(57)【要約】【課題】簡便な構成でありながら、１台のガス供給装置により各生産装置に清浄ガスを供給でき、生産装置のレイアウトの自由度が高められる。【解決手段】ワークの生産処理を行う複数の生産装置２と、生産装置２に清浄ガスＣを供給するガス供給装置３とを備え、複数の生産装置２が配列された生産システム１であって、生産装置２は、ワークに生産処理を施す処理部２１と、処理部２１を収容する略箱状の装置基体２３と、装置基体２３を貫通して形成され内部に清浄ガスＣが流通する供給導管４とを備え、供給導管４は、装置基体２３の外面２３Ｃに開口する複数の連結口４１と、これら連結口４１間に配置され装置基体２３内に開口する吹出し口４４と、を有し、隣り合う生産装置２は、対向する互いの連結口４１を連結させているとともに供給導管４同士を連通させ、ガス供給装置３は、少なくとも１つ以上の連結口４１に連結されて、供給導管４に清浄ガスＣを供給する。【選択図】図１
2011025360.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの生産処理を行う複数の生産装置と、前記生産装置に清浄ガスを供給するガス供給装置と、を備え、
複数の前記生産装置が配列された生産システムであって、
前記生産装置は、
ワークに生産処理を施す処理部と、
前記処理部を収容する略箱状の装置基体と、
前記装置基体を貫通して形成され、内部に前記清浄ガスが流通する供給導管と、を備え、
前記供給導管は、
前記装置基体の外面に開口する複数の連結口と、
これら連結口間に配置され、前記装置基体内に開口する吹出し口と、を有し、
隣り合う前記生産装置は、対向する互いの前記連結口を連結させているとともに前記供給導管同士を連通させ、
前記ガス供給装置は、少なくとも１つ以上の前記連結口に連結されて、前記供給導管に前記清浄ガスを供給することを特徴とする生産システム。
【請求項２】
前記装置基体の外面には、該装置基体内の環境ガスを装置外部へ排出する排出口が開口していることを特徴とする請求項１に記載の生産システム。
【請求項３】
前記装置基体には、該装置基体を貫通する排出導管が設けられ、
前記排出導管は、
複数の前記排出口と、
これら排出口間に配置され、前記装置基体内の前記環境ガスを受け入れる受入れ口と、を備え、
隣り合う前記生産装置は、対向する互いの前記排出口を連結させているとともに前記排出導管同士を連通させていることを特徴とする請求項２に記載の生産システム。
【請求項４】
前記連結口には、管状の連結部材が装着され、
隣り合う前記生産装置の対向する前記連結口同士が、前記連結部材を介して連結されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の生産システム。
【請求項５】
前記ガス供給装置は、複数の前記生産装置とともに配列されており、
前記清浄ガスを送出する清浄ガス送出口を有し、
前記清浄ガス送出口は、該ガス供給装置に隣り合う前記生産装置の対向する前記連結口に連結されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の生産システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに対して加工工程や組立工程等の生産処理を行う生産装置を複数配列し、物品を生産する生産システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
光学部品や電子部品などの精密部品、またはこのような精密部品を備える精密装置の生産工程では、工程内にゴミ等の異物が混入すると製品の不良につながることから、作業用空間を清浄な環境とするのが一般的である。このような清浄な環境を形成するには、通常は作業空間を箱状に覆い、清浄ガス等を供給するガス供給装置を用いてこの箱内を清浄な環境下としている。すなわち、このように清浄な環境を確保しつつ作業することで、異物混入等に起因する不良を防止しているのである。
【０００３】
従来、このような清浄な環境を形成する装置としては、例えば、特許文献１に記載された自動製造装置（生産システム）が知られている。この自動製造装置は、被対象物（ワーク）を搬送する搬送手段と、箱状をなし内部で被対象物に所定の作業を施す複数の作業手段（生産装置）と、を備えている。また、これらの作業手段は、搬送手段の搬送経路に沿って配列されている。そして、清浄ガスの供給手段（ガス供給装置）を、配管等を用いて各作業手段に装置外部から接続したり、各作業手段内にそれぞれ直接配設したりすることにより、作業手段内に清浄ガスを供給して清浄な環境が得られるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平６−３１５５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前述した複数の生産装置を備える生産システムにおいては、下記のような課題を有している。
すなわち、清浄ガスのガス供給装置を、配管等を用いて各生産装置に装置外部から接続する場合、これらの生産装置の設置や入れ替え等に応じて配管等を組み直す必要があった。また、このような配管等の設置により、生産装置のレイアウトが制限されることがあった。
【０００６】
また、ガス供給装置を各生産装置内にそれぞれ配設する場合、生産装置のレイアウトの自由度は増すが、その一方で、ガス供給装置を収容する各生産装置の外形が大きくなってしまう。またこの場合、設備コストやランニングコストが増大することになる。
【０００７】
本発明は、このような事情を考慮しなされたものであって、簡便な構成でありながら、１台のガス供給装置により各生産装置に清浄ガスを供給でき、生産装置のレイアウトの自由度が高められる生産システムを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を提案している。
すなわち本発明は、ワークの生産処理を行う複数の生産装置と、前記生産装置に清浄ガスを供給するガス供給装置と、を備え、複数の前記生産装置が配列された生産システムであって、前記生産装置は、ワークに生産処理を施す処理部と、前記処理部を収容する略箱状の装置基体と、前記装置基体を貫通して形成され、内部に前記清浄ガスが流通する供給導管と、を備え、前記供給導管は、前記装置基体の外面に開口する複数の連結口と、これら連結口間に配置され、前記装置基体内に開口する吹出し口と、を有し、隣り合う前記生産装置は、対向する互いの前記連結口を連結させているとともに前記供給導管同士を連通させ、前記ガス供給装置は、少なくとも１つ以上の前記連結口に連結されて、前記供給導管に前記清浄ガスを供給することを特徴とする。
【０００９】
また、上記の生産システムにおいて、前記装置基体の外面には、該装置基体内の環境ガスを装置外部へ排出する排出口が開口していることがより好ましい。
【００１０】
また、上記の生産システムにおいて、前記装置基体には、該装置基体を貫通する排出導管が設けられ、前記排出導管は、複数の前記排出口と、これら排出口間に配置され、前記装置基体内の前記環境ガスを受け入れる受入れ口と、を備え、隣り合う前記生産装置は、対向する互いの前記排出口を連結させているとともに前記排出導管同士を連通させていることがより好ましい。
【００１１】
また、上記の生産システムにおいて、前記連結口には、管状の連結部材が装着され、隣り合う前記生産装置の対向する前記連結口同士が、前記連結部材を介して連結されていることがより好ましい。
【００１２】
また、上記の生産システムにおいて、前記ガス供給装置は、複数の前記生産装置とともに配列されており、前記清浄ガスを送出する清浄ガス送出口を有し、前記清浄ガス送出口は、該ガス供給装置に隣り合う前記生産装置の対向する前記連結口に連結されていることがより好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の生産システムによれば、簡便な構成でありながら、１台のガス供給装置により各生産装置に清浄ガスを供給でき、これら生産装置の設置に手間がかからず、レイアウトの自由度が高められる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１実施形態に係る生産システムの概略構成を説明する側断面図である。
【図２】同生産システムを構成する装置モジュールの概略構成を説明する透過斜視図である。
【図３】同生産システムを構成する装置モジュールの連結口（排出口）近傍を拡大して示す側断面図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係る生産システムの概略構成を説明する側断面図である。
【図５】同生産システムを構成する装置モジュールの連結口（排出口）近傍を拡大して示す側断面図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る生産システムの概略構成を説明する側断面図である。
【図７】本発明の第４実施形態に係る生産システムの概略構成を説明する上断面図である。
【図８】同生産システムを構成する装置モジュールの連結口（排出口）近傍を拡大して示す側断面図である。
【図９】本発明の第５実施形態に係る生産システムの概略構成を説明する上断面図である。
【図１０】図９に示すジョイントパイプ近傍を拡大して示す側断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
（第１実施形態）
以下、本発明に係る生産システムの第１実施形態を、図１から図３を参照しながら説明する。
図１に示すように、本実施形態の生産システム１は、例えばレンズ等の不図示のワークの生産処理を行う略直方体状の複数の装置モジュール（生産装置）２と、装置モジュール２に清浄空気（清浄ガス）Ｃを供給するガス供給装置３と、を備えている。なお、ここで言う生産処理とは、例えば、加工、表面処理、洗浄、組立、検査、測定、修理、梱包等のワークを生産する過程において施される各種処理を意味する。
【００１６】
それぞれの装置モジュール２では、ワークに対して少なくとも１つの生産処理が施されるようになっている。図１において、これらの装置モジュール２は、互いに同一形状とされており、各装置モジュール２の外形寸法は、互いに同一に設定されている。また、これらの装置モジュール２は、水平方向（図１における左右方向）に沿って並べられており、互いに隣接して配列されている。尚、図１における矢印Ａは、水平方向のうちこれらの装置モジュール２が配列する方向を示しており、以下の説明においてはこの方向を「配列方向Ａ」とする。
【００１７】
装置モジュール２は、その内部においてワークに少なくとも１つの生産処理を施す処理部２１を有している。また、装置モジュール２は、処理部２１との間で信号を授受するとともに、該処理部２１の動作を制御する制御部（不図示）を有している。
【００１８】
また、装置モジュール２は、直方体箱状をなし、該装置モジュール２の本体部分を構成するモジュールシェル（装置基体）２３を有している。モジュールシェル２３は、その内部に処理部２１及び前記制御部を収容している。図２に示すように、処理部２１は、装置モジュール２内における鉛直方向（図２における上下方向）の下端部に配置された後述する排出導管５上に載置されている。処理部２１と前記制御部とは、モジュールシェル２３内において、例えば不図示のケーブル等により互いに電気的に接続されている。
【００１９】
また、モジュールシェル２３の外面は、鉛直方向の上側を向く天面２３Ａと、鉛直方向の下側を向く底面２３Ｂと、これら天面２３Ａ及び底面２３Ｂに直交する水平方向のうち配列方向Ａを向く一対の側面２３Ｃとを有する。これら天面２３Ａ、底面２３Ｂ、及び一対の側面２３Ｃは、それぞれが平面に形成されている。
【００２０】
また、図示しないが、一対の側面２３Ｃには、例えば略矩形孔状をなすワーク搬送口がそれぞれ開口し形成されている。これらのワーク搬送口は、隣り合う装置モジュール２同士の間でワークを搬送する際に用いられる。尚、これらのワーク搬送口は、側面２３Ｃに設けられたシャッター（不図示）により開閉可能とされていて、ワークを搬送する際以外は該シャッターにより閉じられている。
【００２１】
また、図示しないが、これらのワーク搬送口には、例えば、リニアモータで動作するシャトル等からなる搬送機構が設けられている。そして、隣り合う装置モジュール２、２同士は、配列方向Ａに沿って、ワークの受け渡しが可能とされている。
【００２２】
また、装置モジュール２は、モジュールシェル２３を配列方向Ａに沿って貫通して形成された供給導管４を備えている。図２に示すように、供給導管４は、断面矩形の管状又は直方体箱状をなし、その内部に清浄空気Ｃが流通するようになっている。供給導管４は、モジュールシェル２３内における鉛直方向の上端部に配置されている。
【００２３】
供給導管４において、その配列方向Ａに沿う両端部には、モジュールシェル２３の外面に開口する連結口４１がそれぞれ形成されている。これらの連結口４１は、一対の側面２３Ｃにおける上端部にそれぞれ形成されている。
【００２４】
また、これらの連結口４１のうち、配列方向Ａの一方側（図２における左側）を向く側面２３Ｃに配置された連結口４１Ａは、該側面２３Ｃの上端部から前記一方側へ向けて突出する円管状のオス部４２の先端に形成されている。
【００２５】
また、これらの連結口４１のうち、配列方向Ａの他方側（図２における右側）を向く側面２３Ｃに配置された連結口４１Ｂは、該側面２３Ｃの上端部においてこの側面２３Ｃから窪むメス部４３の開口縁部を形成している。
オス部４２は、その外径がメス部４３の連結口４１Ｂの内径よりも小さく設定されている。
【００２６】
生産システム１を設置する際には、隣り合う装置モジュール２同士において、対向するオス部４２とメス部４３とが連結されるとともに、互いの連結口４１Ａ、４１Ｂが連結されるようになっている。このように連結口４１Ａ、４１Ｂ同士が連結されることで、隣り合う装置モジュール２の供給導管４同士が連通されるようになっている。
【００２７】
詳しくは、図３に示すように、メス部４３は、連結口４１Ｂを開閉可能な円板状のフラップ弁４３Ａを有している。フラップ弁４３Ａは、その外径が連結口４１Ｂの内径よりも大きく設定されている。また、フラップ弁４３Ａは、その上端部が側面２３Ｃの内面に回動可能に軸支されている。また、図示しないが、フラップ弁４３Ａは、例えば、ねじりコイルばね等を用いて連結口４１Ｂを封止する向きに付勢されている。
【００２８】
そして、フラップ弁４３Ａは、対向するオス部４２の先端により供給導管４内へ向けて押し込まれることで、その上端部を回転中心として回動するとともに、連結口４１Ｂが開口させられるようになっている。
【００２９】
また、図１に示すように、供給導管４の下面において連結口４１Ａ、４１Ｂ間に配置された部分には、モジュールシェル２３内に開口する吹出し口４４が複数形成されている。これらの吹出し口４４は、例えば、円孔、角孔、ノズル等からなる。
【００３０】
また、装置モジュール２は、モジュールシェル２３を配列方向Ａに沿って貫通して形成された排出導管５を備えている。図２に示すように、排出導管５は、断面矩形の管状又は直方体箱状をなし、その内部に環境空気（環境ガス）Ｄが流通するようになっている。排出導管５は、モジュールシェル２３内における鉛直方向の下端部に配置されている。なお、環境空気Ｄとは、供給導管４からモジュールシェル２３内に供給された清浄空気Ｃが、処理部２１周囲の環境を清浄に保つために使われた後の、汚染された空気を意味する。
【００３１】
排出導管５において、その配列方向Ａに沿う両端部には、モジュールシェル２３の外面に開口する排出口５１がそれぞれ形成されている。これらの排出口５１は、一対の側面２３Ｃにおける下端部にそれぞれ形成されている。これらの排出口５１は、モジュールシェル２３内の環境空気Ｄを装置外部へ排出するものである。
【００３２】
また、これらの排出口５１のうち、配列方向Ａの前記他方側を向く側面２３Ｃに配置された排出口５１Ａは、該側面２３Ｃの下端部から前記他方側へ向けて突出する円管状のオス部５２の先端に形成されている。
【００３３】
また、これらの排出口５１のうち、配列方向Ａの前記一方側を向く側面２３Ｃに配置された排出口５１Ｂは、該側面２３Ｃの下端部においてこの側面２３Ｃから窪むメス部５３の開口縁部を形成している。
オス部５２は、その外径がメス部５３の排出口５１Ｂの内径よりも小さく設定されている。
【００３４】
生産システム１を設置する際には、隣り合う装置モジュール２同士において、対向するオス部５２とメス部５３とが連結されるとともに、互いの排出口５１Ａ、５１Ｂが連結されるようになっている。このように排出口５１Ａ、５１Ｂ同士が連結されることで、隣り合う装置モジュール２の排出導管５同士が連通されるようになっている。なお、図示の例では、生産システム１において前記他方側の端部に配置された装置モジュール２の排出口５１Ａのみが、装置外部に開口されている。
【００３５】
図３に示すように、メス部５３は、排出口５１Ｂを開閉可能な円板状のフラップ弁５３Ａを有している。フラップ弁５３Ａは、その外径が排出口５１Ｂの内径よりも大きく設定されている。また、フラップ弁５３Ａは、その上端部が側面２３Ｃの内面に回動可能に軸支されている。また、図示しないが、フラップ弁５３Ａは、例えば、ねじりコイルばね等を用いて排出口５１Ｂを封止する向きに付勢されている。
【００３６】
そして、フラップ弁５３Ａは、対向するオス部５２の先端により排出導管５内へ向けて押し込まれることで、その上端部を回転中心として回動するとともに、排出口５１Ｂが開口させられるようになっている。
【００３７】
また、図２に示すように、排出導管５の上面において排出口５１Ａ、５１Ｂ間に配置された部分には、モジュールシェル２３内に開口する受入れ口５４が複数形成されている。受入れ口５４は、略矩形孔状をなし、排出導管５上に載置された処理部２１の周囲に配置されている。
【００３８】
本実施形態では、これらの受入れ口５４は、逆止弁で形成されており、モジュールシェル２３内の環境空気Ｄを排出導管５内に受け入れ可能に構成されている。また、その一方で、これらの受入れ口５４は、排出導管５内の環境空気Ｄをモジュールシェル２３内に流出不可とされている。
【００３９】
また、ガス供給装置３は、装置モジュール２と同一形状をなし、その外形寸法が装置モジュール２と同一に設定されている。このように、互いに同一形状とされた複数の装置モジュール２及びガス供給装置３が配列して構成された生産システム１は、全体として略直方体状に形成されている。
【００４０】
また、図示しないが、ガス供給装置３は、例えば、コンプレッサー等の空気供給源と、これに接続された清浄フィルターと、を備えている。ガス供給装置３は、空気がこの清浄フィルターを通過することで清浄化され形成された清浄空気Ｃを、隣接する装置モジュール２の供給導管４に供給するようになっている。
【００４１】
詳しくは、ガス供給装置３は、隣接する装置モジュール２の連結口４１Ａに対向配置された清浄空気送出口（清浄ガス送出口）３１を備えており、これら連結口４１Ａと清浄空気送出口３１とが互いに連結されることで、供給導管４に清浄空気Ｃを供給可能とされている。
【００４２】
このように構成された生産システム１においては、図１に示すように、ガス供給装置３で生成された清浄空気Ｃが、清浄空気送出口３１、連結口４１Ａを通して、該ガス供給装置３に隣接する装置モジュール２の供給導管４内へと供給される。
【００４３】
次いで、この清浄空気Ｃは、供給導管４内において、配列方向Ａの前記一方側から前記他方側へ向けて流されていく。供給導管４内を流される清浄空気Ｃは、その一部が吹出し口４４を通してモジュールシェル２３内へと流出される。このようにして吹出し口４４から流出された清浄空気Ｃは、処理部２１周囲の環境を清浄に維持する。
【００４４】
一方、吹出し口４４から流出されなかった清浄空気Ｃは、前記一方側から前記他方側へとさらに流されていき、連結口４１Ａ、４１Ｂを通して、この装置モジュール２の前記他方側に隣接する他の装置モジュール２の供給導管４内へと供給される。このようにして、すべての装置モジュール２の処理部２１に対して、清浄空気Ｃが供給されるようになっている。
【００４５】
また、各装置モジュール２において、前述のように供給導管４からモジュールシェル２３内に清浄空気Ｃが随時供給されると、これらのモジュールシェル２３内は僅かに陽圧となる。すると、モジュールシェル２３内において、処理部２１周囲の環境を清浄に保つために使われた後の環境空気Ｄが、排出導管５の受入れ口５４を通して、排出導管５内へと流入する。
【００４６】
排出導管５に流入した環境空気Ｄは、該排出導管５内を配列方向Ａの前記一方側から前記他方側へ向けて流されていく。ここで、ガス供給装置３に隣接する前記一方側の装置モジュール２において、排出導管５内を流れる環境空気Ｄは、排出口５１Ａ、５１Ｂを通して、前記他方側の装置モジュール２の排出導管５内へと供給される。
【００４７】
このようにして、各装置モジュール２から排出された環境空気Ｄは、前記他方側の装置モジュール２の排出導管５内に収集されるようになっている。そして、収集された環境空気Ｄは、前記他方側の装置モジュール２の排出口５１Ａから、装置外部へと排出される。
【００４８】
以上説明したように、本実施形態に係る生産システム１によれば、各装置モジュール２には、モジュールシェル２３を貫通して形成されるとともに内部に清浄空気Ｃが流通する供給導管４がそれぞれ設けられており、供給導管４には、モジュールシェル２３内に開口する吹出し口４４が形成されている。そして、供給導管４に供給された清浄空気Ｃは、吹出し口４４からモジュールシェル２３内に送出されるとともに、処理部２１の環境を清浄に維持するようになっている。
【００４９】
この生産システム１において、隣り合う装置モジュール２は、対向する互いの連結口４１Ａ、４１Ｂを連結させているとともに供給導管４同士を連通させている。すなわち、生産システム１は、複数の装置モジュール２を設置する際、隣り合う装置モジュール２の供給導管４同士が前述のように順次接続されることにより、複数の装置モジュール２の供給導管４が互いに連通されるようになっている。従って、例えば、生産システム１を構成するすべての装置モジュール２の供給導管４同士を連通させることができる。
【００５０】
よって、この生産システム１によれば、従来のように、装置モジュールの設置に応じて装置外部に清浄空気供給用の配管等を組み直すような手間が生じない。また、装置モジュール２の入れ替えや増減等の設置が簡便に行え、レイアウトの自由度が高められている。
【００５１】
そして、１つのガス供給装置３を少なくとも１つ以上の連結口４１Ａに連結するとともに、該連結口４１Ａが形成された供給導管４に該ガス供給装置３から清浄空気Ｃを供給すれば、清浄空気Ｃは、互いに連通された複数の供給導管４を通して、複数の装置モジュール２のモジュールシェル２３内に行き渡らされるようになっている。
【００５２】
すなわち、従来のように、ガス供給装置３を各装置モジュール内にそれぞれ配設するような必要がない。従って、装置モジュール２の構成が簡便になるとともに外形が小さく抑えられ、装置モジュール２をコンパクトに形成することができ、設備コストやランニングコストが大幅に削減できる。
【００５３】
また、供給導管４の連結口４１Ｂがフラップ弁４３Ａにより開閉可能とされているので、この連結口４１Ｂに対向する連結口４１Ａを連結する際、オス部４２をメス部４３に押し込むだけの簡便な作業で前述の連結が行える。
【００５４】
また、この生産システム１における複数の連結口４１Ｂのうち、連結口４１Ａに連結されない連結口４１Ｂは、フラップ弁４３Ａが前述のように付勢されていることによって、自動的に封止されている。これにより、清浄空気Ｃの無駄が抑制されるとともに、それぞれのモジュールシェル２３内に清浄空気Ｃを充分に供給することができる。
【００５５】
また、例えば、装置モジュール２の設置替えを行う際などには、装置モジュール２を生産システム１から取り外すことが考えられるが、オス部４２がメス部４３から引き抜かれると、フラップ弁４３Ａが付勢力によって自動的に閉じるので、連結口４１Ｂを封止する手間がかからない。
【００５６】
また、モジュールシェル２３には、排出導管５が設けられており、供給導管４から該モジュールシェル２３内に清浄空気Ｃが供給されてこのモジュールシェル２３内が陽圧になったときに、処理部２１周囲の環境空気Ｄが、排出導管５の受入れ口５４から該排出導管５内に流入するようになっている。排出導管５に流入した環境空気Ｄは、モジュールシェル２３の外面に開口する排出口５１Ａから、他の装置モジュール２の排出導管５内又は装置外部へと排出される。
【００５７】
このように、排出口５１Ａがモジュールシェル２３の外面に開口していることで、清浄空気Ｃがモジュールシェル２３内に随時供給されても内圧が高まり過ぎるようなことはなく、新しい清浄空気Ｃを効率よくモジュールシェル２３内へ供給できる。よって、モジュールシェル２３内の処理部２１が清浄な環境に確実に保たれることになる。
【００５８】
さらに、排出導管５の上面の受入れ口５４が、逆止弁で形成されているので、例えば、ガス供給装置３からの清浄空気Ｃの供給が停止して、モジュールシェル２３内が負圧になるようなことがあっても、排出導管５内の汚染された環境空気Ｄが上方の処理部２１周囲に向けて流出するようなことが防止されている。
【００５９】
また、この生産システム１において隣り合う装置モジュール２は、対向する互いの排出口５１Ａ、５１Ｂを連結させているとともに排出導管５同士を連通させている。すなわち、生産システム１は、複数の装置モジュール２を設置する際、隣り合う装置モジュール２の排出導管５同士が前述のように順次接続されることにより、複数の装置モジュール２の排出導管５が互いに連通されるようになっている。従って、例えば、生産システム１を構成するすべての装置モジュール２の排出導管５同士を連通させて、排出口５１Ａを少数にまとめることができる。
【００６０】
このように排出口５１Ａをまとめることで、使用後の環境空気Ｄが装置外部において拡散するようなことが防止されているとともに、回収しやすくされている。従って、環境空気Ｄが装置外部に拡散して、例えば、工場内の作業環境等を悪化させるようなことが防止できる。
【００６１】
また、装置モジュール２の連結口４１及び排出口５１が、モジュールシェル２３の外面のうち水平方向を向く側面２３Ｃに形成されているので、連結口４１Ａ、４１Ｂ同士の連結、及び、排出口５１Ａ、５１Ｂ同士の連結は、隣り合う装置モジュール２同士を水平方向に互いに接近させるのみで簡便に行える。従って、装置モジュール２の設置が容易である。
【００６２】
（第２実施形態）
次に、本発明に係る生産システムの第２実施形態を、図４及び図５を参照しながら説明する。
尚、前述の実施形態で説明した同一部材及び同一部位には、同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００６３】
図４に示すように、本実施形態の生産システム１１は、供給導管１４の形状が前述の実施形態の供給導管４とは異なっている。この生産システム１１においては、供給導管１４が、図４の側断面視で門形状に形成されている。
【００６４】
すなわち、供給導管１４は、モジュールシェル２３内における上端部に配置されているとともに、その両端部が鉛直方向の下方へ向けて延びている。そして、この供給導管１４の連結口４１Ａ、４１Ｂは、側面２３Ｃにおける鉛直方向の中央部に開口し形成されている。
【００６５】
また、この生産システム１１のガス供給装置３は、その外形寸法のうち鉛直方向の高さ寸法が、装置モジュール２の前記高さ寸法の略半分に設定されている。また、ガス供給装置３の下方には、環境空気Ｄを回収する環境空気回収室６が形成されている。
【００６６】
また、この生産システム１１は、排出導管１５の排出口５１Ａ、５１Ｂ及びオス部５２、メス部５３の配置が、前述の実施形態の排出導管５とは異なっている。この生産システム１１においては、排出口５１Ａが、配列方向Ａの前記一方側を向く側面２３Ｃに配置され、該側面２３Ｃの下端部から前記一方側へ向けて突出するオス部５２の先端に形成されている。また、排出口５１Ｂが、配列方向Ａの前記他方側を向く側面２３Ｃに配置され、該側面２３Ｃの下端部においてこの側面２３Ｃから窪むメス部５３の開口縁部を形成している。
【００６７】
そして、生産システム１１においては、前記一方側の端部に配置された装置モジュール２の排出口５１Ａのみが、環境空気回収室６内に開口している。
また、排出導管１５は、その内部において、環境空気Ｄが前記他方側から前記一方側へ向けて流れるようになっている。
【００６８】
また、図５に示すように、生産システム１１のオス部４２、５２は、側面２３Ｃから先端に向かうに従い漸次縮径するテーパ状に形成されている。また、生産システム１１のメス部４３、５３は、複数のフラップ弁４３Ａ、５３Ａを有している。また、これらのフラップ弁４３Ａ、５３Ａは、図５の側断面視でＣ字状に形成されており、その連結口４１Ｂ、５１Ｂ側を向く表面が凸曲面状とされている。このようなオス部４２、５２及びメス部４３、５３を用いることで、これらの連結がより滑らかに行える。
【００６９】
（第３実施形態）
次に、本発明に係る生産システムの第３実施形態を、図６を参照しながら説明する。
尚、前述の実施形態で説明した同一部材及び同一部位には、同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００７０】
図６に示すように、本実施形態の生産システム６１は、複数の装置モジュール２が、前述した水平方向以外に、鉛直方向にも配列されている。そして、これらの装置モジュール２は、前述した供給導管４以外に、該供給導管４に連通されるとともに鉛直方向に沿って延びる供給導管２４を有している。
【００７１】
供給導管２４の両端部には、モジュールシェル２３の外面のうち天面２３Ａに開口する連結口４１Ｃと、底面２３Ｂに開口する連結口４１Ｄと、がそれぞれ形成されている。詳しくは、連結口４１Ｃは、天面２３Ａから上方へ向けて突出する円管状のオス部の先端に形成されている。また、連結口４１Ｄは、底面２３Ｂから窪むメス部の開口縁部を形成している。そして、鉛直方向に隣り合う装置モジュール２同士は、対向する連結口４１Ｃ、４１Ｄを連結させているとともに、互いの供給導管２４同士を連通させている。
【００７２】
また、ガス供給装置３の清浄空気送出口３１は、これらの装置モジュール２のうち、配列方向Ａの前記一方側の端部に配置されるとともに鉛直方向の上端部に配置される装置モジュール２Ａ（２）の連結口４１Ａに連結されている。
【００７３】
また、この生産システム６１の装置モジュール２は、前述した排出導管５以外に、該排出導管５に連通されるとともに鉛直方向に沿って延びる排出導管２５を有している。
【００７４】
排出導管２５の両端部には、モジュールシェル２３の外面のうち天面２３Ａに開口する排出口５１Ｃと、底面２３Ｂに開口する排出口５１Ｄと、がそれぞれ形成されている。詳しくは、排出口５１Ｃは、天面２３Ａから上方へ向けて突出する円管状のオス部の先端に形成されている。また、排出口５１Ｄは、底面２３Ｂから窪むメス部の開口縁部を形成している。そして、鉛直方向に隣り合う装置モジュール２同士は、対向する排出口５１Ｃ、５１Ｄを連結させているとともに、互いの排出導管２５同士を連通させている。
【００７５】
そして、生産システム６１においては、配列方向Ａの前記他方側の端部に配置されるとともに鉛直方向の下端部に配置される装置モジュール２Ｂ（２）の排出口５１Ａのみが、装置外部に向けて開口されている。
なお、前述した装置モジュール２Ａの連結口４１Ａ及び装置モジュール２Ｂの排出口５１Ａ以外の、装置外部へ向けて開口されたすべての連結口４１及び排出口５１には、プラグ又はキャップが装着されている。
【００７６】
本実施形態の構成によれば、装置モジュール２の連結口４１及び排出口５１が、モジュールシェル２３の外面のうち鉛直方向を向く天面２３Ａ及び底面２３Ｂにそれぞれ形成されているので、連結口４１Ｃ、４１Ｄ同士の連結、及び、排出口５１Ｃ、５１Ｄ同士の連結は、上下に隣り合う装置モジュール２同士を積層させるのみで簡便に行える。従って、装置モジュール２の設置が容易である。
【００７７】
（第４実施形態）
次に、本発明に係る生産システムの第４実施形態を、図７及び図８を参照しながら説明する。
尚、前述の実施形態で説明した同一部材及び同一部位には、同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００７８】
図７に示すように、本実施形態の生産システム９１では、複数の装置モジュール２が、前述の配列方向Ａに沿って配列しているとともに、水平方向のうち配列方向Ａに直交する方向Ｂ（以下「配列方向Ｂ」とする）にも配列している。また、これらの装置モジュール２は、前述の供給導管４を備える代わりに、平面視十字状（Ｘ字状）の供給導管３４を備えている。
【００７９】
供給導管３４は、モジュールシェル２３を配列方向Ａ及び配列方向Ｂにそれぞれ貫通して形成されている。また、供給導管３４の配列方向Ａに沿う両端部と、配列方向Ｂに沿う両端部とには、一対のメス部４３がそれぞれ形成されており、これらのメス部４３には連結口４１Ｂがそれぞれ形成されている。すなわち、この供給導管３４には、オス部４２及び連結口４１Ａは形成されていない。
【００８０】
そして、配列方向Ａに沿って隣り合う装置モジュール２Ｄ（２）及び装置モジュール２Ｅ（２）は、互いの対向する連結口４１Ｂ同士の間に、略円管状のジョイントパイプ（連結部材）７を配設している。すなわち、装置モジュール２Ｄ、２Ｅ同士の互いの連結口４１Ｂが、ジョイントパイプ７を介して連結されているとともに、装置モジュール２Ｄ、２Ｅの供給導管３４同士が連通されている。
【００８１】
また、配列方向Ｂに沿って隣り合う装置モジュール２Ｃ（２）及び装置モジュール２Ｅ（２）も、互いの対向する連結口４１Ｂ同士の間に、ジョイントパイプ７を配設している。すなわち、装置モジュール２Ｃ、２Ｅ同士の互いの連結口４１Ｂが、ジョイントパイプ７を介して連結されているとともに、装置モジュール２Ｃ、２Ｅの供給導管３４同士が連通されている。
【００８２】
詳しくは、図８に示すように、ジョイントパイプ７には、その外周面における延在方向の中央部に、該外周面から径方向外方へ向けて突出するとともに周方向に沿って延びる環状のフランジ部７１が形成されている。フランジ部７１は、その外径が連結口４１Ｂの内径よりも大きく設定されている。また、ジョイントパイプ７は、その両端部がオス部７２とされていて、これらのオス部７２の先端には、連結口７Ａがそれぞれ開口し形成されている。オス部７２の外径は、連結口４１Ｂの内径よりも僅かに小さく設定されている。
【００８３】
また、この生産システム９１のガス供給装置３は、清浄空気送出口３１を複数備えている。図７に示すように、生産システム９１の清浄空気送出口３１は、ガス供給装置３の配列方向Ａを向く外面と、配列方向Ｂを向く外面とにそれぞれ配置されている。
【００８４】
そして、ガス供給装置３の配列方向Ａを向く外面に配置された清浄空気送出口３１には、該ガス供給装置３の配列方向Ａに隣接する装置モジュール２Ｃ（２）の連結口４１Ｂが対向配置されているとともに、これら清浄空気送出口３１と連結口４１Ｂとが、ジョイントパイプ７を介して連結されている。
【００８５】
また、ガス供給装置３の配列方向Ｂを向く外面に配置された清浄空気送出口３１には、該ガス供給装置３の配列方向Ｂに隣接する装置モジュール２Ｄ（２）の連結口４１Ｂが対向配置されているとともに、これら清浄空気送出口３１と連結口４１Ｂとが、ジョイントパイプ７を介して連結されている。
【００８６】
また、生産システム９１の装置モジュール２は、前述の排出導管５を備える代わりに、排出導管３５を備えている。
【００８７】
排出導管３５は、モジュールシェル２３を配列方向Ａ及び配列方向Ｂにそれぞれ貫通して形成されている。また、排出導管３５の配列方向Ａに沿う両端部と、配列方向Ｂに沿う両端部とには、一対のメス部５３がそれぞれ形成されており、これらのメス部５３には排出口５１Ｂがそれぞれ形成されている。すなわち、この排出導管３５には、オス部５２及び排出口５１Ａは形成されていない。
【００８８】
そして、配列方向Ａに沿って隣り合う装置モジュール２Ｄ（２）及び装置モジュール２Ｅ（２）は、互いの対向する排出口５１Ｂ同士の間に、略円管状のジョイントパイプ（連結部材）８を配設している。すなわち、装置モジュール２Ｄ、２Ｅ同士の互いの排出口５１Ｂが、ジョイントパイプ８を介して連結されているとともに、装置モジュール２Ｄ、２Ｅの排出導管３５同士が連通されている。
【００８９】
また、配列方向Ｂに沿って隣り合う装置モジュール２Ｃ（２）及び装置モジュール２Ｅ（２）も、互いの対向する排出口５１Ｂ同士の間に、ジョイントパイプ８を配設している。すなわち、装置モジュール２Ｃ、２Ｅ同士の互いの排出口５１Ｂが、ジョイントパイプ８を介して連結されているとともに、装置モジュール２Ｃ、２Ｅの排出導管３５同士が連通されている。
【００９０】
詳しくは、図８に示すように、ジョイントパイプ８には、その外周面における延在方向の中央部に、該外周面から径方向外方へ向けて突出するとともに周方向に沿って延びる環状のフランジ部８１が形成されている。フランジ部８１は、その外径が排出口５１Ｂの内径よりも大きく設定されている。また、ジョイントパイプ８は、その両端部がオス部８２とされていて、これらのオス部８２の先端には、排出口８Ａがそれぞれ開口し形成されている。オス部８２の外径は、排出口５１Ｂの内径よりも僅かに小さく設定されている。
【００９１】
なお、これらの装置モジュール２の連結口４１Ｂ及び排出口５１Ｂのうち、装置外部へ向けて開口されたすべての連結口４１Ｂ及び排出口５１Ｂには、プラグが装着されている。
【００９２】
本実施形態の生産システム９１によれば、前述の実施形態のように、隣り合う装置モジュール２同士のオス部４２（５２）とメス部４３（５３）とを対向配置させるような必要が生じないことから、装置モジュール２のレイアウトの自由度がさらに高められる。
【００９３】
（第５実施形態）
次に、本発明に係る生産システムの第５実施形態を、図９及び図１０を参照しながら説明する。
尚、前述の実施形態で説明した同一部材及び同一部位には、同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００９４】
図９、図１０に示すように、本実施形態の生産システム１０１の装置モジュール２は、第４実施形態と同様に、供給導管３４及び排出導管３５をそれぞれ有している。この生産システム１０１では、複数の装置モジュール２のうち、配列方向Ａに隣り合う装置モジュール２Ｆ（２）と装置モジュール２Ｇ（２）とが、互いに離間して配置されている。すなわち、これらの装置モジュール２Ｆと２Ｇとの間には、通路や障害物等の離隔体Ｐが配置されていて、装置モジュール２Ｆ、２Ｇ同士は、互いの対向する側面２３Ｃ同士を当接させてはいない。
【００９５】
これらの装置モジュール２Ｆ、２Ｇは、対向する連結口４１Ｂ同士の間に、略円管状のジョイントパイプ（連結部材）１７を配設している。すなわち、装置モジュール２Ｆ、２Ｇにおいて、対向する連結口４１Ｂ同士が、ジョイントパイプ１７を介して連結されているとともに、装置モジュール２Ｆ、２Ｇの供給導管３４同士が連通されている。
【００９６】
詳しくは、ジョイントパイプ１７には、その外周面における延在方向の両端部に、フランジ部７１がそれぞれ形成されている。そして、これらのフランジ部７１が、装置モジュール２Ｆ、２Ｇの互いに対向する側面２３Ｃにそれぞれ装着されることで、ジョイントパイプ１７が装置モジュール２Ｆ、２Ｇに支持されている。
【００９７】
また、これらの装置モジュール２Ｆ、２Ｇは、対向する排出口５１Ｂ同士の間に、略円管状のジョイントパイプ（連結部材）１８を配設している。すなわち、装置モジュール２Ｆ、２Ｇにおいて、対向する排出口５１Ｂ同士が、ジョイントパイプ１８を介して連結されているとともに、装置モジュール２Ｆ、２Ｇの排出導管３５同士が連通されている。
【００９８】
ジョイントパイプ１８には、その外周面における延在方向の両端部に、フランジ部８１がそれぞれ形成されている。そして、これらのフランジ部８１が、装置モジュール２Ｆ、２Ｇの互いに対向する側面２３Ｃにそれぞれ装着されることで、ジョイントパイプ１８が装置モジュール２Ｆ、２Ｇに支持されている。
【００９９】
本実施形態の生産システム１０１によれば、隣り合う装置モジュール２Ｆ、２Ｇ同士が隣接していない場合であっても、互いの供給導管３４同士、及び、互いの排出導管３５同士を連通させることができる。
【０１００】
尚、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、前述の実施形態では、連結口４１Ｂ及び排出口５１Ｂが、フラップ弁４３Ａ及びフラップ弁５３Ａにより開閉可能とされているとしたが、これらに限定されるものではない。
【０１０１】
すなわち、例えば、連結口４１及び排出口５１は、すべてが開閉可能に構成されていてもよい。また、フラップ弁の代わりに、弾性変形可能な樹脂膜等を用いてもよい。
また、例えば、連結口４１及び排出口５１が、配管やパイプ等で形成されていて、前述の連結が行われていない場合には、開状態とされていても構わない。この場合、前述の実施形態で説明したように、プラグやキャップ等を用いて、装置外部に開口する連結口４１や排出口５１の開口を必要に応じて封止することが好ましい。
【０１０２】
また、供給導管及び排出導管は、モジュールシェル２３を貫通してそれぞれ形成されていればよく、これらの形状は、前述の実施形態で説明したものに限定されない。
【０１０３】
また、前述の実施形態では、装置モジュール２のモジュールシェル２３が直方体箱状に形成されていることとしたが、これに限定されるものではない。すなわち、例えば、モジュールシェル２３が、断面八角形をなす箱状に形成されていてもよい。また、モジュールシェル２３の前記断面が、上記以外の多角形状等に形成されていても構わない。
【０１０４】
その他、前述した実施形態を適宜組み合わせ構成することとしてもよい。また、本発明の主旨を逸脱しない範囲で、前述の実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることも適宜可能である。
【符号の説明】
【０１０５】
１、１１、６１、９１、１０１  生産システム
２  装置モジュール（生産装置）
３  ガス供給装置
４、１４、２４、３４  供給導管
５、１５、２５、３５  排出導管
７、１７  ジョイントパイプ（連結部材）
２１  処理部
２３  モジュールシェル（装置基体）
２３Ａ  天面（装置基体の外面）
２３Ｂ  底面（装置基体の外面）
２３Ｃ  側面（装置基体の外面）
３１  清浄空気送出口（清浄ガス送出口）
４１  連結口
４３Ａ  フラップ弁
４４  吹出し口
５１  排出口
５４  受入れ口
Ｃ  清浄空気（清浄ガス）
Ｄ  環境空気（環境ガス）
【図１】
2011025360.tif 000003
【図２】
2011025360.tif 000004
【図３】
2011025360.tif 000005
【図４】
2011025360.tif 000006
【図５】
2011025360.tif 000007
【図６】
2011025360.tif 000008
【図７】
2011025360.tif 000009
【図８】
2011025360.tif 000010
【図９】
2011025360.tif 000011
【図１０】
2011025360.tif 000012