(57)【要約】【課題】予めガスセンサ素子の内部温度を測定することで、正常な検査を安定して行うことができるガスセンサの検査方法、及びそれに用いる検査治具を提供する。【解決手段】軸線ＡＸ方向に延びる有底筒状の固体電解質体１２０の内外面にそれぞれ電極１２１、１２２が形成されたセンサ素子１２０を有し、電極間の出力に基づいて被測定ガス中の特定ガス成分を検出するガスセンサ１００の検査を、センサ素子を加熱させた状態で、所定の検査位置Ｓ１，Ｓ２に設置される当該ガスセンサの出力を取得して行うガスセンサの検査方法であって、センサ素子を加熱する加熱手段３１、３２、５０を用い、加熱手段の加熱条件を、検査位置に設置されたセンサ素子の内面の温度が特定温度になるように、事前に調整する加熱条件調整工程を有し、事前に調整された加熱条件の下で、加熱手段を用いて個々のガスセンサを加熱しながら、前記検査を行う。【選択図】図２
2011220819.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸線方向に延びる有底筒状の固体電解質体の内外面にそれぞれ電極が形成されたセンサ素子を有し、前記電極間の出力に基づいて被測定ガス中の特定ガス成分を検出するガスセンサの検査を、前記センサ素子を加熱させた状態で、所定の検査位置に設置される当該ガスセンサの前記出力を取得して行うガスセンサの検査方法であって、
前記センサ素子を加熱する加熱手段を用い、
前記加熱手段の加熱条件を、前記検査位置に設置された前記センサ素子の内面の温度が特定温度になるように、事前に調整する加熱条件調整工程を有し、
事前に調整された前記加熱条件の下で、前記加熱手段を用いて個々のガスセンサを加熱しながら、前記検査を行うガスセンサの検査方法。
【請求項２】
前記ガスセンサの搬送装置を用い、前記加熱手段により加熱される位置を通過させた後に、前記検査位置に搬送する搬送工程をさらに有する請求項１記載のガスセンサの検査方法。
【請求項３】
前記加熱条件調整工程において、前記センサ素子の内面のうち、底部の温度が前記特定温度となるように前記加熱条件を調整する請求項１又は２に記載のガスセンサの検査方法。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れか１項に記載のガスセンサの検査方法に用いる検査治具であって、
前記ガスセンサと、
前記センサ素子の開口部から内部に導入されて該センサ素子の内面であって且つ該センサ素子の底部に自身の接点が接続された熱電対と、
を備えた検査治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガスセンサの検査方法、及びそれに用いる検査治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
ディーゼルエンジンやガソリンエンジン等の内燃機関の吸気系統や排気系統にガスセンサを取付け、特定ガスの濃度をモニタして燃焼状態等を制御することが行われている。そして、このようなガスセンサの構造として、軸線方向に延びる有底筒状の固体電解質体と、固体電解質体の内外面にそれぞれ形成された一対の電極とを有するセンサ素子と、センサ素子の周囲を保持する主体金具とを備えたものが知られている（特許文献１）。
【０００３】
このようなガスセンサを出荷する前には個々のガスセンサの検査を行っている。図２は、ガスセンサの検査装置３００を示し、無限軌道からなる搬送コンベア２００がＬ方向に移動しつつ、個々のコンベア片２０１の中央の保持孔２０１ａにガスセンサ１００がそれぞれ挿通されて保持されている。搬送コンベア２００の付近にはヒータ５０が設置され、搬送コンベア２００の移動に伴ってガスセンサ１００を加熱する。そして、検査位置Ｓ１、Ｓ２までガスセンサ１００が移動したとき、ガスセンサ１００が特定温度（固体電解質体の活性化温度以上の温度）に昇温されて検査が行われるようになっている。なお、検査位置Ｓ１、Ｓ２では、それぞれリッチバーナ（リッチ雰囲気の燃焼ガス）３１、及びリーンバーナ（リーン雰囲気の燃焼ガス）３２により、それぞれリッチ雰囲気及びリーン雰囲気に保ちつつ検査が行われると共に、検査位置Ｓ１、Ｓ２で各バーナがガスセンサ１００をさらに加熱する。
なお、ガスセンサの検査は、各ガスセンサの電極間の出力（例えば、出力電圧）を測定し、出力電圧が基準となる範囲を逸脱した場合を不良としている。
【０００４】
ここで、ガスセンサ１００の検査時に、検査位置Ｓ１、Ｓ２でガスセンサ１００が上記特定温度になるよう、検査に先立って予め検査位置Ｓ１、Ｓ２の温度が測定され、加熱条件（ヒータ５０、リッチバーナ３１、及びリーンバーナ３２の加熱温度や、搬送コンベア２００の搬送速度）を調整している。具体的には、図５に示すように、ガスセンサ１００のセンサ素子１２０の外側底面付近に熱電対Ｈの接点を接続した検査治具７００を、保持孔２０１ａに挿通保持し、検査位置Ｓ１、Ｓ２において熱電対Ｈが示す温度が上記した特定温度となるように、上記の加熱条件が設定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開2007-107935号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記した検査治具７００の場合、ガスセンサ１００のセンサ素子１２０の外側底面付近に熱電対Ｈの接点を接続しているためセンサ素子１２０の表面（外面）温度を測定しているに過ぎず、センサ素子１２０の内部（内面）まで十分に昇温しているかが明確ではない。又、ヒータ５０、リッチバーナ３１、及びリーンバーナ３２等の加熱手段はガスセンサ１００を外部から加熱するため、センサ素子１２０の内部（内面）は、温まりにくい。従って、ガス検出素子１２０の表面（外面）が特定温度に昇温したとしても、内部（内面）温度が特定温度に到達せず、固体電解質体が十分に活性化せずに出力電圧がばらつき、正常な検査を行えない場合がある。
そのため、タクトタイムを低減して生産性の向上を図るために、検査時の昇温時間を短縮しようとしても、ガス検出素子１２０の内部温度が不明であるために、表面（外面）が特定温度に到達した後に、やや過剰に昇温する必要があり、昇温時間の短縮を実現することが難しい。特に、ヒータレスタイプの筒状のセンサ素子１２０を用いたガスセンサ１００の場合、被測定ガスによるセンサ素子１２０の表面（外面）からの受熱によって昇温するようになっており、センサ素子１２０の内部まで充分に昇温した状態で検査を行うことが重要である。
そこで、本発明は、予めセンサ素子の内部（内面）温度を測定することで、正常な検査を安定して行うことができるガスセンサの検査方法、及びそれに用いる検査治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明のガスセンサの検査方法は、軸線方向に延びる有底筒状の固体電解質体の内外面にそれぞれ電極が形成されたセンサ素子を有し、前記電極間の出力に基づいて被測定ガス中の特定ガス成分を検出するガスセンサの検査を、前記センサ素子を加熱させた状態で、所定の検査位置に設置される当該ガスセンサの前記出力を取得して行うガスセンサの検査方法であって、前記センサ素子を加熱する加熱手段を用い、前記加熱手段の加熱条件を、前記検査位置に設置された前記センサ素子の内面の温度が特定温度になるように、事前に調整する加熱条件調整工程を有し、事前に調整された前記加熱条件の下で、前記加熱手段を用いて個々のガスセンサを加熱しながら、前記検査を行う。
このようにすると、センサ素子の内部（内面）温度を直接測定することができ、所定の検査位置におけるセンサ素子の内部（内面）の温度が、特定温度となるように、加熱条件を予め調整することができる。従って、所定の検査位置に設置されるセンサ素子の内部（内面）温度を特定温度まで確実に昇温させることができる。このとき、固体電解質体の外面及び内面の両者が十分に活性化温度以上に昇温されているので、出力がばらつかず、正常な検査を行える。又、タクトタイムを低減して生産性の向上を図るため、検査時の昇温時間を短縮しようとした場合に、センサ素子の内部（内面）温度を正確に把握することができるので、過不足なく昇温することができ、出力をばらつかせずに昇温時間の短縮を実現することができる。
【０００８】
前記ガスセンサの搬送装置を用い、前期加熱手段により加熱される位置を通過させた後に、前記検査位置に搬送する搬送工程をさらに有してもよい。
このようにすると、量産された個々のセンサ素子を検査する際に、手動で個々のセンサ素子を検査位置に移動させる必要が無い為、生産性が向上する。
さらに、加熱手段と検査治具（センサ素子）との距離を調整（搬送させる経路を変更）したり、搬送速度を調整することで、所定の検査位置におけるセンサ素子の内面の温度を調整することが出来る。つまり、搬送手段の搬送条件を、所定の検査位置における検査治具の内面の温度が特定温度となるように、事前に調整する搬送条件調整工程を設けることができる。このとき、検査位置における検査治具（センサ素子）の内面の温度が特定温度となるように調整するには、搬送条件と加熱条件との両者を調整してもよいし、どちらか一方のみを調整しても良い。
【０００９】
前記加熱条件調整工程において、前記センサ素子の内面のうち、底部の温度が前記特定温度となるように前期加熱条件を調整するとよい。
このようにすると、検査位置に設置された検査治具が軸線を中心として回転したり、加熱手段の設置位置が変わることで検査治具が異なる方向から加熱されたとしても、熱電対の接点の位置は変わらず、温度測定を精度よく行うことが出来る。
また、搬送工程を有する検査方法の場合には、搬送装置と加熱手段との位置関係が変わることにより検査治具が異なる方向から加熱されることや、搬送工程の途中で検査治具が軸線を中心として回転することがしばしばあるが、検査治具のセンサ素子の底部の内面の温度は加熱方向の影響を受けない為、温度測定を精度よく行うことが出来るほか、検査装置の設計が容易となる。
【００１０】
本発明の検査治具は、前記ガスセンサの検査方法に用いられ、前記ガスセンサと、前記センサ素子の開口部から内部に導入されて該センサ素子の内面であって且つ該センサ素子の底部に自身の接点が接続された熱電対と、を備えている。
このようにすると、通常のガスセンサと同様な形状の検査治具を加熱条件調整工程で用いればよく、検査治具の取り扱いが容易となる。
【発明の効果】
【００１１】
この発明によれば、予めセンサ素子の内部温度を測定することで、正常な検査を安定して行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】検査対象となるガスセンサの一例の概略構成を示す断面図である。
【図２】ガスセンサの検査装置を示す模式図である。
【図３】検査治具の構成を示す断面図である。
【図４】実際のガスセンサの検査装置を用いた際の、ガスセンサの出力電圧及び固体電解質体の温度を、タクトタイム（ガスセンサの昇温時間）に対して表した図である。
【図５】従来の検査治具の構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について説明する。
図１は、本発明の検査対象となるガスセンサ１００の一例の概略構成を示す断面図である。なお、このガスセンサ１００の軸線ＡＸ方向後端側に、図示しないセンサキャップが装着されてガスセンサユニットが構成され、センサキャップから引き出されたリード線が外部回路に接続されている。又、ガスセンサ１００は排気ガス中の酸素濃度を計測するヒータレスタイプの酸素センサであり、自身の先端部分を車両の排気管内に突出させる形態で、排気管に締結される。そして、被測定ガスによるセンサ素子１２０の表面（外面）からの受熱によってガスセンサ１００が昇温し、ガス検出を行うようになっている。
ガスセンサ１００は、センサ素子１２０、スリーブ体１３０、センサ端子１５０、及びケーシング１６０を備える。なお、以下の説明では、軸線ＡＸに沿う方向のうち、センサキャップの取り付けられる側を後端側とし、この逆側を先端側として説明する。
なお、ガスセンサ１００は、有底の略円筒形状の固体電解質体１２０の内面及び外面に後述する内側電極１２２及び外側電極１２１をそれぞれ形成してセンサ素子としている。従って、各図においては、固体電解質体とセンサ素子とを特に区別せずに同一の符号１２０で表記している。
【００１４】
ケーシング１６０は、主体金具１６１及びプロテクタ１６２を有している。主体金具１６１はＳＵＳ４３０からなり、略円筒状に形成されている。この主体金具１６１には、後述する固体電解質体１２０の鍔部１２０ｅを支持するための内周受け部１６１ｅであって、先端側（図１中、下方）に向かって縮径するテーパ形状の内周受け部１６１ｅが、内周面から径方向内側に突出する形態で周設されている。また、この主体金具１６１の外側には、ガスセンサ１００を排気管（図示せず）に取付けるためのネジ部１６１ｂが形成されており、このネジ部１６１ｂの後端側（図１中、上方）には、ネジ部１６１ｂを排気管に螺挿するための取付工具を係合させる六角部１６１ｄが周設されている。プロテクタ１６２は、金属製、略円筒状の有底筒体で、排気管内の排気をガスセンサ１００の内部（プロテクタ１６２の内側であって、且つセンサ素子１２０の外側）に導入するための通気孔１６２ｂを複数有している。
【００１５】
酸素イオン伝導性を有する固体電解質体１２０は、先端部１２０ｂが閉塞された有底で、軸線ＡＸ方向に延びる略円筒形状を有している。センサ素子１２０は、固体電解質１２０、後述する外側電極１２１、及び後述する内側電極１２２からなる。この固体電解質体１２０の外周には、径方向外向きに突出した鍔部１２０ｅが設けられており、この鍔部１２０ｅの先端側面と主体金具１６１の内周受け部１６１ｅの表面との間に金属製のパッキン１４２を介在させた状態で、センサ素子１２０は主体金具１６１内に配置されている。なお、固体電解質体１２０の組成としては、例えば、Ｙ２Ｏ３またはＣａＯを固溶させたＺｒＯ２が代表的なものであるが、それ以外のアルカリ土類金属または希土類金属の酸化物とＺｒＯ２との固溶体を使用しても良い。さらには、これにＨｆＯ２が含有されていても良い。
【００１６】
この固体電解質体１２０の先端部１２０ｂには、その外周面１２０ｃを被覆するように、外側電極１２１が形成されている。この外側電極１２１は、ＰｔあるいはＰｔ合金を多孔質に形成したものである。この外側電極１２１は、鍔部１２０ｅの先端側面まで設けられており、金属製のパッキン１４２を介して主体金具１６１に電気的に接続される。このため外側電極１２１の電位は、主体金具１６１から取り出すことができる。一方、固体電解質体１２０の内周面１２０ｄにも、これを被覆するように、内側電極１２２が形成されている。この内側電極１２２も、ＰｔあるいはＰｔ合金を多孔質に形成したものである。
【００１７】
スリーブ体１３０は、絶縁性セラミック（具体的には、アルミナ）からなり、略円筒形状を有している。このスリーブ体１３０は、そのうちの肉厚とされた先端側部分１３１が、センサ素子１２０のうち、鍔部１２０ｅよりも後端側の部分の周囲を取り囲む形態で、タルクから形成されたセラミック粉末１４１と共に、センサ素子１２０と主体金具１６１との間に介在するように保持されている。
【００１８】
センサ端子１５０は、例えばインコネル（ＩＮＣＯ社の登録商標）からなり、略筒形状で、出力側端子部１５１、素子側端子部１５３、及び両者を連結する連結部１５２を有している。このうち、出力側端子部１５１は、軸線ＡＸに直交する断面が略Ｃ字形状の筒状である。この出力側端子部１５１は、図示しないキャップ端子を挿入したときに、弾性的に拡径するように構成されている。さらに、この出力側端子部１５１のうち後端側の周方向３カ所には、径方向内側に突出した凸状部１５１ｂが形成されている。
【００１９】
さらに、出力側端子部１５１のうち、凸状部１５１ｂより先端側の対応する周方向３カ所には、この出力側端子部１５１の一部を打ち抜いて径方向内側に折り曲げた内側屈曲部１５１ｃと、径方向外側に折り曲げられた外側屈曲部１５１ｄとが形成されている。このうち、内側屈曲部１５１ｃは、キャップ端子を出力側端子部１５１の内側に挿入して接続するときに、弾性的に径方向外側に屈曲し、キャップ端子の挿入部が所定位置まで挿入されたときに、屈曲が戻ってクリック感を生じさせるように形成されている。また、外側屈曲部１５１ｄは、ガスセンサ１００にこのセンサ端子１５０が組み付けられた時点で、スリーブ体１３０の段差部１３０ｂの先端面（段差面）に当接して、出力側端子部１５１（センサ端子１５０）の抜け防止の役割を果たしている。
【００２０】
一方、センサ端子１５０のうち、素子側端子部１５３も、軸線ＡＸに直交する断面が略Ｃ字形状の筒形状を有している。この素子側端子部１５３は、弾性的に縮径しつつセンサ素子内に挿入されて、内側電極１２２と電気的に接続している。従って、本実施例のガスセンサ１００では、素子側端子部１５３が、内側電極１２２を内側から径方向外側に向かって押圧しつつ電気的に接続している。
【００２１】
このようなガスセンサ１００は、次のようにして製造する。まず、主体金具１６１とプロテクタ１６２とを一体にしたケーシング１６０を用意する。次いで、外側電極１２１及び内側電極１２２が設けられた固体電解質体１２０（センサ素子１２０）をパッキン１４２と共にケーシング１６０の内部に挿入する。次いで、センサ素子１２０の鍔部１２０ｅの後端側にリングパッキン１４３を配置し、セラミック粉末１４１を主体金具１６１とセンサ素子１２０との間隙部分に所定量充填する。次いで、スリーブ体１３０を先端側部分１３１がセンサ素子１２０と主体金具１６１との間に介在するように挿入し、セラミック粉末１４１に当接させる。次いで、スリーブ体１３０を先端側に向かって加圧し、その加圧状態下で、主体金具１６１の加締め部１６１ｃとスリーブ体１３０との間に加締めリング１４４を介在させて加締め部１６１ｃを加締めることで、上記構成部品を一体に固定する。
【００２２】
最後に、センサ端子１５０をスリーブ体１３０及びセンサ素子１２０の内側に挿入する。具体的には、センサ端子１５０の素子側端子部１５３を、弾性的に縮径させつつセンサ素子１２０内に挿入して、内側電極１２２と電気的に接続させる。これと共に、出力側端子部１５１を先端側に押しこんで、出力側端子部１５１の後端から、軸線ＡＸに直交し、径方向外側に向かう花びら状に形成された止め部１５１ｆを、スリーブ体１３０の後端面１３０ｅに当接させる。こうして、出力側端子部１５１をスリーブ体１３０の内側に配置する。なお、止め部１５１ｆがスリーブ体１３０の後端面１３０ｅに当接するまで出力側端子部１５１を押しこむことで、径方向内側に屈曲していた外側屈曲部１５１ｄが解放されて戻り、スリーブ体１３０の段差部１３０ｂの先端面（段差面）に係合するようになるので、センサ端子１５０の抜け防止を図ることができる。このようにして、ガスセンサ１００が完成する。
【００２３】
次に、図２を参照し、得られたガスセンサ１００の出荷前の検査方法について説明する。図２は、ガスセンサの検査装置３００を示し、無限軌道からなる搬送コンベア（搬送装置）２００がＬ方向に移動しつつ、個々のコンベア片２０１の中央の保持孔２０１ａにガスセンサ１００がそれぞれ挿通されて保持されている。搬送コンベア２００の入側付近にはＬ方向に沿ってヒータ５０が設置され、搬送コンベア２００の移動に伴ってガスセンサ１００を加熱する。そして、検査位置Ｓ１、Ｓ２までガスセンサ１００が移動したとき、ガスセンサ１００が特定温度（固体電解質体の活性化温度以上の温度）に昇温されて検査が行われるようになっている。なお、検査位置Ｓ１、Ｓ２では、それぞれリッチバーナ（リッチ雰囲気の燃焼ガス）３１、及びリーンバーナ（リーン雰囲気の燃焼ガス）３２により、それぞれリッチ雰囲気及びリーン雰囲気に保ちつつ検査が行われると共に、検査位置Ｓ１、Ｓ２で各バーナがガスセンサ１００をさらに加熱し、上記特定温度にしている。
なお、ガスセンサの検査は、各ガスセンサの外側電極１２１と内側電極１２２との間の出力（例えば、出力電圧）を測定し、出力が基準となる範囲を逸脱した場合を不良としている。又、保持孔２０１ａの孔径は、ガスセンサ１００のネジ部１６１ｂの外径よりやや大きく、かつ六角部１６１ｄの外径より小さい。従って、ガスセンサ１００を保持孔２０１ａに挿通すると、六角部１６１ｄがコンベア片２０１の表面に係止され、ガスセンサ１００が保持される。
【００２４】
ここで、ガスセンサ１００の検査時に、検査位置Ｓ１、Ｓ２でガスセンサ１００が上記特定温度になるよう、検査に先立って予め検査位置Ｓ１、Ｓ２の温度が測定され、加熱条件（ヒータ５０、リッチバーナ３１、及びリーンバーナ３２等の加熱源（加熱手段）の加熱温度等）と、搬送条件（搬送コンベア２００の搬送速度、及び搬送コンベアと加熱源（加熱手段）との距離等）を調整している。具体的には、図３に示す熱電対Ｈ付きの検査治具７０を保持孔２０１ａに挿通保持し、検査治具７０の温度をモニタすることで、検査位置Ｓ１、Ｓ２におけるセンサ素子内面の底部の温度が測定され、加熱条件が調整される。この検査に先立つ検査位置Ｓ１、Ｓ２におけるセンサ素子内面の底部の温度測定、及び加熱条件の調整が、特許請求の範囲の「加熱条件調整工程」に相当する。
【００２５】
なお、検査治具７０を用いた検査位置Ｓ１、Ｓ２での温度測定は、例えば、一日に数回程度行えばよく、温度測定後に必要に応じて加熱条件及び搬送条件を調整した後、個々のガスセンサ１００の検査を実行すればよい。又、検査位置Ｓ１、Ｓ２では、ガスセンサ１００の外側電極１２１及び内側電極１２２にそれぞれ接続する端子を備えた検査プローブ８０がガスセンサ１００に電気的に接続され、外側電極１２１及び内側電極１２２の間の出力（例えば、出力電圧）を測定して検査を行うようになっている。
搬送コンベア（搬送装置）２００がＬ方向に移動しつつ、ガスセンサ１００を搬送する工程が、特許請求の範囲の「搬送工程」に相当する。
【００２６】
図３は、検査治具７０の構成を示す断面図である。検査治具７０は、上記したガスセンサ１００と、センサ素子１２０の開口部から内部に導入され、センサ素子１２０の底部近傍の内面に自身の接点が接続された熱電対Ｈとを備えている。
このため、センサ素子１２０の内部（内面）温度を直接測定することができ、検査位置Ｓ１、Ｓ２でセンサ素子１２０の内部（内面）まで十分に昇温したか否かを確認することができる。
センサ素子１２０の内部（内面）温度を特定温度まで確実に昇温されていれば、固体電解質体１２０の内面および外面の両者が特定温度以上に昇温されているので、固体電解質体が十分に活性化している。従って、上記の検査法では出力電圧がばらつかず、正常な検査を行える。
又、タクトタイムを低減して生産性の向上を図るため、検査時の昇温時間を短縮しようとした場合に、ガス検出素子１２０の内部温度を正確に把握することができるので、過不足なく昇温することができ、出力電圧をばらつかせずに昇温時間の短縮を実現することができる。特に、ヒータレスタイプの筒状ガスセンサの場合、被測定ガスによるガス検出素子１２０の表面（外面）からの受熱によって昇温するようになっており、ガス検出素子１２０の内部まで充分に昇温した状態で検査を行う本発明を適用することによる効果が大きい。
【００２７】
なお、この実施形態では、熱電対Ｈの接点は固体電解質体１２０の内面のうち、底部近傍に接続されている。このようにすると、検査治具７０を保持孔２０１ａに挿通した際、軸線ＡＸを中心として検査治具７０を回転させた位置がどこにあっても、熱電対Ｈの接点の位置は変わらず、温度測定を精度よく行うことができる。
又、センサ素子のタイプとして、内表面の底部に内側電極１２２が形成されている場合の他、内表面の側面に内側電極１２２が形成されて底部に固体電解質体が露出している場合もあるが、熱電対Ｈは固体電解質体１２０と内側電極１２２のどちらに接触していても構わず、両者を包含して熱電対Ｈが「センサ素子に接している」と称する。
【００２８】
図４は、実際のガスセンサの検査装置を用いた際の、ガスセンサ（酸素センサ）１００の出力電圧及びセンサ素子１２０の温度を、タクトタイム（ガスセンサの昇温時間）に対して表した図である。
まず、図５に示した検査治具７００を用い、検査位置Ｓ１、Ｓ２でセンサ素子１２０の表面（外面）温度を測定し、この温度が特定温度になるように加熱条件を調整した場合（図４の横軸の符号Ａ）、タクトタイムが小さくなるにつれて出力電圧が大きくばらついた。又、タクトタイムが小さくなるにつれ、センサ素子１２０の内部温度が低下したが、外面温度はタクトタイムに関わらずほぼ一定である。このことより、タクトタイムが小さくなると加熱の熱量が不足し、センサ素子１２０の内部が特定温度に到達せず、固体電解質体１２０が十分に活性化せずに出力電圧がばらついたと考えられる。
一方、図３に示した検査治具７０を用い、検査位置Ｓ１、Ｓ２でセンサ素子１２０の内部温度を測定し、この温度が特定温度になるように加熱条件を調整した本発明の場合（図４の横軸の符号Ｂ）、センサ素子１２０の内部温度と外面温度の差が符号Ａの場合に比べて小さく、出力電圧のばらつきも小さい。これは、センサ素子１２０の内部温度を正確に把握したために加熱の熱量が過不足なく、センサ素子１２０の内部が特定温度に到達し、固体電解質体１２０が活性化して出力電圧のばらつきが小さくなったためと考えられる。
【００２９】
本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の思想と範囲に含まれる様々な変形及び均等物に及ぶことはいうまでもない。例えば、ガスセンサは酸素センサに限られない。又、ヒータを内蔵又は装着したタイプのガスセンサに本発明を適用してもよいが、特にヒータレスタイプのガスセンサに本発明を適用すると好ましい。
又、内側電極と外側電極との間の出力としては、出力電圧に限られず、電流値であってもよい。又、ガスセンサの加熱条件の調整も特に限定されず、ガスセンサの検査装置が有する各種加熱装置（ヒータやバーナ等）の調整の他、検査装置の雰囲気温度等を調整してもよい。
なお、特定温度を固体電解質体の活性化温度以上の温度と表現したが、特定温度はさらに、固体電解質体を破壊したり、実使用に適さない温度よりも低い温度でもある。
【符号の説明】
【００３０】
３１、３２、５０            加熱手段
７０                        検査治具
１００                      ガスセンサ
１２０                      固体電解質体（センサ素子）
１２１                      外側電極
１２２                      内側電極
２００                      搬送装置
２０１ａ                    保持孔
Ｓ１，Ｓ２                  検査位置
Ｈ                          熱電対
【図１】
2011220819.tif 000003
【図２】
2011220819.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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