(57)【要約】【課題】ネットワークを介してホストコンピュータと露光装置とがネットワーク接続されるシステムおよび同システムで使用される露光装置において、露光処理の効率化を図る。【解決手段】電源投入直後にサーバータスクを起動してホストコンピュータから接続要求を待ってホストコンピュータとのネットワーク接続を確立している。そして、ネットワーク接続の確立後において、ネットワーク接続が切断されていることを検出した場合にも、立ち上げ処理を実行することなく、ホストコンピュータから次の接続要求を待ってホストコンピュータとのネットワーク接続を確立している。したがって、ホストコンピュータとのネットワーク接続の再確立毎に立ち上げ処理を行っていた従来技術に比べてトータルの露光処理を短縮することができる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ネットワークを介してホストコンピュータと露光処理を行う露光装置とが接続される露光システムにおいて、
前記露光装置は、
電源投入時に立ち上げ処理を行うとともに、前記ホストコンピュータからの接続要求を待って前記ネットワークを介して前記ホストコンピュータとの接続を確立し、
前記接続確立後に前記ホストコンピュータとの接続が切れると、前記立ち上げ処理を再実行することなく、前記ホストコンピュータからの接続要求を待って前記ネットワークを介して前記ホストコンピュータとの接続を確立する
ことを特徴とする露光システム。
【請求項２】
前記露光装置は、前記ホストコンピュータからの切断要求および前記接続要求を受信する第１受信部と、前記第１受信部により前記切断要求を受信したときに前記ホストコンピュータとの接続を切断する切断処理部と、前記第１受信部により前記接続要求を受信したときに前記ホストコンピュータとの接続を確立する接続処理部とを備える請求項１に記載の露光システム。
【請求項３】
前記露光装置は、前記露光処理に関連する各種の情報を記憶する第１記憶部と、前記第１記憶部に記憶される前記情報を前記ホストコンピュータに送信する第１送信部とをさらに備え、
前記ホストコンピュータは、前記露光処理に前記切断要求および前記接続要求を送信する第２送信部と、前記第１送信部により送信される前記情報を受信する第２受信部と、前記第２受信部で受信した前記情報を記憶する第２記憶部とを備え、
前記露光装置は、前記ホストコンピュータからの前記切断要求を受信したときに前記第１記憶部に前記情報が記憶されている際には、前記情報を前記第１送信部で前記ホストコンピュータに送信した後で前記ホストコンピュータとの接続を切断する請求項２に記載の露光システム。
【請求項４】
前記露光装置は、前記ホストコンピュータからの前記接続要求を受信する第１受信部と、前記ホストコンピュータとの接続が切断されているか否かを検出する切断検出部と、前記第１受信部により前記接続要求を受信したときに前記ホストコンピュータとの接続を確立する接続処理部とを備え、
前記ホストコンピュータとの接続が切れていることを前記切断検出部が検出した後、前記第１受信部が前記接続要求を受信するのを待って、前記接続処理部は前記ホストコンピュータとの接続を確立する請求項１に記載の露光システム。
【請求項５】
前記露光装置は、描画データを記憶する第３記憶部と、前記第３記憶部に記憶される前記描画データに基づき露光処理を行う露光部とをさらに備え、
前記露光部は、前記ホストコンピュータとの接続が切れた後においても、前記第３記憶部に記憶される前記描画データについて露光処理を継続して行う請求項１ないし４のいずれか一項に記載の露光システム。
【請求項６】
ネットワークを介してホストコンピュータと接続されて前記ホストコンピュータから与えられる指令に応じて露光処理を実行する露光装置であって、
電源投入時に立ち上げ処理を行うとともに、前記ホストコンピュータからの接続要求を待って前記ネットワークを介して前記ホストコンピュータとの接続を確立し、
前記接続確立後に前記ホストコンピュータとの接続が切れると、前記立ち上げ処理を再実行することなく、前記ホストコンピュータからの接続要求を待って前記ネットワークを介して前記ホストコンピュータとの接続を確立する
ことを特徴とする露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、露光装置とホストコンピュータとをネットワークを介して接続した露光システム、ならびにネットワークを介してホストコンピュータと接続されて前記ホストコンピュータから与えられる指令に応じて露光処理を実行する露光装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工場や液晶パネル製造工場などでは、オンライン化が進んでおり、種々の装置がネットワークを介してオンライン接続されている。例えば特許文献１に記載のシステムでは、感光材料が表面に付与された半導体基板やガラス基板等（以下、「基板」という）に光ビームを照射してパターンを描画する露光装置（パターン描画装置とも呼ばれる。）はネットワークを介してホストコンピュータに接続されている。そして、このホストコンピュータは露光装置に対してパラメータやコマンド指令を送信し、自動化処理を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２２２７５２号公報（例えば、図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の露光装置では、電源投入時に装置の立ち上げ処理（初期化処理）が実行されるとともに、装置の主制御部とホストコンピュータとの間でネットワーク接続の確立が行われる。そして、接続確立後においては、ホストコンピュータが装置制御を行う。このような接続方式を採用しているため、装置の主制御部とホストコンピュータとの間でネットワーク接続が切れると、露光装置はエラーとなり、装置の制御および露光処理を行うことができなくなる。また、新たにネットワーク接続を行うためには、露光装置をリセットして再度立ち上げ処理を行う必要があり、立ち上げ処理を含めたトータルの露光処理が長くなる。さらに、ネットワーク接続が切れたという理由のみで、エラー処理を行う必要があり、余分な労力と時間を消費しており、非効率的なものとなっていた。
【０００５】
この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、ネットワークを介してホストコンピュータと露光装置とがネットワーク接続されるシステムおよび同システムで使用される露光装置において、露光処理の効率化を図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明は、ネットワークを介してホストコンピュータと露光処理を行う露光装置とが接続される露光システム、およびネットワークを介してホストコンピュータと接続されてホストコンピュータから与えられる指令に応じて露光処理を実行する露光装置に関するものであり、上記目的を達成するため、露光装置を次のように構成することを特徴としている。すなわち、露光装置は、電源投入時に立ち上げ処理を行うとともに、ホストコンピュータからの接続要求を待ってネットワークを介してホストコンピュータとの接続を確立し、接続確立後にホストコンピュータとの接続が切れると、立ち上げ処理を再実行することなく、ホストコンピュータからの接続要求を待ってネットワークを介してホストコンピュータとの接続を再度確立する。
【０００７】
このように構成された発明（露光システムおよび露光装置）では、露光装置は、電源投入時において立ち上げ処理を実行するとともに、ホストコンピュータからの接続要求を待つ。そして、接続要求がホストコンピュータから送られてくると、それに応じて露光装置はホストコンピュータとネットワーク接続する。こうしてネットワーク接続された後に、ホストコンピュータとの接続が切れる場合があるが、その場合には、立ち上げ処理を再実行することなく、再びホストコンピュータからの接続要求を待つ。そして、接続要求がホストコンピュータから送られてくると、それに応じて露光装置はホストコンピュータとのネットワーク接続を再度確立する。したがって、露光装置は、ホストコンピュータとのネットワーク接続の再確立の前後においても継続して露光処理および装置各部の制御を行うことが可能となっている。
【０００８】
ここで、ホストコンピュータとの接続が切れる切断要因としては幾つかあり、例えばホストコンピュータからの切断要求もそのひとつである。これに適切に対応するために、露光装置が、ホストコンピュータからの切断要求および接続要求を受信する第１受信部と、第１受信部により切断要求を受信したときにホストコンピュータとの接続を切断する切断処理部と、第１受信部により接続要求を受信したときにホストコンピュータとの接続を確立する接続処理部とを備えるように構成してもよい。
【０００９】
また、露光装置の状態、露光処理を実行している間に計測したデータあるいは露光装置の動作結果などは、露光処理に関連する各種の情報として、露光装置の第１記憶部に記憶されることがある。このような情報については、ホストコンピュータ側と共有することが望まれる。そこで、情報共有のために、露光装置が上記情報をホストコンピュータに送信する第１送信部をさらに備える一方、ホストコンピュータが、露光装置に切断要求および接続要求を送信する第２送信部と、第１送信部により送信される情報を受信する第２受信部と、第２受信部で受信した情報を記憶する第２記憶部とを備えるように構成してもよい。そして、ホストコンピュータからの切断要求を受信したときに第１記憶部に情報が記憶されている際には、情報を第１送信部でホストコンピュータに送信した後でホストコンピュータとの接続を切断することで、上記情報を露光装置からホストコンピュータに確実に与えることができ、情報の共有化を確かなものとすることができる。
【００１０】
また、上記のようにホストコンピュータからの切断要求を受けて積極的にネットワーク接続を切る以外に、種々の要因によって不定期にホストコンピュータとの接続が切れる場合がある。このような場合に適切に対応するため、露光装置が、ホストコンピュータからの接続要求を受信する第１受信部と、ホストコンピュータとの接続が切断されているか否かを検出する切断検出部と、第１受信部により接続要求を受信したときにホストコンピュータとの接続を確立する接続処理部とを備えるように構成してもよい。そして、ホストコンピュータとの接続が切れていることを切断検出部が検出した後、第１受信部が接続要求を受信するのを待って、接続処理部はホストコンピュータとの接続を確立してもよい。これによって、ホストコンピュータとのネットワーク接続の再確立の前後においても継続して露光処理および装置各部の制御を行うことが可能となっている。
【００１１】
さらに、描画データを記憶する第３記憶部を設けるとともに、第３記憶部に記憶される描画データに基づき露光部が露光処理を行うように構成してもよく、この場合、ホストコンピュータとの接続が切れた後においても、第３記憶部に記憶される描画データについて露光処理を継続して行うことで露光処理の効率をさらに高めることができる。
【発明の効果】
【００１２】
以上のように、本発明によれば、露光装置はホストコンピュータから接続要求を待ってホストコンピュータとのネットワーク接続を確立するため、ネットワーク接続が切れた後において立ち上げ処理を行う必要がない。その結果、ホストコンピュータとのネットワーク接続の再確立毎に立ち上げ処理を行っていた従来技術に比べてトータルの露光処理を短縮することができる。また、ネットワーク接続が切れた場合であっても、単にホストコンピュータから接続要求を待っておればよく、特別なエラー処理などを行う必要もなくなる。それらの結果、露光処理の効率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明にかかる露光システムの一実施形態を示す図である。
【図２】図１の露光システムを構成する露光装置を示す側面図である。
【図３】図２の露光装置の本体部を示す斜視図である。
【図４】図２の露光装置の電気的な構成を示すブロック図である。
【図５】電源投入時の動作を示す図である。
【図６】ホストコンピュータからの切断要求に対応する動作を示す図である。
【図７】描画中にネットワーク切断が発生した際の動作を示す図である。
【図８】図７で示す動作により描画されるパターンの一例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１は本発明にかかる露光システムの一実施形態を示す図である。この露光システムでは、露光装置１００とホストコンピュータ２００とがイーサネット(登録商標)などのネットワーク３００により結ばれてイントラネットが構築されている。露光装置１００はＲＩＰ（Raster image processor）サーバ４００の記憶部４０１に記憶された描画データに基づき後で詳述するように感光材料が表面に付与された半導体基板やガラス基板等の基板Ｗの表面に光ビームを照射してパターンを描画する装置である。また、ホストコンピュータ２００は、ＣＰＵ２０１、メモリ２０２および送受信部２０３を有しており、露光装置１００に対してパラメータやコマンド指令を送信し、自動化処理を行う。
【００１５】
図２は図１の露光システムを構成する露光装置を示す側面図である。また、図３は図２の露光装置の本体部を示す斜視図である。この露光装置１００では、本体フレーム１０１に対してカバー１０２が取り付けられて形成される本体内部に装置各部が配置されて本体部が構成されるとともに、本体部の外側（本実施形態では、図２に示すように本体部の右手側）に基板収納カセット１１０が配置されている。この基板収納カセット１１０には、露光処理を受けるべき未処理基板Ｗが収納されており、本体内部に配置される搬送ロボット１２０によって本体部にローディングされる。また、未処理基板Ｗに対して露光処理（パターン描画処理）が施された後、当該基板Ｗが搬送ロボット１２０によって本体部からアンローディングされて基板収納カセット１１０に戻される。
【００１６】
この本体部では、図２および図３に示すように、カバー１０２に囲まれた本体内部の右手端部に搬送ロボット１２０が配置されている。また、この搬送ロボット１２０の左手側には基台１３０が配置されている。この基台１３０の一方端側領域（図２および図３の右手側領域）が、搬送ロボット１２０との間で基板Ｗの受け渡しを行う基板受渡領域となっているのに対し、他方端側領域（図２および図３の左手側領域）が基板Ｗへのパターン描画を行うパターン描画領域となっている。この基台１３０上では、基板受渡領域とパターン描画領域の境界位置にヘッド支持部１４０が設けられている。このヘッド支持部１４０では、図３に示すように、基台１３０から上方に２本の脚部材１４１、１４２が立設されるとともに、それらの脚部材１４１、１４２の頂部を橋渡しするように梁部材１４３が横設されている。そして、図２に示すように、梁部材１４３のパターン描画領域側の側面にカメラ（撮像部）１５０が固定されて、ステージ１６０に保持された基板Ｗの表面（被描画面、被露光面）を撮像可能となっている。
【００１７】
このステージ１６０は基台１３０上でステージ移動機構１６１（図４）によりＸ方向、Ｙ方向ならびにθ方向に移動される。すなわち、ステージ移動機構１６１は基台１３０の上面にＹ軸駆動部１６１Ｙ（図４）、Ｘ軸駆動部１６１Ｘ（図４）およびθ軸駆動部１６１Ｔ（図４）をこの順序で積層配置したものであり、ステージ１６０を水平面内で２次元的に移動させて位置決めする。また、ステージ１６０をθ軸（鉛直軸）回りの回転させて後述する光学ヘッド１７０に対する相対角度を調整して位置決めする。なお、このようなステージ移動機構１６１としては、従来より多用されているＸ−Ｙ−θ軸移動機構を用いることができる。
【００１８】
また、このように構成されたヘッド支持部１４０に対して光学ヘッド１７０が取り付けられ、基板Ｗへのパターン描画を行う。
【００１９】
また、基台１３０の基板受渡側と反対側の端部（図２および図３の左手側端部）においても、２本の脚部材１４４が立設されている。そして、この梁部材１４３と２本の脚部材１４４の頂部を橋渡しするように光学ヘッド１７０の光学系を収納したボックス１７２が設けられている。
【００２０】
図４は図２の露光装置の電気的な構成を示すブロック図である。この露光装置１００は、装置全体を制御する主制御部１８１を有している。この主制御部１８１は、演算処理を実行するＣＰＵ１８１ａと、露光処理に関連する情報を記憶するメモリ１８１ｂと、搬送ロボット１２０との間でシリアル通信を行うシリアル送受信部１８１ｃと、ネットワーク３００を介してホストコンピュータ２００との間でコマンドやデータなどの送受信を行うネットワーク送受信部１８１ｄとを有しており、これらの構成要素が１つのＣＰＵボードに搭載されている。この実施形態では、主制御部１８１をＶＭＥ（VERSAmodule Eurocard）ラック１８２に収納するとともに、ＶＭＥバス１８３を介してステージ駆動制御部１８４、レーザ測長部１８５および描画タイミング制御部１８６と接続されている。なお、ステージ駆動制御部１８４、レーザ測長部１８５および描画タイミング制御部１８６も同ＶＭＥラック１８２に収納されている。
【００２１】
ステージ駆動制御部１８４はステージ移動機構１６１を構成する駆動部のうちＹ軸駆動部１６１Ｙおよびθ軸駆動部１６１Ｔを駆動制御する。なお、残りのＸ軸駆動部１６１Ｘについては、描画タイミング制御部１８６により駆動制御される。
【００２２】
また、レーザ測長部１８５はステージ１６０のＸＹ水平面内での位置を計測する位置計測ユニット（図示省略）と電気的に接続されて同ユニットのレーザ光源などを制御するとともに、同ユニットの受光素子からの出力信号に基づき上記ステージ１６０の位置情報や位置補正データを高精度に求める。
【００２３】
描画タイミング制御部１８６はモータモジュールを有しており、モータモジュールはＸ軸駆動部１６１Ｘを駆動制御するとともに、他方により光学ヘッド１７０に設けられたレンズ駆動部１７３に移動タイミング指令値を与えて対物レンズ（図示省略）を上下方向Ｚに移動させてピント合わせを行う。なお、描画タイミング制御部１８６は次に説明するデータ処理部１８７と電気的に接続されており、データ処理部１８７から与えられるデータに基づき上記のようにＸ軸駆動部１６１Ｘを制御することでステージ１６０をＸ軸方向にステップ移動させる。
【００２４】
データ処理部１８７はＣＰＵや描画データメモリ１８７ａ等を有している。そして、データ処理部１８７の外部から与えられるストライプ単位の描画データを描画データメモリ１８７ａに一時的に記憶するとともに、データ処理部１８７内のＣＰＵが所定のプログラムに従って演算処理することにより、種々のデータ処理を行う。データ処理部１８７で生成されるデータは光学ヘッド１７０に設けられた光変調素子（図示省略）をＯＮ／ＯＦＦ制御するためのデータであり、光学ヘッド１７０の変調制御部１７４に与える。このデータ信号を受けて光学ヘッド１７０は描画データに対応するパターンを基板Ｗの表面上の感光材料に露光する。なお、この実施形態では、描画データの生成については次に説明するように装置外部に設けられたＲＩＰサーバー４００で行っているが、露光装置１００内で実行するように構成してもよい。
【００２５】
ＲＩＰサーバー４００はＣＰＵやデータ記憶部４０１等を備えており、光ファイバケーブルによって上記データ処理部１８７と接続されている。このＲＩＰサーバー４００内では、例えば１つのＬＳＩに相当するパターンのデータがＬＳＩデータとしてデータ記憶部４０１に記憶されている。このＬＳＩデータは装置外部のＣＡＤ等により生成されたデータであり、適当なタイミングでＲＩＰサーバー４００のデータ記憶部４０１に記憶されている。そして、ＲＩＰサーバー４００内のＣＰＵが所定のプログラムに従って演算処理することにより、当該ＬＳＩデータに基づき基板Ｗに描画すべき描画データを作成する。すなわち、ＬＳＩデータが示す単位領域を分割してラスタライズしてストライプ単位の描画データを作成するとともに光ファイバーケーブルを介してデータ処理部１８７に転送する。なお、ストライプ単位での描画データの生成方法については従来より周知であるため、ここではその詳細については省略する。
【００２６】
次に、上記のように構成された露光装置１００の動作を中心に、図５ないし図８を参照しつつ説明する。図５は電源投入時の動作を示す図である。この実施形態では、露光装置１００に電源を投入すると、露光装置１００は、電源投入直後より立ち上げ処理（初期化処理）を実行した後に、直ちにサーバータスク処理に移行する（ステップＳ１０１）。すなわち、立ち上げ処理では、装置ＣＰＵのブート、オペレーティングシステムのロード、アプリケーションソフトの実行開始などが順番に実行される。そして、アプリケーションソフトの実行によってサーバータスク処理が開始される。このサーバータスク処理は、装置パラメータを読み込み、サーバータスクを生成する処理であり、サーバータスクによって後述するようにホストコンピュータ２００からの接続要求、切断要求、コマンド送信、描画指令などの受付、ホストコンピュータ２００への実行ステータス、未送信データ、描画完了などの送信を管理する。このサーバータスクの起動直後より、露光装置１００の主制御部１８１はホストコンピュータ２００から接続要求が送信されてくるのを待つ（ステップＳ１０２）。
【００２７】
一方、ホストコンピュータ２００では、露光装置１００を制御するためのソフトウエアを起動する（ステップＳ２０１）。そして、適当なタイミングでホストコンピュータ２００は送受信部２０３（図１）から露光装置１００に対して接続要求、コマンドをこの順序で送信する。
【００２８】
ホストコンピュータ２００からの接続要求を露光装置１００のネットワーク送受信部１８１ｄが受信するのを受けて露光装置１００の主制御部１８１は装置各部を制御してホストコンピュータ２００とのネットワーク接続を行い、接続確立を確認した（ステップＳ１０３）後、ホストコンピュータ２００から送信されてくる指令などを受信する受信タスクを起動し、受信待ち状態となる（ステップＳ１０４）。
【００２９】
そして、ホストコンピュータ２００からコマンドが送信されてくると、露光装置１００の主制御部１８１はコマンドを受信する。また、この主制御部１８１はコマンド受信を確認する（ステップＳ１０５でＹＥＳ）と、さらにホストコンピュータ２００とのネットワーク接続が切断されていないことを確認する（ステップＳ１０６でNO）と、ステップＳ１０７に進む。このステップＳ１０７では、主制御部１８１はコマンド解析タスクを起動し、ホストコンピュータ２００から送信されてきたコマンドを解析する。そして、主制御部１８１は、解析結果に対応するアクションタスクを起動して送信されてきたコマンドにしたがった処理を実行し（ステップＳ１０８）、それに対応する実行ステータスをネットワーク３００を介してホストコンピュータ２００に返信する。
【００３０】
一方、ステップＳ１０６でホストコンピュータ２００との接続が切断されていることを検出すると、上記したコマンド解析タスク、アクションタスクを実行することなく、ステップＳ１０２に戻って主制御部１８１はホストコンピュータ２００から接続要求が送信されてくるのを待つ。そして、ホストコンピュータ２００から新たに接続要求が送信されてくると、接続確立を行った上で、上記と同様にして受信タスク、コマンド解析タスク、アクションタスクなどを実行する。
【００３１】
以上のように、本実施形態にかかる露光装置１００では、電源投入直後にサーバータスクを起動してホストコンピュータ２００から接続要求を待ってホストコンピュータ２００とのネットワーク接続を確立している。そして、ネットワーク接続の確立後において、ネットワーク接続が切断されていることを検出した場合には、立ち上げ処理を実行することなく、ホストコンピュータ２００から次の接続要求を待ってホストコンピュータ２００とのネットワーク接続を確立している。したがって、ホストコンピュータとのネットワーク接続の再確立毎に立ち上げ処理を行っていた従来技術に比べてトータルの露光処理を短縮することができる。また、ネットワーク接続が切れた場合であっても、単にホストコンピュータ２００から接続要求を待っておればよく、特別なエラー処理などを行う必要もなくなる。それらの結果、露光処理の効率を高めることができる。
【００３２】
ところで、例えばホストコンピュータ２００から切断要求が送信されてくる場合がある。この場合、露光装置１００は切断要求に応じてネットワーク接続を切断する（切断処理）。ここで、切断要求があると、直ちに切断処理を実行することも可能であるが、露光装置１００のメモリ１８１ｂには露光処理に関連する各種の情報が記憶されている。この「各種の情報」としては、露光装置１００の状態を示す情報、露光処理を実行している間に計測したデータあるいは露光装置１００の動作結果などが含まれている。露光装置１００の状態を示す情報とは、例えば切断要求があった時点での露光装置１００の動作の状態（動作の途中、アイドル状態、動作終了など）や描画を完了したストライプ数などを意味している。また、露光処理を実行している間に計測したデータとは、例えばレーザ測長部１８５により計測されたステージ１６０の位置情報や位置補正データなどを意味している。さらに、露光装置の動作結果とは、例えばアクションタスクの実行ステータス等を意味している。
【００３３】
本実施形態では、これらの情報をホストコンピュータ２００と共有すべく、主制御部１８１は適当なタイミングでホストコンピュータ２００に送信する。例えば図５に示す動作においては、コマンドに対応したアクションタスクを実行した直後に、それを示す実行ステータスが露光装置１００からホストコンピュータ２００に送信されている。したがって、切断要求があった時点でメモリ１８１ｂにホストコンピュータ２００に送信すべき情報が残っている場合には、それらの情報をホストコンピュータ２００に送信した上で、切断処理を実行するのが望ましい。そこで、本実施形態では、図６に示す動作を実行する。
【００３４】
図６はホストコンピュータからの切断要求に対応する動作を示す図である。露光装置１００の主制御部１８１は、ホストコンピュータ２００からの接続要求を待ってホストコンピュータ２００とのネットワーク接続を行う（ステップＳ１０２）。そして、接続確立を確認した（ステップＳ１０３）後、主制御部１８１は切断検出設定を行い（ステップＳ１１０）、ホストコンピュータ２００からの切断要求に備える。すなわち、ホストコンピュータ２００から切断要求を検出する処理を連続的あるいは一定時間毎に実行し（ステップＳ１１１）、ホストコンピュータ２００から切断要求が送信されてステップＳ１１２で切断要求の受信を確認すると、次のステップＳ１１３に進む。
【００３５】
このステップＳ１１３で、主制御部１８１はメモリ１８１ｂにホストコンピュータ２００に送信すべきデータ（露光処理に関連する各種の情報）が未送信状態で残っているか否かを判断する。そして、未送信データが残っている場合には、主制御部１８１は未送信データをネットワーク３００を介してホストコンピュータ２００に送信する（ステップＳ１１４）。なお、未送信データを送受信部２０３で受信したホストコンピュータ２００は、未送信データをメモり２０２に記憶する。
【００３６】
そして、未送信データ全部の転送が完了すると、主制御部１８１は切断処理を実行してホストコンピュータ２００とのネットワーク接続を切る（ステップＳ１１５）。なお、ステップＳ１１３で未送信データがメモり１８１ｂに残っていないと判断した場合には、主制御部１８１は直ちに切断処理を実行する（ステップＳ１１５）。こうして切断処理を実行してホストコンピュータ２００とのネットワーク接続を切った後、主制御部１８１は図５のステップＳ１０２に戻ってホストコンピュータ２００から接続要求が送信されてくるのを待つ。
【００３７】
以上のように、本実施形態にかかる露光装置１００では、ホストコンピュータ２００から切断要求があり、しかも、その時点でメモリ１８１ｂに未送信データが残っている場合には、その未送信データをホストコンピュータ２００に送信した後でホストコンピュータ２００との接続を切断している。したがって、未送信データを露光装置１００からホストコンピュータ２００に確実に与えることができ、露光装置１００とホストコンピュータ２００とで露光処理に関連する各種の情報を確実に共有化することができる。これによって、例えば描画途中で切断要求を受信した場合、メモリ１８１ｂに記憶されている描画済みのストライプ数が未送信データとして切断処理前にホストコンピュータ２００に転送され、ホストコンピュータ２００はネットワーク接続の切断直前における描画の進捗状況を正確に把握することができ、再接続後に残りのストライプを継続して描画することが可能となる。
【００３８】
このように描画中に露光装置１００とホストコンピュータ２００とのネットワーク接続が切断される要因は、上記した切断要求が発生した場合に限定されるものではなく、例えば予期しないネットワーク３００の物理的な断線によって発生することもある。そこで、本実施形態にかかる露光装置１００では、描画中にネットワーク接続の切断に対して以下のように対応している。
【００３９】
図７は描画中にネットワーク切断が発生した際の動作を示す図である。また、図８は図７で示す動作により描画されるパターンの一例を示す模式図である。ここでは、図８に示すように基板Ｗ上には多数のＬＳＩチップに相当するダイのパターンブロックが、互いに垂直なＸ方向およびＹ方向に格子状に配列して描画される場合を例示して説明する。また、このパターンの描画は、図８に示すようにＹ方向（副走査方向）に伸びるストライプ状の領域（以下、「ストライプ」という。）を１行描画する毎に、ステージ１６０がＸ方向に移動して次のストライプの描画が開始される。なお、図８中において、ハッチングを付している領域ＳＴａは描画済みであることを示す一方、ハッチングが付されていない領域ＳＴｂは描画されていないことを示している。
【００４０】
この露光装置１００では、主制御部１８１がホストコンピュータ２００から描画指令を受けると、装置各部に動作指令を与えて描画準備を行う（ステップＳ１２１）。また、ホストコンピュータ２００から描画に関連する各種のデータがネットワーク３００を介して主制御部１８１に転送される。このデータを受信した主制御部１８１は、データ処理部１８７に対して描画状態に遷移するように要求する、つまり描画状態遷移要求を与える。この要求に応じてデータ処理部１８７から状態遷移が完了した旨の信号が主制御部１８１に返信されてくると、主制御部１８１は装置各部を以下のように制御して所望のパターンを基板Ｗの表面に形成された感光材料に描画する。
【００４１】
まず、主制御部１８１はステージ移動機構１６１を制御してステージ１６０を描画開始位置に移動させる（ステップＳ１２２）。そして、図８のパターンで描画するために必要なストライプ数だけ、ステップＳ１２３ａ、１２３ｂで挟まれた処理のうち「１ストライプ描画の実行（ステップＳ１２４）」と「描画進捗の報告（ステップＳ１２５）」とが繰り返される。すなわち、データ処理部１８７の描画データメモリ１８７ａに記憶されている描画データに基づき１ストライプの描画を実行する（ステップＳ１２４）毎に、主制御部１８１はネットワーク３００を介して描画の進捗状況をホストコンピュータ２００に報告する（ステップＳ１２５）。このような処理を繰り返すことで図８に示すように描画済のストライプ領域ＳＴaが増えていく。そして、上記ストライプ数だけ繰り返されると、上記ループ（ステップＳ１２３ａ〜Ｓ１２３ｂ）から抜け出し、主制御部１８１は描画後処理を実行する（ステップＳ１２７）。つまり、主制御部１８１はネットワーク３００を介してホストコンピュータ２００に描画終了を送信した後、ホストコンピュータ２００からネットワーク３００を介してＡＣＫ信号（確認信号、肯定応答信号）を受信する。
【００４２】
一方、「１ストライプ描画の実行（ステップＳ１２４）」と「描画進捗の報告（ステップＳ１２５）」とをストライプ単位で繰り返している途中でホストコンピュータ２００との間でネットワーク３００の断線が生じてネット切断割り込みが発生することがある。この場合、主制御部１８１はデータ処理部１８７に対して描画中止状態に遷移するように要求する、つまり描画中止遷移要求を与えるとともに、その要求に応じてデータ処理部１８７から状態遷移（描画中止状態）が完了した旨の信号を受け取り、描画を中止する。ただし、描画中にネット切断割り込みが発生すると、多くの場合、図８（ａ）に示すように、第ｎ番目の描画ストライプの途中まで描画が完了しているが、一部については描画が完了していない状態となる。そこで、本実施形態では、データ処理部１８７の描画データメモリ１８７ａには描画中の描画データが記憶されているため、その描画データに基づき露光装置１００は第ｎ番目の描画ストライプの描画を継続させて同図（ｂ）に示すように第ｎ番目の描画ストライプの描画を終了させた後、上記ループ（ステップＳ１２３ａ〜Ｓ１２３ｂ）から抜け出し、主制御部１８１は異常処理を実行する（ステップＳ１２８）。
【００４３】
以上のように、本実施形態によれば、ホストコンピュータ２００とのネットワーク接続が切れた後においても、描画データメモリ１８７ａに記憶される描画データに基づきストライプ描画を継続して行うことで露光処理の効率をさらに高めることができる。
【００４４】
このように、本実施形態では、露光装置１００のネットワーク送受信部１８１ｄが本発明の「第１受信部」および「第１送信部」として機能する一方、ホストコンピュータ２００の送受信部２０３が本発明の「第２受信部」および「第２送信部」として機能している。また、露光装置１００の主制御部１８１が本発明の「切断処理部」、「接続処理部」、「切断検出部」として機能している。また、露光装置１００のメモリ１８１ｂ、ホストコンピュータ２００のメモリ２０２および露光装置１００の描画データメモリ１８７ａがそれぞれ本発明の「第１記憶部」、「第２記憶部」および「第３記憶部」に相当している。
【００４５】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えばホストコンピュータ２００に対してネットワーク３００を介して１台の露光装置１００が接続される露光システムに対して本発明を適用しているが、ホストコンピュータ２００が複数の露光装置とネットワーク３００を介して接続される露光システムに対して本発明を適用してもよい。
【符号の説明】
【００４６】
１００…露光装置
１８１…主制御部（切断処理部、接続処理部、切断検出部）
１８１ａ…ＣＰＵ
１８１ｂ…メモリ（第１記憶部）
１８１ｄ…ネットワーク送受信部（第１受信部、第１送信部）
１８７ａ…描画データメモリ（第３記憶部）
２００…ホストコンピュータ
２０２…メモリ（第２記憶部）
２０３…送受信部（第２受信部、第２送信部）
３００…ネットワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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