(57)【要約】【課題】カラーフィルタ製造工程において、ガラス基板の品質情報を管理して、不良ガラス基板の再生処理の可否を判断するカラーフィルタ基板の再生処理可否判定システムを提供する。【解決手段】カラーフィルタ製造工程で発生する不良基板の再生処理の可否を判定するシステムであって、  基板の品質情報を得る基板検査手段と  基板を製造処理する処理装置から基板情報を得る手段と、  基板情報と、更に前記基板情報とは別の予め設定された基板情報と、品質情報とから得られる製造管理データベースと、製造管理データベースから得られる実績情報分析データベースに基づいて基板を再生処理するか否かを判定する基板再生可否判定手段と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタ基板の再生処理可否判定システム。【選択図】図９
2011128207.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラーフィルタ製造工程で発生する不良基板の再生処理の可否を判定するシステムであって、
基板の品質情報を得る基板検査手段と
基板を製造処理する処理装置から基板情報を得る手段と、
基板情報と、更に前記基板情報とは別の予め設定された基板情報と、品質情報とから得られる製造管理データベースと、製造管理データベースから得られる実績情報分析データベースに基づいて基板を再生処理するか否かを判定する基板再生可否判定手段と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタ基板の再生処理可否判定システム。
【請求項２】
いずれの基板情報は基板１枚毎の基板情報を管理する製造管理データベースに登録され、製造管理データベースに含まれる製造実績情報を分析して実績情報分析データベースを作成し、製造管理データベースと実績情報分析データベースから基板の再生処理の可否を判定することを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタ基板の再生処理可否判定システム。
【請求項３】
基板を再生処理するか否かの判定手段は、基板の処理回数や検査機から得られた基板の品質情報に基づいて判定することを特徴とする請求項１または２に記載のカラーフィルタ基板の再生処理可否判定システム。
【請求項４】
基板を再生処理するか否かの判定手段は、カラーフィルタの製品品種と使用する基板材料に基づいて得られた収率と、予め設定した限界収率を比較して基板の再生制限回数を導出することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のカラーフィルタ基板の再生処理可否判定システム。
【請求項５】
基板を再生処理するか否かの判定手段は、カラーフィルタの製品品種と使用する基板材料に基づいて得られた欠陥数と、予め設定した限界欠陥数を比較して基板の再生制限回数を導出することを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のカラーフィルタ基板の再生処理可否判定システム。
【請求項６】
基板を再生処理するか否かの判定手段は、基板の再生回数と基板の再生制限回数を比較して基板の再生処理の可否を判定することを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のカラーフィルタ基板の再生処理可否判定システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラー液晶表示装置に用いるカラーフィルタ製造工程で発生する品質基準に満たないカラーフィルタ基板を再生し、再使用可能とするカラーフィルタ基板の再生システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図１はカラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を断面で示した図である。カラーフィルタ１は、ガラス基板２上にブラックマトリックス（以下、ＢＭ）３、レッドＲの着色画素（以下、Ｒ画素）４−１、グリーンＧの着色画素（以下、Ｇ画素）４−２、ブルーＢの着色画素（以下、Ｂ画素）４−３、透明電極５、及びフォトスペーサー（Ｐｈｏｔｏ  Ｓｐａｃｅｒ）（以下、ＰＳ）６、バーテイカルアライメント（Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）（以下、ＶＡ）７が順次形成されたものである。
【０００３】
上記構造のカラーフィルタの製造方法は、フォトリソグラフィー法、印刷法、インクジェット法が知られているが、図２は一般的に用いられているフォトリソグラフィー法の工程の一例を示すフロー図である。カラーフィルタは、先ず、ガラス基板上にＢＭを形成処理する工程（Ｃ１）、ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ２）、着色フォトレジストを塗布および予備乾燥処理する工程（Ｃ３）、着色フォトレジストを乾燥、硬化処理するプリベーク工程（Ｃ４）、露光処理する工程（Ｃ５）、現像処理する工程（Ｃ６）、着色フォトレジストを硬化処理する工程（Ｃ７）、透明電極を成膜処理する工程（Ｃ８）、ＰＳ、ＶＡを形成処理する工程（Ｃ９）がこの順に行われ製造される。
【０００４】
例えば、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の順に着色画素が形成される場合には、カラーフィルタガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ２）から、着色フォトレジストを硬化処理する工程間（Ｃ７）ではレッドＲ、グリーンＧ、ブルーＢの順に着色レジストを変更して３回繰り返されてＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素が形成される。なお、ステップ（Ｃ７）と（Ｃ８）の間で研磨処理する工程を経る場合もある。
【０００５】
ガラス基板２上へのＢＭ３の形成は、例えば、ガラス基板２上に金属薄膜を形成し、この金属薄膜にフォトレジストを塗布した後、フォトリソグラフィー法によってＢＭ形状を有したパターンを露光、現像、エッチングをして形成するといった方法や、または、ガラス基板２上に黒色のフォトレジスト樹脂を塗布し、この樹脂塗膜をフォトリソグラフィー法によってＢＭ形状を有したパターンを露光、現像して、いわゆる樹脂ＢＭと称するパターンを形成する方法がとられている。
【０００６】
カラーフィルタガラス基板の大型化に伴い、ガラス基板上へのＢＭの形成は、ＢＭの材料としては、クロムなどの金属を用いて真空装置によって金属薄膜を形成するよりも、黒色の樹脂フォトレジストを用いてフォトリソグラフィー法によって形成する樹脂ＢＭの方が、価格的、環境的にも有利なため、金属薄膜のＢＭを回避する傾向にある。
【０００７】
製造されるカラーフィルタには高い信頼性が必要であるが、前記のようにカラーフィルタの製造工程には多くの工程があり、その途中でゴミや樹脂カスなどの異物の付着や混入、ピンホール、パターン欠け等による欠陥が生じ、品質基準に満たない不良基板となって、歩留まりが低下している現状がある。また、近年の大画面液晶テレビの普及に伴うカラーフィルタガラス基板の大型化により、例えば１ｍｍ以下の薄く、かつ一辺が１〜２ｍ以上に達するカラーフィルタガラス基板では、廃棄そのものに危険が伴う。
【０００８】
一般的にカラーフィルタガラス基板の不良検査は、前記製造工程の最終工程であるＰＳ，ＶＡ形成処理する工程（Ｃ９）の後に行われる他に、中間工程であるＢＭを形成処理する工程（Ｃ１）の後、着色フォトレジストを乾燥、硬化処理するプリベーク工程（Ｃ４）の後、着色フォトレジストを硬化処理する工程（Ｃ７）の後、透明電極を成膜処理する工程（Ｃ８）の後においても行われ、品質基準に満たないカラーフィルタガラス基板が検査されている。
【０００９】
即ち、カラーフィルタ製造工程において、各工程毎に欠陥を検出する検査装置を備えており、検査装置の欠陥検出結果に応じて良品／不良品の判定を行っている。この際の検査結果はファイルまたはＤＢとして保存され、検査情報の履歴として参照して製造工程における品質情報の閲覧／解析を行い、工程改善に活用されている。
【００１０】
上記カラーフィルタの製造工程で品質基準を満足しないガラス基板が発生した場合は、明らかな割れ基板、再生回数の制限を越えた基板、検査機で再生ＮＧとなった基板以外は、ガラス基板の再生装置によって再生し、製造工程に再投入し再使用している。
【００１１】
カラーフィルタガラス基板の再生工程のフローと工程内容の一例を図３に示す。
【００１２】
カラーフィルタガラス基板の不良検査で検出されたガラス基板は、その後再生処理が行われる。すなわち、カラーフィルタガラス基板の再生はＢＭを形成した後、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素のためのレジストを形成した後、ＢＭ、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素を形成した後、または透明電極（例えばＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ））膜成膜後、ＰＳ、ＶＡ形成後のいずれの場合においても行われるが、図３はＰＳ／ＶＡ膜形成後の再生工程と工程内容の例を示す。品質基準を満足しないカラーフィルタガラス基板は次に示す工程を経て再生される。
【００１３】
先ず、アルカリ処理（１）（Ｋ１）、ブラシ洗浄（Ｋ２）及び水洗リンス（Ｋ３）によってガラス基板の最上層にあるＰＳ／ＶＡ膜が剥離、リンスされる（Ｎ１）、（Ｎ２）、（Ｎ３）。次に中間層のＩＴＯ膜が酸処理（Ｋ４）、水洗リンス（Ｋ５）によって剥離（Ｎ４）、リンス（Ｎ５）された後、最下層であるＢＭ、ＲＧＢ樹脂膜がアルカリ処理（２）（Ｋ６）、ブラシ洗浄（Ｋ７）、水洗リンス（Ｋ８）によってＲ／Ｇ／Ｂ、ＢＭ層が剥離、リンス（Ｎ６）、（Ｎ７）、（Ｎ８）され、最後にブラシ洗浄（Ｋ９）でカラーフィルタガラス基板に微少量残っている洗浄残渣が取り除かれ（Ｎ９）、水切り（Ｋ１０）によって乾燥される（Ｎ１０）。
【００１４】
上記再生工程において、ガラス基板固有のＩＤコードが剥離されないようにガラス内部にコードをマーキングして付与する方法や非接触ＩＣタグなどを埋め込む方法が採用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１５】
【特許文献１】特開２００３−２７９９１５号公報
【特許文献２】特開２００５−１８９６７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
従来からカラーフィルタ製造において、不良品と判定されたガラス基板を再生し再利用しているが、再生を繰り返し行った場合には、ガラス基板にダメージが蓄積し製品品質に影響を及ぼす為、ガラス基板の再生耐用回数の上限を設けている。再生上限回数を超えるガラス基板は再生不可とし、廃棄処分している。
【００１７】
しかしながら、再生耐用回数は品質を見て判断をしているわけではなく、過去の実績や経験則から算出した回数で制限している。また、製品種（品種）や製造工程により成膜順序や使用するプロセスが異なり、更に製造過程で発生した不良により、ガラス基板の品質状態が変化することから、ガラス基板単位の再生耐用回数を管理することは、困難となっている。
【００１８】
また、ガラス基板の品質レベルによって再生上限回数を管理しているわけではないので、品質上問題ないガラス基板を再生利用せず廃棄処分してしまったり、逆に、再生上限回数以内のガラス基板であっても品質に問題が有る場合には、製造工程中でガラス基板が割れて設備異常を起こしたり、製品不良発生の原因となる。
【００１９】
本発明は、係る問題点に鑑みてなされたものであり、カラーフィルタ製造工程において、ガラス基板の品質情報を管理して、不良ガラス基板の再生処理の可否を判断するカラーフィルタ基板の再生処理可否判定システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明の請求項１に係る発明は、カラーフィルタ製造工程で発生する不良基板の再生処理の可否を判定するシステムであって、
基板の品質情報を得る基板検査手段と
基板を製造処理する処理装置から基板情報を得る手段と、
基板情報と、更に前記基板情報とは別の予め設定された基板情報と、品質情報とから得られる製造管理データベースと、製造管理データベースから得られる実績情報分析データベースに基づいて基板を再生処理するか否かを判定する基板再生可否判定手段と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタ基板の再生処理可否判定システムである。
【００２１】
本発明の請求項２に係る発明は、いずれの基板情報は基板１枚毎の基板情報を管理する製造管理データベースに登録され、製造管理データベースに含まれる製造実績情報を分析して実績情報分析データベースを作成し、製造管理データベースと実績情報分析データベースから基板の再生処理の可否を判定することを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタ基板の再生処理可否判定システムである。
【００２２】
本発明の請求項３に係る発明は、基板を再生処理するか否かの判定手段は、基板の処理回数や検査機から得られた基板の品質情報に基づいて判定することを特徴とする請求項１または２に記載のカラーフィルタ基板の再生処理可否判定システムである。
【００２３】
本発明の請求項４に係る発明は、基板を再生処理するか否かの判定手段は、カラーフィルタの製品品種と使用する基板材料に基づいて得られた収率と、予め設定した限界収率を比較して基板の再生制限回数を導出することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のカラーフィルタ基板の再生処理可否判定システムである。
【００２４】
本発明の請求項５に係る発明は、基板を再生処理するか否かの判定手段は、カラーフィルタの製品品種と使用する基板材料に基づいて得られた欠陥数と、予め設定した限界欠陥数を比較して基板の再生制限回数を導出することを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のカラーフィルタ基板の再生処理可否判定システムである。
【００２５】
本発明の請求項６に係る発明は、基板を再生処理するか否かの判定手段は、基板の再生回数と基板の再生制限回数を比較して基板の再生処理の可否を判定することを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のカラーフィルタ基板の再生処理可否判定システムである。
【発明の効果】
【００２６】
本発明のカラーフィルタ基板の再生処理可否判定システムによれば、カラーフィルタ製造工程において、基板の品質情報に基づき基板の再生利用可否を判断することが出来、その結果、基板の再生回数が耐用回数以上である場合には、製造工程への投入を取り止めることによって、設備異常の発生を防止することが出来、基板の品質状態起因による製品不良の発生を防ぎ、最終製品の品質を維持することが出来る。
【００２７】
また、基板の品質レベルに基づいて再生耐用回数を管理する為、基板を最大回数再生利用することが可能となり、その結果、コストの低減や再生処理のムダや廃棄処分のムダの低減を図ることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】カラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を断面で示した図。
【図２】一般的に用いられているフォトリソグラフィー法の工程のフロー図。
【図３】カラーフィルタ基板の再生工程のフローと工程内容の一例を示す図。
【図４】本発明に係わるカラーフィルタ基板の再生処理可否判定システムが適用        される対象製造設備の構成の一例を示した図。
【図５】本発明に係わるカラーフィルタ基板の再生処理可否判定システムが適用        される各生産設備ネットワーク構成の一例を示す図。
【図６】本発明に係わる基板の再生処理可否判定システムが適用されるフォトリソ        グラフィー法によるカラーフィルタの製造工程の一例を示す概略フロー図。
【図７】本発明に係わる基板の再生処理可否判定システムが適用される受入設備装        置構成を示す図。
【図８】本発明に係わる基板の再生処理可否判定システムが適用されるガラス再生        設備の装置構成の一例を示す図。
【図９】本発明に係わる基板の再生処理可否判定システムのガラス再生制限回数の        自動導出フローの一例を示す図。
【図１０】本発明に係わる基板の再生処理可否判定システムの再生回数と収率の関          係と各製品における限界収率の一例を示す図。
【図１１】本発明に係わる基板の再生処理可否判定システムの図９に示されたガラ          ス再生制限回数の自動導出フローとは別のガラス再生制限回数の自動導出フ          ローの一例を示す図。
【図１２】本発明に係わる基板の再生処理可否判定システムの再生回数と欠陥数の          関係と各製品における限界欠陥数の一例を示す図。
【図１３】本発明に係わる基板の再生処理可否判定システムの再生基板投入          可否処理フローを示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
カラーフィルタ基板としてガラス基板を例として、以下、図面を参照して本発明に係るカラーフィルタ基板の再生処理システムを実施するための形態を説明する。
【００３０】
図４は本発明に係わるカラーフィルタ基板の再生処理可否判定システムが適用される対象製造設備の構成の一例を示した図である。カラーフィルタ基板を生産工程に投入するための受入設備と、ＢＭ／ＲＧＢ画素／ＰＳ、ＶＡ等を形成する為のフォトリソ設備と、透明電極膜を形成するためのＩＴＯ設備と、基板検査手段である検査設備と、製品出荷処理を行う為の出荷設備と、カラーフィルタ製造時に不良となったカラーフィルタ基板を再生する為のガラス再生設備と、各工程間の仕掛り製品の一時保管を行う製品倉庫と、各設備の生産状況、生産実績、在庫数量を管理する為の製造実行システムサーバから構成されており、製造実行システムサーバは各設備の情報を取得する為に、各設備に備えられている
基板情報を得る手段である工程管理システムと図示しない情報入力装置を備えており、上記各設備、装置はＥｔｈｅｒＮｅｔ（登録商標）、ＣＣ  Ｌｉｎｋ（Ｃｏｎｔｒｏｌ  ＆
Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ  Ｌｉｎｋ）、光ケーブル等で通信可能な構成とする。
【００３１】
図５は本発明に係わるカラーフィルタ基板の再生処理可否判定システムが適用される各生産設備ネットワーク構成の一例を示す図である。各生産設備１１はＰＬＣ（Ｐｒｏｇｒａｍａｂｌｅ  Ｌｏｇｉｃ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）ネットワーク１２によって接続され、各生産装置１１からの生産装置データは工程管理システム１３を介して製造実行システム１４に対して情報報告可能な環境となっている。
【００３２】
図６は本発明に係わる基板の再生処理可否判定システムが適用されるフォトリソグラフィー法によるカラーフィルタの製造工程の一例を示す概略フロー図である。カラーフィルタは、受入設備を使用した素基板の投入工程（Ｐ１）、フォトリソ設備を使用したＢＭ形成工程（Ｐ２）、フォトリソ設備を使用したＲ画素／Ｇ画素／Ｂ画素形成工程（Ｐ３）、ＩＴＯ設備を使用した透明電極膜（ＩＴＯ膜）形成工程（Ｐ４）、フォトリソ設備を使用したＰＳ形成工程（Ｐ５）、検査設備を使用した出荷前検査工程（Ｐ６）、出荷設備を使用した出荷移載工程（Ｐ７）を経て製造され、出荷される。尚、図示しないが各工程で検査装置による外観検査が行われ、各工程で不良と判断された基板は、ガラス再生設備で基板上に形成されたカラーフィルタ層を剥離し、素ガラスとなった後に再度受入設備より投入され再利用される。
【００３３】
本発明に係る対象製造設備の内、特に重要な設備は受入設備とガラス再生設備である。対象の製造設備の装置構成を説明する。尚、受入設備の基板投入装置は、素ガラスＩＤを読取可能なＩＤコード読取装置を備えている。
【００３４】
図７は本発明に係わる基板の再生処理可否判定システムが適用される受入設備装置構成を示す図である。基板投入装置によって投入された基板は搬送装置によって素ガラスＩＤマーキング装置に搬送される。マーキングされた基板は搬送装置によって検査装置に搬送され、検査された後、基板回収装置によって回収される。ここで云う素ガラスＩＤマーキング装置とは、カラーフィルタ製造途中に、ガラス自体の識別コードが薬液等による剥がれ、消失することが無いようにガラス表面に識別コードをマーキングする為の装置であり、レーザーマーキングによりガラスへの識別コードを作成する。素ガラスＩＤとは、ガラスの材料種を識別するためのＩＤコードであって、レーザーマーキングにより形成可能で、且つ容易に読み取り可能なものとするため、バーコードや２次元コードの形態とし、カラーフィルタ層に重ならないように基板の端部に形成される。
【００３５】
図８は本発明に係わる基板の再生処理可否判定システムが適用されるガラス再生設備の装置構成の一例を示す図である。基板投入装置によって投入された基板は搬送装置によって再生処理装置に搬送される。再生処理された基板は搬送装置によって検査装置に搬送され、検査された後、基板回収装置によって回収される。
【００３６】
製造実行システムについて説明する。製造実行システムは、各設備の製造状況、製造実績、在庫数量を管理するシステムであり、システム内部のデータベースにおいて、再生基板の管理を行う為に少なくとも基板情報と品質情報から得られる製造管理ＤＢと製造管理ＤＢから得られる実績情報分析ＤＢの情報テーブルを有している。
【００３７】
製造管理ＤＢが有するテーブルは、工場内設備における製造実績情報、製造条件等、製造に必要な情報の管理を行うＤＢであり、表１に示すように基板投入実績テーブル、基板回収実績テーブル、基板処理情報管理テーブル、基板特性値情報管理テーブル、欠陥検査情報管理テーブル、品種毎限界収率テーブル、品種／検査機毎限界欠陥数管理テーブル、
ガラス再生回数管理テーブル、ガラス再生制限回数管理テーブルを有している。
【００３８】
【表１】
2011128207.tif 000003
【００３９】
実績情報分析ＤＢは、製造管理ＤＢ内の各テーブルに存在する製造実績情報を分析して得られるＤＢであり、表２に示すように再生回数−収率分析テーブル、再生回数‐欠陥検出数分析テーブルを有する。
【００４０】
【表２】
2011128207.tif 000004
【００４１】
製造管理ＤＢの各テーブルについて説明する。
【００４２】
基板投入実績テーブルを表３に示す。基板投入実績テーブルは、基板の各工程投入履歴情報を管理する為のテーブルであり、カラーフィルタ（ＣＦ）基板の識別ＩＤ、基板にマーキングされた識別ＩＤ、基板の再生回数、投入工程名、投入管理Ｎｏ、投入日付が含まれる。
【００４３】
【表３】
2011128207.tif 000005
【００４４】
基板回収実績テーブルを表４に示す。基板回収実績テーブルは、基板の各工程回収履歴情報を管理する為のテーブルであり、カラーフィルタ基板の識別ＩＤ、基板にマーキングされた識別ＩＤ、基板の再生回数、回収工程名、回収管理Ｎｏ、回収区分（ＯＫ良品／ＲＰ準良品／ＰＤ保留品／ＮＧ不良品／ＭＰラインアウト品／ＥＲ割れ発生品）、回収日付が含まれる。
【００４５】
【表４】
2011128207.tif 000006
【００４６】
基板処理情報管理テーブルを表５に示す。基板処理情報管理テーブルは、基板の処理情報を管理するためのテーブルであり、カラーフィルタ基板の識別ＩＤ、基板の製品名、処理工程名、処理装置名、基板処理時の装置情報を含む。
【００４７】
【表５】
2011128207.tif 000007
【００４８】
基板特性値情報管理テーブルを表６に示す。基板特性値情報管理テーブルは、基板の特性情報（測定値や品質特性）を管理するためのテーブルで、カラーフィルタ基板の識別ＩＤ、基板の製品名、処理工程名、特性情報の名前、実際の測定値を含む。
【００４９】
【表６】
2011128207.tif 000008
【００５０】
欠陥検査情報管理テーブルを表７に示す。欠陥検査情報管理テーブルは、欠陥検査を行った結果を管理するためのテーブルであって、検査実施の検査機識別ＩＤ、検査実施のカラーフィルタ基板識別ＩＤ、基板にマーキングされた識別ＩＤ、検査実施日時、欠陥検出時の検出系（透過白／黒、反射白／黒、合成）、欠陥検出サイズ（Ｏ極小／Ｓ小／Ｍ標準／Ｌ大／Ｘ極大／全部の欠陥）、前記欠陥検出時の検出系（透過白／黒、反射白／黒、合成）や前記欠陥検出サイズ（Ｏ／Ｓ／Ｍ／Ｌ／Ｘ／全部）にあてはまる欠陥検出数を含む。
【００５１】
【表７】
2011128207.tif 000009
【００５２】
品種毎限界収率テーブルを表８に示す。品種毎限界収率テーブルは、カラーフィルタ製
品における収率の下限限界値を管理するテーブルであり、カラーフィルタ製品名、使用ガラス材名、最終収率の下限を含む。尚、本テーブルのデータは予め設定可能とする。
【００５３】
【表８】
2011128207.tif 000010
【００５４】
品種／検査機毎限界欠陥数管理テーブルを表９に示す。品種／検査機毎限界欠陥数管理テーブルは、カラーフィルタ製品における品質基準の一つとしての各検査機における欠陥検出の限界値を管理するテーブルであり、カラーフィルタ製品名、使用ガラス材名、検査実施の検査機識別ＩＤ、欠陥検出系（透過白／黒、反射白／黒、合成透過及び反射の両方によって検出）、欠陥検出サイズ（判定検出サイズ）判定対象の欠陥検出数種別（平均／最大／最小）、欠陥検出サイズ（Ｏ／Ｓ／Ｍ／Ｌ／Ｘ／全部）を含む。尚、本テーブルのデータは予め設定可能とする。
【００５５】
【表９】
2011128207.tif 000011
【００５６】
ガラス再生回数管理テーブルを表１０に示す。ガラス再生回数管理テーブルは、基板の再生処理回数を管理する為のテーブルであり、基板にマーキングされた識別ＩＤ、使用ガラス材名、基板の再生回数を含む。尚、本テーブルのデータ更新は再生設備へ基板が投入されるタイミングで該当基板の再生回数がカウントアップされる。
【００５７】
【表１０】
2011128207.tif 000012
【００５８】
ガラス再生制限回数管理テーブルを表１１に示す。ガラス再生制限回数管理テーブルは、カラーフィルタ製品毎の使用可能ガラス材の最大再生回数を管理する為のテーブルであり、カラーフィルタ製品名、使用ガラス材名、投入基板の最大再生回数を含む。尚、本テーブルのデータは実績データを利用した自動算出により更新される。
【００５９】
【表１１】
2011128207.tif 000013
【００６０】
実績情報分析ＤＢの各テーブルについて説明する。
【００６１】
再生回数−収率分析テーブルを表１２に示す。再生回数−収率分析テーブルは、使用ガラス材の再生回数によるカラーフィルタ製品の最終収率を把握するためのテーブルであり、カラーフィルタ製品名、使用ガラス材名、ガラス再生回数、再生回数毎の最終収率を含む。尚、本テーブルは基板投入実績テーブルと基板回収実績テーブルを使用して作成される。
【００６２】
【表１２】
2011128207.tif 000014
【００６３】
再生回数‐欠陥検出数分析テーブルを表１３に示す。再生回数‐欠陥検出数分析テーブルは、ガラス材の再生回数と製造現場内の検査装置により検出された欠陥数よりガラス自体の品質を把握するためのテーブルであり、製造現場内検査機の識別ＩＤ、カラーフィルタ製品名、使用ガラス材名、基板にマーキングされた識別ＩＤ、欠陥検出時の検出系（透過白／黒、反射白／黒、合成）、欠陥検出サイズ（Ｏ／Ｓ／Ｍ／Ｌ／Ｘ／全部）
、同一品種同一ガラス材基板の平均欠陥検出数、同一品種同一ガラス材基板の最大欠陥検出数、同一品種同一ガラス材基板の最小欠陥検出数を含む。尚、本テーブルは基板回収実績テーブルと欠陥検査情報管理テーブルを使用して作成される。
【００６４】
【表１３】
2011128207.tif 000015
【００６５】
図９は本発明に係わる基板の再生処理可否判定システムのガラス再生制限回数の自動導出フローの一例を示す図であり、再生回数と収率の関係による導出の例である。再生回数‐収率分析テーブルを利用して再生制限回数の導出を行うフローを説明する。
【００６６】
先ず開始（Ｓ１）後、再生回数−収率分析テーブル内の情報を、製品品種名とガラス材料名でグループ化し、製品品種名−ガラス材料名毎の各再生回数における収率情報を取得する（Ｓ２）。
【００６７】
次に、品種毎限界収率テーブルより、製品品種名−ガラス材料名毎の限界収率情報を取得する（Ｓ３）。
【００６８】
続いてステップ（Ｓ２）及びステップ（Ｓ３）で取得した情報に基づいて、各品種における最大再生回数を導出する。最大再生回数の導出は次に述べる方法で行う。製品品種名−ガラス材料名において、ステップ（Ｓ２）で取得した各再生回数の収率情報とステップ（Ｓ３）で取得した限界収率情報を比較する。各再生回数の収率情報が限界収率情報以上（Ｓ４のＹＥＳ）であれば、使用可能再生回数と判断し（Ｓ５）、直ちに終了する（Ｓ８）。一方、収率情報が限界収率情報を下回った場合（Ｓ５のＮＯ）は、その再生回数を最大再生回数と認識し（Ｓ６）、品種毎に取得した最大再生回数を、ガラス再生制限回数テーブルへ反映させ（Ｓ７）、終了する（Ｓ８）。
【００６９】
図１０に本発明に係わる基板の再生処理可否判定システムの再生回数と収率の関係と各製品における限界収率の一例を示す。図１０の例では製品Ａの限界収率は凡そ９７％で再生回数４回が限界回数で、上記ガラス再生制限回数の自動導出フローにおいては５回が最大再生回数として導出される。同様に製品Ｂの限界収率は凡そ９６％で４回が最大再生回数として導出され、製品Ｃの限界収率は凡そ９５％で２回が最大再生回数として導出され、製品Ｄの限界収率は凡そ９４％で５回が最大再生回数として導出される。
【００７０】
図１１は、本発明に係わる基板の再生処理可否判定システムの図９に示されたガラス再生制限回数の自動導出フローとは別のガラス再生制限回数の自動導出フローの一例を示す図であり、再生回数‐欠陥検出数分析テーブルを利用した受入設備の欠陥検査情報による基板の品質によるガラス再生制限回数の導出を示す図である。
【００７１】
図１１の導出フローを説明する。
【００７２】
先ず開始（Ｈ１）後、再生回数−欠陥検出数分析テーブル内の検査装置毎の欠陥と再生回数の情報を、製品品種名とガラス材料名でグループ化し、製品品種名−ガラス材料名毎の各再生回数における欠陥検出情報（再生回数／検出種別／検出サイズ／検出数（平均／最大／最小）を取得する（Ｈ２）。ここで得られる再生回数毎の欠陥検出情報数は、例えば、製品種毎に、検出種別４種（検出系の透過白／黒、反射白／黒）と検出サイズ５種（Ｏ／Ｓ／Ｍ／Ｌ／Ｘ）と欠陥検出数３種（平均／最大／最小）から成る４＊５＊３＝６０の情報であって、更に、製品品種数分が乗算された情報数が取得される。
【００７３】
次に品種／検査機毎限界欠陥数管理テーブルより、製品品種名−ガラス材料名毎で且つ検査装置毎の限界欠陥条件情報（再生回数／検出種別／検出サイズ／対象種別（平均／最大／最小）／欠陥検出サイズ数の限界値）を取得する（Ｈ３）。
【００７４】
続いてステップ（Ｈ２）、ステップ（Ｈ３）で取得した情報に基づいて各品種における最大再生回数を導出する。最大再生回数を導出する方法を次に述べる。ステップ（Ｈ２）で取得した製品品種名−ガラス材料名毎の各再生回数における欠陥検出情報とステップ（Ｈ３）で取得した限界欠陥条件の各再生回数の限界条件にあてはまる欠陥情報を比較する
（Ｈ４）。各再生回数の欠陥情報が限界欠陥情報以下であれば（Ｈ４のＹＥＳ）、使用可能再生回数と判定し（Ｈ５）、直ちに終了する（Ｈ８）。一方、欠陥情報が限界欠陥情報を上回った場合は（Ｈ４のＮＯ）、再生回数を最大再生回数と認識し（Ｈ６）最大再生回数を、ガラス再生制限回数テーブルへ反映させ（Ｈ７）、終了する（Ｈ８）。
【００７５】
図１２に再生回数と欠陥数の関係と各製品における限界欠陥数の一例を示す。図１２における縦軸の欠陥数とは、例えば、検出系の透過白で検出サイズＸで検出数平均の欠陥数で、この場合の最大再生回数は、製品Ａは５回以上、製品Ｂは１回以上、製品Ｃ４回、製品Ｄは３回が最大再生回数として導出される。尚、縦軸の欠陥数は、上記したように製品品種名毎に６０種の情報があるため、６０種の情報の優先順位をつけて（例えば、検出サイズ−欠陥検出数―検出種別の順で更に各項目内で例えばＸ／Ｌ／Ｍ／Ｓ／Ｏ）、優先順位の高いほうからＮ番目までの欠陥数を縦軸とした場合の最大再生回数をＮ個求め、求めたＮ個の最大再生回数の平均を新たな最大再生回数とする。尚、上記最大再生回数の導出方法は、例示であってこれに限定されるものではない。
【００７６】
図１３は再生基板投入可否処理フローを示す図である。再生基板の受入設備への投入処理フローを説明する。
【００７７】
先ず開始（Ｄ１）後、受入設備の基板投入装置へ投入予定の基板が到着する（Ｄ２）。次に、素ガラスＩＤの読込が行われた（Ｄ３）後、受入設備の基板投入装置は、装置内のＩＤ読取装置を使用して素ガラスにマーキングされた識別ＩＤを読み込む（Ｄ４）。
【００７８】
続いて受入設備の基板投入装置は、製造実行システムに対して工程内の工程管理システムを介して基板投入可否の問合せを行う（Ｄ５）。投入可否問合せ時の報告内容は、現在生産品種、使用ガラス材、読込素ガラスＩＤである。
【００７９】
次に、製造実行システムは、受入設備の基板投入装置からの問合せ内容に基づいて、投入可否の判定を行い（Ｄ６）、受入設備の基板投入装置は、製造実行システムからの通知内容に基づいて基板を振分ける。
【００８０】
判定の結果、投入可能と判定された（Ｄ６のＹＥＳ）場合は、基板は下流へ搬送され（Ｄ７）、直ちに終了する（Ｄ１０）。一方判定の結果、投入不可と判定された（Ｄ６のＮＯ）場合は、製造実行システムによってアラームが発報された後（Ｄ８）、オペレータ判断により基板はラインアウトまたは強制的に下流に払い出された後（Ｄ９）、終了する（Ｄ１０）。
【００８１】
判定結果は、受入設備の基板投入装置へ工程内の工程管理システムを介して通知される。投入可否の判定結果通知内容は、投入可否結果（投入可能／投入不可）、再生制限回数、問合せ基板再生回数である。
【００８２】
以上のように、本発明によるカラーフィルタ基板の再生処理システムによれば、カラーフィルタ製造工程において、基板の品質情報に基づき基板の再生利用可否を判断することが出来、その結果、基板の再生回数が耐用回数以上である場合には、製造工程への投入を取り止めることによって、設備異常の発生を防止することが出来、基板の品質状態起因による製品不良の発生を防ぎ、最終製品の品質を維持することが出来る。
【００８３】
また、基板の品質レベルに基づいて再生耐用回数を管理する為、基板を最大回数再生利用することが可能となり、その結果、コストの低減や再生処理のムダや廃棄処分のムダの低減を図ることが出来る。
【符号の説明】
【００８４】
１・・・カラーフィルタ
２・・・基板
３・・・ブラックマトリックス（ＢＭ）
４−１・・・レッドＲの着色画素（Ｒ画素）
４−２・・・グリーンＧの着色画素（Ｇ画素）
４−３・・・ブルーＢの着色画素（Ｂ画素）
５・・・透明電極
６・・・フォトスペーサー（ＰＳ）
７・・・バーテイカルアライメント（ＶＡ）
１１・・・各生産設備
１２・・・ネットワーク
１３・・・工程管理システム
１４・・・製造実行システム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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