【事件の表示】
　特願２０１２−１０５２０７「寄生容量を低減させたジャイロメータ」拒絶査定不服審判事件〔平成２４年１１月２９日出願公開、特開２０１２−２３３８９８、請求項の数（２４）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　出願の経緯
　本願は、平成２４年５月２日（パリ条約による優先権主張、２０１１年５月２日（以下、「優先日」という。）、フランス共和国）を出願日とする外国語書面出願であって、平成２４年６月２７日に翻訳文が提出され、平成２８年１月８日付けで拒絶理由が通知され、平成２８年４月１８日付けで手続補正がなされたが、平成２８年９月５日付けで拒絶査定がなされ、これに対し、平成２９年１月１２日に拒絶査定不服審判が請求され、同時に手続補正がなされ、平成２９年１月１８日付けで、審判請求書の【請求の理由】について手続補正（方式）がなされたものである。
第２　原査定の概要
　原査定（平成２８年９月５日付け拒絶査定）の概要は次のとおりである。
理由１．（新規性）この出願の下記の請求項に係る発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明であるから、特許法第２９条第１項第３号に該当し、特許を受けることができない。
理由２．（進歩性）この出願の下記の請求項に係る発明は、その出願前に日本国内又は外国において、頒布された下記の刊行物に記載された発明又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった発明に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
１　理由１（特許法第２９条第１項第３号）について
・請求項　１、２、４、７−９、１２
・引用文献１
２　理由２（特許法第２９条第２項）について
・請求項　１−１７
・引用文献１−４
 　　　　　　　　　　　　　　＜引用文献等一覧＞
引用文献１．国際公開第２０１０／０８３９１８号
引用文献２．特開２００４−１６３３７６号公報
引用文献３．特開２０１０−１５１８０８号公報
引用文献４．特表２００７−５０００８６号公報
第３　本願発明
　本願の請求項１−２４に係る発明（以下、「本願発明１」−「本願発明２４」という。）は、平成２９年１月１２日付けの手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１−２４に記載された事項により特定される、次のとおりのものである。
「【請求項１】
　基板と、前記基板の上に懸架された慣性質量部（２、１０２）であって、少なくとも１つの励振部（６、１０６）および少なくとも１つの検出部（８、１０８）を含む慣性質量部（２、１０２）と、前記慣性質量部（２、１０２）の平面内に含まれる、前記励振部（６、１０６）を少なくとも１つの方向（Ｘ）に移動させる手段と、前記質量部の前記平面の外側での前記検出部（８、１０８）の移動を検出する静電容量検出手段とを含むジャイロメータであって、前記静電容量検出手段が、前記検出部（８、１０８）と共に可変コンデンサを形成するように、前記基板に面して位置する前記検出部（８、１０８）の上に配置された、検出電極と呼ばれる少なくとも１つの懸架電極（１６、１１６．１、１１６．２）を含み、前記電極（１６、１１６．１、１１６．２）が、前記慣性質量部（２、１０２）を貫通する少なくとも１つの柱状体（２２、２２’）によって、前記検出部（８、１０８）の上に保持され、前記検出手段が１つまたは複数の検出電極を含み、前記１つまたは複数の検出電極が前記検出部の上のみに懸架されている、ジャイロメータ。
　　【請求項２】
　前記検出電極（１６、１１６．１、１１６．２）上の各点の、前記質量部の前記平面に垂直な軸（Ｚ）に沿った直交する突出部が、前記検出部（８、１０８）上に位置する請求項１に記載のジャイロメータ。
　　【請求項３】
　前記検出電極（１６、１１６．１、１１６．２）が、前記検出部の表面積にほぼ等しい表面積を有する請求項２に記載のジャイロメータ。
　　【請求項４】
　１つまたは複数の通路（２３、２３’）を含み、前記検出部の縁部に隣接する領域において、前記通路（２３、２３’）を通って前記柱状体（２２、２２’）が前記検出部（８、１０８）および／または前記励振部を貫通する請求項１から３のいずれか一項に記載のジャイロメータ。
　　【請求項５】
　励振方向における前記柱状体（２２、２２’）の平行な縁部と前記通路（２３、２３’）との間のクリアランスが、励振の振幅より０．５μｍ〜１μｍ大きい請求項４に記載のジャイロメータ。
　　【請求項６】
　前記柱状体（２２、２２’）の前記慣性質量部（２、１０２）表面内での断面形状が正方形であり、前記正方形の一辺が１０μｍ〜１００μｍの間であり、前記柱状体（２２、２２’）の互いに対面する平行な縁部と前記通路（２３、２３’）との間のクリアランスが、１μｍ〜１０μｍの間である請求項４または５に記載のジャイロメータ。
　　【請求項７】
　前記慣性質量部（１０２）が、励振部（１０６）および少なくとも２つの検出部を含み、第１の検出部（１０８）が、励振方向（Ｘ）に沿って前記励振部（１０６）を通って移動可能であり、第２の検出部（１０９）が、前記励振方向（Ｘ）の適所に固定され、前記第１の検出部（１０８）に対する移動について固定される請求項１から６のいずれか一項に記載のジャイロメータ。
　　【請求項８】
　前記柱状体が、前記第２の検出部（１０９）を貫通する請求項７に記載のジャイロメータ。
　　【請求項９】
　前記慣性質量部が少なくとも２つの検出部を含み、前記検出電極が、前記検出部のうちの１つの上に位置する請求項１から８のいずれか一項に記載のジャイロメータ。
　　【請求項１０】
　前記慣性質量部が、同位相で共振する少なくとも２つの検出部を含み、前記検出電極が、前記２つの検出部の上に位置する請求項１から８のいずれか一項に記載のジャイロメータ。
　　【請求項１１】
　前記慣性質量部が、逆位相で共振する少なくとも２つの検出部を含み、前記ジャイロメータが、それぞれが検出部の上に位置する２つの検出電極を含み、前記２つの検出電極が、それらに面する前記検出部の変位を別個に検出する請求項１から８のいずれか一項に記載のジャイロメータ。
　　【請求項１２】
　少なくともある励振モードに対して、２つの機械的に結合された慣性質量部を含み、２つの検出電極がそれぞれ各慣性質量部の検出部の上に配置され、前記２つの検出電極が、それらに面する検出部の変位を別個に検出する請求項１から１１のいずれか一項に記載のジャイロメータ。
　　【請求項１３】
　前記慣性質量部がディスク形の励振部（３０６）を含み、前記励振部（３０６）が前記ディスクの軸のまわりを自由に移動し、複数の検出部（３０８）が、前記励振部（３０６）の内部を自由に移動するように配置される請求項１から６または９から１２のいずれか一項に記載のジャイロメータ。
　　【請求項１４】
　少なくとも１つの前記慣性質量部および少なくとも１つの前記検出電極（８）のまわりで、気密封止される空洞（２６）の範囲を定めるカバー（２４）を含み、前記空洞（２６）内に真空が作られる請求項１から１３のいずれか一項に記載のジャイロメータ。
　　【請求項１５】
　請求項１から１４のいずれか一項に記載の少なくとも１つの第１のジャイロメータ、ならびに前記平面の外側の軸のまわりの回転を検出する少なくとも１つの第２のジャイロメータ、および／または少なくとも１つの加速度計を含む測定システム。
　　【請求項１６】
　前記第２のジャイロメータが、前記第２のジャイロメータの前記少なくとも１つの検出部の前記平面内の変位を検出するために、少なくとも１つの検出部と、前記第２のジャイロメータの前記平面に垂直な検出電極とを含む請求項１５に記載の測定システム。
　　【請求項１７】
　前記加速度計が、面外の加速度を検出し、前記平面内に含まれる、面外の加速度を検出するための少なくとも１つの電極を含む静電容量加速度計、および／または面内の加速度を検出し、前記平面に垂直な少なくとも１つの電極を含む静電容量加速度計である請求項１５または１６に記載の測定システム。
　　【請求項１８】
　請求項１から１４のいずれか一項に記載のジャイロメータ、または請求項１５から１７のいずれか一項に記載の測定システムを製造するための方法であって、基板（２０２）上に堆積され、活性層（２０６）で覆われた酸化物層（２０４）を含む素子から始まる以下のステップ：
　前記活性層（２０６）を酸化から保護する第１の保護層（２０８）を堆積するステップと、
　少なくとも１つの第１の領域で、前記保護層（２０８）をエッチングして前記活性層（２０６）を解放するステップと、
　前記第１の領域に突出する厚さの酸化物（２１０）を形成するように、前記第１の領域の前記解放された活性層で熱酸化を行い、酸化物を成長させるステップと、
　前記突出する厚さの酸化物（２１０）の上に第２の保護層（２１２）を堆積するステップと、
　前記活性層（２０６）をエッチングして、前記酸化物層（２０４）に達する溝（２１４）を形成するステップと、
　前記活性層（２０６）を覆い、前記溝（２１４）を遮断する遮断層（２１６）を堆積するステップと、
　前記遮断層（２１６）をエッチングして、前記活性層（２０６）の少なくとも１つの第２の領域を解放するステップと、
　前記検出電極を、前記電極が前記第２の領域に支持されるように形成するステップと、
　前記慣性質量部および前記電極を解放するステップと
　を含む方法。
　　【請求項１９】
　前記第１の保護層（２０８）および／または前記第２の保護層（２１２）が、Ｓｉ３Ｎ４で作製される請求項１８に記載の製造方法。
　　【請求項２０】
　前記活性層（２０６）を覆い、前記溝（２１４）を閉鎖する前記遮断層（２１６）が、リンシリケートガラスで作製される請求項１８または１９に記載の製造方法。
　　【請求項２１】
　前記検出電極が作製され、少なくとも１つの懸架されていない電気導体トラックが前記検出電極に接続された後、少なくとも１つのコンタクトパッド（１８）を作製するステップを含み、前記コンタクトパッドが、前記導体トラックの上に作製される請求項１８から２０のいずれか一項に記載の製造方法。
　　【請求項２２】
　前記電気導体トラックが、前記検出電極と同時に作製される請求項２１に記載の製造方法。
　　【請求項２３】
　前記素子がシリコンオンインシュレータ基板であり、前記検出電極がポリシリコンで作製される請求項１８から２２のいずれか一項に記載の製造方法。
　　【請求項２４】
　前記解放するステップが、前記リンシリケートガラスのウェットエッチング、および前記酸化物層のエッチングによって達成される請求項２０に記載の製造方法。」
第４　引用文献、引用発明等
１　引用文献１について
　原査定の拒絶の理由に引用された、本願の優先日前に日本国内又は外国において、電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった、国際公開第２０１０／０８３９１８号（便宜上、以下、「引用文献１」という。）には、図面とともに、次の事項が記載されている（なお、ウムラウト付きの母音は［］を囲み、エスツェットは「ss」と記載した。また、引用箇所は、頁の左側に付された行番号にしたがって特定した。また、翻訳は、引用文献１のパテントファミリーである、特表２０１２−５１５９０３号公報に基づくものである。なお、下線は、当審で付与した。）。
ア　「Die vorliegende Erfindung betrifft einen 
Drehratensensor
（当審訳：「【０００１】
  本発明は、請求項１に記載のヨーレートセンサに関する。」）
イ　「Bekannte Drehratensensoren weisen lediglich eine fest mit dem Substrat verbundene Detektionselektrode pro beweglicher Sensorstruktur auf. 」（第１頁第３３〜３４行）（当審訳：
【０００４】
  公知のヨーレートセンサは、可動なセンサ構造体ごとに、基板に不動に接合されている単に１つの検出電極しか有していない。）
ウ　「Ausf[u]hrungsformen der Erfindung
 
Figur 1 zeigt in schematischer Darstellung eine Aufsicht auf eine erste Ausf[u]hrungsform eines Drehratensensors 100. Der Drehratensensor 100 ist aus einem Substrat gefertigt und [u]ber einer Substratoberfl[a]che 190 in der x-y-Ebene angeordnet, die in der Darstellung der Figur 1 in der Papierebene liegt. Das Substrat kann beispielsweise ein Siliziumsubstrat sein. 
Der Drehratensensor 100 umfasst ein erstes bewegliches Element 110 und ein zweites bewegliches Element 260, wobei das erste bewegliche Element 110 und das zweite bewegliche Element 260 symmetrisch zueinander ausgebildet und in y-Richtung nebeneinander angeordnet sind. Im Folgenden wird das erste bewegliche Element 110 beschrieben. Die Beschreibung gilt analog f[u]r das zweite bewegliche Element 260.
 
Das erste bewegliche Element 110 weist einen Antriebsrahmen 120 auf.
In dem durch den Antriebsrahmen 120 umschlossenen Fl[a]chenabschnitt ist eine erste Detektions- masse 130 angeordnet.
 
Der Antriebsrahmen 120 ist [u]ber vier Antriebsfedern 140 mit der Substratoberfl[a]che 190 verbunden.
 Jede Antriebsfeder 140 ist in y-Richtung elastisch, in x- und z-Richtung jedoch weitgehend inelastisch. Weiter ist der Antriebsrahmen 120 mit vier Antriebskammstrukturen 150 verbunden.
Die vier Antriebskammstrukturen 150 gestatten, durch Anlegen geeigneter Spannungen den Antriebsrahmen 120 in eine Schwingung in Richtung der y-Achse zu versetzen.
 
Die erste Detektionsmasse 130 ist [u]ber 
Detektionsfedern 180 mit dem Antriebsrahmen 120 verbunden.
Gemeinsam erlauben die Detek- tionsfedern 180 eine Auslenkung der ersten Detektionsmasse 130 gegen den Antriebsrahmen 120 in z-Richtung,
Dadurch wird eine Antriebsbewegung des Antriebsrahmens 120 in y-Richtung auf die erste Detektionsmasse 130 [u]bertragen.
（当審訳：【００２２】
  本発明の実施の形態
  図１に、ヨーレートセンサ１００の第１の実施の形態の概略的な平面図を示す。ヨーレートセンサ１００は基板から製造されており、図１の図平面に位置する基板表面１９０上のｘ−ｙ平面に配置されている。基板は、例えばシリコン基板から成っていてよい
。ヨーレートセンサ１００は第１の可動の素子１１０と、第２の可動の素子２６０とを有している。第１の可動の素子１１０と第２の可動の素子２６０とは互いに対称的に形成されており、ｙ方向に相並んで配置されている。以下に、第１の可動の素子１１０について記載する。この記載は第２の可動の素子２６０に対応する。
【００２３】
  
第１の可動の素子１１０は駆動フレーム１２０を有している。
駆動フレーム１２０により取り囲まれている面区分には、第１の検出質量体１３０が配置されている。
【００２４】
  
駆動フレーム１２０は４つの駆動ばね１４０を介して基板表面１９０に接合されている。
各駆動ばね１４０はｙ方向において弾性的に形成されているが、ｘ方向及びｚ方向においては実質的に非弾性的に形成されている。さらに駆動フレーム１２０は４つの駆動櫛形構造体１５０と接合されている。
４つの駆動櫛形構造体１５０は、適切な電圧の印加による駆動フレーム１２０のｙ軸方向への振動を許容する。
【００２５】
  
第１の検出質量体１３０は
検出ばね１８０を介して駆動フレーム１２０に接合されている。
複数の検出ばね１８０は一緒になって駆動フレーム１２０に対するｚ方向における第１の検出質量体１３０の変位を許容する
これによりｙ方向における駆動フレーム１２０の駆動運動は、第１の検出質量体１３０に伝達される。」
エ　「
In der Leiterbahnebene 230 unterhalb der ersten Detektionsmasse 130 ist eine erste Elektrode 210 vorgesehen. In der zweiten Funktionsebene 250, oberhalb der ersten Detektionsmasse 130
ist eine zweite Elektrode 220 vorgesehen.
 
Die erste Elektrode 210 und der in der ersten Funktionsebene 240 gelegene Bodenbereich der ersten Detektionsmasse 130 weisen einen Durchbruchs 280 auf.
Im Bereich des Durchbruchs 280 ist die zweite E- lektrode 220 [u]ber einen pfostenf[o]rmigen Befestigungspunkt 285 mit der Sub- stratoberfl[a]che 190 verbunden.
（当審訳：【００３０】
  
第１の検出質量体１３０の下側の導体路平面２３０には、第１の電極２１０が設けられている。第２の機能平面２５０において、第１の検出質量体１３０の上側において、
第２の電極２２０が設けられている。
【００３１】
  
第１の電極２１０と、第１の機能平面２４０にある、第１の検出質量体１３０の底部領域とは貫通部２８０を有している。
貫通部２８０の領域には第２の電極２２０が、柱状の固定点２８５を介して基板表面１９０に接合されている。
オ　「Das erste bewegliche Element 110 und das zweite bewegliche Element 260 des Drehratensensors 100 k[o]nnen mittels der Antriebskammstrukturen 150 in eine gekoppelte Antriebsschwingung mit antiparalleler Auslenkung der beweglichen Elemente 110, 260 entlang der y-Achse angeregt werden. 
Bei Auftreten einer  Drehrate um die x-Achse wirken Coriolis-Kr[a]fte auf die erste Detektionsmasse 130
und bewirken antiparallele Auslenkungen der Detektionsmassen 130
in z-Richtung.
Die Auslenkung der ersten Detektionsmasse 130 in z-Richtung kann mittels der ersten Elektrode 210 und der zweiten Elektrode 220 erfasst werden.
Durch die Auslenkung der ersten Detektionsmasse 130 in z-Richtung gegen die ortsfesten Elektroden 210, 220 [a]ndern sich die Kapazit[a]ten zwischen der ersten Detektionsmas- se 130 und der ersten Elektrode 210 und der zweiten Elektrode 220 mit entgegengesetzten Vorzeichen. Dies gestattet eine volldifferentielle Messung der Auslenkung der ersten Detektionsmasse 130.
  ヨーレートセンサ１００の第１の可動の素子１１０と第２の可動の素子２６０とを、可動の素子１１０，２６０のｙ軸に沿った逆平行の変位と連結された駆動振動へ駆動櫛形構造体１５０により励振することができる。
ｘ軸を中心としたヨーレートが発生する場合、コリオリ力は第１の検出質量体１３０
に作用し、ｚ方向における検出質量体１３０
の変位をもたらす。ｚ方向における第１の検出質量体１３０の変位は、第１の電極２１０及び第２の電極２２０により検出することができる。
固定型の電極２１０，２２０に対して検出質量体１３０のｚ方向における変位により、第１の検出質量体１３０と第１の電極２１０と第２の電極２２０との間の容量は、逆の符号を持って変化する。これにより、第１の検出質量体１３０の変位の全差動的な測定が行われる。
　以上より、引用文献１には、次の発明（以下、「引用発明１」という。）が記載されているものと認められる。
「ヨーレートセンサ１００は第１の可動の素子１１０と、第２の可動の素子２６０とを有し、第１の可動の素子１１０と第２の可動の素子２６０とは互いに対称的に形成されており、ｙ方向に相並んで配置され、（段落【００２２】より）
  第１の可動の素子１１０は駆動フレーム１２０を有し、駆動フレーム１２０により取り囲まれている面区分には、第１の検出質量体１３０が配置され（段落【００２３】より） 、
　駆動フレーム１２０は４つの駆動ばね１４０を介して基板表面１９０に接合され、各駆動ばね１４０はｙ方向において弾性的に形成されているが、ｘ方向及びｚ方向においては実質的に非弾性的に形成され、さらに駆動フレーム１２０は４つの駆動櫛形構造体１５０と接合されており、
　４つの駆動櫛形構造体１５０は、適切な電圧の印加による駆動フレーム１２０のｙ軸方向への振動を許容し（段落【００２４】より）、  
　第１の検出質量体１３０は、検出ばね１８０を介して駆動フレーム１２０に接合され、複数の検出ばね１８０は一緒になって駆動フレーム１２０に対するｚ方向における第１の検出質量体１３０の変位を許容し、これによりｙ方向における駆動フレーム１２０の駆動運動は、第１の検出質量体１３０に伝達され （段落【００２５】より）、
　第１の検出質量体１３０の下側の導体路平面２３０には、第１の電極２１０が設けられ、第２の機能平面２５０において、第１の検出質量体１３０の上側において、第２の電極２２０が設けられ（段落【００３０】より）、
　第１の電極２１０と、第１の機能平面２４０にある、第１の検出質量体１３０の底部領域とは貫通部２８０を有し、貫通部２８０の領域には第２の電極２２０が、柱状の固定点２８５を介して基板表面１９０に接合されており（段落【００３１】より）、
　ｘ軸を中心としたヨーレートが発生する場合、コリオリ力は第１の検出質量体１３０に作用し、ｚ方向における検出質量体１３０の変位をもたらし、ｚ方向における第１の検出質量体１３０の変位は、第１の電極２１０及び第２の電極２２０により検出することができ、固定型の電極２１０，２２０に対して検出質量体１３０のｚ方向における変位により、第１の検出質量体１３０と第１の電極２１０と第２の電極２２０との間の容量は、逆の符号を持って変化し、これにより、第１の検出質量体１３０の変位の全差動的な測定が行われ（段落【００３４】より）、
　第１の可動の素子１１０についての記載は第２の可動の素子２６０に対応する（段落【００２２】より）、
ヨーレートセンサ１００（段落【００２２】より）。」
２　引用文献２について
　原査定の拒絶の理由で引用された、特開２００４−１６３３７６号公報（以下、「引用文献２」という。）には、図面とともに、次の技術事項が記載されている（なお、下線は、当審で付与した。）。
ア　「【０２０５】
次に、図２０ないし図２４は本発明による第６の実施の形態を示し、本実施の形態の特徴は、
角速度センサ
イ　「【０２２６】
１５９はＹ軸周りの角速度Ω２を検出する第２の角速度検出手段としての変位量検出部で、該第２の変位量検出部１５９は、検出電極１５５，１５７により構成され、
垂直振動子１３２のＺ軸方向の変位量を電極１５５，１５７間の静電容量の変化によりＹ軸周りの角速度Ω２として検出するものである。
【０２２７】
１６０は他の検出電極１５６，１５８により構成された第２の角速度検出手段としての変位量検出部で、該第２の変位量検出部１６０は、
垂直振動子１３６のＺ軸方向の変位量を電極１５６，１５８間の静電容量の変化によりＹ軸周りの角速度Ω２として検出するものである。
ウ　「【０２２９】
そして、角速度センサの作動時には、第２の実施の形態とほぼ同様に、
外側質量部１３０，１３４がＸ軸方向に互いに逆位相で振動するため、垂直振動子１３２，１３６にＹ軸周りの角速度Ω２が加わると、これらの振動子１３２，１３６はＺ軸方向に対して互いに逆向きに変位する。
【０２３０】
これにより、変位量検出部１５９，１６０は、垂直振動子１３２，１３６の変位量に応じた検出信号を検出用電極パッド１６２，１６３から出力するので、これらの検出信号を差動アンプ等に入力することにより、Ｙ軸周りの角速度Ω２を高い精度で検出することができる。
【０２３１】
また、垂直振動子１３２，１３６にＺ軸方向の加速度が加わる場合には、これらの振動子１３２，１３６がＺ軸方向の同じ向きに変位するので、垂直振動子１３２，１３６の変位による静電容量の変化を変位量検出部１５９，１６０間で打消して除去でき、Ｙ軸周りの角速は度Ω２を加速度等の外乱から分離して検出することができる。」
　よって、引用文献２には、次の技術が記載されている。
「外側質量部１３０，１３４がＸ軸方向に互いに逆位相で振動するため、垂直振動子１３２，１３６にＹ軸周りの角速度Ω２が加わると、これらの振動子１３２，１３６はＺ軸方向に対して互いに逆向きに変位し（段落【０２２９】より）、
　垂直振動子１３２のＺ軸方向の変位量を電極１５５，１５７間の静電容量の変化によりＹ軸周りの角速度Ω２として検出し（段落【０２２６】より）、
　垂直振動子１３６のＺ軸方向の変位量を電極１５６，１５８間の静電容量の変化によりＹ軸周りの角速度Ω２として検出し（段落【０２２７】より）、
　これにより、変位量検出部１５９，１６０は、垂直振動子１３２，１３６の変位量に応じた検出信号を検出用電極パッド１６２，１６３から出力するので、これらの検出信号を差動アンプ等に入力することにより、Ｙ軸周りの角速度Ω２を高い精度で検出することができる（段落【０２３０】より）、
　角速度センサ（段落【０２０５】より）。」
３　引用文献３について
　原査定の拒絶の理由で引用された、特開２０１０−１５１８０８号公報（以下、「引用文献３」という。）には、図面とともに、次の技術事項が記載されている（なお、下線は、当審で付与した。）。
ア　「【特許請求の範囲】
【請求項１】
  基板（２ａ）及びフレーム（２ｂ）を含み、その内部に検出領域（２ｃ）を画成し、その第１の辺が第１の水平軸（ｘ）に沿って延在するダイ（２）と、
  前記検出領域（２ｃ）内に設置された弾性アンカー素子（８ａ，８ｂ）を介して前記基板（２ａ）に固定され且つ垂直軸（ｚ）を中心とする駆動運動により平面（ｘｙ）内で回転するように設計された駆動質量（３）と、
  前記駆動運動において前記駆動質量（３）に対して固定され、
第１の角速度（Ωx
→
）に応答して前記平面（ｘｙ）外への検出運動を行う
第１対（１６a’,１６b’）及び第２対（１６c’,１６d’）の第１センサ質量
  前記第１対の第１センサ質量（１６a’,１６b’）及び前記第２対の第１センサ質量（１６c’,１６d’）は前記第１の水平軸（ｘ）に対して反対符号の非ゼロ傾斜を有する各別の方向（ｘ１，ｘ２）に整列している、
ことを特徴とする集積微小電気機械構造（３０）。」
「【００１５】
  
ジャイロスコープ１は
垂直軸ｚに平行な軸を持つ第２対の加速度センサを備え
第２対の第１のセンサ質量１６ｃ、１６ｄ
の各々は、第１のセンサ質量１６ａ，１６ｂを中心Ｏに対して９０°回転させることにより得られ
　よって、引用文献３には、次の技術が記載されている。
「垂直軸ｚに平行な軸を持つ第２対の加速度センサを備え、
第２対の第１のセンサ質量１６ｃ、１６ｄの各々は、第１のセンサ質量１６ａ，１６ｂを中心Ｏに対して９０°回転させることにより得られ（段落
）、第１対（１６ａ，１６ｂ）及び第２対（１６ｃ、１６ｄ）の第１センサ質量は、第１の角速度（Ωx
→
）に応答して前記平面（ｘｙ）外への検出運動を行う（
、ジャイロスコープ１（段落
）。」
４　引用文献４について
　原査定の拒絶の理由で引用された、特表２００７−５０００８６号公報（以下、「引用文献４」という。）には、図面とともに、次の技術事項が記載されている（なお、下線は、当審で付与した。）。
「【００１１】
  
ＭＥＭＳデバイス１００のマイクロ機械部が完成すると、
カバー１０４は、真空状態下でハウジング１０２へ取り付けられて空所１２６内に真空状態をもたらす。空所１２６は、マイクロ機械１０８の部品が自由に動くための環境を提供する。
　よって、引用文献４には、次の技術が記載されている。
「ＭＥＭＳデバイス１００のマイクロ機械部が完成すると、カバー１０４は、真空状態下でハウジング１０２へ取り付けられて空所１２６内に真空状態をもたらし、空所１２６は、マイクロ機械１０８の部品が自由に動くための環境を提供する。」技術。
第５　対比・判断
１　本願発明１について
（１）対比
　本願発明１と引用発明１とを対比する。
ア　引用発明１における「基板」が、本願発明１における「基板」に相当する。
イ　引用発明１における「第１の可動の素子１１０」は、「駆動フレーム１２０を有し、駆動フレーム１２０により取り囲まれている面区分には、第１の検出質量体１３０が配置され」、「駆動フレーム１２０は４つの駆動ばね１４０を介して基板表面１９０に接合され、各駆動ばね１４０はｙ方向において弾性的に形成されているが、ｘ方向及びｚ方向においては実質的に非弾性的に形成され」ているから、本願発明１における「前記基板の上に懸架された慣性質量部（２、１０２）」に相当する。
ウ　引用発明１の「第１の可動の素子１１０」が「４つの駆動櫛形構造体１５０と接合されており、４つの駆動櫛形構造体１５０は、適切な電圧の印加による駆動フレーム１２０のｙ軸方向への振動を許容し」することが、本願発明１における「前記基板の上に懸架された慣性質量部（２、１０２）」が「少なくとも１つの励振部（６、１０６）」と「前記慣性質量部（２、１０２）の平面内に含まれる、前記励振部（６、１０６）を少なくとも１つの方向（Ｘ）に移動させる手段」を含むことに相当する。
エ　引用発明１の「第１の可動の素子１１０」において、「第１の検出質量体１３０の下側の導体路平面２３０には、第１の電極２１０が設けら、第２の機能平面２５０において、第１の検出質量体１３０の上側において、第２の電極２２０が設けられ」、「第１の電極２１０と、第１の機能平面２４０にある、第１の検出質量体１３０の底部領域とは貫通部２８０を有し、貫通部２８０の領域には第２の電極２２０が、柱状の固定点２８５を介して基板表面１９０に接合されており」、「ｘ軸を中心としたヨーレートが発生する場合、コリオリ力は第１の検出質量体１３０に作用し、ｚ方向における検出質量体１３０の変位をもたらし、ｚ方向における第１の検出質量体１３０の変位は、第１の電極２１０及び第２の電極２２０により検出することができ、固定型の電極２１０，２２０に対して検出質量体１３０のｚ方向における変位により、第１の検出質量体１３０と第１の電極２１０と第２の電極２２０との間の容量は、逆の符号を持って変化し、これにより、第１の検出質量体１３０の変位の全差動的な測定が行われている」ことと、本願発明１における「前記基板の上に懸架された慣性質量部（２、１０２）」が「前記質量部の前記平面の外側での前記検出部（８、１０８）の移動を検出する静電容量検出手段」であって、「前記静電容量検出手段が、前記検出部（８、１０８）と共に可変コンデンサを形成するように、前記基板に面して位置する前記検出部（８、１０８）の上に配置された、検出電極と呼ばれる少なくとも１つの懸架電極（１６、１１６．１、１１６．２）を含み、前記電極（１６、１１６．１、１１６．２）が、前記慣性質量部（２、１０２）を貫通する少なくとも１つの柱状体（２２、２２’）によって、前記検出部（８、１０８）の上に保持され、前記検出手段が１つまたは複数の検出電極を含み、前記１つまたは複数の検出電極が前記検出部の上のみに懸架されている」こととは、「前記基板の上に懸架された慣性質量部（２、１０２）」が「前記質量部の前記平面の外側での前記検出部（８、１０８）の移動を検出する静電容量検出手段」であって、「前記静電容量検出手段が、前記検出部（８、１０８）と共に可変コンデンサを形成するように、前記基板に面して位置する前記検出部（８、１０８）の上に配置された、検出電極と呼ばれる少なくとも１つの懸架電極（１６、１１６．１、１１６．２）を含み、前記電極（１６、１１６．１、１１６．２）が、前記慣性質量部（２、１０２）を貫通する少なくとも１つの柱状体（２２、２２’）によって、前記検出部（８、１０８）の上に保持され、前記検出手段が１つまたは複数の検出電極を含み、前記１つまたは複数の検出電極が前記検出部の上に懸架されている」点で共通する。
オ　引用発明１における「ヨーレートセンサ１００」は、「ｘ軸を中心としたヨーレートが発生する場合、コリオリ力は第１の検出質量体１３０に作用し、ｚ方向における検出質量体１３０の変位をもたら」すことを動作原理としているから、本願発明１における「ジャイロメータ」に相当するといえる。
　よって、本願発明１と引用発明１との一致点、相違点は次のとおりである。
（一致点）
「基板と、前記基板の上に懸架された慣性質量部（２、１０２）であって、少なくとも１つの励振部（６、１０６）および少なくとも１つの検出部（８、１０８）を含む慣性質量部（２、１０２）と、前記慣性質量部（２、１０２）の平面内に含まれる、前記励振部（６、１０６）を少なくとも１つの方向（Ｘ）に移動させる手段と、前記質量部の前記平面の外側での前記検出部（８、１０８）の移動を検出する静電容量検出手段とを含むジャイロメータであって、前記静電容量検出手段が、前記検出部（８、１０８）と共に可変コンデンサを形成するように、前記基板に面して位置する前記検出部（８、１０８）の上に配置された、検出電極と呼ばれる少なくとも１つの懸架電極（１６、１１６．１、１１６．２）を含み、前記電極（１６、１１６．１、１１６．２）が、前記慣性質量部（２、１０２）を貫通する少なくとも１つの柱状体（２２、２２’）によって、前記検出部（８、１０８）の上に保持され、前記検出手段が１つまたは複数の検出電極を含み、前記１つまたは複数の検出電極が前記検出部の上に懸架されている、ジャイロメータ。」
（相違点）
　本願発明１では、１つまたは複数の検出電極が、検出部の上「のみ」に懸架されているのに対し、引用発明１では、「第１の検出質量体１３０の下側の導体路平面２３０には、第１の電極２１０が設けられ、第２の機能平面２５０において、第１の検出質量体１３０の上側において、第２の電極２２０が設けられ」ている点。
（２）判断
ア　本願発明１は、上記「（１）」「（相違点）」の点で引用発明１と実質的に相違するから、本願発明１は、引用発明１ではない。
イ　次に、上記相違点が、当業者にとって容易になし得たことであるか否かについて検討すると、引用発明１において「第１の検出質量体１３０の下側の導体路平面２３０には、第１の電極２１０が設けられ、第２の機能平面２５０において、第１の検出質量体１３０の上側において、第２の電極２２０が設けられ」る理由は、「ｘ軸を中心としたヨーレートが発生する場合、コリオリ力は第１の検出質量体１３０に作用し、ｚ方向における検出質量体１３０の変位をもたら」すが、「検出質量体１３０のｚ方向における変位により、第１の検出質量体１３０と第１の電極２１０と第２の電極２２０との間の容量は、逆の符号を持って変化し、これにより、第１の検出質量体１３０の変位の全差動的な測定が行われ」ることにある。
　つまり、引用発明１は、「公知のヨーレートセンサは、可動なセンサ構造体ごとに、基板に不動に接合されている単に１つの検出電極しか有していない。」（上記「第４」「１　引用文献１について」における摘記事項「イ」参照。）ことを改良するため、「第１の電極２１０と第２の電極２２０との間の容量は、逆の符号を持って変化し、これにより、第１の検出質量体１３０の変位の全差動的な測定が行われ」ることを特徴とするものである。
ウ　よって、引用発明１において、「第１の検出質量体１３０の下側の導体路平面２３０」に設けられた「第１の電極２１０」を省き、「第１の検出質量体１３０の上側」に設けられた「第２の電極２２０」のみとし、上記相違点に係る本願発明１の構成とすることは、引用発明１における第１の検出質量体１３０の変位の検出原理（全差動的な測定）と相容れないから、当業者に動機付けられないことである。
エ　また、引用文献２−４をみても、上記相違点に係る本願発明１の構成は記載されていない。
オ　したがって、本願発明１は、当業者であっても、引用発明１及び引用文献２−４に記載された技術に基づいて容易に発明できたものであるとはいえない。
２　本願発明２−１７について
　本願発明２−１７は、本願発明１に所定の限定を付加した発明であるから、本願発明１について述べたのと同様の理由により、本願発明２、４、７−９、１２は、引用発明ではなく、また、本願発明２−１７は、当業者であっても、引用発明１及び引用文献２−４に記載された技術に基づいて容易に発明できたものであるとはいえない。
第６　原査定について
　審判請求時の補正（平成２９年１月１２日付けの手続補正）により、本願発明１は「前記１つまたは複数の検出電極が前記検出部の上
のみ
　また、本願発明２−１７は、本願発明１に所定の限定を付加した発明であるから、上記「第５」「２　本願発明２−１７について」で述べたとおり、本願発明２、４、７−９、１２は、引用発明１ではなく、また、本願発明２−１７は、当業者であっても、引用発明１−４に基づいて容易に発明できたものであるとはいえない。
　したがって、原査定の理由（理由１、理由２）を維持することはできない。
第７　むすび
　以上のとおり、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。