(57)【要約】      （修正有）【課題】マウンタ装置が備える吸着ノズルを部品の移動動作が完了する毎に基準状態に復帰手段を提供する。【解決手段】マウンタ装置１は、鉛直方向に沿って往復動可能に配置され、中心線ＡＸが鉛直方向と平行である円錐穴４を有する第１ブロック２を備える。また、第１ブロック２との間にばね９を介在させて第１ブロック２と対向配置された状態で第１ブロック２に把持された第２ブロック６を備える。第２ブロック６は、ばね９を圧縮させつつ第１ブロック２に接近可能で、かつ、ばね９の弾性力によって第１ブロック２と離間可能である。第２ブロック６は、吸着ヘッド部１４を回転可能に把持する。マウンタ装置１は、吸着ヘッド部の回転動作を停止させる固定機構を備える。マウンタ装置１は、円錐穴に収容されるテーパブロック１２と、このテーパブロック１２と吸着ヘッド部１４とを繋ぐ吸引チューブ１９を備える。【選択図】図２
2011151173.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクチュエータによって、第１の方向に沿って往復動可能に配置され、中心線が前記第１の方向と平行である円錐形状の内周壁を備えた円錐穴を有する第１ブロックと、
前記第１ブロックとの間に弾性体を介在させて前記第１ブロックと対向配置された状態で前記第１ブロックに把持され、前記アクチュエータによって前記第１ブロックと共に前記第１の方向に移動可能であるとともに、前記弾性体を圧縮させつつ前記第１ブロックに接近可能で、かつ、前記弾性体の弾性力によって前記第１ブロックと離間可能である第２ブロックと、
前記第２ブロックに回転可能に把持され、前記第１ブロックが配置された側と反対側に吸着ノズルを備えた吸着ヘッド部と、
前記吸着ヘッド部を固定し、前記吸着ヘッド部の回転動作を停止させる固定機構と、
前記円錐穴の内周壁の形状に対応した円錐形状の外周壁を有し、前記円錐穴に収容されるテーパブロックと、
前記吸着ヘッド部と前記テーパブロックとを繋ぐ可撓性を有する接続部材と、
を有することを特徴とした部品のマウンタ装置。
【請求項２】
前記第１の方向に垂直な平面における前記中心線の位置と、前記平面における前記吸着ヘッド部の回転中心の位置は一致することを特徴とする請求項１記載の部品のマウンタ装置。
【請求項３】
前記接続部材は、前記吸着ヘッド部に吸引力を供給する吸引チューブであることを特徴とする請求項１又は２記載の部品のマウンタ装置。
【請求項４】
内周壁の形状が円錐形状である円錐穴を有する第１ブロックと、前記第１ブロックとの間に弾性体を介在させて前記第１ブロックと対向配置された状態で前記第１ブロックに把持された第２ブロックと、前記第２ブロックに回転可能に把持され、前記第１ブロックが配置された側と反対側に吸着ノズルを備えた吸着ヘッド部と、前記円錐穴内に配置されたテーパブロックと、前記吸着ヘッド部と前記テーパブロックとを繋ぐ接続部材を有するマウンタ装置は、前記吸着ノズルの中心位置を保った状態で前記吸着ノズルを前記第１の方向から部品の吸着面に接触させ、
前記マウンタ装置は、前記第１ブロックを前記第１の方向の前記部品側に移動することによって、前記弾性体を圧縮変形させ、かつ、前記吸着面の傾きに対応するように前記吸着ヘッド部を回転させ、
前記マウンタ装置は、前記吸着ヘッド部に前記部品を吸着させ、
前記マウンタ装置は、前記吸着ヘッド部を固定して当該吸着ヘッド部の回転動作を停止し、
前記マウンタ装置は、前記部品を吸着した前記第１ブロックを前記部品の設置位置に移動させ、
前記マウンタ装置は、前記部品を前記所定位置に設置後、前記吸着ヘッド部から前記部品を分離させ、
前記マウンタ装置は、前記吸着ヘッド部の固定を解除し、
前記マウンタ装置は、前記弾性体の伸長によって前記第１ブロックと共に前記テーパブロックを前記第１の方向に移動させ、
前記テーパブロックの移動により、前記吸着ノズルが中心位置に復帰することを特徴とする部品のマウント方法。
【請求項５】
前記第１の方向に垂直な平面における前記円錐穴の中心線の位置と、前記平面における前記吸着ヘッド部の回転中心の位置は一致することを特徴とする請求項４記載の部品のマウント方法。
【請求項６】
前記接続部材は、前記吸着ヘッドに吸引力を供給する吸引チューブであることを特徴とする請求項４又は５記載の部品のマウント方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品のマウンタ装置及び部品のマウント方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、テーブル上に並べられた部品を基板上に運搬し、基板に搭載する装置として、例えば、特許文献１や特許文献２が知られている。これらの特許文献に記載された装置は、いずれも吸着ノズルによって部品の上面を吸着し、保持する。このため、吸着に用いられるチューブが設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−１７８７２号公報
【特許文献２】特開２００１−１３５６４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、前記特許文献に記載された装置によって運搬される部品には、例えば、ヒートスプレッタが上面に装着されたチップのように、その上面と下面とが平行を保っていないものがある。しかも、このような部品は、ヒートスプレッタを装着するために用いる接着剤の塗布の仕方によりその上面の傾きがチップ個体ごとに異なることがある。
前記特許文献に記載された装置は、上面と下面との平行が保たれていない部品を吸着し、移動させることができる。
しかしながら、前記特許文献に記載された装置は、吸着ノズルに対して偏心して装着されたチューブの影響や、チューブ自体の重量や張力の影響を受けやすく、このため吸着ノズルの基準状態への復帰（水平復帰）が妨げられることがあった。水平復帰が行われないまま次々と部品の吸着動作を繰り返していると、吸着ノズルの傾きが累積する。吸着ノズルの傾きが累積すると、重心位置の関係上、部品の上面の傾きに追従できない程の傾き差が発生してしまう。また、吸着ノズルの傾きが大きくなり、部品の上面の傾きに追従できなくなった状態で吸着ノズルが部品に接触すると、真空状態が形成されずに吸着が失敗するだけでなく、部品に点荷重が作用し、部品を破損することおそれがあった。
【０００５】
そこで、本発明は、マウンタ装置が備える吸着ノズルを部品の移動動作が完了する毎に基準状態に復帰させることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本明細書開示のマウンタ装置は、アクチュエータによって、第１の方向に沿って往復動可能に配置され、中心線が前記第１の方向と平行である円錐形状の内周壁を備えた円錐穴を有する第１ブロックと、前記第１ブロックとの間に弾性体を介在させて前記第１ブロックと対向配置された状態で前記第１ブロックに把持され、前記アクチュエータによって前記第１ブロックと共に前記第１の方向に移動可能であるとともに、前記弾性体を圧縮させつつ前記第１ブロックに接近可能で、かつ、前記弾性体の弾性力によって前記第１ブロックと離間可能である第２ブロックと、前記第２ブロックに回転可能に把持され、前記第１ブロックが配置された側と反対側に吸着ノズルを備えた吸着ヘッド部と、前記吸着ヘッド部を固定し、当該吸着ヘッド部の回転動作を停止させる固定機構と、前記円錐穴の内周壁の形状に対応した円錐形状の外周壁を有し、前記円錐穴に収容されるテーパブロックと、前記吸着ヘッド部と前記テーパブロックとを繋ぐ可撓性を有する接続部材と、を有することを特徴としている。
【０００７】
このようなマウンタ装置は、吸着対象物である部品を所望の位置に設置した後、第１ブロックと共にテーパブロックが部品から離れるように第１の方向に移動する。このような動作により、接続部材によりテーパブロックと接続された吸着ヘッド部が回転し、第１の方向に引っ張られることによって毎回同じように基準状態に復帰することができる。これにより、吸着作業、部品の設置作業の精度を維持することができる。
【発明の効果】
【０００８】
本明細書開示のマウンタ装置によれば、マウンタ装置が備える吸着ノズルを部品の移動動作が完了する毎に基準状態に復帰させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、実施例のマウンタ装置の正面図である。
【図２】図２は、図１に示したマウンタ装置の断面図である。
【図３】図３は、図１に示したマウンタ装置の一部を断面とした斜視図である。
【図４】図４は、マウンタ装置の側面図である。
【図５】図５は、図４に示したマウンタ装置の断面図である。
【図６】図６は、図４に示したマウンタ装置の一部を断面とした斜視図である。
【図７】図７は、テーパブロックの斜視図である。
【図８】図８は、実施例のマウンタ装置を模式的に示した説明図である。
【図９】図９は、実施例のマウンタ装置のブロック図である。
【図１０】図１０は、実施例のマウンタ装置のチップ吸着時の動作を示すタイムチャートの一例である。
【図１１】図１１は、チップ吸着のスタンバイ状態にあるマウンタ装置を示す説明図である。
【図１２】図１２は、吸着ノズルがチップ吸着面に接触した状態にあるマウンタ装置を示す説明図である。
【図１３】図１３は、テーパブロックが第１ブロックから離座した状態のマウンタ装置を示す説明図である。
【図１４】図１４は、球状部材が回転した状態のマウンタ装置を示す説明図である。
【図１５】図１５は、回転した球状部材にブレーキがかけられ、ロックされた状態のマウンタ装置を示す説明図である。
【図１６】図１６は、吸着されたチップを引き上げた状態のマウンタ装置を示す説明図である。
【図１７】図１７、実施例のマウンタ装置の基板へのチップ搭載時の動作を示すタイムチャートの一例である。
【図１８】図１８は、吸着したチップを基板上に配置した状態のマウンタ装置を示す説明図である。
【図１９】図１９は、チップを開放し、球状部材にブレーキをかけた状態で持ち上げられた状態のマウンタ装置を示す説明図である。
【図２０】図２０は、球状部材のブレーキが解除された状態のマウンタ装置を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。ただし、図面中、各部の寸法、比率等は、実際のものと完全に一致するようには図示されていない場合がある。また、図面によっては細部が省略されている場合もある。また、断面図において、ハッチングが省略されていたり、部品毎に異なるハッチングが施されていなかったりする場合がある。
【実施例】
【００１１】
まず、実施例のマウンタ装置１の概略構成について図面を参照しつつ説明する。図１は、実施例のマウンタ装置１の正面図である。図２は、図１に示したマウンタ装置１の断面図である。図３は、図１に示したマウンタ装置１の一部を断面とした斜視図である。図４は、マウンタ装置１の側面図である。図５は、図４に示したマウンタ装置１の断面図である。図６は、図４に示したマウンタ装置１の一部を断面とした斜視図である。図７は、マウンタ装置１が備えるテーパブロック１２の斜視図である。図８は、実施例のマウンタ装置１を模式的に示した説明図である。図９は、実施例のマウンタ装置１のブロック図である。
【００１２】
マウンタ装置１は、アクチュエータ５によって、図中矢示３で示す第１の方向に往復動可能に配置された第１ブロック２を備えている。この第１ブロック２は、図２や図３、図５に示すように円錐形状の内周壁を備えた円錐穴４を有している。この円錐穴４の中心線ＡＸは、矢示３で示した第１の方向と平行である。本実施例において、第１の方向は、鉛直方向と一致している。従って、中心線ＡＸも鉛直方向と一致している。第１ブロック２は、スライド軸受け１０を備えている。
【００１３】
マウンタ装置１は、第１ブロック２との間にばね９を介在させて第１ブロック２と対向配置された状態で第１ブロックに把持された第２ブロック６を備えている。ばね９は、弾性体の一例である。マウンタ装置１は、図１や図２に示すように第２ブロック６と取り付けられた接続ブロック７を備えている。この接続ブロック７には、二本のスライドシャフト８が立設されている。すなわち、スライドシャフト８の一端側が、接続ブロック７に差し込まれて固定されている。そして、スライドシャフト８の他端側は、第１ブロック２が備えるスライド軸受け１０に挿通されている。スライドシャフト８は、スライド軸受け１０から露出した端部にＣ字状のワッシャ１１が嵌め込まれている。第２ブロック６は、このようにして第１ブロック２に把持されている。スライドシャフト８には、それぞればね９が挿通され、ばね９は、接続ブロック７とスライド軸受け１０との間に挟持されている。なお、第２ブロック６と接続ブロック７とは一体に成形されてもよい。
【００１４】
このような第２ブロック６は、アクチュエータ５によって第１ブロック２と共に矢示３で示す第１の方向に移動可能である。また、第２ブロック６は、ばね９を圧縮させつつ第１ブロック２に接近可能である。すなわち、第２ブロック６の移動が規制された状態で第１ブロック２がアクチュエータ５によってされに移動されると、第１ブロック２と第２ブロック６とは接近する。このとき、ばね９は圧縮される。また、第２ブロック６は、ばね９の弾性力によって第１ブロック２と離間可能である。すなわち、ばね９が圧縮された状態でアクチュエータ５の動作を停止すると第１ブロック２がばね９の弾性力によって元の位置に復帰しようとして第１ブロック２と第２ブロック６とが離間する。ばね９は、過負荷防止用の緩衝材としても機能する。
【００１５】
マウンタ装置１は、吸着ヘッド部１４を備えている。吸着ヘッド部１４は、図２に示すように球状部材１５とこの球状部材１５に装着された吸着ノズル１８を備えている。第２ブロック６は、球状部材１５の保持部材１６を備えており、球状部材１５は、回転可能に把持されている。このようにして吸着ヘッド部１４は、第２ブロック６に回転可能に把持されている。球状部材１５は、内部が空洞になっており、この空洞に笠状部材１７が装着されている。笠状部材１７は、笠状部１７ａとこの笠状部１７ａに連設された筒状部１７ｂを備えている。笠状部材１７は、筒状部１７ｂが球状部材１５に差し込まれて装着されている。このとき、笠状部１７ａが、第１ブロック２が配置された側に位置するように球状部材１５に装着される。そして、第１ブロック２が配置された側と反対側に吸着ノズル１８が設けられている。笠状部１７には吸引のための空気通路が設けられており、笠状部１７ａの頂部３０には、吸引チューブ１９を接続するための口部材１７ａ１が設けられている。吸引チューブ１９は、吸着ヘッド部１４と後述するテーパブロック１２とを繋ぐ接続部材の一例であり、可撓性を有している。吸引チューブ１９は、吸着ヘッド部１４に吸引力を供給する。吸引チューブ１９は、ナイロンやポリウレタンのように若干の伸縮性を有する素材によって成形されている。吸引チューブ１９の長さは、第１ブロック２と第２ブロック６との間隔が最も離れた基準状態に合わせて設定されている。すなわち、第１ブロック２と第２ブロック６とが最も離れているときに吸着ヘッド部１４とテーパブロック１２とを最短距離で繋ぐ長さとなっている。
【００１６】
マウンタ装置１は、吸着ヘッド部１４を固定し、球状部材１５の回転動作を停止させる固定機構を備えている。固定機構は、図２や、図８、図９に示すようにブレーキブロック２０とこれに装着された環状のブレーキパッド２１を備えている。さらに、ブレーキブロック２０を駆動するエアシリンダ２２を備えている。ブレーキパッド２１は、摩擦係数の高い弾性体で形成される。本実施例では、ブレーキパッド２１はゴム製である。エアシリンダ２２は、ブレーキブロック２０を駆動するアクチュエータの一例であり、他の形式、例えば油圧によるオイルシリンダを用いることもできる。また、電動モータを用いてブレークブロック２０を駆動するようにしてもよい。エアシリンダ２２は、鉛直方向にブレーキブロック２０を動作させる。すなわち、部品（チップ５１）の吸着方向に移動して吸着ヘッド部１４をロックする。これによりチップ５１の下面の水平を維持することができる。すなわち、例えば、ロック動作を行う際にチップ５１を微小に引き上げることがなく、チップ５１の下面の水平状態を維持しやすい。
【００１７】
マウンタ装置１は、テーパブロック１２を備えている。図７は、テーパブロック１２の斜視図である。テーパブロック１２は、円筒部１２ａと、この円筒部１２ａに連設され、第１ブロック２が有する円錐穴４の内周壁の形状に対応した円錐形状の外周壁１２ｂを備えている。この外周壁１２ｂは、截頭錐体（円錐台）を形成している。テーパブロック１２の内部には空気通路１２ｃが形成されている。空気通路の一方の口部は円筒部１２ａの側壁に設けられている。空気通路の他方の口部は、円錐台の中心部に設けられている。それぞれの口部には図７に示すように、吸引チューブの接続部材１３ａ、１３ｂが設けられている。接続部材１３ｂには、吸引チューブ１９が接続される。一方、接続部材１３ａには吸着機構に含まれるポンプへ繋がる吸引チューブが接続される。
【００１８】
このようなテーパブロック１２は、円錐穴４に収容される。テーパブロック１２の外周壁１２ｂの傾斜角度と、円錐穴４の内周壁の傾斜角度とを対応させている。このため、テーパブロック１２は、円錐穴４の内周壁に密着した着座状態となることができる。着座状態なったテーパブロック１２の水平方向の動きは規制される。第１ブロック２と第２ブロック６とが近づき、吸引チューブ１９が撓んだ状態となると、テーパブロック１２は、その吸引チューブに１９に押し上げられ、円錐穴４から瞬間的に離座した状態となることができる。離座した状態のテーパブロック１２は水平方向に移動可能となる。
【００１９】
このようなマウンタ装置１における吸着ヘッド部１４の回転中心の位置について図２を参照しつつ説明する。吸着ヘッド部１４は、上記のように保持部材１６によって回転可能に把持された球状部材１５を備えている。このような球状部材１５の内部に回転中心Ｍが設定されている。
【００２０】
前記のように本実施例における第１の方向は鉛直方向である。ここで、鉛直方向に垂直な平面、すなわち、水平面Ｆを想定する。この水平面Ｆにおける中心線ＡＸの位置と、回転中心Ｍとが一致するように設定されている。また、吸引チューブ１９は、テーパブロック１２の中心部に設けられた接続部材１３ｂと吸着ヘッド部１４に含まれる笠状部１７ａの頂部３０とを繋いでいる。このように設定することにより、テーパブロック１２が引っ張り上げられ、吸着ノズル１８が部品に接触していない状態で接続部材１９が鉛直方向に沿う。これにより、吸着ヘッド部１４は、吸着ノズル１８が真下を向く基準状態に復帰することができる。
【００２１】
なお、マウンタ装置１は、第１ブロック２と第２ブロック６との距離を測定するセンサを備えている。このセンサは、固定機構に含まれるエアシリンダを作動させて、吸着ヘッド部１４にブレーキをかけるタイミングを算出するためのデータ取得に用いられる。このようなセンサは、第１ブロック２のスライドシャフト８に対するスライドを測定するものであってもよい。また、マウンタ装置１は、制御部と接続され、マウンタ装置１の動作はこの制御部によって制御される。
【００２２】
次に、以上のようなマウンタ装置１による部品のマウンタ方法について説明する。ここでは、テーブル５０上に並べられた部品（チップ）５１をピックアップし、基板５２上に供給する方法について説明する。チップ５１は、図１１等に示すように、その上面、すなわち吸着面５１ａが傾斜している。この傾斜は、ヒートスプレッタがチップ５１に接着された際に生じたものである。
【００２３】
＜吸着工程＞
まず、マウンタ装置１がテーブル５０上に並べられたチップ５１を吸着してピックアップするまでの工程を図１０に示したタイムチャート参照しつつ説明する。また、マウンタ装置１の動きは、説明の都合上、図８に示すようなマウンタ装置１を模式的に示した図面を用いることとする。図８では、笠状部材１７や保持部材１６等が省略されている。
【００２４】
吸着工程は、まず、図１１に示すようなスタンバイ状態から開始される。この状態をＳＴＥＰ１とする。このとき、ばね９の弾性力は、第１ブロック２と第２ブロック６とを離す向きに作用し、第１ブロック２と第２ブロック６とは最も離れた状態となっている。また、吸引チューブ１９は、球状部材１５とテーパブロック１２とを引き付けるように張力が働く状態とされている。固定機構は、球状部材１５の固定を解除した状態となっている。テーパブロック１２は吸引チューブ１９に引っ張られて、円錐穴４に着座した状態となっている。さらに、アクチュエータ５は作動しておらず、鉛直方向（Ｚ軸方向）への動作を行っていない。ＳＴＥＰ１における各部の状態は以上の通りである。
【００２５】
マウンタ装置１は、図１１に示すＳＴＥＰ１の状態から、アクチュエータ５を作動させ、第１ブロック２を降下させる（ＳＴＥＰ２）。このとき、第２ブロック６も第１ブロック２との間隔を維持しつつ共に降下する。第２ブロック６がこのように降下することにより、第２ブロック６に把持された球状部材１５に設けられた吸着ノズル１８も降下する。球状部材１５は、吸引チューブ１９に引っ張られているため、吸着ノズル１８は、中心位置を保ち、鉛直下向きの姿勢を維持している。このようにして、マウンタ装置１は、図１２に示すように吸着ノズル１８の中心位置を保った状態で吸着ノズル１８を第１の方向（鉛直方向）からチップ５１の吸着面５１ａに接触させる。この状態では、未だばね９の弾性力と吸引チューブ１９の張力とが釣り合っており、球状部材１５は回転することができない。
【００２６】
マウンタ装置１は、図１２に示す状態から図１３中、矢示２５で示すようにアクチュエータ５の動作を継続させる。これにより、第１ブロック２を第１の方向（鉛直方向）のチップ５１側に移動する。この結果、ばね９を圧縮変形させる。ばね９は、第１ブロック２と第２ブロック６との間隔が狭まると圧縮変形されるようになる。すると、第１ブロック２と第２ブロック６との間隔よりも吸引チューブ１９の長さが長くなり、図１３に示すようにテーパブロック１２が円錐穴４から離座する。これにより、球状部材１５は、回転可能な状態となり、図１４に示すように吸着面５１ａの傾きに対応するように吸着ヘッド部１４が回転する。このように吸着ヘッド部１４が回転して吸着面５１ａの傾きに倣うまでがＳＴＥＰ３である。
【００２７】
マウンタ装置１は、アクチュエータ５を作動させる際、第１ブロック２と第２ブロック６との間隔をセンサにより測定している。本実施例では、第１ブロック２と第２ブロック６と間隔が基準状態から２ｍｍ近づいたら吸着ノズル１８が吸着面５１ａに密着できていると判断している。そして、第１ブロック２と第２ブロック６との間隔が予め定めた一定量（２ｍｍ接近）に達したことを検出したら、アクチュエータ５の状態を維持する（ＳＴＥＰ４）。ここで、第１ブロック２と第２ブロック６と間隔は、吸着ノズル１８が吸着面５１ａに倣うために十分な間隔に設定されている。具体的には、吸着面５１ａの傾きはバラツキがあるが、所定の範囲内に収まるので、このバラツキをカバーすることができるように上記間隔が設定されている。
【００２８】
マウンタ装置１は、その後、吸着機構に含まれるポンプを作動し、吸着ヘッド部１４が備える吸着ノズル１８にチップ５１を吸着する（ＳＴＥＰ５）。
【００２９】
マウンタ装置１は、チップ５１を吸着した後、図１５に示すように固定機構を作動させ、吸着ヘッド部１４を固定して吸着ヘッド部１４の回転動作を停止する。すなわち、エアシリンダ２２を作動させ、ブレーキパッド２１を球状部材１５（実際は笠状部材１７）に押し付け球状部材１５にブレーキをかけ、ロック状態とする。球状部材１５をロック状態とした後は、アクチュエータ５を上昇させる。このとき、第１ブロック２と第２ブロック６との間隔は、ばね９の弾性力によって、広がる（ＳＴＥＰ６）。
【００３０】
球状部材１５をロック状態としたマウンタ装置１は、図１６に示すように、吸着されたチップ５１を引き上げ、チップ５１を搭載する基板５２上へ移動する。このとき、チップ５１の下面は水平を維持している。
【００３１】
＜開放時＞
次に、チップ５１を吸着状態から開放し、基板５２上へ搭載するまでの工程を図１７に示したタイムチャート参照しつつ説明する。チップ５１の開放は、ＳＴＥＰ６の状態を引き継いで開始される。すなわち、球状部材１５は、ブレーキがかけられてロック状態となっている。ばね９は、わずかに圧縮され、完全には伸びていない状態となっている。また、テーパブロック１２は、円錐穴４に対し離座可能な状態となっている。アクチュエータ５は、未だ降下した状態を維持している。
【００３２】
このような状態を維持しつつ、マウンタ装置１は、図１８に示すようにチップ５１を基板５２上の搭載箇所に配置する（ＳＴＥＰ７）。そして、吸着機構によるチップ５１の吸着を停止し、吸着ノズル１８（吸着ヘッド部１４）からチップ５１を開放し、分離する。これにより、チップ５１が基板５２上に載置される。
【００３３】
その後、マウンタ装置１は、図１９中、矢示２７で示すようにアクチュエータ５により第１ブロック２を上昇させる（ＳＴＥＰ８）。図１９に示す状態は、未だ固定機構による球状部材１５のロック状態が継続されている様子を示しているので、球状部材１５は回転した状態となっている。そして、マウンタ装置１は、図２０に示すように、固定機構による吸着ヘッド部１４の固定を解除する。アクチュエータ５が第１ブロック２を上昇させるとき、図２０中、矢示２８で示すように作用するばね９の弾性力によって第１ブロック２と第２ブロック６との間隔が広げられる。そして、最終的には、第１ブロック２と第２ブロック６との間隔は基準状態に復帰する。このように、マウンタ装置１は、ばね９の伸長によって前記第１ブロックを移動させるときに、同時にテーパブロック１２を鉛直方向に移動させる（ＳＴＥＰ９）。
【００３４】
テーパブロック１２は、第１ブロック２と共に上昇する際に、円錐穴４に着座し、テーパブロック１２の中心線は円錐穴４の中心線ＡＸと一致するようになる。そして、第１ブロック２と第２ブロック６との間隔が広がると、ロック状態から開放された球状部材１５は、図２０中、矢示２９で示すように吸引チューブ１９に引っ張り上げられる。この結果、球状部材１５は、回転し、球状部材１５に取り付けられた吸着ノズル１８が中心位置に復帰する。ここで、中心位置は、吸着ノズル１８の基準位置であり、吸着ノズル１８の吸着面が水平を保ち、吸着ノズル１８の中心線が円錐穴４の中心線ＡＸと一致する位置である。
【００３５】
このように、本実施例のマウンタ装置１は、吸着ノズルをチップ５１の移動動作が完了する毎に基準状態に復帰させることができる。
【００３６】
以上説明した実施例のマウンタ装置１は、主として鉛直方向の動作によってチップ５１の吸着を行うように構築されているため、全体の構造をコンパクトなものとすることができる。鉛直方向の動作を主とすることにより、チップ搭載位置近傍に実装済みの他の部品が存在する場合であっても、これらの他の部品との干渉を回避することができる。さらに、第１ブロック２に設けた円錐穴４に収納されるテーパブロック１２と第２ブロック６に回転可能に把持された吸着ヘッド部１４とを繋ぐ吸引チューブ１９によって吸着ヘッド部１４の水平復帰が行われる。このような構造は低コストで実現可能である。また、吸引チューブ１９は、テーパブロック１９の中心部から鉛直に延び、その先に吸着ヘッド部１４が設けられている。これにより、吸引チューブ１９の自重や張力が吸着ノズル１８の向きに与える影響を緩和することができる。マウンタ装置１は、吸着ノズル１８を部品の移動動作が完了する毎に基準状態に復帰させるので、部品の上面の傾きに追従できなくなった状態で吸着ノズルが部品に接触することがない。これにより、確実に部品を吸着でき、なおかつ部品の破損が回避される。
【００３７】
以上本発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。
【符号の説明】
【００３８】
ＡＸ…中心軸
Ｍ…回転中心
Ｆ…水平面
１…マウンタ装置
２…第１ブロック
４…円錐穴
５…アクチュエータ
６…第２ブロック
８…スライドシャフト
９…ばね
１２…テーパブロック
１２ｃ…空気通路
１４…吸着ヘッド部
１５…球状部材
１６…保持部材
１８…吸着ノズル
１９…吸引チューブ
２１…ブレーキパッド
２２…エアシリンダ
３０…頂部
５０…テーブル
５１…チップ
５１ａ…吸着面
５２…基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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