(57)【要約】      （修正有）【課題】ショットキー接合の逆方向特性についての信頼性が高い半導体素子を実現可能な、半導体素子用のエピタキシャル基板を提供する。【解決手段】下地基板１の上にIII族窒化物層群を（０００１）結晶面が基板面に対し略平行となるよう積層形成した半導体素子用エピタキシャル基板１０が、Ｉｎx1Ａｌy1Ｇａz1Ｎ（ｘ１＋ｙ１＋ｚ１＝１、ｚ１＞０）なる組成の第１のIII族窒化物からなるチャネル層３と、Ｉｎx2Ａｌy2Ｎ（ｘ２＋ｙ２＝１、ｘ２＞０、ｙ２＞０）なる組成の第２のIII族窒化物からなる障壁層５とを備え、第２のIII族窒化物が、短距離規則度パラメータαが０＜α＜１の範囲をみたす短距離規則混晶であるようにする。【選択図】図１
2011066034.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下地基板の上にIII族窒化物層群を（０００１）結晶面が基板面に対し略平行となるよう積層形成した半導体素子用エピタキシャル基板であって、
Ｉｎx1Ａｌy1Ｇａz1Ｎ（ｘ１＋ｙ１＋ｚ１＝１、ｚ１＞０）なる組成の第１のIII族窒化物からなるチャネル層と、
Ｉｎx2Ａｌy2Ｎ（ｘ２＋ｙ２＝１、ｘ２＞０、ｙ２＞０）なる組成の第２のIII族窒化物からなる障壁層と、
を備え、
前記第２のIII族窒化物が、短距離規則度パラメータαが０＜α＜１の範囲をみたす短距離規則混晶である、
ことを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体素子用エピタキシャル基板であって、
前記第２のIII族窒化物が、短距離規則度パラメータαが０．４＜α＜１の範囲をみたす短距離規則混晶である、
ことを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の半導体素子用エピタキシャル基板であって、
前記第２のIII族窒化物のバンドギャップが前記第１のIII族窒化物のバンドギャップよりも大きい、
ことを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の半導体素子用エピタキシャル基板であって、
前記第１のIII族窒化物がＡｌy1Ｇａz1Ｎ（ｙ１＋ｚ１＝１、ｚ１＞０）である、
ことを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板。
【請求項５】
請求項４に記載の半導体素子用エピタキシャル基板であって、
前記第１のIII族窒化物がＧａＮである、
ことを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の半導体素子用エピタキシャル基板であって、
前記第２のIII族窒化物が、Ｉｎx2Ａｌy2Ｎ（ｘ２＋ｙ２＝１、０．１４≦ｘ２≦０．２２）である、
ことを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の半導体素子用エピタキシャル基板であって、
前記チャネル層と前記障壁層との間に、少なくともＡｌを含み、Ｉｎx3Ａｌy3Ｇａz3Ｎ（ｘ３＋ｙ３＋ｚ３＝１）なる組成を有し、前記第２のIII族窒化物よりもバンドギャップが大きい第３のIII族窒化物からなるスペーサ層をさらに備える、
ことを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板。
【請求項８】
請求項７に記載の半導体素子用エピタキシャル基板であって、
前記第３のIII族窒化物がＡｌＮである、
ことを特徴とする半導体素子用エピタキシャル基板。
【請求項９】
半導体素子におけるショットキー接合構造であって、
請求項１ないし請求項８のいずれかに記載のエピタキシャル基板の障壁層の上に金属電極を形成してなることを特徴とするショットキー接合構造。
【請求項１０】
半導体素子におけるIII族窒化物層と金属電極とのショットキー接合構造であって、
前記III族窒化物層が、III族元素としてＩｎとＡｌとを含み、短距離規則度パラメータαが０＜α＜１の範囲をみたす短距離規則混晶からなる、
ことを特徴とするショットキー接合構造。
【請求項１１】
半導体素子におけるIII族窒化物層と金属電極とのショットキー接合の漏れ電流抑制方法であって、
前記III族窒化物層を、III族元素としてＩｎとＡｌとを含み、短距離規則度パラメータαが０＜α＜１の範囲をみたす短距離規則混晶として形成する、
ことを特徴とするショットキー接合構造の漏れ電流抑制方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、III族窒化物半導体により構成される、多層構造を有するエピタキシャル基板、特に、電子デバイス用の多層構造エピタキシャル基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
窒化物半導体は、高い絶縁破壊電界、高い飽和電子速度を有することから次世代の高周波／ハイパワーデバイス用半導体材料として注目されている。例えば、ＡｌＧａＮからなる障壁層とＧａＮからなるチャネル層とを積層してなるＨＥＭＴ（高電子移動度トランジスタ）素子は、窒化物材料特有の大きな分極効果（自発分極効果とピエゾ分極効果）により積層界面（ヘテロ界面）に高濃度の二次元電子ガス（２ＤＥＧ）が生成するという特徴を活かしたものである（例えば、非特許文献１参照）。
【０００３】
ＨＥＭＴ素子用基板の下地基板として、例えばシリコンやＳｉＣのような、III族窒化物とは異なる組成の単結晶（異種単結晶）を用いることがある。この場合、歪み超格子層や低温成長緩衝層などの緩衝層が、初期成長層として下地基板の上に形成されるのが一般的である。よって、下地基板の上に障壁層、チャネル層、および緩衝層をエピタキシャル形成してなるのが、異種単結晶からなる下地基板を用いたＨＥＭＴ素子用基板の最も基本的な構成態様となる。これに加えて、障壁層とチャネル層の間に、２次元電子ガスの空間的な閉じ込めを促進する目的として、厚さ１ｎｍ前後のスペーサ層が設けられることもある。スペーサ層は、例えばＡｌＮなどで構成される。さらには、ＨＥＭＴ素子用基板の最表面におけるエネルギー準位の制御や、電極とのコンタクト特性の改善を目的として、例えばｎ型ＧａＮ層や超格子層からなるキャップ層が、障壁層の上に形成される場合もある。
【０００４】
チャネル層をＧａＮにて形成し、障壁層をＡｌＧａＮにて形成するという、最も一般的な構成の窒化物ＨＥＭＴ素子の場合、ＨＥＭＴ素子用基板に内在する二次元電子ガスの濃度は、障壁層を形成するＡｌＧａＮのＡｌＮモル分率の増加に伴い増加することが知られている（例えば、非特許文献２参照）。二次元電子ガス濃度を大幅に増やすことができれば、ＨＥＭＴ素子の可制御電流密度、すなわち取り扱える電力密度を大幅に向上させることが可能と考えられる。
【０００５】
また、チャネル層をＧａＮにて形成し、障壁層をＩｎＡｌＮにて形成したＨＥＭＴ素子のように、ピエゾ分極効果への依存が小さくほぼ自発分極のみにより高い濃度で二次元電子ガスを生成できる歪の少ない構造を有するＨＥＭＴ素子も注目されている（例えば、非特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】"Highly Reliable 250W High Electron Mobility Transistor Power Amplifier", TOSHIHIDE KIKKAWA, Jpn. J. Appl. Phys. 44,(2005),4896
【非特許文献２】"Gallium Nitride Based High Power Heterojuncion Field Effect Transistors: process Development and Present Status at USCB", Stacia Keller, Yi-Feng Wu, Giacinta Parish, Naiqian Ziang, Jane J. Xu, Bernd P. Keller, Steven P. DenBaars, and Umesh K. Mishra, IEEE Trans. Electron Devices 48, (2001), 552
【非特許文献３】"Can InAlN/GaN be an alternative to high power/high temperature AlGaN/GaN devices?", F. Medjdoub, J.-F. Carlin, M. Gonschorek, E. Feltin, M.A. Py, D. Ducatteau, C. Gaquiere, N. Grandjean, and E. Kohn, IEEE IEDM Tech. Digest in IEEE IEDM 2006, 673
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このようなＨＥＭＴ素子あるいはその作製に用いる多層構造体であるＨＥＭＴ素子用基板を実用化するには、電力密度の増大、高効率化などといった性能向上に関連する課題、ノーマリオフ動作化など機能性向上に関連する課題、高信頼性や低価格化といった基本的な課題、など様々な課題を解決する必要がある。各々の課題につき、活発な取組みがなされている。
【０００８】
その１つに、ショットキー接合特性の向上という課題がある。具体的には、逆方向漏れ電流の抑制や、高耐電圧化などが求められている。
【０００９】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、ショットキー接合の逆方向特性についての信頼性が高い半導体素子を実現可能な、半導体素子用のエピタキシャル基板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、下地基板の上にIII族窒化物層群を（０００１）結晶面が基板面に対し略平行となるよう積層形成した半導体素子用エピタキシャル基板であって、Ｉｎx1Ａｌy1Ｇａz1Ｎ（ｘ１＋ｙ１＋ｚ１＝１、ｚ１＞０）なる組成の第１のIII族窒化物からなるチャネル層と、Ｉｎx2Ａｌy2Ｎ（ｘ２＋ｙ２＝１、ｘ２＞０、ｙ２＞０）なる組成の第２のIII族窒化物からなる障壁層と、を備え、前記第２のIII族窒化物が、短距離規則度パラメータαが０＜α＜１の範囲をみたす短距離規則混晶である、ことを特徴とする。
【００１１】
請求項２の発明は、請求項１に記載の半導体素子用エピタキシャル基板であって、前記第２のIII族窒化物が、０．４＜α＜１の範囲をみたす短距離規則混晶である、ことを特徴とする。
【００１２】
請求項３の発明は、請求項１または請求項２に記載の半導体素子用エピタキシャル基板であって、前記第２のIII族窒化物のバンドギャップが前記第１のIII族窒化物のバンドギャップよりも大きい、ことを特徴とする。
【００１３】
請求項４の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の半導体素子用エピタキシャル基板であって、前記第１のIII族窒化物がＡｌy1Ｇａz1Ｎ（ｙ１＋ｚ１＝１、ｚ１＞０）である、ことを特徴とする。
【００１４】
請求項５の発明は、請求項４に記載の半導体素子用エピタキシャル基板であって、前記第１のIII族窒化物がＧａＮである、ことを特徴とする。
【００１５】
請求項６の発明は、請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の半導体素子用エピタキシャル基板であって、前記第２のIII族窒化物が、Ｉｎx2Ａｌy2Ｎ（ｘ２＋ｙ２＝１、０．１４≦ｘ２≦０．２２）である、ことを特徴とする。
【００１６】
請求項７の発明は、請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の半導体素子用エピタキシャル基板であって、前記チャネル層と前記障壁層との間に、少なくともＡｌを含み、Ｉｎx3Ａｌy3Ｇａz3Ｎ（ｘ３＋ｙ３＋ｚ３＝１）なる組成を有し、前記第２のIII族窒化物よりもバンドギャップが大きい第３のIII族窒化物からなるスペーサ層をさらに備える、ことを特徴とする。
【００１７】
請求項８の発明は、請求項７に記載の半導体素子用エピタキシャル基板であって、前記第３のIII族窒化物がＡｌＮである、ことを特徴とする。
【００１８】
請求項９の発明は、半導体素子におけるショットキー接合構造であって、請求項１ないし請求項８のいずれかに記載のエピタキシャル基板の障壁層の上に金属電極を形成してなることを特徴とする。
【００１９】
請求項１０の発明は、半導体素子におけるIII族窒化物層と金属電極とのショットキー接合構造であって、前記III族窒化物層がＩｎxＡｌyＮ（ｘ＋ｙ＝１、ｘ＞０、ｙ＞０）なる組成のIII族窒化物であって、短距離規則度パラメータαが０＜α＜１の範囲をみたす短距離規則混晶からなる、ことを特徴とする。
【００２０】
請求項１１の発明は、半導体素子におけるIII族窒化物層と金属電極とのショットキー接合の漏れ電流抑制方法であって、前記III族窒化物層を、III族元素としてＩｎとＡｌとを含み、短距離規則度パラメータαが０＜α＜１の範囲をみたす短距離規則混晶として形成する、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
請求項１ないし請求項１１の発明によれば、ショットキー接合の逆方向特性に関する信頼性に優れた半導体素子を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の形態に係るエピタキシャル基板１０の構成を概略的に示す断面模式図である。
【図２】実施例に係るエピタキシャル基板の組成および短距離規則度パラメータαの値と、該エピタキシャル基板を用いて作製したショットキーダイオード素子について対し行った測定の結果とを、一覧にして示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
＜エピタキシャル基板の構成＞
図１は、本発明の実施の形態に係るエピタキシャル基板１０の構成を概略的に示す断面模式図である。エピタキシャル基板１０は、下地基板１と、バッファ層２と、チャネル層３と、スペーサ層４と、障壁層５とが積層形成された構成を有する。なお、図１における各層の厚みの比率は、実際のものを反映したものではない。バッファ層２と、チャネル層３と、スペーサ層４と、障壁層５とはいずれも、ＭＯＣＶＤ法（有機金属化学的気相成長法）を用いてエピタキシャル形成される（詳細は後述）のが好適な一例である。
【００２４】
以降においては、各層の形成にＭＯＣＶＤ法を用いる場合を対象に説明を行うが、良好な結晶性を有するように各層を形成できる手法であれば、他のエピタキシャル成長手法、例えば、ＭＢＥ、ＨＶＰＥ、ＬＰＥなど、種々の気相成長法や液相成長法の中から適宜選択した手法を用いてもよいし、異なる成長法を組み合わせて用いる態様であってもよい。
【００２５】
下地基板１は、その上に結晶性の良好な窒化物半導体層を形成できるものであれば、特段の制限なく用いることができる。単結晶６Ｈ−ＳｉＣ基板を用いるのが好適な一例であるが、サファイア、Ｓｉ、ＧａＡｓ、スピネル、ＭｇＯ、ＺｎＯ、フェライトなどからなる基板を用いる態様であってもよい。
【００２６】
また、バッファ層２は、その上に形成されるチャネル層３、スペーサ層４、および障壁層５の結晶品質を良好なものとするべく、ＡｌＮにて数百ｎｍ程度の厚みに形成される層である。例えば、２００ｎｍの厚みに形成するのが好適な一例である。
【００２７】
チャネル層３は、Ｉｎx1Ａｌy1Ｇａz1Ｎ（ｘ１＋ｙ１＋ｚ１＝１）なる組成のIII族窒化物にて、数μｍ程度の厚みに形成される層である。好ましくは、チャネル層３はＡｌy1Ｇａz1Ｎ（ｙ１＋ｚ１＝１、ｚ１＞０）組成のIII族窒化物にて形成され、より好ましくは、ＧａＮにて形成される。
【００２８】
一方、障壁層５は、Ｉｎx2Ａｌy2Ｎ（ｘ２＋ｙ２＝１、ｘ２＞、ｙ２＞０）なる組成を有するIII族窒化物にて、数ｎｍ〜数十ｎｍ程度の厚みに形成される層である。好ましくは０．１４≦ｘ２≦０．２２である。ｘ２の値がこの範囲の外にある場合は、障壁層５に作用する歪みが±０．５％を超えることとなり、ショットキー接合の信頼性に及ぼす結晶歪みの影響が大きくなり始めるため好ましくない。ただし、障壁層５は、短距離規則混晶として形成されてなる。障壁層５の詳細については後述する。
【００２９】
また、チャネル層３と障壁層５の間にはスペーサ層４が設けられる。スペーサ層４は、Ｉｎx3Ａｌy3Ｇａz3Ｎ（ｘ３＋ｙ３＋ｚ３＝１）なる組成を有し、少なくともＡｌを含むIII族窒化物にて、０．５ｎｍ〜１．５ｎｍの範囲の厚みで形成される層である。
【００３０】
このような層構成を有するエピタキシャル基板１０においては、チャネル層３とスペーサ層４の界面に（より詳細には、チャネル層３の当該界面近傍に）二次元電子ガスが高濃度に存在する二次元電子ガス領域３ｅが形成される。
【００３１】
好ましくは、スペーサ層４と障壁層５とはそれぞれ、スペーサ層４を構成するIII族窒化物のバンドギャップが、障壁層５を構成するIII族窒化物のバンドギャップ以上となる組成範囲をみたして形成されてなる。係る場合、合金散乱効果が抑制され、二次元電子ガスの濃度および移動度が向上する。より好ましくは、スペーサ層４はＡｌＮ（ｘ３＝０、ｙ３＝１、ｚ３＝０）にて形成される。係る場合、スペーサ層４がＡｌとＮの二元系化合物となるので、Ｇａを含む３元系化合物の場合よりもさらに合金散乱効果が抑制され、二次元電子ガスの濃度および移動度が向上することとなる。なお、係る組成範囲についての議論は、スペーサ層４が不純物を含有することを除外するものではない。
【００３２】
なお、エピタキシャル基板１０においてスペーサ層４を備えるのは必須の態様ではなく、チャネル層３の上に直接に障壁層５を形成する態様であってもよい。係る場合、チャネル層３と障壁層５の界面に二次元電子ガス領域３ｅが形成される。
【００３３】
以上のような構成を有するエピタキシャル基板１０に対し、電極パターンその他の構成要素を適宜に設けることによって、ＨＥＭＴ素子やダイオード素子などの種々の半導体素子を得ることができる。
【００３４】
＜障壁層＞
上述したように、本実施の形態に係るエピタキシャル基板１０においては、Ｉｎx2Ａｌy2Ｎ（ｘ２＋ｙ２＝１、ｘ２＞、ｙ２＞０）なる組成のIII族窒化物からなる障壁層５が、短距離規則混晶として形成されてなる。以下、障壁層５についてより詳細に説明する。
【００３５】
まず、短距離規則混晶を規定するパラメータである短距離規則度パラメータαについて説明する。短距離規則度パラメータαとは、一般的にいえば、ある原子の格子位置の周りの最近接格子位置に異種原子が存在する程度を表す指標であり、Ｘ線散漫散乱法を用いた公知の手法により評価することができる。
【００３６】
障壁層５を構成するＩｎx2Ａｌy2Ｎなる組成の三元窒化物混晶の場合、六方晶のウルツ鉱型構造が安定構造であり、III族原子の座標が（０，０，０）と（１／３，２／３，１／２）とを占めるとすると、窒素原子が（０，０，３／８）と（１／３，２／３，７／８）とを占める。すなわち、六方晶のウルツ鉱型構造においては、III族原子の副格子と窒素原子の副格子とがｃ軸方向に３／８だけずれて配置されている。これにより、一つのIII族原子（または窒素原子）の周りを窒素原子（またはIII族原子）による四面体が囲んだ構造となっており、III族原子は、窒素原子を介して他のIII族副格子上の最近接原子であるIII族原子と結合している。ただし、全てのIII族原子についての窒素原子との結合は等価であるので、III族原子の副格子のみを考慮することで、III族原子の配列に関する短距離規則度パラメータαを求めることができる。
【００３７】
具体的には、III族原子の副格子のある格子点に位置するＩｎ原子に着目し、該格子点の最近接格子点にＡｌ原子を見出す確率をＰIn-Alとすると、短距離規則度パラメータαは次式で定義される。
【００３８】
α＝１−ＰIn-Al／ｘ２      ・・・（１）
（１）式より、Ｉｎ原子の最近接格子位置におけるＡｌ原子の存在比率が組成比と同じ（ＰIn-Al＝ｘ２）であるときにα＝０、組成比よりもＡｌ原子の存在比率が大きい（ＰIn-Al＞ｘ２）ときにα＜０、組成比よりもＡｌ原子の比率が小さい（ＰA-B＜ｘ）ときにα＞０となる。理論上−１＜α＜１である（α＝−１の場合はＡｌ原子のみが存在することになり、α＝１の場合はＩｎ原子のみが存在することになる）。α＜０は、相異なる原子が交互に配列する度合いが強いことを表しており、α＞０は、同種原子が近接してクラスターを形成する度合いが強いことを表している。
【００３９】
本実施の形態においては、０＜α＜１をみたす結晶層を、短距離規則混晶と称することとする。そして、障壁層５をこの短距離規則混晶として形成する。これにより、エピタキシャル基板１０を用いて作製した半導体素子におけるショットキー接合特性が従来よりも向上する。具体的には、逆方向漏れ電流が経時的に抑制されるとともに、高耐電圧化が実現される。例えば、１５０℃で２００Ｖ印加の４８時間連続通電を行った後であっても、漏れ電流は、１×１０-5Ａ／ｃｍ2以下に保たれる。また、素子破壊に至るまでの耐電圧は約１２００Ｖ以上となる。特に、０．４＜α＜１．０をみたす場合には、１６００Ｖ以上というより高い耐電圧が実現される。
【００４０】
以上、説明したように、本実施の形態によれば、エピタキシャル基板の障壁層をＩｎＡｌＮの短距離規則混晶として形成することで、これを用いて作製する半導体素子におけるショットキー接合特性が改善され、ショットキー接合の逆方向特性についての信頼性が高い半導体素子が実現される。
【００４１】
＜エピタキシャル基板の作製方法＞
次に、上述のような構成を有するエピタキシャル基板１０を作製する方法を説明する。
【００４２】
エピタキシャル基板１０の作製は、公知のＭＯＣＶＤ炉を用いて行うことができる。具体的には、Ｉｎ、Ａｌ、Ｇａについての有機金属（ＭＯ）原料ガス（ＴＭＩ、ＴＭＡ、ＴＭＧ）と、アンモニアガスと、水素ガスと、窒素ガスとをリアクタ内に供給可能に構成されてなるＭＯＣＶＤ炉を用いる。
【００４３】
まず、例えば（０００１）面方位の２インチ径の６Ｈ−ＳｉＣ基板などを下地基板１として用意し、該下地基板１を、ＭＯＣＶＤ炉のリアクタ内に設けられたサセプタの上に設置する。リアクタ内を真空ガス置換した後、リアクタ内圧力を５ｋＰａ〜５０ｋＰａの間の所定の値に保ちつつ、水素／窒素混合フロー状態の雰囲気を形成した上で、サセプタ加熱によって基板を昇温する。
【００４４】
サセプタ温度がバッファ層形成温度である９５０℃〜１２５０℃の間の所定温度（例えば１０５０℃）に達すると、Ａｌ原料ガスとＮＨ3ガスをリアクタ内に導入し、バッファ層２としてのＡｌＮ層を形成する。
【００４５】
ＡｌＮ層が形成されると、サセプタ温度を所定のチャネル層形成温度に保ち、チャネル層３の組成に応じた有機金属原料ガスとアンモニアガスをリアクタ内に導入し、チャネル層３としてのＩｎx1Ａｌy1Ｇａz1Ｎ層（ただし、ｘ１＝０、０≦ｙ１≦０．３）を形成する。ここで、チャネル層形成温度Ｔ１は、９５０℃以上１２５０℃以下の温度範囲から、チャネル層３のＡｌＮモル分率ｙ１の値に応じて定められる値である。なお、チャネル層３形成時のリアクタ圧力には特に限定はなく、１０ｋＰａから大気圧（１００ｋＰａ）の範囲から適宜選ぶことができる。
【００４６】
Ｉｎx1Ａｌy1Ｇａz1Ｎ層が形成されると、次いで、サセプタ温度を保ったまま、リアクタ内を窒素ガス雰囲気に保ち、リアクタ圧力を１０ｋＰａとした後、有機金属原料ガスとアンモニアガスとをリアクタ内に導入して、スペーサ層４としてのＩｎx3Ａｌy3Ｇａz3Ｎ層を所定の厚みに形成する。
【００４７】
Ｉｎx3Ａｌy3Ｇａz3Ｎ層が形成されると、障壁層５となるＩｎx2Ａｌy2Ｎを形成するために、サセプタ温度を６５０℃以上８００℃以下の所定の障壁層形成温度に保ち、リアクタ内圧力が１ｋＰａ〜３０ｋＰａの間の所定の値に保たれるようにする。そして、アンモニアガスと、障壁層５の組成に応じた流量比の有機金属原料ガスとを、いわゆるＶ／III比が３０００以上２００００以下の間の所定の値となるようにリアクタ内に導入する。その際、障壁層形成温度、リアクタ内圧力、およびＶ／III比を適宜に制御することによって、障壁層５の堆積成長が進行する際の構成原子種（Ｉｎ、Ａｌ、Ｎ）の表面マイグレーションを抑制すればするほど、障壁層５は、短距離規則度パラメータαの値が大きな結晶層として形成される。より具体的には、表面マイグレーションの抑制は、サセプタ温度を低く、リアクタ圧力を高く、原料投入レートを早くすることで実現されやすいが、これはあくまで一般的な傾向である。実態的には、表面マイグレーションの抑制に適した障壁層の成長条件は、エピタキシャル基板１０の作製に用いるリアクタの構造によって左右されるため、一意的に決められるものではない。障壁層５が形成されれば、エピタキシャル基板１０が作製されたことになる。
【実施例】
【００４８】
本実施例では、障壁層の組成および短距離規則度αの値が異なる複数のエピタキシャル基板を形成した。障壁層の組成は、Ｉｎ0.14Ａｌ0.86Ｎ、Ｉｎ0.18Ａｌ0.82Ｎ、Ｉｎ0.22Ａｌ0.78Ｎの３水準とし、短距離規則度αについては、負の場合および正の場合をともに含む６水準とした。
【００４９】
具体的には、まず、下地基板として（０００１）面方位の３インチ径６Ｈ−ＳｉＣ基板を複数枚用意した。それぞれの基板について、ＭＯＣＶＤ炉リアクタ内に設置し、真空ガス置換した後、リアクタ内圧力を３０ｋＰａとし、水素／窒素混合フロー状態の雰囲気を形成した。次いで、サセプタ加熱によって下地基板を昇温した。
【００５０】
サセプタ温度が１０５０℃に達すると、ＴＭＡバブリングガスとアンモニアガスをリアクタ内に導入し、バッファ層として厚さ２００ｎｍのＡｌＮ層を形成した。
【００５１】
続いて、サセプタ温度を所定の温度とし、有機金属原料ガスとしてのＴＭＧバブリングガスとアンモニアガスとを所定の流量比でリアクタ内に導入し、チャネル層としてのＧａＮ層を２μｍの厚みに形成した。
【００５２】
チャネル層が得られると、リアクタ圧力を１０ｋＰａとし、次いでＴＭＡバブリングガスとアンモニアガスをリアクタ内に導入し、スペーサ層として厚さ１．２ｎｍのＡｌＮ層を形成した。
【００５３】
スペーサ層を形成した後、続いて、障壁層を１６ｎｍの厚みに形成した。その際には、目標組成の障壁層が形成される条件をみたしつつ、試料ごとにサセプタ温度、リアクタ圧力およびＶ／III比を違えることにより、同じ組成であっても試料ごとに短距離規則度パラメータαの値が異なるようにした。
【００５４】
障壁層が形成された後、サセプタ温度を室温付近まで降温し、リアクタ内を大気圧に復帰させた後、作製されたエピタキシャル基板を取り出した。これにより、エピタキシャル基板が得られた。
【００５５】
得られたエピタキシャル基板の障壁層について、Ｘ線散漫散乱測定を行い、（１）式に従って短距離規則度パラメータαを求めた。
【００５６】
次に、電気特性を評価するために、得られたエピタキシャル基板を用いて同心円型ショットキーダイオード素子を作製した。同心円電極パターンの外側に位置するカソードオーミック電極としては、Ｔｉ／Ａｌ／Ｎｉ／Ａｕ（それぞれの膜厚は２５／７５／１５／１００ｎｍ）からなる金属層を用いた。このオーミック電極については、コンタクト特性を良好なものにするために、８００℃の窒素ガス雰囲気中にて３０秒間の熱処理を施した。さらに同心円パターンの内側に位置するアノードショットキー電極としては、Ｐｔ／Ａｕ（それぞれの膜厚は２０／２００ｎｍ）からなる金属層を用いた。尚、アノード電極の直径は２００μｍとし、電極間隔は１０μｍとした。
【００５７】
得られたショットキーダイオード素子について、初期特性として室温で４０Ｖ印加時の漏れ電流を測定した。次いで、１５０℃にて２００Ｖ印加した状態の連続通電を４８時間行った後、再び、室温で４０Ｖ印加時の漏れ電流を測定した。また、素子破壊に至る耐電圧を測定した。図２は、それぞれのエピタキシャル基板の組成および短距離規則度パラメータαの値と、該エピタキシャル基板を用いて作製したショットキーダイオード素子について対し行った上記の測定の結果とを、一覧にして示す図である。
【００５８】
図２に示すように、α＞０である試料においては、連続通電試験後の漏れ電流が初期特性と比較して変化しておらず、１×１０-5Ａ／ｃｍ2以下に保たれていたのに対して、α＜０である試料においては、連続通電により漏れ電流が増加していた。また、α＞０である試料においては、素子破壊に至るまでの耐電圧は約１２００Ｖ以上であったのに対して、α＜０である試料においては、耐電圧は４５０Ｖ以下という低い値であった。なお、短距離規則度パラメータαが０．４＜α＜１．０をみたす場合には、１６００Ｖ以上というより高い耐電圧が得られた。
【００５９】
係る結果は、障壁層を短距離規則度パラメータαが０＜α＜１をみたす短距離規則混晶として形成することが、ショットキー接合の逆方向特性を向上させ、信頼性を高めるうえで有効であること、さらには、０．４＜α＜１をみたす場合にはより高い耐電圧が得られることを示している。
【符号の説明】
【００６０】
１  下地基板
２  バッファ層
３  チャネル層
３ｅ  二次元電子ガス領域
４  スペーサ層
５  障壁層
１０  エピタキシャル基板
【図１】
2011066034.tif 000003
【図２】
2011066034.tif 000004
【手続補正書】
【提出日】平成22年6月17日(2010.6.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項１０の発明は、半導体素子におけるIII族窒化物層と金属電極とのショットキー接合構造であって、前記III族窒化物層が、III族元素としてＩｎとＡｌとを含み、短距離規則度パラメータαが０＜α＜１の範囲をみたす短距離規則混晶からなる、ことを特徴とする。