(57)【要約】【課題】回転角センサにつき、復調される信号波のゲインを低下させず、信号波がノイズの影響を受け難くすること。【解決手段】回転角センサは、搬送波を信号波により振幅変調した振幅変調波を復調する復調回路５６を備える。復調回路５６は、振幅変調波の正位相及び逆位相のうち逆位相におけるピーク値を反転させる反転回路８１と、搬送波の所定周期毎に正位相におけるピーク値と反転された逆位相におけるピーク値をそれぞれ取得し、取得されたピーク値を次のピーク値が取得されるまで保持して出力するサンプルホールド回路８２と、サンプルホールド回路８２から出力されるピーク値を入力して積分する積分回路８３とを備える。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送波を信号波により変調した変調波を復調する復調回路を備えた回転角センサであって、
前記復調回路が、前記搬送波の所定周期毎に前記変調波のピーク値を取得し、前記取得されたピーク値を次のピーク値が取得されるまで保持して出力するピーク値保持回路と、前記ピーク値保持回路から出力されるピーク値を入力して積分する積分回路とを備えたことを特徴とする回転角センサ。
【請求項２】
搬送波を信号波により変調した変調波を復調する復調回路を備えた回転角センサであって、
前記復調回路が、前記変調波の正位相及び逆位相のうち前記逆位相におけるピーク値を反転させる反転回路と、前記搬送波の所定周期毎に前記正位相におけるピーク値と前記反転された逆位相におけるピーク値をそれぞれ取得し、前記取得されたピーク値を次のピーク値が取得されるまで保持して出力するピーク値保持回路と、前記ピーク値保持回路から出力されるピーク値を入力して積分する積分回路とを備えたことを特徴とする回転角センサ。
【請求項３】
前記復調回路の出力を入力する演算回路を更に備え、前記演算回路が、前記復調回路の出力の前記変調波に対する位相遅れを補正することを特徴とする請求項１又は２に記載の回転角センサ。
【請求項４】
搬送波を信号波により変調した変調波を復調する回転角センサの信号処理方法であって、
前記搬送波の所定周期毎に前記変調波のピーク値を取得し、前記取得されたピーク値を次のピーク値が取得されるまで保持し、前記保持されたピーク値に基づき前記変調波を平滑化することを特徴とする回転角センサの信号処理方法。
【請求項５】
搬送波を信号波により変調した変調波を復調する回転角センサの信号処理方法であって、
前記変調波の正位相及び逆位相のうち前記逆位相におけるピーク値を反転させると共に、前記搬送波の所定周期毎に前記正位相におけるピーク値と前記反転された逆位相におけるピーク値をそれぞれ取得し、前記取得されたピーク値を次のピーク値が取得されるまで保持し、前記保持されたピーク値に基づき前記変調波を平滑化することを特徴とする回転角センサの信号処理方法。
【請求項６】
前記平滑化された信号波から角度情報を算出するために、前記平滑化された信号波の前記変調波に対する位相遅れを補正することを特徴とする請求項４又は５に記載の回転角センサの信号処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、電機自動車等に使用されるモータ等の出力軸の回転角度を検出する回転角センサ及びその信号処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近時のハイブリッド自動車や電気自動車は、駆動源として高出力のブラシレスモータが使用され、今後もハイパワー化が予想される。ハイブリッド自動車のブラシレスモータを制御するためには、その出力軸の回転角度を正確に把握する必要がある。ブラシレスモータにつき、そのステータの各コイルへの通電切替えを制御するために、ロータの回転位置を正確に把握する必要があるからである。このため、ブラシレスモータには、回転角センサを備え付けて、出力軸の回転角度を正確に検出することが望ましい。そして、ハイブリッド自動車のモータに用いられる回転角センサには、耐環境性が要求されることに加え、モータが高速回転することから、高精度化が要求されることとなる。併せて、他の車載部品と同様に、回転角センサにも、小型化と共に低コスト化が要求される。
【０００３】
ここで、例えば、下記の特許文献１には、モータに設けられた回転角センサとその制御回路等の一例が記載されている。この回転角センサの制御回路が、回転角センサの励磁巻線を所定周波数の励磁信号により励磁すると、回転角センサの検出巻線から、励磁信号をｓｉｎ相変調信号又はｃｏｓ相変調信号により振幅変調した検出信号が出力される。制御回路は、この検出信号からｓｉｎ相信号又はｃｏｓ相信号を復調し、そのｓｉｎ相信号又はｃｏｓ相信号を積分回路（ＬＰＦ）により励磁信号の周波数成分を除去して平滑化した後、演算処理して出力軸の回転角度を算出するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−３１８９４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、特許文献１に記載された技術では、復調されたｓｉｎ相信号又はｃｏｓ相信号を、単に積分回路により平滑化するだけなので、平滑化された信号ゲインが、元の振幅変調された検出信号のそれより小さくなり、復調された信号がノイズの影響を受けやすくなっていた。このため、復調により信号ゲインが小さくならないようにすることが望まれている。
【０００６】
この発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、復調される信号のゲイン低下を防止し、復調された信号がノイズの影響を受け難くすることを可能とした回転角センサ及びその信号処理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、搬送波を信号波により変調した変調波を復調する復調回路を備えた回転角センサであって、復調回路が、搬送波の所定周期毎に変調波のピーク値を取得し、取得されたピーク値を次のピーク値が取得されるまで保持して出力するピーク値保持回路と、ピーク値保持回路から出力されるピーク値を入力して積分する積分回路とを備えたことを趣旨とする。
【０００８】
上記発明の構成によれば、復調回路により変調波から信号波を復調するに際して、ピーク値保持回路では、搬送波の所定周期毎に変調波の各ピーク値が次のピーク値まで保持されて出力され、積分回路では、ピーク値保持回路から出力されるピーク値が積分される。従って、積分回路からは、変調波の各ピーク値を平滑化した信号波が復調され、その信号波が、変調波に対して、搬送波の位相で一周期分（３６０°）遅れて出力される。
【０００９】
上記目的を達成するために、請求項２に記載の発明は、搬送波を信号波により変調した変調波を復調する復調回路を備えた回転角センサであって、復調回路が、変調波の正位相及び逆位相のうち逆位相におけるピーク値を反転させる反転回路と、搬送波の所定周期毎に正位相におけるピーク値と反転された逆位相におけるピーク値をそれぞれ取得し、取得されたピーク値を次のピーク値が取得されるまで保持して出力するピーク値保持回路と、ピーク値保持回路から出力されるピーク値を入力して積分する積分回路とを備えたことを趣旨とする。
【００１０】
上記発明の構成によれば、復調回路により変調波から信号波を復調するに際して、反転回路では、変調波の正位相及び逆位相のうち逆位相におけるピーク値が反転され、ピーク値保持回路では、搬送波の所定周期毎に正位相における各ピーク値と反転された逆位相における各ピーク値がそれぞれ次のピーク値まで保持されて出力され、積分回路では、ピーク値保持回路から出力されるピーク値が積分される。従って、積分回路からは、変調波の各ピーク値を平滑化した信号波が復調され、その信号波が、変調波に対して、搬送波の位相で半周期（１８０°）遅れて出力される。
【００１１】
上記目的を達成するために、請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の発明において、復調回路の出力を入力する演算回路を更に備え、演算回路が、復調回路の出力の変調波に対する位相遅れを補正することを趣旨とする。
【００１２】
上記発明の構成によれば、請求項１又は２に記載の発明の作用に加え、演算回路では、復調回路から出力される復調された信号波の、変調波に対する位相遅れが補正され、位相遅れのない信号波が得られる。
【００１３】
上記目的を達成するために、請求項４に記載の発明は、搬送波を信号波により変調した変調波を復調する回転角センサの信号処理方法であって、搬送波の所定周期毎に変調波のピーク値を取得し、取得されたピーク値を次のピーク値が取得されるまで保持し、保持されたピーク値に基づき変調波を平滑化することを趣旨とする。
【００１４】
上記発明の構成によれば、変調波から信号波を復調するに際して、搬送波の所定周期毎に変調波の各ピーク値が次のピーク値まで保持され、その保持されたピーク値に基づき変調波が平滑化される。従って、変調波の各ピーク値を平滑化した信号波が、変調波に対して、搬送波の位相で一周期分（３６０°）遅れて復調される。
【００１５】
上記目的を達成するために、請求項５に記載の発明は、搬送波を信号波により変調した変調波を復調する回転角センサの信号処理方法であって、変調波の正位相及び逆位相のうち逆位相におけるピーク値を反転させると共に、搬送波の所定周期毎に正位相におけるピーク値と反転された逆位相におけるピーク値をそれぞれ取得し、取得されたピーク値を次のピーク値が取得されるまで保持し、保持されたピーク値に基づき変調波を平滑化することを趣旨とする。
【００１６】
上記発明の構成によれば、変調波から信号波を復調するに際して、変調波の正位相及び逆位相のうち逆位相におけるピーク値が反転され、搬送波の所定周期毎に正位相における各ピーク値と反転された逆位相における各ピーク値がそれぞれ次のピーク値まで保持され、その保持されたピーク値に基づき変調波が平滑化される。従って、変調波の各ピーク
値を平滑化した信号波が、変調波に対して、搬送波の位相で半周期分（１８０°）遅れて復調される。
【００１７】
上記目的を達成するために、請求項６に記載の発明は、請求項４又は５に記載の発明において、平滑化された信号波から角度情報を算出するために、平滑化された信号波の変調波に対する位相遅れを補正することを趣旨とする。
【００１８】
上記発明の構成によれば、請求項４又は５に記載の発明の作用に加え、復調された信号波の、変調波に対する位相遅れが補正され、位相遅れのない信号波が得られる。
【発明の効果】
【００１９】
請求項１に記載の発明によれば、復調される信号波のゲインを変調波のゲインと同じに保ってゲイン低下を防止することができ、復調された信号波がノイズの影響を受け難くすることができる。
【００２０】
請求項２に記載の発明によれば、復調される信号波のゲインを変調波のゲインと同じに保ってゲイン低下を防止することができ、復調された信号波がノイズの影響を受け難くすることができる。また、復調される信号波につき必然的に発生する位相遅れを低減することができる。
【００２１】
請求項３に記載の発明によれば、請求項１又は２に記載の発明の効果に加え、位相遅れのない信号波が得られるので、回転角センサとして、時間と回転角度の関係を正確に検出することができる。
【００２２】
請求項４に記載の発明によれば、復調される信号波のゲインを変調波のゲインと同じに保ってゲイン低下を防止することができ、復調された信号波がノイズの影響を受け難くすることができる。
【００２３】
請求項５に記載の発明によれば、復調される信号波のゲインを変調波のゲインと同じに保ってゲイン低下を防止することができ、復調された信号波がノイズの影響を受け難くすることができる。また、復調される信号波につき必然的に発生する位相遅れを低減することができる。
【００２４】
請求項６に記載の発明によれば、請求項４又は６に記載の発明の効果に加え、位相遅れのない信号波が得られるので、回転角センサとして、時間と回転角度の関係を正確に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】第１実施形態に係り、回転角センサを適用したブラシレスモータの構造の一部を示す断面図。
【図２】同実施形態に係り、回転角センサの構成を示すブロック回路図。
【図３】同実施形態に係り、復調回路の構成を示すブロック回路図。
【図４】同実施形態に係り、センサステータの構成を示す分解斜視図。
【図５】同実施形態に係り、センサボディの端子部の部分を水平に切断して示す断面図。
【図６】同実施形態に係り、センサボディを示す図５のＣ−Ｃ線断面図。
【図７】同実施形態に係り、図４（ｄ）の第１コイル層を示す平面図。
【図８】同実施形態に係り、図７からＣＯＳコイル部のみを抜き出して示す平面図。
【図９】同実施形態に係り、図７からＳＩＮコイル部のみを抜き出して示す平面図。
【図１０】同実施形態に係り、図４（ｂ）の第２コイル層を示す平面図。
【図１１】同実施形態に係り、図１０からＳＩＮコイル部のみを抜き出して示す平面図。
【図１２】同実施形態に係り、図１０からＣＯＳコイル部のみを抜き出して示す平面図。
【図１３】同実施形態に係り、図１０の鎖線楕円で囲む部分を拡大して示す平面図。
【図１４】同実施形態に係り、２つのＣＯＳコイル部の接続状態を示す模式図。
【図１５】同実施形態に係り、図４（ｃ）の層間絶縁層を示す平面図。
【図１６】同実施形態に係り、図１５の鎖線楕円で囲む部分を拡大して示す平面図。
【図１７】同実施形態に係り、センサロータの構成を示す分解斜視図。
【図１８】同実施形態に係り、振幅変調波とそれから復調される信号波との関係を示すタイムチャート。
【図１９】従来技術に係り、振幅変調波とそれから復調される信号波との関係を示すタイムチャート。
【図２０】第２実施形態に係り、復調回路の構成を示すブロック回路図。
【図２１】同実施形態に係り、振幅変調波とそれから復調される信号波との関係を示すタイムチャート。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
＜第１実施形態＞
以下、本発明における回転角センサ及びその信号処理方法を具体化した第１実施形態につき図面を参照して詳細に説明する。
【００２７】
図１に、この実施形態の回転角センサを適用したブラシレスモータ１０の構造の一部を断面図により示す。ブラシレスモータ１０は、ケース本体６１、ケースカバー６２、モータステータ６３、モータロータ６４、モータシャフト６５及び一対のモータベアリング６６，６６ｂを備える。
【００２８】
ケース本体６１及びケースカバー６２は、アルミニウム合金等により鋳造される。ケースカバー６２に、第１モータベアリング６６ａが設けられ、ケース本体６１に、第２モータベアリング６６ｂが設けられる。これらモータベアリング６６ａ，６６ｂに、モータシャフト６５が回転可能に支持される。
【００２９】
ケース本体６１の内周に、モータステータ６３が固定される。モータステータ６３はコイル６３ａを含む。コイル６３ａは、通電により励磁される。
【００３０】
モータシャフト６５には、永久磁石（図示略）を含むモータロータ６４が固定される。モータステータ６３とモータロータ６４との間には、所定の隙間が設けられる。そして、モータステータ６３のコイル６３ａを通電により励磁することで、モータロータ６４をモータシャフト６５と一体に回転させるようになっている。
【００３１】
回転角センサを構成するセンサステータ４０は、ケースカバー６２に固定される。同じく回転角センサを構成するセンサロータ２０は、センサステータ４０に対向するように、モータロータ６４に固定される。ケース本体６１とケースカバー６２を組み付けた状態で、センサステータ４０とセンサロータ２０との間には、所定の隙間Ｇ１が設けられる。この隙間Ｇ１を小さくした方が回転角センサとしての検出精度を向上させることができる。この隙間Ｇ１の大きさは、寸法公差や温度による寸法変化等を考慮して決定される。
【００３２】
図２に、この実施形態の回転角センサ１００の構成をブロック回路図により示す。回転角センサ１００は、回路部５８とセンサ部５９を備える。センサ部５９は、ＳＩＮ信号励磁コイル１１、ＣＯＳ信号励磁コイル１２、検出コイル１３、ロータ側ロータリートランスコイル１４及びステータ側ロータリートランスコイル１５を含む。ＳＩＮ信号励磁コイル１１、ＣＯＳ信号励磁コイル１２及びステータ側ロータリートランスコイル１５は、図１に示すセンサステータ４０に設けられる。検出コイル１３及びロータ側ロータリートランスコイル１４は、図１に示すセンサロータ２０に設けられる。回路部５８は、ＳＩＮ信号発生回路５１、搬送波発生回路５２、ＣＯＳ信号発生回路５３、第１変調回路５４、第２変調回路５５、復調回路５６及び位相差検出回路５７を含む。
【００３３】
センサ部５９において、検出コイル１３は、ロータ側ロータリートランスコイル１４に接続される。センサ部５９と回路部５８との間では、第１変調回路５４は、ＳＩＮ信号励磁コイル１１に接続され、第２変調回路５５は、ＣＯＳ信号励磁コイル１２に接続される。ステータ側ロータリートランスコイル１５は、復調回路５６に接続される。
【００３４】
回路部５８において、７．２ｋＨｚのＳＩＮ信号波を発生させるＳＩＮ信号発生回路５１は、第１変調回路５４に接続される。７．２ｋＨｚのＣＯＳ信号波を発生させるＣＯＳ信号発生回路５３は、第２変調回路５５に接続される。３６０ｋＨｚの高周波であるＳＩＮ搬送波を発生させる搬送波発生回路５２は、第１変調回路５４及び第２変調回路５５にそれぞれ接続される。ＳＩＮ信号発生回路５１は、位相差検出回路５７に接続される。復調回路５６は、位相差検出回路５７に接続される。第１変調回路５４は、搬送波発生回路５２から出力される搬送波をＳＩＮ信号発生回路５１から出力されるＳＩＮ信号波により振幅変調してＳＩＮ信号励磁コイル１１へ出力するようになっている。第２変調回路５５は、搬送波発生回路５２から出力される高周波である搬送波をＣＯＳ信号発生回路５３から出力されるＣＯＳ信号波により振幅変調してＣＯＳ信号励磁コイル１２へ出力するようになっている。復調回路５６は、センサ部５９から出力される振幅変調波を復調して位相差検出回路５７へ出力するようになっている。位相差検出回路５７は、それぞれ復調されたＳＩＮ信号波とＣＯＳ信号波との位相差から、モータロータ６４，延いてはモータシャフト６５の回転角を算出するようになっている。復調回路５６の出力が入力される位相差検出回路５７は、復調回路５６から出力される復調された信号波の、復調回路５６に入力される振幅変調波に対する位相遅れを補正するようになっている。位相差検出回路５７は、本発明の演算回路に相当する。
【００３５】
ここで、復調回路５６の構成について詳しく説明する。図３に、復調回路５６の構成をブロック回路図により示す。復調回路５６は、反転回路８１と、サンプルホールド回路８２と、積分回路（ＬＰＦ）８３とを備える。反転回路８１は、センサ部５９からの出力信号を入力すると共に、所定の回路からクロック信号（３６０ｋＨｚ）を入力するようになっている。クロック信号は、搬送波発生回路５２から出力される高周波である搬送波に同期した信号である。反転回路８１は、センサ部５９から入力した振幅変調波の正位相及び逆位相のうち逆位相におけるピーク値を反転させて出力するようになっている。サンプルホールド回路８２は、反転回路８１の出力信号を入力すると共に、所定の回路からサンプリングパルスを入力するようになっている。サンプリングパルスは、搬送波発生回路５２から出力される高周波である搬送波に同期した信号である。サンプルホールド回路８２は、反転回路８１から出力される反転後の振幅変調波のピーク値を、サンプリングパルスの入力タイミングにて次のサンプリングパルスのタイミングまで保持する。すなわち、サンプルホールド回路８２は、搬送波の所定周期（９０°位相及び２７０°位相）毎に正位相におけるピーク値と反転された逆位相におけるピーク値をそれぞれ取得し、その取得されたピーク値を次のピーク値が取得されるまで保持して出力する回路であり、本発明のピーク値保持回路に相当する。積分回路８３は、サンプルホールド回路８２から出力されるピーク値を入力して積分することにより、振幅変調波を平滑化して振幅変調波から信号波を復調し、位相差検出回路５７へ出力するようになっている。
【００３６】
すなわち、この実施形態の復調回路５６では、振幅変調波の正位相及び逆位相のうち逆位相におけるピーク値を反転させると共に、搬送波の所定周期（９０°位相及び２７０°位相）毎に正位相におけるピーク値と反転された逆位相におけるピーク値をそれぞれ取得し、それら取得されたピーク値を次のピーク値が取得されるまで保持し、その保持されたピーク値に基づき振幅変調波を平滑化する信号処理方法が実施される。
【００３７】
また、この実施形態の位相差検出回路５７では、平滑化された信号波からモータシャフト６５の回転角度情報を算出するために、平滑化された信号波の振幅変調波に対する位相遅れを補正する信号処理方法が実施されるようになっている。
【００３８】
次に、センサロータ２０及びセンサステータ４０の構造について詳しく説明する。
【００３９】
図４に、センサステータ４０の構成を分解斜視図により示す。図４（ｅ）は、ＰＰＳ樹脂製で高い平面性を持つ基板としてのセンサボディ１を示す。図４（ｄ）は、センサボディ１の表面に薄膜状に形成された第１コイル層２を示す。図４（ｃ）は、第１コイル層２の上に形成された層間絶縁層３を示す。図４（ｂ）は、層間絶縁層３の上に薄膜状に形成された第２コイル層４を示す。図４（ａ）は、絶縁樹脂であり、保護膜であるオーバーコート５を示す。
【００４０】
図４（ｅ）に示すように、センサボディ１は、中心に円形孔を有する円盤状をなし、外周の一箇所には、端子部１ａが突出して形成される。この端子部１ａの外周側には、６本の端子１ｂ，１ｃ，１ｄ，１ｅ，１ｆ，１ｇ（図中左側から順に並ぶ）が外向きに突出して設けられる。端子部１ａの上面には、端子接続部１ｈ，１ｉが形成される。センサボディ１の端子部１ａに対応する内周側の表面には、４つの接続部１ｊ，１ｋ，１ｌ，１ｍが形成される。
【００４１】
図５に、センサボディ１の端子部１ａの部分を水平に切断して断面図により示す。図５に示すように、端子１ｂは接続部１ｈに接続され、端子１ｃは接続部１ｌに接続され、端子１ｄは接続部１ｋに接続され、端子１ｅは接続部１ｊに接続され、端子１ｆは接続部１ｍに接続され、端子１ｇは接続部１ｉに接続される。これらの端子１ｂ〜１ｇは、センサボディ１に対してインサート成形される。
【００４２】
図６に、センサボディ１を、図５のＣ−Ｃ線断面図により示す。図６に示すように、端子１ｄ，１ｅと接続線２８，４８は、スルーホールを介して導電性接着剤７により接続される。
【００４３】
図７に、図４（ｄ）の第１コイル層２を平面図により示す。センサボディ１の端子部１ａの端子接続部１ｉに対応する位置に、ＣＯＳ信号励磁コイル１２の一端であるＣＯＳ端子接続部２３が形成される。ＣＯＳ端子接続部２３より内側の位置には、ＣＯＳコイル部２１Ａが隣接して形成され、その他、ＳＩＮコイル部２２Ａ、ＣＯＳコイル部２１Ｂ、ＳＩＮコイル部２２Ｂ、ＣＯＳコイル部２１Ｃ、ＳＩＮコイル部２２Ｃ、ＣＯＳコイル部２１Ｄ及びＳＩＮコイル部２２Ｄが時計回りに配置されて形成される。これらＣＯＳコイル部２１Ａ〜２１Ｄは、ＣＯＳ信号励磁コイル１２を構成する。同じく、これらＳＩＮコイル部２２Ａ〜２２Ｄは、ＳＩＮ信号励磁コイル１１を構成する。
【００４４】
図８に、図７からＣＯＳコイル部２１Ａ〜２１Ｄのみを抜き出して平面図により示す。ＣＯＳ信号励磁コイル１２を構成するＣＯＳコイル部２１Ａ〜２１Ｄは、各々がコの字形に形成され、外周から内周に向かって、長さの異なる４本のコイル線２１１，２１２，２１３，２１４を含む。ただし、外周側のコイル線２１１は、一部を接続線２７と共有する。ＣＯＳ接続端子部２３は、最外周に形成された接続線２７を介して、ＣＯＳコイル部２１Ａ〜２１Ｄの一端に接続される。
【００４５】
図９に、図７からＳＩＮコイル部２２Ａ〜２２Ｄのみを抜き出して平面図により示す。ＳＩＮ信号励磁コイル１１を構成すＳＩＮコイル部２２Ａ〜２２Ｄは、各々がコの字形に形成され、外周から内周に向かって、長さの異なる４本のコイル線２２１，２２２，２２３，２２４を含む。ただし、外周側のコイル線２２１は、一部を接続線２８と共有する。
【００４６】
図７に示すように、接続線２８は、ＣＯＳコイル部２１Ａ〜２１Ｄ及びＳＩＮコイル部２２Ａ〜２２Ｄの内周側に形成される。接続線２８には、ＳＩＮ端子接続部２６が形成される。ＳＩＮ端子接続部２６は、図４（ｅ）の接続部１ｍに接続される。ＳＩＮ端子接続部２６は、接続線２８を介して、ＳＩＮコイル部２２Ａ〜２２Ｄの一端に接続される。
【００４７】
図７に示すように、接続線２８の内周側には、ステータ側ロータリートランスコイル１５を構成する、円周上に形成されたロータリートランスコイル２４が形成される。このロータリートランスコイル２４には、端子接続部２５が形成される。端子接続部２５は、図４（ｅ）の接続部１ｊに接続される。
【００４８】
次に、第２コイル層４について説明する。図１０に、図４（ｂ）の第２コイル層４を平面図により示す。センサボディ１の端子部１ａの端子接続部１ｈに対応する位置には、ＳＩＮ信号励磁コイル１１の一端であるＳＩＮ端子接続部４３が形成される。ＳＩＮ端子接続部４３より内側の位置には、ＳＩＮコイル部４２Ａが隣接して形成され、その他、ＣＯＳコイル部４１Ａ、ＳＩＮコイル部４２Ｂ、ＣＯＳコイル部４１Ｂ、ＳＩＮコイル部４２Ｃ、ＣＯＳコイル部４１Ｃ、ＳＩＮコイル部４２Ｄ及びＣＯＳコイル部４１Ｄが時計回りに配置されて形成される。これらＳＩＮコイル部４２Ａ〜４２Ｄは、ＳＩＮ信号励磁コイル１１を構成する。同じく、これらＣＯＳコイル部４１Ａ〜４１Ｄは、ＣＯＳ信号励磁コイル１２を構成する。
【００４９】
図１１に、図１０からＳＩＮコイル部４２Ａ〜４２Ｄのみを抜き出して平面図により示す。ＳＩＮ信号励磁コイル１１を構成するＳＩＮコイル部４２Ａ〜４２Ｄは、各々がコの字形に形成され、外周から内周に向かって、長さの異なる４本のコイル線４２１，４２２，４２３，４２４を含む。ただし、外周側のコイル線４２１は、一部を接続線４７と共有する。ＳＩＮ接続端子部４３は、最外周に形成された接続線４７を介して、ＳＩＮコイル部４２Ａ〜４２Ｄの一端に接続している。
【００５０】
図１２に、図１０からＣＯＳコイル部４１Ａ〜４１Ｄのみを抜き出して平面図により示す。ＣＯＳ信号励磁コイル１２を構成するＣＯＳコイル部４１Ａ〜４１Ｄは、各々がコの字形に形成され、外周から内周に向かって、長さの異なる４本のコイル線４１１，４１２，４１３，４１４を含む。ただし、外周側のコイル線４１１は、一部を接続線４８と共有する。
【００５１】
図１０に示すように、ＣＯＳコイル部４１Ａ〜４１ＤとＳＩＮコイル部４２Ａ〜４２Ｄの内周側に、接続線４８が形成される。接続線４８には、ＣＯＳ端子接続部４６が形成される。ＣＯＳ端子接続部４６は、図４（ｅ）の接続部１ｌに接続される。ＣＯＳ端子接続部４６は、接続線４８を介して、ＣＯＳコイル部４１Ａ〜４１Ｄの一端に接続される。
【００５２】
図１０に示すように、接続線４８の内周側には、ステータ側ロータリートランスコイル１５を構成する、円周上に形成されたロータリィトランスコイル４４が形成される。ロータリィトランスコイル４４には、端子接続部４５が形成される。端子接続部４５は、図４（ｅ）の接続部１ｋに接続される。
【００５３】
図１３に、図１０の鎖線楕円Ａで囲む部分を拡大して平面図により示す。図１４に、ＣＯＳコイル部２１ＡとＣＯＳコイル部４１Ａとの接続状態を模式図により示す。図１５に、図４（ｃ）の層間絶縁層３を平面図により示す。図１６に、図１５の鎖線楕円Ｂで囲む部分を拡大して平面図により示す。図１６では、第１コイル層２の配線を破線により表す。
【００５４】
図１０に鎖線楕円Ａで示すように、第２コイル層４に形成されたＣＯＳコイル部４１Ａの部分には、図１３に示すように、４本のコイル線４１１〜４１４が形成される。これらコイル線４１１〜４１４は、外側から内側へ順に配置され、コの字形をなす。図１４に示すように、８個の端子部４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄ，４１ｅ，４１ｆ，４１ｇ，４１ｈは、下側から上側へ順に配置される。
【００５５】
一方、図７に示すように、第１コイル層２に形成されたＣＯＳコイル部２１Ａの４本の部分には、図８に示すように、コイル線２１１〜２１４が形成される。これらコイル線２１１〜２１４は、外側から内側へ順に配置され、コの字形をなす。図１４に示すように、８個の端子部２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ，２１ｅ，２１ｆ，２１ｇ，２１ｈは、下側から上側へ順に配置される。
【００５６】
図１４に示すように、接続線２７は、コイル線２１１を介して端子部２１ｈに接続される。図１５に示すように、層間絶縁層３には、複数のスルーホール３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，３ｅ，３ｆが形成される。図１６に示すように、端子部２１ｈは、スルーホール３ｂを通って、図１３に示す端子部４１ｈに接続される。図１４に示すように、端子部４１ｈは、接続線４１１を介して、端子部４１ａに接続される。
【００５７】
図１３に示すように、端子部４１ａは、スルーホール３ａを通って、図１４に示す端子部２１ａに接続される。図１４に示すように、端子部２１ａは、接続線２１２を介して、端子部２１ｇに接続される。図１６に示すように、端子部２１ｇは、スルーホール３ｂを通って、図１３に示す端子部４１ｇに接続される。図１４に示すように、端子部４１ｇは、接続線４１２を介して、端子部４１ｂに接続される。
【００５８】
図１３に示すように、端子部４１ｂは、スルーホール３ａを通って、図１６に示す端子部２１ｂに接続される。図１４に示すように、端子部２１ｂは、接続線２１３を介して、端子部２１ｆに接続される。図１６に示すように、端子部２１ｆは、スルーホール３ｂを通って、図１３に示す端子部４１ｆに接続される。図１４に示すように、端子部４１ｆは、接続線４１３を介して、端子部４１ｃに接続される。
【００５９】
図１３に示すように、端子部４１ｃは、スルーホール３ａを通って、図１６の端子部２１ｃに接続される。図１４に示すように、端子部２１ｃは、接続線２１４を介して、端子部２１ｅに接続される。図１６に示すように、端子部２１ｅは、スルーホール３ｂを通って、図１３に示す端子部４１ｅに接続される。図１４に示すように、端子部４１ｅは、接続線４１４を介して、端子部４１ｄに接続される。
【００６０】
図１３に示すように、端子部４１ｄは、スルーホール３ａを通って、図１６の端子部２１ｄに接続される。図１４に示すように、端子部２１ｄは、コイル部の外にある端子部２１ｉに接続される。図１６に示すように、端子部２１ｉは、スルーホール３ｃを通って、図１２に示すＣＯＳ端子接続部４６に接続される。
【００６１】
この接続により、図７において、励磁用ＣＯＳ電流は、接続線２７から第１コイル層２に形成されたコイル線２１１を通って端子部２１ｈに流れ、スルーホール３ｂを通って、端子部４１ｈから、第２コイル層４に形成されたコイル線４１１を通って、端子部４１ａに流れる。順次、端子部２１ａ、コイル線２１２、端子部２１ｇ、端子部４１ｇ、コイル線４１２、端子部４１ｂ、端子部２１ｂ、コイル線２１３、端子部２１ｆ、端子部４１ｆ、コイル線４１３、端子部４１ｃ、端子部２１ｃ、コイル線２１４、端子部２１ｅ、コイル線４１４、端子部４１ｄ、端子部２１ｄ及び端子部２１ｉへと流れる。すなわち、励磁用ＣＯＳ電流は、ＣＯＳ信号励磁コイル１１を、外周側から内周側に向かって、反時計回りに螺旋状に流れる。この間、励磁用ＣＯＳ電流は、第１コイル層２に形成されたＣＯＳコイル部２１Ａと、第２コイル層４に形成されたＣＯＳコイル部４１Ａとを交互に行き来している。これにより、反時計方向に励磁用ＣＯＳ電流が流れるため、規則的な磁束を発生できる。この他、２つのＣＯＳコイル部２１Ｂ，４１Ｂの間の接続配線、２つのＣＯＳコイル部２１Ｃ，４１Ｃの間の接続配線、並びに、２つのＣＯＳコイル部２１Ｄ，４１Ｄの間の接続配線は、それぞれ上記と同様である。そして、ＣＯＳコイル部２１Ｂ，４１Ｂにより１つの周回コイルが構成され、ＣＯＳコイル部２１Ｃ，４１Ｃにより１つの周回コイルが形成され、並びに、ＣＯＳコイル部２１Ｄ，４１Ｄにより１つの周回コイルが構成される。
【００６２】
また、２つのＳＩＮコイル部２２Ａ，４２Ａの間の接続配線、２つのＳＩＮコイル部２２Ｂ，４２Ｂの間の接続配線、２つのＳＩＮコイル部２２Ｃ，４２Ｃの間の接続配線、並びに、２つのＳＩＮコイル部２２Ｄ，４２Ｄの間の接続配線も、それぞれ上記と同様なので、説明を割愛する。そして、ＳＩＮコイル部２２Ａ，４２Ａにより１つの周回コイルが構成され、ＳＩＮコイル部２２Ｂ，４２Ｂにより１つの周回コイルが構成され、ＳＩＮコイル部２２Ｃ，４２Ｃにより１つの周回コイルが構成され、並びに、ＳＩＮコイル部２２Ｄ，４２Ｄにより１つの周回コイルが構成される。
【００６３】
次に、ロータリィトランスコイル２４，４４の配線について説明する。図４（ｅ）のセンサボディ１に形成されたロータリィトランスコイル用の接続部１ｊは、図７に示す第１コイル層２に形成されたロータリィトランスコイル２４の一端の端子部接続部２５に接続される。他端の端子部２４ａは、図１５に示すスルーホール３ｆを通って、図１０に示す第２コイル層４に形成されたロータリィトランスコイル４４の一端の端子部４４ａに接続される。他端の端子部４５は、図１５に示すスルーホール３ｅを通って、図４（ｅ）に示す端子部１ｋに接続される。
【００６４】
次に、検出コイル１３とロータ側ロータリートランスコイル１４を含むセンサロータ２０について説明する。図１７に、センサロータ２０の構成を分解斜視図により示す。図１７（ｅ）は、センサボディ７１を示す。図１７（ｄ）は、センサボディ７１の表面に形成された第１コイル層７２を示す。図１７（ｃ）は、第１コイル層７２の上に形成された層間絶縁層７３を示す。図１７（ｂ）は、層間絶縁層７３の上に形成された第２コイル層７４を示す。図１７（ａ）は、絶縁樹脂であり、保護膜であるオーバーコート７５を示す。
【００６５】
センサボディ７１は、図１７（ｅ）に示すように、中心に円形孔を有する円盤状をなし、アルミ、しんちゅう等の非磁性導電性金属により成形される。センサボディ７１は、表面に形成された凹部７１ａにＰＰＳ等の樹脂が充填凝固されて構成される。
【００６６】
図１７（ｄ）に示す第１コイル層７２は、４個のコイル部７２Ａ，７２Ｂ，７２Ｃ，７２Ｄを含む。図１７（ｂ）に示す第２コイル層７４も、４個のコイル部７４Ａ，７４Ｂ，７４Ｃ，７４Ｄを含む。第１コイル層７２のコイル部７２Ａ〜７２Ｄの一端は、ロータリィトランスコイル７６の一端に接続される。これらコイル部７２Ａ，７２Ｂ，７２Ｃ，７２Ｄの他端は、図１７（ｃ）の層間絶縁層７３に形成されたスルーホール７３ａを通って、第２コイル層７４の４つの検出コイル７４Ａ，７４Ｂ，７４Ｃ，７４Ｄの一端に接続される。これらコイル部７４Ａ〜７４Ｄの他端は、ロータリィトランスコイル７７の一端に接続される。ロータリィトランスコイル７６の他端とロータリィトランスコイル７７の他端とは、スルーホール７３ａを通って、接続される。
【００６７】
これにより、センサステータ４０の各励磁コイル１１，１２で発生する磁束を受けて、検出コイル１３を構成するコイル部７２Ａ〜７２Ｄ，７４Ａ〜７４Ｄで誘導電流が発生することにより、センサロータ２０のロータリィトランスコイル７６，７７に電流が流れる。この誘導電流により発生する磁束により、センサステータ４０のロータリィトランスコイル２４，４４に誘導電流が発生する。この誘導電流を解析することにより、センサロータ２０の回転位置を算出することができる。
【００６８】
本実施例によれば、センサロータ２０の一方のロータリィトランスコイル７６が第１コイル層７２に形成され、他方のロータリィトランスコイル７７が第２コイル層７４に形成されるので、１つのコイル層７２，７４における、ロータリィトランスコイル７６，７７の占有面積を小さくすることができる。この結果として、回転角センサ１００の外形寸法を小さくすることができる。
【００６９】
以上説明したこの実施形態の回転角センサ１００によれば、センサ部５９のＳＩＮ信号励磁コイル１１は、７．２ｋＨｚのＳＩＮ励磁信号により振幅変調された３６０ｋＨｚの高周波である搬送波が回路部５８の第１変調回路５４から入力され、励磁される。同じくセンサ部５９のＣＯＳ信号励磁コイル１２は、７．２ｋＨｚのＣＯＳ励磁信号により振幅変調された３６０ｋＨｚの高周波である搬送波が回路部５８の第２変調回路５４から入力され、励磁される。これにより、センサ部５９のロータ側ロータリートランスコイル１４には、出力信号が誘起電流として発生する。この出力信号が、ロータ側ロータリートランスコイル１４からステータ側ロータリートランスコイル１５に伝わり、そのロータリートランスコイル１５から、回路部５８の復調回路５６に入力される。この復調回路５６では、振幅変調波が信号波に復調され、その復調された信号波が位相差検出回路５７に入力される。一方、回路部５８では、ＳＩＮ信号発生回路５１から出力されるＳＩＮ励磁信号が、位相差検出回路５７に入力される。そして、位相差検出回路５７は、復調された各信号波に係るゼロクロス検出タイミングのずれから、モータロータ６４、延いてはモータシャフト６５の回転角を算出する。
【００７０】
ここで、復調回路５６における信号処理方法の内容を図１８を参照して説明する。図１８に、振幅変調波Ｗａｍと、それから復調される信号波Ｗｓ１との関係をタイムチャートにより示す。復調回路５６により振幅変調波Ｗａｍから信号波Ｗｓ１を復調するに際して、復調回路５６を構成する反転回路８１では、図１８に実線の曲線で示す振幅変調波Ｗａｍの正位相（例えば、図１８の「０°〜１８０°」の範囲では、プラス側の位相）及び逆位相（例えば、図１８の「０°〜１８０°」の範囲では、マイナス側の位相）のうち逆位相におけるピーク値が、図１８に２点鎖線の曲線で示すように反転される。次に、サンプルホールド回路８２では、図１８に階段状の折れ線で示すように、搬送波の所定周期（９０°位相及び２７０°位相）毎に正位相における各ピーク値と反転された逆位相における各ピーク値がそれぞれ次のピーク値まで保持されて出力される。また、積分回路８３では、サンプルホールド回路８２から出力されるピーク値が積分される。
【００７１】
すなわち、この実施形態の信号処理方法によれば、振幅変調波Ｗａｍから信号波Ｗｓ１を復調するに際して、振幅変調波Ｗａｍの正位相及び逆位相のうち逆位相におけるピーク値が反転され、搬送波の所定周期（９０°位相及び２７０°位相）毎に正位相における各ピーク値と反転された逆位相における各ピーク値がそれぞれ次のピーク値まで保持され、それら保持されたピーク値に基づき振幅変調波Ｗａｍが平滑化される。
【００７２】
従って、復調回路５６からは、振幅変調波Ｗａｍの各ピーク値を平滑化した信号波Ｗｓ１が復調され、その信号波Ｗｓ１が、振幅変調波Ｗａｍに対して、搬送波の位相で半周期分（１８０°）遅れて出力される。このため、復調される信号波Ｗｓ１のゲインを振幅変調波Ｗａｍのゲインと同じに保ってゲイン低下を防止することができる。この結果、その復調された信号波Ｗｓ１がノイズの影響を受け難くすることができる。また、復調される信号波Ｗｓ１につき、必然的に発生する位相遅れを、後述する第２実施形態の場合に比べて、搬送波の半周期分（１８０°）の遅れに低減することができる。
【００７３】
ここで、図１９に、特許文献１の従来技術による振幅変調波Ｗａｍと、それから復調される信号波Ｗｓ２との関係をタイムチャートにより示す。従来技術では、図１９に実線で示す振幅変調波Ｗａｍの正位相及び逆位相のうち逆位相の波が、同図２点鎖線で示すように反転され、その正位相の波と反転された逆位相の波が、単に積分回路（ＬＰＦ)により平滑化されることで、同図に太線で示す信号波Ｗｓ２が得られる。このため、従来技術では、復調された信号波Ｗｓ２のゲインが、振幅変調波Ｗａｍに比べて低下していた。これに対し、本実施形態では、図１８から明らかなように、復調された信号波Ｗｓ２のゲインが低下しないことが分かる。
【００７４】
また、この実施形態では、位相差検出回路５７では、復調回路５６から出力される復調された信号波Ｗｓ１の、振幅変調波Ｗａｍに対する位相遅れが補正され、位相遅れのない信号波が得られる。このため、位相遅れのない信号波が得られるので、回転角センサ１００として、時間と回転角度の関係を正確に検出することができる。
【００７５】
更に、この実施形態の回転角センサ１００によれば、センサステータ４０が、センサボディ１の上にて薄膜状に形成された第１コイル層２及び第２コイル層４と、それらコイル層２，４の間に形成された層間絶縁層３とを含む。そして、ＳＩＮ信号励磁コイル１１が、第１コイル層２に形成されたＳＩＮコイル部２２Ａ〜２２Ｄと、第２コイル層４に形成されたＳＩＮコイル部４２Ａ〜４２Ｄとから構成される。また、ＣＯＳ信号励磁コイル１２が、第１コイル層２に形成されたＣＯＳコイル部２１Ａ〜２１Ｄと、第２コイル層４に形成されたＣＯＳコイル部４１Ａ〜４１Ｄとから構成される。従って、センサロータ２０とセンサステータ４０との間の隙間Ｇ１が変動して、各励磁コイル１１，１２と検出コイル１３との間のギャップが変動したとしても、ＳＩＮ信号励磁コイル１１（ＳＩＮコイル部２２Ａ〜２２Ｄ，４２Ａ〜４２Ｄを含む。）とＣＯＳ信号励磁コイル１２（ＣＯＳコイル部２１Ａ〜２１Ｄ，４１Ａ〜４１Ｄを含む。）との位置関係が、検出コイル１３（コイル部７２Ａ〜７２Ｄ，７４Ａ〜７４Ｄを含む。）に対して、常に一定に保たれることとなり、回転角センサ１００として検出誤差が発生しない。
【００７６】
また、この実施形態では、センサステータ４０において、ＳＩＮコイル部２２Ａ〜２２ＤとＣＯＳコイル部４１Ａ〜４１Ｄが周方向において同じ位置にあり、ＳＩＮコイル部４２Ａ〜４２ＤとＣＯＳコイル部２１Ａ〜２１Ｄが周方向において同じ位置にある。従って、容易かつ確実に、ＳＩＮ信号励磁コイル１１（ＳＩＮコイル部２２Ａ〜２２Ｄ，４２Ａ〜４２Ｄを含む。）と、ＣＯＳ信号励磁コイル１２（ＣＯＳコイル部２１Ａ〜２１Ｄ，４１Ａ〜４１Ｄを含む。）との位置関係を、検出コイル１３（コイル部７２Ａ〜７２Ｄ，７４Ａ〜７４Ｄを含む。）に対して、確実に一定に保つことができる。
【００７７】
また、この実施形態では、センサステータ４０を構成するＳＩＮコイル部２２Ａ〜２２ＤとＳＩＮコイル部４１Ａ〜４１Ｄとが、層間絶縁層３に形成されたスルーホール３ａ〜３ｆを介して接続される。また、センサステータ４０を構成するＣＯＳコイル部２１Ａ〜２１ＤとＣＯＳコイル部４１Ａ〜４１Ｄとが、層間絶縁層３に形成されたスルーホール３ａ〜３ｆを介して接続される。従って、周回する各コイル１１，１２を容易に製造することができる。
【００７８】
更に、この実施形態では、第１コイル層２及び第２コイル層４が、導電性インクを印刷により描画した後、（たとえば、インクジェットプリンタにより吹き付けた後）、焼成することにより形成される。従って、第１コイル層２と第２コイル層４の抵抗が焼成によって変化しても、ＳＩＮ信号励磁コイル１１とＣＯＳ信号励磁コイル１２の抵抗値がそれぞれ平均化されるため、回転角センサ１００として検出精度を劣化させることが少ない。
【００７９】
＜第２実施形態＞
次に、本発明における回転角センサ及びその信号処理方法を具体化した第２実施形態につき図面を参照して詳細に説明する。
【００８０】
なお、以下の説明では、前記第１実施形態と同等の構成要素については同一の符号を付して説明を省略し、異なった点を中心に説明する。
【００８１】
この実施形態では、復調回路５６の構成の点で第１実施形態と異なる。図２０に、復調回路５６の構成をブロック回路図により示す。この実施形態では、図３に示す反転回路８１を省略し、サンプルホールド回路８２にセンサ部５９の出力が直接入力される点で第１実施形態と構成が異なる。
【００８２】
すなわち、復調回路５６は、サンプルホールド回路８２と積分回路（ＬＰＦ）８３とを備える。サンプルホールド回路８２は、センサ部５９からの出力信号を入力すると共に、所定の回路からサンプリングパルスを入力するようになっている。サンプリングパルスは、搬送波発生回路５２から出力される高周波である搬送波のピーク値に同期した信号である。サンプルホールド回路８２は、センサ部５９から出力される振幅変調波のピーク値を、サンプリングパルスの入力タイミングにて次のサンプリングパルスのタイミングまで保持する。すなわち、サンプルホールド回路８２は、高周波である搬送波の所定周期（９０°位相）毎に振幅変調波のピーク値を取得し、その取得されたピーク値を次のピーク値を取得するまで保持して出力する回路であり、本発明のピーク値保持回路に相当する。積分回路８３は、サンプルホールド回路８２から出力されるピーク値を入力して積分することにより、振幅変調波を平滑化して振幅変調波から信号波を復調し、位相差検出回路５７へ出力するようになっている。
【００８３】
この実施形態の復調回路５６では、搬送波の所定周期（９０°位相）毎に振幅変調波のピーク値を取得し、取得されたピーク値を次のピーク値を取得するまで保持し、保持されたピーク値に基づき振幅変調波を平滑化する信号処理方法が実施される。また、この実施形態の位相差検出回路５７では、平滑化された信号波からモータシャフト６５の回転角度情報を算出するために、平滑化された信号波の振幅変調波に対する位相遅れを補正する信号処理方法が実施されるようになっている。
【００８４】
ここで、この実施形態の復調回路５６における信号処理方法の内容を図２１を参照して説明する。図２１に、振幅変調波Ｗａｍとそれから復調される信号波Ｗｓ１との関係をタイムチャートにより示す。復調回路５６により振幅変調波Ｗａｍから信号波Ｗｓ１を復調するに際して、復調回路５６を構成するサンプルホールド回路８２では、図２１に階段状の折れ線で示すように、搬送波の所定周期（９０°位相）毎に振幅変調波Ｗａｍの各ピーク値が次のピーク値まで保持されて出力される。また、積分回路８３では、サンプルホールド回路８２から出力されるピーク値が積分される。
【００８５】
すなわち、この実施形態の信号処理方法によれば、振幅変調波Ｗａｍから信号波Ｗｓ１を復調するに際して、搬送波の所定周期（９０°位相）毎に振幅変調波Ｗａｍの各ピーク値が次のピーク値まで保持され、その保持されたピーク値に基づき振幅変調波Ｗａｍが平滑化される。
【００８６】
従って、復調回路５６からは、振幅変調波Ｗａｍの各ピーク値を平滑化した信号波Ｗｓ１が復調され、その信号波Ｗｓ１が、振幅変調波Ｗａｍに対して、高周波である搬送波の位相で一周期分（３６０°）遅れて出力される。このため、復調された信号波Ｗｓ１のゲインを振幅変調波Ｗａｍのゲインと同じに保ってゲイン低下を防止することができる。この結果、その復調された信号波Ｗｓ１がノイズの影響を受け難くすることができる。この実施形態では、復調された信号波Ｗｓ１の振幅変調波Ｗａｍに対する位相遅れが、第１実施形態の半周期分（１８０°）に対して、２倍の一周期分（３６０°）となる。この遅れは、位相差検出回路５７により、第１実施形態と同様、補正することができる。この実施形態におけるその他の作用効果については、第１実施形態のそれと基本的に同じである。
【００８７】
なお、この発明は前記各実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱することのない範囲で以下のように実施することができる。
【００８８】
（１）前記各実施形態では、ＳＩＮ信号励磁コイル１１、ＣＯＳ信号励磁コイル１２及び検出コイル１３による２励磁１出力出方式の回転角センサ１００について説明したが、１励磁２出力方式の回転角センサにも同様に適用することができる。
【００８９】
（２）前記各実施形態では、印刷（例えば、インクジェット）により、導電インクを塗布するようにしたが、シートコイルを用いてもよい。
【００９０】
（３）前記各本実施例では、ＳＩＮ信号励磁コイル１１とＣＯＳ信号励磁コイル１２とが、各々４個の周回コイルを備え、例えば、１つの周回コイルを、第１コイル層２に形成されたＣＯＳコイル部２１Ａ〜２１Ｄと、第２コイル層４に形成されたＣＯＳコイル部４１Ａ〜４１Ｄとで構成しているが、２つの周回コイルを第１コイル層２に形成し、残りの２つの周回コイルを第２コイル層４に形成するようにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００９１】
この発明は、ハイブリッド自動車や電気自動車に使用されるモータに利用することができる。
【符号の説明】
【００９２】
５６  復調回路
５７  位相差検出回路（演算回路）
８１  反転回路
８２  サンプルホールド回路（ピーク値保持回路）
８３  積分回路
１００  回転角センサ
Ｗａｍ  振幅変調波
Ｗｓ１    信号波
Ｗｓ２    信号波
【図１】
2011095096.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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