(57)【要約】【課題】予め酸素水や水素水を生成する必要はなく、基板上に供給される液体を霧化することで酸素水や水素水を供給する際に発揮される効果を得ることが可能な弾性表面波霧化装置を提供すること。【解決手段】弾性表面波を生成する交差指電極１２を有する基板部１１を備え、基板部１１に供給される液体を弾性表面波によって霧化する弾性表面波霧化装置１であって、対となる電極１５ａ、１５ｂから構成され、電圧が印加されることで電極１５ａ、１５ｂ間に電界Ｅを形成させる電界電極１５を備え、電極１５ａ、１５ｂ間に形成される電界Ｅにより液体を電離させることを特徴とする弾性表面波霧化装置。【選択図】図１
2011011102.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性表面波を生成する交差指電極を有する基板部を備え、
前記基板部に供給される液体を前記弾性表面波によって霧化する弾性表面波霧化装置であって、
対となる電極から構成され、電圧が印加されることで前記電極間に電界を形成させる電界電極を備え、
前記電極間に形成される電界により前記液体を電離させることを特徴とする弾性表面波霧化装置。
【請求項２】
前記対となる電極間に印加する電圧の向きを変更するための電圧方向切替え部をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の弾性表面波霧化装置。
【請求項３】
前記対となる電極が前記基板部の表裏両側にそれぞれ配置されており、かつ前記電極同士が略平行に配置されていることいることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の弾性表面波霧化装置。
【請求項４】
前記対となる電極間に形成される電界の方向が、前記基板部に対して表裏方向に交差する方向でかつ前記基板部の交差指電極が配置されている側では基板部に近づくにつれて前記交差指電極に近づくような方向となるように、
前記電極が配置されていることを特徴とする請求項３に記載の弾性表面波霧化装置。
【請求項５】
前記対となる電極が、前記基板部の側面方向両側にそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の弾性表面波霧化装置。
【請求項６】
前記対となる電極が、前記弾性表面波の伝搬方向に略平行で前記基板部の側面方向両側にそれぞれ配置されており、
前記交差指電極が、前記基板部に沿った方向で前記弾性表面波の伝搬方向に略直行する方向に偏らせて配置されていることを特徴とする請求項５に記載の弾性表面波霧化装置。
【請求項７】
前記対となる電極の双方が、前記基板部に設置されていることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の弾性表面波霧化装置。
【請求項８】
前記対となる電極の少なくとも一つは、前記基板部に設置されていることを特徴とする請求項１乃至請求項７いずれかに記載の弾性表面波霧化装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性表面波を用いた霧化装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
弾性表面波は、通常、圧電材料などからなる基板上に設けた交差指電極（Interdigital Transducer：ＩＤＴ）に高周波電圧が印加されることによって、その基板表面に生成される。弾性表面波が伝搬している基板の表面に液体を供給すると、液体は弾性表面波のエネルギを受け取って振動しつつ流動し微小粒子となって飛翔する。従来、この現象により液体を霧化する弾性表面波霧化装置が知られている（例えば特許文献１など）。霧化対象である液体は基板の表面に供給されることで霧化されるが、特許文献１記載の弾性表面波霧化装置においては、供給された液体はその状態のままで霧化されるだけである。
【０００３】
一方で、従来、水を電気分解することによって生じる水素水や酸素水を様々な用途に利用することが行われている（例えば特許文献２など）。水素水は水中に水素ガスを溶存させたもので還元作用を有することから、例えば、肌の酸化を抑制しアンチエイジング効果などを発揮することが期待されている。また、酸素水は水中に酸素ガスを溶存させたもので酸化作用を有することから、例えば、脱臭効果などを発揮することが期待されている。特許文献２で提案されている構成では、水素水や酸素水を利用する際には、予め水を電気分解することで水素水や酸素水をそれぞれ生成する必要があった。
【０００４】
また、例えば、肌に水素水や酸素水を供給する場合には浸透度の観点から、水素水や酸素水をそれぞれ霧化し微小粒子の状態にて供給することが好ましい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−１１４４６７号公報
【特許文献２】特開２００５−１０５２８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記背景技術を鑑みてなされたもので、予め酸素水や水素水を生成する必要はなく、基板上に供給される液体を霧化することで酸素水や水素水を供給する際に発揮される効果を得ることが可能な弾性表面波霧化装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明は、弾性表面波を生成する交差指電極を有する基板部を備え、基板部に供給される液体を弾性表面波によって霧化する弾性表面波霧化装置であって、対となる電極から構成され、電圧が印加されることで電極間に電界を形成させる電界電極を備え、電極間に形成される電界により液体を電離させる構成とする。
【０００８】
また、本発明の弾性表面波霧化装置は、電極間に印加する電圧の向きを変更するための電圧方向切替え部をさらに備えることが好ましい。
【０００９】
また、本発明の弾性表面波霧化装置は、対となる電極が基板部の表裏両側にそれぞれ配置されており、かつ対となる電極同士が略平行に配置されていることいることが好ましい。また、本発明の弾性表面波霧化装置は、対となる電極間に形成される電界の方向が、基板部に対して表裏方向に交差する方向でかつ基板部の交差指電極が配置されている側では基板部に近づくにつれて交差指電極に近づくような方向となるように、対となる電極が配置されていることが好ましい。
【００１０】
また、本発明の弾性表面波霧化装置は、対となる電極が、基板部の側面方向両側にそれぞれ配置されていることが好ましい。また、本発明の弾性表面波霧化装置は、対となる電極が、弾性表面波の伝搬方向に略平行で基板部の側面方向両側にそれぞれ配置されており、交差指電極が、基板部に沿った方向で弾性表面波の伝搬方向に略直行する方向に偏らせて配置されていることが好ましい。また、対となる電極が、基板部の側面方向両側にそれぞれ配置されている場合には、対となる電極の双方が基板部に設置されていることが好ましい。
【００１１】
また、本発明の弾性表面波霧化装置は、対となる電極の少なくとも一つは、基板部に設置されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の弾性表面波霧化装置は、電圧が印加されることで電極間に電界を形成させる電界電極を備え、電極間に形成される電界により液体を電離させることで、プラスの電荷またはマイナスの電荷を帯びた液体を霧化することができ所望の作用を効率的に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波霧化装置の斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る弾性表面波霧化装置の側面図である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係る弾性表面波霧化装置の側面図である。
【図４】本発明の第３の実施形態に係る弾性表面波霧化装置の斜視図である。
【図５】本発明の第４の実施形態に係る弾性表面波霧化装置の平面図である。
【図６】本発明の第５の実施形態に係る弾性表面波霧化装置の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態に係る弾性表面波霧化装置を、図面を参照して説明する。
【００１５】
（第１の実施形態）
図１は第１の実施形態に係る弾性表面波霧化装置１の斜視図であり、図２は第１の実施形態に係る弾性表面波霧化装置１の側面図である。
【００１６】
弾性表面波霧化装置１は、基板部１１を備える。基板部１１は、表面に高周波電圧の印加によって弾性表面波を励振する交差指電極１２を備える。そして、図示しない液体供給部によって基板部１１上に液体として水１４が供給される。供給された水１４は、基板部１１表面に生成される弾性表面波によって霧化される。以下、各構成を詳細に説明する。
【００１７】
基板部１１は、例えば、ＬｉＮｂＯ3（ニオブ酸リチウム）のような圧電体からなり、平面視が長方形の板状である。また、基板部１１は、その長手方向の一端側（図１の左端側）に交差指電極１２を備えている。
【００１８】
交差指電極１２は、それぞれ互いに異なる電極に属している櫛形電極１２ａ、１２ｂから構成されている。櫛形電極１２ａ、１２ｂの歯は互いに略平行に配置されている。また、櫛形電極１２ａ、１２ｂの歯のそれぞれのピッチは励振する弾性表面波の波長の大きさに等しく、櫛形電極１２ａ、１２ｂは互いに噛み合わせて配置されている。また、櫛形電極１２ａ、１２ｂは、隣接する櫛形電極１２ａ、１２ｂの間隔が弾性表面波の波長の略半分の大きさになるように配置されている。そして、交差指電極１２は、弾性表面波を励振させるときに交差指電極１２に電圧を印加する励振電源１３と繋がっている。
【００１９】
また、弾性表面波霧化装置１は、対となる平板状の電極１５ａ、１５ｂから構成された電界電極１５を備える。電界電極１５は、電界電極１５に電圧を印加する電界電源１６と繋がっている。そして、電界電極１５は、電界電極１５に電圧が印加されることで電極１５ａ、１５ｂ間に電界を形成する。
【００２０】
電界電極１５は基板部１１と略平行で、かつ電極１５ａ、１５ｂが互いに略平行となり基板部１１の表裏両側に配置されている。このため、基板部１１は電極１５ａ、１５ｂにより挟まれた配置となっている。本実施形態では、基板部１１の表面と対向するように基板部１１の上方に陽極となる電極１５ａが配置され、基板部１１の裏面と対向するように基板部１１の下方に陰極となる電極１５ｂが配置されている。
【００２１】
液体供給部は、例えば、液体容器などのような液体供給手段や、フェルト、紙、多孔質材料などからなる液体を含浸することができるものなどから構成される。このような液体供給部から基板部１１に水１４が供給される。
【００２２】
交差指電極１２に励振電源１３から高周波（例えば、ＭＨｚ帯）電圧が印加されることにより、交差指電極１２によって電気的エネルギが波の機械的エネルギに変換されて、基板部１１の表面にレイリー波と呼ばれる弾性表面波が励振される。励振された弾性表面波の振幅は、交差指電極１２に印加する電圧の大きさで決まる。また、励振された弾性表面波の波束の長さは、電圧の印加時間の長さに対応する。
【００２３】
交差指電極１２によって励振された弾性表面波は、櫛形電極１２ａ、１２ｂの歯に垂直でかつ基板部１１表面に沿った方向（方向ｘ）に伝搬する。弾性表面波は、基板部１１の表面に存在する水１４に対して、弾性表面波の伝搬方向ｘに移動させるような力を及ぼす性質がある。
【００２４】
電界電源１６により電圧が印加されると、陽極となる電極１５ａから陰極となる電極１５ｂへの方向の電界Ｅが形成される。このため、弾性表面波の伝搬方向ｘと略直行する方向で基板部１１の厚み方向に略平行となる方向の電界Ｅが形成される。そして、水１４の内部では、形成された電界Ｅによりプラスの電荷（Ｈ3Ｏ＋イオン）とマイナスの電荷（ＯＨ−イオン）に電離される。このとき、陽極である電極１５ａに近い側である水１４の表面側ではマイナスの電荷を、陰極である電極１５ｂに近い側である水１４の基板部１１と接触する側ではプラスの電荷をそれぞれ帯びることになる。これにより、水１４の内部では、プラスの電荷およびマイナスの電荷が分離され偏在することになる。
【００２５】
弾性表面波は基板部１１表面を交差指電極１２が形成された側から伝搬するため、水１４は、交差指電極１２に近く基板部１１の表面側に位置する箇所から霧化される。このため、プラスの電荷を帯びた水１４が霧化されることになる。
【００２６】
このように、プラスの電荷を帯びた水１４を霧化することができる。プラスの電荷を帯びた液体は還元作用を有することから、例えば、肌に対して抗酸化作用を奏しアンチエイジング効果を発揮することができる。
【００２７】
そして、電界Ｅにより供給された水１４を電離させ電荷を偏在させることによって酸素水や水素水を供給する際に発揮される効果を得ることができるため、霧化前に予め酸素水や水素水を生成するという作業を省略できる。
【００２８】
また、電極１５ａ、１５ｂは、基板部１１の表裏両側にそれぞれ配置されているため、基板部１１に供給された水１４に対して電界電極１５により形成された電界Ｅを効率的よく作用させることができる。
【００２９】
なお、電界電源１６により電圧を印加する際、図１において陽極と陰極とが逆となるように電圧を印加すると、図１とは反対方向の電界が形成される。このため、水１４の表面側ではプラスの電荷を、水１４の基板部１２と接触する側ではマイナスの電荷をそれぞれ帯びることになる。これにより、マイナスの電荷を帯びた水１４を霧化することができる。マイナスの電荷を帯びた液体は酸化作用を有することから、例えば、空気中のウイルスや菌の不活性化、脱臭、空気中のカビの除去といった作用を奏することができる。
【００３０】
このように、基板部１１に供給された水１４を電離させ水１４の内部で電荷が分離され偏在することでプラスの電荷またはマイナスの電荷に帯びた水１４をそれぞれ霧化することが可能となる。よって、所望の作用を効率的に得ることができる。
【００３１】
なお、電界Ｅの向きを変更するには陽極と陰極とが逆になるように電流の向きを変更すればよい。例えば、弾性表面波霧化装置１に、電界Ｅの向きを切替えるための電圧方向切替え部を設けることで電流の向きを変化させることができる。
【００３２】
なお、本実施形態では、基板部１１は平面視が長方形の板状であったが、基板部１１の形状はこれに限られることはない。また、基板部１１はＬｉＮｂＯ3（ニオブ酸リチウム）のような圧電体からなる基板であったが、これに限られることなく、非圧電基板の表面に圧電薄膜、例えば、ＰＺＴ薄膜（鉛、ジルコニウム、チタン合金薄膜）を形成したものでもよい。このとき、非圧電基板の表面に形成された圧電体薄膜の表面部分において、弾性表面波が励振される。従って、基板部１１は、弾性表面波が励振される圧電体部分を表面に備えた基板であればよい。
【００３３】
以下に述べる各実施形態では、上述した第１の実施形態と同様の構成については同一符号を付して詳しい説明を省略し、相違する構成について詳述する。
【００３４】
（第２の実施形態）
図３は第２の実施形態に係る弾性表面波霧化装置１の側面図である。
【００３５】
電極１５ａ、１５ｂは、基板部１１の表裏両側に配置されている。図３では、基板部１１の上方に陽極である電極１５ａが配置され、基板部１１の下方に陰極である電極１５ｂが配置されている。そして、電極１５ａ、１５ｂは略平行に配置されている。
【００３６】
電極１５ａは、電極１５ａにおいて交差指電極１２が形成されている方向にあたる側が基板部１１表面からの距離が大きくなるように基板部１１に対して傾斜を持って配置されている。すなわち、電界電極１５は基板部１１表面に伝搬する弾性表面波の伝搬方向ｘに対して所定の角度を有して配置されている。電界電源１６により電圧を印加すると、弾性表面波の伝搬方向ｘに対して角度αを有した方向の電界Ｅが形成される。つまり、電極１５ａ、１５ｂ間に形成される電界Ｅの方向は、基板部１１に対して表裏方向に交差する方向でかつ基板部１１の表側である交差指電極１２が配置されている側では基板部に近づくにつれて交差指電極１２に近づくような方向となっている。なお、角度αとは弾性表面波の伝搬方向ｘに対して電界Ｅの方向が成す角度のことをいい、角度αは９０度〜１８０度または２７０度〜３６０度であることが好ましい。
【００３７】
形成された電界Ｅにより、水１４の内部では電界Ｅの方向にプラスの電荷とマイナスの電荷に分離される。形成された電界Ｅは弾性表面波の伝搬方向ｘに対して角度αを有しているため、水１４において、交差指電極１２が形成されている側にプラスの電荷を、反対側ではマイナスの電荷を帯びやすくなる。
【００３８】
弾性表面波は交差指電極１２が形成された側から伝搬するため、水１４は、交差指電極１２に近い箇所から霧化される。よって、プラスの電荷を帯びた水１４を霧化することになる。このように、プラスの電荷を帯びた水１４を霧化することができる。
【００３９】
電界電極１５は基板部１１表面に対し所定の角度を有して配置されているため、例えば、交差指電極１２が形成されている側にプラスの電荷を帯びさせるように、弾性表面波が伝搬される方向に合わせて水１４の内部の電荷を偏在させる方向を変更することができる。このため、より効率よく水１４を霧化することができる。
【００４０】
また、本実施例のように、基板部１１と水１４との界面では基板部１１の長手方向において交差指電極１２が形成された側が偏在した電荷の存在面積が大きくなるように、電界電極１５を配置させることが好ましい。弾性表面波は基板部１１の表面を伝搬し、交差指電極１２に近く基板部１１の表面側に位置する箇所から水１４は霧化されるため、電荷が偏在した水１４をより効率よく霧化することができる。
【００４１】
なお、本実施形態では、電界電極１５が基板部１１表面に対し所定の角度を有して配置されているが、これに限られることはない。例えば、電界電極１５が、基板部１１表面に対して略平行であり、かつ基板部１１の下方に位置する電極１５ｂが交差指電極１２に近くなるように電極１５ａ、１５ｂが向かい合わずずれて配置されていてもよい。このような配置にすることによっても、弾性表面波の伝搬方向ｘに対して角度αを有した方向の電界Ｅが形成される。そして、弾性表面波が伝搬される方向に合わせて水１４の内部の電荷が偏在する方向を変更することができ、より効率よく水１４を霧化することができる。
【００４２】
（第３の実施形態）
図４は第３の実施形態に係る弾性表面波霧化装置１の斜視図である。
【００４３】
電界電極１５は基板部１１と略平行で、かつ電極１５ａ、１５ｂが略平行となり基板部１１の表裏両側に配置されている。陽極である電極１５ａは、基板部１１の表面と対向するように基板部１１の上方に配置されている。陰極である電極１５ｂは、基板部１１の裏面に設置されている。
【００４４】
電界電源１６により電圧を印加すると、水１４の内部では、形成された電界Ｅによりプラスの電荷とマイナスの電荷とに電離される。そして、プラスの電荷とマイナスの電荷は、分離され偏在することになる。このとき、陽極である電極１５ａに近い側である水１４の表面側ではマイナスの電荷を、陰極である電極１５ｂに近い側である水１４の基板部１１と接触する側ではプラスの電荷を帯びることになる。
【００４５】
弾性表面波は基板部１１表面を交差指電極１２が形成された側から伝搬するため、水１４は、交差指電極１２に近く基板部１１の表面側に位置する箇所から霧化される。このため、プラスの電荷を帯びた水１４が霧化されることになる。このように、プラスの電荷を帯びた水１４を霧化することができる。
【００４６】
電極１５ｂが基板部１１の裏面に設置されていることで、省スペースとなり装置を小型化することができる。また、電界電極１５を簡便に配置することができる。
【００４７】
（第４の実施形態）
図５は第４の実施形態に係る弾性表面波霧化装置１の平面図である。
【００４８】
基板部１１は、長手方向の一端側に交差指電極１２を備えている。交差指電極１２は、弾性表面波の伝搬方向ｘに略直行する方向である基板部１１の幅方向の片側であり略半分の範囲に偏らせて形成されている。電界電極１５は、弾性表面波の伝搬方向ｘに略平行し、基板部１１の側面方向両側に配置されている。また、基板部１１の側面が電極１５ａ、１５ｂにより挟まれた配置となっている。そして、電界電極１５は、電界電極１５に電圧を印加する電界電源１６と繋がっている。
【００４９】
電界電源１６により電圧を印加すると、陽極である電極１５ａから陰極である電極１５ｂの方向であり、基板部１１表面に略平行でかつ弾性表面波の伝搬方向ｘに略直行した方向の電界Ｅが形成される。
【００５０】
形成された電界Ｅにより水１４は電離され、水１４の内部では基板部１１の幅方向に電荷が偏在する。このとき、水１４の内部において、陽極である電極１５ａに近い側ではマイナスの電荷を、陰極である電極１５ｂに近い側ではプラスの電荷を帯びることになる。
【００５１】
弾性表面波は交差指電極１２が形成された側から伝搬するため、水１４は、交差指電極１２に近い箇所が霧化される。よって、プラスの電荷を帯びた水１４を霧化することになる。このように、プラスの電荷を帯びた水１４を霧化することができる。
【００５２】
また、交差指電極１２は基板部１１の幅方向の片側の略半分の範囲に形成されているため、基板部１１の幅方向に対して弾性表面波が伝搬する範囲を制限することができる。このため、基板部１１上の電界Ｅにより電荷が偏在している水１４の一部となるプラスに電荷を帯びた水１４をより効率よく霧化することができる。
【００５３】
また、櫛形電極１２ａ、１２ｂの歯に垂直でかつ基板部１１表面に沿った方向（方向ｘ）に伝搬するため、この構成であると弾性表面波の伝搬方向ｘ上にプラスの電荷とマイナスの電荷とが共存することを抑制することができ、プラスの電荷またはマイナスの電荷を帯びた水１４をより効率的に霧化することができる。
【００５４】
本実施形態では、電界電極１５が基板部１１の側面方向両側に配置されている。電界電極１５が基板部１１の側面方向両側に配置されているとは、形成される電界Ｅの方向が基板部１１に対して表裏方向に交差しない方向となるように電界電極１５が配置されていることをいう。電界電極１５の配置としては、例えば、基板部１１の側面に設置されていたり、基板部１１表面に設置されていたりしてもよい。電界電極１５が、基板部１１の側面に設置されていたり基板部１１表面に設置されていたりすることで、省スペースとなり装置を小型化することができる。
【００５５】
また、本実施形態では、交差指電極１２は、基板部１１の幅方向の片側であり略半分の範囲に形成されているが、この構成に限られることはない。この構成では、交差指電極１２が基板部１１の幅方向の片側に配置されることで基板部１１の幅方向に対して弾性表面波が伝搬する範囲を制限できる。このため、プラスの電荷またはマイナスの電荷に偏在している水１４を霧化することができる。
【００５６】
このように、基板部１１上において弾性表面波が伝搬する範囲を制限し電界Ｅによって電荷が偏在した水１４の一部を霧化することで、プラスの電荷またはマイナスの電荷を帯びた水１４を霧化することができればよい。
【００５７】
（第５の実施形態）
図６は第５の実施形態に係る弾性表面波霧化装置１の平面図である。
【００５８】
基板部１１は、長手方向の一端側に交差指電極１２を備えている。交差指電極１２は、弾性表面波の伝搬方向ｘに略直行する方向である基板部１１の幅方向の片側であり略半分の範囲に偏らせて形成されている。電界電極１５は、弾性表面波の伝搬方向ｘに略平行し、基板部１１の表面に設置されている。そして、交差指電極１２に近い方に陰極である電極１５ｂが配置されている。また、電界電極１５は、電界電極１５に電圧を印加する電界電源１６と繋がっている。
【００５９】
電界電源１６により電圧を印加すると、陽極である電極１５ａから陰極である電極１５ｂの方向であり、基板部１１表面に略平行でかつ弾性表面波の伝搬方向ｘに略直行した方向の電界Ｅが形成される。
【００６０】
形成された電界Ｅにより水１４は電離され、水１４の内部では基板部１１の幅方向に電荷が偏在する。このとき、水１４の内部において、陽極である電極１５ａに近い側ではマイナスの電荷を、陰極である電極１５ｂに近い側ではプラスの電荷を帯びることになる。
【００６１】
弾性表面波は交差指電極１２が形成された側から伝搬するため、水１４は、交差指電極１２に近い箇所が霧化される。よって、プラスの電荷を帯びた水１４を霧化することになる。このように、プラスの電荷を帯びた水１４を霧化することができる。
【００６２】
また、交差指電極１２は基板部１１の幅方向の片側の略半分の範囲に形成されているため、基板部１１の幅方向に対して弾性表面波が伝搬する範囲を制限することができる。このため、基板部１１上の電界Ｅにより電荷が偏在している水１４の一部となるプラスに電荷を帯びた水１４をより効率よく霧化することができる。
【００６３】
また、櫛形電極１２ａ、１２ｂの歯に垂直でかつ基板部１１表面に沿った方向（方向ｘ）に伝搬するため、この構成であると弾性表面波の伝搬方向ｘ上にプラスの電荷とマイナスの電荷とが共存することを抑制することができ、プラスの電荷またはマイナスの電荷を帯びた水１４をより効率的に霧化することができる。
【００６４】
また、電界電極１５が基板部１１の側面方向両側に設置されていることで、省スペースとなり装置を小型化することができる。また、電界電極１５を簡便に配置することができる。
【００６５】
以上、各実施形態を説明したが、本発明は、上記構成に限られることなく発明の要旨を変更しない範囲で種々の変形が可能である。
【符号の説明】
【００６６】
１  弾性表面波霧化装置
１１  基板部
１２  交差指電極
１３  励振電源
１４  液体（水）
１５  電界電極
１６  電界電源
Ｅ  電界
ｘ  弾性表面波の伝搬方向
【図１】
2011011102.tif 000003
【図２】
2011011102.tif 000004
【図３】
2011011102.tif 000005
【図４】
2011011102.tif 000006
【図５】
2011011102.tif 000007
【図６】
2011011102.tif 000008