(57)【要約】【課題】熱ひずみを発生させることなく、レーザーによって薄膜に分離溝を加工すると共に、分離溝加工によって生じる加工粒を確実に分離溝から除去し、回路のショートを防止することができる太陽電池パネルの製造方法およびその装置を提供する。【解決手段】薄膜９を下向きにし、浮上ユニット１４により浮上・支持されたパネル１をＸ方向に搬送すると共に、パネル１の下面側に配置された加工液供給機構１３に供給する加工液５０を薄膜９に接触又は充満させた状態で、光学系ユニット２２からレーザーを薄膜９に照射し、レーザー加工によって発生する加工粒を除去しながら、薄膜９に分離溝４を形成する。【選択図】図１
2011066127.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に電極膜と半導体膜の少なくとも一方を有する薄膜が成膜された非加工部に、レーザーを照射して前記薄膜に分離溝を形成する太陽電池パネルの製造方法であって、
前記パネルに向けて加工液を供給して前記レーザーが照射される前記薄膜のレーザー照射部位及びその近傍に前記加工液を接触又は充満させた状態で、前記薄膜に前記レーザーを照射して前記薄膜に分離溝を形成する工程、
を備えることを特徴とする太陽電池パネルの製造方法。
【請求項２】
浮上ユニットによって浮上・支持された前記パネルを所定の方向に搬送する工程をさらに備え、
前記分離溝は、前記パネルを搬送しつつ、且つ、前記パネルに向けて加工液を供給しながら形成されることを特徴とする請求項１に記載の太陽電池パネルの製造方法。
【請求項３】
前記搬送工程は、前記薄膜を下向きにして前記パネルを搬送し、
前記溝形成工程は、前記パネルの下面側から供給される前記加工液の液圧と、前記レーザー照射部位の周囲の空気を吸引する真空圧とを調整して、前記パネルを所定の高さに支持した状態で行われることを特徴とする請求項２に記載の太陽電池パネルの製造方法。
【請求項４】
表面に電極膜と半導体膜の少なくとも一方を有する薄膜が成膜された非加工部に、レーザーを照射して前記薄膜に分離溝を形成する太陽電池パネルの製造装置であって、
前記パネルの前記薄膜にレーザーを照射するレーザー照射装置と、
前記薄膜のレーザー照射部位に対向するように配置され、前記薄膜の少なくとも前記レーザー照射部位及びその近傍に加工液を接触又は充満させる加工液供給機構と、を備えることを特徴とする太陽電池パネルの製造装置。
【請求項５】
前記パネルを浮上・支持可能な浮上ユニット、及び、前記パネルを保持して所定の方向に搬送する搬送機構を備える搬送装置をさらに備えることを特徴とする請求項４に記載の太陽電池パネルの製造装置。
【請求項６】
前記加工液供給機構は、前記非加工部に対して下向きに配置された前記薄膜の少なくとも前記レーザー照射部位及びその近傍に前記加工液を接触又は充満させるようにして、加工液供給口から供給される前記加工液を貯留する加工液貯留槽を備え、
前記加工液貯留槽の外周側には、前記加工液を回収可能な加工液回収溝が配置され、
該加工液回収溝の外周側には、真空によって前記加工液を周囲の空気と共に吸引排除可能な真空溝が配置され、
前記真空溝の外周側には、圧縮空気を吐出可能なエアベアリングが配置されることを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の太陽電池パネルの製造装置。
【請求項７】
前記加工液貯留槽、前記加工液回収溝、前記真空溝、及び前記エアベアリングは、単一の加工ブロックによって構成されることを特徴とする請求項６に記載の太陽電池パネルの製造装置。
【請求項８】
前記加工液供給機構は、前記非加工部に対して上向きに配置された前記薄膜の少なくとも前記レーザー照射部位及びその近傍に前記加工液を接触又は充満させるようにして、加工液を供給する加工液供給口が形成される加工液供給部を備え、
前記加工液供給部の外周側には、前記加工液を回収可能な第１加工液回収溝が配置され、
前記第１加工液回収溝の外周側には、前記加工液が外周側へ広がるのを抑制するようにエアを吐出するノズル孔が配置され、
前記ノズル孔の外周側には、前記加工液を回収可能な第２加工液回収溝が配置され、
前記第２加工液回収溝の外周側には、圧縮空気を吐出可能なエアベアリングが配置されることを特徴とする請求項４又は請求項５に記載の太陽電池パネルの製造装置。
【請求項９】
前記加工液供給部、前記第１加工液回収溝、前記ノズル孔、前記第２加工液回収溝、及び前記エアベアリングは、単一の加工ブロックによって構成されることを特徴とする請求項８に記載の太陽電池パネルの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池パネルの製造方法およびその装置に関し、より詳細には、透明基板の表面に成膜された電極膜と半導体膜の少なくとも一方を有する薄膜に、レーザーを照射して分離溝を加工し、電池セルを形成する太陽電池パネルの製造方法およびその装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池パネルは、透明基板の表面に成膜された薄膜に、レーザーを照射して分離溝を形成し、薄膜を複数の電池セルに分割して製作される。即ち、図５に示すように、太陽電池パネル１は、透明なガラス基板２上に形成された第１電極膜３にレーザーによって分離溝４を形成した後、第１電極膜３上に半導体膜５を成膜して分離溝６をレーザーによって形成し、更に半導体膜５上に第２電極膜７を成膜した後、レーザーによって分離溝８を半導体膜５と第２電極膜７に形成することにより製造され、一点鎖線で示したような電流回路を構成する。
【０００３】
レーザースクライバーとも言われる薄膜に分離溝を形成する従来の装置としては、基板をＸＹ方向に搬送するＸＹテーブル、空冷方式によって冷却されるレーザー発生装置、およびレーザーを基板に導く光学系部材を、空調室内に配置した太陽電池製造装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。また、半導体膜を下向きにした基板の下面を、反り防止矯正部材で支持して反りを矯正し、透明基板側からレーザーを照射する太陽電池の製造方法（例えば、特許文献２参照。）や、レーザースクライブされた基板を、洗浄水に浸漬して超音波振動を付与し、或いは回転ブラシや高圧水噴射により、レーザースクライブによって発生したパーティクル（加工粒）を除去するようにした太陽電池の洗浄方法および装置が知られている（例えば、特許文献３参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−５４２５５号公報
【特許文献２】特開２００２−２８０５７８号公報
【特許文献３】特開２００１−４４４６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
薄膜にレーザーを照射して分離溝を形成すると、加工くずである加工粒が発生する。この加工粒が、分離溝の内部や周辺に残っていると電池セル間でショートが発生して、絶縁性能、出力特性、耐電圧特性などが低下し、太陽電池パネルの特性を劣化させる虞がある。また、レーザーの熱で加工粒が溶融し、薄膜に再付着して回路がショートする問題点もあり、加工粒を確実に除去することが要求される。更に、高出力レーザーの加工によると、薄膜が熱ひずみを起こす可能性があり、加工精度が低下する問題があった。
【０００６】
しかしながら、特許文献１〜３に記載の装置では、上記課題を十分に解決できるものではなかった。特に、特許文献３に記載の洗浄装置は、溝加工終了後に洗浄するものであり、溶融した加工粒が再付着すると、この加工粒を完全に除去することが困難であり、回路がショートする虞があった。
【０００７】
本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、熱ひずみを発生させることなく、レーザーによって薄膜に分離溝を加工すると共に、分離溝加工によって生じる加工粒を確実に分離溝から除去し、回路のショートを防止することができる太陽電池パネルの製造方法およびその装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。
（１）  表面に電極膜と半導体膜の少なくとも一方を有する薄膜が成膜された非加工部に、レーザーを照射して前記薄膜に分離溝を形成する太陽電池パネルの製造方法であって、
前記パネルに向けて加工液を供給して前記レーザーが照射される前記薄膜のレーザー照射部位及びその近傍に前記加工液を接触又は充満させた状態で、前記薄膜に前記レーザーを照射して前記薄膜に分離溝を形成する工程、
を備えることを特徴とする太陽電池パネルの製造方法。
（２）  浮上ユニットによって浮上・支持された前記パネルを所定の方向に搬送する工程をさらに備え、
前記分離溝は、前記パネルを搬送しつつ、且つ、前記パネルに向けて加工液を供給しながら形成されることを特徴とする（１）に記載の太陽電池パネルの製造方法。
（３）  前記搬送工程は、前記薄膜を下向きにして前記パネルを搬送し、
前記溝形成工程は、前記パネルの下面側から供給される前記加工液の液圧と、前記レーザー照射部位の周囲の空気を吸引する真空圧とを調整して、前記パネルを所定の高さに支持した状態で行われることを特徴とする（２）に記載の太陽電池パネルの製造方法。
（４）  表面に電極膜と半導体膜の少なくとも一方を有する薄膜が成膜された非加工部に、レーザーを照射して前記薄膜に分離溝を形成する太陽電池パネルの製造装置であって、
前記パネルの前記薄膜にレーザーを照射するレーザー照射装置と、
前記薄膜のレーザー照射部位に対向するように配置され、前記薄膜の少なくとも前記レーザー照射部位及びその近傍に加工液を接触又は充満させる加工液供給機構と、を備えることを特徴とする太陽電池パネルの製造装置。
（５）  前記パネルを浮上・支持可能な浮上ユニット、及び、前記パネルを保持して所定の方向に搬送する搬送機構を備える搬送装置をさらに備えることを特徴とする（４）に記載の太陽電池パネルの製造装置。
（６）  前記加工液供給機構は、前記非加工部に対して下向きに配置された前記薄膜の少なくとも前記レーザー照射部位及びその近傍に前記加工液を接触又は充満させるようにして、加工液供給口から供給される前記加工液を貯留する加工液貯留槽を備え、
前記加工液貯留槽の外周側には、前記加工液を回収可能な加工液回収溝が配置され、
該加工液回収溝の外周側には、真空によって前記加工液を周囲の空気と共に吸引排除可能な真空溝が配置され、
前記真空溝の外周側には、圧縮空気を吐出可能なエアベアリングが配置されることを特徴とする（４）又は（５）に記載の太陽電池パネルの製造装置。
（７）  前記加工液貯留槽、前記加工液回収溝、前記真空溝、及び前記エアベアリングは、単一の加工ブロックによって構成されることを特徴とする（６）に記載の太陽電池パネルの製造装置。
（８）  前記加工液供給機構は、前記非加工部に対して上向きに配置された前記薄膜の少なくとも前記レーザー照射部位及びその近傍に前記加工液を接触又は充満させるようにして、加工液を供給する加工液供給口が形成される加工液供給部を備え、
前記加工液供給部の外周側には、前記加工液を回収可能な第１加工液回収溝が配置され、
前記第１加工液回収溝の外周側には、前記加工液が外周側へ広がるのを抑制するようにエアを吐出するノズル孔が配置され、
前記ノズル孔の外周側には、前記加工液を回収可能な第２加工液回収溝が配置され、
前記第２加工液回収溝の外周側には、圧縮空気を吐出可能なエアベアリングが配置されることを特徴とする（４）又は（５）に記載の太陽電池パネルの製造装置。
（９）  前記加工液供給部、前記第１加工液回収溝、前記ノズル孔、前記第２加工液回収溝、及び前記エアベアリングは、単一の加工ブロックによって構成されることを特徴とする（８）に記載の太陽電池パネルの製造装置。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の太陽電池パネルの製造方法によれば、パネルに向けて加工液を供給して薄膜のレーザー照射部位及びその近傍に加工液を接触又は充満させた状態で、薄膜にレーザーを照射して薄膜に分離溝を形成するようにしたので、パネルの薄膜を加工液で洗浄しながら加工することができ、レーザー加工によって発生する加工粒（残渣）を除去することができる。これにより、分離溝やその近傍に残る加工粒による回路のショートを防止して太陽電池パネルの性能低下を防止することができる。また、レーザー照射部位及びその近傍を冷却して、薄膜の熱ひずみを抑制することができ、分離溝を高精度で加工することができる。
【００１０】
また、本発明の太陽電池パネルの製造装置によれば、パネルの薄膜にレーザーを照射するレーザー照射装置と、レーザー照射部位に対向するように配置され、薄膜のレーザー照射部位及びその近傍に加工液を接触又は充満させる加工液供給機構と、を備え、薄膜にレーザーを照射して分離溝を形成するようにしたので、薄膜を加工液で洗浄しながら分離溝をレーザー加工することができ、レーザー加工により発生する加工粒を加工液で除去しながら、効率的に分離溝を形成することができる。また、これによって、加工粒による回路のショートを防止して太陽電池パネルの性能低下を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】（ａ）は太陽電池パネルの製造装置の平面図、（ｂ）は側面図である。
【図２】図１に示す製造装置の加工部の要部側面図である。
【図３】単一の加工ブロックによって構成された加工液供給機構の斜視図である。
【図４】図２に示す加工部の拡大図である。
【図５】本発明の変形例に係る太陽電池パネルの製造装置の加工部の要部側面図である。
【図６】本発明の他の変形例に係る太陽電池パネルの製造装置の加工部の要部側面図である。
【図７】太陽電池パネルの部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態に係る太陽電池パネルの製造装置を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１３】
図１に示すように、太陽電池パネルの製造装置１０は、搬送装置１１と、レーザー照射装置１２と、加工液供給機構１３と、を備える。
【００１４】
搬送装置１１は、太陽電池パネル１をＸ方向に搬送するためのものであり、浮上ユニット１４と、搬送機構１５とを有する。太陽電池パネル１では、非加工部としての透明なガラス基板２上に、第１電極膜（透明電極）３、半導体膜（太陽電池膜）５、および第２電極膜（裏面電極）７を有する薄膜９が成膜されている（図５参照）。
【００１５】
浮上ユニット１４は、基台１６上に設けられた複数の排気エアパッド１７を備え、ポンプやソレノイドバルブ（いずれも図示せず）を介して供給されるエアを、排気エアパッド１７から排気してパネル１を浮上させて支持する。パネル１は、薄膜９を下向きに、ガラス基板２を上向きにして支持される。
【００１６】
搬送機構１５は、浮上ユニット１４によって浮上、支持されたパネル１の一端（図に示す実施例では下端部）を吸着パッド（図示せず）などで吸着保持し、例えば、不図示のボールねじ機構によって、ガイドレール１８に沿ってＸ方向に搬送する。また、整列配置された排気エアパッド１７の列間には、それぞれモータ１９によって回転する搬送ローラ２０が配置されている。搬送ローラ２０は、パネル１を前工程の装置から製造装置１０に供給し、加工が終了したパネル１を製造装置１０から搬出して次工程の装置に供給する。
【００１７】
レーザー照射装置１２は、薄膜９にレーザーを照射して、分離溝４，６，８（図５参照。）を形成するためのものであり、即ち、ガラス基板２に薄膜９として第１電極膜３が成膜されたパネル１の場合には、第１電極膜３に分離溝４を形成し、薄膜９として第１電極膜３と半導体膜５が成膜されたパネル１の場合には、半導体膜５に分離溝６を形成し、薄膜として第１電極膜３、半導体膜５、及び第２電極膜７が成膜されたパネル１の場合には、半導体膜５と第２電極膜７に分離溝８を形成する。レーザー照射装置１２は、レーザー発生装置２１と、レンズ群２３から構成されてレーザーの焦点を薄膜９上に結ばせる複数（図１に示す実施形態では４個）の光学系ユニット２２とを備える。
【００１８】
レーザー発生装置２１と各光学系ユニット２２とは、グラスファイバー２４などで接続されており、レーザー発生装置２１から導出されたレーザーは、グラスファイバー２４を介して各光学系ユニット２２に導かれ、透明なガラス基板２側から薄膜９に照射される。
【００１９】
基台１６の略中央上方には、ガイドロッド２５がＹ方向に延設されている。複数の光学系ユニット２２は、ガイドロッド２５に摺動自在に配設されており、不図示の駆動装置によってＹ方向に移動可能となっている。これにより、光学系ユニット２２は、パネル１の搬送方向（Ｘ方向）に対して直交する方向（Ｙ方向）に移動可能であり、パネル１の上方からガラス基板２を透過して薄膜９にレーザーを照射する。
【００２０】
パネル１の下面側には、それぞれの光学系ユニット２２に対応して加工液供給機構１３が配設されている。加工液供給機構１３は、上記した不図示の駆動装置によって駆動されて、光学系ユニット２２と同期してＹ方向に移動可能である。
【００２１】
図２および図３に示すように、加工液供給機構１３は、単一の加工ブロック３０に配設された加工液貯留槽３１、加工液回収溝３２、真空溝３３、およびエアベアリング３４から構成されている。具体的には、加工ブロック３０の中央に配置された加工液貯留槽３１の周囲に加工液貯留槽３１を囲むように矩形の加工液回収溝３２が設けられ、加工液回収溝３２の外周側には加工液回収溝３２を囲むように矩形の真空溝３３が形成されている。更に、真空溝３３の外周側には、複数の圧縮空気吐出孔３５が設けられたエアベアリング３４が設けられている。このような加工液供給機構１３は、それぞれの光学系ユニット２２に対応してパネル１の下面側に配置されている。
【００２２】
加工液貯留槽３１は、上面が開放された略矩形箱状に形成されており、レーザー照射部位Ｐが加工液貯留槽３１の略中央に位置する。加工液貯留槽３１は、底部に加工液供給口３６が設けられて加工液供給部を構成しており、パイプ３７によって図示しないポンプなどの加工液供給装置に接続されて、加工液５０が連続供給される。
【００２３】
また、加工液回収溝３２の底部に設けられた排水口３８は、回収パイプ３９が接続されており、加工液貯留槽３１から溢れ出る加工液５０を排水口３８および回収パイプ３９を介して回収する。回収された加工液５０は、ろ過装置４０でろ過された後、再び加工液貯留槽３１に循環供給される。
【００２４】
加工液５０としては、例えば、純水、水道水、あるいは洗剤を含んだ水やアセトン、メタノール、エタノール、トリクレン、フレオン等の有機溶剤を含む化学洗浄液が使用可能である。
【００２５】
真空溝３３の底部に設けられた吸引孔４１は、パイプ４２を介して不図示の真空ポンプなどの真空源に接続されており、真空溝３３近傍の空気を吸引している。更に、エアベアリング３４の圧縮空気吐出孔３５は、パイプ４３を介して圧縮空気供給装置に接続されており、圧縮空気吐出孔３５から圧縮空気を吐出させる。
【００２６】
以下、本実施形態の作用について説明する。
図１に示すように、ガラス基板２上に薄膜９が成膜されたパネル１は、薄膜９を下向きにして搬送ローラ２０に載せられ、太陽電池パネルの製造装置１０に供給される。ここで、ポンプ（図示せず）から圧縮空気を送って排気エアパッド１７から排気すると、パネル１は空気圧によって浮上し、搬送ローラ２０から離間した状態で支持される。そして、搬送機構１５が浮上ユニット１４によって浮上、支持されたパネル１の一端を吸着パッドなどで吸着保持し、Ｘ方向に搬送する。
【００２７】
パネル１の加工予定位置が、光学系ユニット２２の下方まで搬送されたことが不図示のセンサや撮像装置によって検出されると、搬送機構１５によるパネル１のＸ方向の搬送が停止する。一方、レーザー発生装置２１から出射したレーザーは、グラスファイバー２４によって４つの光学系ユニット２２に導かれ、透明なガラス基板２側からパネル１に照射されて薄膜９上に焦点を結ぶ。このレーザー照射部位Ｐは、加工液貯留槽３１の略中心に位置している。
【００２８】
そして、レーザー発生装置２１は、光学系ユニット２２に対応してパネル１の下面側に配置された加工液供給機構１３と同期してＹ方向に移動し、Ｙ方向に延びる分離溝４（６、８）を薄膜９に加工する。
【００２９】
このとき、図４に示すように、加工液貯留槽３１には、加工液供給装置から加工液供給口３６に加工液５０が連続して供給されており、この加工液５０はパネル１の下面の薄膜９に接触して、又は充満している。加工液貯留槽３１から溢れ出した加工液５０は、加工液回収溝（加工液回収部）３２から排水口３８、回収パイプ３９を介して回収される。
【００３０】
このように、薄膜９は、連続供給される加工液５０中で、洗浄された状態で加工されるので、レーザー加工によって発生する加工粒は、加工液５０と共に加工液回収溝３２から排出される。これにより、加工粒が分離溝４（６、８）の内部や周辺に残ることはなく、電池セル間でのショートが防止される。尚、加工液５０中に気泡が存在すると、レーザーによって気泡が爆発して加工不良が生じる可能性があるので、加工液貯留槽３１内に気泡溜まりが生じないように、加工液５０を連続供給するのが望ましい。
【００３１】
また、分離溝４（６、８）は、加工液５０によって冷却しながら加工されるので、溶融した加工粒が薄膜に再付着することはない。更に、冷却によって薄膜９の熱ひずみが防止され、高精度での加工を行うことができる。これにより、太陽電池パネル１の絶縁性能、出力特性、耐電圧特性などを良好に維持することができる。
【００３２】
加工液回収溝３２で回収することができず、加工液５０の表面張力などによってパネル１に付着している加工液５０は、真空によって真空溝３３から吸引される周囲の空気と共に吸引排除される。
【００３３】
尚、加工液貯留槽３１に供給される加工液５０は、パネル１に押し上げる力を作用させる。一方、真空溝３３の真空は、パネル１を加工液供給機構１３側に引き寄せる力として作用するので、パイプ３７、４２に圧力センサ、流量センサ、流量調整弁（いずれも図示せず）などを配設し、これらによって両者の圧力バランスを制御することにより、パネル１と加工液供給機構１３の隙間が、例えば、数百ミクロンで一定となるように制御することができる。また、これによってパネル１に接触又は充満する加工液５０の表面の波打ちが防止され、加工液５０の揺らぎによる屈折を抑制することができる。これによって、レーザーによる分離溝４（６、８）加工を安定して精度よく行うことができる。
【００３４】
更に、真空溝３３の空気吸引によっても排除されずにパネル１に残る加工液５０は、エアベアリング３４の圧縮空気吐出孔３５から吐出される圧縮空気によって吹き飛ばされて除去・乾燥される。
【００３５】
以後、搬送装置１１でパネル１をＸ方向に所定の距離ずつ移動させながら、同様の動作を繰り返し行って薄膜９に分離溝４（６、８）の加工を行い、太陽電池パネル１が製作される。
【００３６】
以上説明したように、本実施形態の太陽電池パネル１の製造方法によれば、パネル１に向けて加工液５０を供給して薄膜９のレーザー照射部位Ｐ及びその近傍に加工液５０を接触又は充満させた状態で、薄膜９にレーザーを照射して薄膜９に分離溝４（６、８）を形成するようにしたので、パネル１の下面（薄膜）を加工液５０で洗浄しながら加工することができ、レーザー加工によって発生する加工粒（残渣）を除去することができる。これにより、分離溝４（６、８）やその近傍に残る加工粒による回路のショートを防止して太陽電池パネル１の性能低下を防止することができる。また、レーザー照射部位Ｐ及びその近傍を冷却して、薄膜９の熱ひずみを抑制することができ、分離溝４（６、８）を高精度で加工することができる。
【００３７】
また、分離溝４（６，８）は、浮上ユニットによって浮上・支持された太陽電池パネル１を所定の方向に搬送しつつ、該パネル１に向けて加工液を供給しながら形成されるので、パネル１を非接触で傷付けることなく搬送することができ、また、分離溝４（６，８）の搬送方向への加工を容易に行うことができる。
【００３８】
また、薄膜９を下向きにして搬送されるパネル１への分離溝４（６、８）の加工は、パネル１の下面側から供給される加工液５０の水圧と、レーザー照射部位Ｐの周囲の空気を吸引する真空圧とを調整して、パネル１を所定の高さに支持した状態で行われるので、分離溝４（６、８）を精度よく加工することができる。
なお、パネル１を所定の高さに支持する際に、必要に応じて、エアベアリング３４の圧縮空気の圧力も合わせて調整する。
【００３９】
また、本実施形態の太陽電池パネル１の製造装置１０によれば、パネル１の薄膜９にレーザーを照射するレーザー照射装置１２と、レーザー照射部位Ｐに対向するように配置され、薄膜９のレーザー照射部位Ｐ及びその近傍に加工液５０を接触又は充満させる加工液供給機構１３と、を備え、薄膜９にレーザーを照射して分離溝４（６、８）を形成するようにしたので、薄膜９を加工液５０で洗浄しながら分離溝４（６、８）をレーザー加工することができ、レーザー加工により発生する加工粒を加工液５０で除去しながら、効率的に分離溝４（６、８）を形成することができる。また、これによって、加工粒による回路のショートを防止して太陽電池パネル１の性能低下を防止することができる。
【００４０】
更に、パネル１を浮上・支持可能な浮上ユニット１４、及び、浮上・支持されたパネル１を搬送する搬送機構１５を備える搬送装置１１を備えるので、パネル１を搬送しながら、分離溝４（６、８）を容易に加工することができる。
【００４１】
加えて、加工液供給機構１３は、供給される加工液５０を貯留して、基板２に対して下向きに配置された薄膜９のレーザー照射部位Ｐ及びその近傍に接触又は充満させる加工液貯留槽３１と、加工液貯留槽３１の外周側に配置されて加工液５０を回収する加工液回収溝３２と、加工液回収溝３２の外周側に配置された真空溝３３と、真空溝３３の外周側に配置されて圧縮空気を吐出するエアベアリング３４と、を備えるので、薄膜９に加工液５０を接触又は充満させた状態で薄膜９に分離溝４（６、８）をレーザー加工すると共に、加工粒を含む加工液５０を加工液回収溝３２で効率的に回収する。更に、パネル１に付着する加工液５０を周囲の空気と共に真空溝３３に吸引した後、圧縮空気をブローして、パネル１から加工粒および加工粒を含む加工液５０を確実に排除することができる。また、これによって、残留加工粒に起因する回路のショートを防止することができる。
【００４２】
また、加工液貯留槽３１、加工液回収溝３２、真空溝３３、及びエアベアリング３４は、単一の加工ブロック３０によって構成されるので、加工液供給機構１３を小型化することができる。
【００４３】
図５は、本発明の変形例に係る太陽電池パネルの製造装置の加工部の要部側面図である。この変形例では、薄膜９を上向き、ガラス基板２を下向きにしてパネル１を搬送し、パネル１の上面側から加工液５０を供給して薄膜９のレーザー照射部位Ｐ及びその近傍に加工液５０を接触又は充満させた状態で、薄膜９にレーザーをパネル１の上面側から照射して薄膜９に分離溝４（６、８）を形成するようにした。
【００４４】
このため、加工液供給機構１３は、基板２に対して上向きに配置された薄膜９の少なくとも前記レーザー照射部位Ｐ及びその近傍に加工液５０を接触又は充満させるように加工液５０を供給する加工液供給口３６が形成された加工液供給部５５を備える。また、加工液供給部５５の外周側には、加工液を回収可能な矩形の第１加工液回収溝３２ａが配置される。第１加工液回収溝３２ａの外周側には、加工液５０が外周側へ広がるのを抑制するようにエアを吐出する矩形のノズル孔５１が配置される。さらに、ノズル孔５１の外周側には、加工液５０を回収可能な矩形の第２加工液回収溝３２ｂが配置される。そして、第２加工液回収溝３２ｂの外周側には、圧縮空気を吐出可能なエアベアリング３４が矩形状に配置される。
【００４５】
また、加工液供給部５５、第１加工液回収溝３２ａ、ノズル孔５１、第２加工液回収溝３２ｂ、及びエアベアリング３４は、単一の加工ブロック３０ａによって構成され、第１実施形態と同様に、加工液供給機構１３の小型化を図っている。加工ブロック３０ａの加工液供給部５５が形成される中央部分は、石英板等の透明板５２によって形成されており、
加工ブロック３０ａの上方に配置されたレーザー発生装置２１は、加工ブロック３０ａの透明板５２を通過して、パネル１の上方から薄膜９にレーザーを照射する。
【００４６】
さらに、加工ブロック３０ａの下方には、パネル１が搬送されていない状態で、加工液供給機構１３から供給された加工液５０を収容する受け皿５３が、搬送されるパネル１が通過する隙間を介して形成されている。
【００４７】
このように構成された製造装置では、浮上ユニット１４によって浮上、支持されたパネル１は、エアベアリング３４から吐出される圧縮空気によって、パネル１と加工ブロック３０ａとの間を所定のギャップに保つようにして搬送することができるので、分離溝４（６、８）を精度よく加工することができる。また、加工時には、加工液供給機構１３によって加工液５０を供給して薄膜９のレーザー照射部位Ｐ及びその近傍に加工液５０を接触又は充満させることができ、パネル１を加工液５０で洗浄して、加工により発生する加工粒を除去しながら、分離溝４（６、８）を形成することができる。さらに、第１加工液回収溝３２ａ、ノズル孔５１、第２加工液回収溝３２ｂを使って、加工粒を含む加工液５０を効率的に回収することができる。
【００４８】
図６は、本発明の他の変形例に係る太陽電池パネルの製造装置の加工部の要部側面図である。この他の変形例では、薄膜９を上向き、ガラス基板２を下向きにしてパネル１を搬送し、パネル１の上面側から加工液５０を供給して薄膜９のレーザー照射部位Ｐ及びその近傍に加工液５０を接触又は充満させた状態で、薄膜９にレーザーをパネル１の下面側から照射して薄膜９に分離溝４（６、８）を形成するようにした。
【００４９】
この場合には、図５の加工ブロック３０ａに透明板５２を形成する代わりに、受け皿５３の一部に石英板等の透明板５４が形成される。そして、受け皿５３の下方に配置されたレーザー発生装置２１は、受け皿５３の透明板５４を通過して、パネル１の下方から基板２を透過して薄膜９にレーザーを照射する。
【００５０】
したがって、図５の製造装置と同様に、加工時には、加工液供給機構１３によって加工液５０を供給して薄膜９のレーザー照射部位Ｐ及びその近傍に加工液５０を接触又は充満させることができ、パネル１を加工液５０で洗浄して、加工により発生する加工粒を除去しながら、分離溝４（６、８）を形成することができる。
【００５１】
尚、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良、等が可能である。
例えば、上記の実施形態では、レーザー発生装置２１から出射されるレーザーを分割して、４台の光学系ユニット２２で加工するようにしたが、これに限定されず、光学系ユニット２２の台数は任意に設定することができる。また、加工液供給機構１３の台数も任意である。
【００５２】
また、本発明の非加工部は、ガラス基板のような基板に限定されるものでなく、シートであってもよい。
さらに、図１〜図４に示す実施形態において、図５と同様に、加工ブロック３０の加工液貯留槽３１の部分に透明板を設けた場合には、レーザー発生装置２１は加工ブロック３０の下側に配置して、パネル１の下方から薄膜９に照射してもよい。
【００５３】
また、本発明は、加工液を供給する加工液供給口を有する加工液供給部と、加工液供給部の周囲に加工液を回収する加工液回収部を少なくとも備えた構成であれば、前記薄膜のレーザー照射部位及びその近傍に前記加工液を接触又は充満させて、加工粒を含む加工液を回収しながらレーザー加工を行うことができる。
【符号の説明】
【００５４】
１        太陽電池パネル
２        ガラス基板（透明基板、非加工部）
３        電極膜
４        分離溝
５        半導体膜
６        分離溝
７        電極膜
８        分離溝
９        薄膜
１０      太陽電池パネルの製造装置
１１      搬送装置
１２      レーザー照射装置
１３      加工液供給機構
１４      浮上ユニット
１５      搬送機構
３０      加工ブロック
３１      加工液貯留槽（加工液供給部）
３２，３２ａ，３２ｂ  加工液回収溝（加工液回収部）
３３      真空溝
３４      エアベアリング
３６      加工液供給口
５０      加工液
５１      ノズル孔
５２，５４  透明板
５５      加工液供給部
Ｐ        レーザー照射部位
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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