(57)【要約】      （修正有）【課題】デバイス製造装置が発生するデータの情報処理装置から端末への送信に規制を設けることにより、端末側における即時性が要求される処理の遅延を防止する情報処理装置を提供する。【解決手段】デバイスを製造するためのデバイス製造装置１００が発生するデータを端末２２０に送信する情報処理装置２００は、端末２２０と通信する通信部２０６と、情報処理装置２００が端末２２０に送信すべきデータを特定するためのデータ特定情報、および、端末２２０が情報処理装置２００から単位時間当りに受信することができるデータ量である受信可能速度を示す情報を端末２２０から取得する取得部２０５と、デバイス製造装置１００が発生するデータからデータ特定情報によって特定されるデータを抽出する抽出部２１１と、抽出され端末２２０に送信されるデータの送信速度が受信可能速度を超えないように制御する送信制御部２０１とを備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
デバイスを製造するためのデバイス製造装置が発生するデータを端末に送信する情報処理装置であって、
前記端末と通信する通信部と、
前記情報処理装置が前記端末に送信すべきデータを特定するためのデータ特定情報、および、前記端末が前記情報処理装置から単位時間当りに受信することができるデータ量である受信可能速度を示す情報を前記端末から前記通信部を介して取得する取得部と、
前記デバイス製造装置が発生するデータから前記データ特定情報によって特定されるデータを抽出する抽出部と、
前記抽出部によって抽出され前記通信部によって前記端末に送信されるデータの送信速度が前記受信可能速度を超えないように制御する送信制御部と、
を備えることを特徴とする情報処理装置。
【請求項２】
前記取得部は、前記端末からの送信要求ごとに、データ特定情報および受信可能速度を示す情報を取得し、
前記送信制御部は、前記端末からの送信要求ごとに、当該送信要求に対応するデータ特定情報によって特定され前記抽出部によって抽出されるデータが当該送信要求に対応する受信可能速度を超えない速度で前記端末に送信されるように前記通信部を制御する、
ことを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項３】
前記送信制御部は、前記端末からの複数の送信要求に応答して前記端末に送信される複数のデータの集合が前記受信可能速度を超えない速度で前記端末に送信されるように前記通信部を制御する、
ことを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項４】
前記端末に送信すべきデータには優先度が与えられていて、
前記送信制御部は、前記端末からの複数の送信要求に応答して前記端末に送信される複数のデータのうち優先度の高いデータが優先度の低いデータよりも優先的に前記端末に送信されるように前記通信部を制御する、
ことを特徴とする請求項１又は３に記載の情報処理装置。
【請求項５】
前記データ特定情報は、過去の指定された期間内に発生したデータまたは逐次発生するデータを示す情報を含み、
逐次発生するデータには、過去の指定された期間内に発生したデータよりも高い優先度が与えられている、
ことを特徴とする請求項４に記載の情報処理装置。
【請求項６】
前記取得部は、前記端末からの送信要求ごとに、前記端末に送信すべきデータの優先度を示す情報を前記端末から前記通信部を介して取得し、
前記送信制御部は、前記端末からの複数の送信要求に応答して前記端末に送信される複数のデータのうち優先度の高いデータが優先度の低いデータよりも優先的に前記端末に送信されるように前記通信部を制御する、
ことを特徴とする請求項１又は３に記載の情報処理装置。
【請求項７】
前記送信制御部は、前記優先度の高いデータを優先的に前記端末に送信するために前記端末に未だ送信されていない前記優先度の低いデータの量が予め設定された量を超えたときに、そのことを前記通信部を介して前記端末に通知する、
ことを特徴とする請求項４乃至６のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項８】
前記送信制御部は、前記抽出部から前記通信部に単位時間当りに転送可能なデータの量である転送可能速度が前記受信可能速度を超えていて、そのために前記端末に送信されるデータの送信速度が前記受信可能速度を超えないように制限されたときに、そのことを前記通信部を介して前記端末に通知する、
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項９】
前記送信制御部は、前記端末から送信要求を受けたことに応じて、当該送信要求に応答して前記端末に送信すべきデータの量を前記通信部を介して前記端末に通知する、
ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の情報処理装置。
【請求項１０】
デバイスを製造するためのデバイス製造装置が発生するデータを端末に送信する情報処理装置における情報処理方法であって、
前記情報処理装置が前記端末に送信すべきデータを特定するためのデータ特定情報、および、前記端末が前記情報処理装置から単位時間当りに受信することができるデータ量である受信可能速度を示す情報を前記端末から前記情報処理装置が取得する取得工程と、
前記デバイス製造装置が発生するデータから前記データ特定情報によって特定されるデータを前記情報処理装置が抽出する抽出工程と、
前記抽出工程で抽出され前記端末に送信されるデータの送信速度が前記受信可能速度を超えないように前記端末に送信する送信工程と、
を含むことを特徴とする情報処理方法。
【請求項１１】
デバイスを製造するためのデバイス製造装置が発生するデータを端末に送信する情報処理装置としてコンピュータを機能させるためのプログラムであって、前記プログラムは、前記コンピュータを、
前記端末と通信する通信部と、
前記情報処理装置が前記端末に送信すべきデータを特定するためのデータ特定情報、および、前記端末が前記情報処理装置から単位時間当りに受信することができるデータ量である受信可能速度を示す情報を前記端末から前記通信部を介して取得する取得部と、
前記デバイス製造装置が発生するデータから前記データ特定情報によって特定されるデータを抽出する抽出部と、
前記抽出部によって抽出され前記通信部によって前記端末に送信されるデータの送信速度が前記受信可能速度を超えないように制御する送信制御部と、
を備える情報処理装置として機能させることを特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、デバイスを製造するためのデバイス製造装置が発生するデータを端末に送信する情報処理装置、情報処方処理方法およびプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
デバイスを製造するためのデバイス製造装置が発生するデータを情報処理装置が収集し、これをホストコンピュータ等の端末に送信するシステムがある。このようなシステムでは、デバイス製造装置の異常検知や状態監視、異常の原因分析などが行われうる。例えば半導体デバイスなどの微細デバイスを製造するために使用される露光装置では、それを構成するユニットの位置を補正するキャリブレーションや、パターンが描画されたレチクルとウエハとを位置を合わせするアライメントなどが実行されうる。
【０００３】
特許文献１には、クリーンルーム内に配置された複数の露光装置の稼動状態を収集して記憶する集中情報サーバをクリーンルーム外に配置したシステムが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１７５９８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のようなシステムにおいて、収集したデータは、ホストコンピュータ等の端末で分析されうる。この分析には、分析結果をデバイス製造装置に即座にフィードバックするべきものや、デバイス製造装置の稼動状況を単に管理するような即時性が求められないものが含まれうる。収集したあらゆるデータを無秩序にホストコンピュータ等の端末に送信すると、フィードバックのための即時性が要求される分析のためのデータが端末に到達する時刻が遅れたり、端末が当該データの処理を完了するまでに長時間を要したりしうる。
【０００６】
本発明は、上記の課題認識を契機としてなされたものであり、例えば、デバイス製造装置が発生するデータの情報処理装置から端末への送信に規制を設けることにより、端末側における即時性が要求される処理の遅延を防止することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の１つの側面は、デバイスを製造するためのデバイス製造装置が発生するデータを端末に送信する情報処理装置に係り、前記情報処理装置は、前記端末と通信する通信部と、前記情報処理装置が前記端末に送信すべきデータを特定するためのデータ特定情報、および、前記端末が前記情報処理装置から単位時間当りに受信することができるデータ量である受信可能速度を示す情報を前記端末から前記通信部を介して取得する取得部と、前記デバイス製造装置が発生するデータから前記データ特定情報によって特定されるデータを抽出する抽出部と、前記抽出部によって抽出され前記通信部によって前記端末に送信されるデータの送信速度が前記受信可能速度を超えないように制御する送信制御部とを備える。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、例えば、デバイス製造装置が発生するデータの情報処理装置から端末への送信に規制を設けることにより、端末側における即時性が要求される処理の遅延が防止される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】デバイス製造装置の一例としての露光装置の構成例を示す図である。
【図２】本発明の一実施形態としてのデバイス製造システムの概略構成を示す図である。
【図３】情報処理装置における処理を例示するフローチャートである。
【図４】データの送信要求に含まれる情報を例示する図である。
【図５】情報処理装置が端末に提供する装置データ定義を例示する図である。
【図６】端末における処理を例示するフローチャートである。
【図７】情報処理装置における処理を例示するフローチャートである。
【図８】端末における処理を例示するフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態を説明する。
【００１１】
図２は、本発明の一実施形態としてのデバイス製造システムの概略構成を示す図である。デバイス製造システム１０１は、１または複数のデバイス製造装置としての１または複数の露光装置１００と、情報処理装置２００と、１または複数の端末２２０とを備えている。露光装置１００と情報処理装置２００とは、通信路（例えば、ＬＡＮ等のネットワーク）２３２を介して接続されている。情報処理装置２００と端末２２０とは、通信路（例えば、ＬＡＮ等のネットワーク）２３４を介して接続されている。ここで、デバイス製造装置の一例として露光装置１００を挙げている。しかし、デバイス製造装置は、デバイスを製造するためのあらゆる装置（例えば、レジスト塗布装置、現像装置、検査装置、成膜装置、エッチング装置、洗浄装置、アッシング装置、搬送装置など）でありうる。また、デバイスは、例えば、半導体デバイス、表示デバイス、磁気デバイス、マイクロマシン等、の製造されうるあらゆる物品でありうる。
【００１２】
図１は、デバイス製造装置の一例としての露光装置１００の構成例を示す図である。露光装置１００は、リソグラフィー工程における露光工程で使用される。この実施形態では、露光装置１００は、走査露光装置とし構成されている。光源１から提供される光束は、照明光学系２で形状、光量分布が調整され、レチクルステージ６に保持されたレチクル（原版）３を照明する。レチクル３のパターンは、投影光学系４によって、ウエハステージ７上のウエハ吸着チャック８によって保持されたウエハ（基板）５に塗布されている感光剤（レジスト）に投影される。これにより、感光剤に潜像パターンが形成される。転写は、ウエハ上に配列された複数のショット領域のそれぞれに対してなされる。潜像パターンは、現像工程において現像されて、マスクパターン（レジストパターン）となる。
【００１３】
照明光学系２には、例えば、コヒーレンスファクタσ値を設定するための円形開口面積が異なる複数の開口絞りが備えられうる。照明光学系２には、更に、輪帯照明用のリング形状絞り、４重極絞り、照明光量を調整するための機構（例えば、複数のＮＤフィルタ及びそれを切り替える機構）が備えられうる。照明光学系２には、更に、光量を計測する光量検出器、光束の形状を決めるスリット、照明範囲を確保するためにレチクル３と共役な位置に載置されたブラインド及びそれを駆動する駆動機構が備えられうる。光源１と照明光学系２は、光源制御系２１の指示によって動作が制御される。
【００１４】
投影光学系４には、開口数を設定するための開口数設定機構や、収差を補正するためのレンズ駆動機構が備えられうる。投影光学系４は投影光学系制御系２４によって動作が制御される。レチクルステージ６の位置は、レチクルステージ計測系１０によって、該光軸に直交する面内における直交する２つの軸方向（即ち、Ｘ、Ｙ方向）の位置、並びに、これらの軸周り回転が計測され、レチクルステージ制御系２２によって制御される。
【００１５】
また、照明光学系２とレチクルステージ６の間には、ＴＴＲ（Ｔｈｒｏｕｇｈ  Ｔｈｅ  Ｒｅｔｉｃｌｅ）観察光学系９が配置されている。ＴＴＲ観察光学系９は、レチクル３上のマーク、または、レチクルステージ６に設置されるステージ基準マークと、ウエハステージ７上のステージ基準マークまでを投影光学系４を介して同時に観測および計測することができる。これによりレチクルステージ６、レチクル３、ウエハステージ７の投影光学系４の光軸方向（即ち、Ｚ方向）における位置、該光軸に直交する面内における直交する２つの軸方向（即ち、Ｘ、Ｙ方向）の位置、並びに、これらの軸周り回転を計測することができる。
【００１６】
ウエハ５の位置は、ウエハステージ計測系１２及びアライメント計測系３０よって計測されうる。ウエハステージ計測系１２は、例えば、投影光学系４の光軸方向（即ち、Ｚ方向）、該光軸に直交する面内における直交する２つの軸方向（即ち、Ｘ、Ｙ方向）の位置、並びに、これらの軸周りの回転を計測する。アライメント計測系３０は、投影光学系４の光軸方向（Ｚ方向）におけるウエハ５の表面位置を計測する。ウエハステージ制御系２５は、ウエハステージ計測系１２及びアライメント計測系３０から提供される情報に基づいてウエハステージ７の位置を制御する。
【００１７】
露光装置１００はまた、ウエハ５の表面を非露光光で観察および計測することが可能なオフアクシス観察光学系１１を備えている。オフアクシス観察光学系１１は、ウエハ５に形成されている複数のマークの位置を計測し、レチクル３のパターンをウエハ５上のパターンに重ねて転写することができるように、ウエハ５上のパターン位置と形状を決定する。オフアクシス観察光学系１１はまた、ウエハステージ７上のステージ基準マークの位置を計測する。
【００１８】
スリット状の照明光束でレチクル３の全てのパターンをウエハ５に配列されたショット領域に転写するため、レチクルステージ６によって保持されたレチクル３は、図１に示された走査方向に駆動される。それと同時に、ウエハステージ７によって保持されたウエハ５も、図１に示された走査方向に駆動される。ここで、レチクル３とウエハ５は、投影光学系４の投影倍率に応じた速度比で駆動される。レチクル３とウエハ５との相対位置がずれると、ウエハ５のショットには変形したパターンが転写される。そこで、主制御系２７は、レチクル３とウエハ５との相対位置ずれを計算し、その相対位置ずれがゼロになるようにレチクルステージ制御系２２及びウエハステージ制御系２５を制御する。
【００１９】
露光装置１００はまた、レチクルライブラリ１４、レチクルロボット１３を含むレチクル搬送ユニット、および、レチクル３をレチクルステージ６に位置決めするレチクルアライメントユニット２９を備える。レチクル搬送ユニットは、レチクル搬送制御系１９からの指示により動作する。また、また、露光装置１００は、ウエハカセットエレベータ１６やウエハ搬入出ロボット１５などから構成されるウエハ搬送ユニットを備える。ウエハ搬送ユニットはウエハ搬送制御系２６の指示により動作する。チャンバ環境制御部３１は、主に、空気の温度を調整と、微小異物を濾過する空気清浄を行ない、露光装置１００のチャンバ内の環境を一定に保つ。チャンバ環境制御部３１は、チャンバ制御系１８からの指示により動作する。
【００２０】
主制御系２７は、露光装置１００の構成要素、例えば、チャンバ制御系１８、レチクル搬送制御系１９、ウエハ搬送制御系２６、レチクルステージ制御系２２、ウエハステージ制御系２５、光源制御系２１、投影光学系制御系２４等を制御する。主制御系２７は、通信インターフェイス１７を介して、露光装置１００の露光動作を定義する設定パラメータ、又は動作指示を受信し、それに基づいて露光装置１００の各構成要素を制御する。
【００２１】
露光処理は、露光装置１００の動作を定義するジョブパラメータに従って実行される。ジョブパラメータは、例えば、工程名（ジョブ名）、ロットＩＤ、ショット範囲、ショット配列、各ショット番号、露光量、露光走査速度、露光走査方向、露光装置を構成するユニットのキャリブレーション項目、ウエハ及びショットのアライメント方式、等を含む。
【００２２】
露光装置１００は、種々の動作においてデータを発生する。この実施形態では、主制御系２７は、露光処理やその他の処理における露光装置１００の動作を記録したデータを出力するように構成されている。データとしては、例えば、各ユニットの動作の開始／終了時刻、処理対象を特定するロット認識ＩＤ・ウエハ番号・ショット番号、処理に対するジョブパラメータなど設定値を挙げることができる。データとしてはまた、キャリブレーションやアライメントにおける各計測値、アライメント結果、露光制御結果、スキャン動作制御結果を挙げることができる。データとしては、その他、例えば、露光装置１００で発生したエラーイベント、露光装置内外の気圧、温度を挙げることができる。
【００２３】
図２を参照しながら説明を続ける。情報処理装置２００は、通信部２０６、取得部２０５、抽出部２１１、送信制御部２０１、記憶部２０２を含む。通信部２０６、取得部２０５、抽出部２１１、送信制御部２０１は、ハードウエア回路として構成されうる。或いは、コンピュータにソフトウエハ（プログラム）を組み込むことによって、該コンピュータを通信部２０６、取得部２０５、抽出部２１１、送信制御部２０１を含む情報処理装置２００として機能させてもよい。通信部２０６は、通信路２３４を介して端末２２０と通信する。取得部２０５は、情報処理装置２００が端末２２０に送信すべきデータを特定するためのデータ特定情報、および、端末２２０が情報処理装置２００から単位時間当りに受信することができるデータ量である受信可能速度を示す情報を端末２２０から取得する。抽出部２１１は、露光装置１００が発生したデータからデータ特定情報によって特定されるデータを抽出する。送信制御部２０１は、抽出部２１１によって抽出されたデータが受信可能速度を超えない速度で端末２２０に送信されるように通信部２０６を制御する。記憶部２０２は、露光装置１００から出力され通信路２３２を介して情報処理装置２００の不図示の第２通信部が受信したデータを格納する。通常は、記憶部２０２には、露光装置１００から出力され通信路２３２を介して第２通信部が受信したデータの全てが格納され、抽出部２１１は、記憶部２０２に格納されたデータからデータ特定情報によって特定されるデータを抽出する。
【００２４】
端末２２０は、情報処理装置２００から送信されてくるデータに基づいて、露光装置１００における異常を検知したり、露光装置１００の状態を監視したり、異常の原因を分析したりしうる。また、端末２２０は、デバイス毎のプロセスにおける問題を解析したり、プロセス設定（ＡＰＣ：Ａｄｖａｎｃｅ  Ｐｒｏｃｅｓｓ  Ｃｏｎｔｒｏｌ）をしたり、露光処理の次の処理への情報提供を行なったりしうる。
【００２５】
例えば、異常の検知に関しては、照明光学系２の光量計測器の出力を逐次モニターし、光量に正常範囲を超える変化が生じた場合に異常が発生したものと判断することができる。このような異常の検知に応じて露光装置１００を調整することによって、不良品の発生を抑えることができる。この場合、露光装置１００において計測されたデータは、情報処理装置２００によって速やかに収集され端末２２０に送信されるべきである。もし、データの収集および送信が滞ると不良品を大量に発生させる可能性があるため、このデータは、優先的に端末２２０に送信されるべきである。
【００２６】
露光装置１００において発生した異常の原因は、デバイスの検査工程で異常が発見されたロットを露光装置１００が処理したときの露光装置１００の各種の計測器（例えば、９、１０、１１、１２、３０）の出力を分析することによって特定されうる。さらには、異常が発生する前の数日間、数週間における計測器の出力を分析することによって異常が発生した時期を特定することができる。この場合、露光装置１００が発生した過去のデータを分析するために膨大なデータを情報処理装置２００から端末２２０に送信する必要がある。しかし、このように原因の特定に長時間を要するような分析においては、異常への対応を速やかに行うことができる場合に比べて、端末２２０へのデータの送信の遅延が許容されうる。つまり、データの利用目的により、端末２２０への送信が優先されるべきデータとそうでないものとがある。
【００２７】
［第１実施形態］
デバイス製造システム１０１の第１実施形態における処理を説明する。端末２２０は、例えば、プロセスにおける異常を分析したり、それを露光装置１００にフィードバックしたりする目的で、露光装置１００が発生したデータを端末２２０に送信するように情報処理装置２００に要求する。異常の分析では、様々な計測結果を掛け合わせるなどするため、複数のデータ項目のデータが必要になりうる。情報処理装置２００は、端末２２０に送信することができるデータとして、どのようなデータ項目のデータがあるのかを示す装置データ定義を通信路２３２を介して端末２２０へ予め提示することができる。図５は、情報処理装置２００が端末２２０に提供する装置データ定義を例示している。端末２２０の利用者は、分析において必要なデータを特定するデータ項目を任意に指定して、それによって特定されるデータを端末２２０に送信するように情報処理装置２００に要求することができる。
【００２８】
図４は、データの送信要求に含まれる情報を例示している。データの送信要求は、通信路２３４を介して端末２２０から情報処理装置２００に送信される。図４（Ａ）には、５つの送信要求４０１〜４０５が例示されている。図４（Ａ）に例示されるように、送信要求は、データ特定情報として、データ項目名によってデータを特定する情報と、データの発生時刻によってデータを特定する情報とを含みうる。データの発生時刻によってデータを特定する情報は、過去の指定された期間内に発生したデータまたは逐次発生するデータを示す情報を含みうる。図４において、前者は、指定された期間を示す情報（例えば、２００８／４／１〜２００８／４／７）として例示され、後者は、「逐次」として例示されている。
【００２９】
データの送信要求は、図４に例示されるように、当該送信要求を特定する番号（識別子）を含みうる。分析の目的により、１つの送信要求に複数のデータ項目を含めることができる。送信要求はまた、端末２２０が情報処理装置２００から単位時間当りに受信することができるデータ量である受信可能速度を示す情報を含みうる。Ｒ１〜Ｒ３は、受信可能速度を示している。ここで、送信要求４０１、４０２、４０４、４０５のように、１つのデータ項目名に対して１つの受信可能速度が与えられてもよいし、送信要求４０３のように、複数のデータ項目名に対して１つの受信可能速度が与えられてもよい。後者においては、複数のデータ項目名にそれぞれ対応する複数のデータの集合が受信可能速度を超えない速度で端末２２０に送信されるように通信部２２０が制御される。
【００３０】
図６は、端末２２０における処理を例示するフローチャートである。端末２２０は、例えば、汎用のコンピュータにソフトウエア（プログラム）を組み込むことによって構成されうる。ステップＳ６０１では、端末２２０は、情報処理装置２００に対して通信路２３４を介して送信要求を送信する。送信要求は、図４（Ａ）に例示されていて、データ特定情報として、データ項目名によってデータを特定する情報と、データの発生時刻によってデータを特定する情報とを含みうる。送信要求はまた、受信可能速度を示す情報を含みうる。情報処理装置２００は、送信要求を受信することによって、データ特定情報、および、受信可能速度を示す情報を取得しうる。
【００３１】
受信可能速度は、端末２２０が情報処理装置２００から単位時間当りに受信することができるデータ量であり、これは、種々の形式で表現されうる。受信可能速度は、例えば、単位時間当りに発生するレポート数で表現されうる。ここで、レポートは、露光装置（デバイス製造装置）１００で発生する１つの事象に関る情報の集合である。事象は、例えば、データ項目名５０１で特定され、例えば、ウエハ単位、ショット単位で発生しうる。１つの事象に関る情報の集合は、その内容がデータ内容５０２で特定され、例えば、当該事象に関る処理が発生した時刻やショットを特定するショット番号、処理結果である計測値を含みうる。露光装置１００において単位時間当たりに発生するレポート数は予測が可能であり、例えば、データ項目名５０１毎に発生粒度５０３に基づいて計算することができる。例えば、ウエハ位置などウエハ毎に計測されるデータや、ショット露光量などショット毎に計測されるデータは、それぞれ発生粒度をウエハ単位、ショット単位とすることができる。そして、露光装置１００が単位時間当たりに露光処理できるウエハ数若しくはショット数に基づいて単位時間当たりのレポート数を計算することができる。露光装置１００におけるウエハ、ショットの処理量は、露光装置１００の仕様や、露光処理のレシピ、稼動実績などに基づいて決定することができる。また、温度や気圧などの計測は、露光装置１００で設定された周期で定期的になされるため、その周期から単位時間当たりのレポート数を計算することができる。或いは、受信可能速度は、単位時間当たりに受信することができるデータのバイト数で表現されてもよい。
【００３２】
端末２２０が情報処理装置２００から受信するデータの受信速度は、情報処理装置２００から端末２２０に転送されるデータの転送速度（単位時間当りに転送されるデータの量）である。受信可能速度は、一般には、端末２２０が情報処理装置２００からデータを受信可能な速度の物理的な最大値よりも小さい値に設定されうる。ここで、端末２２０から情報処理装置２００に対して複数の送信要求がなされ、当該複数の送信要求にそれぞれ対応する複数のデータが情報処理装置２００から端末２２０に同時に送信される場合を考える。この場合、当該複数のデータのそれぞれが対応する受信可能速度を超えないように通信部２０６による送信が送信制御部２０１によって制御される。この場合、端末２２０が情報処理装置２００からデータを受信する速度は、複数の送信要求に対応するデータの受信速度の合計となる。
【００３３】
送信要求における受信可能速度は、端末２２０側において、当該送信要求に応答して情報処理装置２００から送信されてくるデータの処理にどの程度の処理能力を割り振ることができるかに応じて決定されうる。例えば、フィードバックを目的としてなされるデータの第１の送信要求と、プロセス異常の分析を目的としてなされるデータの第２の送信要求とを考える。第１の送信要求で要求されるデータも第２の送信要求で要求されるデータも、発生頻度がウエハ単位であるものとする。第１の送信要求では、露光装置１００で該当するデータが発生する度に逐次に端間２２０に送信するよう指定され、第２の送信要求では、１ヶ月の期間が指定されるものとする。露光装置１００の生産量が１時間当たりウエハ１２０枚であれば、フィードバックを目的とする第１の送信要求で要求されるデータの量は、単位時間当たりのデータ量として１２０レポート／１時間である。一方、過去１ヶ月の期間におけるプロセス異常の分析を目的とする第２の送信要求では、１ヶ月分のデータであるので、データの量は、例えば、１２０レポート×２４時間×３０日であり、第１の送信要求で要求されるデータの量の約７００倍である。したがって、第２の送信要求に従って転送速度に制限を設けずに情報処理装置２００から端末２２０にデータが送信されると、データ送信や端末２２０の処理能力を圧迫する可能性がある。そのため、露光装置１００が過去に発生したデータの分析を目的とするようなデータの送信要求は、フィードバックを目的とするような即時性が要求される場合よりも受信可能速度を低く設定することが望ましい。
【００３４】
ステップＳ６０３では、端末２２０は、ステップＳ６０１で情報処理装置２００に送信した送信要求に応じて情報処理装置２００から送信されてくるデータを受信する。ステップＳ６０５では、端末２２０は、ステップＳ６０４で情報処理装置２００から受信したデータを処理（例えば、分析、および、分析に基づく露光装置１００への制御値等のフィードバック）する。
【００３５】
図７は、情報処理装置２００における処理を例示するフローチャートである。露光装置１００が発生するデータは、通信路２３２を介して情報処理装置２００に送信され、記憶部２０２に格納される。ステップＳ７０１では、情報処理装置２００は、端末２２０から送信要求を受信し、取得部２０５は、当該送信要求に含まれるデータ項目名を示す情報（データ特定情報）、および、受信可能速度を示す情報を取得する。
【００３６】
ステップＳ７０３では、抽出部２１１は、露光装置１００が発生し記憶部２０２に格納されたデータからデータ項目名（データ特定情報）によって特定されるデータを抽出する。ステップＳ７０５では、送信制御部２１１は、抽出部２１１によって抽出されたデータをステップＳ７０１で取得部２０５が取得した受信可能速度を超えない速度で端末２２０に送信するように通信部２０６を制御する。ここで、通信部２０６は、送信バッファを含みうる。送信制御部２１１は、抽出部２１１から該送信バッファへのデータの転送速度を受信可能速度に応じて制御することによって、通信部２０６から端末２２０へのデータの送信速度が受信可能速度を超えないように通信部２０６を制御することができる。抽出部２１１から通信部２０６（例えば、送信バッファ）へのデータの転送可能速度（抽出部２１１が単位時間当りに通信部２０６に転送することができる送信用のデータの量のこと。）が受信可能速度を超える場合において、通信部２０６から端末２２０へのデータの送信速度は、当該受信可能速度を超えないように制限される。このような場合には、送信制御部２１１は、端末２２０へのデータの送信速度が受信可能速度を超えないように制限されたことを、通信部２０６を介して端末２２０に通知することが好ましい。
【００３７】
［第２実施形態］
この実施形態では、送信要求ごとに、端末２２０に送信すべきデータに優先度が設定され、端末２２０からの複数の送信要求に応答して端末２２０に送信される複数のデータのうち優先度の高いデータが優先度の低いデータよりも優先的に端末２２０に送信される。また、この実施形態では、送信制御部２０１は、端末２２０からの複数の送信要求に応答して端末２２０に送信される複数のデータの集合が１つの受信可能速度を超えない速度で端末２２０に送信されるように通信部２２０を制御する。
【００３８】
図８は、端末２２０における処理を例示するフローチャートである。ステップＳ８０１では、端末２２０は、情報処理装置２００に対して通信路２３４を介して、端末２２０が情報処理装置２００からデータを受信可能な速度である受信可能速度を示す情報を送信する。ステップＳ８０３では、端末２２０は、情報処理装置２００に対して通信路２３４を介して送信要求を送信する。送信要求は、図４（Ｂ）に例示されていて、データ特定情報として、データ項目名によってデータを特定する情報と、データの発生時刻によってデータを特定する情報とを含みうる。送信要求はまた、優先度を示す情報を含む。情報処理装置２００は、送信要求を受信することによって、データ特定情報、受信可能速度を示す情報、および、優先度を示す情報を取得しうる。逐次発生するデータには、過去の指定された期間内に発生したデータよりも高い優先度が与えられうる。
【００３９】
ステップＳ８０５では、端末２２０は、ステップＳ８０３で情報処理装置２００に送信した送信要求に応じて情報処理装置２００から送信されてくるデータ、または、そのデータの送信に関する通知を受信する。ステップＳ８０７では、端末２２０は、ステップＳ８０５で情報処理装置２００から受信したデータを処理（例えば、分析、および、分析に基づく露光装置１００への制御値等のフィードバック）する。
【００４０】
図３は、情報処理装置２００における処理を例示するフローチャートである。露光装置１００が発生するデータは、通信路２３２を介して情報処理装置２００に送信され、記憶部２０２に格納される。ステップＳ３０１では、情報処理装置２００は、端末２２０から受信可能速度を示す情報を受信し、取得部２０５は、当該受信可能情報を取得する。ステップＳ３０２では、情報処理装置２００は、端末２２０から送信要求を受信し、取得部２０５は、当該送信要求に含まれるデータ項目名を示す情報（データ特定情報）、および、優先度を示す情報を取得する。
【００４１】
ステップＳ３０３では、抽出部２１１は、露光装置１００が発生し記憶部２０２に格納されたデータからデータ項目名（データ特定情報）によって特定されるデータを抽出する。ステップＳ３０４では、送信制御部２１１は、抽出部２１１によって抽出されたデータを端末２２０に送信することがステップＳ３０１で取得部２０５が取得した受信可能速度を満たすか否かを判定する。例えば、抽出部２１１によって新規に抽出されたデータを現時点で情報処理装置２００から端末２２０に送信しているデータの他に端末２２０に送信すると受信可能速度を超える場合には、受信可能速度は満たされない。
【００４２】
抽出部２１１によって新規に抽出されたデータを送信してもステップＳ３０１で取得部２０５が取得した受信可能速度を満たす場合には、ステップＳ３０５において、送信制御部２１１は、当該データが端末２２０に送信されるように通信部２０６を制御する。一方、抽出部２１１によって新規に抽出されたデータを端末２２０に送信するとステップＳ３０１で取得部２０５が取得した受信可能速度を満たさない場合には、ステップＳ３０６が実行される。ステップＳ３０６では、送信制御部２０１は、端末２２０からの複数の送信要求に応答して端末２２０に送信される複数のデータのうち優先度の高いデータが優先度の低いデータよりも優先的に端末２２０に送信されるように通信部２０６を制御する。例えば、抽出部２１１によって新規に抽出されたデータ（以下、第１データ）の優先度が情報処理装置２００から端末２２０に送信しているデータ（以下、第２データ）の優先度よりも高い場合には、第１データを第２データよりも優先して端末２２０に送信する。より具体的には、この場合には、端末２２０への第２データの送信が保留（待ち状態にすること）され、第２データよりも先に第１データが端末２２０に送信される。一方、抽出部２１１によって新規に抽出されたデータ（第１データ）の優先度が、現時点で情報処理装置２００から端末２２０に送信しているデータ（第２データ）の優先度よりも低い場合には、第２データを第１データよりも優先して端末２２０に送信する。より具体的には、端末２２０への第１データの送信が保留され、現時点で送信中の第２データが端末２２０に最後まで送信された後に第１データが端末２２０に送信される。ここで、送信制御部２０１は、端末２２０への送信が保留されたデータについては、送信が保留されていること通信路２３４を介して端末２２０に通知する。
【００４３】
送信制御部２１１は、優先度の高いデータを優先的に端末２２０に送信するために端末に未だ送信されていない優先度の低いデータの量が予め設定された量を超えたときに、そのことを通信部２０６を介して端末２２０に通知するように構成されてもよい。これにより、端末２１１は、当該予め設定された量を超える量のデータの送信が保留されていることを認識し、例えば、更なる送信要求の送信を制限することができる。
【００４４】
送信制御部２１１は、端末２２０から送信要求を受けたことに応じて、当該送信要求に応答して端末２２０に送信すべきデータの量を通信部２０６を介して端末２２０に通知するように構成されてもよい。端末２１１は、例えば、当該通知に応じて、送信要求をキャンセルすることができるように構成されても良い。
【００４５】
上記の実施形態では、送信要求に優先度を示す情報が含まれるが、優先度は、情報処理装置２００側でデータ項目名に応じて決定されてもよい。例えば、優先度とデータ項目名との関係を示すテーブルが予め情報処理装置２００に提供され、該テーブルに基づいて優先度が決定されうる。
【００４６】
［捕捉］
情報処理装置２００の通信部２０６から端末２２０へのデータの送信速度は、通信部２０６を直接に制御することによってなされてもよいし、抽出部２１１によるデータの抽出速度を制御することによってなされてもよい。抽出部２１１によるデータの抽出速度を制御することにより、抽出部２１１から通信部２０６に提供される単位時間当りのデータの量を制御することができ、これにより通信部２０６によるデータの送信速度が間接的に制御されうる。例えば、抽出部２１１は、優先度の高い順に、受信可能速度に応じた抽出速度でデータを抽出するように構成されうる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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