(57)【要約】【課題】容易かつコストアップにならない方法で変位量を向上させ、高集積化及び低コスト化を実現した圧電型アクチュエータ、それを用いた液滴吐出ヘッド及び画像形成装置を提供することを目的とする。【解決手段】複数の空隙部３３を有する基板２０と、基板２０の一方の面に固定された弾性膜２１と、弾性膜２１の一方の面に、空隙部３３に対応させて設けた複数の圧電素子を備え、圧電素子２２に電圧が印加されて撓み振動をすることで、弾性膜２１を該撓み方向に変位させる圧電型アクチュエータであって、弾性膜２１は、基板２０との固定部よりも、圧電素子２２の形成部分が、圧電素子２２の撓み方向側に突出した形状を有する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の空隙部を有する基板と、該基板の一方の面に固定された弾性膜と、該弾性膜の一方の面に、前記空隙部に対応させて設けた複数の圧電素子を備え、該圧電素子に電圧が印加されて撓み振動をすることで、前記弾性膜を前記圧電素子の撓み方向に変位させる圧電型アクチュエータであって、
前記弾性膜は、前記基板との固定部よりも、前記圧電素子の形成部分が、前記圧電素子の撓み方向側に突出した形状を有することを特徴とする圧電型アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電型アクチュエータと、各空隙部と連通する複数のノズル孔を有するノズル板と、を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを搭載した画像形成装置において、前記液滴吐出ヘッドが請求項２に記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とする画像形成装置。
【請求項４】
請求項１に記載の圧電型アクチュエータの製造方法であって、
基板の一面に、前記弾性膜の突出形状となる凸部を形成する工程と、
前記基板の前記凸部を形成した面に、前記弾性膜を成膜する工程と、
前記弾性膜に対し、前記圧電素子となる電極膜及び圧電体膜を積層成膜する工程と、
前記電極膜及び前記圧電体膜をパターニングして前記圧電素子を形成する工程と、
前記弾性膜及び前記圧電素子の少なくとも側面を被覆するように絶縁膜を成膜する工程と、
前記基板を、前記弾性膜を成膜した面とは反対側の面から、前記弾性膜にかけてエッチングして前記空隙部を形成する工程と、
を有することを特徴とする圧電型アクチュエータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電型アクチュエータに関し、特に圧電素子に薄膜の圧電体膜を用いた圧電型アクチュエータ、これを用いた液滴吐出ヘッド、画像形成装置及び圧電型アクチュエータの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電素子を用いたアクチュエータは液滴吐出ヘッドの圧力発生素子として広く用いられている。特に、撓み振動モードのアクチュエータを用いたものが、高集積化の面で有利と言われている。
このようなアクチュエータは、ある程度の大きさの基板（例えば、６インチシリコン基板、ガラス基板等）に多数のチップを作り込んだのち、チップサイズに切り出して作成するケースが多い。そのため、アクチュエータを高集積化することで、チップが小型化されること自体のメリットに加え、一枚の基板からのチップ取れ数が増えるので、コストダウンの効果も大きい。また、例えば、画像形成装置のヘッドの圧力発生素子に用いたときには、高精細の画像を作成しやすいとのメリットもある。
ただし、高集積化のためには、単に加工面だけでなく、変位体積を確保するため、変位量の向上が求められる。そして、この要求に対して、例えば、圧電体膜の幅を規定する、圧電材料、電極材料を規定する、振動部の形状を規定する等の多くの提案がなされている。
これらの構成においても、アクチュエータの変位量を向上することは可能であるが、アクチュエータの変位量はできるだけ大きいことが望ましく、さらなる変位量の向上が要求されている。また、このとき、できるだけ容易に作成可能で、コストアップにならない方法が強く望まれている。
例えば、特許文献１、２には、振動板が固定されている加圧室内の側壁に溝を構成することで、振動板相互の干渉を低減するともに、振動板の変位の増大を図ることが記載されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、特許文献１、２に記載の方法の場合、側壁に比較的深い溝を形成するが、このとき、溝加工位置と隔壁の位置を高精度に合わせる必要があり、また、深い溝を形成した後には、フォトリソ等の加工の難易度が増し、工程、構造上の制約が生じる等の課題がある。
かかる現状に鑑み、本発明は、容易かつコストアップにならない方法で変位量を向上させ、高集積化及び低コスト化を実現した圧電型アクチュエータ、それを用いた液滴吐出ヘッド及び画像形成装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記の課題を解決するために、請求項１の発明は、複数の空隙部を有する基板と、該基板の一方の面に固定された弾性膜と、該弾性膜の一方の面に、前記空隙部に対応させて設けた複数の圧電素子を備え、該圧電素子に電圧が印加されて撓み振動をすることで、前記弾性膜を前記圧電素子の撓み方向に変位させる圧電型アクチュエータであって、前記弾性膜は、前記基板との固定部よりも、前記圧電素子の形成部分が、前記圧電素子の撓み方向側に突出した形状を有する圧電型アクチュエータ装置を特徴とする。
また、請求項２の発明は、請求項１に記載の圧電型アクチュエータと、各空隙部と連通する複数のノズル孔を有するノズル板と、を有する液滴吐出ヘッドを特徴とする。
また、請求項３の発明は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを搭載した画像形成装置において、前記液滴吐出ヘッドが請求項２に記載の液滴吐出ヘッドである画像形成装置を特徴とする。
また、請求項４の発明は、請求項１に記載の圧電型アクチュエータの製造方法であって、前記基板の一面に、前記弾性膜の突出形状となる凸部を形成する工程と、前記基板の前記凸部を形成した面に、前記弾性膜を成膜する工程と、前記弾性膜に対し、前記圧電素子となる電極膜及び圧電体膜を積層成膜する工程と、前記電極膜及び前記圧電体膜をパターニングして前記圧電素子を形成する工程と、前記弾性膜及び前記圧電素子の少なくとも側面を被覆するように絶縁膜を成膜する工程と、前記基板を、前記弾性膜を成膜した面とは反対側の面から、前記弾性膜にかけてエッチングして前記空隙部を形成する工程と、を有する圧電型アクチュエータの製造方法を特徴とする。
【発明の効果】
【０００５】
以上のように本発明のアクチュエータ装置によれば、複数の空隙部を有する基板と、基板の一方の面に固定された弾性膜と、その弾性膜の一方の面に、空隙部に対応させて設けた複数の圧電素子を備え、この圧電素子に電圧が印加されて撓み振動をすることで、弾性膜を該撓み方向に変位させる圧電型アクチュエータにおいて、弾性膜は、基板との固定部よりも、圧電素子の形成部分が、圧電素子の撓み方向側に突出した形状を有するようにしたので、圧電素子の変位量の向上が可能となり、アクチュエータの高集積化および低コスト化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本発明の圧電型アクチュエータを圧力発生手段として使用した液滴吐出ヘッドの構成の一例を示す分解斜視図。
【図２】本実施形態の液滴吐出ヘッドの構成の平面配置図。
【図３】図２のＸ１−Ｘ１’線における断面図。
【図４】図２のＸ２−Ｘ２’線における断面図。
【図５】図２のＹ１−Ｙ１’線における断面図。
【図６】図２のＹ２−Ｙ２’線における断面図。
【図７】図３の圧電素子付近を拡大した部分拡大図。
【図８】図５の圧電素子付近を拡大した部分拡大図。
【図９】本実施形態の圧電型アクチュエータの製造フローを示す図。
【図１０】本発明に係る液滴カートリッジを示す図。
【図１１】本発明に係るインクジェット記録装置の機構の一例を示す図。
【図１２】本発明に係るインクジェット記録装置の機構の一例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下に、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図１は、本発明の圧電型アクチュエータを圧力発生手段として使用した液滴吐出ヘッドの構成の一例を示す分解斜視図である。図２は、本実施形態の液滴吐出ヘッドの構成の平面配置図である。図３は、図２のＸ１−Ｘ１’線における断面図である。図４は、図２のＸ２−Ｘ２’線における断面図である。図５は、図２のＹ１−Ｙ１’線における断面図である。図６は、図２のＹ２−Ｙ２’線における断面図である。
これらの図において、いずれも、便宜上一部分のみ図示しているが、実際にはもっと多数、例えば１列当たり１００ノズル以上のノズル列を複数列配置した構成とすることが多い。また、図はデフォルメしてあり縮尺は統一されてなく、細かい部分は省略している。
図１から図６を用いて、本発明の圧電型アクチュエータを用いた液滴吐出ヘッドの構成を説明する。
【０００８】
図１に示すように、本実施形態の液滴吐出ヘッドは、アクチュエータ基板としての第１の基板１０、液滴を吐出する複数のノズル孔４１を形成したノズル板４０、各ノズル孔（チャネル）４１と連通した加圧液室３３及び各加圧液室内に圧力を発生させる圧電素子２２を形成した第２の基板（液室基板）２０から主に構成されており、これらに加えて、図示されていないフレーム、ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）、ドライバＩＣを備えることで液滴カートリッジとして機能する。
まず、第１の基板１０としては、第２の基板２０と熱膨張係数が大きく違わない材料を用いることが好ましく、本実施例では、ガラス基板を用いて形成した。第１の基板１０には、サンドブラストにより液供給路１７を形成した。レーザ加工等でも可能であるし、基板の材料によっては機械加工やエッチング加工によって行うこともできる。
また、第２の基板２０との間には、スペーサを兼ねた接着層１５が形成されており、エポキシ系またはポリイミド系の接着剤にて接着されている。さらに、第２の基板２０と第１の基板１０の隙間は、封止剤１６により封止している（図５）。
次に、第２の基板２０には、図１、図２、図５に示すように、第１の基板１０に形成された液供給路１７に対応した部分に共通液室３１が形成され、さらに複数の流体抵抗部３２および加圧液室３３が一体的に形成されている。
第２の基板２０は、シリコン単結晶基板からなり、その第１の基板側の面には、例えば熱酸化等により形成した二酸化硅素（ＳｉＯ2）および四窒化三硅素（Ｓｉ3Ｎ4）の積層膜からなる、厚さの１．０μｍ程度の弾性膜２１が形成されている。
【０００９】
図７は、図３における圧電素子２２付近の部分拡大図、図８は、図５における圧電素子２２付近部分拡大図である。
図７、図８に示すように、弾性膜２１上には、第２の基板２０との固定部分から少し離れた内側に、共通電極である下電極膜２２ａ、圧電体膜２２ｂ及び個別電極である上電極膜２２ｃが積層され、また、加圧液室３３ごとに分離されて、圧電素子２２を形成している。また、少なくとも、下電極膜２２ａ、圧電体膜２２ｂ、上電極膜２２ｃの側面を覆うように絶縁膜２３が形成されている。
下電極膜２２ａおよび上電極膜２２ｃには配線層２４が接続され、その電極端子部分２５（図３）から、この配線層２４を介して下電極膜２２ａおよび上電極膜２２ｃに電圧が印加されるようになっている。
詳しくは、図８に示すように、共通電極である下電極膜２２ａには配線２４ａ、図５等に示すように個別電極である上電極膜２２ｃには、配線２４ｂによって電圧が印加される。
【００１０】
また、下電極膜２２ａは、例えば、厚さ約０．１μｍの白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）等の比較的導電性の高い材料からなる。また、圧電体膜２２ｂは、例えば、厚さ１．０μｍ程度のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる。また、上電極膜２２ｃは、例えば、厚さ０．０５〜０．１μｍの白金（Ｐｔ）、イリジウム（Ｉｒ）等からなる。これらの厚みは、用いる材料やアクチュエータの目標仕様等により適宜調整することが望ましい。また、絶縁膜２３は、水分の透過、吸収の少ない、例えば、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）や四窒化三硅素（Ｓｉ3Ｎ4）を約０．２μｍ厚さのものを用いた。本実施遺体では、下電極膜２２ａも圧電素子２２以外の部分では除去している（下電極膜２２aの配線層２４ａとの接続部付近以外）が、公知のごとく、例えば隣接する圧電素子２２間の部分にも残した構造にしても良い。
【００１１】
次に、ノズル板４０には、公知のごとく、例えば、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板、ステンレス等を使用することができる。本実施例においては、厚さ３０μｍのステンレスにプレス加工にてノズル孔４１を開口したのち、液の出口側の面に、撥液膜としてフッ素系の樹脂を蒸着にて成膜している。また、第２の基板２０とは、接着剤にて貼り合わせている。
このような構成の液滴吐出ヘッドでは、下電極膜２２ａと上電極膜２２ｃ間に電圧を印加すると、圧電体膜２２ｂが電界の方向と垂直方向に縮む様な力が発生し、弾性膜２１側に凸となるように（例えば図７で言えば下方向に）撓む。その時に、加圧液室３３内の液が加圧され、ノズル孔４１から液が吐出される。
（ここでは、単純化のため、吐出時に加圧液室の体積を縮小させることで液吐出させる、いわゆる“押し打ち”で説明しているが、波形を調整することにより容易に“引き打ち”（いったん、加圧液室の体積を増大させてメニスカスをノズル面から引き込んだ後、加圧液室内に発生する圧力波のタイミングに合わせ、加圧液室の体積を元に戻すことで液吐出させる方法）にも対応できる）
以上は、公知の構成と共通の構成であるが、本発明においては、弾性膜２１の形状が、第２の基板２０との固定部よりも、圧電素子２を形成した部分が、圧電素子２２の撓み方向（能動方向）にずれるように突出（屈曲）した形状としている。
【００１２】
それにより、圧電素子２２に電圧を印加して、圧電素子２２および弾性膜可動部が図中下方向に撓むと、図７のＢ点、Ｃ点は図中下方向に下がるとともに、圧電素子２２が撓む力だけでなく形状的な効果によっても、Ｂ点、Ｃ点それぞれが近づく方向に若干移動する。
すなわち、弾性膜２１（および絶縁膜２３）が、圧電素子２２によって、Ａ点、Ｂ点間およびＣ点、Ｄ点間で強く引っ張られる力が緩和される。それにより、弾性膜２１に屈曲が無い構成に対し、変位量を増大される。
屈曲の寸法については、弾性膜２１や圧電素子２２の弾性率、各種膜厚、寸法等により最適値が異なるので、それらに合わせ調整することが望ましい。
【００１３】
図９は、本実施形態の圧電型アクチュエータの製造フローを示す図である。
（ａ）第２の基板２０に、弾性膜２１の屈曲形状となるような段差を形成する。第２の基板２０には、シリコン基板を用いているので、フォトリソ・エッチングプロセスにより、容易に高精度に段差を形成することが可能である。
以下は従来の製造フローとまったく同じで製造可能であり、例えば、
（ｂ）弾性膜２１および圧電素子２２を形成する積層膜を成膜する。
（ｃ）フォトリソ・エッチングプロセスにて圧電素子２２をパターニングし、その後、下電極配線層２４ａとの接続部付近の上電極膜２２ｃおよび圧電体膜２２ｂを除去する。（図示略）
（ｄ）絶縁膜２３を成膜後、フォトリソ・エッチングプロセスにて上電極膜２２ｃ上（端部除く）の絶縁膜２３を除去する。
（ｅ）アルカリ溶液による異方性エッチングまたはドライエッチングにて加圧液室３３および図示は省略するが流体抵抗部３２および共通液室３１を一体的に形成する。
すなわち、（ａ）のように、最初に第２の基板２０に、弾性膜２１の屈曲形状となるような段差を形成する以外は、従来と同様なフローで作成が可能であり、コストアップもほとんど生じない。また、先にも述べたように、フォトリソ・エッチングプロセスにより、容易に且つ高精度に段差を形成することが可能である。
【００１４】
図１０は、本発明にかかる液滴吐出ヘッドを適用した液滴カートリッジを示す図である。
本発明の液滴カートリッジについて図１０を参照して説明する。
このインクカートリッジ一体型ヘッド９５は、ノズル孔４１等を有する上記各実施形態のいずれかの液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッド６１と、このインクジェットヘッド６１に対してインクを供給するインクタンク６２とを一体化したものである。
このように本発明に係る液滴吐出ヘッドにインクを供給するインクタンク（液体タンク）を一体化することにより、滴吐出特性のバラツキが少なく、信頼性の高い液滴吐出ヘッドを一体化した液滴カートリッジ（インクタンク一体型ヘッド）が低コストで得られる。
また、これら各実施形態の液滴吐出ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。
以上、本発明の各実施形態を説明したが、インクジェット式記録ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
【００１５】
次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装置の機構の一例について図１１及び図１２を参照して説明する。
このインクジェット記録装置は、記録装置本体８１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、キャリッジに搭載した本発明に係るインクジェットヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給するインクカートリッジ等で構成される印字機構部８２等を収納し、装置本体８１の下方部には前方側から多数枚の用紙８３を積載可能な給紙カセット（或いは給紙トレイでもよい。）８４を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙８３を手差しで給紙するための手差しトレイ８５を開倒することができ、給紙カセット８４或いは手差しトレイ８５から給送される用紙８３を取り込み、印字機構部８２によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ８６に排紙する。
印字機構部８２は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド９１と従ガイドロッド９２とでキャリッジ９３を主走査方向（紙面垂直方向）に摺動自在に保持し、このキャリッジ９３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェットヘッドからなるヘッド９４を複数のインク吐出口を主走査方向と交叉する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ９３にはヘッド９４に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ９５を交換可能に装着している。なお、本発明に係るインクカートリッジを搭載する構成とすることもできる。
【００１６】
インクカートリッジ９５は上方に大気と連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへインクを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。
また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘッド９４を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個のヘッドでもよい。
ここで、キャリッジ９３は後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド９１に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド９２に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ９３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ９７で回転駆動される駆動プーリ９８と従動プーリ９９との間にタイミングベルト１１８を張装し、このタイミングベルト１１８をキャリッジ９３に固定しており、主走査モータ９７の正逆回転によりキャリッジ９３が往復駆動される。
【００１７】
一方、給紙カセット８４にセットした用紙８３をヘッド９４の下方側に搬送するために、給紙カセット８４から用紙８３を分離給装する給紙ローラ１０１及びフリクションパッド１０２と、用紙８３を案内するガイド部材１０３と、給紙された用紙８３を反転させて搬送する搬送ローラ１０４と、この搬送ローラ１０４の周面に押し付けられる搬送コロ１０５及び搬送ローラ１０４からの用紙８３の送り出し角度を規定する先端コロ１０６とを設けている。搬送ローラ１０４は副走査モータ１０７によってギヤ列を介して回転駆動される。
そして、キャリッジ９３の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ１０４から送り出された用紙８３を記録ヘッド９４の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材１００を設けている。この印写受け部材１００の用紙搬送方向下流側には、用紙８３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ１１１、拍車１１２を設け、さらに用紙８３を排紙トレイ８６に送り出す排紙ローラ１１３及び拍車１１４と、排紙経路を形成するガイド部材１１５、１１６とを配設している。
記録時には、キャリッジ９３を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド９４を駆動することにより、停止している用紙８３にインクを吐出して１行分を記録し、用紙８３を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または、用紙８３の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙８３を排紙する。
【００１８】
また、キャリッジ９３の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド９４の吐出不良を回復するための回復装置１１７を配置している。回復装置１１７はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ９３は印字待機中にはこの回復装置１１７側に移動されてキャッピング手段でヘッド９４をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でヘッド９４の吐出口（ノズル）を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜（不図示）に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
このような画像記録装置においては、ヘッドの性能が、直接画像記録装置の性能に直接的につながる。この画像記録装置において本発明によって得られる低コスト、高ノズル密度のアクチュエータを圧力発生手段として用いた液滴吐出ヘッドを用いることで、低コスト、高精細の画像記録装置を提供することができる。
【符号の説明】
【００１９】
１０  第１の基板、１７  液供給路、２０  第２の基板、２１  弾性膜、２２  圧電素子、２２ａ  下電極膜、２２ｂ  圧電体膜、２２ｃ  上電極膜、２３  絶縁膜、２４  配線層、２４ａ  下電極配線、２５  電極端子部分、３１  共通液室、３２  流体抵抗部、３３  加圧液室、４０  ノズル板、４１  ノズル孔、６１  インクジェットヘッド、６２  インクタンク、８１  記録装置本体、８２  印字機構部、８３  用紙、８４  給紙カセット、８５  トレイ、８６  排紙トレイ、９１  主ガイドロッド、９２  従ガイドロッド、９３  キャリッジ、９４  記録ヘッド、９５  インクカートリッジ、９７  主走査モータ、９８  駆動プーリ、９９  従動プーリ、１００  部材、１０１  給紙ローラ、１０２  フリクションパッド、１０３  ガイド部材、１０４  搬送ローラ、１０５  搬送コロ、１０６  先端コロ、１０７  副走査モータ、１１１  搬送コロ、１１２  拍車、１１３  排紙ローラ、１１４  拍車、１１５  ガイド部材、１１７  回復装置、１１８  タイミングベルト
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２０】
【特許文献１】特許第３１５２２６０号
【特許文献２】特開２００３−００８０９６公報
【図１】
2011011517.tif 000003
【図２】
2011011517.tif 000004
【図３】
2011011517.tif 000005
【図４】
2011011517.tif 000006
【図５】
2011011517.tif 000007
【図６】
2011011517.tif 000008
【図７】
2011011517.tif 000009
【図８】
2011011517.tif 000010
【図９】
2011011517.tif 000011
【図１０】
2011011517.tif 000012
【図１１】
2011011517.tif 000013
【図１２】
2011011517.tif 000014