(57)【要約】【課題】プラズマ表面処理装置のロール電極を電源電極とし、かつ該ロール電極の軸部には電圧が印加されないようにし、ロール電極と回転駆動部との接続構造及びロール電極の支持構造を簡素化する。【解決手段】ロール電極１の金属製の軸部１０を電気的に接地し、金属製の外筒部２０に電源３を接続する。絶縁材料からなる環状の絶縁連結部３０にて、軸部１０と外筒部２０を絶縁しつつ連結する。【選択図】図１
2011070887.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電界印加によってプラズマを生成し、被処理物の表面をプラズマ処理するプラズマ表面処理装置において、
電源から給電され、かつ回転駆動部にて回転されるロール電極を備え、前記ロール電極が、
（ａ）支持部に回転可能に支持され、かつ前記回転駆動部に接続された金属からなり、電気的に接地された軸部と、
（ｂ）前記軸部より大径かつ前記軸部と同軸の円筒状の金属からなり、前記電源に接続された外筒部と、
（ｃ）環状をなして前記軸部と前記外筒部との間に介在された絶縁材料からなり、前記軸部と前記外筒部とを絶縁しつつ連結する絶縁連結部と、
を含むことを特徴とするプラズマ表面処理装置。
【請求項２】
前記ロール電極が、前記外筒部の軸方向の端部に設けられた円板形状の端壁を有し、前記軸部が、前記端壁の中央部に連結され、前記絶縁連結部が、前記端壁に前記軸部を囲むように設けられていることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ表面処理装置。
【請求項３】
前記外筒部の内部には、前記軸部に連結された金属製の内部補強部材と、前記外筒部の内周面と前記内部補強部材との間に介在された筒状の絶縁材料からなる内部絶縁部材とが収容されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のプラズマ表面処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、一対の電極間に電界を印加して放電を生成し、被処理物の表面をプラズマ処理する装置に関し、特に上記一対の電極のうち、電源に接続された側の電極が、円筒形状でありかつ回転するロール電極であるプラズマ表面処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、特許文献１では、固定された平板電極と、円筒形状のロール電極とを対向させて配置し、これら電極の間にプラズマ放電を生成し、被処理物のプラズマ処理を行う。平板電極が電源に接続されて電圧供給を受ける。ロール電極は電気的に接地されている。ロール電極は、軸線のまわりに回転する。連続シート状の被処理物をロール電極の外周面の平板電極と対向する部分に掛けて表面処理しながら、ロール電極を回転させることにより被処理物をその連続方向に搬送する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２９９７３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ロール電極が接地電極である場合、これを支持するのに絶縁を考慮する必要が無く、回転駆動部にも絶縁を考慮することなく接続して回転させることができる。
しかし、ロール電極が電源に接続された電源電極であり、その軸に電圧が印加される場合には、当該軸とその支持部との間を絶縁する必要がある。更に、ロール電極を回転させるためには、上記軸と回転駆動部とを絶縁しつつ、しかも回転駆動部のトルクが軸に確実に伝達されるように回転駆動部と軸とを接続する必要がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、電界印加によってプラズマを生成し、被処理物の表面をプラズマ処理するプラズマ表面処理装置において、
電源から給電され、かつ回転駆動部にて回転されるロール電極を備え、前記ロール電極が、
（ａ）支持部に回転可能に支持され、かつ前記回転駆動部に接続された金属からなり、電気的に接地された軸部と、
（ｂ）前記軸部より大径かつ前記軸部と同軸の円筒状の金属からなり、前記電源に接続された外筒部と、
（ｃ）環状をなして前記軸部と前記外筒部との間に介在された絶縁材料からなり、前記軸部と前記外筒部とを絶縁しつつ連結する絶縁連結部と、
を含むことを特徴とする。
【０００６】
電源から外筒部に電圧を供給することによって、前記ロール電極を電源電極として電界を印加してプラズマを生成でき、被処理物を表面処理できる。外筒部と軸部を絶縁連結部にて絶縁でき、外筒部への印加電圧が軸部にも印加されるのを防止できる。したがって、軸部を確実に接地電位にすることができる。よって、軸部と支持部との間を絶縁する必要がなく、軸部の支持構造を簡易化できる。さらには、軸部と回転駆動部との間を絶縁する必要がなく、回転駆動部と軸部の接続構造を簡素化でき、かつ回転駆動部の回転トルクが軸部に確実に伝達されるよう、回転駆動部と軸部分をしっかりと接続することができる。軸部に伝達された回転トルクは、絶縁連結部を介して外筒部に伝達される。よって、外筒部を円滑に回転させることができる。ひいては、外筒部に掛け回した被処理物を円滑に搬送することができる。
【０００７】
前記ロール電極が、前記外筒部の軸方向の端部に設けられた円板形状の端壁を有し、前記軸部が、前記端壁の中央部に連結され、前記絶縁連結部が、前記端壁に前記軸部を囲むように設けられていることが好ましい。
これにより、ロール電極の内部を空洞にできる。よって、ロール電極を軽量化でき、回転駆動部の負荷を軽減できる。
【０００８】
前記外筒部の内部には、前記軸部に連結された金属製の内部補強部材と、前記外筒部の内周面と前記内部補強部材との間に介在された筒状の絶縁材料からなる内部絶縁部材とが収容されていてもよい。
内部補強部材によって軸部を補強でき、ひいてはロール電極の全体的な剛性を高めることができる。さらには、内部補強部材が回転トルクの伝達を分担することができる。したがって、絶縁連結部及び外筒部に作用する回転伝達力を低減でき、絶縁連結部の剛性及び連結強度の所要値を小さく設定できる。更には、ロール電極の軸長を大きくでき、幅広の被処理物に対応することができる。
内部補強部材は軸部に接続されているため、電気的に接地された状態になる。この内部補強部材と高電圧の外筒部とを、内部絶縁部材によって絶縁することができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、ロール電極を電圧が印加される電源電極として用い、かつ該ロール電極の軸部には電圧が印加されないようにできる。したがって、軸部を絶縁することなく支持できる。また、回転駆動部を絶縁せずに上記軸に接続できるため、接続構造を簡素化できるだけでなく、回転駆動部のトルクをロール電極に確実に伝達することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施形態に係るプラズマ表面処理装置を示す正面断面図である。
【図２（ａ）】上記プラズマ表面処理装置の電極構造の一例を示す側面図である。
【図２（ｂ）】上記プラズマ表面処理装置の電極構造の他の例を示す側面図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係るプラズマ表面処理装置を示す正面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態を図面にしたがって説明する。
図１及び図２は、本発明の第１実施形態に係るプラズマ表面処理装置Ｍを示したものである。図２（ａ）に示すように、プラズマ表面処理装置Ｍは、一対のロール電極１，２を備えている。一方のロール電極１が、電源３に接続され、電圧が印加される電源電極になっている。他方のロール電極２が、接地線２ｅを介して電気的に接地されて接地電極になっている。これらロール電極１，２に連続シート状の被処理物９が半周程度掛け回されている。ロール電極１，２間の被処理物９は、ガイドロール４に掛け回されて折り返されている。
【００１２】
電源３からロール電極１への電圧供給によって、ロール電極１，２間に電界が印加され、大気圧近傍のプラズマ放電が生成される。電源３からの供給電圧は、パルス等の間欠波状でもよく、連続波状でもよい。電界印加と併行して、図示しない処理ガス供給系から処理ガスがロール電極１，２間に供給されてプラズマ化される。プラズマ化された処理ガスが被処理物９に接触して反応が起き、被処理物９が表面処理される。更に、ロール電極１，２及びガイドロール４が回転することによって、被処理物９がその連続方向に搬送され、連続的に処理される。
【００１３】
表面処理の内容としては、特に限定がなく、エッチングでもよく、洗浄でもよく、表面改質（親水化、撥水化等）でもよく、成膜でもよい。処理ガスの成分は、処理内容に応じて選択される。例えば、洗浄処理では、処理ガス成分として窒素、酸素等を用いる。撥水化処理では、処理ガス成分としてＣＦ４、Ｃ２Ｆ６等のフッ素系ガスを用いる。ロール電極１，２間でのプラズマ生成及び被処理物９の表面処理は、大気圧近傍下にて行うことが好ましい。ここで、大気圧近傍とは、１．０１３×１０４〜５０．６６３×１０４Ｐａの範囲を言い、圧力調整の容易化や装置構成の簡便化を考慮すると、１．３３３×１０４〜１０．６６４×１０４Ｐａが好ましく、９．３３１×１０４〜１０．３９７×１０４Ｐａがより好ましい。  
【００１４】
図２（ｂ）に示すように、電源電極となる１つのロール電極１を挟んで両側に接地電極となるロール電極２を配置してもよい。さらに、図示は省略するが、合計で４つ以上のロール電極１，２を交互に配置してもよい。
【００１５】
図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、電源電極を構成するロール電極１は、軸部１０と、外筒部２０とを有している。外筒部２０が電源３に接続されている。軸部１０は、接地線３ｅを介して接地されている。軸部１０と外筒部２０の間に絶縁連結部３０が介在されている。絶縁連結部３０によって軸部１０と外筒部２０が互いに絶縁されつつ連結されている。
【００１６】
ロール電極１の構造を更に詳述する。
図１に示すように、ロール電極１の軸部１０は、軸線Ｌを左右水平方向に向けて配置されている。軸部１０は、左側（駆動側）の軸部分１１と、右側（従動側）の軸部分１２を有している。
【００１７】
左側の軸部分１１は、ステンレスやアルミニウム等の金属にて構成されている。この軸部分１１が、ロール電極１の左側の端壁１ａの中心部から軸線Ｌに沿って外側へ突出されている。軸部分１１の突出部分が、支持部５Ａによって回転可能に支持されている。軸部分１１の内端部（電極１の内部側の端部）の外周には、環状のフランジ１３が設けられている。フランジ１３は、ステンレスやアルミニウム等の金属からなり、端板１ａの一部を構成している。
【００１８】
同様に、右側の軸部分１２は、ステンレスやアルミニウム等の金属にて構成されている。この軸部分１２が、ロール電極１の右側の端壁１ｂの中心部から軸線Ｌに沿って外側へ突出されている。軸部分１２の突出部分が、支持部５Ｂによって回転可能に支持されている。軸部分１２のの内端部の外周には、環状のフランジ１４が設けられている。フランジ１４は、ステンレスやアルミニウム等の金属からなり、端板１ｂの一部を構成している。
【００１９】
左右の軸部分１１及び１２は、軸線Ｌ方向に互いに離れている。一方の軸部分１１に回転駆動部６が接続されている。回転駆動部６の駆動によって、軸部１０が回転し、ひいてはロール電極１が軸線まわりに回転する。
【００２０】
軸部１０は、電気的に接地されている。すなわち、左右の軸部分１１，１２が、それぞれ接地線３ｅを介して接地されている。接地線３ｅは、軸部分１１，１２に直接接続されているが、これに限られず、支持部５Ａ，５Ｂに接続されていてもよく、軸部分１１，１２が支持部５Ａ，５Ｂを介して接地されていてもよい。
【００２１】
外筒部２０は、外筒本体２１と、左右両側のリム部２３，２４を含む。外筒本体２１は、ステンレスやアルミニウム等の金属にて構成されている。外筒本体２１は、軸部分１１，１２と同軸の円筒形状になっている。外筒本体２１の左端部にリム部２３が接合されている。外筒本体２１の右端部にリム部２４が接合されている。リム部２３，２４は、ステンレスやアルミニウム等の金属にて構成され、外筒本体２１と同軸の環状になっている。外筒本体２１とリム部２３，２４は、互いに接触し、電気的に導通し合っている。
【００２２】
リム部２３に給電ピン２５が設けられている。電源３からの給電線３ａがスリップリング３ｓに接続され、このスリップリング３ｓが給電ピン２５に接触している。これにより、外筒部２０が、電源３に接続され、電源３から給電を受ける。
【００２３】
外筒部２０の軸長は、被処理物９の幅寸法と対応し、好ましくは被処理物９の幅寸法より少し大きい。例えば、被処理物９の幅寸法は３００ｍｍ程度である。外筒部２０の軸長は例えば４００ｍｍ程度である。外筒部２０の直径は、例えば３３０ｍｍ程度である。外筒部２０の軸線方向に沿う断面は正方形に近い。勿論、外筒部２０の大きさは、上記に限定されるものではない。
【００２４】
外筒部２０の外周面には、薄い固体誘電体層５０が設けられている。固体誘電体層５０は、例えばシリコンゴムにて構成されているが、これに限定されるものではなく、アルミナの溶射膜であってもよい。
【００２５】
絶縁連結部３０は、左右一対の端絶縁連結部材３１，３２を含む。左側の端絶縁連結部材３１は、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）等の絶縁材料にて構成されている。端絶縁連結部材３１は、軸部１０及び外筒部２０と同軸の環状になっており、駆動側端壁１ａにおけるフランジ１３の外周とリム部２３の内周の間に配置されている。端絶縁連結部材３１が、フランジ１３を囲み、ひいては軸部分１１を囲んでいる。端絶縁連結部材３１を介してフランジ１３とリム部２３が連結されている。かつ、端絶縁連結部材３１によって、フランジ１３とリム部２３が絶縁されている。
【００２６】
端絶縁連結部材３１の内側面（電極１の内部側）には内張り部材３３が設けられている。内張り部材３３は、ＰＶＣ等の樹脂（絶縁材料）にて構成されている。内張り部材３３は、中心孔を有する円板形状になっており、端絶縁連結部材３１とフランジ１３と軸部分１１の内側面どうし間に跨っている。内張り部材３３によって、軸部分１１及びフランジ１３と端絶縁連結部材３１が一層しっかりと連結されている。
フランジ１３、端絶縁連結部材３１、内張り部材３３、リム部２３によって、ロール電極１の駆動側端壁１ａが構成されている。端壁１ａは、全体として円板形状になっている。
【００２７】
右側の端絶縁連結部材３２は、ＰＶＣ等の絶縁材料にて構成されている。軸部１０及び外筒部２０と同軸の環状になっており、従動側端壁１ｂにおけるフランジ１４の外周とリム部２４の内周の間に配置されている。端絶縁連結部材３２が、フランジ１４を囲み、ひいては軸部分１２を囲んでいる。端絶縁連結部材３２を介してフランジ１４とリム部２４が連結されている。かつ、端絶縁連結部材３２によって、フランジ１４とリム部２４が絶縁されている。
【００２８】
端絶縁連結部材３２の内側（電極１の内部側）には内張り部材３４が設けられている。内張り部材３４は、ＰＶＣ等の樹脂（絶縁材料）にて構成されている。内張り部材３４は、円板形状になっており、端絶縁連結部材３２とフランジ１４と軸部分１２の内側面どうし間に跨っている。内張り部材３４によって、軸部分１２及びフランジ１４と端絶縁連結部材３２が一層しっかりと連結されている。
フランジ１４、端絶縁連結部材３２、内張り部材３４、リム部２４によって、ロール電極１の従動側端壁１ｂが構成されている。端壁１ｂは、全体として円板形状になっている。
【００２９】
さらに、ロール電極１の内部には冷却機構４０が組み込まれている。冷却機構４０は、導入管４１と、冷却路画成筒４５を含む。導入管４１は、ＰＶＣ等の樹脂製の管にて構成されている。導入管４１は、ロール電極１の内部の軸部分１１と軸部分１２の間に配置され、軸線Ｌに沿って真っ直ぐ延びている。詳細な図示は省略するが、冷却源からの冷却液供給路が、軸部分１１の内部を通り、導入管４１の内部の左端部に連なっている。
【００３０】
導入管４１の右端部の外周には、接続管４２を介して往路画成板４３が設けられている。接続管４２はＰＶＣ等の樹脂にて構成され、短い筒状になっている。往路画成板４３は、ＰＶＣ等の樹脂にて構成され、円板形状になっている。導入管４１の左端部の外周には、還路画成板４４が設けられている。還路画成板４４は、ＰＶＣ等の樹脂にて構成され、円板形状になっている。
【００３１】
冷却路画成筒４５は、円筒状になっている。冷却路画成筒４５の外径は、外筒本体２１の内径より少し小さい。冷却路画成筒４５は、外筒部２０と同軸をなして外筒部２０の内部に収容されている。冷却路画成筒４５は、アルミニウムやステンレス等の金属にて構成されているが、これに限定されるものではなく、ＰＶＣ等の樹脂にて構成されていてもよい。冷却路画成筒４５の右端部には、内鍔部４５ａが径方向の内側に突出するように設けられている。内鍔部４５ａの内周側の端部に往路画成板４３の外周部が連結されている。冷却路画成筒４５の左端部には、内鍔部４５ｂが径方向の内側に突出するように設けられている。内鍔部４５ｂの内周側の端部に還路画成板４４の外周部が連結されている。冷却路画成筒４５の内面と導入管４１の外周面との間は空洞になっている。
【００３２】
さらに、冷却路画成筒４５の左端部から連結凸部４５ｃが軸線に沿って突出されている。連結凸部４５ｃは、冷却路画成筒４５の周方向に離間して複数設けられている。各連結凸部４５ｃが、リム部２３に連結されている。冷却路画成筒４５の右端部から連結凸部４５ｄが軸線に沿って突出されている。連結凸部４５ｄは、冷却路画成筒４５の周方向に離間して複数設けられている。各連結凸部４５ｄが、リム部２４に連結されている。
【００３３】
端壁１ｂと往路画成板４３及び内鍔部４５ａとの間に、薄い円形状の空間からなる往路４６が形成されている。接続管４２の内部空間が、往路４６の中央部に連なっている。外筒本体２１の内周面と冷却路画成筒４５の外周面との間に、円筒形状の空間からなる冷却路４７が形成されている。往路４６が冷却路４７の右端部に連なっている。端壁１ａと還路画成板４４及び内鍔部４５ｂとの間に、薄い円形状の空間からなる還路４８が形成されている。冷却路４７の左端部が還路４８に連なっている。詳細な図示は省略するが、冷却液排出路が、還路４８の中央部から軸部分１１の内部を通ってロール電極１の外部に引き出されている。
【００３４】
上記のように構成されたプラズマ表面処理装置Ｍによれば、電源３からの電圧を給電線３ａ、スリップリング３ｓ、給電ピン２５を順次経て、外筒部２０に供給できる。これによって、ロール電極１を電源電極とし、ロール電極２を接地電極として、ロール電極１，２間に電界を印加でき、被処理物９をプラズマ表面処理できる。
外筒部２０と軸部１０とは絶縁連結部３０にて絶縁されているため、外筒部２０への印加電圧が軸部１０にも印加されるのを防止でき、軸部１０を確実に接地電位にすることができる。したがって、軸部分１１と支持部５Ａとの間、及び軸部分１２と支持部５Ｂとの間を絶縁する必要がなく、軸部分１１，１２の支持構造を簡易化できる。
さらには、軸部分１１と回転駆動部６との間を絶縁する必要がなく、回転駆動部６と軸部分１１の接続構造を簡素化でき、かつ回転駆動部６の回転トルクが軸部分１１に確実に伝達されるよう、回転駆動部６と軸部分１１をしっかりと接続することができる。軸部分１１に伝達された回転トルクは、フランジ１３、内張り部材３３、端絶縁連結部材３１を介して外筒部２０に伝達される。よって、外筒部２０を円滑に回転させることができる。ひいては、被処理物９を円滑に搬送することができる。
【００３５】
図１において、太線矢印にて示すように、水等の冷却液は、軸部分１１の内部、導入管４１の内部、接続管４２の内部を順次経て、往路４６内を放射状に広がるように径方向の外側へ流れ、冷却路４７の右端部の全周に導入される。この冷却液が、冷却路４７内を左方へ流れ、この過程で外筒部２０を冷却することができる。冷却路４７の厚さを小さくすることにより、冷却液の流量を低減できる。その後、冷却液は、冷却路４７の左端部の全周から還路４８に入り、還路４８内を径方向の内側へ流れ、軸部分１１の内部を経て排出される。
【００３６】
次に、本発明の他の実施形態を説明する。以下の実施形態において既述の形態と重複する構成に関しては、図面に同一符号を付して説明を省略する。
図３は、本発明の第２実施形態を示したものである。第２実施形態では、被処理物９の幅寸法が第１実施形態より大きく、例えば１５００ｍｍ程度である。これに対応し、プラズマ表面処理装置Ｍ２の外筒部２０の軸長が直径より十分に大きい。例えば、外筒部２０の直径が３００ｍｍ程度であるのに対し、外筒部２０の軸長は１６００ｍｍ程度である。図３は、図１より縮尺が小さい。
【００３７】
第２実施形態の外筒部２０は、筒本体２１と両端のリム部２３，２４とに分割されておらず、全体が一体になっている。外筒部２０の左右の端部には、それぞれ端壁として端絶縁連結部材３５，３６が設けられている。左右の端絶縁連結部材３５及び３６によって、絶縁連結部３０が構成されている。
【００３８】
左側の端絶縁連結部材３５は、ＰＶＣ等の樹脂（絶縁材料）にて構成されている。端絶縁連結部材３５は、中心孔を有する円板形状になっており、その内周部が、軸部分１１に接合されている。端絶縁連結部材３５の外周部は、外筒部２０の左端部に接合されている。端絶縁連結部材３５を介して軸部分１１と外筒部２０が連結されている。端絶縁連結部材３５の外周面は、外筒部２０の外周面とほぼ面一になっている。給電ピン２５が、端絶縁連結部材３５を厚さ方向に貫通して、外筒部２０に接続されている。
【００３９】
同様に、右側の端絶縁連結部材３６は、ＰＶＣ等の樹脂（絶縁材料）にて構成されている。端絶縁連結部材３６は、中心孔を有する円板形状になっており、その内周部が軸部分１２に接合されている。端絶縁連結部材３６の外周部は、外筒部２０の右端部に接合されている。端絶縁連結部材３６を介して軸部分１２と外筒部２０が連結されている。端絶縁連結部材３６の外周面は、外筒部２０の外周面とほぼ面一になっている。
【００４０】
プラズマ表面処理装置Ｍ２の軸部１０は、駆動側軸部分１１及び従動側軸部分１２に加えて、中間軸部分１５を有している。中間軸部分１５は、ステンレスやアルミニウム等の剛性の金属からなる直線状の管にて構成されている。中間軸部分１５は、外筒部２０の内部に軸線Ｌに沿うように収容されている。駆動側軸部分１１と中間軸部分１５と従動側軸部分１２が、軸線Ｌに沿って一直線に連ねられている。
【００４１】
外筒部２０内には、内部補強部材６０が収容されている。内部補強部材６０は、補強筒６１と、一対の端補強壁６３，６４を含み、大略筒形状になっている。これら補強部材要素６１，６３，６４は、ステンレスやアルミニウム等の剛性の金属にて構成されている。補強筒６１は、軸部１０及び外筒部２０と同軸をなし、外筒部２０より少し小径で軸部分１１，１２より十分に大径の円筒状になっている。補強筒６１の軸長は、外筒部２０の軸長より少し短い。
【００４２】
補強筒６１の左側の端部に端補強壁６３が設けられている。端補強壁６３は、環状になっている。端補強壁６３の外周部が、補強筒６１の左側の端部に接合されている。端補強壁６３の内周部が、軸部分１１に接合されている。端補強壁６３の外側面が、端絶縁連結部材３５の内側面に当てられ、接合されている。
【００４３】
補強筒６１の右側の端部に端補強壁６４が設けられている。端補強壁６４は、環状になっている。端補強壁６４の外周部が、補強筒６１の右側の端部に接合されている。端補強壁６４の内周部が、軸部分１２に接合されている。端補強壁６４の外側面が、端絶縁連結部材３６の内側面に当てられ、接合されている。
【００４４】
外筒部２０の内部には、更に内部絶縁部材３７が収容されている。内部絶縁部材３７は、内部補強部材６０の外周面と外筒部２０との間に介在されている。内部絶縁部材３７は、ＰＶＣ等の樹脂（絶縁材料）にて構成されている。内部絶縁部材３７は、軸部１０及び外筒部２０と同軸をなし、かつ外筒部２０より少し小径で内部補強部材６０より少し大径の円筒状になっている。
【００４５】
内部絶縁部材３７の外周面と外筒部２０の内周面との間には、環状の薄い隙間が形成されており、この隙間が冷却機構４０の冷却路４７となっている。なお、冷却液は、中間軸部分１５の内部から、軸部分１２及び端絶縁連結部材３６の内部に形成された往路４６を経て、冷却路４７の右端部に導入される。この冷却液が、冷却路４７内を左方向に通過することで、外筒部２０を冷却する。その後、冷却液は、端絶縁連結部材３５及び軸部分１１の内部に形成された還路４８を経て、排出される。
【００４６】
内部絶縁部材３７の左側の端部は、中央部分より少し小径になり、被挟持部３７ａを構成している。端絶縁連結部材３５の内側面（電極１の内部を向く面）の外周寄りの部分には環状の凸部３５ｃが形成されており。この環状凸部３５ｃと端補強壁６３の外周面との間に被挟持部３７ａが挟まれている。
【００４７】
外筒部２０の左端部が、環状凸部３５ｃ、被挟持部３７ａ、端補強壁６３を順次介して軸部分１１に連結されている。被挟持部３７ａは、環状凸部３５ｃを含む端絶縁連結部材３５と共に「絶縁連結部」を構成する。
【００４８】
内部絶縁部材３７の右側の端部は、中央部分より少し小径になり、被挟持部３７ｂを構成している。端絶縁連結部材３６の内側面（電極１の内部を向く面）の外周寄りの部分には環状の凸部３６ｃが形成されており。この環状凸部３６ｃと端補強壁６４の外周面との間に被挟持部３７ｂが挟まれている。
【００４９】
外筒部２０の右端部が、環状凸部３６ｃ、被挟持部３７ｂ、端補強壁６４を順次介して軸部分１２に連結されている。被挟持部３７ｂは、環状凸部３６ｃを含む端絶縁連結部材３６と共に「絶縁連結部」を構成する。
【００５０】
第２実施形態によれば、左右の軸部分１１，１２を中間軸部分１５にて橋絡して軸部１０を全長にわたって構造的に一体化することによって、駆動側軸部分１１に入力された回転駆動部６の回転トルクを、中間軸部分１５を介して、従動側軸部分１２に直接的に伝達できる。したがって、端絶縁連結部材３５，３６及び外筒部２０に作用する回転伝達力を低減できる。よって、端絶縁連結部材３５，３６の剛性及び連結強度の所要値を小さく設定できる。
加えて、内部補強部材６０の両端の補強壁６３，６４が軸部１０に接合されることによって、軸部１０を補強できる。また、左側の補強壁６３が端絶縁連結部材３５に接合されることによって、端絶縁連結部材３５を補強でき、右側の補強壁６４が端絶縁連結部材３６に接合されることによって、端絶縁連結部材３６を補強できる。更に、内部補強部材６０の左側の外周部が、被挟持部３７ａ及び環状凸部３５ｃを介して外筒部２０に接合され、内部補強部材６０の右側の外周部が、被挟持部３７ｂ及び環状凸部３６ｃを介して外筒部２０に接合されることによって、外筒部２０を補強できる。これにより、ロール電極１の全体的な剛性を高めることができる。
更には、内部補強部材６０が、回転トルクの伝達を分担することができる。したがって、端絶縁連結部材３５，３６及び外筒部２０に作用する回転伝達力を一層低減でき、端絶縁連結部材３５，３６の剛性及び連結強度の所要値をより小さく設定できる。
この結果、ロール電極１の軸長を大きくでき、幅広の被処理物９に対応することができる。
【００５１】
内部補強部材６０は、軸部１０に接続されているため、電気的に接地された状態になる。この内部補強部材６０と高電圧の外筒部２０とを、内部絶縁部材３７によって絶縁することができる。
【００５２】
本発明は、上記実施形態に限定されず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の改変をなすことができる。
例えば、絶縁連結部３０が、ロール電極１の端壁だけにではなく、電極１の内部にも設けられていてもよい。ロール電極１の内部が、絶縁連結部３０にて埋められていてもよい。
他の電極２は、ロール電極に限られず、平板電極でもよく、ロール電極１の周面に沿う凹曲面を有する電極でもよい。
絶縁連結部材３１，３２，３５，３６，３７等の材質は、絶縁性であり、かつ必要強度を確保できるものであればよく、ＰＶＣに限られず、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等の他の樹脂であってもよい。
第２実施形態において、内部補強部材６０は、軸部１０に連結されて軸部１０等を補強するものであればよく、筒状に限られず、例えば骨組み状になっていてもよい。内部補強部材６０が、中間軸部分１５の中間部と補強筒６１の中間部とを連結する連結部材を有していてもよい。
第１、第２実施形態を互いに組み合わせてもよい。例えば、第１実施形態においても、駆動側軸部分１１と従動側軸部分１２を中間軸部分１５にて連結してもよい。第１実施形態においても、端壁１ａ，１ｂのほぼ全体が端絶縁連結部材３１，３２にて構成されていてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明は、半導体装置や液晶表示装置の製造に適用可能である。
【符号の説明】
【００５４】
Ｍ，Ｍ２      プラズマ表面処理装置
１      ロール電極
１ａ，１ｂ  端壁
２      他の電極
３      電源
３ａ    給電線
３ｅ    接地線
３ｓ    スリップリング
４      ガイドロール
５Ａ，５Ｂ    支持部
６      回転駆動部
９      被処理物
１０    軸部
１１    駆動側軸部分
１２    従動側軸部分
１３，１４  フランジ
１５    中間軸部分
２０    外筒部
２１    外筒本体
２３，２４  リム部
２５    給電ピン
３０    絶縁連結部
３１，３２  端絶縁連結部材
３３，３４  内張り部材
３５，３６  端絶縁連結部材（端壁）
３５ｃ，３６ｃ  環状凸部
３７    内部絶縁部材
３７ａ，３７ｂ  被挟持部
４０    冷却機構
４１    導入管
４２    接続管
４３    往路画成板
４４    還路画成板
４５    冷却路画成筒
４５ａ，４５ｂ  内鍔部
４５ｃ，４５ｄ  連結凸部
４６    往路
４７    冷却路
４８    還路
５０    固体誘電体層
６０    内部補強部材
６１    補強筒
６３，６４  端補強壁
【図１】
2011070887.tif 000003
【図２（ａ）】
2011070887.tif 000004
【図２（ｂ）】
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【図３】
2011070887.tif 000006