(57)【要約】【課題】評価対象に対する制約の少ない、積層フィルムの２層間の界面での密着性を定量的に評価する密着強度評価方法を提供する。【解決手段】複数のフィルム単位体を下方から上方へ積層してなる積層フィルム１において複数のフィルム単位体の積層方向で互いに隣接するフィルム単位体間の界面の密着強度を評価する装置であって、積層フィルム１が固定されるステージ２２と、ステージ２２に対し、剥離すべきフィルム単位体１２と下層フィルム単位体１１との界面Ｂと平行な一方向に相対移動可能に設けられた剥離具２１と、剥離具２１を界面Ｂと平行な一方向に移動して、剥離すべき上層フィルム単位体１２を下層フィルム単位体１１との界面Ｂから剥離する時に剥離具２１に加わる荷重を測定する測定手段２５とを備える構成にした。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のフィルム単位体を下方から上方へ積層してなる積層フィルムにおいて前記複数のフィルム単位体の積層方向で互いに隣接するフィルム単位体間の界面の密着強度を評価する方法であって、
前記積層フィルムをステージ上に固定する第１の工程と、
前記固定された積層フィルムを構成する任意のフィルム単位体の厚さ方向と直交する方向における端面に剥離具を押し当てる第２の工程と、
前記剥離具を前記フィルム単位体の下方に位置する下層フィルム単位体との界面に対して平行な一方向に移動させて前記フィルム単位体を前記下層フィルム単位体との界面から剥離する第３の工程と、
前記剥離具の移動時に該剥離具に加わる荷重値を測定し前記フィルム単位体が前記下層フィルム単位体から剥離されるのに伴い前記荷重値が一定となった荷重値を密着強度とする第４の工程と、
を備えることを特徴とする積層フィルムの密着強度評価方法。
【請求項２】
前記剥離具が押し当てられる前記フィルム単位体の端面と、最も下位となる前記積層フィルムの裏面とで形成される角度θ１が２０°以上７０°以下の範囲であることを特徴とする請求項１記載の密着強度評価方法。
【請求項３】
前記剥離具は鋭角をもって交差する第１の面と第２の面とで構成された刃先を有し、
前記任意のフィルム単位体の厚さ方向と直交する方向における端面に押し当てられる箇所は前記刃先であり、
前記刃先を前記フィルム単位体の端面に押し当てたときに前記第１の面が前記端面に対向し、
前記刃先を前記フィルム単位体の端面に押し当てたときに、前記積層フィルムの上面から見て前記第１の面は、前記フィルム単位体の端面となす角度θ２が２０°以上５５°以下の範囲であることを特徴とする請求項１または２記載の密着強度評価方法。
【請求項４】
前記積層フィルムの最も上位に位置する表面に、前記剥離すべきフィルム単位体を厚さ方向に貫通して前記界面まで達する平行な２本の切り込みを前記界面と平行な方向に延在形成し、前記２本の切り込み間に存在する前記フィルム単位体の端面に前記刃が押し当てられることを特徴とする請求項１乃至３に何れか１項記載の密着強度評価方法。
【請求項５】
複数のフィルム単位体を下方から上方へ積層してなる積層フィルムにおいて前記複数のフィルム単位体の積層方向で互いに隣接するフィルム単位体間の界面の密着強度を評価する装置であって、
前記積層フィルムが固定されるステージと、
前記積層フィルムまたは前記ステージに対し、剥離すべき前記フィルム単位体と当該フィルム単位体の下方に位置する下層フィルム単位体との界面と平行な一方向に相対移動可能に設けられた剥離具と、
前記剥離具を前記界面と平行な一方向に移動して前記剥離すべきフィルム単位体を前記下層フィルム単位体との界面から剥離する時に該剥離具に加わる荷重を測定する測定手段と、
を備えることを特徴とする積層フィルムの密着強度評価装置。
【請求項６】
前記剥離具で前記剥離すべきフィルム単位体が前記下層フィルム単位体から剥離されるのに伴い前記測定手段で測定される荷重が一定となる荷重値を密着強度とすることを特徴とする請求項５記載の積層フィルムの密着強度評価装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２層以上から成る積層フィルムの２層間の界面の密着強度評価方法および密着強度評価装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
２層以上から成る積層フィルムの２層間の界面の密着性を評価する方法として、クロスカット法が知られている（ＪＩＳ  Ｋ５６００−５−６）。この密着評価方法は、積層フィルム上層に縦及び横方向に等間隔の碁盤目状の切り込み線を形成し、上層表面に透明感圧付着テープを貼り、該テープの一端を持って上層表面から所定の角度で瞬間的に引き剥したときの上層の剥離状況によって積層フィルムの密着性を評価するものである（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
また、従来の密着強度評価方法として、ピール試験法も知られている（ＪＩＳ  Ｋ６８５４−１）。この評価方法は、積層フィルム片の下層を固定し上層端を引っ張る、もしくは上層端と下層端をそれぞれ引っ張ることで上層と下層を剥離し、剥離に必要な荷重値を上層と下層の界面の密着強度とする評価方法である（例えば特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−１８３５２８号公報
【特許文献２】特開２０００−３２３８０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、クロスカット法による密着性の評価では、積層フィルムの上層表面と透明感圧付着テープの間の密着力が評価結果に影響を与えるという問題がある。また、該テープと上層表面との密着性が不十分な場合には、基材フィルム単位体と薄膜の密着性を正確に評価することができなくなる。
また、ピール試験法による密着性の評価では、積層フィルムの上層もしくは下層の強度が不十分な場合には、上層もしくは下層が破断するという問題がある。このように上層もしくは下層が破断した場合、正確な界面の密着強度を測定することができなくなり、定量的な評価を行うことができなくなる。
【０００６】
本発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、評価対象に対する制約の少ない、積層フィルムの２層間の界面での密着性を定量的に評価することが可能な密着強度評価方法および密着強度評価装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために請求項１の発明は、複数のフィルム単位体を下方から上方へ積層してなる積層フィルムにおいて前記複数のフィルム単位体の積層方向で互いに隣接するフィルム単位体間の界面の密着強度を評価する方法であって、前記積層フィルムをステージ上に固定する第１の工程と、前記固定された積層フィルムを構成する任意のフィルム単位体の厚さ方向と直交する方向における端面に剥離具を押し当てる第２の工程と、前記剥離具を前記フィルム単位体の下方に位置する下層フィルム単位体との界面に対して平行な一方向に移動させて前記フィルム単位体を前記下層フィルム単位体との界面から剥離する第３の工程と、前記剥離具の移動時に該剥離具に加わる荷重値を測定し前記フィルム単位体が前記下層フィルム単位体から剥離されるのに伴い前記荷重値が一定となった荷重値を密着強度とする第４の工程とを備えることを特徴とする。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１記載の密着強度評価方法において、前記剥離具が押し当てられる前記フィルム単位体の端面と、最も下位となる前記積層フィルムの裏面とで形成される角度θ１が２０°以上７０°以下の範囲であることを特徴とする。
【０００９】
請求項３の発明は、請求項１または２記載の密着強度評価方法にいて、前記剥離具は鋭角をもって交差する第１の面と第２の面とで構成された刃先を有し、前記任意のフィルム単位体の厚さ方向と直交する方向における端面に押し当てられる箇所は前記刃先であり、前記刃先を前記フィルム単位体の端面に押し当てたときに前記第１の面が前記端面に対向し、前記刃先を前記フィルム単位体の端面に押し当てたときに、前記積層フィルムの上面から見て前記第１の面は、前記フィルム単位体の端面となす角度θ２が２０°以上５５°以下の範囲であることを特徴とする。
【００１０】
請求項４の発明は、請求項１乃至３に何れか１項記載の密着強度評価方法において、前記積層フィルムの最も上位に位置する表面に、前記剥離すべきフィルム単位体を厚さ方向に貫通して前記界面まで達する平行な２本の切り込みを前記界面と平行な方向に延在形成し、前記２本の切り込み間に存在する前記フィルム単位体の端面に前記刃が押し当てられることを特徴とする。
【００１１】
請求項５の発明は、複数のフィルム単位体を下方から上方へ積層してなる積層フィルムにおいて前記複数のフィルム単位体の積層方向で互いに隣接するフィルム単位体間の界面の密着強度を評価する装置であって、前記積層フィルムが固定されるステージと、前記積層フィルムまたは前記ステージに対し、剥離すべき前記フィルム単位体と当該フィルム単位体の下方に位置する下層フィルム単位体との界面と平行な一方向に相対移動可能に設けられた剥離具と、前記剥離具を前記界面と平行な一方向に移動して前記剥離すべきフィルム単位体を前記下層フィルム単位体との界面から剥離する時に該剥離具に加わる荷重を測定する測定手段とを備えることを特徴とする。
【００１２】
請求項６の発明は、請求項５記載の積層フィルムの密着強度評価装置において、前記剥離具で前記剥離すべきフィルム単位体が前記下層フィルム単位体から剥離されるのに伴い前記測定手段で測定される荷重が一定となる荷重値を密着強度とすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の方法および装置によれば、積層フィルムを構成する複数のフィルム単位体の積層方向で互いに隣接するフィルム単位体間の界面での密着性を、評価対象を選ぶことなく、定量的に評価することができる。
【００１４】
また、請求項２および請求項３に記載の本発明によれば、容易に積層フィルムの界面剥離を行うことができる。
また、請求項４に記載の本発明によれば、積層フィルムの剥離すべきフィルム単位体と下層フィルム単位体間の密着強度が弱い場合にも、密着強度を評価することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明にかかる積層フィルムの模式断面図である。
【図２】（ａ）は本発明にかかる積層フィルムの密着強度評価方法を説明するための模式上面図、（ｂ）は本発明にかかる積層フィルムの密着強度評価方法を説明するための模式側面図である。
【図３】本発明の密着強度評価方法の工程を説明するフローチャートである。
【図４】高温高湿下で保管前の積層フィルムに対して本発明の密着強度評価方法を行った際に得られた、剥離距離に対する荷重値のグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明にかかる積層フィルムの密着強度評価方法および装置の実施の形態について図１乃至図４を参照して説明する。
まず、本実施の形態に示す積層フィルムについて説明する。
積層フィルム１は、図1に示すように、積層フィルム１の最も上方に位置する上層のフィルム単位体１２（以下、上層フィルム単位体という）と、このフィルム単位体１２の下方に位置する下層フィルム単位体１１を備え、２層以上のフィルム単位体を積層してなる構成をもつ。この場合、上層フィルム単位体１２と下層フィルム単位体１１の間の界面を界面Ｂとする。
また、本発明の積層フィルム１にあっては、一方の層を基材フィルム単位体とし、もう一方の層を機能層とすることができる。基材フィルム単位体の両面に機能層が形成されていても良い。また、機能層は複数層であってもよい。さらに、プラスチックフィルム単位体等の２枚以上の基材フィルム単位体が貼り合わされたものを積層フィルムとしてもよい。
【００１７】
次に、本発明の密着強度評価方法について、図２及び図３に基づき説明する。
積層フィルム１は、ステージ２２上に固定される（図３：第１の工程Ｓ１０）。具体的には、基板２３を介して積層フィルム１がステージ２２上に固定されている。基板２３と積層フィルム１は接着層２４によって固定されている。この場合、積層フィルム１の両面のうち、接着層２４に貼り合わされる側を裏面Ｃとし、その反対側を表面Ａとする。
【００１８】
そして、上層フィルム単位体１２の剥離具２１を、上層フィルム単位体１２の厚さ方向と直行する方向における端面１２ａに押し当てる（図３：第２の工程Ｓ１２）。その後、剥離具２１を上層フィルム単位体１２をせん断し剥離する方向に相対的に移動させる（図３：第３の工程Ｓ１４）。この場合、剥離具２１を界面Ｂと平行に矢印Ｘ１方向に移動させる。また、剥離具２１ではなくステージ２２を界面Ｂと平行に矢印Ｘ２方向に移動させてもよい。そして、剥離具２１に加わる荷重が測定手段２５で測定され、上層フィルム単位体１２の端面１２ａに剥離具２１を押し当ててから上層フィルム単位体１２が剥離されるまでの間に剥離具２１に加わった荷重のうち一定となった荷重値を密着強度とする（図３：第４の工程Ｓ１６）。この荷重値は、上層フィルム単位体１２が一定距離剥離された後に一定となる。
【００１９】
次に、上層フィルム単位体１２の端面１２ａに剥離具２１を押し当て、上層フィルム単位体１２を剥離する方法について説明する。以下に述べる方法を用いることにより、簡単に剥離具２１を上層フィルム単位体１２に押し当て、界面Ｂで剥離をすることができる。
上層フィルム単位体１２に際しては、上層フィルム単位体１２の膜厚を予め測定しておく。そして、まず、剥離具２１を表面Ａに当てる。その後、剥離具２１を矢印Ｘ１と逆の矢印Ｘ２方向に、もしくはステージ２２を矢印Ｘ１方向に移動させ、剥離具２１と積層フィルム１を十分に離す。
次に、剥離具２１を上層フィルム単位体１２の膜厚分だけ矢印Ｚ方向に移動させる。そして、剥離具２１を矢印Ｘ１方向に、もしくはステージ２２を矢印Ｘ１と逆の矢印Ｘ２方向に移動させることで、剥離具２１を上層フィルム単位体１２に押し当てることができる。そして、上層フィルム単位体１２に押し当てた剥離具２１を矢印Ｘ１方向に移動し、上層フィルム単位体１２を剥離する。このとき、剥離具２１には荷重検出器（測定手段２５）が設けられており、剥離具２１に加わる荷重値を測定する。
【００２０】
このような密着強度評価方法によれば、接着層２４の膜厚を測定することなく、正確に上層フィルム単位体１２の端面１２ａに剥離具２１を押し当てることができる。これに対して、接着層２４の膜厚は、積層フィルム１を固定する度に異なる。このため、接着層２４の膜厚を毎回測定し、剥離具２１を上層フィルム単位体１２の端面１２ａに押し当てるのに非常に手間がかかる。したがって、本発明の密着強度評価方法により上層フィルム単位体１２の端面１２ａに剥離具２１を押し当てることが好ましい。
【００２１】
なお、本実施の形態では、剥離具２１を上層フィルム単位体１２に押し当てる際に、上層フィルム単位体１２の膜厚分だけ剥離具２１を矢印Ｚ方向に移動させると記載したが、膜厚が厚くなると積層フィルム１に加わる力が、界面Ｂではなく表面Ａに加わる傾向があることが応力解析の計算から確かめられている。そこで、剥離具２１を上層フィルム単位体１２に押し当てる際に、上層フィルム単位体１２の膜厚分より少し大きい距離だけ剥離具２１を矢印Ｚ方向に移動させることにより、界面Ｂでの剥離成功率を上げることができる。
【００２２】
剥離具２１を矢印Ｘ１方向に移動させる際には、時間あるいは剥離距離に対する荷重値を測定する。上層フィルム単位体１２が一定距離剥離された後、荷重値は一定値をとり続けるが、本発明の密着強度評価方法にあっては、その時の値を密着強度と定義する。
得られる荷重値の一例を図４に示す。図４に示すように、荷重値が一定値となる前に、荷重値が最大値をとることがある。この最大値は、基板２３と積層フィルム１の接着の仕方などで大きく変化する値であり、適切な密着強度を評価するための指標として適切ではない。そこで、荷重値が一定値をとり続けるまで剥離を行い、密着強度を読み取る必要がある。正しく界面Ｂで剥離したかは、例えば、正確かつ簡単に測定できるＤＥＫＴＡＫ（登録商標）のような触針式表面粗さ計で試験後に段差測定を行うなどして確認する。
【００２３】
本発明の密着強度評価方法によれば、上層フィルム単位体１２を剥離し、一定距離剥離された後に一定となった荷重値を上層フィルム単位体１２と下層フィルム単位体１１の間の密着強度として得るので、測定結果は密着強度の差異を定量的に示すことができる。例えば、クロスカット法で剥離数が共に０である場合や、ピール試験で上層フィルム単位体もしくは下層フィルム単位体が破断する場合のように、クロスカット法やピール試験で密着性に差が見られない積層フィルム間の結果でも、本発明の評価方法では定量的に差を見ることができる。
【００２４】
積層フィルム１を基板２３上に固定するにあたっては、以下の２点に注意する。
まず、１点目は、接着層２４に用いる接着剤の選定である。基板２３と積層フィルム１を接着剤で固定する場合には、裏面Ｃと基板２３との密着性が非常に重要となる。裏面Ｃと基板２３の密着が不十分な場合、界面Ｂではなく裏面Ｃと基板２３との間で剥離が起こってしまう。
【００２５】
積層フィルム1と基板２３との間で十分な密着性が得られない場合は、裏面Ｃをスパッタリング等により荒らすことで密着性を上げる方法がある。また、スチールウールによって裏面Ｃを擦り荒らすことで密着性を上げる方法もある。スチールウールによって裏面Ｃを擦り荒らす方法は、真空中に積層フィルム１を入れることにより物性が変化する場合にも有効に用いることができる。
【００２６】
２点目は、積層フィルム１のうち、どちらの層を上層フィルム単位体１２、下層フィルム単位体１１とするかである。これは各層の層物性と各層の膜厚の２条件によって決められる。
本発明の密着強度評価方法にあっては、上層フィルム単位体１２と下層フィルム単位体１１の間の密着力を比較したいため、剥離する上層フィルム単位体１２自体の物性値は同じとした方が複数の積層フィルム間での密着性の比較が容易となるため好ましい。また、複数のフィルム単位体間でどちらの層も層物性が同じ場合には、膜厚が大きいほど剥離具２１の応力が表面Ａに加わりやすく界面Ｂでの剥離失敗率が高くなるため、膜厚が薄い方を上層フィルム単位体１２とする方が良い。
【００２７】
基板２３上に固定する積層フィルム１は、以下の形状にすることが望ましい。
基板２３上に固定する積層フィルム１の大きさは、少なくとも剥離具２１の３倍程度の幅と、荷重値が一定となるような剥離を行える十分な奥行きがあればいい。積層フィルム１の幅が、剥離具２１に対して十分大きい場合、剥離具２１を押し当てる場所を変えることで、１つの積層フィルム１に対して複数回の試験を行うことができる。ただし、積層フィルム１が大きすぎる場合、接着層２４に空気が入りやすくなり、積層フィルム１を基板２３上に固定することが難しくなる。
【００２８】
積層フィルム１の厚さ方向の断面は、剥離具２１を押し当てる断面と裏面Ｃで形成される角度θ１が２０°以上７０°以下の範囲であることが好ましい。θ１を、９０°ではなく、２０°以上７０°以下の範囲とすることにより、上層フィルム単位体１２を剥離させた際の界面Ｂでの剥離成功率を向上させることができる。特に、上層フィルム単位体１２が厚い場合に、θ１を２０°以上７０°以下の範囲とすることにより、界面Ｂでの剥離成功率を向上させることができる。
【００２９】
積層フィルム１の厚さ方向の断面は、表面Ａから見て、剥離具２１を押し当てる断面と刃がなす角度θ２が２０°以上５５°以下の範囲内であることが好ましい。θ２を２０°以上５５°以下の範囲とすることにより、界面Ｂでの剥離成功率を向上させることができる。
剥離具２１は、図２に示すように、鋭角をもって交差する第１の面２１０２と第２の面２１０４とで構成された刃先２１０６を有し、上層フィルム単位体１２の厚さ方向と直交する方向における端面１２ａに押し当てられる箇所は前記刃先２１０６であり、この刃先２１０６を上層フィルム単位体１２の端面１２ａに押し当てたときに第１の面２１０２が端面１２ａに対向し、刃先２１０６を上層フィルム単位体１２の端面１２ａに押し当てたときに、第１の面２１０２と、上層フィルム単位体１２の端面１２ａとなす角度がθ２である。
【００３０】
積層フィルム１の上層フィルム単位体１２と下層フィルム単位体１１の密着が弱い場合、剥離具２１を移動させて剥離を行うと、上層フィルム単位体１２のうち剥離具２１の当たっていない部分も剥離し、正しい荷重値を得られないことがある。この場合、上層フィルム単位体１２に界面Ｂに届く平行な２本の切り込みを、剥離具２１の幅よりも少し大きい間隔で作り、２本の切り込みの間を剥離具２１が移動し、上層フィルム単位体１２を剥離するようにすることで、剥離具２１の当たっていない部分の剥離を防ぐことができる。
【００３１】
積層フィルム１は、大きめのサイズの積層フィルム１を基板２３に接着層２４によって固定し、その後、カッターナイフやカミソリの刃で積層フィルム１を削ることにより、測定試料とすることが好ましい。このような手順で積層フィルム１を加工することにより、θ１を２０°以上７０°以下の範囲内としたり、θ２を２０°以上５５°以下の範囲内としたりすることを容易に行える。また、接着層２４に用いる接着剤の表面Ａへの回り込みを防ぐことができる。
【００３２】
本発明の密着強度評価装置としては、積層フィルム１が固定されるステージ２４と、ステージ２４と平行に一方向に相対的に移動できる剥離具２１と、剥離具２１にかかる荷重を測定することのできる測定手段２５とを備える装置を用いることができる。例えば、万能型ボンドテスター（デイジ社製：シリーズ４０００）を用いることができる。
【００３３】
（実施例）
以下に本発明の薄膜の密着強度評価方法の実施例を説明する。
積層フィルム１として、透明なポリエチレンテレフタレートからなる厚さ２５０μｍの基材フィルム単位体の一方の面に、ウレタン樹脂を塗布した積層フィルムを２枚用意した。２枚の積層フィルムのうち１枚を高温高湿下にて２０００時間保管し、積層フィルムの界面の密着強度を低下させた。
【００３４】
高温高湿下で保管前後の積層フィルムについて、幅０．５ｍｍの剥離具２１と万能型ボンドテスター（デイジ社製：シリーズ４０００）を用いて図２に示したような形で、本発明の密着強度評価法を行った。ウレタン樹脂層を上層フィルム単位体１２、基材フィルム層を下層フィルム単位体１１、瞬間接着剤を接着層２４、ガラス基板を基板２３として、積層フィルムをステージ２２上に固定した。このとき、積層フィルムは各辺１ｃｍの正方形状としてガラス基板に固定したあと、θ１が２０°以上７０°以下、θ２が２０°以上５５°以下となるようにカッターナイフで加工を行った。各積層フィルムについて、同一の辺に対して場所を変えて５回ずつ、本発明の密着強度評価法を行った。
【００３５】
図４に、高温高湿下で保管前の積層フィルムに対して、本発明の密着強度評価方法を行った際に得られた、剥離距離に対する荷重値のグラフのうちの１つを示した。図４において、剥離距離０．４ｍｍ以後に荷重値が一定となっており、一定となった剥離距離０．４ｍｍ以後の荷重値の平均値１．７０Ｎを密着強度とした。各測定について同様に密着強度を測定した結果、高温高湿下で保管前の積層フィルムの密着強度は１．７０±０．０２Ｎ、高温高湿下での保管後の積層フィルムの密着強度は１．５８±０．０１Ｎとなった。
【００３６】
また、高温高湿下で保管前後の積層フィルムに対して、ピール試験によりウレタン樹脂層と基材フィルム単位体層の密着性を評価した結果、高温高湿下で保管前の積層フィルムは、ウレタン樹脂層と基材フィルム層の密着性が十分高かったため、ウレタン樹脂層が破断し、密着強度を定量的に得ることができなかった。高温高湿下での保管後の積層フィルムの密着強度は３．９Ｎ／ｃｍとなった。
【００３７】
本発明の密着強度評価方法により測定した密着強度から、高温高湿下での保管によって基材フィルムとウレタン樹脂の間の界面における密着強度が低下していることが確認された。ピール試験でも同様の結果が得られた。高温高湿下での保管により、密着強度は低下することが知られており、この傾向が本密着性評価方法からも確認できた。また、高温高湿下で保管前の積層フィルムの密着強度は、ピール試験では定量的に評価することができなかったが、本発明の密着強度評価法では定量的に値を得ることができた。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明の密着強度評価方法は、評価対象に対する制約の少ない、積層フィルムの２層間の界面での密着性を定量的に評価する測定法とし利用できる。
【符号の説明】
【００３９】
１……積層フィルム、１１……下層フィルム単位体、１２……上層フィルム単位体、１２ａ……端面、２１……剥離具、２１０２……第１の面、２１０４……第２の面、２１０６……刃先、２２……ステージ、２３……基板、２４……接着層、Ａ……積層フィルムの表面、Ｂ……上層と下層の間の界面、C……積層フィルムの裏面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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