(57)【要約】【課題】ドクターブレードで泥漿液の厚みを調整する際にキャリアフィルムが反ることを防止し、泥漿液の厚みを均一にすることができるグリーンシートの製造装置及び方法を提供する。【解決手段】泥漿液４ａを貯留する液溜め２と、一方向に走行すると共に自身の上面に液溜めから泥漿液が連続的に塗工される帯状のキャリアフィルム６と、キャリアフィルムの上面から一定の隙間Ｇを設けて配置され、隙間Ｇに基づいてキャリアフィルム上に連続的に塗工された泥漿液の厚みを調整するドクターブレード７と、ドクターブレードで厚みを調整された泥漿液を加熱乾燥する乾燥炉８と、泥漿液が塗工されないキャリアフィルムの両端部６ｅであって、且つ走行方向Ｌにおいて少なくともドクターブレードと重なる位置に配置され、両端部の上面に接して両端部が上向きに反るのを防止する反り押さえ部材１０と、を備えたグリーンシートの製造装置１０１である。【選択図】図１
2011183578.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
原料粉末、溶剤およびバインダー材を混合、分散してなる泥漿液を貯留する液溜めと、
一方向に走行すると共に、自身の上面に前記液溜めから前記泥漿液が連続的に塗工される帯状のキャリアフィルムと、
前記キャリアフィルムの上面から一定の隙間を設けて配置され、当該隙間に基づいて、前記キャリアフィルム上に連続的に塗工された前記泥漿液の厚みを調整するドクターブレードと、
前記ドクターブレードで厚みを調整された前記泥漿液を加熱乾燥し、前記ドクターブレードよりも前記キャリアフィルムの走行方向の下流側に配置された乾燥炉と、
を有するグリーンシートの製造装置において、
前記泥漿液が塗工されない前記キャリアフィルムの両端部であって、且つ前記走行方向において少なくとも前記ドクターブレードと重なる位置に配置され、前記キャリアフィルムの上面に接して前記両端部が上向きに反るのを防止する反り押さえ部材
を備えたグリーンシートの製造装置。
【請求項２】
前記反り押さえ部材は、前記走行方向における前記ドクターブレードと前記乾燥炉の入口との間の中間領域の少なくとも一部で、前記両端部の上面に接している請求項１に記載のグリーンシートの製造装置。
【請求項３】
前記反り押さえ部材は、前記走行方向に沿って前記ドクターブレードと前記乾燥炉の入口との間の中間領域の複数箇所又は全部で、前記両端部の上面に接している請求項１又は２に記載のグリーンシートの製造装置。
【請求項４】
前記反り押さえ部材は、前記ドクターブレードと前記乾燥炉の入口との間の中間領域であって、前記キャリアフィルムの前記走行方向と直角な幅方向において、前記両端部の上面にそれぞれ面接触又は点接触している請求項１又は２に記載のグリーンシートの製造装置。
【請求項５】
前記反り押さえ部材のうち前記両端部との接触部分に潤滑材が存在している請求項１〜４のいずれかに記載のグリーンシートの製造装置。
【請求項６】
前記反り押さえ部材は、前記乾燥炉の内部においても、前記両端部の上面に接している請求項１〜５のいずれかに記載のグリーンシートの製造装置。
【請求項７】
一方向に走行するキャリアフィルムの上面から一定の隙間を設けてドクターブレードを配し、該隙間より原料粉末、溶剤およびバインダー材を混合、分散してなる泥漿液を連続的に前記キャリアフィルムの上面に塗工しつつ、塗工された前記泥漿液の厚みを調整する塗工調整工程と、
前記ドクターブレードにより厚みを調整された前記泥漿液を乾燥炉で加熱乾燥してグリーンシートを形成する加熱乾燥工程と、
を有するグリーンシートの製造方法において、
前記キャリアフィルムが前記ドクターブレードを通過する際に、前記泥漿液が塗工されない前記キャリアフィルムの両端部の上面であって、且つ前記キャリアフィルムの走行方向において前記ドクターブレードと重なる位置を押さえ、前記両端部が上向きに反るのを防止するグリーンシートの製造方法。
【請求項８】
さらに、前記キャリアフィルムが前記ドクターブレードを通過してから前記乾燥炉の入口に導入される間、前記両端部の上面を押さえ、当該両端部が上向きに反るのを防止する請求項７に記載のグリーンシートの製造方法。
【請求項９】
さらに、前記乾燥炉の内部に導入された前記両端部の上面を押さえ、当該両端部が上向きに反るのを防止する請求項８に記載のグリーンシートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヒータ素子やセンサ素子、セラミックコンデンサ、セラミックパッケージ用の基板等に用いるグリーンシートの製造装置及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ドクターブレードを用いたセラミックシートの製造方法が知られている（例えば、特許文献１、２参照）。この方法は以下のようにして行う。まず、原料粉末、溶剤およびバインダー材を混合、分散してなる泥漿液（スラリー）を、走行するキャリアフィルム上に連続的に塗工する。そして、キャリアフィルムの上面から一定の隙間を設けて配置されたドクターブレードで、スラリーを削ぎ落とすようにしてスラリーの厚みを調整する。厚みを調整したスラリーをキャリアフィルム上で搬送して乾燥炉に導入し、スラリーを加熱乾燥してグリーンシートを製造する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平7-187803号公報
【特許文献２】特開2009-208395号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、キャリアフィルムを繰り返し使用すると、キャリアフィルムの両端部がスラリーを塗工する側（上側）に向かって反るという問題がある。これは、乾燥炉でスラリー中の溶剤が揮発、除去され、グリーンシートへ変化する際にスラリーが収縮し、これに伴ってキャリアフィルムがスラリーの塗工されているフィルムの上側へと引っ張られるためである。特に、フィルムの両端側は中央に比べて反りが生じやすい。そして、反りが生じたキャリアフィルム上に再度スラリーを塗工すると、フィルムの反った部分とドクターブレードとのギャップがフィルムが反る前よりも狭くなる。そのため、反りの生じる前後においてスラリーの厚みが不均一となるほか、反りの生じた後はフィルムの中央とフィルムの両端側との間でもスラリーの厚みが不均一になる。
一方、少しでも反りが生じる毎にキャリアフィルムを交換すると、グリーンシートの生産性が著しく低下する。
【０００５】
又、特許文献１記載の技術においては、乾燥炉内でグリーンシートを圧延することで乾燥後の膜厚の均一化を図っている。しかし、スラリーがドクターブレードを通過する際にキャリアフィルムの両端が反っていると、スラリーの厚みがキャリアフィルム両端で薄くなるので、乾燥炉内で圧延しても両端の厚みを回復させることが難しい場合がある。さらに、乾燥炉内で乾燥する前のスラリーは粘性があり圧延ロールに付着するため、乾燥前のスラリーを圧延して厚みを均一にすることは困難である。
そこで、本発明は、ドクターブレードで泥漿液の厚みを調整する際にキャリアフィルムが上反りすることを防止し、泥漿液の厚みを均一にすることができるグリーンシートの製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明のグリーンシートの製造装置は、原料粉末、溶剤およびバインダー材を混合、分散してなる泥漿液を貯留する液溜めと、一方向に走行すると共に、自身の上面に前記液溜めから前記泥漿液が連続的に塗工される帯状のキャリアフィルムと、前記キャリアフィルムの上面から一定の隙間を設けて配置され、当該隙間に基づいて、前記キャリアフィルム上に連続的に塗工された前記泥漿液の厚みを調整するドクターブレードと、前記ドクターブレードで厚みを調整された前記泥漿液を加熱乾燥し、前記ドクターブレードよりも前記キャリアフィルムの走行方向の下流側に配置された乾燥炉と、を有するグリーンシートの製造装置において、前記泥漿液が塗工されない前記キャリアフィルムの両端部であって、且つ前記走行方向において少なくとも前記ドクターブレードと重なる位置に配置され、前記キャリアフィルムの上面に接して前記両端部が上向きに反るのを防止する反り押さえ部材を備えている。
このようにすると、ドクターブレードで泥漿液の厚みを調整するその位置で、反り押さえ部材がキャリアフィルムの両端部が上反りすることを防止するので、キャリアフィルムとドクターブレードとのギャップをキャリアフィルムの中央部と両端部とで一定に保ち、泥漿液の厚みを均一にすることができる。又、既に反りが生じたキャリアフィルムであっても、泥漿液の厚みがキャリアフィルムの中央部と両端部とで均一になるよう泥漿液を塗工することが出来るので、キャリアフィルムの交換時期が長くなり、生産性が向上する。
【０００７】
前記反り押さえ部材は、前記走行方向における前記ドクターブレードと前記乾燥炉の入口との間の中間領域の少なくとも一部で、前記両端部の上面に接しているとよい。
このようにすると、中間領域で両端部が反って泥漿液の厚みが変化することを防止できるので好ましい。
特に、乾燥炉で加熱乾燥される前の泥漿液は保形性が低く、ドクターブレードで厚み調整後にキャリアフィルムが反ると、キャリアフィルムの両端部に近い位置に塗工された泥漿液がキャリアフィルムの中央部に流動して厚みが不均一になる可能性があるが、本製造装置によれば、泥漿液が乾燥する前に流動することを防止できる。
【０００８】
前記反り押さえ部材は、前記走行方向に沿って前記ドクターブレードと前記乾燥炉の入口との間の中間領域の複数箇所又は全部で、前記両端部の上面に接していてもよい。
このようにすると、中間領域でのキャリアフィルムの両端部の上反りをより有効に防止することができる。
【０００９】
前記反り押さえ部材は、前記ドクターブレードと前記乾燥炉の入口との間の中間領域であって、前記キャリアフィルムの前記走行方向と直角な幅方向において、前記両端の上面に面接触又は点接触していてもよい。
このようにすると、面接触であれば反り押さえ部材で両端部を確実に押さえることができ、反りの防止をより確実に出来る。点接触であれば反り押さえ部材とキャリアフィルムとの間の摩擦力を低減することができ、キャリアフィルムの走行を円滑に行うことが出来る。
【００１０】
前記反り押さえ部材のうち前記両端部との接触部分に潤滑材が存在しているとよい。
このようにすると、反り押さえ部材とキャリアフィルムとの間の摩擦力を低減することができ、キャリアフィルムの走行を円滑に行うことができる。
【００１１】
前記反り押さえ部材は、前記乾燥炉の内部においても、前記両端部の上面に接していてもよい。
このようにすると、高温のため泥漿液中の溶剤が揮発しやすい状態にある乾燥炉の内部においてキャリアフィルムの反りを防止することが出来る。
また、泥漿液は乾燥した後はほとんど収縮しないため、泥漿液が乾燥して形を保つまで反り押さえ部材が設けられていると、反り押さえ部材を通過した後にキャリアフィルムが上反りすることが、ほぼ解消される。従って、本製造装置を用いることで、キャリアフィルムの使用回数をより増やすことが可能となる。
なお、前記反り押さえ部材は、乾燥炉の内部において全体に配置されていても、一部に配置されていても良いが、泥漿液の乾燥が生じやすい乾燥炉の内部であって且つ乾燥炉の入口の近傍にあると好ましい。より好ましくは、乾燥炉の内部の全体に渡って、反り押さえ部材が配置されているとよい。
【００１２】
本発明のグリーンシートの製造方法は、走行するキャリアフィルムの上面に一定の隙間を設けたドクターブレードを配し、該隙間より原料粉末、溶剤およびバインダー材を混合、分散した泥漿液を連続的に前記キャリアフィルム上に塗工しつつ、塗工された前記泥漿液の厚みを調整する塗工調整工程と、前記ドクターブレードにより厚みを調整された前記泥漿液を乾燥炉で加熱乾燥してグリーンシートを形成する加熱乾燥工程と、を有し、前記キャリアフィルムがドクターブレードを通過する際に、前記泥漿液が塗工されない前記キャリアフィルムの両端部の上面であって、且つ前記キャリアフィルムの走行方向において前記ドクターブレードと重なる位置を押さえ、前記両端部が上向きに反るのを防止する。
このようにすると、泥漿液の厚みを調整するドクターブレードの位置で、キャリアフィルムの両端部が上反りすることを防止するので、キャリアフィルムとドクターブレードとのギャップをキャリアフィルムの中央部と両端部とで一定に保ち、泥漿液の厚みを均一にすることができる。又、既に反りが生じたキャリアフィルムであっても、泥漿液の厚みがキャリアフィルムの中央部と両端部とで均一になるよう泥漿液を塗工することが出来るので、既に反りが生じたキャリアフィルムの使用が可能である。
【００１３】
本発明のグリーンシートの製造方法において、さらに、前記キャリアフィルムが前記ドクターブレードを通過してから前記乾燥炉の入口に導入される間、前記両端部の上面を押さえ、当該両端部が上向きに反るのを防止するとよい。
このようにすると、ドクターブレードと乾燥炉の入口との間である中間領域で両端部が反って泥漿液の厚みが変化することを防止できるので好ましい。特に、乾燥炉で加熱乾燥される前の泥漿液は保形性が低く、ドクターブレードで厚み調整後にキャリアフィルムが反ると、キャリアフィルムの両端部に近い位置に塗工された泥漿液がキャリアフィルムの中央部に流動して厚みが不均一になる可能性があるが、本製造方法では、泥漿液が乾燥する前に流動することを防止できる。
【００１４】
本発明のグリーンシートの製造方法において、さらに、前記乾燥炉の内部に導入された前記両端部の上面を押さえ、当該両端部が上向きに反るのを防止するとよい。
このようにすると、高温のため泥漿液中の溶剤が揮発しやすい状態にある乾燥炉の内部においてキャリアフィルムの反りを防止することが出来る。
また、泥漿液は乾燥した後はほとんど収縮しないため、泥漿液が乾燥して形を保つまで両端部が上向きに反るのを防止していることで、キャリアフィルムが上反りすることが、ほぼなくなる。従って、本製造装置を用いることで、キャリアフィルムの使用回数をより増やすことが可能となる。
なお、乾燥炉の内部において反りを防止する際に、乾燥炉の内を通過する間ずっと反りを防止していてもよく、乾燥炉内の一部の反りを防止していても良いが、泥漿液の乾燥が生じやすい乾燥炉の内部であって且つ乾燥炉の入口の近傍において上向きに反るのを防止すると好ましい。より好ましくは、乾燥炉の内部の全体に渡って、上向きに反るのを防止するとよい。
【発明の効果】
【００１５】
この発明によれば、ドクターブレードで泥漿液の厚みを調整する際、又はキャリアフィルム上に塗工された泥漿液が乾燥するまでの間にキャリアフィルムの両端部が上向きに反ることを防止できる。そして、キャリアフィルム上に塗工される泥漿液の厚みを均一にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るグリーンシートの製造装置の概略構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係るグリーンシートの製造装置の側面図である。
【図３】図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係るグリーンシートの製造装置の概略構成を示す斜視図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係るグリーンシートの製造装置の側面図である。
【図６】図４のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図７】本発明の第３の実施形態に係るグリーンシートの製造装置の概略構成を示す斜視図である。
【図８】図７のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態について説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態に係るグリーンシートの製造装置１０１の概略構成を示す斜視図、図２は本発明の第１の実施形態に係るグリーンシートの製造装置１０１の側面図、図３は図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
図１において、グリーンシートの製造装置１０１は、ループ状であって、且つ帯状のキャリアフィルム６を張力を掛けつつ支持及び走行させる複数のローラ７０と、キャリアフィルム６上に載置されて泥漿液（スラリー）４ａを貯留する略箱型の液溜め２と、液溜め２の右側板に取り付けられたドクターブレード７と、乾燥炉８と、１対の反り押さえ部材１０とを備えている。
液溜め２の右側板（キャリアフィルム６の走行方向Ｌの下流側の側板）２ｐの底部には、長手方向に長さＷの細長い開口部２ｓが設けられ、液溜め２の下方に位置するキャリアフィルム６の上面にスラリー４ａを連続的に幅Ｗで塗工するようになっている。一方、キャリアフィルム６の幅はＷより広く、キャリアフィルム６の両端部６ｅにはスラリー４ａが塗工されずにフィルムが表出するようになっている。なお、スラリー４ａは、原料粉末、溶剤およびバインダー材を混合、分散したものであり、原料粉末は例えばアルミナ粉である。
【００１８】
ドクターブレード７は、液溜め２の開口部２ｓの上端に取り付けられ、キャリアフィルム６の上面とドクターブレード７の下端面とが一定の隙間Ｇを形成している。この隙間Ｇが最も小さくなる点（キャリアフィルム６とドクターブレード７との距離が最も小さくなる点）において、ドクターブレード７はキャリアフィルム上の余分なスラリー４ａを削ぎ落としつつスラリー４ａの厚みを調整する。ドクターブレード７で厚みを調整されたスラリー４ａは、キャリアフィルム６と共に乾燥炉８に導入され、スラリー４ａが加熱乾燥された後、グリーンシート４となって乾燥炉８から取り出される。
【００１９】
各反り押さえ部材１０は走行方向Ｌに細長い板状をなし、その板面がキャリアフィルム６の両端である両端部６ｅの上にそれぞれ面で接し、両端部６ｅの上向きの反りを防止するようになっている。又、反り押さえ部材１０の長辺の一端は走行方向Ｌに延びる支持板１２の上に取り付けられ、反り押さえ部材１０と支持板１２とがＬ字状の断面をなしている。支持板１２は、上下方向に立設する複数の支柱１４に支持され、支持板１２と支柱１４との取り付け位置を微調整し、反り押さえ部材１０とキャリアフィルム６との間隔を調整可能になっている。
詳しくは、走行方向Ｌにおいて、反り押さえ部材１０は少なくともドクターブレードと重なる位置に配置され、この部分で両端部６ｅの上面に接している。
ここで、本実施形態では、走行方向Ｌにおいてドクターブレード７下面が幅（厚み）を有し（ドクターブレード７下面が三角形の底面をなしている）、この下面がキャリアフィルム６の上面と平行になっている。この場合、「重なる位置」とは、ドクターブレード７とキャリアフィルム６上面との隙間が最も小さく、かつキャリアフィルム６の上面と平行をなしている部分すべてをいう。さらに、各反り押さえ部材１０は、キャリアフィルム６の走行方向Ｌにおけるドクターブレード７と乾燥炉８の入口８ｉ（乾燥炉８の外縁のうち走行方向Ｌの最上流側の部分）との間の中間領域Ｍ（図２参照）にも延び、さらに中間領域Ｍを超えて乾燥炉８の内部及び液溜め２の右側板２ｐまで延びている。
【００２０】
なお、図２に示すように、走行方向Ｌに沿って、液溜め２と乾燥炉８との間には、キャリアフィルム６を載置する平らな基台８０が配置されており、キャリアフィルム６の平面形状を保っている。
又、反り押さえ部材１０の下面１０ａが両端部６ｅの上面とほぼ面一になるよう、反り押さえ部材１０の取り付け位置が調整されており、キャリアフィルム６は基台８０上面と反り押さえ部材１０の下面１０ａとの隙間を走行しつつ、反り押さえ部材１０の下面１０ａで押圧され、両端部６ｅが上反りすることを防止するようになっている。
【００２１】
図３に示すように、キャリアフィルム６を挟むようにして１対の支持板１２及び支柱１４が配置され、各支持板１２からキャリアフィルム６に向かって各反り押さえ部材１０が延び、反り押さえ部材１０の下面１０ａが両端６ｅ上面に面接触している。
ここで、反り押さえ部材１０の下面１０ａには、潤滑材であるシリコーンが塗布されており、キャリアフィルム６との間の摩擦力を低減しているため、キャリアフィルムの走行が円滑になる。
【００２２】
以上のように、走行方向Ｌにおいて、少なくともドクターブレード７と重なる位置で、反り押さえ部材１０が両端部６ｅの上面に接している。このため、ドクターブレード７でスラリー４ａの厚みを調整する丁度その位置で、両端部６ｅが上反りすることを防止するので、キャリアフィルム６とドクターブレード７とのギャップを一定に保ち、スラリーの厚みを均一にすることができる。又、既に反りが生じたキャリアフィルムであっても、スラリーの厚みがキャリアフィルムの中央部と両端部とで均一になるようスラリーを塗工することが出来るので、キャリアフィルムの交換時期が長くなり、生産性が向上する。
又、ドクターブレード７と同じ位置だけでなく、さらに中間領域Ｍの少なくとも一部で反り押さえ部材１０が両端６ｅの上面に接していれば、中間領域Ｍで両端部６ｅが再び反ってスラリー４ａの厚みが変化することを防止できるので好ましい。特に、乾燥炉８で加熱乾燥される前のスラリー４ａは保形性が低く、ドクターブレード７で厚み調整後に再びキャリアフィルム６が反ると、スラリー４ａがキャリアフィルム６の中央に流動して厚みが不均一になる可能性がある。
さらに、乾燥炉８の内部においても反り押さえ部材１０が両端６ｅの上面に接していれば、スラリー４ａが乾燥して形を保つまでキャリアフィルム６が反るのを防止できるのでより好ましい。
【００２３】
なお、第１の実施形態の場合、反り押さえ部材１０は、走行方向Ｌに沿って中間領域Ｍの全部で両端部６ｅと面接触すると共に、走行方向Ｌに直角な平面においても、両端６ｅと面接触している。このため、反り押さえ部材１０が確実に両端部６ｅを押さえ、キャリアフィルムが上反りすることを防止することができる。
【００２４】
次に、図４〜図６を参照して、本発明の第２の実施形態に係るグリーンシートの製造装置１０２の構成について説明する。グリーンシートの製造装置１０２は、反り押さえ部材２０の構成が異なること以外は、第１の実施形態と同一であるので、第１の実施形態と同一の構成部分については同一符号を付して詳細な説明を省略する。
又、図４は、グリーンシートの製造装置１０２の概略構成を示す斜視図、図５はグリーンシートの製造装置１０２の側面図、図６は図４のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【００２５】
図４において、反り押さえ部材２０は、走行方向Ｌに延びる１対の細長い支持板２２の各内側面（キャリアフィルム６に対向する側面）にそれぞれ軸支される複数個（この例では３個）のホイールであり、各ホイール２０は、走行方向Ｌに沿って等間隔で一列に並んでいる。又、支持板２２の中央付近は、上下方向に立設する１本の支柱２４に支持され、支持板２２と支柱２４との取り付け位置を微調整し、反り押さえ部材２０とキャリアフィルム６との間隔を調整可能になっている。
そして、各支持板２２の内側面に軸支された各ホイール２０が両端部６ｅの上に接し、キャリアフィルム６の走行に伴って各ホイール２０が回転しつつ両者が点接触するようになっている。
【００２６】
図５に示すように、走行方向Ｌの最上流側のホイール２０（図５の左側のホイール２０）と、両端部６ｅとの接点２０ａは、走行方向Ｌにおいてドクターブレード７と重なる位置にある。又、他の２個のホイール２０と両端部６ｅとの接点２０ａは、中間領域Ｍの２箇所にある。
なお、接点２０ａが明確になるよう、図５において支持板２２と支柱２４を表示していない。
【００２７】
図６に示すように、キャリアフィルム６を挟むようにして１対の支持板２２及び支柱２４が配置され、各支持板２２の内側面に軸支されたホイール２０がキャリアフィルム６に向かって突出し、ホイール２０が両端部６ｅ上面に点接触している。
ここで、ホイール（反り押さえ部材）２０のキャリアフィルムと接触する表面は、潤滑性を有するテフロン（登録商標）からなり、走行するキャリアフィルム６との間の摩擦力を低減している。
又、ホイール２０が両端部６ｅ上面に点接触するよう、ホイール２０の取り付け位置が調整されており、キャリアフィルム６は基台８０上面とホイール２０との隙間を走行しつつ、ホイール２０で押圧され、両端部６ｅの上反りが防止されるようになっている。
【００２８】
このように、第２の実施形態の場合も、走行方向Ｌにおいて、少なくともドクターブレード７と重なる位置で、反り押さえ部材２０が両端部６ｅの上面に接している。このため、キャリアフィルム６とドクターブレード７とのギャップを一定に保ち、スラリーの厚みを均一にすることができる。
なお、第２の実施形態の場合、ホイール（反り押さえ部材）２０は、走行方向Ｌに沿って中間領域Ｍ及びドクターブレード７の位置の３箇所で両端部６ｅと点接触すると共に、走行方向Ｌに直角な平面においても、両端部６ｅと点接触している。このため、面接触に比べ、反り押さえ部材２０と両端部６ｅとの摩擦力が低く、キャリアフィルム６の走行を円滑に行うことができる。
【００２９】
次に、図７、図８を参照して、本発明の第３の実施形態に係るグリーンシートの製造装置１０３の構成について説明する。グリーンシートの製造装置１０３は、反り押さえ部材３０の構成が異なること以外は、第１の実施形態と同一であるので、第１の実施形態と同一の構成部分については同一符号を付して詳細な説明を省略する。
又、図７は、グリーンシートの製造装置１０３の概略構成を示す斜視図、図８は図７のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
【００３０】
図７において、１対の反り押さえ部材３０は走行方向Ｌに細長い板状をなし、反り押さえ部材３０の長辺の一端が、走行方向Ｌに延びる支持板３２の上に取り付けられている。又、走行方向Ｌに垂直な方向から見て、反り押さえ部材３０の板面がキャリアフィルム６の外側から内側へ向かって斜めに下がるように配置されている。そして、キャリアフィルム６に向かって立ち下がる反り押さえ部材３０の長辺の他端は、両端部６ｅの上にそれぞれ点で接し、両端部６ｅの上向きの反りを防止するようになっている。
又、支持板３２は、上下方向に立設する複数の支柱３４に支持され、支持板３２と支柱３４との取り付け位置を微調整し、反り押さえ部材３０とキャリアフィルム６との間隔を調整可能になっている。
なお、走行方向Ｌにおいて、反り押さえ部材３０は反り押さえ部材１０と同一の位置に配置されている。
【００３１】
図８に示すように、キャリアフィルム６を挟むようにして１対の支持板３２及び支柱３４が配置され、各支持板３２からキャリアフィルム６に向かって各反り押さえ部材３０が延び、かつ、反り押さえ部材３０の板面がキャリアフィルム６の外側から内側へ向かって斜めに下がっている。そして、反り押さえ部材３０の長辺側の端３０ａが両端部６ｅ上面に点接触している。
又、反り押さえ部材３０の端３０ａが両端部６ｅの上面と同一高さになるよう、反り押さえ部材３０の取り付け位置が調整されており、キャリアフィルム６は基台８０上面と反り押さえ部材３０の端３０ａとの隙間を走行しつつ、端３０ａで押圧され、両端部６ｅが上反りすることを防止するようになっている。
【００３２】
このように、第３の実施形態の場合も、走行方向Ｌにおいて、少なくともドクターブレード７と重なる位置で、反り押さえ部材３０が両端部６ｅの上面に接している。このため、キャリアフィルム６とドクターブレード７とのギャップを一定に保ち、スラリーの厚みを均一にすることができる。
なお、第３の実施形態の場合、反り押さえ部材３０は、走行方向Ｌに沿って両端部６ｅと面接触すると共に、走行方向Ｌに直角な平面においては、両端部６ｅと点接触している。このため、反り押さえ部材３０は、走行方向Ｌに沿って面接触により確実に両端部６ｅを押さえ、かつ走行方向Ｌに直角な平面においては両端６ｅとの摩擦力が低く、キャリアフィルム６の走行を円滑に行うことができる。
【００３３】
本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の思想と範囲に含まれる様々な変形及び均等物に及ぶことはいうまでもない。
例えば、反り押さえ部材１０のうちキャリアフィルム６の両端との接触部分に、潤滑材を積層してもよい。この潤滑材として、キャリアフィルム６自身を用いてもよい。
【００３４】
また、本発明ではキャリアフィルム６の走行方向においてドクターブレード７と重なる位置に少なくとも反り押さえ部材１０を配置するように規定したが、この「重なる位置」は、走行方向Ｌにおいてドクターブレード７がキャリアフィルム６上の泥漿液と実質的に１点のみで接する場合（例えば、ドクターブレードがナイフ状など）には、かかる接点となる。
一方、図１、図２に示したように、走行方向Ｌにおいてドクターブレード７下面が幅（厚み）を有し（図１、図２では、ドクターブレード７下面が三角形の底面をなしている）、この下面がキャリアフィルム６の上面と平行になっている場合、ドクターブレード７の最上流側にて泥漿液の厚みが最初に調整される。従って、ドクターブレード７の最上流側が「重なる位置」となり、少なくともドクターブレード７の最上流側には反り押さえ部材が配置されている必要がある。しかしながら、仮にドクターブレード７の最上流側（走行方向Ｌに沿って乾燥炉と反対側）のみでフィルムの反りを押さえても、その後にフィルムの反りが戻りつつドクターブレード７の下面を走行すると、フィルムが反った状態で泥漿液の厚みが調整される不具合が生じうる。従って、この場合には、ドクターブレード７とキャリアフィルム６上面との隙間が最も小さく、かつキャリアフィルム６の上面と平行をなしている部分すべてに反り押さえ部材が配置されていることが、より好ましい。
なお、走行方向Ｌにおいてドクターブレード７下面が幅（厚み）を有していても、この下面がキャリアフィルム６上面と平行でない場合には、ドクターブレード７とキャリアフィルム６上面との隙間が最も小さくなる部分においてのみ泥漿液の厚みが調整される。走行方向Ｌにおいてドクターブレード７とキャリアフィルム６上の泥漿液との接点が１点のみのときは、係る接点が「重なる位置」に相当する。走行方向Ｌにおいてドクターブレード７とキャリアフィルム６上の泥漿液との接点が複数存在するときには、係る接点の中で最も上流側の接点が「重なる位置」に相当し、最も上流側の接点には反り押さえ部材が配置されている必要があるが、より好ましくは、全ての接点に反り押さえ部材が配置されているとよい。
【００３５】
更に、本発明はガスセンサ素子用又はヒータ素子用のグリーンシートの製造方法に特に適している。これは、ガスセンサ素子用又はヒータ素子用のグリーンシートを作る際には、セラミックパッケージ基板等に用いるグリーンシートを作成する時に比べて、揮発性の溶剤を多く含むので乾燥時のスラリーの収縮が大きく、キャリアフィルムの反りがさらに生じやすいためである。
【符号の説明】
【００３６】
２                      液溜め
４                      グリーンシート
４ａ                    泥漿液
６                      キャリアフィルム
６ｅ                    両端部
７                      ドクターブレード
７ａ                    ドクターブレードの先端
８                      乾燥炉
８ｉ                    乾燥炉の入口
１０、２０、３０        反り押さえ部材
１０１〜１０３          グリーンシートの製造装置
Ｇ                      キャリアフィルムとドクターブレードの隙間
Ｌ                      キャリアフィルムの走行方向
Ｍ                      中間領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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