(57)【要約】【課題】測定回路間を伝搬するノイズ成分を測定する。【解決手段】入力される被測定信号を測定する測定装置であって、入力される信号のレベルを、それぞれ与えられるサンプリングクロックに応じて測定する複数の信号測定回路と、複数の信号測定回路のうちの、第１の信号測定回路から第２の信号測定回路に伝搬するノイズ成分を、第２の信号測定回路が出力する測定結果に基づいて測定するノイズ測定部と、被測定信号を測定する場合、第１の信号測定回路および第２の信号測定回路に周期が同一の前記サンプリングクロックを与え、ノイズ成分を測定する場合、第１の信号測定回路および第２の信号測定回路に周期の異なる前記サンプリングクロックを与えるクロック供給部とを備える測定装置を提供する。【選択図】図１
2011095102.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力される被測定信号を測定する測定装置であって、
入力される信号のレベルを、それぞれ与えられるサンプリングクロックに応じて測定する複数の信号測定回路と、
前記複数の信号測定回路のうちの、第１の信号測定回路から第２の信号測定回路に伝搬するノイズ成分を、前記第２の信号測定回路が出力する測定結果に基づいて測定するノイズ測定部と、
前記被測定信号を測定する場合、前記第１の信号測定回路および前記第２の信号測定回路に周期が同一の前記サンプリングクロックを与え、前記ノイズ成分を測定する場合、前記第１の信号測定回路および前記第２の信号測定回路に周期の異なる前記サンプリングクロックを与えるクロック供給部と
を備える測定装置。
【請求項２】
前記クロック供給部は、前記ノイズ成分を測定する場合に、前記第１の信号測定回路には、前記被測定信号を測定する場合と同一周期の前記サンプリングクロックを供給し、前記第２の信号測定回路には、前記被測定信号を測定する場合とは異なる周期のサンプリングクロックを供給する
請求項１に記載の測定装置。
【請求項３】
前記ノイズ成分を測定する場合に、前記第２の信号測定回路に、予め定められた基準電位を入力する基準電位発生部を更に備える
請求項２に記載の測定装置。
【請求項４】
前記基準電位発生部は、前記基準電位を、前記第１の信号測定回路にも入力する
請求項３に記載の測定装置。
【請求項５】
前記複数の信号測定回路のそれぞれは、所定のコモン電位を基準とする差動の入力信号のレベルを、前記サンプリングクロックに応じてデジタル値に変換し、
前記基準電位発生部は、前記コモン電位を前記基準電位として、前記第１の信号測定回路および前記第２の信号測定回路に入力する
請求項４に記載の測定装置。
【請求項６】
前記クロック供給部は、前記被測定信号を測定する場合に、前記複数の信号測定回路に与えるそれぞれの前記サンプリングクロックの位相を異ならせ、
前記測定装置は、
前記被測定信号を測定する場合に、前記複数の信号測定回路のそれぞれに、同一の前記被測定信号を入力させる信号入力部と、
前記被測定信号を測定する場合に、前記複数の信号測定回路が出力する測定結果を合成して出力する信号出力部と
を更に備える請求項１から５のいずれか１項に記載の測定装置。
【請求項７】
前記測定装置は、前記複数の信号測定回路において、前記第１の信号測定回路および前記第２の信号測定回路とする信号測定回路の組み合わせを順次変更して前記ノイズ成分を測定する
請求項１から５のいずれか１項に記載の測定装置。
【請求項８】
前記ノイズ測定部は、前記第１の信号測定回路が出力する測定結果に基づいて、前記第２の信号測定回路から前記第１の信号測定回路に伝搬するノイズ成分を更に測定する
請求項１から５のいずれか１項に記載の測定装置。
【請求項９】
前記クロック供給部は、前記複数の信号測定回路のうちのＭ個（但し、Ｍは２以上の整数）を前記第１の信号測定回路として、それぞれの前記第１の信号測定回路に同一の周期の前記サンプリングクロックを与える
請求項１から５のいずれか１項に記載の測定装置。
【請求項１０】
前記クロック供給部は、前記複数の信号測定回路のうち、前記第２の信号測定回路からの距離が略等しい複数の信号測定回路を前記第１の信号測定回路として、それぞれの前記第１の信号測定回路に同一の周期の前記サンプリングクロックを与える
請求項９に記載の測定装置。
【請求項１１】
前記クロック供給部は、前記複数の信号測定回路のうち、連続して配置されるＭ個（但し、Ｍは２以上の整数）を前記第１の信号測定回路として第１の周期の前記サンプリングクロックを与え、且つ、連続して配置されるＬ個（但し、Ｌは２以上の整数）を前記第２の信号測定回路として第２の周期の前記サンプリングクロックを与え、
前記ノイズ測定部は、それぞれの前記第２の信号測定回路の前記ノイズ成分の平均を測定する
請求項１から５のいずれか１項に記載の測定装置。
【請求項１２】
前記クロック供給部は、前記ノイズ成分を測定する場合に、前記第１の信号測定回路および前記第２の信号測定回路に与える前記サンプリングクロックの周期の差が、前記第１の信号測定回路に与える前記サンプリングクロックの周期の整数倍とならないように、前記第１の信号測定回路に与える前記サンプリングクロックの周期を設定する
請求項１から１１のいずれか１項に記載の測定装置。
【請求項１３】
被試験デバイスを試験する試験装置であって、
前記被試験デバイスが出力する被測定信号を測定する、請求項１から１２のいずれか１項に記載の測定装置と、
前記測定装置における測定結果に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と
を備える試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定装置および試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、信号を測定する測定回路が、並列に複数個設けられた装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。それぞれの測定回路には、信号を測定するタイミングを規定するサンプリングクロックが与えられる。それぞれの測定回路は、当該サンプリングクロックのエッジタイミングで、入力信号の信号レベルをデジタル値に変換する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１６０５４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したように、複数の測定回路が並列に設けられる場合、それぞれの測定回路に、他の測定回路で生じたノイズ成分が伝搬する場合がある。例えば、それぞれの測定回路は、サンプリングクロックに同期して動作するので、それぞれの測定回路から他の測定回路に、サンプリングクロックに同期したノイズ成分が伝搬する。
【０００５】
例えば、測定回路間の基板を介して当該ノイズ成分が伝搬することが考えられる。また、共通の信号が測定回路に入力される場合、共通の信号ラインを介して当該ノイズ成分が伝搬することが考えられる。また、測定回路が共通の電源から電源電力を受け取る場合、当該電源を介して当該ノイズ成分が伝搬することも考えられる。特に、インターリーブ方式のＡＤ変換装置においては、複数のＡＤ変換器が近接して設けられ、各ＡＤ変換器に共通の信号が入力され、共通の電源から各ＡＤ変換器に電源電力が供給されるので、上述したノイズ成分の課題がより顕著になる。
【０００６】
なお従来は、それぞれの測定回路が発生したノイズ成分を測定するために、より高速に動作できる専用の測定回路を設けていた。しかし、実動作時に用いない専用の測定回路を設けることは、効率がわるい。また、実動作する各測定回路が、実際にどの程度ノイズの影響を受けるかを測定することができない。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、入力される被測定信号を測定する測定装置であって、入力される信号のレベルを、それぞれ与えられるサンプリングクロックに応じて測定する複数の信号測定回路と、複数の信号測定回路のうちの、第１の信号測定回路から第２の信号測定回路に伝搬するノイズ成分を、第２の信号測定回路が出力する測定結果に基づいて測定するノイズ測定部と、被測定信号を測定する場合、第１の信号測定回路および第２の信号測定回路に周期が同一の前記サンプリングクロックを与え、ノイズ成分を測定する場合、第１の信号測定回路および第２の信号測定回路に周期の異なる前記サンプリングクロックを与えるクロック供給部とを備える測定装置を提供する。
【０００８】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施形態に係る測定装置１００の構成例を示す。
【図２】ノイズ測定モードにおける、測定装置１００の動作例のタイミングチャートを示す。
【図３】測定装置１００の他の構成例を示す図である。
【図４】図３に示した測定装置１００の、信号測定モードにおける動作例のタイミングチャートを示す。
【図５】信号測定回路１０の他の例を示す。
【図６】ノイズ測定モードにおける、測定装置１００の他の動作例を説明する図である。
【図７】試験装置２００の構成例を、被試験デバイス３００とあわせて示す。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１１】
図１は、実施形態に係る測定装置１００の構成例を示す。測定装置１００は、入力される被測定信号を測定する装置であって、複数の信号測定回路１０、クロック供給部３０、ノイズ測定部５０、および、基準電位発生部７０を備える。複数の信号測定回路１０は、同一の半導体チップ内に形成されてよい。また、クロック供給部３０、ノイズ測定部５０、および、基準電位発生部７０も、同一の半導体チップ内に形成されてよい。また、複数の信号測定回路１０は、共通の電源または電源ラインから電源電力を受け取ってよい。
【００１２】
それぞれの信号測定回路１０は、入力される信号のレベルを、それぞれ与えられるサンプリングクロックに応じて測定する。例えば信号測定回路１０は、サンプリングクロックの立ち上がりエッジまたは立ち下がりエッジのタイミングで入力信号の信号レベルを検出して、当該信号レベルをデジタル値に変換した測定結果を出力するＡＤ変換器であってよい。それぞれの信号測定回路１０には、異なる被測定信号が入力されてよく、また、同一の被測定信号が入力されてもよい。
【００１３】
クロック供給部３０は、それぞれの信号測定回路１０にサンプリングクロックを供給する。被測定信号を測定する場合、クロック供給部３０は、それぞれの信号測定回路１０に対して、予め定められた同一周期のサンプリングクロックを供給する。
【００１４】
ノイズ測定部５０は、それぞれの信号測定回路１０の間を伝搬するノイズ成分を測定する。当該ノイズ成分は、それぞれの信号測定回路１０における測定動作により生じたノイズ成分であってよい。それぞれの信号測定回路１０は、予め定められた周期のサンプリングクロックに応じて動作するので、当該ノイズ成分は、当該サンプリングクロックに応じた周期を有する。
【００１５】
ノイズ測定部５０は、測定装置１００が外部からの被測定信号を測定していない期間に、当該ノイズ成分を測定する。測定装置１００は、外部からの被測定信号を測定する信号測定モードと、信号測定回路１０間を伝搬するノイズ成分を測定するノイズ測定モードの２つの動作モードを有してよい。
【００１６】
ノイズ測定モードにおいて、本例のノイズ測定部５０は、複数の信号測定回路１０のうちの、第１の信号測定回路１０から第２の信号測定回路１０に伝搬するノイズ成分を測定する。ノイズ測定部５０は、第２の信号測定回路１０が出力する測定結果から、当該ノイズ成分を測定する。
【００１７】
なお、当該測定結果に、当該ノイズ成分以外の成分が含まれないように、ノイズ測定モードでは、第２の信号測定回路１０の信号入力端子には、被測定信号に代えて、所定の電位が与えられることが好ましい。また、第１の信号測定回路１０において、入力信号のパターンに依存するノイズ成分を発生させないように、第１の信号測定回路１０の信号入力端子にも、被測定信号に代えて、所定の電位が与えられることが好ましい。
【００１８】
これにより、第１の信号測定回路１０の測定動作により生じるノイズ成分を精度よく測定することができる。本例では、基準電位発生部７０が、第１および第２の信号測定回路１０の信号入力端子に所定の電位を入力する。
【００１９】
また、ノイズ測定モードの場合、クロック供給部３０は、第１および第２の信号測定回路１０のクロック入力端子に、周期の異なるサンプリングクロックを入力する。クロック供給部３０は、第１の信号測定回路１０に、信号測定モードにおけるサンプリングクロックと同一の周期の第１のサンプリングクロックを入力して、第２の信号測定回路１０に、第１のサンプリングクロックとは異なる周期の第２のサンプリングクロックを入力してよい。
【００２０】
また、クロック供給部３０は、第１および第２の信号測定回路１０に与えるサンプリングクロックの周期の差を、第１の信号測定回路１０に与える第１のサンプリングクロックの周期より十分小さくしてよい。クロック供給部３０は、第２の信号測定回路１０に与える第２のサンプリングクロックの周期を、Ｔｓ＋ΔＴに設定してよい。ただし、Ｔｓは信号測定モードにおけるサンプリングクロックの周期を指す。
【００２１】
また、ΔＴが、Ｔｓの整数倍にならないように、第２のサンプリングクロックの周期を設定することが好ましい。ΔＴがＴｓの整数倍の場合、ノイズ成分をサンプリングするタイミングが、ノイズ成分の各サイクル内で同一のタイミングとなるので、ノイズ成分を等価時間サンプリングできない。ΔＴはＴｓより十分小さくてよく、また、Ｔｓより大きくてもよい。
【００２２】
例えば、ΔＴ＝ｋ×Ｔｓ＋ｄｔ（ただし、ｋは０以上の整数、ｄｔはＴｓより小さい）となるように、クロック供給部３０は、第２のサンプリングクロックの周期を設定してよい。つまり、周期差ΔＴが、第１のサンプリングクロックの周期Ｔｓの整数倍とならないように、第２のサンプリングクロックの周期を設定してよい。また、ΔＴは、それぞれの信号測定回路１０が動作できる最小動作周期よりも小さくてよい。
【００２３】
以上の構成により、第２の信号測定回路１０に伝搬するノイズ成分の周期に、微小周期を足した周期を有する第２のサンプリングクロックを、第２の信号測定回路１０に与えることができる。このため、第２の信号測定回路１０は、当該ノイズ成分をアンダーサンプリングすることになる。すなわち、第２の信号測定回路１０は、当該周期差に応じた時間分解能で、ノイズ成分を等価時間サンプリングする。このため、第２の信号測定回路１０は、高周波のノイズ成分をサンプリングできる。
【００２４】
ノイズ測定部５０は、第２の信号測定回路１０が出力する測定結果から、当該ノイズ成分を測定する。ノイズ測定部５０は、当該ノイズ成分の大きさが、所定の範囲内か否かを判定してよい。当該ノイズ成分の大きさが、所定の範囲内にない場合、ノイズ測定部５０は、信号測定回路１０の間のアイソレーションが十分でない旨を、使用者に通知してよい。
【００２５】
例えばノイズ測定部５０は、時間軸において測定したノイズ成分のレベルのピーク値、ＲＭＳ値、または、平均値等が、所定の値より大きいか否かを判定してよい。またノイズ測定部５０は、第２の信号測定回路１０が出力する測定結果をフーリエ変換したスペクトルにおいて、ｆ＝１／Ｔｓの成分またはその高調波の成分等が、所定の値より大きいか否かを判定してよい。
【００２６】
なお、第１の信号測定回路１０および第２の信号測定回路１０は、特定の信号測定回路１０を指すものではない。測定装置１００は、複数の信号測定回路１０において、第１の信号測定回路１０および第２の信号測定回路１０とする信号測定回路１０の組み合わせを順次変更してノイズ成分を測定してよい。
【００２７】
例えば、ノイズ測定部５０は、信号測定回路１０−１を第１の信号測定回路１０として、他の信号測定回路１０−２から信号測定回路１０−Ｎを、順番に第２の信号測定回路１０として選択してよい。これにより、信号測定回路１０−１から、他のそれぞれの信号測定回路１０に伝搬するノイズ成分を測定できる。
【００２８】
同様に、ノイズ測定部５０は、それぞれの信号測定回路１０を、第１の信号測定回路１０として順番に選択してよい。つまり、ノイズ測定部５０は、全ての組み合わせの信号測定回路１０についてノイズ成分を測定してよい。また、ノイズ測定部５０は、予め定められた所定の組み合わせの信号測定回路１０について、ノイズ成分を測定してもよい。
【００２９】
また、ノイズ測定モードの場合、クロック供給部３０は、第１の信号測定回路１０−１および第２の信号測定回路１０−２以外の信号測定回路１０には、サンプリングクロックを供給しないことが好ましい。これにより、他の信号測定回路１０から伝搬するノイズ成分の影響を排除できる。
【００３０】
図２は、ノイズ測定モードにおける、測定装置１００の動作例のタイミングチャートを示す。なお、図２の横軸は時間を示しており、縦軸は信号レベルを示す。また、信号測定回路１０−１を第１の信号測定回路１０として、信号測定回路１０−２を第２の信号測定回路１０として説明する。
【００３１】
ノイズ測定モードの場合、それぞれの信号測定回路１０の信号入力端子には、一定の基準電位が与えられる。そして、第１の信号測定回路１０−１には、信号測定モードの場合と同一の周期Ｔｓのサンプリングクロックが供給される。このため、第１の信号測定回路１０−１においては、サンプリングクロックＴｓに応じた周期のノイズ成分が生じる。当該ノイズ成分は、回路基板、信号ライン、または、電源ライン等を介して第２の信号測定回路１０−２に伝搬する。
【００３２】
また、第２の信号測定回路１０−２には、周期がＴｓ＋ΔＴのサンプリングクロックが供給される。第２の信号測定回路１０−２においては、伝搬された周期性のノイズ成分の周期Ｔｓに対して、サンプリングクロックの周期がΔＴだけ大きい。このため、ノイズ成分の１サイクル毎に、ノイズ成分およびサンプリングクロックの間の相対位相がΔＴずつシフトする。従って、第２の信号測定回路１０−２は、等価的に、ΔＴの時間分解能でノイズ成分をサンプリングする。このため、ノイズ測定部５０は、第２の信号測定回路１０−２が出力する測定結果から、ノイズ成分の大きさを測定することができる。
【００３３】
以上説明した測定装置１００によれば、ノイズ成分を、それぞれの測定回路の測定結果から測定できるので、専用の測定回路を設けなくともよい。また、被測定信号を測定するのに用いる測定回路に伝搬するノイズ成分を測定することができる。
【００３４】
また、等価時間サンプリングにより、信号測定回路１０の動作周波数より高周波数のノイズ成分を測定できる。また、サンプリングクロックの周波数差を変更することで、ノイズ成分の測定における時間分解能を設定できる。また、ノイズの発生源となる信号測定回路１０と、ノイズの伝搬先となる信号測定回路との、全ての組み合わせについてノイズ成分を容易に測定することができる。
【００３５】
なお上記の動作において、第１の信号測定回路１０−１も、周期がＴｓのサンプリングクロックに応じた測定結果を出力する。ノイズ測定部５０は、第１の信号測定回路１０−１が出力する測定結果を、第２の信号測定回路１０−２が出力する測定結果と並行して受け取ってよい。ノイズ測定部５０は、当該測定結果に基づいて、第２の信号測定回路１０−２から第１の信号測定回路１０−１に伝搬する第２のノイズ成分を更に測定してもよい。
【００３６】
ただし、第２の信号測定回路１０−２は、信号測定モードとは異なる周期で動作している。このため、第２のノイズ成分は、信号測定モードにおいて伝搬する成分とは周期が異なる。このため、ある二つの信号測定回路１０の間で、信号測定モードにおいて伝搬するノイズ成分を推定するには、当該二つの信号測定回路１０について、それぞれを第１および第２の信号測定回路１０とした２通りの測定を順番に行うことが好ましい。
【００３７】
図３は、測定装置１００の他の構成例を示す図である。本例の測定装置１００は、図１または図２に関連して説明した測定装置１００の構成に加え、信号入力部９０および信号出力部９２を更に備える。他の構成は、図１または図２に関連して説明した測定装置１００と同一であってよい。
【００３８】
なお本例の測定装置１００は、信号測定回路１０として、ＡＤ変換器を供える。また、ノイズ測定モードにおける、信号測定回路１０、クロック供給部３０、および、ノイズ測定部５０の動作は、図１または図２に関連して説明した測定装置１００と同一であってよい。
【００３９】
信号入力部９０は、複数の信号測定回路１０のそれぞれに、同一の被測定信号を入力する。信号入力部９０は、外部から被測定信号が与えられ、当該被測定信号を分岐して、それぞれの信号測定回路１０の信号入力端子に入力する。信号入力部９０は、略同一の遅延量の分岐経路により、それぞれの信号測定回路１０に被測定信号を入力することが好ましい。
【００４０】
また、当該分岐経路における遅延差を小さくすべく、それぞれの信号測定回路１０は、近接して配置される。信号入力部９０、複数の信号測定回路１０、信号出力部９２は、同一の半導体チップ内に形成されてよい。また、クロック供給部３０、ノイズ測定部５０、および、基準電位発生部７０も、同一の半導体チップ内に形成されてよい。なお基準電位発生部７０は、当該被測定信号に代えて所定の基準電位を、信号入力部９０に入力してよい。
【００４１】
クロック供給部３０は、信号測定モードの場合、複数の信号測定回路１０に与えるそれぞれのサンプリングクロックの位相を異ならせる。なお、各サンプリングクロックの周期は同一である。クロック供給部３０は、それぞれの信号測定回路１０に与えるそれぞれのサンプリングクロックの位相を、Ｔｓ／Ｎずつシフトさせてよい。ここで、Ｔｓはサンプリングクロックの周期を指す。また、Ｎは信号測定回路１０の個数を指す。これにより、複数の信号測定回路１０は、Ｔｓ／Ｎの時間分解能で被測定信号を順番にサンプリングする。
【００４２】
信号出力部９２は、複数の信号測定回路１０が出力する測定結果を合成して出力する。ここで合成とは、それぞれの信号測定回路１０が出力するそれぞれのデジタル値を、サンプリングされた順番で整列させる処理を指してよい。このような構成により、比較的に低速に動作するＡＤ変換器を用いて、高周波数の被測定信号を測定することができる。
【００４３】
図４は、図３に示した測定装置１００の、信号測定モードにおける動作例のタイミングチャートを示す。図４において横軸は時間を示しており、縦軸は信号レベルを示す。また、本例の測定装置１００は、４個の信号測定回路１０を有する。
【００４４】
信号入力部９０は、それぞれの信号測定回路１０の信号入力端子に、同一の被測定信号を入力する。また、クロック供給部３０は、それぞれの信号測定回路１０のクロック入力端子に、位相がＴｓ／４ずつシフトした同一周期のサンプリングクロックを入力する。このため、複数の信号測定回路１０全体として、Ｔｓ／４の時間分解能で被測定信号を測定できる。
【００４５】
信号出力部９２は、それぞれの信号測定回路１０が出力する測定結果の各データ値を、サンプリングされた順番で、１つのデータ系列に整列させる。これにより、図４に示すように、被測定信号をＴｓ／４の時間分解能でサンプリングした測定結果を取得できる。
【００４６】
係る測定装置１００では、それぞれの信号測定回路１０が近接して配置され、同一の被測定信号が分岐して入力される。また、それぞれの信号測定回路１０は、同一の電源ラインから電源電力を受け取る。このため、信号測定回路１０の間を伝搬するノイズ成分がより顕著となる。また、それぞれの信号測定回路１０の内部では、ＡＤ変換動作に応じた高周波のノイズ成分が生じる。図１および図２に関連して説明したようなノイズ成分の測定は、高周波数のノイズ成分を精度よく測定することができるので、係る測定装置１００において、より有効に用いることができる。
【００４７】
図５は、信号測定回路１０の他の例を示す。本例の信号測定回路１０は、所定のコモン電位Ｖｃｍを基準とする差動の入力信号のレベルを、サンプリングクロックに応じてデジタル値に変換する差動のＡＤ変換器を有する。コモン電位Ｖｃｍは、差動の入力信号の中間電位を規定する電位であってよい。信号測定回路１０は、当該コモン電位Ｖｃｍが入力されるコモン入力端子を有してよい。
【００４８】
基準電位発生部７０は、当該コモン電位Ｖｃｍを、上述した基準電位として、第１および第２の信号測定回路１０に入力してよい。より具体的には、基準電位発生部７０は、信号測定回路１０の正および負の差動入力の双方に、コモン電位Ｖｃｍを入力してよい。
【００４９】
測定装置１００は、それぞれの信号測定回路１０に対応して、スイッチ７２およびスイッチ７４を有してよい。スイッチ７２は、信号測定回路１０の正側入力端子に、コモン電位Ｖｃｍを印加するか否かを切り替える。また、スイッチ７４は、信号測定回路１０の負側入力端子に、コモン電位Ｖｃｍを印加するか否かを切り替える。
【００５０】
より具体的には、スイッチ７２およびスイッチ７４のそれぞれの一端は、信号測定回路１０の正側入力端子および負側入力端子に接続される。また、スイッチ７２およびスイッチ７４のそれぞれの他端どうしが接続され、当該他端にコモン電位Ｖｃｍが印加される。基準電位発生部７０は、信号測定モードの場合に、スイッチ７２およびスイッチ７４をオフ状態にして、ノイズ測定モードの場合に、スイッチ７２およびスイッチ７４をオン状態に制御する。
【００５１】
このような構成により、ノイズ測定モードの場合に、それぞれの信号測定回路１０に、一定の基準電位を容易に入力できる。また、第２の信号測定回路１０にコモン電位を入力することで、正電圧および負電圧の双方の測定レンジを確保することができる。
【００５２】
図６は、ノイズ測定モードにおける、測定装置１００の他の動作例を説明する図である。図１から図５に関連して説明した測定装置１００は、第１および第２の信号測定回路１０として、信号測定回路１０を１つずつ選択した。これに対し、本例の測定装置１００は、第１および第２の信号測定回路１０の少なくとも一方を、複数個の信号測定回路１０としてノイズ成分を測定する。図６では、測定装置１００が８個の信号測定回路１０を備える例を示す。
【００５３】
例えば測定装置１００は、Ｍ個の信号測定回路１０（ただし、Ｍは２以上の整数）を第１の信号測定回路１０としてよい。図６では、Ｍ＝６の場合を示す。クロック供給部３０は、Ｍ個の第１の信号測定回路１０に、周期がＴｓの第１のサンプリングクロックを供給する。
【００５４】
また、測定装置１００は、Ｌ個の信号測定回路１０（ただし、Ｌは２以上の整数であり、本例ではＬ＋Ｍを８以下とする）を第２の信号測定回路１０としてよい。図６では、Ｍ＝２の場合を示す。クロック供給部３０は、Ｌ個の第２の信号測定回路１０に、周期がＴｓ＋ΔＴの第２のサンプリングクロックを供給する。
【００５５】
なお、測定装置１００は、複数の信号測定回路１０のうち、連続して配置されるＭ個を第１の信号測定回路１０としてよい。連続して配置されるＭ個の信号測定回路１０とは、所定の信号測定回路１０−１と、当該信号測定回路１０−１に対する距離が小さいものから順番に選択したＭ−１個の信号測定回路１０とを指してよい。
【００５６】
また、測定装置１００は、複数の信号測定回路１０のうち、連続して配置されるＬ個を第２の信号測定回路１０としてよい。ただし、測定装置１００は、第１の信号測定回路１０および第２の信号測定回路１０が重複しないように、第１の信号測定回路１０および第２の信号測定回路１０を選択する。
【００５７】
ノイズ測定部５０は、Ｌ個の第２の信号測定回路１０のノイズ成分の平均を測定してよい。ノイズ測定部５０は、第１の信号測定回路１０および第２の信号測定回路１０の距離の平均値と、当該ノイズ成分の平均値とを対応付けて測定してよい。また、ノイズ測定部５０は、第１の信号測定回路１０および第２の信号測定回路１０の距離の平均が変化するように、第１の信号測定回路１０および第２の信号測定回路１０の組み合わせを変更して、信号測定回路１０の間の距離の平均毎に、ノイズ成分の大きさを測定してよい。
【００５８】
それぞれの信号測定回路１０の特性が同一の場合、測定されるノイズ成分の大きさは、第１の信号測定回路１０および第２の信号測定回路１０の間の距離に依存する。このため、図１および図２に関連して説明した方法において、第１の信号測定回路１０および第２の信号測定回路１０の全ての組み合わせのうち、回路間の距離が同一となる組み合わせについては、重複して測定しないことも考えられる。
【００５９】
しかし、図１および図２に関連して説明した方法は、第１の信号測定回路１０および第２の信号測定回路１０を１つずつ選択するので、ノイズ成分の測定結果に、信号測定回路１０のバラツキが影響する。これに対し、本例の方法では、複数の信号測定回路１０を用いるので、当該バラツキを低減することができる。
【００６０】
なお図６では、複数の信号測定回路１０の全てについて、第１のサンプリングクロックまたは第２のサンプリングクロックのいずれかが供給される例を示したが、いずれかの信号測定回路１０には、サンプリングクロックが供給されなくともよい。測定装置１００は、それぞれの信号測定回路１０を、第１の信号測定回路１０、第２の信号測定回路１０、または、クロックが供給されない信号測定回路１０のいずれかとして機能させる。
【００６１】
また、複数の信号測定回路１０を、第２の信号測定回路１０として動作させた場合、それぞれの第２の信号測定回路１０には、第１の信号測定回路１０からのノイズ成分に加え、他の第２の信号測定回路１０からのノイズ成分が伝搬する。ノイズ測定部５０は、それぞれの第２の信号測定回路１０の測定結果において、ｆ＝１／（Ｔｓ＋ΔＴ）の成分を除去して、または、ｆ＝１／Ｔｓの成分を抽出して、ノイズ成分の大きさを測定してよい。
【００６２】
また、測定装置１００は、第１の信号測定回路１０を複数として、且つ、第２の信号測定回路１０を１つにして、ノイズ成分を測定してもよい。例えば、測定装置１００は、第２の信号測定回路１０を１つ選択して、他の全ての信号測定回路１０を、第１の信号測定回路１０として動作させてよい。この場合、１回の測定で、当該第１の信号測定回路１０に他の信号測定回路１０から伝搬する全てのノイズ成分の和を測定することができる。
【００６３】
また、測定装置１００は、第２の信号測定回路１０からの距離が略等しい複数の信号測定回路１０を、第１の信号測定回路１０としてもよい。例えば、測定装置１００は、略中央に配置された信号測定回路１０を第２の信号測定回路１０として、当該第２の信号測定回路１０の両側に等距離に配置された２つの信号測定回路１０を第１の信号測定回路１０としてよい。
【００６４】
測定装置１００は、第２の信号測定回路１０からの距離が異なる第１の信号測定回路１０のグループ毎にノイズ成分を測定してよい。クロック供給部３０は、それぞれの第１の信号測定回路１０に、周期Ｔｓのサンプリングクロックを供給して、第２の信号測定回路１０に、周期Ｔｓ＋ΔＴのサンプリングクロックを供給する。
【００６５】
なお、第１の信号測定回路１０および第２の信号測定回路１０の組み合わせは、上述した例に限定されない。測定装置１００は、多様な組み合わせの第１の信号測定回路１０および第２の信号測定回路１０について、ノイズ成分を測定してよい。
【００６６】
図７は、試験装置２００の構成例を、被試験デバイス３００とあわせて示す。試験装置２００は、半導体回路等の被試験デバイス３００を試験する装置であって、測定装置１００および判定部１１０を備える。
【００６７】
測定装置１００は、図１から図６に関連して説明したいずれかの測定装置１００と同一の機能および構成を有する。測定装置１００は、被試験デバイス３００が出力する被測定信号を測定する。
【００６８】
判定部１１０は、測定装置１００における、被測定信号の測定結果に基づいて、被試験デバイス３００の良否を判定する。例えば判定部１１０は、測定装置１００が測定した被測定信号のジッタ量等の波形特性、または、論理値パターンに基づいて、被試験デバイス３００の良否を判定してよい。
【００６９】
なお、試験装置２００は、被試験デバイス３００を動作させる試験信号を生成する信号発生部、被試験デバイス３００に電源電力を供給する電源部等を更に備えてよい。また、測定装置１００は、被試験デバイス３００と同一のチップ内に設けられるＢＩＳＴ回路であってもよい。
【００７０】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【００７１】
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【符号の説明】
【００７２】
１０・・・信号測定回路、３０・・・クロック供給部、５０・・・ノイズ測定部、７０・・・基準電位発生部、７２、７４・・・スイッチ、９０・・・信号入力部、９２・・・信号出力部、１００・・・測定装置、１１０・・・判定部、２００・・・試験装置、３００・・・被試験デバイス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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