑ）を印加し、前記偏向器電圧（Ｖｘ、Ｖｙ）に重畳させるステップと、をさらに備える、請求項１〜４の何れか一項に記載の方法。
　　【請求項６】
　前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の所定の部分（Ａ、Ｂ）が前記測定領域（３）の前記入口（８）を通過するように、前記粒子ビームの前記偏向を制御するステップをさらに備える、請求項１〜５の何れか一項に記載の方法。
　　【請求項７】
　前記粒子の前記角度分布の前記所定の部分（Ａ、Ｂ）が、前記測定領域（３）の前記入口（８）を前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に通過するように、前記粒子ビームの前記偏向を制御するステップをさらに備える、請求項６に記載の方法。
　　【請求項８】
　前記少なくとも一つのパラメーターは、
　前記荷電粒子のエネルギー、
　前記荷電粒子の開始方向、
　前記荷電粒子の開始位置、及び
　前記荷電粒子のスピン、
のうち少なくとも一つに関する、請求項１〜７の何れか一項に記載の方法。
　　【請求項９】
　粒子放出試料（１１）から放出された荷電粒子に関する少なくとも一つのパラメーターを決定することにより前記粒子放出試料（１１）を分析するための半球状偏向器型の光電子分光計であって、
　測定領域（３）であって、前記粒子が前記測定領域に入射することを可能にする入口（８）を有する測定領域（３）と、
　前記荷電粒子の粒子ビームを形成し、前記粒子放出試料と前記測定領域の前記入口との間で前記粒子を輸送するためのレンズシステム（１３）であって、実質的に一直線の光学軸（１５）を有するレンズシステム（１３）と、
　前記粒子ビームが前記測定領域（３）に入射する前に、前記レンズシステムの前記光学軸と直交する少なくとも第１座標方向（ｘ、ｙ）において前記粒子ビームを偏向させるための第１の偏向器（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ）を備える偏向装置（３１）と、
　前記測定領域における前記荷電粒子の位置を検出するための検出装置（９）と、を備え、前記位置は前記少なくとも一つのパラメーターの指標となり、
　前記検出装置（９）は、二つの次元での前記荷電粒子の位置を決定するように構成され、前記二つの次元での位置の一方は前記粒子のエネルギーの指標となり、前記二つの次元での位置の他方は前記粒子の開始方向の指標となり、
　前記偏向装置（３１）は、前記粒子ビームが前記測定領域（３）に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回前記粒子ビームを偏向させるための少なくとも第２の偏向器（３３Ａ’／３３Ｃ’、３３Ｂ’／３３Ｄ’）をさらに備えることを特徴とする半球状偏向器型の光電子分光計。
　　【請求項１０】
　前記第２の偏向器（３３Ａ’／３３Ｃ’、３３Ｂ’／３３Ｄ’）は、前記第１の偏向器（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ）の下流に、前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）に沿って前記第１の偏向器から離間して配置される、請求項９に記載の半球状偏向器型の光電子分光計。
　　【請求項１１】
　前記偏向装置（３１）は、前記粒子ビームが前記測定領域（３）に入射する前に、前記第１座標方向（ｘ）及びレンズシステム（１３）の光学軸（１５）と直交する第２座標方向（ｙ）においても少なくとも二回前記粒子ビームを偏向させるように操作可能である、請求項９又は１０に記載の半球状偏向器型の光電子分光計。
　　【請求項１２】
　前記偏向装置（３１）は、本質的に四極対称な形態で配置される四つの電極（３３Ａ〜３３Ｄ）を備える少なくとも一つの偏向器パッケージ（２９）を備え、前記偏向器パッケージ（２９）の前記四つの電極（３３Ａ〜３３Ｄ）は二つの電極対（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ）を形成し、前記二つの電極対（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ）は前記第１座標方向（ｘ）及び前記第２座標方向（ｙ）のそれぞれの座標方向における偏向器の役割を果たす、請求項１１に記載の半球状偏向器型の光電子分光計。
　　【請求項１３】
　前記電極（３３Ａ〜３３Ｄ）のそれぞれに個別の電圧を印加するように構成された制御ユニット（３５）をさらに備える、請求項１２に記載の半球状偏向器型の光電子分光計。
　　【請求項１４】
　前記レンズシステムの少なくとも一つのレンズ要素（Ｌ１）が前記偏向装置のすべての偏向器（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ、３３Ａ’／３３Ｃ’、３３Ｂ’／３３Ｄ’）の上流に位置し、前記レンズシステムの他の少なくとも一つのレンズ要素（Ｌ３）が前記偏向装置のすべての偏向器の下流に位置するように、前記偏向装置（３１）と前記レンズシステム（１３）とが配置される、請求項９〜１３の何れか一項に記載の半球状偏向器型の光電子分光計。
　　【請求項１５】
　前記偏向装置（３１）のすべての偏向器（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ、３３Ａ’／３３Ｃ’、３３Ｂ’／３３Ｄ’）は、レンズ装置（１３）の同じレンズ要素（Ｌ２）内に配置される、請求項９〜１４の何れか一項に記載の半球状偏向器型の光電子分光計。
　　【請求項１６】
　前記偏向装置（３１）は、前記レンズシステム（１３）の一体部品を形成する、請求項９〜１５の何れか一項に記載の半球状偏向器型の光電子分光計。
　　【請求項１７】
　前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の所定の部分（Ａ、Ｂ）が、前記測定領域（３）の前記入口（８）を通過するように、前記偏向装置（３１）が前記粒子ビームを偏向させるように操作可能な制御ユニット（３５）をさらに備える、請求項９〜１６の何れか一項に記載の半球状偏向器型の光電子分光計。
　　【請求項１８】
　前記制御ユニット（３５）は、前記粒子の前記角度分布（３９）の前記所定の部分（Ａ、Ｂ）が、前記測定領域（３）の前記入口（８）を前記レンズシステム（１３）の前記光学軸（１５）と実質的に平行な方向に通過するように、前記偏向装置（３１）が前記粒子ビームを偏向させるように操作可能である、請求項１７に記載の半球状偏向器型の光電子分光計。」
２　無効理由１（原文新規事項）
　請求人の主張する無効理由１は、概略、以下のとおりである。
（１）本件特許発明９〜１８について
ア　本件外国語書面の請求項９の記載
　本件の外国語書面の請求項９には、
「said deflector arrangement(31) further comprising at least a second deflector (33A'/33C', 33B'/33D') for deflecting the particle beam in the same at least first coordinate direction (x,y) at least a second time before entrance of the particle beam into the measurement region (3)」
と記載されている。
イ　仮想翻訳文
　上記外国語書面の請求項９の記載の仮想翻訳文は、下記のとおりである。
「前記偏向装置（３１）は、前記粒子ビームが前記測定領域（３）に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向をさせるための少なくとも第２の偏向器（３３Ａ’／３３Ｃ’、３３Ｂ’／３３Ｄ’）をさらに備える」
ウ　仮想翻訳文との対比
　「第２の偏向器」について、本件特許発明９では、「少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回前記粒子ビームを偏向させるための少なくとも第２の偏向器」と記載されるのに対して、上記仮想翻訳文では、「少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向をさせるための少なくとも第２の偏向器」である。
エ　まとめ
　他に、本件外国語書面の全記載を参照しても、「少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回前記粒子ビームを偏向させるための少なくとも第２の偏向器」は記載されていない。
　したがって、本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項９の記載は、外国語書面に記載した事項の範囲内ではないから、本件特許発明９は、特許法第１２３条第１項第５号に該当し、無効とすべきものである。また、本件特許発明９の構成を全て有する本件特許発明１０〜１８についても、同様である。
（２）本件特許発明１〜８について
ア　本件外国語書面の請求項１の記載
　本件の外国語書面の請求項１には、
「deflecting the particle beam in the same at least first coordinate direction (x,y) at least a second time before entrance of the particle beam into the measurement region」
と記載されている。
イ　仮想翻訳文
　上記外国語書面の請求項１の記載の仮想翻訳文は、下記のとおりである。
「前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向をさせるステップ」
ウ　仮想翻訳文との対比
　本件特許発明１では、「少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回、前記粒子ビームを偏向させるステップ」と記載されるのに対して、上記仮想翻訳文では、「少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向をさせるステップ」である。
エ　まとめ
　他に、本件外国語書面の全記載を参照しても、「少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回、前記粒子ビームを偏向させるステップ」は記載されていない。
　したがって、本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項１の記載は、外国語書面に記載した事項の範囲内ではないから、本件特許発明１は、特許法第１２３条第１項第５号に該当し、無効とすべきものである。また、本件特許発明１の構成を全て有する本件特許発明２〜８についても、同様である。
３　無効理由２（サポート要件違反）
　請求人の主張する無効理由２は、概略、以下のとおりである。
（１）本件特許発明９〜１８について
　本件特許発明９は、１つの「第２の偏向器」により、少なくとも二回、粒子ビームを偏向させる構成であると解される。
　しかし、本件特許明細書等の全記載を参照しても、そのような構成が記載されているとは認められない。
　したがって、本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項９の記載は、本件特許明細書等の発明の詳細な説明に記載した事項の範囲内ではないから、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしておらず、本件特許発明９は、特許法第１２３条第１項第４号に該当し、無効とすべきものである。また、本件特許発明９の構成を全て有する本件特許発明１０〜１８についても、同様である。
（２）本件特許発明１〜８について
　本件特許発明１は、「前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、前記レンズシステムの前記光学軸と直交する少なくとも第１座標方向（ｘ、ｙ）において前記粒子ビームを偏向させるステップ」を備えたうえに、さらに、「前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回、前記粒子ビームを偏向させるステップ」を備えていることから、単一の「偏向させるステップ」において、少なくとも二回粒子ビームを偏向させる構成を含むものである。
　しかし、本件特許明細書等の全記載を参照しても、そのような構成が記載されているとは認められない。
　したがって、本件特許明細書等の特許請求の範囲の請求項１の記載は、本件特許明細書等の発明の詳細な説明に記載した事項の範囲内ではないから、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしておらず、本件特許発明１は、特許法第１２３条第１項第４号に該当し、無効とすべきものである。また、本件特許発明１の構成を全て有する本件特許発明２〜８についても、同様である。
４　無効理由３（実施可能要件違反）
　請求人の主張する無効理由３は、概略、以下のとおりである。
（１）本件特許発明９〜１８について
　本件特許発明９は、１つの「第２の偏向器」により、少なくとも二回、粒子ビームを偏向させる構成であると解される。
　しかし、本件特許明細書等の全記載を参照しても、そのような構成自体は、もちろん、該構成を具体化する手段についても、本件特許明細書等に記載されているとは認められない。
　したがって、本件特許明細書等の発明の詳細な説明は、本件特許発明９を当業者が実施できる程度に明確かつ十分に記載したものではないから、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしておらず、本件特許発明９は、特許法第１２３条第１項第４号に該当し、無効とすべきものである。また、本件特許発明９の構成を全て有する本件特許発明１０〜１８についても、同様である。
（２）本件特許発明１〜８について
　本件特許発明１は、「前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、前記レンズシステムの前記光学軸と直交する少なくとも第１座標方向（ｘ、ｙ）において前記粒子ビームを偏向させるステップ」を備えたうえに、さらに、「前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回、前記粒子ビームを偏向させるステップ」を備えていることから、単一の「偏向させるステップ」において、少なくとも二回粒子ビームを偏向させる構成を含むものである。
　しかし、本件特許明細書等の全記載を参照しても、そのような構成自体は、もちろん、該構成を具体化する手段についても、本件特許明細書等に記載されているとは認められない。
　したがって、本件特許明細書等の発明の詳細な説明は、本件特許発明１を当業者が実施できる程度に明確かつ十分に記載したものではないから、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしておらず、本件特許発明１は、特許法第１２３条第１項第４号に該当し、無効とすべきものである。また、本件特許発明１の構成を全て有する本件特許発明２〜８についても、同様である。
５　請求人が審判事件弁駁書で新たに主張する無効理由
　請求人が審判事件弁駁書で新たに主張する無効理由（以下「追加無効理由」という。）は、概略、以下のとおりである。
　訂正特許発明１及び９について、下記に主張する２つの点において、出願時の技術常識に照らしても、訂正特許発明１及び９の範囲まで、訂正特許明細書の発明の詳細な説明に開示された内容を拡張ないし一般化できるとはいえない。
　したがって、訂正特許請求の範囲の請求項１及び９の記載は、訂正特許明細書の発明の詳細な説明に記載した事項の範囲内ではないから、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしておらず、訂正特許発明１及び９は、特許法第１２３条第１項第４号に該当し、無効とすべきものである。また、訂正特許発明１及び９の構成を全て有する訂正特許発明２〜８、１０〜１８についても、同様である。
（１）サポート要件違反についての主張１
　訂正明細書の発明の詳細な説明には、粒子ビームを構成する粒子の角度分布の所定の部分が測定領域の入口を通過するための構成として、粒子ビームをｘ方向及びｙ方向のそれぞれにおいて少なくとも２回偏向される構成のみが記載されている。
　しかし、訂正特許発明１及び９は、１回目及び２回目の偏向において、第２座標方向に対して偏向を行わない構成を含んでいる点において、訂正特許明細書の発明の詳細な説明の記載した事項の範囲内ではない。
（２）サポート要件違反についての主張２
　訂正明細書の発明の詳細な説明には、所定の条件を満たす電圧が第１の偏向器及び第２の偏向器に印加される構成のみが記載されている。
　しかし、訂正特許発明１及び９は、所定の条件を満たす電圧が第１の偏向器及び第２の偏向器に印加されない構成を含んでいる点において、訂正特許明細書の発明の詳細な説明の記載した事項の範囲内ではない。
第５　被請求人の主張
１　無効理由１について
　請求人の主張する無効理由１について、被請求人は、概略、以下のとおり主張している。
（１）訂正特許発明９〜１６、１８について
　本件特許発明９の「少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回前記粒子ビームを偏向させるための少なくとも第２の偏向器」は、訂正特許発明９の「少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うための少なくとも第２の偏向器」に訂正されたので、無効理由１は存在しない。
　また、訂正特許発明１０〜１６、１８についても同様であり、さらに、本件特許発明１７は削除したので、無効理由１は存在しない。
（２）訂正特許発明１〜５、７、８について
　本件特許発明の「前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回、前記粒子ビームを偏向させるステップ」は、訂正特許発明１の「前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うステップ」に訂正されたので、無効理由１は存在しない。
　また、訂正特許発明２〜５、７、８についても同様であり、さらに、本件特許発明６は削除したので、無効理由１は存在しない。
２　無効理由２について
　請求人の主張する無効理由２について、被請求人は、概略、以下のとおり主張している。
（１）訂正特許発明９〜１６、１８について
　本件特許発明９の「少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回前記粒子ビームを偏向させるための少なくとも第２の偏向器」は、訂正特許発明９の「少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うための少なくとも第２の偏向器」に訂正されたので、無効理由１は存在しない。
　また、訂正特許発明１０〜１６、１８についても同様であり、さらに、本件特許発明１７は削除したので、無効理由２は存在しない。
（２）訂正特許発明１〜５、７、８について
　本件特許発明の「前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回、前記粒子ビームを偏向させるステップ」は、訂正特許発明１の「前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うステップ」に訂正されたので、無効理由１は存在しない。
　また、訂正特許発明２〜５、７、８についても同様であり、さらに、本件特許発明６は削除したので、無効理由２は存在しない。
３　無効理由３について
　請求人の主張する無効理由３について、被請求人は、概略、以下のとおり主張している。
（１）訂正特許発明９〜１６、１８について
　本件特許発明９の「少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回前記粒子ビームを偏向させるための少なくとも第２の偏向器」は、訂正特許発明９の「少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うための少なくとも第２の偏向器」に訂正されたので、無効理由１は存在しない。
　また、訂正特許発明１０〜１６、１８についても同様であり、さらに、本件特許発明１７は削除したので、無効理由３は存在しない。
（２）訂正特許発明１〜５、７、８について
　本件特許発明の「前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回、前記粒子ビームを偏向させるステップ」は、訂正特許発明１の「前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うステップ」に訂正されたので、無効理由１は存在しない。
　また、訂正特許発明２〜５、７、８についても同様であり、さらに、本件特許発明６は削除したので、無効理由３は存在しない。
第６　当審の判断
１　無効理由１について
（１）訂正特許発明９〜１８について
　訂正特許請求の範囲の請求項９では、「少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うための少なくとも第２の偏向器」に訂正され、本件の外国語書面の請求項９の「said deflector arrangement(31) further comprising at least a second deflector (33A'/33C', 33B'/33D') for deflecting the particle beam in the same at least first coordinate direction (x,y) at least a second time before entrance of the particle beam into the measurement region (3)」との記載内容と一致するものとなり、外国語書面に記載した事項の範囲内のものとなった。
　したがって、訂正特許請求の範囲の請求項９の記載は、外国語書面に記載した事項の範囲内ではないから、訂正特許発明９は、特許法第１２３条第１項第５号に該当し、無効とすべきものであるとはいえなくなった。
　また、訂正特許発明９の構成を全て有する訂正特許発明１０〜１６、１８についても、同様である。
　なお、本件特許発明１７は削除された。
（２）訂正特許発明１〜８について
　訂正特許請求の範囲の請求項１では、「前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うステップ」に訂正され、本件の外国語書面の請求項１の「deflecting the particle beam in the same at least first coordinate direction (x,y) at least a second time before entrance of the particle beam into the measurement region」との記載内容と一致するものとなり、外国語書面に記載した事項の範囲内のものとなった。
　したがって、訂正特許請求の範囲の請求項１の記載は、外国語書面に記載した事項の範囲内ではないから、訂正特許発明１は、特許法第１２３条第１項第５号に該当し、無効とすべきものであるとはいえなくなった。
　また、訂正特許発明１の構成を全て有する訂正特許発明２〜５、７、８についても、同様である。
　なお、本件特許発明６は削除された。
２　無効理由２について
（１）訂正特許発明９〜１８について
　訂正特許請求の範囲の請求項９では、「少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うための少なくとも第２の偏向器」に訂正され、訂正特許明細書の発明の詳細な説明に記載した事項の範囲内のものとなった。
　したがって、訂正特許請求の範囲の請求項９の記載は、訂正特許明細書の発明の詳細な説明に記載した事項の範囲内ではないから、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしておらず、訂正特許発明９は、特許法第１２３条第１項第４号に該当し、無効とすべきものであるとはいえなくなった。
　また、訂正特許発明９の構成を全て有する訂正特許発明１０〜１６、１８についても、同様である。
　なお、本件特許発明１７は削除された。
（２）訂正特許発明１〜８について
　訂正特許発明１では、「前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うステップ」に訂正され、訂正特許明細書の発明の詳細な説明に記載した事項の範囲内のものとなった。
　したがって、訂正特許請求の範囲の請求項１の記載は、訂正特許明細書の発明の詳細な説明に記載した事項の範囲内ではないから、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしておらず、訂正特許発明１は、特許法第１２３条第１項第４号に該当し、無効とすべきものであるとはいえなくなった。
　また、訂正特許発明１の構成を全て有する訂正特許発明２〜５、７、８についても、同様である。
　なお、本件特許発明６は削除された。
３　無効理由３について
（１）訂正特許発明９〜１８について
　訂正特許請求の範囲の請求項９では、「少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うための少なくとも第２の偏向器」に訂正され、訂正特許明細書の発明の詳細な説明は、訂正特許発明９を当業者が実施できる程度に明確かつ十分に記載したものとなった。
　したがって、訂正特許明細書の発明の詳細な説明は、訂正特許発明９を当業者が実施できる程度に明確かつ十分に記載したものではないから、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしておらず、訂正特許発明９は、特許法第１２３条第１項第４号に該当し、無効とすべきものであるとはいえなくなった。
　また、訂正特許発明９の構成を全て有する訂正特許発明１０〜１６、１８についても、同様である。
　なお、本件特許発明１７は削除された。
（２）訂正特許発明１〜８について
　訂正特許発明１では、「前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うステップ」に訂正され、訂正特許明細書の発明の詳細な説明は、訂正特許発明１を当業者が実施できる程度に明確かつ十分に記載したものとなった。
　したがって、訂正特許明細書の発明の詳細な説明は、訂正特許発明１を当業者が実施できる程度に明確かつ十分に記載したものではないから、特許法第３６条第４項第１号に規定する要件を満たしておらず、訂正特許発明１は、特許法第１２３条第１項第４号に該当し、無効とすべきものであるとはいえなくなった。
　また、訂正特許発明１の構成を全て有する訂正特許発明１０〜１６、１８についても、同様である。
　なお、本件特許発明６は削除された。
４　追加無効理由について
　追加無効理由については、審理事項通知書で言及し、口頭審理で通知した「補正許否の決定」により追加することが許可されないものとなった。その理由は、以下のとおりである。
（１）主張１について
　主張１は、訂正特許請求の範囲の請求項１の、
「前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、前記レンズシステムの前記光学軸と直交する少なくとも第１座標方向（ｘ、ｙ）において前記粒子ビームを偏向させるステップ」、
「前記粒子ビームが前記測定領域に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うステップ」、
　同請求項９の
「前記粒子ビームが前記測定領域（３）に入射する前に、前記レンズシステムの前記光学軸と直交する少なくとも第１座標方向（ｘ、ｙ）において前記粒子ビームを偏向させるための第１の偏向器（３３Ａ／３３Ｃ、３３Ｂ／３３Ｄ）」、
「前記粒子ビームが前記測定領域（３）に入射する前に、少なくとも同じ前記第１座標方向（ｘ、ｙ）において少なくとも二回目の前記粒子ビームの偏向を行うための少なくとも第２の偏向器（３３Ａ’／３３Ｃ’、３３Ｂ’／３３Ｄ’）」
という記載についての無効理由の主張であると認めるのが相当である。
　しかし、これらの記載は、訂正前の特許請求の範囲の請求項１及び９に既に存在していた記載であるから、これらの記載についての新たな無効理由の主張が訂正の請求により必要が生じたものであるとは認められない。また、他に、この無効理由を審判請求時の請求書に記載しなかったことに合理的な理由があったとも認められない。
（２）主張２について
　主張２は、訂正特許請求の範囲の請求項１の、
「前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の所定の部分（Ａ、Ｂ）が前記測定領域（３）の前記入口（８）を通過するように、前記粒子ビームの前記偏向を制御するステップ」、
　同請求項９の
「前記粒子ビームを形成する前記粒子の角度分布（３９）の所定の部分（Ａ、Ｂ）が前記測定領域（３）の前記入口（８）を通過するように、前記偏向装置（３１）が前記粒子ビームを偏向させるように操作可能な制御ユニット（３５）」
という記載についての無効理由の主張であると認めるのが相当である。
　しかし、これらの記載は、訂正前の特許請求の範囲の請求項６及び１７に既に存在していた記載であるから、これらの記載についての新たな無効理由の主張が訂正の請求により必要が生じたものであるとは認められない。また、他に、この無効理由を審判請求時の請求書に記載しなかったことに合理的な理由があったとも認められない。
（３）追加無効理由についてのまとめ
　以上のとおりであるから、追加無効理由は、審判請求書の請求の理由を審判事件弁駁書で新たな内容を追加して補正したものとみなされるところ、この補正は、特許法第１３１条の２第２項の規定により、許可されるべきものではない。
第７　むすび
　以上のとおりであるから、訂正特許発明１〜５、７〜１６、１８についての特許は、いずれも願書に添付した明細書、特許請求の範囲又は図面に記載した事項が外国語書面に記載した事項の範囲内にない特許出願に対してなされたものではなく、また、訂正特許発明１〜５、７〜１６、１８についての特許は、いずれも同法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものではなく、また、訂正特許発明１〜５、７〜１６、１８についての特許は、いずれも同法第３６条第４項第１号の規定に規定する要件を満たしていない特許出願に対してなされたものではないから、訂正特許発明１〜５、７〜１６、１８についての特許は、同法第１２３条第１項第４及び５号に該当せず、請求人の主張する無効理由１〜３によっては、無効とすることはできない。
　また、特許第５８１５８２６号の請求項６、１７についての本件審判請求を却下する。
　審判に関する費用については、特許法第１６９条第２項の規定で準用する民事訴訟法第６１条の規定により、請求人の負担とする。
　よって、結論の通り審決する。