(57)【要約】【課題】テストプログラムやテストデータの機密性を保持することが可能な半導体試験システムを実現する。【解決手段】テストプログラムに基づいて被試験対象デバイスの試験を行い、試験で得られたテストデータを管理する半導体試験システムにおいて、暗号化されたテストプログラムをパスワードを用いて復号化し、復号化されたテストプログラムに基づいて被試験対象デバイスの試験を行い、試験で得られたテストデータをパスワードを用いて暗号化して送信する半導体試験装置と、パスワードを発行し、テストプログラムをパスワードを用いて暗号化して半導体試験装置に送信し、半導体試験装置から受信した暗号化されたテストデータをパスワードを用いて復号化する量産サーバとを備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テストプログラムに基づいて被試験対象デバイスの試験を行い、試験で得られたテストデータを管理する半導体試験システムにおいて、
暗号化された前記テストプログラムである暗号化テストプログラムをパスワードを用いて復号化し、復号化された前記テストプログラムに基づいて被試験対象デバイスの試験を行い、試験で得られた前記テストデータをパスワードを用いて暗号化して送信する半導体試験装置と、
パスワードを発行し、前記テストプログラムをパスワードを用いて暗号化して前記半導体試験装置に送信し、前記半導体試験装置から受信した暗号化された前記テストデータである暗号化テストデータをパスワードを用いて復号化する量産サーバと
を備えたことを特徴とする半導体試験システム。
【請求項２】
前記半導体試験装置は、
前記量産サーバから受信した前記暗号化テストプログラムと前記暗号化テストデータとを記憶する第１の記憶部と、
前記量産サーバにパスワードの発行を要求し、前記暗号化テストプログラムをパスワードを用いて復号化し、試験で得られた前記テストデータをパスワードを用いて暗号化する第１の演算制御部と、
復号化された前記テストプログラムに基づいて被試験対象デバイスの試験を行うテスト実行部と
を有することを特徴とする請求項１記載の半導体試験システム。
【請求項３】
前記量産サーバは、
前記テストプログラムと前記テストデータとを記憶する第２の記憶部と、
前記半導体試験装置から受信した管理情報に基づいて、前記半導体試験装置の認証を行う認証部と、
この認証部で認証された前記半導体試験装置に対してパスワードを発行し、前記テストプログラムをパスワードを用いて暗号化し、前記半導体試験装置から受信した前記暗号化テストデータをパスワードを用いて復号化する第２の演算制御部と
を有することを特徴とする請求項１記載の半導体試験システム。
【請求項４】
前記第１の演算制御部は、
前記量産サーバにパスワードの発行を要求し、前記量産サーバから受信した前記暗号化テストプログラムを前記第１の記憶部に記憶させ、前記第１の記憶部に記憶されている前記暗号化テストデータを読み出す第１の制御手段と、
この第１の制御手段の指示に応じて前記第１の記憶部に記憶されている前記暗号化テストプログラムをパスワードを用いて復号化し、前記テスト実行部に送信する第１の復号化手段と、
試験で得られた前記テストデータをパスワードを用いて暗号化し、暗号化した前記テストデータを前記第１の記憶部に記憶させる第１の暗号化手段と
を有することを特徴とする請求項２記載の半導体試験システム。
【請求項５】
前記第２の演算制御部は、
パスワードを発行するパスワード発行手段と、
前記半導体試験装置からのパスワードの発行要求、前記暗号化テストプログラムの送信要求、または、前記暗号化テストデータの受信要求に応じて前記パスワード発行手段に指示を出す第２の制御手段と、
前記パスワード発行手段が発行したパスワードを用いて前記第２の記憶部に記憶されている前記テストプログラムを暗号化して出力する第２の暗号化手段と、
前記パスワード発行手段が発行したパスワードを用いて前記半導体試験装置から受信した前記暗号化テストデータを復号化して出力する第２の復号化手段と
を有することを特徴とする請求項３記載の半導体試験システム。
【請求項６】
テストプログラムに基づいて被試験対象デバイスの試験を行い、試験で得られたテストデータを管理する半導体試験システムにおいて、
暗号化された前記テストプログラムである暗号化テストプログラムをパスワードを用いて復号化し、復号化された前記テストプログラムに基づいて被試験対象デバイスの試験を行い、試験で得られた前記テストデータをパスワードを用いて暗号化して送信する半導体試験装置と、
前記テストプログラムをパスワードを用いて暗号化して前記半導体試験装置に送信し、前記半導体試験装置から受信した暗号化された前記テストデータである暗号化テストデータをパスワードを用いて復号化する量産サーバと、
前記半導体試験装置および前記量産サーバから受信した管理情報に基づいて、前記半導体試験装置および前記量産サーバの認証を行い、認証された前記半導体試験装置および前記量産サーバに対してパスワードを発行する管理サーバと
を備えたことを特徴とする半導体試験システム。
【請求項７】
前記半導体試験装置は、
前記量産サーバから受信した前記暗号化テストプログラムと前記暗号化テストデータとを記憶する第１の記憶部と、
前記管理サーバにパスワードの発行を要求し、前記暗号化テストプログラムをパスワードを用いて復号化し、試験で得られた前記テストデータをパスワードを用いて暗号化する第１の演算制御部と、
復号化された前記テストプログラムに基づいて被試験対象デバイスの試験を行うテスト実行部と
を有することを特徴とする請求項６記載の半導体試験システム。
【請求項８】
前記量産サーバは、
前記テストプログラムと前記テストデータとを記憶する第２の記憶部と、
前記テストプログラムをパスワードを用いて暗号化し、前記半導体試験装置から受信した前記暗号化テストデータをパスワードを用いて復号化する第２の演算制御部と
を有することを特徴とする請求項６記載の半導体試験システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テストプログラムに基づいて被試験対象デバイス（以下、ＤＵＴ（Device Under Test）という）の試験を行い、試験で得られたテストデータを管理する半導体試験システムに関し、詳しくは、テストプログラムやテストデータの機密性を保持することが可能な半導体試験システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体デバイスの試験は、デバイスメーカから外部委託されることが多く、主な外部委託先であるテストハウスにおいては、半導体試験装置をそのデバイスメーカ以外の人がアクセスすることになる。半導体試験装置には、半導体デバイスの試験の内容が記述されたテストプログラムや試験で得られたテストデータが一時的に記憶されている。テストプログラムやテストデータは、デバイスメーカにとって機密文書であり、認証された人のみが参照できるべきものである。現状では、不特定多数の人が参照できる状態であり、デバイスメーカからテストプログラムやテストデータの管理に対する要望があった。
【０００３】
図５は、従来の半導体試験システムの一例を示した構成図である。
図５において、量産サーバ１０は、記憶部１、演算制御部２、送信部３および受信部４を有している。また、半導体試験装置２０は、受信部１１、送信部１２、記憶部１３、演算制御部１４およびテスト実行部１５を有している。
【０００４】
量産サーバ１０は、パソコンやＥＷＳ（Engineering Workstation）等であり、ネットワークで半導体試験装置２０と相互に接続される。記憶部１は、ＤＵＴの試験内容が記述されたテストプログラムＴＰと試験の結果得られたテストデータＴＤを記憶する。演算制御部２は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）やメモリ等から構成され、半導体試験装置２０からの指示に応じて、記憶部１からテストプログラムＴＰを読み出し、または、半導体試験装置２０からのテストデータＴＤを記憶部１に書き込む。送信部３は、演算制御部２が記憶部１から読み出したテストプログラムＴＰを半導体試験装置２０へ送信する。受信部４は、半導体試験装置２０から送信されたテストデータＴＤを受信して演算制御部２へ出力する。
【０００５】
受信部１１は、量産サーバ１０から送信されたテストプログラムＴＰを受信して演算制御部１４へ出力する。送信部１２は、試験の結果得られたテストデータＴＤを量産サーバ１０へ送信する。記憶部１３は、量産サーバ１０から送信されたテストプログラムＴＰと試験の結果得られたテストデータＴＤを一時的に記憶する。
【０００６】
演算制御部１４は、ＣＰＵやメモリ等から構成され、テストプログラムＴＰやテストデータＴＤの記憶部１３への書き込みや記憶部１３からの読み出しを行い、半導体試験装置２０を統括的に制御する。テスト実行部１５は、演算制御部１４からの指示に応じて、テストプログラムＴＰに基づいてＤＵＴに対して試験信号を入出力し、ＤＵＴの試験を行う。また、テスト実行部１５は、試験の結果得られたテストデータＴＤを演算制御部１４へ出力する。
【０００７】
このような半導体試験システムの動作を説明する。
半導体試験装置２０のユーザは、試験を行うＤＵＴの品種を指定する。ユーザと半導体試験装置２０とのインターフェースは、キーボードやマウス等の入力部（図示せず）とディスプレイ等の表示部（図示せず）から構成される。半導体試験装置２０の演算制御部１４は、指定された品種情報を出力部１２を介して量産サーバ１０へ送信する。送信された品種情報は、量産サーバ１０の受信部４で受信され、演算制御部２へ入力される。
【０００８】
量産サーバ１０の演算制御部２は、半導体試験装置２０からの品種情報を受け、この品種のテストプログラムＴＰを記憶部１から読み出して出力する。テストプログラムＴＰは、出力部３を介して半導体試験装置２０へ送信され、半導体試験装置２０の受信部１１で受信される。半導体試験装置２０の演算制御部１４は、受信部１１で受信したテストプログラムＴＰを一時的に記憶部１３に書き込む。
【０００９】
演算制御部１４は、記憶部１３からテストプログラムＴＰを読み出し、テスト実行部１５へロードする。テスト実行部１５へのロードが完了すると、ユーザが半導体試験装置２０へ試験開始を指示する。テスト実行部１５は、試験開始の指示を受けて試験を開始し、ＤＵＴの試験で得られた測定結果や良否判定結果をテストデータＴＤとして演算制御部１４へ出力する。演算制御部１４は、テスト実行部１５からのテストデータＴＤを記憶部１３へ書き込む。
【００１０】
その後、全てのＤＵＴの試験が終了すると、必要に応じて、ユーザはテストデータＴＤを量産サーバ１０へ送信するように半導体試験装置２０へ指示する。演算制御部１４は、この指示に応じて、記憶部１３からテストデータＴＤを読み出し、送信部１２へ出力する。送信部１２は、テストデータＴＤを量産サーバ１０へ送信する。量産サーバ１０の演算制御部２は、受信部４で受信したテストデータＴＤを記憶部１へ書き込む。
【００１１】
特許文献１には、被試験対象、例えば、ＩＣ、ＬＳＩ等を試験するテストシステムに関し、効率良く運用が行えるテストシステムが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００１−１０８７２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
現在、多くの半導体試験装置は、ＵＮＩＸ（登録商標）等の一般的なＯＳ（Operating System）上にシステムを構築しており、テストプログラムＴＰやテストデータＴＤのファイルの管理もそのＯＳ上のファイルシステムを利用する。このため、これらのファイルの参照権限は、必然的にこのファイルシステム管理の運用に依存する。例えば、ＵＮＩＸ系ＯＳ等では、通常、これらのファイルの所有ユーザ、または、特権ユーザならば、これらのファイルを参照することが可能となってしまう。
【００１４】
同様に、図５に示す従来例では、前述のように、半導体試験装置２０の記憶部１３に記憶されているテストプログラムＴＰやテストデータＴＤを不特定多数の人が参照することができてしまうので、テストプログラムＴＰやテストデータＴＤの機密性が保持できないという問題があった。
【００１５】
そこで本発明の目的は、テストプログラムＴＰやテストデータＴＤの機密性を保持することが可能な半導体試験システムを実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
請求項１記載の発明は、
テストプログラムに基づいて被試験対象デバイスの試験を行い、試験で得られたテストデータを管理する半導体試験システムにおいて、
暗号化された前記テストプログラムである暗号化テストプログラムをパスワードを用いて復号化し、復号化された前記テストプログラムに基づいて被試験対象デバイスの試験を行い、試験で得られた前記テストデータをパスワードを用いて暗号化して送信する半導体試験装置と、
パスワードを発行し、前記テストプログラムをパスワードを用いて暗号化して前記半導体試験装置に送信し、前記半導体試験装置から受信した暗号化された前記テストデータである暗号化テストデータをパスワードを用いて復号化する量産サーバと
を備えたことを特徴とするものである。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、
前記半導体試験装置は、
前記量産サーバから受信した前記暗号化テストプログラムと前記暗号化テストデータとを記憶する第１の記憶部と、
前記量産サーバにパスワードの発行を要求し、前記暗号化テストプログラムをパスワードを用いて復号化し、試験で得られた前記テストデータをパスワードを用いて暗号化する第１の演算制御部と、
復号化された前記テストプログラムに基づいて被試験対象デバイスの試験を行うテスト実行部と
を有することを特徴とするものである。
請求項３記載の発明は、請求項１記載の発明において、
前記量産サーバは、
前記テストプログラムと前記テストデータとを記憶する第２の記憶部と、
前記半導体試験装置から受信した管理情報に基づいて、前記半導体試験装置の認証を行う認証部と、
この認証部で認証された前記半導体試験装置に対してパスワードを発行し、前記テストプログラムをパスワードを用いて暗号化し、前記半導体試験装置から受信した前記暗号化テストデータをパスワードを用いて復号化する第２の演算制御部と
を有することを特徴とするものである。
請求項４記載の発明は、請求項２記載の発明において、
前記第１の演算制御部は、
前記量産サーバにパスワードの発行を要求し、前記量産サーバから受信した前記暗号化テストプログラムを前記第１の記憶部に記憶させ、前記第１の記憶部に記憶されている前記暗号化テストデータを読み出す第１の制御手段と、
この第１の制御手段の指示に応じて前記第１の記憶部に記憶されている前記暗号化テストプログラムをパスワードを用いて復号化し、前記テスト実行部に送信する第１の復号化手段と、
試験で得られた前記テストデータをパスワードを用いて暗号化し、暗号化した前記テストデータを前記第１の記憶部に記憶させる第１の暗号化手段と
を有することを特徴とするものである。
請求項５記載の発明は、請求項３記載の発明において、
前記第２の演算制御部は、
パスワードを発行するパスワード発行手段と、
前記半導体試験装置からのパスワードの発行要求、前記暗号化テストプログラムの送信要求、または、前記暗号化テストデータの受信要求に応じて前記パスワード発行手段に指示を出す第２の制御手段と、
前記パスワード発行手段が発行したパスワードを用いて前記第２の記憶部に記憶されている前記テストプログラムを暗号化して出力する第２の暗号化手段と、
前記パスワード発行手段が発行したパスワードを用いて前記半導体試験装置から受信した前記暗号化テストデータを復号化して出力する第２の復号化手段と
を有することを特徴とするものである。
請求項６記載の発明は、
テストプログラムに基づいて被試験対象デバイスの試験を行い、試験で得られたテストデータを管理する半導体試験システムにおいて、
暗号化された前記テストプログラムである暗号化テストプログラムをパスワードを用いて復号化し、復号化された前記テストプログラムに基づいて被試験対象デバイスの試験を行い、試験で得られた前記テストデータをパスワードを用いて暗号化して送信する半導体試験装置と、
前記テストプログラムをパスワードを用いて暗号化して前記半導体試験装置に送信し、前記半導体試験装置から受信した暗号化された前記テストデータである暗号化テストデータをパスワードを用いて復号化する量産サーバと、
前記半導体試験装置および前記量産サーバから受信した管理情報に基づいて、前記半導体試験装置および前記量産サーバの認証を行い、認証された前記半導体試験装置および前記量産サーバに対してパスワードを発行する管理サーバと
を備えたことを特徴とするものである。
請求項７記載の発明は、請求項６記載の発明において、
前記半導体試験装置は、
前記量産サーバから受信した前記暗号化テストプログラムと前記暗号化テストデータとを記憶する第１の記憶部と、
前記管理サーバにパスワードの発行を要求し、前記暗号化テストプログラムをパスワードを用いて復号化し、試験で得られた前記テストデータをパスワードを用いて暗号化する第１の演算制御部と、
復号化された前記テストプログラムに基づいて被試験対象デバイスの試験を行うテスト実行部と
を有することを特徴とするものである。
請求項８記載の発明は、請求項６記載の発明において、
前記量産サーバは、
前記テストプログラムと前記テストデータとを記憶する第２の記憶部と、
前記テストプログラムをパスワードを用いて暗号化し、前記半導体試験装置から受信した前記暗号化テストデータをパスワードを用いて復号化する第２の演算制御部と
を有することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、以下のような効果がある。
請求項１によれば、テストプログラムに基づいて被試験対象デバイスの試験を行い、試験で得られたテストデータを管理する半導体試験システムにおいて、暗号化されたテストプログラムである暗号化テストプログラムをパスワードを用いて復号化し、復号化されたテストプログラムに基づいて被試験対象デバイスの試験を行い、試験で得られたテストデータをパスワードを用いて暗号化して送信する半導体試験装置と、パスワードを発行し、テストプログラムをパスワードを用いて暗号化して半導体試験装置に送信し、半導体試験装置から受信した暗号化されたテストデータである暗号化テストデータをパスワードを用いて復号化する量産サーバとを備えたことにより、テストプログラムＴＰやテストデータＴＤを不特定多数の人が参照することができないので、テストプログラムやテストデータの機密性を保持することができる。
請求項６によれば、テストプログラムに基づいて被試験対象デバイスの試験を行い、試験で得られたテストデータを管理する半導体試験システムにおいて、暗号化されたテストプログラムである暗号化テストプログラムをパスワードを用いて復号化し、復号化されたテストプログラムに基づいて被試験対象デバイスの試験を行い、試験で得られたテストデータをパスワードを用いて暗号化して送信する半導体試験装置と、テストプログラムをパスワードを用いて暗号化して半導体試験装置に送信し、半導体試験装置から受信した暗号化されたテストデータである暗号化テストデータをパスワードを用いて復号化する量産サーバと、半導体試験装置および量産サーバから受信した管理情報に基づいて、半導体試験装置および量産サーバの認証を行い、認証された半導体試験装置および量産サーバに対してパスワードを発行する管理サーバとを備えたことにより、テストプログラムＴＰやテストデータＴＤを不特定多数の人が参照することができないので、テストプログラムやテストデータの機密性を保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の半導体試験システムの第１の実施例を示した構成図である。
【図２】量産サーバの演算制御部の一実施例を示した構成図である。
【図３】半導体試験装置の演算制御部の一実施例を示した構成図である。
【図４】本発明の半導体試験システムの第２の実施例を示した構成図である。
【図５】従来の半導体試験システムの一例を示した構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。
［第１の実施例］
図１は、本発明の半導体試験システムの第１の実施例を示した構成図である。ここで、図５と同一のものは同一符号を付し、説明を省略する。図１において、図５に示す構成と異なる点は、演算制御部２の代わりに演算制御部５が設けられている点、認証部６が新たに設けられている点、演算制御部１４の代わりに演算制御部１６が設けられている点である。
【００２０】
図１において、量産サーバ３０は、記憶部１、送信部３、受信部４、演算制御部５および認証部６を有している。また、半導体試験装置４０は、受信部１１、送信部１２、記憶部１３、テスト実行部１５および演算制御部１６を有している。
【００２１】
量産サーバ３０は、パソコンやＥＷＳ等であり、ネットワークで半導体試験装置４０と相互に接続される。演算制御部５は、ＣＰＵやメモリ等から構成され、半導体試験装置４０からの指示に応じて、パスワードを発行し、テストプログラムＴＰをパスワードを用いて暗号化する。また、半導体試験装置４０から受信した暗号化されたテストデータ（暗号化テストデータ）ＥＴＤをパスワードを用いて復号化する。認証部６は、半導体試験装置４０から受信した品種やロット番号等の管理情報に基づいて、半導体試験装置４０の認証を行う。
【００２２】
演算制御部１６は、量産サーバ３０にパスワードの発行を要求し、暗号化されたテストプログラム（暗号化テストプログラム）ＥＴＰをパスワードを用いて復号化し、試験で得られたテストデータＴＤをパスワードを用いて暗号化する。
【００２３】
このような半導体試験システムの動作を図２および図３を用いて説明する。
図２は、量産サーバ３０の演算制御部５の一実施例を示した構成図である。図３は、半導体試験装置４０の演算制御部１６の一実施例を示した構成図である。
【００２４】
図２において、演算制御部５は、制御手段３１、パスワード発行手段３２、暗号化手段３３および復号化手段３４を有している。制御手段３１は、半導体試験装置４０からのパスワードの発行要求、暗号化テストプログラムＥＴＰの送信要求、または、暗号化テストデータＥＴＤの受信要求に応じて指示を出す。パスワード発行手段３２は、パスワードを発行する。暗号化手段３３は、パスワード発行手段３２が発行したパスワードを用いて記憶部１に記憶されているテストプログラムＴＰを暗号化して出力する。復号化手段３４は、パスワード発行手段３２が発行したパスワードを用いて半導体試験装置４０から受信した暗号化テストデータＥＴＤを復号化して出力する。
【００２５】
図３において、演算制御部１６は、制御手段４１、暗号化手段４２および復号化手段４３を有している。制御手段４１は、量産サーバ３０にパスワードの発行を要求し、量産サーバ３０から受信した暗号化テストプログラムＥＴＰを記憶部１３に記憶させ、記憶部１３に記憶されている暗号化テストデータＥＴＤを読み出す。暗号化手段４２は、試験で得られたテストデータＴＤをパスワードを用いて暗号化し、暗号化したテストデータ（暗号化テストデータ）ＴＤを記憶部１３に記憶させる。復号化手段４３は、制御手段４１の指示に応じて記憶部１３に記憶されている暗号化テストプログラムＥＴＰをパスワードを用いて復号化し、テスト実行部１５に送信する。
【００２６】
図１に示す半導体試験システムの動作を説明する。半導体試験装置４０のユーザは、試験を行うＤＵＴの品種やロット番号等の管理情報を指定する。ユーザと半導体試験装置４０とのインターフェースは、キーボードやマウス等の入力部（図示せず）とディスプレイ等の表示部（図示せず）から構成される。半導体試験装置４０の演算制御部１６は、指定された管理情報、パスワードの発行要求および暗号化テストプログラムＥＴＰの送信要求を出力部１２を介して量産サーバ３０へ送信する。
【００２７】
量産サーバ３０の受信部４は、管理情報、パスワードの発行要求および暗号化テストプログラムの送信要求を受信する。受信部４は、管理情報、パスワードの発行要求および暗号化テストプログラムの送信要求を演算制御部５へ出力する。演算制御部５は、認証部６に管理情報を出力し、半導体試験装置４０からのアクセスの確認を指示する。
【００２８】
認証部６は、半導体試験装置４０からの要求が本物か否か、すなわち、要求してきた半導体試験装置４０がなりすまし等による不正なアクセスでないか否かを判断する。具体的には、認証部６は、自身が管理している品種やロット番号等の管理情報と、半導体試験装置４０から受信した管理情報とを比較して一致した場合に、その半導体試験装置４０からのアクセスは不正なものではないと判断する。
【００２９】
認証部６は、半導体試験装置４０の認証が完了すると、演算制御部５の制御手段３１へ通知する。制御手段３１は、認証部６から認証完了通知を受けると、パスワード発行手段３２に管理情報を出力してパスワード発行を指示すると共に暗号化手段３３にテストプログラムＴＰの暗号化を指示する。パスワード発行手段３２は、管理情報と現在時刻からワンタイムパスワードを発行し、このワンタイムパスワードを送信部３と暗号化手段３３へ出力する。送信部３は、このワンタイムパスワードを半導体試験装置４０へ送信する。
【００３０】
暗号化手段３３は、記憶部１からテストプログラムＴＰを読み出し、パスワード発行手段３２が発行したワンタイムパスワードを用いて暗号化する。暗号化手段３３は、暗号化したテストプログラム（暗号化テストプログラム）ＥＴＰを送信部３へ出力し、送信部３は、暗号化テストプログラムＥＴＰを半導体試験装置４０へ送信する。半導体試験装置４０の演算制御部１６は、受信部１１で受信した暗号化テストプログラムＥＴＰを一時的に記憶部１３に書き込む。
【００３１】
ユーザから半導体試験装置４０にＤＵＴのテストプログラムのロード実行の指示が入力されると、演算制御部１６の制御手段４１は、復号化手段４３へ量産サーバ３０から受信したワンタイムパスワードを出力し、暗号化テストプログラムＥＴＰの復号化を指示する。復号化手段４３は、記憶部１３から暗号化テストプログラムＥＴＰを読み出し、ワンタイムパスワードを用いて復号化する。復号化手段４３は、復号化されたテストプログラムＴＰをテスト実行部１５へロードする。
【００３２】
テスト実行部１５へのロードが完了すると、ユーザが半導体試験装置４０へ試験開始を指示する。テスト実行部１５は、試験開始の指示を受けて試験を開始し、演算制御部１６へパスワードの発行を要求する。演算制御部１６の制御手段４１は、品種やロット番号等の管理情報およびパスワードの発行要求を送信部１２へ出力し、送信部１２は、管理情報およびパスワードの発行要求を量産サーバ３０へ送信する。
【００３３】
量産サーバ３０の受信部４を介して管理情報およびパスワードの発行要求が、演算制御部５へ入力される。演算制御部５は、認証部６に管理情報を出力し、半導体試験装置４０からのアクセスの確認を指示する。認証部６は、上述のように、半導体試験装置４０の認証を行い、認証が完了すると、演算制御部５の制御手段３１へ通知する。
【００３４】
制御手段３１は、認証部６から認証完了通知を受けると、パスワード発行手段３２に管理情報を出力してパスワード発行を指示する。パスワード発行手段３２は、管理情報と現在時刻からワンタイムパスワードを発行し、このワンタイムパスワードとパスワードを発行した時刻を送信部３へ出力する。また、パスワード発行手段３２は、ワンタイムパスワードを暗号化手段３３へ出力する。送信部３は、このワンタイムパスワードとパスワード発行時刻を半導体試験装置４０へ送信する。
【００３５】
一方、半導体試験装置４０のテスト実行部１５は、ＤＵＴの試験で得られた測定結果や良否判定結果をテストデータＴＤとして演算制御部１６へ出力する。演算制御部１６の制御手段４１は、暗号化手段４２へ受信部１１を介して入力された量産サーバ３０からのワンタイムパスワードとパスワード発行時刻を出力し、テストデータＴＤの暗号化を指示する。
【００３６】
暗号化手段４２は、ワンタイムパスワードを用いてテストデータＴＤを暗号化し、暗号化したテストデータ（暗号化テストデータ）ＥＴＤとパスワード発行時刻を一時的に記憶部１３に書き込む。その後、全てのＤＵＴの試験が終了すると、必要に応じて、ユーザは暗号化テストデータＥＴＤを量産サーバ３０へ送信するように半導体試験装置４０へ指示する。
【００３７】
演算制御部１６は、この指示に応じて、記憶部１３から暗号化テストデータＥＴＤとパスワード発行時刻を読み出し、この暗号化テストデータＥＴＤの管理情報（品種やロット番号）と共に送信部１２へ出力する。送信部１２は、暗号化テストデータＥＴＤ、パスワード発行時刻および管理情報を含む暗号化テストデータＥＴＤの受信要求を量産サーバ３０へ送信する。
【００３８】
量産サーバ３０の受信部４は、暗号化テストデータＥＴＤ、パスワード発行時刻および管理情報を受信する。受信部４は、暗号化テストデータＥＴＤ、パスワード発行時刻および管理情報を演算制御部５へ出力する。演算制御部５は、認証部６に管理情報を出力し、半導体試験装置４０からのアクセスの確認を指示する。認証部６は、上述のように、半導体試験装置４０の認証を行い、認証が完了すると、演算制御部５の制御手段３１へ通知する。
【００３９】
制御手段３１は、認証部６から認証完了通知を受けると、パスワード発行手段３２に管理情報およびパスワード発行時刻を出力する。パスワード発行手段３２は、管理情報パスワード発行時刻を用いてワンタイムパスワードを発行し、このワンタイムパスワードを復号化手段３４へ出力する。この時に発行されるワンタイムパスワードは、暗号化手段４２がテストデータＴＤを暗号化した時に使用したワンタイムパスワードと同じものが発行される。
【００４０】
復号化手段３４は、ワンタイムパスワードを用いて暗号化テストデータＥＴＤを復号化し、複合化したテストデータＴＤを記憶部１に書き込む。なお、量産サーバ３０の記憶部１に記憶されているテストプログラムＴＰおよびテストデータＴＤは、権限を与えられた特定の人のみが参照できるようになっている。
【００４１】
このように、量産サーバ３０がテストプログラムＴＰを暗号化して半導体試験装置４０へ送信し、半導体試験装置４０が試験開始前のテストプログラムロード時に暗号化テストプログラムＥＴＰを復号化してＤＵＴの試験を行う。そして、半導体試験装置４０がＤＵＴの試験で得られたテストデータＴＤを暗号化して量産サーバ３０へ送信し、量産サーバ３０が暗号化テストデータＥＴＤを復号化して記憶部１に書き込むことにより、テストプログラムＴＰやテストデータＴＤを不特定多数の人が参照することができないので、テストプログラムやテストデータの機密性を保持することができる。
【００４２】
［第２の実施例］
図４は、本発明の半導体試験システムの第２の実施例を示した構成図である。ここで、図１と同一のものは同一符号を付し、説明を省略する。図４において、図１に示す構成と異なる点は、量産サーバ３０の演算制御部５のパスワード発行手段３２と認証部６が管理サーバ６０に移っている点である。
【００４３】
図４において、量産サーバ５０は、記憶部１、送信部３、受信部４および演算制御部７を有している。量産サーバ５０は、パソコンやＥＷＳ等であり、ネットワークで半導体試験装置４０と相互に接続される。演算制御部７は、ＣＰＵやメモリ等から構成され、テストプログラムＴＰをパスワードを用いて暗号化する。また、半導体試験装置４０から受信した暗号化テストデータＥＴＤをパスワードを用いて復号化する。
【００４４】
管理サーバ６０は、半導体試験装置４０および量産サーバ５０と相互に接続され、半導体試験装置４０および量産サーバ５０から受信した管理情報に基づいて、半導体試験装置４０および量産サーバ５０の認証を行い、認証された半導体試験装置４０および量産サーバ５０に対してパスワードを発行する。
【００４５】
このような半導体試験システムの動作を説明する。
半導体試験装置４０のユーザは、試験を行うＤＵＴの品種やロット番号等の管理情報を指定する。ユーザと半導体試験装置４０とのインターフェースは、キーボードやマウス等の入力部（図示せず）とディスプレイ等の表示部（図示せず）から構成される。半導体試験装置４０の演算制御部１６は、指定された管理情報およびパスワードの発行要求を送信部１２を介して管理サーバ６０へ送信する。また、演算制御部１６は、暗号化テストプログラムＥＴＰの送信要求を送信部１２を介して量産サーバ５０へ送信する。
【００４６】
管理サーバ６０は、受信した管理情報に基づいて、半導体試験装置４０からの要求が本物か否か、すなわち、要求してきた半導体試験装置４０がなりすまし等による不正なアクセスでないか否かを判断する。具体的には、管理サーバ６０は、自身が管理している品種やロット番号等の管理情報と、半導体試験装置４０から受信した管理情報とを比較して一致した場合に、その半導体試験装置４０からのアクセスは不正なものではないと判断する。
【００４７】
管理サーバ６０は、半導体試験装置４０の認証が完了すると、管理情報と現在時刻からワンタイムパスワードを発行し、半導体試験装置４０および量産サーバ５０へそれぞれ送信する。量産サーバ５０の受信部は、管理サーバ６０からのワンタイムパスワードを受信し、演算制御部７へ出力する。
【００４８】
演算制御部７は、記憶部１からテストプログラムＴＰを読み出し、管理サーバ６０が発行したワンタイムパスワードを用いて暗号化する。演算制御部７は、暗号化テストプログラムＥＴＰを送信部３へ出力し、送信部３は、暗号化テストプログラムＥＴＰを半導体試験装置４０へ送信する。半導体試験装置４０の演算制御部１６は、受信部１１で受信した暗号化テストプログラムＥＴＰを一時的に記憶部１３に書き込む。
【００４９】
ユーザから半導体試験装置４０にＤＵＴのテストプログラムのロード実行の指示が入力されると、演算制御部１６は、記憶部１３から暗号化テストプログラムＥＴＰを読み出し、管理サーバ６０が発行したワンタイムパスワードを用いて復号化する。そして、演算制御部１６は、復号化されたテストプログラムＴＰをテスト実行部１５へロードする。
【００５０】
テスト実行部１５へのロードが完了すると、ユーザが半導体試験装置４０へ試験開始を指示する。テスト実行部１５は、試験開始の指示を受けて試験を開始し、演算制御部１６へパスワードの発行を要求する。演算制御部１６は、品種やロット番号等の管理情報およびパスワードの発行要求を送信部１２へ出力し、送信部１２は、管理情報およびパスワードの発行要求を管理サーバ６０へ送信する。
【００５１】
管理サーバ６０は、上述のように、半導体試験装置４０の認証を行い、認証が完了すると、管理情報と現在時刻からワンタイムパスワードを発行し、このワンタイムパスワードとパスワードを発行した時刻を半導体試験装置４０へ送信する。
【００５２】
一方、半導体試験装置４０のテスト実行部１５は、ＤＵＴの試験で得られた測定結果や良否判定結果をテストデータＴＤとして演算制御部１６へ出力する。演算制御部１６は、ワンタイムパスワードを用いてテストデータＴＤを暗号化し、暗号化テストデータＥＴＤとパスワード発行時刻を一時的に記憶部１３に書き込む。その後、全てのＤＵＴの試験が終了すると、必要に応じて、ユーザは暗号化テストデータＥＴＤを量産サーバ５０へ送信するように半導体試験装置４０へ指示する。
【００５３】
演算制御部１６は、この指示に応じて、記憶部１３から暗号化テストデータＥＴＤとパスワード発行時刻を読み出し、この暗号化テストデータＥＴＤの管理情報（品種やロット番号）と共に送信部１２へ出力する。送信部１２は、暗号化テストデータＥＴＤ、パスワード発行時刻および管理情報を含む暗号化テストデータＥＴＤの受信要求を量産サーバ５０へ送信する。
【００５４】
量産サーバ５０の受信部４は、暗号化テストデータＥＴＤ、パスワード発行時刻および管理情報を受信する。受信部４は、暗号化テストデータＥＴＤ、パスワード発行時刻および管理情報を演算制御部７へ出力する。演算制御部７は、パスワードの発行要求、パスワード発行時刻および管理情報を送信部３へ出力し、送信部３は、パスワードの発行要求、パスワード発行時刻および管理情報を管理サーバ６０へ送信する。
【００５５】
管理サーバ６０は、量産サーバ５０から受信したパスワード発行時刻および管理情報に基づいて量産サーバ５０の認証を行い、認証が完了すると、パスワード発行時刻および管理情報からワンタイムパスワードを発行し、量産サーバ５０へ送信する。この時に発行されるワンタイムパスワードは、演算制御部１６がテストデータＴＤを暗号化した時に使用したワンタイムパスワードと同じものが発行される。
【００５６】
演算制御部７は、受信部４を介して受信されたワンタイムパスワードを用いて暗号化テストデータＥＴＤを復号化し、複合化したテストデータＴＤを記憶部１に書き込む。なお、量産サーバ５０の記憶部１に記憶されているテストプログラムＴＰおよびテストデータＴＤは、権限を与えられた特定の人のみが参照できるようになっている。
【００５７】
このように、量産サーバ５０がテストプログラムＴＰを暗号化して半導体試験装置４０へ送信し、半導体試験装置４０が試験開始前のテストプログラムロード時に暗号化テストプログラムＥＴＰを復号化してＤＵＴの試験を行う。そして、半導体試験装置４０がＤＵＴの試験で得られたテストデータＴＤを暗号化して量産サーバ５０へ送信し、量産サーバ５０が暗号化テストデータＥＴＤを復号化して記憶部１に書き込むことにより、テストプログラムＴＰやテストデータＴＤを不特定多数の人が参照することができないので、テストプログラムやテストデータの機密性を保持することができる。
【符号の説明】
【００５８】
１，１３  記憶部
５，７，１６  演算制御部
６  認証部
１５  テスト実行部
３０，５０  量産サーバ
３１，４１  制御手段
３２  パスワード発行手段
３３，４２  暗号化手段
３４，４３  復号化手段
４０  半導体試験装置
６０  管理サーバ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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