(57)【要約】【課題】多品種（板厚、硝種）の生産において、出荷時の混在を避けることができ、その検査におけるコスト、生産ラインの効率低下を最小限に抑えること。【解決手段】本発明の検査装置は、ガラス基板Ｄが収納され該ガラス基板の一方の端部から他方の端部に掛けて光が透過する構造の収納カセット３０を、前記ガラス基板Ｄの一方の端部側から照明する照明装置３２と、収納カセット３０を挟んで照明装置３２と対向配置され、前記収納カセット３０に収納された前記ガラス基板Ｄを該ガラス基板Ｄの他方の端部側から撮像する撮像装置３１と、撮像装置３１によって得られた撮像画像を画像処理して前記収納カセット３０に収納されたガラス基板Ｄの収納状況を検査する検査装置３３とを具備したことを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスク用基板となるガラス基板が所定間隔で収納され該ガラス基板の一方の端部から他方の端部に掛けて光が透過する構造の収納カセットを、前記ガラス基板の一方の端部側から照明する照明手段と、
前記収納カセットを挟んで前記照明手段と対向配置され、前記収納カセットに収納された前記ガラス基板を該ガラス基板の他方の端部側から撮像する撮像手段と、
前記撮像手段によって得られた撮像画像を画像処理して前記収納カセットにおけるガラス基板の状況を検査する検査手段と、
を具備したことを特徴とする磁気ディスク用基板の検査装置。
【請求項２】
前記検査手段は、前記ガラス基板に相当する領域が暗部、ガラス基板間の隙間に相当する領域が明部となるコントラスト画像から、ガラス基板間隔に基づいて定めた閾値と前記明部の幅とを比較して基板抜けの有無を判定することを特徴とする請求項１記載の磁気ディスク用基板の検査装置。
【請求項３】
前記検査手段は、前記ガラス基板に相当する領域が暗部、ガラス基板間の隙間に相当する領域が明部となるコントラスト画像から、前記暗部の数を計数して基板抜けの有無を判定することを特徴とする請求項１記載の磁気ディスク用基板の検査装置。
【請求項４】
前記検査手段は、前記ガラス基板に相当する領域が暗部、ガラス基板間の隙間に相当する領域が明部となるコントラスト画像から、ガラス基板の板厚に基づいて定めた閾値と前記暗部の幅とを比較して異なる板厚を有するガラス基板の混入の有無を判定することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の磁気ディスク用基板の検査装置。
【請求項５】
前記検査手段は、前記ガラス基板に相当する領域が暗部、ガラス基板間の隙間に相当する領域が明部となるコントラスト画像から、硝種に応じた透過率の違いに基づいて異なる硝種のガラス基板の混入の有無を判定することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の磁気ディスク用基板の検査装置。
【請求項６】
前記照明手段は、前記検査手段が異なる硝種のガラス基板の混入の有無を判定する場合は、赤色照明光を生成することを特徴とする請求項５記載の磁気ディスク用基板の検査装置。
【請求項７】
前記ガラス基板は、円環状をなすと共に基板中心部に内孔を有し、
前記検査手段によるガラス基板の収納状況の検査は、前記ガラス基板の外径端部及び内径端部の端面研磨工程よりも後に行われることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載の磁気ディスク用基板の検査装置。
【請求項８】
磁気ディスク用基板となるガラス基板が所定間隔で収納され該ガラス基板の一方の端部から他方の端部に掛けて光が透過する構造の収納カセットを、前記ガラス基板の一方の端部側から照明するステップと、
前記収納カセットに収納された前記ガラス基板を該ガラス基板の他方の端部側から撮像して撮像画像を取得するステップと、
前記撮像画像を画像処理して前記収納カセットに収納されたガラス基板の収納状況を検査するステップと、
を具備したことを特徴とする磁気ディスク用基板の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスクドライブ装置（ＨＤＤ装置）等の磁気ディスク装置に用いられる磁気ディスク用基板の検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスクドライブ装置（ＨＤＤ装置）に搭載される磁気記録媒体として磁気ディスクがある。磁気ディスクは、アルミニウム−マグネシウム合金などで構成された金属板上にＮｉＰ膜を被着した基板、ガラス基板、セラミックス基板上に磁性層や保護層を積層したりして作製される。従来では、磁気ディスク用の基板としてアルミニウム合金基板が広く用いられていたが、近年の磁気ディスクの小型化、薄板化、高密度記録化に伴って、アルミニウム合金基板に比べて表面の平坦度や薄板での強度に優れたガラス基板が用いられるようになってきている。
【０００３】
このような磁気ディスク用基板は、形状加工工程及び第１ラッピング工程（第１研削工程）；端部形状工程（中央部に円孔（穴部）を形成するコアリング工程、端部（外周端部及び内周端部）に面取り面を形成するチャンファリング工程（面取り面形成工程））；端面研磨工程（外周端部及び内周端部）；第２ラッピング工程（第２研削工程）；主表面研磨工程（第１及び第２研磨工程）；化学強化工程などの工程を経て製造される。
【０００４】
ところで、ガラス基板は傷を受け易く、また、厚みも通常０．６ｍｍ〜１．５ｍｍ程度と薄いので、製造の各工程における処理や各工程を経たガラス基板の搬送に際しては、ガラス基板が相互に接触したりして損傷を受けることがなく、また、異物付着のないようにする必要がある。そこで、ガラス基板の搬送に際しては、複数枚のガラス基板を所定の間隔を配して収納する収納カセットが用いられている。このような収納カセットとしては、例えば特許文献１で開示されたものが知られている。図４は、当該文献で開示された収納カセット２１を示す斜視図である。同図に示す収納カセット２１は、側壁２２に複数のリブ（仕切り部）２３を有し、リブ２３間の隙間によって形成した溝２４にガラス基板Ｄを収納する。ガラス基板Ｄの収納は、収納カセット２１の開放された上方から溝２４に向けて挿入する。このようにして、ガラス基板Ｄは、そのチャンファー面（面取り面）で支持されて、収納カセット２１に立てた状態で収納される。
【０００５】
出荷工程前に、収納カセット２１に収納されたガラス基板Ｄに抜けがないか否か目視観察にて検査している。また、現在、板厚の違う基板（例えば、６３５ミクロン、８００ミクロン）、組成の違うガラスが生産されているが、工程内においてこれらが混在し発見されないまま出荷されてしまう問題がある。そのため、１つの収納カセット２１に誤って板厚の異なるガラス基板Ｄが混入していないか検査すると共に、サイズが同一であるが硝種の異なるガラス基板Ｄが混入していないか検査している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−２６１５９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、収納カセット２１に複数枚のガラス基板Ｄが連続して並べられた状態で目視観察にて、ガラス基板Ｄの抜けを検査することは検査精度のばらつきがあると共に見落としを完全に排除するのは困難である。
また、現在あるガラス基板の板厚として、例えば６３５ミクロンと１２７０ミクロンのものがあり、今後は６３５ミクロンと８００ミクロンのものが予定されていることから、目視検査で板厚差を見分けるのはますます困難になることが予想される。
さらに、同一の外径及び内径、板厚であるが、硝種が異なるガラス基板が存在するが、双方とも透光性のガラス基板でるので、目視検査で見分けるのは困難である。
【０００８】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、多品種（板厚、硝種）の生産において、出荷時の混在を避けることができ、その検査におけるコスト、生産ラインの効率低下を最小限に抑えることができる磁気ディスク用基板の検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者は、出荷ケースに製品を入れた状態をカメラで撮影し、撮影画像を画像処理することにより、基板の抜け、板厚、硝種の識別を同時に行うことができることを見出し、本発明をするに到った。
【００１０】
本発明の磁気ディスク用基板の検査装置は、磁気ディスク用基板となるガラス基板が所定間隔で収納され該ガラス基板の一方の端部から他方の端部に掛けて光が透過する構造の収納カセットを、前記ガラス基板の一方の端部側から照明する照明手段と、前記収納カセットを挟んで前記照明手段と対向配置され、前記収納カセットに収納された前記ガラス基板を該ガラス基板の他方の端部側から撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって得られた撮像画像を画像処理して前記収納カセットにおけるガラス基板の状況を検査する検査手段とを具備したことを特徴とする。
【００１１】
この検査装置によれば、ガラス基板が所定間隔で収納された収納カセットを撮像して取得された撮像画像を画像処理して前記収納カセットにおけるガラス基板の状況を検査するので、収納カセットにおけるガラス基板の状況として基板の抜け、板厚、硝種の識別を検査者の目視観察によらずに行うことができ、多品種（板厚、硝種）の生産において、出荷時の混在を避けることができ、その検査におけるコスト、生産ラインの効率低下を最小限に抑えることができる。
【００１２】
本発明の磁気ディスク用基板の検査装置において、前記検査手段は、前記ガラス基板に相当する領域が暗部、ガラス基板間の隙間に相当する領域が明部となるコントラスト画像から、ガラス基板間隔に基づいて定めた閾値と前記明部の幅とを比較して基板抜けの有無を判定することを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、基板抜けがあるために明部の幅が閾値よりも大きくなる場合には、基板抜けと判定することができる。
【００１４】
本発明の磁気ディスク用基板の検査装置において、前記検査手段は、前記ガラス基板に相当する領域が暗部、ガラス基板間の隙間に相当する領域が明部となるコントラスト画像から、前記暗部の数を計数して基板抜けの有無を判定することを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、基板抜けがあるためにガラス基板に相当する暗部の数が本来のガラス基板数より少なければ、基板抜けと判定することができる。
【００１６】
本発明の磁気ディスク用基板の検査装置において、前記検査手段は、前記ガラス基板に相当する領域が暗部、ガラス基板間の隙間に相当する領域が明部となるコントラスト画像から、ガラス基板の板厚に基づいて定めた閾値と前記暗部の幅とを比較して異なる板厚を有するガラス基板の混入の有無を判定することを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、本来の板厚よりも板厚の大きいガラス基板が混在していれば、暗部の幅が閾値よりも大きくなるので、板厚の大きいガラス基板の混入を検出できる。また、本来の板厚よりも板厚の小さいガラス基板が混在していれば、暗部の幅が閾値よりも小さくなるので、板厚の小さいガラス基板の混入を検出できる。
【００１８】
本発明の磁気ディスク用基板の検査装置において、前記検査手段は、前記ガラス基板に相当する領域が暗部、ガラス基板間の隙間に相当する領域が明部となるコントラスト画像から、硝種に応じた透過率の違いに基づいて異なる硝種のガラス基板の混入の有無を判定することを特徴とする。
【００１９】
この構成によれば、収納カセットを撮像したコントラスト画像から硝種に応じた透過率の違いに基づいて異なる硝種のガラス基板の混入の有無を判定するので、従来の人間による目視観察では判別が困難であった異なる硝種のガラス基板を検出できる。
【００２０】
本発明の磁気ディスク用基板の検査装置においては、前記照明手段は、前記検査手段が異なる硝種のガラス基板の混入の有無を判定する場合は、赤色照明光を生成することが好ましい。
【００２１】
ガラス基板を赤色照明光で照明することにより、ガラス基板の硝種の違いに応じてコントラストが明確になり、判定精度を改善することができる。
【００２２】
本発明の磁気ディスク用基板の検査装置においては、前記ガラス基板は、円環状をなすと共に基板中心部に内孔を有し、前記検査手段によるガラス基板の収納状況の検査は、前記ガラス基板の外径端部及び内径端部の端面研磨工程よりも後に行われることが好ましい。
【００２３】
ガラス基板の外径端部及び内径端部の端面研磨することにより、ガラス基板の端面から照明光が入射するようになり、収納カセットに収納されたガラス基板のコントラストがより明確になり、高い精度で収納カセットにおけるガラス基板の状況を検査することができる。
【００２４】
本発明の磁気ディスク用基板の検査方法は、磁気ディスク用基板となるガラス基板が所定間隔で収納され該ガラス基板の一方の端部から他方の端部に掛けて光が透過する構造の収納カセットを、前記ガラス基板の一方の端部側から照明するステップと、前記収納カセットに収納された前記ガラス基板を該ガラス基板の他方の端部側から撮像して撮像画像を取得するステップと、前記撮像画像を画像処理して前記収納カセットに収納されたガラス基板の収納状況を検査するステップとを具備したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、多品種（板厚、硝種）の生産において、出荷時の混在を避けることができ、その検査におけるコスト、生産ラインの効率低下を最小限に抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の実施の形態に係る検査装置の概略図である。
【図２】図１に示す検査装置においてカメラ配置を変形した模式図である。
【図３】（ａ）図１に示す検査装置で得られる基板抜けのある撮像画像を示す図、（ｂ）図１に示す検査装置で得られる板厚間違いのある撮像画像を示す図である。
【図４】搬送ホルダの斜視図である。
【図５】検査装置に求められるカメラ仕様と台数を示す図である。
【図６】板厚が６３５ミクロン、８００ミクロンの２種類のガラス基板についての板厚測定結果を示す図である。
【図７】板厚差の検出に必要なカメラ分解能を示す図である。
【図８】は板厚が６３５ミクロン、８００ミクロンの２種類のガラス基板の板厚差検出結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。本実施の形態においては、磁気ディスク用基板がガラス基板である場合について説明する。
【００２８】
ここで、磁気ディスク用基板の材料としては、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、ボロシリケートガラス、アルミニウム−マグネシウム合金などを用いることができる。特に、化学強化を施すことができ、また主表面の平坦性及び基板強度において優れた磁気ディスク用基板を提供することができるという点で、アルミノシリケートガラスを好ましく用いることができる。
【００２９】
磁気ディスク用基板の製造工程は、形状加工工程及び第１ラッピング工程；端部形状工程（穴部を形成するコアリング工程、端部（外周端部及び／又は内周端部）に面取り面を形成するチャンファリング工程（面取り面形成工程））；端面研磨工程（外周端部及び内周端部）；第２ラッピング工程；主表面研磨工程（第１及び第２研磨工程）；化学強化工程などの工程を含む。
【００３０】
以下に、磁気ディスク用基板の製造工程の各工程について説明する。
（１）形状加工工程及び第１ラッピング工程
まず、形状加工工程においては、板状ガラスの表面をラッピング（研削）加工してガラス母材とし、このガラス母材を切断してガラスディスクを切り出す。板状ガラスとしては、様々な板状ガラスを用いることができる。この板状ガラスは、例えば、溶融ガラスを材料として、プレス法やフロート法、ダウンドロー法、リドロー法、フュージョン法など、公知の製造方法を用いて製造することができる。これらの方法うち、プレス法を用いれば、板状ガラスを廉価に製造することができる。
【００３１】
第１ラッピング工程においては、板状ガラスの両主表面をラッピング加工し、ディスク状のガラス基材とする。このラッピング加工は、遊星歯車機構を利用した両面ラッピング装置により、アルミナ系遊離砥粒を用いて行うことができる。具体的には、板状ガラスの両面に上下からラップ定盤を押圧させ、遊離砥粒を含む研削液を板状ガラスの主表面上に供給し、これらを相対的に移動させてラッピング加工を行う。このラッピング加工により、平坦な主表面を有するガラス基板を得ることができる。
【００３２】
（２）端部形状工程（穴部を形成するコアリング工程、端部（外周端部及び内周端部）に面取り面を形成するチャンファリング工程（面取り面形成工程））
コアリング工程においては、例えば、円筒状のダイヤモンドドリルを用いて、このガラス基板の中心部に内孔を形成し、円環状のガラス基板とする。チャンファリング工程においては、内周端面及び外周端面をダイヤモンド砥石によって研削し、所定の面取り加工を施す。
【００３３】
（３）第２ラッピング工程
第２ラッピング工程においては、得られたガラス基板の両主表面について、第１ラッピング工程と同様に、第２ラッピング加工を行う。この第２ラッピング工程を行うことにより、前工程である切り出し工程や端面研磨工程において主表面に形成された微細な凹凸形状を予め除去しておくことができ、後続の主表面に対する研磨工程を短時間で完了させることができるようになる。
【００３４】
（４）端面研磨工程
端面研磨工程においては、ガラス基板の外周端面及び内周端面について、ブラシ研磨方法により、鏡面研磨を行う。このとき、研磨砥粒としては、例えば、酸化セリウム砥粒を含むスラリー（遊離砥粒）を用いることができる。この端面研磨工程により、ガラス基板の端面は、ナトリウムやカリウムの析出の発生を防止できる鏡面状態になる。
【００３５】
（５）主表面研磨工程（第１研磨工程）
主表面研磨工程として、まず第１研磨工程を施す。第１研磨工程は、前述のラッピング工程で主表面に残留したキズや歪みの除去を主たる目的とする工程である。この第１研磨工程においては、遊星歯車機構を有する両面研磨装置により、硬質樹脂ポリッシャを用いて、主表面の研磨を行う。研磨剤としては、酸化セリウム砥粒を用いることができる。
【００３６】
（６）化学強化工程
化学強化工程においては、前述のラッピング工程及び研磨工程を終えたガラス基板に化学強化を施す。化学強化に用いる化学強化液としては、例えば、硝酸カリウム（６０％）と硝酸ナトリウム（４０％）の混合溶液などを用いることができる。化学強化においては、化学強化液を３００℃〜４００℃に加熱し、洗浄済みのガラス基板を２００℃〜３００℃に予熱し、化学強化溶液中に３時間〜４時間浸漬することによって行う。この浸漬の際には、ガラス基板の表面全体が化学強化されるようにするため、複数のガラス基板が端面で保持されるように、ホルダに収納した状態で行うことが好ましい。
【００３７】
このように、化学強化溶液に浸漬処理することによって、ガラス基板の表層のリチウムイオン及びナトリウムイオンが、化学強化溶液中の相対的にイオン半径の大きなナトリウムイオン及びカリウムイオンにそれぞれ置換され、ガラス基板が強化される。
【００３８】
（７）主表面研磨工程（最終研磨工程）
次に、最終研磨工程として、第２研磨工程を施す。第２研磨工程は、主表面を鏡面状に仕上げることを目的とする工程である。第２研磨工程においては、遊星歯車機構を有する両面研磨装置により、軟質発泡樹脂ポリッシャを用いて、両主表面の鏡面研磨を行う。スラリーとしては、第１研磨工程で用いた酸化セリウム砥粒よりも微細な酸化セリウム砥粒やコロイダルシリカなどを用いることができる。
【００３９】
（８）洗浄工程
ガラス基板の表面に研磨材や不純物が付着しているので、これらを除去するための洗浄を行う。洗浄方法には、物理的洗浄と薬液洗浄とがある。物理的洗浄としてスクラブ洗浄と超音波洗浄とがある。薬液洗浄としてガラス基板をエッチングすることによる洗浄、ガラス基板に付着している不純物および研磨材を溶かす薬液を使用した洗浄、界面活性剤を用いて電位を制御することによる洗浄がある。研削工程から第１研磨および第２研磨までの各工程間の洗浄工程では、薬液洗浄＋超音波洗浄が用いられる。
【００４０】
（９）欠陥検査工程
欠陥検査には、全数検査と抜き取り検査とがある。全数検査できるものは全数検査するが、全数検査できないものは抜き取り検査することになる。検査対象の欠陥種として、キズ、汚れ（パーティクル）、素材要因、形状変化がある。クリーンルーム内において、ＡＦＭ（原子間力顕微鏡）を用いて、ガラス基板の表面の状態検査、ＩＤ，ＯＤの面取り角の測定、真円度、同心度の測定等を実施する。第２研磨した後の洗浄後には、ガラス基板をクリーンルームに搬入してビジュアル検査を行う。このとき、ガラス基板に対して、クラックの有無、ゴミの付着、カケ、ワレの有無、研磨材の有無等が検査される。化学強化した後の洗浄後にも、同様のビジュアル検査を行う。このような欠陥検査工程により、ガラス基板の両主表面について、記録面を形成するためのスペックを満足しているか否について判定される。スペックを満足していれば「ＯＫ」、スペックを満足しなければ「ＮＧ」と判断される。「ＮＧ」と判断されたガラス基板は最終製品の対象から除外される。
【００４１】
（１０）基板状況検査工程
収納カセットにおける基板の抜け、板厚の識別には、必要な分解能を満足する撮像装置を用いる。硝種の識別には、基板を透過した光の明るさに差が生じやすい照明の色（波長）を選ぶことが望ましい。基板を入れた収納カセットを一つずつ、撮像装置と照明装置との間に入れ、基板を真横（ガラス基板の一方の端部から他方の端部に向けた方向）から観察するように配置することにより、基板抜け、板厚の検査、硝種の識別を同時に行うことが可能になる。
【００４２】
基板状況検査工程は、ガラス基板の内外径端部の端面研磨工程以降、望ましくは出荷工程の梱包直前に当該検査工程を設けることによって、検査精度を損なわずに、生産効率を犠牲にせず、検査コストを最小限に抑え、上記問題を解決することができる。
上記欠陥検査工程で少なくとも片側が「ＯＫ」であると判別されたガラス基板が収納カセットに収納されるが、当該収納カセットにガラス基板を収納する作業工程で発生するガラス基板の抜け、板厚又は硝種の異なるガラス基板の混入を検査する。
【００４３】
図１は基板状況検査工程において用いられる検査装置の概略図である。
収納カセット３０は、図４に示す収納カセット２１と同様に、複数枚のガラス基板Ｄを所定の間隔を配して収納する構造を有しており、さらにガラス基板Ｄの一方の端部から他方の端部に掛けて光が透過する構造を有する。本例では、収納カセット３０は、少なくとも底蓋２１ａ及び上蓋２１ｂが照明光を透過する透光性材料で形成されている。
【００４４】
同図に示す検査装置は、収納カセット３０の上方に撮像装置３１を配置し、収納カセット３０の下方に照明装置３２を配置している。収納カセット３０は、内部に収納されたガラス基板Ｄが直立した状態となるように配置しており、撮像装置３１はガラス基板Ｄのエッジ側から撮像する。撮像装置３１の撮像範囲は収納カセット３０の全体をカバーするように設定される。照明装置３２は収納カセット３０を下方側から均一に照明する照明光を生成する。照明装置３２は、電源３２ａと、ＬＥＤバックライト３２ｂと、及び照明光を青、白、赤に切り替え可能なカラーフィルタ３２ｃとを備える。
【００４５】
撮像装置３１は、例えば５００万画素のＣＣＤカメラで構成することができるが、図２に示すように例えば２００万画素のＣＣＤカメラを２台併設して構成しても良い。２台のＣＣＤカメラで構成する場合、図２に示すように視野範囲を一部オーバーラップさせるように設定することが好ましい。後述する画像処理においてカメラ視野の端を使用しなくて済むので、収納カセットケースの全体に渡り、高い認識精度を実現できる。
【００４６】
図５に検査装置に求められるカメラ仕様と台数について示している。５００万画素と２００万画素の２種類について検証した。視野が広くて分解能が高ければ全体の測定を１台でカバーできるが、カメラ価格が高価となる。ＣＣＤカメラを用いる場合、２００万画素のカメラを２台使う場合が費用対効果の面から推奨される。
【００４７】
検査装置３３は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等のハードウエア資源と後述する検査用画像処理プログラムとが有機的に協働して所定の検査機能を実現する情報処理組織を構築する。検査装置３３には、撮像画像及び検査結果を表示可能な表示装置３４が接続される。検査装置３３に対する検査者の指示入力は入力装置３５から行われる。ここで、検査装置３３において行われるガラス基板の抜け、板厚又は硝種の異なるガラス基板の混入を検査するための検査機能について説明する。
【００４８】
最初に、ガラス基板の抜けを画像処理にて検出するための処理内容について説明する。
照明装置３２から所定波長（例えば白色光）の照明光にて収納カセット３０の全長を下方から略均一に照明する。撮像装置３１が収納カセット３０の上面を撮像して検査装置３３へ画像データを出力する。図１に模式的に示すように、収納カセット３０に収納されたガラス基板Ｄは下端部を底蓋２１ａから上蓋２１ｂに向けて直立すると共に、隣接するガラス基板Ｄ間に一定の隙間を空けて配列されている。したがった、ガラス基板Ｄ間を通過する照明光とガラス基板Ｄを一方の端部から他方の端部に向けて通過する照明光とで透過光量が相異してコントラスト画像が形成される。
【００４９】
図３（ａ）は、撮像装置３１で収納カセット３０の上蓋２１ｂ側から撮影した上面画像の模式図である。同図には、収納カセット３０に形成された任意位置Ｓ１のリブ間からガラス基板を抜いた状態とした場合の撮像画像を示している。同図に示すように、収納カセット３０に収納したガラス基板Ｄの間隔と同一ピッチでコントラストが形成されている。そして、ガラス基板を抜いた位置のピッチだけが他の領域と異なるピッチとなっている。検査装置３３は、図３（ａ）に示す入力画像（所定ピッチのコントラスト画像）の一方からピッチ間隔が閾値より大きい場所が存在するか否か画像処理により検査する。ピッチ間隔に対する閾値は、収納カセット３０におけるガラス基板間間隔と撮像装置３１の撮像倍率とを基準に定めることができる。
【００５０】
また、コントラスト画像のピッチ間隔と閾値とを比較する方式の他にも、コントラスト画像から画像処理にてガラス基板の枚数を計数するようにしても良い。ガラス基板に相当する領域は縦長の暗部となるので、この縦長暗部の本数を画像処理にて数え、収納カセット３０のガラス基板収納予定枚数と比較する。縦長暗部の本数＜ガラス基板収納予定枚数であれば、ガラス基板の抜けがあると判定できる。
【００５１】
次に、異なる板厚のガラス基板が混入したか否かを画像処理にて検出するための処理内容について説明する。
上述したように、撮像装置３１から得られるコントラスト画像は、ガラス基板に相当する領域は縦長の暗部となるので、この縦長暗部の幅Ｗを画像処理で計測することで、異なる板厚のガラス基板が混入したか否かを検出できる。
【００５２】
図３（ｂ）は撮像装置３１で収納カセット３０の上蓋２１ｂ側から撮影した上面画像の模式図である。同図には、収納カセット３０に収納されたガラス基板Ｄのうち任意の１つに他と比べて板幅の厚いガラス基板を混在させた場合の撮像画像を示している。同図に示すように、収納カセット３０に収納したガラス基板Ｄの板厚と同一幅で縦長の暗部が形成されている。本来の板厚を有するガラス基板Ｄの縦長暗部の幅がＷ１であるのに対して、板幅の厚いガラス基板に相当する縦長暗部の幅はＷ２（＞Ｗ１）となっている。検査装置３３は、図３（ｂ）に示す入力画像（板厚相当の暗部が連続するコントラスト画像）の一方から縦長暗部の幅Ｗが閾値より大きい暗部が存在するか否か画像処理により検査する。縦長暗部の幅Ｗに対する閾値は、収納カセット３０に収納したガラス基板Ｄの本来の板厚Ｗ１と撮像装置３１の撮像倍率とを基準に定めることができる。また、混入する可能性がある他の板厚Ｗ２を基準に含めて閾値を決定しても良い。
【００５３】
また、収納カセット３０に本来の板厚がＷ２で、それも薄い板厚Ｗ１のガラス基板が混在する場合もある。この場合は、薄い板厚Ｗ１のガラス基板を検出できるように閾値及び検査アルゴリズムを構成する。
【００５４】
図６は板厚が６３５ミクロン、８００ミクロンの２種類のガラス基板について、図１に示すシステムを用いて板厚測定した測定結果を示している。５００万画素、２００万画素のＣＣＤカメラを撮像装置としてそれぞれ使用している。同図において、平均は１０回の測定による基板の板厚に相当する画素数（単位：ピクセル）の平均を示しており、δは繰返し測定誤差（標準偏差）を示している。
【００５５】
図７は板厚差の検出に必要なカメラ分解能を示している。縦軸には、板厚が６３５ミクロン、８００ミクロンの２種類のガラス基板の板厚差に相当する画素数を示している。また、図８は板厚が６３５ミクロン、８００ミクロンの２種類のガラス基板の板厚差検出結果を示している。板厚が６３５ミクロン、８００ミクロンの２種類のガラス基板の板厚差が３画素以上の差として検出される。したがって、６３５ミクロン、８００ミクロンの２種類のガラス基板の板厚差を検出する場合は、閾値として２画素から３画素の値を設定すればよい。
【００５６】
次に、異なる硝種のガラス基板が混入したか否かを画像処理にて検出するための処理内容について説明する。
【００５７】
本発明では透過率が異なる硝種のガラス基板を対象とする。
【００５８】
第１の硝種と第２の硝種は異なる波長特性を有しており、ＬＥＤバックライト３２ｂの発色（波長）を選ぶことでより、透過率の差が顕著になり、検出精度を向上できる。
【００５９】
本発明者は、第１のガラス基板と第２のガラス基板であって、内外径両方の端面研磨を行った各基板を用いて青、白、赤の各照明光に対する透過率を検証した。第１のガラス基板と第２のガラス基板を、青、白、赤のＬＥＤバックライトでそれぞれ照明して、基板を真横から観察した所、赤色照明の場合に、第１のガラス基板よりも第２のガラス基板の方が暗くなり、周囲とのコントラストがはっきり出ることが分かった。
【００６０】
次に、赤色のバックライトを使い、内外径のどちらか、あるいは、両方が端面研磨されていないガラス基板を観察したところ、更に暗くなったものの、硝種間の差は無かった。
【００６１】
このことから、ガラス基板は照明光が透過するように内外径両方が端面研磨されている必要があることが分かった。また、両面が研磨された基板を使い、照明を基板の片面側に配置して、もう一方の面側にＣＣＤカメラを配置して観察した所、硝種による明暗の差は無かった。前者のように光が透過する距離（基板下端から上端）を長くする必要があることが分かった。
【００６２】
したがって、異なる硝種のガラス基板が混入したか否かの検査に移行する場合、照明装置３２のカラーフィルタ３２ｃを白色用から赤色照明用に切り替えることとした。赤色照明光によって照明されたガラス基板のコントラスト画像を撮像装置３１で撮影して検査装置３３へ出力する。このとき、ガラス基板Ｄの下端から照明されるので、光が透過する距離（基板下端から上端）を長くなり、硝種間による明暗が明確になる。
【００６３】
検査装置３３では、第１の硝種と第２の硝種とで明るさが異なるので、第１の硝種を収納した収納カセット３０から所定の閾値よりも低い暗いガラス基板があれば、第２の硝種が混在したと判断する。逆に、第２の硝種を収納した収納カセット３０から所定の閾値よりも明るいガラス基板があれば、第１の硝種が混在したと判断する。
【００６４】
なお、撮像装置３１で撮影した入力画像を表示装置３４に同時に表示しても良い。表示装置３４には画像とともに検査結果を表示することが好ましい。検査者は、検査装置３３が自動的に入力画像を画像処理して得られた検査結果が表示装置３４に表示されるので、人間系による目視観察を介在することなく、又は目視観察と共に検査を完了することができる。
【００６５】
なお、ガラス基板を収納カセット３０に入れ、透明な梱包袋で梱包した状態で上記同様の実験をしたところ、梱包袋のシワが誤ってガラス基板に見える場合、画像がぼやけて明暗のコントラストが付きにくいことが分かった。また、不透明な梱包袋を使った場合は、光が全く透過しなかった。したがって、梱包前に検査を行う必要があることが分かった。
【００６６】
また、カセットの上下蓋を外した場合と付けた場合で比較したところ、前者の方が、基板抜け、板厚の測定、硝種の識別の感度が高いことが分かったが、後者でも誤り無く可能であることが分かった。但し、前者については、検査中にホコリが基板に付着する場合があった。検査は上下蓋をつけたほうがより良いことが分かった。
【００６７】
また、上記検査を最終洗浄工程の直後に実施したところ、故意に基板抜けをつくり、板厚や異硝種を混在させても、正確に検査を行うことができた。しかし、その後の最終検査や梱包、出荷工程において、基板抜けの検出は出来たものの、基板抜けの補充やバッチミックスを行う際に、板厚の混在や異硝種の混在が発生した。このことから、出荷梱包の直前に検査を実施する必要があることが分かった。
【００６８】
また、上記検査を出荷梱包直前に実施したところ、故意に基板抜けをつくり、板厚や異硝種を混在させても、正確に検査を行うことが出来、出荷で上記の問題が起きないことが分かった。
【００６９】
（１１）磁気ディスク製造工程
上述した出荷前検査工程の後、搬送工程を経て収納カセットに収納されたガラス基板が磁気ディスク製造設備へ運び込まれる。磁気ディスク製造設備では、ガラス基板の両面に、Ｃｒ合金からなる付着層、ＦｅＣｏＣｒＢ合金からなる軟磁性層、Ｒｕからなる下地層、ＣｏＣｒＰｔ−ＴｉＯ２合金からなる垂直磁気記録層、水素化炭素からなる保護層、パーフルオロポリエーテルからなる潤滑層を順次成膜することにより、垂直磁気記録ディスクを製造する。
【００７０】
本発明は上記実施の形態に限定されず、適宜変更して実施することができる。上記実施の形態における材質、個数、サイズ、処理手順などは一例であり、本発明の効果を発揮する範囲内において種々変更して実施することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。
【符号の説明】
【００７１】
２１  収納カセット
３１  撮像装置
３２  照明装置
３２ａ  電源
３２ｂ  ＬＥＤバックライト
３２ｃ  カラーフィルタ
３３  検査装置
３４  表示装置
３５  入力装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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