(57)【要約】【課題】縦置き又は横置きで基板を載置可能であるとともに、センサの個数を削減することができるプリアライメント装置を提供する。【解決手段】プリアライメント装置１２は、基板Ｗの長辺をＸ方向に沿って縦置きに配置可能であるとともに、基板Ｗの長辺をＹ方向に沿って横置きに配置可能な基板保持部２２と、基板保持部２２に縦置き又は横置きに配置された基板の基準辺を検出可能な複数のエッジセンサ２７と、を備える。そして、エッジセンサ２７の少なくとも一つは、縦置きに配置された基板Ｗの基準辺及び横置きに配置された基板Ｗの基準辺を検出するように、回転駆動可能に構成される共用センサ３０である。【選択図】図２
2011170171.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光装置本体に搬送される長方形形状の基板をプリアライメントするためのプリアライメント装置であって、
前記基板の長辺を第１の方向に沿って縦置きに配置可能であるとともに、前記基板の長辺を前記第１の方向と略直交する第２の方向に沿って横置きに配置可能な基板保持部と、
前記基板保持部に縦置き又は横置きに配置された前記基板の基準辺を検出可能な複数のセンサと、
を備え、
前記センサの少なくとも一つは、前記縦置きに配置された前記基板の基準辺及び前記横置きに配置された前記基板の基準辺を検出するように、回転駆動可能に構成される共用センサであることを特徴とするプリアライメント装置。
【請求項２】
前記基板保持部に縦置き又は横置きに配置された前記基板は、その基準辺である長辺の２箇所及び短辺の１箇所で検出され、
前記共用センサは、前記縦置きに配置された基板の長辺、前記横置きに配置された基板の長辺を検出するように、回転駆動することを特徴とする請求項１に記載のプリアライメント装置。
【請求項３】
前記共用センサは、回転軸に一端部が取り付けられたアームの他端部に取り付けられ、前記回転軸をアクチュエータで駆動することによって、前記縦置きに配置された前記基板の前記基準辺、及び前記横置きに配置された前記基板の基準辺を検出することを特徴とする請求項１又は２に記載のプリアライメント装置。
【請求項４】
前記共用センサは、前記基板に対して測定光を出射する投光部と、前記基板に対して前記投光部と反対側に配置され、前記投光部から出射された前記測定光を受光する受光部と、を備え、
前記投光部及び受光部は同時に回転駆動可能であることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のプリアライメント装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリアライメント装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、露光装置ユニットでは、露光装置本体に基板を搬送する前に、基板の位置を粗く位置合わせする基板のプリアライメントが行われている（例えば、特許文献１参照。）。例えば、特許文献１に記載のプリアライメント装置では、基板の端部の少なくとも３箇所の基準位置を撮像手段によって撮像し、画像処理によって得られた画像情報に基づいてプリアライメントを行うようにし、容易に基板の位置を検出できるとともに、基板と装置との接触を排していることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−２９７４０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、液晶パネルは縦横の長さが異なる長方形形状に形成されており、基板をプリアライメント装置に搬送する際、基板はプリアライメント装置に対して縦置きに配置される場合と、横置きに配置される場合がある。このため、いずれの置き方においても、基板のエッジを検出できるように、それぞれの置き方に対応する数のセンサの個数が必要となっていたため、装置コストが嵩むという課題があった。特許文献１に記載のプリアライメント装置では、そのような置き方毎のセンサの配置については記載されていなかった。
【０００５】
本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、縦置き又は横置きで基板を載置可能であるとともに、センサの個数を削減することができるプリアライメント装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。
（１）  露光装置本体に搬送される長方形形状の基板をプリアライメントするためのプリアライメント装置であって、
前記基板の長辺を第１の方向に沿って縦置きに配置可能であるとともに、前記基板の長辺を前記第１の方向と略直交する第２の方向に沿って横置きに配置可能な基板保持部と、
前記基板保持部に縦置き又は横置きに配置された前記基板の基準辺を検出可能な複数のセンサと、
を備え、
前記センサの少なくとも一つは、前記縦置きに配置された前記基板の基準辺及び前記横置きに配置された前記基板の基準辺を検出するように、回転駆動可能に構成される共用センサであることを特徴とするプリアライメント装置。
（２）  前記基板保持部に縦置き又は横置きに配置された前記基板は、その基準辺である長辺の２箇所及び短辺の１箇所で検出され、
前記共用センサは、前記縦置きに配置された基板の長辺、前記横置きに配置された基板の長辺を検出するように、回転駆動することを特徴とする（１）に記載のプリアライメント装置。
（３）  前記共用センサは、回転軸に一端部が取り付けられたアームの他端部に取り付けられ、前記回転軸をアクチュエータで駆動することによって、前記縦置きに配置された前記基板の前記基準辺、及び前記横置きに配置された前記基板の基準辺を検出することを特徴とする（１）又は（２）に記載のプリアライメント装置。
（４）  前記共用センサは、前記基板に対して測定光を出射する投光部と、前記基板に対して前記投光部と反対側に配置され、前記投光部から出射された前記測定光を受光する受光部と、を備え、
前記投光部及び受光部は同時に回転駆動可能であることを特徴とする（１）から（３）のいずれかに記載のプリアライメント装置。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のプリアライメント装置によれば、縦置き又は横置きで基板を載置可能であるとともに、基板保持部に縦置き又は横置きに配置された基板の基準辺を検出する複数のセンサのうち、少なくとも一つのセンサは、縦置きに配置された基板の基準辺及び横置きに配置された基板の基準辺を検出するように、回転駆動可能に構成される共用センサとしたので、センサの個数を削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第１実施形態の露光装置ユニットを説明するための概略図である。
【図２】本発明のプリアライメント装置を示す上面図である。
【図３】本発明のプリアライメント装置を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施形態に係るプリアライメント装置について図面を参照して詳細に説明する。
【００１０】
図１に示すように、本実施形態のプリアライメント装置が適用される露光装置ユニット１０は、前処理工程からの基板を搬送する上流側コンベア１１と、プリアライメント装置１２と、露光装置本体１３と、露光済み基板を後処理工程へ搬送する下流側コンベア１４と、これら装置１１、・・・、１４間で基板の受け渡しを行う搬送用ロボット１５と、を有する。
【００１１】
露光装置ユニット１０では、上流側コンベア１１から搬送された基板Ｗは、搬送用ロボット１５によって、プリアライメント装置１２に搬送され、露光装置本体１３に基板Ｗを搬送する前に、基板Ｗの位置を粗く位置合わせする。その後、プリアライメント済みの基板Ｗは、搬送用ロボット１５によって、露光装置本体１３に搬送され、露光装置本体１３では、プリアライメントされた基板Ｗを基板ステージ１６に載置した状態で、マスクＭを介して露光光を照射して、マスクＭに形成されたパターンを基板Ｗに露光転写する。さらに、搬送用ロボット１５は、露光済み基板Ｗを露光装置本体１３から受け取って、露光済み基板を下流側コンベア１４に受け渡す。なお、露光装置本体１３、上流側及び下流側コンベア１１、１４は、公知のものが適用される。
【００１２】
ここで、プリアライメント装置１２は、図２及び図３に示すように、基台２１と、基板Ｗを保持する基板保持部２２と、基板保持部２２を支持する支持部材２３を、基台２１に対してＸ方向（本発明では、第１の方向）、Ｘ方向と略直交するＹ方向（本発明では、第２の方向）、及びＸ、Ｙ方向に垂直な軸周りのθ方向に回転駆動する基板駆動機構２４と、支持部材２３に対して、複数のピン２５を上下方向に駆動して、基板保持部２２に形成された複数のピン孔２２ａから進退させるピン駆動機構２６と、を備える。
【００１３】
また、このプリアライメント装置１２の基板保持部２２では、長方形形状の基板Ｗの長辺がＸ方向に沿った縦置きに配置可能であるとともに、基板Ｗの長辺がＹ方向に沿った横置きにも配置可能である。このため、プリアライメント装置１２は、基板保持部２２に縦置き又は横置きに配置された基板Ｗの基準辺を検出可能な複数のエッジセンサ２７を、さらに備える。具体的に、各エッジセンサ２７は、基板Ｗに対して測定光を出射する投光部２７ａと、基板Ｗに対して投光部２７ａと反対側に配置され、投光部２７ａから出射された測定光を受光する受光部２７ｂと、を備える。なお、投光部２７ａは、基板Ｗの法線に対して傾斜した方向から測定光を出射して、基板Ｗのエッジの内外による受光量の差を受光部２７ｂで検出するようにしてもよい。
【００１４】
また、図２に示すように、基板保持部２２に縦置き又は横置きに配置された基板Ｗは、その基準辺である長辺の両端部２箇所及び短辺の中間部１箇所（縦置きの基板Ｗａでは右辺と下辺、横置きの基板Ｗｂでは、上辺と右辺）で検出されるため、各置き方に対応して３箇所にエッジセンサ２７が必要となる。本実施形態では、複数のエッジセンサ２７の中に、縦置きに配置された基板Ｗａの長辺の一端部と、横置きに配置された基板Ｗｂの長辺の一端部の両方を検出できるように、回転駆動可能な共用センサ３０が含まれている。
【００１５】
共用センサ３０は、回転軸３１に一端部が取り付けられたアーム３２の他端部に取り付けられ、回転軸３１をアクチュエータ（図示せず）で駆動することによって、縦置きの基板Ｗａの長辺と、横置きの基板Ｗｂの長辺を検出できる。また、共用センサ３０の投光部２７ａと受光部２７ｂは、回転軸３１が回転駆動することで、同時に回転駆動可能である。
【００１６】
なお、基板保持部２２は、図２に示すように、複数のエッジセンサ２７による測定の際に測定光を遮らないように形成されており、また、共用センサ３０のアーム３２が稼動する際にも干渉しないように形成されている。また、各エッジセンサ２７は、搬送用ロボット１５のハンドとも干渉しない位置に配置されている。
【００１７】
以上説明したように、本実施形態のプリアライメント装置１２によれば、基板Ｗの長辺をＸ方向に沿って縦置きに配置可能であるとともに、基板Ｗの長辺をＹ方向に沿って横置きに配置可能な基板保持部２２と、基板保持部２２に縦置き又は横置きに配置された基板の基準辺を検出可能な複数のエッジセンサ２７と、を備える。そして、エッジセンサ２７の少なくとも一つは、縦置きに配置された基板Ｗの基準辺及び横置きに配置された基板Ｗの基準辺を検出するように、回転駆動可能に構成される共用センサ３０であるので、エッジセンサ２７の個数を削減することができ、プリアライメント装置１２のコストダウンを図ることができる。
【００１８】
また、基板保持部２２に縦置き又は横置きに配置された基板Ｗは、その基準辺である長辺の２箇所及び短辺の１箇所で検出され、共用センサ３０は、互いに近接する、縦置きに配置された基板Ｗａの長辺の端部と、横置きに配置された基板Ｗｂの長辺の端部を検出するように、回転駆動するので、共用センサ３０をコンパクトな構成とすることができる。
【００１９】
さらに、共用センサ３０は、回転軸３１に一端部が取り付けられたアーム３２の他端部に取り付けられ、回転軸３１をアクチュエータで駆動することによって、縦置きに配置された基板Ｗａの長辺、及び横置きに配置された基板Ｗｂの長辺を検出するので、簡単な構成で共用センサ３０を構成することができる。
【００２０】
加えて、共用センサ３０は、基板Ｗに対して測定光を出射する投光部２７ａと、基板Ｗに対して投光部２７ａと反対側に配置され、投光部２７ａから出射された測定光を受光する受光部２７ｂと、を備え、投光部２７ａ及び受光部２７ｂは同時に回転駆動可能であるので、投光部２７ａ及び受光部２７ｂを有する共用センサ３０によって縦置き又は横置きの基板Ｗのエッジ部分を検出することができる。
【００２１】
尚、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良等が可能である。
本実施形態では、投光部２７ａと受光部２７ｂとを一本の回転軸３１によって同時に回転駆動可能としたが、別々の回転軸で独立に回転駆動するようにしてもよい。また、投光部２７ａと受光部２７ｂを二本のアーム３２にそれぞれ取り付けているが、一本のアーム３２に取り付けて同時に回転駆動するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００２２】
１０  露光装置ユニット
１１  上流側コンベア
１２  プリアライメント装置
１３  露光装置本体
１４  下流側コンベア
１５  搬送用ロボット
２７  エッジセンサ
２７ａ  投光部
２７ｂ  受光部
３０  共用センサ
３１  回転軸
３２  アーム
Ｗ、Ｗａ、Ｗｂ  基板
【図１】
2011170171.tif 000003
【図２】
2011170171.tif 000004
【図３】
2011170171.tif 000005