(57)【要約】【課題】複数のタイミングエッジ発生回路のそれぞれのタイミング補正を行うときに、タイミング補正を行うための設定内容を単純化させることを目的とする。【解決手段】波形を発生する波形発生装置１であって、波形のタイミングを規定するタイミングエッジデータＴＥＤを生成する複数のタイミングエッジデータ生成部３と、タイミングエッジデータＴＥＤを入力して、この入力したタイミングエッジデータＴＥＤのタイミングでタイミングエッジＴＥを発生する複数のタイミングエッジ発生部４と、タイミングエッジに基づいて波形を発生するフリップフロップ７と、タイミングエッジデータＴＥＤの出力先を任意のタイミングエッジ発生部４に変更可能にした出力変更部１４と、を備えている。【選択図】  図１
2011151704.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
波形を発生する波形発生装置であって、
前記波形のタイミングを規定するタイミングエッジデータを生成する複数のタイミングエッジデータ生成部と、
前記タイミングエッジデータを入力して、この入力したタイミングエッジデータのタイミングでタイミングエッジを発生する複数のタイミングエッジ発生部と、
前記タイミングエッジに基づいて波形を発生する波形発生部と、
前記タイミングエッジデータの出力先を任意のタイミングエッジ発生部に変更可能にした出力変更部と、
を備えたことを特徴とする波形発生装置。
【請求項２】
波形を立ち上げるためのタイミングエッジを発生させる１つのタイミングエッジ発生部と波形を立ち下げるためのタイミングエッジを発生させる１つのタイミングエッジ発生部とをセットとして構成した複数のタイミングエッジ発生部セットと、
異なるタイミングのタイミングエッジデータを生成する２つのタイミングエッジデータ生成部をセットとして構成した複数のタイミングエッジデータ生成部セットと、
を備え、
前記出力変更部は前記タイミングエッジデータ発生部セットから出力される２つのタイミングエッジデータから構成されるタイミングエッジデータセットの出力先を前記タイミングエッジ発生部セットごとに変更すること
を特徴とする請求項１記載の波形発生装置。
【請求項３】
前記出力変更部は、前記タイミングエッジデータ生成部セットのうち１つのタイミングエッジデータ生成部セットから出力されるタイミングエッジデータセットの出力先を全てのタイミングエッジ発生部セットに変更可能にしたこと
を特徴とする請求項２記載の波形発生装置。
【請求項４】
前記タイミングエッジデータセットを構成する２つのタイミングエッジデータを入れ替える入替部を備えたこと
を特徴とする請求項２記載の波形発生装置。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れか１項に記載の波形発生装置を備えたことを特徴とする半導体試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定の波形を発生するための波形発生装置およびこの波形発生装置を適用した半導体試験装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
所定の波形を出力させるための波形発生装置が従来から用いられている。近年の波形発生装置は多様なパターンの波形を出力できるようになっており、例えばＮＲＺ（Non Return to Zero）やＲＺ（Return to Zero）、Ｒ１（Return to One）、ＳＢＣ（サラウンドバイコンプリメント）等の多様なパターンの波形を出力できるように構成されている。
【０００３】
波形発生装置には波形を出力するタイミングを規定するためのタイミングエッジを発生するタイミングエッジ発生回路が設けられており、この回路から出力されるタイミングエッジにより波形が出力される。そして、多様なパターンの波形を出力可能にすべく、波形発生装置には複数のタイミングエッジ発生回路を備えるようにする。複数のタイミングエッジ発生回路から出力されたタイミングエッジは最終的には合成されて、任意のパターンの波形が出力される。
【０００４】
このとき、複数のタイミングエッジ発生回路にはそれぞれ特有の回路特性があることから、固有のタイミング誤差を生じる。また、タイミングエッジ発生回路と波形発生装置の波形を出力する出力端との間には経路誤差も生じていることから、タイミング誤差を生じる。従って、タイミングエッジには所定のタイミング誤差を生じており、当該タイミング誤差はタイミングエッジごとに異なる。このため、タイミングエッジごとにタイミング誤差の補正を行う必要がある。
【０００５】
このために、各タイミングエッジ発生回路の出力側にそれぞれタイミングエッジに対して所定の遅延を与えることによりタイミング補正を行う技術が特許文献１に開示されている。この技術では、ＮＲＺ、ＲＺ、ＳＢＣといった波形を出力するために３つの波形発生回路を設けており、波形発生回路ごとにタイミング補正用の可変遅延回路を２つ設けている。このうち、１つの可変遅延回路は波形の立ち上がりタイミングを補正するための回路であり、もう１つの可変遅延回路は波形の立ち下りタイミングを補正するための回路である。そして、この技術では、波形発生回路ごとにパターン情報を持たせるのではなく、全ての波形発生回路に共通のパターン情報を入力している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平８−２６２１１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
タイミングエッジのタイミング補正を行うためには、タイミング誤差をタイミングエッジごとに検出しなければならない。タイミング誤差の検出を行うときには、補正対象となるタイミングエッジをタイミングエッジ発生回路から出力させて、その波形変化点を検出することにより行う。そして、タイミング誤差の検出は１周期（１テスト周期）のうち補正対象となるタイミングエッジによって最初に波形変化を生じさせるようにする。これにより、１周期のうち最初に波形変化を生じるまでの時間を検出でき、この検出した時間と本来検出されるべき時間との間に生じている差分を得ることができる。この差分がタイミング誤差となる。
【０００８】
また、高い精度のタイミング補正を行うためには、タイミングエッジ発生回路からタイミングエッジを繰り返し出力させて出力波形の検出を行い、複数のタイミング誤差のサンプルを得るようにする。そして、得られたサンプルを平均化等の所定の演算を施して、タイミング誤差の検出精度を高め、もってタイミング補正の補正精度を向上させる。
【０００９】
このため、１周期（１テスト周期）の間に立ち上がるようなタイミングエッジを出力させるタイミングエッジのタイミング補正を行うときには、同じ周期の間に再び波形を立ち下げるようにしなければならない。また、１周期の間に立ち下がるようなタイミングエッジのタイミング補正を行うときには、同じ周期の間に再び波形を立ち上げるようにしなければならない。従って、タイミング誤差を検出するためにタイミングエッジ発生回路から出力させる波形は特定のパターン（「０→１→０」または「１→０→１」に変化するパターンの波形）になる。
【００１０】
この点、例えば特許文献１の波形発生回路はパターン情報とタイミング信号とによって制御されており、所望パターンの波形を出力させるためには３つの波形発生回路の何れを駆動させるかの設定も行わなければならない。このために、少なくとも３種類の設定作業が必要になる。近年の波形発生装置は、タイミングエッジ発生回路（波形発生回路）の個数を増加させて多様な波形パターンを発生させるようにしているため、１つの波形パターンを出力させるための設定内容は非常に複雑になる。
【００１１】
前述したように、タイミングエッジのタイミング誤差を検出するためには、補正対象のタイミングエッジが１周期の間に最初に波形変化を生じさせ、且つ出力させる波形としては特定のパターンになるようにしなければならないため、タイミング補正のための設定が複雑なものになる。特に、近年の波形発生装置のように多数のタイミングエッジ発生回路の個数が設けられている場合には、極めて複雑な設定内容になる。このために、非常に煩雑な設定工程が要求され、且つ設定ミスを生じるおそれもあることから、設定ミスを校正するための校正工程も必要になる。
【００１２】
そこで、本発明は、複数のタイミングエッジのタイミング補正を行うときに、タイミング補正を行うための設定内容を単純化させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
以上の課題を解決するため、本発明の請求項１の波形発生装置は、波形を発生する波形発生装置であって、前記波形のタイミングを規定するタイミングエッジデータを生成する複数のタイミングエッジデータ生成部と、前記タイミングエッジデータを入力して、この入力したタイミングエッジデータのタイミングでタイミングエッジを発生する複数のタイミングエッジ発生部と、前記タイミングエッジに基づいて波形を発生する波形発生部と、前記タイミングエッジデータの出力先を任意のタイミングエッジ発生部に変更可能にした出力変更部と、を備えたことを特徴とする。
【００１４】
この波形発生装置によれば、タイミングエッジデータの出力先を任意のタイミングエッジデータ生成部に変更可能にしている。これにより、一部のタイミングエッジデータ生成部だけを選択的に使用して、全てのタイミングエッジ発生部からタイミングエッジを出力させることができる。このため、タイミング補正のための設定内容を単純化させることができるようになる。
【００１５】
本発明の請求項２の波形発生装置は、請求項１記載の波形発生装置であって、波形を立ち上げるためのタイミングエッジを発生させる１つのタイミングエッジ発生部と波形を立ち下げるためのタイミングエッジを発生させる１つのタイミングエッジ発生部とをセットとして構成した複数のタイミングエッジ発生部セットと、異なるタイミングのタイミングエッジデータを生成する２つのタイミングエッジデータ生成部をセットとして構成した複数のタイミングエッジデータ生成部セットと、を備え、前記出力変更部は前記タイミングエッジデータ発生部セットから出力される２つのタイミングエッジデータから構成されるタイミングエッジデータセットの出力先を前記タイミングエッジ発生部セットごとに変更することを特徴とする。
【００１６】
この波形発生装置によれば、波形立ち上げおよび立ち下げのための２つのタイミングエッジ発生部を１つのセットとして構成し、タイミングエッジも２つを１つのセットとして構成して、セットごとに出力先を変更していることで、設定内容をさらに単純化させることができるようになる。
【００１７】
本発明の請求項３の波形発生装置は、請求項２記載の波形発生装置であって、前記出力変更部は、前記タイミングエッジデータ生成部セットのうち１つのタイミングエッジデータ生成部セットから出力されるタイミングエッジデータセットの出力先を全てのタイミングエッジ発生部セットに変更可能にしたことを特徴とする。
【００１８】
この波形発生装置によれば、１つのタイミングエッジデータ生成部セットのみを使用して、全てのタイミングエッジ発生部のタイミング補正を行うことができるようになる。これにより、設定内容をさらに単純化させることができるようになる。
【００１９】
本発明の請求項４の波形発生装置は、請求項２記載の波形発生装置であって、前記タイミングエッジデータセットを構成する２つのタイミングエッジデータを入れ替える入替部を備えたことを特徴とする。
【００２０】
この波形発生装置によれば、１つのセットの中の２つのタイミングエッジデータを入れ替えることで、波形立ち上げと波形立ち下げとのパターンを入れ替えることができるようになる。これにより、入替部の制御を行うだけで、波形立ち上げと立ち下げとに対応した２つのタイミングエッジ発生部についてほぼ同じ設定内容でタイミング補正を行うことができるようになる。
【００２１】
本発明の請求項５の半導体試験装置は、請求項１乃至４の何れか１項に記載の波形発生装置を備えたことを特徴とする。
【００２２】
前述した波形発生装置は、被試験デバイス（半導体デバイス）に所定の波形を入力して試験を行う半導体試験装置に適用することができる。半導体試験装置に備えた波形発生装置から被試験デバイスに波形を入力し、被試験デバイスからの信号に基づいて良否判定を行う。このような半導体試験装置に前述した波形発生装置を適用することができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明は、タイミングエッジデータの出力先を任意のタイミングエッジデータ生成部に変更するための出力変更部を備えているため、タイミングエッジデータの設定内容を単純化させることができる。また、タイミングエッジ発生部を立ち上げ用と立ち下げ用とで１つのセットとし、２つのタイミングエッジデータを１つのセットとして、セットごとに出力先を変更していることから、設定内容をさらに単純化させることができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】実施形態の半導体試験装置の概略構成を示すブロック図である。
【図２】図１の構成から出力変更部および出力変更制御部を除いた図である。
【図３】第１の例におけるノーマルモードの波形パターンを示す図である。
【図４】第１の例におけるダブルモードの波形パターンを示す図である。
【図５】第２の例におけるノーマルモードの波形パターンを示す図である。
【図６】第２の例におけるダブルモードの波形パターンを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。本発明の波形発生装置は任意の波形を発生して出力する装置になる。波形を入力させる対象としては、種々のものを適用できるが、例えば半導体試験装置における被試験デバイス（ＤＵＴ：Device Under Test）を適用できる。半導体試験装置においては、ＤＵＴに波形を入力して、ＤＵＴからの応答に基づいて良否判定を行う。従って、ＤＵＴに入力する波形を発生する波形発生装置に本発明を適用できる。勿論、波形を入力させる対象はＤＵＴ以外であってもよい。
【００２６】
本発明の波形発生装置は、波形を発生して出力する機能（波形発生機能）の他に、波形発生装置の内部に備えられるタイミングエッジ発生回路のタイミングを補正する機能（タイミング補正機能）を有している。
【００２７】
図１は本発明の波形発生装置１を示している。この波形発生装置１は、レート信号生成部２とタイミングエッジデータ生成部３−１〜３−６（総称してタイミングエッジデータ生成部３とする）とタイミングエッジ発生回路４−１〜４−６（総称してタイミングエッジ発生回路４とする）とタイミング補正部５−１〜５−６（総称してタイミング補正部５とする）とタイミングエッジ集約ゲート６−１および６−２（総称してタイミングエッジ集約ゲート６とする）とフリップフロップ７と設定部１０とパターンメモリ１１とデコード回路１２と入替部１３Ａ〜１３Ｃ（総称して入替部１３とする）と出力変更部１４と出力変更制御部１５とを備えて概略構成している。
【００２８】
レート信号生成部２はテスト周期（周期）を示すレート信号ＲＳを生成する。レート信号ＲＳは１周期ごとに開始時間（基準時間）を示すパルスを出力し、これにより１周期が規定される。レート信号生成部２が発生したレート信号ＲＳはタイミングエッジデータ生成部３とパターンメモリ１１とデコード回路１２と入替部１３と出力変更部１４とタイミングエッジ発生回路４とに出力される。
【００２９】
タイミングエッジデータ生成部３は出力波形の立ち上がりまたは立ち下りの時間を規定したタイミングエッジデータＴＥＤを生成して出力する。タイミングエッジデータＴＥＤはレート信号ＲＳから波形を立ち上げるまでまたは立ち下げるまでの時間（波形を変化させるまでの時間）を規定している。図１に示すように、タイミングエッジデータ生成部３−１〜３−６まで設けており、それぞれタイミングエッジデータＴＥＤ１〜ＴＥＤ６を出力する。タイミングエッジデータＴＥＤは任意に設定することが可能である。勿論、タイミングエッジデータ生成部３の個数は５以下或いは７以上であってもよい。タイミングエッジデータ生成部３はレート信号ごとにタイミングエッジデータＴＥＤを生成する。このため、レート信号生成部２からレート信号を入力して、レート信号に同期したタイミングエッジデータＴＥＤを生成している。
【００３０】
タイミングエッジ発生回路４はタイミングエッジデータＴＥＤを入力して、レート信号ＲＳからタイミングエッジデータＴＥＤが規定する時間の経過後にタイミングエッジＴＥ（ＴＥ１〜ＴＥ６）を発生させるタイミングエッジ発生部である。タイミングエッジ発生回路４は６つを設けており、このうち奇数番のタイミングエッジ発生回路４−１、４−３、４−５は波形を立ち上げるためのタイミングエッジＴＥを発生する回路であり、偶数番のタイミングエッジ発生回路４−２、４−４、４−６は波形を立ち下げるためのタイミングエッジを発生する回路である。
【００３１】
タイミングエッジデータＴＥＤ１〜ＴＥＤ６はそれぞれタイミングエッジＴＥ１〜ＴＥ６に対応している。ただし、本発明では、タイミングエッジデータＴＥＤの出力先を自由に変更しており、タイミングエッジデータＴＥＤ１〜ＴＥＤ６はそれぞれ任意のタイミングエッジ発生回路４−１〜４−６に入力することができる。つまり、基本的にはタイミングエッジデータＴＥＤ１〜ＴＥＤ６とタイミングエッジＴＥ１〜ＴＥ６とが対応しているものの、出力先が変更された場合には対応関係が変化する。
【００３２】
タイミングエッジデータＴＥＤ１〜ＴＥＤ６はそれぞれ任意の時間を設定できる。このため、６種類の時間を設定することができるが、ここでは４つの時間Ｔ（Ｔ１＜Ｔ２＜Ｔ３＜Ｔ４）を設定しているものとする。
【００３３】
タイミング補正部５はタイミングエッジ発生回路４が出力するタイミングエッジＴＥに対して任意の遅延量の遅延を与える遅延回路である。タイミング補正部５はタイミングエッジ発生回路４ごとに出力側に設けられており、タイミングエッジＴＥに対してそれぞれ所定の遅延を与える。
【００３４】
タイミングエッジ集約ゲート６は各タイミングエッジＴＥを合成して集約する論理和回路になる。タイミングエッジ集約ゲート６−１は奇数番のタイミングエッジ発生回路４のタイミングエッジＴＥ、つまり立ち上がり波形のタイミングエッジを集約し、タイミングエッジ集約ゲート６−２は偶数番のタイミングエッジ発生回路４のタイミングエッジＴＥ、つまり立ち下り波形のタイミングエッジを集約する。
【００３５】
フリップフロップ７は波形発生部として機能し、タイミングエッジ集約ゲート６−１および６−２に接続されるＳＲフリップフロップである。タイミングエッジ集約ゲート６−１で集約されたタイミングエッジＴＥはフリップフロップ７のセット側に入力され、タイミングエッジ集約ゲート６−２で集約されたタイミングエッジＴＥはフリップフロップ７のリセット側に入力される。そして、セット側（波形立ち上げ側）およびリセット側（波形立ち下げ側）に入力されたタイミングエッジのタイミングで波形を生成して出力する。
【００３６】
フリップフロップ７の出力側は図示しないピンに接続されており、このピンに図示しないＤＵＴを接続することができる。ＤＵＴを接続したときに、フリップフロップ７から出力される波形をＤＵＴに入力することができる。
【００３７】
設定部１０は波形発生装置１から所望のパターンの波形を出力させるために必要なデータを設定するための設定手段である。設定部１０としては例えばコンピュータを適用できる。コンピュータとしての設定部１０はタイミングエッジデータ生成部３、パターンメモリ１１およびデコード回路１２と接続されており、この接続には例えばバスを用いることができる。各種データはコンピュータとしての設定部１０が実行するプログラムに設定できる。ここでは、波形フォーマットＷＦとパターンデータＰＤと波形発生モードとタイミングエッジデータＴＥＤと変更制御信号ＣＣＳとの各データを設定するものとする。以下、これらのデータを設定データとし、各設定データについて説明する。
【００３８】
波形フォーマットＷＦは波形パターンの種類を規定するためのデータになる。ここでは、ＮＲＺ（Non Return to Zero）、ＲＺ（Return to Zero）、Ｒ１（Return to One）、ＳＢＣ（サラウンドバイコンプリメント）の４つを例示して説明するが、勿論任意の波形パターンを適用してもよい。
【００３９】
ＮＲＺは１周期の間に値が変化したとしても、「０」または「１」には戻さない波形パターンであり、ＲＺは１周期の終了時に「０」に戻す波形パターンである。Ｒ１は１周期の終了時に「１」に戻す波形パターンであり、ＳＢＣは１周期の間に値が「１」の前後が「０」となるように変化、または「０」の前後が「１」となるように変化させる波形パターンである。この波形フォーマットＷＦは１周期毎に波形パターンを変化させることができる。
【００４０】
パターンデータＰＤは出力波形の論理を示す１ビットまたは２ビットの信号であり、１周期毎に変化させることができる。表現される論理としては、「１」と「０」とであるが、この他にハイインピーダンスの状態を示す「Ｚ」をパターンデータとして持たせることができる。
【００４１】
波形発生モードは波形フォーマットＷＦとパターンデータＰＤとにより指定される波形パターンの種類を増やすために設けたデータであり、本発明ではノーマルモードとダブルモードとの２つのモードを設けている。ノーマルモードは１周期内に１回のＲＺまたはＲ１の波形出力が可能になるが、ダブルモードは１周期内に２回のＲＺまたはＲ１波形出力が可能になる。
【００４２】
波形発生モードは１周期ごとには変化しない。波形発生モードが変化する（ノーマルモードとダブルモードとの間で切り替えを行う）のは一定の波形出力を行って後である。この単位を実行単位とし、実行単位は複数周期から構成される。そして、１実行単位の間は波形発生モードが変化しない。そして、波形発生モードがノーマルモードの場合にはパターンデータＰＤは１ビットの信号になり、ダブルモードの場合には２ビットの信号になる。勿論、パターンデータＰＤを３ビット以上にして、１周期内に３回以上の波形出力を行うようにしてもよい。
【００４３】
変更制御信号ＣＣＳの詳細については後述する。設定部１０は、各設定データの内容が含まれているプログラムを実行したときに、パターンデータＰＤと波形フォーマットＷＦと波形発生モードとの３つの設定データのうちパターンデータＰＤをパターンメモリ１１に記憶させ、波形フォーマットＷＦと波形発生モードとをデコード回路１２に設定する。なお、パターンメモリ１１に記憶されるパターンデータＰＤはレート信号に同期したデータになる。また、タイミングエッジデータ生成部３にタイミングエッジデータＴＥＤを記憶させ、出力変更制御部１５に変更制御信号ＣＣＳを記憶させる。
【００４４】
デコード回路１２はフォーマットデコード回路である。パターンメモリ１１から読み出したパターンデータＰＤ、設定部１０から入力する波形フォーマットＷＦ、波形発生モード、の３つの設定データに基づいて、タイミングエッジデータ選択信号ＴＤＳおよびタイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳを生成する。
【００４５】
タイミングエッジデータ選択信号ＴＤＳは入替部１３に対して出力される３ビットの信号になる。この入れ替え制御については後述する。タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳは各タイミングエッジ発生回路４に対して出力される６ビットの信号になり、タイミングエッジ発生回路４からのタイミングエッジＴＥ出力の有効・無効を制御する。
【００４６】
タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳの６ビットの信号のうちＬＳＢビット（１ビット目）からＭＳＢビット（６ビット目）までの１ビットずつがそれぞれタイミングエッジ発生回路４−１〜４−６に対応している。そして、ビットの値が「０」であれば対応するタイミングエッジ発生回路４からタイミングエッジＴＥを出力させず（無効）、「１」であれば対応するタイミングエッジ発生回路４からタイミングエッジＴＥを出力させる（有効）。
【００４７】
入替部１３は、タイミングエッジ発生回路４の半分の個数（入替部１３Ａ〜１３Ｃの３つ）を設けた２入力２出力のマトリクスである。入替部１３には２つのタイミングエッジデータ生成部３が接続されており、相互に隣接する２つのタイミングエッジデータ生成部３から出力された２つのタイミングエッジデータＴＥＤを入力する。入替部１３は出力時に２つのタイミングエッジデータＴＥＤの順番を入れ替えることができるようになっている。
【００４８】
ここで、タイミングエッジデータ生成部３とタイミングエッジ発生回路４とタイミングエッジデータＴＥＤとをそれぞれ３組のセットとして構成する。各セットは入替部１３にそれぞれ対応する。入替部１３Ａに対応するのがタイミングエッジデータ生成部セット３Ａ（３−１および３−２）、タイミングエッジデータセットＴＥＤ−Ａ（ＴＥＤ１およびＴＥＤ２）、タイミングエッジ発生回路セット４Ａ（４−１および４−２）である。
【００４９】
入替部１３Ｂに対応するのがタイミングエッジデータ生成部セット３Ｂ（３−３および３−４）、タイミングエッジデータセットＴＥＤ−Ｂ（ＴＥＤ３およびＴＥＤ４）、タイミングエッジ発生回路セット４Ｂ（４−３および４−４）である。また、入替部１３Ｃに対応するのがタイミングエッジデータ生成部セット３Ｃ（３−５および３−６）、タイミングエッジデータセットＴＥＤ−Ｃ（ＴＥＤ５およびＴＥＤ６）、タイミングエッジ発生回路セット４Ｃ（４−５および４−６）である。
【００５０】
入替部１３が各セットの中で入れ替えを行うか否かはタイミングエッジデータ選択信号ＴＤＳにより制御される。タイミングエッジデータ選択信号ＴＤＳは３ビットの信号であり、１ビット目が入替部１３Ａ（Ａのセット）、２ビット目が入替部１３Ｂ（Ｂのセット）、３ビット目が入替部１３Ｃ（Ｃのセット）に対応している。そして、ビットの値が「１」であれば入れ替えを行い、「０」であれば入れ替えを行わないようにしている。
【００５１】
出力変更部１４は６入力６出力のマトリクスであり、６つのタイミングエッジデータ生成部３−１〜３−６から出力されたタイミングエッジデータＴＥＤ１〜ＴＥＤ６の出力先を任意のタイミングエッジ発生回路４−１〜４−６に変更する。ただし、６つのタイミングエッジデータＴＥＤ１〜ＴＥＤ６の出力先を無制限に変更するのではなく、セットごとに出力先を変更する。つまり、タイミングエッジデータセットＴＥＤ−Ａ、ＴＥＤ−Ｂ、ＴＥＤ−Ｃのセットとして、任意のタイミングエッジ発生回路セット４Ａ、４Ｂ、４Ｃに出力している。
【００５２】
また、出力変更部１４にはデコード回路１２からタイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳが入力されており、変更制御信号ＣＣＳに基づいてタイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳの変換処理を行う。
【００５３】
出力変更制御部１５は出力変更部１４の制御を行うための２ビットの変更制御信号ＣＣＳを出力変更部１４に出力する。変更制御信号ＣＣＳが「００」の場合には、出力変更部１４はタイミングエッジデータセットの出力先を変更することなく、そのまま同じセットのタイミングエッジ発生回路セットに出力する。且つ、タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳに対しては何等の変換を行わずに、そのまま各タイミングエッジ発生回路４に出力する。
【００５４】
変更制御信号ＣＣＳが「０１」の場合には、出力変更部１４は入替部１３Ａから出力されるタイミングエッジデータセットＴＥＤ−Ａを選択して、その出力先をタイミングエッジ発生回路セット４Ｂに変更する。且つ、タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳの６ビットのうち、１ビット目と３ビット目とを交換し、２ビット目と４ビット目とを交換する変換処理を行った後に各タイミングエッジ発生回路４に出力する。
【００５５】
変更制御信号ＣＣＳが「１０」の場合には、出力変更部１４は入替部１３Ａから出力されるタイミングエッジデータセットＴＥＤ−Ａを選択して、その出力先をタイミングエッジ発生回路セット４Ｃに変更する。且つ、タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳの６ビットのうち、１ビット目と５ビット目とを交換し、２ビット目と６ビット目とを交換する変換処理を行って、各タイミングエッジ発生回路４に出力する。
【００５６】
なお、変更制御信号ＣＣＳが「０１」および「１０」の場合において選択されないタイミングエッジデータセットＴＥＤ−ＢおよびＴＥＤ−Ｃについては、タイミングエッジデータセットＴＥＤ−Ａが出力される先のタイミングエッジ発生回路セット以外のタイミングエッジ発生回路セットに出力させてもよいし、出力変更部１４から出力させないようにしてもよい。また、変更制御信号ＣＣＳが「１１」の場合には未定義になる。
【００５７】
以上が概略構成である。前述したように、本発明の波形発生装置１は波形発生機能とタイミング補正機能との２つの機能を有している。このうち、波形発生機能として機能させる場合には、図１の構成のうち出力変更部１４および出力変更制御部１５は使用しない。このために、出力変更制御部１５は変更制御信号ＣＣＳを常に「００」とすることで、出力変更部１４は同じセット間でそのままタイミングエッジデータＴＥＤを出力するようになり、またタイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳの変換も行われない。
【００５８】
図１の構成から出力変更部１４および出力変更制御部１５を除いた構成が図２の構成になる。つまり、図２の構成により波形発生機能が実現される。ここでは、図２の構成を用いた動作例を第１の例として説明する。
【００５９】
図３および図４は第１例において波形発生装置１を動作させた場合の波形パターンを示している。図３および図４において、最上段から順にレート信号ＲＳ、パターンデータＰＤ、タイミングエッジデータＴＥＤ、波形フォーマットＷＦ、タイミングエッジデータ選択信号ＴＤＳ、タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳを示しており、その下段にこれらに基づいて出力されるタイミングエッジＴＥ１〜ＴＥ６を示している。
【００６０】
また、タイミングエッジＴＥ６の下段には集約セット信号ＣＳＳおよび集約リセット信号ＣＲＳを示しており、その下段のＷが出力される波形を示す。タイミングエッジデータ番号（ＴＥＮ）およびタイミングエッジ番号（ＴＥＤＮ）はそれぞれタイミングエッジデータＴＥＤおよびタイミングエッジＴＥの番号を示している。
【００６１】
なお、図３および図４には波形発生モードが示されていない。図３の各パターンはノーマルモードの実行単位を示しており、図４の各パターンはダブルモードの実行単位を示しており、このため波形発生モードに変化がないため、波形発生モードを示していない。そして、図３ではパターンデータＰＤを１ビットの信号にしており、図４では２ビットの信号にしている。これにより、波形発生モードが特定される。
【００６２】
図３および図４には合計１４種類の波形パターンを示している。各パターンの波形ＷはタイミングエッジＴＥ１〜ＴＥ６により生成され、タイミングエッジＴＥ１〜ＴＥ６を生成するための設定データがその上段に示されている。ここで、図３および図４に示した波形Ｗを生成するための設定データはあくまでも一例であり、波形Ｗを出力するためにこれら以外の多様なパターンの設定データを採用することができる。つまり、設定データにより波形Ｗは一意に定まるが、波形Ｗを生成するための設定データは一意には定まらない。
【００６３】
第１パターンはノーマルモードのＮＲＺの波形パターンである。ＮＲＺは１周期の間に１回だけの波形変化を生じるパターンであり、タイミングエッジデータＴＥＤは１つだけ（ＴＥＤ１）を用いる。そして、このタイミングエッジデータＴＥＤ１に時間Ｔ１を設定する。なお、図３において、第１パターンのＴＥＤの箇所に設定した時間Ｔ１を示している。
【００６４】
設定部１０はタイミングエッジデータ生成部３−１にタイミングエッジデータＴＥＤ１を設定すると共に、パターンメモリ１１にパターンデータＰＤを「１」として記憶させ、デコード回路１２に波形フォーマットＷＦをＮＲＺ、波形発生モードをノーマルモードとして設定する。
【００６５】
デコード回路１２は入力したデータの解読を行い、最終的にフリップフロップ７から第１パターンの波形Ｗを出力させるべく、タイミングエッジデータ選択信号ＴＤＳを「０００」、タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳを「０００００１」として出力させる。これにより、タイミングエッジデータ生成部３−１から出力されたタイミングエッジデータＴＥＤ１は入れ替えがされることなく、そのままタイミングエッジ発生回路４−１に入力される。
【００６６】
タイミングエッジ発生回路４−１はレート信号ＲＳからタイミングエッジデータＴＥＤ１で規定する時間Ｔ１の経過後にタイミングエッジＴＥ１を出力する。タイミングエッジ発生回路４−１〜４−６には４−１のみを有効にするタイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳが入力されていることから、タイミングエッジＴＥ１のみが、タイミングエッジ集約ゲート６−１からフリップフロップ７のセット側に入力される。そして、フリップフロップ７はレート信号ＲＳから時間Ｔ１の経過後に波形が変化する第１パターンの波形Ｗを出力する。
【００６７】
前述したように、波形Ｗを得るための設定データは一意には定まらない。例えば、タイミングエッジデータＴＥＤ２に時間Ｔ１として設定し、タイミングエッジデータ選択信号ＴＤＳを「００１」とすれば、タイミングエッジ発生回路４−１にタイミングエッジデータＴＥＤ２（時間Ｔ１）が入力される。従って、前記の場合と同じ波形Ｗが出力されるようになる。この他にも多種類の設定データにより第１パターンの波形Ｗを出力させることが可能になる。
【００６８】
第５パターンは第１パターンと同じである。第２パターンは時間Ｔ１の経過後に立ち下げるＮＲＺの波形パターンになる。このために、タイミングエッジデータＴＥＤ１を時間Ｔ１としてタイミングエッジデータ生成部３−１に設定する。そして、デコード回路１２は第５パターンの波形Ｗを出力させるべく、タイミングエッジデータ選択信号ＴＤＳを「００１」、タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳを「００００１０」とする。
【００６９】
これにより、タイミングエッジデータＴＥＤ１はタイミングエッジ発生回路４−２に入力され、この回路から出力されるタイミングエッジＴＥ２（ＴＥＤ１：時間Ｔ１の経過後に出力される）のみがフリップフロップ７のリセット側に入力される。これにより、レート信号ＲＳから時間Ｔ１の経過後に波形が立ち下がる第２パターンの波形Ｗを得ることができる。
【００７０】
第３および第４パターンはＲＺの波形を出力するようにしている。ＲＺの波形において、パターンデータＰＤが「１」の場合には「０→１→０」のように変化させ、パターンデータＰＤが「０」の場合には単に波形の立ち下げを行う。これにより、１周期の終了時には必ず「０」に戻っている波形を出力できる。
【００７１】
第３パターンは２回の波形変化を可能にするため、タイミングエッジデータＴＥＤは２つを用いている。タイミングエッジデータＴＥＤ１に時間Ｔ１を設定し、タイミングエッジデータＴＥＤ２に時間Ｔ２（Ｔ２＞Ｔ１）を設定する。デコード回路１２は設定データに基づいて、タイミングエッジデータ選択信号ＴＤＳを「０００」、タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳを「００００１１」として発生する。
【００７２】
これにより、タイミングエッジデータＴＥＤ１およびＴＥＤ２はそのままタイミングエッジ発生回路４−１よび４−２に入力され、フリップフロップ７のセット側にはレート信号ＲＳから時間Ｔ１の経過後にタイミングエッジＴＥ１、そしてリセット側には時間Ｔ２の経過後にタイミングエッジＴＥ２が入力される。従って、第３パターンの波形Ｗが出力される。
【００７３】
なお、図３の第３パターンのＴＥＤの箇所において、「Ｔ１、Ｔ２」と示しているのは、ＴＥＤ１にＴ１を設定し、ＴＥＤ２にＴ２を設定していることを示している。
【００７４】
第４パターンは単に波形を立ち下げるだけのパターンになる。このために、タイミングエッジデータＴＥＤは１つだけを用いる（ＴＥＤ１だけを用いる）。デコード回路１２はタイミングエッジデータ選択信号ＴＤＳを「００１」、タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳを「００００１０」として出力する。これにより、フリップフロップ７のリセット側にタイミングエッジＴＥ１（時間Ｔ１）が入力され、レート信号ＲＳから時間Ｔ１の経過後に立ち下がる波形が出力される。なお、第４パターンに示すように、直前の周期が「０」で終了している場合には、波形は変化しない。
【００７５】
第６パターンはＲ１の波形を出力するようにしている。パターンデータＰＤが「０」の場合には「１→０→１」のように変化させ、パターンデータＰＤが「１」の場合（図示せず）には単に波形の立ち上げだけを行う。
【００７６】
第６パターンの場合には２回の波形変化を生じているため、２つのタイミングエッジデータＴＥＤ１（時間Ｔ１）およびＴＥＤ２（時間Ｔ２）を用いる。デコード回路１２は設定データを解読して、タイミングエッジデータ選択信号ＴＤＳを「００１」、タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳを「００００１１」として発生および出力を行う。
【００７７】
これにより、タイミングエッジデータＴＥＤ１とＴＥＤ２とは入替部１３Ａにより入れ替えられて、フリップフロップ７のセット側にはレート信号ＲＳから時間Ｔ２の経過後にタイミングエッジＴＥ２が、リセット側には時間Ｔ１の経過後にタイミングエッジＴＥ１が入力される。これにより、時間Ｔ１のタイミングで波形が立ち下り、時間Ｔ２のタイミングで波形が立ち上がるような第６パターンの波形Ｗが出力される。なお、図３の第６パターンのＴＥＤの箇所において、「Ｔ１、Ｔ２」と示しているのは、ＴＥＤ１にＴ１を設定し、ＴＥＤ２にＴ２を設定していることを示している。
【００７８】
第７および第８パターンはＳＢＣの波形を出力するようにしている。パターンデータＰＤが「１」の場合には「１」の前後が「０」となるように、パターンデータＰＤが「０」の場合には「０」の前後が「１」となるように変化させる。この場合には１周期の間に３回の波形変化が必要になるため、３つのタイミングエッジデータＴＥＤ１、ＴＥＤ２、ＴＥＤ３を用いる。
【００７９】
第７パターンの場合には、タイミングエッジデータＴＥＤ１、ＴＥＤ２、ＴＥＤ３をそれぞれタイミングエッジデータ生成部３−１、３−２、３−３に設定する。ただし、ＴＥＤ１にはＴ２、ＴＥＤ２にはＴ３（Ｔ３＞Ｔ２＞Ｔ１）、ＴＥＤ３にはＴ１を設定している。図３の第７パターンのＴＥＤの箇所にはこの状態を示している。
【００８０】
デコード回路１２は第７パターンの波形Ｗを出力させるべく、タイミングエッジデータ選択信号ＴＤＳを「０１０」、タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳを「００１０１１」として生成および出力を行う。これにより、タイミングエッジデータＴＥＤ１、ＴＥＤ２、ＴＥＤ３はタイミングエッジ発生回路４−１、４−２、４−４に入力される。
【００８１】
そして、フリップフロップ７のセット側には時間Ｔ２（ＴＥＤ１）の経過後にタイミングエッジＴＥ１が入力され、時間Ｔ１（ＴＥＤ３）の経過後にタイミングエッジＴＥ４が入力され、時間Ｔ３（ＴＥＤ２）の経過後にタイミングエッジＴＥ２が入力される。これにより、時間Ｔ１に立ち下り、時間Ｔ２に立ち上がり、時間Ｔ３に立ち下がるような第７パターンの波形Ｗが出力される。
【００８２】
第８パターンの場合には、第７パターンとタイミングエッジの設定は同じになるが、デコード回路１２はタイミングエッジデータ選択信号ＴＤＳを「００１」、タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳを「０００１１１」として生成および出力を行う。
【００８３】
これにより、タイミングエッジデータＴＥＤ１、ＴＥＤ２、ＴＥＤ３はタイミングエッジ発生回路４−２、４−１、４−３に入力される。そして、フリップフロップ７のセット側には時間Ｔ１（ＴＥＤ３）の経過後にタイミングエッジＴＥ３が入力され、時間Ｔ３（ＴＥＤ２）の経過後にタイミングエッジＴＥ１が入力され、リセット側には時間Ｔ２（ＴＥＤ１）の経過後にタイミングエッジＴＥ２が入力される。これにより、時間Ｔ１に立ち上がり、時間Ｔ２に立ち下り、時間Ｔ３に立ち上がるような第８パターンの波形Ｗが出力される。
【００８４】
図４はダブルモードの波形を示している。このため、パターンデータＰＤは２ビットの信号になる。第１〜第３パターンはＲＺの波形パターンであり、第４〜第６パターンはＲ１の波形である。パターンデータＰＤの２ビットは１周期の間に２回のＲＺまたはＲ１の波形出力を可能にしており、１ビット目は１周期の間の前半にＲＺまたはＲ１の波形を出力するか否か、２ビット目は後半にＲＺまたはＲ１の波形を出力するか否かを示している。各ビットの値が「１」のときにＲＺまたはＲ１の波形を出力し、「０」のときに波形を変化させない。
【００８５】
第１パターンの波形Ｗを出力すべく、パターンデータＰＤは「１１」、波形フォーマットＷＦはＲＺ、波形発生モードはダブルモードに設定する。そして、設定部１０は１周期の間に４回の波形変化を生じさせるために、４つのタイミングエッジデータＴＥＤを用いる。タイミングエッジデータＴＥＤ１に時間Ｔ１、ＴＥＤ２に時間Ｔ２、ＴＥＤ５に時間Ｔ３、ＴＥＤ６に時間Ｔ４（Ｔ４＞Ｔ３＞Ｔ２＞Ｔ１）を設定する。なお、図４の第１〜第６パターンのＴＥＤの箇所において、「Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３、Ｔ４」と示しているのは、ＴＥＤ１にＴ１、ＴＥＤ２にＴ２、ＴＥＤ５にＴ３、ＴＥＤ６にＴ４を設定していることを示している。
【００８６】
この設定に基づいて、デコード回路１２はタイミングエッジデータ選択信号ＴＤＳを「０００」、タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳを「１１００１１」として出力する。これにより、入れ替えは行なわれず、タイミングエッジデータＴＥＤ１、ＴＥＤ２、ＴＥＤ５、ＴＥＤ６はタイミングエッジ発生回路４−１、４−２、４−５、４−６に入力される。従って、フリップフロップ７のセット側には時間Ｔ１（ＴＥＤ１）の経過後にタイミングエッジＴＥ１が入力され、時間Ｔ３（ＴＥＤ５）の経過後にタイミングエッジＴＥ５が入力され、リセット側には時間Ｔ２（ＴＥＤ２）の経過後にタイミングエッジＴＥ２が入力され、時間Ｔ４（ＴＥＤ６）の経過後にタイミングエッジＴＥ６が入力される。これにより、第１パターンの波形Ｗが出力される。
【００８７】
第２パターンの波形Ｗを出力させるべく、パターンデータＰＤは「０１」としている。そして、この場合もタイミングエッジデータＴＥＤ１（時間Ｔ１）、ＴＥＤ２（時間Ｔ２）、ＴＥＤ５（時間Ｔ３）、ＴＥＤ６（時間Ｔ４）の４つを使用する。なお、この場合は、ＴＥＤ５およびＴＥＤ６を使用しなくてもよい。
【００８８】
デコード回路１２はタイミングエッジデータ選択信号ＴＤＳを「０００」、タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳを「００００１１」として出力する。これにより、フリップフロップ７のセット側には時間Ｔ１（ＴＥＤ１）の経過後にタイミングエッジＴＥ１が入力され、リセット側には時間Ｔ２（ＴＥＤ２）の経過後にタイミングエッジＴＥ２（ＴＥＤ２：時間Ｔ２）が入力される。これにより、第２パターンの波形Ｗが出力される。
【００８９】
第３パターンの波形Ｗは後半にＲＺの波形を出力させる。このため、パターンデータＰＤは「１０」としている。そして、デコード回路１２はタイミングエッジデータ選択信号ＴＤＳを「０００」、タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳを「１１００００」として出力する。これにより、フリップフロップ７のセット側には時間Ｔ３（ＴＥＤ５）の経過後にタイミングエッジＴＥ５、リセット側には時間Ｔ４（ＴＥＤ６）の経過後にタイミングエッジＴＥ６が入力される。これにより、第３パターンの波形Ｗが出力される。
【００９０】
第４パターンはパターンデータＰＤが「００」となっているＲ１の波形であり、１周期の間に２回のＲ１の波形出力を行う。ただし、直前の周期が「０」で終了しているため、最初のタイミング（時間Ｔ１）で波形変化を生じていない。直前の周期が「１」で終了してれば、２回のＲ１の波形出力を行うパターンになる。
【００９１】
デコード回路１２はタイミングエッジデータ選択信号ＴＤＳを「１０１」、タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳを「１１００１１」として出力する。これにより、フリップフロップ７のセット側には時間Ｔ２（ＴＥＤ２）の経過後にタイミングエッジＴＥ１が入力され、時間Ｔ４（ＴＥＤ６）の経過後にタイミングエッジＴＥ５が入力され、リセット側には時間Ｔ１（ＴＥＤ１）の経過後にタイミングエッジＴＥ２が入力され、時間Ｔ３（ＴＥＤ５）の経過後にタイミングエッジＴＥ６が入力される。
【００９２】
このため、時間Ｔ１に立ち下り、時間Ｔ２に立ち上がり、時間Ｔ３に立ち下り、時間Ｔ４に立ち上がる波形が出力される。第４パターンは直前の周期が「０」で終了しているため、時間Ｔ１に波形は立ち下がらないが、「１」で終了していれば、時間Ｔ１に波形が立ち下がる。
【００９３】
第５パターンはパターンデータＰＤが「１０」になっており、前半においてＲ１の波形を出力する。このために、デコード回路１２はタイミングエッジデータ選択信号ＴＤＳを「００１」、タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳを「００００１１」として出力する。これにより、フリップフロップ７のセット側には時間Ｔ２（ＴＥＤ２）の経過後にタイミングエッジＴＥ１が入力され、リセット側には時間Ｔ１（ＴＥＤ１）の経過後にタイミングエッジＴＥ２が入力される。従って、第５パターンの波形Ｗが出力される。
【００９４】
第６パターンはパターンデータＰＤが「０１」になっており、後半においてＲ１の波形を出力する。このため、デコード回路１２はタイミングエッジデータ選択信号ＴＤＳを「１００」、タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳを「１１００００」として出力する。これにより、フリップフロップ７のセット側には時間Ｔ４（ＴＥＤ６）の経過後にＴＥ５が入力され、リセット側には時間Ｔ３（ＴＥＤ５）の経過後にタイミングエッジＴＥ６が入力される。
【００９５】
以上のような図３および図４の波形パターンを出力させるための設定データは複数種類を設定することが可能であり、他の任意の設定データにより所望の波形パターンを得ることができる。ここで、図２および図３の設定データおよび波形パターンを例示したのは、タイミング補正に好適であるためである。以下、タイミング補正について説明する。
【００９６】
タイミング補正はタイミングエッジ発生回路４の誤差を是正するための補正である。タイミング補正はフリップフロップ７から出力される波形に基づいてタイミング誤差を検出することにより行う。このタイミング誤差はレート信号ＲＳを基準として波形を検出するまでの理想的な時間（つまり、タイミングエッジデータＴＥＤにより規定される時間Ｔ）とフリップフロップ７から波形が出力されるまでの時間との間の差分を算出することにより得られる。
【００９７】
従って、レート信号ＲＳを基準として、実際の波形（フリップフロップ７から出力される波形）を検出するまでの時間と理想的な時間とを比較する。この比較には任意の手段を用いることができる。例えば、実際の波形を入力するコンパレータを用いることができ、またＤＵＴが接続されるピンにタイミング誤差を検出する専用の装置を接続して比較するようにしてもよい。要は、時間の比較を行って、差分（タイミング誤差）を算出するものであれば、任意の手段を適用することができる。
【００９８】
そして、検出されたタイミング誤差がタイミングエッジ発生回路４の補正量となる。タイミングエッジ発生回路４の出力側にはタイミング補正部５が設けられており、このタイミング補正部５の遅延時間をタイミング誤差の分だけ設定することで、出力されるタイミングエッジＴＥは誤差分だけ補正されている。これにより、タイミングエッジＴＥのタイミング補正がなされる。
【００９９】
なお、タイミング補正部５ではなくタイミングエッジ発生回路４が遅延を行うようにしてもよい。検出されたタイミング誤差の情報を各タイミングエッジ発生回路４に入力し、タイミング誤差の分だけタイミングエッジの発生を遅延させることにより、タイミング補正は可能になる。この場合には、タイミング補正部５は不要になる。
【０１００】
タイミング補正は１回だけではなく繰り返し行って多くのサンプルを取得することにより、高精度の補正を行っている。例えば、多数のサンプルの平均値を取ることにより、高い精度のタイミング補正を行うことができる。このため、補正対象となるタイミングエッジを繰り返し出力させて、多数のタイミング誤差のサンプルを得る。
【０１０１】
従って、立ち上げ波形のタイミング補正を行うときには立ち上げた波形を同一周期内に再び立ち下げる必要があり、立ち下げ波形のタイミング補正を行うときには立ち下げた波形を同一周期内に再び立ち上げる必要がある。つまり、タイミング補正に用いられる波形パターンはＲＺ（立ち上げ波形のタイミング補正）またはＲ１（立ち下げ波形のタイミング補正）になる。
【０１０２】
また、タイミング補正を行うときには、補正対象となるタイミングエッジ発生回路４から出力されたタイミングエッジＴＥにより１周期内で最初に波形変化を生じる波形パターンを用いる。これにより、最初に波形変化した変化点までの時間を検出することでタイミング誤差を高精度に検出できる。
【０１０３】
タイミングエッジＴＥ１のタイミング補正を説明する。タイミングエッジＴＥ１は立ち上げ波形であるため、再び立ち下げなくてはならない。このため、ＲＺの波形パターンを用いる。ＲＺの波形パターンであり、且つタイミングエッジＴＥ１が最初に変化しているのは、第３パターンである。このため、第３パターンを用いてタイミングエッジ発生回路４−１のタイミング補正を行う。
【０１０４】
具体的には、第３パターンにより、レート信号ＲＳから時間Ｔ１の経過後に波形が立ち上がるため、波形が立ち上がるまでの時間を検出できる。この時間と理想的な時間との差分を算出する。このときの理想的な時間はタイミングエッジデータＴＥＤ１が規定する時間（第３のパターンの場合は時間Ｔ１）であり、時間Ｔ１と波形が立ち上がるまでの時間との間の差分をタイミング誤差として算出する。そして、タイミング補正部５−１がタイミング誤差の分だけタイミングエッジＴＥ１を遅延させることで、タイミング補正が行われる。
【０１０５】
タイミングエッジＴＥ２のタイミング補正を行うために、図３の第６パターンを用いる。タイミングエッジＴＥ２は立ち下げ波形であるため、同一周期内に再び立ち上げなくてはならない。従って、Ｒ１の波形を用いる。Ｒ１の波形パターンであり、且つタイミングエッジＴＥ２が最初に変化しているのは、第６パターンになる。このため、第６パターンを用いてタイミングエッジ発生回路４−２のタイミング補正を行う。
【０１０６】
タイミングエッジＴＥ３のタイミング補正を行うために、図３の第８パターンを用いる。これは、タイミングエッジＴＥ３により最初に波形が変化している波形が第８パターンになるためである。ただし、第８パターンはＳＢＣの波形パターンであるため、波形は立ち上がったまま終了する。このため、次の周期ではタイミングエッジＴＥ３により波形は変化することがない。従って、タイミング補正を行うことができなくなる。
【０１０７】
そこで、第８パターンのうち同じ周期内で波形立ち上げを行うもう１つのタイミングエッジＴＥ（ＴＥ１）を無効化にする。このために、タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳのＬＳＢビットを「０」に設定する。これにより、タイミングエッジＴＥ３（時間Ｔ１）により最初に波形が変化し、タイミングエッジＴＥ２（時間Ｔ２）により波形を元に戻すようなパターンを出力させることができる。つまり、ＲＺの波形パターンを出力させてタイミング補正を行うことができる。
【０１０８】
タイミングエッジＴＥ４のタイミング補正を行うために、図３の第７パターンを用いる。これは、タイミングエッジＴＥ４により最初に波形が変化しているのが第７パターンであるためである。ただし、第７パターンもＳＢＣの波形パターンであり、波形は立ち下がったまま終了する。このため、次の周期ではタイミングエッジＴＥ４により波形は変化することがない。従って、タイミング補正を行うことができなくなる。
【０１０９】
そこで、第７パターンのうち同じ周期内で波形立ち下げを行うもう１つのタイミングエッジＴＥ（ＴＥ２）を無効化にする。このために、タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳの２ビット目を「０」に設定する。これにより、タイミングエッジＴＥ４（時間Ｔ１）により最初に波形が変化し、タイミングエッジＴＥ１（時間Ｔ２）により元に戻すようなＲ１の波形を出力させることができるようになり、タイミング補正を行うことができる。
【０１１０】
タイミングエッジＴＥ５のタイミング補正を行うために、図４の第３パターンを用いる。これは、タイミングエッジＴＥ５（時間Ｔ３）により最初に波形が変化し、且つＲＺの波形となっているのが第３パターンになっているためである。また、タイミングエッジＴＥ６のタイミング補正を行うために、図４の第６パターンを用いる。これは、タイミングエッジＴＥ５（時間Ｔ３）により最初に波形が変化し、且つＲ１の波形となっているのが第６パターンになっているためである。
【０１１１】
以上のように、タイミングエッジ発生回路４ごとにタイミング補正を行うための設定は、パターンデータＰＤ、波形フォーマットＷＦ、波形発生モード、タイミングエッジデータＴＥＤの全てにおいてばらつきがある。このために、タイミング補正を行うときには、設定部１０により補正対象のタイミングエッジデータＴＥＤごとに適切な設定データを生成する必要がある。前述したように、設定部１０にコンピュータを適用し、当該コンピュータが実行するプログラムに設定内容を記述するような場合には、タイミング補正のためにデータを設定する設定工程が非常に煩雑になる。
【０１１２】
また、タイミングエッジ発生回路４−３および４−４については波形パターンの一部をマスキング（無効化）しなければならず、非常に煩雑な設定を強いることになる。このために、設定ミスをさらに生じやすくなり、設定ミスを校正するための校正工程にも膨大な時間や手間を要するようになる。
【０１１３】
そこで、図１に示すように、出力変更部１４および出力変更制御部１５を設けている。これにより、設定内容を大幅に単純化している。以下、出力変更部１４および出力変更制御部１５を用いた構成（図１の構成）を第２例とする。
【０１１４】
この第２例では、出力変更部１４および出力変更制御部１５を用いてタイミング補正を行うときには、設定部１０はパターンデータＰＤと波形フォーマットＷＦとタイミングエッジデータＴＥＤとを全て同じ内容に設定する。また、波形発生モードによっては設定内容が異なるが、１つの波形発生モード内では設定内容が同じになる。そして、第２例では、補正対象となるタイミングエッジＴＥに応じて変更制御信号ＣＣＳを変化させるようにしている。
【０１１５】
タイミングエッジＴＥ１およびＴＥ２（タイミングエッジ発生回路セット４Ａから出力されるタイミングエッジＴＥ）のタイミング補正を行うときには変更制御信号ＣＣＳから「００」を出力させるように制御する。また、タイミングエッジ発生回路４−３および４−４（タイミングエッジ発生回路セット４Ｂから出力されるタイミングエッジＴＥ）のタイミング補正を行うときには「０１」を出力させるように制御する。そして、タイミングエッジ発生回路４−５および４−６（タイミングエッジ発生回路セット４Ｃから出力されるタイミングエッジＴＥ）のタイミング補正を行うときには変更制御信号ＣＣＳから「１０」を出力させるように制御する。
【０１１６】
そして、出力変更部１４は、変更制御信号ＣＣＳが「００」であればタイミングエッジデータセットＴＥＤ−Ａをそのままタイミングエッジ発生回路セット４Ａに出力する。「０１」であればタイミングエッジデータセットＴＥＤ−Ａの出力先をタイミングエッジ発生回路セット４Ｂに変更する。「１０」であればタイミングエッジデータセットＴＥＤ−Ａの出力先をタイミングエッジ発生回路セット４Ｃに変更する。つまり、タイミングエッジデータセットＴＥＤ−Ａを任意のセットのタイミングエッジ発生回路セットに出力している。
【０１１７】
図５はノーマルモードの波形パターンを示しており、変更制御信号ＣＣＳが「００」「０１」「１０」のそれぞれについてパターンデータＰＤが「０」の場合と「１」の場合とを示している。なお、変更制御信号ＣＣＳが「１１」は前述したとおりに未定義になる。
【０１１８】
また、図５よび図６の各パターンは全て、２つのタイミングエッジデータＴＥＤ（ＴＥＤ１およびＴＥＤ２）を用いている。これは、タイミング補正を行うためにはＲＺまたはＲ１の波形を使用するためである。ＴＥＤ１には時間Ｔ１を設定し、ＴＥＤ２には時間Ｔ２を設定する。なお、図５および図６において「ＴＧＳ２」が追加されているが、これは出力変更部１４から出力された後のタイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳを示している。
【０１１９】
図５の６つの波形パターンのうちタイミング補正のために用いられるのはパターンデータＰＤが「１」のものになり、「０」のものは使用されない。パターンデータＰＤが「０」の場合には、波形を立ち下げるだけの波形パターンになるため、タイミング補正には使用されない。つまり、図５の第２、第４、第６パターンは単にパターンデータＰＤが「０」の場合の波形パターンを例示しているものになる。
【０１２０】
第１パターンはタイミングエッジＴＥ１のタイミング補正を行うための波形パターンになる。つまり、１周期のうち最初の波形変化がタイミングエッジＴＥ１によるものであり、且つＲＺの波形になっている。このパターンの波形を発生させるために、パターンデータＰＤを「１」、波形フォーマットＷＦをＲＺ、波形発生モードをノーマルモードの設定にしている。設定部１０はこれらの設定データのうちパターンデータＰＤをパターンメモリ１１に記憶させ、波形フォーマットＷＦおよび波形発生モードをデコード回路１２に設定すると共に、タイミングエッジデータＴＥＤ１をタイミングエッジデータ生成部３−１に設定し、タイミングエッジデータＴＥＤ２をタイミングエッジデータ生成部３−２に設定する。また、第１パターンでは、設定部１０は出力変更制御部１５に対して変更制御信号ＣＣＳとして「００」を出力するように制御している。
【０１２１】
デコード回路１２はタイミングエッジデータ選択信号ＴＤＳを「００」、タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳを「００００１１」として出力する。このため、タイミングエッジデータＴＥＤ１およびＴＥＤ２は入替部１３Ａからそのまま出力する。
【０１２２】
そして、変更制御信号ＣＣＳが「００」であるため、タイミングエッジデータＴＥＤ１およびＴＥＤ２のタイミングエッジデータセットＴＥＤ−Ａはそのままタイミングエッジ発生回路セット４Ａに入力される。また、出力変更部１４では変更制御信号ＣＣＳによってタイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳが変換されるが、「００」であるため、変換されずにそのまま各タイミングエッジ発生回路４に出力される。
【０１２３】
従って、入替部１３Ａでも入れ替えがされず、出力変更部１４でも出力先が経抗されていないことから、タイミングエッジデータＴＥＤ１はタイミングエッジ発生回路４−１に入力され、タイミングエッジデータＴＥＤ２はタイミングエッジ発生回路４−２に入力される。よって、フリップフロップ７のセット側には時間Ｔ１（ＴＥＤ１）の経過後にタイミングエッジＴＥ１が入力され、リセット側には時間Ｔ２（ＴＥＤ２）の経過後にタイミングエッジＴＥ２が入力される。これにより、図５の第１パターンの波形Ｗが出力される。
【０１２４】
この波形Ｗは最初にタイミングエッジＴＥ１によって波形変化（波形の立ち上げ）を生じ、同じ周期内に波形を立ち下げて元に戻している。これにより、タイミングエッジＴＥ１のタイミング誤差を検出でき、タイミング補正部５−１がタイミング誤差分を補正することで、タイミング補正を行うことができる。
【０１２５】
第３パターンはタイミングエッジＴＥ３のタイミング補正を行うための波形パターンになる。つまり、１周期のうち最初の波形変化がタイミングエッジＴＥ３によるものであり、且つＲＺの波形になっている。このパターンの波形を発生させるための設定は第１パターンと同じであり、タイミングエッジデータＴＥＤの設定も同じである。
【０１２６】
ただし、設定部１０は変更制御信号ＣＣＳを「０１」として出力させるように制御している。このため、タイミングエッジデータＴＥＤ１およびＴＥＤ２のタイミングエッジデータセットＴＥＤ−Ａの出力先は入替部１３Ａによりタイミングエッジ発生回路セット４Ｂに変更されている。
【０１２７】
同時に、変更制御信号ＣＣＳが「０１」であるため、出力変更部１４ではタイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳの変換を行う。「０１」の場合には１ビット目と３ビット目とを交換し、２ビット目と４ビット目とを交換する変換を行うため、タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳは「００００１１」から「００１１００」に変換される。つまり、タイミングエッジ発生回路セット４Ｂのみが有効になる。
【０１２８】
これにより、タイミングエッジ発生回路セット４ＢのみからタイミングエッジＴＥが出力される。このため、フリップフロップ７のセット側には時間Ｔ１（ＴＥＤ１）の経過後にタイミングエッジＴＥ３が入力され、リセット側には時間Ｔ２（ＴＥＤ２）の経過後にタイミングエッジＴＥ４（ＴＥＤ２：時間Ｔ２）がリセット側に入力される。よって、第３パターンで示すような波形Ｗが出力される。
【０１２９】
この波形Ｗは最初にタイミングエッジＴＥ３により波形変化を生じているため、この波形変化を検出することで、タイミングエッジ発生回路４−３のタイミング誤差を検出してタイミング補正を行うことができる。
【０１３０】
第５パターンはタイミングエッジＴＥ５のタイミング補正を行うための波形パターンになる。つまり、１周期のうち最初の波形変化がタイミングエッジＴＥ５によるものであり、且つＲＺの波形になっている。設定内容としては第１パターンおよび第３パターンと同じになっている。ただし、設定部１０は変更制御信号ＣＣＳを「１０」として出力させるように制御している。
【０１３１】
このため、入替部１３Ａでは入れ替えが行われないが、出力変更部１４でタイミングエッジデータセットＴＥＤ−Ａの出力先がタイミングエッジ発生回路セット４Ｃに変更されている。また、変更制御信号が「１０」であるため、タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳは１ビット目と５ビット目とを交換し、２ビット目と６ビット目とを交換する変換を行っているため、タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳは「１１００００」になる。つまり、タイミングエッジ発生回路セット４Ｃのみが有効になる。
【０１３２】
これにより、タイミングエッジ発生回路セット４ＣのみからタイミングエッジＴＥが出力される。このため、フリップフロップ７のセット側には時間Ｔ１（ＴＥＤ１）の経過後にタイミングエッジＴＥ５が入力され、リセット側には時間Ｔ２（ＴＥＤ２）の経過後にタイミングエッジＴＥ６（ＴＥＤ２）がリセット側に入力される。よって、第５パターンで示すような波形Ｗが出力される。
【０１３３】
この波形Ｗは最初にタイミングエッジＴＥ５により波形変化を生じているため、この波形変化を検出することで、タイミングエッジ発生回路４−５のタイミング補正を行うことができる。
【０１３４】
図６は、第１〜第３パターンは全てパターンデータＰＤが「００」、波形フォーマットＷＦがＲ１、波形発生モードがダブルモードの場合を示している。また、タイミングエッジデータＴＥＤ１（時間Ｔ１）をタイミングエッジデータ生成部３−１に設定し、タイミングエッジデータＴＥＤ２（時間Ｔ２）をタイミングエッジデータ生成部３−２に設定している。
【０１３５】
以上は第１〜第３パターンの全てに共通した設定になっている。従って、タイミングエッジデータ選択信号ＴＤＳは「００１」になり、タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳは「００００１１」になる。これも第１〜第３パターンの全てで同じである。第１〜第３パターンで異なるのは、変更制御信号ＣＣＳになる。つまり、第１パターンは「００」、第２パターンは「０１」、第３パターンは「１０」のように変化させている。
【０１３６】
タイミングエッジデータ選択信号ＴＤＳが「００１」であるため、タイミングエッジデータＴＥＤ１とＴＥＤ２とが入れ替わっているが、第１パターンは変更制御信号ＣＣＳが「００」であるため、タイミングエッジデータセットＴＥＤ−Ａはそのまま出力先を変更せずに、タイミングエッジ発生回路セット４Ａに入力される。これにより、タイミングエッジ発生回路４−１からはタイミングエッジＴＥ１が出力され、タイミングエッジ発生回路４−２からはタイミングエッジＴＥ２が出力される。
【０１３７】
そして、フリップフロップ７のセット側には時間Ｔ２（ＴＥＤ２）の経過後にタイミングエッジＴＥ１が入力され、リセット側には時間Ｔ１（ＴＥＤ１）の経過後にタイミングエッジＴＥ２が入力される。よって、図６の第１パターンの波形Ｗが出力される。この波形ＷはタイミングエッジＴＥ２によって最初に波形変化を生じるＲ１の波形になっているため、波形変化を生じるまでの時間までに基づいて、タイミングエッジＴＥ２のタイミング補正を行うことができる。
【０１３８】
第２パターンは変更制御信号ＣＣＳが「０１」になっているため、タイミングエッジデータセットＴＥＤ−Ａはタイミングエッジ発生回路セット４Ｂに入力され、タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳは「００１１００」に変換されている。よって、フリップフロップ７のセット側には時間Ｔ２（ＴＥＤ２）の経過後にタイミングエッジＴＥ３が入力され、リセット側には時間Ｔ１（ＴＥＤ１）の経過後にタイミングエッジＴＥ４が入力される。従って、図６の第２パターンの波形Ｗが出力される。これにより、タイミングエッジＴＥ４による波形変化を検出でき、タイミングエッジＴＥ４のタイミング補正を行うことができる。
【０１３９】
第３パターンは変更制御信号ＣＣＳが「１０」になっているため、タイミングエッジデータセットＴＥＤ−Ａはタイミングエッジ発生回路セット４Ｃに入力され、タイミングエッジ発生開始信号ＴＧＳは「１１００００」に変換されている。よって、フリップフロップ７のセット側には時間Ｔ２（ＴＥＤ２）の経過後にタイミングエッジＴＥ５が入力され、リセット側には時間Ｔ１（ＴＥＤ１）の経過後にタイミングエッジＴＥ６が入力される。従って、図６の第３パターンの波形Ｗが出力される。これにより、タイミングエッジＴＥ６による波形変化を検出でき、タイミングエッジＴＥ４のタイミング補正を行うことができる。
【０１４０】
なお、図６においては、パターンデータＰＤが「００」のものを示しているが、他にもパターンデータＰＤが「０１」「１０」「１１」の場合もある。ただし、このうち、タイミング補正に用いられるのは「００」の場合であるため、その他の場合は説明を省略している。
【０１４１】
図５と図６とはノーマルモードとダブルモードとの違いがあるため、両モードの設定は異なる。ただし、各モードにおいては、変更制御信号ＣＣＳを除き、全て設定内容が同じになっている。従って、設定部１０はタイミング補正を行うときには、ノーマルモードとダブルモードとに応じて設定内容が異なるものの、各モードにおける設定内容は同じにしている。そして、設定部１０はタイミング補正を行う対象となるタイミングエッジＴＥによって変更制御信号ＣＣＳを変化させるのみで、共通的な設定内容で全てのタイミングエッジ発生回路４のタイミング補正を行うことが可能になる。
【０１４２】
つまり、第１例の場合にはタイミング補正を行う対象となるタイミングエッジ発生回路４ごとに全てのデータを異なる設定にする必要があったが、第２例では設定内容を共通化しており、この共通化した設定内容でタイミングエッジのタイミング補正が可能になる。これにより、設定内容が大幅に単純化される。
【０１４３】
特に、第１例の場合にはタイミングエッジ発生回路４−３および４−４については、前述したように一部のタイミングエッジＴＥをマスキング（無効化）しなければならず、設定内容が著しく複雑になっていた。この点、第２例の場合には、格別のマスキング処理を施すことなく、共通的な設定内容でタイミング補正を行うことができるため、設定工程および校正工程を著しく単純化することができるようになる。
【０１４４】
また、第２例の場合には、偶数番と奇数番とでそれぞれタイミングエッジ発生回路４を順番にタイミング補正することが可能になる。つまり、変更制御信号ＣＣＳの値をインクリメントさせていくことで、順次タイミングエッジ発生回路４−１、４−３、４−４或いは４−２、４−４、４−６のようにタイミングエッジ発生回路４を順番にタイミング補正することが可能になる。
【０１４５】
なお、ここでは、変更制御信号ＣＣＳを２ビットに設定し、この２ビットで３通りの出力先（タイミングエッジ発生回路セット４Ａ、４Ｂ、４Ｃ）を表現していたが、例えば変更制御信号ＣＣＳをセット（Ａ、Ｂ、Ｃ）の数と同じビット数、つまり３ビットにすることもできる。３ビットで表現することにより、１ビット目をＡ、２ビット目をＢ、３ビット目をＣ、のようにタイミングエッジデータセットの出力先を明示的に認識させることも可能になる。
【０１４６】
第２例では、出力変更部１４を用いて、任意のタイミングエッジデータ生成部３から出力させるタイミングエッジデータＴＥＤの出力先を任意のタイミングエッジ発生回路４に変更させている。これにより、一部のタイミングエッジデータ生成部３に設定したタイミングエッジデータＴＥＤを全てのタイミングエッジ発生回路４に出力先を変更させることで、一部のみのタイミングエッジデータ生成部３に設定したタイミングエッジデータＴＥＤを共通的に使用できる。つまり、使用するタイミングエッジデータＴＥＤを一部に限定することで、タイミングエッジデータＴＥＤの設定内容を単純化でき、これに伴い他の設定データ（パターンデータＰＤ等）の設定も単純化することができる。
【０１４７】
ただし、タイミング補正はＲＺまたはＲ１の波形を用いるため、立ち上がりおよび立ち下りのための２つの隣接するタイミングエッジ発生回路４が必要となり、当該２つのタイミングエッジ発生回路４は必ずセットで用いられることになる。そこで、出力変更部１４はセットごとに出力先を変更することで、変更のための設定を大幅に単純化している。
【０１４８】
セットを構成するのはタイミングエッジ発生回路４だけではなく、隣接する２つのタイミングエッジデータ生成部３についてもセットを構成し、これに対応するタイミングエッジデータＴＥＤも２つを１セットとして構成している。
【０１４９】
前述したように、出力変更部１４は変更制御信号ＣＣＳによってタイミングエッジデータセットの出力先を変更しているが、２つのタイミングエッジデータを１セットにしているため、出力先は３つになる。一方、セットとして構成しないで個別的に出力先を変更可能なようにする場合には、出力先が６つになる。従って、セットとして構成することにより、出力先の変更制御を大幅に単純化（半分に単純化）することができる。例えば、セットとして構成しない場合に変更制御信号ＣＣＳが３ビット（６通り）必要になるが、セットとして構成する場合には２ビット（３通り）だけで制御可能になる。
【０１５０】
また、偶数番のタイミングエッジ発生回路４−２、４−４、４−６については図６のようにダブルモードを用いたが、ノーマルモードを用いることもできる。つまり、図５の第１、第３、第５パターンからそれぞれ波形フォーマットＷＦをＲ１とし、タイミングエッジデータ選択信号ＴＤＳを「００１」とすることで、タイミングエッジデータセットＴＥＤ−ＡのＴＥＤ−１とＴＥＤ−２とが入れ替えられるため、立ち上がりと立ち下りとが入れ替わる。
【０１５１】
これにより、偶数番のタイミングエッジ発生回路４−２、４−４、４−６のタイミング補正を行うことができる。つまり、セットごとに入替部１３ＡによりタイミングエッジデータＴＥＤ１とＴＥＤ２とを入れ替え、波形フォーマットＷＦをＲＺからＲ１に変更するだけで、偶数番のタイミングエッジ発生回路４−２、４−４、４−６についてもタイミング補正が可能になる。
【０１５２】
これは、入替部１３をセットごとに設けているために可能になるものであり、１つのセットの中でタイミングエッジデータＴＥＤを入れ替えることで、波形の立ち上がりと立ち下りとによって機能の異なる各タイミングエッジ発生回路４のタイミング補正を極めて単純な制御で行うことが可能になる。
【０１５３】
なお、第１例（図２の構成）および第２例（図１の構成）において、２つのタイミングエッジデータＴＥＤをセットとして構成し、１つのセットの中で２つのタイミングエッジデータＴＥＤの順番を入替部１３により入れ替え可能にしている。第１例と第２例とではセットの出力先が変更不能か変更可能かの違いはあるものの、セットの内部でタイミングエッジデータＴＥＤの入れ替えは可能になっている。
【０１５４】
そして、タイミングエッジデータセットは必ず波形立ち上げおよび波形立ち下げのタイミングエッジ回路４から構成されるタイミングエッジ発生回路セットに入力させるようにしている。これにより、タイミング補正を行うために必要となるＲＺおよびＲ１の波形を１つのセットで実現できるようになる。つまり、ＲＺとＲ１とで波形立ち上げと波形立ち下げとに入力させるタイミングエッジデータＴＥＤの順番を入れ替えることにより、ＲＺとＲ１との両方の波形パターンを出力できるようになる。
【符号の説明】
【０１５５】
１    波形発生装置            ２    レート信号生成部
３    タイミングエッジデータ生成部    ４    タイミングエッジ発生回路
５    タイミング補正部        ６    タイミングエッジ集約ゲート
７    フリップフロップ        １０    設定部
１１    パターンメモリ            １２    デコード回路
１３    入替部                １４    出力変更部
１５    出力変更制御部
【図１】
2011151704.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2011151704.tif 000006
【図５】
2011151704.tif 000007
【図６】
2011151704.tif 000008