(57)【要約】【課題】裏面から撮影した画像と設計像とを簡便に重ね合わせ表示する。歪を持った撮影像の歪を簡便に補正し、設計像と位置をあわせ、重ね合わせ表示する。【解決手段】撮影像の歪を補正する歪補正工程（ステップＳ２）と、設計像と撮影像の位置を合わせるアライメント工程（ステップＳ３）と、設計像と撮影像とを重ねて表示する表示工程（ステップＳ１）と、を含み、歪補正工程は、設計像において垂直軸または水平軸と平行な第１軸が撮影像で垂直軸または水平軸と平行になるように撮影像を回転させる第１の歪補正工程と、設計像において第１軸と平行な第２軸が撮影像で指定され、撮影像上で第２軸中の１点を固定して第１軸で２分した領域のうち第２軸側の領域を第１軸と直交する方向に第１軸からの距離に比例して移動させる第２の歪補正工程を含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
設計像と撮影像とを重ねて表示する表示装置における表示方法であって、
４点を結んだ４角形が設計像において垂直軸および水平軸と平行な矩形となる４点であって撮影像上で指定された４点を、撮影像において前記４点を結んだ４角形が垂直軸および水平軸と平行な矩形となるように撮影像の歪を補正する歪補正工程と、
設計像と撮影像との少なくとも一方に対して、左右反転、上下反転、移動、回転、拡大、縮小の一以上を施して、設計像と撮影像の位置を合わせるアライメント工程と、
前記設計像と撮影像とを重ねて表示する表示工程と、
を含み、
前記歪補正工程は、
設計像において垂直軸または水平軸と平行な第１軸が撮影像上で指定され、第１軸が垂直軸または水平軸と平行になるように撮影像を回転させる第１の歪補正工程と、
設計像において前記第１軸と平行な第２軸が撮影像上で指定され、撮影像上で、前記第２軸が前記第１軸と平行になるように第２軸中の１点を固定して、第１軸で２分した領域のうち第２軸側の領域を第１軸と直交する方向に第１軸からの距離に比例して移動させる第２の歪補正工程を含む表示方法。
【請求項２】
前記第２の歪補正工程において、
第１軸と直交する方向に第１軸からの距離に比例して移動させることに代えて、または、第１軸と直交する方向に第１軸からの距離に比例して移動させることに加えて、
第２軸中の前記１点をｈ点として、ｈ点を中心とする極座標を考え、第２軸についてｈ点を中心として第１軸と並行になるまで回転させる角度をθ、移動対象となる点の移動前の位置をｘ点、移動後をｘ’点、ｈ点からｘ点までの距離を半径とするｈ点を中心とする円と第１軸との交点をｘ”、ｘ点のｈ点を中心とする移動角度を∠ｘｈｘ'、ｘ点とｈ点とを結ぶ直線とｘ”点とｈ点とを結ぶ直線とのなす角度を∠ｘｈｘ”、ｘ”点とｈ点とを結ぶ直線と、第２軸とのなす角度を∠ａｈｘ”としたときに、
∠ｘｈｘ'＝θ・∠ｘｈｘ”／∠ａｈｘ”
を満たすようにｈ点を中心に回転させる請求項１記載の表示方法。
【請求項３】
前記歪補正工程において、設計像において垂直軸と平行な２軸および水平軸と平行な２軸が撮影像上で指定され、この４軸によって仕切られた４角形によって前記４点が指定される請求項１または２記載の表示方法。
【請求項４】
前記歪補正工程は、設計像において前記第１軸および第２軸と直交する第３軸が撮影像上で指定され、撮影像上で、前記第３軸が前記第１軸と直交するように撮影像を第１軸と平行な方向に平行移動、及び／または、前記第３軸が前記第１軸と直交するように前記第１軸と第３軸との交点を中心に撮影像を回転させる第３の歪補正工程を含む請求項１乃至３いずれか１項記載の表示方法。
【請求項５】
前記歪補正工程は、設計像において前記第１乃至第３軸とともに前記垂直軸および水平軸と平行な矩形を仕切ることとなる第４軸が撮影像上で指定され、設計像上で前記第１乃至第３軸の中で第４軸と平行となる軸を対抗軸としたとき、対抗軸で２分した領域のうち第４軸側の前記領域に対して、対抗軸と平行になるように前記第４軸中の１点を固定して、対抗軸と直交する方向に、対抗軸からの処理に比例した距離だけ撮影像を移動させる第４の歪補正工程を含む請求項４記載の表示方法。
【請求項６】
前記アライメント工程が、前記設計像において指定された３点とそれぞれに対応して前記撮影像において指定された３点とから、設計像に対して撮影像が表裏反転しているか否かを判定し、反転している場合に、設計像または撮影像に対して、左右反転または上下反転を施し、表裏反転を直す請求項１乃至５いずれか１項記載の表示方法。
【請求項７】
前記アライメント工程は、
３点が指定される際に、設計像上で指定した順番と撮影像で指定した順番とを１つずつ対応させ、３点の指定する順番が右回りか左回りかを判定し、異なる向きに回っている場合に、設計像または撮影像に対して、左右反転または上下反転を施し、表裏反転を直す請求項６記載の表示方法。
【請求項８】
前記歪補正工程での軸の指定、および前記アライメント工程での３点の指定では、設計像の水平方向および垂直方向と平行な線であるクロスカーソルを表示して指定させる請求項６または７記載の表示方法。
【請求項９】
前記表示装置がコンピュータを含み、前記コンピュータに請求項１乃至８いずれか１項記載の表示方法を実行させるプログラム。
【請求項１０】
設計像と撮影像とを重ねて表示する表示装置であって、
４点を結んだ４角形が設計像において垂直軸および水平軸と平行な矩形となる４点であって撮影像上で指定された４点を、撮影像において前記４点を結んだ４角形が垂直軸および水平軸と平行な矩形となるように撮影像の歪を補正する歪補正部と、
設計像と撮影像との少なくとも一方に対して、左右反転、上下反転、移動、回転、拡大、縮小の一以上を施して、設計像と撮影像の位置を合わせるアライメント部と、
前記設計像と撮影像とを重ねて表示する表示部と、
を含み、
前記歪補正部は、設計像において垂直軸または水平軸と平行な第１軸が撮影像上で指定され、第１軸が垂直軸または水平軸と平行になるように撮影像を回転させる第１歪補正部と、
設計像において前記第１軸と平行な第２軸が撮影像上で指定され、撮影像上で、前記第２軸が前記第１軸と平行になるように第２軸中の１点を固定して、第１軸で２分した領域のうち第２軸側の領域を第１軸と直交する方向に第１軸からの距離に比例して撮影像を移動させる第２歪補正部を含む表示装置。
【請求項１１】
前記第２の歪補正部は、
第１軸と直交する方向に第１軸からの距離に比例して移動させることに代えて、または、第１軸と直交する方向に第１軸からの距離に比例して移動させることに加えて、
第２軸中の前記１点をｈ点として、ｈ点を中心とする極座標を考え、第２軸についてｈ点を中心として第１軸と並行になるまで回転させる角度をθ、移動対象となる点の移動前の位置をｘ点、移動後をｘ’点、ｈ点からｘ点までの距離を半径とするｈ点を中心とする円と第１軸との交点をｘ”、ｘ点のｈ点を中心とする移動角度を∠ｘｈｘ'、ｘ点とｈ点とを結ぶ直線とｘ”点とｈ点とを結ぶ直線とのなす角度を∠ｘｈｘ”、ｘ”点とｈ点とを結ぶ直線と、第２軸とのなす角度を∠ａｈｘ”としたときに、
∠ｘｈｘ'＝θ・∠ｘｈｘ”／∠ａｈｘ”
を満たすようにｈ点を中心に回転させる請求項１０記載の表示装置。
【請求項１２】
前記歪補正部において、設計像において垂直軸と平行な２軸および水平軸と平行な２軸が撮影像上で指定され、この４軸によって仕切られた４角形によって前記４点が指定される請求項１０または１１記載の表示装置。
【請求項１３】
前記歪補正部は、設計像において前記第１軸および第２軸と直交する第３軸が撮影像上で指定され、撮影像上で、前記第３軸が前記第１軸と直交するように撮影像を第１軸と平行な方向に平行移動、及び／または、前記第３軸が前記第１軸と直交するように前記第１軸と第３軸との交点を中心に撮影像を回転させる第３歪補正部を含む請求項１０乃至１２いずれか１項記載の表示装置。
【請求項１４】
前記歪補正部は、設計像において前記第１乃至第３軸とともに前記垂直軸および水平軸と平行な矩形を仕切ることとなる第４軸が撮影像上で指定され、設計像上で前記第１乃至第３軸の中で第４軸と平行となる軸を対抗軸としたとき、対抗軸で２分した領域のうち第４軸側の前記領域に対して、対抗軸と平行になるように前記第４軸中の１点を固定して、対抗軸と直交する方向に、対抗軸からの処理に比例した距離だけ撮影像を移動させる第４歪補正部を含む請求項１３記載の表示装置。
【請求項１５】
前記アライメント部が、前記設計像において指定された３点とそれぞれに対応して前記撮影像において指定された３点とから、設計像に対して撮影像の表裏が反転しているか否かを判定し、反転している場合に、設計像または撮影像に対して、左右反転または上下反転を施し、表裏反転を直す請求項１０乃至１４いずれか１項記載の表示装置。
【請求項１６】
前記アライメント部は、
３点が指定される際に、設計像上で指定した順番と撮影像で指定した順番とを１つずつ対応させ、３点の指定する順番が右回りか左回りかを判定し、異なる向きに回っている場合に、設計像または撮影像に対して、左右反転または上下反転を施し、表裏反転を直す請求項１５に記載の表示装置。
【請求項１７】
前記歪補正部での軸の指定、および前記アライメント工程での３点の指定では、設計像の水平方向および垂直方向と平行な線であるクロスカーソルを表示して指定させる請求項１５または１６記載の表示装置。
【請求項１８】
コンピュータを請求項１０乃至１７いずれか１項記載の表示装置として機能させるプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、設計データから得られる設計像と実際の撮影像とを重ねて表示する方法に関し、特に、両画像の位置合わせの方法、表示装置および表示プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、ＬＳＩの故障解析では、故障シミュレータなどによって、ＬＳＩの故障の原因となっている箇所（論理故障の候補）を論理的に絞り込み、レイアウトビューアなどで論理故障の候補名を検索して表示することで、論理故障の候補をレイアウトで確認することが行われていた。
【０００３】
ＬＳＩに物理的な異常がある場合は、エミッション顕微鏡、ＯＢＩＲＣＨ解析装置、ＦＩＢ（Ｆｉｅｌｄ  Ｉｏｎ  Ｂｅａｍ）装置、ＳＥＭ（Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｉｃ）装置などの解析装置によって、物理的に故障箇所を絞り込むことができる。例えばエミッション顕微鏡では発熱箇所を検出した像を取得でき、ＯＢＩＲＣＨ解析装置ではＯＢＩＲＣＨ反応を検出した像を取得できる。ＳＥＭ装置、ＦＩＢ装置ではＬＳＩの実際の像を取得できる。
【０００４】
解析装置によって発見された物理的な異常個所が論理異常を起こしたことがわかれば、そこで発見された物理的な異常個所がＬＳＩの故障の原因と特定することができる。そこで、論理故障の候補を表示したレイアウト像（設計像）と解析装置で得られた解析像（撮影像）を簡便に重ね合わせることができれば、故障箇所の特定が容易になる。例えば、特許文献１には、レイアウト像と、電子ビームテスタ等の解析装置で得られた解析像との位置合わせを行うことが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−１６３２８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
解析像（撮影像）を表示させて解析する際、ＬＳＩに対して垂直な解析像を得られない場合や、撮影時に像が流れてしまう場合など、実物と比べて解析像が歪を持っていることがある。そのため、特許文献１に記載されたような方法では、うまく位置合わせができない場合がある。ＬＳＩの微細化が進むにつれて、この微細な位置ずれ等によって故障箇所の特定が困難になることがある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の１つのアスペクト（側面）に係る設計像と撮影像とを重ねて表示する表示装置における表示方法は、４点を結んだ４角形が設計像において垂直軸および水平軸と平行な矩形となる４点であって撮影像上で指定された４点を、撮影像において前記４点を結んだ４角形が垂直軸および水平軸と平行な矩形となるように撮影像の歪を補正する歪補正工程と、設計像と撮影像との少なくとも一方に対して、左右反転、上下反転、移動、回転、拡大、縮小の一以上を施して、設計像と撮影像の位置を合わせるアライメント工程と、前記設計像と撮影像とを重ねて表示する表示工程と、を含み、前記歪補正工程は、設計像において垂直軸または水平軸と平行な第１軸が撮影像上で指定され、第１軸が垂直軸または水平軸と平行になるように撮影像を回転させる第１の歪補正工程と、設計像において前記第１軸と平行な第２軸が撮影像上で指定され、撮影像上で、前記第２軸が前記第１軸と平行になるように第２軸中の１点を固定して、第１軸で２分した領域のうち第２軸側の領域を第１軸と直交する方向に第１軸からの距離に比例して移動させる第２の歪補正工程を含んでいる。
【０００８】
また、本発明の別なアスペクトに係る設計像と撮影像とを重ねて表示する表示装置は、４点を結んだ４角形が設計像において垂直軸および水平軸と平行な矩形となる４点であって撮影像上で指定された４点を、撮影像において前記４点を結んだ４角形が垂直軸および水平軸と平行な矩形となるように撮影像の歪を補正する歪補正部と、設計像と撮影像との少なくとも一方に対して、左右反転、上下反転、移動、回転、拡大、縮小の一以上を施して、設計像と撮影像の位置を合わせるアライメント部と、前記設計像と撮影像とを重ねて表示する表示部と、を含み、前記歪補正部は、設計像において垂直軸または水平軸と平行な第１軸が撮影像上で指定され、第１軸が垂直軸または水平軸と平行になるように撮影像を回転させる第１歪補正部と、設計像において前記第１軸と平行な第２軸が撮影像上で指定され、撮影像上で、前記第２軸が前記第１軸と平行になるように第２軸中の１点を固定して、第１軸で２分した領域のうち第２軸側の領域を第１軸と直交する方向に第１軸からの距離に比例して撮影像を移動させる第２歪補正部を含んでいる。
【０００９】
さらに、本発明の別なアスペクトに係るプログラムは、表示装置がコンピュータを含み、コンピュータに上記表示方法を実行させるか、または、コンピュータを上記表示装置として機能させるものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、設計像と撮影像との重ね合わせ表示について、撮影像が垂直な位置から撮影されたものでない場合や、撮影時に像が流れてしまった場合など、撮影像が歪を持っている場合でも容易に設計像と位置あわせができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施例の設計像と撮影像との重ね合わせ表示方法の処理手順を示すフローチャートである。
【図２】本発明の一実施例における表示装置についてコンピュータを用いて構成した場合のブロック図である。
【図３】本発明の一実施例の歪補正工程における撮影像の補正の一例である。
【図４】本発明の一実施例の位置アライメント工程におけるアライメント点の指定の一例である。
【図５】本発明の一実施例における設計像と撮影像との重ね合わせ表示の一例である。
【図６】本発明の一実施例における第１の歪補正工程の一例である。
【図７】本発明の参考例における第２の歪補正工程の一例である。
【図８】本発明の一実施例における第２の歪補正工程の一例である。
【図９】本発明の参考例における第３の歪補正工程の一例である。
【図１０】本発明の一実施例における第３の歪補正工程の一例である。
【図１１】本発明の一実施例における第４の歪補正工程の一例である。
【図１２】本発明の一実施例におけるクロスカーソルの一例である。
【図１３】本発明の一実施例におけるクロスカーソルの別な例である。
【図１４】本発明の一実施例におけるクロスカーソルのさらに別な例である。
【図１５】本発明の参考例における第２の歪補正工程で回転して補正する例である。
【図１６】本発明の一実施例における第２の歪補正工程で回転して補正する例である。
【図１７】本発明の参考例における第３の歪補正工程で回転して補正する例である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
本発明の一実施形態の設計像と撮影像とを重ねて表示する表示装置における表示方法は、撮影像の歪を補正する歪補正工程と、設計像と撮影像の位置を合わせるアライメント工程と、設計像と撮影像とを重ねて表示する表示工程と、を含んでいる。
【００１３】
上記歪補正工程は、４点を結んだ４角形が設計像において垂直軸および水平軸と平行な矩形となる４点であって撮影像上で指定された４点を、撮影像においても上記４点を結んだ４角形が垂直軸および水平軸と平行な矩形となるように撮影像の歪を補正する処理を含む。上記処理は、たとえば、図３の四角形ａ−ｂ−ｃ−ｄを四角形ａ’−ｂ’−ｃ’−ｄ’に補正する処理を含み、より具体的には、図６〜図１６に開示されている。
【００１４】
また、上記設計像と撮影像の位置を合わせるアライメント工程は、設計像と撮影像との少なくとも一方に対して、左右反転、上下反転、移動、回転、拡大、縮小の一以上を施して、設計像と撮影像の位置を合わせる処理が含まれる。
【００１５】
このアライメント工程には、設計像において指定された３点とそれぞれに対応して撮影像において指定された３点とから、設計像に対して撮影像が表裏反転しているか否かを判定し、反転している場合に、設計像または撮影像に対して、左右反転または上下反転を施し、表裏反転を直す処理が含まれてもよい。
【００１６】
例えば、フリップチップ方式でＬＳＩが実装されている場合や、検出信号が上層配線の影響を受けないようにするために、ＬＳＩの裏面から解析像を取得せざるを得ない場合がある。その場合はレイアウト像を表裏反転してから解析像と重ね合わせなければ、解析時に見える像と同じ向きの重ね合わせ象は得られない。そのような場合に、撮影像が表面と裏面のどちらで撮影された場合でも、設計像上で３点を指定し、それぞれに対応して撮影像上でも３点を指定することにより、設計像と撮影像とが表裏反転しているか否かを自動的に判定し、設計像と撮影像との向きを自動的に揃えることができる。具体的には、図４の設計像（レイアウト像）において指定された３点（１、２、３）とそれぞれに対応して撮影像（解析像）において指定された３点（１’、２’、３’）とから設計像に対して撮影像が表裏反転しているか否かを判定し、反転している場合には設計像または撮影像を左右もしくは上下反転して、位置を合わせることができる。なお、このアライメント工程は、３点の指定以外はすべて自動で行うものであってもよいが、必要に応じてオペレータが指示を入力するものであってもよい。
【００１７】
さらに、設計像と撮影像とを重ねて表示する表示工程は、上記歪補正工程と、アライメント工程により、歪が補正され、設計像と位置がアライメントされた撮影像が設計像と重ねて表示する処理を含む。その重ねて表示された画像の一例を図５に示す。図５の周辺部では、設計像のみが表示され、中央部には、その設計像に撮影像が重ねて表示されている。
【００１８】
なお、上記表示工程は、最終的に歪が補正され、位置がアライメントされた画像が表示されるものであれば、歪補正やアライメントする前の撮影像と設計像とを重ねて表示するものも含んでもよい。したがって、図１に記載するように、表示工程は、歪補正工程や位置アライメント工程より先に処理が行われるものであってもよい。
以下、実施例に即し、図面を参照して詳しく説明する。
【実施例１】
【００１９】
［全体の処理］
まず最初に、本発明の第１の実施例の設計像と撮影像を重ねて表示する表示装置における表示方法の全体の処理の流れについて説明する。図１は、本発明の第１の実施例の設計像と撮影像とを重ねて表示する表示装置における表示方法の処理手順を示すフローチャートである。図１では、最初に設計像と撮影像が重ねて表示される（表示工程Ｓ１）。この段階で、撮影像が歪んでいる場合には、撮影像の歪補正が行われる（歪補正工程Ｓ２）。
【００２０】
歪補正は、図３（ａ）歪補正前の図面に示すように、設計像において４点を結んだ４角形が垂直軸および水平軸と平行な矩形となる４点を撮影像上で指定する。半導体集積回路のレイアウト設計においては、通常、配線、ゲートは、垂直軸、水平軸の方向に配置、配線される。したがって、対象となる撮影像が半導体集積回路の撮影像であれば、配線およびゲートの配置、配線方向を視認することで、オペレータは、設計像における垂直軸や水平軸の方向を容易に認識できる。したがって、設計像において４点を結んだ４角形が垂直軸および水平軸と平行な矩形となる４点を撮影像上で指定することも容易である。歪補正工程は、こうして撮影像上で４点が指定された四角形（図３のａ−ｂ−ｃ−ｄ）を、撮影像においても垂直軸および水平軸と平行な矩形（図３のａ’−ｂ’−ｃ’−ｄ’）となるように撮影像の歪を補正する。
【００２１】
さらに、上記歪補正工程に加えて、設計像と撮影像の位置を合わせるアライメントが行われる（位置アライメント工程Ｓ３）。この位置アライメントでは、設計像（レイアウト像）上で１直線上にはない任意の３点（たとえば、図４（ｂ）の「１」「２」「３」）を指定する。さらに、上記３点とそれぞれ同じ位置を示す３点を撮影像（解析像）上で指定する（たとえば、図４（ａ）の「１’」「２’」「３’」）。この３点を指定する順番は、設計像上と、撮影像上で同一の順番で行う。この３点を指定する順番が右回りで指定されたか、左回りで指定されたか、設計像と撮影像で同一か、異なるか判定することで、設計像と撮影像で表、裏が逆になっているか否か判定する。たとえば、図４（ｂ）の設計像では、「１」「２」「３」と左回りに指定しているのに対して、図４（ａ）の撮影像では、「１’」「２’」「３’」と右回りで指定しているので、設計像と撮影像で表裏が逆になっていることが自動的に確認できる。この場合は、設計像または撮影像のどちらかを左右もしくは上下反転して、さらに位置アライメントを行う。図４から撮影像の左右を反転させ、設計像または撮影像を水平方向、垂直方向に移動させ、拡大、縮小して設計像と撮影像との位置を合わせたのが、図５である。なお、ここで、撮影像の左右を反転させるのに代えて、撮影像の上下を反転させて、１８０度回転させても、結果は同じになる。図５では、設計像が全体に表示され、撮影像は、中央部でのみ重ねて表示されている。
【００２２】
なお、設計像と撮影像の表裏を合わせるための補正は、設計像または撮影像の一方に対して、上下反転または左右反転を１回行えばよい。また、位置アライメント工程では、表裏を合わせるため以外に、１８０度の回転に代えて、上下反転と左右反転を行ってもよい。
【００２３】
最終的に撮影像の歪が補正され、設計像と撮影像が位置あわせされ、重ね合わされた図５のような画像を表示して処理は終了となる。
【００２４】
［クロスカーソルの使用］
なお、歪補正工程での四角形の頂点または補正軸の指定および位置アライメント工程でのアライメント点の指定では、設計像の水平および垂直方向と平行な線であるクロスカーソルを表示しながら指定する。そうすることで、設計像でのアライメント点を正確に指定することができる。また、設計像に対応する撮影像のアライメント点を容易に認識できるようになる。また、補正軸を指定する際に、設計像の水平および垂直方向のクロスカーソルを表示しながら指定することで、補正軸の水平または垂直方向からのずれを容易に認識できるようになる。
【００２５】
クロスカーソルのいくつかの例を図１２、図１３および図１４に示す。クロスカーソルは設計像の垂直および水平軸と平行な線で表示される。クロスカーソルは実線、点線などの線であり、識別しやすい色に変更できる。図１２では、クロスカーソル１２を画面に垂直なラインと水平なラインの交点により表示している。図１３では、クロスカーソル１３を点線により表示している。さらに、図１４では、クロスカーソル１４を４つの矢印とその交点を示す点により表示している。
【００２６】
［歪補正の詳細］
次に歪補正の詳細について、図６〜図１１、図１５〜図１７を用いて説明する。この実施例の歪補正工程は、最大で４回の軸補正工程からなり、それぞれの軸補正工程では、最初に撮影像の２点を指定してこの２点を通る直線を補正軸とし、次に設計像の垂直軸あるいは水平軸と平行になるように補正軸を回転、移動することにより歪補正を行う。
【００２７】
（第１の歪補正工程）
１回目の軸補正では、図６に示すように、指定された２点を通る直線内の１点を中心として、補正軸５が垂直もしくは水平となるように撮影像を回転する。この２点の指定は、撮影像を見て、設計像上で水平もしくは垂直な位置関係となる２点をクロスカーソルにより指定して行う。撮影像がＬＳＩのレイアウトパターンである場合は、配線やゲートの並びから設計像上で水平もしくは垂直な位置関係となる２点は容易に認識できる。なお、もし撮影像に歪がない場合は、この第１の歪補正工程だけで歪補正工程を終了させることができる。
【００２８】
（第２の歪補正工程）
２回目の軸補正では、２回目の補正軸（以降では第２軸と記述）が１回目の補正軸（以降では第１軸と記述）と撮影像の中で交差する場合は、図７に示すように、第１軸５と第２軸６の交点ｇを中心として、第２軸６が第１軸５と直交するように、第１軸５と平行する方向に撮影像を平行移動及び／または撮影像を回転する。
【００２９】
平行移動させる場合は、第２軸６が第１軸５と直交するように、撮影像をすべて第１軸と平行な方向へ移動させる。平行移動する距離は、図７から容易に理解できるように、第１軸からの距離に比例することになる。
【００３０】
第２軸６が第１軸５と直交するように、撮影像を回転させる場合は、図１５を参照して説明する。第１軸５と第２軸６との交点ｇを中心として第１軸５と直交させるために第２軸を回転させる角度をθとする。また、撮影像の各点の座標についてｇ点を中心として、第１軸の方向を０°とする極座標で表したときの各点の第１軸からの角度をαとする。そして、撮影像の各点について、ｇ点を中心に、α＊θ／（９０°＋θ）だけ回転させる。すなわち、図１５において、ｂ点、ｃ点は、ｂ’点、ｃ’点に回転移動させる。
【００３１】
なお、平行移動させる場合と、回転させる場合で、補正後の撮影像の座標は厳密には同一とはならないが、歪が大きくなければ、その差異は実用上問題にならない。また、平行移動させるか、回転移動させるかは、たとえば、表示装置の初期設定で一方を選択して、オプションで他方を選択できるようにしてもよい。また、平行移動と回転を併用し、第２軸を回転させる角度の半分を回転移動させておいて、残りの半分を平行移動させることも可能である。
【００３２】
次に、第２軸６が第１軸５と撮影像の中で交差しない場合は、図８に示すように、第２軸６と撮影像との境界の交点ｉ、ｈのうち第１軸と距離が近い交点ｈを中心として、第１軸５で２分した領域のうち第２軸６側の領域に対して、第２軸と第１軸とが平行になるように、第１軸と直交する方向に、第１軸からの距離に比例した量だけ撮影像を移動する。また、移動量は、交点ｈから第１軸５に下ろした垂線からの距離にも比例することになる。結果として、第１軸５で２分した領域のうち、第２軸６側の領域は、上記垂線からの距離に比例して第１軸５と直交する方向に圧縮または伸張されることになる。
【００３３】
また、上記の第２軸６が第１軸５と撮影像の中で交差しない場合の撮影像の移動も、第１軸に直交する方向に平行移動させることに代えて、ｈ点を中心に回転させることも可能である。この回転移動について、図１６を用いて説明する。まず、第２軸６についてｈ点を中心として第１軸５と平行になるまで回転させる角度をθとする。次に撮影像の各点について、ｈ点を中心とする極座標を考える。撮影像上の移動対象となる点を仮にｘ点として、ｈ点からｘ点までの距離を半径とするｈ点を中心とする円を考える。この円と第１軸５との交点をｘ”とする。すると、ｘ点についてｈ点を中心に回転させる角度は、
∠ｘｈｘ'＝θ・∠ｘｈｘ”／∠ａｈｘ”        （１）式
で求められる。なお、∠ｘｈｘ'は、ｘ点のｈ点を中心とする移動角度である。また、∠ｘｈｘ”は、ｘ点とｈ点とを結ぶ直線とｘ”点とｈ点とを結ぶ直線とのなす角度である。また、∠ａｈｘ”は、ｘ”点とｈ点とを結ぶ直線と、第２軸６とのなす角度である。
【００３４】
なお、撮影像上の移動対象となる点（仮にｙ点とする）がｈ点に近く、ｈ点を中心とするｙ点までの距離を半径とする円が第１軸５と交わらない場合は、（１）式において、ｘ”点を撮影像の境界と第１軸との交点（図１６のｙ”）に代えて計算を行えばよい。
【００３５】
上記の場合も、第２軸と第１軸が交わる場合と同様に、平行移動と回転は任意に選択できるし、両者を併用することもできる。
【００３６】
また、この第２軸の指定も撮影像上でクロスカーソルを用いて、設計像において第１軸と直交または平行となる軸を指定して行う。以上述べた２回目の軸補正により、歪が実用上問題のならない程度に収まった場合は、第２回目の軸補正までで歪補正を終了することもできる。
【００３７】
（第３の歪補正工程ケース１：第３軸は第１軸、第２軸と直交）
３回目の軸補正では、第１軸５と第２軸６が平行の場合は、図１０に示すように、３回目の補正軸７（以降では第３軸と記述）と第１軸５（もしくは第２軸６）の交点ｊを中心として、第３軸７が第１軸５（もしくは第２軸６）と直交するように、第１軸５と並行する方向に撮影像を平行移動する。ここで、第３軸７と第１軸５との交点ｊを選択するか、第３軸７と第２軸６との交点を選択するかは任意に選択することができる。オペレータが選択してもよいし、表示装置が自動的に選択してもよい。なお、３回目の軸補正においても平行移動に代えて、または、平行移動と併用して回転させることも可能である。回転させる場合は、図１０において、第１軸５と第２軸６に挟まれる領域の撮影像について、第１軸５と第３軸７との交点jを中心に回転させればよい。
【００３８】
（第３の歪補正工程ケース２：第３軸は第１、２軸の一方と平行、他方と直交）
３回目の軸補正で、第１軸５と第２軸６が直交し、なおかつ第３軸７と第１軸５（もしくは第２軸６）が撮影像の中で交差する場合は、図９に示すように、第３軸７と第１軸５（もしくは第２軸６）との交点ｋを中心として、第２軸６（もしくは第１軸５）で２分した領域のうち第３軸７側の領域に対して、第３軸７と第２軸６（もしくは第１軸５）とが平行になるように、第２軸６（もしくは第１軸５）と直交する方向に、第２軸６（もしくは第１軸５）からの距離に比例した量だけ撮影像を移動する。このとき、第２軸６で２分した領域のうち、第３軸７側の領域は、第２軸に直交する方向に圧縮または伸張されることになる。
【００３９】
なお、このケースで撮影像を回転させる場合は、第１軸、第２軸のうち、第３軸と平行となる軸で２分される領域のうち、第３軸側の領域について、第１軸、第２軸のうち、第３軸と直交する軸と第３軸との交点を中心に撮影像を回転させる。ここで、撮影像の回転について、図面を用いてもう少し詳しく説明する。図１７は、このケースで、撮影像の回転のさせ方を説明する図面である。第３軸を回転させる角度をαとする。また、撮影像２１中のａ点、ｂ点について、それぞれ、ｋ点からの直線と、第１軸とのなす角度をβ、γとする。すると、ａ点は、α＊β／（９０＋α）、ｂ点は、α＊γ／（９０−α）だけ回転させればよい。回転後のａ点、ｂ点の位置をそれぞれ、ａ’、ｂ’で示す。
【００４０】
（第３の歪補正工程ケース３：第３軸は第１、２軸の一方と平行、他方と直交）
３回目の軸補正で、第１軸と第２軸が直交し、なおかつ第３軸が撮影像の中で第１軸および第２軸と交差しない場合は、第３軸を第１軸（もしくは第２軸）と平行とするか直交とするかを選択する。第３軸を第１軸（もしくは第２軸）と平行とする場合は、第３軸と撮影像との境界の交点のうち、第１軸（もしくは第２軸）と距離が近い方の交点を中心として、第１軸（もしくは第２軸）で２分された領域のうち第３軸側の領域に対して、第３軸と第１軸（もしくは第２軸）とが平行になるように、第１軸（もしくは第２軸）と直交する方向に、第１軸（もしくは第２軸）からの距離に比例した量だけ撮影像を移動する。このとき、第１軸（もしくは第２軸）で２分された領域のうち、第３軸側の領域は、第１軸に直交する方向に圧縮または伸張される。
【００４１】
第３軸を第１軸（もしくは第２軸）と直交する場合は、第３軸と撮影像との境界の交点のうち、第２軸（もしくは第１軸）と距離が近い方の交点を中心として、第２軸（もしくは第１軸）で２分された領域のうち第３軸側の領域に対して、第３軸と第２軸（もしくは第１軸）とが平行になるように、第２軸（もしくは第１軸）と直交する方向に、第２軸（もしくは第１軸）からの距離に比例した量だけ撮影像を移動する。このとき、第２軸（もしくは第１軸）で２分された領域のうち、第３軸側の領域は、第２軸に直交する方向に圧縮または伸張される。
【００４２】
上記第３の歪補正工程ケース３は、設計像において第１軸または第２軸のうち一方と平行し、他方と直交する第３軸が撮影像上で指定され、第１軸、第２軸のうち設計像上で第３軸と平行する軸を平行軸としたとき、撮影像上で、第３軸が平行軸と平行になるように第３軸中の１点を固定して、平行軸で２分した領域のうち第３軸側の領域を平行軸と直交する方向に平行軸からの距離に比例して撮影像を移動させることにおいては、第３の歪補正工程ケース２と同じである。ケース３で違うのは、平行軸を第１軸とするか、第２軸とするかの違いと、撮影像を移動させる場合の第３軸の中心（固定点）をどこにおくかの違いだけである。以上述べた３回目の歪補正により歪が実用上問題のならない程度に収まった場合は、第３回目の軸補正までで歪補正を終了することもできる。
【００４３】
（第４の歪補正工程）
４回目の軸補正では、図１１に示すように第１軸５から第３軸７の中で平行な補正軸が設定されている２つの軸と４回目の補正軸８（以降では第４軸と記述）との交点のうち何れかの軸を中心として、第１軸から第３軸の中で平行な補正軸が設定されてない軸（以降では対抗軸と記述）で２分した領域のうち第４軸８側の領域に対して、第４軸と対抗軸とが平行になるように、対抗軸と直交する方向に、対抗軸からの距離に比例した量だけ撮影像を移動する。この移動により、撮影像の対抗軸で２分された領域のうち、第４軸側の領域は、対抗軸に直交する方向に圧縮または伸張されることになる。また、４回目の移動でも平行移動に代えて、回転移動を選択することや平行移動と回転移動を併用することも可能である。回転させる場合には、対抗軸で分割された撮影像の２つの領域のうち、第４軸側の領域であって、かつ、対抗軸と直交する２つの軸で挟まれた領域について、第４軸と交差する軸との交点を中心に回転させればよい。
【００４４】
以上の処理により、撮影時に像が流れていたり、実物と比べて像が歪を持っていたりする場合でも、最大４つの補正軸に囲まれた箇所を容易に矩形に補正することができる。
【００４５】
［実施例１の変形例］
本発明の実施例１の歪補正工程は様々に変形することができる。特に第３の歪補正工程、第４の歪補正工程は以下のように変形することが可能である。
【００４６】
（第３の歪補正工程ケース２変形例）
３回目の軸補正において、第１軸と第２軸が直交し、なおかつ第３軸と第１軸（もしくは第２軸）が撮影像の中で交差する場合は、第３軸と撮影像との境界の交点のうち、いずれかの交点を中心として、第２軸（もしくは第１軸）で２分した領域のうち第３軸側の領域に対して、第３軸と第２軸（もしくは第１軸）とが平行になるように、第２軸（もしくは第１軸）と直交する方向に、第２軸（もしくは第１軸）からの距離に比例した量だけ撮影像を移動してもよい。図９を用いて説明した第３の歪補正工程ケース２では、第１軸と第３軸との交点を中心として撮影像を移動させたが、この変形例では、第３軸と撮影像との境界の交点を中心として撮影像を移動させる点が異なる。いずれの場合も、第３軸中のどの点を固定して（中心として）撮影像を移動させるかが異なるだけであり、この場合においても、補正軸に囲まれた箇所を容易に矩形に補正することができる。
【００４７】
（第３の歪補正工程ケース３変形例）
３回目の軸補正において、第１軸と第２軸が直交し、なおかつ第３軸が撮影像の中で第１軸および第２軸と交差しない場合は、第３軸を第１軸（もしくは第２軸）と平行とするか直交とするかを選択する。
【００４８】
第３軸を第１軸（もしくは第２軸）と平行とする場合は、第３軸と撮影像との境界の交点のうち、第１軸（もしくは第２軸）と距離が遠い方の交点を中心として、第１軸（もしくは第２軸）で２分された領域のうち第３軸側の領域に対して、第３軸と第１軸（もしくは第２軸）とが平行になるように、第１軸（もしくは第２軸）と直交する方向に、第１軸（もしくは第２軸）からの距離に比例した量だけ撮影像を移動する。第３の歪補正工程ケース３では、距離が近い交点を中心として撮影像を移動させたが、この変形例では、距離が遠い交点を中心として撮影像を移動させた点が異なる。
【００４９】
第３軸を第１軸（もしくは第２軸）と直交する場合は、第３軸と撮影像との境界の交点のうち、第２軸（もしくは第１軸）と距離が遠い方の交点を中心として、第２軸（もしくは第１軸）で２分された領域のうち第３軸側の領域に対して、第３軸と第２軸（もしくは第１軸）とが平行になるように、第２軸（もしくは第１軸）と直交する方向に、第２軸（もしくは第１軸）からの距離に比例した量だけ撮影像を移動する。第３回軸補正ケース４では、距離が近い交点を中心として平行移動させたが、この変形例では、距離が遠い交点を中心として平行移動させた点が異なる。この場合においても、補正軸に囲まれた箇所を容易に矩形に補正することができる。
【００５０】
（第３の歪補正工程ケース３変形例２）
さらに別な変形例によれば、３回目の軸補正において、第１軸と第２軸が直交し、なおかつ第３軸が撮影像の中で第１軸および第２軸と交差しない場合は、第３軸と撮影像の境界との交点のうち何れかの交点を選択する。
【００５１】
選択された交点と第１軸（もしくは第２軸）との距離が、選択されなかった交点と第１軸（もしくは第２軸）との距離よりも近い場合は、選択された交点を中心として、第１軸（もしくは第２軸）で２分された領域のうち第３軸側の領域に対して、第３軸と第１軸（もしくは第２軸）とが平行になるように、第１軸（もしくは第２軸）と直交する方向に、第１軸（もしくは第２軸）からの距離に比例した量だけ撮影像を移動する。
【００５２】
選択された交点と第１軸（もしくは第２軸）との距離が、選択されなかった交点と第１軸（もしくは第２軸）との距離よりも遠い場合は、選択された交点を中心として、第２軸（もしくは第１軸）で２分された領域のうち第３軸側の領域に対して、第３軸と第２軸（もしくは第１軸）とが平行になるように、第２軸（もしくは第１軸）と直交する方向に、第２軸（もしくは第１軸）からの距離に比例した量だけ撮影像を移動する。
【００５３】
すなわち、この３回目の軸補正ケース３変形例２では、第３軸と撮影像の境界との交点のうち、第１軸との距離が近い方の交点を選択すれば、第３軸は第１軸と平行になるように補正され、遠い方の交点を選択すれば、第３軸は第２軸と平行になるように補正される。この場合においても、補正軸に囲まれた箇所を容易に矩形に補正することができる。
【００５４】
（第３の歪補正工程ケース３変形例３）
さらに別な変形例によれば、３回目の軸補正において、第１軸と第２軸が直交し、なおかつ第３軸が撮影像の中で第１軸および第２軸と交差しない場合は、第３軸と撮影像の境界との交点のうち何れかの交点を選択する。
【００５５】
選択された交点と第１軸（もしくは第２軸）との距離が、選択されなかった交点と第１軸（もしくは第２軸）との距離よりも遠い場合は、選択された交点を中心として、第１軸（もしくは第２軸）で２分された領域のうち第３軸側の領域に対して、第３軸と第１軸（もしくは第２軸）とが平行になるように、第１軸（もしくは第２軸）と直交する方向に、第１軸（もしくは第２軸）からの距離に比例した量だけ撮影像を移動する。
【００５６】
選択された交点と第１軸（もしくは第２軸）との距離が、選択されなかった交点と第１軸（もしくは第２軸）との距離よりも近い場合は、選択された交点を中心として、第２軸（もしくは第１軸）で２分された領域のうち第３軸側の領域に対して、第３軸と第２軸（もしくは第１軸）とが平行になるように、第２軸（もしくは第１軸）と直交する方向に、第２軸（もしくは第１軸）からの距離に比例した量だけ撮影像を移動する。
【００５７】
すなわち、この３回目の軸補正ケース３変形例３では、第３軸と撮影像の境界との交点のうち、第１軸との距離が遠い方の交点を選択すれば、第３軸は第１軸と平行になるように補正され、近い方の交点を選択すれば、第３軸は第２軸と平行になるように補正される。この場合においても、補正軸に囲まれた箇所を容易に矩形に補正することができる。
【００５８】
（第４の歪補正工程変形例）
また、実施例１の別の変形例によれば、第４の歪補正工程において、第４軸と撮影像との境界の交点のうち何れかの軸を中心として、対抗軸で２分した領域のうち第４軸側の領域に対して、第４軸と対抗軸とが平行になるように、対抗軸と直交する方向に、対抗軸からの距離に比例した量だけ撮影像を移動する。すなわち、第４の歪補正工程のこの変形例では、第４軸と他の軸との交点に代えて第４軸と撮影像との境界との交点を中心として第４軸の傾きを補正している。この場合においても、補正軸に囲まれた箇所を容易に矩形に補正することができる。
【実施例２】
【００５９】
次に、本発明の表示装置がコンピュータを含み、コンピュータに本発明の表示方法を実行させる実施例、および、コンピュータを上記表示装置として機能させるプログラムの実施例について説明する。
【００６０】
図２は、本発明の表示装置についてコンピュータを用いて構成した場合のブロック図である。第２の実施例による表示装置は、設計像と撮影像を外部から取得するための外部データ取得部Ｐ３と、ＣＰＵ：Ｐ４と、設計像と撮影像との重ね合わせ表示を実行するための指示を入力する入力部Ｐ１と、出力部Ｐ２、記憶部Ｐ５とを備えている。記憶部Ｐ５は、キャッシュや半導体メモリのような主記憶装置以外に、ハードディスクやＣＤ、ＤＶＤ等の磁気記憶媒体、光記憶媒体のような補助記憶装置を含んでもよい。
【００６１】
記憶部Ｐ５には、第１の実施例で説明した撮影像の歪を補正する歪補正処理工程と、設計像と撮影像の位置を合わせるアライメント工程と、設計像と撮影像とを重ねて表示する表示工程と、をＣＰＵ：Ｐ４に実行させる表示プログラムＰ６が格納されている。また、外部から取得した設計像データＰ７と、撮影像データＰ８も、記憶部Ｐ５に格納される。
【００６２】
出力部Ｐ２には、歪補正処理での補正軸の指定および位置アライメント処理でのアライメント点の指定の際に、設計像の水平および垂直方向と平行な線であるクロスカーソルを表示する。また設計像と撮影像とを重ねて表示する。そして、入力部Ｐ１と、ＣＰＵ：Ｐ４と、記憶部Ｐ５と、外部データ取得部Ｐ３と、出力部Ｐ２とは、それぞれバスラインで接続されている。
【００６３】
この実施例２では、表示プログラムＰ６に従って、ＣＰＵ：Ｐ４は、オペレータが入力部Ｐ１から指定した４点の座標データまたは、４軸の座標に基づいて、歪補正工程の処理を行い、撮影像データＰ８を更新する。また、表示プログラムＰ６に従って、ＣＰＵ：Ｐ４は、オペレータが入力部Ｐ１から指定したアライメント座標データに基づいて、アライメント工程の処理を行い、設計像データＰ７と撮影像データＰ８の更新を行う。さらに、ＣＰＵ：Ｐ４は、表示プログラムＰ６に従って、更新された設計像データＰ７と、撮影像データＰ８と、を出力部Ｐ２からコンピュータのディスプレイに表示し、表示工程の処理を行う。歪補正工程、アライメント工程、表示工程の処理内容は、実施例１と同様である。なお、上述した設計像データＰ７、撮影像データＰ８の更新処理では、更新する前のデータは残しておいてもよいし、必要がなければコンピュータから削除してしまってもよい。
【００６４】
また、上記表示プログラムがインストールされたコンピュータは、歪補正部、アライメント部、表示部を有する表示装置として機能する。このコンピュータは、ディスプレイ等の出力部、キーボート、マウス等の入力部、ＤＶＤやＣＤ−ＲＯＭ等の補助記憶装置、インターネット接続等の外部インタフェース機能を備えた一般的なエンジニアリングワークステーションやパーソナルコンピュータでもよい。また、上記表示プログラムは、半導体メモリ、磁気記憶装置、光記憶装置等の記憶媒体や、インターネットを介して上記コンピュータにインストールすることができる。
【００６５】
以上、説明したように上記各実施例によれば、例えばＬＳＩの故障解析において、撮影時に像が流れていたり、実物と比べて像が歪を持っている場合でも、レイアウトの座標系に対して垂直もしくは水平にしたい解析像の軸を指定し、指定された軸をレイアウトの座標軸の向きに補正する。ＬＳＩの配線やゲートが基本的にレイアウトの座標軸に対して垂直もしくは水平に配置されているため、解析者は容易に補正軸を指定できるようになる。
【００６６】
また、レイアウト像と解析像のそれぞれ対応する３点とを指定し、レイアウト像の３点と解析像の３点とからレイアウト像に対して解析像が表裏反転しているか否かを自動判定することで、解析像（撮影像）が表面と裏面のどちらで撮影された場合でも、レイアウト（設計像）を解析像と同じ方向に自動で補正することができる。
【００６７】
また、上記各実施例によれば、ＬＳＩの故障解析では、解析装置によって発見された物理的な異常個所が論理異常を起こしたことがわかれば、そこで発見された物理的な異常個所がＬＳＩの故障の原因と特定することができる。そこで、論理故障の候補を表示したレイアウト像と解析装置で得られた解析像を簡便に重ね合わせることができるため、故障箇所の特定が容易にできる。
【００６８】
以上、本発明を実施例に即して説明したが、本発明は上記実施例の構成にのみ制限されるものでなく、本発明の範囲内で当業者であればなし得るであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。
【００６９】
たとえば、歪補正工程が、撮影像で３点を指定して、この３点を結んだ３角形が直角三角形となるように撮影像を補正するものであってもよい。また、撮影像で３角形を指定して、この３角形が直角三角形となるように撮影像を補正するものであってもよい。
【符号の説明】
【００７０】
１、２、３、４、１１、２１  撮影像（解析像）
５  補正軸（第１軸）
６  補正軸（第２軸）
７  補正軸（第３軸）
８  補正軸（第４軸）
１０  設計像（レイアウト像）
１２、１３、１４  クロスカーソル
Ｓ１  表示工程
Ｓ２  歪補正工程
Ｓ３  位置アライメント工程
Ｐ１  入力部
Ｐ２  出力部
Ｐ３  外部データ取得部
Ｐ４  ＣＰＵ（セントラルプロセシングユニット）
Ｐ５  記憶部
Ｐ６  表示プログラム
Ｐ７  設計像データ
Ｐ８  撮影像データ
ａ、ｂ、ｃ、ｄ  歪補正前の４角形の頂点
ａ’、ｂ’、ｃ’、ｄ’  歪補正後の４角形の頂点
ｇ  第１軸と第２軸との交点
ｈ、ｉ  第２軸と撮影像の境界との交点
ｋ、ｊ  第１軸と第３軸との交点
ｌ  第３軸と第４軸との交点
ｍ  第２軸と第４軸との交点
【図１】
2011003199.tif 000003
【図２】
2011003199.tif 000004
【図３】
2011003199.tif 000005
【図４】
2011003199.tif 000006
【図５】
2011003199.tif 000007
【図６】
2011003199.tif 000008
【図７】
2011003199.tif 000009
【図８】
2011003199.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2011003199.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
2011003199.tif 000017
【図１６】
2011003199.tif 000018
【図１７】
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