(57)【要約】【課題】容器に収容した粉体を真空処理する際に、該粉体が沸騰して容器外部に飛散するようなことが防止され、真空チャンバ内や真空ポンプを清浄に保つことができるとともに、高品質の粉体を安定して得ることができる粉体の真空処理装置及び粉体の真空処理方法を提供する。【解決手段】粉体Ｐを収容する容器１と、前記容器１を収容して密閉可能とされた真空チャンバ２と、前記真空チャンバ２に連結されて該真空チャンバ２内を減圧する真空ポンプ３と、を備えた粉体の真空処理装置１０であって、前記容器１は、網状部材４を用いて構成されることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
粉体を収容する容器と、前記容器を収容して密閉可能とされた真空チャンバと、前記真空チャンバに連結されて該真空チャンバ内を減圧する真空ポンプと、を備えた粉体の真空処理装置であって、
前記容器は、網状部材を用いて構成されることを特徴とする粉体の真空処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の粉体の真空処理装置であって、
前記網状部材の目開きが、前記粉体の平均粒径程度に設定されることを特徴とする粉体の真空処理装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の粉体の真空処理装置であって、
前記容器は、
前記粉体を収容する前記網状部材と、
前記網状部材を収容するとともに、該網状部材よりも剛性が高く設定され、該網状部材と容器外部とを連通させる開口孔が形成された支持部材と、を備えることを特徴とする粉体の真空処理装置。
【請求項４】
請求項３に記載の粉体の真空処理装置であって、
前記支持部材は、有底筒状の剛体からなり、該支持部材の外周及び底部には、前記開口孔が複数形成されていることを特徴とする粉体の真空処理装置。
【請求項５】
請求項３に記載の粉体の真空処理装置であって、
前記支持部材は、網状をなしているとともに、前記網状部材よりも線径及び目開きが大きく設定されることを特徴とする粉体の真空処理装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の粉体の真空処理装置であって、
前記真空チャンバは、第１室と、前記真空ポンプが連結され該第１室よりも減圧雰囲気に設定される第２室と、を有し、
前記容器は、開口された口部が前記第１室に配置され、粉体を収容する前記網状部材が前記第２室に配置されることを特徴とする粉体の真空処理装置。
【請求項７】
粉体を収容する容器と、前記容器を収容して密閉可能とされた真空チャンバと、前記真空チャンバに連結されて該真空チャンバ内を減圧する真空ポンプと、を備えた粉体の真空処理装置を用いて、前記真空ポンプで前記真空チャンバ内を減圧させることにより、前記粉体中に含まれる気体を排出させる粉体の真空処理方法であって、
前記容器は、網状部材により構成されており、該網状部材の目開きを通して前記気体を容器外部へ排出させることを特徴とする粉体の真空処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粉体の真空処理装置及びこれを用いた粉体の真空処理方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
最近の宇宙開発分野においては、例えば、月の土壌（月面を覆う砂、レゴリス）等の粉体を、真空処理装置を用いて真空（減圧）雰囲気にて処理することへの要求がある。このような粉体は、例えば平均粒径５０μｍ〜１００μｍ程度の極細粒子（極細粒砂）からなる。
一方、従来の真空処理装置としては、例えば特許文献１〜３に記載されたものが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−７５８５０号公報
【特許文献２】特開平８−１４４０５０号公報
【特許文献３】特開平６−１３７２８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の真空処理装置を用いて粉体を真空処理する際に、下記のような問題が生じていた。
【０００５】
図２は、従来の真空処理装置１００を示している。この真空処理装置１００は、粉体Ｐを収容する有底筒状の容器１０１と、該容器１０１が収容される密閉可能な真空チャンバ１０２と、該真空チャンバ１０２に連結される真空ポンプ１０３と、を備えている。このような真空処理装置１００を用いて粉体Ｐを真空処理する際、真空チャンバ１０２内を真空引きして真空度を高めていく（減圧していく）に従って、粉体Ｐの粒子内部や該粒子と容器１０１の境界部に存在する気体（例えば空気等）が粉体Ｐ中から排出されるようになり、粉体Ｐがあたかも流体のような振る舞いをして、沸騰する現象が生じる。
【０００６】
このように粉体Ｐが沸騰することは好ましいことではなく、粉体Ｐが容器１０１から容器外部に飛散して真空チャンバ１０２内や真空ポンプ１０３を汚染したり、該真空ポンプ１０３が破損したりすることがあった。また、飛散した粉体Ｐの回収作業が煩雑となるばかりか、該粉体Ｐの試料としての品質が低下することになる。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、容器に収容した粉体を真空処理する際に、該粉体が沸騰して容器外部に飛散するようなことが防止され、真空チャンバ内や真空ポンプを清浄に保つことができるとともに、高品質の粉体を安定して得ることができる粉体の真空処理装置及び粉体の真空処理方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提案している。
すなわち本発明は、粉体を収容する容器と、前記容器を収容して密閉可能とされた真空チャンバと、前記真空チャンバに連結されて該真空チャンバ内を減圧する真空ポンプと、を備えた粉体の真空処理装置であって、前記容器は、網状部材を用いて構成されることを特徴とする。
また、本発明は、粉体を収容する容器と、前記容器を収容して密閉可能とされた真空チャンバと、前記真空チャンバに連結されて該真空チャンバ内を減圧する真空ポンプと、を備えた粉体の真空処理装置を用いて、前記真空ポンプで前記真空チャンバ内を減圧させることにより、前記粉体中に含まれる気体を排出させる粉体の真空処理方法であって、前記容器は、網状部材により構成されており、該網状部材の目開きを通して前記気体を容器外部へ排出させることを特徴とする。
【０００９】
本発明に係る粉体の真空処理装置及び粉体の真空処理方法によれば、下記のような効果を奏する。すなわち、真空ポンプにより真空チャンバ内を真空引きして真空度を高めていく（減圧していく）と、容器に収容した粉体の粒子内部等から気体（例えば空気等）が排出される。この際、容器が網状部材を用いて構成されているので、前記気体は、該網状部材の目開き（網目の開口部分）を通して、例えば容器全体から容器外部に流出することになる。
【００１０】
すなわち、容器に網状部材を用いることによって、前記気体の排出口（排出面積）が該容器の周囲に十分に確保されることから、容器に収容した粉体の沸騰が抑制されるとともに、飛散が防止される。従って、真空チャンバ内や真空ポンプが粉体により汚染されるようなことが防止され、これらが清浄に保たれるとともに、高品質の粉体を安定して得ることができる。また、真空ポンプの汚染が防止されるので、該真空ポンプの破損が防止され、安定した真空引きが可能となる。
【００１１】
また、本発明に係る粉体の真空処理装置において、前記網状部材の目開きが、前記粉体の平均粒径程度に設定されることとしてもよい。
【００１２】
本発明に係る粉体の真空処理装置によれば、網状部材の目開きが、粉体の平均粒径程度に設定されているので、この網状部材は、粉体中から生じた前記気体を容器外部へ確実に排出させつつ、該粉体が容器外部へ漏出することを防止している。すなわち、例えば月の土壌等の粉体においては、その粒子が球体や正多面体には形成されておらず、いびつな形状を有している。このような粉体の平均粒径程度（例えば粉体の平均粒径以下など）に前記目開きが設定されていることにより、粉体（粒子）は該目開きを通過し難くなるとともに、容器外部に漏出することが防止されるのである。さらに、網状部材に当接した粒子が前記目開きを狭めるように作用することから、他の細かな（小さい）粒子の漏出も防止されることになる。これにより、粉体の真空処理が効率よく行われるとともに、該粉体による真空チャンバ内及び真空ポンプの汚染が確実に防止される。
【００１３】
また、本発明に係る粉体の真空処理装置において、前記容器は、前記粉体を収容する前記網状部材と、前記網状部材を収容するとともに、該網状部材よりも剛性が高く設定され、該網状部材と容器外部とを連通させる開口孔が形成された支持部材と、を備えることとしてもよい。
【００１４】
本発明に係る粉体の真空処理装置によれば、容器は、網状部材及び支持部材を備えた二重構造とされている。網状部材は、前述したように、前記気体の排出口が十分に確保されているので、収容した粉体の沸騰、飛散を確実に防止する。その一方で、例えば網状部材の目開きを比較的小さく設定した場合には、その線径も小さくなることから、該網状部材は粉体の重量を十分に支持しきれない可能性があるが、この網状部材を剛性の高い支持部材に収容することによって、容器としての剛性が確保されている。
【００１５】
そして、支持部材には、収容した網状部材と容器外部とを連通させる開口孔が形成されている。このように支持部材に開口孔が形成されていることによって、網状部材に収容する粉体と容器外部とが、該網状部材の目開き及び開口孔を通して、互いに連通される。従って、網状部材から排出される前記気体は、目開き及び開口孔を通して、容器外部に確実に排出されるのである。
このように、本発明の粉体の真空処理装置によれば、粉体の沸騰及び飛散を確実に防止しつつも、容器の構造的強度が十分に確保される。
【００１６】
また、本発明に係る粉体の真空処理装置において、前記支持部材は、有底筒状の剛体からなり、該支持部材の外周及び底部には、前記開口孔が複数形成されていることとしてもよい。
【００１７】
本発明に係る粉体の真空処理装置によれば、支持部材が有底筒状の剛体からなるので、真空チャンバ内において粉体の真空処理が安定して行える。また、容器が取り扱いやすくなり、運搬作業等が容易に行える。また、支持部材の外周及び底部には、開口孔が複数形成されているので、網状部材から排出された前記気体は、これら開口孔から分散されるように容器外部へ排出される。これにより、前記気体の排出がより安定して行われるとともに、粉体の沸騰や飛散が確実に防止される。
【００１８】
また、本発明に係る粉体の真空処理装置において、前記支持部材は、網状をなしているとともに、前記網状部材よりも線径及び目開きが大きく設定されることとしてもよい。
【００１９】
本発明に係る粉体の真空処理装置によれば、支持部材が、網状をなしているとともに、収容する網状部材よりも線径及び目開きが大きく設定されている。これにより、支持部材は、剛性が確保され安定して網状部材を支持できるとともに、その周囲全体が十分な開口（目開き）を有する開口孔とされて、前記気体を確実に容器外部へ排出することができる。従って、粉体の沸騰や飛散が確実に防止される。
【００２０】
また、本発明に係る粉体の真空処理装置において、前記真空チャンバは、第１室と、前記真空ポンプが連結され該第１室よりも減圧雰囲気に設定される第２室と、を有し、前記容器は、開口された口部が前記第１室に配置され、粉体を収容する前記網状部材が前記第２室に配置されることとしてもよい。
【００２１】
本発明に係る粉体の真空処理装置によれば、真空チャンバは、互いに圧力の異なる第１室及び第２室を有している。また、容器は、その口部が比較的圧力の高い第１室に配置され、粉体を収容する網状部材が比較的圧力の低い第２室に配置されている。この状態で真空チャンバ内を真空引きすると、容器に収容した粉体から前記気体が排出されるが、このとき、該気体は圧力の低い第２室内へ向けて、網状部材を通して容器外部へと流出することになる。
【００２２】
すなわち、前述の構成により、前記気体が、容器の開口された口部から第１室内へ向けて排出されることが防止されているとともに、粉体が、この口部から真空チャンバ内に飛散するようなことが防止されている。従って、真空チャンバ内や真空ポンプが粉体により汚染されるようなことが防止され、これらが清浄に保たれるとともに、真空処理した粉体が乱れることもなく、高品質の粉体を安定して得ることができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明に係る粉体の真空処理装置及び粉体の真空処理方法によれば、容器に収容した粉体を真空処理する際に、該粉体が沸騰して容器外部に飛散するようなことが防止され、真空チャンバ内や真空ポンプを清浄に保つことができるとともに、高品質の粉体を安定して得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施形態に係る粉体の真空処理装置を示す側断面図である。
【図２】従来の真空処理装置及び容器に収容した粉体を示す側断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明の一実施形態に係る粉体の真空処理装置１０は、例えば、月の土壌等の粉体Ｐを、真空（減圧）雰囲気にて処理するものである。粉体Ｐは、例えば平均粒径５０μｍ〜１００μｍ程度の極細粒子（極細粒砂）からなる。
【００２６】
図１に示すように、本実施形態の粉体の真空処理装置１０は、粉体Ｐを収容する容器１と、容器１を収容して密閉可能とされた真空チャンバ２と、真空チャンバ２に連結されて該真空チャンバ２内を減圧する真空ポンプ３と、を備えている。
容器１は、上部に開口する口部１６を有して全体に有底円筒状に形成されており、網状部材４を用いた構成とされている。
【００２７】
詳しくは、容器１は、粉体Ｐを収容する有底円筒状の網状部材４と、この網状部材４を収容するとともに、該網状部材４よりも剛性が高く設定され、該網状部材４と容器１外部とを連通させる開口孔５Ａが形成された有底円筒状の支持部材５と、を備えている。
【００２８】
網状部材４は、例えばステンレス製からなり、複数の素線（ステンレス素線）を平網状に編むように形成されているとともに、その網目が四角形状とされている。そして、網状部材４において、同一方向に互いに並行して延びる隣り合う素線同士の間の内形寸法、すなわち、所謂「目開き」（網目の開口部分）寸法は、例えば粉体Ｐの平均粒径に対応して、５０μｍ〜１００μｍの範囲内に設定される。
【００２９】
本実施形態においては、網状部材４の目開き（目開き寸法）が、粉体Ｐの平均粒径程度に設定されている。尚、ここで言う粉体Ｐの平均粒径程度とは、平均粒径と同一の値のみならず、平均粒径以下及び平均粒径以上の値をも含む概念である。詳しくは、例えば粉体Ｐの平均粒径が７５μｍ程度である場合において、目開きは５０μｍ（平均粒径以下）に設定されていてもよく、１００μｍ（平均粒径以上）に設定されていてもよい。
【００３０】
支持部材５は、例えばステンレス板を有底円筒状に形成してなる剛体であり、この支持部材５の外周及び底部には、円孔状の開口孔５Ａが複数形成されている。本実施形態では、支持部材５として、厚さ５ｍｍ程度のステンレス板を用いており、直径φ１０ｍｍ程度の複数の開口孔５Ａが、該支持部材５を径方向又は軸方向にそれぞれ貫通して形成されている。また、隣り合う開口孔５Ａ同士の中心間距離（ピッチ）は、１５ｍｍ程度とされているとともに、これら開口孔５Ａは、全体として略千鳥状に配置されている。
【００３１】
また、支持部材５における上端開口縁には、径方向外方へ向かって突出するとともに周方向に沿って延びる環状のフランジ部６が形成されている。フランジ部６の外径は、後述するチャンバ本体７の内径よりも若干小さく設定されている。
【００３２】
真空チャンバ２は、有底円筒状のチャンバ本体７と、円板状の蓋体８と、を備えている。また、チャンバ本体７における上端開口縁には、径方向外方へ向かって突出するとともに周方向に沿って延びる環状のフランジ部９が形成されている。フランジ部９の外径は、蓋体８の外径と略同一に設定されている。また、フランジ部９の上面は、蓋体８の下面に当接されるとともに、これら上面及び下面の間には、Ｏリング（シール部材）１１が配設されている。
【００３３】
また、チャンバ本体７の上端部には、フランジ部９よりも下方に位置して、径方向内方へ向かって突出するとともに周方向に沿って延びる環状のフランジ部１２が形成されている。フランジ部１２の内径は、支持部材５の外径よりも若干大きく設定されている。また、フランジ部１２の上面は、フランジ部６の下面に当接されるとともに、これら上面及び下面の間には、Ｏリング（シール部材）１３が配設されている。
また、チャンバ本体７の下端部には、真空ポンプ３が配管等により連結されている。
【００３４】
図示するように、真空チャンバ２は、その内部空間がフランジ部１２を挟んで上下に区画されるように形成されている。詳しくは、真空チャンバ２は、蓋体８、フランジ部１２及びチャンバ本体７の内周面に囲繞されるように形成された第１室１４と、フランジ部１２、チャンバ本体７の底面及び内周面に囲繞されるように形成された第２室１５と、を有している。
【００３５】
そして、真空チャンバ２内に設置された容器１は、その口部１６が第１室１４に配置され、粉体Ｐを収容する網状部材４及び支持部材５が第２室１５に配置される。このように容器１が真空チャンバ２内に設置されることにより、第１室１４と第２室１５とは、該容器１の口部１６、網状部材４の目開き及び支持部材５の開口孔５Ａを通して、互いに連通されることになる。
また、第２室１５には、真空ポンプ３が連結されている。
【００３６】
このような構成により、真空チャンバ２内を真空ポンプ３で真空引きする際、該第２室１５は、第１室１４よりも減圧雰囲気に設定されるようになっている。
【００３７】
次に、粉体の真空処理装置１０を用いて、粉体Ｐを真空処理する手順について説明する。
まず、容器１の網状部材４内に、粉体Ｐを収容する。粉体Ｐは、容器１の口部１６まで充填しても構わない。
【００３８】
次いで、容器１の支持部材５を支持して該容器１を運搬し、真空チャンバ２内に収容する。この際、容器１は、支持部材５のフランジ部６がチャンバ本体７のフランジ部１２に上方から当接することにより、該チャンバ本体７に支持される。すなわち、支持部材５の外周面とチャンバ本体７の内周面との間、及び、支持部材５の下面とチャンバ本体７の底面との間にはそれぞれ隙間が設けられている。
【００３９】
次いで、蓋体８をチャンバ本体７のフランジ部９に装着して、真空チャンバ２内を密閉状態とする。
この状態で真空ポンプ３を作動させて、真空チャンバ２内を真空引きする（減圧させる）ことにより、粉体Ｐ中に含まれる気体を容器１外部に排出させる。詳しくは、真空引きによって、前記気体は容器１内から網状部材４の目開き及び支持部材５の開口孔５Ａを通って、容器１外部の第２室１５へと排出される。
【００４０】
以上説明したように、本実施形態に係る粉体の真空処理装置１０及びこれを用いた粉体の真空処理方法によれば、下記のような効果を奏する。すなわち、真空ポンプ３により真空チャンバ２内を真空引きして真空度を高めていく（減圧していく）と、容器１に収容した粉体Ｐの粒子内部等から気体（例えば空気等）が排出される。この際、容器１が網状部材４を用いて構成されているので、前記気体は、該網状部材４の目開き（網目の開口部分）を通して、容器１の周囲全体（詳しくは容器１の外周及び底部）から容器１外部に流出することになる。
【００４１】
すなわち、容器１に網状部材４を用いることによって、前記気体の排出口（排出面積）が該容器１の周囲に十分に確保されることから、容器１に収容した粉体Ｐの沸騰が抑制されるとともに、飛散が防止される。従って、真空チャンバ２内や真空ポンプ３が粉体Ｐにより汚染されるようなことが防止され、これらが清浄に保たれるとともに、高品質の粉体Ｐを安定して得ることができる。また、真空ポンプ３の汚染が防止されるので、該真空ポンプ３の破損が防止されて、安定した真空引きが可能となる。
【００４２】
また、網状部材４の目開きが、粉体Ｐの平均粒径程度に設定されているので、この網状部材４は、粉体Ｐ中から生じた前記気体を容器１外部へ確実に排出させつつ、該粉体Ｐが容器１外部へ漏出することを防止している。すなわち、本実施形態における月の土壌等の粉体Ｐにおいては、その粒子が球体や正多面体には形成されておらず、いびつな形状（例えば粒子の長軸／短軸のアスペクト比が大きい形状）を有している。このような粉体Ｐの平均粒径程度に前記目開きが設定されていることにより、粉体Ｐ（粒子）は該目開きを通過し難くなるとともに、容器１外部に漏出することが防止されるのである。さらに、網状部材４に当接した粒子が前記目開きを狭めるように作用することから、他の細かな（小さい）粒子の漏出も防止されることになる。これにより、粉体Ｐの真空処理が効率よく行われるとともに、該粉体Ｐによる真空チャンバ２内及び真空ポンプ３の汚染が確実に防止される。
【００４３】
また、容器１は、網状部材４及び支持部材５を備えた二重構造とされている。網状部材４は、前述したように、前記気体の排出口が十分に確保されているので、収容した粉体Ｐの沸騰、飛散を確実に防止する。その一方で、例えば網状部材４の目開きを比較的小さく設定した場合には、その線径も小さくなることから、該網状部材４は粉体Ｐの重量を十分に支持しきれない可能性があるが、この網状部材４を剛性の高い支持部材５に収容することによって、容器１としての剛性が確保されている。
【００４４】
そして、支持部材５には、収容した網状部材４と容器１外部とを連通させる開口孔５Ａが形成されている。このように支持部材５に開口孔５Ａが形成されていることによって、網状部材４に収容する粉体Ｐと容器１外部とが、該網状部材４の目開き及び開口孔５Ａを通して、互いに連通される。従って、網状部材４から排出される前記気体は、目開き及び開口孔５Ａを通して、容器１外部に確実に排出されるのである。
このように、本実施形態の粉体の真空処理装置１０によれば、粉体Ｐの沸騰及び飛散を確実に防止しつつも、容器１の構造的強度が十分に確保される。
【００４５】
また、支持部材５が有底円筒状の剛体からなるので、真空チャンバ２内において粉体Ｐの真空処理が安定して行える。また、容器１が取り扱いやすくなり、運搬作業等が容易に行える。また、支持部材５の外周及び底部には、開口孔５Ａが複数形成されているので、網状部材４から排出された前記気体は、これら開口孔５Ａから分散されるように容器１外部へ排出される。これにより、前記気体の排出がより安定して行われるとともに、粉体Ｐの沸騰や飛散が確実に防止される。
【００４６】
また、真空チャンバ２は、互いに圧力の異なる第１室１４及び第２室１５を有している。また、容器１は、その口部１６が比較的圧力の高い第１室１４に配置され、粉体Ｐを収容する網状部材４が比較的圧力の低い第２室１５に配置されている。この状態で真空チャンバ２内を真空引きすると、容器１に収容した粉体Ｐから前記気体が排出されるが、このとき、該気体は圧力の低い第２室１５内へ向けて、網状部材４を通して容器１外部へと流出することになる。
【００４７】
すなわち、前述の構成により、前記気体が、容器１の開口された口部１６から第１室１４内へ向けて排出されることが防止されているとともに、粉体Ｐが、この口部１６から真空チャンバ２内に飛散するようなことが防止されている。従って、真空チャンバ２内や真空ポンプ３が粉体Ｐにより汚染されるようなことが防止され、これらが清浄に保たれるとともに、真空処理した粉体Ｐが乱れることもなく、高品質の粉体Ｐを安定して得ることができる。
【００４８】
尚、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることができる。
例えば、前述の実施形態では、容器１（網状部材４、支持部材５）、及び、これを収容する真空チャンバ２のチャンバ本体７は、それぞれ有底円筒状に形成されているとしたが、これらの形状は限定されるものではない。すなわち、容器１（網状部材４、支持部材５）、及び、真空チャンバ２のチャンバ本体７は、例えば有底円筒状以外の有底多角形筒状や有底楕円筒状等であってもよい。また、真空チャンバ２の蓋体８は、チャンバ本体７の形状に対応して、円板状以外の多角形板状や楕円板状等に形成されていてもよい。
【００４９】
また、網状部材４は、複数のステンレス素線を平網状に編むように（すなわち平織網状に）形成されているとしたが、これに限定されるものではない。すなわち、網状部材４は、前記気体を通す網状を呈していればよいことから、例えば、複数のステンレス素線を綾織網状や平畳織網状に形成したものであっても構わない。また、網状部材４の網目（目開き）の形状は、四角形状以外の多角形状や円形状等であっても構わない。また、網状部材４が、ステンレス以外の金属材料等からなることとしてもよい。
【００５０】
また、支持部材５が、ステンレス板からなるとともに、その外周及び底部に円孔状の開口孔５Ａが略千鳥状に複数形成されているとしたが、支持部材５の材質や開口孔５Ａの形状・配置は、前述した実施形態に限定されるものではない。すなわち、支持部材５はステンレス以外の金属材料等で形成されていてもよい。また、開口孔５Ａは、例えば円孔状以外の多角形孔状や楕円孔状に形成されていてもよい。
【００５１】
また、支持部材５として、前述した板材を用いる代わりに、網材を用いてもよい。すなわち、支持部材５は、網状をなしているとともに、網状部材４よりも線径及び目開きが大きく設定されることとしてもよい。
この場合、支持部材５は、剛性が確保され安定して網状部材４を支持できるとともに、その周囲全体が十分な開口（目開き）を有する開口孔５Ａとされて、前記気体を確実に容器１外部へ排出することができる。従って、粉体Ｐの沸騰や飛散が確実に防止されることとなる。
【符号の説明】
【００５２】
１  容器
２  真空チャンバ
３  真空ポンプ
４  網状部材
５  支持部材
５Ａ  開口孔
１０  粉体の真空処理装置
１４  第１室
１５  第２室
１６  容器の口部
Ｐ  粉体
【図１】
2011226433.tif 000003
【図２】
2011226433.tif 000004