(57)【要約】      （修正有）【課題】不良品チップに対するインク打点装置において、正常にインク打点するように自動制御することができるインクカートリッジ使用期限管理システムの提供。【解決手段】インク打点装置１５のインクカートリッジを交換する毎に、交換されたインクカートリッジのカラーおよび交換日時が更新されるインクカートリッジ交換ファイル１７と、インクカートリッジの使用期限を示す期限時間を事前に警告する事前警告時間が、交換日時から経過した時間が期限時間若しくは、期限時間と事前警告時間との差を越えているか否かを判断する使用期限時間計算システム１３と、を具備する管理サーバ１４と、この管理サーバ１４に通信可能に接続され、使用期限時間計算システム１３によって判断された結果を受信し、これ基づいてインク打点装置１５の動作を制御するインク打点制御システム１６と、を具備する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マーキング対象ウエハ上における不良品チップの位置を示すマーキングデータと、
インク打点装置に使用されるインクカートリッジを交換する毎に、交換されたインクカートリッジのカラーおよび交換日時が更新されるインクカートリッジ交換ファイルと、
前記インクカートリッジの使用期限を示す期限時間およびこの期限時間が近づいていることを事前に警告する時間を示す事前警告時間が、前記インクカートリッジのカラー毎に記憶された基準時間マスタファイルと、
この基準時間マスタファイルおよび前記インクカートリッジ交換ファイルに基づいて、前記交換日時から経過した時間が、前記期限時間若しくは、前記期限時間と前記事前警告時間との差を越えているか否かを判断する使用期限時間計算システムと、
を具備する管理サーバと、
この管理サーバに通信可能に接続され、前記マーキングデータおよび、前記使用期限時間計算システムによって判断された結果を受信し、これらの結果に基づいて、インク打点装置の動作を制御するインク打点制御システムと、
を具備することを特徴とするインクカートリッジ使用期限管理システム。
【請求項２】
前記管理サーバは、前記インクカートリッジを交換する毎に、この交換された前記インクカートリッジのカラーおよび交換日時が記憶されるインクカートリッジ交換履歴ファイルをさらに具備することを特徴とする請求項１に記載のインクカートリッジ使用期限管理システム。
【請求項３】
インク打点制御システムにおいて、このシステムの起動により、管理サーバ内に記憶されたマーキングデータを受信するステップと、
前記インク打点制御システムからの指令により、前記管理サーバ内の使用期限時間計算システムを起動させるステップと、
このステップにおいて起動した前記使用期限時間計算システムにおいて、前記管理サーバ内に記憶されたインクカートリッジ交換ファイルから、インク打点装置に使用されるインクカートリッジのカラーおよび、このカラーに対応した交換日時を受信するとともに、前記管理サーバ内に記憶された基準時間マスタファイルから、前記インクカートリッジの期限時間および、事前警告時間を受信するステップと、
前記使用期限時間計算システムにおいて、前記交換日時からの経過時間を計算するステップと、
このステップにおいて計算された結果を、前記期限時間、若しくは、前記期限時間と前記事前警告時間との差と比較するステップと、
このステップによる比較結果を、前記インク打点制御システムに送信するステップと、
このステップにより受信した前記比較結果および、前記マーキングデータに基づいて、前記インク打点制御システムが前記インク打点装置の動作を制御することを特徴とするインクカートリッジ使用期限管理方法。
【請求項４】
前記比較結果が、前記交換日時からの経過時間が、前記期限時間、若しくは、前記期限時間と前記事前警告時間との差よりも大きい場合には、前記インク打点装置を停止させることを特徴とする請求項３に記載のインクカートリッジ使用期限管理方法。
【請求項５】
前記比較結果が、前記交換日時からの経過時間が、前記期限時間と前記事前警告時間との差よりも大きい場合には、前記インク打点装置を停止させるか否かを選択させることを特徴とする請求項３に記載のインクカートリッジ使用期限管理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハ上の不良品チップにインクを打点するインク打点装置において使用されるインクカートリッジの使用期限を管理するインクカートリッジ使用期限管理システムおよびインクカートリッジ使用期限管理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウエハ上の複数の半導体チップは、通常は、製造ばらつき等により、一定の性能基準を満たす良品チップと、性能基準を満たさない不良品チップとが混在して形成される。従って、半導体チップの出荷前に、これらが良品であるか否かをテストし、このテスト結果に基づいて良品チップのみをピックアップし、これを出荷している。良品チップのピックアップは、不良品チップに対して予めインク打点システムによってインクを打点しておき、インクが打点されていないチップをピックアップすることにより行われている。
【０００３】
不良品チップにインクを打点するために使用されるインク打点装置には、従来は、インク打点装置の動作を制御するインク打点制御システムが電気的に接続されており、インク打点制御システムからの指令によって、インク打点装置は所定の動作をしている。具体的には、インク打点制御システムは、ウエハ上に形成された不良品チップの位置を示すマーキングデータが格納された管理サーバと通信可能に接続されており、この管理サーバからマーキングデータを受信することにより、このマーキングデータに基づいて、ウエハ上の所望の半導体チップにマーキングされるよう、インク打点装置の動作を制御していた。
【０００４】
以上のように不良品チップにマーキングすることにより、半導体チップの良否判断が可能である。しかし、マーキングされた不良品チップを除き、マーキングされていない良品チップのみを出荷しているにも関わらず、出荷先等から、半導体チップが正常に動作しないといった苦情が届いていた。
【０００５】
本願発明者等はこの原因を追究したところ、インク打点装置において、使用期限を超えたインクカートリッジを使用していたことが原因であることが判明した。このインクカートリッジは、色毎に、使用を開始してからの使用期限が定められており、例えば黒インクカートリッジでは３日、赤インクカートリッジでは４日程度である。このような使用期限を超えたインクカートリッジを使用した場合、インクカートリッジ内のインクが硬化する等といったインク品質の劣化が生じ、インクは、インクカートリッジからインク打点装置に正常に供給されない。この結果、本来はインクが打点されるべき不良品チップにインクが打点されず、良品チップとして扱われていたため、上述のように、製品の品質管理上の問題が生じていた。
【０００６】
このインクカートリッジの使用期限の管理は、従来は、インク打点装置を動作させるオペレータによって行われていた。具体的には、インクカートリッジを交換した日時を管理用紙に記入しておき、実際にインク打点システムを動作させる際には、管理用紙に記入されたインクカートリッジの交換日時からの経過時間(実際にマーキングが完了するまでの時間を含む)が、使用期限を越えていないか否かをオペレータ自身が判断していた。超えていなければ、オペレータは、インク打点装置を動作させ、超えていれば、オペレータは、インクカートリッジを交換する。
【０００７】
このように、インクの使用期限の管理は、オペレータ自身が行っていた。しかし、この管理はオペレータ自身による判断であり、さらにインクカートリッジの使用期限は上述したように非常に短く、頻繁に上述の判断をしなければならないため、判断ミスが発生し、これによって使用期限を超えたインクカートリッジが使用される。従って、不良品チップにインクが正常に打点されず、結果として不良品チップを出荷することになるという、製品の品質管理上の問題が生じる。
【０００８】
なお、インクが正常に打点されないといった不具合を自動的に抑制する手段は知られている（特許文献１、２等参照）。しかし、これらの特許文献１、２に記載された手段は、プリンタ等において使用されるインクカートリッジ内のインク残量を自動的に管理することにより、インクが正常に打点されないという不具合を抑制するものであり、インク打点装置においてインクカートリッジの使用期限を管理することにより、インクが正常に打点されないという不具合を抑制するものとは異なる。さらに、インク残量の管理では、例えインクの残量が規定された残量より多く残っていたとしても、使用期限を過ぎたインクカートリッジを使用した場合にはインクの品質が劣化するため、正常にインクが打点されず、上述の不具合は解消されない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平９−２１６３８１号公報
【特許文献２】特開平９−１８７９５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の課題は、不良品チップに対して正常にインクを打点させるようにインク打点装置を自動的に制御することができるインクカートリッジ使用期限管理システムおよびインクカートリッジ使用期限管理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明によるインクカートリッジ使用期限管理システムは、マーキング対象ウエハ上における不良品チップの位置を示すマーキングデータと、インク打点装置に使用されるインクカートリッジを交換する毎に、交換されたインクカートリッジのカラーおよび交換日時が更新されるインクカートリッジ交換ファイルと、前記インクカートリッジの使用期限を示す期限時間およびこの期限時間が近づいていることを事前に警告する時間を示す事前警告時間が、前記インクカートリッジのカラー毎に記憶された基準時間マスタファイルと、この基準時間マスタファイルおよび前記インクカートリッジ交換ファイルに基づいて、前記交換日時から経過した時間が、前記期限時間若しくは、前記期限時間と前記事前警告時間との差を越えているか否かを判断する使用期限時間計算システムと、を具備する管理サーバと、この管理サーバに通信可能に接続され、前記マーキングデータおよび、前記使用期限時間計算システムによって判断された結果を受信し、これらの結果に基づいて、インク打点装置の動作を制御するインク打点制御システムと、を具備することを特徴とするものである。
【００１２】
本発明によるインクカートリッジ使用期限管理方法は、インク打点制御システムにおいて、このシステムの起動により、管理サーバ内に記憶されたマーキングデータを受信するステップと、前記インク打点制御システムからの指令により、前記管理サーバ内の使用期限時間計算システムを起動させるステップと、このステップにおいて起動した前記使用期限時間計算システムにおいて、前記管理サーバ内に記憶されたインクカートリッジ交換ファイルから、インク打点装置に使用されるインクカートリッジのカラーおよび、このカラーに対応した交換日時を受信するとともに、前記管理サーバ内に記憶された基準時間マスタファイルから、前記インクカートリッジの期限時間および、事前警告時間を受信するステップと、前記使用期限時間計算システムにおいて、前記交換日時からの経過時間を計算するステップと、このステップにおいて計算された結果を、前記期限時間、若しくは、前記期限時間と前記事前警告時間との差と比較するステップと、このステップによる比較結果を、前記インク打点制御システムに送信するステップと、このステップにより受信した前記比較結果および、前記マーキングデータに基づいて、前記インク打点制御システムが前記インク打点装置の動作を制御することを特徴とする方法である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、不良品チップに対して正常にインクを打点させるようにインク打点装置を自動的に制御することができるインクカートリッジ使用期限管理システムおよびその方法を提供することができる。この結果、不良品チップを良品チップとして出荷してしまうといった製品の品質管理上の問題は解決される。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態に係るインクカートリッジ使用期限管理システムを示すブロック図である。
【図２】図１のインクカートリッジ使用期限管理システムの動作を示すフローチャートである。
【図３】図１のインクカートリッジ使用期限管理システムを用いる場合のオペレータの動作を説明するフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に、本実施形態のインクカートリッジ使用期限管理システムについて詳細に説明する。
【００１６】
図１は、本実施形態のインクカートリッジ使用期限管理システムを示すブロック図である。図１に示すように、本実施形態のインクカートリッジ使用期限管理システムは、マーキング対象ウエハＷ１上に形成された不良品チップの位置を示すマーキングデータ１１およびインクカートリッジの使用期限管理用データ１２（以下、管理データ１２と称す）が格納され、使用期限時間計算システム１３（以下、計算システム１３と称す）を有する管理サーバ１４と、この管理サーバ１４から受信するデータによって、インク打点装置１５の動作を制御するインク打点制御システム１６と、を具備する。
【００１７】
このインクカートリッジ使用期限管理システムは、インクカートリッジ交換時から現在までの経過時間が、インクカートリッジ使用期限を経過しているか否か、若しくは使用期限に近づいているか否かを判定し、この判定結果等に基づいてインク打点装置１５の動作を制御するシステムである。以下に、このシステムの構成を詳細に説明する。
【００１８】
まず、インクカートリッジ交換時から現在までの経過時間が、インクカートリッジ使用期限を経過しているか否か、若しくは使用期限に近づいているか否かを判定するための構成を説明する。
【００１９】
この判定は、管理サーバ１４により行われる。すなわち、管理サーバ１４には、インクカートリッジの使用期限が過ぎているか否か、若しくは、インクカートリッジの使用期限が近づいているか否かを判定するためのデータである管理データ１２が格納されており、管理サーバ１４内の計算システム１３は、管理データ１２を用いることにより、上述の判定を行う。
【００２０】
ここで、管理データ１２は、インクカートリッジ交換ファイル１７、基準時間マスタファイル１８およびインクカートリッジ交換履歴ファイル１９からなる。
【００２１】
インクカートリッジ交換ファイル１７には、インク打点装置１５が有するインクカートリッジを交換する毎に更新されるインクカートリッジのカラーおよび交換日時が記憶されている。
【００２２】
基準時間マスタファイル１８には、インク打点装置１５において使用されるインクカートリッジのカラー毎に、インクカートリッジの期限時間、およびこのインクカートリッジの事前警告時間が記憶されている。
【００２３】
ここで、期限時間とは、各カラーのインクカートリッジ毎に定められた使用期限であり、この使用期限を越えたインクカートリッジが有するインクは、その品質が劣化することを示す。従って、期限時間を越えたインクカートリッジを使用してインク打点装置１５を動作させた場合、不良品チップには、正常にインクが打点されない。例えば、記憶される期限時間は、黒インクカートリッジであれ３日、赤インクカートリッジであれば４日、等と記憶されている。
【００２４】
また、事前警告時間とは、上述の期限時間が近づいていることを事前に警告する時間を示す。例えば、この警告時間は、黒インクカートリッジであれば２時間、赤インクカートリッジであれば３時間、等と記憶されている。
【００２５】
インク交換履歴ファイル１９には、インクカートリッジのインクカラー毎に、インクカートリッジの交換日時の履歴が記憶されている。
【００２６】
このような管理用データ１２を用いることにより、計算システム１３は、インクカートリッジの期限時間が過ぎているか否か、若しくは、インクカートリッジの期限時間が近づいているか否かを判定する。
【００２７】
計算システム１３による上述の判断は、以下のように行われる。すなわち、計算システム１３は、インクカートリッジ交換ファイル１７に記憶されたインクカートリッジ交換日時と現在の日時との差分を、基準時間マスタファイル１８に記憶された期限時間若しくは事前警告時間と比較することにより、インクカートリッジの期限時間が過ぎているか否か、若しくは、インクカートリッジの期限時間が近づいているか否かを判定する。
【００２８】
次に、上述の判定結果により、インク打点装置１５を制御するための構成について説明する。
【００２９】
インク打点制御システム１６は、管理サーバ１４と通信可能に接続されており、上述の判定結果を受信することにより、このインク打点制御システム１６に電気的に接続されたインク打点装置１５を制御する。具体的には、管理サーバ１４内の計算システム１３から、現在の日時が期限時間を過ぎている、若しくは、期限時間に近づいているといった判定結果を受信した場合には、インク打点装置１５に対して、動作を停止させる命令を送信し、インク打点装置１５を停止させる。反対に、現在の日時、期限時間を過ぎておらず、期限時間に近づいてもいないといった判定結果を受信した場合には、インク打点装置１５に対して、インク打点を開始させる命令を送信し、インク打点装置１５を動作させる。
【００３０】
また、インク打点制御システム１６は、マーキング対象ウエハＷ１上の不良品チップにインクが打点されるようにインク打点装置１５を制御する。これは、管理サーバ１４内に格納されたマーキングデータ１１を、インク打点制御システム１６が受信することによって行われる。
【００３１】
ここで、マーキングデータ１１とは、半導体試験装置によってウエハ上の個々の半導体チップがテストされ、不良品チップと判断された半導体チップのウエハ上での位置を示すデータである。
【００３２】
このようにインク打点装置１５を制御するインク打点制御システム１６は、例えばＰＣ２０（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）に導入されている。
【００３３】
インク打点装置１５は、従来から使用されている装置であり、ここでは説明を省略するが、本発明に適用されるインク打点装置１５は、マーキング対象ウエハＷ１上の不良品チップにインクを打点することができる装置であれば如何なる装置であってもよく、特に限定されない。
【００３４】
次に、上述したインクカートリッジ使用期限管理システムの動作を詳細に説明する。図２は、図１のインクカートリッジ使用期限管理システムの動作を示すフローチャートである。以下、図２を参照して説明する。
【００３５】
まず、オペレータによってＰＣ２０が操作されることにより、インク打点制御システム１６が起動される（Ｓ１０１）。
【００３６】
次に、インク打点制御システム１６が起動されると、このシステム１６は、管理サーバ１４からマーキングデータ１１を受信する（Ｓ１０２）。このマーキングデータ１１は、インク打点装置１５にセットされたマーキング対象ウエハＷ１に対応するデータである。従って、マーキングデータ１１は、Ｓ１０１によりインク打点制御システム１６が起動される前に、予め管理サーバ１４に格納しておく必要がある。
【００３７】
次に、インク打点制御システムからの指令により、管理サーバ１４内の計算システム１３を起動させる（Ｓ１０３）。
【００３８】
次に、計算システム１３が起動されると、このシステム１３は、インクカートリッジ交換ファイル１７から、インク打点する際に使用されるインクカラーと、このインクカラーのインクカートリッジの交換日時を取得する（Ｓ１０４）。取得されるインクカラーは、計算システム１６の起動後に、ＰＣ２０を操作することによってオペレータに選択させればよい。このオペレータによるインクカラーの選択は、インクカートリッジの交換直後のみで、次回からは前回の選択に基づいて自動で選択されてもよい。
【００３９】
次に、計算システム１３は、基準時間マスタファイル１８から、Ｓ１０４において取得されたインクカラーに対応したインクカートリッジの期限時間、および事前警告時間を取得する（Ｓ１０５）。
【００４０】
次に、計算システム１３は、Ａ：（現在の日時−交換日時）を計算する（Ｓ１０６）。なお、現在の日時は、この計算直前に、例えば管理サーバ１４から受信しておけばよい。
【００４１】
次に、Ｓ１０６によって計算された結果Ａを、Ｂ：（期限時間）および、Ｃ：（期限時間−事前警告時間）と比較する（Ｓ１０７）。そして、この比較結果をインク打点制御システム１６に送信する。
【００４２】
この比較は、以下のように行われる。まず、Ａ：（現在の日時−交換日時）とＢ：（期限時間）とを比較する（Ｓ１０７ａ）。次に、Ａ：（現在の日時−交換日時）がＢ：（期限時間）を超えていない場合には、Ａ：（現在の日時−交換日時）とＣ：（期限時間−事前警告時間）とを比較する（Ｓ１０７ｂ）。
【００４３】
Ｓ１０７ａ、Ｓ１０７ｂの比較の結果、Ａ：（現在の日時−交換日時）がＢ：（期限時間）を超えておらず、Ｃ：（期限時間−事前警告時間）も超えていないと判断された場合、その結果を打点制御システム１６に送信する。打点制御システム１６は、送信された上述の結果を受信すると、この結果に基づいてインク打点装置１５をスタートさせる（Ｓ１０８）。さらに、インク打点制御システム１６は、インク打点装置１５に対して、マーキングデータ１１に基づいてマーキング対象ウエハＷ１に対してインク打点させる命令を送信し（Ｓ１０９）、マーキング対象ウエハＷ１に対してインク打点を開始させる。
【００４４】
また、Ｓ１０７ａの比較の結果、Ａ：（現在の日時−交換日時）はＢ：（期限時間）を超えている、若しくは、Ｓ１０７ｂの比較の結果、Ａ：（現在の日時−交換日時）はＣ：（期限時間−事前警告時間）を超えている、と判断された場合、それらの結果を打点制御システム１６に送信する。打点制御システム１６は、送信された上述の結果を受信すると、これらの結果に基づいて、インク打点装置を停止させ、さらに、ＰＣ２０が有するディスプレイ２１にエラーメッセージを表示させる（Ｓ１１０）。
【００４５】
表示されるエラーメッセージは、例えば、Ａ：（現在の日時−交換日時）がＢ：（期限時間）を超えている場合には、インクカートリッジの交換が必要である旨の表示である。また、Ａ：（現在の日時−交換日時）は、Ｃ：（期限時間−事前警告時間）を超えている場合には、インクカートリッジの期限時間が近づいている旨の警告の表示である。これらの表示は、例えば、インクカラーとともに表示される。
【００４６】
なお、このようなエラーメッセージが表示された場合、オペレータは、表示されたインクカラーに対応したインクカートリッジを交換すればよい。このようにインクカートリッジを交換した後、オペレータは、ＰＣ２０を操作することにより交換したインクカートリッジのカラーを選択すると、インク打点制御システム１６は、選択されたカラーおよび交換された日時を、計算システム１３に送信する（Ｓ１１１）。
【００４７】
次に、インク打点制御システム１６は、選択されたカラーおよび交換された日時を送信することにより計算システム１３を起動される（Ｓ１１２）。
【００４８】
次に、計算システム１３は、Ｓ１１１において送信されたカラーに基づいて、既に記憶されていた交換日時を、Ｓ１１１において送信された交換日時に更新する（Ｓ１１３）。
【００４９】
次に、計算システム１３は、Ｓ１１１において送信されたカラーに基づいて、Ｓ１１１において送信された交換日時を、インク交換履歴ファイル１９に記憶させる（Ｓ１１４）。
【００５０】
この後は、上述のＳ１０４乃至Ｓ１０９に従ってインク打点装置１５がスタートされ、マーキング対象ウエハＷ１にインク打点が開始される。
【００５１】
以上に、本実施形態のインクカートリッジ使用期限管理システムの動作を説明した。最後に、このインクカートリッジ使用期限管理システムを用いる場合のオペレータの動作を説明する。
【００５２】
まず、オペレータは、元ケースに収納されているマーキング対象ウエハＷ１を取り出し、マーキング専用ケースに移す（Ｓ２０１）。そして、マーキング対象ウエハＷ１が収納されたマーキング専用ケースを、インク打点装置１５にセットする（Ｓ２０２）。
【００５３】
次に、ＰＣ２０を操作することにより、インク打点制御システム１６を起動させる（Ｓ２０３）。
【００５４】
次に、ＰＣ２０が有するディスプレイ２１に、エラーメッセージが表示されているか否かを確認する（Ｓ２０４）。このエラーメッセージは、図２のＳ１１０において、インク打点制御システム１６が表示するエラーメッセージである。
【００５５】
エラーメッセージが表示されていない場合、そのままインク打点装置１５はマーキング対象ウエハＷ１にインク打点を開始する。従って、オペレータは、このウエハに対してインク打点が終了するまで待機する。インク打点が終了した後、インク打点装置１５から専用ケースを回収し、マーキングされたウエハＷ２を元ケースに戻す（Ｓ２０５）。
【００５６】
次に、マーキングされたロットから、例えば５枚おきにマーキングされたウエハＷ２をピックアップし、インク打点状況を目視確認し（Ｓ２０６）、マーキング対象ウエハＷ１に対するインク打点を終了する。
【００５７】
反対に、エラーメッセージが表示されている場合、オペレータは、インク打点装置１５にセットしてあるインクカートリッジを交換する（Ｓ２０７）。
【００５８】
次に、ＰＣ２０を操作することにより、交換したインクカートリッジのカラーを選択する（Ｓ２０８）。これにより、インク打点制御システム１６は、Ｓ１１１乃至Ｓ１１４に従って、選択されたカラーに対応した交換日時をインクカートリッジ交換ファイル１７に更新するとともに、インクカートリッジ交換履歴ファイル１９に記憶させる。
【００５９】
この後、Ｓ２０３に戻り、Ｓ２０４により、エラーメッセージを確認する。このとき、インクカートリッジが正常に交換されていれば、エラーメッセージはディスプレイ２１に表示されず、Ｓ２０５、Ｓ２０６を経て、インク打点が開始される。
【００６０】
以上の説明は、Ｓ２０６以外においては、一枚のマーキング対象ウエハＷ１に対してインク打点する場合のインク打点システムおよび、オペレータの動作の説明である。複数枚のマーキング対象ウエハＷ１に対してインク打点する場合には、各マーキング対象ウエハＷ１に対して、図２のＳ１０３以降の各ステップが繰り返されることにより、全てのマーキング対象ウエハＷ１に対して、インク打点が行われる。この際、オペレータは、マーキング対象ウエハＷ１へのインク打点が終了する毎に、図３のＳ２０４に従って、エラーメッセージを確認すればよい。
【００６１】
以上に説明した本実施形態のインクカートリッジ使用期限管理システムによれば、インクカートリッジの使用期限が過ぎているか否か、若しくは、使用期限が近づいているか否かを自動的に判断し、使用期限を超えている、若しくは、使用期限が近づいている場合には自動的にインク打点装置を停止させ、使用期限を超えておらず、使用期限に近づいてもいない場合にはインク打点装置を動作させることができる。これにより、不良品チップに対して正常にインクを打点させるようにインク打点装置を自動的に制御することができる。
【００６２】
以上に、本実施形態のインクカートリッジ使用期限管理システムについて説明した。しかし、本発明の実施形態は、上述のシステムに限定されるものではない。
【００６３】
例えば、図２のＳ１０７ａおよびＳ１０７ｂの判定結果は、ディスプレイ２１に表示されることが好ましいが、必ずしも表示される必要はない。この場合であっても、上述の判定結果に基づいて、インク打点装置１５の動作を制御することは可能である。
【００６４】
また、図２のＳ１１０において、インクカートリッジの期限時間が近づいている旨の警告が表示された場合、上述の場合では、インク打点装置１５を停止させ、オペレータは、インクカートリッジを交換した。しかし、この警告が表示された場合、インク打点装置１５を停止させるか否かをオペレータ自身に判断させるようにしてもよい。
【００６５】
すなわち、ディスプレイ２１に、上述の警告とともに、インク打点装置１５を停止させるか否かを選択させるメッセージを表示させ、これに従ってオペレータは、ＰＣ２０を操作することにより、インク打点装置１５を停止させるか否かを選択する。
【００６６】
停止させることを選択した場合、インクカートリッジを交換することにより、インク打点システムは、上述のＳ１１１乃至Ｓ１１４と同様に動作し、上述のＳ１０４乃至Ｓ１０９に従ってインク打点装置１５がスタートされ、マーキング対象ウエハＷ１に対してインク打点が開始される。
【００６７】
反対に、インク打点装置１５をスタートさせることを選択した場合、上述のＳ１０９に従って、マーキング対象ウエハＷ１に対してインク打点が開始される。
【００６８】
このように、警告が表示された場合には、オペレータにそのままインク打点を開始するか、インクカートリッジを交換するか、を選択させることもできる。この選択は、例えば、「インクカートリッジの使用期限まであと２時間」等と警告が表示された場合、オペレータは、例えば、表示された残り時間と、一枚のマーキング対象ウエハＷ１にインク打点される時間と、を比較することにより判断すればよい。これにより、インクカートリッジをより無駄なく使用することができる。
【００６９】
なお、このような場合には、上述の判定結果をディスプレイ２１に表示する必要がある。
【００７０】
また、上述のインク打点システムは、図２のＳ１０２において、インク打点制御システム１６が起動されると、自動的に管理サーバ１４から対応するマーキングデータ１１を受信するものであったが、例えば、管理サーバ１４には、複数の異なるマーキングデータ１１を格納しておき、ＰＣ２０を操作することにより、マーキング対象ウエハＷ１に対応したマーキングデータ１１を選択して受信するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００７１】
１１・・・マーキングデータ
１２・・・使用期限管理用データ（管理データ）
１３・・・使用期限時間計算システム（計算システム）
１４・・・管理サーバ
１５・・・インク打点装置
１６・・・インク打点制御システム
１７・・・インクカートリッジ交換ファイル
１８・・・基準時間マスタファイル
１９・・・インクカートリッジ交換履歴ファイル
２０・・・ＰＣ
２１・・・ディスプレイ
Ｗ１・・・マーキング対象ウエハ
Ｗ２・・・マーキングされたウエハ
【図１】
2011066224.tif 000003
【図２】
2011066224.tif 000004
【図３】
2011066224.tif 000005