(57)【要約】【課題】端板と側壁部材とを接着剤で接合する方法を採用しつつ、さらに気密信頼性の向上を図ることのできる圧電素子収納容器を提供する。【解決手段】端板である底板部材１２と、底板部材１２に接合される側壁部材３０とを備え、内部に圧電素子を収納可能な圧電素子収納容器１１であって、底板部材１２には、側壁部材３０の内周面に嵌入する嵌入部７０と、側壁部材３０における接合側端面に当接する当接部７２とが設けられ、嵌入部７０と当接部７２との間には、少なくとも１つの段差部としての凹状溝７４が形成されており、  側壁部材３０には、接合状態において嵌入部７０と当接部７２との間に位置し、底面部分８３との間に段差を設けると共に底板部材１２における凹状溝７４との間に空隙を形成する凸状部８０を設け、前記空隙には接着剤９０が充填されていることを特徴とする。【選択図】図１
2011151175.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
端板と、前記端板に接合される側壁部材とを備え、内部に圧電素子を収納可能な圧電素子収納容器であって、
前記端板には、前記側壁部材の内周面に嵌入する嵌入部と、前記側壁部材における接合側端面に当接する当接部とが設けられ、前記嵌入部と前記当接部との間には、少なくとも１つの段差部が形成されており、
前記側壁部材には、接合状態において前記嵌入部と前記当接部との間に位置し、前記接合端面との間に段差を設けると共に前記端板における前記段差部との間に空隙を形成する対向面を設け、
前記空隙には接着剤が充填されていることを特徴とする圧電素子収納容器。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電素子収納容器であって、
前記空隙は少なくとも、前記端面に平行な方向を長手方向とする水平方向空隙と、前記嵌入部の嵌入方向と平行な方向を長手方向とする垂直方向空隙とより成り、
前記水平方向空隙は、前記垂直方向空隙よりも幅広に形成されていることを特徴とする圧電素子収納容器。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の圧電素子収納容器であって、
前記段差部は凹状溝により構成され、前記対向面は凸状部から成ることを特徴とする圧電素子収納容器。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の圧電素子収納容器であって、
前記段差部は外周側ほど薄肉となる階段状の段部により構成されることを特徴とする圧電素子収納容器。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載の圧電素子収納容器であって、
前記嵌入部と前記側壁部材が接触した後に、前記当接部と前記側壁部材が接触する構成としたことを特徴とする圧電素子収納容器。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の圧電素子収納容器であって、
前記端板と前記側壁部材とは、同じ組成を有する材料により構成されることを特徴とする圧電素子収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子を封止するための収納容器に係り、特に、封止時に真空度を要する収納形態を採る場合に好適な圧電素子収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
音叉型圧電素子（音叉型圧電振動子）や双音叉型圧電素子（双音叉型圧電振動子）、および弾性表面波素子（ＳＡＷ素子）などの封止時に真空度を要する収納形態を採る圧電デバイスでは、圧電素子を収納する容器と、この容器を封止する蓋部材や底板部材（総称して端板と称す）との間の密閉性が重要である。
【０００３】
このため、従来このような容器では、端板と容器（容器を構成する側壁部材）とを抵抗溶接やレーザー溶接等により接合していた。このような溶接による接合は、気密信頼性が高い一方で、加熱箇所における急冷現象により、溶接箇所に熱応力による歪みが生ずることがある。このような状態において、容器や蓋部材に圧力が加えられた場合、溶接箇所やその周辺部分に応力が集中し、ひび割れや破損等が生ずる虞があった。蓋部材と容器の側壁部材とを溶接により接合した圧電素子収納容器としては、例えば特許文献１、２に示されている。
【０００４】
これに対し、特許文献３や特許文献４には、側壁部材と端板との接合に樹脂系の接着剤を用いる技術が開示されている。ここで、樹脂系の接着剤は、吸湿性を有するために、気密信頼性という面で不安が残る。このため特許文献３、４に開示されている技術では、接合面に凹凸を形成し、凹部に接着剤を充填している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１９４７３６号公報
【特許文献２】特開２００８−１０４０５０号公報
【特許文献３】特開平６−１８６１０４号公報
【特許文献４】特開２００７−８６０８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
確かに、上記特許文献３、４に開示されたような技術を採用し、端板と側壁部材との接合に樹脂系の接着剤を用いれば、容器の気密信頼性を高めることができると期待できる。しかし、上記特許文献３、４に開示されている技術では、接合の際、溝部などに充填した樹脂（接着剤）における余剰分量の逃げ流路を確保するために、樹脂溜まりとなる部分の外周側、または内周側に、隙間を設けるような接合形態が採られている。
【０００７】
このため、接合部の内周側、または外周側に、樹脂部分が大きく露出することとなり、耐湿性、すなわち気密信頼性の面でのマイナス要素となっていることが否めない。
そこで本発明では、端板と側壁部材とを接着剤で接合する方法を採用しつつ、さらに気密信頼性の向上を図ることのできる圧電素子収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
［適用例１］端板と、前記端板に接合される側壁部材とを備え、内部に圧電素子を収納可能な圧電素子収納容器であって、前記端板には、前記側壁部材の内周面に嵌入する嵌入部と、前記側壁部材における接合側端面に当接する当接部とが設けられ、前記嵌入部と前記当接部との間には、少なくとも１つの段差部が形成されており、前記側壁部材には、接合状態において前記嵌入部と前記当接部との間に位置し、前記接合端面との間に段差を設けると共に前記端板における前記段差部との間に空隙を形成する対向面を設け、前記空隙には接着剤が充填されていることを特徴とする圧電素子収納容器。
このような特徴を有する圧電素子収納容器によれば、端板と側壁部材との接合に接着剤を用いた場合であっても、気密信頼性を確保することができる。
【０００９】
［適用例２］適用例１に記載の圧電素子収納容器であって、前記空隙は少なくとも、前記端面に平行な方向を長手方向とする水平方向空隙と、前記嵌入部の嵌入方向と平行な方向を長手方向とする垂直方向空隙とより成り、前記水平方向空隙は、前記垂直方向空隙よりも幅広に形成されていることを特徴とする圧電素子収納容器。
【００１０】
このような特徴を有することによれば、接着剤が硬化する際の収縮時に、端板と側壁部材とを引き付ける方向の力が働くこととなる。これにより、気密性をより高めることが可能となる。
【００１１】
［適用例３］適用例１または適用例２に記載の圧電素子収納容器であって、前記段差部は凹状溝により構成され、前記対向面は凸状部から成ることを特徴とする圧電素子収納容器。
このような構成とすることにより、凹状溝に接着剤を充填し、凸状部を嵌め込むように組み付けを行うことが可能となる。
【００１２】
［適用例４］適用例１または適用例２に記載の圧電素子収納容器であって、前記段差部は外周側ほど薄肉となる階段状の段部により構成されることを特徴とする圧電素子収納容器。
【００１３】
このような構成とすることにより、端板と側壁部材との間に空隙を形成する際に溝部を形成する必要が無くなる。このため、加工性が良好となり、小型容器への適用性を向上させることができる。
【００１４】
［適用例５］適用例１乃至適用例４のいずれか１例に記載の圧電素子収納容器であって、前記嵌入部と前記側壁部材が接触した後に、前記当接部と前記側壁部材が接触する構成としたことを特徴とする圧電素子収納容器。
【００１５】
このような構成とすることにより、凹状溝などに充填した接着剤を端板と側壁部材との間の空隙に充填しつつ、余剰分量を外部領域へ排出し、空隙を気密に封止することが可能となる。これにより、外部領域や内部領域へ晒される接着剤の面積が少なくなり、吸湿による気密性の劣化を抑制することができる。
【００１６】
［適用例６］適用例１乃至適用例５のいずれか１例に記載の圧電素子収納容器であって、前記端板と前記側壁部材とは、同じ組成を有する材料により構成されることを特徴とする圧電素子収納容器。
【００１７】
このような構成とすることにより、部材間の熱膨張率の相違による温度変化時における歪みを抑制することができる。これにより容器の変形、破損等を防止することができ、気密信頼性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】第１の実施形態に係る圧電素子収納容器を採用する圧力センサーの底板部材と側壁部材との接合状態を示す部分分解拡大斜視図である。
【図２】第１の実施形態に係る圧電素子収納容器を採用する圧力センサーの断面構成を示す図である。
【図３】第１の実施形態に係る圧電素子収納容器を採用する圧力センサーの蓋部材と側壁部材との接合状態を示す部分拡大斜視図である。
【図４】第２の実施形態に係る圧電素子収納容器の要部を示す図である。
【図５】第３の実施形態に係る圧電素子収納容器の要部を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の圧電素子収納容器に係る実施の形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態では、圧電デバイスとしてもっぱら圧力センサーを例に挙げて説明するが、実施形態に係る容器は当然に、他の用途に用いる圧電デバイスの容器としても採用することができる。
【００２０】
まず、図２を参照して、本発明の圧電素子収納容器を採用する圧電デバイスについて説明する。なお、上述したように、本実施形態では圧電デバイスとして圧力センサーを採用する。
【００２１】
第１の実施形態に係る圧力センサー１０は、圧電素子収納容器（ハウジング）１１と、この圧電素子収納容器１１に収納された圧電素子である双音叉型圧電素子４０とを有する。圧電素子収納容器１１は、底板部材（下端板）１２と、蓋部材（上端板）２２、および側壁部材３０を有する。そして圧電素子収納容器１１は、これらの底板部材１２、蓋部材２２、および側壁部材３０を組み合わせて構成される中空密閉容器である。
【００２２】
底板部材１２は、内部空間と連通する第１圧力入力口１８を有する。第１圧力入力口１８は、圧電素子収納容器１１の軸芯と同芯となるように貫通されている。このように形成された開口部である第１圧力入力口１８には、第１ダイアフラム２０が配置されている。第１ダイアフラム２０は底板部材１２に対して、溶接などの手段により気密に接合されている。このような構成を有する底板部材１２は、外形を円形とし、外形形状を成すフランジ部１６と、このフランジ部１６に相似形状とされるボス部１４を備える。ボス部１４は、詳細を後述する側壁部材３０により構成される円筒部の内側へ挿入され、ボス部１４の外周に張り出されたフランジ部１６との段差により位置決めが成される。
【００２３】
蓋部材２２は、内部空間と連通する第２圧力入力口２６を有する。第２圧力入力口２６は、圧電素子収納容器１１の軸芯と同芯となるように貫通されている。このように形成された開口部である第２圧力入力口２６には、第２ダイアフラム２８が配置されている。第２ダイアフラム２８は蓋部材２２に対して、溶接などの手段により気密に接合されている。このような構成を有する蓋部材２２は、外形を円形とし、第２圧力入力口２６の周囲に、圧電素子受け台２４としてのボス部を備える。蓋部材２２は、外形縁辺部を詳細を後述する側壁部材３０により構成される円筒部の内側へ配置し、詳細を後述する力伝達手段であるセンターシャフト３２により位置決めされることとなる。
【００２４】
上述した底板部材１２、および蓋部材２２における第１ダイアフラム２０および第２ダイアフラム２８は、中央領域（受圧部）に圧力を加えられることにより、受圧方向へと撓むこととなる。また、第１ダイアフラム２０および第２ダイアフラム２８には、同一構成のものを採用する。こうすることにより、両者が同じ圧力を受けた際の撓み量が同じとなるからである。これにより、両者の差圧検出が容易となり、圧力検出精度を高く保つことができる。
【００２５】
側壁部材３０は、上述した底板部材１２におけるボス部１４と、蓋部材２２における外形縁辺部の周囲を取り囲むように形成された円筒体である。
このような構成を有する圧力センサー１０は、第１圧力入力口１８に作用する圧力と、第２圧力入力口２６に作用する圧力との差圧を相対圧として検出するためのセンサーである。このため、第１ダイアフラム２０と第２ダイアフラム２８との間には、第１ダイアフラム２０と第２ダイアフラム２８の中央領域、すなわち受圧部を相互に接続するセンターシャフト３２が、圧電素子収納容器１１の軸芯に沿って配置される。このようにして配置されるセンターシャフト３２は、２つのダイアフラム間において、両者に付与された圧力を相互に伝達する力伝達部材としての役割を担う。センターシャフト３２は、ステンレス、アルミニウムなどの金属、またはセラミック等の剛体により構成し、座屈などの変形が生じないようにする。座屈や撓みなどの発生により、第１ダイアフラム２０と第２ダイアフラム２８との間における力伝達効率が低下してしまい、圧力検出精度が低下するからである。なお、センターシャフト３２の軽量化を図りたい場合には、パイプ材により構成することもできる。センターシャフト３２には、圧電素子受け台３４としての小ブロックが固定されている。圧電素子受け台３４は、センターシャフト３２の動きに乗じて第１ダイアフラム２０側、または第２ダイアフラム２８側へ移動することとなる。感圧素子受け台３４は、センターシャフト３２と別体で構成し、これを接合する構成としても良いが、切削加工等により、センターシャフト３２と一体形成しても良い。センターシャフト３２と感圧素子受け台３４を一体形成することによれば、受圧時のブレやズレが無くなり、圧力の検出精度を向上させることができる。
【００２６】
また、底板部材１２と蓋部材２２との間には、センターシャフト３２と平行に配置されるガイドシャフト３６が複数配置されており、底板部材１２と蓋部材２２との間の距離が変化することを防ぐと共に、圧電素子収納容器１１自体の変形も防止している。
【００２７】
双音叉型圧電素子４０は、一対の振動腕４２を挟み込む２つの基部４４，４６により構成されている。固定形態としては、一方の基部４４を蓋部材２２における圧電素子受け台２４（ボス部）に固定し、他方の基部４６をセンターシャフト３２に固定された圧電素子受け台３４（小ブロック）に固定するといった形態を採る。このように配置された双音叉型圧電素子４０には、圧電素子受け台２４，３４を介して、センターシャフト３２の軸方向変化量が伝達される。双音叉型圧電素子４０は、振動腕４２に引張、あるいは圧縮の力が作用することにより、その振動周波数が変化する。このため、加圧による圧力差を周波数変化として検出することが可能となる。また、双音叉型圧電素子４０は、蓋部材２２に配置したハーメ端子４８に対して電気的に接続されている。このような構成とすることにより、圧電素子収納容器１１の気密性を保ったまま、外部領域との電気的同通を図ることが可能となるからである。なお、図２には、ハーメ端子４８を１つのみ示しているが、実際には部分断面の反対側（図示されていない部分）にもう１つのハーメ端子が設けられている。
【００２８】
上記のような構成の圧力センサー１０では、第１圧力入力口１８における第１ダイアフラム２０に強い圧力が作用した場合には、センターシャフト３２が第２ダイアフラム２８側へ押上げられる。このため、蓋部材２２の圧電素子受け台２４とセンターシャフト３２の圧電素子受け台３４にそれぞれ基部４４，４６を固定された双音叉型圧電素子４０には、圧縮方向の力が作用することとなり、振動周波数が低下する。一方、第２ダイアフラム２８に強い圧力が作用した場合には、センターシャフト３２が第１ダイアフラム２０側へ押し下げられる。このため、双音叉型圧電素子４０の振動腕には引張方向の力が作用することとなり、振動周波数が上昇する。
【００２９】
このように、圧力センサー１０では、振動周波数の変化を持って第１圧力入力口１８に作用する圧力と、第２圧力入力口２６に作用する圧力との差圧を求めることが可能となる。
【００３０】
このような基本構成を有する圧力センサー１０において、本実施形態に係る圧力センサー１０は、底板部材１２と側壁部材３０との接合面に特徴を有する。具体的には、図１（Ａ）、（Ｂ）に示すように、側壁部材３０の端面に接合される底板部材１２のボス部１４には、側壁部材３０の内周面に嵌入する嵌入部７０と、側壁部材３０の端面に当接する当接部７２とが設けられている。そして本実施形態に係る圧電素子収納容器１１の底板部材１２は、嵌入部７０と当接部７２との間に、凹状溝（段差部）７４を有する。
【００３１】
底板部材１２を接合する側壁部材３０は、段差部である凹状溝７４に応じた対向面を有する凸状部８０を有する。凸状部８０は、側壁部材３０における端面の外周面側に切欠き部８２を設けることで構成され、切欠き部８２の底面部分（接合端面）８３に、上述した底板部材１２の当接部７２が当接することとなる。凸状部８０の高さｔ、すなわち切欠き部８２の深さは、凹状溝７４の深さＴよりも浅く、凸状部８０の幅ｗは凹状溝７４の幅Ｗよりも狭い。このため、底板部材１２と側壁部材３０を接合させた際、凹状溝７４と凸状部８０との間には、空隙が形成されることとなる。底板部材１２と側壁部材３０が接合される際、嵌入部７０と凸状部８０との間と、当接部７２と切欠き部８２の底面部分８３との間は密に接触することとなる。このため空隙は、凹状溝７４の底面部分と凸状部８０の先端との間と、凹状溝７４の外周側側壁と凸状部８０の外周側側壁との間に形成されることとなる。以下、凹状溝７４の底面と凸状部８０の先端との間に形成される空隙を水平方向空隙と称し、凹状溝７４の外周側側壁と凸状部８０の外周側側壁との間に形成される空隙を垂直方向空隙と称する。
【００３２】
凹状溝７４の深さＴと凸状部８０の高さｔとの差Δｔは、凹状溝７４の幅Ｗと凸状部８０の幅ｗとの差Δｗよりも大きくなるように形成される。このため、水平方向空隙は、垂直方向空隙よりも幅広となる。
【００３３】
上記のような形態の空隙には、接着剤９０が充填されている。接着剤９０としては、エポキシ系接着剤などであれば良く、例えばＥＣＣＯＢＯＮＤ１０４（商品名）を採用することができる。この商品の成分は、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂５０％、シリカ４．５％、他、無機フィラー等といったものである。よって、同等成分を有する接着剤はもちろん、エポキシ樹脂を主成分とする接着剤などであれば、本実施形態に採用することができる。これらの接着剤は、具体的仕様例の一部であり、接着剤としては、耐湿性、耐熱性などが高い材質を主成分としたものであれば、適宜採用することができる。
【００３４】
上記のような接着剤９０は、硬化により体積の収縮が生ずる。空隙は、垂直方向空隙に比べて水平方向空隙の方が幅広に形成されているため、接着剤９０の硬化により、底板部材１２には側壁部材３０の軸芯方向と平行な方向（シャフト３２と平衡な方向であって、底板部材１２を基点として側壁部材３０側）へと引き付けられる力が加えられることとなる。このため、底板部材１２は側壁部材３０に対して、強固に接合されることとなる。なお、接着剤９０の収縮による引き付け力は、底板部材１２や側壁部材３０を歪ませるほどの力では無い。
【００３５】
なお、底板部材１２と、側壁部材３０の構成材料は、同じ組成を有する材料とすると良い。このような構成とすることにより、熱膨張率の違いによる歪みが生じにくくなり、応力の集中や容器の破損等の危険性を抑制することができるからである。
【００３６】
上記のような接合形態が採られる底板部材１２と側壁部材３０とは、以下のようにして接合される。まず、底板部材１２における凹状溝７４に接着剤９０が充填される。ここで、接着剤９０は、最低でも凹状溝７４の容積と凸状部８０の体積の差分となる分量を充填する必要がある。このような量を充填しなければ、接着剤９０により空隙を満たすことができないからである。なお好適には、凹状溝７４を満たすように接着剤９０を充填すると良い。このような状態で接合を行うようにすれば、接合状態では密接状態となる嵌入部７０と凸状部８０の内周側側壁との間や、切欠き部８２の底面部分８３と当接部７２との間にも、接着剤９０が介在されることとなるからである。
【００３７】
凹状溝７４に接着剤９０を充填した後、側壁部材３０と底板部材１２を接合する。接合時には、まず第１に、凸状部８０の内周側側壁が嵌入部７０の外周側（凹状溝７４の内周側側壁）に沿うように摺動されることとなる。凹状溝７４には凸状部８０が浸入することとなり、凹状溝７４に充填された接着剤９０のうちの余剰分量は、切欠き部８２と当接部７２との隙間から押し出されることとなる。ここで、本実施形態に係る側壁部材３０と底板部材１２との接合では、凸状部８０の内周側側壁に嵌入部７０が摺動した段階では、切欠き部８２の底面部分８３と当接部７２とが接触しない。このため、接着剤９０の余剰分量は外部領域へと押し出され、切欠き部８２の底面部分８３と当接面７２とを密に接合することが可能となる。
【００３８】
当接部７２を切欠き部８２の底面部分８３に当接させるまで凸状部８０を押し込んだ後、外部領域へ流れ出した接着剤９０を拭き取り、充填させた接着剤９０が硬化することにより、底板部材１２と側壁部材３０の接合が完了する。
【００３９】
このようにして接合される底板部材１２と側壁部材３０を有する圧電素子収納容器１１は、底板部材１２と側壁部材３０との接合に溶接を用いないため、熱応力による歪みや、この歪みに起因する応力集中による破損等を防ぐことができる。また、凹状溝７４と凸状部８０により、接着面の面積を増やし、外部領域から内部領域までの実質的な到達距離を伸ばしたため、底板部材１２と側壁部材３０との接合に接着剤９０を用いた場合であっても、内部領域への湿気の侵入、真空度の低下などを抑制することができる。また、凸状部８０の内周壁側を嵌入部７０に摺動させ、当接部７２と切欠き部８２の底面部分８３とを接触させる構成としたため、従来に比べ、外部領域または内部領域に晒される樹脂部分の面積を極端に小さくすることができる。このため、接合に接着剤９０を用いた場合であっても、高い気密信頼性を得ることができる。
【００４０】
底板部材１２と側壁部材３０との接合に上記のような特徴を有する本実施形態に係る圧力センサー１０では、蓋部材２２と側壁部材３０との接合面にも、次のような特徴を持たせることとしている。具体的には、図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、蓋部材２２と側壁部材３０との接合面に、接合面を跨ぐように凹状の溝を設け、この凹状溝５２にリング状の中間部材５０を配置しているのである。凹状溝５２は、蓋部材２２の縁辺と側壁部材３０における蓋部材２２との接合面とにそれぞれ切欠きを設けることにより構成する。また凹状溝５２は、接合面に沿ってリング状に形成する。このような形態とすることにより、リング状の中間部材の配置が可能となる。
【００４１】
中間部材５０は、接合面に沿って設けられた凹状溝５２に合わせた形状とされ、その内径は、少なくとも接合面により構成される円（接合面の合わせ面により構成される円）の直径よりも小さく、その外形は、少なくとも接合面により構成される円の直径よりも大きく構成する。このような構成とすることにより、凹状溝５２に中間部材５０を配置した際に、中間部材５０は接合面を跨ぐように配置されることとなるからである。
【００４２】
中間部材５０の構成材料としては、特に限定するものでは無いが、気密性の確保という観点からは、金属材料またはセラミック材料とすると良い。また、望ましくは、中間部材５０の構成材料と、蓋部材２２、側壁部材３０の構成材料を同じ組成を有する材料とすると良い。このような構成とすることにより、熱膨張率の違いによる歪みが生じにくくなり、応力の集中や容器の破損等の危険性を抑制することができるからである。本実施形態の場合、中間部材５０、蓋部材２２、および側壁部材３０にはそれぞれ、ステンレスを採用することとした。
【００４３】
中間部材５０と凹状溝５２との隙間、すなわち中間部材５０と蓋部材２２との隙間、および中間部材５０と側壁部材３０との隙間、並びに蓋部材２２と側壁部材３０との隙間には、接着剤６０が充填され、それぞれの部材の接合が成される。接着剤６０を用いた接合により、熱応力による歪みや破損を防止することができるからである。なお、接着剤６０の種類としては、上述した底板部材１２と側壁部材３０との接合に用いた接着剤９０と同様とすれば良い。
【００４４】
通常、樹脂性の接着剤６０は、吸湿性を有する観点から、気密封止を行うには不向きとされる。しかし、上記のような構成とすることにより、外部領域と圧電素子収納容器１１の内部領域との間には、クランク状の接合面が介在されることとなる。このため、単純接合による直線状の接合面に比べ、接合面積が増え、外部領域と内部領域との間の距離を長くすることができる。よって、湿気の浸入に対する抑制効果を高めることができ、樹脂性の接着剤６０により蓋部材２２と側壁部材３０の接合を行った場合であっても、高い気密性を保つことが可能となる。したがって、熱応力による歪みの発生を抑えつつ、圧力センサー１０としての高い信頼性も確保することができる。ここで、実施形態においては、接着剤の介在の様子を示すために、接合面の隙間を大きく示しているが、実際上は、接合面の隙間は殆ど無い。
【００４５】
次に、本発明の圧電素子収納容器に係る第２の実施形態について、図４を参照して、その特徴部分について説明する。なお、本実施形態に係る圧電素子収納容器における殆どの構成は、上述した第１の実施形態に係る圧電素子収納容器と同様である（図１、図２参照）。よって、図４には、本実施形態に係る圧電素子収納容器の要部のみを示し、他の構成については図１、図２を援用することとする。
【００４６】
本実施形態に係る圧電素子収納容器１１ａでは、底板部材１２のボス部１４に嵌入部７０ａと当接部を設け、その間に段差部を形成した事に変わりは無いが、本実施形態では、当接部を２箇所（当接部７１ａ，７２ａ）とし、２箇所の当接部７１ａ，７２ａの間に凸状部７４ａを形成し、これを段差部としている。このため、底板部材１２と接合される側壁部材３０の接合側端面には、２箇所の当接部７１ａ，７２ａにそれぞれ当接するための凸状部を２箇所（凸状部８０ａ，８１ａ）形成している。そして、２箇所の凸状部８０ａ，８１ａの間に、段差部である凸状部７４ａの対向面となる凹状溝８２ａを形成している。
【００４７】
このような特徴を有する本実施形態に係る圧電素子収納容器１１ａでは、側壁部材３０に形成された２箇所の凸状部８０ａ，８１ａと、底板部材１２に形成された凸状部７４ａとの間にはそれぞれ、水平方向空隙が形成される。また、側壁部材３０における凹状溝８２ａの底面と、底板部材１２の凸状部７４ａの端面との間には、垂直方向空隙が形成される。そして、垂直方向空隙は、少なくとも１箇所の水平方向空隙よりも幅広となるように形成されることとなる。
【００４８】
このように形成された空隙には、接着剤９０が充填されることとなる。このような構成とすることにより、上述した第１の実施形態に係る圧電素子収納容器１１と同様に、充填した接着剤９０が硬化する際の収縮力による密着性向上効果を得ることができる。
【００４９】
本実施形態に係る圧電素子収納容器１１ａでは、側壁部材３０の凹状溝８２ａ、または底板部材１２における嵌入部７０ａと凸状部７４ａの間の溝（一方の当接部７１ａが形成されている箇所）に、接着剤９０を充填する。接着剤９０を充填した後、側壁部材３０と底板部材１２を組み合わせることで、最初に側壁部材３０における内周壁側の凸状部８０ａが、嵌入部７０ａの外周に摺動し、充填された接着剤９０を外周側へ押し出すこととなる。これにより、本実施形態に係る圧電素子収納容器１１ａでも、接着剤９０を空隙に対して密に充填しつつ、接着剤９０が外部領域や内部領域に晒される面積を小さくすることができる。また、本実施形態に係る圧電素子収納容器１１ａは、第１の実施形態に係る圧電素子収納容器１１よりも、外部領域から内部領域までの到達距離を長くすることができる。よって、底板部材１２と側壁部材３０との間の接合に接着剤９０を採用した場合であっても、高い気密信頼性を確保することができる。
【００５０】
次に、本発明の圧電素子収納容器に係る第３の実施形態について、図５を参照して、その特徴部分について説明する。なお、本実施形態に係る圧電素子収納容器における殆どの構成は、上述した第１の実施形態に係る圧電素子収納容器と同様である（図１、図２参照）。よって、図５には、本実施形態に係る圧電素子収納容器の要部のみを示し、他の構成については図１、図２を援用することとする。
【００５１】
本実施形態に係る圧電素子収納容器１１ｂでは、嵌入部７０ｂと当接部７２ｂとの間に、２段の階段状となる段差部７３ｂを設けたことを特徴としている。これに対して側壁部材３０の接合端面は、外周側に凸状部８０ｂが形成され、内周側に切欠き部８２ｂを形成することで、底板部材１２との間に空隙を形成する構成とした。空隙には、接着剤９０が充填されることで、上述した第１、第２の実施形態に係る圧電素子収納容器１１，１１ａと同様の効果を奏することができるようになる。
【００５２】
図５に示すように、底板部材１２は、外周側ほど薄肉となるように階段状の段部を形成することにより、溝加工が不要となり、小型容器への適用が容易となる。
また、上記実施形態では、圧電デバイスとして圧力センサーを採用した。しかしながら、圧電素子を収納する形態を採っていれば、他の用途のデバイスであっても良い。例えば、圧電デバイスを発振器とし、通常の音叉型圧電素子を封入する形態であっても良い。さらに、上記実施形態ではいずれも、圧電素子収納容器の形態として、円筒形断面を有するものとした。しかしながら、蓋部材の平面形状を矩形や他の形態とした場合であっても、本発明に係る圧電素子収納容器を構成する上で問題とはならない。
【符号の説明】
【００５３】
１０………圧力センサー、１１………圧電素子収納容器、１２………底板部材、１４………ボス部、１６………フランジ部、１８………第１圧力入力口、２０………第１ダイアフラム、２２………蓋部材、２４………圧電素子受け台、２６………第２圧力入力口、２８………第２ダイアフラム、３０………側壁部材、３２………センターシャフト、３４………圧電素子受け台、３６………ガイドシャフト、４０………双音叉型圧電素子、４２………振動腕、４４………基部（一方の基部）、４６………基部（他方の基部）、４８………ハーメ端子、５０………中間部材、５２………凹状溝、６０………接着剤、７０………嵌入部、７２………当接部、７４………凹状溝、８０………凸状部、８２………切欠き部、８３………底面部分、９０………接着剤。
【図１】
2011151175.tif 000003
【図２】
2011151175.tif 000004
【図３】
2011151175.tif 000005
【図４】
2011151175.tif 000006
【図５】
2011151175.tif 000007