(57)【要約】【課題】分割精度が高く、分割後の各配線基板のバリや欠けの発生が低減され、全体形状が所望の形状に保たれた連結配線基板を提供する。【解決手段】母基板２の主面上に、複数の配線基板領域３が縦横に配列され、配線基板領域３の境界領域に形成された分割溝４に沿って複数の分割孔６が列設された連結配線基板１であって、分割孔６が、有底の段孔である連結配線基板１。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
母基板の主面上に、複数の配線基板領域が縦横に配列され、前記配線基板領域の境界領域に形成された分割溝に沿って複数の分割孔が列設された連結配線基板であって、前記分割孔が、有底の段孔であることを特徴とする連結配線基板。
【請求項２】
前記分割孔が前記母基板の主面に対して開口する開口部の最長幅が、前記分割溝における底部の最長幅より広く形成されている請求項１記載の連結配線基板。
【請求項３】
前記開口部の最長幅が、２００μｍ以上５００μｍ以下である請求項１又は２項記載の連結配線基板。
【請求項４】
前記底部の最長幅が、前記開口部の最長幅の４０％以上７０％以下である請求項１乃至３のいずれか１項記載の連結配線基板。
【請求項５】
前記開口部から前記底部までの距離が、１００μｍ以上３００μｍ以下である請求項１乃至４のいずれか１項記載の連結配線基板。
【請求項６】
前記分割溝が、前記母基板の両主面上に設けられている請求項１乃至５のいずれか１項記載の連結配線基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、連結配線基板に係わり、より詳細には、各々が電子部品を搭載するための配線基板となる配線基板領域が、複数個連結して配列形成された、連結配線基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体素子等の電子部品を搭載するための配線基板は、例えば、セラミックス焼結体等から成る基板本体の表面に、金属粉末メタライズから成る配線導体が配設されて形成されている。
【０００３】
近年、電子装置の小型化の要求に伴い、配線基板のサイズも小型化が進んでいる。小サイズの配線基板を効率よく製作するため、例えば図１で示すような、いわゆる連結配線基板を分割して作製することが行われている。
連結配線基板は、広面積の母基板２の中央部に、配線基板となる配線基板領域３を縦横に複数個配列形成し、各配線基板領域３を区分する分割溝４を縦横に形成したものである。この分割溝４に沿って母基板２を分割することにより、複数の配線基板３を効率的に製造することが可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭５８−１８６９５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、分割溝４に沿って母基板２を分割しても、分割後の配線基板３の表面には、この分割溝４近傍の位置を中心として、バリや欠けが発生するという問題がある。配線基板３にバリや欠けが存在すると、この配線基板３に電子部品を搭載する際、実装位置の精度が低下するおそれがある。
【０００６】
例えば特許文献１では、チップキャリアと、その外周部の廃棄部との間にスリット（分割溝）を形成し、このスリット上に、封止用枠体部まで貫通せず、基板下底面に開口する端子用ホールを設けたチップキャリア用基板が開示されている（例えば特許文献１参照。）。
このように、分割溝（スリット）に沿って端子ホール等の孔を設けると、分割部分の接合強度が低下し、分割のために基板に加える力を低減できるため、分割精度を向上させることができる。
【０００７】
分割孔は、孔径を広く確保すると、分割部分の接合強度が低下し、分割のために基板に加える力を低減できるため、分割精度が高められ、分割時のバリや欠けの発生を減少させることが可能となる。
しかしながら、孔径の小さい分割孔を設けた場合、分割溝部分の接合強度が十分に低下しないため、基板を分割する際には強い力が必要となる。従って、基板上に分割孔を設けても、バリや欠けの発生が必ずしも抑制されないという問題がある。
一方、分割孔の孔内の体積が大きすぎると、孔部を中心として、その周辺の基板が反ったり収縮したりすることがあり、連結配線基板全体の形状が、所望に形状に保たれなくなるおそれがある。
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、分割精度に優れ、分割後の各配線基板のバリや欠けの発生が少なく、また焼成後の全体形状が所望の形状に保たれた連結配線基板の提供を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の連結配線基板は、母基板の主面上に、複数の配線基板領域が縦横に配列され、前記配線基板領域の境界領域に形成された分割溝に沿って複数の分割孔が列設された連結配線基板であって、前記分割孔が、有底の段孔であることを特徴とする。
【００１０】
前記分割孔が前記母基板の主面に対して開口する開口部の最長幅は、前記分割溝における底部の最長幅より広く形成されていることが好ましい。また、前記開口部の最長幅は、２００μｍ以上５００μｍ以下であることが好ましい。また、前記底部の最長幅は、前記開口部の最長幅の４０％以上７０％以下であることが好ましい。また、前記開口部から前記底部までの距離は、１００μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。また、前記分割溝は、前記母基板の両主面上に設けられていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、分割溝に沿って、有底の段孔である分割孔を設けることで、分割精度を向上させることができ、分割後の各配線基板のバリや欠けの発生が少なく、また、焼成後の全体形状が所望の形状に保たれた連結配線基板とできる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の連結配線基板の一例を示す平面図である。
【図２】本発明の連結配線基板を分割して得られた配線基板を、第１主面側から見た斜視図である。
【図３】図１のＡ−Ａ線断面の一部を拡大して示す断面図である。
【図４】本発明の連結配線基板の配線基板領域の一部を第２主面において拡大して示す拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。
【００１４】
図１は、本発明の連結配線基板１の実施形態の一例を示す平面図である。
図１において、連結配線基板１は、これを主として構成する母基板２を有している。母基板２の一方の主面（図示面。以下、第１主面２Ａと示す。）には、縦４個、横６個、計２４個の配線基板領域３が配列されており、各配線基板領域３の境界領域には、縦方向の分割溝４ａと、横方向の分割溝４ｂとからなる分割溝４が設けられている。また、第１主面２Ａに形成された分割溝４ａ、４ｂと、母基板２を挟んで同位置となるように、この第１主面２Ａとは反対側の主面である第２主面上２Ｂにも分割溝４ａ、４ｂが設けられている（図２及び図４参照。）。
両主面上に設けた分割溝４（４ａ、４ｂ）に沿って母基板２を分割することにより、複数個の配線基板３（図２参照。）が形成されるようになっている。
【００１５】
図３は、図１のＡ−Ａ線断面の一部を示す断面図であり、図３中、２本の分割溝４ｂで挟まれた母基板２の領域が、一の配線基板領域３となっている。母基板２の第１主面２Ａ（図中上側。）の中央部には、キャビティ５が形成されている（図２参照。）。キャビティ５は、その底面上に発光素子等のチップが搭載されるものであり、母基板２の壁面で囲まれた凹部として形成されている。
【００１６】
分割孔６は、このようなキャビティ５が形成される第１主面２Ａとは反対側の主面である第２主面２Ｂに対して設けられており、各分割溝４ａ及び４ｂの線上に一定間隔を空けて設けられている（図４参照。）。
分割孔６は、例えば図３に示すように、分割溝４ｂを跨いで、第２主面２Ｂ側に開口させて設けられており、第１主面２Ａ側に貫通しないようにして、母基板２の内部に底部６ｂを有する有底孔として設けられている。底部６ｂは、母基板２のうち、分割孔６内側の頂上部に現れた面によって形成されており、この底部６ｂと対向する部位が、開口部６ａとなっている。
【００１７】
分割孔６は、図３に示すように、その断面が階段状に形成された段孔とされている。このようなものとすることで、開口部６ａを広く確保できるため、分割部分の接合強度が低下する。従って、分割のために基板に加える力が低減され、基板の分割精度を向上させることができる。このため、分割時のバリや欠けの発生数を減少させることができる。また、開口部６ａを広く確保しても、底部６ｂの幅を開口部６ａの幅と同一に形成した場合と比較して、分割孔６内の体積増加が抑えられるため、焼成時における、分割孔６周辺の基板の変形が抑制され、全体の形状が所望の形状に保たれた連結配線基板１とすることができる。
【００１８】
分割孔６は、周面が階段状とされて、開口部６ａの最長幅が底部６ｂの最長幅より広く形成されたものがよく、このようなものであれば、段数は一段であってもよく、または複数段であってもよい。なお、製造上の便宜の観点からは、一段以上二段以下であることが好ましい。
ここで、開口部６ａ及び底部６ｂの最長幅とは、開口部６ａ及び底部６ｂにおいて、一の端縁から対向側の端縁までが最も離れた箇所での各端縁間の距離をいう。
【００１９】
なお、分割孔６を形成する面は、必ずしも第２主面２Ｂである必要はなく、キャビティ５の形成面である、第１主面２Ａに設けるようにしてもよく、また第１主面２Ａ、第２主面２Ｂの両主面上に設けるようにしてもよい。
【００２０】
開口部６ａの最長幅は、２００μｍ以上５００μｍ以下であることが好ましい。開口部６ａの最長幅が２００μｍ未満であると、分割部分の接合強度が十分に低下せず、分割精度を向上させる効果を十分に得られないため、配線基板にバリや欠けが発生するおそれがある。
一方、開口部６ａの最長幅が５００μｍを超えると、焼成中に、分割孔６周辺の母基板２の反りや収縮が生じやすくなり、母基板２の全体形状が変形して、連結配線基板１を所望の形状に保てなくなるおそれがある。
【００２１】
底部６ｂの最長幅は８０μｍ以上３５０μｍ以下であることが好ましい。
底部６ｂの最長幅が、８０μｍ未満であると、分割部分の接合強度が十分に低下せず分割面にバリや欠けが生じやすくなるおそれがある。一方、底部６ｂの最長幅が、３５０μｍを超えると、分割孔６の孔内の体積が大きくなり過ぎて、焼成中に、分割孔６周辺の母基板２の反りや収縮が生じやすくなり、連結配線基板１を所望の形状に保てなくなるおそれがある。
【００２２】
底部６ｂの最長幅は、開口部６ａの最長幅の４０％以上７０％以下であることが好ましい。
底部６ｂの最長幅が、開口部６ａの最長幅の４０％未満であると、分割部分の接合強度が十分に低下せず分割面にバリや欠けが生じやすくなるおそれがある。
一方、底部６ｂの最長幅が、開口部６ａの最長幅の７０％を超えると、分割孔６の孔内の体積が大きくなり過ぎて、焼成中に、分割孔６周辺の母基板２の反りや収縮が生じやすくなり、連結配線基板１を所望の形状に保てなくなるおそれがある。
【００２３】
分割孔６の開口部６ａから底部６ｂまでの距離は、１００μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましい。開口部６ａから底部６ｂまでの距離が１００μｍ未満であると、焼成時に、底部６ｂ上における分割溝４から熱源となる下地治具までの距離を十分に確保できず、焼成後の分割溝４の深さが低減するおそれがある。一方、開口部６ａから底部６ｂまでの距離が３００μｍを超えると、母基板２に占める分割孔６の体積が過度に大きくなり、分割孔６壁面の強度が低下して、クラック等がかえって生じ易くなるおそれがある。
【００２４】
分割孔６は、例えば図４に示すように、平面形状が円形であることが好ましいが、必ずしも円形である必要はなく、例えば、三角形、又は四角形、六角形等の多角形状であってもよく、又は楕円形状であってもよい。
【００２５】
なお、分割溝４は、母基板２の両主面上に設けることとしたが、必ずしも両主面上に設ける必要はなく、第１主面上または第２主面上のみに設けることもできる。
【００２６】
母基板２は、平板状の部材であれば、材質等は特に限定されないが、配線パターン用の導電金属ペーストを、この基板２内部で焼成しても、変形しないものが好ましく、無機材料が好ましく用いられる。
無機材料の中でも、アルミナセラミックス、低温同時焼成セラミックス（Ｌｏｗ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  Ｃｏ−ｆｉｒｅｄ  Ｃｅｒａｍｉｃ。以下、ＬＴＣＣと示す。）、窒化アルミニウム等は、熱伝導性、放熱性、強度、および製造コスト等の点で優れており、好ましく用いられる。
【００２７】
以上、本発明の連結配線基板１について一例を挙げて説明したが、本発明の趣旨に反しない限度において、また必要に応じて、その構成を適宜変更できる。
【００２８】
ＬＴＣＣからなる母基板２は、以下のようにして製造できる。
まず、グリーンシートを形成する。グリーンシートは、基板本体用ガラス粉末とセラミックスフィラーとを含むガラスセラミックス組成物にバインダー、必要に応じて可塑剤、溶剤等を添加してスラリーを調整し、これをドクターブレード法等によりシート状に成形し、乾燥させることで製造できる。
【００２９】
母基板用ガラス粉末は、必ずしも限定されるものではないものの、ガラス転移点（Ｔｇ）が５５０℃以上７００℃以下のものが好ましい。ガラス転移点（Ｔｇ）が５５０℃未満の場合、後述する脱脂が困難となるおそれがある。一方、ガラス転移点（Ｔｇ）が７００℃を超える場合、収縮開始温度が高くなり、寸法精度が低下するおそれがある。
【００３０】
このような母基板用ガラス粉末としては、例えばＳｉＯ２を５７ｍｏｌ％以上６５ｍｏｌ％以下、Ｂ２Ｏ３を１３ｍｏｌ％以上１８ｍｏｌ％以下、ＣａＯを９ｍｏｌ％以上２３ｍｏｌ％以下、Ａｌ２Ｏ３を３ｍｏｌ％以上８ｍｏｌ％以下、Ｋ２ＯとＮａ２Ｏから選ばれる少なくとも一方を合計で０．５ｍｏｌ％以上６ｍｏｌ％以下含有するものが好ましい。
【００３１】
母基板用ガラス粉末は、上記したようなガラス組成を有するガラスを溶融法によって製造し、乾式粉砕法や湿式粉砕法によって粉砕することにより得ることができる。
湿式粉砕法の場合には、溶媒として水を用いることが好ましい。粉砕は、例えばロールミル、ボールミル、ジェットミル等の粉砕機を用いて行うことができる。
【００３２】
なお、母基板用ガラス粉末は、必ずしも上記成分のみからなるものに限定されず、ガラス転移点等の諸特性を満たす範囲で他の成分も含有できる。他の成分を含有する場合、その合計した含有量は１０ｍｏｌ％以上であることが好ましい。
【００３３】
母基板用ガラス粉末の５０％粒径（Ｄ５０）は０．５μｍ以上２μｍ以下であることが好ましい。母基板用ガラス粉末の５０％粒径が０．５μｍ未満の場合、ガラス粉末が凝集しやすく、取り扱いが困難となると共に、均一に分散させることが困難となる。一方、ガラス粉末の５０％粒径が２μｍを超える場合、ガラス軟化温度の上昇や焼結不足が発生するおそれがある。粒径の調整は、例えば粉砕後に必要に応じて分級することにより行うことができる。なお、本明細書において、５０％粒径は、レーザー回折・散乱法による粒子径測定装置で測定した値をいう。
【００３４】
セラミックスフィラーとしては、従来からＬＴＣＣ基板の製造に用いられるものを特に制限なく用いることができ、例えばアルミナ粉末、ジルコニア粉末、またはアルミナ粉末とジルコニア粉末との混合物を好適に用いることができる。セラミックスフィラーの５０％粒径（Ｄ５０）は、例えば０．５μｍ以上４μｍ以下であることが好ましい。
【００３５】
このような母基板用ガラス粉末とセラミックスフィラーとを、例えば基板本体用ガラス粉末が３０質量％以上５０質量％以下、セラミックスフィラーが５０質量％以上７０質量％以下となるように配合、混合することによりガラスセラミックス組成物を得ることができる。
また、このガラスセラミックス組成物に、バインダー必要に応じて可塑剤、溶剤等を添加することによりスラリーを得ることができる。
【００３６】
バインダーとしては、例えばポリビニルブチラール、アクリル樹脂等を好適に用いることができる。可塑剤としては、例えばフタル酸ジブチル、フタル酸ジオクチル、フタル酸ブチルベンジル等を用いることができる。また、溶剤としては、トルエン、キシレン、ブタノール等の芳香族系またはアルコール系の有機溶剤を用いることができる。さらに、分散剤やレベリング剤を使用することも可能である。
【００３７】
このスラリーをドクターブレード法等によりシート状に成形し、乾燥させることで、グリーンシートを製造することができる。このようにして製造されたグリーンシートを、打ち抜き型あるいはパンチングマシーンを使用して切断することで、所定の寸法角を有するグリーンシートとできる。
【００３８】
このグリーンシートの所定位置を、打ち抜き型あるいはパンチングマシーンを使用して打ち抜いて、層間接続用のビアホールを打ち抜き形成することができる。
これと同時に、最下層用グリーンシート、及び最下層用グリーンシートの上層に設けるグリーンシートを、打ち抜き型あるいはパンチングマシーンを使用して所定位置を打ち抜いて、分割孔６の開口部６ａ側貫通孔、及び底部６ｂ側貫通孔を形成することができる。
この際、各グリーンシートの貫通孔は、開口部６ａ側の貫通孔と底部６ｂ側の貫通孔とが同一中心上となるように、両グリーンシート上で位置合わせして形成する。
【００３９】
グリーンシートの表面に、導電金属のペーストをスクリーン印刷等の方法で印刷することにより、未焼成の導体パターンを形成する。また、前記した層間接続用のビアホール内に導体金属のペーストを充填することによって、未焼成の層間接続部を形成する。
金属ペーストとしては、例えば銅、銀、金等を主成分とする金属粉末に、エチルセルロース等のビヒクル、必要に応じて溶剤等を添加してペースト状としたものを用いることができる。
【００４０】
未焼成の導体パターンが形成されたグリーンシートを位置合わせしつつ複数枚重ね合わせて加熱および加圧して一体化して、グリーンシート成形体を形成する。次いで、グリーンシート成形体の表裏両面に、セラミックグリーンシート積層体切断機（ＵＨＴ社製Ｇ−ｃｕｔ６）を用いて分割溝４（４ａ、４ｂ）を形成する。分割溝４の形成位置は、各分割孔６を結ぶ直線上に、かつ各配線基板領域３の間の領域内に形成する。
その後、この成形体を例えば５００℃以上６００℃以下の温度で１時間以上１０時間以下保持することにより、グリーンシートに含まれる樹脂等のバインダーを分解・除去する脱脂を行う。その後、例えば８５０℃以上９００℃以下の温度で２０分以上６０分以下保持することにより、グリーンシートを構成するガラスセラミックス組成物を焼成する。
【００４１】
脱脂温度が５００℃未満もしくは脱脂時間が１時間未満の場合、バインダー等を十分に除去することができないおそれがある。一方、脱脂温度を６００℃程度、脱脂時間を１０時間程度とすれば、十分にバインダー等を除去することができ、これを超えるとかえって生産性等が低下するおそれがある。
【００４２】
焼成は、焼成温度が８５０℃未満、焼成時間が２０分未満の場合、緻密なものが得られないおそれがある。一方、焼成温度を９００℃程度、焼成時間を６０分程度とすれば、十分に緻密なものが得られ、これを超えるとかえって生産性等が低下するおそれがある。
焼成は、特に８６０℃以上８８０℃以下の温度で行うことが好ましい。反射層６の形成に、銀を主成分とする金属粉末を含有する金属ペーストを用いた場合には、焼成温度が８８０℃を超えると、金属ペーストが過度に軟化して所定の形状を維持できなくなるおそれがある。
【００４３】
以上、本発明の連結配線基板１の製造方法について一例を挙げて説明したが、本発明の趣旨に反しない限度において、また必要に応じて、その構成を適宜変更できる。
【実施例】
【００４４】
以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明する。
【００４５】
（実施例１）
まず、母基板用グリーンシートを製造した。
すなわち、ＳｉＯ２を６０．４ｍｏｌ％、Ｂ２Ｏ３を１５．６ｍｏｌ％、Ａｌ２Ｏ３を６ｍｏｌ％、ＣａＯを１５ｍｏｌ％、Ｋ２Ｏを１ｍｏｌ％、Ｎａ２Ｏを２ｍｏｌ％となるように原料を配合、混合し、この原料混合物を白金ルツボに入れて１６００℃で６０分溶融させた後、この溶融状態のガラスを流し出し冷却した。このガラスをアルミナ製ボールミルにより４０時間粉砕して母基板用ガラス粉末を製造した。なお、粉砕の溶媒にはエチルアルコールを用いた。
【００４６】
このガラス粉末が３５質量％、アルミナフィラー（昭和電工社製、商品名：ＡＬ−４５Ｈ）が４０質量％、ジルコニアフィラー（第一稀元素化学工業社製、商品名：ＨＳＹ−３Ｆ−Ｊ）が２５質量％となるように配合し、混合することにより基板本体用ガラスセラミックス組成物を製造した。
この母基板用ガラスセラミックス組成物５０ｇに、有機溶剤（トルエン、キシレン、２−プロパノール、２−ブタノールを質量比４：２：２：１で混合したもの）１５ｇ、可塑剤（フタル酸ジ−２−エチルヘキシル）２．５ｇ、バインダーとしてのポリビニルブチラール（デンカ社製、商品名：ＰＶＫ＃３０００Ｋ）５ｇ、さらに分散剤（ビックケミー社製、商品名：ＢＹＫ１８０）０．５ｇを配合し、混合してスラリーを調製した。
【００４７】
このスラリーをＰＥＴフィルム上にドクターブレード法により塗布し、乾燥させた後切断し、厚さが０．２ｍｍで１７０ｍｍ角（縦１７０ｍｍ×横１７０ｍｍ）の本体用グリーンシートを製造した。
【００４８】
一方、導電性粉末（銀粉末：大研化学工業社製、商品名：Ｓ５５０）、ビヒクルとしてのエチルセルロースを質量比８５：１５の割合で配合し、固形分が８５質量％となるように溶剤としてのαテレピネオールに分散した後、磁器乳鉢中で１時間混練を行い、さらに三本ロールにて３回分散を行って金属ペーストを製造した。
【００４９】
本体用グリーンシートの未焼成貫通導体に相当する部分に孔空け機を用いて直径０．３ｍｍの貫通孔を形成した。
これと同時に、最下層用グリーンシートの分割孔６に相当する部分を、孔開け機を用いて直径５００μｍの円形に打ち抜いて、最長幅５００μｍである開口部６ａ側の貫通孔を形成した。また、最下層用グリーンシートの上層に設けるグリーンシートについても同様にして、分割孔６に相当する部分を、直径３００μｍの円形に打ち抜いて、最長幅３００μｍである底部６ｂ側の貫通孔を形成した。
分割孔６は、一の配線基板領域３毎に、縦方向の分割溝４ａ上に２個、横方向の分割溝４ｂ上に３個形成し、各分割孔６間の間隔は、９００μｍとした。
【００５０】
未焼成貫通導体に相当する部分に形成した貫通孔に、スクリーン印刷法により金属ペーストを充填して未焼成貫通導体ペースト層を形成すると共に、未焼成接続端子導体ペースト層、未焼成外部電極端子導体ペースト層を形成した。このグリーンシートを重ね合わせ、熱圧着により一体化して、導体ペースト層付き本体用グリーンシートを得た。
【００５１】
未焼成の導体パターンが形成されたグリーンシートを位置合わせしつつ複数枚重ね合わせて加熱および加圧して一体化して、グリーンシート成形体を形成した。次いで、グリーンシート成形体の表裏両面に、セラミックグリーンシート積層体切断機（ＵＨＴ社製Ｇ−ｃｕｔ６）を用いて深さ２５０μｍの分割溝４（４ａ、４ｂ）を形成して、未焼成連結配線基板１を製造した。分割溝４（４ａ、４ｂ）は、各分割孔６を結ぶ直線上に、配線基板領域３の間の領域内に形成した。
【００５２】
上記で得られた未焼成連結配線基板１を、５５０℃で５時間保持して脱脂を行い、さらに８７０℃で３０分間保持して焼成を行って連結配線基板１を製造した。
【００５３】
（実施例２〜４）
実施例１において、最下層用グリーンシートに設ける貫通孔（開口部６ａ）の最長幅（孔径）、及び最下層用グリーンシートの上層のグリーンシートに設ける貫通孔（底部６ｂ）の最長幅（孔径）をそれぞれ表１に記載のものとしたこと以外は、実施例１と同様にして連結配線基板１を製造した。
【００５４】
（比較例１、参考例１〜２）
実施例１において、最下層用グリーンシートに設ける貫通孔（開口部６ａ）の最長幅（孔径）、及び最下層用グリーンシートの上層のグリーンシートに設ける貫通孔の（底部６ｂ）の最長幅（孔径）を、それぞれ表１に記載のものとしたこと以外は、実施例１と同様にして連結配線基板１を製造した。
【００５５】
次に、実施例１〜４、比較例１および参考例１〜２の連結配線基板１を、分割溝４ａ、４ｂに沿って分割して、得られた各配線基板３表面のバリ、欠けの発生数を光学顕微鏡及び目視で測定し、５０μｍ以上１００μｍ未満、１００μｍ以上１５０μｍ未満、及び１５０μｍ以上のバリカケ発生率をそれぞれ算出した。評価結果を表１に示す。
【００５６】
【表１】
2011243964.tif 000003
【００５７】
表１から明らかなように、実施例１〜４の連結配線基板では、分割後の各配線基板表面において１００μｍ以上のバリ、欠けの発生率が０％となっており、分割精度が高く、また焼成後の連結配線基板において、全体形状の変形も抑制されていることが認められた。
一方、比較例１の連結配線基板では、分割後の各配線基板表面において、１００μｍ以上１５０μｍ未満のバリ、欠けの発生率が５％となっており、分割精度に劣り、また焼成後の連結配線基板の一部に変形が生じているのが認められた。
また、参考例１〜２の連結配線基板でも、分割後の各配線基板表面において、１００μｍ以上１５０μｍ未満のバリ、欠けの発生率が３〜４％となっており、分割精度に劣り、また焼成後の連結配線基板の一部に変形が生じているのが認められた。
【符号の説明】
【００５８】
１…連結配線基板、２…母基板、２Ａ…第１主面、２Ｂ…第２主面、３…配線基板領域、４…分割溝、５…キャビティ、６…分割孔、６ａ…開口部、６ｂ…底部
【図１】
2011243964.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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