(57)【要約】【課題】積層工程、熱圧着工程、ダイシング工程を通じてただ１つの粘着テープを工程材として用いることにより、大幅にコストを低減し歩留まりを向上させた積層セラミックコンデンサの製造方法を提供する。【解決手段】セラミックグリーンシートを数十〜数百層に積層する積層工程と、積層したセラミックグリーンシートを加圧、加熱して押し固めてセラミックグリーンシート積層体を形成する熱圧着工程と、得られたセラミックグリーンシート積層体をダイシングするダイシング工程とを有する積層セラミックコンデンサの製造方法であって、前記積層工程、熱圧着工程、ダイシング工程を通じてただ１つの粘着テープのみを工程材として用い、前記粘着テープは、基材の一方の面に粘着剤層が形成されたものであり、５０ＭＰａの圧力付加時の粘着剤層表面の表面粗さＲａが１．０μｍ以下であり、２３℃おける粘着力が１．０Ｎ／２５ｍｍ以上、９０℃における粘着力が０．１Ｎ／２５ｍｍ以上であり、かつ、前記粘着剤層に刺激を与えることにより粘着力が低下するものである積層セラミックコンデンサの製造方法。【選択図】    なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミックグリーンシートを数十〜数百層に積層する積層工程と、積層したセラミックグリーンシートを加圧、加熱して押し固めてセラミックグリーンシート積層体を形成する熱圧着工程と、得られたセラミックグリーンシート積層体をダイシングするダイシング工程とを有する積層セラミックコンデンサの製造方法であって、
前記積層工程、熱圧着工程、ダイシング工程を通じてただ１つの粘着テープのみを工程材として用い、
前記粘着テープは、基材の一方の面に粘着剤層が形成されたものであり、５０ＭＰａの圧力付加時の粘着剤層表面の表面粗さＲａが１．０μｍ以下であり、２３℃おける粘着力が１．０Ｎ／２５ｍｍ以上、９０℃における粘着力が０．１Ｎ／２５ｍｍ以上であり、かつ、前記粘着剤層に刺激を与えることにより粘着力が低下するものである
ことを特徴とする積層セラミックコンデンサの製造方法。
【請求項２】
粘着テープは、粘着剤層に刺激を与えることにより２３℃における粘着力が０．０１Ｎ／２５ｍｍ以下となるものであることを特徴とする請求項１記載の積層セラミックコンデンサの製造方法。
【請求項３】
粘着テープは、粘着剤層の厚さが１５μｍ以下、動的粘弾性率が１．０×１０３〜１．０×１０７Ｐａであり、かつ、ゲル分率が５０％以上であることを特徴とする請求項１又は２記載の積層セラミックコンデンサの製造方法。
【請求項４】
粘着テープは、光硬化型粘着剤と光を照射することにより気体を発生する気体発生剤とを含有する粘着剤層を有することを特徴とする請求項１、２又は３記載の積層セラミックコンデンサの製造方法。
【請求項５】
請求項１、２、３又は４記載の積層セラミックコンデンサの製造方法により製造されたことを特徴とする積層セラミックコンデンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層工程、熱圧着工程、ダイシング工程を通じてただ１つの粘着テープを工程材として用いることにより、大幅にコストを低減し歩留まりを向上させた積層セラミックコンデンサの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
積層セラミックコンデンサは、通常、（１）セラミックグリーンシートを数十〜数百層に積層する積層工程と、（２）積層したセラミックグリーンシートを加圧、加熱して押し固めて積層体を形成する熱圧着工程と、（３）得られた積層体をダイシングするダイシング工程とを経て製造される。これらの各々の工程においては、基材の少なくとも一方の面に粘着剤層が形成された粘着テープが工程材として用いられる。
【０００３】
上記積層工程において用いられる粘着テープ（以下、「積層テープ」ともいう。）には、作業環境である常温下において確実にセラミックグリーンシートを積層していける程度の接着力と、積層後に容易に剥離できる程度の剥離性とが求められる。積層テープは、例えば特許文献１に、ポリエチレンテレフタレートフィルムを基材として、離型層を積層したものが記載されている。
【０００４】
上記熱圧着工程において用いられる粘着テープ（以下、「熱圧着テープ」ともいう。）には、セラミックグリーンシートを加圧、加熱して押し固める際に、セラミックグリーンシートがずれない程度の粘着力と、熱圧着後に容易に剥離できる程度の剥離性とが求められる。熱圧着テープは、例えば特許文献２に、基材の片面に熱膨張性マイクロカプセル及び層状珪酸塩を含有する熱剥離性粘着剤層を設けた熱剥離粘着シートが記載されている。
【０００５】
上記ダイシング工程において用いられる粘着テープ（以下、「ダイシングテープ」ともいう。）には、ダイシング時の衝撃によっても剥離が生じない程度の高い粘着力と、ダイシング後に不要となったときにセラミックグリーンシートを損傷することなく剥離できる剥離性とが要求される。ダイシングテープは、例えば特許文献３には、基材の片面に熱膨張性マイクロカプセル等の発泡剤を含有した粘着剤層を有する発泡性粘着テープが記載されている。発泡性粘着テープは、充分な粘着力を発揮する一方、ダイシング後に加熱することにより熱膨張性マイクロカプセルが膨張することにより粘着剤層が大きく発泡する。これにより、粘着剤層の表面に凹凸が生じることから、被着体であるセラミックグリーンシートと粘着剤層との接着面積が減少して、容易に剥離することができる。
【０００６】
以上のように工程材としての粘着テープは、各工程毎に異なる性能が求められることから、各々の工程に特化したものが用いられるのが技術常識であった。しかしながら、厳しいコスト競争のなか、異なる３種類もの工程材を使用することは好ましくない。また、各々の工程毎に粘着テープを貼り変える必要があり、工程がいたずらに煩雑になるとともに、歩留まり低下の原因ともなってる。更に近年、ますます電子部品の小型化が求められるようになってきている。例えば、０．６ｍｍ×０．３ｍｍ角や０．４ｍｍ×０．２ｍｍ角等の、極端に小型化した積層セラミックコンデンサが求められるようになってきている。このような極端に小型化した電子部品の製造では、製品歩留まりの確保は極めて重要な問題である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−３０１７９０号公報
【特許文献２】特開２００８−２６６４５５号公報
【特許文献３】特開平５−４３８５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、積層工程、熱圧着工程、ダイシング工程を通じてただ１つの粘着テープを工程材として用いることにより、大幅にコストを低減し歩留まりを向上させた積層セラミックコンデンサの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、セラミックグリーンシートを数十〜数百層に積層する積層工程と、積層したセラミックグリーンシートを加圧、加熱して押し固めてセラミックグリーンシート積層体を形成する熱圧着工程と、得られたセラミックグリーンシート積層体をダイシングするダイシング工程とを有する積層セラミックコンデンサの製造方法であって、前記積層工程、熱圧着工程、ダイシング工程を通じてただ１つの粘着テープのみを工程材として用い、前記粘着テープは、基材の一方の面に粘着剤層が形成されたものであり、５０ＭＰａの圧力付加時の粘着剤層表面の表面粗さＲａが１．０μｍ以下であり、２３℃おける粘着力が１．０Ｎ／２５ｍｍ以上、９０℃における粘着力が０．１Ｎ／２５ｍｍ以上であり、かつ、前記粘着剤層に刺激を与えることにより粘着力が低下するものである積層セラミックコンデンサの製造方法である。
以下に本発明を詳述する。
【００１０】
本発明者は、鋭意検討の結果、表面粗さや粘着力が一定の範囲にあり、かつ、刺激を与えることにより粘着力が低下する粘着剤層を有する粘着テープは、積層工程、熱圧着工程、ダイシング工程のいずれの工程においても工程材として用いることができ、該粘着テープをただ１つの工程材として用いることにより、大幅にコストを低減し歩留まりを向上させた積層セラミックコンデンサの製造方法を提供できることを見出し、本発明を完成した。
【００１１】
本発明の積層セラミックコンデンサの製造方法は、セラミックグリーンシートを数十〜数百層に積層する積層工程と、積層したセラミックグリーンシートを加圧、加熱して押し固めて積層体を形成する熱圧着工程と、得られた積層体をダイシングするダイシング工程とを有するものであって、これらの積層工程、熱圧着工程、ダイシング工程を通じてただ１つの粘着テープのみを工程材として用いることを特徴とする。
【００１２】
上記粘着テープの粘着剤層は、５０ＭＰａの圧力付加時の表面の表面粗さＲａの上限が１．０μｍである。ここで、５０ＭＰａの圧力は、上記熱圧着工程において粘着テープの表面にかかる圧力である。
５０ＭＰａの圧力をかけて熱圧着を行ったときに、工程材として用いた粘着テープの粘着剤層表面の凹凸が、セラミックグリーンシート積層体の表面に転写してしまうことがある。例えば、特許文献３に記載されたダイシングテープは、熱膨張性マイクロカプセル等の発泡剤を含有した粘着剤層を有することにより、加熱することにより熱膨張性マイクロカプセルが膨張して粘着剤層が大きく発泡し、粘着力が低下して容易に剥離することができる。しかしながら、このような発泡性粘着テープでは、含有する熱膨張性マイクロカプセルにより粘着剤層表面の凹凸が大きくなることから、上記熱圧着工程において熱圧着を行ったときに粘着テープの粘着剤表面の凹凸がセラミックグリーンシートの表面に転写されてしまうことがあった。本発明の積層セラミックコンデンサの製造方法においては、圧力付加時の表面の表面粗さＲａが一定以下である粘着テープを用いることにより、粘着剤層表面の凹凸の転写の問題を解消している。
【００１３】
上記粘着剤層の５０ＭＰａの圧力付加時の表面の表面粗さＲａが１．０μｍを超えると、上記熱圧着工程において熱圧着を行ったときに上記粘着テープの粘着剤表面の凹凸がセラミックグリーンシートの表面に転写されてしまう。上記粘着剤層の５０ＭＰａの圧力付加時の表面の表面粗さＲａの好ましい上限は１．０μｍである。
なお、本明細書においてＲａは、中心線平均粗さを意味し、ＪＩＳ  Ｂ  ０６０１−１９９４に準ずる方法により測定することができる。また、５０ＭＰａの圧力付加時の表面の表面粗さＲａは、例えば、当該粘着シートの粘着剤層の表面に厚さ０．２ｍｍのグリーンシート積層し、圧力付加後に紫外線を照射、粘着テープを取り除いてグリーンシートの表面を非接触型表面粗さ計で測定する方法により、測定することができる。
【００１４】
上記粘着テープは、２３℃おける粘着力が１．０Ｎ／２５ｍｍ以上、９０℃における粘着力が０．１Ｎ／２５ｍｍ以上である。
なお、本明細書において粘着力とは、ＪＩＳ  Ｚ−０２３７に準ずる方法により測定したセラミックグリーンシートに対する１８０°剥離強度を意味する。
【００１５】
上記粘着テープの２３℃おける粘着力が１．０Ｎ／２５ｍｍ未満であると、上記積層工程においてセラミックグリーンシートを数十〜数百層に積層する際に、セラミックグリーンシート同士がずれたりして積層不良を生じたりすることがある。上記粘着テープの２３℃おける粘着力の好ましい下限は２．０Ｎ／２５ｍｍである。
【００１６】
上記粘着テープの９０℃おける粘着力が０．１Ｎ／２５ｍｍ未満であると、上記ダイシング工程において熱がかかったときに、ダイシング時の衝撃によってセラミックグリーンシート積層体が横ずれしてしまい、高精度なカッティングができない。また、セラミックグリーンシートが粘着テープより剥がれてしまい、カッティング自体が継続出来ない不具合が発生することがある。上記粘着テープの９０℃おける粘着力の好ましい下限は０．２Ｎ／２５ｍｍである。
【００１７】
上記粘着テープは、粘着剤層に刺激を与えることにより粘着力が低下するものである。上記ダイシング工程後には、不要となった粘着テープをセラミックグリーンシート積層体から剥離する必要がある。上記粘着テープの粘着剤層が刺激を与えることにより粘着力が低下するものであることにより、セラミックグリーンシートを損傷することなく剥離することができる。
上記粘着剤層の粘着力を低下させる刺激としては特に限定されないが、紫外線等の光であることが好ましい。
【００１８】
具体的には、上記上記粘着テープは、粘着剤層に刺激を与えることにより２３℃における粘着力が０．０１Ｎ／２５ｍｍ以下となることが好ましい。２３℃における粘着力が０．０１Ｎ／２５ｍｍ以下にまで低下すると、セラミックグリーンシートを損傷することなく確実に剥離することができる。より好ましくは、０．００５Ｎ／２５ｍｍ以下である。
【００１９】
上記粘着テープの粘着剤層は、厚さが１５μｍ以下、動的粘弾性率が１．０×１０４〜１．０×１０７Ｐａであり、かつ、ゲル分率が５０％以上であることが好ましい。
上記ダイシング工程時には大きな衝撃がかかることから、９０℃おける粘着力が０．１Ｎ／２５ｍｍ以上であってもセラミックグリーンシート積層体が横ずれしてしまい、高精度なカッティングができないことがある。これは、ダイシング時の衝撃によって粘着剤層が変形してしまうことが限定であると考えられる。上記粘着テープの粘着剤層の厚さ、動的粘弾性率及びゲル分率を上記範囲にすることにより、ダイシング工程時の衝撃によっても粘着剤層の変形を防止し、より高精度なカッティングを行うことができる。また、上記積層工程において熱圧着を行う際、粘着テープの粘着剤層がはみ出してセラミックグリーンシート積層体を汚染してしまうことがある。上記粘着テープの粘着剤層の厚さ、動的粘弾性率及びゲル分率を上記範囲にすることにより、熱圧着時の粘着剤層のはみ出しを防止して、セラミックグリーンシート積層体の汚染を防止することができる。
【００２０】
上記粘着剤層表面の表面粗さ、粘着力を満たし、かつ、粘着剤層に刺激を与えることにより粘着力が低下する粘着テープとしては、具体的には例えば、基材の一方の面に光硬化型粘着剤と光を照射することにより気体を発生する気体発生剤とを含有する粘着剤層が形成された粘着テープが挙げられる。
上記粘着テープの粘着剤層が光硬化型粘着剤と光を照射することにより気体を発生する気体発生剤とを含有することにより、光を照射すると粘着剤層が硬化して弾性率が上がり粘着力が低下するとともに、硬化した硬い粘着剤層中で気体発生剤から発生した気体が粘着剤層の外に放出され、その放出圧力により被着体の少なくとも一部を剥離する。上記気体発生剤は、粘着剤層中に溶解させることができることから、上記粘着剤層表面の表面粗さＲａを一定以下にしながら、粘着剤層に刺激を与えることにより粘着力が低下するという性質を付与することができる。
【００２１】
上記基材は特に限定されず、例えば、アクリル、オレフィン、ポリカーボネート、塩化ビニル、ＡＢＳ、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ナイロン、ウレタン、ポリイミド等の透明な樹脂からなるシート、網目状の構造を有するシート、孔が開けられたシート等が挙げられる。
【００２２】
上記光硬化型粘着剤は特に限定されず、従来公知のものを用いることができる。具体的には、例えば、分子内にラジカル重合性の不飽和結合を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステル系の重合性ポリマーと、ラジカル重合性の多官能オリゴマー又はモノマーとを主成分とし、必要に応じて光重合開始剤を含んでなる光硬化型粘着剤等が挙げられる。
このような光硬化型粘着剤からなる粘着剤層は、光の照射により粘着剤層の全体が均一にかつ速やかに重合架橋して一体化するため、重合硬化による弾性率の上昇が著しくなり、粘着力が大きく低下する。
【００２３】
上記重合性ポリマーは、例えば、分子内に官能基を持った（メタ）アクリル系ポリマー（以下、官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーという）をあらかじめ合成し、分子内に上記の官能基と反応する官能基とラジカル重合性の不飽和結合とを有する化合物（以下、官能基含有不飽和化合物という）と反応させることにより得ることができる。
【００２４】
上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーは、常温で粘着性を有するポリマーとして、一般の（メタ）アクリル系ポリマーの場合と同様に、アルキル基の炭素数が通常２〜１８の範囲にあるアクリル酸アルキルエステル及び／又はメタクリル酸アルキルエステルを主モノマーとし、これと官能基含有モノマーと、更に必要に応じてこれらと共重合可能な他の改質用モノマーとを常法により共重合させることにより得られるものである。上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーの重量平均分子量は通常２０万〜２００万程度である。
【００２５】
上記官能基含有モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸等のカルボキシル基含有モノマーや、アクリル酸ヒドロキシエチル、メタクリル酸ヒドロキシエチル等のヒドロキシル基含有モノマーや、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル等のエポキシ基含有モノマーや、アクリル酸イソシアネートエチル、メタクリル酸イソシアネートエチル等のイソシアネート基含有モノマーや、アクリル酸アミノエチル、メタクリル酸アミノエチル等のアミノ基含有モノマー等が挙げられる。
上記共重合可能な他の改質用モノマーとしては、例えば、酢酸ビニル、アクリロニトリル、スチレン等の一般の（メタ）アクリル系ポリマーに用いられている各種のモノマーが挙げられる。
【００２６】
上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーに反応させる官能基含有不飽和化合物としては、上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーの官能基に応じて上述した官能基含有モノマーと同様のものを使用できる。例えば、上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーの官能基がカルボキシル基の場合はエポキシ基含有モノマーやイソシアネート基含有モノマーが用いられ、同官能基がヒドロキシル基の場合はイソシアネート基含有モノマーが用いられ、同官能基がエポキシ基の場合はカルボキシル基含有モノマーやアクリルアミド等のアミド基含有モノマーが用いられ、同官能基がアミノ基の場合はエポキシ基含有モノマーが用いられる。
【００２７】
上記多官能オリゴマー又はモノマーとしては、分子量が１万以下であるものが好ましく、より好ましくは加熱又は光の照射による粘着剤層の三次元網状化が効率よくなされるように、その分子量が５，０００以下でかつ分子内のラジカル重合性の不飽和結合の数が２〜２０個のものである。このようなより好ましい多官能オリゴマー又はモノマーとしては、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート又は上記同様のメタクリレート類等が挙げられる。その他、１，４−ブチレングリコールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、市販のオリゴエステルアクリレート、上記同様のメタクリレート類等が挙げられる。これらの多官能オリゴマー又はモノマーは、単独で用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。
【００２８】
上記光重合開始剤は、例えば、２５０〜８００ｎｍの波長の光を照射することにより活性化されるものが挙げられる。このような光重合開始剤としては、例えば、メトキシアセトフェノン等のアセトフェノン誘導体化合物や、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル系化合物や、ベンジルジメチルケタール、アセトフェノンジエチルケタール等のケタール誘導体化合物や、フォスフィンオキシド誘導体化合物や、ビス（η５−シクロペンタジエニル）チタノセン誘導体化合物、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、クロロチオキサントン、ドデシルチオキサントン、ジメチルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシメチルフェニルプロパン等の光ラジカル重合開始剤が挙げられる。これらの光重合開始剤は、単独で用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。
【００２９】
上記光を照射することにより気体を発生する気体発生剤は特に限定されないが、例えば、アゾ化合物、アジド化合物が好適に用いられる。アゾ化合物、アジド化合物は、上記非硬化性の粘着剤としてアクリル系粘着剤を用いた場合、該アクリル系粘着剤に溶解可能であることから、上記粘着剤層を極めて薄くすることができるとともに、その表面を平滑にすることができる。剥離時に加熱処理が不要であることから、剥離後のカットしたセラミックグリーンシートの再密着が発生するのを防止することもできる。
【００３０】
上記アゾ化合物としては、例えば、２，２’−アゾビス（Ｎ−シクロヘキシル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−メチルプロピル）−２−メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビス（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−メチルエチル）−２−メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビス（Ｎ−ヘキシル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス（Ｎ−プロピル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス（Ｎ−エチル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス｛２−メチル−Ｎ−［１，１−ビス（ヒドロキシメチル）−２−ヒドロキシエチル］プロピオンアミド｝、２，２’−アゾビス｛２−メチル−Ｎ−［２−（１−ヒドロキシブチル）］プロピオンアミド｝、２，２’−アゾビス［２−メチル−Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）プロピオンアミド］、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−プロペニル）−２−メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビス［２−（５−メチル−２−イミダゾイリン−２−イル）プロパン］ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［２−（２−イミダゾイリン−２−イル）プロパン］ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［２−（２−イミダゾイリン−２−イル）プロパン］ジサルフェイトジハイドロレート、２，２’−アゾビス［２−（３，４，５，６−テトラハイドロピリミジン−２−イル）プロパン］ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス｛２−［１−（２−ヒドロキシエチル）−２−イミダゾイリン−２−イル］プロパン｝ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［２−（２−イミダゾイリン−２−イル）プロパン］、２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオンアミダイン）ハイドロクロライド、２，２’−アゾビス（２−アミノプロパン）ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−カルボキシアシル）−２−メチル−プロピオンアミダイン］、２，２’−アゾビス｛２−［Ｎ−（２−カルボキシエチル）アミダイン］プロパン｝、２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオンアミドオキシム）、ジメチル２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオネート）、ジメチル２，２’−アゾビスイソブチレート、４，４’−アゾビス（４−シアンカルボニックアシッド）、４，４’−アゾビス（４−シアノペンタノイックアシッド）、２，２’−アゾビス（２，４，４−トリメチルペンタン）等が挙げられる。
【００３１】
上記アジド化合物としては、例えば、３−アジドメチル−３−メチルオキセタン、テレフタルアジド、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルベンズアジド等や、３−アジドメチル−３−メチルオキセタンを開環重合することにより得られるグリシジルアジドポリマー等のアジド基を有するポリマー等が挙げられる。これらのアジド化合物は、光、熱及び衝撃等による刺激により窒素ガスを発生する。
【００３２】
上記粘着テープを製造する方法は特に限定されず、例えば、ポリエチレンテレフタレート等の基材の一方の面に、上記光硬化型粘着剤や気体発生剤等を含有する粘着剤組成物をコンマコーター、ドクターナイフやスピンコーター等を用いて塗工する方法により製造することができる。
【００３３】
本発明の積層セラミックコンデンサの製造方法においては、上記粘着テープを積層工程、熱圧着工程、ダイシング工程を通じて工程材として用いる。具体的には、まず、キャリアフィルム上にグリーンシートを製膜した積層体を上記粘着テープの粘着剤層面側にラミネートした後、該キャリアフィルムを剥がす。更に同様の方法により、キャリアフィルム付きグリーンシートを順次積層していくことにより、セラミックグリーンシートを数十〜数百層に積層する。その後、上記粘着テープを剥離することなく積層したセラミックグリーンシートを加圧、加熱して押し固めてセラミックグリーンシート積層体を形成する。上記粘着テープを剥離することなく、得られたセラミックグリーンシート積層体をダイシングする。最後に、上記粘着テープの粘着剤層に刺激を与えることにより粘着力を低下させて、粘着テープを剥離する。
【００３４】
このように積層工程、熱圧着工程、ダイシング工程を通じてただ１つの粘着テープを工程材として用いることにより、大幅にコストを低減することができる。また、各工程毎に粘着テープを剥離する必要もないことから、工程が簡便となり、歩留まりも飛躍的に向上する。一般的な積層テープを用いて、積層工程、熱圧着工程、ダイシング工程を全て行おうとすると、ダイシング工程では密着力不足によりグリーンシートがズレてしまい、カット精度が悪くなり、実際の使用には供し得ないものとなる。また、一般的な熱圧着テープを用いて、積層工程、熱圧着工程、ダイシング工程を全て行おうとすると、剥離工程にて粘着力が充分に低減せず、グリーンシートが剥離できないことがある。
本発明の積層セラミックコンデンサの製造方法により製造された積層セラミックコンデンサもまた、本発明の一つである。
【発明の効果】
【００３５】
本発明によれば、積層工程、熱圧着工程、ダイシング工程を通じてただ１つの粘着テープを工程材として用いることにより、大幅にコストを低減し歩留まりを向上させた積層セラミックコンデンサの製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
以下に実施例を挙げて本発明の態様を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例にのみ限定されるものではない。
【００３７】
（実施例１）
（１）粘着剤溶液及び粘着テープの調製
下記の化合物を酢酸エチルに溶解させ、紫外線を照射して重合を行い、重量平均分子量３０万の共重合体からなる光硬化型粘着剤の酢酸エチル溶液を得た。
２エチルヘキシルアクリレート      ８０      重量部
メチルメタクリレート              １５      重量部
アクリル酸                          ３      重量部
２−ヒドロキシエチルアクリレート    ２      重量部
光重合開始剤                        １      重量部
（イルガキュア６５１、５０％酢酸エチル溶液）
ラウリルメルカプタン                ０．０１重量部
得られた光硬化型粘着剤を含む酢酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、２−イソシアナトエチルメタクリレート３．５重量部を加えて反応させ、更に、反応後の酢酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、ペンタエリスリトールトリアクリレート２０重量部、光重合開始剤（イルガキュア６５１、５０％酢酸エチル溶液）０．５重量部、ポリイソシアネート３．５重量部を混合した。更に、樹脂固形分１００重量部に対して、２，２’−アゾビス−（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）１００重量部混合して、「粘着剤組成物１」を調製した。
【００３８】
得られた粘着剤組成物１を、片面にコロナ処理を施した厚さ７５μｍの透明なポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムのコロナ処理上に乾燥皮膜の厚さが１５μｍとなるようにドクターナイフで塗工し１１０℃、５分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。乾燥後の粘着剤層は乾燥状態で粘着性を示した。次いで、粘着剤層の表面に離型処理が施されたＰＥＴフィルムを貼り付けた。その後、４０℃、３日間静置養生を行い、粘着テープを得た。
【００３９】
（２）積層セラミックコンデンサの製造
得られた粘着テープを用いて、下記の方法により積層セラミックコンデンサの製造を行った。
まず、チタン酸バリウムを主成分とするスラリーを、離型ＰＥＴ基材上にドクターブレードを用いて塗工し、セラミックグリーンシートを形成した。得られたセラミックグリーンシートに、スクリーン印刷法にて電極を印刷した。次いで、電極を印刷したセラミックグリーンシートを枚葉に切断した。積層後に最下層となる電極を印刷したセラミックグリーンシートを、得られた粘着テープの粘着剤層上にラミネート機を用いて貼着した後、離型ＰＥＴ基材を除去した。同様の方法により、規定の枚数となるまで、電極を印刷したセラミックグリーンシートの積層と離型ＰＥＴ基材の除去とを繰り返して積層を行った（積層工程）。
【００４０】
次いで、積層したセラミックグリーンシートの最上段の離型ＰＥＴ基材を除去し、新品の離型ＰＥＴ基材の離型面をセラミックグリーンシート面に重ねて貼着し、ポリエチレン袋に入れて真空引きをした後、熱シールにて真空パックにした。更に、静水圧機にて７０℃、５０ＭＰａの条件にて１０分間熱圧着を行い、セラミックグリーンシート積層体を得た（熱圧着工程）。
【００４１】
ポリエチレン袋から粘着テープ付きのセラミックグリーンシート積層体を取り出し、押切カット機にて６０℃条件下で０６０３サイズにカットした（ダイシング工程）。
【００４２】
次いで、粘着テープ面側から波長３６５ｎｍにおける照度が５０ｍＷ／ｃｍ２となるように高強度紫外線を４０秒間照射した。これにより、表面凹凸がないきれいな、焼成前の積層ラミックコンデンサを歩留まりよく得ることができた。
【００４３】
（実施例２）
ポリイソシアネートを３．５重量部から０．５重量部へ変更し、乾燥皮膜の厚さが１０μｍとなるように塗工した以外は実施例１と同様に粘着テープを得た。
得られた粘着テープを用いたい以外は実施例１と同様にして積層セラミックコンデンサを製造したところ、表面凹凸がないきれいな、焼成前の積層ラミックコンデンサを歩留まりよく得ることができた。
【００４４】
（実施例３）
下記の化合物を酢酸エチルに溶解させ、紫外線を照射して重合を行い、重量平均分子量３５万の共重合体からなる光硬化型粘着剤の酢酸エチル溶液を得た。
２エチルヘキシルアクリレート      ６０      重量部
メチルメタクリレート              ３５      重量部
アクリル酸                          ３      重量部
２−ヒドロキシエチルアクリレート    ２      重量部
光重合開始剤                        １      重量部
（イルガキュア６５１、５０％酢酸エチル溶液）
ラウリルメルカプタン                ０．０１重量部
得られた光硬化型粘着剤を含む酢酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、２−イソシアナトエチルメタクリレート３．５重量部を加えて反応させ、更に、反応後の酢酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、ペンタエリスリトールトリアクリレート２０重量部、光重合開始剤（イルガキュア６５１、５０％酢酸エチル溶液）０．５重量部、ポリイソシアネート２．０重量部を混合した。更に、樹脂固形分１００重量部に対して、２，２’−アゾビス−（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）１００重量部混合して、「粘着剤組成物２」を調製した。
【００４５】
得られた粘着剤組成物２を、片面にコロナ処理を施した厚さ７５μｍの透明なポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムのコロナ処理上に乾燥皮膜の厚さが１３μｍとなるようにドクターナイフで塗工し１１０℃、５分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。乾燥後の粘着剤層は乾燥状態で粘着性を示した。次いで、粘着剤層の表面に離型処理が施されたＰＥＴフィルムを貼り付けた。その後、４０℃、３日間静置養生を行い、粘着テープを得た。
得られた粘着テープを用いたい以外は実施例１と同様にして積層セラミックコンデンサを製造したところ、表面凹凸がないきれいな、焼成前の積層ラミックコンデンサを歩留まりよく得ることができた。
【００４６】
（実施例４）
ポリイソシアネートを２．０重量部から０．５重量部へ変更し、乾燥皮膜の厚さが１０μｍとなるように塗工した以外は実施例３と同様に粘着テープを得た。
得られた粘着テープを用いたい以外は実施例１と同様にして積層セラミックコンデンサを製造したところ、表面凹凸がないきれいな、焼成前の積層ラミックコンデンサを歩留まりよく得ることができた。
【００４７】
（実施例５）
下記の化合物を酢酸エチルに溶解させ、紫外線を照射して重合を行い、重量平均分子量３０万の共重合体からなる光硬化型粘着剤の酢酸エチル溶液を得た。
エチルアクリレート                ５０      重量部
メチルメタクリレート              ４５      重量部
アクリル酸                          ３      重量部
２−ヒドロキシエチルアクリレート    ２      重量部
光重合開始剤                        １      重量部
（イルガキュア６５１、５０％酢酸エチル溶液）
ラウリルメルカプタン                ０．０１重量部
得られた光硬化型粘着剤を含む酢酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、２−イソシアナトエチルメタクリレート３．５重量部を加えて反応させ、更に、反応後の酢酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、ペンタエリスリトールトリアクリレート２０重量部、光重合開始剤（イルガキュア６５１、５０％酢酸エチル溶液）０．５重量部、ポリイソシアネート１．５重量部を混合した。更に、樹脂固形分１００重量部に対して、２，２’−アゾビス−（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）１００重量部混合して、「粘着剤組成物３」を調製した。
【００４８】
得られた粘着剤組成物３を、片面にコロナ処理を施した厚さ７５μｍの透明なポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムのコロナ処理上に乾燥皮膜の厚さが１３μｍとなるようにドクターナイフで塗工し１１０℃、５分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。乾燥後の粘着剤層は乾燥状態で粘着性を示した。次いで、粘着剤層の表面に離型処理が施されたＰＥＴフィルムを貼り付けた。その後、４０℃、３日間静置養生を行い、粘着テープを得た。
得られた粘着テープを用いたい以外は実施例１と同様にして積層セラミックコンデンサを製造したところ、表面凹凸がないきれいな、焼成前の積層ラミックコンデンサを歩留まりよく得ることができた。
【００４９】
（比較例１）
粘着剤組成物２に熱膨張性マイクロカプセル（松本油脂社製、マイクロスフェア−Ｆ５０Ｄ）３０重量部添加し、乾燥皮膜の厚さが４０μｍとなるように塗工した以外は実施例３と同様に粘着テープを得た。
【００５０】
（比較例２）
乾燥皮膜の厚さが２５μｍとなるように塗工した以外は実施例３と同様に粘着テープを得た。
【００５１】
（比較例３）
ポリイソシアネートを０．１重量部にした以外は実施例３と同様の方法にて粘着テープを作成した。
【００５２】
（比較例４）
綜研化学社製の粘着剤（ＮＭ２）にポリイソシアネートを２．０重量部添加した後、片面にコロナ処理を施した厚さ７５μｍの透明なポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムのコロナ処理上に乾燥皮膜の厚さが１２μｍとなるようにドクターナイフで塗工し１１０℃、５分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。乾燥後の粘着剤層は乾燥状態で粘着性を示した。次いで、粘着剤層の表面に離型処理が施されたＰＥＴフィルムを貼り付けた。その後、４０℃、３日間静置養生を行い、粘着テープを得た。
【００５３】
（比較例５）
下記の化合物を酢酸エチルに溶解させ、紫外線を照射して重合を行い、重量平均分子量５０万の共重合体からなる光硬化型粘着剤の酢酸エチル溶液を得た。
エチルアクリレート                ２０      重量部
メチルメタクリレート              ７５      重量部
アクリル酸                          ３      重量部
２−ヒドロキシエチルアクリレート    ２      重量部
光重合開始剤                        １      重量部
（イルガキュア６５１、５０％酢酸エチル溶液）
ラウリルメルカプタン                ０．０１重量部
得られた光硬化型粘着剤を含む酢酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、２−イソシアナトエチルメタクリレート３．５重量部を加えて反応させ、更に、反応後の酢酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、ペンタエリスリトールトリアクリレート２０重量部、光重合開始剤（イルガキュア６５１、５０％酢酸エチル溶液）０．５重量部、ポリイソシアネート２．０重量部を混合した。更に、樹脂固形分１００重量部に対して、２，２’−アゾビス−（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）１００重量部混合して、「粘着剤組成物４」を調製した。
【００５４】
得られた粘着剤組成物４を、片面にコロナ処理を施した厚さ７５μｍの透明なポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムのコロナ処理上に乾燥皮膜の厚さが１５μｍとなるようにドクターナイフで塗工し１１０℃、５分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。乾燥後の粘着剤層は乾燥状態で粘着性を示した。次いで、粘着剤層の表面に離型処理が施されたＰＥＴフィルムを貼り付けた。その後、４０℃、３日間静置養生を行い、粘着テープを得た。
【００５５】
（評価）
実施例及び比較例にて得られた粘着テープについて、以下の方法により性能を評価した。
結果を表１に示した。
【００５６】
（１）５０ＭＰａの圧力付加時の粘着剤層表面の表面粗さＲａの測定
下記方法にて代用評価を実施した。即ち、粘着テープの粘着剤層面に０．２ｍｍ厚のグリーンシートを積層し、圧着装置にて温度６０℃、圧力５０ＭＰａの条件にて１０分間保持した。その後粘着テープ面側から波長３６５ｎｍにおける照度が５０ｍＷ／ｃｍ２となるように高強度紫外線を４０秒間照射し、粘着テープを剥がした後、グリーンシート表面に附型した凹凸を非接触表面粗さ測定装置（三鷹光器社製、ＮＨ１２０Ｓ）にて測定することにより、Ｒａを求めた。
【００５７】
（２）２３℃における粘着力の測定
２５ｍｍ幅にカットした粘着テープを、２３℃環境下、２ｋｇローラーを用いて鏡面Ｓｉウェハの表面に貼着して、２３℃、２０分間放置した。その後、オートグラフ（島津製作所社製、ＡＧ−ＩＳ）を用いて、引っ張り速度３００ｍｍ／分の条件で１８０度ピール粘着力を測定した。
【００５８】
（３）９０℃における粘着力の測定
２５ｍｍ幅にカットした粘着テープを、２３℃環境下、２ｋｇローラーを用いて鏡面Ｓｉウェハの表面に貼着して、２３℃、２０分間放置した。その後、９０℃に設定したホットプレート上に、粘着テープが貼着されていない面がホットプレート接触するようにウェハを置いて加熱した。加熱開始１０分後に、オートグラフ（島津製作所社製、ＡＧ−ＩＳ）を用いて、引っ張り速度３００ｍｍ／分の条件で１８０度ピール粘着力を測定した。
【００５９】
（４）光照射後の粘着力の測定
２５ｍｍ幅にカットした粘着テープを、２３℃環境下、２ｋｇローラーを用いて鏡面Ｓｉウェハの表面に貼着して、２３℃、２０分間放置した。粘着テープ面側から波長３６５ｎｍにおける照度が５０ｍＷ／ｃｍ２となるように高強度紫外線を４０秒間照射した。照射終了後、オートグラフ（島津製作所社製、ＡＧ−ＩＳ）を用いて、引っ張り速度３００ｍｍ／分の条件で１８０度ピール粘着力を測定した。
【００６０】
（５）粘着剤層の動的粘弾性率の測定
実施例、比較例で調製した粘着剤組成物を、片面に離型処理を施した厚さ１００μｍの透明なポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの離型処理を施した面上に、乾燥皮膜の厚さが０．５ｍｍとなるようにドクターナイフで塗工し、１１０℃、５分間加熱して溶剤を揮発させ塗工溶液を乾燥させた後、４０℃、３日間静置して養生を行った。養生後、ＰＥＴフィルムから粘着剤層を剥離し、厚み０．５ｍｍ、長さ１０ｍｍ、巾５ｍｍのサンプルを調製した。このサンプルについて、粘弾性測定器（ＩＴ計測社製）を用いて、昇温速度３℃／分、周波数１０Ｈｚ、設定歪み０．５％の条件にて剪断法により１００℃における動的粘弾性率を測定した
【００６１】
（６）粘着剤層のゲル分率の測定
実施例、比較例で調製した粘着剤組成物を、片面に離型処理を施した厚さ１００μｍの透明なポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの離型処理を施した面上に、乾燥皮膜の厚さが１０μｍとなるようにドクターナイフで塗工し、１１０℃、５分間加熱して溶剤を揮発させ塗工溶液を乾燥させた後、別の片面に離型処理を施した厚さ１００μｍの透明なＰＥＴフィルムの離型処理を施した面を貼り合わせた。４０℃オーブンにて３日間養生した。
【００６２】
養生後、両面のＰＥＴフィルムを剥離して粘着剤のみからなるフィルムを得、このフィルムの重量Ａを測定した。次いで粘着剤のみからなるフィルムをサンプル瓶に入れ、サンプル瓶を酢酸エチル溶液で満たした後、室温で２４時間振とうした。予め重量を計量した（重量Ｂ）２００メッシュの金属金網からなる箱に、振とう後の粘着剤溶液を移した。１１０℃のオーブン中で２時間乾燥した後、その重量（重量Ｃ）を測定した。下記式にてゲル分率を算出した。
（重量Ｃ−重量Ｂ）／重量Ａ×１００  ＝  ゲル分率（％）
【００６３】
（７）粘着剤の染みだしの評価
粘着テープの粘着剤層上に０．２ｍｍ厚のグリーンシートを積層し、圧着装置にて温度６０℃、圧力５０ＭＰａの条件にて１０分間保持した。常温常圧環境下に戻した後、グリーンシートの側面を顕微鏡にて観察して、粘着剤が付着しているか否かを確認した。
【００６４】
（８）カットズレ性の評価
以下の方法によりカットズレ性の評価を行った。
得られた粘着テープの各々をグリーンシートに貼り合わせた。これを１００５サイズに押切法にてカットして１００個のカット済グリーンシートを得た。各々のカット済グリーンシートをメジャー付き顕微鏡にて観察し、横方向のサイズを測定した。横方向のサイズが５０±５μｍを逸脱しなかったものの数が全体の８０％以上であった場合を「○」、８０％未満であるた場合を「×」として評価した。また、カット時にセラミックグリーンシートが電子部品加工用粘着テープから剥離してカット不能であった場合も「×」として評価した。
【００６５】
（９）剥離性の評価
以下の方法により剥離性の評価を行った。
得られた粘着テープの各々をグリーンシートに貼り合わせた。これを１００５サイズに押切法にてカットして１００個のカット済グリーンシートを得た。各々のカット済グリーンシートを下側にし、は粘着テープ面側から波長３６５ｎｍにおける照度が５０ｍＷ／ｃｍ２となるように高強度紫外線を４０秒間照射した。
照射終了後に落下したカット済グリーンシート数を計数し、９０％以上がテープから剥離して落下していた場合を「○」、落下したカット済グリーンシートの数が９０％未満であった場合を「×」として評価した。
【００６６】
【表１】
2011077391.tif 000002
【００６７】
なお、比較例で得られた粘着テープを用い、実施例１と同様にして積層セラミックコンデンサを製造したが、上記評価結果により確認された種々の要因により、正常な積層セラミックコンデンサを得ることはできなかった。
また、既存の積層用フィルム、圧着工程用フィルムを用い、実施例１と同様にして積層セラミックコンデンサを製造した。しかしながら、ダイシング工程にて積層電極印刷生シートが粘着力不足により粘着面より浮き上がり、精度良く切れないばかりか、欠け等の不具合が発生した。また、既存の熱膨張性微粒子型ダイシング工程粘着テープを用いると、圧着工程後に粘着テープの糊染みだしが生シートの端面に付き、歩留まりを落とした。更に、熱膨張性微粒子起因により生シートの表面に凹凸が発生し歩留まりが更に低下した。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
本発明によれば、積層工程、熱圧着工程、ダイシング工程を通じてただ１つの粘着テープを工程材として用いることにより、大幅にコストを低減し歩留まりを向上させた積層セラミックコンデンサの製造方法を提供することができる。