(57)【要約】【課題】スタンパのパターン部に欠陥を生じることなく作業性を向上させる樹脂スタンパ、そのスタンパを用いて高精度な位置合わせを行うことのできるインプリント装置、およびそのインプリント装置を用いた高品質な磁気記録媒体の製造方法を提供する。【解決手段】凹凸パターンからなるパターン部１０２が表面に設けられている光透過性の樹脂部材１０１と、パターン部１０２の外径より大きな光照射用の開口部１０５を有して樹脂部材１０１をパターン部１０２の外周側で支持するディスク状の樹脂部材支持体１０３とを有する樹脂スタンパ１００からなり、凹凸パターンからなるパターン部１０２のパターンエッジ部が凹凸パターンの磁気記録媒体に対する偏心を調整するためのマークとしてなり、樹脂部材支持体１０３を介して偏心が調整される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
トラック方向に同心円状または螺旋状に延びるパターンを磁気記録媒体に転写するための光転写方式のインプリント用スタンパにおいて、
前記スタンパが、前記パターンが凹凸パターンからなるパターン部として表面に設けられている光透過性の樹脂部材と、前記パターン部の外径より大きな光照射用の開口部を有して前記樹脂部材を前記パターン部の外周側で支持するディスク状の樹脂部材支持体とを有する樹脂スタンパからなり、
前記凹凸パターンからなるパターン部のパターンエッジ部が当該凹凸パターンの前記磁気記録媒体に対する偏心を調整するためのマークとしてなり、前記樹脂部材支持体を介して当該偏心が調整されることを特徴とするインプリント用スタンパ。
【請求項２】
原料媒体を支持するための媒体支持体と、請求項１に記載のスタンパを前記原料媒体に押し付けて凹凸パターンを転写するためのスタンパハウジングとを備えたインプリント装置であって、
前記スタンパハウジングは、前記樹脂部材支持体との間に介在して前記スタンパの偏心を調整するためのスタンパ偏心調整ねじを備えた回転機構付きの光源ハウジングとしてなり、
前記スタンパハウジングに前記スタンパを取り付けた後、当該スタンパのパターンエッジ部をＣＣＤカメラでモニタしながら当該スタンパハウジングを回転させて、モニタ上の基準線からの変位が少なくなるように前記スタンパ偏心調整ねじを調整することでスタンパの偏心を低減させることを特徴とするインプリント装置。
【請求項３】
前記媒体支持体は、前記原料媒体の偏心を調整するための媒体偏心調整ねじを備えた回転機構付きの媒体ステージとしてなり、
前記媒体ステージに前記原料媒体を取り付けた後、前記ＣＣＤカメラを用いて当該原料媒体のエッジ部をモニタしながら当該媒体ステージを回転させて、モニタ上の基準線からの変位が少なくなるように前記媒体偏心調整ねじを調整することで原料媒体の偏心を低減させることを特徴とする請求項２に記載のインプリント装置。
【請求項４】
前記スタンパハウジングの回転軸と前記媒体ステージの回転軸が同軸であることを特徴とする請求項３に記載のインプリント装置。
【請求項５】
原料媒体を支持するための媒体支持体と、請求項１に記載のスタンパを第一のスタンパとして前記原料媒体の一面側に押し付けて凹凸パターンを転写するための第一のスタンパハウジングと、請求項１に記載のスタンパを第二のスタンパとして前記原料媒体の他面側に押し付けて凹凸パターンを転写するための第二のスタンパハウジングとを備えたインプリント装置であって、
前記第一および第二のスタンパハウジングは、それぞれ、前記樹脂部材支持体との間に介在して前記スタンパの偏心を調整するための第一および第二のスタンパ偏心調整ねじを備えた回転機構付きの第一および第二の光源ハウジングとしてなり、
前記第一および第二のスタンパハウジングに前記第一および第二のスタンパをそれぞれ取り付けた後、当該スタンパのパターンエッジ部をＣＣＤカメラでモニタしながら当該スタンパハウジングを回転させて、モニタ上の基準線からの変位が少なくなるように前記第一および第二のスタンパ偏心調整ねじを各々調整することで、第一および第二のスタンパの偏心を低減させることを特徴とするインプリント装置。
【請求項６】
前記媒体支持体は、外周に真空吸着機構を備えた回転機構付きの原料媒体支持体としてなり、当該媒体支持体で前記原料媒体の内周部を吸着保持した後、前記ＣＣＤカメラを用いて当該原料媒体のエッジ部をモニタしながら当該媒体支持体を回転させて、モニタ上の基準線からの変位を少なくすることで、原料媒体の偏心を低減させることを特徴とする請求項５に記載のインプリント装置。
【請求項７】
前記スタンパハウジングの回転軸と媒体支持体の回転軸が同軸であることを特徴とする請求項６に記載のインプリント装置。
【請求項８】
請求項２〜７のいずれかに記載のインプリント装置を用いてトラック方向に同心円状または螺旋状に延びるパターンを原料媒体に転写する工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インプリント用スタンパ、そのスタンパを用いるインプリント装置およびそのインプリント装置を用いるディスクリートトラックメディアなどの磁気記録媒体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の光や電子線によるリソグラフィは物体表面に微細な構造を作製する技術として用いられているが、近年ナノインプリントと呼ばれる方法が新しいナノメートルサイズの加工技術として提案されている（特許文献４等参照）。
【０００３】
この方法においては、電子ビーム等により加工された数十〜数百ｎｍの凹凸構造パターンを有するスタンパを、平坦な基板上の柔らかいレジスト薄膜に押し付けて剥離することにより凹凸構造パターンを形成する。
【０００４】
ナノインプリントにおいて、レジストとして熱可塑性樹脂を使用する場合、その材料のガラス転移温度（Ｔｇ）近傍又はそれ以上の温度に上げて加圧して転写する。この方式は熱転写方式と呼ばれる。
【０００５】
また、レジストとして感光性樹脂を使用する場合、紫外線等の光を曝露すると硬化する光硬化性樹脂により転写する。この方式は光転写方式と呼ばれる。光転写方式のインプリントでは、特殊な光硬化型の樹脂を用いる必要があるが、熱転写方式と比較して部材の熱膨張による完成品の寸法誤差を小さくできる利点がある。また、装置上では、圧力および加熱機構の装備や、昇温、温度制御、冷却等の付属装置が不要であること、更に、インプリント装置全体としても、断熱等の熱歪み対策のための設計的な配慮が不要となる等の利点がある。
【０００６】
しかし、光転写方式のインプリント装置では、通常紫外線を透過できる石英又はサファイア製のモールドを光硬化性樹脂の塗布された被転写基板に押し当て、上部から紫外線を照射するように構成されているが、硬質な石英又はサファイア製のモールドを硬質な被転写基板に圧接させると、モールドのパターン構造が損傷し易く、異物が大量に発生する等の問題点がある。
【０００７】
また、石英又はサファイア製のモールドは非常に高価であるばかりか、万一損傷した場合、一般的に修復や再使用は不可能である。そこで、先ず電鋳法等によって作られたスタンパを金型として、射出成形によって樹脂スタンパを作製し、これをインプリント用のスタンパとして使用することが提案されている。
【０００８】
ハードディスク等の磁気記録媒体は、記録層を構成する磁性粒子の微細化、材料の変更、ヘッド加工の微細化等の改良により著しい面記録密度の向上が図られているが、磁気ヘッドの加工限界、磁気ヘッドの記録磁界の広がりに起因する記録対象のトラックに隣接するトラックへの誤った情報の記録や再生時のクロストーク等の問題が顕在化し、これら従来の改良手法による面記録密度の向上は限界に来ている。
【０００９】
一層の面記録密度の向上を実現可能である磁気記録媒体の候補として、記録層がデータ領域において凹凸パターンで形成され、記録要素が凹凸パターンの凸部としてトラック状に形成されたディスクリートトラックメディアや、ドット状に形成されたパターンドメディアが考案され、その製造工程にナノインプリント法を適用することが提案されている。
【００１０】
ディスクリートトラックメディア等の磁気記録媒体をインプリント法で製造する場合、スタンパを被転写体に型押しする前に、スタンパと被転写体との相対位置を高精度に合わせ込む必要がある。
【００１１】
従来、スタンパと被転写体との位置合わせ方法としては、スタンパの表面と被転写体の表面のそれぞれにアライメントパターンを設けると共に、これらのアライメントパターンを光学的に観察することによってスタンパと被転写体との相対位置を合わせ込む方法が知られている（例えば、特許文献１，２参照）。
【００１２】
この方法では、位置合わせは光学的に行われるので、位置合わせの精度が良好となる。しかしながら、この方法では、スタンパと被転写体との両方にアライメントパターンを設けなければならないために工程が煩雑化するという問題点に加えて、磁気記録媒体用のディスク基板のように、アライメントパターンを設けることが実質的に不可能なものには適用することができない。
【００１３】
一方、磁気記録媒体用の原料媒体とスタンパとの位置合わせ方法として、原料媒体とスタンパとの両方に設けられた略同径の中心孔に、位置合わせ用ピンを挿通する方法が知られている（例えば、特許文献３〜５参照）。
【００１４】
この方法では、位置合わせピンが相互に重ね合わせられた原料媒体とスタンパとの中心穴に挿通された際に、中心穴同士が重なり合う位置で原料媒体とスタンパとの相対位置が合わせ込まれる。つまり、この方法は、アライメントパターンを設けることなく原料媒体とスタンパとの水平方向の位置合わせを行うことができるが、位置合わせピン、原料媒体の中心孔、スタンパの中心孔の加工精度で位置合わせの精度が決まるため、高精度が要求される高密度記録媒体の製造には不十分である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１５】
【特許文献１】特開２０００−３２３４６１号公報
【特許文献２】特開２００５−１１６９７８号公報
【特許文献３】国際公開第０３／１０４８９８号
【特許文献４】米国特許第６７５７１１６号明細書
【特許文献５】特開２００５−１００５８４号公報
【特許文献６】特開２００９−１１９６９５号公報
【特許文献７】特開２００９−６００９１号公報
【特許文献８】特開２００１−３３１９８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
従来の光転写方式のインプリント法でディスクリートトラックメディア等の磁気記録媒体を製造するには、以下の問題点がある。
すなわち、射出成形によって作製する光透過性を有する樹脂部材の厚さは、通常１ｍｍ以下であり、樹脂部材単体での使用は樹脂の機械強度が低く、繰り返し使用による精度劣化が起こりやすく、その取り扱いには注意を要する。
【００１７】
作業性を向上させるために、凹凸パターンの形成された樹脂部材を、機械的強度を有するガラス，石英，サファイア，透明プラスチック等の支持具に接着剤を用いて固定する方法が提案されている（特許文献６参照）が、樹脂部材の全面を固定すると樹脂部材と支持具の間に気泡が残る場合があり、それがパターン上に発生すると、インプリント品質が劣化する。
【００１８】
また、原料媒体とスタンパとの位置合わせ方法として、原料媒体とスタンパとの両方に設けられた略同径の中心穴に、位置合わせ用ピンを挿通する方法が知られているが、挿通性を確保するためにピンの外径公差を大きくする必要があることに加えて、インプリントを繰り返すことで、ピンの偏磨耗による公差の増大や、磨耗粉による異物欠陥発生の原因となる。
【００１９】
さらに、両面インプリントリソグラフィ装置として、光硬化性樹脂を両面に塗布した磁気記録媒体を固定チャックに固定し、前記チャックを上下に動かす上下駆動部および回転する回転駆動部でスタンパおよび媒体の位置合わせを行う機構を有する装置が提案されている（特許文献７参照）が、第一スタンパ、第二スタンパ、媒体の、すべての位置合わせを高精度に行うことは困難である。
【００２０】
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであり、スタンパのパターン部に欠陥を生じることなく作業性を向上させる樹脂スタンパ、そのスタンパを用いて高精度な位置合わせを行うことのできるインプリント装置、およびそのインプリント装置を用いた高品質な磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上述の目的を達成するため、本発明のインプリント用スタンパは、トラック方向に同心円状または螺旋状に延びるパターンを磁気記録媒体に転写するための光転写方式のインプリント用スタンパにおいて、前記スタンパが、前記パターンが凹凸パターンからなるパターン部として表面に設けられている光透過性の樹脂部材と、前記パターン部の外径より大きな光照射用の開口部を有して前記樹脂部材を前記パターン部の外周側で支持するディスク状の樹脂部材支持体とを有する樹脂スタンパからなり、前記凹凸パターンからなるパターン部のパターンエッジ部が当該凹凸パターンの前記磁気記録媒体に対する偏心を調整するためのマークとしてなり、前記樹脂部材支持体を介して当該偏心が調整されることを特徴とする。ここで、樹脂部材支持体により機械的強度を確保すると共に容易で高精度な偏心調整機構を構成することができる。
【００２２】
また、本発明のインプリンと装置は、原料媒体を支持するための媒体支持体と、本発明のスタンパを前記原料媒体に押し付けて凹凸パターンを転写するためのスタンパハウジングとを備えたインプリント装置であって、前記スタンパハウジングは、前記樹脂部材支持体との間に介在して前記スタンパの偏心を調整するためのスタンパ偏心調整ねじを備えた回転機構付きの光源ハウジングとしてなり、前記スタンパハウジングに前記スタンパを取り付けた後、当該スタンパのパターンエッジ部をＣＣＤカメラでモニタしながら当該スタンパハウジングを回転させて、モニタ上の基準線からの変位が少なくなるように前記スタンパ偏心調整ねじを調整することでスタンパの偏心を低減させることを特徴とする。ここで、前記スタンパ偏心調整ねじは、スタンパハウジングの外周の少なくとも３箇所に備えることが好ましい。
【００２３】
また、前記媒体支持体は、前記原料媒体の偏心を調整するための媒体偏心調整ねじを備えた回転機構付きの媒体ステージとしてなり、前記媒体ステージに前記原料媒体を取り付けた後、前記ＣＣＤカメラを用いて当該原料媒体のエッジ部をモニタしながら当該媒体ステージを回転させて、モニタ上の基準線からの変位が少なくなるように前記媒体偏心調整ねじを調整することで原料媒体の偏心を低減させることができる。ここで、媒体偏心調整ねじは、媒体支持体の外周の少なくとも３箇所に備えることが好ましい。
【００２４】
そして、本発明の両面インプリンと装置は、原料媒体を支持するための媒体支持体と、本発明のスタンパを第一のスタンパとして前記原料媒体の一面側に押し付けて凹凸パターンを転写するための第一のスタンパハウジングと、本発明のスタンパを第二のスタンパとして前記原料媒体の他面側に押し付けて凹凸パターンを転写するための第二のスタンパハウジングとを備えたインプリント装置であって、前記第一および第二のスタンパハウジングは、それぞれ、前記樹脂部材支持体との間に介在して前記スタンパの偏心を調整するための第一および第二のスタンパ偏心調整ねじを備えた回転機構付きの第一および第二の光源ハウジングとしてなり、前記第一および第二のスタンパハウジングに前記第一および第二のスタンパをそれぞれ取り付けた後、当該スタンパのパターンエッジ部をＣＣＤカメラでモニタしながら当該スタンパハウジングを回転させて、モニタ上の基準線からの変位が少なくなるように前記第一および第二のスタンパ偏心調整ねじを各々調整することで、第一および第二のスタンパの偏心を低減させることを特徴とする。ここで、第一および第二のスタンパ偏心調整ねじは、第一および第二のスタンパハウジングの外周の少なくとも３箇所にそれぞれ備えることが好ましい。
【００２５】
また、前記媒体支持体は、外周に真空吸着機構を備えた回転機構付きの原料媒体支持体としてなり、当該媒体支持体で前記原料媒体の内周部を吸着保持した後、前記ＣＣＤカメラを用いて当該原料媒体のエッジ部をモニタしながら当該媒体支持体を回転させて、モニタ上の基準線からの変位を少なくすることで、原料媒体の偏心を低減させることができる。
【００２６】
また、前記スタンパハウジングの回転軸と媒体支持体の回転軸が同軸であることが好ましい。
さらに、本発明の磁気記録媒体の製造方法は、本発明のインプリント装置を用いてトラック方向に同心円状または螺旋状に延びるパターンを原料媒体に転写する工程を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、スタンパのパターン部に欠陥を生じることなく作業性を向上させる樹脂スタンパ、そのスタンパを用いる高精度な位置合わせを行うことのできるインプリント装置、およびそのインプリント装置を用いた高品質な磁気記録媒体の製造方法を提供することが可能になる。
【００２８】
すなわち、樹脂部材のパターンの無い部分で支持体と固定することで泡等による欠陥の発生を防ぎ、また、支持体を介して位置調整することでコンタミの発生を防ぎ、更に、回転方式で位置合わせを行うことで、パターン上の特別なアライメントマークを必要とせず、且つ、高精度な位置合わせ実現する。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】ディスクリートトラックメディアのパターンの一例を示す図である。
【図２】本発明の実施形態のインプリント用スタンパ（樹脂スタンパ）を示す模式図で、（ａ）は上面図、（ｂ）はそのＡ−Ａ断面図である。
【図３】本発明の実施形態のインプリント装置を模式的に示す斜視図である。
【図４】本発明の実施形態のインプリント装置において偏心を調整する際のＣＣＤカメラのモニタ画面である。
【図５】図３の実施形態のインプリント装置によるインプリントの手順を示すフローチャートである。
【図６】本発明の実施形態の両面インプリント装置を模式的に示す斜視図である。
【図７】図６の実施形態の両面インプリント装置によるインプリントの手順を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。なお、各図において、同一ないし同等部分には同一の符号を付して説明を省略する。
〔スタンパの実施形態〕
図１は、ディスクリートトラックメディア型の磁気ディスク媒体のパターンを示す図である。主としてデータトラックとヘッド位置決め用のサーボ領域で構成されている。データトラックのパターンは媒体の内周から外周まで等ピッチで同心円状に配置されており、そのトラック幅は１００ｎｍ以下である。
【００３１】
図１に示したパターンを、レジストを塗布したシリコン原盤上に電子線描画によって形成する。パターンを形成したレジスト原盤上に導電膜を製膜した後、電鋳法によりマスタを作製する。これを金型として、射出成形によって前記パターンが凹凸パターンからなるパターン部２０２として表面に設けられている樹脂部材１０１（図２）を得る。
【００３２】
成形に使用する樹脂は、ポリカーボネート，ＰＭＭＡ，ポリオレフィン等の、光透過性を有する材料でなければならない。
得られた樹脂部材１０１を、凹凸パターン面を外側にして、図２に示したパターン部１０２の外径より大きな光照射用の開口部１０５を有して樹脂部材１０１をパターン部１０２の外周側で支持するディスク状の樹脂部材支持体１０３に接着剤（接着層１０４）で固定してスタンパ１００とする。
【００３３】
そして、後述のとおり、凹凸パターンからなるパターン部２０２のパターンエッジ部がこの凹凸パターンを転写する磁気ディスク媒体に対する偏心を調整するためのマークとしてなり、樹脂部材支持体１０３を介して偏心が調整される。
【００３４】
また、本発明は、トラックピッチが５００ｎｍ以下のパターンを転写対象とするものであるため、螺旋状のパターンであっても、そのパターンエッジ部をモニタすることで、同心円状パターンと同様に偏心調整を行うことができる。
〔インプリント装置および磁気記録媒体の製造方法の実施形態〕
図３は、この実施形態のインプリント装置を模式的に示す斜視図である。主要構成物は、スタンパ１００を固定するスタンパハウジング４００と、原料媒体２００を固定する媒体ステージ３００と、位置合わせを行うＣＣＤカメラ５００である。
【００３５】
原料媒体２００としては、磁気記録層が連続膜として形成された周知のハードディスク装置用の中心孔を有するディスク形状の磁気記録媒体を用いることができる。
スタンパハウジング４００と媒体ステージ３００は同軸上の回転機構を有し、また、スタンパ１００および原料媒体２００は、スタンパハウジング４００の外周の３箇所に設けたスタンパ偏心調整ねじ４０１および媒体ステージ３００の外周の３箇所に設けた媒体偏心調整ねじ３０１によってそれぞれ中心軸を合わせることができる。
【００３６】
ＣＣＤカメラ５００は、媒体ステージ３００の中心から外周までの直進機構と、上下反転機構を備え、スタンパ１００と原料媒体２００の表面を観察することができる。
ここで、スタンパ１００と原料媒体２００の表面を観察するための手段は、ＣＣＤカメラ５００の機械的な上下反転機構に限定されない。ＣＣＤカメラ５００のレンズ先端にミラーまたはプリズムを設置することで、ＣＣＤカメラ５００の反転動作を伴わずに、ＣＣＤカメラ５００のステージ上での半径位置を変えるだけで、スタンパ１００と原料媒体２００の両表面を観察することもできる。
【００３７】
図４は、インプリント装置に装着したスタンパまたは原料媒体の、ＣＣＤカメラによる位置合わせを示す図である。スタンパ１００の位置合わせを行う場合、スタンパハウジング４００に水平に取り付けた後、先ず、ＣＣＤカメラ５００で観察されるスタンパパターンの外周エッジを、モニタ画面上の基準線に合わせる。次に、スタンパハウジング４００を回転させる。スタンパパターンの中心がスタンパハウジング４００の回転軸からずれていた場合、図４におけるモニタ画面上のエッジ線がスタンパハウジング４００の一回転を周期として、基準線に対して左右に振れることが観察できる。
【００３８】
スタンパハウジング４００に取り付けられた偏心調整ねじ４０１を用いてモニタ上の振れ量を極小化することで、スタンパ１００のパターンの偏心量を極小化することができる。偏心調整ねじ４０１はステッピングモータで駆動させ、モニタ上のエッジ振れ量を画像解析して得られた偏心量とフィードバック制御することで、自動調整が可能である。
【００３９】
原料媒体２００の位置合わせを行う場合も、原料媒体２００のエッジ部に対して前記スタンパ１００の位置合わせと同様な操作を行うことで、偏心量を極小化することができる。原料媒体２００のステージへの固定方法は、真空吸着、または、内周および外周のクランプ、いずれかまたは両方で行う。
【００４０】
図５は、この実施形態のインプリント装置によるインプリントの手順を示すフローチャートである。前記手順（Ｓ５０１〜Ｓ５０４）でスタンパ１００および原料媒体２００の偏心調整を行った後、スタンパハウジング４００を下降させ、光硬化性レジストを塗布した原料媒体に密着させる（Ｓ５０５）。
【００４１】
密着と同時に、スタンパハウジング４００の上部に取り付けた発光体から樹脂部材支持体１０２の開口部１０５を介してパターン面に均一に紫外線を照射し、これによって原料媒体に塗布したレジストは硬化する（Ｓ５０６）。
【００４２】
スタンパハウジング４００を上昇させる（Ｓ５０７）と樹脂部材１０１の弾性変形によって外周から剥離し、インプリントされた原料媒体２００が得られる（Ｓ５０８）。
このレジストの凹凸パターンが形成された原料媒体にエッチングやイオン注入などの処理を施すことによりディスクリートトラックメディアを得る。
【００４３】
前記スタンパ１００および原料媒体２００の偏心量調整に、ステージの回転中心を基点として半径方向に可動する単一のＣＣＤカメラを用いることで、スタンパ１００と原料媒体２００の回転軸を高精度に合わせることができる。
〔両面インプリント装置および磁気記録媒体の製造方法の実施形態〕
この実施形態は、原料媒体の両面にインプントする場合のものであり、図６は、この実施形態の両面インプリント装置を模式的に示す斜視図である。
【００４４】
この実施形態の両面インプリント装置に用いるスタンパは、原料媒体２００のＡ面用の第一のスタンパ１００ＡとＢ面用の第二のスタンパ１００Ｂであり、いずれも図１の実施形態のスタンパ１００と同様のものである。
【００４５】
その他の主要構成物は、第一および第二のスタンパ１００Ａ，１００Ｂをそれぞれ固定する第一および第二のスタンパハウジング４００Ａ，４００Ｂと、原料媒体２００を固定する媒体支持体３００と、位置合わせを行うＣＣＤカメラ５００である。
【００４６】
第一および第二のスタンパハウジング４００Ａ，４００Ｂは，外周部の３箇所に取り付けられたスタンパ偏心調整ねじ４０１Ａ，４０１Ｂによってそれぞれスタンパ１００Ａ，１００Ｂの偏心を調整することができる。
【００４７】
媒体支持体３００は、原料媒体２００の内径より大きく且つスタンパ１００Ａ，１００Ｂの内径より小さな外径を有し、さらに、媒体支持体３００の原料媒体２００と接する部位には真空吸着機構を備えることで、原料媒体２００を保持したまま、ＸＹＺθ駆動機構により、偏心を調整することができる。なお、第一および第二のスタンパハウジング４００Ａ，４００Ｂと媒体支持体３００は同軸上の回転機構を有する。
【００４８】
ＣＣＤカメラ５００は、原料媒体２００の中心から外周まで観察可能な直進機構と、上下反転機構を備え、第一および第二のスタンパ１００Ａ，１００Ｂと原料媒体２００の表面を観察することができる。
【００４９】
ここで、スタンパと原料媒体の表面を観察するための手段は、ＣＣＤカメラの機械的な上下反転機構に限定されない。ＣＣＤカメラのレンズ先端にミラーまたはプリズムを設置することで、ＣＣＤカメラの反転動作を伴わずに、ＣＣＤカメラの半径位置を変えるだけで、スタンパと原料媒体の両表面を観察することもできる。
【００５０】
スタンパの位置合わせを行う場合、第一のスタンパハウジング４００ＡにＡ面用の第一のスタンパ１００Ａを水平に取り付けた後、先ず、ＣＣＤカメラ５００で観察される第一のスタンパ１００Ａのパターンの外周エッジを、モニタ画面上の基準線に合わせる。
【００５１】
次に、第一のスタンパハウジング４００Ａを回転させる。第一のスタンパ１００Ａのパターンの中心がスタンパハウジング４００Ａの回転軸からずれていた場合、図３におけるモニタ画面上のエッジ線がハウジングの一回転を周期として、基準線に対して左右に振れることが観察できる。スタンパハウジング４００Ａに取り付けられた第一のスタンパ偏心調整ねじ４０１Ａを用いてモニタ上の振れ量を極小化することで、第一のスタンパ１００Ａのパターンの偏心量を極小化することができる。
【００５２】
第一のスタンパ偏心調整ねじ４０１Ａはステッピングモータで駆動させ、モニタ上のエッジ振れ量を画像解析して得られた偏心量とフィードバック制御することで、自動調整が可能である。
【００５３】
Ｂ面用の第二のスタンパ１００Ｂを取り付けた第二のスタンパハウジング４００Ｂに対しても前記した偏心調整を行うことで、第二のスタンパ１００Ｂのパターン偏心量も極小化させることができる。
【００５４】
原料媒体２００の位置合わせも、原料媒体２００のエッジ部に対して前記スタンパと同様な操作を行う。
これら一連の操作により、第一のスタンパ１００Ａ、第二のスタンパ１００Ｂ、および原料媒体２００、すべての偏心量を極小化させることができる。
【００５５】
図７は、両面インプリント装置によるインプリントの手順を示すフローチャートである。前記手順（Ｓ７０１，Ｓ７０２）で第一のスタンパ１００Ａおよび第二のスタンパ１００Ｂの偏心調整を行った後、媒体支持体３００に光硬化性レジストを両面塗布した原料媒体２００を取り付ける（Ｓ７０３）。原料媒体２００を回転させて偏心調整（Ｓ７０４）を行った後、媒体支持体２００を下降して原料媒体２００と第二のスタンパ１００Ｂを密着させる（Ｓ７０５）。
【００５６】
引き続き、第一のスタンパハウジング４００Ａを下降して原料媒体２００と第一のスタンパ１００Ａと密着させ（Ｓ７０６）、密着と同時に、第一および第二のスタンパハウジング４００Ａ，４００Ｂに取り付けた発光体からパターン面に均一に紫外線を照射し、レジストを硬化させる（Ｓ７０７）。
【００５７】
レジスト硬化後、第一のスタンパハウジング４００Ａを上昇させる（Ｓ７０８）と第一のスタンパ１００Ａが剥離し、次に媒体支持体３００を上昇させる（Ｓ７０９）ことで第二のスタンパ１００Ｂが離型する。
【００５８】
これら一連の工程によって，両面にインプリントされた原料媒体が得られる（Ｓ７１０）。
そして、このインプリントによりレジストの凹凸パターンが形成された原料媒体にエッチングやイオン注入などの処理を施すことによりディスクリートトラックメディアを得る。
【実施例】
【００５９】
以下、上述の実施形態をより具体的にした実施例を用いて本発明を更に説明する。
〔スタンパの実施例〕
この実施例では、凹凸パターンが形成された樹脂部材１０１をディスク状の樹脂部材支持体１０３で固定した、光転写方式によるナノインプリントで使用されるスタンパ１００の製造方法について説明する。
【００６０】
まず、日本ゼオン社製のレジストＺＥＰ−５２０を６インチシリコンウェーハ基板にスピンコートした後、１８０℃で２分間プリベークして、膜厚が５０ｎｍのレジスト基板を形成した。この基板を電子線描画装置内の所定位置に搬送し、真空下で電子ビームを用いて露光を行った。露光後、所定の現像液ＺＥＤ−Ｎ５０で現像して、レジスト原盤を作製した。
【００６１】
次に、前記レジスト原盤に、厚さ４ｎｍのニッケルスパッタ膜を製膜後、ニッケル電鋳を行って厚さ０．３ｍｍのマスタを作製した。更に内外周打ち抜き加工して、樹脂成形用の金型を得た。金型を、４０ｋＮの型締力を有する射出成形機に取り付け、樹脂材料にポリカーボネートを用い、直径１２０ｍｍ、厚さ０．７ｍｍの、表面に凹凸パターンを有する樹脂部材１０１を成形した。パターンの外径は６３ｍｍであった。
【００６２】
得られた樹脂部材１０１を、紫外線硬化型ポリエステル接着剤を用いて、外径１２０ｍｍ、開口部径８０ｍｍ、厚さ２０ｍｍのディスク状の樹脂部材支持体１０３に固定してスタンパ１００とした。
〔インプリント装置を用いた磁気記録媒体の製造方法の実施例〕
この実施例では、図３のインプリント装置を用いた、非常に小さな偏心量を有するディスクリートトラックメディアの製造方法を説明する。
【００６３】
樹脂スタンパ１００をスタンパハウジング４００に取り付け、図４に示したモニタ画面の基準線がスタンパパターン外周エッジに来るように、ＣＣＤカメラ５００の位置を調整した。
【００６４】
スタンパハウジング４００を回転させながら、図３に示したスタンパ偏心調整ねじ４０１を回転させて、モニタ上でのエッジの振れが最小になるように調整した。
一般的に、射出成形は高圧高温で成形を行う必要上、金型の取り付け公差を大きくする必要があり、樹脂部材単独での偏心量は０．０５ｍｍ程度ある。ＣＣＤカメラ５００に１００倍のレンズを取り付け、１０２４×７６８ピクセルのモニタ上に約２ｍｍ角の視野を表示させた場合、０．００２ｍｍ以下の偏心制御が可能である。
【００６５】
次に、東洋合成工業社製の紫外線ナノインプリント用レジストＰＡＫ−０１を、原料媒体２００に厚さ５０ｎｍ塗布した。レジストを塗布した原料媒体２００を、インプリント装置の媒体ステージ３００に搬送し、樹脂スタンパ１００と同様の手順で、偏心調整を行った。
【００６６】
スタンパ１００および原料媒体２００の偏心調整後、スタンパハウジング４００を下降させ、スタンパ１００の凹凸パターン面と原料媒体２００のレジスト塗布面を密着させ、超高圧水銀灯を用いて１０ｍＪ／ｃｍ２の露光を行った。
【００６７】
露光後、スタンパハウジング４００を上昇させるとスタンパ１００と原料媒体２００は剥離し、樹脂スタンパ１００とは逆の凹凸レジストパターンを有する原料媒体２００が得られた。
【００６８】
このレジストパターンをマスクとして原料媒体２００をエッチングすることにより、偏心量が０．００５ｍｍ以下のディスクリートトラックメディアを得た。
〔比較例〕
この比較例では、原料媒体とスタンパとの両方に設けられた略同径の中心穴に、位置合わせ用ピンを挿通して偏心を調整する、ディスクリートトラックメディアの製造方法を説明する。
【００６９】
挿通性を確保するためにピンの外径公差は、０．０５ｍｍ程度は確保する必要がある。加えて、インプリントを繰り返すことで、ピンの偏磨耗による公差の増大や、磨耗粉による異物欠陥が発生した。
【符号の説明】
【００７０】
１００  スタンパ（樹脂スタンパ）
１００Ａ  第一のスタンパ
１００Ｂ  第二のスタンパ
１０１  樹脂部材
１０２  パターン部
１０３  樹脂部材支持体
１０４  接着層
１０５  開口部
２００  原料媒体
３００  媒体ステージ（媒体支持体）
３０１  媒体偏心調整ねじ
４００  スタンパハウジング
４００Ａ  第１のスタンパハウジング
４００Ｂ  第２のスタンパハウジング
４０１  スタンパ偏心調整ねじ
４０１Ａ  第１のスタンパ偏心調整ねじ
４０１Ｂ  第２のスタンパ偏心調整ねじ
５００  ＣＣＤカメラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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