(57)【要約】  【課題】  安価で注送圧力に脈動を発生させない羽根水車式のポンプを使用しながらも、エッチング液から発生するガスを注送ライン内及び注送ポンプ内から効果的に取り除き、エッチング液の循環を確保する機能を提供する。  【解決手段】  制御装置９は、遮断弁５Ａ，６Ａを開放し、注送配管２Ａ及び注送ポンプ３Ａを稼働させ、注送ラインＡを用いてエッチング槽１にエッチング液を循環供給する。流量センサ４からの信号を解析しエッチング液流量の低下が観測されると、制御装置９は遮断弁５Ａ，６Ａを遮断し、注送配管２Ａ及び注送ポンプ３Ａを停止する一方、遮断弁５Ｂ，６Ｂを開放し注送配管２Ｂ及び注送ポンプ３Ｂを稼働させて送ラインＢによるエッチング液の循環供給を行う。そして、注送ラインＡが停止している状態の下で、ガス抜きバルブ８Ａを開放し、注送配管２Ａ内及び注送ポンプ３Ａ内のガスを抜く。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
エッチング槽に収容されたエッチング液を取り出して再度前記エッチング槽に循環供給するエッチング液の供給方法であって、
注送配管及び注送ポンプを含む注送ラインを複数系統有し、
複数系統の前記注送ラインのうち、少なくとも一系統の前記注送ラインの前記注送配管及び前記注送ポンプを稼働させて前記循環供給を行うのに並行して、他系統の前記注送ラインの前記注送配管及び前記注送ポンプを停止させて当該注送ラインの前記注送配管内及び前記注送ポンプ内に滞留するガスのガス抜きを行い、
前記注送配管及び前記注送ポンプを稼働させる前記注送ラインの系統と、前記注送配管及び前記注送ポンプを停止させる前記注送ラインの系統を、順次切り換える制御を行うことを特徴とするエッチング液の供給方法。
【請求項２】
前記注送配管と前記注送ポンプが稼働中の前記注送ラインを介して前記エッチング槽に循環供給されるエッチング液の流量が、所定レベルを下回った時点で、前記注送配管及び前記注送ポンプを稼働させる前記注送ラインの系統と、前記注送配管及び前記注送ポンプを停止させる前記注送ラインの系統とを切り換える制御を行うことを特徴とする請求項１に記載のエッチング液の供給方法。
【請求項３】
前記注送配管に分岐配管が連結され、
前記分岐配管には、当該分岐配管内を通流するガスを配管外部に放出するか否かを制御するガス抜きバルブが設けられ、
停止させる前記注送配管に連結する前記分岐配管に設けられた前記ガス抜きバルブを開放し、前記注送配管内のガスを、前記分岐配管を介して外部に放出することを特徴とする請求項１又は２に記載のエッチング液の供給方法。
【請求項４】
前記エッチング液は、弗酸と硝酸を含む溶液であり、
前記ガス抜きによって、前記注送配管内並びに前記注送ポンプ内に滞留するＮＯｘガスを外部に放出することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のエッチング液の供給方法。
【請求項５】
前記注送ポンプが、羽根水車式のポンプであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のエッチング液の供給方法。
【請求項６】
エッチング液が収容されたエッチング槽と、
前記エッチング槽に収容されたエッチング液を取り出して再度前記エッチング槽に循環供給可能に構成された、注送配管及び注送ポンプを含む複数系統の注送ラインと、
前記注送配管及び前記注送ポンプを稼働させる前記注送ラインの系統と、前記注送配管及び前記注送ポンプを停止させる前記注送ラインの系統とを、順次切り換える制御を行う制御手段と、を有し、
前記制御手段が、前記複数系統のうち、少なくとも一系統の前記注送ラインの前記注送配管及び前記注送ポンプを稼働させる制御を行って前記循環供給を行わせると共に、これと並行して他系統の前記注送ラインの前記注送配管及び前記注送ポンプを停止させる制御を行って当該注送ラインの前記注送配管内及び前記注送ポンプ内に滞留するガスのガス抜きを行わせることを特徴とするエッチング装置。
【請求項７】
前記注送配管は、当該注送配管内を通流中の前記エッチング液の流量を測定する流量センサを備え、
前記制御手段は、前記流量センサから出力される信号に基づき、稼働中の前記注送配管内を通流する前記エッチング液の流量が所定レベルを下回ったことを検知すると、前記注送配管及び前記注送ポンプを稼働させる前記注送ラインの系統と、前記注送配管及び前記注送ポンプを停止させる前記注送ラインの系統とを切り換える制御を実行することを特徴とする請求項６に記載のエッチング装置。
【請求項８】
前記注送配管に連結した分岐配管と、
前記分岐配管内を通流するガスを配管外部に放出するか否かを制御するガス抜きバルブと、を備え、
前記制御手段が、
停止させる前記注送配管に連結する前記分岐配管に設けられた前記ガス抜きバルブを開放する制御を行って、当該注送配管内のガスを、前記分岐配管を介して外部に放出させる一方、
稼働させる前記注送配管に連結する前記分岐配管に設けられた前記ガス抜きバルブを遮蔽する制御を行うことを特徴とする請求項６又は７に記載のエッチング装置。
【請求項９】
前記注送ポンプが、羽根水車式のポンプであることを特徴とする請求項６〜８のいずれか１項に記載のエッチング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エッチング液の供給方法及びエッチング装置に関し、特に弗酸と硝酸を用いたシリコン基板の湿式エッチング技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
弗酸と硝酸を用いたシリコン基板の湿式エッチングは、その量産性の高さから、シリコン基板の表面ダメージ層除去などに広く用いられている。
【０００３】
弗酸と硝酸を含むエッチング液を用いてシリコン基板をエッチングした場合、ＮＯ２，ＮＯといった、いわゆるＮＯｘガスが副次的に生成される。エッチング進行時、このＮＯｘガスがシリコン表面で発生し、気泡となって付着する。この付着した気泡が障害物となり、エッチング液がシリコン表面に均一に接触せず、このことがエッチング厚さの均一性を妨げていた。
【０００４】
この現象を回避するため、シリコン表面にエッチング液の流れを作り、強制的に気泡を排除する方法が採られている。より具体的には、エッチング槽に入口と出口を設け、この間でエッチング液を注送ポンプによって循環させることでエッチング液の流れを作る方法である。
【０００５】
この方法の場合、注送ポンプによってエッチング槽の出口から吸い出されたエッチング液が、同エッチング槽の入口へ注入されるが、このエッチング液は、前記のとおりシリコン表面において発生したＮＯｘ成分を含有している。さらに、エッチング槽出口から入口までの液注送配管及びポンプ内においても、液に溶け込んだシリコンとエッチング液の反応が続くためＮＯｘガスが発生しつづける。これらは気泡となって液の循環を妨げ、エッチング液の注入効率を低下させるという問題が生じる。
【０００６】
このような問題を回避すべく、エッチング液の注送配管途上にガス抜き用の配管を設ける方法がある。また、下記特許文献１のように、循環経路上において、エッチング槽の出口から吸い出したエッチング液に対して、これに不活性なガスと接触させ、この不活性ガスにＮＯｘ成分を吸収させる再生機構を設けることで、その後に再びエッチング槽に流入されるエッチング液のＮＯｘ成分の含有濃度を低下させる方法が提案されている。
【０００７】
また、別の従来方法としては、下記特許文献２のように、エッチング槽に過酸化水素水を噴霧することで、エッチング液中におけるＮＯｘの発生そのものを抑制する方法が提案されている。
【０００８】
これらの従来方法によれば、注送配管内を循環するエッチング液におけるＮＯｘ成分の含有濃度が低下するため、循環経路内においてＮＯｘ成分が気泡となって循環の障害を生じさせるという問題をある程度緩和することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００１−８５３８５号公報
【特許文献２】特開２００１−１５６０４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
前述のように、ＮＯｘガスが発生する場所は、エッチング液が通流する注送配管内だけに留まらず、注送ラインの系統全域である。注送ラインの系統を構成する要素の一つとして注送ポンプがある。本ポンプが羽根水車を備えた形式のポンプであった場合、ポンプ内において発生したＮＯｘガスは、容易に羽根水車や水車シールドの内壁に付着し、エッチング液の流路を塞いでしまう。羽根水車が回転しているとガス気泡には水圧がかかるため、付着した気泡は水車の羽根やシールドの内壁に押し付けられたまま脱離しない。つまり、ひとたび注送ポンプ内においてＮＯｘガスの気泡が発生すると、注送ポンプが稼働している限り、当該気泡は容易には注送ポンプ内から脱出せず、そのまま付着状態を継続する。これにより、注送ポンプの注送能力が低下し、エッチング液の循環を妨げてしまう。従って、一定流量のエッチング液を継続的に循環供給させるためには、ポンプ内のＮＯｘガスをポンプ外部へ脱出させる必要がある。
【００１１】
このためには注送ポンプ運転を停止させればよい。注送ポンプの運転を停止させる、すなわち羽根水車の回転を停止させると、付着したガス気泡に水圧がかからなくなるため、当該気泡が浮力によって内壁や水車の羽根から容易に脱離し、注送ポンプ外部へ排出される。従って、注送ポンプの注送能力が低下したことを認識した時点で、一時的に注送ポンプを停止させ、注送ポンプ内に滞留するガスのガス抜きを行えば良い。
【００１２】
しかし、注送ポンプを停止させてガスをポンプ外部へ排出するためには、１０〜２０秒程度の時間を必要とする。つまり、上記方法による場合、注送ポンプ内に滞留するガスを排出するためには、１０〜２０秒程度もの間、注送ポンプを停止させる必要がある。このとき、必然的にエッチング液の注送が停止するため、エッチング槽内のエッチング液流れが停止する。これにより、シリコン基板表面に付着した気泡の除去が不完全となり、エッチング斑を生じさせてしまう。
【００１３】
上記特許文献１のように循環経路上に再生機構を設ける方法や、特許文献２のように、エッチング槽内におけるＮＯｘガスの発生量を低下させる方法の場合、注送ポンプを含む注送ラインの系統全域において発生するＮＯｘガスの気泡量を低下させることができる点で効果がある。しかし、前者の方法は、不活性ガスとエッチング液を接触させる装置、及び不活性ガスの継続的供給が必要となり、後者の方法は、エッチング装置に別途噴霧装置の付加、及び過酸化水素の継続的供給が必要となるという別の課題を生じさせる。
【００１４】
その他の方法として、ガスに対しても注送能力を有する、負圧を発生させるタイプの注送ポンプ、例えばダイヤフラム駆動型のポンプを用い、不活性ガスとエッチング液を同時に循環させる方法が考えられる。しかし、ダイヤフラムは往復運動を繰り返すので液の注送圧力に脈動を生じさせるため、スムーズな液の注送を実現するためには付加的な設備を必要とし、更には、液体とガスを同時に循環させるので、液体とガスが同時に又は交互にシリコン基板に接触してエッチング斑の原因となるといった別の課題を有する。
【００１５】
本発明は上記の問題点に鑑み、特に弗酸と硝酸を用いたシリコン基板の湿式エッチング装置において、安価で注送圧力に脈動を発生させない羽根水車式のポンプを使用しながらも、エッチング液から発生するガス（ＮＯｘガス）をエッチング液が循環する注送ライン内及び注送ポンプ内から効果的に取り除き、エッチング液の循環を確保する機能を提供することをその目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、エッチング槽に収容されたエッチング液を取り出して再度前記エッチング槽に循環供給するに際し、注送配管及び注送ポンプを含む注送ラインを複数系統有する点を特徴とする。そして、複数系統の注送ラインのうち、少なくとも一系統の注送ラインの注送配管と注送ポンプを稼働させてエッチング液の循環供給を行う。これに並行して、他系統の注送ラインの注送配管と注送ポンプを停止させ、当該注送配管内及び注送ポンプ内に滞留したガスのガス抜きを行う。なお、注送配管の稼働とは、当該注送配管内にエッチング液を通流させることを指し、注送配管の停止とは、この通流を停止させることを指す。
【００１７】
そして、注送配管と注送ポンプを稼働させる注送ラインの系統と、これらを停止させる注送ラインの系統を順次切り換えながら、エッチング液の循環供給を行う。
【００１８】
この方法によれば、常に、少なくとも一系統の注送ラインをエッチング液の循環供給のために利用することができる。そして、循環供給に利用されていない系統の注送ラインについては、注送ポンプを停止することができるため、当該注送配管内及び注送ポンプ内に滞留したガスのガス抜きを実行することができる。従って、エッチング槽内のエッチング液流れを停止させることなく、各注送ラインの注送配管内並びに注送ポンプ内に滞留したガス抜きを順次行うことができる。
【００１９】
そして、本発明の場合、複数の注送ラインと、各注送ラインが備える注送配管及び注送ポンプの稼働／停止を切り換える手段を設けるのみで実現できるため、従来技術のように、噴霧装置等の専用の装置やガス或いは薬剤の継続的供給を必要としない点でも効果がある。また、注送ポンプについても、薬液と共にガスも循環可能にするための負圧発生型のポンプを利用する必要がなく、安価な羽根水車式のポンプで足りる。
【００２０】
上記特徴に加え、本発明に基づく装置に、エッチング槽に循環供給されるエッチング液の流量を測定する流量測定手段を装備せしめ、これにより測定されたエッチング液の流量が所定レベルを下回った時点で、前記注送ライン系統切り換えを行うようにすることで、エッチング槽に注送される液の流量を、常に一定レベル以上に確保することが可能となる。
【００２１】
更にこのとき、注送配管には、エッチング槽からのエッチング液を当該注送配管内に通流させるか否かを制御するための遮断弁が設けられており、制御手段が、この遮断弁の開閉制御、並びに注送ポンプの運転／停止制御を実行するものとしても良い。
【００２２】
また、各系統の注送ラインの注送配管に分岐配管を連結し、ガス抜きバルブの開閉制御によって配管内に滞留するガスを外部に放出するか否かを制御する構成とするのも好適である。このとき、遮断弁の開閉制御、注送ポンプの運転／停止制御に加えて、このガス抜きバルブの開放／遮蔽の制御についても、同一の制御手段によって行われる構成としても良い。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の構成によれば、追加的な薬液の消費や専用の装置を必要とすることなく、簡易な制御によって、エッチング液流量の低下なしにエッチング液を継続的に循環させることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明のエッチング装置の概略構成を示すブロック図
【図２】一系統のみを循環系統として利用したときのエッチング液の流量の時間変化を示すグラフ
【図３】制御装置によって制御される各制御状態を示す表
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態につき、図面を参照して詳細に説明する。
【００２６】
図１に本発明のエッチング装置の概略構成をブロック図で示す。エッチング槽１には、エッチング対象となるシリコン基板１０が設置され、シリコン基板の上方にはエッチング液噴出ノズル１１が存在する。
【００２７】
エッチング槽１の底部には、エッチング液を循環させるための注送配管２Ａ，２Ｂが取り付けられており、このいずれの注送配管からもエッチング液を流出させることができる。
【００２８】
注送配管２Ａには、上流側の位置に、エッチング槽１からのエッチング液の流入を遮断するための遮断弁５Ａが設けられている。また、下流側の位置には、当該注送配管２Ａ内を通流してきたエッチング液をエッチング槽１に送出するのを遮断するための遮断弁６Ａが設けられている。また、注送配管２Ａの途上には、注送ポンプ３Ａが設けられており、遮断弁５Ａ，６Ａを開放した状態で、この注送ポンプ３Ａを稼働させることで、エッチング液の循環が可能な構成となっている。更に、注送配管２Ａには、ガス抜き用の分岐配管７Ａがガス抜きバルブ８Ａと共に設けられている。同様に、注送配管２Ｂには、注送ポンプ３Ｂ，遮断弁５Ｂ及び６Ｂ，ガス抜き用の分岐配管７Ｂが設けられており、この分岐配管７Ｂにはガス抜きバルブ８Ｂが設けられている。
【００２９】
また、注送配管２Ａと２Ｂは、下流側に設置された遮断弁６Ａ，６Ｂよりも更に下流側において、注送配管２Ｃとして合流し、エッチング液噴出ノズル１１へと連絡されている。このエッチング液噴出ノズル１１に連絡される注送配管２Ｃには、当該配管内を通流するエッチング液の流量を測定する流量センサ４が設けられている。この流量センサ４と、遮断弁５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂ、ガス抜きバルブ８Ａ，８Ｂ及び、注送ポンプ３Ａ，３Ｂは、制御装置９との間で通信可能に構成されている。流量センサ４は、一定時間毎に当該単位時間における流量を示す信号を制御装置９に送信するか、或いは、一定流量毎に所定信号を制御装置９に送信する。制御装置９は、流量センサ４の信号を受信し、この信号に基づき、遮断弁５Ａ，５Ｂ，６Ａ，６Ｂ、ガス抜きバルブ８Ａ，８Ｂ及び、注送ポンプ３Ａ，３Ｂの運転制御を行う。
【００３０】
以下、注送ポンプ３Ａを稼働させて、注送配管２Ａと２Ｃを介してエッチング液をエッチング槽１に循環供給させる系統の注送ラインを「注送ラインＡ」と呼ぶ。同様に、注送ポンプ３Ｂを稼働させて、注送配管２Ｂと２Ｃを介してエッチング液をエッチング槽１に循環供給させる系統の注送ラインを「注送ラインＢ」と呼ぶ。
【００３１】
図１の構成において、注送ラインＡのみ遮断弁（５Ａ，６Ａ）を開放し、注送ポンプ（３Ａ）を稼働させる。一方で、注送ラインＡとは別系統の注送ラインである注送ラインＢについては、遮断弁（５Ｂ，６Ｂ）を遮蔽し、注送ポンプ（３Ｂ）を停止させる。すなわち、注送ラインＡのみを用いてエッチング槽１に対してエッチング液を循環供給させる場合を想定する。図２はこのような状態の下で流量センサ４がセンスしたエッチング液の流量データの時間変化を示すグラフである。
【００３２】
図２によれば、初期流量（グラフ上０分時）は０．４５ｍＬ／ｓｅｃ程度であり、これは計測後３分までは変化しない。しかし計測開始から４分が経過すると流量は半分以下に低下し、６分後には１／１０程度になってしまう。このことは、一つの系統の注送ラインだけではエッチング液の循環を安定的に持続できないことを示すものである。そして、図２のデータによれば、一系統の注送ラインでエッチング液の循環が維持できる時間が約３分程度であることが分かる。
【００３３】
本発明のエッチング装置は、制御装置９が、異なる系統の注送ラインＡ，Ｂそれぞれに設けられた注送ポンプ，遮断弁，及びガス抜きバルブを、各注送ラインに応じて図３に示すような各制御状態に制御する。注送ラインＡ，Ｂのどちらから開始しても構わないが、以下では便宜上、注送ラインＡから開始するものとする。
【００３４】
まず、注送ラインＡ上に設けられた遮断弁５Ａ，６Ａを開放し、注送配管２Ａ内をエッチング液が通流可能な状態とする（注送配管２Ａを稼働させる）。そして、注送ポンプ３Ａを稼働させ、注送ラインＡを用いてエッチング槽１にエッチング液を循環供給させる。なお、このとき、エッチング液が分岐配管７Ａから外部に放出されないよう、ガス抜きバルブ８Ａは遮断しておく。
【００３５】
制御装置９は、流量センサ４からの信号を解析し、循環供給されているエッチング液の流量が所定レベル（例えば所期の９０％）まで低下したことを検知すると、注送ラインＡ上の遮断弁５Ａ，６Ａを遮断し、注送配管２Ａ内におけるエッチング液の通流を停止させる（配管２Ａによる注送を停止させる）。更に、稼働状態にあった注送ポンプ３Ａを停止させる。
【００３６】
一方で、制御装置９は、注送ラインＢ上の遮断弁５Ｂ，６Ｂを開放し、注送配管２Ｂ及び注送ポンプ３Ｂを稼働させると共に、ガス抜きバルブ８Ｂを遮蔽する。これにより、注送ラインＢを用いたエッチング液の循環供給が開始される。そして、注送ラインＡの注送配管２Ａ及び注送ポンプ３Ａが停止している状態の下で、ガス抜きバルブ８Ａを開放し、注送配管２Ａ内に滞留していたガスを、分岐配管７Ａを介して外部へ放出させる。この間、前記の通り注送ポンプ３Ａは停止しているため、ポンプを構成する羽根水車や内壁に付着していたガスの気泡も、容易に離脱し、当該ポンプ外へと放出される。
【００３７】
制御装置９は、引き続き流量センサ４からの信号を解析し、エッチング槽１に対して循環供給されるエッチング液の流量の低下が再び観測されると、先ほどと同様、今度は注送ラインＢ上の遮断弁５Ｂ，６Ｂを遮断して、注送配管２Ｂ及び注送ポンプ３Ｂを停止させる一方、注送ラインＡ上の遮断弁５Ａ，６Ａを開放し、注送配管２Ａ及び注送ポンプ３Ａを稼働させ、ガス抜きバルブ８Ａを遮蔽する。注送ラインＡは、直前の注送配管２Ａ及び注送ポンプ３Ａが停止されていた期間内において、既に当該注送配管２Ａ内及び注送ポンプ３Ａ内のガス抜きが実行されたため、エッチング液の循環能力が復活している。よって、エッチング液の循環供給の開始時と同等の流量で、エッチング液の循環を行うことができる。そして、この間、ガス抜きバルブ８Ｂを開放し、停止中の注送ラインＢの注送配管２Ｂ内に滞留したガスを分岐配管７Ｂを介して外部に放出させる。更に、この間、注送ポンプ３Ｂが停止しているため、ポンプを構成する羽根水車や内壁に付着していたガスの気泡も、容易に離脱し、当該ポンプ外へと放出される。
【００３８】
このような制御を繰り返すことで、注送配管内及び注送ポンプ内のガス抜き処理が施された注送ラインを利用してエッチング液の循環供給を行うことができる。そして、前述のように、一系統の注送ラインでエッチング液の循環が確保される時間が３分程度なのに対し、ガス抜きは３０秒程度で終了するので、一系統の注送ラインでエッチング液の循環供給を継続的に実行可能な時間内で、他の系統の注送ラインのガス抜きを完了させることが可能である。従って、循環供給に用いる注送ラインの系統とガス抜きを行う注送ラインの系統を順次切り換えることで、エッチング時に発生したＮＯｘガスに伴う気泡の存在による循環機能を低下させることなく、継続的に循環させることが可能となる。
【００３９】
以下、別実施形態につき説明する。
【００４０】
〈１〉  上記実施形態では、流量センサ４からの信号によって注送配管内を流れるエッチング液の流量が減少したことを検知すると、制御装置９がエッチング液を通流させる系統を切り換える制御を行う構成であった。しかし、どの程度の時間経過によってエッチング液の流量が減少するかを予め把握している場合には、流量センサ４からの信号によることなく単に所定の時間経過毎に系統の切換制御を行うものとしても構わない。例えば、図２のように、３分間は流量がほとんど減少しないことが予め分かっている場合には、制御装置９は、ガス抜きを完了するのに要する時間である３０秒以上、前記３分以下の時間間隔で、循環供給に用いる注送ラインの系統とガス抜きを行う注送ラインの系統を順次切り換える制御を行うものとして良い。
【００４１】
この場合、制御装置９内で系統切り換え後からの経過時間を測定する手段を備えておけば、流量センサ４を備えることなく系統切り換えの制御が可能となる。
【００４２】
〈２〉  図１では注送ラインを２系統で構成したが、３系統以上の注送ラインを備える構成とすることも可能である。ただし、上述したように、一つの系統でエッチング液循環が確保される時間が３分程度なのに対し、ガス抜きは３０秒程度で終了するため、２系統あれば十分にその効果を発揮することができる。
【００４３】
なお、３系統以上の注送ラインを備える場合、理論的には、一系統の注送ラインのガス抜きが完了するのに要する時間以下の時間間隔で、循環供給に利用する注送ラインの切り換え制御を行うことができる。
【００４４】
〈３〉  本発明は、弗酸と硝酸を含むエッチング液を用いることで、エッチング時に生じるＮＯｘガス由来の気泡がエッチング液の循環機能を低下させる問題点を解消する目的でなされたものであるが、同様の問題点を有している他のエッチング液に対しても利用可能である。すなわち、本発明は、エッチング時に生じるガス由来の気泡の存在によってエッチング液循環機能が低下するという問題点を生じさせるエッチング液及び被エッチング対象の組み合わせに対して同様に利用可能である。
【００４５】
〈４〉  図１では、異なる系統である注送ラインＡ及びＢが、エッチング槽１に対してエッチング液を供給するための下流側の配管である注送配管２Ｃを共通にする構成であったが、必ずしも、この注送配管２Ｃのように異なる注送ラインで共通の注送配管を有する必要はない。つまり、注送ラインＡと注送ラインＢは、共通の注送配管で合流することなくノズル１１に連絡され、エッチング槽１に対して循環供給可能に構成されていても良い。この場合、流量センサは、注送ラインＡを構成する注送配管２Ａと、注送ラインＢを構成する注送配管２Ｂの双方において、エッチング液を通流する流量を測定するものとし、注送配管２Ａを通流するエッチング液の流量が減少したら注送ラインＢを稼働させ、注送配管２Ｂの流量が減少したら注送ラインＡを稼働させるものとすれば良い。
【符号の説明】
【００４６】
１：  エッチング槽
２Ａ，２Ｂ，２Ｃ：  注送配管
３Ａ，３Ｂ：  注送ポンプ
４：    流量センサ
５Ａ，５Ｂ：  遮断弁
６Ａ，６Ｂ：  遮断弁
７Ａ，７Ｂ：  分岐配管
８Ａ，８Ｂ：  ガス抜きバルブ
９：  制御装置
１０：  シリコン基板
１１：  ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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