(57)【要約】【課題】  放熱性が良好であり、高輝度及び高出力のＬＥＤを光源とする、信頼性の高い発光部品を提供すること。【解決手段】  光源と、前記光源を設置した第一の金属膜と、前記光源に接続するワイヤボンドと、前記ワイヤボンドにより前記光源と電気的に接続され、前記第一の金属膜と同一平面状に形成され、かつ前記第一の金属膜と絶縁されている第二の金属膜と、前記第一の金属膜及び前記第二の金属膜に設置され、前記第一の金属膜及び前記第二の金属膜に設置され、前記光源側の面から前記光源側の面と反対側の面に向かって広がる傾斜面で構成される貫通孔を有するとともに、前記貫通孔側の側面が反射面で形成された反射部材と、前記光源を覆うモールド部と、を備えることを特徴とする発光部品を提供する。【選択図】  図１
2011199066.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、
前記光源を設置した第一の金属膜と、
前記光源に接続するワイヤボンドと、
前記ワイヤボンドにより前記光源と電気的に接続され、前記第一の金属膜と同一平面上に形成され、かつ前記第一の金属膜と絶縁されている第二の金属膜と、
前記第一の金属膜及び前記第二の金属膜に設置され、前記光源側の面から前記光源側の面と反対側の面に向かって広がる傾斜面で構成される貫通孔を有するとともに、前記貫通孔側の側面が反射面で形成された反射部材と、
前記光源を覆うモールド部と、
を備えることを特徴とする発光部品。
【請求項２】
前記第一の金属膜及び前記第二の金属膜の厚さが０．１ｎｍ〜３μｍであることを特徴とする請求項１に記載の発光部品。
【請求項３】
前記第一の金属膜及び前記第二の金属膜は銅、銀、金、アルミニウムのいずれかで形成されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の発光部品。
【請求項４】
前記反射部材はガラスで形成され、前記第一の金属膜及び前記第二の金属膜の前記反射部材と接合する面はアルミニウム薄膜又はシリコン薄膜で形成され、前記反射部材と、前記第一の金属膜及び前記第二の金属膜とが陽極接合されていることを特徴とする請求項３に記載の発光部品。
【請求項５】
前記反射部材はセラミックスで形成され、前記反射部材と、前記第一の金属膜及び前記第二の金属膜とはろう付けされることを特徴とする請求項３に記載の発光部品。
【請求項６】
前記第一の金属膜と前記光源は、金属ナノ粒子を焼成することにより接合されることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の発光部品。
【請求項７】
前記金属ナノ粒子は、銀、金錫合金、金、銅のいずれかであることを特徴とする請求項６に記載の発光部品。
【請求項８】
前記反射部材の前記反射面は、コールドミラー膜、銀膜、アルミニウム膜の少なくともいずれか１つで形成されることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の発光部品。
【請求項９】
前記モールド部は疎水性であることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の発光部品。
【請求項１０】
キャリア層上に金属膜が設置された金属膜付キャリア材の前記金属膜上に、傾斜した貫通孔が形成された反射部材及び光源を設置する工程と、前記金属膜と前記光源とをワイヤボンドにより電気的に接続する工程と、からなる光源及び反射部材を設置する工程と、
前記貫通孔の内部にモールド部を形成する工程と、
前記キャリア層を除去する工程と、
前記金属膜を、前記光源を設置した部分である第一の金属膜と、前記ワイヤボンドで前記光源と電気的に接続した部分である第二の金属膜と、に分割する工程と、
を備えることを特徴とする発光部品の製造方法。
【請求項１１】
前記光源及び反射部材を設置する工程は、前記金属膜上に傾斜した貫通孔が形成された反射部材を設置する工程と、前記金属膜上に光源を設置する工程と、前記金属膜と前記光源とをワイヤボンドにより電気的に接続する工程と、の順で行うことを特徴とする請求項１０に記載の発光部品の製造方法。
【請求項１２】
前記光源及び反射部材を設置する工程は、前記金属膜上に光源を設置する工程と、前記金属膜と前記光源とをワイヤボンドにより電気的に接続する工程と、前記金属膜上に傾斜した貫通孔が形成された反射部材を設置する工程と、の順で行うことを特徴とする請求項１０に記載の発光部品の製造方法。
【請求項１３】
前記光源及び反射部材を設置する工程の前に、前記キャリア層上に前記金属膜を形成し、前記キャリア層上に前記金属膜が設置された金属膜付キャリア材を形成する工程を行うことを特徴とする請求項１１又は請求項１２に記載の発光部品の製造方法。
【請求項１４】
前記反射部材を前記金属膜上に設置する工程において、前記反射部材はガラスで形成され、前記金属膜上はアルミニウム薄膜又はシリコン薄膜で形成され、前記反射部材と前記金属膜とを陽極接合することを特徴とする請求項１１から１３のいずれか一項に記載の発光部品の製造方法。
【請求項１５】
前記反射部材を前記金属膜上に設置する工程において、前記反射部材はセラミックスで形成され、前記反射材と前記金属膜とをろう付けすることを特徴とする請求項１１から１３のいずれか一項に記載の発光部品の製造方法。
【請求項１６】
前記金属膜上に前記光源を設置する工程において、前記金属膜と前記光源とを金属ナノ粒子を焼成することにより接合することを特徴とする請求項１１から１５のいずれか一項に記載の発光部品の製造方法。
【請求項１７】
前記金属膜付キャリア材に複数の発光部品を一括形成した後、個々の発光部品に個片化することを特徴とする請求項１０から１６のいずれか一項に記載の発光部品の製造方法。
【請求項１８】
前記反射部材を前記金属膜上に設置する工程において、溝部を有する前記反射部材を前記金属膜上に設置することを特徴とする請求項１７に記載の発光部品の製造方法。
【請求項１９】
前記第一の金属膜及び前記第二の金属膜の厚さが０．１ｎｍ〜３μｍであることを特徴とする請求項１０から１８のいずれか一項に記載の発光部品の製造方法。
【請求項２０】
請求項１から９のいずれか一項に記載の発光部品を用いた発光器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高輝度及び高出力のＬＥＤ素子を光源として使用する発光部品及びその製造方法に関するものであって、放熱効果を高めることにより、ＬＥＤ素子の使用寿命を伸ばし、高輝度及び高出力を維持することが出来るよう改善された発光部品、発光器及び発光部品の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のＬＥＤパッケージは、固定用電極パターンを有する回路基板に光源としてＬＥＤ素子を実装し、上記基板の前面と、基板と外形のサイズが大体類似で内側に放射状の反射面を有する反射部材とをエポキシレジンなどで一体化して固定させた構造である。このような従来のＬＥＤパッケージは、反射部材に傾斜貫通された反射面を有し、この反射面を通じてＬＥＤ素子からの光を前面へ反射させる。
【０００３】
ところが、上記のような従来のＬＥＤパッケージは、基板材料として熱伝導性の高い、即ち放熱機能に優れた材料を使用していないため、ＬＥＤ素子の発光作動中に優れた放熱効果を得ることが出来ない。また従来のＬＥＤパッケージは、上記基板に反射部材を別途の工程で固定させるため、製造工程の簡略化が困難で、それによる組み立て費用の上昇を招いた。
【０００４】
これらの欠点を解消するべく、ＬＥＤパッケージを製造する方法として、「多層反射面構造を有するＬＥＤパッケージ及びその製造法」などが提案されている（特許文献１）。      
【０００５】
図５を用いて従来例の内容を説明する。従来例において、アルミニウム材料からなり側面に窪んだ多層反射面が形成された基板２００と、上記反射面上に装着され電極パターンに電気的に連結された光源４００と、上記電極パターンと基板との間に形成されたアノダイジング絶縁層２１０と、上記基板の光源上に覆われるモールディング部６００と、を含み、上記光源のＬＥＤ素子はその下部面にアルミニウム放熱部を形成して放熱性能に優れるよう構成された多層反射面構造を有するＬＥＤパッケージとその製造方法を提供している。特許文献１に係る発明によると基板がアルミニウム材料からなり、アノダイジング処理して絶縁層を形成するものであるため、これを通じたＬＥＤ素子の優れた放熱効果を得ることができ、それによってＬＥＤパッケージの使用寿命と発光効率を大きく増大させることが出来るというものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−２９４９６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記ＬＥＤパッケージでは熱伝導率２３６Ｗ／ｍ・Ｋのアルミニウムを用いているにも関わらず、アノダイジング処理した絶縁層は３２Ｗ／ｍ・Ｋになるため、熱伝導率を低下させているという課題がある。また、アノダイジング処理した絶縁層２１０はポーラス状の構造になり、モールディング部６００はこの絶縁層２１０を覆っていることから、モールディング部形成時に絶縁層部分から気泡を発生しやすく、気泡を内在する不良を発生するという課題がある。更には、この絶縁層を通して、硫化物等の気体がパッケージ内部に到達するため、銀コーティングされた反射膜の劣化が早く進行するという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明に係る発光部品は、光源と、前記光源を設置した第一の金属膜と、前記光源に接続するワイヤボンドと、前記ワイヤボンドにより前記光源と電気的に接続され、前記第一の金属膜と同一平面状に形成され、かつ前記第一の金属膜と絶縁されている第二の金属膜と、前記第一の金属膜及び前記第二の金属膜に設置され、前記第一の金属膜及び前記第二の金属膜に設置され、前記光源側の面から前記光源側の面と反対側の面に向かって広がる傾斜面で構成される貫通孔を有するとともに、前記貫通孔側の側面が反射面で形成された反射部材と、前記光源を覆うモールド部と、を備えることを特徴とする。また、前記第一の金属膜及び前記第二の金属膜の厚さが０．１ｎｍ〜３μｍであることを特徴とする。
【０００９】
厚さの薄い金属膜を用いることにより、優れた放熱効果を得ることができる。それにより、発光部品の使用寿命と発光効率を大きく増大させることが出来る効果を有する。
【００１０】
また、本発明に係る発光部品は、前記第一の金属膜及び前記第二の金属膜は銅、銀、金、アルミニウムのいずれかで形成されることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係る発光部品は、前記反射部材はガラスで形成され、前記第一の金属膜及び前記第二の金属膜の前記反射部材と接合する面はアルミニウム薄膜又はシリコン薄膜で形成され、前記反射部材と、前記第一の金属膜及び前記第二の金属膜とが陽極接合されていることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明に係る発光部品は、前記反射部材はセラミックスで形成され、前記反射部材と、前記第一の金属膜及び前記第二の金属膜とはろう付けされることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明に係る発光部品は、前記第一の金属膜と前記光源は、金属ナノ粒子を焼成することにより接合されることを特徴とする。また、金属ナノ粒子は、銀、金錫合金、金、銅のいずれかであることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明に係る発光部品は、前記反射部材の前記反射面は、コールドミラー膜、銀膜、アルミニウム膜の少なくともいずれか１つで形成されることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明に係る発光部品は、前記モールド部は疎水性であることを特徴とする。
本発明に係る発光部品の製造方法は、キャリア層上に金属膜が設置された金属膜付キャリア材の前記金属膜上に、傾斜した貫通孔が形成された反射部材及び光源を設置する工程と、前記金属膜と前記光源とをワイヤボンドにより電気的に接続する工程と、からなる光源及び反射部材を設置する工程と、前記貫通孔の内部にモールド部を形成する工程と、前記キャリア層を除去する工程と、前記金属膜を、前記光源を設置した部分である第一の金属膜と、前記ワイヤボンドで前記光源と電気的に接続した部分である第二の金属膜と、に分割する工程と、を備えることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明にかかる発光部品の製造方法は、前記光源及び反射部材を設置する工程は、傾斜した貫通孔が形成された反射部材を前記金属膜上に設置する工程と、前記金属膜上に光源を設置する工程と、前記金属膜と前記光源とをワイヤボンドにより電気的に接続する工程と、の順で行うことを特徴とする。
【００１７】
また、本発明にかかる発光部品の製造方法は、前記光源及び反射部材を設置する工程は、前記金属膜上に光源を設置する工程と、前記金属膜と前記光源とをワイヤボンドにより電気的に接続する工程と、傾斜した貫通孔が形成された反射部材を前記金属膜上に設置する工程と、前記貫通孔の内部にモールド部を形成する工程と、の順で行うことを特徴とする。
【００１８】
また、本発明に係る発光部品の製造方法は、前記光源及び反射部材を設置する工程の前に、キャリア層上に金属膜を形成し、前記キャリア層上に前記金属膜が設置された金属膜付キャリア材を形成する工程を行うことを特徴とする。
【００１９】
また、本発明に係る発光部品の製造方法は、前記反射部材を前記金属膜上に設置する工程において、前記反射部材はガラスで形成され、前記金属膜上はアルミニウム薄膜又はシリコン薄膜で形成され、前記反射部材と前記金属膜とを陽極接合することを特徴とする。
【００２０】
また、本発明に係る発光部品の製造方法は、前記反射部材を前記金属膜上に設置する工程において、前記反射部材はセラミックスで形成され、前記反射材と前記金属膜とをろう付けすることを特徴とする。
【００２１】
また、本発明に係る発光部品の製造方法は、前記金属膜上に前記光源を設置する工程において、前記金属膜と前記光源とを金属ナノ粒子を焼成することにより接合することを特徴とする。
【００２２】
また、本発明に係る発光部品の製造方法は、金属膜付キャリア材に一括形成された複数の発光部品を個片化する工程を備える。この際、前記反射部材を前記金属膜上に設置する工程において、溝部を有する前記反射部材を前記金属膜上に設置することを特徴とする。これによって、個片化を容易に行うことができる。
【００２３】
このような手段をとることで、熱伝導率を下げる部分のない放熱経路が確保され、且つ、熱経路が非常に短いため、放熱性の高い発光部品を提供できる。また、反射部材にはポーラス状の構造がないため、モールド部形成時の不良がなく、信頼性も高い発光部品を提供できる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によると、分割された金属膜の一方に光源であるＬＥＤ素子が接合されることによって、熱経路が非常に短いため、優れた放熱効果を得ることができる。それにより、発光部品の使用寿命と発光効率を大きく増大させることが出来る効果を有する。
【００２５】
また本発明は、金属膜と反射部材を多数個同時に一括形成し、最終工程で個片化するため、製作コストを低減する効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明に係る発光部品の断面図である。
【図２】本発明に係る発光部品の製造工程を示す図である。
【図３】本発明に係る発光部品の製造工程における上面図である。
【図４】本発明に係る発光部品の製造工程を示す図である。
【図５】従来例の断面図を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
図１は本発明に係る発光部品の断面図である。発光部品１は光源４０を設置した第一の金属膜２１を備えている。また、第二の金属膜２２はワイヤボンド５０により光源４０と電気的に接続している。さらに、第一の金属膜２１と第二の金属膜２２とが絶縁されている。また、反射部材３１は、第一の金属膜２１及び第二の金属膜２２に設置されている。        
【００２８】
また、モールド部６０は光源４０を覆っている。また、反射部材３１は光源からの光を反射する反射面を有している。また、この反射面は、反射部材３１の内側に形成された貫通孔の側面であり、この貫通孔内に光源が設置されている構造となっている。この貫通孔は光源側の面から前記光源側の面と反対側の面に向かって広がる傾斜面で構成される。よって、反射部材３１は、光源側の面から光源側の面と反対側の面に向かって広がる傾斜面で構成される貫通孔を有するとともに、貫通孔側の側面が反射面で形成されている。また、反射部材、モールド部により第一の金属膜と第二の金属膜とは接続している。
【００２９】
第一の金属膜２１、及び第二の金属膜２２の材質は、例えば熱伝導率２３６Ｗ／ｍ・Ｋであるアルミニウム、熱伝導率３２０Ｗ／ｍ・Ｋである金、熱伝導率４２０Ｗ／ｍ・Ｋである銀、熱伝導率３９８Ｗ／ｍ・Ｋである銅である。また、第一の金属膜２１及び第二の金属膜２２の厚みは、放熱性、基板実装時の影響、製造しやすさ、等を考慮すると０．１ｎｍから３μｍが適当である。第一の金属基膜２１、第二の金属膜２２の材質が銅である場合には、腐食を抑えるために、金めっきや、Ｓｎめっき等の防錆処理をしてもよい。
【００３０】
反射部材３１の材質としては、例えばガラスやセラミックスを用いることができる。また、反射部材３１の傾斜面には例えば銀膜、アルミニウム膜、コールドミラー膜を形成することで、反射効率を上げることができる。
【００３１】
反射部材３１を第一の金属膜２１及び第二の金属膜２２に設置する方法として、エポキシ樹脂、アクリル樹脂等を用いて接着することが可能である。
【００３２】
また、反射部材３１の材質がガラスである場合には、第一の金属膜２１及び第二の金属膜２２の表面に、例えば１０００Åから５０００Åのシリコンの薄膜或いはアルミニウムの薄膜を形成し、陽極接合法により、接合することも可能である。ただし、第一の金属膜２１及び第二の金属膜２２がアルミニウムで形成されている場合は、上記薄膜を形成せずに陽極接合することができる。
【００３３】
また、反射部材３１の材質がセラミックスである場合には、例えば銀ろうを用いて、ろう付けすることも可能である。
【００３４】
以上のような方法を採用することで、接着剤で接着するより、信頼性の高い部品を作製できる。
【００３５】
モールド部６０の材料は、透明であり、疎水性であるものがよい。例えば透明樹脂を用いることができ、エポキシ、アクリル、シリコーン、ポリシロキサン等の透明樹脂などを使用することが可能である。また、上記樹脂に蛍光体等を混入してもよい。
【００３６】
光源４０と第一の金属膜２１は、ダイボンド剤と称される銀ペースト等の導電性接着剤を用いて接合する。また、光源４０と第一の金属膜２１は、放熱性を考慮し、例えば銀、金錫合金、金、銅等の金属ナノ粒子を焼結させて、接合することで樹脂成分のない熱伝導性の高い接合となる。
【００３７】
次に、図２から図４を用いて、本発明に係わる製造方法を説明する。
図２は、本発明に係る発光部品の製造工程を示す図であり、複数個の発光部品をウェハ単位で製造し、最終工程で個片化する手段を示している。
【００３８】
図２（ａ）は第一の金属膜２１及び第二の金属膜２２を形成するための金属膜付キャリア材２３を示している。また、図２（ａ）は、キャリア層の上面に金属膜を形成し、キャリア層と金属膜とからなる金属膜付キャリア材２３を形成する工程である。具体的には、金属膜付キャリア材２３はキャリア層と、キャリア層の上面に形成された第一の金属膜２１及び第二の金属膜２２を形成するための金属膜と、から構成される。
【００３９】
キャリア層の材料としては、ＰＥＴ等の樹脂フィルム、耐熱性に優れたポリイミド、ＰＥＮ等の樹脂フィルムや、銅等の金属膜を用いるが、特に限定するものではない。キャリア層の厚みは３０−１００μｍ程度のものが扱いやすいが、この厚みに限定されるものではない。また、キャリア層上の金属膜は、スパッタや蒸着により形成する。或いはキャリア層と金属箔を微粘着剤を用いて接着してもよい。なお、例えば、ポリイミドフィルムに銅箔が張ってあるものなど、キャリア層と金属層があらかじめ一体化したものを用いてもよく、その場合金属膜付キャリア財２３を形成する工程は不要になる。
【００４０】
金属膜付キャリア材２３は、複数の傾斜した貫通孔が一体形成されている反射部材３０の材質、反射部材３０との接合又は接着などの設置方法に応じて図示しない薄膜が形成されている。また、光源４０及びワイヤボンド５０の実装パターンが金膜等で形成されていてもよい。
【００４１】
図２（ｂ）から図２（ｄ）は、光源及び反射部材を設置する工程を示す図である。
図２（ｂ）は複数の傾斜した貫通孔が一体形成されている反射部材３０を金属膜付キャリア材２３の金属膜の上面に接着又は接合などにより設置する工程である。傾斜した貫通孔は、反射部材３０の素材に応じて、ブラスト加工、エッチング加工、ドリル加工、粉末焼成等により形成する。
【００４２】
図２（ｃ）は金属膜付キャリア材２３の金属膜の上面に光源４０を設置する工程を示している。この際、光源は金属膜付キャリア材２３の第一の金属膜を形成する部分に設置する。この工程において、金属膜付キャリア材２３と光源４０とを銀、金錫合金、金、銅等の金属ナノ粒子を焼結させて、接合している。この工程により、金属膜付キャリア材２０と光源４０との間に上記金属からなる接合層が形成する。また、金属膜付キャリア材２３と光源４０との接合は他にもダイボンド剤と称される銀ペースト等の導電性接着剤を用いて接合することもできる。
【００４３】
図２（ｄ）はワイヤボンド５０を形成し、光源４０と金属膜付キャリア材の金属膜のうち第二の金属膜を形成する部分とを電気的に接続する工程である。
【００４４】
図２（ｅ）は光源４０及びワイヤボンド５０をモールドするモールド部６０を形成する工程である。このとき、金属膜の上面、かつ反射部材の貫通孔内部にモールド部６０が充填される。このとき、モールド部６０は透明であり、疎水性であるものがよい。また、モールド部６０は、蛍光体等の混合物が混入されていてもよい。
【００４５】
図２（ｆ）は光源４０への電極を分割する工程である。具体的には、金属膜付キャリア材の金属膜を、前記光源を設置した部分である第一の金属膜と、前記ワイヤボンドで前記光源と電気的に接続した部分である第二の金属膜と、に分割する。この工程に置いて、金属膜付キャリア材２３のキャリア層を除去し、分割部２４を形成し、第一の金属膜と第二の金属膜とに分割する。分割部２４を形成する方法としては、レーザー加工、機械加工等から適切な方法を選択できる。また、モールド部６０を疎水性、撥水性にしておくことで、ウェットエッチングによる加工が可能となる。また、キャリア層の除去もウェットエッチングによる加工が可能となる。
【００４６】
図３は、図２（ｆ）に示す工程における上面図である。この工程により、光源４０及びワイヤボンド５０は反射部材３０に形成された貫通孔内部に形成される。また、この貫通孔は光源側の面から前記光源側の面と反対側の面に向かって広がる傾斜面で構成されている。
【００４７】
図２（ｇ）は金属膜付キャリア材２０に複数個同時に形成してきたものをダイシング等により個片化して、個々の発光部品を製造する発光部品形成工程を示している。この工程により、金属膜付キャリア材２３が第一の金属膜と第二の金属膜とに完全に分割される。
【００４８】
以上の工程により、金属膜付キャリア材２３に複数の発光部品を一括形成した後、個々の発光部品に個片化することが可能となり、製作コストを低減する効果が得られる。
【００４９】
なお、本実施例は発光部品を複数個同時に形成する場合に限定されるものではなく、発光部品を１個形成する場合にも適用できる。その場合は図２（ｇ）の工程が必要なく、図２（ｆ）の工程だけで、金属膜付キャリア材２０が第一の金属膜と第二の金属膜とに分割される。
【００５０】
図４を用いて、図２に示す方法より更に容易に発光部品を製造する方法を説明する。
図４（ｂ）は、図２（ｂ）の工程に相当する反射部材３０を金属膜付キャリア材２３の金属膜の上面に設置する工程である。この工程において、発光部品１を個片化する場所に溝部を有する反射部材３２を用いて、金属膜付キャリア材２３と接合又は接着により金属膜付キャリア材２３に設置する。
【００５１】
この後、図２（ｃ）から図２（ｅ）の工程を先に述べたとおり行う。
図４（ｆ）は、図２（ｆ）の工程に相当する分割部形成工程である。この工程において、第一の金属膜２１と第二の金属膜２２を分割する分割部２４を形成し、さらに分割部２４を反射部材３２の溝部にあたる部分にも形成する。この工程で、金属膜付キャリア材２３の金属膜材質が銅である場合には、腐食を抑えるために、第一の金属膜２１、第二の金属膜２２に、金めっきや、Ｓｎめっき等の防錆処理をする。
【００５２】
図４（ｇ）は、図２（ｇ）の工程に相当する発光部品形成工程である。図４（ｇ）に示す発光部品形成工程では反射部材のみを切断すればよく、異なる材質を切断しなくて済むため、精度の向上、コスト低減ができ、切断方法の選択肢も多くなる。また、溝部が形成されているため、応力が集中する構造となるため、割るように切断することが可能となり、特別な装置が不要で、すばやく個片化できるようになる。
【００５３】
また、図２、図４に示す発光部品の製造方法において、反射部材３１、又は溝部を有する反射部材３２を金属膜の上面に設置する工程の前に、光源４０及びワイヤボンド５０を金属膜上面に設置する工程を行ってもよい。このようにすることで、反射部材の貫通孔の中に光源を実装するのでなく、平面上に光源を実装することができるため、一般的なツールが使用でき、高速化も可能となり、低コストで製造する方法となる。
【００５４】
本発明の発光部品は、例えば照明器具や、電光掲示板、車のヘッドライトなどの発光器などに用いることができる。本発明の発光部品は、光源として、試料などの検査対象に光を透過、又は反射させることによって対象物を観察、検査する検査装置に用いることができる。検査装置としては、例えば、偽札鑑定装置、金属の表面の微細な傷や欠陥を見つける画像処理機器、更には、医療、バイオ分野において組織やＤＮＡといった微小化学物質の検知用装置、樹脂硬化装置などに用いることができる。
【符号の説明】
【００５５】
１  発光部品
２１  第一の金属膜
２２  第二の金属膜
２３  金属膜付キャリア材
３０  複数の傾斜した貫通孔が一体形成されている反射部材
３１  反射部材
３２  溝部を有する反射部材
４０  光源
５０  ワイヤボンド
６０  モールド部
１００  ＬＥＤパッケージ
２００  アルミニウム基板
２１０  アノダイジング絶縁層
３００  電極パターン
４００  光源
５００  ワイヤ
６００  モールディング部
【図１】
2011199066.tif 000003
【図２】
2011199066.tif 000004
【図３】
2011199066.tif 000005
【図４】
2011199066.tif 000006
【図５】
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