(57)【要約】【課題】付着物などの洗浄が完了したにも関わらず洗浄液を供給して、洗浄液を無駄に使用したり、洗浄が不充分で付着物などが残存するにも関わらず洗浄液の供給を終了したりすることを抑制することができる液状体吐出装置、ヘッド保守装置の保守方法、及びヘッド保守装置を提供する。【解決手段】液状体吐出装置は、液状体を吐出する吐出ノズルを備える液状体吐出ヘッドと、液状体吐出ヘッドの吐出ノズルが形成されたノズル形成面を封止するヘッドキャップと、ヘッドキャップに連通し、ヘッドキャップ内の気体又は液体を吸引する吸引手段と、ヘッドキャップに連通し、ヘッドキャップに洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、液体の濁度を検出可能な濁度検出手段と、を備える。濁度検出手段は、ヘッドキャップに供給された洗浄液濁度を検出可能な位置、又は吸引手段が有する吸引された気体又は液体の流路における洗浄液の濁度を検出可能な位置に配設されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を吐出する吐出ノズルを備える液状体吐出ヘッドと、
前記液状体吐出ヘッドの前記吐出ノズルが形成されたノズル形成面を封止するヘッドキャップと、
前記ヘッドキャップに連通し、前記ヘッドキャップ内の気体又は液体を吸引する吸引手段と、
前記ヘッドキャップに連通し、前記ヘッドキャップに洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
液体の濁度を検出可能な濁度検出手段と、を備えることを特徴とする液状体吐出装置。
【請求項２】
前記濁度検出手段は、前記ヘッドキャップに供給された前記洗浄液を含む液状体の濁度を検出可能な位置に配設されていることを特徴とする、請求項１に記載の液状体吐出装置。
【請求項３】
前記濁度検出手段は、前記吸引手段が有する吸引された気体又は液体の流路における前記洗浄液を含む液状体の濁度を検出可能な位置に配設されていることを特徴とする、請求項１に記載の液状体吐出装置。
【請求項４】
前記濁度検出手段を保持する保持手段をさらに備え、
前記保持手段は、前記濁度検出手段を支持する検出手段支持部と、前記濁度検出手段を前記保持手段に挿入するための挿入開口とを有し、
前記挿入開口は、鉛直方向において、前記ヘッドキャップより高い位置に開口していることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
【請求項５】
前記検出手段支持部は、前記濁度検出手段を着脱可能に支持していることを特徴とする、請求項４に記載の液状体吐出装置。
【請求項６】
前記濁度検出手段を洗浄するための検出手段洗浄手段をさらに備えることを特徴とする、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
【請求項７】
前記検出手段洗浄手段は、前記洗浄液供給手段、又は前記吸引手段及び前記洗浄液供給手段であることを特徴とする、請求項６に記載の液状体吐出装置。
【請求項８】
前記洗浄液は、前記液状体吐出ヘッドから吐出される機能液と濁度が異なることを特徴とする、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
【請求項９】
前記濁度検出手段は、光学的に濁度を検出する手段であり、前記洗浄液は、前記濁度検出手段が取り扱う光を透過させることを特徴とする、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
【請求項１０】
液状体を吐出する吐出ノズルを備える液状体吐出ヘッドにおける前記吐出ノズルが形成されたノズル形成面を封止するヘッドキャップを備えるヘッド保守装置を保守するためのヘッド保守装置の保守方法であって、
前記ヘッドキャップに洗浄液を供給する洗浄液供給工程と、
前記洗浄液供給工程において前記ヘッドキャップに供給された前記洗浄液を含む液状体の濁度を検出する濁度検出工程と、
前記ヘッドキャップ内の前記洗浄液を含む液状体を吸引して排出する吸引排出工程と、
前記濁度検出工程において検出された濁度情報によって、前記洗浄液供給工程及び前記吸引排出工程の継続又は終了を決定する決定工程と、を有することを特徴とするヘッド保守装置の保守方法。
【請求項１１】
液状体を吐出する吐出ノズルを備える液状体吐出ヘッドにおける前記吐出ノズルが形成されたノズル形成面を封止するヘッドキャップを備えるヘッド保守装置を保守するためのヘッド保守装置の保守方法であって、
前記ヘッドキャップに洗浄液を供給する洗浄液供給工程と、
前記ヘッドキャップ内の前記洗浄液を含む液状体を吸引して排出する吸引排出工程と、
前記吸引排出工程において排出される前記洗浄液を含む液状体の濁度を検出する、濁度検出工程と、
前記濁度検出工程において検出された濁度情報によって、前記洗浄液供給工程及び前記吸引排出工程の継続又は終了を決定する決定工程と、を有することを特徴とするヘッド保守装置の保守方法。
【請求項１２】
前記濁度検出工程において前記洗浄液を含む液状体の濁度を検出するために用いられる濁度検出装置を洗浄する検出装置洗浄工程をさらに有することを特徴とする、請求項１０又は１１に記載のヘッド保守装置の保守方法。
【請求項１３】
前記検出装置洗浄工程は、前記洗浄液供給工程と前記吸引排出工程とを並行して実施する工程、又は前記洗浄液供給工程で供給された前記洗浄液が自重で排出される工程であることを特徴とする、請求項１２に記載のヘッド保守装置の保守方法。
【請求項１４】
前記洗浄液は、前記液状体吐出ヘッドから吐出される機能液と濁度が異なることを特徴とする、請求項１０乃至１３のいずれか一項に記載ヘッド保守装置の保守方法。
【請求項１５】
前記濁度検出工程は、光学的に濁度を検出する工程であり、前記洗浄液は、前記濁度検出工程において濁度を検出するために用いられる光を透過させることを特徴とする、請求項１０乃至１４のいずれか一項に記載のヘッド保守装置の保守方法。
【請求項１６】
液状体を吐出する吐出ノズルを備える液状体吐出ヘッドにおける前記吐出ノズルが形成されたノズル形成面を封止するヘッドキャップと、
前記ヘッドキャップに連通し、前記ヘッドキャップ内の気体又は液体を吸引する吸引手段と、
前記ヘッドキャップに連通し、前記ヘッドキャップに洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
液体の濁度を検出可能な濁度検出手段と、を備えることを特徴とするヘッド保守装置。
【請求項１７】
前記濁度検出手段は、前記ヘッドキャップに供給された前記洗浄液を含む液状体の濁度を検出可能な位置に配設されていることを特徴とする、請求項１６に記載のヘッド保守装置。
【請求項１８】
前記濁度検出手段は、前記吸引手段が有する吸引された気体又は液体の流路における前記洗浄液を含む液状体の濁度を検出可能な位置に配設されていることを特徴とする、請求項１６に記載のヘッド保守装置。
【請求項１９】
前記濁度検出手段を保持する保持手段をさらに備え、
前記保持手段は、前記濁度検出手段を支持する検出手段支持部と、前記濁度検出手段を前記保持手段に挿入するための挿入開口とを有し、
前記挿入開口は、鉛直方向において、前記ヘッドキャップより高い位置に開口していることを特徴とする、請求項１６乃至１８のいずれか一項に記載のヘッド保守装置。
【請求項２０】
前記検出手段支持部は、前記濁度検出手段を着脱可能に支持していることを特徴とする、請求項１９に記載のヘッド保守装置。
【請求項２１】
前記濁度検出手段を洗浄するための検出手段洗浄手段をさらに備えることを特徴とする、請求項１６乃至２０のいずれか一項に記載のヘッド保守装置。
【請求項２２】
前記検出手段洗浄手段は、前記洗浄液供給手段、又は前記吸引手段及び前記洗浄液供給手段であることを特徴とする、請求項２１に記載のヘッド保守装置。
【請求項２３】
前記洗浄液は、前記液状体吐出ヘッドから吐出される機能液と濁度が異なることを特徴とする、請求項１６乃至２２のいずれか一項に記載のヘッド保守装置。
【請求項２４】
前記濁度検出手段は、光学的に濁度を検出する手段であり、前記洗浄液は、前記濁度検出手段が取り扱う光を透過させることを特徴とする、請求項１６乃至２３のいずれか一項に記載のヘッド保守装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッド及び吐出ヘッドの保守を実施するヘッド保守装置を備える液状体吐出装置、ヘッド保守装置の保守を実施するヘッド保守装置の保守方法、及び吐出ヘッドの保守を実施するヘッド保守装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドを備え、液状体を吐出して描画対象物上の任意の位置に着弾させることによって、描画対象物の任意の位置に液状体を配置する液状体吐出装置が知られている。このような液状体吐出装置を用いることによって、カラー液晶装置のカラーフィルター膜などのような機能膜の材料を含む液状体を、任意の位置に任意の量だけ精度良く塗布することが可能である。特に、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドは、その吐出ノズルから微小な液滴を選択的に吐出して位置精度良く着弾させることができるため、精密な平面形状及び膜厚を有する膜を形成することができる。
近年では、例えば銀（Ａｇ）などの金属微粒子を溶媒に分散させた分散系金属インク（金属配線用インク）を使用することで、基板上の配線パターンなどの形成にも利用されている。液滴吐出ヘッドを用いて配線パターンを形成することで、微細な配線パターンや狭ピッチの配線パターンを効率よく高精度で製造することを可能にしている。
【０００３】
液滴吐出ヘッドは、別設のタンクなどから液状体が供給されると共に、供給された液状体を内部に設けたインク室（キャビティ）に一時的に貯留する。そして、ノズルプレートに多数形成された吐出ノズルからインク室に貯留した液状体を液滴として吐出する。
液状体は、液滴吐出ヘッドから好適に吐出できると共に、固化して特有の機能を有する膜を形成する液状体であって、液滴吐出ヘッドが待機しているとき、インク室に貯留した液状体が乾燥してしまう可能性がある。液状体が乾燥すると、増粘して吐出量が変化するだけでなく、部分的に固化してしまうことで、吐出ノズルの孔の目詰まりや吐出時の飛行曲がりなどを起こしてしまうことがある。乾燥し始めた液状体を液滴吐出ヘッドから除去するために、ヘッド吸引装置などのヘッド保守装置が用いられている。
【０００４】
ヘッド吸引装置などのヘッド保守装置においても、吸引した液状体がヘッド吸引装置などの内部で乾燥して付着することで、ヘッド吸引装置などの機能が損なわれて低下する可能性があった。ヘッド吸引装置の付着物を除去する手段を有する装置として、特許文献１には、吸引ユニットのヘッドキャップに洗浄液を供給する供給手段を備える、吸引ユニット、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器が、開示されている。
特許文献２には、吸引ユニットの吐出ヘッドに当接する部分を覆う位置に空間を形成する底部及び側壁を配設し、当該空間に洗浄液を供給することで、ヘッドキャップの全体に機能液を供給することができる吸引装置、およびそれを備えた液滴吐出装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−８０２０９号公報
【特許文献２】特開２００８−１４２６５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１や特許文献２に開示された装置においては、予め設定された適切な量の洗浄液を吸引ユニットに供給して洗浄を実施する装置又は方法であって、吸引ユニットの汚れの状態に関わらず、一定の洗浄が実施されていた。しかしながら、ヘッドキャップなどに残留している液状体や、付着している液状体の溶媒などの量や、付着している液状体の固化状態などによって、洗浄液によってそれらを溶解する溶解のし易さが様々であって、一定ではない。このため、付着物などの洗浄が完了したにも関わらず過度に洗浄液を供給して、洗浄液を無駄に使用する可能性があるという課題があった。反対に、洗浄が不充分で付着物などが残存するにも関わらず洗浄液の供給を終了する可能性があるという課題もあった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００８】
［適用例１］本適用例にかかる液状体吐出装置は、液状体を吐出する吐出ノズルを備える液状体吐出ヘッドと、前記液状体吐出ヘッドの前記吐出ノズルが形成されたノズル形成面を封止するヘッドキャップと、前記ヘッドキャップに連通し、前記ヘッドキャップ内の気体又は液体を吸引する吸引手段と、前記ヘッドキャップに連通し、前記ヘッドキャップに洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、液体の濁度を検出可能な濁度検出手段と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
本適用例にかかる液状体吐出装置によれば、洗浄液供給手段によってヘッドキャップ内に洗浄液を供給することができ、吸引手段によって、ヘッドキャップ内の洗浄液を吸引して排出することができる。これにより、洗浄液によって、ヘッドキャップ内を洗浄することができる。
【００１０】
濁度検出手段によって、ヘッドキャップの洗浄に使用された洗浄液及び被洗浄物を含む液状体の濁度を検出することができる。
当該濁度と洗浄液単体の濁度との差は、洗浄液に溶解されるなどして加わった被洗浄物によるものである。洗浄が完了又は略完了すると洗浄液に加わる被洗浄物は略なくなるため、検出される濁度は洗浄液単体の濁度と略一致する。したがって、濁度を検出することで、ヘッドキャップの洗浄の完了の程度を検出することができる。例えば、濁度が所定の値を超える（又は所定の値以下になる）まで洗浄液による洗浄を実施することで、ヘッドキャップの洗浄が略完了するまで洗浄を実施することができる。これにより、ヘッドキャップの洗浄が完了したにも関わらず過度に洗浄液を供給することや、ヘッドキャップの洗浄が不充分にも関わらず洗浄液の供給を終了することを抑制することができる。
【００１１】
［適用例２］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記濁度検出手段は、前記ヘッドキャップに供給された前記洗浄液を含む液状体の濁度を検出可能な位置に配設されていることが好ましい。
【００１２】
この液状体吐出装置によれば、濁度検出手段がヘッドキャップに供給された洗浄液を含む液状体の濁度を検出可能な位置に配設されているため、濁度検出手段は、ヘッドキャップに溜められた状態の液状体に対して検出を実施する。ヘッドキャップに溜められた状態の液状体は実質的に静止しているため、濁度を検出する装置に対する液状体の状態を略一定に保つことが容易である。これにより、濁度を検出する装置に対する液状体の状態が変動することに起因して濁度の検出値が変動することを抑制して、正確な検出を実施することができる。
【００１３】
［適用例３］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記濁度検出手段は、前記吸引手段が有する吸引された気体又は液体の流路における前記洗浄液を含む液状体の濁度を検出可能な位置に配設されていることが好ましい。
【００１４】
この液状体吐出装置によれば、濁度検出手段が、吸引手段が有する吸引された気体又は液体の流路における洗浄液を含む液状体の濁度を検出可能な位置に配設されているため、濁度検出手段は、ヘッドキャップに供給された洗浄液が洗浄を実施した後で排出されてくる液状体に対して検出を実施する。これにより、洗浄が進行している途中で濁度を検出することに起因して、検出値がずれることを抑制することができる。さらに、ヘッドキャップから排出される液状体の略全体を検出対象とすることができる。これにより、液状体における濁度が必ずしも均一でないことに起因して検出値がずれることを抑制することができる。
【００１５】
［適用例４］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記濁度検出手段を保持する保持手段をさらに備え、前記保持手段は、前記濁度検出手段を支持する検出手段支持部と、前記濁度検出手段を前記保持手段に挿入するための挿入開口とを有し、前記挿入開口は、鉛直方向において、前記ヘッドキャップより高い位置に開口していることが好ましい。
【００１６】
この液状体吐出装置によれば、保持手段における挿入開口は、ヘッドキャップより高い位置に開口している。保持手段には、検出対象である洗浄液を含む液状体が、検出手段支持部側から流入する可能性がある。洗浄液を含む液状体は、ヘッドキャップに溜められて排出されてくるため、保持手段に流入した洗浄液を含む液状体がヘッドキャップより高い位置に達することは実質的にない。挿入開口をヘッドキャップより高い位置に開口させることで、挿入開口から洗浄液を含む液状体が流出することを実質的になくすることができる。
【００１７】
［適用例５］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記検出手段支持部は、前記濁度検出手段を着脱可能に支持していることが好ましい。
【００１８】
この液状体吐出装置によれば、濁度検出手段は、保持手段の検出手段支持部に着脱可能に支持されているため、濁度検出手段を保持手段から取り外すことができる。濁度検出手段を取り外すことで、検出面を保持手段の外部に出して、容易に例えば洗浄などの保守作業を実施することができる。付着物などを含んで濁った液状体の濁度を検出する濁度検出手段は、濁りの原因物質が付着して検出精度が劣化する可能性がある。濁度検出手段の検出面を洗浄することで、付着物に起因して検出精度が劣化することを抑制することができる。
また、複数のヘッドキャップを備える液状体吐出装置においては、一個の濁度検出手段を、複数のヘッドキャップのそれぞれに順次取り付けることで、一個の濁度検出手段を用いて、複数のヘッドキャップに対して、濁度測定を実施することもできる。
【００１９】
［適用例６］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記濁度検出手段を洗浄するための検出手段洗浄手段をさらに備えることが好ましい。
【００２０】
この液状体吐出装置によれば、検出手段洗浄手段によって、濁度検出手段を洗浄することができる。付着物などを含んで濁った液状体の濁度を検出する濁度検出手段は、濁りの原因物質が付着して検出精度が劣化する可能性がある。濁度検出手段の検出面を洗浄することで、付着物に起因して検出精度が劣化することを抑制することができる。
【００２１】
［適用例７］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記検出手段洗浄手段は、前記洗浄液供給手段、又は前記吸引手段及び前記洗浄液供給手段であることが好ましい。
【００２２】
この液状体吐出装置によれば、洗浄液供給手段、又は吸引手段及び洗浄液供給手段が、検出手段洗浄手段である。吸引手段及び洗浄液供給手段を並行して稼動させることで、あるいは、ヘッドキャップ内の液状体が自重で排出される場合には、吸引手段を稼動させなくても、ヘッドキャップに供給された洗浄液は、ヘッドキャップ内に殆んど溜められることなく排出されて、濁度検出手段に接触する。洗浄液が濁度検出手段に接触することで、濁度検出手段を洗浄することができる。吸引手段及び洗浄液供給手段を検出手段洗浄手段として用いることで、検出手段洗浄手段を別に設けることを必要とせずに、濁度検出手段の洗浄を実施することができる。
【００２３】
［適用例８］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記洗浄液は、前記液状体吐出ヘッドから吐出される機能液と濁度が異なることが好ましい。
【００２４】
この液状体吐出装置によれば、洗浄液の濁度は、液状体吐出ヘッドから吐出される機能液の濁度と異なっている。ヘッドキャップを洗浄する際の被洗浄物の大部分は、液状体吐出ヘッドから吐出又は吸引されてヘッドキャップに着弾した液状体吐出ヘッドから吐出される機能液又は機能液が固化などしたものである。これらの被洗浄物が洗浄されて洗浄液に混じると、濁度が異なる物質が混じることで洗浄液単体とは濁度が変化するため、付着物などが洗浄液に溶解されていることを、濁度を検出することで、容易に検出することができる。
【００２５】
［適用例９］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記濁度検出手段は、光学的に濁度を検出する手段であり、前記洗浄液は、前記濁度検出手段が取り扱う光を透過させることが好ましい。
【００２６】
この液状体吐出装置によれば、洗浄液は、濁度検出手段が取り扱う光を透過させる。すなわち、濁度検出手段にとって洗浄液は透明であって、洗浄液単体の濁度を検出した場合は、検出される濁度は非常に小さくなる。これにより、微少な混入物による微小な濁度の変化も検出しやすくなり、濁度の変化を精度良く検出することができる。
【００２７】
［適用例１０］本適用例にかかるヘッド保守装置の保守方法は、液状体を吐出する吐出ノズルを備える液状体吐出ヘッドにおける前記吐出ノズルが形成されたノズル形成面を封止するヘッドキャップを備えるヘッド保守装置を保守するためのヘッド保守装置の保守方法であって、前記ヘッドキャップに洗浄液を供給する洗浄液供給工程と、前記洗浄液供給工程において前記ヘッドキャップに供給された前記洗浄液を含む液状体の濁度を検出する濁度検出工程と、前記ヘッドキャップ内の前記洗浄液を含む液状体を吸引して排出する吸引排出工程と、前記濁度検出工程において検出された濁度情報によって、前記洗浄液供給工程及び前記吸引排出工程の継続又は終了を決定する決定工程と、を有することを特徴とする。
【００２８】
本適用例にかかるヘッド保守装置の保守方法によれば、洗浄液供給工程において洗浄液がヘッドキャップ内に供給され、吸引排出工程において、洗浄液を含む液状体が吸引されて排出される。洗浄液を含む液状体は、ヘッドキャップ内に供給されて、ヘッドキャップ内部の付着物を溶解し、当該付着物を含んだ洗浄液である。供給された洗浄液によって、ヘッドキャップ内部の付着物が溶解され、溶解された付着物を含む洗浄液が排出されるため、ヘッドキャップ内部を洗浄することができる。
【００２９】
濁度検出工程において、ヘッドキャップに供給された洗浄液を含む液状体の濁度が検出される。当該濁度と洗浄液単体の濁度との差は、洗浄液に溶解されるなどして加わった被洗浄物によるものである。洗浄が完了又は略完了すると洗浄液に加わる被洗浄物は略なくなるため、検出される濁度は洗浄液単体の濁度と略一致する。したがって、濁度を検出することで、ヘッドキャップの洗浄の完了の程度を検出することができる。
決定工程において、濁度検出工程において検出された濁度情報によって、洗浄液供給工程及び吸引排出工程の継続又は終了を決定する。濁度が所定の値を超える（又は所定の値以下になる）まで洗浄液供給工程及び吸引排出工程を実施することで、ヘッドキャップの洗浄が略完了するまで洗浄液供給工程及び吸引排出工程を実施することができる。これにより、ヘッドキャップの洗浄が完了したにも関わらず過度に洗浄液を供給することや、ヘッドキャップの洗浄が不充分にも関わらず洗浄液の供給を終了することを抑制することができる。
【００３０】
また、濁度検出工程においては、ヘッドキャップに供給された洗浄液を含む液状体の濁度を検出するため、ヘッドキャップに溜められた状態の液状体に対して検出を実施する。ヘッドキャップに溜められた状態の液状体は実質的に静止しているため、濁度を検出する装置に対する液状体の状態を略一定に保つことが容易である。これにより、濁度を検出する装置に対する液状体の状態が変動することに起因して濁度の検出値が変動することを抑制して、正確な検出を実施することができる。
【００３１】
［適用例１１］本適用例にかかるヘッド保守装置の保守方法は、液状体を吐出する吐出ノズルを備える液状体吐出ヘッドにおける前記吐出ノズルが形成されたノズル形成面を封止するヘッドキャップを備えるヘッド保守装置を保守するためのヘッド保守装置の保守方法であって、前記ヘッドキャップに洗浄液を供給する洗浄液供給工程と、前記ヘッドキャップ内の前記洗浄液を含む液状体を吸引して排出する吸引排出工程と、前記吸引排出工程において排出される前記洗浄液を含む液状体の濁度を検出する、濁度検出工程と、前記濁度検出工程において検出された濁度情報によって、前記洗浄液供給工程及び前記吸引排出工程の継続又は終了を決定する決定工程と、を有することを特徴とする。
【００３２】
本適用例にかかるヘッド保守装置の保守方法によれば、洗浄液供給工程において洗浄液がヘッドキャップ内に供給され、吸引排出工程において、洗浄液を含む液状体が吸引されて排出される。洗浄液を含む液状体は、ヘッドキャップ内に供給されて、ヘッドキャップ内部の付着物を溶解し、当該付着物を含んだ洗浄液である。供給された洗浄液によって、ヘッドキャップ内部の付着物が溶解され、溶解された付着物を含む洗浄液が排出されるため、ヘッドキャップ内部を洗浄することができる。
【００３３】
濁度検出工程において、吸引排出工程において排出される洗浄液を含む液状体の濁度が検出される。当該濁度と洗浄液単体の濁度との差は、洗浄液に溶解されるなどして加わった被洗浄物によるものである。洗浄が完了又は略完了すると洗浄液に加わる被洗浄物は略なくなるため、検出される濁度は洗浄液単体の濁度と略一致する。したがって、濁度を検出することで、ヘッドキャップの洗浄の完了の程度を検出することができる。
決定工程において、濁度検出工程において検出された濁度情報によって、洗浄液供給工程及び吸引排出工程の継続又は終了を決定する。濁度が所定の値を超える（又は所定の値以下になる）まで洗浄液供給工程及び吸引排出工程を実施することで、ヘッドキャップの洗浄が略完了するまで洗浄液供給工程及び吸引排出工程を実施することができる。これにより、ヘッドキャップの洗浄が完了したにも関わらず過度に洗浄液を供給することや、ヘッドキャップの洗浄が不充分にも関わらず洗浄液の供給を終了することを抑制することができる。
【００３４】
また、濁度検出工程においては、吸引排出工程において排出される洗浄液を含む液状体の濁度を検出するため、一回の洗浄液供給工程及び吸引排出工程による洗浄が実施されたヘッドキャップから排出されてくる液状体に対して検出を実施する。これにより、洗浄が進行している途中で濁度を検出することに起因して、検出値がずれることを抑制することができる。さらに、ヘッドキャップから排出される液状体の略全体を検出対象とすることができる。これにより、液状体における濁度が必ずしも均一でないことに起因して検出値がずれることを抑制することができる。
【００３５】
［適用例１２］上記適用例にかかるヘッド保守装置の保守方法において、前記濁度検出工程において前記洗浄液を含む液状体の濁度を検出するために用いられる濁度検出装置を洗浄する検出装置洗浄工程をさらに有することが好ましい。
【００３６】
このヘッド保守装置の保守方法によれば、検出装置洗浄工程によって、濁度検出装置を洗浄することができる。付着物などを含んで濁った液状体の濁度を検出する濁度検出装置は、濁りの原因物質が付着して検出精度が劣化する可能性がある。濁度検出装置の検出面を洗浄することで、付着物に起因して検出精度が劣化することを抑制することができる。
【００３７】
［適用例１３］上記適用例にかかるヘッド保守装置の保守方法において、前記検出装置洗浄工程は、前記洗浄液供給工程と前記吸引排出工程とを並行して実施する工程、又は前記洗浄液供給工程で供給された前記洗浄液が自重で排出される工程であることが好ましい。
【００３８】
このヘッド保守装置の保守方法によれば、洗浄液供給工程と吸引排出工程とを並行して実施する工程、又は洗浄液供給工程で供給された洗浄液が自重で排出される工程が、検出装置洗浄工程である。洗浄液供給工程と吸引排出工程とを並行して実施することで、あるいは、洗浄液供給工程で供給された洗浄液が自重で排出される場合には、吸引排出工程を実施しなくても、ヘッドキャップに供給された洗浄液は、ヘッドキャップ内に殆んど溜められることなく排出されて、濁度検出装置に接触する。洗浄液が濁度検出装置に接触することで、濁度検出装置を洗浄することができる。
【００３９】
［適用例１４］上記適用例にかかるヘッド保守装置の保守方法において、前記洗浄液は、前記液状体吐出ヘッドから吐出される機能液と濁度が異なることが好ましい。
【００４０】
このヘッド保守装置の保守方法によれば、洗浄液の濁度は、液状体吐出ヘッドから吐出される機能液の濁度と異なっている。ヘッドキャップを洗浄する際の被洗浄物の大部分は、液状体吐出ヘッドから吐出又は吸引されてヘッドキャップに着弾した液状体吐出ヘッドから吐出される機能液又は機能液が固化などしたものである。これらの被洗浄物が洗浄されて洗浄液に混じると、濁度が異なる物質が混じることで洗浄液単体とは濁度が変化するため、付着物などが洗浄液に溶解されていることを、濁度を検出することで、容易に検出することができる。
【００４１】
［適用例１５］上記適用例にかかるヘッド保守装置の保守方法において、前記濁度検出工程は、光学的に濁度を検出する工程であり、前記洗浄液は、前記濁度検出工程において濁度を検出するために用いられる光を透過させることが好ましい。
【００４２】
このヘッド保守装置の保守方法によれば、洗浄液は、濁度を検出するために用いられる光を透過させる。すなわち、濁度検出工程で用いられる濁度検出手段にとって洗浄液は透明であって、洗浄液単体の濁度を検出した場合は、検出される濁度は非常に小さくなる。これにより、微少な混入物による微小な濁度の変化も検出しやすくなり、濁度の変化を精度良く検出することができる。
【００４３】
［適用例１６］本適用例にかかるヘッド保守装置は、液状体を吐出する吐出ノズルを備える液状体吐出ヘッドにおける前記吐出ノズルが形成されたノズル形成面を封止するヘッドキャップと、前記ヘッドキャップに連通し、前記ヘッドキャップ内の気体又は液体を吸引する吸引手段と、前記ヘッドキャップに連通し、前記ヘッドキャップに洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、液体の濁度を検出可能な濁度検出手段と、を備えることを特徴とする。
【００４４】
本適用例にかかるヘッド保守装置によれば、洗浄液供給手段によってヘッドキャップ内に洗浄液を供給することができ、吸引手段によって、ヘッドキャップ内の洗浄液を吸引して排出することができる。これにより、洗浄液によって、ヘッドキャップ内を洗浄することができる。
【００４５】
濁度検出手段によって、ヘッドキャップの洗浄に使用された洗浄液及び被洗浄物を含む液状体の濁度を検出することができる。
当該濁度と洗浄液単体の濁度との差は、洗浄液に溶解されるなどして加わった被洗浄物によるものである。洗浄が完了又は略完了すると洗浄液に加わる被洗浄物は略なくなるため、検出される濁度は洗浄液単体の濁度と略一致する。したがって、濁度を検出することで、ヘッドキャップの洗浄の完了の程度を検出することができる。例えば、濁度が所定の値を超える（又は所定の値以下になる）まで洗浄液による洗浄を実施することで、ヘッドキャップの洗浄が略完了するまで洗浄を実施することができる。これにより、ヘッドキャップの洗浄が完了したにも関わらず過度に洗浄液を供給することや、ヘッドキャップの洗浄が不充分にも関わらず洗浄液の供給を終了することを抑制することができる。
【００４６】
［適用例１７］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記濁度検出手段は、前記ヘッドキャップに供給された前記洗浄液を含む液状体の濁度を検出可能な位置に配設されていることが好ましい。
【００４７】
このヘッド保守装置によれば、濁度検出手段がヘッドキャップに供給された洗浄液を含む液状体の濁度を検出可能な位置に配設されているため、濁度検出手段は、ヘッドキャップに溜められた状態の液状体に対して検出を実施する。ヘッドキャップに溜められた状態の液状体は実質的に静止しているため、濁度を検出する装置に対する液状体の状態を略一定に保つことが容易である。これにより、濁度を検出する装置に対する液状体の状態が変動することに起因して濁度の検出値が変動することを抑制して、正確な検出を実施することができる。
【００４８】
［適用例１８］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記濁度検出手段は、前記吸引手段が有する吸引された気体又は液体の流路における前記洗浄液を含む液状体の濁度を検出可能な位置に配設されていることが好ましい。
【００４９】
このヘッド保守装置によれば、濁度検出手段が、吸引手段が有する吸引された気体又は液体の流路における洗浄液を含む液状体の濁度を検出可能な位置に配設されているため、濁度検出手段は、ヘッドキャップに供給された洗浄液が洗浄を実施した後で排出されてくる液状体に対して検出を実施する。これにより、洗浄が進行している途中で濁度を検出することに起因して、検出値がずれることを抑制することができる。さらに、ヘッドキャップから排出される液状体の略全体を検出対象とすることができる。これにより、液状体における濁度が必ずしも均一でないことに起因して検出値がずれることを抑制することができる。
【００５０】
［適用例１９］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記濁度検出手段を保持する保持手段をさらに備え、前記保持手段は、前記濁度検出手段を支持する検出手段支持部と、前記濁度検出手段を前記保持手段に挿入するための挿入開口とを有し、前記挿入開口は、鉛直方向において、前記ヘッドキャップより高い位置に開口していることが好ましい。
【００５１】
このヘッド保守装置によれば、保持手段における挿入開口は、ヘッドキャップより高い位置に開口している。保持手段には、検出対象である洗浄液を含む液状体が、検出手段支持部側から流入する可能性がある。洗浄液を含む液状体は、ヘッドキャップに溜められて排出されてくるため、保持手段に流入した洗浄液を含む液状体がヘッドキャップより高い位置に達することは実質的にない。挿入開口をヘッドキャップより高い位置に開口させることで、挿入開口から洗浄液を含む液状体が流出することを実質的になくすることができる。
【００５２】
［適用例２０］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記検出手段支持部は、前記濁度検出手段を着脱可能に支持していることが好ましい。
【００５３】
このヘッド保守装置によれば、濁度検出手段は、保持手段の検出手段支持部に着脱可能に支持されているため、濁度検出手段を保持手段から取り外すことができる。濁度検出手段を取り外すことで、検出面を保持手段の外部に出して、容易に例えば洗浄などの保守作業を実施することができる。付着物などを含んで濁った液状体の濁度を検出する濁度検出手段は、濁りの原因物質が付着して検出精度が劣化する可能性がある。濁度検出手段の検出面を洗浄することで、付着物に起因して検出精度が劣化することを抑制することができる。
また、複数のヘッドキャップを備えるヘッド保守装置においては、一個の濁度検出手段を、複数のヘッドキャップのそれぞれに順次取り付けることで、一個の濁度検出手段を用いて、複数のヘッドキャップに対して、濁度測定を実施することもできる。
【００５４】
［適用例２１］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記濁度検出手段を洗浄するための検出手段洗浄手段をさらに備えることが好ましい。
【００５５】
このヘッド保守装置によれば、検出手段洗浄手段によって、濁度検出手段を洗浄することができる。付着物などを含んで濁った液状体の濁度を検出する濁度検出手段は、濁りの原因物質が付着して検出精度が劣化する可能性がある。濁度検出手段の検出面を洗浄することで、付着物に起因して検出精度が劣化することを抑制することができる。
【００５６】
［適用例２２］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記検出手段洗浄手段は、前記洗浄液供給手段、又は前記吸引手段及び前記洗浄液供給手段であることが好ましい。
【００５７】
このヘッド保守装置によれば、洗浄液供給手段、又は吸引手段及び洗浄液供給手段が、検出手段洗浄手段である。吸引手段及び洗浄液供給手段を並行して稼動させることで、あるいは、ヘッドキャップ内の液状体が自重で排出される場合には、吸引手段を稼動させなくても、ヘッドキャップに供給された洗浄液は、ヘッドキャップ内に殆んど溜められることなく排出されて、濁度検出手段に接触する。洗浄液が濁度検出手段に接触することで、濁度検出手段を洗浄することができる。吸引手段及び洗浄液供給手段を検出手段洗浄手段として用いることで、検出手段洗浄手段を別に設けることを必要とせずに、濁度検出手段の洗浄を実施することができる。
【００５８】
［適用例２３］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記洗浄液は、前記液状体吐出ヘッドから吐出される機能液と濁度が異なることが好ましい。
【００５９】
このヘッド保守装置によれば、洗浄液の濁度は、液状体吐出ヘッドから吐出される機能液の濁度と異なっている。ヘッドキャップを洗浄する際の被洗浄物の大部分は、液状体吐出ヘッドから吐出又は吸引されてヘッドキャップに着弾した液状体吐出ヘッドから吐出される機能液又は機能液が固化などしたものである。これらの被洗浄物が洗浄されて洗浄液に混じると、濁度が異なる物質が混じることで洗浄液単体とは濁度が変化するため、付着物などが洗浄液に溶解されていることを、濁度を検出することで、容易に検出することができる。
【００６０】
［適用例２４］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記濁度検出手段は、光学的に濁度を検出する手段であり、前記洗浄液は、前記濁度検出手段が取り扱う光を透過させることが好ましい。
【００６１】
このヘッド保守装置によれば、洗浄液は、濁度検出手段が取り扱う光を透過させる。すなわち、濁度検出手段にとって洗浄液は透明であって、洗浄液単体の濁度を検出した場合は、検出される濁度は非常に小さくなる。これにより、微少な混入物による微小な濁度の変化も検出しやすくなり、濁度の変化を精度良く検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】第一の実施形態における液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。
【図２】（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図。（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図。
【図３】（ａ）は、吸引ユニットの全体構成を示す説明図。（ｂ）は、キャップ装置の周辺の構成を示す説明図。
【図４】洗浄液を用いてキャップ室などを洗浄する洗浄工程を示すフローチャート。
【図５】ヘッドユニットの概略構成を示す平面図。
【図６】キャップユニットの概略構成を示す平面図。
【図７】（ａ）は、第二の実施形態における吸引ユニットの全体構成を示す説明図。（ｂ）は、第二の実施形態におけるキャップ装置の周辺の構成を示す説明図。
【図８】洗浄液を用いてキャップ室などを洗浄する洗浄工程を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００６３】
以下、液状体吐出装置、ヘッド保守装置の保守方法、及びヘッド保守装置の一実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００６４】
（第一の実施形態）
液状体吐出装置、ヘッド保守装置の保守方法、及びヘッド保守装置の一実施形態である第一の実施形態について、説明する。本実施形態は、吐出ノズルを有する液状体吐出ヘッドの一例としての、液滴を吐出する吐出ノズルを有する液滴吐出ヘッド、を備える液滴吐出装置を例にして説明する。
【００６５】
＜液滴吐出法＞
最初に、液滴吐出法について説明する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式等が挙げられる。帯電制御方式は、材料に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で材料の飛翔方向を制御して吐出ノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、材料に３０ｋｇ／ｃｍ2程度の超高圧を印加して吐出ノズル先端側に材料を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には材料が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけると材料間に静電的な反発が起こり、材料が飛散して吐出ノズルから吐出されない。また、電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって材料を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。
【００６６】
また、電気熱変換方式は、材料を貯留した空間内に設けたヒーターにより、材料を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の材料を吐出させるものである。静電吸引方式は、材料を貯留した空間内に微小圧力を加え、吐出ノズルに材料のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから材料を引き出すものである。また、この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式などの技術も適用可能である。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を的確に配置できるという利点を有する。このうち、ピエゾ方式は、液状材料に熱を加えないため、材料の組成等に影響を与えない、駆動電圧を調整することによって、液滴の大きさを容易に調整することができるなどの利点を有する。本実施形態では、液状材料選択の自由度が高いこと、及び液滴の制御性が良いことから上記ピエゾ方式を用いる。
【００６７】
＜液滴吐出装置＞
次に、液滴吐出装置の全体構成について、図１を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。
【００６８】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、描画ユニット２と、ワークユニット３と、機能液供給ユニット４と、保守ユニット５とを備えている。
描画ユニット２は、液状体としての機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１７（図２参照）を備えている。
ワークユニット３は、液滴吐出ヘッド１７から吐出された液滴の吐出対象であるワークＷを載置するワーク載置台３０を備えている。
機能液供給ユニット４は、機能液タンクと、給液管と、給液チューブとを備え、当該給液チューブが、液滴吐出ヘッド１７に接続されており、給液チューブを介して機能液が液滴吐出ヘッド１７に供給される。
液滴吐出ヘッド１７が液状体吐出ヘッドに相当する。
【００６９】
保守ユニット５は、液滴吐出ヘッド１７の吐出状態などの検査を実施する各装置、液滴吐出ヘッド１７の各種の保守を実施する吸引ユニット５０などの各装置、及びこれらの装置を移動可能に支持する移動装置５ａを備えている。吸引ユニット５０は、キャップ装置５１と洗浄液供給装置７１と排液装置８１とを備えている。吸引ユニット５０のキャップ装置５１などのように液滴吐出ヘッド１７に臨んだ状態で使用される各装置は、移動装置５ａの移動プレートに固定されている。移動装置５ａは、これらの各装置を、当該装置が使用される際に、液滴吐出ヘッド１７に臨む位置に移動する。
【００７０】
液滴吐出装置１は、また、これら各ユニットなどを総括的に制御する吐出装置制御部６を備えている。
さらに、液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚８と、支持脚８の上側に設置された定盤９とを備えている。描画ユニット２と、ワークユニット３と、保守ユニット５の主要部とは、平面視長方形形状の定盤９の上に配設されている。吐出装置制御部６は、定盤９の下側に収容されている。
【００７１】
ワークユニット３は、定盤９の長手方向（この方向を、「Ｘ軸方向」と表記する。）に延在するように配設されている。ワークユニット３の上方には、描画ユニット２が、配設されている。描画ユニット２は、ワークユニット３と直交する方向（この方向を、「Ｙ軸方向」と表記する。）に延在している。描画ユニット２は、定盤９に固定された２本の支持柱で支持されて、ワークユニット３の上方でワークユニット３と交差している。また、定盤９の傍らには、機能液供給ユニット４の機能液タンクなどが配置されている。描画ユニット２の一方の支持柱の近傍には、保守ユニット５がワークユニット３と並んで配設されている。
【００７２】
描画ユニット２は、液滴吐出ヘッド１７を有するヘッドユニット２１と、ヘッドユニット２１を有するヘッドキャリッジ２５と、ヘッドキャリッジ２５が吊設された移動枠２２とを備えている。移動枠２２を、Ｙ軸走査機構によってＹ軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド１７をＹ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
ワークユニット３は、ワーク載置台３０を、Ｘ軸走査機構によって、Ｘ軸方向に移動させることで、ワーク載置台３０に載置されたワークＷをＸ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
【００７３】
描画を実施する際は、描画ユニット２が備える液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワークＷのＸ軸方向の移動に同調して、機能液を液滴として吐出する。Ｘ軸方向に移動するワークＷと、Ｙ軸方向に移動する液滴吐出ヘッド１７とを相対的に制御することにより、ワークＷ上の任意の位置に液滴を着弾させることで、所望する平面形状の描画を実施することが可能である。
【００７４】
液滴吐出ヘッド１７の保守を実施する際は、描画ユニット２が備える液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向の保守ユニット５に臨む位置まで移動して停止する。当該位置の液滴吐出ヘッド１７に臨む位置に、保守ユニット５のいずれかの装置が移動して、保守作業が実施される。例えば、吸引ユニット５０のキャップ装置５１が移動装置５ａによって移動させられて、液滴吐出ヘッド１７に臨む位置に位置させられる。昇降装置によってヘッドキャリッジ２５又はキャップ装置５１を昇降させることによって、液滴吐出ヘッド１７とキャップ装置５１とを当接させて、液滴吐出ヘッド１７をキャップ装置５１で封止し、吸引ユニット５０による液滴吐出ヘッド１７の吸引を実施する。
【００７５】
＜液滴吐出ヘッド＞
次に、図２を参照して、液滴吐出ヘッド１７について説明する。図２は、液滴吐出ヘッドの構成を示す図である。図２（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図であり、図２（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図であり、図２（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図である。
【００７６】
図２（ａ）に示したように、液滴吐出ヘッド１７は、接続針４２を一対有する液体導入部４１と、液体導入部４１の側方に連なるヘッド基板４３と、液体導入部４１に連なるポンプ部４５と、ポンプ部４５に連なるノズルプレート４６と、を備えている。液体導入部４１のそれぞれの接続針４２には、それぞれ配管接続部材が接続されて、当該配管接続部材を介して給液チューブが接続され、給液チューブに接続された機能液供給ユニット４から機能液が供給される。ヘッド基板４３には、ヘッドコネクター４７が一対実装されており、当該ヘッドコネクター４７を介してフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣケーブル）が接続される。液滴吐出ヘッド１７は、ＦＦＣケーブルを介して吐出装置制御部６と接続されており、ＦＦＣケーブルを介して信号の授受が行われる。ポンプ部４５とノズルプレート４６とにより、略方形状のヘッド本体４４が構成されている。
【００７７】
ポンプ部４５の基部側、すなわちヘッド本体４４の基部側は、液体導入部４１及びヘッド基板４３を受けるべく方形フランジ状にフランジ部４９が形成されている。このフランジ部４９には、液滴吐出ヘッド１７を固定する小ねじ用のねじ孔（雌ねじ）４９ａが一対形成されている。液滴吐出ヘッド１７は、液滴吐出ヘッド１７を保持するためのヘッド保持部材を貫通してねじ孔４９ａに螺合したヘッド止めねじにより、ヘッド保持部材に固定される。
【００７８】
ノズルプレート４６のノズル形成面４６ａには、ノズルプレート４６に形成されており液滴を吐出する吐出ノズル４８から成るノズル列４８Ａが、２本形成されている。２本のノズル列４８Ａは相互に平行に列設されており、各ノズル列４８Ａは、等ピッチで並べた例えば１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル４８で構成されている。ヘッド本体４４のノズル形成面４６ａには、その中心線を挟んで２本のノズル列４８Ａが配設されている。
【００７９】
液滴吐出ヘッド１７が液滴吐出装置１に取付けられた状態では、ノズル列４８ＡはＹ軸方向に延在する。２列のノズル列４８Ａをそれぞれ構成する吐出ノズル４８同士は、Ｙ軸方向において、相互に半ノズルピッチずつ位置がずれている。１ノズルピッチは、例えば１４０μｍである。Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれのノズル列４８Ａを構成する吐出ノズル４８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。ノズル列４８Ａにおける吐出ノズル４８のノズルピッチが１４０μｍの場合、当該一直線状に連なる着弾位置の中心間距離は、設計上では、７０μｍである。
【００８０】
図２（ｂ）及び（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド１７は、ノズルプレート４６にポンプ部４５を構成する圧力室プレート３１が積層されており、圧力室プレート３１に振動板３２が積層されている。
圧力室プレート３１には、液体導入部４１から振動板３２の液供給孔３３を経由して供給される機能液が常に充填される液たまり３５が形成されている。液たまり３５は、振動板３２と、ノズルプレート４６と、圧力室プレート３１の壁とに囲まれた空間である。また、圧力室プレート３１には、ヘッド隔壁３７によって区切られた圧力室３８が形成されている。振動板３２と、ノズルプレート４６と、２個のヘッド隔壁３７とによって囲まれた空間が圧力室３８である。
【００８１】
圧力室３８は吐出ノズル４８のそれぞれに対応して設けられており、圧力室３８の数と吐出ノズル４８の数とは同じである。圧力室３８には、２個のヘッド隔壁３７の間に位置する供給口３６を介して、液たまり３５から機能液が供給される。ヘッド隔壁３７と圧力室３８と吐出ノズル４８と供給口３６との組は、液たまり３５に沿って１列に並んでおり、１列に並んだ吐出ノズル４８がノズル列４８Ａを形成している。図２（ｂ）では図示省略したが、図示した吐出ノズル４８を含むノズル列４８Ａに対して液たまり３５に関して略対称位置に、１列に並んで配設された吐出ノズル４８がもう一列のノズル列４８Ａを形成しており、対応するヘッド隔壁３７と圧力室３８と供給口３６との組が、１列に並んでいる。
【００８２】
振動板３２の圧力室３８を構成する部分には、それぞれ圧電素子３９の一端が固定されている。圧電素子３９の他端は、固定板（図示省略）を介して液滴吐出ヘッド１７全体を支持する基台（図示省略）に固定されている。
圧電素子３９は電極層と圧電材料とを積層した活性部を有し、電極層に駆動電圧を印加することで、活性部が長手方向（図２（ｂ）又は（ｃ）においては振動板３２の厚さ方向）に縮む。活性部が縮むことで、圧電素子３９の一端が固定された振動板３２が圧力室３８と反対側に引張られる力を受ける。振動板３２が圧力室３８と反対側に引張られることで、振動板３２が圧力室３８の反対側に撓む。これにより、圧力室３８の容積が増加することから、機能液が液たまり３５から供給口３６を経て圧力室３８に供給される。次に、電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元の長さに戻ることで、圧電素子３９が振動板３２を押圧する。振動板３２が押圧されることで、圧力室３８側に戻る。これにより、圧力室３８の容積が急激に元に戻る、すなわち増加していた容積が減少することから、圧力室３８内に充填されていた機能液に圧力が加わり、当該圧力室３８に連通して形成された吐出ノズル４８から機能液が液滴となって吐出される。
【００８３】
吐出装置制御部６は、圧電素子３９への印加電圧の制御、すなわち駆動信号を制御することにより、複数の吐出ノズル４８のそれぞれに対して、機能液の吐出制御を行う。より詳細には、吐出ノズル４８から吐出される液滴の体積や、単位時間あたりに吐出する液滴の数などを変化させることができる。これにより、基板上に着弾した液滴同士の距離や、基板上の一定の面積に着弾させる機能液の量などを変化させることができる。例えば、ノズル列４８Ａに並ぶ複数の吐出ノズル４８の中から、液滴を吐出させる吐出ノズル４８を選択的に使用することにより、ノズル列４８Ａの延在方向では、ノズル列４８Ａの長さの範囲であって吐出ノズル４８のピッチ間隔で、複数の液滴を同時に吐出することができる。ノズル列４８Ａの延在方向と略直交する方向では、基板と吐出ノズル４８とを相対移動させて、当該相対移動方向において、当該吐出ノズル４８が対向可能な、基板の任意の位置に吐出ノズル４８から吐出される液滴を配置することができる。
【００８４】
＜吸引ユニット＞
次に、吸引ユニット５０について、図３を参照して説明する。図３は、吸引ユニットの構成を示す説明図である。図３（ａ）は、吸引ユニットの全体構成を示す説明図であり、図３（ｂ）は、キャップ装置の周辺の構成を示す説明図である。
図３に示すように、吸引ユニット５０は、キャップ装置５１と洗浄液供給装置７１と排液装置８１と濁度検出ユニット９１と、を備えている。
【００８５】
キャップ装置５１は、ヘッドキャップ５２と、キャップ支持部６１と、給液孔管６７と、排液孔管６８と、を備えている。
ヘッドキャップ５２は、キャップベース５３と封止部材５４と吸収材５９とを備えている。キャップベース５３は、例えばステンレス鋼などのような腐食され難い材料で略直方体形状に構成されており、一面にキャップ凹部５６が形成されている。キャップ凹部５６は、キャップベース５３の一面に開口する略直方体形状の凹部である。キャップベース５３は、ヘッドキャップ５２が液滴吐出装置１に取り付けられた状態では、キャップ凹部５６の開口が重力加速度方向の上側を向く状態になる。
【００８６】
キャップベース５３において、重力加速度方向の上側に開口したキャップ凹部５６の底面には、キャップベース５３の外面（下面）に貫通する給液孔５７が開口している。キャップベース５３の外面（下面）における給液孔５７の開口には、給液孔管６７が接続されている。これにより、給液孔管６７に形成されている流路が、キャップ凹部５６に連通している。
【００８７】
キャップベース５３において、キャップ凹部５６の底面には、キャップベース５３の外面（下面）に貫通する排液孔５８も開口している。キャップベース５３の外面（下面）における排液孔５８の開口には、排液管係合凹部５８ａが形成されており、排液孔管６８の一端が排液管係合凹部５８ａに嵌合している。これにより、排液孔管６８に形成されている排液流路６９が、キャップ凹部５６に連通している。
【００８８】
排液孔管６８は、円柱形状の外形を有し、一端には、外径が排液管係合凹部５８ａの内径に嵌合する嵌合端部６８ａが形成されている。嵌合端部６８ａが形成されている端の反対側の端面には、係合凹部６８ｂが形成されている。円柱形状の側面には、検出嵌合凹部６８ｃが形成されている。
【００８９】
排液孔管６８に形成されている排液流路６９は、濁度検出流路６９ａと流路部６９ｂとを有している。後述する濁度センサー９２Ａの濁度検出部９２ａを配設可能な流路径を有する濁度検出流路６９ａは、嵌合端部６８ａが形成されている端に開口し、反対側に濁度検出流路６９ａより流路径が小さい流路部６９ｂの一端が連通している。流路部６９ｂのもう一端は、係合凹部６８ｂの底面に開口している。濁度検出流路６９ａの側壁の一部が開口して、検出嵌合凹部６８ｃの底と連通している。
上述したように、排液孔管６８の嵌合端部６８ａが、キャップベース５３の排液管係合凹部５８ａに嵌合して、排液孔管６８の濁度検出流路６９ａが、キャップベース５３の排液孔５８からキャップ凹部５６に連通している。
【００９０】
封止部材５４は、機能液に対して耐食性を有するゴム状弾性体材料を用いて形成されている。封止部材５４は、平面視形状がキャップ凹部５６の開口の形状と略相似形状の外形形状と内側開口とを有する額縁形状を有し、キャップ凹部５６の開口の縁に沿って、図示省略した封止部材ホルダーによってキャップベース５３に固定されている。封止部材５４の封止凸部５４ａが、キャップベース５３の上面から突出している。封止部材５４とキャップ凹部５６とで、キャップ室５５を構成している。
【００９１】
封止凸部５４ａの平面視形状は、２列のノズル列４８Ａの周囲でノズル形成面４６ａに当接する形状になっている。ヘッドキャップ５２が液滴吐出ヘッド１７に当接する場合、キャップベース５３から突出している封止凸部５４ａがノズル形成面４６ａに当接する。このとき、ゴム状弾性体材料から成る封止凸部５４ａは、弾性変形してノズル形成面４６ａに密着する。キャップ室５５は、図３に二点鎖線で示したように、液滴吐出ヘッド１７によって封止されて、給液孔５７、排液孔５８、又は液滴吐出ヘッド１７に形成された液状体の流路を介してのみ外部と連通可能な封止空間となる。吐出ノズル４８に対しては、キャップ室５５が、吐出ノズル４８を封止する封止空間になっている。
キャップ室５５には、吸収材５９が配設されている。吸収材５９は、多孔質の素材などの液体を吸着保持することが可能な素材で形成されている。
【００９２】
キャップ支持部６１は、キャッププレート６２と、ベースホルダー６３と、キャップ押圧機構６４と、を備えている。
キャッププレート６２が、液滴吐出装置１に、移動装置５ａの移動プレートを介して固定されている。キャッププレート６２にはベースホルダー６３が固定されている。ベースホルダー６３にはキャップベース孔６３ａが形成されており、ヘッドキャップ５２のキャップベース５３が、キャップベース孔６３ａに、鉛直方向に摺動自在に遊嵌している。ヘッドキャップ５２は、キャップベース５３が、キャップ押圧機構６４を介してベースホルダー６３に対して離接方向に移動可能に取り付けられている。
【００９３】
キャップ押圧機構６４は、ヘッドキャップ５２がキャッププレート６２の面に略垂直な方向（キャップ装置５１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態では鉛直方向）に移動する方向に弾性変形可能である。キャップ押圧機構６４が弾性変形した抗力によって、ヘッドキャップ５２が、キャッププレート６２から離れる方向に押圧され、キャップベース５３から突出したベース突起５３ａがベースホルダー６３に当接することによって、ヘッドキャップ５２の鉛直方向の位置が定まっている。
【００９４】
キャップ押圧機構６４は、ヘッドキャップ５２が液滴吐出ヘッド１７などに当接した状態で、ヘッドキャップ５２に加えられた当接力によって変形し、変形抗力によって、ヘッドキャップ５２を液滴吐出ヘッド１７などに押付ける力をヘッドキャップ５２に加える。
キャップ押圧機構６４による押し付け力によって、液滴吐出ヘッド１７に当接したゴム状弾性体材料から成る封止凸部５４ａは、弾性変形してノズル形成面４６ａに確実に密着する。封止凸部５４ａがノズル形成面４６ａに密着することで、キャップ室５５は、確実に、給液孔５７、排液孔５８、又は液滴吐出ヘッド１７に形成された液状体の流路を介してのみ外部と連通可能な、吐出ノズル４８を封止する封止空間となる。
【００９５】
洗浄液供給装置７１は、給液管７４と、給液バルブ７６と、洗浄液供給タンク７３と、洗浄液ポンプ７８とを備えている。
給液管７４は一端が給液孔管６７に接続されており、もう一端が洗浄液供給タンク７３に接続されている。上述したように給液孔管６７はキャップ凹部５６に連通しており、洗浄液供給タンク７３とキャップ凹部５６とは、給液管７４及び給液孔管６７を介して連通している。給液管７４の中間には、給液バルブ７６と洗浄液ポンプ７８とが取り付けられている。洗浄液ポンプ７８によって、洗浄液供給タンク７３からキャップ凹部５６に洗浄液が送られる。給液バルブ７６によって、給液管７４の流路が開閉される。
【００９６】
給液バルブ７６と、洗浄液ポンプ７８とは、吐出装置制御部６の吸引洗浄制御部５０ａと電気的に接続されており、吸引洗浄制御部５０ａは、予め入力されたプログラムに従って、給液バルブ７６と洗浄液ポンプ７８とを制御する。
給液バルブ７６は、吸引洗浄制御部５０ａによって制御されて、給液管７４の流路を開閉する。また、開放状態を調整することで流量の調整も実施可能である。洗浄液ポンプ７８は、吸引洗浄制御部５０ａによって制御されて、洗浄液供給タンク７３に貯留された洗浄液をキャップ凹部５６（キャップ室５５）に供給する。洗浄液供給装置７１が、洗浄液供給手段に相当する。
【００９７】
排液装置８１は、排液タンク８２と、排液管８４と、排液バルブ８６と、吸引ポンプ８８とを備えている。
排液管８４は、一端が排液孔管６８の係合凹部６８ｂに嵌合しており、排液管８４に形成された流路が、係合凹部６８ｂに開口した流路部６９ｂに連通している。排液管８４のもう一端は、排液タンク８２に接続されており、流路が排液タンク８２に連通している。上述したように流路部６９ｂはキャップ凹部５６に連通しており、排液タンク８２とキャップ凹部５６とは、排液管８４及び排液孔管６８を介して連通している。排液管８４の中間には、排液バルブ８６が取り付けられている。排液タンク８２には、吸引ポンプ８８が接続されており、吸引ポンプ８８によって吸引することで、排液タンク８２内を負圧にすることができる。
【００９８】
排液バルブ８６と、吸引ポンプ８８とは、吐出装置制御部６の吸引洗浄制御部５０ａと電気的に接続されており、吸引洗浄制御部５０ａは、予め入力されたプログラムに従って、排液バルブ８６と吸引ポンプ８８とを制御する。
排液バルブ８６は、吸引洗浄制御部５０ａによって制御されて、排液管８４の流路を開閉する。吸引ポンプ８８は、吸引洗浄制御部５０ａによって制御されて、排液タンク８２内を負圧にすることで、排液タンク８２に連通するキャップ凹部５６内の気体や液体をキャップ凹部５６から排液タンク８２に吸引する。
【００９９】
上述したように、ヘッドキャップ５２が液滴吐出ヘッド１７に当接した状態では、キャップ凹部５６を含むキャップ室５５は、給液孔５７、排液孔５８、又は液滴吐出ヘッド１７に形成された液状体の流路を介してのみ外部と連通可能な、吐出ノズル４８を封止する封止空間である。吸引ポンプ８８を稼動させて排液タンク８２内を負圧にすることによって、キャップ室５５を負圧にすることで、液滴吐出ヘッド１７の液状体の流路に在る機能液を吸引することができる。排液装置８１が、吸引手段に相当する。
【０１００】
＜濁度検出ユニット＞
濁度検出ユニット９１は、濁度センサー９２Ａと、センサー保持部９４と、を備えている。
センサー保持部９４は、略円柱形状の途中が折れ曲がった外形形状を有しており、両端に開口する保持室９６が形成されている。保持室９６は、保持開口９８と保持室部９７と支持部９９とを有しており、センサー保持部９４の端面に、保持開口９８又は支持部９９が開口している。
【０１０１】
センサー保持部９４における支持部９９が開口している端側の外形は、保持係合部９４ａが形成されている。保持係合部９４ａは、排液孔管６８の検出嵌合凹部６８ｃに嵌合している。保持係合部９４ａが検出嵌合凹部６８ｃに嵌合することで、センサー保持部９４は、排液孔管６８に固定されている。上述したように、センサー保持部９４は途中が折れ曲がっており、保持係合部９４ａが排液孔管６８に固定されている反対側の端は、鉛直方向の上側に折れ曲がって、端面に形成された保持開口９８は、鉛直方向において、ヘッドキャップ５２の封止部材５４の上端より高い位置に開口している。
【０１０２】
検出嵌合凹部６８ｃに嵌合したセンサー保持部９４の端面には、保持室９６の支持部９９が開口している。支持部９９が開口しているセンサー保持部９４の端面が当接する検出嵌合凹部６８ｃの底面は、濁度検出流路６９ａに連通する開口を有しており、支持部９９は濁度検出流路６９ａに臨んで開口している。センサー保持部９４が、保持手段に相当し、保持開口９８が、挿入開口に相当し、支持部９９が、検出手段支持部に相当する。
【０１０３】
濁度センサー９２Ａは、センサー本体９２と、センサーケーブル９３とを有している。センサーケーブル９３は、センサー本体９２と吸引洗浄制御部５０ａとを電気的に接続している。センサー本体９２は、センサーケーブル９３を介して、吸引洗浄制御部５０ａとの制御信号及び検出信号の授受を実施する。センサー本体９２は、先端に濁度検出部９２ａが形成されており、濁度検出部９２ａが臨む位置に存在する液体や気体の濁度を検出することができる。濁度センサー９２Ａは、既知の濁度センサーを用いることができる。濁度センサー９２Ａは、例えば光学方式の濁度センサーであり、濁度検出部９２ａに発光素子と受光素子とが配設されており、発光素子から射出されて受光素子に到達した光の減少率によって、発光素子から受光素子に至る光路に存在する物質の濁度を検出する。
【０１０４】
センサー本体９２は、濁度検出部９２ａをセンサー保持部９４から突出させる状態で、支持部９９に嵌合して支持されている。支持部９９のセンサー本体９２に接触する部分は、図示省略した弾性部材で形成されており、当該弾性部材が弾性変形することで、支持部９９は、センサー本体９２に密着して支持している。弾性部材が弾性変形することで、センサー本体９２を支持部９９に支持された状態にすることも、支持部９９から外すことも容易である。センサーケーブル９３のセンサー本体９２との接続部は、曲げ剛性を高くしたケーブル接続部９３ａである。センサー本体９２を、保持開口９８から挿入し、ケーブル接続部９３ａを介して押す又は引くことで、支持部９９に嵌合させたり、外したりすることができる。
上述したように、支持部９９は濁度検出流路６９ａに臨んで開口しており、センサー保持部９４から突出した濁度検出部９２ａは、濁度検出流路６９ａ内に位置している。濁度センサー９２Ａは、濁度検出流路６９ａ内の洗浄液などの濁度を検出可能である。濁度センサー９２Ａが、濁度検出手段に相当する。
【０１０５】
＜洗浄工程＞
次に、キャップ室５５などを洗浄する洗浄工程について、図４を参照して説明する。図４は、洗浄液を用いてキャップ室などを洗浄する洗浄工程を示すフローチャートである。
【０１０６】
図４のステップＳ２１では、濁度の限界値を取得する。濁度の限界値は、濁度検出流路６９ａに流入した洗浄液などの濁度の限界値である。洗浄液は、キャップ室５５に供給されて、キャップ室５５内に残留していた機能液や付着していた付着物を溶解することで、キャップ室５５を洗浄する。洗浄液は例えば透明な液体であり、機能液や付着物を溶解することで、濁度が高くなる。以降、洗浄液が機能液や付着物を溶解して、洗浄液と機能液や付着物とを含んだ液状体も、単に洗浄液と表記する場合がある。洗浄が進むと濁度検出流路６９ａに流入する洗浄液の濁度が小さくなる。
濁度の限界値は、キャップ室５５の洗浄が略完了したとみなせる状態のときに、濁度検出流路６９ａに流入する洗浄液の濁度を実験などによって予め求めることが好ましい。濁度の限界値は、入出力装置を用いて入力されることによって取得し、吐出装置制御部６の記憶部などに記憶される。
【０１０７】
次に、ステップＳ２２では、排液バルブ８６を閉じて、排液管８４の流路を閉鎖する。
次に、ステップＳ２３では、給液バルブ７６を開けて、給液管７４の流路を開放する。
【０１０８】
次に、ステップＳ２４では、キャップ室５５に洗浄液を供給する。洗浄液は、洗浄液供給装置７１の洗浄液供給タンク７３から洗浄液ポンプ７８によってキャップ室５５に供給される。
洗浄液は、給液孔管６７を経由して、給液孔５７からキャップ凹部５６（キャップ室５５）に流入し、キャップ室５５に満たされる。キャップ室５５に流入した洗浄液は、キャップ室５５内に残留していた機能液や付着していた付着物を溶解することで、キャップ室５５を洗浄する。キャップ凹部５６に流入してキャップ凹部５６を洗浄した洗浄液の一部は、排液孔５８から排液流路６９に流入する。洗浄液がキャップ室５５に満たされた状態では、排液流路６９の濁度検出流路６９ａは、洗浄液で満たされている。
【０１０９】
次に、ステップＳ２５では、濁度センサー９２Ａによって洗浄液の濁度を検出する。上述したように、濁度センサー９２Ａの濁度検出部９２ａは、排液流路６９の濁度検出流路６９ａ内に位置しており、濁度検出流路６９ａは、ステップＳ２４において洗浄液がキャップ室５５に満たされることで、洗浄液で満たされている。濁度検出部９２ａは洗浄液に浸されており、当該洗浄液の濁度を検出する。
【０１１０】
次に、ステップＳ２６では、給液バルブ７６を閉じて、給液管７４の流路を閉鎖する。
次に、ステップＳ２７では、排液バルブ８６を開けて、排液管８４の流路を開放する。
【０１１１】
次に、ステップＳ２８では、排液装置８１によって、ヘッドキャップ５２から洗浄液を排出する。吸引ポンプ８８を稼動させて吸引することによって排液タンク８２内を負圧にすることで、流路部６９ｂ、濁度検出流路６９ａ、及びキャップ室５５の洗浄液を吸引して、排液タンク８２に排出する。
【０１１２】
次に、ステップＳ２９では、ステップＳ２５において検出した洗浄液の濁度が、ステップＳ２１において取得してある濁度の限界値未満になったか否かを判定する。洗浄液は、キャップ室５５に供給されて、キャップ室５５内に残留していた機能液や付着していた付着物を溶解することで、キャップ室５５を洗浄する。洗浄液は例えば透明な液体であり、機能液や付着物を溶解することで、濁度が高くなる。濁度の限界値は、キャップ室５５の洗浄が略完了したとみなせる状態のときに、濁度検出流路６９ａに流入する洗浄液の濁度であるため、検出した濁度が限界値より大きい場合は、キャップ室５５には、まだ洗浄するべき付着物などが残存する可能性が高い。検出した濁度が限界値より小さい場合は、キャップ室５５には、洗浄するべき付着物などがほとんど残存せず、洗浄が完了した状態である可能性が高い。
ステップＳ２９において、検出した濁度が限界値より大きかった（ステップＳ２９でＮＯ）場合には、ステップＳ２２に戻り、ステップＳ２２からステップＳ２９の各工程を繰り返す。
ステップＳ２９において、検出した濁度が限界値未満であった場合（ステップＳ２９でＹＥＳ）には、洗浄液を用いてキャップ室５５などを洗浄する洗浄工程を終了する。
【０１１３】
＜ヘッドユニット＞
次に、複数の液滴吐出ヘッド１７を備える吐出ユニットが備えるヘッドユニット１２１の概略構成について、図５を参照して説明する。図５は、ヘッドユニットの概略構成を示す平面図である。図５に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット１２１が液滴吐出装置１と略同様の構成を備える液滴吐出装置に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と同一方向である当該液滴吐出装置のＸ軸及びＹ軸と一致している。
【０１１４】
図５に示したように、ヘッドユニット１２１は、キャリッジプレート１２３と、キャリッジプレート１２３に搭載された６個の液滴吐出ヘッド１７と、を有している。液滴吐出ヘッド１７は、キャリッジプレート１２３に固定されており、ヘッド本体４４がキャリッジプレート１２３に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズルプレート４６（ヘッド本体４４）が、キャリッジプレート１２３の面より突出している。図５は、ノズルプレート４６（ノズル形成面４６ａ）側から見た図である。６個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向に分かれて、それぞれ３個ずつの液滴吐出ヘッド１７を有するヘッド組１２５を２群形成している。それぞれの液滴吐出ヘッド１７のノズル列４８ＡはＹ軸方向に延在している。
【０１１５】
一つのヘッド組１２５が有する３個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において、互いに隣り合う液滴吐出ヘッド１７の、一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル４８に対して、もう一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル４８が半ノズルピッチずれて位置するように、位置決めされている。仮に、ヘッド組１２５が有する３個の液滴吐出ヘッド１７において、全ての吐出ノズル４８のＸ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル４８は、Ｙ軸方向に半ノズルピッチの等間隔で並ぶ。すなわち、Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれの液滴吐出ヘッド１７が有するそれぞれのノズル列４８Ａを構成する吐出ノズル４８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において互いに重なるため、Ｘ軸方向に階段状に並べてヘッド組１２５を構成している。
【０１１６】
＜キャップユニット＞
次に、ヘッドユニット１２１の複数の液滴吐出ヘッド１７に対応する複数のヘッドキャップ５２を備えるキャップユニット１５１の概略構成について、図６を参照して説明する。図６は、キャップユニットの概略構成を示す平面図である。図６に示したＸ軸及びＹ軸は、キャップユニット１５１が液滴吐出装置１と略同様の構成を備える液滴吐出装置に取り付けられた状態において、図５に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。
【０１１７】
キャップユニット１５１は、ヘッドキャップ５２と、キャップ支持部１６１と、給液孔管６７（図３参照）と、排液孔管６８と（図３参照）と、及び濁度検出ユニット９１（図３参照）を備えている。
キャップユニット１５１は、上述したキャップ装置５１が備えるヘッドキャップ５２と給液孔管６７と排液孔管６８と、及び濁度検出ユニット９１、の組を、６組備えている。
【０１１８】
キャップ支持部１６１は、キャップユニットプレート１６２と、ベースホルダー６３と、キャップ押圧機構６４（図３参照）と、を備えている。
キャップユニットプレート１６２が、液滴吐出装置に、移動機構を介して固定されている。キャップユニットプレート１６２には、ベースホルダー６３が、６個固定されている。ベースホルダー６３には、上述したキャップ装置５１と同様に、ヘッドキャップ５２が固定されている。ヘッドキャップ５２は、キャップ装置５１と同様に、キャップ押圧機構６４による押し付け力によって、液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル４８を封止する封止空間を形成する。
６個のヘッドキャップ５２のそれぞれは、キャップユニットプレート１６２において、ヘッドユニット１２１の６個の液滴吐出ヘッド１７を、６個のヘッドキャップ５２によって同時に封止できる位置に配設されている。
それぞれのヘッドキャップ５２に対応して、吸引ユニット５０と同様の洗浄液供給装置７１と排液装置８１とが配設されている。
【０１１９】
次に、本実施形態による効果について記載する。第一の実施形態によれば、以下に記載する効果が得られる。
（１）洗浄液供給装置７１によって、ヘッドキャップ５２に洗浄液を供給することができる。キャップ室５５を洗浄液で浸すことで、洗浄液に浸された部分の付着物などを洗浄することができる。
【０１２０】
（２）吸引ユニット５０は濁度検出ユニット９１を備えており、キャップ室５５などを洗浄する洗浄工程において、濁度検出ユニット９１の濁度センサー９２Ａによって洗浄液の濁度を検出する工程と、検出した洗浄液の濁度が、濁度の限界値未満になったか否かを判定する工程を実施し、判定結果によって、洗浄工程を継続又は終了する。これにより、キャップ室５５などを、付着物が残存するにも関わらず洗浄を終了してしまうことを抑制して、確実に洗浄することができる。また、充分洗浄されたにも関わらず洗浄を継続して、洗浄液を無駄に消費することや、無駄な洗浄時間を費やすことを、抑制することができる。
【０１２１】
（３）センサー保持部９４の保持開口９８は、鉛直方向において、ヘッドキャップ５２の封止部材５４の上端より高い位置に開口している。これにより、ヘッドキャップ５２（キャップ室５５）に満たされた液状体がセンサー保持部９４に浸入した場合でも、保持開口９８から外部に流出することを防止することができる。
【０１２２】
（４）濁度センサー９２Ａによって洗浄液の濁度を検出する工程は、洗浄液がキャップ室５５に満たされた状態であって、排液流路６９の濁度検出流路６９ａが洗浄液で満たされている状態で実施される。これにより、濁度センサー９２Ａの濁度検出部９２ａが確実に洗浄液に浸された状態で検出を実施できるため、濁度センサーと被測定物との関係が一定でないことに起因する測定誤差を抑制して、正確な検出結果を得ることができる。
【０１２３】
（５）濁度センサー９２Ａのセンサー本体９２は、センサー保持部９４に、弾性部材で形成された支持部９９に支持されることで保持されており、弾性部材が弾性変形することで、センサー本体９２を支持部９９に支持された状態にすることも、支持部９９から外すことも容易である。これにより、濁度センサー９２Ａをセンサー保持部９４から容易に脱着することが可能であるため、容易に取り外して、濁度検出部９２ａの洗浄などの濁度センサー９２Ａの保守を、容易に実施することができる。
【０１２４】
（６）洗浄液は、透明な液体である。このため、洗浄液単体の濁度を検出した場合は、検出される濁度は非常に小さくなる。これにより、微少な機能液や付着物が混入したことによる微小な濁度の変化も検出しやすくなり、濁度の変化を精度良く検出することができる。
【０１２５】
（７）排液装置８１は、排液管８４の流路を開閉する排液バルブ８６を備えている。排液バルブ８６を閉じることで、洗浄液が排液孔管６８の流路から排液タンク８２の方に、自然に流出することを実質的になくすることができる。
【０１２６】
（８）洗浄液供給装置７１は、給液管７４の流路を開閉することができる給液バルブ７６を備えている。給液バルブ７６を用いることで、洗浄液供給タンク７３からヘッドキャップ５２への洗浄液の供給を迅速に停止することができる。また、洗浄液が給液孔管６７の流路の方から洗浄液供給タンク７３の方に、逆流することを抑制することができる。ヘッドキャップ５２から排液装置８１によって洗浄液などが吸引されている際に、当該吸引力によって洗浄液供給装置７１の洗浄液が吸引されることを、実質的になくすることができる。
【０１２７】
（第二の実施形態）
次に、液状体吐出装置、ヘッド保守装置の保守方法、及びヘッド保守装置の一実施形態である第二の実施形態について、説明する。本実施形態における液状体吐出装置の一例である液滴吐出装置は、第一の実施形態で図１を参照して説明した液滴吐出装置１と実質的に同様の機械的構成を備えている。液滴吐出装置１と一部が異なる吸引ユニット２５０の構成、及び吸引ユニット２５０を用いる洗浄工程について説明する。
【０１２８】
＜吸引ユニット＞
最初に、吸引ユニット２５０について、図７を参照して説明する。図７は、吸引ユニットの構成を示す説明図である。図７（ａ）は、吸引ユニットの全体構成を示す説明図であり、図７（ｂ）は、キャップ装置の周辺の構成を示す説明図である。吸引ユニット５０における構成要素と同じ構成を有する構成要素については、吸引ユニット５０における構成要素と同じ番号を付して説明する。
図７に示すように、吸引ユニット２５０は、キャップ装置２５１と洗浄液供給装置７１と排液装置８１と濁度検出ユニット９１と、を備えている。
【０１２９】
キャップ装置２５１は、ヘッドキャップ２５２と、キャップ支持部６１と、給排液管２６６と、を備えている。
ヘッドキャップ２５２は、キャップベース２５３と封止部材５４と吸収材５９とを備えている。キャップベース２５３は、例えばステンレス鋼などのような腐食され難い材料で略直方体形状に構成されており、一面にキャップ凹部２５６が形成されている。キャップ凹部２５６は、キャップベース２５３の一面に開口する略直方体形状の凹部である。キャップベース２５３は、ヘッドキャップ２５２が液滴吐出装置に取り付けられた状態では、キャップ凹部２５６の開口が重力加速度方向の上側を向く状態になる。
キャップベース２５３において、重力加速度方向の上側に開口したキャップ凹部２５６の底面には、キャップベース２５３の外面（下面）に貫通する給排液孔２５７が開口している。キャップベース２５３の外面（下面）における給排液孔２５７の開口には、給排液管２６６が接続されている。
【０１３０】
給排液管２６６は、円柱形状の外形を有し、一端には、外径が給排液孔２５７の内径に嵌合する嵌合端２６６ａが形成されている。嵌合端２６６ａが形成されている端の反対側の端面には、係合凹部２６６ｂが形成されている。円柱形状の側面には、係合凹部２６６ｃと検出嵌合凹部２６６ｄと、が形成されている。
【０１３１】
給排液管２６６には、給排液流路２６９が形成されている。給排液流路２６９は、濁度検出流路２６９ｄと給排流路２６９ａと排液流路２６９ｂと給液流路２６９ｃとを有している。濁度検出流路２６９ｄは、給排液管２６６の中央近くに形成されており、濁度センサー９２Ａの濁度検出部９２ａを配設可能な流路径を有している。濁度検出流路２６９ｄの側壁の一部が開口して、検出嵌合凹部２６７の底と連通している。
【０１３２】
給排流路２６９ａは、嵌合端２６６ａの端面から濁度検出流路２６９ｄの端面の一方に貫通している。排液流路２６９ｂは、係合凹部２６６ｂの底面から、濁度検出流路２６９ｄの給排流路２６９ａが開口している端面と反対側の端面に貫通している。給液流路２６９ｃは、濁度検出流路２６９ｄの給排流路２６９ａが開口している端面近くの側面から、係合凹部２６６ｃの底面に貫通している。検出嵌合凹部２６７の底と連通する開口は、給液流路２６９ｃに対して鉛直方向において下側であって、排液流路２６９ｂの開口に近い位置に位置している。
給排液管２６６の嵌合端２６６ａが、キャップベース２５３の給排液孔２５７に嵌合して、給排液管２６６の濁度検出流路２６９ｄが、給排流路２６９ａを介してキャップベース２５３の給排液孔２５７からキャップ凹部２５６に連通している。
【０１３３】
ヘッドキャップ２５２が備える封止部材５４は、ヘッドキャップ５２が備える封止部材５４と同じであり、ヘッドキャップ５２における封止部材５４と同様に、キャップベース２５３に固定されている。封止部材５４とキャップ凹部２５６とで、キャップ室５５と同様のキャップ室２５５を構成している。
キャップ室２５５は、図７に二点鎖線で示したように、液滴吐出ヘッド１７によって封止されて、給排液孔２５７、又は液滴吐出ヘッド１７に形成された液状体の流路を介してのみ外部と連通可能な封止空間となる。吐出ノズル４８に対しては、キャップ室２５５が、吐出ノズル４８を封止する封止空間になっている。
キャップ室２５５には、吸収材５９が配設されている。
【０１３４】
ヘッドキャップ２５２が備えるキャップ支持部６１は、ヘッドキャップ５２が備えるキャップ支持部６１と同じであり、キャッププレート６２と、ベースホルダー６３と、キャップ押圧機構６４と、を備えている。
【０１３５】
吸引ユニット２５０が備える洗浄液供給装置７１と排液装置８１と濁度検出ユニット９１とは、吸引ユニット５０が備える洗浄液供給装置７１と排液装置８１と濁度検出ユニット９１と同じものであり、同じ構成を有し、同じ機能を備えている。
【０１３６】
洗浄液供給装置７１の給液管７４は、一端が給排液管２６６の係合凹部２６６ｃに嵌合しており、給液管７４の流路が、給液流路２６９ｃと連通している。排液装置８１の排液管８４は、一端が給排液管２６６の係合凹部２６６ｂに嵌合しており、排液管８４の流路が、排液流路２６９ｂと連通している。
洗浄液供給装置７１の給液バルブ７６と洗浄液ポンプ７８と、及び排液装置８１の排液バルブ８６と吸引ポンプ８８とは、吐出装置制御部２０６の吸引洗浄制御部２５０ａと電気的に接続されている。吸引洗浄制御部２５０ａは、予め入力されたプログラムに従って、給液バルブ７６と洗浄液ポンプ７８と排液バルブ８６と吸引ポンプ８８とを統括して制御する。
【０１３７】
センサー保持部９４における保持係合部９４ａは、給排液管２６６の検出嵌合凹部２６７に嵌合している。保持係合部９４ａが検出嵌合凹部２６７に嵌合することで、センサー保持部９４は、給排液管２６６に固定されている。保持係合部９４ａが給排液管２６６に固定されている反対側の端は、鉛直方向の上側に折れ曲がって、端面に形成された保持開口９８は、鉛直方向において、ヘッドキャップ２５２の封止部材５４の上端より高い位置に開口している。
【０１３８】
検出嵌合凹部２６７に嵌合したセンサー保持部９４の端面には、保持室９６の支持部９９が開口している。支持部９９が開口しているセンサー保持部９４の端面が当接する検出嵌合凹部２６７の底面は、濁度検出流路２６９ｄに連通しており、支持部９９は濁度検出流路２６９ｄに臨んで開口している。センサー保持部９４から突出した濁度検出部９２ａは、濁度検出流路２６９ｄ内に位置している。濁度センサー９２Ａは、濁度検出流路２６９ｄ内の洗浄液などの濁度を検出可能である。
センサーケーブル９３は、センサー本体９２と吸引洗浄制御部２５０ａとを電気的に接続している。センサー本体９２は、吸引洗浄制御部２５０ａと、センサーケーブル９３を介して制御信号及び検出信号の授受を実施する。
【０１３９】
＜洗浄工程＞
次に、吸引ユニット２５０におけるキャップ室２５５などを洗浄する洗浄工程について、図８を参照して説明する。図８は、洗浄液を用いてキャップ室などを洗浄する洗浄工程を示すフローチャートである。
【０１４０】
図８のステップＳ４１では、濁度の限界値を取得する。濁度の限界値は、濁度検出流路２６９ｄに流入した洗浄液などの濁度の限界値である。洗浄液は、キャップ室２５５に供給されて、キャップ室２５５内に残留していた機能液や付着していた付着物を溶解することで、キャップ室２５５を洗浄する。洗浄液は例えば透明な液体であり、機能液や付着物を溶解することで、濁度が高くなる。洗浄が進むと濁度検出流路２６９ｄに流入する洗浄液の濁度が小さくなる。
濁度の限界値は、キャップ室２５５の洗浄が略完了したとみなせる状態のときに、排出されて濁度検出流路２６９ｄを通過する洗浄液の濁度を実験などによって予め求めることが好ましい。濁度の限界値は、入出力装置を用いて入力されることによって取得し、吐出装置制御部２０６の記憶部などに記憶される。
【０１４１】
次に、ステップＳ４２では、排液バルブ８６を閉じて、排液管８４の流路を閉鎖する。
次に、ステップＳ４３では、給液バルブ７６を開けて、給液管７４の流路を開放する。
【０１４２】
次に、ステップＳ４４では、キャップ室２５５に洗浄液を供給する。洗浄液は、洗浄液供給装置７１の洗浄液供給タンク７３から洗浄液ポンプ７８によってキャップ室２５５に供給される。
洗浄液は、給液管７４の流路から給液流路２６９ｃに流入し、給液流路２６９ｃ、濁度検出流路２６９ｄ、及び給排流路２６９ａを経由して、給排液孔２５７からキャップ凹部２５６（キャップ室２５５）に流入し、キャップ室２５５に満たされる。キャップ室２５５に流入した洗浄液は、キャップ室２５５内に残留していた機能液や付着していた付着物を溶解することで、キャップ室２５５を洗浄する。
【０１４３】
次に、ステップＳ４５では、給液バルブ７６を閉じて、給液管７４の流路を閉鎖する。
次に、ステップＳ４６では、排液バルブ８６を開けて、排液管８４の流路を開放する。
【０１４４】
次に、ステップＳ４７では、排液装置８１によって、ヘッドキャップ２５２から洗浄液を排出する。吸引ポンプ８８を稼動させて吸引することによって排液タンク８２内を負圧にすることで、キャップ室２５５などに溜められた洗浄液を吸引して、排液タンク８２に排出する。
【０１４５】
次に、ステップＳ４８では、ステップＳ４７においてキャップ室２５５から排液タンク８２に排出される際に、給排液流路２６９の濁度検出流路２６９ｄ内を通過する洗浄液の濁度を、濁度センサー９２Ａによって検出する。上述したように、濁度センサー９２Ａの濁度検出部９２ａは、濁度検出流路２６９ｄ内に位置しており、濁度検出部９２ａは濁度検出流路２６９ｄ内を流動する洗浄液に浸されており、当該洗浄液の濁度を検出することができる。
【０１４６】
次に、ステップＳ４９では、ステップＳ４８において検出した洗浄液の濁度が、ステップＳ４１において取得してある濁度の限界値未満になったか否かを判定する。洗浄液は、キャップ室２５５に供給されて、キャップ室２５５内に残留していた機能液や付着していた付着物を溶解することで、キャップ室２５５を洗浄する。洗浄液は、例えば透明な液体であり、機能液や付着物を溶解することで、濁度が高くなる。濁度の限界値は、キャップ室２５５の洗浄が略完了したとみなせる状態のときに、濁度検出流路２６９ｄに流入する洗浄液の濁度であるため、検出した濁度が限界値より大きい場合は、キャップ室２５５には、まだ洗浄するべき付着物などが残存する可能性が高い。検出した濁度が限界値より小さい場合は、キャップ室２５５には、洗浄するべき付着物などがほとんど残存せず、洗浄が完了した状態である可能性が高い。
ステップＳ４９において、検出した濁度が限界値より大きかった（ステップＳ４９でＮＯ）場合には、ステップＳ４２に戻り、ステップＳ４２からステップＳ４９の各工程を繰り返す。
ステップＳ４９において、検出した濁度が限界値未満であった場合（ステップＳ４９でＹＥＳ）には、ステップＳ５０に進む。
【０１４７】
ステップＳ４９の次に、ステップＳ５０では、給液バルブ７６及び排液バルブ８６を開けて、給液管７４の流路及び排液管８４の流路を開放する。これにより、洗浄液ポンプ７８から排液タンク８２まで連通する流路が形成される。
【０１４８】
次に、ステップＳ５１では、洗浄液供給装置７１から洗浄液を供給して、濁度センサー９２Ａの濁度検出部９２ａを洗浄する。
濁度検出部９２ａの洗浄は、キャップ室２５５の洗浄に用いる洗浄液を用いて実施する。詳細には、洗浄液ポンプ７８を稼動させて、洗浄液供給タンク７３に貯留された洗浄液を送出する。ステップＳ５０において洗浄液ポンプ７８から排液タンク８２まで連通する流路が形成されており、洗浄液ポンプ７８によって送出された洗浄液は、給液管７４の流路、給液流路２６９ｃ、濁度検出流路２６９ｄ、排液流路２６９ｂ、及び排液管８４の流路を、この順番で流動して、排液タンク８２に流入する。濁度検出流路２６９ｄには、濁度センサー９２Ａの濁度検出部９２ａが配設されており、濁度検出流路２６９ｄを流動する洗浄液によって濁度検出部９２ａが洗われることによって、濁度検出部９２ａ（濁度センサー９２Ａ）が洗浄される。
【０１４９】
なお、ステップＳ５１で洗浄液供給装置７１から供給された洗浄液は、ほとんどがキャップ室２５５（キャップ凹部２５６）に至ることなく濁度検出流路２６９ｄから排液流路２６９ｂに流動するが、洗浄液供給装置７１の稼動状態は、キャップ室２５５に洗浄液を供給する場合と同様である。この場合の洗浄液供給装置７１が、検出手段洗浄手段に相当する。ステップＳ５１において洗浄液供給装置７１が洗浄液を供給する工程が、洗浄液供給工程に相当する。ステップＳ５１が、検出装置洗浄工程、及び洗浄液供給工程で供給された前記洗浄液が自重で排出される工程に相当する。
ステップＳ５１を実施して、洗浄液を用いてキャップ室５５などを洗浄する洗浄工程を終了する。
【０１５０】
なお、ステップＳ５０及びステップＳ５１は、ステップＳ４２からステップＳ４９を実施するキャップ室２５５の洗浄を一回実施する度に実施してもよいし、キャップ室２５５の洗浄を複数回実施するごとに実施しても良い。また、洗浄液が濁度検出流路２６９ｄ内に存在しない状態で濁度を検出することによって、濁度検出部９２ａの汚れの状態を検出し、汚れが一定以上になった場合に、ステップＳ５０及びステップＳ５１の濁度検出部９２ａを洗浄する工程を実施してもよい。
【０１５１】
次に、本実施形態による効果について記載する。第二の実施形態によれば、第一の実施形態による効果に加えて、以下に記載する効果が得られる。
（１）吸引ユニット２５０は濁度検出ユニット９１を備えており、キャップ室２５５などを洗浄する洗浄工程において、濁度検出ユニット９１の濁度センサー９２Ａによって洗浄液の濁度を検出する工程と、検出した洗浄液の濁度が、濁度の限界値未満になったか否かを判定する工程を実施し、判定結果によって、洗浄工程を継続又は終了する。これにより、キャップ室２５５などを、付着物が残存するにも関わらず洗浄工程を終了してしまうことを抑制して、確実に洗浄することができる。また、充分洗浄されたにも関わらず洗浄を継続して、洗浄液を無駄に消費することや、無駄な洗浄時間を費やすことを、抑制することができる。
【０１５２】
（２）濁度センサー９２Ａによって洗浄液の濁度を検出する工程は、洗浄液がキャップ室２５５から排液タンク８２に排出される際に、給排液流路２６９の濁度検出流路２６９ｄ内を通過する洗浄液の濁度を検出する。排出される洗浄液は、洗浄を終了し、以降洗浄に供されない洗浄液である。これにより、当該洗浄液による洗浄結果を、洗浄に供される途中で濁度を検出する場合に比べて、より正確に検出することができる。
また、排出される洗浄液の全てが濁度検出流路２６９ｄを通過するため、部分的な濁度のばらつきに起因して、検出結果が大きくずれることを抑制することができる。
【０１５３】
（３）洗浄液供給装置７１から排液装置８１に、洗浄液を送ることによって、濁度検出部９２ａの洗浄を実施する。これにより、濁度検出部９２ａに機能液などが付着していることに起因して検出される濁度の精度が低下することを抑制することができる。
【０１５４】
（４）洗浄液供給装置７１から排液装置８１に、洗浄液を送ることによって、濁度検出部９２ａの洗浄を実施する。これにより、濁度検出部９２ａの洗浄を、キャップ室２５５の洗浄と同様に、吐出装置において、自動で実施させることができる。
【０１５５】
（５）洗浄液供給装置７１と排液装置８１とは、共通の給排流路２６９ａを介してキャップ室２５５に連通している。これにより、キャップ室２５５を経由することなく、洗浄液供給装置７１から濁度検出流路２６９ｄに洗浄液を供給することができる。キャップ室２５５を通過させて供給する場合にくらべて、より清浄な洗浄液で、濁度検出流路２６９ｄに在る濁度検出部９２ａの洗浄を実施することができる。
【０１５６】
（６）洗浄液供給装置７１は、濁度検出流路２６９ｄを経由してキャップ室２５５と連通している。このため、洗浄液供給装置７１からキャップ室２５５に洗浄液を供給する際には、濁度検出流路２６９ｄは新しい洗浄液で満たされる。これにより、濁度検出流路２６９ｄに配設されている濁度検出部９２ａが、排出される洗浄液が付着することなどによって汚れることを抑制することができる。
【０１５７】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【０１５８】
（変形例１）前記第一の実施形態においては、キャップ装置５１は、キャップベース５３に連通する排液孔管６８を備え、排液孔管６８に形成された濁度検出流路６９ａに濁度検出部９２ａを配設していたが、ヘッドキャップとは別に濁度検出手段を配置する場所を設けることは必須ではない。濁度検出手段は、キャップベース５３の排液孔５８のようなヘッドキャップ内に望む凹部に設けてもよいし、キャップ凹部５６のようなヘッドキャップの内部に直接配設してもよい。
【０１５９】
（変形例２）前記第一の実施形態においては、洗浄工程において、濁度検出部９２ａを洗浄する工程は特に設けていなかったが、濁度検出手段は濁度を検出する際に濁度増加の要因となる物質が付着する可能性が高いため、ヘッドキャップの洗浄工程に濁度検出手段の洗浄工程を並設することが好ましい。
吸引ユニット５０においては、濁度センサー９２Ａは着脱自在であり、手作業で抜いて洗浄することができる。当該手作業の濁度検出手段の洗浄工程を、ヘッドキャップの洗浄工程に対応して定期的に実施してもよい。吸引ユニット５０においては、濁度検出部９２ａを保持室部９７に位置させて、保持開口９８から洗浄液を注入することで濁度検出部９２ａを洗浄することもできる。また、第二の実施形態で説明したキャップ室２５５の洗浄工程における濁度検出部９２ａを洗浄する洗浄工程と同様の、洗浄液供給装置７１と排液装置８１とを用いる濁度検出部９２ａの洗浄工程を設けてもよい。
【０１６０】
（変形例３）前記実施形態においては、洗浄液は透明な液体であったが、洗浄液が透明であることは必須ではない。洗浄液は、少なくとも前記実施形態における機能液のように、ヘッドキャップ内に残存して洗浄液によって洗浄される液状体と濁度が異なっており、機能液などが混じることで、洗浄液単体の濁度と異なる濁度になるような濁度であればよい。
【０１６１】
（変形例４）前記実施形態においては、センサー保持部９４の保持開口９８は、鉛直方向において、ヘッドキャップ５２の封止部材５４の上端より高い位置に開口していたが、濁度検出手段を保持する保持手段における濁度検出手段の挿入開口が、鉛直方向において、ヘッドキャップより高い位置に開口していることは必須ではない。支持部９９のように、保持手段側に液体が流入し難い構造にしてもよいし、挿入開口に蓋をする構成にしてもよいし、挿入開口から流出した液状体を流す流路を設けてもよい。
【０１６２】
（変形例５）前記実施形態においては、センサー本体９２は、支持部９９に着脱自在に支持されていたが、濁度検出手段を着脱可能に支持することは必須ではない。濁度検出手段は、ヘッドキャップ又は吸引手段などに固定されていてもよい。前記第二の実施形態で説明したキャップ室２５５の洗浄工程における濁度検出部９２ａを洗浄する洗浄工程のように、濁度検出手段を洗浄する工程を設けることによって、濁度検出手段を取り外すことが必要となる可能性を減らすこともできる。
【０１６３】
（変形例６）前記実施形態においては、洗浄液供給装置７１は、給液管７４の流路を開閉する給液バルブ７６を備えていたが、洗浄液供給装置が洗浄液の流路を開閉する装置を備えることは必須ではない。例えば、給液装置の駆動源の稼動状態を制御することによって洗浄液の供給状態を制御する構成であってもよい。
【０１６４】
（変形例７）前記実施形態においては、排液装置８１は、排液管８４の流路を開閉する排液バルブ８６を備えていたが、排液装置が排液の流路を開閉する装置を備えることは必須ではない。例えば、排液装置の駆動源の稼動状態を制御することによって洗浄液の供給状態を制御する構成であってもよい。
【０１６５】
（変形例８）前記第二の実施形態においては、洗浄液ポンプ７８を稼動させて、洗浄液供給タンク７３に貯留された洗浄液を送出することで濁度検出部９２ａの洗浄を実施していたが、洗浄液を流動させるために、洗浄液供給手段に加えて吸引手段も使用してもよい。例えば、吸引ポンプ８８によって吸引することで、より容易に洗浄液を流動させることができる。吸引ユニット５０のように、濁度検出手段の洗浄のために洗浄液供給手段を用いる場合であっても洗浄液がヘッドキャップを経由して供給される構成の装置においては、洗浄液供給手段に併せて吸引手段の駆動源も用いることが有効である。
この場合、洗浄液供給装置７１及び排液装置８１が、検出手段洗浄手段に相当する。この場合の洗浄工程が、検出装置洗浄工程、及び洗浄液供給工程と吸引排出工程とを並行して実施する工程に相当する。
【０１６６】
（変形例９）前記実施形態においては、キャップユニット１５１が備える複数のヘッドキャップ５２のそれぞれのヘッドキャップ５２に対して１個の濁度検出ユニットを備える構成であったが、複数のヘッドキャップのそれぞれに対して濁度検出手段及び保持手段を設けることは必須ではない。複数のヘッドキャップに対して一個の濁度検出手段を設け、当該濁度検出手段をヘッドキャップ間で移動させて使用する構成であってもよい。あるいは、一個のヘッドキャップに対してのみ濁度検出手段を設け、対応する濁度検出手段を設けないヘッドキャップについては、濁度検出手段を設けたヘッドキャップと同等であると推定して洗浄を実施する構成であってもよい。
【０１６７】
（変形例１０）前記実施形態においては、キャップユニット１５１が備える複数のヘッドキャップ５２のそれぞれのヘッドキャップ５２に対して１個の洗浄液供給装置７１と排液装置８１とを備える構成であったが、複数のヘッドキャップのそれぞれに対して洗浄液供給装置及び排液装置を設けることは必須ではない。複数のヘッドキャップに対して共通の洗浄液供給装置及び排液装置を設ける構成であってもよい。
【０１６８】
（変形例１１）前記第二の実施形態においては、キャップ室２５５から排液タンク８２に排出される際に、給排液流路２６９の濁度検出流路２６９ｄ内を通過する洗浄液の濁度を、濁度センサー９２Ａによって検出していたが、排出される洗浄液の濁度を検出するために、流動している洗浄液の濁度を検出することは必須ではない。濁度検出流路２６９ｄのような濁度検出室を設け、排出される洗浄液を一旦当該濁度検出室に溜め、溜められた状態の洗浄液について濁度を検出し、検出終了後に濁度検出室から排出する構成であってもよい。溜められた状態の洗浄液について濁度を検出することで、流動している洗浄液について検出する場合に比べて、検出状態を定常に保つことが容易であり、正確に検出することができる。
【０１６９】
（変形例１２）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、インクジェット方式の液滴吐出ヘッドであったが、液状体吐出ヘッドがインクジェット方式の液滴吐出ヘッドであることは必須ではない。液状体を配置する液状体吐出ヘッドは、インクジェット方式とは異なる方式の吐出ヘッドであってもよい。
【０１７０】
（変形例１３）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、一種類の機能液を吐出する構成であったが、液滴吐出ヘッドが吐出する液状体の種類は一種類に限らない。液滴吐出ヘッドは、複数の液状体供給経路及びそれぞれの液状体供給経路が連通して液状体を供給することができるノズル列を備える構成であってもよい。
【０１７１】
（変形例１４）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、ノズル列４８Ａを２列備えており、それぞれのノズル列４８Ａは１８０個の吐出ノズル４８を有する構成であったが、液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルの構成は液滴吐出ヘッド１７におけるような構成に限らない。液滴吐出ヘッドが有する吐出ノズルの数は何個であってもよいし、液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルの配列も、例えば１列に配列するなど、どのような配列であってもよい。
【０１７２】
（変形例１５）前記実施形態においては、液滴吐出装置のヘッドユニット１２１は６個の液滴吐出ヘッド１７を備えていたが、ヘッドユニットが備える液滴吐出ヘッドの数は、６個に限らない。ヘッドユニットは、何個の液滴吐出ヘッドを備える構成であってもよい。ヘッドユニットに対応するキャップユニットにおけるヘッドキャップの数も、ヘッドユニットにおける液滴吐出ヘッドの数に対応して、何個のヘッドキャップを備えていてもよい。
【０１７３】
（変形例１６）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は１個のヘッドユニット２１を備えていたが、液状体吐出装置が備えるヘッドユニットは１個に限らない。液状体吐出装置は、何個のヘッドユニットを備える構成であってもよい。
【符号の説明】
【０１７４】
１…液滴吐出装置、５…保守ユニット、５ａ…移動装置、１７…液滴吐出ヘッド、４６…ノズルプレート、４８…吐出ノズル、５０…吸引ユニット、５０ａ…吸引洗浄制御部、５１…キャップ装置、５２…ヘッドキャップ、５３…キャップベース、５４…封止部材、５４ａ…封止凸部、５５…キャップ室、５６…キャップ凹部、５７…給液孔、５８…排液孔、６１…キャップ支持部、６２…キャッププレート、６３…ベースホルダー、６４…キャップ押圧機構、６７…給液孔管、６８…排液孔管、６９…排液流路、６９ａ…濁度検出流路、７１…洗浄液供給装置、７３…洗浄液供給タンク、７４…給液管、７６…給液バルブ、７８…洗浄液ポンプ、８１…排液装置、８２…排液タンク、８４…排液管、８６…排液バルブ、８８…吸引ポンプ、９１…濁度検出ユニット、９２…センサー本体、９２Ａ…濁度センサー、９２ａ…濁度検出部、９４…センサー保持部、９８…保持開口、９９…支持部、２５０…吸引ユニット、２５０ａ…吸引洗浄制御部、２５１…キャップ装置、２５２…ヘッドキャップ、２５３…キャップベース、２５５…キャップ室、２５６…キャップ凹部、２５７…給排液孔、２６６…給排液管、２６９…給排液流路、２６９ａ…給排流路、２６９ｄ…濁度検出流路。
【図１】
2011036776.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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