(57)【要約】【課題】熱膨張差により同軸管外部導体と防着板との相対位置が変位しても安定した電気的な接続を維持することができる真空処理装置を提供する。【解決手段】長手方向に熱伸び可能とされた放電電極３に電力を供給する芯線１４ａの周囲を覆うとともに接地された同軸シールド１２Ｓと、放電電極３に対向して基板８を支持する基板テーブル２と、基板テーブル２の面に沿う方向であって、放電電極３の長手方向と交差する方向に熱伸び可能とされ、基板テーブル２とともに放電電極３および基板８の周囲を覆う防着板４と、少なくとも同軸シールド１２Ｓに取り付けられ、防着板４に対して放電電極３の熱伸び方向、および、防着板４の熱伸び方向に相対移動可能とされるとともに、同軸シールド１２Ｓと防着板４とを電気的に接続する同軸シールド側接続部と、が設けられていることを特徴とする。【選択図】図４
2011034998.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長手方向に伸縮可能とされた放電電極に電力を供給する芯線の周囲を覆うとともに接地された同軸シールドと、
前記放電電極に対向して基板を支持する基板テーブルと、
該基板テーブルの面に沿う方向であって、前記放電電極の長手方向と交差する方向に伸縮可能とされ、前記基板テーブルとともに前記放電電極および前記基板の周囲を覆う防着板と、
少なくとも前記同軸シールドに取り付けられ、前記防着板に対して前記放電電極の伸縮方向、および、前記防着板の伸縮方向に相対移動可能とされるとともに、前記同軸シールドと前記防着板とを電気的に接続する同軸シールド側接続部と、
が設けられていることを特徴とする真空処理装置。
【請求項２】
前記防着板には、前記放電電極の伸縮方向および前記防着板の伸縮方向からなる平面に沿って延びる接続板が設けられ、
前記同軸シールド側接続部は、略円筒状もしくは略半円筒状の弾性を有する形状に形成され、かつ、円筒面の少なくとも一部が前記接続板に当接されていることを特徴とする請求項１記載の真空処理装置。
【請求項３】
前記防着板には、前記放電電極の伸縮方向に沿う平面であって、前記防着板の伸縮方向と交差する平面に沿って延びる接続板が設けられ、
前記同軸シールド側接続部は、略円筒状もしくは略半円筒状の弾性を有する形状に形成され、かつ、円筒面の少なくとも一部が前記接続板に当接されていることを特徴とする請求項１記載の真空処理装置。
【請求項４】
前記接続板は、前記防着板における前記基板テーブル側の端部に取り付けられ、
前記接続板には、前記防着板と前記基板テーブルとが接近した際に、前記基板テーブルと接触して前記防着板と前記基板テーブルとを電気的に接続する防着板側接続部が設けられていることを特徴とする請求項２または３に記載の真空処理装置。
【請求項５】
前記同軸シールド側接続部は箔状に形成されるとともに、複数の貫通孔が格子状に形成され、
前記同軸シールド側接続部の一方の端部は、前記同軸シールドから放電電極の伸縮方向および防着板の伸縮方向からなる平面に沿って延びる取付板に取り付けられ、他方の端部は前記防着板に電気的に接続されていることを特徴とする請求項１記載の真空処理装置。
【請求項６】
前記同軸シールド側接続部は箔状に形成されるとともに、複数の長孔が前記同軸シールドから前記防着板に向って延びるとともに並列に並んで設けられ、
前記同軸シールド側接続部の一方の端部は、前記同軸シールドから放電電極の伸縮方向および防着板の伸縮方向からなる平面に沿って延びる取付板に取り付けられ、他方の端部は前記防着板に電気的に接続されていることを特徴とする請求項１記載の真空処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、プラズマを用いて基板処理を行う真空処理装置においては、基板上に製膜される膜厚分布の均一化や、製膜速度の向上を図るためにプラズマ分布の均一化や、高周波電力の給電の安定化を図ることが重要であり、これらの目的を達成する種々の技術が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
特許文献１には、同軸管外部導体（同軸シールド）と防着板との間に板バネを挟み、同軸管外部導体と防着板とをネジ止めする構成が開示されている。
このようにすることで、電極と防着板との少なくとも一方が熱膨張により変形しても、同軸管外部導体と防着板との電気的接続を常に維持することができ、安定した給電を行うことができる旨が記載されている。
【０００４】
その一方で、同軸管外部導体と防着板との間を、導電性を有する箔状の部材で接続することで、熱膨張差による同軸管外部導体や防着板の変形を吸収して、信頼性の高い電気的接続形態を構成する旨が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−３０３６８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述の特許文献１に記載された技術では、同軸管外部導体と防着板がネジ止めにより固定されるため、同軸管外部導体と防着板との間で熱膨張差がある場合には、当該熱膨張差が吸収できずに同軸管外部導体や防着板などに不具合が発生するおそれがあった。
【０００７】
その一方で、箔状部材による接続方法では、箔状部材に沿う方向であって箔状部材をたわませる方向、例えば電極の長手方向への相対位置の変位は吸収できるが、箔状部材に沿う方向であってせん断方向、例えば電極の横方向への相対位置の変位は吸収できず、箔状部材に不具合が発生するという問題があった。
【０００８】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、熱膨張差により同軸管外部導体と防着板との相対位置が変位しても安定した電気的な接続を維持することができる真空処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明は、以下の手段を提供する。
本発明の真空処理装置は、長手方向に伸縮可能とされた放電電極に電力を供給する芯線の周囲を覆うとともに接地された同軸シールドと、前記放電電極に対向して基板を支持する基板テーブルと、該基板テーブルの面に沿う方向であって、前記放電電極の長手方向と交差する方向に伸縮可能とされ、前記基板テーブルとともに前記放電電極および前記基板の周囲を覆う防着板と、少なくとも前記同軸シールドに取り付けられ、前記防着板に対して前記放電電極の伸縮方向、および、前記防着板の伸縮方向に相対移動可能とされるとともに、前記同軸シールドと前記防着板とを電気的に接続する同軸シールド側接続部と、が設けられていることを特徴とする。
【００１０】
本発明によれば、真空処理装置が稼動されると、放電電極および防着板の伸縮により、同軸シールドおよび防着板は、放電電極の伸縮方向および防着板の伸縮方向に相対移動する。当該相対移動は同軸シールド側接続部において吸収されるため、同軸シールドと防着板とは安定して電気的に接続されることになる。
【００１１】
上記発明においては、前記防着板には、前記放電電極の伸縮方向および前記防着板の伸縮方向からなる平面に沿って延びる接続板が設けられ、前記同軸シールド側接続部は、略円筒状もしくは略半円筒状の弾性を有する形状に形成され、かつ、円筒面の少なくとも一部が前記接続板に当接されていることが望ましい。
【００１２】
本発明によれば、同軸シールドおよび防着板における放電電極の伸縮方向への相対移動、および、防着板の伸縮方向への相対移動は、接続板と同軸シールド側接続部との間の摺動によって吸収される。
【００１３】
さらに、同軸シールド側接続部を接続板に押し付けることにより、同軸シールド側接続部と接続板との電気的な接続が得られる。そのため、ネジなどの固着部材を用いて同軸シールド側接続部を接続板に取り付ける方法と比較して、容易に同軸シールド側接続部と接続板とを容易に電気的に接続することができる。
【００１４】
上記発明においては、前記防着板には、前記放電電極の伸縮方向に沿う平面であって、前記防着板の伸縮方向と交差する平面に沿って延びる接続板が設けられ、前記同軸シールド側接続部は、略円筒状もしくは略半円筒状の弾性を有する形状に形成され、かつ、円筒面の少なくとも一部が前記接続板に当接されていることが望ましい。
【００１５】
本発明によれば、同軸シールドおよび防着板における放電電極の伸縮方向への相対移動は、接続板と同軸シールド側接続部との間の摺動によって吸収される。その一方で、同軸シールドおよび防着板における防着板の伸縮方向への相対移動は、同軸シールド側接続部の弾性変形によって吸収される。
【００１６】
上記発明においては、前記接続板は、前記防着板における前記基板テーブル側の端部に取り付けられ、前記接続板には、前記防着板と前記基板テーブルとが接近した際に、前記基板テーブルと接触して前記防着板と前記基板テーブルとを電気的に接続する防着板側接続部が設けられていることが望ましい。
【００１７】
本発明によれば、同軸シールドは、同軸シールド側接続部および接続板を介して防着板側接続部と電気的に接続されている。さらに、防着板と基板テーブルとが接近すると、防着板側接続部と基板テーブルとが電気的に接続する。つまり、防着板と基板テーブルとが接近した状態、言い換えると、真空処理装置が稼動する状態では、同軸シールドは、防着板および基板テーブルと電気的に接続される。
【００１８】
上記発明においては、前記同軸シールド側接続部は箔状に形成されるとともに、複数の貫通孔が格子状に形成され、前記同軸シールド側接続部の一方の端部は、前記同軸シールドから放電電極の伸縮方向および防着板の伸縮方向からなる平面に沿って延びる取付板に取り付けられ、他方の端部は前記防着板に電気的に接続されていることが望ましい。
【００１９】
本発明によれば、同軸シールドおよび防着板における放電電極の伸縮方向への相対移動は、箔状に形成された同軸シールド側接続部のたわみによって吸収される。その一方で、同軸シールドおよび防着板における防着板の伸縮方向への相対移動は、複数の貫通孔が格子状に形成された、言い換えるとメッシュ状に形成された同軸シールド側接続部の弾性変形によって吸収される。
【００２０】
上記発明においては、前記同軸シールド側接続部は箔状に形成されるとともに、複数の長孔が前記同軸シールドから前記防着板に向って延びるとともに並列に並んで設けられ、前記同軸シールド側接続部の一方の端部は、前記同軸シールドから放電電極の伸縮方向および防着板の伸縮方向からなる平面に沿って延びる取付板に取り付けられ、他方の端部は前記防着板に電気的に接続されていることが望ましい。
【００２１】
本発明によれば、同軸シールドおよび防着板における放電電極の伸縮方向への相対移動は、箔状に形成された同軸シールド側接続部のたわみによって吸収される。その一方で、同軸シールドおよび防着板における防着板の伸縮方向への相対移動は、複数の長孔が同軸シールドから防着板に向って延びるとともに並列に並んで設けられた、言い換えると、すだれ状に形成された同軸シールド側接続部の弾性変形によって吸収される。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の真空処理装置によれば、防着板に対して放電電極の伸縮方向、および、防着板の伸縮方向に相対移動可能とされるとともに、同軸シールドと防着板とを電気的に接続する同軸シールド側接続部が設けられているため。熱膨張差により同軸シールドと防着板との相対位置が変位しても安定した電気的な接続を維持することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る製膜装置の構成を示す概略図であり、製膜装置の側面から見た図である。
【図２】図１の製膜装置の対向電極と放電電極との配置を説明する模式図である。
【図３】図１の同軸シールド側接続部および防着板側接続部の構成を説明する模式図である。
【図４】図１の上方に配置された同軸シールド側接続部および防着板側接続部の構成を説明する部分拡大図である。
【図５】図１の下方に配置された同軸シールド側接続部および防着板側接続部の構成を説明する部分拡大図である。
【図６】図１の同軸シールド側接続部の構成を説明する上面視図である。
【図７】図１の同軸シールド側接続部の構成を説明する正面視図である。
【図８】図１の同軸シールド側接続部の構成を説明する側面視図である。
【図９】図１の防着板側接続部の構成を説明する部分拡大図である。
【図１０】図６の同軸シールド側接続部における別の実施例を説明する模式図である。
【図１１】本発明の第２の実施形態における上方に配置された同軸シールド側接続部および防着板側接続部の構成を説明する部分拡大図である。
【図１２】本発明の第２の実施形態における下方に配置された同軸シールド側接続部および防着板側接続部の構成を説明する部分拡大図である。
【図１３】本発明の第３の実施形態における上方に配置された同軸シールド側接続部および防着板側接続部の構成を説明する部分拡大図である。
【図１４】本発明の第３の実施形態における下方に配置された同軸シールド側接続部および防着板側接続部の構成を説明する部分拡大図である。
【図１５】図１３および図１４のすだれ状導電部の構成を説明する模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
〔第１の実施形態〕
以下、本発明の第１の実施形態について図１から図９を参照して説明する。
図１は、本実施形態の製膜装置の構成を示す概略図であり、製膜装置の側面から見た図である。図２は、図１の製膜装置の対向電極と放電電極との配置を説明する模式図である。図３は、図１の同軸シールド側接続部および防着板側接続部の構成を説明する模式図である。
【００２５】
本実施形態においては、本発明を、基板面積が１ｍ２を超える大面積基板に対して、アモルファス太陽電池や微結晶太陽電池や液晶ディスプレイ用ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）などに用いられる主成分がＳｉであるＳｉ系薄膜、例えば非晶質シリコン、微結晶シリコン、窒化シリコン等からなる膜の製膜処理を行うことが可能な製膜装置に適用して説明する。
【００２６】
製膜装置（真空処理装置）１には、図１から図３に示すように、真空容器である製膜室６と、導電性の板である対向電極（基板テーブル）２と、対向電極２の温度分布を均一化する均熱板５と、均熱板５および対向電極２を保持する均熱板保持機構１１と、対向電極２との間にプラズマを発生させる放電電極３と、膜が形成される範囲を制限する防着板４と、防着板４を支持する支持部７と、高周波電力を放電電極３に供給する同軸給電部１２ａ，１２ｂおよび整合器１３ａ，１３ｂと、製膜室６内の気体を排気する高真空排気部３１および低真空排気部３５と、製膜室６を保持する台３７と、が設けられている。
なお、本図において、ガス供給に関する構成は省略している。
【００２７】
製膜室６は真空容器であり、その内部で基板８に微結晶シリコンｉ層など製膜するものである。製膜室６は、鉛直方向から角度αだけ傾けて台３７上に保持される。傾きの角度αは鉛直方向に対して７°から１２°までの範囲内の所定角度である。
基板８としては、縦横の大きさが１．４ｍ×１．１ｍであり、厚さが約３・０ｍｍから約４．５ｍｍの透光性ガラス基板が例示される。
【００２８】
製膜室６を傾けて保持することで、対向電極２における基板８における製膜処理面の法線が、水平方向（Ｘ方向）に対して角度αだけ上（Ｚ方向）に向く。このように基板８を鉛直から僅かに傾けることは、装置の設置スペースの増加を抑えながら基板８の自重を利用して少ない手間で基板８を保持することができ、更に基板８と対向電極２の密着性を向上して基板８の温度分布と電位分布とを均一化することができて好ましい。
【００２９】
対向電極２は、基板８を保持可能な保持手段（図示せず）を有する非磁性材料の導電性の板である。セルフクリーニングを行う場合は耐フッ素ラジカル性を備えることが好ましく、ニッケル合金やアルミやアルミ合金の板を使用することが望ましい。
対向電極２は、放電電極３に対向する電極（例えば接地側電極）となる。対向電極２は、一方の面が均熱板５の表面と密接し、製膜時に他方の面が基板８の表面と密接して基板テーブルとなる。
【００３０】
均熱板５は、内部に温度制御された熱媒体を循環したり、または温度制御されたヒータを組み込んだりすることで、自身の温度を制御して、全体が概ね均一な温度を有し、接触している対向電極２の温度を所定の温度に均一化する機能を有する。
上述の熱媒体は非導電性媒体であり、水素やヘリウムなどの高熱伝導性ガス、フッ素系不活性液体、不活性オイル、及び純水等が熱媒体として使用できる。中でも１５０℃から２５０℃の範囲でも圧力が上がらずに制御が容易であることから、フッ素系不活性液体（例えば商品名：ガルデン、Ｆ０５など）の使用が好適である。
【００３１】
均熱板保持機構１１は、均熱板５及び対向電極２を製膜室６の側面（図１の右側の側面）に対して略平行となるように保持するとともに、均熱板５、対向電極２および基板８を、放電電極３に接近離間可能に保持するものである。
均熱板保持機構１１は、製膜時に均熱板５等を放電電極３に接近させて、基板８を放電電極３から、例えば３ｍｍから１０ｍｍの範囲内の所定値だけ離れて位置させることができる。
【００３２】
防着板４は、接地されプラズマの広がる範囲を抑えることにより、膜が製膜される範囲を制限するものである。本実施形態の場合、図１に示すように、製膜室６の内側における防着板４の後ろ側（基板８と反対の側）の壁に膜が製膜されないようにしている。
【００３３】
支持部７は、図１に示すように、製膜室６の側面（図１における左側の側面）から内側へ垂直に延びている部材である。支持部７は防着板４と結合され、放電電極３における対向電極２と反対側の空間を覆うように防着板４を保持している。それと共に、支持部７は放電電極３と絶縁的に結合され、放電電極３を製膜室６の側面（図１における左側の側面）に対して略平行に保持している。
【００３４】
高真空排気部３１は、粗引き排気された製膜室６内の気体をさらに排気して、製膜室６内を高真空とする高真空排気用の真空ポンプである。弁３２は、高真空排気部３１と製膜室６との経路を開閉する弁である。
低真空排気部３５は、初めに製膜室６内の気体を排気して、製膜室６内を低真空とする粗引き排気用の真空ポンプである。製膜時における製膜排出ガスは、低真空排気部３５より排気される。弁３４は、低真空排気部３５と製膜室６との経路を開閉する。
【００３５】
台３７は、上面に配置された保持部３６を介して製膜室６を保持するものである。台３７の内部には低真空排気部３５が配置される領域が形成されている。低真空排気部３５は必ずしも台３７の内部でなくてもよく、機側に設置しても良いし、高真空排気部３１と同様に製膜室６の上部から排気しても良い。
【００３６】
放電電極３は、図２に示すように、製膜室６に８個備えられている。放電電極３は、Ｙ方向へ伸びるとともに、互いに略平行に上下に配された２本の横電極と、この横電極の間に、Ｚ方向へ伸びるとともに互いに略平行に配置された複数の板状の縦電極とを組み合わせて構成されたものである。
【００３７】
図１では放電電極３の上側にある給電点５３側には、整合器１３ａと、高周波給電伝送路（芯線）１４ａと、同軸給電部１２ａと、熱媒体供給管１５ａおよび原料ガス配管１６ａが設けられている。また、図１では放電電極の下側にある給電点５４側には、整合器１３ａと、高周波給電伝送路（芯線）１４ｂと、同軸給電部１２ｂと、熱媒体供給管１５ｂおよび原料ガス配管１６ｂが設けられている。
【００３８】
同軸給電部１２ａ，１２ｂには、絶縁体を介して、芯線である高周波給電伝送路１４ａ，１４ｂと同軸に配置された略円筒状の同軸シールド１２Ｓが設けられている。
同軸シールド１２Ｓは、導電性を有する材料から構成されるとともに、接地された部材である。
【００３９】
放電電極３の給電点５３の近傍には、原料ガス配管１６ａが接続されている。同様に、放電電極３の給電点５４の近傍には、原料ガス配管１６ｂが接続されている。原料ガス配管１６ａ，１６ｂからは、放電電極３に原料ガスが供給され、放電電極３ａは、この原料ガスを対向電極２側（図２中の右側）へ略均一に放出している。
【００４０】
放電電極３の給電点５３には、図２および図３に示すように、高周波電源１７ａから高周波電力が供給され、給電点５４には、高周波電源１７ｂから高周波電力が供給されている。
【００４１】
さらに、対向電極２と対向する端部には、図１および図３に示すように、複数の防着板側接続部６０が設けられ、同軸給電部１２ａ，１２ｂの同軸シールド１２Ｓと、防着板４の防着板側接続部６０との間には、同軸シールド側接続部７０が設けられている。
【００４２】
図４は、図１の上方に配置された同軸シールド側接続部および防着板側接続部の構成を説明する部分拡大図である。図５は、図１の下方に配置された同軸シールド側接続部および防着板側接続部の構成を説明する部分拡大図である。図６は、図１の同軸シールド側接続部の構成を説明する上面視図である。図７は、図１の同軸シールド側接続部の構成を説明する正面視図である。図８は、図１の同軸シールド側接続部の構成を説明する側面視図である。
【００４３】
同軸シールド側接続部７０は、図４から図８に示すように、同軸給電部１２ａ，１２ｂの同軸シールド１２Ｓと、防着板４の防着板側接続部６０とを電気的に接続するものである。さらに、同軸シールド側接続部７０は、放電電極３の熱伸び（伸縮）に伴う同軸シールド１２Ｓと防着板側接続部６０との間のＺ軸方向の相対移動と、熱伸び（伸縮）による同軸シールド１２Ｓと防着板側接続部６０との間のＹ軸方向の相対移動と、を吸収するものである。
【００４４】
同軸シールド側接続部７０には、同軸シールド側弾性部７１と、同軸シールド側取付部（取付板）７２と、が設けられている。
【００４５】
同軸シールド側弾性部７１は、防着板側接続部６０の、防着板側取付部６２と当接することにより、電気的に接続される部材である。さらに、同軸シールド側弾性部７１は、図４から図８に示すように、同軸シールド側取付部７２に取り付けられるとともに、金属板を滑らかな曲面の凸状に折り曲げて畝状もしくは半円状に突出した部分を形成したものである。
同軸シールド側弾性部７１を形成する金属としては、銅（Ｃｕ）や、銅合金や、ステンレス鋼合金などの弾性を有するとともに導電性を有するものが挙げられ、さらに、これらの金属にニッケル（Ｎｉ）メッキを施したものが好ましい。
【００４６】
このようにニッケルメッキを施すことにより、酸素（Ｏ）プラズマや、フッ素（Ｆ）プラズマや、塩素（Ｃｌ）プラズマなどの腐食性ガスに対する耐久性を、同軸シールド側弾性部７１に持たせることができるので、寿命向上と信頼性向上に好ましい。
【００４７】
同軸シールド側弾性部７１における突出した部分には、突出した部分が延びる方向に対して略直交する方向に延びる同軸シールド側スリット部７３が形成されている。
このように同軸シールド側スリット部７３を形成することにより、同軸シールド側弾性部７１における突出した部分の弾性力を調整することができる。また部分的な接触圧力の調整と均一化にも有効である。そのため、同軸シールド側弾性部７１を容易に変形させることができ、同軸シールド側弾性部７１と防着板側取付部６２との電気的な接触を良好に保つことができる。
【００４８】
本実施形態の場合には、同軸シールド側弾性部７１全体の長さ（Ｌ１）が約２７．９ｍｍ、全体の幅（Ｗ１）が約２８．５ｍｍ、高さ（Ｈ１）が約６．４ｍｍ、つぶし代が約４．９ｍｍ、同軸シールド側弾性部７１の一本の幅（ｗ１）が約８．５ｍｍ、隙間（δ１）が１．０ｍｍの場合に適用して説明する。
【００４９】
同軸シールド側取付部７２は、図４から図８に示すように、同軸シールド側弾性部７１が取り付けられる部材であって、同軸シールド側弾性部７１とともに同軸シールド１２Ｓに取り付けられるものである。さらに、同軸シールド側取付部７２は、同軸シールド側弾性部７１とともに同軸シールド１２Ｓに電気的に接続されるものである。
同軸シールド側取付部７２は板状に形成された導電材料であり、放電電極３の伸縮方向、例えば熱伸び方向（Ｚ軸方向）および防着板４の伸縮方向、例えば熱伸び方向（Ｙ軸方向）からなる平面（図７の紙面）に沿って延びる板状の部材である。
【００５０】
防着板側接続部６０は、防着板４における対向電極２と対向する端部に取り付けられ、対向電極２が防着板４に接近した際に、対向電極２と防着板４とを電気的に接続するものである。
【００５１】
図９は、図１の防着板側接続部の構成を説明する部分拡大図である。
防着板側接続部６０には、図９に示すように、防着板側弾性部６１と、防着板側取付部（接続板）６２と、ストッパ部６３と、が設けられている。
さらに、下方に配置された防着板側接続部６０には、図５に示すように、カバー部６４が設けられている。
【００５２】
防着板側弾性部６１は、図９に示すように、防着板側取付部６２に取り付けられるとともに、金属板を滑らかな曲面の凸状に折り曲げて畝状もしくは半円状に突出した部分を形成したものである。防着板側弾性部６１を形成する金属としては、銅（Ｃｕ）や、銅合金や、ステンレス鋼合金などの弾性を有するとともに導電性を有するものが挙げられ、さらに、これらの金属にニッケル（Ｎｉ）メッキを施したものが好ましい。
【００５３】
防着板側弾性部６１における突出した部分には、突出した部分が延びる方向に対して略直交する方向に延びる防着板側スリット部６５が形成されている。
このように防着板側スリット部６５を形成することにより、防着板側弾性部６１のおける突出した部分の弾性力を調整することができる。また部分的な接触圧力の調整と均一化にも有効である。そのため、防着板側弾性部６１を容易に変形させることができ、防着板側弾性部６１と対向電極２との電気的な接触を良好に保つことができる。
【００５４】
さらに、防着板４の各辺のそれぞれにおいて、防着板側弾性部６１の長さの合計が、防着板４の各辺の長さ（Ｌ２）に対して約６０％以上、より好ましくは約８０％以上であることが望ましい。
【００５５】
例えば、防着板４の一の辺に３つの防着板側弾性部６１を等間隔に配置した場合、各防着板側弾性部６１の間に形成される隙間（δ２）は４つとなる。一つの防着板側弾性部６１の長さをＷ２とし、上述の一の辺における隙間の合計（４δ）が、辺の長さ（Ｌ２）の約１０％以下とするためには、以下の式に示すように、辺の長さ（Ｌ２）に対する３つの防着板側弾性部６１の長さの合計（３Ｗ２）の割合（３Ｗ２／Ｌ２）が、約６０％以上にする必要がある。
【００５６】
４δ２≦４×０．１Ｌ２            ・・・（１）
Ｌ２＝３Ｗ２＋４δ２              ・・・（２）
Ｌ２≦３Ｗ２＋（４×０．１Ｌ２）  ・・・（３）
（３Ｗ２／Ｌ２）≧０．６          ・・・（４）
【００５７】
ここで、上述の一の辺における防着板側弾性部６１の数を増やすと、各辺に対する隙間δ２の割合（δ２／Ｌ２）が小さくなり、製膜装置１における製膜性能の向上に繋がる。
【００５８】
同様にして、上述の一の辺における隙間の合計（４δ２）が、辺の長さ（Ｌ２）の約５％以下とするためには、辺の長さ（Ｌ２）に対する３つの防着板側弾性部６１の長さの合計（３Ｗ２）の割合（３Ｗ２／Ｌ２）が、約８０％以上にする必要がある。
【００５９】
防着板側弾性部６１のサイズとしては、幅が３０ｍｍから５０ｍｍであり、長さが５０ｍｍから１００ｍｍである場合が例示される。
さらに、防着板側弾性部６１は、柔軟な構造のため長さを長く連続的に防着板４の一の辺に設置することも可能であるため、防着板４の一の辺に長く連続的に設置することが更に好ましい。
【００６０】
防着板側取付部６２は、図４から図９に示すように、防着板側弾性部６１が取り付けられる部材であって、防着板側弾性部６１とともに防着板４に取り付けられるものである。さらに、同軸シールド側接続部７０における同軸シールド側弾性部７１と当接され、電気的に接続される部材である。
【００６１】
防着板側取付部６２は断面が略Ｔ字状に形成された導電材料であり、言い換えると、防着板側弾性部６１が取り付けられる板状部材であって、放電電極３の熱伸び方向（Ｚ軸方向）および防着板４の熱伸び方向（Ｙ軸方向）からなる平面（図７の紙面）に沿って延びる板状の部材と、当該板状部材に対して直交する方向に延びる板状部材とから構成されている。
【００６２】
このように構成することで、防着板側取付部６２に防着板側弾性部６１を取り付けた後に、防着板側取付部６２および防着板側弾性部６１を防着板４に取り付け、および、取り外しすることができる。つまり、製膜装置１の内部に防着板側弾性部６１等を直接取り付ける作業を行う場合、弾性を有し変形しやすいため着脱が困難な防着板側弾性部６１であっても、防着板側取付部６２に取り付けることにより、変形しにくい部材として取り扱うことができる。そのため、防着板側取付部６２および防着板側弾性部６１の取り付けや取り外し、および、取り付け位置の調整などを容易にすることができる。
【００６３】
ストッパ部６３は、図９に示すように、防着板側弾性部６１を防着板側取付部６２に取り付ける取り付け部材であるとともに、防着板側取付部６２における防着板側弾性部６１の取り付け面から所定の高さＨだけ突出する部材である。ストッパ部６３としては、ネジの頭部などの取り付け部材を用いることができる。
なお、所定の高さＨは、防着板側弾性部６１における突出した部分の突出量よりも低く、防着板側弾性部６１が塑性変形を起こす高さよりも高いものを例示することができる。
【００６４】
このようにすることで、防着板４と対向電極２との間隔の最小値が規定されるため、押付けすぎることで防着板側接続部６０における防着板側弾性部６１のつぶれすぎによる塑性変形を防止することができる。
【００６５】
カバー部６４は、図５に示すように、防着板側取付部６２に取り付けられ、防着板側取付部６２から対向電極２に向かって延びる板状の部材であって、防着板側弾性部６１と基板８や放電電極３との間に配置される部材である。
カバー部６４は弾性を有し、かつ、酸素プラズマや、フッ素プラズマや、塩素プラズマなどの腐食性ガスに対する耐久性を少なくとも有する材料から形成されることが望ましい。例えば、ステンレス合金や、インコネル合金や、銅合金にニッケルメッキを施した金属材料を挙げることができる。
【００６６】
このように構成することで、放電電極３などの製膜を行う構成部材から落下してきた剥離膜や粉が、カバー部６４により受け止められ、カバー部６４の下方に配置された防着板側弾性部６１や、同軸シールド側弾性部７１に付着することが防止される。
そのため、防着板側弾性部６１や、同軸シールド側弾性部７１に付着した剥離膜などに起因する防着板側弾性部６１や、同軸シールド側弾性部７１の電気的な接触不良や損傷を防止することができる。
【００６７】
次に、上記の構成からなる製膜装置１における同軸シールド側接続部７０および防着板側接続部６０の作用について説明する。
【００６８】
対向電極２が防着板４に接近すると、図３に示すように、防着板側接続部６０と対向電極２とが接触して電気的に接続される。その一方で、防着板４は同軸シールド側接続部７０により同軸シールド１２Ｓと電気的に接続されている。
【００６９】
防着板４と同軸シールド１２Ｓは、製膜処理時に温度が上昇し、熱膨張差によりお互いの位置関係が微小変異する。具体的には、放電電極３が熱伸びすることにより、同軸シールド１２Ｓが、防着板４に対してＺ軸方向に相対移動する。その一方で、防着板４が熱伸びすることにより、防着板４が同軸シールド１２Ｓに対してＹ軸方向に相対移動する。
【００７０】
これらの相対移動は、防着板側接続部６０の防着板側取付部６２と、同軸シールド側接続部７０の同軸シールド側弾性部７１との間の摺動により吸収される。
さらに、防着板４と対向電極２との間の相対移動は、防着板側接続部６０の防着板側弾性部６１と、対向電極２との間の摺動により吸収される。
【００７１】
防着板側接続部６０と同軸シールド側接続部７０の両方の存在により、対向電極２と、防着板側接続部６０と、防着板４と、同軸シールド側接続部７０と、同軸シールド１２Ｓとは、電気的に接続されるとともに接地される。
【００７２】
このように、防着板４と同軸シールド１２Ｓとを電気的に接続することで、防着板４の内側であって、芯線である高周波給電伝送路１４ａ，１４ｂが露出している部分であっても、放電電極３へ給電する際に、防着板４と高周波給電伝送路１４ａ，１４ｂとの間で高い電圧で安定した電圧がかけられる。
【００７３】
さらに、対向電極２と防着板４とが電気的に接続されるため、アース経路が短くなり、対向電極２と防着板４との間のプラズマ分布が安定化する。
すなわち、対向電極２と、防着板側接続部６０と、防着板４と、同軸シールド側接続部７０と、同軸シールド１２Ｓが電気的に接続されるという構成を併せ持つことにより、高い電圧をかけながら安定したプラズマを形成できるという相乗効果が得られ、この相乗効果により製膜速度の向上と膜厚の均一性の両方を達成できる。
【００７４】
上記の構成によれば、熱伸びによる同軸シールド１２Ｓおよび防着板４の間の相対移動は、防着板側接続部６０の防着板側取付部６２と、同軸シールド側接続部７０の同軸シールド側弾性部７１との間の摺動によって吸収される。そのため、同軸シールド１２Ｓおよび防着板４の間の安定した電気的な接続を維持することができる。
【００７５】
同軸シールド側接続部７０の同軸シールド側弾性部７１を防着板側取付部６２に押し付けることにより、同軸シールド側弾性部７１と防着板側取付部６２との電気的な接続が得られる。そのため、ネジなどの固着部材を用いて同軸シールド側弾性部７１を防着板側取付部６２に取り付ける方法と比較して、容易に同軸シールド側弾性部７１と防着板側取付部６２とを容易に電気的に接続することができる。
言い換えると、放電電極３などの組み立て性向上を図ることができる。
【００７６】
図１０は、図６の同軸シールド側接続部における別の実施例を説明する模式図である。
なお、上述の実施形態のように、同軸シールド側取付部７２は放電電極３の熱伸び方向（Ｚ軸方向）および防着板４の熱伸び方向（Ｙ軸方向）からなる平面（図７の紙面）に沿って延びる板状の部材であってもよいし、図１０に示すように、防着板４の熱伸び方向（Ｙ軸方向）に対して直交する平面（Ｚ−Ｘ平面と平行な面）に沿って延びる板状の部材であってもよく特に限定するものではない。
【００７７】
この場合、防着板４には、同軸シールド側取付部７２と平行に延びるとともに、同軸シールド側弾性部７１と当接される接続板６２Ａが設けられている。
【００７８】
このようにすることで、同軸シールド１２Ｓおよび防着板４における放電電極３の熱伸び方向（Ｚ軸方向）への相対移動は、接続板６２Ａと同軸シールド側弾性部７１との間の摺動によって吸収される。その一方で、同軸シールド１２Ｓおよび防着板４における防着板４の熱伸び方向（Ｙ軸方向）への相対移動は、同軸シールド側弾性部７１の弾性変形によって吸収される。
【００７９】
〔第２の実施形態〕
次に、本発明の第２の実施形態について図１１および図１２を参照して説明する。
本実施形態の製膜装置の基本構成は、第１の実施形態と同様であるが、第１の実施形態とは、同軸シールド側接続部の構成が異なっている。よって、本実施形態においては、図１１および図１２を用いて同軸シールド側接続部の周辺のみを説明し、その他の構成要素等の説明を省略する。
図１１は、本実施形態における上方に配置された同軸シールド側接続部および防着板側接続部の構成を説明する部分拡大図である。図１２は、本実施形態における下方に配置された同軸シールド側接続部および防着板側接続部の構成を説明する部分拡大図である。
なお、第１の実施形態と同一の構成要素には同一の符号を付して、その説明を省略する。
【００８０】
本実施形態の製膜装置（真空処理装置）１０１における同軸給電部１２ａ，１２ｂの同軸シールド１２Ｓと、防着板４の防着板側接続部６０との間には、図１１および図１２に示すように、同軸シールド側接続部１７０が設けられている。
【００８１】
同軸シールド側接続部１７０は、図１１および図１２に示すように、同軸給電部１２ａ，１２ｂの同軸シールド１２Ｓと、防着板４の防着板側接続部６０とを電気的に接続するものである。さらに、同軸シールド側接続部１７０は、放電電極３の熱伸びに伴う同軸シールド１２Ｓと防着板側接続部６０との間のＺ軸方向の相対移動と、熱伸びによる同軸シールド１２Ｓと防着板側接続部６０との間のＹ軸方向の相対移動と、を吸収するものである。
【００８２】
同軸シールド側接続部１７０には、メッシュ状導電部（同軸シールド側弾性部）１７１と、同軸シールド側取付部７２と、押圧板１７３と、が設けられている。
【００８３】
メッシュ状導電部１７１は、同軸シールド１２Ｓと防着板側接続部６０とを電気的に接続するものであって、アルミニウムなどの導電性を有する金属から形成された箔状の部材に複数の貫通孔が形成された部材である。
さらに、メッシュ状導電部１７１における全体の幅は、第１の実施形態の同軸シールド側弾性部７１と同等の約２８．５ｍｍから約５０ｍｍまで程度の範囲を例示することができる。メッシュ状導電部１７１におけるインダクタンスは、全体の幅を広げるに伴い低下する。
【００８４】
メッシュ状導電部１７１のメッシュ（金網）の目における対角線の長さは、約５ｍｍ以下であることが望ましい。
このようにすることで、６０ＭＨｚの高周波電力における波長（約５ｍ）に対して、上述の対角線の長さは１／１０００以下となるため、メッシュ状導電部１７１を導体と同等にみなすことができる。
【００８５】
押圧板１７３は、同軸シールド側取付部７２とともにメッシュ状導電部１７１の一方の端部を挟み込むことにより、メッシュ状導電部１７１と同軸シールド側取付部７２とを電気的に接続するものである。さらに、押圧板１７３は、防着板側取付部６２とともにメッシュ状導電部１７１の他方の端部を挟み込むことにより、メッシュ状導電部１７１と防着板側取付部６２とを電気的に接続するものでもある。
押圧板１７３は、同軸シールド側取付部７２や、防着板側取付部６２にネジなどの締結手段を用いて取り付けられる。
【００８６】
上記の構成によれば、メッシュ状導電部１７１の端を、押圧板１７３と同軸シールド側取付部７２との間、および、押圧板１７３は、防着板側取付部６２との間に挟み込むことにより、接続状態を安定させることができる。
さらに柔軟性の高いメッシュ状導電部１７１を用いることで、同軸シールド１２Ｓおよび防着板４の間の相対移動を吸収することができる。
【００８７】
具体的には、同軸シールド１２Ｓおよび防着板４における放電電極３の熱伸び方向（Ｚ軸方向）への相対移動は、箔状に形成されたメッシュ状導電部１７１のたわみによって吸収される。その一方で、同軸シールド１２Ｓおよび防着板４における防着板４の熱伸び方向（Ｙ軸方向）への相対移動は、メッシュ状導電部１７１の弾性変形によって吸収される。
【００８８】
〔第３の実施形態〕
次に、本発明の第３の実施形態について図１３から図１５を参照して説明する。
本実施形態の製膜装置の基本構成は、第１の実施形態と同様であるが、第１の実施形態とは、同軸シールド側接続部の構成が異なっている。よって、本実施形態においては、図１３から図１５を用いて同軸シールド側接続部の周辺のみを説明し、その他の構成要素等の説明を省略する。
図１３は、本実施形態における上方に配置された同軸シールド側接続部および防着板側接続部の構成を説明する部分拡大図である。図１４は、本実施形態における下方に配置された同軸シールド側接続部および防着板側接続部の構成を説明する部分拡大図である。図１５は、図１３および図１４のすだれ状導電部の構成を説明する模式図である。
なお、第１の実施形態と同一の構成要素には同一の符号を付して、その説明を省略する。
【００８９】
本実施形態の製膜装置（真空処理装置）２０１における同軸給電部１２ａ，１２ｂの同軸シールド１２Ｓと、防着板４の防着板側接続部６０との間には、図１３および図１４に示すように、同軸シールド側接続部２７０が設けられている。
【００９０】
同軸シールド側接続部２７０は、図１３および図１４に示すように、同軸給電部１２ａ，１２ｂの同軸シールド１２Ｓと、防着板４の防着板側接続部６０とを電気的に接続するものである。さらに、同軸シールド側接続部２７０は、放電電極３の熱伸びに伴う同軸シールド１２Ｓと防着板側接続部６０との間のＺ軸方向の相対移動と、熱伸びによる同軸シールド１２Ｓと防着板側接続部６０との間のＹ軸方向の相対移動と、を吸収するものである。
【００９１】
同軸シールド側接続部２７０には、すだれ状導電部（同軸シールド側弾性部）２７１と、同軸シールド側取付部７２と、が設けられている。
【００９２】
すだれ状導電部２７１は、図１３から図１５に示すように、同軸シールド１２Ｓと防着板側接続部６０とを電気的に接続するものであって、アルミニウムなどの導電性を有する金属から形成された箔状の部材に、複数のスリット状の長孔２７１Ａが形成された部材である。
【００９３】
すだれ状導電部２７１における全体の幅は、第１の実施形態の同軸シールド側弾性部７１と同等の約２８．５ｍｍから約５０ｍｍまで程度の範囲を例示することができる。すだれ状導電部２７１におけるインダクタンスは、全体の幅を広げるに伴い低下する。
【００９４】
すだれ状導電部２７１の長孔２７１Ａの幅は、約５ｍｍ以下であることが望ましい。
このようにすることで、６０ＭＨｚの高周波電力における波長（約５ｍ）に対して、上述の対角線の長さは１／１０００以下となるため、メッシュ状導電部１７１を導体と同等にみなすことができる。
【００９５】
すだれ状導電部２７１における柔軟性を確保するため、すだれ部２７１Ｂが板状に形成されている場合には、すだれ部２７１Ｂにおける幅および厚さは、それぞれ約２ｍｍ以下および０．２ｍｍ以下であることが望ましい。その一方で、すだれ部２７１Ｂが線材状に形成されている場合には、直径が約１ｍｍ以下、より好ましくはすだれ部２７１Ｂが破損しない程度の直径であることが望ましい。ここで、直径が約１ｍｍ以下とは、すだれ部２７１Ｂが線材状に形成されている場合の直径の上限を示している。
【００９６】
すだれ状導電部２７１の両端部には、同軸シールド側取付部７２や、防着板側取付部６２にネジなどの締結手段を用いて取り付けられる板状の取付端部２７１Ｃが設けられている。
【００９７】
上記の構成によれば、すだれ状導電部２７１は、取付端部２７１Ｃにおいて同軸シールド側取付部７２や、防着板側取付部６２にネジなどの締結手段を用いて取り付けられる。そのため、すだれ状導電部２７１と同軸シールド側取付部７２との接続状態、および、すだれ状導電部２７１と防着板側取付部６２との接続状態を安定させることができる。
さらに、柔軟性の高いすだれ状導電部２７１を用いることで、同軸シールド１２Ｓおよび防着板４の間の相対移動を吸収することができる。
【００９８】
具体的には、同軸シールド１２Ｓおよび防着板４における放電電極３の熱伸び方向（Ｚ軸方向）への相対移動は、すだれ状導電部２７１のたわみによって吸収される。その一方で、同軸シールド１２Ｓおよび防着板４における防着板４の熱伸び方向（Ｙ軸方向）への相対移動は、すだれ状導電部２７１の弾性変形によって吸収される。
【符号の説明】
【００９９】
１，１０１，２０１  製膜装置（真空処理装置）
２  対向電極（基板テーブル）
３  放電電極
４  防着板
８  基板
１２Ｓ  同軸シールド
１４ａ，１４ｂ  高周波給電伝送路（芯線）
６０  防着板側接続部
６２  防着板側取付部（接続板）
６２Ａ  接続板
７０，１７０，２７０  同軸シールド側接続部
７２  同軸シールド側取付部（取付板）
１７１  メッシュ状導電部（同軸シールド側弾性部）
２７１  すだれ状導電部（同軸シールド側弾性部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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