(57)【要約】【課題】ワイヤソーで切断後のワークをウエハ間の隙間を維持した状態で洗浄工程に供し効率良くウエハの洗浄を行う。【解決手段】切断後のワーク３４のウエハ４０間にワイヤ列を残した状態で、ワーク３４の側面に沿って保持液ノズル７０を進入させ、この保持液ノズル７０から保持液３６を噴射してワーク３４の側面に保持液３６を各ウエハ４０間の隙間に介在させるように付着させてウエハ４０間の隙間を保持液３６により維持し、取り外されたワーク３４をウエハ４０側面と接触するブラシ部材４５が設けられた下チャンバ７６内に収納することにより、ウエハ４０間の隙間にブラシ部材４５を接触させてブラシ部材４５を隙間に進入させ、この後、支持板３０と貼付け台２９とを剥離させ、続いて、洗浄液タンク５４が接続された上チャンバ８２を閉じて真空室を形成し減圧状態とした後、洗浄液８３を真空室内に注ぎ込むことによりウエハを洗浄する。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持板に貼着されたワークを支持板を介して貼付け台に固定し、前記貼付け台をワイヤソーの加工テーブルに固定して前記ワークを複数のワイヤ列に押し当てながら切断することにより多数枚のウエハを形成し、前記ウエハを上下チャンバからなる真空室内に収納して洗浄するウエハの洗浄方法において、
切断後のワークのウエハ間に前記ワイヤソーのワイヤ列を残した状態で、前記ワイヤ列と支持板との間のワークの少なくとも一側面に沿って保持液ノズルを進入させて、この保持液ノズルを前記ワークの側面に位置させ、
この保持液ノズルから保持液を噴射して前記ワークの少なくとも一側面に保持液を各ウエハ間の隙間に介在させるように付着させてウエハ間の隙間を前記保持液により維持し、
続いて、前記加工テーブルから取り外されたワークをウエハ側面と接触するブラシ部材が設けられた下チャンバ内に支持板を上面にして収納することにより、ウエハ間の隙間にブラシ部材を接触させてブラシ部材を前記隙間に進入させ、
この後、前記支持板と貼付け台との接着境界部分に蒸気を噴射させるとともに貼付け台を貼付け台保持機構によって保持し支持板から離間させることで支持板と貼付け台とを剥離させ、
続いて、洗浄液タンクが接続された上チャンバを閉じて真空室を形成し、この真空室を減圧状態とした後、前記洗浄液タンクから洗浄液を真空室内に注ぎ込むことにより、前記洗浄液でウエハを洗浄するようにしたことを特徴とするウエハの洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイヤソーで切断された多数枚のウエハを洗浄する洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、シリコン、水晶、サファイア等の脆性材料で形成されたワークを複数のワイヤ列からなるワイヤソーで切断し、多数枚のウエハが切り出されている。このワイヤソーは、遊離砥粒をワイヤ列に供給しながらワイヤを一方向又は往復動させながら切断する遊離砥粒方式と、ワイヤにダイヤモンド等の砥粒が電着等で固定されたものを用い、加工液で冷却しながらワイヤを一方向又は往復動させて切断する固定砥粒方式のワイヤソーとが用いられている。
【０００３】
これらのワイヤソーでのワークの切断は、前記ワークにカーボン、ガラス、セラミックス等のダミー部材を支持板として貼り付け、この支持板にワーク加工台を貼り付けた後、前記ワーク加工台を適宜の固定手段でワイヤソーの加工テーブルに固定し、このワークを加工テーブルを移動させることによりワイヤ列に押し当てて行われる。
【０００４】
そして、このワイヤソーで切断されたワークはワイヤ列から抜き去られ、ワーク加工台にワークが固定された状態でワイヤソーから搬出され、ワーク加工台が取り外された後、洗浄工程で前記支持板が剥離され、枚葉状になったウエハを洗浄して収納容器に分離収納される（例えば特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−２３７７７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、ワイヤソーで切断されたワークは多数枚のウエハが櫛状になって支持板に繋がっており、特に最近では、太陽電池に用いられるシリコンウエハを効率良く得るためにワイヤが細線化されるとともに、切断ピッチも細かいものになっている（例えば３００μｍピッチ）ため、ウエハ間の隙間はより細かいものになってきている。
【０００７】
上記のウエハは、ワイヤソーで切断後にワイヤ列から抜き去られると、櫛状になったウエハ同士が切削液の表面張力で貼り付いてしまい、そのまま洗浄に供してもウエハ間の隙間がなくなり、その隙間に洗浄液が進入できないため洗浄が不十分になる問題があった。このため、遊離砥粒方式であればウエハ間に砥粒が残留したり、固定砥粒方式においては切断屑や切削液がウエハに付着し、ウエハにしみ等が残って、結果、ウエハの表面を研磨等しなければ汚れが取り切れない問題があった。また、貼り付いてしまったウエハを無理に分離しようとすれば上記のようにウエハは非常に薄く形成されているので破損する問題もあった。
【０００８】
そこで、本発明の目的は、ワイヤソーで切断されたウエハの隙間を維持した状態で洗浄することでウエハを破損せずに効率良く洗浄できる洗浄方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
そこで、請求項１の発明は、支持板に貼着されたワークを支持板を介して貼付け台に固定し、前記貼付け台をワイヤソーの加工テーブルに固定して前記ワークを複数のワイヤ列に押し当てながら切断することにより多数枚のウエハを形成し、前記ウエハを上下チャンバからなる真空室内に収納して洗浄するウエハの洗浄方法において、切断後のワークのウエハ間に前記ワイヤソーのワイヤ列を残した状態で、前記ワイヤ列と支持板との間のワークの少なくとも一側面に沿って保持液ノズルを進入させて、この保持液ノズルを前記ワークの側面に位置させ、この保持液ノズルから保持液を噴射して前記ワークの少なくとも一側面に保持液を各ウエハ間の隙間に介在させるように付着させてウエハ間の隙間を前記保持液により維持し、続いて、前記加工テーブルから取り外されたワークをウエハ側面と接触するブラシ部材が設けられた下チャンバ内に支持板を上面にして収納することにより、ウエハ間の隙間にブラシ部材を接触させてブラシ部材を前記隙間に進入させ、この後、前記支持板と貼付け台との接着境界部分に蒸気を噴射させるとともに貼付け台を貼付け台保持機構によって保持し支持板から離間させることで支持板と貼付け台とを剥離させ、続いて、洗浄液タンクが接続された上チャンバを閉じて真空室を形成し、この真空室を減圧状態とした後、前記洗浄液タンクから洗浄液を真空室内に注ぎ込むことにより、前記洗浄液でウエハを洗浄するようにしたウエハの洗浄方法である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、ワイヤソーでのワークの切断後に、ワイヤ列のワイヤによりウエハ間の隙間が維持された状態で、ワークの少なくとも一側面を保持するようにしたので、ワイヤ列をワークから抜き去っても、ウエハ間の隙間が維持でき、その隙間を維持した状態で次の洗浄工程にウエハを供することができるので、効率良くウエハを洗浄でき、ウエハに汚れが残ったり、分離する際に破損したりすることがない。
【００１１】
また、ワイヤソーからウエハの隙間を維持した状態でワークを取り出した後、ワークを収納ボックスに収納する際にウエハ間の隙間に入り込むブラシ部材を設けたので、収納ボックスに収納後も、絶えずウエハ間の隙間を維持でき、効率良くウエハを洗浄できるので、ウエハに汚れが残ったり、分離する際に破損したりすることがない。
【００１２】
また、収納ボックスを真空室形成できるように構成し、ウエハ間の隙間を維持した状態で真空室内にワークを収納して減圧状態で洗浄液を真空室内に導入するようにすれば、ウエハ間の隙間に洗浄液が浸透し、効率良くウエハを洗浄できるので、ウエハに汚れが残ったり、分離する際に破損したりすることがない。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態を表す全体構成図である。
【図２】本発明のワーク取り出し工程を表す説明平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ方向矢視図である。
【図４】本発明のワーク取り出し工程に用いるワーク取り出し装置の左側面図である。
【図５】図４の要部拡大説明図である。
【図６】（ａ）及び（ｂ）は本発明のワーク取り出し工程の説明図である。
【図７】本発明のワーク取り出し工程の説明図である。
【図８】本発明のワーク取り出し工程の説明図である。
【図９】（ａ）及び（ｂ）は本発明のワーク取り出し工程の説明斜視図である。
【図１０】は本発明のワーク収納工程の説明斜視図である。
【図１１】は本発明のワーク収納工程の説明斜視図である。
【図１２】（ａ）乃至（ｃ）は本発明の洗浄方法の説明図である。
【図１３】（ｄ）乃至（ｆ）は本発明の洗浄方法の説明図である。
【図１４】（ｇ）は本発明の洗浄方法の説明図である。
【図１５】（ｈ）は本発明の収納工程の説明図である。
【図１６】（ａ）及び（ｂ）は本発明の洗浄工程の説明図である。
【図１７】（ｃ）は本発明の洗浄工程の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に本発明の一実施形態について、図１乃至図１１に基づいて説明する。
【００１５】
図１は本発明の洗浄方法に用いられるワイヤソー及び洗浄装置の全体構成を表すものであり、ワーク３４を切断するワイヤソー１及び切断されたワーク３４をワイヤソー１から取出して洗浄装置２に搬送する搬送台車３から構成される。なお、図１においてワイヤソー１は説明上、実際より小さく描いてある。
【００１６】
次に本発明の洗浄方法の全体工程を説明すると、前記のワイヤソー１で切断されたワーク３４は、搬送台車３によってワイヤソー１から取り出されて洗浄装置２の支持板剥離部７５に搬送されるとともに下チャンバ７６内に収納される。続いて、ワーク３４を固定した加工台３１が取り外された後、支持板３０と貼付け台２９が支持板剥離機構４７によって剥離され、ワーク３４が枚葉状のウエハ４０に分離される。そして、前記ウエハ４０は下チャンバ７６に収納された状態で下チャンバ７６とともにウエハ洗浄部７７に供される。
【００１７】
ウエハ洗浄部７７には前記下チャンバ７６上に上チャンバ８２が設けられており、この上チャンバ８２は支持枠８８に設けられたシリンダ５０とガイド５１によって支持枠８８に対して上下動するようになっている。この上チャンバ８２は、支持板剥離部７５から適宜の機構で搬送された下チャンバ７６と合わさって真空室を形成するようになっている。
【００１８】
なお、ウエハ洗浄部７７では、前記真空室を減圧する真空ポンプ５３が電磁弁５５及び真空アダプタ５２を通じて上チャンバ８２に接続されており、真空ポンプ５３を作動させることで前記真空室内を減圧状態にするようになっている。
【００１９】
また、前記上チャンバ８２には真空アダプタ５２とは反対側に洗浄液アダプタ８１が設けられ、その洗浄液アダプタ８１には電磁弁５６を介して洗浄液タンク５４が接続され電磁弁５６を開閉することにより、真空室内に洗浄液８３が注がれるようになっている。
【００２０】
前記洗浄液タンク５４は、電磁弁８７を介して洗浄液ポンプ８０が接続され、後述する回収された洗浄液８３を洗浄液ポンプ８０を駆動することにより、洗浄液タンク５４に送り込むようになっている。
【００２１】
また、ウエハ洗浄部７７には下チャンバ７６を載置した際に下チャンバ７６の両側面部下方に設けられた排出アダプタ４６、４６に接続する排出パイプ５９、５９が設けられており、この両排出パイプ５９、５９は電磁弁５７、５８を経由した後、１本の排出パイプ５９となり、洗浄液ポンプ８０に接続されている。これにより、洗浄後に排出された洗浄液８３は排出アダプタ４６から排出され洗浄液ポンプ８０に送り込まれた後、この洗浄液ポンプ８０によって洗浄液タンク５４に回収した洗浄液８３を送り込まれるようになっている。
【００２２】
上記のように洗浄されたウエハ４０は下チャンバ７６に収納された状態でウエハ収納部７８に適宜手段で搬送され、吸着ハンド６６乃至６９により、収納カセット６０に一枚ずつ収納される。
【００２３】
なお、本実施形態においては効率良くウエハ４０を収納するためワーク３４の両側からウエハ４０を取出し、順次その両側左右に設けられた取出し機構６１乃至６４の吸着ハンド６６乃至６９によって４つの収納カセット６０に収納していくようになっている。
【００２４】
次に、ワイヤソー１からのワーク３４の取出しについて図２乃至図９に基づいて以下に説明する。
【００２５】
ワイヤソー１は、図２及び図３のように本体枠２５の間に複数の溝が形成された溝ローラー２６が水平に２本軸支され、これらの溝ローラー２６、２６間に例えばダイヤモンドが表面に電着等で固定されたワイヤ２７が巻き回されて構成されている。前記ワイヤソー１は、両溝ローラー２６、２６を回転させてワイヤ２７を往復動又は一方向に走行させ、このワイヤ２７にシリコンインゴット等のワーク３４を押し付けて図示しない適宜のノズルから加工液（界面活性剤等の添加された冷却水等）をワーク３４やワイヤ２７に掛けながらワーク３４を多数枚のウエハ４０に切断するようになっている。
【００２６】
図３及び図６（ａ）のように溝ローラー２６、２６の上方には加工テーブル２８が上下動自在に設けられ、その加工テーブル２８の下面には奥行き方向にテーパー状の溝が形成され、その溝に加工台３１が摺動可能に装着されるようになっている。前記加工台３１は、図１及び図１０のようにその上面に開口部４３と前記開口部４３の両側に中央方向に向けて突出した加工台固定部４２、４２が形成されている。
【００２７】
前記加工テーブル２８内には加工台３１の加工台固定部４２と対応する位置に２本の円柱状の固定ピン３３、３３が設けられ、この固定ピン３３は圧縮バネ３５によって上方に向けて付勢されるようになっており、加工台３１を加工テーブル２８の溝に挿入した際に加工台固定部４２を固定ピン３３で加工テーブル２８側に引っ張って固定するようになっている。なお、加工台３１の脱着時には、固定ピン３３の上方に設けられた解除シリンダ４１を駆動して圧縮バネ３５の付勢力を解除するようになっている。
【００２８】
また、切断するワーク３４は、接着剤によってセラミックス等の支持板（ダミー部材）３０に接着され、続いて板状の貼付け台２９に接着剤で接着固定された後、加工台３１と貼付け台２９がボルト等によって脱着可能に固定される。
【００２９】
ワイヤソー１での切断は加工台３１に固定されたワーク３４を加工テーブル２８に装着固定し、図６（ａ）のように図示しない加工液を掛けながらワイヤ２７を往復動又は一方向に走行させてワーク３４をワイヤ２７に押し付けることによって行われ、支持板３０を一部切断するところまで切断を行う。
【００３０】
切断の終了したワーク３４は、その後、ワイヤ２７を抜き去ることになるが、本発明においては、図６（ｂ）のようにワイヤ２７がワーク３４のウエハ間の一部に残る状態までワーク３４を上昇させて停止させる。このようにワイヤ２７がワーク３４内のウエハ間に残った状態でワイヤ２７の引き抜きを停止させることで、ワイヤ２７の隙間を維持した状態にすることができる。
【００３１】
次に、図３乃至図５に基づいて、切断後のワーク３４の取出しを行う搬送台車３の構成について説明する。
【００３２】
搬送台車３は、立設した支持枠４の下方に前輪６と後輪５が設けられて水平動自在になっており、本実施形態では手動でハンドル７を操作して、ワイヤソー１と洗浄装置２間を移動させるようになっている。
【００３３】
また、搬送台車３は、立設した支持枠４に沿って上方にレール８が設けられ、このレール８にスライダ９を介して支持枠１０が適宜の上下機構により上下動可能に設けられており、この支持枠１０には常温で固化する凍結チャック液等の保持液を送り出す図示しないタンク及び保持液ポンプ２１が内蔵されている。
【００３４】
前記支持枠１０は、その前方上方に昇降機構７１が突出して設けられ、この昇降機構７１から前方に取出しアーム１６が昇降機構１６から突出するように水平に設けられており、この取出しアーム１６は、ワーク３４をワイヤソー１から取出す際に加工台３１に設けられた支持穴３２に挿入されるようになっている。
【００３５】
また、前記支持枠１０の前面で昇降機構７１の両側にはレール１１が設けられ、そのレール１１と嵌合してスライダ１２が設けられており、そのスライダ１２にノズル支持板２３が固定されて、このノズル支持板２３の両側面にノズル保持枠１７が前方に突出するように設けられている。
【００３６】
また、ノズル支持板２３の中央部にはナット部材１５が設けられ、前記昇降機構７１の上部に設けられた昇降ハンドル１３と接続されたボールネジ１４と前記ナット部材１５が螺合することによって、昇降ハンドル１３を回転操作することでノズル保持枠１７がレール１１に沿って上下動するようになっている。
【００３７】
また、前記左右のノズル保持枠１７、１７に沿って冷却パイプ１８と保持液パイプ１９がそれぞれ上下に並設されて保持液ノズル７０が形成され、図５のようにこの冷却パイプ１８と保持液パイプ１９はノズル保持枠１７の内側に向けて複数の穴が形成されており、ワーク３４のワイヤソー１からの取出し時に図示しない保持液タンクから保持液３６を噴射するポンプ２１と冷却風を保持液３６に向けて噴射する冷却風ポンプ２０が設けられている。
【００３８】
次に上記の搬送台車３によるワーク３４のワイヤソー１からの取出し方法について図７乃至図９に基づいて説明する。
【００３９】
図７のように切断後のワーク３４からワイヤ２７を途中まで抜き去った状態で加工テーブル２８を停止し、この状態で搬送台車３を操作してワイヤソー１内に進入させ、適宜の上下機構により取出しアーム１６の上下高さを調整して加工台３１の支持穴３２内に取出しアーム１６を挿入する。この挿入後、解除シリンダ４１を作用させて圧縮バネ３５の付勢を解除し、固定ピン３３を解除して加工台３１をスライド可能にする。
【００４０】
また、取出しアーム１６が加工台３１の支持穴３２に挿入されると、昇降ハンドル１３を操作してノズル保持枠１７がワーク３４の側面中央付近に位置するように高さを調整する。
【００４１】
次にワーク３４のウエハ４０間の隙間を保持する保持方法について以下に説明する。
【００４２】
上記のように取出しアーム１６で加工台３１を支持した状態で、保持液タンクから保持液ポンプ２１を作用させてワーク３４の少なくとも一側面に保持液３６を噴射し、必要に応じ冷却風を冷却風ポンプ２２の作用で保持液３６に向けて噴射させる。このことにより、保持液３６が固化し、ワーク３４のウエハ４０がワイヤ２７の間隔を維持した状態で保持されることになる。
【００４３】
なお、保持液３６には公知の常温で固化するシリコーン系の各種オイルが使用でき、この他、常温付近で固化するワックスや樹脂等も用いることができる。さらには、ジェル状で切断されたウエハ４０の隙間に容易に入り込む部材や、接着テープ等でジェル状の部材が塗布されたものなども好ましく使用できる。この場合は、冷却風を使用せずに、公知の各種のテープ貼り機構でワーク３４の少なくとも一側面に前記のテープを接着するようにすれば良い。
【００４４】
上記のようにワーク３４のウエハ４０間の隙間が保持液３６によって保持された状態でワイヤソー１の加工テーブル２８を上昇させて、ワイヤ２７をワーク３４から抜き去るようにする。このようにワーク３４の少なくとも一側面を保持液３６で保持した状態でワイヤ２７を抜き去るので、ワイヤ２７が抜き去られてもウエハ４０間の隙間が維持された状態となる。
【００４５】
次にワイヤソー１の解除シリンダ４１を作用させ、圧縮バネ３５の付勢力を解除し、固定ピン３３を下降させることにより、加工台３１のワイヤソー１との固定が解除され、加工台３１が加工テーブル２８に対して前後方向にスライド可能になる。そして、搬送台車３のハンドル７を操作して搬送台車３をワイヤソー１から後退させてワーク３４を加工台３１と共に取出す。この時、ワーク３４は重量があるので取出しアーム１６が支持穴３２から抜けることなくワーク３４は搬送台車３で取出される。
【００４６】
次にワーク３４の下チャンバ７６への収納について以下に説明する。
【００４７】
取出されたワーク３４は、支持板剥離部７５に搬送され、下チャンバ７６上に位置するようにする。下チャンバ７６上に搬送されたワーク３４は、図１０乃至図１２（ａ）のように下チャンバ７６に収納されることとなるが、この時、下チャンバ７６は上部の長手方向に沿って両側にガイドローラ４４が回転自在に設けられており、ワーク３４の側面をガイドするようになっている。また、両ガイドローラ４４、４４の下方には両ガイドローラ４４と平行にブラシローラ４５、４５が設けられており、ワーク３４が下降していく際にこのブラシローラ４５のブラシがウエハ４０間の隙間に入り込むようになっている。なお、このブラシはウエハ４０に形成される隙間よりも細いものが好ましく利用でき、毛先の硬さも適宜選定できる。
【００４８】
次に、収納されたワーク３４から加工台３１が図１２（ｂ）のように取り外される。ここで、加工台３１と貼付け台２９はネジ止めされているだけであるので容易に取り外しができる。なお、加工台３１と貼付け台２９は下チャンバ７６に収納する前に取り外すようにしても良い。この場合は、貼付け台２９に持ち運び用のハンドルを設けておけば、搬送が容易となる。
【００４９】
次に支持板２９を剥離する支持板剥離部７６について説明する。
【００５０】
図１２（ｃ）のように支持板剥離部７６に設けられた支持板剥離機構４７によって支持板２９が剥離される。この支持板剥離機構４７のワーク３４の固定機構は下チャンバ７６の上部両側方に設けられ、ワーク３４の上部を保持する水平動自在なワーク固定枠８５と、このワーク固定枠８５を上下に駆動するシリンダ９０と、ワーク３４と支持板３０との間に向けて蒸気を噴射するノズル８４とからなり、下チャンバ７６に収納されたワーク３４をワーク固定枠８５で上部から押さえて保持すると共にノズル８４から蒸気を噴射してワーク３４と支持板３０との間の接着剤を剥離させるようになっている。このワーク固定枠８５はウエハ４０を破損しないよう樹脂やゴム等の部材がワーク３４と接する面に設けられている。
【００５１】
また、この支持板剥離機構４７には上記の固定機構によって固定された状態で貼付け台２９を上面から保持し、揺動させて剥離させる貼付け台保持機構４８が設けられている。
【００５２】
このようにして支持板３０が剥離されたウエハ４０を収納した下チャンバ７６は、ウエハ洗浄部７７に適宜機構で搬送され、下チャンバ７６の両側面に設けられた排出アダプタ４６、４６に排出パイプ５９が接続される。
【００５３】
このウエハ洗浄部７７でのウエハ４０の洗浄について図１３（ｄ）乃至（ｆ）及び図１６乃至図１７に基づいて説明する。
【００５４】
図１３（ｄ）の矢印ａのように、まず下チャンバ７６に上チャンバ８２が昇降シリンダ５０により下降して合わさって真空室を形成し、この状態で図１３（ｄ）の矢印ｂ及び図１６（ａ）のように真空ポンプ５３を作用させて真空室内を減圧状態にする。
【００５５】
次に図１３（ｅ）及び図１６（ｂ）のように、電磁弁５５、５７、５８を閉じた状態で電磁弁５６を開放すると、減圧状態となった真空室内に洗浄液タンク５４から界面活性剤等の洗浄液８３が注ぎ込まれ、真空室内の少なくともウエハ４０が浸漬するまで洗浄液８３が満たされる。なお、真空室内は減圧状態となっているので、ウエハ４０間の隙間にも効率良く洗浄液８３が入り込み、さらにブラシローラ４５によってウエハ４０間の隙間が維持されたままの状態であるので、ウエハ４０間の汚れ及び保持液３６も洗浄除去される。また、この時、必要に応じて超音波発生装置や対流発生装置を下チャンバ７６に設けておき、洗浄時に超音波や洗浄液８３の対流を発生するようにすれば、さらに効率の良い洗浄が行なえる。
【００５６】
上記のように洗浄された後、図１３（ｆ）及び図１７（ｃ）のように、電磁弁５７、５８を開放するとともに電磁弁５６を閉じることで洗浄液８３が排出アダプタ４６から排出され、この後、電磁弁８７を開放し洗浄液ポンプ８０を駆動することで、この排出された洗浄液８３は、洗浄液タンク５４内に回収される。このように洗浄液８３で洗浄されたウエハ４０はそれぞれ完全に枚葉状に分離される。
【００５７】
続いて、図１４（ｇ）のように上チャンバ８２が開放されて上昇し、下チャンバ７６は排出パイプ５９が取り外されて、ウエハ収納部７８に適宜な手段で搬送される。
【００５８】
次にウエハ４０を一枚ずつ収納カセット６０に収納する収納工程を説明する。図１及び図１５（ｈ）のように下チャンバ７６の前後左右に設けられた取出し機構６１乃至６４に設けられた４つの吸着ハンド６６乃至６９によってウエハ４０の両側のウエハ４０が一枚ずつ４つの収納カセット６０に振り分けて収納される。なお、ウエハ４０を効率良く収納するために４つの取出し機構６１乃至６４を設けたが、収納する形態に応じて適宜取出し機構の数は増減すれば良い。
【００５９】
以上が、本発明の一実施形態であるが、発明の範囲内で適宜変更でき、例えば上述したがウエハ４０の隙間を保持する保持工程における保持液３６は液体に限定されず、柔軟でウエハ４０の隙間に入り込んでウエハ４０の隙間を維持できるものであれば各種利用でき、樹脂、ジェル状物、柔軟な粘着剤が塗布されたテープ等が好ましく利用できる。
【００６０】
また、ウエハ４０の隙間を保持する位置も適宜変更でき、洗浄工程に至るまでの間、ウエハ４０の隙間を保持できれば良い。
【００６１】
また、下チャンバ７６に設けられたブラシローラ４５もブラシ状の部材が各種利用できるとともに、ブラシ状でなくともウエハ４０の隙間に入り込んでウエハ４０を収納した状態でウエハ４０間の隙間が維持できるものであれば各種のものが利用できる。
【符号の説明】
【００６２】
１    ワイヤソー
２    洗浄装置
３    搬送台車
４    支持枠
５    後輪
６    前輪
７    ハンドル
８    レール
９    スライダ
１０    支持枠
１１    レール
１２    スライダ
１３    昇降ハンドル
１４    ボールネジ
１５    ナット部材
１６    取出しアーム
１７    ノズル保持枠
１８    冷却パイプ
１９    保持液パイプ
２０    冷却風ポンプ
２１    保持液ポンプ
２３    ノズル支持板
２５    本体枠
２６    溝ローラー
２７    ワイヤ
２８    加工テーブル
２９    貼付け台
３０    支持板（ダミー部材）
３１    加工台
３２    支持穴
３３    固定ピン
３４    ワーク（加工物）
３５    圧縮バネ
３６    保持液
４１    解除シリンダ
４２    加工台固定部
４３    開口部
４４    ガイドローラ
４５    ブラシローラ（ブラシ部材）
４６    排出アダプタ
４７    支持板剥離機構
４８    貼付け台保持機構
５０    昇降シリンダ
５１    ガイド
５２    真空アダプタ
５３    真空ポンプ
５４    洗浄液タンク
５５    電磁弁
５６    電磁弁
５７    電磁弁
５８    電磁弁
５９    排出パイプ
６０    収納カセット
６１    取出し機構
６２    取出し機構
６３    取出し機構
６４    取出し機構
６５    ガイドローラ
６６    吸着ハンド
６７    吸着ハンド
６８    吸着ハンド
６９    吸着ハンド
７０    保持液ノズル
７１    昇降機構
７５    支持板剥離部
７６    下チャンバ
７７    ウエハ洗浄部
７８    ウエハ収納部
８０    洗浄液ポンプ
８１    洗浄液アダプタ
８２    上チャンバ
８３    洗浄液
８４    ノズル
８５    ワーク固定枠
８６    電磁弁
８８    支持枠
８９    洗浄部
９０    シリンダ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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