(57)【要約】【課題】液滴吐出ヘッドの吐出駆動に用いるデータのデータ生成およびデータ補正を容易に行うことができる。【解決手段】１以上の吐出ノズル４８を有する液滴吐出ヘッド３３と、描画走査の移動量に対応して出力されるラッチ信号の次のラッチ信号までの出力間隔を示す複数の間隔データおよび各ラッチ信号に対する吐出ノズル４８ごとの吐出の有無を示す複数の有無データを含む吐出データと、液滴吐出装置２ごとに生成されると共に、複数の間隔データの少なくとも１つを補正するための補正データと、を記憶するデータ記憶手段６１、６３と、吐出データおよび補正データに基づいて、液滴吐出ヘッドの吐出駆動を制御する制御手段５２、６６、６７と、を備えた。【選択図】図７
2011143334.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに対し液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら前記液滴吐出ヘッドを駆動して、前記ワークに対し描画処理を行う液滴吐出装置であって、
１以上の吐出ノズルを有する前記液滴吐出ヘッドと、
描画走査の移動量に対応して出力されるラッチ信号の次のラッチ信号までの出力間隔を示す複数の間隔データおよび各ラッチ信号に対する前記吐出ノズルごとの吐出の有無を示す複数の有無データを含む吐出データと、
液滴吐出装置ごとに生成されると共に、前記複数の間隔データの少なくとも１つを補正するための補正データと、を記憶するデータ記憶手段と、
前記吐出データおよび前記補正データに基づいて、前記液滴吐出ヘッドの吐出駆動を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記補正データは、前記複数の間隔データから所定ピッチで抽出した１以上の間隔データを補正するためのものであることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記吐出データにおける前記複数の間隔データに基づいて前記液滴吐出ヘッドを駆動することにより、検査吐出を実施する検査吐出手段を有し、
前記検査吐出の吐出結果に基づいて、前記補正データを生成するデータ生成手段を、更に備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
液滴吐出装置の内部または外部の環境を検知する環境検知手段を、更に備え、
前記データ記憶手段は、複数種の前記環境に対応した複数種の前記補正データを記憶し、
前記制御手段は、
前記環境検知手段の検知結果に基づいて、前記複数種の前記補正データの中から、対応する１の補正データを選択し、
前記吐出データおよび前記１の補正データに基づいて、前記液滴吐出ヘッドの吐出駆動を制御することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに対し液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、液滴吐出ヘッドを駆動してワークに対し描画処理を行う液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の液滴吐出装置として、移動量を示すエンコーダー信号によってラッチ信号（いわゆる吐出信号）を出力するタイミング生成部と、各ラッチ信号に対し吐出の有無を示した有無データを含む吐出データを記憶するデータ記憶手段と、吐出データおよびラッチ信号に基づいて、液滴吐出ヘッドを駆動するヘッド駆動制御部と、を備えたものが知られている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４１９２４８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記の液滴吐出装置では、ラッチ信号の出力間隔を等間隔とすることを想定しているが、液滴吐出装置ごとの特性によって、ラッチ信号の出力間隔（以下、ラッチ間隔）を調整する必要がある。例えば、エンコーダーの取付精度や製造精度の誤差によって、実移動位置と、エンコーダー信号に基づく検出移動位置とに誤差が生じる。そのため、液滴吐出装置ごとに、ラッチ間隔を調整し、ワークに対する着弾位置を修正する必要がある。かかる場合、吐出データにラッチ間隔を示すデータを付加し、液滴吐出装置ごとに、上記誤差を加味した吐出データを生成することが考えられる。
しかしながら、このような構成では、複数の液滴吐出装置において、個々に吐出データを生成する必要があるため、データ生成が煩雑であるという問題があった。また、環境変化（例えば、温度変化や湿度変化）や経時的な変化によって上記誤差が生じ、ラッチ間隔を調整する必要がある場合、その都度、データ容量の大きい吐出データを補正する必要があるため、データ補正が煩雑であるという問題がある。
【０００５】
本発明は、液滴吐出ヘッドの吐出駆動に用いるデータのデータ生成およびデータ補正を容易に行うことができる液滴吐出装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液滴吐出装置は、ワークに対し液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら液滴吐出ヘッドを駆動して、ワークに対し描画処理を行う液滴吐出装置であって、１以上の吐出ノズルを有する液滴吐出ヘッドと、描画走査の移動量に対応して出力されるラッチ信号の次のラッチ信号までの出力間隔を示す複数の間隔データおよび各ラッチ信号に対する吐出ノズルごとの吐出の有無を示す複数の有無データを含む吐出データと、液滴吐出装置ごとに生成されると共に、複数の間隔データの少なくとも１つを補正するための補正データと、を記憶するデータ記憶手段と、吐出データおよび補正データに基づいて、液滴吐出ヘッドの吐出駆動を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、液滴吐出装置ごとに補正データを生成するため、液滴吐出装置ごとの特性が補正データによって吸収される。ゆえに、複数の液滴吐出装置において吐出データを共有（共通化）することができる。加えて、補正データは、吐出データに対しデータ容量が小さいため、データ生成を容易に行うことができる。また、環境変化や経時的な変化によって、ラッチ間隔の調整が必要な場合、データ容量が小さい補正データを補正するだけで、吐出データ自体を補正する必要がないため、データ補正を容易に行うことができる。
【０００８】
この場合、補正データは、複数の間隔データから所定ピッチで抽出した１以上の間隔データを補正するためのものであることが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、補正データのデータ容量をより小さくすることができるため、データ生成およびデータ補正を更に容易に行うことができる。なお、上記所定ピッチとは、求められる着弾精度および／またはエンコーダー信号の出力周期等によって決定されることが好ましい。
【００１０】
この場合、制御手段は、吐出データにおける複数の間隔データに基づいて液滴吐出ヘッドを駆動することにより、検査吐出を実施する検査吐出手段を有し、検査吐出の吐出結果に基づいて、補正データを生成するデータ生成手段を、更に備えることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、検査吐出を実施する手段（検査吐出手段）と、吐出結果に基づいて補正データを生成する手段（データ生成手段）と、を有することにより、液滴吐出装置上にて吐出検査を実施することができるため、描画処理時と同一条件で吐出検査を実施することができ、適切な補正データを生成することができる。
【００１２】
この場合、液滴吐出装置の内部または外部の環境を検知する環境検知手段を、更に備え、データ記憶手段は、複数種の環境に対応した複数種の補正データを記憶し、制御手段は、環境検知手段の検知結果に基づいて、複数種の補正データの中から、対応する１の補正データを選択し、吐出データおよび１の補正データに基づいて、液滴吐出ヘッドの吐出駆動を制御することが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、複数種の環境に対応した複数種の補正データを予め記憶し、環境検知手段の検知結果に基づいて、対応する補正データを選択し用いることにより、環境が変化した場合でも、精度良く描画処理を行うことができる。また、環境の変化の都度、補正データにデータ補正を行う必要がないため、処理時間を短縮することができ、描画処理を効率良く行うことができる。なお、ここにいう「環境」とは、例えば、温度、湿度や気圧、酸素雰囲気や窒素雰囲気などの雰囲気等を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本実施形態に係る液滴吐出システムのシステム構成図である。
【図２】実施形態に係る液滴吐出装置の斜視図である。
【図３】液滴吐出装置の平面図である。
【図４】液滴吐出装置の側面図である。
【図５】液滴吐出ヘッドを搭載したヘッドユニットを模式的に表した平面図である。
【図６】液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図７】液滴吐出ヘッドの駆動を制御する制御系を示したブロック図である。
【図８】タイミングデータ、補正データ、および補正データによる補正方法について示した図である。
【図９】補正情報取得動作を示したフローチャートである。
【図１０】液滴吐出ヘッドの駆動を制御する制御系の変形例を示したブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、添付の図面を参照して、本発明の液滴吐出装置を適用した液滴吐出システムについて説明する。この液滴吐出システムは、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルターや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００１６】
図１に示すように、液滴吐出システム１は、ワークＷに対し、液滴吐出ヘッド３３から液滴（機能液）を吐出して描画処理を行う複数の液滴吐出装置２を有しており、複数のワークＷを並列的に処理し、効率良く製造する。詳細は後述するが、複数の液滴吐出装置２において共通の描画吐出データと、描画吐出データを補正する液滴吐出装置２ごとの補正データと、を記憶しており、補正データによって、液滴吐出装置２ごとの特性を吸収する形で描画処理を実施する。
【００１７】
図２ないし図４に示すように、各液滴吐出装置２は、Ｘ軸支持ベース３上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在してワークＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル４と、複数の液滴吐出ヘッド３３を搭載した１０個のキャリッジユニット５と、複数本の支柱を介してＸ軸テーブル４を跨ぐように架け渡された１対のＹ軸支持ベース６上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在して１０個のキャリッジユニット５をＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブル７と、を備えている。また、液滴吐出装置２は、各ユニットを収容しその雰囲気の温度および湿度が管理するチャンバー８と、液滴吐出ヘッド３３にＲＧＢ３色の機能液を供給する機能液供給ユニット９と、各ユニットを制御する制御コンピューター（図示省略）と、を備えている。液滴吐出装置２は、Ｘ軸テーブル４およびＹ軸テーブル７の駆動と同期して、液滴吐出ヘッド３３を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット９から供給されたＲ・Ｇ・Ｂ３色の機能液滴を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンを描画する。なお、詳細は後述するが、液滴吐出ヘッド３３の吐出駆動は、上記描画パターンを描画するための描画吐出データに基づいて制御される。
【００１８】
また、液滴吐出装置２は、液滴吐出ヘッド３３の捨て吐出（フラッシング）を受けるフラッシングユニット１１と、液滴吐出ヘッド３３の吐出ノズル４８から機能液を強制的に吸引すると共に、キャッピングを行う吸引ユニット１２と、吸引後の液滴吐出ヘッド３３のノズル面４７を拭取るワイピングユニット１３と、液滴吐出ヘッド３３の吐出性能（吐出の有無および飛行曲り）を検査する吐出検査ユニット１４とから成るメンテナンス装置１０を備えており、これらユニットによって、液滴吐出ヘッド３３の保守に供して、液滴吐出ヘッド３３の機能維持・機能回復を図るようになっている。なお、メンテナンス装置１０を構成する各ユニットのうち、フラッシングユニット１１および吐出検査ユニット１４は、Ｘ軸テーブル４に搭載され、吸引ユニット１２およびワイピングユニット１３は、Ｘ軸テーブル４から直角に延び、かつＹ軸テーブル７によりキャリッジユニット５が移動可能である位置に配設された架台上に配設されている。
【００１９】
次に、液滴吐出装置２の構成要素について簡単に説明する。図３または図４に示すように、Ｘ軸テーブル４は、ワークＷをセットするセットテーブル２１と、セットテーブル２１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第１スライダー２２と、上記のフラッシングユニット１１および吐出検査ユニット１４をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第２スライダー２３と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸第１スライダー２２を介してセットテーブル２１（ワークＷ）をＸ軸方向に移動させると共に、Ｘ軸第２スライダー２３を介してフラッシングユニット１１および吐出検査ユニット１４をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモーター（図示省略）と、Ｘ軸リニアモーターに並設され、Ｘ軸第１スライダー２２およびＸ軸第２スライダー２３の移動を案内する一対（２本）のＸ軸共通支持ベース２４と、を備えている。これらによって、Ｘ軸テーブル４は、描画時においてワークＷをＸ軸方向に主走査（描画走査）する。なお、Ｘ軸テーブル４には、リニアエンコーダー２５（図７参照）が搭載されており、リニアエンコーダー２５のエンコーダー信号によって、ワークＷ（セットテーブル２１）の移動量を検出可能に構成されている。
【００２０】
Ｙ軸テーブル７は、一対のＹ軸支持ベース６に支持されると共に、１０個のキャリッジユニット５をＹ軸方向に移動自在に吊設する１０組のＹ軸スライダー（図示省略）と、１０組のＹ軸スライダーを介して１０個のキャリッジユニットをＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモーター（図示省略）と、を備えている。これらによって、Ｙ軸テーブル７は、各キャリッジユニット５を介して描画時に液滴吐出ヘッド３３を副走査するほか、液滴吐出ヘッド３３をメンテナンス装置１０（吸引ユニット１２およびワイピングユニット１３）に臨ませる。なお、Ｙ軸リニアモーターの駆動を制御することにより、各キャリッジユニット５を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１０個のキャリッジユニット５を一体として移動させることも可能である。
【００２１】
各キャリッジユニット５は、１２個の液滴吐出ヘッド３３を有するヘッドユニット３１と、ヘッドユニット３１を搭載したキャリッジ３２と、を備えている。また、図５に示すように、ヘッドユニット３１は、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色、各４個（計１２個）の液滴吐出ヘッド３３と、１２個の液滴吐出ヘッド３３を、当該各液滴吐出ヘッド３３が同一の水平面内に配設されるように支持するヘッドプレート３４と、を備えている。
【００２２】
図６に示すように、液滴吐出ヘッド３３は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針４２を有する機能液導入部４１と、機能液導入部４１に連なる２連のヘッド基板４３と、機能液導入部４１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体４４と、を備えている。接続針４２は、機能液供給ユニット９に接続され、機能液導入部４１に機能液を供給する。ヘッド本体４４は、圧電素子等で構成される２連のポンプ部４５と、複数の吐出ノズル４８が開口したノズル面４７を有するノズルプレート４６と、で構成されている。各圧電素子に駆動波形（駆動電圧）を印加することで、液滴吐出ヘッド３３を吐出駆動し、これによって、各吐出ノズル４８から機能液を吐出する。
【００２３】
ノズル面４７には、Ｙ軸方向に列設した複数の吐出ノズル４８からなる２本のノズル列４９が相互に平行に形成されている。そして、２本のノズル列４９同士は、相互に半ノズルピッチ分位置ずれしている。
【００２４】
色ごとの各４個の液滴吐出ヘッド３３は、Ｙ軸方向に延在し、ワークＷの最大幅の３分の１の長さを有する各色の分割描画ラインを構成している。すなわち、描画処理では、まず、ワークＷをＸ軸方向に往動移動（図４中右側に移動）しつつ液滴吐出ヘッド３３を駆動する「往動描画動作」を行い、その後、１分割描画ライン分だけ液滴吐出ヘッド３３を副走査した後、ワークＷをＸ軸方向に復動移動（図４中左側に移動）しつつ液滴吐出ヘッド３３を駆動する「復動描画動作」を行う。その後、更に１分割描画ライン分だけ液滴吐出ヘッド３３を副走査した後、再度、「往動描画動作」を行う。この３回の描画動作によって、ワークＷ全域に描画パターンを描画する。すなわち、ワークＷに対し液滴吐出ヘッド３３を主走査方向に移動させながら、液滴吐出を駆動することで、描画処理を実施する。
【００２５】
次に図７を参照して、各液滴吐出ヘッド３３の駆動を制御する制御系について説明する。図７に示すように、液滴吐出装置２は、上記制御系として、液滴吐出ヘッド３３の吐出駆動に用いる各種データを管理するデータ管理部５１と、液滴吐出ヘッド３３ごとに設けられると共に、データ管理部５１から出力された各種データに基づいて、各液滴吐出ヘッド３３の駆動を制御する複数のヘッド駆動制御部５２と、を備えている。なお、データ管理部５１は、上記制御コンピューターに組み込まれており、ヘッド駆動制御部５２は、上記ヘッド基板４３や各キャリッジ３２に搭載されたヘッド制御基板モジュール（図示省略）に組み込まれている。
【００２６】
データ管理部５１は、描画吐出データ記憶部６１と、補正データ生成部（データ生成部）６２と、補正データ記憶部６３と、補正情報取得部６４と、補正データ書換部６５と、ヘッド別データ変換部６６と、ヘッド別データ送信部６７と、を備えている。なお、請求項にいうデータ記憶手段は、描画吐出データ記憶部６１および補正データ記憶部６３により構成されており、請求項にいう制御手段は、ヘッド別データ変換部６６、ヘッド別データ送信部６７およびヘッド駆動制御部５２により構成されている。
【００２７】
描画吐出データ記憶部６１は、データ通信や記録媒体を介して取得した描画吐出データ（吐出データ）を記憶する。ここで描画吐出データについて説明する。描画吐出データは、描画走査の移動量に対応して出力されるラッチ信号の間隔を示すタイミングデータと、ワークＷ上の各着弾位置への吐出の有無を表したビットマップデータと、を含んでいる。図８に示すように、タイミングデータは、出力される各ラッチ信号について次のラッチ信号までの出力間隔（以下、ラッチ間隔）を示す複数の間隔データを含んでいる。なお、ラッチ信号は、上記リニアエンコーダー２５のエンコーダー信号を受けて出力されるものであるため、間隔データとして、当該エンコーダー信号のパルス数を記憶している。また、複数の間隔データは、複数の吐出ノズル４８で共通したデータを用いても良いし、吐出ノズル４８ごとのデータを用いても良い。
【００２８】
ビットマップデータは、各ラッチ信号に対する仮想の吐出ノズル４８ごとの吐出の有無を示す複数の有無データを含んでおり、すなわち、ビットマップデータは、複数の有無データを各着弾位置に対応して配列したデータであり、Ｘ軸を仮想の吐出ノズル４８（ノズル番号）に対応付け、Ｙ軸をラッチ信号に対応づけたデータである。なお、描画吐出データ上では、Ｙ軸方向に列設する仮想の吐出ノズル４８ごとに、複数の有無データを設定しており、当該複数の有無データは、ヘッド別データ変換部６６において、実際の吐出ノズル４８に割り当てられる。
【００２９】
補正データ生成部６２は、上記描画吐出データを補正するための補正データを生成する。補正データとは、図８に示すように、上記タイミングデータを補正するためのデータである。厳密には、補正データは、上記複数の間隔データから所定ピッチで（所定移動量ごとに）抽出した１以上の間隔データを補正するためのデータであり、当該各間隔データに対する補正値を含んでいる。例えば、１ｍｍごとや２００ラッチ信号ごとに間隔データを抽出し、抽出した各間隔データを補正するための各補正値を含んでいる。補正データ生成部６２は、補正情報取得部６４が取得した後述する補正情報（着弾ズレ量）に基づいて、各補正値を設定し、補正データを生成する。複数の液滴吐出装置２において共通の描画吐出データに対し、補正データは、液滴吐出装置２ごとに生成する。そのため、液滴吐出装置２ごとの特性を吸収するデータとなる。なお、液滴吐出装置２ごとの特性とは、リニアエンコーダー２５の取付精度や製造精度の誤差等である。
【００３０】
補正データ記憶部６３は、補正データ生成部６２によって生成した補正データを記憶する。
【００３１】
補正情報取得部６４は、補正情報取得動作を実施し、これに基づいて補正情報を取得する。詳細は後述するが、補正情報取得動作では、ダミーワークに対し検査吐出を実施し、撮像カメラ７５を用いて撮像したその着弾結果と設計上の着弾位置との着弾ズレ量を算出してこれを補正情報として取得する。
【００３２】
補正データ書換部６５は、温度変化や経時的変化に基づいて補正データを書き換える（補正する）。すなわち、予め取得した経時的変化を示すデータテーブルおよび、各種検出手段から取得した温度や湿度、内部雰囲気に基づいて、補正データを補正する。なお、当該補正は、１走査ごと、もしくは１描画処理ごとに実施することが好ましい。
【００３３】
ヘッド別データ変換部６６は、補正データと本液滴吐出装置２の設定や仕様等に基づく各種データとに基づいて、描画吐出データを、液滴吐出ヘッド３３ごとのヘッド別吐出データに変換すると共に、液滴吐出ヘッド３３ごとの駆動波形データを生成する。ヘッド別吐出データは、ヘッド別タイミングデータと、ヘッド別ビットマップデータと、を含んでいる。ヘッド別データ変換部６６は、液滴吐出ヘッド３３ごとに分割したタイミングデータを、補正データに基づいて補正し、ヘッド別タイミングデータを生成する。例えば、補正対象の間隔データが５パルスであり、対応する補正値が（＋１）パルスである場合、当該間隔データを、５＋１＝６パルスに補正する。また、補正対象の間隔データが５パルスであり、対応する補正値が（−１）パルスである場合、当該間隔データを、５−１＝４パルスに補正する（図８参照）。なお、補正データによる補正に加え、対応する液滴吐出ヘッド３３（各ノズル列４９）のＸ軸方向の位置に基づいて、各間隔データを補正することが好ましい。
【００３４】
また、ヘッド別データ変換部６６は、液滴吐出ヘッド３３ごとに分割したビットマップデータにおいて、上記仮想の吐出ノズル４８ごとの複数の有無データを、各液滴吐出ヘッド３３の実際の吐出ノズル４８に割り当てることで、液滴吐出ヘッド３３ごとのヘッド別ビットマップデータを生成する。かかる際、液滴吐出ヘッド３３のＹ軸方向の位置、各吐出ノズル４８のＹ軸方向の位置や不良ノズルの有無等を考慮して、有無データの割り当てを実施する。
【００３５】
さらに、ヘッド別データ変換部６６は、駆動波形データとして、１ラッチ信号当りの駆動波形データを、複数配列したデータを生成する。
【００３６】
ヘッド別データ送信部６７は、生成したヘッド吐出データおよび駆動波形データを、各液滴吐出ヘッド３３の各ヘッド駆動制御部５２に出力する。
【００３７】
ヘッド駆動制御部５２は、吐出データ転送部７１と、タイミング生成部７２と、波形データ転送部７３と、スイッチ群７４と、を有している。吐出データ転送部７１は、ヘッド別データ送信部６７から出力されたヘッド別吐出データを受信し、ヘッド別タイミングデータをデコードして各間隔データをタイミング生成部７２に順次出力すると共に、ヘッド別ビットマップデータをデコードして各有無データを、スイッチ群７４に順次出力する。
【００３８】
タイミング生成部７２は、Ｘ軸テーブル４に搭載された上記リニアエンコーダー２５からのエンコーダー信号（パルス信号）と間隔データとに基づいて、ラッチ信号を出力する。すなわち、タイミング生成部７２は、エンコーダー信号を受け、間隔データに基づく間隔で、ラッチ信号を出力する。エンコーダー信号のパルス数は、ワークＷの初期位置からの移動量（移動位置）に対応するものであるため、描画走査の移動量に対応して、ラッチ信号が出力される。
【００３９】
波形データ転送部７３は、ヘッド別データ送信部６７から出力された駆動波形データを取得すると共に、ラッチ信号を受けて、１ラッチ信号当りの駆動波形データを各圧電素子に転送する。
【００４０】
スイッチ群７４は、ラッチ信号と、吐出データ転送部７１からの各有無データとに基づいて、各圧電素子（各吐出ノズル４８）に対する駆動波形データの転送のＯＮ／ＯＦＦを切り替える。すなわち、スイッチ群７４によって、各圧電素子への駆動波形の印加の有無を制御することで、各吐出ノズル４８での吐出の有無を制御する。
【００４１】
次に、図９を参照して、補正情報を取得するための補正情報取得動作について説明する。補正情報取得動作では、まず、セットテーブル２１にセットしたダミーワークに対し検査吐出を行う検査吐出工程を実施する（Ｓ１）。検査吐出工程では、ヘッド別データ変換部６６は、描画吐出データを、補正データによる補正を行わずに、各ヘッド別吐出データに変換し、ヘッド駆動制御部５２は、これに基づき、描画走査に伴って液滴吐出ヘッド３３を駆動する。これらによって検査吐出を実施する（検査吐出手段）。次に、撮像カメラ７５を用いて、ダミーワークに着弾結果（吐出結果）を撮像する撮像工程を実施する（Ｓ２）。撮像工程では、Ｘ軸テーブル４の上方に配設されると共に、Ｘ軸テーブル４に臨む撮像カメラ７５を用い、Ｘ軸テーブル４によって、ダミーワークを撮像カメラ７５上に移動させつつ、撮像カメラ７５を駆動することで、ダミーワーク上の着弾結果を撮像する。
【００４２】
着弾結果を撮像したら、当該着弾結果に基づいて、着弾ズレ量を算出するズレ量算出工程を実施する（Ｓ３）。ズレ量算出工程では、補正情報取得部６４は、撮像した着弾結果に基づいて、各吐出ノズル４８における、着弾結果と設計上の着弾位置とを比較し、その着弾ズレ量を算出する。当該着弾ズレ量を補正情報として取得する。これにより、補正情報取得部６４は、補正情報を取得する。なお、着弾ズレ量として、Ｙ軸方向の着弾ズレ量のみを取得する構成であっても良いし、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の着弾ズレ量を取得する構成であっても良い。
【００４３】
以上のような構成によれば、液滴吐出装置２ごとに補正データを生成するため、液滴吐出装置２ごとの特性が補正データによって吸収される。ゆえに、複数の液滴吐出装置２において吐出データを共有（共通化）することができる。加えて、補正データは、描画吐出データに対しデータ容量が小さいため、データ生成を容易に行うことができる。また、環境変化や経時的な変化によって、ラッチ間隔の調整が必要な場合、データ容量が小さい補正データを補正するだけで、描画吐出データ自体を補正する必要がないため、データ補正を容易に行うことができる。
【００４４】
また、補正データが、複数の間隔データから所定ピッチで抽出した１以上の間隔データを補正するためのものであることにより、補正データのデータ容量をより小さくすることができるため、データ生成およびデータ補正を更に容易に行うことができる。
【００４５】
またさらに、液滴吐出装置２上に、検査吐出を実施する手段と、吐出結果に基づいて補正データを生成する手段と、を有することにより、液滴吐出装置２上にて吐出検査を実施することができるため、描画処理時と同一条件で吐出検査を実施することができ、適切な補正データを生成することができる。
【００４６】
なお、本実施形態においては、補正データ書換部６５により、環境（温度や湿度、雰囲気）の変化に対応して、補正データを補正する構成であったが、各種環境に対応する複数の補正データを有し、環境変化に対応した補正データを選択して、タイミングデータの補正を行う構成であっても良い。ここで図１０を参照して、当該構成の具体例について特に異なる部分のみ説明する。図１０に示すように、液滴吐出装置２は、上記制御系として、液滴吐出装置２の内部または外部の環境を検知する環境検知部（環境検知手段）８１を更に有し、また、補正データ記憶部６３は、複数種の環境に対応した複数種の補正データを記憶する構成を有している。例えば、気温１５℃未満に対応する第１補正データと、１５℃以上２０℃未満に対応する第２補正データと、２０℃以上に対応する第３補正データと、を有している。さらに、ヘッド別データ変換部６６は、環境検知部８１の検知結果に基づいて、複数種の補正データの中から、対応する１の補正データを選択すると共に、選択した１の補正データに基づいてタイミングデータを補正して、ヘッド別タイミングデータを生成する。すなわち、描画吐出データと選択した１の補正データとに基づいて、液滴吐出ヘッド３３の吐出駆動を制御する構成である。このような構成によれば、環境が変化した場合でも、精度良く描画処理を行うことができる。また、環境の変化の都度、補正データにデータ補正を行う必要がないため、処理時間を短縮することができ、描画処理を効率良く行うことができる。
【００４７】
なお、本実施形態においては、描画吐出データをデータ通信や記録媒体を介して取得する構成であったが、液滴吐出装置２上にて描画吐出データを生成する構成であっても良い。
【００４８】
また、本実施形態においては、複数の液滴吐出ヘッド３３において共通の補正データを用いるものであったが、液滴吐出ヘッド３３ごとに補正データを有していても良い。
【００４９】
さらに、本実施形態においては、補正データとして、所定ピッチごとに抽出した間隔データを補正するためのデータを用いたが、全ての各間隔データを補正するためのデータであっても良い。
【００５０】
またさらに、本実施形態においては、補正データ記憶部６３が、１の補正データもしくは環境に対応した複数の補正データを記憶する構成であったが、ワークＷの種別に対応した複数種の補正データを有し、処理するワークＷの種別に対応して１の補正データを選択し、これ用いる構成であっても良い。
【００５１】
また、本実施形態では、検査吐出工程において、検査吐出をダミーワークに実施する構成であったが、セットテーブル２１とは別体の上記吐出検査ユニット１４上に、吐出検査を実施する構成であっても良い。
【００５２】
さらに、本実施形態では、検査吐出工程において、描画吐出データを用いて検査吐出を実施する構成であったが、描画吐出データのうち、タイミングデータのみを用いて、検査吐出を実施する構成であっても良い。例えば、描画吐出データのタイミングデータと、各有無データを全て吐出「有」としたビットマップデータとに基づいて、検査吐出を実施する構成であっても良い。
【００５３】
また、本実施形態においては、液滴吐出ヘッド３３を固定とし、ワークＷを移動させて描画処理を行ったが、ワークＷに対し液滴吐出ヘッド３３を相対的に移動させながら、液滴吐出ヘッド３３を駆動して描画処理を行うものであれば、ワークＷを固定とし、液滴吐出ヘッド３３を移動させて描画処理を行うものであっても良い。
【００５４】
さらに、本実施形態においては、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を吐出して、液晶表示装置のカラーフィルターや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成する液滴吐出システム１や液滴吐出装置２に、本発明を適用したが、印刷用紙に対しインクを吐出して印刷処理をするプリントシステムやインクジェットプリンターに、本発明を適用しても良い。
【符号の説明】
【００５５】
２：液滴吐出装置、  ３３：液滴吐出ヘッド、  ４８：吐出ノズル、  ５２：ヘッド駆動制御部、  ６１：描画吐出データ記憶部、  ６２：補正データ生成部、  ６３：補正データ記憶部、  ６６：ヘッド別データ変換部、  ６７：ヘッド別データ送信部、  ８１：環境検知部、  Ｗ：ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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