(57)【要約】【課題】低駆動電圧化を図りつつ、物理量（例えば速度、加速度等）を高精度に検出することができる物理量センサー素子片、物理量センサー素子および物理量センサーを提供すること。【解決手段】物理量センサー素子片２は、電圧の印加により捩り振動する４つの駆動用振動腕２２、２３と、駆動用振動腕２２、２３とは別体として設けられ、駆動用振動腕２２、２３が屈曲振動したときにその屈曲振動に伴って屈曲振動し、その屈曲振動の状態に応じた電荷を生じさせる２つの検出用振動腕１００とを有し、検出用振動腕１００で生じた電荷に基づいて、所定の物理量を検出し得る。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電圧の印加により捩り振動する少なくとも１つの駆動用振動腕と、
前記駆動用振動腕とは別体として設けられ、前記駆動用振動腕が屈曲振動したときにその屈曲振動に伴って屈曲振動し、その屈曲振動の状態に応じた電荷を生じさせる少なくとも１つの検出用振動腕とを有し、
前記検出用振動腕で生じた電荷に基づいて、物理量を検出し得ることを特徴とする物理量センサー素子片。
【請求項２】
前記駆動用振動腕には、その長手方向に沿って溝が設けられている請求項１に記載の物理量センサー素子片。
【請求項３】
前記駆動用振動腕は、横断面で見たときに、第１の方向に沿って設けられた第１の部分と、前記第１の部分の重心に対して前記第１の方向およびこれに直交する第２の方向にそれぞれ重心がずれるようにして前記第１の部分に接続された第２の部分とで構成された構造部を含み、
前記第１の部分は、電圧の印加により、前記振動腕の長手方向に伸縮振動し、
前記第２の部分は、前記電圧の印加により、前記振動腕の前記長手方向に実質的に伸縮振動しないかまたは前記第１の部分の位相とはずれた位相で伸縮振動し、
前記構造部が前記第１の部分および前記第２の部分の協働により捩り振動し、これにより、前記駆動用振動腕が捩り振動するように構成されている請求項２に記載の物理量センサー素子片。
【請求項４】
互いに平行となるように設けられ、互いに同方向に捩り振動する１対の前記駆動用振動腕を有する請求項１ないし３のいずれかに記載の物理量センサー素子片。
【請求項５】
長手形状をなし、その中央部または両端部が支持され、前記１対の駆動用振動板の基端部同士を連結する連結部を有し、
前記１対の駆動用振動腕の間には、１つの前記検出用振動腕が前記連結部から延出して設けられている請求項４に記載の物理量センサー素子片。
【請求項６】
前記１対の駆動用振動腕および前記１つの検出用振動腕の組が前記連結部に対して一方側とそれと反対の他方側とにそれぞれ設けられている請求項５に記載の物理量センサー素子片。
【請求項７】
前記連結部に対して前記一方側に設けられた前記１対の駆動用振動腕と、前記連結部に対して前記他方側に設けられた前記１対の駆動用振動腕とは、互いに逆方向に捩り振動するように構成されている請求項６に記載の物理量センサー素子片。
【請求項８】
前記駆動用振動腕および前記検出用振動腕は、それぞれ、圧電体材料で構成されている請求項１ないし７のいずれかに記載の物理量センサー素子片。
【請求項９】
前記駆動用振動腕および前記検出用振動腕は、それぞれ、非圧電体材料で構成され、前記駆動用振動腕上および前記検出用振動腕上には、それぞれ、圧電薄膜を備える圧電素子が設けられている請求項１ないし８のいずれかに記載の物理量センサー素子片。
【請求項１０】
前記物理量は、速度および加速度のうちの少なくとも一方である請求項１ないし９のいずれかに記載の物理量センサー素子片。
【請求項１１】
請求項１ないし１０のいずれかに記載の物理量センサー素子片と、
前記物理量センサー素子片を収納するパッケージとを有することを特徴とする物理量センサー素子。
【請求項１２】
請求項１１に記載の物理量センサー素子と、
前記物理量センサー素子を駆動する電子部品とを有することを特徴とする物理量センサー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物理量センサー素子片、物理量センサー素子および物理量センサーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
物理量センサーとしては、例えば、加速度センサーが実用に供されている。従来、加速度センサーとしては、互いに平行となるように延出した２つの振動腕を備える水晶振動子片を用いたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
例えば、特許文献１に係る加速度センサーでは、横断面が矩形をなす各振動腕の厚さ向に互いに対向する１対の面に２対の駆動電極が配置され、幅方向に対向する１対の面に１対の検出電極が配置されている。そして、２対の駆動電極のうち、互いに対向する一方の１対の駆動電極と、互いに対向する他方の１対の駆動電極とに極性が逆となるように電圧を印加することにより、各振動腕を捩り振動させる。
【０００３】
また、各振動腕は、上述したように捩り振動した状態で加速度を受けると、その加速度に応じて屈曲振動する。この屈曲振動によって各振動腕から生じた電荷を１対の検出電極で検出し、その検出結果に基づいて加速度を検出する。
しかしながら、特許文献１に係る加速度センサーでは、駆動電極および検出電極が同一の振動腕上に設けられているので、振動腕を捩り振動に適した構造とすると、振動腕を屈曲振動に適した構造とすることができず、検出精度を高めることが困難である。特に、振動腕の捩り振動の周波数と屈曲振動の周波数とを近づけることが困難であり、その結果、検出精度の低下を招いてしまう。
また、振動腕を屈曲振動に適した構造とすると、振動腕を捩り振動に適したものとすることができず、振動腕を効率的に捩り振動することができない。そのため、駆動電圧の上昇を招いてしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２８１４５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、低駆動電圧化を図りつつ、物理量（例えば速度、加速度等）を高精度に検出することができる物理量センサー素子片、物理量センサー素子および物理量センサーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の物理量センサー素子片は、電圧の印加により捩り振動する少なくとも１つの駆動用振動腕と、
前記駆動用振動腕とは別体として設けられ、前記駆動用振動腕が屈曲振動したときにその屈曲振動に伴って屈曲振動し、その屈曲振動の状態に応じた電荷を生じさせる少なくとも１つの検出用振動腕とを有し、
前記検出用振動腕で生じた電荷に基づいて、物理量を検出し得ることを特徴とする。
このような本発明によれば、検出用振動腕が駆動用振動腕とは別体として設けられているので、駆動用振動腕が検出用振動腕を兼ねている従来の構成に比べて、駆動用振動腕を効率的に捩り振動させることができる。そのため、このような物理量センサー素子片の駆動電圧を低電圧化することができる。
また、検出用振動腕が駆動用振動腕とは別体として設けられているので、駆動用振動腕の捩り振動の周波数と検出用振動腕の屈曲振動の周波数とを容易に近づけることができる。そのため、このような物理量センサー素子片は、優れた検出精度を有する。
【０００７】
［適用例２］
本発明の物理量センサー素子片では、前記駆動用振動腕には、その長手方向に沿って溝が設けられていることが好ましい。
これにより、駆動用振動腕の捩り剛性を低めることができる。そのため、物理量センサー素子片の小型化を図りつつ、駆動用振動腕の捩り振動の周波数を低めることができる（低周波数駆動が可能となる）。
【０００８】
［適用例３］
本発明の物理量センサー素子片では、前記駆動用振動腕は、横断面で見たときに、第１の方向に沿って設けられた第１の部分と、前記第１の部分の重心に対して前記第１の方向およびこれに直交する第２の方向にそれぞれ重心がずれるようにして前記第１の部分に接続された第２の部分とで構成された構造部を含み、
前記第１の部分は、電圧の印加により、前記振動腕の長手方向に伸縮振動し、
前記第２の部分は、前記電圧の印加により、前記振動腕の前記長手方向に実質的に伸縮振動しないかまたは前記第１の部分の位相とはずれた位相で伸縮振動し、
前記構造部が前記第１の部分および前記第２の部分の協働により捩り振動し、これにより、前記駆動用振動腕が捩り振動するように構成されていることが好ましい。
これにより、伸縮振動を用いて駆動用振動腕に捩り振動を励振させることができる。そのため、駆動用振動腕に効率的に捩り振動を励振させることができる。その結果、物理量センサー素子片の低駆動電圧化を図ることができる。
【０００９】
［適用例４］
本発明の物理量センサー素子片では、互いに平行となるように設けられ、互いに同方向に捩り振動する１対の前記駆動用振動腕を有することが好ましい。
これにより、各駆動用振動腕に作用するコリオリ力が同じ方向となる。そのため、駆動用振動腕のコリオリ力による屈曲振動に伴って検出用振動腕を効率的に屈曲振動させることができる。その結果、物理量センサー素子片の物理量（速度）の検出精度を高めることができる。
【００１０】
［適用例５］
本発明の物理量センサー素子片では、長手形状をなし、その中央部または両端部が支持され、前記１対の駆動用振動板の基端部同士を連結する連結部を有し、
前記１対の駆動用振動腕の間には、１つの前記検出用振動腕が前記連結部から延出して設けられていることが好ましい。
これにより、駆動用振動腕のコリオリ力による屈曲振動に伴って検出用振動腕をより効率的に屈曲振動させることができる。
【００１１】
［適用例６］
本発明の物理量センサー素子片では、前記１対の駆動用振動腕および前記１つの検出用振動腕の組が前記連結部に対して一方側とそれと反対側とにそれぞれ設けられていることが好ましい。
これにより、駆動用振動腕のコリオリ力による屈曲振動に伴って検出用振動腕をさらに効率的に屈曲振動させることができる。
【００１２】
［適用例７］
本発明の物理量センサー素子片では、前記連結部に対して前記一方側に設けられた前記１対の駆動用振動腕と、前記連結部に対して前記他方側に設けられた前記１対の駆動用振動腕とは、互いに逆方向に捩り振動するように構成されていることが好ましい。
これにより、前記一方側に設けられた前記１対の駆動用振動腕と、前記他方側に設けられた前記１対の駆動用振動腕との互いに不要な振動を相殺させることができる。そのため、物理量センサー素子片からの振動漏れを防止または抑制することができる。
【００１３】
［適用例８］
本発明の物理量センサー素子片では、前記駆動用振動腕および前記検出用振動腕は、それぞれ、圧電体材料で構成されていることが好ましい。
これにより、駆動用振動腕および検出用振動腕の表面にそれぞれ電極を形成すると言う比較的簡単な構成で、駆動用振動腕の捩り振動の駆動および検出用振動腕の屈曲振動の検出が可能となる。そのため、物理量センサー素子片の小型化および低コスト化を図ることができる。
【００１４】
［適用例９］
本発明の物理量センサー素子片では、前記駆動用振動腕および前記検出用振動腕は、それぞれ、非圧電体材料で構成され、前記駆動用振動腕上および前記検出用振動腕上には、それぞれ、圧電薄膜を備える圧電素子が設けられていることが好ましい。
例えば、非圧電性材料としてシリコンを用いた場合、エッチングにより高精度な寸法精度で駆動用振動腕および検出用振動腕を形成することができる。そのため、所望の振動特性および検出特性を有する物理量センサー素子片を比較的簡単に得ることができる。
【００１５】
［適用例１０］
本発明の物理量センサー素子片では、前記物理量は、速度および加速度のうちの少なくとも一方であることが好ましい。
これにより、速度および加速度のうちの少なくとも一方を検出することができる。
［適用例１１］
本発明の物理量センサー素子は、本発明の物理量センサー素子片と、
前記物理量センサー素子片を収納するパッケージとを有することを特徴とする。
これにより、駆動電圧の低電圧化を図りつつ、高精度に物理量を検出することができる物理量センサー素子を提供することができる。
【００１６】
［適用例１２］
本発明の物理量センサーは、本発明の物理量センサー素子と、
前記物理量センサー素子を駆動する電子部品とを有することを特徴とする。
これにより、駆動電圧の低電圧化を図りつつ、高精度に物理量を検出することができる物理量センサーを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１実施形態に係る物理量センサーを示す上面図である。
【図２】図１に示す物理量センサーの断面図である。
【図３】図１に示す物理量センサーに備えられた物理量センサー素子片を示す上面図（電極の図示を省略した図）である。
【図４】図１に示す物理量センサーに備えられた物理量センサー素子片を示す下面図である。
【図５】図１に示す物理量センサーに備えられた物理量センサー素子片の駆動用振動腕および検出用振動腕の断面図（（ａ）は、図１中のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は、図１中のＢ−Ｂ線断面図）である。
【図６】図５に示す駆動用振動腕の動作を説明するための部分拡大斜視図である。
【図７】駆動用振動腕の変形例（変形例１〜３）を示す断面図（横断面図）である。
【図８】検出用振動腕の変形例（変形例１〜４）を示す断面図（横断面図）である。
【図９】本発明の第２実施形態に係る物理量センサーに備えられた物理量センサー素子片を示す上面図である。
【図１０】図９に示す物理量センサー素子片の断面図（図９中のＡ−Ａ線断面図）である。
【図１１】本発明の第３実施形態に係る物理量センサーに備えられた物理量センサー素子片を示す上面図である。
【図１２】図１１に示す物理量センサー素子片の断面図（図１１中のＡ−Ａ線断面図）である。
【図１３】本発明の第４実施形態に係る物理量センサーに備えられた物理量センサー素子片を示す上面図である。
【図１４】本発明の第５実施形態に係る物理量センサーに備えられた物理量センサー素子片を示す上面図である。
【図１５】本発明の第６実施形態に係る物理量センサーに備えられた物理量センサー素子片を示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の物理量センサー素子片、物理量センサー素子および物理量センサーを添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る物理量センサーを示す上面図、図２は、図１に示す物理量センサーの断面図、図３は、図１に示す物理量センサーに備えられた物理量センサー素子片を示す上面図（電極の図示を省略した図）、図４は、図１に示す物理量センサーに備えられた物理量センサー素子片を示す下面図、図５は、図１に示す物理量センサーに備えられた物理量センサー素子片の駆動用振動腕および検出用振動腕の断面図（（ａ）は、図１中のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は、図１中のＢ−Ｂ線断面図）、図６は、図５に示す駆動用振動腕の動作を説明するための部分拡大斜視図、図７は、駆動用振動腕の変形例（変形例１〜３）を示す断面図（横断面図）、図８は、検出用振動腕の変形例（変形例１〜４）を示す断面図（横断面図）である。なお、各図では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示している。また、以下では、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向（第１の方向）をＹ軸方向、Ｚ軸に平行な方向（第２の方向）をＺ軸方向と言う。また、説明の便宜上、図２中の上側を「上」、下側を「下」、右側を「右」、左側を「左」と言う。
【００１９】
図１に示す物理量センサー１は、物理量として速度および加速度のうちの少なくとも一方を検出するもの（速度センサー、加速度センサー）である。
この物理量センサー１は、物理量センサー素子片２と、この物理量センサー素子片２を駆動する機能を有する電子部品３と、物理量センサー素子片２および電子部品３を収納するパッケージ４とを有する。ここで、物理量センサー素子片２およびパッケージ４は、物理量センサー素子を構成している。なお、電子部品３は、パッケージ４の外部に設けられていてもよい。
【００２０】
以下、物理量センサー１を構成する各部を順次詳細に説明する。
（物理量センサー素子片）
まず、物理量センサー素子片２について説明する。
本実施形態では、物理量センサー素子片２は、捩り物理量として速度および加速度のうちの少なくとも一方を検出するもの（速度センサー、加速度センサー）である。
この物理量センサー素子片２は、圧電体２４と、この圧電体２４上に設けられた励振電極群２５、２６、検出電極群１１０および接続電極群２７、２８、２９とを有している。
【００２１】
圧電体２４は、１対の駆動用振動腕２２、２３および１つの検出用振動腕１００からなる組を２組有している。すなわち、４本（２対）の駆動用振動腕２２、２３と、２本（１対）の検出用振動腕１００とを有している。
この圧電体２４は、圧電材料で構成されており、かかる圧電材料としては、例えば、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、ホウ酸リチウム、チタン酸バリウム等が挙げられる。特に、圧電材料としては水晶が好ましい。このような圧電体材料を用いて圧電体２４（駆動用振動腕２２、２３および検出用振動腕１００）を構成することにより、駆動用振動腕２２、２３の表面に電極（励振電極群２５、２６、検出電極群１１０等）を形成すると言う比較的簡単な構成で、駆動用振動腕２２、２３の捩り振動の駆動および検出用振動腕１００の屈曲振動の検出が可能となる。そのため、物理量センサー素子片２の小型化および低コスト化を図ることができる。
このような圧電体２４の基部２１は、長手形状をなす連結部２１１を有している。この連結部２１１は、その両端部が支持（後述するベース基板４１に固定）されている。
【００２２】
そして、この連結部２１１には、１対の駆動用振動腕２２、２３および１つの検出用振動腕１００の組が連結部２１１に対して一方側とそれと反対側とにそれぞれ延出して設けられている。これにより、４本（２対）の駆動用振動腕２２、２３および２本（１対）の検出用振動腕１００の基端部同士が連結部２１１により連結されている。
このような連結部２１０は、所定の弾性を有していて、各駆動用振動腕２２、２３の屈曲振動を各検出用振動腕１００に伝達する機能を有する。なお、基部２１（連結部２１０）の形状は、図示のものに限定されず、任意である。
【００２３】
各駆動用振動腕２２は、電圧の印加により、その長手方向（Ｙ軸方向）に沿った中心軸（軸線ｙ１）まわりに捩り振動（駆動）するものである。また、各駆動用振動腕２３は、電圧の印加により、その長手方向（Ｙ軸方向）に沿った中心軸（軸線ｙ２）まわりに捩り振動（駆動）するものである。ここで、駆動用振動腕２２、２３は、それぞれ、その連結部２１０側の端部（基端部）が固定端となり、連結部２１０と反対側の端部（先端部）が自由端となる。
【００２４】
また、駆動用振動腕２２、２３は、後に詳述するが、それぞれ、捩り振動した状態で、物理量センサー素子片２の速度や加速度に応じたコリオリ力により屈曲振動する。
各組の１対の駆動用振動腕２２、２３は、互いに平行となるように設けられ、互いに同方向に捩り振動するものである。これにより、各駆動用振動腕２２、２３に作用するコリオリ力が同じ方向となる。そのため、駆動用振動腕２２、２３のコリオリ力による屈曲振動が同方向となり、その屈曲振動に伴って検出用振動腕１００を効率的に屈曲振動させることができる。その結果、物理量センサー素子片２の物理量（速度）の検出精度を高めることができる。
【００２５】
一方、各検出用振動腕１００は、駆動用振動腕２２、２３とは別体として設けられ、前述した駆動用振動腕２２、２３の屈曲振動に伴って屈曲振動するものである。また、各検出用振動腕１００は、その屈曲振動の状態に応じた電荷を生じさせる。したがって、各検出用振動腕１００で生じた電荷に基づいて、所定の物理量を検出し得る。ここで、各検出用振動腕１００は、その連結部２１０側の端部（基端部）が固定端となり、連結部２１０と反対側の端部（先端部）が自由端となる。
【００２６】
また、各組の１対の駆動用振動腕２２、２３の間に、１つの検出用振動腕１００が連結部２１０から駆動用振動腕２２、２３に平行となるように延出して設けられている。１対の駆動用振動腕２２、２３の間に１つの検出用振動腕１００を設けることにより、駆動用振動腕２２、２３のコリオリ力による屈曲振動に伴って検出用振動腕１００をより効率的に屈曲振動させることができる。
【００２７】
特に、本実施形態では、前述したように、１対の駆動用振動腕２２、２３および１つの検出用振動腕１００の組が連結部２１０に対して一方側とそれと反対の他方側とにそれぞれ設けられているので、駆動用振動腕２２、２３のコリオリ力による屈曲振動に伴って検出用振動腕１００をさらに効率的に屈曲振動させることができる。
また、連結部２１０に対して前記一方側に設けられた１対の駆動用振動腕２２、２３と、連結部２１０に対して前記他方側に設けられた１対の駆動用振動腕２２、２３とは、互いに逆方向に捩り振動するものである。すなわち、同一方向から見たときに、２つの質量部２２４が互いに逆方向に回動するとともに、２つの質量部２３４が互いに逆方向に回動する。
【００２８】
これにより、前記一方側に設けられた１対の駆動用振動腕２２、２３と、前記他方側に設けられた１対の駆動用振動腕２２、２３との互いに不要な振動を相殺させることができる。そのため、物理量センサー素子片２からの振動漏れを防止または抑制することができる。
また、図３に示すように、駆動用振動腕２２には、その延出方向（長手方向）に沿って、溝２２１が設けられている。本実施形態では、駆動用振動腕２２は、横断面が略Ｌ字状をなすように溝２２１が形成されている（図５参照）。
【００２９】
言い換えると、このような駆動用振動腕２２は、その横断面（ＸＺ断面）で見たときに、Ｚ軸方向に沿った部分（第１の部分）２２２と、Ｘ軸方向に沿って部分２２２の下端部（Ｚ軸方向での一端部）に接続された部分（第２の部分）２２３とで構成されている。
同様に、駆動用振動腕２３には、その延出方向（長手方向）に沿って、溝２３１が設けられている。本実施形態では、駆動用振動腕２３は、横断面が駆動用振動腕２２と同じ向きで略Ｌ字状をなすように溝２３１が形成されている（図５参照）。
【００３０】
言い換えると、このような駆動用振動腕２３は、その横断面（ＸＺ断面）で見たときに、Ｚ軸方向に沿った部分（第１の部分）２３２と、Ｘ軸方向に沿って部分２３２の下端部（Ｚ軸方向での一端部）に接続された部分（第２の部分）２３３とで構成されている。
このように駆動用振動腕２２、２３の延出方向（長手方向）に沿って溝２２１、２３１を設けることにより、駆動用振動腕２２、２２の捩り剛性低めることができる。そのため、物理量センサー素子片２の小型化を図りつつ、駆動用振動腕２２、２３の捩り振動の周波数を低めることができる（低周波数駆動が可能となる）。
【００３１】
本実施形態では、連結部２１０に対して一方側（図１にて上側）に設けられた１対の駆動用振動腕２２、２３では、溝２２１、２３１が上側（＋Ｚ軸方向側）および右側（＋Ｘ軸方向側）に開放され、連結部２１０に対して他方側（図１にて下側）に設けられた１対の駆動用振動腕２２、２３では、溝２２１、２３１が下側（−Ｚ軸方向側）および左側（−Ｘ軸方向側）に開放されている。これにより、各駆動用振動腕２２、２３で生じた不要な振動を互いに相殺して、振動漏れを防止または抑制することができる。
【００３２】
また、駆動用振動腕２２の先端部には、溝２２１が形成された部分（構造部）よりも横断面積が大きい質量部（ハンマーヘッド）２２４が設けられている。同様に、駆動用振動腕２３の先端部には、溝２３１が形成された部分（構造部）よりも横断面積が大きい質量部（ハンマーヘッド）２３４が設けられている。これにより、物理量センサー素子片２をより小型なものとしたり、駆動用振動腕２２、２３の捩り振動の周波数をより低めたりすることができる。なお、この質量部２２４、２３４は、必要に応じて設ければよく、省略してもよい。また、質量部２２４、２３４の形状は、図示のものに限定されず、例えば、横断面積が漸減または漸増する部分を有していてもよい。
【００３３】
このような駆動用振動腕２２上には、駆動用振動腕２２に電圧（電界）を印加するための励振電極群２５が設けられ、一方、駆動用振動腕２３上には、駆動用振動腕２３に電圧（電界）を印加するための励振電極群２６が設けられている。
図５に示すように、励振電極群２５は、前述した部分２２２の部分２２３と反対側の面上に設けられた励振電極２５１と、溝２２１の壁面上（部分２２２の部分２２３側の面上および部分２２３の部分２２２側の面上）に設けられた励振電極２５２とで構成されている。
【００３４】
励振電極２５１、２５２は、溝２２１の長手方向のほぼ全域に亘って設けられている。なお、静電容量を小さく抑えたい場合は、励振電極２５１、２５２は、溝２２１の長手方向のほぼ全域に亘って設ける必要は無く、一部領域に設ければよい。
同様に、励振電極群２６は、前述した部分２３２の部分２３３と反対側の面上に設けられた励振電極２６１と、溝２３１の壁面上（部分２３２の部分２３３側の面上および部分２３３の部分２３２側の面上）に設けられた励振電極２６２とで構成されている。
【００３５】
また、励振電極２６１、２６２は、溝２３１の長手方向のほぼ全域に亘って設けられている。なお、静電容量を小さく抑えたい場合は、励振電極２６１、２６２は、溝２３１の長手方向のほぼ全域に亘って設ける必要は無く、一部領域に設ければよい。
このような励振電極２５１は、接続電極群２７の接続電極２７ａに電気的に接続され、励振電極２５２は、接続電極群２７の接続電極２７ｂに電気的に接続され、励振電極２６１は、接続電極群２８の接続電極２８ａに電気的に接続され、励振電極２６２は、接続電極群２８の接続電極２８ｂに電気的に接続されている。
【００３６】
接続電極２７ａと接続電極２７ｂとの間、接続電極２８ａと接続電極２８ｂとの間には、接続電極２７ａ、２８ａが同極性（接続電極２７ｂ、２８ｂが同極性）となるようにして、それぞれ電圧が印加される。これにより、圧電材料の逆圧電効果により、ある一定の周波数（共鳴周波数）で各駆動用振動腕２２、２３を捩り振動させることができる。また、各駆動用振動腕２２、２３が捩り振動すると、接続電極２７ａ、２７ｂ間および接続電極２８ａ、２８ｂ間には、それぞれ、圧電材料の圧電効果により、ある一定の周波数で電圧が発生する。これらの性質を利用して、物理量センサー素子片２は、共鳴周波数で振動する電気信号を発生させることもできる。
【００３７】
一方、検出用振動腕１００には、その延出方向（長手方向）に沿って、横断面が矩形をなす２本の溝１０１、１０２が設けられている。溝１０１は、検出用振動腕１００の上面の幅方向での中央部に形成され、一方、溝１０２は、検出用振動腕１００の下面の幅方向での中央部に形成されている。また、溝１０１および溝１０２は、互いに連結しないように（検出用駆動腕１００に貫通孔を形成しないように）深さが設定されている。このようにして、検出用振動腕１００の横断面は、略Ｈ字状をなしている（図５参照）。
【００３８】
言い換えると、このような検出用振動腕１００は、その横断面（ＸＺ断面）で見たときに、Ｚ軸方向に沿って互いに平行な２つ部分１０３、１０５と、Ｘ軸方向に沿って部分１０３と部分１０３の中間部（Ｚ軸方向での中央部）同士を連結する部分１０４とで構成されている。
また、検出用振動腕１００の先端部には、溝１０１、１０２が形成された部分（構造部）よりも横断面積が大きい質量部（ハンマーヘッド）１０６が設けられている。これにより、検出用振動腕１００をより小型なものとしたり、検出用振動腕１００の屈曲振動の周波数をより低めたりすることができる。なお、この質量部１０６は、必要に応じて設ければよく、省略してもよい。
このような検出用振動腕１００上には、その屈曲振動に伴って生じる電荷を検出するための検出電極群１１０が設けられている。
【００３９】
図５に示すように、検出電極群１１０は、前述した検出用振動腕１００の部分１０３の部分１０４とは反対側の面上に設けられた検出電極１１１と、溝１０１の壁面上に設けられた検出電極１１２と、溝１０２の壁面上に設けられた検出電極１１３と、部分１０５の部分１０４とは反対側の面上に設けられた検出電極１１４とで構成されている。
また、検出電極１１１、１１２、１１３、１１４は、それぞれ、溝１０１、１０２の長手方向でのほぼ全域に亘って設けられている。
【００４０】
このような検出電極１１１、１１２、１１３、１１４においては、前記一方の検出用振動腕１００の検出電極１１２、１１３および前記他方の検出用振動腕１００の検出電極１１１、１１４は、それぞれ、接続電極群２９の接続電極２９ａに電気的に接続され、前記一方の検出用振動腕１００の検出電極１１１、１１４および前記他方の検出用振動腕１００の検出電極１１２、１１３は、それぞれ、接続電極群２９の接続電極２９ｂに電気的に接続されている。
【００４１】
これにより、各検出用振動腕１００が屈曲振動すると、接続電極２９ａ、２９ｂ間には、圧電材料の圧電効果により、その屈曲振動に応じた周波数で電圧が発生する。
このような励振電極群２５、２６、検出電極群１１０および接続電極群２７、２８、２９は、それぞれ、アルミニウム、アルミニウム合金、銀、銀合金、クロム、クロム合金、金等の導電性に優れた金属材料により形成することができる。
【００４２】
また、これらの電極の形成方法としては、スパッタリング法、真空蒸着法等の物理成膜法、ＣＶＤ等の化学蒸着法、インクジェット法等の各種塗布法等が挙げられる。
ここで、物理量センサー素子片２の作用を詳細に説明する。
まず、駆動用振動腕２２の動作を説明する。なお、駆動用振動腕２３の動作は、駆動用振動腕２２と同様であるので、その説明を省略する。
【００４３】
図５（ａ）に示すように、励振電極２５１は、前述したように、駆動用振動腕２２の部分２２２の部分２２３とは反対の面上に設けられ、励振電極２５２は、溝２２１の壁面上に設けられている。
これにより、励振電極２５１と励振電極２５２との間に電圧を印加すると、駆動用振動腕２２の部分２２２にＸ軸方向の電界が生じる。この電界により、かかる部分２２２は、Ｙ軸方向に伸張または収縮する。
【００４４】
一方、上述したように電圧を印加しても、駆動用振動腕２２の部分２２３は、Ｙ軸方向での伸張または収縮を実質的に生じない。
このような駆動用振動腕２２は、その先端側部を横断面で見たときに、Ｚ軸方向（第１の方向）に沿って設けられた部分２２２（第１の部分）と、部分２２２の重心に対してＺ軸方向およびこれに直交するＸ軸方向（第２の方向）にそれぞれ重心がずれるようにして部分２２２に接続された部分２２３（第２の部分）とで構成された構造部を含んでいる。
【００４５】
ここで、図６に基づいて、部分２２２（第１の部分)と部分２２３（第２の部分）との間の作用（構造部の作用）を説明する。
前述したように、部分２２２（第１の部分）は、電圧（例えば交番電圧）の印加により、駆動用振動腕２２の長手方向（Ｙ軸方向）に伸縮振動する。
また、部分２２３（第２の部分）は、前記電圧の印加により、駆動用振動腕２２の長手方向に実質的に伸縮振動しない。
【００４６】
したがって、図６に示すように、部分２２２がＹ軸方向に伸張しようとしたとき、その伸張が、実質的に伸張しない部分２２３により部分的に規制（阻止）される。そのため、部分２２２の部分２２３とは反対側の伸張量ａ１が、部分２２２の部分２２３側の伸張量ａ２よりも大きくなる。そのため、部分２２２がＺ軸方向に屈曲するような力ｔが生じる。
【００４７】
そして、このような力ｔは、部分２２３の幅方向（Ｘ軸方向）での一端部（すなわち重心からずれた部分）に作用する。そのため、このような力を受けた部分２２３は、単にＺ軸方向に屈曲するのではなく、捩れるように変形する。
そして、駆動用振動腕２２の基端側部分においては、基部２１（連結部２１０）に固定された側（基端側）の剛性が先端側よりも高いので、先端側が傾くようにして捩り変形して、回転トルクＴを生じさせる。
【００４８】
以上のようにして、部分２２３は、部分２２３のＹ軸方向に伸縮振動を捩り振動に変換する。これにより、部分２２２および部分２２３の協働により、これらで構成された構造部（すなわち駆動用振動腕２２）が捩り振動する。
このような部分２２２および部分２２３は、それぞれ、駆動用振動腕２２の長手方向に沿った長尺板状をなし、互いの板面が直交するように、互いの短手方向での端部同士が接続されている。そのため、矩形の横断面をなす振動腕に矩形の溝を設ける等の簡単な加工で、部分２２２および部分２２３を有する駆動用振動腕２２を形成することができる。
【００４９】
このような駆動用振動腕２２によれば、伸縮振動を用いて捩り振動を励振させることができる。そのため、効率的に捩り振動を励振させることができる。その結果、物理量センサー素子片２の低駆動電圧化を図ることができる。
また、振動腕の横断面が矩形をなす場合よりも駆動用振動腕２２、２３の捩り剛性をそれぞれ抑えることができる。そのため、物理量センサー素子片２の小型化を図りつつ、捩り振動の周波数を十分に低めることができる。
このようにして、４つの駆動用振動腕２２、２３が捩り振動する。
【００５０】
このとき、各駆動用振動腕２２、２３には、図３に示すように、それぞれ、その長手方向に沿った中心軸（軸線ｙ１、ｙ２）まわりに、実線矢印で示す方向と、破線矢印で示す方向とに交互に向きを変化させる回転角速度Ωが生じる。
このような回転角速度Ωが生じた状態で、駆動用振動腕２２、２３に対して速度ｖが与えられると、各駆動用振動腕２２、２３に対してコリオリ力Ｆｃが生じる。なお、図３では、−Ｚ軸方向に速度を与えた場合を図示している。
【００５１】
このコリオリ力Ｆｃは、
Ｆｃ＝２ρｖ×Ω
なる関係式で表わされる。ここで、ρは、駆動用振動腕２２、２３の密度である。
このようなコリオリ力Ｆｃは、各駆動用振動腕２２、２３に対してその中心軸に垂直な方向に生じる。また、このコリオリ力Ｆｃの向きは、上述したような回転角速度Ωの方向の変化によって、図３に示すように、実線矢印で示す方向と、破線矢印で示す方向とに交互に変化する。
【００５２】
これにより、各駆動用振動腕２２、２３に屈曲振動が生じる。このとき、各駆動用振動腕２２、２３には、図３に示すような方向でコリオリ力Ｆｃが働くので、４本の駆動用振動腕２２、２３全体が回転する力を生じる。すなわち、４本の駆動用振動腕２２、２３全体がこれらの中心を通るＺ軸方向の軸線まわりに往復回動するような回動振動を生じる。
そのため、各検出用振動腕１００は、この回動振動とバランスをとるように、その回動振動とは反対方向に振動する。これにより、各検出用振動腕１００は、Ｘ軸方向に屈曲（面内屈曲）振動する。
【００５３】
このような各検出用振動腕１００の屈曲振動により生じた電荷は、前述した速度ｖに応じたものとなる。したがって、かかる電荷を検出することにより、速度ｖを検出することができる。
ここで、図７、８に基づいて、駆動用振動腕２２、２３および検出用振動腕１００の変形例について説明する。
【００５４】
（変形例１）
まず、駆動用振動腕２２、２３の第１の変形例を説明する。
図７（ａ）に示す変形例１にかかる駆動用振動腕１０２２Ａは、横断面で見たときに、Ｚ軸方向に沿って互いに平行な２つの部分１２２２Ａ、１２２３Ａと、Ｘ軸方向に沿って部分１２２２Ａ、１２２３Ａの中間部（Ｚ軸方向での中央部）同士を連結する部分１２２４Ａとで構成され、略Ｈ字状をなしている。
【００５５】
このような駆動用振動腕１０２２Ａは、その捩り剛性を低くすることができるので、捩り振動の低周波数化を図ることができる。
そして、駆動用振動腕１０２２Ａの部分１２２２ＡのＺ軸方向での両端面上には、１対の圧電素子１２２５Ａ、１２２６Ａが設けられている。同様に、駆動用振動腕１０２２Ａの部分１２２３ＡのＺ軸方向での両端面上には、１対の圧電素子１２２７Ａ、１２２８Ａが設けられている。
【００５６】
各圧電素子１２２５Ａ〜１２２８Ａは、それぞれ、駆動用振動腕１０２２Ａの表面上に、電極層、圧電体層、電極層をこの順で積層して構成されている。
このような駆動用振動腕１０２２Ａは、圧電素子１２２５Ａ、１２２８Ａと圧電素子１２２６Ａ、１２２７Ａとを反対方向（逆相）で駆動用振動腕１０２２Ａの長手方向（Ｙ軸方向）に伸縮振動させることにより、捩り振動する。
【００５７】
また、このような圧電素子１２２５Ａ〜１２２８Ａを用いることにより、駆動用振動腕１０２２Ａが圧電性を有していなくても、駆動用振動腕１０２２Ａに捩り振動を励振させることができる。また、駆動用振動腕１０２２Ａが圧電性を有する場合、駆動用振動腕１０２２Ａの分極方向や結晶軸の方向によらず、駆動用振動腕１０２２Ａに捩り振動を励振させることができる。
また、例えば、駆動用振動腕１０２２Ａの構成材料として非圧電性材料であるシリコンを用いた場合、エッチングにより高精度な寸法精度で駆動用振動腕を形成することができる。そのため、所望の振動特性を有する物理量センサー素子片を比較的簡単に得ることができる。
【００５８】
（変形例２）
次に、駆動用振動腕２２、２３の第２の変形例を説明する。
図７（ｂ）に示す変形例２にかかる駆動用振動腕１０２２Ｂは、横断面で見たときに、Ｚ軸方向に沿った部分１２２２Ｂと、Ｘ軸方向に沿って部分１２２２Ｂの下端部（Ｚ軸方向での一端部）に接続された部分１２２３Ｂとで構成され、前述した駆動用振動腕２２、２３と同様、略Ｌ字状をなしている。
【００５９】
そして、駆動用振動腕１０２２Ｂの部分１２２３Ｂの下面上には、圧電素子１２２４Ｂが設けられている。
圧電素子１２２４Ｂは、駆動用振動腕１０２３Ｂの表面上に、前述した変形例１の圧電素子１２２５Ａ〜１２２８Ａと同様、電極層、圧電体層、電極層をこの順で積層して構成されている。
【００６０】
このような駆動用振動腕１０２２Ｂは、圧電素子１２２４Ｂを駆動用振動腕１０２２Ｂの長手方向（Ｙ軸方向）に伸縮振動させることにより、前述した駆動用振動腕２２、２３と同様に回転トルクを生じさせて、捩り振動する。
また、このような圧電素子１２２４Ｂを用いることにより、前述した変形例１の圧電素子１２２５Ａ〜１２２８Ａと同様、駆動用振動腕１０２２Ｂが圧電性を有していなくても、駆動用振動腕１０２２Ｂに捩り振動を励振させることができる。また、駆動用振動腕１０２２Ｂが圧電性を有する場合、駆動用振動腕１０２２Ｂの分極方向や結晶軸の方向によらず、駆動用振動腕１０２２Ｂに捩り振動を励振させることができる。
【００６１】
（変形例３）
次に、駆動用振動腕２２、２３の第３の変形例を説明する。
図７（ｃ）に示す変形例３にかかる駆動用振動腕１０２２Ｃは、横断面で見たときに、Ｚ軸方向に沿った部分１２２２Ｃと、Ｘ軸方向に沿って部分１２２２Ｃの下端部（Ｚ軸方向での一端部）に接続された部分１２２３Ｃとで構成され、前述した駆動用振動腕２２、２３と同様（前述した変形例２の駆動用振動腕１０２２Ｂと同様）、略Ｌ字状をなしている。
【００６２】
そして、駆動用振動腕１０２２Ｃの部分１２２２Ｃの部分１２２３Ｃと反対側の面上には、駆動電極１２２４Ｃが設けられ、部分１２２２Ｃの部分１２２３Ｃ側の面上には、駆動電極１２２５Ｃが設けられている。また、駆動用振動腕１０２２Ｃの部分１２２３Ｃの下面上には、圧電素子１２２６Ｃが設けられている。
圧電素子１２２６Ｃは、駆動用振動腕１０２３Ｃの表面上に、前述した変形例１の圧電素子１２２５Ａ〜１２２８Ａと同様、電極層、圧電体層、電極層をこの順で積層して構成されている。
【００６３】
このような駆動用振動腕１０２２Ｃは、圧電体材料で構成し、駆動電極１２２４Ｃ、１２２５Ｃ間に電圧を印加することにより、部分１２２２Ｃを駆動用振動腕１０２２Ｃの長手方向（Ｙ軸方向）に伸縮振動させる。また、圧電素子１２２６Ｃは、部分１２２２Ｃとは反対方向（逆相）で駆動用振動腕１０２２Ｃの長手方向（Ｙ軸方向）に伸縮振動させる。これらの伸縮振動により、前述した駆動用振動腕２２、２３と同様に回転トルクを生じさせて、捩り振動する。
【００６４】
また、このような１対の駆動電極１２２４Ｃ、１２２５Ｃおよび圧電素子１２２４Ｂを用いることにより、駆動用振動腕１０２２Ｂの分極方向や結晶軸の方向がＹ軸方向の伸縮振動に適した部分には１対の駆動電極１２２４Ｃ、１２２５Ｃを設け、そうでない部分には圧電素子１２２６Ｃを設けることで、部分１２２２Ｃ、１２２３Ｃの双方を逆方向に伸縮振動させて、駆動用振動腕１０２２Ｂに効率的に捩り振動を励振させることができる。
【００６５】
（変形例４）
次に、検出用振動腕１００の第１の変形例を説明する。
図８（ａ）に示す変形例４にかかる検出用振動腕２１００Ａは、横断面で見たときに、Ｚ軸方向に沿って互いに平行な２つの部分２１０１Ａ、２１０２Ａと、Ｘ軸方向に沿って部分２１０１Ａ、２１０２Ａの中間部（Ｚ軸方向での中央部）同士を連結する部分２１０３Ａとで構成され、前述した検出用振動腕１００と同様、略Ｈ字状をなしている。
【００６６】
そして、検出用振動腕２１００Ａの部分２１０１Ａの部分２１０３Ａと反対側の面上には、上側に検出電極２１０４Ａ、下側に検出電極２１０５Ａが設けられている。また、検出用振動腕２１００Ａの部分２１０１Ａの部分２１０３Ａ側の面上には、上側に検出電極２１０６Ａ、下側に検出電極２１０７Ａが設けられている。
また、検出用振動腕２１００Ａの部分２１０２Ａの部分２１０３Ａと反対側の面上には、上側に検出電極２１１０Ａ、下側に検出電極２１１１Ａが設けられている。また、検出用振動腕２１００Ａの部分２１０２Ａの部分２１０３Ａ側の面上には、上側に検出電極２１０８Ａ、下側に検出電極２１０９Ａが設けられている。
【００６７】
このような検出電極２１０４Ａ〜２１１１Ａを設けることにより、検出用振動腕２１００ＡがＺ軸方向に屈曲振動したとき、その屈曲振動に応じた電荷を効率的に取出すことができる。したがって、このような検出用振動腕２１００Ａを用いた場合、Ｘ軸方向での速度を効率的（高精度）に検出することができる。また、このような検出用振動腕２１００Ａと前述した検出用振動腕１００とを組み合わせて用いることにより、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の速度をそれぞれ検出することができる（２軸速度検出が可能となる）。
また、例えば、検出用振動腕２１００Ａの構成材料として非圧電性材料であるシリコンを用いた場合、エッチングにより高精度な寸法精度で検出用振動腕を形成することができる。そのため、所望の振動特性および検出特性を有する物理量センサー素子片を比較的簡単に得ることができる。
【００６８】
（変形例５）
次に、検出用振動腕１００の第２の変形例を説明する。
図８（ｂ）に示す変形例５にかかる検出用振動腕２１００Ｂは、横断面で見たときに、Ｘ軸方向に沿った部分２１０１Ｂで構成され、略Ｉ字状をなしている。
そして、検出用振動腕２１００Ｂの部分２１０１Ｂの上面上には、圧電素子２１０２Ｂが設けられている。なお、この圧電素子２１０２Ｂは、検出用振動腕２１００Ｂの部分２１０１Ｂの下面上にも設けられていてもよい。
【００６９】
この圧電素子２１０２Ｂは、検出用振動腕２１００Ｂの表面上に、前述した変形例１の圧電素子１２２５Ａ〜１２２８Ａと同様、電極層、圧電体層、電極層をこの順で積層して構成されている。
そして、この圧電素子２１０２Ｂは、その圧電体層が厚さ方向に分極している。したがって、この圧電素子２１０２Ｂは、検出用振動腕２１００ＢのＺ軸方向の屈曲に伴って厚さ方向に変位したとき、その変位を検出することができる。このような検出用振動腕２１００Ｂを用いた場合、Ｘ軸方向での速度を効率的（高精度）に検出することができる。
また、このような圧電素子２１０２Ｂを設けることにより、検出用振動腕２１００Ｂが圧電性を有していなくても、検出用振動腕２１００Ｂの屈曲振動を検出することができる。また、検出用振動腕２１００Ｂが圧電性を有する場合、検出用振動腕２１００Ｂの分極や結晶軸の方向によらず、検出用振動腕２１００Ｂの屈曲振動を検出することができる。
【００７０】
（変形例６）
次に、検出用振動腕１００の第３の変形例を説明する。
図８（ｃ）に示す変形例６にかかる検出用振動腕２１００Ｃは、横断面で見たときに、Ｘ軸方向に沿った部分２１０１Ｃで構成され、前述した変形例５の検出用振動腕２１００Ｂと同様、略Ｉ字状をなしている。
【００７１】
そして、検出用振動腕２１００Ｃの部分２１０１Ｃの上面上には、圧電素子２１０２Ｃが設けられている。また、検出用振動腕２１００Ｃの部分２１０１Ｃの下面上には、圧電素子２１０３Ｃが設けられている。
この圧電素子２１０２Ｃ、２１０２Ｃは、検出用振動腕２１００Ｃの表面上に、前述した変形例１の圧電素子１２２５Ａ〜１２２８Ａと同様、電極層、圧電体層、電極層をこの順で積層して構成されている。
【００７２】
そして、この圧電素子２１０２Ｃ、２１０２Ｃは、それぞれ、検出用振動腕２１００Ｃの長手方向に分極している。したがって、圧電素子２１０２Ｃ、２１０２Ｃは、検出用振動腕２１００ＣのＺ軸方向の屈曲に伴って検出用振動腕２１００Ｃの長手方向（Ｙ軸方向）に変位し、その変位を検出することができる。このような検出用振動腕２１００Ｃを用いた場合、Ｘ軸方向での速度を効率的（高精度）に検出することができる。
【００７３】
また、このような圧電素子２１０２Ｃ、２１０３Ｃを設けることにより、検出用振動腕２１００Ｃが圧電性を有していなくても、検出用振動腕２１００Ｃの屈曲振動を検出することができる。また、検出用振動腕２１００Ｃが圧電性を有する場合、検出用振動腕２１００Ｃの分極や結晶軸の方向によらず、検出用振動腕２１００Ｃの屈曲振動を検出することができる。
【００７４】
（変形例７）
次に、検出用振動腕１００の第４の変形例を説明する。
図８（ｄ）に示す変形例７にかかる検出用振動腕２１００Ｄは、横断面で見たときに、Ｘ軸方向に沿った部分２１０１Ｄで構成され、前述した変形例５の検出用振動腕２１００Ｂと同様、略Ｉ字状をなしている。
そして、検出用振動腕２１００Ｄの部分２１０１Ｄの上面上には、左側に圧電素子２１０２Ｄ、右側に２１０３Ｄが設けられている。また、検出用振動腕２１００Ｃの部分２１０１Ｄの下面上には、左側に圧電素子２１０４Ｄ、右側に圧電素子２１０５Ｄが設けられている。
【００７５】
この圧電素子２１０２Ｄ〜２１０５Ｄは、検出用振動腕２１００Ｄの表面上に、前述した変形例１の圧電素子１２２５Ａ〜１２２８Ａと同様、電極層、圧電体層、電極層をこの順で積層して構成されている。
そして、この圧電素子２１０２Ｄ〜２１０５Ｄは、それぞれ、検出用振動腕２１００Ｄの長手方向に分極している。したがって、圧電素子２１０２Ｄ〜２１０５Ｄは、検出用振動腕２１００ＤのＸ軸方向の屈曲に伴って検出用振動腕２１００Ｄの長手方向（Ｙ軸方向）に変位し、その変位を検出することができる。このような検出用振動腕２１００Ｄを用いた場合、Ｘ軸方向での速度を効率的（高精度）に検出することができる。
【００７６】
また、このような圧電素子２１０２Ｄ〜２１０５Ｄを設けることにより、検出用振動腕２１００Ｄが圧電性を有していなくても、検出用振動腕２１００Ｄの屈曲振動を検出することができる。また、検出用振動腕２１００Ｄが圧電性を有する場合、検出用振動腕２１００Ｄの分極や結晶軸の方向によらず、検出用振動腕２１００Ｄの屈曲振動を検出することができる。
【００７７】
（パッケージ）
次に、物理量センサー素子片２を収容・固定するパッケージ４について説明する。
パッケージ４は、その平面視にて略長方形状をなしている。このようなパッケージ４は、図２に示すように、板状のベース基板４１と、枠状の枠部材４２と、板状の蓋部材４３とを有している。ベース基板４１、枠部材４２および蓋部材４３は、下側から上側へこの順で積層されており、ベース基板４１と枠部材４２、および、枠部材４２と蓋部材４３は、それぞれ、接着剤あるいはろう材等により接合されている。そして、パッケージ４は、ベース基板４１、枠部材４２および蓋部材４３で画成された内部空間Ｓに、物理量センサー素子片２および電子部品３を収納している。なお、図１では、蓋部材４３の図示を省略している。
【００７８】
ベース基板４１の構成材料としては、絶縁性（非導電性）を有しているものが好ましく、例えば、各種ガラス、酸化物セラミックス、窒化物セラミックス、炭化物系セラミックス等の各種セラミックス材料、ポリイミド等の各種樹脂材料などを用いることができる。
また、枠部材４２および蓋部材４３の構成材料としては、例えば、ベース基板４１と同様の構成材料、Ａｌ、Ｃｕのような各種金属材料、各種ガラス材料等を用いることができる。特に、蓋部材４３の構成材料として、ガラス材料等の光透過性を有するものを用いた場合、物理量センサー素子片２に予め金属被覆部（図示せず）を形成しておくと、物理量センサー素子片２をパッケージ４内に収容した後であっても、蓋部材４３を介して前記金属被覆部にレーザーを照射し、前記金属被覆部を除去して物理量センサー素子片２の質量を減少させることにより（質量削減方式により）、物理量センサー素子片２の周波数調整を行うことができる。
【００７９】
図１および図２に示すように、ベース基板４１の上面には、エポキシ系、ポリイミド系等の接着剤４８ａ、４８ｂが塗布されて（盛られて）おり、さらに、この接着剤４８ａ、４８ｂ上に、前述した物理量センサー素子片２（基部２１の両端部）が載置されている。そして、接着剤４８ａ、４８ｂを硬化することにより、物理量センサー素子片２がベース基板４１に確実に固定される。
【００８０】
なお、ベース基板４１の上面に電極を設けるとともに、接着剤４８ａ、４８ｂとして導電性粒子を含有するエポキシ系、ポリイミド系等の導電性接着剤を用いて物理量センサー素子片２の固定を行ってもよい。この場合、物理量センサー素子片２の表裏を反転させた状態で固定を行うことにより、接着剤４８ａ、４８ｂを介して、上記電極と接続電極群２７、２８、２９を電気的に接続することができる。
【００８１】
図１または図２に示すように、ベース基板４１の上面には、絶縁性（非導電性）の接着剤や、接着シート等の接着部材３１を介して、電子部品３が接合されている。
また、ベース基板４１の上面には、図示しない電極が設けられており、この電極は、例えばワイヤーボンディング技術により形成された金属ワイヤー（ボンディングワイヤー）を介して電子部品３の電極部（図示せず）に電気的に接続されている。
【００８２】
なお、接着部材３１および金属ワイヤーに代えて、いわゆるフェイスダウンボンディングにより電子部品３をベース基板４１上に固定するとともに上記電極に電気的に接続するようにしてもよい。
さらに、ベース基板４１の上面には、電極４６ａ〜４６ｆが設けられており、これらの電極４６ａ〜４６ｆは、上記と同様にして形成された金属ワイヤーを介して物理量センサー素子片２の接続電極群２７、２８、２９に電気的に接続されている。
【００８３】
また、電極４６ａ〜４６ｆは、図示しない配線を介して、前述した電子部品３が接続された電極に電気的に接続されている。
一方、図２に示すように、ベース基板４１の下面には、その四隅に位置するように４つの外部端子４７ａ、４７ｂ、４７ｃ、４７ｄが設けられている。
これら４つの外部端子４７ａ〜４７ｄのうち、外部端子４７ａ、４７ｂは、それぞれ、ベース基板４１に貫通形成されたビアホールに設けられた導体ポストを介して、前述した電子部品３が接続された電極に電気的に接続されたホット端子である。また、他の２つの外部端子４７ｃ、４７ｄは、それぞれ、パッケージ４を実装用基板に実装するときに、接合強度を高めたり、パッケージ４と実装用基板との間の距離を均一化するためのダミー端子である。
【００８４】
このようなベース基板４１上の電極や配線等は、それぞれ、例えば、タングステンおよびニッケルメッキの下地層に、金メッキを施すことで形成することができる。
なお、ベース基板４１の下面には、必要に応じて、後述する電子部品３の特性検査や、電子部品３内の各種情報（例えば、物理量センサーの温度補償情報）の書き換え（調整）を行うための書込端子が形成されていてもよい。
【００８５】
（電子部品）
電子部品３は、例えば集積回路素子（ＩＣ）であり、物理量センサー素子片２を駆動する機能を有する。この電子部品３に角速度検出回路や速度検出回路を形成することにより物理量センサー１を圧電ジャイロとして構成することができる。
以上説明したような第１実施形態によれば、検出用振動腕１００が駆動用振動腕２２、２３とは別体として設けられているので、駆動用振動腕が検出用振動腕を兼ねている従来の構成に比べて、駆動用振動腕２２、２３を効率的に捩り振動させることができる。そのため、このような物理量センサー素子片２（物理量センサー１）の駆動電圧を低電圧化することができる。
また、検出用振動腕１００が駆動用振動腕２２、２３とは別体として設けられているので、駆動用振動腕２２、２３の捩り振動の周波数と検出用振動腕１００の屈曲振動の周波数とを容易に近づけることができる。そのため、このような物理量センサー素子片２（物理量センサー１）は、優れた検出精度を有する。
【００８６】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の物理量センサーの第２実施形態について説明する。
図９は、本発明の第２実施形態に係る物理量センサーに備えられた物理量センサー素子片を示す上面図、図１０は、図９に示す物理量センサー素子片の断面図（図９中のＡ−Ａ線断面図）である。
【００８７】
以下、第２実施形態の物理量センサーについて、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第２実施形態の物理量センサーは、連結部の一方側の駆動用振動腕の横断面の形状が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図９、１０では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。また、図９では、励振電極に通電するための配線および接続電極の図示を省略している。
【００８８】
本実施形態の物理量センサーの物理量センサー素子片２Ａは、図９に示すように、圧電体２４Ａを備えている。
この圧電体２４Ａでは、４本の駆動用振動腕２２、２３、２２Ａ、２３Ａおよび２本の検出用振動腕１００がそれぞれ基部２１から延出している。
４本の駆動用振動腕２２、２３、２２Ａ、２３Ａの振動方向は、前述した第１実施形態の４本の駆動用振動腕２２、２３と同じである。
【００８９】
この圧電体２４Ａは、その中心（重心）を通りＺ軸に平行な線分に対して回転対称となるように、４本の駆動用振動腕２２、２３、２２Ａ、２３Ａおよび検出用振動腕１００が形成されている。これにより、物理量センサー素子片２Ａは、不要な振動の発生や振動漏れを防止または抑制することができる。
図１０に示すように、１対の駆動用振動腕２２Ａ、２３Ａの横断面は、それぞれ、Ｌ字状をなしている。
【００９０】
この駆動用振動腕２２Ａは、その横断面（ＸＺ断面）で見たときに、Ｚ軸方向に沿った部分（第１の部分）２２２Ａと、Ｘ軸方向に沿って部分２２２Ａの下端部（Ｚ軸方向での一端部）に接続された部分（第２の部分）２２３Ａとで構成されている。
同様に、駆動用振動腕２３Ａは、その横断面（ＸＺ断面）で見たときに、Ｚ軸方向に沿った部分（第１の部分）２３２Ａと、Ｘ軸方向に沿って部分２３２Ａの下端部（Ｚ軸方向での一端部）に接続された部分（第２の部分）２３３Ａとで構成されている。
【００９１】
駆動用振動腕２２Ａの部分２２２Ａの部分２２３Ａと反対側の面上には、励振電極２５１Ａが設けられ、部分２２２Ａの部分２２３Ａ側の面上および部分２２３Ａの上側の面上には、励振電極２５２Ａが設けられている。
同様に、駆動用振動腕２３Ａの部分２３２Ａの部分２３３Ａと反対側の面上には、励振電極２６１Ａが設けられ、部分２３２Ａの部分２３３Ａ側の面上および部分２３３Ａの上側の面上には、励振電極２６２Ａが設けられている。
【００９２】
このような部分２２２Ａ、２２３Ａで構成された構造部、および、部分２３２Ａ、２３３Ａで構成された構造部は、それぞれ、前述した実施形態の構造部と同様に、回転モーメントを生じさせる。これにより、駆動用振動腕２２Ａ、２３Ａを捩り振動させることができる。
以上説明したような第２実施形態によっても、前述した第１の実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００９３】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の物理量センサーの第３実施形態について説明する。
図１１は、本発明の第３実施形態に係る物理量センサーに備えられた物理量センサー素子片を示す上面図、図１２は、図１１に示す物理量センサー素子片の断面図（図１１中のＡ−Ａ線断面図）である。
【００９４】
以下、第３実施形態の物理量センサーについて、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第３実施形態の物理量センサーは、駆動用振動腕の横断面形状および励振電極の配置が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図１１、１２では、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。また、図１１では、励振電極に通電するための配線および接続電極の図示を省略している。
【００９５】
本実施形態の物理量センサーの物理量センサー素子片２Ｂは、図１１に示すように、圧電体２４Ｂを備えている。
この圧電体２４Ｂでは、４本の駆動用振動腕２２Ｂ、２３Ｂおよび２本の検出用振動腕１００がそれぞれ基部２１から延出している。
４本の駆動用振動腕２２Ｂ、２３Ｂの振動方向は、前述した第１実施形態の４本の駆動用振動腕２２、２３と同じである。
【００９６】
この圧電体２４Ｂは、その中心（重心）を通りＺ軸に平行な線分に対して回転対称となるように、４本の駆動用振動腕２２Ｂ、２３Ｂ、２２Ｂ、２３Ｂおよび検出用振動腕１００が形成されている。また、各駆動用振動腕２２Ｂ、２３Ｂは、その中心軸に対して回転対称となっている。これらのようなことから、物理量センサー素子片２Ｂは、不要な振動の発生や振動漏れをより効果的に防止または抑制することができる。
【００９７】
図１２に示すように、駆動用振動腕２２Ｂは、長手方向に１対ずつ並んで設けられた４つ溝２２１Ｂを有し、駆動用振動腕２２Ｂの横断面は、略Ｈ字状をなしている。
この駆動用振動腕２２Ｂは、その横断面（ＸＺ断面）で見たときに、Ｚ軸方向に沿って互いに平行な２つの（第１の部分）２２２Ｂ、２２４Ｂと、Ｘ軸方向に沿って部分２２２Ｂ、２２４Ｂの中間部（Ｚ軸方向での中央部）同士を連結する部分（第２の部分）２２３Ｂで構成されている。
【００９８】
駆動用振動腕２２Ｂの部分２２２Ｂの部分２２３Ｂと反対側の面上には、上側に励振電極２５１Ａ、下側に励振電極２５２Ａが設けられ、上側の溝２２１Ｂの壁面上には、励振電極２５３Ｂが設けられ、下側の溝２２１Ｂの壁面上には、励振電極２５４Ｂが設けられ、部分２２４Ｂの部分２２３Ｂと反対側の面上には、上側に励振電極２５５Ａ、下側に励振電極２５６Ａが設けられている。
【００９９】
同様に、駆動用振動腕２３Ｂは、長手方向に１対ずつ並んで設けられた４つ溝２３１Ｂを有し、駆動用振動腕２３Ｂの横断面は、略Ｈ字状をなしている。
この駆動用振動腕２３Ｂは、その横断面（ＸＺ断面）で見たときに、Ｚ軸方向に沿って互いに平行な２つの（第１の部分）２３２Ｂ、２３４Ｂと、Ｘ軸方向に沿って部分２３２Ｂ、２３４Ｂの中間部（Ｚ軸方向での中央部）同士を連結する部分（第２の部分）２３３Ｂで構成されている。
【０１００】
駆動用振動腕２３Ｂの部分２３２Ｂの部分２３３Ｂと反対側の面上には、上側に励振電極２６１Ａ、下側に励振電極２６２Ａが設けられ、上側の溝２３１Ｂの壁面上には、励振電極２６３Ｂが設けられ、下側の溝２３１Ｂの壁面上には、励振電極２６４Ｂが設けられ、部分２３４Ｂの部分２３３Ｂと反対側の面上には、上側に励振電極２６５Ａ、下側に励振電極２６６Ａが設けられている。
【０１０１】
このような励振電極２５１Ｂ、２５４Ｂ、２５５Ｂと励振電極２５２Ｂ、２５３Ｂ、２５６Ｂとの間に電圧を印加すると、駆動用振動腕２２Ｂの部分２２２Ｂの上側部分と部分２２４Ｂの下側部分とが互いに同方向に伸張または収縮するとともに、これと反対方向に、駆動用振動腕２２Ｂの部分２２２Ｂの下側部分と部分２２４Ｂの上側部分とが互いに同方向に伸張または収縮する。
【０１０２】
これにより、駆動用振動腕２２Ｂを捩り振動させることができる。このとき、駆動用振動腕２２Ｂの長手方向での基端側の励振電極と先端側の励振電極とは、互いに逆極性となるように電圧が印加される。また、駆動用振動腕２３Ｂは、駆動用振動腕２２Ｂと同様に捩り振動する。
以上説明したような第３実施形態によっても、前述した第１の実施形態と同様の効果を奏することができる。
【０１０３】
＜第４実施形態＞
次に、本発明の物理量センサーの第４実施形態について説明する。
図１３は、本発明の第４実施形態に係る物理量センサーに備えられた物理量センサー素子片を示す上面図である。
以下、第４実施形態の物理量センサーについて、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１０４】
第４実施形態の物理量センサーは、駆動用振動腕、検出用振動腕の配置（位置関係）および支持部の形状が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図１３では、各振動腕の断面形状、励振電極、励振電極に通電するための配線および接続電極の図示を省略している。
本実施形態の物理量センサーの物理量センサー素子片２Ｃは、図１３に示すように、圧電体２４Ｃを備えている。
【０１０５】
この圧電体２４Ｃでは、両端が固定された長手形状の連結部２１１Ｃを備える基部２１Ｃと、４つの駆動用振動腕２２Ｃ、２３Ｃと、２つの検出用振動腕１００Ｃとを有している。
連結部２１１Ｃは、その両端部が固定（ベース基板に固定）され、Ｙ軸方向に沿って設けられている。
【０１０６】
２つの検出用振動腕１００Ｃは、連結部２１１Ｃに対して一方側とそれと反対側にＸ軸方向に延出するように設けられている。
２つの駆動用振動腕２２Ｃは、連結部２１１Ｃに対して一方側（図１３にて左側）に同軸的に設けられ、互いに反対方向に延出している。また、２つの駆動用振動腕２３Ｃは、連結部２１１Ｃに対して他方側（図１３にて右側）に同軸的に設けられ、互いに反対方向に延出している。
これら４つの駆動用振動腕２２Ｃ、２３Ｃおよび２つの検出用振動腕１００Ｃは、連結部２１１Ｃの長手方向の中間部付近で互いに連結されている。
【０１０７】
このような物理量センサー素子片２Ｃにおいては、上側の１対の駆動用振動腕２２Ｃ、２３Ｃを互いに反対方向に捩り振動させるとともに、下側の駆動用振動腕２２Ｃ、２３Ｃを上側の１対の駆動用振動腕２２Ｃ、２３Ｃとは反対方向で互いに反対方向に捩り振動させる。すると、上側の１対の駆動用振動腕２２Ｃ、２３Ｃが互い反対方向にコリオリ力が作用するとともに、下側の１対の駆動用振動腕２２Ｃ、２３Ｃが上側の１対の駆動用振動腕２２Ｃ、２３Ｃと反対方向で互い反対方向にコリオリ力が作用する。それに伴って、２つの検出用振動腕１００ＣがＹ軸方向に互いに同方向に屈曲振動する。これにより、物理量センサー素子片２Ｃは、速度を検出することができる。
ここで、各駆動用振動腕２２Ｃ、２３Ｃおよび各検出用振動腕１００Ｃは、前述した実施形態と同様の構成（横断面形状および励振電極配置）のものを用いることができる。
【０１０８】
また、各検出用電極１００Ｃは、前述した第１実施形態の変形例７に係る検出用振動腕２１００Ｄと同様の構成のものを用いるのが好ましい。これにより、Ｚ軸方向での速度を効率的（高精度）に検出することができる。
以上説明したような第４実施形態によっても、前述した第１の実施形態と同様の効果を奏することができる。
【０１０９】
＜第５実施形態＞
次に、本発明の物理量センサーの第５実施形態について説明する。
図１４は、本発明の第５実施形態に係る物理量センサーに備えられた物理量センサー素子片を示す上面図である。
以下、第５実施形態の物理量センサーについて、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第５実施形態の物理量センサーは、駆動用振動腕、検出用振動腕の配置（位置関係）および支持部の形状が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図１４では、各振動腕の断面形状、励振電極、励振電極に通電するための配線および接続電極の図示を省略している。
【０１１０】
本実施形態の物理量センサーの物理量センサー素子片２Ｄは、図１４に示すように、圧電体２４Ｄを備えている。
この圧電体２４Ｄでは、両端が固定された長手形状の連結部２１１Ｄを備える基部２１Ｄと、４つの駆動用振動腕２２Ｄ、２３Ｄと、２つの検出用振動腕１００Ｄとを有している。
【０１１１】
連結部２１１Ｄは、その両端部が固定（ベース基板に固定）され、Ｘ軸方向に沿って設けられている。本実施形態では、連結部２１１Ｄの両端部には、それぞれ、ベース基板との固定部への振動を緩和する緩和部２１２Ｄが設けられている。
２つの検出用振動腕１００Ｄは、連結部２１１Ｄに対して一方側とそれと反対側にＹ軸方向に連結部２１１Ｄから延出するように設けられている。
【０１１２】
４つの駆動用振動腕２２Ｄ、２３Ｄのうち、一方の１対の駆動用振動腕２２Ｄ、２３Ｄは、前記一方側の検出用振動腕１００Ｄの連結部２１１Ｄとは反対側の端部からＹ軸方向に延出して設けられ、他方の１対の駆動用振動腕２２Ｄ、２３Ｄは、前記他方側の検出用振動腕１００Ｄの連結部２１１Ｄとは反対側の端部からＹ軸方向に延出して設けられている。
【０１１３】
このような物理量センサー素子片２Ｄにおいては、４つの駆動用振動腕２２Ｄ、２３Ｄを互いに同方向に捩り振動させる。すると、４つの駆動用振動腕２２Ｄ、２３Ｄが互い同方向にコリオリ力が作用する。それに伴って、２つの検出用振動腕１００ＤがＸ軸方向に互いに同方向に屈曲振動する。これにより、物理量センサー素子片２Ｄは、速度を検出することができる。
ここで、各駆動用振動腕２２Ｄ、２３Ｄおよび各検出用振動腕１００Ｄは、前述した実施形態と同様の構成（横断面形状および励振電極配置）のものを用いることができる。
以上説明したような第５実施形態によっても、前述した第１の実施形態と同様の効果を奏することができる。
【０１１４】
＜第６実施形態＞
次に、本発明の物理量センサーの第６実施形態について説明する。
図１５は、本発明の第６実施形態に係る物理量センサーに備えられた物理量センサー素子片を示す上面図である。
以下、第６実施形態の画像表示装置について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【０１１５】
第６実施形態の物理量センサーは、駆動用振動腕、検出用振動腕の配置（位置関係）および支持部の形状が異なる以外は、第１実施形態とほぼ同様である。なお、図１５では、各振動腕の断面形状、励振電極、励振電極に通電するための配線および接続電極の図示を省略している。
本実施形態の物理量センサーの物理量センサー素子片２Ｅは、図１５に示すように、圧電体２４Ｅを備えている。
この圧電体２４Ｅでは、長手形状の連結部２１１Ｅを備える基部２１Ｅと、４つの駆動用振動腕２２Ｅ、２３Ｅと、２つの検出用振動腕１００Ｅとを有している。
【０１１６】
連結部２１１Ｅは、Ｘ軸方向に沿って設けられている。
２つの検出用振動腕１００Ｅは、連結部２１１Ｅの両端部から互いに同じ側にＹ軸方向に延出するように設けられている。
２つの検出用振動腕１００Ｅの連結部２１１Ｅとは反対側の端部からは、それぞれ、互いに平行となるように１対の駆動用振動腕２２Ｅ、２３ＥがＹ軸方向に延出している。
【０１１７】
このような物理量センサー素子片２Ｅにおいては、一方の検出用振動腕１００Ｅに連結された一方の１対の駆動用振動腕２２Ｅ、２３Ｅを互いに同方向に捩り振動させとともに、他方の検出用振動腕１００Ｅに連結された他方の１対の駆動用振動腕２２Ｅ、２３Ｅを上記一方の１対の駆動用振動腕２２Ｅ、２３Ｅとは反対方向で互いに同方向に捩り振動させる。すると、上記一方の１対の駆動用振動腕２２Ｅ、２３Ｅと上記他方の１対の駆動用振動腕２２Ｅ、２３Ｅとに互いに反対方向にコリオリ力が作用し、それに伴って、２つの検出用振動腕１００ＥがＸ軸方向に互いに反対方向に屈曲振動する。これにより、物理量センサー素子片２Ｅは、速度を検出することができる。
【０１１８】
ここで、各駆動用振動腕２２Ｅ、２３Ｅおよび各検出用振動腕１００Ｅは、前述した実施形態と同様の構成（横断面形状および励振電極配置）のものを用いることができる。
以上説明したような第６実施形態によっても、前述した第１の実施形態と同様の効果を奏することができる。
以上説明したような各実施形態の物理量センサーは、各種の電子機器に適用することができ、得られる電子機器は、信頼性の高いものとなる。
【０１１９】
本発明の物理量センサーを備える電子機器としては、特に限定されないが、例えば、パーソナルコンピュータ（モバイル型パーソナルコンピュータ）、携帯電話機、ディジタルスチルカメラ、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンタ）、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレータ等が挙げられる。
【０１２０】
以上、本発明の物理量センサー素子片、振動子および物理量センサーを、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
【０１２１】
例えば、駆動用振動腕の構成は、捩り振動を励振させることができるものであれば、前述した実施形態のものに限定されない。また、検出用振動腕の構成は、屈曲振動を検出することができるものであれば、前述した実施形態のものに限定されない。
また、前述した実施形態では、物理量センサー素子片が４つの駆動用振動腕と２つの検出用振動腕を備える場合を例に説明したが、これに限定されず、駆動用振動腕および検出用振動腕は、それぞれ、少なくとも１つあればよい。
【符号の説明】
【０１２２】
１‥‥物理量センサー  ２‥‥物理量センサー素子片  ２Ａ‥‥物理量センサー素子片  ２Ｂ‥‥物理量センサー素子片  ２Ｃ‥‥物理量センサー素子片  ２Ｄ‥‥物理量センサー素子片  ２Ｅ‥‥物理量センサー素子片  ３‥‥電子部品  ４‥‥パッケージ  ２１‥‥基部  ２１Ｃ‥‥基部  ２１Ｄ‥‥基部  ２１Ｅ‥‥基部  ２２‥‥駆動用振動腕  ２２Ａ‥‥駆動用振動腕  ２２Ｂ‥‥駆動用振動腕  ２２Ｃ‥‥駆動用振動腕  ２２Ｄ‥‥駆動用振動腕  ２２Ｅ‥‥駆動用振動腕  ２３‥‥駆動用振動腕  ２３Ａ‥‥駆動用振動腕  ２３Ｂ‥‥駆動用振動腕  ２３Ｃ‥‥駆動用振動腕  ２４‥‥圧電体  ２４Ａ‥‥圧電体  ２４Ｂ‥‥圧電体  ２４Ｃ‥‥圧電体  ２４Ｄ‥‥圧電体  ２４Ｅ‥‥圧電体  ２５‥‥励振電極群  ２６‥‥励振電極群  ２７‥‥接続電極群  ２７ａ‥‥接続電極  ２７ｂ‥‥接続電極  ２８‥‥接続電極群  ２８ａ‥‥接続電極  ２８ｂ‥‥接続電極  ２９‥‥接続電極群  ２９ａ‥‥接続電極  ２９ｂ‥‥接続電極  ３１‥‥接着部材  ４１‥‥ベース基板  ４２‥‥枠部材  ４３‥‥蓋部材  ４７ａ‥‥外部端子  ４７ｃ‥‥外部端子  ４８ａ‥‥接着剤  １００‥‥検出用振動腕  １００Ｃ‥‥検出用振動腕  １００Ｄ‥‥検出用振動腕  １００Ｅ‥‥検出用振動腕  １０１‥‥溝  １０２‥‥溝  １０３‥‥部分  １０４‥‥部分  １０５‥‥部分  １０６‥‥質量部  １１０‥‥検出電極群  １１１‥‥検出電極  １１２‥‥検出電極  １１３‥‥検出電極  １１４‥‥検出電極  ２１０‥‥連結部  ２１１‥‥連結部  ２１１Ｃ‥‥連結部  ２１１Ｄ‥‥連結部  ２１１Ｅ‥‥連結部  ２１２Ｄ‥‥緩和部  ２２１‥‥溝  ２２１Ｂ‥‥溝  ２２２‥‥部分  ２２２Ａ‥‥部分  ２２２Ｂ‥‥部分  ２２３‥‥部分  ２２３Ａ‥‥部分  ２２３Ｂ‥‥部分  ２２４‥‥質量部  ２２４Ｂ‥‥部分  ２３１‥‥溝  ２３１Ｂ‥‥溝  ２３２‥‥部分  ２３２Ａ‥‥部分  ２３２Ｂ‥‥部分  ２３３‥‥部分  ２３３Ａ‥‥部分  ２３３Ｂ‥‥部分  ２３４‥‥質量部  ２３４Ｂ‥‥部分  ２５１‥‥励振電極  ２５１Ａ‥‥励振電極  ２５１Ｂ‥‥励振電極  ２５２‥‥励振電極  ２５２Ａ‥‥励振電極  ２５２Ｂ‥‥励振電極  ２５３Ｂ‥‥励振電極  ２５４Ｂ‥‥励振電極  ２５５Ａ‥‥励振電極  ２５６Ａ‥‥励振電極  ２６１‥‥励振電極  ２６１Ａ‥‥励振電極  ２６２‥‥励振電極  ２６２Ａ‥‥励振電極  ２６３Ｂ‥‥励振電極  ２６４Ｂ‥‥励振電極  ２６５Ａ‥‥励振電極  ２６６Ａ‥‥励振電極  １０２２Ａ‥‥駆動用振動腕  １０２２Ｂ‥‥駆動用振動腕  １０２２Ｃ‥‥駆動用振動腕  １０２３Ｂ‥‥駆動用振動腕  １０２３Ｃ‥‥駆動用振動腕  １２２２Ａ‥‥部分  １２２２Ｂ‥‥部分  １２２２Ｃ‥‥部分  １２２３Ａ‥‥部分  １２２３Ｂ‥‥部分  １２２３Ｃ‥‥部分  １２２４Ａ‥‥部分  １２２４Ｂ‥‥圧電素子  １２２４Ｃ‥‥駆動電極  １２２５Ａ‥‥圧電素子  １２２５Ｃ‥‥駆動電極  １２２６Ａ‥‥圧電素子  １２２６Ｃ‥‥圧電素子  １２２７Ａ‥‥圧電素子  １２２８Ａ‥‥圧電素子  ２１００Ａ‥‥検出用振動腕  ２１００Ｂ‥‥検出用振動腕  ２１００Ｃ‥‥検出用振動腕  ２１００Ｄ‥‥検出用振動腕  ２１０１Ａ‥‥部分  ２１０１Ｂ‥‥部分  ２１０１Ｃ‥‥部分  ２１０１Ｄ‥‥部分  ２１０２Ａ‥‥部分  ２１０２Ｂ‥‥圧電素子  ２１０２Ｃ‥‥圧電素子  ２１０２Ｄ‥‥圧電素子  ２１０３Ａ‥‥部分  ２１０３Ｃ‥‥圧電素子  ２１０４Ａ‥‥検出電極  ２１０４Ｄ‥‥圧電素子  ２１０５Ａ‥‥検出電極  ２１０５Ｄ‥‥圧電素子  ２１０６Ａ‥‥検出電極  ２１０７Ａ‥‥検出電極  ２１０８Ａ‥‥検出電極  ２１０９Ａ‥‥検出電極  ２１１０Ａ‥‥検出電極  ２１１１Ａ‥‥検出電極  ａ１‥‥伸張量  ａ２‥‥伸張量  Ｆｃ‥‥コリオリ力  Ｓ‥‥内部空間  Ｔ‥‥回転トルク  ｔ‥‥力  ｖ‥‥速度  ｙ１‥‥軸線  ｙ２‥‥軸線  Ω‥‥回転角速度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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