(57)【要約】【課題】光導波路構造体を構成するクラッド構造体に精度よくクラッドフィルムを配置することを課題とする。【解決手段】製造装置５００は、クラッドフィルム６が保持される保形台１５１段、保形台１５１上のクラッドフィルム６の位置を確認する顕微鏡５０５を有する。顕微鏡５０５によってクラッドフィルム６の位置を確認しつつ保形台１５１の位置を調整する第１位置調整機構１５２、保形台１５１から受け渡されたクラッドフィルム６をクラッド構造体１に押し当てる押当てヘッド２１を有する。また、クラッド構造体１を保持し、顕微鏡５０５及び押当てヘッド２１と対向可能である第３ステージ１００を有する。さらに、顕微鏡５０５によってクラッド構造体１の位置を確認しつつ第３ステージ１００の位置を調整する第２位置調整機構１０１を有する。【選択図】図１１
2011150106.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
曲面上に溝を有するクラッド構造体の前記曲面にクラッドフィルムを貼付した光導波路構造体の製造装置であって、
曲面を備え、当該曲面に沿って前記クラッドフィルムが保持されるクラッドフィルム保形手段と、
前記クラッドフィルム保形手段上のクラッドフィルムの位置を確認する位置確認手段と、
前記位置確認手段によって前記クラッドフィルムの位置を確認しつつ前記クラッドフィルム保形手段上の前記クラッドフィルムが基準位置に配置されるように前記クラッドフィルム保形手段の位置を調整する第１位置調整手段と、
前記クラッドフィルム保形手段の曲面に対応した曲面を備え、前記クラッドフィルム保形手段に保持されたクラッドフィルムが受け渡されるとともに、当該受け渡されたクラッドフィルムを前記クラッド構造体の曲面に押し当てる弾性体を有する押当て手段と、
前記クラッド構造体を保持し、前記クラッドフィルム保形手段と入れ換えて、前記位置確認手段及び前記押当て手段と対向可能であるクラッド構造体保持手段と、
前記位置確認手段によって前記クラッド構造体の位置を確認しつつ前記クラッド構造体保持手段に保持されたクラッド構造体が基準位置に配置されるように前記クラッド構造体保持手段の位置を調整する第２位置調整手段と、
を、備えたことを特徴とした光導波路構造体の製造装置。
【請求項２】
クラッドフィルムシートから所望の大きさの前記クラッドフィルムを切り出しつつ、前記クラッドフィルム保持手段の曲面上に前記クラッドフィルムを供給するクラッドフィルム供給手段をさらに備えた光導波路構造体の製造装置。
【請求項３】
前記クラッドフィルム保形手段の側方に前記クラッドフィルム保形手段に保持される前記クラッドフィルムのガイド手段を備えたことを特徴とした請求項１又は２記載の光導波路構造体の製造装置。
【請求項４】
曲面上に溝を有するクラッド構造体の前記曲面にクラッドフィルムを貼付した光導波路構造体の製造方法であって、
曲面を備え、当該曲面に沿って前記クラッドフィルムが保持されるクラッドフィルム保形手段に前記クラッドフィルムを保持させる工程と、
前記クラッドフィルム保形手段上のクラッドフィルムの位置を確認する位置確認手段によって前記クラッドフィルムの位置を確認しつつ前記クラッドフィルム保形手段上の前記クラッドフィルムが基準位置に配置されるように前記クラッドフィルム保形手段の位置を調整する工程と、
前記クラッドフィルム保形手段の曲面に対応した曲面を備える弾性体を有する押当て手段に前記クラッドフィルム保形手段を対向配置し、前記クラッドフィルム保形手段に保持された前記クラッドフィルムを前記押当て手段に受け渡す工程と、
前記クラッド構造体を保持するクラッド構造体保持手段を前記クラッドフィルム保形手段の位置を調整した状態の前記位置確認手段に対向配置し、前記位置確認手段によって前記クラッド構造体の位置を確認しつつ前記クラッド構造体保持手段に保持されたクラッド構造体が基準位置に配置されるように前記クラッド構造体保持手段の位置を調整する工程と、
位置調整が終了した前記クラッド構造体保持手段を前記押当て手段に対向配置し、前記押当て手段を前記クラッド構造体の前記曲面に押し当てつつ、前記クラッド構造体の前記曲面にクラッドフィルムを貼付する工程と、
を、備えたことを特徴とする光導波路構造体の製造方法。
【請求項５】
前記クラッドフィルム保形手段に前記クラッドフィルムを保持させる際に、クラッドフィルムシートから前記クラッドフィルムを切り出しつつ、前記クラッドフィルム保持手段の曲面上に前記クラッドフィルムを供給することを特徴とした請求項４記載の光導波路構造体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波路構造体の製造装置及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、面発光レーザやフォトダイオード（フォトディテクタ）などの面型光素子を備える多チャンネル光トランシーバが知られている。このような多チャンネル光トランシーバ等の光モジュールにおいて、面発光レーザやフォトダイオードなどの面型光素子を使用する場合、面型光素子の光入射面又は光出射面は実装基板に対して平行になるため、実装基板に対して垂直に光を入射又は出射させることになる。このような光モジュールの小型化、薄型化を図る場合、光ファイバ（光ファイバアレイ）を実装基板に対して平行に配置することが望ましい。この場合、光ファイバの端面と面型光素子の光入射面又は光出射面とは略直角の位置関係になる。このため、基板上に実装された面型光素子の光入射面又は光出射面に対して垂直に入射又は出射する光の経路（光路）を略９０度曲げて、光ファイバと面型光素子とを光学的に接続することが必要になる。そこで、例えば、光トランシーバなどの装置内の狭いスペースで光の経路を急峻に曲げるために、略直角の曲面上に光導波路を有する光導波路構造体を用い、面型光素子に対し入射又は出射する光を、曲面に沿って導いて、光ファイバアレイに結合させる技術が提案されている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
また、特許文献１で提案されたような光導波路構造体において、気泡を混入させずに液状コアを鈞一に充填することを目的とした光導波路構造体の製造方法及び製造装置が知られている（例えば、特許文献２）。特許文献２には、曲面上に前記曲面の一端から他端まで延びる溝を有するクラッド構造体を作製する工程と、前記溝の一端側又は他端側の前記曲面上に液状コアを滴下する工程と、前記液状コア材料が滴下された側の前記溝を含む前記曲面に弾性体の一部を接触させた後、前記溝の反対側へ向けて前記弾性体を変形させながら前記溝に前記液状コア材料を充填していく工程とを含む光導波路構造体の製造方法が開示されている。また、前記弾性体の表面にクラッドフィルムを保持する工程を含み、前記液状コア材料充填工程において、前記クラッドフィルムをラミネートしながら前記溝に前記液状コア材料を充填していく光導波路構造体の方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１１５３４６号公報
【特許文献２】特開２００８−１５８４４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記特許文献２に開示された光導波路構造体のようにクラッドフィルムを装着する場合、クラッドフィルムは、光路が露出することとなる端面と面一となるように曲面上に配置されなければならない。
このような要求に対し、前記従来の製造方法は、改善の余地を有していた。
【０００６】
そこで、本明細書開示の発明は、光導波路構造体を構成するクラッド構造体に精度よくクラッドフィルムを配置することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本明細書開示の光導波路構造体の製造装置は、曲面上に溝を有するクラッド構造体の前記曲面にクラッドフィルムを貼付した光導波路構造体の製造装置であって、曲面を備え、当該曲面に沿って前記クラッドフィルムが保持されるクラッドフィルム保形手段と、前記クラッドフィルム保形手段上のクラッドフィルムの位置を確認する位置確認手段と、前記位置確認手段によって前記クラッドフィルムの位置を確認しつつ前記クラッドフィルム保形手段上の前記クラッドフィルムが基準位置に配置されるように前記クラッドフィルム保形手段の位置を調整する第１位置調整手段と、前記クラッドフィルム保形手段の曲面に対応した曲面を備え、前記クラッドフィルム保形手段に保持されたクラッドフィルムが受け渡されるとともに、当該受け渡されたクラッドフィルムを前記クラッド構造体の曲面に押し当てる弾性体を有する押当て手段と、前記クラッド構造体を保持し、前記クラッドフィルム保形手段と入れ換えて、前記位置確認手段及び前記押当て手段と対向可能であるクラッド構造体保持手段と、前記位置確認手段によって前記クラッド構造体の位置を確認しつつ前記クラッド構造体保持手段に保持されたクラッド構造体が基準位置に配置されるように前記クラッド構造体保持手段の位置を調整する第２位置調整手段と、を、備えたことを特徴としている。
【０００８】
このような製造装置は、同一の位置確認手段を用いてクラッドフィルム保形手段及びクラッド構造体保持手段の位置を基準位置に調整する。このため、クラッドフィルム保形手段から一旦押当て手段が有する弾性体に受け渡されたクラッドフィルムが精度よくクラッド構造体の曲面に配置される。すなわち、クラッドフィルム保形手段上で基準位置に調整されたクラッドフィルムは、その基準位置を保持したまま押当て手段に受け渡され、同様に基準位置に調整されたクラッド構造体に貼付される。
これにより、クラッド構造体に精度よくクラッドフィルムが配置される。
【発明の効果】
【０００９】
本明細書開示の光導波路構造体の製造装置によれば、光導波路構造体を構成するクラッド構造体に精度よくクラッドフィルムを配置することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】図１は、実施例の製造装置の説明図である。
【図２】図２は、光導波路構造体の説明図であり、図２（Ａ）は平面図、図２（Ｂ）はＡ−Ａ線断面図、図２（Ｃ）はＢ−Ｂ線断面の一部を示す説明図である。
【図３】図３は、クラッド構造体の斜視図である。
【図４】図４は、クラッドフィルムの平面図である。
【図５】図５は、光導波路とクラッドフィルムとの位置合せの状態を示す説明図である。
【図６】図６は、保形台を含む保形ユニット及び切断ユニットの一部の分解斜視図である。
【図７】図７は、製造装置に含まれる保形ユニット及び切断ユニットの一部の斜視図である。
【図８】図８は、製造装置に含まれる保形ユニット及び切断ユニットの説明図であり、図８（Ａ）は正面から見た図、図８（Ｂ）は側面から見た図である。
【図９】図９は、切断ユニットがクラッドフィルムを切り出しつつクラッドフィルムを保形台に吸着させる様子を示す説明図である。
【図１０】図１０は、クラッド構造体が保持される第３ステージ及び弾性体を保持した押当てヘッドの周辺を示した説明図である。
【図１１】図１１は、弾性体にクラッドフィルムが吸着される様子を示した斜視図である。
【図１２】図１２は、保形台の形状と弾性体の形状とを示す説明図である。
【図１３】図１３は、光導波路構造体の製造方法の一例を示す工程図である。
【図１４】図１４は、クラッドフィルムを切断し、保形台に吸着保持させるときの製造装置の状態を示す説明図である。
【図１５】図１５は、保形台の位置調整をするときの製造装置の状態を示す説明図である。
【図１６】図１６は、顕微鏡内に設けられた軸を示す説明図である。
【図１７】図１７は、クラッドフィルムの端部を顕微鏡内の軸に合わせた状態を示す説明図である。
【図１８】図１８は、保形台が保持するクラッドフィルムを弾性体に受け渡すときの製造装置の状態を示す説明図である。
【図１９】図１９は、クラッド構造体の位置調整をするときの製造装置の状態を示す説明図である。
【図２０】図２０は、クラッド構造体の角線を顕微鏡内の軸に合わせた状態を示す説明図である。
【図２１】図２１は、弾性体が保持するクラッドフィルムをクラッド構造体に設置するときの製造装置の状態を示す説明図である。
【図２２】図２２は、クラッドフィルムが貼付されたクラッド構造体の角線を顕微鏡で見た状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。ただし、図面中、各部の寸法、比率等は、実際のものと完全に一致するようには図示されていない場合がある。また、図面によっては細部が省略されていたり、重なって配置された構成要素を取り除いた状態が描かれていたりする場合もある。
【実施例】
【００１２】
まず、本実施例の光導波路構造体の製造装置（以下、単に「製造装置」という）５００の概略構成を、図面を参照しつつ説明する。
【００１３】
図１に示す製造装置５００は、図３に示すように曲面３Ａ上に溝４を有するクラッド構造体１の曲面３Ａに図４に示すようなクラッドフィルム６を貼付した光導波路構造体２００を製造する装置である。なお、以下の説明では、説明を容易にするため、製造装置５００の前、後、左、右を図１に示すように定めることとする。
【００１４】
製造装置５００は、左右方向に延びる第１レール５０１上に設置された第１ステージ５０２を備えている。この第１ステージ５０２は、第１レール５０１上を左右に移動することができる。製造装置５００は、さらに、前後方向に延びる第２レール上に設置された第２ステージ５０４を備えている。第２ステージ５０４は、第２レール５０３上を前後に移動することができる。
【００１５】
第１ステージ５０２上には、クラッド構造体１を保持する第３ステージ１００と、クラッドフィルム６の保形台１５１が設けられた第４ステージ１５０とが並列設置されている。
【００１６】
保形台１５１は、クラッドフィルム保形手段に相当する。保形台１５１は、図に示すように曲面を備え、この曲面に沿ってクラッドフィルムを保持する。クラッドフィルム６の保持は、吸着によって行われる。
【００１７】
製造装置５００は、保形台１５１に対向可能に配置された顕微鏡５０５を備えている。この顕微鏡５０５は位置確認手段に相当する。すなわち、顕微鏡５０５を覗くことによって保形台１５１上のクラッドフィルム６の位置を確認することができる。この顕微鏡５０５の固定設置されており、この顕微鏡５０５の位置が以後の各部の位置調整の際の基準となる。
【００１８】
製造装置５００は、顕微鏡５０５によりクラッドフィルム６の位置を確認しつつ保形台１５１上のクラッドフィルム６の位置が基準位置に配置されるように保形台１５１の位置を調整する第１調整機構１５２を備える。第１調整機構は、第１調整手段に相当し、具体的には、第４ステージ１５０の前後方向の位置を調整する。
【００１９】
製造装置５００は、保形台１５１に対向可能に配置された押当てヘッド２１を備えている。押当てヘッド２１は、押当て手段に相当する。押当てヘッド２１は、フレーム２２に取り付けられて顕微鏡５０５と並列配置されている。押当てヘッド２１は、弾性体２０を有する。弾性体２０は、保形台１５１の曲面に対応した曲面を備えている。この弾性体に２０は保形台１５１に保持されたクラッドフィルム６が受け渡される。そして、受け渡されたクラッドフィルム６をクラッド構造体１の曲面に押し当てる。このため押当てヘッド２１は駆動機構によって上下移動可能となっている。
【００２０】
第１ステージ５０２上には、前記のようにクラッド構造体１を保持する第３ステージ１００と、クラッドフィルム６の保形台１５１が設けられた第４ステージ１５０とが並列設置されている。このため、第３ステージ１００は、左右方向に移動することにより保形台１５１が設置された第４ステージ１５０と入れ換えて顕微鏡５０５と押当てヘッド２１と対向可能である。
【００２１】
製造装置５００は、顕微鏡５０５よってクラッド構造体１の位置を確認しつつ第３ステージ１００に保持されたクラッド構造体１が基準位置に配置されるように第３ステージ１００の位置を調整する第２調整機構１０１を備える。第２調整機構１０１は、第２調整手段に相当し、具体的には、第３ステージ１００の前後方向の位置を調整する。
【００２２】
製造装置５００は、さらに、切断ユニット５０を備えている。切断ユニット５０は、クラッドフィルム供給手段の一例であり、クラッドフィルムシート８から所望の大きさのクラッドフィルム６を切り出しつつ、保形台１５１の曲面上にクラッドフィルム６を供給する。ここで、クラッドフィルムシート８とは、図９（Ａ）に示すように部品として切り出される前のシート状のクラッドフィルムを指す。切断ユニット５０は、第２ステージ５０４上に搭載され、前後方向に移動することができる。
【００２３】
以上が、製造装置５００の概略構成である。ここで、本実施例の製造装置５００によって製造される光導波路構造体２００について図面を参照しつつ説明する。図２は、光導波路構造体２００の説明図であり、図２（Ａ）は平面図、図２（Ｂ）はＡ−Ａ線断面図、図２（Ｃ）はＢ−Ｂ線断面の一部を示す説明図である。また、図３は、クラッド構造体１の斜視図である。図４は、切り出されたクラッドフィルム６の平面図である。
【００２４】
クラッド構造体１は、図３に示すように曲面３Ａと平面３Ｂを備えている。そして、この曲面３Ａから平面３Ｂに亘って溝４が設けられている。この溝４には、液状コア材料が充填されて、図２（Ａ）、図２（Ｂ）に示すように光導波路２０２が形成される。クラッド構造体１には、凹部２Ａが形成されている。この凹部２Ａが形成されている領域と、曲面３Ａとは角線５を介して連続している。クラッド構造体１には、光導波路２０２を覆うように曲面３Ａから平面３Ｂに亘ってクラッドフィルム６が貼付されている。クラッドフィルム６は、図４に示すように、溝４を覆う２条の光導波路領域６ａとこの光導波路領域６ａに挟まれた吸着領域６ｂとに区分けされる。ただし、区分けするための仕切り線等は設けられていない。
【００２５】
光導波路２０２のそれぞれの端部には、それぞれマイクロレンズ２０３、２０４が設けられている。具体的には、平面３Ｂ側の端部に、マイクロレンズ２０３が設けられ、曲面３Ａ側の端部に、マイクロレンズ２０４が設けられている。そして、マイクロレンズ２０３に対向配置された光コネクタ２０７が設けられている。光コネクタ２０７には光ファイバ２０８が接続されている。一方、クラッド構造体１の凹部２Ａには、図２（Ｂ）、図２（Ｃ）に示すようにマイクロレンズ２０４と対向するように受光素子２０５、２０６が設けられている。
【００２６】
このような光導波路構造体２００は、図２（Ｂ）に示すようにクラッド構造体１に設けられた脚部２０９を介して基板２０１に取り付けられる。
【００２７】
次に、光導波路２０２とクラッドフィルム６との位置関係について図５（Ａ）〜図５（Ｃ）を参照しつつ説明する。
【００２８】
図５（Ａ）に示すように、クラッドフィルム６の端部は、光導波路２０２の端部と一致していることが理想的である。このようにクラッドフィルム６の端部と光導波路２０２の端部とが一致することにより、光導波路２０２内を進んできた光が適切に光素子２０５に入射することができる。また、これとは逆に光素子２０６から出射された光が光導波路２０２に入射される。
【００２９】
一方、図５（Ｂ）に示すようにクラッドフィルム６が光導波路２０２よりも短すぎたり、図５（Ｃ）に示すようにクラッドフィルム６が光導波路２０２よりも長すぎたりすると、光の適切な入射、出射が行われない。このように、光導波路２０２が露出する光導波路２０２の端部では、クラッドフィルム６が適切に位置合わせされることが求められる。
【００３０】
以下、製造装置５００の各部の構成について、詳細に説明する。まず、図６乃至図９を参照しつつ、保形台１５１を含む保形ユニット１５６及び切断ユニット５０の説明をする。図６は、保形台１５１を含む保形ユニット１５６及び切断ユニット５０の一部の分解斜視図である。図７は、製造装置５００に含まれる保形ユニット１５６及び切断ユニット５０の一部の斜視図である。図８は、製造装置５００に含まれる保形ユニット１５６及び切断ユニット５０の説明図であり、図８（Ａ）は正面から見た図、図８（Ｂ）は側面から見た図である。図９は、切断ユニット５０がクラッドフィルム６を切り出しつつクラッドフィルム６を保形台１５１に吸着させる様子を示す説明図である。
【００３１】
保形台１５１は、図６、図７に示すようにセンターブロック１５３上に配置されている。そして、センターブロック１５３の両側にサイドブロック１５４が配置されている。このようにして保形ユニット１５６が形成されている。サイドブロック１５４は、クラッドフィルム６の側縁のガイド手段として機能する。クラッドフィルムの側縁は、光導波路２０２の端部に位置する端部よりも求められる位置精度が低いため、サイドブロック１５４による位置決めであっても必要な精度を得ることができる。保形台１５１の曲面には、吸着孔１５１ａ、１５１ｂが設けられている。この吸着孔１５１ａ、１５１ｂに吸引されることによって保形台１５１にクラッドフィルム６が吸着保持される。このような保形ユニット１５６は、図１に示すように第４ステージ１５０上に搭載される。なお、図８（Ｂ）に示すようにセンターブロック１５３には、ストッパ１５５が取り付けられる。ストッパ１５５は、後述する押当てヘッド２１の過大な押し付けを抑制する。
【００３２】
切断ユニット５０は、図６、図７に示すようにパンチブロック５１と、このパンチブロック５１の内部に配置されたプッシャブロック５４を備えている。パンチブロック５１には、図８（Ａ）、図８（Ｂ）に示すようにプッシャブロック５４に接続される駆動シャフト５８が挿通される孔５２が設けられている。また、パンチブロック５１には、プッシャブロック５４がクラッドフィルム６を吸着するための空気通路５３が設けられている。このようなパンチブロック５１及びプッシャブロック５４は、図８に示すように製造装置５００に組み付けられる。
【００３３】
パンチブロック５１は、図８（Ａ）、図８（Ｂ）に示すようにスライダブロック５５の下端に取り付けられる。スライダブロック５５は、一対のガイドロッド６１に摺動自在に支持されている。切断ユニット５０は、内部にシリンダ５７を有するシリンダケースブロック５６を備えている。シリンダ５７は、スライダブロック５５に接続され、スライダブロック５５を矢示６２で示すように駆動する。また、切断ユニット５０は、ダイス５９を備えたダイスステージ６０を備えている。シリンダケースブロック５６とダイスステージ６０とはガイドロッド６１で接続されている。また、シリンダケースブロック５６は、プッシャブロック５４に接続された駆動シャフト５８を支持している。このような切断ユニット５０は、第２ステージ５０４上に搭載され、矢示６３で示す前後方向に移動することができる。
【００３４】
以上のような切断ユニット５０の動作につき、図９を参照しつつ説明する。まず、図９（Ａ）に示すようにクラッドフィルムシート８をパンチブロック５１に吸着する。そして、図９（Ｂ）に示すようにスライダブロック５５を押し下げ、パンチブロック５１とダイス５９との剪断力によりクラッドフィルム６を切り出しつつ、保形台１５１にクラッドフィルム６を押し当てる。その後、図９（Ｃ）に示すように、駆動シャフト５８を駆動してプッシャブロック５４を押し出し、切り出したクラッドフィルム６を保形台１５１に押し付ける。この状態で、クラッドフィルム６が吸引されることにより、クラッドフィルム６は、保形台１５１上に保持される。
【００３５】
次に、クラッド構造体１を保持する第３ステージ１００と、押当てヘッド２１について説明する。図１０は、クラッド構造体１が保持される第３ステージ１００及び弾性体２０を保持した押当てヘッド２１の周辺を示した説明図である。押当てヘッド２１の位置は固定であるが、第１ステージ５０２が左右方向に移動することによって、押当てヘッド２１は、クラッド構造体１及び保形台１５１と対向することができる。
【００３６】
このような押当てヘッド２１は、弾性体２０を有している。この弾性体２０は、具体的にはシリコンからなる。押当てヘッド２１は吸着機構が接続され、弾性体２０は、クラッドフィルム６を吸着保持することができる。すなわち、弾性体２０は、図１１に示すように曲面に吸着孔２０ａを備えており、クラッドフィルム６を吸着する。このとき、クラッドフィルム６は、吸着領域６ｂが吸着される。
【００３７】
ここで、保形台１５１の曲面の曲率と弾性体２０の曲面の曲率について図１２を参照しつつ説明する。保形台１５１の曲面の曲率をＲ１とし、弾性体２０の曲面の曲率をＲ２とすると、Ｒ１＜Ｒ２となるように設定されている。なお、保形台１５１の曲面の曲率は、クラッド構造体１の曲面の曲率と一致させている。Ｒ１＜Ｒ２に設定しておくことにより、弾性体２０を保形台１５１の曲面やクラッド構造体１の曲面に徐々に押し当てることができる。これにより、クラッドフィルム６の破損を抑制したり、クラッドフィルム６の位置ズレを抑制したりすることができる。
【００３８】
第３ステージ１００は、透明の部材であり、下側にＵＶ（Ultra Violet）照射器を備えている。これにより、溝４に充填される液状コア材料を紫外線硬化させ、光導波路２０２を形成する。
【００３９】
このような第３ステージ１００は、顕微鏡５０５に対向する位置に移動してクラッド構造体１の位置が調整され、押当てヘッド２１と対向する位置に移動してクラッド構造体１にクラッドフィルム６が貼付される。
【００４０】
次に、このような製造装置５００を用いて行われる光導波路構造体の製造方法の一例について説明する。
【００４１】
図１３は、光導波路構造体の製造方法の一例を示す工程図である。まずクラッドフィルムシート８を準備する。クラッドフィルムシート８は、保護フィルムが貼付されているので、この保護フィルムを剥がしておく。なお、保護フィルムは、クラッド構造体１への貼付が完了した後に剥がすようにしてもよい。
【００４２】
ついで、クラッドフィルムシートをパンチブロック５１に吸着保持させる。そして、パンチブロック５１を降下させてクラッドフィルム６を打ち抜いて切り出す。さらに、プッシャブロック５４を押し出して切り出したクラッドフィルム６を保形台１５１上に供給し、吸着保持させる。
以上の工程は、図１４に示す状態で行われる。すなわち、切断ユニット５０を搭載した第２ステージを後退させて、切断ユニット５０が、保形台１５１を搭載した第４ステージ１５０上に位置する状態で行われる。
【００４３】
ついで、保形台１５１の位置調整が行われる。この工程は、図１５に示す状態で行われる。すなわち、第４ステージ１５０が顕微鏡５０５の下側に位置し、保形台１５１が顕微鏡５０５と対向する状態で行われる。
図１６は、顕微鏡５０５内に設けられた目盛を示す説明図である。顕微鏡５０５内には、直交する第１軸５０５ａと第２軸５０５ｂが設けられている。この第１軸５０５ａが基準位置となる。製造装置５００を操作する作業者は、顕微鏡５０５を覗き、クラッドフィルム６の位置を確認しつつ第１調整機構１５２を操作する。図１７は、クラッドフィルム６の端部を顕微鏡５０５内の第１軸５０５ａに合わせた状態を示す説明図である。図１７（Ａ）は、顕微鏡５０５を覗いたときに見える状態を示している。図１７（Ｂ）は、クラッドフィルム６を上方から見た状態を示し、図１７（Ｃ）は、クラッドフィルム６を側方から見た状態を示している。作業者は、図１７（Ａ）に示すように、クラッドフィルム６の端部が基準位置である軸５０５ａと一致するように第１調整機構１５２を操作する。
【００４４】
保形台１５１の位置調整が済んだら、つぎに、図１８に示すように押当てヘッド２１と第４ステージ１５０とが対向する状態とする。このような状態とするためには、第１ステージ５０２を左右方向に移動させる。そして、押当てヘッド２１を保形台１５１に向けて降下させ、保形台１５１に保持されたクラッドフィルム６を弾性体２０に受け渡す。
【００４５】
つぎに、図１９に示すようにクラッド構造体１が保持された第３ステージ１００を顕微鏡５０５に対向配置させる。顕微鏡５０５は、固定されたものであり、保形台１５１の位置調整を行ったときの状態を保っている。第３ステージ１００と顕微鏡５０５とを対向配置させるためには、第１ステージ５０２を左右方向に移動させる。そして、作業者は、顕微鏡５０５を覗き、クラッド構造体１の位置を確認しつつ第２調整機構１０１を操作する。図２０は、クラッド構造体１の角線５を顕微鏡５０５内の第１軸５０５ａに合わせた状態を示す説明図である。図２０（Ａ）は、顕微鏡５０５を覗いたときに見える状態を示している。図２０（Ｂ）は、クラッド構造体１を上方から見た状態を示し、図２０（Ｃ）は、クラッド構造体１を断面として側方から見た状態を示している。作業者は、図２０（Ａ）に示すように、クラッド構造体１の角線５が基準位置である軸５０５ａと一致するように第２調整機構１０１を操作する。
【００４６】
クラッド構造体１の位置調整が済んだら、つぎに、クラッド構造体１へのクラッドフィルム６の貼付を行う。この工程は、図２１に示すように、押当てヘッド２１と第３ステージ１００とを対向配置させて行う。押当てヘッド２１と第３ステージ１００とを対向配置させるためには、第１ステージ５０２を左右方向に移動させる。第３ステージ１００を移動させた後は、押当てヘッド２１を降下させて押当てヘッド２１をクラッド構造体１の曲面に押し当てつつ、クラッド構造体１の曲面にクラッドフィルムを貼付する。このとき、クラッド構造体１の角線５の近傍に液状コア材料を滴下しておくことにより、押当てヘッド２１の押し当てに伴って溝４に液状コア材料が充填される。溝４に液状コア材料が充填され、クラッドフィルム６の貼付が完了した後にＵＶ照射器５０７によって紫外線を照射すれば液状コア材料が硬化して光導波路２０２が形成される。
【００４７】
以上のような工程を経ることにより、クラッド構造体１に精度よくクラッドフィルム６を配置することができる。図２２（Ａ）は、クラッドフィルム６が貼付されたクラッド構造体１の角線５を顕微鏡５０５で見た状態を示す図である。図２２（Ｂ）は、クラッド構造体１の角線５近傍を上方から見た状態を示し、図２２（Ｃ）は、クラッド構造体１の角線５近傍を断面として側方から見た状態を示している。このように、クラッドフィルム６の端部と光導波路２０２の端部とを一致させることができる。本明細書開示の製造装置５００によれば、容易にクラッドフィルム６の位置合せを行うことができるので、繰り返し位置決め作業を行うことによるクラッドフィルム６の汚れ、破損等を抑制することができる。
【００４８】
以上本発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。例えば、本実施例では、顕微鏡５０５を作業者が覗き、第１調整機構１５２、第２調整機構１０１を操作しているが、これらを自動的に行うようにしてもよい。また、クラッドフィルム６の成形性を向上させるために、サイドブロック１５４や、プッシャブロック５４に加熱機能を持たせてもよい。また、クラッドフィルム６を弾性体２０に受け渡した後に位置合せを行うようにしてもよい。
【符号の説明】
【００４９】
１…クラッド構造体
３Ａ…曲面
４…溝
５…角線
６…クラッドフィルム
２０…弾性体
２０ａ…吸着孔
２１…押当てヘッド
２２…フレーム
５０…切断ユニット
５１…パンチブロック
５４…プッシャブロック
５５…スライダブロック
５９…ダイス
１００…第３ステージ
１０１…調整機構
１５０…第４ステージ
１５１…保形台
１５２…第１調整機構
２００…光導波路構造体
２０１…基板
２０２…光導波路
２０３、２０４…マイクロレンズ
２０５、２０６…発光素子
２０７…光コネクタ
２０８…光ファイバ
５００…光導波路構造体製造装置
５０１…第１レール部材
５０２…第１ステージ
５０３…第２レール部材
５０４…第２ステージ
５０５…顕微鏡
５０５ａ…第１軸
５０７…ＵＶ照射器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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