(57)【要約】【課題】可動側端板とガイドとの取付において、部品点数を削減し、取付を簡単にした真空バルブを得る。【解決手段】絶縁容器１の可動側に設けられた可動側端板３に、可動電極棒７を軸方向に案内するガイド１０を備えた真空バルブにおいて、ガイド１０は、可動電極棒７が貫通する円筒部１０ａと可動側端板３に取り付けられるつば部１０ｂとを有し、可動側端板３は、中央部にガイド１０の円筒部１０ａが挿通される貫通穴３ａを有し、貫通穴３ａの内周の複数箇所に可動電極棒７の導出方向に突出する係止部３ｂが形成されており、ガイド１０のつば部１０ｂに設けられた係合穴１０ｃに係止部３ｂを嵌合させて、ガイド１０を可動側端板３に固定するようにした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒状の絶縁容器の両端面に固定側端板と可動側端板とが気密に接合されて構成された真空容器の内部に、接離可能な固定電極部及び可動電極部が配置され、前記真空容器からベローズを介して導出される前記可動電極部の可動電極棒を軸方向に案内するガイドが、前記可動側端板に取り付けられた真空バルブにおいて、
前記ガイドは、前記可動電極棒が貫通する円筒部と前記可動側端板に取り付けられるつば部とを有し、前記可動側端板は、中央部に前記ガイドの前記円筒部が挿通される貫通穴を有し、前記貫通穴の内周の複数箇所に前記可動電極棒の導出方向に突出する係止部が形成されており、前記ガイドの前記つば部に設けられた係合穴に前記係止部が嵌合されて、前記ガイドが前記可動側端板に固定されていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項２】
請求項１記載の真空バルブにおいて、
前記可動側端板の内周に設けられた前記係止部は、弾性を有する帯状部材より成り、先端に折返し部が形成された鉤状突起であり、前記鉤状突起が前記ガイドの前記係合穴に圧入され、前記係合穴から露出した前記折返し部が元の形状に復元することにより、前記ガイドが前記可動側端板に固定されるように構成されていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項３】
請求項１記載の真空バルブにおいて、
前記可動側端板の内周に設けられた前記係止部は、前記可動電極棒の導出方向に突出させた帯状の係止板であり、前記係止板が前記ガイドの前記係合穴に挿入され、前記係止板の先端側が前記ガイドの外周に向けて直角に折り曲げられて、前記ガイドが前記可動側端板に固定されるように構成されていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の真空バルブにおいて、
前記可動側端板と前記係止部は、１枚の金属板から形成されていることを特徴とする真空バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、真空バルブに関し、特にその組立構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図４は、従来の真空バルブを示す側面断面図である。図において、絶縁容器２１の両端に、固定側端板２２と可動側端板２３がろう付けされて固着され、固定側端板２２には固定電極棒２４が、可動側端板２３にはベローズ２５を介して可動電極棒２６がろう付け接合されて真空容器が形成されている。更に、固定電極棒２４には固定電極２７が、可動電極棒２６には可動電極２８がろう付け接合されて互いに同軸上に対向して配置されている。そして、可動電極棒２６の移動を案内するための樹脂ガイド２９が、可動側端板２３に固着されたねじ穴付きのガイド取付板３０に、ねじによって固定されている。
また、絶縁容器２１の内面及びベローズ２５を覆うように、シールド３１，３２が配置されている。
樹脂ガイド２９は、固定電極２７と可動電極２８を、図には示されていない操作機構によって開閉する際に、固定電極棒２４と可動電極棒２６の軸を合わせながら可動電極棒を摺動させる機能を有している（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−３２０４１２号公報（第４頁、図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に示されたような従来の真空バルブでは、樹脂ガイド２９はねじ止めする構造であるため、真空を保持する可動側端板２３に加えて、ねじ穴を有するガイド取付板３０を設ける必要があった。このため、部品点数が増えるという問題があった。また、ガイド取付板３０はねじ止め強度を確保するために十分な厚さが必要であり、さらに可動側端板２３への固定強度にも留意する必要があるため、構造設計が煩雑になるという問題点もあった。また、ねじ止め工程でのねじ止め作業、小さいねじの管理、ねじトルクの管理は手間がかかり、ねじ止め不良が発生する要因となっていた。
【０００５】
この発明は上記のような問題点を解消するためになされたもので、可動側端板とガイドとの取付において、部品点数を削減し、取付を簡単にした真空バルブを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明の真空バルブは、円筒状の絶縁容器の両端面に固定側端板と可動側端板とが気密に接合されて構成された真空容器の内部に、接離可能な固定電極部及び可動電極部が配置され、真空容器からベローズを介して導出される可動電極部の可動電極棒を軸方向に案内するガイドが、可動側端板に取り付けられた真空バルブにおいて、ガイドは、可動電極棒が貫通する円筒部と可動側端板に取り付けられるつば部とを有し、可動側端板は、中央部にガイドの円筒部が挿通される貫通穴を有し、貫通穴の内周の複数箇所に可動電極棒の導出方向に突出する係止部が形成されており、ガイドのつば部に設けられた係合穴に係止部が嵌合されて、ガイドが可動側端板に固定されているものである。
【発明の効果】
【０００７】
この発明の真空バルブによれば、絶縁容器の可動側に設けられた可動側端板と、可動電極棒を軸方向に案内するガイドとを備えた真空バルブにおいて、ガイドは、可動電極棒が貫通する円筒部と可動側端板に取り付けられるつば部とを有し、可動側端板は、中央部にガイドの円筒部が挿通される貫通穴を有し、貫通穴の内周の複数箇所に可動電極棒の導出方向に突出する係止部が形成されており、ガイドのつば部に設けられた係合穴に係止部を嵌合させて、ガイドを可動側端板に固定するようにしたので、可動側端板とガイドとの取付において、部品点数が削減でき、ねじ留め等の締結作業を必要とせず、取付を簡単に行える真空バルブを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】この発明の実施の形態１による真空バルブの側面断面図である。
【図２】図１の可動側端板の平面図である。
【図３】この発明の実施の形態２による真空バルブの側面断面図である。
【図４】従来の真空バルブの構造を示す側面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
実施の形態１．
以下、実施の形態１による真空バルブを図に基づいて説明する。
図１において、真空バルブは、セラミックなどの絶縁材料で円筒状に形成された絶縁容器１と、絶縁容器１の一方の開放端に設けられた固定側端板２と、他方の開放端に設けられた可動側端板３とで構成された真空容器を備えている。真空容器の内部には、固定側端板２に固定された固定電極棒４と、その先端に固着された固定電極５とから成る固定電極部と、可動側端板３にベローズ６を介して移動可能に設けられた可動電極棒７と、その先端に固着された可動電極８とからなる可動電極部とが、同一軸線上に対向配置されている。可動電極部が軸線上を移動することで、固定電極部に接離可能に構成されている。
【００１０】
絶縁容器１と両端板２，３との接合は、絶縁容器１の両端にメタライズ層を形成しておき、両端板２，３を当接させて、ろう付けにより気密に固着される。また、ベローズ６と可動電極棒７、及び、ベローズ６と可動側端板３とも、ろう付けにより気密に接合されている。
ベローズ６は、例えば、薄いステンレス板で蛇腹状に作製されており、絶縁容器１の内部を気密を保ちながら可動電極棒７が動くことを可能にするものである。
また、絶縁容器１の内側には、シールド９が取り付けられており、遮断時に両電極５，８から発生する金属蒸気が絶縁容器１の内面に付着するのを防止し、沿面絶縁耐圧を維持する役目を担っている。
【００１１】
可動側端板３には、可動電極棒７が軸方向に移動するのを案内するための絶縁部材からなるガイド１０が取り付けられている。
また、固定側端板２及び可動側端板３の材料としては、例えば、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金やステンレス鋼等の薄板が使用される。
【００１２】
上記のように構成された真空バルブは、閉極状態では可動電極棒７が、図示しない駆動装置によって駆動され、図で上方向に移動し、固定電極５と可動電極８とが接触する。また、開極状態では可動電極棒７が下方向に移動して、固定電極５から可動電極８が離れるように開閉動作する。
この発明は、ガイド１０の取付に特徴を有するので、以下、この取付部について詳細に説明する。図２は、図１の可動側端板３を底面側から見た平面図である。図２も参照しながら説明する。なお、図１は図２の矢視Ｂ−Ｂから見た断面を示している。
【００１３】
ガイド１０は、可動電極棒７が軸方向に移動するのを案内するための、可動電極棒７の直径より僅かに大きい内径を有する円筒部１０ａと、可動側端板３に取り付けられるための、円筒部１０ａの一端側に設けられたつば部１０ｂとを備えている。
一方、可動側端板３には、中央部にガイド１０の円筒部１０ａが挿通される貫通穴３ａを有し、その貫通穴３ａの内周に、例えば、１２０°間隔で３箇所、可動電極棒７の導出方向に向けて突出する係止部３ｂが形成されている。
【００１４】
係止部３ｂを更に詳しく説明する。図１に示すように、係止部３ｂは、弾性を有する帯状部材より成り、先端に折返し部が形成された鉤状突起である。鉤状突起を可動側端板３と同一部材から製作するには、例えば、可動側端板３の貫通穴３ａの内周に、図２に破線で示すように、更に中心側に向かって伸びた帯状部を形成しておき、帯状部を絶縁容器１との接合側とは反対側に直角に折り曲げ、更にその端部を外側に鋭角に折り返して折返し部を形成すればよい。このように、可動側端板３と共に１枚の金属板で構成する場合は、プレス加工で形成することが可能である。
なお、係止部３ｂを、可動側端板３とは別部材で製作し、ろう付け又は溶接等で接合しても良い。
また、図２では、係止部３ｂを３箇所設けた場合を説明したが、３箇所に限定するものでは無く、複数箇所であれば良い。
【００１５】
係止部３ｂと対応する位置にあるガイド１０のつば部１０ｂには、矩形状の係合穴１０ｃを設けている。係合穴１０ｃは、係止部３ｂの折返し部が弾性をもって挿入できる大きさに形成されている。すなわち、矩形状の係合穴１０ｃの短辺寸法が、図１のＴ寸法より小さく形成されている。
【００１６】
ガイド１０の可動側端板３への組付けは、可動側端板３の係止部３ｂへガイド１０の係合穴１０ｃを合わせ、折返し部の弾性を利用して押し込む。このとき、折返し部の折り返し角度Ａ（図１参照）が大きくなり、ガイド１０のつば部１０ｂ上面が可動側端板３の下面に当接するまで押し込んだ挿入端で、折返し部が係合穴１０ｃから露出してその先端側がもとの形状に復元して開き、これによってガイド１０が可動側端板３に固定される。この状態が、図１である。なお、図からも分かるように、折返し部の折り返された先端と可動側端板３の下面との間隔は、ガイド１０のつば部１０ｂの厚さとほぼ同じになるように、折返し部の寸法を決めている。
このように、可動側端板３とガイド１０とを、ガイド１０の係合穴１０ｃに可動側端板３の係止部３ｂを嵌め合わせる構造としたため、取付は、単にガイド１０を可動側端板３に圧入するだけで良く、ねじ留め式に比べて、ねじ止め作業が不要となる。
【００１７】
以上のように、実施の形態１の真空バルブによれば、絶縁容器の可動側端板に可動電極棒を軸方向に案内するガイドを備えた真空バルブにおいて、ガイドは、可動電極棒が貫通する円筒部と可動側端板に取り付けられるつば部とを有し、可動側端板は、中央部にガイドの円筒部が挿通される貫通穴を有し、貫通穴の内周の複数箇所に可動電極棒の導出方向に突出する係止部が形成されており、ガイドのつば部に設けられた係合穴に係止部を嵌合させて、ガイドを可動側端板に固定するようにしたので、可動側端板とガイドとの取付において、部品点数が削減でき、ねじ留め等の締結作業を必要とせず、取付を簡単に行える真空バルブを得ることができる。このため、小さいねじの管理や、ねじトルクの管理といった煩雑な作業な無くなり、組立作業が簡単となる。
また、部品点数が削減され、構造の簡略化を図ることができる。
【００１８】
また、可動側端板の内周に設けられた係止部は、弾性を有する帯状部材より成り、先端に折返し部が形成された鉤状突起であり、鉤状突起がガイドの係合穴に圧入され、係合穴から露出した折返し部が元の形状に復元することにより、ガイドが可動側端板に固定されるように構成したので、ガイドの可動側端板への組み付け作業は、ガイドを可動側端板へ圧入するだけで良く、簡単に組立を行うことができる。
【００１９】
また、可動側端板と係止部とを、１枚の金属板から形成したので、係止部を接合する工程を必要とせずに、プレス加工等での製作が可能となり、製作が簡単となる。
【００２０】
実施の形態２．
図３は、この発明の実施の形態２による真空バルブの構造を示す側面断面図である。（ａ）はガイドの組付け途中を示し、（ｂ）は組立完了状態を示す。実施の形態１の図１と同等部分は同一符号を付して説明は省略し、相違点を主に説明する。相違点は、可動側端板３とガイド１０の取付部の構造である。
【００２１】
可動側端板３は、中央側に、ガイド１０の円筒部１０ａの外径より大きい内径の貫通穴３ａを有し、その内周に、例えば、１２０°間隔で３箇所、可動電極棒７の導出方向に突出する係止部３ｃが形成されているのは、図１及び図２と同等であるが、本実施の形態の係止部３ｃは、図３（ａ）に示すように、図１及び図２とは異なり、先端に折返し部が形成されてなく、帯状の係止板である。
ガイド１０は実施の形態１の図１とほぼ同形であるが、矩形状をした係合穴１０ｃの短辺側寸法は、係止板が入ればよいので、係止板の板厚より僅かに大きい程度でよい。
【００２２】
図３（ａ）の状態からの組立は、（ｂ）示すように、係合穴１０ｃよりはみ出た係止部３ｃ（係止板）の先端側を、工具等を使用してガイド１０の外周側に向けて直角に折り曲げ、ガイド１０に固定する。この状態が図３（ｂ）である。このように、ガイド１０の固定は、先端部を折り曲げるだけで良いので、図１の場合と同様に、煩雑なねじ止め作業が不要になる。
図１の形状と比較すれば、組立時に先端部の折り曲げの工数は増えるが、図１の場合に必要であった、折返し部の先端と可動側端板の下面との間隔を、ガイドのフランジ部の厚さに合わせる寸法管理が必要なくなる。
【００２３】
なお、係止部３ｃは、実施の形態１の場合と同様に、可動側端板３と同一部材で構成すれば、プレス加工等で製作できるので簡単であが、別部材として溶接又はろう付けで固着しても良い。
また、係止部３ｃは、３箇所設けた場合で説明したが、３箇所に限定するものではなく複数箇所あればよい。
【００２４】
以上のように、実施の形態２の真空バルブによれば、可動側端板の内周に設けられた係止部は、可動電極棒の導出方向に突出させた帯状の係止板であり、係止板がガイドの係合穴に挿入され、係止板の先端側がガイドの外周に向けて直角に折り曲げられて、ガイドが可動側端板に固定されるように構成したので、可動側端板にガイドを固定する場合に、煩雑なねじ止め作業を必要とせず、組立を簡単に行うことができる。また、実施の形態１と比較して、可動側端板の係止部の寸法管理が容易となる。
【符号の説明】
【００２５】
１  絶縁容器                          ２  固定側端板
３  可動側端板                        ３ａ  貫通穴
３ｂ，３ｃ  係止部                    ４  固定電極棒
５  固定電極                          ６  ベローズ
７  可動電極棒                        ８  可動電極
９  シールド                        １０  ガイド
１０ａ  円筒部                        １０ｂ  つば部
１０ｃ  係合穴。
【図１】
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【図２】
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【図３】
2011003502.tif 000005
【図４】
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