(57)【要約】【課題】製造装置を変更した際に新たにケースの昇降を制御する制御部を用意する必要のない搬送システムを提供すること、および複数の製造装置を同時に設置した際に各製造装置にケースの昇降を制御する制御部を搭載する必要のない搬送システムを提供する。【解決手段】オープナ２０に、搬送機４０との間で信号の送受信を行うことにより、ケース３０の昇降を制御するオープナ制御盤２１を備え、搬送機４０に、オープナ制御盤２１と信号の送受信を行うことにより、ケース３０をオープナ２０に載置させる。【選択図】図１
2011238646.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送物に対して所定の処理を施す製造装置（１０、７０〜９０）と、ケース（３０）に収容された被搬送物を搬送する搬送機（４０）と、前記製造装置（１０、７０〜９０）に備えられ、前記搬送機（４０）から前記ケース（３０）が載置されるオープナ（２０）と、を含む搬送システムであって、
前記オープナ（２０）は、前記搬送機（４０）との間で信号の送受信を行うことにより、前記ケース（３０）の昇降を制御するオープナ制御盤（２１）を備えており、
前記搬送機（４０）は、前記オープナ制御盤（２１）と信号の送受信を行うことにより、前記ケース（３０）を前記オープナ（２０）に載置することを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
前記搬送機（４０）は、光通信器（４２）を備え、前記オープナ（２０）の直上を含む位置に備えられたレール（５０）を走行するものであり、
前記レール（５０）には、前記光通信器（４２）と信号の送受信が可能とされていると共に、前記オープナ制御盤（２１）と信号の送受信が可能とされている光通信器（５１）が備えられており、
前記搬送機（４０）は、前記レール（５０）に備えられた光通信器（５１）を介して前記オープナ制御盤（２１）と信号の送受信を行うことにより、前記ケース（３０）を前記オープナ（２０）に載置することを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被搬送物を搬送する搬送システムに関し、特に、被搬送物をオープナへ搬送する搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、被搬送物に対して所定の処理を施す製造装置と、ケースに収容されたウェハ等の被搬送物を搬送する搬送機と、製造装置に備えられ、搬送機からケースが載置されるオープナと、を備えた搬送システムが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このような搬送システムでは、製造装置は、被搬送物に施す処理を制御する制御部、およびケースの昇降を制御する制御部を備えた製造装置制御部を有している。また、搬送機は、光通信器を備え、被搬送物を把持しつつ、オープナの上方（上空）を含む位置に備えられたレールに沿って走行する。そして、レールのうち、オープナの上方には、搬送機の光通信器と対となる光通信器が備えられており、搬送器がオープナの上方に到着したとき、搬送機の光通信器とレールの光通信器との間で信号の送受信が可能となっている。また、レールに備えられた光通信器は、製造装置に備えられた製造装置制御盤と信号線を介して接続されている。
【０００４】
上記搬送システムでは、搬送機は、レールを走行してオープナの上方に到着すると、レールに備えられた光通信器を介して製造装置制御盤と信号の送受信を行うことにより、ケースをオープナに載置する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−３１５７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、このような搬送システムでは、製造装置にケースの昇降を制御する制御部が備えられており、製造装置を変更する度に、新たにケースの昇降を制御する制御部を備えた製造装置制御盤を製造装置に搭載しなければならず、コストが増大するという問題がある。
【０００７】
また、新規に複数の製造装置を同時に設置した搬送システムを構築する場合には、各製造装置はそれぞれ別々の製造装置制御盤を有するので、各製造装置制御盤にそれぞれケースの昇降を制御する制御部を搭載しなければならず、この場合もコストが増大するという問題がある。
【０００８】
本発明は上記点に鑑みて、製造装置を変更した際に新たにケースの昇降を制御する制御部を用意する必要のない搬送システムを提供すること、および複数の製造装置を同時に設置する際に各製造装置にケースの昇降を制御する制御部を搭載する必要のない搬送システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、上記課題を解決するために検討を行い、製造装置を変更した際にもオープナは変更する必要がないという点、および複数の製造装置を同時に設置した搬送システムを構築した場合に各製造装置に備えられるオープナが同じものであるという点に着目し、オープナにケースの昇降を制御する制御盤を搭載すればよいことを見出した。
【００１０】
このため、請求項１に記載の発明では、被搬送物に対して所定の処理を施す製造装置（１０、７０〜９０）と、ケース（３０）に収容された被搬送物を搬送する搬送機（４０）と、製造装置（１０、７０〜９０）に備えられ、搬送機（４０）からケース（３０）が載置されるオープナ（２０）と、を含む搬送システムであって、オープナ（２０）は、搬送機（４０）との間で信号の送受信を行うことにより、ケース（３０）の昇降を制御するオープナ制御盤（２１）を備えており、搬送機（４０）は、オープナ制御盤（２１）と信号の送受信を行うことにより、ケース（３０）をオープナ（２０）に載置することを特徴とする。
【００１１】
このような搬送システムでは、オープナ（２０）にケース（３０）の昇降を制御するオープナ制御盤（２１）が備えられており、搬送器（４０）は、オープナ制御盤（２１）と信号の送受信を行うことにより、ケース（３０）をオープナ（２０）に載置している。このため、製造装置（１０、７０〜９０）を別の製造装置に変更したとしても、オープナ（２０）は製造装置に依存せず使用可能であるため、新たな製造装置に変更前の製造装置に備えられていたオープナ（２０）を備えればよく、新たな製造装置にケース（３０）の昇降を制御する制御部を備えた製造装置制御盤を備える必要がない。したがって、新たに製造装置を用意したときのコストが増加することを抑制することができる。
【００１２】
また、複数の製造装置（１０、７０〜９０）を同時に設置した搬送システムを構築する場合には、各製造装置（１０、７０〜９０）に同じオープナ（２０）をそれぞれ備えればよく、製造装置（１０、７０〜９０）毎にケース（３０）の昇降を制御する制御部を備えた製造装置制御盤を備える必要がない。したがって、複数の製造装置（１０、７０〜９０）を同時に設置した搬送システムを構築した場合のコストが増加することを抑制することができる。
【００１３】
例えば、請求項２に記載の発明のように、搬送機（４０）を、光通信器（４２）を備えたものにすると共にオープナ（２０）の直上を含む位置に備えられたレール（５０）を走行するものとし、レール（５０）に、搬送器（４０）に備えられた光通信器（４２）と信号の送受信が可能とされていると共にオープナ制御盤（２１）と信号の送受信が可能とされている光通信器（５１）を備え、搬送機（４０）にレール（５０）に備えられた光通信器（５１）を介してオープナ制御盤（２１）と信号の送受信を行わせることにより、ケース（３０）をオープナ（２０）に載置させることができる。
【００１４】
なお、この欄および特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１実施形態における搬送システムの概略斜視図である。
【図２】図１に示す搬送システムの状態遷移図である。
【図３】本発明の第２実施形態における搬送システムの概略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態にかかる搬送システムについて説明する。図１は、本実施形態における搬送システムの概略斜視図であり、この図に基づいて説明する。
【００１７】
図１に示されるように、本実施形態の搬送システムは、製造装置１０と、製造装置１０に備えられたオープナ２０と、ウェハ等の被搬送物が収容されたケース３０を搬送すると共に、当該ケース３０をオープナ２０に載置したり、オープナ２０から引き上げたりする搬送機４０とを備えている。
【００１８】
製造装置１０は、被搬送物に対して所定の処理を行うものであり、例えば、被搬送物がウェハである場合には、エッチングや熱処理等の半導体製造プロセスを行う処理室１１と、当該半導体製造プロセスを制御する製造装置制御盤１２とを備えている。
【００１９】
搬送機４０にて搬送されるケース３０は、例えば、一面が開口している本体と、本体の開口を閉塞する蓋と、本体に備えられるフランジとを備えた一般的なＳＭＩＦ（Standard of Mechanical Interface）やＦＯＵＰ(Front Opening Unified Pod)等が用いられる。そして、本体と蓋により構成される収容空間内に、ウェハ等の被搬送物を収容している。なお、図１中では、フランジは省略して示してある。
【００２０】
搬送機４０は、本実施形態では、工場等の天井から吊り下げられているレール５０に沿って走行するＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）であり、ケース３０のフランジを把持する図示しない把持部と、当該把持部を懸垂状態で支持する懸垂部４１とを備えている。そして、懸垂部４１の巻き取りや繰り出しを行って把持部を昇降させることにより、ケース３０を昇降させることができるようになっている。また、搬送機４０は、本体に光通信器４２が備えられている。
【００２１】
また、搬送機４０が走行するレール５０は、オープナ２０の直上位置を含むように工場内の天井から吊り下げられているものであり、オープナ２０の上方に位置する部分に、搬送機４０に備えられた光通信器４２と対をなす光通信器５１が備えられている。そして、光通信器４２、５１は、互いに光Ｉ／Ｏ通信を行うことにより、信号の送受信を行うことができるようになっている。
【００２２】
オープナ２０は、製造装置１０にネジ止め等により固定されることで一体化されており、搬送機４０との間で信号の送受信を行うことによりケース３０の昇降を制御するオープナ制御盤２１が備えられている。そして、オープナ制御盤２１は、例えば、パラレル信号線６０、６１等にて、レール５０に備えられた光通信器５１および製造装置制御盤１２と接続されている。すなわち、本実施形態のオープナ制御盤２１は、レール５０に備えられた光通信器５１を介して、搬送機４０に備えられた光通信器４２と信号の送受信ができるようになっている。また、オープナ２０は、製造装置１０に依存するものではなく、製造装置を変更したとしても、ネジ止め等により固定されることで再び利用可能なものである。
【００２３】
次に、このような搬送システムの作動について説明する。図２は、本実施形態における搬送システムの状態遷移図である。
【００２４】
図２に示されるように、ホストコンピュータからケース３０の搬送を行う信号が搬送機４０および製造装置１０に出力されると、搬送機４０はケース３０の搬送を開始し、製造装置１０は被搬送物の受入準備を開始すると共に、オープナ２０にケース３０の受入準備を開始する信号を出力する。
【００２５】
そして、製造装置１０は、オープナ２０からケース３０の受入が可能である信号を受信すると、その後は待機状態となる。なお、製造装置１０は、当該製造装置１０の受入準備が整っていない場合、または、オープナ２０からケース３０の受入が可能である信号が得られない場合には、ホストコンピュータに搬送中止の信号を出力する。この場合、ホストコンピュータは、被搬送物の搬送を所定期間中断した後、再び、搬送を行う信号を搬送機４０および製造装置１０に出力し、製造装置１０から搬送中止の信号を受信しなくなるまで搬送を行う信号を出力する。
【００２６】
搬送機４０は、ホストコンピュータから出力された搬送を行う信号を受信すると、ケース３０の搬送を開始してレール５０を走行する。そして、オープナ２０の直上に到着すると、レール５０に備えられた光通信器５１と光Ｉ／Ｏ通信を行うことにより、当該光通信器５１を介してオープナ制御盤２１と移載確認信号の取り交わしを行う。この場合の移載確認信号は、オープナ２０にケース３０の受入が可能であるかを確認するものであり、ケース３０の受入が可能である場合には、搬送機４０は、懸垂部４１を繰り出すことにより、ケース３０を降下させてオープナ２０に載置する。
【００２７】
続いて、搬送機４０は、光通信器５１を介してオープナ制御盤２１と移載確認信号の取り交わしを行う。この場合の移載確認信号は、オープナ２０にケース３０が完全に載置されているか否かを確認するものであり、搬送機４０は、オープナ制御盤２１からケース３０がオープナ２０に載置されたことを示す信号を受信すると、把持部をフランジから取り外すと共に懸垂部４１を巻き取ってケース３０の搬送を完了する。なお、オープナ制御盤２１は、例えば、オープナ２０の所定位置にケース３０が載置されるとケース３０により光が遮断されていることを検出する複数のセンサと接続されており、これらのセンサがケース３０により光が遮断されたことを検出した際にケース３０が載置されたことを示す信号を搬送機４０に出力する。
【００２８】
その後、製造装置１０は、オープナ制御盤２１からケース３０の受入完了の信号が入力されると、オープナ制御盤２１にケース３０を開けさせる開動作信号を出力し、オープナ２０にケース３０の蓋を開けさせる。そして、オープナ制御盤２１からケース３０の開動作が完了した信号を受信すると、ケース３０から被搬送物を取り出し、処理室１１にて所定の処理を行う。
【００２９】
その後、図示しないが、製造装置１０は、被搬送物をケース３０に収納すると共に、オープナ制御盤２１にケース３０を閉じる閉動作信号を出力する。そして、搬送機４０は、オープナ２０にケース３０を載置したときと同様に、オープナ制御盤２１と移載確認信号を取り交わすことにより、懸垂部４１を繰り出して把持部にてフランジを把持した後、ケース３０を引き上げる。
【００３０】
以上説明したように、本実施形態の搬送システムでは、オープナ２０にケース３０の昇降を制御するオープナ制御盤２１が備えられており、搬送機４０は、オープナ制御盤２１との間で移載確認信号を取り交わすことにより、ケース３０をオープナ２０に載置している。このため、例えば、搬送するウェハを３００ｍｍから２００ｍｍに変更することにより製造装置１０を変更することになっても、オープナ２０は製造装置に依存せず使用可能であるため、新たな製造装置１０に変更前のオープナ２０を備えればよい。したがって、新たな製造装置にケース３０の昇降を制御する製造装置制御盤を備える必要がなく、新たに製造装置を用意したときのコストが増加することを抑制することができる。
【００３１】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態の搬送システムは、上記第１実施形態に対して、製造装置およびオープナ２０を複数含むようにしたものであり、その他に関しては第１実施形態と同様であるため、ここでは説明を省略する。図３は、本実施形態における搬送システムの概略斜視図である。
【００３２】
図３に示されるように、本実施形態の搬送システムは、互いに異なる所定の処理を行う製造装置７０〜９０と、各製造装置７０〜９０と一体化され、ケース３０の昇降を制御するオープナ制御盤２１をそれぞれ有する複数のオープナ２０とを備えている。各オープナ２０は、それぞれ同じもの、言い換えると共通のものであり、それぞれ製造装置７０〜９０にネジ止め等により固定されている。また、レール５０には、各オープナ２０の上方に、搬送機４０の光通信器４２と対をなす光通信器５１〜５４が備えられており、これら光通信器５１〜５４と、各オープナ制御盤２１とが信号線６０、６２〜６４により接続されている。
【００３３】
このような複数の製造装置７０〜９０を同時に設置した搬送システムでは、各製造装置７０〜９０に同じオープナ２０をそれぞれ備えればよく、製造装置７０〜９０毎にケース３０の昇降を制御する制御部を備えた製造装置制御盤を備える必要がない。したがって、複数の製造装置７０〜９０を同時に設置した搬送システムを構築した場合のコストが増加することを抑制することができる。また、製造装置７０〜９０を変更することになっても、オープナ２０は製造装置に依存せず使用可能であるため、上記第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００３４】
また、本実施形態では、製造装置８０は、二つのオープナ２０を備えている。このため、例えば、処理室にて所定の処理を行っている間に、ケース３０が載置されていない側のオープナ２０に次のケース３０を予め載置しておくことができ、搬送効率を向上させることができる。さらに、このような製造装置８０は、二つのオープナ２０にそれぞれ被搬送物を収容したケース３０が載置されたときに、所定の処理を行うようにすることもできる。
【００３５】
（他の実施形態）
上記第１実施形態では、搬送機４０としてＯＨＴであるものを例に挙げて説明したが、もちろんこれに限定されるものではなく、例えば、搬送機４０として、工場等の床に設置されたレールを走行するＲＧＶ（Rail Guided Vehicle）や、工場等の床に備えられたガイドテープ等を追従するＡＧＶ（Automated Guided Vehicle）等とすることも可能である。
【符号の説明】
【００３６】
１０    製造装置
２０    オープナ
２１    オープナ制御盤
３０    ケース
４０    搬送機
４２    光通信器
５０    レール
５１    光通信器
【図１】
2011238646.tif 000003
【図２】
2011238646.tif 000004
【図３】
2011238646.tif 000005