(57)【要約】【課題】部品保持状態における吸着ノズルの安定した保持力の確保と、ノズル交換時の着脱容易性とを両立させることができる電子部品実装装置および電子部品実装方法を提供することを目的とする。【解決手段】吸着ノズル２６を着脱自在に保持するノズル保持部２５に、吸着ノズル２６に設けられた被クランプ部２６ｆをクランプする複数のクランプアーム３２およびこれらのクランプアーム３２をクランプ方向に付勢する環状バネ部材３３よりなるクランプ機構と、吸着ノズル２６と連通する吸引開口部２５ｂを真空吸引することによって発生する真空圧によりピストン２９を内側方向に駆動して、補助アーム２７をクランプアーム３２に対して当接させて押圧力を作用させ、クランプ機構による吸着ノズル２６の保持力を補強する保持力補強機構を備える。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品供給部から吸着ノズルによって電子部品を吸着保持して取り出して基板位置決め部に位置決めされた基板に実装する電子部品実装装置であって、
前記吸着ノズルが着脱自在に装着される実装ヘッドと、この実装ヘッドを前記部品供給部と前記基板位置決め部との間で移動させるヘッド移動機構と、前記実装ヘッドに設けられ前記吸着ノズルを着脱自在に保持するノズル保持部とを備え、
前記ノズル保持部は、前記吸着ノズルに設けられた被クランプ部をクランプする複数のクランプアームおよびこれらのクランプアームを前記被クランプ部に押し付けるクランプ方向に付勢する付勢手段よりなるクランプ機構と、前記クランプ機構が設けられ前記吸着ノズルと連通する吸引開口部が設けられた本体部とを有し、
さらに前記吸引開口部を真空吸引することによって発生する真空圧により前記複数のクランプアームに対して前記クランプ方向の押圧力を作用させて、前記クランプ機構による前記吸着ノズルの保持力を補強する保持力補強機構を備えたことを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項２】
前記付勢手段は、前記複数のクランプアームの外面側を周回して装着されて前記クランプアームに対して内側方向の付勢力を与える無端形状の引張りバネ部材であり、
前記保持力補強機構は、前記吸引開口部と連通して前記本体部に設けられたシリンダ部内にピストンを摺動自在に嵌着して成る駆動部と、前記ピストンに連結されて前記クランプアームに対して外側から接離する補助アームとを有し、前記吸引開口部から真空吸引することにより前記ピストンを内側方向に摺動させ、前記補助アームを前記クランプアームに対して当接させることを特徴とする請求項１記載の電子部品実装装置。
【請求項３】
吸着ノズルが着脱自在に装着される実装ヘッドと、この実装ヘッドを前記部品供給部と前記基板位置決め部との間で移動させるヘッド移動機構と、前記実装ヘッドに設けられ前記吸着ノズルを着脱自在に保持するノズル保持部とを備え、前記ノズル保持部は、前記吸着ノズルに設けられた被クランプ部をクランプする複数のクランプアームおよびこれらのクランプアームを前記被クランプ部に押し付けるクランプ方向に付勢する付勢手段よりなるクランプ機構と、前記クランプ機構が設けられ前記吸着ノズルと連通する吸引開口部が設けられた本体部とを有し、さらに前記吸引開口部を真空吸引することによって発生する真空圧により前記複数のクランプアームに対して前記クランプ方向の押圧力を作用させて、前記クランプ機構による前記吸着ノズルの保持力を補強する保持力補強機構を備えた電子部品実装装置によって、部品供給部から前記吸着ノズルによって電子部品を吸着保持して取り出して基板位置決め部に位置決めされた基板に実装する電子部品実装方法であって、
前記電子部品を前記吸着ノズルによって吸着保持する場合には、前記保持力補強機構を作動させて前記吸着ノズルの保持力を補強し、
前記ノズル保持部において吸着ノズルを交換する場合には、前記保持力補強機構が作動しない状態で前記吸着ノズルの着脱を行うことを特徴とする電子部品実装方法。
【請求項４】
前記付勢手段として、前記複数のクランプアームの外面側を周回して装着されて前記クランプアームに対して内側方向の付勢力を与える無端形状の引張りバネ部材を用い、
前記保持力補強機構として、前記吸引開口部と連通して前記本体部に設けられたシリンダ部内にピストンを摺動自在に嵌着して成る駆動部と、前記ピストンに連結されて前記クランプアームに対して外側から接離する補助アームとを有する構成を用い、
前記吸引開口部から真空吸引することにより前記ピストンを内側方向に摺動させ、前記補助アームを前記クランプアームに対して当接させることにより、前記保持力補強機構を作動させることを特徴とする請求項３に記載の電子部品実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に電子部品を実装する電子部品実装装置および電子部品実装方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品を基板に実装する電子部品実装装置では、部品供給部に収納された電子部品を実装ヘッドによってピックアップし、基板上へ移送して所定の実装点に搭載する。電子部品のピックアップの方法としては、吸着ノズルによって真空吸着する方法が広く用いられている。吸着ノズルは一般に吸着対象の電子部品に応じて種類やサイズが異なっているため、吸着対象の電子部品に応じて実装ヘッドに着脱自在に装着される。吸着ノズルを実装ヘッドに着脱自在に装着する形式としては、吸着ノズルを保持するノズル保持部に、吸着ノズルに設けられた凹部に嵌合する形状のクランプアームを同心配置で複数設け、これらのクランプアームの外面側を周回させて円環状のスプリングを装着する構成が知られている（特許文献１参照）。
【０００３】
吸着ノズルの着脱に際しては、クランプアームの嵌入突部と吸着ノズルの凹部とがスプリングの弾性力によって押し付けられた状態で摺動し摩耗が生じやすいため、特許文献１に示す例においては、クランプアームの嵌入突部に潤滑剤を貯留する溝部を設けることにより、摺動による摩耗を低減するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３７１４０８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年電子基板に実装される電子部品の種類の多様化に伴い、電子部品実装装置において吸着ノズルが保持対象とする電子部品の種類には、従来と比較してより重量が大きい大型部品が含まれるようになっている。そしてこのような大型部品を吸着保持している場合には、吸着ノズルに作用する荷重が大きくなることから、吸着ノズルをクランプするためのスプリングの保持力が十分でない場合には、吸着ノズルが保持した部品とともにノズル保持部から脱落する場合がある。
【０００６】
このようなノズル脱落の不具合を低減するためには、スプリングのバネ強度を大きくすることにより大きな保持力を得ることができるが、この場合には、ノズル交換に際して既装着の吸着ノズルをノズル保持部から取り外す際に大きな力を必要とする。この結果、嵌入突部と凹部との摺動面の摩耗が促進され、部品寿命の低下を招くという問題が生じる。このように、従来の電子部品実装装置においては、部品保持状態における吸着ノズルの安定した保持力の確保と、ノズル交換時の着脱容易性とを両立させることが困難であるという課題があった。
【０００７】
そこで本発明は、部品保持状態における吸着ノズルの安定した保持力の確保と、ノズル交換時の着脱容易性とを両立させることができる電子部品実装装置および電子部品実装方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の電子部品実装装置は、部品供給部から吸着ノズルによって電子部品を吸着保持して取り出して基板位置決め部に位置決めされた基板に実装する電子部品実装装置であって、前記吸着ノズルが着脱自在に装着される実装ヘッドと、この実装ヘッドを前記部品供給部と前記基板位置決め部との間で移動させるヘッド移動機構と、前記実装ヘッドに設けられ前記吸着ノズルを着脱自在に保持するノズル保持部とを備え、前記ノズル保持部は、前記吸着ノズルに設けられた被クランプ部をクランプする複数のクランプアームおよびこれらのクランプアームを前記被クランプ部に押し付けるクランプ方向に付勢する付勢手段よりなるクランプ機構と、前記クランプ機構が設けられ前記吸着ノズルと連通する吸引開口部が設けられた本体部とを有し、さらに前記吸引開口部を真空吸引することによって発生する真空圧により前記複数のクランプアームに対して前記クランプ方向の押圧力を作用させて、前記クランプ機構による前記吸着ノズルの保持力を補強する保持力補強機構を備えた。
【０００９】
本発明の電子部品実装方法は、吸着ノズルが着脱自在に装着される実装ヘッドと、この実装ヘッドを前記部品供給部と前記基板位置決め部との間で移動させるヘッド移動機構と、前記実装ヘッドに設けられ前記吸着ノズルを着脱自在に保持するノズル保持部とを備え、前記ノズル保持部は、前記吸着ノズルに設けられた被クランプ部をクランプする複数のクランプアームおよびこれらのクランプアームを前記被クランプ部に押し付けるクランプ方向に付勢する付勢手段よりなるクランプ機構と、前記クランプ機構が設けられ前記吸着ノズルと連通する吸引開口部が設けられた本体部とを有し、さらに前記吸引開口部を真空吸引することによって発生する真空圧により前記複数のクランプアームに対して前記クランプ方向の押圧力を作用させて、前記クランプ機構による前記吸着ノズルの保持力を補強する保持力補強機構を備えた電子部品実装装置によって、部品供給部から前記吸着ノズルによって電子部品を吸着保持して取り出して基板位置決め部に位置決めされた基板に実装する電子部品実装方法であって、前記電子部品を前記吸着ノズルによって吸着保持する場合には、前記保持力補強機構を作動させて前記吸着ノズルの保持力を補強し、前記ノズル保持部において吸着ノズルを交換する場合には、前記保持力補強機構が作動しない状態で前記吸着ノズルの着脱を行う。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、吸着ノズルを着脱自在に保持するノズル保持部に、吸着ノズルに設けられた被クランプ部をクランプする複数のクランプアームおよびこれらのクランプアームをクランプ方向に付勢する付勢手段よりなるクランプ機構と、吸着ノズルと連通する吸引開口部を真空吸引することによって発生する真空圧により複数のクランプアームに対してクランプ方向の押圧力を作用させてクランプ機構による吸着ノズルの保持力を補強する保持力補強機構を備えることにより、部品保持状態における吸着ノズルの安定した保持力の確保と、ノズル交換時の着脱容易性とを両立させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置に用いられる実装ヘッドユニットの構成説明図
【図３】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置におけるノズル保持部の構成および機能説明図
【図４】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置におけるノズル保持部の動作説明図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図１を参照して、電子部品実装装置１の構造を説明する。電子部品実装装置１は、部品供給部から吸着ノズルによって電子部品を吸着保持して取り出して、基板位置決め部に位置決めされた基板に実装する機能を有している。図１において、基台１ａの中央には基板搬送機構２がＸ方向に配設されている。基板搬送機構２は電子部品が実装される基板３をＸ方向に搬送する。
【００１３】
基板搬送機構２による搬送経路には基板を実装位置に位置決めして保持する基板位置決め部が設けられており、この基板位置決め部によって位置決めされた基板３に対して、電子部品が実装される。基板搬送機構２を挟んだ両側方には部品供給部４が配置されており、部品供給部４にはそれぞれ複数のテープフィーダ５が並設されている。テープフィーダ５は電子部品を収納したキャリアテープをピッチ送りして、以下に説明する部品搭載機構に電子部品を供給する。
【００１４】
基台１ａのＸ方向の一端部にはＹ軸移動テーブル６がＹ方向に配設されており、Ｙ軸移動テーブル６には１対のＸ軸移動テーブル７がＹ方向にスライド自在に結合されている。２つのＸ軸移動テーブル７にはそれぞれ下端部に吸着ノズル２６（図２参照）を備えた実装ヘッド８が装着されており、Ｙ軸移動テーブル６およびＸ軸移動テーブル７を駆動することにより実装ヘッド８は水平移動し、これにより実装ヘッド８によってそれぞれの部品供給部４のテープフィーダ５から電子部品を取り出し、基板搬送機構２に位置決めされた基板３に移送搭載する部品実装動作が実行される。したがって、Ｙ軸移動テーブル６、Ｘ軸移動テーブル７は、実装ヘッド８を移動させるヘッド移動機構を構成する。
【００１５】
次に、図２を参照して実装ヘッド８の構造について説明する。図２において実装ヘッド８は垂直な取付プレート１０を備えており、Ｚ軸駆動機構９によって昇降する昇降部材９ａに取付プレート１０を介して装着される。Ｚ軸駆動機構９を駆動することにより、実装ヘッド８の全体が昇降動作を行う（矢印ａ）。取付プレート１０の上部に設けられた平面部１０ａには、モータ１１が垂直に配設されている。モータ１１の回転軸１１ａは、カップリング１２を介して回転ブロック１３の上端軸１３ａと結合されている。回転ブロック１３の下部は中空軸１４と結合されており、中空軸１４との結合部に設けられた中空部１３ｂは、管路１３ｃを介して正圧供給源１５に接続されている。
【００１６】
取付プレート１０の側面にはハウジング１８が固着されており、ハウジング１８は上下のベアリング１９を介して中空軸１４を回転自在に軸支している。中空軸１４内に装着されたスプラインハウジング２０には上下にスプライン軸２１が昇降自在に挿通している。スプライン軸２１の上端部は、中空部１３ｂ内に装着されたベロフラム１６に当接し、下端部は吸着ノズル２６を保持するノズルブロック２２に結合されている。スプライン軸２１が昇降することにより、吸着ノズル２６が昇降する（矢印ｂ）。したがってスプライン軸２１は、ノズル昇降軸となっている。なお、ノズルブロック２２は、上端をハウジング１８に支持された引張りバネ部材（図示省略）によって上方に付勢されており、これによりスプライン軸およびノズルブロック２２の下方への移動が規制されている。
【００１７】
正圧供給源１５を駆動して中空部１３ｂ内に正圧を付与すると、ベロフラム１６はこの圧力によって上述の引張りバネ部材の付勢力に抗してスプライン軸２１を下方に押圧する。すなわち、ベロフラム１６は、スプライン軸２１に対して空圧による下向きの荷重を作用させることにより吸着ノズル２６を介して電子部品を基板３に対して押圧する押圧手段となっている。このとき、制御部１７によって正圧供給源１５から供給される空圧の圧力を制御することにより、電子部品を押圧する押圧荷重が制御される。なお、押圧手段としてベロフラム以外の他形式のエアアクチュエータを用いてもよい。
【００１８】
スプライン軸２１の下端部に結合されたノズルブロック２２の下部は、吸着ノズル２６が着脱自在に装着されるノズル保持部２５となっており、吸着ノズル２６が装着された状態では、吸着ノズル２６の軸部２６ａに設けられた吸着孔２６ｂは管路２３を介して真空吸引源２４に接続される。真空吸引源２４を駆動することにより、管路２３を介して真空吸引され、これにより吸着ノズル２６の吸着孔２６ｂに電子部品Ｐ（図４参照）を真空吸着して保持する。
【００１９】
モータ１１を駆動することにより、回転ブロック１３，中空軸１４，スプラインハウジング２０，スプライン軸２１を介してノズルブロック２２に回転が伝達される。これにより、ノズルブロック２２とともに吸着ノズル２６がθ方向に回転し（矢印ｃ）、吸着ノズル２６に吸着保持された電子部品のθ方向の回転位置を任意に調整することができるようになっている。この回転動作において、ノズルブロック２２に組み込まれた回転継手部２２ａによって、真空吸引源２４に接続された管路２３に対するノズルブロック２２の回転が許容される。回転継手部２２ａは、廻り止め部材２２ｂによって廻り止めされている。
【００２０】
吸着ノズル２６に保持した電子部品を基板に搭載する実装時には、電子部品の種類によって定められた所定の実装荷重で電子部品を押圧する必要がある。この押圧は、正圧供給源１５から中空部１３ｂに正圧を付与し、ベロフラム１６によってスプライン軸２１を下方に押圧することによって行われる。このとき、正圧供給源１５から供給される圧力を調整することにより、ベロフラム１６が押圧する荷重を任意に設定することができる。したがって、同一の実装ヘッド８を用いて、実装荷重が異る多種類の電子部品を実装できるようになっている。
【００２１】
次に、図３を参照して、吸着ノズル２６およびノズル保持部２５の構造を説明する。図３に示すように吸着ノズル２６は、吸着孔２６ｂを有し下方に延出する軸部２６ａを円板状の鍔部２６ｃの下面側に設け、さらに吸着ノズル２６をノズル保持部２５によってクランプして保持するための被クランプ部２６ｆが設けられた装着突部２６ｄを鍔部２６ｃの上面側に突設した構成となっている。
【００２２】
ノズル保持部２５は上記構成の吸着ノズル２６を着脱自在に保持する機能を有しており、上下に貫通して吸着ノズル２６と連通する吸引開口部２５ｂが設けられた本体部２５ａの下部には、装着突部２６ｄの外テーパ面２６ｅが嵌合する内テーパ面２５ｃが形成されている。真空吸引源２４を駆動することにより、管路２３を介して吸引開口部２５ｂ内が真空吸引され、さらに吸着孔２６ｂから真空吸引する。
【００２３】
本体部２５ａの両側面には、上下の両端部に上部突起３２ａ、下部突起３２ｂがそれぞれ設けられた２つのクランプアーム３２が装着されており、これらのクランプアーム３２の外面側を周回して環状バネ部材３３が装着されている。環状バネ部材３３は無端形状の引張りバネ部材であり、クランプアーム３２に対して内側方向への付勢力を与える付勢手段としての機能を有している。
【００２４】
外テーパ面２６ｅを内テーパ面２５ｃに嵌合させて吸着ノズル２６をノズル保持部２５に保持させた状態では、図３（ｂ）に示すように、環状バネ部材３３の付勢力によってクランプアーム３２の上部突起３２ａ、下部突起３２ｂがノズル保持部２５の本体部２５ａ、被クランプ部２６ｆに対してそれぞれ押し付けられ、これにより吸着ノズル２６はクランプされる。このクランプ力は環状バネ部材３３のバネ力に依存しているため、大きなクランプ力を必要とする場合には、必要とされるクランプ力に応じて適切なバネ強さを有する環状バネ部材３３を選定する必要がある。しかしながら、過大なバネ強さの環状バネ部材３３を採用すると、ノズル脱着動作時に下部突起３２ｂや被クランプ部２６ｆに過度の面摩擦が作用して摩耗が促進されるなどの不都合が生じるため、実際に採用可能な環状バネ部材３３のバネ強さには限度がある。
【００２５】
このため、本実施の形態においては、強いバネ強さの環状バネ部材３３を用いることなくクランプ力を増大させることができるよう、以下に説明する保持力補強機構を備えるようにしている。図３（ａ）に示す本体部２５ａにおいて、内テーパ面２５ｃの上部に位置して、水平方向に相対向する２箇所にシリンダ部２５ｄが連結孔２５ｅを介して吸引開口部２５ｂに連通して形成されている。
【００２６】
シリンダ部２５ｄにはピストン２９が摺動自在に嵌合しており、ピストン２９は内蔵された圧縮バネ部材３０によって外側方向（矢印ｄ）に付勢されている。ピストン２９から外側方向に延出して設けられた連結延部２９ａは、連結ピン３１を介して補助アーム２７とリンク結合されている。シリンダ部２５ｄ内を連結孔２５ｅを介して真空吸引することにより、ピストン２９が圧縮バネ部材３０の付勢力に抗して内側方向に吸引され、これにより補助アーム２７は内側方向に引き寄せられる。
【００２７】
補助アーム２７は外側に湾曲した形状の１対のアーム部材であり、上端部の支持端部２７ａは本体部２５ａから外側に張り出して設けられた軸支部２５ｆに支持軸２８を介して軸支されている。補助アーム２７の中間部分が張り出した連結部２７ｂには長穴形状の連結穴２７ｃが設けられており、連結穴２７ｃには連結延部２９ａが連結ピン３１を介してリンク結合されている。連結部２７ｂから下方の部分は先端がクランプアーム３２に外側から当接可能な位置まで延出した押圧端部２７ｄとなっており、連結部２７ｂが内側へ引き寄せられることにより、押圧端部２７ｄはクランプアーム３２に外側から当接し、ピストン２９に作用する真空吸引力に応じた内側方向の押圧力をクランプアーム３２に付加する。
【００２８】
図４は、吸着ノズル２６によって電子部品Ｐを吸着保持するために、真空吸引源２４を駆動して吸引開口部２５ｂ内を真空吸引（矢印ｅ）した状態を示している。この真空吸引により吸着孔２６ｂが真空吸引されて（矢印ｆ）、軸部２６ａの下端部に電子部品Ｐが吸着保持される。これとともに、吸引開口部２５ｂと連通するシリンダ部２５ｄ（図３参照）も真空吸引され（矢印ｇ）、この真空圧によりピストン２９は圧縮バネ部材３０の付勢力に抗して内側へ引き寄せられる（矢印ｈ）。そして連結ピン３１を介して結合された補助アーム２７の下端部の押圧端部２７ｄは内側方向へ移動し（矢印ｉ）、クランプアーム３２の外側に当接して内側方向へ押圧する。これにより、下部突起３２ｂが被クランプ部２６ｆ（図３参照）を押圧するクランプ力が補強される。
【００２９】
すなわち上記構成においては、ノズル保持部２５は、吸着ノズル２６に設けられた被クランプ部２６ｆをクランプする複数（ここでは２つ）のクランプアーム３２およびこれらのクランプアーム３２を被クランプ部２６ｆに押し付けるクランプ方向（内側方向）に付勢する付勢手段（環状バネ部材３３）よりなるクランプ機構と、このクランプ機構が設けられ吸着ノズル２６の吸着孔２６ｂと連通する吸引開口部２５ｂが設けられた本体部２５ａとを有する形態となっている。
【００３０】
さらに本実施の形態においては、吸引開口部２５ｂを真空吸引することによって発生する真空圧により、複数のクランプアーム３２に対してクランプ方向の押圧力を作用させて、クランプ機構による吸着ノズル２６の保持力を補強する保持力補強機構を備えた構成となっている。この保持力補強機構として、本実施の形態においては、吸引開口部２５ｂと連通して本体部２５ａに設けられたシリンダ部２５ｄ内にピストン２９を摺動自在に嵌着して成る駆動部と、ピストン２９に連結ピン３１を介して連結されて、クランプアーム３２に対して外側から接離する補助アーム２７とを有する構成を採用している。そして部品吸着動作において吸引開口部２５ｂから真空吸引することにより、真空吸引されたシリンダ部２５ｄ内においてピストン２９を内側方向に摺動させ、ピストン２９に連結された補助アーム２７をクランプアーム３２に対して外側から当接させるようにしている。
【００３１】
この電子部品実装装置は上記の様に構成されており、以下部品実装動作について説明する。部品実装動作が開始されると、実装ヘッド８は部品供給部４へ移動し、吸着ノズル２６によってテープフィーダ５から電子部品を吸着保持してピックアップし、基板搬送機構２の基板３へ実装する。この部品実装動作を反復する過程において、異なる種類の電子部品を順次実装の対象とする場合には、電子部品の種類に応じて吸着ノズル２６を交換する。これとともに、搭載時の実装荷重の設定を変更する必要がある場合には、制御部１７によって正圧供給源１５を制御し、実装荷重に対応した圧力を供給する。
【００３２】
この実装動作において電子部品を吸着ノズル２６によって吸着保持する場合には、図４に示すように、吸引開口部２５ｂを真空吸引することによって発生する真空圧により、複数のクランプアーム３２に対してクランプ方向の押圧力を作用させて、すなわち前述の保持力補強機構を作動させてノズル保持部２５のクランプ機構による吸着ノズル２６の保持力を補強する。これにより、保持対象の電子部品Ｐが大質量である場合においても、吸着ノズル２６を確実にノズル保持部２５に保持することができ、吸着ノズル２６が電子部品Ｐとともにノズル保持部２５から脱落する不具合を防止することができる。
【００３３】
そしてノズル保持部２５において吸着ノズル２６を交換する場合には、図３に示すように、吸引開口部２５ｂからの真空吸引を停止して保持力補強機構が作動しない状態で、吸着ノズル２６の着脱を行う。これにより、吸着ノズル２６をノズル保持部２５から引き抜く際に必要とされる荷重を小さくすることができる。したがって、部品保持状態における吸着ノズル２６の安定した保持力の確保と、吸着ノズル２６の交換時の着脱容易性とを両立させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明の電子部品実装装置および電子部品実装方法は、部品保持状態における吸着ノズルの安定した保持力の確保と、ノズル交換時の着脱容易性とを両立させることができるという効果を有し、吸着ノズルによって電子部品を保持して基板に移送搭載する分野において有用である。
【符号の説明】
【００３５】
１  電子部品実装装置
３  基板
４  部品供給部
５  テープフィーダ
６  Ｙ軸移動テーブル
７  Ｘ軸移動テーブル
８  実装ヘッド
２５  ノズル保持部
２５ａ  本体部
２５ｂ  吸引開口部
２５ｄ  シリンダ部
２６  吸着ノズル
２６ｂ  吸着孔
２６ｆ  被クランプ部
２７  補助アーム
２９  ピストン
３２  クランプアーム
３３  環状バネ部材
Ｐ  電子部品
【図１】
2011243673.tif 000003
【図２】
2011243673.tif 000004
【図３】
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【図４】
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