(57)【要約】【課題】複雑な製造工程を必要とせずに、窓部の入射面と反射面とを傾かせることができる光偏向器、光偏向器の製造方法、及び画像形成装置を提供する。【解決手段】光偏向器は、反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、可動板を回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、光偏向素子を収容可能な素子室に配設されており、支持枠を支持する素子支持部を有する筐体本体と、反射面に入射する入射光が透過する窓部を有し、素子室の開口を封止する蓋部材と、を備え、支持枠と素子支持部とが第一の当接位置と第二の当接位置とにおいて当接することによって、支持枠が素子支持部に支持されており、入射光が窓部に入射する入射面に垂直な方向における入射面からの距離、又は反射面に垂直な方向における反射面からの距離が、第一の当接位置と第二の当接位置とで異なる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が前記可動板の端面に接続されており、前記可動板を前記反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、前記弾性支持梁の前記一端の反対側の一端が接続されており、前記弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、
前記光偏向素子を収容可能な素子室と、前記素子室に配設されており、前記支持枠を支持することで前記光偏向素子を支持する素子支持部を有する筐体本体と、
前記反射面に入射する入射光及び前記反射面で反射された反射光が透過する窓部を有し、前記素子室の開口を封止する位置に配設されている蓋部材と、を備え、
前記支持枠と前記素子支持部とが第一の当接位置と第二の当接位置とにおいて当接することによって、前記支持枠が前記素子支持部に支持されており、
前記入射光が前記窓部に入射する入射面に垂直な方向における前記入射面からの距離、又は前記反射面に垂直な方向における前記反射面からの距離が、前記第一の当接位置と前記第二の当接位置とで互いに異なることを特徴とする光偏向器。
【請求項２】
前記第一の当接位置は、前記支持枠における第一の被支持面と前記素子支持部における第一の支持面とが当接する部分の位置であり、
前記第二の当接位置は、前記支持枠における第二の被支持面と前記素子支持部における第二の支持面とが当接する部分の位置であり、
前記第一の被支持面と前記第二の被支持面とは、前記反射面に平行な方向において、前記反射面を挟んで両側に配設されており、
前記反射面に垂直な方向において、前記反射面からの距離が、前記第一の被支持面における前記第一の当接位置と前記第二の被支持面における前記第二の当接位置とで異なることを特徴とする、請求項１に記載の光偏向器。
【請求項３】
前記第一の当接位置は、前記支持枠における第一の被支持面と前記素子支持部における第一の支持面とが当接する部分の位置であり、
前記第二の当接位置は、前記支持枠における第二の被支持面と前記素子支持部における第二の支持面とが当接する部分の位置であり、
前記第一の支持面と前記第二の支持面とは、前記反射面に平行な方向において、前記反射面を挟んで両側に配設されており、
前記入射面に垂直な方向において、前記入射面からの距離が、前記第一の支持面における前記第一の当接位置と前記第二の支持面における前記第二の当接位置とで異なることを特徴とする、請求項１に記載の光偏向器。
【請求項４】
前記第一の支持面又は前記第二の支持面のいずれか一方は、前記素子室の底面であることを特徴とする、請求項３に記載の光偏向器。
【請求項５】
前記第一の被支持面と前記第二の被支持面とは、前記反射面に平行な方向において、前記回動軸を挟んで両側にそれぞれ配設されていることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の光偏向器。
【請求項６】
前記第一の被支持面と前記第二の被支持面とは、前記回動軸の軸方向において、前記弾性支持梁を挟んで両側にそれぞれ配設されていることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の光偏向器。
【請求項７】
前記第一の支持面又は前記第二の支持面の少なくとも一方の面方向は、当接する前記第一の被支持面又は前記第二の被支持面の面方向と略平行であることを特徴とする、請求項１乃至６のいずれか一項に記載の光偏向器。
【請求項８】
前記第一の被支持面又は前記第二の被支持面の少なくとも一方の面方向は、当接する前記第一の支持面又は前記第二の支持面の面方向と略平行であることを特徴とする、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の光偏向器。
【請求項９】
前記第一の被支持面又は前記第二の被支持面、又は前記第一の支持面又は前記第二の支持面の少なくとも一方に形成された凹部と、他方における前記凹部に対応する位置に形成されており、前記凹部と遊嵌可能な突起と、を備えることを特徴とする、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の光偏向器。
【請求項１０】
前記第一の被支持面又は前記第二の被支持面、又は前記第一の支持面又は前記第二の支持面の少なくとも一方が突起の先端であり、他方が前記突起に遊嵌可能な凹部の底面であることを特徴とする、請求項１乃至９のいずれか一項に記載の光偏向器。
【請求項１１】
前記蓋部材と前記筐体本体とは、金属接合、共晶結合、又は陽極接合によって接合されていることを特徴とする、請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の光偏向器。
【請求項１２】
光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が前記可動板の端面に接続されており、前記可動板を前記反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、前記弾性支持梁の前記一端の反対側の一端が接続されており、前記弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、前記光偏向素子を収容可能な素子室と、前記素子室に配設されており、前記支持枠を支持することで前記光偏向素子を支持する素子支持部を有する筐体本体と、前記反射面に入射する入射光及び前記反射面で反射された反射光が透過する窓部を備え、前記素子室の開口を封止する位置に配設されている蓋部材と、を備え、前記支持枠と前記素子支持部とが第一の当接位置と第二の当接位置とにおいて当接することによって、前記支持枠が前記素子支持部に支持されている光偏向器の製造方法であって、
前記第一の当接位置は、前記支持枠における第一の被支持面と前記素子支持部における第一の支持面とが当接する部分の位置であり、
前記第二の当接位置は、前記支持枠における第二の被支持面と前記素子支持部における第二の支持面とが当接する部分の位置であり、
前記光偏向素子が前記筐体本体に組み込まれた状態において、前記第一の被支持面における前記第一の当接位置と前記第二の被支持面における前記第二の当接位置とで、前記反射面に垂直な方向における前記反射面からの距離が互いに異なる位置に、前記第一の被支持面と前記第二の被支持面とを形成して、前記光偏向素子を形成する光偏向素子形成工程と、
前記筐体本体を形成する筐体本体形成工程と、
前記素子室に前記光偏向素子を組み込む、光偏向素子組み込み工程と、
前記蓋部材を前記筐体本体に接合する蓋部材接合工程と、を有することを特徴とする光偏向器の製造方法。
【請求項１３】
光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が前記可動板の端面に接続されており、前記可動板を前記反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、前記弾性支持梁の前記一端の反対側の一端が接続されており、前記弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、前記光偏向素子を収容可能な素子室と、前記素子室に配設されており、前記支持枠を支持することで前記光偏向素子を支持する素子支持部を有する筐体本体と、前記反射面に入射する入射光及び前記反射面で反射された反射光が透過する窓部を備え、前記素子室の開口を封止する位置に配設されている蓋部材と、を備え、前記支持枠と前記素子支持部とが第一の当接位置と第二の当接位置とにおいて当接することによって、前記支持枠が前記素子支持部に支持されている光偏向器の製造方法であって、
前記第一の当接位置は、前記支持枠における第一の被支持面と前記素子支持部における第一の支持面とが当接する部分の位置であり、
前記第二の当接位置は、前記支持枠における第二の被支持面と前記素子支持部における第二の支持面とが当接する部分の位置であり、
前記光偏向素子を形成する光偏向素子形成工程と、
前記光偏向素子が前記筐体本体に組み込まれ、前記蓋部材が前記筐体本体に接合された状態で、前記第一の支持面における前記第一の当接位置と前記第二の支持面における前記第二の当接位置とで、前記窓部における前記入射光が入射する入射面に垂直な方向において、前記入射面からの距離が互いに異なる位置に、前記第一の支持面と前記第二の支持面とを配設して、前記筐体本体を形成する筐体本体形成工程と、
前記素子室に前記光偏向素子を組み込む、光偏向素子組み込み工程と、
前記蓋部材を前記筐体本体に接合する蓋部材接合工程と、を有することを特徴とする光偏向器の製造方法。
【請求項１４】
前記蓋部材接合工程では、前記蓋部材と前記筐体本体とを、金属接合、共晶結合、又は陽極接合によって接合することを特徴とする、請求項１２又は１３に記載の光偏向器の製造方法。
【請求項１５】
光源と、請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の光偏向器と、を備え、
前記光源から射出された光束を前記光偏向器によって偏向させることで画像を形成することを特徴とする画像形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光偏向素子を備える光偏向器、光偏向素子を備える光偏向器の製造方法、及び光偏向器を備える画像形成装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、反射面を回動させることによって、光源から反射面に入射する光束を偏向させて、当該偏向光によって画像形成面上を走査することで画像形成面に画像を形成する光偏向器が知られている。高解像度の画像を形成するためには、より高い周波数で反射面を回動させることが必要である。ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical System）の技術を応用して製作されたミラーデバイスは、従来から用いられているポリゴンミラーやガルバノミラーでは実現が困難な高い周波数で駆動させることが可能である。このミラーデバイスは、反射面が形成又は取り付けられた可動板と、弾性を有する捻り梁と、駆動源とを備え、捻り梁を軸にして反射面を往復回動させることによって、光源から反射面に入射する光束を偏向させる光偏向器である。
可動板は高速かつ高精度で回動させることが必要であり、雰囲気の影響によって特性が変わる可能性がある。雰囲気の影響を抑制するために可動板が配設された空間に蓋をして、当該空間を外部と隔絶することが行われている。反射面に入射される光束及び反射面によって反射された光束は、可動板が配設された空間を構成する部材に形成された窓部を透過する。反射面に入射される光束は、窓部の入射面から窓部に入射され、反対側の射出面から射出されて反射面に入射される。入射面及び射出面においては、光束の極一部が反射されて、反射光が発生する。当該反射光を、「迷光」と表記する。
【０００３】
反射面によって反射された光束が走査することで形成される画像の中に、迷光が投射されることによって、画像の品質が劣化するという課題があった。窓部の入射面及び射出面と反射面とを傾けることによって、迷光の進行方向を反射面によって反射された光束の進行方向と異ならせることで、反射面によって反射された光束によって形成される画像の中に、迷光が投射されることを抑制する方法や装置が知られている。
特許文献１には、マイクロミラー素子を覆うウィンドウ蓋を有し、ウィンドウ蓋の光透過部がマイクロミラー素子に対して傾斜していることによって、ノイズビーム（迷光）をマイクロミラー素子による反射光と分離できる、マイクロミラー素子パッケージおよびその製造方法が開示されている。
特許文献２には、ＭＥＭＳミラーと、ＭＥＭＳミラーに対向配置されており開口を有する不透明プレートと、を備え、不透明プレートをＭＥＭＳミラー面に対して傾けたＭＥＭＳスキャナシステム及び方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−３４３０９号公報
【特許文献２】特表２００９−５１９４９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示されたようなウィンドウ蓋は、マイクロミラー素子の蓋としての機能を実現するためには、可視光を透過させる材料で形成し、表面を平滑に研磨する必要がある。光透過部がマイクロミラー素子に対して傾斜した状態に取り付け可能であって、可視光を透過させると共に、表面が平滑に研磨されたウィンドウ蓋を形成するためには、非常に複雑な製造工程が必要であり、製造コストが増大するという課題があった。このようなウィンドウ蓋を製造することは、実質的に不可能である可能性が高い。
特許文献２に開示された装置においては、不透明プレートを傾かせるために、不透明プレートを載置して接合する部分（載置部）を傾かせる必要がある。特許文献２には載置部の形状や接合方法は開示されていないが、傾いた載置部を形成するのであれば、傾いた載置部を適切な接合を実施することが可能な状態に形成することは、非常に複雑な製造工程が必要であり、製造コストが増大する。また、載置部が傾いていることに起因して、不透明プレートの充分な接合が困難である。あるいは、載置部に接合する部分と不透明プレートとが傾いた部材を形成するのであれば、特許文献１に開示された装置と同様に、非常に複雑な製造工程が必要であり、製造コストが増大するという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかる光偏向器は、光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が前記可動板の端面に接続されており、前記可動板を前記反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、前記弾性支持梁の前記一端の反対側の一端が接続されており、前記弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、前記光偏向素子を収容可能な素子室と、前記素子室に配設されており、前記支持枠を支持することで前記光偏向素子を支持する素子支持部を有する筐体本体と、前記反射面に入射する入射光及び前記反射面で反射された反射光が透過する窓部を有し、前記素子室の開口を封止する位置に配設されている蓋部材と、を備え、前記支持枠と前記素子支持部とが第一の当接位置と第二の当接位置とにおいて当接することによって、前記支持枠が前記素子支持部に支持されており、前記入射光が前記窓部に入射する入射面に垂直な方向における前記入射面からの距離、又は前記反射面に垂直な方向における前記反射面からの距離が、前記第一の当接位置と前記第二の当接位置とで互いに異なることを特徴とする。
【０００８】
本適用例にかかる光偏向器によれば、入射面に垂直な方向における入射面からの距離、又は反射面に垂直な方向における反射面からの距離が、第一の当接位置と第二の当接位置とで互いに異なっている。これにより、第一の当接位置及び第二の当接位置を含む面と、入射面又は反射面の一方とは、互いに平行ではないことから、入射面の面方向と反射面の面方向とを互いに異ならせることができる。入射面の面方向と反射面の面方向とが互いに異なることで、同一方向からの入射光を反射した反射光の方向を、入射面による反射光と反射面による反射光とで、互いに異ならせることができる。すなわち、反射面による反射光が照射されて形成される画像などの範囲に、入射面による反射光である迷光が照射されることによって、形成される画像などの品質が損なわれることを抑制することができる。
筐体本体と蓋部材とを隙間なく接合するためには、接合を実施する際の接合面の状態や筐体本体と蓋部材との接触状態などを適切に保つことが必要である。本適用例にかかる光偏向器においては、入射面の面方向と反射面の面方向とを互いに異ならせることに起因して筐体本体の外形形状や蓋部材の形状や互いの接合面が影響を受けることはない。このため、接合のための適切な状態を損なうことなく、入射面による反射光である迷光が照射されることによって、本適用例にかかる光偏向器を用いて形成される画像などの品質が損なわれることを抑制することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例にかかる光偏向器は、前記第一の当接位置は、前記支持枠における第一の被支持面と前記素子支持部における第一の支持面とが当接する部分の位置であり、前記第二の当接位置は、前記支持枠における第二の被支持面と前記素子支持部における第二の支持面とが当接する部分の位置であり、前記第一の被支持面と前記第二の被支持面とは、前記反射面に平行な方向において、前記反射面を挟んで両側に配設されており、前記反射面に垂直な方向において、前記反射面からの距離が、前記第一の被支持面における前記第一の当接位置と前記第二の被支持面における前記第二の当接位置とで異なることが好ましい。
【００１０】
この光偏向器によれば、反射面に垂直な方向において、反射面からの距離が、第一の被支持面における第一の当接位置と第二の被支持面における第二の当接位置とで異なっている。これにより、第一の当接位置及び第二の当接位置を含む面と反射面とは、互いに平行ではないことから、入射面の面方向と反射面の面方向とを互いに異ならせることができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例にかかる光偏向器は、前記第一の当接位置は、前記支持枠における第一の被支持面と前記素子支持部における第一の支持面とが当接する部分の位置であり、前記第二の当接位置は、前記支持枠における第二の被支持面と前記素子支持部における第二の支持面とが当接する部分の位置であり、前記第一の支持面と前記第二の支持面とは、前記反射面に平行な方向において、前記反射面を挟んで両側に配設されており、前記入射面に垂直な方向において、前記入射面からの距離が、前記第一の支持面における前記第一の当接位置と前記第二の支持面における前記第二の当接位置とで異なることが好ましい。
【００１２】
この光偏向器によれば、入射面に垂直な方向において、入射面からの距離が、第一の支持面における第一の当接位置と第二の支持面における第二の当接位置とで異なっている。これにより、第一の当接位置及び第二の当接位置を含む面と入射面とは、互いに平行ではないことから、入射面の面方向と反射面の面方向とを互いに異ならせることができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例にかかる光偏向器は、前記第一の支持面又は前記第二の支持面のいずれか一方は、前記素子室の底面であることが好ましい。
【００１４】
この光偏向器によれば、第一の支持面又は第二の支持面のいずれか一方が、素子室の底面である。これにより、第一の支持面又は第二の支持面のいずれか一方を形成するだけで、第一の支持面及び第二の支持面を形成することができるため、第一の支持面及び第二の支持面を形成する工程を簡単にすることができる。第一の支持面及び第二の支持面の機能を実現するために、素子室の底面及び第一の支持面又は第二の支持面のいずれか一方のみが形成されているだけであるため、素子室内の構成を簡単にすることができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例にかかる光偏向器は、前記第一の被支持面と前記第二の被支持面とは、前記反射面に平行な方向において、前記回動軸を挟んで両側にそれぞれ配設されていることが好ましい。
【００１６】
この光偏向器によれば、回動軸を挟んで両側に第一の被支持面と第二の被支持面とがそれぞれ配設されている。これにより、反射面における回動軸回りの方向において、反射面と入射面とを傾かせることができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例にかかる光偏向器は、前記第一の被支持面と前記第二の被支持面とは、前記回動軸の軸方向において、前記弾性支持梁を挟んで両側にそれぞれ配設されていることが好ましい。
【００１８】
この光偏向器によれば、回動軸の軸方向において、弾性支持梁を挟んで両側に第一の被支持面と第二の被支持面とがそれぞれ配設されている。これにより、反射面における回動軸の軸方向において、反射面と入射面とを傾かせることができる。
【００１９】
［適用例７］上記適用例にかかる光偏向器は、前記第一の支持面又は前記第二の支持面の少なくとも一方の面方向は、当接する前記第一の被支持面又は前記第二の被支持面の面方向と略平行であることが好ましい。
【００２０】
この光偏向器によれば、第一の支持面又は第二の支持面の面方向が当接する第一の被支持面又は第二の被支持面の面方向と略平行である。これにより、互いに略平行な面は、面接触に近い接触状態となって広い部分において接触するため、点接触や面接触で当接する場合にくらべて、安定して当接させることができる。
【００２１】
［適用例８］上記適用例にかかる光偏向器は、前記第一の被支持面又は前記第二の被支持面の少なくとも一方の面方向は、当接する前記第一の支持面又は前記第二の支持面の面方向と略平行であることが好ましい。
【００２２】
この光偏向器によれば、第一の被支持面又は第二の被支持面の面方向が当接する第一の支持面又は第二の支持面の面方向と略平行である。これにより、互いに略平行な面は、面接触に近い接触状態となって広い部分において接触するため、点接触や面接触で当接する場合にくらべて、安定して当接させることができる。
【００２３】
［適用例９］上記適用例にかかる光偏向器は、前記第一の被支持面又は前記第二の被支持面、又は前記第一の支持面又は前記第二の支持面の少なくとも一方に形成された凹部と、他方における前記凹部に対応する位置に形成されており、前記凹部と遊嵌可能な突起と、を備えることが好ましい。
【００２４】
この光偏向器によれば、第一の被支持面又は第二の被支持面と、第一の支持面又は第二の支持面との一方に凹部が、他方に凹部と遊嵌可能な突起が形成されている。光偏向素子を筐体本体に組み込む際は、凹部と突起とを遊嵌させることによって、光偏向素子を適切な位置に容易に誘導することができる。第一の被支持面又は第二の被支持面と第一の支持面又は第二の支持面とが当接した状態では、凹部と突起とを遊嵌させることによって、第一の被支持面又は第二の被支持面と第一の支持面又は第二の支持面との相対位置を概略規定することができる。
【００２５】
［適用例１０］上記適用例にかかる光偏向器は、前記第一の被支持面又は前記第二の被支持面、又は前記第一の支持面又は前記第二の支持面の少なくとも一方が突起の先端であり、他方が前記突起に遊嵌可能な凹部の底面であることが好ましい。
【００２６】
この光偏向器によれば、突起と凹部とが遊嵌した状態で、第一の被支持面と第一の支持面とが、又は第二の被支持面と第二の支持面とが当接している。突起と凹部とが遊嵌していることにより、第一の被支持面又は第二の被支持面と第一の支持面又は第二の支持面との相対位置を概略規定することができる。光偏向素子を筐体本体に組み込む際は、凹部と突起とを遊嵌させることによって、光偏向素子を適切な位置に容易に誘導することができる。
【００２７】
［適用例１１］上記適用例にかかる光偏向器は、前記蓋部材と前記筐体本体とは、金属接合、共晶結合、又は陽極接合によって接合されていることが好ましい。
【００２８】
この光偏向器によれば、蓋部材と筐体本体とを、金属接合、共晶結合、又は陽極接合によって接合することで、接続面の全面を確実に接合することができる。これにより、素子室を確実に雰囲気と隔絶させることができる。例えば素子室を負圧にして、可動板が回動する際の抵抗を低減することができる。また、経時変化などによって密封状態が損なわれることを抑制することができる。
【００２９】
［適用例１２］本適用例にかかる光偏向器の製造方法は、光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が前記可動板の端面に接続されており、前記可動板を前記反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、前記弾性支持梁の前記一端の反対側の一端が接続されており、前記弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、前記光偏向素子を収容可能な素子室と、前記素子室に配設されており、前記支持枠を支持することで前記光偏向素子を支持する素子支持部を有する筐体本体と、前記反射面に入射する入射光及び前記反射面で反射された反射光が透過する窓部を備え、前記素子室の開口を封止する位置に配設されている蓋部材と、を備え、前記支持枠と前記素子支持部とが第一の当接位置と第二の当接位置とにおいて当接することによって、前記支持枠が前記素子支持部に支持されている光偏向器の製造方法であって、前記第一の当接位置は、前記支持枠における第一の被支持面と前記素子支持部における第一の支持面とが当接する部分の位置であり、前記第二の当接位置は、前記支持枠における第二の被支持面と前記素子支持部における第二の支持面とが当接する部分の位置であり、前記光偏向素子が前記筐体本体に組み込まれた状態において、前記第一の被支持面における前記第一の当接位置と前記第二の被支持面における前記第二の当接位置とで、前記反射面に垂直な方向における前記反射面からの距離が互いに異なる位置に、前記第一の被支持面と前記第二の被支持面とを形成して、前記光偏向素子を形成する光偏向素子形成工程と、前記筐体本体を形成する筐体本体形成工程と、前記素子室に前記光偏向素子を組み込む、光偏向素子組み込み工程と、前記蓋部材を前記筐体本体に接合する蓋部材接合工程と、を有することを特徴とする。
【００３０】
本適用例にかかる光偏向器の製造方法によれば、反射面に垂直な方向において、反射面からの距離が、第一の被支持面における第一の当接位置と第二の被支持面における第二の当接位置とで異なっている。これにより、第一の当接位置及び第二の当接位置を含む面と反射面とは、互いに平行ではないことから、入射面の面方向に対して反射面の面方向を異ならせることができる。入射面の面方向と反射面の面方向とが互いに異なることで、同一方向からの入射光を反射した反射光の方向を、入射面による反射光と反射面による反射光とで、互いに異ならせることができる。すなわち、反射面による反射光が照射されて形成される画像などの範囲に、入射面による反射光である迷光が照射されることによって、形成される画像などの品質が損なわれることを抑制することができる。
筐体本体と蓋部材とを隙間なく接合するためには、接合を実施する際の接合面の状態や筐体本体と蓋部材との接触状態などを適切に保つことが必要である。本適用例にかかる光偏向器においては、入射面の面方向と反射面の面方向とを互いに異ならせることに起因して筐体本体の外形形状や蓋部材の形状や互いの接合面が影響を受けることはない。このため、接合のための適切な状態を損なうことなく、入射面による反射光である迷光が照射されることによって、本適用例にかかる光偏向器を用いて形成される画像などの品質が損なわれることを抑制することができる。
【００３１】
［適用例１３］本適用例にかかる光偏向器の製造方法は、光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が前記可動板の端面に接続されており、前記可動板を前記反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、前記弾性支持梁の前記一端の反対側の一端が接続されており、前記弾性支持梁を支持する支持枠と、を備える光偏向素子と、前記光偏向素子を収容可能な素子室と、前記素子室に配設されており、前記支持枠を支持することで前記光偏向素子を支持する素子支持部を有する筐体本体と、前記反射面に入射する入射光及び前記反射面で反射された反射光が透過する窓部を備え、前記素子室の開口を封止する位置に配設されている蓋部材と、を備え、前記支持枠と前記素子支持部とが第一の当接位置と第二の当接位置とにおいて当接することによって、前記支持枠が前記素子支持部に支持されている光偏向器の製造方法であって、前記第一の当接位置は、前記支持枠における第一の被支持面と前記素子支持部における第一の支持面とが当接する部分の位置であり、前記第二の当接位置は、前記支持枠における第二の被支持面と前記素子支持部における第二の支持面とが当接する部分の位置であり、前記光偏向素子を形成する光偏向素子形成工程と、前記光偏向素子が前記筐体本体に組み込まれ、前記蓋部材が前記筐体本体に接合された状態で、前記第一の支持面における前記第一の当接位置と前記第二の支持面における前記第二の当接位置とで、前記窓部における前記入射光が入射する入射面に垂直な方向において、前記入射面からの距離が互いに異なる位置に、前記第一の支持面と前記第二の支持面とを配設して、前記筐体本体を形成する筐体本体形成工程と、前記素子室に前記光偏向素子を組み込む、光偏向素子組み込み工程と、前記蓋部材を前記筐体本体に接合する蓋部材接合工程と、を有することを特徴とする。
【００３２】
本適用例にかかる光偏向器の製造方法によれば、入射面に垂直な方向において、入射面からの距離が、第一の支持面における第一の当接位置と第二の支持面における第二の当接位置とで異なっている。これにより、第一の当接位置及び第二の当接位置を含む面と入射面とは、互いに平行ではないことから、反射面の面方向に対して入射面の面方向を異ならせることができる。反射面の面方向と入射面の面方向とが互いに異なることで、同一方向からの入射光を反射した反射光の方向を、入射面による反射光と反射面による反射光とで、互いに異ならせることができる。すなわち、反射面による反射光が照射されて形成される画像などの範囲に、入射面による反射光である迷光が照射されることによって、形成される画像などの品質が損なわれることを抑制することができる。
筐体本体と蓋部材とを隙間なく接合するためには、接合を実施する際の接合面の状態や筐体本体と蓋部材との接触状態などを適切に保つことが必要である。本適用例にかかる光偏向器においては、入射面の面方向と反射面の面方向とを互いに異ならせることに起因して筐体本体の外形形状や蓋部材の形状や互いの接合面が影響を受けることはない。このため、接合のための適切な状態を損なうことなく、入射面による反射光である迷光が照射されることによって、本適用例にかかる光偏向器を用いて形成される画像などの品質が損なわれることを抑制することができる。
【００３３】
［適用例１４］上記適用例にかかる光偏向器の製造方法は、前記蓋部材接合工程では、前記蓋部材と前記筐体本体とを、金属接合、共晶結合、又は陽極接合によって接合することが好ましい。
【００３４】
この光偏向器の製造方法によれば、蓋部材と筐体本体とを、金属接合、共晶結合、又は陽極接合によって接合することで、接続面の全面を確実に接合することができる。これにより、素子室を確実に雰囲気と隔絶させることができる。例えば素子室を負圧にして、可動板が回動する際の抵抗を低減することができる。また、経時変化などによって密封状態が損なわれることを抑制することができる。
【００３５】
［適用例１５］本適用例にかかる画像形成装置は、光源と、上記適用例のいずれかに記載の光偏向器と、を備え、前記光源から射出された光束を前記光偏向器によって偏向させることで画像を形成することを特徴とする。
【００３６】
本適用例にかかる画像形成装置によれば、反射面による反射光が照射されて形成される画像などの範囲に、入射面による反射光が照射されることによって、形成される画像などの品質が損なわれることを抑制することができる光偏向器を備えることによって、品質の高い画像を安定して形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】投射型画像表示装置の主要な構成要素を示す説明図。
【図２】（ａ）は、光偏向素子の形状を示す平面図。（ｂ）は、（ａ）に矢印Ｂで示した方向から見た側面図。（ｃ）は、（ａ）の図の裏面側の形状を示す平面図。（ｄ）は、（ａ）に矢印Ｃで示した方向から見た側面図。（ｅ）は、（ａ）にＡ−Ａで示した断面における断面図。
【図３】（ａ）は、素子筐体の筐体本体の外形形状を示す平面図。（ｂ）は、（ａ）にＤ−Ｄで示した断面における素子筐体の筐体本体及び封止蓋の断面形状を示す断面図。（ｃ）は、（ａ）にＥ−Ｅで示した断面における素子筐体の筐体本体及び封止蓋の断面形状を示す断面図。
【図４】（ａ）は、主走査偏向器を封止蓋側から見た平面図。（ｂ）は、主走査偏向器の断面図。（ｃ）は、可動板が回動した状態を示す断面図。
【図５】（ａ）は、主走査偏向器を封止蓋側から見た平面図。（ｂ）は、素子筐体の筐体本体及び封止蓋の断面形状を示す断面図。（ｃ）は、筐体本体の、回動軸の軸方向に平行な断面における断面図。（ｄ）は、主走査偏向器の回動軸の軸方向に平行な断面における断面図。
【図６】（ａ）は、光偏向素子の平面図。（ｂ）は、（ａ）にＧ−Ｇで示した断面における光偏向素子の断面形状を示す断面図。（ｃ）は、筐体本体の平面図。（ｄ）は、（ｃ）にＨ−Ｈで示した断面における、筐体本体の断面図。（ｅ）は、主走査偏向器の回動軸に略直交する断面における断面図。（ｆ）は、可動板が回動した状態を示す断面図。
【図７】（ａ）は、主走査偏向器を封止蓋側から見た平面図。（ｂ）は、素子筐体の筐体本体及び封止蓋の断面形状を示す断面図。（ｃ）は、筐体本体の、回動軸の軸方向に平行な断面における断面図。（ｄ）は、主走査偏向器の回動軸の軸方向に平行な断面における断面図。
【図８】主走査偏向器の構成を示す回動軸の軸方向に平行な断面における断面図。
【図９】（ａ）は、光偏向素子を反射鏡が形成された側の反対側から見た平面図。（ｂ）は、筐体本体の平面図。（ｃ）は、主走査偏向器の回動軸の軸方向に平行な断面における断面図。
【図１０】印刷装置の全体構成を模式的に示す断面図。
【図１１】印刷装置が備える露光ユニットの概略構成を示す説明図。
【図１２】支持枠の形状例を示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
以下、光偏向器、光偏向器の製造方法、及び画像形成装置の一実施形態について図面を参照して、説明する。本実施形態は、光偏向器を備える画像形成装置としての投射型画像表示装置を例にして説明する。なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００３９】
＜投射型画像表示装置＞
最初に、投射型画像表示装置１について、図１を参照して説明する。図１は、投射型画像表示装置の主要な構成要素を示す説明図である。
図１に示すように、投射型画像表示装置１は、光束ＬをスクリーンＳの横方向（主走査方向）及び縦方向（副走査方向）に２次元的に走査することにより、スクリーンＳ上に画像を形成（描画）する装置である。
【００４０】
投射型画像表示装置１は、光源ユニット２と、光走査ユニット３と、図示省略した表示装置制御部と、を備えている。光源ユニット２から光束Ｌが射出され、当該光束Ｌが光走査ユニット３によって２次元的に走査されてスクリーンＳに投射されて、スクリーンＳ上に画像が形成される。
なお、スクリーンＳは、投射型画像表示装置１に一体に備えられたものであっても別体であってもよい。また、スクリーンＳの表面側（光Ｌの照射側）で画像を視認するように構成してもよいし、スクリーンＳの裏面側（光Ｌの照射側とは反対側）から画像を視認するように構成してもよい。
【００４１】
光源ユニット２は、レーザー光源２１と、ダイクロイックプリズム２２とを備えている。レーザー光源２１は、３色の光のいずれかを射出する、レーザー光源２１Ｒ、レーザー光源２１Ｇ、又はレーザー光源２１Ｂである。レーザー光源２１Ｒは赤色の光束ＬＲを射出し、レーザー光源２１Ｇは緑色の光束ＬＧを射出し、レーザー光源２１Ｂは青色の光束ＬＢを射出する。
【００４２】
ダイクロイックプリズム２２は、３色の光のいずれかを選択的に反射する、ダイクロイックプリズム２２Ｒ、ダイクロイックプリズム２２Ｇ、又はダイクロイックプリズム２２Ｂである。ダイクロイックプリズム２２Ｒは、赤色光を選択的に反射させる反射部を備えている。レーザー光源２１Ｒから射出された赤色の光束ＬＲは、ダイクロイックプリズム２２Ｒに入射し、反射部で反射されてダイクロイックプリズム２２Ｇに向けて射出される。当該光束を、光束Ｌ１と表記する。
【００４３】
ダイクロイックプリズム２２Ｇは、緑色光を選択的に反射させる反射部を備えている。レーザー光源２１Ｇから射出された緑色の光束ＬＧは、ダイクロイックプリズム２２Ｇに入射し、反射部で反射されてダイクロイックプリズム２２Ｂに向けて射出される。ダイクロイックプリズム２２Ｒからダイクロイックプリズム２２Ｇに向けて射出された光束Ｌ１は、ダイクロイックプリズム２２Ｇの反射部を透過して、ダイクロイックプリズム２２Ｂに向けて射出される。ダイクロイックプリズム２２Ｇが、光束ＬＧを反射し、光束Ｌ１を透過させることで、光束ＬＧと光束Ｌ１とが合成された光束Ｌ２が、ダイクロイックプリズム２２Ｂに向けて射出される。
【００４４】
ダイクロイックプリズム２２Ｂは、青色光を選択的に反射させる反射部を備えている。レーザー光源２１Ｂから射出された青色の光束ＬＢは、ダイクロイックプリズム２２Ｂに入射し、反射部で反射されて射出される。ダイクロイックプリズム２２Ｇからダイクロイックプリズム２２Ｂに向けて射出された光束Ｌ２は、ダイクロイックプリズム２２Ｂの反射部を透過して、射出される。ダイクロイックプリズム２２Ｂが、光束ＬＢを反射し、光束Ｌ２を透過させることで、光束ＬＢと光束Ｌ２とが合成された光束Ｌが、射出される。光束Ｌは、３色の光束ＬＲと、光束ＬＧと、光束ＬＢとが合成された光束である。
【００４５】
光走査ユニット３は、主走査偏向器３１と、副走査偏向器３２と、固定反射鏡３４とを備えている。
主走査偏向器３１は、光偏向素子４０を備えており、光偏向素子４０は、回動軸Ｘを回動軸として回動する可動板４１に固定された反射鏡４２を備えている。
光源ユニット２のダイクロイックプリズム２２Ｂから射出された光束Ｌは、反射鏡４２によって反射されて、回動軸Ｘの軸方向に略直角な主走査方向に走査される。主走査偏向器３１が、光偏向器に相当する。
【００４６】
副走査偏向器３２は、例えば、ガルバノミラーにより構成されており、主走査方向に略平行な回動軸Ｙを回動軸として回動する副走査反射鏡４８を備えている。
主走査偏向器３１の反射鏡４２によって反射された光束Ｌは、副走査反射鏡４８によって反射されて、主走査方向に略直角な副走査方向に走査される。
副走査反射鏡４８によって反射された光束Ｌは、固定反射鏡３４で反射されて、スクリーンＳに照射される。主走査偏向器３１による主走査方向の走査と、副走査偏向器３２による副走査方向の走査とによって、スクリーンＳ上に、２次元の画像が形成される。
【００４７】
＜光偏向素子＞
次に、主走査偏向器３１が備える光偏向素子４０について、図２を参照して説明する。図２は、光偏向素子の形状を示す図である。図２（ａ）は、光偏向素子の形状を示す平面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）に矢印Ｂで示した方向から見た側面図であり、図２（ｃ）は、図２（ａ）の図の裏面側の形状を示す平面図であり、図２（ｄ）は、図２（ａ）に矢印Ｃで示した方向から見た側面図であり、図２（ｅ）は、図２（ａ）にＡ−Ａで示した断面における断面図である。
図２に示すように、光偏向素子４０は、可動板４１と、反射鏡４２と、一対の弾性支持梁４３，４３と、支持枠４４と、を備えている。可動板４１と弾性支持梁４３と支持枠４４とは、例えばシリコン基板をエッチングして形成され、一体に形成されている。
可動板４１の形状は、円形の平板である。反射鏡４２は、平板形状の可動板４１の一面に、配設されている。反射鏡４２は、例えばアルミニウムの薄膜であり、平滑に仕上げられたシリコンの面に、例えばスパッタリングによって形成される。
【００４８】
弾性支持梁４３は、略四角柱の形状を有している。一対の弾性支持梁４３，４３は、それぞれの弾性支持梁４３の一端が、可動板４１の側面における円形平板形状の中心に関して略対称の位置において接続されており、それぞれの中心軸が一直線となる方向に延在している。中心軸は、四角柱形状の長手方向に延在し、幅方向及び厚さ方向の中心位置に位置しており、図２（ａ）に示した回動軸Ｘと一致している。
支持枠４４は、略方形の板の内側に支持枠開口４５が形成された額縁状の形状を有している。可動板４１（反射鏡４２）と一対の弾性支持梁４３，４３とは、支持枠開口４５に配設されている。支持枠４４を構成する額縁形状の４辺のそれぞれを、長辺の２辺を支持枠長辺４４ａ、支持枠長辺４４ｂと表記し、短辺の２辺を支持枠短辺４４ｃ、支持枠短辺４４ｄと表記する。弾性支持梁４３の可動板４１と接続された一端の反対側の一端が、額縁形状の対向する２辺である支持枠短辺４４ｃ又は支持枠短辺４４ｄの略中央にそれぞれ接続されている。
【００４９】
支持枠長辺４４ａと、支持枠短辺４４ｃ及び支持枠短辺４４ｄの大部分とは、厚さが、可動板４１及び弾性支持梁４３と略同一である。支持枠長辺４４ａと、支持枠短辺４４ｃ及び支持枠短辺４４ｄの大部分における反射鏡４２が形成された側の面を表側面４４Ａと表記し、反対側の面を裏側面４４Ｂと表記する。支持枠長辺４４ｂ及び支持枠長辺４４ｂの回動軸Ｘの軸方向の両側は、厚さが支持枠長辺４４ａより薄くなっている。この部分における反射鏡４２が形成された側の面は表側面４４Ａと連続した面であり、当該面も表側面４４Ａと表記する。薄くなっている部分における反射鏡４２が形成された側の反対側の面は、裏側面４４Ｂと略平行であって裏側面４４Ｂより表側面４４Ａに近い位置に在る面である。当該面を裏側面４４Ｃと表記する。
一対の弾性支持梁４３，４３が回動軸Ｘを中心にして捩れることによって、可動板４１（反射鏡４２）は、回動軸Ｘを中心にして回動する。主走査偏向器３１が投射型画像表示装置１に組み込まれた状態で、図２（ａ）に示した回動軸Ｘは、図１に示した回動軸Ｘと同じものである。反射鏡４２が、反射手段に相当する。
【００５０】
＜素子筐体＞
次に、主走査偏向器３１が備える素子筐体５０について、図３を参照して説明する。図３は、素子筐体の筐体本体及び封止蓋の外形形状を示す図である。図３（ａ）は、素子筐体の筐体本体の外形形状を示す平面図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）にＤ−Ｄで示した断面における素子筐体の筐体本体及び封止蓋の断面形状を示す断面図であり、図３（ｃ）は、図３（ａ）にＥ−Ｅで示した断面における素子筐体の筐体本体及び封止蓋の断面形状を示す断面図である。
【００５１】
図３に示すように、素子筐体５０は、筐体本体５２及び封止蓋５１を備えている。筐体本体５２は、略直方体を有し、上面５３において外面に開口する素子室５４が形成されている。筐体本体５２の外面における上面５３の反対側の外面を外底面５７と表記する。本実施形態の主走査偏向器３１では、上面５３側を上側と表記し、外底面５７側を下側と表記する。外底面５７には、駆動装置３６（図４参照）の駆動コイル３８（図４参照）を配設するための外底面凹部５７ａが形成されている。
【００５２】
筐体本体５２の素子室５４を囲む部分を、側壁５２ａと表記する。素子室５４における底面（上面５３側から見て奥の面）を、素子室底面５４ａと表記する。素子室５４において、素子室底面５４ａと、平面視略長方形の長辺に沿う側壁５２ａと、の角部には、素子室５４側に膨出した支持部５６が形成されている。素子室底面５４ａと支持部５６とに囲まれた素子室５４の部分を、素子室凹部５４ｂと表記する。素子室凹部５４ｂは、略直方体形状の空間である。
支持部５６の上側の支持部面５６Ａは、素子室底面５４ａと略平行であって、２個の支持部面５６Ａの素子室底面５４ａからの高さは略同一である。
素子室５４の平面形状は、支持枠４４の外形形状と相似形であって、支持枠４４の外形形状より僅かに大きくなっており、光偏向素子４０を素子室５４内に配置することができる。素子室５４内に配置された光偏向素子４０は、支持枠４４の支持枠長辺４４ａ及び支持枠長辺４４ｂが支持部５６に当接して支持される（図４参照）。素子室凹部５４ｂにおける支持部５６間の距離は、光偏向素子４０の支持枠開口４５の短辺方向の幅よりわずかに大きくなっており、支持部５６は、可動板４１や弾性支持梁４３に接触することなく、支持枠４４を支持する。支持部５６が、素子支持部に相当する。
【００５３】
封止蓋５１は、可視光が透過する、平面視形状が筐体本体５２の平面視形状と略同一の平板形状の部材であって、蓋入射面５１ａと、蓋裏面５１ｂとを有している。蓋裏面５１ｂの周辺部を蓋裏接続面５１ｃと表記する。封止蓋５１を上面５３に載せて、蓋裏接続面５１ｃと上面５３とを接合することによって、素子室５４は封止される。
蓋入射面５１ａと蓋裏面５１ｂとは実質的に平行であって、封止蓋５１が筐体本体５２と接合された状態で、蓋入射面５１ａと蓋裏面５１ｂとは、上面５３と実質的に平行であり、素子室底面５４ａと実質的に平行であり、２個の支持部面５６Ａのそれぞれ及び２個の支持部面５６Ａが形成する平面と実質的に平行である。
反射鏡４２に入射する光束は、蓋入射面５１ａから封止蓋５１に入射し、封止蓋５１を透過して蓋裏面５１ｂから射出されて、反射鏡４２に入射して反射される。反射鏡４２によって反射された光束は、蓋裏面５１ｂから封止蓋５１に入射し、封止蓋５１を透過して蓋入射面５１ａから射出されることで、主走査偏向器３１から射出される。封止蓋５１が、蓋部材に相当する。封止蓋５１には遮光部分は特に設けてないため、封止蓋５１の全面を可視光が透過可能であり、封止蓋５１の素子室５４に臨む部分が、窓部に相当する。
【００５４】
筐体本体５２は、例えば低温焼成のセラミックスで形成する。セラミックス材料の膜を形成し、焼結することを繰り返し、積層させることによって、筐体本体５２を形成する。
【００５５】
＜主走査偏向器＞
次に、主走査偏向器３１について、図４を参照して説明する。図４は、主走査偏向器の構成を示す図である。図４（ａ）は、主走査偏向器を封止蓋側から見た平面図であり、図４（ｂ）は、主走査偏向器の断面図であり、図４（ｃ）は、可動板が回動した状態を示す断面図である。
図４に示すように、主走査偏向器３１は、光偏向素子４０と、素子筐体５０と、駆動装置３６とを備えている。
【００５６】
光偏向素子４０は、支持枠４４が素子筐体５０の筐体本体５２における支持部５６に固定されることによって、筐体本体５２に固定されている。光偏向素子４０の可動板４１と反射鏡４２と一対の弾性支持梁４３，４３とは、筐体本体５２における素子室凹部５４ｂの部分に位置しており、可動板４１及び可動板４１と一体に形成された反射鏡４２は回動可能である。
可動板４１における反射鏡４２が配設された反対側の面には、駆動装置３６の磁石３７が固定されている。筐体本体５２の外底面凹部５７ａには、駆動装置３６の駆動コイル３８が固定されている。駆動コイル３８は、筐体本体５２の底部を介して可動板４１と略対向する位置に配設されている。
【００５７】
周期的に変化する電流（交流）が駆動コイル３８に供給されることにより、駆動コイル３８は上方（可動板４１側）に向く磁界と、下方に向く磁界とを交互に発生させる。この磁界により、駆動コイル３８に対し磁石３７の両端（主走査偏向器３１においては、回動軸Ｘから遠い位置に位置する両端）に位置する一対の磁極のうち一方の磁極が接近し他方の磁極が離間するような力が磁石３７に作用する。磁石３７が固定された可動板４１は一対の弾性支持梁４３，４３が捩れ変形することによって回動可能であって、図４（ｃ）に示すように、回動軸Ｘ回りに回動させられる。
【００５８】
上記したように、光偏向素子４０は、支持枠４４が筐体本体５２における支持部５６に固定されることによって、筐体本体５２に固定されている。封止蓋５１は、蓋裏接続面５１ｃと上面５３とを接合することによって筐体本体５２に固定されており、素子室５４は封止蓋５１によって封止されている。
封止蓋５１の筐体本体５２への接合は、封止蓋５１及び筐体本体５２を構成する材料によって適切な方法を選択するが、金属接合、共晶結合、又は陽極接合などの接合方法を用いて接合する。
【００５９】
図２を参照して説明したように、支持枠４４は、支持枠長辺４４ａと、支持枠長辺４４ｂと、支持枠短辺４４ｃと、支持枠短辺４４ｄとを有している。支持枠４４の反射鏡４２が形成された側の面が表側面４４Ａであり、支持枠長辺４４ａなどにおける反対側の面が裏側面４４Ｂであり、支持枠長辺４４ｂなどにおける反対側の面が裏側面４４Ｃである。
支持部５６には、裏側面４４Ｂにおける支持枠長辺４４ａ側の端部近くと、裏側面４４Ｃにおける支持枠長辺４４ｂの外側の端部とが当接している。支持枠長辺４４ｂなどの一面が裏側面４４Ｃである部分は、支持枠４４における他の（一面が裏側面４４Ｂである）部分より薄くなっているため、支持枠４４は、支持部５６に対して、支持枠長辺４４ｂ側が近づいた状態で傾いて固定されている。
【００６０】
図３を参照して説明したように、封止蓋５１において蓋入射面５１ａと蓋裏面５１ｂとは実質的に平行であって、封止蓋５１が筐体本体５２と接合された状態で、蓋入射面５１ａと蓋裏面５１ｂとは、上面５３と実質的に平行である。すなわち、上面５３と実質的に平行な素子室底面５４ａと実質的に平行であり、２個の支持部面５６Ａのそれぞれ及び２個の支持部面５６Ａが形成する平面と実質的に平行である。
支持部５６に対して傾いて固定されている支持枠４４の表側面４４Ａは、図４（ｂ）に示したように、封止蓋５１の蓋入射面５１ａに対して傾いて固定されている。反射鏡４２は可動板４１の表側面４４Ａと連続する面上に形成されており、反射鏡４２の反射面は、蓋入射面５１ａに対して、支持枠長辺４４ｂ側に傾いている。
２個の支持部面５６Ａのそれぞれが、第一の支持面又は第二の支持面に相当する。裏側面４４Ｂと裏側面４４Ｃとのそれぞれが、第一の被支持面又は第二の被支持面に相当する。支持部面５６Ａと裏側面４４Ｂとの当接位置と、支持部面５６Ａと裏側面４４Ｃとの当接位置のそれぞれが、第一の当接位置又は第二の当接位置に相当する。
【００６１】
反射鏡４２に向けて射出された光束Ｌは、そのほとんどが封止蓋５１を透過して、透過した光束Ｌ１１が、反射鏡４２に入射する。蓋入射面５１ａによってわずかではあるが反射された光束Ｌ１２が、迷光である。なお、光束Ｌ１１が蓋裏面５１ｂから射出される際に、蓋裏面５１ｂによって反射される光束が存在するが、当該光束は光束Ｌ１２の近くを光束Ｌ１２と略平行に進む光束であるため、説明を省略する。
反射鏡４２に入射した光束Ｌ１１が反射鏡４２によって反射されて、光束Ｌ２２が射出される。大気と、封止蓋５１と、負圧状態の素子室５４とで屈折率が異なることによって、それぞれの境界において屈折が生ずるが、本実施形態では当該屈折は省略して説明する。したがって、光束Ｌ１１の方向は、光束Ｌの方向と同一である。反射鏡４２の反射面は、蓋入射面５１ａに対して、支持枠長辺４４ｂ側に傾いているため、光束Ｌ２２の進行方向は、光束Ｌ１２の進行方向より支持枠長辺４４ｂ側に傾いている。光束Ｌは、蓋入射面５１ａに垂直な方向に対して、支持枠長辺４４ａ側から入射しており、光束Ｌ１２が反射される位置に対して、光束Ｌ２２が反射される位置の方が支持枠長辺４４ｂ側に在るため、光束Ｌ２２の方向は、光束Ｌ１２から遠ざかる方向である。
【００６２】
図４（ｃ）に示したように、可動板４１は回動させられて、可動板４１ａから可動板４１ｂの範囲で回動する。反射された光束は、光束Ｌ２４から光束Ｌ２５の範囲で走査される。光束Ｌ１２が光束Ｌ２４から光束Ｌ２５の範囲に進入しない位置に副走査偏向器３２を配置することによって、光束Ｌ２４から光束Ｌ２５の範囲で形成される画像内に光束Ｌ１２が入射することを防止することができる。あるいは、光束Ｌ１２が光束Ｌ２４から光束Ｌ２５の範囲に進入しない位置に反射鏡を設けて、光束Ｌ２４から光束Ｌ２５の範囲の光束の方向を変えることもできる。
【００６３】
＜主走査偏向器の製造＞
主走査偏向器３１は、光偏向素子４０と、素子筐体５０の筐体本体５２及び封止蓋５１と、駆動装置３６と、を個別に製造し、それらを組み立てることによって製造する。
光偏向素子４０は、上述したように、例えばシリコン基板をエッチングして可動板４１などを一体に形成し、スパッタリングによって反射鏡４２を形成する。筐体本体５２は、上述したように、例えば、セラミックス材料の膜を積層させることによって形成する。封止蓋５１は、例えば、ガラス基板を切断して形成する。駆動装置３６の駆動コイル３８及び磁石３７は、適切な大きさであれば、一般的なコイルや磁石を用いることができる。
光偏向素子４０の筐体本体５２への組み込みは、筐体本体５２の素子室５４に光偏向素子４０を投入することで、裏側面４４Ｂと裏側面４４Ｃとに段差があることによって、光偏向素子４０は傾いて筐体本体５２にセットされる。光偏向素子４０の筐体本体５２への固定は、公知の固定方法を用いる。
封止蓋５１の筐体本体５２への接合は、上述したように、金属接合、共晶結合、又は陽極接合などの接合方法を用いて接合する。例えば、シリコンから成る筐体本体５２にガラスから成る封止蓋５１を接合する場合には、陽極接合を用いて接合することで、好適な接合を実現することができる。
【００６４】
＜他の主走査偏向器の例１＞
次に、主走査偏向器３１とは一部の構成が異なる主走査偏向器２３１について、図５を参照して説明する。図５は、主走査偏向器の構成及び主走査偏向器を構成する各要素を示す図である。図５（ａ）は、主走査偏向器を封止蓋側から見た平面図であり、図５（ｂ）は、素子筐体の筐体本体及び封止蓋の断面形状を示す断面図であり、図５（ｃ）は、筐体本体の、回動軸の軸方向に平行な断面における断面図であり、図５（ｄ）は、主走査偏向器の回動軸の軸方向に平行な断面における断面図である。
図５に示すように、主走査偏向器２３１は、光偏向素子２４０と、素子筐体２５０と、駆動装置３６と、を備えている。駆動装置３６は、図４を参照して説明した駆動装置３６である。主走査偏向器２３１が、光偏向器に相当する。
【００６５】
素子筐体２５０は、筐体本体２５２と封止蓋５１とを備えている。筐体本体２５２は、素子筐体５０が備える筐体本体５２とほとんど同様の構成であり、一部のみ異なっている。筐体本体２５２は、筐体本体５２において平面視略長方形の長辺に沿う側壁５２ａに沿って素子室５４側に膨出した支持部５６に代えて、平面視略長方形の短辺に沿う側壁２５２ａに沿って素子室２５４側に膨出した支持部２５６を備えている。
素子室２５４が開口する上面５３は、素子室２５４の素子室底面２５４ａと略平行である。支持部２５６の上面（上面５３側の面）は、素子室底面２５４ａと略平行であり、上面５３と略平行である。素子筐体２５０が備える封止蓋５１は、素子筐体５０が備える封止蓋５１と同じである。２個所の支持部２５６の上面は、封止蓋５１の蓋入射面５１ａと略平行であり、蓋入射面５１ａからの距離は、略同一である。
【００６６】
光偏向素子２４０は、主走査偏向器３１が備える光偏向素子４０とほとんど同様の構成であり、一部のみ異なっている。
図５（ａ）及び図５（ｃ）に示すように、光偏向素子２４０は、可動板４１と、反射鏡４２と、一対の弾性支持梁４３，４３と、支持枠２４４と、を備えている。可動板４１と、反射鏡４２と、一対の弾性支持梁４３，４３とは、光偏向素子４０が備える可動板４１、反射鏡４２、及び一対の弾性支持梁４３，４３と、同様のものである。
支持枠２４４は、支持枠４４と同様の額縁形状を有している。支持枠２４４を構成する額縁形状の４辺のそれぞれを、長辺の２辺を支持枠長辺２４４ａ、支持枠長辺２４４ｂと表記し、短辺の２辺を支持枠短辺２４４ｃ、支持枠短辺２４４ｄと表記する。支持枠２４４は、支持枠長辺４４ｂに相当する支持枠長辺２４４ｂの厚さが支持枠長辺２４４ａなどと同一であることと、支持枠短辺４４ｄに相当する支持枠短辺２４４ｄの厚さが一部で薄くなっていることが、支持枠４４と異なっている。可動板４１と弾性支持梁４３と支持枠２４４とは、光偏向素子４０と同様に、例えばシリコン基板をエッチングして形成され、一体に形成されている。
支持枠短辺２４４ｄは、弾性支持梁４３の一端が接続されている側は、支持枠長辺２４４ａなどと同一の厚さである。支持枠短辺２４４ｄにおける、光偏向素子２４０が筐体本体２５２に組み込まれた状態で、支持部２５６に当接する部分が、薄くなっている。薄くなっている部分は、反射鏡４２が形成されている側の面は、光偏向素子２４０の他の部分と同じ表側面２４４Ａである。支持部２５６に当接する側の裏側面２４４Ｃが、光偏向素子２４０の他の部分の裏側面２４４Ｂより、表側面２４４Ａに近い位置に位置している。光偏向素子４０と同様に、表側面２４４Ａと、裏側面２４４Ｂと、裏側面２４４Ｃとは、反射鏡４２の反射面と略平行であり、互いに略平行である。したがって、裏側面２４４Ｃは、反射鏡４２の反射面に垂直な方向において、裏側面２４４Ｂより反射面に近い位置に位置している。
【００６７】
図５（ｄ）に示すように、筐体本体２５２に組み込まれた光偏向素子２４０は、裏側面２４４Ｂと裏側面２４４Ｃとが支持部２５６に当接して支持されている。２個所の支持部２５６の蓋入射面５１ａからの距離は略同一であり、裏側面２４４Ｃが裏側面２４４Ｂより反射鏡４２の反射面に近い位置に位置しているため、蓋入射面５１ａと反射鏡４２の反射面とは傾いている。裏側面２４４Ｂと裏側面２４４Ｃとにおける支持部２５６との当接部は、回動軸Ｘ１の軸方向において、弾性支持梁４３を挟んで両側に位置しているため、蓋入射面５１ａと反射鏡４２の反射面とは、回動軸Ｘ１の軸方向において傾いている。
支持部２５６が、素子支持部に相当し、２個の支持部２５６の上面のそれぞれが、第一の支持面又は第二の支持面に相当する。裏側面２４４Ｂと裏側面２４４Ｃとのそれぞれが、第一の被支持面又は第二の被支持面に相当する。支持部２５６の上面と裏側面２４４Ｂとの当接位置と、支持部２５６の上面と裏側面２４４Ｃとの当接位置のそれぞれが、第一の当接位置又は第二の当接位置に相当する。
【００６８】
反射鏡４２に向けて射出された光束Ｌ３０は、そのほとんどが封止蓋５１を透過して、透過した光束Ｌ３１が、反射鏡４２に入射する。蓋入射面５１ａによってわずかではあるが反射された光束Ｌ３２が、迷光である。上述した例と同様に、蓋裏面５１ｂによって反射される光束については、説明を省略する。
反射鏡４２に入射した光束Ｌ３１が反射鏡４２によって反射されて、光束Ｌ３４が射出される。反射鏡４２の反射面は、蓋入射面５１ａに対して、支持枠短辺２４４ｄ側に傾いているため、光束Ｌ３４の進行方向は、光束Ｌ３２の進行方向より支持枠短辺２４４ｄ側に傾いている。光束Ｌ３０は、蓋入射面５１ａに垂直な方向に対して、支持枠短辺２４４ｃ側から入射しており、光束Ｌ３２が反射される位置に対して、光束Ｌ３４が反射される位置の方が支持枠短辺２４４ｄ側に在るため、光束Ｌ３４の方向は、光束Ｌ３２から遠ざかる方向である。
【００６９】
＜他の主走査偏向器の例２＞
次に、主走査偏向器３１及び主走査偏向器２３１とは一部の構成が異なる主走査偏向器３３１について、図６を参照して説明する。図６は、主走査偏向器の構成及び主走査偏向器を構成する各要素を示す図である。図６（ａ）は、光偏向素子の平面図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）にＧ−Ｇで示した断面における光偏向素子の断面形状を示す断面図であり、図６（ｃ）は、筐体本体の平面図であり、図６（ｄ）は、図６（ｃ）にＨ−Ｈで示した断面における、筐体本体の断面図であり、図６（ｅ）は、主走査偏向器の回動軸に略直交する断面における断面図であり、図６（ｆ）は、可動板が回動した状態を示す断面図である。
図６に示した主走査偏向器３３１は、光偏向素子３４０と、素子筐体３５０と、駆動装置３６と、を備えている。駆動装置３６は、図４を参照して説明した駆動装置３６である。
【００７０】
光偏向素子３４０は、主走査偏向器３１が備える光偏向素子４０とほとんど同様の構成であり、一部のみ異なっている。
図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、光偏向素子３４０は、可動板４１と、反射鏡４２と、一対の弾性支持梁４３，４３と、支持枠３４４と、を備えている。可動板４１と、反射鏡４２と、一対の弾性支持梁４３，４３とは、光偏向素子４０が備える可動板４１、反射鏡４２、及び一対の弾性支持梁４３，４３と、同様のものである。
支持枠３４４は、支持枠４４と同様の額縁形状を有している。支持枠３４４を構成する額縁形状の４辺のそれぞれを、長辺の２辺を支持枠長辺３４４ａ、支持枠長辺３４４ｂと表記し、短辺の２辺を支持枠短辺３４４ｃ、支持枠短辺３４４ｄと表記する。支持枠３４４は、厚さが可動板４１及び弾性支持梁４３と同一であり、全体が均一な厚さであることが、一部の厚さが薄くなっている支持枠４４や支持枠２４４と異なっている。可動板４１と弾性支持梁４３と支持枠３４４とは、光偏向素子４０と同様に、例えばシリコン基板をエッチングして形成され、一体に形成されている。
反射鏡４２が形成されている側の面を表側面３４４Ａと表記し、反対側の面を裏側面３４４Ｂと表記する。表側面３４４Ａと裏側面３４４Ｂとは、平坦な面であって、反射鏡４２の反射面と略平行であり、互いに略平行である。したがって、裏側面３４４Ｂの各位置は、反射鏡４２の反射面に垂直な方向において、反射面から略等距離の位置に位置している。
【００７１】
素子筐体３５０は、筐体本体３５２と封止蓋５１とを備えている。筐体本体３５２は、素子筐体５０が備える筐体本体５２とほとんど同様の構成であり、一部のみ異なっている。筐体本体３５２は、筐体本体５２において平面視略長方形の長辺に沿う側壁５２ａに沿って素子室５４側に膨出した支持部５６と同様の位置に形成されており、素子室３５４側に膨出した支持部３５６を備えている。２個の支持部３５６を、それぞれ支持部３５６ａ、支持部３５６ｂと表記する。支持部３５６ａと支持部３５６ｂとは、それぞれの上面である支持部面３５６Ａと支持部面３５６Ｂとが、素子室３５４の素子室底面３５４ａと略平行である。支持部面３５６Ａと支持部面３５６Ｂとは、素子室底面３５４ａからの距離（高さ）が互いに異なっていることが、筐体本体５２の支持部５６とは異なっている。素子室３５４が開口する上面５３は素子室底面３５４ａと略平行であり、支持部面３５６Ａと支持部面３５６Ｂとは、上面５３と略平行であり、上面５３からの距離が互いに異なっている。
素子筐体３５０が備える封止蓋５１は、素子筐体５０が備える封止蓋５１と同じである。支持部面３５６Ａと支持部面３５６Ｂとは、封止蓋５１の蓋入射面５１ａと略平行であり、蓋入射面５１ａからの距離が互いに異なっている。
【００７２】
図６（ｅ）に示すように、筐体本体３５２に組み込まれた光偏向素子３４０は、裏側面３４４Ｂが支持部面３５６Ａ及び支持部面３５６Ｂに当接して支持されている。
支持部面３５６Ａと支持部面３５６Ｂとは、蓋入射面５１ａからの距離が互いに異なっており、裏側面３４４Ｂは、反射鏡４２の反射面と略平行な平坦な面であるため、蓋入射面５１ａと反射鏡４２の反射面とは傾いている。本実施形態では、封止蓋５１が素子筐体３５０に載っており、封止蓋５１が素子筐体３５０の上側に位置すると表記すると、支持部面３５６Ａは支持部面３５６Ｂより高い位置に在り、反射鏡４２の反射面は、蓋入射面５１ａに対して、支持部面３５６Ｂの方に傾いている。
主走査偏向器３３１が、光偏向器に相当する。支持部３５６ａと支持部３５６ｂとが、素子支持部に相当し、支持部面３５６Ａ及び支持部面３５６Ｂが、第一の支持面又は第二の支持面に相当する。裏側面３４４Ｂにおける支持部面３５６Ａ又は支持部面３５６Ｂと当接する部分のそれぞれが、第一の被支持面又は第二の被支持面に相当する。裏側面３４４Ｂにおける支持部面３５６Ａとの当接位置又は支持部面３５６Ｂとの当接位置のそれぞれが、第一の当接位置又は第二の当接位置に相当する。
【００７３】
反射鏡４２に向けて射出された光束Ｌ４０は、そのほとんどが封止蓋５１を透過して、透過した光束Ｌ４１が、反射鏡４２に入射する。蓋入射面５１ａによってわずかではあるが反射された光束Ｌ４２が、迷光である。上述した例と同様に、蓋裏面５１ｂによって反射される光束については、説明を省略する。
反射鏡４２に入射した光束Ｌ４１が反射鏡４２によって反射されて、光束Ｌ４３が射出される。大気と、封止蓋５１と、負圧状態の素子室３５４とで屈折率が異なることによって、それぞれの境界において屈折が生ずるが、本実施形態では当該屈折は省略して説明する。したがって、光束Ｌ４１の方向は、光束Ｌ４０の方向と同一である。反射鏡４２の反射面は、蓋入射面５１ａに対して、支持部面３５６Ｂ側に傾いているため、光束Ｌ４３の進行方向は、光束Ｌ４２の進行方向より支持部面３５６Ｂ側に傾いている。光束Ｌ４０は、蓋入射面５１ａに垂直な方向に対して、支持部面３５６Ａ側から入射しており、光束Ｌ４２が反射される位置に対して、光束Ｌ４３が反射される位置の方が支持部面３５６Ｂ側に在るため、光束Ｌ４３の方向は、光束Ｌ４２から遠ざかる方向である。
【００７４】
図６（ｆ）に示したように、可動板４１は回動軸Ｘ２まわりに回動させられて、可動板４１ａから可動板４１ｂの範囲で回動する。反射された光束は、光束Ｌ４４から光束Ｌ４５の範囲で走査される。光束Ｌ４２が光束Ｌ４４から光束Ｌ４５の範囲に進入しない位置に副走査偏向器３２を配置することによって、光束Ｌ４４から光束Ｌ４５の範囲で形成される画像内に光束Ｌ４２が入射することを防止することができる。あるいは、光束Ｌ４２が光束Ｌ４４から光束Ｌ４５の範囲に進入しない位置に反射鏡を設けて、光束Ｌ４４から光束Ｌ４５の範囲の光束の方向を変えることもできる。
【００７５】
＜他の主走査偏向器の例３＞
次に、主走査偏向器３１などとは一部の構成が異なる主走査偏向器４３１について、図７を参照して説明する。図７は、主走査偏向器の構成及び主走査偏向器を構成する各要素を示す図である。図７（ａ）は、主走査偏向器を封止蓋側から見た平面図であり、図７（ｂ）は、素子筐体の筐体本体及び封止蓋の断面形状を示す断面図であり、図７（ｃ）は、筐体本体の、回動軸の軸方向に平行な断面における断面図であり、図７（ｄ）は、主走査偏向器の回動軸の軸方向に平行な断面における断面図である。
【００７６】
図７に示すように、主走査偏向器４３１は、光偏向素子３４０と、素子筐体４５０と、駆動装置３６と、を備えている。
光偏向素子３４０は、図６を参照して説明した光偏向素子３４０である。駆動装置３６は、図４を参照して説明した駆動装置３６である。
【００７７】
図７（ｂ）に示すように、素子筐体４５０は、筐体本体４５２と封止蓋５１とを備えている。筐体本体４５２は、素子筐体２５０が備える筐体本体２５２とほとんど同様の構成であり、一部のみ異なっている。筐体本体４５２は、筐体本体２５２において平面視略長方形の短辺に沿う側壁２５２ａに沿って素子室２５４側に膨出した支持部２５６と同様の位置に形成されており、素子室４５４側に膨出した支持部４５６を備えている。２個の支持部４５６を、それぞれ支持部４５６ｃ、支持部４５６ｄと表記する。支持部４５６ｃと支持部４５６ｄとは、それぞれの上面である支持部面４５６Ｃと支持部面４５６Ｄとが、素子室４５４の素子室底面４５４ａと略平行である。支持部面４５６Ｃと支持部面４５６Ｄとは、素子室底面４５４ａからの距離（高さ）が互いに異なっていることが、筐体本体２５２の支持部２５６とは異なっている。素子室４５４が開口する上面５３は素子室底面４５４ａと略平行であり、支持部面４５６Ｃと支持部面４５６Ｄとは、上面５３と略平行であり、上面５３からの距離が互いに異なっている。
素子筐体４５０が備える封止蓋５１は、素子筐体５０などが備える封止蓋５１と同じである。支持部面４５６Ｃと支持部面４５６Ｄとは、封止蓋５１の蓋入射面５１ａと略平行であり、蓋入射面５１ａからの距離が互いに異なっている。
【００７８】
図７（ｄ）に示すように、筐体本体４５２に組み込まれた光偏向素子３４０は、裏側面３４４Ｂが支持部面４５６Ｃ及び支持部面４５６Ｄに当接して支持されている。
支持部面４５６Ｃと支持部面４５６Ｄとは、蓋入射面５１ａからの距離が互いに異なっており、裏側面３４４Ｂは、反射鏡４２の反射面と略平行な平坦な面であるため、蓋入射面５１ａと反射鏡４２の反射面とは傾いている。封止蓋５１が素子筐体４５０に載っており、封止蓋５１が素子筐体４５０の上側に位置すると表記すると、支持部面４５６Ｃは支持部面４５６Ｄより高い位置に在り、反射鏡４２の反射面は、蓋入射面５１ａに対して、支持部面４５６Ｄの方に傾いている。裏側面３４４Ｂにおける支持部面４５６Ｃとの当接部と支持部面４５６Ｄとの当接部とは、回動軸Ｘ３の軸方向において、弾性支持梁４３を挟んで両側に位置しているため、蓋入射面５１ａと反射鏡４２の反射面とは、回動軸Ｘ３の軸方向において傾いている。
主走査偏向器４３１が、光偏向器に相当する。支持部４５６ｃと支持部４５６ｄとが、素子支持部に相当し、支持部面４５６Ｃ及び支持部面４５６Ｄが、第一の支持面又は第二の支持面に相当する。裏側面３４４Ｂにおける支持部面４５６Ｃ又は支持部面４５６Ｄと当接する部分のそれぞれが、第一の被支持面又は第二の被支持面に相当する。裏側面３４４Ｂにおける支持部面４５６Ｃとの当接位置又は支持部面４５６Ｄとの当接位置のそれぞれが、第一の当接位置又は第二の当接位置に相当する。
【００７９】
反射鏡４２に向けて射出された光束Ｌ５０は、そのほとんどが封止蓋５１を透過して、透過した光束Ｌ５１が、反射鏡４２に入射する。蓋入射面５１ａによってわずかではあるが反射された光束Ｌ５２が、迷光である。上述した例と同様に、蓋裏面５１ｂによって反射される光束については、説明を省略する。
反射鏡４２に入射した光束Ｌ５１が反射鏡４２によって反射されて、光束Ｌ５４が射出される。反射鏡４２の反射面は、蓋入射面５１ａに対して、支持部面４５６Ｄ側に傾いているため、光束Ｌ５４の進行方向は、光束Ｌ５２の進行方向より支持部面４５６Ｄ側に傾いている。光束Ｌ５０は、蓋入射面５１ａに垂直な方向に対して、支持部面４５６Ｃ側から入射しており、光束Ｌ５２が反射される位置に対して、光束Ｌ５４が反射される位置の方が支持部面４５６Ｄ側に在るため、光束Ｌ５４の方向は、光束Ｌ５２から遠ざかる方向である。
【００８０】
＜他の主走査偏向器の例４＞
次に、主走査偏向器４３１と一部の構成が異なる主走査偏向器４３２について、図８を参照して説明する。図８は、主走査偏向器の構成を示す回動軸の軸方向に平行な断面における断面図である。
【００８１】
図８に示すように、主走査偏向器４３２は、光偏向素子３４０と、素子筐体４７０と、駆動装置３６と、を備えている。
光偏向素子３４０は、図６を参照して説明した光偏向素子３４０である。駆動装置３６は、図４を参照して説明した駆動装置３６である。
【００８２】
図８に示すように、素子筐体４７０は、筐体本体４７２と封止蓋５１とを備えている。筐体本体４７２は、素子筐体４５０が備える筐体本体４５２とほとんど同様の構成であり、一部のみ異なっている。筐体本体４７２は、筐体本体４５２における支持部４５６ｃに相当する支持部４７６ｃを備えており、支持部４７６ｃが光偏向素子３４０の一方の端部を支持している。光偏向素子３４０のもう一方の端部は、素子室４７４の素子室底面４７４ａに支持されている。主走査偏向器４３２における光偏向素子３４０は、主走査偏向器４３１における光偏向素子３４０と同様に傾いて、筐体本体４７２に固定されている。
主走査偏向器４３２が、光偏向器に相当する。支持部４７６ｃと素子室４７４を構成する素子筐体４７０の底部とが、素子支持部に相当し、支持部４７６ｃの上面及び素子室底面４７４ａが、第一の支持面又は第二の支持面に相当する。裏側面３４４Ｂにおける支持部４７６ｃの上面又は素子室底面４７４ａと当接する部分のそれぞれが、第一の被支持面又は第二の被支持面に相当する。裏側面３４４Ｂにおける支持部４７６ｃの上面との当接位置又は素子室底面４７４ａとの当接位置のそれぞれが、第一の当接位置又は第二の当接位置に相当する。
主走査偏向器４３２における反射鏡４２の反射面は、主走査偏向器４３１における反射鏡４２の反射面と同様に、蓋入射面５１ａに対して傾いている。主走査偏向器４３１と同様に、反射鏡４２に向けて射出された光束Ｌ５０の一部が蓋入射面５１ａで反射された光束Ｌ５２の方向に対して、封止蓋５１を透過した光束Ｌ５１が反射鏡４２に反射された光束Ｌ５４の方向は、光束Ｌ５２から遠ざかる方向である。
【００８３】
＜他の主走査偏向器の例５＞
次に、主走査偏向器３１などと一部の構成が異なる主走査偏向器５３１について、図９を参照して説明する。図９は、主走査偏向器の構成及び主走査偏向器を構成する各要素を示す図である。図９（ａ）は、光偏向素子を反射鏡が形成された側の反対側から見た平面図であり、図９（ｂ）は、筐体本体の平面図であり、図９（ｃ）は、主走査偏向器の回動軸の軸方向に平行な断面における断面図である。
図９に示すように、主走査偏向器５３１は、光偏向素子５４０と、素子筐体５５０と、駆動装置３６と、を備えている。駆動装置３６は、図４を参照して説明した駆動装置３６である。
【００８４】
光偏向素子５４０は、図６を参照して説明した光偏向素子３４０とほとんど同じ構成であり、被支持溝５４７が形成されていることが、光偏向素子３４０と異なっている。詳細には、図９（ａ）に示すように、支持枠５４４における光偏向素子３４０の支持枠短辺３４４ｃに相当する部分に、被支持溝５４７が形成されている。被支持溝５４７は、反射鏡４２が形成された面と反対側の面に形成されており、回動軸Ｘ５と略直交する方向に延在している。被支持溝５４７の断面形状は、口元側が広くなった台形形状である。被支持溝５４７の底面を被支持溝面５４８と表記する。
【００８５】
素子筐体５５０は、筐体本体５５２と封止蓋５１とを備えている。筐体本体５５２は、素子筐体４５０が備える筐体本体４５２とほとんど同様の構成であり、一部のみ異なっている。図９（ｂ）に示すように、筐体本体５５２は、筐体本体４５２における支持部４５６ｃが形成されている部分に支持突起５５７が形成されている。支持突起５５７は、素子室５７４の素子室底面５７４ａに、壁状に立設されており、壁が、平面視略長方形形状の素子室底面５７４ａの短辺方向に延在している。支持突起５５７の延在方向に直交する方向の断面形状は、途中から徐々に狭くなって、先端面５５８の幅が根元より小さくなっている。
【００８６】
図９（ｃ）に示すように、被支持溝５４７が支持突起５５７に遊嵌し、被支持溝面５４８が先端面５５８に当接して支持されることで、光偏向素子５４０の一方の端部が支持突起５５７によって支持されている。光偏向素子５４０のもう一方の端部は、筐体本体４５２における支持部４５６ｄと同様の支持部５５６に支持されている。主走査偏向器５３１における光偏向素子５４０は、主走査偏向器４３１における光偏向素子３４０と同様に傾いて、筐体本体５５２に固定されている。
主走査偏向器５３１が、光偏向器に相当する。支持突起５５７と支持部５５６とが、素子支持部に相当し、先端面５５８及び支持部５５６の上面が、第一の支持面又は第二の支持面に相当する。被支持溝面５４８又は光偏向素子５４０における支持部５５６の上面と当接する部分のそれぞれが、第一の被支持面又は第二の被支持面に相当する。被支持溝面５４８における先端面５５８との当接位置又は光偏向素子５４０における支持部５５６の上面と当接する当接位置のそれぞれが、第一の当接位置又は第二の当接位置に相当する。
主走査偏向器５３１における反射鏡４２の反射面は、主走査偏向器４３１における反射鏡４２の反射面と同様に、蓋入射面５１ａに対して傾いている。主走査偏向器４３１と同様に、反射鏡４２に向けて射出された光束Ｌ５０の一部が蓋入射面５１ａで反射された光束Ｌ５２の方向に対して、封止蓋５１を透過した光束Ｌ５１が反射鏡４２に反射された光束Ｌ５４の方向は、光束Ｌ５２から遠ざかる方向である。
【００８７】
主走査偏向器２３１、主走査偏向器３３１、主走査偏向器４３１、主走査偏向器４３２、及び主走査偏向器５３１は、上述した主走査偏向器３１の製造と同様にして、製造することができる。
【００８８】
＜印刷装置＞
次に、投射型画像表示装置とは異なる、光偏向器を備える画像形成装置としての印刷装置について、図１０及び図１１を参照して説明する。本実施形態で説明する印刷装置１０１は、電子写真方式を採用する印刷装置である。図１０は、印刷装置の全体構成を模式的に示す断面図である。図１１は、印刷装置が備える露光ユニットの概略構成を示す説明図である。
【００８９】
印刷装置１０１は、露光・現像・転写・定着を含む一連の画像形成プロセスによって、トナーからなる画像を紙やＯＨＰシートなどの記録媒体に記録するものである。
図１０に示すように、印刷装置１０１は、感光体１１１と、帯電ユニット１１２と、露光ユニット１１０と、現像ユニット１１４と、転写ユニット１１５と、クリーニングユニット１１６と、からなる画像形成ユニットを備えている。印刷を実施する際には、図１０に矢印ａで示した方向に感光体１１１が回転する。帯電ユニット１１２と、露光ユニット１１０と、現像ユニット１１４と、転写ユニット１１５と、クリーニングユニット１１６とは、感光体１１１の回転方向に沿ってこの順番で、感光体１１１の周囲に配設されている。
印刷装置１０１は、また、紙などの記録媒体Ｐを収容する給紙トレイ１１７と、定着装置１１８とを備えている。給紙トレイ１１７は画像形成ユニットの一方の側（図１０では、画像形成ユニットの図における下側）に配設されており、定着装置１１８は画像形成ユニットを挟んで給紙トレイ１１７の略反対側（図１０では、画像形成ユニットの図における上側）に配設されている。
【００９０】
画像形成ユニットでは、帯電ユニット１１２によって、感光体１１１が帯電され、露光ユニット１１０によって潜像が形成され、現像ユニット１１４によってトナーで現像され、現像された画像が転写ユニット１１５に転写される。
より詳細には、まず、図示しないホストコンピューターからの指令により、感光体１１１、現像ユニット１１４に設けられた現像ローラー（図示省略）、及び転写ユニット１１５の中間転写ベルト１５１が回転を開始する。感光体１１１は、回転しながら、帯電ユニット１１２に対向する部分が帯電ユニット１１２により順次帯電される。
感光体１１１の帯電された領域は、感光体１１１の回転に伴って露光位置に至り、露光ユニット１１０によって、第１色目、例えばイエローＹの画像情報に応じた潜像が前記領域に形成される。
【００９１】
感光体１１１上に形成された潜像は、感光体１１１の回転に伴って、現像ユニット１１４に対向する現像位置に至り、イエロー現像のための現像装置、例えば現像装置１４４によってイエロートナーで現像される。イエロートナーで現像されることによって、感光体１１１上にイエロートナー像が形成される。
現像ユニット１１４は、軸１４６を軸に回転する保持体１４５と、現像装置１４１、現像装置１４２、現像装置１４３、及び現像装置１４４と、を備えている。現像装置１４１、現像装置１４２、現像装置１４３、及び現像装置１４４は、保持体１４５に保持されており、軸１４６のまわりに回転可能である。保持体１４５が回転して、例えばイエロートナーで現像する場合の現像装置１４４のように、現像する色に対応した現像装置１４１、現像装置１４２、現像装置１４３、又は現像装置１４４が、感光体１１１と対向する位置に位置される。
【００９２】
感光体１１１上に形成されたイエロートナー像などの像は、感光体１１１の回転に伴って、感光体１１１が転写ユニット１１５の一次転写ローラー１５２と対向している一次転写位置に至る。このとき、一次転写ローラー１５２には、トナーの帯電極性とは逆の極性の一次転写電圧（一次転写バイアス）が印加される。一次転写電圧が印加された一次転写ローラー１５２によって、感光体１１１上に形成されたイエロートナー像などの像が中間転写ベルト１５１に転写（一次転写）される。中間転写ベルト１５１は、駆動ローラー１５４を回転させることで一次転写ローラー１５２および従動ローラー１５３を従動回転させながら回転する。なお、この間、二次転写ローラー１５５は、中間転写ベルト１５１から離間している。
【００９３】
潜像の形成、現像、及び一次転写と同様の処理が、他の色（本実施形態では、第２色目、第３色目、及び第４色目）について繰り返して実行されることにより、各画像信号に対応した各色のトナー像が、中間転写ベルト１５１に重なり合って転写される。これにより、中間転写ベルト１５１上にはフルカラートナー像が形成される。
記録媒体Ｐは、給紙トレイ１１７から、給紙ローラー１７１及びレジローラー１７２によって、二次転写ローラー１５５と駆動ローラー１５４とが、中間転写ベルト１５１を間に挟んで対向している二次転写位置へ搬送される。
【００９４】
中間転写ベルト１５１上に形成されたフルカラートナー像は、中間転写ベルト１５１の回転に伴って二次転写位置に至る。このとき、二次転写ローラー１５５は中間転写ベルト１５１に押圧されるとともに二次転写電圧（二次転写バイアス）が印加されている。二次転写位置に至った記録媒体Ｐ及び中間転写ベルト１５１におけるフルカラートナー像が形成された部分は、二次転写ローラー１５５と駆動ローラー１５４とに挟まれて互いに凹圧され、二次転写電圧が印加された二次転写ローラー１５５によって、フルカラートナー像が記録媒体Ｐに転写（二次転写）される。
【００９５】
記録媒体Ｐに転写されたフルカラートナー像は、定着装置１１８によって加熱および加圧されて記録媒体Ｐに融着される。その後、片面プリントの場合には、記録媒体Ｐは、排紙ローラー対１７３によって露光ユニット１１０の外部へ排出される。
一方、感光体１１１は一次転写位置を経過した後に、クリーニングユニット１１６のクリーニングブレード１６１によって、その表面に付着しているトナーが掻き落とされ、次の潜像を形成するための帯電に備える。掻き落とされたトナーは、クリーニングユニット１１６内の残存トナー回収部に回収される。
【００９６】
両面プリントの場合には、定着装置１１８によって一方の面に定着処理された記録媒体Ｐを一旦排紙ローラー対１７３により挟持した後に、排紙ローラー対１７３を反転駆動するとともに、搬送ローラー１７４及び搬送ローラー１７６からなる搬送ローラー対を駆動して、当該記録媒体Ｐを搬送路１７５を通じて表裏反転して二次転写位置へ帰還させ、前述と同様の動作により、記録媒体Ｐの他方の面に画像を形成する。
【００９７】
印刷装置１０１が備える露光ユニット１１０は、図示省略したパーソナルコンピューターなどのホストコンピューターから画像情報及び画像形成指令を受け、一様に帯電された感光体１１１上に、レーザー光を選択的に照射することによって、画像情報に対応する静電的な潜像を形成する装置である。
図１１に示すように、露光ユニット１１０は、光偏向器であるアクチュエーター１０３と、レーザー光源１２１と、コリメータレンズ１２２と、ｆθレンズ１２３とを備えている。アクチュエーター１０３は、回動軸Ｘ０まわりに回動可能な可動板２４１と、可動板２４１上に形成された反射鏡２４２とを有している。
【００９８】
露光ユニット１１０にあっては、レーザー光源１２１からコリメータレンズ１２２を介してアクチュエーター１０３の反射鏡２４２にレーザー光Ｌが照射される。照射されたレーザー光Ｌは、反射鏡２４２で反射されて、ｆθレンズ１２３を介して感光体１１１上に照射される。
その際、アクチュエーター１０３が駆動されて、可動板２４１が回動軸Ｘ０まわりに回動することにより、可動板２４１上に形成された反射鏡２４２で反射されたレーザー光Ｌは、感光体１１１の軸線方向に走査（主走査）される。同時に、感光体１１１が回転することにより、反射鏡２４２で反射されたレーザー光Ｌは、感光体１１１の周方向に走査（副走査）される。レーザー光Ｌが感光体１１１上を主走査方向及び副走査方向に走査されることによって、感光体１１１上に面状の画像が形成される。反射鏡２４２が、反射手段に相当する。
レーザー光源１２１から射出されるレーザー光Ｌの強度は、図示しないホストコンピューターから受けた画像情報に応じて変化する。感光体１１１に照射されるレーザー光Ｌの強度によって、照射された部分におけるトナー像の濃度が定まり、同じ部分における各色の濃度の組み合わせによって、当該部分の色調や濃度が定まる。
このようにして露光ユニット１１０は、感光体１１１上を選択的に露光して画像形成（描画）を行う。
【００９９】
以下、実施形態による効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）反射鏡４２からの距離が、裏側面４４Ｂと裏側面４４Ｃとで段差があり、２個の支持部面５６Ａの蓋入射面５１ａからの距離は同一である。これにより、筐体本体５２に組み込まれた光偏向素子４０の反射鏡４２を、筐体本体５２に固定された封止蓋５１の蓋入射面５１ａに対して傾かせることができる。
【０１００】
（２）光偏向素子４０において裏側面４４Ｂと裏側面４４Ｃとで段差を形成するだけで反射鏡４２を蓋入射面５１ａに対して傾かせることができる。光偏向素子４０を製造する際に裏側面４４Ｂと裏側面４４Ｃとで段差を形成することは、特別な工程は不要であり、段差を形成するための工程の増加はほとんどない。これにより、光偏向素子４０の製造にほとんど影響を与えることなく、反射鏡４２を蓋入射面５１ａに対して傾かせることができる。
【０１０１】
（３）光偏向素子４０において裏側面４４Ｂと裏側面４４Ｃとで段差を形成するだけで反射鏡４２を蓋入射面５１ａに対して傾かせることができる。これにより、筐体本体５２と封止蓋５１とは、特別な形状にすることは不要であり、筐体本体５２や封止蓋５１に相当する公知の部材と同様に製造することができる。筐体本体５２と封止蓋５１との接合方法は、反射鏡４２を蓋入射面５１ａに対して傾かせるために制限を受けることなく、適切な接合方法を用いることができる。
【０１０２】
（４）光偏向素子３４０において裏側面３４４Ｂは反射鏡４２に平行な平面であり、支持部面３５６Ａと支持部面３５６Ｂとで段差がある。これにより、筐体本体３５２に組み込まれた光偏向素子３４０の反射鏡４２を、筐体本体３５２に固定された封止蓋５１の蓋入射面５１ａに対して傾かせることができる。
【０１０３】
（５）筐体本体３５２において支持部面３５６Ａと支持部面３５６Ｂとで段差を形成するだけで反射鏡４２を蓋入射面５１ａに対して傾かせることができる。これにより、光偏向素子３４０の製造に影響を与えることなく、反射鏡４２を蓋入射面５１ａに対して傾かせることができる。
【０１０４】
（６）筐体本体３５２において支持部面３５６Ａと支持部面３５６Ｂとで段差を形成するだけで反射鏡４２を蓋入射面５１ａに対して傾かせることができる。これにより、封止蓋５１は、特別な形状にすることは不要であり、封止蓋５１に相当する公知の部材と同様に製造することができる。筐体本体３５２を製造する際に筐体本体３５２において支持部面３５６Ａと支持部面３５６Ｂとで段差を形成することは、特別な工程は不要であり、段差を形成するための工程の増加はほとんどない。筐体本体３５２と封止蓋５１との接合方法は、反射鏡４２を蓋入射面５１ａに対して傾かせるために制限を受けることなく、適切な接合方法を用いることができる。
【０１０５】
（７）筐体本体５２や筐体本体３５２などと封止蓋５１との接合は、金属接合、共晶結合、又は陽極接合などによって接合されている。これらの接合方法を用いることで、接合部を確実に接合して、素子室５４や素子室３５４などを、実質的に完全に雰囲気と隔絶させることができる。これにより、素子室５４や素子室３５４などを、負圧状態にして、負圧状態を維持することができる。
【０１０６】
（８）主走査偏向器４３２では、筐体本体４７２の素子室底面４７４ａが光偏向素子３４０の一方の端部を支持している。一方の支持部を形成することが不要であり、筐体本体４７２の形状を簡単にすることができる。
【０１０７】
（９）主走査偏向器５３１では、被支持溝５４７が支持突起５５７に遊嵌し、被支持溝面５４８が先端面５５８に当接して支持されることで、光偏向素子５４０の一方の端部が支持突起５５７によって支持されている。被支持溝５４７が支持突起５５７に遊嵌することで、光偏向素子５４０の筐体本体５５２に対する位置を概略規定することができる。被支持溝５４７と支持突起５５７との隙間を小さくすることで、正確に位置を規定することも可能である。
【０１０８】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【０１０９】
（変形例１）前記実施形態においては、裏側面４４Ｂや裏側面４４Ｃなどの第一又は第二の被支持面は、反射手段としての反射鏡４２の反射面に略平行であって、第一の支持面又は第二の支持面としての支持部面５６Ａなどに対して傾いた面であった。しかし、第一の被支持面及び第二の被支持面が第一の支持面又は第二の支持面に対して傾いた面であることは必須ではない。第一の被支持面及び第二の被支持面の両方又は一方は、反射面に対して傾いており、当接する第一の支持面及び第二の支持面と略平行な面であってもよい。互いに略平行な面は、面接触に近い接触状態となって広い部分において接触するため、点接触や面接触で当接する場合にくらべて、安定して当接させることができる。
【０１１０】
（変形例２）前記実施形態においては、第一の支持面又は第二の支持面としての支持部面５６Ａは、蓋入射面５１ａと略平行であって、蓋入射面５１ａに対して傾いている反射鏡４２の反射面に略平行な、第一又は第二の被支持面としての裏側面４４Ｂや裏側面４４Ｃに対しては傾いた面であった。しかし、第一の支持面及び第二の支持面が第一の被支持面又は第二の被支持面に対して傾いた面であることは必須ではない。第一の支持面及び第二の支持面の両方又は一方は、蓋部材の表面に対して傾いており、当接する第一の被支持面及び第二の被支持面と略平行な面であってもよい。互いに略平行な面は、面接触に近い接触状態となって広い部分において接触するため、点接触や線接触で当接する場合にくらべて、安定して当接させることができる。
【０１１１】
（変形例３）前記実施形態においては、裏側面４４Ｂや裏側面４４Ｃなどの第一又は第二の被支持面、及び支持部面５６Ａなどの第一又は第二の支持面は平坦な面であったが、第一又は第二の被支持面、及び第一又は第二の支持面が平坦な面であることは必須ではない。第一又は第二の被支持面、又は第一又は第二の支持面の一方に突起を設け、他方に当該突起と遊嵌可能な凹部を設ける構成であってもよい。光偏向素子を筐体本体に組み込む際は、凹部と突起とを遊嵌させることによって、光偏向素子を適切な位置に容易に誘導することができる。第一の被支持面又は第二の被支持面と第一の支持面又は第二の支持面とが当接した状態では、凹部と突起とを遊嵌させることによって、第一の被支持面又は第二の被支持面と第一の支持面又は第二の支持面との相対位置を概略規定することができる。
【０１１２】
（変形例４）前記実施形態においては、素子室底面４７４ａが光偏向素子３４０の一方の端部を支持する構成である主走査偏向器４３２は、光偏向素子３４０の被支持面に相当する部分が、回動軸の軸方向において反射鏡４２及び弾性支持梁４３を挟む位置に配設されていた。しかし、支持面の一方が素子室の底面である場合に、第一の被支持面及び第二の被支持面が回動軸の軸方向において弾性支持梁を挟む位置に配設されていることは必須ではない。主走査偏向器３３１のように、回動軸の軸方向に交差する方向において回動軸を挟む位置に第一の被支持面及び第二の被支持面が配設された光偏向器において、支持面の一方が素子室の底面である構成であってもよい。
【０１１３】
（変形例５）前記実施形態においては、主走査偏向器５３１では、支持突起５５７と被支持溝５４７との組み合わせを一組備えていたが、光偏向器において光偏向素子を支持するための突起の先端と凹部の底面との組が一組であることは必須ではない。光偏向器は、支持面と被支持面との組としての突起の先端と凹部の底面との組を何組備える構成であってもよい。光偏向器における支持面と被支持面との組が、全て突起の先端と凹部の底面との組である構成であってもよい。
【０１１４】
（変形例６）前記実施形態においては、主走査偏向器５３１では、光偏向素子５４０の被支持面に相当する部分が、回動軸の軸方向において反射鏡４２及び弾性支持梁４３を挟む位置に配設されていた。しかし、支持面と被支持面との組としての突起の先端と凹部の底面との組を備える光偏向器において、第一の被支持面及び第二の被支持面が回動軸の軸方向において弾性支持梁を挟む位置に配設されていることは必須ではない。主走査偏向器３３１のように、回動軸の軸方向に交差する方向において回動軸を挟む位置に第一の被支持面及び第二の被支持面が配設された光偏向器において、支持面と被支持面との組としての突起の先端と凹部の底面との組を備える構成であってもよい。
【０１１５】
（変形例７）前記実施形態においては、反射鏡４２で反射された光束が、蓋入射面５１ａによって反射された迷光から離れる方向に光偏向素子４０などを傾けていたが、反射する方向が反射する位置において迷光から離れる方向となるように傾けることは必須ではない。反射する方向は、迷光と反射光とがいったん交差した後離れる方向などであってもよい。
【０１１６】
（変形例８）前記実施形態においては、副走査偏向器３２は、ガルバノミラーにより構成されていたが、副走査偏向器３２のように使用される光偏向器にも、主走査偏向器３１のような光偏向素子を用いた光偏向器を採用できる。
【０１１７】
（変形例９）前記実施形態においては、筐体本体５２又は筐体本体２５２と封止蓋５１との接合は、金属接合、共晶結合、又は陽極接合などの接合方法によって接合されていた。しかし、蓋部材と筐体本体とをこれらの接合方法によって接合することは必須ではない。半田を用いる接合や、接着剤を用いた接着などの接合方法を用いた接合であってもよい。
【０１１８】
（変形例１０）前記実施形態においては、支持枠４４は、略方形の板の内側に支持枠開口４５が形成された額縁状の形状を有していたが、支持枠４４などの支持枠が額縁状の形状であることは必須ではない。弾性支持梁を支持することができる充分な強度を実現できれば、支持枠の形状はどのような形状であってもよい。例えば、図１２に示したような平面形状であってもよい。図１２は、支持枠の形状例を示す平面図である。
【０１１９】
図１２（ａ）に示した光偏向素子６４０は、図６を参照して説明した光偏向素子３４０において、支持枠３４４における支持枠長辺３４４ａの部分が欠けたような形状を有している。光偏向素子６４０の支持枠６４４は、支持枠長辺６４４ｂと、支持枠短辺６４４ｃと、支持枠短辺６４４ｄとを有し、略長方形の額縁形状における長辺の一方が欠けた形状を有している。
光偏向素子６４０は、素子筐体３５０や素子筐体４５０と組み合わせることで、主走査偏向器３３１や主走査偏向器４３１と同様の主走査偏向器を構成することができる。素子筐体４７０と組み合わせることで、主走査偏向器４３２と同様の主走査偏向器を構成することができる。
光偏向素子６４０の支持枠６４４における裏面（反射鏡４２が形成された側の反対側の面）に段差を形成し、素子筐体５０や素子筐体２５０と組み合わせることで、主走査偏向器３１や主走査偏向器２３１と同様の主走査偏向器を構成することができる。支持枠６４４における裏面に被支持溝５４７と同様の被支持溝を形成し、素子筐体５５０と組み合わせることで、主走査偏向器５３１と同様の主走査偏向器を構成することができる。
【０１２０】
図１２（ｂ）に示した光偏向素子６５０は、光偏向素子６４０における支持枠長辺６４４ｂの部分が欠けたような形状を有している。
光偏向素子６５０の支持枠６５４は、支持枠短辺６５４ｃと、支持枠短辺６５４ｄとを有している。支持枠短辺６５４ｃと、支持枠短辺６５４ｄとは、弾性支持梁４３と可動板４１と弾性支持梁４３とが連なった両側に配設されており、可動板４１と一端が接続された弾性支持梁４３のもう一端に、それぞれの中央部が接続されて、弾性支持梁４３の延在方向と略直交する方向に延在している。
光偏向素子６５０は、光偏向素子６４０と同様に、素子筐体３５０や素子筐体４５０と組み合わせることで、主走査偏向器３３１や主走査偏向器４３１と同様の主走査偏向器を構成することができる。素子筐体４７０と組み合わせることで、主走査偏向器４３２と同様の主走査偏向器を構成することができる。
光偏向素子６５０の支持枠６５４における裏面（反射鏡４２が形成された側の反対側の面）に段差を形成し、素子筐体５０や素子筐体２５０と組み合わせることで、主走査偏向器３１や主走査偏向器２３１と同様の主走査偏向器を構成することができる。支持枠６５４における裏面に被支持溝５４７と同様の被支持溝を形成し、素子筐体５５０と組み合わせることで、主走査偏向器５３１と同様の主走査偏向器を構成することができる。
【０１２１】
図１２（ｃ）に示した光偏向素子６６０は、光偏向素子６５０における支持枠短辺６５４ｃと支持枠短辺６５４ｄとが短くなった形状を有している。
光偏向素子６６０の支持枠６６４は、支持枠短辺６６４ｃと、支持枠短辺６６４ｄとを有している。支持枠短辺６６４ｃと、支持枠短辺６６４ｄとは、弾性支持梁４３と可動板４１と弾性支持梁４３とが連なった両側に配設されており、可動板４１と一端が接続された弾性支持梁４３のもう一端に、それぞれの中央部が接続されて、弾性支持梁４３の延在方向と略直交する方向に延在している。
光偏向素子６６０は、光偏向素子６４０などと同様に、素子筐体４５０と組み合わせることで、主走査偏向器４３１と同様の主走査偏向器を構成することができる。素子筐体４７０と組み合わせることで、主走査偏向器４３２と同様の主走査偏向器を構成することができる。
光偏向素子６６０の支持枠６６４における裏面（反射鏡４２が形成された側の反対側の面）に段差を形成し、素子筐体２５０と組み合わせることで、主走査偏向器２３１と同様の主走査偏向器を構成することができる。支持枠６６４における裏面に被支持溝５４７と同様の被支持溝を形成し、素子筐体５５０と組み合わせることで、主走査偏向器５３１と同様の主走査偏向器を構成することができる。
【０１２２】
（変形例１１）前記実施形態においては、光偏向素子４０や光偏向素子２４０においては、支持枠４４や支持枠２４４の一部を薄くすることで、裏側面４４Ｂと裏側面４４Ｃと、又は裏側面２４４Ｂと裏側面２４４Ｃとの段差を形成していた。しかし、被支持面の反射面からの高さを変えるために支持枠を部分的に切り欠くことは必須ではない。支持枠に突出した部分を形成し、当該突出した部分を素子支持部に当接させることで光偏向素子を支持することにより、被支持面の反射面からの高さを変える構成であってもよい。
【０１２３】
（変形例１２）前記実施形態においては、主走査偏向器５３１では、筐体本体５５２に支持突起５５７が形成されており、光偏向素子５４０に被支持溝５４７が形成されていたが、筐体本体に突起を形成し、支持枠に凹部を形成することは必須ではない。支持枠に突起を形成し、筐体本体に凹部を形成する構成であってもよい。
【符号の説明】
【０１２４】
１…投射型画像表示装置、３…光走査ユニット、２１…レーザー光源、２２…ダイクロイックプリズム、３１…主走査偏向器、３６…駆動装置、４０…光偏向素子、４１…可動板、４３…弾性支持梁、４４…支持枠、４４Ｂ…裏側面、４４Ｃ…裏側面、５１…封止蓋、５１ａ…蓋入射面、５３…上面、５４ａ…素子室底面、５６…支持部、５６Ａ…支持部面、１０１…印刷装置、１０３…アクチュエーター、２３１…主走査偏向器、２４０…光偏向素子、２４１…可動板、２４２…反射鏡、２４４…支持枠、２４４Ｂ…裏側面、２４４Ｃ…裏側面、２５０…素子筐体、２５２…筐体本体、２５４…素子室、２５４ａ…素子室底面、２５６…支持部、３３１…主走査偏向器、３４０…光偏向素子、３４４…支持枠、３４４Ｂ…裏側面、３５０…素子筐体、３５２…筐体本体、３５４…素子室、３５４ａ…素子室底面、３５６…支持部、３５６Ａ…支持部面、３５６Ｂ…支持部面、３５６ａ，３５６ｂ…支持部、４３１…主走査偏向器、４３２…主走査偏向器、４５０…素子筐体、４５２…筐体本体、４５４…素子室、４５４ａ…素子室底面、４５６…支持部、４５６Ｃ，４５６Ｄ…支持部面、４５６ｃ，４５６ｄ…支持部、４７０…素子筐体、４７２…筐体本体、４７４…素子室、４７４ａ…素子室底面、４７６ｃ…支持部、５３１…主走査偏向器、５４０…光偏向素子、５４４…支持枠、５４７…被支持溝、５４８…被支持溝面、５５０…素子筐体、５５２…筐体本体、５５６…支持部、５５７…支持突起、５５８…先端面、５７４…素子室、５７４ａ…素子室底面。
【図１】
2011070056.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2011070056.tif 000009
【図８】
2011070056.tif 000010
【図９】
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【図１０】
2011070056.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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