(57)【要約】【課題】圧電素子の伸縮動作時に前記圧電素子がディスク面に直交する方向に撓み変形することを防止又は低減して、前記圧電素子による磁気ヘッドスライダの移動時における位置決め精度を向上させる。【解決手段】圧電素子は、上側電極層及び下側電極層の双方が支持部及び前記支持部に固着される剛性部材と対向しない状態で、先端側端面の少なくとも一部が前記支持部の先端領域における先端壁面と先端側隙間を存しつつ対向し且つ基端側端面の少なくとも一部が前記支持部の基端領域における基端壁面と基端側隙間を存しつつ対向するように、前記支持部の開口領域内に配置されて、前記先端側隙間及び前記基端側隙間に充填された先端側絶縁性接着剤及び基端側絶縁性接着剤によって前記支持部に固着されている。【選択図】図２
2011054256.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにシーク方向へ揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、圧電体並びに前記圧電体の前記ディスク面と対向する側及び前記ディスク面とは反対側にそれぞれ配設された下側電極層及び上側電極層を有する一対の圧電素子であって、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着された左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有し、
前記一対の圧電素子は、前記上側電極層及び前記下側電極層の双方が前記支持部及び前記支持部に固着される剛性部材の何れとも対向しない状態で、先端側の端面の少なくとも一部が前記先端領域におけるサスペンション長手方向基端側を向く先端壁面と先端側隙間を存しつつ対向し且つ基端側の端面の少なくとも一部が前記基端領域におけるサスペンション長手方向先端側を向く基端壁面と基端側隙間を存しつつ対向するように、前記開口領域内に配置され、
前記一対の圧電素子の各々は、前記先端側隙間及び前記基端側隙間に充填された先端側絶縁性接着剤及び基端側絶縁性接着剤によって前記支持部に固着されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２】
前記一対の圧電素子の各々は、サスペンション幅方向外側面及び内側面が外側絶縁性接着剤及び内側絶縁性接着剤で被覆されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項３】
前記一対の連結梁の各々は、前記基端領域に連結された基端部から先端部へ略直線状に延びる基端側梁と、前記基端側梁に連結された基端部から前記先端領域に連結された先端部へ略直線状に延びる先端側梁とを有し、
前記基端側梁及び前記先端側梁の連結点が前記基端側梁の基端部及び前記先端側梁の先端部を結ぶ仮想線よりサスペンション長手方向中心線に近接するように、前記先端側梁が前記基端側梁に対して前記ディスク面と直交する平面視において傾斜されており、
前記外側絶縁性接着剤は、対応する前記連結梁の少なくとも一部に固着され、
前記内側絶縁性接着剤は、前記平面視において前記一対の圧電素子の間に存する中央隙間の全体を埋めるように充填されていることを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項４】
前記フレクシャ部は、前記ロードビーム部及び前記支持部に溶接によって固着されるフレクシャ金属基板と、前記フレクシャ金属基板とは別体とされた左右一対の補強金属板であって、少なくとも一部が前記一対の圧電素子の前記下側電極層とそれぞれ対向するように配置され且つ前記一対の圧電素子の伸縮方向に弾性変形可能とされた左右一対の補強金属板と、前記フレクシャ金属基板及び前記一対の補強金属板を保持するようにこれらにおける前記ディスク面に対向する側の面に積層される絶縁層と、前記絶縁層における前記ディスク面と対向する側の面に積層される信号配線とを含み、
前記一対の圧電素子は、前記一対の補強金属板を囲繞するように前記絶縁層における前記ディスク面とは反対側に塗布された補強用絶縁性接着剤を介して前記フレクシャ部に支持されていることを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項５】
前記フレクシャ部は、前記絶縁層における前記ディスク面と対向する側の面に電圧供給配線を有し、
前記電圧供給配線は、前記絶縁層に形成された開口を介して下側導電性接着剤によって前記下側電極層に電気的に接続されており、
前記補強用絶縁性接着剤と共働して前記下側導電性接着剤を囲繞する他の絶縁性接着剤が設けられ、前記下側導電性接着剤は前記下側電極層、前記絶縁層、前記補強用絶縁性接着剤及び前記他の絶縁性接着剤によって画される密閉空間内に収容されていることを特徴とする請求項４に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項６】
前記先端領域のうちサスペンション幅方向に関し前記一対の圧電素子に対応した部位には、サスペンション厚み方向一方側の端面からサスペンション厚み方向他方側へ所定距離だけ延びる垂直面及び前記垂直面のサスペンション厚み方向他端部から前記先端壁面へ延びる水平面によって画される一対の先端側ポケット部が設けられ、
前記基端領域のうちサスペンション幅方向に関し前記一対の圧電素子に対応した部位に、サスペンション厚み方向一方側の端面からサスペンション厚み方向他方側へ所定距離だけ延びる垂直面及び前記垂直面のサスペンション厚み方向他端部から前記基端壁面へ延びる水平面によって画される一対の基端側ポケット部が設けられていることを特徴とする請求項１から５の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項７】
前記先端領域のうちサスペンション幅方向に関し前記一対の圧電素子に対応した部位には、サスペンション厚み方向一方側の端面から前記先端壁面へ至るように設けられたテーパ面であって、前記端面からサスペンション厚み方向他方側へ行くに従って前記先端壁面に近づき且つ前記端面からサスペンション厚み方向所定距離の位置において前記先端壁面に到達するテーパ面によって画される一対の先端側ポケット部が設けられ、
前記基端領域のうちサスペンション幅方向に関し前記一対の圧電素子に対応した部位には、サスペンション厚み方向一方側の端面から前記基端壁面へ至るように設けられたテーパ面であって、前記端面からサスペンション厚み方向他方側へ行くに従って前記基端壁面に近づき且つ前記端面からサスペンション厚み方向所定距離の位置において前記基端壁面に到達するテーパ面によって画される一対の基端側ポケット部が設けられていることを特徴とする請求項１から５の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドスライダを支持する為の磁気ヘッドサスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置の大容量化に伴って磁気ヘッドスライダの目的トラックに対する位置決め精度の向上が求められており、その為、ボイスコイルモータ等のメインアクチュエータによる磁気ヘッドスライダのシーク方向への粗動に加えて、サブアクチュエータとして作用する一対の圧電素子を備え、前記一対の圧電素子による前記磁気ヘッドスライダのシーク方向の微動を可能とした磁気ヘッドサスペンションが提案されている（例えば下記特許文献１〜３参照）。
【０００３】
詳しくは、前記磁気ヘッドサスペンションは、前記磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記支持部に装着された前記一対の圧電素子とを備えている。
【０００４】
前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有している。
【０００５】
前記一対の圧電素子の各々は、圧電体と、前記圧電体の厚み方向両側に配設された一対の電極層とを有し、前記一対の電極層間への電圧印可に応じて前記厚み方向とは直交する方向に伸長又は短縮する。
【０００６】
前記磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記一対の圧電素子は、サスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なった状態で、先端部が前記先端領域に固着され且つ基端部が前記基端領域に固着されている。
【０００７】
斯かる構成を備えた前記磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記一対の圧電素子の一方を伸長させ且つ他方を短縮させることにより、前記一対の連結梁を弾性変形させつつ前記先端領域を前記基端領域に対してシーク方向へ揺動させることができ、これにより、前記先端領域に前記荷重曲げ部，前記ロードビーム部及び前記フレクシャ部を介して支持される前記磁気ヘッドスライダをシーク方向へ微動させ得るようになっている。
【０００８】
しかしながら、前記特許文献１〜３に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記一対の圧電素子の伸縮動作時に前記一対の圧電素子が厚み方向に撓み変形を起こすという問題があった。
前記一対の圧電素子が伸縮動作に伴って厚み方向に撓み変形すると、前記先端領域が前記基端領域に対して捩れてしまい、その結果、シーク方向移動時の前記磁気ヘッドスライダの浮上が不安定になる。
【０００９】
前記問題点について、まず、前記特許文献１及び２に記載の磁気ヘッドサスペンションについて説明する。
前記特許文献１及び２に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記支持部の前記先端領域に前記開口領域及び上方（ディスク面とは反対側）に開く先端側切り欠き部が形成され、前記基端領域に前記開口領域及び上方に開く基端側切り欠き部が形成されている。
【００１０】
前記先端側切り欠き部は、サスペンション長手方向基端側を向く先端側垂直面と、前記先端側垂直面の下端部からサスペンション長手方向基端側へ延びて前記開口領域に開く先端側水平面とを有している。
前記基端側切り欠き部は、サスペンション長手方向先端側を向く基端側垂直面と、前記基端側垂直面の下端部からサスペンション長手方向先端側へ延びて前記開口領域に開く基端側水平面とを有している。
【００１１】
そして、前記一対の圧電素子の各々は、先端側端面と前記先端側垂直面との間、下方に位置する下側電極層の先端側と前記先端側水平面との間、基端側端面と前記基端側垂直面との間、及び、前記下側電極層の基端側と前記基端側水平面との間にそれぞれ介挿された絶縁性接着剤によって、前記支持部に固着されている。
【００１２】
つまり、前記特許文献１及び２に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記一対の圧電素子の前記下側電極層は、先端側及び基端側が前記先端側水平面及び前記基端側水平面にそれぞれ対向した状態で絶縁性接着剤を介して前記先端側水平面及び前記基端側水平面にそれぞれ固着されて拘束されており、一方、前記一対の圧電素子における上方（前記ディスク面とは反対側）に位置する上側電極層は前記支持部に対して実質的にフリーな状態とされている。
【００１３】
従って、前記圧電素子の前記一対の電極層（前記上側電極層及び前記下側電極層）の間に電圧を印可して前記圧電素子をサスペンション長手方向に伸長又は短縮させる際に、前記上側電極層は自由に伸長又は短縮するものの、先端側及び基端側が前記先端側水平面及び前記基端側水平面に対向状態で固着されている前記下側電極層は伸長動作又は短縮動作が制限されることになる。
その結果、前記圧電素子は、伸縮動作時に前記ディスク面に直交する方向に撓み変形し、これにより、前記圧電素子による前記磁気ヘッドスライダのシーク方向への移動時に前記磁気ヘッドスライダの浮上が不安定になる。
【００１４】
次に、前記特許文献３に記載の磁気ヘッドサスペンションについて説明する。
前記特許文献３に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記支持部に、平面視において少なくとも一部が前記開口領域内に位置するように前記先端領域の下面（前記ディスク面と対向する面）に固着された先端側プレートと、平面視において少なくとも一部が前記開口領域内に位置するように前記基端領域の下面に固着された基端側支持プレートとが設けられている。
【００１５】
そして、前記一対の圧電素子の各々は、先端側端面と前記先端領域の壁面との間、前記下側電極層の先端側と前記先端側プレートとの間、基端側端面と前記基端領域の壁面との間、及び、前記下側電極層の基端側と前記基端側プレートとの間にそれぞれ介挿された絶縁性接着剤によって、前記支持部に固着されている。
【００１６】
つまり、前記特許文献３に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記下側電極層は、先端側及び基端側が前記先端側プレート及び前記基端側プレートにそれぞれ対向した状態で固着されることで前記支持部に拘束されており、一方、前記上側電極層は前記支持部に対して実質的にフリーな状態とされている。
【００１７】
従って、前記特許文献１及び２に記載の磁気ヘッドサスペンションにおけると同様、前記特許文献３においても、前記圧電素子は、伸長動作時に前記ディスク面に直交する方向に撓み変形し、これにより、前記圧電素子による前記磁気ヘッドスライダのシーク方向への移動時に前記磁気ヘッドスライダの浮上が不安定になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１８】
【特許文献１】特開２００２−２５１８５４号公報
【特許文献２】特開２００９−０８０９１５号公報
【特許文献３】特開２００２−０５０１４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、メインアクチュエータによる磁気ヘッドスライダの粗動に加えて、圧電素子の伸縮動作による前記磁気ヘッドスライダの微動を行える磁気ヘッドサスペンションであって、前記圧電素子の伸縮動作時に前記圧電素子が前記ディスク面に直交する方向に撓み変形することを有効に防止又は低減でき、これにより、前記圧電素子による前記磁気ヘッドスライダのシーク方向への移動時における前記磁気ヘッドスライダの浮上を安定化させ得る磁気ヘッドサスペンションの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明は、前記目的を達成する為に、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにシーク方向へ揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、圧電体並びに前記圧電体の前記ディスク面と対向する側及び前記ディスク面とは反対側にそれぞれ配設された下側電極層及び上側電極層を有する一対の圧電素子であって、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着された左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、下記構成を備えた磁気ヘッドサスペンションを提供する。
前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有する。
前記一対の圧電素子は、前記上側電極層及び前記下側電極層の双方が前記支持部及び前記支持部に固着される剛性部材の何れとも対向しない状態で、先端側の端面の少なくとも一部が前記先端領域におけるサスペンション長手方向基端側を向く先端壁面と先端側隙間を存しつつ対向し且つ基端側の端面の少なくとも一部が前記基端領域におけるサスペンション長手方向先端側を向く基端壁面と基端側隙間を存しつつ対向するように、前記開口領域内に配置されており、前記先端側隙間及び前記基端側隙間に充填された先端側絶縁性接着剤及び基端側絶縁性接着剤によって前記支持部に固着されている。
【００２１】
好ましくは、前記一対の圧電素子の各々は、サスペンション幅方向外側面及び内側面が外側絶縁性接着剤及び内側絶縁性接着剤で被覆される。
【００２２】
より好ましくは、前記一対の連結梁の各々は、前記基端領域に連結された基端部から先端部へ略直線状に延びる基端側梁と、前記基端側梁に連結された基端部から前記先端領域に連結された先端部へ略直線状に延びる先端側梁とを有し得る。前記基端側梁及び前記先端側梁の連結点が前記基端側梁の基端部及び前記先端側梁の先端部を結ぶ仮想線よりサスペンション長手方向中心線に近接するように、前記先端側梁が前記基端側梁に対して前記ディスク面と直交する平面視において傾斜される。
斯かる構成において、前記外側絶縁性接着剤は、対応する前記連結梁の少なくとも一部に固着され、前記内側絶縁性接着剤は、前記平面視において前記一対の圧電素子の間に存する中央隙間の全体を埋めるように充填される。
【００２３】
前記種々の構成において、前記フレクシャ部は、前記ロードビーム部及び前記支持部に溶接によって固着されるフレクシャ金属基板と、前記フレクシャ金属基板とは別体とされた左右一対の補強金属板であって、少なくとも一部が前記一対の圧電素子の前記下側電極層とそれぞれ対向するように配置され且つ前記一対の圧電素子の伸縮方向に弾性変形可能とされた左右一対の補強金属板と、前記フレクシャ金属基板及び前記一対の補強金属板を保持するようにこれらにおける前記ディスク面に対向する側の面に積層される絶縁層と、前記絶縁層における前記ディスク面と対向する側の面に積層される信号配線とを含み得る。
斯かる構成において、前記一対の圧電素子は、前記一対の補強金属板を囲繞するように前記絶縁層における前記ディスク面とは反対側に塗布された補強用絶縁性接着剤を介して前記フレクシャ部に支持される。
【００２４】
好ましくは、前記フレクシャ部は、前記絶縁層における前記ディスク面と対向する側の面に電圧供給配線を有し、前記電圧供給配線は、前記絶縁層に形成された開口を介して下側導電性接着剤によって前記下側電極層に電気的に接続される。
前記補強用絶縁性接着剤と共働して前記下側導電性接着剤を囲繞する他の絶縁性接着剤が設けられ、前記下側導電性接着剤は前記下側電極層、前記絶縁層、前記補強用絶縁性接着剤及び前記他の絶縁性接着剤によって画される密閉空間内に収容される。
【００２５】
前記種々の構成において、前記先端領域のうちサスペンション幅方向に関し前記一対の圧電素子に対応した部位には、サスペンション厚み方向一方側の端面からサスペンション厚み方向他方側へ所定距離だけ延びる垂直面及び前記垂直面のサスペンション厚み方向他端部から前記先端壁面へ延びる水平面によって画される一対の先端側ポケット部が設けられ、前記基端領域のうちサスペンション幅方向に関し前記一対の圧電素子に対応した部位に、サスペンション厚み方向一方側の端面からサスペンション厚み方向他方側へ所定距離だけ延びる垂直面及び前記垂直面のサスペンション厚み方向他端部から前記基端壁面へ延びる水平面によって画される一対の基端側ポケット部が設けられる。
【００２６】
これに代えて、前記先端領域のうちサスペンション幅方向に関し前記一対の圧電素子に対応した部位には、サスペンション厚み方向一方側の端面から前記先端壁面へ至るように設けられたテーパ面であって、前記端面からサスペンション厚み方向他方側へ行くに従って前記先端壁面に近づき且つ前記端面からサスペンション厚み方向所定距離の位置において前記先端壁面に到達するテーパ面によって画される一対の先端側ポケット部が設けられ、前記基端領域のうちサスペンション幅方向に関し前記一対の圧電素子に対応した部位には、サスペンション厚み方向一方側の端面から前記基端壁面へ至るように設けられたテーパ面であって、前記端面からサスペンション厚み方向他方側へ行くに従って前記基端壁面に近づき且つ前記端面からサスペンション厚み方向所定距離の位置において前記基端壁面に到達するテーパ面によって画される一対の基端側ポケット部が設けられ得る。
【発明の効果】
【００２７】
本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、一対の圧電素子は、上側電極層及び下側電極層の双方共に支持部及び前記支持部に固着される剛性部材の何れとも対向しない状態で、先端側の端面の少なくとも一部が前記支持部の先端領域における先端壁面と先端側隙間を存しつつ対向し且つ基端側の端面の少なくとも一部が前記支持部の基端領域における基端壁面と基端側隙間を存しつつ対向するように、前記開口領域内に配置され、さらに、前記一対の圧電素子の各々は、前記先端側隙間及び前記基端側隙間に充填された先端側絶縁性接着剤及び基端側絶縁性接着剤によって前記支持部に固着されているので、前記一対の圧電素子の伸縮動作時に前記一対の圧電素子がディスク面に直交する方向に撓み変形することを有効に防止又は低減でき、これにより、前記一対の圧電素子による前記磁気ヘッドスライダのシーク方向への移動時に前記磁気ヘッドスライダの浮上を安定化させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】図１(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図２】図２は、図１におけるII-II線に沿った断面図である。
【図３】図３は、図１(a)におけるIII部拡大図である。
【図４】図４(a)〜(d)は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおける圧電素子の支持部への実装方法の一例を示す工程図である。
【図５】図５(a)及び(b)は、前記実施の形態１の変形例に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図６】図６は、図５(a)におけるVI-VI線に沿った断面図である。
【図７】図７(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図８】図８(a)及び(b)は、それぞれ、図７(a)におけるVIII(a)-VIII(a)線及びVIII(b)-VIII(b)線に沿った断面図である。
【図９】図９(a)は、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの一対の圧電素子及び絶縁性接着剤を取り除いた状態の上面図であり、図９(b)は、前記磁気ヘッドサスペンションにおけるフレクシャ部の上面図である。
【図１０】図１０(a)及び(b)は、それぞれ、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションにおけるフレクシャ部の変形例の上面図である。
【図１１】図１１(a)〜(c)は、それぞれ、前記実施の形態２の第１変形例に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図，前記磁気ヘッドサスペンションにおける支持部の上面図及び図１１(a)におけるXI-XI線に沿った断面図である。
【図１２】図１２は、前記実施の形態２の第２変形例に係る磁気ヘッドサスペンションにおける部分縦断側面図であり、図１１(c)に対応した断面図である。
【図１３】図１３は、本発明の実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図１４】図１４(a)及び(b)は、それぞれ、図１３におけるXIV(a)-XIV(a)線及びXIV(b)-XIV(b)線に沿った断面図である。
【図１５】図１５は、前記実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションにおける支持部の上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
実施の形態１
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び下面図（ディスク面側から見た底面図）を示す。なお、図１(b)における○印は溶接点を示している。
又、図２に、図１におけるII-II線に沿った断面図を示す。
【００３０】
図１に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、磁気ヘッドスライダ５０をディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部２０と、前記荷重を磁気ヘッドスライダ５０に伝達するためのロードビーム部３０と、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに前記ディスク面と平行なシーク方向へ揺動される支持部１０と、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に支持されるフレクシャ部４０と、前記磁気ヘッドスライダ５０をシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部１０に装着された左右一対の圧電素子６０とを備えている。
【００３１】
前記支持部１０は、ボイスコイルモータ等の前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結された状態で、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。
【００３２】
本実施の形態においては、前記支持部１０は、前記メインアクチュエータに連結されるキャリッジアーム（図示せず）の先端にかしめ加工によって接合されるボス部１５を備えたベースプレートとされている。
前記支持部１０は、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００３３】
図１に示すように、前記支持部１０は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域１１と、前記荷重曲げ部２０が連結される先端領域１２と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域１１及び前記先端領域１２の間に位置する開口領域１３と、前記開口領域１３のサスペンション幅方向両側において前記基端領域１１及び前記先端領域１２の間を連結する左右一対の連結梁１４であって、サスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称な形状を有している左右一対の連結梁１４とを有している。
なお、前記一対の連結梁１４の詳細構造については後述する。
【００３４】
前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記荷重曲げ部２０によって発生される荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。
本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記ロードビーム部３０は、平板状の本体部３１と、前記本体部３１の幅方向両端部からディスク面とは反対側に曲げ形成されたフランジ部３２とを有しており、前記フランジ部３２によって剛性を確保している。
前記ロードビーム部３０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００３５】
詳しくは、前記ロードビーム部３０は、先端部に、所謂ディンプルと呼ばれる突起３３を有している。
前記突起３３は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度突出されている。この突起３３は、前記フレクシャ部４０におけるヘッド搭載領域４３の裏面（ディスク面とは反対側の面）に接触しており、前記荷重はこの突起３３を介して前記フレクシャ部４０のヘッド搭載領域４３に伝達される。
【００３６】
本実施の形態においては、前記ロードビーム部３０は、さらに、前記本体部３１の先端からサスペンション長手方向先端側へ延びるリフトタブ３４を一体的に有している。前記リフトタブ３４は、前記磁気ヘッドスライダ５０がディスク面の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記メインアクチュエータによって揺動された際に、磁気ディスク装置に備えられたランプと係合して前記磁気ヘッドスライダ５０をｚ方向（前記ディスク面と直交する方向）に沿って前記ディスク面から離間させる為の部材である。
【００３７】
前記荷重曲げ部２０は、基端部が前記支持部１０に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部３０に連結されており、自己の弾性変形に基づいて前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面へ向けて押し付ける押し付け荷重を発生する。
【００３８】
図１及び図２に示すように、本実施の形態においては、前記荷重曲げ部２０は、板面が前記ディスク面と対向するように配置された左右一対の板バネ２１を有している。
好ましくは、前記一対の板バネ２１は、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記磁気ディスク装置へ実装される前の段階において前記磁気ヘッドスライダ５０が前記ディスク面に近づく方向に予め折り曲げられ、且つ、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの前記磁気ディスク装置への実装時には曲げ戻されることで前記押し付け荷重を発生するように、構成される。
【００３９】
前記荷重曲げ部２０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって形成される。
なお、本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記荷重曲げ部２０は前記ロードビーム部３０と一体形成されている。
【００４０】
即ち、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記ロードビーム部３０及び前記荷重曲げ部２０を一体形成するロードビーム部／荷重曲げ部形成部材を有しており、前記ロードビーム部／荷重曲げ部形成部材における前記ディスク面とは反対側の上面が前記支持部１０の前記先端領域１２における前記ディスク面と対向する下面に当接された状態で、前記ロードビーム部形成部材が前記支持部１０に溶接されている。
【００４１】
前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッド５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に接合される。
詳しくは、前記フレクシャ部４０は、図１(b)に示すように、前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０における前記ディスク面との対向面に溶接等によって接合される本体領域４１と、前記本体領域４１から先端側へ延びる一対の支持片４２と、前記支持片４２によって支持された前記ヘッド搭載領域４３とを有している。
【００４２】
前記ヘッド搭載領域４３は、ディスク面と対向する対向面において前記磁気ヘッド５０を支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域４３の裏面には前記突起３３が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域４３は前記突起３３を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
前記フレクシャ部４０は、前記ヘッド搭載領域４３がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部３０よりも低剛性とされる。
前記フレクシャ部４０は、例えば、厚さ０．０１ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス板によって好適に形成される。
【００４３】
なお、本実施の形態においては、前記フレクシャ部４０には、前記磁気ヘッド５０に書き込み信号及び／又は読み取り信号を伝達する為の信号配線がプリント回路として一体的に備えられている。
即ち、前記フレクシャ部４０は、前記本体領域４１，前記一対の支持片４２及び前記ヘッド搭載領域４３を一体的に有するフレクシャ金属基板４００と、前記フレクシャ金属基板４００に積層されたフレクシャ配線体４１０とを有している。
前記フレクシャ配線体４１０は、前記フレクシャ金属基板４００におけるディスク面との対向面に積層された絶縁層４１１（下記図３参照）と、前記絶縁層４１１におけるディスク面との対向面に積層された信号配線４１２と、前記信号配線４１２を囲繞する保護層（図示せず）とを有し得る。
【００４４】
本実施の形態においては、前記フレクシャ金属基板４００は、図１(b)に示すように、前記ロードビーム部４０の前記本体領域４１，前記支持部１０の前記先端領域１２及び前記支持部１０の前記基端領域１１にそれぞれ溶接によって接合されている。
【００４５】
前記圧電素子６０は、図２に示すように、ＰＺＴ（チタン酸ジリコン酸鉛）からなる圧電体６１と、前記圧電体６１の前記ディスク面と対向する側に配設された下側電極層６２と、前記圧電体６１の前記ディスク面とは反対側に配設された上側電極層６３とを有している。
前記圧電体６１は、例えば厚さ０．０５ｍｍ〜０．３ｍｍとされ、前記電極層６２，６３は、例えば厚さ０．０５μｍ〜数μｍのＡｇやＡｕによって形成される。
【００４６】
前記一対の圧電素子６０は、先端部及び基端部が前記支持部１０の前記先端領域１２及び前記基端領域１１にそれぞれ連結された状態で、サスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように配置されている。
【００４７】
即ち、前記一対の圧電素子６０は、前記上側電極層６３及び前記下側電極層６２の間への電圧印可に応じて一方が伸長し且つ他方が短縮し、これにより、前記先端領域１２を前記基端領域１１に対してシーク方向へ移動させて、前記磁気ヘッドスライダ５０をシーク方向に微動させ得るようになっている。
【００４８】
本実施の形態においては、前記上側電極層６３は上側ワイヤーボンディング６７を介して前記フレクシャ金属基板４００に電気的に接続されることで接地され、前記下側電極層６２は前記絶縁層４１１におけるディスク面との対向面に積層された電圧供給配線４１３（下記図６参照）に下側ワイヤボンディング６６を介して電気的に接続されている。
【００４９】
詳しくは、前記フレクシャ金属基板４００の前記本体領域４１は、図１(a)及び(b)に示すように、前記ロードビーム部に接合されるロードビーム部接合領域４０１と、前記支持部１０の前記先端領域１２に接合される支持部先端接合領域４０３と、前記支持部１０の前記基端領域１１に接合される支持部基端接合領域４０５と、サスペンション幅方向に関し前記一対の板バネ２１の間において前記ロードビーム部接合領域４０１及び前記支持部先端接合領域４０３の間を連結する先端側ブリッジ領域４０２と、前記支持部先端接合領域４０３及び前記支持部基端接合領域４０５の間を連結するようにサスペンション幅方向に関し前記一対の圧電素子６０の間において前記開口領域１３を通過する基端側ブリッジ領域４０４とを有している。
そして、前記上側電極層６３は、図１(a)に示すように、前記上側ワイヤーボンディング６７を介して前記基端側ブリッジ領域４０４におけるディスク面とは反対側の面に電気的に接続されている。
なお、前記基端側ブリッジ領域４０４を設けることにより、前記フレクシャ部４０の剛性を高めることができる。
【００５０】
又、前記フレクシャ配線体４１０は、前記絶縁層４１１におけるディスク面との対向面に前記電圧供給配線４１３を有しており、前記保護層は前記信号配線４１２及び前記電圧供給配線４１３を囲繞するように構成されている。
斯かる構成において、前記保護層のうち平面視において前記開口領域１３内に位置する部分に前記電圧供給配線４１３を露出させる開口が形成されており、前記下側ワイヤーボンディング６６は一端部が前記開口を介して前記電圧供給配線４１３に接続され且つ他端部が前記下側電極層６２に接続されている。
【００５１】
本実施の形態においては、前記一対の圧電素子６０の伸縮動作に応じて前記先端領域１２が前記基端領域１１に対してシーク方向へ無理なく移動することを可能とする為に、前記一対の連結梁１４は下記構成を備えている。
【００５２】
図３に、図１(a)におけるIII部拡大図を示す。
即ち、図３に示すように、前記一対の連結梁１４の各々は、前記基端領域１１に連結された基端部から先端部へ略直線状に延びる基端側梁１４１と、前記基端側梁１４１に連結された基端部から前記先端領域１２に連結された先端部へ略直線状に延びる先端側梁１４２とを有している。
【００５３】
そして、前記一対の連結梁１４の各々は、前記基端側梁１４１及び前記先端側梁１４２の連結点１４３が前記基端側梁１４１の基端部及び前記先端側梁１４２の先端部を結ぶ仮想線ＩＬよりサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接するように、前記先端側梁１４２が前記基端側梁１４１に対して平面視において傾斜されている。
【００５４】
さらに、本実施の形態においては、前記圧電素子６０の伸縮動作時に該圧電素子６０が前記ディスク面に直交するｚ方向に撓み変形することを有効に防止又は低減させ、これにより、前記圧電素子６０による前記磁気ヘッドスライダ５０のシーク方向への移動時における前記磁気ヘッドスライダ５０の浮上を安定化させる為に下記構成を備えている。
【００５５】
即ち、圧電素子付き磁気ヘッドサスペンションの第１の従来例においては、支持部の先端領域及び基端領域にそれぞれ先端側切り欠き部及び基端側切り欠き部が設けられている。
そして、圧電素子は、下側電極層の先端側及び基端側が絶縁性接着剤によって前記先端側切り欠き部の水平面及び前記基端側切り欠き部の水平面に固着され、先端側の端面及び基端側の端面が前記先端側切り欠き部及び前記基端側切り欠き部の垂直面に絶縁性接着剤によって固着される一方で、上側電極層は前記支持部に対して実質的にフリーな状態とされている。
【００５６】
又、圧電素子付きの磁気ヘッドサスペンションの第２の従来例においては、支持部の先端領域に高剛性の先端側支持プレートが固着され且つ前記支持部の基端領域に高剛性の基端側支持プレートが固着されている。
そして、圧電素子は、下側電極層の先端側及び基端側が絶縁性接着剤によって前記先端側支持プレート及び前記基端側支持プレートに固着され、先端側の端面及び基端側の端面が前記先端側領域の壁面及び前記基端側領域の壁面に絶縁性接着剤によって固着される一方で、上側電極層は前記支持部に対して実質的にフリーな状態とされている。
【００５７】
このように、従来の圧電素子付き磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記下側電極層の先端側及び基端側が前記支持部又は前記支持部に固着される剛性部材に固着されており、前記下側電極層だけが伸縮動作に対して制限を受けるようになっている。
つまり、前記上側電極層は自由に伸縮し得る一方で前記下側電極層の先端側及び基端側が固定された状態で前記圧電素子が伸縮動作を行うことになり、前記圧電素子の伸縮動作時に該圧電素子が前記ディスク面に直交する方向に撓み変形し、これにより、前記圧電素子による前記磁気ヘッドスライダのシーク方向へ移動時における前記磁気ヘッドスライダの浮上が不安定になるという問題が生じる。
【００５８】
これに対し、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては、図１及び図２に示すように、前記一対の圧電素子６０は、前記上側電極層６３及び前記下側電極層６２の双方共に前記支持部１０及び前記支持部１０に固着される剛性部材とは対向しない状態で、先端側端面の少なくとも一部が前記先端領域１２におけるサスペンション長手方向基端側を向く先端壁面と先端側隙間を存しつつ対向し且つ基端側端面の少なくとも一部が前記基端領域１１におけるサスペンション長手方向先端側を向く基端壁面と基端側隙間を存しつつ対向するように前記開口領域１３内に配置されており、そして、前記先端側隙間及び前記基端側隙間に充填された先端側絶縁性接着剤７２及び基端側絶縁性接着剤７１によって前記支持部１０に固着されている。
【００５９】
斯かる構成によれば、従来の圧電素子付き磁気ヘッドサスペンションにおいては前記一対の圧電素子の伸縮動作時に生じていた該一対の圧電素子の前記ディスク面と直交する方向への撓み変形を有効に防止又は低減できる。
従って、前記一対の圧電素子６０の伸縮動作によって前記先端領域１２をシーク方向へ効率的に変位させることができ、前記一対の圧電素子６０による前記磁気ヘッドスライダ５０のシーク方向への移動時における前記磁気ヘッドスライダ５０の浮上安定化を図ることができる。
【００６０】
又、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記第１の従来例に比して、前記支持部１０の厚み低減及び軽量化を図ることができる。
【００６１】
即ち、前記第１の従来例における前記先端側切り欠き部及び前記基端側切り欠き部は前記圧電素子の大部分が埋まるような深さを必要とする。
一方、前記支持部がベースプレートの形態をなす場合には、前記支持部にはキャリッジアームの先端にかしめ加工によって接合されるボス部を備える必要もある。
この場合、前記ボス部を有する部材にプレス加工によって前述のような深さの前記切り欠き部を形成することは困難である。
【００６２】
従って、前記第１の従来例においては、前記先端側切り欠き部及び前記基端側切り欠き部を有する第１部材と前記ボス部を有する第２部材とを別体で形成し、両者を積層して前記支持部を形成する必要があり、前記支持部の厚み増大及び質量増加を招くという問題も生じる。
【００６３】
これに対し、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては、前記ボス部１５を有する前記基端領域１１と前記先端領域１２，前記開口領域１３及び前記一対の連結梁１４とを単一部材によって一体形成することができる。
従って、前記第１の従来例に比して、前記支持部１０の厚み低減及び軽量化を図ることができる。
【００６４】
ここで、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの製造方法の一例について説明する。
図４(a)〜(d)に、前記圧電素子６０の前記支持部１０への実装方法の一例の工程図を示す。
なお、図４(a)〜(d)は、図１におけるII-II線に沿った断面に対応している。
【００６５】
図４(a)に示すように、ツール１００上に前記支持部１０を載置させる。前記ツール１００は、前記先端領域１２及び前記基端領域１１をそれぞれ支持する先端支持領域１０２及び基端支持領域１０１と、前記開口領域１３内に位置するように設けられ且つ前記圧電素子６０が載置される圧電素子支持領域１０５とを含んでいる。
即ち、前記圧電素子支持領域１０５が前記開口領域１３内に位置するように前記先端領域１２及び前記基端領域１１を前記先端支持領域１０２及び前記基端支持領域１０１の上面（載置面）に載置させる。
【００６６】
次に、図４(b)に示すように、前記圧電素子６０を、先端側の端面と前記先端領域１２の前記先端壁面１２ａとの間に前記先端側隙間が存在し且つ基端側の端面と前記基端領域１１の前記基端壁面１１ａとの間に前記基端側隙間が存在するように、前記圧電素子支持領域１０５の上面（載置面）に載置させる。
【００６７】
なお、前記圧電素子支持領域１０５の上面（載置面）の高さは、前記圧電素子６０の前記支持部１０に対する厚み方向位置に応じて、前記先端支持領域１０２及び前記基端支持領域１０１の上面（載置面）に対して設定されている。
好ましくは、前記ツール１００に載置される前記圧電素子６０及び／又は前記支持部１０を対応する載置面に吸着させる為の吸着機構を設けることができる。
【００６８】
次に、図４(c)に示すように、前記先端側隙間及び前記基端側隙間に上方から熱硬化型の絶縁性接着剤７０を供給する。
前記接着剤７０は前記先端側隙間及び前記基端側隙間を下方へ進み、表面張力によって前記隙間内に充填状態で保持される（図４(d)参照）。
その後、前記接着剤７０を硬化させて前記圧電素子６０を所定姿勢で前記支持部１０に固着する。
即ち、前記先端側隙間に充填され且つ硬化された絶縁性接着剤７０が前記先端側絶縁性接着剤７２を形成し、且つ、前記後端側隙間に充填され且つ硬化された絶縁性接着剤が前記基端側絶縁性接着剤７１を形成する。
【００６９】
なお、前記接着剤７０の硬化は、例えば、図４(d)に示す状態において前記接着剤７０にＵＶ（紫外線）照射又は熱風照射を行い、これにより、前記接着剤７０の表面を硬化させて前記圧電素子６０の仮止めを行ってから、その後に、前記圧電素子６０付きの前記支持部１０を加熱炉で加熱することによって行うことができる。
【００７０】
前記加熱炉での前記接着剤７０の硬化工程は、前記圧電素子６０が仮止めされた状態の前記支持部１０を前記ツール１００から取り外して前記圧電素子６０付きの前記支持部１０のみを前記加熱炉内に挿入することによって行うことも可能であるし、前記圧電素子６０が仮止めされた状態の前記支持部１０を前記ツール１００と共に前記加熱路内に挿入することによって行うことも可能である。
【００７１】
なお、本実施の形態においては、図１に示すように、前記一対の圧電素子６０は、長手方向（即ち、伸縮方向）がサスペンション長手方向に沿うように配置されているが、本発明は斯かる形態に限定されるものではない。
即ち、前記一対の圧電素子６０がサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称であり、且つ、前記一対の圧電素子６０の長手方向がサスペンション長手方向に沿った成分を有する範囲内であれば、前記一対の圧電素子６０の長手方向をサスペンション長手方向に対して傾斜させることも可能である。
【００７２】
図５(a)及び(b)に、本実施の形態の変形例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂの上面図及び下面図を示す。なお、図５(b)における○印は溶接点を示している。
又、図６に、図５(a)におけるVI-VI線に沿った断面図を示す。
なお、図中、本実施の形態におけると同一部材には同一符号を付している。
【００７３】
前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては、図１(a)及び(b)に示すように、前記圧電素子６０におけるサスペンション幅方向外側面及び内側面は外方へ露出されている。
これに対し、前記変形例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂにおいては、図５及び図６に示すように、前記圧電素子６０の前記外側面及び内側面が外側絶縁性接着剤７３及び内側絶縁性接着剤７４によってそれぞれ被覆されている。
斯かる構成によれば、前記圧電素子６０をウエハーから切り出す際に生じ得る前記上側電極層６３及び前記下側電極層６２のバリや前記圧電体６１の粒子が前記圧電素子６０の伸縮動作時に落下することを有効に防止できる。
【００７４】
実施の形態２
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図７(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション２Ａの上面図及び下面図を示す。なお、図７(b)における○印は溶接点を示している。
又、図８(a)及び(b)に、それぞれ、図７(a)におけるVIII(a)-VIII(a)線及びVIII(b)-VIII(b)線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１におけると同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００７５】
さらに、図９(a)に前記一対の圧電素子６０及び前記絶縁性接着剤７０を取り除いた状態の前記磁気ヘッドサスペンション２Ａの上面図を、図９(b)に前記磁気ヘッドサスペンション２Ａにおけるフレクシャ部４０Ｂの上面図を示す。なお、図９(a)において、前記一対の圧電素子６０を一点鎖線で示している。
【００７６】
図８及び図９に示すように、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション２Ａは、前記一対の圧電素子６０が前記フレクシャ部４０Ｂに支持されることで前記一対の圧電素子６０の前記支持部１０に対するｚ方向位置（前記ディスク面と直交する方向に関する位置）の安定化を図り得るようになっている。
【００７７】
詳しくは、図９(a)及び(b)に示すように、前記フレクシャ部４０Ｂは、前記フレクシャ金属基板４００，前記絶縁層４１１，前記信号配線４１２及び前記保護層に加えて、前記フレクシャ金属基板４００を形成する金属部材と同一金属部材によって形成された左右一対の補強金属板４２０を有している。
【００７８】
前記補強金属板４２０は、図９(a)及び(b)に示すように、前記フレクシャ金属基板４００とは別体とされており、少なくとも一部が前記一対の圧電素子６０の前記下側電極層６２とそれぞれ対向するように前記絶縁層４１１における前記ディスク面とは反対側に配置され且つ前記一対の圧電素子６０の伸縮方向に弾性変形可能とされている。
【００７９】
そして、前記一対の圧電素子６０は、図８に示すように、前記一対の補強金属板４２０を囲繞するように前記絶縁層４１１における前記ディスク面とは反対側に塗布された補強用絶縁性接着剤７５を介して前記フレクシャ部４０Ｂに支持されている。
【００８０】
斯かる構成によれば、前記ツール１００を使用することなく前記一対の圧電素子６０を前記支持部１０に安定して装着させることができる。
即ち、前記フレクシャ部４０Ｂの前記フレクシャ基板４００を前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に溶接によって固着させ、次に、前記一対の補強金属板４２０を囲繞するように前記絶縁層４１１における前記ディスク面とは反対側に補強用絶縁性接着剤７５を塗布させてから前記一対の圧電素子６０を前記開口領域１３内に配置させ、その後に、前記先端側隙間及び前記基端側隙間に先端側絶縁性接着剤７２及び基端側絶縁性接着剤７１を充填させることにより、前記ツール１００を使用することなく前記一対の圧電素子６０を前記支持部１０に安定して装着させることができる。
【００８１】
さらに、前記一対の補強金属板４２０は前記一対の圧電素子６０の伸縮方向に弾性変形可能とされている為、前記一対の補強金属板４２０の存在に起因して前記一対の圧電素子６０の伸縮動作時に該一対の圧電素子６０がｚ方向（前記ディスク面と直交する方向）に撓み変形することを有効に防止又は低減できる。
【００８２】
本実施の形態においては、図９に示すように、前記一対の補強金属板４２０の各々は、凸部がサスペンション幅方向一方側（図示の形態においては外方側）を向いたＵ字状とされているが、当然ながら本発明は斯かる形態に限定されるものではない。
【００８３】
例えば、図１０(a)に示すように、前記一対の補強金属板４２０の各々が、凸部がサスペンション幅方向一方側（例えば外方側）を向くＵ字状とされ、さらに、前記凸部においてサスペンション長手方向先端側及び基端側に分断されるように構成することも可能である。
【００８４】
又、図１０(b)に示すように、前記一対の補強金属板４２０の各々が、サスペンション長手方向先端側においてサスペンション幅方向に延びる先端辺４２１と、サスペンション長手方向基端側においてサスペンション幅方向に延びる基端辺４２３と、前記先端片４２１及び前記基端辺４２３を連結するようにサスペンション長手方向に沿って延びる長手方向辺４２２とを有し、前記長手方向辺４２２が平面視において蛇腹状を有するように構成することも可能である。
前記フレクシャ部４０Ｂに前記補強金属板４２０を形成する構成においては、好ましくは、図９(a)，図９(b)，図１０(a)及び図１０(b)に示すように、前記フレクシャ部４０Ｂに前記基端側ブリッジ領域４０４を設けることができ、これにより、前記フレクシャ部４０Ｂの剛性を高めて、前記圧電素子６０の実装プロセスの容易化を図ることができる。
【００８５】
さらに、本実施の形態においては、図７及び図８(a)に示すように、前記一対の圧電素子６０の前記上側電極層６３は上側導電性接着剤６９を介して前記支持部１０に電気的に接合されており、前記上側導電性接着剤６９は上側絶縁性接着剤７６によって囲繞されている。
このように、前記上側導電性接着剤６９を前記上側絶縁性接着剤７６によって囲繞することにより、前記上側導電性接着剤６９に含まれるフィラーが前記ディスク面上に脱落することを有効に防止できる。
なお、前記上側絶縁性接着剤７６の代わりに樹脂封止材を用いても良い。
【００８６】
一方、前記下側電極層６２は、図８(a)及び(b)に示すように、下側導電性接着剤６８を介して前記フレクシャ部４０Ｂに設けられた前記電圧供給配線４１３に電気的に接合されている。
【００８７】
詳しくは、前記フレクシャ部４０Ｂには、少なくとも一部が平面視において前記圧電素子６０とオーバーラップするように前記絶縁層４１１における前記ディスク面と対向する側に前記電圧供給配線４１３が設けられている。
そして、前記絶縁層４１１には、図８及び図９に示すように、前記電圧供給配線４１３のうち前記圧電素子６０とオーバーラップする部分を外部へ開放させる為の開口４１１ａが設けられており、前記電圧供給配線４１３は、図８(a)及び(b)に示すように、前記開口４１１ａを介して前記下側導電性接着剤６８によって前記下側電極層６２に電気的に接続されている。
【００８８】
前記下側導電性接着剤６８は、図８(a)及び(b)に示すように、前記圧電素子６０の前記下側電極層６２，前記補強用絶縁性接着剤７５，前記絶縁層４１１及び前記内側絶縁性接着剤７４によって囲まれる密閉空間内に収容されており、これにより、前記下側導電性接着剤６８に含まれるフィラーが前記ディスク面上に脱落することを有効に防止している。
【００８９】
本実施の形態においては、前述の通り、前記補強金属板４２０はサスペンション幅方向外方側が凸状とされ且つサスペンション幅方向内方側が開放されたＵ字状とされている。
斯かる構成において、前記開口４１１ａは、図９(a)及び(b)に示すように、サスペンション長手方向に関し対応する前記補強金属板４２０の先端部及び基端部の間に位置し且つサスペンション幅方向に関し対応する前記補強金属板４２０よりも内方側（サスペンション長手方向中心線ＣＬに近接する側）に位置している。
【００９０】
そして、前記開口４１１ａを介して前記電圧供給配線４１３を前記下側電極層６２に電気的に接続する前記下側導電性接着剤６８は、対応する前記補強金属板４２０を囲繞するように前記絶縁層４１１の前記ディスク面とは反対側に配設された前記補強用絶縁性接着剤７５と前記圧電素子６０のサスペンション幅方向内側面を覆うように設けられた前記内側絶縁性接着剤７４とによって囲まれている。
【００９１】
なお、本実施の形態においては、図７(a)に示すように、前記内側絶縁性接着剤７４は、平面視において前記一対の圧電素子６０の間に存する中央隙間の全体を埋めるように充填されている。
【００９２】
好ましくは、前記圧電素子６０の外側面を覆う前記外側絶縁性接着剤７３は、対応する前記連結梁１４の内側面の少なくとも一部に固着されるように前記圧電素子６０及び前記連結梁１４の間の外側隙間に充填され得る。
【００９３】
本実施の形態においては、図７に示すように、前記外側絶縁性接着剤７３は、前記先端側梁１４２の内側面に固着されている。
即ち、前記外側隙間のうち前記基端側梁１４１の内側を除く領域が前記外側絶縁性接着剤７３によって充填されている。
【００９４】
このように、前記一対の圧電素子６０の先端側端面と前記先端領域１２との間を前記先端側絶縁性接着剤７２によって連結し且つ前記一対の圧電素子６０の基端側端面と前記基端領域１１との間を前記基端側絶縁性接着剤７１によって連結することに加えて、前記一対の圧電素子６０と対応する前記連結梁１４との間を前記外側絶縁性接着剤７３で連結し且つ前記一対の圧電素子６０の間を前記内側絶縁性接着剤７４に連結することにより、前記一対の圧電素子６０が装着される前記支持部１０の剛性(前記支持部１０の捩れや曲げに対する剛性)を高めることができ、これにより、前記磁気ヘッドサスペンション全体としての共振周波数の向上、及び、耐衝撃性の向上（板厚方向に衝撃力を受けた際に前記圧電素子６０に付加される応力の低減）を図ることができる。
【００９５】
図１１(a)〜(c)に、それぞれ、本実施の形態の第１変形例に係る磁気ヘッドサスペンション２Ｂの上面図，前記磁気ヘッドサスペンション２Ｂにおける支持部１０Ｂの上面図及び図１１(a)におけるXI-XI線に沿った断面図を示す。
なお、図中、本実施の形態及び前記実施の形態１におけると同一部材には同一符号を付している。
【００９６】
図１１に示すように、前記第１変形例に係る磁気ヘッドサスペンション２Ｂの前記支持部１０Ｂにおいては、前記先端領域１２のうちサスペンション幅方向に関し前記一対の圧電素子６０に対応した部位に、サスペンション厚み方向一方側の端面からサスペンション厚み方向他方側へ所定距離だけ延びる垂直面１２１及び前記垂直面１２１のサスペンション厚み方向他端部から前記先端壁面１２ａへ延びる水平面１２２によって画される一対の先端側ポケット部１２０が設けられている。
【００９７】
同様に、前記基端領域１１のうちサスペンション幅方向に関し前記一対の圧電素子６０に対応した部位に、サスペンション厚み方向一方側の端面からサスペンション厚み方向他方側へ所定距離だけ延びる垂直面１１１及び前記垂直面１１１のサスペンション厚み方向他端部から前記基端壁面１１ａへ延びる水平面１１２によって画される一対の基端側ポケット部１１０が設けられている。
【００９８】
斯かる構成を備えた前記第１変形例２Ｂにおいては、前記一対の先端側ポケット部１２０を介して前記先端側絶縁性接着剤７２を前記先端側隙間にスムースに充填させることができ、且つ、前記一対の基端側ポケット部１１０を介して前記基端側絶縁性接着剤７１を前記基端側隙間にスムースに充填させることができる。
従って、前記先端側絶縁性接着剤７２及び前記基端側絶縁性接着剤７１の充填作業効率を向上させることができる。
【００９９】
図１２に、第２変形例に係る磁気ヘッドサスペンション２Ｂ’の部分縦断側面図であって、図１１(c)に対応した断面図を示す。
なお、図中、前記第１変形例を含む本実施の形態及び前記実施の形態１におけると同一部材には同一符号を付している。
【０１００】
図１２に示すように、前記第２変形例に係る磁気ヘッドサスペンション２Ｂ’の支持部１０Ｂ’においては、前記先端領域１２のうちサスペンション幅方向に関し前記一対の圧電素子６０に対応した部位には、サスペンション厚み方向一方側の端面から前記先端壁面１２ａへ至るように設けられたテーパ面であって、前記端面からサスペンション厚み方向他方側へ行くに従って前記先端壁面１２ａに近づき且つ前記端面からサスペンション厚み方向所定距離の位置において前記先端壁面１２ａに到達するテーパ面によって画される一対の先端側ポケット部１２０’が設けられている。
【０１０１】
そして、前記基端領域１１のうちサスペンション幅方向に関し前記一対の圧電素子６０に対応した部位には、サスペンション厚み方向一方側の端面から前記基端壁面１１ａへ至るように設けられたテーパ面であって、前記端面からサスペンション厚み方向他方側へ行くに従って前記基端壁面１１ａに近づき且つ前記端面からサスペンション厚み方向所定距離の位置において前記基端壁面１１ａに到達するテーパ面によって画される一対の基端側ポケット部１１０’が設けられている。
【０１０２】
斯かる構成の前記第２変形例においても前記第１変形例と同様の効果を得ることができる。
なお、前記第１及び第２変形例においては、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション２Ａにおいて前記一対の先端側ポケット部１２０（１２０’）及び前記一対の基端側ポケット部１１０（１１０’）を設けた場合を例に説明したが、当然ながら、前記一対の先端側ポケット部１２０（１２０’）及び前記一対の基端側ポケット部１１０（１１０’）を前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａに設けることも可能である。
【０１０３】
実施の形態３
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１３に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション３Ａの上面図を示す。
又、図１４(a)及び(b)に、それぞれ、図１３におけるXIV(a)-XIV(a)線及びXIV(b)-XIV(b)線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１及び２におけると同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１０４】
図１３，図１４(a)及び(b)に示すように、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション３Ａは、前記支持部１０が支持部１０Ｃに変更されている点において主として前記磁気ヘッドサスペンション２Ａと相違している。
【０１０５】
図１５に、前記支持部１０Ｃの上面図を示す。
図１３及び図１５に示すように、前記支持部１０Ｃは、前記支持部１０，１０Ｂの構成に加えて、サスペンション長手方向中心線ＣＬ上において前記先端領域１２及び前記基端領域１１の間を連結する中央連結梁１９を有している。
即ち、本実施の形態における前記支持部１０Ｃにおいては、前記開口領域１３は前記中央連結梁１９によって左右一対の開口領域１３ａに分割されている。
【０１０６】
このように前記一対の連結梁１４に加えて、サスペンション幅方向中央において前記先端領域１２及び前記基端領域１１を連結する前記中央連結梁１９を備えた前記支持部１０Ｃを採用することにより、前記一対の圧電素子６０による前記磁気ヘッドスライダ５０のシーク方向への移動容易性を阻害することなく、前記支持部１０Ｃの剛性(前記支持部１０Ｃの捩れや曲げに対する剛性)を高めることができ、これにより、前記磁気ヘッドサスペンション３Ａ全体としての共振周波数の向上、及び、耐衝撃性の向上（板厚方向に衝撃力を受けた際に前記圧電素子６０に付加される応力の低減）を図ることができる。
【０１０７】
又、本実施の形態においては、前記支持部１０Ｃには、図１５に示すように、前記基端側ポケット部１１０及び前記先端側ポケット部１２０に加えて、前記内側絶縁性接着剤７４の充填容易化を図る為の内側ポケット部１４０と、前記外側絶縁性接着剤７３の充填容易化を図る為の外側ポケット部１３０とが形成されている。
【０１０８】
前記内側ポケット部１４０は、前記中央連結梁１９のサスペンション幅方向両側に形成されている。
前記外側ポケット部１３０は、前記連結梁１４のサスペンション幅方向内方側に形成されている。
本実施の形態においては、前記外側ポケット部１３０は、前記先端側梁１４２のサスペンション幅方向内方側において該先端側梁１４２の長手方向略全域に亘って形成されている。
【０１０９】
なお、本実施の形態においては、図１４に示すように、前記先端側ポケット部１２０，前記基端側ポケット部１１０，前記内側ポケット部１４０及び前記外側ポケット部１３０は、図１１に示す構成と同様に、垂直面及び水平面によって形成されたステップ状とされているが、これに代えて、図１２に示す構成におけるようにテーパ状に形成されることも可能である。
【０１１０】
さらに、本実施の形態においては、図１４(b)に示すように、前記上側導電性接着剤６９は、前記上側電極層６３を前記中央連結梁１９に電気的に接続するように構成されている。
【０１１１】
好ましくは、図１３及び図１４に示すように、前記上側導電性接着剤６９は、前記中央連結梁１９に電気的に接続された状態で該中央連結梁１９を挟んでサスペンション幅方向両側に延び、一端側が前記一対の圧電素子６０の一方の前記上側電極層６３に電気的に接続され且つ他端側が前記一対の圧電素子６０の他方の前記上側電極層６３に電気的に接続されるように構成される。
斯かる構成によれば、前記一対の圧電素子６０における前記上側電極層６３の接地構造の簡略化を図ることができる。
【符号の説明】
【０１１２】
１Ａ，１Ｂ，２Ａ，２Ｂ，２Ｂ’  磁気ヘッドサスペンション
１０，１０Ｂ，１０Ｂ’          支持部
１１                            基端領域
１１ａ                          基端壁面
１２                            先端領域
１２ａ                          先端壁面
１３                            開口領域
１４                            連結梁
２０                            荷重曲げ部
３０                            ロードビーム部
４０，４０Ｂ                    フレクシャ部
５０                            磁気ヘッドスライダ
６０                            圧電素子
６１                            圧電体
６２                            下側電極層
６３                            上側電極層
６８                            下側導電性接着剤
７１                            基端側絶縁性接着剤
７２                            先端側絶縁性接着剤
７３                            外側絶縁性接着剤
７４                            内側絶縁性接着剤
７５                            補強用絶縁性接着剤
１１０，１１０’                基端側ポケット部
１１１                          垂直面
１１２                          水平面
１２０，１２０’                先端側ポケット部
１２１                          垂直面
１２２                          水平面
１４１                          基端側梁
１４２                          先端側梁
１４３                          基端側梁及び先端側梁の連結点
４００                          フレクシャ金属基板
４１１                          絶縁層
４１２                          信号配線
４１３                          電圧供給配線
４２０                          補強金属板
ＣＬ                            サスペンション長手方向中心線
ＩＰ                            仮想線
【図１】
2011054256.tif 000003
【図２】
2011054256.tif 000004
【図３】
2011054256.tif 000005
【図４】
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【図５】
2011054256.tif 000007
【図６】
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【図７】
2011054256.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
2011054256.tif 000012
【図１１】
2011054256.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
2011054256.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
2011054256.tif 000017