(57)【要約】【課題】半導体ウエハ等の被着体に塵が落下して歩留まりが低下することを抑制できるようにすること。【解決手段】シート剥離装置１０は、半導体ウエハＷに貼付された接着シートＳに剥離用テープＰＴを貼付する貼付手段１６と、接着シートＳに貼付された剥離用テープＰＴと半導体ウエハＷとを相対移動させることで接着シートＳを半導体ウエハＷから剥離する剥離手段１５とを備えている。剥離手段１５は、半導体ウエハＷとの間に接着シートＳを挟み込みつつ剥離姿勢を形成するローラ３０と、このローラ３０による剥離によって発生する塵を除去する除塵手段３１とを備えている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付する貼付手段と、この貼付手段により接着シートに貼付された剥離用テープを介して接着シートを被着体から剥離する剥離手段とを備えたシート剥離装置において、
前記剥離手段は、剥離された接着シートと、未剥離の接着シートとを対向させるように折り曲げて接着シートの剥離姿勢を形成可能な剥離姿勢形成手段と、この剥離姿勢形成手段による剥離によって発生する塵を除去する除塵手段とを備えていることを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
前記除塵手段は、内部に塵を収容可能なチャンバを含み、当該チャンバと剥離姿勢形成手段との間に形成される隙間から塵が被着体側に逆流することを規制可能な返し部材を備えていることを特徴とする請求項１記載のシート剥離装置。
【請求項３】
前記除塵手段は、前記剥離姿勢形成手段に帯電した静電気を除電可能な除電手段を備えていることを特徴とする請求項１又は２記載のシート剥離装置。
【請求項４】
被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付する工程と、
前記接着シートに貼付された剥離用テープを介して未剥離の接着シートに対向させるように接着シートを折り曲げながら接着シートを被着体から剥離する工程と、
接着シートを剥離する工程の最中で剥離によって発生する塵を除去する工程とを備えていることを特徴とするシート剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はシート剥離装置及び剥離方法に係り、更に詳しくは、被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを接着し、当該剥離用テープを介して接着シートを剥離することができるシート剥離装置及び剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称する）の処理工程では、ウエハはその回路面に保護用の接着シートが貼付され、裏面研削等、種々の処理が行われ、ダイシングシートを介してリングフレームにマウントされた後、ダイシング前にこの接着シートは剥離される。このような接着シートの剥離装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。同文献において、ウエハから接着シートを剥離する工程は、押圧ヘッドによって剥離用テープを接着シートに押圧して貼付した後、剥離用テープを掛け回すローラをウエハに対して移動することにより行われる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−３６１１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１にあっては、接着シートが剥離されたウエハの上方をローラやガイドローラが回転して通過する。このため、剥離された接着シートを介してローラ等に付着した塵がウエハの回路面上に落下することで、当該回路を損傷させ半導体チップの歩留まりを大幅に低下させてしまう、という不都合がある。これは、近年の半導体製造工程において、１の塵が検出されると、統計的にその塵を中心とした半径数十ミリメートル（例えば２５ｍｍ）の円内に位置するチップは、不良チップとして扱われ、これらチップを再検査したり、破棄したりする検査基準が設けられており、チップサイズによっては、数百個もの不良として扱われるチップを出してしまうからである。特に、先ダイシング法によってウエハが個片化されている場合、ウエハの外周に形成された三角形状等の細かい不定形チップがローラ等に付着して巻き上げられ、これが回路面上へ落下することがあるため、前記不都合が発生し易くなる。
【０００５】
［発明の目的］
本発明の目的は、被着体に塵が落下して歩留まりが低下することを抑制することができるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明は、被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付する貼付手段と、この貼付手段により接着シートに貼付された剥離用テープを介して接着シートを被着体から剥離する剥離手段とを備えたシート剥離装置において、
前記剥離手段は、剥離された接着シートと、未剥離の接着シートとを対向させるように折り曲げて接着シートの剥離姿勢を形成可能な剥離姿勢形成手段と、この剥離姿勢形成手段による剥離によって発生する塵を除去する除塵手段とを備える、という構成を採っている。
【０００７】
本発明において、前記除塵手段は、内部に塵を収容可能なチャンバを含み、当該チャンバと剥離姿勢形成手段との間に形成される隙間から塵が被着体側に逆流することを規制可能な返し部材を備える、という構成を採ることが好ましい。
【０００８】
また、前記除塵手段は、前記剥離姿勢形成手段に帯電した静電気を除電可能な除電手段を備える、という構成が好ましくは採用される。
【０００９】
更に、本発明の剥離方法は、被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付する工程と、
前記接着シートに貼付された剥離用テープを介して未剥離の接着シートに対向させるように接着シートを折り曲げながら接着シートを被着体から剥離する工程と、
接着シートを剥離する工程の最中で剥離によって発生する塵を除去する工程とを備える、という方法を採っている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、接着シートの剥離によって発生する塵が除去されるので、被着体上に塵が落下することを防止でき、被着体がウエハである場合、半導体チップの歩留まり向上を図ることが可能となる。
【００１１】
また、塵の逆流を返し部材により規制したり、除電手段により剥離姿勢形成手段に帯電した静電気を除電可能とした場合、除塵手段で一旦除去した塵が被着体上へ落下することをより良く防止することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施形態に係るシート剥離装置の概略正面図。
【図２】（Ａ）〜（Ｄ）は、剥離用テープの貼付動作説明図。
【図３】（Ａ）、（Ｂ）は、接着シート剥離途中の部分断面図。
【図４】変形例に係る除塵手段の部分断面図。
【図５】他の変形例に係る除塵手段の部分断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１４】
図１〜図３において、シート剥離装置１０は、回路面（図１中上面）に接着シートＳが貼付された被着体としてのウエハＷを保持する保持手段１１と、帯状の剥離用テープＰＴを繰り出す繰出手段１３と、剥離用テープＰＴを接着シートＳの外縁側に貼付する貼付手段１６と、剥離用テープＰＴを介してウエハＷに貼付された接着シートＳを剥離する剥離手段１５とを備えて構成されている。なお、剥離用テープＰＴは感熱接着性の接着テープを採用している。
【００１５】
前記保持手段１１は、リングフレームＲＦの開口内部に配置され回路面の反対面（図１中下面）側からダイシングシートＤＳを介して当該リングフレームＲＦと一体化されたウエハＷをダイシングシートＤＳ側から上面で吸着して保持するテーブルからなる。
【００１６】
前記繰出手段１３は、図示しないフレームに支持されて巻回された剥離用テープＰＴを支持するとともに、モータＭ１を介して回転可能な支持軸１８と、モータＭ２を介して回転可能な駆動ローラ２０と、当該駆動ローラ２０との間に剥離用テープＰＴを挟み込むピンチローラ２１と、剥離用テープＰＴを図１中下方から支持する板状のガイド部材２３と、このガイド部材２３とで剥離用テープＰＴを挟み込む回転自在なプレスローラ２５と、このプレスローラ２５を昇降させる昇降用シリンダ２６とを備えて構成されている。ガイド部材２３は、シリンダ２７を介して図１中左右方向に移動可能に設けられ、図２（Ａ）に示されるように、プレスローラ２５で挟み込んだ剥離用テープＰＴのリード端領域を後述するチャック４７により把持できる位置に導くことが可能となっている。
【００１７】
前記貼付手段１６は、直動モータ４９と、当該直動モータ４９によって上下方向に進退可能に設けられたヒータ５０Ａを有する押圧ヘッド５０とを備えている。この貼付手段１６は、後述するチャック４７により接着シートＳの上面側に繰り出された剥離用テープＰＴを押圧ヘッド５０で押圧して加熱することで、剥離用テープＰＴを接着シートＳに接着するようになっている。貼付手段１６の図１中左側には、カッター刃５３と、このカッター刃５３の下方に設けられた凹部を有するテープ受け板５４と、カッター刃５３を図１中紙面直交方向及び上下方向に移動させる切断用シリンダ５５及び上下用シリンダ５６とにより構成されたテープ切断手段５２が設けられている。
【００１８】
前記剥離手段１５は、接着シートＳに貼付された剥離用テープＰＴと保持手段１１とを反対方向に相対移動させる移動手段２９と、保持手段１１の上方で図示しない駆動装置を介して同図中左右方向に移動可能な剥離姿勢形成手段としてのローラ３０と、このローラ３０の図１中右側に所定距離を維持して並設された除塵手段３１と、これらローラ３０及び除塵手段３１を同図中上下方向に変位可能な直動モータ３２と備えている。移動手段２９は、保持手段１１を図１中左右方向に移動させるための直動モータ４４及びそのスライダ４５と、貼付手段１６の下方に設けられ、剥離用テープＰＴを把持部材４７Ａで把持可能なチャック４７とを備えている。チャック４７は、図示しない駆動装置を介して図１中左右方向に移動可能に構成されている。
【００１９】
前記除塵手段３１は、図３に示されるように、ローラ３０側を開放する開口部３５Ａを備え、内部に塵を収容可能なチャンバ３５と、図示しない減圧ポンプに接続され、チャンバ３５の内部に連通するホースからなる吸引部３７と、チャンバ３５内に設けられてローラ３０に付着した塵を払い取る払い取り手段としてのブラシ３８とを備えている。チャンバ３５の開口部３５Ａには、その全周にチャンバ３５の内方に向けられた返し部材３６が設けられ、チャンバ３５とローラ３０との間に形成される隙間ＳＰ（吸引口）から塵がウエハＷ側に逆流することを規制する役目をする。ブラシ３８は、チャンバ３５内面に駆動手段４０を介してブラケットＢＬに支持されており、この駆動手段４０により、ブラシ３８の先端側が揺動する首振り動作を行ってローラ３０から塵を払い取るようになっている。また、ブラシ３８は、アース機能を有し、ローラ３０に帯電した静電気を除電する除電機能をも備えている。
【００２０】
次に、前記シート剥離装置１０による接着シートＳの剥離方法について説明する。
【００２１】
初めに、支持軸１８から剥離用テープＰＴを引き出し、駆動ローラ２０及びピンチローラ２１の間を通過させた後、剥離用テープＰＴのリード端側がガイド部材２３の先端からはみ出た状態としつつ、プレスローラ２５とガイド部材２３とで剥離用テープＰＴを挟み込んだ状態とする。
【００２２】
そして、図示しない搬送手段を介して、保持手段１１の上面にリングフレームＲＦと一体化されたウエハＷを保持させると、接着シートＳの図１中右側外縁位置が押圧ヘッド５０の直下で停止するように、直動モータ４４が保持手段１１を移動させる。
【００２３】
次いで、図２（Ａ）に示されるように、シリンダ２７を介してガイド部材２３を同図中右方向に進行させると同時に、モータＭ２を作動して駆動ローラ２０を回転させて剥離用テープＰＴを繰り出す。これにより、チャック４７の把持部材４７Ａ間にガイド部材２３及び剥離用テープＰＴのリード端側が位置する。そして、プレスローラ２５が上方へ退避し、ガイド部材２３を後退させると、把持部材４７Ａ間に剥離用テープＰＴが残されてチャック４７の動作によって把持される。その後、図示しない駆動装置によってチャック４７を図２（Ａ）の二点鎖線で示される位置に移動させて剥離用テープＰＴを引き出し、押圧ヘッド５０の下方で接着シートＳに対向するように剥離用テープＰＴを位置させる。
【００２４】
次に、図２（Ｂ）に示されるように、押圧ヘッド５０を直動モータ４９によって下方へ移動させると、剥離用テープＰＴが押し下げられて接着シートＳに当接し、剥離用テープＰＴがヒータ５０Ａによって加熱されて接着シートＳに接着する。その後、プレスローラ２５とガイド部材２３とで剥離用テープＰＴを挟み込み、シリンダ５５、５６を作動させてテープ受け板５４上でカッター刃５３により剥離用テープＰＴを切断する（図２（Ｃ）参照）。
【００２５】
その後、図２（Ｄ）に示されるように、ローラ３０の下方に接着シートＳの図中右端が位置するように直動モータ４４を介して保持手段１１を移動させた後、直動モータ３２を介してローラ３０を上下方向に変位させ、当該ローラ３０とウエハＷとの間隔Ｄ（図３（Ａ参照）が調整される。これにより、剥離用テープＰＴがウエハＷ上の接着シートＳと対向するように折り曲げられる。次いで、図３（Ａ）に示されるように、接着シートＳに貼付された剥離用テープＰＴと保持手段１１とが反対方向に相対移動するように、直動モータ４４等を介して、チャック４７及び保持手段１１を図中右方向へ移動させることで、剥離された接着シートＳと、未剥離の接着シートＳとが対向するように折り曲げられて接着シートＳの剥離姿勢を形成しながら、接着シートＳがウエハＷから剥離される。
【００２６】
接着シートＳの剥離の最中において、図３に示されるように、剥離直後の接着シートＳの接着面周りに発生した塵は、同図中下方の隙間ＳＰからチャンバ３５内に吸い込まれ、ローラ３０に付着した塵は、同図中上方の隙間ＳＰを通じてチャンバ３５内に搬送されてブラシ３８により払い取られ、吸引部３７を通って機外に排出される。
【００２７】
接着シートＳの剥離を終えると、図示しない搬送手段によりウエハＷが次工程に搬送され、接着シートＳとそれに貼付された剥離用テープＰＴは図示しない回収手段によって回収させる。そして、保持手段１１、ローラ３０及びチャック４７が初期位置に復帰した後、上記同様の動作が繰り返されることとなる。
【００２８】
従って、このような実施形態によれば、接着シートＳの剥離によって塵が発生しても、除塵手段３１にて除去することができ、ウエハＷの回路面上に落下してウエハＷの回路面に損傷を与えるといった不都合を解消することができる。
【００２９】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３０】
例えば、図４に示されるように、イオンを含むエアを発生可能なイオナイザ６０を用い、ローラ３０に静電付着した塵を取り除きやすくしてもよい。
【００３１】
また、前記剥離姿勢形成手段や除塵手段３１は、種々の変更が可能であり、例えば、図５に示される構成に代替することができる。同図において、剥離姿勢形成手段は、ブレード６１とされる。除塵手段３１は、ブレード６１の先端下方に設けられた断面視Ｌ型のチャンバ６２と、このチャンバ６２開口部全周（図５には底部のみ図示）に形成された返し部材６３と、チャンバ６２内の塵を吸引可能な吸引部６４とを備えている。
【００３２】
また、本発明における被着体としては、半導体ウエハに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。
更に、剥離用テープＰＴは、感熱接着性の接着テープ以外に感圧接着性の接着テープを採用してもよい。
【００３３】
また、接着シートＳの剥離動作は、保持手段１１及びチャック４７の動作を停止させ、ローラ３０を図３（Ａ）中左方向に移動させてもよい。
【符号の説明】
【００３４】
１０  シート剥離装置
１５  剥離手段
１６  貼付手段
３０  ローラ（剥離姿勢形成手段）
３１  除塵手段
３５  チャンバ
３６  返し部材
３８  ブラシ（除電手段）
６０  イオナイザ（除電手段）
６１  ブレード（剥離姿勢形成手段）
ＰＴ  剥離用テープ
Ｓ  接着シート
ＳＰ  隙間
Ｗ  半導体ウエハ（被着体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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