(57)【要約】【課題】腐食性ガスに曝されても腐食する恐れのない圧力センサ用継ぎ手を提供する。【解決手段】圧力センサが設置されるセンサマウントと、センサマウントと一体に形成され、一端がセンサマウントに接続され、他端にフランジが設けられた管状ポートとからなる継ぎ手本体部と；フランジ側から管状ポートの外側に挿通されたナットと；ナットのセンサマウント側に固定され、ナットがポートから抜け落ちないようにフランジに係止しうる２分割リングとを備え、２分割リングの内径は、管状ポートの外径より大きく、フランジの外径より小さい。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
腐食性ガスの圧力を検出する圧力センサ用の継ぎ手であって、
圧力センサを設置でき、前記圧力センサへ腐食性ガスを導入する穴が設けられたセンサマウントと、前記センサマウントと一体に形成され、一端が前記センサマウントの穴と連通し、他端にフランジが設けられた管状ポートとからなる継ぎ手本体部と、
前記フランジ側から前記管状ポートの外側に挿通されたナットと、
前記ナットの前記センサマウント側に固定され、前記ナットが前記管状ポートから抜け落ちないように前記フランジに係止しうる係止部材と、
を備える圧力センサ用継ぎ手。
【請求項２】
前記係止部材は、前記ナットの前記センサマウント側に溶接で固定された２分割リングであり、前記２分割リングの内径は、前記管状ポートの外径より大きく、前記フランジの外径より小さい、請求項１に記載の圧力センサ用継ぎ手。
【請求項３】
前記係止部材は、前記ナットの前記センサマウント側に固定されたクランプであり、前記クランプは、一端が回動可能に連結され、他端を互いに締付け固定できる２個の半円周状のアームを有し、２個のアームが閉じた状態での前記クランプの内径は、前記管状ポートの外径より大きく、前記フランジの外径より小さい、請求項１に記載の圧力センサ用継ぎ手。
【請求項４】
前記ナットは、前記センサマウント側に一体に固定された鍔部を有し、前記鍔部には、取付け用の複数個の穴が設けられており、
前記係止部材は、
前記鍔部の複数個の穴に対応する複数個の穴が設けられた２分割リングと、
前記鍔部の穴と前記２分割リングの対応する穴とに挿通されて、前記２分割リングを前記ナットの前記センサマウント側に固定する固定部材とを有し、
前記２分割リングの内径は、前記管状ポートの外径より大きく、前記フランジの外径より小さい、
請求項１に記載の圧力センサ用継ぎ手。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力センサ用継ぎ手、特に腐食性ガスによる腐食を防止した圧力センサ用継ぎ手に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造装置においては、チャンバ内にガス供給路を経て、腐食性のガス、例えばフッ化塩素，フッ化カルボニル，フッ化窒素などが供給される。ガス供給路あるいはチャンバには、ガス圧を検出するための圧力センサが設けられる。
【０００３】
このような圧力センサは、ガス供給路あるいはチャンバに接続するための継ぎ手が一体に形成された部品として市販されている。
【０００４】
図１は、圧力センサ用継ぎ手の分解斜視図である。継ぎ手１０は、圧力センサが内蔵されたセンサヘッド１２が取付けられるセンサマウント１４と、センサマウント１４に嵌合され、溶接で固定される管状のポート１６と、このポートの外側に挿通されるナット１８とから構成されている。
【０００５】
センサマウント１４は、センサヘッド１２が固定される円板状の台座２０と、ガスを導入する導入管２２とが一体に形成されている。台座２０には、ガス導入管２２に開いた穴２４が設けられている。
【０００６】
管状ポート１６は、センサマウント１４のガス導入管２２に嵌合される小外径の管状部分２６と、大外径の管状部分２８と、フランジ３０とが一体に形成されている。管状部分２６と管状部分２８との間には段差３２が設けられている。小外径の管状部分２６の外径は、ガス導入管２２の内径にほぼ等しい。大外径の管状部分２８の外径は、ガス導入管２２の外径に等しい。
【０００７】
ナット１８は、センサマウント側が径方向内側に張出した開口縁部３４を有している。開口縁部３４の開口の直径は、大外径の管状部分２８の外径より大きく、フランジ３０の外径より小さい。
【０００８】
この開口縁部３４が、フランジ３０に係止することによって、ナット１８が管状ポート１６から抜け落ちることがないようにしている。
【０００９】
このような継ぎ手１０のセンサマウント１４に、圧力センサが内蔵されたセンサヘッド１２が取付けられたものを、ナット１８をガス供給路あるいはチャンバ側のボルト（図示せず）に結合させることによって、取付けることができる。
【００１０】
以上のような従来の圧力センサ用継ぎ手１０は、次のようにして組立てられる。
【００１１】
ナット１８を小外径の管状部分２６の側から大外径の管状部分２８の外側に挿通し、続いて小外径の管状部分２６をセンサマウント１４のガス導入管２２に嵌合する。このとき、図２に示すように、ガス導入管２２の端部が、管状ポート１６の段差３２に突当たる。この突当たり部分をＴＩＧ溶接あるいはレーザ溶接して、センサマウント１４を管状ポート１６に固定する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
従来の圧力センサ用継ぎ手は、一般に、耐食性の大きいＳＵＳ３１６Ｌで作られている。しかし、溶接によりガス導入管および管状ポート自体が加熱される結果、加熱部分が変質し、変質した部分が腐食性ガスに曝されると、腐食するという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の目的は、上述の問題を解決した圧力センサ用継ぎ手を提供することにある。
【００１４】
本発明は、従来のようにセンサマウントと管状ポートとが別体になっていると、これらを固定するための溶接が必要になり、これが原因となってガス導入管および管状ポートの腐食の問題が生じるという事実を考察してなしたものである
このような問題を生起させないためには、センサマウントと管状ポートとを一体に形成したものを用いればよい。この場合には、ナットをフランジ側から管状ポートに挿通することになる。このままでは、ナットが管状ポートから抜落ちてしまうので、ナットがフランジと係止して、抜け落ちないようにする工夫が必要になる。
【００１５】
このため本発明では、ナットを管状ポートに挿通した状態で、ナットのセンサマウント側に、フランジに係止しうる係止部材を固定するようにした。
【００１６】
本発明によれば、係止部材を、
・ナットのセンサマウント側に溶接で固定した２分割リングで構成する、
・ナットのセンサマウント側に固定され、一端が回動可能に連結され他端を互いに締付け固定できる２個のアームを有するクランプで構成する、
・ナットのセンサマウント側に一体に固定され、取付け用の複数個の穴が設けられた鍔部と、鍔部の複数個の穴に対応する複数個の穴が設けられた２分割リングと、鍔部の穴と２分割リングの対応する穴とに挿通されて、２分割リングをナットのセンサマウント側に固定する固定部材とで構成することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、組立て時に、管状ポートが加熱されることがないので、従来の圧力センサ用継ぎ手のように、管状ポートが変質することがない。したがって、管状ポートの内部が腐食性ガスに曝されても、腐食する恐れはない。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】従来の圧力センサ用継ぎ手の分解斜視図である。
【図２】従来の圧力センサ用継ぎ手の断面図である。
【図３】第１の実施の形態の圧力センサ用継ぎ手の分解斜視図である。
【図４】第１の実施の形態の圧力センサ用継ぎ手の断面図である。
【図５】第２の実施の形態の圧力センサ用継ぎ手の分解斜視図である。
【図６】第２の実施の形態の圧力センサ用継ぎ手の断面図である。
【図７】第３の実施の形態の圧力センサ用継ぎ手の分解斜視図である。
【図８】第３の実施の形態の圧力センサ用継ぎ手の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
（第１の実施の形態）
本実施の形態は、ナットを管状ポートから抜け落ちることがないようにするために、ナットを管状ポートに外側に挿通した後に、２分割リングをナットに溶接で固定するものである。
【００２０】
図３は、本実施の形態の圧力センサ用継ぎ手の分解斜視図である。この圧力センサ用継ぎ手４０は、継ぎ手本体部４２を有している。この継ぎ手本体部４２は、管状ポート４４と、管状ポート４４の一端にあるセンサマウント４６と、管状ポート４４の他端にあるフランジ４８とが、一体に形成されたものである。
【００２１】
センサマウント４６は、圧力センサ（図示せず）が内蔵されたセンサヘッド１２が取付けられる円板状の台座で構成される。センサマウント４６には、圧力センサへ腐食性ガスを導入する穴２４が設けられている。
【００２２】
管状ポート４４の外側には、ナット５０が挿通されている。したがって、ナット５０の内径は、フランジ４８の外径より大きい。
【００２３】
図４に示すように、ナット５０のセンサマウント側には、断面が矩形状の２分割リング５２が溶接で固定されている。２分割リング５２は、１個のリングを２個に半割りしたものであり、半割りされた部分を半部というものとする。図において、半部を、５２ａ，５２ｂで示す。
【００２４】
２分割リング５２の内径は、管状ポート４４の外径より大きく、フランジ４８の外径より小さくなるように、設定されている。したがって、２分割リング５２が固定されたナット５０は、管状ポート４４に対して滑動するが、２分割リング５２がフランジ４８に係止するので、ナット５０は管状ポート４４から抜け落ちることはない。
【００２５】
このような構成の圧力センサ用継ぎ手は、次のようにして組立てられる。
【００２６】
ナット５０を、フランジ側から管状ポート４４の外側に挿通し、続いて２分割リング５２の半部５２ａ，５２ｂを、図４に示すように、それぞれ管状ポート４４の外側に嵌め込み、ナット５０のセンサマウント側に、ＴＩＧ溶接あるいはレーザ溶接で固定する。
【００２７】
この場合、２分割リング５２の半部５２ａ，５２ｂをナットに溶接する際に、溶接部分は、管状ポート４４から離れているので、管状ポート４４に直接に熱が加わることがない。したがって、溶接によって管状ポート４４の材質が変質することはないので、腐食性ガスにより腐食される恐れはない。
【００２８】
（第２の実施の形態）
本実施の形態は、ナットを管状ポートから抜け落ちることがないようにするために、ナットを管状ポートの外側に挿通した後に、クランプをナットに固定するものである。
【００２９】
図５は、本実施の形態の圧力センサ用継ぎ手６０の分解斜視図である。継ぎ手本体部は、第１の実施の形態と同一であるので、同一の参照番号を付して示す。
【００３０】
クランプ６２は、２個の半円周状のアーム６２ａ，６２ｂが、一端で互いに回動可能に連結され、一方のアーム６２ａの他端６４には棒ネジ６６の一端が回動可能に支持され、他方のアーム６２ｂの他端には棒ネジ６６が押込められる棒ネジ受け部６８が設けられている。棒ネジ６６の他端には締付け用の蝶ナット７０が取付けられる。
【００３１】
ナット７２は、クランプ６２を固定できるクランプ受け部７４を、センサマウント側に有している。クランプ受け部７４に、クランプ６２が固定される。
【００３２】
２個のアーム６２ａ，６２ｂが閉じた状態でのクランプ６２の内径は、管状ポート４４の外径より大きく、フランジ４８の外径より小さくなるように、設定されている。したがって、クランプ６２が固定されたナット７２は、管状ポート４４に対して滑動するが、クランプ６２がフランジ４８に係止するので、ナット７２は管状ポート４４から抜け落ちることはない。
【００３３】
このような構成の圧力センサ用継ぎ手は、次のようにして組立てられる。
【００３４】
ナット７２を、フランジ側から管状ポート４４の外側に挿通する。クランプ６２のアーム６２ａ，６２ｂを開いて、ナット７２のクランプ受け部７４に取付けて、棒ネジ６６をアーム６２ｂの先端部の棒ネジ受け部６８に押込み、図６に示すように、蝶ナット７０を棒ネジ６６に締付けて、クランプ６２をナット７２に固定する。
【００３５】
（第３の実施の形態）
本実施の形態は、ナットを管状ポートから抜け落ちることがないようにするために、鍔部付きナットを管状ポートに挿通した後に、２分割リングをナットの鍔部に固定部材で固定するものである。
【００３６】
図７は、本実施の形態の圧力センサ用継ぎ手８０の分解斜視図である。継ぎ手本体部４２は、第１の実施の形態と同一である。
【００３７】
ナット８２は、センサマウント側に一体に固定された鍔部８４を有している。鍔部８４には、取付け用の複数個の穴８６が設けられている。
【００３８】
２分割リング８８の各半部８８ａ，８８ｂには、鍔部８４に設けられた穴８６に対応する穴９０が設けられている。２分割リング８８の内径は、鍔部８４の内径より小さく、かつ、管状ポート４４のフランジ４８の外径より小さい。
【００３９】
鍔部８４に設けられた穴８６と２分割リング８８の半部８８ａ，８８ｂに設けられた穴９０とを対応させて、２分割リングの半部を鍔部８４に配置し、図８に示すように、対応する穴８６，９０にボルト９２を挿入し、ナット９４で締付けて、２分割リングの半部を鍔部８４に固定する。
【００４０】
この例では、ボルト９２およびナット９４を固定部材としたが、これに限定されるものではなく、その他の固定部材であってもよい。
【００４１】
２分割リング８８が固定されたナット８２は、管状ポート４４に対して滑動するが、２分割リング８８がフランジ４８に係止するので、ナット８２は管状ポート４４から抜け落ちることはない。
【００４２】
このような構成の圧力センサ用継ぎ手は、次のようにして組立てられる。
【００４３】
図８に示すように、鍔部付きナット８２をフランジ側から管状ポート４４の外側に挿通する。続いて、２分割リング８８の半部８８ａ，８８ｂを、鍔部８４に設けられた穴８６と２分割リングの半部に設けられた穴９０とを対応させて、鍔部８４に配置する。対応する穴８６，９０にボルト９２を挿入し、ナット９４で締付けて、２分割リングの半部を鍔部８４に固定する。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明の圧力センサ用継ぎ手は、半導体デバイスの製造で用いられる腐食性ガスの圧力を検出する圧力センサに利用されるのみならず、腐食性ガスを検出するあらゆる環境で利用することができる。
【符号の説明】
【００４５】
４０，６０，８０  圧力センサ用継ぎ手
４２  継ぎ手本体部
４４  管状ポート
４６  センサマウント
４８  フランジ
５０，７２，８２  ナット
５２，８８  ２分割リング
６２  クランプ
６６  棒ネジ
７０  蝶ナット
７４  クランプ受け部
８４  鍔部
９２  ボルト
９４  ナット 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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