(57)【要約】【課題】部品交換による生産性の低下を抑制する。【解決手段】基板に所定の処理を行う基板処理システムの消耗部品を交換するスケジュールを作成するスケジュール作成装置では、第１基準交換日設定部５１により、複数の全体停止部品のうち耐用期間が最も短い一の全体停止部品が基準全体停止部品とされ、基準全体停止部品を交換する複数の第１基準交換日基準全体停止部品の耐用期間に等しい間隔にて設定される。そして、第１交換日割当部５２により、基準全体停止部品以外の複数の全体停止部品の耐用期間の終了日が確認され、終了日が複数の第１基準交換日のいずれとも異なる場合、終了日の直前の第１基準交換日が当該全体停止部品の交換日に決定される。これにより、全体停止部品を過剰に早く交換することを防止しつつ、複数の全体停止部品の交換日を減らし、全体停止部品の交換による基板処理システムの停止期間を短縮することができる。【選択図】図４
2011150628.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象装置の複数の消耗部品を交換するスケジュールを作成するスケジュール作成装置であって、
対象装置の複数の消耗部品のうち耐用期間が最も短い一の消耗部品を基準部品として、前記基準部品を交換する複数の基準交換日を前記基準部品の耐用期間に等しい間隔にて設定する交換日設定部と、
前記基準部品以外の各消耗部品について、先行する交換日に従った前記各消耗部品の耐用期間の終了日が一の基準交換日と一致する場合、前記一の基準交換日を前記各消耗部品の次の交換日に決定し、前記終了日が前記複数の基準交換日のいずれとも異なる場合、前記終了日の直前の基準交換日を前記各消耗部品の次の交換日に決定する処理を繰り返し実行する交換日割当部と、
を備えることを特徴とするスケジュール作成装置。
【請求項２】
請求項１に記載のスケジュール作成装置であって、
前記複数の消耗部品のそれぞれの使用回数または使用期間である使用状況を取得する使用状況取得部と、
前記使用状況取得部により取得された前記複数の消耗部品のそれぞれの使用状況に基づいて前記複数の消耗部品のそれぞれの耐用期間を更新する耐用期間更新部と、
をさらに備え、
前記複数の消耗部品のうち更新後の耐用期間が最も短い一の消耗部品を基準部品とし、
前記交換日設定部が前記複数の基準交換日を再度設定し、
前記交換日割当部が前記各消耗部品の交換日を再度決定することを特徴とするスケジュール作成装置。
【請求項３】
複数の対象装置の消耗部品を交換するスケジュールを作成するスケジュール作成装置であって、
複数の対象装置を含む対象システムの複数の消耗部品において、交換時に前記対象システム全体の稼働停止を必要とする複数の全体停止部品のうち耐用期間が最も短い一の全体停止部品を基準全体停止部品として、前記基準全体停止部品を交換する複数の第１基準交換日を前記基準全体停止部品の耐用期間に等しい間隔にて設定する第１基準交換日設定部と、
前記基準全体停止部品以外の各全体停止部品について、先行する第１基準交換日に従った前記各全体停止部品の耐用期間の終了日が一の第１基準交換日と一致する場合、前記一の第１基準交換日を前記各全体停止部品の次の交換日に決定し、前記終了日が前記複数の第１基準交換日のいずれとも異なる場合、前記終了日の直前の第１基準交換日を前記各全体停止部品の次の交換日に決定する処理を繰り返し実行する第１交換日割当部と、
前記複数の消耗部品において、交換時に前記複数の対象装置の一部の対象装置のみの稼働停止を必要とする複数の部分停止部品のうち耐用期間が最も短い一の部分停止部品を基準部分停止部品として、前記基準部分停止部品を交換する複数の第２基準交換日を前記基準部分停止部品の耐用期間に等しい間隔にて設定する第２基準交換日設定部と、
前記複数の第１基準交換日と前記複数の第２基準交換日とを現在から未来に向けて順次比較し、一の第２基準交換日と、前記一の第２基準交換日の直前の第１基準交換日との間の日数が予め設定された閾値以下の場合、前記一の第２基準交換日を前記直前の第１基準交換日に一致させ、前記一の第２基準交換日以降の第２基準交換日を前記基準部分停止部品の前記耐用期間に等しい間隔にて再度設定する処理を繰り返し実行する第２基準交換日変更部と、
前記基準部分停止部品以外の各部分停止部品について、先行する第２基準交換日に従った前記各部分停止部品の耐用期間の終了日が一の第２基準交換日と一致する場合、前記一の第２基準交換日を前記各部分停止部品の交換日に決定し、前記終了日が前記複数の第２基準交換日のいずれとも異なる場合、前記終了日の直前の第２基準交換日を前記各部分停止部品の次の交換日に決定する処理を繰り返し実行する第２交換日割当部と、
を備えることを特徴とするスケジュール作成装置。
【請求項４】
請求項３に記載のスケジュール作成装置であって、
前記複数の対象装置のうち一の対象装置が、前記一の対象装置以外の対象装置と同期して動作する装置であり、前記全体停止部品が前記一の対象装置の消耗部品であることを特徴とするスケジュール作成装置。
【請求項５】
請求項３または４に記載のスケジュール作成装置であって、
前記複数の対象装置が同一種類の複数の装置を含み、前記部分停止部品が前記同一種類の複数の装置のうち一の装置の消耗部品であることを特徴とするスケジュール作成装置。
【請求項６】
対象装置の複数の消耗部品を交換するスケジュールを作成するスケジュール作成プログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、
ａ）対象装置の複数の消耗部品のうち耐用期間が最も短い一の消耗部品を基準部品として、前記基準部品を交換する複数の基準交換日を前記基準部品の耐用期間に等しい間隔にて設定する工程と、
ｂ）前記基準部品以外の各消耗部品について、先行する交換日に従った前記各消耗部品の耐用期間の終了日が一の基準交換日と一致する場合、前記一の基準交換日を前記各消耗部品の次の交換日に決定し、前記終了日が前記複数の基準交換日のいずれとも異なる場合、前記終了日の直前の基準交換日を前記各消耗部品の次の交換日に決定する処理を繰り返し実行する工程と、
を実行させることを特徴とするスケジュール作成プログラム。
【請求項７】
複数の対象装置の消耗部品を交換するスケジュールを作成するスケジュール作成プログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、
ａ）複数の対象装置を含む対象システムの複数の消耗部品において、交換時に前記対象システム全体の稼働停止を必要とする複数の全体停止部品のうち耐用期間が最も短い一の全体停止部品を基準全体停止部品として、前記基準全体停止部品を交換する複数の第１基準交換日を前記基準全体停止部品の耐用期間に等しい間隔にて設定する工程と、
ｂ）前記基準全体停止部品以外の各全体停止部品について、先行する第１基準交換日に従った前記各全体停止部品の耐用期間の終了日が一の第１基準交換日と一致する場合、前記一の第１基準交換日を前記各全体停止部品の次の交換日に決定し、前記終了日が前記複数の第１基準交換日のいずれとも異なる場合、前記終了日の直前の第１基準交換日を前記各全体停止部品の次の交換日に決定する処理を繰り返し実行する工程と、
ｃ）前記複数の消耗部品において、交換時に前記複数の対象装置の一部の対象装置のみの稼働停止を必要とする複数の部分停止部品のうち耐用期間が最も短い一の部分停止部品を基準部分停止部品として、前記基準部分停止部品を交換する複数の第２基準交換日を前記基準部分停止部品の耐用期間に等しい間隔にて設定する工程と、
ｄ）前記複数の第１基準交換日と前記複数の第２基準交換日とを現在から未来に向けて順次比較し、一の第２基準交換日と、前記一の第２基準交換日の直前の第１基準交換日との間の日数が予め設定された閾値以下の場合、前記一の第２基準交換日を前記直前の第１基準交換日に一致させ、前記一の第２基準交換日以降の第２基準交換日を前記基準部分停止部品の前記耐用期間に等しい間隔にて再度設定する処理を繰り返し実行する工程と、
ｅ）前記基準部分停止部品以外の各部分停止部品について、先行する第２基準交換日に従った前記各部分停止部品の耐用期間の終了日が一の第２基準交換日と一致する場合、前記一の第２基準交換日を前記各部分停止部品の交換日に決定し、前記終了日が前記複数の第２基準交換日のいずれとも異なる場合、前記終了日の直前の第２基準交換日を前記各部分停止部品の次の交換日に決定する処理を繰り返し実行する工程と、
を実行させることを特徴とするスケジュール作成プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象装置の複数の消耗部品を交換するスケジュールを作成するスケジュール作成装置およびスケジュール作成プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体の製造現場では、半導体製造装置の保守作業の１つとして当該装置の消耗部品の交換が行われている。仮に、消耗部品が径時劣化等により不意に使用できなくなると、交換用の部品や保守担当者の手配等を待つ間、装置の使用を長時間に亘って停止する必要があるため、消耗部品の交換は当該部品の耐用期間が終了するよりも前に行われることが好ましい。保守担当者は、複数の消耗部品のいずれもが使用不可とならないように、消耗部品の交換の際に他の消耗部品の使用状況を確認して交換日を決定する等、複数の消耗部品の交換スケジュールを経験に基づいて作成している。
【０００３】
特許文献１では、保守対象の装置における消耗部品の使用状況に応じて次回の保守日と当該保守日に交換する消耗部品を決定する保守計画システムが提案されている。当該保守計画システムでは、保守作業に要する人件費、消耗部品の材料費、および、消耗部品の耐用期間の徒過による予期せぬ故障により装置が使用できなくなる時間を低減するように次回の保守日が決定される。
【０００４】
一方、特許文献２は、デパート等の施設における多数の照明の交換スケジュールを生成するシステムに関するものであり、当該システムでは、照明の価格や交換作業者の人件費および旅費、使用済みの照明の廃棄費用、並びに、電気料金が最小となるように、同一種類の照明を一度に交換する照明の交換スケジュールが生成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−９９９０号公報
【特許文献２】特表２００７−５０５３８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、半導体製造装置等のように多数の消耗部品を有する装置の交換スケジュールを保守担当者の経験に基づいて手作業で作成しようとすると、多大な時間と労力が必要となってしまう。特許文献１の保守計画システムでは、次回の保守日が自動的に決定されるが、保守日の決定に際して、消耗部品を交換する際に装置が停止してしまうことによる生産性の低下は考慮されていない。半導体製造装置では、予期せぬ故障による装置の停止、および、消耗部品の交換のための装置の停止のいずれの場合であっても生産性の低下は免れないため、消耗部品の径時劣化等による装置の予期せぬ故障を防止するために頻繁に消耗部品の交換を行うと、生産性が不必要に低下してしまう。
【０００７】
特許文献２は、多数の照明手段のうち同じタイプの照明手段に限定して同一種類の照明を同一時期に交換するスケジュールを決定する技術に関しており、当該スケジュールの決定において、他の種類の照明の交換スケジュールは考慮されていない。また、上述の半導体製造装置等における消耗部品の交換のように、交換による装置の停止および生産性低下についても考慮されていない。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、保守対象の装置において、部品交換による生産性の低下を抑制することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、対象装置の複数の消耗部品を交換するスケジュールを作成するスケジュール作成装置であって、対象装置の複数の消耗部品のうち耐用期間が最も短い一の消耗部品を基準部品として、前記基準部品を交換する複数の基準交換日を前記基準部品の耐用期間に等しい間隔にて設定する交換日設定部と、前記基準部品以外の各消耗部品について、先行する交換日に従った前記各消耗部品の耐用期間の終了日が一の基準交換日と一致する場合、前記一の基準交換日を前記各消耗部品の次の交換日に決定し、前記終了日が前記複数の基準交換日のいずれとも異なる場合、前記終了日の直前の基準交換日を前記各消耗部品の次の交換日に決定する処理を繰り返し実行する交換日割当部とを備える。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のスケジュール作成装置であって、前記複数の消耗部品のそれぞれの使用回数または使用期間である使用状況を取得する使用状況取得部と、前記使用状況取得部により取得された前記複数の消耗部品のそれぞれの使用状況に基づいて前記複数の消耗部品のそれぞれの耐用期間を更新する耐用期間更新部とをさらに備え、前記複数の消耗部品のうち更新後の耐用期間が最も短い一の消耗部品を基準部品とし、前記交換日設定部が前記複数の基準交換日を再度設定し、前記交換日割当部が前記各消耗部品の交換日を再度決定する。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、複数の対象装置の消耗部品を交換するスケジュールを作成するスケジュール作成装置であって、複数の対象装置を含む対象システムの複数の消耗部品において、交換時に前記対象システム全体の稼働停止を必要とする複数の全体停止部品のうち耐用期間が最も短い一の全体停止部品を基準全体停止部品として、前記基準全体停止部品を交換する複数の第１基準交換日を前記基準全体停止部品の耐用期間に等しい間隔にて設定する第１基準交換日設定部と、前記基準全体停止部品以外の各全体停止部品について、先行する第１基準交換日に従った前記各全体停止部品の耐用期間の終了日が一の第１基準交換日と一致する場合、前記一の第１基準交換日を前記各全体停止部品の次の交換日に決定し、前記終了日が前記複数の第１基準交換日のいずれとも異なる場合、前記終了日の直前の第１基準交換日を前記各全体停止部品の次の交換日に決定する処理を繰り返し実行する第１交換日割当部と、前記複数の消耗部品において、交換時に前記複数の対象装置の一部の対象装置のみの稼働停止を必要とする複数の部分停止部品のうち耐用期間が最も短い一の部分停止部品を基準部分停止部品として、前記基準部分停止部品を交換する複数の第２基準交換日を前記基準部分停止部品の耐用期間に等しい間隔にて設定する第２基準交換日設定部と、前記複数の第１基準交換日と前記複数の第２基準交換日とを現在から未来に向けて順次比較し、一の第２基準交換日と、前記一の第２基準交換日の直前の第１基準交換日との間の日数が予め設定された閾値以下の場合、前記一の第２基準交換日を前記直前の第１基準交換日に一致させ、前記一の第２基準交換日以降の第２基準交換日を前記基準部分停止部品の前記耐用期間に等しい間隔にて再度設定する処理を繰り返し実行する第２基準交換日変更部と、前記基準部分停止部品以外の各部分停止部品について、先行する第２基準交換日に従った前記各部分停止部品の耐用期間の終了日が一の第２基準交換日と一致する場合、前記一の第２基準交換日を前記各部分停止部品の交換日に決定し、前記終了日が前記複数の第２基準交換日のいずれとも異なる場合、前記終了日の直前の第２基準交換日を前記各部分停止部品の次の交換日に決定する処理を繰り返し実行する第２交換日割当部とを備える。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のスケジュール作成装置であって、前記複数の対象装置のうち一の対象装置が、前記一の対象装置以外の対象装置と同期して動作する装置であり、前記全体停止部品が前記一の対象装置の消耗部品である。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、請求項３または４に記載のスケジュール作成装置であって、前記複数の対象装置が同一種類の複数の装置を含み、前記部分停止部品が前記同一種類の複数の装置のうち一の装置の消耗部品である。
【００１４】
請求項６に記載の発明は、対象装置の複数の消耗部品を交換するスケジュールを作成するスケジュール作成プログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、ａ）対象装置の複数の消耗部品のうち耐用期間が最も短い一の消耗部品を基準部品として、前記基準部品を交換する複数の基準交換日を前記基準部品の耐用期間に等しい間隔にて設定する工程と、ｂ）前記基準部品以外の各消耗部品について、先行する交換日に従った前記各消耗部品の耐用期間の終了日が一の基準交換日と一致する場合、前記一の基準交換日を前記各消耗部品の次の交換日に決定し、前記終了日が前記複数の基準交換日のいずれとも異なる場合、前記終了日の直前の基準交換日を前記各消耗部品の次の交換日に決定する処理を繰り返し実行する工程とを実行させる。
【００１５】
請求項７に記載の発明は、複数の対象装置の消耗部品を交換するスケジュールを作成するスケジュール作成プログラムであって、前記プログラムのコンピュータによる実行は、前記コンピュータに、ａ）複数の対象装置を含む対象システムの複数の消耗部品において、交換時に前記対象システム全体の稼働停止を必要とする複数の全体停止部品のうち耐用期間が最も短い一の全体停止部品を基準全体停止部品として、前記基準全体停止部品を交換する複数の第１基準交換日を前記基準全体停止部品の耐用期間に等しい間隔にて設定する工程と、ｂ）前記基準全体停止部品以外の各全体停止部品について、先行する第１基準交換日に従った前記各全体停止部品の耐用期間の終了日が一の第１基準交換日と一致する場合、前記一の第１基準交換日を前記各全体停止部品の次の交換日に決定し、前記終了日が前記複数の第１基準交換日のいずれとも異なる場合、前記終了日の直前の第１基準交換日を前記各全体停止部品の次の交換日に決定する処理を繰り返し実行する工程と、ｃ）前記複数の消耗部品において、交換時に前記複数の対象装置の一部の対象装置のみの稼働停止を必要とする複数の部分停止部品のうち耐用期間が最も短い一の部分停止部品を基準部分停止部品として、前記基準部分停止部品を交換する複数の第２基準交換日を前記基準部分停止部品の耐用期間に等しい間隔にて設定する工程と、ｄ）前記複数の第１基準交換日と前記複数の第２基準交換日とを現在から未来に向けて順次比較し、一の第２基準交換日と、前記一の第２基準交換日の直前の第１基準交換日との間の日数が予め設定された閾値以下の場合、前記一の第２基準交換日を前記直前の第１基準交換日に一致させ、前記一の第２基準交換日以降の第２基準交換日を前記基準部分停止部品の前記耐用期間に等しい間隔にて再度設定する処理を繰り返し実行する工程と、ｅ）前記基準部分停止部品以外の各部分停止部品について、先行する第２基準交換日に従った前記各部分停止部品の耐用期間の終了日が一の第２基準交換日と一致する場合、前記一の第２基準交換日を前記各部分停止部品の交換日に決定し、前記終了日が前記複数の第２基準交換日のいずれとも異なる場合、前記終了日の直前の第２基準交換日を前記各部分停止部品の次の交換日に決定する処理を繰り返し実行する工程とを実行させる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明では、部品交換による生産性の低下を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】第１の実施の形態に係るスケジュール作成装置の対象システムである基板処理システムの構成を示す図である。
【図２】処理装置の構成を示す図である。
【図３】スケジュール作成装置の構成を示す図である。
【図４】スケジュール作成装置の機能を示すブロック図である。
【図５．Ａ】消耗部品の交換スケジュール作成の流れを示す図である。
【図５．Ｂ】消耗部品の交換スケジュール作成の流れを示す図である。
【図５．Ｃ】消耗部品の交換スケジュール作成の流れを示す図である。
【図６】全体停止部品の耐用期間を示す図である。
【図７】交換スケジュールを示す図である。
【図８】部分停止部品の耐用期間を示す図である。
【図９】交換スケジュールを示す図である。
【図１０】交換スケジュールを示す図である。
【図１１】交換スケジュールを示す図である。
【図１２】交換スケジュールを示す図である。
【図１３】第２の実施の形態に係るスケジュール作成装置の機能を示すブロック図である。
【図１４】交換スケジュールの再作成の流れの一部を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るスケジュール作成装置において、消耗部品を交換するスケジュールが作成される対象となる基板処理システム８の構成を示す図である。図１に示すように、基板処理システム８は、半導体基板９（例えば、シリコン基板であり、以下、単に「基板９」という。）に対して所定の処理を行う処理部８１、および、処理部８１に接続されたインデクサ部８２を備える。
【００１９】
インデクサ部８２は、複数の基板９が収容された複数のカセット８２１を有するカセット保持部８２２、および、各カセット８２１に対する基板９の搬入および搬出を行うインデクサロボット８２３を備える。処理部８１は、基板９に処理を施す処理装置１，１ａ，１ｂ、これらの処理装置に囲まれる位置に配置される基板搬送ロボット８１２、インデクサ部８２との間の開口を閉鎖するドア８１３、および、ドア８１３の開閉状態を検出するドア開閉センサ８１４を備える。基板搬送ロボット８１２は、駆動源として搬送用モータ８１５を備え、インデクサ部８２と各処理装置との間で基板９を搬送する。
【００２０】
２つの処理装置１は、基板９に対して所定の処理を施す同一種類の装置であり、他の２つの処理装置１ａ，１ｂは、処理装置１とは異なる処理を基板９に対して施す。ケミカルキャビネット８１７には、４つの処理装置１，１ａ，１ｂにて利用される処理流体（液体および気体）の供給および排出のための処理用配管８１６が収容されており、処理用配管８１６は各処理装置に接続される。処理部８１では、基板搬送ロボット８１２、ドア８１３、ドア開閉センサ８１４、搬送用モータ８１５および処理用配管８１６が、４つの処理装置１，１ａ，１ｂにより共通して利用される装置であり、以下の説明では、これらの構成をまとめて「共用装置８３」という。共用装置８３は、寿命（すなわち、径時劣化）により交換が必要となる消耗部品として、ドア開閉センサ８１４、搬送用モータ８１５および処理用配管８１６を有する。
【００２１】
図２は、処理装置１の構成を示す図である。処理装置１は、基板９の表面を洗浄し、基板９の表面に付着したパーティクル等の異物を除去する枚葉式の基板洗浄装置である。処理装置１は、円板状の基板９を水平に保持する基板保持部２、基板９の上面に向けて洗浄液の液滴をキャリアガスと共に噴出するノズル３１、および、これらの構成を内部に収容するチャンバ４１を備える。チャンバ４１には、基板９の搬出入口を閉鎖するシャッタ４２、および、シャッタ４２の開閉状態を検出するシャッタ開閉センサ４３が設けられる。
【００２２】
基板保持部２は、基板９を下側から保持する略円板状のチャック２１を備え、チャック２１の外周上には、基板９を把持する複数のチャックピン２１１が設けられる。チャック２１の下面にはシャフト２２が設けられ、シャフト２２は回転用モータ２３に接続される。基板９は、基板９の中心がシャフト２２の中心軸上に位置するようにチャック２１に保持される。基板保持部２では、回転用モータ２３が駆動されることによりシャフト２２が回転し、基板９がチャック２１およびシャフト２２と共にシャフト２２の中心軸を中心として回転する。
【００２３】
ノズル３１は、洗浄液とキャリアガスとを内部において混合して洗浄液の微小な液滴を生成し、生成された液滴を噴出する内部混合型の二流体ノズルである。ノズル３１には、洗浄液（本実施の形態では、純水（脱イオン水（deionized water）））を供給する洗浄液供給管３２、および、キャリアガス（本実施の形態では、窒素ガス（Ｎ２））を供給するガス供給管３３が接続され、洗浄液供給管３２およびガス供給管３３は処理用配管８１６（図１参照）に接続される。洗浄液供給管３２およびガス供給管３３にはそれぞれ、バルブ３４および流量計３５が設けられる。ノズル３１は、アーム４８を介して図示省略のノズル移動機構に接続されており、基板９の上方においてノズル３１がアーム４８と共に水平方向（すなわち、基板９の上面に平行な方向）に移動可能とされる。処理装置１は、消耗部品としてシャッタ開閉センサ４３、チャックピン２１１、回転用モータ２３、バルブ３４および流量計３５を有する。なお、後述するように、スケジュール作成装置の説明は、共用装置８３および処理装置１の消耗部品に注目して行うため、処理装置１ａ，１ｂの構造についての説明は省略する。
【００２４】
図１に示す基板処理システム８において基板９の処理が行われる際には、処理部８１とインデクサ部８２との間のドア８１３が開かれ、基板９がインデクサ部８２から処理部８１に搬入された後、ドア８１３が閉じられる。基板９は、基板搬送ロボット８１２により２つの処理装置１のうちいずれか一方に搬入され、当該処理装置１により処理が施される。続いて、基板搬送ロボット８１２により、基板９が処理装置１から搬出されて処理装置１ａに搬入され、処理が施された後、処理装置１ａから搬出されて処理装置１ｂに搬入される。そして、処理装置１ｂによる処理後、基板９が基板搬送ロボット８１２により処理装置１ｂから搬出され、ドア８１３が開かれてインデクサ部８２のインデクサロボット８２３へと渡される。共用装置８３の基板搬送ロボット８１２は、基板処理システム８の他の装置と同期して動作する装置であり、基板搬送ロボット８１２による各処理装置への基板９の搬出入時には、各処理装置のチャンバのシャッタが開かれる。
【００２５】
基板処理システム８では、２つの処理装置１のうち一方（すなわち、同一種類の複数の装置のうち一の装置）が消耗部品の交換により停止している場合、他方の処理装置１を使用して基板９に対する一連の処理を行うことが可能である。すなわち、処理装置１の消耗部品であるシャッタ開閉センサ４３、チャックピン２１１、回転用モータ２３、バルブ３４および流量計３５は、交換時において基板処理システム８に含まれる複数の装置のうち一部の対象装置（この場合、消耗部品の交換が行われる１つの処理装置１）のみの稼働停止を必要とする部品であり、以下、「部分停止部品」という。
【００２６】
一方、共用装置８３、処理装置１ａ、処理装置１ｂおよびインデクサ部８２のいずれかが消耗部品の交換により停止している場合、基板処理システム８において基板９に対する処理は行うことができない。すなわち、共用装置８３の消耗品であるドア開閉センサ８１４、搬送用モータ８１５および処理用配管８１６、並びに、処理装置１ａ、処理装置１ｂおよびインデクサ部８２のそれぞれの消耗品は、交換時に基板処理システム８全体の稼働停止を必要とする部品であり、以下、「全体停止部品」という。
【００２７】
次に、基板処理システム８の消耗部品を交換するスケジュールを作成するスケジュール作成装置５について説明する。図３は、スケジュール作成装置５の構成を示す図である。スケジュール作成装置５は、通常のコンピュータと同様に、ＣＰＵ５０１、ＲＡＭ５０２、ＲＯＭ５０３、固定ディスク５０４、ディスプレイ５０５、および、入力部５０６等を接続した構成となっており、固定ディスク５０４内には、スケジュール作成装置５により実行されるスケジュール作成プログラム５０４１が記憶される。図４は、スケジュール作成装置５のＣＰＵ５０１等がスケジュール作成プログラム５０４１に従って演算処理を実行することにより実現される機能を示すブロック図であり、図４中の第１基準交換日設定部５１、第１交換日割当部５２、第２基準交換日設定部５３、第２基準交換日変更部５４、第２交換日割当部５５および表示制御部５６が、ＣＰＵ５０１等により実現される機能に相当する。これらの機能は複数台のコンピュータにより実現されてもよい。
【００２８】
基板処理システム８は、上述のように、スケジュール作成装置５によるスケジュール作成の対象システムであり、スケジュール作成の複数の対象装置として２つの処理装置１、処理装置１ａ、処理装置１ｂ、共用装置８３およびインデクサ部８２を含む。以下の説明では、説明を理解しやすくするために、基板処理システム８に含まれる複数の対象装置のうち、１つの処理装置１および共用装置８３に注目する。また、処理装置１の複数の消耗部品のうち、シャッタ開閉センサ４３、チャックピン２１１および回転用モータ２３に注目して説明する。
【００２９】
図５．Ａないし図５．Ｃは、スケジュール作成装置５による消耗部品の交換スケジュール作成の流れを示す図である。スケジュール作成装置５では、まず、第１基準交換日設定部５１により、複数の全体停止部品（すなわち、ドア開閉センサ８１４、搬送用モータ８１５および処理用配管８１６）のそれぞれの耐用期間が比較され、耐用期間が最も短い一の全体停止部品が、複数の全体停止部品の交換日決定における基準となる基準全体停止部品とされる（ステップＳ１１）。耐用期間とは、消耗部品が要求される性能を確実に満たすことができる期間である。なお、ステップＳ１１における基準全体停止部品の決定は、作業者により行われて入力部５０６（図３参照）から入力されてもよい。
【００３０】
図６は、ドア開閉センサ８１４、搬送用モータ８１５および処理用配管８１６の耐用期間を示す図である。図６に示すように、ドア開閉センサ８１４の耐用期間は１３日間、搬送用モータ８１５の耐用期間は５日間、処理用配管８１６の耐用期間は２２日間であるため、搬送用モータ８１５が基準全体停止部品となる。なお、実際の耐用期間は上記の期間よりも長い（部分停止部品においても同様）。
【００３１】
続いて、第１基準交換日設定部５１（図４参照）により、搬送用モータ８１５を交換する複数の第１基準交換日が、搬送用モータ８１５の耐用期間に等しい間隔（すなわち、５日間隔）にて設定される（ステップＳ１２）。図７は、１ヶ月の交換スケジュールを示す図である。本実施の形態では、９月１日に基板処理システム８の使用が開始され、９月の第１基準交換日は、９月５日、１０日、１５日、２０日、２５日および３０日となる。図７中では、図示の都合上、第１基準交換日を「第１」と略して示す（後述する第２基準交換日においても同様）。
【００３２】
次に、第１交換日割当部５２（図４参照）により、基準全体停止部品以外の一の全体停止部品が選択され（ステップＳ１３）、当該全体停止部品の耐用期間の終了日が確認される。以下の説明では、選択された全体停止部品を「選択全体停止部品」という。選択全体停止部品の終了日が複数の第１基準交換日のいずれとも異なる場合、当該終了日の直前の第１基準交換日が選択全体停止部品の交換日に決定される（ステップＳ１４，Ｓ１５）。また、上記終了日が複数の第１基準交換日のうち一の第１基準交換日と一致する場合、当該一の第１基準交換日が選択全体停止部品の交換日に決定される（ステップＳ１４，Ｓ１６）。例えば、耐用期間が１３日間のドア開閉センサ８１４の場合、最初の耐用期間の終了日は９月１３日であり、複数の第１基準交換日のいずれとも一致していないため、９月１３日の直前の第１基準交換日である９月１０日が最初の交換日に決定される。
【００３３】
選択全体停止部品の交換日が決定されると、次の交換日の決定を行うか否かが確認され（ステップＳ１７）、次の交換日を決定する場合は、ステップＳ１４に戻り、最初の交換日を使用開始日とする耐用期間の終了日（すなわち、先行する第１基準交換日に従った次の耐用期間の終了日）が確認される。そして、終了日が複数の第１基準交換日のいずれかと一致するか否かが確認され、上記と同様に次の交換日が決定される（ステップＳ１４〜Ｓ１６）。ドア開閉センサ８１４の場合、９月１０日から１３日後の９月２３日が次の終了日であり、直前の第１基準交換日である９月２０日が次の交換日に決定される。スケジュール作成装置５では、所定の期間（例えば、半年間）における選択全体停止部品の全ての交換日が決定されるまで、ステップＳ１４〜Ｓ１７が繰り返される。
【００３４】
選択全体停止部品の全ての交換日が決定されると、次の全体停止部品の有無が確認される（ステップＳ１８）。次の全体停止部品が存在する場合、ステップＳ１３に戻って選択全体停止部品が次の全体停止部品に変更され、ステップＳ１４〜Ｓ１７が繰り返されて所定の期間における選択全体停止部品の全ての交換日が決定される。スケジュール作成装置５では、基準全体停止部品以外の全ての全体停止部品について、所定の期間における全ての交換日が決定されるまで、ステップＳ１３〜Ｓ１８が繰り返される。
【００３５】
全ての全体停止部品の交換日が決定されると、第２基準交換日設定部５３（図４参照）により、複数の部分停止部品（すなわち、シャッタ開閉センサ４３、チャックピン２１１および回転用モータ２３）のそれぞれの耐用期間が比較され、耐用期間が最も短い一の部分停止部品が、複数の部分停止部品の交換日決定における基準となる基準部分停止部品とされる（ステップＳ１９）。なお、ステップＳ１９における基準部分停止部品の決定は、基準全体停止部品の決定と同様に、作業者により行われて入力部５０６（図３参照）から入力されてもよい。
【００３６】
図８は、シャッタ開閉センサ４３、チャックピン２１１および回転用モータ２３の耐用期間を示す図である。図８に示すように、シャッタ開閉センサ４３の耐用期間は１３日間、チャックピン２１１の耐用期間は３日間、回転用モータ２３の耐用期間は２０日間であるため、チャックピン２１１が基準部分停止部品となる。
【００３７】
続いて、第２基準交換日設定部５３により、基準部分停止部品であるチャックピン２１１を交換する複数の第２基準交換日が、チャックピン２１１の耐用期間に等しい間隔（すなわち、３日間隔）にて設定される（ステップＳ２０）。図９は、第２基準交換日を第１基準交換日と共に示す図である。本実施の形態では、９月の第２基準交換日は、９月３日、６日、９日、１２日、１５日、１８日、２１日、２４日、２７日および３０日に設定される。
【００３８】
次に、第２基準交換日変更部５４（図４参照）により、複数の第１基準交換日と複数の第２基準交換日とが、現在から未来に向けて（図９では、９月１日から９月３０日に向けて）順次比較される。そして、第２基準交換日と当該第２基準交換日の直前の第１基準交換日との間の日数が、予め設定された閾値（本実施の形態では、１日）よりも大きい場合には、当該第２基準交換日は変更されず、次の第２基準交換日の有無が確認される（ステップＳ２１，Ｓ２４）。次の第２基準交換日が存在する場合には、ステップＳ２１に戻って次の第２基準交換日と第１基準交換日との比較が行われる。
【００３９】
一方、第２基準交換日と当該第２基準交換日の直前の第１基準交換日との間の日数が上記閾値（１日）以下の場合には、当該第２基準交換日が直前の第１基準交換日に一致するように変更される（ステップＳ２１，Ｓ２２）。図９においては、９月３日の第２基準交換日は変更されず、９月６日の第２基準交換日が１日前の第１基準交換日に一致するように９月５日に変更される。なお、上記閾値は、基準全体停止部品の耐用期間および基準部分停止部品の耐用期間よりも小さく、０日よりも大きい。
【００４０】
第２基準交換日変更部５４により、変更された第２基準交換日（９月５日）以降の第２基準交換日（９月９日、１２日、１５日、１８日、２１日、２４日、２７日および３０日）は、基準部分停止部品であるチャックピン２１１の耐用期間（３日）に等しい間隔にて再設定される（ステップＳ２３）。図１０は、再設定後の第２基準交換日を第１基準交換日と共に示す図である。図１０に示すように、９月５日よりも後の第２基準交換日はそれぞれ、１日早い９月８日、１１日、１４日、１７日、２０日、２３日、２６日および２９日に設定される。
【００４１】
第２基準交換日が再設定されると、次の第２基準交換日の有無が確認され（ステップＳ２４）、次の第２基準交換日が存在する場合には、ステップＳ２１に戻って次の第２基準交換日と第１基準交換日との比較が行われる。そして、ステップＳ２１〜Ｓ２４が行われて次の第２基準交換日である９月８日は変更されず、さらにステップＳ２１〜Ｓ２４が行われ、次の第２基準交換日である９月１１日は、直前の第１基準交換日である９月１０日に一致するように変更され、変更後の第２基準交換日（９月１０日）以降の第２基準交換日（９月１４日、１７日、２０日、２３日、２６日および２９日）が、基準部分停止部品であるチャックピン２１１の耐用期間（３日）に等しい間隔にて図１１に示すように再設定される。具体的には、９月１０日よりも後の第２基準交換日はそれぞれ、１日早い９月１３日、１６日、１９日、２２日、２５日および２８日に設定される。
【００４２】
スケジュール作成装置５では、ステップＳ２１〜Ｓ２４の処理が、全ての第２基準交換日について、所定の期間（例えば、半年間）における全ての第２基準交換日が決定されるまで繰り返される。図１２は、ステップＳ２１〜Ｓ２４が全て終了した後の第２基準交換日を第１基準交換日と共に示す図である。図１２に示すように、９月の第２基準交換日は、３日、５日、８日、１０日、１３日、１５日、１８日、２０日、２３日、２５日、２８日および３０日となる。
【００４３】
全ての第２基準交換日が決定されると、第２交換日割当部５５（図４参照）により、基準部分停止部品以外の一の部分停止部品が選択され（ステップＳ２５）、当該部分停止部品の耐用期間の終了日が確認される。以下の説明では、選択された部分停止部品を「選択部分停止部品」という。選択部分停止部品の終了日が複数の第２基準交換日のいずれとも異なる場合、当該終了日の直前の第２基準交換日が選択部分停止部品の交換日に決定される（ステップＳ２６，Ｓ２７）。また、上記終了日が複数の第２基準交換日のうち一の第２基準交換日と一致する場合、当該一の第２基準交換日が選択部分停止部品の交換日に決定される（ステップＳ２６，Ｓ２８）。例えば、耐用期間が１３日間のシャッタ開閉センサ４３の場合、最初の耐用期間の終了日は９月１３日であり、１つの第２基準交換日と一致するため、９月１３日が最初の交換日に決定される。
【００４４】
選択部分停止部品の交換日が決定されると、次の交換日の決定を行うか否かが確認され（ステップＳ２９）、次の交換日の決定を行う場合は、ステップＳ２６に戻り、最初の交換日を使用開始日とする耐用期間の終了日（すなわち、先行する第２基準交換日に従った次の耐用期間の終了日）が確認される。そして、終了日が複数の第２基準交換日のいずれかと一致するか否かが確認され、上記と同様に次の交換日が決定される（ステップＳ２６〜Ｓ２８）。シャッタ開閉センサ４３の場合、９月１３日から１３日後の９月２６日が次の終了日であり、直前の第２基準交換日である９月２５日が次の交換日に決定される。スケジュール作成装置５では、所定の期間（例えば、半年間）における選択部分停止部品の全ての交換日が決定されるまで、ステップＳ２６〜Ｓ２９が繰り返される。
【００４５】
選択部分停止部品の全ての交換日が決定されると、次の部分停止部品の有無が確認される（ステップＳ３０）。次の部分停止部品が存在する場合、ステップＳ２５に戻って選択部分停止部品が次の部分停止部品に変更され、ステップＳ２６〜Ｓ２９が繰り返されて所定の期間における選択部分停止部品の全ての交換日が決定される。スケジュール作成装置５では、基準部分停止部品以外の全ての部分停止部品について、所定の期間における全ての交換日が決定されるまで、ステップＳ２５〜Ｓ３０が繰り返される。
【００４６】
スケジュール作成装置５では、図１２に示す交換スケジュールがディスプレイ５０５（図３対応）に表示され、ディスプレイ５０５上において交換スケジュールの１つの「第１」の表示がクリックされると、表示制御部５６（図４参照）の制御により、クリックされた「第１」に対応する第１基準交換日に交換される予定の全体停止部品の一覧がディスプレイ５０５上に表示される。同様に、ディスプレイ５０５上において交換スケジュールの１つの「第２」の表示がクリックされると、表示制御部５６の制御により、クリックされた「第２」に対応する第２基準交換日に交換される予定の部分停止部品の一覧がディスプレイ５０５上に表示される。あるいは、いずれかの日がクリックされると、クリックされた日に交換される予定の全体停止部品および部分停止部品の一覧がディスプレイ５０５上に表示されてもよい。また、交換される予定の消耗部品の一覧が、交換作業を行う予定の作業者や基板処理システム８のユーザに通知されてもよい。
【００４７】
以上に説明したように、スケジュール作成装置５では、全ての全体停止部品の交換日を基準全体停止部品の交換日である複数の第１基準交換日のいずれかに一致させることにより、複数の全体停止部品の交換日を減らし、全体停止部品の交換による基板処理システム８の停止期間を短縮することができる。その結果、基板処理システム８の生産性を向上することができる。また、全ての部分停止部品の交換日を基準部分停止部品の交換日である複数の第２基準交換日のいずれかに一致させることにより、複数の部分停止部品の交換日を減らし、部分停止部品の交換により一方の処理装置１が停止して基板処理システム８のスループットが減少する期間を短縮することができる。その結果、基板処理システム８の生産性をより向上することができる。
【００４８】
上述のように、スケジュール作成装置５では、第２基準交換日と第２基準交換日の直前の第１基準交換日との間の日数が閾値以下の場合、第２基準交換日を第１基準交換日に一致させる。これにより、全体停止部品の交換により基板処理システム８の全体が停止する第１基準交換日に、部分停止部品も併せて交換することができ、所定の期間における第１基準交換日および第２基準交換日の合計日数を減らすことができる。その結果、部分停止部品の交換により基板処理システム８のスループットが減少する期間を短縮することができ、基板処理システム８の生産性をさらに向上することができる。
【００４９】
次に、本発明の第２の実施の形態に係るスケジュール作成装置について説明する。図１３は、スケジュール作成装置５ａの機能を示すブロック図である。スケジュール作成装置５ａは、図４に示すスケジュール作成装置５の各部に加えて使用状況取得部５７および耐用期間更新部５８をさらに備える。また、スケジュール作成装置５ａは、スケジュール作成の対象システムである基板処理システム８（図１参照）にインターネット等を介して接続されており、基板処理システム８の複数の消耗部品（すなわち、全体停止部品および部分停止部品）のそれぞれの使用回数または使用期間である使用状況を使用状況取得部５７により取得する。スケジュール作成装置５ａの他の構成は、スケジュール作成装置５と同様であり、以下の説明では、スケジュール作成装置５ａの各構成に、スケジュール作成装置５の対応する構成と同符号を付す。
【００５０】
スケジュール作成装置５ａでは、所定の間隔にて基板処理システム８の消耗部品の使用状況が取得され、当該使用状況に基づいて消耗部品の交換スケジュールが再作成される。本実施の形態では、全消耗部品の耐用期間のうち最長のものの数倍に等しい間隔にて全ての消耗部品の使用状況が一斉に取得され、全ての消耗部品の交換スケジュールが再作成される。なお、使用状況の取得間隔は適宜変更されてよい。
【００５１】
図１４は、スケジュール作成装置５ａにおけるスケジュールの再作成の流れの一部を示す図である。スケジュール作成装置５ａでは、使用状況取得部５７により基板処理システム８の各消耗部品（すなわち、各全体停止部品および各部分停止部品）の使用状況が取得され（ステップＳ４１）、耐用期間更新部５８により各消耗部品の耐用期間が更新される（すなわち、必要に応じて変更される）（ステップＳ４２）。例えば、搬送用モータ８１５の使用回数が当初の予定よりも少ない場合、あるいは、累計使用時間である使用期間が当初の予定よりも短い場合、搬送用モータ８１５の耐用期間を当初の日数である５日よりも長い日数に変更する。これとは逆に、搬送用モータ８１５の使用回数が当初の予定よりも多い場合、あるいは、使用期間が当初の予定よりも長い場合、搬送用モータ８１５の耐用期間を当初の日数である５日よりも短い日数に変更する。また、搬送用モータ８１５の使用状況が当初の予定とおよそ一致している場合には、搬送用モータ８１５の耐用期間は変更されない。
【００５２】
耐用期間の更新が終了すると、図５．Ａないし図５．ＣのステップＳ１１〜Ｓ３０に示すように、第１基準交換日設定部５１により、更新後の耐用期間に基づいて基準全体停止部品が再度決定され、複数の第１基準交換日が再度設定される。続いて、第１交換日割当部５２により、基準全体停止部品以外の各全体停止部品の複数の交換日が、現在から未来に向かって順次再度決定される。具体的には、全体停止部品の耐用期間の終了日が第１基準交換日と一致しない場合には終了日の直前の第１基準交換日を全体停止部品の交換日に決定し、終了日が第１基準交換日と一致する場合には当該第１基準交換日を全体停止部品の交換日に決定する処理が各全体停止部品について繰り返される。
【００５３】
次に、第２基準交換日設定部５３により、更新後の耐用期間に基づいて基準部分停止部品が再度決定され、複数の第２基準交換日が再度設定される。そして、第２基準交換日変更部５４により、複数の第１基準交換日と複数の第２基準交換日とが現在から未来に向けて順次比較され、第２基準交換日と当該第２基準交換日の直前の第１基準交換日との間の日数が閾値以下の場合、当該第２基準交換日を直前の第１基準交換日に一致するように変更して当該第２基準交換日以降の第２基準交換日を再度設定する処理が繰り返される。
【００５４】
その後、第２交換日割当部５５により、基準部分停止部品以外の各部分停止部品の交換日が、現在から未来に向かって順次再度決定される。具体的には、部分停止部品の耐用期間の終了日が第２基準交換日と一致しない場合には終了日の直前の第２基準交換日を部分停止部品の交換日に決定し、終了日が第２基準交換日と一致する場合には当該第２基準交換日を部分停止部品の交換日に決定する処理が各部分停止部品について繰り返される。
【００５５】
なお、ステップＳ４２において、基準全体停止部品およびその耐用期間が変更されなかった場合、第１基準交換日の再設定（ステップＳ１２）は省略されてもよく、全ての全体停止部品の耐用期間が変更されなかった場合、全体停止部品の交換日の再決定（ステップＳ１３〜Ｓ１８）が省略されてもよい。また、基準部分停止部品およびその耐用期間が変更されなかった場合、第２基準交換日の再設定（ステップＳ２０）は省略されてもよい。さらには、全体停止部品の使用状況が当初の予定から大きく変化することはないことが判明している場合、ステップＳ４１，Ｓ４２において、部分停止部品の使用状況のみが取得されて部分停止部品の耐用期間のみが変更され、ステップＳ１１〜Ｓ１８が省略されてもよい。
【００５６】
スケジュール作成装置５ａでは、基板処理システム８の消耗部品の実際の使用状況に応じて交換日を容易に変更することができる。その結果、消耗部品の使用回数が当初の予定よりも多かったり使用時間が当初の予定よりも長い場合、消耗部品の耐用期間が徒過して基板処理システム８の予期しない停止が発生してしまうことを防止することができる。また、消耗部品の使用回数が当初の予定よりも少なかったり使用時間が当初の予定よりも短い場合、消耗部品を過剰に早く（すなわち、過剰に寿命が残っている状態で）交換することが防止され、交換用の消耗部品の購入コストが過剰に増大することが防止される。
【００５７】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。
【００５８】
例えば、上述のステップＳ１４に代えて、選択全体停止部品の耐用期間の複数の終了日が設定され、複数の終了日と複数の第１基準交換日とが、現在から未来に向けて順次比較されてもよい。そして、一の終了日が複数の第１基準交換日のいずれとも一致しない場合、ステップＳ１５に示すように、選択全体停止部品の交換日が当該一の終了日の直前の第１基準交換日に決定され、当該一の終了日以降の終了日が選択全体停止部品の耐用期間に等しい間隔にて再設定され、再設定された終了日と複数の第１基準交換日とが現在から未来に向けて順次比較される処理が繰り返される。
【００５９】
また、ステップＳ２０〜Ｓ２４に代えて、基準部分停止部品の耐用期間の終了日が確認され、当該終了日と当該終了日の直前の第１基準交換日との間の日数が、予め設定された閾値よりも大きい場合、当該終了日が第２基準交換日に決定され、終了日と当該終了日の直前の第１基準交換日との間の日数が上記閾値以下の場合には、直前の第１基準交換日が第２基準交換日に決定されてもよい。
【００６０】
さらに、ステップＳ２６に代えて、選択部分停止部品の耐用期間の複数の終了日が設定され、複数の終了日と複数の第２基準交換日とが、現在から未来に向けて順次比較されてもよい。そして、一の終了日が複数の第２基準交換日のいずれとも一致しない場合、ステップＳ２７に示すように、選択部分停止部品の交換日が当該一の終了日の直前の第２基準交換日に決定され、当該一の終了日以降の終了日が選択部分停止部品の耐用期間に等しい間隔にて再設定され、再設定された終了日と複数の第２基準交換日とが現在から未来に向けて順次比較される処理が繰り返される。
【００６１】
第２の実施の形態に係るスケジュール作成装置５ａでは、各消耗部品の使用状況が各消耗部品の耐用期間に応じて（例えば、耐用期間の数倍に等しい間隔にて）個別に取得され、各消耗部品の交換スケジュールが個別に再作成されてもよい。
【００６２】
上記実施の形態に係るスケジュール作成装置５，５ａは、部分停止部品の交換により基板処理システム８のスループットが減少する期間を短縮するとともに、全体停止部品の交換による基板処理システム８の停止期間を短縮することができるため、複数の対象装置を含む（すなわち、部分停止部品および全体停止部品を有する）対象システムのスケジュール作成に特に適しているが、１つの対象装置のスケジュール作成（すなわち、消耗部品が全て全体停止部品に相当する場合のスケジュール作成）に利用されてもよい。
【００６３】
スケジュール作成装置５，５ａが１つの対象装置のスケジュール作成に利用される場合には、スケジュール作成装置５，５ａから図４に示す第２基準交換日設定部５３、第２基準交換日変更部５４および第２交換日割当部５５が省略される。また、スケジュール作成の流れは、スケジュール作成装置５では図５．Ａに示すステップＳ１１〜Ｓ１８のみとなり、スケジュール作成装置５ａでは、図１４および図５．Ａに示すステップＳ４１，Ｓ４２，Ｓ１１〜Ｓ１８となる。この場合、ステップＳ１１〜Ｓ１８における基準全体停止部品、全体停止部品および第１基準交換日はそれぞれ、基準部品、消耗部品および基準交換日と読み替えられる。
【００６４】
スケジュール作成装置は、図１に示す構成とは異なる様々な構成の基板処理システムの消耗部品の交換スケジュール作成に利用されてよく、基板処理システム以外の様々な対象システムや対象装置の消耗部品の交換スケジュール作成に利用されてもよい。
【符号の説明】
【００６５】
１，１ａ，１ｂ    処理装置
５，５ａ    スケジュール作成装置
８    基板処理システム
２３    回転用モータ
３４    バルブ
３５    流量計
４３    シャッタ開閉センサ
５１    第１基準交換日設定部
５２    第１交換日割当部
５３    第２基準交換日設定部
５４    第２基準交換日変更部
５５    第２交換日割当部
５７    使用状況取得部
５８    耐用期間更新部
８３    共用装置
２１１    チャックピン
８１４    ドア開閉センサ
８１５    搬送用モータ
８１６    処理用配管
５０４１    スケジュール作成プログラム
Ｓ１１〜Ｓ３０，Ｓ４１，Ｓ４２    ステップ
【図１】
2011150628.tif 000003
【図２】
2011150628.tif 000004
【図３】
2011150628.tif 000005
【図４】
2011150628.tif 000006
【図５．Ａ】
2011150628.tif 000007
【図５．Ｂ】
2011150628.tif 000008
【図５．Ｃ】
2011150628.tif 000009
【図６】
2011150628.tif 000010
【図７】
2011150628.tif 000011
【図８】
2011150628.tif 000012
【図９】
2011150628.tif 000013
【図１０】
2011150628.tif 000014
【図１１】
2011150628.tif 000015
【図１２】
2011150628.tif 000016
【図１３】
2011150628.tif 000017
【図１４】
2011150628.tif 000018