(57)【要約】【課題】基板表面の保護テープを剥離する際の剥離テープの使用量削減と共に剥離ミス時に自動復帰できる保護テープ剥離装置を提供する。【解決手段】基板２表面の保護テープ４を剥離テープ５で剥離する保護テープ剥離装置において、基板２を保持する剥離テーブル１０と、ロール状剥離テープ５の供給手段１１と、テープ巻取手段１２と、貼付ローラー２７と、保護テープ４の剥離前端側に剥離テープ５を貼付けた後、剥離テープ５の貼付け後方側を切断するカッター３２と、剥離テープ５を保持するカッター台２９と、剥離テープ５を後方で保持する剥離テープ保持機構２５とを備え、剥離テープ５を保護テープ４の剥離前端側に貼付けて保護テープ４を剥離すると共に剥離テープ５の貼付け後方側をカッター３２で切断し、切断後方側の剥離テープ５前端部を保護テープ４の剥離後端側に貼付けて保護テープ４を剥離テープ５で連結しながら剥離する保護テープ剥離装置。【選択図】図１
2011023612.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面に貼り付けられた保護テープを短片状の剥離テープで連結しながら、前記連結された保護テープを巻き取って剥離する保護テープの剥離装置において、
前記保護テープの貼り付けられた基板をその保護テープ面を上面にして保持すると共に前記剥離テープに対して相対的に水平動する剥離テーブルと、
前記保護テープ上にロール状の剥離テープを供給する剥離テープ供給手段と、
前記剥離テープに連結された保護テープを巻き取るテープ巻取手段と、
前記剥離テープを介して前記保護テープ上を押圧転動することで剥離テープを保護テープの外周端部近傍に貼り付ける貼付ローラーと、
前記保護テープの剥離前端側に剥離テープを貼り付けた後、その剥離テープの貼り付け後方側を切断するカッターと、
前記貼付ローラーの前方に位置し、前記カッターが走行するカッター溝が設けられると共に前記カッターで切断される剥離テープの後方側を吸着保持するカッター台と、
前記貼付ローラーの後方に位置し、前記カッターで剥離テープを切断する際にその剥離テープを吸着保持する剥離テープ保持機構とを備え、
前記剥離テープを貼付ローラーで保護テープの剥離前端側に貼り付け、前記剥離テープを巻き取ることで保護テープを剥離前端側から剥離すると共に前記カッター台と剥離テープ保持機構とで剥離テープを吸着保持しながら、前記剥離テープの貼り付け後方側を前記カッターで切断し、さらにテープ巻取手段によって剥離テープが貼り付けられた保護テープを巻き取ることで保護テープを剥離していき、続いて剥離テープ保持機構で吸着保持された剥離テープの前端部を前記保護テープの剥離後端側に貼り付けローラーで貼り付けることで保護テープを剥離テープで順次連結しながら剥離させるようにしたことを特徴とする保護テープの剥離装置。
【請求項２】
前記貼付ローラーは、その外周の一部分にヒーターが設けられ、前記貼付ローラーの転動による剥離テープの貼り付けと前記ヒーターでの剥離テープの加熱貼り付けを１本の貼付ローラーで行なうようにしたことを特徴とする請求項１記載の保護テープの剥離装置。
【請求項３】
前記テープ巻取手段と第一の剥離テープ保持手段との間に検知手段を設け、剥離される保護テープの有無を検知するようにしたことを特徴とする請求項１から２記載の保護テープの剥離装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に貼り付けられた保護テープを剥離する装置に関する。さらに詳しくは、半導体ウエハ等の基板の表面を保護するために貼り付けられた保護テープを剥離テープを用いて剥離する保護テープの剥離装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体の製造工程において、インゴットから切り出した半導体ウエハ（以下単にウエハと呼ぶ）の表面に回路パターンを形成した後、前記ウエハが所定の厚みとなるようにウエハの裏面を研削することにより、ウエハを薄厚化する工程がある。このウエハ裏面の研削を行なうにあたり、ウエハの表面に形成された回路パターンを傷付けたり、研削液が回路パターンに侵入して汚染したりしないようにウエハの表面を保護する保護テープが貼り付けられている。
【０００３】
この保護テープは、ウエハの裏面を研削した後、ウエハを回路パターンに沿ってチップ化する前にウエハ表面から剥離され、その剥離されたウエハがダイシング工程に供されてチップ化される。
【０００４】
上記、保護テープの剥離には、一般的に２通りの方法が知られており、その一つは、ウエハをその保護テープ面が上面となるように剥離テーブルに保持しておき、前記保護テープ面上にロール状の剥離テープを引き出して供給し、この剥離テープを貼付ローラーで押圧しながら保護テープに貼り付けてこの保護テープを剥離テープと一体に巻き取るものである（例えば特許文献１）。従って、剥離テープは少なくとも保護テープの径以上の長さが必要となり、保護テープの使用量として無駄が多い問題がある（例えば８インチウエハから保護テープを剥離する場合では２３０ｍｍ程度の剥離テープを要する）。
【０００５】
また、別の方法は、ウエハをその保護テープ面が上面となるように剥離テーブルに保持しておき、その保護テープ面上に一端を有する剥離テープを供給し、その一端を剥がしヘッド部で保持しておきながら、前記剥離テープの後側をヒーターの接離動作のみで貼り付けると共に前記剥離テープの保護テープに貼り付けた後側を切断して剥離テープを短片状とした後、剥しヘッド部に保持しておいた剥離テープの一端を引っ張って保護テープを剥離するものである（例えば特許文献２）。
【０００６】
ところで、前記特許文献２の方法では、保護テープを剥離するために使用する剥離テープは、保護テープの一部にだけ貼り付けるため、剥離テープの使用量が少なくて済むものの剥離した保護テープを一枚ずつ廃棄部に廃棄しなければならず、剥離ユニットの動作が煩雑になると共に、廃棄した保護テープが嵩張って大容量化する問題がある。
【０００７】
そこで、短片状に切断した剥離テープの一端を板状部材（ウエハに相当、以後ウエハと呼ぶ）の前端側（巻取先端部）上面のシート（保護テープに相当、以後保護テープと呼ぶ）に貼り付けると共にウエハの後端側（巻取後端部）上面の保護テープ上に一部が外側に突出して非接着領域を形成する状態で短片状の剥離テープを貼り付け、前記ウエハの前端側の剥離テープを引っ張って保護テープをウエハ後端側に向けて剥離していき、ウエハの後端側の剥離テープの非接着領域を次の剥離対象となる保護テープのウエハ前端側に貼り付けて、順次短片状の剥離テープを介して保護テープを連結しながら保護テープを連続的に剥離させることが行なわれている（例えば特許文献３）。このようにすることで、一枚ずつの廃棄ではなく連続的に保護テープを巻き取って廃棄できるようにし、作業効率を高めている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】実開平３−６７４４２号公報
【特許文献２】特許第４２０４６５３号公報
【特許文献３】特許第４０５７４７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記特許文献３の装置は、ウエハに貼り付けされた保護テープの剥離に先立って剥離テープを切断して短片状にし、この短片状となった剥離テープ（以後、短片状にとなった剥離テープを連結テープと呼ぶ）を保持して保護テープに貼り付けるようになっており、ロール状の剥離テープから切り出された連結テープを貼り付けヘッド部へ受け取りに行く横移動と上下動及び連結テープを貼り付けに行く前記の上下動とは別途の上下動が必要になり、貼り付けヘッド部の動作が複雑化する問題がある。
【００１０】
また、連結テープを作成する切断機構と連結テープを保持し保護テープに貼り付ける貼り付けヘッド部及び連結テープを保持しながら剥離する剥離機構部をそれぞれ独立して設けなければならず、装置が複雑化したり大型化する問題がある。
【００１１】
さらに、上記特許文献３の装置は、保護テープを剥離させて巻き取っていく巻取リール側と、剥離テープを供給する供給リール側が全く独立したものとなっており、初期設定時に巻取リール側にリードテープを掛け渡す作業と連結テープを作成するために供給側に剥離テープを掛け渡す作業がそれぞれ必要（１本の連続した剥離テープを使用するのではなく、巻取側のリードテープと供給側の剥離用連結テープの２つに分けたテープが必要）となり、初期設定が複雑となる問題がある。すなわち、上記の剥離装置は、貼り付ける前に先に連結テープを切り出して保護テープに貼り付けるようになっているため、初期状態を設定する作業が非常に煩雑となる問題がある。
【００１２】
さらには、剥離を開始した際に、保護テープへの連結テープの接着が不十分であり、剥離ミスが発生した場合、装置を初期状態に復帰させるために、剥離機構部の吸着グリッドまでリードテープを掛け渡した後、吸着グリッドに前記リードテープを吸着グリッドの下面に保持させて先端を切断し、その後、前記リードテープを貼り付けヘッド側に掛け変えする必要があり、剥離中に連結テープの接着不足による剥離ミスが発生すると復帰が非常に困難で、復帰作業にも時間を要する問題がある。
【００１３】
また、上記特許文献３の装置をウエハに貼り付けられた保護テープの剥離に使用した場合、保護テープに連結テープを貼り付ける際に貼り付けヘッド部の下面に吸着保持された連結テープをウエハ上の保護テープに押圧して貼り付けるようになっているため、押圧力が弱い場合は連結テープが保護テープから外れ、剥離ミスが発生する問題があった。さらに保護テープはウエハの裏面研削時の回路パターン保護のためにウエハに貼り付けられているものであり、この裏面研削時の汚れ等が保護テープ面に残存している場合があるため、押圧力のみでの貼り付けでは、汚れによる接着強度不足により、剥離ミスが発生する問題がある。
【００１４】
また、上記特許文献２の装置は、保護テープ上にヒーターの接離動作のみによって短片状に切断された剥離テープ（接着テープに相当）を貼り付け、その剥離テープを引っ張って剥離させるようになっているため、接着が不十分な場合は、頻繁に剥離ミスが発生する問題がある。特に上記のウエハに適用する場合、ヒーターの接離動作のみによる貼り付けは、保護テープと接着テープの接着面積が少ないため、上記のように裏面研削時の保護テープの汚れ部分と接着部が重なると、貼り付け強度が不足して剥離ミスが発生する問題がある。
【００１５】
そこで、本発明の目的は、剥離テープの供給機構を簡素化し、剥離テープの使用量を削減し、環境に優しい装置を提供すると共に、剥離ミスの発生を防止し、さらに剥離ミスが発生したとしても剥離装置の復帰が自動的に行なえる作業効率を向上した保護テープの剥離装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
そこで、請求項１の発明は、基板の表面に貼り付けられた保護テープを短片状の剥離テープで連結しながら、前記連結された保護テープを巻き取って剥離する保護テープの剥離装置において、
前記保護テープの貼り付けられた基板をその保護テープ面を上面にして保持すると共に前記剥離テープに対して相対的に水平動する剥離テーブルと、
前記保護テープ上にロール状の剥離テープを供給する剥離テープ供給手段と、
前記剥離テープに連結された保護テープを巻き取るテープ巻取手段と、
前記剥離テープを介して前記保護テープ上を押圧転動することで剥離テープを保護テープの外周端部近傍に貼り付ける貼付ローラーと、
前記保護テープの剥離前端側に剥離テープを貼り付けた後、その剥離テープの貼り付け後方側を切断するカッターと、
前記貼付ローラーの前方に位置し、前記カッターが走行するカッター溝が設けられると共に前記カッターで切断される剥離テープの後方側を吸着保持するカッター台と、
前記貼付ローラーの後方に位置し、前記カッターで剥離テープを切断する際にその剥離テープを吸着保持する剥離テープ保持機構とを備え、
前記剥離テープを貼付ローラーで保護テープの剥離前端側に貼り付け、前記剥離テープを巻き取ることで保護テープを剥離前端側から剥離すると共に前記カッター台と剥離テープ保持機構とで剥離テープを吸着保持しながら、前記剥離テープの貼り付け後方側を前記カッターで切断し、さらにテープ巻取手段によって剥離テープが貼り付けられた保護テープを巻き取ることで保護テープを剥離していき、続いて剥離テープ保持機構で吸着保持された剥離テープの前端部を前記保護テープの剥離後端側に貼り付けローラーで貼り付けることで保護テープを剥離テープで順次連結しながら剥離させるようにした保護テープの剥離装置である。
【００１７】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記貼付ローラーの外周の一部分にヒーターを設け、前記貼付ローラーの転動による保護テープへの剥離テープの貼り付けと前記ヒーターでの保護テープへの剥離テープの加熱貼り付けを１本の貼付ローラーで行なうようにした保護テープの剥離装置である。
【００１８】
また、請求項３の発明は、請求項１及び２の発明において前記テープ巻取手段と第一の剥離テープ保持手段との間に検知手段を設け、剥離される保護テープの有無を検知するようにした保護テープの剥離装置である。なお、検知手段には反射型、透過型等の光学センサーが好ましく使用できる。
【発明の効果】
【００１９】
上記のようにロール状の剥離テープを保護テープの剥離前端側に貼り付けた後、剥離テープの貼り付け後方側を切断し、続いて切断された保護テープの吸着保持された前端部を保護テープの剥離後端側に貼り付けて保護テープを剥離テープで連結しながら剥離するようにしたので、剥離テープの使用量が低減でき、環境に優しい装置を提供できると共に廃棄する保護テープが嵩張ることもない。
【００２０】
また、１本の連続した剥離テープを先に保護テープに貼り付け、それから保護テープに貼り付けた剥離テープの後端部分を切断するようにしたので、初期設定時に剥離テープを供給リールから巻取リールまで一度経路に沿って掛け渡すだけでその後の剥離工程は自動的に行なえ、予め短片状の剥離テープを手動で作成する必要がないので作業効率が飛躍的に向上する。
【００２１】
また、貼付ローラーの外周の一部分にヒーターを内蔵させるようにしたので、剥離テープに常温で粘着性があるものを用いれば、貼付ローラーの押圧による剥離テープの保護テープへの貼り付けとヒーターによる所定位置の加熱圧着による貼り付けの２種類での貼り付けが１本の貼付ローラーで行え、保護テープの貼り付け面が汚れていても、２種類の接着手段で接着されているので接着強度が確保でき、剥離ミスが格段に減少する。また、貼付ローラーによるウエハ表面の押圧面積も剥離テープの連結部のみであるので、ウエハ全体を貼付ローラーで押圧しながら貼り付けることに比べ、貼付ローラーでのウエハの押圧を最小限にでき、ウエハを破損することもない。
【００２２】
さらに、剥離テープによる保護テープの剥離時に保護テープが剥離されているか検知するようにしたので、剥離テープの保護テープへの接着不良により剥離ミスが発生しても、剥離テープを切断して短片状に形成する前であるので、剥離テープを掛け替えすることなく、剥離テープの巻き取りと剥離テーブル等を初期状態に復帰するだけで復旧できる（即ち、自動的に装置を復旧できる）。
【００２３】
また、剥離テープの貼り付け機構部と切断機構部を一体的に構成でき、しかも１本の連続した剥離テープを使用できるようにしたので、装置を簡素化でき、装置の小型化とコストの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施形態を表す保護テープの剥離装置の正面図。
【図２】図１のＡ−Ａ方向から見た矢視平面図。
【図３】図１のＢ−Ｂ方向から見た矢視側面図。
【図４】本発明に用いられる貼付ローラーを説明する斜視図。
【図５】（ａ）乃至（ｃ）は本発明の保護テープ剥離装置の動作説明図。
【図６】（ｄ）乃至（ｆ）は本発明の保護テープ剥離装置の動作説明図。
【図７】（ｇ）乃至（ｉ）は本発明の保護テープ剥離装置の動作説明図。
【図８】本発明の保護テープの剥離装置で剥離された保護テープの説明図。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の保護テープ剥離装置の一実施形態について、図１乃至図４に基づいて説明する。
【００２６】
図１は本発明の保護テープ剥離装置の一部を切り欠いた正面図であり、要部は一部誇張して描いてある。また、図２は図１のＡ−Ａ方向から見た矢視平面図、図３は図１のＢ−Ｂ方向から見た矢視側面図である。
【００２７】
図１乃至図３のように、保護テープ剥離装置１の機台６上には、機枠７が立設され、この機台６上には機枠７と平行に２本のレール８、８が敷設されている。前記両レール８、８には摺動可能にスライダ９、９が嵌合され、前記スライダ９、９上には、剥離テーブル１０が図示しない適宜の駆動源により、レール９、９に沿って水平動可能に設けられている。
【００２８】
前記剥離テーブル１０は、その上面に図示しない複数の吸着孔が設けられており、これらの吸着孔は同じく図示しない適宜な真空源と接続されて、吸着力を発生するようになっている。また、剥離テーブル１０上には、適宜の手段で位置決めされたウエハ２が、その表面に形成された回路パターン３に貼り付けられた保護テープ４を上面にして適宜手段で載置され、前記吸着孔により吸着保持されるようになっている。
【００２９】
前記剥離テーブル１０の上方で機枠７の上方には、片面が粘着性を有するロール状の剥離テープ５を供給する剥離テープ供給リール１１と、前記剥離テープ５によって剥離される保護テープ４を巻き取るテープ巻取リール１２が設けられている。
【００３０】
前記剥離テープ５は、その粘着面が前記剥離テーブル１０の上面と対向するように複数のガイドローラー１３及びニップローラー１４、１６、複数のガイドローラー１７を経由してテープ巻取リール１２に巻き取られるようになっている。なお、ニップローラー１４、１６やガイドローラー１７のうち、剥離テープ５の粘着面が接する側は、フッ素処理等で非粘着処理を行なうことが好ましい。
【００３１】
また、前記ニップローラー１６及び複数のガイドローラー１７は、両側がローラー支持枠１８で回転自在に軸支されており、このローラー支持枠１８の最下端には、保護テープ４を剥離させる際に、保護テープ４を鋭角方向に折り返して剥離させるための押えローラー２０が、自由回転となるように軸支されている。なお、前記ニップローラー１６、ガイドローラー１７、押えローラー２０は、剥離される保護テープ４を巻き取るために保護テープ４の径以上の長さのものを使用することが好ましい。
【００３２】
また、前記押えローラー２０は図２のように機枠７側の一部に隙間が設けられ、後述する保護テープ検知センサー４０がその隙間から、剥離されてくる保護テープ４を検知するようになっている。
【００３３】
また、両ローラー支持枠１８は上方で掛け渡されて一体形成されており、その掛け渡された上方部分にシリンダ１９が取り付けられている。
【００３４】
また、前記ニップローラー１４、１６には図示しないパルスモーター等の駆動源が設けられており、テープの供給及び巻き取り量を制御するようになっている。また、剥離テープ供給リール１１には図示しない公知なトルクキーパーが設けられ、一定の力で剥離テープ５を引き出せるようになっており、テープ巻取リール１２には、剥離される保護テープ４を強制的に巻き取りする図示しない適宜のモーターが設けられている。
【００３５】
また、前記ニップローラー１４、１６はシリンダ１５、１９により開閉自在となっており、通常、剥離動作を行なう際は、閉じてテープを挟持するようにしておき、テープの交換時や保護テープ剥離装置１を長時間停止させる時に開放するようになっている。このようにすることで剥離テープ５の粘着面の変形等による接着力低下を防止するようになっている。
【００３６】
前記剥離テーブル１０の上方で機枠７の中央付近には、支持板２１が機枠７から前方に突出するように設けられ、この支持板２１上には剥離テープ５の供給側から順にシリンダ２２、２３、２４が固定されている。
【００３７】
前記支持板２１の下方には、それぞれのシリンダ２２、２３、２４の軸の先端に剥離テープ５の吸着保持機構２５、貼付ローラー２７が軸支されたローラー支持枠３４、剥離テープ５を吸着保持する吸着孔３１及びカッター溝３０が設けられたカッター台２９が取り付けられ、それぞれのシリンダ２２、２３、２４により吸着保持機構２５、貼付ローラー２７、カッター台２９がそれぞれ昇降自在に設けられている。なお、図３のようにシリンダ２４の両側にはガイド４２が摺動可能に設けられており、図示しないがシリンダ２２、２３の両側にも同様にガイド４２が摺動可能に設けられている。
【００３８】
前記吸着保持機構２５は、貼付ローラー２７の後方側（剥離テープ５の供給側）に設けられ、前記吸着保持機構２５の下面は、剥離テープ５の傾斜に沿うように傾斜させて形成されると共に複数の吸着孔２６が剥離テープ５の走行方向と垂直方向に穿設され図示しない適宜な真空源と接続されて剥離テープ５を非粘着面側から吸着保持するようになっている。なお、剥離テープ５の吸着力は剥離テープ５が外れない程度で良く、吸着状態であっても剥離テープ５は走行できるようになっている。
【００３９】
前記貼付ローラー２７は、図２のように両端がローラー支持枠３４に回転自在に軸支され、前記貼付ローラー２７の一端にはローラー支持枠３４を介してクラッチ付きモーター３５が接続されて貼付ローラー２７の自由回転及び駆動回転の切り替えが制御できるようになっている。なお、クラッチ付きモーター３５に代えて、通常のモーターを設けておき、このモーターとの係合を自在に行なえるような機構を採用することもできる。
【００４０】
図４のように前記貼付ローラー２７は、その外周面の一部に溝が設けられ、その溝の中央付近に剥離テープ５の一部分のみを加熱するヒーター２８が埋設されている。また、前記貼付ローラー２７の溝以外の外周部分には、適宜ゴムや樹脂等が巻き付けられ、ウエハ２を押圧してもウエハ２が損傷しないようになっている。
【００４１】
上記ヒーター２８の幅や長さは、ウエハ２の回路パターン３面を押圧しないよう、ウエハ２の回路パターン３が設けられていない外周部分の２〜３ｍｍ程度を押えるように形成することが好ましい。
【００４２】
なお、前記貼付ローラー２７は、貼り付け動作を行なう際は、クラッチ付きモーター３５のクラッチの係合が外れ自由回転となり、押圧力による転動で回転するようになっている。また、上記ヒーター２８が保護テープ４の外周端に位置するように、貼り付けローラー２７を駆動回転させる際は、図示しない適宜のセンサーでヒーター２８の位置を検知し、所定の位置にヒーター２８が位置するようにクラッチ付きモーター３５のクラッチを係合させて、貼付ローラー２７を駆動回転させるようになっている。
【００４３】
また、前記カッター台２９は貼付ローラー２７の前方側（剥離テープ５の巻き取り側）に設けられ、前記カッター台２９の下面には、剥離テープ５の巻き取り側（前方側）に剥離テープ５の走行方向と垂直となるようにカッター溝３０が設けられており、剥離テープ５の供給側（後方側）には複数の吸着孔３１が同じく剥離テープ５の走行方向と垂直となるように穿設されている。
【００４４】
前記カッター台２９の下方で機枠７側には、カッター溝３０と対応するように丸刃のカッター３２が設けられ、このカッター３２は、カッター支持枠３３の先端に自由回転となるよう軸支されている。また、前記カッター支持枠３３の後端は、機枠７に設けられた機枠開口部３６に挿通されると共にスライダ３８が設けられている。また、前記機枠開口部３６にはロッドレスシリンダ３７が機枠７と垂直方向に固定され、このロッドレスシリンダ３７のガイドレール３９に前記スライダ３８が接続されることで前記カッター支持枠３３は、ガイドレール３９に沿って機枠７に対して前後方向に移動自在になっている。
【００４５】
従って、図３のように前記カッター３２は、ロッドレスシリンダ３７を駆動することでカッター支持枠３３により、カッター台２９に設けられたカッター溝３０に沿って実線から二点鎖線のように移動自在になっており、カッター台２９の吸着孔３１に吸着保持された剥離テープ５を切断抵抗により丸刃のカッター３２が回転しながら幅方向に切断するようになっている。なお、上記カッター３２は対摩耗性や切断性の観点から丸刃を用いているが、これに限定されるものではなく、適宜のカッターを利用できる。
【００４６】
また、前記押えローラー２０の後方には適宜な光学的手段により剥離されてくる保護テープ４の有無を検知する保護テープ検知センサー４０が機枠７の垂直方向に延設されたセンサー支持枠４１の先端に設けられている。図２のように前記保護テープ検知センサー４０は、押えローラー２０の奥側に設けられた隙間から矢印方向に光を照射して、保護テープ４を剥離する際に押さえローラー２０に抱き込んで巻き上げられる保護テープ４の保護テープ検知部４６（図８参照）を検知して保護テープ４が剥離テープ５に接着されているかどうかを確認するようになっている。なお、保護テープ検知部４６は一例を表したものであり、剥離テープ５及び保護テープ４の巻き取り時に保護テープ４が検知できれば良い。
【００４７】
上記の保護テープ検知センサー４０を設けることで、剥離テープ５を保護テープ４に接着する際に接着ミスが発生し、保護テープ４が剥離されていない場合は、保護テープ剥離装置１を自動的に初期状態に復帰させて、再度剥離テープ５を保護テープ４に接着する動作を行えるようになっている。
【００４８】
以上が、本発明の保護テープ剥離装置１の構成であり、次に、本発明の保護テープ剥離装置１の保護テープ４の剥離動作について図５乃至図７に基づいて以下に説明する。なお、理解が容易なように保護テープ４や剥離テープ５は実際よりも厚みを持たせて描いてある。
【００４９】
図５（ａ）の二点鎖線位置は保護テープ剥離装置１で保護テープ４を剥離する際の初期位置を示し、この初期位置から貼付ローラー２７がシリンダ２３の作用で実線位置に下降して、剥離テープ５を保護テープ４の剥離前端部の１ｃｍ程度内側に押圧して貼り付ける。
【００５０】
この時、貼付ローラー２７のヒーター２８の位置を図示しない適宜のセンサーで検出して、クラッチ付きモーター３５を駆動し、ヒーター２８を貼付ローラー２７の下端から反時計方向に角度ａだけずれた位置に位置させるようにしておくと共に貼付ローラー２７での剥離テープ５の保護テープ４への押圧後、クラッチ付きモーター３５のクラッチを切って貼付ローラー２７が自由回転するようにしておく。また、この時、剥離テープ５に無理な力が掛からないよう適量の剥離テープ５がニップローラー１４の駆動により剥離テープ供給リール１１から繰り出される。
【００５１】
次に図５（ｂ）のように貼付ローラー２７で剥離テープ５を保護テープ４に押圧しながら、剥離テーブル１０を後退動させることで貼付ローラー２７の転動に伴ってヒーター２８が角度ａだけ回転し、ヒーター２８で剥離テープ５が保護テープ４の剥離前端側の外周端に加熱圧着される。また、この時、剥離テーブル１０の移動に伴って、剥離テープ５は、適量ニップローラー１４の駆動により巻き取られる。
【００５２】
次に図５（ｃ）のようにまず、貼付ローラー２７を退去させ、続いて剥離テーブル１０を前進移動させると共に剥離テープ５を供給することで押えローラー２０により剥離テープ５が押えられ剥離テープ５が鋭角に折り返される。
【００５３】
次に図６（ｄ）のようにニップローラー１４を停止させて剥離テープ５の供給を停止し、剥離テーブル１０をさらに前進させることで保護テープ４と剥離テープ５の接着部がニップローラー１６の駆動及びテープ巻取ローラー１２の駆動により巻き取られ、保護テープ４が押えローラー２０で鋭角に折り返されながら剥離されていく。
【００５４】
また、保護テープ４及び剥離テープ５の巻き取りに伴って、貼付ローラー２７の後方側の剥離テープ５が剥離テープ保持機構２５の下面に接すると吸着孔２６に吸引力を働かせ、貼付ローラー２７の後方側に位置する剥離テープ５を剥離テープ保持機構２５により吸着保持する。なお、剥離テープ保持機構２５の下面に剥離テープ５が接したかどうかは、剥離テープ保持機構２５の高さ変化や剥離テープ５による圧力抵抗の変化等を適宜なセンサーで検知すれば良い。
【００５５】
また、剥離テープ５の巻き取りに伴って、カッター台２９をシリンダ２４の作用で下降させ、貼付ローラー２７の前方側に位置する剥離テープ５を吸着孔３１に吸引力を働かせて吸着保持し、貼付ローラー２７はクラッチ付きモーター３５を駆動させて、ヒーター２８が貼付ローラー２７の下方から時計方向に角度ｂだけ回転した位置に位置するよう回転させておく。なお、カッター台２９は適宜位置に固定した状態で使用しても良いが、剥離テープ５との摩擦により、磨耗する場合もあるため、上下動可能としておくことが好ましい。
【００５６】
また、剥離テープ５の巻き取りに伴って、保護テープ４が押えローラー２０に抱き込まれながら巻き取られてくることになるが、この時、保護テープ検知センサー４０を作用させておくことで、保護テープ４が剥離テープ５に接着されている時は、保護テープ４の保護テープ検知部４６で保護テープ４が接着されていると判断され、その後の剥離工程が継続されるようになっている。この時、保護テープ検知センサー４０により、保護テープ４が検知されない時は、保護テープ４と剥離テープ５が接着されておらず、剥離ミスが発生したものとして、保護テープ剥離装置１を初期状態となるように剥離テープ５の巻き取りや剥離テーブル１０の復帰を行なうようになっている。
【００５７】
次に図６（ｅ）のように、剥離テープ５をカッター台２９と剥離テープ保持機構２５で吸着保持した状態でカッター３２をロッドレスシリンダ３７の作用により駆動し、保護テープ４と接着された剥離テープ５の後方側をカッター溝３０に沿って切断する。
【００５８】
次に図６（ｆ）のように、剥離テーブル１０を前進させながら保護テープ４を巻き取ると共に切断された剥離テープ５の後方側を剥離テープ保持機構２５で吸着保持した状態で少し巻き取って貼付ローラー２７の下方に位置するようにし、そして、剥離テーブル１０上のウエハ２に貼り付けられた保護テープ４の剥離後端部の１ｃｍ程度内側上に貼付ローラー２７が位置した時に剥離テーブル１０を停止させる。なお、ここで、剥離テープ５の後方側を少し巻き取ることで、剥離テープ５の使用量を少なくすることができる。
【００５９】
図７（ｇ）のように、剥離テープ保持機構２５で剥離テープ５を吸着保持した状態で、剥離テープ保持機構２５及び貼付ローラー２７を下降させ、剥離テープ保持機構２５は所定位置で停止させて吸着を停止させると共に貼付ローラー２７はさらに下降を続けて、剥離テープ５の前端部を保護テープ４の剥離後端側に押圧して貼り付ける。
【００６０】
続いて図７（ｈ）のようにクラッチ付きモーター３５のクラッチを切った状態で、剥離テーブル１０を前進させることで、貼付ローラー２７が押圧転動して保護テープ４上に剥離テープ５が貼り付けられ、保護テープ４の剥離後端部上にヒーター２８が位置することで保護テープ４の剥離後端部に剥離テープ５が加熱圧着される。
【００６１】
この後、図７（ｉ）のように貼付ローラー２７を上昇させた後、ニップローラー１４の駆動により剥離テープ５を供給しながら剥離テーブル１０を前進させ、保護テープ４をニップローラー１６とテープ巻取リール１２で巻き取ることで剥離させていく。その間に剥離テープ保持機構２５及びカッター台２９の初期位置への上昇と貼付ローラー２７のヒーター２８を初期位置に復帰させる。
【００６２】
上記動作を繰返し行なっていくことで、図８のようにウエハ２に貼り付けられた保護テープ４が短片状の剥離テープ５によって連結されながら剥離されるようになっている。この時、貼付ローラー２７の外周の一部分にヒーター２８が設けられているので、保護テープ４に剥離テープ５を貼り付ける際にヒーター２８が保護テープ４の外周端に位置するように制御すれば、貼付ローラー２７で貼り付けた前端側貼付部４３とヒーター圧着部４４、後端側貼付部４５とヒーター圧着部４４が順次形成され、短片状の剥離テープ５で保護テープ４を連結しながら剥離できる。
【００６３】
上記のように一連の動作を行なうことで、短片状の剥離テープ５を予め作成することなく、短片状の剥離テープ５の一方が保護テープ４に貼り付けられた状態となるため、剥離テープ５の取り回しが容易となると共に、剥離ミスが発生しても容易に装置を復帰できる。
【００６４】
また、従来８インチウエハで使用していた剥離テープが約２３０ｍｍであったことに対して、本発明の保護テープの剥離装置を用いることで例えば３５〜４０ｍｍの剥離テープの使用量に削減できる。この、剥離テープの使用量は使用するウエハ径、保護テープ、剥離テープに応じて適宜変更できる。
【００６５】
なお、上記は、半導体ウエハへの適用例を示したが、各種基板に貼り付けられた保護テープ等のテープ類を剥離する際に利用できる。
【００６６】
また、貼付ローラー２７の径やヒーター２８の形状、大きさは、基板のサイズに応じて適宜変更すれば良く、剥離テープ５と保護テープ４の接着面積も剥離テープ５や保護テープ４の粘着性等を勘案して変更すれば良い。
【００６７】
以上が、本発明の一実施形態であるが、上記には限定されず、本発明の範囲内で適宜の変更ができる。
【符号の説明】
【００６８】
１    保護テープ剥離装置
２    ウエハ
３    回路パターン
４    保護テープ
５    剥離テープ
６    機台
７    機枠
８    レール
９    スライダ
１０    剥離テーブル
１１    剥離テープ供給リール
１２    テープ巻取リール
１３    ガイドローラー
１４    ニップローラー
１５    シリンダ
１６    ニップローラー
１７    ガイドローラー
１８    ローラー支持枠
１９    シリンダ
２０    押えローラー
２１    支持板
２２    シリンダ
２３    シリンダ
２４    シリンダ
２５    剥離テープ保持機構
２６    吸着孔
２７    貼付ローラー
２８    ヒーター
２９    カッター台
３０    カッター溝
３１    吸着孔
３２    カッター
３３    カッター支持枠
３４    ローラー支持枠
３５    クラッチ付きモーター
３６    機枠開口部
３７    ロッドレスシリンダ
３８    スライダ
３９    ガイドレール
４０    保護テープ検知センサー
４１    センサー支持枠
４２    スライドガイド
４３    前端側貼付部
４４    ヒーター圧着部
４５    後端側貼付部
４６    保護テープ検知部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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