(57)【要約】【課題】基端側構造体と本体部の組み合わせを容易に変更できるガスセンサ及びその製造方法を提供する。【解決手段】ガスセンサ１は、先端側構造体５と基端側構造体６とを備える。先端側構造体５は、本体部１２と、接点ユニットカバー４と、接点ユニット３とから構成されている。本体部１２は、ガスセンサ素子２と、ハウジング１１と、保持用絶縁碍子１０とからなる。接点ユニットカバー４は筒状に形成されており、接点ユニット３を外周から覆っている。基端側構造体６は、筒状の基端側カバー６０と、配線６２と、通気フィルタ６３と、シール部材６１とからなる。基端側構造体６は先端側構造体５に固定されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定ガス中の特定ガス濃度を検出するガスセンサ素子と、該ガスセンサ素子を内側に挿通して保持する保持用絶縁碍子と、該保持用絶縁碍子を内側に保持するハウジングとからなる本体部と、
上記ガスセンサ素子の基端部に取り付けられた基端側絶縁碍子と、該基端側絶縁碍子に保持されると共に上記ガスセンサ素子の電極端子に電気的に接続した接点部材とからなる接点ユニットと、
筒状に形成され、上記接点ユニットを外周から覆うと共に、上記ハウジングに外嵌して固定され、上記接点ユニットと上記本体部と共に一体化されて先端側構造体を構成する接点ユニットカバーと、
筒状の基端側カバーと、該基端側カバーの基端側開口部を封止するシール部材と、該シール部材を挿通し上記接点部材に接続される配線と、上記基端側カバーの外側と内側との間の通気性と防水性とを兼ね備えた通気フィルタとを備える基端側構造体とを備え、
該基端側構造体は上記先端側構造体に固定されていることを特徴とするガスセンサ。
【請求項２】
請求項１において、上記接点ユニットカバーは、上記ハウジングに外嵌する筒状部と、該筒状部の基端部において径方向内側に突出する肩部とを備え、該肩部が上記接点ユニットを基端側から支承していることを特徴とするガスセンサ。
【請求項３】
請求項２において、上記肩部と上記接点ユニットとの間に弾性部材が介在していることを特徴とするガスセンサ。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のガスセンサの製造方法であって、上記本体部と上記接点ユニットと上記接点ユニットカバーとを一体化した上記先端側構造体を作製する先端側構造体作製工程と、
上記基端側構造体を作製する基端側構造体作製工程と、
上記先端側構造体作製工程と上記基端側構造体作製工程とを行った後、上記基端側構造体を上記先端側構造体に固定する固定工程と、
を行うことを特徴とするガスセンサの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定ガス中の特定ガス濃度を検出するためのガスセンサと、該ガスセンサの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、自動車の内燃機関等の排気系には、排ガス中の酸素や窒素酸化物等の特定ガスの濃度を測定するガスセンサが設けられている。
例えば図１６に示すごとく、ガスセンサ９０ａとして、被測定ガス中の特定ガス濃度を検出するガスセンサ素子９２と、該ガスセンサ素子９２を内側に挿通して保持する保持用絶縁碍子９１０と、該保持用絶縁碍子９１０を内側に保持するハウジング９１１と、該ハウジング９１１の基端側に固定された基端側カバー９６０とを有するものが知られている（下記特許文献１参照）。
【０００３】
このガスセンサ９０ａでは、基端側カバー９６０の基端側開口部９７は、シール部材９６１（ゴムブッシュ）によって封止されている。また、ガスセンサ９０ａは、シール部材９６１を挿通する複数本の配線９６２を有する。この配線９６２は、ガスセンサ素子９２の電極端子９２ｃに接続されている。
【０００４】
シール部材９６１には、基端側カバー９６０の外側と内側との間の通気性と防水性を兼ね備えた通気フィルタ９６３が形成されている。通気フィルタ９６３によって通気性を確保しているため、基端側カバー９６０の内側に存在する空気の組成は、外側に存在する空気の組成と同一になっている。基端側カバー９６０の内側空間は、ガスセンサ素子９２の基準電極と連通しているため、基準電極に曝される基準ガスとして大気中の空気を利用できる。
一方、ガスセンサ素子９２の先端部９２ａには、測定電極が形成されており、該測定電極は排気ガスに曝される。
【０００５】
また、他のガスセンサ９０として、例えば図１７に示すごとく、通気フィルタ９６３
が、第１基端側カバー９６０と第２基端側カバー９８０との間に狭持されており、軸方向の二箇所の加締め部により形成されているものも知られている（下記特許文献２参照）。このガスセンサ９０ｂでは、シール部材９６１よりも先端側における基端側カバー９６０に通気フィルタ９６３を形成している。
【０００６】
図１６のガスセンサ９０ａと図１７のガスセンサ９０ｂは、ガスセンサ素子９２の構造も異なる。図１６のガスセンサ９０ａは、図１７のガスセンサ９０ｂよりも測定精度に優れたガスセンサ素子９２Ｈを用いている。また、図１６のガスセンサ９０ａは、図１７のガスセンサ９０ｂよりも耐久性能が高い基端側構造体９６Ｈを用いている。また、図１６のガスセンサ９０ａと図１７のガスセンサ９０ｂは、ガスセンサ素子９２と保持用絶縁碍子９１０とハウジング９１１からなる本体部９１２の構造が互いに異なる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−１１５７８４号公報
【特許文献２】特開２００２−１７４６２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
近年、本体部９１２と基端側構造体９６の組み合わせを変更して、様々なバリエーションのガスセンサ９０を製造したいという要求がある。例えば、ガスセンサ９０ａの本体部９１２ａとガスセンサ９０ｂの基端側構造体９６Ｌを組み合わせて新しい構造のガスセンサ９０を製造したいという要求がある。
【０００９】
しかしながら、従来のガスセンサ９０は、ガスセンサ素子９２、ハウジング９１１、基端側構造体９６等を一体に設計しているため、これらの部品を部分的に取り替えることはできない。そのため、基端側構造体９６と本体部９１２の組み合わせを容易に変更できるガスセンサ９０が望まれている。
【００１０】
本発明は、かかる問題に鑑みてなされたもので、基端側構造体と本体部の組み合わせを容易に変更できるガスセンサ及びその製造方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
第１の発明は、被測定ガス中の特定ガス濃度を検出するガスセンサ素子と、該ガスセンサ素子を内側に挿通して保持する保持用絶縁碍子と、該保持用絶縁碍子を内側に保持するハウジングとからなる本体部と、
上記ガスセンサ素子の基端部に取り付けられた基端側絶縁碍子と、該基端側絶縁碍子に保持されると共に上記ガスセンサ素子の電極端子に電気的に接続した接点部材とからなる接点ユニットと、
筒状に形成され、上記接点ユニットを外周から覆うと共に、上記ハウジングに外嵌して固定され、上記接点ユニットと上記本体部と共に一体化されて先端側構造体を構成する接点ユニットカバーと、
筒状の基端側カバーと、該基端側カバーの基端側開口部を封止するシール部材と、該シール部材を挿通し上記接点部材に接続される配線と、上記基端側カバーの外側と内側との間の通気性と防水性とを兼ね備えた通気フィルタとを備える基端側構造体とを備え、
該基端側構造体は上記先端側構造体に固定されていることを特徴とするガスセンサにある（請求項１）。
【００１２】
第２の発明は、上記第１の発明に係るガスセンサの製造方法であって、
上記本体部と上記接点ユニットと上記接点ユニットカバーとを一体化した上記先端側構造体を作製する先端側構造体作製工程と、
上記基端側構造体を作製する基端側構造体作製工程と、
上記先端側構造体作製工程と上記基端側構造体作製工程とを行った後、上記基端側構造体を上記先端側構造体に固定する固定工程と、
を行うことを特徴とするガスセンサの製造方法にある（請求項４）。
【発明の効果】
【００１３】
第１の発明の作用効果について説明する。本発明では、上記接点ユニットカバーを用いることにより、上記接点ユニットと上記本体部と接点ユニットカバーとが一体となった先端側構造体を形成した。また、先端側構造体とは別部品として上記基端側構造体を形成した。そして、基端側構造体を先端側構造体に固定するよう構成した。
このようにすると、先端側構造体と基端側構造体を別部品にしているので、その組み合わせを自由に変えることができる。
また、先端側構造体と基端側構造体を固定する部分を共通化しておけば、これらの組み合わせを変えた場合でも容易に固定することができる。例えば、基端側構造体の基端側カバーを、先端側構造体の接点ユニットカバーに外嵌し、溶接する。この場合、複数種類の基端側構造体と先端側構造体において、基端側カバーの内径と接点ユニットカバーの外径を共通化しておけば、基端側構造体と先端側構造体の組み合わせを変えても、これらを容易に固定することができる。
【００１４】
第２の発明の作用効果について説明する。本発明では、上記先端側構造体作製工程と、上記基端側構造体作製工程と、上記基端側構造体を先端側構造体に固定する固定工程とを行う。
このようにすると、先端側構造体と基端側構造体の組み合わせが互いに異なる複数種類のガスセンサを容易に製造することができる。すなわち、基端側構造体作製工程において、構造が互いに異なる複数種類の基端側構造体を作製する。そして、固定工程において、先端側構造体と、複数種類の基端側構造体の中から選択した一の基端側構造体とを組み合わせて、これらを固定する。これにより、先端側構造体と基端側構造体の組み合わせが互いに異なる、様々なバリエーションのガスセンサを容易に製造することが可能になる。
【００１５】
以上のごとく、本例によれば、基端側構造体と本体部の組み合わせを容易に変更できるガスセンサを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施例１における、ガスセンサの断面図。
【図２】実施例１における、先端側構造体作製工程での、ガスセンサの断面図。
【図３】図２に続く図。
【図４】実施例１における、基端側構造体作製工程での、基端側構造体の断面図。
【図５】実施例１における、固定工程での、ガスセンサの断面図。
【図６】実施例１における、基端側絶縁碍子の側面図であって、図７のＢ矢視図。
【図７】図６のＡ矢視図。
【図８】実施例１における、保持用絶縁碍子の側面図であって、図９のＤ矢視図。
【図９】図８のＣ矢視図。
【図１０】実施例１における、図１〜図５とは別の種類の基端側構造体を固定したガスセンサの断面図。
【図１１】図１０に続く図。
【図１２】実施例２における、先端側構造体の断面図。
【図１３】図１２の先端側構造体に基端側構造体を固定した状態の断面図。
【図１４】実施例２における、図１２とは接点ユニットカバーの形状を変更した先端側構造体の断面図。
【図１５】図１４の先端側構造体に基端側構造体を固定した状態の断面図。
【図１６】従来例における、ガスセンサの断面図。
【図１７】図１６とは別の従来例における、ガスセンサの断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
上述した本発明における好ましい実施の形態につき説明する。
第１の発明において、上記接点ユニットカバーは、上記ハウジングに外嵌する筒状部と、該筒状部の基端部において径方向内側に突出する肩部とを備え、該肩部が上記接点ユニットを基端側から支承していることが好ましい（請求項２）。
このようにすると、上記肩部によって接点ユニットを基端側から支承しているため、接点ユニットと本体部とが分離することを肩部によって防止できる。そのため、接点ユニットと本体部と接点ユニットカバーとが一体化した先端側構造体を容易に製造することができる。
【００１８】
また、上記肩部と上記接点ユニットとの間に弾性部材が介在していることが好ましい（請求項３）。
このようにすると、接点ユニットカバーと基端側絶縁碍子との熱膨張率の差を弾性部材によって吸収することができる。すなわち、接点ユニットカバーを金属で構成した場合、温度の上昇に伴って接点ユニットカバーは膨張するが、基端側絶縁碍子はあまり膨張しないため、仮に弾性部材を設けなかったとすると、場合によっては、肩部と基端側絶縁碍子との間に隙間ができてしまい、がたつきが生じるおそれがある。しかしながら、肩部と基端側絶縁碍子との間に弾性部材を設けることにより、基端側絶縁碍子を先端側へ付勢できるため、がたつきを防止できる。
【実施例】
【００１９】
（実施例１）
本発明の実施例にかかるガスセンサ及びその製造方法につき、図１〜図１１を用いて説明する。
図１に示すごとく、本例のガスセンサ１は、先端側構造体５と基端側構造体６とを備える。先端側構造体５は、本体部１２と、接点ユニットカバー４と、接点ユニット３とを備える。
【００２０】
本体部１２は、ガスセンサ素子２と、ハウジング１１と、保持用絶縁碍子１０とからなる。ガスセンサ素子２は、排ガス等の被測定ガスに含まれる、酸素やＮＯｘ等の特定ガスの濃度を検出する。保持用絶縁碍子１０は、ガスセンサ素子２を内側に挿通して保持している。ハウジング１１は、保持用絶縁碍子１０を内側に保持している。
【００２１】
接点ユニット３は、接点部材３１と、基端側絶縁碍子３０とから構成されている。基端側絶縁碍子３０は、保持用絶縁碍子１０の基端側端面に取り付けられている。また、接点部材３１は、基端側絶縁碍子３０に保持されると共にガスセンサ素子２の電極端子２０に電気的に接続している。
【００２２】
また、接点ユニットカバー４は、筒状に形成されており、接点ユニット３を外周から覆っている。接点ユニットカバー４は、ハウジング１１に外嵌して固定され、接点ユニット３と本体部１２と共に一体化されて先端側構造体５を構成している。
【００２３】
基端側構造体６は、筒状の基端側カバー６０と、配線６２（リード線）と、通気フィルタ６３と、シール部材６１とからなる。シール部材６１は、基端側カバー６０の基端側開口部６００を封止している。配線６２は、シール部材６１を挿通し接点部材３１に接続されている。通気フィルタ６３は、基端側カバー６０の外側と内側との間の通気性と防水性とを兼ね備えたものである。
また、基端側構造体６は先端側構造体５に固定されている。
以下、詳説する。
【００２４】
上記通気フィルタ６３は通気性を有するため、基端側カバー６０の内側に存在する空気の組成は、外側に存在する空気の組成と同じである。ガスセンサ素子２の先端部２１は排気ガスに曝され、基端部２２は、基端側カバー６０内の空気に曝されている。
【００２５】
ハウジング１１には、ガスセンサ素子２の先端部２１を保護するための保護カバー１４が取り付けられている。保護カバー１４は、内側カバー１４ａと外側カバー１４ｂとからなる。
【００２６】
接点ユニットカバー４は、ハウジング１１に外嵌する筒状部４０（図２参照）と、該筒状部４０の基端部４０ｂにおいて径方向内側に突出する肩部４１とを備える。そして、肩部４１が接点ユニット３を基端側から支承している。
接点ユニットカバー４は、ハウジング１１に外嵌し、溶接されている。
【００２７】
また、図１に示すごとく、肩部４１と接点ユニット３との間には、弾性部材１３（皿ばね）が介在している。この弾性部材１３によって、基端側絶縁碍子３０を先端側に付勢している。
【００２８】
次に、ガスセンサ１の製造方法について説明する。本例に係るガスセンサ１の製造方法では、先端側構造体作製工程（図２、図３参照）と、基端側構造体作製工程（図４参照）と、固定工程（図５、図１参照）とを行う。
図２に示すごとく、先端側構造体作製工程では、ガスセンサ素子２を保持用絶縁碍子１０内に挿通して保持させる。また、保持用絶縁碍子１０をハウジング１１内に収納して保持させる。そして、ガスセンサ素子２の基端部２２に基端側絶縁碍子３０を取り付け、ガスセンサ素子２の電極端子２０に接点部材３１を接続する。
【００２９】
その後、基端側絶縁碍子３０に接点ユニットカバー４を被せる。接点ユニットカバー４と基端側絶縁碍子３０との間には弾性部材１３を介在させておく。そして図３に示すごとく、接点ユニットカバー４の先端部４０aをハウジング１１に外嵌する。その後、接点ユニットカバー４を先端側に押し込むことにより、肩部４１と基端側絶縁碍子３０との間で弾性部材１３を圧縮させる。この状態で、接点ユニットカバー４の先端部４０aをハウジング１１に溶接する。これにより、弾性部材１３が基端側絶縁碍子３０を先端側へ押圧するように付勢された状態で、接点ユニット３と本体部１２と接点ユニットカバー４とが一体化した先端側構造体５が形成される。
【００３０】
一方、図４に示すごとく、基端側カバー６０と、該基端側カバー６０の基端部６０１内に配置したシール部材６１と、該シール部材６１を挿通する配線６２と、シール部材６１に形成した通気フィルタ６３とを備えた基端側構造体６を作製する。
図４の状態では、基端側カバー６０の基端部６０１を加締めていないため、配線６２はシール部材６１内を軸線方向に移動することができる。
【００３１】
先端側構造体作製工程および基端側構造体作製工程を行った後、固定工程を行う。すなわち、図５に示すごとく、基端側構造体６の配線６２を、先端側構造体５の接点部材３１に接続する。そして、基端側カバー６０を接点ユニットカバー４に外嵌する。
次いで、基端側カバー６０の先端部６０２を接点ユニットカバー４に溶接する。また、基端側カバー６０の基端部６０１を外周からシール部材６１に対して加締めて、基端部６０１を封止する。これにより、図１に示すごとく、先端側構造体５と基端側構造体６とが一体化したガスセンサ１が形成される。
【００３２】
次に、基端側絶縁碍子３０と保持用絶縁碍子１０の構造について説明する。図６、図７に示すごとく、基端側絶縁碍子３０の先端側端面３５には、十字状の凹部３００が形成されている。また、図８、図９に示すごとく、保持用絶縁碍子１０の基端側端面１５には、十字状の凸部２００が形成されている。基端側絶縁碍子３０を保持用絶縁碍子１０に組み付けた状態で、基端側絶縁碍子３０の凹部３００に保持用絶縁碍子１０の凸部２００が係合する。これにより、基端側絶縁碍子３０が保持用絶縁碍子１０に対して中心軸Ｘ（図６参照）を中心として回転することを防止できるようになっている。
【００３３】
本例の作用効果について説明する。本例のガスセンサ１では、図１に示すごとく、接点ユニットカバー４を用いることにより、接点ユニット３と本体部１２と接点ユニットカバー４とが一体となった先端側構造体５を形成した。また、先端側構造体５とは別部品として基端側構造体６を形成した。そして、基端側構造体６を先端側構造体５に固定するよう構成した。
このようにすると、先端側構造体５と基端側構造体６を別部品にしているので、その組み合わせを自由に変えることができる。
また、本例では、基端側構造体６の基端側カバー６０を、先端側構造体５の接点ユニットカバー４に外嵌し、溶接している。したがって、基端側カバー６０の内径と接点ユニットカバー４の外径を共通化しておけば、基端側構造体６と先端側構造体５の組み合わせを変えても、これらを容易に固定することができる。
【００３４】
また、本例に係るガスセンサ１の製造方法では、先端側構造体作製工程（図２、図３参照）と、基端側構造体作製工程（図４参照）と、固定工程（図５、図１参照）とを行う。
このようにすると、先端側構造体５と基端側構造体６の組み合わせが互いに異なる複数種類のガスセンサ１を容易に製造することができる。すなわち、先端側構造体作製工程において、ガスセンサ素子２等の構造が互いに異なる複数種類の先端側構造体５を作製する。また、基端側構造体作製工程において、構造が互いに異なる複数種類の基端側構造体６を作製する。そして、固定工程において、先端側構造体５の中から選択した一の先端側構造体５と、複数種類の基端側構造体６の中から選択した一の基端側構造体６とを組み合わせて、これらを固定する。これにより、先端側構造体５と基端側構造体６の組み合わせが互いに異なる、様々なバリエーションのガスセンサ１を容易に製造することが可能になる。
例えば図１０、図１１に示すごとく、先端側構造体５を図１〜図５に示すものと同一にし、この先端側構造体５に対して、図１〜図５の基端側構造体６ａとは構造が異なる基端側構造体６ｂを固定することができる。
【００３５】
図１〜図５の基端側構造体６ａに使用される通気構成は、シール部材６１の中央に配置した通気フィルタ６３と、貫通孔６４を有する筒状部材６５から形成され、これら貫通孔６４と通気フィルタ６３内を空気が通るよう構成されている。
これに対し、図１０、図１１の基端側構造体６ｂに使用される通気構成は、第１基端側カバー６３１と第２基端側カバー６３２の間に取り付けられた通気フィルタ６３と、第１基端側カバー６３１と第２基端側カバー６３２に形成された貫通孔６３ｈとからなる。そして、これら貫通孔６３ｈと通気フィルタ６３内を空気が通るよう構成されている。
【００３６】
また、本例では、図１、図２に示すごとく、接点ユニットカバー４は、ハウジング１１に外嵌する筒状部４０と、該筒状部４０の基端部４０ｂにおいて径方向内側に突出する肩部４１とを備える。そして、肩部４１が接点ユニット３を基端側から支承している。
このようにすると、肩部４１によって接点ユニット３を基端側から支承しているため、接点ユニット３と本体部１２とが分離することを肩部４１によって防止できる。そのため、接点ユニット３と本体部１２と接点ユニットカバー４とが一体化した先端側構造体５を容易に製造することができる。
【００３７】
また、本例では、図１、図２に示すごとく、肩部４１と接点ユニット３との間に弾性部材１３が介在している。
このようにすると、接点ユニットカバー４と基端側絶縁碍子３０との熱膨張率の差を弾性部材１３によって吸収することができる。すなわち、接点ユニットカバー４を金属で構成した場合、温度の上昇に伴って接点ユニットカバー４は膨張するが、基端側絶縁碍子３０はあまり膨張しないため、仮に弾性部材１３を設けなかったとすると、場合によっては、肩部４１と基端側絶縁碍子３０との間に隙間ができてしまい、がたつきが生じるおそれがある。しかしながら、肩部４１と基端側絶縁碍子３０との間に弾性部材１３を設けることにより、基端側絶縁碍子３０を先端側へ付勢できるため、がたつきを防止できる。
【００３８】
また、弾性部材１３を、インコネル７１８やＳＵＳ６３１等の耐熱バネ材質で構成すれば、ガスセンサ１が高温環境に曝された場合にも弾性部材１３がへたることなく、基端側絶縁碍子３０のがたつきを防止できる。
【００３９】
一方、本例では、接点ユニットカバー４と基端側カバー６０は同一の金属材料（例えばＳＵＳ３０４）で構成されている。これらを同じ材料で構成することにより、溶接を行いやすくなる。
また、弾性部材１３を配置せず、接点ユニットカバー４をインコネル７１８やＳＵＳ６３１等のバネ材質で構成して、接点ユニットカバー４が弾性部材１３の機能を兼ねるようにしてもよい。この場合には、弾性部材１３を省略できるので、部品点数を減らせるというメリットがある。
【００４０】
以上のごとく、本例によれば、基端側構造体と本体部の組み合わせを容易に変更できるガスセンサ及びその製造方法を提供することができる。
【００４１】
（実施例２）
本例は、基端側カバー６０の溶接構造を変更した例である。本例では図１２に示すごとく、ハウジング１１の加締め部１１０付近に、接点ユニットカバー４を溶接した。そして図１３に示すごとく、ハウジング１１に基端側カバー６０を外嵌し、基端側カバー６０の先端部６０２をハウジング１１に溶接した。
また、本例は、図１４のようにすることもできる。図１４の例では、ハウジング１１の基端側部分に接点ユニットカバー４を外嵌し、溶接している。そして図１５に示すごとく、ハウジング１１に基端側カバー６０を外嵌し、接点ユニットカバー４の溶接部位４５０よりも先端側において、基端側カバー６０をハウジング１１に溶接した。
その他、実施例１と同様の構成を備える。
【００４２】
本例の作用効果について説明する。上記構造にすると、基端側カバー６０とハウジング１１を直接、溶接できる。そのため、溶接品質を安定させることができる。また、基端側カバー６０をハウジング１１に圧入する際の、圧入荷重のばらつきが小さくなる。さらに、溶接する際のパワー制御を楽に行える。
【符号の説明】
【００４３】
１  ガスセンサ
１０  保持用絶縁碍子
１１  ハウジング
１２  本体部
２  ガスセンサ素子
３  接点ユニット
３０  基端側絶縁碍子
３１  接点部材
４  接点ユニットカバー
５  先端側構造体
６  基端側構造体
６０  基端側カバー
６１  シール部材
６２  配線（リード線）
６３  通気フィルタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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