(57)【要約】【課題】  光源の交換のためのメンテナンス作業がより簡単で、その結果、クリーンルーム全体としてのメンテナンス時間をより短くすることができるクリーンルーム用照明器具とする。【解決手段】  半導体集積回路素子等が製造されるクリーンルームＣＲの天井裏ＴＵに気密状態で埋め込まれる埋込筐体１００と、この埋込筐体１００に着脱可能に取り付けられ、クリーンルームＣＲの天井面ＴＭに露出する照明ユニット２００とを備えている。照明ユニット２００は、複数個の発光ダイオードが設けられた平板状の板状部材２１０と、この板状部材２１０が取り付けられるユニット枠体２２０と、このユニット枠体２２０に取り付けられ、板状部材２１０と対向する透光性を有する正方形状の透光板２３０とを有している。【選択図】      図１
2011028970.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体集積回路素子等が製造されるクリーンルームの天井裏に気密状態で埋め込まれる埋込筐体と、この埋込筐体に着脱可能に取り付けられ、クリーンルームの天井面に露出する照明ユニットとを具備することを特徴とするクリーンルーム用照明器具。
【請求項２】
前記照明ユニットは、複数個の発光ダイオードが設けられた平板状の板状部材と、この板状部材が取り付けられるユニット枠体と、このユニット枠体に取り付けられ、前記基板と対向する透光性を有する透光板とを具備することを特徴とする請求項１記載のクリーンルーム用照明器具。
【請求項３】
前記板状部材は、複数個の発光ダイオードが実装された基板と、この基板が取り付けられる平板状の反射板とを有しており、前記反射板の表面は発光ダイオードからの光を反射する表面処理が施されていることを特徴とする請求項２記載のクリーンルーム用照明器具。
【請求項４】
前記ユニット枠体は、額縁状の枠体本体と、板状部材の反射板の隅部に取り付けられるとともに、前記反射板に連結される隅部アングルと、前記枠体本体の外枠部の内側に取り付けられる押さえ部材とを具備しており、前記枠体本体の内側フランジ部と前記押さえ部材とで透光板の縁部を挟み込んで固定することを特徴とする請求項２又は３記載のクリーンルーム用照明器具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路素子等が製造されるクリーンルームに好適なクリーンルーム用照明器具に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路素子等が製造されるクリーンルームの照明には、クリーンルーム内のクリーン度を確保することができる仕様が要求される。かかるクリーンルーム用照明器具としては、密閉形構造が一般的である。例えば、本願出願人は、『前面のみが開口された容器状の器具本体と、その器具本体内に収容される光源と、器具本体の前面開口部を覆う形状の前面ガラスと、この前面ガラスを器具本体に対し着脱自在に装着するための前面枠を有し、その前面ガラスと前面枠を装着した状態で器具内部の気密が保持される構造の照明器具において、器具内部で上記光源からの放射光が当たる部分の少なくとも一部に酸化チタン等が塗布されていることを特徴とする密閉形照明器具。』（特開平０９−３０６２１８号公報）を開発した。
【０００３】
しかしながら、この密閉形照明器具は、光源の交換等のメンテナンスに際して、前面ガラスの前面枠ごとの取外作業、光源である蛍光ランプの交換作業、前面ガラスの前面枠ごとの取付作業という少なくとも３段階の作業が必要となっていた。
【０００４】
【特許文献１】特開平０９−３０６２１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、この密閉形照明器具では、上述した少なくとも３段階の作業が必要になるため、比較的長いメンテナンス時間がかかっていた。また、光源に手で直接触れるため、光源の交換作業の後に光源の清掃作業が必要になっていた。
また、クリーンルームでは、照明器具のメンテナンス作業時間の他に、メンテナンス作業が終了した後にクリーンルーム内のクリーン度を所定の値まで回復させるための時間が必要となる。すなわち、１つの照明器具のメンテナンス時間がわずかでも長くなれば、クリーンルーム全体としてのメンテナンス時間は大幅に長くなってしまうのである。
【０００６】
本発明は、上記事情に鑑みて創案されたもので、光源の交換のためのメンテナンス作業がより簡単で、その結果、クリーンルーム全体としてのメンテナンス時間をより短くすることができるクリーンルーム用照明器具を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るクリーンルーム用照明器具は、半導体集積回路素子等が製造されるクリーンルームの天井裏に気密状態で埋め込まれる埋込筐体と、この埋込筐体に着脱可能に取り付けられ、クリーンルームの天井面に露出する照明ユニットとを備えている。
【０００８】
前記照明ユニットは、複数個の発光ダイオードが設けられた平板状の板状部材と、この板状部材が取り付けられるユニット枠体と、このユニット枠体に取り付けられ、前記基板と対向する透光性を有する透光板とを備えている。
【０００９】
前記板状部材は、複数個の発光ダイオードが実装された基板と、この基板が取り付けられる平板状の反射板とを有しており、前記反射板の表面は発光ダイオードからの光を反射する表面処理が施されている。
【００１０】
前記ユニット枠体は、額縁状の枠体本体と、板状部材の反射板の隅部に取り付けられるとともに、前記反射板に連結される隅部アングルと、前記枠体本体の外枠部の内側に取り付けられる押さえ部材とを備えており、前記枠体本体の内側フランジ部と前記押さえ部材とで透光板の縁部を挟み込んで固定するようになっている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係るクリーンルーム用照明器具は、光源の交換の際のメンテナンスも照明ユニットを交換するだけでよいので、交換作業に要する時間を短くすることができる。その結果、メンテナンスのためのクリーンルームの非稼働時間を短くすることができる。また、交換作業が簡単なので、クリーンルームのクリーン度を回復させるための時間も短くて済む。
【００１２】
特に、照明ユニットが、複数個の発光ダイオードが設けられた平板状の板状部材と、この板状部材が取り付けられるユニット枠体と、このユニット枠体に取り付けられ、前記基板と対向する透光性を有する透光板とから構成されるため、照明ユニットを薄型に形成することができ、メンテナンスのための搬送時間を短く、搬送スペースを少なくて済む。また、光源である発光ダイオードに手で直接触れることがないので、手の油等が光源に付着することがなく、従来のような光源の清掃作業が不要になる。これはすべてメンテナンス時間の短縮につながる。
【００１３】
また、照明ユニットをユニット化することで部品点数の削減をも図れる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施の形態に係るクリーンルーム用照明器具の要部の内部構造を示す概略的断面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るクリーンルーム用照明器具の板状部材の概略的底面部である。
【図３】本発明の実施の形態に係るクリーンルーム用照明器具の隅部アングルの図面であって、同図（Ａ）は概略的平面図、同図（Ｂ）は概略的正面図、同図（Ｃ）は概略的底面である。
【図４】本発明の実施の形態に係るクリーンルーム用照明器具の枠体本体の図面であって、同図（Ａ）は概略的平面図、同図（Ｂ）は概略的正面図、同図（Ｃ）は同図（Ｂ）のα部の概略的拡大断面図である。
【図５】発明の実施の形態に係るクリーンルーム用照明器具の押さえ部材の図面であって、同図（Ａ）はバネ取付部材が設けられたタイプの概略的正面図、同図（Ｂ）はバネ取付部材が設けられたタイプの概略的側面図、同図（Ｃ）はバネ取付部材がないタイプの概略的正面図、同図（Ｄ）はバネ取付部材がないタイプの概略的側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図１は本発明の実施の形態に係るクリーンルーム用照明器具の要部の内部構造を示す概略的断面図、図２は本発明の実施の形態に係るクリーンルーム用照明器具の板状部材の概略的底面部、図３は本発明の実施の形態に係るクリーンルーム用照明器具の隅部アングルの図面であって、同図（Ａ）は概略的平面図、同図（Ｂ）は概略的正面図、同図（Ｃ）は概略的底面、図４は本発明の実施の形態に係るクリーンルーム用照明器具の枠体本体の図面であって、同図（Ａ）は概略的平面図、同図（Ｂ）は概略的正面図、同図（Ｃ）は同図（Ｂ）のα部の概略的拡大断面図、図５は発明の実施の形態に係るクリーンルーム用照明器具の押さえ部材の図面であって、同図（Ａ）はバネ取付部材が設けられたタイプの概略的正面図、同図（Ｂ）はバネ取付部材が設けられたタイプの概略的側面図、同図（Ｃ）はバネ取付部材がないタイプの概略的正面図、同図（Ｄ）はバネ取付部材がないタイプの概略的側面図である。
【００１６】
本発明の実施の形態に係るクリーンルーム用照明器具は、図１に示すように、半導体集積回路素子等が製造されるクリーンルームＣＲの天井裏ＴＵに気密状態で埋め込まれる埋込筐体１００と、この埋込筐体１００に着脱可能に取り付けられ、クリーンルームＣＲの天井面ＴＭに露出する照明ユニット２００とを備えている。
【００１７】
前記埋込筐体１００は、金属板を折曲、溶接等して構成したものであって、底面部分が開放された直方体状に形成されている。内側上面１３０には光源である発光ダイオード（図示省略）を駆動する駆動回路やトランス等の電源部３００等が取り付けれらている。
【００１８】
かかる埋込筐体１００の周縁部には外側に向かったフランジ部１１０が形成されている。このフランジ部１１０は、終端が上方向に折曲されている。かかるフランジ部１１０には、パッキン材１２０が取り付けられている。このパッキン材１２０は、埋込筐体１００がクリーンルームＣＲの天井面ＴＭに開設された取付用開口ＴＫに嵌め込まれた状態で、クリーンルームＣＲ内部の気密状態を維持するためのものである。
また、この埋込筐体１００の対向する２つの内側側面１４０には、後述する照明ユニット２００を着脱自在に取り付けるための取付用係止部材１５０が向かい合った状態で合計４個取り付けられている。
【００１９】
このように構成された埋込筐体１００は、天井面ＴＭに開設された取付用開口ＴＫに嵌め込まれ、わずかにフランジ部１１０が天井面ＴＭに出た状態で天井面ＴＭに固定される。パッキン材１２０は、天井面ＴＭの取付用開口ＴＫの周縁部に密着し、更にパッキン材２２１Ｄを合わせることでクリーンルームＣＲ内部の気密状態を維持する。
【００２０】
一方、埋込筐体１００に着脱可能に取り付けられる前記照明ユニット２００は、複数個の発光ダイオードが設けられた平板状の板状部材２１０と、この板状部材２１０が取り付けられるユニット枠体２２０と、このユニット枠体２２０に取り付けられ、前記板状部材２１０と対向する透光性を有する正方形状の透光板２３０とを有している。
【００２１】
前記板状部材２１０は、複数個の発光ダイオードが実装された基板２１１と、この基板２１１が複数枚（図２では１２枚）取り付けられる平板状の反射板２１２とを有しており、前記反射板２１２の表面は発光ダイオードからの光を反射する表面処理が施されている。なお、基板２１１の数や配置パターンは、反射板２１２の大きさや要求される照度に応じて変更されるものである。
【００２２】
前記基板２１１は、複数個の発光ダイオードがチップの状態で実装されるとともに各発光ダイオードが予め電気的に接続されたものである。この基板２１１に実装された発光ダイオードは、図１に示すように、電源部３００の電源ライン２６０にコネクタ２７０によって接続されている。
【００２３】
前記反射板２１２は、例えば、アルミニウム板に白色塗料を塗布することで光を反射する表面処理が施されたものであって、埋込筐体１００に対応するように略正方形状に形成されている。かかる反射板２１２の四隅には、中心に向かった短い溝２１２Ａが形成されている。また、対向する２つの辺には、照明ユニット２００を埋込筐体１００に着脱自在に取り付けるための後述するバネ取付部材２２４が通過するための切欠部２１２Ｂが向かい合った状態で合計４個形成されている。
【００２４】
また、前記ユニット枠体２２０は  額縁状の枠体本体２２１と、板状部材２１０の反射板２１２の隅部に取り付けられるとともに、前記反射板２１２に連結される隅部アングル２２２と、前記枠体本体２２１の外枠部２２１Ａの内側に取り付けられる２種類の押さえ部材２２３Ａ、２２３Ｂとを備えており、前記枠体本体２２１の内側フランジ部２２１Ｂと前記押さえ部材２２３Ａ、２２３Ｂとで透光板２３０の縁部を挟み込んで固定するようになっている。
【００２５】
前記枠体本体２２１は、金属板を金属板を折曲、溶接等して構成したものであって、外枠部２２１Ａと、この外枠部２２１Ａの終端を内側に折曲して形成した内側フランジ部２２１Ｂと、この内側フランジ部２２１Ｂからより外側に向かって折曲して形成された外側フランジ部２２１Ｃとを有している。なお、この外側フランジ部２２１Ｃの上面部には、埋込筐体１００の周縁部には外側に向かったフランジ部１１０に密着するパッキン材２２１Ｄが取り付けられている。
【００２６】
前記外枠部２２１Ａの内側は、反射板２１２より若干大きな開口として開放されている。従って、反射板２１２、すなわち板状部材２１０は、隅部アングル２２２を介してユニット枠体２２０の枠体本体２２１に取り付けられる。
【００２７】
前記隅部アングル２２２は、板状部材２１０の反射板２１２の四隅に取り付けられて、板状部材２１０と枠体本体２２１とをつなぐものである。かかる隅部アングル２２２は、図３に示すように、略直角三角形状の直交する２辺から垂直方向に連結部２２２Ａが折曲されており、内側部には円形のスペーサー２２２Ｂが取り付けられている。
【００２８】
前記連結部２２２Ａは、外枠部２２１Ａにビス４００で連結される。また、前記スペーサー２２２Ｂは、２つの円盤部を軸部を介して対向させたものであって、２つの円盤部のギャップは反射板２１２の厚さ寸法より若干大きく設定されている。また、前記軸部は、反射板２１２の四隅の溝２１２Ａより若干幅狭に設定されている。
【００２９】
前記押さえ部材２２３Ａ、２２３Ｂは、透光板２３０の４つの縁部を内側フランジ部２２１Ｂとで挟み込むものであり、全体として側面視略Ｌ字形状の長尺物として構成されている。押さえ部材２２３Ａは、図５（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、取付用バネ部材２５０を取り付けるためのバネ取付部材２２４が設けられたタイプである。また、押さえ部材２２３Ｂは、バネ取付部材２２４がないタイプである。
【００３０】
この押さえ部材２２３Ａ、２２３Ｂは、それぞれ２つずつ用いられる。すなわち、バネ取付部材２２４が設けられた押さえ部材２２３Ａは、反射板２１２の切欠部２１２Ｂが設けられた辺に対応するものであり、バネ取付部材２２４がない押さえ部材２２３Ｂは、反射板２１２の切欠部２１２Ｂが設けられていない辺に対応するものである。
【００３１】
透光板２３０は例えば、強化ガラス又はポリカーボネートであって、４つの縁部にはパッキン材２３１が取り付けられている。
【００３２】
上述したように、この照明ユニット２００では、反射板２１２と透光板２３０とが一体に設けられているのである。
【００３３】
上述した板状部材２１０と、ユニット枠体２２０と、透光板２３０とを有する照明ユニット２００は、次のような手順で組み立てられる。
まず、板状部材２１０、すなわち基板２１１が取り付けられた反射板２１２の四隅に溝２１２Ａを用いて隅部アングル２２２を取り付ける。透光板２３０の４つの縁部には、パッキン材２３１を予め取り付けておく。
【００３４】
透光板２３０を枠体本体２２１の内側フランジ部２２１Ｂの上に載せ、透光板２３０の４つの縁部を押さえ板２２３Ａ、２２３Ｂで押さえる。その際、バネ取付部材２２４が設けられた押さえ板２２３Ａは板状部材２１０の切欠部２１２Ｂに対応させ、バネ取付部材２２４がない押さえ板２２３Ｂは切欠部２１２Ｂがない部分に対応させる。
【００３５】
なお、バネ取付部材２２４に中央がループ部２５１となった略逆ハ字形状の取付用バネ部材２５０を取り付けておく。
【００３６】
次に、隅部アングル２２２の連結部２２２Ａが、枠体本体２２１の外枠部２２１Ａの外側に位置するように、隅部アングル２２２ごと板状部材２１０を枠体本体２２１に組み付ける。そして、連結部２２２Ａと枠体本体２２１と押さえ板２２３Ａとをビス４００で連結する。なお、押さえ板２２３Ｂも枠体本体２２１の外枠部２２１Ａとともにビス（図示省略）で連結する。
【００３７】
これによって、ユニット枠体２２０が完成すると同時に照明ユニット２００も完成する。
【００３８】
一方、埋込筐体１００は、図示しないボルト等によってクリーンルームＣＲの天井面ＴＭに開設された取付用開口ＴＫに埋め込まれている。そして、クリーンルームＣＲとその天井裏ＴＵとは、パッキン材１２０、２２１Ｄによって遮断され、クリーンルームＣＲ内部の気密状態が維持されている。
【００３９】
かかる埋込筐体１００に下側から取付用バネ部材２５０を取付用係止部材１５０に嵌め込むことによって、照明ユニット２００を埋込筐体１００に取り付ける。枠体本体２２１の外側フランジ部２２１Ｃが、埋込筐体１００のフランジ部１１０を覆い隠すことになる。
【００４０】
照明ユニット２００の交換は、照明ユニット２００の取外作業及び取付作業という２段階の作業のみで交換することができるのである。
すなわち、照明ユニット２００の埋込筐体１００から取り外すとともに、電源ライン２６０のコネクタ２７０を取り外す（すなわち、照明ユニット２００を電源部３００から取り外す）という取外作業と、新たな照明ユニット２００のコネクタ２７０を取り付ける（すなわち、照明ユニット２００を電源部３００に取り付ける）とともに、取付用バネ部材２５０を取付用係止部材１５０に嵌め込むという取付作業という２段階の作業のみで交換することができるのである。
【００４１】
このクリーンルーム用照明器具を用いると、従来のようの交換作業、すなわち前面ガラスの前面枠ごとの取外作業、光源である蛍光ランプの交換作業、前面ガラスの前面枠ごとの取付作業という３段階の作業より作業工数が少なく、そのため、光源の交換のためのメンテナンス作業がより簡単で、その結果、クリーンルーム全体としてのメンテナンス時間をより短くすることができるのである。
【符号の説明】
【００４２】
１００    埋込筐体
２００    照明ユニット
２１０    板状部材
２２０    ユニット枠体
２３０    透光板２３０
ＣＲ      クリーンルーム
ＴＭ      （クリーンルームの）天井面
ＴＵ      （クリーンルームの）天井裏
ＴＫ      （クリーンルームの）取付用開口
【図１】
2011028970.tif 000003
【図２】
2011028970.tif 000004
【図３】
2011028970.tif 000005
【図４】
2011028970.tif 000006
【図５】
2011028970.tif 000007