(57)【要約】【課題】スライドテーブルのストローク長の精度を悪化させず、また、ストローク長の調整作業を容易に行うことができるリニアアクチュエータを提供する。【解決手段】リニアガイド１３の前端側にストローク調整機構１５が設けられるとともに、ストローク調整機構１５は、外側ボルト４３及び内側ボルト４４とを備え、外側ボルト４３及び内側ボルト４４は、ピストンロッドからの推力の中心軸線上に位置している。また、スライドテーブル１４には、スライドテーブル１４が突出方向へ移動されて外側ボルト４３の後端面４３ａと当接するとともに、スライドテーブル１４が没入方向へ移動されて内側ボルト４４のフランジ部４５と当接する当接プレート３４が設けられている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダチューブから出没するピストンロッドからの推力により前記ピストンロッドの軸線方向に沿って往復動するスライドテーブルが、前記シリンダチューブに対して前記ピストンロッドの軸線方向に直列に連結されたリニアガイド上のガイドによって往復動可能に支持されたリニアアクチュエータであって、
前記リニアガイドの先端部には、前記ピストンロッドからの推力の中心軸線に沿って移動可能であるとともに前記スライドテーブルにおける前記ピストンロッドの突出方向側への移動を規制する第１ストッパ部と、前記中心軸線に沿って移動可能であるとともに前記スライドテーブルにおける前記ピストンロッドの没入方向側への移動を規制する第２ストッパ部と、前記第１ストッパ部及び第２ストッパ部を支持する支持体と、を備えたストローク調整機構が設けられるとともに、
前記スライドテーブルには、前記第１ストッパ部と当接可能な第１当接部と、前記第２ストッパ部と当接可能な第２当接部とが設けられていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項２】
前記ストローク調整機構は、前記リニアガイドの先端に前記ピストンロッドの軸線方向に沿って直列に連結された前記支持体としてのブロック体と、
前記ブロック体の前記中心軸線上の位置に該中心軸線に沿って移動可能に支持されるとともに前記第１ストッパ部を有する第１ストローク調整部材と、
前記第１ストローク調整部材に対し前記中心軸線に沿って移動可能に支持されるとともに前記第２ストッパ部を有する第２ストローク調整部材とから構成されることを特徴とする請求項１に記載のリニアアクチュエータ。
【請求項３】
前記ブロック体において前記中心軸線上の位置には雌ねじ孔が形成されるとともに、前記第１ストローク調整部材は円筒状をなし、前記第１ストローク調整部材の外周面には前記雌ねじ孔と螺合可能な雄ねじが形成されるとともに、前記第１ストローク調整部材の内周面には雌ねじが形成され、前記第２ストローク調整部材は円柱状をなし、第２ストローク調整部材の周面には前記第１ストローク調整部材の雌ねじと螺合可能な雄ねじが形成されていることを特徴とする請求項２に記載のリニアアクチュエータ。
【請求項４】
前記ピストンロッドが一本設けられるとともに、前記第１ストッパ部及び前記第２ストッパ部は前記ピストンロッドの軸線上に設けられていることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載のリニアアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリンダチューブから出没されるピストンロッドからの推力によってスライドテーブルが往復動するリニアアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、ワークを搬送するために、シリンダチューブから出没するピストンロッドによってスライドテーブルを往復動させるものとして、例えば特許文献１に開示の流体圧アクチュエータが挙げられる。特許文献１の流体圧アクチュエータにおいて、シリンダチューブの側面にはスライドテーブルがガイドによって往復動自在に支持されるとともに、両端部付近それぞれにはスライドテーブルの進行方向及び後退方向への移動を規制するためのストッパ用ブロックが装着されている。この一組のストッパ用ブロックは、シリンダチューブにおける同一の側面に互いに対向するように配置されている。また、ストッパ用ブロックには、ストローク調整ストッパを取り付けるための取付孔が形成されている。ストローク調整ストッパは、取付孔に螺入されたストッパボルトと、ストッパボルトの螺入量を調整するためのナットとから構成されている。
【０００３】
一方、スライドテーブルの側面には当接ブロックが突設されるとともに、当接ブロックは両ストッパ用ブロックのストッパボルト間に配置されている。そして、各ストッパ用ブロックのストローク調整ストッパにおいて、ナットによってストッパボルトの螺入量を調整する。すると、流体圧アクチュエータの駆動時において、当接ブロックがストローク調整ストッパに当接することにより、スライドテーブルのそれ以上の移動が規制され、スライドテーブルのストローク長が決定されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−９２１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の流体圧アクチュエータでは、ストローク調整ストッパがシリンダチューブの側面に設けられている。このため、流体圧アクチュエータの駆動時において、当接ブロックがストローク調整ストッパに当接すると、ピストンロッドからの推力がモーメントとしてスライドテーブルからガイドに作用し、このモーメントによりガイドには偏荷重がかかって、スライドテーブルのストローク長が所望する値からずれてしまいストローク長の精度が悪化してしまう。
【０００６】
また、特許文献１の流体圧アクチュエータでは、スライドテーブルの進行方向側及び後退方向側への移動を規制するため、一対のストローク調整ストッパがシリンダチューブにおける両端部に独立して設けられている。よって、特許文献１の流体圧アクチュエータにおいては、スライドテーブルのストローク長の調整を、流体圧アクチュエータの軸線方向に離れた２箇所で行う必要があり面倒であった。
【０００７】
本発明は、スライドテーブルのストローク長の精度を悪化させず、また、ストローク長の調整作業を容易に行うことができるリニアアクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記問題点を解決するために、請求項１に記載の発明は、シリンダチューブから出没するピストンロッドからの推力により前記ピストンロッドの軸線方向に沿って往復動するスライドテーブルが、前記シリンダチューブに対して前記ピストンロッドの軸線方向に直列に連結されたリニアガイド上のガイドによって往復動可能に支持されたリニアアクチュエータであって、前記リニアガイドの先端部には、前記ピストンロッドからの推力の中心軸線に沿って移動可能であるとともに前記スライドテーブルにおける前記ピストンロッドの突出方向側への移動を規制する第１ストッパ部と、前記中心軸線に沿って移動可能であるとともに前記スライドテーブルにおける前記ピストンロッドの没入方向側への移動を規制する第２ストッパ部と、前記第１ストッパ部及び第２ストッパ部を支持する支持体と、を備えたストローク調整機構が設けられるとともに、前記スライドテーブルには、前記第１ストッパ部と当接可能な第１当接部と、前記第２ストッパ部と当接可能な第２当接部とが設けられていることを要旨とする。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のリニアアクチュエータにおいて、前記ストローク調整機構は、前記リニアガイドの先端に前記ピストンロッドの軸線方向に沿って直列に連結された前記支持体としてのブロック体と、前記ブロック体の前記中心軸線上の位置に該中心軸線に沿って移動可能に支持されるとともに前記第１ストッパ部を有する第１ストローク調整部材と、前記第１ストローク調整部材に対し前記中心軸線に沿って移動可能に支持されるとともに前記第２ストッパ部を有する第２ストローク調整部材とから構成されることを要旨とする。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のリニアアクチュエータにおいて、前記ブロック体において前記中心軸線上の位置には雌ねじ孔が形成されるとともに、前記第１ストローク調整部材は円筒状をなし、前記第１ストローク調整部材の外周面には前記雌ねじ孔と螺合可能な雄ねじが形成されるとともに、前記第１ストローク調整部材の内周面には雌ねじが形成され、前記第２ストローク調整部材は円柱状をなし、第２ストローク調整部材の周面には前記第１ストローク調整部材の雌ねじと螺合可能な雄ねじが形成されていることを要旨とする。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載のリニアアクチュエータにおいて、前記ピストンロッドが一本設けられるとともに、前記第１ストッパ部及び前記第２ストッパ部は前記ピストンロッドの軸線上に設けられていることを要旨とする。
【発明の効果】
【００１２】
この発明によれば、スライドテーブルのストローク長の精度を悪化させず、また、ストローク長の調整作業を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施形態のリニアアクチュエータを示す斜視図。
【図２】リニアアクチュエータの横断面図。
【図３】図２におけるＡ−Ａ線縦断面図。
【図４】（ａ）及び（ｂ）はストローク調整機構を示す縦断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図４にしたがって説明する。なお、以下の説明において、「前後方向」、「上下方向」及び「左右方向」をいう場合は、特に説明がない限り、図１において矢印で示す「前後方向」、「上下方向」及び「左右方向」をいうものとする。
【００１５】
図１に示すように、リニアアクチュエータ１１は、扁平な四角柱形状のシリンダチューブ１２を備えるとともに、シリンダチューブ１２の前端（一端）側には、連結用ブロック１７を介してリニアガイド１３が連結されている。リニアガイド１３にはスライドテーブル１４が移動可能に支持されるとともに、リニアガイド１３の先端部としての前端部（一端部）にはストローク調整機構１５が設けられている。
【００１６】
図２に示すように、シリンダチューブ１２には前後方向に延びるようにシリンダ孔１６が形成されている。シリンダ孔１６における前方（一方）の開口は、シリンダチューブ１２の前端に連結された連結用ブロック１７によって封止されるとともに、シリンダ孔１６における後方（他方）の開口は蓋部１８によって封止されることでシリンダチューブ１２内にシリンダ室１９が区画形成されている。
【００１７】
シリンダ室１９内にはピストン２０が収容されるとともに、このピストン２０によりシリンダ室１９内は、連結用ブロック１７側の第１圧力作用室１９ａと蓋部１８側の第２圧力作用室１９ｂとに区画されている。ピストン２０の外周面にはゴム製のＯリング２１が装着されるとともに、ピストン位置検出用の環状のマグネット２２が装着されている。また、ピストン２０の前端にはゴム等の弾性体からなる円環状のクッション部材２３が装着されている。第１圧力作用室１９ａは、図示しない三方弁を介して圧力エア供給源に接続されるとともに、第２圧力作用室１９ｂは、図示しない三方弁を介して圧力エア供給源に接続されている。
【００１８】
ピストン２０には、ピストンロッド２４の基端に形成された突起部２４ａが嵌着されるとともに、ピストン２０とピストンロッド２４とが一体移動可能になっている。ピストンロッド２４は、連結用ブロック１７に形成された貫通孔１７ａを介してシリンダチューブ１２外へ突出されている。そして、第２圧力作用室１９ｂに圧力エアが供給されるとともに、第１圧力作用室１９ａから圧力エアが排出されると、ピストン２０が突出方向（連結用ブロック１７側）へ移動し、第１圧力作用室１９ａに圧力エアが供給されるとともに、第２圧力作用室１９ｂから圧力エアが排出されると、ピストン２０が没入方向（蓋部１８側）へ移動する。
【００１９】
シリンダチューブ１２外へ突出されたピストンロッド２４の先端面には筒形状のフローティング部材２５がボルト２６によって締め付け固定されている。フローティング部材２５はスライドテーブル１４の後端（他端）面に設けられたエンドプレート２７と連結されている。よって、ピストン２０とスライドテーブル１４とは、ピストンロッド２４、フローティング部材２５、及びエンドプレート２７を介して連結されている。そして、ピストン２０の移動によるピストンロッド２４からの推力の中心軸線は、ピストンロッド２４の軸線Ｌ１と同一になっている。
【００２０】
リニアガイド１３は、連結用ブロック１７を介してシリンダチューブ１２に対して前後方向（ピストンロッド２４の軸線Ｌ１方向）に沿って直列に連結された支持板３０と、支持板３０の上面にボルトＢ１によって締結されたガイドとしての一対のガイドレール３１とを備えている。一対のガイドレール３１は、前後方向に延びるように互いに平行に設けられている。また、一対のガイドレール３１は、ピストンロッド２４の軸線Ｌ１と平行に延びるように設けられている。
【００２１】
図１に示すように、リニアガイド１３上に設けられたスライドテーブル１４は平面視矩形状に形成されるとともに、図１〜図３に示すように、スライドテーブル１４の下面には、ボルトＢ２によって締結された一対の係合レール３３が前後方向に延びるように互いに平行に設けられている。図２に示すように、一対の係合レール３３は、左右方向（ピストンロッド２４の軸線Ｌ１方向と直交する方向）において一対のガイドレール３１の間に挟まれるように位置するとともに、一対のガイドレール３１と平行な位置関係になっている。図３に示すように、一対のガイドレール３１において、互いに対向する側面には複数のボールベアリング３２が転動可能に支持されている。
【００２２】
図１に示すように、スライドテーブル１４の前端（一端）面には、ボルトＢ３により当接プレート３４が固定されている。図２に示すように、当接プレート３４におけるピストンロッド２４の軸線Ｌ１上に対応する部位には挿通凹部３５が形成されている。
【００２３】
次に、ストローク調整機構１５について説明する。
図２に示すように、ストローク調整機構１５は、支持板３０の先端たる前端（一端）に接合された支持体としてのブロック体４１を備えている。ブロック体４１におけるピストンロッド２４の軸線Ｌ１上（ピストンロッド２４からの推力の中心軸線上）に位置する部位には雌ねじ孔Ｍ１が形成されている。
【００２４】
また、ストローク調整機構１５は、雌ねじ孔Ｍ１に螺合された第１ストローク調整部材としての外側ボルト４３を備えている。雌ねじ孔Ｍ１は、ピストンロッド２４からの推力の中心軸線上に位置しているため、この雌ねじ孔Ｍ１に螺合された外側ボルト４３もピストンロッド２４からの推力の中心軸線上に位置している。
【００２５】
外側ボルト４３の外周面には雌ねじ孔Ｍ１に螺合された雄ねじＭ２が全周に亘って形成されている。また、外側ボルト４３の内周面には雌ねじＭ３が全周に亘って形成されている。外側ボルト４３における前後方向（軸線方向）の長さは、雌ねじ孔Ｍ１における前後軸線方向）の長さよりも長くなっている。外側ボルト４３において、スライドテーブル１４の当接プレート３４に対向する端面たる後端面４３ａは、当接プレート３４の前端面３４ａに当接して、スライドテーブル１４の突出方向側への移動を規制する第１ストッパ部として機能する。よって、当接プレート３４の前端面３４ａは、外側ボルト４３の後端面４３ａ（第１ストッパ部）に当接可能な第１当接部となっている。
【００２６】
さらに、ストローク調整機構１５は、外側ボルト４３の雌ねじＭ３に螺合された第２ストローク調整部材としての内側ボルト４４を備えている。ここで、外側ボルト４３は、ピストンロッド２４からの推力の中心軸線上に位置しているため、この外側ボルト４３に螺合された内側ボルト４４もピストンロッド２４からの推力の中心軸線上に位置している。
【００２７】
内側ボルト４４の前端（一端）側には、外側ボルト４３の雌ねじＭ３と螺合された雄ねじＭ４が全周に亘って形成されるとともに、後端（他端）には、雄ねじＭ４より大径をなす第２ストッパ部としてのフランジ部４５が形成されている。内側ボルト４４のフランジ部４５は、当接プレート３４の挿通凹部３５を介して当接プレート３４の裏側に配置されている。このフランジ部４５には、スライドテーブル１４の当接プレート３４の後端面３４ｂが当接して、スライドテーブル１４の没入方向側への移動が規制されるようになっている。よって、当接プレート３４の後端面３４ｂは、内側ボルト４４のフランジ部４５に当接可能な第２当接部となっている。内側ボルト４４が外側ボルト４３と螺合された状態においては、内側ボルト４４の先端が外側ボルト４３から外部へ露出された状態となっている。
【００２８】
外側ボルト４３の雄ねじＭ２にはナットＮ１が螺合されており、このナットＮ１が外側ボルト４３に対して締め付けられることにより、外側ボルト４３の雌ねじ孔Ｍ１に対する螺進及び螺退が不可能になる。また、内側ボルト４４の雄ねじＭ４にはナットＮ２が螺合されており、このナットＮ２が内側ボルト４４に対して締め付けられることにより、内側ボルト４４の外側ボルト４３に対する螺進及び螺退が不可能になる。
【００２９】
次に、上記構成のリニアアクチュエータ１１における動作を説明する。
図２に示すように、ピストン２０が蓋部１８側に位置する状態において、第２圧力作用室１９ｂに圧力エアが供給されるとともに、第１圧力作用室１９ａから圧力エアが排出されると、ピストン２０が突出方向（連結用ブロック１７側）へ移動する。このピストン２０の移動に伴いピストンロッド２４が突出方向へ移動して、このピストンロッド２４からの推力がフローティング部材２５及びエンドプレート２７を介してスライドテーブル１４に伝わり、スライドテーブル１４は、係合レール３３がガイドレール３１によってガイドされながら突出方向へ移動する。
【００３０】
すると、スライドテーブル１４は、図４（ａ）に示すように、当接プレート３４の後端面３４ｂがフランジ部４５に当接した状態から、外側ボルト４３の後端面４３ａ側に向かって移動して、図４（ｂ）に示すように、当接プレート３４の前端面３４ａが外側ボルト４３の後端面４３ａに当接する。この当接により、スライドテーブル１４における突出方向側への移動が規制される。
【００３１】
ここで、外側ボルト４３の後端面４３ａは、ピストンロッド２４の軸線Ｌ１上、すなわち、ピストンロッド２４からの推力の中心軸線上に位置しているため、当接プレート３４の前端面３４ａが後端面４３ａに当接した際、ピストンロッド２４からの推力は、その中心軸線の延長線上に位置する外側ボルト４３に作用する。
【００３２】
一方、ピストン２０が連結用ブロック１７側に位置する状態において、第１圧力作用室１９ａに圧力エアが供給されるとともに、第２圧力作用室１９ｂから圧力エアが排出されると、ピストン２０が没入方向（蓋部１８側）へ移動する。このピストン２０の移動に伴いピストンロッド２４が没入方向へ移動して、このピストンロッド２４の推力がフローティング部材２５及びエンドプレート２７を介してスライドテーブル１４に伝わり、スライドテーブル１４は、係合レール３３がガイドレール３１によってガイドされながら没入方向へ移動する。
【００３３】
すると、スライドテーブル１４は、図４（ｂ）に示すように、当接プレート３４の前端面３４ａが外側ボルト４３の後端面４３ａに当接した状態から、フランジ部４５側に向かって移動して、図４（ａ）に示すように、当接プレート３４の後端面３４ｂがフランジ部４５に当接する。この当接により、スライドテーブル１４における没入方向側への移動が規制される。
【００３４】
ここで、内側ボルト４４（フランジ部４５）は、ピストンロッド２４の軸線Ｌ１上、すなわち、ピストンロッド２４からの推力の中心軸線上に位置しているため、当接プレート３４の後端面３４ｂがフランジ部４５に当接した際に、ピストンロッド２４からの推力は、その中心軸線の延長線上に位置するフランジ部４５に作用する。
【００３５】
さて、スライドテーブル１４のストローク長を調整する作業手順としては、まず、ナットＮ１を緩め、外側ボルト４３の後端面４３ａがスライドテーブル１４における突出方向側への移動を規制する所望位置となるように、外側ボルト４３を雌ねじ孔Ｍ１に対し螺進又は螺退させる。そして、外側ボルト４３の後端面４３ａが所望位置に配置されたら、ナットＮ１を締め付けて外側ボルト４３を固定する。
【００３６】
次に、ナットＮ２を緩めて内側ボルト４４を外側ボルト４３に対し螺進又は螺退可能とし、フランジ部４５がスライドテーブル１４における没入方向側の移動を規制する所望位置となるように、内側ボルト４４を外側ボルト４３に対し螺進又は螺退させる。そして、フランジ部４５が所望位置に配置されたら、ナットＮ２を締め付けて内側ボルト４４を固定する。このようにして、スライドテーブル１４のストローク長を調整する。
【００３７】
上記実施形態では以下の効果を得ることができる。
（１）リニアガイド１３の前端側にストローク調整機構１５が設けられるとともに、ストローク調整機構１５は、リニアガイド１３の前端部に連結されたブロック体４１と、このブロック体４１の雌ねじ孔Ｍ１に螺合された外側ボルト４３と、この外側ボルト４３の雌ねじＭ３に螺合された内側ボルト４４とを備えている。そして、スライドテーブル１４が突出方向側へ移動するとスライドテーブル１４に一体化された当接プレート３４の前端面３４ａが外側ボルト４３の後端面４３ａに当接するとともに、スライドテーブル１４が没入方向へ移動すると当接プレート３４の後端面３４ｂがフランジ部４５に当接する。このスライドテーブル１４の突出方向及び没入方向での当接により、スライドテーブル１４の移動範囲が規制され、スライドテーブル１４のストローク長が決定される。ここで、雌ねじ孔Ｍ１、外側ボルト４３及び内側ボルト４４は、ピストンロッド２４からの推力の中心軸線上（ピストンロッド２４の軸線Ｌ１上）に位置しているため、ピストンロッド２４からの推力は、その中心軸線上の延長線上にある外側ボルト４３の後端面４３ａ、又はフランジ部４５に集中して作用する。よって、背景技術のようにスライドテーブル１４のストローク調整ストッパがシリンダチューブ１２の側面に設けられ、ピストンロッド２４からの推力が、その推力の中心軸線から外れた位置に作用する場合と異なり、ピストンロッド２４からの推力がスライドテーブル１４からガイドレール３１に偏荷重として作用することが防止できる。その結果として、スライドテーブル１４のストローク長の精度が悪化してしまうことを防止することができる。
【００３８】
（２）ストローク調整機構１５は、リニアガイド１３の前端側に纏めて設けられている。よって、スライドテーブル１４における突出方向側への移動を規制するための作業と、スライドテーブル１４における没入方向側への移動の規制するための作業とをリニアガイド１３の前端側に纏めることができる。その結果、スライドテーブル１４における突出方向側と没入方向側への移動を規制するための作業を２箇所で別々に行う場合と比べて、ストローク長の調整作業が容易となる。
【００３９】
（３）外側ボルト４３は、ブロック体４１の雌ねじ孔Ｍ１に螺合されるとともに、内側ボルト４４は外側ボルト４３に螺合されている。よって、外側ボルト４３を雌ねじ孔Ｍ１に対して螺進又は螺退するだけで、外側ボルト４３の後端面４３ａ（第１ストッパ部）の位置を調整することができ、スライドテーブル１４における突出方向側への移動量の調整を容易に行うことができる。また、内側ボルト４４を外側ボルト４３に対して螺進又は螺退するだけで、フランジ部４５（第２ストッパ部）の位置を調整することでき、スライドテーブル１４における没入方向側への移動量の調整を容易に行うことができる。
【００４０】
（４）外側ボルト４３及び内側ボルト４４は、ピストンロッド２４の軸線Ｌ１上に設けられている。ピストンロッド２４が一本のみ設けられる構成のリニアアクチュエータ１１においては、スライドテーブル１４に対して作用するピストンロッド２４からの推力における中心軸線は、ピストンロッド２４の軸線Ｌ１上になる。よって、外側ボルト４３及び内側ボルト４４をピストンロッド２４の軸線Ｌ１上に設けることで、ピストンロッド２４の推力が偏荷重としてリニアガイド１３のガイドレール３１に作用することを防止することができる。
【００４１】
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
○  実施形態では、リニアアクチュエータ１１を、ピストンロッド２４を一本だけ備えるタイプとしたが、これに限らず、ピストンロッド２４を複数本備えたタイプとしてもよい。この場合、雌ねじ孔Ｍ１、外側ボルト４３及び内側ボルト４４は、複数本のピストンロッド２４からの推力の中心軸線上に位置するように配置する必要がある。
【００４２】
○  実施形態において、第１ストローク調整部材として外周面及び内周面に雄ねじＭ２及び雌ねじＭ３が形成された外側ボルト４３を用いるとともに、第２ストローク調整部材として外周面に雄ねじＭ４が形成された内側ボルト４４を用いて、外側ボルト４３及び内側ボルト４４がピストンロッド２４の軸線Ｌ１上を移動可能としたが、これに限らない。
【００４３】
例えば、ブロック体４１において、ピストンロッド２４からの推力の中心軸線上に雌ねじが形成されていない孔を形成する。また、この孔に対し、雄ねじＭ２及び雌ねじＭ３が形成されていない円筒部材（第１ストローク調整部材）を挿通し、円筒部材を推力の中心軸線に沿って移動可能に支持させる。この円筒部材において、当接プレート３４に対向する後端面が第１ストッパ部となるとともに、円筒部材には軸線方向に沿って多数の透孔が形成されている。
【００４４】
また、この円筒部材内に円柱部材（第２ストローク調整部材）を挿通するとともに、円柱部材を推力の中心軸線に沿って移動可能に支持させる。この円柱部材において、当接プレート３４側には第２ストッパ部としてフランジ部４５が形成されるとともに、円柱部材には軸線方向に沿って多数の透孔が形成されている。
【００４５】
そして、貫通孔、円筒部材、及び円柱部材それぞれをピストンロッド２４からの推力の中心軸線上に配置する。また、スライドテーブル１４のストローク長を所望する値にするため、円筒部材の後端面及び円柱部材のフランジ部４５を所定位置に位置決めする場合、円筒部材及び円柱部材の透孔には移動規制部材が挿通される。
【００４６】
○  実施形態において、スライドテーブル１４に当接プレート３４を別途設けたが、これに限らず、例えば、スライドテーブル１４の前端を外側ボルト４３の後端面４３ａと当接する第１当接部とするとともに、スライドテーブル１４と一体的に形成された当接部をフランジ部４５と当接する第２当接部としてもよい。
【００４７】
○  実施形態において、内側ボルト４４の前端側に雄ねじＭ４を形成したが、これに限らず、内側ボルト４４の外周面全体に亘って雄ねじＭ４を形成してもよい。
○  実施形態において、第１圧力作用室１９ａ及び第２圧力作用室１９ｂには圧力エアが供給されたが、これに限らず、例えば、エア以外の気体、又は油等の液体であってもよい。
【００４８】
次に、上記実施形態及び別例から把握できる技術的思想について以下に追記する。
（イ）前記スライドテーブルには、前記第１当接部及び前記第２当接部の双方を有する当接部材が設けられていることを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載のリニアアクチュエータ。
【符号の説明】
【００４９】
Ｌ１…軸線、Ｍ１…雌ねじ孔、Ｍ２，Ｍ４…雄ねじ、Ｍ３…雌ねじ、１１…リニアアクチュエータ、１２…シリンダチューブ、１３…リニアガイド、１４…スライドテーブル、１５…ストローク調整機構、２４…ピストンロッド、３１…ガイドとしてのガイドレール、３４ａ…第１当接部として機能する前端面、３４ｂ…第２当接部として機能する後端面、４１…支持体としてのブロック体、４３…第１ストローク調整部材としての外側ボルト、４３ａ…第１ストッパ部として機能する後端面、４４…第２ストローク調整部材としての内側ボルト、４５…第２ストッパ部として機能するフランジ部。
【図１】
2011047475.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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