(57)【要約】      （修正有）【課題】半導体チップおよびベース板を含む半導体装置を、歩留まりを低下させることなく形成することが可能な半導体装置の製造方法を提供すること。【解決手段】半導体チップ１３が搭載された複数のベース板１６を、所定の間隔で支持フィルム１８に貼り付ける工程と、ベース板１６および半導体チップ１３を覆うように、支持フィルム１８の下面に封止樹脂１７を形成する工程と、封止樹脂１７の下面に、半導体チップ１３に電気的に接続されるように配線パターン１５を形成する工程と、封止樹脂１７の下面に、配線パターン１５の一部が露出するようにソルダーレジスト膜１４を形成する工程と、ソルダーレジスト膜１４から露出した配線パターン１５にＢＧＡボール１２を形成する工程と、封止樹脂１７およびソルダーレジスト層１４を切断する工程と、封止樹脂１７に覆われたベース板１６および半導体チップ１３を、支持フィルム１８から剥がす工程と、を具備する。【選択図】図９
2011187551.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれに半導体チップが搭載された複数のベース板を、所定の間隔で支持体に貼り付ける工程と、
前記複数のベース板および複数の前記半導体チップを覆うように、前記支持体の下面に封止樹脂を形成する工程と、
前記封止樹脂の下面に、それぞれの前記半導体チップに電気的に接続されるように配線パターンを形成する工程と、
前記配線パターンを含む前記封止樹脂の下面に、前記配線パターンの一部が露出するように配線保護膜を形成する工程と、
前記配線保護膜から露出した前記配線パターン接触するように外部電極を形成する工程と、
それぞれの前記ベース板の周囲およびその下方に形成された前記封止樹脂の少なくとも一部および前記配線保護膜を切断する工程と、
前記封止樹脂に覆われた前記半導体チップおよび前記ベース板を、前記支持体から剥がす工程と、
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記封止樹脂を形成する工程は、前記支持体の下面に前記複数の半導体チップおよび前記複数のベース板を覆うように前記封止樹脂を形成した後、前記ベース板の周囲およびその下方の前記封止樹脂の一部を除去する工程を含むことを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
それぞれに半導体チップが搭載された複数のベース板を、所定の間隔で支持体に貼り付ける工程と、
前記複数のベース板および複数の前記半導体チップを覆うように、前記支持体の下面に封止樹脂を形成する工程と、
前記ベース板の周囲およびその下方の前記封止樹脂を除去する工程と、
前記封止樹脂の下面に、それぞれの前記半導体チップに電気的に接続されるように配線パターンを形成する工程と、
前記配線パターンを含む前記封止樹脂の下面に、前記配線パターンの一部が露出するように配線保護膜を形成する工程と、
前記配線保護膜から露出した前記配線パターンに接触するように外部電極を形成する工程と、
前記封止樹脂に覆われた前記半導体チップおよび前記ベース板を、前記支持体から剥がす工程と、
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記ベース板は、ステンレス、銅、若しくはセラミックからなることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
半導体チップの上面に接触するように形成されたベース板と、
このベース板の上面以外および前記半導体チップを覆うように形成された封止樹脂と、
この封止樹脂の下面に、前記半導体チップに電気的に接続されるように形成された配線パターンと、
この配線パターンを含む前記封止樹脂の下面に、前記配線パターンの一部が露出するように形成された配線保護膜と、
この配線保護膜から露出した前記配線パターンに接触するように形成された外部電極と、
を具備することを特徴とする半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体チップとベース板とが樹脂により封止された半導体装置の製造方法および、この製造方法によって形成された半導体装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体装置として、半導体チップとベース板とが封止樹脂により封止された半導体装置が知られている。この半導体装置には、封止樹脂の下面に半導体チップに電気的に接続された配線パターンが設けられている。この配線パターンは、一部を除いてソルダーレジスト膜で覆われている。そして、ソルダーレジスト膜から露出した配線パターンの表面には、半導体装置を実装するためのＢＧＡボールが設けられている。この種の半導体装置は、ベース板を含む半導体チップを個々に封止樹脂により封止した後、それぞれの封止樹脂の下面に配線パターン、ソルダーレジスト膜、ＢＧＡボールを形成することにより製造されていた。
【０００３】
この製造方法に対して、複数の半導体装置を一括形成することにより、複数の半導体装置を容易かつ安価に製造する方法が検討されている（特許文献１等参照）。この方法を、以下に詳述する。
【０００４】
まず、工具上に複数の半導体チップの下面を貼り付ける。次に、複数の半導体チップの全てを覆うように、工具上に封止樹脂を形成する。これにより、個々の半導体チップは封止樹脂により封止される。次に、各半導体チップの上面が露出するまで封止樹脂を除去し、複数の半導体チップの上面を含む封止樹脂上に、ベース板を貼り付ける。この後、封止樹脂およびベース板により一体化された複数の半導体チップの集合体から工具を剥がし、各半導体チップの下面に配線パターン、ソルダーレジスト膜、ＢＧＡボールを一括形成する。最後に、封止樹脂およびベース板をダイシング等の方法により切削切断し、各半導体装置を個片化する。
【０００５】
なお、本願において、上述した複数の半導体装置の一括形成とは、複数の半導体チップを樹脂により一括して封止し、配線パターン等を一括形成した後、樹脂を切断することにより複数の半導体装置を形成することを意味する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−２７１２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、上述した従来の複数の半導体装置を一括形成する方法において、特に、例えば金属、セラミック等の樹脂より硬い材料からなるベース板を適用した場合には、最終的な切削切断工程において、ベース板を切断することは困難である。従って、切削切断工程において、配線パターン、ソルダーレジスト膜には切断バリ等のダメージが発生し、装置の歩留まりが低下する問題がある。
【０００８】
本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、半導体チップおよびベース板を含む複数の半導体装置を、歩留まりを低下させることなく一括形成することが可能な方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明による半導体装置の製造方法は、それぞれに半導体チップが搭載された複数のベース板を、所定の間隔で支持体に貼り付ける工程と、前記複数のベース板および複数の前記半導体チップを覆うように、前記支持体の下面に封止樹脂を形成する工程と、前記封止樹脂の下面に、それぞれの前記半導体チップに電気的に接続されるように配線パターンを形成する工程と、前記配線パターンを含む前記封止樹脂の下面に、前記配線パターンの一部が露出するように配線保護膜を形成する工程と、前記配線保護膜から露出した前記配線パターン接触するように外部電極を形成する工程と、それぞれの前記ベース板の周囲およびその下方に形成された前記封止樹脂の少なくとも一部および前記配線保護膜を切断する工程と、前記封止樹脂に覆われた前記半導体チップおよび前記ベース板を、前記支持体から剥がす工程と、を具備することを特徴とする方法である。
【００１０】
また、本発明による半導体装置の製造方法は、それぞれに半導体チップが搭載された複数のベース板を、所定の間隔で支持体に貼り付ける工程と、前記複数のベース板および複数の前記半導体チップを覆うように、前記支持体の下面に封止樹脂を形成する工程と、前記ベース板の周囲およびその下方の前記封止樹脂を除去する工程と、前記封止樹脂の下面に、それぞれの前記半導体チップに電気的に接続されるように配線パターンを形成する工程と、前記配線パターンを含む前記封止樹脂の下面に、前記配線パターンの一部が露出するように配線保護膜を形成する工程と、前記配線保護膜から露出した前記配線パターンに接触するように外部電極を形成する工程と、前記封止樹脂に覆われた前記半導体チップおよび前記ベース板を、前記支持体から剥がす工程と、を特徴とする方法である。
【００１１】
本発明による半導体装置は、半導体チップの上面に接触するように形成されたベース板と、このベース板の上面以外および前記半導体チップを覆うように形成された封止樹脂と、この封止樹脂の下面に、前記半導体チップに電気的に接続されるように形成された配線パターンと、この配線パターンを含む前記封止樹脂の下面に、前記配線パターンの一部が露出するように形成された配線保護膜と、この配線保護膜から露出した前記配線パターンに接触するように形成された外部電極と、具備することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、ベース板が予め個片化されるため、半導体チップおよびベース板を含む半導体装置を個片化する際に、ベース板を切断する必要がなくなる。従って、半導体チップおよびベース板を含む複数の半導体装置を、歩留まりを低下させることなく一括形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る半導体装置の製造方法によって形成された半導体装置を下面側から見た場合の平面図である。
【図２】図１の一点鎖線Ａ−Ａ´に沿って示す断面図である。
【図３】図１および図２に示される半導体装置の製造工程を下面側から見た場合の平面図である。
【図４】図１および図２に示される半導体装置の製造工程を、図３の一点鎖線Ｂ−Ｂ´に沿って示す装置の断面図である。
【図５】図４の方法を、より具体的に説明するための断面図である。
【図６】図１および図２に示される半導体装置の製造工程を、図３の一点鎖線Ｂ−Ｂ´に沿って示す装置の断面図である。
【図７】図１および図２に示される半導体装置の製造工程を、図３の一点鎖線Ｂ−Ｂ´に沿って示す装置の断面図である。
【図８】図１および図２に示される半導体装置の製造工程を、図３の一点鎖線Ｂ−Ｂ´に沿って示す装置の断面図である。
【図９】図１および図２に示される半導体装置の製造工程を、図３の一点鎖線Ｂ−Ｂ´に沿って示す装置の断面図である。
【図１０】図１および図２に示される半導体装置の製造工程を、図３の一点鎖線Ｂ−Ｂ´に沿って示す装置の断面図である。
【図１１】図１および図２に示される半導体装置の製造工程を、図３の一点鎖線Ｂ−Ｂ´に沿って示す装置の断面図である。
【図１２】本発明の第２の実施形態に係る半導体装置の製造方法によって形成された半導体装置の、図２に相当する断面図である。
【図１３】本発明の第２の実施形態に係る半導体装置の製造工程を下面側から見た場合の平面図である。
【図１４】図１３に示される製造工程の変形例を示す平面図である。
【図１５】本発明の第３の実施形態に係る半導体装置の製造工程の、図１１に相当する断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に、本発明の実施形態に係る半導体装置の製造方法について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１５】
（第１の実施形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係る半導体装置の製造方法によって形成された半導体装置を下面側から見た平面図である。図１に示すように、本実施形態によって形成される半導体装置１１は、装置１１の下面に格子状に複数のＢＧＡ（Ｂａｌｌ  Ｇｒｉｄ  Ａｒｒａｙ）ボール１２が形成された構成である。これらのＢＧＡボール１２は、装置１１の外部電極となるものであり、ＢＧＡボール１２を介して、図示しない実装基板上の配線と装置１１内部に封止された半導体チップ１３とが電気的に接続される。
【００１６】
装置１１の下面において、ＢＧＡボール１２以外の領域は、ソルダーレジスト膜１４で覆われている。このソルダーレジスト膜１４は、後述する配線パターン１５（図１においては図示せず）を保護する配線保護膜として機能すると同時に、配線パターン１５とＢＧＡボール１２とを絶縁する絶縁膜として機能する樹脂である。
【００１７】
図２は、図１の一点鎖線Ａ−Ａ´に沿って示す断面図である。以下に、図２を参照して、本実施形態に係る半導体装置の製造方法によって形成される半導体装置１１を詳細に説明する。なお、上述の説明を含めて、後述する下面とは、半導体装置１１、３１であれば、ＢＧＡボール１２が形成される面をいう。従って、上面とは、半導体装置１１、３１であれば、下面に対向する面をいう。また、上方とは、上面よりも上側をいい、下方とは、下面よりも下側をいう。半導体チップ１１、ベース板１６、封止樹脂１７、３２、４１および支持フィルム１８、５１については、半導体装置１１、３１における上下各方向に従う。
【００１８】
図２に示すように、本実施形態に係る半導体装置の製造方法によって形成される半導体装置１１は、半導体チップ１３およびベース板１６が、ベース板１６の上面以外および半導体チップ１３を覆う封止樹脂１７により封止された装置である。この封止樹脂１７は、例えばエポキシ樹脂等の材料により形成される。
【００１９】
半導体チップ１３は、例えば高周波用半導体チップ若しくは、大電力用半導体チップであり、このチップ１３の下面には、例えばスタッドバンプ等の外部電極（図示せず）が設けられている。このチップ１３の水平断面形状は、例えば一辺が２ｍｍ〜１０ｍｍ程度の四角形状のものである。
【００２０】
また、ベース板１６は、その下面の一部が、半導体チップ１３の上面に接触するように設けられている。このベース板１６は、半導体チップ１３よりも大きいサイズで形成されており、その水平断面形状は、例えば一辺が５ｍｍ〜１５ｍｍ程度の四角形状のものである。なお、ベース板１６は、例えばステンレス、銅、セラミック等の熱伝導性に優れた材料により形成されたものであることが好ましい。ベース板１６に熱伝導性の良い材料を用いれば、放熱板としての効果も得られる。
【００２１】
ここで、例えば銅等の腐食しやすい材料からなるベース板１６を適用する場合には、ベース板１６の上面を、金等でめっき処理することにより、めっき層１６Ａを形成しておくことが好ましい。
【００２２】
封止樹脂１７の下面には、配線パターン１５が形成されている。この配線パターン１５の少なくとも一部は、半導体チップ１３の下面に設けられたスタッドバンプ等の外部電極（図示せず）に接続される。これにより、半導体チップ１３と配線パターン１５の少なくとも一部とは、電気的に導通する。なお、図示はしないが、配線パターン１５の一部は、半導体チップ１３の外周部よりも外側に延伸されている。
【００２３】
この配線パターン１５は、ソルダーレジスト膜１４で覆われている。配線パターン１５を覆うソルダーレジスト膜１４は、上述したＢＧＡボール１２が形成される領域にそれぞれ開口を有しており、これらの開口に上述のＢＧＡボール１２が形成されている。これにより、配線パターン１５とＢＧＡボール１２とが電気的に導通している。
【００２４】
なお、上述の半導体装置１１において、配線パターン１５の表面は、酸化を防止するために、金等の薄膜（図示せず）で覆われていてもよい。さらに、配線パターン１５の表面のうち、ＢＧＡボール１２と接触する領域には、金属拡散防止処理が施されてもよい。
【００２５】
次に、以上に説明した半導体チップ１３およびベース板１６を含む複数の半導体装置１１の製造方法について説明する。この方法は、予め個片化された複数のベース板１６上にそれぞれ半導体チップ１３を搭載した後に全体を封止し、配線パターン１５等を形成した後に各装置１１毎に個片化する方法である。以下に、この方法を図３乃至図１１を参照して詳述する。図３は、第１の実施形態に係る半導体装置１１の製造工程を下面側から見た場合の平面図であり、図４乃至図１１は、第１の実施形態に係る半導体装置１１の製造工程を、図３の一点鎖線Ｂ−Ｂ´に沿って示す断面図である。
【００２６】
まず、図３、図４に示すように、予め定められた半導体装置１１の外形寸法程度に個片化された複数のベース板１６を用意し、各ベース板１６のそれぞれに半導体チップ１３を搭載する。これは、ベース板１６の下面若しくは半導体チップ１３の上面に予め接着材料（図示せず）を付与し、或いは、ベース板１６の下面若しくは半導体チップ１３の上面に予め液状の接着材料（図示せず）を供給し、ベース板１６に対する半導体チップ１３の位置を合わせた後、これらを貼りあわせることにより、ベース板１６の下面に半導体チップ１３が搭載される。
【００２７】
そして、半導体チップ１３が搭載された各ベース板１６の上面を、支持フィルム１８の下面に、実質的に等しい間隔で貼り付ける。支持フィルム１８は、接着機能を有するテープ材が好ましく、例えば、ポリエチレン、ポリエステル等の、後に図７に示される工程において適用されるフォトリソ技術、特にエッチング液に対する耐薬品性を備えた材料により形成されたものであることが好ましい。
【００２８】
ここで、支持フィルム１８にベース板１６を貼り付ける工程は、例えば図５に示すように行われる。すなわち、半導体チップ１３に設けられたアライメントマーク（図示せず）を、マーク認識用カメラ１９等により認識させた後、アライメントマークが認識された半導体チップ１３を、ピックアップ装置２０等によりピックアップし、各半導体チップ１３のアライメントマークが等間隔になるように支持フィルム１８に対して位置合わせを行い、貼り付ける。
【００２９】
なお、半導体チップ１３が接着されるベース板１６の上面、すなわち、半導体チップ１３が搭載される面と反対側の面を、予め金等によりめっき処理することにより、めっき層１６Ａが形成されたものを適用することが好ましい。
【００３０】
また、この工程において適用される支持フィルム１８は、必ずしもフィルム状のものである必要はなく、支持フィルム１８とほぼ同等の機能を有する支持板を適用してもよい。
【００３１】
次に、図６に示すように、半導体チップ１３およびベース板１６を含む支持フィルム１８を封止樹脂１７により一体化する。封止樹脂として例えばエポキシ樹脂等からなる感光性の絶縁フィルムを用い、支持フィルム１８の下面に貼り付ける。
【００３２】
次に、図７に示すように、例えばフォトリソ技術を用いて、封止樹脂１７に、半導体チップ１３の外部電極（図示せず）が露出するように開口を形成する。そして、開口を形成した後、この封止樹脂１７上に、配線パターン１５を形成する。配線パターン１５は、例えば、配線パターン１５となる金属層をめっき法などにより成長させた後、この金属層に対してフォトリソ技術を適用することにより形成する。これにより、配線パターン１５の少なくとも一部は、半導体チップ１３の外部電極に接続される。
【００３３】
ここで、フォトリソ技術とは、封止樹脂１７若しくは金属層上にフォトレジスト層を形成し、所望の開口パターンを有するマスクを用いてフォトレジスト層を露光、現像し、これによって形成されたフォトレジスト層をマスクとして用いて封止樹脂１７若しくは金属層をエッチングする一連の工程を意味する。
【００３４】
なお、図示はしないが、多層にわたって配線パターンを形成する場合には、図７に示される工程を、必要に応じて繰り返せばよい。
【００３５】
次に、図８に示すように、配線パターン１５を含む封止樹脂１７の下面に、配線パターン１５の一部が露出する開口を有するソルダーレジスト膜１４を形成する。ソルダーレジスト膜１４に形成される開口は、例えば、上述のフォトリソ技術を適用して形成すればよい。
【００３６】
なお、必要に応じて、開口を形成後に、開口から露出した配線パターン１５の表面に、金属拡散防止のための表面処理を行ってもよい。
【００３７】
次に、図９に示すように、ソルダーレジスト膜１４から露出した配線パターン１５に接触するように、例えば半田材料を形成することにより、ＢＧＡボール１２を形成する。これにより、ＢＧＡボール１２は、配線パターン１５に接続される。
【００３８】
次に、図１０に示すように、各ベース板１６の側面の封止樹脂１７を一部残すように、封止樹脂１７およびソルダーレジスト膜１４をダイシングライン２１に沿って切断し、封止樹脂１７により一体化された複数の半導体チップ１３を、個片化する。ダイシングライン２１は、各ベース板１６の周囲およびその下方の封止樹脂１７上のラインである。
【００３９】
最後に、図１１に示すように、支持フィルム１８から封止樹脂１７に覆われた半導体チップ１３を剥がし取り、図１、図２に示す半導体装置１１を形成することができる。支持フィルム１８から個片化された半導体チップ１３を剥がしとる方法は、例えば突き上げ法を適用する。すなわち、突き上げピン２２で支持フィルム１８を貫通するようにベース板１６を突き上げることにより、支持フィルム１８から個片化された半導体チップ１３を剥がしとる。
【００４０】
以上に説明したように、第１の実施形態に係る半導体装置１１の製造方法においては、ベース板１６を予め個片化しているため、半導体チップ１３およびベース板１６を含む複数の半導体装置１１を個片化する際に、ベース板１６を切断する必要がなくなる。従って、半導体装置１１を、歩留まりを低下させることなく一括形成することができる。
【００４１】
また、この方法によって製造される半導体装置１１は、ベース板１６の下面および側面が封止樹脂１７により覆われるため、上面にめっき層１６Ａを形成しておくことにより、ベース板１６が腐食することを抑制することができる。
【００４２】
（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態に係る半導体装置の製造方法について説明する。第２の実施形態に係る半導体装置によって製造される半導体装置を下面側から見た平面図は図１と同様である。従って、この実施形態に係る半導体装置の製造方法によって製造される半導体装置の説明は、図１の一点鎖線Ａ−Ａ´に沿って示す断面図である図１２を参照して説明する。なお、図１２において、図２に示される半導体装置１１と同一の箇所においては同一の符号を付すとともに、説明を省略する。
【００４３】
図１２に示すように、第２の実施形態に係る半導体装置の製造方法によって製造される半導体装置３１は、図２に示される半導体装置１１と比較して、封止樹脂３２が、ベース板１６の側面には形成されない点が異なっている。すなわち、本実施形態に係る半導体装置の製造方法によって製造される半導体装置３１は、半導体チップ１３を覆い、かつ、ベース板１６の下面に接触する封止樹脂３２により封止された装置である。
【００４４】
また、これに伴って、ベース板１６の上面および側面は封止樹脂３２から露出するため、腐食しやすい材料からなるベース板１６を適用する場合には、ベース板１６の上面および側面に、金等からなるめっき層３３を形成しておくことが好ましい。
【００４５】
このような半導体装置３１は、以下のように形成すればよい。すなわち、まず、図３乃至図６に示される工程に従って支持フィルム１８に封止樹脂３２を形成する。次に、ベース板１６の側面が露出するように、封止樹脂３２の一部をエッチングにより除去する。図１３は、封止樹脂３２の一部がエッチングにより除去された後の封止樹脂３２を下面側から見た場合の平面図である。図１３に示すように、各ベース板１６の周囲およびその下方の封止樹脂３２を例えばエッチングにより除去することにより、ベース板１６の側面が露出する溝３４を形成する。このように封止樹脂３２に溝３４を形成した後、図７乃至図１１に示される工程に従うことにより、図１２に示す半導体装置３１を形成することができる。ここで、図１３に示すように、溝３４の形成により既に封止樹脂３２で覆われた半導体チップ１３が切断されているため、図１０に示される切断工程は必要ない。
【００４６】
なお、図７、図８に示される工程において、配線パターン１５となる金属およびソルダーレジスト膜１４となる材料は、封止樹脂３２の溝３４にも形成されるが、配線パターン１５およびソルダーレジスト膜１４を形成する際のエッチング工程により、溝３４に形成された各材料も除去すればよい。
【００４７】
第２の実施形態に係る半導体装置３１の製造方法においては、封止樹脂３２やソルダーレジスト膜１４を切断する必要はないため、図１０に示されるような切断工程自体を省略することができる。従って、第２の実施形態に係る半導体装置３１の製造方法は、第１の実施形態に係る半導体装置１１の製造方法と比較して、より容易に半導体装置３１を個片化することができる。
【００４８】
また、この方法によって製造される半導体装置３１は、ベース板１６の下面が封止樹脂３２により覆われるため、上面および側面にめっき層３３を形成しておくことにより、ベース板１６が腐食することを抑制することができる。
【００４９】
なお、第２の実施形態に係る半導体装置の製造方法においては、図１３に示されるように、各ベース板１６の周囲およびその下方の封止樹脂３２を除去することにより、ベース板１６の側面が露出するように溝３４を形成した。しかし、ベース板１６の側面の一部が露出するように、封止樹脂の一部をエッチングにより除去してもよい。図１４は、封止樹脂４１の一部がエッチングにより除去された後の封止樹脂４１を下面側から見た場合の平面図である。図１４に示すように、ベース板１６の角部上の封止樹脂４１は残すように、各ベース板１６の周囲およびその下方の封止樹脂４１を、例えばエッチングにより除去することにより、溝４２を形成してもよい。
【００５０】
この方法であっても、図１０に示される切断工程は必要であるが、ベース板１６を切断する必要はないため、半導体チップ１３およびベース板１６を含む複数の半導体装置３１を、歩留まりを低下させることなく一括形成することができる。
【００５１】
さらに、上述のように最終段階において装置３１を個片化するための切断工程は必要となるが、切断する封止樹脂４１は第１の実施形態に係る半導体装置１１の製造方法と比較して少ない。従って、より容易に半導体装置３１を個片化することができる。
【００５２】
また、この方法は、図１４のように、一部に封止樹脂４１を残すように封止樹脂４１に溝４２を形成するため、図１３のように封止樹脂３２に溝３３を形成した場合と比較して、配線パターン１５を形成するための金属のめっき成長を安定化させることができる。
【００５３】
なお、この方法により製造される半導体装置３１は、上述したように、ベース板１６の腐食を抑制することができる。
【００５４】
（第３の実施形態）
次に、第３の実施形態に係る半導体装置の製造方法について説明する。第３の実施形態に係る半導体装置によって製造される半導体装置の構造は図１、図２に示される構造と同一であるため説明を省略し、ここでは、第１の実施形態に係る半導体装置１１の製造方法と異なる部分について説明する。
【００５５】
第３の実施形態に係る半導体装置の製造方法は、第１の実施形態に係る半導体装置１１の製造方法と比較して、図１０に示される切断工程が異なっている。図１５は、第３の実施形態に係る半導体装置の製造方法を、図３の一点鎖線Ｂ−Ｂ´に沿って示す断面図である。図１５に示すように、この製造方法においては、各ベース板１６の周囲およびその下方の封止樹脂１７を完全には切断せず、一部を支持フィルム５１の下面に残すように切断する。この結果、複数のベース板１６の周囲およびその下方の封止樹脂１７の一部は、支持フィルム５１の下面に残された状態となる。なお、この製造方法によって使用される支持フィルム５１は、封止樹脂１７に覆われた半導体チップ１３を支持フィルム５１から剥がす工程において適用される突き上げピン２２が貫通する開口５２を有するものである。
【００５６】
つぎに、突き上げ法により封止樹脂１７に覆われた半導体チップ１３を支持フィルム５１から剥がす。このとき、支持フィルム５１上に残された封止樹脂１７が引きちぎられる程度に、突き上げピン２２によってベース板１６を上方に突き上げる必要がある。これにより、図１、図２と同様の半導体装置を形成することができる。
【００５７】
以上の半導体装置の製造方法であっても、ベース板１６を切断する必要はない。従って、半導体チップ１３およびベース板１６を含む複数の半導体装置を、歩留まりを低下させることなく一括形成することができる。
【００５８】
さらに、封止樹脂１７を切断する工程において一部を支持フィルム５１の下面に残すように封止樹脂１７を切断するため、支持フィルム５１にダメージが発生することはない。また、突き上げピン２２は、予め設けられた開口５２を通ってベース板１６を突き上げるため、突き上げピン２２によって支持フィルム５１にダメージが発生することもない。従って、支持フィルム５１を再利用可能にすることができる。
【００５９】
なお、この方法により製造される半導体装置は、第１の実施形態に係る半導体装置１１の製造方法と同一であるため、ベース板１６の腐食が抑制される。
【００６０】
以上に、本発明の実施形態に係る半導体装置およびその製造方法について説明した。しかし、本発明は、上述の各実施形態に限定されず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変形してもよい。
【符号の説明】
【００６１】
１１、３１・・・半導体装置
１２・・・ＢＧＡボール
１３・・・半導体チップ
１４・・・ソルダーレジスト膜
１５・・・配線パターン
１６・・・ベース板
１６Ａ、３３・・・めっき層
１７、３２、４１・・・封止樹脂
１８、５１・・・支持フィルム
１９・・・マーク認識用カメラ
２０・・・ピックアップ装置
２１・・・ダイシングライン
２２・・・突き上げピン
３４、４２・・・溝
５２・・・開口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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