(57)【要約】【課題】蓄電デバイスの電極の形成にアルカリ金属を用いる場合であっても安全な方法で電極を作製する。【解決手段】集電体の表面にアルカリ金属イオンの吸蔵及び放出が可能な層であるアルカリ金属イオン吸蔵放出層を形成し、アルカリ金属イオン吸蔵放出層の表面にアルカリ金属膜を減圧下で形成し、アルカリ金属膜をイオン化させつつ、イオン化されたアルカリ金属をアルカリ金属イオン吸蔵放出層に含浸させることにより負極を作製する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
正極、負極、及び電解質を有する蓄電デバイスの作製方法であって、
前記負極の集電体の表面にアルカリ金属イオンの吸蔵及び放出が可能な層を形成し、前記アルカリ金属イオンの吸蔵及び放出が可能な層の表面にアルカリ金属膜を減圧下で形成し、前記アルカリ金属膜をイオン化させつつ、イオン化されたアルカリ金属を前記アルカリ金属イオンの吸蔵及び放出が可能な層に含浸させることにより前記負極を作製することを特徴とする蓄電デバイスの作製方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記アルカリ金属膜は、化学気相成長法を用いて形成することを特徴とする蓄電デバイスの作製方法。
【請求項３】
請求項１において、
前記アルカリ金属膜は、物理気相成長法を用いて形成することを特徴とする蓄電デバイスの作製方法。
【請求項４】
請求項３において、
前記物理気相成長法は、真空蒸着法又はスパッタリング法であることを特徴とする蓄電デバイスの作製方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項において、
前記アルカリ金属膜として、ナトリウム膜を形成することを特徴とする蓄電デバイスの作製方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明の一形態は、蓄電デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、リチウムイオン二次電池及びリチウムイオンキャパシタ等の蓄電デバイスの開発が行われている。
【０００３】
上記リチウムイオン二次電池及びリチウムイオンキャパシタ等の蓄電デバイスの電極は、集電体の表面に活物質を形成することにより作製される。また、高い作動電圧を得るために、予めリチウム又はナトリウム等のアルカリ金属イオンを活物質に導入する技術（プレドープ技術ともいう）が知られている（例えば特許文献１）。
【０００４】
特許文献１では、負極の作製において、集電体の表面にリチウムイオンの吸蔵及び放出が可能な材料を含む層を形成し、リチウムイオンの吸蔵及び放出が可能な材料を含む層の表面に別途用意されたリチウム箔を圧着してリチウムイオンの吸蔵及び放出が可能な材料を含む層にリチウムイオンを導入する技術が開示されている。リチウムその他のアルカリ金属は、一般的に反応性が高く、例えば水と激しく反応する。このためアルカリ金属は、危険性が高く、取り扱いが難しい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平８−１０７０４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の一態様では、蓄電デバイスの電極の形成にアルカリ金属を用いる場合であっても安全に電極を作製することを課題の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様は、蓄電デバイスの作製において、アルカリ金属イオンの吸蔵及び放出が可能な層の表面にアルカリ金属膜を減圧下で成膜し、成膜したアルカリ金属膜を用いて、アルカリ金属イオンが含浸された電極の活物質を作製するものである。
【０００８】
本発明の一態様は、正極、負極、及び電解質を有する蓄電デバイスの作製方法であって、負極の集電体の表面にアルカリ金属イオンの吸蔵及び放出が可能な層を形成し、アルカリ金属イオンの吸蔵及び放出が可能な層の表面にアルカリ金属膜を減圧下で形成し、前記アルカリ金属膜をイオン化させつつアルカリ金属イオンの吸蔵及び放出が可能な層に含浸させることにより負極を作製することを特徴とする蓄電デバイスの作製方法である。
【０００９】
なお、本発明の一態様において、アルカリ金属膜は、化学気相成長法を用いて形成してもよい。
【００１０】
また、本発明の一態様において、アルカリ金属膜は、物理気相成長法を用いて形成してもよい。
【００１１】
また、本発明の一態様において、物理気相成長法は、真空蒸着法又はスパッタ法としてもよい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の一態様により、アルカリ金属を用いる際の危険性を低減することができるため、より安全に電極、及び当該電極を有する蓄電デバイスを作製することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】蓄電デバイスの構造を示す図である。
【図２】蓄電デバイスの作製方法の一例を示す断面図である。
【図３】化学気相成長装置を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
本発明の実施の形態の一例について、図面を用いて以下に説明する。但し、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではないとする。なお、説明中に図面を参照するにあたり、同じものを指す符号は異なる図面間でも共通して用いる場合がある。また、同様のものを指す際には同じハッチパターンを使用し、特に符号を付さない場合がある。
【００１５】
（実施の形態１）
本実施の形態では、蓄電デバイスについて説明する。
【００１６】
蓄電デバイスとして、キャパシタあるいは二次電池が含まれる。キャパシタ１１１の構造を図１（Ａ）に示し、二次電池１１２の構造を図１（Ｂ）に示す。
【００１７】
キャパシタ１１１は、筐体１３１、正極集電体１３２及び正極活物質１３３を含む正極１３８、負極集電体１３４及び負極活物質１３５を含む負極１３９、正極１３８及び負極１３９の間に配置されたセパレータ１３６、並びに電解液１３７を有する。
【００１８】
正極集電体１３２として、アルミニウム（Ａｌ）、チタン（Ｔｉ）等の単体あるいは化合物を用いればよい。
【００１９】
正極活物質１３３として、活性炭、カーボンナノチューブ、フラーレン、ポリアセン等を用いればよい。
【００２０】
負極集電体１３４としては、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、ニッケル（Ｎｉ）、チタン（Ｔｉ）等の単体あるいは化合物を用いればよい。
【００２１】
負極活物質１３５には、アルカリ金属イオンの吸蔵及び放出が可能な材料及びアルカリ金属の化合物が含まれる。アルカリ金属イオンの吸蔵及び放出が可能な材料としては、炭素、シリコン、又はシリコン合金等がある。アルカリ金属イオンの吸蔵及び放出が可能な炭素として、粉末状または繊維状の黒鉛やグラファイト等の炭素材を用いることが可能である。
【００２２】
また負極活物質１３５としてシリコン材料を用いる場合、微結晶シリコン（マイクロクリスタルシリコン）を成膜し、微結晶シリコン中に存在する非結晶シリコンをエッチングにより除去したものを用いてもよい。微結晶シリコン中に存在する非結晶シリコンを除去すると、残った微結晶シリコンの表面積が大きくなる。
【００２３】
アルカリ金属イオンの吸蔵及び放出が可能な材料で形成される層に、リチウム、ナトリウム、カリウム等のアルカリ金属が吸蔵され反応して、負極活物質１３５が形成される。
【００２４】
セパレータ１３６として、紙、不織布、ガラス繊維、又は合成繊維を用いることができる。合成繊維としては、例えばナイロン（ポリアミド）、ビニロン（ビナロンともいう）（ポリビニルアルコール系繊維）、ポリエステル、アクリル、ポリオレフィン、又はポリウレタンなどを用いることができる。ただし、セパレータ１３６としては、後述する電解液１３７に溶解しない材料を選ぶ必要がある。
【００２５】
より具体的には、セパレータ１３６の材料として、例えば、フッ素系ポリマ、ポリエーテル（例えばポリエチレンオキシド又はポリプロピレンオキシド等）、ポリオレフィン（例えばポリエチレン又はポリプロピレン等）、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニリデン、ポリメチルメタクリレート、ポリメチルアクリレート、ポリビニルアルコール、ポリメタクリロニトリル、ポリビニルアセテート、ポリビニルピロリドン、ポリエチレンイミン、ポリブタジエン、ポリスチレン、ポリイソプレン、及びポリウレタンなどの高分子材料、該高分子材料の誘導体、セルロースなどの高分子材料、紙、並びに不織布から選ばれる１種を単独で、又は２種以上を組み合せて用いることができる。
【００２６】
電解液１３７は、アルカリ金属イオンを含み、アルカリ金属イオンが電気伝導を担っている。電解液１３７は、例えば溶媒と、その溶媒に溶解するアルカリ金属塩とから構成される。アルカリ金属塩としては、例えばナトリウム塩等を挙げることができ、ナトリウム塩としては、例えば、塩化ナトリウム（ＮａＣｌ）、フッ化ナトリウム（ＮａＦ）、過塩素酸ナトリウム（ＮａＣｌＯ４）、硼弗化ナトリウム（ＮａＢＦ４）、塩化リチウム（ＬｉＣｌ）、フッ化リチウム（ＬｉＦ）、過塩素酸リチウム（ＬｉＣｌＯ４）、硼弗化リチウム（ＬｉＢＦ４）、塩化カリウム（ＫＣｌ）、フッ化カリウム（ＫＦ）、過塩素酸カリウム（ＫＣｌＯ４）、硼弗化カリウム（ＫＢＦ４）等を挙げることができ、これらを使用する電解液１３７に単独または二種以上を組み合わせて使用することができる。
【００２７】
また電解液１３７の溶媒として、例えば、環状カーボネート類（例えばエチレンカーボネート（ＥＣ）、プロピレンカーボネート（ＰＣ）、ブチレンカーボネート（ＢＣ）、又はビニレンカーボネート（ＶＣ）など）、非環状カーボネート類（例えばジメチルカーボネート（ＤＭＣ）、ジエチルカーボネート（ＤＥＣ）、エチルメチルカーボネート（以下、ＥＭＣと略す）、メチルプロピルカーボネート（ＭＰＣ）、メチルイソブチルカーボネート（ＭＩＰＣ）、又ジプロピルカーボネート（ＤＰＣ）など）、脂肪族カルボン酸エステル類（例えばギ酸メチル、酢酸メチル、プロピオン酸メチル、又はプロピオン酸エチルなど）、γ−ラクトン類（例えばγ−ブチロラクトンなど）、非環状エーテル類（１，２−ジメトキシエタン（ＤＭＥ）、１，２−ジエトキシエタン（ＤＥＥ）、又はエトキシメトキシエタン（ＥＭＥ）など）、環状エーテル類（例えばテトラヒドロフラン又は２−メチルテトラヒドロフランなど）、又はアルキルリン酸エステル（例えばジメチルスルホキシド、１，３−ジオキソラン、リン酸トリメチル、リン酸トリエチル、又はリン酸トリオクチルなど）若しくはそのフッ化物を挙げることができ、これらの一種または二種以上を混合して使用する。
【００２８】
二次電池１１２は、筐体１４１、正極集電体１４２及び正極活物質１４３を含む正極１４８、負極集電体１４４及び負極活物質１４５を含む負極１４９、正極１４８及び負極１４９の間に配置されたセパレータ１４６、電解液１４７を有する。
【００２９】
二次電池１１２の正極集電体１４２としては、キャパシタ１１１の正極集電体１３２と同様の材料を用いればよい。
【００３０】
正極活物質１４３として、アルカリ金属含有複合酸化物を用いればよい。アルカリ金属含有複合酸化物としては、例えばナトリウム、リチウム、カリウムなどのアルカリ金属と、コバルト、ニッケル、マンガン、鉄などの遷移金属とを含む酸化物を用いることができる。例えばリチウムと遷移金属とを含む酸化物の一例としては、ＬｉＣｏＯ２、ＬｉＮｉＯ２、ＬｉＭｎＯ２、ＬｉＦｅＰＯ４などが挙げられる。また、複数種の遷移金属がアルカリ金属含有複合酸化物に含まれていてもよい。
【００３１】
二次電池１１２の負極集電体１４４としては、キャパシタ１１１の負極集電体１３４と同様の材料を用いればよい。
【００３２】
二次電池１１２の負極活物質１４５としては、キャパシタ１１１の負極活物質１３５と同様の材料を用いればよい。
【００３３】
さらに二次電池１１２の負極活物質１４５として、スズ（Ｓｎ）を含む合金を用いることも可能である。
【００３４】
二次電池１１２のセパレータ１４６及び電解液１４７としては、キャパシタ１１１のセパレータ１３６及び電解液１３７と同様の材料を用いればよい。
【００３５】
ここで、蓄電デバイスの作製方法について説明する。
【００３６】
本実施の形態の蓄電デバイスの作製方法について図２を用いて説明する。図２は、蓄電デバイスの作製方法の一例を示す断面図である。
【００３７】
まず図２（Ａ）に示すように、集電体２０１を準備し、集電体２０１の表面にアルカリ金属イオンの吸蔵及び放出が可能な層（以下、アルカリ金属イオン吸蔵放出層２０２とも示す。）を形成する。
【００３８】
集電体２０１としては、例えば図１に示す負極集電体１３４に適用可能な材料を用いることができる。
【００３９】
アルカリ金属イオン吸蔵放出層２０２は、アルカリ金属イオンの吸蔵及び放出が可能な材料を用いて形成することができる。例えば、アルカリ金属イオンの吸蔵及び放出が可能な材料をバインダ及び導電材と混合し、得られた混合物をシート状に延ばして乾燥させることによりアルカリ金属イオン吸蔵放出層２０２を形成することができる。アルカリ金属イオンの吸蔵及び放出が可能な材料としては、例えば図１に示す負極活物質１３５に適用可能な炭素材料、シリコン材料、又はシリコン合金材料等を用いることができる。また、アルカリ金属イオンとして例えばリチウムイオンではなくナトリウムイオンを用いる場合、蓄電デバイスの製造コストを低減することができる。また、バインダとしては、例えば樹脂材料などを用いることができる。また、導電材としては、例えばカーボンブラック又はアセチレンブラックなどを用いることができる。
【００４０】
次に、図２（Ｂ）に示すように、アルカリ金属イオン吸蔵放出層２０２の表面にアルカリ金属膜２０３を形成する。
【００４１】
アルカリ金属膜２０３は、負極活物質１３５の作製時において、水分及び酸素を除去した雰囲気、代表的には減圧下でアルカリ金属イオン吸蔵放出層２０２表面に形成する。アルカリ金属膜２０３の作製方法の代表例としては、物理気相成長法（ＰＶＤ法ともいう）又は化学気相成長法（ＣＶＤ法ともいう）などがある。
【００４２】
物理気相成長法としては、例えば真空蒸着法又はスパッタリング法を用いることができる。スパッタリング法では、例えば、アルカリ金属の塩化物若しくはフッ化物をターゲットとし、希ガスイオンでターゲットをスパッタリングしつつ、水素でアルカリ金属の塩化物若しくはフッ化物を還元してアルカリ金属膜２０３を形成する。
【００４３】
化学気相成長法としては、例えばプラズマＣＶＤ法、熱ＣＶＤ法、ＭＯＣＶＤ法（有機金属気相成長法）などを用いることができる。これらの成膜方法を用いてアルカリ金属膜２０３を形成することにより、アルカリ金属膜２０３を大気に曝すことなく形成することができるため、安全に負極活性物質及び負極を形成することができる。なお、図２（Ｂ）では、アルカリ金属膜２０３を一様な厚さで示しているが、これに限定されず、複数の膜厚の異なる部分を有していてもよく、複数に分離していてもよい。
【００４４】
その後、アルカリ金属膜２０３をイオン化させつつ、イオン化されたアルカリ金属をアルカリ金属イオン吸蔵放出層２０２に含浸させる。アルカリ金属膜２０３のイオン化は経時的に進み、アルカリ金属膜２０３がアルカリ金属イオンとしてアルカリ金属イオン吸蔵放出層２０２に含浸されることにより、図２（Ｃ）に示すように、活物質２０４が形成され、負極を作製することができる。このとき図２（Ｃ）に示すように、活物質２０４がアルカリ金属イオン吸蔵放出層２０２より膨張してもよい。ただしこれに限定されず、膨張しない材料を用いることにより、活物質２０４の膨張を抑制することもできる。
【００４５】
図２に一例として示すように、本実施の形態の蓄電デバイスの作製方法は、アルカリ金属イオンの吸蔵及び放出が可能な層の表面にアルカリ金属膜を減圧下で形成した後、アルカリ金属膜をアルカリ金属イオンとしてアルカリ金属イオンの吸蔵及び放出が可能な層に含浸させるものである。これにより、アルカリ金属を用いる際の危険性を低減することができるため、より安全に電極を作製することができる。
【００４６】
なお、本実施の形態は、他の実施の形態と適宜組み合わせ及び置き換えを行うことができる。
【００４７】
（実施の形態２）
次に、アルカリ金属イオンの吸蔵及び放出が可能な層の表面にアルカリ金属膜を形成する方法の一形態として、ＣＶＤ法を用いた形態を示す。
【００４８】
図３に、化学気相成長装置の概略図を示す。化学気相成長装置は、原料をガス化する第１の反応室３０１と、第１の反応室３０１で発生したガスを原料としてＣＶＤ法により、アルカリ金属イオンの吸蔵及び放出が可能な層の表面にアルカリ金属膜を形成する第２の反応室３０３がＯリング３０５等で連結されている。なお、第１の反応室３０１及び第２の反応室３０３は互いに開放されており、第１の反応室３０１で発生したガスを第２の反応室３０３に導入することができる。
【００４９】
第１の反応室３０１は石英で形成される。また、第１の反応室３０１はガスラインを介してガス供給手段３０７に接続される。ガス供給手段３０７は、ガスが充填されるシリンダ３０９、圧力調整弁３１１、ストップバルブ３１３、マスフローコントローラ３１５などで構成されている。ここでは、ガス供給手段３０７のシリンダ３０９には、還元性ガス、代表的には水素が含まれる。なお、シリンダ３０９として、還元性ガスのほか、ヘリウム、ネオン、アルゴン等の希ガスを含むシリンダを設けてもよい。第１の反応室３０１の周囲には高周波コイル３１７が設けられる。また、第１の反応室３０１の内部にはシリコンサセプター３２１が設けられる。シリコンサセプター３２１により、アルカリ金属化合物３１９が保持される。アルカリ金属化合物３１９としては、ハロゲン化物（例えばフッ化カリウム、フッ化ナトリウム、フッ化カルシウム、塩化カリウム、又は塩化ナトリウム、塩化カルシウムなど）、酸化物（例えば酸化リチウム、酸化ナトリウム、又は酸化カリウムなど）、硝酸塩（例えば硝酸リチウム、硝酸ナトリウム、又は硝酸カリウムなど）、リン酸塩（例えばリン酸リチウム、リン酸ナトリウム、又はリン酸カリウムなど）、炭酸塩（例えば炭酸リチウム、炭酸ナトリウム、又は炭酸カリウムなど）、有機金属化合物（リチウム、ナトリウム、又はカリウムを含む有機金属化合物）、その他のアルカリ金属を含む化合物を適宜用いることができる。
【００５０】
ここでは、第２の反応室３０３は、アルミニウムまたはステンレスなど剛性のある素材で形成され、内部を真空排気できるように構成されている。第２の反応室３０３内には、第１の電極３２２（上部電極ともいう。）及び第２の電極３２３（下部電極ともいう。）が設けられる。
【００５１】
第１の電極３２２には、高周波電力供給手段３２５が連結されている。高周波電力供給手段３２５は、高周波電源、整合器、高周波カットフィルタ等が含まれている。高周波電力供給手段３２５から出力される高周波電力は、第１の電極３２２に供給される。また、第２の電極３２３は接地され、基板３２７を載置できるように構成されている。なお、第１の電極３２２及び第２の電極３２３と第２の反応室３０３との間には絶縁材が設けられ、高周波電力が第２の反応室３０３に漏洩しないように構成されている。
【００５２】
なお、図３では、第１の電極３２２と第２の電極３２３を有する容量結合型（平行平板型）の構成を示しているが、これに限定されない。高周波電力を供給して第２の反応室３０３の内部にグロー放電プラズマを生成できるものであれば、誘導結合型など他の構成を適用してもよい。さらには、プラズマＣＶＤが可能な化学気相成長装置に限らず、熱ＣＶＤ、ＭＯＣＶＤ等が可能な化学気相成長装置を適宜用いることができる。
【００５３】
第２の反応室３０３には、第１の反応室３０１及び第２の反応室３０３内の真空排気、及び圧力を調整するための排気手段３２９が接続される。排気手段３２９の構成としては、バタフライバルブ３３１、バルブ３３３、３３５、ターボ分子ポンプ３３７、ドライポンプ３３９などが含まれる。なお、排気手段３２９は、第１の反応室３０１及び第２の反応室３０３の設定圧力にあわせて、適宜真空ポンプを組み合わせて用いることができる。なお、排気手段３２９により第１の反応室３０１を減圧することで、シリコンサセプター３２１で保持されたアルカリ金属化合物３１９の蒸発温度を下げることができる。
【００５４】
一例として、飽和蒸気圧が１Ｔｏｒｒ（１３３Ｐａ）となる温度は、フッ化リチウムが１０４７℃、塩化リチウムが７８３℃、フッ化ナトリウムが１０７７℃、塩化ナトリウムが８６５℃である。このため、第１の反応室３０１の圧力を１Ｔｏｒｒより下げることで、それぞれのアルカリ金属化合物の昇華温度または蒸発温度を低減することができる。
【００５５】
次に、図３に示す化学気相成長装置を用いて、アルカリ金属イオンの吸蔵及び放出が可能な層の表面にアルカリ金属膜を形成する方法を示す。
【００５６】
第２の反応室３０３の第２の電極３２３上にアルカリ金属イオンの吸蔵及び放出が可能な層が形成された電極を搭載する。次に、ガス供給手段３０７の圧力調整弁３１１及びストップバルブ３１３を開き、マスフローコントローラ３１５で流量が調節された水素ガスをシリンダ３０９から第１の反応室３０１に導入する。次に、排気手段３２９により第１の反応室３０１及び第２の反応室３０３の圧力を調整する。
【００５７】
次に、高周波コイル３１７に高周波電力を供給して、高周波コイル３１７の高周波誘導によりシリコンサセプター３２１を加熱する。この際、シリコンサセプター３２１に設けられたアルカリ金属化合物が加熱され、アルカリ金属化合物がガス化する。
【００５８】
第２の反応室３０３に排気手段３２９が設けられているため、第１の反応室３０１で蒸発したアルカリ金属化合物ガスが第２の反応室３０３に移動する。
【００５９】
次に、第２の反応室３０３に設けられた第１の電極３２２に高周波電力を供給して、第１の電極３２２及び第２の電極３２３の間でグロー放電を起こし、プラズマを発生させる。この際、第２の反応室３０３には水素ガスが導入されているため、アルカリ金属化合物ガスに含まれるアルカリ金属イオンはプラズマ中で還元され、アルカリ金属イオンの吸蔵及び放出が可能な層の表面に、減圧下でアルカリ金属膜を成膜することができる。
【００６０】
この後、アルカリ金属膜がアルカリ金属イオンとしてアルカリ金属イオンの吸蔵及び放出が可能な層に含浸されることにより、集電体の表面に活物質を形成することができる。本実施の形態では、アルカリ金属を用いて電極を作製する際の危険性を低減することができるため、より安全に電極及び当該電極を有する蓄電デバイスを作製することができる。
【符号の説明】
【００６１】
１１１    キャパシタ
１１２    二次電池
１３１    筐体
１３２    正極集電体
１３３    正極活物質
１３４    負極集電体
１３５    負極活物質
１３６    セパレータ
１３７    電解液
１３８    正極
１３９    負極
１４１    筐体
１４２    正極集電体
１４３    正極活物質
１４４    負極集電体
１４５    負極活物質
１４６    セパレータ
１４７    電解液
１４８    正極
１４９    負極
２０１    集電体
２０２    アルカリ金属イオン吸蔵放出層
２０３    アルカリ金属膜
２０４    活物質
３０１    第１の反応室
３０３    第２の反応室
３０５    Ｏリング
３０７    ガス供給手段
３０９    シリンダ
３１１    圧力調整弁
３１３    ストップバルブ
３１５    マスフローコントローラ
３１７    高周波コイル
３１９    アルカリ金属化合物
３２１    シリコンサセプター
３２２    第１の電極
３２３    第２の電極
３２５    高周波電力供給手段
３２７    基板
３２９    排気手段
３３１    バタフライバルブ
３３３    バルブ
３３７    ターボ分子ポンプ
３３９    ドライポンプ
【図１】
2011023710.tif 000003
【図２】
2011023710.tif 000004
【図３】
2011023710.tif 000005