(57)【要約】      （修正有）【課題】ムービングマグネット型の駆動部を有する変形可能ミラー装置の応答速度、変形精度を向上する。【解決手段】ミラー面が形成された可撓性部材を変形させるにあたり、駆動力発生部により発生した駆動力を駆動力伝達部により伝達して可撓性部材に印加するものとし、且つ上記駆動力伝達部の先端部は、可撓性部材側に対して固着せず当接させる。これによりミラー面の変形にあたり可動側となる可動側部の質量を従来例の場合よりも大幅に削減でき、可動側部の固有振動数の値をより大とすることができる。また上記駆動力伝達部は、その先端部が球面状とされた柱状部を、ケースにおけるガイド孔に挿入するようにして設ける。これにより、先端部によって上記可撓性部材の押圧基準点に縦方向（上記ケースの表面に垂直な方向）の押圧力が正確に印加されるようにすることができ、ミラー面の変形精度の向上を図ることができる。【選択図】図１
2011070052.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面にミラー面が形成されると共に、上記表面とは逆側の裏面側に凸となるように与えられた断面形状パターンであって所定の押圧基準点において断面厚が最大となる凸部を有するように設定された断面形状パターンが与えられ且つ、当該断面形状パターンが与えられた変形可能領域よりも外側となる部分に上記裏面側に凸となるフレーム部が形成された可撓性部材と、
その表面側にガイド孔の形成に伴う開口部が形成され、且つその内部に上記ガイド孔と連接する内部孔が形成されると共に、上記表面側において、上記可撓性部材の上記フレーム部が上記開口部の中心と上記押圧基準点とが一致するように位置決めされて固着されたケース部と、
先端部が球面状とされた柱状部を有し、当該柱状部が、上記可撓性部材の上記押圧基準点に形成された上記凸部に上記球面状の先端部が当接するようにして上記ガイド孔に挿入された駆動力伝達部と、
上記ケース部における上記内部孔内に設けられ且つその一端側が上記駆動力伝達部における上記先端部とは逆側の端部と接合される共に、上記駆動力伝達部を上記可撓性部材側に押圧する駆動力を発生する駆動力発生部と
を備える変形可能ミラー装置。
【請求項２】
上記駆動力発生部は圧電素子を備えて構成される請求項１に記載の変形可能ミラー装置。
【請求項３】
上記駆動力伝達部における上記柱状部の先端部は球体が取り付けられて球面状とされている請求項１に記載の変形可能ミラー装置。
【請求項４】
さらに、上記駆動力伝達部を上記ケース部の裏面側方向に付勢する付勢部材を備える請求項１に記載の変形可能ミラー装置。
【請求項５】
上記駆動力伝達部は、上記柱状部の付け根部分に台座部が形成されて略Ｔ字状の断面形状を有しており、
上記付勢部材は、上記駆動力伝達素子の上記柱状部を挿通する孔部を有するドーナツ状の皿バネとされる
請求項４に記載の変形可能ミラー装置。
【請求項６】
上記内部孔は上記ケース部の裏面まで貫通しており、且つ上記内部孔における側壁にはネジ穴が形成されていると共に、
上記内部孔の上記ネジ穴に対して累合された調整ネジをさらに備え、当該累合された調整ネジによって上記駆動力発生部の位置が調整されている
請求項１に記載の変形可能ミラー装置。
【請求項７】
さらに、上記内部孔に累合された上記調整ネジの位置を固定するためのロックナットが備えられる
請求項６に記載の変形可能ミラー装置。
【請求項８】
上記可撓性部材における上記断面形状パターンとして、上記押圧基準点から外側にかけて断面厚が階段状に薄くなる階段状パターンが与えられている
請求項１に記載の変形可能ミラー装置。
【請求項９】
上記可撓性部材における上記断面形状パターンは断面厚の異なる複数の楕円凸部により形成されている
請求項８に記載の変形可能ミラー装置。
【請求項１０】
上記可撓性部材には、上記断面形状パターンが与えられた変形可能領域の最外周部分において切り欠きによる肉薄部が形成されている
請求項１に記載の変形可能ミラー装置。
【請求項１１】
表面にミラー面が形成されると共に、上記表面とは逆側の裏面側に凸となるように与えられた断面形状パターンであって所定の押圧基準点において断面厚が最大となる凸部を有するように設定された断面形状パターンが与えられ且つ、当該断面形状パターンが与えられた変形可能領域よりも外側となる部分に上記裏面側に凸となるフレーム部が形成された可撓性部材と、
その表面側にガイド孔の形成に伴う開口部が形成され、且つその内部に上記ガイド孔と連接する内部孔が形成されると共に、上記表面側において、上記可撓性部材の上記フレーム部が上記開口部の中心と上記押圧基準点とが一致するように位置決めされて固着されたケース部と、
先端部が球面状とされた柱状部を有し、当該柱状部が、上記可撓性部材の上記押圧基準点に形成された上記凸部に上記球面状の先端部が当接するようにして上記ガイド孔に挿入された駆動力伝達部と、
上記ケース部における上記内部孔内に設けられ且つその一端側が上記駆動力伝達部における上記先端部とは逆側の端部と接合される共に、上記駆動力伝達部を上記可撓性部材側に押圧する駆動力を発生する駆動力発生部と
を備えた変形可能ミラー素子と、
上記変形可能ミラー素子の上記ミラー面を介した光を受光素子に導くように構成された光学系と、
上記受光素子により得られた受光信号を入力して所要の信号処理を行う信号処理部と
を備える信号処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ミラー面の変形により上記ミラー面を反射した光の焦点位置調整や各種収差補正などを行う変形可能ミラー装置と、当該変形可能ミラー装置のミラー面を介した光を受光してその受光信号についての信号処理を行う信号処理装置とに関する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００２】
【特許文献１】特開平５−１５１５９１号公報
【特許文献２】特開平９−１５２５０５号公報
【特許文献３】特開２００６−１５５８５０号公報
【特許文献４】特開２００９−１３０７０７号公報
【背景技術】
【０００３】
例えば、光ディスク記録媒体（単に光ディスクとも呼ぶ）についての記録又は再生を行うドライブ装置では、対物レンズによりレーザ光を光ディスクの記録層に合焦して、信号の記録再生を行うようにされている。
このように対物レンズを介してレーザ光を照射する場合、光ディスクの表面から記録層までのカバー層の厚さ（カバー厚）の違いに起因して、球面収差が生じることが知られている。例えば、対象とする光ディスクに想定されるカバー厚のときに球面収差が最小となるように光学系が設計されている場合において、カバー厚が想定値と異なる場合には球面収差が生じてしまうことになる。
このことから、光ディスクのカバー厚にムラがある場合には、球面収差が生じる。
【０００４】
また、近年においては、光ディスクの大記録容量化を図るために記録層を多層化しているものがあるが、このように記録層を多層化する場合は、当然各記録層に対するカバー厚は異なるようにされることから、基準となる記録層以外の記録層の記録再生時には球面収差が生じることになる。
球面収差が生じている場合、結像性能が悪化して信号の記録再生性能も悪化することから、これを補正する何らかの手段が必要となる。
【０００５】
従来において、このような光ディスクのカバー厚の差に起因して生じる球面収差の補正を図る技術としては、光学系が備えるミラーの面形状を変形させて行うようにしたものが各種提案されている（例えば上記による各特許文献を参照）。
これらのうち、本出願人は特許文献３や特許文献４に記載される発明を提案している。具体的には、表面にミラー面が形成され、例えば階段状の断面形状パターンなどによる所定の強度分布が与えられた可撓性部材と、この可撓性部材に対して駆動力を印加して、上記ミラー面の形状を変形させる駆動手段とを備える変形可能ミラー装置である。
【０００６】
これら特許文献３や特許文献４に記載の可撓性部材の構成によれば、当該可撓性部材に対する所定の一様な駆動力の印加に応じ、ミラー面を所望の変形形状に変形させることができ、例えば特許文献１に記載されるような、複数の圧電アクチュエータを設けて部分的に異なる駆動力を印加するといった複雑な構成を採らずとも、ミラー面を所望の形状に変形させることができる。つまり、このことによって、変形可能ミラー装置の大型化を防止でき、装置製造コストの削減を図ることができる。
【０００７】
また、特許文献３や特許文献４に記載の発明によれば、可撓性部材は、印加される駆動力のレベルに応じて段階的に所望の変形形状を得ることができるので、ミラー面の変形形状は２種以上とすることができる。これにより、特許文献２に記載の発明のように記録層が３層以上となる場合に対応できなくなってしまう点が改善され、光学系の設計の基準とされた記録層以外に２以上の記録層がある場合にも、それらの全ての記録層にて有効に球面収差補正を行うことができる。
【０００８】
ここで、図９により、本出願人が上記特許文献４により提案した従来例としての変形可能ミラー装置の構成を示しておく。
この図９において、図９（ａ）は従来例としての変形可能ミラー装置１００の断面図（変形前状態）を示し、図９（ｂ）は変形可能ミラー装置１００が備える変形可能ミラー板の断面図を示している。
【０００９】
図９（ａ）に示されるように、変形可能ミラー装置１００には、変形可能ミラー板１０３と、当該変形可能ミラー板１０３の裏面における中央部に固着されたマグネット１０４と、フレーム１０６Ａとベース１０６Ｂとから成るケース１０６と、当該ケース１０６内において上記マグネット１０４を取り囲むようにして設けられた駆動コイル１０５とが備えられている。
【００１０】
図９（ｂ）に示されるように、上記変形可能ミラー板１０３は、可撓性部材１０１の表面に反射膜（ミラー面）１０２が形成されて成る。可撓性部材１０１は例えばシリコンなどとされ、上記反射膜１０２が形成された面とは逆側の面である裏面側において、その最外周部分にケース１０６のフレーム１０６Ａと固着される固着部が形成された上で、それよりも内周側となる部分において、中央部から外周側にかけて断面厚が徐々に薄くなるようにされた階段状の断面形状パターン１０１ａが形成されている。
【００１１】
ここで、可撓性部材１０１においては、上記最外周部に形成された上記固着部を除く上記断面形状パターン１０１ａが与えられた範囲が、変形ミラーとして変形する範囲（変形可能範囲）とされる。つまり、この断面形状パターン１０１ａの形成パターンによって、ミラー面１０２の形状が、後述するようにして可撓性部材１０１の中央部に一様に印加される上下方向への駆動力に応じた所定の形状となるようにされている。
【００１２】
また、可撓性部材１０１の最外周部分には、上記固着部として、断面厚の厚い部分が形成されているが、このことで可撓性部材１０１の最外周部分は、駆動力の印加に対しても変形しない比較的高い強度が確保される。このように可撓性部材１０１の最外周部に高い強度が確保されることで、上記断面形状パターンの与えられた変形可能範囲の駆動力に応じた変化形状を、より理想の変形形状に合わせ易くすることができる。つまり、可撓性部材１０１の最外周部が駆動力の印加に応じて変形されてしまう場合と比較すれば、より高精度に変形形状を理想の形状に近づけることができるものである。
【００１３】
また、この場合の断面形状パターン１０１ａとしては、中央部から徐々に断面厚が薄くなる階段状のパターンを設定するものとしているが、このことによって、可撓性部材１０１に対し駆動力が印加されたときに、応力が一部に集中してしまうことを防止することができ、可撓性部材１０１の割れや疲労破壊を効果的に防止できる。
ここで、ミラー面１０２の変形のために或る駆動力が印加される場合、可撓性部材１０１では内部応力が発生する。そしてこの際、仮に可撓性部材１０１において応力が一点に集中するような部分があると、可撓性部材１０１が等質等方性な材質により構成される場合には、この部分は急激に寸法の変化する箇所となる。
例えば、図９に示されるような階段状のパターンを持たない場合、断面厚差が与えられる部分の間隔が特定の方向において狭まったり広がったりすることになる。そして、この間隔が狭まった部分が、他の部分に比べて応力が集中しやすい部分となり、よって一様な駆動力の印加に対して急激に寸法が変化する部分となる。
このように応力が集中する部分が存在すると、その部分において可撓性部材１０１の許容応力を超える可能性が高まり、これに伴って割れが発生する可能性が高くなる。また、可撓性部材の変形が繰り返し行われることで、この部分での疲労破壊を招く虞もある。
図９に示されるような階段状によるパターンニングが行われることで、パターンの間隔は均等となり、上記のように応力が一部に集中するような部分が生じないようにすることができるものとなって、結果、上記割れや疲労破壊の防止を図ることができる。
【００１４】
図９（ａ）に示されるように、上記可撓性部材１０１を有する変形可能ミラー板１０３は、その裏面側に形成された中央部の凸部に対し、円柱状のマグネット１０４が固着される。
【００１５】
また上述もしたように、変形可能ミラー板１０３の最外周部に形成された固着部は、ケース１０６におけるフレーム１０６Ａに対して固着される。
この場合、フレーム１０６Ａの材料には、例えばホウケイ酸ガラス（borosilicate glass）、一般的には耐熱ガラスや硬質ガラスとして知られるパイレックスガラス（パイレックスは登録商標）が選定される。これは、可撓性部材１０１（シリコン）と同じ熱膨張係数を持ち、陽極接合法等を利用して両者を強固に接合する際の温度変化や接合後の使用環境における温度変化等で熱膨張係数の違いによる両者の伸縮量の差によって生じる変化を回避することが主な理由である。
フレーム１０６Ａには駆動力等による外力に対し初期状態を維持することで変形精度を確保する機能を有する必要があり、可撓性部材よりも厚みを十分に確保して形成することで必要な強度を得て機能を満足させている。熱膨張係数が同じでより高剛性の部材であれば薄型化が達成でき好都合である。
図示するようにフレーム１０６Ａは、その中央部にテーパー状の孔部が貫通しており、その外形形状は四角柱状とされる。フレーム１０６Ａは、このようなテーパー状の孔部によってくり抜かれた部分を有する上下二面の外径寸法が、変形可能ミラー板１０３のミラー面１０２が形成される面の外周寸法と一致しており、これら二面のうち、一方の面において変形可能ミラー板１０３の上記固着部が固着される。この場合、変形可能ミラー板１０３とフレーム１０６Ａとは、互いの中心軸が同軸に配置されるようにして固着される。これにより、上記固着部が、フレーム１０６Ａにおける上記孔部の周囲の部分に対して固着される。
【００１６】
ベース１０６Ｂは、その外形寸法が変形可能ミラー板１０３のミラー面１０２が形成される面と同寸法となる面を有する。そして当該同寸法となる面においては、その最外周部に、上記フレーム１０６Ａの上記変形可能ミラー板１０３と固着される面とは逆側の面を位置決め固着するための溝部が形成されている。具体的には、フレーム１０６Ａの上記変形可能ミラー板１０３と固着される面とは逆側の面におけるテーパー孔の内径と略等しい直径を有する円形の凸部が形成されている。そして、このような凸部の形成に伴う上記溝部において、フレーム１０６Ａが位置決め固着されることで、ベース１０６Ｂの中心とフレーム１０６Ａの中心とが同軸に配置されるようになっている。
さらに、ベース１０６Ｂには、その中心部において、駆動コイル１０５の内壁を勘合するための円形の位置決め凸部が形成されている。具体的にこの凸部は、その中心がベース１０６Ｂの中心と同軸となるように形成され、外径が駆動コイル１０５の内壁を勘合できる大きさに設定されている。このような凸部によって駆動コイル１０５がベース１０６Ｂ側に勘合し固着されることで、マグネット１０４の外面と駆動コイル１０５の内面とが全周にわたって均等距離で離間し、且つマグネット１０４の中心と駆動コイル１０５の中心とが同軸上に配置されるようになっている。
なお、図示は省略したが、上記駆動コイル１０５に対しては、駆動回路からの駆動信号の供給ラインが接続されることになる。
【００１７】
ここで、上記により説明した構成を有する変形可能ミラー装置１００は、駆動回路からの駆動信号が上記駆動コイル１０５に供給されることに応じて、ミラー面１０２が変形することになる。
具体的に、上記駆動信号により駆動コイル１０５が通電されることで、その通電レベルに応じた磁界が発生し、当該発生磁界に応じて駆動コイル１０５の内側に配置されるマグネット１０４が反発力を受ける。この場合、マグネット１０４は円柱の軸方向に着磁されており、従って上記反発力は上下方向（縦方向）において生じる。すなわち、このことで、当該マグネット１０４が固着された変形可能ミラー板１０３の中心部に対して、上記駆動信号のレベルに応じた縦方向への一様な駆動力が印加されることになる。
【００１８】
図１０は、このように駆動信号が供給されてミラー面が変形された場合の変形可能ミラー装置１００の断面図を示している。図１０（ａ）は凸状、図１０（ｂ）は凹状にミラー面１０２が変形した場合を示している。このような凸状、凹状の変化は、駆動コイル１０５に供給する駆動信号の極性を変化させることで得られる。
【００１９】
ここで確認のために述べておくと、このような変形可能ミラー装置１００を用いて球面収差補正やフォーカス制御を行うとした場合には、変形可能ミラー板１０３に印加させる駆動力（つまり駆動コイル１０５に対して与える駆動信号のレベル：駆動信号値）を変化させた際に、それぞれの駆動状態で目標とする焦点に調整されるようにしておく必要がある。つまり、それぞれの駆動状態で目標とする変形形状が得られるようにしておく必要がある。
上記構成による変形可能ミラー装置１００とする場合、各駆動状態で（つまり変形可能ミラー板１０３の中央の凸部の縦方向における変形量に応じて）どのようにミラー面１０２が変化するかの設定は、断面形状パターンの形成パターンの設定によって行うことができる。それぞれの駆動状態で目標とする焦点に調整されるようにするための断面形状パターンの割り出しは、例えばＦＥＭ（Finite Element Method：有限要素法）シミュレーションツールを用いて行うことができる。
【００２０】
ところで、上記により説明した従来例としての変形可能ミラー装置１００では、駆動コイル１０５とマグネット１０４とを備えた電磁アクチュエータにより変形可能ミラー板１０３を変形させる構成としているが、このような電磁アクチュエータによる駆動部を備える構成は、変形可能ミラー板１０３の高速駆動にとって有利となる。
例えば特許文献３には、ミラー面の変形に係る駆動手法として、ケース内の気体圧力を変化させる手法（例えば図２，図３，図６，図８，図９など）が開示されているが、これらの手法と比較して、変形可能ミラー装置１００のように電磁アクチュエータにより直接的に変形可能ミラー板１０３を駆動する手法を採るものとすれば、ミラー面１０２の駆動速度は格段に高めることができる。具体的に、マグネット１０４と駆動コイル１０５とで構成される駆動部自体の応答周波数は数十ｋHz程度に高めることが可能である。
【００２１】
また、従来例としての変形可能ミラー装置１００では、このような電磁力駆動の構成として、マグネット１０４を変形可能ミラー板１０３側（つまり可動側）に固着し、駆動コイル１０５をベース１０６Ｂ側（固定側）に固着するという、ムービングマグネット型の構成を採るものとしているが、このことにより、焦点調整の精度の向上が図られる。
ここで、仮に可動側（変形可能ミラー板１０３側）にコイルを固着する構成とした場合（例えば特許文献３における図１６の構成など）には、可動側に対してコイル給電用の配線ケーブルを接続する必要があるが、この構成によると、給電ケーブルの曲げによる応力などによって変形可能ミラー板１０３に圧力を与えてしまう虞があり、それに伴ってミラー面１０２が変形して平面度が損なわれてしまう虞がある。
これに対し、ムービングマグネット型の構成とすれば、可動側に給電ケーブルによる圧力を与えないようにすることができ、平面度の確保をより確実にすることができる。そして、このように初期状態（変形前状態）でのミラー面１０２の平面度が確保されれば、その分、焦点の調整精度の向上が図られるものとなる。
【００２２】
また、このようなムービングマグネット型としての、駆動コイル１０５をベース１０６Ｂ側に固着する構成とすれば、駆動コイル１０５の発熱をベース１０６Ｂ側に逃がすことができ、例えばベース１０６Ｂとして比較的熱伝導率の高い材質を選定するものとしておくことで、変形可能ミラー装置１００内部の温度上昇を効果的に抑制するといったことができる。
【００２３】
また、従来例としての変形可能ミラー装置１００では、ベース１０６Ｂと変形可能ミラー板１０３との間にフレーム１０６Ａを挿入し、当該フレーム１０６Ａにより変形可能ミラー板１０３をベース１０６Ｂ側から支持するように構成しているが、このことにより、当該変形可能ミラー装置１００を例えば光ディスクのドライブ装置などの本体側に取り付ける際に変形可能ミラー装置１００内に応力が生じた場合にも、その応力に基づく力が変形可能ミラー板１０３に及んでしまうことの防止が図られる。つまりこの結果、取り付けに伴うミラー面１０２の平面度の悪化を効果的に抑制することができる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２４】
しかしながら、上記により説明した従来例としての変形可能ミラー装置１００は、以下のような点で問題を有している。
先ず一点目は、高速応答についての問題である。ムービングマグネット型による従来の変形可能ミラー装置１００においては、変形可能ミラー板１０３に対してマグネット１０４が固着されるが、このことより、ミラー面１０２の変形応答速度を向上させることが非常に困難となってしまう。
具体的に、ムービングマグネット型による変形可能ミラー装置１００においては、ミラー面１０２を安定して変形させるにあたって設定可能な駆動周波数は、変形可能ミラー板１０３とマグネット１０４とを構成要素とする可動側部の固有振動数（一次の共振周波数）によって制限され、当該固有振動数が大であればその分より高い周波数での駆動が可能となる。
ここで、変形可能ミラー板１０３とマグネット１０４とで構成される上記可動側部の固有振動数Ｆ（Hz）は、変形可能ミラー板１０３のバネ定数ｋと上記可動側部の等価質量（変形可能ミラー板１０３の質量＋マグネット１０４の質量）ｍに応じて定まるものであり、具体的には下記の[式１]で表される。
Ｆ＝１／２π√（ｋ／ｍ）    ・・・[式１]
この[式１]を参照して分かるように、大まかに言えば、固有振動数Ｆはバネ定数ｋ（剛性）とは比例関係となり、質量に対しては反比例の関係となる。
【００２５】
上記[式１]より、ミラー面１０２の高速駆動のために上記可動側部の固有振動数Ｆを大とするためには、変形可能ミラー板１０３のバネ定数ｋを大とするか、或いは等価質量ｍを小とすればよいことが分かる。
しかしながら、変形可能ミラー板１０３（可撓性部材１０１）のバネ定数（剛性）は、ミラー面１０２の変形形状として所定の形状を得ることを優先させることを考慮すると、これを任意に設定することは非常に困難となる。すなわち、変形可能ミラー板１０３のバネ定数ｋは変形可能ミラー板１０３の材質や形状、その大きさなどに応じて定まる値となるが、ミラー面１０２の変形形状として所定の形状を得ることを優先する場合において、これらの要素を任意に設定することは非常に困難である。
【００２６】
また、等価質量ｍとしても、これを任意の値に設定することは非常に困難である。具体的に、等価質量ｍを大きく左右するのは主にマグネット１０４の質量となるが、当該マグネット１０４の質量は、変形可能ミラー板１０３に印加させる駆動力の大きさを決定付けるものであり、ミラー面１０２を所定の変形形状に変化させるために或る程度の駆動力が必要となる点を考慮すれば、マグネット１０４の質量、ひいては上記等価質量ｍを任意に設定するのは非常に困難となる。
【００２７】
これらの点より、従来の変形可能ミラー装置１００では上記可動側部の固有振動数Ｆを大とすることが困難とされており、従って高速応答性の面で問題を有している。すなわち、従来例としての変形可能ミラー装置１００は、電磁アクチュエータ自体の応答速度としては高速に設定することはできるが、上記のような可動側部の固有振動数Ｆの問題から、設定可能な駆動周波数の上限が制限され、結果として高速駆動を行うことが困難とされているものである。
【００２８】
また、二つ目の問題点としては、ミラー面の変形精度の問題を挙げることができる。
ここで、先の図９や図１０を参照して分かるように、ムービングマグネット型による変形可能ミラー装置１００においては、変形可能ミラー板１０３に固着されたマグネット１０４は、駆動コイル１０５やケース１０６内の何れの部分にも接しておらず、いわばフリーな状態とされている。この点から従来の変形可能ミラー装置１００において、マグネット１０４の駆動方向は、主に当該マグネット１０４の着磁の方向と駆動コイル１０５が生じる磁界とによって制御されるものとなっている。
ミラー面１０２の変形形状として所定の形状を得るためには、マグネット１０４が正確に縦方向に駆動されて、変形可能ミラー板１０３の中心部に縦方向の駆動力が正確に印加される必要がある。
しかしながら、上記のような着磁の方向や駆動コイル１０５が発生する磁界の設定とでマグネット１０４の駆動方向を正確にコントロールすることは非常に困難である。つまりこの点より、従来の変形可能ミラー装置１００では、変形可能ミラー板１０３の中心部に正確に縦方向の駆動力を印加することが困難（例えば駆動力の印加方向が縦方向から傾いてしまうなど）とされており、ミラー面１０２を正確に所定の変形形状に変化させることについての困難性を有している。
【課題を解決するための手段】
【００２９】
本発明では以上ような問題点に鑑み、変形可能ミラー装置として以下のように構成することとした。
すなわち、表面にミラー面が形成されると共に、上記表面とは逆側の裏面側に凸となるように与えられた断面形状パターンであって所定の押圧基準点において断面厚が最大となる凸部を有するように設定された断面形状パターンが与えられ且つ、当該断面形状パターンが与えられた変形可能領域よりも外側となる部分に上記裏面側に凸となるフレーム部が形成された可撓性部材を備える。
また、その表面側にガイド孔の形成に伴う開口部が形成され、且つその内部に上記ガイド孔と連接する内部孔が形成されると共に、上記表面側において、上記可撓性部材の上記フレーム部が上記開口部の中心と上記押圧基準点とが一致するように位置決めされて固着されたケース部を備える。
また、先端部が球面状とされた柱状部を有し、当該柱状部が、上記可撓性部材の上記押圧基準点に形成された上記凸部に上記球面状の先端部が当接するようにして上記ガイド孔に挿入された駆動力伝達部を備える。
さらに、上記ケース部における上記内部孔内に設けられ且つその一端側が上記駆動力伝達部における上記先端部とは逆側の端部と接合される共に、上記駆動力伝達部を上記可撓性部材側に押圧する駆動力を発生する駆動力発生部を備えるようにした。
【００３０】
上記のようにして本発明では、ミラー面が形成された可撓性部材を変形させるにあたっては、駆動力発生部により発生した駆動力を、駆動力伝達部により伝達して可撓性部材に印加するようにしている。そしてこのとき、上記駆動力伝達部の先端部は、可撓性部材側に対して固着するものとはせず、当接させるものとしている。
このような構成によれば、駆動周波数の設定にあたって考慮すべき固有振動数は、可撓性部材側の固有振動数と、駆動力伝達部側の固有振動数とに分かれるようにすることができる。
この場合、可撓性部材側の質量は、従来例の場合の可動側部の等価質量（ｍ）からマグネットの質量を差し引いたものとなり、従って可撓性部材側の固有振動数は従来例の場合よりも大幅に大とすることができる。
また上記駆動力伝達部については、従来例におけるマグネットのように必要駆動力を得るために一定以上のサイズとしなければならないといった制限はなく、従ってその質量は十分に小とすることができる。つまりこの点より、駆動力伝達部側の固有振動数としても、従来例の場合の可動側部の固有振動数と比較して十分に大とすることができる。
これらの結果、本発明によれば、従来例よりも駆動周波数をより高域側に設定することができ、より高速な駆動を行うことができる。
【００３１】
また、本発明においては、上記駆動力伝達部は、その先端部が球面状とされた柱状部を、上記ケースにおける上記ガイド孔に挿入するようにして設けている。このような構成とすることで、仮に、上記駆動力発生部による駆動力の発生方向が傾いたとしても、上記柱状部が上記ガイド孔により案内されることで、上記先端部によって上記可撓性部材の押圧基準点に縦方向（上記ケースの表面に垂直な方向）の押圧力が正確に印加されるようにすることができる。
また、本発明では、上記駆動力伝達部（柱状部）における上記先端部を球面状としていることで、例えば上記先端部を矩形状などとする場合に生じる虞のある片押しなどの発生を効果的に防止することができ、この点でも上記押圧基準点に縦方向の押圧力が正確に印加できるように図られている。
【発明の効果】
【００３２】
上記のようにして本発明によれば、ミラー面の変形にあたり可動側となる可動側部の固有振動数の値を、従来例の場合の可動側部の固有振動数の値よりも大とすることができ、その結果、従来よりも駆動周波数を高域側に設定することができ、より高速な駆動を行うことができる。
【００３３】
また、本発明によれば、駆動力伝達部（柱状部）をガイド孔により案内する構成としたことで、上記駆動力伝達部の先端部によって可撓性部材の押圧基準点に縦方向の押圧力が正確に印加されるようにすることができる。
また、上記駆動力伝達部（柱状部）における上記先端部を球面状としたことによっても、上記押圧基準点に縦方向の押圧力が正確に印加されるようにできる。
このように押圧基準点に対し縦方向の押圧力が正確に印加されるようにできることで、ミラー面の変形精度の向上が図られる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】実施の形態としての変形可能ミラー装置の断面構造図である。
【図２】実施の形態としての変形可能ミラー装置の分解斜視図である。
【図３】実施の形態の変形可能ミラー装置が備える変形可能ミラー板の構造について説明するための図である。
【図４】画像認識技術を利用した位置合わせの手法について説明するための図である。
【図５】変形可能ミラー装置の変形状態での断面構造図である。
【図６】或る物質についての振動特性を模式的に示した図である。
【図７】実施の形態の変形可能ミラー装置を適用した光ディスクドライブ装置の内部構成を示した図である。
【図８】実施の形態の変形可能ミラー装置を適用した撮像装置の内部構成を示した図である。
【図９】従来例としてのムービングマグネット型の変形可能ミラー装置の構成について説明するための図である。
【図１０】従来例としての変形可能ミラー装置の変形状態での断面構造を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下、発明を実施するための最良の形態（以下実施の形態とする）について説明していく。
なお、説明は以下の順序で行うものとする。
＜１．実施の形態としての変形可能ミラー装置＞
[1-1．変形可能ミラー板の構成]
[1-2．変形可能ミラー装置の全体的な構成]
[1-3．ミラー面の変形動作]
[1-4．実施の形態の変形可能ミラー装置のまとめ]
＜２．光ディスクドライブ装置への適用例＞
＜３．撮像装置への適用例＞
＜４．変形例＞
【００３６】
＜１．実施の形態としての変形可能ミラー装置＞
図１、図２は、本発明の変形可能ミラー装置の一実施形態としての変形可能ミラー装置１の構造について説明するための図であり、図１は変形可能ミラー装置１の断面構造図を、図２は変形可能ミラー装置１の分解斜視図を示している。
【００３７】
これら図１，図２に示されるようにして、本実施の形態の変形可能ミラー装置１は、変形可能ミラー板４、ケース５、ボール６、予圧バネ７、駆動力伝達子８、駆動力発生素子９、調整ネジ１０、及びロックナット１１を有して構成される。
【００３８】
[1-1．変形可能ミラー板の構成]
ここで、先ずは図３を参照して、本実施の形態で用いる変形可能ミラー板４の構造について説明しておく。
図３において、図３（ａ）は後述するミラー面が形成される面（表面とする）とは逆側の面（裏面とする）からみたときの変形可能ミラー板４の平面図を示し、図３（ｂ）は変形可能ミラー板４の断面構造図を示している。
【００３９】
この図３に示されるように、変形可能ミラー板４は、可撓性部材２の表面にミラー面としての反射膜３が膜付けされて成る。
この場合、上記可撓性部材２はシリコンとされ、可撓性を有する。この可撓性部材２のミラー面となるべき面（表面）に対し、上記反射膜３としての、例えばアルミなどによる金属膜が膜付けされることで、変形可能ミラー板４が形成されている。
ここで以下の説明においては、上記反射膜（ミラー面）３が形成される面に平行な面をｘ−ｙ平面とおき、当該ｘ−ｙ平面と直交する方向をＺ軸方向とおく。
【００４０】
図示するように可撓性部材２には、その裏面側において、同じ中心Ｃをもつ複数の楕円部（楕円凸部）２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、２Ｄが形成されている。これら複数の楕円部２Ａ〜２Ｄは、中心Ｃを含むようにされた楕円部２Ａが最もＺ軸方向への厚みがあり、次いで外周側に形成される楕円部２Ｂ、さらに外周側となる楕円部２Ｃ、さらに外周側の楕円部２Ｄとなるに従ってＺ軸方向への厚みが薄くなるようにされている。つまり、この場合の可撓性部材２は、その中心Ｃから外周方向にかけて階段状にその厚みが薄くなるようにされている。
なお図３からも明らかなように、このような各楕円凸部は可撓性部材２の裏面側に凸となるように形成されるものである。換言すれば、ミラー面３が形成される側は平面とされるものである。
【００４１】
そして、可撓性部材２においては、上記楕円部２Ａ〜楕円部２Ｄまでの範囲と後述する肉薄部２Ｇとを含む範囲が、変形ミラーとして変形する範囲（変形可能範囲）とされる。つまり、このような変形可能範囲における断面形状の形成パターンによって、中央の楕円部２ＡにＺ軸方向への駆動力が印加された際にミラー面３の所定の変形形状が得られるようにされている。この意味で、上記楕円部２Ａ〜楕円部２Ｄと上記肉薄部２Ｇとを含む範囲を、ミラー面３の所定の変形形状を得るための断面形状パターン２ａと呼ぶ。
【００４２】
また、可撓性部材２の最外周部分には、当該最外周部分が、後述するようにして可撓性部材２に対するＺ軸方向への駆動力が印加された場合にも変形されないように充分な強度を確保するための、リブ状のフレーム２Ｅが形成されている。
このように可撓性部材２の最外周部分が駆動力の印加に対しても変形しない十分な強度が保たれることで、その分、上記変形可能範囲における変形形状としては、より理想の変形形状に合わせ易くできる。つまり、可撓性部材２の最外周部が変形されてしまう場合と比較すれば、より高精度にミラー面３の変形形状を理想形状に近づけることができる。
【００４３】
また、上記説明によると、本例の可撓性部材２においては、上記断面形状パターン２ａが楕円形状により形成されるものとなっているが、これは、後の図７や図８にて説明するようにして、変形可能ミラー装置１をいわゆる４５度ミラーとして使用することに対応させるためである。
すなわち、先に挙げた特許文献３や特許文献４にも開示されているように、４５度ミラーにおけるミラー面に形成されるレーザ光の照射スポットは楕円形状となる。具体的には、図３（ａ）に示すｙ軸方向がスポットの長手方向、当該ｙ軸方向と直交するｘ軸方向が短手方向となる楕円形状となり、より具体的には、これらｘ軸方向とｙ軸方向との直径の比率がおよそｘ：ｙ＝１：√２となるものである。
このようにミラー面上でのレーザ光のスポット形状が楕円形状となることから、上記断面形状パターン２ａとしても楕円形状により形成している。
【００４４】
また、上記断面形状パターン２ａとしては、各楕円部が同じ中心Ｃを有するように配置しているが、このことによって、可撓性部材２に対し駆動力が印加されたときに、応力が一部に集中してしまうことを防止することができ、可撓性部材２の割れや疲労破壊を効果的に防止できる。
ここで、ミラー面の変形のために或る駆動力が印加される場合、可撓性部材２では内部応力が発生する。そして、この際、仮に可撓性部材２において応力が一点に集中するような部分があると、本例のように可撓性部材２が等質等方性な材質により構成される場合、この部分は急激に寸法の変化する箇所となる。
例えば、各楕円部が同じ中心を持たない場合のパターンは、特定の方向で間隔が狭まったり広がったりすることになる。そして、この間隔が狭まった部分が、他の部分に比べて応力が集中しやすい部分となり、よって一様な駆動力の印加に対して急激に寸法が変化する部分となる。
このように応力が集中する部分があると、その部分において可撓性部材２の許容応力を超える可能性が高まり、これに伴って割れが発生する可能性が高くなる。また、可撓性部材２の変形が繰り返し行われることで、この部分での疲労破壊を招く虞もある。
本例のように各楕円部が同じ中心を持つようにパターンニングを行うことで、パターンの間隔は均等とでき、上記のように応力が一部に集中するような部分が生じないようにすることができる。つまり、これによって上記割れや疲労破壊の防止を図ることができる。
【００４５】
また、本例の可撓性部材２においては、上記断面形状パターン２ａが与えられた変形可能範囲の最外周部分に、切り欠きによる肉薄部２Ｇを形成するものとしている。本例の場合、この肉薄部２Ｇは、これと内側隣接する楕円部２Ｄの全周に沿って同一幅による切り欠き部を形成することで与えている。
このような肉薄部２Ｇは、可撓性部材２において最も断面厚が薄くなる部分となり、従って最も変形し易い部分となる。これにより当該肉薄部２Ｇは駆動力の印加に対して最も変形曲率の得られる部分となり、その結果、これと隣接する楕円部２Ｄの面積を縮小化しても、ミラー面３の変形形状（有効変形範囲）を所定の変形形状により容易に一致させることができる。
また本例では上記肉薄部２Ｇの幅を全周にわたり均一にしているが、このことで肉薄部２Ｇにおける駆動力の伝達を均一にでき、この点でもミラー面３の変形形状を所定の変形形状に一致させることをより容易とできる。
なおこの点については、特許文献３においても開示されている。
【００４６】
[1-2．変形可能ミラー装置の全体的な構成]
説明を図１及び図２に戻す。
上記のようにして構成された変形可能ミラー板４は、ケース５の表面側に対して固着される。
図示するようにケース５には、当該ケース５の表面に開口部を与えるようにしてガイド孔５Ａが形成されている。またケース５には、上記ガイド孔５Ａと連接する内部孔５Ｂが形成されており、図示するように当該内部孔５Ｂは、ケース５の裏面まで貫通している。
【００４７】
本例の場合、上記変形可能ミラー板４は、可撓性部材２の楕円部２Ａが形成された中心Ｃと、上記ガイド孔の中心Ｃとが一致するようにしてケース５の表面側に固着される。図１から明らかなように、ケース５の表面に対しては、変形可能ミラー板４（可撓性部材２）のフレーム２Ｅが固着されるものとなる。
【００４８】
ここで、先の図３に示した断面形状パターン２ａは、可撓性部材２の中心Ｃ（中央の楕円部２Ａの中心）にＺ軸方向の駆動力が印加されることを前提として、ミラー面３の変形形状が所定の変形形状となるようにして設定されているものである。つまり本例において、可撓性部材２（変形可能ミラー板４）の押圧基準点は、中心Ｃに設定されているものである。
以降の説明から理解されるように、本例の変形可能ミラー装置１においては、上記ガイド孔５Ａの中心軸上に変形可能ミラー板４への押圧力印加点が設定されるものとなる。このために、上述のようにして変形可能ミラー板４の中心Ｃとガイド孔５Ａの中心Ｃとを一致させることが重要となる。
【００４９】
このように各中心Ｃを一致させるための位置合わせの手法としては、一般的な画像認識技術を利用した手法を採ることができる。
図４は、画像認識技術を利用した位置合わせの手法について説明するための図である。
図示するようにこの場合の位置合わせには、撮像部１６が設けられたＸＹステージ１５を用いる。このＸＹステージ１５上に対し、ケース５を、当該ケース５の内部孔５Ｂ内に上記撮像部１６が配置されるようにして載置する。このとき、ケース５は、撮像部１６による視野内にガイド孔５Ａが収まるようにして上記ＸＹステージ１５上に載置する。そして、このようにＸＹステージ１５上に載置したケース５と対向する位置に、変形可能ミラー板４を、その裏面側がケース５の表面側と対向するように配置しておく。
このようなケース５、変形可能ミラー板４の配置状態とした上で、上記撮像部１６により得られる撮像画像に基づく画像認識により、変形可能ミラー板４の裏面側の断面形状パターン２ａの中心Ｃを認識し、ガイド孔５Ａの中心Ｃと一致するようにＸＹステージ１５によるケース５の位置調整を行う。そしてこの位置調整の完了後、ケース５の表面に対する変形可能ミラー板４の固着を行う。
これにより、変形可能ミラー板４の中心Ｃとガイド孔５Ａの中心Ｃとを高精度に一致させることができる。
【００５０】
或いは、位置合わせの手法は、このような画像認識技術を利用した手法に限らず、例えばより簡便に、ガイド孔５Ａに嵌合する円柱状の位置決め治具を用いる手法を採ることもできる。すなわち、このような円柱状の治具として、その上面の中心に可撓性部材２の中央の楕円部２Ａと一致する形状の凹部（或いは貫通穴）を有する治具を用いる。当該位置決め治具をガイド孔５Ａに嵌合した状態で、変形可能ミラー板４を、その裏面に形成された中央の楕円部２Ａを上記治具の凹部（貫通孔）に嵌合させるようにしてケース５に固着する。このような手法によっても、変形可能ミラー板４の中心Ｃとガイド孔５Ａの中心Ｃとを高精度に一致させることができる。
【００５１】
例えば上記のような手法により、変形可能ミラー板４の中心Ｃとガイド孔５Ａの中心Ｃとを一致させた状態で変形可能ミラー板４のケース５に対する固着を行う。
そしてその後、このように変形可能ミラー板４が位置決め固着されたケース５に対して、図１、図２に示されるボール６、予圧バネ７、駆動力伝達子８、及び駆動力発生素子９から成る駆動部の装着が行われる。
【００５２】
上記駆動力伝達子８は、ガイド孔５Ａの直径に略等しい直径を有し且つ上記ガイド孔５Ａに対して挿入される円柱状の柱状部と、当該柱状部の付け根部分に連接する台座部とが形成され、略Ｔ字状の断面形状を有する。
上記柱状部の先端部分は丸みを帯びており、その頂点部分であり且つ上記柱状部の中心軸上となる部分には、ボール６を取り付けるための凹部が形成されている。
【００５３】
また予圧バネ７は、その中心部分に上記駆動力伝達子８の柱状部を挿通するための孔部が形成されたドーナツ状の皿バネとされる。この予圧バネ７は、駆動力伝達子８をケース５の裏面側に付勢する付勢部材として機能することになる。
【００５４】
駆動力発生素子９は、圧電素子とされ、駆動電圧の印加に応じて図中のＺ軸方向に伸縮する。
【００５５】
これらボール６、予圧バネ７、駆動力伝達子８、及び駆動力発生素子９から成る駆動部の装着にあたっては、調整ネジ１０が用いられる。
ここで、ケース５の内部孔５Ｂの側壁には、上記調整ネジ１０を累合するためのネジ穴（雌ネジ）が形成されている。上記駆動部を装着する際には、上記調整ネジ１０をケース裏面側から上記内部孔５Ｂに累合することになる。
【００５６】
具体的に、上記駆動部の装着にあたっては、先ず駆動力伝達子８に関して、ボール６を前述の柱状部の先端の凹部に取り付け、且つ上記柱状部に対しドーナツ状皿バネによる予圧バネ７を挿入して取り付けた状態とする。そしてこの状態において、上記柱状部をガイド孔５Ａに挿入する。このとき、皿バネによる予圧バネ７の取り付けは、前述のように駆動力伝達子９をケース５の裏面側に付勢できるようにして行う。具体的に予圧バネ７は、図１の断面図に示されるようにして駆動力伝達子９の台座部側に凸となるようにして取り付ける。
そして、上記のように柱状部をガイド孔５Ａに挿入した上で、駆動力発生素子９を内部孔５Ｂ内に配置した状態で調整ネジ１０を累合する。このように調整ネジ１０を累合する際、上記駆動力発生素子９は、その伸縮方向とＺ軸方向とが一致するようにして内部孔５Ｂ内に配置しておく。
【００５７】
またこのとき、本実施の形態では、上記調整ネジ１０には、駆動力発生素子９の給電線を挿通するための挿通口１０Ａ、１０Ｂが形成されている。図１では図示を省略しているが、図２に示されるように、圧電素子による駆動力発生素子９には、２本の給電線９Ａ、９Ｂが接続され、該給電線９Ａ，９Ｂによって駆動電圧が印加されるようになっている。
上記のようにして調整ネジ１０を累合するにあたっては、予めこれら給電線９Ａ、９Ｂをそれぞれ調整ネジ１０の挿通口１０Ａ、１０Ｂに対して挿通しておく（図２を参照）。
【００５８】
調整ネジ１０が或る程度累合されると、調整ネジ１０の上面と駆動力発生素子９の下面とが当接し且つ駆動力発生素子９の上面と駆動力伝達子８の台座部の下面とが当接する状態が得られる。そして、さらに累合を進めると、予圧バネ７による付勢力に抗して、駆動力伝達子８がケース５の表面側（上面側）に押圧され、当該駆動力伝達子８における柱状部の先端部に取り付けられたボール６が、変形可能ミラー４の裏面に形成された中央の楕円部２Ａに当接する。
【００５９】
ここで、駆動力発生素子９に対して電圧印加を行わない初期状態では、ミラー面３の形状は平面形状を保つようにする。仮に、上記ボール６が当接状態を超えて楕円部２Ａを押圧してしまうとミラー面３が変形してしまうので、上記調整ネジ１０の累合は、上記ボール６が上記楕円部２Ａに当接した状態で終了する。
なお実際においては、上記ボール６と上記楕円部２Ａとが当接状態にあるか否かは、ミラー面３の平面度を測定した結果などから判定することになる。
【００６０】
このようにして上記調整ネジ１０の累合により、Ｚ軸方向における駆動部の位置決めを行うことができる。
【００６１】
また、本実施の形態の変形可能ミラー装置１には、このような調整ネジ１０の累合により調整された駆動部のＺ軸方向における位置を固定するためのロックナット１１が設けられる。
このロックナット１１は、位置調整後の調整ネジ１０に累合し、ケース５の裏面に当接することで上記調整ネジ１０の緩みを防止する。つまりこれにより、調整された上記駆動部のＺ軸方向における位置を固定する。
【００６２】
[1-3．ミラー面の変形動作]
図５は、変形可能ミラー装置１の変形状態における断面構造図を示している。
駆動力発生素子９に対して駆動電圧を印加すると、当該駆動力発生素子９はＺ軸方向に伸張し、これによって駆動力伝達子８が予圧バネ７による付勢力に抗して押し上げられる。
このとき、駆動力伝達子８の柱状部はガイド孔５Ａにガタなく高精度に接しているため、当該ガイド孔５Ａの形成方向、すなわちＺ軸方向に沿って正確に移動することになる。そして、このように駆動力伝達子８が正確にＺ軸方向に移動することで、その先端部に取り付けられたボール６が、変形可能ミラー板４の裏面に設けられた中央の楕円部２Ａの中心（中心Ｃ）を正確に一点で押圧することになる。
このように上記楕円部２Ａに押圧力が印加されることに応じて、図のように変形可能ミラー板４（ミラー面３）が凸状に変形する。
【００６３】
また、駆動力発生素子９への駆動電圧の印加を停止すると、駆動力発生素子９は収縮して図１に示した初期状態に戻る。
確認のために述べておくと、このように駆動力発生素子９が収縮する際には、予圧バネ７の付勢力によって駆動力伝達子８は駆動力発生素子９と当接した状態で初期位置に戻ることになる。また、変形可能ミラー板４としても、その裏面中心部がボール６と当接した状態で初期状態に戻ることとなる。
【００６４】
[1-4．実施の形態の変形可能ミラー装置のまとめ]
上記による説明から理解されるように、本実施の形態の変形可能ミラー装置１は、ミラー面３が形成された変形可能ミラー板４を変形させるにあたり、駆動力発生素子９により発生した駆動力を上記変形可能ミラー板４に直接的に印加するものとはせず、駆動力伝達子８により伝達して変形可能ミラー板４に印加するようにしている。そしてこのとき、上記駆動力伝達子８の先端部（本例の場合はボール６となる）は、変形可能ミラー板４側に対して固着するものとはせず、当接させるものとしている。
このような構成によれば、駆動周波数の設定にあたって考慮すべき固有振動数が、可撓性部材２側の固有振動数と、駆動力伝達子８側の固有振動数とに分けられるようにすることができる。
この場合、可撓性部材２側の質量は、従来例の場合の可動側部の等価質量ｍからマグネット１０４の質量を差し引いたものとなり、従って可撓性部材２側の固有振動数は従来例の場合よりも大幅に大とすることができる。
また、駆動力伝達子８については、従来例におけるマグネット１０４のように必要駆動力を得るために一定以上のサイズとしなければならないといった制限はなく、従ってその質量は十分に小とすることができる。つまりこの点より、駆動力伝達子８側の固有振動数としても、従来例の場合の可動側部の固有振動数と比較して十分に大とすることができる。
これらの結果、本実施の形態によれば、従来例よりも駆動周波数をより高域側に設定することができる。
【００６５】
ここで確認のため、変形可能ミラー装置における可動側部の固有振動数と、変形可能ミラー装置に設定可能な駆動周波数との関係について、次の図６を参照して説明しておく。
図６は、或る物質についての振動特性を模式的に示している。
図中のｆ0は、一次の共振周波数（固有振動数）である。
一般的に物質には、このような固有振動数に対してより高次の共振点が存在することになり、図中ではこれを高次の共振周波数ｆhとして示している。
【００６６】
ここで、駆動周波数の選定について考えてみると、図６における共振周波数ｆ0や共振周波数ｆh近傍では、周波数の僅かな変化に対しても振動ゲインが大きく変化し、安定した制御を行うことが困難であることが分かる。
そこで、一般には、これらｆ0とｆhとの間の帯域を、駆動周波数帯域として使用するようにされる。
【００６７】
このとき、一次の共振周波数ｆ0がより高ければ、高次の共振周波数ｆhとしてもより高域側にシフトすることになる。つまりこの点より、共振周波数ｆ0に相当する固有振動数の値をより大とできれば、その分、駆動可能な帯域としてもより高域側にシフトさせることができ、従って固有振動数の値を大とできれば、駆動周波数をより高域側に設定することができるものである。
なお、ｆ0が十分に高い場合には、ｆ0までの帯域を駆動周波数帯域として使用することができる。その場合としても、ｆ0がより高ければ駆動周波数をより高く設定できることに変わりはない。
【００６８】
この前提を踏まえた上で、図１に示した本実施の形態としての変形可能ミラー装置１に設定可能な駆動周波数について考えてみる。
図１に示した変形可能ミラー装置１の構成によると、変形可能ミラー板４と駆動力伝達部（駆動力伝達子８及びボール６）とが固着されていないので、駆動周波数の設定にあたっては、可撓性部材２（変形可能ミラー板４）側の固有振動数と、駆動力伝達子８側の固有振動数とを独立したものとして扱うことができるようになる。
【００６９】
前述のように、変形可能ミラー板４側の固有振動数については、従来例の可動側部の固有振動数よりも相当に大とすることができる。
【００７０】
一方、上記駆動力伝達子８側の固有振動数としては、図１に示した構成によると、この場合には予圧バネ７が設けられる関係から、厳密には駆動力伝達子８の質量（ボール６の質量も含む）と、予圧バネ７のバネ定数とで決まるものとなる。
前述の通り、駆動力伝達子８の質量は、従来例の可動側部の質量よりも大幅に小とすることができる。
また、予圧バネ７としては、単にケース５裏面側への付勢力を与えることができるものであればよく、その剛性は比較的自由に設定可能となる。従って予圧バネ７のバネ定数に関しては、比較的大とすることが可能である。この点より駆動力伝達子８側の固有振動数についても、従来例における可動側部の固有振動数と比較して相当に大とすることができる。実際において、上記駆動力伝達子８側の固有振動数は、変形可能ミラー板４側の固有振動数と同等以上に設定することができる。
【００７１】
これらの点より、本実施の形態においては、変形可能ミラー板４側の固有振動数も駆動力伝達子８側の固有振動数も共に、従来例の場合の可動側部の固有振動数よりも大とすることができる。
この結果、本実施の形態によれば、従来よりも高い駆動周波数を設定することができ、より高速な周期でミラー面３の変形駆動を行うことができる。
【００７２】
また、本実施の形態においては、駆動力伝達子８は、その先端部にボール６（球体）が具備された柱状部を、ケース５におけるガイド孔５Ａに挿入するようにして設けている。このような構成とすることで、仮に、上記駆動力発生素子９による駆動力の発生方向がＺ軸方向から傾いたとしても、上記柱状部が上記ガイド孔５Ａにより案内されることで、上記ボール６によって変形可能ミラー板４の押圧基準点（この場合は中心Ｃ）に正確にＺ軸方向の押圧力を印加することができる。
また、本実施の形態では、上記駆動力伝達子８（柱状部）の先端部分を上記ボール６の取り付けによって球面状としていることで、例えば上記先端部分を矩形状とする場合に生じる虞のある片押しなどの発生を効果的に防止することができ、この点でも上記押圧基準点にＺ軸方向の押圧力が正確に印加されるようにできる。
このように押圧基準点に対しＺ軸方向の押圧力が正確に印加されるようにできることで、ミラー面３の変形精度の向上が図られる。
【００７３】
なお確認のために述べておくと、本実施の形態において、上記柱状部の先端部を球面状に整形せず上記ボール６により球面状の先端部を得るようにしているのは、ボール６として、ボールベアリングなどに用いられる真球度が高く面粗度の良好な製品の調達が容易であることに依る。つまり換言すれば、上記ボール６を用いる本実施の形態によれば、柱状部の先端部を球面に整形する場合と比較して変形可能ミラー装置１の製造効率の向上が図られるものである。
【００７４】
また本実施の形態では、駆動力発生素子９として圧電素子を備えるものとしているが、このことで、例えば従来例の変形可能ミラー装置１００が備えていたような電磁アクチュエータを用いる場合と比較して、消費電力の削減が図られる。
すなわち、圧電素子は、伸張状態を保持するとき、電圧印加は必要であるが、その際の供給電流量は比較的少なくて済む。このため、ミラー面３の変形状態を保持するような用途において特に消費電力の削減が図られ、電池駆動によるモバイル機器への適用に好適となる。
【００７５】
また圧電素子はそのサイズに対して比較的大きな駆動力を発生することができる。従って駆動力発生素子９に圧電素子を用いる本実施の形態によれば、駆動力発生素子９の小型化により、ケース５のサイズの縮小化、ひいては変形可能ミラー装置１全体のサイズの小型化が図られる。
【００７６】
＜２．光ディスクドライブ装置への適用例＞
続いて、上記により説明した実施の形態としての変形可能ミラー装置１の適用例について説明する。
図７は、実施の形態としての変形可能ミラー装置１を光ディスクのドライブ装置に適用した場合の構成例を示している。
ここで、変形可能ミラー装置１を適用した光ディスクドライブ装置については、光ディスクドライブ装置２０と称する。
なお確認のために述べておくと、光ディスクは、円盤状の光記録媒体を指すものである。光記録媒体は、光の照射により記録情報の再生が行われる記録媒体の総称である。
【００７７】
図７において、光ディスクＤは、記録層を複数有する多層ディスクとされる。本例の場合、この光ディスクＤとしては、例えばＢＤ（Blu-ray Disc：登録商標）等の高記録密度ディスクを想定しており、例えば後述する対物レンズ２４の開口数ＮＡ＝０．８５、レーザ波長４０５nmにより記録再生が行われる。
【００７８】
この場合、光ディスクＤの記録層数は「３」とされる。具体的に、レーザ光が照射される面（表面）から最も近い側から順に第１記録層Ｌ１、第２記録層Ｌ２、第３記録層Ｌ３が形成される。
上記表面から第１記録層Ｌ１まで間隔は、例えば０．０７５mmとされる。すなわち、第１記録層Ｌ１までのカバー厚は、０．０７５mmとなる。またこの場合、各記録層間の間隔は例えば２５μmとされ、従って第２記録層Ｌ２のカバー厚は０．１００mm、第３記録層Ｌ３のカバー厚は０．１２５mmとなっている。
【００７９】
ここで、以下の説明においては、一例として、光ディスクＤの第１記録層Ｌ１が球面収差補正が不要な基準記録層に設定されているものとする。すなわち、この場合の光学系は、変形可能ミラー装置１におけるミラー面３の形状が無変形（平面）の状態で、光ディスクＤの第１記録層Ｌ１の合焦時に球面収差がゼロとなるように（球面収差補正が不要となるように）設計・調整が為されているとする。
【００８０】
光ディスクドライブ装置２０には、上記光ディスクＤに対してレーザ光を照射するための構成として、光学ピックアップＯＰが備えられている。
なお、図示は省略したが、光ディスクドライブ装置２０内にはスピンドルモータが備えられ、光ディスクＤは当該スピンドルモータにより回転駆動された状態で記録再生が行われることになる。
また実際には、光ディスクＤへの記録を行うための構成として、図中のレーザダイオードＬＤを記録データに応じて発光駆動するための構成も設けられるものとなるが、ここではその図示は省略している。
【００８１】
図示するようにして上記光学ピックアップＯＰ内には、レーザダイオードＬＤ、コリメーションレンズ２１、偏光ビームスプリッタ２２、変形可能ミラー装置１、１／４波長板２３、対物レンズ２４、集光レンズ２５、及びフォトディテクタ２６が備えられている。
光学ピックアップＯＰ内において、上記レーザダイオードＬＤから射出されたレーザ光は、コリメーションレンズ２１を介して平行光となるようにされた後、偏光ビームスプリッタ２２に入射する。偏光ビームスプリッタ２２は、上記コリメーションレンズ２１側から入射したレーザ光については透過するように構成されている。
【００８２】
偏光ビームスプリッタ２１を透過したレーザ光は、変形可能ミラー装置１のミラー面３に導かれる。
変形可能ミラー装置１は、そのミラー面３の角度が、入射レーザ光の光軸とのなす角度＝４５度となるようにして傾斜された状態で設けられている。なお且つ、入射レーザ光の光軸とミラー面３の中心Ｃとが一致するように光学ピックアップＯＰに取り付けられている。このことで、当該変形可能ミラー装置１への入射レーザ光は、ミラー面３にてその光軸が９０度折り曲げられるようにして反射される。
ここで、この図７においても、先の図１〜図３で示したｙ軸方向、Ｚ軸方向を示している。
【００８３】
図示するようにして変形可能ミラー装置１のミラー面３からの反射光は、１／４波長板２３を介した後、対物レンズ２４で集光されて光ディスクＤに対して照射される。
この際、対物レンズ２４は、図示されない２軸機構によって光ディスクＤに対して接離する方向（フォーカス方向）、及び光ディスクＤの半径方向（トラッキング方向）に変位可能に保持される。この２軸機構により、対物レンズ２４を介したレーザ光の集光位置（合焦位置）を第１記録層Ｌ１、第２記録層Ｌ２、第３記録層Ｌ３のいずれかに選択的に合わせることが可能とされる。
【００８４】
一方、光ディスクＤの記録層Ｌからの反射光は、対物レンズ２４→１／４波長板２３を介した後、変形可能ミラー装置１のミラー面３で反射されて偏光ビームスプリッタ２２に入射する。偏光ビームスプリッタ２２は、このようにして入射された光ディスクＤからの反射光を反射し、集光レンズ２５に対して導く。
このように集光レンズ２５に導かれた光ディスクＤからの反射光は、フォトディテクタ２６の検出面上に集光する。
【００８５】
フォトディテクタ２６では上記反射光が電気信号に変換され、受光信号が得られる。フォトディテクタ２６による受光信号は、光学ピックアップＯＰの外部に設けられたマトリクス回路２７に対して供給される。
【００８６】
マトリクス回路２７は、上記フォトディテクタ２６としての複数の受光素子からの出力電流に対応して電流電圧変換回路、マトリクス演算／増幅回路等を備え、マトリクス演算処理により必要な信号を生成する。
具体的には、光ディスクＤに記録された信号を再生した高周波信号（以下、再生信号ＲＦと称する）、フォーカスサーボ制御のためのフォーカスエラー信号ＦＥ、トラッキングサーボ制御のためのトラッキングエラー信号ＴＥを生成する。
マトリクス回路２７にて生成された上記再生信号ＲＦは、再生処理部２８に供給される。
また、上記フォーカスエラー信号ＦＥ、トラッキングエラー信号ＴＥは、サーボ回路２９に供給される。
【００８７】
再生処理部２８は、上記再生信号ＲＦについて２値化処理や記録変調符号の復号化・エラー訂正処理などの光ディスクＤの記録データを再生するための再生信号処理を行い、再生データを得る。
【００８８】
またサーボ回路２９は、上記フォーカスエラー信号ＦＥ、トラッキングエラー信号ＴＥからサーボ演算によりフォーカスサーボ信号、トラッキングサーボ信号を生成し、これらフォーカスサーボ信号、トラッキングエラー信号に基づき上述した２軸機構の制御を行う。これにより、対物レンズ２４のフォーカスサーボ制御、トラッキングサーボ制御が実現される。
【００８９】
また、光ディスクドライブ装置２０には、変形可能ミラー装置１の駆動制御を行うための構成として、制御部３０、及びミラー駆動部３１が設けられる。
ミラー駆動部３１は、制御部３０からの指示に基づき、変形可能ミラー装置１の駆動力発生素子９に対して駆動電圧を印加する。具体的にミラー駆動部３１には、先の図２に示した給電線９Ａ、９Ｂが接続されており、これら給電線９Ａ、９Ｂによる駆動力発生素子９への給電を行うことで、駆動力発生素子９を駆動する。
【００９０】
制御部３０は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）やＲＯＭ（Read Only Memory）などのメモリ（記憶装置）を備えたマイクロコンピュータで構成され、例えば上記ＲＯＭ等に記憶されたプログラムに従った制御・処理を実行することで、光ディスクドライブ装置２０の全体制御を行う。
特に本実施の形態の場合、制御部３０は、以下で説明するような球面収差補正のための制御を行う。
【００９１】
ここで、前述もしたように本例においては、光ディスクＤの第１記録層Ｌ１が球面収差補正が不要な基準記録層となるように光学系が設計・調整されている。従って制御部３０は、第１記録層Ｌ１を対象として記録再生時には、変形可能ミラー装置１におけるミラー面３の変形が行われないように制御を行う。
具体的に、制御部３０は、第１記録層Ｌ１を対象とした記録再生時には、ミラー駆動回路３１に対し、変形可能ミラー装置１（駆動力発生素子９）に与えるべき駆動電圧レベルを０レベルとするように指示を行い、これによってミラー面３の変形が行われないようにする。
この場合の変形可能ミラー装置１におけるミラー面３の状態は、先の図１に示したものとなる。
【００９２】
一方、第２記録層Ｌ２、第３記録層Ｌ３の記録再生時には、ミラー面３が変形されるように制御を行う。
具体的に、第２記録層Ｌ２を対象とした記録再生時には、ミラー駆動回路３１に対し、駆動力発生素子９に与えるべき駆動電圧レベルを予め定められた第１の所定レベルとするように指示を行う。これにより、駆動力発生素子９に対しては、上記第１の所定レベルによる駆動電圧が印加される。
このように駆動力発生素子９に上記第１の所定レベルによる駆動電圧が印加されることにより、ミラー面３の中心部は、Ｚ軸方向において所定の変位量Δ１だけ変位し、ミラー面３の変形形状は、当該変位量Δ１に応じた変形形状となる。
【００９３】
また、制御部３０は、第３記録層Ｌ３を対象とした記録再生時には、ミラー駆動回路３１に対し、駆動力発生素子９に与えるべき駆動電圧レベルを上記第１の所定レベルよりも大となる第２の所定レベルとするように指示を行う。これにより、駆動力発生素子９に対しては、上記第２の所定レベルによる駆動電圧が印加される。
このように駆動力発生素子９に上記第２の所定レベルによる駆動電圧が印加されることにより、ミラー面３の中心部は、Ｚ軸方向において先の変位量Δ１よりも大である変位量Δ２だけ変位し、ミラー面３の変形形状は当該変位量Δ２に応じた変形形状となる。
【００９４】
ここで先に述べたように、変形可能ミラー板４に形成される断面形状パターン２ａは、押圧基準点に対する或る駆動力の印加（つまり変形可能ミラー板４の中心部の変位量Δ）に対するミラー面３の変形形状を決定づけるものとなる。
この場合の上記断面形状パターン２ａとしては、上記のように記録層Ｌ２に対しては変位量Δ１、記録層Ｌ３に対しては変位量Δ２となることに対応させて、上記変位量Δ１のときはミラー面３の形状としてカバー厚０．０２５mmのずれに応じて生じる球面収差を補正することのできる形状が得られ、且つ、上記変位量Δ２のときはミラー面３の形状としてカバー厚０．０５０mmのずれに応じて生じる球面収差を補正することのできる形状が得られるようにして、その形成パターンが設定される。
これにより、第２記録層Ｌ２、及び第３記録層Ｌ３における球面収差補正が適正に行われるようになっている。
【００９５】
なお、このように変位可能ミラー板４（可撓性部材２）に形成する断面形状パターン２ａは、球面収差補正のためのミラー面３の所定の変形形状を得るにあたって重要な要素となる。上記のようにして印加される駆動力の差（変位量Δの差）に応じてそれぞれ所定の変形形状が得られるようにするための強度分布パターン２ａの割り出しは、例えばＦＥＭ（Finite Element Method：有限要素法）シミュレーションツールを用いて行うことができる。
【００９６】
ここで、上記による説明では言及しなかったが、球面収差補正は、記録層Ｌごとに分けて行うのみでなく、ディスクの１周内においても行うことができる。すなわち、記録再生の対象とする記録層Ｌの面内において生じるカバー厚ムラに追従するようにして球面収差の補正を行うものである。
先の説明からも理解されるように、本実施の形態の変形可能ミラー装置１は、従来よりも高速応答が可能とされている。従って本実施の形態の変形可能ミラー装置１は、このようなディスク１周内での球面収差補正を行う場合において好適に用いることができる。
【００９７】
また、上記による説明では、変形可能ミラー装置１が光ディスクドライブ装置に適用される場合において、変形可能ミラー装置１を球面収差補正のために使用する例を挙げたが、例えば今後の普及が見込まれるいわゆるバルク記録型の光ディスクを想定した場合には、以下のような使用法が採られることも考えられる。
【００９８】
ここで、上記バルク記録型の光ディスクとは、いわゆるバルク層としての記録層を有し、当該バルク層内に多層記録を行うものである。このとき特徴的であるのは、上記バルク層には、現状の多層ディスクが備えているような記録層ごとの案内溝・反射膜は設けられていないという点である。
但し、再生時のことを考慮すると、記録位置は或る程度秩序あるものとされなければならない。このためバルク記録型の光ディスクには、フォーカスサーボやトラッキングサーボの基準となる基準面を、１層のみ設けるようにされている。この基準面には、例えばピット列やウォブリンググルーブなどによりディスクの半径位置情報や回転角度情報などの絶対位置情報が記録され、そこに反射膜が膜付けされている。
なお基準面は、一般的にはバルク層よりも手前側（レーザ光の出力端側から見て）に設けられる。
【００９９】
このようなメディア構造を前提とした上で、バルク記録型の光ディスクドライブ装置では、記録／再生を行うための記録再生光と、上記基準面を対象としたトラッキングサーボ・フォーカスサーボを行うためのサーボ光とをそれぞれ照射するようにされている。
そして特徴的であるのは、これら記録再生光とサーボ光とが、共通の対物レンズを介して照射されるという点である。
【０１００】
この場合のドライブ装置では、上記サーボ光による上記基準面に対するトラッキングサーボ・フォーカスサーボを実現するために、上記記録再生光用のフォトディテクタとは別途に、サーボ用のフォトディテクタ（サーボ用フォトディテクタ）が設けられる。
ここで、このようなサーボ光についての光学系も含めた全体的な光学系の具体的構成としては、例えば図７に示した「レーザダイオードＬＤ、コリメーションレンズ２１、偏光ビームスプリッタ２２、集光レンズ２５、フォトディテクタ２６」の組が上記記録再生光についての発光／受光系であると仮定とすると、当該図７に示される発光／受光系とは別に、上記サーボ光についての「レーザダイオードＬＤ、コリメーションレンズ２１、偏光ビームスプリッタ２２、集光レンズ２５、フォトディテクタ２６」の組による発光／受光系が追加されるものとなる。このとき、サーボ光についての発光／受光系は、当該サーボ光についての発光／受光系における偏光ビームスプリッタ２２から出射されるサーボ光が、例えば図７中に示される１／４波長板２３と変形可能ミラー装置１との間において記録再生光側と合成されるようにして設けられる。つまりこれにより、サーボ光が記録再生光と共に対物レンズ２４を介して光ディスクに照射され、且つサーボ光の反射光が上記サーボ光の発光／受光系におけるフォトディテクタ２６（サーボ用フォトディテクタ）に独立して導かれるようにされている。
【０１０１】
このようなサーボ用フォトディテクタによる受光信号に基づいては、前述のように、上記対物レンズ２４のフォーカスサーボ制御、及びトラッキングサーボ制御が行われる。具体的に、上述した基準面に対してフォーカスサーボがかけられ且つ上記基準面に形成されたピット列やグルーブに追従するようにトラッキングサーボがかけられるようにして対物レンズ２４の位置が制御される。
【０１０２】
このとき、記録再生光は、サーボ光と共に同じ対物レンズ２４を介して照射される。このため、記録再生光のトラッキング方向における位置は、上記基準面のピット列又はグルーブに沿うようにすることができる。すなわち、記録再生光のトラッキング方向の位置制御は、上記のようなサーボ光の反射光に基づく対物レンズ２４制御により行うことができる。
【０１０３】
但し、先の説明から理解されるように、記録再生光は、上記基準面よりも下層に形成されるバルク層内に合焦させる必要がある。
上記のようなサーボ光の反射光に基づく上記対物レンズ２４のサーボ制御のみが行われていたのでは、記録再生光は上記基準面に合焦してしまうので、何らかの手段により記録再生光の合焦位置を独立して制御できるようにする必要がある。
【０１０４】
このように記録再生光の合焦位置を独立して制御するための構成として、本実施の形態の変形可能ミラー装置１を用いることができる。
すなわち、例えば先に例示したように１／４波長板２３と変形可能ミラー装置１との間にサーボ光を合成（反射光については分岐）する構成を前提とした場合には、図７に示される位置に配置された変形可能ミラー装置１によって、記録再生光のフォーカス制御を独立して行うことができる。
この場合における記録再生光のフォーカス制御としては、予め基準面からバルク層内の各層位置までの距離に応じたフォーカスオフセット量を設定しておき、記録対象とする層位置に応じて、記録再生光に対応するフォーカスオフセット量が与えられるように変形可能ミラー装置１による合焦位置の調整が行われるようにすればよい。
【０１０５】
ここで、上記では記録時における記録再生光のフォーカス制御について言及したが、バルク記録型の光ディスクの再生時には、バルク層に対して既に形成された記録マーク列によって深さ方向の各記録位置（層位置）の判別を行うことができ、従って再生時のフォーカスサーボは、記録再生光の反射光に基づき行うことができる。具体的には、記録再生光の反射光から生成したフォーカスエラー信号に基づき、当該記録再生光の合焦点が対象とする層位置（記録マーク列）に一致した状態で維持されるように変形可能ミラー装置１の駆動制御を行うものである。
【０１０６】
このようにバルク型の光ディスクについての再生時には、変形可能ミラー装置１をフォーカスサーボ用の調整デバイスとして用いることが想定される。前述の通り、本実施の形態の変形可能ミラー装置１は高速応答性に優れるので、このようなフォーカスサーボ用の調整デバイスとしても好適に用いることができる。
【０１０７】
＜３．撮像装置への適用例＞
続いて、図８を参照して実施の形態としての変形可能ミラー装置１の撮像装置への適用例について説明する。
以下、変形可能ミラー装置１を適用した撮像装置については撮像装置４０と称する。
【０１０８】
図８において、撮像装置４０は、静止画像や動画像の撮像記録が可能なデジタルカメラ装置として構成されている。
先ず、撮像光学系として、図中のレンズＬ１、変形可能ミラー装置１、レンズＬ２、絞り４１が備えられる。
上記レンズＬ１、レンズＬ２は、後述する撮像素子４２に被写体光（像）を結像させるための撮像光学系におけるレンズ群を模式的に示している。レンズＬ１は、図示するように４５度ミラーとして設置された変形可能ミラー装置１に被写体光を導くためのレンズ群、またレンズＬ２は上記レンズＬ１を介して変形可能ミラー装置１のミラー面３にて反射された被写体光を撮像素子４２に導くためのレンズ群を模式的に示している。
なお実際において、撮像光学系は、より多数のレンズ、その他の光学素子を含んで構成されるものとなる。
【０１０９】
ここで、変形可能ミラー装置１は、図中のミラー駆動部４８により駆動される。具体的に、ミラー駆動部４８には先の図２に示した給電線９Ａ、９Ｂが接続されており、これら給電線９Ａ、９Ｂを介した駆動力発生素子９への給電を行うことで、変形可能ミラー装置１のミラー面３を変形させる。
【０１１０】
また、撮像光学系において、絞り４１は、上記変形可能ミラー装置１とレンズＬ２との間に挿入され、後述する制御部４６からの制御に基づき入射光の通過範囲を変化させることで撮像素子４２に結像される光学像の光量を調整するようにされる。
【０１１１】
撮像素子４２は、例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device）センサやＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）センサなどとされ、上記により説明した撮像光学系を介して結像した被写体光を光電変換し、Ｒ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）による撮像画像信号を得る。
この撮像素子４２の画像読み出し制御は、後述する制御部４６によって行われる。
【０１１２】
撮像処理部４３は、上記撮像素子４２により得られた（読み出された）信号についてゲイン調整や波形整形を行うサンプルホールド／ＡＧＣ(Automatic Gain Control)回路や、ビデオＡ／Ｄコンバータを備え、デジタルデータとしての撮像画像データを得る。また撮像画像データに対して感度バラツキ補正処理やホワイトバランス処理などを行う。
【０１１３】
信号処理部４４は、上記撮像処理部４３を介して得られる撮像画像データ（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対し、各種の画像信号処理を施す。例えば階調補正処理、シェーディング補正処理、高域補正（輪郭補正）処理などを施す。
また、信号処理部４４は、オートフォーカス制御を行うにあたっての評価指標となる合焦評価値を計算するための合焦評価値計算処理も行う。合焦評価値は、例えば撮像画像データのコントラスト値や高周波成分の大きさなどに基づいて計算することができる。
【０１１４】
圧縮処理部４５は、上記信号処理部４４による画像信号処理の施された撮像画像データについての圧縮処理を行う。例えば、ＪＰＥＧ（Joint Photographic Experts Group）方式に従った圧縮静止画像データの生成、或いはＭＰＥＧ（Moving Picture Experts Group）方式に従った圧縮動画像データの生成を行う。
圧縮処理部４５にて生成された圧縮画像データは、図示しない記録部に供給され、記録媒体に対して記録される。
【０１１５】
操作入力部４７は、例えばキー、ボタン、ダイヤル等の操作子を有し、例えば電源オン／オフを指示するための操作子や、撮像画像の記録の開始／停止を指示するための操作子など、各種の動作指示や情報入力を行うための操作子が形成される。
操作入力部４７は、その操作入力情報を制御部４６に供給し、制御部４６はこれらの操作入力情報に対応した必要な演算処理や制御を行う。これにより撮像装置４０は、操作入力に応じた動作を実行するようにされる。
【０１１６】
制御部４６は、例えばＣＰＵやＲＯＭなどのメモリを備えたマイクロコンピュータで構成され、例えば上記ＲＯＭ等に記憶されたプログラムに従った制御・処理を実行することで、撮像装置４０の全体制御を行う。
例えば、撮像処理部４３にて検出された撮像信号の光量の情報に基づき絞り４１を駆動制御することで、適正な絞り値が得られるように制御を行う。
また、上述した撮像素子４２の画像読み出しタイミングの制御なども行う。
【０１１７】
また、特に本例の場合は、信号処理部４４にて計算された合焦評価値に基づきミラー駆動回路４８に指示を行って変形可能ミラー装置１の変形状態を制御することで、オートフォーカス制御を行うようにされる。
【０１１８】
このようにして変形可能ミラー装置１は、撮像装置におけるフォーカシングデバイスとしても好適に適用できる。
【０１１９】
＜４．変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明としてはこれまでで説明した具体例に限定されるべきものではない。
例えばこれまでの説明では、可撓性部材２の中心Ｃを押圧基準点に設定することを前提として断面形状パターン２ａが形成される場合を例示したが、上記押圧基準点は中心Ｃ以外に設定することもできる。
例えば特許文献３において図２１や図２２を参照して説明されているように、変形可能ミラー装置を４５度ミラーとして用いる場合には、偏芯楕円状の断面形状パターンを設定することも考えられ、その場合には、中心Ｃ以外の点に押圧基準点を設定することになる。
何れにしろ、断面形状パターンとしては、押圧基準点を含んで形成される凸部が断面厚が最も大となるように設定されればよく、当該断面形状パターンが形成された可撓性部材に駆動力を印加するための構成としては、上記押圧基準点を含む凸部を、球面状の先端部を有する柱状部によって一点で押圧するように構成されていればよい。
【０１２０】
またこれまでの説明では、断面形状パターン２ａは楕円形状に形成する場合を例示したが、本発明における断面形状パターンとしては楕円形状に限定されるべきものではない。例えば特許文献３に記載されるように、変形可能ミラー装置を１８０度反射ミラー（入射光の光軸を１８０°変化させる）として用いる場合には、円形状の断面形状パターンを設定することもできる。
【０１２１】
また、変形可能ミラー装置の構成要素や各部の形状、具体的な材料についてもこれまでで説明したものに限定されるべきものではなく、本発明を逸脱しない範囲内において適宜変更が可能である。
例えば、駆動力発生素子９としては圧電素子でなく電磁アクチュエータなどの他の素子を用いることもできる。
また、予圧バネ７に関しても皿バネ以外の他の付勢部材を用いることができる。或いは予圧バネ７自体を省略した構成とすることもできる。
また、駆動力伝達子８や駆動力発生素子９を含む駆動部をケース５裏面側から支持するための構成は、調整ネジ１０を用いる以外の他の構成とすることもできる。
【０１２２】
またこれまでの説明では、本発明の変形可能ミラー装置が、光ディスクについてのドライブ装置や撮像装置に適用される場合を例示したが、例えば電子顕微鏡装置などの他の装置に対しても好適に適用することができる。
【符号の説明】
【０１２３】
１  変形可能ミラー装置、２  可撓性部材、２Ａ〜２Ｄ  楕円部、２Ｅ  フレーム、２Ｇ  肉薄部、３  反射膜：ミラー面、４  変形可能ミラー板、５  ケース、５Ａ  ガイド孔、５Ｂ  内部孔、６  ボール、７  予圧バネ、８  駆動力伝達子、９  駆動力発生素子、９Ａ,９Ｂ  給電線、１０  調整ネジ、１０Ａ,１０Ｂ  挿通口、１１  ロックナット、ＬＤ  レーザダイオード、２１  コリメーションレンズ、２２  偏光ビームスプリッタ、２３  １／４波長板、２４  対物レンズ、２５  集光レンズ、２６  フォトディテクタ、２７  マトリクス回路、２８  再生処理部、２９  サーボ回路、３０  制御部、３１,４８  ミラー駆動部、４０  撮像装置、４１  絞り、４２  撮像素子、４３  撮像処理部、４４  信号処理部、４５  圧縮処理部、４６  制御部、４７  操作入力部
【図１】
2011070052.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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