(57)【要約】【課題】本発明は、加速度センサの検知精度を向上させることを目的とする。【解決手段】上記目的を達成するために本発明は、振動子１１と、前記振動子１１に設けられた駆動電極と、前記振動子１１に設けられた検知電極と、を備え、前記駆動電極に入力された駆動信号により前記振動子１１が振動し、前記振動子１１の振動状態に基づき前記検知電極が検知信号を出力し、前記検知信号により前記振動子１１に加わった加速度を検知する加速度センサにおいて、前記振動子１１は、支持部１２と、前記支持部１２と対峙する質量付加部１３と、前記支持部１２と前記質量付加部１３との間を連結する第１、第２の梁１４、１５とを有し、前記第１の梁１４には第１の錘１６が連結され、前記第２の梁１５には第２の錘１７が連結された加速度センサとしたものである。【選択図】図１
2011047851.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動子と、
前記振動子に設けられた駆動電極と、
前記振動子に設けられた検知電極と、
を備え、
前記駆動電極に入力された駆動信号により前記振動子が振動し、
前記振動子の振動状態に基づき前記検知電極が検知信号を出力し、
前記検知信号により前記振動子に加わった加速度を検知する加速度センサにおいて、
前記振動子は、
支持部と、
前記支持部に対峙する質量付加部と、
前記支持部と前記質量付加部との間を連結する第１、第２の梁とを有し、
前記第１の梁には第１の錘が連結され、
前記第２の梁には第２の錘が連結された
加速度センサ。
【請求項２】
振動子と、
前記振動子に設けられた駆動電極と、
前記振動子に設けられた第１、第２の検知電極と、
を備え、
前記駆動電極に入力された駆動信号により前記振動子が振動し、
前記振動子の振動状態に基づき前記第１、第２の検知電極が第１、第２の検知信号を出力し、
前記第１、第２の検知信号の差を演算することにより前記振動子に加わった加速度を検知する加速度センサにおいて、
前記振動子は、
支持部と、
前記支持部に対峙する質量付加部と、
前記支持部と前記質量付加部とを連結する第１、第２、第３、第４の梁とを有し、
前記第１の梁には第１の錘が連結され、
前記第２の梁には第２の錘が連結され、
前記第３の梁には第３の錘が連結され、
前記第４の梁には第４の錘が連結され、
前記第１、第２の梁により前記第１の検知信号が出力され、
前記第３、第４の梁により前記第２の検知信号が出力される
加速度センサ。
【請求項３】
前記第１の検知電極は前記第１、第２の梁の内少なくとも１つに設けられ、
前記第２の検知電極は前記第３、第４の梁の内少なくとも１つに設けられた、
請求項２に記載の加速度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加速度センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の加速度センサは、図３に示すごとく、振動子１と、前記振動子１に設けられた駆動電極（図示せず）と、前記振動子１に設けられた検知電極（図示せず）と、を備え、前記駆動電極（図示せず）に入力された駆動信号により前記振動子１が振動し、前記振動子１の振動状態に基づき前記検知電極（図示せず）が検知信号を出力し、前記検知信号により前記振動子１に加わった加速度を検知する加速度センサにおいて、前記振動子１は、支持部２と、前記支持部２に対峙する質量付加部３と、前記支持部２と前記質量付加部３との間を連結する第１、第２の梁４、５とを有する構成としていた。
【０００３】
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２０９３８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような従来の加速度センサでは、その検知精度が悪いことが問題となっていた。
【０００６】
すなわち、上記従来の構成においては、前記第１、第２の梁４、５の振幅が小さいため、ノイズの影響を受けやすく、その結果として検知精度が悪くなってしまっていた。
【０００７】
そこで本発明は、加速度センサの検知精度を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために本発明は、振動子と、前記振動子に設けられた駆動電極と、前記振動子に設けられた検知電極と、を備え、前記駆動電極に入力された駆動信号により前記振動子が振動し、前記振動子の振動状態に基づき前記検知電極が検知信号を出力し、前記検知信号により前記振動子に加わった加速度を検知する加速度センサにおいて、前記振動子は、支持部と、前記支持部に対峙する質量付加部と、前記支持部と前記質量付加部との間を連結する第１、第２の梁とを有し、前記第１の梁には第１の錘が連結され、前記第２の梁には第２の錘が連結された加速度センサとしたものである。
【発明の効果】
【０００９】
このような構成により、前記第１、第２の梁の振幅を大きくすることができるため、ＳＮ比を改善することができ、その結果として、加速度センサの検知精度を向上させることができるのである。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施の形態１の加速度センサにおける振動子の上面図
【図２】本発明の実施の形態１の加速度センサにおける振動子の他の実施例を示す上面図
【図３】従来の加速度センサにおける振動子の上面図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１における加速度センサについて図面を参照しながら説明する。本実施の形態における加速度センサは、図１に示すごとく、振動子１１と、振動子１１に設けられた駆動電極（図示せず）と、前記振動子１１に設けられた検知電極（図示せず）と、を備え、前記駆動電極（図示せず）に入力された駆動信号により前記振動子１１が振動し、前記振動子１１の振動状態に基づき前記検知電極（図示せず）が検知信号を出力し、前記検知信号により前記振動子１１に加わった加速度を検知する。
【００１２】
具体的には、前記振動子１１は、支持部１２と、前記支持部１２に対峙する質量付加部１３と、前記支持部１２と前記質量付加部１３との間を連結する第１、第２の梁１４、１５とを有し、前記第１の梁１４には第１の錘１６が連結され、前記第２の梁１５には第２の錘１７が連結された構成としている。
【００１３】
このような構成により、前記第１、第２の梁１４、１５の振幅を大きくすることができるため、ＳＮ比を改善することができ、その結果として、加速度センサの検知精度を向上させることができるのである。
【００１４】
また、前記第１、第２の錘１６、１７が前記第１、第２の梁１４、１５に連結することにより、前記第１、第２の梁１４、１５における２次振動モードを励起しやすくすることができるため、より確実に２次振動モードを駆動振幅に使用することができ、結果として高感度な検知をすることができる。
【００１５】
なお、駆動電極（図示せず）と検知電極（図示せず）の配置としては、前記第１、第２の梁１４、１５のいずれかの場所に配置すれば問題ないが、第１の梁１４に第１の駆動電極（図示せず）と第１の検知電極（図示せず）とを配置し、第２の梁１５に第２の駆動電極（図示せず）と第２の検知電極（図示せず）とを配置することが望ましい。その理由としては、第１、第２の梁にそれぞれ駆動電極を配置する構成とすることにより、駆動効率を向上させることができると共に、第１、第２の梁にそれぞれ検知電極を配置することにより、検出効率を向上させることができるためである。
【００１６】
更に、図２に示すごとく、振動子２１と、前記振動子２１に設けられた駆動電極（図示せず）と、前記振動子２１に設けられた第１、第２の検知電極（図示せず）と、を備え、前記駆動電極（図示せず）に入力された駆動信号により前記振動子２１が振動し、前記振動子２１の振動状態に基づき前記第１、第２の検知電極（図示せず）が第１、第２の検知信号を出力し、前記第１、第２の検知信号の差を演算することにより前記振動子２１に加わった加速度を検知する加速度センサとすることが望ましい。
【００１７】
具体的には、前記振動子２１が、支持部２２と、前記支持部２２と対峙する質量付加部２３と、前記支持部２２と前記質量付加部２３との間を連結する第１、第２、第３、第４の梁２４、２５、２６、２７と、を有し、前記第１の梁２４には第１の錘２８が連結され、前記第２の梁２５には第２の錘２９が連結され、前記第３の梁２６には第３の錘３０が連結され、前記第４の梁２７には第４の錘３１が連結され、前記第１、第２の梁２４、２５により前記第１の検知信号が出力され、前記第３、第４の梁２６、２７により前記第２の検知信号が出力される構成とすることにより、叙述した検知精度を向上させることができるという効果を有すると共に、感度を向上させることができるという効果を有することができるため望ましい。
【００１８】
なお、その際においては、前記第１の検知電極（図示せず）は前記第１、第２の梁２４、２５の内少なくとも１つに設けられ、前記第２の検知電極（図示せず）は前記第３、第４の梁２６、２７の内少なくとも１つに設けられた構成とする必要がある。
【００１９】
なお、駆動電極（図示せず）は、前記第１、第２、第３、第４の梁２４、２５、２６、２７のうち少なくとも一つに設けられた構成とすればよい。
【００２０】
ただし、前記第１、第２、第３、第４の梁２４、２５、２６、２７のそれぞれに駆動電極（図示せず）を配置する構成とすることにより、駆動効率を向上させることができ、またそれぞれに検出電極（図示せず）を配置する構成とすることにより、検出効率を向上させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００２１】
本発明の加速度センサは、その検知精度を向上させることができるという効果を有し、デジタルカメラ、カーナビゲーション等の各種電子機器や自動車において有用である。
【符号の説明】
【００２２】
１１  振動子
１２  支持部
１３  質量付加部
１４  第１の梁
１５  第２の梁
１６  第１の錘
１７  第２の錘
【図１】
2011047851.tif 000003
【図２】
2011047851.tif 000004
【図３】
2011047851.tif 000005