(57)【要約】【課題】マルチワイヤ放電加工装置でワークから複数の薄板を効率よく切り出す。【解決手段】間隔をおいて配設された複数のガイドローラ２４Ａ〜２４Ｄの長手方向に間隔をあけて複数回巻き掛けられ、ガイドローラ２４Ａと２４Ｄの間で該ガイドローラ２４Ａ，２４Ｄの長手方向に所定の離間ピッチＰで配置された複数の切断ワイヤ部分２６を構成するワイヤ１５と、切断ワイヤ部分２６に向かってワーク２８を送る送り機構２７と、を備え、ワーク送り方向先端側からワーク送り方向と反対側に向かってワーク２８に押し付けられるワーク押さえ５０を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
間隔をおいて配設された複数のガイドローラを含むガイドローラ組と、
各ガイドローラの長手方向に間隔をあけてガイドローラ組に複数回巻き掛けられ、一対の隣接するガイドローラ間で該ガイドローラの長手方向に所定の離間ピッチで配置された複数の切断ワイヤ部分を構成するワイヤと、
切断ワイヤ部分に向かってワークを送る送り機構と、を備えるマルチワイヤ放電加工装置であって、
ワーク送り方向先端側からワーク送り方向と反対側に向かってワークに押し付けられるワーク押さえを有すること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。
【請求項２】
請求項１に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
ワーク押さえは、ワークに押し付けられた際に、その一部が切断ワイヤ部分によって加工されたスリットに入り込む弾性体の接触部材を含むこと、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。
【請求項３】
請求項２に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
接触部材は、切断ワイヤ部分によって加工されたスリットに入り込む突起を備えていること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載のマルチワイヤ放電加工装置であって、
送り機構に取り付けられ、係合ピンが設けられている受けアームと、
ワーク押さえを保持する保持部材と、を有し、
保持部材は、受けアームの係合ピンに嵌まり込むことによってワーク押さえをワークに押し付ける係合穴を有すること、
を特徴とするマルチワイヤ放電加工装置。
【請求項５】
間隔をおいて配設された複数のガイドローラを含むガイドローラ組と、各ガイドローラの長手方向に間隔をあけてガイドローラ組に複数回巻き掛けられ、一対の隣接するガイドローラ間で該ガイドローラの長手方向に所定の離間ピッチで配置された複数の切断ワイヤ部分を構成するワイヤと、切断ワイヤ部分に向かって炭化ケイ素のインゴットを送る送り機構と、を備えるマルチワイヤ放電装置を用い、
インゴット送り方向先端側からインゴット送り方向と反対側に向かってインゴット押さえ部材をインゴットに押し付けながら各切断ワイヤ部分とインゴットとの間で放電を行ってインゴットから複数の板を切り出す炭化ケイ素板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マルチワイヤ放電加工装置の構造及びマルチワイヤ放電加工装置によって炭化ケイ素板を製造する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、シリコン等の円柱状インゴットからウェハを切り出す場合における切断手段として、砥粒を用いたワイヤソーが知られている。このワイヤソーは、複数のガイドローラ間に巻回された切断用ワイヤをその長手方向に高速駆動しながら、ワイヤに対してワークを切断送りすることにより、ワークから多数枚の薄片を同時に切り出すものである。
【０００３】
しかし、このようなワイヤソーでは、ガイドローラ間に形成された複数本の切断ワイヤ部分に対し、加工用砥粒が混合された加工液（スラリー）を同時供給する必要があり、その取扱いは容易でない。また、ワイヤがワークに直接接触することによる断線を抑制するために比較的太いワイヤを使用する必要があり、切断加工代が大きくなってしまうという問題があった。さらに、従来のワイヤソーは、インゴットからウェハを切り出すのに長時間を要する場合もあり、加工時間短縮のニーズが高まっている。
【０００４】
一方、近年、炭化ケイ素（シリコンカーバイド、ＳｉＣ）が半導体の材料として注目されている。しかし、この炭化ケイ素（シリコンカーバイド，ＳｉＣ）は硬質材料であるため、従来のワイヤソーでは、シリコンのインゴットを切断する以上の時間がかかってしまうという問題があった。
【０００５】
そこで、炭化ケイ素のインゴットと切断用ワイヤとの間に電圧を断続的に印加し、各切断ワイヤ部分によってインゴットを放電加工の原理で切断する放電式ワイヤソーの開発が進められている（例えば特許文献１参照）。特許文献１に記載された従来技術の放電式ワイヤソーは、ガイドローラにワイヤを複数回巻回して複数本の切断ワイヤ部分を形成し、これらの切断ワイヤ部分とワークとの間に電圧を印加しながら当該切断ワイヤ部分に対してワークを切断送りすることにより当該ワークを複数個所で同時切断するマルチワイヤ放電加工装置である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−１０７９４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、ワイヤ放電加工は、液中で電極となるワイヤとワークとの間に直接放電を発生させて放電に伴う熱的作用（蒸発、溶融）と力学的作用（放電衝撃圧力）によって切断などの加工を行うものである。液中でワイヤとワークとの間で放電が発生すると、電子、もしくは陽イオンの衝突エネルギーによってワークが加熱され、ワークの蒸発、溶融現象が発生する。また、この加熱によってワイヤとワークとの間の液体が急激に気化、膨張する。そして、液体の気化、膨張によって発生する衝撃的な圧力によってワークの溶融部分が飛散し、除去され、ワークが加工される。このように、加熱によるワークの溶融と衝撃的な圧力による溶融部分の除去を繰り返し行うことによってワークを連続的に加工するのがワイヤ放電加工である。
【０００８】
一方、炭化ケイ素のインゴットから多数枚の薄板を同時に切り出す場合には、図８に示すように、複数の切断ワイヤ部分２６とインゴット２８との間で放電を発生させつつ、インゴット２８を送り方向に送ってインゴット２８にスリット２８ｓを形成し、インゴット２８から炭化ケイ素の薄板２８ａを切り出していく。この場合、切断ワイヤ部分２６とインゴット２８との間で放電が発生する度にその間を満たしている水などの加工液が気化、膨張して気泡２００が発生、スリット２８ｓに衝撃的な圧力が発生する。この圧力によって、切り出されている薄板２８ａには図９に矢印で示すようにスリット２８ｓと直角方向に向かう力が加わる。ワイヤ放電加工では、ワークとワイヤとの間に断続的に通電して断続的に放電を行わせるので、薄板２８ａには放電の度に薄板２８ａを点線と一点鎖線で示すように左右に曲げる曲げ応力が加わる。そして、この曲げ応力は、スリット２８ｓの長さが長くなるほど大きくなるので、スリット２８ｓの長さがある程度長くなってくると、繰り返し加わる曲げ応力によって薄板２８ａの根元付近にクラック２８ｄが発生し、このクラック２８ｄを起点に薄板２８ａが破断してしまうという問題があった。
【０００９】
薄板２８ａの破断は、切断ワイヤ部分２６のピッチＰが小さくなるほど頻繁に発生する。このため、特許文献１に記載された従来技術によるワイヤ放電加工装置によって炭化ケイ素のインゴット２８から切り出す薄板２８ａの厚さｔを薄くしようとするとより煩雑に放電加工による切断中に薄板２８ａの破断が発生してしまい、炭化ケイ素の薄板２８ａの加工効率が低くなるという問題があった。
【００１０】
本発明は、マルチワイヤ放電加工装置でワークから複数の薄板を効率よく切り出すことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明のマルチワイヤ放電加工装置は、間隔をおいて配設された複数のガイドローラを含むガイドローラ組と、各ガイドローラの長手方向に間隔をあけてガイドローラ組に複数回巻き掛けられ、一対の隣接するガイドローラ間で該ガイドローラの長手方向に所定の離間ピッチで配置された複数の切断ワイヤ部分を構成するワイヤと、切断ワイヤ部分に向かってワークを送る送り機構と、を備えるマルチワイヤ放電加工装置であって、ワーク送り方向先端側からワーク送り方向と反対側に向かってワークに押し付けられるワーク押さえを有することを特徴とする。
【００１２】
本発明のマルチワイヤ放電加工装置において、ワーク押さえは、ワークに押し付けられた際に、その一部が切断ワイヤ部分によって加工されたスリットに入り込む弾性体の接触部材を含むこととしても好適であるし、接触部材は、切断ワイヤ部分によって加工されたスリットに入り込む突起を備えていること、としても好適である。
【００１３】
本発明のマルチワイヤ放電加工装置において、送り機構に取り付けられ、係合ピンが設けられている受けアームと、ワーク押さえを保持する保持部材と、を有し、保持部材は、受けアームの係合ピンに嵌まり込むことによってワーク押さえをワークに押し付ける係合穴を有すること、を特徴とする。
【００１４】
本発明の炭化ケイ素板の製造方法は、間隔をおいて配設された複数のガイドローラを含むガイドローラ組と、各ガイドローラの長手方向に間隔をあけてガイドローラ組に複数回巻き掛けられ、一対の隣接するガイドローラ間で該ガイドローラの長手方向に所定の離間ピッチで配置された複数の切断ワイヤ部分を構成するワイヤと、切断ワイヤ部分に向かって炭化ケイ素のインゴットを送る送り機構と、を備えるマルチワイヤ放電装置を用い、インゴット送り方向先端側からインゴット送り方向と反対側に向かってインゴット押さえ部材をインゴットに押し付けながら各切断ワイヤ部分とインゴットとの間で放電を行ってインゴットから複数の板を切り出すことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は、マルチワイヤ放電加工装置でワークから複数の薄板を効率よく切り出すことが出来るという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態におけるマルチワイヤ放電加工装置の構成を示す説明図である。
【図２】本発明の実施形態におけるマルチワイヤ放電加工装置のワーク送り機構とワーク押さえの正面を示す説明図である。
【図３】本発明の実施形態におけるマルチワイヤ放電加工装置のワーク送り機構とワーク押さえの平面を示す説明図である。
【図４】本発明の他の実施形態におけるマルチワイヤ放電加工装置のワーク押さえの装着工程を示す説明図である。
【図５】本発明の他の実施形態におけるマルチワイヤ放電加工装置のワーク押さえの装着工程を示す説明図である。
【図６】本発明の他の実施形態におけるマルチワイヤ放電加工装置のワーク押さえの装着工程を示す説明図である。
【図７】本発明の実施形態におけるマルチワイヤ放電加工装置の他のワーク押さえの装着状態を示す説明図である。
【図８】ワイヤ放電加工方法でワークを加工する状態を模式的に示す説明図である。
【図９】従来技術の放電加工方法でワークを加工する状態を模式的に示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
図１に示すように、本実施形態のマルチワイヤ放電加工装置１００は、ワイヤ１５の方向を変更するプーリ１１，１２と、複数回ワイヤ１５が巻き掛けられ、図示しない駆動機構によって回転駆動されるガイドローラ２４Ａ〜２４Ｄと、電源２９と、ワイヤ１５に放電加工用のパルス電力を供給する給電ブロック４１と、ワーク２８をＸＹ方向に移動させるワーク送りユニット２７と、ワーク押さえ５０と、制御部８０とを備えている。
【００１８】
ワイヤ１５は、図示しない繰り出しボビンから繰り出された後、プーリ１１で方向が変更され、各ガイドローラ２４Ａ〜２４Ｄの軸方向にピッチＰの間隔で複数回巻き掛けられる。そして、ガイドローラ２４Ｄを出たワイヤ１５はプーリ１２によって方向を変更された後、図示しない巻き取りボビンに巻き取られる。ガイドローラ２４Ａ、２４Ｂは隣接する一対のガイドローラであり、その間はワーク２８との間で放電を行う切断ワイヤ部分２６となっている。ワーク送りユニット２７はステッピングモータ２５Ｆによってガイドローラ２４Ａ、２４Ｂの長手方向であるＸ方向にワーク２８を駆動し、ステッピングモータ２５Ｅによってガイドローラ２４Ａ，２４Ｂの長手方向と直角方向で、切断ワイヤ部分２６に接離する方向であるＹ方向にワークを駆動するよう構成されている。
【００１９】
ステッピングモータ２５Ｅ，２５Ｆと、電源２９とは制御部８０に接続され、制御部８０の指令によって動作するよう構成されている。また、ステッピングモータ２５Ｅ，２５Ｆは、内部の回転子の回転角度を検出することができ、回転子の回転角度からワーク２８のＸＹ方向の位置を検出することができるよう構成されている。
【００２０】
図２，図３に示すように、ワーク送りユニット２７は、固定された基盤２７ａの上面にＸ方向にスライド自在に取り付けられたＸ方向テーブル２７ｂと、Ｘ方向テーブル２７ｂの上にＹ方向にスライド自在に取り付けられたＹ方向テーブル２７ｃとを備えている。基盤２７ａにはそのＸ方向の位置が移動しないようにボールねじ２７ｆが回転自在に取り付けられており、その一端は、基盤２７ａに固定されたステッピングモータ２５Ｆのシャフトに接続されている。また、Ｘ方向テーブル２７ｂにはボールねじ２７ｆがねじ込まれるナット２７ｇが固定されており、ステッピングモータ２５Ｆが回転するとボールねじ２７ｆの回転によってＸ方向テーブル２７ｂはＸ方向に移動する。また、Ｘ方向テーブル２７ｂの上面には２つのラグ２７ｄが取り付けられており、ラグ２７ｄには雌ねじが設けられている。また、Ｙ方向テーブル２７ｃにはそのＹ方向の位置が移動しないようにボールねじ２７ｅが回転自在に取り付けられており、その一端は、Ｙ方向テーブル２７ｃに固定されたステッピングモータ２５Ｅのシャフトに接続されている。そして、ボールねじ２７ｅはラグ２７ｄに設けられた雌ねじにねじ込まれており、ステッピングモータ２５Ｅが回転するとボールねじ２７ｅの回転によってＹ方向テーブル２７ｃはＹ方向に移動する。Ｙ方向テーブル２７ｃは、Ｘ方向テーブル２７ｂの上面に取り付けられ、Ｘ方向テーブル２７ｂの移動に伴ってＸ方向にも移動するので、ＸＹ方向に移動することができるよう構成されている。
【００２１】
Ｙ方向テーブル２７ｃのＹ方向側の端部にはＹ方向テーブルから下方向（Ｚ方向）に延びるアーム２７ｈが取り付けられている。アーム２７ｈはその先端がＹ方向に折れ曲がったＬ字型であり、その先端にワーク２８が固定されるよう構成されている。ワーク２８は、例えば、炭化ケイ素（シリコンカーバイド）のインゴットである。炭化ケイ素のインゴットは円筒形で一部が平面となっており、この平面部分に例えば銅などで構成された取り付け部材２８ｂが接着などで取り付けられている。この取り付け部材２８ｂはボルトなどでアーム２７ｈの先端に固定されており、Ｘ、Ｙ方向テーブル２７ｂ，２７ｃの移動によってワーク２８はＸＹ方向に移動する。
【００２２】
図１に示すように、アーム２７ｈの下端の両側にはその上面にワーク押さえ５０が取り付けられる金属製の受けアーム７１が取り付けられている。受けアーム７１は、切断ワイヤ部分２６のＸ方向の外側で切断ワイヤ部分２６を越えてＹ方向に延びる平板状板であり、その先端には金属製の係合ピン７２が設けられている。係合ピン７２は上端が円錐状で下端は円筒状となっている。
【００２３】
切断ワイヤ部分２６のワーク２８と反対側にはワーク押さえ５０が配置されている。ワーク押さえ５０は、アルミなどの金属製のベース５１と、ベース５１の上面に取り付けられた金属製の基板５２と、基板５２のワーク２８側に取り付けられた接触部材５３とを備えている。図２（ａ）に示すようにベース５１には、受けアーム７１の係合ピン７２の外形に沿った穴５５が設けられている。穴５５のベース５１の上面側は係合ピン７２の先端の円錐形状に対応するテーパ穴となっており、穴５５のベース５１の下面側は係合ピン７２の円筒形部分に対応する円筒穴となっている。図３に示すように、ベース５１は、切断ワイヤ部分２６のＸ方向の両側から切断ワイヤ部分２６を越えてＹ方向に延びる各受けアーム７１の先端に設けられている係合ピン７２の各穴５５が嵌まり込むような長さとなっている。従って、ワーク押さえ５０のベース５１のＸ方向の長さは切断ワイヤ部分２６のＸ方向の幅よりも長くなっている。受けアーム７１は左右別々にアーム２７ｈに取り付けられていてもよいし、左右の受けアーム７１を一体としたＵ字型の平面形状としてアーム２７ｈに取り付けるようにしてもよい。
【００２４】
ワーク押さえ５０の基板５２のワーク２８側に取り付けられた接触部材５３は、図３（ａ）に示すように、切断ワイヤ部分２６によってワーク２８に加工したスリット２８ｓの内側に入り込む山形のリブ状でスリット２８ｓの延びる方向に向かって上下方向に延びる突起５４を備えている。接触部材５３は樹脂を成形して複数のリブ状の突起５４を製造してもよいし、ゴムなどを成形して製造してもよい。また、接触部材５３のワーク２８と反対側の面は平面であり、接着材などで基板５２の表面に固定されている。
【００２５】
このように構成されたマルチワイヤ放電加工装置１００によってワーク２８である炭化ケイ素（シリコンカーバイド）のインゴットを切断加工して、炭化ケイ素の薄板２８ａを製造する工程について説明する。図示しないワイヤ送りモータを駆動させてワイヤ１５を送ると共に、電源２９からパルス電源を各切断ワイヤ部分２６とワーク２８との間に給電し、ワーク送りユニット２７のステッピングモータ２５Ｅを回転させてＹ方向テーブル２７ｃ、アーム２７ｈを切断ワイヤ部分２６に向かってＹ方向に送るとワーク２８が切断ワイヤ部分２６に接近してくる。すると、切断ワイヤ部分２６とワーク２８との間で放電が発生し、その放電によってワーク２８には図３に示すようにスリット２８ｓが加工され始める。そして、スリット２８ｓの長さが所定の長さとなったら、ワーク送りユニット２７のステッピングモータ２５Ｅを停止させ、ワーク２８の送りを停止する。そして、図２に示すように、ワーク押さえ５０の穴５５を受けアーム７１の係合ピン７２に合わせる。ワーク押さえ５０の穴を係合ピン７２に合わせると、ワーク押さえ５０は自重でベース５１の下面が受けアーム７１の上面に接するまで下に移動する。その際、穴５５のテーパ部分と係合ピン７２の円錐部分とが係合し、ワーク押さえ５０の接触部材５３の突起５４がスリット２８ｓの中に入り込む。そして、更にワーク押さえ５０の穴と係合ピン７２とが係合すると、図３（ａ）に示すように、スリット２８ｓの中に入り込んだ山形の突起５４の傾斜している側面がスリット２８ｓの内面に押し付けられると共に、突起５４はワーク２８の送り方向と反対方向に向かってワーク２８に押し付けられる。そして、突起５４によってワーク２８の先端部分のＸ方向の横方向の振動が押さえられる。
【００２６】
このように、ワーク押さえ５０を取り付けたら、再度、切断ワイヤ部分２６とワーク２８との間にパルス電力を給電し、切断ワイヤ部分２６とワーク２８との間に放電を発生させながらワーク２８をＹ方向に送ってスリット２８ｓを加工していく。この際、ワーク押さえ５０はワーク２８と一緒にＹ方向に送られ、ワーク２８の先端がワーク押さえ５０によって送り方向と反対方向に押さえられた状態でスリット２８ｓの放電加工が行われていく。このため、スリット２８ｓの長さが長くなった場合でも、ワーク２８の先端がワーク押さえ５０によって押さえられ、薄板２８ａの左右方向（Ｘ方向）の振動が押さられるので、放電加工中に薄板２８ａが割れることが抑制される。そして、切断ワイヤ部分２６が取り付け部材２８ｂに来るまでワーク２８を送ったら放電加工を停止し、ワーク２８と取り付け部材２８ｂとをアーム２７ｈから取り外し、ワーク２８を取り付け部材２８ｂから取り外すとワーク２８から薄板２８ａを取り出すことが出来る。このように、本実施形態のマルチワイヤ放電加工装置１００を用いるとワーク２８から薄板２８ａを効率よく切り出すことが出来る。つまり、本実施形態のマルチワイヤ放電加工装置１００は炭化ケイ素のインゴットから炭化ケイ素の薄板２８ａを効率よく切り出すことが出来る。
【００２７】
以上説明した実施形態のマルチワイヤ放電加工装置１００では、ワーク押さえ５０を手動で取り付けることとして説明したが、次にワーク押さえ５０を自動で取り付ける構成について説明する。図１から図３を参照して説明した部分には同様の符号を付して説明は省略する。
【００２８】
図４に示すように、本実施形態のマルチワイヤ放電加工装置１１０は、ワーク押さえ５０の受けアーム７１の上面への受け渡し、取り外しを行うレバー板６１を備えている。レバー板６１は金属製の平板で、切断ワイヤ部分２６と反対側の端部に設けられたヒンジ６２によって図示しないマルチワイヤ放電加工装置１１０の基台に接続されている。また、レバー板６１の切断ワイヤ部分２６側の端部上面には、受けアーム７１に設けられた係合ピン７２と同様の係合ピン６３が設けられている。ワーク押さえ５０は先に説明した実施形態よりも送り方向（Ｙ方向）に長いベース５９を備えている。ベース５９は、切断ワイヤ部分２６側には受けアーム７１に設けられた係合ピン７２に嵌まり込む穴５５が設けられ、切断ワイヤ部分２６と反対側にはレバー板６１に設けられた係合ピン６３に嵌まり込む第２穴５６が設けられている。レバー板６１は図示しないステッピングモータによってヒンジ６２の回りに回転するよう構成され、制御部８０の指令によってその角度位置を変更することが出来るよう構成されている。
【００２９】
以上のように構成されたマルチワイヤ放電加工装置１１０の動作について説明する。図４に示すように、初期状態において、レバー板６１の係合ピン６３にワーク押さえ５０の第２穴５６が嵌まり込み、ワーク押さえ５０はレバー板６１によって保持されている。また、レバー板６１は、保持しているワーク押さえ５０が切断ワイヤ部分２６と干渉しないよう切断ワイヤ部分２６から離れた位置となっており、ワーク押さえ５０のベース５９の下面が受けアーム７１の上面よりも上となるように傾斜した状態となっている。
【００３０】
制御部８０が加工開始の指令を出力すると、切断ワイヤ部分２６とワーク２８との間にパルス電力が通電され、ワーク２８をＹ方向に送ることによって放電が発生し、ワーク２８には図３（ａ）に示すスリット２８ｓが加工されていく。そして、図５に示すように、レバー板６１を時計回りに回転させた際にワーク押さえ５０のベース５９に設けられた穴５５の中心位置が受けアーム７１の係合ピン７２の中心となるワーク押さえ装着位置までワーク２８を送ったら、制御部８０は、ワーク押さえ５０を装着する指令を出力する。この指令によって制御部８０は図示しないステッピングモータを回転させてレバー板６１を時計回りに回転させる。すると、ワイヤ押さえ部材５０のベース５９に設けられている穴５５が受けアーム７１の係合ピン７２に嵌まり込み、受けアーム７１にワーク押さえ５０が装着される。そして、図３（ａ）に示すようにワーク押さえ５０の接触部材５３の突起５４がスリット２８ｓの間に入り込むと共に送り方向と反対方向に向かってワーク２８に押し付けられ、ワーク２８の先端が押さえられる。
【００３１】
制御部８０は、ワーク押さえ５０を受けアーム７１の上面に装着すると、図６に示すように、レバー板６１を更に時計回りに回転させる。すると、レバー板６１の係合ピン６３はワーク押さえ５０の第２穴５６から抜けて、レバー板６１はワーク押さえ５０と分離する。
【００３２】
制御部８０は、レバー板６１がワーク押さえ５０から分離すると、ワーク押さえ５０はワーク２８と一緒にＹ方向に送られ、ワーク２８の先端がワーク押さえ５０によって送り方向と反対方向に押さえられた状態でスリット２８ｓの放電加工が行われていく。そして、突起５４がワーク２８の先端のスリット２８ｓに嵌まり込んでスリット２８ｓの間に形成されていく薄板２８ａの横方向（Ｘ方向）の振動を押さえるので、スリット２８ｓが長くなっても薄板２８ａが放電加工の途中で破断することがなくなり、薄板２８ａを効率的に切り出すことが出来る。
【００３３】
制御部８０は、切断ワイヤ部分２６が取り付け部材２８ｂの位置に来るまでワーク２８をＹ方向に送ったら、放電加工を停止し、ワーク２８を先の装着位置まで戻す。そして、制御部８０は、レバー板６１を反時計回りに回転させる指令を出力する。この指令によってレバー板６１は反時計回りに回転し、その係合ピン６３をワーク押さえ５０の第２穴５６に係合させてワーク押さえ５０を受けアーム７１から上方向に取りはずす。ワーク押さえ５０の取り外しが終了したら、制御部８０は、ワーク２８を送り方向と反対方向（マイナスＹ方向）に切断ワイヤ部分２６とワーク２８とが干渉しない位置まで退避させる。この後、ワーク２８と取り付け部材２８ｂとをアーム２７ｈから取り外し、更にワーク２８を取り付け部材２８ｂから取り外すと切り出した薄板２８ａを取り出すことができる。
【００３４】
以上説明した実施形態のマルチワイヤ放電加工装置１１０は放電加工中にワーク押さえ５０を自動的に取り付け、取り外すことが出来るので、先に説明した実施形態と同様の効果に加えて放電加工の省力化を図ることができるという効果を奏する。また、上記の実施形態では、ワークの送り速度が低いため、ワーク押さえ５０を取り付ける際に放電加工やワークの送りを停止させる必要がなく、更に放電加工の効率化を図ることができる。なお、手動でワーク押さえ５０を取り付ける際と同様、放電加工やワークの送りを一旦停止させてワーク押さえ５０を取り付けるようにしてもよい。
【００３５】
次に図７を参照しながら、他の接触部材５３について説明する。この接触部材５３は、ゴムなどの柔軟性のある材料で構成されており、先の実施形態のような突起５４を有さず、ワーク２８の先端に送り方向と反対方向に向かって押し付けられた際にその一部５５がスリット２８ｓの間に入り込むように変形するものである。そして、スリット２８ｓの中に入り込んだ部分５７と入り込んでいない部分とが一体となってワーク２８のＸ方向の横振動を押さえるものである。本実施形態は、先に説明した実施形態と同様の効果を奏する。
【符号の説明】
【００３６】
１１，１２  プーリ、１５  ワイヤ、２４Ａ〜２４Ｄ  ガイドローラ、２５Ｅ，２５Ｆ  ステッピングモータ、２６  切断ワイヤ部分、２７  ワーク送りユニット、２７ａ  基盤、２７ｂ  Ｘ方向テーブル、２７ｃ  Ｙ方向テーブル、２７ｄ  ラグ、２７ｅ，２７ｆ  ボールねじ、２７ｇ  ナット、２７ｈ  アーム、２８  ワーク（インゴット）、２８ａ  薄板、２８ｂ  取り付け部材、２８ｄ  クラック、２８ｓ  スリット、２９  電源、４１  給電ブロック、５０  ワーク押さえ、５１，５９  ベース、５２  基板、５３  接触部材、５４  突起、５５  穴、５６  第２穴、６１  レバー板、６２  ヒンジ、６３，７２  係合ピン、７１  受けアーム、８０  制御部、１００，１１０  マルチワイヤ放電加工装置、２００  気泡。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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