(57)【要約】【課題】振動腕から支持腕への振動漏れを防止しかつ耐衝撃性を向上させる屈曲振動片の支持構造を提供する。【解決手段】音叉型振動片１は、基部２にそれぞれ基端を結合して延長する１対の振動腕３，４と、基部に結合してその幅方向両側に配置した支持腕７，８とを備える。基部は、両側部に沿って振動腕との結合部と支持腕との結合部との間に切欠き１３，１４による断面減少部１５を有する。断面減少部は、長さＬを振動腕の腕幅Ｗ１に対して２×Ｗ１≦Ｌ≦６×Ｗ１に、幅Ｗ３を振動腕の外側の側辺間の幅Ｗ２に対してＷ３＜Ｗ２に設定する。支持腕は、振動腕の両側を平行に延長する支持腕部９，１０と、これらを基部に結合する連結部１１，１２とが、丸み付けした隅部１６，１７を挟んで接続されている。【選択図】図１
2011151780.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基端から先端に向けて延長する振動腕と、前記振動腕に前記基端で結合された基部と、前記基部の、前記振動腕の延長方向に直交する幅方向の両側に配置されかつ該基部に結合された支持腕とを備え、
前記基部が、前記振動腕の延長方向に沿って前記振動腕との結合部と前記支持腕との結合部との間に設けた断面減少部を有し、前記振動腕の延長方向に前記断面減少部の長さをＬ、前記振動腕の腕幅をＷ１としたとき、２×Ｗ１≦Ｌ≦６×Ｗ１を満足するように、前記断面減少部が設けられていることを特徴とする屈曲振動片。
【請求項２】
前記断面減少部が、前記基部の両側部に沿って前記振動腕との結合部と前記支持腕との結合部との間に切欠きを形成することによって設けられることを特徴とする請求項１記載の屈曲振動片。
【請求項３】
前記振動腕が前記基部から平行に延長する１対の振動腕からなり、前記１対の振動腕の外側の側辺間の幅をＷ２、前記断面減少部の幅をＷ３としたとき、Ｗ３＜Ｗ２となるように、前記断面減少部が設けられていることを特徴とする請求項２記載の屈曲振動片。
【請求項４】
前記支持腕が、前記振動腕の幅方向の両側において前記振動腕の延長方向に延長する支持腕部と、前記基部から幅方向に延出して前記支持腕部に結合する連結部とを有し、前記支持腕部と前記連結部とが、丸み付けした隅部を挟んで接続していることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の屈曲振動片。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載の屈曲振動片と、前記屈曲振動片を収容するパッケージとを備えることを特徴とする振動デバイス。
【請求項６】
請求項４に記載の屈曲振動片と、前記屈曲振動片を収容するパッケージとを備え、前記屈曲振動片が、前記支持腕部の前記振動腕側の部分において前記パッケージの実装面に固定支持されていることを特徴とする振動デバイス。
【請求項７】
請求項１乃至４のいずれかに記載の屈曲振動片と、前記屈曲振動片を発振させる発振回路を有する回路素子とを備えることを特徴とする振動デバイス。
【請求項８】
請求項１乃至４のいずれかに記載の屈曲振動片と、前記屈曲振動片を発振させる発振回路を有する回路素子とを備えることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、屈曲振動片に関し、更に屈曲振動片をパッケージに収容した振動子、発振器等の振動デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、携帯電話等の通信機器、パーソナルコンピュータ等の情報機器、その他様々な電子機器には、圧電材料又は非圧電材料を用いた様々なタイプの振動子、発振器等の振動デバイスが広く使用されている。特に最近の振動デバイスは、電子機器の高性能化、小型化に伴い、より一層の小型化と共に、ＣＩ（Crystal Impedance）値を低く抑制した高精度な性能及び高い安定性が要求されている。
【０００３】
一般に屈曲振動モードで振動する音叉型振動片は、小型化しつつＣＩ値を抑制するために、振動腕の表裏主面に長手方向の溝部を形成しかつその内面に主面側の励振電極を形成する構造が広く採用されている。かかる構造の音叉型振動片において、基部を短くして小型化を図りつつ、振動片素子間でのＣＩ値のばらつきを解消するために、基部の両側部に切込み部を形成して、振動腕から基部側への振動漏れを防止する手法が知られている（例えば、特許文献１を参照）。
【０００４】
この音叉型振動片は、基部において導電性接着剤等により実装面に接着されて片持ちに支持される。そのため、基部に接着剤を塗布するための面積を要するので、小型化には限界があった。また、振動腕から基部の接着位置までの距離が短いので、基部の側面に切込み部を設けても、振動腕からの振動漏れを十分に防止できない虞があった。
【０００５】
音叉型振動片を基部で接着固定するのではなく、基部から振動腕と平行に延出する支持腕を枠状に設け、かつ該支持腕で固定支持する構造のものが知られている（例えば、特許文献２を参照）。この音叉型振動片は、長手方向に基部の寸法を短くして小型化を図り、かつ振動腕から支持腕の固定位置までの距離を長くして、振動漏れを抑制することができる。
【０００６】
このように基部から振動腕と平行に延出する支持腕において固定支持する音叉型振動片においても、基部の支持腕よりも振動腕寄りの位置に切込み部を設けることが提案されている（例えば、特許文献３を参照）。この切込み部によって、振動腕から基部を介して支持腕に振動漏れを生じてＣＩ値が上昇することを防止している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−２６１５７５号公報
【特許文献２】特開２００４−２９７１９８号公報
【特許文献３】特開２００６−１４８８５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献３記載の音叉型振動片は、振動漏れを抑制するために、切込み部の深さを近接する振動腕の外側の側縁と一致する程度まで縮幅することが好ましいとしている。更に、特許文献３によれば、切込み部は、振動腕を結合した基部の端部から振動腕の腕幅分の長さを越える位置に形成するのが好ましい。しかしながら、切込み部の長さが振動漏れの防止即ちＣＩ値の低減にどのような影響を及ぼすかについては、言及していない。
【０００９】
また、屈曲振動片は、水晶基板のようなエッチング異方性を有する材料で形成することができる。この場合に、水晶基板をウエットエッチングして振動片の外形を加工すると、異方性エッチングの影響で水晶結晶面の向きによって加工部分の側面にヒレと呼ばれる突起が残存する。特に、音叉型振動片は、より小型化しかつ形状が複雑化しているので、例えば支持腕と基部との連結部分に好ましくない形状のヒレが発生し、応力集中を起こして振動を不安定にさせたり、衝撃によって破損する虞もある。
【００１０】
そこで本発明は、上述した従来の問題点の少なくとも一部を解決するためになされたものである。本発明の１つの目的は、振動腕を結合した基部から延出する支持腕によって固定支持する屈曲振動片において、基部の構造を改良し、振動腕から基部を介して支持腕への振動漏れを防止し、ＣＩ値を低減させて振動特性を向上させることにある。
【００１１】
本発明の別の目的は、かかる支持構造の屈曲振動片において、振動漏れの防止によるＣＩ値の低減及び小型化を図りつつ、耐衝撃性の向上を図ることにある。
【００１２】
また、本発明の別の目的は、上述した従来の問題点の少なくとも一部を解消した屈曲振動片を備えることにより、ＣＩ値の低減による優れた振動特性を発揮し、耐衝撃性に優れた振動子、発振器等の振動デバイス、センサー装置、電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本願発明者らは、振動腕を結合した基部から延出する支持腕により固定支持する構造の屈曲振動片において、その基部に振動腕の延長方向に沿って振動腕との結合部と支持腕との結合部との間で上述した切込み部等を形成して、断面の大きさを減少させた断面減少部を設けた場合に、断面減少部の大きさ、特に長さが圧電振動片のＣＩ値の減少に与える影響を検討した。その結果、振動腕の延長方向に断面減少部の長さＬを２×Ｗ１≦Ｌとすることによって、振動腕から基部を介して支持腕へ振動漏れが生じるのを有効に抑制し、ＣＩ値を安定して小さくできることを見出した。更に、振動腕の長さと基部の長さとの関係から、長さＬの上限は、Ｌ≦６×Ｗ１に設定することが好ましいことが分かった。本発明の屈曲振動片は、かかる知見に基づいてなされたものである。
【００１４】
本発明の屈曲振動片は、上記目的を達成するために、
基部と、基部の一方の端部から延出する振動腕と、基部の反対側の端部に結合してその両側に配置された支持腕とを備え、
基部が、その両側部に支持腕との結合部と一方の端部との間に切欠きを設けた狭幅部を有し、該狭幅部が、振動腕の長手方向に狭幅部の長さをＬ、振動腕の腕幅をＷ１としたとき、２×Ｗ１≦Ｌ≦６×Ｗ１を満足するように設けられる
ことを特徴とする。
【００１５】
このように基部に振動腕の延長方向に所定長さＬの断面減少部を設けることによって、振動腕から基部を介して支持腕へ振動が漏れることを有効に防止し、ＣＩ値を安定して小さくすることができ、振動特性の向上を実現できる。
【００１６】
或る実施例では、基部の断面減少部が、該基部の両側部に沿って振動腕との結合部と支持腕との結合部との間に切欠きを、例えば振動片の外形加工時にそれと同時に形成することにより、別の加工工程を追加することなく、容易に設けられる。
【００１７】
別の実施例では、振動腕が基部から平行に延長する１対の振動腕からなり、該１対の振動腕の外側の側辺間の幅をＷ２としたとき、断面減少部をその幅Ｗ３がＷ３＜Ｗ２となるように設けることによって、振動腕から基部を通って支持腕側へ振動漏れが起こることを有効に抑制することができる。
【００１８】
また別の実施例では、支持腕が、振動腕の幅方向の両側において該振動腕の延長方向に延長する支持腕部と、基部から幅方向に延出して支持腕部に結合する連結部とを有し、支持腕部と連結部とを、丸み付けした隅部を挟んで接続することによって、この接続部分の強度が強化され、落下等に対する耐衝撃性を向上させることができる。更に、この屈曲振動片の外形を水晶Ｚ板からウエットエッチングで加工した場合にも、水晶結晶面の向きによってエッチングレートの差により支持腕と基部との間に形成されるヒレと呼ばれる突起が、比較的緩やかで応力集中を発生し難い形状になるので、有利である。
【００１９】
本発明の別の側面によれば、上述した本発明の屈曲振動片と、該屈曲振動片を収容するパッケージとを備えることにより、振動漏れを少なくしてＣＩ値を小さくできるので、振動特性及び耐衝撃性に優れた振動デバイスが提供される。
【００２０】
或る実施例の振動デバイスは、屈曲振動片の支持腕が、振動腕の幅方向の両側において該振動腕の延長方向に延長する支持腕部と、基部の振動腕とは反対側の端部から幅方向に延出して支持腕部に結合する連結部とを有し、支持腕部と連結部とが丸み付けした隅部を挟んで接続され、屈曲振動片が、支持腕部の振動腕側の部分においてパッケージの実装面に固定支持される。これにより、屈曲振動片は長手方向に中央寄りの位置で支持されるので、該屈曲振動片に作用する衝撃は、その相当部分が支持腕の連結部及び基部側の変形によって吸収される。従って、本発明の振動デバイスは、屈曲振動片の振動腕先端側の変形を少なくし、パッケージ内面との接触による破損等を防止でき、落下等に対する優れた耐衝撃性が得られる。
【００２１】
また、本発明の別の側面によれば、上述した本発明の屈曲振動片と、該屈曲振動片を発振させる発振回路を有する回路素子とを備えることにより、振動漏れを少なくしてＣＩ値を小さくし、振動特性及び耐衝撃性に優れた発振器として機能する振動デバイスが提供される。
【００２２】
本発明の更に別の側面によれば、上述した本発明の屈曲振動片と、該屈曲振動片を発振させる発振回路を有する回路素子とを備えることにより、振動漏れを少なくしてＣＩ値を小さくし、振動特性及び耐衝撃性に優れた様々な電子機器が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明による音叉型振動片の実施例の平面図。
【図２】図１の音叉型振動片の要部を示す部分拡大図。
【図３】（Ａ）図及び（Ｂ）図は、それぞれ本実施例及び従来の支持腕の連結部を示す部分拡大図。
【図４】図１の音叉型振動片のＣＩ値と狭幅部長さＬとの関係を示す線図。
【図５】（Ａ）図は変形例の音叉型振動片の要部を示す部分拡大図、（Ｂ）図はそのＶ−Ｖ線における断面図。
【図６】（Ａ）図は別の変形例の音叉型振動片の要部を示す部分拡大図、（Ｂ）図はそのVI−VI線における断面図。
【図７】（Ａ）図は更に別の変形例の音叉型振動片の要部を示す部分拡大図、（Ｂ）図はそのVII−VII線における断面図。
【図８】図１の音叉型振動片を搭載した振動子の縦断面図。
【図９】落下衝撃時の音叉型振動片の変形状態を示す図５と同様の縦断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下に、添付図面を参照しつつ、本発明の好適な実施例を詳細に説明する。尚、添付図面において同一又は類似の構成要素には、同一又は類似の参照符号を付して表示する。
【００２５】
図１は、本発明を適用した音叉型振動片の好適な実施例を示している。本実施例の音叉型振動片１は圧電材料を用いて形成され、基部２と１対の振動腕３，４とを備える。振動腕３，４は、それぞれ基端から先端に向けて互いに平行に延長し、該基端において基部２の一方の端部２ａに結合されている。振動腕３，４の表裏主面には、それぞれ長手方向即ち該振動腕の延長方向に延長する溝部５，６が形成されている。
【００２６】
音叉型振動片１は更に、基部２の、前記振動腕の延長方向に直交する幅方向の両側に配置され、かつ該基部に結合された１対の支持腕７，８を備える。支持腕７，８は、振動腕３，４の外側を該振動腕の延長方向に延長する支持腕部９，１０と、前記支持腕部を基部２に結合する連結部１１，１２とを有する。連結部１１，１２は、基部２の前記振動腕とは反対側の端部２ｂ付近から幅方向の両側に延出して、それぞれ対応する前記支持腕部に結合している。
【００２７】
基部２の両側部には、それぞれ切欠き１３，１４が左右対称に形成されている。図２に示すように、切欠き１３，１４は、前記振動腕を結合した端部２ａよりも幾分下側の位置から前記支持腕の連結部１１，１２を結合した位置まで設けられている。これらの切欠きによって、基部２には、前記振動腕の延長方向に沿って該振動腕との結合部である端部２ａと前記支持腕との結合部である端部２ｂとの間に、断面の大きさを減少させた断面減少部１５が設けられる。
【００２８】
断面減少部１５は、その長手方向即ち前記振動腕の延長方向の長さＬが、前記振動腕の腕幅Ｗ１に対して、２×Ｗ１≦Ｌ≦６×Ｗ１を満足するように設けられる。また、断面減少部１５の幅Ｗ３は、両振動腕３，４の外側の側辺間の幅Ｗ２に対して、Ｗ３＜Ｗ２となるように設定される。このように断面減少部１５を設けることによって、前記振動腕から基部２を介して前記支持腕側に振動漏れが生じるのを有効に抑制することができる。
【００２９】
各支持腕７，８は、それぞれ支持腕部９，１０と連結部１１，１２とを接続する隅部１６，１７が丸み付けされている。前記支持腕部と連結部との結合部分は、音叉型振動片１を前記支持腕部で支持したときに、応力集中が起こり易い。各支持腕部９，１０から連結部１１，１２に向けて、それらの内側側辺が直角又は鋭角に折れ曲がるのではなく、その幅が漸次拡大するように、隅部１６，１７を丸み付けすることによって、前記結合部分の強度が大きくなる。これにより、音叉型振動片１は、落下等の衝撃によっても容易に折損又は破損しないように、耐衝撃性を向上させることができる。
【００３０】
本実施例の音叉型振動片１は、上述したように水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料により、公知のフォトエッチング技術を用いて所望の外形形状に形成することができる。特に、水晶で形成する場合には、水晶結晶軸のＺ軸（光学軸）を中心に時計回りに０°乃至５°の範囲で回転させて切り出した水晶Ｚ板を用い、そのＹ軸（機械軸）を前記振動腕の長手方向に配向するのが通例である。
【００３１】
音叉型振動片１を水晶Ｚ板からウエットエッチングで加工する場合、フォトリソグラフィーの露光用マスクを前記圧電振動片の所望の外形形状に適合させて用意しても、水晶結晶面の向きによってエッチングレートの差により、音叉型振動片１の端縁にヒレと呼ばれる突起が残存し、所望の外形形状を得られないことがある。図３（Ａ）は、隅部１６を丸み付けした支持腕７と基部２との間に形成されるヒレ１８を示している。ヒレ１８は、水晶結晶面の向きに対応して異なる向きに、比較的緩やかな鈍角αで交差する２辺１８ａ，１８ｂを有する。
【００３２】
図３（Ｂ）は、支持腕７’の支持腕部９’と連結部１１’とが、丸み付けしていない隅部１６’を介して概ね直角に接続されている場合を示している。この場合、支持腕７’と基部２との間に形成されるヒレ１８’は、９０°に近い角度βで交差する２辺１８ａ’，１８ｂ’を有する。そのため、図３（Ｂ）の場合には、ヒレ１８’の２辺１８ａ’，１８ｂ’が交差する部分に応力集中が起こり易く、落下等の衝撃で破損する虞がある。これに対し、本実施例では、ヒレ１８の２辺１８ａ，１８ｂが交差する部分に応力集中が起こり難く、優れた耐衝撃性を発揮する。
【００３３】
図１に示すように、振動腕３，４の表裏主面には、溝部５，６の内面に第１励振電極１９，２０が形成され、前記振動腕の側面には第２励振電極２１，２２が形成されている。一方の前記振動腕の第１励振電極１９及び第２励振電極２１は、それぞれ他方の振動腕の第２励振電極２２及び第１励振電極２０と互いにクロス配線して接続されている。支持腕７，８の表面にはそれぞれ引出電極２３，２４が形成され、その一方２３が第１励振電極２１及び第２励振電極２０と、他方２４が第１励振電極１９及び第２励振電極２２と、それぞれ基部２上の配線を介して接続されている。
【００３４】
音叉型振動片１は、各支持腕部９，１０の先端寄り即ち前記振動腕側の部分において、例えば導電性接着剤２５，２６を用いてパッケージ等の実装面に固定支持される。外部から引出電極２３，２４を介して音叉型振動片１に所定の電流を印加すると、振動腕３，４が所定の周波数で互いに接近離反する向きに屈曲振動する。本実施例では、基部２の端部２ａと端部２ｂとの間に上述した大きさの断面減少部１５を設けたことによって、屈曲振動する前記振動腕から基部２を介して支持腕７，８側に振動漏れが生じるのを有効に抑制することができる。
【００３５】
図１の音叉型振動片１について、断面減少部１５の長さＬを変化させながら、そのＣＩ値の評価実験を行った。ここで、音叉型振動片１の全長を２３００μｍ、振動腕３，４の腕幅Ｗ１を１００μｍ、その腕長さを１６００μｍ、基部２の幅を２５０μｍ、その長さを７００μｍ、前記支持腕の連結部１１，１２の幅を１４０μｍとし、前記断面減少部の長さＬを１００μｍから６００μｍまで１００μｍ置きで変化させた。図４は、この評価実験の結果を示している。
【００３６】
同図から分かるように、音叉型振動片１のＣＩ値は、長さＬ＝２００μｍで急激に低下しかつそれ以降安定して概ね一定である。このように本実施例では、腕幅Ｗ１＝１００μｍに対して、断面減少部１５の長さＬ≧２００μｍの範囲でＣＩ値を小さくすることができた。従って、本発明によれば、２×Ｗ１≦Ｌを満足するように断面減少部１５を設けることによって、基部２から支持腕７，８への振動漏れを有効に防止し得ることを確認できた。
【００３７】
断面減少部１５の長さＬを長くし過ぎると、音叉型振動片１の全長が長くなって小型化に反することになる。更に、落下衝撃を受けたとき、連結部１１，１２は応力が集中し易く、破損する虞がある。そのため、長さＬは、Ｌ≦６００μｍ＝６×Ｗ１に上限を設定することが好ましい。また、基部２の両側部には、切欠き１３，１４の位置よりも端部２ａ側に少なくとも長さ１００μｍ程度の、断面減少部１５より広幅の部分を残すことができる。この広幅部分が振動漏れの防止に有効に作用していると考えられる。
【００３８】
また、本実施例において、図２に示すように、基部２の端部２ａ側に残る前記広幅部分は、両振動腕３，４の外側の側辺よりも幅方向に張り出すように設けている。別の実施例では、前記広幅部分の両側部を振動腕３，４の外側の側辺と一致させ、前記振動腕の外側の側辺間の幅Ｗ２と同じ幅で設けることができる。いずれの場合にも、断面減少部１５の幅Ｗ３を振動腕３，４の外側の側辺間の幅Ｗ２より狭く設定することによって、基部２から前記支持腕側への振動漏れを有効に抑制することができる。
【００３９】
また、別の実施例では、非圧電材料を用いて音叉型振動片１を形成することができる。例えば、シリコン等の非圧電材料で音叉型振動片を形成し、その表面に該振動片を振動させるための駆動部として酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）等の圧電薄膜を形成した構造の振動子についても、本発明を同様に適用することができる。
【００４０】
基部２の前記断面減少部は、図１の切込み１３，１４以外の様々な形態によって設けることができる。図５（Ａ），（Ｂ）に示す変形例では、断面減少部４１が、基部２の両側部に沿って振動腕３，４との結合部である端部２ａと支持腕９，１０との結合部である端部２ｂとの間に、表裏両面から溝部４２，４３を凹設して薄肉部４４，４５を形成することによって設けられている。前記溝部は、例えばウエットエッチングにより加工することができる。本実施例では、溝部４２，４３が、それぞれ図１の切欠き１３，１４と平面的に同じ位置及び寸法で形成されている。別の実施例では、これらの溝部を本実施例とは異なる寸法又は形状に形成することができる。
【００４１】
図６（Ａ），（Ｂ）に示す別の変形例では、断面減少部５１が、基部２の両側部に沿って端部２ａと端部２ｂとの間に、多数の円形の貫通孔５２，５３を概ね一定間隔で連続的に形成することによって設けられている。前記貫通孔は、例えばウエットエッチングやイオンビームエッチング等のドライエッチング、レーザー照射等により加工することができる。本実施例の貫通孔５２，５３は、それぞれ図中想像線で示す図１の切欠き１３，１４に対応する領域内に位置するように形成されている。別の実施例では、これらの貫通孔を切欠き１３，１４の領域から幅方向にはみ出すように、又は平面的に隣り合う貫通孔同士が部分的に重なるように設けることができる。また、前記貫通孔に代えて、多数の有底孔により前記断面減少部を形成することもできる。
【００４２】
図７（Ａ），（Ｂ）に示す更に別の変形例では、断面減少部６１が、基部２の両側部に沿って端部２ａと端部２ｂとの間を延在する貫通溝６２，６３によって設けられている。前記貫通溝は、例えばウエットエッチングやイオンビームエッチング等のドライエッチング等により加工することができる。本実施例の貫通溝６２，６３は、それぞれ図中想像線で示す図１の切欠き１３，１４に対応する領域内に位置するように形成されている。別の実施例では、これらの貫通孔を切欠き１３，１４の領域から幅方向にはみ出すように設けることができる。
【００４３】
上述した各実施例では、前記断面減少部を設けるために、切欠きや溝部、貫通孔又は貫通溝を基部２の両側部に左右対称に形成した。しかしながら、前記振動腕の延長方向に前記振動腕との結合部である端部２ａと前記支持腕との結合部である端部２ｂとの間で基部の断面を減少させるものであれば、左右非対称であってもよい。
【００４４】
図８は、図１の音叉型振動片１を搭載した振動子の実施例を示している。本実施例の音叉型振動子３１は、音叉型振動片１を収容するために表面実装型のパッケージ３２を備える。パッケージ３２は、例えばセラミック薄板の積層構造からなる矩形箱状のベース３３と、ガラス等からなる矩形平板状のリッド３４とを有する。
【００４５】
ベース３３は、その内部に画定される空所の底面にマウント電極３５が、音叉型振動片１の、上述した支持腕部９，１０の先端寄りの部分に対応する位置に設けられている。音叉型振動片１は、前記各支持腕を対応するマウント電極３５に整合させかつ導電性接着剤２６で接着することにより、ベース３３の内部に電気的に接続されかつ機械的に固定支持される。リッド３４をベース３３上端に気密に接合すると、前記音叉型振動片はパッケージ３２内に気密に封止される。
【００４６】
図９は、音叉型振動子３１に下向きの衝撃が作用した場合に、音叉型振動片１に生じる変形を示している。支持腕８（７）を先端寄り、即ち基部２側でなく前記振動腕の先端側で固定することにより、音叉型振動片１は、長手方向に中央寄りの位置で支持される。従って、音叉型振動片１の支持腕８（７）は、導電性接着剤２６（２５）による固定位置を支点として、連結部１２（１１）側が下向きに撓む。これと同時に、前記連結部及び基部２側を支点として、振動腕４（３）が下向きに撓む。このように音叉型振動片１に作用した衝撃は、その相当部分が前記連結部及び基部２側の変形によって吸収されるから、振動腕４（３）の先端が大きく撓んでパッケージ３２の内面に接触し、破損等することを防止することができる。
【００４７】
しかし、音叉型振動片１は、断面減少部１５の長さＬを長くし過ぎると、外部から衝撃が作用したときに、前記支持腕の連結部１１，１２側及び／又は前記振動腕の撓みが大きくなり、より大きな応力が前記連結部に集中する虞がある。これを防止するためには、前記断面減少部の長さＬを適当に選択する必要がある。本発明によれば、上述したように、長さＬの上限をＬ≦６００μｍ＝６×Ｗ１に設定することが好ましい。これによって、音叉型振動子３１は、落下等の衝撃に対する優れた耐衝撃性を発揮する。
【００４８】
本発明は、上記実施例に限定されるものでなく、その技術的範囲内で様々な変形又は変更を加えて実施することができる。例えば、本発明は、基部から延出する振動腕を有するジャイロ素子等、基部から延出する振動腕を有する他の様々な屈曲振動片についても同様に適用することができる。また、本発明の屈曲振動片は、上記実施例以外の様々な構造のパッケージに搭載することができ、例えば発振回路を有する回路素子と組み合わせた発振器等、振動子以外の様々な振動デバイスに適用することができる。更に本発明の屈曲振動片は、発振回路を有する回路素子と組み合わせることによって、デジタル携帯電話、パーソナルコンピューター、電子時計、ビデオレコーダー、テレビ等の電子機器にタイミングデバイスとして広範に用いることができ、これら電子機器の動作特性の向上等に貢献させることができる。
【符号の説明】
【００４９】
１…音叉型振動片、２…基部、２ａ，２ｂ…端部、３，４…振動腕、５，６…溝部、７，８…支持腕、９，１０…支持腕部、１１，１２…連結部、１３，１４…切欠き、１５，４１，５１，６１…断面減少部、１６，１７…隅部、１８…ヒレ、１８ａ，１８ｂ…辺、１９，２０…第１励振電極、２１，２２…第２励振電極、２３，２４…引出電極、２５，２６…導電性接着剤、３１…音叉型振動子、３２…パッケージ、３３…ベース、３４…リッド、３５…マウント電極、４２，４３…溝部、４４，４５…薄肉部、５２，５３…貫通孔、６２，６３…貫通溝。
【図１】
2011151780.tif 000003
【図２】
2011151780.tif 000004
【図３】
2011151780.tif 000005
【図４】
2011151780.tif 000006
【図５】
2011151780.tif 000007
【図６】
2011151780.tif 000008
【図７】
2011151780.tif 000009
【図８】
2011151780.tif 000010
【図９】
2011151780.tif 000011