(57)【要約】【課題】チップ部品を効率的に製造できるチップ部品の製造方法を提供すること。【解決手段】素体２を準備する工程と、開口部が形成された内槽１１と内槽１１の外側に配置される外槽１２とを有する容器１０を準備する工程と、素体２と湿式バレル研磨に用いる液体とを内槽１１内に投入する工程と、容器１０を回転させて、素体２に対して湿式バレル研磨を行う工程と、湿式バレル研磨された素体２に端子電極３，４を形成して積層コンデンサ１を得る工程とを備えたチップ部品の製造方法であって、容器１０を準備する第二準備工程では、湿式バレル研磨によって発生する研磨屑Ｗを所定の方向に案内する案内部材１３を内槽１１と外槽１２との間に有する容器１０を準備し、湿式バレル研磨を行う研磨工程では、容器１０の回転に伴って回動する案内部材１３により、研磨屑Ｗを容器１０の底部に向かって案内する。【選択図】図６
2011143519.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のチップ素体を準備する工程と、
開口部が形成された内槽と当該内槽の外側に配置される外槽とを有する容器を準備する工程と、
前記複数のチップ素体と湿式バレル研磨に用いる液体とを前記容器の前記内槽内に投入する工程と、
前記容器を回転させて、前記複数のチップ素体に対して湿式バレル研磨を行う工程と、
湿式バレル研磨された前記複数のチップ素体に端子電極を形成して複数のチップ部品を得る工程と、を備え、
前記容器を準備する工程では、湿式バレル研磨によって発生する研磨屑を所定の方向に案内する案内手段を前記内槽と前記外槽との間に有する前記容器を準備し、
前記湿式バレル研磨を行う工程では、前記容器の回転に伴って回動する前記案内手段により、前記研磨屑を前記容器の底部に向かって案内することを特徴とするチップ部品の製造方法。
【請求項２】
前記容器を準備する工程では、前記内槽の外周に前記容器の底部に向かって螺旋状に形成された部材を前記案内手段として有する前記容器を準備し、
前記湿式バレル研磨を行う工程では、前記案内手段の螺旋方向に対して逆となる方向に前記容器を回転させることを特徴とする請求項１に記載のチップ部品の製造方法。
【請求項３】
前記容器を準備する工程では、金属メッシュから形成された前記内槽を有する前記容器を準備し、
前記湿式バレル研磨を行う工程では、前記金属メッシュから形成された前記内槽により、前記チップ素体の少なくとも一部を研磨することを特徴とする請求項１又は２に記載のチップ部品の製造方法。
【請求項４】
開口部が形成された内槽と当該内槽の外側に配置される外槽とを有する容器と、
前記容器を回転させる回転手段と、を備えた湿式バレル研磨装置であって、
前記容器は、湿式バレル研磨によって発生する研磨屑を所定の方向に案内する案内手段を前記内槽と前記外槽との間に有しており、
前記回転手段による前記容器の回転に伴って回動する前記案内手段により、前記研磨屑が前記容器の底部に向かって案内されることを特徴とする湿式バレル研磨装置。
【請求項５】
前記案内手段は、前記内槽の外周に、前記容器の底部に向かって螺旋状に形成された部材であり、
前記回転手段は、前記案内手段の螺旋方向に対して逆となる方向に前記容器を回転させることを特徴とする請求項４に記載の湿式バレル研磨装置。
【請求項６】
前記案内手段は、前記内槽の外周に、前記容器の底部側に一方が傾斜するように形成された部材であり、
前記回転手段は、前記案内手段の傾斜方向に対して逆となる方向に前記容器を回転させることを特徴とする請求項４に記載の湿式バレル研磨装置。
【請求項７】
前記容器の前記内槽は、金属メッシュから形成されていることを特徴とする請求項４〜６のいずれか一項に記載の湿式バレル研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップ部品の製造方法及び湿式バレル研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、内部電極層が印刷されたセラミックシートを積層して積層体を得た後に、この積層体を所定の位置で切断して個々のチップ素体に分断し、分断されたチップ素体に端子電極を形成して、例えば積層コンデンサや積層インダクタといったチップ部品を製造している。このようなチップ部品の製造では、端子電極を形成する際のセラミックと端子電極との間の密着を強固にしたり、角部の欠けを防止したりするため、積層体を切断して得られるチップ素体に対し、例えば湿式バレル研磨といった面取り処理を行っている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
従来の湿式バレル研磨方法では、界面活性剤を水に溶かした液体や研磨剤をチップ素体と共にバレル研磨用の容器に投入し、その容器を回転させることで、研磨材とチップ素体とを互いに衝突させ、チップ素体を研磨するようにしていた。そして、研磨処理の終了後、容器内において研磨屑と混在する状態になっているチップ素体を、水洗い等によって研磨屑から分離し、端子電極の形成等を行っていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平８―０６９９４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、従来の湿式バレル研磨方法では、研磨処理の終了時、チップ素体と研磨屑とが容器内で混在する状態となっており、水洗い等によって研磨屑をチップ素体から分離しているものの、両者が混在している状態であるため、その分離に手間や時間がかかってしまっていた。そのため、従来の湿式バレル研磨方法は、チップ部品の製造の効率化を阻害する一因となっていた。そこで、湿式バレル研磨を含むチップ部品の製造の更なる効率化が望まれていた。
【０００６】
本発明は、チップ部品を効率的に製造できるチップ部品の製造方法及びチップ部品を効率的に製造できる湿式バレル研磨装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明に係るチップ部品の製造方法は、複数のチップ素体を準備する工程と、開口部が形成された内槽と当該内槽の外側に配置される外槽とを有する容器を準備する工程と、複数のチップ素体と湿式バレル研磨に用いる液体とを容器の内槽内に投入する工程と、容器を回転させて、複数のチップ素体に対して湿式バレル研磨を行う工程と、湿式バレル研磨された複数のチップ素体に端子電極を形成して複数のチップ部品を得る工程と、を備えている。そして、容器を準備する工程では、湿式バレル研磨によって発生する研磨屑を所定の方向に案内する案内手段を内槽と外槽との間に有する容器を準備し、湿式バレル研磨を行う工程では、容器の回転に伴って回動する案内手段により、研磨屑を容器の底部に向かって案内する。
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明に係る湿式バレル研磨装置は、開口部が形成された内槽と当該内槽の外側に配置される外槽とを有する容器と、容器を回転させる回転手段と、を備えた湿式バレル研磨装置である。そして、容器は、湿式バレル研磨によって発生する研磨屑を所定の方向に案内する案内手段を内槽と外槽との間に有しており、回転手段による容器の回転に伴って回動する案内手段により、研磨屑が容器の底部に向かって案内される。
【０００９】
本発明に係るチップ部品の製造方法又は湿式バレル研磨装置では、湿式バレル研磨によって発生する研磨屑を所定の方向に案内する案内手段を内槽と外槽との間に有し、容器の回転に伴って回動する案内手段により、研磨屑を容器の底部に向かって案内している。この場合、湿式バレル研磨が行われている最中にチップ素体と分離した研磨屑が回転による遠心力で順次、内槽の開口部から内槽と外槽との間に放出され、この放出された研磨屑が案内手段により、容器の底部側に集められる。このため、研磨処理の終了時、内槽内に残る研磨屑の量が従来に比べて少なくなり、また、研磨屑が内槽と外槽との間において容器の底部側に集められており内槽内に戻ってしまうことが抑止されることになり、水洗い等によるチップ素体の洗浄を容易に行うことができる。この結果、洗浄等も含めた湿式バレル研磨処理を早期に終了させることができ、チップ部品を効率的に製造することが可能となる。
【００１０】
上述した製造方法において、容器を準備する工程では、内槽の外周に容器の底部に向かって螺旋状に形成された部材を案内手段として有する容器を準備し、湿式バレル研磨を行う工程では、案内手段の螺旋方向に対して逆となる方向に容器を回転させるようにすることが好ましい。また、上述した湿式バレル研磨装置において、案内手段は、内槽の外周に、容器の底部に向かって螺旋状に形成された部材であり、回転手段は、案内手段の螺旋方向に対して逆となる方向に容器を回転させることが好ましい。この場合、研磨屑を容器の底部側に効率よく且つ確実に集めることができる。
【００１１】
また、上述した湿式バレル研磨装置において、案内手段は、内槽の外周に、容器の底部側に一方が傾斜するように形成された部材であり、回転手段は、案内手段の傾斜方向に対して逆となる方向に容器を回転させるようにしてもよい。この場合でも、研磨屑を容器の底部側に効率よく且つ確実に集めることができる。
【００１２】
上述した製造方法において、容器を準備する工程では、金属メッシュから形成された内槽を有する容器を準備し、湿式バレル研磨を行う工程では、金属メッシュから形成された内槽により、チップ素体の少なくとも一部を研磨することが好ましい。また、上述した湿式バレル研磨装置において、容器の内槽は、金属メッシュから形成されていることが好ましい。この場合、金属メッシュから形成された内槽により、チップ素体の少なくとも一部が研磨されるため、研磨効率（研磨のスピード等）を向上させることができ、また、必要に応じて研磨剤を用いずに又は研磨剤の量を減らして湿式バレル研磨を行うことができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、チップ部品を効率的に製造できるチップ部品の製造方法及びチップ部品を効率的に製造できる湿式バレル研磨装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】チップ部品（積層コンデンサ）の斜視図である。
【図２】バレル研磨を行う前のチップ素体の斜視図である。
【図３】湿式バレル研磨に用いる容器を示す図であり、（ａ）は上面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は容器内槽の側面図である。
【図４】湿式バレル研磨装置を示す図であり、（ａ）は上面図、（ｂ）は側面図である。
【図５】バレル研磨を行った後のチップ素体の斜視図である。
【図６】案内部材によって研磨屑が容器底面に集積される状態を段階的に示した模式図である。
【図７】案内部材の別の形態を示す図である。
【図８】湿式バレル研磨に用いる容器の別の形態を示す図であり、（ａ）は上面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は容器内槽の側面図である。
【図９】湿式バレル研磨装置の別の形態を示す図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【００１６】
まず、図１を参照して、本実施形態に係る製造方法によって製造される積層コンデンサ１の構成について説明する。積層コンデンサ１は、略直方体形状の素体２（チップ素体）と、素体２の両端に配置された２つの端子電極３，４とを備えた端子電極付きのチップ部品である。なお、本実施形態に係る製造方法によって製造されるチップ部品は、積層コンデンサに限られず、積層インダクタ等、その他のチップ部品でもよい。
【００１７】
素体２は、２つの端面２ａ，２ｂと、４つの側面２ｃ，２ｄ，２ｅ，２ｆとを有し、後述する湿式バレル研磨により、角部が丸められた略直方体形状を呈するように形成されている（図５参照）。素体２は、図２に示されるように、誘電体セラミックシート等から構成される絶縁体層５と、Ｎｉ等の導電性材料から構成される内部電極層６とが交互に積層された構造となっている。実際の積層コンデンサ１では、各絶縁体層５は、互いの間の境界が視認できない程度に一体化されている。
【００１８】
２つの端子電極３，４は、積層コンデンサ１を実装する際、各内部電極層６を所定の極性に接続させるための電極である。２つの端子電極３、４は、素体２の２つの端面２ａ，２ｂをそれぞれ覆うように配置され、各端面２ａ，２ｂに露出する内部電極層６に接続される。２つの端子電極３，４は、導電性金属粉末及びガラスフリットを含む導電性ペーストを焼き付けることによって形成される。
【００１９】
続いて、上述した構成を備えた積層コンデンサ１の製造方法について説明する。本実施形態に係る製造方法は、大きく分けて、複数の素体２を準備する第一準備工程と、湿式バレル研磨用の容器やこの容器を備えた湿式バレル研磨装置を準備する第二準備工程と、湿式バレル研磨装置の容器に素体２を投入する投入工程と、素体２に対して湿式バレル研磨を行う研磨工程と、バレル研磨された複数の素体２に端子電極３，４を形成する形成工程と、を備えている。
【００２０】
まず、複数の素体２を準備する第一準備工程について説明する。第一準備工程では、一方の極性に接続される内部電極層６に対応する内部電極パターンが複数形成されたセラミックグリーンシートと、他方の極性に接続される内部電極層６に対応する内部電極パターンが複数形成されたセラミックグリーンシートとを複数用意する。
【００２１】
セラミックグリーンシートは、例えば、チタン酸バリウムを主成分とする誘電体材料にバインダ樹脂、溶剤、可塑剤等を加えて混合分散したセラミックスラリーを支持体上に塗布後、乾燥させることにより得られる。内部電極パターンは、例えば、セラミックグリーンシートの上面に導電性材料である導電性ペーストを付与後、乾燥させることにより形成される。導電性ペーストは、例えばＮｉ、Ａｇ、Ｐｄなどの金属粉末にバインダ樹脂や溶剤等を混合したペースト状の組成物である。導電性ペーストを付与する方法として、例えばスクリーン印刷法等がある。
【００２２】
続いて、各セラミックグリーンシートを積層方向に交互に積層する。このとき、各極性に接続される内部電極層６それぞれが積層方向に対向するように積層する。これにより、グリーンシート積層体が得られる。グリーンシート積層体が得られた後、所定箇所でグリーンシート積層体を切断する。これにより、図２に示されるような直方体形状の素体２が多数、得られる。
【００２３】
次に、湿式バレル研磨用の容器やこの容器を備えた湿式バレル研磨装置を準備する第二準備工程について説明する。第二準備工程では、湿式バレル研磨に用いる容器１０や湿式バレル研磨装置２０を準備する。容器１０は、図３に示されるように、内槽１１、外槽１２、案内部材１３（案内手段）及び着脱部材１４を備えている。
【００２４】
内槽１１は、六角筒状に形成された金属メッシュからなる側面１１ａと六角形状の金属板からなる上蓋１１ｂ及び底面１１ｃとを有している。内槽１１の側面１１ａには、外槽１２に向かって多数の貫通孔（開口部）が形成されている。この貫通孔は、素体２が通過できない程度の大きさであり、例えば、素体２が長さ１．０ｍｍ程度、幅０．５ｍｍ程度、厚み０．５ｍｍ程度の大きさの場合、それよりも小さい幅０．３ｍｍ程度の大きさの貫通孔となっている。
【００２５】
外槽１２は、例えば全体がウレタンゴムから構成されており、内槽１１よりも大きい六角筒状に形成された側面１２ａと六角形状の上蓋１２ｂ及び底面１２ｃとを有し、内槽１１の外側に配置される。外槽１２は、着脱部材１４によって内槽１１を着脱自在の状態でその内部に設置させる。このように設置された内槽１１の外周面と外槽１２の内周面との間の隙間は、例えば、数ｍｍ程度である。なお、着脱部材１４は、内槽１１を外槽１２と同軸上になるように外槽１２内に着脱自在に固定する。
【００２６】
案内部材１３は、内槽１１の外周に巻きつけられた金属部材（例えば直径が数ｍｍ程度の丸棒）であって、容器１０の底部（外槽１２の底面１２ｃ）方向に向かって螺旋状になるように形成されている。案内部材１３は、後述する自転盤２２等によって容器１０が回転することに伴って回動し、この回動により、湿式バレル研磨によって発生する研磨屑を容器１０の底部方向に向かって案内する。
【００２７】
また、上述した容器１０を備えた湿式バレル研磨装置２０は、図４に示されるように、４つの容器１０を同時に保持して回転させ、湿式バレル研磨を行う装置であり、４つのホルダ２１、４つの自転盤２２、公転盤２３及び動力部２４を備えている。ホルダ２１は、容器１０をそれぞれ同軸上に固定させて保持する部材である。ホルダ２１は、その下面が円盤状の自転盤２２の上面に固定されており、自転盤２２の回転方向Ｒ１への回転に伴って、容器１０を回転方向Ｒ１へと回転させる。
【００２８】
公転盤２３は、４つの自転盤２２を自転盤２２の回転方向Ｒ１とは逆の方向Ｒ２に回転させる円盤状の部材である。動力部２４は、自転盤２２を回転方向Ｒ１に回転させたり、公転盤２３を回転方向Ｒ２に回転させたりする動力発生部材（例えばモータ等）である。なお、上述した自転盤２２や動力部２４等により、湿式バレル研磨装置２０の回転手段が構成されている。第二準備工程では、このような構成を備えた容器１０や湿式バレル研磨装置２０が準備される。
【００２９】
次に、湿式バレル研磨装置２０の容器１０に素体２を投入する投入工程について説明する。投入工程では、上述した湿式バレル研磨装置２０の容器１０の上蓋１１ｂ，１２ｂを開放し、多数の素体２と湿式バレル研磨に用いる液体（界面活性剤を水に溶かしたもの）及び研磨剤とを、内槽１１内に投入する。なお、内槽１１の側面１１ａが金属メッシュから構成されていて研磨機能を奏するため、本実施形態では、従来に比べて、研磨剤を少なくするようにしている。
【００３０】
次に、素体２に対して湿式バレル研磨を行う研磨工程について説明する。研磨工程では、容器１０の内槽１１内に素体２や液体・研磨剤が投入された後、自転盤２２を回転方向Ｒ１に、公転盤２３を回転方向Ｒ２に、所定の回転速度でそれぞれ回転させる。この回転により、素体２と研磨剤や金属メッシュとが内槽１１内において衝突等して素体２の角部や端面等が所望の状態になるように研磨される。研磨が終了した素体２は、内槽１１ごと容器１０から取り出されて水洗いされ、その後、乾燥機により乾燥させられる。このような研磨が行われた素体２は、例えば、図５に示されるように、角部が丸められ、また、端面が研磨された略直方体形状の素体となる。
【００３１】
ここで、湿式バレル研磨が行われた際に発生した研磨屑Ｗの動きについて図６を参照して説明する。なお、説明を簡単にするため、図６では素体２を省略している。まず、容器１０（内槽１１）を回転方向Ｒ１に回転させてバレル研磨が開始されると、図６（ａ）に示されるように、内槽１１内に多数の研磨屑Ｗが発生する。その後、容器１０の回転を更に続けると、図６（ｂ）に示されるように、回転方向Ｒ１への回転による遠心力により、研磨屑Ｗの一部が金属メッシュからなる側面１１ａの貫通孔を通過して、内槽１１と外槽１２との間の領域に排出される。
【００３２】
内槽１１と外槽１２との間の領域に研磨屑Ｗが排出された後、更に、容器１０の回転を続けると、図６（ｃ）に示されるように、容器１０の回転に伴って回動する案内部材１３により、研磨屑Ｗの大部分が容器１０の底部（外槽１２の底面１２ｃ）に集積される。この集積は、容器１０の底部に向かう案内部材１３の螺旋方向に対して、容器１０の回転方向Ｒ１が逆となっていることによって、確実に実行されるようになっている。また、容器１０の底部に研磨屑Ｗが集積された後に湿式バレル研磨を終了すると、研磨屑Ｗの大部分が既に内槽１１から排出されており、しかも、内槽１１に戻り難いように容器１０の底部に集められていることから、素体２と研磨屑Ｗとの分離が概ね終了していることになり、その結果、素体２の洗浄が簡単に行えるようになっている。
【００３３】
次に、バレル研磨された複数の素体２に端子電極３，４を形成する形成工程について説明する。形成工程では、まず、素体２に対して所定の焼成処理を行う。続いて、複数の素体２を電極形成に用いる保持プレートの保持孔に固定して一端を突出させ、その突出した部分を導電性ペーストに浸漬する。導電性ペーストは、例えば、Ａｇ，Ｃｕ又はＮｉを主成分とした導電性金属粉末及びガラスフリットを含むペーストからなる。この浸漬後に焼き付け、更に電気めっきを施す。電気めっきには、例えばＣｕ，Ｎｉ及びＳｎを用いることができる。このような処理を素体２の両端面２ａ，２ｂに対して行い、素体２に端子電極３，４を形成し、積層コンデンサ１を得る。なお、焼成処理は、研磨工程の前に行うようにしてもよい。
【００３４】
以上のように、本実施形態に係る製造方法では、湿式バレル研磨によって発生する研磨屑Ｗを所定の方向に案内する案内部材１３を内槽１１と外槽１２との間に設け、容器１０の回転に伴って回動する案内部材１３により、研磨屑Ｗを容器１０の底部に向かって案内するようにしている。このように、湿式バレル研磨が行われている最中に素体２と分離した研磨屑Ｗを回転による遠心力で順次、内槽１１の多数の貫通孔から内槽１１と外槽１２との間に排出させ、この排出された研磨屑Ｗを案内部材１３により、容器１０の底部側に集めるようにしている。
【００３５】
このため、研磨処理の終了時、内槽１１内に残る研磨屑Ｗの量が従来に比べて少なくなり、また、研磨屑Ｗが内槽１１と外槽１２との間において容器１０の底部側に集められており内槽１１内に戻ってしまうことが抑止されることになり、水洗い等によるチップ素体の洗浄を容易に行うことが可能となっている。この結果、本実施形態に係る製造方法によれば、洗浄等も含めた湿式バレル研磨処理を早期に終了させることができ、チップ部品である積層コンデンサ１を効率的に製造することができる。
【００３６】
また、本実施形態に係る製造方法では、第二準備工程において、内槽１１の外周に容器１０の底部に向かって螺旋状に形成された案内部材１３を有する容器１０を準備し、研磨工程では、案内部材１３の螺旋方向に対して逆となる方向Ｒ１に容器１０を回転させている。このため、研磨屑Ｗを容器１０の底部側に効率よく且つ確実に集めることができる。
【００３７】
また、本実施形態に係る製造方法では、第二準備工程において、金属メッシュから形成された内槽１１を有する容器１０を準備し、研磨工程において、金属メッシュから形成された内槽１１により、素体２の少なくとも一部を研磨するようにしている。このため、金属メッシュから形成された内槽１１により、素体２の少なくとも一部が研磨されるため、研磨効率（研磨のスピード等）を向上させることができ、また、必要に応じて研磨剤を用いずに又は研磨剤の量を減らして湿式バレル研磨を行うことができる。
【００３８】
以上、本発明の好適な実施形態について説明してきたが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
【００３９】
例えば、上述した実施形態では、螺旋状に形成された案内部材１３を有する容器１０を用いて湿式バレル研磨を行っていたが、図７に示されるように、内槽１１の外周に、容器１０の底部側に一方が傾斜するように形成された複数の案内部材１３ａを有する容器１０ａを用いて研磨工程を行うようにしてもよい。この場合でも、案内部材１３ａの傾斜方向に対して逆となる方向Ｒ１に容器１０を回転させることで、研磨屑Ｗを容器１０ａの底部側に効率よく且つ確実に集めることができる。
【００４０】
また、上述した実施形態では、六角筒状の容器１０（内槽１１、外槽１２）を用いて湿式バレル研磨を行っていたが、六角筒状の容器１０に代えて、図８に示されるように、円筒状の内槽３１及び外槽３２と案内部材１３とを有する容器１０ｂを用いて、研磨工程を行ってよい。また、容器１０の内槽１１の側面１１ａを金属メッシュによって構成するようにしていたが、内槽１１の側面１１ａを多数の貫通孔が形成された金属板から構成するようにしてもよい。この場合、更に、その貫通孔の孔径を内槽１１から外槽１２へ向かって徐々に小さくなる（つまり外槽１２側の孔径の方が内槽１１側の孔径よりも小さい）ように形成すると、湿式バレル研磨が終了した時点で外槽１２へと排出されている研磨屑Ｗが一層、内槽１１内に戻り難くなり、素体２の洗浄をより容易にすることができる。
【００４１】
また、上述した実施形態では、容器１０が水平方向に回転する水平タイプの湿式バレル研磨装置２０を用いて湿式バレル研磨を行っていたが、図９に示されるように、容器１０が縦方向（垂直方向）に回転する縦タイプの湿式バレル研磨装置２０ａを用いて湿式バレル研磨を行っても同様の効果を奏することができる。なお、湿式バレル研磨装置２０ａの構成は、湿式バレル研磨装置２０と略同様である。
【符号の説明】
【００４２】
１…積層コンデンサ、２…素体、１０，１０ａ，１０ｂ…容器、１１，３１…内槽、１２，３２…外槽、１２ｃ…底面、１３，１３ａ…案内部材、２０，２０ａ…湿式バレル研磨装置、２２…自転盤、２３…公転盤、２４…動力部、Ｒ１，Ｒ２…回転方向、Ｗ…研磨屑。
【図１】
2011143519.tif 000003
【図２】
2011143519.tif 000004
【図３】
2011143519.tif 000005
【図４】
2011143519.tif 000006
【図５】
2011143519.tif 000007
【図６】
2011143519.tif 000008
【図７】
2011143519.tif 000009
【図８】
2011143519.tif 000010
【図９】
2011143519.tif 000011