(57)【要約】【課題】信頼性の高い圧電素子を得ることができる圧電素子の製造方法を提供する。【解決手段】本発明に係る圧電素子の製造方法は、第１グリーンシート１０を準備する工程と、第１グリーンシート１０に第１凹部１２を形成する工程と、第１凹部１２内に第１電極１４を形成する工程と、第２グリーンシート１０を準備する工程と、第２グリーンシート１０に第２凹部１２を形成する工程と、第２凹部１２内に第２電極１４を形成する工程と、第１電極１４が形成された第１グリーンシート１０と、第２電極１４が形成された第２グリーンシート１０と、を貼り合わして、グリーンシート積層体２０を形成する工程と、グリーンシート積層体２０を焼成して、セラミックスシート積層体２０ａを形成する工程と、セラミックスシート積層体２０ａをダイシングする工程と、を含む。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１グリーンシートを準備する工程と、
前記第１グリーンシートに第１凹部を形成する工程と、
前記第１凹部内に第１電極を形成する工程と、
第２グリーンシートを準備する工程と、
前記第２グリーンシートに第２凹部を形成する工程と、
前記第２凹部内に第２電極を形成する工程と、
前記第１電極が形成された前記第１グリーンシートと、前記第２電極が形成された前記第２グリーンシートと、を貼り合わして、グリーンシート積層体を形成する工程と、
前記グリーンシート積層体を焼成して、セラミックスシート積層体を形成する工程と、
前記セラミックスシート積層体をダイシングする工程と、
を含む、圧電素子の製造方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記第１凹部を形成する工程では、第１凸部を有する第１原版を、前記第１グリーンシートに押し当てることによって、前記第１凹部が形成され、
前記第２凹部を形成する工程では、第２凸部を有する第２原版を、前記第２グリーンシートに押し当てることによって、前記第２凹部が形成される、圧電素子の製造方法。
【請求項３】
請求項１において、
前記第１凹部を形成する工程では、第１凸部を有する第１原版を準備する工程と、前記第１凸部上に第１部材を設ける工程と、前記第１部材を前記第１グリーンシートに転写する工程と、によって、前記第１凹部が形成され、
前記第２凹部を形成する工程では、第２凸部を有する第２原版を準備する工程と、前記第２凸部上に第２部材を設ける工程と、前記第２部材を前記第２グリーンシートに転写する工程と、によって、前記第２凹部が形成される、圧電素子の製造方法。
【請求項４】
請求項１において、
前記第１凹部を形成する工程では、前記第１グリーンシートにレーザーを照射することによって、前記第１凹部が形成され、
前記第２凹部を形成する工程では、前記第２グリーンシートにレーザーを照射することによって、前記第２凹部が形成される、圧電素子の製造方法。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項に記載の方法によって製造された圧電素子。
【請求項６】
請求項５に記載の圧電素子と、
前記圧電素子の動作によって変形する振動板と、
を含む、圧電アクチュエーター。
【請求項７】
請求項６に記載の圧電アクチュエーターと、
ノズル孔が設けられ、前記圧電アクチュエーターの動作によって容積が変化する圧力室と、
を含む、液体噴射ヘッド。
【請求項８】
請求項７に記載の液体噴射ヘッドを含む、液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子の製造方法および圧電素子、圧電アクチュエーター、液体噴射ヘッド、並びに、液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気機械変換を行う素子として、層状の圧電体層の間に複数の電極が形成された圧電素子が知られている。圧電素子に用いられる圧電体層としては、圧電性が良好である等の理由により、高温で焼成されたセラミックス系の材料（例えばペロブスカイト型化合物の焼結体）が用いられることがある。
【０００３】
このようなセラミックス系の積層型の圧電素子は、グリーンシートと称する未焼成のセラミックスのシートに電極を形成し、該グリーンシートを積層し圧着した後に、焼成することにより形成される。しかしながら、このような製造方法においては、グリーンシートに形成した電極によって段差が形成されてしまうため、複数のグリーンシートを積層するにつれ、電極の有無による段差が大きくなり、圧着性が低下することがあった。また、電極の有無による形状の不均一性によって、圧電素子に反りやクラックが発生することがあった。これらは、信頼性低下の要因となる。
【０００４】
例えば特許文献１には、グリーンシートに電極を形成したのち、さらに電極の側方に段差排除用グリーンシートを形成することによって、段差を小さくする方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−１１５７６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、信頼性の高い圧電素子を得ることができる圧電素子の製造方法を提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、上記の方法で製造された圧電素子、および、該圧電素子を含む圧電アクチュエーター、液体噴射ヘッド、液体噴射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る圧電素子の製造方法は、
第１グリーンシートを準備する工程と、
前記第１グリーンシートに第１凹部を形成する工程と、
前記第１凹部内に第１電極を形成する工程と、
第２グリーンシートを準備する工程と、
前記第２グリーンシートに第２凹部を形成する工程と、
前記第２凹部内に第２電極を形成する工程と、
前記第１電極が形成された前記第１グリーンシートと、前記第２電極が形成された前記第２グリーンシートと、を貼り合わして、グリーンシート積層体を形成する工程と、
前記グリーンシート積層体を焼成して、セラミックスシート積層体を形成する工程と、
前記セラミックスシート積層体をダイシングする工程と、
を含む。
【０００８】
このような圧電素子の製造方法によれば、信頼性の高い圧電素子を得ることができる。
【０００９】
本発明に係る圧電素子の製造方法において、
前記第１凹部を形成する工程では、第１凸部を有する第１原版を、前記第１グリーンシートに押し当てることによって、前記第１凹部が形成され、
前記第２凹部を形成する工程では、第２凸部を有する第２原版を、前記第２グリーンシートに押し当てることによって、前記第２凹部が形成されることができる。
【００１０】
このような圧電素子の製造方法によれば、ナノインプリント法により、前記グリーンシートに前記凹部を形成することができる。その際、前記電極の前駆体の溶媒に合わせて、前記原版の前記凸部に親水性または疎水性の素材をコートし、選択的に前記凹部内を、親水性または疎水性に調整することができる。これにより、選択的に前記凹部内に前記電極を形成することができ、前記電極の微細加工が可能となる。
【００１１】
本発明に係る圧電素子の製造方法において、
前記第１凹部を形成する工程では、第１凸部を有する第１原版を準備する工程と、前記第１凸部上に第１部材を設ける工程と、前記第１部材を前記第１グリーンシートに転写する工程と、によって、前記第１凹部が形成され、
前記第２凹部を形成する工程では、第２凸部を有する第２原版を準備する工程と、前記第２凸部上に第２部材を設ける工程と、前記第２部材を前記第２グリーンシートに転写する工程と、によって、前記第２凹部が形成されることができる。
【００１２】
このような圧電素子の製造方法によれば、マイクロコンタクトプリント法により、前記グリーンシートに前記凹部を形成することができる。
【００１３】
本発明に係る圧電素子の製造方法において、
前記第１凹部を形成する工程では、前記第１グリーンシートにレーザーを照射することによって、前記第１凹部が形成され、
前記第２凹部を形成する工程では、前記第２グリーンシートにレーザーを照射することによって、前記第２凹部が形成されることができる。
【００１４】
このような圧電素子の製造方法によれば、レーザー照射によって、前記グリーンシートに前記凹部を形成することができる。
【００１５】
本発明に係る圧電素子は、
本発明に係る圧電素子の製造方法によって製造される。
【００１６】
このような圧電素子によれば、高い信頼性を有することができる。
【００１７】
本発明に係る圧電アクチュエーターは、
本発明に係る記載の圧電素子と、
前記圧電素子の動作によって変形する振動板と、
を含む。
【００１８】
このような圧電アクチュエーターによれば、前記圧電素子を含むので、高い信頼性を有することができる。
【００１９】
本発明に係る液体噴射ヘッドは、
本発明に係る圧電アクチュエーターと、
ノズル孔が設けられ、前記圧電アクチュエーターの動作によって容積が変化する圧力室と、
を含む。
【００２０】
このような液体噴射ヘッドによれば、前記圧電アクチュエーターを含むので、高い信頼性を有することができる。
【００２１】
本発明に係る液体噴射装置は、
本発明に係る液体噴射ヘッドを含む。
【００２２】
このような液体噴射装置によれば、前記液体噴射ヘッドを含むので、高い信頼性を有することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本実施形態に係る圧電素子に製造工程を模式的に示す断面図。
【図２】本実施形態に係る圧電素子に製造工程を模式的に示す断面図。
【図３】本実施形態に係る圧電素子に製造工程を模式的に示す断面図。
【図４】本実施形態に係る圧電素子に製造工程を模式的に示す断面図。
【図５】本実施形態に係る圧電素子に製造工程を模式的に示す断面図。
【図６】本実施形態に係る圧電素子に製造工程を模式的に示す断面図。
【図７】本実施形態に係る圧電素子に製造工程を模式的に示す断面図。
【図８】本実施形態の変形例に係る圧電素子に製造工程を模式的に示す断面図。
【図９】本実施形態の変形例に係る圧電素子に製造工程を模式的に示す断面図。
【図１０】本実施形態の変形例に係る圧電素子に製造工程を模式的に示す断面図。
【図１１】本実施形態に係る液体噴射ヘッドを模式的に示す分解斜視図。
【図１２】本実施形態に係る液体噴射装置を模式的に示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２５】
１．  圧電素子の製造方法
まず、本実施形態に係る圧電素子の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図１〜図７は、本実施形態に係る圧電素子の製造工程を模式的に示す断面図である。
【００２６】
図１に示すように、グリーンシート１０を準備する。グリーンシート１０は、フィルム状の形状を有する。グリーンシート１０の厚みは、例えば、３０μｍ程度である。グリーンシート１０の平面形状は、特に限定されない。グリーンシート１０の材質としては、焼成された場合に圧電性を発現するセラミックスとなるものであれば、特に限定されない。
【００２７】
グリーンシート１０は、例えば、セラミックス原料を分散させたスラリーを、フィルム等の基材に塗布して乾燥させ、フィルムから剥離して形成される。セラミックス原料としては、一般式ＡＢＯ３で示されるペロブスカイト型酸化物の粒子を用いることができる。このような粒子の具体的な例としては、チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ３：ＰＺＴ）、ニオブ酸チタン酸ジルコン酸鉛（Ｐｂ（Ｚｒ，Ｔｉ，Ｎｂ）Ｏ３：ＰＺＴＮ）、ニオブ酸カリウム（ＫＮｂＯ３：ＫＮ）、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３：ＢＴ）などの粒子が挙げられる。スラリーには、セラミックス原料の他、バインダー、溶媒、界面活性剤等が含まれていてもよい。バインダーとしては、例えば、ポリスチレン、セルロース、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリビニルブチラール（ＰＶＢ）等の高分子材料を用いることができる。
【００２８】
次に、図２に示すように、グリーンシート１０を載置台５の上に載置し、グリーンシート１０の表面（上面）に、原版１の凸部３を押し当てて加圧する。凸部３の形状を受け、グリーンシート１０には、凹部が形成される。加圧は、例えば、５０〜５００ｋｇ／ｃｍ２で、１０〜３００秒間行われる。加圧の際、載置台５は、例えば６０℃程度に加熱されている。また、原版１は、例えば８５℃程度に加熱されている。原版１および載置台５の材質は、グリーンシート１０より硬度が大きければ、特に限定されない。
【００２９】
次に、図３に示すように、原版１を開放する。これにより、グリーンシート１０には、凹部１２が形成される。凹部１２の深さ（グリーンシート１０の厚み方向の長さ）は、例えば、５μｍ程度である。図示の例では、凹部１２は、２つ形成されているが、その数は特に限定されない。また、凹部１２の平面形状も、特に限定されない。以上のように、ナノインプリント法によって、高い精度で、グリーンシート１０に凹部１２を形成することができる。
【００３０】
なお、原版１の凸部３に、親水性または疎水性の素材（図示せず）をコートしておくことにより、選択的に凹部１２内を、親水性または疎水性に調整することができる。これにより、選択的に凹部１２内に電極１４を形成することができる。親水性の素材としは、例えば、酸化チタン（ＴｉＯ２）、メチルシリケート系材料、末端に親水基を持つアルキル化合物が挙げられる。疎水性の素材としは、例えば、フッ素系樹脂、長鎖アルキル化合物が挙げられる。
【００３１】
次に、図４に示すように、凹部１２内に電極１４を形成する。図示の例では、凹部１２内に電極１４を充填させ、グリーンシート１０の面（上面）と、電極１４の面（上面）とが、連続するように（面一となるように）電極１４を形成している。電極１４の材質は、導電性を有するものであれば、特に限定されるものではない。より具体的には、電極１４の材質としては、銀、銅、金、白金、パラジウムおよびニッケルから選ばれる少なくとも１種の金属、またはこれらの合金を挙げることができる。電極１４の厚みは、例えば、５μｍ程度である。
【００３２】
電極１４は、例えば、インクジェットプリント法、ディップ法、スパッタ法などにより形成されることができる。インクジェットプリント法またはディップ法によって電極１４を形成する場合、電極１４の前駆体としては、上記金属の原料を溶媒に分散したものを用いることができる。例えば、当該前駆体の溶媒の種類に合わせて、上述のとおり、凹部１２内を親水性または疎水性とすることができる。例えば、前駆体の溶媒として有機溶媒を用いた場合は、凹部１２内を疎水性とすることにより、選択的に凹部１２内に電極１４を形成することができる。これにより、電極１４の微細加工が可能となる。なお、凹部１２内に塗布された前駆体は、例えば、恒温槽において８０℃程度で乾燥させることにより、電極１４となることができる。
【００３３】
図１から図４の工程を繰り返して行うことにより、複数の、電極１４が形成されたグリーンシート１０が形成される。しかしながら、電極１４が形成されたグリーンシート１０の形成は、これに限定されない。例えば、グリーンシート１０を形成し、グリーンシートに凹部を形成し、凹部に電極を形成する工程の後に、電極が形成されたグリーンシート１０を切断することにより、複数の、電極１４が形成されたグリーンシート１０を形成してもよい。
【００３４】
次に、図５に示すように、電極１４が形成された複数のグリーンシート１０を、グリーンシート１０の厚み方向（Ｙ方向）に貼り合わして、グリーンシート積層体２０を形成する。例えば、電極１４が形成された第１グリーンシート１０および第２グリーンシート１０を貼り合わして、グリーンシート積層体２０を形成するともいえる。図示の例では、４枚のグリーンシート１０を積層してグリーンシート積層体２０を形成しているが、グリーンシート１０の数は特に限定されない。例えば、３０枚のグリーンシートを積層して、グリーンシート積層体２０を形成してもよい。複数のグリーンシート１０は、グリーンシート１０の各々において電極１４が形成された面が、所定の方向（図示の例では＋Ｙ方向）を向くように積層される。図示の例では、複数のグリーンシート１０は、電極１４のＸ方向（グリーンシート１０の厚み方向と直交する方向）の位置が揃うように積層されているが、揃っていなくてもよい。また、図示の例では、複数のグリーンシート１０に形成された電極１４の幅（Ｘ方向の長さ）は、同じであるが、異なっていてもよい。
【００３５】
複数のグリーンシート１０の貼り合わせは、第１圧着工程と第２圧着工程とに分けて行われてもよい。この場合、第１圧着工程では、例えば、５０〜８５℃の温度において、７５〜２００ｋｇ／ｃｍ２の圧力を、１０〜１２０秒間加圧することができる。第２圧着工程では、例えば、温水ラミネーターにおいて、２００〜１０００ｋｇ／ｃｍ２圧力を、１８０秒間程度加圧することができる。
【００３６】
次に、図６に示すように、グリーンシート積層体２０を焼成して、セラミックスシート積層体２０ａを形成する。これにより、グリーンシート１０は、セラミックスのシート（セラミックスシート１０ａ）となり、圧電性を有することができる。グリーンシート積層体２０の焼成は、熱処理によって行われる。例えば、グリーンシート１０に含まれるバインダー等を除去するための仮焼成と、セラミックス粒子を焼結、結晶化させるための本焼成と、に分けて行ってもよい。この場合、仮焼成の温度は、例えば、３００〜６００℃とすることができる。本焼成（結晶化）の温度は、例えば、７００〜１３００℃とすることができる。なお、グリーンシート積層体２０は、焼成によって収縮することがある。
【００３７】
次に、図７に示すように、セラミックスシート積層体２０ａをダイシングして個片化し、圧電素子１００を形成する。すなわち、圧電素子１００となる積層体を切り出すように、ダイシングを行う。図６には、ダイシングライン７が描かれている。ダイシングライン７に沿って、セラミックス積層体２０ａをダイシングすることができる。ダイシングは、ダイサーなどのダイシング装置を用いて行うことができる。ダイシングライン７の幅は、特に限定されない。ダイシングライン７の領域内の物質（セラミックスシート１０ａ）が除去される結果、図７に示すように、個片化された圧電素子１００を形成することができる。なお、図示はしないが、圧電素子１００には、電極１４に電源を供給するための外部電極が形成されていてもよい。
【００３８】
以上の工程により、圧電素子１００を製造することができる。
【００３９】
本実施形態に係る圧電素子１００の製造方法は、例えば、以下の特徴を有する。
【００４０】
圧電素子１００の製造方法によれば、グリーンシート１０に凹部１２を設けることができ、凹部１２内に電極１４を形成することができる。そのため、グリーンシート１０と電極１４との段差を小さくすることができる。または、電極１４をグリーンシート１０と面一となるように形成することができる。そのため、複数のグリーンシートを積層して圧着しても、グリーンシートと電極との段差によって、圧着性が低下することはない。また、グリーンシートと電極との段差に応力が集中することがなく、反りやクラックの発生を防止することができる。したがって、圧電素子１００の製造方法によれば、信頼性の高い圧電素子１００を形成することができる。
【００４１】
圧電素子１００の製造方法によれば、ナノインプリント法により、グリーンシート１０に凹部１２を形成することができる。その際、電極１４の前駆体の溶媒に合わせて、原版１の凸部３に親水性または疎水性の素材をコートし、選択的に凹部１２内を、親水性または疎水性に調整することができる。これにより、選択的に凹部１２内に電極１４を形成することができ、電極１４の微細加工が可能となる。
【００４２】
２．  圧電素子の製造方法の変形例
次に、本実施形態の変形例に係る圧電素子の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図８〜１０は、本実施形態の変形例に係る圧電素子の製造工程を模試的に示す断面図である。以下、本実施形態の変形例に係る圧電素子において、上述した本実施形態に係る圧電素子の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００４３】
（１）上述した本実施形態に係る圧電素子の例では、ナノインプリント法により、グリーンシート１０に凹部１２を形成した。これに対し、本実施形態の変形例に係る圧電素子の製造方法では、図８〜図１０に示すように、マイクロコンタクトプリント法により、グリーンシート１０に凹部１２を形成することができる。
【００４４】
すなわち、図８に示すように、凸部３を有する原版１に凸部形成部材１１を塗布する。凸部形成部材１１の材質は、例えば、グリーンシート１０を形成するためのスラリーと同じである。図示の例では、凸部形成部材１１は、グリーンシート１０と対向する凸部３の表面にのみ形成されている。
【００４５】
次に、図９に示すように、載置台５上に載置されたグリーンシート１０に、凸部形成部材１１を押し当てて加圧および加熱する。加圧および加熱の条件は、公知の条件を用いることができる。これにより、凸部形成部材１１は、グリーンシート１０に密着される。
【００４６】
次に、図１０に示すように、原版１を開放する。これにより、凸部形成部材１１を、原版１からグリーンシート１０に転写することができる。すなわち、グリーンシート１０上には、凸部形成部材１１からなる凸部が形成され、凸部形成部材１１の間の領域には、凹部１２が形成されることになる。以上の工程により、高い精度で、グリーンシート１０に凹部１２を形成してもよい。
【００４７】
なお、図示はしないが、上記のようなマイクロコンタクトプリント法によって、凹部１２内に電極１４を形成してもよい。これにより、高い精度で、電極１４を形成することができる。
【００４８】
（２）また、レーザー照射によって、グリーンシート１０に凹部１２を形成してもよい。レーザーの波長としては、赤外から紫外のものを用いることができる。例えば、グリーンシート１０にコンタクトホール（図示せず）を形成する場合は、凹部１２の形成と一括で形成することができる。
【００４９】
（３）また、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって、グリーンシート１０に凹部１２を形成してもよい。フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術は、例えば、公知の方法により行われることができる。
【００５０】
３．  液体噴射ヘッド
次に、本実施形態に係る液体噴射ヘッド２００について、図面を参照しながら説明する。図１１は、液体噴射ヘッド２００を模式的に示す断面図である。
【００５１】
液体噴射ヘッド２００は、本発明に係る圧電素子の製造方法による圧電素子を有することができる。以下の例では、本発明に係る圧電素子の製造方法による圧電素子として、圧電素子１００を有する液体噴射ヘッド２００について説明する。
【００５２】
液体噴射ヘッド２００は、図１１に示すように、ノズル孔２１２を有するノズル板２１０と、圧力室２２２を形成するための圧力室基板２２０と、圧電素子１００の動作によって変形する振動板２３０と、圧電素子１００と、を含む。
【００５３】
ノズル板２１０は、ノズル孔２１２を有する。ノズル孔２１２からは、インクが吐出されることができる。ノズル板２１０の材質としては、例えば、ニッケル、銅、シリコン、ステンレス鋼（ＳＵＳ）などを列挙することができる。
【００５４】
圧力室基板２２０は、ノズル板２１０上に設けられている。圧力室基板２２０の材質としては、例えば、ニッケル、銅、シリコンなどを列挙することができる。圧力室基板２２０がノズル板２１０と振動板２３０との間の空間を区画することにより、リザーバー（液体貯留部）２２４と、リザーバー２２４と連通する供給路２２６と、供給路２２６と連通する圧力室２２２と、が設けられている。すなわち、リザーバー２２４、供給路２２６および圧力室２２２は、ノズル板２１０と圧力室基板２２０と振動板２３０とによって区画されている。リザーバー２２４には、貫通孔（図示せず）が形成されており、該貫通孔を通じて外部（例えばインクカートリッジ）から供給されるインクを一時貯留することができる。リザーバー２２４内のインクは、供給路２２６を介して、圧力室２２２に供給されることができる。圧力室２２２は、振動板２３０の変形により容積が変化する。圧力室２２２はノズル孔２１２と連通しており、圧力室２２２の容積変化によって、ノズル孔２１２からインクが吐出される。
【００５５】
振動板２３０は、圧力室基板２２０上に形成されている。振動板２３０の材質としては、圧電素子１００によって変形できれば特に限定されず、例えば、プラスチック、金属などを列挙することができる。より具体的には、振動板２３０としては、例えば、ニッケルなどの金属膜、ポリイミドなどの高分子材料膜、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）や酸化シリコン（ＳｉＯ２）などを用いることができる。振動板２３０は、圧電素子１００の動作によって変形（振動）することができる。振動板２３０は、高弾性領域２３２を有することができる。高弾性領域２３２を有することにより、圧電素子１００の変形による圧力を振動板２３０に効率的に伝達することができる。
【００５６】
圧電素子１００は、振動板２３０上に形成されている。圧電素子１００は、図示はしないが、接着剤などを介して、振動板２３０上に形成されていてもよい。圧電素子１００は、与えられる電気信号に従って、振動板２３０を上下方向に変形（振動）させることができる。圧電素子１００は、複数の電極と複数の圧電体が交互に積層された構造を有する。圧電素子１００の電極の延びる方向は、振動板２３０の振動方向に対して垂直（縦モード）である。圧電素子１００の上部は、固定基板（図示せず）に固定されている。圧電素子１００の電極１４に電源を供給するための外部電極は、例えばケーブル（図示せず）によって、外部駆動回路（図示せず）と接続されている。圧電素子１００の詳細は、上述されているため省略する。
【００５７】
なお、圧電素子１００と振動板２３０とを、圧電アクチュエーターとすることができる。
【００５８】
液体噴射ヘッド２００によれば、圧電素子１００を有することができる。圧電素子１００は、上述のとおり、高い信頼性を有することができる。そのため、信頼性の高い液体噴射ヘッド２００を得ることができる。
【００５９】
なお、上述した例では、液体噴射ヘッド２００がインクジェット式記録ヘッドである場合について説明した。しかしながら、本発明に係る液体噴射ヘッドは、例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドなどとして用いられることもできる。
【００６０】
４．  液体噴射装置
次に、本実施形態に係る液体噴射装置について、図面を参照しながら説明する。図１２は、本実施形態に係る液体噴射装置３００を模式的に示す斜視図である。液体噴射装置３００は、本発明に係る液体噴射ヘッドを有する。以下では、液体噴射装置３００がインクジェットプリンターである場合について説明する。
【００６１】
液体噴射装置３００は、図１２に示すように、ヘッドユニット３３０と、駆動部３１０と、制御部３６０と、を含む。さらに、液体噴射装置３００は、装置本体３２０と、給紙部３５０と、記録用紙Ｐを設置するトレイ３２１と、記録用紙Ｐを排出する排出口３２２と、装置本体３２０の上面に配置された操作パネル３７０と、を含むことができる。
【００６２】
ヘッドユニット３３０は、例えば、上述した液体噴射ヘッド２００から構成されるインクジェット式記録ヘッド（以下単に「ヘッド」ともいう）を有する。ヘッドユニット３３０は、さらに、ヘッドにインクを供給するインクカートリッジ３３１と、ヘッドおよびインクカートリッジ３３１を搭載した運搬部（キャリッジ）３３２と、を備える。
【００６３】
駆動部３１０は、ヘッドユニット３３０を往復動させることができる。駆動部３１０は、ヘッドユニット３３０の駆動源となるキャリッジモーター３４１と、キャリッジモーター３４１の回転を受けて、ヘッドユニット３３０を往復動させる往復動機構３４２と、を有する。
【００６４】
往復動機構３４２は、その両端がフレーム（図示せず）に支持されたキャリッジガイド軸３４４と、キャリッジガイド軸３４４と平行に延在するタイミングベルト３４３と、を備える。キャリッジガイド軸３４４は、キャリッジ３３２が自在に往復動できるようにしながら、キャリッジ３３２を支持している。さらに、キャリッジ３３２は、タイミングベルト３４３の一部に固定されている。キャリッジモーター３４１の作動により、タイミングベルト３４３を走行させると、キャリッジガイド軸３４４に導かれて、ヘッドユニット３３０が往復動する。この往復動の際に、ヘッドから適宜インクが吐出され、記録用紙Ｐへの印刷が行われる。
【００６５】
制御部３６０は、ヘッドユニット３３０、駆動部３１０および給紙部３５０を制御することができる。
【００６６】
給紙部３５０は、記録用紙Ｐをトレイ３２１からヘッドユニット３３０側へ送り込むことができる。給紙部３５０は、その駆動源となる給紙モーター３５１と、給紙モーター３５１の作動により回転する給紙ローラー３５２と、を備える。給紙ローラー３５２は、記録用紙Ｐの送り経路を挟んで上下に対向する従動ローラー３５２ａおよび駆動ローラー３５２ｂを備える。駆動ローラー３５２ｂは、給紙モーター３５１に連結されている。制御部３６０によって供紙部３５０が駆動されると、記録用紙Ｐは、ヘッドユニット３３０の下方を通過するように送られる。
【００６７】
ヘッドユニット３３０、駆動部３１０、制御部３６０および給紙部３５０は、装置本体３２０の内部に設けられている。
【００６８】
液体噴射装置３００によれば、上述のとおり信頼性の高い液体噴射ヘッド２００を有することができる。これにより、信頼性の高い液体噴射装置３００を得ることができる。
【００６９】
なお、上述した例では、液体噴射装置３００がインクジェットプリンターである場合について説明したが、本発明に係る液体噴射装置は、工業的な液体吐出装置として用いられることもできる。この場合に吐出される液体（液状材料）としては、各種の機能性材料を溶媒や分散媒によって適当な粘度に調整したものなどを用いることができる。
【００７０】
なお、上述した実施形態および変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば、各実施形態および各変形例を適宜組み合わせることも可能である。
【００７１】
上記のように、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できよう。従って、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。
【符号の説明】
【００７２】
１  原版、３  凸部、５  載置台、７  ダイシングライン、１０  グリーンシート、
１０ａ  セラミックスシート、１１  凸部形成部材、１２  凹部、１４  電極、
２０  グリーンシート積層体、２０ａ  セラミックスシート積層体、１００  圧電素子、
２００  液体噴射ヘッド、２１０  ノズル板、２１２  ノズル孔、２２０  圧力室基板、
２２２  圧力室、２２４  リザーバー、２２６  供給路、２３０  振動板、
２３２  高弾性領域、３００  液体噴射装置、３１０  駆動部、３２０  装置本体、
３２１  トレイ、３２２  排出口、３３０  ヘッドユニット、
３３１  インクカートリッジ、３３２  キャリッジ、３４１  キャリッジモーター、
３４２  往復動機構、３４３  タイミングベルト、３４４  キャリッジガイド軸、
３５０  給紙部、３５１  給紙モーター、３５２  給紙ローラー、
３５２ａ  従動ローラー、３５２ｂ  駆動ローラー、３６０  制御部、
３７０  操作パネル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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