(57)【要約】【課題】効率良く組み立てられると共に、小型化を図り易い差動型のマイクロホンユニットを提供する。【解決手段】マイクロホンユニット１は、振動板４２を有して音信号を電気信号に変換する電気音響変換部４０と、電気音響変換部４０を収容空間６２に収容し、電気音響変換部４０に塞がれる開口（第１の貫通孔２１）が形成される筐体６０と、筐体６０を第１の凹部に搭載する搭載部材１０と、を備える。電気音響変換部４０の下側には、開口２１に連通する下部空間６５が形成され、外部音を上側から、下部空間６５へと導く第１空間６１と、収容空間６２へと導く第２空間（第２の貫通孔）３１とが形成される。第１空間６１は、第１の溝部１２が形成される第１の凹部の側壁と、筐体６０の外壁との間で形成される空間を用いてなる。【選択図】図３
2011124748.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
音圧によって変位する振動板を有して音信号を電気信号に変換する電気音響変換部と、
前記電気音響変換部を収容する収容空間が形成される筐体と、
前記筐体を第１の凹部に搭載する搭載部材と、
を備えるマイクロホンユニットであって、
前記筐体の前記収容空間は、第１の壁部と、前記第１の壁部に対向する第２の壁部と、前記第１の壁部と前記第２の壁部とを連結する第３の壁部と、によって形成され、
前記筐体は、前記第１の壁部が前記第１の凹部の底壁に対向配置されると共に、前記第３の壁部の少なくとも一部が前記第１の凹部の側壁に対向配置されるように前記搭載部材に搭載され、
前記第１の壁部側を下側、前記第２の壁部側を上側とした場合に、
前記電気音響変換部は、前記振動板が前記第１の壁部の上面に形成される開口の少なくとも一部を覆うと共に、前記開口を塞ぐように前記第１の壁部の上面に配置され、
前記電気音響変換部の下側には、前記開口に連通する下部空間が形成され、
外部音を前記上側から、前記下部空間へと導く第１空間と、前記収容空間へと導く第２空間とが形成され、
前記第１空間及び前記第２空間のうち、少なくともいずれか一方は、前記筐体の壁部と前記第１の凹部の側壁との間で形成される空間を用いてなることを特徴とするマイクロホンユニット。
【請求項２】
前記下部空間は、前記第１の凹部の底壁に形成される第２の凹部を用いてなることを特徴とする請求項１に記載のマイクロホンユニット。
【請求項３】
前記第１の凹部の側壁に、前記第３の壁部の外壁と共に前記第１空間を形成する第１の溝部が形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のマイクロホンユニット。
【請求項４】
前記２の壁部の側面に、前記第１の凹部の側壁と共に前記第２空間を形成する第２の溝部が形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のマイクロホンユニット。
【請求項５】
前記３の壁部の全てが、前記第１の凹部の側壁に対向配置されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のマイクロホンユニット。
【請求項６】
前記第１の凹部の側面の一部が開口面となっており、
前記第３の壁部の一部が前記第１の凹部の側壁に対向配置されていないことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のマイクロホンユニット。
【請求項７】
前記筐体及び前記第１の凹部は略直方体形状であり、
前記第１空間と前記第２空間とが長手方向に並設されていることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載のマイクロホンユニット。
【請求項８】
前記第１空間の外部音を導入する第１の面と、前記第２空間の外部音を導入する第２の面とがほぼ同一平面上にあることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載のマイクロホンユニット。
【請求項９】
前記筐体は、前記電気音響変換部を搭載するマイク基板と、前記マイク基板に被せられる蓋体と、からなることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載のマイクロホンユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、入力音を電気信号に変換して出力する機能を備えたマイクロホンユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、携帯電話やトランシーバ等の音声通信機器、又は音声認証システム等の入力された音声を解析する技術を利用した情報処理システム、或いは録音機器、といった音声入力装置にマイクロホンユニットが適用されている。近年においては電子機器の小型化が進んでおり、音声入力装置に適用されるマイクロホンユニットについても小型・薄型化が望まれ、そのようなマイクロホンユニットの開発が従来行われている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
なお、特許文献１に示されるマイクロホンユニットは、前ハウジングと後ハウジングとで構成されるケース内に、基板とは別に複数の中間部材を配置する構成であり、部品点数が多く、組み立て作業が必ずしも容易でない。このため、特許文献１に示されるマイクロホンユニットは改良の余地があるものと判断される。
【０００４】
また、上述した音声入力装置に適用されるマイクロホンユニットは、目的の音声を正確に抽出できると共に、目的の音声以外の雑音（背景雑音等）を除去できることが望まれる。このような点を考慮して、例えば特許文献２には、１つの振動板を用いて構成された差動型のマイクロホンユニットが開示されている。
【０００５】
特許文献２に開示される差動型のマイクロホンユニットでは、マイクロホンユニットの近傍で発生して振動板の両面に入射するユーザ音声は、振動板の一方の面と他方の面とで大きな音圧差を生じて振動板を振動させる。一方、遠方から振動板の両面に入射する雑音は、ほぼ同じ音圧になるために互いに打ち消しあって振動板をほとんど振動させない。このため、振動板を振動させる音圧はユーザ音声を示す音圧であるとみなすことができ、振動板の振動に基づいて取得された電気信号は、雑音が除去された、ユーザ音声を示す電気信号であるとみなすことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−２９５２７８号公報
【特許文献２】特開２００８−２５８９０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、本出願人らは、表面実装可能に設けられる差動型のマイクロホンユニットとして、図１９及び図２０に示すようなマイクロホンユニットの開発を進めている。なお、図１９は、本出願人らが先に開発したマイクロホンユニットの構成を示す分解斜視図である。図２０は、本出願人らが先に開発したマイクロホンユニットの構成を示す概略断面図である。以下、図１９及び図２０に示すマイクロホンユニットを、先行開発のマイクロホンユニットと表現する。
【０００８】
図１９及び図２０に示されるように、先行開発のマイクロホンユニット１００は、箱状のボトムケース１０１と、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）チップ１１１及びＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）１１２が搭載されるマイク基板１０２と、マイク基板１０２を覆うように配置されるトップケース１０３と、を備えている。
【０００９】
なお、ＭＥＭＳチップ１１１は、半導体製造技術を用いて製造されるマイクロホンチップで、音圧によって変位する振動板１１３を有して音信号を電気信号に変換する機能を有する。また、ＡＳＩＣ１１２は、ＭＥＭＳチップ１１１から出力される電気信号を増幅処理する集積回路である。
【００１０】
ボトムケース１０１は、図１９に示すようにマイク基板１０２及びトップケース１０３が収容される凹部１０１１を有する。ボトムケース１０１の凹部１０１１の底壁１０１１ａには、平面視略矩形状に形成される溝部１０１２が形成されている。また、ボトムケース１０１の凹部１０１１の底壁１０１１ａには、ボトムケース１０１の底面１０１ａに設けられる電極端子（図示せず）と電気的に接続された電極端子１０１３が複数設けられている。
【００１１】
なお、複数の電極端子１０１３には、マイクロホンユニット１００に電力を供給するための電源用の電極端子、マイクロホンユニット１００で発生した電気信号を外部へと出力するための出力用の電極端子、グランド接続用の電極端子が含まれている。また、ボトムケース１０１に形成される電極端子は、例えばインサート成形により、ボトムケース１０１と一体的に形成される。
【００１２】
マイク基板１０２には、第１の貫通孔１０２１と第２の貫通孔１０２２とが形成されている。これらは、外部からの音波をＭＥＭＳチップ１１１が有する振動板１１３へと導く音道を形成するために設けられるものである。また、マイク基板１０２には、例えばＭＥＭＳチップ１１１とＡＳＩＣ１１２とが電気的に接続されるように、更に、ボトムケース１０１に形成される電極端子１０１３との電気的な接続が確保されるように、配線パターン１０２３（詳細は図示されていないが基板内に形成される内部配線を含む）が形成されている。
【００１３】
なお、マイク基板１０２に搭載されるＭＥＭＳチップ１１１及びＡＳＩＣ１１２は、例えば、フリップチップ実装されたり、ワイヤボンディング実装されたりする。
【００１４】
トップケース１０３は、その天板部１０３ａに、平面視略楕円形状の２つの開口１０３１、１０３２が形成されている。また、トップケース１０３には、第１の開口１０３１と連通する第１の空間部１０３３と、第１の空間部１０３３と隔離されて第２の開口と連通する第２の空間部１０３４と、が形成されている。
【００１５】
先行開発のマイクロホンユニット１００は、例えば、ボトムケース１０１にＭＥＭＳチップ１１１及びＡＳＩＣ１１２が搭載されたマイク基板１０２を嵌め込み、次いで、トップケース１０３をマイク基板１０２に被せるようにボトムケース１０１に嵌め込むことによって得られる。
【００１６】
なお、ボトムケース１０１の凹部底壁１０１１ａに設けられる電極端子１０１３は、例えば半田や導電ペースト等を用いてマイク基板１０２に設けられる電極端子と電気接合される。また、マイク基板１０２とトップケース１０３とは接着剤を用いて接合される。更に、マイクロホンユニット１００における音漏れを防止するために、ボトムケース１０１にトップケース１０３を嵌め込んだ後、ボトムケース１０１とトップケース１０３の間の隙間を覆うように封止樹脂（例えばエポキシ系の樹脂）が接着される。
【００１７】
図２０に示すように、マイクロホンユニット１００においては、第１の空間部１０３３にＭＥＭＳチップ１１１及びＡＳＩＣ１１２が収容されるように、且つ、第２の空間部１０３４が第２の貫通孔１０２２を介して溝部１０１２と連通するように、トップケース１０３がマイク基板１０２上に載置される。
【００１８】
これにより、マイクロホンユニット１００の外部で発生した音声は、第１の開口１０３１及び第１の空間部１０３３を経てＭＥＭＳチップ１１１が有する振動板１１３の上面１１３ａに到達する。また、マイクロホンユニット１００の外部で発生した音声は、第２の開口１０３２、第２の空間部１０３４、第２の貫通孔１０２２、溝部１０１２及び第１の貫通孔１０２１をこの順に経てＭＥＭＳチップ１１１が有する振動板１１３の下面１１３ｂに到達する。
【００１９】
このように構成される先行開発のマイクロホンユニット１００は、接話型の音声入力装置（例えば携帯電話等）に適用した場合に、雑音が除去された目的の音声のみを電気信号に変換して出力する高性能のマイクロホンユニットとして機能する。これは、次のような理由による。
【００２０】
音波の音圧（音波の振幅）は、音源からの距離に反比例する。そして、音圧は、音源に近い位置では急激に減衰し、音源から離れる程、なだらかに減衰する。このため、マイクロホンユニット１００の近傍で発生し、音孔（第１の開口１０３１或いは第２の開口１０３２）を介して振動板１１３に入射するユーザ音声は、振動板１１３の上面１１３ａと下面１１３ｂとで大きな音圧差を生じ、振動板１１３を振動させる。一方、遠方から振動板１１３の両面１１３ａ、１１３ｂに入射する雑音は、振動板１３に到達した時点でほぼ同じ音圧になるために互いに打ち消し合って、振動板１１３をほとんど振動させない。
【００２１】
このため、振動板１１３を振動させる音圧はユーザ音声を示す音圧であるとみなすことができ、振動板１１３の振動に基づいて取得された電気信号は、雑音が除去された、ユーザ音声を示す電気信号であるとみなすことができる。
【００２２】
また、先行開発のマイクロホンユニット１００は、従来にない構成として、溝部１０１２が形成されるボトムケース１０１を用意して、マイク基板１０２とトップケース１０３をボトムケース１０１に収容保持することで、振動板１１３の両面１１３ａ、１１３ｂに音波を導く２つの導音空間を得る構成となっている。この構成の場合、マイク基板１０２とトップケース１０３をボトムケース１０１に嵌め込むだけで、各部材の位置関係を所望の位置関係とすることができる。このため、先行開発のマイクロホンユニット１００によれば、差動型のマイクロホンユニットを少ない部品点数で効率良く組み立てることが可能である。
【００２３】
ところで、先行開発のマイクロホンユニット１００の場合、２つの音孔（第１の開口１０３１及び第２の開口１０３２が該当）の間隔を所定の間隔より短くするのは好ましくなく、２つの音孔の間隔を縮める方向（図２０の矢印Ｄ方向）と平行な方向の小型化が困難であると考えられていた。
【００２４】
なお、２つの音孔の間隔を所定の間隔より短くするのが好ましくないのは、次の理由による。すなわち、２つの音孔の間隔を所定の間隔（例えば５ｍｍ程度）より短くすると、振動板１１３の上面１１３ａと下面１１３ｂとに加わる音圧の差が小さくなってしまう。この結果、音波に入力に伴う振動板１１３の振幅が小さくなり、マイクロホンユニット１００から出力される電気信号のＳＮＲ（Signal to Noise Ratio）が悪くなってしまう。
【００２５】
以上の点を鑑みて、本発明の目的は、効率良く組み立てられると共に、小型化を図り易い差動型のマイクロホンユニットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２６】
上記目的を達成するために本発明のマイクロホンユニットは、音圧によって変位する振動板を有して音信号を電気信号に変換する電気音響変換部と、前記電気音響変換部を収容する収容空間が形成される筐体と、前記筐体を第１の凹部に搭載する搭載部材と、を備えるマイクロホンユニットであって、前記筐体の前記収容空間は、第１の壁部と、前記第１の壁部に対向する第２の壁部と、前記第１の壁部と前記第２の壁部とを連結する第３の壁部と、によって形成され、前記筐体は、前記第１の壁部が前記第１の凹部の底壁に対向配置されると共に、前記第３の壁部の少なくとも一部が前記第１の凹部の側壁に対向配置されるように前記搭載部材に搭載され、前記第１の壁部側を下側、前記第２の壁部側を上側とした場合に、前記電気音響変換部は、前記振動板が前記第１の壁部の上面に形成される開口の少なくとも一部を覆うと共に、前記開口を塞ぐように前記第１の壁部の上面に配置され、前記電気音響変換部の下側には、前記開口に連通する下部空間が形成され、外部音を前記上側から、前記下部空間へと導く第１空間と、前記収容空間へと導く第２空間とが形成され、前記第１空間及び前記第２空間のうち、少なくともいずれか一方は、前記筐体の壁部と前記第１の凹部の側壁との間で形成される空間を用いてなることを特徴としている。
【００２７】
本構成によれば、第１空間、下部空間、及び開口（第１の壁部に設けられる）を介して外部音を振動板の一方に導くことができると共に、第２空間及び収容空間を介して外部音を振動板の他方の面に導くことができる。そして、第１空間と第２空間とは同一側（上側）から外部音を振動板へ導けるようになっている。このため、本構成によれば、マイクロホンユニットの同一の面側から外部音を振動板の両面へと導ける差動型のマイクロホンユニットを得ることが可能である。
【００２８】
また、本構成においては、第１空間及び第２空間のうち、少なくともいずれか一方は、筐体の壁部と第１の凹部の側壁との間で形成される空間を用いてなる構成のために、外部音を導入する２つの音孔（外部音を導入する入り口部分のこと。以下、同様）の間隔を短くすることなく、２つの音孔の間隔を短くする方向に平行な方向の小型化を図れる。また、本構成によれば、筐体を搭載部材の凹部（第１の凹部）に搭載することによって振動板の両面に音波を導く２つの音道を得られ、各部材間の位置合わせが容易であり、マイクロホンユニットを効率良く組み立てることができる。
【００２９】
上記構成のマイクロホンユニットにおいて、前記下部空間は、前記第１の凹部の底壁に形成される第２の凹部を用いてなることとしてもよい。本構成によれば、筐体を搭載部材の凹部（第１の凹部）に搭載することで、簡単に下部空間を得られる。なお、下部空間を得る構成としては、この構成に限らず、例えば、搭載部材の第１の凹部底壁には凹部（第２の凹部）を設けず、第１の壁部の下面側に切り欠き部を設けたり、第１の壁部に中空部を設けたりする構成等として得てもよい。
【００３０】
上記構成のマイクロホンユニットにおいて、前記第１の凹部の側壁に、前記第３の壁部の外壁と共に前記第１空間を形成する第１の溝部が形成されていることとしてもよい。本構成によれば、筐体に隔離された２つの空間を設ける必要がなく、外部音を導入する２つの音孔の間隔を短くすることなく、２つの音孔の間隔を短くする方向に平行な方向の小型化を図れる。本構成においては、例えば第２の壁部に貫通孔を形成して第２空間を得るようにしてもよい。
【００３１】
上記構成のマイクロホンユニットにおいて、前記２の壁部の側面に、前記第１の凹部の側壁と共に前記第２空間を形成する第２の溝部が形成されていることとしてもよい。本構成によれば、筐体の側面に開口面を設けることができ、側面壁の厚さの分だけ、外部音を導入する２つの音孔の間隔を短くすることなく、２つの音孔の間隔を短くする方向に平行な方向の小型化を図れる。本構成においては、例えば、上側から下側に向けて、第２の壁部、第３の壁部、及び第１の壁部を貫通する貫通孔によって第１空間を形成する構成としてもよいし、また、上述の第１の溝部を用いて第１空間を形成する構成としてもよい。
【００３２】
上記構成のマイクロホンユニットにおいて、前記３の壁部の全てが、前記第１の凹部の側壁に対向配置されていることとしてもよい。本構成によれば、筐体を搭載部材の第１の凹部に嵌め込むという簡単な作業で、各部材間の位置合わせができた状態のマイクロホンユニットを得られるので便利である。
【００３３】
上記構成のマイクロホンユニットにおいて、前記第１の凹部の側面の一部が開口面となっており、前記第３の壁部の一部が前記第１の凹部の側壁に対向配置されていないこととしてもよい。この構成の場合には、筐体を第１の凹部に搭載する際に、一定の方向にスライドして搭載し、各部材間の位置合わせができた状態のマイクロホンユニットを得られる。このため、本構成でも、マイクロホンユニットを効率良く組み立てることが可能である。また、本構成では、第１の凹部の側面の一部を開口面としているために搭載部材の小型化が可能であり、マイクロホンユニットを更に小型化なものとできる。
【００３４】
上記構成のマイクロホンユニットの更に具体的な構成として、前記筐体及び前記第１の凹部は略直方体形状であり、前記第１空間と前記第２空間とが長手方向に並設されていることとしてもよい。本構成により、効率良く組み立てられると共に、マイクロホンユニットの長手方向の小型化を図り易い差動型のマイクロホンユニットを得られる。
【００３５】
上記構成のマイクロホンユニットにおいて、前記第１空間の外部音を導入する第１の面と、前記第２空間の外部音を導入する第２の面とがほぼ同一平面上にあることとしてもよい。このように構成すると、マイクロホンユニットを音声入力装置に取り付ける際の構成が複雑とならず、便利である。
【００３６】
上記構成のマイクロホンユニットにおいて、前記筐体は、前記電気音響変換部を搭載するマイク基板と、前記マイク基板に被せられる蓋体と、からなるのが好ましい。これにより、少ない部品点数でマイクロホンユニットを構成でき、差動型のマイクロホンユニットの小型化と、組み立て作業の効率化を図り易い。
【発明の効果】
【００３７】
本発明によれば、効率良く組み立てられると共に、小型化を図り易い差動型のマイクロホンユニットを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】第１実施形態のマイクロホンユニットの外観構成を示す概略斜視図
【図２】第１実施形態のマイクロホンユニットの構成を示す分解斜視図
【図３】図１のＡ−Ａ位置における概略断面図
【図４】第１実施形態のマイクロホンユニットが備えるボトムケースを上から見た場合の概略平面図
【図５】第１実施形態のマイクロホンユニットが備えるＭＥＭＳチップの構成を示す概略断面図
【図６】第１実施形態のマイクロホンユニットの効果を説明するための概略断面図
【図７】第２実施形態のマイクロホンユニットの外観構成を示す概略斜視図
【図８】図７のＢ−Ｂ位置における概略断面図
【図９】第２実施形態のマイクロホンユニットが備えるボトムケースの構成を示す概略図
【図１０】第３実施形態のマイクロホンユニットの外観構成を示す概略斜視図
【図１１】第３実施形態のマイクロホンユニットが備えるボトムケースの構成を示す概略平面図
【図１２】第３実施形態のマイクロホンユニットが備える蓋体の構成を示す概略斜視図
【図１３】図１０のＣ−Ｃ位置における概略断面図
【図１４】第３実施形態のマイクロホンユニットの効果を説明するための概略断面図
【図１５】第３実施形態のマイクロホンユニットの変形例を示す概略断面図
【図１６】第４実施形態のマイクロホンユニットの外観構成を示す概略斜視図
【図１７】図１６のＤ−Ｄ位置における概略断面図
【図１８】実施形態のマイクロホンユニットの変形例を示す概略断面図
【図１９】本出願人らが先に開発したマイクロホンユニットの構成を示す分解斜視図
【図２０】本出願人らが先に開発したマイクロホンユニットの構成を示す概略断面図
【発明を実施するための形態】
【００３９】
以下、本発明が適用されたマイクロホンユニットの実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００４０】
（第１実施形態）
まず、第１実施形態のマイクロホンユニットの構成について、図１から図５を参照しながら説明する。
【００４１】
なお、図１は、第１実施形態のマイクロホンユニットの外観構成を示す概略斜視図である。図２は、第１実施形態のマイクロホンユニットの構成を示す分解斜視図である。図３は、図１のＡ−Ａ位置における概略断面図である。図４は、第１実施形態のマイクロホンユニットが備えるボトムケースを上から見た場合の概略平面図である。図５は、第１実施形態のマイクロホンユニットが備えるＭＥＭＳチップの構成を示す概略断面図である。
【００４２】
第１実施形態のマイクロホンユニット１は、ボトムケース１０と、ＭＥＭＳチップ４０及びＡＳＩＣ５０が搭載されるマイク基板２０と、マイク基板２０を覆うように配置される蓋体３０と、を備えている。まず、マイクロホンユニット１が備える、これら各部の構成について説明する。
【００４３】
ボトムケース１０は、略直方体形状の外形を有し、マイク基板２０及び蓋体３０が収容される第１の凹部１１を有している。ボトムケース１０が有する第１の凹部１１は、４つの側壁１１ａ〜１１ｄと底壁１１ｅとからなり、第１の凹部１１の形状は略直方体形状となっている。なお、ボトムケース１０は、本発明の搭載部材の実施形態である。
【００４４】
第１の凹部１１の４つの側壁１１ａ〜１１ｄのうち、１つの側壁１１ａには、第１の凹部１１の上面１１ｆから底壁１１ｅへと延びる平面視略矩形状の第１の溝部１２が形成されている。また、第１の凹部１１の底壁１１ｅには、平面視略矩形状の第２の凹部１３が形成されている。第１の溝部１２と第２の凹部１３とは繋がっており、ボトムケース１１を上から見た場合に、第１の溝部１２及び第２の凹部１３は、図４に示すように略矩形状に見える。
【００４５】
ボトムケース１０は、例えば樹脂で形成される。マイクロホンユニット１を、音声入力装置（例えば携帯電話等）の実装基板（図示せず）にリフロー実装する場合には、ボトムケース１０は耐熱性の樹脂とするのが好ましい。このような点等を考慮して、ボトムケース１０は、例えばＬＣＰ（Liquid Crystal Polymer；液晶ポリマ）やＰＰＳ（polyphenylene sulfide；ポリフェニレンスルファイド）等の樹脂を用いて形成するのが好ましい。
【００４６】
なお、図示しないが、ボトムケース１０の第１の凹部１１の底壁１１ｅ、及びボトムケース１０の底面１０ａには、例えば、インサート成形を利用して複数の電極端子が形成されている。これは、図１９及び図２０に示す先行開発のマイクロホンユニット１００と同様であり、複数の電極端子には、マイクロホンユニット１に電力を供給する電源用の電極端子と、マイクロホンユニット１で発生した電気信号を外部に出力する出力用の電極端子と、グランド接続用の電極端子と、が含まれる。
【００４７】
マイク基板２０は、平面視略矩形状に形成され、そのサイズはボトムケース１０の第１の凹部１１の幅Ｘ及び奥行きＹ（図４参照）とほぼ等しく（詳細には若干小さく）形成されている。マイク基板２０には、平面視略矩形状の第１の貫通孔２１（本発明の開口の実施形態）が形成されている。マイク基板２０には、この第１の貫通孔２１を塞ぐようにＭＥＭＳチップ４０が配置されている。なお、ＭＥＭＳチップ４０は、本発明の電気音響変換部の実施形態である。
【００４８】
ＭＥＭＳチップ４０はシリコンチップからなり、図５に示すように、絶縁性のベース基板４１と、振動板４２と、絶縁層４３と、固定電極４４と、を有し、コンデンサ型のマイクロホンを構成している。ベース基板４１には平面視略円形状の開口４１ａが形成されている。ベース基板４１の上に設けられる振動板４２は、音圧を受けて振動（上下方向に振動）する薄膜で、導電性を有して電極の一端を形成している。固定電極４４は、絶縁層４３を挟んで振動板４２と対向するように配置されている。これにより、振動板４２と固定電極４４との間で容量が形成される。なお、固定電極４４には音波が通過できるように複数の貫通孔４４ａが形成されている。
【００４９】
ＭＥＭＳチップ４０の振動板４２は、上面４２ａから加わる音圧ｐｆと、下面４２ｂから加わる音圧ｐｂとの差に応じて振動する。振動板４２が振動すると、振動板４２と固定電極４４との間隔Ｇｐが変化して、振動板４２と固定電極４４との間の静電容量が変化する。この結果、ＭＥＭＳチップ４０に入射した音波（音信号）を電気信号として取り出せる。
【００５０】
ＡＳＩＣ５０は、ＭＥＭＳチップ４０の静電容量の変化に基づいて取り出される電気信号を増幅処理する集積回路である。この信号処理部として機能するＡＳＩＣ５０は、ＭＥＭＳチップ５０にバイアス電圧を印加するためのチャージポンプ回路と、ＭＥＭＳチップ５０における静電容量変化を検出するアンプ回路とを含む構成としても良い。
【００５１】
マイクロホンユニット１においては、ＭＥＭＳチップ４０は、振動板４２がマイク基板２０とほぼ平行となると共に、振動板４２の少なくとも一部が第１の貫通孔２１を覆うように、マイク基板２０に搭載されている。また、マイク基板２０上には、ＭＥＭＳチップ４０に隣接してＡＳＩＣ５０が配置される。ＭＥＭＳチップ４０及びＡＳＩＣ５０は、マイク基板２０に例えばフリップチップ実装やワイヤボンディング実装される。
【００５２】
マイク基板２０には、図示しない配線パターン（内部配線含む）が形成されている。これにより、ＭＥＭＳチップ４０から取り出されＡＳＩＣ５０で増幅処理された電気信号は、ボトムケース１０に形成される電極端子を介してマイクロホンユニット１の外部へと出力できるようになっている。また、ボトムケース１０に形成される電極端子を介して外部から電源電力を供給できるようになっている。その他、マイク基板２０には、グランド接続用の配線も形成されている。
【００５３】
ＭＥＭＳチップ４０は、第１の貫通孔２１を囲むように形成される額縁状の接続パッド（図示せず）に、その下面（ＭＥＭＳチップ４０の下面）が例えば半田等によって接合される。そして、これにより、マイク基板２０の上面とＭＥＭＳチップ４０の下面との間にできる隙間から音が漏れ込むということが発生しないようになっている。
【００５４】
なお、ＭＥＭＳチップ４０をマイク基板２０に搭載にあたって、上述の半田による接合（フリップチップ実装の一例）以外の接合方法として、次のような接合方法（ワイヤボンディング実装の一例）を採用しても構わない。すなわち、ＭＥＭＳチップ４０がマイク基板２０に搭載される部分にダイアタッチ（ダイボンド接着剤）を塗布して、ＭＥＭＳチップ４０をダイボンド接着する。そして、ＭＥＭＳチップ４０とＡＳＩＣ５０との間、及び、ＡＳＩＣ５０とマイク基板２０に形成される電極との間をワイヤボンディングにより電気的に接合する。ここで、マイク基板２０の上面とＭＥＭＳチップ４０の下面とは隙間なく完全にダイボンド接着し、隙間から音が漏れることがないようにする必要がある。
【００５５】
また、マイク基板２０を構成する基板の材質は特に限定されるものではなく、例えば、ガラスエポキシ基板、ポリイミド基板、シリコン基板、ガラス基板等が用いられる。ただし、リフロー時の加熱冷却によるＭＥＭＳチップ４０への応力を低減するために、マイク基板２０の線膨張係数がＭＥＭＳチップ４０の線膨張係数に近くなるように、基板の材質を選択するのが好ましい。
【００５６】
蓋体３０は、平面視略矩形状の第２の貫通孔３１が形成される天板部３０ａと、４つの面を有する側壁部３０ｂと、からなっている。蓋体３０の外形は略直方体形状であり、蓋体３０は略直方体形状の凹部を有する。蓋体３０の幅及び奥行きは、マイク基板２０のサイズとほぼ同一となっている。このため、蓋体３０をマイク基板２０に被せた状態で、その外形（蓋体２０とマイク基板２０とからなる筐体の外形）が略直方体形状となる。
【００５７】
蓋体３０は、例えば樹脂で形成される。マイクロホンユニット１を、音声入力装置（例えば携帯電話等）の実装基板（図示せず）にリフロー実装する場合には、蓋体３０は耐熱性の樹脂とするのが好ましい。このような点等を考慮して、蓋体３０は、例えばＬＣＰ（Liquid Crystal Polymer；液晶ポリマ）やＰＰＳ（polyphenylene sulfide；ポリフェニレンスルファイド）等の樹脂を用いて形成するのが好ましい。
【００５８】
次に、ボトムケース３０に、ＭＥＭＳチップ４０及びＡＳＩＣ５０が搭載されたマイク基板２０及び蓋体３０が嵌め込まれたマイクロホンユニット１の構成について説明する。
【００５９】
ここで、ボトムケース１０にマイク基板２０及び蓋体３０を嵌め込むにあたっては、マイク基板２０、蓋体３０をこの順に嵌め込むこととしてもよい。また、他の方法として、蓋体３０をマイク基板２０に被せて、ＭＥＭＳチップ４０及びＡＳＩＣ５０が収容される内部空間６２（本発明の収容空間の実施形態）を有する筐体６０を先に構成し、この筐体６０をボトムケース１０に嵌め込むようにしてもよい。
【００６０】
なお、マイク基板２０と蓋体３０とは、例えば接着剤によって接合される。ボトムケース１０とマイク基板２０とは、半田や導電ペースト等を用いて、それぞれの接続端子同士が電気的に接続されるように接合処理される。また、マイクロホニンユニット１における音漏れを防止するために、筐体６０とボトムケース１０の間の隙間（一応断っておくが音道として用いられない隙間を指す）を覆うように、エポキシ樹脂等の封止樹脂を接着するのが好ましい。
【００６１】
マイクロホンユニット１は、マイク基板２０及び蓋体３０からなる筐体６０をボトムケース１０の第１の凹部１１に嵌め込んだ構成とも言える（図３参照）。このように見た場合、筐体６０は、筐体６０を構成するマイク基板２０がボトムケース１０の第１の凹部１１の底壁１１ｅに対向配置されると共に、筐体６０を構成する蓋体３０の側壁部３０ｂがボトムケース１０の第１の凹部１１の側壁１１ａ〜１１ｄに対向配置されるように、ボトムケース１０に搭載されている。
【００６２】
一応断っておくが、マイクロホンユニット１においては、筐体６０を構成する側壁部３０ｂの全て（４つの面全て）が、凹部１１の側壁に対向配置された構成となっている。また、筐体６０の上面（詳細には蓋体３０の天板部３０ａの上面が該当）とボトムケース１０の上端（第１の凹部１１の上面１１ｆに同じ）とは同一平面にあり、マイクロホンユニット１の上部は平面となっている。
【００６３】
なお、マイク基板２０は本発明の第１の壁部の実施形態である。また、蓋体３０の天板部３０ａは本発明の第１の壁部に対向する第２の壁部の実施形態であり、蓋体３０の側壁部３０ｂは本発明の第１の壁部と第２の壁部を連結する第３の壁部の実施形態である。
【００６４】
マイクロホンユニット１においては、筐体６０は第１の凹部１１の幅Ｘ及び奥行きＹ（Ｘ、Ｙは図４参照）とほぼ同一のサイズであるために、ボトムケース１０の第１の凹部１１に筐体６０を嵌め込むことによって、第１の凹部１１は筐体６０によって占有される。
【００６５】
一方、第１の凹部１１の側壁１１ａ（第１の凹部１１の長手方向に対向する２つの側壁１１ａ、１１ｃのうち、第２の貫通孔３１から距離が遠い方）に形成される第１の溝部１２、及び、第１の凹部１１の底壁１１ｅに形成される第２の凹部１３は、その空間が筐体６０に占有されない。このために、第１の凹部１１に筐体６０が嵌め込まれることによって、第１の溝部１２と筐体６０の外面（蓋体３０の側壁部３０ｂの外壁面）とによって形成される第１空間６１と、第２の凹部１３と筐体６０の外面（マイク基板２０の下面）とを用いて形成されると共に第１空間６１に繋がる下部空間６５と、によって導音空間が形成される。なお、筐体６０は、第１の貫通孔２１が第２の凹部１３の一部と重なるように、第１の凹部１１に搭載されている。
【００６６】
上記の第１空間６１においては、溝部１２の上側端面１２ａ（本発明の第１の面の実施形態）が外部音導入のための音孔となっており、この音孔１２ａから第１空間６１に導入された外部音が下部空間６５及び第１の貫通孔２１を介して振動板４２の下面４２ｂへと至るようになっている。なお、マイクロホンユニット１には、これとは別に、第２の貫通孔３１（本発明の第２空間の実施形態）の上側端面３１ａ（本発明の第２の面の実施形態；音孔）から、蓋体３０をマイク基板２０に被せることによって形成される内部空間６２を通って振動板４２の上面４２ａへと至る導音空間も形成されている。このため、マイクロホンユニット１は、振動板４２の両面に加わる音圧の差に基づいて振動板４２を振動させる差動型のマイクロホンユニットを構成している。
【００６７】
なお、音波が音孔１２ａ（溝部１２の上側端面）から振動板４２の下面４２ｂへと至る時間と、音波が音孔３１ａ（第２の貫通孔３１の上側端面）から振動板４２の上面４２ａへと至る時間とがほぼ等しくなるように、上記２つの導音空間を形成するのが好ましい。このような意味で、２つの導音空間の容積の差は、±３０％以内に収めるのが好ましい。
【００６８】
また、マイクロホンユニット１においては、２つの音孔１２ａ、３１ａが平面視略矩形状になる構成としたが、音孔の形状はこの構成に限定される趣旨ではない。すなわち、音孔の形状として、例えば平面視略半円形状や平面視略楕円形状等を採用しても構わない。ただし、マイクロホンユニット１のように、音孔１２ａ、３１ａの長軸が２つの音孔の並び方向（マイクロホンユニット１の長手方向）に対して垂直となる長孔形状とするのが好ましい。これにより、マイクロホンユニット１の長手方向（図３の左右方向が該当）のサイズを小型化しやすく、また、音響特性的にも有利とできる。
【００６９】
また、マイクロホンユニット１においては、２つの音孔１２ａ、３１ａの中心間距離Ｌが４ｍｍ以上６ｍｍ以下となるように構成するのが好ましく、更には中心間距離Ｌが５ｍｍ程度とするのが好ましい。これは、２つの音孔１２ａ、３１ａの中心間距離Ｌを短くしすぎると、振動板４２の上面４２ａ及び下面４２ｂに加わる音圧の差が小さくなって振動板４２の振幅が小さくなり、ＡＳＩＣ５０から出力される電気信号のＳＮＲが悪くなってしまうからである。また、２つの音孔１２ａ、３１ａの中心間距離Ｌが長くなりすぎると、マイクロホンユニット１の小型化に不利であるばかりではなく、音源から発せられた音波が、２つの音孔１２ａ、３１ａから振動板４２へ至る時間の差、すなわち位相差が大きくなり、雑音除去性能が低下してしまうからである。
【００７０】
次に、このように構成されるマイクロホンユニット１の作用効果について説明する。マイクロホンユニット１は、ボトムケース１０、マイク基板２０、及び蓋体３０の３つの部材で、振動板４２の両面に音波を導く２つの導音空間を有するケースを構成している。このため、差動型のマイクロホンユニットの少ない部品点数で構成でき、小型化を図りやすい。
【００７１】
そして、マイクロホンユニット１は、差動型のマイクロホンユニットであるために、先行開発のマイクロホンユニット１００（図１９及び図２０参照）と同様に、接話型の音声入力装置に適用された場合に、雑音が除去されたユーザ音声のみを示す電気信号の取得が可能である。
【００７２】
また、マイクロホンユニット１は、複数の部品を組み合せて２つの導音空間を形成する構成であるために、各部材間の相対的な位置関係が重要となる。この点、マイクロホンユニット１は、ボトムケース１０の第１の凹部１１にマイク基板２０及び蓋体３０を嵌め込んでなる構成であるために、位置合わせが容易であり、組み立て時の作業性が良い。
【００７３】
また、マイクロホンユニット１は、上部が平面となっているために、音声入力装置に適用する場合に、音声入力装置に形成する導音空間を複雑とせずに済み、便利である。ただし、本発明はマイクロホンユニット１の上部が平面でない構成（例えば、ボトムケース１０の第１の凹部１１上面１１ｆに対して筐体６０の上部側が突出しているような構成等）も含んでおり、マイクロホンユニット１は本発明の望ましい形態と言える。
【００７４】
更に、マイクロホンユニット１は、長手方向（図３の左右方向が該当）のサイズを小型化できる点で有利である。これについて、図６を参照しながら説明する。なお、図６は、第１実施形態のマイクロホンユニットの効果を説明するための概略断面図で、上段は第１実施形態のマイクロホンユニット１を示し、下段は先行開発のマイクロホンユニット１００を示す。
【００７５】
図６に示すように、マイクロホンユニット１は、２つの音孔１２ａ、３１ａの距離（中心間距離Ｌ）を、先行開発のマイクロホンユニット１００の２つの音孔１０３１、１０３２の距離と同一としつつ、長手方向のサイズをΔｄだけ縮めることができている。これは、次の理由による。
【００７６】
マイクロホニンユニット１と先行開発のマイクロホンユニット１００とは、外部音を振動板４２、１１３の上面４２ａ、１１３ａに導くための導音空間は同様となっている。しかし、マイクロホニンユニット１と先行開発のマイクロホンユニット１００とは、外部音を振動板４２、１１３の下面４２ｂ、１１３ｂに導くための導音空間が異なる構成となっている。
【００７７】
すなわち、先行開発のマイクロホニンユニット１００では、外部音を振動板１１３の下面１１３ｂへと導く導音空間を得るために、蓋体（トップケース）１０３にＭＥＭＳチップ１１１及びＡＳＩＣ１１２を収容するための空間１０３３以外に、もう一つの空間１０３４を設けている。一方、マイクロホンユニット１では、蓋体３０には１つの空間しか設けていない。そして、外部音を振動板４２の下面４２ｂへと導く導音空間を得るために、ボトムケース１０の第１の凹部１１の側壁１１ａに、第１の凹部１１の底壁１１ｅに設けられる第２の凹部１３に繋がる第１の溝部１２を設けることとしている。
【００７８】
このように、ボトムケース１０の第１の凹部１１の側壁１１ａに第１の溝部１２を設けて導音空間を得る場合、蓋体３０の長手方向のサイズを小さくできるために、２つの音孔の距離Ｌを維持しつつ、マイクロホンユニット１の長手方向の小型化が可能である。
【００７９】
（第２実施形態）
次に、第２実施形態のマイクロホンユニットについて、図７から図９を参照しながら説明する。
【００８０】
なお、図７は、第２実施形態のマイクロホンユニットの外観構成を示す概略斜視図である。図８は、図７のＢ−Ｂ位置における概略断面図である。図９は、第２実施形態のマイクロホンユニットが備えるボトムケースの構成を示す概略図で、図９（ａ）はボトムケースを斜め上方から見た場合の概略斜視図、図９（ｂ）はボトムケースを上から見た場合の概略平面図である。
【００８１】
第２実施形態のマイクロホンユニット２は、ボトムケース１０の構成が若干異なる点を除いて、第１実施形態のマイクロホンユニット１と同様の構成である。このため、重複する部分については同一の符号を付し、特に説明の必要がない場合には、その説明を省略する。
【００８２】
第２実施形態のマイクロホンユニット２のボトムケース１０においては、略直方体形状の第１の凹部１１が、３つの側壁１１ａ〜１１ｃ、開口面１１ｇ、及び底壁１１ｅによって形成されている。すなわち、第１の凹部１１の４つの側面のうち、１つの側面が開口面となっている点が第１実施形態の構成と異なる。そして、この結果、蓋体３０の側壁部３０ｂの一部（４つの面のうちの１つの面）が第１の凹部１１の側壁に対向配置されない構成となっている。なお、第１実施形態のマイクロホンユニット１では、第１の凹部１１の側面は全て壁となっており、蓋体３０の側壁部３０ｂは全て第１の凹部１１の側壁と対向配置されている。
【００８３】
このために、マイクロホンユニット２のボトムケース１０は、第１実施形態のマイクロホンユニット１のボトムケース１０に比べて、第１の凹部１１の側壁の厚み分だけ長手方向（図８の左右方向が該当）の長さが短くなっている。このために、第２実施形態のマイクロホンユニット２は、第１実施形態のマイクロホンユニット１に比べて、更に長手方向のサイズを小型とすることができる。
【００８４】
マイクロホンユニット２では、ボトムケース１０の第１の凹部１１の一部側面が開口面１１ｇとなっているために、マイクロホンユニット２を組み立てる際に、単にボトムケース１０の第１の凹部１１にマイク基板２０及び蓋体３０（或いは筐体６０）を上から嵌め込むだけで、各部材間の位置合わせが完了する訳ではない。しかし、マイクロホンユニット２は、次のように組み立てることができるので、この構成の場合も組み立て時の作業性は良い。
【００８５】
マイクロホンユニット２を組み立てる場合、ボトムケース１０の第１の凹部１１の開口面１１ｇからマイク基板２０及び蓋体３０（或いは筐体６０）を、第１の凹部１１の側壁１１ａに向けてスライド挿入する。この場合、マイク基板２０及び蓋体３０が第１の凹部１１の側壁１１ａに当った位置を、各部材間の位置合わせが正しく行えた位置とできる。このために、マイク基板２０及び蓋体３０を側壁１１ａに押し当てる治具を使いながら簡単にマイクロホンユニット２を組み上げられる。
【００８６】
（第３実施形態）
次に、第３実施形態のマイクロホンユニットについて、図１０から図１４を参照しながら説明する。
【００８７】
図１０は、第３実施形態のマイクロホンユニットの外観構成を示す概略斜視図である。図１１は、第３実施形態のマイクロホンユニットが備えるボトムケースの構成を示す概略平面図である。図１２は、第３実施形態のマイクロホンユニットが備える蓋体の構成を示す概略斜視図である。図１３は、図１０のＣ−Ｃ位置における概略断面図である。図１４は、第３実施形態のマイクロホンユニットの効果を説明するための概略断面図である。なお、図１４において、上段は第３実施形態のマイクロホンユニット３を示し、下段は先行開発のマイクロホンユニット１００を示す。
【００８８】
第１実施形態のマイクロホンユニット１においては、音孔の間隔を短くすることなくマイクロホンユニット１の長手方向の長さを小型化するために、外部音を振動板４２の下面４２ｂに導く導音空間の構成について工夫を行った（第１空間６１が、筐体６０の壁部と第１の凹部１１の側壁との間に形成される空間を用いてなる構成とした）。この第３実施形態のマイクロホンユニット３は、音孔の間隔を短くすることなくマイクロホンユニット１の長手方向の長さを小型化するために、外部音を振動板４２の上面４２ｂに導く導音空間の構成について工夫を行っている。すなわち、第２空間が、筐体６０の壁部と第１の凹部１１の側壁との間に形成される空間を用いてなる構成としている。
【００８９】
以下、第３実施形態のマイクロホンユニット３について説明するが、第１実施形態の構成と重複する部分については同一の符号を付し、特に説明の必要がない場合については説明を省略する。
【００９０】
図１１に示すように、マイクロホンユニット３が備えるボトムケース１０は、第１実施形態の場合と同様に、第１の凹部１１が４つの側壁１１ａ〜１１ｄを有し、第１の凹部１１の底壁１１ｅには第２の凹部１３が形成されている。ただし、第１の凹部１１のいずれの側壁１１ａ〜１１ｄにも溝部が設けられていない点で第１実施形態の構成と異なる。
【００９１】
図１２に示すように、マイクロホンユニット３が備える蓋体３０は、天板部３０ａ（第２の壁部の実施形態）と側壁部３０ｂ（第３の壁部の実施形態）とからなっている。蓋体３０の４つの側面のうちの１つは開口面３０ｃとなっているために、側壁部３０ｂは３つの壁面を有する。蓋体３０には、天板部３０ａ、及び、側壁部３０ｂを構成する３つの壁のうちの１つを上側から下側へと貫通する貫通孔３２が形成されている（図１３参照）。この貫通孔３２は、蓋体３０と接合されて筐体６０を構成するマイク基板１０（第１の壁部の実施形態）に形成される貫通孔２２（図１３参照）と繋がっており、この２つの貫通孔２２、３２によって第３の貫通孔６３（本発明の第１空間の実施形態）を形成している。
【００９２】
この第３の貫通孔６３は、筐体６０がボトムケース１０に搭載されると、ボトムケース１０の第２の凹部１３と繋がる。これにより、第３の貫通孔６３の上側端面６３ａ（本発明の第１の面の実施形態；音孔６３ａ）から導入された外部音は、第３の貫通孔６３、第２の凹部１３と筐体６０の外面（マイク基板２０の下面）とを用いて形成される下部空間６５、及び第１の貫通孔２１を介して振動板４２の下面４２ｂへと至るようになっている。
【００９３】
また、図１２に示すように、天板部３０ａの開口面３０ｂ側の側面には上側から見た場合に略矩形状に見える第２の溝部３３が形成されている。この第２の溝部３３は、天板部３０ａの上面から下面へと延びている。この第２の溝部３３は、筐体６０がボトムケース１０に搭載されると、ボトムケース１０の第１の凹部１１の側壁１１ｃとの間で、筐体６０の収容空間６２と連通する第２空間６４を形成する（図１３参照）。これにより、第２の溝部３３の上側端面３３ａ（本発明の第２の面の実施形態；音孔３３ａ）から導入された外部音は、第２空間６４及び収容空間６２を介して振動板４２の上面４２ａへと至るようになっている。
【００９４】
以上のように、マイクロホンユニット３は、振動板４２の両面に加わる音圧の差に基づいて振動板４２を振動させる差動型のマイクロホンユニットを構成している。なお、このマイクロホンユニット３においても第１実施形態と同様に、マイク基板１０と蓋体３０とからなる筐体６０の長さ、奥行き、及び高さは、第１の凹部１１の長さＸ、奥行きＹ（以上図１１参照）及び高さ（凹部の深さのこと）とほぼ同じとなっている。
【００９５】
このように構成されるマイクロホンユニット３は、ボトムケース１０、マイク基板２０、及び蓋体３０の３つの部材で、振動板４２の両面に音波を導く２つの導音空間を有するケースを構成している。このため、差動型のマイクロホンユニットの少ない部品点数で構成でき、小型化を図りやすい。また、マイクロホンユニット３は、ボトムケース１０の第１の凹部１１にマイク基板２０及び蓋体３０を嵌め込んでなる構成であるために、位置合わせが容易であり、組み立て時の作業性が良い。
【００９６】
更に、マイクロホンユニット３は、図１４に示すように、先行開発のマイクロホンユニット１００における蓋体１０３の側面を構成する壁の１つを取り除くことが可能となっている。このために、２つの音孔６３ａ、３３ａの距離（中心間距離Ｌ）を、先行開発のマイクロホンユニット１００の２つの音孔１０３１、１０３２の距離と同一としつつ、長手方向のサイズをΔｄだけ縮めることができる。
【００９７】
なお、第３実施形態におけるボトムケース１０について、第１の凹部１１の側壁１１ａを第２実施形態のように取り除いて（なお、第２実施形態では、第１の凹部１１の側壁１１ｃが取り除かれている）、図１５に示すようなマイクロホンユニットとしても構わない（図１５の破線部分が取り除かれた部分である）。このように構成することによって、第１の凹部１１の側壁１１ａの厚み分だけ長手方向（図１５の左右方向が該当）の長さが短くなる。このために、マイクロホンユニット３の長手方向のサイズを更に小型とすることができる。
【００９８】
（第４実施形態）
次に、第４実施形態のマイクロホンユニットについて、図１６及び図１７を参照しながら説明する。図１６は、第４実施形態のマイクロホンユニットの外観構成を示す概略斜視図である。図１７は、図１６のＤ−Ｄ位置における概略断面図である。説明にあたって、第１実施形態及び第３実施形態と重複する部分については同一の符号を付し、特に説明の必要がない場合には、その説明を省略する。
【００９９】
第４実施形態のマイクロホンユニット４は、第１実施形態のマイクロホンユニット１の特徴部分と第３実施形態のマイクロホンユニット３の特徴部分とを合わせた構成となっている。すなわち、ボトムケース１０の第１の凹部１１の側壁１１ａに第１の溝部１２が形成されている。そして、外部音が、第１の溝部１２と筐体６０の外壁とで形成される第１空間６１、下部空間６５（第２の凹部１３を用いてなる空間）、及び第１の貫通孔２１を介して、振動板４２の下面４２ｂに至る構成となっている。なお、第１の溝部１２の上側端面１２ａは本発明の第１の面の実施形態であり、音孔を構成している。
【０１００】
また、筐体６０を構成する天板部３０ａの側面には、その上面３３ａが第１の溝部１２の上側端面１２ａと長手方向に並設されると共に、天板部３０ａの上面から下面へと延びる第２の溝部３３が形成されている。そして、外部音が、第２の溝部３３とボトムケース１０の第１の凹部１１の側壁１１ｃとで形成される第２空間６４、及び収容空間６２を介して、振動板４２の上面４２ａに至る構成となっている。なお、第２の溝部３３の上側端面３３ａは本発明の第２の面の実施形態であり、音孔を構成している。
【０１０１】
このように構成されるマイクロホンユニット４は、ボトムケース１０、マイク基板２０、及び蓋体３０の３つの部材で、振動板４２の両面に音波を導く２つの導音空間を有するケースを構成している。このため、差動型のマイクロホンユニットの少ない部品点数で構成でき、小型化を図りやすい。また、マイクロホンユニット４は、ボトムケース１０の第１の凹部１１にマイク基板２０及び蓋体３０を嵌め込んでなる構成であるために、位置合わせが容易であり、組み立て時の作業性が良い。更に、２つの音孔１２ａ、３３ａの距離（中心間距離Ｌ）を、先行開発のマイクロホンユニット１００の距離と同一としつつ、長手方向のサイズを縮めることができる。
【０１０２】
（その他）
以上に示したマイクロホンユニット１〜４は本発明の例示であり、本発明の適用範囲は、以上に示した実施形態の構成に限定されるものではない。すなわち、本発明の目的を逸脱しない範囲で、以上に示した実施形態について種々の変更を行っても構わない。
【０１０３】
例えば、以上に示した実施形態では、ＭＥＭＳチップ４０の下側に設けられる下部空間６５を、ボトムケース１０に設けられる第２の凹部１３を用いてなる構成とした。しかし、本発明の適用範囲は、この構成に限定される趣旨ではない。すなわち、図１８に示すように、例えばボトムケース１０の底壁は平坦としつつマイク基板２０の下面に溝部１４を設けて、ボトムケース１０と筐体６０の壁部との間で形成される空間を用いて下部空間を得るようにしてもよい。この場合、溝部１４は、例えば厚い基板を切り欠いて得てもよいし、切り欠いた基板と切り欠きを有しない基板とを貼り合わせて得るようにしてもよい。その他、下部空間はマイク基板２０に形成される中空部としてもよい。
【０１０４】
また、以上に示した第１、第２、及び第４実施形態においては、第１空間６１を、ボトムケース１０の第１の凹部１１の側壁１１ａに形成される第１の溝部１２と、筐体６０の外壁と、で形成する構成とした。しかし、これに限らず、例えばボトムケース１０の第１の凹部１１の側壁と、筐体６０の外壁に設けた溝部と、で第１空間を形成する構成としてもよいし、ボトムケース１０の第１の凹部１１の側壁に設けた溝部と、筐体６０の外壁に設けた溝部とによって第１空間を形成する構成としても構わない。また、以上に示した第３及び第４実施形態では、第２空間６４を、蓋体３０（筐体６０）の天板部３０ａに形成された第２の溝部３３と、ボトムケース１０の第１の凹部１１の側壁１１ｃと、で形成する構成とした。しかし、これに限らず、例えば蓋体３０の天板部３０ａの側面部と、ボトムケース１０の第１の凹部１１の側壁１１ｃに形成された溝部と、で第２空間を形成する構成としても構わないし、蓋体３０（筐体６０）の天板部３０ａに形成された溝部と、ボトムケース１０の第１の凹部１１の側壁に形成された溝部と、で第２空間を形成する構成としても構わない。また、例えば第２空間を得るために、天板部３０ａに溝を設けるのではなく、第２の溝部３３を設ける場合と側壁部３０ｂの長さは同じとしつつ、天板部３０ａの長さが短くなるように蓋体３０を切り欠く構成としても構わない。要は、第１の凹部１１の側壁と筐体６０の壁部との間で形成される空間を用いて第１空間或いは第２空間を形成する構成として、その結果、音孔の間隔を一定距離に維持しつつマイクロホンユニットの長手方向を小型化できるのであれば、実施形態に示した構成以外でも構わないのである。
【０１０５】
また、以上に示した実施形態においては、蓋体３０は短手方向に対向する２つの側壁を有する構成とした。しかし、これに限らず、短手方向に対向する２つの側壁のうちの両方、或いは一方を設けない構成としても構わない。
【０１０６】
また、以上に示した実施形態においては、筐体６０の外形が直方体形状となる構成としたが、この構成に限定されない。すなわち、例えばマイク基板２０に対して蓋体３０の方がサイズが大きい構成や、蓋体３０に対してマイク基板２０が大きい構成等である場合にも本発明は適用可能である。
【０１０７】
また、以上に示した実施形態では、ＭＥＭＳチップ４０とＡＳＩＣ５０とは別チップで構成したが、ＡＳＩＣ５０に搭載される集積回路はＭＥＭＳチップ４０を形成するシリコン基板上にモノリシックで形成するものであっても構わない。
【０１０８】
また、以上に示した実施形態では、音圧を電気信号に変換する電気音響変換部が、半導体製造技術を利用して形成されるＭＥＭＳチップ４０である構成としたが、この構成に限定される趣旨ではない。例えば、電気音響変換部がエレクトレック膜を使用したコンデンサマイクロホン等であっても構わない。
【０１０９】
また、以上の実施形態では、マイクロホンユニットが備える電気音響変換部（本実施形態のＭＥＭＳチップ４０が該当）の構成として、いわゆるコンデンサ型マイクロホンを採用した。しかし、本発明はコンデンサ型マイクロホン以外の構成を採用したマイクロホンユニットにも適用できる。例えば、動電型（ダイナミック型）、電磁型（マグネティック型）、圧電型等のマイクロホン等が採用されたマイクロホンユニットにも本発明は適用できる。
【０１１０】
また、以上に示した実施形態では、マイクロホンユニットの長手方向のサイズが小型化できる構成を示した。しかし、本発明は、マイクロホンユニットが備える２つの音孔の間隔を短くすることなく、２つの音孔の間隔を縮める方向と平行な方向の小型化を図れるという利点を有するものである。このため、例えば、マイクロホンユニットの短手方向のサイズを小型化するために本発明を適用しても構わない。
【０１１１】
その他、以上に示した実施形態のマイクロホンユニット１〜４の形状は例示であり、本発明の適用範囲が実施形態に示した形状に限定されないのは言うまでもない。例えば、マイクロホンユニットの形状が楕円柱形状等であっても本発明は適用できる。
【産業上の利用可能性】
【０１１２】
本発明のマイクロホンユニットは、例えば携帯電話、トランシーバ等の音声通信機器や、入力された音声を解析する技術を採用した音声処理システム（音声認証システム、音声認識システム、コマンド生成システム、電子辞書、翻訳機、音声入力方式のリモートコントローラ等）、或いは録音機器やアンプシステム（拡声器）、マイクシステムなどに好適である。
【符号の説明】
【０１１３】
１、２、３、４  マイクロホンユニット
１０  ボトムケース（搭載部材）
１１  第１の凹部
１１ａ〜１１ｄ  第１の凹部の側壁
１１ｅ  第１の凹部の底壁
１１ｆ  第１の凹部の上面
１１ｇ  第１の凹部の開口面
１２  第１の溝部
１２ａ  第１の溝部の上側端面（第１の面）
１３  第２の凹部
２０  マイク基板（第１の壁部、筐体の一部）
２１  第１の貫通孔（開口）
３０  蓋体（筐体の一部）
３０ａ  蓋体の天板部（第２の壁部）
３０ｂ  蓋体の側壁部（第３の壁部）
３１  第２の貫通孔（第２空間）
３１ａ  第２の貫通孔の上側端面（第２の面）
３３  第２の溝部
３３ａ  第２の溝部の上側端面（第２の面）
４０  ＭＥＭＳチップ（電気音響変換部）
４２  振動板
６０  筐体
６１  第１空間
６２  内部空間（収容空間）
６３  第３の貫通孔
６３ａ  第３の貫通孔の上側端面（第１の面）
６４  第２空間
６５  下部空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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