(57)【要約】【課題】複数のＤＵＴを同時測定している場合、同時測定している複数のＤＵＴのうち、誤って意図しないＤＵＴに対しての制御および測定を行っていないかを容易に検証することが可能な半導体試験装置を実現する。【解決手段】複数の被試験対象デバイスを同時に測定する半導体試験装置において、測定結果が予め分かっている複数の検査済みデバイスを用いて、測定対象となる複数の検査済みデバイスをずらして測定を行うシステム制御部と、同一の検査済みデバイスの測定結果が同じであるか否かを検証し検証結果を出力する実行結果検証手段とを備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被試験対象デバイスを同時に測定する半導体試験装置において、
測定結果が予め分かっている複数の検査済みデバイスを用いて、測定対象となる複数の前記検査済みデバイスをずらして測定を行うシステム制御部と、
同一の前記検査済みデバイスの測定結果が同じであるか否かを検証し検証結果を出力する実行結果検証手段と
を備えたことを特徴とする半導体試験装置。
【請求項２】
Ｎ個（Ｎは２以上の整数）の被試験対象デバイスを同時に測定する半導体試験装置において、
測定結果が予め分かっている少なくとも（２Ｎ−１）個の検査済みデバイスを用いて、測定対象となる（２Ｎ−１）個の前記検査済みデバイスをずらしてＮ回の測定を行うシステム制御部と、
Ｎ回の前記測定結果において同一の前記検査済みデバイスの測定結果が同じであるか否かを検証し検証結果を出力する実行結果検証手段と
を備えたことを特徴とする半導体試験装置。
【請求項３】
前記実行結果検証手段から出力される検証結果を表示する表示部と、
この表示部を制御する表示制御手段と
を備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の半導体試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の被試験対象デバイス（以下、ＤＵＴ（Device Under Test）という）を同時に測定する半導体試験装置に関し、詳しくは、同時測定している複数のＤＵＴのうち、誤って意図しないＤＵＴに対しての制御および測定を行っていないかを容易に検証することが可能な半導体試験装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体試験において、試験時間は非常に重要視されるパラメータの１つとされている。限られた時間では、ＤＵＴの試験時間が長くなれば試験可能なデバイス数は少なくなり、ＤＵＴの試験時間が短くなれば試験可能なデバイス数は多くなるため、ＤＵＴを製造する半導体メーカの利益に試験時間が影響するからである。このような状況において、少しでも多くのデバイスを試験するため、複数のＤＵＴを同時測定する試験が主流となっている。
【０００３】
図６は、従来の半導体試験装置の一例を示した構成図である。
図６において、ユーザＩ／Ｆ部２は、測定ＤＵＴ選択手段２１、実行指定手段２２、表示制御手段２３およびロード指定手段２４を有し、半導体試験装置を使用するユーザからの指示情報を半導体試験装置へ送信する。
【０００４】
システム制御部１は、ＤＵＴに対しての制御および測定に関し、半導体試験装置を統括的に制御する。測定ＤＵＴ選択手段２１は、ユーザが選択した測定対象のＤＵＴの選択情報をシステム制御部１へ送信する。実行指定手段２２は、ユーザが指定した測定の実行情報をシステム制御部１へ送信する。
【０００５】
表示制御手段２３は、システム制御部１からの命令により、測定結果の表示を制御する。ロード指定手段２４は、ユーザが選択した測定対象のＤＵＴの品種情報をシステム制御部１へ送信する。針当て制御手段３は、システム制御部１からの命令により、指定された測定対象のＤＵＴにプローブ針を当てるようにプローバへ命令を送信する。ここで、プローバは、ウェハ上に形成されたＤＵＴの端子（パッド）とプローブカードのプローブ針との接触を制御する装置である。プローブカードのプローブ針を介して、半導体試験装置からの試験信号を入力し、ＤＵＴからの出力信号を半導体試験装置へ入力することができる。
【０００６】
テスト実行手段４は、システム制御部１からの命令により、ロード指定手段２４でユーザが選択した測定対象のＤＵＴの品種のテストプログラムを実行してＤＵＴの測定を行い、測定結果をシステム制御部１へ送信する。表示部５は、例えば、液晶ディスプレイ等のであり、表示制御手段２３からの制御により、ＤＵＴの測定結果を表示する。
【０００７】
このような半導体試験装置の動作を図７を用いて説明する。
図７は、従来の半導体試験装置の動作を示すフローチャートである。
半導体試験装置を使用するユーザは、ロード指定手段２４にて、これから測定を開始するＤＵＴの品種を選択する（Ｓ００１）。ロード指定手段２４は、選択されたＤＵＴの品種情報をシステム制御部１へ送信する。システム制御部１は、品種情報を受信し、該当する品種のテストプログラムをロードする。ユーザは、測定ＤＵＴ選択手段２１にて、測定対象のＤＵＴを選択し（Ｓ００２）、実行指定手段２２から測定の実行を指定する（Ｓ００３）。
【０００８】
そして、システム制御部１は、測定ＤＵＴ選択手段２１でユーザが選択した測定対象のＤＵＴのプローブ針の針当て位置情報を取得し、針当て制御手段３に対して、測定対象のＤＵＴにプローブ針を当てるように針当て開始命令を送信する（Ｓ００４）。針当て制御手段３は、針当て開始命令を受信すると、測定対象のＤＵＴにプローブ針を当て、システム制御部１へ針当てが完了したことを意味する針当て完了通知を送信する（Ｓ００５）。
【０００９】
システム制御部１は、針当て制御手段３から針当て完了通知を受信すると、テスト実行手段４に対して、測定の開始を意味する測定開始命令を送信する。テスト実行手段４は、システム制御部１から測定開始命令を受信すると、ロード指定手段２４でユーザが選択した測定対象のＤＵＴの品種のテストプログラムを実行してＤＵＴの測定を行い、測定結果をシステム制御部１へ送信する（Ｓ００６）。
【００１０】
システム制御部１は、テスト実行手段４から測定結果を受信すると、表示制御手段２３に対して、測定結果の表示をするように表示開始命令を送信する。表示制御手段２３は、システム制御部１から表示開始命令を受信すると、表示部５に測定結果を表示する。
【００１１】
そして、システム制御部１は、測定ＤＵＴ選択手段２１で選択された測定対象のＤＵＴの測定が全て終了したか否かを判断する（Ｓ００７）。もし、測定が全て終了していない場合には、システム制御部１は、針当て制御手段３に対して、次の測定対象のＤＵＴにプローブ針を当てるように針当て開始命令を送信する（Ｓ００８）。ここで、複数のＤＵＴを同時測定している場合、次の測定対象のＤＵＴとは、同時測定個数分ずらしたＤＵＴを意味する。
【００１２】
一方、測定が全て終了した場合には、システム制御部１は、試験を終了する。以下同様に、測定ＤＵＴ選択手段２１で選択された測定対象のＤＵＴの測定が全て終了するまで、図７のステップＳ００５〜Ｓ００８を繰り返し行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開２００４−３５４３５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかし、図６および図７に示す従来例では、複数のＤＵＴを同時測定している場合、同時測定している複数のＤＵＴのうち、誤って意図しないＤＵＴに対しての制御および測定を行っていないかを確認することができないという問題があった。
【００１５】
例えば、２個のＤＵＴを同時測定している場合、ＤＵＴ１側に対して印加しなければならない電圧を誤ってＤＵＴ２側に印加してしまうことや、ＤＵＴ１側の測定結果を用いてＤＵＴ２側の判定を行ってしまうということがある。
【００１６】
このような問題が発生する要因としては、２つのことが考えられる。１つ目は、ユーザが、テストプログラムを書き間違えており、同時測定中のあるＤＵＴの測定中に他のＤＵＴの制御または測定を行ってしまうことである。２つ目は、半導体試験装置のシステムソフトに不適合が存在しており、同時測定中のあるＤＵＴの測定中に他のＤＵＴの制御または測定を行ってしまうことである。
【００１７】
そこで本発明の目的は、複数のＤＵＴを同時測定している場合、同時測定している複数のＤＵＴのうち、誤って意図しないＤＵＴに対しての制御および測定を行っていないかを容易に検証することが可能な半導体試験装置を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
請求項１記載の発明は、
複数の被試験対象デバイスを同時に測定する半導体試験装置において、
測定結果が予め分かっている複数の検査済みデバイスを用いて、測定対象となる複数の前記検査済みデバイスをずらして測定を行うシステム制御部と、
同一の前記検査済みデバイスの測定結果が同じであるか否かを検証し検証結果を出力する実行結果検証手段と
を備えたことを特徴とするものである。
請求項２記載の発明は、
Ｎ個（Ｎは２以上の整数）の被試験対象デバイスを同時に測定する半導体試験装置において、
測定結果が予め分かっている少なくとも（２Ｎ−１）個の検査済みデバイスを用いて、測定対象となる（２Ｎ−１）個の前記検査済みデバイスをずらしてＮ回の測定を行うシステム制御部と、
Ｎ回の前記測定結果において同一の前記検査済みデバイスの測定結果が同じであるか否かを検証し検証結果を出力する実行結果検証手段と
を備えたことを特徴とするものである。
請求項３記載の発明は、請求項１または２に記載の発明において、
前記実行結果検証手段から出力される検証結果を表示する表示部と、
この表示部を制御する表示制御手段と
を備えたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、以下のような効果がある。
複数の被試験対象デバイスを同時に測定する半導体試験装置において、測定結果が予め分かっている複数の検査済みデバイスを用いて、測定対象となる複数の検査済みデバイスをずらして測定を行うシステム制御部と、同一の検査済みデバイスの測定結果が同じであるか否かを検証し検証結果を出力する実行結果検証手段とを備えたことにより、ユーザがテストプログラムを検証する手間を省くことができるので、誤って意図しないＤＵＴに対しての制御および測定を行っていないかを容易に検証することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の半導体試験装置の一実施例を示した構成図である。
【図２】図１の半導体試験装置の動作を示すフローチャートである。
【図３】本発明を用いて３個のＤＵＴを同時測定する場合の説明図である。
【図４】測定結果の一例を示した説明図である。
【図５】測定結果の一例を示した説明図である。
【図６】従来の半導体試験装置の一例を示した構成図である。
【図７】図６の半導体試験装置の動作を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。
図１は、本発明の半導体試験装置の一実施例を示した構成図である。ここで、図６と同一のものは同一符号を付し、説明を省略する。  図１において、図６に示す構成と異なる点は、新たに実行結果検証手段１１が増えている点、システム制御部１の代わりにシステム制御部１０が設けられている点である。
【００２２】
システム制御部１０は、システム制御部１と同様に、ＤＵＴに対しての制御および測定に関し、半導体試験装置を統括的に制御する。実行結果検証手段１１は、デバイスの測定結果が同じであるか否かを検証し検証結果を出力する。
【００２３】
このような半導体試験装置の動作を図２〜５を用いて説明する。以下に説明する実施例では、３個のＤＵＴを同時測定する場合を説明する。
図２は、本発明の半導体試験装置の動作を示すフローチャートである。図３は、本発明を用いて３個のＤＵＴを同時測定する場合の説明図である。図４および図５は測定結果の一例を示した説明図である。
【００２４】
半導体試験装置を使用するユーザは、ロード指定手段２４にて、これから測定を開始するＤＵＴの品種を選択する（Ｓ１０１）。ロード指定手段２４は、選択されたＤＵＴの品種情報をシステム制御部１０へ送信する。システム制御部１０は、品種情報を受信し、該当する品種のテストプログラムをロードする。
【００２５】
ユーザは、測定ＤＵＴ選択手段２１にて、ＰＡＳＳするＤＵＴ（良品）とＦＡＩＬするＤＵＴ（不良品）が混在するように測定対象のＤＵＴを選択する（Ｓ１０２）。この時、特に注目したいＤＵＴが同時測定するＤＵＴの中で端に来るように選択する。なお、ここで使用するＤＵＴは、予め測定結果（ＰＡＳＳまたはＦＡＩＬ）が分かっている検査済みデバイスである。
【００２６】
例えば、図３に示すように、ユーザは、デバイスＮｏ．がデバイス１〜５の５個のＤＵＴを測定対象のＤＵＴとして選択する。この例においては、デバイス１，２，４，５はＰＡＳＳするＤＵＴであり、デバイス３はＦＡＩＬするＤＵＴであることが予め分かっているものとする。また、特に注目したいＤＵＴをＦＡＩＬするＤＵＴであるデバイス３としている。
【００２７】
ユーザは、測定ＤＵＴ選択手段２１にて、測定対象のＤＵＴを選択した後、実行指定手段２２から測定の実行を指定する（Ｓ１０３）。システム制御部１０は、測定ＤＵＴ選択手段２１でユーザが選択した測定対象のＤＵＴのプローブ針の針当て位置情報、すなわち、ウェハ上のどのチップにプローブ針を当てるかの情報を取得し、針当て制御手段３に対して、測定対象のＤＵＴにプローブ針を当てるように針当て開始命令を送信する（Ｓ１０４）。
【００２８】
針当て位置情報は、半導体試験装置に内蔵されているハードディスク（図示せず）や半導体試験装置外の記憶媒体（図示せず）に予め記憶されている。半導体試験装置外の記憶媒体（図示せず）から針当て位置情報を取得する場合は、一般的に、ネットワーク等を介しての通信により行われる。
【００２９】
針当て制御手段３は、システム制御部１０から針当て開始命令を受信すると、測定対象のＤＵＴにプローブ針を当て、システム制御部１０へ針当てが完了したことを意味する針当て完了通知を送信する（Ｓ１０５）。
【００３０】
システム制御部１０は、針当て制御手段３から針当て完了通知を受信すると、テスト実行手段４に対して、測定の開始を意味する測定開始命令を送信する。テスト実行手段４は、システム制御部１０から測定開始命令を受信すると、ロード指定手段２４でユーザが選択した測定対象のＤＵＴの品種のテストプログラムを実行してＤＵＴの測定を行い、測定結果をシステム制御部１０へ送信する（Ｓ１０６）。
【００３１】
図３（ａ）に示すように、デバイス１がＤＵＴ１、デバイス２がＤＵＴ２、デバイス３がＤＵＴ３に割り振られ、測定が実行される。ここで、ＤＵＴＮｏ．は測定されるデバイスを表している。本実施例では、３個のＤＵＴを同時測定するので、ＤＵＴ１〜３となる。
【００３２】
図３（ａ）に示す場合の測定結果は、図４（ａ）のようになる。すなわち、ＤＵＴ１に割り振られたデバイス１の判定はＰＡＳＳ、ＤＵＴ２に割り振られたデバイス２の判定はＰＡＳＳ、ＤＵＴ３に割り振られたデバイス３の判定はＦＡＩＬである。
【００３３】
そして、システム制御部１０は、測定ＤＵＴ選択手段２１で選択された測定対象のＤＵＴの測定が全て終了したか否かを判断する（Ｓ１０７）。もし、測定が全て終了していない場合には、システム制御部１０は、針当て制御手段３に対して、１ＤＵＴ分ずらしたＤＵＴにプローブ針を当てるように針当て開始命令を送信する（Ｓ１０８）。以下同様に、測定ＤＵＴ選択手段２１で選択された測定対象のＤＵＴの測定が全て終了するまで、図２のステップＳ１０５〜Ｓ１０８が繰り返し行われる。
【００３４】
一方、測定が全て終了した場合には、システム制御部１０は、各測定結果を実行結果検証手段１１へ送信し、同一デバイスの測定結果が同じであるか否かを検証するように検証命令を実行結果検証手段１１へ送信する。
【００３５】
図３（ａ）の段階では、測定対象のＤＵＴであるデバイス１〜５のうち、まだデバイス１〜３までしか測定が終了していないので、図３（ｂ）に示すように１ＤＵＴ分ずらしたデバイス２〜４の測定が次に行われる。この時、デバイス２がＤＵＴ１、デバイス３がＤＵＴ２、デバイス４がＤＵＴ３に割り振られ、測定が実行される。
【００３６】
図３（ｂ）に示す場合の測定結果は、図４（ｂ）のようになる。すなわち、ＤＵＴ１に割り振られたデバイス２の判定はＰＡＳＳ、ＤＵＴ２に割り振られたデバイス３の判定はＦＡＩＬ、ＤＵＴ３に割り振られたデバイス４の判定はＰＡＳＳである。
【００３７】
図３（ｂ）の段階では、測定対象のＤＵＴであるデバイス１〜５のうち、まだデバイス１〜４までしか測定が終了していないので、図３（ｃ）に示すように１ＤＵＴ分ずらしたデバイス３〜５の測定が次に行われる。この時、デバイス３がＤＵＴ１、デバイス４がＤＵＴ２、デバイス５がＤＵＴ３に割り振られ、測定が実行される。
【００３８】
図３（ｃ）に示す場合の測定結果は、図４（ｃ）のようになる。すなわち、ＤＵＴ１に割り振られたデバイス３の判定はＦＡＩＬ、ＤＵＴ２に割り振られたデバイス４の判定はＰＡＳＳ、ＤＵＴ３に割り振られたデバイス５の判定はＰＡＳＳである。
【００３９】
実行結果検証手段１１は、システム制御部１０から各測定結果と検証命令を受信すると、同一デバイスの測定結果が同じであるか否かを検証する（Ｓ１０９）。もし、同一デバイスの測定結果が同じである場合には、誤って他のＤＵＴの制御を行っていない、および、他のＤＵＴの測定結果を使用して判定していないと判断し、ＰＡＳＳの検証結果をシステム制御部１０へ送信する。一方、同一デバイスの測定結果が異なる場合には、誤って他のＤＵＴの制御を行っている、または、他のＤＵＴの測定結果を使用して判定していると判断し、ＦＡＩＬの検証結果をシステム制御部１０へ送信する。
【００４０】
例えば、図３（ａ）〜（ｃ）に示すように、デバイス１〜５を測定した場合、３回分の測定結果は図５のようになる。図５において、デバイス２〜４が複数回の測定が行われている。具体的には、デバイス２は、１回目の測定と２回目の測定でそれぞれＰＡＳＳとなり、デバイス３は、１〜３回目の測定でそれぞれＦＡＩＬとなっている。デバイス４は、２回目の測定と３回目の測定でそれぞれＰＡＳＳとなっている。図５の場合には、同一デバイスの測定結果が同じであるので、実行結果検証手段１１は、検証結果をＰＡＳＳと判定する。
【００４１】
システム制御部１０は、実行結果検証手段１１からの検証結果を表示制御手段２３へ送信し、検証結果を表示部５へ表示するように表示命令を表示制御手段２３へ送信する。表示制御手段２３は、システム制御部１０から検証結果と表示命令を受信すると、表示部５へ検証結果を表示する。
【００４２】
このように、予め測定結果が分かっているデバイスを用いて、ユーザが測定ＤＵＴ選択手段２１にて、ＰＡＳＳするＤＵＴとＦＡＩＬするＤＵＴが混在するように測定対象のＤＵＴを選択し、システム制御部１０が１ＤＵＴ分ずらして複数回測定を行う。そして、実行結果検証手段１１が同一デバイスの測定結果が同じであるか否かを検証し、測定結果が同じである場合には、誤って他のＤＵＴの制御を行っていない、および、他のＤＵＴの測定結果を使用して判定していないと判断することにより、ユーザがテストプログラムを検証する手間を省くことができるので、誤って意図しないＤＵＴに対しての制御および測定を行っていないかを容易に検証することができる。
【００４３】
なお、本発明はこれに限定されるものではなく、以下に示すようなものでもよい。
（１）図３に示す実施例において、デバイス１〜５の５個の検査済みデバイスを３個同時測定する構成を示したが、Ｎ個（Ｎは２以上の整数）のデバイスを同時に測定する半導体試験装置において、少なくとも（２Ｎ−１）個の検査済みデバイスを用いて、測定対象となる検査済みデバイスをずらしてＮ回の測定を行い、同一の検査済みデバイスの測定結果が同じであるか否かを検証するようにしてもよい。
【００４４】
（２）図１に示す実施例において、表示制御手段２３は、システム制御部１０から検証結果と表示命令を受信すると、表示部５へ検証結果を表示する構成を示したが、表示部５へ検証結果を表示しなくてもよい。この場合、検証結果をファイルとして残し、ユーザがそのファイルを参照する等の方法がある。
【符号の説明】
【００４５】
５  表示部
１０  システム制御部
１１  実行結果検証手段
２３  表示制御手段
【図１】
2011095125.tif 000003
【図２】
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【図３】
2011095125.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2011095125.tif 000008
【図７】
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