(57)【要約】【課題】独立した複数の装置間で、複数の基板を処理する場合においても、基板受け渡しに待ちを生じない基板搬送処理装置を提供する。【解決手段】第１の基板処理装置の第１のセパレーションチャンバーと第２の基板処理装置の第２のセパレーションチャンバーとが、基板受け渡しチャンバーを介して気密に接続されており、基板受け渡しチャンバーは、設置床面に対して垂直方向に積み重ねられた第１の基板受け渡しステージと第２の基板受け渡しステージとを有する。【選択図】図２
2011243601.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央に設けられた排気可能な第１のセパレーションチャンバーと、前記第１のセパレーションチャンバーの側面にゲートバルブを介して気密に接続されている排気可能なロードロックチャンバー及び排気可能な第１の処理チャンバーと、前記第１のセパレーションチャンバー内に設けられている基板を搬送するための第１の搬送機構とを備えた第１の基板処理装置と、
中央に設けられた排気可能な第２のセパレーションチャンバーと、前記第２のセパレーションチャンバーの側面にゲートバルブを介して気密に接続されている排気可能な第２の処理チャンバーと、前記第２のセパレーションチャンバー内に設けられている基板を搬送するための第２の搬送機構とを備えた第２の基板処理装置と、を備え、
前記第１のセパレーションチャンバーと前記第２のセパレーションチャンバーとは、基板受け渡しチャンバーを介して気密に接続されており、
前記基板受け渡しチャンバーは、設置床面に対して垂直方向に積み重ねられた第１の基板受け渡しステージと第２の基板受け渡しステージとを有することを特徴とする基板搬送処理装置。
【請求項２】
前記基板受け渡しステージは、上下機構により上下動可能であることを特徴とする請求項１記載の基板搬送処理装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の基板搬送処理装置を用いた基板搬送処理方法であって、
第１の基板処理装置の第１の処理チャンバー又は前記第２の基板処理装置の第２の処理チャンバーで、処理された基板が、第１の基板受け渡しステージ又は第２の基板受け渡しステージに格納されているかどうかを記憶する第１のステップと、
前記記憶された第１の基板受け渡しステージ又は第２の基板受け渡しステージの基板格納情報に基づき、第１の基板受け渡しステージ又は第２の基板受け渡しステージに基板があるかどうか判断する第２のステップと、
前記第１の基板受け渡しステージ又は第２の基板受け渡しステージに基板がない場合には、第１の基板受け渡しステージ又は第２の基板受け渡しステージへの基板搬入を許可し、前記第１の基板受け渡しステージ又は第２の基板受け渡しステージに基板がある場合には、前記基板格納情報に基づき、第１の基板受け渡しステージ又は第２の基板受け渡しステージのいずれかで、基板が格納されていないステージに基板搬入を許可する第３のステップと、
前記第１の基板受け渡しステージと第２の基板受け渡しステージのいずれにも基板がある場合、経路判定判定手段により、第１の基板処理装置の基板搬送経路情報と前記第２の基板処理装置の基板搬送経路情報とを割り出し、前記割り出された基板搬送経路情報に基づき、第１の基板受け渡しステージと第２の基板受け渡しステージとに格納されて基板を、第１の基板処理装置の第１の処理チャンバー又は前記第２の基板処理装置の第２の処理チャンバーに搬出することを決定する第４のステップと、
を含むことを特徴とる基板搬送処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に対して処理を行う、独立した基板処理装置を相互に複数台接続した場合の基板搬送処理装置及び基板搬送処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動化された製造工場では、多品種の被処理物が自動化された複数の製造装置により処理されている。このような製造工場では、被処理物の処理完了納期の遵守、処理作業の効率化、処理装置間の仕掛り量の最小化等を考慮して、どの被処理物にいつどの処理を行うかが決定される。自動化された製造工場において上記の処理を円滑に行うためには、各処理装置およびそのシステム管理用計算機の高信頼化が重要である。さらに重要なことは、製造システム全体の管理機能の高度化である。なぜならば、自動化された製造工場では、製造システムの無人運転を行い、製造システムの管理機能にその管理が委ねられるからである。
【０００３】
特に半導体装置の製造工場では、多品種からなる多数の半導体ウェハをそれぞれの品種毎に定められた処理工程、処理条件に従って多数の処理装置を用いて処理している。異なる工程に用いる処理装置が同一の場合も多いため、処理の反復は非常に複雑である。従って半導体装置の製造システムには特に高い管理機能が求められる。半導体装置の製造システムに特有の処理の複雑さの一例を説明する。半導体装置の組立に用いる回路素子は一般に少なくとも一つの半導体小片（チップ）で形成されている。このチップは半導体ウェハに縦横に整列配置形成された回路素子領域をその境界で切断することによって得られるのが一般的である。半導体ウェハに回路素子領域を作るには極めて多くの処理を必要とする。たとえば、半導体ウェハに所望の不純物原子を含む領域を形成する工程についてみても、（１）半導体ウェハを清浄化する工程、（２）半導体ウェハ表面を酸化する熱処理、（３）酸化膜上にホトレジストを塗布しかつ乾燥するレジスト塗布処理、（４）レジストの所望の領域を光線、電子線またはＸ線等のエネルギー粒子線によって感光させる露光処理、（５）レジストの感光部分あるいは非感光部分を選択的に除去する現像処理、（６）酸化膜上に部分的に残存するレジストをマスクとして用いて露出する酸化膜を除去するエッチング処理、（７）酸化膜上に部分的に残存するレジストを除去するレジスト除去処理、（８）酸化膜をマスクとして不純物雰囲気に半導体ウェハを晒すか、ＣＶＤ、蒸着、イオン打ち込み等の方法を用いて不純物原子を半導体ウェハ上に沈着あるいは表層部に浸入させ、熱を加えて所望の深さに不純物を拡散させる不純物導入処理、（９）半導体ウェハ表面の不要な酸化膜等を除去するエッチング工程等がある。
【０００４】
図１２は、半導体ウェハ等の製造工程に好適な従来の基板搬送処理装置の構成を説明する平面概略図であり、複合装置の構成を示す図である。
【０００５】
図１２に示す例では、中央に搬送チャンバー７１１Ａが設けられ、その周囲に複数の第１の処理チャンバー７２（例えば、スパッタチャンバー）と第２の処理チャンバー７７（例えば、スパッタ以外のチャンバー）とが設けられた装置Ａと、中央に搬送チャンバー７１１Ｂが設けられ、その周囲に複数の第３処理チャンバー７３（例えば、ＣＶＤチャンバー）と第２の処理チャンバー７７が設けられた装置Ｂとが、基板受け渡しチャンバー７００で接続されている（特許文献１参照）。
【０００６】
図１３は、図１２に示す複合装置の側面図である。図１２及び図１３を用いて、基板７９の搬送方法について説明する。ロードロックチャンバー７８Ａ内のストッカーから、未処理基板７９を搬送機構７１１Ａにより、第１の処理チャンバー７２（例えば、スパッタチャンバー）に搬送し、処理を行った後、搬送基板７１１Ａを用いて、基板７９を基板受け渡しチャンバー７００に搬送する。その後、搬送機構７１１Ｂを用いて、基板７９を、基板受け渡しチャンバー７００から第３の処理チャンバー７３（例えば、ＣＶＤ処理チャンバー）に搬送し、処理を行った後、搬送機構７１１Ｂを用いて、基板７９を受け渡しチャンバー７００に搬送する。その後、搬送機構７１１Ａを用いて、基板７９を、基板受け渡しチャンバー７００からアンロードロックチャンバー７８１Ｂ内のストッカー７８Ｂに搬送し、一連の処理が完了する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平１１−２０００３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、図１２及び図１３に示す装置は、装置Ａと装置Ｂとの間の基板受け渡しチャンバー７００には、基板受け渡しステージ７００Ａは１つしか設けられていない。そのため、装置Ａ又は装置Ｂ内に基板７９が複数枚投入されている場合、基板受け渡しステージが占有されると、次に受け渡す基板は基板受け渡しステージが空くまで待ちが発生し、タクトが長くなるという問題点があった。
また、各装置Ａ、Ｂ間の受け渡しに対して、異なる搬送パターンを持つ基板７９が複数枚投入されている場合、装置Ａ、Ｂ内相互の行き来に対して基板受け渡しステージ７００Ａが占有されると、次に受け渡す基板７９は基板受け渡しステージ７００Ａが空くまで待ちが発生するという問題点があった。
本発明は、上記問題点を解決することを目的とし、独立した複数の装置間で、複数の基板を処理する場合においても、基板受け渡しに待ちを生じない基板搬送処理装置及び基板搬送処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成すべく成された本発明の構成は以下の通りである。
【００１０】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明は、中央に設けられた排気可能な第１のセパレーションチャンバーと、前記第１のセパレーションチャンバーの側面にゲートバルブを介して気密に接続されている排気可能なロードロックチャンバー及び排気可能な第１の処理チャンバーと、前記第１のセパレーションチャンバー内に設けられている基板を搬送するための第１の搬送機構とを備えた第１の基板処理装置と、中央に設けられた排気可能な第２のセパレーションチャンバーと、前記第２のセパレーションチャンバーの側面にゲートバルブを介して気密に接続されている排気可能な第２の処理チャンバーと、前記第２のセパレーションチャンバー内に設けられている基板を搬送するための第２の搬送機構とを備えた第２の基板処理装置と、を備え、前記第１のセパレーションチャンバーと前記第２のセパレーションチャンバーとは、基板受け渡しチャンバーを介して気密に接続されており、前記基板受け渡しチャンバーは、設置床面に対して垂直方向に積み重ねられた第１の基板受け渡しステージと第２の基板受け渡しステージとを有することを特徴とする基板搬送処理装置である。
また、請求項２記載の発明は、  前記基板受け渡しステージは、上下機構により上下動可能であることを特徴とする請求項１記載の基板搬送処理装置である。
また、請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の基板搬送処理装置を用いた基板搬送処理方法であって、第１の基板処理装置の第１の処理チャンバー又は前記第２の基板処理装置の第２の処理チャンバーで、処理された基板が、第１の基板受け渡しステージ又は第２の基板受け渡しステージに格納されているかどうかを記憶する第１のステップと、前記記憶された第１の基板受け渡しステージ又は第２の基板受け渡しステージの基板格納情報に基づき、第１の基板受け渡しステージ又は第２の基板受け渡しステージに基板があるかどうか判断する第２のステップと、前記第１の基板受け渡しステージ又は第２の基板受け渡しステージに基板がない場合には、第１の基板受け渡しステージ又は第２の基板受け渡しステージへの基板搬入を許可し、前記第１の基板受け渡しステージ又は第２の基板受け渡しステージに基板がある場合には、前記基板格納情報に基づき、第１の基板受け渡しステージ又は第２の基板受け渡しステージのいずれかで、基板が格納されていないステージに基板搬入を許可する第３のステップと、前記第１の基板受け渡しステージと第２の基板受け渡しステージのいずれにも基板がある場合、経路判定判定手段により、第１の基板処理装置の基板搬送経路情報と前記第２の基板処理装置の基板搬送経路情報とを割り出し、前記割り出された基板搬送経路情報に基づき、第１の基板受け渡しステージと第２の基板受け渡しステージとに格納されて基板を、第１の基板処理装置の第１の処理チャンバー又は前記第２の基板処理装置の第２の処理チャンバーに搬出することを決定する第４のステップとを含むことを特徴とる基板搬送処理方法である。
【発明の効果】
【００１１】
この発明のうち、請求項１記載の発明は、基板受け渡しチャンバーは、設置床面に対して垂直方向に積み重ねられた第１の基板受け渡しステージと第２の基板受け渡しステージとを有するので、また、第１の基板処理装置、第２の基板処理装置の間の受け渡しに対して、異なる搬送パターンを持つ基板が複数枚投入されている場合でも、第１の基板処理装置、第２の基板処理装置内相互の行き来に対して基板受け渡しステージが占有されることがない。
この発明のうち、請求項３記載の発明は、第１の基板処理装置の第１の処理チャンバー又は前記第２の基板処理装置の第２の処理チャンバーで、処理された基板が、第１の基板受け渡しステージ又は第２の基板受け渡しステージに格納されているかどうかの基板格納情報と、経路判定判定手段で割り出された第１の基板処理装置の基板搬送経路情報と第２の基板処理装置の基板搬送経路情報と、により、基板受け渡しによる経路判定が可能になり、複数装置間の基板の受け渡しに対して、基板の格納場所が枚数分確保出来るため、基板受け渡しステージの占有が解消され、装置間受け渡し待ちの基板が無くなることによりタクトも縮まる。
また、請求項３記載の発明は、第１の基板処理装置又は第２の基板処理装置からの基板の搬出に於いては、経路判定判定手段で割り出された第１の基板処理装置の基板搬送経路情報と第２の基板処理装置の基板搬送経路情報とにより、次に搬出する基板の判断も行う事で第１の基板処理装置と第２の基板処理装置との基板搬送動作が非同期で搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に適用可能な基板受け渡しステージを備えた基板受け渡しチャンバーを備えた基板搬送処理装置の平面概略図である。
【図２】本発明に適用可能な基板受け渡しステージを備えた基板受け渡しチャンバーを示す側面図である。
【図３】本発明の基板搬送処理装置を用いて、基板を搬送する場合の基板ステージ搬送経路判断ソフトウエアのフローチャートである。
【図４】本発明適用後の基板受け渡しステージ収納基板管理アドレス。
【図５】本発明の実施形態に係る基板処理システムの機能ブロック図である。
【図６】構成情報の構成例を示す。
【図７】ローカルアドレスの例である。
【図８】搬送手順データの例を説明するための図である。
【図９】搬送先指定情報の構成例を示す図である。
【図１０】搬送先指定情報を説明するための図である。
【図１１Ａ】経路判定判定部のフローチャートである。
【図１１Ｂ】経路判定判定部のフローチャートである。
【図１２】従来の基板に対して異なる処理を行う基板処理装置を相互に複数台接続した場合の基板搬送処理装置の平面概略図である。
【図１３】図１２の基板受け渡しチャンバーの側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
図１に示す装置は、図１２に示す装置と同様、マルチチャンバータイプの装置である。装置Ａ（第１の基板処理装置）は、中央に配置された搬送チャンバー１Ａと、搬送チャンバー１Ａの周囲に設けられた複数の第１の処理チャンバー２，第２の処理チャンバー７及び二つのロードロックチャンバー８Ａ、８Ｂとからなるチャンバー配置になっている。各チャンバー１Ａ，２，８は、専用の排気系によって排気される真空容器である。また、搬送チャンバー１Ａに対する各チャンバー２，７の接続個所にはゲートバルブ１０がそれぞれ設けられている。
【００１４】
搬送チャンバー１Ａ内には、搬送機構１１Ａが設けられている。搬送機構１１Ａは、一方のロードロックチャンバー８Ａから基板９を一枚ずつ取り出し、各第１の処理チャンバー２（例えば、スパッタチャンバー），第２の処理チャンバー７（例えば、加熱冷却チャンバー）に送って順次処理を行うようになっている。そして、最後の処理を終了した後、他方のロードロックチャンバー８Ｂ（アンロードロックチャンバー８Ｂ）に戻すようになっている。搬送機構１１Ａとしては、先端に基板９を載置して保持するアームを備えた多関節ロボットが好適に使用される。二つのアームを備えて同時に二枚の基板９を独立して移動させることができるよう構成されると、搬送の効率が向上するため好適である。また、搬送チャンバー１Ａ内は、不図示の排気系によって排気され、常時１０-6〜１０-8Ｔｏｒｒ程度の真空圧力が維持される。従って、搬送機構１１Ａとしては、この真空圧力下で動作可能なものが採用される。装置Ａと後述する装置Ｂとは、基板受け渡しチャンバー７０で接続されている。尚、図１では、ロードロックチャンバー８Ａとアンロードロックチャンバー８Ｂとは、別チャンバーになっているが、同一のチャンバーとしてもよい。
【００１５】
装置Ｂ（第２の基板処理装置）は、中央に配置された搬送チャンバー１Ｂと、搬送チャンバー１Ｂの周囲に設けられた複数の第３処理チャンバー３（例えば、ＣＶＤチャンバー），第２処理チャンバー７（例えば、加熱冷却チャンバー）とからなるチャンバー配置になっている。各チャンバー１Ｂ，３，７は、専用の排気系によって排気される真空容器である。また、搬送チャンバー１Ｂに対する各チャンバー３，７の接続個所にはゲートバルブ１０がそれぞれ設けられている。
【００１６】
搬送チャンバー１Ｂ内には、搬送機構１１Ｂが設けられている。搬送機構１１Ｂは、基板受け渡しチャンバー７０から基板９を取り出し、各処理チャンバー３，７に送って順次処理を行うようになっている。そして、最後の処理を終了した後、基板受け渡しチャンバー７０に戻すようになっている。搬送機構１１Ａとしては、先端に基板９を載置して保持するアームを備えた多関節ロボットが好適に使用される。二つのアームを備えて同時に二枚の基板９を独立して移動させることができるよう構成されると、搬送の効率が向上するため好適である。また、搬送チャンバー１Ａ内は、不図示の排気系によって排気され、常時１０-6〜１０-8Ｔｏｒｒ程度の真空圧力が維持される。従って、搬送機構１１Ｂとしては、この真空圧力下で動作可能なものが採用される。尚、図１では、２つの基板受け渡しチャンバー７０が配置されているが、１つの基板受け渡しステージ７０を配置してもよい。
【００１７】
次に、本発明の基板受け渡しチャンバー７０について説明する。図２は、本発明に適用可能な基板受け渡しステージを備えた基板受け渡しチャンバーを示す側面図である。図２に示すように、本発明の基板受け渡しチャンバー７０は、設置床面に対して垂直方向に積み重ねられた少なくとも第１の基板受け渡しステージと第２の基板受け渡しステージとを有する。具体的には、本発明の基板受け渡しチャンバー７０は、装置Ａと装置Ｂ内で搬入されている最大基板枚数分の基板受け渡しステージが確保されている。図２では、設置床面に対して垂直方向に積み重ねられた６枚の基板受け渡しステージ７０Ａ、７０Ｂ、７０Ｃ、７０Ｄ、７０Ｅ、７０Ｆ、７０Ｇが設けられている。図２の基板受け渡しステージは、不図示の基板受け渡しステージ上下機構により上下動できるようになっている。例えば、基板受け渡しステージ７０Ａに載置されている基板９を、装置Ｂに搬送する場合には、不図示の基板受け渡し上下機構により基板受け渡しステージ７０Ａを搬送チャンバー１Ｂ内の搬送機構１１Ｂの高さ位置まで下降させ、搬送機構１１Ｂにより、基板受け渡しステージ７０Ａから基板９を搬送チャンバー１Ｂに搬送する。
【００１８】
次に装置の全体の動作について、図３を用いて説明する。図３は本発明の基板搬送処理装置を用いて、基板を搬送する場合の基板ステージ搬送経路判断ソフトウエアのフローチャートである。図１において、不図示のオートローダによって所定数の基板９が一方のロードロックチャンバー８Ａに搬入され、ロードロックチャンバー８Ａ内のカセット８１Ａに収容されている。搬送機構１１Ａは、この一方のロードロックチャンバー８Ａから一枚の基板９を取り出し、この基板９を第１の処理チャンバー２に送る。
【００１９】
その後、搬送機構１１Ａはこの基板９を基板受け渡しチャンバー７０の基板受け渡しステージ７０Ａに搬入要求を送る（図３のステップ１）。基板受け渡しチャンバー７０は、基板受け渡しステージ７０Ａ（現在位置Slot）に基板９があるかどうか判断する（図３のステップ２）。基板受け渡しステージ７０Ａに基板９があるかどうかの判断は、基板が搬入された時点で管理される後述する図３に示す「基板受け渡しステージ収納基板管理アドレス」で行う。
【００２０】
基板受け渡しチャンバー７０の基板受け渡しステージ７０Ａ（現在位置Slot）に基板９がないと判断した場合（図３のステップ２）、搬送機構１１Ａに対し、基板受け渡しステージ７０Ａへの基板９の搬入を許可する（図３のステップ３）。
また、基板受け渡しチャンバー７０の基板受け渡しステージ７０Ａ（現在位置Slot）に基板９がある場合は、基板受け渡しチャンバー７０の他の基板受け渡しステージ７０Ｂから７０Ｇのいずれかに、空きがあるかどうか判断する（図３のステップ４）。基板受け渡しチャンバー７０の他の基板受け渡しステージ７０Ｂから７０Ｇのいずれかに、空きがあると判断した場合、空きがある基板９をステージ７０Ｂから７０Ｇのいずれかは、基板搬送機構１１Ａの搬送位置と同じ高さ位置に移動し（図３のステップ５）、搬送機構１１Ａに対し、基板の空きがある基板受け渡しステージ７０Ｂから７０Ｇのいずれかへの基板９の搬入を許可する（図３のステップ３）。
【００２１】
基板受け渡しチャンバー７０の他の基板受け渡しステージ７０Ｂから７０Ｇのいずれかに、空きがないと判断された場合（図３のステップ４）、基板受け渡しステージ７０Ａに格納されている基板９が、次に移送されるチャンバー（装置Ａ又は装置Ｂのチャンバー）が受け入れ可能か搬出要求する（図３のステップ６）。この搬出要求を受け、後述する経路判定部により対象の基板９が次に搬送されるべきチャンバーを判定する。経路判定部により搬出可能判断とならない場合は、搬出動作は許可されない（図３のステップ７）。この場合には、図３のステップ６に戻り、基板受け渡しステージ７０Ａに格納されている基板９が、次に移送されるチャンバー（装置Ａ又は装置Ｂのチャンバー）が受け入れ可能か再度搬出要求する。搬出可能と判断された場合は、その対象の基板９が格納された基板受け渡しステージ７０Ａを、搬送機構１１Ａ又は１１Ｂの高さまで移動させる図３ステップ８）。その後、その対象の基板９が移動する側の装置ＡまたはＢの搬送機構１１Ａまたは１１Ｂに対し、その対象の基板９が格納された基板受け渡しステージ７０Ａから装置Ａまたは装置Ｂのチャンバーへの搬出を許可する（図３ステップ９）。
【００２２】
図４は、基板受け渡しステージ収納基板管理アドレスを示し、基板受け渡しチャンバー７０の基板受け渡しステージ７０Ａの各段数に於ける基板情報を管理する模式図である。また、この情報により基板の有無も判定する。図４の左に書かれた「１、２、３，Ｎ、Ｎ＋１、Ｎ＋２、Ｎ＋３」は、基板受け渡しステージ７０Ａの格納段数を示し、格納されるＤＡＴＡは、4桁の数値で表され、下位3桁は基板９の固有ＩＤで上位4桁目にどの装置から格納されたものであるかを管理する。Ａ装置から格納された場合は１ＸＸＸであり、Ｂ装置から格納された場合は２ＸＸＸとする。このＤＡＴＡを用いて判定部に於いて自動的に基板受け渡しに待ちを生じない投入基板の搬入と搬出を可能にする。詳細は後述する。
【００２３】
次に、図３に示す経路判定判定部について説明する。図１１Ａ、図１１Ｂは、経路判定判定部のフローチャートである。図１１Ａ、図１１Ｂにより、基板搬送フローを説明する前に、図５に示す本実施形態に係る基板処理システムの機能ブロック図について説明する。図５の基板処理システムは、上述した装置Ａ（以下、「メイン装置１００」ともいう）及び装置Ｂ（以下、「サブ装置２００」ともいう）のほか、ホストＰＣ４００を備える。ホストＰＣ４００とメイン装置１００、サブ装置２００間は、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ  Ａｒｅａ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）やＲＳ−２３２Ｃなどの規格によるネットワークを介して接続され、データ通信が可能になっている。具体的には、ホストＰＣ４００は、基板の搬送順序及び搬送先を指定した搬送手順データ（後述する）を送信する搬送手順送信部４１０と、構成情報（後述する）を送信する構成情報送信部４２０と、を備える。
【００２４】
メイン装置１００は、さらにメイン装置制御装置１１０を備える。メイン装置制御装置１１０は、例えば、パソコンなどの演算処理装置と、演算処理結果を各種の電気信号に変換するためのドライバと、を備える。
【００２５】
メイン装置制御装置１１０は、ホストＰＣ４００から送信される構成情報を取得する構成情報取得部１２０と、搬送ロボットＴｒ−１１，Ｔｒ−１２を制御する搬送制御部１３０と、を備える。また、図示しないが、各プロセスモジュールＰＭ−１１〜ＰＭ−１４や排気ポンプなどの搬送モジュールＴＭ−１の各構成要素を制御するための制御部も設けられている。
【００２６】
搬送制御部１３０は、本実施形態では、搬送手順取得部１３１と、搬送先判定部１３２と、ローカル搬送部１３３と、装置間搬送部１３４と、を備える。搬送手順取得部１３１は、ホストＰＣ４００から送信される搬送手順データを取得する。搬送先判定部１３２は、搬送手順取得部１３１により取得した搬送手順データに基づき、基板の搬送先がいずれの基板処理装置１００，２００に接続するプロセスチャンバーＰかを判定する。ローカル搬送部１３３は、搬送先判定部１３２により基板の搬送先がメイン装置１００のプロセスチャンバーＰであると判定したときに、メイン装置１００の搬送チャンバーＴｃ−１に備えた搬送ロボットＴｒ−１１，Ｔｒ−１２に指定に係るプロセスチャンバーＰへの搬送指令を出力する。装置間搬送部１３４は、搬送先判定部１３２が基板の搬送先がメイン装置１００内ではないと判定したときに、搬送先となるサブ装置２００に搬送指令を出力する。
【００２７】
サブ装置２００は、サブ装置制御装置２１０を備え、メイン装置制御装置１１０と同様に、例えば、パソコンなどの演算処理装置と、演算処理結果を各種の電気信号に変換するためのドライバと、を備える。
【００２８】
サブ装置制御装置２１０は、ホストＰＣ４００から送信される構成情報を取得する構成情報取得部２２０と、搬送ロボットＴｒ−２を制御する搬送制御部２３０と、を備える。また、図示しないが、各プロセスモジュールＰＭ−２１〜ＰＭ−２４や排気ポンプなどの搬送モジュールＴＭ−１の各構成要素を制御するための制御部も設けられている。
【００２９】
また、搬送制御部２３０は、搬送手順取得部２３１と、搬送先判定部２３２と、ローカル搬送部２３３と、装置間搬送部２３４と、を備える。
【００３０】
ここで、サブ装置２００の搬送手順取得部２３１は、上位装置としてのメイン装置１００の装置間搬送部１３４から搬送指令として送信される搬送手順データを取得する。後に詳述するが、この搬送手順データは、メイン装置１００がホストＰＣ４００から取得する搬送手順データとは異なり、サブ装置２００に接続するプロセスチャンバーＰ−２１〜Ｐ−２４、又は、サブ装置２００に下位装置として接続する基板処理装置に接続するプロセスチャンバーＰのみを基板の搬送先の指定として含む。搬送先判定部２３２は、搬送手順取得部２３１により取得した搬送手順データに基づき、基板の搬送先となる装置を判定する。基板の搬送先がサブ装置２００に接続するプロセスチャンバーＰであるとき、ローカル搬送部２３３は、サブ装置２００の搬送チャンバーＴｃ−２内に位置する搬送ロボットＴｒ−２に基板の搬送指令を出力する。基板の搬送先がサブ装置２００でないときは、搬送先の基板処理装置に基板の搬送指令を出力する。
【００３１】
次に、各種のデータについて説明する。
図６に構成情報の構成例を示す。
構成情報は、例えば図６に示すような構成情報ファイルＦの形式で、メイン装置１００及びサブ装置２００の夫々について作成され、対応するファイルがホストＰＣ４００から該当する基板処理装置１００，２００に送信される。図６の例では、構成情報ファイルＦは、上位の基板処理装置が接続する接続ポートの情報と、下位の基板処理装置が接続する接続ポートの情報と、を含む。ホストＰＣ４００における構成情報ファイルＦの取得方法としては、例えば、ユーザによる入力や外部装置からの受信、ホストＰＣ４００での生成が挙げられる。
【００３２】
ここで、上位、下位とは、複数の基板処理装置を接続して１つのシステムとして用いるときに基板搬送の流れに沿って設定されるシステムの階層である。この構成情報を取得することで各基板処理装置はシステムにおける自身の位置づけを認識し（自身が上位装置なのか下位装置なのかを認識し）、それに応じた処理を実行する。基本的には、基板の導入源に近い装置が上位、それに接続する装置が下位として設定され、本実施形態では、基板供給室に接続する基板処理装置がメイン装置１００、これに接続する基板処理装置がサブ装置２００として設定される。また、構成情報により、自身のどの位置に他の基板処理装置が接続されているのかも認識することができる。
【００３３】
すなわち、本実施形態では、各基板処理装置に上位装置および下位装置の処理手順（例えば、後述する図１１Ａ、１１Ｂ等）をそれぞれ予めメモリといった記憶部に保持させる。そして、所望に応じて複数の基板処理装置を組み合わせて使用する際に、各基板処理装置に、対応する構成情報を取得させ、自身が上位装置なのか下位装置なのかを認識させる。従って、各基板処理装置は、上位装置および下位装置の処理手順を保持しているので、上記認識により自身が行うべき処理手順を読み出して実行することで、自身が対応すべき装置（上位装置、または下位装置）として振舞うことができる。このように、基板処理装置の組み合わせ毎に、構成情報により各基板処理装置に自身が対応すべき装置（上位装置、または下位装置）を認識させているので、ユーザが上記組み合わせに応じて新たに処理手順を作成しインストールすることなく、各基板処理装置を対応すべき装置として機能させることができる。
【００３４】
また、接続ポートの情報としては、接続ポートを特定可能な情報であればよく、例えば、各基板処理装置の搬送チャンバー内で接続ポートに一意に付されたローカルアドレスを用いる。図７は、ローカルアドレスの例が示されており、搬送チャンバーＴｃ−２に設けられた複数の接続ポートに連番（１〜５）が付されている。図７中では、搬送チャンバーＴｃ−２内の黒丸の近傍にローカルアドレスを示す。もちろん、ローカルアドレスの設定方法は、これに限定されず、連番でなくとびとびの数字であってもよいし、文字等であってもよい。他の基板処理装置１００，３００も同様に、その基板処理装置内の接続ポートに一意に付される。ローカルアドレスは、各基板処理装１００、２００内で一意であればよく、これらの間で重複していてもよい。
【００３５】
具体的には、メイン装置１００では、ローカルアドレス'２'と'５'の接続ポートにサブ装置２００が接続され、他の接続ポート（ローカルアドレス'１'、'３'、'４'、'６'）には他の基板処理装置が接続されることなくプロセスチャンバーＰが接続されている。従って、メイン装置１００については、上位装置接続ポートの情報を含まず（又は”接続なし”に相当する情報を含み）、下位装置接続ポートの情報として'２'及び'５'を含む構成情報ファイルＦが作成され、メイン装置１００に送信される。例えば、ホストＰＣ４００が備える、所定の指令あるいはデータなどを入力するキーボードあるいは各種スイッチなどを含む入力操作部を介して、ユーザが基板処理装置の組み合わせに関する情報（例えば、メイン装置となる装置１００のローカルアドレス'２'、'５'の接続ポートにサブ装置となる装置２００を接続することを示す情報）を入力する。ホストＰＣ４００は該ユーザ入力を受け付けると、上述のような構成情報ファイルＦを作成し、構成情報送信部４２０は該作成された構成情報ファイルＦをメイン装置１００に送信する。このような構成情報ファイルＦを構成情報取得部１２０が取得すると、搬送制御部１３０は、“上位装置の接続ポートのローカルアドレス”が含まれていないことにより自身が上位装置であることを認識し、“下位装置の接続ポートのローカルアドレス”により下位装置が接続されている接続ポートの位置を認識する。
【００３６】
一方、サブ装置２００では、ローカルアドレス'５'の接続ポートにメイン装置１００が接続され、他の接続ポート（ローカルアドレス'１'〜'４'）には他の基板処理装置が接続されることなくプロセスチャンバーＰのみが接続されている。従って、上位装置接続ポートの情報として'５'を規定し、下位装置接続ポートの情報を含まない（又は”接続なし”に相当する情報を含む）構成情報ファイルＦがサブ装置２００に送信される。すなわち、入力操作部を介して、ユーザが基板処理装置の組み合わせに関する情報（例えば、サブ装置となる装置２００のローカルアドレス'５'の接続ポートにメイン装置となる装置１００を接続することを示す情報）を入力する。ホストＰＣ４００は該ユーザ入力を受け付けると、上述のような構成情報ファイルＦを作成し、構成情報送信部４２０は該作成された構成情報ファイルＦをサブ装置２００に送信する。このような構成情報ファイルＦを構成情報取得部２２０が取得すると、搬送制御部２３０は、“上位装置の接続ポートのローカルアドレス”により上位装置が接続されている接続ポートの位置を認識し、“下位装置の接続ポートのローカルアドレス”が含まれていないことにより自身が下位装置であることを認識する。
【００３７】
図８に搬送手順データの例を説明するための図を示す。
搬送手順データは、上述のように、基板の処理フローに沿って基板の搬送順序及び搬送先を規定したものであり、ホストＰＣ４００からメイン装置１００に送信される。ホストＰＣ４００は、ユーザからの入力、外部装置からの受信、又は、ホストＰＣ４００での生成などの方法によって搬送手順データを取得する。図８の符号６０１、６０２に示す例では、搬送手順データは、基板の搬送先を基板処理システム内で一意に特定可能な搬送先指定情報（図中、'１'、'２１２'など）を区切り記号（図中では、'→'）を挟んで搬送順に結合して形成されている。もちろん、搬送手順データは、このような構成に限らず、例えば、搬送先指定情報と対応させて搬送順の番号データを含むものであってもよいし、搬送先指定情報を所定ビット数で構成するなどして区切り符号を含まない構成であってもよいし、搬送滞留時間などの他の情報をさらに含むものであってもよい。
【００３８】
図９に搬送先指定情報の構成例を示す図、図１０に搬送先指定情報を説明するための図を示す。
搬送先指定情報は、基板の搬送先を基板処理システム内で特定可能な情報であり、本実施形態では基板の搬送先となるプロセスチャンバーＰに接続する接続ポートを基板処理システム内で一意に特定可能な情報を用いる。搬送先指定情報の一例を図９に示す。具体的には、本実施形態では、メイン装置１００のプロセスチャンバーＰが搬送先となるときは、図９の符号７０１（符号７０１：メイン装置への搬送先指定情報）に示すように、そのプロセスチャンバーＰに接続する接続ポートのローカルアドレスをそのまま搬送先指定情報とする。一方、サブ装置２００に接続するプロセスチャンバーＰが基板の搬送先となるときは、図９の符号７０２（符号７０２：サブ装置への搬送先指定情報）に示すように、メイン装置のローカルアドレスと、サブ装置種別と、サブ装置のローカルアドレスと、を結合したデータを搬送先指定情報として用いる。  
メイン装置１００のローカルアドレスは、メイン装置１００における、基板の搬送先となるサブ装置２００が接続している接続ポートのローカルアドレスを用い、例えば、サブ装置２００宛てのデータならば'２'となる。
【００３９】
また、サブ装置種別は、メイン装置１００がサブ装置の種類に応じてサブ装置２００向けの搬送指令を生成するのに用いる。本実施形態では、サブ装置２００のサブ装置種別は'１'に設定されている。また、サブ装置のローカルアドレスは、基板の搬送先となるプロセスチャンバーＰが接続するサブ装置の接続ポートのローカルアドレスである。
【００４０】
従って、図９に示す搬送先指定情報の一例としては、図１０に示すように、例えば、基板の搬送先がメイン装置１００のプロセスチャンバーＰ−１１であれば、搬送先指定情報７０１に従って搬送先指定情報は'１'となる。搬送先がサブ装置２００のプロセスチャンバーＰ−２３であれば、搬送先指定情報７０２に従って'２１３'となる。この例において搬送先がサブ装置２００である場合は、搬送先指定情報の左側の数字が“メイン装置ローカルアドレス”を示し、真ん中の数字が“サブ装置種別”を示し、右側の数字が“サブ装置ローカルアドレス”を示す。図１０中では、各搬送チャンバーＴｃ内の黒丸近傍に接続ポートのローカルアドレスを、各プロセスチャンバーＰ内に当該プロセスチャンバーに基板を搬送するときの搬送先指定情報を示す。
【００４１】
図９に示す搬送先指定情報の作成は例えば以下のように行えばよい。すなわち、入力操作部を介して、ユーザが基板を搬送させたいプロセスチャンバーに関する情報を入力する。メイン装置１００のプロセスチャンバーを用いたい場合は、ユーザは、メイン装置１００の所定のプロセスチャンバーを、入力操作部を介して指定する。メイン装置１００にはローカルアドレスが割り当てられているので、ホストＰＣ４００は、該ユーザ入力に応じたローカルアドレスを含む搬送先指定情報７０１を作成する。また、サブ装置２００のプロセスチャンバーを用いたい場合は、ユーザは、サブ装置２００が接続されたメイン装置１００のローカルアドレスと、対象となる装置がサブ装置２００であることと、基板搬送対象のプロセスチャンバーに対応するサブ装置２００中のローカルアドレスとを、入力操作部を介して入力する。ホストＰＣ４００は、該ユーザ入力に応じた、“メイン装置ローカルアドレス”、“サブ装置種別”、および“サブ装置ローカルアドレス”を含む搬送先指定情報７０２を作成する。
【００４２】
メイン装置への搬送先指定情報７０１はローカルアドレスのみを含んでいるが、搬送先指定情報にローカルアドレスのみが含まれる場合は、搬送すべき基板処理装置はメイン装置（上位装置）１００である、と規定しておけば、メイン装置１００は、該メイン装置１００のローカルアドレスに対応する接続ポートに基板を搬送することを特定することができる。よってこの場合、搬送先指定情報７０１にはローカルアドレスのみが含まれているが、搬送先指定情報７０１は、基板の搬送先の基板処理装置を特定するための情報も実質的に含んでいると言える。よって、搬送先判定部１３２は、搬送先指定情報７０１を解析する場合、搬送先指定情報７０１にローカルアドレスのみが含まれているので、メイン装置１００の上記ローカルアドレスに対応する接続ポートを基板の搬送先として特定することができる。
【００４３】
また、サブ装置への搬送先指定情報７０２には、“メイン装置ローカルアドレス”および“サブ装置種別”が含まれているので、メイン装置１００は基板を搬送すべきサブ装置を特定することができ、“サブ装置ローカルアドレス”が含まれているので、サブ装置は該サブ装置中での基板を搬送すべき接続ポートの位置を特定することができる。よって、搬送先判定部１３２は、搬送先指定情報７０２を解析する場合、“メイン装置ローカルアドレス”に対応する接続ポートに接続された、“サブ装置別”にて特定されるサブ装置が有する、“サブ装置ローカルアドレス”に対応する接続ポートを基板の搬送先として特定することができる。なお、搬送先判定部２３２も、上記と同様にして搬送先指定情報に基づく搬送先の判定を行う。
【００４４】
また、搬送先指定情報作成の他の方法として、所定の基板処理システムの各基板処理装置の接続ポートにそれぞれ搬送先指定情報を割り当て、該割り当てられた搬送先指定情報と各基板処理装置のローカルアドレスとを関連付けたコンフィグレーションテーブルを用いても良い。
【００４５】
上記コンフィグレーションテーブルを用いる場合は、複数の基板処理装置の組み合わせ毎に、組み合わせた後の基板処理システムにおいて各接続ポートに割り当てられた搬送先指定情報と、各基板処理装置のローカルアドレスとを関連付けてコンフィグレーションテーブルを作成しておく。例えば、図１０に示すように複数の基板処理装置を接続した基板処理システムに対して、基板処理装置１００、２００の各接続ポート（プロセスチャンバー）に対応する搬送先指定情報（例えば、図９に示す構成の搬送先指定情報）を割り当てる。そして、該割り当てられた搬送先指定情報と、該搬送先指定情報にて特定される接続ポートに対応する、基板処理装置１００、２００の接続ポートのローカルアドレスとを関連付けたコンフィグレーションテーブルを作成し、該コンフィグレーションテーブルを、ホストＰＣ４００に保持させる。
【００４６】
よって、例えば、図１０に示す基板処理システムにおいて、メイン装置１００のローカルアドレス'１'に接続されたプロセスチャンバーＰ−１１に基板を搬送したい場合は、ユーザが入力操作部を介して、メイン装置１００のローカルアドレス'１'を指定する入力を行う。該ユーザ入力に応じてホストＰＣ４００は、コンフィグレーションテーブルを参照して、メイン装置１００のローカルアドレス'１'に対応する情報を読み出し、搬送先指定情報'１'を生成する。また、図８に示す基板処理システムにおいて、メイン装置２００のローカルアドレス'２'に接続されたプロセスチャンバーＰ−２１に基板を搬送したい場合は、ユーザが入力操作部を介して、メイン装置２００のローカルアドレス'２'を指定する入力を行う。該ユーザ入力に応じてホストＰＣ４００は、コンフィグレーションテーブルを参照して、メイン装置２００のローカルアドレス'２'に対応する情報を読み出し、搬送先指定情報'２１２'を生成する。
【００４７】
このとき、搬送先判定部１３２は、例えば搬送先指定情報'１'を受信すると、情報がローカルアドレスのみであるので、メイン装置１００の接続ポートに基板を搬送すると判定する。また、搬送先判定部１３２は、例えば搬送先指定情報'２１２'を受信すると、該搬送先指定情報の左側が'２'であり、真ん中が'１'であるので、メイン装置１００のローカルアドレス'２'の接続ポートに接続されたサブ装置２００に基板を搬送すると判定する。また、搬送先指定情報の右側が'２'であるので、上記サブ装置２００のローカルアドレス'２'の接続ポートに基板を搬送すると判定する。搬送先判定部２３２も同様に判定を行う。
【００４８】
なお、基板処理を複数のプロセスチャンバーにおいて連続的に行う場合は、対応する搬送先指定情報を上記基板処理の順番に応じて配列することで、搬送手順データを作成することができる。例えば、ユーザが所望の順番で基板搬送対象のプロセスチャンバーを入力操作部により入力すると、ホストＰＣは、上記順番に沿って対応する搬送先指定情報を配列することで、搬送手順データを作成することができる。
【００４９】
つまり、上述したローカルアドレスは各基板処理装置１００、２００内で一意であるが、基板処理システムでは必ずしも一意とはならない。従って、搬送先がどの基板処理装置宛てのものであるかを特定可能な付加情報を付加することで、基板処理システムにおいて異なる基板処理装置のプロセスチャンバーＰを特定し、基板を搬送することができる。なお、上述したサブ装置２００への搬送先指定情報のうち、サブ装置種別やメイン装置のローカルアドレスは、必ずしも必須ではなく、他の付加情報に変えてもよい。しかし、メイン装置のローカルアドレスを用いれば、基板処理装置が複数メイン装置１００に接続している場合に、いずれの基板処理装置へ搬送すべきかを特定できる。また、搬送手順データを入力する際に、メイン装置１００に関してはプロセスチャンバーＰを指定する場合と同じようにローカルアドレスを指定し、下位のサブ装置２００，３００のローカルアドレスを続けて入力すればよいので、ユーザが把握しやすいという利点もある。
【００５０】
このように、搬送先指定情報により、基板処理装置は、該基板処理装置が所属する基板処理システムにおいて基板の搬送先を特定することができるので、搬送先指定情報は、該基板処理システムにおける、基板の搬送先となる接続ポートの位置を特定するための情報であると言える。
【００５１】
次に、図１１Ａ，Ｂに示すフローチャートを用いて、メイン装置１００（図１１Ａ）及びサブ装置２００（図１１Ｂ）の基板の搬送動作を説明する。なお、構成情報は各基板処理装置がすでに取得しており、メイン装置１００は上位装置のない構成情報を取得することで、最上位装置としての動作モードに移行し、サブ装置２００は上位装置が接続された構成情報を取得することで、下位装置としての動作モードに移行する。
【００５２】
まず、メイン装置１００で、搬送手順取得部１３１は、ホストＰＣ４００から送信される搬送手順データを取得する（ステップＳ１０１）。次に、搬送先判定部１３２は、ステップＳ１０１で取得した搬送手順データに基づき、最初の搬送順の搬送先がサブ装置２００宛かを判定する（ステップＳ１０２）。例えば、図８に示す搬送手順データ６０１の場合、最初の搬送先指定情報は'１'であるので、搬送先判定部１３２はメイン装置１００宛てと判定し（ステップＳ１０２：Ｎｏ）、ローカル搬送部１３３は、メイン装置１００のプロセスチャンバーＰ−１１への搬送指令を搬送ロボットＴｒ−１１に出力する（ステップＳ１０３）。その後、搬送ロボットＴｒ−１１による基板の搬送が終了し、搬送制御部１３０が搬送終了信号を受信すると（ステップＳ１０４）、搬送制御部１３０は、搬送手順データ（例えば、搬送手順データ６０１）により指定される搬送手順が終了したかを判定する（ステップＳ１０５）。搬送手順が終了していない場合（Ｎｏ）はステップＳ１０２に戻り、次の搬送手順の搬送先がサブ装置２００宛かを判定する。搬送手順が終了するまで、Ｓ１０２以降のステップを繰り返す。
【００５３】
以上のステップを繰り返し、例えば搬送手順データ６０１において、搬送先判定部１３２が、搬送順の３番目の搬送先がサブ装置２００宛であると判定すると（ステップＳ１０２：ＹＥＳ）、次のような処理が行われる。すなわち、搬送制御部１３０は、次以降（４番目以降）の搬送順の搬送先もサブ装置２００宛かを判定し、搬送手順データから連続してサブ装置２００宛てとなっている搬送ジョブを切り出して、搬送指令（サブ装置２００へ出力される搬送手順データ６０２）を生成する（ステップＳ１０６）。図８に示す搬送手順データ６０１であれば３〜４番目にサブ装置２００宛の搬送ジョブが連続していることから、'２１２'、'２１４'のデータ（搬送先指定情報）が切り出され、これに基づき搬送指令（搬送手順データ６０２）を生成し、サブ装置２００に出力する（ステップＳ１０７）。すなわち、搬送制御部１３０は、所定の順番においてサブ装置２００（３００）が有する接続ポートに搬送すべき時は、搬送手順データからサブ装置２００に関する搬送先指定情報を切り出し、サブ装置２００用の搬送手順データ（例えば、搬送手順データ６０２）を新たに作成し、サブ装置２００へと送信する。
【００５４】
このように、基板の搬送先が自装置であるメイン装置１００ではないと判断される場合、搬送制御部１３０は、搬送先指定情報により基板の搬送先と特定されるサブ装置２００において上記搬送先指定情報にて特定される接続ポートに基板が搬送されるような搬送指令として、基板の搬送対象の接続ポートに対応するローカルアドレスを抽出し、サブ装置２００へと送信する。
【００５５】
これと共に、装置間搬送部１３４は、メイン装置１００の搬送ロボットＴｒ−１１，１２にもサブ装置２００への基板の搬送指令を出力し（ステップＳ１０８）、ローカルアドレス'２'の接続ポートを介してサブ装置２００の搬送ロボットへ基板を受け渡す。つまり、本実施形態では、搬送手順データは、基板に対する処理の手順に沿って規定しており、装置間搬送を行う場合に搬送ロボット間の基板の受け渡し動作までは規定していない。この部分は搬送制御部１３０の側で解釈を行い、基板の搬送指令を生成する。これにより、ユーザがプロセスだけを意識して搬送手順データを作成することができる。すなわち、複数の基板処理装置を所望に応じて組み合わせても、該組み合わせに応じた基板搬送に関する制御プログラムを新たに作成し各基板処理装置に組み込む必要が無くなる。
【００５６】
サブ装置２００は、メイン装置１００から、搬送手順取得部２３１により図６に示すような搬送手順データ６０２を受信すると（ステップＳ２０１）、搬送先判定部２３２は、該取得した搬送手順データ６０２に基づいて基板の搬送先が下位の基板処理装置であるかを判定する（ステップＳ２０２）。宛先がさらに下位の装置ではなく、サブ装置２００内であると判定した場合（ステップＳ２０２：ＮＯ）は、ローカル搬送部２３３は、ステップＳ２０１にて取得した搬送手順データ６０２に基づいて、搬送ロボットＴｒ−２に宛先の接続ポートへの搬送指令を出力する（ステップＳ２０３）。搬送が終了したら（ステップＳ２０４：ＹＥＳ）、搬送制御部２３０は、搬送手順データ６０２により指定される全ての搬送手順が終了したか判定する。（ステップＳ２０５）該搬送手順が終了していない場合（ステップＳ２０５：ＮＯ）は、終了するまでステップＳ２０２移行の動作を繰り返す。
【００５７】
ステップＳ２０２で、搬送先判定部２３２により基板の搬送先が下位の基板処理装置であると判定されると（ＹＥＳ）、ステップＳ２０６に移行する。ステップＳ２０６では、搬送制御部２３０は、メイン装置１００から送信された搬送手順データにおいて当該下位の基板処理装置宛ての搬送ジョブが連続している場合は、当該連続している搬送ジョブを搬送手順データから抽出し、下位装置宛の搬送手順データを生成する。その後、搬送制御部２３０は、この生成された搬送手順データを下位の基板処理装置に出力すると共に（ステップＳ２０７）、装置間搬送部２３４は搬送ロボットＴｒ−２に当該下位装置の搬送ロボットＴｒへの基板の受け渡し指令を出力する（ステップＳ２０８）。その後、下位の装置から搬送終了の信号を搬送制御部２３０が受信したら（ステップＳ２０９：ＹＥＳ）、ステップＳ２０５に移行し、サブ装置２００で受信した全ての搬送手順が終了するまで搬送処理を繰り返す。
【００５８】
本実施形態では、サブ装置２００にさらに下位の基板処理装置は接続していないので、図８に示す搬送手順データ６０２を取得したサブ装置２００ではステップＳ２０６〜Ｓ２０９の動作は実施されない。搬送制御部２３０は、図８に示す搬送手順データ６０２に基づき、ステップＳ２０２〜Ｓ２０５の動作を繰り返してサブ装置２００におけるローカルアドレス'２'、'４'の接続ポートに接続するプロセスチャンバーＰに基板を搬送した後、所定の処理を施した基板をメイン装置１００にリターンする。
【００５９】
メイン装置１００では、サブ装置２００から搬送終了信号を搬送制御部１３０が受信すると（ステップＳ１０９：ＹＥＳ）、ステップＳ１０５に移行し、搬送手順データ（例えば、搬送手順データ６０１）により指定される全ての搬送手順が終了するまでステップＳ１０２移行の処理を繰り返す。図８に示す搬送手順データ６０１によれば、次の搬送順（５番目）では、基板の搬送先がサブ装置３００になるので、図８に示すようなローカルアドレス'１'を指定した搬送手順データ６０３がサブ装置３００に出力される。サブ装置３００では、サブ装置２００と同様に図１１Ｂに示すフローに沿い、ローカルアドレス'１'のプロセスチャンバーＰへ基板搬送を行う。その後、メイン装置１００に戻ってローカルアドレス'３'のプロセスチャンバーＰに基板が搬送され、全ての搬送手順が終了する。
【００６０】
次に、上記基板判定判定部を用いて、図３及び図４の基板ステージ搬送経路判断について説明する。ロードロックチャンバー８Ａのカセット８１Ａには、２５枚の基板９が収納されている。装置Ａで１枚目の基板９の処理が終了する（図３のステップ１）。この段階では、基板受け渡しチャンバー７０の基板受け渡しステージ７０Ａから７０Ｆには、基板がないので、基板搬送機構１１Ａは、１枚目の基板が、基板受け渡しステージ７０Ａに搬入されることを許可し（図３のステップ３）、１枚目の基板９が、基板受け渡しステージ７０Ａに搬送される。この時、図４記載の基板受け渡しステージ収納基板管理アドレス１に「１１０１」として記憶される（図３のステップ２）。なお、前記「１１０１」のうち、４桁目の「１」は、装置Ａから基板受け渡しチャンバー７０に基板が搬入されることを示す。次に、前記「１１０１」のうち、３桁目の「１」は、ロードロックチャンバー８Ａのカセット８１Ａのカセット番号を示す。カセット番号１の場合、３桁目の「１」となり、カセット番号２の場合、３桁目の「２」となる。また、前記「１１０１」のうち、１桁目２桁目の「０１」は、カセット番号１の１枚目の基板９を示す。カセット番号１の１５枚目の基板９の場合には、１桁目２桁目に「１５」と表示される。同様の手順で、２枚目の基板９の処理が終了する（図３のステップ２）。この時、基板受け渡しチャンバー７０の基板受け渡しステージ７０Ａには、既に、１枚目の基板が格納されている（図３のステップ２）。そのため、基板受け渡しチャンバー７０に空き基板受け渡しステージがないかどうか判断する（図３のステップ４、ステップ５）。この時には、基板受け渡しチャンバー７０の基板受け渡しステージ７０Ｂから７０Ｆには、基板９が格納されていないので、基板受け渡しステージ７０Ｂが、基板搬送機構１１Ａの搬送位置まで下降し、２枚目の基板が基板受け渡しステージ７０Ｂに格納される（図３のステップ３）。この時、図４記載の基板受け渡しステージ収納基板管理アドレス１に「１１０２」として記憶される。同様な手順により、３枚目、４枚目、５枚目、６枚目の基板９が基板受け渡しステージ７０Ｃ、７０Ｄ、７０Ｅ、７０Ｆに格納される（図５のステップ４、ステップ５、ステップ３）。
この時、図４記載の基板受け渡しステージ収納基板管理アドレス１に「１１０３」「１１０４」「１１０５」「１１０６」として記憶される。なお、基板受け渡しステージ７０Ａから７０Ｆのいずれにも、基板が格納されていない場合には、図４記載の基板受け渡しステージ収納基板管理アドレス１から６には、全て「００００」と記憶される。
【００６１】
基板受け渡しチャンバー７０の基板受け渡しステージ７０Ａから７０Ｆに全ての基板が格納されている場合、搬送機構１１Ｂは、基板受け渡しチャンバー７０から基板９を取り出し、装置Ｂの各処理チャンバー３，７に送って順次処理を行う（図３のステップ６）。搬送機構１１Ｂが、基板受け渡しチャンバー７０の各基板受け渡しステージ７０Ａから７０Ｆから基板９を取り出し、装置Ｂの各処理チャンバー３，７に送って順次処理するかどうかの判断は、上記図５から図１１記載の経路判定判定部を用いて行う（図３のステップ７）。尚、上述の経路判定判定部により搬出可能判断とならない場合は、装置Ｂのチャンバーへの基板搬出動作は許可されない（図３のステップ７）。また、上述の経路判定判定部により搬出可能判断となった場合は、その対象の基板９が格納された基板受け渡しステージ７０が、搬送機構１１Ｂの搬送位置まで上昇又は下降し、基板受け渡しステージ７０から基板９を装置Ｂの各第３の処理チャンバー３，第２の処理チャンバー７に搬送する（図３のステップ８，ステップ９）。装置Ｂの処理チャンバーで処理された基板の基板受け渡しステージ７０への搬入要求は、図３のステップ１に戻り行う。
【００６２】
同様の手順で、１枚目から６枚目の基板９が、装置Ｂの各処理チャンバー３，７に搬出されて処理される。装置Ｂで１枚目の基板９の処理が終了する（図３のステップ１）。この段階で、基板受け渡しチャンバー７０の基板受け渡しステージ７０Ａから７０Ｆに基板がない場合、基板搬送機構１１Ｂは、１枚目の基板が、基板受け渡しステージ７０Ａに搬入されることを許可し（図３のステップ３）、１枚目の基板９が、基板受け渡しステージ７０Ａに搬送される。この時、図４記載の基板受け渡しステージ収納基板管理アドレス１に「２１０１」として記憶される（図３のステップ２）。なお、前記「２１０１」のうち、４桁目の「２」は、装置Ｂから基板受け渡しチャンバー７０に基板が搬入されることを示す。次に、前記「２１０１」のうち、３桁目の「２」は、ロードロックチャンバー８Ａのカセット８１Ａのカセット番号を示す。カセット番号１の場合、３桁目の「１」となり、カセット番号２の場合、３桁目の「２」となる。また、前記「２１０１」のうち、１桁目２桁目の「０１」は、カセット番号１の１枚目の基板９を示す。カセット番号１の１５枚目の基板９の場合には、１桁目２桁目に「１５」と表示される。同様に、２枚目の基板９の処理が終了する（図３のステップ２）。この時、基板受け渡しチャンバー７０の基板受け渡しステージ７０Ａには、既に、１枚目の基板が格納されている（図３のステップ２）。そのため、基板受け渡しチャンバー７０に空き基板受け渡しステージがないかどうか判断する（図３のステップ４、ステップ５）。この時には、基板受け渡しチャンバー７０の基板受け渡しステージ７０Ｂから７０Ｆに、基板９が格納されていない場合、基板受け渡しステージ７０Ｂが、基板搬送機構１１Ａの搬送位置まで下降し、２枚目の基板が基板受け渡しステージ７０Ｂに格納される。この時、図４記載の基板受け渡しステージ収納基板管理アドレス１に「２１０２」として記憶される。同様な手順により、３枚目、４枚目、５枚目、６枚目の基板９が基板受け渡しステージ７０Ｃ、７０Ｄ、７０Ｅ、７０Ｆに格納される（図３のステップ４、ステップ５）。
この時、図４記載の基板受け渡しステージ収納基板管理アドレス１に「２１０３」「２１０４」「２１０５」「２１０６」として記憶される。
【００６３】
基板受け渡しチャンバー７０の基板受け渡しステージ７０Ａから７０Ｆの全ての基板が格納されている場合、搬送機構１１Ａは、基板受け渡しチャンバー７０から基板９を取り出し、装置Ａの各処理チャンバー２，７に送って順次処理を行う（図５のステップ６）。搬送機構１１Ａが、基板受け渡しチャンバー７０から基板９を取り出し、装置Ａの各処理チャンバー２，７に送って順次処理するかどうかの判断は、上記図５から図１１記載の経路判定判定部を用いて行う（図３のステップ７）。尚、上述の経路判定判定部により搬出可能判断とならない場合は、装置Ａのチャンバーへの基板の搬出動作は許可されない（図３のステップ７）。また、上述の経路判定判定部により搬出可能判断となった場合は、その対象の基板９が格納された基板受け渡しステージ７０が、搬送機構１１Ａの搬送位置まで上昇又は下降し、基板受け渡しステージ７０から基板９を装置Ａの各処理チャンバー２，７に搬送する（図３のステップ８，ステップ９）。
【００６４】
装置Ａから基板９が、基板受け渡しチャンバー７０に搬入され、装置Ｂから基板９が、基板受け渡しチャンバー７０に搬入される場合も、図３記載のフローチャート、図４の基板受け渡しステージ収納基板管理アドレスに基づき処理する。例えば、装置Ａからカセット番号１の４枚目から６枚目の基板９が、基板受け渡しチャンバー７０の基板受け渡しステージ７０Ｄ、７０Ｅ、７０Ｆにそれぞれ搬入されている場合、図４の基板受け渡しステージ収納基板管理アドレスには、それぞれ「１１０４」「１１０５」「１１０６」と基板格納情報が記憶される。同時に、装置Ｂからカセット番号１の１枚目から３枚目の基板９が、基板受け渡しチャンバー７０の基板受け渡しステージ７０Ａ、７０Ｂ、７０Ｃにそれぞれ搬入されている場合、図４の基板受け渡しステージ収納基板管理アドレスには、それぞれ「２１０１」「２１０２」「２１０３」と基板格納情報が記憶される。この時、基板受け渡しチャンバー７０の基板受け渡しステージには、空きがないので、上記した図５から図１１記載の経路判定判定部の情報に基づき、基板受け渡しチャンバー７０から装置Ａ又は装置Ｂのチャンバーへの搬出要求が可能かどうか判断する（図３のステップ６からステップ９）。
【００６５】
上記の通り、図２記載の基板受け渡しチャンバー７０は、設置床面に対して垂直方向に積み重ねられた基板受け渡しステージ７０Ａ、７０Ｂ、７０Ｃ、７０Ｄ、７０Ｅ、７０Ｆとを有するので、第１の基板処理装置（装置Ａ）、第２の基板処理装置（装置Ｂ）の間の基板９の受け渡しに対して、異なる搬送パターンを持つ基板が複数枚投入されている場合でも、第１の基板処理装置（装置Ａ）、第２の基板処理装置（装置Ｂ）内相互の行き来に対して基板受け渡しステージが占有されることがない。
更に、第１の基板処理装置（装置Ａ）又は第２の基板処理装置（装置Ｂ）から基板受け渡しステージ７０Ａ、７０Ｂ、７０Ｃ、７０Ｄ、７０Ｅ、７０Ｆに基板９が搬入されているかどうかは、図４記載の基板受け渡しステージ収納基板管理アドレスで判断することが可能である。また、全ての基板受け渡しステージ７０Ａ、７０Ｂ、７０Ｃ、７０Ｄ、７０Ｅ、７０Ｆに基板９が格納されている場合には、図５から図１１Ａ、１１Ｂ記載の経路判定判定手段により、第１の基板処理装置の基板搬送経路情報と第２の基板処理装置の基板搬送経路情報とを割り出し、割り出された基板搬送経路情報に基づき、第１の基板受け渡しステージと第２の基板受け渡しステージとに格納されて基板を、第１の基板処理装置の第１の処理チャンバー又は前記第２の基板処理装置の第２の処理チャンバーに搬出することを決定することができる。そのため、割り出された基板搬送経路情報に基づき、次に基板受け渡しステージ７０Ａ、７０Ｂ、７０Ｃ、７０Ｄ、７０Ｅ、７０Ｆから、搬出する基板の判断も行う事で第１の基板処理装置と第２の基板処理装置との基板搬送動作が非同期で搬送することができる。
【符号の説明】
【００６６】
１Ａ  第１の搬送チャンバー
１Ｂ  第２の搬送チャンバー
２  第１の処理チャンバー
３  第３の処理チャンバー
７  第２の処理チャンバー
８Ａ  ロードロックチャンバー
８Ｂ  アンロードロックチャンバー
９  基板
１０  ゲートバルブ
１１Ａ  第１の搬送機構
１１Ｂ  第２の搬送機構
７０  基板受け渡しステージチャンバー
７０Ａ〜７０Ｇ              基板受け渡しステージ
【図５】
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【図６】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図７】
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【図１２】
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【図１３】
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