(57)【要約】【課題】マスター機２ａとスレーブ機２ｂからなる複数のユニット電源から構成されるシステム電源装置１において、マスター機の出力状態をすばやく確認できるようにする。【解決手段】ユニット電源は、検出電圧を入力してシステム用のモニター電圧を生成するシステム用モニター回路部４と、検出電圧を入力して単機用のモニター電圧を生成す単機用モニター回路部５と、モニター電圧に基づいて出力状態を表示するモニター表示部１０と、を備え、マスター機２ａにおいて、単機用モニター回路部５から入力した単機用のモニター電圧に基づいて単機出力を表示する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスター機とスレーブ機からなる複数のユニット電源の合計出力が負荷側に供給されるシステム電源装置であって、
前記ユニット電源は、
負荷側への出力を検出して検出電圧を生成する出力検出部と、
前記検出電圧を入力してシステム用のモニター電圧を生成するシステム用モニター回路部と、
前記検出電圧を入力して単機用のモニター電圧を生成する単機用モニター回路部と、
前記システム用のモニター電圧と前記単機用のモニター電圧とを切替えていずれか一方を伝達する第１切替え器と、
前記第１切替え器から入力したモニター電圧に基づいて設定値に対する差動電圧を生成する差動増幅部と、
前記差動電圧の伝達を制御する第２切替え器と、
入力する差動電圧に応じて電力を可変して出力する可変電力変換部と、
前記可変電力変換部の入力側に接続する端子と、
前記第１切替え器を介して入力したモニター電圧と、前記単機用モニター回路から入力したモニター電圧に基づいて、出力状態を表示するモニター表示部と、を備え、
前記マスター機において、
前記第１切替え器は、前記システム用のモニター電圧を前記差動増幅部へ伝達し、
前記第２切替え器は、前記差動増幅部からの差動電圧を前記可変電力変換部に伝達し、
前記モニター表示部は、前記第１切替え器を介して入力したシステム用のモニター電圧に基づいてシステム出力を表示するとともに、前記単機用モニター回路部から入力した単機用のモニター電圧に基づいて単機出力を表示するシステム電源装置。
【請求項２】
前記スレーブ機において、
前記第２切替え器は、前記差動増幅部からの差動電圧を伝達せず、
前記可変電力変換部は、前記端子を介して前記マスター機から入力した差動電圧に応じて電力を可変して出力し、
前記モニター表示部は、前記単機用モニター回路部から入力した単機用のモニター電圧に基づいて単機出力を表示する請求項１に記載のシステム電源装置。
【請求項３】
前記複数のユニット電源の合計台数がＮ台（Ｎは２以上の整数）である場合に、
前記マスター機において、前記システム用モニター回路部の入力としての前記検査電圧に対する出力としての前記モニター電圧の電圧増幅率は、前記単機用モニター回路部の入力としての前記検査電圧に対する出力としての前記モニター電圧の電圧増幅率の１／Ｎであることを特徴とする請求項１又は２に記載のシステム電源装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスター機及びスレーブ機などの複数のユニット電源により構成されるシステム電源装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体プロセスの成膜装置としてＤＣスパッタ装置等が使用され、これらの装置の電源としてＣＰＵにより制御されるユニット電源が用いられている。スパッタ装置等は、その用途に応じて必要とする電力が異なり、各装置に応じた専用電源が用いられていた。しかし、装置の種類や規模に基づく多様なニーズに対応することができるようにするために、同一種類のユニット電源を必要に応じて複数台接続する電力供給システムが実用化されている。このシステムによれば、フレキシブルにかつコストを低減させて多様な用途に対応できるユニット電源を提供することができる（特許文献１を参照）。
【０００３】
例えば、システム電源装置が、１台のマスター機と２台のスレーブ機の合計３台のユニット電源により構成されているとする。１台のユニット電源の出力が２０ｋＷ出力であるとすると、このシステム電源装置の合計出力は最大６０ｋＷとなる。いま、このシステム電源装置の供給負荷が３０ｋＷであるとして、正常動作時には各ユニット電源は約１０ｋＷずつ出力して合計３０ｋＷの電力を負荷側に供給する。仮にマスター機が故障して、マスター機の出力が０ｋＷとなった場合は、２台のスレーブ機は約１５ｋＷずつ出力して合計３０ｋＷの電力を負荷側に供給するように動作する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−１０２１６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記システム電源装置においては、マスター機がシステム全体の出力制御を行うために、負荷側に供給される全体の供給電力の表示は行うが、マスター機単体としての出力表示は行われていなかった。そのため、例えばマスター機が故障した場合にその故障の発見が遅れてしまう、という不都合が生じていた。また、マスター機の稼動状態を確認できない、などの不都合も生じていた。
【０００６】
そこで、本発明は、マスター機単体の出力表示を行うことができるようにして上記不都合を解消することを目的としてなされた。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のシステム電源装置においては、マスター機とスレーブ機からなる複数のユニット電源の合計出力が負荷側に供給されるシステム電源装置であって、前記ユニット電源は、負荷側への出力を検出して検出電圧を生成する出力検出部と、前記検出電圧を入力してシステム用のモニター電圧を生成するシステム用モニター回路部と、前記検出電圧を入力して単機用のモニター電圧を生成する単機用モニター回路部と、前記システム用のモニター電圧と前記単機用のモニター電圧とを切替えていずれか一方を伝達する第１切替え器と、前記第１切替え器から入力したモニター電圧に基づいて設定値に対する差動電圧を生成する差動増幅部と、前記差動電圧の伝達を制御する第２切替え器と、入力する差動電圧に応じて電力を可変して出力する可変電力変換部と、前記可変電力変換部の入力側に接続する端子と、前記第１切替え器を介して入力したモニター電圧と、前記単機用モニター回路から入力したモニター電圧に基づいて、出力状態を表示するモニター表示部と、を備え、前記マスター機において、前記第１切替え器は、前記システム用のモニター電圧を前記差動増幅部へ伝達し、前記第２切替え器は、前記差動増幅部からの差動電圧を前記可変電力変換部に伝達し、前記モニター表示部は、前記第１切替え器を介して入力したシステム用のモニター電圧に基づいてシステム出力を表示するとともに、前記単機用モニター回路部から入力した単機用のモニター電圧に基づいて単機出力を表示するシステム電源装置とした。
【０００８】
また、前記スレーブ機において、前記第２切替え器は、前記差動増幅部からの差動電圧を伝達せず、前記可変電力変換部は、前記端子を介して前記マスター機から入力した差動電圧に応じて電力を可変して出力し、前記モニター表示部は、前記単機用モニター回路部から入力した単機用のモニター電圧に基づいて単機出力を表示する請求項１に記載のシステム電源装置とした。
【０００９】
また、前記複数のユニット電源の合計台数がＮ台（Ｎは２以上の整数）である場合に、前記マスター機において、前記システム用モニター回路部の入力としての前記検査電圧に対する出力としての前記モニター電圧の電圧増幅率は、前記単機用モニター回路部の入力としての前記検査電圧に対する出力としての前記モニター電圧の電圧増幅率の１／Ｎであることを特徴とする請求項１又は２に記載のシステム電源装置とした。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、マスター機及びスレーブ機を含む複数のユニット電源の合計出力が負荷側に供給されるシステム電源装置であり、各ユニット電源は、負荷側への出力を検出して検出電圧を生成する出力検出部と、検出電圧を入力してシステム用のモニター電圧を生成するシステム用モニター回路部と、検出電圧を入力して単機用のモニター電圧を生成する単機用モニター回路部と、システム用のモニター電圧と単機用のモニター電圧とを切替えていずれか一方を伝達する第１切替え器と、第１切替え器から入力したモニター電圧に基づいて設定値に対する差動電圧を生成する差動増幅部と、差動電圧の伝達を制御する第２切替え器と、入力する差動電圧に応じて電力を可変して出力する可変電力変換部と、可変電力変換部の入力側に接続する端子と、第１切替え器を介して入力したモニター電圧と、前記単機用モニター回路から入力したモニター電圧に基づいて、出力状態を表示するモニター表示部と、を備えている。上記ユニット電源のうちマスター機において、第１切替え器は、システム用のモニター電圧を差動増幅部へ伝達し、第２切替え器は、差動増幅部からの差動電圧を可変電力変換部に伝達し、モニター表示部は、第１切替え器を介して入力したシステム用のモニター電圧に基づくシステム出力と、単機用モニター回路部から入力した単機用のモニター電圧に基づく単機出力とを表示するシステム電源装置とした。これにより、マスター機は、マスター機単体の出力とシステムとしての出力との両方の出力表示を行うことができるので、システム全体の出力状態の他にマスター機単体としての出力状態をも確認することができる。その結果、マスター機が故障した場合でも直ちにその状態を確認することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施形態に係るシステム電源装置のブロック図である。
【図２】本発明の実施形態に係るシステム電源装置の回路構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１は、本発明の実施形態に係るシステム電源装置１のブロック図である。システム電源装置１は、１台のマスター機２ａからなるユニット電源と１台以上の台数のスレーブ機２ｂ・・２ｃからなるユニット電源から構成されている。マスター機２ａとしてのユニット電源とスレーブ機２ｂ・・２ｃとしてのユニット電源とは基本構成が同じである。
【００１３】
各ユニット電源は、負荷側へ出力する電力を検出して検出電圧を生成する出力検出部３と、検出電圧を入力してシステム用のモニター電圧を生成するシステム用モニター回路部４と、検出電圧を入力して単機用のモニター電圧を生成する単機用モニター回路部５と、システム用のモニター電圧と単機用のモニター電圧とを切り替える第１切替え器ＳＷ１と、第１切替え器ＳＷ１から伝達されるモニター電圧を入力して設定値に対する差分を表す差動電圧を生成する差動増幅部７と、差動電圧を伝達するか否かを制御する第２切替え器ＳＷ２と、差動電圧に応じて出力を可変する可変電力変換部９と、可変電力変換部９の入力側に接続する端子Ｔ２と、第１切替え器ＳＷ１を介して入力したモニター電圧と、単機用モニター回路部５から入力したモニター電圧に基づいて、出力を表示するモニター表示部１０を備えている。
【００１４】
まず、マスター機２ａの動作について説明する。出力検出部３はユニット電源の出力電位を検出して検出電圧を生成する。システム用モニター回路部４は、検出電圧を入力してシステム電源装置１を制御するためのシステム用のモニター電圧を生成する。単機用モニター回路部５は、検出電圧を入力して単機用のモニター電圧を生成する。第１切替え器ＳＷ１は、オフ状態を維持することによりシステム用モニター回路部４から出力されたシステム用のモニター電圧を差動増幅部７に伝達する。差動増幅部７は、システム用のモニター電圧と出力設定値との間の差分を表す差動電圧を生成する。第２切替え器ＳＷ２は、オフ状態を維持することにより差動増幅部７により生成された差動電圧を可変電力変換部９へ伝達する。同時に、第２切替え器ＳＷ２を介して伝達された差動電圧は、マスター機２ａの端子Ｔａ２及びスレーブ機２ｂの端子Ｔｂ２を介してスレーブ機２ｂの可変電力変換部９にも入力される。可変電力変換部９は、入力した差動電圧に基づく所要の電力を負荷側に出力する。
【００１５】
マスター機２ａのモニター表示部１０は、単機用モニター回路部５から単機用のモニター電圧を入力し、また、システム用モニター回路部４により生成されたシステム用のモニター電圧を第１切替え器ＳＷ１を介して入力し、マスター機２ａの単機としての出力表示とシステム電源装置１の全体の出力表示とを行う。これにより、仮にマスター機２ａの可変電力変換部９が故障して出力異常が発生した場合でも、モニター表示部１０はこの出力異常を表示することができる。
【００１６】
次に、スレーブ機２ｂ・・２ｃの動作について説明する。各スレーブ機２ｂ・・２ｃの第２切替え器ＳＷ２はオン状態を維持し、差動増幅部７からの差動電圧は可変電力変換部９に伝達されない。可変電力変換部９は、端子Ｔａ２及びＴｂ２・・Ｔｃ２を介してマスター機２ａの差動増幅部７により生成された差動電圧を入力する。つまり、スレーブ機２ｂ・・２ｃは、マスター機２ａの差動増幅部７により生成された差動電圧に基づいて、出力電力が調整される。また、スレーブ機２ｂ・・２ｃは、出力検出部３により検出した検出電位に基づいて単機用モニター回路部５が単機用のモニター電圧を生成し、モニター表示部１０はこの単機用のモニター電圧に基づいて自スレーブ機２の出力表示を行う。従って、いずれかのスレーブ機２ｂ・・２ｃが故障した場合は、当該スレーブ機のモニター表示部１０により直ちに確認することができる。
【００１７】
また、マスター機２ａとスレーブ機２ｂ・・２ｃの各出力は、合計出力が負荷側に供給できるように、接続されている。各ユニット電源は、差動増幅部７により生成される差動電圧を入出力するための端子Ｔａ２、Ｔｂ２・・Ｔｃ２を備えている。更に、各ユニット電源は、出力検出部３により検出された検出電圧に基づいて生成される検出情報を入出力するための端子Ｔａ１、Ｔｂ１・・Ｔｃ１を備えている。
【００１８】
マスター機２ａは端子Ｔａ２を介して差動電圧をスレーブ機２ｂ・・２ｃに出力し、各スレーブ機２ｂ・・２ｃは、端子Ｔｂ２・・Ｔｃ２を介してマスター機２ａから差動電圧を入力する。各スレーブ機２ｂ・・２ｃは、マスター機２ａから入力した差動電圧に基づいて出力が調整される。マスター機２ａは、端子Ｔａ１を介して各スレーブ機２ｂ・・２ｃから検出情報を入力し、各スレーブ機２ｂ・・２ｃの出力状態を反映させて供給電力を調整することができる。
【００１９】
このように、本発明に係るシステム電源装置１は、マスター機２ａとスレーブ機２ｂ・・２ｃの構成を同じ構成としたので、製造コストを低減させることができる。また、切替え器によりマスター機とスレーブ機を簡便に切替えることができる。更に、マスター機２ａは、システム電源単機の出力表示とシステム電源装置１全体の出力表示を行うので、仮にマスター機２ａが故障した場合でも、その故障の状態をすばやく把握することができる。
【００２０】
図２を用いてより具体的に説明する。図２は、本発明の実施形態に係るシステム電源装置１の回路構成図を表す。同一の部分または同一の機能を有する部分には同一の符号を付している。
【００２１】
出力検出部３は、可変電力変換部９から供給される出力を検出する検出端１１と、この検出端１１により検出された検出電位を調整し、検出電圧を生成する出力モニター電位調整部１６から構成されている。
【００２２】
システム用モニター回路部４は次のように構成されている。非反転入力端子が出力検出部３により検出された検出電圧を入力し、反転入力端子が抵抗Ｒ１を介してＧＮＤに接続するオペアンプＯＰ１と、ゲートがオペアンプＯＰ１の出力端子に接続し、ソースがオペアンプＯＰ１の反転入力端子に接続するＦＥＴ１と、非反転入力端子に基準電圧Ｖを入力し、出力端子と反転入力端子が可変抵抗器１７を介して接続するオペアンプＯＰ２と、ＦＥＴ１のドレインとオペアンプＯＰ２の反転入力端子間にダイオードＤＯを介して接続される第３切替え器ＳＷ３と、反転入力端子がオペアンプＯＰ２の出力端子に抵抗Ｒ２を介して接続し、非反転入力端子に基準電圧を入力するオペアンプＯＰ３と、ゲートがオペアンプＯＰ３の出力端子に接続し、ソースがオペアンプＯＰ３の反転入力端子に接続し、ドレインが抵抗Ｒ３を介してＧＮＤに接続するＦＥＴ２と、非反転入力端子がＦＥＴ２のドレインに接続し、反転入力端子と出力端子が短絡するオペアンプＯＰ４とを備えている。また、ＦＥＴ１のドレインは端子Ｔａ１に接続し、スレーブ機２ｂ・・２ｃの端子Ｔｂ１・・Ｔｃ１を介してスレーブ機２ｂ・・２ｃｂの各ＦＥＴ１のドレインに接続している。
【００２３】
単機用モニター回路部５は次にように構成されている。非反転入力端子が出力検出部３により検出された検出電圧を入力し、反転入力端子が抵抗Ｒ４を介してＧＮＤに接続するオペアンプＯＰ５と、ゲートがオペアンプＯＰ５の出力端子に接続し、ソースがオペアンプＯＰ５の反転入力端子に接続するＦＥＴ３と、非反転入力端子に基準電圧Ｖを入力し、反転入力端子がＦＥＴ３のドレインに、当該ドレインから見て逆方向接続するダイオードを介して接続し、出力端子と反転入力端子が抵抗Ｒ５を介して接続するオペアンプＯＰ６と、非反転入力端子に基準電圧Ｖを入力し、反転入力端子が抵抗Ｒ６を介してオペアンプＯＰ６の出力端子に接続するオペアンプＯＰ７と、ゲートがオペアンプＯＰ７の出力端子に接続し、ソースがオペアンプＯＰ７の反転入力端子に接続し、ドレインが抵抗Ｒ７を介してＧＮＤに接続するＦＥＴ４と、非反転入力端子がＦＥＴ４のドレインに接続し、反転入力端子と出力端子が短絡するオペアンプＯＰ８とを備えている。単機用モニター回路部５は、システム用モニター回路部４の第３切替え器ＳＷ３を短絡し、可変抵抗器１７を抵抗Ｒ５に固定した回路構成と同じである。
【００２４】
第１切替え器ＳＷ１は、システム用のモニター電圧と単機用のモニター電圧のいずれかを切替えて電圧調整部８ａに伝達する。電圧調整部８ａは、第１切替え器ＳＷ１から伝達されるモニター電圧の電圧調整を行う。同様に、電圧調整部８ｂは、単機用モニター回路部５から出力される単機用のモニター電圧の電圧調整を行う。
【００２５】
差動増幅部７は、設定された出力値とモニター電圧とを比較して、その差分である差動電圧を出力するエラーアンプＥＡから構成されている。可変電力変換部９は、三角波生成部１２から入力する三角波と、差動増幅部７から入力する差動電圧を比較するコンパレータ１９と、コンパレータ１９からの比較電圧を入力して制御パルスを生成するＤＤ制御パルス生成部１４と、入力した制御パルスに応じてＤＣ出力を制御するＤＤコンバータ１５から構成されている。
【００２６】
モニター表示部１０は、ユニット電源を制御するＣＰＵ１８と、システム用のモニター電圧と単機用のモニター電圧を入力してＡＤ変換を行うＡＤ変換部１３と、ＣＰＵ１８の制御の元でシステム電源装置１の出力表示とシステム電源単機の出力表示を行う表示部６とを備えている。
【００２７】
既に図１において説明したように、ユニット電源をマスター機２ａとして使用する場合は、第１切替え器ＳＷ１をシステム用モニター回路部４からシステム用のモニター電圧を差動増幅部７側に伝達するように切り替え、第２切替え器ＳＷ２をオフして差動増幅部７からの差動電圧を可変電力変換部９に伝達するように切り替える。更に、第３切替え器ＳＷ３をオフしてＦＥＴ１のドレインとオペアンプＯＰ２の反転入力端子側とを接続状態とする。
【００２８】
ユニット電源をスレーブ機２ｂ・・２ｃとして使用する場合は、第３切替え器ＳＷ３をオンして差動増幅部７と可変電力変換部９とを切り離し、可変電力変換部９には端子Ｔａ２及びＴｂ２・・Ｔｃ２を介してマスター機２ａにより生成された差動電圧を入力する。また、第１切替え器ＳＷ１を単機用モニター回路部５から単機用のモニター電圧を差動増幅部７側に伝達するように切り替え、第３切替え器ＳＷ３をオンして接続を切り離すことができるが、第１切替え器ＳＷ１と第３切替え器ＳＷ３の状態は、スレーブ機２ｂ・・２ｃの動作に影響を与えない。第１〜第３切替え器ＳＷ１〜ＳＷ３は、マスター機２ａ及びスレーブ機２ｂ・・２ｃの各ＣＰＵ１８が電源投入時に自動認識してすべてオン状態に設定するように構成することができる。
【００２９】
次に、ユニット電源がマスター機２ａであるときの、システム用モニター回路部４の動作を説明する。なお、以下において理解を容易にするために、マスター機２ａの端子Ｔａ１は、スレーブ機２ｂ、・・２ｃの各端子Ｔｂ１・・Ｔｃ１に接続していないものとして説明する。
【００３０】
オペアンプＯＰ１の非反転入力端子に入力される検出電圧をＶｏとする。可変抵抗器１７の抵抗Ｒｖは、ＣＰＵ１８によりＲｖ＝Ｒ０／Ｎ（Ｎは２以上の整数であり、システム内ユニット電源の台数を表す。）に設定される。このとき、可変抵抗器１７による電圧降下δＶは式（１）により表される。
δＶ＝（Ｒ０／Ｎ）×（Ｖｏ／Ｒ１）・・・・・・・・・・・・（１）
従って、基準電圧をＶｒｅｆとして、オペアンプＯＰ２の出力電圧Ｖｏｐ２は式（２）により表される。
Ｖｏｐ２＝Ｖｒｅｆ＋δＶ・・・・・・・・・・・・・・・・・（２）
【００３１】
オペアンプＯＰ４の出力電圧Ｖｏｐ４は式（３）により表される。
Ｖｏｐ４＝Ｒ３×｛（Ｖｏｐ２−Ｖｒｅｆ）／Ｒ２｝・・・・・・（３）
式（３）に式（１）と式（２）を代入して、システム用モニター回路部４の出力は式（４）として表される。
Ｖｏｐ４＝Ｒ３×［｛（Ｒｏ／Ｎ）×（Ｖｏ／Ｒ１）｝／Ｒ２］
＝（Ｒｏ／Ｎ）×（Ｒ３／Ｒ２）×（Ｖｏ／Ｒ１）・・・（４）
【００３２】
次に、単機用モニター回路部５の動作を説明する。ここで、Ｒ１＝Ｒ４、Ｒ２＝Ｒ６、Ｒ３＝Ｒ７とし、Ｒ５は可変抵抗器１７の抵抗Ｒｖ＝Ｒｏ／ＮにおけるＮ＝１であり、Ｒ５＝Ｒｏとする。オペアンプＯＰ５の非反転入力端子は検出電圧Ｖｏを入力し、オペアンプＯＰ６の出力電圧Ｖｏｐ６は式（５）により表される。
Ｖｏｐ６＝Ｖｒｅｆ＋Ｒ５×（Ｖｏ／Ｒ４）
＝Ｖｒｅｆ＋Ｒｏ×（Ｖｏ／Ｒ１）・・・・・・・・・・（５）
従って、オペアンプＯＰ８の出力電圧Ｖｏｐ８は式（６）により表される。
Ｖｏｐ８＝Ｒ７×｛（Ｖｏｐ６−Ｖｒｅｆ）／Ｒ６｝
＝Ｒ７×｛Ｒｏ（Ｖｏ／Ｒ１）／Ｒ６｝
＝Ｒｏ（Ｒ３／Ｒ２）×（Ｖｏ／Ｒ１）・・・・・・・・（６）
式（４）と式（６）を比較すると、オペアンプＯＰ４の出力電圧Ｖｏｐ４はオペアンプＯＰ８の出力電圧Ｖｏｐ８の１／Ｎ倍となる。すなわち、マスター機２ａのシステム用のモニター電圧は、Ｎ台のユニット電源から構成されるシステム電源装置１においては（１／Ｎ）倍の重みが付与された電圧となる。言い換えると、システム用モニター回路部４の入力電圧に対する出力電圧の電圧増幅率は、単機用モニター回路部５の入力電圧に対する出力電圧の電圧増幅率の１／Ｎである。
【００３３】
実際には、マスター機２ａのＦＥＴ１のドレインとスレーブ機２ｂ・・２ｃのＦＥＴ１のドレインとが端子Ｔａ１とＴｂ１・・Ｔｃ１を介して相互に接続する構成をとる。そのために、マスター機２ａの可変抵抗器１７を流れる電流は、各スレーブ機２ｂ・・２ｃのＦＥＴ１を流れる電流が加算される。その結果、マスター機２ａのシステム用モニター回路部４の出力電圧Ｖｏｐ４は、上記式（４）の概ねＮ倍となる。
【００３４】
また、各スレーブ機２ｂ・・２ｃの出力検出部３により検出された検出電圧は、オペアンプＯＰ１の非反転入力端子に入力し、各スレーブ機２ｂ・・２ｃのＦＥＴ１は、出力検出部３により検出された検出電圧に応じて電流が流れ、この電流がマスター機２ａの可変抵抗器１７を流れる電流に加算される。つまり、各スレーブ機２ｂ・・２ｃのＦＥＴ１を流れる電流が検出情報となってマスター機２ａのシステム用のモニター電圧に反映される。即ち、各ユニット電源の出力はマスター機２ａのシステム用のモニター電圧に重みが１／Ｎで反映され、このシステム用のモニター電圧に基づいて差動電圧が生成され、各ユニット電源の出力は、マスター機２ａからのこの差動電圧に基づいてフィードバック制御される。
【００３５】
なお、可変抵抗器１７の抵抗Ｒｖ＝Ｒ０／Ｎに設定する方法として、例えばスイッチング素子と抵抗Ｒ０を直列に接続した回路をＮ個並列接続し、各スイッチング素子をＣＰＵ１８により制御する構成とすることができる。例えば、マスター機１台、スレーブ機２台によりシステム電源装置１を構成する場合、３個のスイッチング素子をオン状態として３個の抵抗Ｒ０の並列回路を形成し、可変抵抗器１７の抵抗Ｒｖ＝Ｒｏ／３とすればよい。この設定は、電源投入時に、マスター機２ａのＣＰＵ１８がスレーブ機２ｂ・・２ｃの台数を検出し、Ｎを自動設定するように構成することができる。
【符号の説明】
【００３６】
１  システム電源装置
２ａ  マスター機
２ｂ、２ｃ  スレーブ機
３  出力検出部
４  システム用モニター回路部
５  単機用モニター回路部
６  表示部
７  差動増幅部
８ａ、８ｂ  電圧調整部
９  可変電力変換部
１０  モニター表示部
【図１】
2011030340.tif 000003
【図２】
2011030340.tif 000004