【事件の表示】
　特願２０１１−５４２４７４「高温静電チャック接着剤」拒絶査定不服審判事件〔平成２２年　７月１５日国際公開、ＷＯ２０１０／０８０５９０、平成２４年　６月　７日国内公表、特表２０１２−５１２９５３〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
１．　手続の経緯 
 　本願は、２００９年１２月１８日（パリ条約に基づく優先権主張　２００８年１２月１９日　米国、２００９年１２月１７日　米国）を国際出願日とする特許出願であって、平成２５年１１月５日付けで拒絶理由が通知され、平成２６年５月１１日に意見書及び手続補正書が提出されたが、同年６月２日付けで拒絶査定がなされ、同年１０月１０日に拒絶査定不服審判が請求され、平成２８年１月１２日付けで拒絶理由（以下「当審拒絶理由」という。）が通知され、同年６月９日に意見書及び手続補正書が提出されたものである。 
　当審拒絶理由は、次の理由を含むものである。
　理由１：（サポート要件）本件出願は、特許請求の範囲の記載が、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない。
 
２．　本願発明
　本願の請求項１ないし１３に係る発明は、平成２８年６月９日付け手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし１３に記載された事項により特定されるものであるところ、その請求項１に係る発明（以下「本願発明」ともいう。）は、次のとおりのものである。
 
「　　【請求項１】
　フィラーが内部に分散するシリコンベースの高分子材料のマトリックスを含み、前記シリコンベースの高分子材料は、３〜１０の繰り返しジメチルシロキサンユニットを有するポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）構造を含み、前記３〜１０の繰り返しジメチルシロキサンユニットの全ての成分の合計は、５００ｐｐｍ未満であり、前記フィラーは、前記接着層の体積で６７〜７０％を構成する、基板サポート部品の接着用接着剤。」
３．　拒絶理由１（サポート要件違反）についての当審の判断
　特許請求の範囲の記載が、明細書のサポート要件に適合するか否か、すなわち、特許法第３６条第６項第１号に係る規定に適合するか否かは、特許請求の範囲の記載と発明の詳細な説明の記載とを対比し、特許請求の範囲に記載された発明が、発明の詳細な説明に記載された発明で、発明の詳細な説明の記載により当業者が当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否か、また、その記載や示唆がなくとも当業者が出願時の技術常識に照らし当該発明の課題を解決できると認識できる範囲のものであるか否かを検討して判断すべきものである（知財高裁特別部判決平成１７年（行ケ）第１００４２号参照）から、以下、当該観点に立って検討する。 
　まず、本願の出願当初明細書の発明の詳細な説明には、
（１）「本発明者らは、通常ＥＳＣ（当審注：静電チャック）を接着するのに使用される従来の接着層は、高温プロセスによって性能が劣化する可能性があり、ＥＳＣが接着している部品から剥離する可能性があることに気付いた。このような剥離は、プロセスの均一性の問題だけでなく、接着層の断片から粒子汚染を引き起こす可能性がある。」（段落【０００２】） 
（２）「より小さいフィーチャーサイズのデバイスを作るために使用されている又は開発中の多くのプロセスでは、使用するＲＦ電力も増加し、これは更に上述の温度の問題を悪化させる可能性があり、接着層を浸食する可能性もある。」（段落【０００３】）
（３）「本発明者らは、ＥＳＣチャックと基板サポート部品の間の接着を改善する方法及び装置を提供する。」（段落【０００４】）
の記載があって、静電チャック（ＥＳＣ）は、例えば、接着層によって基板サポート部品に結合されることができるが、通常ＥＳＣを接着するのに使用される従来の接着層は、高温プロセスによって性能が劣化する可能性があり、ＥＳＣが接着している部品から剥離する可能性があること、したがって、ＥＳＣチャックと基板サポート部品との間の接着を改善する方法及び装置を提供することが示されている。
　したがって、本願発明が解決しようとする課題は、高温プロセスによる接着層の性能劣化を防止し、静電チャックと基板サポート部品との接着を改善することにあるものと解される。
　そして、本願発明の発明特定事項である「シリコンベースの高分子材料」を構成する「ポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）構造」に関連して、発明の詳細な説明には、次の記載があることが認められる。 
（４）「シリコンベースの高分子材料は、低分子量（ＬＭＷ）の含有量ΣＤ３〜Ｄ１０が約５００ｐｐｍ未満の分子量を有するポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）構造であってもよい。」（段落【０００５】） 
（５）「いくつかの実施形態では、シリコンベースの高分子材料は、繰り返しジメチルシロキサンユニットを有するポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）構造を含んでもよい。いくつかの実施形態では、マトリックスは、低分子量（ＬＭＷ）の含有量ΣＤ３〜Ｄ１０が約５００ｐｐｍ未満の分子量を有する高分子材料でできていてもよい。」（段落【０００６】） 
（６）「接着層２０４は、フィラーが内部に分散したシリコンベースの高分子材料のマトリックスを含んでもよい。いくつかの実施形態では、マトリックスは、ポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）又は他の適当なシリコン材料を含む。マトリックスは、直鎖ポリマー、分岐ポリマー、架橋ポリマー、又はそれらの組み合わせから形成可能である。更に、所望の物性（せん断及び引張りひずみ等）を達成するために、又は接着層のガス放出を制限するために、マトリックスは、低分子量（ＬＭＷ）の含有量ΣＤ３〜Ｄ１０（例えば、Ｄ３〜Ｄ１０のすべての成分の合計。ただし、Ｄ３〜Ｄ１０は、繰り返しジメチルシロキサンユニットを指す。）が、いくつかの実施形態では約２００ｐｐｍ未満、又はいくつかの実施形態では約５００ｐｐｍ未満の分子量を有する高分子材料でできていてもよい。」（段落【００２０】）  
（７）「いくつかの実施形態では、シリコンベースの高分子材料の混合物を加熱又は蒸留して、これによって混合物から低分子量成分（例えば、Ｄ３〜Ｄ１０ユニット）の少なくともいくつかを除去してもよい。」（段落【００２７】） 
　また、本願発明の発明特定事項である「フィラー」の接着層での体積に関連して、発明の詳細な説明には、次の記載があることが認められる。
（７）「いくつかの実施形態において、フィラーは、接着層の体積で約５０〜約７０％を構成してもよい。」（段落【０００５】） 
（８）「フィラーは、接着層２０４のマトリックスに分散できる。フィラーは、例えば、機械的又は熱的特性（熱伝導率など）を高めるために利用できる。フィラーは、接着層２０４の体積で約５０〜約７０％を構成してもよい。一実施形態では、フィラーは、接着層２０４の体積で約６７％である。」（段落【００２１】） 
　しかしながら、本願の出願当初明細書の発明の詳細な説明や図面には、本願発明に係る接着剤におけるシリコンベースの高分子材料が「３〜１０の繰り返しジメチルシロキサンユニットの全ての成分の合計が５００ｐｐｍ未満」である旨あるいは「フィラーは、（前記）接着層の体積で６７〜７０％」である旨と、本願発明が解決しようとする課題（高温プロセスによる接着層の性能劣化を防止し、静電チャックと基板サポート部品との接着を改善すること）との関係を具体的に示した記載はない。加えて、本願の出願当初明細書の発明の詳細な説明には、本願発明に係る接着剤の接着効果を、その組成と共に具体的に示すような実験結果が何ら記載されていない。 
　接着剤の接着性は、接着剤の組成、接着時の温度・圧力条件、さらには接着後の使用条件に大きく影響されるものであるという当該技術分野における技術常識（審判請求人も平成２８年６月９日付けの意見書で言及しているが、本願の優先権主張の日前に日本国内において頒布されたものである特開２００８−２１８９９２号公報（当審拒絶理由の理由２．で引用した刊行物１）は、その段落【０００６】で、制電チャック等の「半導体製造装置用サセプター」と冷却板（本願の基盤サポート部品に相当する）とを接合するシリコーン粘着剤中の「熱伝導性フィラー」の含有率が上がると、その接着性が落ちることを示唆している。）を勘案すると、本願発明に係る接着剤の接着性は、具体的な実験結果を参酌しければ分からないことである。そうすると、斯かる具体的な実験結果が一切開示されていない発明の詳細な説明及び図面の記載をみても、当該技術分野における通常の知識を有する者、すなわち当業者は、本願発明に係る接着剤による接着性の改善を認識することができない。
 
　したがって、本願発明は、当該発明に係る接着剤のマトリックス成分であるシリコンベースの高分子材料が「３〜１０の繰り返しジメチルシロキサンユニットを有するポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）構造を含み、前記３〜１０の繰り返しジメチルシロキサンユニットの全ての成分の合計は、５００ｐｐｍ未満」であり、「フィラーは、（前記）接着層の体積で６７〜７０％」である旨の発明特定事項を含む点において、発明の詳細な説明において当該発明の課題が解決できることを当業者が認識できるように記載されていないから、発明の詳細な説明に記載されたものであるとすることができない。 
４．　審判請求人の主張
　請求人は、審判請求書において、本願発明は多種多様に存在する繰り返しジメチルシロキサンユニットの成分量が既知の（公知の手法によって予め計測されている）多数の接着剤を用意し、基板サポート部品の接着に使用して、所望の特性（例えば、ラップせん断ひずみ、引張りひずみ、耐浸食性及びガス放出特性等）が得られるかどうか実験を行い、その結果、「３〜１０の繰り返しジメチルシロキサンユニットを有するポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）構造を含み、前記３〜１０の繰り返しジメチルシロキサンユニットの全ての成分の合計は、５００ｐｐｍ未満である」という好適な条件を見出したものである旨、よって、本願発明の範囲を曖昧にすることのないように、特にそれらの詳細については記載していない旨、主張する。 
　そこで検討するに、本願の出願当初明細書には、そもそも、「３〜１０の繰り返しジメチルシロキサンユニットの全ての成分の合計が５００ｐｐｍ未満」が好適な条件であることの技術的根拠が開示されていない。また、請求人が主張する実験結果は、明細書に開示されていないのはもちろん、優先日当時の技術常識でもない。そして、当該実験結果をもって本願の記載不備を解消することはできないから、請求人の前記主張は採用の限りでなく、拒絶理由を解消する根拠となり得ない。
　また、当審拒絶理由を受けて平成２８年６月９日付けの意見書において、「３〜１０の繰り返しジメチルシロキサンユニットを有するポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）」は、既知の化学反応である架橋重合プロセスによって形成されるので、要求される特性（すなわち、３〜１０の繰り返しジメチルシロキサンユニットの全ての成分の合計は、５００ｐｐｍ未満）を提供することによって、第三者販売会社から容易に入手することが可能である。」、「優先日当時の上記技術常識、明細書に記載される機械的又は熱的特性を高める構成、及び特定成分を含む既知の接着剤の容易入手性を勘案すると、本願明細書に記載される事項をもって、当業者は、本願発明を実施することができる程度に明確かつ十分に本願発明を認識することができる。」旨、主張する。
　しかしながら、当審拒絶理由で指摘しているのは、本願の請求項に記載されている発明は発明の詳細な説明に開示されていないという点であるから、請求人の斯かる主張も採用の限りでなく、拒絶理由を解消する根拠となり得ない。
５．　むすび
　以上のとおり、本願の請求項１に係る発明は、発明の詳細な説明に記載したものではないから、本願は、特許法第３６条第６項第１号に規定する要件を満たしていない。
　したがって、本願は、その余の請求項について検討するまでもなく拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。