(57)【要約】【課題】乾燥気体の再生処理の省エネルギーを図る。【解決手段】乾燥気体の再生方法２０は、加熱工程２１とトラップ工程２２と圧縮工程２３と吸着工程２４と脱着工程２５とを有する。加熱工程２１では、第１排気４０１ｂを飽和蒸気３００ａとの熱交換により加熱する。加熱工程２１により、第１排気４０１ｂから第１乾燥気体４０１ａが再生する。加熱工程２１を経た飽和蒸気３００ａは、排出物３００ｂとなる。トラップ工程２２及び圧縮工程２３により、排出物３００ｂから圧縮蒸気３００ｄを得る。吸着工程２４により、第２排気４０２ｂから第２乾燥気体４０２ａが再生する。脱着工程２５では、溶剤を吸着した処理後吸着剤４１０ｂに圧縮蒸気３００ｄをあてる。処理後吸着剤４１０ｂは処理前吸着剤４１０ａとなる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリマー及び溶剤を含む湿潤フィルムを乾燥してフィルムを得る第１乾燥工程の第１排気から前記第１乾燥工程に供給する第１気体を再生するために、ボイラでつくられた飽和蒸気との熱交換により、前記湿潤フィルムの温度よりも高くなるまで前記第１排気を加熱する加熱工程と、
前記飽和蒸気から生成した前記加熱工程の排出物から排水を取り出すトラップ工程と、
このトラップ工程を経た前記排出物に含まれ、前記飽和蒸気よりも温度の低い低温蒸気を圧縮する圧縮工程とを有し、
前記加熱工程では、前記圧縮された低温蒸気を用いて、前記第１排気を加熱することを特徴とする乾燥気体の再生方法。
【請求項２】
ポリマー及び溶剤を含む湿潤フィルムを乾燥してフィルムを得る第１乾燥工程の第１排気から前記第１乾燥工程に供給する第１気体を再生するために、ボイラでつくられた飽和蒸気との熱交換により、前記湿潤フィルムの温度よりも高くなるまで前記第１排気を加熱する加熱工程と、
前記飽和蒸気から生成した前記加熱工程の排出物から排水を取り出すトラップ工程と、
このトラップ工程を経た前記排出物に含まれ、前記飽和蒸気よりも温度の低い低温蒸気を圧縮する圧縮工程と、
前記フィルムを乾燥する第２乾燥工程の第２排気から前記第２乾燥工程に供給する第２気体を再生するために、前記フィルムから蒸発した前記溶剤を含む前記第２排気を前記溶剤の吸着剤に接触させる吸着工程であって、この吸着工程を経た前記吸着剤に前記圧縮された低温蒸気をあてて、前記吸着剤に吸着した溶剤を脱着させる脱着工程とを有することを特徴とする乾燥気体の再生方法。
【請求項３】
前記脱着工程では、前記圧縮された低温蒸気とともに脱着用ボイラにて生成した脱着用蒸気を、前記吸着工程を経た前記吸着剤にあてることを特徴とする請求項２記載の乾燥気体の再生方法。    
【請求項４】
前記圧縮工程前に、前記低温蒸気から生成したドレイン水を取り除くことを特徴とする請求項１ないし３のうちいずれか１項記載の乾燥気体の再生方法。
【請求項５】
前記湿潤フィルムは、前記ポリマー及び前記溶剤を含み、支持体上に形成された流延膜のうち、前記支持体から剥ぎ取られたものであることを特徴とする請求項１ないし４のうちいずれか１項記載の乾燥気体の再生方法。
【請求項６】
ポリマー及び溶剤を含む湿潤フィルムを乾燥してフィルムとする第１乾燥装置の第１排気から前記第１乾燥装置に供給する第１気体を再生するために、前記湿潤フィルムよりも高い温度の飽和蒸気との熱交換により、前記第１排気を加熱する蒸気ヒータと、
前記飽和蒸気から生成した前記蒸気ヒータの排出物から排水を取り出すトラップ装置と、
このトラップ装置から送り出された前記排出物に含まれ、前記飽和蒸気よりも温度の低い低温蒸気を圧縮する圧縮装置と、
前記圧縮された低温蒸気を前記蒸気ヒータへ供給する低温蒸気供給装置とを有することを特徴とする乾燥気体の再生設備。
【請求項７】
前記蒸気ヒータは、
第１の飽和蒸気が送られる第１加熱部と、
前記第１の飽和蒸気よりも温度が低い第２の飽和蒸気が送られる第２加熱部と、
前記第２加熱部、前記第１加熱部、及び前記第１乾燥装置へと前記第１排気を順次送る排気供給部とを有し、
前記低温蒸気供給装置は、前記圧縮された低温蒸気を前記第２加熱部へ供給することを特徴とする請求項６記載の乾燥気体の再生設備。
【請求項８】
ポリマー及び溶剤を含む湿潤フィルムを乾燥してフィルムとする第１乾燥装置の第１排気から前記第１乾燥装置に供給する第１気体を再生するために、前記湿潤フィルムよりも高い温度の飽和蒸気との熱交換により、前記第１排気を加熱する蒸気ヒータと、
前記飽和蒸気から生成した前記蒸気ヒータの排出物から排水を取り出すトラップ装置と、
このトラップ装置から送り出された前記排出物に含まれ、前記飽和蒸気よりも温度の低い低温蒸気を圧縮する圧縮装置と、
前記フィルムを乾燥する第２乾燥装置の第２排気から前記第２乾燥装置に供給する第２気体を再生するために、前記フィルムから蒸発した前記溶剤を含む前記第２排気を前記溶剤の吸着剤に接触させる吸着装置と、
前記圧縮装置により圧縮された低温蒸気を前記溶剤が吸着した吸着剤へ供給する脱着装置と、
前記吸着剤に前記第２排気のみが接触する状態、及び前記吸着剤に前記低温蒸気のみが接触する状態が交互になるように、前記吸着装置及び前記脱着装置を制御する切替装置とを有することを特徴とする乾燥気体の再生設備。
【請求項９】
脱着用ボイラにより生成した脱着用蒸気を、前記圧縮された低温蒸気とともに、前記吸着剤に接触させる脱着用蒸気供給装置を有することを特徴とする請求項８記載の乾燥気体の再生設備。
【請求項１０】
前記吸着剤を収納する吸着塔が複数設けられ、
前記切替装置は、前記第１排気が第１吸着塔へ送られ、前記第２排気が第２吸着塔へ送られる状態と、前記第１排気が第２吸着塔へ送られ、前記第２排気が第１吸着塔へ送られる状態とを切り替えることを特徴とする請求項８または９記載の乾燥気体の再生設備。
【請求項１１】
前記トラップ装置及び前記圧縮装置の間に設けられ、前記低温蒸気から生成したドレイン水を取り除くドレイン除去装置を有することを特徴とする請求項６ないし１０のうちいずれか１項記載の乾燥気体の再生設備。
【請求項１２】
前記第１乾燥装置は、前記ポリマー及び前記溶剤を含むドープを流出するダイ、前記流出した前記ドープから流延膜を形成する支持体、及び、前記流延膜を前記支持体から剥ぎ取って前記湿潤フィルムとする剥取部を備える流延装置と接続することを特徴とする請求項６ないし１１のうちいずれか１項記載の乾燥気体の再生設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポリマー及び溶剤を含む湿潤フィルムの乾燥工程、及びこの乾燥工程により得られるフィルムの乾燥工程に利用可能な乾燥気体を、各乾燥工程の排気から再生する乾燥気体の再生方法及び設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
ポリマーフィルム（以下「フィルム」とする）は、優れた光透過性や柔軟性を有し、軽量薄膜化が可能であることから、光学機能性フィルムとして多岐に利用されている。この中でも、セルロースアシレート等を用いたセルロースエステル系フィルムは、前述の特性に加えて、さらに強靭性や低複屈折率を有している。このセルロースエステル系フィルムは、近年市場が拡大している液晶表示装置（ＬＣＤ）の構成部材である偏光板の保護フィルムや光学補償フィルムとして利用されている。
【０００３】
このフィルムの製造方法として溶液製膜方法がある。溶液製膜方法では、まず、流延室においてポリマーと溶剤とが含まれたドープを連続的に流出し支持体上に流延膜を形成する（以下、膜形成工程と称する）。そして、流延膜が自己支持性を有するものとなった後に、支持体から流延膜を剥ぎ取って湿潤フィルムとする。その後、テンタ室内で湿潤フィルムを搬送させながら乾燥させてフィルムを得る。最後に、フィルムは、乾燥室を経て、巻取装置によって巻き取られる。
【０００４】
この溶液製膜方法では、密閉された処理室内において、流延膜、湿潤フィルム、またはフィルムに所定の乾燥気体を接触させることにより、流延膜、湿潤フィルム、またはフィルムから溶剤を蒸発させる（以下、乾燥工程と称する）。ところが、乾燥工程における溶剤の蒸発効率を維持するためには、処理室内の雰囲気における溶剤の濃度を所定の範囲内で維持する必要がある。そこで、各室内の雰囲気の一部を回収し、流延膜等から蒸発した溶剤を、回収された気体（以下、回収気体と称する）から取り出す工程（以下、溶剤取り出し工程と称する）、及び溶剤取り出し工程を経た回収空気を加熱する工程（以下、加熱工程と称する）が行われている（例えば、特許文献１）。また、加熱工程では、飽和蒸気との熱交換により回収空気を加熱する蒸気ヒータを用いることが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１６５１２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
加熱工程において、飽和蒸気は回収空気との熱交換により冷却される結果、加熱工程から排出される排出物には、飽和蒸気よりも低温の蒸気（以下、排蒸気と称する）や排水が含まれる。加熱工程の後、排水及び排蒸気から凝縮した水（以下、総称してドレイン水と称する）と、排蒸気のうち気体として残っている蒸気（以下、低温蒸気と称する）とを分離するトラップ工程が行われる。ドレイン水は、所定の処理により、水として、或いは、熱源として再利用することができる。ところが、低温蒸気の温度が水の沸点近傍であるため、低温蒸気の再利用が困難となる。例えば、低温蒸気を熱源として再利用しようとする場合には、低温蒸気の移送中に低温蒸気からドレイン水が生成する結果、低温蒸気の熱エネルギーを有効に利用することが困難である。また、低温蒸気から生成したドレイン水を再利用する場合には、ドレイン水の加熱に要する熱エネルギーが更に必要になる。低温蒸気から再利用可能なドレイン水を生成する場合には、別途の凝縮処理が必要となってしまう。このように、低温蒸気を再利用することは、省エネルギーの点から実現が困難であったため、従来は、低温蒸気をそのまま大気中に廃棄していた。
【０００７】
しかしながら、このような低温蒸気の排気を継続して行うことは、膨大な熱エネルギーの放出となるため好ましくない。したがって、省エネルギーの点から、低温蒸気が有する熱エネルギーの再利用が課題となっている。
【０００８】
本発明は、低温蒸気が有する熱エネルギーを再利用可能な乾燥気体の再生方法及び設備を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の乾燥気体の再生方法は、ポリマー及び溶剤を含む湿潤フィルムを乾燥してフィルムを得る第１乾燥工程の第１排気から前記第１乾燥工程に供給する第１気体を再生するために、ボイラでつくられた飽和蒸気との熱交換により、前記湿潤フィルムの温度よりも高くなるまで前記第１排気を加熱する加熱工程と、前記飽和蒸気から生成した前記加熱工程の排出物から排水を取り出すトラップ工程と、このトラップ工程を経た前記排出物に含まれ、前記飽和蒸気よりも温度の低い低温蒸気を圧縮する圧縮工程とを有し、前記加熱工程では、前記圧縮された低温蒸気を用いて、前記第１排気を加熱することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の乾燥気体の再生方法は、ポリマー及び溶剤を含む湿潤フィルムを乾燥してフィルムを得る第１乾燥工程の第１排気から前記第１乾燥工程に供給する第１気体を再生するために、ボイラでつくられた飽和蒸気との熱交換により、前記湿潤フィルムの温度よりも高くなるまで前記第１排気を加熱する加熱工程と、前記飽和蒸気から生成した前記加熱工程の排出物から排水を取り出すトラップ工程と、このトラップ工程を経た前記排出物に含まれ、前記飽和蒸気よりも温度の低い低温蒸気を圧縮する圧縮工程と、前記フィルムを乾燥する第２乾燥工程の第２排気から前記第２乾燥工程に供給する第２気体を再生するために、前記フィルムから蒸発した前記溶剤を含む前記第２排気を前記溶剤の吸着剤に接触させる吸着工程であって、この吸着工程を経た前記吸着剤に前記圧縮された低温蒸気をあてて、前記吸着剤に吸着した溶剤を脱着させる脱着工程とを有することを特徴とする。
【００１１】
前記脱着工程では、前記圧縮された低温蒸気とともに脱着用ボイラにて生成した脱着用蒸気を、前記吸着工程を経た前記吸着剤にあてることが好ましい。
【００１２】
前記圧縮工程前に、前記低温蒸気から生成したドレイン水を取り除くことが好ましい。また、前記湿潤フィルムは、前記ポリマー及び前記溶剤を含み、支持体上に形成された流延膜のうち、前記支持体から剥ぎ取られたものであることが好ましい。
【００１３】
上記課題を解決するために、本発明の乾燥気体の再生設備は、ポリマー及び溶剤を含む湿潤フィルムを乾燥してフィルムとする第１乾燥装置の第１排気から前記第１乾燥装置に供給する第１気体を再生するために、前記湿潤フィルムよりも高い温度の飽和蒸気との熱交換により、前記第１排気を加熱する蒸気ヒータと、前記飽和蒸気から生成した前記蒸気ヒータの排出物から排水を取り出すトラップ装置と、このトラップ装置から送り出された前記排出物に含まれ、前記飽和蒸気よりも温度の低い低温蒸気を圧縮する圧縮装置と、前記圧縮された低温蒸気を前記蒸気ヒータへ供給する低温蒸気供給装置とを有することを特徴とする。
【００１４】
前記蒸気ヒータは、第１の飽和蒸気が送られる第１加熱部と、前記第１の飽和蒸気よりも温度が低い第２の飽和蒸気が送られる第２加熱部と、前記第２加熱部、前記第１加熱部、及び前記第１乾燥装置へと前記第１排気を順次送る排気供給部とを有し、前記低温蒸気供給装置は、前記圧縮された低温蒸気を前記第２加熱部へ供給することが好ましい。
【００１５】
また、上記課題を解決するために、本発明の乾燥気体の再生設備は、ポリマー及び溶剤を含む湿潤フィルムを乾燥してフィルムとする第１乾燥装置の第１排気から前記第１乾燥装置に供給する第１気体を再生するために、前記湿潤フィルムよりも高い温度の飽和蒸気との熱交換により、前記第１排気を加熱する蒸気ヒータと、前記飽和蒸気から生成した前記蒸気ヒータの排出物から排水を取り出すトラップ装置と、このトラップ装置から送り出された前記排出物に含まれ、前記飽和蒸気よりも温度の低い低温蒸気を圧縮する圧縮装置と、前記フィルムを乾燥する第２乾燥装置の第２排気から前記第２乾燥装置に供給する第２気体を再生するために、前記フィルムから蒸発した前記溶剤を含む前記第２排気を前記溶剤の吸着剤に接触させる吸着装置と、前記圧縮装置により圧縮された低温蒸気を前記溶剤が吸着した吸着剤へ供給する脱着装置と、前記吸着剤に前記第２排気のみが接触する状態、及び前記吸着剤に前記低温蒸気のみが接触する状態が交互になるように、前記吸着装置及び前記脱着装置を制御する切替装置とを有することを特徴とする。
【００１６】
脱着用ボイラにより生成した脱着用蒸気を、前記圧縮された低温蒸気とともに、前記吸着剤に接触させる脱着用蒸気供給装置を有することが好ましい。また、前記吸着剤を収納する吸着塔が複数設けられ、前記切替装置は、前記第１排気が第１吸着塔へ送られ、前記第２排気が第２吸着塔へ送られる状態と、前記第１排気が第２吸着塔へ送られ、前記第２排気が第１吸着塔へ送られる状態とを切り替えることが好ましい。
【００１７】
前記トラップ装置及び前記圧縮装置の間に設けられ、前記低温蒸気から生成したドレイン水を取り除くドレイン除去装置を有することが好ましい。また、前記第１乾燥装置は、前記ポリマー及び前記溶剤を含むドープを流出するダイ、前記流出した前記ドープから流延膜を形成する支持体、及び、前記流延膜を前記支持体から剥ぎ取って前記湿潤フィルムとする剥取部を備える流延装置と接続することが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、低温蒸気を脱着工程や加熱工程に利用することができるため、乾燥気体の再生処理について省エネルギーを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の乾燥気体の再生方法の概要を示す工程図である。
【図２】第１の乾燥気体の再生設備の概要を示す説明図である。
【図３】蒸気再生装置及び吸着装置の概要を示す説明図である。
【図４】第２の乾燥気体の再生設備の要部の概要を示す説明図である。
【図５】第３の乾燥気体の再生設備の概要を示す説明図である。
【図６】一方の乾燥気体再生設備に第１排気が供給され、他方の乾燥気体再生設備に第２排気が供給される状態の概要を示す説明図である。
【図７】一方の乾燥気体再生設備に第２排気が供給され、他方の乾燥気体再生設備に第１排気が供給される状態の概要を示す説明図である。
【図８】（ａ）は、一方の乾燥気体再生設備の吸着塔に供給される蒸気の供給量の推移を示す説明図である。（ｂ）は、他方の乾燥気体再生設備の吸着塔に供給される蒸気の供給量の推移を示す説明図である。
【図９】第２の乾燥気体の再生方法の概要を示す工程図である。
【図１０】第４の乾燥気体の再生設備の概要を示す説明図である。
【図１１】第１乾燥気体の加熱を段階的に行う蒸気ヒータの概要を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
図１に示すように、溶液製膜方法１０は、第１乾燥工程１１及び第２乾燥工程１２を有する。第１乾燥工程１１では、ポリマー及び溶剤を含む湿潤フィルム１５に第１乾燥気体４０１ａをあてて、湿潤フィルム１５から溶剤を蒸発させて、フィルム１６とする。第２乾燥工程１２では、フィルム１６に第２乾燥気体４０２ａをあてて、フィルム１６から溶剤を蒸発させる。
【００２１】
（乾燥気体の再生方法）
乾燥気体の再生方法２０は、加熱工程２１と、トラップ工程２２と、圧縮工程２３と、吸着工程２４と、脱着工程２５とを有する。加熱工程２１では、第１乾燥工程１１から排出された第１排気４０１ｂを加熱する。なお、乾燥気体の再生方法２０において、トラップ工程２２や吸着工程２４を省略してもよい。
【００２２】
加熱工程２１により、第１排気４０１ｂから第１乾燥気体４０１ａが再生される。加熱工程２１における第１排気４０１ｂの加熱は、飽和蒸気３００ａとの熱交換により行われる。加熱工程２１を経た飽和蒸気３００ａは、排出物３００ｂとなる。排出物３００ｂには、排水３００ｓ及び飽和蒸気３００ａよりも温度が低い排蒸気３００ｔが含まれる。
【００２３】
トラップ工程２２では、排出物３００ｂを冷却する。排出物３００ｂの冷却により、排蒸気３００ｔから液化した水、及び排水３００ｓを含むドレイン水３００ｘが得られる。
更に、排出物３００ｂからドレイン水３００ｘを取り除く。こうして、トラップ工程２２では、排出物３００ｂから、冷却後も気体のままである低温蒸気３００ｃを得ることができる。なお、ドレイン水３００ｘを、ボイラ８０にて飽和蒸気３００ａをつくるための水等に再利用してもよい。
【００２４】
圧縮工程２３では、低温蒸気３００ｃの圧力が所定値になるまで、低温蒸気３００ｃを圧縮する。圧縮工程２３により、低温蒸気３００ｃから過熱蒸気（以下、圧縮蒸気と称する）３００ｄが得られる。
【００２５】
吸着工程２４では、第２乾燥工程１２から排出される第２排気４０２ｂを処理前吸着剤４１０ａにあてる。第２排気４０２ｂには、フィルム１２から蒸発した溶剤が含まれる。第２排気４０２ｂと接触した処理前吸着剤４１０ａは、フィルム１２から蒸発した溶剤を第２排気４０２ｂから吸着する。吸着工程２４により、第２排気４０２ｂから第２乾燥気体４０２ａが再生され、処理前吸着剤４１０ａは、溶剤を吸着した処理後吸着剤４１０ｂとなる。
【００２６】
脱着工程２５では、圧縮蒸気３００ｄを処理後吸着剤４１０ｂにあてる。処理後吸着剤４１０ｂとの接触により、処理後吸着剤４１０ｂに吸着された溶剤は、圧縮蒸気３００ｄにより脱着される。脱着工程２５により、圧縮蒸気３００ｄは、処理後吸着剤４１０ｂに吸着された溶剤を含む溶剤含有蒸気３００ｅとなり、処理後吸着剤４１０ｂは、吸着工程２４に再利用可能な処理前吸着剤４１０ａとなる。
【００２７】
図２に示すように、溶液製膜設備３０は、配管３１ａ〜３１ｂ、及び配管３２ａ〜３２ｂにより、乾燥気体再生設備３３と接続する。
【００２８】
（溶液製膜設備）
溶液製膜設備３０は、ポリマー及び溶剤を含むドープ３６から、フィルム１６を製造するものであり、ポンプ４０と流延室４１とテンタ室４２と乾燥室４３とを有する。ポンプ４０は、後述する制御部の制御の下、流延室４１へドープ３６を供給する。流延室４１では、ドープ３６を用いて流延膜４７を形成する膜形成工程、及び流延膜４７の剥ぎ取り工程が行われる。
【００２９】
流延室４１は、ドラム４８とダイ４９と剥ぎ取りローラ５０とを有する。ドラム４８は、軸方向が水平となるように横たわり、軸を中心に回転自在に設けられる。そして、後述する制御部の制御の下、軸を中心に回転する。ダイ４９は、ポンプ４０からのドープ３６をドラム４８の周面に向けて連続的に流出する。ダイ４９から流出したドープ３６は、ドラム４８の周面上にて流れ延ばされる結果、流延膜４７となる。ドラム４８の温度はダイ４９から流出するドープ３６の温度よりも低いため、流延膜４７をなすドープ３６は冷却される。ドープ３６の冷却の結果、ドープ３６のゲル化が進行する。ドープ３６のゲル化により自己支持性を有するものとなった流延膜４７は、剥ぎ取りローラ５０によりドラム４８から剥ぎ取られ、湿潤フィルム１５となる。
【００３０】
テンタ室４２では、湿潤フィルム１５に第１乾燥工程１１（図１参照）が施される。テンタ室４２にはテンタ本体５５と送風ダクト５６と排気ダクト（図示しない）とが設けられる。テンタ本体５５は、湿潤フィルム１５の耳部を把持する。更に、テンタ本体５５は、後述する制御部の制御の下、所定の速度で湿潤フィルム１５を搬送する。送風ダクト５６は、テンタ本体５５により搬送される湿潤フィルム１５に第１乾燥気体４０１ａをあてるものであり、配管３１ａと接続する。第１乾燥気体４０１ａとの接触により、テンタ本体５５により搬送される間の湿潤フィルム１５からは溶剤が蒸発し、湿潤フィルム５３はフィルム１６となる。フィルム１６は、テンタ室４２から、第１乾燥気体４０１ａが充満する乾燥室４３へ送られる。また、排気ダクトは、テンタ室４２内にある雰囲気を第１排気４０１ｂとして排出するものであり、配管３１ｂと接続する。
【００３１】
乾燥室４３では、フィルム１６に第２乾燥工程１２（図１参照）が施される。乾燥室４３には複数のローラ５８と、給気ダクト（図示しない）と、排気ダクト（図示しない）とが設けられる。ローラ５８は乾燥室４３内にて千鳥状に配される。乾燥室４３に導入されたフィルム１６は、ローラ５８に巻きかけられながら搬送される。給気ダクトは、第２乾燥気体４０２ａを乾燥室４３内へ供給するものであり、配管３２ａと接続する。乾燥室４３には第２乾燥気体４０２ａが充満するため、乾燥室４３に導入されたフィルム１６からは溶剤が蒸発する。乾燥室４３から送り出されたフィルム１６は、巻取り装置により巻き芯に巻き取られる。排気ダクトは、乾燥室４３内にある雰囲気を第２排気４０２ｂとして排出するものであり、配管３２ｂと接続する。
【００３２】
（乾燥気体再生設備）
乾燥気体再生設備３３は、テンタ室４２内の第１乾燥気体４０１ａの一部を第１排気４０１ｂとして回収し、新たな第１乾燥気体４０１ａをテンタ室４２内へ供給するとともに、乾燥室４３内の第２乾燥気体４０２ａの一部を第２排気４０２ｂとして回収し、新たな第２乾燥気体４０２ａを乾燥室４３内へ供給するものであり、ブロワ６１、熱交換器６２、凝縮器６３、蒸気ヒータ６４、蒸気再生装置６８、ブロワ７１、熱交換器７２、吸着剤収納部７３、ヒータ７４、及び制御部７７を有する。
【００３３】
凝縮器６３は、凝縮処理によりテンタ室４２から送られた第１排気４０１ｂから溶剤７８を取り除いて、第１排気４０１ｂから第１乾燥気体４０１ａにするものであり、第１排気４０１ｂが流通する配管３１ｂ、及び第１乾燥気体４０１ａが流通する配管３１ａを介して、テンタ室４２と接続する。また、熱交換器６２は、配管３１ｂを流通する第１排気４０１ｂと配管３１ａを流通する第１乾燥気体４０１ａとの間で熱交換を行うものであり、配管３１ａ及び３１ｂにかけて設けられる。ブロワ６１は、テンタ室４２から凝縮器６３へ熱交換器６６を介して第１排気４０１ｂを送るものであり、配管３１ｂに設けられる。蒸気ヒータ６４は、ボイラ８０で生成した飽和蒸気３００ａを用いて、第１乾燥気体４０１ａを加熱するものであり、熱交換器６２及びテンタ室４２との間の配管３１ａに設けられる。ボイラ８０は、後述する制御部によって、所定の温度の飽和蒸気３００ａを生成する。
【００３４】
吸着剤収納部７３は、吸着処理により乾燥室４３から送られた第２排気４０２ｂから溶剤を取り除いて、第２乾燥気体４０２ａにするものであり、第２排気４０２ｂが流通する配管３２ｂ、及び第２乾燥気体４０２ａが流通する配管３２ａを介して、乾燥室４３と接続する。また、熱交換器７２は、配管３２ｂを流通する第２排気４０２ｂと配管３２ａを流通する第２乾燥気体４０２ａとの間で熱交換を行うものであり、配管３２ａ及び３２ｂにかけて設けられる。ブロワ７１は、乾燥室４３から吸着剤収納部７３へ熱交換器７２を介して第２排気４０２ｂを送るものであり、配管３２ｂに設けられる。ヒータ７４は、第２乾燥気体４０２ａを加熱するものであり、熱交換器７２及び乾燥室４３との間の配管３２ａに設けられる。
【００３５】
蒸気再生装置６８は、蒸気ヒータ６４から排出された排出物３００ｂから圧縮蒸気３００ｄをつくるものであり、蒸気ヒータ６４及び吸着剤収納部７３の間に設けられる。蒸気ヒータ６４及び蒸気再生装置６８の間には、排出物３００ｂが流通する配管８５が設けられる。蒸気再生装置６８及び吸着剤収納部７３の間には圧縮蒸気３００ｄが流通する配管８６が設けられる。
【００３６】
吸着剤収納部７３は、配管９０を介して、凝縮器９１と接続する。配管９０は、吸着剤収納部７３から排出された溶剤含有蒸気３００ｅが流通するものである。凝縮器９１は、溶剤含有蒸気３００ｅに凝縮処理を施して凝縮液を生成し、凝縮液に蒸留処理を施して、溶剤９２と水９３とを得る。なお、凝縮器６３によって取り除かれた溶剤７８や凝縮器９１によって得られた溶剤９２は、ドープ３６の調製に再利用することができる。また、凝縮器９１によって得られた水９３は、飽和蒸気３００ａの生成に再利用することができる。
【００３７】
図３に示すように、蒸気再生装置６８は、トラップ装置９４と圧縮機９５とを有する。トラップ装置９４は配管８５と接続し、圧縮機９５は配管８６と接続する。トラップ装置９４と圧縮機９５とは、配管９６により接続する。トラップ装置９４は、排出物３００ｂに含まれるドレイン水３００ｘを取り除き、排出物３００ｂから低温蒸気３００ｃを得るものである。圧縮機９５は、低温蒸気３００ｃに圧縮処理を施して、圧縮蒸気３００ｄを得るものである。
【００３８】
吸着剤収納部７３は、第２排気４０２ｂに含まれる溶剤を吸着剤に吸着させる処理（以下、吸着処理と称する）を行い、第２排気４０２ｂから第２乾燥気体４０２ａを得るものであり、第１吸着塔１０１と、第２吸着塔１０２と、吸着剤１０３、１０４と、三方弁１０７、１０８とを有する。第１吸着塔１０１には吸着剤１０３が着脱自在に収納され、第２吸着塔１０２には吸着剤１０４が着脱自在に収納される。配管８６と接続する三方弁１０７は、第１吸着塔１０１と配管１１１を介して接続し、第２吸着塔１０２と配管１１２を介して接続する。配管３２ｂと接続する三方弁１０８は、第１吸着塔１０１と配管１１３を介して接続し、第２吸着塔１０２と配管１１４を介して接続する。また、第１吸着塔１０１及び第２吸着塔１０２は、配管９０を介して凝縮器９１（図２参照）と接続し、配管３２ａを介して熱交換器７２（図２参照）と接続する。
【００３９】
三方弁１０７は、圧縮蒸気３００ｄを第１吸着塔１０１のみに供給する第１状態、及び圧縮蒸気３００ｄを第２吸着塔１０２のみに供給する第２状態との間で切り替え自在となっている。同様に、三方弁１０８は、第２排気４０２ｂを第１吸着塔１０１のみに供給する第１状態、及び第２排気４０２ｂを第２吸着塔１０２のみに供給する第２状態の間で切り替え自在となっている。
【００４０】
制御部７７は、三方弁１０７及び三方弁１０８のうちいずれか一方を第１状態にして、他方を第２状態にするものである。また、制御部７７は、三方弁１０７及び三方弁１０８のうちいずれか一方の状態を切り替えるときには、他方の状態も切り替える。加えて、制御部７７は、ポンプ４０の動作、ドラム４８の回転、テンタ本体５５の稼動、ブロワ６１、ブロワ７１、圧縮機９５及びボイラ８０を制御する。
【００４１】
次に、本発明の作用について説明する。図２及び図３に示すように、溶液製膜設備３０が稼動すると、各室４１〜４３では、各工程が行なわれ、ドープ３６からフィルム１６が製造される。
【００４２】
（流延工程）
ドラム４８の温度は、図示しない温調機により保持される。ドラム４８が軸を中心に回転するため、ドラム４８の周面は、６０ｍ／分以上２００ｍ／分以下で走行する。流延室４１では、ダイ４９からドラム４８の周面に向かってドープ３６が流出する。ドラム４８の周面には、ドープ３６からなる流延膜４７が形成する。冷却によって自己支持性を有するものとなった流延膜４７は、剥ぎ取りローラ５０によりドラム４８の周面から剥ぎ取られ、湿潤フィルム１５として、テンタ室４２へ送られる。
【００４３】
（第１乾燥工程）
所定の温度（５０℃以上１５０℃以下）の第１乾燥気体４０１ａが蒸気ヒータ６４からテンタ室４２へ供給される。テンタ室４２に導入される湿潤フィルム１５の温度は、５０℃以上１５０℃以下であるため、第１乾燥気体４０１ａとの接触により、湿潤フィルム１５は加熱される。この加熱により、湿潤フィルム１５から溶剤が蒸発する。テンタ室４２における湿潤フィルム１５の搬送速度は２０ｍ／分以上であることが好ましい。
【００４４】
テンタ室４２において、湿潤フィルム１５と接触した第１乾燥気体４０１ａの温度は低下し、溶剤の濃度は高くなる。しかしながら、テンタ室４２から排出された第１排気４０１ｂは、凝縮器６３にて溶剤の一部が取り除かれ、第１乾燥気体４０１ａとなる。更に、第１乾燥気体４０１ａは、熱交換器６２で予熱された後、蒸気ヒータ６４にて加熱工程２１（図１参照）が施される。加熱工程２１が施された第１乾燥気体４０１ａは、テンタ室４２へ供給される。こうして、凝縮器６３及び蒸気ヒータ６４により、テンタ室４２内の第１乾燥気体４０１ａの温度や溶剤の濃度は一定の範囲内で維持される。
【００４５】
ボイラ８０により生成した飽和蒸気３００ａは、排出物３００ｂとなって蒸気ヒータ６４から排出される。排出物３００ｂは、トラップ装置９４により、ドレイン水３００ｘと低温蒸気３００ｃとに分離される。低温蒸気３００ｃの温度は、例えば、１００℃以上１３５℃以下である。低温蒸気３００ｃは、圧縮機９５により、圧縮蒸気３００ｄとなる。圧縮蒸気３００ｄの圧力は３０ｋＰａ以上６０ｋＰａ以下であることが好ましい。圧縮蒸気３００ｄの温度は１３０℃以上１６０℃以下であることが好ましい。
【００４６】
（第２乾燥工程）  
乾燥室４３には、所定の温度（１６０℃以上１８０℃以下）の第２乾燥気体４０２ａがヒータ７４から供給される。第２乾燥気体４０２ａとの接触により、フィルム１６から溶剤が蒸発する。このため、乾燥室４３において、フィルム１６と接触した第２乾燥気体４０２ａの温度は低下し、溶剤の濃度は高くなる。しかしながら、乾燥室４３から排出された第２排気４０２ｂは、第１吸着塔１０１に送られる。第１吸着塔１０１に送られた第２排気４０２ｂは、吸着剤１０３と接触する。吸着剤１０３との接触により、第２排気４０２ｂに含まれる溶剤の一部が吸着剤１０３に吸着する結果、第２排気４０２ｂから第２乾燥気体４０２ａとなる。更に、第２乾燥気体４０２ａは、熱交換器７２で予熱された後、ヒータ７４にて加熱される。加熱された第２乾燥気体４０２ａは、乾燥室４３へ供給される。こうして、吸着剤収納部７３及びヒータ７４により、乾燥室４３内の第２乾燥気体４０２ａの温度や溶剤の濃度は一定の範囲内で維持される。
【００４７】
吸着処理後の吸着剤１０３に吸着している溶剤の量は、吸着処理前に比べ大きいため、吸着処理後の吸着剤１０３は、吸着処理前に比べ、吸着性能が低い。そこで、吸着性能が低下した吸着剤１０３を吸着処理に利用可能な状態にするために、吸着剤１０３に脱着処理を行う。脱着処理では、吸着剤１０３に脱着用の蒸気をあてて、吸着剤１０３に吸着している溶剤を脱着させる。脱着処理により、吸着剤１０３から溶剤が取り除かれるため、脱着処理を経た吸着剤は吸着処理に利用可能な状態となる。
【００４８】
本発明では、圧縮蒸気３００ｄを脱着用の蒸気として利用するため、従来廃棄していた低温蒸気３００ｃの熱エネルギーを有効に活用することが可能となり、結果として、第１乾燥気体４０１ａ及び第２乾燥気体４０２ａの再生について省エネルギーを実現することができる。
【００４９】
排出物３００ｂの温度が、（水の沸点ＢＰ）以上（水の沸点ＢＰ＋α）以下である場合、排出物３００ｂのほとんどが低温蒸気３００ｃとなるため、低温蒸気３００ｃを脱着用の蒸気として利用することができる本発明の意義は大きくなる。例えば、αは５０℃以下であることが好ましく、αは２０℃以下であることがより好ましい。また、排出物３００ｂの温度は、溶剤の熱分解の温度よりも低いことが好ましい。溶剤がジクロロメタンの場合には、排出物３００ｂの温度は１６０℃以下であることが好ましい。
【００５０】
また、トラップ装置９４及び圧縮機９５の間の配管９６に、流量調節弁を設けることが好ましい。流量調節弁は、低温蒸気３００ｃが圧縮機６５へ供給される状態を維持するために、トラップ装置９４から圧縮機９５への低温蒸気３００ｃの供給量を調節するものである。流量調節弁の開度は、制御部７７により調節すればよい。
【００５１】
溶液製膜設備３０が稼動した直後等、配管９６が十分に温まっていない場合には、トラップ装置９４及び圧縮機９５の間の配管８５において、低温蒸気３００ｃからドレイン水３００ｙが生成してしまう。かかる場合には、低温蒸気３００ｃから生成したドレイン水３００ｙを配管９６から強制的に排除するためのドレイン配管１１６を、トラップ装置９４及び圧縮機９５の間の配管９６に設けることが好ましい。ドレイン配管１１６に開閉弁１１７を設け、制御部７７により開閉弁１１７の開閉操作することが好ましい。なお、ドレイン水３００ｙを、ボイラ８０にて飽和蒸気３００ａをつくるための水等に再利用してもよい。
【００５２】
上記実施形態では、脱着工程２５（図１参照）に用いる蒸気として、圧縮蒸気３００ｄのみを用いたが、本発明はこれに限られず、図４に示すように、飽和蒸気４１１を生成するボイラ１２１を、配管１２０を介して、配管８６と接続させてもよい。また、弁１２３を配管１２０に、弁１２５を配管８６にそれぞれ設け、制御部７７により、飽和蒸気４１１の流量及び圧縮蒸気３００ｄの流量を調節してもよい。更に、必要に応じて、配管８６に、圧縮蒸気３００ｄを大気中に排気する配管１２７を設けてもよい。更に、弁１２８を配管１２７に設け、制御部７７により、圧縮蒸気３００ｄの排気量を調節してもよい。
【００５３】
上記実施形態では、第１乾燥気体４０１ａを第１排気４０１ｂから再生する際に生じた低温蒸気３００ｃに所定の処理を施し、脱着用の蒸気として利用したが、本発明はこれに限られず、流延室４１に供給される乾燥気体を流延室４１の排気から再生する際に生じた残留蒸気に同様の処理を施し、脱着用の蒸気として利用してもよい。
【００５４】
上記実施形態では、支持体としてドラム４８を用いたが、本発明はこれに限られず、走行するエンドレスバンドを用いてもよい。以下、支持体としてエンドレスバンドを用いたときの膜形成工程及び剥ぎ取り工程の概要について述べる。ダイ４９から流出したドープ３６は、エンドレスバンド上で流れ延ばされ、流延膜４７となる。流延膜４７に設けられる送風ダクトは、流延膜４７に所定の乾燥気体をあてて、流延膜４７から溶剤を蒸発させる。溶剤の蒸発により自己支持性を有するものとなった流延膜４７は、剥ぎ取りローラ５０によりエンドレスバンドから剥ぎ取られる。
【００５５】
なお、ドープ３６に添加剤が含まれている場合には、溶剤含有空気３００ｅには溶剤とともに添加剤が含まれている場合がある。添加剤を含む溶剤含有空気３００ｅをそのまま乾燥気体再生設備３３へ供給すると、脱着塔の内壁などに添加剤が付着してしまう。そこで、ブロワ７１及び熱交換器７２の間の配管３２ｂに添加剤除去装置を設けてもよい。この添加剤除去装置は、溶剤含有空気３００ｅが導入されるケーシングと、ケーシング内に設けられた冷却管と、ケーシングの外部に設けられ、冷却管と接続する冷却部とを有する。ケーシング内に導入された溶剤含有空気３００ｅは冷却管との接触により冷却され、溶剤含有空気３００ｅに含まれる添加剤が冷却管の外壁に付着する。こうして、添加剤除去装置は、溶剤含有空気３００ｅに含まれる添加剤を取り出すことができる。
【００５６】
なお、ヒータ７４として、蒸気ヒータ６４と同様のものを用いた場合には、ヒータから排出された蒸気を、脱着用蒸気として利用してもよい。
【００５７】
上記実施形態では、１つの溶液製膜設備に１つの乾燥気体再生設備を接続したが、本発明はこれに限られず、１つの溶液製膜設備に複数の乾燥気体再生設備を接続してもよいし、複数の溶液製膜設備３０ａ、３０ｂに複数の乾燥気体再生設備３３ａ、３３ｂを接続してもよい。
【００５８】
図５に示すように、第１排気を流通するための配管１４１ａ及び第２排気を流通するための配管１４１ｂは、溶液製膜設備３０ａと乾燥気体再生設備３３ａとを接続する。第１排気を流通するための配管１４１ｃ及び第２排気を流通するための配管１４１ｄは、溶液製膜設備３０ｂと乾燥気体再生設備３３ｂとを接続する。また、配管１４１ａ〜１４１ｄには、開閉弁１４２ａ〜１４２ｄがそれぞれ設けられる。開閉弁１４２ａ及び溶液製膜設備３０ａの間の配管１４１ａと、開閉弁１４２ｃ及び溶液製膜設備３０ｂの間の配管１４１ｃとは、配管１４１ｅにより接続する。同様に、開閉弁１４２ｂ及び溶液製膜設備３０ａの間の配管１４１ｂと、開閉弁１４２ｄ及び溶液製膜設備３０ｂの間の配管１４１ｄとは、配管１４１ｆにより接続する。図示しない制御部は、開閉弁１４２ａ〜１４２ｄを操作する。
【００５９】
開放弁１４２ａ〜１４２ｄの操作により、溶液製膜設備３０ａ、３０ｂからの第１排気４０１ｂは、乾燥気体再生設備３３ａのみへ供給され、溶液製膜設備３０ａ、３０ｂからの第２排気４０２ｂは、乾燥気体再生設備３３ｂのみへ供給される（図６参照）。乾燥気体再生設備３３ｂでは、溶剤を含む第２排気４０２ｂを吸着剤にあてる吸着工程が行われる。吸着工程により、第２排気４０２ｂに含まれる溶剤は吸着剤に吸着される結果、第２排気４０２は第２乾燥気体となる。第２乾燥気体は、溶液製膜設備３０ａ、３０ｂへ供給される。乾燥気体再生設備３３ａでは、加熱工程及びトラップ工程が順次行われる。トラップ工程により生成した低温蒸気は、圧縮工程により圧縮蒸気となる。その後、溶剤を吸着した吸着剤に圧縮蒸気をあてる脱着工程が行われる（図８（ａ）参照）。脱着工程により、吸着剤が再生され、再び、吸着工程が可能な状態となる。
【００６０】
次に、開放弁１４２ａ〜１４２ｄの操作により、溶液製膜設備３０ａ、３０ｂからの第１排気４０１ｂは、乾燥気体再生設備３３ｂへ供給され、溶液製膜設備３０ａ、３０ｂからの第２排気４０２ｂは、乾燥気体再生設備３３ａへ供給される（図７参照）。乾燥気体再生設備３３ａでは、溶剤を含む第２排気４０２ｂを吸着剤にあてる吸着工程が行われる。吸着工程により、第２排気４０２ｂに含まれる溶剤は吸着剤に吸着される結果、第２排気４０２は第２乾燥気体となる。第２乾燥気体は、溶液製膜設備３０ａ、３０ｂへ供給される。乾燥気体再生設備３３ｂでは、加熱工程及びトラップ工程が順次行われる。トラップ工程により生成した低温蒸気は、圧縮工程により圧縮蒸気となる。その後、溶剤を吸着した吸着剤に圧縮蒸気をあてる脱着工程が行われる（図８（ｂ）参照）。脱着工程により、吸着剤が再生され、再び、吸着工程が可能な状態となる。
【００６１】
このように、第１排気の供給先、第２排気の供給先を同期して切り替えることにより、一方の乾燥気体再生設備では吸着工程を行ない、他方の乾燥気体再生設備では脱着工程を行うことができる（図８参照）。これにより、溶液製膜設備から継続して排気される第１排気を再利用することができる。
【００６２】
上記実施形態では、第１排気の加熱により生成した低温蒸気を圧縮し、この圧縮蒸気を吸着工程に用いたが、本発明はこれに限られず、圧縮蒸気を蒸気ヒータへ送ってもよい。以下、本発明の別の実施形態を示すが、上記実施形態で示した部材、装置と同一のものには同一の符号を付し、その詳細の説明は省略する。
【００６３】
図９に示すように、乾燥気体の再生方法１６０は、加熱工程２１と、トラップ工程２２と、圧縮工程２３とに加えて、圧縮工程２３にてつくられた圧縮蒸気３００ｄを加熱工程２１へ戻す蒸気戻し工程１６２とを有する。
【００６４】
図１０に示すように、乾燥気体再生設備１７３は、乾燥気体の再生方法１６０を行うためのものであり、ブロワ６１と、熱交換器６２と、凝縮器６３と、蒸気ヒータ６４と、蒸気再生装置６８と、制御部７７とに加えて、蒸気再生装置６８及び蒸気ヒータ６４の間に設けられる配管１７６とを有する。
【００６５】
蒸気再生装置６８は圧縮蒸気３００ｄを蒸気ヒータ６４へ送る。これにより、蒸気ヒータ６４で行われる加熱工程の熱源として、ボイラ８０にて生成した飽和蒸気３００ａとともに、圧縮蒸気３００ｄが用いられるため、加熱工程の排出物３００ｂが有する熱エネルギーを有効に利用することが可能となる。
【００６６】
図１１に示すように、蒸気ヒータ６４において、第１蒸気３０１ａが供給される第１加熱部１８１、第１蒸気３０１ａよりも温度が高い第２蒸気３０２ａが供給される第２加熱部１８２、及び第２蒸気３０２ａよりも温度が高い第３蒸気３０３ａが供給される第３加熱部１８３を、熱交換器６２からテンタ４２に向かうにしたがって順次設けてもよい。このような蒸気ヒータ６４の採用により、第１乾燥気体４０１ａの加熱を段階的に行うことができるため、効率よく第１乾燥気体４０１ａを加熱することができる。
【００６７】
上記実施形態では、乾燥気体の再生方法１６０を用いて、第１乾燥工程１１から排出された第１排気４０１ｂから第１乾燥気体４０１ａを再生したが、本発明はこれに限られず、乾燥気体の再生方法１６０を用いて、第２乾燥工程１２１（図１参照）から排出された第２排気４０２ｂ（図１参照）から第２乾燥気体４０２ａ（図１参照）を再生してもよい。
【００６８】
（ドープ）
ドープ３６は、ポリマー及び溶剤を含む液である。ドープ３６には、ポリマーを溶剤に溶解して得られるポリマー溶液、及びポリマーを溶剤に分散して得られる分散液の両方が含まれる。ドープ３６におけるポリマーの濃度は、１５質量％以上３０質量％以下であることが好ましい。
【００６９】
（ポリマー）
フィルム１６の原料となるポリマーとしては、例えば、セルロースアシレート、ラクトン環含有重合体、環状オレフィン、ポリカーボネイト等が挙げられる。中でも好ましいのがセルロースアシレート、環状オレフィンであり、中でも好ましいのがアセテート基、プロピオネート基を含むセルロースアシレート、付加重合によって得られた環状オレフィンであり、さらに好ましくは付加重合によって得られた環状オレフィンである。セルロースアシレートとしては、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）が特に好ましい。
【００７０】
（溶剤）
溶剤としては、例えば、芳香族炭化水素（例えば、ベンゼン，トルエンなど）、ハロゲン化炭化水素（例えば、ジクロロメタン，クロロベンゼンなど）、アルコール（例えば、メタノール，エタノール，ｎ−プロパノール，ｎ−ブタノール，ジエチレングリコールなど）、ケトン（例えば、アセトン，メチルエチルケトンなど）、エステル（例えば、酢酸メチル，酢酸エチル，酢酸プロピルなど）及びエーテル（例えば、テトラヒドロフラン，メチルセロソルブなど）などが挙げられる。
【００７１】
これらの中でも炭素原子数１〜７のハロゲン化炭化水素が好ましく用いられ、ジクロロメタンが最も好ましく用いられる。ＴＡＣの溶解性、流延膜の支持体からの剥ぎ取り性、フィルムの機械的強度など及びフィルムの光学特性などの物性の観点から、ジクロロメタンの他に炭素原子数１〜５のアルコールを１種ないし数種類混合することが好ましい。アルコールの含有量は、溶剤全体に対し２重量％〜２５重量％が好ましく、５重量％〜２０重量％がより好ましい。アルコールの具体例としては、メタノール，エタノール，ｎ−プロパノール，イソプロパノール，ｎ−ブタノールなどが挙げられるが、メタノール，エタノール，ｎ−ブタノールあるいはこれらの混合物が好ましく用いられる。
【００７２】
ところで、最近、環境に対する影響を最小限に抑えることを目的に、ジクロロメタンを使用しない場合の溶剤組成についても検討が進み、この目的に対しては、炭素原子数が４〜１２のエーテル、炭素原子数が３〜１２のケトン、炭素原子数が３〜１２のエステル、炭素数１〜１２のアルコールが好ましく用いられる。これらを適宜混合して用いることがある。例えば、酢酸メチル，アセトン，エタノール，ｎ−ブタノールの混合溶剤が挙げられる。これらのエーテル、ケトン，エステル及びアルコールは、環状構造を有するものであってもよい。また、エーテル、ケトン，エステル及びアルコールの官能基（すなわち、−Ｏ−，−ＣＯ−，−ＣＯＯ−及び−ＯＨ）のいずれかを２つ以上有する化合物も、溶剤として用いることができる。
【００７３】
なお、溶剤としては、ポリマーの良溶媒であることが好ましい。ある物質がポリマーの貧溶媒であるか良溶媒であるかの判断は次のようにして行う。まず、温度５℃以上３０℃以下の範囲内において、ポリマーが全重量の５質量％となるように当該物質とポリマーとを混合する。そして、その混合物中に不溶解物が有る場合には当該物質は貧溶媒であり、その混合物中に不溶解物がない場合には当該物質は良溶媒であると判断することができる。
【符号の説明】
【００７４】
１０  溶液製膜方法
１１  第１乾燥工程
１２  第２乾燥工程
２０  乾燥気体の再生方法
２１  加熱工程
２２  トラップ工程
２３  圧縮工程
２４  吸着工程
２５  脱着工程
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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