(57)【要約】【課題】装置を動作させても可動部に接続された配管や配線に与える消耗が従来より低減された可動装置を提供する。【解決手段】本体部２１に対して可動する可動部２０を有し、本体部２１と可動部２０とを接続する配管と、本体部２１に対して可動部２０が接近離反する動きに合わせて配管の動きを案内する配管案内部２２２とを備えた可動装置２において、配管として螺旋配管１を使用し、可動部２０の可動方向に沿って可動部２０の可動範囲距離分の長さを有する配管案内部２２２を螺旋配管１の螺旋の内側に挿入し、本体部２１に対して可動部２０が接近離反した際に螺旋配管１が配管案内部２２２に案内されながら可動方向に伸縮するようにして、配管１の消耗を防ぐ。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体部と、
該本体部に対して可動する可動部と、
該本体部と該可動部とを接続する配管と、
該可動部の動きに合わせて該配管の動きを案内する配管案内部と、
を有する可動装置であって、
該配管は螺旋状の螺旋配管であり、
該配管案内部は、該螺旋配管の螺旋の内側に挿入され、該可動部の可動方向に沿って少なくとも該可動部の可動範囲距離分の長さを有し、
該可動部の動きにあわせて該螺旋配管が該配管案内部に案内されながら該可動方向に伸縮する可動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動部に接続された配管または配線を有する可動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
可動部位を有する各種可動装置においては、可動部位に対して流体を供給したり、可動部位において使用された流体を排出したりするために、可動部位に配管が接続されることがある。また、可動部位に対して電源や信号を供給したり、可動部位から出力される信号を読み出したりする場合には、可動部位に配線が接続される。
【０００３】
例えば、半導体ウェーハやパッケージ基板等のワークを分割しても個々のチップがバラバラにならないようにするために、ワークの分割前に粘着テープをワークに貼付する貼付装置には、ワーク保持機構とテープ貼着機構とを相対的に移動させる移動機構を備えており（例えば特許文献１参照）、移動機構には配管または配線が必要となるため、稼働時においてこれらの配線等を保護し装置に悪影響を与えないようにするために、ケーブルベア（登録商標）などと呼ばれる保護手段が用いられていた(例えば特許文献２参照)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１５８０３７号公報
【特許文献２】特開平１１−１２３６９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、ケーブルベア（登録商標）などの保護手段を用いると、装置が動作する度に保護手段の中の配管同士、配線同士が擦れたり、配管や配線と保護手段とが擦れたりして消耗し、配管に穴が空いてしまったり、配線が損傷したりすることがあった。
【０００６】
本発明は、これらの事実に鑑みてなされたものであり、その主な技術的課題は、装置を動作させても可動部に接続された配管や配線に与える消耗が従来より低減された可動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、本体部と、本体部に対して可動する可動部と、本体部と可動部とを接続する配管と、可動部の動きに合わせて配管の動きを案内する配管案内部とを有する可動装置に関するもので、配管は螺旋状の螺旋配管であり、配管案内部は螺旋配管の螺旋の内側に挿入され可動部の可動方向に沿って少なくとも可動部の可動範囲距離分の長さを有し、可動部の動きにあわせて螺旋配管が配管案内部に案内されながら可動方向に伸縮するように構成される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、配管として螺旋配管を使用したことにより、可動部の動きにあわせて配管が伸縮するため、配管同士が擦れて消耗することがない。また、螺旋配管の内側に挿入された配管案内部が螺旋配管の動きを案内するように構成したため、配管が消耗しにくくなる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】螺旋配管の一例を示す斜視図である。
【図２】テープ貼着装置の一例を示す説明図である。
【図３】ウェーハを保持した保持テーブル、移動機構及び螺旋配管を示す平面図である。
【図４】螺旋配管がガイドレールに巻回され保持テーブルに接続された状態を示す斜視図である。
【図５】空洞部を複数備えた螺旋配管の例の一部を示す斜視図である。
【図６】螺旋配管に形成された複数の空洞部の一部を使用した例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１に示す螺旋配管１は、一端から他端まで貫通する空洞部１０を内部に有するチューブ状に形成されている。空洞部１０には、エアや液体等の流体を流したり、ケーブル等の電気的配線を収容したりすることができる。螺旋配管１は、全体が螺旋状に形成され、螺旋形状を維持しながら全体として伸縮することができる。
【００１１】
螺旋配管１としては、例えば株式会社潤工社から提供されているジュンロンＡＴ（ナイロンコイルチューブ）、ジュンロンＡＴ４（極軟質ナイロンコイルチューブ）、ジュンロンＵコイル＆フラット（ポリウレタンコイル・フラットチューブ）、ジュンフロンチューブ（ふっ素樹脂チューブ）などを使用することができる。
【００１２】
螺旋配管１は、本体部に対して可動な可動部を有する可動装置において、可動部に一端を連結し、他端を装置の本体部に連結することにより、本体部と可動部とを接続する配管として使用したり、本体部と可動部とを接続する配線を空洞部１０に収容することにより、配線を被覆するカバーとして使用したりすることができる。螺旋配管１が使用される可動装置としては、例えば図２に示すテープ貼着装置２がある。
【００１３】
このテープ貼着装置２は、テープ貼着の対象となる被貼着物を保持する保持テーブル２０を備えている。保持テーブル２０の上部には、被貼着物を吸着する吸着部２０ａが配設されており、吸着部２０ａの下方にはエアの通り道となるエア流通路２０ｂが形成されている。螺旋配管１の一端はエア流通路２０ｂに接続され、螺旋配管１の他端は本体部２１に設けられた吸引源２１ａに接続されており、吸着部２０ａは、エア流通路２０ｂ及び配管１を介して吸引源２１ａに連通している。
【００１４】
図２に示した例における被貼着物はウェーハＷであり、保持テーブル２にウェーハＷが吸着され、その周囲にはリング状に形成されたフレームＦが吸着されている。
【００１５】
保持テーブル２０は、図３に示す移動機構２２によって水平方向に可動な可動部となっている。移動機構２２は、保持テーブル２０の移動方向の回転軸を有するボールスクリュー２２０と、ボールスクリュー２２０を回動させるモータ２２１と、ボールスクリュー２２０と平行に配設された一対のガイドレール２２２とから構成されている。図４に示すように、ボールスクリュー２２０には、保持テーブル２０の内部に備えたナット２００が螺合しており、ボールスクリューの回動にともないガイドレール２２２にガイドされて保持テーブル２０が水平方向に移動する構成となっている。
【００１６】
図３及び図４に示すように、一対のガイドレール２２２には、それぞれ螺旋配管１が巻回されている。すなわち、ガイドレール２２２は、螺旋配管１の螺旋構造の内側に挿入された状態となっている。図４に示すように、ガイドレール２２２には保持テーブル２の下部が摺接し、図２に示したように、螺旋配管１は保持テーブル２０に接続されており、可動部である保持テーブル２０の移動時において、ガイドレール２２２は、螺旋配管１の伸縮の動きを案内する配管案内部として機能する。配管案内部であるガイドレール２２２は、可動部である保持テーブル２０の可動方向に沿って少なくとも保持テーブル２０の可動範囲距離分の長さを有している。ガイドレール２２２の表面は、例えばテフロン（登録商標）のような摩擦係数の小さいフッ素樹脂材料（PTFE＝ポリテトラフルオロエチレン、PCTFE＝ポリクロロトリフルオロエチレンなど）によって構成されている。
【００１７】
例えば図２に示したウェーハＷとフレームＦとをそれぞれ別系統の配管によって吸着する場合は、図３に示した２つの螺旋配管１の一方がウェーハＷの吸着のための配管として使用され、他方がフレームＦの吸着のための配管として使用される。また、一方の螺旋配管１を吸着のための配管として使用し、他方の螺旋配管１に保持テーブル２０に対する給電等のケーブルを収容して配線として使用するようにしてもよい。
【００１８】
図２に示すように、保持テーブル２０の可動範囲の上方には、剥離紙３０の一方の面にテープＴが貼着されて構成されるテープ保持シート３を保持して送り出す送り機構４が配設されている。この送り機構４は、テープ保持シート３がロール状に巻回されている保持ローラ４０と、テープ保持シート３を送り出す２つの送りローラ４１とから構成される。
【００１９】
テープ保持シート３の送り出し方向の下流側には、テープＴが剥離された後の剥離紙３０を巻き取る巻き取り機構５が配設されている。巻き取り機構５は、剥離紙３０を挟み込んで回転することにより剥離紙３０を引き込むための引き込みローラ５０と、引き込んだ剥離紙３０を巻き取って保持する巻き取りローラ５１とを備えている。
【００２０】
送り機構４の下方には、先端が鋭角状に形成されテープ保持シート３に対して急峻な曲がりを与えて剥離紙３０からテープＴを剥離する剥離部材６と、剥離紙３０から剥離されたテープＴをウェーハＷに対して押圧する押圧ローラ７とが配設されている。
【００２１】
保持ローラ４０に巻かれたテープ保持シート３は、２つの送りローラ４１の間を通り、剥離部材６の先端に掛け回され、さらに２つの引き込みローラ５０の間を通って巻き取りローラ５１に巻きつけられている。
【００２２】
図２に示したウェーハＷの上面にテープＴを貼着する際には、保持ローラ４０に巻かれているテープ保持シート３が送りローラ４１によって送り出される。そうすると、剥離部材６の先端において剥離紙３０からテープＴが剥離され、テープ保持シート３のうち剥離紙３０のみが巻き取り機構５によって巻き取られる。そして、テープ保持シート３を送り続けるとともに、ウェーハＷ及びフレームＦを保持する保持テーブル２０を図２におけるＡ方向に移動させながら、押圧ローラ７によってテープＴをフレームＦ及びウェーハＷに対して押圧すると、フレームＦ及びウェーハＷの上面全面にテープＴが貼着される。こうして１枚のウェーハ及びその周囲のフレームＦに対してテープＴが貼着されると、保持テーブル２０がＢ方向に移動して元の位置に戻り、新たにテープを貼ろうとするウェーハ及びフレームを保持テーブル２０において吸着し、上記と同様の動作により順次テープＴを貼着していく。
【００２３】
このように、保持テーブル２０は、Ａ方向及びＢ方向の往復運動を繰り返す。そして、保持テーブル２０のＡ方向またはＢ方向の移動時は、保持テーブル２０の動きにあわせてその可動方向であるＡ方向またはＢ方向に螺旋配管１が伸縮し、配管案内部であるガイドレール２２２によってその伸縮が案内される。しかし、螺旋配管１は、螺旋構造であるため、繰り返し伸縮しても、従来のように配管同士が擦れることによる消耗は発生しない。また、螺旋配管１の内側に挿入された配管案内部であるガイドレール２２２も、螺旋配管１の動きを案内するのみであり、螺旋配管１とガイドレール２２２との間での摩擦による消耗も少ない。特に、ガイドレール２２２の表面がテフロン（登録商標）のような摩擦係数の小さい部材で構成されている場合は、螺旋配管１の消耗をより効果的に防ぐことができる。なお、螺旋配管１のうち、ガイドレール２２２に対して摺動する箇所には、摩擦に対する補強のためのコーティング等を施してもよい。
【００２４】
また、図２、３に示した例のように、保持テーブル２０の動きをガイドするガイドレール２２２に螺旋配管１の動きをガイドする配管案内部としての機能をも持たせることにより、装置構成を簡略化することができる。なお、保持テーブル２０の動きをガイドするガイドレールと、螺旋配管１の動きをガイドする配管案内部とを別部材としてもよい。
【００２５】
図２に示したように、保持テーブル２の下方にガイドレール２０２及び螺旋配管１が位置している場合は、螺旋配管１の繰り返しの伸縮によってかりに螺旋配管１が消耗して塵が発生したとしても、その塵は降下するため、螺旋配管１よりも上方にあるウェーハＷに悪影響を与えることはない。
【００２６】
図２、３に示した例では、可動部である保持テーブル２０が直線運動し、配管案内部であるガイドレール２２２もそれにあわせて直線状に形成されているが、可動部が直線状でない運動をする場合、例えば円弧を描いて運動するなど曲線状に運動する場合には、配管案内部を曲線状に形成してもよい。
【００２７】
図１に示した螺旋配管１に代えて、図５に示すように内部に複数の空洞部１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ、・・・が形成された螺旋配管１ａを使用することもできる。この螺旋配管１ａを使用すると、複数系統のエアの吸引経路を１つの螺旋配管で実現することができるほか、複数の配線を１つの螺旋配管１ａに収容したり、１つの螺旋配管に吸引経路と配線とを混在させたりすることもできる。
【００２８】
図５に示した螺旋配管１ａを使用する場合は、すべての空洞部を使用してもよいが、一部の空洞部を未使用としてもよい。例えば図５に示した螺旋配管１ａには４つの空洞部１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄを備えているが、図６に示すように、これを螺旋状としてその内側に配管案内部２２２を挿入した状態において、螺旋配管１ａのうち配管案内部２２２と接触するためにその表面が消耗しやすい部分に近い空洞部１０ａ、１０ｂについては未使用とし、配管案内部２２２と接触する部分からは離れた空洞部１０ｃ、１０ｄに例えば配線１００ｃ、１００ｄを収容して使用するようにすれば、空洞部１０ｃ、１０ｄの配管または配線としての機能が、消耗によって阻害されることがなくなる。
【符号の説明】
【００２９】
１、１ａ：螺旋配管
１０、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ：空洞部
２：テープ貼着装置（可動装置）
２０：保持テーブル（可動部）  ２０ａ：吸着部  ２０ｂ：エア流通路  ２００：ナット
２１：本体部  ２１ａ：吸引源
２２：移動機構
２２０：ボールスクリュー  ２２１：モータ  ２２２：ガイドレール（配管案内部）
３：テープ保持シート  ３０：剥離紙
４：送り機構  ４０：保持ローラ  ４１：送りローラ
５：巻き取り機構  ５０：引き込みローラ  ５１：巻き取りローラ
６：剥離部材  ７：押圧ローラ
Ｗ：ウェーハ  Ｆ：フレーム  Ｔ：テープ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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