(57)【要約】【課題】高分子アクチュエータの形状の自己保持を実現することが可能な駆動装置を提供する。【解決手段】この駆動装置は、充放電することにより伸縮する高分子アクチュエータ５と、高分子アクチュエータ５に電荷をチャージする駆動部１０と、高分子アクチュエータ５の接続を切り替えるスイッチ部２０と、スイッチ部２０に切り替え命令を出す電圧低下検出部３０と、スイッチ部２０の切り替えにより高分子アクチュエータ５と接続される容量部４０とを備える。上記高分子アクチュエータ５は、誘電エラストマからなる変位層５０１と、この変位層５０１を挟む一対の電極層とを含む誘電型ポリマーアクチュエータからなる。また、上記電圧低下検出部３０は、外部電源１５０の電圧が所定値以下の電圧であることを検出すると、高分子アクチュエータ５と容量部４０とが接続されるように、スイッチ部２０に切り替え命令を出す。【選択図】図４
2011188720.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
充放電することにより伸縮する高分子アクチュエータと、
前記高分子アクチュエータに電荷をチャージする駆動部と、
前記高分子アクチュエータの接続を切り替えるスイッチ部と、
前記スイッチ部に切り替え命令を出す指示部と、
前記スイッチ部の切り替えにより前記高分子アクチュエータと接続される、容量成分を含む容量部とを備えることを特徴とする、駆動装置。
【請求項２】
前記指示部は、外部電源の電圧を検出する電圧検出部を含み、前記外部電源の電圧が所定値以下の電圧であることを検出すると、前記高分子アクチュエータと前記容量部とが接続されるように、前記スイッチ部に切り替え命令を出すことを特徴とする、請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記高分子アクチュエータは、
誘電エラストマからなる変位層と、
前記変位層を挟む一対の電極層とを含むことを特徴とする、請求項１または２に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記容量部の容量は、前記高分子アクチュエータにおける最も大きい容量に対して、１／１０以上１０／１０以下であることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置に関し、特に、高分子アクチュエータを備えた駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、微小変位を発生させるための変位素子として、静電引力型、圧電型、超音波式、形状記憶合金式などのアクチュエータが提案されている。
【０００３】
なかでも圧電型は、体積当たりの発生力が大きいため、小型でも実用的な駆動力を発生させることができ、小型の撮像装置のアクチュエータ等に用いられている。現在の圧電型アクチュエータの主流は、ＰＺＴ（Ｐｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ3）を主材料とする無機アクチュエータである。
【０００４】
しかしながら、ＰＺＴは変位量が極めて小さいため、大きな変位量や大きな速度を必要とする用途には適していない。また、ＰＺＴは鉛を含んでいるため、将来的に使用が制限される懸念がある。
【０００５】
さらに、無機アクチュエータは焼成温度が１０００℃程度もあり、たとえば、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）化した際の回路とのハイブリッド性に問題がある。また、簡便な製造方法がないこともＭＥＭＳ化や微細化、集積化を妨げる一因となっている。また、他の無機アクチュエータにおいても、それぞれ動作環境に制限があったり、応答性が不十分であったり、構造が複雑であったり、柔軟性が欠如していたり等の問題点があり、用途も制限される。
【０００６】
そこで、これらの問題点に対して、軽量で柔軟な有機材料を用いた高分子アクチュエータが研究されてきている。一般に、有機材料はヤング率が低い（柔らかい）ため、無機材料と比較して変位力は小さくなる一方、変位量は大きくなる。また、作製に、インクジェット法や印刷法などのウェットプロセスを用いることが可能であるため、安価で、大面積の作製が可能となる。さらには、フレキシブル基板対応も可能となる。そして、これらの特徴を生かし、高分子アクチュエータは、小型モータ、マイクロポンプ、医療機器、ロボット用駆動源などへの応用が期待されている。
【０００７】
また、このような高分子アクチュエータとしては、イオン導電性高分子アクチュエータ、導電性高分子アクチュエータ、誘電型ポリマーアクチュエータなどが挙げられるが、なかでも、柔軟なポリマーを誘電体として電極間に挟んだ構成の誘電型ポリマーアクチュエータは、より大きな変位量と動作速度が得られることから注目されている。
【０００８】
なお、上記した高分子アクチュエータの一例として、電極間に誘電エラストマ層を備えたアクチュエータが、たとえば、特許文献１に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００９−１２４８７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上記のような高分子アクチュエータ（誘電型ポリマーアクチュエータ）を用いて駆動装置を構成した場合に、たとえば、電力を供給する外部電源を切断すると、高分子アクチュエータの変位状態が変化してしまうという不都合がある。すなわち、上記高分子アクチュエータを用いた従来の駆動装置では、高分子アクチュエータの形状の自己保持を実現することが困難であるという問題点がある。
【００１１】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、高分子アクチュエータの形状の自己保持を実現することが可能な駆動装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、この発明の一の局面による駆動装置は、充放電することにより伸縮する高分子アクチュエータと、高分子アクチュエータに電荷をチャージする駆動部と、高分子アクチュエータの接続を切り替えるスイッチ部と、スイッチ部に切り替え命令を出す指示部と、スイッチ部の切り替えにより高分子アクチュエータと接続される、容量成分を含む容量部とを備えている。
【００１３】
この一の局面による駆動装置では、上記のように、高分子アクチュエータと接続される容量部を備え、スイッチ部の切り替えにより、高分子アクチュエータの接続を駆動部から容量部に切り替えることによって、高分子アクチュエータの容量変化を抑制することができる。これにより、リーク電流を低減（リーク電流増加の加速を抑制）することができるので、高分子アクチュエータに蓄積された電荷の減少を抑制することができる。その結果、高分子アクチュエータの形状の変化を抑制することができる。そのため、たとえば、外部電源を切断した場合でも、外部電源切断前の高分子アクチュエータの状態を維持することができる。
【００１４】
上記一の局面による駆動装置において、好ましくは、指示部は、外部電源の電圧を検出する電圧検出部を含んでおり、外部電源の電圧が所定値以下の電圧であることを検出すると、高分子アクチュエータと容量部とが接続されるように、スイッチ部に切り替え命令を出す。このように構成すれば、容易に、高分子アクチュエータの形状の変化を抑制することができる。
【００１５】
上記一の局面による駆動装置において、高分子アクチュエータは、誘電エラストマからなる変位層と、変位層を挟む一対の電極層とを含む構成とすることができる。
【００１６】
上記一の局面による駆動装置において、容量部の容量は、高分子アクチュエータにおける最も大きい容量に対して、１／１０以上１０／１０以下であるのが好ましい。
【発明の効果】
【００１７】
以上のように、本発明によれば、高分子アクチュエータの形状の自己保持を実現することが可能な駆動装置を容易に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１実施形態による高分子アクチュエータの概略構成を示す模式図である。
【図２】本発明の第１実施形態による高分子アクチュエータの充電時の態様を示す模式図である。
【図３】本発明の第１実施形態による高分子アクチュエータの放電時の態様を示す模式図である。
【図４】本発明の第１実施形態による駆動装置の概略構成を示すブロック図である。
【図５】本発明の第１実施形態による駆動装置の電圧低下検出部の概略構成を示すブロック図である。
【図６】第１実施形態による電圧低下検出部の動作を説明するための図である。
【図７】本発明の第１実施形態による駆動装置におけるリーク時間と変位層の厚みとの関係を示したグラフである。
【図８】本発明の第１実施形態による駆動装置におけるリーク時間と静電容量との関係を示したグラフである。
【図９】本発明の第１実施形態による駆動装置におけるリーク時間と保持電圧との関係を示したグラフである。
【図１０】本発明の第１実施形態による駆動装置におけるリーク時間とリーク電流との関係を示したグラフである。
【図１１】本発明の第２実施形態による駆動装置の概略構成を示すブロック図である。
【図１２】本発明の第２実施形態による駆動装置におけるリーク時間と変位層の厚みとの関係を示したグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００２０】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態による高分子アクチュエータの概略構成を示す模式図である。図２は、本発明の第１実施形態による高分子アクチュエータの充電時の態様を示す模式図である。図３は、本発明の第１実施形態による高分子アクチュエータの放電時の態様を示す模式図である。まず、図１〜図３を参照して、本発明の第１実施形態による高分子アクチュエータ５の構成およびその駆動変形の態様について説明する。
【００２１】
第１実施形態による高分子アクチュエータ５は、図１に示すように、柔軟なゴム状のポリマー（誘電エラストマ、誘電ポリマー）を誘電体とする変位層５０１（ポリマー誘電体）と、変位層５０１の一方の面上に形成された第１の電極膜（電極層）５０２と、変位層５０１の他方の面上に形成された第２の電極膜（電極層）５０３とが積層されて構成された誘電型ポリマーアクチュエータからなる。
【００２２】
上記構成を有する高分子アクチュエータ５は、図２に示すように、第１の電極膜５０２と第２の電極膜５０３との間に電源７より電圧が印加されると、変位層５０１が充電（矢印Ｐ１）される。そして、印加された電圧によって発生する電界により電極間に静電引力が働き、第１の電極膜５０２と第２の電極膜５０３とが引き合う。これにより、弾性体である変位層５０１が、層面に垂直な方向に収縮するとともに、層面に沿った方向に反対の位相で伸長する。すなわち、変位層５０１が圧縮されて、面積が広がるように変形する。
【００２３】
次に、図３に示すように、第１の電極膜５０２と第２の電極膜５０３との間に、たとえば、コンデンサ８を接続すると、変位層５０１に充電された電荷が放電（矢印Ｐ２）されて、層面に垂直な方向に伸長するとともに、層面に沿った方向に反対の位相で収縮する。
【００２４】
このように、高分子アクチュエータ５は、充放電されることにより、層面に垂直な方向、および、層面に沿った方向に伸縮し変位する。
【００２５】
なお、高分子アクチュエータ５の変位層５０１の厚み（電極間距離）ｄ（図１参照）は、充放電に伴い変化するため、後述するように、変位層５０１の変位に伴って、高分子アクチュエータ５の容量も変化する。
【００２６】
図４は、本発明の第１実施形態による駆動装置の概略構成を示すブロック図である。図５は、本発明の第１実施形態による駆動装置の電圧低下検出部の概略構成を示すブロック図である。図６は、第１実施形態による電圧低下検出部の動作を説明するための図である。次に、図４〜図６を参照して、本発明の第１実施形態による駆動装置について説明する。
【００２７】
第１実施形態による駆動装置は、図４に示すように、上記高分子アクチュエータ５と、高分子アクチュエータ５の駆動を制御する制御部１００とを備えている。
【００２８】
上記制御部１００は、高分子アクチュエータ５に電荷をチャージする駆動部１０と、高分子アクチュエータ５の接続を切り替えるスイッチ部２０と、外部電源１５０の電圧低下を検出して、スイッチ部２０に切り替え命令を出す電圧低下検出部３０と、容量部４０とを含んで構成されている。なお、電圧低下検出部３０は、本発明の「指示部」および「電圧検出部」の一例である。
【００２９】
駆動部１０は、昇圧回路１１と、電圧印加調整部１２とを有している。昇圧回路１１は、外部電源１５０からの電圧を昇圧する機能を有しており、昇圧した電圧を電圧印加調整部１２に出力する。電圧印加調整部１２は、昇圧回路１１で昇圧された電圧を高分子アクチュエータ５に印加する。また、電圧印加調整部１２は、変形させる状態に応じて印加電圧を調整する。なお、電圧印加調整部１２の出力側は、スイッチ部２０と接続されている。
【００３０】
スイッチ部２０は、高分子アクチュエータ５に接続されている回路の入力インピーダンス部を２種類以上に切り替える機能を有している。なお、第１実施形態では、上記スイッチ部２０は、高分子アクチュエータ５の接続を、駆動部１０と容量部４０とに切り替え可能に構成されている。具体的には、スイッチ部２０は、端子２１および２２を有しており、端子２１には、電圧印加調整部１２の出力側が接続されているとともに、端子２２には、容量部４０が接続されている。そして、端子２１にスイッチ部２０が切り替えられると、高分子アクチュエータ５と駆動部１０とが接続され、端子２２にスイッチ部２０が切り替えられると、高分子アクチュエータ５と容量部４０とが接続される。なお、高分子アクチュエータ５の駆動時には、高分子アクチュエータ５は駆動部１０と接続される。
【００３１】
電圧低下検出部３０は、図５に示すように、外部電源１５０のエネルギーをチャージするキャパシタＣと、入力端子３１ａに印加された所定電圧とキャパシタＣの電圧とを比較するコンパレータ部３１とを含んで構成されている。また、電圧低下検出部３０の出力側（コンパレータ部３１の出力端子３１ｂ）は、スイッチ部２０と接続されている。
【００３２】
また、上記電圧低下検出部３０は、キャパシタＣの電圧が所定電圧以下になった際に、スイッチ部２０（図４参照）に切り替え命令を出すように構成されている。具体的には、図６に示すように、電圧低下検出部３０のキャパシタＣは、外部電源１５０（図４および図５参照）からの電力により一定電圧が保持されているが、たとえば、外部電源１５０が切断されると（Ｔ１点）、キャパシタＣの電圧が低下し始める。そして、キャパシタＣの電圧が所定電圧以下になったタイミング（Ｔ２点）で、スイッチ部２０に切り替え命令を出す。
【００３３】
図４に示す容量部４０は、コンデンサ（たとえば、電解コンデンサ）から構成されており、スイッチ部２０の切り替えにより、高分子アクチュエータ５と接続される。なお、容量部４０と高分子アクチュエータ５とが接続された状態では、等価回路的に、容量部４０と高分子アクチュエータ５とが並列接続された構成をなす。また、上記容量部４０には、高分子アクチュエータ５の静電容量が最も大きくなったときの容量に対して、１／１０以上１０／１０以下の静電容量を有するコンデンサを用いるのが好ましい。
【００３４】
図７〜図１０は、それぞれ、本発明の第１実施形態による駆動装置（高分子アクチュエータ）のリーク時間に対する厚み変化、容量変化、電圧変化および電流変化を示した図である。次に、図１図４および図７〜図１０を参照して、本発明の第１実施形態による駆動装置を用いた高分子アクチュエータ５の駆動制御について説明する。なお、図７〜図１０において、高分子アクチュエータ５が容量部４０と接続されている場合を破線で示しており、高分子アクチュエータ５が駆動部１０と接続されている場合を実線で示している。
【００３５】
図４に示したように、高分子アクチュエータ５の駆動時には、スイッチ部２０は、駆動部１０（端子２１）と接続されており、外部電源１５０が切断されると、電圧低下検出部３０で外部電源１５０の電圧低下を検知して、電圧低下検出部３０からスイッチ部２０に切り替え命令を出す。スイッチ部２０に切り替え命令が出されると、スイッチ部２０が切り替えられて、高分子アクチュエータ５が容量部４０と接続される。
【００３６】
ここで、第１実施形態とは異なり、高分子アクチュエータ５と駆動部１０とが常時接続されている場合について考える。この場合において、外部電源１５０が切断されると、リーク電流が流れ、高分子アクチュエータ５の電荷が減少する。
【００３７】
なお、リーク電流とは、高分子アクチュエータ５と接続されている回路と高分子アクチュエータ５自体に流れる電流であり、下記（１）式で示される。
Ｉ＝Ｖ／Ｒ      ・・・・・（１）
但し、Ｉはリーク電流、Ｖは高分子アクチュエータ５の保持電圧、Ｒは（高分子アクチュエータ５に接続されている抵抗＋高分子アクチュエータ５自体の抵抗）である。
【００３８】
一方、高分子アクチュエータ５の静電容量（Ｃｐ）は、下記（２）式で示される。
Ｃｐ＝ε×ε0×Ｓ／ｄ      ・・・・・（２）
ただし、εは真空の誘電率、ε0は比誘電率、Ｓは電極面積、ｄは変位層５０１の厚み（図１参照）である。
【００３９】
高分子アクチュエータ５の静電容量（Ｃｐ）は、（２）式に示すように、変位層５０１の厚み（ｄ）により変動する。このため、リーク電流によって、高分子アクチュエータ５の電荷が減少すると、図７の実線で示すように、厚み（ｄ）が大きくなり、図８の実線で示すように、静電容量（Ｃｐ）が小さくなる。
【００４０】
また、高分子アクチュエータ５の保持電圧（Ｖ）は、下記の（３）式で示される。
Ｖ＝Ｑ／Ｃｐ      ・・・・・（３）
ただし、Ｑは高分子アクチュエータ５の電荷、Ｃｐは高分子アクチュエータ５の静電容量である。
【００４１】
リーク電流によって、電荷（Ｑ）が減少すると、静電容量（Ｃｐ）も減少するため、（３）式より、高分子アクチュエータ５のみかけ上の保持電圧（Ｖ）は、あまり変化せず、図９の実線で示すように、高い状態を維持する。そのため、（１）式および図１０の実線で示すように、リーク電流（Ｉ）の増加が加速される（リーク電流（Ｉ）が多く流れる）。
【００４２】
そして、リーク電流（Ｉ）の増加が加速される（リーク電流（Ｉ）が多く流れる）ことによって、さらに高分子アクチュエータ５の電荷が減少し、変位層５０１の厚み（ｄ）がさらに変動する（大きくなる）。これにより、高分子アクチュエータ５が駆動部１０に接続されている場合には、高分子アクチュエータ５における長時間の形状の自己保持を実現することが困難となる。
【００４３】
これに対して、第１実施形態では、上述したように、電圧低下検出部３０で外部電源１５０の電圧低下が検知されると、スイッチ部２０が切り替えられて、高分子アクチュエータ５が容量部４０と接続される。
【００４４】
高分子アクチュエータ５と容量部４０とが接続されると、（２）式の静電容量（Ｃｐ）は、高分子アクチュエータ５の容量と容量部４０の容量とが合計された容量となり、図８の破線で示すように、高分子アクチュエータ５の容量変化が軽減される。このため、リーク電流の増加に伴って高分子アクチュエータ５の電荷（Ｑ）が減少するものの、静電容量（Ｃｐ）の変化が軽減されるので、（３）式より、高分子アクチュエータ５の保持電圧（Ｖ）が減少（図９参照）する。
【００４５】
また、高分子アクチュエータ５の保持電圧（Ｖ）が減少すると、（１）式より、リーク電流Ｉも減少する。これにより、図１０の破線で示すように、リーク電流の増加が加速されるのを抑制することが可能となる。
【００４６】
そして、リーク電流増加の加速を抑制することにより、高分子アクチュエータ５における電荷の減少が抑制されるので、図７の破線で示すように、変位層５０１の厚み（ｄ）の変動（変化）が抑制される。
【００４７】
このように、第１実施形態による駆動装置では、高分子アクチュエータ５と接続される容量部４０を備え、スイッチ部２０の切り替えにより、高分子アクチュエータ５の接続を駆動部１０から容量部４０に切り替えることによって、高分子アクチュエータ５の容量変化を抑制することができる。このため、リーク電流の増加が加速するのを抑制することができるので、高分子アクチュエータ５に蓄積された電荷の減少を抑制して、電荷が蓄積された状態を維持することができる。これにより、変位層５０１の厚み（ｄ）の変化を抑制することができるので、外部電源１５０を切断した場合でも、高分子アクチュエータ５の形状変化（変位層５０１の厚み変化）を抑制して、外部電源切断前の高分子アクチュエータ５の状態を維持することができる。したがって、上記のように構成することにより、高分子アクチュエータ５における長時間の形状の自己保持を実現することができる。
【００４８】
また、上記容量部４０の静電容量を、高分子アクチュエータ５の静電容量が最も大きくなったときの容量に対して、１／１０以上１０／１０以下となるように構成すれば、効果的に、高分子アクチュエータ５における長時間の形状の自己保持を実現することができる。
【００４９】
なお、高分子アクチュエータ５における長時間の形状の自己保持を実現することにより、高分子アクチュエータ５を、たとえば、小型モータ、マイクロポンプ、医療機器、ロボット用駆動源などに用いた場合に、外部電源１５０の切断などにより、高分子アクチュエータ５の変位が予期せぬ変位になってしまうのを抑制することができる。
【００５０】
（第２実施形態）
図１１は、本発明の第２実施形態による駆動装置の概略構成を示すブロック図である。次に、図１１を参照して、本発明の第２実施形態による駆動装置について説明する。なお、図１１において、対応する構成要素には同一の符号を付すことにより、重複する説明は省略する。
【００５１】
この第２実施形態による駆動装置は、図１１に示すように、第１実施形態の構成において、スイッチ部２０が、高分子アクチュエータ５をフローティング状態に接続するための端子２３をさらに備えている。
【００５２】
また、第２実施形態では、電圧低下検出部３０に、さらにコントローラ部５０が接続されている。このコントローラ部５０は、電圧低下検出部３０が外部電源１５０の電圧低下を検出して、スイッチ部２０に切り替え命令を出す際に、容量部４０（端子２２）とフローティング（端子２３）とのいずれに切り替えるかを指示する。
【００５３】
図１２は、本発明の第２実施形態による駆動装置（高分子アクチュエータ）のリーク時間に対する厚み変化を示した図である。次に、図１、図７、図１１および図１２を参照して、本発明の第２実施形態による駆動装置を用いた高分子アクチュエータの駆動制御について説明する。なお、図１２において、高分子アクチュエータ５がフローティング状態に接続されている場合を破線で示しており、高分子アクチュエータ５が駆動部１０に接続されている場合を実線で示している。また、高分子アクチュエータ５が容量部４０と接続された場合については、上記第１実施形態と同様であるため、この第２実施形態では、高分子アクチュエータ５がフローティング状態に接続された場合について説明する。
【００５４】
図１１に示すように、高分子アクチュエータ５がフローティング状態（端子２３）に接続されると、高分子アクチュエータ５と接続されている回路に流れるリーク電流の発生が抑制される。このため、図１２に示すように、スイッチ部２０の切り替え直後には、変位層５０１（図１参照）の厚み（ｄ）はほとんど変化しない。一方、高分子アクチュエータ５自体に流れるリーク電流により、高分子アクチュエータ５の電荷が減少するため、時間の経過に伴い、リーク電流の増加が加速される。
【００５５】
ここで、高分子アクチュエータ５が容量部４０（図１１参照）と接続されている場合には、高分子アクチュエータ５から容量部４０に電荷がチャージされる分、図７に示したように、スイッチ部２０の切り替え直後には変位層５０１の厚み（ｄ）が増加する。その後、長時間にわたって厚み（ｄ）の変化が抑制される。
【００５６】
一方、高分子アクチュエータ５がフローティング状態（端子２３）に接続されている場合には、図１２に示すように、スイッチ部２０の切り替え直後から一定の時間（ｔ）内では、容量部４０と接続されている場合よりも、変位層５０１の厚み（ｄ）の増加（変化）が抑制される。このため、比較的短時間の形状の自己保持であれば、フローティング状態（端子２３）と接続することにより、容量部４０（端子２２）と接続する場合に比べて、より高い自己保持効果を得ることができる。すなわち、比較的短時間であれば、高分子アクチュエータ５の形状変化（変位層５０１の厚み変化）をより効果的に抑制することができる。
【００５７】
このため、容量部４０（端子２２）とフローティング状態（端子２３）とを切り替え可能に構成することにより、用途に応じて、容量部４０とフローティングとを使い分けることが可能となる。たとえば、長時間にわたって高分子アクチュエータ５の形状変化を抑制したい場合には、容量部４０と接続し、形状変化を抑制する時間は短時間でよいが、形状変化をより精度よく抑制したい場合には、フローティング状態（端子２３）と接続するなどの使い分けができる。
【００５８】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【符号の説明】
【００５９】
５                                    高分子アクチュエータ
５０１                                変位層（誘電エラストマ、ポリマー誘電体）
５０２                                第１の電極膜（電極層）
５０３                                第２の電極膜（電極層）
１０                                  駆動部
１１                                  昇圧回路
１２                                  電圧印加調整部
２０                                  スイッチ部
２１、２２、２３                      端子
３０                                  電圧低下検出部（指示部、電圧検出部）
３１                                  コンパレータ部
３１ａ                                入力端子
３１ｂ                                出力端子
４０                                  容量部
５０                                  コントローラ部
１００                                制御部
１５０                                外部電源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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