(57)【要約】【課題】電極の劣化を防止して高輝度発光を長期的に確保可能なマイクロ波発光管、光源装置、プロジェクターを提供する。【解決手段】本発明のマイクロ波ランプ５は、マイクロ波によって励起される発光物質が封入された発光管１０と、発光管１０内に配置された電極１１ａ，１１ｂとを有し、少なくとも電極１１ａ，１１ｂの先端にダイヤモンド層１２をそれぞれ有している。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロ波によって励起される発光物質が封入された発光管と、前記発光管内に配置された電極とを有するマイクロ波発光管であって、
少なくとも前記電極の先端にダイヤモンド層を有していることを特徴とするマイクロ波発光管。
【請求項２】
マイクロ波によって励起される発光物質が封入された発光管と、前記発光管内に配置された電極とを有するマイクロ波発光管であって、
前記電極が、導電性を有したダイヤモンド電極であることを特徴とするマイクロ波発光管。
【請求項３】
前記ダイヤモンド層又は前記ダイヤモンド電極には、ボロンまたはリンがドープされていることを特徴とする請求項１または２記載のマイクロ波発光管。
【請求項４】
前記電極が、白金、イリジウム、ルテニウム、タンタル、タングステン、モリブデンのいずれかを主成分とする金属材料から構成されていることを特徴とする請求項１記載のマイクロ波発光管。
【請求項５】
一対の前記電極を備え、当該一対の電極が互いの先端部を対向させた状態で前記発光管内に配置されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一項に記載のマイクロ波発光管。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載のマイクロ波発光管と、
前記マイクロ波発光管が配置される共振器と、
前記マイクロ波を発生させるマイクロ波電源と、
前記マイクロ波電源と前記共振器との間のマイクロ波伝送路上に介在された方向性結合器と、
前記マイクロ波電源と前記マイクロ波発光管とのインピーダンスマッチングを行うインピーダンス整合器と、を備えたことを特徴とする光源装置。
【請求項７】
請求項６記載の光源装置を備えたことを特徴とするプロジェクター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロ波発光管、光源装置、プロジェクターに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、プロジェクターに用いられる光源装置として、発光管内に封入した発光物質をマイクロ波などの強いエネルギーでプラズマ化させて強く発光させる光源装置がある。
このように点光源化を実現するためにマイクロ波を利用した光源装置としては、発光物質が封入された発光管の外部に電極が配置された構造のものと、発光物質が封入された発光管内に電極が配置された構造のものとがある。
電極内蔵型のランプの場合、マイクロ波エネルギーによって励起された発光物質が石英ガラスからなる発光管の成分と反応して、発光管が白濁して失透するなどの現象が発生していた。これらの減少がランプの寿命、発光効率の低下を招く原因となっていた。
【０００３】
そこで、発光管の失透を抑制する方法として、例えば発光管の内面に失透抑制膜を設けたり（特許文献１）、熱に強いサファイヤガラスからなる発光管を用いることなどが提案されている（特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平５−２１０４１号公報
【特許文献２】特開２００３−５３３３１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１、２記載の構成の場合、タングステンなどからなる電極が発光物質のイオンによってスパッタされることはないものの、プラズマからの熱によって電極が溶融してしまうことがある。電極が溶融すると、マイクロ波の電流を効率よくプラズマに供給することができなくなり、発光輝度が低下してしまうという問題がある。
【０００６】
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み成されたものであって、電極の劣化を防止して高輝度発光を長期的に確保可能なマイクロ波発光管、光源装置、プロジェクターを提供することを目的の一つとしている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のマイクロ波発光管は、上記課題を解決するために、マイクロ波によって励起される発光物質が封入された発光管と、前記発光管内に配置された電極とを有するマイクロ波発光管であって、少なくとも前記電極の先端にダイヤモンド層を有していることを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、少なくとも電極の先端にダイヤモンド層を有することから、ダイヤモンド層の優れた耐熱性および放熱性により、プラズマからの熱によって電極が溶融してしまうのを防止することができる。このように、電極の劣化を防止することで長寿命化が可能となり、高輝度発光を長期的に確保できる。よって、マイクロ波発光管としての寿命を大幅に改善することが可能となる。
【０００９】
本発明のマイクロ波発光管は、マイクロ波によって励起される発光物質が封入された発光管と、前記発光管内に配置された電極とを有するマイクロ波発光管であって、前記電極が、ダイヤモンド電極であることを特徴とする。
【００１０】
本発明によれば、ダイヤモンド電極は、より放熱性に優れたものとなり、プラズマからの熱によって電極が溶融してしまうのをより効果的に防止することができる。また、プラズマの熱により、ダイヤモンドの導電率が大きくなり、効率よく電力を供給できる。このように、電極の劣化を防止することで長寿命化が可能となり、高輝度発光を長期的に確保と同時に高温なると導電率が大きくなることにより効率よく電力を供給出来る。よって、マイクロ波発光管の寿命と効率を大幅に改善することが可能となる。
【００１１】
また、前記ダイヤモンド層又は前記ダイヤモンド電極には、ボロンまたはリンがドープされていることが好ましい。
本発明によれば、ノンドープであっても良いが、ボロンまたはリンがドープされていると、導電率がさらに改善するため、好ましい。また、導電不良が防止され、マイクロ波エネルギーの伝送効率をより向上させることが可能となる。これにより、高輝度発光が長時間得られる。
【００１２】
また、前記電極が、白金、イリジウム、ルテニウム、タンタル、タングステン、モリブデンのいずれかを主成分とする金属材料から構成されていることが好ましい。
本発明によれば、低抵抗材料を電極材料として用いることによって、導電不良が防止され、マイクロ波エネルギーの伝送効率をより向上させることが可能となる。これにより、高輝度発光を長期間実現できる。
【００１３】
また、一対の前記電極を備え、当該一対の電極が互いの先端部を対向させた状態で前記発光管内に配置されていることが好ましい。
本発明によれば、一対の電極が互いの先端部を対向させた状態で発光管内に配置されていることから、点光源に近い高輝度発光が得られ、光源装置のランプとして好適なものとなる。
【００１４】
本発明の光源装置は、先に記載のマイクロ波発光管と、前記マイクロ波発光管が配置される共振器と、前記マイクロ波を発生させるマイクロ波電源と、前記マイクロ波電源と前記共振器との間のマイクロ波伝送路上に介在された方向性結合器と、前記マイクロ波電源と前記マイクロ波発光管とのインピーダンスマッチングを行うインピーダンス整合器と、を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、長寿命なマイクロ波発光管を備えたことにより、高輝度発光が長期間得られる信頼性の高い光源装置となる。
【００１５】
本発明のプロジェクターは、先に記載の光源装置を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、高輝度発光が長期的に得られる長寿命な光源装置を備えたことで、視認性が良好で高品位なプロジェクターが得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】第１実施形態の光源装置の全体構成を示す模式図。
【図２】第１実施形態のマイクロ波励起ランプの概略構成を示す図。
【図３】第２実施形態のマイクロ波励起ランプの概略構成を示す図。
【図４】マイクロ波励起ランプの他の実施例を示す断面図。
【図５】プロジェクターの一実施形態を示す概略構成図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。かかる実施の形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等が異なっている。
【００１８】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態である光源装置の全体構成を示す模式図である。図２は、マイクロ波励起ランプの構成を示す断面図である。
図１に示すように、本実施形態の光源装置１は、マイクロ波励起ランプ５（マイクロ波発光管）と、マイクロ波電源１６と、方向性結合器１７と、インピーダンス整合器１８と、共振器１９と、マイクロ波伝送線路２０と、を有して構成されている。
【００１９】
マイクロ波電源１６は、マイクロ波伝送線路２０を介して共振器１９に接続されており、６００ＭＨｚ〜２０ＧＨｚ程度のＩＳＭ帯（Industrial Science Medical）で許可されているマイクロ波を発生させる。また、波長λは、「λ＝（光速度）／（（√比誘電率）・使用する周波数）」の関係があり、使用する周波数やその電磁波が存在する空間によってλは決定される。そのため以下は、分かりやすくするために、２．４５ＧＨｚの周波数及び共振器は空気中であることを前提としている。
【００２０】
マイクロ波伝送線路２０は、マイクロ波電源１６で発生させたマイクロ波を共振器１９へ伝送するためのもので、特性インピーダンスが略５０Ωに保持されている。これにより、信号伝達において損失を生じさせることなく高周波信号（マイクロ波）を効率よく共振器１９へ供給することができる。マイクロ波はこのようなマイクロ波伝送線路２０の先端に設けられたアンテナ２０Ａから共振器１９内に放射されて供給される。
【００２１】
覆われたアンテナ２０Ａは、共振器１９内に挿入され、マイクロ波の伝送効率を高めるためにマイクロ波の波長λの１／４（約３０ｍｍ）程度の長さを有している。これによって高エネルギーの高周波電力を供給することが可能である。また、このアンテナ２０Ａの先端を共振器１９内のマイクロ波励起ランプ５の発光部１０ａの高さと略同じ高さにする。これにより、アンテナ２０Ａの先端から供給されたマイクロ波が、発光物質が封入されたマイクロ波励起ランプ５へと効率よく集中することとなる。
【００２２】
インピーダンス整合器１８は、マイクロ波伝送線路２０上に配置され、マイクロ波電源１６のインピーダンスと、共振器１９側のインピーダンスとのマッチングをとるために設けられるものである。
【００２３】
方向性結合器１７は、マイクロ波伝送線路２０上のインピーダンス整合器１８と共振器１９との間に配置されている。この方向性結合器１７は、共振器１９からの反射波を検出して駆動周波数や整合条件を可変させ、共振器１９の反射波が小さくなる反射条件をマイクロ波電源１６に供給する。
【００２４】
共振器１９は、マイクロ波伝送線路２０を介して供給されたマイクロ波を共振させる空洞共振器であって、前壁部２ａの中央部に開口部２ｂを有し、アルミニウムや銅などの導電性の良好な金属を用いて形成されている。開口部２ｂは、内部に直立状態で配置されるマイクロ波励起ランプ５の発光部１０ａと略同じ高さに位置している。その口径ｄは、共振器１９内で共振させるマイクロ波を漏洩させない寸法とされ、具体的には、マイクロ波の波長λの約１／４（約３０ｍｍ）以下の寸法で形成されている。
【００２５】
マイクロ波励起ランプ５は、図２に示すように、石英ガラス等の絶縁材料からなる発光管１０と、発光管１０内に配置された一対の電極１１ａ，１１ｂ、配線部１３等を備えている。発光管１０は、中央部分が球状の膨出した発光部１０ａと、発光部１０ａの両側に延在する細管状の支持部１０ｂ、１０ｃとを有して構成されている。支持部１０ｂ、１０ｃには、複数の配線１３ａ，１３ｂ、１３ｃからなる配線部１３がそれぞれ挿入されている。
【００２６】
発光部１０ａ内に形成された発光空間Ｋには、マイクロ波の入力を受けて発光する発光物質が充填されている。発光物質としては、例えば水銀、希ガス、ハロゲン化合物を用いることができる。なお、発光物質を超高圧封入することで、マイクロ波の励起によって十分な輝度を得ることができる。
【００２７】
電極１１ａ及び電極１１ｂは、発光部１０ａの発光空間Ｋ内において互いの先端側を対向させて、所定の間隔（以下、ギャップｇという。）をおいて配置されている。点光源に近い高輝度発光を得るためには、電極１１ａ，１１ｂ同士のギャップｇがなるべく小さくなるように配置する。
【００２８】
電極１１ａ，１１ｂは、熱膨張係数が小さく耐熱性が高い導電性材料を用いて形成され、例えばタングステンやモリブデンなどを主成分とする金属が好適である。また、他の電極材料としては、融点が２０００℃以上であることを条件として、イリジウム（融点：２４２５℃）、ルテニウム（融点：２４３１℃）、タンタル（融点：２９９９℃）等が挙げられる。また、本実施形態では、発光空間Ｋ内に突出した配線１３ａ，１３ａの一部が電極１１ａ，１１ｂとして機能している。
【００２９】
本実施形態の電極１１ａ，１１ｂは、その表面全体（配線１３ａ，１３ａの先端部）がダイヤモンド層１２によってコーティングされている。ダイヤモンド層１２は、単結晶ダイヤモンドあるいは多結晶ダイヤモンドのいずれかからなっていてもよい。ダイヤモンドの融点は約３５００℃であり、電極１１ａ，１１ｂの主成分であるタングステンやモリブデンの融点よりも高いため耐熱性に優れている。また、ダイヤモンドは、金属のなかでも特に熱伝導率が高く放熱性が良好なため、プラズマからの熱によって電極１１ａ，１１ｂ（特にプラズマが当たる先端側）が溶融してしまうのを防止する効果が得られる。
しかし、ダイヤモンド層１２の厚みが０．１μｍ以下とあまりにも薄い場合には十分な耐熱性および放熱性が得られないことから、ダイヤモンド層１２の厚みを数μｍ〜数十μｍ程度にする。本実施形態においては、ダイヤモンド層１２の厚みが約２０μｍ程度となっている。
【００３０】
なお、本実施形態では、電極１１ａ，１１ｂの表面全体がダイヤモンド層１２によってコーティングされているが、電極１１ａ，１１ｂの少なくとも先端側のみにダイヤモンド層１２が設けられてるだけでも放熱効果が得られる。勿論、電極１１ａ，１１ｂの溶融を確実且つ長期的に抑制するという点においては、発光管１０の発光空間Ｋ内でタングステンやモリブデンからなる部分が露出することがないようにダイヤモンド層１２で覆っておく方が有効的である。
【００３１】
以上のような構成の光源装置１の動作について説明する。
本実施形態の光源装置１は、マイクロ波電源１６で発生した２．４ＧＨｚ程度のマイクロ波をマイクロ波伝送線路２０、インピーダンス整合器１８および方向性結合器１７を介して共振器１９に供給する。このとき、方向性結合器１７において共振器１９からの反射波を検出し、共振器１９の反射波が小さくなる反射条件をマイクロ波電源１６に供給する。マイクロ波電源１６では、マイクロ波を供給する一方、方向性結合器１７からの反射条件に基づいて共振器１９側のインピーダンスとマッチングする整合定数をインピーダンス整合器１８に出力する。そして、インピーダンス整合器１８では、上記した整合定数に基づいて共振器１９側とマイクロ波電源１６のインピーダンスがマッチングするように調整を行う。
【００３２】
そして、マイクロ波伝送線路２０のアンテナ２０Ａから所定周波数のマイクロ波が共振器１９内に供給されると、その内部空間でマイクロ波が共振し、共振したマイクロ波のエネルギーがマイクロ波励起ランプ５に集中する。すると、集中したマイクロ波エネルギーによってマイクロ波励起ランプ５内の発光物質が励起されてプラズマ発光する。そして、このようなマイクロ波励起ランプ５からの発光光が、開口部２ｂを通じて共振器１９の外部に放射されることとなる。
【００３３】
本実施形態の光源装置１によれば、電極１１ａ，１１ｂの表面をそれぞれダイヤモンド層１２によって覆うことにより、プラズマからの熱による電極１１ａ，１１ｂの温度上昇を抑えて、電極１１ａ，１１ｂが溶融してしまうことを防止することができる。タングステンなどは温度上昇とともに電気抵抗も上昇する。このため、上述したようにダイヤモンド層１２によって電極１１ａ，１１ｂの温度上昇が抑える構成とすることによって、低抵抗を維持できる。これにより、電極１１ａ，１１ｂにおけるマイクロ波電流の流れが均一になり、伝送効率が向上する。
なお、本実施形態は、ダイヤモンド層１２により電極１１ａ，１１ｂの温度上昇が抑えられる構成であることから、融点の低い白金等の低抵抗材料を電極材料として用いる場合に効果的である。
【００３４】
このようにして電極１１ａ，１１ｂの劣化を防ぐことにより、マイクロ波電流を効率よくプラズマに供給することが可能となる。したがって、電極１１ａ，１１ｂ間に発生するプラズマの大きさが長時間変化せず、高輝度発光が長期的に確保されることになる。また、電極１１ａ，１１ｂの長寿命化が実現され、光源装置１としての信頼性も向上する。
【００３５】
次に、本実施形態の光源装置の製造方法について述べる。ここでは、電極にダイヤモンド層をコーティングする工程を中心に説明する。
本実施形態においては、マイクロ波プラズマＣＶＤ法を用いてダイヤモンド層１２を形成した。マイクロ波プラズマＣＶＤ法は、原料ガスにマイクロ波を印加することによってプラズマ化し、ダイヤモンド粒子を堆積させることで層を形成する方法である。
【００３６】
一般的に、ダイヤモンドの膜を形成するには、形成初期過程における成長核の制御が重要である。被覆部材に何ら処理することなくダイヤモンド層を形成しようとしても、成長核の発生が少なく層状にすることは困難である。そこで、前処理として、ダイヤモンド砥粒（粒径：数μｍ〜数十μｍ）を用いて電極１１ａ、１１ｂの表面（電極となる配線１３ａの表面の一部）を傷付ける「傷付け処理」を行う。
【００３７】
次に、有機洗浄や水によって電極１１ａ、１１ｂ（配線１３ａ，１３ａ）の表面を洗浄し、傷付け処理を行った部分に付着した余分なダイヤモンド砥粒を取り除く。電極１１ａ、１１ｂ（配線１３ａ，１３ａ）の表面に埋め込まれたダイヤモンド砥粒のみが残り、このダイヤモンド砥粒がＣＶＤ上での成長核となる。
【００３８】
次に、マイクロ波プラズマＣＶＤ法によって電極１１ａ、１１ｂ（配線１３ａ，１３ａ）の表面にダイヤモンド層１２を形成する。具体的に、マイクロ波出力：３００Ｗ、原料ガス：（ＣＨ４：Ｈ２＝２：１００）、トータル流量：５０ｓｃｃｍ、成膜温度：５００℃、ガス圧力：４０Ｔｏｒｒを条件として実施する。ダイヤモンドの成膜速度は１μｍ／ｈであり、２０時間に亘って処理を行うことで厚さ約２０μｍのダイヤモンド層１２を形成する。
本方法によれば、電極材料に関わらず、同様の手順でダイヤモンド層１２を形成することが可能である。
【００３９】
なお、本実施形態の製造方法では、マイクロ波プラズマＣＶＤ法を採用したが、高融点金属フィラメントを用いたフィラメントＣＶＤ法等を採用しても良い。
【００４０】
本実施形態の製造方法によれば、マイクロ波プラズマＣＶＤ法を用いて電極１１ａ，１１ｂの表面をダイヤモンド層１２によりコーティングすることができる。上述したように、前処理として電極１１ａ，１１ｂの表面にダイヤモンド砥粒により成長核を形成することで、ダイヤモンド膜を容易に成長させることができ、良質なダイヤモンド層１２を形成することができる。このようにして、耐熱性及び放熱性に優れた電極１１ａ，１１ｂが得られる。
【００４１】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について図３を用いて説明する。図３は、第２実施形態の光源装置のマイクロ波励起ランプを示す断面図である。以下に示す本実施形態の光源装置の基本構成は上記第１実施形態と略同様であるが、電極の構成が異なっている。よって、以下の説明では、電極の構成について説明し、共通な箇所の説明は省略する。また、説明に用いる各図面において、図１及び図２と共通の構成要素には同一の符号を付すものとする。
【００４２】
本実施形態の光源装置１は、ボロンやリンがドープされた導電性のダイヤモンド電極１５ａ，１５ｂを備えている。先の実施形態において記載したダイヤモンド層１２は、室温では半絶縁体である。温度が融点近くまで上昇すると抵抗が下がるものの、その導電性はそれほど大きくない。一方、ダイヤモンドに不純物、ボロンやリンなどをダイヤモンド薄膜形成時にドーピングを行うことにより、室温においても導電性を帯びさせることが可能であり、温度が上昇することにより導電率は非常に大きくなることが期待できる。特に、マイクロ波は表皮効果により表面にしか電流が流れないため、その効果は大きく効率良く電力をプラズマへ伝送することが可能となる。また、ダイヤモンド電極１５ａ，１５ｂとしたことで、プラズマからの熱によって溶融する心配もなく、マイクロ波励起ランプ５としての信頼性が向上する。
【００４３】
なお、先の実施形態では、発光管１０内に電極１１ａ，１１ｂを配置した構成について述べたが、図４（ａ）に示すように、発光空間Ｋを有した発光管３０の外側に、先端部がダイヤモンド層１２によってコーティングされた一対の電極１１ａ，１１ｂをそれぞれ対向配置した構成としてもよい。なお、電極を一対設けることに特に限定はされない。
また、図４（ｂ）に示すように、ダイヤモンド電極１５ａが発光管３０と一体となるように構成してもよい。
また、共振器１９からの発光光の取り出し効率を高めるために、リフレクターを備えたマイクロ波励起ランプ５としてもよい。このリフレクターは、マイクロ波励起ランプ５と別体に設けてもよい。
【００４４】
（プロジェクター）
次に、図５を参照しつつ本発明に係るプロジェクターの一実施形態を説明する。図５に示すように、プロジェクター５００は、光源装置５５０、液晶ライトバルブ（画像形成装置）５５１ａ、５５１ｂ、５５１ｃ、クロスダイクロイックプリズム５５２、及び投射レンズ（投射装置）５５３を備えている。光源装置５５０は、本発明の光源装置を適用したものであり、マイクロ波励起ランプ５０１、リフレクター５０２、フィルター５０３、レンズアレイ５０４、偏光変換素子５０５、及びコンデンサレンズ５０６を備えている。光源装置５５０から射出された光は、ダイクロイックミラー５０７、５０８、リレー光学系５０９等を経て、液晶ライトバルブ５５１ａ〜５５１ｃに入射する。
【００４５】
ダイクロイックミラー５０７、５０８は、例えばガラス表面に誘電体多層膜を積層したものである。これにより、所定の波長帯域の色光が選択的に反射し、それ以外の波長帯域の色光が透過するようになっている。例えば、光源装置５５０から射出された光源光のうち、赤色光Ｌａがダイクロイックミラー５０７を透過するとともに、緑色光Ｌｂ及び青色光Ｌｃがダイクロイックミラー５０７で反射する。また、ダイクロイックミラー５０７で反射した緑色光Ｌｂ及び青色光Ｌｃのうち、青色光Ｌｃがダイクロイックミラー５０８を透過し、緑色光Ｌｂがダイクロイックミラー５０８で反射する。
【００４６】
ダイクロイックミラー５０７を透過した赤色光Ｌａは、反射ミラーで反射し平行化レンズを経て赤色光用の液晶ライトバルブ５５１ａに入射する。ダイクロイックミラー５０８で反射した緑色光Ｌｂは、平行化レンズを経て緑色光用の液晶ライトバルブ５５１ｂに入射する。ダイクロイックミラー５０８を透過した青色光Ｌｃは、リレー光学系５０９を経て青色光用の液晶ライトバルブ５５１ｃに入射する。
【００４７】
クロスダイクロイックプリズム５５２は、三角柱プリズムが貼り合わされた構造となっており、その内面に赤色光Ｌａが反射し緑色光Ｌｂが透過するミラー面と、青色光Ｌｂが反射し緑色光が透過するミラー面とが互いに直交して形成されている。赤色光Ｌａ、緑色光Ｌｂ、青色光Ｌｃは、これらのミラー面で選択的に反射あるいは透過して同じ側に射出される。これにより、３つの色光が重ね合わされて合成光となる。この合成光は、投射レンズ５５３によってスクリーン５６０に拡大投射される。これにより、カラー表示の映像が得られるようになっている。
【００４８】
以上のようなプロジェクター５００にあっては、本発明の光源装置を適用した光源装置５５０を備えているので、光源装置５５０を小型にすることができ、プロジェクター５００を小型にすることができる。また、光源装置５５０において光の利用効率が高くなっているので、低消費電力のプロジェクター５００になっている。また、光源装置５５０により漏洩電波を低減させることができ、信頼性に優れたプロジェクター５００になっている。
【００４９】
なお、前記実施形態では、画像形成装置として透過型の液晶ライトバルブを用いた例を示したが、反射型の液晶ライトバルブを用いることも可能である。その場合には、反射型の液晶ライトバルブを用いるのに適した光学系に適宜変更される。また、液晶ライトバルブ以外の画像形成装置を用いることも可能である。例えば、デジタルミラーデバイス等の液晶ライトバルブ以外の画像形成装置を用いても良い。
【００５０】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００５１】
例えば、本発明の光源装置をデジタルサイネージ（Digital Signage）用プロジェクターの光源として適用してもよい。また、紫外線による洗浄作用や改質効果のある紫外線ランプの光源として適用することも可能である。
【符号の説明】
【００５２】
１…光源装置、５…マイクロ波励起ランプ（マイクロ波発光管）、１１ａ，１１ｂ…電極、１２…ダイヤモンド層、１５，１５…ダイヤモンド電極、１６…マイクロ波電源、１７…方向性結合器、１８…インピーダンス整合器、２０…マイクロ波伝送線路、５００…プロジェクター
【図１】
2011034933.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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