(57)【要約】【課題】ＭＥＭＳミラーの偏向角特性のモニターと書き出し位置タイミング制御の何れも高精度に行うことができる光走査装置を提供すること。【解決手段】光源２６から出射される光ビームＬを偏向する検知素子（ＭＥＭＳミラー）２７と、該検知素子２７によって偏向された光ビームＬ１，Ｌ２を検知するＢＤセンサ（光検知素子）２９，３０を備えた光走査装置１３において、前記ＢＤセンサ２９，３０によって検知される光ビームＬ１，Ｌ２のうち、前記ＭＥＭＳミラーの偏向角特性をモニターするための光ビームＬ１の偏向角θb1を、書き出し位置タイミング制御のための光ビームＬ２の偏向角θb2よりも大きく設定する(θb1＞θb2)。例えば、前記ＭＥＭＳミラーの偏向角特性をモニターするための光ビームＬ１を検知する第１のＢＤセンサ２９を、書き出し位置タイミング制御のための光ビームＬ２を検知する第２のＢＤセンサ３０よりも走査方向外端側に配置する。【選択図】図２
2011095459.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源から出射される光ビームを偏向するＭＥＭＳミラーと、該ＭＥＭＳミラーによって偏向された光ビームを検知する光検知素子を備えた光走査装置において、
前記光検知素子によって検知される光ビームのうち、前記ＭＥＭＳミラーの偏向角特性をモニターするための光ビームの偏向角を、書き出し位置タイミング制御のための光ビームの偏向角よりも大きく設定したことを特徴とする光走査装置。
【請求項２】
前記ＭＥＭＳミラーの偏向角特性をモニターするための光ビームを検知する第１の光検知素子を、書き出し位置タイミング制御のための光ビームを検知する第２の光検知素子よりも走査方向外端側に配置したことを特徴とする請求項１記載の光走査装置。
【請求項３】
前記ＭＥＭＳミラーの偏向角特性をモニターするための光ビームを反射させて前記光検知素子に導く第１の折り返しミラーと、書き出し位置タイミング制御のための光ビームを反射させて前記光検知素子に導く第２の折り返しミラーを設け、前記第１の折り返しミラーを前記第２の折り返しミラーよりも走査方向外端側に配置したことを特徴とする請求項１記載の光走査装置。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかに記載の光走査装置を備えることを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、偏向手段としてＭＥＭＳミラーを用いた光走査装置とこれを備えた複写機やプリンタ等の画像形成装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
複写機やプリンタ等の画像形成装置においては、帯電器によって表面が一様に帯電された像担持体が光走査装置によって露光走査され、その表面に画像情報に応じた静電潜像が形成される。そして、静電潜像は現像装置によって現像剤であるトナーを用いて現像されてトナー像として顕像化され、このトナー像は、転写装置によって用紙上に転写された後に定着装置によって加熱及び加圧されて用紙上に定着され、トナー像が定着された用紙が装置外へ排出されることによって一連の画像形成動作が終了する。
【０００３】
ところで、従来、光走査装置には、光ビームを走査する偏向器としてポリゴンミラーやガルバノミラーが専ら用いられているが、より高解像度の画像や高速プリントを達成するためには、これらのポリゴンミラーやガルバノミラーを更に高速で回転させる必要がある。
【０００４】
しかしながら、ポリゴンミラーやガルバノミラーを高速で回転させると軸受の耐久性や風損による発熱や騒音の問題が発生し、高速走査には限界がある。
【０００５】
そこで、近年、シリコンマイクロマシニング（ＭＥＭＳ）技術を利用した偏向器の開発が進められており、例えばマイクロミラー（以下、「ＭＥＭＳミラー」と称する）とこれを軸支する捩り梁をＳｉ基板に一体に形成し、ＭＥＭＳミラー側の可動電極と固定側の固定電極との間に交流電圧を印加し、両電極間に発生する静電引力によって捩り梁を捩りながらＭＥＭＳミラーを共振を利用して往復振動させる方式が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
上記方式によれば、ＭＥＭＳミラーを共振を利用して往復振動（正弦振動）させるために高速動作が可能であり、騒音と消費電力を低く抑えることができるという利点が得られる。
【０００７】
ところが、ＭＥＭＳミラーは、温度や気圧の変動によって偏向角特性が変化するため、これを画像形成装置の光走査装置に使用した場合には環境変動によってリニアリティ等の走査性能が変動する。このため、ＭＥＭＳミラーの偏向角特性をモニターし、その偏向角特性に変動があった場合には、何らかの手法でその変動を補償する必要がある。例えばＭＥＭＳミラーの最大偏向角が所定の値よりも小さい場合には、ＭＥＭＳミラーの電極に供給する電流を増やして最大偏向角を所定の値に近づける等の偏向角を補償する技術が必要になる。
【０００８】
ところで、光走査装置の書き出し位置制御にはＢＤセンサ等の光検知素子が用いられるが、この光検知素子をＭＥＭＳミラーの偏向角特性のモニターに使用することが提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特許第２９２４２００号公報
【特許文献２】特許第３７８７８７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
特許文献２において提案されているように、光検知素子によってＭＥＭＳミラーの偏向角特性をモニターするための光ビームと書き出し位置タイミング制御のための光ビームの双方を検知する場合、ＭＥＭＳミラーの偏向角特性のモニターは走査方向外側に近づくほど精度良くモニターすることができる反面、書き出し位置タイミング制御のための光ビームの検知は、その検知位置が書き出し位置に近いほど、つまり走査方向内側に近づくほど検知誤差や変動によるビーム位置ズレが小さくなるために高精度な検知が可能となる。従って、従来はＭＥＭＳミラーの偏向角特性のモニター精度又は書き出し位置タイミング制御の精度の何れか一方を犠牲にせざるを得なかった。
【００１１】
本発明は上記問題に鑑みてなされたもので、その目的とする処は、ＭＥＭＳミラーの偏向角特性のモニターと書き出し位置タイミング制御の何れも高精度に行うことができる光走査装置とこれを備えた画像形成装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するため、請求項１記載の発明は、光源から出射される光ビームを偏向するＭＥＭＳミラーと、該ＭＥＭＳミラーによって偏向された光ビームを検知する光検知素子を備えた光走査装置において、前記光検知素子によって検知される光ビームのうち、前記ＭＥＭＳミラーの偏向角特性をモニターするための光ビームの偏向角を、書き出し位置タイミング制御のための光ビームの偏向角よりも大きく設定したことを特徴とする。
【００１３】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記ＭＥＭＳミラーの偏向角特性をモニターするための光ビームを検知する第１の光検知素子を、書き出し位置タイミング制御のための光ビームを検知する第２の光検知素子よりも走査方向外端側に配置したことを特徴とする。
【００１４】
請求項３記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記ＭＥＭＳミラーの偏向角特性をモニターするための光ビームを反射させて前記光検知素子に導く第１の折り返しミラーと、書き出し位置タイミング制御のための光ビームを反射させて前記光検知素子に導く第２の折り返しミラーを設け、前記第１の折り返しミラーを前記第２の折り返しミラーよりも走査方向外端側に配置したことを特徴とする。
【００１５】
請求項４記載の画像形成装置は、請求項１〜３の何れかに記載の光走査装置を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、ＭＥＭＳミラーの偏向角特性のモニターは走査方向外側で行われるために高精度なモニターが可能となるとともに、書き出し位置タイミング制御のための光ビームの検知は書き出し位置に近い箇所で行われるために高精度な書き出し位置タイミングの制御が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明に係る画像形成装置（カラーレーザープリンタ）の側断面図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る光走査装置の構成を示す平面図である。
【図３】ＭＥＭＳミラーを備えた偏向素子の正面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ線断面図である。
【図５】主走査方向の走査位置（像高）に対するビーム走査位置のズレ量の変化を示す図である。
【図６】ＢＤセンサの設置位置（角度）に対するＢＤセンサの検知間隔変化を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態２に係る光走査装置の構成を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【００１９】
［画像形成装置］
図１は本発明に係る画像形成装置の一形態としてのカラーレーザープリンタの断面図であり、図示のカラーレーザープリンタはタンデム型であって、その本体１００内の中央部には、マゼンタ画像形成ユニット１Ｍ、シアン画像形成ユニット１Ｃ、イエロー画像形成ユニット１Ｙ及びブラック画像形成ユニット１Ｋが一定の間隔でタンデムに配置されている。
【００２０】
上記各画像形成ユニット１Ｍ，１Ｃ，１Ｙ，１Ｋには、像担持体である感光ドラム２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄがそれぞれ配置されており、各感光ドラム２ａ〜２ｄの周囲には、帯電器３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ、現像装置４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ、転写ローラ５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ及びドラムクリーニング装置６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄがそれぞれ配置されている。
【００２１】
ここで、前記感光ドラム２ａ〜２ｄは、ドラム状の感光体であって、不図示の駆動モータによって図示矢印方向（時計方向）に所定のプロセススピードで回転駆動される。又、前記帯電器３ａ〜３ｄは、不図示の帯電バイアス電源から印加される帯電バイアスによって感光ドラム２ａ〜２ｄの表面を所定の電位に均一に帯電させるものである。
【００２２】
更に、前記現像装置４ａ〜４ｄは、マゼンタ（Ｍ）トナー、シアン（Ｃ）トナー、イエロー（Ｙ）トナー、ブラック（Ｋ）トナーをそれぞれ収容しており、各感光ドラム２ａ〜２ｄ上に形成された各静電潜像に各色のトナーを付着させて各静電潜像を各色のトナー像として可視像化するものである。
【００２３】
又、前記転写ローラ５ａ〜５ｄは、各一次転写部にて中間転写ベルト７を介して各感光ドラム２ａ〜２ｄに当接可能に配置されている。ここで、中間転写ベルト７は、駆動ローラ８とテンションローラ９との間に張設されて各感光ドラム２ａ〜２ｄの上面側に走行可能に配置されており、前記駆動ローラ８は、二次転写部において中間転写ベルト７を介して二次転写ローラ１０に当接可能に配置されている。又、テンションローラ９の近傍にはベルトクリーニング装置１１が設けられている。
【００２４】
ところで、プリンタ本体１００内の各画像形成ユニット１Ｍ，１Ｃ，１Ｙ，１Ｋの上方には、前記各現像装置４ａ〜４ｄにトナーを補給するためのトナーコンテナ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄが一列に並設されている。
【００２５】
又、プリンタ本体１００内の各画像形成ユニット１Ｍ，１Ｃ，１Ｙ，１Ｋの下方には、各画像形成ユニット１Ｍ，１Ｃ，１Ｙ，１Ｋに対応して本発明に係る計４つの光走査装置１３がそれぞれ配置され、これらの下方のプリンタ本体１００の底部には給紙カセット１４が着脱可能に設置されている。そして、給紙カセット１４には複数枚の不図示の用紙が積層収容されており、この給紙カセット１４の近傍には、該給紙カセット１４から用紙を取り出すピックアップローラ１５と、取り出された用紙を分離して搬送パスＳへと１枚ずつ送り出すフィードローラ１６とリタードローラ１７が設けられている。
【００２６】
又、プリンタ本体１００の側部を上下方向に延びる前記搬送パスＳには、用紙を搬送する搬送ローラ対１８と、用紙を一時待機させた後に所定のタイミングで前記二次転写対向ローラ８と二次転写ローラ１０との当接部である二次転写部へと供給するレジストローラ対１９が設けられている。尚、搬送パスＳの横には、用紙の両面に画像を形成する場合に使用される別の搬送パスＳ’が形成されており、この搬送パスＳ’には複数の反転ローラ対２０が適当な間隔で設けられている。
【００２７】
ところで、プリンタ本体１００内の一側部に縦方向に配置された前記搬送パスＳは、プリンタ本体１００の上面に設けられた排紙トレイ２１まで延びており、その途中には定着装置２２と排紙ローラ対２３，２４が設けられている。
【００２８】
次に、以上の構成を有するカラーレーザープリンタによる画像形成動作について説明する。
【００２９】
画像形成開始信号が発せられると、各画像形成ユニット１Ｍ，１Ｃ，１Ｙ，１Ｋにおいて各感光ドラム２ａ〜２ｄが図示矢印方向（時計方向）に所定のプロセススピードで回転駆動され、これらの感光ドラム２ａ〜２ｄは、帯電器３ａ〜３ｄによって一様に帯電される。又、各光走査装置１３は、各色毎のカラー画像信号によって変調された光ビームを出射し、その光ビームを各感光ドラム２ａ〜２ｄの表面に照射し、各感光ドラム２ａ〜２ｄ上に各色のカラー画像信号に対応した静電潜像をそれぞれ形成する。
【００３０】
そして、先ず、マゼンタ画像形成ユニット１Ｍの感光ドラム２ａ上に形成された静電潜像に、該感光ドラム２ａの帯電極性と同極性の現像バイアスが印加された現像装置４ａによってマゼンタトナーを付着させ、該静電潜像をマゼンタトナー像として可視像化する。このマゼンタトナー像は、感光ドラム２ａと転写ローラ５ａとの間の一次転写部（転写ニップ部）において、トナーと逆極性の一次転写バイアスが印加された転写ローラ５ａの作用によって、図示矢印方向に回転駆動されている中間転写ベルト７上に一次転写される。
【００３１】
上述のようにしてマゼンタトナー像が一次転写された中間転写ベルト７は、次のシアン画像形成ユニット１Ｃへと移動する。そして、シアン画像形成ユニット１Ｃにおいても、前記と同様にして、感光ドラム２ｂ上に形成されたシアントナー像が一次転写部において中間転写ベルト７上のマゼンタトナー像に重ねて転写される。
【００３２】
以下同様にして、中間転写ベルト７上に重畳転写されたマゼンタ及びシアントナー像の上に、イエロー及びブラック画像形成ユニット１Ｙ，１Ｋの各感光ドラム２ｃ，２ｄ上にそれぞれ形成されたイエロー及びブラックトナー像が各一次転写部において順次重ね合わせられ、中間転写ベルト７上にはフルカラーのトナー像が形成される。尚、中間転写ベルト７上に転写されないで各感光ドラム２ａ〜２ｄ上に残留する転写残トナーは、各ドラムクリーニング装置６ａ〜６ｄによって除去され、各感光ドラム２ａ〜２ｄは次の画像形成に備えられる。
【００３３】
そして、中間転写ベルト７上のフルカラートナー像の先端が駆動ローラ８と二次転写ローラ１０間の二次転写部（転写ニップ部）に達するタイミングに合わせて、給紙カセット１４からピックアップローラ１５とフィードローラ１６及びリタードローラ１７によって搬送パスＳへと送り出された用紙がレジストローラ対１９によって二次転写部へと搬送される。そして、二次転写部に搬送された用紙に、トナーと逆極性の二次転写バイアスが印加された二次転写ローラ１０によってフルカラーのトナー像が中間転写ベルト７から一括して二次転写される。
【００３４】
而して、フルカラーのトナー像が転写された用紙は、定着装置２２へと搬送され、フルカラーのトナー像が加熱及び加圧されて用紙の表面に熱定着され、トナー像が定着された用紙は、排紙ローラ対２３，２４によって排紙トレイ２１上に排出されて一連の画像形成動作が完了する。尚、用紙上に転写されないで中間転写ベルト７上に残留する転写残トナーは、前記ベルトクリーニング装置１１によって除去され、中間転写ベルト７は次の画像形成に備えられる。
【００３５】
［光走査装置］
次に、本発明に係る前記光走査装置１３の実施の形態を図２〜図４に基づいて説明する。尚、４つの光走査装置１３の構成は全て同じであるため、以下、１つの光走査装置１３についてのみ説明する。
【００３６】
＜実施の形態１＞
図２は本発明の実施の形態１に係る光走査装置要部の構成を示す平面図、図３は同光走査装置の偏向素子の正面図、図４は図３のＡ−Ａ線断面図である。
【００３７】
図２に示すように、光走査装置１３のハウジング２５には光源（レーザーダイオード）２６が設けられており、ハウジング２５内には後述のＭＥＭＳミラー３６（図３参照）を備えた偏向手段としての偏向素子２７と走査レンズ２８が収容されている。
【００３８】
ところで、後述のように光源２６から出射される光ビームＬは偏向素子２７のＭＥＭＳミラー３６によって偏向され、偏向された光ビームＬは走査レンズ２８を通過することによって図１に示す各画像形成ユニット１Ｍ，１Ｃ，１Ｙ，１Ｋの感光ドラム２ａ（２ｂ〜２ｄ）上を書き出し位置Ｐ１を起点として矢印方向（図２の左方向）に沿って書き終わり位置Ｐ２へと走査するが、書き出し位置Ｐ１の近傍であって、光ビームＬの有効走査範囲（実際にプリント幅として使用する走査範囲）Ｒを外れた位置には光検知素子である２つのＢＤセンサ２９，３０が配置されている。尚、図２において、３１はハウジング２５の開口部を覆う透明なカバーガラスである。
【００３９】
ここで、前記偏向素子２７の構成と作用を図３及び図４に基づいて説明する。
【００４０】
偏向素子２７は、フレーム３４上に接合されたＳｉ基板３５にエッチングや成膜等のマイクロマシニング技術（ＭＥＭＳ技術）を利用して長楕円状のＭＥＭＳミラー３６とこれを支持する捩り梁３７を一体に形成することによって構成されており、ＭＥＭＳミラー３６は捩り梁３７を中心として往復振動（正弦振動）する。
【００４１】
図３に示すように、上記捩り梁３７の長手方向（Ｙ軸方向）両端が絶縁部３８によって電気的に絶縁されており、その幅方向両側には長手方向に直交する方向（Ｘ軸方向）に延びる櫛歯状の複数の可動電極３９が形成されており、Ｓｉ基板３５の本体３５Ａ側には可動電極３９の間に位置する複数の固定電極４０が形成されており、これらの可動電極３９と固定電極４０は捩り梁３７の長手方向（Ｙ軸方向）に沿って交互に配置されている。そして、図４に示すように、可動電極３９と固定電極４０には不図示の交流電源から延びる電線４１，４２がそれぞれ接続されている。
【００４２】
以上のように構成された偏向素子２９において、交流電源から電線４１，４２を経て可動電極３９と固定電極４０に交流電圧がそれぞれ印加されると、これらの可動電極３９と固定電極４０との間に静電引力が発生し、この静電引力によってＭＥＭＳミラー３６が図４に鎖線にて示すように捩り梁３７（Ｙ軸）を中心として所定角度（偏向角）だけ往復振動する。尚、ＭＥＭＳミラー３６の駆動周波数は共振周波数に設定されており、これによってＭＥＭＳミラー３６の振幅（偏向角）が拡大される。又、ＭＥＭＳミラー３６の表面（反射面）にはアルミニウム膜等が成膜されてその反射率が高められている。
【００４３】
而して、図２に示す光走査装置１３において、光源２６が画像データに応じてＯＮ／ＯＦＦ制御されると、該光源２６から画像データに対応して変調された光ビームＬが出射され、この光ビームＬは、不図示のコリメータレンズによって適当な大きさのコリメート光に整形された後、副走査方向（Ｙ軸方向）にのみパワーを有するシリンドリカルレンズに入射される。そして、シリンドリカルレンズを通過した光ビームＬは、偏向素子２７のＭＥＭＳミラー３６（図３参照）に入射されて結像される。
【００４４】
偏向素子２７のＭＥＭＳミラー３６に入射した各光ビームＬは、前述のようにＭＥＭＳミラー３６が往復振動（正弦振動）することによって主走査方向（Ｘ軸方向）に偏向され、この偏向された光ビームＬは、走査レンズ２８を通過することによって図１に示す各画像形成ユニット１Ｍ（１Ｃ，１Ｙ，１Ｋ）の感光ドラム２ａ（２ｂ〜２ｄ）上に結像され、感光ドラム２ａ（２ｂ〜２ｄ）上を主走査方向（図示矢印方向）に露光走査する。
【００４５】
ここで、ＭＥＭＳミラー３６は、図２に示すように、走査レンズ２８を介して最大偏向角±θm走査を行うが、感光ドラム２ａ（２ｂ〜２ｄ）に対しては有効走査範囲Ｒに対応する偏向角±θsの範囲で走査を行う。
【００４６】
ところで、有効走査範囲Ｒ外に配置されたＢＤセンサ２９，３０のうち、走査方向外側の偏向角θb1の位置に配置された一方のＢＤセンサ２９は、ＭＥＭＳミラー３６の偏向角特性をモニターするための光ビームＬ１を検知するためのものであり、その内側（書き出し位置Ｐ１に近い箇所）の偏向角θb2に配置された他方のＢＤセンサ３０は、書き出し位置タイミング制御のための光ビームＬ２を検知するためのものであり、偏向角θm，θs，θb1，θb2の間には、
θs＜θb2＜θb1＜θm        …  （１）
なる大小関係が成立している。
【００４７】
而して、ＢＤセンサ２９によって光ビームＬ２が往復する時間間隔を検知することによってＭＥＭＳミラー３６の偏向角特性がモニターされ、ＢＤセンサ３０によって光ビームＬ２による感光ドラム２ａ（２ｂ〜２ｄ）上への露光走査（書き出し）開始タイミングが決定される。尚、ＢＤセンサ２９によってその応答の時間間隔を検知することによってＭＥＭＳミラー３６の偏向角特性がモニターされると、検知された応答時間間隔の変化に基づいて例えばＭＥＭＳミラー３６への入力（電圧、電流、周波数）や光走査タイミング、ビーム点灯信号タイミング等を変化させることによってＭＥＭＳミラー３６の温度変化等による偏向角特性の変化が補償される。
【００４８】
以上のように、本実施の形態では、ＭＥＭＳミラー３６の偏向角特性のモニターは走査方向外側に配置されたＢＤセンサ２９による光ビームＬ１の検知によって行われるために高精度なモニターが可能となるとともに、書き出し位置タイミング制御のための光ビームＬ２の検知は書き出し位置Ｐ１に近い箇所に設置されたＢＤセンサ３０によって行われるために高精度な書き出し位置タイミングの制御が可能となる。
【００４９】
ここで、上述のようにＭＥＭＳミラー３６の偏向角特性のモニターと書き出し位置タイミング制御を共に高精度に行うことができる理由について説明する。
【００５０】
ＭＥＮＳミラー３６は前述のように制限振動を行うため、走査端部である偏向角が大きい箇所では回転速度が遅くなる。このため、走査レンズ２８には、端部で走査速度が大きくなるアークサイン特性を有するレンズが使用されている。
【００５１】
従来、書き出し位置のタイミングは走査方向端部に配置された１つのＢＤセンサによって行われていたため、ＭＥＭＳミラーの最大偏向角が変化すると誤差が累積され、書き終わり部で位置ズレ量が最大となる。そして、ＭＥＭＳミラーの最大偏向角は温度や入力（電圧、電流、周波数）によって変化する。
【００５２】
例えば、最大偏向角４０°、動作周波数２５００ＨｚのＭＥＭＳミラーを用い、画像形成偏向角±３４°、対応する画像長さ±１６０ｍｍ、アークサイン特性を有する走査レンズを用いた光走査装置を想定した場合、ＭＥＭＳミラーの最大偏向角が０．００５°変化した場合のビーム走査位置のズレ量（偏向角が変化する前の位置からのズレ量）は主走査方向の走査位置（像高）に対して図５に示すようになる。
【００５３】
図２においては、書き出し位置のタイミング制御用のＢＤセンサが像高Ｙ０＝−１９０ｍｍの位置に設置されているときのビーム走査位置のズレ量を実線で、ＢＤセンサが像高Ｙ０＝−１８０ｍｍの位置に設置されているときのビーム走査位置のズレ量を破線で、ＢＤセンサが像高Ｙ０＝−１７０ｍｍの位置に設置されているときのビーム走査位置のズレ量を点線でそれぞれ示されているが、何れの場合も書き終わり側のズレ量が大きくなっており、ＢＤセンサの設置位置が書き出し位置に近いほどズレ量が小さくなることが分かる。つまり、ＢＤセンサを書き出し位置に近い側に配置する方が偏向角の変化に対して走査位置のズレ量を小さく抑えることができ、書き出し位置のタイミング制御を高精度に行うことができる。
【００５４】
以上のように、ＭＥＭＳミラーを用いた光走査装置においては、ＭＥＭＳミラーの最大偏向角の変化に対する感度が非常に高く、ＭＥＭＳミラーの偏向角を常に高精度にモニターし、その変動を前記手法によって補償する必要がある。
【００５５】
ＭＥＭＳミラーの偏向角のモニターは、書き出し位置のタイミング制御と同様に、或る像高に固定したＢＤセンサの応答時間の間隔を検出することによって行うことができる。図６に前記と同じ緒元の光走査装置におけるＢＤセンサの応答間隔の変化量をＢＤセンサの設置位置（角度）に対して示す。
【００５６】
図６において、実線は最大偏向角の変化量Δθが０．００７５°、破線はΔθが０．００５°、点線はΔθが０．００２５°の場合のＢＤセンサの応答間隔の変化量をそれぞれ示す。ＭＥＭＳミラーは正弦振動を行うため、これを走査方向端部に設置した方が応答時間の変化量が大きくなり、それだけ高精度にＭＥＭＳミラーの偏向角特性をモニターすることができることが図６に示す結果から明らかである。
【００５７】
＜実施の形態２＞
次に、本発明に係る光走査装置１３の実施の形態２について図７を参照しながら以下に説明する。
【００５８】
図７は本発明の実施の形態２に係る光走査装置の構成を示す平面図であり、本図においては図２において示したものと同様の要素には同一符号を付しており、以下、それらについての説明は省略する。
【００５９】
本実施の形態に係る光走査装置１３においては、前記実施の形態１においてＢＤセンサ２９，３０の位置に折り返しミラー３２，３３をそれぞれ配置するとともに、各折り返しミラー３２，３３によって反射して折り返された光ビームＬ１，Ｌ２を検知するための１つのＢＤセンサ４３をハウジング２５の内壁に固定しており、他の構成は図２に示す実施の形態１に示したものと同じである。
【００６０】
ここで、光ビームＬ１はＭＥＭＳミラー３６の偏向角特性をモニターするためのものであり、光ビームＬ２は書き出し位置のタイミング制御のためのものであり、光ビームＬ１の偏向角θb1は光ビームＬ２の偏向角θb2よりも大きく（θb1＞θb2）設定されており（折り返しミラー３２が折り返しミラー３３よりも走査方向外側に設置されており）、これらの偏向角θb1，θb2と最大偏向角θm及び有効偏向角θsとの間には前記実施の形態１と同様に前記（１）式で示される大小関係が成立している。
【００６１】
以上のように、本実施の形態においても、ＭＥＭＳミラー３６（図３参照）の偏向角特性のモニターは走査方向外側で行われるために高精度なモニターが可能となるとともに、書き出し位置タイミング制御のための光ビームＬ２の検知は書き出し位置Ｐ１に近い箇所で行われるために高精度な書き出し位置タイミングの制御が可能となる。
【００６２】
又、本実施の形態によれば、１つのＢＤセンサ４３を設けるだけで良いため、装置のコストダウンを図ることができるという効果が得られる。
【００６３】
尚、以上は本発明をカラーレーザープリンタとこれに備えられた光走査装置に対して適用した形態について説明したが、本発明は、モノクロプリンタや複写機等を含む他の任意の画像形成装置及びこれに備えられた光走査装置に対しても同様に適用可能であることは勿論である。
【符号の説明】
【００６４】
１Ｍ            マゼンタ画像形成ユニット
１Ｃ            シアン画像形成ユニット
１Ｙ            イエロー画像形成ユニット
１Ｋ            ブラック画像形成ユニット
２ａ〜２ｄ      感光ドラム
３ａ〜３ｄ      帯電器
４ａ〜４ｄ      現像装置
５ａ〜５ｄ      転写ローラ
６ａ〜６ｄ      ドラムクリーニング装置
７              中間転写ベルト
８              駆動ローラ
９              テンションローラ
１０            二次転写ローラ
１１            ベルトクリーニング装置
１２ａ〜１２ｄ  トナーコンテナ
１３            光走査装置
１４            給紙カセット
１５            ピックアップローラ
１６            フィードローラ
１７            リタードローラ
１８            搬送ローラ対
１９            レジストローラ対
２０            搬送ローラ対
２１            排紙トレイ
２２            定着装置
２３，２４      排紙ローラ対
２５            光走査装置のハウジング
２６            光源
２７            偏向素子
２８            走査レンズ
２９            第１のＢＤセンサ（光検知素子）
３０            第２のＢＤセンサ（光検知素子）
３１            カバーレンズ
３２            第１の折り返しミラー
３３            第２の折り返しミラー
３４            偏向素子のフレーム
３５            Ｓｉ基板
３５Ａ          Ｓｉ基板本体
３６            偏向素子のＭＥＭＳミラー
３７            偏向素子の捩り梁
３８            偏向素子の絶縁部
３９            偏向素子の可動電極
４０            偏向素子の固定電極
４１，４２      偏向素子の電線
４３            ＢＤセンサ（光検知素子）
Ｌ，Ｌ１，Ｌ２  光ビーム
Ｒ              有効走査範囲
Ｓ，Ｓ’        搬送パス
θb1            光ビームＬ１の偏向角
θb2            光ビームＬ２偏向角
θm            最大偏向角
θs            有効偏向角
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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