(57)【要約】【課題】吐出される液滴の大きさが変化し難い液滴吐出装置を提供する。【解決手段】基板７に光硬化性の機能液からなる液滴２８を吐出するヘッドユニット１３と、ヘッドユニット１３と基板７とを相対移動させるステージ及びキャリッジ１１と、基板７に着弾した液滴２８に紫外光３６を照射する照射ユニット１４と、照射ユニット１４とヘッドユニット１３との間の熱伝動を防止する断熱部２３と、を有する。断熱部２３は気流３３を形成する第２送風装置３７と気流３３が流動する流路部３８とを有する。【選択図】図３
2011025185.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに光硬化性の液状体からなる液滴を吐出する吐出部と、
前記吐出部と前記ワークとを相対移動させる移動部と、
前記ワークに着弾した前記液滴に光を照射する照射部と、
前記照射部と前記吐出部との間の熱伝動を防ぐ断熱部と、を有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出装置であって、
前記断熱部は気流を形成する気流形成部と前記気流が流動する流路部とを有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
請求項２に記載の液滴吐出装置であって、
前記流路部を流動する前記気流は前記ワークに吐出された前記液滴に向けて吹き付けられることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
請求項３に記載の液滴吐出装置であって、
前記流路部は、前記吐出部から離れる方向に前記気流を進行させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
請求項４に記載の液滴吐出装置であって、
前記流路部は、前記照射部によって光を照射された前記液滴に前記気流を吹き付けることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項２に記載の液滴吐出装置であって、
前記流路部を通過する前記気流の流れを切り替える弁部を有し、前記弁部は前記気流の排出方向を前記ワークに着弾した前記液滴の方向と前記液滴の位置しない方向とに切り替えることを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置にかかわり、特に液滴の大きさの変動を小さくする方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ワークに対して液滴を吐出する装置として、インクジェット式の液滴吐出装置が知られている。液滴吐出装置は、基板等のワークを載置してワークを一方向に移動させるテーブルと、テーブルの上方位置において、テーブルの移動方向と直交する方向に配置されるガイドレールに沿って移動するキャリッジとを備えている。キャリッジはインクジェットヘッド（以下、液滴吐出ヘッドと称す）を配置し、ワークに対して液滴を吐出して、塗布していた。
【０００３】
ワークに対して、液滴にして吐出して塗布する機能液には、各種の材料が用いられている。機能液に光硬化性の樹脂を用いる液滴吐出装置が特許文献１に開示されている。それによると、液滴吐出装置は紫外光を照射する光照射装置を備えている。そして、ワークに液滴を吐出した後、ワークに紫外光を照射して着弾した液滴を硬化させる。ワークとワークを支持する支持部材は紫外光が照射されることにより加熱される。液滴吐出装置は冷却装置をさらに備え、加熱されたワークと支持部材に冷風を吹き付けて冷却していた。
【０００４】
紫外光を照射する手段としてランプやＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）が用いられている。ＬＥＤは瞬時点灯が可能であり、待機時間は消灯しておけるのでランプに比べて省エネルギーに光が照射することができる。さらに、待機時間にはＬＥＤを消灯することによりＬＥＤはランプに比べて高寿命な光照射手段となっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−２６４２６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ＬＥＤに供給されたエネルギーの一部は熱となるので、ＬＥＤの温度が上昇する。光照射装置と液滴吐出ヘッドとが近い場所に配置されるとき、ＬＥＤの熱が液滴吐出ヘッドに伝わる。そして、液滴吐出ヘッドの温度が変化する。機能液は温度が変化することにより粘度が変動する場合が多い。機能液の粘度が変化すると、吐出される液滴の大きさが変動する。そして、ＬＥＤの熱が液滴吐出ヘッドに伝わるとき、液滴吐出ヘッドが吐出する液滴の大きさが変化する。そこで、吐出される液滴の大きさが変化し難い液滴吐出装置が望まれていた。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００８】
［適用例１］
本適用例にかかる液滴吐出装置であって、ワークに光硬化性の液状体からなる液滴を吐出する吐出部と、前記吐出部と前記ワークとを相対移動させる移動部と、前記ワークに着弾した前記液滴に光を照射する照射部と、前記照射部と前記吐出部との間の熱伝動を防ぐ断熱部と、を有することを特徴とする。
【０００９】
この液滴吐出装置によれば、移動部が吐出部とワークとを相対移動して、吐出部がワークに液滴を吐出することによりワーク上に描画する。そして、吐出された液滴に照射部が光を照射することにより液滴を硬化させる。照射部と吐出部との間には断熱部が配置されている。照射部は電気等のエネルギーを供給されて光を照射する。このとき、供給されたエネルギーの一部は熱となるので、照射部の温度が上昇する。吐出部は液状体を液滴にして吐出する。液状体は温度が変化することにより粘度が変動する場合が多い。そして、液状体の粘度が変化するとき吐出される液滴の大きさが変動する。照射部の熱が吐出部に伝わるとき、吐出部の温度が変化するので、吐出部が吐出する液滴の大きさが変化する。
【００１０】
照射部と吐出部との間に断熱部が配置されているとき、照射部の熱が吐出部に伝わり難くすることができる。その結果、吐出部の温度が変化し難くなるので、吐出部が吐出する液滴の大きさを安定させることができる。
【００１１】
［適用例２］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記断熱部は気流を形成する気流形成部と前記気流が流動する流路部とを有することを特徴とする。
【００１２】
この液滴吐出装置によれば、断熱部は、気流形成部によって形成された気流が流れる流路部を有している。照射部の熱は気流に伝わり、気流と共に排出されるので、熱を吐出部に伝わり難くすることができる。
【００１３】
［適用例３］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記流路部を流動する前記気流は前記ワークに吐出された前記液滴に向けて吹き付けられることを特徴とする。
【００１４】
この液滴吐出装置によれば、気流は液滴に吹き付けられる。液滴は気流により乾燥するので、液滴を硬化し易くすることができる。
【００１５】
［適用例４］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記流路部は、前記吐出部から離れる方向に前記気流を進行させることを特徴とする。
【００１６】
この液滴吐出装置によれば、気流が吐出部から離れる方向に進行するので、気流がワークと吐出部との間に侵入し難くなる。気流がワークと吐出部との間に侵入するとき、吐出部から吐出された液滴が気流により曲がって飛行することがある。このとき、液滴の着弾位置が変動するので、液滴の着弾位置精度が悪くなる。本適用例では気流がワークと吐出部との間に侵入し難い為、液滴の着弾位置が変動し難くなる。その結果、液滴吐出装置は液滴の着弾位置精度を良くすることができる。
【００１７】
［適用例５］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記流路部は、前記照射部によって光を照射された前記液滴に前記気流を吹き付けることを特徴とする。
【００１８】
この液滴吐出装置によれば、液滴は光を照射された後に気流を吹き付けられる。液滴の表面が波打つとき、照射した光の一部が乱反射する。このとき、光エネルギーが液滴に入り難くなるので、液滴が硬化し難くなる。つまり、液滴に気流を吹き付けるとき液滴の表面が波打つので、光を照射しても液滴が硬化し難くなる。従って、液滴に気流を吹き付けた後、光を照射する場合に比べて、液滴を硬化し易くすることができる。
【００１９】
［適用例６］
上記適用例にかかる液滴吐出装置において、前記流路部を通過する前記気流の流れを切り替える弁部を有し、前記弁部は前記気流の排出方向を前記ワークに着弾した前記液滴の方向と前記液滴の位置しない方向とに切り替えることを特徴とする。
【００２０】
この液滴吐出装置によれば、ワークに着弾した液滴に気流を吹き付ける方法と吹き付けない方法とを選択することができる。液滴に気流を吹き付けるときと吹き付けないときとでは液滴が硬化する速度が変わる。液滴が早く硬化するときには球に近くなり、遅く硬化するときには重力の影響を受けるので扁平に近くなる。従って、液滴に気流を吹き付ける方法と吹き付けない方法とを選択することにより、硬化後の液滴の形状を選択することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】第１の実施形態にかかわる液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。
【図２】（ａ）は、キャリッジを示す模式側面図、（ｂ）は、キャリッジを示す模式平面図、（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す要部模式断面図。
【図３】（ａ）は、断熱部及び硬化ユニットを示す模式図、（ｂ）は、断熱部を示す模式断面図。
【図４】描画方法を説明するための模式図。
【図５】第２の実施形態にかかわる断熱部及び硬化ユニットを示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、具体化した実施形態について図面に従って説明する。尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。
【００２３】
（第１の実施形態）
本実施形態における特徴的な液滴吐出装置とこの液滴吐出装置を用いる方法との特徴的な例について図１〜図５に従って説明する。液滴吐出装置に関しては様々な種類の装置があるが、インクジェット法を用いた装置が好ましい。インクジェット法は微小液滴の吐出が可能であるため、微細加工に適している。
【００２４】
（液滴吐出装置）
図１は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。液滴吐出装置１により、膜を構成する材料を含む機能液が吐出されて塗布される。図１に示すように液滴吐出装置１は直方体形状に形成された基台２を備えている。本実施形態では、この基台２の長手方向をＹ方向とし、水平面内にてＹ方向と直交する方向をＸ方向とする。そして、鉛直方向をＺ方向とする。
【００２５】
基台２の上面２ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール３ａ，３ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その基台２の上側には、一対の案内レール３ａ，３ｂに対応する図示しない直動機構を備えた移動部としてのステージ４が取付けられている。この直動機構の種類は、特に限定されないが、サーボモーターとボールネジとを組み合わせて構成することができる。他にも、リニアモーターを採用しても良い。
【００２６】
さらに、基台２の上面２ａには、案内レール３ａ，３ｂと平行に副走査位置検出装置５が配置され、ステージ４のＹ方向の位置が計測できるようになっている。そのステージ４の上面には、載置面６が形成され、その載置面６には、図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。操作者が載置面６にワークとしての基板７を載置して所定の位置に位置決めする。その後、基板チャック機構により基板７は載置面６に固定される。
【００２７】
基台２のＸ方向両側には、一対の支持台８ａ，８ｂが立設されている。その一対の支持台８ａ，８ｂには、Ｘ方向に延びる案内部材９が架設されている。案内部材９は、その長手方向の幅がステージ４のＸ方向よりも長く形成され、その一端が支持台８ａ側に張り出すように配置されている。案内部材９の下側には、Ｘ方向に延びる案内レール１０がＸ方向全幅にわたり凸設されている。そして、案内レール１０に沿って略角柱状に形成された移動部としてのキャリッジ１１が配置されている。キャリッジ１１は直動機構を備え、Ｘ方向に走査可能となっている。この直動機構の種類は、特に限定されないが、例えば、リニアモーターを採用することができる。キャリッジ１１が走査するＸ方向を主走査方向とする。案内部材９とキャリッジ１１との間には、主走査位置検出装置１２が配置され、キャリッジ１１の位置が計測可能になっている。
【００２８】
キャリッジ１１の基板７側にはヘッドユニット１３と一対の照射部としての照射ユニット１４が配置されている。ヘッドユニット１３の基板７側には液滴を吐出する液滴吐出ヘッドが凸設されている。照射ユニット１４には吐出された液滴を硬化させる紫外光を照射する装置が配置されている。照射ユニット１４は主走査方向においてヘッドユニット１３を挟んだ位置に配置されている。
【００２９】
キャリッジ１１の図中上側には収容タンク１５が配置されている。収容タンク１５には機能液が収容されている。ヘッドユニット１３の液滴吐出ヘッドと収容タンク１５とは図示しないチューブにより接続され、収容タンク１５内の機能液がチューブを介して液滴吐出ヘッドに供給される。
【００３０】
機能液は樹脂材料、光重合開始剤、溶媒を主材料とする。この主材料に顔料または染料等の色素や、親液性または撥液性等の表面改質材料等の機能性材料を添加することにより固有の機能を有する機能液を形成することができる。機能液の樹脂材料は樹脂膜を形成する材料である。樹脂材料としては、常温で液状であり、重合させることによりポリマーとなる材料であれば特に限定されない。さらに、粘性の小さい樹脂材料が好ましく、オリゴマーの形態であるのが好ましい。モノマーの形態であればさらに好ましい。光重合開始剤はポリマーの架橋性基に作用して架橋反応を進行させる添加剤であり、例えば、光重合開始剤としてベンジルジメチルケタールを用いることができる。溶媒は樹脂材料の粘度を調整するものである。機能液を液滴吐出ヘッドから吐出し易い粘度にすることにより、液滴吐出ヘッドは安定して機能液を吐出することができるようになる。
【００３１】
基台２の図中左側の側面であって案内部材９と対向する場所には保守装置１６が配置されている。この保守装置１６には液滴吐出ヘッドをクリーニングする機構が配置されている。そして、保守装置１６が液滴吐出ヘッドをクリーニングすることにより、液滴吐出ヘッドから液滴を正常に吐出可能な状態に保つことが可能になっている。
【００３２】
図２（ａ）は、キャリッジを示す模式側面図である。図２（ａ）に示すようにヘッドユニット１３の基板７側の面１３ａには３個の吐出部としての液滴吐出ヘッド１７が配置されている。液滴吐出ヘッド１７の個数は特に限定されず、吐出する機能液の種類に合わせて設定できる。ヘッドユニット１３と基板７との隙間をワークヘッド間距離１３ｂとする。ヘッドユニット１３の両側に配置された照射ユニット１４と基板７との隙間をワーク照射ユニット間距離１４ａとする。このとき、ワークヘッド間距離１３ｂはワーク照射ユニット間距離１４ａより短い距離に設定されている。照射ユニット１４は基板７に空気を吹き付ける機能を備えており、照射ユニット１４が吹き付ける風がヘッドユニット１３と基板７との間に入り難くなっている。そして、液滴吐出ヘッド１７から吐出される液滴が風の影響で曲がることなく飛行し、基板７に着弾するようになっている。
【００３３】
図２（ｂ）は、キャリッジを示す模式平面図である。図２（ｂ）に示すようにキャリッジ１１に配置されたヘッドユニット１３には３個の液滴吐出ヘッド１７が配置され、液滴吐出ヘッド１７の下面には、それぞれノズルプレート１８が備えられている。そのノズルプレート１８には、それぞれ複数のノズル１９がＹ方向に所定の間隔で配列されている。
【００３４】
照射ユニット１４の下面には照射口２２が配置されている。そして、照射口２２から基板７に向けて紫外光が照射される。ヘッドユニット１３と照射ユニット１４との間には断熱部２３が配置されている。断熱部２３は照射ユニット１４とヘッドユニット１３との間で熱伝動し難くする機能を有する。
【００３５】
図２（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す要部模式断面図である。図２（ｃ）に示すように、ノズルプレート１８の上側であってノズル１９と相対する位置には、キャビティ２４が形成されている。そして、キャビティ２４には収容タンク１５に貯留されている液状体としての機能液２５が供給される。キャビティ２４の上側には、上下方向に振動して、キャビティ２４内の容積を拡大縮小する振動板２６と、上下方向に伸縮して振動板２６を振動させる圧電素子２７とが配設されている。
【００３６】
液滴吐出ヘッド１７が圧電素子２７を制御駆動するためのノズル駆動信号を受けると、圧電素子２７が上下方向に伸縮する。そして、圧電素子２７は振動板２６を振動させるので、振動板２６と隣接するキャビティ２４の容積が拡大縮小する。それにより、キャビティ２４内に供給された機能液２５のうち縮小した容積分の機能液２５がノズル１９を通り、液滴２８となって吐出される。液滴吐出装置１はステージ４とキャリッジ１１とを走査する。そして、ノズル１９が所定の場所に位置するときに液滴２８を吐出することにより、所望のパターンを描画することができる。
【００３７】
図３（ａ）は断熱部及び硬化ユニットを示す模式図である。図３（ａ）に示すようにキャリッジ１１の基板７側には断熱板２９を介して照射ユニット１４が配置されている。断熱板２９は熱伝導率の低い材料を含んで形成された板であり、照射ユニット１４とキャリッジ１１との間で熱を伝動し難くする機能を有する。断熱板２９の材料は特に限定されないが、例えば、グラスウール、ロックウール等の繊維系断熱材や、ウレタンフォーム、フェノールフォーム等の発泡系断熱材や、押し出し法ポリスチレン等を用いることができる。
【００３８】
照射ユニット１４は図中右上に吸引口３０を備えている。吸引口３０は吸引流路３１と接続され、吸引流路３１は第１送風装置３２と接続されている。吸引口３０は照射ユニット１４の内部へ空気を取り込む口であり、吸引流路３１は取り込んだ空気を流動させる流路である。第１送風装置３２はファン及びモーター等から構成されている。そして、第１送風装置３２はファンを回転させることにより、気流３３を形成する。
【００３９】
第１送風装置３２の基板７側には排気流路３４が形成され、排気流路３４は第１送風装置３２と接続されている。そして、第１送風装置３２が吸引口３０から取り込まれた気流３３を排気流路３４へ流動させる。
【００４０】
排気流路３４において第１送風装置３２の基板７側には照射装置３５が配置されている。照射装置３５は発光ユニットと放熱板等から構成されている。発光ユニットには多数のＬＥＤ素子が配列して設置されている。各ＬＥＤ素子はコネクターと電気的に接続され、発光ユニットにはこのコネクターとＬＥＤ素子等が配置されている。ＬＥＤ素子は、電力の供給を受けて紫外線の光である紫外光３６を発光する素子である。ＬＥＤ素子に電力が供給されるとき電力の一部が熱に変換されるのでＬＥＤ素子は発熱する。ＬＥＤ素子は温度と発光する紫外光３６の照度との間で負の相関関係を有する。換言すれば、ＬＥＤ素子の温度が高くなるほど発光する紫外光３６の照度が小さくなる。従って、ＬＥＤ素子を冷却して温度上昇を抑えることにより発光する紫外光３６の照度が低下することを防止できる。
【００４１】
照射装置３５と接して気流３３を通過させることにより、照射装置３５の熱は気流３３に奪われる。そしてＬＥＤ素子は空冷されるので温度上昇が防止される。その結果、照射装置３５は安定した照度の紫外光３６を照射することができる。
【００４２】
照射装置３５の下流には照射口２２が配置され、照射口２２と対向する場所を基板７が通過する。そして、照射装置３５が発光する紫外光３６は基板７と基板７に着弾した液滴２８とを照射する。照射装置３５を通過した気流３３は照射口２２から排出される。そして、照射口２２から排出された気流３３は基板７に着弾した液滴２８に吹き付けられる。その結果、液滴２８に含まれる溶媒が蒸発する為、液滴２８の表面を乾燥し易くすることができる。
【００４３】
照射ユニット１４とヘッドユニット１３との間には断熱部２３が配置されている。断熱部２３は気流形成部としての第２送風装置３７と流路部３８とを備えている。第２送風装置３７はファン３７ａとモーター３７ｂとを備え、モーター３７ｂの回転軸がファン３７ａの中心に配置されている。そして、第２送風装置３７はモーター３７ｂを駆動してファン３７ａを回転させることにより、空気を流動させて気流３３を形成する。ファン３７ａと対向する場所には吸引口３７ｃが形成され、吸引口３７ｃは流路部３８と接続されている。そして、第２送風装置３７は吸引口３７ｃから取り込んだ空気から気流３３を形成した後、気流３３を流路部３８内に流動させる。
【００４４】
流路部３８は下流に第１吹出口３８ａと気流案内部３８ｂとを備えている。気流案内部３８ｂは流路部３８の排出口である。気流案内部３８ｂは第１吹出口３８ａから排出される気流３３の進行方向をヘッドユニット１３から離れる方向に変更する部位である。気流案内部３８ｂはヘッドユニット１３から突出する形状に形成されている。流路部３８を通過した気流３３は第１吹出口３８ａから基板７に向けて吹出され、気流案内部３８ｂにより、ヘッドユニット１３から離れる方向に進行する。従って、気流３３はヘッドユニット１３と基板７との間に侵入し難くなっている。
【００４５】
図３（ｂ）は断熱部を示す模式断面図であり、図３（ａ）においてＡ−Ａ’から見た図である。図３（ｂ）に示すように流路部３８はＹ方向の両側に側壁部３８ｃを備えている。流路部３８は側壁部３８ｃ、ヘッドユニット１３、照射ユニット１４に囲まれた空間となっている。流路部３８にはＺ方向に長く形成された複数の整流板３８ｄが配列して設置されている。第２送風装置３７により形成された気流３３は整流板３８ｄの間を通過することにより気流３３の進行方向がそろえられるので、渦が形成され難くなっている。
【００４６】
整流板３８ｄと第１吹出口３８ａとの間には弁部としての第１弁４１が配置されている。第１弁４１は回転軸４１ａを備え、回転軸４１ａは第１弁駆動装置４２と接続されている。第１弁駆動装置４２は回転機構を有し、回転軸４１ａを回転する。第１弁４１は回転軸４１ａを中心として回転することにより第１吹出口３８ａを開閉する。そして、第１弁４１は第１吹出口３８ａから気流３３を排出するか否かを制御する。
【００４７】
側壁部３８ｃにおいて第１弁４１の上流側には第２吹出口４３が形成されている。第２吹出口４３には弁部としての第２弁４４が配置されている。第２弁４４は回転軸４４ａを備え、回転軸４４ａは第２弁駆動装置４５と接続されている。第２弁４４及び第２弁駆動装置４５は第１弁４１及び第１弁駆動装置４２と同様の機構となっている。そして、第２弁駆動装置４５は回転機構を有し、回転軸４４ａを回転する。第２弁４４は回転軸４４ａを中心として回転することにより第２吹出口４３を開閉する。そして、第２弁４４は第２吹出口４３から気流３３を排出するか否かを制御する。
【００４８】
第１弁４１を開いて第２弁４４を閉じることにより、断熱部２３は第１吹出口３８ａから気流３３を排出する。第１弁４１を閉じて第２弁４４を開くことにより、断熱部２３は第２吹出口４３から気流３３を排出する。従って、断熱部２３は気流３３を基板７に吹き付けるか基板７以外の方向に排出するかを制御できる。
【００４９】
（描画方法）
次に、液滴吐出装置１を用いて描画する方法を図４を用いて説明する。図４は、描画方法を説明するための模式図である。図４（ａ）は第１弁４１を開いて第２弁４４を閉じているときを示している。図４（ａ）に示すように、載置面６に基板７が配置され、液滴吐出装置１は基板７に対してキャリッジ１１を移動させる。そして、所定の場所にノズル１９が位置するとき、液滴吐出装置１はノズル１９から液滴２８を吐出させる。吐出された液滴２８は基板７に着弾する。
【００５０】
液滴吐出装置１がキャリッジ１１を移動させることにより、着弾した液滴２８は第１吹出口３８ａと対向する場所に位置する。そして、着弾した液滴２８には第１吹出口３８ａから気流３３が吹き付けられる。さらに、液滴吐出装置１がキャリッジ１１を移動させることにより、着弾した液滴２８は照射口２２と対向する場所に位置する。そして、着弾した液滴２８には照射口２２から紫外光３６が照射され、気流３３が吹き付けられる。その結果、基板７上の液滴２８は硬化させられる。液滴２８に光を照射して硬化させる方法をピン留め光硬化法もしくはピニング（Ｐｉｎｎｉｎｇ）法と呼ばれている。従って、本実施形態の方法はピニング法を応用した方法となっている。キャリッジ１１が所定の位置まで移動した後、ステージ４が所定の距離だけ移動することにより改行動作を行う。
【００５１】
キャリッジ１１及びステージ４の移動、ノズル１９からの液滴２８の吐出、液滴２８への紫外光３６の照射を繰り返して行う。そして、予定のパターンを描画し終えたところで作業を終了する。
【００５２】
照射ユニット１４が照射口２２から紫外光３６を照射する間、断熱部２３は吸引口３７ｃから空気を取り込んで第１吹出口３８ａから噴出する。そして、照射ユニット１４の照射装置３５が発生する熱がヘッドユニット１３に伝導し難くする。
【００５３】
図４（ｂ）は第１弁４１を閉じて第２弁４４を開いているときを示している。図４（ｂ）に示すように、載置面６に基板７が配置され、液滴吐出装置１は基板７に対してキャリッジ１１を移動させる。そして、所定の場所にノズル１９が位置するとき、液滴吐出装置１はノズル１９から液滴２８を吐出させる。吐出された液滴２８は基板７に着弾する。
【００５４】
液滴吐出装置１がキャリッジ１１を移動させることにより、着弾した液滴２８は照射口２２と対向する場所に位置する。そして、着弾した液滴２８には照射口２２から紫外光３６が照射され、気流３３が吹き付けられる。その結果、基板７上の液滴２８は硬化させられる。キャリッジ１１が所定の位置まで移動した後、ステージ４が所定の距離だけ移動することにより改行動作を行う。
【００５５】
第１吹出口３８ａからは着弾した液滴２８に気流３３が吹き付けられない。断熱部２３の流路部３８を流動した気流３３は第２吹出口４３から排出される。
【００５６】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、照射ユニット１４とヘッドユニット１３との間に断熱部２３を有している。照射ユニット１４は電気エネルギーを供給されて紫外光３６を照射する。このとき、供給されたエネルギーの一部は熱となるので、照射ユニット１４の温度が上昇する。液滴吐出ヘッド１７は機能液２５を液滴２８にして吐出する。機能液２５は温度が変化することにより粘度が変動する場合が多い。そして、機能液２５の粘度が変化するとき吐出される液滴２８の大きさが変動する。照射ユニット１４の熱がヘッドユニット１３に伝わるとき、液滴吐出ヘッド１７の温度が変化するので、液滴吐出ヘッド１７が吐出する液滴２８の大きさが変化する。
【００５７】
照射ユニット１４とヘッドユニット１３との間には断熱部２３が配置されているので、照射ユニット１４の熱をヘッドユニット１３に伝わり難くすることができる。その結果、液滴吐出ヘッド１７の温度が変化し難くなるので、液滴吐出ヘッド１７が吐出する液滴２８の大きさを安定させることができる。
【００５８】
（２）本実施形態によれば、断熱部２３には第２送風装置３７が形成した気流３３が流れる流路部３８を有している。照射ユニット１４の熱は気流３３に伝わり排出されるので、ヘッドユニット１３に伝わり難くすることができる。
【００５９】
（３）本実施形態によれば、第１吹出口３８ａから排出される気流３３は基板７に着弾した液滴２８に吹き付けられる。液滴２８は気流３３により乾燥するので、液滴２８を硬化し易くすることができる。
【００６０】
（４）本実施形態によれば、第１吹出口３８ａから排出される気流３３はヘッドユニット１３から離れる方向に進行するので、気流３３が基板７と液滴吐出ヘッド１７との間に侵入し難くなる。気流３３が基板７と液滴吐出ヘッド１７との間に侵入するとき、液滴吐出ヘッド１７から吐出された液滴２８が気流３３により曲がって飛行することがある。このとき、液滴２８の着弾位置が変動するので、液滴２８の着弾位置精度が悪くなる。本実施形態では気流３３が基板７と液滴吐出ヘッド１７との間に侵入し難い為、液滴２８の着弾位置が変動し難くなる。その結果、液滴吐出装置１は液滴２８の着弾位置精度を良くすることができる。
【００６１】
（５）本実施形態によれば、基板７に着弾した液滴２８に第１吹出口３８ａから気流３３を吹き付ける方法と吹き付けない方法とを選択することができる。液滴２８に気流３３を吹き付けるときと吹き付けないときとでは液滴２８が硬化する速度が変わる。液滴２８が早く硬化するときには球に近くなり、遅く硬化するときには重力の影響を受けるので扁平に近くなる。従って、液滴２８に気流３３を吹き付ける方法と吹き付けない方法とを選択することにより、硬化後の液滴２８の形状を選択することができる。
【００６２】
（第２の実施形態）
次に、液滴吐出装置の一実施形態について図５の断熱部及び硬化ユニットを示す模式図を用いて説明する。本実施形態が第１の実施形態と異なるところは、図３（ａ）に示した流路部３８の形状が異なる点にある。尚、第１の実施形態と同じ点については説明を省略する。
【００６３】
すなわち、本実施形態では、図５に示したように、液滴吐出装置４８はキャリッジ１１を備え、キャリッジ１１の基板７側には断熱板２９を介して照射部としての照射ユニット４９が配置されている。照射ユニット４９は図中右上に吸引口３０を備えている。吸引口３０は吸引流路３１と接続され、吸引流路３１は第１送風装置３２と接続されている。第１送風装置３２の基板７側には排気流路５０が形成され、排気流路５０は第１送風装置３２と接続されている。そして、第１送風装置３２は吸引口３０から取り込んだ気流３３を排気流路５０へ流動させる。
【００６４】
排気流路５０において第１送風装置３２の基板７側には照射装置３５が配置されている。照射装置３５と接して気流３３を通過させることにより、照射装置３５の熱は気流３３に奪われる。そしてＬＥＤ素子は空冷されるので温度上昇が防止される。
【００６５】
照射ユニット４９とヘッドユニット１３との間には断熱部５１が配置されている。断熱部５１は第２送風装置３７と流路部５２とを備えている。流路部５２は、ファン３７ａの下流にて照射ユニット４９側に曲げて形成されている。そして、流路部５２は排気流路５０と接続して形成され、さらに照射ユニット４９の側面に位置する吹出口５２ａと接続して形成されている。
【００６６】
第２送風装置３７は吸引口３７ｃから取り込んだ空気から気流３３を形成した後、気流３３を流路部５２内に流動させる。流路部５２を通過する気流３３は、排気流路５０を通過する気流３３と合流した後、吹出口５２ａから排出される。吹出口５２ａから排出される気流３３の進行方向には基板７が配置され、気流３３は基板７に着弾した液滴２８に吹き付けられる。
【００６７】
流路部５２を取り囲む壁のうち照射装置３５と対向する場所には照射窓５３が形成されている。照射窓５３を形成する材料は光透過性の材料であれば良く、特に限定されないが、紫外光３６により劣化し難い材料が好ましい。例えば、反射防止膜を付与したガラス等を好適に用いることができる。そして、照射装置３５が照射する紫外光３６は照射窓５３を通過して基板７に着弾した液滴２８を照射する。
【００６８】
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、基板７に着弾した液滴２８は紫外光３６を照射された後に気流３３を吹き付けられている。液滴２８の粘度が低いとき、液滴２８に気流３３を吹き付けると液滴２８の表面が波打つ。このとき照射した紫外光３６の一部が乱反射するので、液滴２８が硬化し難くなる。液滴２８に気流３３を吹き付けるとき、液滴２８の表面が波打つので、液滴２８が硬化し難くなる。従って、液滴２８に気流３３を吹き付けた後紫外光３６を照射する場合に比べて、液滴２８を硬化し易くすることができる。
【００６９】
尚、本実施形態は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
（変形例１）
前記第１の実施形態では、基板７に液滴２８を吐出した。液滴２８が吐出されるワークは基板７に限らない。ワークは立体形状でも良い。基板７に電子素子を実装した電子基板でもよい。他にも金属、樹脂等のシートでも良い。各種のワークに所定のパターンを描画することができる。
【００７０】
（変形例２）
前記第１の実施形態では、空気を流動させて気流３３を形成したが、空気以外の気体を用いて気流３３を形成しても良い。基板７や機能液２５を酸化させたくない場合には、窒素、アンモニアガス等の酸素を含まないガスや不活性ガスを用いても良い。酸化膜が形成され難くすることができる。
【００７１】
（変形例３）
前記第１の実施形態では、ファン３７ａに遠心ファンを用いたが、他の形態のファンを採用しても良い。軸流ファン、斜流ファン、シロッコファン、クロスフローファン等の各種形態のファンを用いることができる。
【００７２】
（変形例４）
前記第１の実施形態では、ステージ４を用いて基板７を移動した。基板７の代わりにシート状のワークをもちいるときには、移動部としてのプラテンとローラーとを用いてシートを移動しても良い。小型の装置にすることができる。
【００７３】
（変形例５）
前記第１の実施形態では、第１弁４１と第２弁４４とを用いて弁部を構成したが、１つの開閉弁にて、第１吹出口３８ａと第２吹出口４３との一方の流路を開閉するようにしても良い。開閉弁の個数を減らすことにより簡便な装置にすることができる。
【００７４】
（変形例６）
前記第１の実施形態では、照射装置３５を通過した気流３３は照射口２２から基板７に向けて排出された。照射装置３５を通過した気流３３は基板７以外に向けて排出されても良い。照射装置３５を通過した気流３３は照射装置３５の発熱により加熱されている。加熱された気流３３を基板７以外の場所に排気することにより、基板７が加熱されることを防止することができる。
【００７５】
（変形例７）
前記第１の実施形態では、第１弁４１と第２弁４４とを配置することにより気流３３の排気方向を切り替えたが、気流３３の排気方向を切り替える必要がない場合には、第１弁４１と第２弁４４とを配置しなくとも良い。開閉弁の個数を減らすことにより簡便な構成の装置にすることができる。
【符号の説明】
【００７６】
１，４８…液滴吐出装置、４…移動部としてのステージ、７…ワークとしての基板、１１…移動部としてのキャリッジ、１４，４９…照射部としての照射ユニット、１７…吐出部としての液滴吐出ヘッド、２３…断熱部、２５…液状体としての機能液、２８…液滴、３３…気流、３７…気流形成部としての第２送風装置、３８，５２…流路部、４１…弁部としての第１弁、４４…弁部としての第２弁。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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