(57)【要約】【課題】圧電素子を駆動する駆動周波数が高くなると、駆動波形を調整しても、所望する量の液体がノズルから噴射されない場合があるという課題がある。【解決手段】駆動周波数の第１の範囲Ｒ１で、インク重量が最大値Ｋａとなる第１の特性曲線Ｃａを形成する第１の駆動波形と、第２の範囲Ｒ２で、第２の特性曲線Ｃｂを形成する第２の駆動波形と、を出力する駆動波形出力工程と、第１の範囲Ｒ１における最小の駆動周波数または第２の範囲Ｒ２における最大の駆動周波数において、第１の駆動波形を用いてノズルからインクを噴射させたときのインク重量Ｍａと、第２の駆動波形を用いてノズルからインクを噴射させたときのインク重量Ｍｂとを計測する液体重量計測工程と、インク重量Ｍａとインク重量Ｍｂとを比較し、インクを多く噴射させた駆動波形を選択する駆動波形選択工程と、を含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【選択図】図９
2011073392.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルに対応する圧電素子を駆動する駆動信号を用いて、前記ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記駆動信号の駆動周波数と、前記駆動周波数で前記圧電素子を駆動したときの前記ノズルから噴射される液体重量との関係を示す特性曲線において、前記駆動周波数の第１の範囲で、前記液体重量が最大値となる曲率の第１の特性曲線を形成する第１の駆動波形と、前記第１の範囲に隣接し、前記第１の範囲の駆動周波数より大きい駆動周波数の第２の範囲で、前記第１の特性曲線の前記最大値と同じ最大値で同じ曲率の第２の特性曲線を形成する第２の駆動波形と、を出力する駆動波形出力工程と、
前記第１の範囲における最小の駆動周波数または前記第２の範囲における最大の駆動周波数において、前記第１の駆動波形を用いて前記ノズルから液体を噴射させたときの第１の液体重量と、前記第２の駆動波形を用いて前記ノズルから液体を噴射させたときの第２の液体重量とを計測する液体重量計測工程と、
前記第１の液体重量と前記第２の液体重量とを比較し、前記第１の駆動波形と前記第２の駆動波形のうちの液体を多く噴射させた駆動波形を選択する駆動波形選択工程と、を含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記駆動波形選択工程で選択された前記駆動波形の識別子を、前記液体噴射ヘッドに備えられた不揮発性メモリーに記憶させることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記ノズルが並んで形成された各ノズル列から噴射された液体重量を計測し、前記ノズル列の平均値を液体重量として算出することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッドの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンターなどの液体噴射装置では、ノズルに対応する圧電素子を駆動させてインクなどの液体をノズルから噴射する液体噴射ヘッドが備えられる。液体噴射ヘッドの製造誤差によっては、所望する量の液体がノズルから噴射されない場合がある。所望する量のインクがノズルから噴射されないと、紙などの記録媒体に形成される画像の品質が低下してしまうことがある。そこで、例えば、特許文献１では、圧電素子を駆動する駆動波形において、圧電素子を膨張させたり収縮させたりするために電圧を印加する各工程における時間を変更し、駆動波形を調整する方法が提案されている。
一方、記録媒体に画像を形成する印刷速度の向上を目的として、圧電素子を駆動する駆動周波数を高くすることで、ノズルから液滴として噴射されるインクの噴射回数を増加させ、単位時間における記録媒体に噴射する液滴の量を増やしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１１４５０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、圧電素子を駆動する駆動周波数が高くなると、駆動波形を調整しても、所望する量の液体がノズルから噴射されない場合があるという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］ノズルに対応する圧電素子を駆動する駆動信号を用いて、前記ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記駆動信号の駆動周波数と、前記駆動周波数で前記圧電素子を駆動したときの前記ノズルから噴射される液体重量との関係を示す特性曲線において、前記駆動周波数の第１の範囲で、前記液体重量が最大値となる曲率の第１の特性曲線を形成する第１の駆動波形と、前記第１の範囲に隣接し、前記第１の範囲の駆動周波数より大きい駆動周波数の第２の範囲で、前記第１の特性曲線の前記最大値と同じ最大値で同じ曲率の第２の特性曲線を形成する第２の駆動波形と、を出力する駆動波形出力工程と、前記第１の範囲における最小の駆動周波数または前記第２の範囲における最大の駆動周波数において、前記第１の駆動波形を用いて前記ノズルから液体を噴射させたときの第１の液体重量と、前記第２の駆動波形を用いて前記ノズルから液体を噴射させたときの第２の液体重量とを計測する液体重量計測工程と、前記第１の液体重量と前記第２の液体重量とを比較し、前記第１の駆動波形と前記第２の駆動波形のうちの液体を多く噴射させた駆動波形を選択する駆動波形選択工程と、を含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【０００７】
この構成によれば、駆動波形出力工程では、駆動周波数の第１の範囲で、液体重量が最大値となる曲率の第１の特性曲線を形成する第１の駆動波形と、第１の範囲に隣接し、第１の範囲の駆動周波数より大きい駆動周波数の第２の範囲で、第１の特性曲線の最大値と同じ最大値で同じ曲率の第２の特性曲線を形成する第２の駆動波形と、を出力する。これにより、製造誤差がない液体噴射ヘッドを用いたときは、第１の範囲における最小の駆動周波数においては、第１の特性曲線における液体重量が第２の特性曲線における液体重量より多い。あるいは、第２の範囲における最大の駆動周波数においては、第２の特性曲線における液体重量が第１の特性曲線における液体重量より多い。一方、製造誤差がある液体噴射ヘッドを用いたときは、第１の範囲における最小の駆動周波数においては、第２の特性曲線における液体重量が第１の特性曲線における液体重量より多い場合がある。このような場合には、第２の範囲における最大の駆動周波数においては、第１の特性曲線における液体重量が第２の特性曲線における液体重量より多い。
【０００８】
そこで、液体重量計測工程で、第１の範囲における最小の駆動周波数または第２の範囲における最大の駆動周波数において、第１の駆動波形を用いてノズルから液体を噴射させたときの第１の液体重量と、第２の駆動波形を用いてノズルから液体を噴射させたときの第２の液体重量とを計測し、駆動波形選択工程で、第１の液体重量と第２の液体重量とを比較し、第１の駆動波形と第２の駆動波形のうちの液体を多く噴射させた駆動波形を選択する。
【０００９】
これにより、液体噴射ヘッドの製造誤差の影響があるかないかにかかわらず、液体重量の多く噴射させる駆動波形を選択することができる。そのため、所望する量の液体がノズルから噴射されないということが抑制される。
【００１０】
［適用例２］前記駆動波形選択工程で選択された前記駆動波形の識別子を、前記液体噴射ヘッドに備えられた不揮発性メモリーに記憶させることを特徴とする上記液体噴射ヘッドの製造方法。
【００１１】
この構成によれば、液体噴射ヘッドが備えられた液体噴射装置では、液体噴射ヘッドに備えられた不揮発性メモリーから読み出した識別子に基づいて第１の駆動波形または第２の駆動波形を出力することができる。
【００１２】
［適用例３］前記ノズルが並んで形成された各ノズル列から噴射された液体重量を計測し、前記ノズル列の平均値を液体重量として算出することを特徴とする上記液体噴射ヘッドの製造方法。
【００１３】
この構成によれば、液体噴射ヘッドに形成されている複数のノズル列の製造誤差を反映させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】インクジェットプリンターの概略構成を示す図。
【図２】液体噴射ヘッドの機械的構成を示す図。
【図３】液体噴射ヘッドの電気的構成を示す図。
【図４】印刷データに基づいて圧電素子に駆動パルスが印加されるまでの動作について説明する図。
【図５】駆動信号における１つのパルス信号の駆動波形の一例を示す図。
【図６】駆動信号の駆動周波数と、その駆動周波数で圧電素子を駆動したときのノズルから噴射されるインク重量との関係を示す特性曲線の図。
【図７】（ａ）は、第１の駆動波形を示す図、（ｂ）は、第２の駆動波形を示す図。
【図８】第１の駆動波形を用いたときの第１の特性曲線の一部と、第２の駆動波形を用いたときの第２の特性曲線の一部とを示す図。
【図９】（ａ）は、製造誤差がない液体噴射ヘッドを用いたときの第１の特性曲線の一部と、第２の特性曲線の一部を示す図、（ｂ）は、製造誤差がある液体噴射ヘッドを用いたときの第１の特性曲線の一部と、第２の特性曲線の一部を示す図。
【図１０】（ａ）は、製造誤差がない液体噴射ヘッドを用いたときの第１の特性曲線の一部と、第２の特性曲線の一部を示す図、（ｂ）は、製造誤差がある液体噴射ヘッドを用いたときの第１の特性曲線の一部と、第２の特性曲線の一部を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
図１は、本実施形態における液体噴射装置の一例であるインクジェットプリンター１の概略構成を示す図である。インクジェットプリンター１は、図１に示すように、プリンタコントローラー１１とプリントエンジン１２とから概略構成される。
【００１６】
プリンタコントローラー１１は、外部インターフェイス１３（以下、外部Ｉ／Ｆ１３という）と、各種データを一時的に記憶するＲＡＭ１４と、制御プログラム等を記憶したＲＯＭ１５と、ＣＰＵ等を含んで構成した制御部１６と、クロック信号を発生する発振回路１７と、液体噴射ヘッド１８へ供給するための駆動信号を発生する駆動信号発生回路１９と、駆動信号や印刷データに基づいて展開されたドットパターンデータ（ビットマップデータ）等をプリントエンジン１２に送信する内部インターフェイス２０（以下、内部Ｉ／Ｆ２０という）とを備えている。
【００１７】
外部Ｉ／Ｆ１３は、例えば、キャラクタコード、グラフィック関数、イメージデータ等によって構成される印刷データを、図示しないホストコンピューター等から受信する。外部Ｉ／Ｆ１３を通じてビジー信号（ＢＵＳＹ）やアクノレッジ信号（ＡＣＫ）が、ホストコンピューター等に対して出力される。
【００１８】
ＲＡＭ１４は、受信バッファー２１、中間バッファー２２、出力バッファー２３、及び、図示しないワークメモリーとして機能する。そして、受信バッファー２１は外部Ｉ／Ｆ１３によって受信された印刷データを一時的に記憶し、中間バッファー２２は制御部１６が変換した中間コードデータを記憶し、出力バッファー２３はドットパターンデータを記憶する。なお、このドットパターンデータは、階調データをデコード（翻訳）することにより得られる印字データによって構成してある。
【００１９】
また、ＲＯＭ１５には、各種データ処理を行わせるための制御プログラム（制御ルーチン）の他に、フォントデータ、グラフィック関数等を記憶させてある。
【００２０】
制御部１６は、受信バッファー２１内の印刷データを読み出すと共に、この印刷データを変換して得た中間コードデータを中間バッファー２２に記憶させる。また、中間バッファー２２から読み出した中間コードデータを解析し、ＲＯＭ１５に記憶させているフォントデータ及びグラフィック関数等を参照して、中間コードデータをドットパターンデータに展開する。そして、制御部１６は、必要な装飾処理を施した後に、この展開したドットパターンデータを出力バッファー２３に記憶させる。
【００２１】
そして、液体噴射ヘッド１８の１行分に相当するドットパターンデータが得られたならば、この１行分のドットパターンデータは、内部Ｉ／Ｆ２０を通じて液体噴射ヘッド１８に出力される。また、出力バッファー２３から１行分のドットパターンデータが出力されると、展開済みの中間コードデータは中間バッファー２２から消去され、次の中間コードデータについての展開処理が行われる。
【００２２】
プリントエンジン１２は、液体噴射ヘッド１８と、紙送り機構２４と、キャリッジ機構２５とを含んで構成してある。紙送り機構２４は、紙送りモーターと紙送りローラー等から構成してあり、紙等の記録媒体を液体噴射ヘッド１８の記録動作に連動させて順次送り出す。即ち、この紙送り機構２４は、記録媒体を副走査方向に相対移動させる。キャリッジ機構２５は、液体噴射ヘッド１８を搭載可能なキャリッジ（不図示）と、このキャリッジを主走査方向に沿って走行させるキャリッジ駆動部（不図示）とから構成してあり、キャリッジを走行させることにより液体噴射ヘッド１８を主走査方向に移動させる。なお、キャリッジ駆動部は、タイミングベルトを用いたもの等、キャリッジを走行させ得る機構であれば任意の構成を採り得る。液体噴射ヘッド１８は、副走査方向に沿って多数のノズル（不図示）を有し、ドットパターンデータ等によって規定されるタイミングで各ノズルからインク滴を吐出する。
【００２３】
次に、かかる液体噴射ヘッド１８について詳細に説明する。なお、図２は、液体噴射ヘッド１８の機械的構成を示す図である。
【００２４】
本実施形態の液体噴射ヘッド１８は、たわみ振動の液体噴射ヘッドであり、図２に示すように、流路形成基板３１には圧力発生室３２及びインク供給路３３を介して連通される連通部３４が形成されている。そして、流路形成基板３１の一方面側は振動板３５によって封止され、他方面はノズル３６を有するノズルプレート３７で封止されている。
【００２５】
一方、振動板３５の圧力発生室３２とは反対側には、例えば、成膜及びリソグラフィ法で形成された薄膜からなる下電極膜３８、圧電体層３９及び上電極膜４０で構成される、圧力発生素子の一例である圧電素子４１が形成されている。また、圧電素子４１の長手方向一端部近傍から振動板３５上に亘ってリード電極４２が延設され、その端部近傍には、例えばフレキシブルケーブル等の外部配線（図示なし）が接続される。
【００２６】
圧電素子４１を構成する下電極膜３８は、例えば、白金（Ｐｔ）等からなり、０．２μｍ程度の厚さで形成されている。また、上電極膜４０は、例えば、白金（Ｐｔ）又はイリジウム（Ｉｒ）等からなり、０．１μｍ程度の厚さで形成されている。
【００２７】
圧電体層３９は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電性セラミックス材料からなり、その厚さは０．５μｍ以上３μｍ以下であることが好ましい。例えば、本実施形態では、１μｍ程度の厚さとしている。
【００２８】
また、流路形成基板３１の圧電素子４１側には、連通部３４と連通してリザーバ４３を構成するリザーバ部４４が形成されたリザーバ形成基板４５が接合され、このリザーバ部４４には、図示しないインクタンクが接続されるようになっている。さらに、リザーバ形成基板４５には、圧電素子４１を覆う圧電素子保持部４６が設けられており、圧電素子４１はこの圧電素子保持部４６内に保持されている。
【００２９】
そして、このような液体噴射ヘッド１８の圧電素子４１には、図示しない外部配線を介して電気信号として後述する駆動信号（ＣＯＭｏｕｔ）が供給される。
【００３０】
このように構成された液体噴射ヘッド１８では、圧電素子４１に電圧が印加されると、圧電素子４１がたわむことによって振動板３５が変位し、圧力発生室３２が収縮することによってノズル３６からインク滴が吐出される。
【００３１】
次に、この液体噴射ヘッド１８の電気的構成について説明する。図３は、液体噴射ヘッド１８の電気的構成を示す図である。
【００３２】
この液体噴射ヘッド１８は、図１に示すように、シフトレジスター５１、ラッチ回路５２、レベルシフター５３、スイッチ５４及び圧電素子４１等を備えている。さらに、図３に示すように、これらのシフトレジスター５１、ラッチ回路５２、レベルシフター５３、スイッチ５４及び圧電素子４１は、それぞれ、液体噴射ヘッド１８の各ノズル３６毎に設けたシフトレジスター素子５１Ａ〜５１Ｎ、ラッチ素子５２Ａ〜５２Ｎ、レベルシフター素子５３Ａ〜５３Ｎ、スイッチ素子５４Ａ〜５４Ｎ、圧電素子４１Ａ〜４１Ｎから構成してあり、シフトレジスター５１、ラッチ回路５２、レベルシフター５３、スイッチ５４、圧電素子４１の順で電気的に接続してある。
【００３３】
なお、これらのシフトレジスター５１、ラッチ回路５２、レベルシフター５３及びスイッチ５４は、駆動信号発生回路１９が発生した駆動信号から駆動パルスを生成する。ここで、駆動パルスとは実際に圧電素子４１に印加される印加パルスのことである。
【００３４】
次に、このような電気的構成を有する液体噴射ヘッド１８の制御について説明する。図４は、印刷データに基づいて圧電素子４１に駆動パルスが印加されるまでの動作について説明する図である。
【００３５】
上述したような電気的構成を有する液体噴射ヘッド１８では、図４に示すように、最初に発振回路１７からのクロック信号（ＣＫ）に同期して、ドットパターンデータを構成する印字データ（ＳＩ）が出力バッファー２３からシフトレジスター５１へシリアル伝送され、順次セットされる。この場合、まず、全ノズル３６の印字データにおける最上位ビットのデータがシリアル伝送され、この最上位ビットのデータシリアル伝送が終了したならば、上位から２番目のビットのデータがシリアル伝送される。以下同様に、下位ビットのデータが順次シリアル伝送される。
【００３６】
そして、当該ビットの印字データが全ノズル分シフトレジスター素子５１Ａ〜５１Ｎにセットされたならば、制御部１６は、所定のタイミングでラッチ回路５２へラッチ信号（ＬＡＴ）を出力させる。このラッチ信号により、ラッチ回路５２は、シフトレジスター５１にセットされた印字データをラッチする。このラッチ回路５２がラッチした印字データであるラッチ出力（ＬＡＴｏｕｔ）は、電圧増幅器であるレベルシフター５３に印加される。このレベルシフター５３は、印字データが例えば「１」の場合に、スイッチ５４が駆動可能な電圧値、例えば、数十ボルトまでこの印字データを昇圧する。そして、この昇圧された印字データはスイッチ素子５４Ａ〜５４Ｎに印加され、スイッチ素子５４Ａ〜５４Ｎは、当該印字データにより接続状態になる。
【００３７】
そして、各スイッチ素子５４Ａ〜５４Ｎには、駆動信号発生回路１９が発生した駆動信号（ＣＯＭ）も印加されており、スイッチ素子５４Ａ〜５４Ｎが接続状態になると、このスイッチ素子５４Ａ〜５４Ｎに接続された圧電素子４１Ａ〜４１Ｎに駆動信号（ＣＯＭｏｕｔ）が印加される。
【００３８】
駆動信号（ＣＯＭ）は、１つの印刷周期に複数のパルス信号、本実施形態では、同一の４つのパルス信号である第１〜第４のパルス信号Ｐ１〜Ｐ４を有するものであり、４つのパルス信号Ｐ１〜Ｐ４の中から１つ以上選択することにより、大中小のドットが打ち分けられるようになっている。
【００３９】
このように、例示した液体噴射ヘッド１８では、印字データによって圧電素子４１に駆動信号を印加するか否かを制御することができると同時に吐出されるドットの大きさを選択することができる。例えば、印刷周期Ｉにおいては、大ドットを形成する駆動信号を印加するように、第１〜第４のパルス信号Ｐ１〜Ｐ４に対応する期間が「１」となるような印字データが形成され、印字データが「１」となる期間においては、ラッチ信号（ＬＡＴ）によりスイッチ５４が接続状態となるので、第１〜第４のパルス信号Ｐ１〜Ｐ４からなる駆動信号（ＣＯＭｏｕｔ）を圧電素子４１に供給することができ、この供給された駆動信号（ＣＯＭｏｕｔ）により圧電素子４１が変位（変形）する。また、印刷周期IIでは、印字データが「０」であり、「０」の期間においてはスイッチ５４が非接続状態となるので、圧電素子４１への駆動信号の供給は遮断される。なお、この印字データが「０」の期間において、各圧電素子４１は直前の電位を保持するので、直前の変位状態が維持される。印刷周期IIIでは、中ドットを形成する駆動信号を印加するように、第１及び第３のパルス信号Ｐ１、Ｐ３に対応する期間が「１」となるような印字データが形成され、第１及び第３のパルス信号Ｐ１、Ｐ３からなる駆動信号（ＣＯＭｏｕｔ）が圧電素子４１に供給されるようになっている。また、印刷周期IVにおいては、小ドットを形成する駆動信号を印加するように、第３のパルス信号Ｐ３のみに対応する期間が「１」となるような印字データが形成され、第３のパルス信号Ｐ３のみによる駆動信号（ＣＯＭｏｕｔ）が圧電素子４１に供給される。
【００４０】
図５は、駆動信号（ＣＯＭ，ＣＯＭｏｕｔ）における１つのパルス信号の駆動波形Ｐの一例を示す図である。駆動波形Ｐでは、印字状態に入る前には、下電極膜３８と上電極膜４０との間の電圧を、例えば、最大駆動電圧の６０％程度の中間電圧Ｖｍ、すなわち、駆動電圧を２５Ｖとした場合には１５Ｖ程度に維持して電界を印加し、圧力発生室３２が最も収縮した状態と最も膨張した状態の略中間を保持する第１のホールド工程ａを有する。次に、ノズル３６のメニスカスを圧力発生室３２側に最大限引き込む第１の膨張工程ｂを有する。続いて、この状態を保持してインク滴の吐出のタイミングを図る第２のホールド工程ｃと、インク滴を吐出させるために再び最大駆動電圧Ｖｈ、例えば、２５Ｖを印加して圧力発生室３２を収縮させる第１の収縮工程ｄとを有する。そして、この第１の収縮工程ｄの直後に第３のホールド工程ｅを経て、第２の膨張工程ｆで電圧を中間電圧Ｖｍまで低下する。なお、第２の膨張工程ｆの後は、中間電圧Ｖｍを保持する第４のホールド工程ｇとなり、次の吐出に備える状態となる。
【００４１】
図６は、駆動信号の駆動周波数（ＫＨｚ）と、その駆動周波数で圧電素子４１を駆動したときのノズル３６から噴射される液体重量としてのインク重量（ｎｇ）との関係を示す特性曲線Ｃの図である。図６に示すように、駆動周波数が増加するにつれて、インク重量が増減し、インク重量と駆動周波数との特性曲線ＣにおいてピークＫ１〜Ｋ４が形成されている。
【００４２】
次に、図１のインクジェットプリンター１の駆動信号発生回路１９によって出力される駆動信号（ＣＯＭ）における一つのパルス信号の駆動波形について説明する。図７（ａ）は、第１の駆動波形Ｐａを示す図である。第１の駆動波形Ｐａの第１のホールド工程ａ、第１の膨張工程ｂ、第２のホールド工程ｃ、第１の収縮工程ｄ、第３のホールド工程ｅ、第２の膨張工程ｆ、第４のホールド工程ｇは期間ｔ１ａ、ｔ２ａ、ｔ３ａ、ｔ４ａ、ｔ５ａ、ｔ６ａ、ｔ７ａがそれぞれ設定される。
【００４３】
図７（ｂ）は、第２の駆動波形Ｐｂを示す図である。第２の駆動波形Ｐｂの第１のホールド工程ａ、第１の膨張工程ｂ、第２のホールド工程ｃ、第１の収縮工程ｄ、第３のホールド工程ｅ、第２の膨張工程ｆ、第４のホールド工程ｇは期間ｔ１ｂ、ｔ２ｂ、ｔ３ｂ、ｔ４ｂ、ｔ５ｂ、ｔ６ｂ、ｔ７ｂがそれぞれ設定される。
【００４４】
第１の駆動波形Ｐａ、第２の駆動波形Ｐｂにおいては、全期間Ｔは同じであるが、同じ名称の工程における期間の長さが異なる。例えば、第１の駆動波形Ｐａの第１のホールド工程ａにおける期間ｔ１ａと、第２の駆動波形Ｐｂの第１のホールド工程ａにおける期間ｔ１ｂは異なる。
【００４５】
また、第１の駆動波形Ｐａにおける中間電圧Ｖｍａと、第２の駆動波形Ｐｂにおける中間電圧Ｖｍｂは異なる。また、第１の駆動波形Ｐａにおける最大駆動電圧Ｖｈａと、第２の駆動波形Ｐｂにおける最大駆動電圧Ｖｈｂは異なる。従って、第１の駆動波形Ｐａと第２の駆動波形Ｐｂは駆動波形が異なる。
【００４６】
図８は、インク重量と駆動周波数との関係を示す第１の特性曲線Ｃａの一部と、第２の特性曲線Ｃｂの一部と、を示す図である。第１の特性曲線Ｃａは、図７（ａ）の第１の駆動波形Ｐａを有する駆動信号（ＣＯＭ）を用いたときのインク重量と駆動周波数との関係を示す。第２の特性曲線Ｃｂは、図７（ｂ）の第２の駆動波形Ｐｂを有する駆動信号（ＣＯＭ）を用いたときのインク重量と駆動周波数との関係を示す。
【００４７】
実線に示す第１の特性曲線Ｃａは、駆動周波数の第１の範囲Ｒ１にインク重量の最大値Ｋａがある。駆動周波数の第１の範囲Ｒ１は、本実施形態では４６ＫＨｚ〜４８ＫＨｚの範囲にある。
【００４８】
破線に示す第２の特性曲線Ｃｂは、駆動周波数の第２の範囲Ｒ２にインク重量の最大値Ｋｂがある。駆動周波数の第２の範囲Ｒ２は、本実施形態では４８ＫＨｚ〜５０ＫＨｚの範囲にある。
【００４９】
インク重量の最大値Ｋａとインク重量の最大値Ｋｂとは同じインク重量であり、第１の範囲Ｒ１に形成された第１の特性曲線Ｃａの曲率と、第２の範囲Ｒ２に形成された第２の特性曲線Ｃｂの曲率は同じである。
【００５０】
図１の液体噴射ヘッド１８には、フラッシュメモリーなどの不揮発性メモリー５５が備えられる。不揮発性メモリー５５には、第１の駆動波形Ｐａ、第２の駆動波形Ｐｂを識別する識別子が書き込まれている。制御部１６は、不揮発性メモリー５５から第１の駆動波形Ｐａ、第２の駆動波形Ｐｂを識別する識別子を読み取り、読み取った識別子に対応する駆動波形からなる駆動信号（ＣＯＭ）を駆動信号発生回路１９から出力させる。
【００５１】
次に、液体噴射ヘッド１８を製造するときに、第１の駆動波形Ｐａ、第２の駆動波形Ｐｂのうちの一つの駆動波形を選択する方法について説明する。
【００５２】
駆動波形出力工程では、駆動信号発生手段（不図示）によって、図７（ａ）の第１の駆動波形Ｐａを含む駆動信号、図７（ｂ）の第２の駆動波形Ｐｂを含む駆動信号を順次出力させて、液体噴射ヘッド１８からインクを噴射させる。駆動信号発生手段は、図１のインクジェットプリンター１の駆動信号発生回路１９から出力される駆動信号（ＣＯＭ）と同じ駆動信号を出力させることができる。
【００５３】
図９（ａ）はノズル３６の開口部の直径や、インク供給路３３の幅などの製造誤差がない液体噴射ヘッド１８を用いたときの第１の特性曲線Ｃａの一部と、第２の特性曲線Ｃｂの一部を示す図である。第１の特性曲線Ｃａは、第１の駆動波形Ｐａを有する駆動信号を用いて得られるインク重量と駆動周波数との関係を示す。第２の特性曲線Ｃｂは、第２の駆動波形Ｐｂを有する駆動信号を用いて得られるインク重量と駆動周波数との関係を示す。
【００５４】
液体重量計測工程では、第１の範囲Ｒ１における最小の駆動周波数（本実施形態では４６ＫＨｚ）において、駆動波形出力工程により、第１の駆動波形Ｐａを含む駆動信号を用いてノズル３６からインクを噴射させたときの第１の液体重量と、第２の駆動波形Ｐｂを含む駆動信号を用いてノズル３６からインクを噴射させたときの第２の液体重量とを計測する。
【００５５】
液体重量を計測する手段としては、ノズル３６から噴射されたインクの流量を計測する流量計を用いる。あるいは、光を照射する照射手段と光を受光する受光手段を備え、ノズル３６から噴射されたインク滴によって光が遮断された時間を計測する方法でもよい。あるは、天秤によって計測する方法でもよい。
【００５６】
製造誤差がない液体噴射ヘッド１８を用いたときには、図９（ａ）に示すように、第１の駆動波形Ｐａによって得られる第１の特性曲線Ｃａにおける最大値Ｋａは、第１の範囲Ｒ１に形成され、第２の駆動波形Ｐｂによって得られる第２の特性曲線Ｃｂにおける最大値Ｋｂは、第２の範囲Ｒ２に形成される。また、インク重量の最大値Ｋａ、Ｋｂは同じで、第１の特性曲線Ｃａと第２の特性曲線Ｃｂの曲率は同じである。
【００５７】
そのため、図９（ａ）の第１の範囲Ｒ１における最小の駆動周波数（４６ＫＨｚ）においては、第１の特性曲線Ｃａにおける第１の液体重量としてのインク重量Ｍａは、第２の特性曲線Ｃｂにおける第２の液体重量としてのインク重量Ｍｂより多い。
【００５８】
駆動波形選択工程では、インク重量Ｍａとインク重量Ｍｂとを比較し、第１の駆動波形Ｐａと第２の駆動波形Ｐｂのうちのインクを多く噴射させた駆動波形を選択する。製造誤差がない液体噴射ヘッド１８を用いたときには、インク重量Ｍａがインク重量Ｍｂより多いので、インク重量Ｍａが含まれる第１の特性曲線Ｃａを形成する第１の駆動波形Ｐａが選択される。
【００５９】
図９（ｂ）は、ノズル３６の開口部の直径や、インク供給路３３の幅などの製造誤差がある液体噴射ヘッド１８を用いたときの第１の特性曲線Ｃａの一部と、第２の特性曲線Ｃｂの一部を示す図である。第１の特性曲線Ｃａは、第１の駆動波形Ｐａを有する駆動信号を用いて得られるインク重量と駆動周波数との関係を示す。第２の特性曲線Ｃｂは、第２の駆動波形Ｐｂを有する駆動信号を用いて得られるインク重量と駆動周波数との関係を示す。
【００６０】
製造誤差がある液体噴射ヘッド１８を用いたときには、図９（ｂ）に示すように、第１の駆動波形Ｐａによって得られる第１の特性曲線Ｃａにおける最大値Ｋａは、第２の範囲Ｒ２に形成され、第２の駆動波形Ｐｂによって得られる第２の特性曲線Ｃｂにおける最大値Ｋｂは、第１の範囲Ｒ１に形成される場合がある。また、インク重量の最大値Ｋａ、Ｋｂは同じで、第１の特性曲線Ｃａと第２の特性曲線Ｃｂの曲率は同じである。
【００６１】
そのため、図９（ｂ）の第１の範囲Ｒ１における最小の駆動周波数（４６ＫＨｚ）における第２の特性曲線Ｃｂにおける第２の液体重量としてのインク重量Ｍｂは、第１の特性曲線Ｃａにおける第１の液体重量としてのインク重量Ｍａより多い。
【００６２】
駆動波形選択工程では、インク重量Ｍａとインク重量Ｍｂとを比較し、第１の駆動波形Ｐａと第２の駆動波形Ｐｂのうちのインクを多く噴射させた駆動波形を選択する。図９（ｂ）では、インク重量Ｍｂがインク重量Ｍａより多いので、インク重量Ｍｂが含まれる第２の特性曲線Ｃｂを形成する第２の駆動波形Ｐｂが選択される。
【００６３】
以上、説明した方法では、液体重量計測工程において、第１の範囲Ｒ１における最小値（４６ＫＨｚ）でインク重量を計測し、第１の駆動波形Ｐａと第２の駆動波形Ｐｂのうちのインクを多く噴射させた駆動波形を選択する。これにより、インクジェットプリンター１に備えられた液体噴射ヘッド１８の圧電素子４１を、第１の範囲Ｒ１の駆動周波数で駆動させると、ノズル３６から噴射するインク重量を多くすることができる。
【００６４】
あるいは、液体重量計測工程において、駆動周波数の第２の範囲Ｒ２における最大値（本実施形態では５０ＫＨｚ）でインク重量を計測してもよい。図１０（ａ）は、図９（ａ）と同じように、製造誤差がない液体噴射ヘッド１８を用いたときの第１の特性曲線Ｃａの一部と、第２の特性曲線Ｃｂの一部を示す図である。
【００６５】
駆動周波数の第２の範囲Ｒ２の最大値（５０ＫＨｚ）では、第２の駆動波形Ｐｂによって形成される第２の特性曲線Ｃｂにおけるインク重量Ｍｂが、第１の駆動波形Ｐａによって形成される第１の特性曲線Ｃａにおけるインク重量Ｍａより多い。
【００６６】
駆動波形選択工程では、インク重量Ｍａとインク重量Ｍｂとを比較し、第１の駆動波形Ｐａと第２の駆動波形Ｐｂのうちのインクを多く噴射させた駆動波形を選択する。製造誤差がない液体噴射ヘッド１８を用いたときには、駆動周波数の第２の範囲Ｒ２の最大値（５０ＫＨｚ）で計測されたインク重量Ｍｂがインク重量Ｍａより多いので、インク重量Ｍｂが含まれる第２の特性曲線Ｃｂを形成する第２の駆動波形Ｐｂが選択される。
【００６７】
図１０（ｂ）は、図９（ｂ）と同じように、製造誤差がある液体噴射ヘッド１８を用いたときの第１の特性曲線Ｃａの一部と、第２の特性曲線Ｃｂの一部を示す図である。
【００６８】
駆動周波数の第２の範囲Ｒ２の最大値（５０ＫＨｚ）では、第１の駆動波形Ｐａによって形成される第１の特性曲線Ｃａにおけるインク重量Ｍａが、第２の駆動波形Ｐｂによって形成される第２の特性曲線Ｃｂにおけるインク重量Ｍｂより多い。
【００６９】
駆動波形選択工程では、インク重量Ｍａとインク重量Ｍｂとを比較し、第１の駆動波形Ｐａと第２の駆動波形Ｐｂのうちのインクを多く噴射させた駆動波形を選択する。製造誤差がある液体噴射ヘッド１８を用いたときには、駆動周波数の第２の範囲Ｒ２の最大値（５０ＫＨｚ）で計測されたインク重量Ｍａがインク重量Ｍｂより多いので、インク重量Ｍａが含まれる第１の特性曲線Ｃａを形成する第１の駆動波形Ｐａが選択される。
【００７０】
このように、液体重量計測工程において第２の範囲Ｒ２における最大値（５０ＫＨｚ）でインク重量を計測することにより、第１の駆動波形Ｐａと第２の駆動波形Ｐｂのうちのインクを多く噴射させた駆動波形を選択する。これにより、インクジェットプリンター１に備えられた液体噴射ヘッド１８の圧電素子４１を、第２の範囲Ｒ２の駆動周波数で駆動させると、ノズル３６から噴射するインク重量を多くすることができる。
【００７１】
以上、説明した方法によれば、液体噴射ヘッド１８の製造誤差があるかないかにかかわらず、第１の駆動波形Ｐａと第２の駆動波形Ｐｂのうちのインクを多く噴射させた駆動波形を選択することができる。そのため、所望する量のインクがノズルから噴射されないということが抑制される。
【００７２】
次に、駆動波形記憶工程では、駆動波形選択工程で選択された第１の駆動波形Ｐａまたは第２の駆動波形Ｐｂを識別する識別子を図１の液体噴射ヘッド１８に備えられた不揮発性メモリー５５に記憶させる。
【００７３】
これにより、前述したように、液体噴射ヘッド１８が備えられたインクジェットプリンター１の制御部１６は、不揮発性メモリー５５から識別子をＲＡＭ１４に読み出し、駆動信号発生回路１９から識別子に対応する駆動波形を出力させる。
【００７４】
本実施形態の液体噴射ヘッド１８には、３列のノズル列（不図示）が形成されている。  液体重量計測工程において、本実施形態では、各ノズル列から噴射されたインク重量を、それぞれ計測し、平均値をインク重量として算出する。
【００７５】
これにより、液体噴射ヘッド１８に形成されている３列のノズル列の製造誤差を反映させることができる。また、ノズルごとに噴射されたインク重量を計測する方法より計測時間を短縮することができる。
【００７６】
なお、駆動信号のパルス信号は上述した一例に限定されるものではなく、例えば、いわゆる押し打ちの波形でもよい。また、波形の種類を制限するものではなく、図示した台形波形の他、矩形の波形などでもよい。
【００７７】
また、１つの印刷周期に形成されるパルス信号の数は４つに限定されるものではなく、２つ以上、複数個であればよい。さらに、１つの印刷周期に形成されるパルス信号は上述したように同じ波形でなくてもよく、複数種のパルス信号を１つの印刷周期に形成し、パルス信号の組み合わせにより、液滴の大きさを打ち分けるようにしてもよい。
【００７８】
また、本発明の駆動方法を実現できる液体噴射ヘッドの構造も特に限定されない。例えば、セラミック基板の代わりに、シリコン基板に薄膜プロセスで圧電アクチュエーターを形成するとともに異方性エッチングにより圧力発生室を形成した液体噴射ヘッドにも適応できるし、また、ノズルの位置、リザーバの位置などのインク供給の構造なども特に限定されない。
【００７９】
本実施形態では、インクを噴射するインクジェットプリンター１に備えられる液体噴射ヘッド１８について説明したが、ガラス基板や樹脂基板に記録液を噴射して配線パターンの形成を行う液体噴射装置に備えられる液体噴射ヘッドや、カラーフィルターの形成を行う液体噴射装置などに備えられる液体噴射ヘッドにも適用される。
【符号の説明】
【００８０】
１…インクジェットプリンター、１８…液体噴射ヘッド、３６…ノズル、５５…不揮発性メモリー、Ｃａ…第１の特性曲線、Ｃｂ…第２の特性曲線、Ｋａ，Ｋｂ…最大値、Ｍａ，Ｍｂ…インク重量、Ｐａ…第１の駆動波形、Ｐｂ…第２の駆動波形、Ｒ１…駆動周波数の第１の範囲、Ｒ２…駆動周波数の第２の範囲。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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