(57)【要約】【課題】従来の静圧軸受よりも構造が簡略化でき、高い静剛性を広い荷重範囲で実現できる静圧軸受および圧力制御ユニットの提供。【解決手段】軸受面１Ａを有する軸受本体１と、軸受本体１の軸受面１Ａに圧力油を吐出する吐出流路３と、軸受本体１の内部に形成され、吐出流路３に圧力油を供給する圧力油供給室２と、圧力油供給室２内部に収容され、吐出流路３に供給される圧力油の流量を制御する弾性ヒンジ機構１０と、圧力油供給室２に圧力油を供給する給油流路４と、を備え、弾性ヒンジ機構１０は、絞り板１１と、絞り板１１を案内する保持板１２およびリンク板１３と、絞り板１１を付勢して所定の位置に保持する弾性ヒンジ１４と、を備える静圧軸受および圧力制御ユニット。【選択図】図１
2011043232.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
負荷軸の端面または側面を承ける軸受面を有する軸受本体と、
前記軸受本体の軸受面から前記負荷軸の端面または側面に流体を吐出する流体吐出流路と、
前記流体吐出流路に流体を供給する流体供給室と、
前記流体供給室に流体を供給する流体供給流路と、
前記流体供給室に収容され、前記流体吐出流路から吐出される流体の流量を制御する可変絞り機構と、
を備え、
前記可変絞り機構は、
前記流体供給室における流体の流れに交差するように配設された絞り板と、
前記絞り板を、前記流体吐出流路の入口に近接する方向および離間する方向に案内する絞り板案内手段と、
前記絞り板を付勢して所定の位置に保持する付勢手段と、
を備える静圧軸受。
【請求項２】
前記絞り板案内手段は、
前記絞り板の両端縁に設けられた一対のリンク板と、
前記リンク板における前記絞り板が設けられた側とは反対側の端縁に設けられ、前記流体供給室内の所定位置に保持される保持板と、
を備え、
前記付勢手段は、前記保持板と前記リンク板と前記絞り板とを連結する弾性ヒンジである請求項１に記載の静圧軸受。
【請求項３】
前記絞り板と前記リンク板と前記保持板と前記弾性ヒンジとは一体に形成されている請求項２に記載の静圧軸受。
【請求項４】
前記絞り板を前記流体吐出流路の入口に近接または離間する方向に移動させるアクチュエータを備える請求項１〜３の何れか１項に記載の静圧軸受。
【請求項５】
前記軸受本体の軸受面において荷重軸の端面を支持するスラスト軸受である請求項１〜４の何れか１項に記載の静圧軸受。
【請求項６】
前記軸受本体の軸受面において荷重軸の側面を支持するジャーナル軸受である請求項１〜４の何れか１項に記載の静圧軸受。
【請求項７】
負荷軸の端面または側面を承ける軸受面を有する軸受本体と、前記軸受本体の軸受面から前記負荷軸の端面または側面に流体を吐出する流体吐出流路と、を有する静圧軸受に供給される流体の圧力を制御する圧力制御ユニットであって、
前記流体供給流路に流体を供給する流体供給室と、
前記流体供給室に収容され、前記流体吐出流路に供給される流体の流量を制御する可変絞り機構と、
前記流体供給室に流体を供給する流体供給流路と、
を備え、
前記可変絞り機構は、
前記流体供給室における流体の流れに交差するように配設された絞り板と、
前記絞り板を、前記流体吐出流路の入口に近接する方向および離間する方向に案内する絞り板案内手段と、
前記絞り板を付勢して所定の位置に保持する付勢手段と、
を備える圧力制御ユニット。
【請求項８】
前記絞り板案内手段は、
前記絞り板の両端縁に設けられた一対のリンク板と、
前記リンク板における前記絞り板が設けられた側とは反対側の端縁に設けられ、前記流体供給室内の所定位置に保持される保持板と、
を備え、
前記付勢手段は、前記保持板と前記リンク板と前記絞り板とを連結する弾性ヒンジである請求項７に記載の圧力制御ユニット。
【請求項９】
前記絞り板と前記リンク板と前記リンク板と前記保持板と前記弾性ヒンジとは一体に形成されている請求項８に記載の圧力制御ユニット。
【請求項１０】
前記絞り板を前記流体供給口に近接または離間する方向に移動させるアクチュエータを備える請求項７〜９の何れか１項に記載の圧力制御ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静圧軸受および圧力制御ユニットにかかり、特に、従来よりも構造が簡略化でき、高い静剛性を広い荷重範囲で実現できる静圧軸受および圧力制御ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、工作機械等においてナノメータオーダでの加工精度が要求されるようになり、逸れに伴って極めて高い位置決め精度が要求されるようになってきた。
【０００３】
そのため、工作機械の主要な構成要素である軸受や案内面に高い剛性が要求されるようになってきた。
【０００４】
軸受において高い剛性を達成する手段として、軸受における軸受面に空気や潤滑油などの流体を高圧で供給する静圧軸受があるが、静圧軸受としては、軸受面と軸との距離に応じて流体の軸受面に供給される流体の流量を制御して軸受面と軸との距離を一定に保つ可変絞り機構を内部に設けたものが種々使用されている。
【０００５】
このような静圧軸受としては、たとえば、流体を供給するための流体供給口、前記流体供給口から供給された流体の流量を絞って内部に流入させる第１の固定絞り、及び流入した流体を排出するための流体排出口を備え、負荷軸に対して間隔を隔てて配置される軸受本体と、前記軸受本体内部に移動可能に収納され、かつ前記軸受本体内部を負荷軸側の第１の部屋と、前記第１の固定絞り及び前記流体排出口に連通された第２の部屋とに区画すると共に、第１の部屋と第２の部屋とを連通して第１の部屋から第２の部屋に流入する流体及び第２の部屋から第１の部屋に流入する流体の少なくとも一方の流量を絞る第２の固定絞り、及び一端が第２の部屋に開口しかつ他端が前記軸受本体の内壁との対向部に開口して前記軸受本体の内壁方向への流体の流量を絞る第３の固定絞りが形成された可動物体と、を備えた可変絞り形静圧軸受がある（特許文献１）。
【０００６】
他には、軸受面に流体を供給する複数の貫通孔が軸受面の抽伸から所定距離の円周上に配置された軸受本体と、この軸受本体の軸受面とは反対側の平面との間に絞り隙間を形成して配置された可変絞り機構とを有する静圧軸受装置において、前記可変絞り機構は前記軸受本体の軸受面とは反対側の平面に対向し、周辺が流体シーリングを兼ねたダンピング材により保持され、可変絞り隙間に流体を供給する貫通孔が中心に設けられた絞り円板と、この絞り円板を弾性ヒンジを介して支持する支持部材とを備えて構成され、前記絞り隙間における流体の流れの中心から外側への拡がり流れとして前記絞り円板の角度変位に復元力が与えられるようにした静圧軸受装置がある（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−２８６０３７号公報
【特許文献２】特開平１１−２８４５４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、これらの静圧軸受は、何れも構造が複雑に過ぎ、作製が困難であるという問題がある。
【０００９】
本発明は、従来の静圧軸受よりも構造が簡略化でき、高い静剛性を広い荷重範囲で実現できる静圧軸受および圧力制御ユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の発明は、負荷軸の端面または側面を承ける軸受面を有する軸受本体と、前記軸受本体の軸受面から前記負荷軸の端面または側面に流体を吐出する流体吐出流路と、前記流体吐出流路に流体を供給する流体供給室と、前記流体供給室に流体を供給する流体供給流路と、前記流体供給室に収容され、前記流体吐出流路から吐出される流体の流量を制御する可変絞り機構と、を備え、前記可変絞り機構が、前記流体供給室における流体の流れに交差するように配設された絞り板と、前記絞り板を、前記流体吐出流路の入口に近接する方向および離間する方向に案内する絞り板案内手段と、前記絞り板を付勢して所定の位置に保持する付勢手段と、を備える静圧軸受に関する。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の静圧軸受において、前記絞り板案内手段が、前記絞り板の両端縁に設けられた一対のリンク板と、前記リンク板における前記絞り板が設けられた側とは反対側の端縁に設けられ、前記流体供給室内の所定位置に保持される保持板と、を備え、前記付勢手段は、前記保持板と前記リンク板と前記絞り板とを連結する弾性ヒンジであるものに関する。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の静圧軸受において、前記絞り板と前記リンク板と前記保持板と前記弾性ヒンジとが一体に形成されているものに関する。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３の何れか１項に記載の静圧軸受において、前記絞り板を前記流体吐出流路の入口に近接または離間する方向に移動させるアクチュエータを備えるものに関する。
【００１４】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４の何れか１項に記載の静圧軸受において、前記軸受本体の軸受面において荷重軸の端面を支持するスラスト軸受であるものに関する。
【００１５】
請求項６に記載の発明は、請求項１〜４の何れか１項に記載の静圧軸受において、前記軸受本体の軸受面において荷重軸の側面を支持するジャーナル軸受であるものに関する。
【００１６】
請求項７に記載の発明は、負荷軸の端面または側面を承ける軸受面を有する軸受本体と、前記軸受本体の軸受面から前記負荷軸の端面または側面に流体を吐出する流体吐出流路と、を有する静圧軸受に供給される流体の圧力を制御する圧力制御ユニットであって、前記流体供給流路に流体を供給する流体供給室と、前記流体供給室に収容され、前記流体吐出流路に供給される流体の流量を制御する可変絞り機構と、前記流体供給室に流体を供給する流体供給流路と、を備え、前記可変絞り機構が、前記流体供給室における流体の流れに交差するように配設された絞り板と、前記絞り板を、前記流体吐出流路の入口に近接する方向および離間する方向に案内する絞り板案内手段と、前記絞り板を付勢して所定の位置に保持する付勢手段と、を備える圧力制御ユニットに関する。
【００１７】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の圧力制御ユニットにおいて、前記絞り板案内手段が、前記絞り板の両端縁に設けられた一対のリンク板と、前記リンク板における前記絞り板が設けられた側とは反対側の端縁に設けられ、前記流体供給室内の所定位置に保持される保持板とを備え、前記付勢手段が、前記保持板と前記リンク板と前記絞り板とを連結する弾性ヒンジであるものに関する。
【００１８】
請求項９に記載の発明は、請求項８に記載の圧力制御ユニットにおいて、前記絞り板と前記リンク板と前記保持板と前記弾性ヒンジとが一体に形成されているものに関する。
【００１９】
請求項１０に記載の発明は、請求項７〜９の何れか１項に記載の圧力制御ユニットにおいて、前記絞り板を前記流体吐出口の入口に近接または離間する方向に移動させるアクチュエータを備えるものに関する。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１に記載の発明によれば、従来の静圧軸受よりも構造が簡略化でき、高い静剛性を広い荷重範囲で実現できる静圧軸受が提供される。
【００２１】
請求項２に記載の発明によれば、付勢手段を絞り板案内手段と一体化できる故に、付勢手段と絞り板案内手段とが一体化されていない静圧軸受と比較して更に構造が簡略化された静圧軸受が提供される。
【００２２】
請求項３に記載の発明によれば、前記絞り板と前記リンク板と前記保持板と前記弾性ヒンジとが一体に形成されて可変絞り機構を形成しているから、夫々別体として形成された前記絞り板と前記リンク板と前記保持板と前記弾性ヒンジとから組み立てられた可変絞り機構を有する静圧軸受と比較して更に構造が簡略化された静圧軸受が提供される。
【００２３】
請求項４に記載の発明によれば、アクチュエータを有していない静圧軸受と比較して更に静剛性の高い静圧軸受が提供される。
【００２４】
請求項５に記載の発明によれば、従来のスラスト軸受よりも高い静剛性を広い荷重範囲で実現できる静圧軸受が提供されるスラスト軸受が提供される。
【００２５】
請求項６に記載の発明によれば、従来のジャーナル軸受よりも高い静剛性を広い荷重範囲で実現できる静圧軸受が提供されるジャーナル軸受が提供される。
【００２６】
請求項７に記載の発明によれば、静圧軸受に接続することにより、従来の静圧軸受よりも構造が簡略化でき、高い静剛性を広い荷重範囲で実現できる圧力制御ユニットが提供される。
【００２７】
請求項８に記載の発明によれば、付勢手段を絞り板案内手段と一体化できる故に、付勢手段と絞り板案内手段とが一体化されていない圧力制御ユニットと比較して更に構造が簡略化された圧力制御ユニットが提供される。
【００２８】
請求項９に記載の発明によれば、前記絞り板と前記リンク板と前記保持板と前記弾性ヒンジとが一体に形成されて可変絞り機構を形成しているから、夫々別体として形成された前記絞り板と前記リンク板と前記保持板と前記弾性ヒンジとから組み立てられた可変絞り機構を有する圧力制御ユニットと比較して更に構造が簡略化された圧力制御ユニットが提供される。
【００２９】
請求項１０に記載の発明によれば、アクチュエータを有していない圧力制御ユニットと異なり、軸受本体の軸受面と負荷軸の端面または側面との間隔を変化させることができる圧力制御ユニットが提供される。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】図１は、実施形態１に係るスラスト軸受の軸線を通る平面で前記スラスト軸受を切断した断面を示す断面図である。
【図２】図２は、実施形態１に係るスラスト軸受の軸線に直交する平面で前記スラスト軸受を切断した断面を示す断面図である。
【図３】図３は、実施形態１に係るスラスト軸受においてスラスト軸の端面と軸受面との距離が縮小したときの前記スラスト軸受の作用を示す説明図である。
【図４】図４は、実施形態１に係るスラスト軸受においてスラスト軸の端面と軸受面との距離が拡大したときの前記スラスト軸受の作用を示す説明図である。
【図５】図５は、実施形態２に係るスラスト軸受の軸線を通る平面で前記スラスト軸受を切断した断面を示す断面図である。
【図６】図６は、実施形態３に係るスラスト軸受の軸線を通る平面で前記スラスト軸受を切断した断面を示す断面図である。
【図７】図７は、実施形態４に係るジャーナル軸受の軸線を通る平面で前記ジャーナル軸受を切断した断面を示す断面図である。
【図８】図８は、実施形態５に係る圧力制御ユニットの軸線を通る平面で前記圧力制御ユニットを切断した断面を示す断面図である。
【図９】図９は、実施形態６に係る圧力制御ユニットの軸線を通る平面で前記圧力制御ユニットを切断した断面を示す断面図である。
【図１０】図１０は、実施形態１〜６で使用される弾性ヒンジ機構の全体的な構成を示す概略図である。
【図１１】図１１は、実施形態６に係る圧力制御ユニットを有するスラスト軸受において給油圧力を変化させたときのスラスト軸に加わるスラスト荷重と軸受隙間との関係を示すグラフである。
【図１２】図１２は、実施形態６に係る圧力制御ユニットを有するスラスト軸受において給油圧力を０．６８６ＭＰａに設定したときのスラスト軸に加わるスラスト荷重と軸受隙間との関係を示すグラフである。
【図１３】図１３は、実施形態６に係る圧力制御ユニットを有するスラスト軸受において軸受隙間の大きさを１２５ｎｍのステップで変化させたときの軸受隙間の時間変化を示すグラフである。
【図１４】図１４は、実施形態６に係る圧力制御ユニットを有するスラスト軸受において軸受隙間の大きさを１２．５ｎｍのステップで変化させたときの軸受隙間の時間変化を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
１．実施形態１
【００３２】
以下、本発明の静圧軸受の一例であるスラスト軸受について説明する。
実施形態１に係るスラスト軸受１００は、図１に示すように、全体として短円柱状に形成された軸受本体１を備える。軸受本体１の上面には、本発明における負荷軸の一例に相当するスラスト軸１５０の一方の端面１５０Ａを承ける円形状の凹陥面である軸受面１Ａが形成されている。
【００３３】
軸受本体１の内部には、弾性ヒンジを用いた弾性ヒンジ機構１０が内部に収容される圧力油供給室２が形成されている。弾性ヒンジ機構１０は、本発明における可変絞り機構の一例である。
【００３４】
圧力油供給室２は、全体として円筒状の壁面を有する空洞であり、側壁に段差２Ａが形成されている。圧力油供給室２における段差２Ａよりも上の部分は下の部分よりも大きな内径を有している。段差２Ａよりも上の部分と下の部分とは同心に配置されている。圧力油供給室２は本発明における流体供給室の一例に相当する。
【００３５】
圧力油供給室２は、天井部において吐出流路３によって軸受面１Ａと連通している。圧力油供給室２の底部には、本発明の流体の一例である圧力油を圧力油供給室２に供給する給油流路４が設けられている。吐出流路３の入口３Ａは圧力油供給室２の天井面に開口している。吐出流路３および給油流路４は、夫々本発明の流体吐出流路および流体供給流路の一例に相当する。
【００３６】
弾性ヒンジ機構１０は、図１、図２、および図１０に示すように、圧力油供給室２における圧力油の流れに交差するように、言い換えれば入口３Ａに相対するように設けられた絞り板１１と、段差２Ａによって下方から保持される保持板１２と、絞り板１１と保持板１２との間に位置するリンク板１３とを備える。リンク板１３は、絞り板１１の両端縁に設けられ、保持板１２は、リンク板１３の絞り板１１が設けられた側とは反対側の端縁に設けられている。絞り板１１、リンク板１３、および保持板１２は夫々弾性ヒンジ１４によって連結されている。
【００３７】
図１０に示すように、アルミニウム合金、普通鋼、高張力鋼、ステンレス鋼、黄銅、青銅などの各種金属材料から形成された板状部材１６の両面に例えば５本の溝１５を形成することにより、弾性ヒンジ機構１０における絞り板１１、リンク板１３、保持板１２、および弾性ヒンジ１４が形成される。ここで、板状部材１６における溝１５が形成された部分は、それ以外の部分よりも厚さが薄く、弾性ヒンジ１４とされている。そして、絞り板１１、リンク板１３、および保持板１２は溝１５によって互いに区分されている。
【００３８】
溝１５の断面形状としては、図１０（Ａ）に示すようなＵ字型、図１０（Ｂ）に示す矩形状、および図１０（Ｄ）に示す底部に向かって縮小する台形状などがあるが、図１０（Ｃ）に示すように矩形状であって角部を丸めた断面形状も好ましい。
【００３９】
弾性ヒンジ機構１０は、図１に示すように、保持板１２を圧力油供給室２における段差２に載置した状体、言い換えれば初期状態においては、絞り板１１、リンク板１３、保持板１２、および弾性ヒンジ１４は同一平面上にあり、絞り板１１と入口３Ａとの間隔である流量調節隙間ｈ１の大きさはある所定の値に設定されている。
【００４０】
弾性ヒンジ機構１０に厚さ方向の応力が加わると、厚さのより厚い部分である絞り板１１、リンク板１３、および保持板１２の部分では殆ど変形せず、図３および図４において実線で示すように、より厚さの薄い部分である弾性ヒンジ１４の部分において弾性変形する。
【００４１】
そして、弾性ヒンジ機構１０から厚さ方向の応力が除去されると、弾性ヒンジ１４における弾性変形も解除され、図３および図４において二点鎖線で示すように初期状態に戻る。
【００４２】
以下、スラスト軸受１００の作用について説明する。
【００４３】
図１に示すように、スラスト軸受１００において、給油流路４から圧力油供給室２に圧力油を所定の給油圧力Ｐｓで供給すると、供給された圧力油は、圧力油供給室２と弾性ヒンジ機構１０の側縁との隙間、および流量調節隙間ｈ１を通って入口３Ａから吐出流路３に流入し、軸受面１Ａに圧力Ｐｐで吐出される。以下、圧力Ｐｐを「軸受面内圧力Ｐｐ」という。そして、軸受隙間ｈ２を通って軸受本体１の外周からスラスト軸受１００外に排出される。ここで、軸受隙間ｈ２は、軸受面１Ａとスラスト軸１５０の端面１５０Ａとの間の隙間である。
【００４４】
図１の状態においては、給油圧力Ｐｓと軸受面内圧力Ｐｐと弾性ヒンジ機構１０の弾性回復力とは均衡している。したがって、弾性ヒンジ機構１０は上方に少し湾曲した形状であり、軸受隙間ｈ２の大きさは、給油圧力Ｐｓ即ち軸受面内圧力Ｐｐとスラスト軸１５０の端面１５０Ａの面積と弾性ヒンジ機構１０の弾性回復力とによって定まる一定の値となる。
【００４５】
ここで、図３に示すように、スラスト軸１５０に加わる荷重が増大し、軸受隙間ｈ２の大きさが図１の状態から減少すると、軸受面内圧力Ｐｐが増大し、給油圧力Ｐｓよりも大きくなるから、弾性ヒンジ機構１０の上側の圧力が増大する。したがって弾性ヒンジ機構１０が弾性ヒンジ１４において弾性変形し、二点鎖線で示す位置から実線で示す位置に下方に移動する。これにより、絞り板１１が下方、即ち入口３Ａから離間する方向に移動して流量調節隙間ｈ１が増大する。したがって、軸受隙間ｈ２に流入する圧力油の流量も増大するから、軸受面内圧力Ｐｐも増大し、スラスト軸１５０は上方に移動する。
【００４６】
一方、図４に示すように、スラスト軸１５０に加わる荷重が減少し、軸受隙間ｈ２の大きさが図１の状態から増大すると、軸受面内圧力Ｐｐが減少し、給油圧力Ｐｓよりも小さくなるから、弾性ヒンジ機構１０の上側の圧力が減少する。したがって弾性ヒンジ機構１０が弾性ヒンジ１４において弾性変形し、二点鎖線で示す位置から実線で示す位置に上方に移動する。これにより、絞り板１１が上方、即ち入口３Ａに近接する方向に移動して流量調節隙間ｈ１が減少する。したがって、軸受隙間ｈ２に流入する圧力油の流量も減少するから、軸受面内圧力Ｐｐも減少し、スラスト軸１５０は下方に移動する。
【００４７】
このように、スラスト軸受１００においては、弾性ヒンジ機構１０が備える弾性ヒンジ１４の弾性回復力と、弾性ヒンジ機構１０の両面における給油圧力Ｐｓと軸受面内圧力Ｐｐとの釣り合いとを利用することにより、スラスト軸１５０に加わる負荷が変動したときの軸受隙間ｈ２の大きさの変化を小さく抑え、言い換えれば高い剛性を得ている。
【００４８】
また、弾性ヒンジ機構１０においては、板状部材１６の両面に５本の溝１５を形成することにより、板状部材１６を絞り板１１、リンク板１３、および保持板１２に区分するとともに、板状部材１６における溝１５が形成された部分を弾性ヒンジ１４として機能させているから、絞り板１１、リンク板１３、保持板１２、および弾性ヒンジ１４を別の部材として形成し、これらを組み合わせて弾性ヒンジ機構１０とする場合と比較して弾性ヒンジ機構１０の構成を大幅に簡略化できる。
【００４９】
更に、給油流路４から供給された圧力油は、吐出流路３から軸受面１Ａに吐出され、軸受隙間ｈ２を軸受本体１の外周に向かって流れ、軸受本体１の外周からスラスト軸受１００外に排出される。したがって、圧力油供給室２に流入した圧力油を排出する流体排出口を軸受本体１に設けたスラスト軸受と比較して圧力油の循環量が少なくて済むから、圧力油を循環させるためのポンプも容量が小さなものでよい。
【００５０】
２．実施形態２
以下、本発明の静圧軸受に包含されるスラスト軸受の別の例について図５を用いて説明する。図５において、図１〜図４と同一の符号は、これらの符号が図１〜図４において示すのと同一の構成要素を示す。
【００５１】
図５に示すように、実施形態２に係るスラスト軸受１０２においては、弾性ヒンジ機構１０の下面と圧力油供給室２の底面との間に本発明のアクチュエータの一例に相当するボイスコイル機構２０が設けられている。
【００５２】
ボイスコイル機構２０は、弾性ヒンジ機構１０における絞り板１１の下面、即ち入口３Ａに相対する側とは反対側の面に設けられた２個の円筒状磁石２１と、圧力油供給室２の底面に固定された円筒状のボイスコイル２３とを備えている。
【００５３】
２個の円筒状磁石２１のうち、上方に位置する１個が絞り板１１の下面に固定されている。上下２個の円筒状磁石２１は同極同士が相対するように非磁性材料からなる円環状のスペーサ２２を挟んで固定されている。これにより、夫々の円筒状磁石２１からの磁力線は互いに反発し合い、スペーサ２２から外側に向かう磁力線を形成する。一方、ボイスコイル２３は、圧力油供給室２の底面に、円筒状磁石２１が挿入されるように固定されている。したがって、ボイスコイル２３に流す電流の方向に応じて円筒状磁石２１には上方または下方に向かう力が生じる。
【００５４】
軸受本体１の軸受面１Ａの近傍には、軸受隙間ｈ２の大きさを検出するセンサ５０と、センサ５０における検出結果に基いてボイスコイル２３に流す電流の強さをフィードバック制御する制御部５１とを備える。
【００５５】
以上の点を除いて、スラスト軸受１０２は実施形態１に係るスラスト軸受と同一の構成を有する。
【００５６】
以下、スラスト軸受１０２の作用について説明する。
【００５７】
上述のように、夫々の円筒状磁石２１からの磁力線は互いに反発し合い、スペーサ２２から外側に向かう磁力線を形成するから、ボイスコイル２３に直流電流を通じると、電流の方向によって円筒状磁石２１に上方または下方に向かう力が生じる。
【００５８】
絞り板１１は上方または下方に移動すると流量調節隙間ｈ１の大きさは減少または増大する。ここで、流量調節隙間ｈ１の大きさが減少すると、吐出流路３に供給される圧力油の流量も減少し、流量調節隙間ｈ１の大きさが増大すると、吐出流路３に供給される圧力油の流量も増大する。
【００５９】
ここで、吐出流路３から軸受面１Ａに吐出される圧力油の流量が減少すると軸受隙間ｈ２の大きさは減少し、前記圧力油の流量が増大すると軸受隙間ｈ２の大きさは増大する。したがって、絞り板１１が上方に移動して流量調節隙間ｈ１の大きさが減少すると軸受隙間ｈ２の大きさは減少し、反対に絞り板１１が下方に移動して流量調節隙間ｈ１の大きさが増大すると軸受隙間ｈ２の大きさも増大する。
【００６０】
このように、スラスト軸受１０２においては、ボイスコイル２３に流す電流の大きさを制御することにより、軸受隙間ｈ２の大きさも制御することができる。また、センサ５０で軸受隙間ｈ２の大きさを検出し、制御部５１において、センサ５０の検出結果に基いてボイスコイル２３に流す電流をフィードバック制御することにより、ボイスコイル機構２０がないスラスト軸受と比較して軸受隙間ｈ２の大きさをより高精度で制御できる。したがって、広い荷重範囲において軸受隙間ｈ２の大きさを一定とすることができるから、より高い静剛性を達成できる。
【００６１】
なお、アクチュエータは、実施形態２におけるボイスコイル機構２０には限定されず、圧電素子を用いたアクチュエータなど、各種のアクチュエータを使用できる。
【００６２】
３．実施形態３
以下、本発明の静圧軸受に包含されるスラスト軸受の更に別の例について図６を用いて説明する。図６において、図１〜図４と同一の符号は、これらの符号が図１〜図４において示すのと同一の構成要素を示す。
【００６３】
実施形態３に係るスラスト軸受１０４は、図６に示すように、全体として短円柱状に形成された軸受本体１を備える。軸受本体１の上面には、スラスト軸１５０の一方の端面１５０Ａを承ける円形状の凹陥面である軸受面１Ａが形成されている。
【００６４】
軸受本体１の内部には、可変絞り機構３０が内部に収容される圧力油供給室２が形成されている。
【００６５】
圧力油供給室２は、全体として円柱状に形成された空洞であり、一定の内径を有している。そして、天井部において吐出流路３によって軸受面１Ａと連通している。圧力油供給室２の底部には、給油流路４が設けられている。そして、吐出流路３は圧力油供給室２の壁面において開口して入口３Ａとされている。
【００６６】
可変絞り機構３０は、入口３Ａに相対するように配設された絞り板３１と、絞り板３１を入口３Ａに近接する方向および離間する方向に案内するガイドレール３２と、絞り板３１の上面と圧力油供給室２の天井面との間に挿入されたバネ手段３３と、絞り板３１の下面と圧力油供給室２の底面との間に挿入されたバネ手段３４とを備える。バネ手段３３、３４としては、コイルバネ、板バネ、皿状バネなどの種々のバネが使用される。
【００６７】
以下、スラスト軸受１０４の作用について説明する。
【００６８】
スラスト軸受１０４において、給油流路４から圧力油供給室２に圧力油を所定の給油圧力Ｐｓで供給すると、供給された圧力油は、圧力油供給室２と絞り板３１との隙間、および流量調節隙間ｈ１を通って入口３Ａから吐出流路３に流入し、軸受面１Ａに軸受面内圧力Ｐｐで吐出される。そして、軸受隙間ｈ２を通って軸受本体１の外周からスラスト軸受１０４外に排出される。
【００６９】
図６の状体においては、給油圧力Ｐｓと軸受面内圧力Ｐｐとは均衡しているから、絞り板３１の上面と下面との圧力も釣り合っている。したがって、絞り板３１は図６の位置に静止しており、軸受隙間ｈ２の大きさは、給油圧力Ｐｓ即ち軸受面内圧力Ｐｐと、スラスト軸１５０の端面１５０Ａの面積と、バネ手段３３およびバネ手段３４の付勢力の差とによって定まる一定の値となる。
【００７０】
ここで、スラスト軸１５０に加わる荷重が増大し、軸受隙間ｈ２の大きさが図６の状態から減少すると、軸受面内圧力Ｐｐが増大し、給油圧力Ｐｓよりも大きくなるから、絞り板３１の上側の圧力が増大する。したがって絞り板３１はバネ手段３４からの付勢力に抗して下方に移動し、言い換えれば入口３Ａから離間する方向に移動して流量調節隙間ｈ１が増大する。したがって、軸受隙間ｈ２に流入する圧力油の流量も増大するから、軸受面内圧力Ｐｐも増大し、スラスト軸１５０は上方に移動する。
【００７１】
反対に、スラスト軸１５０に加わる荷重が減少し、軸受隙間ｈ２の大きさが図１の状態から増大すると、軸受面内圧力Ｐｐが減少し、給油圧力Ｐｓよりも小さくなるから、絞り板３１の上面の圧力が減少する。したがって絞り板３１は、バネ手段３３からの付勢力に抗して上方に移動し、入口３Ａに近接するから、流量調節隙間ｈ１が減少する。したがって、軸受隙間ｈ２に流入する圧力油の流量も減少するから、軸受面内圧力Ｐｐも減少し、スラスト軸１５０は下方に移動する。
【００７２】
このように、スラスト軸受１０４においては、可変絞り機構３０における絞り板３１の両面における給油圧力Ｐｓと軸受面内圧力Ｐｐとの釣り合いと、バネ手段３３およびバネ手段３４の付勢力とを利用することにより、スラスト軸１５０に加わる負荷が変動したときの軸受隙間ｈ２の大きさの変化を小さく抑え、言い換えれば高い剛性を得ている。
【００７３】
４．実施形態４
以下、本発明の静圧軸受に包含されるジャーナル軸受の例について図７を用いて説明する。図７において、図１〜図４と同一の符号は、これらの符号が図１〜図４において示すのと同一の構成要素を示す。
【００７４】
実施形態４に係るジャーナル軸受１０６は、図７に示すように、全体として円柱状に形成され、中心部において本発明の負荷軸の別の一例に相当するジャーナル軸１５２が挿通される軸受本体５を備える。軸受本体５における内壁面５Ｂには、ジャーナル軸１５２の側面１５２Ａを承ける円形状の凹陥面である軸受面５Ａが等間隔に複数個、例えば４個形成されている。但し、図７においては、紙面の手前側および向こう側の軸受面５Ａは省略されている。
【００７５】
軸受本体５の壁、即ち外壁面５Ｃと内壁面５Ｂとの間の部分には、軸受面５Ａに対応して圧力油供給室２が形成されている。
【００７６】
圧力油供給室２は、給油流路４によって軸受本体５の外壁面５Ｃに、吐出流路３によって軸受本体５の外壁面５Ｃに連通し、同時に弾性ヒンジ機構１０が内部に収容されている。弾性ヒンジ機構１０は、圧力油供給室２に形成された段差２Ａにおいて保持されている。
【００７７】
圧力油供給室２が形成された軸受面５Ａに対してジャーナル軸１５２を挟んで反対側に位置する軸受面５Ａには、給油流路４が連通するとともに、給油流路４と軸受面５Ａとの間には固定絞りとしての毛細管絞り４０が形成されている。
【００７８】
弾性ヒンジ機構１０については、実施形態１のところで述べたとおりである。
【００７９】
以下、ジャーナル軸受１０６の作用について説明する。
【００８０】
図７に示すように、ジャーナル軸受１０６において、給油流路４から圧力油供給室２に圧力油を所定の給油圧力Ｐｓで供給すると、供給された圧力油は、圧力油供給室２と弾性ヒンジ機構１０の側縁との隙間、および流量調節隙間ｈ１を通って入口３Ａから吐出流路３に流入し、軸受面５Ａに軸受面内圧力Ｐｐ圧力Ｐｐで吐出される。そして、軸受面５Ａとジャーナル軸１５２の側面１５２Ａとの隙間である軸受隙間ｈ２を通って軸受本体５の両端からジャーナル軸受１０６の外に排出される。
【００８１】
図７の状態においては、ジャーナル軸１５２の軸線は軸受本体５の軸線と一致しており、偏心していないから、何れの軸受面５Ａにおいても軸受面内圧力Ｐｐは給油圧力Ｐｓと均衡している。故に弾性ヒンジ機構１０の上面と下面との圧力も釣り合っている。したがって、弾性ヒンジ機構１０は上方にも下方にも屈曲しない水平状であり、軸受隙間ｈ２の大きさは、給油圧力Ｐｓ即ち軸受面内圧力Ｐｐとジャーナル軸１５２の側面１５２Ａにおける軸受本体５が挿通されている部分の面積とによって定まる一定の値となる。
【００８２】
ここで、ジャーナル軸１５２が例えば図７における下方に偏心すると、軸受隙間ｈ２の大きさは、ジャーナル軸１５２の下側においては小さくなり、ジャーナル軸１５２の上側においては大きくなる。
【００８３】
したがって、ジャーナル軸１５２の下側の軸受面５Ａにおいては軸受面内圧力Ｐｐが増大して給油圧力Ｐｓと弾性ヒンジ機構１０の弾性回復力との合計よりも高くなるから、ジャーナル軸１５２の下側の軸受面５Ａに連通する圧力油供給室２においては、弾性ヒンジ機構１０がジャーナル軸１５２から遠ざかる方向に屈曲して流量調節隙間ｈ１が増大し、軸受隙間ｈ２に流入する圧力油の流量も増大する。これにより、軸受面内圧力Ｐｐも増大する。
【００８４】
したがって、ジャーナル軸１５２は図７における上方に向かって移動し、偏心前の位置に戻る。
【００８５】
ジャーナル軸１５２が図７における上方に偏心した場合も、ジャーナル軸１５２は同様にして下方に移動し、偏心前の位置に戻る。
【００８６】
このように、ジャーナル軸受１０６においては、弾性ヒンジ機構１０が備える弾性ヒンジ１４の弾性回復力と、弾性ヒンジ機構１０の両面における給油圧力Ｐｓと軸受面内圧力Ｐｐとの釣り合いとを利用することにより、ジャーナル軸１５２が偏心することによる軸受隙間ｈ２の大きさの変化を小さく抑え、言い換えれば高い剛性を得ている。
【００８７】
また、弾性ヒンジ機構１０においては、板状部材１６の両面に５本の溝１５を形成することにより、板状部材１６を絞り板１１、リンク板１３、および保持板１２に区分するとともに、板状部材１６における溝１５が形成された部分を弾性ヒンジ１４として機能させているから、絞り板１１、リンク板１３、保持板１２、および弾性ヒンジ１４を別の部材として形成し、これらを組み合わせて弾性ヒンジ機構１０とする場合と比較して弾性ヒンジ機構１０の構成を大幅に簡略化できる。
【００８８】
更に、給油流路４から供給された圧力油は、吐出流路３から軸受面５Ａに吐出され、軸受隙間ｈ２を軸受本体５の両端に向かって流れ、ジャーナル軸受１０６外に排出される。したがって、圧力油供給室２に流入した圧力油を排出する流体排出口を軸受本体５に設けたジャーナル軸受と比較して圧力油の循環量が少なくて済むから、圧力油を循環させるためのポンプも容量が小さなものでよい。
【００８９】
５．実施形態５
以下、本発明の圧力制御ユニットの一例について説明する。
実施形態５に係る圧力制御ユニット２００は、図８に示すように、静圧軸受であるスラスト軸受２１０に接続されて使用されるものである。
【００９０】
スラスト軸受２１０は、全体として短円柱状に形成された軸受本体７を備えている。軸受本体７の上面には、スラスト軸１５０の一方の端面１５０Ａを承ける円形状の凹陥面である軸受面７Ａが形成されているとともに、軸受本体７の側面と軸受面７Ａとは吐出流路８で連通されている。吐出流路８は、管路９によって圧力制御ユニット２００の後述する吐出流路３に連通している。
【００９１】
圧力制御ユニット２００は、図８における左右方向に延在する軸線を有する略短円筒状の本体６を備えている。本体６の内部には、実施形態１で述べたのと同様の弾性ヒンジ機構１０が内部に収容される圧力油供給室２が形成されている。
【００９２】
圧力油供給室２は、全体として円柱状に形成された空洞であり、側壁に段差２Ａが形成されている。圧力油供給室２においては、段差２Ａよりも図８における左側、即ちスラスト軸受２１０寄りの部分は図８における段差２Ａよりも左側の部分よりも大きな内径を有している。
【００９３】
本体６には、圧力油供給室２の天井部と本体６の頂面、即ち図８における右側の面とが吐出流路３によって連通されている。吐出流路３は、上述のように管路９によってスラスト軸受２１０の吐出流路８に連通している。
【００９４】
圧力油供給室２の底部には、本発明の流体の一例である圧力油を圧力油供給室２に供給する給油流路４が設けられている。吐出流路３における圧力油供給室２内部における開口部は、流体出口即ち入口３Ａとされている。吐出流路３および給油流路４は、夫々本発明の流体吐出流路および流体供給流路の一例に相当する。
【００９５】
弾性ヒンジ機構１０は、実施形態１のところで述べたように、絞り板１１、リンク板１３、保持板１２、および弾性ヒンジ１４を備え、段差２Ａに載置した状体、言い換えれば初期状態においては、絞り板１１、リンク板１３、保持板１２、および弾性ヒンジ１４は同一平面上にあり、絞り板１１と入口３Ａとの間隔である流量調節隙間ｈ１の大きさはある所定の値に設定されている。
【００９６】
弾性ヒンジ機構１０に厚さ方向の応力が加わると、より厚さの厚い絞り板１１、リンク板１３、および保持板１２の部分では殆ど変形せず、図３および図４において実線で示すように、より厚さの薄い弾性ヒンジ１４の部分において弾性変形する。
【００９７】
そして、弾性ヒンジ機構１０から厚さ方向の応力が除去されると、図８に示す初期状態に戻る。
【００９８】
以下、スラスト軸受２１０および圧力制御ユニット２００の作用について説明する。
【００９９】
図８に示すように、圧力制御ユニット２００において、給油流路４から圧力油供給室２に圧力油を所定の給油圧力Ｐｓで供給すると、供給された圧力油は、圧力油供給室２と弾性ヒンジ機構１０の側縁との隙間、および流量調節隙間ｈ１を通って入口３Ａから吐出流路３に流入し、管路９およびスラスト軸受２１０の吐出流路８を通ってスラスト軸受２１０の軸受面７Ａに軸受面内圧力Ｐｐで吐出される。そして、軸受隙間ｈ２を通って軸受本体７の外周からスラスト軸受２１０外に排出される。ここで、軸受隙間ｈ２は、軸受面７Ａとスラスト軸１５０の端面１５０Ａとの間の隙間である。
【０１００】
図８の状態においては、給油圧力Ｐｓと軸受面内圧力Ｐｐと弾性ヒンジ機構１０の弾性回復力とは均衡している。したがって、弾性ヒンジ機構１０は図８における右側に少し屈曲した形状である。なお、軸受隙間ｈ２の大きさは、給油圧力Ｐｓ即ち軸受面内圧力Ｐｐとスラスト軸１５０の端面１５０Ａの面積と弾性ヒンジ機構１０の弾性回復力とによって定まる一定の値となる。
【０１０１】
ここで、スラスト軸１５０に加わる荷重が増大し、軸受隙間ｈ２の大きさが図８の状態から減少すると、軸受面内圧力Ｐｐが増大し、給油圧力Ｐｓと弾性ヒンジ１０の弾性回復力との合計よりも大きくなるから、弾性ヒンジ機構１０の右側の圧力が増大する。したがって弾性ヒンジ機構１０が弾性ヒンジ１４において弾性変形し、絞り板１１およびリンク板１３が左側に移動する。これにより、絞り板１１が入口３Ａから離間する方向に移動して流量調節隙間ｈ１が増大する。したがって、軸受隙間ｈ２に流入する圧力油の流量も増大するから、軸受面内圧力Ｐｐも増大し、スラスト軸１５０は上方に移動する。
【０１０２】
一方、スラスト軸１５０に加わる荷重が減少し、軸受隙間ｈ２の大きさが図１の状態から増大すると、軸受面内圧力Ｐｐが減少し、給油圧力Ｐｓと弾性ヒンジ機構１０の弾性回復力との合計よりも小さくなるから、弾性ヒンジ機構１０の右側の圧力が減少する。したがって弾性ヒンジ機構１０が弾性ヒンジ１４において弾性変形し、絞り板１１およびリンク板１３が右側に移動する。これにより、絞り板１１が入口３Ａに近接する方向に移動して流量調節隙間ｈ１が減少する。したがって、軸受隙間ｈ２に流入する圧力油の流量も減少するから、軸受面内圧力Ｐｐも減少し、スラスト軸１５０は下方に移動する。
【０１０３】
このように、圧力制御ユニット２００においては、弾性ヒンジ機構１０が備える弾性ヒンジ１４の弾性回復力と、弾性ヒンジ機構１０の両面における給油圧力Ｐｓと軸受面内圧力Ｐｐとの釣り合いとを利用することにより、スラスト軸受２１０においてスラスト軸１５０に加わる負荷が変動したときの軸受隙間ｈ２の大きさの変化を小さく抑え、言い換えれば高い剛性を得ている。
【０１０４】
また、実施形態１のスラスト軸受と同様に、弾性ヒンジ機構１０の構成を大幅に簡略化できる。
【０１０５】
更に、圧力制御ユニット２００において給油流路４から供給された圧力油は、吐出流路３、管路９、およびスラスト軸受２１０の吐出流路８を通ってスラスト軸受２１０の軸受面７Ａに吐出され、軸受隙間ｈ２を軸受本体１の外周に向かって流れ、軸受本体７の外周からスラスト軸受２１０外に排出される。したがって、圧力油供給室２に流入した圧力油を排出する流体排出口を軸受本体１に設けた圧力制御ユニットと比較して圧力油の循環量が少なくて済むから、圧力油を循環させるためのポンプも容量が小さなものでよい。
【０１０６】
加えて、圧力制御ユニット２００とスラスト軸受２１０とは管路９で接続されているから、スラスト軸受２１０の内部に可変絞り機構を設ける必要がない。したがって、スラスト軸受２１０の内部に可変絞り機構を設ける場合に比べてスラスト軸受２１０を小型化できる。
【０１０７】
６．実施形態６
以下、本発明の圧力制御ユニットの別の一例について説明する。
実施形態６に係る圧力制御ユニット２０２は、図９に示すように、静圧軸受であるスラスト軸受２１０に接続されて使用されるものであり、実施形態５に係る圧力制御ユニットにおいて圧力油供給室２の底面と弾性ヒンジ機構１０との間にアクチュエータとしてボイスコイル機構２０を挿入したものである。ボイスコイル機構２０の構成は実施形態２のところで述べたとおりである。
【０１０８】
以上、静圧軸受および圧力制御ユニットにおいて流体として圧力油を用いた例について説明したが、これらの実施形態における静圧軸受および圧力制御ユニットに使用される流体は圧力油には限定されず、水やグリセリンなどの圧力油以外の液体や、空気などの気体も包含される。
【実施例】
【０１０９】
１．実施例１
実施形態６に係る圧力制御ユニット２０２とスラスト軸受２１０とを用い、圧力制御ユニット２０２のボイスコイル機構２０を作動させることなく、給油流路４から圧力制御ユニット２００に供給される圧力油の給油圧力Ｐｓを０．２９４ＭＰａ、０．４９０ＭＰａ、および０．６８６ＭＰａとしたときのスラスト軸１５０（負荷軸）に加える荷重と軸受隙間ｈ２の大きさとの関係を求めた。結果を図１１に示す。図１１において二点鎖線、一点鎖線、および実線は、夫々給油圧力Ｐｓを０．２９４ＭＰａ、０．４９０ＭＰａ、および０．６８６ＭＰａのときのスラスト軸１５０に加えるスラスト荷重と軸受隙間ｈ２の大きさとの関係を示す。
【０１１０】
なお、圧力制御ユニット２００における可変絞り収容室２の段差２Ａの左側の内径の小さな部分は内径３．０ｍｍとし、段差２Ａの左側の内径の大きな部分は内径３．５ｍｍとした。そして、スラスト軸受２１０においては、軸受本体７の外径を２０．０ｍｍとし、軸受面７Ａの直径を１８ｍｍとした。また、弾性ヒンジ機構１０における弾性ヒンジ１４のバネ定数を１．０×１０６Ｎ／ｍとした。またスラスト軸１５０の質量を３．８０ｋｇとした。
【０１１１】
図１１のグラフから明らかなように、給油圧力Ｐｓを０．６８６ＭＰａに設定したとき、広いスラスト荷重範囲において軸受隙間ｈ２は約１６μｍと一定であった。このことから、圧力制御ユニット２０２とスラスト軸受２１０との組合せにおいては、給油圧力Ｐｓを０．６８６ＭＰａに設定することにより、高い静剛性が得られることが判った。
【０１１２】
２．実施例２
次に、圧力制御ユニット２０２において、ボイスコイル機構２０の備えるボイスコイル２３に直流電流を流すと共に、軸受隙間ｈ２の変化に基いて前記直流電流をフィードバック制御したときにおける軸受隙間ｈ２を変化させたときのスラスト軸１５０に加えるスラスト荷重と軸受隙間ｈ２との関係を調べた。結果を図１２に示す。図１２において二点鎖線、一点鎖線、破線、および実線は、夫々軸受隙間ｈ２を１４μｍ、１６μｍ、１８μｍ、２０μｍに設定したときのスラスト荷重の変化によると軸受隙間ｈ２の変化を示す。
【０１１３】
図１２に示すように、軸受隙間ｈ２が１４μｍ、１６μｍ、１８μｍ、２０μｍの何れの場合においても、広いスラスト荷重範囲において軸受隙間ｈ２は一定であった。このことから、ボイスコイル２３に流す直流電流を軸受隙間ｈ２の変化に基いてフィードバック制御することにより、極めて高い静剛性が得られることが判った。
【０１１４】
３．実施例３
次に、圧力制御ユニット２０２とスラスト軸受２１０との組合せにおいて、軸受隙間ｈ２を１８μｍに設定し、ボイスコイル２３に流す直流電流をステップ状に変化させて軸受隙間ｈ２を１２５ｎｍおよび１２．５ｎｍのステップで変化させたときの軸受隙間ｈ２の時間変化を図１３および図１４に示す。
【０１１５】
図１３および図１４の結果から、圧力制御ユニット２０２とスラスト軸受２１０との組合せによれば、ボイスコイル２３に流す直流電流を制御することにより、軸受隙間ｈ２の大きさをナノメータのオーダで変化させることができることが判った。
【０１１６】
４．実施例４
圧力制御ユニット２０２とスラスト軸受２１０との組合せにおいて、給油圧力Ｐｓを０．６８６Ｍｐａに設定し、スラスト軸１５０に予め１９．６Ｎの上方向の荷重を与えておき、この荷重を除去したときのステップ応答を調べた。
ボイスコイル機構２０を作動させていないときは、軸受隙間ｈ２が安定するまでの時間である平定時間は４００ｍｓｅｃであったが、ボイスコイル機構２０の備えるボイスコイル２３に直流電流を流すと共に、軸受隙間ｈ２の変化に基いて前記直流電流をフィードバック制御したときは、平定時間は２５０ｍｓｅｃと大幅に短縮した。
【符号の説明】
【０１１７】
１      軸受本体
１Ａ    軸受面
２      圧力油供給室
２Ａ    段差
３      吐出流路
３Ａ    圧力油出口
４      給油流路
５      軸受本体
５Ａ    軸受面
５Ｂ    内壁面
５Ｃ    外壁面
６      本体
７      軸受本体
７Ａ    軸受面
８      吐出流路
９      管路
１０      弾性ヒンジ機構
１１      絞り板
１２      保持板
１３      リンク板
１４      弾性ヒンジ
１５      溝
１６      板状部材
２０      ボイスコイル機構
２１      円筒状磁石
２２      スペーサ
２３      ボイスコイル
３０      可変絞り機構
３１      絞り板
３２      ガイドレール
３３      バネ手段
３４      バネ手段
１００      スラスト軸受
１０２      スラスト軸受
１０４      スラスト軸受
１０６      ジャーナル軸受
１５０      スラスト軸
１５０Ａ    端面
１５２      ジャーナル軸
１５２Ａ    側面
２００      圧力制御ユニット
２０２      圧力制御ユニット
２１０      スラスト軸受
【図１】
2011043232.tif 000003
【図２】
2011043232.tif 000004
【図３】
2011043232.tif 000005
【図４】
2011043232.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2011043232.tif 000009
【図８】
2011043232.tif 000010
【図９】
2011043232.tif 000011
【図１０】
2011043232.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
2011043232.tif 000014
【図１３】
2011043232.tif 000015
【図１４】
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