(57)【要約】【課題】対象物を確実に支持できる支持装置および支持方法、ならびに、シート貼付装置および貼付方法を提供すること。【解決手段】支持装置３は、対象物Ｗが載置される載置面６１を有する載置手段６と、載置面６１上に載置された対象物Ｗを載置面６１上に吸着保持する吸着手段７と、液体および気体の少なくとも一方での回収が可能で固体化することで対象物Ｗを載置面６１に固定する固定媒体と、吸着手段７が対象物Ｗを吸着保持した状態で固定媒体を固体化させる固体化手段６３とを備える。また、シート貼付装置１は、この支持装置３と、支持装置３で支持した対象物Ｗに接着シートを貼付する貼付手段４とを備える。シート貼付装置１は、このような支持装置３と、支持装置３で支持した対象物Ｗに接着シートを貼付する貼付手段４とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物が載置される載置面を有する載置手段と、
前記載置面上に載置された前記対象物を前記載置面上に吸着保持する吸着手段と、
液体および気体の少なくとも一方での回収が可能で固体化することで前記対象物を前記載置面に固定する固定媒体と、
前記吸着手段が前記対象物を吸着保持した状態で前記固定媒体を固体化させる固体化手段とを備えていることを特徴とする支持装置。
【請求項２】
前記載置面には、前記固定媒体を貯留させる貯留部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の支持装置。
【請求項３】
前記固定媒体を固体状態から液体状態または気体状態にして前記対象物の固定状態を解除する解放手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の支持装置。
【請求項４】
前記吸着手段は、前記対象物の吸着に伴って吸引した気体から前記固定媒体を液体化する分離手段を備えていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の支持装置。
【請求項５】
前記対象物に付着した前記固定媒体を除去する除去手段を備えていることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の支持装置。
【請求項６】
対象物を載置手段の載置面上に吸着保持し、
この吸着保持された状態で、液体および気体の少なくとも一方での回収が可能な固定媒体を固体化して前記対象物を前記載置面に固定して支持することを特徴とする支持方法。
【請求項７】
接着シートを対象物に貼付するシート貼付装置であって、
請求項１から請求項５のいずれかに記載の支持装置と、
前記支持装置で支持した前記対象物に前記接着シートを貼付する貼付手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項８】
請求項７に記載のシート貼付装置において、
前記対象物への前記接着シートの貼付を減圧雰囲気で行う減圧手段を備えていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項９】
接着シートを対象物に貼付するシート貼付方法であって、
前記対象物を載置手段の載置面上に吸着保持し、
この吸着保持された状態で、液体および気体の少なくとも一方での回収が可能な固定媒体を固体化して前記対象物を前記載置面に固定して支持し、
支持した前記対象物に前記接着シートを貼付することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物を支持する支持装置および支持方法、ならびに、接着シートを対象物に貼付するシート貼付装置およびシート貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造工程において、半導体ウェハ（以下、単にウェハという場合がある）を支持する支持装置が利用されている（例えば、特許文献１参照）。また、ウェハの表面に保護シートを貼付する貼付装置や、ウェハおよびリングフレームにマウント用シートを貼付する貼付装置など、支持装置で支持された対象物であるウェハに接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００３】
特許文献１に記載の支持装置は、ウェハを支持するテーブルと、このテーブル内に埋設されたペルチェ素子とを備え、テーブル上に供給した水をペルチェ素子で凍結させてウェハを支持する。
特許文献２に記載のシート貼付装置は、ウェハの外径に相当する径寸法を有するウェハ支持台と、ウェハ支持台の外周に沿って設けられウェハ支持台から凸状に形成されたリングフレーム支持台と、これら支持台を収容するチャンバ内を減圧する真空装置とを備え、ウェハをリングフレーム支持台の内周部分で位置決めしてウェハ支持台に載置し、かつリングフレームをリングフレーム支持台に載置した後、チャンバ内を真空装置で減圧してウェハおよびリングフレームにマウント用シートを貼付する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−１０６９６６号公報
【特許文献２】特開２００８−４２０１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の支持装置は、凍結以外の支持手段を有していないため、凍結するまでの間にウェハが移動してしまう可能性がある。このため、ウェハの所定位置にシートを貼付したり、ウェハに正確な加工を施したりすることができないという不都合がある。
特許文献２に記載のシート貼付装置は、ウェハのサイズが変更になる度にウェハサイズにあった支持台に交換しなければならないため、作業が煩雑になるという問題がある。また、チャンバ内を減圧した状態でマウント用シートを貼付するため、マウント用シートの貼付時にウェハを支持台に吸着保持することができない。従って、適切なサイズの支持台を設置しなければ、ウェハが移動してしまう可能性がある。
【０００６】
本発明の目的は、対象物を確実に支持できる支持装置および支持方法、ならびに、シート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明の支持装置は、対象物が載置される載置面を有する載置手段と、前記載置面上に載置された前記対象物を前記載置面上に吸着保持する吸着手段と、液体および気体の少なくとも一方での回収が可能で固体化することで前記対象物を前記載置面に固定する固定媒体と、前記吸着手段が前記対象物を吸着保持した状態で前記固定媒体を固体化させる固体化手段とを備えていることを特徴とする。
【０００８】
本発明の支持装置では、記載置面には、前記固定媒体を貯留させる貯留部が設けられていることが好ましい。
また、本発明の支持装置は、前記固定媒体を固体状態から液体状態または気体状態にして前記対象物の固定状態を解除する解放手段を備えていることが好ましい。
さらに、本発明の支持装置では、前記吸着手段は、前記対象物の吸着に伴って吸引した気体から前記固定媒体を液体化する分離手段を備えていることが好ましい。
そして、本発明の支持装置は、前記対象物に付着した前記固定媒体を除去する除去手段を備えていることが好ましい。
【０００９】
また、本発明の支持方法は、対象物を載置手段の載置面上に吸着保持し、この吸着保持された状態で、液体および気体の少なくとも一方での回収が可能な固定媒体を固体化して前記対象物を前記載置面に固定して支持することを特徴とする。
【００１０】
一方、本発明のシート貼付装置は、接着シートを対象物に貼付するシート貼付装置であって、前述した本発明の支持装置と、前記支持装置で支持した前記対象物に前記接着シートを貼付する貼付手段とを備えていることを特徴とする。
【００１１】
この際、本発明のシート貼付装置は、前記対象物への前記接着シートの貼付を減圧雰囲気で行う減圧手段を備えていることが好ましい。
【００１２】
また、本発明のシート貼付方法は、接着シートを対象物に貼付するシート貼付方法であって、前記対象物を載置手段の載置面上に吸着保持し、この吸着保持された状態で、液体および気体の少なくとも一方での回収が可能な固定媒体を固体化して前記対象物を前記載置面に固定して支持し、支持した前記対象物に前記接着シートを貼付することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
以上のような本発明によれば、対象物が載置手段の載置面上に吸着保持された状態で固定媒体の固体化により対象物を載置面に固定して支持するため、固定媒体が固体になるまでの間に対象物が移動してしまうことを確実に防止して、固定媒体が固体化する前後にわたって、対象物を確実に支持することができる。
【００１４】
さらに、支持装置において、載置面に固定媒体を貯留する貯留部を設ければ、貯留部に貯留した固定媒体を固体化させることができるので、対象物をより確実に支持することができる。
また、支持装置が、固定媒体を固体状態から液体状態または気体状態にして対象物の固定状態を解除する解放手段を備えていれば、固定媒体を強制的に液体化または気体化させることができるので、対象物の固定状態を速やかに解放することができる。
さらに、支持装置において、吸着手段が、対象物の吸着に伴って吸引した気体から固定媒体を液体化する分離手段を備えていれば、分離した固定媒体を回収して再利用することができるので、固定媒体を効率的に利用することができる。
そして、支持装置が、対象物に付着した固定媒体を除去する除去手段を備えていれば、固定媒体が対象物に付着したまま次工程の作業が行われることを防止できるので、固定媒体が次工程の装置等を汚染すること効果的に防止することができる。
【００１５】
一方、本発明の支持装置を備えたシート貼付装置を用いることで、シートを貼付する対象物が固体になるまでの間に移動してしまい、対象物の正確な位置にシートが貼付できなくなるといった不都合を解消することができる。
【００１６】
また、シート貼付装置が減圧手段によって減圧雰囲気でシート貼付を行う場合、吸着手段は減圧雰囲気では吸引力を発揮できないが、固定媒体が固体化することで対象物を確実に支持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１実施形態に係るシート貼付装置の側面図。
【図２】図１のシート貼付装置の動作説明図。
【図３】図１のシート貼付装置の別の動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図１において、シート貼付装置１は、対象物としてのウェハＷおよびリングフレームＲＦに接着シートとしてのマウント用シートＭＳ（図２および図３参照）を貼付し、このマウント用シートＭＳでウェハＷとリングフレームＲＦとを一体化するものである。ここで、ウェハＷは、図中下側に位置する表面に回路が形成されるとともに保護シートＳが貼付されており、このウェハＷの裏面にマウント用シートＭＳが貼付される。なお、マウント用シートＭＳは、基材シートの一方の面に接着剤層が積層されるとともに、リングフレームＲＦに合わせた外形に予め切断されており、剥離シートＲＬに仮着された原反Ｒとして予め準備されている。
【００１９】
シート貼付装置１は、ウェハＷおよびリングフレームＲＦへのマウント用シートＭＳの貼付を減圧雰囲気で行わせる減圧手段２と、ウェハＷおよびリングフレームＲＦを支持する支持装置３と、マウント用シートＭＳをウェハＷおよびリングフレームＲＦに貼付する貼付手段４と、貼付手段４を図１中左右方向に相対移動させる駆動機器としての単軸ロボット５とを備えて構成されている。
【００２０】
減圧手段２は、上面が開口された箱状の下チャンバ２１と、下面が開口された箱状に形成され下チャンバ２１の上面に当接して密閉空間Ｖ（図２参照）を形成可能な上チャンバ２２と、下チャンバ２１に設けられた気圧調整孔２３を介して密閉空間Ｖ内を減圧可能な図示しない減圧ポンプとを備えて構成される。なお、密閉空間Ｖは、下チャンバ２１の上面に設けられたパッキン２４によって密閉可能となっている。
【００２１】
支持装置３は、ウェハＷおよびリングフレームＲＦを載置する載置手段としてのテーブル６と、ウェハＷおよびリングフレームＲＦをテーブル６上に吸着保持する吸着手段７と、ウェハＷおよびリングフレームＲＦをテーブル６に固定させる固定媒体としての液体状態の水を供給する固定媒体供給手段８と、下チャンバ２１に設けられてテーブル６を昇降自在に支持する駆動機器としての直動モータ１０と、後述する固体化手段によって固体化された水（氷）を固体状態から融解または昇華させることで液体化または気体化させる解放手段としての赤外線照射手段１１と、ウェハＷに付着した水を除去する除去手段１２とを備えて構成されている。
【００２２】
テーブル６は、載置面６１を有する天面部６２と、天面部６２に埋設された固体化手段としてのペルチェ素子６３と、直動モータ１０に支持された底面部６４と、天面部６２および底面部６４間に設けられたチャンバ部６５とを備えている。載置面６１には、複数の貯留部６６（図２および図３参照）が設けられており、固定媒体供給手段８から供給された液体状態の水を貯留部６６に貯留した上で、当該水をペルチェ素子６３で凝固させることで固体化することができるようになっている。また、天面部６２には、載置面６１からチャンバ部６５に連通する複数の吸引口６７が設けられ、載置面６１上の水が吸引口６７を介してチャンバ部６５に流れ込むように構成されている。底面部６４には、配管１３が接続されており、配管１３は、下チャンバ２１の外部で吸着手段７に接続されている。底面部６４は、配管１３に向かうにしたがって下方に傾斜した傾斜面６８を有し、図１に矢印Ａで示すように、吸引口６７からチャンバ部６５に落ちた液体状態の水は、傾斜面６８に沿って配管１３に流れ込み、後述する分離手段７４に送られる。
【００２３】
吸着手段７は、配管１３に接続されて水を回収する回収タンク７１と、回収タンク７１内における配管１３の延設部分に設けられたペルチェ素子７２と、配管１５を介して回収タンク７１に接続された図示しない減圧ポンプと、配管１５上に設けられた減圧バルブ７３とを備えて構成されている。吸着手段７は、減圧ポンプを駆動してチャンバ部６５内を負圧状態とすることで、吸引口６７によってウェハＷおよびリングフレームＲＦを載置面６１上に吸着保持する。このような吸着手段７において、回収タンク７１およびペルチェ素子７２により分離手段７４が構成され、この分離手段７４が、テーブル６から配管１３を通ってきた液体状態の水および気体状態の水から、液体状態の水だけを採取する。なお、配管１３を通ってきた気体には、気体化した水が含まれるが、この気体をペルチェ素子７２で冷却することで気体化した水を凝縮し、液体化した水として回収することができる。
【００２４】
固定媒体供給手段８は、液体状態の水を収容する収容タンク８１と、収容タンク８１および回収タンク７１間を接続する配管１４上に設けられて回収タンク７１内の液体状態の水を収容タンク８１に供給するポンプ８２と、収容タンク８１内の水位を検出する水位センサ８３と、水位センサ８３で検出された水位に応じて収容タンク８１に水を供給する水供給バルブ８４と、収容タンク８１内の水をミスト状にして噴射する噴射手段８５とを備えている。
【００２５】
赤外線照射手段１１は、上チャンバ２２の外側に設けられ、上チャンバ２２のガラス２５を介してテーブル６に向けて赤外線を照射する。
除去手段１２は、図示しないエア供給源と、このエア供給源から供給されるエアをウェハＷおよびリングフレームＲＦに吹き付けるブロワ１２Ａとを備えている。なお、エア供給源から供給されるエアは、温風でもよい。
【００２６】
貼付手段４は、マウント用シートＭＳを繰り出す繰出手段４１と、繰り出されたマウント用シートＭＳを剥離シートＲＬから剥離するピールプレート４２と、供給されたマウント用シートＭＳをウェハＷおよびリングフレームＲＦに押圧して貼付する押圧ローラ４３とを備えて構成され、その全体がフレーム４４に支持されている。
【００２７】
繰出手段４１は、原反Ｒをロール状に巻回して支持する支持ローラ４１Ａと、原反Ｒを案内する２個のガイドローラ４１Ｂと、駆動機器としての回動モータ４１Ｃによって駆動する駆動ローラ４１Ｄと、駆動ローラ４１Ｄとの間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ４１Ｅと、図示しない駆動機器によって剥離シートＲＬを回収する回収ローラ４１Ｆとを備えて構成されている。
【００２８】
ピールプレート４２は、フレーム４４によって図１中左下方に傾斜した姿勢で支持され、ガイドローラ４１Ｂから延びた剥離シートＲＬを駆動ローラ４１Ｄに向かって折り返すことで、マウント用シートＭＳを剥離シートＲＬから剥離するようになっている。
押圧ローラ４３は、ゴム等の弾性変形可能な部材で構成され、フレーム４４に図示しない支持アームを介して回転自在に支持されている。
【００２９】
単軸ロボット５は、上チャンバ２２内の天井面２６部分において図１の左右方向に延びて設けられ、フレーム４４の上部に固定されたスライダ５１をスライド駆動することで、貼付手段４を図１中左右方向に移動可能に構成されている。
【００３０】
以上のシート貼付装置１において、ウェハＷおよびリングフレームＲＦにマウント用シートＭＳを貼付する手順について説明する。
先ず、図１に示すように、上チャンバ２２は、下チャンバ２１から上方に離れて待機している。この状態で、固定媒体供給手段８は、図に実線で示すように、噴射手段８５をテーブル６上を移動させ、テーブル６の載置面６１に向けて液体状態の水を噴射する。噴射後、固定媒体供給手段８は、図に二点鎖線で示すように、噴射手段８５を元の位置に移動させて待機させる。
【００３１】
そして、図示しない搬送手段が、ウェハＷおよびリングフレームＲＦをテーブル６の所定位置に位置決めして載置すると、吸着手段７は、減圧ポンプを駆動し、チャンバ部６５内を吸引して負圧状態とすることで、ウェハＷおよびリングフレームＲＦを載置面６１上に吸着保持する。この吸着手段７による吸引により、載置面６１上の余分な水つまり、貯留部６６に貯留された水以外は、ウェハＷおよびリングフレームＲＦと載置面６１とによって押し付けられ、図１の矢印Ａに示すように、吸引口６７からチャンバ部６５内に流れ落ちる。一方、貯留部６６に貯留された水は、ウェハＷおよびリングフレームＲＦが載置面６１にぴたりと接触するので、吸引口６７からチャンバ部６５内に流れ落ちてしまうことはない。チャンバ部６５に流れ込んだ水は、同図の矢印Ｂに示すように、配管１３を通って回収タンク７１に回収される。このとき、配管１３を通ってきた気体をペルチェ素子７２で冷却して凝縮させることにより、気体化していた水を液体化して回収することができる。回収タンク７１内に回収された液体状態の水は、ポンプ８２により吸引され、配管１４を通って収容タンク８１に戻される。
【００３２】
ウェハＷおよびリングフレームＲＦが吸着保持されると、テーブル６内のペルチェ素子６３は、天面部６２を冷却して貯留部６６に貯留された液体状態の水および貯留部６６の外部に残された液体状態の水を凝固させて固体化する。これにより、ウェハＷおよびリングフレームＲＦは、固体化された水、つまり氷によって、載置面６１上に固定される。
【００３３】
次に、減圧手段２は、上チャンバ２２を下降させて密閉空間Ｖを形成し、気圧調整孔２３を介して密閉空間Ｖ内を減圧する。この密閉空間Ｖ内の減圧によって、吸着手段７によるウェハＷおよびリングフレームＲＦの吸引力は発揮しなくなってしまうが、氷によってウェハＷおよびリングフレームＲＦは、載置面６１に確実に保持される。
【００３４】
そして、直動モータ１０がテーブル６を上昇させると、図２に示すように、マウント用シートＭＳがリングフレームＲＦの所定の位置で押圧ローラ４３によって押圧されて貼付される。その後、回動モータ４１Ｃと単軸ロボット５とが同期して駆動することで原反Ｒが繰り出されつつ、剥離シートＲＬから剥離されたマウント用シートＭＳが押圧ローラ４３によって押圧され、リングフレームＲＦおよびウェハＷに貼付される。この際、ウェハＷおよびリングフレームＲＦは、氷によってテーブル６に固定されているため、マウント用シートＭＳの貼付時にウェハＷおよびリングフレームＲＦが移動してしまうことを防止することができる。
【００３５】
以上のようにしてマウント用シートＭＳを介してウェハＷとリングフレームＲＦとが一体化されたら、気圧調整孔２３を介して密閉空間Ｖ内を大気圧状態とする。その後、赤外線照射手段１１で赤外線を照射して、ウェハＷおよびリングフレームＲＦを固定している氷を融解または昇華させることで水を液体化または気体化し、ウェハＷおよびリングフレームＲＦの固定状態を解除する。次に、上チャンバ２２を上昇させるとともに、単軸ロボット５によって貼付手段４を図の左方向に移動させて、貼付手段４を元の位置に戻す。次いで、図示しない搬送手段によってリングフレームＲＦと一体化されたウェハＷを例えば、保護シートＳの剥離工程等の次工程に搬送する。この際、ブロワ１２Ａは、図１に二点鎖線で示すように、ウェハＷおよびリングフレームＲＦにエアを吹き付け、ウェハＷおよびリングフレームＲＦに付着した液体状態の水を除去する。なお、液体状態の水によってウェハＷおよびリングフレームＲＦが載置面６１から取り外し難くなっている場合は、図示しない加圧ポンプ等の加圧手段でチャンバ部６５内に加圧気体を送り込むことで、吸引口６７から気体を噴出させてウェハＷおよびリングフレームＲＦを取り外し易くすることもできる。また、氷は、融解により多くは水となるが、一部の氷は、気体化して配管１３内を通過していく。この際、ペルチェ素子７２によって、気体化した氷を凝縮させることにより、液体状態の水にして回収タンク７１に回収することができる。
【００３６】
以上のような本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、支持装置３は、ウェハＷおよびリングフレームＲＦをテーブル６上に吸着保持する吸着手段７と、固定媒体供給手段８から供給された液体状態の水を凝固させることで固体化させてテーブル６に固定するペルチェ素子６３とを備えているため、水が固体化する前後にわたって、ウェハＷおよびリングフレームＲＦをテーブル６上に確実に支持することができる。従って、リングフレームＲＦに対するウェハＷの位置を正確に維持してこれらを一体化することができる。
【００３７】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３８】
例えば、前記実施形態では、被着体がウェハＷである場合を示したが、被着体はウェハＷに限定されるものではなく、リングフレームＲＦはなくてもよいし、ウェハＷ以外にガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の板状部材などや、板状部材以外のものも対象とすることができる。そして、ウェハＷは、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等が例示できる。そして、このような被着体に貼付する接着シートは、マウント用シートＭＳに限らず、保護シートやその他の任意のシート、フィルム、テープ等、被着体に貼付する任意の用途、形状の接着シートが適用できる。
また、前記実施形態では、液体状態の水を凝固させて固体化したが、気体状態の水を凝縮と凝固によって固体化したり、気体状態の水を昇華によって固体化したりするように構成してもよい。この場合、噴射手段８５が気体状態の水を噴射するように構成し、貯留部６６等に貯留した気体状態の水を固体化してウェハＷやリングフレームＲＦを載置面６１に固定するようにすればよく、収容タンク８１は、気体状態の水を貯留可能にすればよい。
【００３９】
前記実施形態では、固定媒体として水を用いていたがこれに限定されることはなく、凝固によりウェハＷやリングフレームＲＦを載置面６１に固定でき、かつ液体および気体の少なくとも一方での回収ができるものであれば、固定媒体として、例えばドライアイスや保冷剤、アルコール（メタノール、エタノール）等の水以外のものを用いてもよい。ドライアイスの場合、昇華によって気体化、固体化し易い。
前記実施形態では、ブロワ１２Ａでエアを吹き付けてウェハＷやリングフレームＲＦに付着した水を除去していたが、ヒータやブレード材等の別の除去手段を用いてもよい。
【００４０】
前記実施形態では、解放手段として赤外線照射手段１１を用いていたがこれに限られない。要するに、対象物を載置面６１に固定した水を固体状態から融解または昇華できればよく、例えば、赤外線照射手段１１のかわりにマイクロ波照射手段を用いてもよい。また、テーブル６の天面部６２におけるペルチェ素子６３の設置箇所以外の部分に、ヒータを埋設してもよい。
さらに、貯留部６６の形状は何ら限定されるものではなく、平面視円環形状に設けてもよいし、不定形な凹溝としてもよいし、点在する複数の凹穴で構成してもよい。
また、前記実施形態では、水を液体化して回収したが気体化して回収してもよい。
さらに、水を回収した後再利用することなく廃棄してもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
【符号の説明】
【００４１】
１      シート貼付装置
２      減圧手段
３      支持装置
４      貼付手段
５      単軸ロボット
６      テーブル（載置手段）
７      吸着手段
８      固定媒体供給手段
１０    直動モータ
１１    赤外線照射手段（解放手段）
１２    除去手段
６１    載置面
６３    ペルチェ素子（固体化手段）
６６    貯留部
７４    分離手段
Ｗ      ウェハ（対象物）
ＭＳ    マウント用シート（接着シート）
【図１】
2011243867.tif 000003
【図２】
2011243867.tif 000004
【図３】
2011243867.tif 000005