(57)【要約】【課題】  アームをキャリア内に侵入させたとき、ウエハの姿勢に不正なゆがみがあると、アームがウエハに接触してしまう場合がある。【解決手段】  アームが、ウエハを保持する。アーム駆動機構が、アームを退避位置から、ウエハを受け取る受取位置まで、または受取位置から退避位置まで移動させる。ガス吸引装置がガスを吸引する。第１のガス流路が、ガス吸引装置から、アームの内部を経由して、アームの表面に開口する。第１の検出器が、第１のガス流路内のガスの圧力または流速を測定する。【選択図】  図２
2011108834.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハを保持するアームと、
前記アームを退避位置から、ウエハを受け取る受取位置まで、または前記受取位置から前記退避位置まで移動させるアーム駆動機構と、
ガスを吸引するガス吸引装置と、
前記ガス吸引装置から、前記アームの内部を経由して、前記アームの表面に開口する第１のガス流路と、
前記第１のガス流路内のガスの圧力または流速を測定する第１の検出器と
を有するウエハ移送装置。
【請求項２】
さらに、前記第１の検出器による検出結果が入力され、前記第１の検出器による検出結果に基づいて、前記アーム駆動機構を制御する制御装置を有する請求項１に記載のウエハ移送装置。
【請求項３】
前記第１の検出器は、前記第１のガス流路内の圧力を測定し、
前記制御装置は、前記アームが前記受取位置に向かって移動するように前記アーム駆動機構を制御しているとき、前記第１の検出器で検出された圧力と、しきい値とを比較し、検出された圧力が前記しきい値以上になると、前記アームの移動を停止させる請求項２に記載のウエハ移送装置。
【請求項４】
前記アームは、ウエハを保持する保持面を有し、
前記第１のガス流路の前記先端が、前記保持面に開口しており、
前記アームがの、前記受取位置側の先端から、前記第１のガス流路の開口部までの距離が６０ｍｍ以下である請求項１乃至３のいずれか１項に記載のウエハ移送装置。
【請求項５】
ウエハに対して、該ウエハの厚さ方向に間隔を隔てた状態で、アームと前記ウエハとの重なり面積が大きくなるようにアームを移動させる工程と、
前記アームが前記ウエハの受取位置まで達した時点で、前記ウエハを前記アームに接触させて、前記アームで前記ウエハを保持する工程と
を有し、
前記アームを移動させる工程が、
前記アームと前記ウエハとの間の空間内のガスを、前記アームの内部に設けられたガス流路を介して吸引する工程と、
前記ガス流路内の圧力または流速を計測する工程と、
前記圧力または前記流速の計測値に基づいて、前記アームの移動を制御する工程と
を含むウエハ移送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハを、格納部から取り出すウエハ移送装置及び移送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウエハキャリア内のウエハを、アームで取り出す場合、アームをキャリア内に侵入させた状態で、キャリアを下降させるか、またはアームを上昇させる。これにより、ウエハがアームの上に保持される。アームをキャリア内に侵入させる前に、キャリア内のウエハを光センサで積層方向に走査することにより、ウエハの有無、及び位置情報が取得される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２８５７９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
キャリア内に格納されているウエハの姿勢に、光センサによる積層方向の走査によって検出されないような不正が生じている場合、アームをキャリア内に侵入させると、アームがウエハに接触してしまう。この接触により、ウエハ及びアームが損傷を受ける。また、アームの固定ねじの緩み等によって、アームが正規の位置からずれていると、アームがウエハに接触してしまうおそれがある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一観点によると、
ウエハを保持するアームと、
前記アームを退避位置から、ウエハを受け取る受取位置まで、または前記受取位置から前記退避位置まで移動させるアーム駆動機構と、
ガスを吸引するガス吸引装置と、
前記ガス吸引装置から、前記アームの内部を経由して、前記アームの表面に開口する第１のガス流路と、
前記第１のガス流路内のガスの圧力または流速を測定する第１の検出器と
を有するウエハ移送装置が提供される。
【０００６】
本発明の他の観点によると、
ウエハに対して、該ウエハの厚さ方向に間隔を隔てた状態で、アームと前記ウエハとの重なり面積が大きくなるようにアームを移動させる工程と、
前記アームが前記ウエハの受取位置まで達した時点で、前記ウエハを前記アームに接触させて、前記アームで前記ウエハを保持する工程と
を有し、
前記アームを移動させる工程が、
前記アームと前記ウエハとの間の空間内のガスを、前記アームの内部に設けられたガス流路を介して吸引する工程と、
前記ガス流路内の圧力または流速を計測する工程と、
前記圧力または前記流速の計測値に基づいて、前記アームの移動を制御する工程と
を含むウエハ移送方法が提供される。
【発明の効果】
【０００７】
ウエハへのアームの異常接近を検出し、両者の接触を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】実施例１によるウエハ移送装置の概略図である。
【図２】（２Ａ）は、実施例１によるウエハ移送装置のアームの一部の平断面図であり、（２Ｂ）〜（２Ｄ）は、それぞれ（２Ａ）の一点鎖線２Ｂ−２Ｂ、２Ｃ−２Ｃ、２Ｄ−２Ｄにおける断面図である。
【図３】（３Ａ）は、実施例１によるウエハ移送装置のガスの経路図であり、（３Ｂ）は、その変形例によるウエハ移送装置のガスの経路図である。
【図４】（４Ａ）及び（４Ｂ）は、実施例１によるウエハ移送装置のアームとウエハとの位置関係を示す断面図である。
【図５】実施例１によるウエハ移送装置の動作のフローチャートである。
【図６】（６Ａ）は、実施例２によるウエハ移送装置のアームの一部の平断面図であり、（６Ｂ）〜（６Ｄ）は、それぞれ（６Ａ）の一点鎖線６Ｂ−６Ｂ、６Ｃ−６Ｃ、６Ｄ−６Ｄにおける断面図である。
【図７】実施例２によるウエハ移送装置のガスの経路図である。
【図８】（８Ａ）及び（８Ｂ）は、実施例２によるウエハ移送装置のアームとウエハとの位置関係を示す断面図である。
【図９】実施例３によるウエハ移送装置のアームの一部の平断面図である。
【図１０】実施例３によるウエハ移送装置のガスの経路図である。
【図１１】（１１Ａ）及び（１１Ｂ）は、実施例３によるウエハ移送装置のアームとウエハとの位置関係を示す断面図である。
【図１２】実施例４によるウエハ移送装置のアームの一部の平断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
［実施例１］
図１に、実施例１によるウエハ移送装置の概略図を示す。キャリア載置台１１の上に、複数のウエハ３１を格納したキャリア３０が載置される。キャリア載置台１１は、ロッド１０により昇降可能に支持されている。昇降モータ１２の回転軸の回転力が、タイミングベルトを介してロッド１０に伝達される。ロッド１０が回転すると、キャリア載置台１１が昇降する。高さセンサ１３が、ロッド１０の回転角を測定することにより、キャリア載置台１１の高さ方向の位置情報を取得する。
【００１０】
アーム２０が、アーム支持部２１を介して、アーム駆動機構２５に支持されている。アーム駆動機構２５は、案内レール２２及びアーム駆動モータ２３を含む。案内レール２２は、アーム支持部２１を、直進移動可能に支持する。アーム駆動モータ２３の回転軸と、アーム支持部２１とが、タイミングベルトで連結されている。アーム駆動モータ２３を駆動すると、アーム支持部２１が案内レール２２に沿って直進移動する。
【００１１】
アーム支持部２１が案内レール２２に沿ってキャリア３０に向かって前進すると、アーム２０がキャリア３０の外に退避された位置（退避位置）から、キャリア３０内の受取位置まで移動する。受取位置では、アーム２０の一部分が受取対象のウエハ３１の下方に位置する。アーム支持部２１が後退すると、アーム２０が受取位置から退避位置まで移動する。
【００１２】
案内レール２２の側方に受取位置センサ２６及び退避位置センサ２７が配置されている。受取位置センサ２６は、アーム２０がキャリア３０内に侵入し、ウエハ受取位置に到達したことを検出する。退避位置センサ２７は、アーム２０が退避位置まで後退したことを検出する。図１では、アーム２０が退避位置まで後退している状態を実線で示し、アーム２０がキャリア３０内のウエハ受取位置まで前進した状態を破線で示している。
【００１３】
アーム２０の内部に、真空チャック用のバキュームライン４０が形成されている。バキュームライン４０は、電磁弁４１を介して、真空ポンプ（ガス吸引装置）４５に接続されている。さらに、アーム２０の内部に、アーム２０とウエハ３１との異常接近を検出するための複数のガス流路５０が形成されている。ガス流路５０の各々の先端は、アーム２０の表面に開口し、他端は、真空ポンプ４５に接続されている。圧力センサ４３が、ガス流路５０内のガス圧を測定する。
【００１４】
高さセンサ１３、受取位置センサ２６、退避位置センサ２７、圧力センサ４３の検出結果が制御装置３５に入力される。制御装置３５は、昇降モータ１２、アーム駆動モータ２３、電磁弁４１を制御する。操作者が動作開始ボタン３６を押下すると、ウエハ移送装置が動作を開始する。
【００１５】
図２Ａに、アーム２０の先端の一部の平断面図を示す。図２Ａの左方にキャリア３０が配置される。アーム２０は、平面視において、キャリア３０が配置される領域（ウエハの受取位置）に向かって延びた２つの延伸部分２０Ａ、２０Ｂを含む。２つの延伸部分２０Ａ、２０Ｂの間に、延伸部分２０Ａ、２０Ｂの先端よりも後退した後退部分２０Ｃを含む。
【００１６】
ガス流路５０ａ及び５０ｂが、アーム２０の基部から、それぞれ延伸部分２０Ａ、２０Ｂの先端に向かって延在する。ガス流路５０ａ、５０ｂの各々の先端は、アーム２０の保持面（上面）に開口する。さらに、２本のバキュームライン４０が、アーム２０の基部から、それぞれ延伸部分２０Ａ、２０Ｂの先端に向かって延在する。バキュームライン４０の先端も、アーム２０の保持面に開口する。
【００１７】
図２Ｂ、図２Ｃ、及び図２Ｄに、それぞれ図２Ａの一点鎖線２Ｂ−２Ｂ、２Ｃ−２Ｃ、及び２Ｄ−２Ｄにおける断面図を示す。アーム２０の内部に、ガス流路５０ｂが形成されている。図２Ｂ〜図２Ｄの一点鎖線２Ａ−２Ａにおける断面図が図２Ａに相当する。
【００１８】
ガス流路５０ｂは、アーム２０の基部から先端に向かって延び、先端の近傍で上方に折れ曲がって、保持面に開口している。ガス流路５０ｂの開口部５１ｂの近傍は、アーム２０の深い領域から浅い領域に向かって広がるテーパ形状にされている。バキュームライン４０も、アーム２０の先端の近傍で上方に折れ曲がり、保持面に開口している。保持面にウエハが載置された状態で、バキュームライン４０内を真空吸引することにより、ウエハを保持面の上に吸着することができる。アーム２０の厚さＴ０は、例えば３ｍｍである。ガス流路５０ｂの厚さＴ１は例えば１ｍｍであり、幅Ｗ１は例えば１．５ｍｍ〜３ｍｍである。もう一方のガス流路５０ａも、ガス流路５０ｂと同一の形状を有する。
【００１９】
アーム２０は、例えば複数の薄板を積層することにより製造される。薄板を積層する前に、一部の薄板に、ガス流路５０ａ、５０ｂ、バキュームライン４０に対応する溝や開口を形成しておくことにより、内部にガス流路５０ａ、５０ｂ、及びバキュームライン４０が形成されたアーム２０が得られる。
【００２０】
図３Ａに、バキュームライン４０及びガス流路５０ａ、５０ｂの経路図を示す。バキュームライン４０が、電磁弁４１を介して真空ポンプ４５に接続されている。電磁弁４１を開くと、バキュームライン４０内が真空吸引され、アーム２０の保持面にウエハが吸着される。
【００２１】
ガス流路５０ａ、５０ｂの、開口部５１ａ、５１ｂとは反対側の端部が、真空ポンプ４５に接続されている。ガス流路５０ａ、５０ｂに、それぞれ圧力センサ４３ａ、４３ｂが取り付けられている。圧力センサ４３ａ、４３ｂは、それぞれガス流路５０ａ、５０ｂ内の圧力を測定する。圧力センサ４３ａ、４３ｂには、例えば、半導体ピエゾ抵抗拡散圧力センサを用いることができる。半導体ピエゾ抵抗拡散圧力センサは、ダイヤフラムの表面に形成した半導体ひずみゲージを含み、外部からの力（圧力）によってダイヤフラムが変形して発生するピエゾ抵抗効果による電気抵抗の変化を電気信号に変換する。
【００２２】
図３Ａでは、１つの真空ポンプ４５で、バキュームライン４０、ガス流路５０ａ、５０ｂ内を吸引した。図３Ｂに示すように、バキュームライン４０、ガス流路５０ａ、５０ｂのそれぞれに対応して真空ポンプ４５ｖ、４５ａ、４５ｂを準備してもよい。
【００２３】
図４Ａに、アーム２０をキャリア３０内に侵入させた状態の断面図を示す。アーム２０は、取り出し対象のウエハ３１のやや下方に侵入する。例えば、アーム２０の保持面とウエハ３１の底面との間隔は、１．５ｍｍ程度である。アーム２０の保持面と、ウエハ３１との間隔が一定であれば、ガス流路５０ｂを流れるガスの流速は一定である。両者の間隔が狭まると、流速が低下する。
【００２４】
ガス流路５０ｂ内を流れるガスの流速をｖ、重力加速度をｇ、ガス圧をＰ、ガスの比重量をγ、ある基準面から圧力検出位置までの高さをＺとすると、ベルヌーイの定理のエネルギ保存則より、以下の式が成立する。
ｖ２／（２ｇ）＋Ｐ／γ＋Ｚ＝一定
ウエハ移送装置の動作中、重力加速度ｇ、ガスの比重量γ、及び高さＺは一定であると考えられる。このため、流速ｖが低下すると、ガス圧Ｐが上昇する。このように、ガス流路５０ｂ内の流速の低下を、圧力センサ４３ｂで検出することができる。同様に、ガス流路５０ａ（図３Ａ）内の流速の低下を、圧力センサ４３ａで検出することができる。予め、アーム２０とウエハ３１との間隔の許容範囲の下限値が決められている。両者の間隔が、この下限値になったとき（異常接近したとき）のガス圧Ｐを測定し、測定結果をしきい値として設定する。圧力センサ４３ａの測定結果と、このしきい値とを比較することにより、アーム２０とウエハ３１とが、異常接近したことを検出することができる。
【００２５】
図４Ｂに、ウエハ３１が傾斜している例を示す。例えば、キャリア３０をキャリア載置台１１に載置するときに、キャリア３０が傾斜してしまった場合に、このような状況が生じ得る。アーム２０が前進する方向（図４Ｂにおいて左方向）に向かって、ウエハ３１が低くなるように傾斜している場合について説明する。アーム２０が前進するに従って、アーム２０の保持面と、ウエハ３１との間隔が狭くなる。このため、開口部５１ｂからのガスの流入量が減少し、ガス流路５０ｂ内の流速が徐々に低下する。
【００２６】
アーム２０を前進させている期間に、ガス流路５０ｂ内の圧力を常時測定しておくことにより、アーム２０とウエハ３１との異常接近を検出することができる。アーム２０とウエハ３１との異常接近を検出した時点でアーム２０の前進を停止させることにより、両者の接触を防止することができる。
【００２７】
図５に、実施例１によるウエハ移送装置の動作のフローチャートを示す。まず、ウエハ３１が格納されているキャリア３０を、キャリア載置台１１（図１）に載置する。操作者が動作開始ボタン３６を押下すると、制御装置３５は、昇降モータ１２を駆動して、キャリア３０の高さを調節する（ステップＳ１）。これにより、取り出し対象のウエハ３１に対して、アーム２０の相対的な高さがやや低くなる。
【００２８】
制御装置３５は、圧力センサ４３ａ、４３ｂの動作を開始させる（ステップＳ２）。これにより、圧力センサ４３ａ、４３ｂによる測定結果が、制御装置３５に常時入力される。アーム駆動機構２５を駆動して、アーム２０を前進させる（ステップＳ３）。圧力センサ４３ａ、４３ｂのいずれかで圧力がしきい値以上になったことを検出すると（ステップＳ４）、アーム２０の前進を停止させる（ステップＳ５）。さらに、警報を発出して、操作者に異常を通知する（ステップＳ６）。これにより、アーム２０とウエハ３１との接触を防止することができる。
【００２９】
アーム２０がウエハの受取位置まで到達したことを、受取位置センサ２６が検出すると（ステップＳ７）、アーム２０の前進を停止させる（ステップＳ８）。アーム２０を停止させた後、圧力センサ４３ａ、４３ｂの動作を停止させ、圧力の監視を終了する（ステップＳ９）。電磁弁４１を開放し、バキュームライン４０内の吸引を開始する（ステップＳ１０）。
【００３０】
昇降モータ１２を駆動して、キャリア３０を目標位置まで下降させる（ステップＳ１１）。高さセンサ１３が、キャリア３０が目標位置まで下降したことを検出すると（ステップＳ１２）、キャリア３０の下降を停止させる（ステップＳ１３）。これにより、ウエハ３１がアーム２０の保持面に真空吸着される。
【００３１】
アーム駆動モータ２３を駆動して、アーム２０を後方へ移動させる（ステップＳ１４）。アーム２０が退避位置まで達すると、退避位置センサ２７が、アーム２０の退避完了を検知する（ステップＳ１５）。アーム２０の退避が完了すると、アーム２０の移動を停止させる（ステップＳ１６）。
【００３２】
実施例１によるウエハ移送装置を用いると、アーム２０をキャリア３０内に侵入させたときに、アーム２０と、その上方に格納されているウエハ３１との異常接近を検出し、両者の接触を防止することができる。キャリア３０に格納されている複数のウエハ３１を、下側から順番に取り出す場合には、キャリア３０内に侵入したアーム２０の下方のウエハは既に取り出されている。従って、アーム２０の底面にウエハが接近することはない。従って、ガス流路５０ａ、５０ｂは、アーム２０の保持面（上面）に開口させておけばよい。
【００３３】
実施例１では、ガス流路５０ａ、５０ｂの開口部をテーパ形状にしている。このため、開口部近傍における乱流の発生を抑制することができる。これにより、乱流の発生に起因するウエハとの異常接近の検知精度の低下を抑制することができる。
【００３４】
アーム２０とウエハ３１との異常接近を事前に検知するために、開口部５１ａ、５１ｂは、なるべくアーム２０の先端近傍に配置することが好ましい。例えば、アーム２０が退避位置からキャリア３０内に侵入するときに、最初にキャリア３０内に侵入するアーム２０の先端から、開口部５０ａ、５０ｂまでの距離を、６０ｍｍ以下とすることが好ましい。
【００３５】
実施例１では、ガス流路５０ａ、５０ｂ内のガス圧を計測することによって、流速の変化を検出したが、直接、流速を計測してもよい。
【００３６】
また、実施例１では、圧力センサ４３ａ、４３ｂの検出結果を、１つのしきい値と比較して、アームの移動を停止させた。しきい値を２つ決定しておき、圧力が第１のしきい値以上になったら、アーム２０の前進速度を低下させ、第２のしきい値以上になった時点で、アーム２０を停止させてもよい。また、しきい値を３個以上決定しておき、アーム２０の前進速度を低下させる制御を、２回以上行ってもよい。
［実施例２］
図６Ａに、実施例２によるウエハ移送装置に用いられるアーム２０の先端部の平断面図を示す。図６Ｂ〜図６Ｄに、それぞれ図６Ａの一点鎖線６Ｂ−６Ｂ、６Ｃ−６Ｃ、及び６Ｄ−６Ｄにおける断面図を示す。以下、図２Ａ〜図２Ｄに示したアーム２０との相違点に着目して説明し、同一の構成部分については説明を省略する。
【００３７】
実施例２では、実施例１のガス流路５０ａ、５０ｂに加えて、さらにアーム２０の内部に４本のガス流路５０ｃ〜５０ｆが形成されている。ガス流路５０ｃ、５０ｅは、ガス流路５０ａと同様に、延伸部分２０Ａの先端近傍まで延びている。ガス流路５０ｃの先端は、アーム２０の底面に開口し、開口部５１ｃを形成する。ガス流路５０ｅは、アーム２０の、キャリア３０に対向する先端面に開口し、開口部５１ｅを形成する。
【００３８】
ガス流路５０ｄ、５０ｆは、ガス流路５０ｂと同様に、もう一方の延伸部分２０Ｂの先端近傍まで延びている。ガス流路５０ｄの先端は、アーム２０の底面に開口し、開口部５１ｄを形成する。ガス流路５０ｆは、アーム２０の先端面に開口し、開口部５１ｆを形成する。
【００３９】
図７に、バキュームライン４０及びガス流路５０ａ〜５０ｆの経路図を示す。ガス流路５０ｃ〜５０ｆの、開口部５１ｃ〜５１ｆとは反対側の端部が、ガス流路５０ａ、５０ｂと同様に、真空ポンプ４５に接続されている。ガス流路５０ｃ〜５０ｆに、それぞれ圧力センサ４３ｃ〜４３ｆが取り付けられている。圧力センサ４３ｃ〜４３ｆは、それぞれガス流路５０ｃ〜５０ｆ内の圧力を測定する。
【００４０】
図８Ａに、アーム２０をキャリア３０に格納された２枚のウエハ３１の間に挿入した状態の断面図を示す。キャリア３０に格納された複数のウエハ３１の間隔Ｇ０は、例えば６．３５ｍｍである。アーム２０の厚さが３ｍｍであり、アーム２０がウエハ３１の間の空間のほぼ中心に挿入されているとき、アーム２０の保持面と、その上のウエハ３１との間隔Ｇ１、及びアーム２０の底面と、その下のウエハ３１との間隔Ｇ２は、共に約１．６７５ｍｍになる。
【００４１】
図８Ｂに、アーム２０が前進する方向（図８Ｂにおいて左方向）に向かって、ウエハ３１が高くなるように傾斜している例を示す。アーム２０をキャリア３０内に侵入させるに従って、アーム２０の底面と、その下のウエハ３１との間隔Ｇ２が狭くなる。間隔Ｇ２が狭くなると、アーム２０の底面に開口部５１ｄを有するガス流路５０ｄ内を流れるガスの流速が遅くなる。このため、圧力センサ４３ｄ（図７）で計測されるガス圧が上昇する。このガス圧の上昇によって、アーム２０と、その下のウエハ３１との異常接近を検知することができる。
【００４２】
実施例２によるウエハ移送装置の動作のフローチャートは、図５に示した実施例１によるウエハ移送装置の動作のフローチャートと同一である。ただし、実施例２では、ステップＳ４において、圧力センサ５０ａ、５０ｂのみならず、他の圧力センサ５０ｃ〜５０ｆについても、異常が検出されたか否かが判断される。
【００４３】
実施例２においては、アーム２０で取り出す対象のウエハ３１の下方にも、ウエハ３１が残置されている場合に、アーム２０と下方のウエハ３１との異常接近を検知することができる。
【００４４】
また、実施例２では、アーム２０の先端面に開口部５１ｅ、５１ｆを有するガス流路５０ｅ、５０ｆが形成されている。このため、アーム２０の正面に、アーム２０の進路を塞ぐように配置された障害物を検知することができる。
［実施例３］
図９に、実施例３によるウエハ移送装置に用いられるアーム２０の先端部の平断面図を示す。以下、図６Ａに示したアーム２０との相違点に着目して説明し、同一の構成部分については説明を省略する。
【００４５】
実施例２では、アーム２０の延伸部分２０Ａ及び２０Ｂの先端近傍にのみ、ガス流路５０ａ〜５０ｆの開口部５１ａ〜５０ｆを設けた。実施例３では、アーム２０の後退部分２０Ｃの近傍に開口部５１ｇ〜５１ｉを持つガス流路５０ｇ〜５０ｉが形成されている。ガス流路５０ｇは、アーム２０の保持面に開口し、ガス流路５０ｈは、アーム２０の底面に開口し、ガス流路５０ｉは、アーム２０の後退部分２０Ｃの端面に開口している。
【００４６】
図１０に、バキュームライン４０及びガス流路５０ａ〜５０ｉの経路図を示す。ガス流路５０ｇ〜５０ｉの、開口部５１ｇ〜５１ｉとは反対側の端部が、他のガス流路５０ａ〜５０ｆと同様に、真空ポンプ４５に接続されている。ガス流路５０ｇ〜５０ｉに、それぞれ圧力センサ４３ｇ〜４３ｉが取り付けられている。圧力センサ４３ｇ〜４３ｉは、それぞれガス流路５０ｇ〜５０ｉ内の圧力を測定する。
【００４７】
図１１Ａに、アーム２０の先端近傍をキャリア３０内に挿入した状態で、アーム２０及びウエハ３１を、退避位置から見たときの側面図を示す。アーム２０の保持面に、開口部５１ａ、５１ｂ、及び５１ｇが形成されている。アーム２０の上方に、取り出し対象のウエハ３１が格納されている。ウエハ３１の底面が平面である場合には、開口部５１ａ、５１ｂ、及び５１ｇから、ウエハ３１までの間隔は、すべて等しい。
【００４８】
図１１Ｂに示すように、ウエハ３１の中央部が垂れ下がるようにが、反っている場合がある。この場合、アーム２０の両端の延伸部分２０Ａ、２０Ｂに配置された開口部５１ａ、５１ｂからウエハ３１までの間隔は、後退部分２０Ｃに配置された開口部５１ｇからウエハ３１までの間隔よりも広い。このため、後退部分２０Ｃがウエハ３１に異常接近しても、ガス流路５０ａ、５０ｂを流れるガス流量の変化によって異常接近を検知することは困難である。
【００４９】
実施例３では、後退部分２０Ｃの保持面にも、ガス流路５０ｇの開口部５１ｇが配置されている。このため、ガス流路５０ｇを流れるガス流量の低下を検出することにより、アーム２０の後退部分２０Ｃとウエハ３１との異常接近を検知することができる。
［実施例４］
図１２に、実施例４によるウエハ移送装置に用いられるアーム２０の平面図を示す。実施例１〜実施例３では、アーム２０は、キャリア３０に対向する辺のうち中央部分が後退した平面形状を有していた。実施例４では、アーム２０は、キャリア３０に対向する辺の中央部分が、キャリア３０に向かって凸になる向きに湾曲した平面形状を有する。
【００５０】
アーム２０の内部に、バキュームライン４０、ガス流路５０ａ、５０ｃ、５０ｅが形成されている。ガス流路５０ａ、５０ｃ、５０ｅは、図６Ａに示した実施例２のアーム２０の延伸部分２０Ａの内部に形成されたガス流路５０ａ、５０ｃ、５０ｅと同一の構成を有する。すなわち、ガス流路５０ａ、５０ｃ、５０ｅの開口部５１ａ、５１ｃ、５１ｅは、それぞれ保持面、底面、及び先端面に配置される。
【００５１】
実施例４のように、後退部分を持たない平面形状を有するアーム２０においても、ガス流路５０ａ、５０ｃ、５０ｅを設けることにより、アーム２０とウエハとの異常接近を検知することができる。
【００５２】
上記実施例１〜４では、アーム２０に、光センサ等の能動的な素子を取り付けることなく、ガス流路を形成するのみで、アームとウエハとの異常接近を検知することができる。圧力センサ４３は、アーム２０に直接取り付ける必要はなく、ガス流路５０ａ等の全長のうち取り付け易い位置に取り付ければよい。
【００５３】
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
【００５４】
以上の実施例１〜４を含む実施形態に関し、更に以下の付記を開示する。
【００５５】
（付記１）
ウエハを保持するアームと、
前記アームを退避位置から、ウエハを受け取る受取位置まで、または前記受取位置から前記退避位置まで移動させるアーム駆動機構と、
ガスを吸引するガス吸引装置と、
前記ガス吸引装置から、前記アームの内部を経由して、前記アームの表面に開口する第１のガス流路と、
前記第１のガス流路内のガスの圧力または流速を測定する第１の検出器と
を有するウエハ移送装置。
【００５６】
（付記２）
さらに、前記第１の検出器による検出結果が入力され、前記第１の検出器による検出結果に基づいて、前記アーム駆動機構を制御する制御装置を有する付記１に記載のウエハ移送装置。
【００５７】
（付記３）
前記第１の検出器は、前記第１のガス流路内の圧力を測定し、
前記制御装置は、前記アームが前記受取位置に向かって移動するように前記アーム駆動機構を制御しているとき、前記第１の検出器で検出された圧力と、しきい値とを比較し、検出された圧力が前記しきい値以上になると、前記アームの移動を停止させる付記２に記載のウエハ移送装置。
【００５８】
（付記４）
前記アームは、ウエハを保持する保持面を有し、
前記第１のガス流路の前記先端が、前記保持面に開口しており、
前記アームがの、前記受取位置側の先端から、前記第１のガス流路の開口部までの距離が６０ｍｍ以下である付記１乃至３のいずれか１項に記載のウエハ移送装置。
【００５９】
（付記５）
前記アームは、前記保持面とは反対側の底面を有し、
さらに、
前記ガス吸引装置から、前記アームの内部を経由して、前記アームの前記底面に開口する第２のガス流路と、
前記第２のガス流路内のガスの圧力または流速を測定する第２の検出器と
を有する付記１乃至４のいずれか１項に記載のウエハ移送装置。
【００６０】
（付記６）
前記アームは、前記受取位置に対向する先端面を有し、
さらに、
前記ガス吸引装置から、前記アームの内部を経由して、先端が前記アームの前記先端面に開口する第３のガス流路と、
前記第３のガス流路内のガスの圧力または流速を測定する第３の検出器と
を有する付記１乃至５のいずれか１項に記載のウエハ移送装置。
【００６１】
（付記７）
前記アームは、平面視において、前記受取位置に向かって延びた２つの延伸部分、及び該２つの延伸部分の間に、前記延伸部分の先端よりも後退した後退部分を含み、
さらに、
前記ガス吸引装置から、前記アームの内部を経由して、前記アームの前記後退部分の表面に開口する第４のガス流路と、
前記第４のガス流路内のガスの圧力または流速を測定する第４の検出器と
を有する付記１乃至６のいずれか１項に記載のウエハ移送装置。
【００６２】
（付記８）
前記第１のガス流路の開口部が、前記アームの深い領域から浅い領域に向かって広がるテーパ形状にされている付記１乃至７のいずれか１項に記載のウエハ移送装置。
【００６３】
（付記９）
ウエハに対して、該ウエハの厚さ方向に間隔を隔てた状態で、アームと前記ウエハとの重なり面積が大きくなるようにアームを移動させる工程と、
前記アームが前記ウエハの受取位置まで達した時点で、前記ウエハを前記アームに接触させて、前記アームで前記ウエハを保持する工程と
を有し、
前記アームを移動させる工程が、
前記アームと前記ウエハとの間の空間内のガスを、前記アームの内部に設けられたガス流路を介して吸引する工程と、
前記ガス流路内の圧力または流速を計測する工程と、
前記圧力または前記流速の計測値に基づいて、前記アームの移動を制御する工程と
を含むウエハ移送方法。
【００６４】
（付記１０）
前記アームの移動を制御する工程において、前記圧力または前記流速の計測値と、しきい値とを比較し、計測値がしきい値に達した時点で前記アームの移動を停止させる付記９に記載のウエハ移送方法。
【符号の説明】
【００６５】
１０  ロッド
１１  キャリア載置台
１２  昇降モータ
１３  高さセンサ
２０  アーム
２０Ａ、２０Ｂ  延伸部分
２０Ｃ  後退部分
２１  アーム支持部
２２  案内レール
２３  アーム駆動モータ
２５  アーム駆動機構
２６  受取位置センサ
２７  退避位置センサ
３０  キャリア
３１  ウエハ
３５  制御装置
３６  動作開始ボタン
４０  バキュームライン
４１  電磁弁
４３  圧力センサ
４５  真空ポンプ（ガス吸引装置）
５０、５０ａ〜５０ｆ  ガス流路
５１ａ〜５１ｆ  開口部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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