(57)【要約】【課題】生産性が高く、かつ従来の蒸着やスパッタリングにより形成した防湿層に対して防湿性能の優れる防湿層を備えた防湿フィルムを提供すること及びその製造方法を提供する。また、当該防湿フィルムを用いた太陽電池モジュール用バックシート及び太陽電池モジュールを提供する。【解決手段】樹脂基材上に防湿層を設けた防湿フィルムであって、当該防湿層が無機微粒子の積層構造よりなり、かつ当該樹脂基材側に対して遠い側の無機微粒子の平均アスペクト比が、近い側の無機微粒子の平均アスペクト比より、高いことを特徴とする防湿フィルム。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂基材上に防湿層を設けた防湿フィルムであって、当該防湿層が無機微粒子の積層構造よりなり、かつ当該樹脂基材側に対して遠い側の無機微粒子の平均アスペクト比が、近い側の無機微粒子の平均アスペクト比より、高いことを特徴とする防湿フィルム。
【請求項２】
前記無機微粒子が、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化チタン及び酸化ジルコニウムのうちの少なくとも一種を含有する微粒子であることを特徴とする請求項１に記載の防湿フィルム。
【請求項３】
前記防湿層の上に隣接して有機ポリマー層を有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の防湿フィルム。
【請求項４】
樹脂基材上に防湿層を設けた防湿フィルムを製造する防湿フィルムの製造方法であって、当該防湿層の形成工程において、平均粒径０．１〜１０μｍの範囲内の無機微粒子を樹脂基材に衝突させて堆積する成膜方法によって平均アスペクト比の異なる無機微粒子の積層構造を形成することを特徴とする防湿フィルムの製造方法。
【請求項５】
前記防湿層上に、有機ポリマー微粒子を衝突させて堆積する成膜方法によって有機ポリマー層を形成することを特徴とする請求項４に記載の防湿フィルムの製造方法。
【請求項６】
請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の防湿フィルムを用いたことを特徴とする太陽電池モジュール用バックシート。
【請求項７】
請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載の防湿フィルムをバックシートとして用いたことを特徴とする太陽電池モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生産性及び防湿性能に優れる防湿フィルム、その製造方法、それを用いた太陽電池モジュール用バックシート、及び太陽電池モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
合成樹脂基材を用いる防湿フィルムにおいて、従来、防湿層として蒸着膜の適用が知られている。
【０００３】
蒸着膜の形成は、従来適用されている真空蒸着方法（物理蒸着、化学蒸着）あるいは、スパッタリングなど任意の方法から選択される。しかしながら、高いバリア性を得るために緻密な膜を形成するためには高い真空度が必要であり、また膜形成に長い時間がかかるために生産性や製造コストの面で大きな課題を抱えていた。
【０００４】
また、従来の成膜方法において、無機膜が曲げ応力などの外部応力に対して弱く、クラックが入ることによりバリア性が損なわれるという問題を抱えていた。
【０００５】
一方、無機微粒子を用いた成膜方法としてエアロゾル・デポジション法が知られている（例えば特許文献１及び２参照）。エアロゾル・デポジション法は、従来の蒸着法に比べると成膜速度が速く、高真空を必要としないために生産性が高く、かつ緻密な膜が得られることで知られている。また、樹脂基材に対して成膜し、高い透過率を得られることが報告されている（例えば特許文献３参照）。
【０００６】
しかしながら、いずれの上記特許文献においても、バリア性に関する記述はなく、防湿フィルムとして適用された事例は一切無い。
【０００７】
また、従来から無機膜を防湿フィルムに適用する場合、曲げ応力などの影響により無機膜にクラックが入り、バリア性が損なわれるのを防ぐために、樹脂層を形成する方法が知られている（例えば特許文献４参照）。しかしながら、従来法では、無機層と樹脂層を交互に形成する必要があり、生産性が低く、また、高いバリア性を得るためには多層積層する必要があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平１１−２１６７７号公報
【特許文献２】特開２００５−１６１７０３号公報
【特許文献３】特開２００６−１３０７０３号公報
【特許文献４】特開２００８−１７９０７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上記問題・状況にかんがみてなされたものであり、その解決課題は、生産性が高く、かつ従来の蒸着やスパッタリングにより形成した防湿層に対して防湿性能の優れる防湿層を備えた防湿フィルムを提供すること及びその製造方法を提供することである。また、当該防湿フィルムを用いた太陽電池モジュール用バックシート及び太陽電池モジュールを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者は、上記課題を解決すべく鋭意検討の結果、無機微粒子からなる防湿層の層厚方向において、より樹脂基材に遠い側の無機微粒子のアスペクト比が、近い側のアスペクト比に対して高いことにより、高い防湿性（酸素ガスに対するバリア性も含む。）と高い応力耐性を達成できることを見出し、本発明に至った。
【００１１】
すなわち、本発明に係る上記課題は、下記の手段により解決される。
【００１２】
１．樹脂基材上に防湿層を設けた防湿フィルムであって、当該防湿層が無機微粒子の積層構造よりなり、かつ当該樹脂基材側に対して遠い側の無機微粒子の平均アスペクト比が、近い側の無機微粒子の平均アスペクト比より、高いことを特徴とする防湿フィルム。
【００１３】
２．前記無機微粒子が、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化チタン及び酸化ジルコニウムのうちの少なくとも一種を含有する微粒子であることを特徴とする前記１に記載の防湿フィルム。
【００１４】
３．前記防湿層の上に隣接して有機ポリマー層を有することを特徴とする前記１又は前記２に記載の防湿フィルム。
【００１５】
４．樹脂基材上に防湿層を設けた防湿フィルムを製造する防湿フィルムの製造方法であって、当該防湿層の形成工程において、平均粒径０．１〜１０μｍの範囲内の無機微粒子を樹脂基材に衝突させて堆積する成膜方法によって平均アスペクト比の異なる無機微粒子の積層構造を形成することを特徴とする防湿フィルムの製造方法。
【００１６】
５．前記防湿層上に、有機ポリマー微粒子を衝突させて堆積する成膜方法によって有機ポリマー層を形成することを特徴とする前記４に記載の防湿フィルムの製造方法。
【００１７】
６．前記１から前記３までのいずれか一項に記載の防湿フィルムを用いたことを特徴とする太陽電池モジュール用バックシート。
【００１８】
７．前記１から前記３までのいずれか一項に記載の防湿フィルムをバックシートとして用いたことを特徴とする太陽電池モジュール。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の上記手段により、生産性が高く、かつ従来の蒸着やスパッタリングにより形成した防湿層に対して防湿性能の優れる防湿層を備えた防湿フィルムを提供すること及びその製造方法を提供することができる。また、当該防湿フィルムを用いた太陽電池モジュール用バックシート及び太陽電池モジュールを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明に用いられるエアロゾル・デポジション成膜装置の概略構成図
【図２】フィルム状の樹脂基板の製造装置の１つの実施形態を示す概略フローシート
【図３】太陽電池モジュール用のバックシートの層構成の一例を示す断面図
【図４】上記バックシートを用いて作製した太陽電池モジュールの一例を示す断面図
【図５】太陽電池用のバックシート層構成例を示す断面図
【発明を実施するための形態】
【００２１】
本発明の防湿フィルムは、樹脂基材上に防湿層を設けた防湿フィルムであって、当該防湿層が無機微粒子の積層構造よりなり、かつ当該樹脂基材側に対して遠い側の無機微粒子の平均アスペクト比が、近い側の無機微粒子の平均アスペクト比より、高いことを特徴とする。この特徴は、請求項１から請求項７までの請求項に係る発明に共通する技術的特徴である。
【００２２】
本発明の実施態様としては、本発明の効果発現の観点から、前記無機微粒子が、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化チタン及び酸化ジルコニウムのうちの少なくとも一種を含有する微粒子であることが好ましい。また、前記防湿層の上に隣接して有機ポリマー層を有することが好ましい。
【００２３】
本発明の防湿フィルムを製造する防湿フィルムの製造方法としては、防湿層の形成工程において、平均粒径０．１〜１０μｍの範囲内の無機微粒子を樹脂基材に衝突させて堆積する成膜方法によって平均アスペクト比の異なる無機微粒子の積層構造を形成する態様の製造方法であることが好ましい。また、当該防湿層上に、有機ポリマー微粒子を衝突させて堆積する成膜方法によって有機ポリマー層を形成することが好ましい。
【００２４】
本発明の防湿フィルムは、太陽電池モジュール用バックシートとして好適に用いることができる。
【００２５】
以下、本発明と、その構成要素、及び本発明を実施するための形態・態様等について詳細な説明をする。
【００２６】
（樹脂基材）
本発明に係る樹脂基材としては、従来公地の種々の樹脂フィルムを用いることができる。例えば、セルロースエステル系フィルム、ポリエステル系フィルム、ポリカーボネート系フィルム、ポリアリレート系フィルム、ポリスルホン（ポリエーテルスルホンも含む。）系フィルム、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステルフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、セロファン、セルロースジアセテートフィルム、セルローストリアセテートフィルム、セルロースアセテートプロピオネートフィルム、セルロースアセテートブチレートフィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、エチレンビニルアルコールフィルム、シンジオタクティックポリスチレン系フィルム、ポリカーボネートフィルム、ノルボルネン系樹脂フィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリエーテルケトンフィルム、ポリエーテルケトンイミドフィルム、ポリアミドフィルム、フッ素樹脂フィルム、ナイロンフィルム、ポリメチルメタクリレートフィルム、アクリルフィルム、ポリオキシメチレンフィルム、ＡＢＳ（アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン）樹脂フィルム等を挙げることができる。
【００２７】
中でも、ポリカーボネート系フィルム、ポリエステル系フィルム、ノルボルネン系樹脂フィルム、及びセルロースエステル系フィルムが好ましい。
【００２８】
特にポリエステル系フィルム、セルロースエステル系フィルムを用いることが好ましく、溶融流延製膜で製造されたフィルムであっても、溶液流延製膜で製造されたフィルムであってもよい。
【００２９】
当該樹脂基材の厚さは、樹脂の種類及び目的等に応じて適切な厚さにすることが好ましい。例えば、一般的には、１０〜３００μｍの範囲内である。好ましくは２０〜２００μｍ、更に好ましくは３０〜１００μｍである。
【００３０】
なお、樹脂基材の製造方法については、後述する。
【００３１】
（防湿層）
本発明の防湿フィルムは、樹脂基材上の少なくとも片面に防湿層を具備していることを特徴とする。また、当該防湿層は、無機微粒子の積層構造よりなり、かつ当該樹脂基材側に対して遠い側の無機微粒子の平均アスペクト比が、近い側の無機微粒子の平均アスペクト比より、高いことを特徴とする。
【００３２】
本発明に係る防湿層は、湿度の変動、特に高湿度による樹脂基材及び当該樹脂基材で保護される各種機能素子等の劣化を防止するためのものであるが、酸素、その他の酸化性ガスによる劣化を防止する機能を有するものである。さらに、特別の機能・用途を持たせたものであっても良く、上記特徴を維持する限りにおいて、種々の態様の防湿層を設けることができる。
【００３３】
本発明の防湿フィルムの防湿性としては、４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過度（ＪＩＳ  Ｋ７１２９に準拠した方法により測定した値）が、１００ｇ／ｍ２・２４ｈｒ／μｍ以下、好ましくは５０ｇ／ｍ２・２４ｈｒ／μｍ以下、更に好ましくは２０ｇ／ｍ２・２４ｈｒ／μｍ以下となるように当該防湿層の防湿性を調整することが好ましい。
【００３４】
また、酸素透過度は、測定温度２３℃、湿度９０％ＲＨの条件下で、ＪＩＳ  Ｋ７１２６（等圧法）に準拠した方法により測定した値が、０．１ｍｌ／ｍ２・ｄａｙ・ａｔｍ以下になるように調整することが好ましい。
【００３５】
（無機微粒子）
本発明に係る防湿層は、無機微粒子の積層構造よりなることを特徴とする。当該無機微粒子の組成は、特に制限は無く、種々の無機化合物の微粒子を用いることができる。
【００３６】
また、本発明においては、樹脂基材側に対して遠い側の無機微粒子の平均アスペクト比が、近い側の無機微粒子の平均アスペクト比より、高いことを特徴とする。
【００３７】
本発明のように、樹脂基材に対して遠い側と近い側で無機微粒子の平均アスペクト比が異なる構成は、樹脂基材に対して無機微粒子を高速（例えば、１００〜４００ｍ／ｓｅｃ）で衝突させる成膜方法により達成される。具体的には、詳しく後述するエアロゾル・デポジション（ＡＤ）法が好ましく用いられる。
【００３８】
また、本発明において用いる高速で無機微粒子を基材に衝突させる成膜法においては、平均粒径の小さい原料を用いるほど、一次粒子が変形しやすく、平均アスペクト比が高くなる傾向が得られた。この傾向を利用し、成膜プロセスを分割し、前半に平均粒径の大きい粒子、後半に平均粒径の小さい粒子を用いることで、本発明による樹脂基材側に対して遠い側が、近い側に対して平均アスペクト比がより高くなる現象を顕著に制御しうることを筆者らは見出した。
【００３９】
なお、本発明の樹脂基材からの距離により平均アスペクト比が異なる膜の構成は、特開２００５−１６１７０３号公報に見られるような、硬質材料粒子を含む下地層上に成膜する方法では達成することができない。その理由としては、基材上に硬質材料粒子を含む層が存在すると、成膜時の衝突の衝撃により、基材に近い側も遠い側と同様の一次粒子の変形が生じるためであり、このような防湿膜においては、目的とする十分なバリア性が得られないばかりか、屈曲性や耐傷性といった、物理的な膜強度も十分でないことを見出した。
【００４０】
当該無機微粒子の平均粒径は、５０ｎｍ〜１００μｍの範囲であること、好ましくは、０．１〜１０μｍの範囲内である。
【００４１】
また、樹脂基材に対して遠い側の無機微粒子は、短軸長さ５ｎｍ〜２５μｍ、長軸長さ５０ｎｍ〜１００μｍ、アスペクト比４〜１０であることが好ましい。一方、樹脂基材に対して近い側の無機微粒子は、短軸長さ０．１〜１０μｍ、長軸長さ０．１〜３０μｍ、アスペクト比１〜３であることが好ましい。
【００４２】
なお、ここで、無機微粒子の「アスペクト比」とは、個々の無機微粒子の短軸長さ（厚さ）に対する長軸長さ（直径）の比をいう。すなわち、個々の無機微粒子の長軸長さ（直径）を短軸長さ（厚さ）で除した値である。ここで、直径とは、無機微粒子を顕微鏡または電子顕微鏡で観察したとき、粒子の投影面積と等しい面積を有する円の直径を指すものとする。また、無機微粒子の一次粒子の最も長い径を長軸長さ、長軸長さに垂直な径のうち最も長い径を短軸長さとする。
【００４３】
また、樹脂基材から遠い側又は近い側の無機微粒子の平均アスペクト比とは、防湿層の膜厚を２等分し、遠い側の無機微粒子の１００個と、近い側の１００個をそれぞれ測定し、平均値として求めた。
【００４４】
前記無機微粒子としては、酸化物、水酸化物、炭酸塩、硫酸塩、ケイ酸塩、窒化物、炭素類、等を含有する無機微粒子が挙げられる。
【００４５】
前記酸化物としては、酸化珪素（シリカ）、珪藻土、酸化アルミニウム（アルミナ）、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化鉄、酸化スズ、酸化アンチモン、フェライト類等が挙げられる。
【００４６】
前記水酸化物としては、水酸化カルシウム、水酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、塩基性炭酸マグネシウム等が挙げられる。
【００４７】
前記炭酸塩としては、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸亜鉛、炭酸バリウム、ドーソナイト、ハイドロタルサイト等が挙げられる。
【００４８】
前記硫酸塩としては、硫酸カルシウム、硫酸バリウム、石膏繊維等が挙げられる。
【００４９】
前記ケイ酸塩としては、ケイ酸カルシウム（ウォラストナイト、ゾノトライト）、タルク、クレー、マイカ、モンモリロナイト、ベントナイト、活性白土、セピオライト、イモゴライト、セリサリト、ガラス繊維、ガラスビーズ、シリカ系バルン等が挙げられる。
【００５０】
前記窒化物としては、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素等が挙げられる。
【００５１】
前記炭素類としては、カーボンブラック、グラファイト、炭素繊維、炭素バルン、木炭粉末等が挙げられる。
【００５２】
そのほか、各種金属粉、チタン酸カリウム、ＭＯＳ、チタン酸ジルコン酸鉛、アルミニウムボレート、硫化モリブデン、炭化ケイ素、ステンレス繊維、ホウ酸亜鉛、各種磁性粉、スラグ繊維等が挙げられる。
【００５３】
これらの中でも、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化亜鉛、酸化チタン及び酸化ジルコニウムのいずれかであることが好ましい。
【００５４】
無機微粒子の形状としては、特に制限はないが、例えば、繊維状、針状、板状、球状、粒状等が挙げられる。
【００５５】
本発明においては、樹脂基材側に対して遠い側の無機（微）粒子の平均アスペクト比が、近い側の無機（微）粒子の平均アスペクト比より、高いことを特徴とする。
【００５６】
アスペクト比の高い無機微粒子としては、特開平７−１０２１１２号公報、特開２００３−５４９４１号公報、特開２００４−１４９６８７号公報等に開示されているカーボンナノチューブ、アルミナ粒子等が参考となる。
【００５７】
無機微粒子の製造方法としては、特に制限はなく、公知の無機微粒子の製造方法である気相法、液相法等が挙げられる。
【００５８】
前記気相法としては、例えば、原料を高温に加熱して蒸発させ、冷却して微粒子状に凝縮させる蒸発・凝縮法、及び、金属化合物蒸気の気相での化学反応によって粒子を合成する気相反応法等が挙げられる。
【００５９】
前記液相法としては、化学的方法及び物理的方法が挙げられる。該化学的方法としては、例えば、通常、混合物の沈殿として得る共沈法、化学反応により溶液内に沈殿生成の条件を均一に生成させる均一沈殿法、単一の化合物の沈殿を利用する化合物沈殿法、金属アルコキシド法等が挙げられる。前記物理的方法としては、泥漿や溶液を噴霧し、溶媒を気化して固相を析出させ、粉末を得る噴霧法、可燃性溶媒に溶解した金属塩を溶媒と共に燃焼させ、酸化物微粒子を合成する溶液燃焼法、液滴の凍結により固相を固定した後、固−気変換により固相中の液相を除去する凍結乾燥法、溶液中に作製された微小液滴の固化により粉末を得るエマルジョン法、低温で溶融する硝酸塩融液を利用する硝酸塩分解法等が挙げられる。
【００６０】
前記無機微粒子の平均粒径及び平均アスペクト比を前記数値範囲内に制御する方法としては、例えば、無機微粒子の成長条件（温度、ｐＨ，濃度等）の制御、粉砕・分級等が好ましい。当該粉砕に用いるミルとしては、例えば、高速回転衝撃剪断式ミル、ロール式ミル、媒体ミル、気流粉砕式ミル、剪断・摩擦式ミル等が挙げられる。
【００６１】
（無機微粒子の積層構造）
本発明においては、防湿層が無機微粒子の積層構造よりなりなること、すなわち、当該防湿層が無機微粒子を含有する層（膜）を複数積層した構造を有することを特徴とする。
【００６２】
当該防湿層を形成する方法としては、当該防湿層の形成工程において、平均粒径０．１〜１０μｍの範囲内の無機微粒子を樹脂基材に衝突させて堆積する成膜方法によって（平均アスペクト比の異なる）無機微粒子の積層構造を形成することが好ましい。具体的には、下記のエアロゾル・デポジション法により、当該防湿層を形成することが好ましい。
【００６３】
エアロゾル・デポジション法による製膜装置としては、「応用物理」誌６８巻１号４４ページ、特開２００３−２１５２５６号公報等に開示されている構成が利用できる。
【００６４】
図１は、本発明に用いられるエアロゾル・デポジション成膜装置の概略構成図を示す。エアロゾル・デポジション成膜装置は基板１０ａを保持するホルダー９ａ、ホルダーをＸＹＺθで３次元に作動させるＸＹＺθステージ１１ａ、基板に原料を噴出させる細い開口を備えたノズル８ａ、ノズルをエアロゾル化室４ａとつなぐ配管６ａを備えたチャンバー７、さらに、搬送ガスを貯留する高圧ガスボンベ１ａ、微粒子原料１２ａとキャリアガスが攪拌・混合されるエアロゾル化室４ａ、およびこれらをつなぐ配管２ａによって構成される。ステージの裏面にはペルチェ素子による温度制御機構が設置され、基板を最適な温度に保つことができる。
【００６５】
さらに、エアロゾル化室内の微粒子原料は、以下のような手順によって基板であるＬＥＤチップ上に形成される。
【００６６】
エアロゾル化室内に充填された、好ましくは０．０１〜１０μｍ、より好ましくは０．２〜５μｍの平均粒径の微粒子原料は、キャリアガスを貯留する高圧ガスボンベより配管を通ってエアロゾル化室に導入されキャリアガスとともに、振動・撹拌されてエアロゾル化される。
【００６７】
原料粒子の粒径測定方法としては、一般的なレーザー回折式粒径測定装置があげられ、具体的には、ＨＥＬＯＳ（ＪＥＯＬ社製）、Ｍｉｃｒｏｔｒａｃ  ＨＲＡ（日機装社製）、ＳＡＬＤ−１１００（島津製作所社製）、コールターカウンター（コールター社製）などがあげられる。特に好ましくはＭｉｃｒｏｔｒａｃ  ＨＲＡである。
【００６８】
エアロゾル化された微粒子原料は配管を通り、チャンバー内の細い開口を備えたノズルから基板にキャリアガスとともに吹き付けられ塗膜を形成する。チャンバーは真空ポンプ等で排気され、チャンバー内の真空度は必要に応じて調整されている。
【００６９】
本発明では真空度は、好ましくは０．０１〜１００００Ｐａであり、更に好ましくは０．１〜１０００Ｐａである。以下さらに、基板のホルダーはＸＹＺθステージにより３次元に動くことができるため基板の所定の部分に必要な厚みの蛍光体層が形成できる。基板に形成された蛍光体層上には必要に応じて封止層を設けることができる。
【００７０】
エアロゾル化された原料粒子は、好ましくは流速１００〜４００ｍ／ｓｅｃのキャリアガスによって搬送され、基板上に衝突することによって堆積することができる。キャリアガスにより搬送された粒子は、互いに衝突の衝撃によって接合し膜を形成する。
【００７１】
本発明の製造方法において、原料粒子を加速・噴出するためのキャリアガスとしては、窒素ガスやＨｅガスなどの不活性ガスが好ましい。窒素ガスは特に好ましく用いることができる。
【００７２】
なお、成膜した無機微粒子からなる膜（層）の微細組織および結晶構造はそれぞれ，走査型電子顕微鏡およびＸ線回折装置にて評価することができる。成膜に使用したプラスチックのダイナミック硬度測定は，ダイナミック硬度試験機を用いて測定できる。また、無機微粒子からなる膜（層）の透光度は紫外線可視光光度計を用いて評価することができる。
【００７３】
（有機ポリマー層）
本発明においては、前記防湿層の上に隣接して、有機ポリマー層を設けることも好ましい。本発明に係る有機ポリマー層は、前記防湿層が、防湿フィルムの屈曲などでクラックが入らないようにする応力緩和層としての機能や、防湿層が汚れて本来の防湿性が損なわれることを防ぐ防汚層としての機能を得ることを目的とするものである。
【００７４】
有機ポリマー層を構成する材料としては、従来公知の種々の有機ポリマー（合成樹脂）を用いることができる。例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、セロファン、セルロースジアセテート、セルローストリアセテート（ＴＡＣ）、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネート（ＣＡＰ）、セルロースアセテートフタレート、セルロースナイトレート等のセルロースエステル類又はそれらの誘導体、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、ポリエチレンビニルアルコール、シンジオタクティックポリスチレン、ポリカーボネート、ノルボルネン樹脂、ポリメチルペンテン、ポリエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、ポリスルホン類、ポリエーテルケトンイミド、ポリアミド、フッ素樹脂、ナイロン、ポリメチルメタクリレート、アクリル或いはポリアリレート類、アートン（商品名ＪＳＲ社製）或いはアペル（商品名三井化学社製）といったシクロオレフィン系樹脂等を挙げられる。
【００７５】
これらの樹脂のうち、特に好ましい樹脂は、シクロオレフィン系樹脂である。
【００７６】
シクロオレフィン系樹脂（以下「環状オレフィン系樹脂」ともいう。）としては、ノルボルネン系樹脂、単環のシクロ（環状）オレフィン系樹脂、シクロ（環状）共役ジエン系樹脂、ビニル脂環式炭化水素系樹脂、及び、これらの水素化物等を挙げることができる。これらの中で、ノルボルネン系樹脂は、透明性と成形性が良好なため、好適に用いることができる。
【００７７】
ノルボルネン系樹脂としては、例えば、ノルボルネン構造を有する単量体の開環重合体若しくはノルボルネン構造を有する単量体と他の単量体との開環共重合体又はそれらの水素化物、ノルボルネン構造を有する単量体の付加重合体若しくはノルボルネン構造を有する単量体と他の単量体との付加共重合体又はそれらの水素化物等を挙げることができる。
【００７８】
これらの中で、ノルボルネン構造を有する単量体の開環（共）重合体水素化物は、透明性、成形性、耐熱性、低吸湿性、寸法安定性、軽量性などの観点から、特に好適に用いることができる。
【００７９】
ノルボルネン構造を有する単量体としては、ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（慣用名：ノルボルネン）、トリシクロ［４．３．０．１２，５］デカ−３，７−ジエン（慣用名：ジシクロペンタジエン）、７，８−ベンゾトリシクロ［４．３．０．１２，５］デカ−３−エン（慣用名：メタノテトラヒドロフルオレン）、テトラシクロ［４．４．０．１２，５．１７，１０］ドデカ−３−エン（慣用名：テトラシクロドデセン）、及びこれらの化合物の誘導体（例えば、環に置換基を有するもの）などを挙げることができる。ここで、置換基としては、例えばアルキル基、アルキレン基、極性基などを挙げることができる。また、これらの置換基は、同一又は相異なって複数個が環に結合していてもよい。ノルボルネン構造を有する単量体は１種単独で、あるいは２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００８０】
極性基の種類としては、ヘテロ原子、又はヘテロ原子を有する原子団などが挙げられる。ヘテロ原子としては、例えば、酸素原子、窒素原子、硫黄原子、ケイ素原子、ハロゲン原子などが挙げられる。極性基の具体例としては、カルボキシル基、カルボニルオキシカルボニル基、エポキシ基、ヒドロキシル基、オキシ基、エステル基、シラノール基、シリル基、アミノ基、ニトリル基、スルホン基などが挙げられる。
【００８１】
ノルボルネン構造を有する単量体と開環共重合可能な他の単量体としては、シクロヘキセン、シクロヘプテン、シクロオクテンなどのモノシクロ（環状）オレフィン類及びその誘導体、シクロヘキサジエン、シクロヘプタジエンなどのシクロ（環状）共役ジエン及びその誘導体などが挙げられる。
【００８２】
ノルボルネン構造を有する単量体の開環重合体及びノルボルネン構造を有する単量体と共重合可能な他の単量体との開環共重合体は、単量体を公知の開環重合触媒の存在下に（共）重合することにより得ることができる。
【００８３】
ノルボルネン構造を有する単量体と付加共重合可能な他の単量体としては、例えば、エチレン、プロピレン、１−ブテンなどの炭素数２〜２０のα−オレフィン及びこれらの誘導体；シクロブテン、シクロペンテン、シクロヘキセンなどのシクロオレフィン及びこれらの誘導体；１，４−ヘキサジエン、４−メチル−１，４−ヘキサジエン、５−メチル−１，４−ヘキサジエンなどの非共役ジエンなどが挙げられる。これらの単量体は１種単独で、あるいは２種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中でも、α−オレフィンが好ましく、エチレンがより好ましい。
【００８４】
ノルボルネン構造を有する単量体の付加重合体及びノルボルネン構造を有する単量体と共重合可能な他の単量体との付加共重合体は、単量体を公知の付加重合触媒の存在下に重合することにより得ることができる。
【００８５】
ノルボルネン構造を有する単量体の開環重合体の水素添加物、ノルボルネン構造を有する単量体とこれと開環共重合可能なその他の単量体との開環共重合体の水素添加物、ノルボルネン構造を有する単量体の付加重合体の水素添加物、及びノルボルネン構造を有する単量体とこれと付加共重合可能なその他の単量体との付加共重合体の水素添加物は、これらの重合体の溶液に、ニッケル、パラジウムなどの遷移金属を含む公知の水素添加触媒を添加し、炭素−炭素不飽和結合を好ましくは９０％以上水素添加することによって得ることができる。
【００８６】
ノルボルネン系樹脂の中でも、繰り返し単位として、Ｘ：ビシクロ［３．３．０］オクタン−２，４−ジイル−エチレン構造と、Ｙ：トリシクロ［４．３．０．１２，５］デカン−７，９−ジイル−エチレン構造とを有し、これらの繰り返し単位の含有量が、ノルボルネン系樹脂の繰り返し単位全体に対して９０質量％以上であり、かつ、Ｘの含有割合とＹの含有割合との比が、Ｘ：Ｙの質量比で１００：０〜４０：６０であるものが好ましい。
【００８７】
本発明に用いるシクロ（環状）オレフィン樹脂の分子量は使用目的に応じて適宜選定される。溶媒としてシクロヘキサン（重合体樹脂が溶解しない場合はトルエン）を用いるゲル・パーミエーション・クロマトグラフィーで測定したポリイソプレン又はポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）で、通常２０，０００〜１５０，０００である。好ましくは２５，０００〜１００，０００、より好ましくは３０，０００〜８０，０００である。重量平均分子量がこのような範囲にあるときに、フィルムの機械的強度及び成型加工性とが高度にバランスされ好適である。
【００８８】
シクロ（環状）オレフィン樹脂のガラス転移温度は、使用目的に応じて適宜選択されればよい。好ましくは１３０〜１６０℃、より好ましくは１３５〜１５０℃の範囲である。
【００８９】
本発明に用いられる上記シクロオレフィン系樹脂の具体例としては、例えば、ＪＳＲ株式会社製  商品名：ＡＲＴＯＮ；日本ゼオン株式会社製  商品名：ゼオノア；積水化学工業株式会社製  商品名：エスシーナ等を挙げることができる。
【００９０】
なお、本発明の防湿フィルムには、必要に応じて、各層に対して、特に基材に対して、充填剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、熱安定剤、滑剤、帯電防止剤、抗菌剤、顔料等を添加することができる。
【００９１】
本発明においては、前記防湿層上に、有機ポリマー微粒子含有液を塗布することにより有機ポリマー層を形成することができる。また、当該防湿層上に、有機ポリマー微粒子を衝突させて堆積する成膜方法によって有機ポリマー層を形成することも好ましい。
【００９２】
有機ポリマー微粒子については、上記有機ポリマー層に適用される有機ポリマーの原料粉体を、所望の粉砕方法により粉砕することで得ることができる。
【００９３】
粉砕方法には特に制約は無いが、粉砕後の平均粒径は０．１〜１０μｍであることが好ましい。
【００９４】
粉砕方法については、本発明において使用される粉砕機は特に限定されないが、例えば自粉砕方式のものとしては、特開平１１−３００２２４号公報（同軸２翼方式）、特開２００１−３２１６８４号公報（２軸２翼方式）及び特開２００２−７９１８３号公報（２軸２翼方式）に記載された、２枚の回転翼間に形成される対向気流中に粉砕対象を導入し、相互衝突によって微細粉末を得る形式の粉砕機は、夾雑物が少なく、容易に１０μｍ程度までの微粉砕が可能である点、特に本発明に適したものである。更に、該粉砕機は粉砕室内に浮遊する粉末を直接気流搬送し、比重の大なる粉末ほど搬送距離が短いことを利用してドライプロセスによって粉末を分級する機能を有するため、粉砕後のプラスチックス粉末の収得にも有利である。この種粉砕機は、通称トルネードミルと呼ばれる。また、一旦粉砕されたものに例えばイオウ粉末又はイオウ粉末と鉄粉を加えて固体反応を生起させる場合には、通常のボールミル、遊星ボールミル、オングミル等を使用することが出来る。
【００９５】
（防湿フィルム用樹脂基材の製造方法）
本発明の防湿フィルムの樹脂基材の製造方法としては、通常のインフレーション法、Ｔ−ダイ法、カレンダー法、切削法、流延法、エマルジョン法、ホットプレス法等の製造法が使用できるが、着色抑制、異物欠点の抑制、ダイラインなどの光学欠点の抑制などの観点から流延法による溶液流延法、溶融流延法が好ましい。
【００９６】
以下、典型的例として、フィルム状樹脂基材として、作製する場合の製造方法について詳述する。
【００９７】
＜溶液流延法による樹脂基材の製造方法＞
（有機溶媒）
本発明に係る樹脂基材を溶液流延法で製造する場合、ドープを形成するのに有用な有機溶媒は、セルロースエステル樹脂等の熱可塑性樹脂を溶解するものであれば制限なく用いることができる。
【００９８】
例えば、塩素系有機溶媒としては、塩化メチレン、非塩素系有機溶媒としては、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸アミル、アセトン、テトラヒドロフラン、１，３−ジオキソラン、１，４−ジオキサン、シクロヘキサノン、ギ酸エチル、２，２，２−トリフルオロエタノール、２，２，３，３−ヘキサフルオロ−１−プロパノール、１，３−ジフルオロ−２−プロパノール、１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２−メチル−２−プロパノール、１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロ−２−プロパノール、２，２，３，３，３−ペンタフルオロ−１−プロパノール、ニトロエタン、乳酸エチル、乳酸、ジアセトンアルコール等を挙げることができ、塩化メチレン、酢酸メチル、酢酸エチル、アセトン、乳酸エチル等を好ましく使用し得る。
【００９９】
ドープには、上記有機溶媒の他に、１〜４０質量％の炭素原子数１〜４の直鎖又は分岐鎖状の脂肪族アルコールを含有させてもよい。ドープ中のアルコールの比率が高くなるとウェブがゲル化し、金属支持体からの剥離が容易になり、また、アルコールの割合が少ない時は非塩素系有機溶媒系での熱可塑性樹脂の溶解を促進する役割もある。
【０１００】
特に、メチレンクロライド、及び炭素数１〜４の直鎖又は分岐鎖状の脂肪族アルコールを含有する溶媒に、熱可塑性樹脂は、少なくとも計１０〜４５質量％溶解させたドープ組成物であることが好ましい。
【０１０１】
炭素原子数１〜４の直鎖又は分岐鎖状の脂肪族アルコールとしては、メタノール、エタノール、ｎ−プロパノール、ｉｓｏ−プロパノール、ｎ−ブタノール、ｓｅｃ−ブタノール、ｔｅｒｔ−ブタノールを挙げることができる。これらの内ドープの安定性、沸点も比較的低く、乾燥性もよいこと等からエタノールが好ましい。
【０１０２】
以下、本発明に係るフィルム状樹脂基板（以下、単に「フィルム」ともいう。）の好ましい製膜方法について説明する。
【０１０３】
１）溶解工程
熱可塑性樹脂に対する良溶媒を主とする有機溶媒に、溶解釜中で熱可塑性樹脂、熱収縮材料、その他の添加剤を攪拌しながら溶解しドープを形成する工程である。
【０１０４】
熱可塑性樹脂の溶解には、常圧で行う方法、主溶媒の沸点以下で行う方法、主溶媒の沸点以上で加圧して行う方法、特開平９−９５５４４号公報、特開平９−９５５５７号公報、又は特開平９−９５５３８号公報に記載の如き冷却溶解法で行う方法、特開平１１−２１３７９号公報に記載の如き高圧で行う方法等種々の溶解方法を用いることができるが、特に主溶媒の沸点以上で加圧して行う方法が好ましい。
【０１０５】
返材とは、フィルムを細かく粉砕した物で、フィルムを製膜するときに発生する、フィルムの両サイド部分を切り落とした物や、擦り傷などでスペックアウトしたフィルム原反のことをいい、これも再使用される。
【０１０６】
２）流延工程
ドープを、送液ポンプ（例えば、加圧型定量ギヤポンプ）を通して加圧ダイに送液し、無限に移送する無端の金属ベルト、例えばステンレスベルト、あるいは回転する金属ドラム等の金属支持体上の流延位置に、加圧ダイスリットからドープを流延する工程である。
【０１０７】
ダイの口金部分のスリット形状を調整でき、膜厚を均一にし易い加圧ダイが好ましい。加圧ダイには、コートハンガーダイやＴダイ等があり、いずれも好ましく用いられる。金属支持体の表面は鏡面となっている。製膜速度を上げるために加圧ダイを金属支持体上に２基以上設け、ドープ量を分割して重層してもよい。あるいは複数のドープを同時に流延する共流延法によって積層構造のフィルムを得ることも好ましい。
【０１０８】
３）溶媒蒸発工程
ウェブ（流延用支持体上にドープを流延し、形成されたドープ膜をウェブと呼ぶ）を流延用支持体上で加熱し、溶媒を蒸発させる工程である。
【０１０９】
溶媒を蒸発させるには、ウェブ側から風を吹かせる方法及び／又は支持体の裏面から液体により伝熱させる方法、輻射熱により表裏から伝熱する方法等があるが、裏面液体伝熱方法の乾燥効率が良く好ましい。又、それらを組み合わせる方法も好ましく用いられる。流延後の支持体上のウェブを４０〜１００℃の雰囲気下、支持体上で乾燥させることが好ましい。４０〜１００℃の雰囲気下に維持するには、この温度の温風をウェブ上面に当てるか赤外線等の手段により加熱することが好ましい。
【０１１０】
面品質、透湿性、剥離性の観点から、３０〜１２０秒以内で該ウェブを支持体から剥離することが好ましい。
【０１１１】
４）剥離工程
金属支持体上で溶媒が蒸発したウェブを、剥離位置で剥離する工程である。剥離されたウェブは次工程に送られる。
【０１１２】
金属支持体上の剥離位置における温度は好ましくは１０〜４０℃であり、さらに好ましくは１１〜３０℃である。
【０１１３】
なお、剥離する時点での金属支持体上でのウェブの剥離時残留溶媒量は、乾燥の条件の強弱、金属支持体の長さ等により５０〜１２０質量％の範囲で剥離することが好ましいが、残留溶媒量がより多い時点で剥離する場合、ウェブが柔らか過ぎると剥離時平面性を損ね、剥離張力によるツレや縦スジが発生し易いため、経済速度と品質との兼ね合いで剥離時の残留溶媒量が決められる。
【０１１４】
ウェブの残留溶媒量は下記式で定義される。
【０１１５】
残留溶媒量（％）＝（ウェブの加熱処理前質量−ウェブの加熱処理後質量）／（ウェブの加熱処理後質量）×１００
なお、残留溶媒量を測定する際の加熱処理とは、１１５℃で１時間の加熱処理を行うことを表す。
【０１１６】
金属支持体とフィルムを剥離する際の剥離張力は、通常、１９６〜２４５Ｎ／ｍであるが、剥離の際に皺が入り易い場合、１９０Ｎ／ｍ以下の張力で剥離することが好ましく、さらには、剥離できる最低張力〜１６６．６Ｎ／ｍ、次いで、最低張力〜１３７．２Ｎ／ｍで剥離することが好ましいが、特に好ましくは最低張力〜１００Ｎ／ｍで剥離することである。
【０１１７】
本発明においては、当該金属支持体上の剥離位置における温度を−５０〜４０℃とするのが好ましく、１０〜４０℃がより好ましく、１５〜３０℃とするのが最も好ましい。
【０１１８】
５）乾燥及び延伸工程
剥離後、ウェブを乾燥装置内に複数配置したロールに交互に通して搬送する乾燥装置３５、及び／又はクリップでウェブの両端をクリップして搬送するテンター延伸装置３４を用いて、ウェブを乾燥する。
【０１１９】
乾燥手段はウェブの両面に熱風を吹かせるのが一般的であるが、風の代わりにマイクロウェーブを当てて加熱する手段もある。余り急激な乾燥は出来上がりのフィルムの平面性を損ね易い。高温による乾燥は残留溶媒が８質量％以下くらいから行うのがよい。全体を通し、乾燥は概ね４０〜２５０℃で行われる。特に４０〜１６０℃で乾燥させることが好ましい。
【０１２０】
テンター延伸装置を用いる場合は、テンターの左右把持手段によってフィルムの把持長（把持開始から把持終了までの距離）を左右で独立に制御できる装置を用いることが好ましい。また、テンター工程において、平面性を改善するため意図的に異なる温度を持つ区画を作ることも好ましい。
【０１２１】
また、異なる温度区画の間にそれぞれの区画が干渉を起こさないように、ニュートラルゾーンを設けることも好ましい。
【０１２２】
なお、延伸操作は多段階に分割して実施してもよく、流延方向、幅手方向に二軸延伸を実施することも好ましい。また、二軸延伸を行う場合には同時二軸延伸を行ってもよいし、段階的に実施してもよい。
【０１２３】
この場合、段階的とは、例えば、延伸方向の異なる延伸を順次行うことも可能であるし、同一方向の延伸を多段階に分割し、かつ異なる方向の延伸をそのいずれかの段階に加えることも可能である。即ち、例えば、次のような延伸ステップも可能である。
【０１２４】
・流延方向に延伸−幅手方向に延伸−流延方向に延伸−流延方向に延伸
・幅手方向に延伸−幅手方向に延伸−流延方向に延伸−流延方向に延伸
また、同時２軸延伸には、一方向に延伸し、もう一方を、張力を緩和して収縮させる場合も含まれる。同時２軸延伸の好ましい延伸倍率は幅手方向、長手方向ともに×１．０１倍〜×１．５倍の範囲でとることができる。
【０１２５】
テンターを行う場合のウェブの残留溶媒量は、テンター開始時に２０〜１００質量％であるのが好ましく、かつウェブの残留溶媒量が１０質量％以下になる迄テンターを掛けながら乾燥を行うことが好ましく、さらに好ましくは５質量％以下である。
【０１２６】
テンターを行う場合の乾燥温度は、３０〜１６０℃が好ましく、５０〜１５０℃がさらに好ましく、７０〜１４０℃が最も好ましい。
【０１２７】
テンター工程において、雰囲気の幅手方向の温度分布が少ないことが、フィルムの均一性を高める観点から好ましく、テンター工程での幅手方向の温度分布は、±５℃以内が好ましく、±２℃以内がより好ましく、±１℃以内が最も好ましい。
【０１２８】
６）巻き取り工程
ウェブ中の残留溶媒量が２質量％以下となってからフィルムとして巻き取り機３７により巻き取る工程であり、残留溶媒量を０．４質量％以下にすることにより寸法安定性の良好なフィルムを得ることができる。特に０．００〜０．１０質量％で巻き取ることが好ましい。
【０１２９】
巻き取り方法は、一般に使用されているものを用いればよく、定トルク法、定テンション法、テーパーテンション法、内部応力一定のプログラムテンションコントロール法等があり、それらを使いわければよい。
【０１３０】
本発明に係るフィルムは、長尺フィルムであることが好ましく、具体的には、１００ｍ〜５０００ｍ程度のものを示し、通常、ロール状で提供される形態のものである。また、フィルムの幅は１．３〜４ｍであることが好ましく、１．４〜２ｍであることがより好ましい。
【０１３１】
本発明に係るフィルムの膜厚に特に制限はないが、２０〜２００μｍであることが好ましく、２５〜１５０μｍであることがより好ましく、３０〜１２０μｍであることが特に好ましい。
【０１３２】
＜溶融流延製膜法による基板の製造方法＞
本発明に係る樹脂基材を、フィルム状樹脂基材として、溶融流延製膜法により製造する場合の方法について説明する。
【０１３３】
〈溶融ペレット製造工程〉
溶融押出に用いる熱可塑性樹脂、熱収縮材料からなるフィルムを構成する組成物は、通常あらかじめ混錬してペレット化しておくことが好ましい。
【０１３４】
ペレット化は、公知の方法でよく、例えば、乾燥した熱可塑性樹脂と熱収縮材料等からなる添加剤をフィーダーで押出機に供給し１軸や２軸の押出機を用いて混錬し、ダイからストランド状に押出し、水冷又は空冷し、カッティングすることでできる。
【０１３５】
原材料は、押出する前に乾燥しておくことが原材料の分解を防止する上で重要である。特にセルロースエステルは吸湿しやすいので、除湿熱風乾燥機や真空乾燥機で７０〜１４０℃で３時間以上乾燥し、水分率を２００ｐｐｍ以下、さらに１００ｐｐｍ以下にしておくことが好ましい。
【０１３６】
添加剤は、押出機に供給押出機合しておいてもよいし、それぞれ個別のフィーダーで供給してもよい。酸化防止剤等少量の添加剤は、均一に混合するため、こと前に混合しておくことが好ましい。
【０１３７】
酸化防止剤の混合は、固体同士で混合してもよいし、必要により、酸化防止剤を溶剤に溶解しておき、熱可塑性樹脂に含浸させて混合してもよく、あるいは噴霧して混合してもよい。
【０１３８】
真空ナウターミキサーなどが乾燥と混合を同時にできるので好ましい。また、フィーダー部やダイからの出口など空気と触れる場合は、除湿空気や除湿したＮ２ガスなどの雰囲気下にすることが好ましい。
【０１３９】
押出機は、せん断力を抑え、樹脂が劣化（分子量低下、着色、ゲル生成等）しないようにペレット化可能でなるべく低温で加工することが好ましい。例えば、２軸押出機の場合、深溝タイプのスクリューを用いて、同方向に回転させることが好ましい。混錬の均一性から、噛み合いタイプが好ましい。
【０１４０】
以上のようにして得られたペレットを用いてフィルム製膜を行う。ペレット化せず、原材料の粉末をそのままフィーダーで押出機に供給し、そのままフィルム製膜することも可能である。
【０１４１】
〈溶融混合物をダイから冷却ロールへ押し出す工程〉
まず、作製したペレットを１軸や２軸タイプの押出機を用いて、押し出す際の溶融温度Ｔｍを２００〜３００℃程度とし、リーフディスクタイプのフィルターなどでろ過し異物を除去した後、Ｔダイからフィルム状に共押出し、冷却ロール上で固化し、弾性タッチロールと押圧しながら流延する。
【０１４２】
供給ホッパーから押出機へ導入する際は真空下又は減圧下や不活性ガス雰囲気下にして酸化分解等を防止することが好ましい。なお、Ｔｍは、押出機のダイ出口部分の温度である。
【０１４３】
ダイに傷や可塑剤の凝結物等の異物が付着するとスジ状の欠陥が発生する場合がある。このような欠陥のことをダイラインとも呼ぶが、ダイライン等の表面の欠陥を小さくするためには、押出機からダイまでの配管には樹脂の滞留部が極力少なくなるような構造にすることが好ましい。ダイの内部やリップにキズ等が極力無いものを用いることが好ましい。
【０１４４】
押出機やダイなどの溶融樹脂と接触する内面は、表面粗さを小さくしたり、表面エネルギーの低い材質を用いるなどして、溶融樹脂が付着し難い表面加工が施されていることが好ましい。具体的には、ハードクロムメッキやセラミック溶射したものを表面粗さ０．２Ｓ以下となるように研磨したものが挙げられる。
【０１４５】
本発明において冷却ロールには特に制限はないが、高剛性の金属ロールで内部に温度制御可能な熱媒体又は冷媒体が流れるような構造を備えるロールであり、大きさは限定されないが、溶融押し出されたフィルムを冷却するのに十分な大きさであればよく、通常冷却ロールの直径は１００ｍｍから１ｍ程度である。
【０１４６】
冷却ロールの表面材質は、炭素鋼、ステンレス、アルミニウム、チタンなどが挙げられる。さらに表面の硬度を上げたり、樹脂との剥離性を改良するため、ハードクロムメッキや、ニッケルメッキ、非晶質クロムメッキなどや、セラミック溶射等の表面処理を施すことが好ましい。
【０１４７】
冷却ロール表面の表面粗さは、Ｒａで０．１μｍ以下とすることが好ましく、さらに０．０５μｍ以下とすることが好ましい。ロール表面が平滑であるほど、得られるフィルムの表面も平滑にできるのである。もちろん表面加工した表面はさらに研磨し上述した表面粗さとすることが好ましい。
【０１４８】
本発明において、弾性タッチロールとしては、特開平０３−１２４４２５号、特開平０８−２２４７７２号、特開平０７−１００９６０号、特開平１０−２７２６７６号、ＷＯ９７／０２８９５０号、特開平１１−２３５７４７号、特開２００２−３６３３２号、特開２００５−１７２９４０号や特開２００５−２８０２１７号公報に記載されているような表面が薄膜金属スリーブ被覆シリコンゴムロールを使用することができる。
【０１４９】
冷却ロールからフィルムを剥離する際は、張力を制御してフィルムの変形を防止することが好ましい。
【０１５０】
〈延伸工程〉
本発明では、上記のようにして得られたフィルムは冷却ロールに接する工程を通過後、さらに少なくとも１方向に１．０１〜３．０倍延伸することもできる。
【０１５１】
好ましくは縦（フィルム搬送方向）、横（巾方向）両方向にそれぞれ１．１〜２．０倍延伸することが好ましい。
【０１５２】
延伸する方法は、公知のロール延伸機やテンターなどを好ましく用いることができる。特に光学フィルムが、偏光板保護フィルムを兼ねる場合は、延伸方向を巾方向とすることで偏光フィルムとの積層がロール形態でできるので好ましい。
【０１５３】
巾方向に延伸することで光学フィルムの遅相軸は巾方向になる。
【０１５４】
通常、延伸倍率は１．１〜３．０倍、好ましくは１．２〜１．５倍であり、延伸温度は、通常、フィルムを構成する樹脂のＴｇ〜Ｔｇ＋５０℃、好ましくはＴｇ〜Ｔｇ＋５０℃の温度範囲で行われる。
【０１５５】
延伸は、長手方向もしくは幅手方向で制御された均一な温度分布下で行うことが好ましい。好ましくは±２℃以内、さらに好ましくは±１℃以内、特に好ましくは±０．５℃以内である。
【０１５６】
上記の方法で作製したフィルム状樹脂基板を光学フィルムとして用いる場合、当該光学フィルムのレターデーション調整や寸法変化率を小さくする目的で、フィルムを長手方向や幅手方向に収縮させてもよい。
【０１５７】
長手方向に収縮するには、例えば、巾延伸を一時クリップアウトさせて長手方向に弛緩させる、又は横延伸機の隣り合うクリップの間隔を徐々に狭くすることによりフィルムを収縮させるという方法がある。
【０１５８】
遅相軸方向の均一性も重要であり、フィルム巾方向に対して、角度が−５〜＋５°であることが好ましく、さらに−１〜＋１°の範囲にあることが好ましく、特に−０．５〜＋０．５°の範囲にあることが好ましく、特に−０．１〜＋０．１°の範囲にあることが好ましい。これらのばらつきは延伸条件を最適化することで達成できる。
【０１５９】
本発明のフィルム状樹脂基材は、長尺フィルムであることが好ましく、具体的には、１００ｍ〜５０００ｍ程度のものを示し、通常、ロール状で提供される形態のものである。また、フィルムの幅は１．３〜４ｍであることが好ましく、１．４〜２ｍであることがより好ましい。
【０１６０】
本発明に係るフィルム状樹脂基板の膜厚に特に制限はなく、目的に応じて変化させることが好ましい。例えば、偏光板保護フィルムに使用する場合は、２０〜２００μｍであることが好ましく、２５〜１５０μｍであることがより好ましく、３０〜１２０μｍであることが特に好ましい。
【０１６１】
〈樹脂基板の製造装置〉
図２は、本発明に係る樹脂基材の製造装置の一例の全体構成を示す概略フローシートである。図２において、可撓性樹脂基板の製造方法は、熱可塑性樹脂等のフィルム材料を混合した後、押出し機１を用いて、流延ダイ４から第１冷却ロール５上に溶融押し出し、第１冷却ロール５に外接させるとともに、更に、第２冷却ロール７、第３冷却ロール８の合計３本の冷却ロールに順に外接させて、冷却固化してフィルム１０とする。次いで、剥離ロール９によって剥離したフィルム１０を、次いで延伸装置１２によりフィルムの両端部を把持して幅方向に延伸した後、巻取り装置１６により巻き取る。また、平面性を矯正するために溶融フィルムを第１冷却ロール５表面に挟圧するタッチロール６が設けられている。このタッチロール６は表面が弾性を有し、第１冷却ロール５との間でニップを形成している。
【０１６２】
本発明において、製造装置には、ベルト及びロールを自動的に清掃する装置を付加させることが好ましい。清掃装置については特に限定はないが、例えば、ブラシ・ロール、吸水ロール、粘着ロール、ふき取りロール等をニップする方式、清浄エアーを吹き掛けるエアーブロー方式、レーザーによる焼却装置、あるいはこれらの組み合わせなどがある。
【０１６３】
清掃用ロールをニップする方式の場合、ベルト線速度とローラ線速度を変えると清掃効果が大きい。
【０１６４】
（太陽電池モジュール用バックシート）
本発明においては、前述した本発明の防湿フィルムを用いて種々の態様の太陽電池モジュール用バックシートを作製することができる。
【０１６５】
以下、典型的な例について説明するが、これに限定されるものではない。
【０１６６】
図３に示す太陽電池モジュール用のバックシート（１０Ａ）は、内面基材（１１Ａ）と外面基材（１３Ａ）とがバリア層（１２Ａ）を介して積層されてなるものである。
【０１６７】
そして、バリア層（１２Ａ）は、内面基材（１１Ａ）側に配置されたアルミニウム箔からなる第１バリア層（１２Ａａ）と、外面基材（１３Ａ）側に配置されたバリア性を有する樹脂フィルムからなる第２バリア層（１２Ａｂ）が例えば二液反応型のポリウレタン樹脂系接着剤（１２Ａｃ）を介して積層された構成からなる。
【０１６８】
第１バリア層（１２Ａａ）を構成するアルミニウム箔は、厚さが５〜５０μｍ程度のものが好適に使用できる。
【０１６９】
アルミニウム箔のバリア性はほぼ０ｇ／ｍ２・ｄａｙであるため、アルミニウム箔層の劣化防止及び長寿命化は、そのまま太陽電池モジュールへの水蒸気の浸入防止を意味する。
【０１７０】
第２バリア層（１２Ａｂ）を構成する樹脂フィルムとしては、厚さが５〜５０μｍ程度のポリエステルフィルム、厚さが１０〜５０μｍ程度のエチレン／ビニルアルコール共重合体（ＥＶＯＨ）フィルム等のバリア性を有する樹脂基材（フィルム）が好ましく使用できる。
【０１７１】
第２バリア層（１２Ａｂ）の表面に設けられた防湿層を構成する無機化合物としては、酸化ケイ素又は酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、あるいはそれらの混合物が好ましく使用できる。なお、防湿層の厚さは、５〜１００ｎｍの範囲内であることが好ましい。
【０１７２】
なお、第１バリア層（１２Ａａ）と第２バリア層（１２Ａｂ）とを、二液反応型のポリウレタン樹脂系接着剤（１２Ａｃ）を用いてドライラミネート法により貼り合わせ、バリア層（１２Ａ）とする。ポリウレタン樹脂系接着剤のほかに、ポリエステル樹脂系、ポリエーテルアクリル樹脂系の接着剤を用いることもできる。
【０１７３】
バリア層（１２Ａ）をこのような構成とすることにより、第１バリア層（１２Ａａ）のアルミニウム箔で最高レベルの酸素、水蒸気バリア性を持たせ、また、第２バリア層（１２Ａｂ）の働きによりバックシート中のアルミニウム箔に触れる酸素、水蒸気が遮断されるため、長時間経過しても酸化、加水分解による劣化が防止されて長期間にわたりアルミニウム箔のバリア性が保持できる。
【０１７４】
プラスチックフィルムはアルミニウム箔と比較して、耐酸化特性、耐加水分解性に対して極端に優位性があるため、このような構成で使用することは非常に好ましい。
【０１７５】
内面基材（１１Ａ）や外面基材（１３Ａ）としては、前記の樹脂基材が好ましく使用できる。
【０１７６】
これらの組み合わせ及び厚さは、バックシートに求められる絶縁性に影響を与えるため、それぞれの仕様で要求される素材と厚さの組み合わせを別途選定する必要があるが、一般的にはフッ素系基材ならば２０〜５０μｍ程度、ポリエステル基材であるならば５０〜２５０μｍ程度のものが好適に仕様できる。なお、内面基材（１１Ａ）と外面基材（１３Ａ）とは、材質を同じにしても良いし、違えても良い。
【０１７７】
内面基材（１１Ａ）とバリア層（１２Ａ）、バリア層（１２Ａ）と外面基材（１３Ａ）の貼り合わせは、内面基材（１１Ａ）と第１バリア層（１２Ａａ）を対向させ、また、第２バリア層（１２Ａｂ）と外面基材（１３Ａ）を対向させ、第１バリア層（１２Ａａ）と第２バリア層（１２Ａｂ）とを二液反応型のポリウレタン樹脂系接着剤（１２Ａｃ）を用いてドライラミネート法により貼り合わせたのと同様に、二液反応型のポリウレタン樹脂系接着剤（１２Ａｃ）を用いてドライラミネート法により行うことができる。
【０１７８】
（太陽電池モジュール）
本発明の防湿フィルムは、種々の態様の太陽電池モジュールに適用できる。
【０１７９】
図４は、本発明の防湿フィルムをバックシート（１０Ａ）として用いて作製した太陽電池モジュールを模式的に示したもので、図中、２０Ａは充填材（ＥＶＡ）、３０Ａは太陽電池素子、４０Ａは前面ガラス、５０Ａはアルミニウム枠、６０Ａはリード線、７０Ａは端子、８０Ａは端子箱、９０Ａはシール材（ブチルゴム）をそれぞれ示している。
【０１８０】
太陽電池素子としては、種々の態様の素子を用いることができる。例えば、特開２００４−２２６１号公報に開示されているような、光透過性絶縁基板上に、テクスチャ構造を有する光透過性導電膜、光電変換膜、裏面電極膜を順次積層して設け、かつ、当該光電変換膜及び裏面電極膜が欠落している部分を設けて当該該欠落部分に光反射性絶縁膜を設けた態様の太陽電池素子等を用いることができる。
【０１８１】
以下、太陽電池モジュールの主要構成要素について説明する。
【０１８２】
〈光反射性絶縁膜〉
「光反射性絶縁膜」とは、入射光を反射して光電変換膜に導ける性質を有する絶縁性の膜を意味し、かかる性質を有する膜であれば、有機物、無機物を問わず、特に制限なく使用できる。光反射性絶縁膜として、光電変換膜が感度を有する範囲の波長のすべて又はその一部を反射する反射スペクトルを有する膜を使用することは、入射光の利用効率を向上させる観点から、好ましい態様である。
【０１８３】
たとえば、光電変換膜としてシリコンを使用する場合は、シリコンの光吸収領域である波長１０００ｎｍ以下の光のすべて又はその一部を反射する光反射性絶縁膜を使用するのが好ましい。さらに、光源として太陽光を用いる場合は、太陽光は４００〜７００ｎｍの可視光領域に大きな放射スペクトルを有することから、かかる領域の波長の反射スペクトルを有する有色膜が好ましい。特に、可視光領域波長の光の大部分を反射する観点から、白色膜はより好ましい。
【０１８４】
また、光反射性絶縁膜の形成方法には特に制限がなく、たとえば薄膜状の有機物又は有機物を必要部分に付着等することにより、又は有機塗料又は無機塗料を必要部分に塗布することにより形成することができる。
【０１８５】
光反射性絶縁膜の膜厚には、特に制限はないが、光反射強度、膜の剥離防止等の観点から、０．０１〜１００μｍが好ましい。
【０１８６】
〈光電変換膜〉
「光電変換膜」とは、光エネルギーを電気エネルギーに変換する性質を有する膜をいい、かかる性質を有する膜であれば、有機物、無機物を問わず、特に制限なく使用できる。太陽電池用の光電変換薄膜としては、アモルファスシリコン、多結晶シリコン等が一般的に用いられている。
【０１８７】
光電変換膜の膜厚には、特に制限はないが、光電変換効率の観点から、０．２〜１０μｍが好ましい。
【０１８８】
〈光透過性導電膜〉
「光透過性導電膜」とは、光電変換膜で生じた電流を取り出すために光電変換膜の光入射側に設けられた光透過性の電極を意味し、かかる性質を有する膜であれば特に制限はないが、一般にはインジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、錫酸化物（ＳｎＯ２）等が用いられる。
【０１８９】
光透過性導電膜の膜厚には、特に制限はないが、光電変換効率の観点から、０．１〜２μｍが好ましい。
【０１９０】
〈裏面電極膜〉
「裏面電極膜」とは、光電変換膜で生じた電流を取り出すために光電変換膜の裏面（光入射の反対側）に設けられた電極を意味し、光を透過する必要がないので、通常金属電極が用いられる。金属電極としては、通常０．１〜１μｍ程度の銀やアルミニウム等が用いられる。
【０１９１】
〈光反射性絶縁膜〉
「光透過性絶縁膜」とは、入射光を透過する性質を有する絶縁性の膜であって、光透過性導電膜より低い屈折率を有していることが必要である。光透過性導電膜以上の屈折率では光透過性絶縁膜から入射光が漏れてしまうからである。光透過性絶縁膜であってもその屈折率が光透過性絶縁膜より低ければ、光透過性導電膜と光透過性絶縁膜との界面に形成されているテクスチャ構造によって、入射光が光透過性導電膜及び光透過性絶縁基板内に封じ込められるからである。かかる性質を有するものであれば、有機物、無機物を問わず、特に制限なく使用できる。透明膜及び半透明膜を含む。
【０１９２】
本発明において、光透過性導電膜以下の屈折率を有する光透過性絶縁膜を用いる場合、該光透過性絶縁膜の表面にさらに反射膜を設けることも、入射光の漏れをいっそう少なくする観点から好ましい。この反射膜は、入射光を反射して光電変換膜に導ける性質を有する膜であれば足り、光反射性絶縁膜のみならず光反射性導電膜等も含まれる。特に、屈折率が光透過性導電膜に等しいを用いる場合は、入射光の漏れを防止するために反射膜は必要である。
【０１９３】
なお、ここで、「テクスチャ構造」とは、光透過性導電膜、光電変換膜及び裏面電極膜の表面形状が、微小な０．１μｍ〜１０μｍ程度の微小なピラミッドが多数集まった構造と採っていることをいう。織物の構造に似ていることからテクスチャ構造と呼ばれる。光入射面がテクスチャ構造になっているときは反射光を低減させ、また光出射面がテクスチャ構造になっているときは、テクスチャ表面での反射により再入射光と光透過性絶縁基板表面とのなす角が小さくなり、最初の光入射面である光透過性絶縁基板表面からの光の出射を低減させるため、入射光を光透過性導電膜及び光電変換膜に閉じ込める働きを有する。
【実施例】
【０１９４】
以下、本発明について実施例および比較例を用いて具体的に説明する。
【０１９５】
［比較例１］
（真空蒸着による防湿層の形成工程）
基材として、２軸延伸ポリエステルフィルム（ポリエチレンテレフタレートフィルム、厚み１００μｍ）を用いた。次に、巻き取り式の真空蒸着装置を用い、チャンバーの到達真空度が３．０×１０−５ｔｏｒｒ（４．０×１０−３Ｐａ）になるまで排気した後、酸素ガスをコーティングドラムの近傍に、チャンバー内の圧力を３．０×１０−４ｔｏｒｒ（４．０×１０−２Ｐａ）に保って導入し、蒸発源の一酸化ケイ素をピアス型電子銃により、約１０ｋｗの電力で加熱して蒸着させ、コーティングドラム上を１２０ｍ／ｍｉｎの速度で走行するポリエステルフィルム上に、厚さが２μｍの酸化ケイ素の防湿層を形成し、比較例１のサンプルを作製した。
【０１９６】
［比較例２］
（有機ポリマー層塗布液の調製）
２Ｌのステンレスビーカーに１０００ｇのシクロヘキサノンを秤量し、マグネティックスターラーにて撹拌しながら、シクロオレフィンポリマー（日本ゼオン製  ＺＥＯＮＯＲ  １０６０Ｒ）を２００ｇ添加し、完全に溶解したことを確認し、有機ポリマー層塗布液１とした。
【０１９７】
比較例１のサンプルの防湿層の上に、上記有機ポリマー層塗布液１を、乾燥膜厚が３μｍとなるように塗布した後に、ドライオーブンにて７５℃２０分乾燥し、比較例２のサンプルを得た。
【０１９８】
［比較例３］
基材として、２軸延伸ポリエステルフィルム（ポリエチレンテレフタレートフィルム、厚さ１００μｍ）を用いた。次に、１次粒子の平均粒径が１２ｎｍの微粒子シリカ（トクヤマ製  ＱＳ−２０）をエタノールに分散させたスラリーを上記ＰＥＴベース上に滴下して、乾燥させ、ベース（基材）上に微粒子の付着層を形成させた後、表面を押圧状態にして基材が柔らかくなる温度として１００℃、１時間保持して微粒子を基材に食い込ませて、付着層を下地層として基材上に固定した。この後、基材に超音波洗浄を施して、固定化されなかった微粒子を除去した。その後、上記球状シリカをエアロゾル発生器に設置した後、ガスボンベを開き、窒素ガスを流量３Ｌ／ｍｉｎで搬送管を通じてエアロゾル発生器に導入し、シリカ微粒子をキャリアガスとして流速２００ｍ／ｓのＮ２ガス中に分散させ、エアロゾルを発生させた。この時、チャンバーの真空度は１００Ｐａ、基材温度は２０℃とした。
【０１９９】
このエアロゾルを、搬送管を通じて、さらに構造物形成室の方向へ搬送し、高速に加速しつつノズルよりポリエステルフィルム基材に向けて噴射させ、下地層の上に、更に膜厚３μｍの平滑かつ透明なシリカ膜を形成した。
【０２００】
［比較例４］
ＰＥＴベース（厚さ１００μｍ）上に、８Ｗ／ｍ２・分のコロナ放電処理後、液温４５℃の下記塗布液１をワイヤーバーにて塗布、乾燥し、下地層付きＰＥＴベースを得た。下地層の乾燥膜厚は１μｍであった。
【０２０１】
（塗布液１の調製）
水１００ｇに、１次粒子の平均粒径が１２ｎｍの微粒子シリカ（トクヤマ製  ＱＳ−２０）の２０％水分散液５００ｇ、次いで、硼酸３．０ｇ、硼砂０．７ｇを添加し、高速ホモジナイザーで分散し、青白色のシリカ分散液１を得た。下記シリカ分散液１を４５℃に昇温し、ポリビニルアルコール（クラレ製  ＰＶＡ２０３）の１０％水溶液及び他のポリビニルアルコール（クラレ製  ＰＶＡ２４５）の６％水溶液をそれぞれ４５℃に昇温した後に添加した。最後に、一定の体積となるように４５℃の純水を加えて半透明状の塗布液１を得た。
【０２０２】
次に、比較例３と同様の方法により、下地層の上に球状シリカのエアロゾルを吹き付け、下地層の上に、更に膜厚３μｍの平滑かつ透明なシリカ膜を形成した。
【０２０３】
［実施例１］
基材として、２軸延伸ポリエステルフィルム（ポリエチレンテレフタレートフィルム、厚さ１００μｍ）を用いた。次に、電気化学工業製球状シリカ（ファインカットタイプ：ＦＢ−３ＳＤＣ）をエアロゾル発生器に設置した後、ガスボンベを開き、窒素ガスを流量３Ｌ／ｍｉｎで搬送管を通じてエアロゾル発生器に導入し、シリカ微粒子をキャリアガスとして流速２００ｍ／ｓのＮ２ガス中に分散させ、エアロゾルを発生させた。この時、チャンバーの真空度は１００Ｐａ、基材温度は２０℃とした。
【０２０４】
このエアロゾルを、搬送管を通じて、さらに構造物形成室の方向へ搬送し、高速に加速しつつノズルよりポリエステルフィルム基材に向けて噴射させ、膜厚３μｍの平滑かつ透明なシリカ膜を形成した。
【０２０５】
［実施例２］
実施例１のシリカ微粒子を平均粒径２μｍのα−アルミナ粒子に替えた以外は全て実施例１と同様の操作にて、実施例２のサンプルを作製した。
【０２０６】
［実施例３］
実施例１のシリカ微粒子を平均粒径２μｍの酸化亜鉛粒子に替えた以外は全て実施例１と同様の操作にて、実施例３のサンプルを作製した。
【０２０７】
［実施例４］
実施例１のシリカ微粒子を平均粒径２μｍのジルコニア粒子に替えた以外は全て実施例１と同様の操作にて、実施例４のサンプルを作製した。
【０２０８】
［実施例５］
実施例１のシリカ微粒子と実施例２にα−アルミナ粒子を質量比１：１で混合してエアロゾル発生器に設置した以外は全て実施例１と同様の操作にて、実施例５のサンプルを作製した。
【０２０９】
［実施例６］
実施例５で作製したシリカ−アルミナ混合膜の上に、上記有機ポリマー層塗布液１を、乾燥膜厚が３μｍとなるように塗布した後に、ドライオーブンにて７５℃２０分乾燥し、実施例６のサンプルを得た。
【０２１０】
［実施例７］
シクロオレフィンポリマー（日本ゼオン製  ＺＥＯＮＯＲ  １０６０Ｒ）を、槇野産業株式会社製微粉砕ピンミル１６０Ｚを用いて、粒径１０μｍ以下の微粉末を作製した。次にこのシクロオレフィンポリマー微粉末をエアロゾル発生器に設置した後、ガスボンベを開き、窒素ガスを流量３Ｌ／ｍｉｎで搬送管を通じてエアロゾル発生器に導入し、シクロオレフィンポリマー微粉末をキャリアガスとして流速２００ｍ／ｓのＮ２ガス中に分散させ、エアロゾルを発生させた。この時、チャンバーの真空度は１００Ｐａ、基材温度は２０℃とした。
【０２１１】
このエアロゾルを、搬送管を通じてさらに構造物形成室の方向へ搬送し、高速に加速しつつ、実施例５で作製したシリカ：α−アルミナ＝１：１の無機膜の上に向けて噴射させ、膜厚３μｍの平滑かつ透明なシクロオレフィンポリマー膜を形成し、実施例７のサンプルを得た。
【０２１２】
［実施例８］
実施例５の平均粒径２μｍのシリカ微粒子とα−アルミナ粒子の代わりに、平均粒径５μｍのシリカ微粒子とα−アルミナ粒子を質量比１：１で混合してエアロゾル発生器に設置した以外は全て実施例１と同様の操作にて、ポリエステルフィルム基材上に膜厚１．５μｍの膜を形成した。その後、エアロゾル発生器を平均粒径０．５μｍのシリカ微粒子とα−アルミナ粒子の質量比１：１の混合粒子に入れ替えて、更に全膜厚が３μｍとなるまで成膜を行った。得られた無機膜の上に、実施例７と同様の方法によりシクロオレフィンポリマー膜を形成し、実施例８のサンプルを得た。
【０２１３】
［評価］
上記で得た各種サンプルについて酸素透過度及び水蒸気透過度を下記の方法により測定し、評価した。
【０２１４】
＜酸素透過度＞
酸素透過度は、測定温度２３℃、湿度９０％ＲＨの条件下で、ＪＩＳ  Ｋ７１２６（等圧法）に準拠して酸素ガス透過度測定装置（モダンコントロール（株）製、ＯＸ−ＴＲＡＮ  ２／２０：商品名）を用いて測定した値である。
【０２１５】
＜水蒸気透過度＞
水蒸気透過度は、測定温度４０．０℃、湿度９０％ＲＨの条件下で、ＪＩＳ  Ｋ７１２９の方法により水蒸気透過度測定装置（モダンコントロール（株）製、ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ−Ｗ  ３／３１：商品名）を用いて測定した値である。
【０２１６】
＜防湿フィルムの鉛筆硬度＞
得られた防湿フィルムに対して、ＪＩＳ−Ｋ５４００に従う鉛筆硬度試験で評価を行った。試験結果を表１に示す。
【０２１７】
＜防湿フィルムの屈曲試験＞
得られた防湿フィルムに対して、直径５ｍｍの芯棒を用いて、近赤外線吸収層側を内側にして折り返すＪＩＳ  Ｋ  ５６００−５−１に規定されている屈曲試験を行った。その後、再度上記酸素透過度と水蒸気透過度の測定を行い、防湿フィルムの屈曲に対する耐久性の評価を行い、変化率に応じて下記５段階評価を実施した。
５：変化無し
４：変化率が１０％未満
３：変化率が１０％以上２０％未満
２：変化率が２０％以上５０％未満
１：変化率が５０％以上
＜平均アスペクト比＞
得られた防湿フィルムの試料をミクロトームにより薄くスライスし、透過型電子顕微鏡により、防湿層中の無機微粒子を観察した。無機微粒子の一次粒子の最も長い径を長軸長さ、長軸長さに垂直な径のうち最も長い径を短軸長さとし、防湿層中の無機微粒子の平均アスペクト比を求めた。樹脂基材から遠い側、近い側は、防湿層の膜厚を２等分し、遠い側の無機微粒子の１００個と、近い側の１００個をそれぞれ測定し、平均値として求めた。
【０２１８】
得られた防湿フィルムの特性を評価した結果を下記表１に示す。
【０２１９】
【表１】
2011077425.tif 000002
【０２２０】
表１に示した結果から明らかなように、本発明に係る防湿フィルムは、水蒸気や酸素に対するバリア性において優れていることが分かる。比較例２については、加熱により樹脂フィルムが収縮変形し防湿フィルムとしての使用は不可能であった。
【０２２１】
なお、本発明の樹脂基材からの距離により平均アスペクト比が異なる膜の構成は、特開２００５−１６１７０３号公報に見られるような、硬質材料粒子を含む下地層上に成膜する方法（比較例３及び４）では達成することができない。その理由としては、基材上に硬質材料粒子を含む層が存在すると、成膜時の衝突の衝撃により、基材に近い側も遠い側と同様の一次粒子の変形が生じるためであり、このような防湿膜においては、目的とする十分なバリア性が得られないばかりか、屈曲性や耐傷性といった、物理的な膜強度も十分でないことが見出された。
【０２２２】
〔実施例９〜１６〕
実施例１で作製した防湿フィルムの樹脂基材１３の外面側に、二液反応型のポリウレタン樹脂系接着剤（１４）を塗布し（塗布量は５ｇ／ｍ２）、内面基材（１５）となる厚さ５０μｍの白色ポリエチレンテレフタレートフィルムを貼り合わせ、図５（ａ）の層構成からなる実施例９ａの太陽電池用のバックシートを作製した。
【０２２３】
この実施例９ａのバックシートを用い、図３の如く、ガラス、充填材（ＥＶＡ）、太陽電池素子、充填材（ＥＶＡ）、バックシートを重ね合わせ、１５０℃−３０分−１．０ｔｏｒｒ（１．３×１０２Ｐａ）の真空加熱によりラミネートして実施例９ｂの太陽電池モジュールとした。
【０２２４】
同様の方法により、実施例２〜８で作製した防湿フィルムについても、実施例１０ａ〜１６ａの太陽電池用バックシート及び実施例１０ｂ〜１６ｂの太陽電池モジュールとした。
【０２２５】
このようにして作製した実施例９ａ〜１６ａのバックシートと実施例９ｂ〜１６ｂの太陽電池モジュールを、８５℃−８５％ＲＨ環境下に０時間、１０００時間、２０００時間、３０００時間放置後の水蒸気透過度を、ＪＩＳ  Ｋ７１２９の方法により測定した。その結果を表２に示す。
【０２２６】
【表２】
2011077425.tif 000003
【０２２７】
表２に示した結果から明らかなように、本発明に係るバックシートは、水蒸気に対するバリア性において優れていることが分かる。
【０２２８】
また、実施例９ｂ〜１６ｂの８５℃−８５％ＲＨ環境下に３０００時間放置後の太陽電池モジュールは、同環境下投入前と同様の発電効率を示した。
【符号の説明】
【０２２９】
１ａ  高圧ボンベ
２ａ，６ａ  配管
３ａ，５ａ  バルブ
４ａ  エアロゾル化室
７ａ  チャンバー
８ａ  ノズル
９ａ  ホルダー
１０ａ，２２ａ  基板
１１ａ  ＸＹＺθステージ
１２ａ  微粒子原料
１  押出し機
２  フィルター
３  スタチックミキサー
４  流延ダイ
５  回転支持体（第１冷却ロール）
６  挟圧回転体（タッチロール）
７  回転支持体（第２冷却ロール）
８  回転支持体（第３冷却ロール）
９  剥離ロール
１０  フィルム
１１、１３、１４  搬送ロール
１２  延伸機
１５  スリッター
１６  巻き取り機
Ｆ  本発明に係るフィルム状樹脂基材
Ａ  太陽電池モジュール
１０Ａ  バックシート
１１Ａ  内面基材
１２Ａ  バリア層
１２Ａａ  第１バリア層
１２Ａｂ  第２バリア層
１２Ａｃ  着剤層
１３Ａ  外面基材
２０Ａ  充填材
３０Ａ  太陽電池素子
４０Ａ前面ガラス
５０Ａ  アルミニウム枠
６０Ａ  リード線
７０Ａ  端子
８０Ａ  端子箱
９０Ａ  シール材
１０Ｂ  太陽電池用バックシート
１１Ｂ  有機ポリマー層
１２Ｂ  防湿層
１３Ｂ  樹脂基材
１４Ｂ  接着層
１５Ｂ  内面基材
【図１】
2011077425.tif 000004
【図２】
2011077425.tif 000005
【図３】
2011077425.tif 000006
【図４】
2011077425.tif 000007
【図５】
2011077425.tif 000008