(57)【要約】      （修正有）【課題】外部接続部材を容易に取り付けることができる半導体装置及び電力用半導体装置を提供する。【解決手段】半導体装置１９０は、筐体２０と、筐体２０の内部に収納された半導体素子１０と、半導体素子１０と導通し、筐体２０の外部に延出した外部延出部３２を有する端子３０と、外部延出部３２と筐体２０との間において筐体２０の表面に沿って移動可能に設けられ、外部延出部３２に端子３０を固定するねじ部材４０と、を備えた。【選択図】図１
2011238725.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体と、
前記筐体の内部に収納された半導体素子と、
前記半導体素子と導通し、前記筐体の外部に延出した外部延出部を有する端子と、
前記外部延出部と前記筐体との間において前記筐体の表面に沿って移動可能に設けられ、前記外部延出部に外部端子を固定するねじ部材と、
を備えたことを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
前記ねじ部材は、前記外部延出部に設けられた長孔の長軸方向に沿って移動可能に設けられたことを特徴とする請求項１記載の半導体装置。
【請求項３】
前記ねじ部材は、前記筐体に設けられた台座部の主面に沿って移動可能に設けられたことを特徴とする請求項１または２に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記外部延出部は、前記筐体の前記表面に沿って延出する部分を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の半導体装置。
【請求項５】
前記端子は、一端が前記筐体の内部で前記半導体素子と導通し、他端が前記外部延出部と導通する内部延出部をさらに備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の半導体装置。
【請求項６】
基板上に実装された電力用トランジスタと、
前記電力用トランジスタを内部に収納する筐体と、
前記電力用トランジスタのベース、エミッタ及びコレクタとそれぞれ導通し、前記筐体の外部に延出した外部延出部を有する複数の端子と、
前記複数の端子のうちの少なくとも一つの前記外部延出部と前記筐体との間において前記筐体の表面に沿って移動可能に設けられ、前記外部延出部に外部端子を固定するねじ部材と、
を備えたことを特徴とする電力用半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置及び電力用半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置は、半導体素子と、これを収納する筐体と、半導体素子と導通した端子と、を備えている。半導体素子は、例えばトランジスタやダイオードである。筐体は、基板上に設けれた半導体素子を内部に収納する。端子は、筐体の内部で半導体素子と導通し、筐体の外側に延出している。
【０００３】
端子における筐体の外部に設けられた外部延出部には、孔が設けられている。この孔は、外部接続部材（例えば、ブスバー）をボルト及びナットで外部延出部に接続するためのものである。また、筐体には、外部延出部の孔の位置に合わせてナットが埋設されている。これにより、外部接続部材が外部延出部にボルト及びナットで接続される（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
しかしながら、半導体装置にブスバー等の外部接続部材を取り付ける際、外部接続部材と筐体側のナットとの位置合わせが困難であり、外部接続部材の取り付けに多くの労力を要している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−２４３９７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、外部接続部材を容易に取り付けることができる半導体装置及び電力用半導体装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様によれば、筐体と、前記筐体の内部に収納された半導体素子と、前記半導体素子と導通し、前記筐体の外部に延出した外部延出部を有する端子と、前記外部延出部と前記筐体との間において前記筐体の表面に沿って移動可能に設けられ、前記外部延出部に外部端子を固定するねじ部材と、を備えたことを特徴とする半導体装置が提供される。
【０００８】
また、本発明の他の一態様によれば、基板上に実装された電力用トランジスタと、前記電力用トランジスタを内部に収納する筐体と、前記電力用トランジスタのベース、エミッタ及びコレクタとそれぞれ導通し、前記筐体の外部に延出した外部延出部を有する複数の端子と、前記複数の端子のうちの少なくとも一つの前記外部延出部と前記筐体との間において前記筐体の表面に沿って移動可能に設けられ、前記外部延出部に外部端子を固定するねじ部材と、を備えたことを特徴とする電力用半導体装置が提供される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、外部接続部材を容易に取り付けることができる半導体装置及び電力用半導体装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１の実施の形態に係る半導体装置の構成を例示する模式図である。
【図２】第１の実施の形態に係る半導体装置における外部接続部材の接続状態を例示する模式的断面図である。
【図３】比較例に係る半導体装置の構成を例示する模式図である。
【図４】比較例に係る半導体装置における外部接続部材の接続状態を例示する模式的断面図である。
【図５】第２の実施の形態に係る半導体装置の構成を例示する模式的断面図である。
【図６】第３の実施の形態に係る半導体装置の構成を例示する模式的断面図である。
【図７】第４の実施の形態に係る電力用半導体装置の構成を例示する模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態を図に基づき説明する。
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比係数などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比係数が異なって表される場合もある。
また、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
【００１２】
（第１の実施の形態）
図１は、第１の実施の形態に係る半導体装置の構成を例示する模式図である。
同図（ａ）は、半導体装置１１０の模式的断面図である。また、同図（ｂ）は、半導体装置１１０の模式的平面図である。
図２は、第１の実施の形態に係る半導体装置における外部接続部材の接続状態を例示する模式的断面図である。
【００１３】
図１（ａ）に表したように、本実施の形態に係る半導体装置１１０は、半導体素子１０、筐体２０、端子３０及びねじ部材であるナット４０を備えている。
半導体装置１１０では、筐体２０の表面の一部である蓋部２２の主面２２ａに沿って、ナット４０が移動可能に設けられている。
【００１４】
半導体素子１０は、例えばトランジスタやダイオードといった能動素子や、抵抗やコンデンサといった非能動素子である。本実施の形態に係る半導体装置１１０では、半導体素子１０の一例として、トランジスタやダイオードといった能動素子が適用される。
【００１５】
半導体素子１０は、絶縁基板１に実装される。絶縁基板１としては、例えばセラミックス基板が用いられる。絶縁基板１の一方の主面１ａには、電極パターンＭＰが形成されている。半導体素子１０の裏面は、この電極パターンＭＰに、例えばはんだによって接続されている。また、半導体素子１０の表面に設けられた電極パッド（図示せず）は、ボンディングワイヤ等によって電極パターンＭＰと接続される。
【００１６】
絶縁基板１の他方の主面１ｂには、ほぼ全面に金属膜ＭＬが形成されている。絶縁基板１は、この金属膜ＭＬを介してベース板２に接続されている。金属膜ＭＬとベース板２とは、例えばはんだによって接続される。ベース板２は、例えば金属製であり、半導体装置１１０の固定用基板及び半導体素子１０の放熱板として利用される。
【００１７】
筐体２０は、絶縁材料である例えば樹脂によって成型されている。筐体２０は、枠部２１と、蓋部２２と、を有する。枠部２１は、例えばベース板２に固定され、絶縁基板１の周辺を取り囲むように設けられる。枠部２１の内側には、例えばシリコーン樹脂による封止材２５が注入される。封止材２５は、半導体素子１０やボンディングワイヤＢＷ等を封入する。封止材２５は、半導体素子１０を外因（例えば、湿気、温度、塵、外圧）から保護する役目を果たす。
【００１８】
蓋部２２は、枠部２１の開口側に取り付けられる。蓋部２２には、端子３０を貫通させる孔Ｈが設けられている。端子３０は、筐体２０の内部で半導体素子１０と導通する内部延出部３１と、筐体２０の外側に延出する外部延出部３２と、を有する。
【００１９】
内部延出部３１は、筐体２０内において電極パターンＭＰと、例えばはんだによって接続されている。内部延出部３１は、電極パターンＭＰとの接続位置から蓋部２２の孔Ｈを貫通し、外部延出部３２に接続されている。
【００２０】
外部延出部３２は、筐体２０の外部に延出している。図１に例示する外部延出部３２では、内部延出部３１と同じ金属板によって形成されている。外部延出部３２は、内部延出部３１の延出する方向に対して、ほぼ直角に折り曲げられ、蓋部２２の主面２２ａに沿うように設けられた部分を有する。ここで、外部延出部３２には、ナット４０の移動方向に合わせて、長孔３２ｈが設けられている。
【００２１】
ナット４０は、多角形（例えば、六角形、四角形）の外形を有する。ナット４０は、筐体２０における蓋部２２の主面２２ａに沿って移動可能に設けられている。ここで、蓋部２２には、主面２２ａに沿って溝２２ｈが設けられている。ナット４０は、この溝２２ｈ内に収められ、溝２２ｈの伸びる方向に沿って移動可能になっている。つまり、溝２２ｈの幅は、ナット４０の外径よりも大きく、溝２２ｈ内でナット４０が回転しない程度の大きさになっている。これにより、ナット４０は、溝２２ｈ内で回転することなく、溝２２ｈに沿って平行移動可能に設けられる。
【００２２】
図２に表したように、ナット４０は、外部延出部３２と、外部接続部材（例えば、ブスバー）２００とをボルト３００によって接続する際に用いられる。ナット４０が蓋部２２の主面２２ａに沿って移動可能に設けられていることで、外部延出部３２と外部接続部材２００とをボルト３００及びナット４０で固定する際、ナット４０の位置に自由度が生じる。すなわち、主面２２ａに沿ったナット４０の可動範囲だけボルト３００の位置、すなわち外部接続部材２００の取り付け位置に余裕を持たせることができる。したがって、外部接続部材２００の取り付け作業が容易になる。
【００２３】
図１及び図２に例示した半導体装置１１０では、３つの端子３０が設けられている。端子３０は、少なくとも１つ設けられていればよい。複数の端子３０を有する場合、本実施の形態に係る半導体装置１１０では、少なくとも１つの端子３０に対応したナット４０が移動可能に設けられていればよい。図１に例示した半導体装置１１０では、３つの端子３０のうち、２つの端子３０Ａ及び３０Ｂに対応したナット４０が移動可能に設けられている。
【００２４】
図１（ｂ）に表したように、端子３０Ａに対応したナット４０は、蓋部２２の溝２２ｈに沿った範囲Ｌ１で移動可能になっている。また、端子３０Ｂに対応したナット４０は、蓋部２２の溝２２ｈに沿った範囲Ｌ２で移動可能になっている。これにより、外部接続部材２００をボルト３００及びナット４０で固定する際、ボルト３００の位置をナット４０の移動の範囲Ｌ１及びＬ２に合わせることが可能になる。
【００２５】
（比較例）
図３、比較例に係る半導体装置の構成を例示する模式図である。
同図（ａ）は、比較例に係る半導体装置１９０の模式的断面図である。また、同図（ｂ）は、比較例に係る半導体装置１９０の模式的平面図である。
図４は、比較例に係る半導体装置１９０における外部接続部材の接続状態を例示する模式的断面図である。
【００２６】
図３（ａ）に表したように、比較例に係る半導体装置１９０は、半導体素子１０、筐体２０、端子３０及びナット４０を備えている。
半導体装置１９０では、筐体２０の蓋部２２にナット４０が埋め込まれている。
【００２７】
端子３０は、筐体２０の内部で半導体素子１０と導通する内部延出部３１と、筐体２０の外側に延出する外部延出部３２と、を有する。
【００２８】
外部延出部３２は、筐体２０の外部において、蓋部２２の主面２２ａに沿って折り曲げられている。外部延出部３２には、ナット４０の内径よりも大きく、外径よりも小さい丸孔３２ｈｃが設けられている。この丸孔３２ｈｃの位置は、蓋部２２に埋め込まれたナット４０の位置と合わせられている。
【００２９】
図４に表したように、ナット４０は、外部延出部３２と、外部接続部材２００とをボルト３００によって接続する際に用いられる。比較例に係る半導体装置１９０では、ナット４０が蓋部２２の主面２２ａに埋め込まれている。このため、外部延出部３２と外部接続部材２００とをボルト３００及びナット４０で固定する際、ナット４０の位置に対してボルト３００の位置を正確に合わせる必要がある。すなわち、ナット４０の位置に対してボルト３００の位置合わせに自由度が少なく、ナット４０の位置とボルト３００の位置とが正確に合わないと、締め付けできない。このボルト３００及びナット４０の位置合わせに時間を要し、外部接続部材２００の取り付け作業に多くの時間を必要としている。
【００３０】
これに対し、本実施の形態に係る半導体装置１１０では、ナット４０が、筐体２０における蓋部２２の主面２２ａに沿って移動可能に設けられていることから、外部接続部材２００をボルト３００及びナット４０で固定する際、ナット４０の移動範囲においてボルト３００の位置合わせに自由度を持たせることができる。これにより、ボルト３００による外部接続部材２００の取り付け作業が容易になる。
【００３１】
（第２の実施の形態）
図５は、第２の実施の形態に係る半導体装置の構成を例示する模式的断面図である。
図５に表したように、第２の実施の形態に係る半導体装置１２０では、半導体素子１０、筐体２０、端子３０及びねじ部材であるナット４０を備えている。
半導体装置１２０では、筐体２０の表面の一部である第１台座部２２１の主面２２１ａに沿って、ナット４０が移動可能に設けられている。
【００３２】
第１台座部２２１は、蓋部２２の主面２２ａに対して垂直な方向に設けられている。第１台座部２２１は、例えば蓋部２２と同じ樹脂によって、蓋部２２と一体的に設けられている。第１台座部２２１の主面２２１ａは、蓋部２２の主面２２ａに対して垂直な方向に沿って設けられている。
【００３３】
第１台座部２２１には、主面２２１ａに沿って溝２２１ｈが設けられている。この溝２２１ｈ内にナット４０が収められている。したがって、ナット４０は、溝２２１ｈに沿って移動可能に設けられる。つまり、ナット４０は、主面２２１ａ（主面２２ａと垂直な面）に沿って移動可能になっている。
【００３４】
また、ナット４０は、多角形（例えば、六角形、四角形）の外形を有する。溝２２１ｈの幅は、ナット４０の外径よりも大きく、溝２２ｈ内でナット４０が回転しない程度の大きさになっている。これにより、ナット４０は、溝２２１ｈ内で回転することなく、溝２２１ｈに沿って平行移動可能に設けられる。
【００３５】
端子３０の外部延出部３２は、蓋部２２の主面２２ａに対して垂直な方向に延出している。また、外部延出部３２は、第１台座部２２１の溝２２１ｈが設けられた側に隣接して配置される。これにより、外部延出部３２は、第１台座部２２１の主面２２１ａに沿うように設けられた部分を有する。
【００３６】
なお、図５に例示する半導体装置１２０では、３つの端子３０が設けられている。端子３０は、少なくとも１つ設けられていればよい。複数の端子３０を有する場合、本実施の形態に係る半導体装置１２０では、少なくとも１つの端子３０に対応して第１台座部２２１が設けられ、この第１台座部２２１にナット４０が移動可能に設けられていればよい。図５に例示した半導体装置１２０では、３つの端子３０のうち、２つの端子３０Ａ及び３０Ｂに対応して第１台座部２２１が設けられ、この第１台座部２２１にナット４０が移動可能に設けられている。
【００３７】
ナット４０は、外部延出部３２と、外部接続部材２００とをボルト３００によって接続する際に用いられる。ナット４０が第１台座部２２１の主面２２１ａに沿って移動可能に設けられていることで、外部延出部３２と外部接続部材２００とをボルト３００及びナット４０で固定する際、ナット４０の位置に自由度が生じる。
【００３８】
一方、外部延出部３２には、ナット４０の移動方向に合わせて長孔３２ｈが設けられている。ナット４０の移動方向は、長孔３２ｈの長軸方向に沿っている。これにより、主面２２１ａに沿ったナット４０の可動範囲だけボルト３００の位置、すなわち、外部接続部材２００の取り付け位置に余裕を持たせることができる。したがって、外部接続部材２００の取り付け作業が容易になる。
【００３９】
（第３の実施の形態）
図６は、第３の実施の形態に係る半導体装置の構成を例示する模式的断面図である。
図６に表したように、第３の実施の形態に係る半導体装置１３０では、半導体素子１０、筐体２０、端子３０及びねじ部材であるナット４０を備えている。
半導体装置１２０では、筐体２０の表面の一部である第２台座部２２２の主面２２２ａに沿って、ナット４０が移動可能に設けられている。
【００４０】
第２台座部２２２は、蓋部２２の主面２２ａに対して垂直な方向に設けられている。第２台座部２２２は、例えば蓋部２２と同じ樹脂によって、蓋部２２と一体的に設けられている。第２台座部２２２の主面２２２ａは、蓋部２２の主面２２ａに対して斜め（例えば、４５°）に設けられている。
【００４１】
第２台座部２２２には、主面２２２ａに沿って溝２２２ｈが設けられている。この溝２２２ｈ内にナット４０が収められている。したがって、ナット４０は、溝２２２ｈに沿って移動可能に設けられる。つまり、ナット４０は、主面２２２ａ（主面２２ａと垂直な面）に沿って移動可能になっている。
【００４２】
また、ナット４０は、多角形（例えば、六角形、四角形）の外形を有する。溝２２２ｈの幅は、ナット４０の外径よりも大きく、溝２２２ｈ内でナット４０が回転しない程度の大きさになっている。これにより、ナット４０は、溝２２２ｈ内で回転することなく、溝２２２ｈに沿って平行移動可能に設けられる。
【００４３】
端子３０の外部延出部３２は、蓋部２２の主面２２ａに対して斜め（例えば、４５°）に延出する部分を含む。外部延出部３２の斜めに延出する部分は、第２台座部２２２の溝２２２ｈが設けられた側で、第２台座部２２２の主面２２２ａに沿うように設けられている。
【００４４】
なお、図６に例示する半導体装置１３０では、３つの端子３０が設けられている。端子３０は、少なくとも１つ設けられていればよい。複数の端子３０を有する場合、本実施の形態に係る半導体装置１３０では、少なくとも１つの端子３０に対応して第２台座部２２２が設けられ、この第２台座部２２２にナット４０が移動可能に設けられていればよい。図６に例示した半導体装置１３０では、３つの端子３０のうち、２つの端子３０Ａ及び３０Ｂに対応して第２台座部２２２が設けられ、この第２台座部２２２にナット４０が移動可能に設けられている。
【００４５】
ナット４０は、外部延出部３２と、外部接続部材２００とをボルト３００によって接続する際に用いられる。ナット４０が第２台座部２２２の主面２２２ａに沿って移動可能に設けられていることで、外部延出部３２と外部接続部材２００とをボルト３００及びナット４０で固定する際、ナット４０の位置に自由度が生じる。
【００４６】
一方、外部延出部３２には、ナット４０の移動方向に合わせて長孔３２ｈが設けられている。ナット４０の移動方向は、長孔３２ｈの長軸方向に沿っている。これにより、主面２２２ａに沿ったナット４０の可動範囲だけボルト３００の位置、すなわち、外部接続部材２００の取り付け位置に余裕を持たせることができる。したがって、外部接続部材２００の取り付け作業が容易になる。
【００４７】
なお、図６に例示した半導体装置１３０では、端子３０Ａ及び３０Ｂに対応した第２台座部２２２のそれぞれの主面２２２ａが、蓋部２２の主面２２ａに対して同じ角度になっているが、それぞれ異なる角度で設けられていてもよい。また、端子３０に対応した台座部として、第２台座部２２２と第１台座部２２１（図５参照）とが混在して設けられていてもよい。
【００４８】
また、本実施の形態に係る半導体装置１１０、１２０及び１３０においては、ナット４０が配置される溝として、蓋部２２の主面２２ａに設けられた溝２２ｈ（図１参照）、第１台座部２２１に設けられた溝２２１ｈ（図５参照）及び第２台座部２２２に設けられた溝２２２ｈ（図６参照）の２つ以上を組み合わせてもよい。また、溝２２ｈ、２２１ｈ及び２２２ｈに設けられるねじ部材は、ナット４０の代わりにボルトであってもよい。
【００４９】
（第４の実施の形態）
図７は、第４の実施の形態に係る電力用半導体装置の構成を例示する模式図である。
同図（ａ）は、電力用半導体装置１５０の模式的断面図である。同図（ｂ）は、電力用半導体装置１５０の等価回路図である。
【００５０】
図７に表したように、電力用半導体装置１５０は、電力用トランジスタ１０Ｔ、筐体２０、複数の端子３０（３０Ｔｅ、３０Ｔｃ及び３０Ｔｂ）及びねじ部材であるナット４０を備えている。
【００５１】
電力用トランジスタ１０Ｔは、例えばＩＧＢＴ（Insulated Gate Bipolar Transistor）、ＩＥＧＴ（Injection Enhanced Gate Transistor）、パワーＭＯＳ（Metal Oxide Semiconductor）トランジスタといった高電圧及び大電流に対応したトランジスタ素子である。本実施の形態に係る電力用半導体装置１５０では、電力用トランジスタ１０Ｔの一例としてＩＧＢＴが適用されている。
【００５２】
電力用トランジスタ１０Ｔは、例えばセラミックス基板である絶縁基板１に実装される。絶縁基板１には、電極パターンＭＰが形成されており、この電極パターンＭＰに電力用トランジスタ１０Ｔが、例えばはんだによって接続されている。また、絶縁基板１には、電力用トランジスタ１０Ｔのほか、必要に応じてダイオード１０Ｄが実装されている。ダイオード１０Ｄは、例えばＦＲＤ（Fast Recovery Diode）である。
【００５３】
複数の端子３０のうち、端子３０Ｔｂは、電力用トランジスタ１０Ｔのベースに接続される。端子３０Ｔｅは、電力用トランジスタ１０Ｔのエミッタに接続される。端子３０Ｔｃは、電力用トランジスタ１０Ｔのコレクタに接続される。各端子３０Ｔｅ、３０Ｔｃ及び３０Ｔｂは、筐体２０の内部で半導体素子１０と導通する内部延出部３１と、筐体２０の外側に延出する外部延出部３２と、を有する。
【００５４】
ナット４０は、この複数の端子３０Ｔｅ、３０Ｔｃ及び３０Ｔｂのうち、少なくとも一つにおける、筐体２０と外部延出部３２との間に設けられ、筐体２０の表面（主面２０ａ）に沿って移動可能に設けられている。図７に例示した電力用半導体装置１５０では、端子３０Ｔｅ及び３０Ｔｃについて、筐体２０と外部延出部３２との間に移動可能にナット４０がそれぞれ設けられている。すなわち、端子３０Ｔｅ及び３０Ｔｃには、このナット４０及びボルト３００を用いて、高電圧及び大電流に対応した外部接続部材（例えば、ブスバー）２００が接続される。一方、端子３０Ｔｂには、高電圧及び大電流が流れないため、コネクタ（図示せず）等を介して配線が接続される。
【００５５】
ナット４０は、多角形（例えば、六角形、四角形）の外形を有する。ナット４０は、筐体２０における蓋部２２の主面２２ａに沿って設けられた溝２２ｈ内に収められている。溝２２ｈの幅は、ナット４０の外径よりも大きく、溝２２ｈ内でナット４０が回転しない程度の大きさになっている。これにより、ナット４０は、溝２２ｈ内で回転することなく、溝２２ｈに沿って平行移動可能に設けられる。
【００５６】
ナット４０が蓋部２２の主面２２ａに沿って移動可能に設けられていることで、外部延出部３２と外部接続部材２００とをボルト３００及びナット４０で固定する際、ナット４０の位置に自由度が生じる。すなわち、主面２２ａに沿ったナット４０の可動範囲だけボルト３００の位置、すなわち外部接続部材２００の取り付け位置に余裕を持たせることができる。したがって、外部接続部材２００の取り付け作業が容易になる。
【００５７】
図７に例示した電力用半導体装置１５０では、筐体２０内に１つの電力用トランジスタ１０Ｔが設けられ、この電力用トランジスタ１０Ｔに対応して３つの端子３０Ｔｅ、３０Ｔｃ及び３０Ｔｂが設けられているが、筐体２０内に複数の電力用トランジスタ１０Ｔが設けられ、各電力用トランジスタ１０Ｔに対応して複数の端子３０が設けられていてもよい。
【００５８】
また、本実施の形態に係る電力用半導体装置１５０においては、ナット４０が配置される溝として、蓋部２２の主面２２ａに設けられた溝２２ｈのほか、第１台座部２２１に設けられた溝２２１ｈ（図５参照）や、第２台座部２２２に設けられた溝２２２ｈ（図６参照）であってもよい。また、溝２２ｈ、２２１ｈ及び２２２ｈのいずれか２つを組み合わせてもよい。また、溝２２ｈ、２２１ｈ及び２２２ｈに設けられるねじ部材は、ナット４０の代わりにボルトであってもよい。
【００５９】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明はこれらの例に限定されるものではない。例えば、前述の各実施の形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除、設計変更を行ったものもや、各実施の形態の特徴を適宜組み合わせたものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含有される。
【符号の説明】
【００６０】
１…絶縁基板、２…ベース板、１０…半導体素子、１０Ｄ…ダイオード、１０Ｔ…電力用トランジスタ、２０…筐体、２２…蓋部、２２ｈ…溝、２５…封止材、３０…端子、３１…内部延出部、３２…外部延出部、３２ｈ…長孔、３２ｈｃ…丸孔、４０…ナット、１１０〜１５０，１９０…半導体装置、２００…外部接続部材、２２１…第１台座部、２２１ｈ…溝、２２２…第２台座部、２２２ｈ…溝、３００…ボルト、ＢＷ…ボンディングワイヤ、Ｈ…孔、ＭＬ…金属膜、ＭＰ…電極パターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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