(57)【要約】【課題】小片部材を浮上させて安定保持し運搬すること出来る運搬装置およびその運搬方法を提供する。【解決手段】気体の噴出により小片部材を浮上させて所定の位置へ運搬する小片部材の運搬装置であって、小片部材の外周近傍を小片部材の厚さ方向に移動可能に配置されるとともに先端付近の側面に設ける気体噴出孔を有する気体噴出体と、気体噴出体を小片部材の外周部の近傍に移動させた状態において、気体噴出孔から小片部材の下面側に気体を噴出して小片部材を浮上させる小片部材浮上手段と、気体噴出体により小片部材を浮上支持した状態で気体噴出体を所定の位置に移動させることにより小片部材を所定の位置に運搬する運搬手段と、所定の位置で噴出する気体を停止して小片部材を落下させる小片部材落下手段とを備える。【選択図】図１
2011124286.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体の噴出により小片部材を浮上させて所定の位置へ運搬する小片部材の運搬装置であって、
前記小片部材の外周近傍を小片部材の厚さ方向に移動可能に配置されるとともに先端付近の側面に設ける気体噴出孔を有する気体噴出体と、
前記気体噴出体を前記小片部材の外周部の近傍に移動させた状態において、前記気体噴出孔から前記小片部材の下面側に気体を噴出して前記小片部材を浮上させる小片部材浮上手段と、
前記気体噴出体により前記小片部材を浮上支持した状態で前記気体噴出体を所定の位置に移動させることにより前記小片部材を所定の位置に運搬する運搬手段と、
前記所定の位置で前記噴出する気体を停止して前記小片部材を落下させる小片部材落下手段とを備えたことを特徴とする小片部材の運搬装置。
【請求項２】
前記気体噴出体を複数備えたことを特徴とする請求項１に記載の小片部材の運搬装置。
【請求項３】
前記気体噴出体は複数の気体噴出孔を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の小片部材の運搬装置。
【請求項４】
気体の噴出により小片部材を浮上させて所定の位置へ運搬する小片部材の運搬方法であって、
前記小片部材の外周近傍に気体噴出体を移動させ、該気体噴出体に設ける気体噴出孔から前記小片部材の下面側に気体を噴出して前記小片部材を浮上させ、前記気体噴出体を所定の位置に移動させることにより前記小片部材を運搬し、前記所定の位置で前記噴出する気体を停止して前記小片部材を落下させることを特徴とする小片部材の運搬方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、小片部材の運搬に関して、特に時計用の回路基板や半導体ＩＣの素材に用いられる半導体ウエハー等の板形状をしているものを運搬する運搬装置とその運搬方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
時計用の回路基板や半導体ウエハーなどの板形状をしている小片部材は、表面に接触する取り扱いをすると、異物の付着や表面の微小破損などの不具合が発生しやすいということから移動運搬を行う際には特定の部位を上方から吸着することで持ち上げて搬送する板状片の供給装置の例が開示されている。図１４は、従来例の板状片の供給装置におけるパーツフィーダの部品供給位置付近の側面図である。図１４に示すように、パーツフィーダに投入された板状片２は整列して順次に前進して、部品供給１の位置に達する。この位置において板状片１２は下方から第１の吸引機構３によって吸引され、上方からは第１の吸引機構３の吸引力に対して勝る吸引力に設定されている第２の吸引機構６によって吸引される。そして板状片２を吸引した第２の吸引機構６は、図示しない搬送機構によって所定の位置へ移動して吸引力を消勢して板状片２を解放することによって板状片２を搬送するようになっている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
また、移動運搬を行う際に板状物を下方から吹き上げて空気圧で板状物を浮上させて非接触状態に保ちながら所定方向へ搬送する板状物搬送装置が開示されている。図１５は、従来例における板状物搬送装置の主要部を示す断面図である。図１５に示すように、この板状物搬送装置は複数の気体供給室４７を形成したセルフレーム４８と、気体供給室４７の夫々の上方に配されるようにセルフレーム４８に装着された複数のセル４２と、セル４２が、複数の気体噴出孔を穿設したノズル板４３と、気体供給室４７からの気体を気体噴出孔から噴出せしめるように各気体噴出孔に対応してノズル板４３の上面側に装着された弁体４４とを備えている。これにより、図示していない気体供給管路を経て供給される加圧気体を、弁体４４による気体噴出孔の開閉制御により所定方向へ噴出せしめて板状物４５を浮上搬送するものである。（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
また、時計に用いられる指針、特に腕時計用の指針は、主に金属板をプレス加工して表面処理を施し、意匠性の高い装飾品の一部としての機能を備えており、このような表面処理を施した表面はメッキ膜や塗装膜、酸化被膜をはじめとする装飾層が形成されている。従来、この腕時計用の指針を取り扱う場合、完成品時計としたときに見え難くなる指針側面をピンセットなどで挟持して移動運搬を行い、装飾層が形成されている表面にキズや接触痕をつけないように取り扱う必要があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平５−２７８８４９号公報（第２−３頁、図１参照）
【特許文献２】特開平１０−１３９１６０号公報（第３頁、図３参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、表面に異物が付着すると品質が劣化する半導体ウエハーや表面全面に表面処理が施されている時計用指針等の小片部材においては、先行技術文献の特許文献１に開示されているような移動運搬を行う際に特定の部位を上方から吸着することで持ち上げて搬送することは困難である。
また、先行技術文献の特許文献２に開示されているような非接触状態で半導体ウエハーや時計用回路基板等の小片部材を保持して搬送する場合、低く浮かせて同一治具上を移動させる事は可能だが、互いに離間した装置間や治具間の移動は非常に困難であった。
【０００７】
さらに従来技術においては、時計用指針や時計用回路基板などの板形状をしている小片部材を自動機で取り扱う場合、小片部材の大きさ、重さ、形状等は多品種にわたるため、治具であらかじめ位置方向をそろえて自動機に投入しても、これらを機械的に挟持しようとすると傾いて保持されてしまうおそれがあり、特に時計用指針においては、たわみ等が発生して破損するおそれもある。このため角度や保持強度の微細な設定が必要となり、量産性のきわめて低いものとなっていた。
【０００８】
（発明の目的）
本発明は上記問題に鑑みてなされたものであり、時計用の回路基板や半導体ウエハー等の板状の小片部材を気体の圧力を利用して浮上させて所定方向へ運搬するとともに安定保持することができ、組立を行う自動機で取り扱うことが可能な運搬装置およびその運搬方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために本発明における小片部材の運搬装置は、気体の噴出により小片部材を浮上させて所定の位置へ運搬する小片部材の運搬装置であって、前記小片部材の外周近傍を小片部材の厚さ方向に移動可能に配置されるとともに先端付近の側面に設ける気体噴出孔を有する気体噴出体と、前記気体噴出体を前記小片部材の外周部の近傍に移動させた状態において、前記気体噴出孔から前記小片部材の下面側に気体を噴出して前記小片部材を浮上させる小片部材浮上手段と、前記気体噴出体により前記小片部材を浮上支持した状態で前記気体噴出体を所定の位置に移動させることにより前記小片部材を所定の位置に運搬する運搬手段と、前記所定の位置で前記噴出する気体を停止して前記小片部材を落下させる小片部材落下手段とを備えたことを特徴とする。
【００１０】
また、前記気体噴出体を複数備えたことを特徴とする。
【００１１】
また、前記気体噴出体は複数の気体噴出孔を有することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明における小片部材の運搬方法は、気体の噴出により小片部材を浮上させて所定の位置へ運搬する小片部材の運搬方法であって、前記小片部材の外周近傍に気体噴出体を移動させ、該気体噴出体に設ける気体噴出孔から前記小片部材の下面側に気体を噴出して前記小片部材を浮上させ、前記気体噴出体を所定の位置に移動させることにより前記小片部材を運搬し、前記所定の位置で前記噴出する気体を停止して前記小片部材を落下させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
以上のように本発明によれば、小片部材を簡単な装置で確実に浮上させることができ、小片部材を安定保持するとともに所定方向へ運搬することができる。これにより組立を行う自動機で取り扱うことが可能な運搬装置およびその運搬方法を提供することができる。
また、複数の気体噴出体を設けることにより小片部材の位置決めを確実にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１の実施形態における小片部材の運搬装置を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態における小片部材の運搬装置における気体の噴出方向を示す平面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態における小片部材の運搬装置の主要部を示す図で、図３（ａ）は小片部材を浮上させた状態を示す断面図、図３（ｂ）は小片部材を落下させた状態を示す断面図、図３（ｃ）は小片部材と気体噴出体との隙間を示す断面図である。
【図４】本発明の第１の実施形態における気体噴出体を示す図で、図４（ａ）は部分側面図、図４（ｂ）は図４（ａ）におけるＡ−Ａ断面図、図４（ｃ）は図４（ａ）におけるＢ−Ｂ断面図、である。
【図５】本発明の第１の実施形態における小片部材の運搬方法を示す斜視図である。
【図６】図５におけるＤ−Ｄ断面状態を示し、気体噴出体を小片部材の外周部の近傍に移動させた状態を示す断面図である。  本発明の第１の実施形態における小片部材の運搬方法を示す断面図で、小片部材
【図７】本発明の第１の実施形態における小片部材の運搬方法を示す断面図で、小片部材を浮上させる状態を示す図である。
【図８】本発明の第１の実施形態における小片部材の運搬方法を示す断面図で、小片部材を落下させる状態を示す図である。
【図９】本発明の第２の実施形態における小片部材の運搬装置の主要部を示す斜視図である。
【図１０】本発明の第２の実施形態における気体噴出体の主要部を示す図で、図１０（ａ）は側面図、図１０（ｂ）は図１０（ａ）におけるＡ−Ａ断面図、図１０（ｃ）は図１０（ａ）におけるＢ−Ｂ断面図である。
【図１１】図９における小片部材の下面側から見た平面図で、気体噴出体から噴出される気体の噴出方向を示す図である。
【図１２】本発明の第３の実施形態における小片部材の運搬装置の主要部を示す図で、図１２（ａ）は平面図、図１２（ｂ）は図１２（ａ）におけるＣ−Ｃ断面図である。
【図１３】本発明の第３の実施形態における気体噴出体の主要部を示す図で、図１３（ａ）は斜視図、図１３（ｂ）は図１３（ａ）におけるＡ−Ａ断面図、図１３（ｃ）は図１３（ａ）におけるＢ−Ｂ断面図である。
【図１４】従来技術における板状片を吸引保持して所定の位置に移動する板状片供給装置を示す側面図である。
【図１５】従来技術における板状物を浮上搬送する搬送装置の主要部を示す部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図１から図８は第１の実施形態における小片部材の運搬装置と運搬方法を示す図、図９から図１１は第２の実施形態における小片部材の運搬装置を示す図、図１２から図１４は第３の実施形態における小片部材の運搬装置を示す図である。以下、本発明の各実施形態における小片部材の運搬装置およびその運搬方法について図に基づいて説明する。
【００１６】
（第１の実施形態）
図１は第１の実施形態における小片部材の運搬装置を示す斜視図である。図１に示すように、本実施形態における小片部材の運搬装置は、板状片１２をパーツフィーダ等により整列させて順次に供給する小片部材としての半導体ウエハー１５を３個の気体噴出体１１ａ、１１ｂ、１１ｃのそれぞれの気体噴出孔１３ａ、１３ｂ、１３ｃから噴出する空気によって浮上させて保持した状態で所定の容器１８へ運搬するものである。
【００１７】
図２は半導体ウエハー１５を気体噴出体１１で浮上させた状態において、半導体ウエハー１５の下面側から見た平面図で、半導体ウエハー１５と空気の噴出方向との位置関係を示す。図２に示すように、３個の気体噴出体１１ａ、１１ｂ、１１ｃのそれぞれの気体噴出孔１３ａ、１３ｂ、１３ｃから噴出する空気の噴出方向は半導体ウエハー１５の中心Ｐに向かう方向に設定されている。なお、気体噴出体の数は、３個に限定されるものではなく対向する２個としても浮上させることが可能であるが安定性を考慮すると３個とするのが好ましい。
【００１８】
図３は第１の実施形態における小片部材の運搬装置の主要部を示し、図３（ａ）は小片部材を浮上させた状態を示す断面図、図３（ｂ）は小片部材を落下させた状態を示す断面図である。なお、図３は説明の都合で図２におけるＡ−Ａ断面を示す。図３（ａ）に示すように本実施形態における小片部材の運搬装置は、半導体ウエハー１５の外周近傍を半導体ウエハー１５の厚さ方向に移動可能に配置される気体噴出体１１ａ、１１ｂ、１１ｃを備えている。気体噴出体１１ａ、１１ｂ、１１ｃには先端付近の側面に気体噴出孔１３ａ、１３ｂ、１３ｃが設けられており、気体噴出体１１ａ、１１ｂ、１１ｃを半導体ウエハー１５の外周近傍に移動し、気体噴出孔１３ａ、１３ｂ、１３ｃが半導体ウエハー１５の下面１５ａ側に位置した状態において、気体噴出孔１３ａ、１３ｂ、１３ｃから半導体ウエハー１５の下面１５ａ側に気体としての空気を噴出して半導体ウエハー１５を矢印Ａに示す方向に浮上させる浮上手段を備えている。
【００１９】
さらに図３（ｂ）に示すように半導体ウエハー１５を浮上保持した状態で気体噴出体１１ａ、１１ｂ、１１ｃを所定の位置（図１に示す容器１８の位置）に移動させる運搬手段と、所定の位置で噴出する空気を停止して半導体ウエハー１５を落下させる小片部材落下手段とを備えている。なお気体噴出体１１ａ、１１ｂ、１１ｃを上下方向及び水平方向に移動させる運搬手段としては、従来技術における機械方式または油圧方式等を採用することができる。
【００２０】
図２（ｃ）は、半導体ウエハー１５を気体噴出体１１ａ、１１ｂ、１１ｃで浮上させた状態における半導体ウエハー１５の外周部と気体噴出体１１ａとの位置関係を示すものである。本実施形態においては半導体ウエハー１５の外周部と気体噴出体１１ａとの隙間ｄの値が０．１ｍｍに設定されている。また、図示していないが半導体ウエハー１５の外周部と気体噴出体１１ｂ、１１ｃとの隙間についても同様の値に設定されている。この隙間ｄの値は０．５ｍｍ程度でも浮上させることができるが、小さいほど噴出させる空気圧を小さくでき好ましい。
【００２１】
図４は本実施形態における気体噴出体１１ａを示す図で、図４（ａ）は部分側面図、図４（ｂ）は図４（ａ）におけるＡ−Ａ断面図、図４（ｃ）は図４（ａ）におけるＢ−Ｂ断面図である。図４（ａ）、図４（ｂ）に示すように気体噴出体１１ａは略円筒形形状をなし、内部に空気供給路１２ａが設けられている。この空気供給路１２ａの一方は空気圧発生装置（図示せず）に接続されており、他方は気体噴出孔１３ａに接続されている。気体噴出孔１３ａは円形形状をなし気体噴出体１１ａの先端付近の側面に設けられており、空気供給路１２ａから側面に向かって貫通されている。また、図４（ｃ）に示すように気体噴出孔１３ａは１個設けられており、空気供給路１２ａから側面に向かって一方向に貫通されている。なお、気体噴出体１１ｂ、１１ｃについても気体噴出体１１ａと同様であり、説明を省略する。
【００２２】
図５から図８は本実施形態における小片部材としての半導体ウエハーの運搬方法を示す図である。図５は気体噴出体１１ａ、１１ｂ、１１ｃが第１の容器１７に配置されている半導体ウエハー１５の上方に配置されている状態を示す斜視図、図６、図７は半導体ウエハーを浮上させて移動させる工程を示し図５におけるＤ−Ｄ線での断面状態を示す図である。また図８は同様に半導体ウエハーを落下させて所定の容器に載置する工程を示す断面図である。図５、図６に示すように気体噴出体１１ａ、１１ｂ、１１ｃを矢印Ａで示す方向に下降させて、第１の容器１７上に配置されている半導体ウエハー１５の外周近傍に移動させる。第１の容器１７には半導体ウエハー１５の外周近傍で気体噴出体１１ａ、１１ｂ、１１ｃに対応する位置に凹部１７ａ、１７ｂ、１７ｃが設けられており、気体噴出体１１ａ、１１ｂ、１１ｃに設ける気体噴出孔１３ａ、１３ｂ、１３ｃが半導体ウエハー１５の下側となる位置まで気体噴出体１１ａ、１１ｂ、１１ｃを挿入することができるようになっている。なお、図６には気体噴出体１１ｂは図示されていない。
【００２３】
次に図７（ａ）に示すように気体噴出孔１３ａ、１３ｂ（図示せず）、１３ｃから半導体ウエハー１５の下面１５ａ側に空気を噴出して半導体ウエハー１５を気体噴出体１１ａ、１１ｂ（図示せず）、１１ｃに沿って矢印Ｂに示す上方に浮上させて所定の位置で保持する。噴出される空気の圧力は、予め所定の値に設定しておけば運搬中に調整する必要はない。
次に図７（ｂ）に示すように半導体ウエハー１５を保持した気体噴出体１１ａ、１１ｂ（図示せず）、１１ｃを矢印Ｂで示す上方に移動させ、次に矢印Ｃで示す第２の容器１８（図示せず）方向に運搬する。
【００２４】
次に図８（ａ）に示すように半導体ウエハー１５を保持した気体噴出体１１ａ、１１ｂ（図示せず）、１１ｃを矢印Ａで示す方向に下降させ第２の容器１８上の所定の位置に停止させる。
次に図８（ｂ）に示すように気体噴出体１１ａ、１１ｂ（図示せず）、１１ｃに設ける気体噴出孔１３ａ、１３ｂ（図示せず）、１３ｃからの空気の噴出を停止して浮上していた半導体ウエハー１５を第２の容器１８上に落下させる。
次に図５（ｃ）に示すように気体噴出体１１ａ、１１ｂ（図示せず）、１１ｃを矢印Ｂで示す方向に上昇させる。これによって、半導体ウエハー１５が第２の容器１８の所定の位置に載置される。
【００２５】
以上のように本実施形態の運搬装置によれば、半導体ウエハー１５を簡単な装置で浮上させ、上面の被膜形成面とは非接触状態で所定の位置へ運搬することができる。なお、運搬中、半導体ウエハー１５は安定保持されている。
【００２６】
（第２の実施形態）
第２の実施形態における小片部材の運搬装置は小片部材が時計用地板の例であり、４個の気体噴出体の形状が角柱状で、気体噴出孔の形状が四辺形形状である点が第１の実施形態と異なり、その他は第１の実施形態とほぼ同様である。したがって第１の実施形態と同様の点については、説明を省略する。以下、図９から図１１に基づいて第２の実施形態における小片部材の運搬装置について説明する。
【００２７】
図９は第２の実施形態に小片部材の運搬装置の主要部を示す斜視図である。図９に示すように、本実施形態における小片部材の運搬装置は小片部材としての時計用地板２５の外周近傍を時計用地板２５の厚さ方向に移動可能に配置される４個の気体噴出体２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄを備えている。４個の気体噴出体２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄには先端付近の側面にそれぞれ気体噴出孔２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄが設けられており、４個の気体噴出体２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄを時計用地板２５の外周近傍に移動させ、気体噴出孔２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄが時計用地板２５の下面側に位置した状態において、気体噴出孔２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄから時計用地板２５の下面側に気体としての空気を噴出して時計用地板２５を浮上させて保持した状態で所定の位置へ運搬するものである。
【００２８】
図１０は本実施形態における気体噴出体２１ａを示す図で、図１０（ａ）は部分斜視図、図１０（ｂ）は図１０（ａ）におけるＡ−Ａ断面図、図１０（ｃ）は図１０（ａ）におけるＢ−Ｂ断面図である。図１０（ａ）、図１０（ｂ）に示すように気体噴出体２１ａは略直方体形状をなし、内部に空気供給路２２ａが設けられている。この空気供給路２２ａの一方は空気圧発生装置（図示せず）に接続されており、他方は気体噴出孔２３ａに接続されている。気体噴出孔２３ａは断面形状が四辺形形状をなし気体噴出体２１ａの先端付近の側面に設けられており、空気供給路１２ａから側面に向かって貫通されている。また、図１０（ｃ）に示すように気体噴出孔２３ａは第１の実施形態と同様に気体噴出体２１ａの１側面に１個設けられている。なお、気体噴出体２１ｂ、２１ｃ、２１ｄについては、気体噴出体２１ａと同様であり、説明を省略する。
【００２９】
図１１は、図９における時計用地板２５を４個の気体噴出体２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄで浮上させた状態において、時計用地板２５の下面側から見た平面図で、時計用地板２５と４個の気体噴出体２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄから噴出する空気の噴出方向との位置関係を示す。図１１に示すように、４個の気体噴出体２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄの空気の噴出方向は時計用地板２５の中心Ｑを通るように設定する。即ち、気体噴出孔２３ａは矢印Ａ方向、気体噴出孔２３ｂは矢印Ｂ方向、気体噴出孔２３ｃは矢印Ｃ方向、気体噴出孔２３ｄは矢印Ｄ方向となるように、気体噴出孔２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄの位置を設定して気体噴出体２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄを配置する。
【００３０】
この気体噴出体２１ａと気体噴出体２１ｃ、気体噴出体２１ｂと気体噴出体２１ｄは互いに略対抗するように配置するとよい。また、時計用地板２５の外周部と気体噴出体２１ａとの隙間ｄの値は、第１の実施形態と同様に設定すれば良い。その他の気体噴出体２１ｂ、２１ｃ、２１ｄと時計用地板２５の外周部と隙間についても同様である。これにより時計用地板２５を確実に浮上させ安定保持することができる。
なお、時計用地板２５は略長方形の形状をなしメッキ処理が施された金属板からなり、その表面には種々の部品が取り付けられている。
【００３１】
以上のように本実施形態の運搬装置によれば、時計用地板のように比較的大きい面積を有する小片部材においても確実に浮上させ、回路形成面とは非接触状態で安定保持して所定の位置へ運搬することができる。なお、本実施形態における時計用指針の運搬方法は、第１の実施形態と同様であり、説明を省略する。
【００３２】
（第３の実施形態）
第３の実施形態の小片部材の運搬装置は小片部材が時計用指針の例であり、複数の気体噴出体のそれぞれに複数の気体噴出孔を設けた点が第２の実施形態と異なり、その他は第２の実施形態とほぼ同様である。したがって第２の実施形態と同様の点については、説明を省略する。以下、図１２、図１３に基づいて第３の実施形態における小片部材の運搬装置について説明する。
【００３３】
図１２は第３の実施形態に小片部材の運搬装置の主要部を示す図で、図１２（ａ）は平面図、図１２（ｂ）は図１２（ａ）におけるＣ−Ｃ断面図である。図１２（ａ）、図１２（ｂ）に示すように、本実施形態における小片部材の運搬装置は小片部材としての時計用指針３５の長手方向両側面近傍を時計用指針３５の厚さ方向に移動可能に配置される２個の気体噴出体３１ａ、３１ｂを備えている。また、２個の気体噴出体３１ａ、３１ｂにはそれぞれの先端付近側面の３箇所に気体噴出孔３３ａ、３３ｂが設けられている。この２個の気体噴出体３１ａ、３１ｂを時計用指針３５の長手方向両側面近傍に移動させ、気体噴出孔３３ａ、３３ｂが時計用指針３５の下面側に位置した状態において、気体噴出孔３３ａ、３３ｂから時計用指針３５の下面側に気体としての空気を噴出して時計用指針３５を浮上させて保持した状態で所定の位置へ運搬するものである。
【００３４】
２個の気体噴出体３１ａ、３１ｂは、時計用指針３５を挟むように時計用指針３５の長手方向両側面近傍に配置された状態において、気体噴出孔３３ａ、３３ｂは時計用指針３５と対向する側に設けられる。また、気体噴出孔３３ａ、３３ｂが設けられている気体噴出体３１ａ、３１ｂの側面と、これと対抗する時計用指針３５の側面とは、ほぼ平行となるように配置し、時計用指針３５の側面と気体噴出体３１ａ、３１ｂとのそれぞれの隙間ｄは略均一となるように設定する。なお、隙間ｄの値は第１の実施形態と同様に設定すれば良い。これにより時計用指針３５を確実に浮上させ安定保持することができる。なお、時計用指針３５については、従来例と同様であるため説明は省略する。
【００３５】
図１３は本実施形態における気体噴出体３１ａを示す図で、図１３（ａ）は部分斜視図、図１３（ｂ）は図１３（ａ）におけるＡ−Ａ断面図、図１３（ｃ）は図１３（ａ）におけるＢ−Ｂ断面図である。図１３（ａ）、図１３（ｂ）に示すように気体噴出体３１ａは略直方体形状をなし、内部に空気供給路３２ａが設けられている。この空気供給路３２ａの一方は空気圧発生装置（図示せず）に接続されており、他方は気体噴出孔３３ａに接続されている。気体噴出孔３３ａは円形形状をなし気体噴出体３１ａの先端付近で、且つ長手方向の側面に設けられており、空気供給路３２から側面に向かって貫通されている。また、図１３（ｃ）に示すように気体噴出孔３３ａは長手方向の一方の側面に所定の間隔をおいて３個設けられている。また空気供給路３２ａの横断面形状は略長方形形状となっており３個の気体噴出孔３３ａと接続されている。なお、気体噴出体３１ｂ、気体噴出孔３３ｂについては気体噴出体３１ａと同様であり説明を省略する。
【００３６】
以上のように本実施形態の運搬装置によれば、時計用指針３５においても確実に浮上させ、上面の装飾層とは非接触状態で安定保持して所定の位置へ運搬することができる。なお、本実施形態における時計用指針３５の運搬方法も第１の実施形態と同様であり説明を省略する。
【００３７】
なお、各実施形態における気体噴出体に設ける気体噴出孔の数は特に限定されるものではなく、必要に応じて適宜選択することができる。
また、各実施形態において気体噴出体に設ける気体噴出孔の断面形状は、円形、四辺形を例として説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、楕円形、三角形等必要に応じて適宜選択することができる。
【符号の説明】
【００３８】
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ  気体噴出体
１２ａ、２２ａ、３２ａ  気体供給路
１３ａ、１３ｂ、１３ｃ  気体噴出孔
１５  半導体ウエハー
１５ａ  下面
１７  第１の容器
１７ａ、１７ｂ、１７ｃ  凹部
１８  第２の容器
２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄ  気体噴出体
２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ  気体噴出孔
２５  時計用地板
３１ａ、３１ｂ  気体噴出体
３３ａ、３３ｂ  気体噴出孔
３５  時計用指針
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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