(57)【要約】【課題】レーザ発振による振動が光学ユニットに伝達されることを抑制する連結ユニット、及びこれを含むレーザ発振装置を提供する。【解決手段】レーザを発振する発振ユニットと、前記レーザを取り囲むシャッターユニットと、前記レーザを取り囲んで前記発振ユニットと前記シャッターユニットとの間を連結し、前記発振ユニットに支持されている第１連結部及び前記シャッターユニットに支持されている第２連結部を含む連結ユニットとを含み、前記第１連結部及び前記第２連結部のいずれか一つは、他の一つから離隔し、前記他の一つの一部以上を取り囲むレーザ発振装置。【選択図】図２
2011049528.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザを発振する発振ユニットと、
前記レーザを取り囲むシャッターユニットと、
前記レーザを取り囲んで前記発振ユニットと前記シャッターユニットとの間を連結し、前記発振ユニットに支持されている第１連結部及び前記シャッターユニットに支持されている第２連結部を含む連結ユニットとを含み、
前記第１連結部及び前記第２連結部のいずれか一つは、他の一つから離隔し、前記他の一つの一部以上を取り囲むレーザ発振装置。
【請求項２】
前記シャッターユニットと連結されており、前記レーザの光路を変更する光学ユニットをさらに含む、請求項１に記載のレーザ発振装置。
【請求項３】
前記発振ユニットを支持する第１支持部と、
前記シャッターユニット及び前記光学ユニットのいずれか一つ以上を支持する第２支持部とをさらに含み、
前記第１支持部と前記第２支持部とは相互に離隔する、請求項２に記載のレーザ発振装置。
【請求項４】
前記第１連結部と前記第２連結部とは構造上相互に対応する形状で構成される、請求項１から３のいずれか一項に記載のレーザ発振装置。
【請求項５】
前記第１連結部は、前記発振ユニットから前記シャッターユニットの方向に第１円筒形状に延長された第１延長部を含み、
前記第２連結部は、前記シャッターユニットから前記第１延長部の方向に前記第１円筒に比べて直径がさらに小さな第２円筒形状で前記第１延長部の内部に延長された第２延長部を含む、請求項４に記載のレーザ発振装置。
【請求項６】
前記第１連結部は、前記第１延長部の端部から前記第２延長部の方向に折曲延長された第１折曲部をさらに含み、
前記第２連結部は、前記第２延長部の端部から前記第１延長部の方向に折曲延長された第２折曲部をさらに含み、
前記第１折曲部と前記第２折曲部とは相互に対向する、請求項５に記載のレーザ発振装置。
【請求項７】
前記第１連結部は、前記発振ユニットから前記シャッターユニットの方向に第３円筒形状に延長された第３延長部を含み、
前記第２連結部は、前記シャッターユニットから前記第３延長部の方向に前記第３円筒形状に比べて直径がさらに大きい第４円筒形状で前記第３延長部を取り囲むように延長された第４延長部を含む、請求項４に記載のレーザ発振装置。
【請求項８】
前記第１連結部は、前記第３延長部の端部から前記第４延長部の方向に折曲延長された第３折曲部をさらに含み、
前記第２連結部は、前記第４延長部の端部から前記第３延長部の方向に折曲延長された第４折曲部をさらに含み、
前記第３折曲部と前記第４折曲部とは相互に対向する、請求項７に記載のレーザ発振装置。
【請求項９】
前記第１連結部及び前記第２連結部は、階段式で段差を有する形状に延長される、請求項４に記載のレーザ発振装置。
【請求項１０】
前記レーザはエキシマレーザである、請求項１〜９のいずれか一項に記載のレーザ発振装置。
【請求項１１】
前記レーザはシリコンの結晶化時に使用されるものである、請求項１０に記載のレーザ発振装置。
【請求項１２】
レーザを発振する発振ユニットと前記レーザを取り囲むシャッターユニットとの間を連結する連結ユニットにおいて、
前記発振ユニットに支持されている第１連結部と、
前記シャッターユニットに支持されている第２連結部とを含み、
前記第１連結部及び前記第２連結部のいずれか一つは、他の一つから離隔し、他の一つの一部以上を取り囲む連結ユニット。
【請求項１３】
前記第１連結部及び前記第２連結部は構造上相互に対応する形状で構成される、請求項１２に記載の連結ユニット。
【請求項１４】
前記第１連結部は、前記発振ユニットから前記シャッターユニットの方向に第１円筒形状に延長された第１延長部を含み、
前記第２連結部は、前記シャッターユニットから前記第１延長部の方向に前記第１円筒に比べて直径がさらに小さな第２円筒形状で前記第１延長部の内部に延長された第２延長部を含む、請求項１３に記載の連結ユニット。
【請求項１５】
前記第１連結部は、前記第１延長部の端部から前記第２延長部の方向に折曲延長された第１折曲部をさらに含み、
前記第２連結部は、前記第２延長部の端部から前記第１延長部の方向に折曲延長された第２折曲部をさらに含み、
前記第１折曲部と前記第２折曲部とは相互に対向する、請求項１４に記載の連結ユニット。
【請求項１６】
前記第１連結部は、前記発振ユニットから前記シャッターユニットの方向に第３円筒形状に延長された第３延長部を含み、
前記第２連結部は、前記シャッターユニットから前記第３延長部の方向に前記第３円筒形状に比べて直径がさらに大きい第４円筒形状で前記第３延長部を取り囲むように延長された第４延長部を含む、請求項１３に記載の連結ユニット。
【請求項１７】
前記第１連結部は、前記第３延長部の端部から前記第４延長部の方向に折曲延長された第３折曲部をさらに含み、
前記第２連結部は、前記第４延長部の端部から前記第３延長部の方向に折曲延長された第４折曲部をさらに含み、
前記第３折曲部と前記第４折曲部とは相互に対向する、請求項１６に記載の連結ユニット。
【請求項１８】
前記第１連結部及び前記第２連結部は、階段式で段差を有する形状に延長される、請求項１３に記載の連結ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、連結ユニットとこれを含むレーザ発振装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
画像を表示することにおいて、最近では、従来のブラウン管、つまり、ＣＲＴ（ｃａｔｈｏｄｅ  ｒａｙ  ｔｕｂｅ、陰極線管）を代替する液晶ディスプレイ装置や有機発光表示装置などの多様な平板ディスプレイ装置が使用されている。
【０００３】
このような液晶ディスプレイ装置や有機発光表示装置などの平板表示装置は、各画素の動作を制御するスイッチング素子及び画素を駆動させる駆動素子として使用される薄膜トランジスタ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ：ＴＦＴ）を備える。
【０００４】
このような薄膜トランジスタは、基板上に高濃度の不純物でドーピングされたドレイン領域とソース領域及びドレイン領域とソース領域との間に形成されたチャネル領域を有する半導体活性層を有し、この半導体活性層としては非晶質シリコン（ａｍｏｒｐｈｏｕ  ｓｓｉｌｉｃｏｎ）または多結晶質シリコン（ｐｏｌｙｓｉｌｉｃｏｎ）を用いることができる。
【０００５】
非晶質シリコンを利用した薄膜トランジスタは、低温蒸着が可能であるという長所があるが、電気的特性と信頼性が低下し、表示素子の大面積化が困難であるという短所があって、最近は多結晶質シリコンを利用した薄膜トランジスタが多く使用されている。
【０００６】
多結晶質シリコンは、数十乃至数百ｃｍ２／Ｖｓの高い電流移動度を有し、高周波動作特性及び漏洩電流値が低くて、高精細及び大面積の平板表示装置への採用が非常に適合する。
【０００７】
このような多結晶質シリコンは、非晶質シリコンを結晶化して製造し、その製造方法でレーザを薄膜基板上に照射するレーザアニーリング方法が使用されている。
【０００８】
前記レーザによる非晶質シリコンの結晶化は低温工程によって行われるので、薄膜の下の基板に加えられる損傷を最少化できるという長所がある。また、レーザアニーリングのレーザとしては主にエキシマレーザが使用されてきている。
【０００９】
このエキシマレーザを利用する低温多結晶化方法は、レーザ発振装置で発生したエキシマレーザをアニールチェンバ内の非晶質シリコン薄膜に照射して行われる。
【００１０】
従来のレーザ発振装置は、レーザを発振する発振ユニット、発振ユニットから発振したレーザが外部に漏れ出ることを抑制するシャッターユニット、及びシャッターユニットを経たレーザの光路を変更する光学ユニットを含む。従来の発振ユニット、シャッターユニット、及び光学ユニットは互いに連結されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかし、レーザを発振する発振ユニットは、レーザを発振しながら振動を発生するようになり、発振ユニットから発生した振動が発振ユニットに連結されたシャッターユニットを媒介として光学ユニットに伝達された。このように、発振ユニットから伝達された振動によって光学ユニットが振動し、そのため光学ユニットによるレーザの光路変更に誤差が生じ、レーザを利用した非晶質シリコンの結晶化に不良が発生する問題点があった。
【００１２】
また、発振ユニットと光学ユニットとの間がシャッターユニットで連結されているため、発振ユニットまたは光学ユニットに対する外部の衝撃などによってシャッターユニットに伝達された機械的ストレスにより、シャッターユニットが破損するという問題点があった。
【００１３】
そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、レーザ発振による振動が光学ユニットに伝達されることを抑制することが可能な、新規かつ改良された連結ユニット、及びこれを含むレーザ発振装置を提供することにある。
【００１４】
また、シャッターユニットに伝達される機械的ストレスが緩和されて、シャッターユニットの破損を抑制することが可能な、新規かつ改良された連結ユニット、及びこれを含むレーザ発振装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、レーザを発振する発振ユニットと、前記レーザを取り囲むシャッターユニットと、前記レーザを取り囲んで前記発振ユニットと前記シャッターユニットとの間を連結し、前記発振ユニットに支持されている第１連結部及び前記シャッターユニットに支持されている第２連結部を含む連結ユニットとを含み、前記第１連結部及び前記第２連結部のいずれか一つは、前記他の一つから離隔し、他の一つの一部以上を取り囲む、レーザ発振装置が提供される。
【００１６】
また、前記レーザ発振装置は、前記シャッターユニットと連結されており、前記レーザの光路を変更する光学ユニットをさらに含んでもよい。
【００１７】
また、前記レーザ発振装置は、前記発振ユニットを支持する第１支持部と、前記シャッターユニット及び前記光学ユニットのいずれか一つ以上を支持する第２支持部とをさらに含み、前記第１支持部と前記第２支持部とは相互に離隔してもよい。
【００１８】
また、前記第１連結部と前記第２連結部とは構造上相互に対応する形状で構成されてもよい。
【００１９】
また、前記第１連結部は、前記発振ユニットから前記シャッターユニットの方向に第１円筒形状に延長された第１延長部を含み、前記第２連結部は、前記シャッターユニットから前記第１延長部の方向に前記第１円筒に比べて直径がさらに小さな第２円筒形状で前記第１延長部の内部に延長された第２延長部を含んでもよい。
【００２０】
また、前記第１連結部は、前記第１延長部の端部から前記第２延長部の方向に折曲延長された第１折曲部をさらに含み、前記第２連結部は、前記第２延長部の端部から前記第１延長部の方向に折曲延長された第２折曲部をさらに含み、前記第１折曲部と前記第２折曲部とは相互に対向してもよい。
【００２１】
また、前記第１連結部は、前記発振ユニットから前記シャッターユニットの方向に第３円筒形状に延長された第３延長部を含み、前記第２連結部は、前記シャッターユニットから前記第３延長部の方向に前記第３円筒形状に比べて直径がさらに大きい第４円筒形状で前記第３延長部を取り囲むように延長された第４延長部を含んでもよい。
【００２２】
また、前記第１連結部は、前記第３延長部の端部から前記第４延長部の方向に折曲延長された第３折曲部をさらに含み、前記第２連結部は、前記第４延長部の端部から前記第３延長部の方向に折曲延長された第４折曲部をさらに含み、前記第３折曲部と前記第４折曲部とは相互に対向してもよい。
【００２３】
また、前記第１連結部及び前記第２連結部は、階段式で段差を有する形状に延長されてもよい。
【００２４】
また、前記レーザはエキシマレーザであってもよい。
【００２５】
また、前記レーザはシリコンの結晶化時に使用されるものであってもよい。
【００２６】
また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、レーザを発振する発振ユニットと前記レーザを取り囲むシャッターユニットとの間を連結する連結ユニットにおいて、前記発振ユニットに支持されている第１連結部と、前記シャッターユニットに支持されている第２連結部とを含み、前記第１連結部及び前記第２連結部のいずれか一つは、他の一つから離隔し、他の一つの一部以上を取り囲む連結ユニットが提供される。
【発明の効果】
【００２７】
以上説明したように本発明によれば、連結ユニット及びこれを含むレーザ発振装置は、第１連結部及び第２連結部を含むことにより、レーザ発振による振動が光学ユニットに伝達されることを抑制することができる。
【００２８】
また、連結ユニット及びこれを含むレーザ発振装置は、第１連結部及び第２連結部を含むことにより、連結ユニットまたはシャッターユニットに伝達される機械的ストレスが緩和されてシャッターユニットの破損が抑制される。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の第１実施形態によるレーザ発振装置を概略的に示す図面である。
【図２】図１のＡ部分を具体的に示す図面である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態によるレーザ発振装置を使用した時の実験例を示すグラフである。
【図５】本発明の第２実施形態によるレーザ発振装置の一部分の断面を示す断面図である。
【図６】本発明の第３実施形態によるレーザ発振装置の一部分の断面を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、添付した図面を参照しながら、本発明の種々の実施形態について本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳細に説明する。本発明は種々の相異な形態に実現でき、ここで説明する実施形態に限られない。
【００３１】
また、種々の実施形態において、同一の構成を有する構成要素に対しては同一の符号を付けて代表的に第１実施形態で説明し、その他の実施形態では第１実施形態とは異なる構成についてのみ説明する。
【００３２】
本発明を明確に説明するために、説明上不必要な部分は省略し、明細書の全体にわたって同一または類似する構成要素については同一の参照符号を付ける。
【００３３】
また、図面に示した各構成の大きさ及び厚さは、説明の便宜上、任意で表したので、本発明が必ずしも示されたものに限られることではない。
【００３４】
図面において、種々の構成要素を明確に表現するために厚さを拡大して表した。図面において、説明の便宜のために、一部の構成要素の大きさを誇張して示した。一つの構成要素が他の構成要素と“連結”されたという時、これは一つの構成要素と異なる構成要素が直接的に接触して連結されている場合だけでなく、一つの構成要素と異なる構成要素の間にまた他の構成要素が介在している場合も含む。
【００３５】
また、以下でレーザ発振装置で発振するレーザとして、エキシマレーザを例に挙げて説明するが、これに限定されず、本発明によるレーザ発振装置で発振するレーザは、パルスレーザまたは固体レーザなどとすることができる。
【００３６】
また、以下でレーザ発振装置で発振するレーザはシリコンの結晶化時に使用されるレーザであるが、これに限定されず、本発明によるレーザ発振装置で発振するレーザは、被照射体の切断、被照射体間の縫合、または被照射体の硬化などに使用されるレーザであってもよい。
【００３７】
以下、図１を参照して、本発明の第１実施形態によるレーザ発振装置１０１について説明する。
【００３８】
図１は、本発明の第１実施形態によるレーザ発振装置を概略的に示した図面である。
【００３９】
図１に示されているように、本発明の第１実施形態によるレーザ発振装置１０１は、発振ユニット１００、シャッターユニット２００、光学ユニット３００、及び連結ユニット４００を含む。
【００４０】
発振ユニット１００は、非晶質シリコンを結晶化して、多結晶質シリコンを製造することに使用するエキシマレーザＬを発振する。発振ユニット１００は、エキシマレーザＬを発振するためのＮｅ、Ｘｅ、ＨＣｌなどのレーザガスを内部に含む。また、発振ユニット１００は、内部に含まれているレーザガスを励起（ｅｘｃｉｔｅ）させてレーザＬを発振させる放電電極を含む。発振ユニット１００の内部で放電電極が放電を始める時、Ｎｅガスはバッファーガスとしての役割を果たし、ＸｅとＨＣｌガスはレーザＬを発生させる役割を果たす。発振ユニット１００は、発振ユニット１００を支持する第１支持部に支持されることができる。第１支持部は、発振ユニット１００が安着できる安着型支持部または発振ユニット１００がかかるフック型支持部の形態であってもよい。
【００４１】
発振ユニット１００は、連結ユニット４００を介在してシャッターユニット２００と連結されている。
【００４２】
シャッターユニット２００は、発振ユニット１００から発振したレーザＬを開閉する役割を果たす。また、シャッターユニット２００は、発振ユニット１００から発振したレーザＬが外部に露出しないようにレーザＬを取り囲んでいる。シャッターユニット２００は、第１支持部と相互離隔している第２支持部に支持されるか、または光学ユニット３００に支持されることができる。第２支持部は、シャッターユニット２００が安着できる安着型支持部、またはシャッターユニット２００がかかるフック型支持部の形態であっても良い。シャッターユニット２００は、連結ユニット４００により、後述する連結ユニット４００によって発振ユニット１００から発生した振動が伝達されない。発振ユニット１００から発生した振動がシャッターユニット２００に伝達されないので、発振ユニット１００から発生した振動がシャッターユニット２００を媒介として光学ユニット３００に伝達されない。
【００４３】
シャッターユニット２００は光学ユニット３００と連結されている。
【００４４】
光学ユニット３００は、一つ以上のレンズ及び一つ以上の反射鏡などを含み、発振ユニット１００から発振し、シャッターユニット２００を経たレーザＬの光経路ＬＰを変更して、レーザＬを非晶質シリコンのような被照射体にガイドする役割を果たす。光学ユニット３００には、連結ユニット４００によって発振ユニット１００から発生した振動が伝達されない。発振ユニット１００から発生した振動が光学ユニット３００に伝達されないことにより、振動のために発生し得るレーザＬガイドの不良なしに、発振ユニット１００から発振したレーザＬを設定された経路にガイドする。光学ユニット３００は、第１支持部と相互離隔している第３支持部に支持されるか、またはシャッターユニット２００に支持されることができる。第３支持部は、光学ユニット３００が安着できる安着型支持部または光学ユニット３００がかかるフック型支持部形態であっても良い。
【００４５】
以下、図２及び図３を参照して、本発明の第１実施形態によるレーザＬ発振装置に含まれている連結ユニット４００について詳細に説明する。
【００４６】
図２は、図１のＡ部分を具体的に示した図面である。図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である。
【００４７】
図２及び図３に示されているように、連結ユニット４００は、発振ユニット１００とシャッターユニット２００との間に位置している。連結ユニット４００はレーザＬを取り囲んでおり、第１連結部４１０及び第２連結部４２０を含む。
【００４８】
第１連結部４１０は発振ユニット１００に支持され、第２連結部４２０から離隔して第２連結部４２０の一部または全体を取り囲んでいる。第１連結部４１０は第２連結部４２０と構造的に対応する形状に構成される。第１連結部４１０は第１延長部４１１及び第１折曲部４１２を含む。
【００４９】
第１延長部４１１は第１円筒形状であり、発振ユニット１００に連結され、発振ユニット１００からシャッターユニット２００の方向に延長されている。第１延長部４１１の第１円筒は第１直径ｄ１を有し、第１直径ｄ１は、後述する第１連結部４１０に含まれた第２延長部４２１の第２円筒の第２直径ｄ２に比べてさらに大きい。第１延長部４１１のシャッターユニット２００側端部には第１折曲部４１２が位置する。
【００５０】
第１折曲部４１２は、第１延長部４１１の端部から第２連結部４２０の第２延長部４２１方向に折曲延長されている。第１折曲部４１２は、第２延長部４２１と所定間隔離隔しており、第２延長部４２１が挿入されるホールを形成する。
【００５１】
第２連結部４２０はシャッターユニット２００に支持され、第１連結部４１０から離隔して一部または全体が第１連結部４１０によって取り囲んでいる。第２連結部４２０は第１連結部４１０と構造的に対応する形状に構成される。第２連結部４２０は第２延長部４２１及び第２折曲部４２２を含む。
【００５２】
第２延長部４２１は第２円筒形状であり、シャッターユニット２００に連結され、シャッターユニット２００から発振ユニット１００の方向に延長されている。より詳しくは、第２延長部４２１はシャッターユニット２００から第１延長部４１１の内部に延長され、第２延長部４２１の一部または全体が第１延長部４１１の内部に挿入されている。第２延長部４２１の第２円筒は第２直径ｄ２を有しており、第２直径ｄ２は、第２延長部４２１を取り囲んでいる第１延長部４１１の第１直径ｄ１に比べてさらに小さい。第２延長部４２１の発振ユニット１００側端部には第２折曲部４２２が位置する。
【００５３】
第２折曲部４２２は、第２延長部４２１の端部から第１連結部４１０の第１延長部４１１の方向に折曲延長されている。第２折曲部４２２は第１延長部４１１と所定間隔離隔しており、第１延長部４１１の第１折曲部４１２と対向している。より詳しくは、第２延長部４２１の第２折曲部４２２は第１延長部４１１の第１折曲部４１２と直接対向している。このように、第２延長部４２１が第１延長部４１１の内部に挿入された状態で、第２折曲部４２２及び第１折曲部４１２それぞれが第２延長部４２１及び第１延長部４１１それぞれから折曲されて相互直接対向することにより、連結ユニット４００が取り囲んでいるレーザＬは外部に露出されない。
【００５４】
以上のように、本発明の第１実施形態によるレーザ発振装置１０１は、連結ユニット４００の第１連結部４１０が発振ユニット１００に連結されており、第２連結部４２０がシャッターユニット２００に連結された状態で、第１連結部４１０が第２連結部４２０から離隔して第２連結部４２０を取り囲んでいることにより、発振ユニット１００がレーザＬを発振する時に発生する振動が第１連結部４１０にまで伝達され、第１連結部４１０と離隔している第２連結部４２０には伝達されない。
【００５５】
つまり、発振ユニット１００から発生した振動が連結ユニット４００によって遮断されることにより、連結ユニット４００に連結されているシャッターユニット２００に伝達されず、そのため発振ユニット１００で発生した振動がシャッターユニット２００を媒介として光学ユニット３００に伝達されない。これにより、光学ユニット３００による発振ユニット１００から発振したレーザＬの光経路ＬＰガイドにエラーが発生しない。
【００５６】
また、本発明の第１実施形態によるレーザ発振装置１０１は、連結ユニット４００の第１連結部４１０及び第２連結部４２０それぞれが相互離隔して、発振ユニット１００及びシャッターユニット２００それぞれに支持されているため、第１連結部４１０及び第２連結部４２０それぞれは発振ユニット１００及びシャッターユニット２００、または光学ユニット３００それぞれに対する外部の衝撃によってのみ機械的ストレスを受ける。つまり、連結ユニット４００の第１連結部４１０及び第２連結部４２０のいずれか一つに印加される機械的ストレスに対し、他の一つは影響を受けないので、連結ユニット４００またはシャッターユニット２００に伝達される機械的ストレスが緩和され、連結ユニット４００またはシャッターユニット２００の破損が抑制される。
【００５７】
以下、図４を参照して、本発明の第１実施形態によるレーザ発振装置を使用した時の実験例について説明する。
【００５８】
図４は、本発明の第１実施形態によるレーザ発振装置を使用した時の実験例を示すグラフである。
【００５９】
図４において、Ｘ軸は非晶質シリコンに対しレーザを利用して結晶化を行った期間を表し、Ｙ軸は非晶質シリコンに対しレーザを利用した結晶化を行った後、発生した結晶化不良率を表す。
【００６０】
図４において、Ｂ領域は、連結ユニット４００が含まれない従来のレーザ発振装置を使用した時の結晶化不良率を表す領域であり、Ｃ領域は、連結ユニット４００が含まれている本発明の第１実施形態によるレーザ発振装置を使用した時の結晶化不良率を表す領域である。
【００６１】
図４に示されているように、連結ユニット４００が含まれず、発振ユニット１００とシャッターユニット２００とが直接的に連結された従来のレーザ発振装置を使用して非晶質シリコンを結晶化した場合、Ｂ領域のように、発振ユニット１００から発生した振動がシャッターユニット２００で伝達され、光学ユニット３００が振動によって干渉を受けるようになってレーザＬによる非晶質シリコンの結晶化に不良が発生し、期間の増加に伴って結晶化不良率は持続的に上昇することが分かった。
【００６２】
反面、連結ユニット４００が発振ユニット１００とシャッターユニット２００との間に装着され、連結ユニット４００を含む本発明の第１実施形態によるレーザ発振装置１０１を使用して非晶質シリコンを結晶化した場合、Ｃ領域のように、結晶化不良率が大幅減少することが分かる。つまり、図４に示されているように、連結ユニット４００が発振ユニット１００から発生する振動を遮断して、振動の伝達による光学ユニット３００のエラー発生を抑制することが分かった。
【００６３】
以下、図５を参照して、本発明の第２実施形態によるレーザ発振装置について説明する。
【００６４】
図５は、本発明の第２実施形態によるレーザ発振装置の一部分の断面を示す断面図である。
【００６５】
図５に示されているように、本発明の第２実施形態によるレーザ発振装置１０１の連結ユニット４００は、第１連結部４１０及び第２連結部４２０を含む。
【００６６】
第１連結部４１０は発振ユニット１００に支持され、第２連結部４２０から離隔して第２連結部４２０によって一部または全体が取り囲まれている。第１連結部４１０は第３延長部４１３及び第３折曲部４１４を含む。
【００６７】
第３延長部４１３は第３円筒形状であり、発振ユニット１００に連結され、発振ユニット１００からシャッターユニット２００の方向に延長されている。第３延長部４１３の第３円筒は第３直径ｄ３を有しており、第３直径ｄ３は、第２連結部４２０に含まれている第４延長部４２３の第４円筒の第４直径ｄ４に比べてさらに小さい。第３延長部４１３のシャッターユニット２００側端部には第３折曲部４１４が位置する。
【００６８】
第３折曲部４１４は、第３延長部４１３の端部から第２連結部４２０の第４延長部４２３方向に折曲延長されている。
【００６９】
第２連結部４２０はシャッターユニット２００に支持され、第１連結部４１０から離隔して第１連結部４１０の一部または全体を取り囲んでいる。第２連結部４２０は第４延長部４２３及び第４折曲部４２４を含む。
【００７０】
第４延長部４２３は第４円筒形状であり、シャッターユニット２００に連結され、シャッターユニット２００から発振ユニット１００の方向に延長されている。より詳しくは、第４延長部４２３はシャッターユニット２００から第３延長部４１３が内部に位置するように延長されて、第３延長部４１３の一部または全体が第４延長部４２３の内部に挿入されている。第４延長部４２３の第４円筒は第４直径ｄ４を有しており、第４直径ｄ４は第４延長部４２３が取り囲んでいる第３延長部４１３の第３直径ｄ３に比べてさらに大きい。第４延長部４２３の発振ユニット１００側端部には第４折曲部４２４が位置する。
【００７１】
第４折曲部４２４は、第４延長部４２３の端部から第２連結部４１０の第３延長部４１３の方向に折曲延長されている。第４折曲部４２４は、第３延長部４１３と所定間隔離隔しており、第３延長部４１３の第３折曲部４１４と対向している。より詳しくは、第４延長部４２３の第４折曲部４２４は、第３延長部４１３の第３折曲部４１４と直接対向している。第４折曲部４２４は第３延長部４１３と所定間隔離隔しており、第３延長部４１３が挿入されるホールを形成する。このように、第３延長部４１３が第４延長部４２３の内部に挿入された状態で、第４折曲部４２４及び第３折曲部４１４それぞれが第４延長部４２３及び第３延長部４１３それぞれから折曲されて相互直接対向することにより、連結ユニット４００が取り囲んでいるレーザＬは外部に露出されない。
【００７２】
以上のように、本発明の第２実施形態によるレーザ発振装置１０１は、連結ユニット４００の第１連結部４１０が発振ユニット１００に連結されており、第２連結部４２０がシャッターユニット２００に連結された状態で、第２連結部４２０が第１連結部４１０から離隔して第１連結部４１０を取り囲んでいることにより、発振ユニット１００がレーザＬを発振する時に発生する振動が第１連結部４１０にまで伝達され、第１連結部４１０と離隔している第２連結部４２０には伝達されない。
【００７３】
つまり、発振ユニット１００から発生した振動が連結ユニット４００によって遮断されるので、連結ユニット４００に連結されているシャッターユニット２００に伝達されず、そのため発振ユニット１００で発生した振動がシャッターユニット２００を媒介として光学ユニット３００に伝達されない。これにより、光学ユニット３００による発振ユニット１００から発振したレーザＬの光経路ＬＰガイドにエラーが発生しない。
【００７４】
また、本発明の第２実施形態によるレーザ発振装置１０１は、連結ユニット４００の第１連結部４１０及び第２連結部４２０それぞれが相互離隔して発振ユニット１００及びシャッターユニット２００それぞれに支持されているので、連結ユニット４００またはシャッターユニット２００に伝達される機械的ストレスが緩和され、連結ユニット４００またはシャッターユニット２００の破損が抑制される。
【００７５】
以下、図６を参照して、本発明が第３実施形態によるレーザ発振装置について説明する。
【００７６】
図６は、本発明の第３実施形態によるレーザ発振装置の一部分の断面を示す断面図である。
【００７７】
図６に示されているように、本発明の第３実施形態によるレーザ発振装置１０１の連結ユニット４００は、第１連結部４１０及び第２連結部４２０を含む。
【００７８】
第１連結部４１０及び第２連結部４２０は、それぞれ発振ユニット１００及びシャッターユニット２００に支持されている。第１連結部４１０は第２連結部４２０から離隔して第２連結部４２０の一部または全体を取り囲んでいる。第１連結部４１０及び第２連結部４２０は相互構造的に（構造上相互に）対応する形状で構成され、階段式で段差を有する形状に延長されている。
【００７９】
本発明の第３実施形態によるレーザ発振装置１０１の第１連結部４１０は、第２連結部４２０を取り囲むように構成されているが、これに限定されず、他の実施形態では、第２連結部４２０が第１連結部４１０を取り囲むように連結ユニット４００を構成することも可能である。
【００８０】
以上のように、本発明の第３実施形態によるレーザ発振装置１０１は、連結ユニット４００の第１連結部４１０が発振ユニット１００に連結されており、第２連結部４２０がシャッターユニット２００に連結された状態で、第２連結部４２０が第１連結部４１０から離隔して第１連結部４１０を取り囲んでいることにより、発振ユニット１００で発生した振動がシャッターユニット２００を媒介として光学ユニット３００に伝達されない。
【００８１】
また、本発明の第３実施形態によるレーザ発振装置１０１は、連結ユニット４００の第１連結部４１０及び第２連結部４２０それぞれが相互離隔して、発振ユニット１００及びシャッターユニット２００それぞれに支持されているので、連結ユニット４００またはシャッターユニット２００に伝達される機械的ストレスが緩和され、連結ユニット４００またはシャッターユニット２００の破損が抑制される。
【００８２】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる例に限定されない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについても、当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【符号の説明】
【００８３】
１００    発振ユニット
２００    シャッターユニット
３００    光学ユニット
４００    連結ユニット
４１０    第１連結部
４２０    第２連結部
Ｌ    レーザ
ＬＰ    光経路
【図１】
2011049528.tif 000003
【図２】
2011049528.tif 000004
【図３】
2011049528.tif 000005
【図４】
2011049528.tif 000006
【図５】
2011049528.tif 000007
【図６】
2011049528.tif 000008