(57)【要約】【課題】コスト低下を実現できる樹脂シール方式において、温度や湿度等の環境変化に対する耐久性を有し、光素子の機能を長期に亘って良好に維持できる光素子実装体を提供する。【解決手段】セラミックパッケージ１０１の開口部１１０に光素子１０４を電気的に接続した状態で搭載し、開口部１１０の上面側を透光性の蓋部材１０２で塞ぐとともに樹脂材料により気密に封止している。蓋部材１０２で気密に覆われるセラミックパッケージ１０１内の領域に、開口部１１０と連通する補助開口部１１１が設けられ、補助開口部１１１には水分ゲッター剤が設置されている。【選択図】図１
2011187645.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パッケージ部材の開口部に光素子を電気的に接続した状態で搭載し、前記開口部の上面側を透光性の蓋部材で塞ぐとともに樹脂材料により気密に封止してなる光素子実装体において、
前記蓋部材で気密に覆われる前記パッケージ部材の領域に、前記開口部と連通する補助開口部が設けられ、前記補助開口部には吸着剤が設置されていることを特徴とする光素子実装体。
【請求項２】
請求項１に記載の光素子実装体において、
前記開口部の底面に前記光素子を搭載する導電性部材が設けられ、該導電性部材は前記パッケージ部材の電極と電気的に接続されていることを特徴とする光素子実装体。
【請求項３】
請求項２に記載の光素子実装体において、
前記導電性部材が金属であることを特徴とする光素子実装体。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１つに記載の光素子実装体において、
前記吸着剤が水分を吸着する機能を有していることを特徴とする光素子実装体。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１つに記載の光素子実装体において、
前記補助開口部が異なる箇所に複数設けられていることを特徴とする光素子実装体。
【請求項６】
請求項５に記載の光素子実装体において、
上面から視たときの前記開口部が四角形の形状を有し、前記開口部の４隅に連通して前記補助開口部が設けられていることを特徴とする光素子実装体。
【請求項７】
請求項５又は６に記載の光素子実装体において、
前記複数の補助開口部に設置された吸着剤の吸着機能が異なることを特徴とする光素子実装体。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１つに記載の光素子実装体において、
前記光素子が面発光レーザーであることを特徴とする光素子実装体。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１つに記載の光素子実装体において、
前記パッケージ部材がセラミックで形成され、前記蓋部材がガラスで形成されていることを特徴とする光素子実装体。
【請求項１０】
被走査面上で光を走査する光走査装置において、
請求項１〜９のいずれか１つに記載の光素子実装体と、
前記光素子実装体から発光された光を偏向する偏向器と、
前記偏向器で偏向された光を前記被走査面上に集光する走査光学系と、を備えることを特徴とする光走査装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の光走査装置と、
前記光走査装置により光が走査される前記被走査面を備える少なくとも一つの像担持体と、を備え、
前記光走査装置は、前記像担持体の前記被走査面上で画像情報が含まれる光を走査し、前記像担持体の前記被走査面上に画像を形成することを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、面発光レーザー等の光素子をパッケージ部材の開口部内に収容して実装し、上面を透光性の蓋部材で気密封止してなる光素子実装体に係り、詳しくは、気密封止に樹脂材料を用いる光素子実装体、該光素子実装体を有する光走査装置、該光走査装置を有する複写機、プリンタ、ファクシミリ、プロッタ、これらのうち少なくとも１つを備えた複合機等の画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年においては、CCDセンサやCMOSセンサ等の受光素子、面発光レーザー等の発光素子、MEMSミラーを用いた光スキャナ素子・光スイッチング素子、等の光素子が実用化され、各種光学機器に利用されている。
より効率よく用いるため、これらの光素子は一般に２次元アレイ化して用いられる。２次元アレイ化した素子は、信号線が多くなり、一般のCANパッケージへの収納は困難となり、主にセラミックパッケージに収納される。素子を密封して耐環境性を得るため、ガラス、サファイア等の透光性の蓋を用いて密封される。
セラミックパッケージと蓋材の接合は、ハーメチックシール（ガラスと金属の封止技術）接合、ハンダ接合等の方法が用いられてきた。
【０００３】
特許文献１には、その図１に示すように、透光性蓋材にハンダ付け可能な材料のパターンを形成することが記載されている。
パターン形成では、スパッタリングや真空蒸着等の真空技術を用いて上記ハンダ付け可能な材料の薄膜を蓋材に形成した後、写真製版、エッチング等の技術を用いて必要な形状に加工される。このため、蓋材の価格が高価となることを避けられない。
特許文献２には、その図１、２に示すように、パッケージ本体の上面周縁にキャップを落とし込むことができる凹部を形成し、凹部とキャップとの隙間に封止ガラスを充填して気密封止を行う構成が記載されている。
しかしながら、低融点硝子接合の場合は400℃程度の熱処理が必要であり、素子の耐熱性が問題となる。
【０００４】
特許文献３には、その図３に示すように、セラミックパッケージ内に面発光レーザを収納し、パッケージ上に設置された透光性蓋材を樹脂によってシールする構成が記載されている。
このように、近年、コスト低下のためセラミックパッケージと蓋材の接合に樹脂を用いる場合が増えてきた。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、樹脂は基本的にH2Oを透過するため、特に耐高温高湿性に劣るという問題があることが判明した。
特許文献３等に開示された一般的な光素子の実装構造を図１３及び１４に示す。図１３は平面図、図１４は図１３の中央断面図である。
光素子１０４を搭載したセラミックパッケージ本体１０１の上面に凹部１０５を形成し、この凹部内に透光性蓋１０２を嵌装して樹脂１０３にて気密封止している。
図１４において、符号１１０は光素子１０４を収容して実装するための開口部を示している。
【０００６】
ところが、本発明者の実験によると、図１３、１４に示したセラミックパッケージにガラス蓋をエポキシ樹脂でシールした構造の光素子を、温度85℃、湿度85％の耐環境試験に投入したところ、100時間程度で、室温に戻した状態で、内部に結露が発生し透光性蓋材の内側が曇るという不良が発生してしまった。
光素子においては透光性蓋材の内側が曇ることは致命的欠陥となる。この原因を調査したところ、シール材であるエポキシ樹脂中をＨ2Ｏが透過したためであることが判明した。
特許文献１あるいは２に示された方法を用いれば、気密封止は完全になされ、Ｈ2Ｏの内部侵入は起こらないが、上記のようにコスト高になるという欠点がある。
【０００７】
本発明は、このような現状に鑑みてなされたもので、コスト低下を実現できる樹脂シール方式において、温度や湿度等の環境変化に対する耐久性を有し、光素子の機能を長期に亘って良好に維持できる光素子実装体の提供を、その主な目的とする。
具体的には、樹脂シール方式において、温度85℃、湿度85％の耐環境試験にて500時間以上の耐久性を有する光素子実装体を得ることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明は、樹脂シールでは本質的にH2Oのパッケージ内部への侵入を防止できないという認識の下、侵入したH2Oを除去することとした。
具体的には、請求項１に記載の発明は、パッケージ部材の開口部に光素子を電気的に接続した状態で搭載し、前記開口部の上面側を透光性の蓋部材で塞ぐとともに樹脂材料により気密に封止してなる光素子実装体において、前記蓋部材で気密に覆われる前記パッケージ部材の領域に、前記開口部と連通する補助開口部が設けられ、前記補助開口部には吸着剤が設置されていることを特徴とする。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の光素子実装体において、前記開口部の底面に前記光素子を搭載する導電性部材が設けられ、該導電性部材は前記パッケージ部材の電極と電気的に接続されていることを特徴とする。
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の光素子実装体において、前記導電性部材が金属であることを特徴とする。
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか１つに記載の光素子実装体において、前記吸着剤が水分を吸着する機能を有していることを特徴とする。
【００１０】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のいずれか１つに記載の光素子実装体において、前記補助開口部が異なる箇所に複数設けられていることを特徴とする。
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の光素子実装体において、上面から視たときの前記開口部が四角形の形状を有し、前記開口部の４隅に連通して前記補助開口部が設けられていることを特徴とする。
請求項７に記載の発明は、請求項５又は６に記載の光素子実装体において、前記複数の補助開口部に設置された吸着剤の吸着機能が異なることを特徴とする。
【００１１】
請求項８に記載の発明は、請求項１〜７のいずれか１つに記載の光素子実装体において、前記光素子が面発光レーザーであることを特徴とする。
請求項９に記載の発明は、請求項１〜８のいずれか１つに記載の光素子実装体において、前記パッケージ部材がセラミックで形成され、前記蓋部材がガラスで形成されていることを特徴とする。
請求項１０に記載の発明は、被走査面上で光を走査する光走査装置において、請求項１〜９のいずれか１つに記載の光素子実装体と、前記光素子実装体から発光された光を偏向する偏向器と、前記偏向器で偏向された光を前記被走査面上に集光する走査光学系と、を備えることを特徴とする。
請求項１１に記載の発明は、画像形成装置において、請求項１０に記載の光走査装置と、前記光走査装置により光が走査される前記被走査面を備える少なくとも一つの像担持体と、を備え、前記光走査装置は、前記像担持体の前記被走査面上で画像情報が含まれる光を走査し、前記像担持体の前記被走査面上に画像を形成することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、耐環境性、特に耐高温高湿性を向上させることができ、光素子の良好な機能を長期に亘って維持することができる。これにより、樹脂シール方式の光素子実装体の信頼性を大幅に向上させることができる。
また、用いるゲッター剤を変更することにより、水素、酸素等を吸着除去可能であり、使用環境の物理的、化学的変化に対する耐久性をも向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る光素子実装体の概要平面図である。
【図２】図１の中央部位での概要断面図である。
【図３】図１のＡ−Ａ線での断面図で、水分ゲッター剤を省略した状態を示す図である。
【図４】図１のＡ−Ａ線での断面図で、水分ゲッター剤を省略していない状態を示す図である。
【図５】図１のＢ−Ｂ線での断面図で、水分ゲッター剤を省略した状態を示す図である。
【図６】図１のＢ−Ｂ線での断面図で、水分ゲッター剤を省略していない状態を示す図である。
【図７】図２のＣ−Ｃ線での概要断面図である。
【図８】図２のＤ−Ｄ線での概要断面図である。
【図９】図２のＤ−Ｄ線での変形例での概要断面図である。
【図１０】第２の実施形態に係る画像形成装置の概要構成図である。
【図１１】第３の実施形態に係る光走査装置の概要斜視図である。
【図１２】面発光レーザアレイの配置状態を示す図である。
【図１３】従来の光素子実装体を示す平面図である。
【図１４】図１３の中央部位における概要断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態を図を参照して説明する。
まず、具体的な構成を説明する前に、市販物として容易に入手できる吸着剤（以下「ゲッター剤」ともいう）を簡単に適用できない点について説明する。
H2Oを除去するために一般的にシリカゲル等の除湿剤（吸着剤）が用いられている。シリカゲルをパッケージ内に封入する試験を行ったところ、内部に侵入したH2Oを吸着除去することができ、耐環境性を向上できることを確認できた。
ところが、光素子を密封したパッケージ内に除湿剤を封入するには各種制限が有り、シリカゲル等を直ちに用いることはできないことが分かった。
最近では水分ゲッター剤として各種製品が開発、販売されている。例えば以下のようなものがある。
（１）シート状に整形されたもの
1-1.ジャパンゴアテックス株式会社の有機ELデシカント
1-2.ダイニック（株）の水分ゲッター
1-3.サエス・ゲッターズ社のDryFlex
（２）ペースト状であり、塗布し、加熱固化して用いるもの
2-1．米国Cookson Semiconductor Packaging Materials社製の水分ゲッター剤HiCap2000
【００１５】
これらの水分ゲッター剤を採用する場合にも収納場所という問題がある。まず、ボンディングワイヤ及び内部配線間を跨いで設置した場合には電気的短絡を起す懸念がある。
また、ボンディングワイヤに接触した場合には応力による断線、ショート等の懸念がある。
透光性蓋に設置する場合は、入出射光を妨げないという制限があるとともに、位置合わせを高精度に行う必要があるという制限がある。特にペースト状ゲッター剤を用いると濡れ性の問題が有り、にじみが発生するため入出射光を妨げる可能性が高くなり採用は困難である。
【００１６】
そこで、本発明は、上記問題を解決するために、パッケージ内部に専用のゲッター剤収納場所を設ける構造とした。
【００１７】
図１乃至図９に基づいて第１の実施形態（光素子実装体）を説明する。なお、従来例と同一部分は同一符号で示す。
図１は、本実施形態に係る光素子実装体１００を上側から見た平面図、図２は図１の中央断面図である。
パッケージ部材としてのセラミックパッケージ１０１には、透光性の蓋部材としてのガラス蓋１０２を嵌合載置するための凹部１０５が形成されており、凹部１０５の中央部には、光素子１０４を収容するための開口部１１０が段差を有する状態に形成されている。
開口部１１０の底面には、金属よりなる導電性部材としての搭載部１０８が設けられており、光素子１０４は搭載部１０８上に搭載されている。
セラミックパッケージ１０１の内部にはパッケージ電極１０６が設けられており、搭載部１０８とパッケージ電極１０６は電気的に接続されている。また、光素子１０４はボンディングワイヤ１０７によりパッケージ電極１０６に接続されている。
【００１８】
光素子１０４を実装した後、開口部１１０の上面はガラス蓋１０２で塞がれ、エポキシ樹脂等の樹脂材１０３で気密にシールされる。
図１に示すように、ガラス蓋１０２で覆われるセラミックパッケージ１０１の領域には、開口部１１０よりも容積の小さい補助開口部１１１がその４隅に形成されている。各補助開口部１１１は連通部１１３を介して開口部１１０に通気的に連通している。
各補助開口部１１１は、開口部１１０よりも容積が小さく、この観点から「小開口部」と称することもできる。但し、開口部１１０よりも容積が小さいということが本発明の条件ではない。
各補助開口部１１１には、水分ゲッター剤１１２が設置されている。
図３は、図１のＡ−Ａ線での断面図で、補助開口部１１１の位置、形状を分かりやすくするために、水分ゲッター剤１１２を省略した状態を表示している。
補助開口部１１１に水分ゲッター剤１１２を設置した状態の図３相当の断面を図４に示す。
図５は図１におけるＢ−Ｂ線での断面図で、水分ゲッター剤１１２を省略した状態を示す図、図６は補助開口部１１１に水分ゲッター剤１１２を設置した状態の図５相当の断面を示している。
図７は図２のＣ−Ｃ線での断面の平面図である。パッケージ電極１０６が、小開口部１１１に接しないよう配線されている状態を示す。図７において、符号１１４は、搭載部１０８と貫通孔により接続した電極を示す。
図８は図２のＤ−Ｄ線での断面の平面図の一例である。小開口部の底面が金属よりなる搭載部１０８である状態を示す。
図９は図２のＤ−Ｄ線での断面の平面図の別の一例を示す。小開口部の底面に金属よりなる搭載部１０８を形成せず、パッケージ材料面とする状態を示している。図９において、符号１１５は、金属よりなる搭載部において小開口部周辺を除去した領域を示している。
【００１９】
用いるゲッター剤はシート状のものを貼り付けても良いし、ペースト状のものを充填し、加熱硬化させても良い。
一例として図１、２に示したパッケージの形状において、本発明の効果を説明する。
図１、２のパッケージ形状において、内部容積（開口部110と小開口部111を合計した容積）を30ｍｍ3、小開口部111を1.2ｍｍ×1.2ｍｍとした構造のパッケージを試作し、水分ゲッター剤としてペースト状のHiCap2000を用い評価した。
内部容積３０ｍｍ3とした場合、25℃において結露する内部H2O量は０．７μｇである。小開口部に水分ゲッター剤を０．２ｍｍの厚さに充填すると、約1100μｇとなる。HiCap2000は、自重の１５％のH2Oを吸着除去可能なので、１７０μｇのH2Oを吸着除去できる。
すなわち、耐環境性寿命を２４７倍（１７０／０．７）にできる。
【００２０】
実際の効果を確認するため、図１、２のパッケージを用い、水分ゲッター剤充填の無いサンプルと、水分ゲッター剤充填の有るサンプルを作成し、温度85℃、湿度85％の環境で耐環境試験を行った。
水分ゲッター剤充填の無いサンプルの場合、50時間で内部結露を生じたが、水分ゲッター剤充填の有るサンプルでは1000時間経過しても内部結露は発生しなかった。
すなわち、実際の試験においても、水分ゲッター剤充填により耐環境性寿命を大幅に向上できることを確認できた。
【００２１】
なお、本実施形態では、本発明の効果を、水分ゲッター剤を中心に説明したが、本発明の効果は水分ゲッター剤に限定されるものではない。
市販されている水分ゲッター剤以外のゲッター剤として以下のようなものがあり、目的に応じて本発明に用いることが可能である。
１．サエス・ゲッターズ社のPaGeフィルム
（O2、CO、H2O、CO2、N2、及びH2を含む全ての活性ガスの化学吸着）
２．米国Cookson Semiconductor Packaging Materials社製H2-3000
（水素・水分ゲッターフィルム）
すなわち、各小開口部１１１に吸着対象が異なるゲッター剤を設置すれば、種々の化学的環境変化に対する耐久性をも高めることができる。
【００２２】
本実施形態では、ガラス蓋１０２で気密に覆われるセラミックパッケージ１０１の領域内において、開口部１１０に連通する小開口部１１１を形成する構成としたが、開口部１１０の側壁に横穴を開けて収容部を形成し、該収容部にゲッター剤を設置してもよい。この場合には、「蓋部材で気密に覆われるパッケージ部材の領域内」という限定は不要となる。
また、開口部１１０の底面に凹部を形成してゲッター剤を収容する収容部としてもよい。この場合、搭載部１０８を貫通する凹部としてもよい。
【００２３】
図１０に基づいて第２の実施形態（画像形成装置）を説明する。図１０は、上記光素子実装体１００を有する光走査装置を備えた画像形成装置としてのレーザプリンタ５００の概略構成を示している。
レーザプリンタ５００は、光走査装置９００、像担持体としての感光体ドラム９０１、帯電手段としての帯電チャージャ９０２、現像ローラ９０３、トナーカートリッジ９０４、クリーニングブレード９０５、給紙トレイ９０６、給紙コロ９０７、レジストローラ対９０８、転写チャージャ９１１、除電ユニット９１４、定着ローラ９０９、排紙ローラ９１２、及び排紙トレイ９１０などを備えている。
【００２４】
帯電チャージャ９０２、現像ローラ９０３、転写チャージャ９１１、除電ユニット９１４及びクリーニングブレード９０５は、それぞれ感光体ドラム９０１の表面近傍に配置されている。
感光体ドラム９０１の回転方向に関して、帯電チャージャ９０２、現像ローラ９０３、転写チャージャ９１１、除電ユニット９１４、クリーニングブレード９０５の順に配置されている。
感光体ドラム９０１の表面には、感光層が形成されている。ここでは、感光体ドラム９０１は、図１０における面内で時計回り（矢印方向）に回転するようになっている。帯電チャージャ９０２は、感光体ドラム９０１の表面を均一に帯電させる。
【００２５】
光走査装置９００は、帯電チャージャ９０２で帯電された感光体ドラム９０１の表面に、上位装置（例えばパソコン）からの画像情報に基づいて変調された光を照射する。これにより、感光体ドラム９０１の表面では、画像情報に対応した潜像が感光体ドラム９０１の表面に形成される。ここで形成された潜像は、感光体ドラム９０１の回転に伴って現像ローラ９０３の方向に移動する。なお、この光走査装置９００の構成については後述する。
トナーカートリッジ９０４にはトナーが格納されており、該トナーは現像ローラ９０３に供給される。現像ローラ９０３は、感光体ドラム９０１の表面に形成された潜像にトナーカートリッジ９０４から供給されたトナーを付着させて画像情報を顕像化させる。ここでトナーが付着された潜像は、感光体ドラム９０１の回転に伴って転写チャージャ９１１の方向に移動する。
【００２６】
給紙トレイ９０６には記録紙９１３が格納されている。この給紙トレイ９０６の近傍には給紙コロ９０７が配置されており、該給紙コロ９０７は、記録紙９１３を給紙トレイ９０６から１枚づつ取り出し、レジストローラ対９０８に搬送する。
レジストローラ対９０８は、転写ローラ９１１の近傍に配置され、給紙コロ９０７によって取り出された記録紙９１３を一旦保持するとともに、該記録紙９１３を感光体ドラム９０１の回転に合わせて感光体ドラム９０１と転写チャージャ９１１との間隙に向けて送り出す。
転写チャージャ９１１には、感光体ドラム９０１の表面上のトナーを電気的に記録紙９１３に引きつけるために、トナーとは逆極性の電圧が印加されている。この電圧により、感光体ドラム９０１の表面の潜像が記録紙９１３に転写される。ここで転写された記録紙９１３は、定着ローラ９０９に送られる。
【００２７】
定着ローラ９０９では、熱と圧力とが記録紙９１３に加えられ、これによってトナーが記録紙９１３上に定着される。ここで定着された記録紙９１３は、排紙ローラ９１２を介して排紙トレイ９１０に送られ、排紙トレイ９１０上に順次スタックされる。
除電ユニット９１４は、感光体ドラム９０１の表面を除電する。クリーニングブレード９０５は、感光体ドラム９０１の表面に残ったトナー（残留トナー）を除去する。なお、除去された残留トナーは、再度利用されるようになっている。残留トナーが除去された感光体ドラム９０１の表面は、再度帯電チャージャ９０２の位置に戻る。
【００２８】
図１１及び図１２に基づいて第３の実施形態（光走査装置）を説明する。
図１０で示した光走査装置９００は、面発光レーザアレイＬＡを含む光源ユニット１０、カップリングレンズ１１、アパーチャ１２、シリンドリカルレンズ１３、偏向器としてのポリゴンミラー１４、走査光学系としてのｆθレンズ１５、トロイダルレンズ１６、２つのミラー（１７、１８）、及び上記各部を統括的に制御する不図示の主制御装置を備えている。
カップリングレンズ１１は、光源ユニット１０から出射された光ビームを略平行光に整形する。アパーチャ１２は、カップリングレンズ１１を介した光ビームのビーム径を規定する。
シリンドリカルレンズ１３は、アパーチャ１２を通過した光ビームをミラー１７を介してポリゴンミラー１４の反射面に集光する。
【００２９】
ポリゴンミラー１４は、高さの低い正六角柱状部材からなり、側面には６面の偏向面が形成されている。そして、不図示の回転機構により、図１１に示される矢印の方向に一定の角速度で回転されている。したがって、光源ユニット１０から出射され、シリンドリカルレンズ１３によってポリゴンミラー１４の偏向面に集光された光ビームは、ポリゴンミラー１４の回転により一定の角速度で偏向される。
ｆθレンズ１５は、ポリゴンミラー１４からの光ビームの入射角に比例した像高をもち、ポリゴンミラー１４により一定の角速度で偏向される光ビームの像面を、主走査方向に対して等速移動させる。
トロイダルレンズ１６は、ｆθレンズ１５からの光ビームをミラー１８を介して、感光体ドラム９０１の表面上に結像する。
【００３０】
この場合に、面発光レーザアレイＬＡが図１２に示されるように配置されていると、面発光レーザアレイＬＡでは、各面発光レーザ素子（ＶＣＳＥＬ）の中心から副走査方向に対応する方向に垂線を下ろした時の副走査方向に対応する方向における各面発光レーザ素子の位置関係が等間隔（間隔ｄ２とする）となるので、点灯のタイミングを調整することで感光体ドラム９０１上では副走査方向に等間隔で光源が並んでいる場合と同様な構成と捉えることができる。例えば、副走査方向に対応した方向に関する面発光レーザ素子のピッチｄ１が２６．５μｍであれば、前記間隔ｄ２は２．６５μｍとなる。
光学系の倍率を２倍とすれば、感光体ドラム９０１上では副走査方向に５．３μｍ間隔で書き込みドットを形成することができる。これは、４８００ｄｐｉ（ドット／インチ）に対応している。すなわち、４８００ｄｐｉ（ドット／インチ）の高密度書込みができる。もちろん、主走査方向に対応する方向の面発光レーザ数を増加したり、前記ピッチｄ１を狭くして間隔ｄ２を更に小さくするアレイ配置としたり、光学系の倍率を下げる等を行えばより高密度化でき、より高品質の印刷が可能となる。なお、主走査方向の書き込み間隔は、光源の点灯のタイミングで容易に制御できる。
【００３１】
また、この場合には、レーザプリンタ５００では書きこみドット密度が上昇しても面発光レーザ素子は高い単一基本横モード出力を発生させる事ができるので、印刷速度を落とすことなく印刷することができる。また、同じ書きこみドット密度の場合には印刷速度を更に速くすることができる。
面発光レーザアレイＬＡでは、本発明の効果に基づいて耐湿性が向上しているので、レーザプリンタ５００では熱帯多雨地帯等厳しい環境でも安定して稼働することが可能である。さらに、レーザプリンタ５００内の通気設計、排熱設計にも余裕を持たせることが可能となる。
【００３２】
以上説明したように、本実施形態に係る光走査装置９００によると、光源ユニット１０は面発光レーザアレイＬＡを含んでいるため、感光体ドラム９０１の表面上に高精彩な潜像を高速で走査形成することが可能となる。
また、本実施形態に係るレーザプリンタ５００によると、面発光レーザアレイＬＡを含む光走査装置９００を備えているため、高精細な画像を高速で形成することが可能となる。
また、上記実施形態では、画像形成装置としてレーザプリンタ５００の場合について説明したが、これに限定されるものではない。要するに、図１２に示す面発光レーザ素子と同様な構成を有する面発光レーザ素子あるいは前記面発光レーザアレイを有する画像形成装置であれば、高精細な画像を高速で形成することが可能となる。
また、カラー画像を形成する画像形成装置であっても、カラー画像に対応した光走査装置を用いることにより、高精細な画像を高速で形成することが可能となる。
また、画像形成装置として、カラー画像に対応し、例えばブラック（Ｋ）用の感光体ドラム、シアン（Ｃ）用の感光体ドラム、マゼンダ（Ｍ）用の感光体ドラム、イエロー（Ｙ）用の感光体ドラムのように複数の感光体ドラムを備えるタンデムカラー機であっても良い。
【符号の説明】
【００３３】
１４  偏向器としてのポリゴンミラー
１００  光素子実装体
１０１  パッケージ部材としてのセラミックパッケージ
１０２  透光性の蓋部材としてのガラス蓋
１０４  光素子
１１０  開口部
１１１  補助開口部
１１２  吸着剤としての水分ゲッター剤
９００  光走査装置
９０１  像担持体としての感光体ドラム
【先行技術文献】
【特許文献】
【００３４】
【特許文献１】特開２００５−３２９５３２号公報
【特許文献２】特開平０３−１２９５１号公報
【特許文献３】特開２００１−２６７６８１号公報
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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