(57)【要約】【課題】接着シートの張力を一定に維持した状態で半導体ウエハ等の被着体に貼付することのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供すること。【解決手段】帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シートＳが仮着された原反Ｒを繰り出す繰出手段１２と、剥離シートＲＬを接着シートＳから剥離する剥離板１３と、接着シートＳを半導体ウエハＷに押圧して貼付する押圧ローラ１９と、接着シートＳの張力を検出する張力検出手段１５と、接着シートＳが剥離される前の剥離前原反Ｒ１と当該剥離前原反Ｒ１が接触する部材との少なくとも一方の帯電を中和するイオナイザ１７とを備え、当該イオナイザ１７により、剥離前原反Ｒ１に接する部材の帯電が除去されて接着シートＳが半導体ウエハＷに貼付される。【選択図】図１
2011187464.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の剥離シートの一方の面に帯状の接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記原反の繰出途中で前記接着シートを剥離シートから剥離する剥離手段と、前記剥離シートから剥離された接着シートが前記剥離手段と連なった状態で被着体を臨む姿勢を維持しつつ、当該接着シートを押圧して前記被着体に貼付する押圧手段と、前記押圧手段が前記接着シートを被着体に貼付するときの当該接着シートに付与される張力を検出する張力検出手段と、前記張力検出手段の検出値が所定値となるように前記剥離手段を移動させる移動手段とを含むシート貼付装置において、
前記接着シートが剥離される前の剥離前原反と当該剥離前原反が接触する部材との少なくとも一方の帯電を中和する帯電除去手段を設けたことを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
極性検知手段を更に含み、前記帯電除去手段は極性検知手段のデータに基づいて中和することを特徴とする請求項１記載のシート貼付装置。
【請求項３】
帯状の剥離シートの一方の面に帯状の接着シートが仮着された原反を繰り出す工程と、
前記原反の繰出途中で剥離手段を用いて前記接着シートを剥離シートから剥離する工程と、
前記剥離シートから剥離された接着シートが前記剥離手段と連なった状態で被着体を臨む姿勢を維持しつつ、当該接着シートを押圧手段で押圧して前記被着体に貼付する工程と、
前記押圧手段が前記接着シートを被着体に貼付するときの当該接着シートに付与される張力を張力検出手段で検出する工程と、
前記張力検出手段の検出値が所定値となるように前記剥離手段を移動させる工程と、
前記接着シートが剥離される前の剥離前原反と当該剥離前原反が接触する部材との少なくとも一方の帯電を中和する工程とを有することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はシート貼付装置及び貼付方法に係り、更に詳しくは、接着シートの張力を一定に維持して当該接着シートを被着体に貼付することのできるシート貼付装置及び貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、必要に応じて「ウエハ」と称する）には、その回路面を保護するための接着シートを貼付したり、裏面側にダイシングテープ等の接着シートを貼付したりすることが行われている。
【０００３】
このような接着シートの貼付装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。同装置は、接着シートを剥離シートから剥離するピールプレート（剥離板）と、接着シートをウエハに押圧して貼付する押圧ローラと、接着シートの張力を検出するロードセルを有する張力測定手段とを備え、押圧ローラをウエハの径方向一端側から他端側に移動させたときの接着シートの張力を張力測定手段で検出しつつ、張力測定手段に設定された所定の張力を維持するようにピールプレートを移動させることで、所定の張力を付与して接着シートをウエハに貼付する構成となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１９２３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載されたシート貼付装置は、押圧ローラに至るまでの原反若しくは接着シートの張力を一定に維持して当該接着シートをウエハに貼付するものであるが、同じ接着シートを使用する場合であっても、装置の稼働時期や環境の変化によって張力にばらつきを生じてしまう場合がある。
すなわち、接着シートに接触する剥離板等の部材が静電気等によって帯電することで、張力測定手段が検出している張力と、実際に接着シートに付与されている張力とで誤差が生じてしまうことで、接着シートに過大な張力が付与された状態、或いは、接着シートが弛んだ状態で貼付されてしまう、という不都合を招来する。
これを更に詳述すると、例えば、剥離板の帯電極性と原反の帯電極性とが反対の場合、原反は剥離板に引き付けられる。これにより、張力測定手段で測定している値より大きい張力が接着シートに付与されたときに、剥離板を移動させることになるので、実際には所定の張力以上の張力が接着シートに付与されてウエハに貼付されることとなる。ここで、帯電によって原反の張力が大きくなることを予め見込んで、剥離板を移動させるように張力測定手段の設定値を下げると、剥離板と原反が同じ極性に帯電した場合に、接着シートが弛んでウエハに貼付されてしまうことがある。
【０００６】
［発明の目的］
本発明の目的は、接着シートの張力を所定値に維持した状態で当該接着シートを被着体に貼付することのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明は、帯状の剥離シートの一方の面に帯状の接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記原反の繰出途中で前記接着シートを剥離シートから剥離する剥離手段と、前記剥離シートから剥離された接着シートが前記剥離手段と連なった状態で被着体を臨む姿勢を維持しつつ、当該接着シートを押圧して前記被着体に貼付する押圧手段と、前記押圧手段が前記接着シートを被着体に貼付するときの当該接着シートに付与される張力を検出する張力検出手段と、前記張力検出手段の検出値が所定値となるように前記剥離手段を移動させる移動手段とを含むシート貼付装置において、前記接着シートが剥離される前の剥離前原反と当該剥離前原反が接触する部材との少なくとも一方の帯電を中和する帯電除去手段を設ける、という構成を採っている。
【０００８】
本発明において、極性検知手段を更に含み、前記帯電除去手段は極性検知手段のデータに基づいて中和する構成を採るとよい。
【０００９】
また、前記剥離手段は剥離板を含む一方、前記押圧手段は押圧ローラを含み、前記剥離板は、前記押圧ローラが前記接着シートを押圧しながら被着体上を移動するときに予め設定された張力を維持するように移動するように設けられている。
【００１０】
更に、本発明は、帯状の剥離シートの一方の面に帯状の接着シートが仮着された原反を繰り出す工程と、前記原反の繰出途中で剥離手段を用いて前記接着シートを剥離シートから剥離する工程と、前記剥離シートから剥離された接着シートが前記剥離手段と連なった状態で被着体を臨む姿勢を維持しつつ、当該接着シートを押圧手段で押圧して前記被着体に貼付する工程と、前記押圧手段が前記接着シートを被着体に貼付するときの当該接着シートに付与される張力を張力検出手段で検出する工程と、前記張力検出手段の検出値が所定値となるように前記剥離手段を移動させる工程と、前記接着シートが剥離される前の剥離前原反と当該剥離前原反が接触する部材との少なくとも一方の帯電を中和する工程とを有する、という手法を採っている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、原反を繰り出す途中で剥離前原反や剥離前原反に接する部材が帯電しても、その電荷を中和することによって、帯電により張力測定手段が検出している張力と、実際に接着シートに付与されている張力とで誤差が生じ、接着シートが過剰に引っ張られた状態で被着体に貼付されたり、接着シートが弛んだ状態で被着体に貼付されたりするような不都合は生じない。
また、極性検知手段を含む構成によれば、帯電した極性が何れであっても、それに対応した中和を行うことができ、原反や、これに接する部材の材質等に伴う極性変化に難なく対応可能となる。
更に、押圧ローラの移動に伴って剥離板が移動する構成では、信頼できる張力値に基づいて剥離板を移動させることができ、接着シートの張力を所定値に保った状態でシート貼付が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。
【図２】シート貼付装置の変形例を示す概略正面図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１４】
図１において、シート貼付装置１０は、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に帯状の接着シートＳが仮着された原反Ｒを繰り出す繰出手段１２と、原反Ｒの繰出途中で接着シートＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離手段としての板状の剥離板１３と、剥離シートＲＬから剥離された接着シートＳが剥離板１３と連なった状態で被着体としてのウエハＷを臨む姿勢を維持しつつ、当該接着シートＳを押圧してウエハＷに貼付する押圧手段としての押圧ローラ１９と、押圧ローラ１９が接着シートＳをウエハＷに貼付するときの接着シートＳに付与される張力を検出する張力検出手段１５としてのロードセル３４と、張力検出手段１５の検出値が所定値となるように剥離板１３を移動させる移動手段３７と、接着シートＳが剥離される前の剥離前原反Ｒ１と当該剥離前原反Ｒ１が接触する部材との少なくとも一方の帯電を中和する帯電除去手段としてのイオナイザ１７と、ウエハＷを支持するテーブル１８と、ウエハＷに接着シートＳを貼付した後に当該ウエハＷの外縁に沿って接着シートＳを切断する切断装置２０と、ウエハＷの外側の不要接着シートＳ１を巻き取る巻取手段２１とを備えて構成されている。
【００１５】
前記繰出手段１２は、ロール状に巻回された原反Ｒを支持する支持ローラ１１と、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ１４と、支持ローラ１１と回収ローラ１４との間に配置された複数のガイドローラ２５〜３１及びダンサローラ３３と、ロードセル３４が接続された張力測定ローラ３６と、ブレーキシュー４０、４１を介して接着シートＳを挟み込み接着シートＳの繰出を抑制するシリンダ４３、４４と、剥離板１３とガイドローラ２７〜２９とロードセル３４と張力測定ローラ３６とシリンダ４３、４４とを支持するフレームＦ１とを備えて構成されている。
【００１６】
前記押圧ローラ１９は、フレーム６０の上面側に設けられたシリンダ６１の出力軸に回転可能に支持されており、シリンダ６１の作動により図1中上下に移動可能に設けられ、フレーム６０は、リニアモータ７５を介して図１中左右方向に移動可能となっている。
【００１７】
前記移動手段３７は、単軸ロボット３８を含み、当該単軸ロボット３８の図示しないスライダがフレームＦ１に取り付けられ、図示しない制御手段を介してロードセル３４によって検出された接着シートＳの張力によって、フレームＦ１を図１中上下方向に昇降可能に支持している。
【００１８】
前記帯電除去手段を構成するイオナイザ１７は、ガイドローラ２５〜２７、ダンサローラ３３、張力測定ローラ３６、剥離板１３にそれぞれ対応した配置と、ガイドローラ２６と２７との間に架け渡された接着シートＳが剥離される前の剥離前原反Ｒ１に対応した配置とに配置されている。これらイオナイザ１７には、極性検知手段５５がそれぞれ併設されており、この極性検知手段５５によって帯電の極性を検知し、当該極性に対応してイオナイザ１７が帯電を中和するイオン放出を行うようになっている。なお、イオナイザとしては、光イオン化方式や、コロナ放電方式等が例示できる。
【００１９】
前記テーブル１８は、内側テーブル５８と、内側テーブル５８との間に隙間を形成するように凹状に設けられた外側テーブル５７と、内側テーブル５８を昇降させる単軸ロボット５９とにより構成され、内側テーブル５８は、接着シートＳの厚みやウエハＷの厚みに応じて昇降可能に設けられている。
【００２０】
前記切断装置２０は、テーブル１８の図１中奥行き側の側方位置に配置されたロボット本体６３と、当該ロボット本体６３の自由端側に支持されたカッター刃６４とを備えて構成されている。この切断装置２０は、本出願人によって提案された特開２００７−６２００４号公報に開示されたものと同一のものが採用されているため、詳細な説明を省略する。
【００２１】
前記巻取手段２１は、フレームＦ２に支持されたローラ７０と、モータＭによって駆動する駆動ローラ５０と、駆動ローラ５０との間に不要シートＳ１を挟み込み当該駆動ローラ５０に追従回転する巻取ローラ５３とを備えている。なお、フレームＦ２は、リニアモータ７５のスライダ７５Ａ上に支持されて図１中左右方向に移動可能に設けられている。
【００２２】
次に、本実施形態における接着シートＳの貼付方法について説明する。
【００２３】
初期設定において、原反Ｒを支持ローラ１１から所定長さ引き出し、図１に示されるように、上昇位置にある剥離板１３で剥離シートＲＬを剥離し、接着シートを巻取ローラ５３に固定する一方、剥離シートＲＬを回収ローラ１４に固定する。
【００２４】
電源が投入されると、巻取手段２１が作動し、先のシート貼付動作で接着シートＳに形成された穴がローラ７０を超える位置まで接着シートＳを巻き取る。その後、ブレーキシュー４０、４１がガイドローラ２７、２９にそれぞれ当接して接着シートＳの繰り出しを抑制し、スタンバイ状態となる。また、電源が投入されると同時に、各極性検知手段５５は、対応するガイドローラ２５、２６、２７、バッファローラ３３、張力測定ローラ３６、剥離板１３及び剥離前原反Ｒ１の帯電極性を検知し、帯電していることが検知されると、その極性に応じてイオナイザ１７からイオン放出が行われて帯電を中和する。このイオナイザ１７及び極性検知手段５５は、その後も継続的に動作して帯電状態を監視しつつ帯電時の中和動作を行って除電することとなる。
【００２５】
次いで、図示しない搬送手段を介して内側テーブル５８上にウエハＷがセットされると、押圧ローラ１９が図１中左側に移動する。この押圧ローラ１９の移動に伴って、接着シートＳには張力が加わり、張力測定ローラ３６に引張力が付与されることとなる。そこで、ロードセル３４がその張力変化を検知しつつ、図示しない制御手段が所定張力を維持するようにフレームＦ１を移動手段３８によって、図中二点鎖線で示されるように下降させることで、接着シートＳが外側テーブル５７の上面とウエハＷの上面に貼付される。この際、剥離板１３と張力測定ローラ３６は、イオナイザ１７により除電されているため、接着シートＳと、これに接している剥離板１３や張力測定ローラ３６とで、引き付けあったり、離れたりする力が作用することはない。これにより、ロードセル３４が検出している張力と実際に接着シートＳに付与されている張力とで誤差を生じることはなくなる。その結果、接着シートＳは、所定の張力が付与された状態でウエハＷに貼付される。
【００２６】
接着シートＳの貼付が完了すると、ロボット本体６３が作動してカッター刃６４を介してウエハＷの外周縁に沿って接着シートＳを切断し、ウエハＷが図示しない搬送手段を介してテーブル１８から取り去られる。その後、フレームＦ２が図中左側に移動することで、不要接着シートＳ１が外側テーブル５７の上面から剥離されて巻取ローラ５３によって巻き取られる。次いで、ブレーキシュー４０、４１がガイドローラ２７、２９から離れ、フレームＦ１が上昇すると同時に、押圧ローラ１９が上昇し、フレームＦ２と共に図１に示される位置に復帰し、新たな接着シートＳの繰り出しを行い、以降上記同様の動作が行われることとなる。この繰り出しに際しても、ガイドローラ２５〜２７、ダンサローラ３３、張力測定ローラ３６、剥離板１３及び剥離前原反Ｒ１の帯電が監視され、帯電時にはその除電が行われることとなる。
【００２７】
従って、このような実施形態によれば、原反Ｒの繰り出しに際して、支持ローラ１１と剥離板１３との間で剥離前原反Ｒ１に接するガイドローラ等の部材が帯電しても、イオナイザ１７によって帯電が除去されるため、接着シートＳの張力を所定値に維持した状態で当該接着シートＳをウエハＷに貼付することができる。
【００２８】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００２９】
例えば、前記実施形態では、帯電除去手段としてイオナイザ１７を用いた構成を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、図２に示されるように、ガイドローラ２５〜２７、ダンサローラ３３、張力測定ローラ３６、剥離板１３及び剥離前原反Ｒ１に電気的に導通可能なアース線９０を接続して帯電除去手段を構成してもよい。
【００３０】
また、剥離手段としての剥離板１３に替えてローラを用いることもできる。
【００３１】
更に、本発明に係るシート貼付装置１０は図示構成例に限定されるものではなく、ウエハ等の被着体に接着シートを繰り出して貼付することのできる装置一般に適用でき、接着シートの張力を一定に保って当該接着シートを貼付する構成に適用することができる。要するに、本発明は、原反若しくは接着シートを繰り出す経路において、当該原反等との接触によって発生する静電気等による帯電を除去するように構成されていればよい。また、押圧手段は押圧ローラ１９に限らず、押圧板等を用いることもできる。
【００３２】
また、被着体はウエハＷに限らず、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の部材も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハであってもよい。
【符号の説明】
【００３３】
１０  シート貼付装置
１２  繰出手段
１３  剥離板（剥離手段）
１５  張力検出手段
１７  イオナイザ（帯電除去手段）
１９  押圧ローラ（押圧手段）
３７  移動手段
５５  極性検知手段
９０  アース（帯電除去手段）
Ｒ  原反
Ｒ１  剥離前原反
ＲＬ  剥離シート
Ｓ  接着シート
Ｗ  ウエハ（被着体）
【図１】
2011187464.tif 000003
【図２】
2011187464.tif 000004