(57)【要約】【課題】枠材の破損や板材の傷付きを招くことなく、フラックスを塗布すべき塗布領域に必要量のフラックスを確実に塗布する。【解決手段】ステンシル２０が押し当てられた塗布対象基板Ｐに対するスキージ１１，１２ａ，１２ｂの移動に際して塗布面Ｐａに押し当てられたステンシル２０に対してスキージ１１，１２ａ，１２ｂが移動する矢印Ａの方向に位置する口縁部３３ａにおける幅方向の両端部が矢印Ａの方向における手前側に最も突出すると共に幅方向の中央部に向かうほど矢印Ａの方向に凹むように開口部３１が形成されているステンシル２０を使用して塗布対象基板Ｐの塗布領域５５にフラックスを塗布する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給されたフラックスを塗布対象基板の塗布面に塗り拡げる板材と、前記塗布面に押し当てられた状態において当該塗布面における前記フラックスの塗布領域が露出するように開口部が設けられると共に当該塗布領域に塗布すべき当該フラックスの塗布厚に応じて厚みが規定された枠材と、当該枠材が押し当てられた前記塗布対象基板および前記板材の少なくとも一方を他方に対して移動させる移動機構とを備え、前記塗布面に押し当てた前記枠材の表面に前記板材の平面視直線状の先端部を押し当てた状態で前記移動機構によって前記少なくとも一方を前記他方に対して移動させて前記塗布領域に前記フラックスを塗布するフラックス塗布装置であって、
前記枠材は、前記少なくとも一方の移動に際して前記塗布面に押し当てられた当該枠材に対して前記板材が相対的に移動する移動方向に位置する第１の口縁部における幅方向の両端部が当該移動方向における手前側に最も突出すると共に当該幅方向の中央部に向かうほど当該移動方向に凹むように前記開口部が形成されているフラックス塗布装置。
【請求項２】
前記枠材は、前記第１の口縁部における前記幅方向の中央部を通過すると共に前記移動方向に沿った仮想線を基準として、前記第１の口縁部が平面視において線対称形となるように前記開口部が形成されている請求項１記載のフラックス塗布装置。
【請求項３】
前記枠材は、前記移動方向に対する逆方向に位置する第２の口縁部における幅方向の両端部が当該逆方向における手前側に最も突出すると共に当該幅方向の中央部に向かうほど当該逆方向に凹むように前記開口部が形成されている請求項１または２記載のフラックス塗布装置。
【請求項４】
供給されたフラックスを塗布対象基板の塗布面に塗り拡げる板材と、前記塗布面に押し当てられた状態において当該塗布面における前記フラックスの塗布領域が露出するように開口部が設けられると共に当該塗布領域に塗布すべき当該フラックスの塗布厚に応じて厚みが規定された枠材と、当該枠材が押し当てられた前記塗布対象基板および前記板材の少なくとも一方を他方に対して移動させる移動機構とを備え、前記塗布面に押し当てた前記枠材の表面に前記板材の平面視直線状の先端部を押し当てた状態で前記移動機構によって前記少なくとも一方を前記他方に対して移動させて前記塗布領域に前記フラックスを塗布するフラックス塗布装置であって、
前記枠材は、前記少なくとも一方の移動に際して前記塗布面に押し当てられた当該枠材に対して前記板材が相対的に移動する移動方向に位置する第１の口縁部における幅方向の両端部のうちの一方が当該移動方向における手前側に最も突出すると共に当該両端部のうちの他方に向かうほど当該移動方向に凹むように前記開口部が形成されているフラックス塗布装置。
【請求項５】
前記枠材は、前記移動方向に対する逆方向に位置する第２の口縁部における幅方向の両端部のうちの一方が当該逆方向における手前側に最も突出すると共に当該両端部のうちの他方に向かうほど当該逆方向に凹むように前記開口部が形成されている請求項４記載のフラックス塗布装置。
【請求項６】
前記枠材は、前記開口部の各角部が平面視曲線状となるように形成されている請求項１から５のいずれかに記載のフラックス塗布装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載のフラックス塗布装置を使用して前記塗布対象基板の前記塗布領域に前記フラックスを塗布するフラックス塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ステンシル等の枠材およびスキージ等の板材を用いて塗布対象基板にフラックスを塗布するフラックス塗布装置およびフラックス塗布方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種のフラックス塗布装置およびフラックス塗布方法として、フラックスおよび低融点ハンダを混合したはんだペーストを塗布対象のプリント回路基板（以下、「塗布対象基板」ともいう）に塗布する塗布装置および塗布方法が特開平８−１１６１６５号公報に開示されている。この塗布装置による塗布方法では、まず、はんだペーストを塗布すべき各領域に応じて複数の小孔が形成されたステンシルを塗布対象基板に押し当てた状態において、ステンシル上に供給したはんだペーストをドクター・ブレード（以下、単に「ブレード」ともいう）によって塗り拡げることにより、上記の各小孔内にはんだペーストを刷り込む。次いで、塗布対象基板からステンシルを剥離する。この際には、ステンシルの各小孔内に刷り込まれたはんだペーストが塗布対象基板上に残留する。これにより、塗布対象基板における所望の領域にはんだペーストが塗布される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−１１６１６５号公報（第４−５頁、第５図）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、従来の塗布装置およびその塗布方法には、以下の問題点が存在する。すなわち、従来の塗布装置および塗布方法では、はんだペーストを塗布すべき各領域に応じて複数の小孔が形成されたステンシルを塗布対象基板に押し当てた状態において、各小孔内にはんだペーストを刷り込むことによって塗布対象基板上の所望の領域だけにはんだペーストを塗布している。この場合、塗布対象基板のなかには、例えば図１５に示す塗布対象基板Ｐのように、塗布面Ｐａに複数の凹部５３が形成されると共に、各凹部５３の底面にパッド５４が形成されたものが存在する。この塗布対象基板Ｐは、フラックスの塗布が完了した後に各パッド５４上にはんだボール（図示せず）を供給した状態においてリフロー処理することで各パッド５４上にはんだバンプを形成することができるように構成されている。したがって、フラックスの塗布に際しては、各パッド５４上（各凹部５３内）に規定量のフラックスを塗布する必要がある。
【０００５】
このような塗布対象基板Ｐに対して従来の塗布装置（塗布方法）によってフラックスを塗布する場合には、各パッド５４（各凹部５３）の位置に対応して複数の小孔を形成したステンシルを使用することとなる。しかしながら、ファインピッチ化が進む今日の塗布対象基板Ｐでは、上記の各パッド５４（各凹部５３：フラックスを塗布すべき領域）が小さくなる傾向がある。したがって、ファインピッチ化された塗布対象基板Ｐに対して従来の塗布装置（塗布方法）によってフラックスを塗布する際には、小さな各パッド５４（各凹部５３）に応じて極く小さな孔を形成したステンシルを使用する必要がある。このため、ステンシルの各小孔内にブレードによってフラックスを確実に刷り込むのが困難であると共に、各小孔内にフラックスを刷り込むことができたとしても、刷り込んだフラックスが凹部５３内のパッド５４に付着せずに、塗布対象基板Ｐからステンシルを剥離したときにステンシルと共に塗布対象基板Ｐから剥離されてしまうこともある。このため、従来の塗布装置（塗布方法）には、ファインピッチ化が進んだ塗布対象基板Ｐに対して十分な量のフラックスを確実に塗布するのが困難となっているという問題点がある。
【０００６】
一方、発明者は、フラックスを塗布すべき複数のパッド５４（凹部５３）を含む広い領域を塗布領域として規定してフラックスを塗布する塗布装置および塗布方法を開発した。具体的には、まず、図１６に示すように、上記の塗布領域に対応して平面視方形状の広い開口部３１ｘを形成すると共に、塗布すべきフラックスの量に応じて厚みＴ（図１７参照）を規定したステンシル２０ｘを製作する。この際には、フラックスの塗布処理時にステンシル２０ｘに対してスキージ１２ｘが移動する移動方向（矢印Ａの方向）に位置する口縁部３３ａｘ、および上記の移動方向に対する逆方向（矢印Ｂの方向）に位置する口縁部３３ｂｘの双方が、上記の移動方向およびその逆方向に対して平面視において直交するように開口部３１ｘを形成する。次いで、製作したステンシル２０ｘを塗布対象基板Ｐの塗布面Ｐａに押し当てると共に、一例として、スキージ１２ｘの先端部をステンシル２０ｘにおける表面（同図における上面）の口縁部３３ｂｘ側に押し付ける。続いて、ステンシル２０ｘの表面にフラックスＦを供給した後に、図１７に示すように、口縁部３３ａｘに向かって矢印Ａの方向にスキージ１２ｘを移動させる。
【０００７】
この際には、スキージ１２ｘの移動に伴い、ステンシル２０ｘの表面（この例では、口縁部３３ｂｘ上）に供給したフラックスＦが塗布対象基板Ｐの塗布面Ｐａに擦り付けられるようにしてその塗布領域５５ｘ（塗布対象基板Ｐの塗布面Ｐａにおいてステンシル２０ｘの開口部３１ｘから露出している領域）に押し拡げられる。したがって、このステンシル２０ｘを用いた塗布処理によれば、各パッド５４（凹部５３）毎に複数の小孔を形成したステンシルを用いる従来の塗布装置および塗布方法とは異なり、極く小さなパッド５４（凹部５３）に対してもフラックスＦを確実に塗布することが可能となる。また、凹部５３内のフラックスＦと、ステンシル２０ｘの厚みＴ分のフラックスＦとを各パッド５４の上に残留させることが可能となるため、各凹部５３が小さい塗布対象基板Ｐにおいても、十分な量のフラックスＦを塗布することが可能となる。
【０００８】
しかしながら、発明者は、複数のパッド５４（凹部５３）に応じて広い開口部３１ｘを形成したステンシル２０ｘでは、図１８に示すように、塗布対象基板Ｐの塗布面Ｐａに押し当てた状態において、上記の口縁部３３ａｘ，３３ｂｘ等において、その幅方向の中央部が塗布対象基板Ｐの塗布面Ｐａから離間するようにしてステンシル２０ｘに変形が生じる（以下、このような状態を「浮きが生じる」ともいう）ことがあるのを見出した。なお、同図では、ステンシル２０ｘに生じた浮きを誇張して大きく変形させた状態を図示している。この場合、前述したように、ステンシル２０ｘでは、口縁部３３ａｘ，３３ｂｘの双方がスキージ１２ｘの移動方向およびその逆方向に対して平面視において直交するように開口部３１ｘが形成されている。したがって、例えば口縁部３３ａｘに浮きが生じた状態において上記の手順に従ってフラックスＦを塗布したときには、スキージ１２ｘが矢印Ａの方向に移動させられて、図１９に示すように、口縁部３３ａｘに達したときに、浮きが生じている口縁部３３ａｘに対してスキージ１２ｘの先端部が引っ掛かることとなる。
【０００９】
この状態においてスキージ１２ｘが矢印Ａの方向にさらに移動させられたときには、ステンシル２０ｘに曲がりや破れ等の破損が生じたり、スキージ１２ｘの先端部に傷付きが生じたりするおそれがある。この場合、ステンシル２０ｘに破損が生じた状態では、塗布領域５５ｘ以外の領域にもフラックスＦが塗布されるおそれがあり、スキージ１２ｘに傷付きが生じた状態では、規定量以上のフラックスが塗布対象基板Ｐに塗布されるおそれがある。なお、矢印Ａの方向にスキージ１２ｘを移動させてフラックスＦを塗布するだけでなく、矢印Ａの逆方向（図１６に示す矢印Ｂの方向）にもスキージ１２ｘを移動させてフラックスＦを塗布する構成（方法）を採用した場合には、この矢印Ｂの方向に位置する口縁部３３ｂｘにおいて浮きが生じた状態において実行される塗布処理時にステンシル２０ｘの破損やスキージ１２ｘの傷付きを招くおそれがある。このように、発明者が開発した塗布装置および塗布方法では、ステンシル２０ｘ（枠材）の破損やスキージ１２ｘ（板材）の傷付きを招きを招くおそれがあり、これに起因して、規定した領域内だけに規定量のフラックスを塗布するのが困難となるおそれがあり、この点を改善するのが好ましい。
【００１０】
本発明は、かかる改善点に鑑みてなされたものであり、枠材の破損や板材の傷付きを招くことなく、フラックスを塗布すべき塗布領域に必要量のフラックスを確実に塗布し得るフラックス塗布装置およびフラックス塗布方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成すべく請求項１記載のフラックス塗布装置は、供給されたフラックスを塗布対象基板の塗布面に塗り拡げる板材と、前記塗布面に押し当てられた状態において当該塗布面における前記フラックスの塗布領域が露出するように開口部が設けられると共に当該塗布領域に塗布すべき当該フラックスの塗布厚に応じて厚みが規定された枠材と、当該枠材が押し当てられた前記塗布対象基板および前記板材の少なくとも一方を他方に対して移動させる移動機構とを備え、前記塗布面に押し当てた前記枠材の表面に前記板材の平面視直線状の先端部を押し当てた状態で前記移動機構によって前記少なくとも一方を前記他方に対して移動させて前記塗布領域に前記フラックスを塗布するフラックス塗布装置であって、前記枠材が、前記少なくとも一方の移動に際して前記塗布面に押し当てられた当該枠材に対して前記板材が相対的に移動する移動方向に位置する第１の口縁部における幅方向の両端部が当該移動方向における手前側に最も突出すると共に当該幅方向の中央部に向かうほど当該移動方向に凹むように前記開口部が形成されている。
【００１２】
また、請求項２記載のフラックス塗布装置は、請求項１記載のフラックス塗布装置において、前記枠材が、前記第１の口縁部における前記幅方向の中央部を通過すると共に前記移動方向に沿った仮想線を基準として、前記第１の口縁部が平面視において線対称形となるように前記開口部が形成されている。
【００１３】
さらに、請求項３記載のフラックス塗布装置は、請求項１または２記載のフラックス塗布装置において、前記枠材が、前記移動方向に対する逆方向に位置する第２の口縁部における幅方向の両端部が当該逆方向における手前側に最も突出すると共に当該幅方向の中央部に向かうほど当該逆方向に凹むように前記開口部が形成されている。
【００１４】
また、請求項４記載のフラックス塗布装置は、供給されたフラックスを塗布対象基板の塗布面に塗り拡げる板材と、前記塗布面に押し当てられた状態において当該塗布面における前記フラックスの塗布領域が露出するように開口部が設けられると共に当該塗布領域に塗布すべき当該フラックスの塗布厚に応じて厚みが規定された枠材と、当該枠材が押し当てられた前記塗布対象基板および前記板材の少なくとも一方を他方に対して移動させる移動機構とを備え、前記塗布面に押し当てた前記枠材の表面に前記板材の平面視直線状の先端部を押し当てた状態で前記移動機構によって前記少なくとも一方を前記他方に対して移動させて前記塗布領域に前記フラックスを塗布するフラックス塗布装置であって、前記枠材が、前記少なくとも一方の移動に際して前記塗布面に押し当てられた当該枠材に対して前記板材が相対的に移動する移動方向に位置する第１の口縁部における幅方向の両端部のうちの一方が当該移動方向における手前側に最も突出すると共に当該両端部のうちの他方に向かうほど当該移動方向に凹むように前記開口部が形成されている。
【００１５】
さらに、請求項５記載のフラックス塗布装置は、請求項４記載のフラックス塗布装置において、前記枠材が、前記移動方向に対する逆方向に位置する第２の口縁部における幅方向の両端部のうちの一方が当該逆方向における手前側に最も突出すると共に当該両端部のうちの他方に向かうほど当該逆方向に凹むように前記開口部が形成されている。
【００１６】
また、請求項６記載のフラックス塗布装置は、請求項１から５のいずれかに記載のフラックス塗布装置において、前記枠材が、前記開口部の各角部が平面視曲線状となるように形成されている。
【００１７】
また、請求項７記載のフラックス塗布方法は、請求項１から６のいずれかに記載のフラックス塗布装置を使用して前記塗布対象基板の前記塗布領域に前記フラックスを塗布する。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１記載のフラックス塗布装置および請求項７記載のフラックス塗布方法によれば、塗布面に押し当てられた枠材に対して板材が相対的に移動する移動方向に位置する第１の口縁部における幅方向の両端部が移動方向における手前側に最も突出すると共に幅方向の中央部に向かうほど移動方向に凹むように開口部を形成した枠材を使用することにより、例えば第１の口縁部における幅方向の中央部に塗布対象基板（塗布面）に対する浮きが生じていたとしても、枠材に対して板材を相対的に移動方向に移動させたときに、第１の口縁部における幅方向の両端部と中央部との間の各部に対して板材の先端部が両端部の側から順次接するようにして移動させられるため、上記の浮きが生じている部位を中央部に向かって移動させるようにして枠材の第１の口縁部を塗布面に密着させることができる。これにより、このフラックス塗布装置およびフラックス塗布方法によれば、フラックスの塗布に際して板材の先端部が第１の口縁部に引っ掛かる事態を回避することができるため、枠材の破損や板材の傷付きを招くことなく、フラックスを塗布すべき塗布領域に必要量のフラックスを確実に塗布することができる。
【００１９】
また、請求項２記載のフラックス塗布装置および請求項７記載のフラックス塗布方法によれば、第１の口縁部における幅方向の中央部を通過すると共に移動方向に沿った仮想線を基準として、第１の口縁部が平面視において線対称形となるように開口部を形成した枠材を使用することにより、各板材の先端部が第１の口縁部における幅方向の各部に順次接するように各板材を移動させたときに、第１の口縁部における幅方向の一方の端部から他方の端部に向かう方向に枠材を移動させようとする力と、第１の口縁部における上記の他方の端部から上記の一方の端部に向かう方向に枠材を移動させようとする力とが相殺されるため、塗布対象基板に対する枠材の幅方向へのずれが生じる事態を回避することができる。
【００２０】
さらに、請求項３記載のフラックス塗布装置および請求項７記載のフラックス塗布方法によれば、移動方向に対する逆方向に位置する第２の口縁部における幅方向の両端部が逆方向における手前側に最も突出すると共に幅方向の中央部に向かうほど逆方向に凹むように開口部を形成した枠材を使用することにより、上記の移動方向に代えてその逆方向に板材を移動させてフラックスを塗布するときに第２の口縁部に対して各板材の先端部が引っ掛かる事態を回避することができるため、逆方向に移動させてフラックスを塗布する際にも、枠材の破損や板材の傷付きを招くことなく、フラックスを塗布すべき塗布領域に必要量のフラックスを確実に塗布することができる。
【００２１】
また、請求項４記載のフラックス塗布装置および請求項７記載のフラックス塗布方法によれば、塗布面に押し当てられた枠材に対して板材が相対的に移動する移動方向に位置する第１の口縁部における幅方向の両端部のうちの一方が移動方向における手前側に最も突出すると共に両端部のうちの他方に向かうほど移動方向に凹むように開口部を形成した枠材を使用することにより、例えば第１の口縁部における幅方向の中央部に塗布対象基板（塗布面）に対する浮きが生じていたとしても、枠材に対して板材を相対的に移動方向に移動させたときに、第１の口縁部における幅方向の両端部のうちの一方と他方との間の各部に対して板材の先端部が一方の端部側から順次接するようにして移動させられるため、上記の浮きが生じている部位を他方の端部に向かって移動させるようにして枠材の第１の口縁部を塗布面に密着させることができる。これにより、フラックスの塗布に際して板材の先端部が第１の口縁部に引っ掛かる事態を回避することができるため、枠材の破損や板材の傷付きを招くことなく、フラックスを塗布すべき塗布領域に必要量のフラックスを確実に塗布することができる。
【００２２】
さらに、請求項５記載のフラックス塗布装置および請求項７記載のフラックス塗布方法によれば、移動方向に対する逆方向に位置する第２の口縁部における幅方向の両端部のうちの一方が逆方向における手前側に最も突出すると共に両端部のうちの他方に向かうほど逆方向に凹むように開口部を形成した枠材を使用することにより、上記の移動方向に代えてその逆方向に板材を移動させてフラックスを塗布するときに第２の口縁部に対して各板材の先端部が引っ掛かる事態を回避することができるため、上記の逆方向に移動させてフラックスを塗布する際にも、枠材の破損や板材の傷付きを招くことなく、フラックスを塗布すべき塗布領域に必要量のフラックスを確実に塗布することができる。
【００２３】
また、請求項６記載のフラックス塗布装置および請求項７記載のフラックス塗布方法によれば、開口部の各角部が平面視曲線状となるように形成した枠材を使用することにより、開口部における移動方向に沿って形成されている両口縁部に接している状態の板材を各角部において引っ掛かりを生じさせることなく、第１の口縁部（または、第２の口縁部）に接する状態にスムーズに移動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】フラックス塗布装置１の構成を示す構成図である。
【図２】スキージ１１，１２ａ，１２ｂの先端部をステンシル２０に接触させた状態の塗布対象基板Ｐ、ステンシル２０および塗布ユニット２の断面図である。
【図３】ステンシル２０、塗布ユニット２および塗布対象基板Ｐの平面図である。
【図４】図３におけるＸ−Ｘ線断面図である。
【図５】図２に示す状態においてノズル１４ａ，１４ｂからフラックスＦを供給した状態の塗布対象基板Ｐ、ステンシル２０および塗布ユニット２の断面図である。
【図６】図５に示す状態から矢印Ａの方向に塗布ユニット２を移動させている状態の塗布対象基板Ｐ、ステンシル２０および塗布ユニット２の断面図である。
【図７】スキージ１１における先端部近傍を移動方向手前側から見た図である。
【図８】スキージ１２ａ，１２ｂにおける先端部近傍を移動方向手前側から見た図である。
【図９】図６に示す状態から矢印Ａの方向に塗布ユニット２をさらに移動させた状態の塗布対象基板Ｐ、ステンシル２０および塗布ユニット２の断面図である。
【図１０】図９に示す状態から矢印Ａの方向に塗布ユニット２をさらに移動させた状態の塗布対象基板Ｐ、ステンシル２０および塗布ユニット２の断面図である。
【図１１】図１０に示す状態から矢印Ａの方向に塗布ユニット２をさらに移動させて、スキージ１２ａの先端部が口縁部３３ａに達した状態の塗布対象基板Ｐ、ステンシル２０および塗布ユニット２の断面図である。
【図１２】図１１に示す状態のフラックス塗布装置１の平面図である。
【図１３】図１１に示す状態から矢印Ａの方向に塗布ユニット２をさらに移動させた状態の塗布対象基板Ｐ、ステンシル２０および塗布ユニット２の断面図である。
【図１４】他の実施の形態に係るステンシル２０Ａ、塗布ユニット２および塗布対象基板Ｐの平面図である。
【図１５】塗布対象基板Ｐの断面図である。
【図１６】発明者が開発した塗布装置におけるステンシル２０ｘ、スキージ１２および塗布対象基板Ｐの平面図である。
【図１７】発明者が開発した塗布装置によるステンシル２０ｘを用いたフラックスＦの塗布について説明するためのステンシル２０ｘ、スキージ１２および塗布対象基板Ｐの断面図である。
【図１８】ステンシル２０ｘにおける口縁部３３ａｘに浮きが生じた状態を示す断面図である。
【図１９】浮きが生じた口縁部３３ａｘにスキージ１２の先端部が引っ掛かった状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、フラックス塗布装置およびフラックス塗布方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００２６】
図１に示すフラックス塗布装置１は、ステンシルおよび複数のスキージを使用した塗布方法に従って塗布対象基板Ｐにフラックスを可能に構成された装置であって、塗布ユニット２、フラックス供給部３、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構４、基板搬送機構５、制御部６およびステンシル２０を備えている。
【００２７】
塗布ユニット２は、スキージ１１，１２ａ，１２ｂ、スプリング１３およびノズル１４ａ，１４ｂを備えて構成されている。スキージ１１は、板材の一例であって、一例として、樹脂材料（ポリウレタン等）で平板状に形成されている。このスキージ１１は、その先端部が平面視直線状となり、かつ、ステンシル２０や塗布対象基板Ｐに対して線的に接触するように先端部が尖らされている。スキージ１２ａ，１２ｂ（以下、区別しないときには「スキージ１２」ともいう）は、板材の他の一例であって、一例として、上記のスキージ１１を形成している樹脂材料よりも堅い樹脂材料（例えば、スキージ１１を形成しているポリウレタンよりも堅いポリウレタン）で平板状に形成されている。このスキージ１２は、その先端部が、平面視直線状となり、かつ、ステンシル２０に対して線的に接触するように尖らされている。これにより、このフラックス塗布装置１では、スキージ１１よりもスキージ１２ａ，１２ｂの方が硬く（スキージ１２ａ，１２ｂよりもスキージ１１の方が柔らかく）形成されている。
【００２８】
なお、このフラックス塗布装置１では、硬さが相違する同種の樹脂材料（この例では、ポリウレタン）で形成することでスキージ１１およびスキージ１２ａ，１２ｂの硬さを相違させているが、種類が異なる各種材料で形成することでスキージ１１およびスキージ１２ａ，１２ｂの硬さを相違させる構成を採用することもできる。また、このフラックス塗布装置１では、両スキージ１２ａ，１２ｂの間にスキージ１１を挟むようにして各スキージ１１，１２ａ，１２ｂを並べた状態でＸ−Ｙ−Ｚ移動機構４に取り付けられている。この場合、この塗布ユニット２では、スキージ１１が、移動機構４に対して上下動することのないように直接的に取り付けられているのに対し、両スキージ１２が、移動機構４に対して上下動可能にスプリング１３を介して取り付けられている。また、図１に示すように、この塗布ユニット２では、各スキージ１１，１２ａ，１２ｂがステンシル２０等に対して非接触の状態において、スキージ１１の先端部よりもスキージ１２ａ，１２ｂの先端部の方が下方（塗布対象基板Ｐ側）に向けて突出するように移動機構４に取り付けられている。
【００２９】
ノズル１４ａは、スキージ１１，１２ａの間に配設されると共にフラックス供給部３に連結され、フラックス供給部３から供給されたフラックスＦをスキージ１１，１２ａの間に吐出（供給）する。また、ノズル１４ｂは、スキージ１１，１２ｂの間に配設されると共にフラックス供給部３に連結され、フラックス供給部３から供給されたフラックスＦをスキージ１１，１２ｂの間に吐出（供給）する。フラックス供給部３は、制御部６の制御に従って規定量のフラックスＦを塗布ユニット２に向けて圧送することで、ノズル１４ａ，１４ｂを介して塗布対象基板Ｐの塗布面Ｐａ（図２参照：塗布面Ｐａに押し当てられたステンシル２０の表面）にフラックスＦを供給する。Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構４は、移動機構の一例であって、基板搬送機構５によって塗布処理位置に搬送された塗布対象基板Ｐに対して上記の塗布ユニット２を移動させる（「枠材が押し当てられた塗布対象基板および板材の少なくとも一方」が「板材」としてのスキージ１１，１２ａ，１２ｂを有する塗布ユニット２である構成の例）。
【００３０】
基板搬送機構５は、制御部６の制御に従ってフラックスＦを塗布すべき塗布対象基板Ｐを塗布処理位置に搬送すると共に、フラックスＦの塗布が完了した塗布対象基板Ｐを塗布処理位置から搬出する。制御部６は、フラックス塗布装置１を総括的に制御する。具体的には、制御部６は、基板搬送機構５を制御して塗布対象基板Ｐを塗布処理位置に搬送させる。この場合、このフラックス塗布装置１では、一例として、ステンシル２０が塗布処理位置に固定され、基板搬送機構５がステンシル２０の裏面に塗布面Ｐａを押し当てるようにして塗布対象基板Ｐを塗布処理位置に位置決めする構成が採用されている。また、制御部６は、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構４を制御して、塗布ユニット２を塗布対象基板Ｐ上（ステンシル２０上）に移動させると共に、フラックス供給部３を制御してフラックスＦを供給させる。さらに、制御部６は、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構４を制御して塗布ユニット２を移動させることによってフラックスＦを塗布対象基板Ｐの塗布面Ｐａに塗布する（塗り拡げる）塗布処理を実行する。
【００３１】
この場合、図１５に示すように、塗布対象基板Ｐは、基板本体５１の一面（同図に示す上面：フラックスＦの塗布面Ｐａ）に複数のバンプ形成部５２が形成されている。また、この塗布対象基板Ｐでは、基板本体５１の一面に複数の凹部５３が形成されると共に、この凹部５３の底部にパッド５４が設けられて上記のバンプ形成部５２が構成されている。言い換えれば、この塗布対象基板Ｐでは、バンプを形成するためのパッド５４が基板本体５１の一面よりも低くなるように、バンプ形成部５２が凹状に形成されている。この場合、このフラックス塗布装置１では、各バンプ形成部５２を含む広い領域を塗布領域５５として規定すると共に、ステンシル２０によってフラックスＦを塗布する領域を制限することによって塗布領域５５だけにフラックスＦを塗布する構成が採用されている。
【００３２】
一方、ステンシル２０は、枠材の一例であって、例えばステンレススチール等の金属材料で薄板状に形成されると共に、図３に示すように、塗布対象基板Ｐの塗布面ＰａにおけるフラックスＦを塗布すべき塗布領域５５（すなわち、上記の各バンプ形成部５２が形成されている領域）に対応して開口部３１が形成されている。また、ステンシル２０は、その厚みＴ（図２参照）が塗布領域５５に塗布すべきフラックスＦの塗布厚（塗布すべきフラックスＦの量）に応じて規定されている。なお、フラックスＦの塗布処理時に使用するステンシルは、上記のステンシル２０に限定されず、樹脂ステンシル（樹脂製のステンシル）を使用することもできる。
【００３３】
この場合、図３に示すように、このステンシル２０では、一例として、移動機構４による塗布ユニット２の移動方向（矢印Ａの方向）に沿った口縁部３２ａ，３２ｂが移動方向と平行になるように開口部３１が形成されている。また、このステンシル２０では、移動機構４による塗布ユニット２の移動方向（矢印Ａの方向）に位置する口縁部３３ａ（「第１の口縁部」の一例）が各スキージ１１，１２ａ，１２ｂの先端部（塗布ユニット２の移動方向に直交する方向）に対して平面視において非平行となるように開口部３１が形成されている。具体的には、このステンシル２０では、口縁部３３ａにおける幅方向（図３における上下方向：上記の移動方向と直交する方向）の両端部が上記の移動方向における手前側に最も突出する（移動方向の上流側に位置する）と共に、口縁部３３ａにおける幅方向の両端部から口縁部３３ａにおける幅方向の中央部に向かうほど矢印Ａの方向の下流側に凹むように（この例では、口縁部３３ａにおける幅方向の中央部が最も凹むように）開口部３１が形成されている。また、このステンシル２０では、口縁部３３ａが平面視において口縁部３３ａにおける幅方向の中央部（この例では中心）を通過する一点鎖線Ｌ（「仮想線」の一例）を基準として線対称形となるように開口部３１が形成されている。
【００３４】
さらに、このステンシル２０では、上記の移動方向（矢印Ａの方向）に対する逆方向（矢印Ｂの方向）に位置する口縁部３３ｂ（「第２の口縁部」の一例）が、口縁部３３ａと同様にして、各スキージ１１，１２ａ，１２ｂの先端部（上記の逆方向に直交する方向）に対して平面視において非平行となるように開口部３１が形成されている。具体的には、このステンシル２０では、口縁部３３ｂにおける幅方向（図３における上下方向：上記の逆方向と直交する方向）の両端部が上記の逆方向における手前側に最も突出する（逆方向の上流側に位置する）と共に、口縁部３３ｂにおける幅方向の両端部から口縁部３３ｂにおける幅方向の中央部に向かうほど矢印Ｂの方向の下流側に凹むように開口部３１が形成されている。また、このステンシル２０では、口縁部３３ｂが平面視において口縁部３３ｂにおける幅方向の中央部（この例では中心）を通過する一点鎖線Ｌ（「仮想線」の一例）を基準として線対称形となるように開口部３１が形成されている。
【００３５】
また、このステンシル２０では、上記の口縁部３３ａ，３３ｂが塗布ユニット２の移動方向に直交する方向を基準として線対称形となるように開口部３１が形成されている。これにより、このステンシル２０では、開口部３１が平面視略六角形状となっている。なお、上記の口縁部３３ｂは、フラックス塗布装置１によるフラックスＦの塗布に際して移動機構４が塗布ユニット２を矢印Ｂの方向に移動させてフラックスＦを塗り拡げる際には、「移動機構による少なくとも一方の移動に際して塗布面に押し当てられた枠材に対して板材が相対的に移動する移動方向に位置する第１の口縁部」に相当する。また、このステンシル２０では、開口部３１の各角部３４が平面視曲線状となるように丸みを帯びて形成されている。
【００３６】
この場合、図３，４に示すように、このフラックス塗布装置１では、上記のステンシル２０を枠部材２１ａ，２１ｂの間に挟み込むようにしてステンシル２０に大きな歪みが生じないようにしている。具体的には、まず、枠部材２１ａ，２１ｂの間にステンシル２０を挟み込むと共に、枠部材２１ａ，２１ｂの外縁部に形成された切欠き部において枠部材２１ａ，２１ｂからはみ出しているステンシル２０を挟持用部材２２ａ，２２ｂによって挟持する。次いで、ステンシル２０を挟持している各挟持用部材２２ａ，２２ｂに図示しないボルトをそれぞれねじ込むことにより、ボルトの先端部を枠部材２１ａ，２１ｂの外周面に押し付けて、各挟持用部材２２ａ，２２ｂを枠部材２１ａ，２１ｂの外側に向けてそれぞれ移動させる。この際には、挟持用部材２２ａ，２２ｂによって外縁部を挟持された状態のステンシル２０が引き延ばされるようにして歪みが矯正される。この状態において、枠部材２１ａ，２１ｂをボルトによって密着させる。これにより、歪みが矯正された状態においてステンシル２０が枠部材２１ａ，２１ｂによって保持される。
【００３７】
次に、フラックス塗布装置１によるフラックス塗布方法について、添付図面を参照して説明する。
【００３８】
このフラックス塗布装置１では、塗布処理の開始が指示されたときに、制御部６が、まず、基板搬送機構５を制御して塗布対象基板Ｐを塗布処理位置に搬送させる。この際に、基板搬送機構５は、ステンシル２０の裏面に塗布対象基板Ｐの塗布面Ｐａを押し当てるようにして塗布対象基板Ｐを上昇させる。次いで、制御部６は、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構４を制御して塗布ユニット２をステンシル２０における開口部３１の外側（一例として、口縁部３３ｂ側の外縁部上）に移動さる。続いて、制御部６は、移動機構４を制御して、図２に示すように、ステンシル２０の表面（塗布対象基板Ｐの塗布面Ｐａ）に向けて塗布ユニット２を下降させて各スキージ１１，１２ａ，１２ｂの先端部をステンシル２０の表面に押し付けさせる。
【００３９】
この際には、塗布ユニット２の下降に伴い、まず、両スキージ１２がステンシル２０の表面に接触し、その状態において塗布ユニット２がさらに下降させられることによって、両スプリング１３が押し縮められるように弾性変形して両スキージ１２の先端部がステンシル２０の表面に向けて付勢される。また、塗布ユニット２がさらに下降させられたときには、両スプリング１３がさらに弾性変形すると共に、スキージ１１の先端部が所定の接触圧でステンシル２０の表面に押し付けられ、これにより、スキージ１１が僅かに弾性変形させられた状態となる。なお、図４、および後に参照する図５では、スキージ１１の変形状態の図示を省略している。続いて、制御部６は、フラックス供給部３を制御してノズル１４ａ，１４ｂに向けてフラックスＦを圧送させる。この際には、図５に示すように、ノズル１４ａによってスキージ１１，１２ａの間にフラックスＦが供給されると共に、ノズル１４ｂによってスキージ１１，１２ｂの間にフラックスＦが供給される。
【００４０】
次いで、制御部６は、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構４を制御して塗布対象基板Ｐの塗布面Ｐａ（ステンシル２０の表面）に沿って口縁部３３ｂ側から口縁部３３ａに向かって塗布ユニット２を矢印Ａの方向に移動させる。この際には、図６に示すように、ノズル１４ａから供給されたフラックスＦが、塗布ユニット２の移動に伴ってスキージ１１によって矢印Ａの方向に移動させられ、開口部３１の口縁部３３ｂにおいてステンシル２０上から塗布対象基板Ｐにおける塗布面Ｐａに移動させられる。この際に、スキージ１１がスキージ１２ａ，１２ｂよりも柔らかく形成されているため、このスキージ１１がＸ−Ｙ−Ｚ移動機構４による移動に伴って開口部３１の上方に位置した状態においては、図７に示すように、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構４による押し付け力によって弾性変形して先端部が塗布面Ｐａ（塗布領域５５）に接触させられる。これにより、図９に示すように、スキージ１１の移動に伴って塗布面Ｐａ上に移動させられたフラックスＦがスキージ１１によって凹部５３内に押し込まれると共に、押し込まれたフラックスＦによって凹部５３内の空気が押し出される。また、凹部５３から溢れ出たフラックスＦは、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構４によってスキージ１１が矢印Ａの方向にさらに移動させられることにより、図１０に示すように、他の凹部５３内に押し込まれるようにして塗布面Ｐａに塗り拡げられる。
【００４１】
一方、ノズル１４ｂから供給されたフラックスＦは、塗布ユニット２の移動に伴ってスキージ１２ｂによって矢印Ａの方向に移動させられ、開口部３１の口縁部３３ｂにおいてステンシル２０上から塗布対象基板Ｐにおける塗布面Ｐａに移動させられる。この際に、スキージ１２ｂがスキージ１１よりも硬く形成されているため、このスキージ１２ｂがＸ−Ｙ−Ｚ移動機構４による移動に伴って開口部３１の上方に位置した状態においては、図８に示すように、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構４による押し付け力によってスキージ１２ｂが大きく弾性変形することなく、その先端部がステンシル２０の表面とほぼ同じ高さに維持されて塗布面Ｐａから離間している。これにより、図９に示すように、スキージ１２ｂの移動に伴って塗布面Ｐａ上に移動させられたフラックスＦがステンシル２０の厚みＴ分だけ塗布面Ｐａに残留させられるようにして均一に平される。また、スキージ１２ｂが凹部５３上まで移動させられた際には、図１０に示すように、このスキージ１２ｂの移動に伴って塗布対象基板Ｐ上を移動させられているフラックスＦが、スキージ１１によって凹部５３内に押し込まれたフラックスＦの上に覆い被さるようにして塗布面Ｐａに塗り拡げられる。
【００４２】
この場合、このフラックス塗布装置１において使用しているステンシル２０では、発明者が開発した塗布装置におけるステンシル２０ｘと同様にして、複数のパッド５４（凹部５３）に応じて広い開口部３１が形成されている。したがって、このステンシル２０においても、ステンシル２０ｘと同様にして、塗布対象基板Ｐの塗布面Ｐａに押し当てたときに、口縁部３３ａ，３３ｂ等において、その幅方向の中央部が塗布対象基板Ｐの塗布面Ｐａから離間するようにして変形が生じる（浮きが生じる）ことがある。しかしながら、このステンシル２０を使用した塗布処理では、口縁部３３ａ等に浮きが生じていたとしても、各スキージ１１，１２ａ，１２ｂが口縁部３３ａ等に引っ掛かる事態を招くことなく、フラックスＦを塗布することが可能となっている。
【００４３】
具体的には、前述したように、このステンシル２０では、開口部３１の各角部３４が平面視曲線状となるように丸みを帯びて形成されている。したがって、口縁部３３ｂの側から矢印Ａの方向に塗布ユニット２が移動させられるのに伴い、開口部３１における口縁部３２ａ，３２ｂに接している状態の各スキージ１１，１２ａ，１２ｂが、開口部３１の角部において引っ掛かりを生じることなく、口縁部３３ａに接する位置に向けてスムーズに移動させられる。
【００４４】
この場合、前述したように塗布ユニット２（各スキージ１１，１２ａ，１２ｂ）が口縁部３３ｂ側から口縁部３３ａまで移動させられる際には、移動方向に沿って形成されている口縁部３２ａ，３２ｂが各スキージ１１，１２ａ，１２ｂによって塗布対象基板Ｐの塗布面Ｐａに押し付けられる。このため、口縁部３３ａにおいて口縁部３２ａ，３２ｂに接している幅方向の両端部（口縁部３２ａ，３２ｂと口縁部３３ａとが接する両角部３４の近傍）は、図１１に示すように、各スキージ１１，１２ａ，１２ｂによって塗布面Ｐａに押し付けられた口縁部３２ａ，３２ｂと共に塗布面Ｐａに押し付けられて密着した状態となっている。したがって、例えば口縁部３３ａに浮きが生じていたとしても、塗布ユニット２（スキージ１２ａ）が口縁部３３ａにおける幅方向の両端部に接した時点においては、少なくとも口縁部３３ａにおける幅方向の両端部が塗布対象基板Ｐの塗布面Ｐａに密着した状態となる。この結果、スキージ１２ａ等が口縁部３３ａにおける幅方向の両端部に引っ掛かる事態が回避される。
【００４５】
また、このステンシル２０では、移動機構４による塗布ユニット２の移動方向（矢印Ａの方向）に位置する口縁部３３ａにおける両端部が塗布ユニット２の移動方向における手前側に最も突出すると共に、口縁部３３ａにおける両端部から中央部に向かうほど塗布ユニット２の移動方向の下流側に凹むように開口部３１が形成されて、各スキージ１１，１２ａ，１２ｂの先端部に対して口縁部３３ａが非平行となっている。したがって、図１２に示すように、移動機構４によって塗布ユニット２が移動させられてスキージ１２ａが口縁部３３ａの近傍に達したときには、まず、口縁部３３ａにおける幅方向の両端部にスキージ１２ａの先端部が接した後に、塗布ユニット２が矢印Ａの方向にさらに移動させられることにより、スキージ１２ａの先端部が、口縁部３３ａにおける幅方向の両端部から幅方向の中央部に向けて順次接することとなる。
【００４６】
したがって、スキージ１２ａの先端部が口縁部３３ａにおける幅方向の両端部から幅方向の中央部に向けて順次接するようにして移動させられることにより、口縁部３３ａに浮きが生じていたとしても、スキージ１２ａの移動に伴って、浮きが生じている部位が図１２に矢印Ｃａ，Ｃｂで示すように口縁部３３ａにおける幅方向の中央部に向かって移動して、最終的には、口縁部３３ａにおける幅方向の中央部も塗布対象基板Ｐの塗布面Ｐａに押し付けられて密着した状態となる。この結果、スキージ１２ａが口縁部３３ａに引っ掛かる事態が回避される。なお、スキージ１２ａと共に移動させられているスキージ１１やスキージ１２ｂについても、スキージ１２ａと同様にして口縁部３３ａに引っ掛かる事態が回避される。
【００４７】
続いて、塗布ユニット２を矢印Ａの方向にさらに移動させることにより、図１３に示すように、スキージ１１の移動に伴って塗布面Ｐａ上を移動させられたフラックスＦのうちの各凹部５３内に押し込まれなかった余分なフラックスＦと、スキージ１２ｂの移動に伴って塗布面Ｐａ上を移動させられたフラックスＦのうちの余分なフラックスＦとが塗布面Ｐａ上からステンシル２０の上に移動させられる。これにより、塗布対象基板Ｐの塗布面Ｐａにおける塗布領域５５に対するフラックスＦの塗布処理が完了する。この後、制御部６は、基板搬送機構５を制御して塗布処理が完了した塗布対象基板Ｐを塗布処理位置から搬出させ、次にフラックスＦを塗布すべき塗布対象基板Ｐを塗布処理位置に搬送させる。
【００４８】
この場合、上記の塗布対象基板Ｐに続いて搬送された塗布対象基板Ｐに対するフラックスＦの塗布処理に際しては、図３，１３に示す矢印Ｂの方向に塗布ユニット２を移動させる。この際には、上記のスキージ１２ｂに代わり、スキージ１２ａがフラックスＦを均一に平すためのスキージとして機能する。具体的には、制御部６は、まず、フラックス供給部３を制御してノズル１４ａ，１４ｂにフラックスＦを圧送させる。この際には、直前にフラックスＦを塗布した際にスキージ１２ｂによってステンシル２０上に移動させられたフラックスＦに加えて、新たな塗布対象基板Ｐの塗布面Ｐａ（凹部５３）に塗り拡げるべきフラックスＦがノズル１４ｂからスキージ１１，１２ｂの間に供給されると共に、直前にフラックスＦを塗布した際にスキージ１１によってステンシル２０上に移動させられたフラックスＦに加えて、新たな塗布対象基板Ｐの塗布面Ｐａに塗り拡げるべきフラックスＦがノズル１４ａからスキージ１１，１２ａの間に供給される。
【００４９】
次いで、制御部６は、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構４を制御して塗布ユニット２を塗布対象基板Ｐの塗布面Ｐａ（ステンシル２０の表面）に沿って矢印Ｂの方向に移動させる。この際には、図７に示すように、スキージ１１が凹部５３内に押し込むようにしてフラックスＦを塗布面Ｐａに塗り拡げると共に、図８に示すように、スキージ１２ａが塗布対象基板Ｐの塗布面Ｐａ上および凹部５３内のフラックスＦ上に厚みＴ分のフラックスＦを塗り拡げつつ均一に平す。この際に、このステンシル２０では、前述したように、開口部３１の各角部３４が平面視曲線状となるように丸みを帯びて形成されている。したがって、口縁部３３ａの側から矢印Ｂの方向に塗布ユニット２が移動させられるのに伴い、開口部３１における口縁部３２ａ，３２ｂに接している状態の各スキージ１１，１２ａ，１２ｂが、開口部３１の角部において引っ掛かりを生じることなく、口縁部３３ｂに接する位置に向けてスムーズに移動させられる。
【００５０】
この場合、塗布ユニット２（各スキージ１１，１２ａ，１２ｂ）が口縁部３３ａ側から口縁部３３ｂまで移動させられる際には、移動方向に沿って形成されている口縁部３２ａ，３２ｂが各スキージ１１，１２ａ，１２ｂによって塗布対象基板Ｐの塗布面Ｐａに押し付けられる。このため、口縁部３３ｂにおいて口縁部３２ａ，３２ｂに接している幅方向の両端部（口縁部３２ａ，３２ｂと口縁部３３ｂとが接する両角部３４の近傍）は、各スキージ１１，１２ａ，１２ｂによって塗布面Ｐａに押し付けられた口縁部３２ａ，３２ｂと共に塗布面Ｐａに押し付けられて密着した状態となっている。したがって、例えば口縁部３３ｂに浮きが生じていたとしても、塗布ユニット２（スキージ１２ｂ）が口縁部３３ｂにおける幅方向の両端部に接した時点においては、少なくとも口縁部３３ｂにおける幅方向の両端部が塗布対象基板Ｐの塗布面Ｐａに密着した状態となる。この結果、スキージ１２ｂ等が口縁部３３ｂにおける幅方向の両端部に引っ掛かる事態が回避される。
【００５１】
また、このステンシル２０では、移動機構４による塗布ユニット２の移動方向（矢印Ｂの方向：前述した矢印Ａの方向に対する逆方向）に位置する口縁部３３ｂにおける両端部が塗布ユニット２の移動方向における手前側に最も突出すると共に、口縁部３３ｂにおける両端部から中央部に向かうほど塗布ユニット２の移動方向の下流側に凹むように開口部３１が形成されて、各スキージ１１，１２ａ，１２ｂの先端部に対して口縁部３３ｂが非平行となっている。したがって、移動機構４によって塗布ユニット２が移動させられてスキージ１２ｂが口縁部３３ｂの近傍に達したときには、まず、口縁部３３ｂにおける幅方向の両端部にスキージ１２ｂの先端部が接した後に、塗布ユニット２が矢印Ｂの方向にさらに移動させられることにより、スキージ１２ｂの先端部が、口縁部３３ｂにおける幅方向の両端部から幅方向の中央部に向けて順次接することとなる。
【００５２】
したがって、スキージ１２ｂの先端部が口縁部３３ｂにおける幅方向の両端部から幅方向の中央部に向けて順次接するようにして移動させられることにより、口縁部３３ｂに浮きが生じていたとしても、スキージ１２ｂの移動に伴って、浮きが生じている部位が口縁部３３ｂにおける幅方向の中央部に向かって移動して、最終的には、口縁部３３ｂにおける幅方向の中央部も塗布対象基板Ｐの塗布面Ｐａに押し付けられて密着した状態となる。この結果、スキージ１２ｂが口縁部３３ｂに引っ掛かる事態が回避される。なお、スキージ１２ｂと共に移動させられているスキージ１１やスキージ１２ａについても、スキージ１２ｂと同様にして口縁部３３ｂに引っ掛かる事態が回避される。これにより、前述した塗布対象基板Ｐに対する塗布処理時と同様にして、塗布ユニット２を塗布面Ｐａに沿って一回移動させるだけで、この塗布対象基板Ｐにおける塗布領域５５に対するフラックスＦの塗布処理が完了する。
【００５３】
このように、このフラックス塗布装置１、およびフラックス塗布装置１によるフラックス塗布方法によれば、塗布面Ｐａに押し当てられたステンシル２０に対してスキージ１１，１２ａ，１２ｂが相対的に移動する移動方向（図３に示す矢印Ａの方向）に位置する口縁部３３ａにおける幅方向の両端部が移動方向における手前側に最も突出すると共に幅方向の中央部に向かうほど移動方向に凹むように開口部３１を形成したステンシル２０を使用することにより、例えば口縁部３３ａにおける幅方向の中央部に塗布対象基板Ｐ（塗布面Ｐａ）に対する浮きが生じていたとしても、ステンシル２０に対してスキージ１１，１２ａ，１２ｂを移動方向に移動させたときに、口縁部３３ａにおける幅方向の両端部と中央部との間の各部に対してスキージ１１，１２ａ，１２ｂの先端部が両端部の側から順次接するようにして移動させられるため、上記の浮きが生じている部位を中央部に向かって移動させるようにしてステンシル２０の口縁部３３ａを塗布面Ｐａに密着させることができる。これにより、このフラックス塗布装置１、およびフラックス塗布装置１によるフラックス塗布方法によれば、フラックスＦの塗布に際してスキージ１１，１２ａ，１２ｂの先端部が口縁部３３ａに引っ掛かる事態を回避することができるため、ステンシル２０の破損やスキージ１１，１２ａ，１２ｂの傷付きを招くことなく、フラックスＦを塗布すべき塗布領域５５に必要量のフラックスＦを確実に塗布することができる。
【００５４】
また、このフラックス塗布装置１、およびフラックス塗布装置１によるフラックス塗布方法によれば、口縁部３３ａにおける幅方向の中央部を通過すると共に移動方向に沿った仮想線（図３に示す一点鎖線Ｌ）を基準として、口縁部３３ａが平面視において線対称形となるように開口部３１を形成したステンシル２０を使用することにより、各スキージ１１，１２ａ，１２ｂの先端部が口縁部３３ａにおける幅方向の各部に順次接するように各スキージ１１，１２ａ，１２ｂを移動させたときに、口縁部３３ａにおける幅方向の一方の端部から他方の端部に向かう方向にステンシル２０を移動させようとする力と、口縁部３３ａにおける上記の他方の端部から上記の一方の端部に向かう方向にステンシル２０を移動させようとする力とが相殺されるため、塗布対象基板Ｐに対するステンシル２０の幅方向へのずれが生じる事態を回避することができる。
【００５５】
さらに、このフラックス塗布装置１、およびフラックス塗布装置１によるフラックス塗布方法によれば、移動方向に対する逆方向（図３に示す矢印Ｂの方向）に位置する口縁部３３ｂにおける幅方向の両端部が逆方向における手前側に最も突出すると共に幅方向の中央部に向かうほど逆方向に凹むように開口部３１を形成したステンシル２０を使用することにより、上記の移動方向（矢印Ａの方向）に代えてその逆方向（矢印Ｂの方向）にスキージ１１，１２ａ，１２ｂを移動させてフラックスＦを塗布するときに口縁部３３ｂに対して各スキージ１１，１２ａ，１２ｂの先端部が引っ掛かる事態を回避することができるため、上記の逆方向に移動させてフラックスＦを塗布する際にも、ステンシル２０の破損やスキージ１１，１２ａ，１２ｂの傷付きを招くことなく、フラックスＦを塗布すべき塗布領域５５に必要量のフラックスＦを確実に塗布することができる。
【００５６】
また、このフラックス塗布装置１、およびフラックス塗布装置１によるフラックス塗布方法によれば、開口部３１の各角部３４が平面視曲線状となるように形成したステンシル２０を使用することにより、開口部３１における口縁部３２ａ，３２ｂに接している状態のスキージ１１，１２ａ，１２ｂを各角部３４において引っ掛かりを生じさせることなく、口縁部３３ａ（または、口縁部３３ｂ）に接する状態にスムーズに移動させることができる。
【００５７】
また、このフラックス塗布装置１によれば、板材として、開口部３１の上方に位置した状態においてステンシル２０に押し付けられているときにその先端部が塗布面Ｐａに接触するように弾性変形するスキージ１１と、スキージ１１よりも硬く形成されると共に開口部３１の上方に位置した状態においてステンシル２０に押し付けられているときに先端部が塗布面Ｐａから離間する２つのスキージ１２ａ，１２ｂとを備えて、両スキージ１２ａ，１２ｂの間にスキージ１１が挟まれるようにして配設されると共に、スキージ１１および両スキージ１２ａ，１２ｂの各先端部をステンシル２０の表面に押し付けた状態において、移動機構４が、口縁部３３ａに向かう矢印Ａの方向、および口縁部３３ｂに向かう矢印Ｂの方向に各スキージ１１，１２ａ，１２ｂを移動させてフラックスＦを塗布する構成を採用している。
【００５８】
したがって、このフラックス塗布装置１、およびフラックス塗布装置１によるフラックス塗布方法では、各スキージ１１，１２ａ，１２ｂを矢印Ａの方向に移動させるとき、および各スキージ１１，１２ａ，１２ｂを矢印Ｂの方向に移動させるときの双方において塗布対象基板ＰにフラックスＦを塗布することができるため、いずれか一方向にスキージを移動させるときにだけフラックスを塗布する構成と比較して、複数枚の塗布対象基板ＰにフラックスＦを塗布するのに要する時間を短縮することができるだけでなく、上記のステンシル２０を使用していることにより、スキージ１１，１２ｂによってフラックスＦを塗布しているとき（塗布ユニット２を矢印Ａの方向に移動させているとき）に本来的には不要なスキージ１２ａの先端部をステンシル２０から離間させなくても、ステンシル２０の破損やスキージ１２ａの傷付きを回避することができると共に、スキージ１１，１２ａによってフラックスＦを塗布しているとき（塗布ユニット２を矢印Ｂの方向に移動させているとき）に本来的には不要なスキージ１２ｂの先端部をステンシル２０から離間させなくても、ステンシル２０の破損やスキージ１２ｂの傷付きを回避することができる。したがって、このフラックス塗布装置１によれば、スキージ１２ａ，１２ｂをスキージ１１とは別個に上動させる機構が不要となる分だけ、その製造コストを十分に低減することができる。
【００５９】
なお、フラックス塗布装置の構成、およびフラックス塗布方法は、上記の構成および方法に限定されない。例えば、平面視略六角形状の開口部３１が形成されたステンシル２０を使用する例について説明したが、枠材に形成する開口部の平面形状はこれに限定されない。具体的には、図１４に示すステンシル２０Ａは、枠材の他の一例であって、例えばステンレススチール等の金属材料で薄板状に形成されると共に、塗布対象基板Ｐの塗布面ＰａにおけるフラックスＦを塗布すべき塗布領域５５Ａ（すなわち、上記の各バンプ形成部５２が形成されている領域）に対応して開口部３１Ａが形成されている。また、ステンシル２０Ａは、前述したステンシル２０と同様にして、その厚みが塗布領域５５Ａに塗布すべきフラックスＦの塗布厚（塗布すべきフラックスＦの量）に応じて規定されている。
【００６０】
この場合、このステンシル２０Ａでは、一例として、移動機構４による塗布ユニット２の移動方向（矢印Ａの方向）に沿った口縁部３５ａ，３５ｂが移動方向と平行になるように開口部３１Ａが形成されている。具体的には、このステンシル２０Ａは、口縁部３６ａにおける幅方向（図１４における上下方向：上記の移動方向と直交する方向）の両端部のうちの一方（この例では、同図における上側の端部）が上記の移動方向における手前側に最も突出する（移動方向の上流側に位置する）と共に、口縁部３６ａにおける幅方向のうちの一方（この例では、同図における上側の端部）から幅方向の両端部のうちの他方（この例では、同図における下側の端部）に向かうほど矢印Ａの方向の下流側に凹むように開口部３１Ａが形成されている。
【００６１】
また、このステンシル２０Ａでは、上記の移動方向（矢印Ａの方向）に対する逆方向（矢印Ｂの方向）に位置する口縁部３６ｂ（「第２の口縁部」の一例）が、口縁部３６ａと同様にして、各スキージ１１，１２ａ，１２ｂの先端部（上記の逆方向に直交する方向）に対して平面視において非平行となるように開口部３１Ａが形成されている。具体的には、このステンシル２０Ａでは、口縁部３６ｂにおける幅方向（図１４における上下方向：上記の移動方向と直交する方向）の両端部のうちの一方（この例では、同図における下側の端部）が矢印Ｂの方向おける手前側に最も突出する（移動方向の上流側に位置する）と共に、口縁部３６ｂにおける幅方向のうちの一方（この例では、同図における下側の端部）から幅方向の両端部のうちの他方（この例では、同図における上側の端部）に向かうほど矢印Ｂの方向の下流側に凹むように開口部３１Ａが形成されている。
【００６２】
これにより、このステンシル２０Ａでは、開口部３１Ａが平面視略平行四辺形状となっている。なお、上記の口縁部３６ｂは、フラックス塗布装置１によるフラックスＦの塗布に際して移動機構４が塗布ユニット２を矢印Ｂの方向に移動させてフラックスＦを塗り拡げる際には、「移動機構による少なくとも一方の移動に際して塗布面に押し当てられた枠材に対して板材が相対的に移動する移動方向に位置する第１の口縁部」に相当する。なお、口縁部３６ａにおける幅方向の両端部のうちの下方の端部を矢印Ａの方向の手前側に最も突出させたり、口縁部３６ｂにおける幅方向の両端部のうちの上方の端部を矢印Ｂの方向の手前側に最も突出させたりすることもできる。また、このステンシル２０Ａでは、開口部３１Ａの各角部３７が平面視曲線状となるように丸みを帯びて形成されている。このようなステンシル２０Ａを使用した場合においても、ステンシル２０を使用したときと同様の効果を奏することができる。
【００６３】
具体的には、塗布面Ｐａに押し当てられたステンシル２０Ａに対してスキージ１１，１２ａ，１２ｂが相対的に移動する移動方向（図１４に示す矢印Ａの方向）に位置する口縁部３６ａにおける幅方向の両端部のうちの一方が移動方向における手前側に最も突出すると共に両端部のうちの他方に向かうほど移動方向に凹むように開口部３１Ａを形成したステンシル２０Ａを使用することにより、例えば口縁部３６ａにおける幅方向の中央部に塗布対象基板Ｐ（塗布面Ｐａ）に対する浮きが生じていたとしても、ステンシル２０Ａに対してスキージ１１，１２ａ，１２ｂを移動方向に移動させたときに、口縁部３６ａにおける幅方向の両端部のうちの一方と他方との間の各部に対してスキージ１１，１２ａ，１２ｂの先端部が一方の端部側から順次接するようにして移動させられるため、上記の浮きが生じている部位を他方の端部に向かって移動させるようにしてステンシル２０Ａの口縁部３６ａを塗布面Ｐａに密着させることができる。これにより、フラックスＦの塗布に際してスキージ１１，１２ａ，１２ｂの先端部が口縁部３６ａに引っ掛かる事態を回避することができるため、ステンシル２０Ａの破損やスキージ１１，１２ａ，１２ｂの傷付きを招くことなく、フラックスＦを塗布すべき塗布領域５５に必要量のフラックスＦを確実に塗布することができる。
【００６４】
また、移動方向に対する逆方向（図１４に示す矢印Ｂの方向）に位置する口縁部３６ｂにおける幅方向の両端部のうちの一方が逆方向における手前側に最も突出すると共に両端部のうちの他方に向かうほど逆方向に凹むように開口部３１Ａを形成したステンシル２０Ａを使用することにより、上記の移動方向（矢印Ａの方向）に代えてその逆方向（矢印Ｂの方向）にスキージ１１，１２ａ，１２ｂを移動させてフラックスＦを塗布するときに口縁部３６ｂに対して各スキージ１１，１２ａ，１２ｂの先端部が引っ掛かる事態を回避することができるため、上記の逆方向に移動させてフラックスＦを塗布する際にも、ステンシル２０Ａの破損やスキージ１１，１２ａ，１２ｂの傷付きを招くことなく、フラックスＦを塗布すべき塗布領域５５に必要量のフラックスＦを確実に塗布することができる。
【００６５】
さらに、開口部３１Ａの各角部３７が平面視曲線状となるように形成したステンシル２０Ａを使用することにより、開口部３１Ａにおける口縁部３５ａ，３５ｂに接している状態のスキージ１１，１２ａ，１２ｂを各角部３７において引っ掛かりを生じさせることなく、口縁部３６ａ（または、口縁部３６ｂ）に接する状態にスムーズに移動させることができる。
【００６６】
また、スキージ１１，１２ａ，１２ｂの３枚のスキージを有する塗布ユニット２を備えたフラックス塗布装置１を例に挙げて説明したが、２枚以下のスキージを備えてフラックス塗布装置を構成することもできる。具体的には、一例として、スキージを矢印Ａの方向に移動させるときにだけフラックスＦを塗布する（矢印Ｂの方向に移動させるときにはフラックスＦの塗布を行わない）場合には、上記の塗布ユニット２におけるスキージ１２ａを不要としてスキージ１１，１２ｂだけを備えて構成し、スキージを矢印Ｂの方向に移動させるときにだけフラックスＦを塗布する（矢印Ａの方向に移動させるときにはフラックスＦの塗布を行わない）場合には、上記の塗布ユニット２におけるスキージ１２ｂを不要としてスキージ１１，１２ａだけを備えて構成することができる。
【００６７】
さらに、例えば、スキージ１２ａ，１２ｂのいずれか一方（以下、いずれか一方を「スキージ１２」ともいう）と、スキージ１１とを移動機構４に取り付けると共に、この移動機構４を、塗布面Ｐａに対して垂直な回動軸を中心として回転可能に軸支して、フラックスＦの塗布処理に際して移動方向の手前側にスキージ１２が位置するように移動機構４を回動させる構成を採用することができる。また、発明者が開発した塗布装置のように、１枚のスキージ１２ｘだけを使用してフラックスＦを塗布する構成を採用することもできる。これらの構成のいずれを採用した場合においても、上記のステンシル２０，２０Ａ等を使用することで、上記のフラックス塗布装置１と同様の効果を奏することができる。
【００６８】
この場合、板材を上記の矢印Ａに移動させるときにだけフラックスＦを塗布する構成を採用する場合には、ステンシル２０，２０Ａにおける開口部３１，３１Ａの口縁部３３ｂ，３６ｂをステンシル２０ｘにおける口縁部３３ｂｘと同様に板材と平行となるように形成してもよい。また、板材を上記の矢印Ｂに移動させるときにだけフラックスＦを塗布する構成を採用する場合には、ステンシル２０，２０Ａにおける開口部３１，３１Ａの口縁部３３ａ，３６ａをステンシル２０ｘにおける口縁部３３ａｘと同様に板材と平行となるように形成してもよい。
【００６９】
さらに、上記のフラックス塗布装置１では、各スキージ１１，１２ａ，１２ｂの３枚をＸ−Ｙ−Ｚ移動機構４に固定して各スキージ１１，１２ａ，１２ｂを同時に同じ方向に移動させる構成を採用しているが、スキージ１１を移動させる移動機構、スキージ１２ａを移動させる移動機構、およびスキージ１２ｂを移動させる移動機構をそれぞれ別個に設けて各スキージを別個独立して移動させる構成を採用することもできる。また、上記のフラックス塗布装置１では、塗布処理位置に固定したステンシル２０に対して基板搬送機構５によって塗布対象基板Ｐを搬送すると共に、Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構４によって塗布ユニット２をステンシル２０および塗布対象基板Ｐに向けて移動させる構成を採用しているが、所定位置に固定した塗布ユニット２に向けてステンシル２０および塗布対象基板Ｐを移動させる構成や、ステンシル２０を押し当てた塗布対象基板Ｐおよび塗布ユニット２の双方を移動させる構成を採用することもできる。
【符号の説明】
【００７０】
１  フラックス塗布装置
２  塗布ユニット
４  Ｘ−Ｙ−Ｚ移動機構
５  基板搬送機構
１１，１２ａ，１２ｂ  スキージ
２０，２０Ａ  ステンシル
３１，３１Ａ  開口部
３２ａ，３２ｂ，３３ａ，３３ｂ，３５ａ，３５ｂ，３６ａ，３６ｂ  口縁部
３４，３７  角部
５５，５５Ａ  塗布領域
Ｆ  フラックス
Ｌ  一点鎖線
Ｐ  塗布対象基板
Ｐａ  塗布面
Ｔ  厚み
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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