(57)【要約】【課題】定量吐出ポンプの吸引圧・吐出圧を変化させることなく異物を除去できる塗布方法を提供することを目的とする。【解決手段】定量吐出ポンプ（１１）が塗布液を吸引する経路に設けられた第１，第２の切換弁（７，８）と、定量吐出ポンプ（１１）から送られた塗布液を塗布する吐出部（１３）と、異物を検出する第１〜第３の検出部（４，５，６）と、供給タンク（１）と第１の検出部（４）の間に介装された定流量ポンプ（３）と、第１の検出部（４）が異物を検出した場合に、定流量ポンプ（３）を運転すると共に第２の切換弁（８）を切り換えて塗布液（２）を塗布液供給タンク（１）に戻し、第２の検出部（５）が異物を検出して第３の検出部（６）で異物検出されるまでの時間から異物が第１，第２の切換弁（７，８）に到達する時間を計算し、第１の切換弁（７）に到達した異物が気泡であるかを判別して、第１の切換弁（７）を切り換えて気泡を含む塗布液を外部へ排出するよう運転する制御部（１６）を備えている。【選択図】図１
2011183323.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布液供給タンクから第１の切換弁と第２の切換弁を介して塗布液を定量吐出ポンプにて吸引するステップと、
前記塗布液供給タンクと第１の切換弁の間の送液配管に介装された第１の検出部により塗布液中の異物を検出するステップと、
第１の検出部により塗布液中の異物を検出した場合に、第２の切換弁を切り換えて塗布液を異物ろ過のための第１フィルタを通して前記塗布液供給タンクに戻すステップと、
第１の検出部の下流側で第２の検出部および第３の検出部で塗布液中の異物を検出するステップと、
異物が第２の検出部で検出された後、第３の検出部で検出されるまでの時間を計測するステップと、
前記計測した時間から異物が第１，第２の切換弁に到達する時間を計算するステップと、
第１の切換弁に到達した異物が気泡であるかを判別するステップと、
第１の切換弁を切り換えて気泡を含む塗布液を外部へ排出するステップと、
定量吐出ポンプにて塗布液を吐出部により塗布対象物に塗布するステップと
を備えた塗布方法。
【請求項２】
塗布液供給タンクから塗布液を定量吐出ポンプにて吸引する送液配管に直列接続して介装された第１，第２の切換弁と、
前記定量吐出ポンプから送られた前記塗布液を塗布対象物に塗布する吐出部と、
前記塗布液供給タンクと第１の切換弁の間の送液配管に介装され通過する異物を検出する第１の検出部と、
第１の検出部と第１の切換弁の間の送液配管に介装され通過する異物を検出する第２の検出部と、
第２の検出部と第１の切換弁の間の送液配管に介装され通過する異物を検出する第３の検出部と、
前記塗布液供給タンクと第１の検出部の間の送液配管に介装されて前記塗布液を第１の検出部に送る定流量ポンプと、
第２の切換弁の切り換えによって前記定量吐出ポンプに向かう前記塗布液を前記塗布液供給タンクに回収する送液配管と、
第１の検出部が塗布液中の異物を検出した場合に、前記定流量ポンプを運転すると共に第２の切換弁を切り換えて塗布液を前記塗布液供給タンクに戻し、
第２の検出部が異物を検出し後に第３の検出部で異物検出されるまでの時間を計測し、この計測した時間から異物が第１，第２の切換弁に到達する時間を計算し、
第１の切換弁に到達した異物が気泡であるかを判別して、第１の切換弁を切り換えて気泡を含む塗布液を外部へ排出する制御部と
を備えた塗布装置。
【請求項３】
第２の検出部と第３の検出部と第１の切換弁と第２の切換弁を繋ぐ送液配管が、同一直線上に配置されている
請求項２記載の塗布装置。
【請求項４】
第１の検出部、第２の検出部、第３の検出部は、光学式および静電容量式の両方の検出方式を備えており、前記制御部が、光学式の検出結果と静電容量式の検出結果を比較して異物が気泡かどうかを判別する
請求項２記載の塗布装置。
【請求項５】
第２の検出部と第３の検出部の間の塗布液の容量と、第３の検出部と第１の切換弁の間の塗布液の容量、および第１の切換弁と第２の切換弁の間の塗布液の容量が同じである
請求項２記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布液を吐出部によって塗布対象物に塗布する塗布方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年においては、フラットディスプレイパネルや半導体、カラーフィルタ、電池の高性能化によって、塗布膜のムラ防止の要求精度が以前に比べて格段に高くなってきている。
また、使用する塗布液も高価になってきているため、廃棄量を減少させることが要望されている。
【０００３】
特許文献１には、図８に示す塗布装置が記載されている。
これは、塗布液タンク１０１の塗布液１０２を、配管１０３を介してポンプ１０４によって吸い上げて、塗布対象物１１１に向かってノズル１０８で塗布する装置であって、ノズル１０８から気泡を含む塗布液を塗布対象物１１１に塗布してしまって塗布ムラを発生しないように、次のように構成されている。
【０００４】
ポンプ１０４からノズル１０８への塗布液の供給経路には、フィルタ１０５，サックバッグ１０６，気泡検出部１０７が介装されている。
フィルタ１０５は、ノズル１０８へ流れる塗布液１０２を濾過することにより異物を除去している。サックバッグ１０６は、ノズル１０８の先端を吸引することによって液垂れを防止している。１１０はノズル１０８を移動させるノズル駆動部である。
【０００５】
塗布液に混入した異物をフィルタ１０５で濾過した後、気泡検出部１０７にて気泡が検出されると、滴下回数計数部１０９が、気泡検出部１０７にて気泡が検出された後に、ノズル１０８を介して塗布対象物１１１に滴下された塗布液１０２の滴下数を計数し、塗布対象物１１１に滴下された塗布液１０２の滴下数が規定数に達したことを検出すると、ノズル１０８を、ノズル駆動部１１０によって塗布対象物１１１とは別の場所に移動させ、それ以上の気泡を含む塗布液１０２が塗布対象物１１１に滴下されないように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−１３６１８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
フラットディスプレイパネル等の塗布の場合、所望する均一な膜厚での塗布膜を実現するため、定量吐出ポンプを用いノズルより塗布液を吐出している。
しかしながら、特許文献１などの構成では、ポンプ１０４とノズル１０８の間に、異物を除去する目的のフィルタ１０５が存在しているため、異物によるフィルタ１０５の目詰まりによりポンプ１０８からの塗布液の吐出圧が変化して、塗布液の良好な塗布ができない。
【０００８】
また、図８に仮想線で示すように、塗布液タンク１０１とポンプ１０４との間に異物を除去する目的のフィルタ１０５ｂを設置したものもあるが、ポンプ１０４に塗布液を吸引する際の吸引圧が変化するため、ポンプ１０４が故障する場合がある。
【０００９】
さらに、気泡検出部１０７にて気泡を検出時に、気泡を含む塗布液がノズル１０８に到達する滴下数を計算しているが、気泡のように塗布液よりも比重の小さい異物では、配管が水平方向でない場合には、例えば配管が鉛直方向で塗布液が上方に流れる場合は、気泡は塗布液よりも早く移動し、また、塗布液が下方に流れる場合は、気泡は塗布液よりも遅く移動するなど塗布液と同じ速度で配管内を移動する訳ではないので、計算どおりに気泡を含む塗布液がノズル１０８に到達しないので、気泡を含む塗布液１０２が塗布対象物１１１に滴下されないように制御することが難しいという課題を有している。
【００１０】
本発明は、ポンプの吸引圧・吐出圧を変化させることなく異物・気泡等を除去することにより、塗布の品質を向上することができ、また、高価な塗布液の廃棄を最小限にし、コストを下げることができる塗布方法および塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の塗布方法は、塗布液供給タンクから第１の切換弁と第２の切換弁を介して塗布液を定量吐出ポンプにて吸引するステップと、前記塗布液供給タンクと第１の切換弁の間の送液配管に介装された第１の検出部により塗布液中の異物を検出するステップと、第１の検出部により塗布液中の異物を検出した場合に、第２の切換弁を切り換えて塗布液を異物ろ過のための第１フィルタを通して前記塗布液供給タンクに戻すステップと、第１の検出部の下流側で第２の検出部および第３の検出部で塗布液中の異物を検出するステップと、異物が第２の検出部で検出された後、第３の検出部で検出されるまでの時間を計測するステップと、前記計測した時間から異物が第１，第２の切換弁に到達する時間を計算するステップと、第１の切換弁に到達した異物が気泡であるかを判別するステップと、第１の切換弁を切り換えて気泡を含む塗布液を外部へ排出するステップと、定量吐出ポンプにて塗布液を吐出部により塗布対象物に塗布するステップとを備えたことを特徴とする。
【００１２】
また、本発明の塗布装置は、塗布液供給タンクから塗布液を定量吐出ポンプにて吸引する送液配管に直列接続して介装された第１，第２の切換弁と、前記定量吐出ポンプから送られた前記塗布液を塗布対象物に塗布する吐出部と、前記塗布液供給タンクと第１の切換弁の間の送液配管に介装され通過する異物を検出する第１の検出部と、第１の検出部と第１の切換弁の間の送液配管に介装され通過する異物を検出する第２の検出部と、第２の検出部と第１の切換弁の間の送液配管に介装され通過する異物を検出する第３の検出部と、前記塗布液供給タンクと第１の検出部の間の送液配管に介装されて前記塗布液を第１の検出部に送る定流量ポンプと、第２の切換弁の切り換えによって前記定量吐出ポンプに向かう前記塗布液を前記塗布液供給タンクに回収する送液配管と、第１の検出部が塗布液中の異物を検出した場合に、前記定流量ポンプを運転すると共に第２の切換弁を切り換えて塗布液を前記塗布液供給タンクに戻し、第２の検出部が異物を検出し後に第３の検出部で異物検出されるまでの時間を計測し、この計測した時間から異物が第１，第２の切換弁に到達する時間を計算し、第１の切換弁に到達した異物が気泡であるかを判別して、第１の切換弁を切り換えて気泡を含む塗布液を外部へ排出する制御部とを備えていることを特徴とする。第２の検出部と第３の検出部と第１の切換弁と第２の切換弁を繋ぐ送液配管が、同一直線上に配置されていることが好ましい。第１の検出部、第２の検出部、第３の検出部は、光学式および静電容量式の両方の検出方式を備えており、前記制御部が、光学式の検出結果と静電容量式の検出結果を比較して異物が気泡かどうかを判別することによって、より正確に異物を判別できる。第２の検出部と第３の検出部の間の塗布液の容量と、第３の検出部と第１の切換弁の間の塗布液の容量、および第１の切換弁と第２の切換弁の間の塗布液の容量が同じであることによって、前記制御部の一部を簡単にできる。
【発明の効果】
【００１３】
この構成によれば、定量吐出ポンプの吸引圧・吐出圧を変化させることなく異物を除去することにより、塗布の品質を向上することができ、また、高価な塗布液の廃棄を最小限にし、コストを下げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の塗布方法を実行する実施の形態における塗布装置の構成図
【図２】同実施の形態における制御部の前半のフローチャート図
【図３】同実施の形態における制御部の後半のフローチャート図
【図４】同実施の形態における定量吐出ポンプでの吸引時を示す図
【図５】同実施の形態における異物検出時を示す図
【図６】同実施の形態における異物が気泡を含む場合を示す図
【図７】同実施の形態における異物が気泡を含まない場合を示す図
【図８】特許文献１に記載された塗布装置の構成図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の塗布方法を、具体的な実施の形態に基づいて説明する。
図１は、本発明の塗布方法の実施に使用する塗布装置を示す。
塗布液２が貯蔵されている塗布液供給タンク１は配管を介して定流量ポンプ３に繋がっており、更に下流には配管を介して順に第１の検出部４，第２の検出部５，第３の検出部６，第１の切換弁としての第１の三方弁７，第２の切換弁としての第２の三方弁８が繋がっている。第２の三方弁８に繋がる吐出部１３の側の配管には、順に第１のバルブ１０、定量吐出ポンプ１１、第２のバルブ１２、吐出部１３が繋がっている。
【００１６】
なお、第２の検出部５から第２の三方弁８を繋ぐ配管は同一直線上に配置されており、好ましくは、鉛直方向に配置されていることが望ましい。この配置にすることにより、塗布液２の液中の異物の移動速度が一定となる。定量吐出ポンプ１１は、第１のバルブ１０を開け、第２のバルブ１２を閉じた状態で、塗布液供給タンク１より塗布液２を吸引したのち、第１のバルブ１０を閉じ、第２のバルブ１２を開けた状態で、定められた量の塗布液２を吐出部１３より吐出する。
【００１７】
第１の三方弁７の下流側の第２の三方弁８には、塗布液２の液中の異物をろ過するために配された第１のフィルタ９を介して、塗布液２を塗布液供給タンク１に戻す送液配管３１が接続されており、第２の三方弁８の切り換えによって、塗布液２の流れを吐出部１３の側へ切り換えたり、塗布液供給タンク１の側へ切り換えることができる。
【００１８】
第１の三方弁７には、塗布液２の液中の異物をろ過するために配された第２のフィルタ１４を介して、気泡を含む塗布液２を保管するための保管タンク１５に繋がる送液配管３２が接続されており、第１の三方弁７の切り換えによって、塗布液２の流れを第２の三方弁８の側か保管タンク１５の側へ切り換えることができる。
【００１９】
第１の検出部４と第２の検出部５、および第３の検出部６は、光学式の検出部と静電容量式の検出部の両方の検出部を備えており、塗布液中の気泡、ゲル状物質、パーティクルなどの異物を検出する。この第１の検出部４、第２の検出部５、第３の検出部６の検出信号は、制御部１６に送られる。
【００２０】
制御部１６は、第２の検出部５で検出された異物の検出信号を記憶する記憶部１７と、第２の検出部５で検出された異物が第３の検出部６で検出されるまでの時間を計測する計測部１８と、計測部１８で計測された時間から異物が第３の検出部６から第１の三方弁７に移動する時間、および第１の三方弁７から第２の三方弁８に移動する時間を計算する計算部１９と、第３の検出部６で検出された異物を記憶部１７に記憶されている検出信号と計測部１８で計測された時間から、気泡であるかを判別する判別部２０を備えている。
【００２１】
この実施の形態では計測部１８に、第１タイマー１８ａ，第２タイマー１８ｂ，第３タイマー１８ｃ，第４タイマー１８ｄが設けられている。
塗布対象物３０に塗布を行う工程に基づいて、制御部１６の構成を詳しく説明する。
【００２２】
図２は制御部１６のフローチャートの前半部、図３は制御部１６のフローチャートの後半部を示している。
ステップＳ１では、図４に示すように第２のバルブ１２を閉じ、第１のバルブ１０を開け、第１の三方弁７および第２の三方弁８を吐出部１３の側に切り換えたのち、定量吐出ポンプ１１の吸引動作を開始する。この時の塗布液２の流れを図４に太線で示す。定量吐出ポンプ１１の吸引動作を開始すると、塗布液供給タンク１より塗布液２が第１の検出部４を通過する。
【００２３】
ステップＳ２では、第１の検出部４により、塗布液２の液中に異物が含まれていないかを監視する。異物が第１の検出部４で検出されない場合はステップＳ３に進む。
ステップＳ３では、定量吐出ポンプ１１が塗布液２の所定量の吸引動作を終了したかをチェックする。塗布液２の所定量の吸引動作を終了した場合は、ステップＳ４に進む。所定量の塗布液２の吸引動作を終了していない場合は、ステップＳ２に戻る。
【００２４】
ステップＳ４では、第１のバルブ１０を閉じ、第２のバルブ１２を開ける。
ステップＳ５では、定量吐出ポンプ１１の吐出動作を開始し、吐出部１３から塗布対象物３０への塗布を始める。
【００２５】
ステップＳ６では、定量吐出ポンプ１１が所定量の塗布液２の吐出動作を終了したかをチェックし、所定量の塗布液２の吐出動作の終了を待つ。塗布液２の吐出動作を終了したと検出すると、ステップＳ７において、第２のバルブ１２を閉じ、塗布動作を終了する。
【００２６】
ステップＳ２において、異物が第１の検出部４で検出された場合は、図３に示すステップＳ９を実行する。
ステップＳ９では、定量吐出ポンプ１１の吸引動作を停止したのち、第１のバルブ１０を閉じる。
【００２７】
ステップＳ１０では、定流量ポンプ３を運転し、第２の三方弁８を塗布液供給タンク１の側に切り換える。
このときの塗布液２の流れを図５に太線で示す。定流量ポンプ３を運転すると、塗布液２は配管内を一定速度で流れる。この流れにより、第１の検出部４にて検出された異物が、第２の検出部５を通過する。
【００２８】
ステップＳ１１では、第２の検出部５で異物を検出したかをチェックする。第２の検出部５が異物を検出した場合には、記憶部１７に第２の検出部５の検出信号を格納し、ステップＳ１２に進む。
【００２９】
ステップＳ１２では、第１タイマー１８ａをスタートさせる。このときには、塗布液２の流れにより、ステップＳ１１で第２の検出部５にて検出された異物は、第３の検出部６を通過する。
【００３０】
次いでステップＳ１３では、第３の検出部６にて異物を検出したかをチェックする。
上記のステップＳ１１において第２の検出部５で異物を検出しなかった場合には、ステップＳ１２を飛び越してステップＳ１３を実行する。
【００３１】
ステップＳ１３において、第３の検出部６が異物を検出した場合は、ステップＳ１４において、異物を照合する。具体的には、記憶部１７に記憶されている第２の検出部５の検出信号と、ステップＳ１３で第３の検出部６にて検出された検出信号とを判別部２０で照合し、照合された異物が第２の検出部５から第３の検出部６まで移動した時間を、第１タイマー１８ａから取得し、記憶部１７に格納する。
【００３２】
次いでステップＳ１５では、ステップＳ１４で記憶部１７に格納した移動時間より、ステップＳ１３で第３の検出部６にて検出された異物が第１の三方弁７に到達する時間を計算部１９で計算し、第２タイマー１８ｂをスタートさせる。
【００３３】
ステップＳ１６では、第２タイマー１８ｂがタイムアップしたかチェックする。
なお、ステップＳ１１で異物を検出していない場合は、ステップＳ１２を飛び越してステップＳ１３を実行する。
【００３４】
また、ステップＳ１３で異物を検出していない場合は、ステップＳ１４とステップＳ１５を飛び越してステップＳ１６を実行する。
ステップＳ１６おいて、第２タイマー１８ｂがタイムアップしたことを検出した場合は、ステップＳ１７では、第１の三方弁７に到達した異物が気泡を含む異物であるかを、判別部２０にて判別する。ここで、第１の三方弁７に到達した異物が気泡を含む異物であると判定された場合は、ステップＳ１８を実行する。
【００３５】
判別部２０では、次のようにして異物を判定している。
気泡の場合、塗布液２よりも気泡の比重が小さいため、塗布液２の流れよりも速く配管内を移動する。このため、ステップＳ１４で記憶部１７に格納した異物の移動時間が、塗布液２が第２の検出部５から第３の検出部６まで移動する時間より小さければ、気泡と判断できる。気泡を含む異物の場合の塗布液２の流れを太線で図６に、気泡を含まない異物の場合の塗布液２の流れを太線で図７に示す。
【００３６】
なお、保管タンク１５の側の配管に到達した塗布液２は、第２のフィルタ１４で気泡以外の異物がろ過され、気泡を含む塗布液２が保管タンク１５に保管される。保管タンク１５に保管された気泡を含む塗布液２は、真空脱泡などにより気泡を除去したのち、再び塗布液２として使用できる。
【００３７】
ステップＳ１８では、第１の三方弁７を保管タンク１５の側に切り換え、第３タイマー１８ｃをスタートさせて、次いでステップＳ１９を実行する。第３タイマー１８ｃには、異物が第１の三方弁７の内部を通過し、保管タンク１５の側の配管に到達する時間が設定されている。
【００３８】
上記のステップＳ１６において、第２タイマー１８ｂがタイムアップしたことを検出しなかった場合は、ステップＳ１７とステップＳ１８を飛び越してステップＳ１９を実行する。
【００３９】
次にステップＳ１９では、第３タイマー１８ｃがタイムアップしたかをチェックする。
上記のステップＳ１６において第２タイマー１８ｂがタイムアップしていないと判定された場合は、ステップＳ１７とステップＳ１８を飛ばしてステップＳ１９を実行する。ステップＳ１９において、第３タイマー１８ｃがタイムアップしたことを検出した場合には、ステップＳ２０で、第１の三方弁７を吐出部１３の側に切り換える。
【００４０】
次いでステップＳ２１では、他に検知中の異物が無いかチェックする。具体的には、第１の検出部４で検出された異物で、第１の三方弁７の内部を通過し保管タンク１５の側に到達していない、もしくは第２の三方弁８の内部を通過し塗布液供給タンク１の側の配管に到達していない異物が残っているかを判別部２０で判別する。このステップＳ２１で他に検知中の異物が無いと判定された場合には、ステップＳ２２で、定流量ポンプ３を停止し、第１の三方弁７と第２の三方弁８をともに吐出部１３の側に切り換える。
【００４１】
次いでステップＳ２３では、第１のバルブ１０を開け、定量吐出ポンプ１１の吸引動作を再開し、ステップＳ３に戻る。
上記のステップＳ１７において異物が気泡でないと判定された場合には、ステップＳ２４で、ステップＳ１４で記憶部１７に格納した移動時間より、第１の三方弁７に到達した異物が第２の三方弁８に到達する時間を計算部１９で計算し、計測部１８にて第４タイマー１８ｄをスタートさせる。
【００４２】
次いでステップＳ２５では、第４タイマー１８ｄのタイムアップを検出したかをチェックする。ここでタイムアップを検出している場合には、ステップＳ１８，ステップＳ１９，ステップＳ２０を飛び越してステップＳ２１を実行する。
【００４３】
上記のステップＳ１９において第３タイマー１８ｃのタイムアップを検出していない場合、上記のステップＳ２１において他に検知中の異物があると判定された場合、上記のステップＳ２５において第４タイマー１８ｄのタイムアップを検出していない場合には、ステップＳ８において、第１の検出部４が異物を検出しているかをチェックする。ステップＳ８で第１の検出部４が異物を検出している場合には、ステップＳ９を実行する。ステップＳ８で第１の検出部４が異物を検出していない場合には、ステップＳ９とステップＳ１０を飛び越してステップＳ１１を実行する。
【００４４】
かかる構成によれば、第２の三方弁８と塗布液供給タンク１との間の配管に第１のフィルタ９を設け、第１の三方弁７と保管タンク１５との間の配管に第２のフィルタ１４を設け、塗布液供給タンク１から吐出部１３までの配管に、第１，第２のフィルタ９，１４を挿入することなく、塗布液２の液中の異物を除去できるため、定量吐出ポンプ１１の吸引圧・吐出圧を変化することがなくなり、塗布の品質を向上することができる。
【００４５】
また、気泡を含む塗布液２は、保管タンク１５に一時保管し、後ほど真空脱泡などにより気泡を除去することにより、再び塗布液として使用でき、気泡以外の異物を含む塗布液２は、第１のフィルタ９で異物がろ過され、塗布液供給タンク１の戻るため、高価な塗布液２の廃棄を最小限にでき、コストを下げることができる。
【００４６】
なお、上記の説明では、第２の検出部５と第３の検出部６の間の塗布液２の容量と、第３の検出部６と第１の三方弁７の間の塗布液２の容量、第１の三方弁７と第２の三方弁８の間の塗布液２の容量が異なる場合について説明したが、第２の検出部５と第３の検出部６の間の塗布液２の容量と、第３の検出部６と第１の三方弁７の間の塗布液２の容量、および第１の三方弁７と第２の三方弁８間の塗布液２の容量が同じである場合は、異物が第２の検出部５から第３の検出部６に移動する時間と、第３の検出部６から第１の三方弁７に異動する時間および第１の三方弁７から第２の三方弁８に異動する時間は同じになるため、ステップＳ１５での異物が第１の三方弁７に到達する時間を計算する処理およびステップＳ２４での異物が第２の三方弁８に到達する時間を計算する処理をなくすことができて、制御部１６の構成を簡単にできるとともに、処理時間を短縮できる。
【００４７】
また、ステップＳ１７で第１の三方弁７に到達した異物が、気泡を含む異物であるかを判断する場合として、ステップＳ１４で記憶部１７に格納した異物の移動時間が、塗布液２が第２の検出部５から第３の検出部６まで移動する時間より小さければ、気泡と判断することを説明したが、これに加えて、塗布液２中では、気泡は球形になるため、光学式で異物の大きさを検出することにより、異物が気泡である場合の静電容量が計算できるため、静電容量式での検出値と比較することにより、より確実に気泡の判断を行うことができる。
【００４８】
また、光学式では検出し難い透明体の異物は静電容量式で検出でき、また、静電式では検出し難い塗布液がゲル化した異物は光学式で検出できるため、より確実に異物を検出することができる。
【００４９】
上記の実施の形態では、光学式で気泡を検出する光学センサと、静電容量式で気泡を検出する静電容量センサとの両センサを備えていたが、光学式または静電容量式の何れかのセンサで気泡を検出する場合でも、従来に比べて良好な結果を得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明は、プラズマディスプレイパネルや有機ＥＬディスプレイパネル等のフラットディスプレイパネルの製造、半導体の製造、液晶ディスプレイ用等のカラーフィルタの製造、太陽電池やリチウムイオン電池等の電池の製造などに適用できる。
【符号の説明】
【００５１】
１    塗布液供給タンク
２    塗布液
３    定流量ポンプ
４    第１の検出部
５    第２の検出部
６    第３の検出部
７    第１の三方弁
８    第２の三方弁
９    第１のフィルタ
１０    第１のバルブ
１１    定量吐出ポンプ
１２    第２のバルブ
１３    吐出部
１４    第２のフィルタ
１５    保管タンク
１６    制御部
１７    記憶部
１８    計測部
１８ａ    第１タイマー
１８ｂ    第２タイマー
１８ｃ    第３タイマー
１８ｄ    第４タイマー
１９    計算部
２０    判別部
３０    塗布対象物
３１，３２    送液配管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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