(57)【要約】【課題】アクチュエーターユニットの特性差による噴射特性のばらつきを抑制することが可能な液体噴射ヘッドの製造方法、及び、液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】セラミックスシート４０上に格子状に区画された複数のユニット領域３８にそれぞれ圧電素子を形成する圧電素子形成工程と、当該セラミックスシートをユニット領域毎に分割して個々のアクチュエーターユニットに切り分ける分割工程と、流路ユニットを作製する流路ユニット作製工程と、分割工程で分割されたアクチュエーターユニットと流路ユニット作製工程で形成された流路ユニットとを接合する接合工程と、を含み、分割前の基材上におけるユニット領域の位置を示すアドレスに応じて、インク供給口の流路長又は断面積の少なくとも一方がノズル毎に個別に定められる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧力室に対応して複数形成された圧電素子を有するアクチュエーターユニットと、
各圧力室に分配される液体が導入される共通液室、当該共通液室と各圧力室とを個別に連通させる供給路、及び、各圧力室に対応して複数設けられたノズルを有する流路ユニットと、を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、
基材上に格子状に区画された複数のユニット領域にそれぞれ圧電素子を形成する圧電素子形成工程と、
圧電素子が形成された基材を前記ユニット領域毎に分割して個々のアクチュエーターユニットに切り分ける分割工程と、
前記流路ユニットを作製する流路ユニット作製工程と、
前記分割工程で分割されたアクチュエーターユニットと前記流路ユニット作製工程で形成された流路ユニットとを接合する接合工程と、を含み、
分割前の基材上におけるユニット領域の位置を示す位置情報に応じて、前記供給路の流路長又は断面積の少なくとも一方がノズル毎に個別に定められることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
分割前の基材上において圧力室列設方向の一端部領域に形成されたアクチュエーターに対応する流路ユニットの各供給路について、前記一端部側に対応する供給路ほど流路長が長く及び／又は断面積が小さく設定され、他端部側に対応する供給路ほど流路長が短く及び／又は断面積が大きく設定され、
分割前の基材上において圧力室列設方向の他端部領域に形成されたアクチュエーターに対応する流路ユニットの各供給路について、前記一端部側に対応する供給路ほど流路長が短く及び／又は断面積が大きく設定され、前記他端部側の供給路ほど流路長が長く及び／又は断面積が小さく設定されることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
複数の圧力室に対応して複数形成された圧電素子を有するアクチュエーターユニットと、
各圧力室に分配される液体が導入される共通液室、当該共通液室と各圧力室とを個別に連通させる供給路、及び、各圧力室に対応して複数設けられたノズルを有する流路ユニットと、を備えた液体噴射ヘッドであって、
請求項１又は請求項２に記載の製造方法によって製造されたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式プリンター等の液体噴射装置に搭載される液体噴射ヘッドの製造方法、及び、当該製造方法により製造された液体噴射ヘッドに関するものであり、特に、アクチュエーターユニットが１つの基材から複数切り分けられる液体噴射ヘッドの製造方法、及び、液体噴射ヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドには、液体が噴射される複数のノズル、各ノズルに対応して設けられた圧力室、各圧力室に供給口を通じて供給するための液体が液体供給源側から導入される共通液室（リザーバー或いはマニホールドとも言う）、及び、電気エネルギーの供給により変形する圧電素子を有するアクチュエーターユニット等を備え、圧電素子の駆動により圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズルから液滴を噴射させるインクジェット方式のものがある。この液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレーの製造に用いられる液晶噴射ヘッド、カラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド等がある。
【０００３】
上記の上記アクチュエーターは、圧力室形成基材に取り付けられて圧力室の一部を振動板で区画する。そして、圧電素子に駆動パルスが供給されると、この圧電素子及び振動板が変形し、これにより圧力室の容積が変化して圧力室の内の液体に圧力変動を生じさせるように構成されている。そして、このアクチュエーターは、圧力室や圧電素子等を複数ユニット分形成された基材（ウェハー）を焼成し、このウェハーを、ユニットに対応したチップ領域毎に切り分けられることで作製される。この基材は、圧電素子と、振動板と、圧力室を形成する圧力室形成基材と、を積層して構成される（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−０９６０７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、同一のウェハーから切り分けられた各アクチュエーターを搭載する各記録ヘッドの特性を調べると、ノズルから噴射されるインクの量（重量・体積）や飛翔速度等の噴射特性にばらつきが生じる。具体的には、例えば、合計１２８個のノズルからノズル列が構成されている場合において、夫々のノズルに１〜１２８の番号を付したとして、番号が小さいノズルほどインクの量や飛翔速度が低下し、番号が大きいノズルほどインクの量や飛翔速度が増加する傾向を示すものや、逆に、番号が小さいノズルほどインクの量や飛翔速度が増加し、番号が大きいノズルほどインクの量や飛翔速度が低下する傾向を示すもの、或いは、各ノズルの噴射特性が同程度に揃う傾向を示すものもある。このようなアクチュエーターユニットの特性の傾向は、切り分けられる前のウェハーの位置に応じて概ね定まることが判った。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、アクチュエーターユニットの特性差による噴射特性のばらつきを抑制することが可能な液体噴射ヘッドの製造方法、及び、液体噴射ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、複数の圧力室に対応して複数形成された圧電素子を有するアクチュエーターユニットと、
各圧力室に分配される液体が導入される共通液室、当該共通液室と各圧力室とを個別に連通させる供給路、及び、各圧力室に対応して複数設けられたノズルを有する流路ユニットと、を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、
基材上に格子状に区画された複数のユニット領域にそれぞれ圧電素子を形成する圧電素子形成工程と、
圧電素子が形成された基材を前記ユニット領域毎に分割して個々のアクチュエーターユニットに切り分ける分割工程と、
前記流路ユニットを作製する流路ユニット作製工程と、
前記分割工程で分割されたアクチュエーターユニットと前記流路ユニット作製工程で形成された流路ユニットとを接合する接合工程と、を含み、
分割前の基材上におけるユニット領域の位置を示す位置情報に応じて、前記供給路の流路長又は断面積の少なくとも一方がノズル毎に個別に定められることを特徴とする。
【０００８】
上記構成において、分割前の基材上において圧力室列設方向の一端部領域に形成されたアクチュエーターに対応する流路ユニットの各供給路について、前記一端部側に対応する供給路ほど流路長が長く及び／又は断面積が小さく設定され、他端部側に対応する供給路ほど流路長が短く及び／又は断面積が大きく設定され、
分割前の基材上において圧力室列設方向の他端部領域に形成されたアクチュエーターに対応する流路ユニットの各供給路について、前記一端部側に対応する供給路ほど流路長が短く及び／又は断面積が大きく設定され、前記他端部側の供給路ほど流路長が長く及び／又は断面積が小さく設定されることが望ましい。
【０００９】
また、本発明は、複数の圧力室に対応して複数形成された圧電素子を有するアクチュエーターユニットと、
各圧力室に分配される液体が導入される共通液室、当該共通液室と各圧力室とを個別に連通させる供給路、及び、各圧力室に対応して複数設けられたノズルを有する流路ユニットと、を備えた液体噴射ヘッドであって、
上記の製造方法によって製造されたことを特徴とする。
【００１０】
本発明によれば、分割前の基材上におけるユニット領域の位置を示す位置情報に応じて、前記供給路の流路長又は断面積の少なくとも一方がノズル毎に個別に定められるので、
分割前の基材上における位置に拘わらず、ノズルから噴射される液体の飛翔速度や重量等の噴射特性のばらつきが抑制される。また、ノズル等の他の部位の寸法・形状の変更によって噴射特性を調整する場合と比較して、噴射特性への悪影響を抑えつつ、より簡単且つより効果的に噴射特性のばらつきを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】プリンターの概略構成を説明する斜視図である。
【図２】記録ヘッドの構成を説明する斜視図である。
【図３】ヘッドユニットの構成を説明する斜視図である。
【図４】ヘッドユニットの構成を説明する断面図である。
【図５】セラミックスシートに区画されたユニット領域を説明する平面図である。
【図６】セラミックスシートにおける各列のアクチュエーターユニットの特性の違いを説明する図である。
【図７】Ｖｍばらつきの発生率を、セラミックスシートにおけるユニット領域毎に示すグラフである。
【図８】インク供給口の縦方向の断面図である。
【図９】インク供給口のストレート部の寸法の設定について説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体噴射ヘッドとして、インクジェット式記録装置（以下、プリンター）に搭載されるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）を例に挙げて説明する。
【００１３】
図１はプリンター１の構成を示す斜視図である。このプリンター１は、記録ヘッド２が取り付けられると共に、インクカートリッジ３（液体供給源の一種）が着脱可能に取り付けられるキャリッジ４と、記録ヘッド２の下方に配設されたプラテン５と、キャリッジ４を記録媒体としての記録紙６（着弾対象の一種）の紙幅方向、即ち、主走査方向に往復移動させるキャリッジ移動機構７と、主走査方向に直交する副走査方向に記録紙６を搬送する紙送り機構８と、を備えて概略構成されている。
【００１４】
キャリッジ４は、主走査方向に架設されたガイドロッド９に軸支された状態で取り付けられており、キャリッジ移動機構７の作動により、ガイドロッド９に沿って主走査方向に移動するように構成されている。キャリッジ４の移動範囲内における記録領域よりも外側の端部領域には、走査の基点となるホームポジションが設定されている。本実施形態におけるホームポジションには、記録ヘッド２のノズル形成面（ノズルプレート３２：図２等参照）を封止するキャッピング部材１１と、ノズル形成面を払拭するためのワイパー部材１２とが配置されている。そして、プリンター１は、このホームポジションから反対側の端部へ向けてキャリッジ４（記録ヘッド２）が移動する往動時と、反対側の端部からホームポジション側にキャリッジ４が戻る復動時との双方向で記録紙６上に文字や画像等を記録する所謂双方向記録が可能に構成されている。
【００１５】
図２は、記録ヘッド２をノズルプレート側から見た斜視図、図３は、記録ヘッド２のケース、駆動基板、及び配線等を取り除いた部分であるヘッドユニット２１を圧力発生ユニット側から見た斜視図、図４はヘッドユニット２１の要部断面図である。本実施形態におけるヘッドユニット２１は、流路ユニット２０の上面（ノズルプレートとは反対側の面）にアクチュエーターユニット（圧力発生ユニット）１９を積層した状態で一体化して構成されている。流路ユニット２０は、オリフィスとして機能するインク供給口２４（本発明における供給路の一種）及びノズル連通口２５の一部となる第１貫通穴２６が形成された供給口プレート２７と、インクカートリッジ３側からのインクが供給される共通液室２８及びノズル連通口２５の一部となる第２貫通穴２９が形成された共通液室プレート３０と、ノズル３１が開設されたノズルプレート３２とから構成されている。このノズルプレート３２には、ドット形成密度に対応したピッチで複数（例えば、１２８個）のノズル３１が列状に開設されており、本実施形態においては、このノズル列（ノズル群の一種）が、主走査方向に２列並設されている。そして、流路ユニット２０は、共通液室プレート３０の一方の面にノズルプレート３２を、他方の面に供給口プレート２７をそれぞれ配置し、これらの部材の間を接合して構成されている。そして、この流路ユニット２０は、共通液室２８からノズル３１に至るまでのインク流路（液体流路）を形成している。
【００１６】
アクチュエーターユニット１９は、圧力室３５となる通孔を開設した圧力室プレート３６と、圧電素子１８が複数横並びに実装されると共に圧力室３５の一部を区画する振動プレート３７とを積層してなるセラミックスシート４０（本発明における基材の一種）から構成され、このセラミックスシート４０を個々のアクチュエーターユニット１９に対応するユニット領域毎に分割することで作製される。これらの圧力室プレート３６及び振動プレート３７は、アルミナや酸化ジルコニウム等のセラミックスで作製されており、焼成によって一体化される。なお、圧力室プレート３６に関し、本実施形態においてはアクチュエーターユニット１９に含まれる構成を例示したが、流路ユニット２０に含まれる構成を採用することもできる。
【００１７】
上記の圧力室３５は、ノズル列に直交する方向に細長い空部となっており、ノズル３１に対応して複数形成されている。そして、各圧力室３５の一端側は、インク供給口２４を通じて共通液室２８に連通している。また、インク供給口２４とは反対側の圧力室３５の他端側は、ノズル連通口２５を通じてノズル３１に連通している。この圧力室３５の一部は、振動プレート３７によって区画されている。
【００１８】
供給口プレート２７は、ステンレス鋼等の金属材料によって構成された薄手の板状部材である。この供給口プレート２７には、板厚方向を貫通するインク供給口２４が、圧力室３５毎に対応して複数開設されている。また、板厚方向を貫通する第１貫通穴２６が、共通液室プレート３０の第２貫通穴２９に対応させて形成されている。インク供給口２４は、インク流路（液体流路）内のインクに対する流体抵抗とイナータンスを調整する部分である。このインク供給口２４に関し、共通液室２８側の開口径が圧力室３５側の開口径よりも狭くなっている。このインク供給口２４は、一端が共通液室２８側に開口して内径が一定な、供給口プレート２７の肉厚の途中まで形成された円筒状のストレート部２４ａと、このストレート部２４ａの他端に一端が連続して、一端側である共通液室２８側から他端側である圧力室３５側に向けて内径が次第に拡大し、他端が圧力室３５に開口するテーパー部２４ｂとから構成される（図８参照）。このインク供給口２４はポンチによるプレス加工によって形成される。本発明に係る記録ヘッド２は、このインク供給口２４の寸法の設定に特徴を有している。この点の詳細については後述する。
【００１９】
圧力室３５とは反対側となる振動プレート３７の外側表面には、各圧力室３５にそれぞれ対応した状態で複数の圧電素子１８が配設される。例示した圧電素子１８は所謂撓み振動モードの振動子であり、駆動電極１８ａ（上電極／第１の電極）と共通電極１８ｂ（下電極／第２の電極）とによって圧電体１８ｃを挟んで構成されている。そして、圧電素子１８の駆動電極に駆動信号（駆動パルス）が印加されると、駆動電極１８ａと共通電極１８ｂとの間には電位差に応じた電場が発生する。この電場の強さに応じて圧電体１８ｃが変形する。この圧電素子１８の駆動により振動プレート３７が変形して圧力室３５の容積が変動することで、圧力室内のインクに圧力変動を生じさせることができる。そして、記録ヘッド２では、この圧力変動を利用してノズル３１からインクが噴射される。
【００２０】
次に、記録ヘッド２（ヘッドユニット２１）の製造工程について説明する。
本実施形態では、切断前の圧力室プレート３６及び振動プレート３７の積層体である基材前駆体を作製する基材前駆体作製工程と、この基材前駆体の表面に、複数の圧電素子１８をユニット領域３８（図５における枠線で区画される領域）毎に形成してセラミックスシート４０（本発明における基材の一種）を作製する圧電素子形成工程（基材作製工程とも言える）と、セラミックスシート４０をユニット領域３８毎に切断して個々の複数のアクチュエーターユニット１９を得る分割工程と、分割された複数のアクチュエーターユニット１９を、分割前のユニット領域３８の位置を示すアドレス（本発明における位置情報の一種）に基づいて、以下の接合工程における複数の製造ラインに分類する分類工程と、アクチュエーターユニット１９のそれぞれに、当該アクチュエーターユニット１９の特性に応じた流路ユニット２０を接合する接合工程と、を順に経ることで、ヘッドユニット２１が製造される。
【００２１】
基材前駆体作製工程では、まず、セラミックス原料、バインダー及び液媒等によってセラミックスのスラリーを調整する。次に、ドクターブレード装置やリバースロールコーター装置等の一般的な装置を用いて、スラリーをグリーンシート（未焼成のシート材）に成形する。その後、このグリーンシートに対して切削や打ち抜き等の加工を施して圧力室３５となる通孔等を形成し、圧力室プレート３６及び振動プレート３７の各シート状前駆体を形成する。そして、各シート状前駆体が積層及び焼成されることにより、これらのシート状前駆体は一体化されて１枚の基材前駆体となる。圧電素子形成工程では、この基材前駆体に圧電素子１８が形成されることにより、本発明における基材であるセラミックスシート４０が得られる。そして、１枚のセラミックスシート４０から複数のアクチュエーターユニット１９が作製される。即ち、図５に示すように、１つのアクチュエーターユニット１９となるユニット領域３８が、１枚のセラミックスシート４０内に格子状（マトリックス状）に複数設定される。そして、圧電素子１８等の必要な部材は、各ユニット領域３８内に形成される。
【００２２】
図５は、セラミックスシート４０に区画されたユニット領域３８を説明する平面図である。同図に示すように、本実施形態においては、縦に１３行（１番〜１３番）、横に３列（Ａ，Ｂ，Ｃ）の合計３９箇所にユニット領域３８が１つのセラミックスシート４０上に区画されている。このセラミックスシート４０において、ユニット領域３８の列方向（図における左右方向）に圧力室３５が列設される。つまり、当該方向がノズル列方向となる。記録ヘッド２のノズル列は、１２８個のノズル３１から構成されるので、圧力室３５も各ノズル３１に対応して１２８個列設される。図５の例では、各ユニット領域３８において、列方向の一端側（列Ａ側、図における左側）から他端側（列Ｃ側、図における右側）に向けて順に１番のノズル３１に対応する圧力室３５から１２８番のノズル３１に対応する圧力室３５までが形成されている。
【００２３】
圧電素子形成工程では、セラミックスシート４０における振動プレート３７の表面であって、各圧力室３５に対応する位置に共通電極１８ｂ、圧電体１８ｃ、及び駆動電極１８ａが順次それぞれ形成される。電極１８ａ，１８ｂについては、電極材料の焼成により作製される。圧電体１８ｂは、共通電極１８ｂの表面上に圧電材料（例えば、ジルコン酸チタン酸鉛）のペーストが塗布され、これを焼成することで作製される。圧電素子１８が作製されたならば、分割工程に移行する。この分割工程では、各ユニット領域３８の境界線に沿ってセラミックスシート４０が切断されることで、複数のアクチュエーターユニット１９が得られる。各アクチュエーターユニット１９は、それぞれ、切り分けられる前のセラミックスシート４０におけるユニット領域３８の位置を示すアドレス（位置情報の一種）が付与される。例えば、本実施形態の場合、列を示すＡ〜Ｃの文字と、行を示す１〜１３の数字との組でアドレスが構成されるものとする。即ち、図５における左上のユニット領域３８のアドレスは、「Ａ１」である。なお、分割工程の後には、圧電体１８ｃを分極する分極工程が行われる。この分極工程では、共通電極１８ｂと駆動電極１８ａを通じて、圧電体１８ｃに直流強電界が付与され、これにより圧電体内部の電気双極子が一定方向に揃えられる。
【００２４】
ここで、同一のセラミックスシート４０から切り分けられた各アクチュエーターユニット１９の特性は、切り分けられる前のセラミックスシート４０における位置に応じて異なる。この特性の差異は、製造時の焼成においてセラミックスシート４０の収縮度合いが一様でなくその場所に応じて相違し、この収縮度合いの相違がアクチュエーターユニット１９の特性ばらつきとなっていると考えられる。特に、列端部に位置するアクチュエーターユニット１９では、圧力室毎（ヘッドユニット２１の状態ではノズル毎）に特性が異なる傾向を示す。
【００２５】
図６は、セラミックスシート４０におけるＡ〜Ｃの各列のアクチュエーターユニット１９の特性の違いを説明する図であり、縦軸は、当該アクチュエーターユニット１９を搭載した、本発明に係る対策が施されていない（即ち、インク供給口の寸法の個別設定がされておらず、インク供給口の寸法が一律である）未対策ヘッドの各ノズルからインクを噴射したときのインクの飛翔速度Ｖｍ、横軸は、ノズル３１の＃１〜＃１２８までの番号を示している。
【００２６】
同図に示すように、セラミックスシート４０における中央の列であるＢ列のアクチュエーターユニット１９を搭載する未対策ヘッドの場合、各ノズルから噴射されたインクの飛翔速度Ｖｍは概ね一定であるのに対し、セラミックスシート４０における端部の列であるＡ列およびＣ列のアクチュエーターユニット１９を搭載する未対策ヘッドの場合、各ノズル３１から噴射されるインクの飛翔速度Ｖｍにばらつき（傾き）が生じることが判る。具体的には、Ａ列のアクチュエーターユニット１９を搭載する未対策ヘッドの場合、圧力室列設方向（或いはノズル列方向又はユニット領域列方向）の一端部側に対応する１番ノズルから他端部側に対応する１２８番ノズルに向けてノズル番号が増加する程、インクの飛翔速度が増加する傾向（以下、右上がりの傾向という。）を示す。また、Ｃ列のアクチュエーターユニット１９を搭載する未対策ヘッドの場合、ノズル番号が増加する程インクの飛翔速度が低下する傾向（以下、右下がりの傾向という。）を示す。なお、インク飛翔速度の増減に伴って、インクの重量も増減する。
【００２７】
図７は、上記のようなＶｍばらつきの発生率を、セラミックスシート４０におけるユニット領域３８毎に示すグラフであり、（ａ）は右上がりばらつきの発生率、（ｂ）は右下がりばらつきの発生率を示している。また、同図においてＸ軸はユニット領域３８の列、Ｙ軸はユニット領域３８の行、Ｚ軸はＶｍばらつき発生率である。同図に示すように、Ａ列およびＣ列のアクチュエーターユニット１９を搭載する未対策ヘッドの場合、各ノズル３１から噴射されるインクの飛翔速度Ｖｍにばらつき（傾き）が比較的高い確率で生じることが判る。また、Ｖｍばらつきの傾向は、列に応じて決まることも判る。即ち、Ａ列では右上がりの傾向となり、Ｃ列では右下がりの傾向となる。
【００２８】
そこで、本発明に係る製造工程では、複数のアクチュエーターユニット１９をセラミックスシート４０から分割したならば、切り分けられる前のセラミックスシート４０におけるアドレスに基づいて、アクチュエーターユニット１９を分類し、分類したアクチュエーターユニット１９を複数の製造ラインに仕分ける分類工程が行われる。即ち、本実施形態においては、アクチュエーターユニット１９はＡ〜Ｃの各列で分類され、Ａ列に対応するアドレスのアクチュエーターユニット１９と、Ｂ列に対応するアドレスのアクチュエーターユニット１９と、Ｃ列に対応するアクチュエーターユニット１９とは、それぞれ異なる製造ラインに送られる。そして、接合工程では、各ラインに送られてくるアクチュエーターユニット１９のそれぞれに、流路ユニット作製工程で製造された流路ユニット２０を接合する。なお、流路ユニット作製工程では、アクチュエーターユニット１９の特性に応じた寸法に設定されたインク供給口２４が形成される。
【００２９】
接合工程において、同一ラインに送られてくるアクチュエーターユニット１９は、上記のＶｍばらつき特性が同じような傾向を示すので、この傾向に応じた流路ユニット２０が接合される。この流路ユニット２０に関し、流路ユニット作製工程において、対応するアクチュエーターユニット１９のアドレス毎、即ち、製造ライン毎にインク供給口２４の流路長又は断面積の少なくとも一方がノズル（或いは圧力室）毎に個別に定められる。即ち、インク供給口２４の寸法を変えることにより、当該アクチュエーターユニット１９を搭載した記録ヘッド２の全てのノズル３１の噴射特性が一律となるように調整される。
【００３０】
図８は、インク供給口２４の縦方向の断面図である。また、図９は、インク供給口２４のストレート部２４ａの寸法の設定について説明する図である。
インク供給口２４の寸法（長さ・断面積）を変えると、流路抵抗及びイナータンスが変化するので、ノズル３１から噴射されるインクの噴射特性を変えることができる。例えば、インク供給口２４のストレート部２４ａの長さ（流路長）Ｌｓを長くするほど、或いは、ストレート部２４ａの断面積（本実施形態では直径Ｄｓにより調整。以下、同様。）を小さくするほど、ノズル３１から噴射されるインクの飛翔速度Ｖｍや量（重量・体積）が増加する。逆に、ストレート部２４ａの長さＬｓを短くするほど、或いは、ストレート部２４ａの直径Ｄｓを大きくするほど、ノズル３１から噴射されるインクの飛翔速度Ｖｍや量（重量・定積）が低下する。
【００３１】
本実施形態では、これを利用して、図９に示すように、Ｂ列のアクチュエーターユニット１９に対応する流路ユニット２０のインク供給口２４のストレート部２４ａの寸法を基準として（図８（ａ））、未対策である場合を仮定したときのインク飛翔速度Ｖｍが低い程、該当するノズル３１に対応するインク供給口２４については、インク供給口２４のストレート部２４ａの長さＬｓを長く、及び／又は、ストレート部２４ａの直径Ｄｓを小さくする（図８（ｂ））。これにより、ノズル３１から噴射されるインクの飛翔速度Ｖｍや量（重量・定積）が増加するので、飛翔速度Ｖｍ等の値を目標値に近づけることができる。また、未対策である場合を仮定したときのインク飛翔速度Ｖｍが高い程、該当するノズル３１に対応するインク供給口２４については、インク供給口２４のストレート部２４ａの長さＬｓを短く、及び／又は、ストレート部２４ａの直径Ｄｓを大きくする（図８（ｃ））。これにより、ノズル３１から噴射されるインクの飛翔速度Ｖｍや量（重量・定積）が低下するので、飛翔速度Ｖｍ等の値を目標値に近づけることができる。
【００３２】
流路ユニット作製工程におけるＢ列に対応する製造ラインでは、インク供給口２４を形成するポンチについて全て同じ寸法形状のものが用いられる。したがって、Ｂ列のアクチュエーターユニット１９に対応する流路ユニット２０の各インク供給口２４の形状・寸法も一律となる。これに対し、Ａ列とＣ列に対応する製造ラインでは、インク供給口２４を形成するポンチについてインク供給口２４毎に異なる寸法・形状のものが用いられる。そして、Ａ列のアクチュエーターユニット１９を搭載する記録ヘッド２では、未対策である場合を仮定すると、圧力室列設方向（或いはノズル列方向又はユニット領域列方向）の一端部側に対応する１番ノズルから他端部側に対応する１２８番ノズルに向けてノズル番号が増加する程、インクの飛翔速度が増加する右上がりの傾向を示すので、圧力室列設方向の一端部側に位置するインク供給口２４ほどストレート部２４ａの長さＬｓが長く及び／又は断面積Ｄｓが小さくなるように設定され、他端部側に対応するインク供給口２４ほどストレート部２４ａの長さＬｓが短く及び／又は断面積Ｄｓが大きくなるように設定される。同様に、Ｃ列のアクチュエーターユニット１９を搭載する記録ヘッド２では、ノズル番号が増加するほどインクの飛翔速度が低下する右下がりの傾向を示すので、圧力室列設方向の一端部側に位置するインク供給口２４ほどストレート部２４ａの長さＬｓが短く及び／又は断面積Ｄｓが大きくなるように設定され、他端部側に対応するインク供給口２４ほどストレート部２４ａの長さＬｓが長く及び／又は断面積Ｄｓが小さくなるように設定される。
【００３３】
そして、接合工程では、製造ライン毎にアクチュエーターユニット１９に対し、当該アクチュエーターユニット１９のＶｍばらつき特性の傾向に応じたインク供給口２４を持つ流路ユニット２０が接着剤により接合され、ヘッドユニット２１となる。
このように、上記の製造工程を経て得られたヘッドユニット２１は、分割前のセラミックスシート４０上におけるユニット領域３８の位置を示す位置情報（アドレス）に応じて、インク供給口２４の流路長（ストレート部２４ａの長さＬｓ）又は断面積（ストレート部２４ａの直径Ｄｓ）の少なくとも一方が、ノズル毎に個別に定められるので、分割前のセラミックスシート４０上における位置に拘わらず、飛翔速度Ｖｍやインク重量等の噴射特性のばらつきが抑制される。また、本発明に係る製造方法によれば、インク供給口２４の寸法・形状、ノズル連通口２５やノズル３１等の他の部位の寸法・形状の変更によって噴射特性を調整する場合と比較して、インク噴射特性への悪影響（例えば、ノズル３１の径を大きくした場合、インクが増粘しやすいという問題が生じる虞がある。）を抑えつつ、より簡単且つより効果的に噴射特性のばらつきを抑制することができる。
【００３４】
ここで、インク供給口２４の流路長（ストレート部２４ａの長さＬｓ）の調整によるインク飛翔速度Ｖｍへの影響に関して一例を示すと、流路長を１μｍ変更した場合には、Ｖｍに０．０７５ｍ／ｓの変化が見られた。また、インク供給口２４の断面積（ストレート部２４ａの直径Ｄｓ）の調整によるインク飛翔速度Ｖｍへの影響に関しては、直径を１μｍ変更した場合、Ｖｍに０．３８ｍ／ｓの変化が見られた。
【００３５】
なお、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。
【００３６】
例えば、インク供給口２４（供給路）の形状は、図４、図８で例示したように、ストレート部２４ａ及びテーパー部２４ｂから構成されるものには限られない。例えば、内径が一定な円筒状のインク供給口を採用する記録ヘッドにも本発明を適用することが可能である。
【００３７】
そして、本発明は、上記記録ヘッド２には限られず、１つの基材（セラミックスシート４０）から複数のアクチュエーターユニットが作製され、且つ供給路を有する他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材を噴射する色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料を噴射する電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００３８】
１…プリンター，２…記録ヘッド，１８…圧電素子，１９…アクチュエーターユニット，２０…流路ユニット，２１…ヘッドユニット，２４…インク供給口，２４ａ…ストレート部，２４ｂ…テーパー部，２７…供給口プレート，２８…共通液室，３１…ノズル，３５…圧力室，４０…セラミックスシート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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