(57)【要約】【課題】構造が簡単で駆動効率が良好な電アクチュエータとその固定子の提供。【解決手段】平面型の移動子と平面型の固定子とが面平行に近接対置し前記固定子の電極線に印加した電圧と前記移動子に帯電した電荷との間で作用する電気力によって前記移動子を前記固定子に対して相対的に移動する静電アクチュエータであって、  前記電極線は第１波形の電圧を印加する複数の第１電極線と第２波形の電圧を印加する複数の第２電極線からなり、前記第１電極線と前記第２電極線は互いに平行で互い違いとなるように固定子の面に配列し、前記第１電極線と前記第２電極線の配列間隔は１単位間隔と３単位間隔の繰り返しであるようにした静電アクチュエータとその固定子。【選択図】  図１
2011188630.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面型の移動子と平面型の固定子とが面平行に近接対置し前記固定子の電極線に印加した電圧と前記移動子に帯電した電荷との間で作用する電気力によって前記移動子が前記固定子に対して相対的に移動する静電アクチュエータであって、
前記電極線は第１波形の電圧を印加する複数の第１電極線と第２波形の電圧を印加する複数の第２電極線からなり、前記第１電極線と前記第２電極線は互いに平行で交互に固定子の面に配列し、前記第１電極線と前記第２電極線の配列間隔は１単位間隔と３単位間隔の繰り返しであることを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の静電アクチュエータにおいて、前記第１波形の電圧と前記第２波形の電圧は同一形状同一周期の波形であって位相が４分の１周期だけずれていることを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１または２に記載の静電アクチュエータにおいて、前記波形は矩形波であってそのデューティー比が０．５であることを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項４】
平面型の移動子と平面型の固定子とが面平行に近接対置し前記固定子の電極線に所定波形の電圧を印加することによって前記移動子が前記固定子に対して相対的に移動する静電アクチュエータの固定子であって、前記電極線は第１波形の電圧を印加する複数の第１電極線と第２波形の電圧を印加する複数の第２電極線からなり、前記第１電極線と前記第２電極線は互いに平行で交互に固定子の面に配列し、前記第１電極線と前記第２電極線の配列間隔は１単位間隔と３単位間隔の繰り返しであることを特徴とする静電アクチュエータの固定子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は静電アクチュエータの技術分野に属する。特に、構造が簡単で駆動効率が良好な静電アクチュエータとその固定子に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の静電アクチュエータに適用する駆動方式としては３相交流駆動方式が一般的に良く知られている。完全な進行波を得ることのできる最小の相数が３相であること、最小の相数であるため電源装置等を簡素化することができ効率的であること、また商用電源として広く供給されていること、等が３相交流駆動方式が適用される理由となっている。しかしながら、３相交流駆動方式よりも簡素な２相交流駆動方式を適用する提案もある。２相交流駆動方式はそのままでは不完全な進行波しか得られない。しかし、固定子の配線パターンは３相交流駆動方式では電極線の干渉を避けるためにスルーホール、多層絶縁配線、等を必要としたが、２相交流駆動方式では片面配線パターンで済ますことができる。したがって、高い生産効率と低い材料コストで良導電性の電極線の配線パターンを有する固定子を製造することができる。また、静電アクチュエータを駆動するための電源装置等も簡素化することができる。これらのことが２相交流駆動方式の適用が提案される理由となっている。
たとえば、Ａ相とＢ相とＣ相の３相交流駆動方式の静電アクチュエータにおいてＡ相とＢ相にだけ電力を供給し、Ｃ相を接地する発明が公知である（特許文献１）。この発明によれば、駆動装置は電圧１相分の制御が少なくなった分制御が簡単になるとともに、その分だけスイッチ素子等を少なくできる。また、３相交流ではＡ相とＢ相の位相は１２０度ずれているがＡ相とＢ相の位相のずれを９０度を含む任意とした２相駆動静電アクチュエータが公知である（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−３２２６４６
【特許文献２】特開２００９−２８４５７４
【０００４】
しかしながら、従来の２相交流駆動方式における静電アクチュエータの固定子の配線パターンは３相交流駆動方式の配線パターンを流用しており、等間隔で平行に配列するＡ相電極線とＢ相電極線とＣ相電極線の内からＣ相電極線には駆動電圧を印加しない（特許文献１）か、Ｃ相電極線を省略する（特許文献２）という構成となっている。すなわち、従来の配線パターンは３相交流の配線パターンにおけるＡ相電極線とＢ相電極線を駆動電圧を印加する電極線として使用する構成の配線パターンとなっている。
そのため、駆動力が弱いという問題がある。さらに、駆動中に不必要な帯電が発生し駆動効率が低下する等の不安定な動作となることがあるという問題がある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は上記の問題を解決するために成されたものである。その目的は、構造が簡単で駆動効率が良好な静電アクチュエータとその固定子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の請求項１に係る静電アクチュエータは、平面型の移動子と平面型の固定子とが面平行に近接対置し前記固定子の電極線に印加した電圧と前記移動子に帯電した電荷との間で作用する電気力によって前記移動子が前記固定子に対して相対的に移動する静電アクチュエータであって、前記電極線は第１波形の電圧を印加する複数の第１電極線と第２波形の電圧を印加する複数の第２電極線からなり、前記第１電極線と前記第２電極線は互いに平行で交互に固定子の面に配列し、前記第１電極線と前記第２電極線の配列間隔は１単位間隔と３単位間隔の繰り返しであるようにしたものである。
また本発明の請求項２に係る静電アクチュエータは、請求項１に係る静電アクチュエータにおいて、前記第１波形の電圧と前記第２波形の電圧は周期が同一で位相が４分の１周期だけずれているようにしたものである。
また本発明の請求項３に係る静電アクチュエータは、請求項１または２に係る静電アクチュエータにおいて、前記波形は矩形波であってそのデューティー比が０．５であるようにしたものである。
また本発明の請求項４に係る静電アクチュエータの固定子は、平面型の移動子と平面型の固定子とが面平行に近接対置し前記固定子の電極線に所定波形の電圧を印加することによって前記移動子を前記固定子に対して相対的に移動する静電アクチュエータの固定子であって、前記電極線は第１波形の電圧を印加する複数の第１電極線と第２波形の電圧を印加する複数の第２電極線からなり、前記第１電極線と前記第２電極線は互いに平行で交互に固定子の面に配列し、前記第１電極線と前記第２電極線の配列間隔は１単位間隔と３単位間隔の繰り返しであるようにしたものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、第１電極線と第２電極線の配列間隔を１単位間隔と３単位間隔の繰り返しとしたから、構造が簡単で駆動効率が良好な静電アクチュエータとその固定子が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の静電アクチュエータにおける固定子（駆動シート）の配線パターンを示す図である。
【図２】本発明の静電アクチュエータにおける電源部の構成をブロック図として示す図である。
【図３】本発明の静電アクチュエータにおける構成の一例を斜視図として示す図である。
【図４】本発明の静電アクチュエータにおける電極線に印加する電圧の波形の一例を示す図である。
【図５】本発明の静電アクチュエータにおける移動子（移動シート）に電荷を帯電する過程を説明図として示す図である。
【図６】本発明の静電アクチュエータにおける移動子（移動シート）を移動する最初の過程を説明図として示す図である。
【図７】本発明の静電アクチュエータにおける移動子（移動シート）を移動する第２の過程を説明図として示す図である。
【図８】本発明の静電アクチュエータにおける移動子（移動シート）を移動する第３の過程を説明図として示す図である。
【図９】本発明の静電アクチュエータにおける移動子（移動シート）を移動する第４の過程を説明図として示す図である。
【図１０】本発明の静電アクチュエータにおける移動子（移動シート）を移動する第５の過程を説明図として示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
次に、本発明の実施の形態について図を参照しながら説明する。本発明の静電アクチュエータにおける固定子すなわち駆動シートの配線パターンを図１に示す。図１において、１００は駆動シート、２００は移動シート、１ａ，１ｂ，・・・は第１電極線、２ａ，２ｂ，・・・は第２電極線、３は第１結合線、４は第２結合線、５は第１リード線、６は第２リード線である。
駆動シート１００は平面型の固定子の一例である。一般的には、平面型の固定子はフィルム、シート、板、等の形状の固定子を意味しているが、本発明においては、平面型の移動子（移動シート）と対向する平面を有していればどのような形状であっても平面型の固定子である。駆動シート１００は、移動シート２００を駆動シート１００に対して相対的に移動する駆動力を発生するシートである。駆動シート１００には、移動シート２００との対向面に沿う方向に複数本の電極線が互いに平行となるように配列している。それらに印加した電圧と移動シート２００に帯電した電荷との間で作用する静電力によってその駆動力が発生する。その駆動力は駆動シート１００の電極線の延長方向に対して直交する方向の駆動力であって、その方向に移動シート２００は移動する。
【００１０】
図１に示すように、駆動シート１００に配列する複数本の電極線は第１電極線１ａ，１ｂ，・・・と第２電極線２ａ，２ｂ，・・・の２系統が存在する。第１電極線１ａ，１ｂ，・・・と第２電極線２ａ，２ｂ，・・・は互いに平行で交互に駆動シートの面（基材面）に配列する。そして、第１電極線１ａと第２電極線２ａの間隔（配列ピッチ）を１単位間隔とすると、第２電極線２ａと第１電極線１ｂとの間隔（配列ピッチ）は３単位間隔となっている。すなわち、図１に示すように、第１電極線１ａ，１ｂ，・・・と第２電極線２ａ，２ｂ，・・・の配列間隔は１単位間隔と３単位間隔の繰り返しとなっている。個々の電極線について言い換えると、第１電極線１ａと第２電極線２ａの間隔を１単位間隔とすると、第２電極線２ａと第１電極線１ｂの間隔は１単位間隔の３倍すなわち３単位間隔となる。同様に、第１電極線１ｂと第２電極線２ｂの間隔は１単位間隔、第２電極線２ｂと第１電極線１ｃの間隔は３単位間隔、第１電極線１ｃと第２電極線２ｃの間隔は１単位間隔、第２電極線２ｃと第１電極線１ｄの間隔は３単位間隔、第１電極線１ｄと第２電極線２ｄの間隔は１単位間隔、第２電極線２ｄと第１電極線１ｅの間隔は３単位間隔、第１電極線１ｅと第２電極線２ｅの間隔は１単位間隔となる。なお、第１電極線１ａ，１ｂ，・・・と第２電極線２ａ，２ｂ，・・・は所定の電極幅（線幅）を有するが、間隔（配列ピッチ）は、その電極幅の中央を基準とする間隔である。すなわち電極線の中心線からその電極線に隣接する電極線の中心線までの距離が間隔（配列ピッチ）である。
【００１１】
図１に示すように、第１電極線１ａ，１ｂ，・・・の各々は駆動シート１００の内部において第１結合線３によって電気的に接続されている。第１結合線３は電気的に接続する第１リード線５によって駆動シート１００の外部へ導かれる。第１電極線１ａ，１ｂ，・・・には第１リード線５と第１結合線３を通じて第１波形（詳細を後述する）の電圧が印加される。
また、第２電極線２ａ，２ｂ，・・・の各々は駆動シート１００の内部において第２結合線４によって電気的に接続されている。第２結合線４は電気的に接続する第２リード線６によってシート１００の外部へ導かれる。第２電極線２ａ，２ｂ，・・・には第２リード線６と第２結合線４を通じて第２波形（詳細を後述する）の電圧が印加される。
【００１２】
移動シート２００は平面型の移動子の一例である。一般的には、平面型の移動子はフィルム、シート、板、等の形状の移動子を意味しているが、本発明においては、平面型の固定子と対向する平面を有していればどのような形状であっても平面型の移動子である。移動シート２００は駆動シート１００の表面にその表面が対向するように配置する。図１においては、移動シート２００は透明または半透明なシートとして描かれており、移動シート２００を透過して駆動シート１００が示されている。
移動シート２００は駆動シート１００との対向面に駆動シート１００の電極線に印加された電圧に応じた電荷が誘起される。そして、その誘起された電荷と駆動シート１００の電極線に印加された電圧との間に静電力が発生し、その発生した静電力によって駆動シート１００に対して相対的な移動を行う。
【００１３】
このように、移動シート２００には電極電位に応じた電荷が誘起される必要性がある。したがって、移動シート２００は一般的には絶縁材料（誘電体）であり、たとえば、ポリエステルフィルム、ポロプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリ塩化ビニール、ポリ塩化ビニリデンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリアミドフィルム、ポリイミドフィルム、等のプラスチックフィルムを使用することができる。また、そのような絶縁材料を駆動シート１００との対向面にラミネートした（貼り合せた）紙、等の複合材料を使用することができる。移動シート２００の表面は、表面抵抗率が約１０10〜１０14Ω□程度が好適である。表面抵抗率がこの範囲のときには移動シート２００の表面において微弱な電気が流れるため、駆動シート１００の電極線によって移動シート２００に誘起された電荷は、電極線における電圧の瞬間的な変化に対して遅れて追従することになる。このような表面物性は材料表面の処理に大きく影響されることがあるため、使用することができる材料は上記に限定されず、コーティング処理、表面処理、等で表面抵抗率を最適化してもよい。
【００１４】
本発明の静電アクチュエータにおける電源部の構成について説明する。本発明の静電アクチュエータにおける電源部の構成をブロック図として図２に示す。図２において、３００は電源部、３０１は本体、３０２はコントロールボックス、３０３はＡＣアダプターまたは電池である。また、本体３０１において、１１は自動切換回路／電圧変換回路、１２はＩ／Ｆ（インターフェイス）、１３〜１５は高圧２線ＳＷ（switching）回路である。
本体３０１は駆動シート１００の第１リード線５を通じて第１電極線１ａ，１ｂ，・・・に印加する第１波形の電圧と、駆動シート１００の第２リード線６を通じて第２電極線２ａ，２ｂ，・・・に印加する第２波形の電圧とを発生する電源部３００の部分である。本体３０１はＡＣアダプターまたは電池３０３から電力の供給を受けて動作する。ＡＣアダプターまたは電池３０３からの電力の供給は本体３０１の自動切換回路／電圧変換回路１１において行なわれる。電池自動切換回路／電圧変換回路１１は、ＡＣアダプターと電池との両方からの電力の供給が可能なときには、電池を回路から切り離して電池からの供給を遮断するとともにＡＣアダプターだけから電力の供給が行なわれるようにする。
【００１５】
本体３０１の動作をコントロールボックス３０２をオペレータが操作によって制御することができる。たとえば、移動シート２００の移動速度、移動方向、等を制御することができる。コントロールボックス３０２をオペレータが操作するとコントロールボックス３０２から操作信号が出力される。その操作信号は本体３０１のＩ／Ｆ１２を通じて本体３０１に入力される。入力された操作信号に基づいて本体３０１のＣＰＵ（central processor unit）が本体３０１の各部分（図２参照）の動作を決める信号を出力する。その信号にしたがって各部分が動作することによって第１波形の電圧と第２波形の電圧とが発生する。第１波形の電圧と第２波形の電圧は３つの高圧２線ＳＷ回路１３〜１５から出力される。高圧２線ＳＷ回路１３と高圧２線ＳＷ回路１４と高圧２線ＳＷ回路１５の各々は独立しており、各々が各々の第１波形の電圧と各々の第２波形の電圧とを発生する。すなわち、第１波形と第２波形は相違する波形として、また相互に同期した波形として発生させることができる。
【００１６】
このように、電源部３００は３系統の独立した高圧２線ＳＷ回路を有する構成となっているが、１つのＣＰＵによって制御されており、操作信号に基づいてそれらの高圧２線ＳＷ回路は協調した動作を行なう。図２に示す一例において、高圧２線ＳＷ回路１３はＸ駆動Ａと記載されている。これはＡ領域においてＸ方向に駆動する電圧出力を行なうことを意味している。同様に、高圧２線ＳＷ回路１４はＸ駆動Ｂと記載されておりＢ領域においてＸ方向に駆動する出力を行ない、高圧２線ＳＷ回路１５はＹ駆動と記載されておりＹ方向に駆動する出力を行なう。
【００１７】
そのような駆動を行なう静電アクチュエータの構成の一例について説明する。本発明の静電アクチュエータにおける構成の一例を斜視図として図３に示す。図３において、３１はＸ方向駆動シート、３２は移動シート、３３はＹ方向駆動シートである。図３においては、構成を判りやすくするために、各構成部分を分離した斜視図として示している。実際は、Ｘ方向駆動シート３１と移動シート３２とＹ方向駆動シート３３はその順番に重ね合わされた構成となっている。
Ｘ方向駆動シート３１は、図３に示すように、上側のＡ領域と下側のＢ領域とに分離しており、２つの独立した駆動シートであるＡ領域の駆動シートとＢ領域の駆動シートとを組み合わせた構成を有している。Ａ領域の駆動シートには電源部３００におけるＸ駆動Ａを接続し、Ｂ領域の駆動シートには電源部３００におけるＸ駆動Ｂを接続する。Ｘ方向駆動シート３１はＡ領域の駆動シートとＢ領域の駆動シートによって移動子シート３２が同方向（右方向または左方向）に同速度で移動する駆動を行なうことができ、そのときには移動シート３２はその方向へ直進移動する。また、移動シート３２がＡ領域とＢ領域に含まれる位置に存在し、Ａ領域の駆動シートとＢ領域の駆動シートの両方から駆動力を得ているときにおいて、Ａ領域の駆動シートとＢ領域の駆動シートによって移動シート３２が反対方向に移動するように駆動を行なうことができ、そのときには移動シート３２は回転する。
Ｙ方向駆動シート３３は、移動シート３２がＹ方向（上方向または下方向）に移動するように駆動を行なう駆動シートである。Ｙ方向駆動シート３３には電源部３００におけるＹ駆動を接続する。
【００１８】
Ｘ方向駆動シート３１によってＸ方向（右方向または左方向）への移動シート３２の移動が可能となり、このＹ方向駆動シート３３によってＹ方向（上方向または下方向）への移動シート３２の移動が可能となる。したがって、図３に示す静電アクチュエータにおいては、Ｘ方向駆動シート３１とＹ方向駆動シート３３の両方を色々な速度で駆動したときには、平面内における任意の方向に移動シート３２の移動が可能となる。また、Ｘ方向駆動シート３１によって移動シート３２の回転が可能であるから、平面内における任意の方向に移動シート３２を傾斜させることが可能となる。
そのように様々な移動シート３２の移動は前述したコントロールボックス３０２をオペレータが操作によって制御することができる。
【００１９】
以上、本発明の静電アクチュエータにおける構成の一例を説明した。次に、本発明の静電アクチュエータにおける動作、特に駆動に係わる動作ついて説明する。本発明の静電アクチュエータにおける駆動シート１００の電極線に印加する電圧の波形の一例を図４に示す。図４（Ａ）は駆動開始時すなわち最初の一周期の第１波形と第２波形を示し、図４（Ｂ）は最初の一周期が経過した後の第１波形と第２波形を示している。図４に示す波形の縦軸（Ｙ軸）は電圧軸であり、横軸（Ｘ軸）は時間軸である。
図４（Ａ）と図４（Ｂ）を比較すると明らかなように、最初の一周期の第１波形と第２波形は最初の半周期の長さが次の半周期の長さと比較して長くなっている。最初の半周期を長くする理由は、高い駆動力が得られるようにするためである。本発明の静電アクチュエータの駆動シート１００は図１に示すように１つの第１電極線とそれに近接する（１単位間隔を置く）１つの第２電極線を１つの組として見たときに、組と隣接する組との間隔が大きい。その間隔は１つの組を設けることができる間隔（３単位間隔）である。すなわち、電極線の間隔が密ではなく疎となっている。したがって、間隔を密にした電極線を有する駆動シートと比較すると間隔が疎である本発明の静電アクチュエータの駆動シートは特に駆動開始時の駆動力が小さい。したがって、最初の半周期の長さを長くすることによって、移動シート２００への電荷の帯電が十分に行なわれ大きな駆動力が得られるようにする。
なお、図４において、ａ１，ａ２，ａ３，ａ４，ａ５は第１波形と第２波形のいずれかが波形変化した直後の時刻であって、その時刻における移動シート２００の移動は僅少である。また、図４において、ｂ１，ｂ２，ｂ３，ｂ４，ｂ５は第１波形と第２波形のいずれかが波形変化した少し後の時刻であって、その時刻における移動シート２００の移動はほぼ終了している。図４において、ｂ０は第１波形と第２波形のいずれかが波形変化する直前の時刻であって、その時刻において移動シート２００への帯電が完了している。
【００２０】
図４（Ｂ）に示すように、第１波形の電圧と前記第２波形の電圧は同一形状同一周期の波形であって位相が４分の１周期だけずれている。このように位相を４分の１周期だけずらすことにより安定した強い駆動力を得ることができる。これは、移動シート２００の移動を一定の速度で行なうときに特に有効であって、図４（Ａ）に示し説明したように加速を行なうとき、あるいは方向転換を行なうとき、等との相違である。
また、図４（Ｂ）に示すように、第１波形の電圧と前記第２波形は矩形波であってそのデューティー比が０．５である。矩形波とすることにより第１波形と第２波形の生成と、それらの周期と位相の制御とを容易とすることができる。さらに、デューティー比を０．５とすることにより、移動シート２００は一定の速度で滑らかに移動することが可能となる。
【００２１】
移動シート２００への電荷の帯電について説明する。本発明の静電アクチュエータにおける移動子すなわち移動シート２００に電荷を帯電する過程を説明図として図５に示す。図５においては図が繁雑となることを避けるため駆動シート１００と移動シート２００そのものについては描画を省略している。また、図５における縦の寸法は横の寸法に対して拡大されており縦横は同一比率の寸法とはなっていない。図５において、矩形で囲って示したプラスマイナスの符号（「＋＋＋＋＋」または「−−−−−」）は駆動シート１００の第１電極線１ａ，１ｂ，・・・、第２電極線２ａ，２ｂ，・・・に印加された電圧が正であるか負であるかを示している。駆動シート１００の移動シート２００に対向する表面はその符号の位置または近い位置に存在する。また、図５において、矩形で囲わずに示したプラスマイナスの符号（「＋＋＋＋＋」または「−−−−−」）は移動シート２００の駆動シート１００に対向する表面が正に帯電しているか負に帯電しているかを示している。なお、後述する図６〜図１０についても同様に描画が行なわれている。
図５は図４に示す第１波形と第２波形のｂ０の時刻における状態を示している。図５に示すように、駆動シート１００の第１電極線１ｃ，１ｄには正の電圧が印加されており、第２電極線２ｃ，２ｄには負の電圧が印加されている。移動シート２００の第１電極線１ｃ，１ｄに対向する表面は負に帯電し、第２電極線２ｃ，２ｄに対向する表面は正に帯電している。この状態で移動シート２００と駆動シート１００の間には静電力として引力が作用しており、移動シート２００は静止している。
【００２２】
本発明の静電アクチュエータにおける移動子すなわち移動シート２００を移動する最初の過程を説明図として図６に示す。図６（Ａ）は図４に示す第１波形と第２波形のａ１の時刻における状態を示し、図６（Ｂ）は図４に示す第１波形と第２波形のｂ１の時刻における状態を示している。図６に示すように、駆動シート１００の第１電極線１ｃ，１ｄには正の電圧が印加されており、第２電極線２ｃ，２ｄにも正の電圧が印加されている。
図６（Ａ）においては、第１電極線１ｃに対向する移動シート２００の表面ｂは負に帯電したままであり、第２電極線２ｃに対向する移動シート２００の表面ａは正に帯電したままである。
この状態で移動シート２００には静電力の総和として図６（Ａ）に示す（→ｆ）が作用する。
第１電極線１ｃに対向する移動シート２００の表面ｂと第１電極線１ｃとの間には個々の静電力として図６（Ａ）に示す（→ｌ）が作用する。表面ｂと第２電極線２ｃとの間には個々の静電力として図６（Ａ）に示す（→ｍ）が作用する。第２電極線２ｃに対向する移動シート２００の表面ａと第１電極線１ｃとの間には個々の静電力として図６（Ａ）に示す（→ｎ）が作用する。表面ａと第２電極線２ｃとの間には個々の静電力として図６（Ａ）に示す（→ｏ）が作用する。
それら個々の静電力の総和として図６（Ａ）に示す（→ｆ）が作用する。すなわち（→ｆ）＝（→ｌ）＋（→ｍ）＋（→ｎ）＋（→ｏ）である。この静電力の方向は右側であり移動シート２００を右側に移動する力となる。
【００２３】
図６（Ｂ）には、その静電力（→ｆ）が作用することにより移動シート２００が右方向に移動を行った状態が示されている。
図６（Ｂ）においては、第１電極線１ｃに対向する移動シート２００の表面ｃは、帯電していない移動シート２００の表面ｃが移動してきており新たに負に帯電し始めている。第２電極線２ｃに対向する移動シート２００の表面ｂは、図６（Ａ）における第１電極線１ｃに対向する移動シート２００の表面ｂが移動してきており負に帯電したままである。第２電極線２ｃに１単位間隔右側に隣接する位置に対向する移動シート２００の表面ａは、図６（Ａ）における第２電極線２ｃに対向する移動シート２００の表面ａが移動してきており正に帯電したままである。
この状態で移動シート２００には静電力の総和として図６（Ｂ）に示す（→ｆ）が作用する。
第１電極線１ｃに対向する新たに負に帯電し始めた表面ｃと駆動シート１００の第１電極線１ｃとの間には個々の静電力として図６（Ｂ）に示す（→ｐ）が作用する。表面ｃと第２電極線２ｃとの間には個々の静電力として図６（Ｂ）に示す（→ｑ）が作用する。新たに負に帯電し始めた表面ｃにおける帯電は不十分で静電力（→ｐ）（→ｑ）は小さいと考えられるためここでは静電力の総和には含めないこととする。第２電極線２ｃに対向する表面ｂと第１電極線１ｃとの間には個々の静電力として図６（Ｂ）に示す（→ｌ）が作用する。表面ｂと第２電極線２ｃとの間には個々の静電力として図６（Ｂ）に示す（→ｍ）が作用する。第２電極線２ｃに１単位間隔右側で隣接する位置に対向する表面ａと第２電極線２ｃとの間には個々の静電力として図６（Ｂ）に示す（→ｎ）が作用する。
それら個々の静電力の総和として図６（Ｂ）に示す（→ｆ）が作用する。すなわち（→ｆ）＝（→ｌ）＋（→ｍ）＋（→ｎ）である。この静電力の方向は下側であり移動シート２００を静止させる力となる。
【００２４】
本発明の静電アクチュエータにおける移動子すなわち移動シート２００を移動する第２の過程を説明図として図７に示す。図７（Ａ）は図４に示す第１波形と第２波形のａ２の時刻における状態を示し、図７（Ｂ）は図４に示す第１波形と第２波形のｂ２の時刻における状態を示している。図７に示すように、駆動シート１００の第１電極線１ｃ，１ｄには負の電圧が印加されており、第２電極線２ｃ，２ｄには正の電圧が印加されている。
図７（Ａ）においては、第１電極線１ｃに対向する移動シート２００の表面ｃは負に帯電したままである（帯電はほぼ完了している）。第２電極線２ｃに対向する移動シート２００の表面ｂは負に帯電したままである。第２電極線２ｃに１単位間隔右側で隣接する位置に対向する移動シート２００の表面ａは正に帯電したままである。
この状態で移動シート２００には静電力の総和として図７（Ａ）に示す（→ｆ）が作用する。
第１電極線１ｃに対向する表面ｃと第１電極線１ｃとの間には個々の静電力として図７（Ａ）に示す（→ｌ）が作用する。表面ｃと第２電極線２ｃとの間には個々の静電力として図７（Ａ）に示す（→ｍ）が作用する。第２電極線２ｃに対向する表面ｂと第１電極線１ｃとの間には個々の静電力として図７（Ａ）に示す（→ｎ）が作用する。表面ｂと第２電極線２ｃとの間には個々の静電力として図７（Ａ）に示す（→ｏ）が作用する。第２電極線２ｃに１単位間隔右側で隣接する位置に対向する表面ａと第２電極線２ｃとの間には個々の静電力として図７（Ａ）に示す（→ｐ）が作用する。
それら個々の静電力の総和として図７（Ａ）に示す（→ｆ）が作用する。すなわち（→ｆ）＝（→ｌ）＋（→ｍ）＋（→ｎ）＋（→ｏ）＋（→ｐ）である。この静電力の方向は右側（右やや斜め上側）であり移動シート２００を右側に移動する力となる。
【００２５】
図７（Ｂ）には、その静電力（→ｆ）が作用することにより移動シート２００が右方向に移動を行った状態が示されている。
図７（Ｂ）においては、第１電極線１ｃに対向する移動シート２００の表面ｄは、帯電していない表面ｄが移動してきており新たに正に帯電し始めている。第２電極線２ｃに対向する移動シート２００の表面ｃは、図７（Ａ）における第１電極線１ｃに対向する移動シート２００の表面ｃが移動してきており負に帯電したままである。第２電極線２ｃに１単位間隔右側で隣接する位置に対向する移動シート２００の表面ｂは図７（Ａ）における第２電極線２ｃに対向する移動シート２００の表面ｂが移動してきており負に帯電したままである。第１電極線１ｄに１単位間隔左側で隣接する位置に対向する移動シート２００の表面ａは、図７（Ａ）における第２電極線２ｃに１単位間隔右側で隣接する位置に対向する移動シート２００の表面ａが移動してきており正に帯電したままである。
この状態で移動シート２００には静電力の総和として図７（Ｂ）に示す（→ｆ）が作用する。
第１電極線１ｃに対向する新たに正に帯電し始めた表面ｄと第１電極線１ｃとの間には個々の静電力として図７（Ｂ）に示す（→ｐ）が作用する。表面ｄと第２電極線２ｃとの間には個々の静電力として図７（Ｂ）に示す（→ｑ）が作用する。新たに正に帯電した表面における帯電は不十分で静電力（→ｐ）（→ｑ）は小さいと考えられるためここでは静電力の総和には含めないこととする。第２電極線２ｃに対向する表面ｃと第１電極線１ｃとの間には個々の静電力として図７（Ｂ）に示す（→ｌ）が作用する。表面ｃと第２電極線２ｃとの間には個々の静電力として図７（Ｂ）に示す（→ｍ）が作用する。第２電極線２ｃに１単位間隔右側で隣接する位置に対向する移動シート２００の表面ｂと第２電極線２ｃとの間には個々の静電力として図７（Ｂ）に示す（→ｎ）が作用する。第１電極線１ｄに１単位間隔左側で隣接する位置に対向する移動シート２００の表面ａと第１電極線１ｄとの間には個々の静電力として図７（Ｂ）に示す（→ｏ）が作用する。
それら個々の静電力の総和として図６（Ｂ）に示す（→ｆ）が作用する。すなわち（→ｆ）＝（→ｌ）＋（→ｍ）＋（→ｎ）＋（→ｏ）である。この静電力の方向は下側であり移動シート２００を静止させる力となる。
【００２６】
本発明の静電アクチュエータにおける移動子すなわち移動シート２００を移動する第３の過程を説明図として図８に示す。図８（Ａ）は図４に示す第１波形と第２波形のａ３の時刻における状態を示し、図８（Ｂ）は図４に示す第１波形と第２波形のｂ３の時刻における状態を示している。図８に示すように、駆動シート１００の第１電極線１ｃ，１ｄには負の電圧が印加されており、第２電極線２ｃ，２ｄにも負の電圧が印加されている。
図８（Ａ）においては、第１電極線１ｃに対向する移動シート２００の表面ｄは正に帯電したままである（帯電はほぼ完了している）。第２電極線２ｃに対向する移動シート２００の表面ｃは負に帯電したままである。第２電極線２ｃに１単位間隔右側で隣接する位置に対向する移動シート２００の表面ｂは負に帯電したままである。第１電極線１ｄに１単位間隔左側で隣接する位置に対向する移動シート２００の表面ａは正に帯電したままである。
この状態で移動シート２００には静電力の総和として図８（Ａ）に示す（→ｆ）が作用する。
第１電極線１ｃに対向する表面ｄと第１電極線１ｃとの間には個々の静電力として図８（Ａ）に示す（→ｌ）が作用する。表面ｄと第２電極線２ｃとの間には個々の静電力として図７（Ａ）に示す（→ｍ）が作用する。第２電極線２ｃに対向する表面ｃと第１電極線１ｃとの間には個々の静電力として図８（Ａ）に示す（→ｎ）が作用する。表面ｃと第２電極線２ｃとの間には個々の静電力として図８（Ａ）に示す（→ｏ）が作用する。第２電極線２ｃに１単位間隔右側で隣接する位置に対向する表面ｂと第２電極線２ｃとの間には個々の静電力として図８（Ａ）に示す（→ｐ）が作用する。第１電極線１ｄに１単位間隔左側で隣接する位置に対向する表面ａと第２電極線２ｃとの間には個々の静電力として図８（Ａ）に示す（→ｑ）が作用する。
それら個々の静電力の総和として図８（Ａ）に示す（→ｆ）が作用する。すなわち（→ｆ）＝（→ｌ）＋（→ｍ）＋（→ｎ）＋（→ｏ）＋（→ｐ）＋（→ｑ）である。この静電力の方向は右側であり移動シート２００を右側に移動する力となる。
【００２７】
図８（Ｂ）には、その静電力（→ｆ）が作用することにより移動シート２００が右方向に移動を行った状態が示されている。
図８（Ｂ）においては、第１電極線１ｃに対向する移動シート２００の表面ｅは、すでに帯電している移動シート２００の表面ｅが移動してきており正に帯電したままである。この帯電は第２電極線２ｂ（図１参照）によって、第２電極線２ｃ（図５参照）と同様に行なわれている。第２電極線２ｃに対向する移動シート２００の表面ｄは、図８（Ａ）における第１電極線１ｃに対向する移動シート２００の表面ｄが移動してきており正に帯電したままである。第２電極線２ｃに１単位間隔右側で隣接する位置に対向する移動シート２００の表面ｃは、図８（Ａ）における第２電極線２ｃに対向する移動シート２００の表面ｃが移動してきており負に帯電したままである。第１電極線１ｄに１単位間隔左側で隣接する位置に対向する移動シート２００の表面ｂは、図８（Ａ）における第２電極線２ｃに１単位間隔右側で隣接する位置に対向する移動シート２００の表面ｂが移動してきており負に帯電したままである。第１電極線１ｄに対向する移動シート２００の表面ａは、図８（Ａ）における第１電極線１ｄに１単位間隔左側で隣接する位置に対向する移動シート２００の表面ａが移動してきており正に帯電したままである。
【００２８】
ところで、移動シート２００に作用する静電力は移動シート２００の１単位間隔で隣接する４箇所の帯電した部位すなわち表面ａ、表面ｂ、表面ｃ、表面ｄに作用する静電力によって決まる。言い換えると、移動シート２００の帯電パターンはそれら４箇所の部位の繰り返しとなっているから、特定の４箇所の帯電した部位に作用する静電力について明らかとなれば、他の４箇所の帯電した部位に作用する静電力も同様であると理解できる。そのことを踏まえ、表面ａ、表面ｂ、表面ｃ、表面ｄについてだけ検討に含め、表面ｅについては含めない。
【００２９】
図８（Ｂ）に示す状態で移動シート２００には静電力の総和として図８（Ｂ）に示す（→ｆ）が作用する。
第２電極線２ｃに対向する表面ｄと第１電極線１ｃとの間には個々の静電力として図８（Ｂ）に示す（→ｌ）が作用する。表面ｄと第２電極線２ｃとの間には個々の静電力として図８（Ｂ）に示す（→ｍ）が作用する。第２電極線２ｃに１単位間隔右側で隣接する位置に対向する表面ｃと第２電極線２ｃとの間には個々の静電力として図８（Ｂ）に示す（→ｏ）が作用する。第１電極線１ｄに１単位間隔左側で隣接する位置に対向する表面ｂと第１電極線１ｄとの間には個々の静電力として図８（Ｂ）に示す（→ｐ）が作用する。第１電極線１ｄに対向する表面ａと第１電極線１ｄとの間には個々の静電力として図７（Ｂ）に示す（→ｑ）が作用し、表面ａと第２電極線２ｄとの間には個々の静電力として図８（Ｂ）に示す（→ｒ）が作用する。
それら個々の静電力の総和として図８（Ｂ）に示す（→ｆ）が作用する。すなわち（→ｆ）＝（→ｌ）＋（→ｍ）＋（→ｏ）＋（→ｐ）＋（→ｑ）＋（→ｒ）である。この静電力の方向は下側であり移動シート２００を静止させる力となる。
【００３０】
本発明の静電アクチュエータにおける移動子すなわち移動シート２００を移動する第４の過程を説明図として図９に示す。図９（Ａ）は図４に示す第１波形と第２波形のａ４の時刻における状態を示し、図９（Ｂ）は図４に示す第１波形と第２波形のｂ４の時刻における状態を示している。図９に示すように、駆動シート１００の第１電極線１ｃ，１ｄには正の電圧が印加されており、第２電極線２ｃ，２ｄには負の電圧が印加されている。
図９（Ａ）においては、第１電極線１ｃに対向する移動シート２００の表面ｅは正に帯電したままである。第２電極線２ｃに対向する移動シート２００の表面ｄは正に帯電したままである。第２電極線２ｃに１単位間隔右側で隣接する位置に対向する移動シート２００の表面ｃは負に帯電したままである。第１電極線１ｄに１単位間隔左側で隣接する位置に対向する移動シート２００の表面ｂは負に帯電したままである。第１電極線１ｄに対向する表面ａは正に帯電したままである。
【００３１】
この状態で移動シート２００には静電力の総和として図９（Ａ）に示す（→ｆ）が作用する。
第２電極線２ｃに対向する表面ｄと第１電極線１ｃとの間には個々の静電力として図９（Ａ）に示す（→ｌ）が作用する。表面ｄと第２電極線２ｃとの間には個々の静電力として図９（Ａ）に示す（→ｍ）が作用する。第２電極線２ｃに１単位間隔右側で隣接する位置に対向する表面ｃと第２電極線２ｃとの間には個々の静電力として図９（Ａ）に示す（→ｏ）が作用する。第１電極線１ｄに１単位間隔左側で隣接する位置に対向する表面ｂと第１電極線１ｄとの間には個々の静電力として図９（Ａ）に示す（→ｐ）が作用する。第１電極線１ｄに対向する正に帯電した表面ａと第１電極線１ｄとの間には個々の静電力として図９（Ａ）に示す（→ｒ）が作用する。表面ａと第２電極線２ｄとの間には個々の静電力として図９（Ａ）に示す（→ｑ）が作用する。
それら個々の静電力の総和として図９（Ａ）に示す（→ｆ）が作用する。すなわち（→ｆ）＝（→ｌ）＋（→ｍ）＋（→ｏ）＋（→ｐ）＋（→ｒ）＋（→ｑ）である。この静電力の方向は右側であり移動シート２００を右側に移動する力となる。
【００３２】
図９（Ｂ）には、その静電力（→ｆ）が作用することにより移動シート２００が右方向に移動を行った状態が示されている。
図９（Ｂ）においては、第１電極線１ｃに対向する移動シート２００の表面ｆは、すでに帯電している移動シート２００の表面ｆが移動してきており負に帯電したままである。この帯電は第１電極線１ｂ（図１参照）において、第１電極線１ｃ（図５参照）と同様に行なわれている。第２電極線２ｃに対向する移動シート２００の表面ｅは、図９（Ａ）における第１電極線１ｃに対向する移動シート２００の表面ｅが移動してきており正に帯電したままである。第２電極線２ｃに１単位間隔右側で隣接する位置に対向する移動シート２００の表面ｄは、図９（Ａ）における第２電極線２ｃに対向する移動シート２００の表面ｄが移動してきており正に帯電したままである。第１電極線１ｄに１単位間隔左側で隣接する位置に対向する移動シート２００の表面ｃは、図９（Ａ）における第２電極線２ｃに１単位間隔右側で隣接する位置に対向する移動シート２００の表面ｃが移動してきており負に帯電したままである。第１電極線１ｄに対向する移動シート２００の表面ｂは、図９（Ａ）における第１電極線１ｄに１単位間隔左側で隣接する位置に対向する移動シート２００の表面ｂが移動してきており負に帯電したままである。第２電極線２ｄに対向する移動シート２００の表面ａは、図９（Ａ）における第１電極線１ｄに対向する移動シート２００の表面ａが移動してきており正に帯電したままである。
【００３３】
この状態で移動シート２００には静電力の総和として図９（Ｂ）に示す（→ｆ）が作用する。
第２電極線２ｃに１単位間隔右側で隣接する位置に対向する表面ｄと第２電極線２ｃとの間には個々の静電力として図９（Ｂ）に示す（→ｌ）が作用する。第１電極線１ｄに１単位間隔左側で隣接する位置に対向する表面ｃと第１電極線１ｄとの間には個々の静電力として図９（Ｂ）に示す（→ｍ）が作用する。移動シート２００の第１電極線１ｄに対向する表面ｂと第１電極線１ｄとの間には個々の静電力として図９（Ｂ）に示す（→ｏ）が作用する。表面ｂと駆動シート１００の第２電極線２ｄとの間には個々の静電力として図９（Ｂ）に示す（→ｐ）が作用する。第２電極線２ｄに対向する表面ａと第１電極線１ｄとの間には個々の静電力として図９（Ｂ）に示す（→ｑ）が作用する。表面ａと第２電極線２ｄとの間には個々の静電力として図８（Ｂ）に示す（→ｒ）が作用する。
それら個々の静電力の総和として図８（Ｂ）に示す（→ｆ）が作用する。すなわち（→ｆ）＝（→ｌ）＋（→ｍ）＋（→ｏ）＋（→ｐ）＋（→ｑ）＋（→ｒ）である。この静電力の方向は下側であり移動シート２００を静止させる力となる
【００３４】
本発明の静電アクチュエータにおける移動子すなわち移動シート２００を移動する第５の過程を説明図として図１０に示す。図１０（Ａ）は図４に示す第１波形と第２波形のａ５の時刻における状態を示し、図１０（Ｂ）は図５に示す第１波形と第２波形のｂ５の時刻における状態を示している。図１０に示すように、駆動シート１００の第１電極線１ｃ，１ｄには正の電圧が印加されており、第２電極線２ｃ，２ｄにも正の電圧が印加されている。
図１０（Ａ）においては、第１電極線１ｃに対向する移動シート２００の表面ｆは負に帯電したままである。第２電極線２ｃに対向する移動シート２００の表面ｅは正に帯電したままである。第２電極線２ｃに１単位間隔右側で隣接する位置に対向する移動シート２００の表面ｄは正に帯電したままである。第１電極線１ｄに１単位間隔左側で隣接する位置に対向する移動シート２００の表面ｃは負に帯電したままである。第１電極線１ｄに対向する表面ｂは負に帯電したままである。第２電極線２ｄに対向する表面ａは正に帯電したままである。
【００３５】
この状態で移動シート２００には静電力の総和として図１０（Ａ）に示す（→ｆ）が作用する。
第２電極線２ｃに１単位間隔右側で隣接する位置に対向する正に帯電した表面ｄと第２電極線２ｃとの間には個々の静電力として図１０（Ａ）に示す（→ｌ）が作用する。第１電極線１ｄに１単位間隔左側で隣接する位置に対向する負に帯電した表面ｃと第１電極線１ｄとの間には個々の静電力として図１０（Ａ）に示す（→ｍ）が作用する。第１電極線１ｄに対向する負に帯電した表面ｂと第１電極線１ｄとの間には個々の静電力として図１０（Ａ）に示す（→ｎ）が作用する。表面ｂと第２電極線２ｄとの間には個々の静電力として図１０（Ａ）に示す（→ｏ）が作用する。第２電極線２ｄに対向する正に帯電した表面ａと第１電極線１ｄとの間には個々の静電力として図１０（Ａ）に示す（→ｐ）が作用する。表面ａと第２電極線２ｄとの間には個々の静電力として図１０（Ａ）に示す（→ｑ）が作用する。
それら個々の静電力の総和として図１０（Ａ）に示す（→ｆ）が作用する。すなわち（→ｆ）＝（→ｌ）＋（→ｍ）＋（→ｎ）＋（→ｏ）＋（→ｐ）＋（→ｑ）である。この静電力の方向は右側であり移動シート２００を右側に移動する力となる。
【００３６】
図１０（Ｂ）には、その静電力（→ｆ）が作用することにより移動シート２００が右方向に移動を行った状態が示されている。
図１０（Ｂ）においては、第１電極線１ｃに対向する移動シート２００の表面ｇは、すでに帯電している表面ｇが移動してきており負に帯電したままである。この帯電は第１電極線１ｂ（図１参照）において、第１電極線１ｃ（図６（Ｂ）参照）と同様に行なわれている。第２電極線２ｃに対向する移動シート２００の表面ｆは、図１０（Ａ）における第１電極線１ｃに対向する移動シート２００の表面ｆが移動してきており負に帯電したままである。第２電極線２ｃに１単位間隔右側で隣接する位置に対向する移動シート２００の表面ｅは、図１０（Ａ）における第２電極線２ｃに対向する移動シート２００の表面ｅが移動してきており正に帯電したままである。第１電極線１ｄに１単位間隔左側で隣接する位置に対向する移動シート２００の表面ｄは、図１０（Ａ）における第２電極線２ｃに１単位間隔右側で隣接する位置に対向する移動シート２００の表面ｄが移動してきており正に帯電したままである。第１電極線１ｄに対向する移動シート２００の表面ｃは、図１０（Ａ）における第１電極線１ｄに１単位間隔左側で隣接する位置に対向する表面ｃが移動してきており負に帯電したままである。第２電極線２ｄに対向する表面ｂは、図１０（Ａ）における第１電極線１ｄに対向する表面ｂが移動してきており負に帯電したままである。第２電極線２ｄに１単位間隔左側で隣接する位置に対向する移動シート２００の表面ａは、図１０（Ａ）における第２電極線２ｄに対向する移動シート２００の表面ａが移動してきており正に帯電したままである。
【００３７】
この状態で移動シート２００には静電力の総和として図１０（Ｂ）に示す（→ｆ）が作用する。
第１電極線１ｄに１単位間隔左側で隣接する位置に対向する表面ｄと第１電極線１ｄとの間には個々の静電力として図１０（Ｂ）に示す（→ｌ）が作用する。第１電極線１ｄに対向する表面ｃと第１電極線１ｄとの間には個々の静電力として図１０（Ｂ）に示す（→ｍ）が作用する。表面ｃと第２電極線２ｄとの間には個々の静電力として図１０（Ｂ）に示す（→ｎ）が作用する。第２電極線２ｄに対向する負に帯電した表面ｂと第１電極線１ｄとの間には個々の静電力として図１０（Ｂ）に示す（→ｏ）が作用する。表面ｂと駆動シート１００の第２電極線２ｄとの間には個々の静電力として図１０（Ｂ）に示す（→ｐ）が作用する。第２電極線２ｄに１単位間隔右側で隣接する位置に対向する正に帯電した表面ａと第２電極線２ｄとの間には個々の静電力として図１０（Ｂ）に示す（→ｑ）が作用する。
それら個々の静電力の総和として図１０（Ｂ）に示す（→ｆ）が作用する。すなわち（→ｆ）＝（→ｌ）＋（→ｍ）＋（→ｏ）＋（→ｐ）＋（→ｑ）＋（→ｒ）である。この静電力の方向は下側であり移動シート２００を静止させる力となる
【００３８】
図１０に示す第５の過程と図６に示す第１の過程においては、駆動シート１００の第１電極線１ｃ，１ｄ、第２電極線２ｃ，２ｄのすべてに正の電圧が印加されている。すなわち、第５の過程は第１の過程に対して１周期後の過程である。第５の過程の以降については、上述の最初の１周期の説明から容易に理解することが可能であるから説明を省略する。
上述の説明においては、移動シート２００は図５〜図１０において右側へと移動する。移動シート２００の移動方向は第１波形と第２波形の間の位相関係によって決まる。図４に示す第１波形と第２波形においては、第１波形に対して第２波形が９０度位相遅れとなっている。第１波形に対して第２波形が９０度位相進みとしたときには、移動シート２００は図５〜図１０において左側へと移動する。
上述の説明から明らかなように、静電力の総和としての作用は右側か下側かのいずれかであって反対側への静電力は発生しない。このことは、静電力の総和としての作用が一方向にだけ、しかも常時その一方向だけに作用していることになる。すなわち、高い駆動効率を得ることができる。このように、本発明によれば、第１電極線と第２電極線の配列間隔を１単位間隔と３単位間隔の繰り返しとしたから、構造が簡単で駆動効率が良好な静電アクチュエータとその固定子が提供される。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
構造が簡単で駆動効率が良好な静電アクチュエータとして利用可能である。
【符号の説明】
【００４０】
１００  駆動シート
２００  移動シート
１ａ，１ｂ，・・・  第１電極線
２ａ，２ｂ，・・・  第２電極線
３  第１結合線
４  第２結合線
５  第１リード線
６  第２リード線
３００  電源部
３０１  本体
３０２  コントロールボックス
３０３  ＡＣアダプターまたは電池
１１  自動切換回路／電圧変換回路
１２  Ｉ／Ｆ（インターフェイス）
１３〜１５  高圧２線ＳＷ（switching）回路
３１  Ｘ方向駆動シート
３２  移動シート
３３  Ｙ方向駆動シート
【図１】
2011188630.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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