(57)【要約】【課題】Ｘ方向の位置ズレやＹ方向の位置ズレを直ちに判別して短時間で正確に修正できるようにアライメントマークを改良し、アライメント作業の精度向上と時間短縮を図ることができるチップオンフィルムを提供する。【解決手段】端子列１の両側に形成された十字形状のアライメントマーク２，２のＸ方向の帯状部２ａを挟んでＹ方向両側の入隅部に、相手部材のアライメントマークとして形成された方形マーク４ａ，４ｂを合わせたときに、アライメントマーク２，２のＹ方向の帯状部２ｂの両端部が相手部材の方形マーク４ａ，４ｂを越えてＹ方向両端側に突き出すように該両端部を延設したチップオンフィルムとする。Ｘ方向の帯状部２ａの一端部も方形マーク４ａ，４ｂからＸ方向一端側へ突き出すように延設する。Ｘ方向又はＹ方向に位置ズレが生じると帯状部２ｂ，２ａに凹部が形成されるので直ちに判り、位置ズレを修正できる。【選択図】図３
2011238657.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ方向の帯状部及びこれに直交するＹ方向の帯状部からなる十字形状のアライメントマークと、端子列とを備え、
上記アライメントマークのＸ方向の帯状部を挟んで両側の二つの入隅部に、相手部材にアライメントマークとして形成された二つの方形マークを合わせると、上記端子列が相手部材の端子列に対してＸ方向にもＹ方向にも位置ズレすることなく重ね合わされるように構成されたチップオンフィルムであって、
上記アライメントマークのＹ方向の帯状部の両端部が、相手部材の二つの方形マークを越えてＹ方向両端側に突き出すように延設されていることを特徴とするチップオンフィルム。
【請求項２】
上記アライメントマークのＸ方向の帯状部の一端部が、相手部材の二つの方形マークを越えてＸ方向一端側に突き出すように延設されていることを特徴とする請求項１に記載のチップオンフィルム。
【請求項３】
上記アライメントマークのＹ方向の帯状部と平行に、両端部が相手部材の二つの方形マークを越えてＹ方向両端側に突き出すように延設された第二のＹ方向の帯状部が形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のチップオンフィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はチップオンフィルムに関し、更に詳しくは、フィルム端縁に形成された端子列を、液晶セル（液晶パネル）などの相手部材に形成された端子列に重ね合わせて熱圧着する際に、位置ズレを防止するためのアライメント作業を短時間で正確に行うことができるように改良したチップオンフィルムに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶セルなどに熱圧着される従来のチップオンフィルムＣＯＦは、図１０に示すようにフィルム端縁に端子列１が形成されており、この端子列１の両側に一対のアライメントマーク２０，２０が形成されている。従来のアライメントマーク２０は、図１１に示すような、Ｘ方向（端子列１の配列方向）の帯状部２０ａとこれに直交するＹ方向の帯状部２０ｂとからなる十字形状のマークが一般的であって、図１１，図１２に示すように、このアライメントマーク２０のＸ方向の帯状部２０ａを挟んでＹ方向両側の二つの入隅部２０ｃ，２０ｄ（端子列１側の二つの入隅部）に、液晶セル３にアライメントマークとして形成された互いに平行なＸ方向の二つの方形（長方形）マーク４ａ，４ｂを合わせると、チップオンフィルムＣＯＦの端子列１が液晶セル３の端子列５（図１０参照）に対してＸ方向にもＹ方向にも位置ズレすることなく重ね合わされるようになっている。
【０００３】
尚、図１０では、端子列１及びアライメントマーク２０を表側にしてチップオンフィルムＣＯＦを示しているが、チップオンフィルムＣＯＦを液晶セル３に熱圧着するときには、チップオンフィルムＣＯＦを裏返しにしてアライメント作業を行いながら、チップオンフィルムＣＯＦの端子列１と液晶セル３の端子列５を重ね合わせることは言うまでもない。
【０００４】
ところで、上記アライメントマーク２０は、液晶セルの方形マーク４ａ，４ｂの大きさに対応してＹ方向の帯状部２０ｂの長さを決定し、Ｘ方向の帯状部２０ｂとＹ方向の帯状部２０ｂを同じ長さとしているため、図１２に示すように二つの方形マーク４ａ，４ｂをアライメントマーク２０の二つの入隅部に合わせた状態では、Ｙ方向の帯状部２０ｂの両端部が二つの方形マーク４ａ，４ｂからＹ方向両端側に突き出さないで方形マーク４ａ，４ａの端部と面一になり、方形マーク４ａ，４ｂの端子列１側の端部がＸ方向の帯状部２０ａの端子列１側の端部を越えて端子列１側へ突き出すことになる。
【０００５】
しかしながら、上記のようにアライメントマーク２０のＹ方向の帯状部２０ｂの両端部が液晶セルの方形マーク４ａ，４ｂのＹ方向両端側の端部と面一であると、図１３（ａ）に示すように、チップオンフィルムＣＯＦがＸ方向一端側（端子列１側）に位置ズレを生じて、液晶セルの方形マーク４ａ，４ｂがＹ方向の帯状部２０ｂに部分的に重なったとしても、Ｙ方向の帯状部２０ｂの幅が狭くなるだけで、アライメントマーク２０は依然として十字形状に見えるため、チップオンフィルムＣＯＦがＸ方向一端側に位置ズレを生じていることが判りにくく、時間をかけて位置ズレの有無を正確に判断して修正しなければならないことから、アライメント作業に時間がかかるという問題があった。
【０００６】
また、上記のようにアライメントマーク２０のＸ方向の帯状部２０ａの端子列１側の端部よりも液晶セルの方形マーク４ａ，４ｂの端子列１側の端部の方が突き出していると、図１３（ｂ）に示すように、チップオンフィルムＣＯＦがＹ方向のいずれか一端側に位置ずれを生じて、液晶セルのいずれか一方の方形マーク４ａ（又は４ｂ）がＸ方向の帯状部２０ａに部分的に重なったとしても、Ｘ方向の帯状部２０ａの幅が狭くなるだけで、アライメントマーク２０は依然として十字形状に見えるため、チップオンフィルムＣＯＦがＹ方向に位置ズレを生じていることが判りにくく、時間をかけて位置ズレの有無を正確に判断して修正しなければならないことから、やはりアライメント作業に時間がかかるという問題があった。
【０００７】
チップオンフィルムＣＯＦのＹ方向の位置ズレは、端子列１の各端子がＹ方向に細長い形状であるため、チップオンフィルムＣＯＦがＹ方向に大きく位置ズレを生じることがない限りそれほど問題にはならないが、チップオンフィルムＣＯＦのＸ方向の位置ズレは、たとえ僅かであってもチップオンフィルムＣＯＦの端子列１の各端子と液晶セルの端子列５の各端子との接触不良を招くことになる。従って、チップオンフィルムＣＯＦのアライメントマーク２０は、チップオンフィルムＣＯＦの位置ズレ、特にＸ方向の位置ズレを、短時間で正確に判断して修正できる形状に改善する必要がある。
【０００８】
一方、上記以外にも、アライメントマークを形成して位置ズレを防止する種々の技術が知られており、その主なものを例示すると次の通りである。
カラーフィルタや他の配線等のズレ確認に使用して、目視するだけで簡単にズレ量を検出できるアライメントマーク形成部を設けた表示装置として、基板上に複数の薄膜材料が積層された構成を備え、該基板上の所定位置にアライメントマーク形成部が設けられ、該アライメントマーク形成部には、十字形状に合わせて設けられた目盛りと、薄膜材料と同一材料からなる十字形状のアライメントマークとが積層形成されていることを特徴とする表示装置が提案されている（特許文献１）。
【０００９】
また、液晶パネルの相対向する基板に、端部に三角形状の補助形状を有する十字形状のアライメントマークを形成して、基板を精度良く位置合わせした液晶表示（特許文献２）や、
可撓性プリント基板の配線群の左右に第一のアライメントマークと第二のアライメントマークが形成され、少なくともいずれか一方のアライメントマークは、アライメントマークを四つのエリアに等分割した場合に少なくとも一つのエリアのアライメントマークの形状が他のエリアのアライメントマーク形状を折り返した形状とされており、この第一及び第二のアライメントマークを用いて可撓性プリント基板を表示基板に精度良く位置合わせして搭載した表示装置（特許文献３）なども提案されている。
【００１０】
しかしながら、上記特許文献１〜３に開示されたアライメント技術は前述した図１０〜図１３のアライメント技術と内容が異なるものであるから、上記特許文献１〜３のアライメント技術を応用して前述した従来のアライメント技術の問題点を解決することはできない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００９−１９２６６７号公報
【特許文献２】特開２００７−１２１６８８号公報
【特許文献３】特開２００８−４００３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は上記事情の下になされたもので、解決しようとする第一の課題は、図１０〜図１３に示すような十字形状のアライメントマークを有するチップオンフィルムにおいて、Ｘ方向の位置ズレを直ちに判別して短時間で正確に修正できるようにアライメントマークを改良し、アライメント作業の精度向上と時間短縮を図ることにある。
そして、解決しようとする第二の課題は、Ｙ方向の位置ずれも直ちに判別して短時間で正確に修正できるようにアライメントマークを改良し、アライメント作業の更なる精度向上と時間短縮を図ることにある。
さらに、解決しようとする第三の課題は、液晶セルなどの相手部材の端子列の両側にアライメントマークとして形成された方形マークの間隔（Ｘ方向の間隔）が大小異なる場合でも対応できるようにチップオンフィルムのアライメントマークを改良して共用可能とすることにより、新たなチップオンフィルムの開発費用削減を図ることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記第一の課題を達成するため、請求項１に係る発明は、Ｘ方向の帯状部及びこれに直交するＹ方向の帯状部からなる十字形状のアライメントマークと、端子列とを備え、
上記アライメントマークのＸ方向の帯状部を挟んで両側の二つの入隅部に、相手部材にアライメントマークとして形成された二つの方形マークを合わせると、上記端子列が相手部材の端子列に対してＸ方向にもＹ方向にも位置ズレすることなく重ね合わされるように構成されたチップオンフィルムであって、
上記アライメントマークのＹ方向の帯状部の両端部が、相手部材の二つの方形マークを越えてＹ方向両端側に突き出すように延設されていることを特徴とするものである。
【００１４】
そして、上記第二の課題を達成するため、請求項２に係る発明は、請求項１の発明において、アライメントマークのＸ方向の帯状部の少なくとも一端部が、相手部材の二つの方形マークを越えてＸ方向一端側に突き出すように延設されていることを特徴とするものである。
【００１５】
また、上記第三の課題を達成するため、請求項３に係る発明は、請求項１又は請求項２の発明において、アライメントマークのＹ方向の帯状部と平行に、両端部が相手部材の二つの方形マークを越えてＹ方向両端側に突き出すように延設された第二のＹ方向の帯状部が形成されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１の発明に係るチップオンフィルムは、アライメントマークのＹ方向の帯状部の両端部が、相手部材の二つの方形マークを越えてＹ方向両端側に突き出すように延設されているため、Ｘ方向に位置ズレが生じると、相手部材の方形マークがアライメントマークのＹ方向の帯状部に部分的に重なってＹ方向の帯状部に凹部が形成される。そのため、Ｘ方向に位置ズレを生じていることが直ちに判り、この凹部がなくなるようにチップオンフィルムをＸ方向に移動させることによって、Ｘ方向の位置ズレを短時間で正確に修正することができる。従って、Ｘ方向のアライメント作業の精度向上と時間短縮を図ることができる。
【００１７】
また、請求項２の発明に係るチップオンフィルムは、アライメントマークのＸ方向の帯状部の少なくとも一端部が、相手部材の二つの方形マークを越えてＸ方向一端側に突き出すように延設されているため、Ｙ方向に位置ズレが生じると、相手部材の方形マークのいずれか一方が、延設されたＸ方向の帯状部に部分的に重なって、Ｘ方向の帯状部に凹部が形成される。そのため、Ｙ方向に位置ズレを生じていることが直ちに判り、この凹部がなくなるようにチップオンフィルムをＹ方向に移動させることによって、Ｙ方向の位置ズレを短時間で正確に修正することができる。従って、Ｙ方向のアライメント作業の精度向上と時間短縮を図ることもできるので、アライメント作業性が一層向上する。
【００１８】
更に、請求項３の発明に係るチップオンフィルムは、アライメントマークのＹ方向の帯状部と平行に、両端部が相手部材の二つの方形マークを越えてＹ方向両端側に突き出すように延設された第二のＹ方向の帯状部が形成されているため、Ｘ方向の帯状部とＹ方向の帯状部とで形成される入隅部、及び、Ｘ方向の帯状部と第二のＹ方向の帯状部とで形成される第二の入隅部のいずれかを選択して、相手部材の方形マークを合わせることにより、相手部材の方形マークの間隔（Ｘ方向の間隔）が広狭異なる場合でも対応してチップオンフィルムを共用することができる。従って、新たなチップオンフィルムの開発費用を削減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施形態に係るチップオンフィルムと、相手部材である液晶セルの一部を示した平面図である。
【図２】同チップオンフィルムの拡大部分平面図である。
【図３】同チップオンフィルムのアライメントマークの入隅部に相手部材の方形マークを合わせた状態を示す拡大部分平面図である。
【図４】同チップオンフィルムがＸ方向一端側へ位置ズレした状態を示す拡大部分平面図である。
【図５】同チップオンフィルムがＸ方向他端側へ位置ズレした状態を示す拡大部分平面図である。
【図６】同チップオンフィルムがＹ方向一端側へ位置ズレした状態を示す拡大部分平面図である。
【図７】本発明の他の実施形態に係るチップオンフィルムを示す拡大部分平面図である。
【図８】同チップオンフィルムのアライメントマークのＸ方向の帯状部とＹ方向の帯状部とで形成される入隅部に相手部材の方形マークを合わせた状態を示す拡大部分平面図である。
【図９】同チップオンフィルムのアライメントマークのＸ方向の帯状部と第二のＹ方向の帯状部とで形成される第二の入隅部に相手部材の方形マークを合わせた状態を示す拡大部分平面図である。
【図１０】従来のチップオンフィルムの一部と、相手部材である液晶セルの一部を示した平面図である。
【図１１】従来のチップオンフィルムの拡大部分平面図である。
【図１２】従来のチップオンフィルムのアライメントマークの入隅部に相手部材の方形マークを合わせた状態を示す拡大部分平面図である。
【図１３】従来のチップオンフィルムが位置ズレを生じた状態を示す拡大部分平面図であって、（ａ）はＸ方向一端側に位置ズレを生じた状態を、（ｂ）ｈＹ方向一端側に位置ズレを生じた状態を示す。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
図１〜図６に示す実施形態のチップオンフィルムＣＯＦは、その中央にＩＣチップなどのチップ６が搭載されたものであって、このチップ６を挟んで一方のフィルム端縁には、相手部材である液晶セル３の端子列５に熱圧着される端子列１がＸ方向（左右方向）に配列形成されており、チップ６を挟んで他方のフィルム端縁には、配線基板（不図示）の端子列に熱圧着される端子列７が形成されている。そして、チップ６とフィルム両端縁の端子列１，７の各端子は、チップオンフィルムＣＯＦに形成された配線パターンによって接続されており、この配線パターンは絶縁皮膜で被覆されている。
【００２１】
液晶セル３の端子列５の両側には、アライメントマークとして前記の方形（長方形）マーク４ａ，４ｂが二つずつ形成されており、これに対応して、フィルム端縁の端子列１のＸ方向両側（左右両側）には、一組のアライメントマーク２，２が形成されている。チップオンフィルムＣＯＦの端子列１、端子列７、アライメントマーク２，２はいずれも、配線パターンと同様に銅箔をフォトエッチングして形成されたものであり、これらは絶縁皮膜で被覆されることなくチップオンフィルムＣＯＦの表面に露出している。
【００２２】
尚、図１も図１０と同様に、端子列１，７及びアライメントマーク２，２を表側にしてチップオンフィルムＣＯＦを示しているが、チップオンフィルムＣＯＦを液晶セル３に熱圧着するときには、チップオンフィルムＣＯＦを裏返しにしてアライメント作業を行いながら、チップオンフィルムＣＯＦの端子列１と液晶セル３の端子列５を重ね合わせることは言うまでもない。
【００２３】
このチップオンフィルムＣＯＦのアライメントマーク２，２は、図２に示すように、Ｘ方向の帯状体２ａとこれに直交するＹ方向の帯状体２ｂとからなる十字形状のマークであって、個々のアライメントマーク２は左右非対称の十字形状とされており、この左右非対称の十字形状のアライメントマークが端子列１のＸ方向（左右）両側に左右対称に一組形成されている。そして、図２，図３に示すように、双方のアライメントマーク２，２のＸ方向の帯状部２ａを挟んでＹ方向両側の二つの入隅部２ｃ，２ｄ（端子列１側の二つの入隅部）に、液晶セル３の端子列５の両側にアライメントマークとして二つずつ形成された前記方形マーク４ａ，４ｂを合わせると、チップオンフィルムＣＯＦの端子列１が液晶セル３の端子列５に対してＸ方向にもＹ方向にも位置ズレすることなく重ね合わされるように構成されている。
【００２４】
上記のアライメントマーク２は、前述した従来のアライメントマーク２０とは異なり、図３に示すように、液晶セルの方形マーク４ａ，４ｂをアライメントマーク２の入隅部に合わせた状態では、Ｙ方向の帯状部２ｂの両端部が液晶セルの方形マーク４ａ，４ｂを越えてＹ方向両端側に突き出すように延設されている。そのため、図４に示すようにチップオンフィルムＣＯＦがＸ方向一端側（右側）に位置ズレすると、Ｘ方向他端側（端子列１の左側）のアライメントマーク２のＹ方向の帯状部２ｂに液晶セルのＸ方向他端側の方形マーク４ａ，４ｂが部分的に重なってＹ方向の帯状部２ｂに凹部８ｂ，８ｂが形成されることになるので、Ｘ方向一端側に位置ズレを生じていることが直ちに判別できるようになり、図５に示すようにチップオンフィルムＣＯＦがＸ方向他端側（左側）に位置ズレすると、Ｘ方向一端側（端子列１の右側）のアライメントマーク２のＹ方向の帯状部２ｂに液晶セルのＸ方向一端側の方形マーク４ａ，４ｂが部分的に重なってＹ方向の帯状部２ｂに凹部８ｂ，８ｂが形成されることになるので、Ｘ方向他端側に位置ズレを生じていることが直ちに判別できるようになる。このように凹部８ｂ，８ｂの形成によってチップオンフィルムＣＯＦのＸ方向の位置ズレを確実に判別できるので、この凹部８ｂ，８ｂがなくなるようにチップオンフィルムＣＯＦをＸ方向に移動させることによって、Ｘ方向の位置ズレを短時間で正確に修正できるようになり、Ｘ方向のアライメント作業の精度向上と時間短縮を図ることが可能となる。
【００２５】
また、上記のアライメントマーク２，２は、図３に示すように、液晶セルの方形マーク４ａ，４ｂをアライメントマーク２，２の端子列１側の入隅部に合わせた状態では、Ｘ方向の帯状部２ａの端子列１側の端部が液晶セルの方形マーク４ａ，４ｂを越えて端子列１側に突き出すように延設されている。そのため、図６に示すように、チップオンフィルムＣＯＦがＹ方向のいずれか一端側に位置ズレを生じると、双方のアライメントマーク２，２のＸ方向の帯状部２ａ，２ａに液晶セルの方形マーク４ａ，４ｂのいずれか一方が部分的に重なってＸ方向の帯状部２ａ，２ａに凹部８ａ，８ａが形成されることになるので、Ｙ方向に位置ズレを生じていることが直ちに判別できるようになり、この凹部８ａ，８ａがなくなるようにチップオンフィルムＣＯＦをＹ方向に移動させることによって、Ｙ方向の位置ズレを短時間で正確に修正することが可能となる。このように、Ｙ方向のアライメント作業の精度向上と時間短縮を図ることもできるので、アライメント作業性が一層向上する。
【００２６】
図７〜図９に示す実施形態のチップオンフィルムＣＯＦは、端子列１のＸ方向両側に形成されたアライメントマーク２，２が、Ｘ方向の帯状部２ａと、これに直交するＹ方向の帯状部２ｂと、このＹ方向の帯状部２ｂより端子列１側にＹ方向の帯状部２ｂと平行に形成された第二のＹ方向の帯状部２ｅとからなるものであって、Ｙ方向の帯状部２ｂの両端部および第二のＹ方向の帯状部２ｅの両端部が液晶セルの方形マーク４ａ，４ｂを越えてＹ方向両端側へ突き出すように延設されており、かつ、Ｘ方向の帯状部２ａの端子列１側の端部が、図７，図９に示すようにＸ方向の帯状部２ａと第二のＹ方向の帯状部２ｅによって形成される入隅部２ｆ，２ｇ（端子列１側の入隅部）に液晶セルの方形マーク４ａ，４ｂを合わせたときに、該方形マーク４ａ，４ｂを越えて端子列１側に突き出すように延設されている。このチップオンフィルムＣＯＦの他の構成は、前述した図１〜図６に示すチップオンフィルムＣＯＦと同様であるので説明を省略する。
【００２７】
このようなチップオンフィルムＣＯＦは、液晶セルの端子列１の両側に形成される形成される方形マーク４ａ，４ｂの間隔（Ｘ方向の間隔）が広い場合には、図７，図８に示すように、双方のアライメントマーク２，２のＸ方向の帯状部２ａとＹ方向の帯状部２ｂとで形成される入隅部２ｃ，２ｄに液晶セルの方形マーク４ａ，４ｂを合わせることにより、また、液晶セルの方形マーク４ａ，４ｂのＸ方向の間隔が狭い場合には、図７，図９に示すように、双方のアライメントマーク２，２のＸ方向の帯状部２ａと第二のＹ方向の帯状部２ｅとで形成される入隅部２ｆ，２ｇに液晶セルの方形マーク４ａ，４ｂを合わせることにより、液晶セルの方形マーク４ａ，４ｂのＸ方向の間隔が広狭異なる場合でも対応してチップオンフィルムＣＯＦを共用できるので、液晶セルの方形マーク４ａ，４ｂのＸ方向の間隔に合わせて新たなチップオンフィルムの開発費用を削減することが可能となる。そして、このチップオンフィルムＣＯＦは、Ｘ方向に位置ズレを生じると、前述したようにＹ方向の帯状部２ｂや第二のＹ方向の帯状部２ｅに凹部が形成され、Ｙ方向に位置ズレを生じると、前述したようにＸ方向の帯状部２ａに凹部が形成されるので、直ちに位置ズレが生じたことを判別でき、この凹部がなくなるようにチップオンフィルムＣＯＦをＸ方向又はＹ方向に移動させることによって位置ズレを短時間で正確に修正することができる。
【００２８】
尚、図７〜図９に示すチップオンフィルムＣＯＦのアライメントマーク２，２は、Ｘ方向の帯状部２ａに直交するＹ方向の帯状部２ｂと第二のＹ方向の帯状部２ｅを形成しているが、場合によっては、第三もしくは第四以上のＹ方向の帯状部を形成し、液晶セルの端子列５の両側に形成される方形マーク４ａ，４ｂのＸ方向の間隔が種々異なる場合でも対応できるように構成してもよい。
【００２９】
また、上記実施形態のチップオンフィルムＣＯＦはいずれも、相手部材が液晶セル３である場合を例にとって説明したが、相手部材は液晶セル以外の部材であってもよいことは言うまでもない。
【符号の説明】
【００３０】
１，５，７  端子列
２    アライメントマーク
２ａ  Ｘ方向の帯状部
２ｂ  Ｙ方向の帯状部
２ｅ  第二のＹ方向の帯状部
２ｃ，２ｄ，２ｆ，２ｇ  アライメントマークの入隅部
３    液晶セル（相手部材）
４ａ，４ｂ  液晶セルの方形マーク
６    チップ
８ａ，８ｂ  凹部
【図１】
2011238657.tif 000003
【図２】
2011238657.tif 000004
【図３】
2011238657.tif 000005
【図４】
2011238657.tif 000006
【図５】
2011238657.tif 000007
【図６】
2011238657.tif 000008
【図７】
2011238657.tif 000009
【図８】
2011238657.tif 000010
【図９】
2011238657.tif 000011
【図１０】
2011238657.tif 000012
【図１１】
2011238657.tif 000013
【図１２】
2011238657.tif 000014
【図１３】
2011238657.tif 000015