(57)【要約】【課題】良好な特性を安定して得ることができる半導体装置および半導体装置の製造方法を提供する。【解決手段】半導体基板の表面には砥粒痕が形成されており、ドーパント拡散領域が砥粒痕の伸長方向と為す角度が−５°〜＋５°の範囲内に含まれる方向に伸長する部分を有する半導体装置およびその半導体装置の製造方法である。【選択図】図８
2011243932.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板と、
前記半導体基板の一方の表面に設けられたドーパント拡散領域と、を備え、
前記半導体基板の前記表面には砥粒痕が形成されており、
前記ドーパント拡散領域は、前記砥粒痕の伸長方向と為す角度が−５°〜＋５°の範囲内に含まれる方向に伸長する部分を有する、半導体装置。
【請求項２】
前記ドーパント拡散領域は、ｎ型ドーパント拡散領域と、ｐ型ドーパント拡散領域と、を有しており、
前記ｎ型ドーパント拡散領域上に設けられたｎ型用電極と、
前記ｐ型ドーパント拡散領域上に設けられたｐ型用電極と、をさらに備えた、請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
半導体基板の表面に一方向に伸長する砥粒痕を形成する工程と、
前記半導体基板の前記表面の一部上に前記砥粒痕の伸長方向と為す角度が−５°〜＋５°の範囲内に含まれる方向に伸長する部分を有するマスキングペーストを設置する工程と、
前記半導体基板の前記マスキングペーストからの露出面にドーパント拡散領域を形成する工程と、を含む、半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記砥粒痕を形成する工程は、半導体結晶インゴットをワイヤソーにより切断する工程を含む、請求項３に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記砥粒痕を形成する工程と前記マスキングペーストを設置する工程との間に、前記半導体基板の前記表面をエッチングする工程を含む、請求項３または４に記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置および半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、エネルギ資源の枯渇の問題や大気中のＣＯ2の増加のような地球環境問題などからクリーンなエネルギの開発が望まれており、半導体装置の中でも特に太陽電池セルを用いた太陽光発電が新しいエネルギ源として開発、実用化され、発展の道を歩んでいる。
【０００３】
太陽電池セルは、従来から、たとえば単結晶または多結晶のシリコン基板の受光面にシリコン基板の導電型と反対の導電型となる不純物を拡散することによってｐｎ接合を形成し、シリコン基板の受光面と受光面の反対側の裏面にそれぞれ電極を形成して製造された両面電極型太陽電池セルが主流となっている。また、両面電極型太陽電池セルにおいては、シリコン基板の裏面にシリコン基板と同じ導電型の不純物を高濃度で拡散することによって、裏面電界効果による高出力化を図ることも一般的となっている。
【０００４】
また、シリコン基板の受光面に電極を形成せず、裏面のみに電極を形成した裏面電極型太陽電池セルについても研究開発が進められている（たとえば、特許文献１等参照）。
【０００５】
以下、図２８（ａ）〜図２８（ｆ）の模式的断面図を参照して、従来の裏面電極型太陽電池セルの製造方法の一例について説明する。
【０００６】
まず、図２８（ａ）に示すように、マスキングペースト１０２をｎ型またはｐ型の導電型を有する半導体基板１０１の受光面側の全面にスクリーン印刷して乾燥させた後に、半導体基板１０１の裏面側には部分的に開口部１１４を設けてマスキングペースト１０２をスクリーン印刷する。
【０００７】
次に、図２８（ｂ）に示すように、半導体基板１０１の裏面の開口部１１４からｎ型ドーパント１０４を拡散させることにより、ｎ型ドーパント拡散領域１０３が形成される。
【０００８】
その後、半導体基板１０１の受光面側および裏面側のマスキングペースト１０２をすべて除去し、再度、図２８（ｃ）に示すように、マスキングペースト１０２を半導体基板１０１の受光面側の全面にスクリーン印刷して乾燥させた後に、半導体基板１０１の裏面側に部分的に開口部１１５を設けてマスキングペースト１０２をスクリーン印刷する。
【０００９】
次に、図２８（ｄ）に示すように、半導体基板１０１の裏面の開口部１１５からｐ型ドーパント１０６を拡散させることにより、ｐ型ドーパント拡散領域１０５が形成される。
【００１０】
次に、図２８（ｅ）に示すように、半導体基板１０１の受光面側の表面をテクスチャエッチングすることによってテクスチャ構造１０８を形成した後に、テクスチャ構造１０８上に反射防止膜１０９を形成するとともに、半導体基板１０１の裏面側にパッシベーション膜１０７を形成する。
【００１１】
その後、図２８（ｆ）に示すように、半導体基板１０１の裏面のパッシベーション膜１０７にｎ型ドーパント拡散領域１０３およびｐ型ドーパント拡散領域１０５のそれぞれの表面を露出させる開口部を設けた後に、当該開口部を通して、ｎ型ドーパント拡散領域１０３に接触するｎ型用電極１１２を形成するとともに、ｐ型ドーパント拡散領域１０５に接触するｐ型用電極１１３を形成する。以上により、従来の裏面電極型太陽電池セルが作製される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００７−４９０７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、従来の裏面電極型太陽電池セルにおいては、ｎ型ドーパント拡散領域１０３およびｐ型ドーパント拡散領域１０５をそれぞれ所定の領域に形成することができず良好な特性を安定して得ることができないという問題があった。
【００１４】
このような問題は、裏面電極型太陽電池セルだけの問題ではなく、両面電極型太陽電池セルなどの太陽電池セルを含む半導体装置全体の問題でもある。
【００１５】
上記の事情に鑑みて、本発明の目的は、良好な特性を安定して得ることができる半導体装置および半導体装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、半導体基板と、半導体基板の一方の表面に設けられたドーパント拡散領域と、を備え、半導体基板の表面には砥粒痕が形成されており、ドーパント拡散領域は、砥粒痕の伸長方向と為す角度が−５°〜＋５°の範囲内に含まれる方向に伸長する部分を有する、半導体装置である。
【００１７】
ここで、本発明の半導体装置において、ドーパント拡散領域は、ｎ型ドーパント拡散領域と、ｐ型ドーパント拡散領域と、を有しており、ｎ型ドーパント拡散領域上に設けられたｎ型用電極と、ｐ型ドーパント拡散領域上に設けられたｐ型用電極と、をさらに備えていることが好ましい。
【００１８】
また、本発明は、半導体基板の表面に一方向に伸長する砥粒痕を形成する工程と、半導体基板の表面の一部上に砥粒痕の伸長方向と為す角度が−５°〜＋５°の範囲内に含まれる方向に伸長する部分を有するマスキングペーストを設置する工程と、半導体基板のマスキングペーストからの露出面にドーパント拡散領域を形成する工程と、を含む、半導体装置の製造方法である。
【００１９】
ここで、本発明の半導体装置の製造方法において、砥粒痕を形成する工程は、半導体結晶インゴットをワイヤソーにより切断する工程を含むことが好ましい。
【００２０】
また、本発明の半導体装置の製造方法は、砥粒痕を形成する工程とマスキングペーストを設置する工程との間に、半導体基板の表面をエッチングする工程を含むことが好ましい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、良好な特性を安定して得ることができる半導体装置および半導体装置の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】半導体結晶インゴットをワイヤソーで切断する工程の一例を図解する模式的な斜視図である。
【図２】半導体結晶インゴットが複数箇所で切断されて、半導体基板の複数枚が切り出される工程の一例を図解する模式的な斜視図である。
【図３】図１に示すワイヤソーの一例の模式的な断面図である。
【図４】図１に示すワイヤソーで半導体結晶インゴットが切断されることによって得られた半導体基板の一例の模式的な断面図である。
【図５】図４に示す半導体基板の表面のスライスダメージを除去する工程の一例を図解する模式的な断面図である。
【図６】図５に示す半導体基板の表面の一部の一例の模式的な拡大断面図である。
【図７】図５に示す半導体基板の表面の一部の一例の模式的な斜視図である。
【図８】（ａ）は半導体基板の表面にマスキングペーストを設置する工程の一例を図解する模式的な断面図であり、（ｂ）は半導体基板の裏面にマスキングペーストを設置する工程の一例を図解する模式的な平面図である。
【図９】（ａ）は半導体基板の裏面にｎ型ドーパント拡散領域を形成する工程の一例を図解する模式的な断面図であり、（ｂ）は半導体基板の裏面にｎ型ドーパント拡散領域を形成する工程の一例を図解する模式的な平面図である。
【図１０】（ａ）は半導体基板の表面にマスキングペーストを設置する工程の一例を図解する模式的な断面図であり、（ｂ）は半導体基板の裏面にマスキングペーストを設置する工程の一例を図解する模式的な平面図である。
【図１１】（ａ）は半導体基板の裏面にｐ型ドーパント拡散領域を形成する工程の一例を図解する模式的な断面図であり、（ｂ）は半導体基板の裏面にｐ型ドーパント拡散領域を形成する工程の一例を図解する模式的な平面図である。
【図１２】（ａ）は半導体基板の裏面のｎ型ドーパント拡散領域およびｐ型ドーパント拡散領域を露出させる工程の一例を図解する模式的な断面図であり、（ｂ）は半導体基板の裏面のｎ型ドーパント拡散領域およびｐ型ドーパント拡散領域を露出させる工程の一例を図解する模式的な平面図である。
【図１３】（ａ）は半導体基板の裏面にパッシベーション膜を形成する工程の一例を図解する模式的な断面図であり、（ｂ）は半導体基板の裏面にパッシベーション膜を形成する工程の一例を図解する模式的な平面図である。
【図１４】（ａ）は半導体基板の受光面にテクスチャ構造を形成する工程の一例を図解する模式的な断面図であり、（ｂ）は半導体基板の受光面にテクスチャ構造を形成する工程の一例を図解する模式的な平面図である。
【図１５】（ａ）は半導体基板のテクスチャ構造上に反射防止膜を形成する工程の一例を図解する模式的な断面図であり、（ｂ）は半導体基板のテクスチャ構造上に反射防止膜を形成する工程の一例を図解する模式的な平面図である。
【図１６】（ａ）は半導体基板の裏面のパッシベーション膜にコンタクトホールを形成する工程の一例を図解する模式的な断面図であり、（ｂ）は半導体基板の裏面のパッシベーション膜にコンタクトホールを形成する工程の一例を図解する模式的な平面図である。
【図１７】（ａ）はｎ型用電極およびｐ型用電極を形成する工程の一例を図解する模式的な断面図であり、（ｂ）はｎ型用電極およびｐ型用電極を形成する工程の一例を図解する模式的な平面図である。
【図１８】実施例で用いられたワイヤソーの拡大写真である。
【図１９】図１８に示すワイヤソーによる切断後のｎ型多結晶シリコン基板の表面の一例の顕微鏡写真である。
【図２０】図１９に示すｎ型多結晶シリコン基板の表面の凹凸をレーザー顕微鏡で測定した結果を示す図である。
【図２１】図１８に示すワイヤソーによる切断後のｎ型多結晶シリコン基板の表面の他の一例の顕微鏡写真である。
【図２２】図２１に示すｎ型多結晶シリコン基板の表面の凹凸をレーザー顕微鏡で測定した結果を示す図である。
【図２３】図１９に示すｎ型多結晶シリコン基板のエッチング後の表面の一例の顕微鏡写真である。
【図２４】図２３に示すｎ型多結晶シリコン基板の表面の凹凸をレーザー顕微鏡で測定した結果を示す図である。
【図２５】図２１に示すｎ型多結晶シリコン基板のエッチング後の表面の凹凸をレーザー顕微鏡で測定した結果を示す図である。
【図２６】（ａ）は砥粒痕の伸長方向と為す角度が−５°〜＋５°の範囲内に含まれる方向に伸長するようにマスキングペーストを設置したｎ型多結晶シリコン基板の表面の顕微鏡写真であり、（ｂ）は（ａ）の顕微鏡写真の拡大写真である。
【図２７】（ａ）は砥粒痕の伸長方向と直交する方向に伸長するようにマスキングペーストを設置したｎ型多結晶シリコン基板の表面の顕微鏡写真であり、（ｂ）は（ａ）の顕微鏡写真の拡大写真である。
【図２８】（ａ）〜（ｆ）は、従来の裏面電極型太陽電池セルの製造方法の一例について図解する模式的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図１〜図１７を参照して、本発明の半導体装置の製造方法の一例である実施の形態の裏面電極型太陽電池セルの製造方法について説明する。なお、本発明の図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表わすものとする。
【００２４】
まず、図１の模式的斜視図に示すように、半導体結晶インゴット５０をワイヤソー５３で切断する工程を行なう。図１に示すように、ワイヤソー５３は、所定の間隔をあけて配置されたガイドローラ５１，５２の間に巻き掛けられている。その結果、ワイヤソー５３は、それぞれのガイドローラ５１，５２において、ガイドローラ５１，５２の長手方向に沿って、所定の間隔をあけて複数箇所で張られた状態となる。この状態で、ガイドローラ５１，５２が正転・逆転を繰り返すことによって、ワイヤソー５３が矢印５５の方向に往復走行を行なうことになる。
【００２５】
ワイヤソー５３が矢印５５の方向に往復走行をしている状態で、半導体結晶インゴット５０を矢印５４の方向に移動させる。そして、半導体結晶インゴット５０を往復走行をしているワイヤソー５３に押し付けることによって、たとえば図２の模式的斜視図に示すように、半導体結晶インゴット５０が複数箇所で切断されて、半導体基板１の複数枚が切り出される。
【００２６】
図３に、図１に示すワイヤソー５３の一例の模式的な断面図を示す。ここで、ワイヤソー５３は、芯線５３ａと、芯線５３ａの外周面にボンド材（図示せず）で固着された砥粒５３ｂと、を含んでいる。芯線５３ａとしては、たとえばピアノ線などを用いることができる。砥粒５３ｂとしてはたとえばダイヤモンド砥粒などを用いることができ、ボンド材としてはたとえば芯線５３ａの外表面にめっきされたニッケルなどを用いることができる。
【００２７】
図４に、ワイヤソー５３で半導体結晶インゴット５０が切断されることによって得られた半導体基板１の一例の模式的な断面図を示す。ここで、半導体基板１の表面には、上記のワイヤソー５３を用いた半導体結晶インゴット５０の切断によってスライスダメージ１ａが生じている。
【００２８】
半導体結晶インゴット５０としては、たとえば、チョクラルスキー法または鋳造法によって作製された単結晶シリコンインゴットまたは多結晶シリコンインゴットなどの結晶シリコンインゴットなどが用いられる。半導体結晶インゴット５０として結晶シリコンインゴットを用いた場合には、半導体基板１としてシリコン結晶基板を得ることができる。なお、半導体結晶インゴット５０は、ｎ型のドーパントがドープされることによって、ｎ型の導電型を有している。
【００２９】
次に、図５の模式的断面図に示すように、図４に示す半導体基板１の表面のスライスダメージ１ａを除去する工程を行なう。ここで、半導体基板１としてシリコン結晶基板を用いた場合には、スライスダメージ１ａの除去は、たとえば、水酸化ナトリウム水溶液や水酸化カリウム水溶液などのアルカリ水溶液でエッチングすることなどにより行なうことができる。
【００３０】
半導体基板１の大きさおよび形状は特に限定されないが、たとえば、厚さを１００μｍ以上３００μｍ以下とし、１辺の長さを１００ｍｍ以上２００ｍｍ以下とした四角形状の表面を有する半導体基板などを用いることができる。
【００３１】
図６に、図５に示す半導体基板１の表面の一部の一例の模式的な拡大断面図を示す。図７に、図５に示す半導体基板１の表面の一部の一例の模式的な斜視図を示す。ここで、半導体基板１の表面には大きなうねり（図６の仮想破線；以下「ソーマーク」という）６１が形成されるとともに、ソーマーク６１よりも深さの浅い溝状の砥粒痕６２が形成されている。
【００３２】
ソーマーク６１は、ワイヤソー５３を用いた半導体結晶インゴット５０の切断に起因して形成される。すなわち、図１に示すように、半導体基板１は、往復走行するワイヤソー５３に半導体結晶インゴット５０を押し付けて切断することにより得られるが、ワイヤソー５３の走行方向５５が切り替わるたびにワイヤソー５３が一時停止して線速が落ちる。これにより、ワイヤソー５３に対する半導体結晶インゴット５０の移動方向（矢印５４の方向）に沿ってワイヤソー５３による半導体結晶インゴット５０への切り込み深さが異なるため、それが大きなうねりであるソーマーク６１として半導体基板１の表面に現れる。
【００３３】
また、砥粒痕６２は、ワイヤソー５３を用いた半導体結晶インゴット５０の切断時にワイヤソー５３の砥粒５３ｂによって形成された傷であり、ワイヤソー５３の走行方向５５に沿って伸長する溝状に形成される。
【００３４】
なお、図６および図７には説明の便宜のため図示していないが、上記のスライスダメージ１ａの除去のためのエッチングによって半導体基板１の表面にクレーター状の窪みが形成されていてもよい。
【００３５】
次に、図８（ａ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の受光面側の表面（受光面）の全面にマスキングペースト２を設置するとともに、半導体基板１の裏面側の表面（裏面）に開口部１４を設けるようにしてマスキングペースト２を設置する。
【００３６】
ここで、マスキングペースト２は、図８（ｂ）の模式的平面図に示すように、砥粒痕（図示せず）の伸長方向（矢印５５の方向）と為す角度が−５°〜＋５°の範囲内に含まれる方向に伸長する部分を有するように設置される。これは、本発明者が鋭意検討した結果、砥粒痕の伸長方向と為す角度が−５°〜＋５°の範囲内に含まれる方向に伸長するようにマスキングペースト２を設置した場合には、その範囲外の方向に伸長するようにマスキングペースト２を設置した場合と比べて、マスキングペースト２がその伸長方向以外の方向に流れ出すのを抑制することができることを見い出したことによるものである。これにより、開口部１４は、少なくともその部分については、砥粒痕の伸長方向（矢印５５の方向）と為す角度が−５°〜＋５°の範囲内に含まれる方向に安定して形成することができる。なお、本実施の形態においては、マスキングペースト２が、砥粒痕の伸長方向（矢印５５の方向）と為す角度が０°となる方向に伸長する帯状に形成された場合について説明する。
【００３７】
マスキングペースト２としては、たとえば、溶剤、増粘剤、ならびに酸化シリコン前駆体および／または酸化チタン前駆体を含むものなどを用いることができる。また、マスキングペースト２としては、増粘剤を含まないものも用いることができる。
【００３８】
溶剤としては、たとえば、エチレングリコール、メチルセロソルブ、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブ、ジエチルセロソルブ、セロソルブアセテート、エチレングリコールモノフェニルエーテル、メトキシエタノール、エチレングリコールモノアセテート、エチレングリコールジアセテート、ジエチレングリコール、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールアセテート、トリエチルグリコール、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、テトラエチレングリコール、液体ポリエチレングリコール、プロピレングリコール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、１−ブトキシエトキシプロパノール、ジプロピルグリコール、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、ポリプロピレングリコール、トリメチレングリコール、ブタンジアール、１，５−ペンタンジアール、ヘキシレングリコール、グリセリン、グリセリルアセテート、グリセリンジアセテート、グリセリルトリアセテート、トリメチロールプロピン、１，２，６−ヘキサントリオール、１，２−プロパンジオール、１，５−ペンタンジオール、オクタンジオール、１，２−ブタンジオール、１，４−ブタンジオール、１，３−ブタンジオール、ジオキサン、トリオキサン、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、メチラール、ジエチルアセタール、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、ジエチルケトン、アセトニルアセトン、ジアセトンアルコール、ギ酸メチル、ギ酸エチル、ギ酸プロピル、酢酸メチル、酢酸エチルを単独でまたは２種以上併用して用いることができる。
【００３９】
増粘剤としては、エチルセルロース、ポリビニルピロリドンまたは双方の混合物を用いることが望ましいが、様々な品質および特性のベントナイト、様々な極性溶剤混合物用の一般に無機のレオロジー添加剤、ニトロセルロースおよびその他のセルロース化合物、デンプン、ゼラチン、アルギン酸、高分散性非晶質ケイ酸（Ａｅｒｏｓｉｌ（登録商標））、ポリビニルブチラール（Ｍｏｗｉｔａｌ（登録商標））、ナトリウムカルボキシメチルセルロース（ｖｉｖｉｓｔａｒ）、熱可塑性ポリアミド樹脂（Ｅｕｒｅｌｏｎ（登録商標））、有機ヒマシ油誘導体（Ｔｈｉｘｉｎ Ｒ（登録商標））、ジアミド・ワックス（Ｔｈｉｘａｔｒｏｌ ｐｌｕｓ（登録商標））、膨潤ポリアクリル酸塩（Ｒｈｅｏｌａｔｅ（登録商標））、ポリエーテル尿素−ポリウレタン、ポリエーテル−ポリオールなどを用いることもできる。
【００４０】
酸化シリコン前駆体としては、たとえば、ＴＥＯＳ（テトラエチルオルソシリケート）のような一般式Ｒ1’nＳｉ（ＯＲ1）4-n（Ｒ1’はメチル、エチルまたはフェニルを示し、Ｒ1はメチル、エチル、ｎ−プロピルまたはｉ−プロピルを示し、ｎは０、１または２を示す。）で示される物質を用いることができる。
【００４１】
酸化チタン前駆体には、たとえば、Ｔｉ（ＯＨ）4のほか、ＴＰＴ（テトライソプロポキシチタン）のようなＲ2’nＴｉ（ＯＲ2）4-nで示される物質（Ｒ2’はメチル、エチルまたはフェニルを示し、Ｒ2はメチル、エチル、ｎ−プロピルまたはｉ−プロピルを示し、ｎは０、１または２を示す。）であり、その他、ＴｉＣｌ4、ＴｉＦ4およびＴｉＯＳＯ4なども含まれる。
【００４２】
増粘剤を用いる場合には、増粘剤としては、たとえば、ヒマシ油、ベントナイト、ニトロセルロース、エチルセルロース、ポリビニルピロリドン、デンプン、ゼラチン、アルギン酸、非晶質ケイ酸、ポリビニルブチラール、ナトリウムカルボキシメチルセルロース、ポリアミド樹脂、有機ヒマシ油誘導体、ジアミド・ワックス、膨潤ポリアクリル酸塩、ポリエーテル尿素−ポリウレタン、ポリエーテル−ポリオールなどを単独でまたは２種以上を併用して用いることができる。
【００４３】
マスキングペースト２の設置方法は、特に限定されず、たとえば従来から公知の塗布方法などを用いることができる。
【００４４】
その後、半導体基板１の受光面および裏面にそれぞれ設置されたマスキングペースト２を乾燥させる。
【００４５】
マスキングペースト２の乾燥方法としては、たとえばマスキングペースト２の設置後の半導体基板１をオーブン内に設置し、たとえば３００℃程度の温度でたとえば数十分間の時間マスキングペースト２を加熱することにより行なうことができる。
【００４６】
そして、上記のようにして乾燥させた後のマスキングペースト２を焼成することによって、マスキングペースト２を固化させる。マスキングペースト２の焼成は、たとえば８００℃以上１０００℃以下の温度でたとえば１０分間以上６０分間以下の時間マスキングペースト２を加熱することにより行なうことができる。
【００４７】
次に、図９（ａ）の模式的断面図に示すように、ｎ型ドーパント含有ガス４を流すことによって、半導体基板１の裏面側の開口部１４から露出している半導体基板１の裏面にｎ型ドーパントを拡散させてｎ型ドーパント拡散領域３を形成する。これにより、図９（ｂ）の模式的平面図に示すように、ｎ型ドーパント拡散領域３は、砥粒痕の伸長方向（矢印５５の方向）と為す角度が−５°〜＋５°の範囲内に含まれる方向に伸長する帯状に形成される。なお、ｎ型ドーパント含有ガス４としては、たとえばｎ型ドーパントであるリンを含むＰＯＣｌ3などを用いることができる。また、ｎ型ドーパント拡散領域３は、半導体基板１よりもｎ型ドーパント濃度が高い領域である。
【００４８】
その後、半導体基板１の受光面および裏面のそれぞれのマスキングペースト２を一旦すべて除去する。マスキングペースト２の除去は、たとえば、マスキングペースト２が設置された半導体基板１をフッ酸水溶液中に浸漬させることなどにより行なうことができる。
【００４９】
次に、図１０（ａ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の受光面側の表面（受光面）の全面にマスキングペースト２を設置するとともに、半導体基板１の裏面側の表面（裏面）に開口部１５を設けるようにしてマスキングペースト２を設置する。開口部１５は開口部１４とは異なる箇所に形成される。
【００５０】
ここで、マスキングペースト２は、図１０（ｂ）の模式的平面図に示すように、砥粒痕（図示せず）の伸長方向（矢印５５の方向）と為す角度が−５°〜＋５°の範囲内に含まれる方向に伸長する部分を有するように設置される。これにより、少なくともその部分については、開口部１５は、砥粒痕の伸長方向（矢印５５の方向）と為す角度が−５°〜＋５°の範囲内に含まれる方向に安定して形成することができる。なお、本実施の形態においては、マスキングペースト２が、砥粒痕の伸長方向（矢印５５の方向）と為す角度が０°となる方向に伸長する帯状に形成された場合について説明する。
【００５１】
そして、半導体基板１の受光面および裏面にそれぞれ塗布されたマスキングペースト２を乾燥させた後に、マスキングペースト２を焼成することによって、マスキングペースト２を固化させる。
【００５２】
次に、図１１（ａ）の模式的断面図に示すように、ｐ型ドーパント含有ガス６を流すことによって、半導体基板１の裏面側の開口部１５から露出している半導体基板１の裏面にｐ型ドーパントを拡散させてｐ型ドーパント拡散領域５を形成する。これにより、図１１（ｂ）の模式的平面図に示すように、ｐ型ドーパント拡散領域５は、砥粒痕の伸長方向（矢印５５の方向）と為す角度が−５°〜＋５°の範囲内に含まれる方向に伸長する帯状に形成される。なお、ｐ型ドーパント含有ガス６としては、たとえばｐ型ドーパントであるボロンを含むＢＢｒ3などを用いることができる。
【００５３】
次に、図１２（ａ）の模式的断面図および図１２（ｂ）の模式的平面図に示すように、半導体基板１の受光面および裏面のそれぞれのマスキングペースト２をすべて除去する。これにより、半導体基板１の受光面全面および裏面全面が露出して、半導体基板１の裏面に砥粒痕の伸長方向（矢印５５の方向）と為す角度が−５°〜＋５°の範囲内に含まれる方向に伸長する帯状のｎ型ドーパント拡散領域３およびｐ型ドーパント拡散領域５をそれぞれ露出させることができる。
【００５４】
次に、図１３（ａ）の模式的断面図および図１３（ｂ）の模式的平面図に示すように、半導体基板１の裏面上にパッシベーション膜７を形成する。パッシベーション膜７としては、たとえば、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化シリコン膜と窒化シリコン膜との積層体などを用いることができる。パッシベーション膜７は、たとえば、プラズマＣＶＤ法などにより形成することができる。
【００５５】
次に、図１４（ａ）の模式的断面図および図１４（ｂ）の模式的平面図に示すように、半導体基板１のパッシベーション膜７が形成されている側と反対側となる受光面をテクスチャエッチングすることによってテクスチャ構造８を形成する。テクスチャ構造８を形成するためのテクスチャエッチングは、半導体基板１の他方の表面に形成されたパッシベーション膜７をエッチングマスクとして用いることによって行なうことができる。テクスチャエッチングは、半導体基板１がシリコン結晶基板からなる場合には、たとえば水酸化ナトリウムまたは水酸化カリウムなどのアルカリ水溶液にイソプロピルアルコールを添加した液をたとえば７０℃以上８０℃以下に加熱したエッチング液を用いて半導体基板１の受光面をエッチングすることによって行なうことができる。
【００５６】
次に、図１５（ａ）の模式的断面図および図１５（ｂ）の模式的平面図に示すように、半導体基板１のテクスチャ構造８上に反射防止膜９を形成する。反射防止膜９としては、たとえば、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化シリコン膜と窒化シリコン膜との積層体などを用いることができる。反射防止膜９は、たとえば、プラズマＣＶＤ法などにより形成することができる。
【００５７】
次に、図１６（ａ）の模式的断面図および図１６（ｂ）の模式的平面図に示すように、パッシベーション膜７の一部を除去することによってコンタクトホール１０およびコンタクトホール１１を形成して、コンタクトホール１０からｎ型ドーパント拡散領域３の一部を露出させるとともに、コンタクトホール１１からｐ型ドーパント拡散領域５の一部を露出させる。
【００５８】
コンタクトホール１０，１１は、たとえば、パッシベーション膜７上にフォトリソグラフィ技術を用いてコンタクトホール１０，１１のそれぞれの形成箇所に対応する部分に開口部を有するレジストパターンを形成した後に、レジストパターンの開口部からパッシベーション膜７をエッチングにより除去する方法などにより形成することができる。
【００５９】
次に、図１７（ａ）の模式的断面図および図１７（ｂ）の模式的平面図に示すように、コンタクトホール１０を通してｎ型ドーパント拡散領域３に電気的に接続されるｎ型用電極１２を形成するとともに、コンタクトホール１１を通してｐ型ドーパント拡散領域５に電気的に接続されるｐ型用電極１３を形成する。ここで、ｎ型用電極１２およびｐ型用電極１３としては、たとえば、銀などの金属からなる電極を用いることができる。以上により、本実施の形態における裏面電極型太陽電池セルを作製することができる。
【００６０】
以上のように、本実施の形態においては、上記のように、砥粒痕の伸長方向と為す角度が−５°〜＋５°の範囲内に含まれる方向に伸長する部分を有するようにマスキングペースト２を設置することができるため、少なくともその部分については、砥粒痕の伸長方向と為す角度が−５°〜＋５°の範囲内に含まれる方向に開口部１４，１５を安定した形状に形成することができる。
【００６１】
これにより、本実施の形態においては、開口部１４，１５のそれぞれに形成されるｎ型ドーパント拡散領域３およびｐ型ドーパント拡散領域５もそれぞれ所望の形状に安定して形成することができるため、裏面電極型太陽電池セルの特性を安定して良好なものとすることができる。
【００６２】
なお、上記の実施の形態は、ｎ型の導電型を有する半導体結晶インゴットで説明を行なったが、半導体結晶インゴットはｐ型の導電型を有していてもよい。
【００６３】
また、本発明は、裏面電極型太陽電池セルに限定されるものではなく、半導体基板の受光面と裏面にそれぞれ電極を形成して製造された両面電極型太陽電池セルなどのあらゆる構成の太陽電池セルを含む半導体装置に適用することもできる。
【実施例】
【００６４】
＜マスキングペーストの設置＞
まず、鋳造法によって形成したｎ型多結晶シリコンインゴットを、往復走行を行なっているワイヤソー（図１８の拡大写真に示す形状を有する）に押し付けて切断した。これにより、１辺がそれぞれ１２６ｍｍの擬似正方形状の受光面および裏面に一方向に伸長する溝からなる砥粒痕が形成され、厚さが２００μｍのｎ型多結晶シリコン基板を複数枚形成した。ここで、図１８に示されるワイヤソーは、断面直径１２０μｍのピアノ線の外周面にめっきされたニッケルで粒径３０μｍ以下のダイヤモンド砥粒を固着して作製したものを用いた。
【００６５】
図１９に上記のワイヤソーによる切断後のｎ型多結晶シリコン基板の表面の一例の顕微鏡写真を示し、図２０に図１９に示すｎ型多結晶シリコン基板の表面の凹凸をレーザー顕微鏡で測定した結果を示す。なお、図２０の横軸はｎ型多結晶シリコン基板の表面の幅（最大幅：１０ｍｍ）を示し、図２０の縦軸はｎ型多結晶シリコン基板の表面の厚さ（最大厚さ：１０μｍ）を示している。
【００６６】
図２１に上記のワイヤソーによる切断後のｎ型多結晶シリコン基板の表面の他の一例の顕微鏡写真を示し、図２２に図２１に示すｎ型多結晶シリコン基板の表面の凹凸をレーザー顕微鏡で測定した結果を示す。なお、図２２の横軸はｎ型多結晶シリコン基板の表面の幅（最大幅：１０ｍｍ）を示し、図２２の縦軸はｎ型多結晶シリコン基板の表面の厚さ（最大厚さ：１０μｍ）を示している。
【００６７】
図１９〜図２２に示すように、ｎ型多結晶シリコン基板の表面にはワイヤソーへのｎ型多結晶シリコンインゴットの押し付け方向に沿って形成された大きなうねりであるソーマークと、ワイヤソーの走行方向に沿ってソーマークに形成された溝状の砥粒痕（図１９および図２１の縦筋）と、が形成されていることが確認された。
【００６８】
次に、上記のようにして形成したｎ型多結晶シリコン基板の表面を水酸化ナトリウム濃度が４８質量％の水酸化ナトリウム水溶液（水５２ｇに対して水酸化ナトリウム４８ｇ）で３０μｍの深さにエッチングすることによって、ｎ型多結晶シリコン基板の表面のスライスダメージを除去した。
【００６９】
図２３に図１９に示すｎ型多結晶シリコン基板のエッチング後の表面の一例の顕微鏡写真を示し、図２４に図２３に示すｎ型多結晶シリコン基板の表面の凹凸をレーザー顕微鏡で測定した結果を示す。図２５に図２１に示すｎ型多結晶シリコン基板のエッチング後の表面の凹凸をレーザー顕微鏡で測定した結果を示す。図２３に示すように、ｎ型多結晶シリコン基板の表面には円形状の窪みが形成されているが、図２４および図２５に示すように砥粒痕はｎ型多結晶シリコン基板の表面から消えていなかった。
【００７０】
次に、上記のエッチング後のｎ型多結晶シリコン基板の表面に砥粒痕の伸長方向と為す角度が−５°〜＋５°の範囲内に含まれる方向に伸長するように複数の帯状のマスキングペースト（マスキングペーストの１本当たりの設計幅：１３００μｍ、粘度：１３Ｐａ・Ｓ）を間欠的に設置した。これにより、隣り合うマスキングペーストの間には、マスキングペーストが設置されずに露出している部分である帯状の開口部（開口部１本当たりの設計幅：２００μｍ）が形成された。
【００７１】
図２６（ａ）に砥粒痕の伸長方向と為す角度が−５°〜＋５°の範囲内に含まれる方向に伸長するようにマスキングペーストを設置したｎ型多結晶シリコン基板の表面の顕微鏡写真を示し、図２６（ｂ）に図２６（ａ）の顕微鏡写真の拡大写真を示す。図２６（ａ）および図２６（ｂ）において、色の濃い箇所がマスキングペーストの設置箇所であり、色の薄い部分が開口部である。
【００７２】
図２６（ａ）および図２６（ｂ）に示すように、砥粒痕の伸長方向と為す角度が−５°〜＋５°の範囲内に含まれる方向に伸長するようにして設置したマスキングペーストについては、マスキングペーストの伸長方向以外の方向にマスキングペーストが流れ出すのを抑制することができることが確認された。
【００７３】
砥粒痕の伸長方向と直交する方向に伸長するように複数の帯状のマスキングペーストを設置したこと以外は上記と同様にしてマスキングペーストを設置した。
【００７４】
図２７（ａ）に砥粒痕の伸長方向と直交する方向に伸長するようにマスキングペーストを設置したｎ型多結晶シリコン基板の表面の顕微鏡写真を示し、図２７（ｂ）に図２７（ａ）の顕微鏡写真の拡大写真を示す。図２７（ａ）および図２７（ｂ）において、色の濃い箇所がマスキングペーストの設置箇所であり、色の薄い部分が開口部である。
【００７５】
図２７（ａ）および図２７（ｂ）に示すように、砥粒痕の伸長方向と直交する方向に伸長するようにして設置したマスキングペーストについては、砥粒痕の伸長方向と為す角度が−５°〜＋５°の範囲内に含まれる方向に伸長するようにマスキングペーストを設置した場合と比べて、マスキングペーストの伸長方向以外の方向にマスキングペーストが流れ出し、マスキングペーストの幅がばらつくことが確認された。
【００７６】
また、砥粒痕の伸長方向と為す角度が−５°〜＋５°の範囲内に含まれる方向に伸長するようにマスキングペーストを設置したｎ型多結晶シリコン基板の表面から任意の１０本の開口部（サンプルＮｏ．１〜１０）を選択して、これら１０本の開口部の幅の最大値と最小値とを測定し、その最大値と最小値との差を求めた。そして、サンプルＮｏ．１〜１０の開口部の幅の最大値、最小値および最大値と最小値との差のそれぞれについて、平均値および標準偏差σを求めた。その結果を表１に示す。
【００７７】
【表１】
2011243932.tif 000003
【００７８】
表１に示すように、サンプルＮｏ．１〜１０の開口部の幅の最大値、最小値および最大値と最小値との差の平均値はそれぞれ１７８、２１６および３９であって、標準偏差σはそれぞれ１５、１０および１４であった。
【００７９】
一方、砥粒痕の伸長方向と直交する方向に伸長するようにマスキングペーストを設置したｎ型多結晶シリコン基板の表面から任意の１０本の開口部を選択して、これら１０本の開口部（サンプルＮｏ．１１〜２０）の幅の最大値と最小値とを測定し、その最大値と最小値との差を求めた。そして、サンプルＮｏ．１１〜２０の開口部の幅の最大値、最小値および最大値と最小値との差のそれぞれについて、平均値および標準偏差σを求めた。その結果を表２に示す。
【００８０】
【表２】
2011243932.tif 000004
【００８１】
表２に示すように、サンプルＮｏ．１１〜２０の開口部の幅の最大値、最小値および最大値と最小値との差の平均値はそれぞれ１５２、２１９および６７であって、標準偏差σはそれぞれ２８、２０および２７であった。
【００８２】
したがって、表１および表２に示すように、砥粒痕の伸長方向と為す角度が−５°〜＋５°の範囲内に含まれる方向に伸長するようにマスキングペーストを設置した場合には、砥粒痕の伸長方向と直交する方向に伸長するようにマスキングペーストを設置した場合と比較して、マスキングペーストの幅の設計値からのばらつきを抑えることができることが確認された。
【００８３】
＜裏面電極型太陽電池セルの作製と評価＞
サンプルＮｏ．１〜１０の開口部を有するｎ型多結晶シリコン基板（実施例の基板）およびサンプルＮｏ．１１〜２０の開口部を有するｎ型多結晶シリコン基板（比較例の基板）をそれぞれ用いて裏面電極型太陽電池セルを作製した。
【００８４】
具体的には、まず、実施例および比較例のそれぞれの基板のマスキングペーストの設置側とは反対側の表面全面にマスキングペーストを設置した後に、実施例および比較例のそれぞれの基板をオーブン内に設置し、１５０℃で３０分間加熱することによりマスキングペーストを乾燥させた。
【００８５】
次に、上記のようにして乾燥させた後のマスキングペーストを８００℃で４０分間加熱して焼成することによってマスキングペーストを固化させた。
【００８６】
次に、マスキングペーストを固化させた後の実施例および比較例のそれぞれの基板にＰＯＣｌ3を流すことによって、実施例および比較例のそれぞれの基板の上記開口部にリンを拡散させてｎ型ドーパント拡散領域を形成した。
【００８７】
次に、実施例および比較例のそれぞれの基板をフッ酸水溶液中に浸漬させることにより実施例および比較例のそれぞれの基板のマスキングペーストをすべて除去した。
【００８８】
次に、ｎ型ドーパント拡散領域形成側の表面にｎ型ドーパント拡散領域とは異なる領域がｎ型ドーパント拡散領域と平行な帯状に露出してなる開口部を複数有するようにマスキングペーストを設置した。ここで、マスキングペーストは、実施例の基板においては、砥粒痕の伸長方向と為す角度が−５°〜＋５°の範囲内に含まれる方向に伸長するように設置され、比較例の基板においては、砥粒痕の伸長方向と直交する方向に伸長するように設置された。
【００８９】
また、実施例および比較例のそれぞれの基板のｎ型ドーパント拡散領域形成側とは反対側の表面全面にもマスキングペーストを設置した。
【００９０】
そして、実施例および比較例のそれぞれの基板をオーブン内に設置し、１５０℃で３０分間加熱することによりマスキングペーストを乾燥させ、その後、マスキングペーストを８００℃で４０分間加熱して焼成することによってマスキングペーストを固化させた。
【００９１】
次に、実施例および比較例のそれぞれの基板にＢＢｒ3を流すことによって、実施例および比較例のそれぞれの基板の上記開口部にボロンを拡散させてｐ型ドーパント拡散領域を形成した。
【００９２】
次に、実施例および比較例のそれぞれの基板をフッ酸水溶液中に浸漬させることにより実施例および比較例のそれぞれの基板のマスキングペーストをすべて除去した。
【００９３】
次に、実施例および比較例のそれぞれの基板のｎ型ドーパント拡散領域およびｐ型ドーパント拡散領域の形成側の表面全面にプラズマＣＶＤ法により窒化シリコン膜からなるパッシベーション膜を形成した。
【００９４】
次に、実施例および比較例のそれぞれの基板のパッシベーション膜形成側とは反対側の表面をテクスチャエッチングすることによってテクスチャ構造を形成した。ここで、テクスチャエッチングは、水酸化ナトリウム濃度が３質量％の水酸化ナトリウム水溶液にイソプロピルアルコールを添加した７０℃〜８０℃のエッチング液を用いて行なった。
【００９５】
次に、実施例および比較例のそれぞれの基板のテクスチャ構造上にプラズマＣＶＤ法により窒化シリコン膜からなる反射防止膜を形成した。
【００９６】
次に、実施例および比較例のそれぞれの基板のパッシベーション膜の一部を帯状に除去することによって、コンタクトホールを形成し、ｎ型ドーパント拡散領域およびｐ型ドーパント拡散領域のそれぞれの一部を露出させた。
【００９７】
その後、実施例および比較例のそれぞれの基板のコンタクトホールを埋めるようにして市販の銀ペーストを塗布し、乾燥させ、６００℃で２０分間加熱することによって銀ペーストを焼成し、ｎ型ドーパント拡散領域およびｐ型ドーパント拡散領域にそれぞれ接する銀電極を形成した。以上により、実施例および比較例のそれぞれの基板を用いた裏面電極型太陽電池セルが作製された。
【００９８】
そして、実施例の基板を用いて作製された裏面電極型太陽電池セル（実施例の太陽電池セル）および比較例の基板を用いて作製された裏面電極型太陽電池セル（比較例の太陽電池セル）のそれぞれに、ソーラシミュレータを用いて擬似太陽光を照射し、電流−電圧（ＩＶ）特性を測定して、短絡電流密度、開放電圧、Ｆ．Ｆ．（Fill Factor）、変換効率およびリーク電流を測定した。その結果を表３に示す。なお、表３においては、比較例の太陽電池セルの短絡電流密度、開放電圧、Ｆ．Ｆ．、変換効率およびリーク電流の値をそれぞれ１００としたときの実施例の太陽電池セルの短絡電流密度、開放電圧、Ｆ．Ｆ．、変換効率およびリーク電流の値がそれぞれ相対値で表わされている。
【００９９】
【表３】
2011243932.tif 000005
【０１００】
表３に示すように、実施例の太陽電池セルは、比較例の太陽電池セルと比較して、短絡電流密度および開放電圧は同等であったものの、Ｆ．Ｆ．および変換効率が高くなり、リーク電流が低くなることが確認された。したがって、実施例の太陽電池セルは、比較例の太陽電池セルと比較して、良好な特性を安定して得ることができる。
【０１０１】
これは、実施例の太陽電池セルにおいては、ｎ型ドーパント拡散領域およびｐ型ドーパント拡散領域をそれぞれ砥粒痕の伸長方向と為す角度が−５°〜＋５°の範囲内に含まれる方向に伸長する帯状に安定して形成することができるため、比較例の太陽電池セルと比べて、ｎ型ドーパント拡散領域およびｐ型ドーパント拡散領域のそれぞれの幅のばらつきが小さかったことによるものと考えられる。
【０１０２】
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【０１０３】
本発明は、半導体装置および半導体装置の製造方法に利用することができ、特に裏面電極型太陽電池セルおよび裏面電極型太陽電池セルの製造方法に好適に利用することができる。
【符号の説明】
【０１０４】
１，１０１  半導体基板、１ａ  スライスダメージ、２，１０２  マスキングペースト、３，１０３  ｎ型ドーパント拡散領域、４，１０４  ｎ型ドーパント含有ガス、５，１０５  ｐ型ドーパント拡散領域、６，１０６  ｐ型ドーパント含有ガス、７，１０７  パッシベーション膜、８，１０８  テクスチャ構造、９，１０９  反射防止膜、１０，１１  コンタクトホール、１２，１１２  ｎ型用電極、１３，１１３  ｐ型用電極、１４，１５，１１４，１１５  開口部、５０  半導体結晶インゴット、５１，５２  ガイドローラ、５３  ワイヤソー、５３ａ  芯線、５３ｂ  砥粒、５４，５５  矢印、６１  ソーマーク、６２  砥粒痕。
【図１】
2011243932.tif 000006
【図２】
2011243932.tif 000007
【図３】
2011243932.tif 000008
【図４】
2011243932.tif 000009
【図５】
2011243932.tif 000010
【図６】
2011243932.tif 000011
【図７】
2011243932.tif 000012
【図８】
2011243932.tif 000013
【図９】
2011243932.tif 000014
【図１０】
2011243932.tif 000015
【図１１】
2011243932.tif 000016
【図１２】
2011243932.tif 000017
【図１３】
2011243932.tif 000018
【図１４】
2011243932.tif 000019
【図１５】
2011243932.tif 000020
【図１６】
2011243932.tif 000021
【図１７】
2011243932.tif 000022
【図２０】
2011243932.tif 000023
【図２２】
2011243932.tif 000024
【図２４】
2011243932.tif 000025
【図２５】
2011243932.tif 000026
【図２８】
2011243932.tif 000027
【図１８】
2011243932.tif 000028
【図１９】
2011243932.tif 000029
【図２１】
2011243932.tif 000030
【図２３】
2011243932.tif 000031
【図２６】
2011243932.tif 000032
【図２７】
2011243932.tif 000033