(57)【要約】      （修正有）【課題】冷却水の冷却を行う場合、冷却塔を効率良く稼動させて、システム全体の消費電力を低減できる冷却水製造装置およびその制御方法を提供する。【解決手段】外気湿球温度と冷却負荷の組み合わせにより、冷却塔７０の冷却運転に対して冷凍機８０の冷却運転を加算してエネルギー消費量が最小となる冷却塔７０及び冷凍機８０の冷却運転の切り替えと、冷却水一次配管の流量を最適化し、外気湿球温度と冷却負荷と冷却塔７０及び冷凍機８０の冷却運転の相対関係を示すデータベースが予め記憶された記憶手段９１と、外気の温湿度と、前記負荷８４の往配管４４及び還配管４２の冷却水温度と、還配管４２の流量を入力値とし、入力値に基づいて外気湿球温度と冷却負荷を演算して、データベースから冷却塔７０及び冷凍機８０の冷却運転の切り替えと、流量制御手段の流量を制御する制御信号を出力する演算器９０と、を備えた。【選択図】図１
2011226684.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷却水の冷却を行う冷却塔と、第１の流量制御手段を備えた第１の冷却水一次配管と、
冷凍機と、第２の流量制御手段を備えた第２の冷却水一次配管と、
負荷と、第３の流量制御手段と、前記負荷の往配管及び還配管の冷却水温度を測定する温度センサーと、前記還配管の流量を測定する流量センサーを備えた冷却水二次配管と、
外気の温湿度を測定する外気温湿度センサーと、
外気湿球温度と冷却負荷の組み合わせにより、前記冷却塔の冷却運転に対して前記冷凍機の冷却運転を加算してエネルギー消費量が最小となる前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の切り替えと、前記第１及び第２の冷却水一次配管の流量を最適化し、前記外気湿球温度と前記冷却負荷と前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の相対関係を示すデータベースが予め記憶された記憶手段と、
前記外気の温湿度と、前記負荷の往配管及び還配管の冷却水温度と、前記還配管の流量を入力値とし、前記入力値に基づいて前記外気湿球温度と前記冷却負荷を演算して、前記データベースから前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の切り替えと、前記第１及び第２の流量制御手段の流量を制御する制御信号を出力する演算器と、
を備えたことを特徴とする冷却水製造装置。
【請求項２】
前記データベースは、前記外気湿球温度と冷却負荷の組み合わせにより、前記冷却塔の運転に対して前記冷凍機の運転を加算してエネルギー消費量が最小となる前記冷却塔及び前記冷凍機の前記冷却水の流量比を最適化し、前記外気湿球温度と前記冷却負荷と前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の相対関係を示したことを特徴とする請求項１に記載の冷却水製造装置。
【請求項３】
前記データベースは、前記外気湿球温度と冷却負荷の組み合わせにより、前記冷却塔の運転に対して前記冷凍機の運転を加算してエネルギー消費量が最小となる前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却水出口温度制御目標値を最適化し、前記外気湿球温度と前記冷却負荷と前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の相対関係を示したことを特徴とする請求項１に記載の冷却水製造装置。
【請求項４】
冷却水の冷却を行う冷却塔と、第１の流量制御手段を備えた第１の冷却水一次配管と、
冷凍機と、第２の流量制御手段を備えた第２の冷却水一次配管と、
負荷と、第３の流量制御手段と、前記負荷の往配管及び還配管の冷却水温度を測定する温度センサーと、前記還配管の流量を測定する流量センサーを備えた冷却水二次配管と、
外気の温湿度を測定する外気温湿度センサーと、
前記外気の温湿度と、前記負荷の往配管及び還配管の冷却水温度と、前記還配管の流量を入力値とし、前記入力値に基づいて外気湿球温度と冷却負荷を演算して、前記外気湿球温度と前記冷却負荷の組み合わせにより、前記冷却塔の冷却運転に対して前記冷凍機の冷却運転を加算してエネルギー消費量が最小となる前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の切り替えと、前記第１及び第２の冷却水一次配管の流量を最適化し、前記外気湿球温度と前記冷却負荷と前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の相対関係から前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の切り替えと、前記第１及び第２の流量制御手段の流量を制御する制御信号を出力する演算器と、
を備えたことを特徴とする冷却水製造装置。
【請求項５】
冷却水の冷却を行う冷却塔と、第１の流量制御手段を備えた第１の冷却水一次配管と、冷凍機と、第２の流量制御手段を備えた第２の冷却水一次配管と、負荷と、第３の流量制御手段と、前記負荷の往配管及び還配管の冷却水温度を測定する温度センサーと、前記還配管の流量を測定する流量センサーを備えた冷却水二次配管と、外気の温湿度を測定する外気温湿度センサーと、を備えた冷却水製造装置の制御方法において、
予め外気湿球温度と冷却負荷の組み合わせにより、前記冷却塔の冷却運転に対して前記冷凍機の冷却運転を加算してエネルギー消費量が最小となる前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の切り替えと、前記第１及び第２の冷却水一次配管の流量を最適化し、前記外気湿球温度と前記冷却負荷と前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の相対関係を示すデータベースを記憶しておき、
前記外気の温湿度と、前記負荷の往配管及び還配管の冷却水温度と、前記還配管の流量を入力し、
入力値に基づいて前記外気湿球温度と前記冷却負荷を演算し、
前記データベースから前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の切り替えと、前記第１及び第２の流量制御手段の流量を制御する制御信号を出力することを特徴とする冷却水製造装置の制御方法。
【請求項６】
前記データベースは、前記外気湿球温度と冷却負荷の組み合わせにより、前記冷却塔の運転に対して前記冷凍機の運転を加算してエネルギー消費量が最小となる前記冷却塔及び前記冷凍機の前記冷却水の流量比を最適化し、前記外気湿球温度と前記冷却負荷と前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の相対関係を予め示しておき、
前記データベースから前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の切り替えと、前記第１及び第２の流量制御手段の流量比を制御する制御信号を出力することを特徴とする請求項５に記載の冷却水製造装置の制御方法。
【請求項７】
前記データベースは、前記外気湿球温度と冷却負荷の組み合わせにより、前記冷却塔の運転に対して前記冷凍機の運転を加算してエネルギー消費量が最小となる前記冷却塔及び前記冷凍機の前記冷却水の冷却水出口温度制御目標値を最適化し、前記外気湿球温度と前記冷却負荷と前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の相対関係を予め示しておき、
前記データベースから前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の切り替えと、前記第１及び第２の流量制御手段の流量比を制御する制御信号を出力することを特徴とする請求項５に記載の冷却水製造装置の制御方法。
【請求項８】
冷却水の冷却を行う冷却塔と、第１の流量制御手段を備えた第１の冷却水一次配管と、冷凍機と、第２の流量制御手段を備えた第２の冷却水一次配管と、負荷と、第３の流量制御手段と、前記負荷の往配管及び還配管の冷却水温度を測定する温度センサーと、前記還配管の流量を測定する流量センサーを備えた冷却水二次配管と、外気の温湿度を測定する外気温湿度センサーと、を備えた冷却水製造装置の制御方法において、
前記外気の温湿度と、前記負荷の往配管及び還配管の冷却水温度と、前記還配管の流量を入力し、
入力値に基づいて外気湿球温度と冷却負荷を演算し、
前記外気湿球温度と前記冷却負荷の組み合わせにより、前記冷却塔の冷却運転に対して前記冷凍機の冷却運転を加算してエネルギー消費量が最小となる前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の切り替えと、前記第１及び第２の冷却水一次配管の流量を最適化し、前記外気湿球温度と前記冷却負荷と前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の相対関係から前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の切り替えと、前記第１及び第２の流量制御手段の流量を制御する制御信号を出力することを特徴とする冷却水製造装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、冷却塔を利用して冷却水を製造する冷却水製造装置およびその制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の製造など一年を通じて所定温度の冷熱源が必要な工場や研究施設では、フリークーリングを利用した冷却塔を備えた冷却水製造装置が適用されている。
特許文献１は、冷却塔とポンプとを備えたフリークーリング用の冷却水循環路と、冷却塔とポンプとを備え前記フリークーリング用の冷却水循環路の往路に接続されたフリークーリング用の冷却水循環路の冷却水を冷却するフリークーリング用の冷却回路と、フリークーリング用の冷却水循環路とフリークーリング用の冷却回路を直列に接続する切替機構を備えた冷熱媒冷却冷凍設備が開示されている。これにより、夏季と冬季の間の中間期においてフリークーリング用の冷却塔を直列に配置することにより、フリークーリング用の冷却水を二段に冷却することができ、冷水温度を下げることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２１５６８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の冷凍機と冷却塔を備えた冷却システムは、夏場において冷却器を停止し、冷凍機を稼動させて冷却水を製造し、冬場において冷凍機を停止して冷却塔により冷却水を製造しており、中間期において冷却塔と冷凍機を切り替えて冷却水を製造しており、冷凍機と冷却塔を併用運転させていないため、冷却塔を有効活用することができず稼動効率が悪いという問題があった。
【０００５】
製造設備の省エネルギー化の要請から、冷凍機の冷却水と冷却塔の冷却水を変流量として、冷却塔の冷却効率が小さくなるときに冷凍機を運転して、冷却塔の冷却水製造に係るエネルギーの無駄を小さくする必要がある。また冷凍機のみの運転から冷却塔による冷却水製造への切り替えで冷却水製造温度の変化を小さくする必要がある。
【０００６】
そこで本発明は上記従来の問題点を解決するため、冷却塔を利用して冷却水の冷却を行う場合において、冷却塔を効率良く稼動させて、システム全体の消費電力を低減することができる冷却水製造装置およびその制御方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の冷却水製造装置は、冷却水の冷却を行う冷却塔と、第１の流量制御手段を備えた第１の冷却水一次配管と、冷凍機と、第２の流量制御手段を備えた第２の冷却水一次配管と、負荷と、第３の流量制御手段と、前記負荷の往配管及び還配管の冷却水温度を測定する温度センサーと、前記還配管の流量を測定する流量センサーを備えた冷却水二次配管と、外気の温湿度を測定する外気温湿度センサーと、外気湿球温度と冷却負荷の組み合わせにより、前記冷却塔の冷却運転に対して前記冷凍機の冷却運転を加算してエネルギー消費量が最小となる前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の切り替えと、前記第１及び第２の冷却水一次配管の流量を最適化し、前記外気湿球温度と前記冷却負荷と前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の相対関係を示すデータベースが予め記憶された記憶手段と、前記外気の温湿度と、前記負荷の往配管及び還配管の冷却水温度と、前記還配管の流量を入力値とし、前記入力値に基づいて前記外気湿球温度と前記冷却負荷を演算して、前記データベースから前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の切り替えと、前記第１及び第２の流量制御手段の流量を制御する制御信号を出力する演算器と、を備えたことを特徴としている。
【０００８】
この場合において、前記データベースは、前記外気湿球温度と冷却負荷の組み合わせにより、前記冷却塔の運転に対して前記冷凍機の運転を加算してエネルギー消費量が最小となる前記冷却塔及び前記冷凍機の前記冷却水の流量比を最適化し、前記外気湿球温度と前記冷却負荷と前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の相対関係を示しているとよい。
【０００９】
また前記データベースは、前記外気湿球温度と冷却負荷の組み合わせにより、前記冷却塔の運転に対して前記冷凍機の運転を加算してエネルギー消費量が最小となる前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却水出口温度制御目標値を最適化し、前記外気湿球温度と前記冷却負荷と前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の相対関係を示しているとよい。
【００１０】
本発明の冷却水製造装置は、冷却水の冷却を行う冷却塔と、第１の流量制御手段を備えた第１の冷却水一次配管と、冷凍機と、第２の流量制御手段を備えた第２の冷却水一次配管と、負荷と、第３の流量制御手段と、前記負荷の往配管及び還配管の冷却水温度を測定する温度センサーと、前記還配管の流量を測定する流量センサーを備えた冷却水二次配管と、外気の温湿度を測定する外気温湿度センサーと、前記外気の温湿度と、前記負荷の往配管及び還配管の冷却水温度と、前記還配管の流量を入力値とし、前記入力値に基づいて外気湿球温度と冷却負荷を演算して、前記外気湿球温度と前記冷却負荷の組み合わせにより、前記冷却塔の冷却運転に対して前記冷凍機の冷却運転を加算してエネルギー消費量が最小となる前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の切り替えと、前記第１及び第２の冷却水一次配管の流量を最適化し、前記外気湿球温度と前記冷却負荷と前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の相対関係から前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の切り替えと、前記第１及び第２の流量制御手段の流量を制御する制御信号を出力する演算器と、を備えたことを特徴としている。
【００１１】
本発明の冷却水製造装置の制御方法は、冷却水の冷却を行う冷却塔と、第１の流量制御手段を備えた第１の冷却水一次配管と、冷凍機と、第２の流量制御手段を備えた第２の冷却水一次配管と、負荷と、第３の流量制御手段と、前記負荷の往配管及び還配管の冷却水温度を測定する温度センサーと、前記還配管の流量を測定する流量センサーを備えた冷却水二次配管と、外気の温湿度を測定する外気温湿度センサーと、を備えた冷却水製造装置の制御方法において、予め外気湿球温度と冷却負荷の組み合わせにより、前記冷却塔の冷却運転に対して前記冷凍機の冷却運転を加算してエネルギー消費量が最小となる前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の切り替えと、前記第１及び第２の冷却水一次配管の流量を最適化し、前記外気湿球温度と前記冷却負荷と前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の相対関係を示すデータベースを記憶しておき、前記外気の温湿度と、前記負荷の往配管及び還配管の冷却水温度と、前記還配管の流量を入力し、入力値に基づいて前記外気湿球温度と前記冷却負荷を演算し、前記データベースから前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の切り替えと、前記第１及び第２の流量制御手段の流量を制御する制御信号を出力することを特徴としている。
【００１２】
この場合において、前記データベースは、前記外気湿球温度と冷却負荷の組み合わせにより、前記冷却塔の運転に対して前記冷凍機の運転を加算してエネルギー消費量が最小となる前記冷却塔及び前記冷凍機の前記冷却水の流量比を最適化し、前記外気湿球温度と前記冷却負荷と前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の相対関係を予め示しておき、前記データベースから前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の切り替えと、前記第１及び第２の流量制御手段の流量比を制御する制御信号を出力するとよい。
【００１３】
また前記データベースは、前記外気湿球温度と冷却負荷の組み合わせにより、前記冷却塔の運転に対して前記冷凍機の運転を加算してエネルギー消費量が最小となる前記冷却塔及び前記冷凍機の前記冷却水の冷却水出口温度制御目標値を最適化し、前記外気湿球温度と前記冷却負荷と前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の相対関係を予め示しておき、前記データベースから前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の切り替えと、前記第１及び第２の流量制御手段の流量比を制御する制御信号を出力するとよい。
【００１４】
本発明の冷却水製造装置の制御方法は、冷却水の冷却を行う冷却塔と、第１の流量制御手段を備えた第１の冷却水一次配管と、冷凍機と、第２の流量制御手段を備えた第２の冷却水一次配管と、負荷と、第３の流量制御手段と、前記負荷の往配管及び還配管の冷却水温度を測定する温度センサーと、前記還配管の流量を測定する流量センサーを備えた冷却水二次配管と、外気の温湿度を測定する外気温湿度センサーと、を備えた冷却水製造装置の制御方法において、前記外気の温湿度と、前記負荷の往配管及び還配管の冷却水温度と、前記還配管の流量を入力し、入力値に基づいて外気湿球温度と冷却負荷を演算し、前記外気湿球温度と前記冷却負荷の組み合わせにより、前記冷却塔の冷却運転に対して前記冷凍機の冷却運転を加算してエネルギー消費量が最小となる前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の切り替えと、前記第１及び第２の冷却水一次配管の流量を最適化し、前記外気湿球温度と前記冷却負荷と前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の相対関係から前記冷却塔及び前記冷凍機の冷却運転の切り替えと、前記第１及び第２の流量制御手段の流量を制御する制御信号を出力することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１５】
上記構成による本発明の冷却水製造装置およびその制御方法によれば、冷却塔による冷却水の製造時のポンプ、ファンのエネルギー消費量の無駄を削減することができ、冷却水温度を安定して供給させることができる。
【００１６】
冷却塔の冷却する効率が低下しない負荷範囲の流量で運転した状態で冷凍機を流量制御しながら運転させることができる。従って冷却塔と冷凍機を併用して冷却水を製造することができ、冷凍機と冷却塔の冷却水ポンプ動力を削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施形態１の冷却水製造装置の構成概略を示す図である。
【図２】本発明の冷却水製造装置の運転状態を示す説明図である。
【図３】本発明の冷却水製造装置のテーブルデータの説明図である。
【図４】本発明の冷却水製造装置のテーブルである。
【図５】本発明の冷却水製造装置の制御方法のフローチャートである。
【図６】実施形態２の冷却水製造装置の説明図である。
【図７】冷却水製造装置のテーブルデータの変形例１の説明図である。
【図８】冷却水製造装置のテーブルの変形例１の説明図である。
【図９】冷却水製造装置のテーブルデータの変形例２の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明の冷却水製造装置およびその制御方法の実施形態を添付の図面を参照しながら以下、詳細に説明する。図１は実施形態１の冷却水製造装置の構成概略を示す図である。なお図１では演算器とインバーターと温度センサーと流量センサーを接続する線を便宜上省略して示している。
【００１９】
図示のように実施形態１の冷却水製造装置１０は、水槽２０と、冷却水一次配管３０と、冷却水二次配管４０と、冷却水一次ポンプ５０と、冷却水二次ポンプ６０と、冷却塔７０と、冷凍機８０と、演算器９０と、を主な基本構成としている。
【００２０】
水槽２０は、冷却塔７０、冷凍機８０、負荷８４を循環する冷却水を一時的に貯留する槽であり、本実施形態では槽内に冷却水の高温側２２と低温側２４を仕切る仕切板２６を設けている。
【００２１】
水槽２０には、冷却水一次配管３０と、冷却水二次配管４０とが接続されている。冷却水一次配管３０は、水槽２０と冷却塔７０及び冷凍機８０の間を接続して冷却水を循環させる配管であり、本実施形態では第１の冷却水一次配管３５、第２の冷却水一次配管３６、第３の冷却水一次配管３７から構成されている。冷却水二次配管４０は、水槽２０と負荷８４の間を接続して冷却水を循環させる配管である。
【００２２】
水槽２０の高温側２２は、冷却水二次配管４０の還配管４２と接続しており、負荷８４からの冷却水が導入される。また冷却水一次配管３０の往配管３４と接続し、高温側２２の冷却水が冷凍機８０又は冷却塔７０に排出される。
【００２３】
水槽２０の低温側２４は、冷却水一次配管３０の還配管３２と接続しており、冷却塔７０又冷凍機８０からの冷却水が導入される。また冷却水二次配管４０の往配管４４と接続し、低温側２４の冷却水が負荷８４に排出される。
【００２４】
このような構成による水槽２０は、高温側２２で低温側２４よりも温度の高い冷却水が貯留されて、低温側２４で高温側２２よりも温度の低い冷却水が貯留される。
【００２５】
また冷却水一次配管３０及び冷却水二次配管４０はいずれも往配管３４、４４上にそれぞれ流量制御手段となる冷却水一次ポンプ５０及び冷却水二次ポンプ６０が取り付けられている。冷却水一次ポンプ５０及び冷却水二次ポンプ６０にはそれぞれインバーター５２、６２が取り付けられている。インバーター５２、６２はポンプの周波数を可変としポンプの流量を調整することができる。インバーター５２、６２はいずれも演算器９０と電気的に接続させている。なおインバーター６２は、冷却負荷に応じて冷却水二次配管４０の流量を任意に設定変更するように構成することができる。
【００２６】
冷却水二次配管４０の往配管４４及び還配管４２には第１及び第２温度センサー４６、４８を取り付けて、配管内を流れる冷却水の水温Ｔ１、Ｔ２を測定している。第１及び第２温度センサー４６、４８はいずれも、演算器９０と電気的に接続している。
【００２７】
また冷却水二次配管４０の還配管４２上には流量センサー４９を取り付けている。流量センサー４９は還配管４２上を流れる冷却水の流量を測定することができる。流量センサー４９は演算器９０と電気的に接続している。
【００２８】
冷却塔７０は、ケーシング７１と、ファン７２と、散水手段７４と、熱交換器７６と、を主な基本構成としている一般的な密閉式冷却塔である。ケーシング７１内にはファン７２により外気が導入される。図の外気導入は、ファン７２からケーシング７１の外側に吹き出す図であるが、吸い込みでもよい。また開放式冷却塔、冷却水ポンプ、プレート式熱交換器等の公知の熱交換器及び配管の組み合わせでもよい。
【００２９】
熱交換器７６は、冷却水一次配管３０を構成する第１の冷却水一次配管３５と接続して、配管内部に冷却水を循環させている。散水手段７４は熱交換器７６に散布水を散水させている。ファン７２はケーシング７１の開口から内部に外気を導入することができる。このような構成の冷却塔７０は、ファン７２を稼動してケーシング７１の開口から外気を内部に導入し、散水手段７４から散布水を熱交換器７６に散水させる。このとき散布水と外気が接触して冷却される。そして冷却された散布水と熱交換器７６の冷却水が熱交換し冷却水が冷却される。このように冷却塔７０はフリークーリングを利用して冷却水を冷却することができる。なお散水手段７４には、ポンプを取り付けケーシング７１の底部に溜まった散布水を循環させるように構成している。ポンプは複数取り付けてそれぞれ交互に稼動させるように構成することもできる。このポンプは演算器９０と電気的に接続させている。またファン７２にはインバーター７３を取り付け、ファン７２の回転数を制御することができる。インバーター７３は演算器９０と電気的に接続させている。
【００３０】
冷却塔７０は密閉式の場合、散水手段７４のインバーター（不図示）を設置して回転数を負荷と外気湿球温度に対応させて変更するように構成することもできる。なお冷却塔は密閉式のほか、開放式とすることもできる。この場合冷却水ポンプを備えた冷却水配管上に熱交換器を並列に取り付ける構成とすることができる。
【００３１】
第１の冷却水一次配管３５の還配管３５ａには第３の温度センサー３８を取り付けている。第３温度センサー３８は、冷却塔７０で冷却された冷却水の温度を測定することができる。第３温度センサー３８は、演算器９０と電気的に接続させている。
【００３２】
冷凍機８０は、冷却水を冷却する設備であり、一例としてインバータターボ冷凍機、定速ターボ冷凍機、吸収冷凍機を用いることができる。冷凍機８０は１台又は複数台取り付けることができ、本実施形態では第１及び第２の冷凍機８１、８２（２台）を取り付けている。第１及び第２の冷凍機８１、８２はそれぞれ、冷却水一次配管３０を構成する第２の冷却水一次配管３６及び第３の冷却水一次配管３７と接続している。また冷凍機８０は、水冷式の冷凍機として冷却水側を変流量としてもよい。これにより冷凍機の冷却水ポンプの動力を低減することができる。
【００３３】
負荷８４は、冷却対象物であり、冷却水が循環する冷却コイルなどで構成されている。負荷８４は冷却水二次配管４０と接続させている。負荷８４は一例として生産装置の冷却コイルを構成し装置を冷却することができる。この他にも負荷８４としてはクリーンルームの冷却コイルを構成し空気を冷却することができる。
【００３４】
演算器９０は、インバーター７３、５２、６２と第１乃至第３温度センサー４６、４８、３８と流量センサー４９と電気的に接続している。また演算器９０は外気の温湿度を測定可能な外気温湿度センサー８５と電気的に接続している。
【００３５】
演算器９０は第１乃至第３温度センサー４６、４８、３８と、外気温湿度センサー８５と、流量センサー４９による冷却水二次側の冷却水往還温度及び流量と、冷却水出口温度と、外気湿球温度の測定値が入力される。演算器９０は、この測定値に基づいて冷却塔７０及び冷凍機８０の運転・停止、インバーター７３、５２、６２を介してファン７２と冷却水一次ポンプ５０、冷却水二次ポンプ６０の回転数を変更するように構成されている。
【００３６】
外気温湿度センサー８５は、外気の温度と湿度、または外気の乾球温度と湿球温度、または外気の湿球温度を計測可能なセンサーである。
また演算器９０は記憶手段９１を備えている。記憶手段９１はデータベースを記憶するメモリーであり、任意の測定データを書き込み可能に構成することができる。これにより外気変動、負荷の計測をデータ化して、不具合、省エネルギー効果の分析を行うことができる。
【００３７】
図２は本発明の冷却水製造装置の運転状態を示す説明図である。本実施形態の冷却水製造装置１０は、以下に示す（ａ）、（ｂ）、（ｃ１）、（ｃ２）、（ｄ）の運転状態が可能である。なお（ｃ１）、（ｃ２）（ｄ）は負荷及び冷却水二次配管の一部を省略して示している。
【００３８】
（ａ）は夏季など外気温度が高い状態を示しており、冷却塔による冷却水の製造効率が小さくなる。従って冷却負荷が大きく、湿球温度が高いときには冷却塔を停止して第1及び第２の冷凍機８１、８２の２台で運転を行う状態である。
【００３９】
（ｂ）は湿球温度が高い状態であっても、冷却負荷が小さく、冷凍機１台で充分に負荷８４を冷却可能な場合には、第１の冷凍機８１のみ運転させて第２の冷凍機８２を停止させた状態を示している。
【００４０】
（ｃ１）は夏季と冬季の間の中間期など冷凍機８０運転から冷却塔７０運転又は冷却塔７０運転から冷凍機８０運転に切り替わる途中の状態を示している。例えば冷却塔７０による冷却水の冷却では負荷８４を充分に冷却することができない場合には、冷却塔７０を運転させながら、第１の冷凍機８１を１台運転（第２の冷凍機８２は停止）させて冷却水を冷却させている（ｃ１）。
【００４１】
（ｃ２）は（ｃ１）の運転状態では負荷を冷却できない場合、冷却塔７０を運転させながら、第１及び第２の冷凍機８１、８２を運転させて冷却水を冷却させている運転状態を示している。
【００４２】
（ｄ）は冬季など外気温度が低い状態を示しており、冷凍機８０は停止させて、冷却塔７０のみで冷却水製造が可能な場合の運転状態を示している。
【００４３】
図３は本発明の冷却水製造装置のテーブルデータの説明図である。
本発明の記憶手段９１はデータベースを記憶しており、本実施形態のデータベースは、一例として図３に示すようなテーブルデータで表すことができる。図３に示すテーブルデータは、縦軸に冷却負荷を示し、横軸に湿球温度を示している。テーブルデータは、熱源設備を構成する機器使用から運転状況に対するエネルギー消費量の総和を予測可能なシミュレーションにより、エネルギー消費量を目的関数として、冷却水製造温度設定値を満足する条件で外気湿球温度、冷却水往還温度、流量を入力値として目的関数を最小化するように冷凍機運転・停止、冷却塔の運転・停止、ポンプの運転・停止、ポンプ回転数を最適化演算した結果で作成することができる。
【００４４】
テーブルデータは、外気湿球温度と冷却負荷に対応した消費エネルギーが最小となる冷却塔７０及び冷凍機８０の運転状態（図２に示す）を示している。具体的には冷却負荷が小さく、湿球温度が低い場合には、冷却塔７０のみ運転させた運転状態（ｄ）となる。また冷却負荷が大きく、湿球温度が高い場合には冷却塔７０を停止させて第１及び第２の冷凍機８１、８２を運転させた運転状態（ａ）となる。また冷却負荷が小さく、湿球温度が高い場合には、冷却塔７０を停止させて、第１の冷凍機８１のみ運転させた運転状態（ｂ）となる。また冷却塔７０及び第１又は／及び第２の冷凍機８１、８２を運転させた運転状態（ｃ１）、（ｃ２）は運転状態（ａ）（ｂ）と（ｄ）の中間の曲線ｌ、ｍで囲まれた領域となる。
【００４５】
演算器９０は、このテーブルデータから最適化指令値を検索して冷却塔７０及び冷凍機８０に出力している。
なおテーブルデータの代わりに近似式を用いても良く、入力に対する近似式の出力値をもとに運転状態の判定や、温度、流量変更を行うように構成することもできる。
【００４６】
図４は本発明の冷却水製造装置のテーブルである。本実施形態のデータベースは図示のようなテーブルで表すこともできる。図４に示すテーブルは、横軸の外気湿球温度の範囲−５度〜３５度を５度の等間隔で分割し、縦軸の冷却負荷の範囲０％〜１００％を５％の等間隔で分割し、分割された各区分に冷却塔及び冷凍機の運転状態（ａ）〜（ｄ）を割り振って表している。なお負荷の分割割合、冷却負荷範囲は、冷却水の温度制御範囲や、負荷変動の時間変化に任意に変更することができる。
【００４７】
図５は本発明の冷却水製造装置の制御方法のフローチャートである。
まず演算器９０に外気湿球温度センサー８５による外気乾球温度と外気相対温度と外気湿球温度と、第1及び第２温度センサー４６、４８による冷却水二次往還温度と、流量センサー４９による冷却水二次の流量の測定値が入力される（ステップ１）。
【００４８】
次に演算器では入力値に基づいて外気湿球温度及び冷却負荷を演算する（ステップ２）。具体的に外気湿球温度は、外気乾球温度と外気相対湿度の関係から演算することができる。また冷却負荷は、システム冷却水往還温度と流量から冷却負荷を演算し、熱源システムの冷却能力の定格値で除算して求めることができる。
そしてデータベースから算出データに対応した指令値を検索する（ステップ３）。
【００４９】
演算器９０は、冷却塔７０及び冷凍機８０の運転切り替えや、ポンプのインバーター周波数を設定するためのテーブルデータを予め記憶させた記憶手段９１を備えている。テーブルデータは、熱源設備を構成する機器使用から運転状況に対するエネルギー消費量の総和を予測可能なシミュレーションにより、エネルギー消費量を目的関数として、冷却水製造温度設定値を満足する条件で外気湿球温度、冷却水往還温度、流量を入力値として目的関数を最小化するように冷凍機運転・停止、冷却塔の運転・停止、ポンプの運転・停止、ポンプ回転数を最適化演算した結果で作成することができる。シミュレーションは、ターボ冷凍機や吸収冷凍機、冷却塔のエネルギー消費量を熱負荷、外気温度、湿度から算出する。またポンプのエネルギー消費量は、配管系統の流量に対する圧力損失の関係を予測又は実測した結果に基づいてポンプ揚程を算出し、流量と揚程の関係からポンプ動力を演算することができる。また密閉式冷却塔又は、開放式冷却塔の出口温度予測は、一般的な冷却塔のエンタルピー基準総括容積伝達係数と冷却塔性能近似式を用いて予測することができる。
得られた指令値を冷却塔及び冷凍機、ポンプに出力する（ステップ４）。
【００５０】
なお演算器９０は、記憶手段９１を用いずに、ステップ２に示す入力値に基づいて外気湿球温度及び冷却負荷を演算した後、テーブルデータに示す相関関係をシミュレーションして算出データに対応した指令値を求めるように構成することもできる。
【００５１】
図６は実施形態２の冷却水製造装置の説明図である。ここでは実施形態１の冷却水製造装置１０と同一の構成には同一符号を付してその詳細な説明を省略し、異なる構成について説明する。なお図１では第１演算器とインバーターと温度センサーと流量センサーと第２及び第３演算器を接続する線を便宜上省略して示している。
【００５２】
実施形態２の冷却水製造装置１００は、実施形態１で示す演算器９０（第１演算器）に加えて、冷却塔７０の冷却水出口の温度制御を行う第２演算器９２と、冷却水二次配管４０の圧力制御を行う第３演算器９３を備えている。
【００５３】
第２演算器９２は、冷却塔７０のファン７２に取り付けたインバーター７３と、冷却塔７０の出口の冷却水温度を測定する第３温度センサー３８と、三方バルブ９４と電気的に接続させている。三方バルブ９４は第１の冷却水一次配管３５の往還配管をバイパスさせるバイパス管９８と還配管３５ａとの接続する箇所に取り付けている。
【００５４】
上記構成による第２演算器９２は、冷却塔７０のファン７２に取り付けたインバーター７３による周波数を制御して回転数を変更と運転停止による冷却塔７０の冷却水出口の温度を制御している。また水槽２０内の冷却水温度が低温化した場合には、第１の冷却水一次配管３５の冷却水をバイパス管９８に導入させるように三方バルブ９４を開閉するフィードバック制御を行うことができる。これにより冷却水の製造温度を一定にすることができる。また密閉式冷却塔の凍結防止はケーシング７１内の冷却水温度を測定して温度が低下しないようにヒータ（不図示）を制御し、散水ポンプとファンの運転・停止の制御を行う。
【００５５】
第３演算器９３は、冷却水二次ポンプ６０のインバーター６２と、分岐バルブ９５と、圧力センサー９７と電気的に接続させている。分岐バルブ９５は冷却水二次配管４０の往配管４４を取り付けた冷却水二次ポンプ６０と負荷８４の間から分岐して水槽２０の低温側２４と接続する分岐配管９６上に取り付けている。
【００５６】
また冷却水二次配管４０の往配管４４には配管内の圧力を測定する圧力センサー９７を分岐配管９６と負荷８４の間に取り付けている。なお冷却水二次ポンプ６０は一定流量に設定することもできる。また圧力センサー９７の取り付け箇所は、冷却水二次配管４０の最も圧力が低くなる位置に取り付けるように構成することができる。
【００５７】
上記構成による第３演算器９３は、圧力センサー９７による冷却水二次配管４０の圧力の測定値が入力され、冷却水二次ポンプ６０のインバーター周波数を制御し、分岐バルブ９５の開度制御を行っている。これにより送水圧力を一定として変流量を行うことができる。
なお第２演算器９２及び第３演算器９３の処理は第１演算器９０で一括で行うように構成することもできる。
【００５８】
上記構成による実施形態２の冷却水製造装置１００は、図５に示すフローチャートに従って制御することができる。外気の状態と冷却負荷の計測値に基づいて、フリークーリングにより冷却水を製造する冷却塔７０と、冷凍機８０の運転切り替えや、制御目標値の指令を行う演算器９０は、外部からの支持によって演算処理、入出力処理を開始する。
【００５９】
なお冷却塔７０及び冷凍機８０の自動運転で行う構成とすることもできるが、自動運転がオフの場合も、演算器９０には、機器の運転状態、指示調節計の設定値などの運転状態を常時読み取り可能に構成することができる。
【００６０】
まず、計測値の入力処理として、外気相対湿度、冷水往還温度、冷水流量、機器の運転状態などの測定値（測定データ）を読み取る。
冷却負荷、外気湿球温度演算処理として、計測データからテーブルデータの検索に必要な冷却負荷と外気湿球温度を演算する。
【００６１】
次に、最適化指令値の演算処理として、冷却負荷と外気湿球温度の組み合わせに対応する冷凍機運転台数、指示調節計（ポンプ）など、指令する制御目標値をテーブルデータから検索する。
【００６２】
図７は冷却水製造装置のテーブルデータの変形例１の説明図である。テーブルデータは、冷却負荷と湿球温度に対応して、冷凍機の運転及びフリークーリングによる冷却塔の運転の切り替え状態、冷凍機運転台数、冷却塔用の冷却水一次ポンプ流量・冷凍機用の冷却水一次ポンプ流量の流量比の相対関係を示している。図７に示すテーブルデータは図３に示すテーブルデータの運転状態（ａ）〜（ｄ）と基本構成は同じであり、運転状態ｃ１、ｃ２は冷却塔と冷凍機を冷却運転させている状態において、冷凍機８０の負荷の割合を２０〜８０％の間で変化させた状態を示している。このときエリアＡは冷凍機２０％と冷却塔８０％で冷却運転している状態である。エリアＢは冷凍機４０％と冷却塔６０％で冷却運転している状態である。エリアＣは冷凍機６０％と冷却塔４０％で冷却運転している状態である。エリアＤは冷凍機８０％と冷却塔２０％で冷却運転している状態である。なお運転状態（ｄ）は冷却塔の負荷割合が１００％であり、運転状態（ａ）、（ｂ）は冷凍機の負荷割合が１００％である。また運転状態ｃ１、ｃ２における冷却塔の負荷割合は任意の割合に変更することができる。
【００６３】
次に演算された指令値を機器類の保護のため、前回のサイクルにおいて送信した値に対して変化幅の制限を設け、最適化指令値に達するまで例えば１分周期で設定値を書き込む。なお周期と設定値は実際に運転したデータの変動に基づいて任意に変更することができる。
【００６４】
冷却塔用の冷却水一次ポンプ流量・冷凍機用の冷却水一次ポンプ流量演算は二次冷却水の還側水温と冷却負荷より流量を演算する。
また、流量Ｑ（Ｌ／ｍｉｎ）から設計時ポンプ定格流量に対する比を計算する。
Ｑ＝Ｌｏａｄ／［（Ｔｗｈ−Ｔｗｓｐ）×Ｃｐ］×６０
【００６５】
ここでＬｏａｄは冷却負荷（ｋＷ）、Ｔｗｈは冷却水二次側還温度（℃）、Ｔｗｓｐは冷却水送水温度設定値（℃）、Ｃｐは比熱（ｋＪ／（ｋｇ・℃））をそれぞれ示している。
【００６６】
さらに、冷却塔用冷却水ポンプ流量と冷凍機用冷却水一次ポンプ流量の指令値を、現場に配置されたポンプと配管系に対する流量とインバーター周波数の関係から流量比を周波数に変換する。
【００６７】
テーブルデータは、機器の運転、停止状態、冷却水一次ポンプの流量演算に必要な冷凍機と冷却塔の負荷分配の割合の数値を含む。図７に示す運転状態ｃ１、ｃ２で冷凍機８０と冷却塔７０が同時に運転している場合には、テーブルデータに設定した負荷の任意に設定した割合、例えば、冷凍機２０％、冷却塔８０％となるように、冷凍機８０と冷却塔７０の流量を計算して、ポンプ周波数を変更する。
【００６８】
また冷凍機のハンチングを防止するため、冷凍機とフリークーリング運転の切り替えは冷凍機運転後の一定時間後まで、フリークーリング運転に切り替わらないようにタイマー処理を行う最適化指令値を設定する。
【００６９】
上記の処理を行った最適化指令値データ（冷凍機運転・停止、フリークーリング用冷却塔運転停止、フリークーリング用冷却水ポンプ運転停止、冷却水一次ポンプインバータ周波数、フリークーリング冷却水ポンプインバータ周波数、冷却塔冷却水出口温度設定）、冷却水三方弁温度設定値を出力する。出力タイミングは例えば１分周期とし、調整可能である。
冷凍機や冷却塔などの機器は、最適化指令値を受けて運転・停止を行う。
【００７０】
また、第２演算器９２は最適化指令値に基づいて制御を行う。第２演算器９２は、冷却塔７０のファン７２に取り付けたインバーター７３による周波数を制御して回転数を変更と運転停止による冷却塔７０の冷却水出口の温度を制御している。また水槽２０内の冷却水温度が低温化した場合には、第１の冷却水一次配管３５の冷却水をバイパス管９８に導入させるように三方バルブ９４を開閉するフィードバック制御を行うことができる。これにより冷却水の製造温度を一定にすることができる。
【００７１】
第３演算器９３は最適化指令値に基づいて制御を行う。第３演算器９３は、圧力センサー９７による冷却水二次配管の圧力の測定値が入力され、冷却水二次ポンプ６０のインバーター周波数を制御し、分岐バルブ９５の開度制御を行っている。これにより送水圧力を一定として変流量を行うことができる。
【００７２】
なお冷凍機はローテーション運転とし、最適値指令値の台数に基づいて、運転対象冷凍機を選定し、運転・停止を指令し、故障信号時は故障機をスキップして他の機器を運転するように制御することもできる。
また演算器の故障時には故障出力を行うとともに、予め決められた機器運転状態に設定することが可能である。例えば、冷凍機運転状態で運転すればよい。
【００７３】
実施形態２のデータベースは図８に示すようなテーブルで表すこともできる。図８に示すテーブルは、冷凍機の運転と冷却塔の切り替え状態、冷凍機運転台数、冷却塔用の冷却水一次ポンプ流量・冷凍機用の冷却水一次ポンプ流量の数値に対して、それぞれのテーブルデータの記憶領域に数値を読み込んでいる。そして横軸の外気湿球温度の範囲−５度〜３５度を５度の等間隔で分割し、縦軸の冷却負荷の範囲０％〜１００％を５％の等間隔で分割し、分割された各区分に冷却塔及び冷凍機の流量比を割り振って表している。なお表中の冷却塔のみの運転はＦＣで表している。またＡ、Ｂ、Ｃは図７に示すエリアＡ、Ｂ、Ｃと対応している。
【００７４】
このような本実施形態の冷却水製造装置の制御方法によれば、冷却塔による冷却水の製造時のポンプ、ファンのエネルギー消費量の無駄を削減することができ、冷却水温度を安定して供給させることができる。
【００７５】
次に冷却水製造装置のテーブルデータの変形例２について以下に説明する。図９は冷却水製造装置のテーブルデータの変形例２の説明図である。変形例２のテーブルデータは、冷却塔７０と冷凍機８０の冷却水出口温度を予め設定された温度制御目標値Ｘに変更するためのテーブルデータである。
【００７６】
本実施形態の冷却水製造装置の制御方法は、外気の湿球温度、冷却水二次往還温度及び流量に対応して、エネルギーが最小に近づくように、冷却塔７０と冷凍機８０の冷却水が混合した温度、すなわち水槽２０の低温側２４の温度が温度制御目標値Ｘとなるように演算し、冷却塔７０及び冷凍機８０の冷却水出口温度制御目標値（Ｔｃｔｓ、Ｔｒｓ）を変更させている。
【００７７】
ここで冷凍機８０の冷却水出口温度制御目標値Ｔｒｓは、冷凍機８０で製造する冷却水の設定温度であり、負荷に応じて任意に変更することができる。
一方、冷却塔７０の冷却水出口温度制御目標値Ｔｃｔｓは次式で求めることができる。
Ｔｃｔｓ＝Ｔ２−（Ｌｏａｄ−Ｑｒ×（Ｔ２−Ｔｒｓ）×Ｃｐ／６０）／（Ｑｃｔ×Ｃｐ／６０）
【００７８】
ここでＴ２は冷却水二次還温度、Ｌｏａｄは冷却負荷、Ｑｒは冷凍機水量、Ｑｃｔは冷却塔水量、Ｃｐは比熱をそれぞれ示している。冷却塔７０の冷却水は、ファン７２に取り付けたインバーター７３による周波数制御によって、冷却水温度を変更することができる。例えば周波数制御によってファンの回転数を上げた場合には、外気の導入量が多くなり冷却水を低温にすることができる。
【００７９】
図９に示すテーブルデータは、図３に示すテーブルデータの運転状態（ａ）〜（ｄ）と基本構成は同じであり、運転状態ｃ１、ｃ２は冷却塔と冷凍機を冷却運転させている状態において、冷凍機８０の冷却水出口温度制御目標値Ｔｒｓを、冷却水出口温度制御目標値Ｘからａ〜４ａの範囲で減算した状態を示している。このときエリアＥは冷却水出口温度制御目標値Ｘから冷凍機８０の冷却水出口温度の減算値ａを減算した状態である。エリアＦは冷却水出口温度制御目標値Ｘから冷凍機８０の冷却水出口温度の減算値２ａを減算した状態である。エリアＧは冷却水出口温度制御目標値Ｘから冷凍機８０の冷却水出口温度の減算値３ａを減算した状態である。エリアＨは冷却水出口温度制御目標値Ｘから冷凍機８０の冷却水出口温度の減算値４ａを減算した状態である。エリアＥからエリアＨに向かって冷凍機の冷却割合を大きくしている。なお運転状態（ｄ）は冷却塔の冷却水出口温度制御目標値がＸであり、運転状態（ａ）、（ｂ）は冷凍機の冷却水出口温度制御目標値がＸである。また運転状態ｃ１、ｃ２における冷凍機の冷却水出口温度の減算値ａ及び減算の範囲ａ〜４ａは任意の設定値に変更することができる。
【００８０】
図９に示すテーブルデータを用いた冷却水製造装置の制御方法は、図５に示す処理フローに従って制御することができる。まずステップ１，２は同様の処理で行われる。そしてステップ３においてデータベースから算出データに対応した指令値を検索する際、例えば、エリアＥ（運転状態ｃ２におけるＸ−ａ）は、冷却塔による冷却運転では負荷を処理しきれず、冷却塔及び冷凍機の冷却運転を行い冷却水出口温度制御目標値Ｘの指令値を行う状態である。このとき、冷凍機の冷却水出口温度制御目標値ＴｒｓはＸ−ａであり、冷却塔の冷却水出口温度制御目標値Ｔｃｔｓは前述の式により求めることができる。そして冷却塔７０の冷却水は、ファン７２に取り付けたインバーター７３による周波数制御によって、冷却水温度を変更することができる。また冷凍機の冷却水温度は制御目標値Ｔｒｓをａに設定することにより変更することができる。冷凍機の冷却水出口温度制御目標値の減算値ａは湿球温度と冷却負荷からデータベースにより参照された制御目標値によって決定される。
【００８１】
冷却水出口温度制御目標値Ｘ−ａを満たす冷凍機の冷却水出口温度制御目標値と冷却機の冷却水出口温度制御目標値に相当する第１及び第２の流量制御手段の流量に制御する制御信号を出力する（ステップ４）。
【００８２】
このような外気の湿球温度、冷却水二次往還温度及び流量に対応して、エネルギーが最小に近づくように、冷却塔と冷凍機の冷却水が混合した温度が温度制御目標値Ｘとなるように演算し、冷却塔及び冷凍機の冷却水出口温度制御目標値（Ｔｃｔｓ、Ｔｒｓ）を変更させることによっても、冷却塔の冷却する効率が低下しない負荷範囲の流量で運転した状態で冷凍機を流量制御しながら運転させることができる。従って冷却塔と冷凍機を併用して冷却水を製造することができ、冷凍機と冷却塔の冷却水ポンプ動力を削減することができる。
【符号の説明】
【００８３】
１０、１００………冷却水製造装置、２０………水槽、２２………高温側、２４………低温側、２６………仕切板、３０………冷却水一次配管、３２………還配管、３４………往配管、３５………第１の冷却水一次配管、３６………第２の冷却水一次配管、３７………第３の冷却水一次配管、３８………第３温度センサー、４０………冷却水二次配管、４２………還配管、４４………往配管、４６………第１温度センサー、４８………第２温度センサー、４９………流量センサー、５０………冷却水一次ポンプ、５２………インバーター、６０………冷却水二次ポンプ、６２………インバーター、７０………冷却塔、７１………ケーシング、７２………ファン、７３………インバーター、７４………散水手段、７６………熱交換器、８０………冷凍機、８１………第１の冷凍機、８２………第２の冷凍機、８４………負荷、８５………外気温湿度センサー、９０………演算器、９１………記憶手段、９２………第２演算器、９３………第３演算器、９４………三方バルブ、９５………分岐バルブ、９６………分岐配管、９７………圧力センサー、９８………バイパス管。
【図１】
2011226684.tif 000003
【図２】
2011226684.tif 000004
【図３】
2011226684.tif 000005
【図４】
2011226684.tif 000006
【図５】
2011226684.tif 000007
【図６】
2011226684.tif 000008
【図７】
2011226684.tif 000009
【図８】
2011226684.tif 000010
【図９】
2011226684.tif 000011