(57)【要約】【課題】本台座を容易に回収することができる薄板シリコンの製造方法を提供する。【解決手段】本台座と仮台座とを接着剤１を用いて接着する仮台座固定工程と、本台座に接着した仮台座の本台座側とは反対側の面に、接着剤２を用いてシリコンインゴットを接着して固定するシリコンインゴット固定工程と、仮台座を介して本台座に固定した状態でシリコンインゴットを複数個の薄板状の薄板シリコンに切断する切断工程と、仮台座から薄板シリコンを剥離する薄板シリコン分離工程と、本台座から仮台座を剥離する本台座回収工程とを有する薄板シリコンの製造方法であって、仮台座固定工程において、接着剤１として加熱又は紫外線照射により硬化する接着剤を用い、かつ、本台座回収工程において、本台座と仮台座との接着体を加熱又は紫外線照射することにより仮台座を破損することなく本台座から剥離する薄板シリコンの製造方法。【選択図】    なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
本台座と仮台座とを接着剤１を用いて接着する仮台座固定工程と、
前記本台座に接着した仮台座の本台座側とは反対側の面に、接着剤２を用いてシリコンインゴットを接着して固定するシリコンインゴット固定工程と、
前記仮台座を介して本台座に固定した状態で前記シリコンインゴットを複数個の薄板状の薄板シリコンに切断する切断工程と、
前記仮台座から前記薄板シリコンを剥離する薄板シリコン分離工程と、
前記本台座から前記仮台座を剥離する本台座回収工程とを有する薄板シリコンの製造方法であって、
前記仮台座固定工程において、前記接着剤１として加熱又は紫外線照射により硬化する接着剤を用い、かつ、前記本台座回収工程において、前記本台座と仮台座との接着体を加熱又は紫外線照射することにより前記仮台座を破損することなく前記本台座から剥離する
ことを特徴とする薄板シリコンの製造方法。
【請求項２】
接着剤１は、加熱又は紫外線照射により硬化する接着剤成分と、加熱又は紫外線照射により気体を発生する気体発生剤とを含有する接着剤であることを特徴とする請求項１記載の薄板シリコンの製造方法。
【請求項３】
接着剤成分は、エポキシ樹脂又は硬質（メタ）アクリルモノマーであることを特徴とする請求項２記載の薄板シリコンの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、本台座を容易に回収することができる薄板シリコンの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池等の電子部品に用いる薄板シリコンは、シリコンインゴットを切断して製造される。具体的には、例えば、ＳＵＳやアルミニウム等の金属からなる本台座上に、ガラス等からなる仮台座を接着して固定し、該仮台座上にシリコンインゴットを接着して固定し、この状態でワイヤーソー等を用いてシリコンインゴットを薄板状に切断する。その後、仮台座とシリコンインゴットとを接着する接着剤を溶解したり、温水中で膨潤させる等のプロセスを経て薄板シリコンを回収している（例えば、特許文献１、２等）。
【０００３】
しかしながら、従来の方法では薄板シリコンの回収にのみ工夫がなされ、薄板シリコンを回収した後に残される仮台座と本台座についてはほとんど研究の対象とされていない。仮台座を本台座から剥離するのが困難であることから、ハンマー等で仮台座を砕いているのが実情である（例えば、特許文献３）。しかしながらこの方法では、本台座の回収と再利用に多大な労力がかかってしまい、薄板シリコンの製造全体のコストアップ要因となってしまっていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平６−４５２９７号公報
【特許文献２】特開平８−４５８８１号公報
【特許文献３】特開平６−２０８９７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、本台座を容易に回収することができる薄板シリコンの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、本台座と仮台座とを接着剤１を用いて接着する仮台座固定工程と、前記本台座に接着した仮台座の本台座側とは反対側の面に、接着剤２を用いてシリコンインゴットを接着して固定するシリコンインゴット固定工程と、前記仮台座を介して本台座に固定した状態で前記シリコンインゴットを複数個の薄板状の薄板シリコンに切断する切断工程と、前記仮台座から前記薄板シリコンを剥離する薄板シリコン分離工程と、前記本台座から前記仮台座を剥離する本台座回収工程とを有する薄板シリコンの製造方法であって、前記仮台座固定工程において、前記接着剤１として加熱又は紫外線照射により硬化する接着剤を用い、かつ、前記本台座回収工程において、前記本台座と仮台座との接着体を加熱又は紫外線照射することにより前記仮台座を破損することなく前記本台座から剥離する薄板シリコンの製造方法である。
以下に本発明を詳述する。
【０００７】
本発明者は、薄板シリコンの製造方法において用いる本台座と仮台座との接着を、加熱又は紫外線照射により硬化する接着剤を用いて行うことにより、薄板シリコンを回収した後に残される仮台座と本台座との接着体を加熱又は紫外線照射するだけで、容易に仮台座を剥離して本台座を回収できることを見出し、本発明を完成した。
【０００８】
本発明の薄板シリコンの製造方法は、本台座と仮台座とを接着剤１を用いて接着する仮台座固定工程を有する。
上記本台座は、シリコンインゴットを薄板状に切断する際に、シリコンインゴットがぶれないように固定するための台である。
上記本台座は特に限定されず、ＳＵＳやアルミニウム等の金属からなる従来公知のものを用いることができる。
【０００９】
上記仮台座は、シリコンインゴットと本台座との間に配置されるものである。シリコンインゴットを薄板状に切断する場合、切断を確実に行うためには台座部分に達する程度にまで切り込む必要がある。シリコンインゴットを本台座に直接固定した場合、本台座が金属からなるものであると、切断時に切断機のブレードを傷めてしまうことがある。一方、本台座をガラス等の切断可能なものとした場合には、本台座を固定するときに本台座を破損してしまったりすることがある。
シリコンインゴットと本台座との間に仮台座を配置することにより、本台座をしっかり固定できるとともに、切断を確実に行うことができる。
上記仮台座は特に限定されず、ガラス等からなる従来公知のものを用いることができる。
【００１０】
上記本台座と仮台座とを接着する接着剤１は、加熱又は紫外線照射により硬化する接着剤である。このような接着剤１を用いることにより、後述する本台座回収工程において、容易かつ破損させることなく仮台座を剥離することができる。
【００１１】
上記接着剤１は、加熱又は紫外線照射により硬化する接着剤であれば特に限定されないが、加熱又は紫外線照射により硬化する接着剤成分と、加熱又は紫外線照射により気体を発生する気体発生剤とを含有する接着剤が好適である。上記気体発生剤を含有する接着剤１を用いて本台座と仮台座とを接着した場合には、後述する本台座回収工程において、本台座と仮台座との接着体を加熱又は紫外線照射することにより接着剤１中に含まれる気体発生剤から気体が発生し、発生した気体が本台座と仮台座との接着界面に放出される。この気体の放出による剥離圧力により、仮台座を破損することなく容易に本台座から剥離することができる。
【００１２】
上記接着剤１に含まれる接着剤成分は特に限定されないが、本台座と仮台座とを充分に固定して後述する切断工程においてもシリコンインゴットのぶれが発生しにくくするためには、硬化物が１０Ｍｐａ以上程度の高いせん断弾性率を有することが必要であり、これらを達成する為には、エポキシ樹脂、又は、硬質（メタ）アクリルモノマー等が好適である。エポキシ樹脂、又は、硬質（メタ）アクリルモノマー等を硬化させた硬化物は高硬度となり、このような硬い硬化物中で気体発生剤から気体を発生させると、発生した気体は硬化物中に留まることができずその大部分が被着体との界面に放出されることから、より高い剥離圧力を得ることができる。
【００１３】
上記エポキシ樹脂は特に限定はされないが、例えば、エピコート８２８ＥＬ、エピコート１００３（いずれもジャパンエポキシレジン社製）等のビスフェノールＡ型エポキシ樹脂や、エピコート８０６、エピコート４００４（いずれもジャパンエポキシレジン社製）等のビスフェノールＦ型エポキシ樹脂や、エピクロンＥＸＡ１５１４（大日本インキ社製）等のビスフェノールＳ型エポキシ樹脂や、ＲＥ−８１０ＮＭ（日本化薬社製）等の２，２’−ジアリルビスフェノールＡ型エポキシ樹脂や、エピクロンＥＸＡ７０１５（大日本インキ社製）等の水添ビスフェノール型エポキシ樹脂や、ＥＰ−４０００Ｓ（旭電化社製）等のプロピレンオキシド付加ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂や、ＥＸ−２０１（ナガセケムテックス社製）等のレゾルシノール型エポキシ樹脂や、エピコートＹＸ−４０００Ｈ（ジャパンエポキシレジン社製）等のビフェニル型エポキシ樹脂や、ＹＳＬＶ−５０ＴＥ（東都化成社製）等のスルフィド型エポキシ樹脂や、ＹＳＬＶ−８０ＤＥ（東都化成社製）等のエーテル型エポキシ樹脂や、ＥＰ−４０８８Ｓ（旭電化社製）等のジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂や、エピクロンＨＰ４０３２、エピクロンＥＸＡ−４７００（いずれも大日本インキ社製）等のナフタレン型エポキシ樹脂や、エピコート１５２、エピコート１５４（油化シェルエポキシ社製）、エピクロンＮ−７７０（大日本インキ社製）等のフェノールノボラック型エポキシ樹脂や、ＥＳＣＮ１９５  （住友化学工業社製）等のクレゾールノボラック型エポキシ樹脂等が挙げられる。これらのエポキシ樹脂は単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００１４】
上記接着剤１エポキシ樹脂である場合には、上記接着剤１は、エポキシ樹脂を硬化させる硬化剤を含有することが好ましい。
上記硬化剤は特に限定されず、例えば、アミン化合物、多価フェノール系化合物、酸無水物等が挙げられる。
【００１５】
上記硬質（メタ）アクリルモノマーは、単独又は複数の重合体が５Ｍｐａ以上の弾性率を達成するものであれば特に限定されないが、例えば、重合体のガラス転移温度（Ｔｇ）が０℃以上である（メタ）アクリルモノマーを用いることができる。
上記硬質（メタ）アクリルモノマーは特に限定されず、例えば、ｔ−ブチルアクリレートやラウリルアクリレート、ステアリルアクリレート、イソボロニルアクリレート等のアクリレート、ベンジルアクリレート等の（メタ）アクリルモノマーや芳香族又は脂環式構造を有する２−メタクロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸（共栄社製、ライトエステルＨＯ−ＭＰＰ）、ジシクロペンテニルアクリレート（日立化成社製、ＦＡ−５１１Ａ）、ジシクロペンテニルオキシエチルアクリレート（日立化成社製、ＦＡ−５１２Ａ）、ジシクロペンタニルアクリレート（日立化成社製、ＦＡ−５１３Ａ）、イソボニルアクリレート（東亞合成社製、Ｍ−１５６）、ｔ−ブチルシクロヘキシルアクリレート（ダイセルユーシービー社製、ＩＲＲ１６４）、ビスフェノールＡのエチレンオキサイド２モル付加物ジメタクレート（共栄社製、ライトエステルＢＰ−２ＥＭ）、ビスフェノールＡのエチレンオキサイド４モル付加物ジメタクレート（共栄社製、ライトエステルＢＰ−４ＥＭ）、ビスフェノールＡのエチレンオキサイド６モル付加物ジメタクレート（共栄社製、ライトエステルＢＰ−６ＥＭ）、ビスフェノールＡのエチレンオキサイド１０モル付加物ジメタクレート、ビスフェノールＡのエチレンオキサイド２０モル付加物ジメタクレート、ビスフェノールＡのプロピレンオキサイド４モル付加物ジメタクレート（共栄社製、ライトエステルＢＰ−４ＰＭ）、ビスフェノールＡのエチレンオキサイド１０モル付加物ジアクリレート（共栄社製、ライトエステルＢＰ−１０Ｅａ、ビスフェノールＡのエチレンオキサイド４モル付加物ジアクリレート、ビスフェノールＡのエチレンオキサイド６モル付加物ジアクリレート、ビスフェノールＡのエチレンオキサイド１０モル付加物ジアクリレート、ビスフェノールＡのエチレンオキサイド２０モル付加物ジアクリレート（サートマー社製、９０３５Ａ）、ビスフェノールＡのプロピレンオキサイド４モル付加物ジアクリレート、ビスフェノールＦのエチレンオキサイド２モル付加物ジアクりレート（東亞合成社製、Ｍ−２０８）、ビスフェノールＦのエチレンオキサイド２モル付加物ジメタクレート、ＥＢ３７００（ダイセルサイテック社製）、ＥＢ−３７０８（ダイセルサイテック社製）が挙げられる。これらの硬質（メタ）アクリルモノマーは単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００１６】
上記接着剤１に含まれる接着剤成分が硬質（メタ）アクリルモノマーである場合には、上記接着剤１は熱重合開始剤又は光重合開始剤を含有することが好ましい。
上記光重合開始剤は、例えば、２５０〜８００ｎｍの波長の光を照射することにより活性化されるものが挙げられる。
上記光重合開始剤は、具体的には例えば、メトキシアセトフェノン等のアセトフェノン誘導体化合物や、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル系化合物や、ベンジルジメチルケタール、アセトフェノンジエチルケタール等のケタール誘導体化合物や、フォスフィンオキシド誘導体化合物や、ビス（η５−シクロペンタジエニル）チタノセン誘導体化合物や、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、クロロチオキサントン、トデシルチオキサントン、ジメチルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシメチルフェニルプロパン等の光ラジカル重合開始剤が挙げられる。これらの光重合開始剤は、単独で用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。
【００１７】
上記熱重合開始剤は、熱により分解し、重合硬化を開始する活性ラジカルを発生するものが挙げられる。
上記熱重合開始剤は、具体的には例えば、ジクミルパーオキサイド、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、ｔ−ブチルパーオキシベンゾエート、ｔ−ブチルハイドロパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、パラメンタンハイドロパーオキサイド、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド等が挙げられる。なかでも、熱分解温度が高いことから、クメンハイドロパーオキサイド、パラメンタンハイドロパーオキサイド、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド等が好適である。これら熱重合開始剤は、単独で用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。
【００１８】
上記気体発生剤は特に限定されず、例えば、アジド化合物、アゾ化合物等が挙げられる。
上記アゾ化合物は、例えば、２，２’−アゾビス−（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス｛２−メチル−Ｎ−［１，１−ビス（ヒドロキシメチル）−２−ヒドロキシエチル］プロピオンアミド｝、２，２’−アゾビス｛２−メチル−Ｎ−［２−（１−ヒドロキシブチル）］プロピオンアミド｝、２，２’−アゾビス［２−メチル−Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）プロピオンアミド］、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−プロペニル）−２−メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビス（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス（Ｎ−シクロヘキシル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス［２−（５−メチル−２−イミダゾリン−２−イル）プロパン］ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［２−（２−イミダゾリン−２−イル）プロパン］ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［２−（２−イミダゾリン−２−イル）プロパン］ジサルフェイトジハイドロレート、２，２’−アゾビス［２−（３，４，５，６−テトラハイドロピリミジン−２−イル）プロパン］ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス｛２−［１−（２−ヒドロキシエチル）−２−イミダゾリン−２−イル］プロパン｝ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［２−（２−イミダゾリン−２−イル）プロパン］、２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオンアミジン）ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス（２−アミノプロパン）ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−カルボキシアシル）−２−メチル−プロピオンアミジン］、２，２’−アゾビス｛２−［Ｎ−（２−カルボキシエチル）アミジン］プロパン｝、２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオンアミドオキシム）、ジメチル２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオネート）、ジメチル２，２’−アゾビスイソブチレート、４，４’−アゾビス（４−シアンカルボニックアシッド）、４，４’−アゾビス（４−シアノペンタノイックアシッド）、２，２’−アゾビス（２，４，４−トリメチルペンタン）等が挙げられる。なかでも、熱分解温度が高く、耐熱性に優れることから２，２’−アゾビス−（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス（Ｎ−シクロヘキシル−２−メチルプロピオンアミド）が好適である。
【００１９】
上記アジド化合物は、例えば、３−アジドメチル−３−メチルオキセタン、テレフタルアジド、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルベンズアジドや、３−アジドメチル−３−メチルオキセタンを開環重合することにより得られるグリシジルアジドポリマー等のアジド基を有するポリマー等が挙げられる。
【００２０】
本発明の薄板シリコンの製造方法は、上記本台座に接着した仮台座の本台座側とは反対側の面に、接着剤２を用いてシリコンインゴットを接着して固定するシリコンインゴット固定工程を有する。これにより、シリコンインゴットは、仮台座を介して本台座に固定される。
上記シリコンインゴットは、薄板シリコンの原料となるものであり、定法によって調製されたものを用いることができる。
【００２１】
上記シリコンインゴットを接着して固定する接着剤２は特に限定されず、例えば、熱硬化型エポキシ接着剤、熱可塑型のエポキシ接着剤、温水剥離型のエポキシ接着剤等が挙げられる。環境への影響負荷や分離後の残渣の観点から、例えば、水溶性のポリエチレングリコール骨格をもったエポキシ接着剤のような、硬化物が温水で膨潤する接着剤が好適である。このような硬化物が温水で膨潤する接着剤を用いてシリコンインゴットを仮台座に固定すれば、後述する薄板シリコン分離工程において、全体を温水に浸漬するだけで容易に薄板シリコンを仮台座から剥離して回収することができる。
【００２２】
上記接着剤２は、光カチオン開始剤とエポキシ樹脂とを含有する光後硬化型の接着剤も好適である。光後硬化型の接着剤を用いれば、接着剤を仮台座に塗工し、紫外線等を照射した後にシリコンインゴットを重ねれば、極めて容易に接着を行うことができる。
【００２３】
本発明の薄板シリコンの製造方法は、上記仮台座を介して本台座に固定した状態でシリコンインゴットを複数個の薄板状の薄板シリコンに切断する切断工程を有する。
上記シリコンインゴットを切断する方法は特に限定されず、ワイヤーソー等の切断機を用いた通常の方法を用いることができる。
なお、切削ゴミの固着や破損を防止するために、切削水を噴射しながら切断を行うことが好ましい。
【００２４】
本発明の薄板シリコンの製造方法は、上記仮台座から薄板シリコンを剥離する薄板シリコン分離工程を有する。
上記切断工程後には仮台座と薄板シリコンとは、薄板シリコンの厚み分だけでしか接着されていない。従って、仮台座と薄板シリコンとの剥離は比較的容易に行うことができる。
【００２５】
例えば、上記接着剤２として硬化物が温水で膨潤する接着剤を用いた場合には、全体を温水に浸漬することにより、温水が接着剤に侵入して膨潤させることにより接着力を低下させ、容易に薄板シリコンを剥離して回収することができる。
【００２６】
上記薄板シリコン分離工程後、剥離した薄板シリコンを回収して製品として供する。一方、薄板シリコンを回収した後には、仮台座と本台座との接着体が残される。
本発明の薄板シリコンの製造方法は、上記本台座から仮台座を剥離する本台座回収工程を有する。
上記仮台座固定工程において、本台座と仮台座とを接着する接着剤１として加熱又は紫外線照射により接着力の低下する接着剤を用いたことから、本台座と仮台座との接着体を加熱又は紫外線照射することにより仮台座を破損することなく本台座から剥離することができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、本台座を容易に回収することができる薄板シリコンの製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下に実施例を挙げて本発明の態様を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例にのみ限定されるものではない。
【００２９】
（実施例１）
（１）接着剤１の調製
液状エポキシ樹脂（エピコート８２８、ジャパンエポキシレジン社製）６０重量部、固形エポキシ樹脂（エピコート１００３、ジャパンエポキシレジン社製）４０重量部に気体発生剤として１，１’−アゾビス（シクロヘキサン−１−カルボニトリル）を１５重量部と２，２’−アゾビス（Ｎ−ブチル−２−メチルプロパンアミド）１５重量部とを加え、攪拌して主剤を調製した。この主剤に、硬化剤としてＳＴ１１（ジャパンエポキシレジン社製）１５重量部を貼り合わせ直前に加えて混合したものを接着剤１とした。なお、この接着剤１の硬化物のせん断弾性率は１２００ＭＰａであった。
【００３０】
（２）接着剤２の調製
エチレングリコール骨格を有し両末端にエポキシ基を有するエポキシ樹脂としてデナコールＥＸ８６１（ナガセケムテックス社製）１００重量部、プロピレングリコール骨格を有し両末端にエポキシ基を有するエポキシ樹脂としてデナコールＥＸ９１１（ナガセケムテックス社製）５０重量部、カチオン重合開始剤としてＣＰＩ−１００Ｐ（サンアプロ社製）５重量部、及び、分子量２００のポリエチレングリコール４０重量部を混合して、接着剤２を調製した。
【００３１】
（３）薄板シリコンの製造
アルミニウム製の本台座（３００ｍｍ×３００ｍｍ×５０ｍｍ厚）に接着剤１をプラスチック製のヘラで均一に薄く塗り、ガラス製の仮台座（２００ｍｍ×２００ｍｍ×１０ｍｍ厚）を貼り合わせた。次いで、仮台座の上に接着剤２をヘラで均一に薄く塗り、５０ｍＷ／ｃｍ２の強度で６０秒間紫外線照射した後、シリコンインゴット（１２５ｍｍ×１００ｍｍ×１２５ｍｍ）を貼り合わせた。その後、貼り合わせたものを６０℃、１２０分間加熱し接着させて積層物を得た
【００３２】
得られた積層物をシリコン側よりマルチワイヤーソーにより、切断後の薄板シリコンの厚みが２００μｍになるように切断した。その後、６０℃の温水に１０分間浸漬し、仮台座と薄板シリコンウェハとを分離し、薄板シリコンを回収した。
更に、分離された本台座／仮台座の積層物のガラス側より、１００ｍＷ／ｃｍ２の強度で６０秒間紫外線照射したところ、手で容易に剥離して本台座を回収することができた。
【００３３】
同様の方法により分離された本台座／仮台座の積層物は、オーブンで１５０℃×５分間加熱することによっても、手で容易に剥離して本台座を回収することができた。
【００３４】
（実施例２）
液状エポキシ樹脂（エピコート８２８、ジャパンエポキシレジン社製）６０重量部、液状多官能エポキシ樹脂（エピコート１５２、ジャパンエポキシレジン社製）４０重量部に気体発生剤として１，１’−アゾビス（シクロヘキサン−１−カルボニトリル）を１５重量部と２，２’−アゾビス（Ｎ−ブチル−２−メチルプロパンアミド）１５重量部とを加え、攪拌して主剤を調製した。この主剤に、硬化剤としてＳＴ１１（ジャパンエポキシレジン社製）１５重量部を貼り合わせ直前に加えて混合したものを接着剤１とした。なお、この接着剤１の硬化物のせん断弾性率は２５００ＭＰａであった。
【００３５】
得られた接着剤１を用いた以外は実施例１と同様にして、薄板シリコンの製造を行った。
分離された本台座／仮台座の積層物のガラス側より、１００ｍＷ／ｃｍ２の強度で６０秒間紫外線照射したところ、手で容易に剥離して本台座を回収することができた。
また、分離された本台座／仮台座の積層物は、オーブンで１５０℃×５分間加熱することによっても、手で容易に剥離して本台座を回収することができた。
【００３６】
（実施例３）
（１）接着剤１の調製
ｔ−ブチルアクリレート８０重量部、メチルメタクリレート２０重量部、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート１０重量部、及び、光重合開始剤としてイルガキュアー６５１を２重量部を加え、更にガス発生剤として１，１’−アゾビス（シクロヘキサン−１−カルボニトリル）１５重量部と、２，２’−アゾビス（Ｎ−ブチル−２−メチルプロパンアミド）１５重量部と加え攪拌し、接着剤１を得た。なお、この接着剤１の硬化物のせん断弾性率は１５ＭＰａであった。
【００３７】
（２）接着剤２の調製
エチレングリコール骨格を有し両末端にエポキシ基を有するエポキシ樹脂としてデナコールＥＸ８６１（ナガセケムテックス社製）１００重量部、プロピレングリコール骨格を有し両末端にエポキシ基を有するエポキシ樹脂としてデナコールＥＸ９１１（ナガセケムテックス社製）５０重量部、カチオン重合開始剤としてＣＰＩ−１００Ｐ（サンアプロ社製）５重量部、及び、分子量２００のポリエチレングリコール４０重量部を混合して、接着剤２を調製した。
【００３８】
（３）薄板シリコンの製造
アルミニウム製の本台座（３００ｍｍ×３００ｍｍ×５０ｍｍ厚）に接着剤１をプラスチック製のヘラで均一に薄く塗り、ガラス製の仮台座（２００ｍｍ×２００ｍｍ×１０ｍｍ厚）を貼り合わせた後、５０ｍＷ／ｃｍ２の強度で６０秒間紫外線照射した。次いで、仮台座の上に接着剤２をヘラで均一に薄く塗り、５０ｍＷ／ｃｍ２の強度で６０秒間紫外線照射した後、シリコンインゴット（１２５ｍｍ×１００ｍｍ×１２５ｍｍ）を貼り合わせた。その後、貼り合わせたものを８０℃、３０分間加熱し接着させて積層物を得た。
【００３９】
得られた積層物をシリコン側よりマルチワイヤーソーにより、切断後の薄板シリコンの厚みが２００μｍになるように切断した。その後、６０℃の温水に１０分間浸漬し、仮台座と薄板シリコンウェハとを分離し、薄板シリコンを回収した。
更に、分離された本台座／仮台座の積層物のガラス側より、１００ｍＷ／ｃｍ２の強度で６０秒間紫外線照射したところ、手で容易に剥離して本台座を回収することができた。
【００４０】
同様の方法により分離された本台座／仮台座の積層物は、オーブンで１５０℃×５分間加熱することによっても、手で容易に剥離して本台座を回収することができた。
【００４１】
（実施例４）
脂環式多官能アクリレート（ライトエステルＤＣＰ−Ｍ１００、共栄社化学社製）７０重量部、ジシクロペンテニルアクリレート３０重量部、及び、光重合開始剤としてイルガキュアー６５１（チバケミカルスペシャリティ社製）２重量部を加え、更に気体発生剤として１，１’−アゾビス（シクロヘキサン−１−カルボニトリル）１５重量部と、２，２’−アゾビス（Ｎ−ブチル−２−メチルプロパンアミド）１５重量部とを加え攪拌し、接着剤１を得た。なお、この接着剤１の硬化物のせん断弾性率は３００ＭＰａであった。
【００４２】
得られた接着剤１を用いた以外は実施例３と同様にして、薄板シリコンの製造を行った。
分離された本台座／仮台座の積層物のガラス側より、１００ｍＷ／ｃｍ２の強度で６０秒間紫外線照射したところ、手で容易に剥離して本台座を回収することができた。
また、分離された本台座／仮台座の積層物は、オーブンで１５０℃×５分間加熱することによっても、手で容易に剥離して本台座を回収することができた。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明によれば、本台座を容易に回収することができる薄板シリコンの製造方法を提供することができる。