(57)【要約】      （修正有）【課題】廃ガスを予備加熱した後に燃焼処理することによって、廃ガスの完全燃焼処理を可能にすることのできる廃ガス処理装置を提供する。【解決手段】廃ガス処理装置は、一方から廃ガスが流入し、上部から燃焼エアーとグライディングプラズマとが供給されて、廃ガスの燃焼が行われる燃焼部２１０を有する燃焼チャンバー２００と、燃焼チャンバーの上部に設けられ、グライディングプラズマを燃焼チャンバー２００に供給するグライディング点火発生部３００と、燃焼部２１０の内部に供給される廃ガスを予備加熱する予備加熱部２２０を備え、廃ガスを予備加熱部２２０により予備加熱した後、燃焼部２１０により燃焼処理する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方から廃ガスが流入し、上部から燃焼エアーとグライディングプラズマとが供給されて、前記廃ガスの燃焼が行われる燃焼部を有する燃焼チャンバーと、
前記燃焼チャンバーの上部に設けられ、前記グライディングプラズマを前記燃焼チャンバーに供給するグライディング点火発生部とを備え、
前記燃焼チャンバーは、前記燃焼部の内部に供給される前記廃ガスを予備加熱する予備加熱部をさらに備えることを特徴とする廃ガス処理装置。
【請求項２】
前記予備加熱部は、前記燃焼部にて行われた前記廃ガスの燃焼により発生する熱を利用して、前記燃焼部に供給される前記廃ガスを予備加熱することを特徴とする請求項１に記載の廃ガス処理装置。
【請求項３】
前記予備加熱部の外側に設けられるヒータをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の廃ガス処理装置。
【請求項４】
前記燃焼チャンバーの下部に設けられる冷却部をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の廃ガス処理装置。
【請求項５】
前記冷却部は、
外側に設けられて内部に冷却エアーを供給するブロワーと、
内部に設けられて前記廃ガスが燃焼処理されて発生した燃焼処理ガスが接触して冷却される接触部とを備えることを特徴とする請求項４に記載の廃ガス処理装置。
【請求項６】
前記冷却部は、内部にジグ状の燃焼処理ガス流れ経路が形成されるように設けられた冷却プレートを備えることを特徴とする請求項４に記載の廃ガス処理装置。
【請求項７】
前記冷却部は、内部に水を噴射する噴射ノズルを備えることを特徴とする請求項４に記載の廃ガス処理装置。
【請求項８】
前記廃ガスの予備加熱温度は、前記廃ガスの自然発火点の１／３以上〜１０００℃未満であることを特徴とする請求項１に記載の廃ガス処理装置。
【請求項９】
前記燃焼チャンバーは、管状を有する内壁と、前記内壁の外側に離隔し、管状を有する外壁を有し、
前記燃焼部は、前記内壁の内部空間であり、前記予備加熱部は、前記内壁と外壁との間の離隔空間であることを特徴とする請求項１に記載の廃ガス処理装置。
【請求項１０】
前記燃焼チャンバーは、前記予備加熱部に連結する廃ガス流入管を備え、
前記廃ガス流入管を介して流入する廃ガスが前記予備加熱部を通過して、前記燃焼部の上部に供給されることを特徴とする請求項９に記載の廃ガス処理装置。
【請求項１１】
前記外壁は、前記内壁より高く形成されることを特徴とする請求項９に記載の廃ガス処理装置。
【請求項１２】
前記燃焼チャンバーは、前記予備加熱部にて前記燃焼部の側面から突出するように形成されるガイド隔壁をさらに備えることを特徴とする請求項９に記載の廃ガス処理装置。
【請求項１３】
前記ガイド隔壁は、一方に開口を有する第１突起と他方に開口を有する第２突起とが前記予備加熱部の下部から上部に交互に配置されて形成されることを特徴とする請求項１２に記載の廃ガス処理装置。
【請求項１４】
前記ガイド隔壁は、前記予備加熱部の下部から上部に螺旋状に配置されて形成されることを特徴とする請求項１２に記載の廃ガス処理装置。
【請求項１５】
前記燃焼チャンバーは、
前記燃焼部の上部に設けられ、燃焼エアー流入口の形成された上部連結部と、
前記燃焼部の下部に設けられ、前記廃ガスが燃焼処理された燃焼処理ガスが排出するように形成された下部連結部と、
前記廃ガス流入管に連結され、不活性ガスが流入する経路を提供する不活性ガス流入管とをさらに備えることを特徴とする請求項１０に記載の廃ガス処理装置。
【請求項１６】
前記グライディング点火発生部は、
前記燃焼部の上部に設けられ、前記燃焼部と連結されるように形成される結合部と、
前記結合部を貫通して前記燃焼部に連結するグライディングプラズマ発生部と、
前記グライディングプラズマ発生部が貫通されるように形成され、前記結合部に結合されるシーリングフランンジ部と、
前記シーリングフランンジ部に結合され、前記点火エアーが供給される点火エアー供給口を有する蓋部とを備えることを特徴とする請求項９に記載の廃ガス処理装置。
【請求項１７】
前記グライディング点火発生部は、前記結合部の外側に形成された冷却水流入管をさらに備えることを特徴とする請求項１６に記載の廃ガス処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、廃ガス処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体及びその他の一般産業の生産に使用され排出される廃ガスを処理するために、ガススクラバー（Ｇａｓ  Ｓｃｒｕｂｂｅｒ）が使用されている。
最近では、ガススクラバーのうち、加熱タイプスクラバー（Ｈｅａｔｉｎｇ  Ｔｙｐｅ  Ｓｃｒｕｂｂｅｒ）と燃焼タイプスクラバー（Ｂｕｒｎｉｎｇ  Ｔｙｐｅ  Ｓｃｒｕｂｂｅｒ）とが廃ガスを処理するのにおいて代表的に使用されている。
【０００３】
加熱タイプスクラバーは、雰囲気温度（自然発火）を利用して廃ガスを処理するために、基本的に加熱に対する電気消費量を増加させる。また、加熱タイプスクラバーでは、廃ガスの発熱及び水素脆化によりヒータの寿命が短くなるから、ヒータの交替による費用が増加できる。
【０００４】
燃焼タイプスクラバーは、廃ガスを処理するために化石燃料を直接的に使用し、このような化石燃料に対する別途のユーティリティを必要とするために、化石燃料に対する費用及び別途のユーティリティに対する費用を増加させる。また、ＣＨ4のような化石燃料は、自体的に爆発危険性があり、環境的な側面において二酸化炭素の発生量を増加させて地球温暖化を加速化させるようになる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、廃ガスを予備加熱した後に燃焼処理することによって、廃ガスの完全燃焼処理を可能にすることのできる廃ガス処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成すべく、本発明に係る廃ガス処理装置は、一方から廃ガスが流入し、上部から燃焼エアーとグライディングプラズマとが供給されて、前記廃ガスの燃焼が行われる燃焼部を有する燃焼チャンバーと、前記燃焼チャンバーの上部に設けられ、前記グライディングプラズマを前記燃焼チャンバーに供給するグライディング点火発生部とを備え、前記燃焼チャンバーは、前記燃焼部の内部に供給される前記廃ガスを予備加熱する予備加熱部をさらに備えることを特徴とする。
【０００７】
前記予備加熱部は、前記燃焼部にて行われた前記廃ガスの燃焼により発生する熱を利用して、前記燃焼部に供給される前記廃ガスを予備加熱することができる。
また、本発明に係る廃ガス処理装置は、前記予備加熱部の外側に設けられるヒータをさらに備えることができる。
【０００８】
また、本発明に係る廃ガス処理装置は、前記燃焼チャンバーの下部に設けられる冷却部をさらに備えることができる。
前記冷却部は、外側に設けられて内部に冷却エアーを供給するブロワーと、内部に設けられて前記廃ガスが燃焼処理されて発生した燃焼処理ガスが接触して冷却される接触部とを備えることができる。また、前記冷却部は、内部にジグ状の燃焼処理ガス流れ経路が形成されるように設けられた冷却プレートを備えることができる。前記冷却部は、内部に水を噴射する噴射ノズルを備えることができる。
【０００９】
前記廃ガスの予備加熱温度は、前記廃ガスの自然発火点の１／３以上〜１０００℃未満でありうる。
前記燃焼チャンバーは、管状を有する内壁と、前記内壁の外側に離隔し、管状を有する外壁を有することができる。このとき、前記燃焼部は、前記内壁の内部空間であり、前記予備加熱部は、前記内壁と外壁との間の離隔空間でありうる。
【００１０】
前記燃焼チャンバーは、前記予備加熱部に連結する廃ガス流入管を備え、前記廃ガス流入管を介して流入する廃ガスが前記予備加熱部を通過して、前記燃焼部の上部に供給されることができる。
【００１１】
前記外壁は、前記内壁より高く形成されることができる。
前記燃焼チャンバーは、前記予備加熱部にて前記燃焼部の側面から突出するように形成されるガイド隔壁をさらに備えることができる。
【００１２】
前記ガイド隔壁は、一方に開口を有する第１突起と他方に開口を有する第２突起とが前記予備加熱部の下部から上部に交互に配置されて形成されることができる。
前記ガイド隔壁は、前記予備加熱部の下部から上部に螺旋状に配置されて形成されることができる。
【００１３】
前記燃焼チャンバーは、前記燃焼部の上部に設けられ、燃焼エアー流入口の形成された上部連結部と、前記燃焼部の下部に設けられ、前記廃ガスが燃焼処理された燃焼処理ガスが排出するように形成された下部連結部と、前記廃ガス流入管に連結され、不活性ガスが流入する経路を提供する不活性ガス流入管とをさらに備えることができる。
【００１４】
前記グライディング点火発生部は、前記燃焼部の上部に設けられ、前記燃焼部と連結されるように形成される結合部と、前記結合部を貫通して前記燃焼部に連結するグライディングプラズマ発生部と、前記グライディングプラズマ発生部が貫通されるように形成され、前記結合部に結合されるシーリングフランンジ部と、前記シーリングフランンジ部に結合され、前記点火エアーが供給される点火エアー供給口を有する蓋部とを備えることができる。
【００１５】
前記グライディング点火発生部は、前記結合部の外側に形成された冷却水流入管をさらに備えることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の廃ガス処理装置によれば、半導体製造工程及びその他の一般産業で使用され排出される廃ガスを予備加熱した後に燃焼処理することによって、廃ガスの完全燃焼処理が可能であるという効果がある。
【００１７】
また、本発明の廃ガス処理装置によれば、既存に廃ガスの未燃焼の際、ウェット処理で処理された水溶性ガスを完全燃焼処理することによって、別途のウェット処理装置が要らなくなり、ウェット処理装置の水分による腐食が防止されうるという効果がある。
【００１８】
また、本発明の廃ガス処理装置によれば、燃焼部から発生した熱を利用して流入する廃ガスの予備加熱を行うことによって、ヒータの電力消費量を減らすことができ、常温の廃ガス流入による温度偏差を減らして、Ｐ．Ｉ．Ｄ制御の安全性が向上することができるという効果がある。
【００１９】
また、本発明の廃ガス処理装置によれば、ブロワーと接触部とを備える冷却部、冷却プレートを備える冷却部、及び噴射ノズルを備える冷却部のうち、何れか一つを利用することによって、燃焼処理ガスを冷却させることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施の形態に係る廃ガス処理装置の斜視図である。
【図２】図１の廃ガス処理装置を示す断面図である。
【図３】図２の燃焼チャンバーを示す斜視図である。
【図４】図２の燃焼チャンバーを示す断面図である。
【図５】図３に示すガイド隔壁の他の例を示す斜視図である。
【図６】図２の冷却部を示す概略構成図である。
【図７】図２の冷却部の他の例を示す概略構成図である。
【図８】図２の冷却部のさらに他の例を示す概略構成図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、添付された図面を参照して、本発明の実施の形態に係る廃ガス処理装置について、さらに詳細に説明する。
図１は、本発明の実施の形態に係る廃ガス処理装置の斜視図で、図２は、図１の廃ガス処理装置を示す断面図で、図３は、図２の燃焼チャンバーを示す斜視図で、図４は、図２の燃焼チャンバーを示す断面図で、図５は、図３に示すガイド隔壁の他の例を示す斜視図で、図６は、図２の冷却部を示す概略構成図で、図７は、図２の冷却部の他の例を示す概略構成図で、図８は、図２の冷却部のさらに他の例を示す概略構成図である。
【００２２】
図１〜図４に示すように、本発明の実施の形態に係る廃ガス処理装置１００は、燃焼チャンバー２００、グライディング点火発生部３００、ヒータ４００及び冷却部５００を備えて形成される。
【００２３】
前記燃焼チャンバー２００は、一方から廃ガスが流入し、上部から燃焼エアーとグライディングプラズマが供給されるように形成される。具体的に、前記燃焼チャンバー２００は、燃焼部２１０、予備加熱部２２０、廃ガス流入管２３０及びガイド隔壁２４０、上部連結部２５０、下部連結部２６０及び不活性ガス流入管２７０を備えることができる。ここで、前記燃焼チャンバー２００は、燃焼部２１０と予備加熱部２２０の形成のために内壁２００ａと外壁２００ｂとを有する。前記内壁２００ａは、略管状を有し、外壁２００ｂは、内壁２００ａから離隔される外側から内壁２００ａを取り囲むように略管状を有し、内壁２００ａの直径より大きな直径を有する。
【００２４】
前記燃焼部２１０は、燃焼チャンバー２００の上部から供給される燃焼エアーとグライディングプラズマにより廃ガスの燃焼が行われる燃焼空間を提供する。このような燃焼部２１０は、内壁２００ａの内部空間であり、内壁２００ａは、廃ガスの燃焼時に発生する高温の熱から耐えることができる耐火物又はステンレススチールから形成される。
【００２５】
前記予備加熱部２２０は、燃焼チャンバー２００の内壁２００ａと外壁２００ｂとの間の離隔空間であり、ガス流入管２３０を介して流入する廃ガスを燃焼部２１０にて行われた廃ガスの燃焼により発生する熱を利用して予備加熱する。すなわち、前記予備加熱部２２０は、廃ガスが燃焼部２１０にて燃焼される前に予備加熱されるようにする。ここで、前記外壁２００ｂは、内壁２００ａより高く形成されて、図４のように廃ガスが予備加熱部２２０を通過して燃焼部２１０の上部に進入するようにする。一方、前記予備加熱部２２０は、廃ガスの予備加熱温度が廃ガスの自然発火点の約１／３以上〜１０００℃未満になるようにする。下記の表１は、予備加熱部２２０を利用して廃ガスを予備加熱し、燃焼部２１０を利用して予備加熱した廃ガスを燃焼処理したテスト結果である。
【００２６】
【表１】
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【００２７】
前記表１から、廃ガスが自然発火点の約１／３以上である予備加熱温度に予備加熱され燃焼処理された場合、燃焼処理の効率が高いことが分かる。一方、廃ガスの予備加熱温度が１０００℃以上又は廃ガスの自然発火点以上に設定されれば、予備加熱のためのヒータの電力消費量が増加し、内壁２００ａの熱的損傷が発生する。また、廃ガスの予備加熱温度が廃ガスの自然発火点以上に設定されれば、予備加熱部２２０に未然の外部空気が流入する場合、廃ガスは、燃焼部２１０ではない予備加熱部２２０にて燃焼されることができる。
【００２８】
上記のように、予備加熱部２２０は、廃ガス流入管２３０を介して流入する廃ガスを予備加熱して、燃焼部２１０に供給される廃ガスが燃焼時に必要な熱量を一部確保するようにすることによって、燃焼部２１０にて廃ガスの燃焼処理効率を高くすることができる。また、前記予備加熱部２２０は、廃ガス流入管２３０を介して流入し、予備加熱部２２０を通過した廃ガスの拡散速度を増加させることによって、燃焼部２１０で廃ガス拡散現象により燃焼エアーの希釈比率を上昇させて、燃焼処理効率を高くすることができる。また、前記予備加熱部２２０は、燃焼部２１０にて行われた廃ガスの燃焼により発生する熱を、廃ガス流入管２３０から流入して予備加熱部２２０を通過する廃ガスに転移させることによって、燃焼部２１０の熱的損傷を減らすようにすることができる。また、前記予備加熱部２２０は、廃ガス流入管２３０から流入して予備加熱部２２０を通過する廃ガスのうち、複合化合物、例えばＮＨ3の予備加熱を介して分解を容易にして、燃焼部２１０において廃ガスの燃焼処理速度を増加させることができる。また、前記予備加熱部２２０は、既存に廃ガスの未燃焼の際、ウェット処理で処理された水溶性ガス（例えば、窒素）を燃焼部２１０で完全燃焼処理されるようにすることによって、別途のウェット処理装置を要らなくすることができ、ウェット処理装置の水分による腐食を防止することができる。また、前記予備加熱部２２０は、燃焼部２１０から発生した熱を利用して廃ガスの予備加熱を行うことで、ヒータの電力消費量を減らすようにし、常温の廃ガス流入による温度偏差を減らしてＰ．Ｉ．Ｄ制御の安全性を向上させることができる。
【００２９】
前記廃ガス流入管２３０は、予備加熱部２２０の下部に連結され、廃ガス流入口２３１を介して外部から廃ガスが流入して予備加熱部２２０に供給されるようにする。
前記ガイド隔壁２４０は、予備加熱部２２０において内壁２００ａの側面から突出するように形成される。前記ガイド隔壁２４０は、予備加熱部２２０を複数の領域に区画し、廃ガス流入管２３０を介して流入する廃ガスが予備加熱部２２０で回転しつつ通過されるようにする。このために、前記ガイド隔壁２４０は、一方に開口２４１ａを有する第１突起２４１と他方に開口２４２ａを有する第２突起２４２が予備加熱部２２０の下部から上部に交互に配置されて形成される。このようなガイド隔壁２４０は、予備加熱部２２０を通過する廃ガスの流れ経路を増加させて、廃ガスの予備加熱効率を上げることができる。一方、前記ガイド隔壁２４０の他に、図５に示すように、予備加熱部２２０の下部から上部に螺旋状に配置されるガイド隔壁２４０´を形成することができる。
【００３０】
前記上部連結部２５０は、燃焼部２１０の上部に設けられ、グライディング点火発生部３００と結合するように形成される。ここで、前記上部連結部２５０は、外部から燃焼エアーが流入する燃焼エアー流入口２０１を備える。前記燃焼エアーは、燃焼部２１０でグライディングプラズマを利用して廃ガスを燃焼させるときに用いられる。
【００３１】
前記下部連結部２６０は、燃焼部２１０の下部に設けられ、冷却部５００と結合されるように形成される。
前記不活性ガス流入管２７０は、廃ガス流入管２３０に連結して、不活性ガス流入口２７１を介して外部からＮ2等、不活性ガスが流入して予備加熱部２２０及び燃焼部２１０に供給されるようにする。前記不活性ガスは、予備加熱部２２０及び燃焼部２１０に流入する廃ガス量のバラツキの発生を防止して、真空状態である半導体工程から真空ポンピング（Ｐｕｍｐｉｎｇ）を介して排出する廃ガスの量が不安定な場合、予備加熱部２２０及び燃焼部２１０に流入する廃ガスの流入量を安定的に補正する。例えば、前記不活性ガスは、真空状態である半導体工程から真空ポンピングを介して排出される廃ガスの量が少ない場合、予備加熱部２２０及び燃焼部２１０にさらに供給されて、最終的に予備加熱部２２０及び燃焼部２１０に流入する廃ガスの流入量を一定にする。また、前記不活性ガスは、燃焼チャンバー２００に対する廃ガス流入圧力及び廃ガス排気圧力の揺れにより予備加熱部２２０及び燃焼部２１０から発生する廃ガスの不安定な燃焼を防止できる。ここで、前記不活性ガス流入管２７０は、「Ｌ」字状を有することができ、不活性ガス流入口２７１を介して流入する不活性ガスは、略１０〜１００ＬＰＭ（Ｌｉｔｅｒｐｅｒ  Ｍｉｎｕｔｅ）でありうる。
【００３２】
前記グライディング点火発生部３００は、燃焼チャンバー２００の上部に設けられ、外部から供給される点火エアーによりグライディングプラズマを燃焼チャンバー２００に供給して廃ガスの燃焼が行われるようにする。
【００３３】
具体的に、前記グライディング点火発生部３００は、結合部３１０、グライディングプラズマ発生部３２０、シーリングフランンジ部３３０及び蓋部３４０を備えることができる。
【００３４】
前記結合部３１０は、燃焼チャンバー２００の上部連結部２５０を貫通して燃焼部２１０と連結するように形成される。前記結合部３１０は、外側に形成されてグライディング点火発生部３００の冷却のための冷却水が流入する冷却水流入管３１１を備えることができる。
【００３５】
前記グライディングプラズマ発生部３２０は、結合部３１０を貫通して燃焼部２１０に連結されるように形成される。このようなグライディングプラズマ発生部３２０は、陰極電極と陽極電極を含んで実質的にグライディングプラズマを形成する。前記グライディングプラズマは、外部電源（図示せず）から電気が印加される陰極電極と陽極電極のアーク放電により形成され、外部から供給される点火エアーにより燃焼部２１０の内部に供給されることができる。
【００３６】
前記シーリングフランンジ部３３０は、グライディングプラズマ発生部３２０が貫通されるように形成され、結合部３１０に結合される。このようなシーリングフランンジ部３３０は、外部作業者がグライディングプラズマ発生部３２０から発生する高電圧に露出する危険を遮断し、グライディングプラズマ発生部３２０の内部に外部空気が流入するのを防止する。
【００３７】
前記蓋部３４０は、シーリングフランンジ部３３０に結合され、外部から点火エアーが供給される点火エアー供給口３４１を備える。ここで、前記点火エアー供給口３４１を通過する点火エアーは、グライディングプラズマ発生部３２０を経て陰極電極と陽極電極の放電により形成されるアークを燃焼部２１０に押し詰めてグライディング化されるようにする。
【００３８】
前記ヒータ４００は、燃焼チャンバー２００の予備加熱部２２０の外側に設けられる。前記ヒータ４００は、燃焼チャンバー２００の初期加熱を行い、グライディングプラズマによる廃ガスの燃焼時の安全のための補充加熱を行うことができる。また、前記ヒータ４００は、廃ガスの点火点（発火点）が高いガスの場合、廃ガスの円滑な燃焼のために熱を提供することができる。また、前記ヒータ４００は、予備加熱部２２０で廃ガスの温度が自然発火点の１／３以上になるように熱を提供することによって、燃焼部２１０にて廃ガスの完全燃焼を可能にすることができる。
【００３９】
前記冷却部５００は、下部連結部２６０の下部に設けられる。前記冷却部５００は、燃焼チャンバー２００で廃ガスが燃焼処理されて放出される燃焼処理ガスを冷却させて排出する。このために、前記冷却部５００は、図６に示すように、外側に設けられて内部に冷却エアーを供給するブロワー５１０と、内部に設けられて冷却エアーにより低い温度を有し、燃焼処理ガスが接触して冷却される接触部５２０とを備える。前記冷却部５００を通過した燃焼処理ガスは、排出管６００を介して外部に排出される。一方、前記冷却部５００の他の例として、図７に示すように内部にジグ状の燃焼処理ガス流れ経路が形成されるように設けられた冷却プレート１５１０を有する冷却部１５００を備えることができる。ここで、前記燃焼チャンバー２００から流入する燃焼処理ガスは、冷却部１５００の一方に流入して他方に排出し、排出管６００を介して外部に排出される。また、前記冷却部５００のさらに他の例として、図８に示すように内部に水を噴射する噴射ノズル２５１０を有する冷却部２５００を備えることができる。ここで、前記燃焼チャンバー２００から流入する燃焼処理ガスは、冷却部２５００の一方に流入して他方に排出され、排出管６００を介して外部に排出される。前記冷却部２５００は、廃ガス量が増加するほど燃焼処理ガスの冷却効率を増進させるのに有利である。
【００４０】
上記のように、本発明の実施の形態に係る廃ガス処理装置１００は、廃ガスを予備加熱部２２０により予備加熱した後、燃焼部２１０により燃焼処理することによって、廃ガスの完全燃焼処理を可能にすることができる。
【００４１】
また、本発明の実施の形態に係る廃ガス処理装置１００は、既存に廃ガスの未燃焼の際、ウェット処理により処理された水溶性ガスを完全燃焼処理することによって、別途のウェット処理装置が要らなく、ウェット処理装置の水分による腐食の発生を防止することができる。
【００４２】
また、本発明の実施の形態に係る廃ガス処理装置１００は、燃焼部２１０から発生した熱を利用して廃ガスの予備加熱を行うことによって、ヒータ４００の電力消費量を減らすことができ、常温の廃ガス流入時に発生する温度偏差を減らし、Ｐ．Ｉ．Ｄ制御による安全性を向上させることができる。
【００４３】
また、本発明の実施の形態に係る廃ガス処理装置１００は、ブロワー５１０と接触部５２０とを有する冷却部５００、冷却プレート１５１０を有する冷却部１５００、及び噴射ノズル２５１０を有する冷却部２５００のうち、何れか一つを利用することによって、燃焼処理ガスを冷却させることができる。
【００４４】
以下では、上記のような構成を有する廃ガス処理装置１００を利用して廃ガスを予備加熱し燃焼処理する場合と、既存の廃ガス処理装置を利用して予備加熱無しで燃焼処理する場合において、総窒素含有量を測定した結果を表２を介して検討する。以下の表２において、総窒素量は、燃焼処理ガスをウェット処理後、水から検出された総窒素量である。
【００４５】
【表２】
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【００４６】
表２に示すように、条件１、２のそれぞれは、廃ガスにＨ2、ＮＨ3が含まれない時の廃ガスの総窒素量が０．１７ｍｇ／Ｌと０．２８ｍｇ／Ｌであることを示す。条件３は、８０ＳＬＭ（Ｓｔａｎｄａｒｄ  Ｌｉｔｅｒ  ｐｅｒ  Ｍｉｎｕｔｅ）のＨ2と６０ＳＬＭのＮＨ3を含む廃ガスを予備加熱無しで２時間の間に燃焼処理したとき、燃焼処理ガスの総窒素量が５６８．１４ｍｇ／Ｌであることを示す。条件４は、６０ＳＬＭのＮＨ3を含む廃ガスを予備加熱し、２時間の間に燃焼処理したとき、燃焼処理ガスの総窒素量が０．５６ｍｇ／Ｌであることを示す。条件５は、８０ＳＬＭのＨ2と６０ＳＬＭのＮＨ3を含む廃ガスを予備加熱無しで４時間の間に燃焼処理したとき、燃焼処理ガスの総窒素量が９３２．５２ｍｇ／Ｌであることを示す。条件６は、８０ＳＬＭのＨ2と６０ＳＬＭのＮＨ3を含む廃ガスを予備加熱して４時間の間に燃焼処理したとき、燃焼処理ガスの総窒素量が７．０２ｍｇ／Ｌであることを示す。条件７は、６０ＳＬＭのＮＨ3を含む廃ガスを予備加熱して４時間の間に燃焼処理したとき、燃焼処理ガスの総窒素量が０．２３ｍｇ／Ｌであることを示す。
【００４７】
前記条件３、５から廃ガスを予備加熱無しで燃焼処理すれば、廃ガス量によって燃焼処理ガスの総窒素量が増加することが分かり、条件４、７から廃ガスを予備加熱し燃焼処理すれば、燃焼処理ガスの総窒素量が減少することが分かる。これから、予備加熱後燃焼処理を行う廃ガス処理装置１００が廃ガスの燃焼処理効率を上げることができることが分かる。
【００４８】
本発明の詳細な説明では具体的な実施の形態について説明したが、本発明の範囲から逸脱しない範囲内で多様な変形が可能であることは勿論である。したがって、本発明の範囲は、上述の実施の形態に限って決まらず、特許請求の範囲だけでなく、特許請求の範囲と均等なものによって決まらねばならない。
【符号の説明】
【００４９】
１００      廃ガス処理装置
２００      燃焼チャンバー
３００      グライディング点火発生部
４００      ヒータ
５００、１５００、２５００      冷却部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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