(57)【要約】【課題】  クランプ装置のクランプ不良検出用の弁部材を確実に閉弁する。【解決手段】  ハウジング（２）内に上下に配置されたプルロッド（６）及びピストン（９）と、上記プルロッド（６）の上部外周に配置された係合具（１７）と、上記の係合具（１７）を下方から支持する支持部材（１４）と、その支持部材（１４）を押し上げる皿バネ（２９）とを備える。上記ハウジング（２）内に設けた弁室（５３）に弁部材（５４）を上下移動可能で気密状に挿入する。供給路（４９）に圧縮空気を供給することにより、弁部材（５４）の貫通孔（６２）を通って加圧室（５７）に流入した圧縮空気が上記の弁部材（５４）を上昇させて当該弁部材（５４）を閉じ状態に保持する。また、上記の支持部材（１４）が所定領域よりも下降したクランプ不良時には、その支持部材（１４）に設けた操作部（７１）が上記の弁部材（５４）を下方へ押して開弁させる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジング（２）内に上下に配置されたプルロッド（６）及びピストン（９）と、上記プルロッド（６）の上部外周に配置された係合具（１７）と、上記の係合具（１７）を下方から支持する支持部材（１４）と、その支持部材（１４）を所定の力で押し上げる進出手段（２９）とを備え、
上記ピストン（９）が上記プルロッド（６）を下降駆動することにより、そのプルロッド（６）に設けた出力部（２１）が、上記の支持部材（１４）によって支持された上記の係合具（１７）を半径方向の外方へ移動させ、その後、上記の進出手段（２９）に抗して上記の係合具（１７）及び上記の支持部材（１４）を下降させるように構成した、クランプ装置であって、
上記ハウジング（２）内に設けた弁室（５３）と、その弁室（５３）に上下移動可能で気密状に挿入された弁部材（５４）と、上記の弁室（５３）の下壁（５３ａ）と上記の弁部材（５４）との間に形成された加圧室（５７）と、上記の弁室（５３）の上壁（５３ｂ）と上記の弁部材（５４）との間に形成された絞り室（５８）と、上記の弁室（５３）の上壁（５３ｂ）に開口させた圧縮空気の供給路（４９）と、上記の加圧室（５７）に圧縮空気を供給するように上記の弁部材（５４）に上下方向へ形成した貫通孔（６２）と、上記の絞り室（５８）に連通可能な排出路（６３）と、上記の弁室（５３）の上壁（５３ｂ）に設けた弁座（６８）及び上記の弁部材（５４）の上部に設けた弁面（６９）と、上記の弁部材（５４）に所定の隙間をあけて上側から対面するように上記の支持部材（１４）又はピストン（９）に設けた操作部（７１）と、を備え、
上記の供給路（４９）に圧縮空気を供給することにより、上記の貫通孔（６２）を通って上記の加圧室（５７）に流入した圧縮空気が上記の弁部材（５４）を上昇させて上記の弁面（６９）が上記の弁座（６８）に接当するように構成し、その接当状態では、上記の弁部材（５４）の下面側の受圧面積よりも上面側の受圧面積が小さくなるように上記の弁座（６８）及び上記の弁面（６９）を構成して、上記の弁部材（５４）に作用する上向きの差力によって当該弁部材（５４）を閉じ状態に保持し、
上記の支持部材（１４）又は上記ピストン（９）が所定領域よりも下降したクランプ不良時には、上記の操作部（７１）が上記の閉じ状態の弁部材（５４）を下方へ押して上記の弁面（６９）を上記の弁座（６８）から離間させ、上記の供給路（４９）の圧縮空気を上記の排出路（６３）へ漏らすように構成した、ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項２】
請求項１のクランプ装置において、
前記の操作部（７１）を前記の支持部材（１４）に設けた、ことを特徴とするクランプ装置。
【請求項３】
請求項１又は２のクランプ装置において、
前記の弁室（５３）の周壁（５３ｃ）と前記の弁部材（５４）の外周部とを封止する封止具（５５）を上記の弁部材（５４）に装着した、ことを特徴とするクランプ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  この発明は、ワーク等の被固定物に設けた穴に係合具を係合させてワークパレット等の支持台に引っ張って固定する形式のクランプ装置に関し、より詳しくいえば、クランプ不良を検出する機構を設けたクランプ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  この種のクランプ不良検出機構を設けたクランプ装置には、従来では、特許文献１（日本国・特開２００９−１９０１３７号公報）に記載されたものがある。その従来技術は、次のように構成されている。
ハウジング内にプルロッドとピストンとを上下に配置し、上記プルロッドの上部外周に係合具を配置し、上記の係合具を、環状受圧部材に作用させた油圧力によって下方から支持している。そして、上記ピストンが上記プルロッドを下降駆動することにより、そのプルロッドに設けた傾斜面が、上記の環状受圧部材によって支持された上記の係合具を半径方向の外方へ移動させ、その後、上記の油圧力に抗して上記の係合具及び上記の環状受圧部材を下降させる。
何らかの原因で上記の係合具及び環状受圧部材が所定領域よりも下降したクランプ不良時には、その環状受圧部材の鍔部が、Ｏリングの弾性力によって閉弁された弁部材を、上記Ｏリングに抗して強制的に傾動させて開弁させ、その開弁による圧縮空気の圧力低下を検出するように構成してある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】  特開２００９−１９０１３７号公報
【０００４】  上記の従来技術は次の問題がある。
上記の弁部材をＯリングの弾性力によって閉弁させるには、そのＯリングを予め圧縮しておくことが要求される。このように、Ｏリングは、常に圧縮されているため、経年劣化によって弾性力がなくなり、閉弁不良を発生させるおそれがある。
そのうえ、クランプ不良時に上記の弁部材が開弁されるときに、既に圧縮された状態の上記Ｏリングは、傾動された弁部材によって更に押圧されて、部分的に過度に圧縮される。このため、上記Ｏリングが損傷して弁部材を確実に閉弁できなくなる。
本発明の目的は、クランプ不良検出用の弁部材を確実に閉弁できるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】  上記の目的を達成するため、本発明は、例えば、図１から図３Ｃ、又は図４Ａから図４Ｃ、若しくは図５Ａから図５Ｃに示すように、クランプ装置を次のように構成した。
ハウジング２内に上下に配置されたプルロッド６及びピストン９と、上記プルロッド６の上部外周に配置された係合具１７と、上記の係合具１７を下方から支持する支持部材１４と、その支持部材１４を所定の力で押し上げる進出手段２９とを設ける。上記ピストン９が上記プルロッド６を下降駆動することにより、そのプルロッド６に設けた出力部２１が、上記の支持部材１４によって支持された上記の係合具１７を半径方向の外方へ移動させ、その後、上記の進出手段２９に抗して上記の係合具１７及び上記の支持部材１４を下降させるように構成する。
上記ハウジング２内に設けた弁室５３と、その弁室５３に上下移動可能で気密状に挿入された弁部材５４と、上記の弁室５３の下壁５３ａと上記の弁部材５４との間に形成された加圧室５７と、上記の弁室５３の上壁５３ｂと上記の弁部材５４との間に形成された絞り室５８と、上記の弁室５３の上壁５３ｂに開口させた圧縮空気の供給路４９と、上記の加圧室５７に圧縮空気を供給するように上記の弁部材５４に上下方向へ形成した貫通孔６２と、上記の絞り室５８に連通可能な排出路６３と、上記の弁室５３の上壁５３ｂに設けた弁座６８及び上記の弁部材５４の上部に設けた弁面６９と、上記の弁部材５４に所定の隙間をあけて上側から対面するように上記の支持部材１４又はピストン９に設けた操作部７１と、を設ける。上記の供給路４９に圧縮空気を供給することにより、上記の貫通孔６２を通って上記の加圧室５７に流入した圧縮空気が上記の弁部材５４を上昇させて上記の弁面６９が上記の弁座６８に接当するように構成する。その接当状態では、上記の弁部材５４の下面側の受圧面積よりも上面側の受圧面積が小さくなるように上記の弁座６８及び上記の弁面６９を構成して、上記の弁部材５４に作用する上向きの差力によって当該弁部材５４を閉じ状態に保持する。上記の支持部材１４又は上記ピストン９が所定領域よりも下降したクランプ不良時には、上記の操作部７１が上記の閉じ状態の弁部材５４を下方へ押して上記の弁面６９を上記の弁座６８から離間させ、上記の供給路４９の圧縮空気を上記の排出路６３へ漏らすように構成する。
【０００６】  本発明は次の作用効果を奏する。
正常なクランプ状態では、圧縮空気の供給路へ供給された圧縮空気は、絞り室には流入しにくいのに対して、貫通孔を通って加圧室へ多量に流入する。このため、弁部材の上側と下側に作用する差圧力によって当該弁部材が上昇して弁面が弁座に接当し、その後、上記の弁部材の下面側の受圧面積に作用する力と上面側の受圧面積に作用する力との差力によって当該弁部材が閉じ状態に保持される。従って、上記の供給路の圧力が設定圧力に上昇し、その圧力を検出することにより、正常なクランプ状態であることを確認できる。
これに対して、何らかの原因でクランプ不良になった状態では、前記の支持部材又はピストンが所定領域を越えて過度に下降するので、前記の操作部が上記の閉じ状態の弁部材を下方へ押し、これにより、上記の弁座から弁面が離れる。このため、上記の供給路の圧力が設定圧力に到達せず、その圧力を検出することにより、クランプ不良状態であることを確認できる。
従って、本発明は、前記の従来技術とは異なり、弁部材を閉じ側へ弾性的に付勢するＯリングを設ける必要がなくなる。このため、そのＯリングの経年劣化や過度に圧縮されることによる前記の問題点を解消でき、クランプ不良検出用の弁部材を確実に閉弁できる。
【０００７】  本発明では、例えば図１から図３Ｃに示すように、前記の操作部７１を前記の支持部材１４に設けることが好ましい。
【０００８】  また、本発明では、図３Ａから図３Ｃ又は図４Ａから図４Ｃに示すように前記の弁室５３の周壁５３ｃと前記の弁部材５４の外周部とを封止する封止具５５を上記の弁部材５４に装着することが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】  本発明のクランプ装置の一実施形態を示し、アンクランプ状態の立面視の断面図である。
【図２】  上記クランプ装置のクランプ不良状態を示し、図１に類似する図である。
【図３】  図３Ａから図３Ｃは、上記クランプ不良を検出する機構の作動説明図である。図３Ａは、上記クランプ不良検出機構に設けた弁部材の無負荷状態を示している。図３Ｂは、弁部材の閉じ状態を示し、図１中の３Ｂ部分の拡大図に相当する図である。図３Ｃは、弁部材の開き状態を示し、図２中の３Ｃ部分の拡大図に相当する図である。
【図４】  図４Ａから図４Ｃは、第１変形例を示し、それぞれ、図３Ａから図３Ｃに類似する図である。
【図５】  図５Ａから図５Ｃは、第２変形例を示し、それぞれ、図３Ａから図３Ｃに類似する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】  以下、本発明の一実施形態を図１から図３Ｃによって説明する。まず、図１によってクランプ装置の構造を説明する。
工作機械のテーブルに載置されたベースプレート１にハウジング２が複数のボルト（図示せず）によって固定される。このハウジング２は、上ハウジング３と下ハウジング４とを備える。これら上下のハウジング３，４が複数のボルト（図示せず）によって締結される。
上記ハウジング２の上部内にプルロッド６が上下方向へ移動可能かつ半径方向へ移動可能に配置される。上記ハウジング２の下部内に、油圧シリンダ８のピストン９が上下方向へ移動可能で保密状に配置される。
【００１１】  上記プルロッド６の外周には、ワーク１１の穴１２に挿入されるコレット１３と上下方向へ移動可能な環状の支持部材１４とが、上下に配置される。上記コレット１３の外周部で上ハウジング３の上面に、ワーク１１の下面１１ａを受け止める着座面１５が環状に形成されている。
【００１２】  上記コレット１３は、周方向へ所定の間隔をあけて並べた４つのグリッパー１６からなる。各グリッパー１６は、上から順に配置した係合具１７と上フランジ１８と下フランジ１９とを備え、これらの部材１７，１８，１９が一体に形成されている。
上記の各係合具１７の外周には鋸刃状の突起１７ａが形成される。また、各係合具１７の内周には、下方へ向かうにつれて軸心に近づくように傾斜面１７ｂが形成される。上記の傾斜面１７ｂに対応して、前記プルロッド６の上部に４つの傾斜面（出力部）２１が設けられる。この実施形態では、上記の傾斜面１７ｂ，２１が平面で構成されている。
【００１３】  上記４つのグリッパー１６は、上下のフランジ１８，１９の間に装着したＯリング２３の弾性力によって半径方向の内方へ付勢されると共に、上ハウジング３の上部に装着したダストシール２４の弾性力によっても半径方向の内方へ付勢されている。
【００１４】  前記の環状の支持部材１４は、上記４つのグリッパー１６を下方から支持する大径部２６と、その大径部２６から下方へ突出させた小径部２７とを備える。上記の大径部２６が、上ハウジング３の下部に設けた大径孔３ａに上下移動可能に支持される。また、上記の小径部２７と下ハウジング４の上孔４ａとの間に設けたバネ室に複数枚の皿バネ２９が積層され、これら皿バネ２９が上記の大径部２６を上方へ付勢している。即ち、この実施形態では、上記の皿バネ２９が、支持部材１４を所定の力で押し上げ進出手段を構成している。
【００１５】  前記の油圧シリンダ８の前記ピストン９は、下ハウジング４に形成した段付き孔４ｂに挿入されており、ピストン本体３１とピストンロッド３２とエンドプレート３３とを備える。上記ピストンロッド３２の上端部とエンドプレート３３との間に、前記プルロッド６の下フランジ３５が半径方向へ移動可能に嵌合される。また、上記プルロッド６と前記の支持部材１４との間にＵ字状の弾性体３７が装着される。上記プルロッド６は、上記の弾性体３７の付勢力によって半径方向の内方へ押されて、ピストン９の軸心と同軸上に復帰されるようになっている。
【００１６】  上記ピストン本体３１の上側にロック室４１が形成されると共に、上記ピストン本体３１の下側にリリース室４２が形成される。上記ロック室４１が、下ハウジング４内の縦路４４と上ハウジング３内の横路４５とを経てロック用の圧油給排口４６へ連通される。また、上記リリース室４２がリリース用の圧油給排口（図示せす）へ連通される。
【００１７】  また、上ハウジング３の上部に形成した前記の着座面１５に、着座用の検出孔４８が開口される。その検出孔４８は、圧縮空気の供給路４９を経て圧縮空気供給口５０へ連通される。
【００１８】  上記構成のクランプ装置にクランプ不良の検出機構が設けられる。その検出機構は、図１と図３Ａに示すように、次のように構成される。
前記の支持部材１４の大径部２６の近傍で、上ハウジング３と下ハウジング４との間に弁室５３が設けられる。その弁室５３に弁部材５４が上下移動可能で気密状に挿入される。この実施形態では、上記の弁室５３の周壁５３ｃと弁部材５４の外周部とを封止するＯリング（封止具）５５が上記の弁部材５４の途中高さ部に装着されている。この場合、上記Ｏリング５５は、つぶし代を小さい値に設定したり表面を合成樹脂でコーティングしたりすることにより、上記の弁室５３の周壁５３ｃとの間に作用する摩擦力を小さくすることが好ましい。
【００１９】  上記の弁室５３の下壁５３ａと上記の弁部材５４との間に加圧室５７が形成され、上記の弁室５３の上壁５３ｂと上記の弁部材５４との間に絞り室５８が形成される。前記の圧縮空気の供給路４９からクランプ不良の検出孔６０が分岐され、その検出孔６０が上記の弁室５３の上壁５３ｂに開口される。また、上記の検出孔６０に供給された圧縮空気は、上記の弁部材５４に形成した大径の貫通孔６２を介して上記の加圧室５７へ供給される。これに対して、上記の絞り室５８は、上記の検出孔６０の圧縮空気が弁部材５４の上側に流入しにくいように薄く形成されている。上記の絞り室５８に排出路６３が連通される。この排出路６３は、上ハウジング３の前記の大径孔３ａに形成した縦溝６４と、隣り合うグリッパー１６同士の間に形成された周方向の隙間と、着座面１５に設けた上面溝６５とを備え、上ハウジング３の外側へ連通可能になっている。なお、前記の支持部材１４の外周面と上記の大径孔３ａとの間の嵌合隙間によって所定の通路面積を確保できる場合には、上記の縦溝６４を省略してもよい。
【００２０】  前記のクランプ不良の検出孔６０と上記の排出路６３との間を開閉する弁路６７が設けられる。より詳しくいえば、上記の検出孔６０の下端と上記の縦溝６４の下端との間で弁室５３の上壁５３ｂに弁座６８が形成され、弁部材５４の上部に弁面６９が形成される。上記の弁座６８と弁面６９との間に上記の弁路６７が形成されている。そして、後述の図３Ｂに示すように、上記の弁面６９が上記の弁座６８に接当した状態では、上記の弁部材５４の下面側の受圧面積よりも上面側の受圧面積が小さくなるように上記の弁座６８及び上記の弁面６９を構成している。
また、上記の弁部材５４に所定の隙間をあけて上側から対面する操作部７１が設けられる。この実施形態では、上記の操作部７１は、前記の支持部材１４の大径部２６の外周部の下部によって構成されている。
【００２１】  上記の検出孔６０に圧縮空気を供給してない無負荷状態では、図３Ａに示すように、上記の弁部材５４が下降して弁座６８から弁面６９が離れ、上記の弁路６７が開いている。上記の検出孔６０に圧縮空気を供給すると、その圧縮空気は、上記の絞り室５８には流入しにくいのに対して、大径の貫通孔６２を通って加圧室５７へ多量に流入する。このため、図３Ｂに示すように、その加圧室５７の圧力が急速に高まり、弁部材５４の上側と下側に作用する差圧力によって当該弁部材５４が上昇し、上記の弁面６９が弁座６８に接当して上記の弁路６７を閉じる。その後、上記の弁部材５４の下面側の受圧面積に作用する力と上面側の受圧面積に作用する力との差力によって当該弁部材５４が閉じ状態に保持される。
また、何らかの原因によって、前記の支持部材１４が過度に下降した場合には、図３Ｃに示すように、前記の操作部７１が上記の閉じ状態の弁部材５４を下方へ押し、これにより、弁座６８から弁面６９が離れて上記の弁路６７が開かれる。
【００２２】  上記構成のクランプ装置は、図１と図２に示すように次のように作動する。
図１（及び図３Ｂ）に示すアンクランプ状態では、前記ロック室４１の圧油を排出するとともに、リリース室４２に圧油を供給している。これにより、前記ピストン９及びプルロッド６が上昇し、前記の支持部材１４とコレット１３が上昇位置に保持され、そのコレット１３の４つのグリッパー１６がＯリング２３の弾性力によって縮径状態に切り換えられている。
【００２３】  上記アンクランプ状態で、ワーク１１を、何らかの昇降手段または自重によって下降させ、そのワーク１１の穴１２にコレット１３を挿入していく。すると、上記ワーク１１の下面１１ａがグリッパー１６の上フランジ１８に接当し、上記の下面１１ａと前記の着座面１５との間に僅かな隙間Ｇが形成された状態でワーク１１の自重が支持部材１４を介して皿バネ２９によって受け止められる。従って、この状態で着座用の検出孔４８に圧縮空気を供給しても、上記隙間Ｇからの漏れによって検出圧力が上昇しない。
【００２４】  クランプ装置を上記アンクランプ状態からクランプ状態へ切り換えるときには、リリース室４２の圧油を排出するとともに、ロック室４１に圧油を供給する。
すると、皿バネ２９の付勢力によって上昇位置に保持された支持部材１４及びグリッパー１６に対してプルロッド６が下降していくので、上記グリッパー１６が拡径されて当該グリッパー１６に設けた前記の係合具１７がワーク１１の穴１２に係合する。引き続いて、プルロッド６の下降力により、穴１２の内周面に密着した状態の上記係合具１７が上記の穴１２を介してワーク１１を下向きに引っ張り、これと同時に、上記グリッパー１６及び支持部材１４が皿バネ２９の付勢力に抗して下降していく。これにより、上記ワーク１１の下面１１ａを前記ハウジング２の着座面１５に接当させて前記の隙間Ｇを消失させると共に、ワーク１１を上記の着座面１５に強力に押圧する。
【００２５】  上記クランプ状態で前記の着座用の検出孔４８に圧縮空気を供給すると、その検出圧力が上昇するので、上記の着座状態を確認できる。
また、上記クランプ状態では、前記の支持部材１４は、前記の隙間Ｇよりも少し大きい寸法を僅かに下降するだけなので、その支持部材１４の前記の操作部７１と前記の弁部材５４との間には接当隙間が残されている。このため、加圧室５７に供給された圧縮空気が弁部材５４を上昇位置に保持し、前記の弁路６７が閉じられている。これにより、クランプ不良の検出孔６０の検出圧力が上昇するので、上記クランプ状態を確認できる。
【００２６】  なお、上記クランプ状態から前記アンクランプ状態へ切り換えるときには、ロック室４１の圧油を排出すると共にリリース室４２へ圧油を供給すればよい。
【００２７】  ところで、ワーク１１の穴１２の直径が許容範囲よりも大きい場合のように、何らかの原因により、上記のクランプ駆動時に穴１２の内周面と拡径された係合具１７との間に滑りが生じることがある。この場合には、図２に示すように、上記プルロッド６とピストン９と支持部材１４及びグリッパー１６が所定のクランプストローク領域よりもオーバーストロークして過度に下降することになる。
【００２８】  上記のようなクランプ不良時には、上記の図２に示すように、過度に下降された支持部材１４の操作部７１が弁部材５４を傾動させて下降させる（図３Ｃを参照）。すると、その弁部材５４の弁面６９が弁座６８から離れて前記の弁路６７が開かれ、クランプ不良の検出孔６０に供給された圧縮空気が上記の弁路６７と前記の排出路６３を通って外部へ排出される。このため、上記の検出孔６０の圧力が上昇せず、クランプ不良であることを確認できる。
【００２９】  図４Ａから図４Ｃと図５Ａから図５Ｃとは、それぞれ、第１変形例と第２変形例を示している。これらの変形例においては、上記の実施形態の構成部材と同じ部材（または類似する部材）には原則として同一の参照数字を付けて説明する。
【００３０】  図４Ａから図４Ｃの第１変形例では、前記のＯリング（封止具）５５が前記の弁部材５４の下部に装着されている。
【００３１】  図５Ａから図５Ｃの第２変形例は、前記の実施形態とは次の点で異なる。
前記の弁部材５４の外周面を上向きに狭まるテーパ面７４によって形成し、そのテーパ面７４の下部を弁室５３の周壁５３ｃに気密状に嵌合させてある。これにより、前記の実施形態や第１変形例のＯリング（封止具）５５を省略してある。
【００３２】  上記の実施形態や変形例は、さらに次のように変更可能である。
上記の弁部材５４を下降位置から上昇位置へ移動させる構造は、その弁部材５４に上向きの差圧力を付与するものであればよく、前記Ｏリング（封止具）５５を装着することに代えて、弁室５３の周壁５３ｃと弁部材５４の外周部との間にラビリンスシールを設けた構造であってもよい。
進出手段は、例示した皿バネ２９に代えて、圧縮コイルバネ等の他の種類のバネやゴム等の弾性体であってもよく、また、圧油等の圧力流体を利用してもよい（前述の従来技術である特開２００９−１９０１３７号公報等を参照）。
圧縮空気の供給路４９は、着座用の検出孔４８とクランプ不良の検出孔６０との両者に兼用させることに代えて、上記両者に個別に設けても良い。
弁部材５４を強制的に開く操作部７１は、支持部材１４に設けることに代えてピストン９に設けることも可能である。
前記コレット１３は、直径方向へ拡大および縮小する構造であればよく、例示した構造に限定されない。また、上記コレット１３のグリッパー１６を半径方向の外方へ移動させるためのプルロッド６の出力部は、当該プルロッド６と一体に形成した前記の傾斜面２１に代えて、そのプルロッド６に連結した別の部材によって構成してもよい。
本発明のクランプ装置は、例示した油圧複動式に代えて、バネ力でロックすると共に油圧でリリースする形式であってもよく、油圧でロックすると共にバネ力でリリースする形式であってもよい。また、クランプ装置の作動流体は、圧油に代えて圧縮空気であってもよい。
本発明が適用される被固定物は、ワーク１１に代えてワークパレットや金型などであってもよい。
その他に、当業者が想定できる範囲で種々の変更を行えることは勿論である。
【符号の説明】
【００３３】２：ハウジング，６：プルロッド，９：ピストン，１４：支持部材，１７：係合具，２１：プルロッド６の出力部（傾斜面），２９：進出手段（皿バネ），４９：圧縮空気の供給路，５３：弁室，５３ａ：下壁，５３ｂ：上壁，５３ｃ：周壁，５４：弁部材，５５：封止具（Ｏリング），５７：加圧室，５８：絞り室，６２：貫通孔，６３：排出路，６８：弁座，６９：弁面，７１：操作部．
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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