(57)【要約】【課題】捨て吐出された機能液を受けるフラッシングユニットの機能を維持するための、吸収材の交換などの保守作業が必要となる頻度を抑制することができる液状体吐出装置、ヘッド保守装置の保守方法、及びヘッド保守装置を提供する。【解決手段】液状体吐出装置は、液状体を吐出する液状体吐出ヘッドと、液状体吐出ヘッドが実施する捨て吐出において吐出された液状体を受ける捨て吐出受部と、捨て吐出受部に対して洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、を備える。また、液状体吐出ヘッドを搭載し、液状体吐出ヘッドから吐出した液状体を配置する吐出対象物を載置する載置面に略平行な方向において、載置面に対して相対移動可能なヘッドキャリッジを備え、洗浄液供給手段は、洗浄液を吐出する供給端末を備え、供給端末は、載置面に対して、ヘッドキャリッジと一体に相対移動可能に配設されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を吐出する液状体吐出ヘッドと、
前記液状体吐出ヘッドが実施する捨て吐出において吐出された前記液状体を受ける捨て吐出受部と、
前記捨て吐出受部に対して洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、を備えることを特徴とする液状体吐出装置。
【請求項２】
前記液状体吐出ヘッドから吐出した液状体を配置する吐出対象物を載置し、前記液状体吐出ヘッドに対して相対移動する対象物載置台を備え、
前記捨て吐出受部は、前記液状体吐出ヘッドに対して、前記対象物載置台と一体に相対移動可能に配設されていることを特徴とする、請求項１に記載の液状体吐出装置。
【請求項３】
前記液状体吐出ヘッドから前記吐出対象物に対して前記液状体を吐出する際の前記液状体吐出ヘッドと前記吐出対象物との相対移動方向が、主走査方向であって、
前記捨て吐出受部は、前記対象物載置台における前記吐出対象物を載置する載置面に対して、前記主走査方向に並んで配設されていることを特徴とする、請求項２に記載の液状体吐出装置。
【請求項４】
前記洗浄液供給手段は、前記洗浄液を吐出する供給端末を備え、
前記供給端末は、前記捨て吐出受部に対して、相対移動可能に配設されていることを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
【請求項５】
前記液状体吐出ヘッドを搭載し、前記液状体吐出ヘッドから吐出した液状体を配置する吐出対象物を載置する載置面に略平行な方向において、前記載置面に対して相対移動可能なヘッドキャリッジを備え、
前記供給端末は、前記載置面に対して、前記ヘッドキャリッジと一体に相対移動可能に配設されていることを特徴とする、請求項４に記載の液状体吐出装置。
【請求項６】
前記液状体吐出ヘッドから前記吐出対象物に対して前記液状体を吐出する際の前記液状体吐出ヘッドと前記吐出対象物との相対移動方向が、主走査方向であって、
前記供給端末は、前記ヘッドキャリッジに搭載された前記液状体吐出ヘッドに対して、前記主走査方向に並んで配設されていることを特徴とする、請求項５に記載の液状体吐出装置。
【請求項７】
前記捨て吐出受部の内部の液状体を排出可能な排出手段を備えることを特徴とする、請求項１乃至６のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
【請求項８】
前記排出手段は、前記捨て吐出受部の内部に連通する排液流路と、
前記排液流路を負圧にする負圧形成手段と、を備えることを特徴とする、請求項７に記載の液状体吐出装置。
【請求項９】
前記洗浄液供給手段は、前記洗浄液を吐出する洗浄液ノズルを複数備えることを特徴とする、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
【請求項１０】
前記複数の洗浄液ノズルは、前記洗浄液が吐出される洗浄液ノズル孔のノズル孔径が互いに異なる少なくとも２種類以上の前記洗浄液ノズルを含むことを特徴とする、請求項９に記載の液状体吐出装置。
【請求項１１】
前記液状体吐出ヘッドから前記捨て吐出受部に向けて吐出された液状体の量に応じて、前記洗浄液供給手段から前記捨て吐出受部に向けて供給する前記洗浄液の量を調整する洗浄調整手段を備えることを特徴とする、請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
【請求項１２】
前記洗浄液は前記液状体吐出ヘッドから吐出される機能液の主溶媒であることを特徴とする、請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の液状体吐出装置。
【請求項１３】
液状体を吐出対象物に向けて吐出することによって前記液状体を前記吐出対象物上の任意の位置に配置する液状体吐出ヘッドを保守するための保守装置を保守するヘッド保守装置の保守方法であって、
前記液状体吐出ヘッドから捨て吐出を実施する際に吐出された前記液状体を受ける捨て吐出受部に向けて洗浄液を供給する洗浄液供給工程を有することを特徴とするヘッド保守装置の保守方法。
【請求項１４】
前記捨て吐出受部内の前記洗浄液を含む液状体を排出するに排出工程をさらに備えることを特徴とする、請求項１３に記載のヘッド保守装置の保守方法。
【請求項１５】
前記洗浄液供給工程は、前記捨て吐出受部に対して相対移動可能に配設された洗浄液供給ヘッドから前記洗浄液を前記捨て吐出受部に向けて供給する工程であることを特徴とする、請求項１３又は１４に記載のヘッド保守装置の保守方法。
【請求項１６】
前記洗浄液供給工程は、前記捨て吐出受部に向けて捨て吐出を実施する際の前記捨て吐出受部に対する前記液状体吐出ヘッドの位置と同等の位置に位置する前記洗浄液供給ヘッドから前記洗浄液を前記捨て吐出受部に向けて供給する工程であることを特徴とする、請求項１５に記載のヘッド保守装置の保守方法。
【請求項１７】
前記捨て吐出受部に向けて捨て吐出を実施する際の吐出量に応じて、前記洗浄液供給工程において前記捨て吐出受部に供給する前記洗浄液の量を決定する洗浄液量決定工程をさらに有することを特徴とする、請求項１３乃至１６のいずれか一項に記載のヘッド保守装置の保守方法。
【請求項１８】
液状体を吐出する液状体吐出ヘッドが実施する捨て吐出において吐出された前記液状体を受ける捨て吐出受部と、
前記捨て吐出受部に対して洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、を備えることを特徴とするヘッド保守装置。
【請求項１９】
前記液状体吐出ヘッドから吐出した液状体を配置する吐出対象物を載置し、前記液状体吐出ヘッドに対して相対移動する対象物載置台を備え、
前記捨て吐出受部は、前記液状体吐出ヘッドに対して、前記対象物載置台と一体に相対移動可能に配設されていることを特徴とする、請求項１８に記載のヘッド保守装置。
【請求項２０】
前記液状体吐出ヘッドから前記吐出対象物に対して前記液状体を吐出する際の前記液状体吐出ヘッドと前記吐出対象物との相対移動方向が、主走査方向であって、
前記捨て吐出受部は、前記対象物載置台における前記吐出対象物を載置する載置面に対して、前記主走査方向に並んで配設されていることを特徴とする、請求項１９に記載のヘッド保守装置。
【請求項２１】
前記洗浄液供給手段は、前記洗浄液を吐出する供給端末を備え、
前記供給端末は、前記捨て吐出受部に対して、相対移動可能に配設されていることを特徴とする、請求項１８乃至２０のいずれか一項に記載のヘッド保守装置。
【請求項２２】
前記液状体吐出ヘッドを搭載し、前記液状体吐出ヘッドから吐出した液状体を配置する吐出対象物を載置する載置面に略平行な方向において、前記載置面に対して相対移動可能なヘッドキャリッジを備え、
前記供給端末は、前記載置面に対して、前記ヘッドキャリッジと一体に相対移動可能に配設されていることを特徴とする、請求項２１に記載のヘッド保守装置。
【請求項２３】
前記液状体吐出ヘッドから前記吐出対象物に対して前記液状体を吐出する際の前記液状体吐出ヘッドと前記吐出対象物との相対移動方向が、主走査方向であって、
前記供給端末は、前記ヘッドキャリッジに搭載された前記液状体吐出ヘッドに対して、前記主走査方向に並んで配設されていることを特徴とする、請求項２２に記載のヘッド保守装置。
【請求項２４】
前記捨て吐出受部の内部の液状体を排出可能な排出手段を備えることを特徴とする、請求項１８乃至２３のいずれか一項に記載のヘッド保守装置。
【請求項２５】
前記排出手段は、前記捨て吐出受部の内部に連通する排液流路と、
前記排液流路を負圧にする負圧形成手段と、を備えることを特徴とする、請求項２４に記載のヘッド保守装置。
【請求項２６】
前記洗浄液供給手段は、前記洗浄液を吐出する洗浄液ノズルを複数備えることを特徴とする、請求項１８乃至２５のいずれか一項に記載のヘッド保守装置。
【請求項２７】
前記複数の洗浄液ノズルは、前記洗浄液が吐出される洗浄液ノズル孔のノズル孔径が互いに異なる少なくとも２種類以上の前記洗浄液ノズルを含むことを特徴とする、請求項１８乃至２６のいずれか一項に記載のヘッド保守装置。
【請求項２８】
前記液状体吐出ヘッドから前記捨て吐出受部に向けて吐出された液状体の量に応じて、前記洗浄液供給手段から前記捨て吐出受部に向けて供給する前記洗浄液の量を調整する洗浄調整手段を備えることを特徴とする、請求項１８乃至２７のいずれか一項に記載のヘッド保守装置。
【請求項２９】
前記洗浄液は前記液状体吐出ヘッドから吐出される機能液の主溶媒であることを特徴とする、請求項１８乃至２８のいずれか一項に記載のヘッド保守装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体を吐出する吐出ヘッド及び吐出ヘッドの保守を実施するヘッド保守装置を備える液状体吐出装置、ヘッド保守装置の保守を実施するヘッド保守装置の保守方法、及び吐出ヘッドの保守を実施するヘッド保守装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液状体を吐出する吐出ノズルを有する吐出ヘッドを備え、液状体を吐出して描画対象物上の任意の位置に着弾させることによって、描画対象物の任意の位置に液状体を配置する液状体吐出装置が知られている。このような液状体吐出装置を用いることによって、カラー液晶装置のカラーフィルター膜などのような機能膜の材料を含む液状体を、任意の位置に任意の量だけ精度良く塗布することが可能である。特に、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドは、その吐出ノズルから微小な液滴を選択的に吐出して位置精度良く着弾させることができるため、精密な平面形状及び膜厚を有する膜を形成することができる。
近年では、例えば銀（Ａｇ）などの金属微粒子を溶媒に分散させた分散系金属インク（金属配線用インク）を使用することで、基板上の配線パターンなどの形成にも利用されている。液滴吐出ヘッドを用いて配線パターンを形成することで、微細な配線パターンや狭ピッチの配線パターンを効率よく高精度で製造することを可能にしている。
【０００３】
液滴吐出ヘッドは、別設のタンクなどから液状体が供給されると共に、供給された液状体を内部に設けたインク室（キャビティ）に一時的に貯留する。そして、ノズルプレートに多数形成された吐出ノズルからインク室に貯留した液状体を液滴として吐出する。
液状体は、液滴吐出ヘッドから好適に吐出できると共に、固化して特有の機能を有する膜を形成する液状体であって、液滴吐出ヘッドが待機しているとき、インク室に貯留した液状体が乾燥してしまう可能性がある。液状体が乾燥すると、増粘して吐出量が変化するだけでなく、部分的に固化してしまうことで、吐出ノズル孔の目詰まりや吐出時の飛行曲がりなどを起こしてしまうことがある。乾燥し始めた液状体を液滴吐出ヘッドから除去するために、当該液状体を捨て吐出する方法が用いられている。
【０００４】
特許文献１には、捨て吐出された機能液を受けるフラッシングユニットを備える液滴吐出システムが、開示されている。
特許文献２には、吸収材と、吸収材を保持する吸収材トレイと、吸収材トレイを着脱自在に支持することで、吸収材を容易に交換可能にすることができる、フラッシングユニット、これを備えた吐出検査装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器が開示されている。このフラッシングユニットなどによれば、吸収材に触れることなく容易に交換可能であるため、交換作業を実施する作業者にとって安全であり、交換作業を実施する際に機能液が飛び散って周囲の部品や装置に当該機能液が付着することで部品や装置が損なわれることを抑制することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−２０９４２９号公報
【特許文献２】特開２００８−１８３４７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、金属膜形成用の機能液のように固形成分を含む機能液はフラッシングユニット内で乾燥し易いため、固形成分が吸収材上に堆積するように付着して、吸収材の交換を頻繁に実施する必要があるという課題は、特許文献２のような装置であっても対応できない課題である。さらに、特許文献２のような装置であっても、交換作業は人の手作業に頼らざるを得ないため、頻繁に行うことは作業者の大きな負担となるという課題もあった。交換作業の間は、吐出装置の停止を余儀なくされるため、製造工程に要する時間が増大するという課題もあった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００８】
［適用例１］本適用例にかかる液状体吐出装置は、液状体を吐出する液状体吐出ヘッドと、前記液状体吐出ヘッドが実施する捨て吐出において吐出された前記液状体を受ける捨て吐出受部と、前記捨て吐出受部に対して洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
本適用例にかかる液状体吐出装置によれば、洗浄液供給手段を用いて捨て吐出受部に洗浄液を供給することができる。供給された洗浄液によって、捨て吐出受部を洗浄することができる。捨て吐出受部を汚染する主要因は、捨て吐出された液状体が固化した付着物である。洗浄液によって洗浄することで、付着物が固まって部分的に積層することによって捨て吐出受部の機能が損なわれることを抑制することができる。特に、内部に吸収部材を配設した捨て吐出受部においては、吸収部材全体としては吸収機能が充分に残存しているにも拘らず、吸収部材上に付着物が部分的に積層することによって、吸収部材の交換が必要になることを抑制することができる。
【００１０】
［適用例２］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記液状体吐出ヘッドから吐出した液状体を配置する吐出対象物を載置し、前記液状体吐出ヘッドに対して相対移動する対象物載置台を備え、前記捨て吐出受部は、前記液状体吐出ヘッドに対して、前記対象物載置台と一体に相対移動可能に配設されていることが好ましい。
【００１１】
この液状体吐出装置によれば、捨て吐出受部は、液状体吐出ヘッドに対して、対象物載置台と一体に相対移動可能に配設されている。一般的に、吐出対象物に対する液状体の配置は、液状体吐出ヘッドに対して対象物載置台の上に載置された吐出対象物を対向させ、相対移動させながら液状体吐出ヘッドから液状体を吐出することで実施する。捨て吐出受部は、液状体吐出ヘッドに対して、対象物載置台と一体に相対移動可能であって、吐出対象物と同様に、液状体吐出ヘッドに対して捨て吐出受部を容易に対向させて、液状体吐出ヘッドからの捨て吐出を実施することができる。
【００１２】
［適用例３］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記液状体吐出ヘッドから前記吐出対象物に対して前記液状体を吐出する際の前記液状体吐出ヘッドと前記吐出対象物との相対移動方向が、主走査方向であって、前記捨て吐出受部は、前記対象物載置台における前記吐出対象物を載置する載置面に対して、前記主走査方向に並んで配設されていることが好ましい。
【００１３】
この液状体吐出装置によれば、捨て吐出受部は、対象物載置台における載置面と主走査方向に並んで配設されている。捨て吐出受部が載置面と主走査方向に並んで配設されていることで、液状体吐出ヘッドを、主走査方向に相対移動させながら、捨て吐出受部と載置面上の吐出対象物とに連続して対向させることが可能である。これにより、捨て吐出と、吐出対象物に向けての吐出とを、一回の相対移動において略連続して実施することができる。
【００１４】
［適用例４］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記洗浄液供給手段は、前記洗浄液を吐出する供給端末を備え、前記供給端末は、前記捨て吐出受部に対して、相対移動可能に配設されていることが好ましい。
【００１５】
この液状体吐出装置によれば、供給端末は、捨て吐出受部に対して相対移動可能に配設されている。これにより、洗浄液を供給する際には、供給端末を相対移動させて、供給端末を捨て吐出受部に臨む位置に、位置させることができる。それと共に、液状体吐出ヘッドに、捨て吐出受部に向けて捨て吐出を実施させる際には、供給端末を捨て吐出受部に臨む位置から、移動させることができる。
【００１６】
［適用例５］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記液状体吐出ヘッドを搭載し、前記液状体吐出ヘッドから吐出した液状体を配置する吐出対象物を載置する載置面に略平行な方向において、前記載置面に対して相対移動可能なヘッドキャリッジを備え、前記供給端末は、前記載置面に対して、前記ヘッドキャリッジと一体に相対移動可能に配設されていることが好ましい。
【００１７】
この液状体吐出装置によれば、供給端末は、ヘッドキャリッジに搭載された液状体吐出ヘッドと一体に相対移動可能に配設されている。これにより、捨て吐出受部に向けて捨て吐出を実施するために、液状体吐出ヘッドを捨て吐出受部に臨む位置に相対移動させる場合と同様にして、供給端末を相対移動させて、供給端末を捨て吐出受部に臨む位置に、容易に位置させることができる。
【００１８】
［適用例６］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記液状体吐出ヘッドから前記吐出対象物に対して前記液状体を吐出する際の前記液状体吐出ヘッドと前記吐出対象物との相対移動方向が、主走査方向であって、前記供給端末は、前記ヘッドキャリッジに搭載された前記液状体吐出ヘッドに対して、前記主走査方向に並んで配設されていることが好ましい。
【００１９】
この液状体吐出装置によれば、供給端末は、液状体吐出ヘッドと主走査方向に並んで配設されている。供給端末が液状体吐出ヘッドと主走査方向に並んで配設されていることで、液状体吐出ヘッドを捨て吐出受部に臨む位置から移動させる相対移動によって、供給端末を、捨て吐出受部に臨む位置に移動させることができる。これにより、捨て吐出を受けた捨て吐出受部に対して、ほとんど間をおくことなく洗浄液を供給することができる。
【００２０】
［適用例７］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記捨て吐出受部の内部の液状体を排出可能な排出手段を備えることが好ましい。
【００２１】
この液状体吐出装置によれば、捨て吐出受部内の液状体を排出可能な排出手段を用いて、捨て吐出受部に向けて液状体吐出ヘッドから捨て吐出された液状体や、洗浄液供給手段から供給された洗浄液が混合された液状体を排出することができる。捨て吐出された液状体などを排出することによって、捨て吐出された液状体が捨て吐出受部に蓄積されることによって捨て吐出受部の機能が劣化することを、抑制することができる。
【００２２】
［適用例８］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記排出手段は、前記捨て吐出受部の内部に連通する排液流路と、前記排液流路を負圧にする負圧形成手段と、を備えることが好ましい。
【００２３】
この液状体吐出装置によれば、負圧形成手段によって排液流路を負圧にすることで、捨て吐出受部の内部の液状体を迅速、且つ確実に排出することができる。
【００２４】
［適用例９］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記洗浄液供給手段は、前記洗浄液を吐出する洗浄液ノズルを複数備えることが好ましい。
【００２５】
この液状体吐出装置によれば、複数の洗浄液ノズルから略並行して洗浄液を供給することで、単独の洗浄液ノズルから供給する場合にくらべて、より広範囲に略同時に洗浄液を供給することができる。これにより、捨て吐出受部の広い範囲に略均等に洗浄液を供給することができる。また、捨て吐出受部の部分の状態に対応して、部分ごとに洗浄液の供給状態を変えることができる。
【００２６】
［適用例１０］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記複数の洗浄液ノズルは、前記洗浄液が吐出される洗浄液ノズル孔のノズル孔径が互いに異なる少なくとも２種類以上の前記洗浄液ノズルを含むことが好ましい。
【００２７】
この液状体吐出装置によれば、洗浄液供給手段は、ノズル孔径が互いに異なる洗浄液ノズルを備えている。洗浄液ノズル孔のノズル孔径が異なることで、洗浄液ノズルからの洗浄液の吐出量や、吐出される洗浄液の速度などを、洗浄液ノズルごとに、容易に異ならせることができる。これにより、捨て吐出受部の部分の状態に対応して、部分ごとに洗浄液の供給状態を変えることができる。
【００２８】
［適用例１１］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記液状体吐出ヘッドから前記捨て吐出受部に向けて吐出された液状体の量に応じて、前記洗浄液供給手段から前記捨て吐出受部に向けて供給する前記洗浄液の量を調整する洗浄調整手段を備えることが好ましい。
【００２９】
この液状体吐出装置によれば、洗浄調整手段を備えており、液状体吐出ヘッドから捨て吐出受部に吐出された液状体の量に応じて、洗浄液供給手段から捨て吐出受部に供給する洗浄液の量を調整することができる。これにより、捨て吐出受部に吐出された量の液状体を洗浄するために適切な量の洗浄液を供給することで、洗浄液の量が不足することによって充分な洗浄が実施できなかったり、過剰に洗浄液を供給することによって洗浄液を無駄に消費したりすることを抑制することができる。
【００３０】
［適用例１２］上記適用例にかかる液状体吐出装置において、前記洗浄液は前記液状体吐出ヘッドから吐出される機能液の主溶媒であることが好ましい。
【００３１】
この液状体吐出装置によれば、液状体吐出ヘッドから吐出される機能液の主溶媒が、洗浄液として捨て吐出受部に供給される。捨て吐出受部の付着物は、主に液状体吐出ヘッドから捨て吐出された機能液によるものであるため、機能液の主溶媒によって、容易に溶解することができる。
【００３２】
［適用例１３］本適用例にかかるヘッド保守装置の保守方法は、液状体を吐出対象物に向けて吐出することによって前記液状体を前記吐出対象物上の任意の位置に配置する液状体吐出ヘッドを保守するための保守装置を保守するヘッド保守装置の保守方法であって、前記液状体吐出ヘッドから捨て吐出を実施する際に吐出された前記液状体を受ける捨て吐出受部に向けて洗浄液を供給する洗浄液供給工程を有することを特徴とする。
【００３３】
本適用例にかかるヘッド保守装置の保守方法によれば、洗浄液供給工程によって、捨て吐出受部に洗浄液を供給することができる。供給された洗浄液によって、捨て吐出受部を洗浄することができる。捨て吐出受部を汚染する主要因は、捨て吐出された液状体が固化した付着物である。洗浄液によって洗浄することで、付着物が固まって部分的に積層することによって捨て吐出受部の機能が損なわれることを抑制することができる。特に、内部に吸収部材を配設した捨て吐出受部においては、吸収部材全体としてはまだ吸収機能が充分あるにも拘らず、吸収部材上に付着物が部分的に積層することによって、吸収部材の交換が必要になることを抑制することができる。
【００３４】
［適用例１４］上記適用例にかかるヘッド保守装置の保守方法において、前記捨て吐出受部内の前記洗浄液を含む液状体を排出するに排出工程をさらに備えることが好ましい。
【００３５】
このヘッド保守装置の保守方法によれば、排出工程を実施することによって、捨て吐出受部に向けて液状体吐出ヘッドから捨て吐出された液状体や、洗浄液供給工程において供給された洗浄液が混合された液状体を排出することができる。捨て吐出された液状体などを排出することによって、捨て吐出された液状体が捨て吐出受部に蓄積されることによって捨て吐出受部の機能が劣化することを、抑制することができる。
【００３６】
［適用例１５］上記適用例にかかるヘッド保守装置の保守方法において、前記洗浄液供給工程は、前記捨て吐出受部に対して相対移動可能に配設された洗浄液供給ヘッドから前記洗浄液を前記捨て吐出受部に向けて供給する工程であることが好ましい。
【００３７】
このヘッド保守装置の保守方法によれば、洗浄液供給ヘッドは、捨て吐出受部に対して相対移動可能に配設されている。これにより、洗浄液供給工程を実施する際には、供給端末を相対移動させて、供給端末を捨て吐出受部に臨む位置に、位置させることができる。それと共に、液状体吐出ヘッドに、捨て吐出受部に向けて捨て吐出を実施させる際には、供給端末を捨て吐出受部に臨む位置から、移動させることができる。
【００３８】
［適用例１６］上記適用例にかかるヘッド保守装置の保守方法において、前記洗浄液供給工程は、前記捨て吐出受部に向けて捨て吐出を実施する際の前記捨て吐出受部に対する前記液状体吐出ヘッドの位置と同等の位置に位置する前記洗浄液供給ヘッドから前記洗浄液を前記捨て吐出受部に向けて供給する工程であることが好ましい。
【００３９】
このヘッド保守装置の保守方法によれば、捨て吐出を実施する際の液状体吐出ヘッドの位置と同等の位置に位置する洗浄液供給ヘッドから洗浄液が捨て吐出受部に向けて供給される。これにより、洗浄液が捨て吐出受部に着弾する位置を、捨て吐出された液状体が捨て吐出受部に着弾する位置に略一致させることができる。捨て吐出された液状体は、捨て吐出受部の概一定の部分に着弾する。当該着弾位置の周辺に、液状体の溶質や液状体が固化した物質が堆積される可能性が高く、当該物質などが、捨て吐出受部の一部分のみに部分的に堆積する可能性が高い。捨て吐出された液状体が捨て吐出受部に着弾する位置に洗浄液が捨て吐出受部に着弾する位置を略一致させることで、固化した物質などが堆積し易い部分に洗浄液を集中して、効率よく洗浄することができる。また、固化した物質などが堆積する位置が部分的に偏ることを抑制することができる。
【００４０】
［適用例１７］上記適用例にかかるヘッド保守装置の保守方法において、前記捨て吐出受部に向けて捨て吐出を実施する際の吐出量に応じて、前記洗浄液供給工程において前記捨て吐出受部に供給する前記洗浄液の量を決定する洗浄液量決定工程をさらに有することが好ましい。
【００４１】
このヘッド保守装置の保守方法によれば、洗浄液量決定工程を実施することによって、液状体吐出ヘッドから捨て吐出受部に吐出された液状体の量に応じて、洗浄液供給工程において捨て吐出受部に供給する洗浄液の量を調整することができる。これにより、捨て吐出受部に吐出された量の液状体を洗浄するために適切な量の洗浄液を供給することで、洗浄液の量が不足することによって充分な洗浄が実施できなかったり、過剰に洗浄液を供給することによって洗浄液を無駄に消費したりすることを抑制することができる。
【００４２】
［適用例１８］本適用例にかかるヘッド保守装置は、液状体を吐出する液状体吐出ヘッドが実施する捨て吐出において吐出された前記液状体を受ける捨て吐出受部と、前記捨て吐出受部に対して洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、を備えることを特徴とする。
【００４３】
本適用例にかかるヘッド保守装置によれば、洗浄液供給手段を用いて捨て吐出受部に洗浄液を供給することができる。供給された洗浄液によって、捨て吐出受部を洗浄することができる。捨て吐出受部を汚染する主要因は、捨て吐出された液状体が固化した付着物である。洗浄液によって洗浄することで、付着物が固まって部分的に積層することによって捨て吐出受部の機能が損なわれることを抑制することができる。特に、内部に吸収部材を配設した捨て吐出受部においては、吸収部材全体としては吸収機能が充分に残存しているにも拘らず、吸収部材上に付着物が部分的に積層することによって、吸収部材の交換が必要になることを抑制することができる。
【００４４】
［適用例１９］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記液状体吐出ヘッドから吐出した液状体を配置する吐出対象物を載置し、前記液状体吐出ヘッドに対して相対移動する対象物載置台を備え、前記捨て吐出受部は、前記液状体吐出ヘッドに対して、前記対象物載置台と一体に相対移動可能に配設されていることが好ましい。
【００４５】
このヘッド保守装置によれば、捨て吐出受部は、液状体吐出ヘッドに対して、対象物載置台と一体に相対移動可能に配設されている。一般的に、吐出対象物に対する液状体の配置は、液状体吐出ヘッドに対して対象物載置台の上に載置された吐出対象物を対向させ、相対移動させながら液状体吐出ヘッドから液状体を吐出することで実施する。捨て吐出受部は、液状体吐出ヘッドに対して、対象物載置台と一体に相対移動可能であって、吐出対象物と同様に、液状体吐出ヘッドに対して捨て吐出受部を容易に対向させて、液状体吐出ヘッドからの捨て吐出を実施することができる。
【００４６】
［適用例２０］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記液状体吐出ヘッドから前記吐出対象物に対して前記液状体を吐出する際の前記液状体吐出ヘッドと前記吐出対象物との相対移動方向が、主走査方向であって、前記捨て吐出受部は、前記対象物載置台における前記吐出対象物を載置する載置面に対して、前記主走査方向に並んで配設されていることが好ましい。
【００４７】
このヘッド保守装置によれば、捨て吐出受部は、対象物載置台における載置面と主走査方向に並んで配設されている。捨て吐出受部が載置面と主走査方向に並んで配設されていることで、液状体吐出ヘッドを、主走査方向に相対移動させながら、捨て吐出受部と載置面上の吐出対象物とに連続して対向させることが可能である。これにより、捨て吐出と、吐出対象物に向けての吐出とを、一回の相対移動において略連続して実施することができる。
【００４８】
［適用例２１］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記洗浄液供給手段は、前記洗浄液を吐出する供給端末を備え、前記供給端末は、前記捨て吐出受部に対して、相対移動可能に配設されていることが好ましい。
【００４９】
このヘッド保守装置によれば、供給端末は、捨て吐出受部に対して相対移動可能に配設されている。これにより、洗浄液を供給する際には、供給端末を相対移動させて、供給端末を捨て吐出受部に臨む位置に、位置させることができる。それと共に、液状体吐出ヘッドに、捨て吐出受部に向けて捨て吐出を実施させる際には、供給端末を捨て吐出受部に臨む位置から、移動させることができる。
【００５０】
［適用例２２］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記液状体吐出ヘッドを搭載し、前記液状体吐出ヘッドから吐出した液状体を配置する吐出対象物を載置する載置面に略平行な方向において、前記載置面に対して相対移動可能なヘッドキャリッジを備え、前記供給端末は、前記載置面に対して、前記ヘッドキャリッジと一体に相対移動可能に配設されていることが好ましい。
【００５１】
このヘッド保守装置によれば、供給端末は、ヘッドキャリッジに搭載された液状体吐出ヘッドと一体に相対移動可能に配設されている。これにより、捨て吐出受部に向けて捨て吐出を実施するために、液状体吐出ヘッドを捨て吐出受部に臨む位置に相対移動させる場合と同様にして、供給端末を相対移動させて、供給端末を捨て吐出受部に臨む位置に、容易に位置させることができる。
【００５２】
［適用例２３］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記液状体吐出ヘッドから前記吐出対象物に対して前記液状体を吐出する際の前記液状体吐出ヘッドと前記吐出対象物との相対移動方向が、主走査方向であって、前記供給端末は、前記ヘッドキャリッジに搭載された前記液状体吐出ヘッドに対して、前記主走査方向に並んで配設されていることが好ましい。
【００５３】
このヘッド保守装置によれば、供給端末は、液状体吐出ヘッドと主走査方向に並んで配設されている。供給端末が液状体吐出ヘッドと主走査方向に並んで配設されていることで、液状体吐出ヘッドを捨て吐出受部に臨む位置から移動させる相対移動によって、供給端末を、捨て吐出受部に臨む位置に移動させることができる。これにより、捨て吐出を受けた捨て吐出受部に対して、ほとんど間をおくことなく洗浄液を供給することができる。
【００５４】
［適用例２４］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記捨て吐出受部の内部の液状体を排出可能な排出手段を備えることが好ましい。
【００５５】
このヘッド保守装置によれば、捨て吐出受部内の液状体を排出可能な排出手段を用いて、捨て吐出受部に向けて液状体吐出ヘッドから捨て吐出された液状体や、洗浄液供給手段から供給された洗浄液が混合された液状体を排出することができる。捨て吐出された液状体などを排出することによって、捨て吐出された液状体が捨て吐出受部に蓄積されることによって捨て吐出受部の機能が劣化することを、抑制することができる。
【００５６】
［適用例２５］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記排出手段は、前記捨て吐出受部の内部に連通する排液流路と、前記排液流路を負圧にする負圧形成手段と、を備えることが好ましい。
【００５７】
このヘッド保守装置によれば、負圧形成手段によって排液流路を負圧にすることで、捨て吐出受部の内部の液状体を迅速、且つ確実に排出することができる。
【００５８】
［適用例２６］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記洗浄液供給手段は、前記洗浄液を吐出する洗浄液ノズルを複数備えることが好ましい。
【００５９】
このヘッド保守装置によれば、複数の洗浄液ノズルから並行して洗浄液を供給することで、単独の洗浄液ノズルから供給する場合にくらべて、より広範囲に略同時に洗浄液を供給することができる。これにより、捨て吐出受部の広い範囲に略均等に洗浄液を供給することができる。また、捨て吐出受部の部分の状態に対応して、部分ごとに洗浄液の供給状態を変えることができる。
【００６０】
［適用例２７］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記複数の洗浄液ノズルは、前記洗浄液が吐出される洗浄液ノズル孔のノズル孔径が互いに異なる少なくとも２種類以上の前記洗浄液ノズルを含むことが好ましい。
【００６１】
このヘッド保守装置によれば、洗浄液供給手段は、ノズル孔径が互いに異なる洗浄液ノズルを備えている。洗浄液ノズル孔のノズル孔径が異なることで、洗浄液ノズルからの洗浄液の吐出量や、吐出される洗浄液の速度などを、洗浄液ノズルごとに、容易に異ならせることができる。これにより、捨て吐出受部の部分の状態に対応して、部分ごとに洗浄液の供給状態を変えることができる。
【００６２】
［適用例２８］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記液状体吐出ヘッドから前記捨て吐出受部に向けて吐出された液状体の量に応じて、前記洗浄液供給手段から前記捨て吐出受部に向けて供給する前記洗浄液の量を調整する洗浄調整手段を備えることが好ましい。
【００６３】
このヘッド保守装置によれば、洗浄調整手段を備えており、液状体吐出ヘッドから捨て吐出受部に吐出された液状体の量に応じて、洗浄液供給手段から捨て吐出受部に供給する洗浄液の量を調整することができる。これにより、捨て吐出受部に吐出された量の液状体を洗浄するために適切な量の洗浄液を供給することで、洗浄液の量が不足することによって充分な洗浄が実施できなかったり、過剰に洗浄液を供給することによって洗浄液を無駄に消費したりすることを抑制することができる。
【００６４】
［適用例２９］上記適用例にかかるヘッド保守装置において、前記洗浄液は前記液状体吐出ヘッドから吐出される機能液の主溶媒であることが好ましい。
【００６５】
このヘッド保守装置によれば、液状体吐出ヘッドから吐出される機能液の主溶媒が、洗浄液として捨て吐出受部に供給される。捨て吐出受部の付着物は、主に液状体吐出ヘッドから捨て吐出された機能液によるものであるため、機能液の主溶媒によって、容易に溶解することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。
【図２】（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図。（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図。
【図３】（ａ）は、洗浄液供給装置の洗浄液ヘッドが取り付けられたヘッドユニットの構成を示す平面図。（ｂ）は、洗浄液供給装置の全体構成を示す説明図。
【図４】（ａ）は、フラッシングトレイがワーク載置台に取り付けられた状態を示す平面図。（ｂ）は、フラッシングトレイがワーク載置台に取り付けられた状態を示す側面図。（ｃ）は、フラッシングトレイと排液装置との全体構成を示す説明図。
【図５】（ａ）は、描画吐出時のヘッドユニットと、ワーク及びフラッシングトレイとの位置関係を示す説明図。（ｂ）は、液滴吐出ヘッドが捨て吐出を実施する際の状態を示す説明図。（ｃ）は、洗浄液ヘッドが洗浄液の供給を実施する際の状態を示す説明図。
【図６】描画工程を示すフローチャート。
【図７】（ａ）は、洗浄液ヘッドの配置位置を含む液滴吐出装置全体の概略構成を示す外観斜視図。（ｂ）は、洗浄液ヘッドと、ワーク及びフラッシングトレイとの位置関係を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００６７】
以下、液状体吐出装置、ヘッド保守装置の保守方法、及びヘッド保守装置の一実施形態について、図面を参照して説明する。本実施形態は、吐出ノズルを有する液状体吐出ヘッドの一例としての、液滴を吐出する吐出ノズルを有する液滴吐出ヘッド、を備える液滴吐出装置を例にして説明する。液滴吐出装置は、保守装置としてのフラッシングユニットを備える液状体吐出装置である。
なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００６８】
＜液滴吐出法＞
最初に、液滴吐出法について説明する。液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気機械変換方式、電気熱変換方式、静電吸引方式等が挙げられる。帯電制御方式は、材料に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で材料の飛翔方向を制御して吐出ノズルから吐出させるものである。加圧振動方式は、材料に３０ｋｇ／ｃｍ2程度の超高圧を印加して吐出ノズル先端側に材料を吐出させるものであり、制御電圧をかけない場合には材料が直進して吐出ノズルから吐出され、制御電圧をかけると材料間に静電的な反発が起こり、材料が飛散して吐出ノズルから吐出されない。電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって材料を貯留した空間に可撓物質を介して圧力を与え、この空間から材料を押し出して吐出ノズルから吐出させるものである。
【００６９】
電気熱変換方式は、材料を貯留した空間内に設けたヒーターにより、材料を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の材料を吐出させるものである。静電吸引方式は、材料を貯留した空間内に微小圧力を加え、吐出ノズルに材料のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えて材料を引き出すものである。また、この他に、電場による流体の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式などの技術も適用可能である。液滴吐出法は、材料の使用に無駄が少なく、しかも所望の位置に所望の量の材料を的確に配置できるという利点を有する。このうち、ピエゾ方式は、液状材料に直接熱を加えないため、材料の組成等に熱による影響を与えないことや、駆動電圧を調整することによって、液滴の大きさを容易に調整することができることなどの利点を有する。本実施形態では、液状材料選択の自由度が高いこと、及び液滴の制御性が良いことから上記ピエゾ方式を用いる。
【００７０】
＜液滴吐出装置＞
次に、液滴吐出装置の全体構成について、図１を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。
【００７１】
図１に示したように、液滴吐出装置１は、描画ユニット２と、ワークユニット３と、機能液供給ユニット４と、保守ユニット５とを備えている。
描画ユニット２は、液状体としての機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１７を備えている。
ワークユニット３は、液滴吐出ヘッド１７から吐出された液滴の吐出対象であるワークＷを載置するワーク載置台３０を備えている。
機能液供給ユニット４は、機能液タンクと、給液管と、給液チューブとを備え、当該給液チューブが、液滴吐出ヘッド１７に接続されており、給液チューブを介して機能液が液滴吐出ヘッド１７に供給される。
液滴吐出ヘッド１７が液状体吐出ヘッドに相当する。
【００７２】
保守ユニット５は、液滴吐出ヘッド１７の吐出状態などの検査を実施する各装置、液滴吐出ヘッド１７の各種の保守を実施する各装置、及びこれらの装置を移動可能に支持する移動装置５ａを備えている。描画吐出を実施する領域から外れた位置に移動した液滴吐出ヘッド１７に臨んだ状態で使用される各装置は、移動装置５ａの移動プレートに固定されている。移動装置５ａは、これらの各装置を、当該装置が使用される際に、液滴吐出ヘッド１７に臨む位置に移動する。
液滴吐出ヘッド１７の保守を実施する装置のひとつであるフラッシングユニット５０は、フラッシングトレイ５１と洗浄液供給装置７１と排液装置８１（図４参照）とを備えている。
【００７３】
液滴吐出装置１は、また、これら各ユニットなどを総括的に制御する吐出装置制御部６を備えている。
さらに、液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚８と、支持脚８の上側に設置された定盤９とを備えている。描画ユニット２と、ワークユニット３と、保守ユニット５の主要部とは、平面視長方形形状の定盤９の上に配設されている。吐出装置制御部６は、定盤９の下側に収容されている。
【００７４】
ワークユニット３は、定盤９の長手方向（この方向を、「Ｘ軸方向」と表記する。）に延在するように配設されている。ワークユニット３の上方には、描画ユニット２が、配設されている。描画ユニット２は、ワークユニット３と直交する方向（この方向を、「Ｙ軸方向」と表記する。）に延在している。描画ユニット２は、定盤９に固定された２本の支持柱で支持されて、ワークユニット３の上方でワークユニット３と交差している。また、定盤９の傍らには、機能液供給ユニット４の機能液タンクなどが配置されている。描画ユニット２の一方の支持柱の近傍には、保守ユニット５がワークユニット３と並んで配設されている。
【００７５】
描画ユニット２は、液滴吐出ヘッド１７を有するヘッドユニット２１と、ヘッドユニット２１を支持するヘッドキャリッジ２５と、ヘッドキャリッジ２５が吊設された移動枠２２とを備えている。移動枠２２を、Ｙ軸走査機構によってＹ軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド１７をＹ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
ワークユニット３は、ワーク載置台３０を、Ｘ軸走査機構によって、Ｘ軸方向に移動させることで、ワーク載置台３０に載置されたワークＷをＸ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
【００７６】
描画を実施する際は、描画ユニット２が備える液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワークＷのＸ軸方向の移動に同調して、機能液を液滴として吐出する。Ｘ軸方向に移動するワークＷと、Ｙ軸方向に移動する液滴吐出ヘッド１７とを相対的に制御することにより、ワークＷ上の任意の位置に液滴を着弾させることで、所望する平面形状の描画を実施することが可能である。Ｘ軸方向が、主走査方向に相当する。
【００７７】
液滴吐出ヘッド１７が描画吐出を実施する領域から外れた位置に移動した状態で液滴吐出ヘッド１７の保守を実施する際は、描画ユニット２が備える液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向の保守ユニット５に臨む位置まで移動して停止する。当該位置の液滴吐出ヘッド１７に臨む位置に、保守ユニット５のいずれかの装置が移動して、保守作業が実施される。例えば、吸引ユニットのキャップ装置が移動装置５ａによって移動させられて、液滴吐出ヘッド１７に臨む位置に位置させられる。昇降装置によってヘッドキャリッジ２５又はキャップ装置を昇降させることによって、液滴吐出ヘッド１７とキャップ装置とを当接させて、液滴吐出ヘッド１７をキャップ装置で封止し、吸引ユニットによる液滴吐出ヘッド１７の吸引を実施する。
【００７８】
液滴吐出ヘッド１７の保守を実施する装置のひとつであるフラッシングユニット５０は、描画吐出と略並行して実施される捨て吐出のために用いられる。上述したように、フラッシングユニット５０は、フラッシングトレイ５１と洗浄液供給装置７１と排液装置８１（図４参照）とを備えている。フラッシングトレイ５１は、ワーク載置台３０に固定されている。洗浄液供給装置７１の洗浄液ヘッド７２は、ヘッドユニット２１に、液滴吐出ヘッド１７と並んで固定されている。洗浄液供給装置７１の洗浄液タンク７３や洗浄液ポンプ７８などは、機能液供給ユニット４と並んで配設されており、洗浄液管７４が洗浄液ヘッド７２に接続されており、洗浄液が洗浄液管７４を介して洗浄液ヘッド７２に供給される。
【００７９】
＜液滴吐出ヘッド＞
次に、図２を参照して、液滴吐出ヘッド１７について説明する。図２は、液滴吐出ヘッドの構成を示す図である。図２（ａ）は、液滴吐出ヘッドをノズルプレート側から見た外観斜視図であり、図２（ｂ）は、液滴吐出ヘッドの圧力室周りの構造を示す斜視断面図であり、図２（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズル部の構造を示す断面図である。
【００８０】
図２（ａ）に示したように、液滴吐出ヘッド１７は、接続針４２を一対有する液体導入部４１と、液体導入部４１の側方に連なるヘッド基板４３と、液体導入部４１に連なるポンプ部４５と、ポンプ部４５に連なるノズルプレート４６と、を備えている。液体導入部４１のそれぞれの接続針４２には、それぞれ配管接続部材が接続されて、当該配管接続部材を介して給液チューブが接続され、給液チューブに接続された機能液供給ユニット４から機能液が供給される。ヘッド基板４３には、ヘッドコネクター４７が一対実装されており、当該ヘッドコネクター４７を介してフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣケーブル）が接続される。液滴吐出ヘッド１７は、ＦＦＣケーブルを介して吐出装置制御部６と接続されており、ＦＦＣケーブルを介して信号の授受が行われる。ポンプ部４５とノズルプレート４６とにより、略方形状のヘッド本体４４が構成されている。
【００８１】
ポンプ部４５の基部側、すなわちヘッド本体４４の基部側は、液体導入部４１及びヘッド基板４３を受けるべく方形フランジ状にフランジ部４９が形成されている。このフランジ部４９には、液滴吐出ヘッド１７を固定する小ねじ用のねじ孔（雌ねじ）４９ａが一対形成されている。液滴吐出ヘッド１７は、液滴吐出ヘッド１７を保持するためのヘッド保持部材を貫通してねじ孔４９ａに螺合したヘッド止めねじにより、ヘッド保持部材に固定される。
【００８２】
ノズルプレート４６のノズル形成面４６ａには、ノズルプレート４６に形成されており液滴を吐出する吐出ノズル４８から成るノズル列４８Ａが、２本形成されている。２本のノズル列４８Ａは相互に平行に列設されており、各ノズル列４８Ａは、等ピッチで並べた例えば１８０個（図示では模式的に表している）の吐出ノズル４８で構成されている。ヘッド本体４４のノズル形成面４６ａには、その中心線を挟んで２本のノズル列４８Ａが配設されている。
【００８３】
液滴吐出ヘッド１７が液滴吐出装置１に取付けられた状態では、ノズル列４８ＡはＹ軸方向に延在する。２列のノズル列４８Ａをそれぞれ構成する吐出ノズル４８同士は、Ｙ軸方向において、相互に半ノズルピッチずつ位置がずれている。１ノズルピッチは、例えば１４０μｍである。Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれのノズル列４８Ａを構成する吐出ノズル４８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。ノズル列４８Ａにおける吐出ノズル４８のノズルピッチが１４０μｍの場合、当該一直線状に連なる着弾位置の中心間距離は、設計上では、７０μｍである。
【００８４】
図２（ｂ）及び（ｃ）に示したように、液滴吐出ヘッド１７は、ノズルプレート４６にポンプ部４５を構成する圧力室プレート３１が積層されており、圧力室プレート３１に振動板３２が積層されている。
圧力室プレート３１には、液体導入部４１から振動板３２の液供給孔３３を経由して供給される機能液が常に充填される液たまり３５が形成されている。液たまり３５は、振動板３２と、ノズルプレート４６と、圧力室プレート３１の壁とに囲まれた空間である。また、圧力室プレート３１には、ヘッド隔壁３７によって区切られた圧力室３８が形成されている。振動板３２と、ノズルプレート４６と、２個のヘッド隔壁３７とによって囲まれた空間が圧力室３８である。
【００８５】
圧力室３８は吐出ノズル４８のそれぞれに対応して設けられており、圧力室３８の数と吐出ノズル４８の数とは同じである。圧力室３８には、２個のヘッド隔壁３７の間に位置する供給口３６を介して、液たまり３５から機能液が供給される。ヘッド隔壁３７と圧力室３８と吐出ノズル４８と供給口３６との組は、液たまり３５に沿って１列に並んでおり、１列に並んだ吐出ノズル４８がノズル列４８Ａを形成している。図２（ｂ）では図示省略したが、図示した吐出ノズル４８を含むノズル列４８Ａに対して液たまり３５に関して略対称位置に、１列に並んで配設された吐出ノズル４８がもう一列のノズル列４８Ａを形成しており、対応するヘッド隔壁３７と圧力室３８と供給口３６との組が、１列に並んでいる。
【００８６】
振動板３２の圧力室３８を構成する部分には、それぞれ圧電素子３９の一端が固定されている。圧電素子３９の他端は、固定板（図示省略）を介して液滴吐出ヘッド１７全体を支持する基台（図示省略）に固定されている。
圧電素子３９は電極層と圧電材料とを積層した活性部を有し、電極層に駆動電圧を印加することで、活性部が長手方向（図２（ｂ）又は（ｃ）においては振動板３２の厚さ方向）に縮む。活性部が縮むことで、圧電素子３９の一端が固定された振動板３２が圧力室３８と反対側に引張られる力を受ける。振動板３２が圧力室３８と反対側に引張られることで、振動板３２が圧力室３８の反対側に撓む。これにより、圧力室３８の容積が増加することから、機能液が液たまり３５から供給口３６を経て圧力室３８に供給される。次に、電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元の長さに戻ることで、圧電素子３９が振動板３２を押圧する。振動板３２が押圧されることで、圧力室３８側に戻る。これにより、圧力室３８の容積が急激に元に戻る、すなわち増加していた容積が減少することから、圧力室３８内に充填されていた機能液に圧力が加わり、当該圧力室３８に連通して形成された吐出ノズル４８から機能液が液滴となって吐出される。
【００８７】
吐出装置制御部６は、圧電素子３９への印加電圧の制御、すなわち駆動信号を制御することにより、複数の吐出ノズル４８のそれぞれに対して、機能液の吐出制御を行う。より詳細には、吐出ノズル４８から吐出される液滴の体積や、単位時間あたりに吐出する液滴の数などを変化させることができる。これにより、基板上に着弾した液滴同士の距離や、基板上の一定の面積に着弾させる機能液の量などを変化させることができる。例えば、ノズル列４８Ａに並ぶ複数の吐出ノズル４８の中から、液滴を吐出させる吐出ノズル４８を選択的に使用することにより、ノズル列４８Ａの延在方向では、ノズル列４８Ａの長さの範囲であって吐出ノズル４８のピッチ間隔で、複数の液滴を同時に吐出することができる。ノズル列４８Ａの延在方向と略直交する方向では、基板と吐出ノズル４８とを相対移動させて、当該相対移動方向において、当該吐出ノズル４８が対向可能な、基板の任意の位置に吐出ノズル４８から吐出される液滴を配置することができる。
【００８８】
＜フラッシングユニット＞
＜洗浄液供給装置＞
次に、フラッシングユニット５０の洗浄液供給装置７１について、図３を参照して説明する。上述したように、液滴吐出ヘッド１７の保守を実施する装置のひとつであるフラッシングユニット５０は、フラッシングトレイ５１と洗浄液供給装置７１と排液装置８１とを備えている。図３は、洗浄液供給装置の構成を示す説明図である。図３（ａ）は、洗浄液供給装置の洗浄液ヘッドが取り付けられたヘッドユニットの構成を示す平面図であり、図３（ｂ）は、洗浄液供給装置の全体構成を示す説明図である。図３（ａ）に示したＸ軸及びＹ軸は、ヘッドユニット２１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸及びＹ軸と一致している。
図３に示したように、洗浄液供給装置７１は、洗浄液ヘッド７２と、洗浄液管７４と、中継タンク７６と、洗浄液タンク７３と、洗浄液ポンプ７８とを備えている。
洗浄液供給装置７１が、洗浄液供給手段に相当する。フラッシングトレイ５１が、捨て吐出受部に相当する。
【００８９】
図３（ａ）に示したように、洗浄液ヘッド７２が固定されているヘッドユニット２１は、キャリッジプレート２３と、キャリッジプレート２３に搭載された３個の液滴吐出ヘッド１７と、を有している。液滴吐出ヘッド１７は、キャリッジプレート２３に固定されており、ヘッド本体４４がキャリッジプレート２３に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズルプレート４６（ヘッド本体４４）が、キャリッジプレート２３の面より突出している。図３（ａ）は、ノズルプレート４６（ノズル形成面４６ａ）側から見た図である。それぞれの液滴吐出ヘッド１７のノズル列４８ＡはＹ軸方向に延在している。
【００９０】
３個の液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において、互いに隣り合う液滴吐出ヘッド１７の、一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル４８に対して、もう一方の液滴吐出ヘッド１７の端の吐出ノズル４８が半ノズルピッチずれて位置するように、位置決めされている。例えば、ヘッドユニット２１が有する３個の液滴吐出ヘッド１７において、全ての吐出ノズル４８のＸ軸方向の位置を同じにすると、吐出ノズル４８は、Ｙ軸方向に半ノズルピッチの等間隔で並ぶ。すなわち、Ｘ軸方向の同じ位置において、それぞれの液滴吐出ヘッド１７が有するそれぞれのノズル列４８Ａを構成する吐出ノズル４８から吐出された液滴は、設計上では、Ｙ軸方向に等間隔に並んで一直線上に着弾する。このような間隔で配列された液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向において互いに重なるため、Ｘ軸方向に階段状に並べて配設されている。
【００９１】
＜洗浄液ヘッド＞
次に、洗浄液供給装置７１の洗浄液ヘッド７２について説明する。洗浄液ヘッド７２は、フラッシングトレイ５１に洗浄液を供給するために用いられる。洗浄液は、例えば機能液の主溶媒が用いられる。
洗浄液ヘッド７２の構造は、図２を参照して説明した液滴吐出ヘッド１７の構造と同様である。洗浄液ヘッド７２の構造は、ノズル列１４８Ａの長さが長いことと、ノズル列１４８Ａを１列のみ備えることが、液滴吐出ヘッド１７の構造とは大きく異なっている。洗浄液ヘッド７２の吐出ノズル１４８は液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル４８より大口径であり、洗浄液ヘッド７２の圧力室の大きさ及び振動板の可動量も液滴吐出ヘッド１７の圧力室３８の大きさ及び振動板３２の可動量より大きく構成されている。このため、洗浄液ヘッド７２は、液滴吐出ヘッド１７より、吐出する液滴の体積を大きくすることが可能であり、単位時間あたりの吐出量も多く吐出することが可能である。ノズル列１４８Ａにおける吐出ノズル１４８の配設ピッチは、例えば２４０μｍである。ノズル列１４８Ａの長さは、液滴吐出ヘッド１７のノズル列４８Ａの長さの略３倍である。吐出ノズル１４８が、洗浄液ノズルに相当する。
【００９２】
図３（ａ）に示したように、２個の洗浄液ヘッド７２が、ヘッドユニット２１が備える３個の液滴吐出ヘッド１７のＸ軸方向の両側に、それぞれ１個ずつ、配設されている。洗浄液ヘッド７２は、液滴吐出ヘッド１７と同様にキャリッジプレート２３に固定されており、ヘッド本体がキャリッジプレート２３に形成された孔（図示省略）に遊嵌して、ノズルプレート１４６が、キャリッジプレート２３の面より突出している。図３（ａ）は、ノズルプレート１４６側から見た図である。それぞれの洗浄液ヘッド７２のノズル列１４８ＡはＹ軸方向に延在している。それぞれのノズル列１４８ＡのＹ軸方向の位置は、ヘッドユニット２１が備える３個の液滴吐出ヘッド１７が有する６列のノズル列４８Ａの位置と略一致している。１列のノズル列１４８Ａの吐出ノズル１４８から洗浄液を吐出することで、３個の液滴吐出ヘッド１７が有する６列のノズル列４８Ａの吐出ノズル４８から吐出された機能液の着弾位置の範囲と略同一の範囲に、洗浄液を着弾させることが可能である。洗浄液ヘッド７２が、供給端末又は洗浄液供給ヘッドに相当する。ヘッドユニット２１を含むヘッドキャリッジ２５が、ヘッドキャリッジに相当する。
【００９３】
＜洗浄液供給装置の構成＞
上述したように、洗浄液供給装置７１は、洗浄液ヘッド７２と、洗浄液管７４と、洗浄液タンク７３と、中継タンク７６と、洗浄液ポンプ７８とを備えている。
図３（ｂ）に示したように、洗浄液タンク７３と洗浄液ポンプ７８とは、洗浄液管７４ａで接続されている。洗浄液ポンプ７８と中継タンク７６とは、洗浄液管７４ｂで接続されており、中継タンク７６と洗浄液ヘッド７２とは、洗浄液管７４ｃで接続されている。洗浄液は、洗浄液タンク７３から洗浄液管７４ａを介して洗浄液ポンプ７８に吸引され、洗浄液管７４ｂを介して中継タンク７６に送出されて、中継タンク７６に一時貯留される。中継タンク７６は、中継タンク７６の液位と洗浄液ヘッド７２の吐出ノズル１４８との鉛直方向における相互高さを所定の範囲に維持することで、吐出ノズル１４８における水頭値を適切に維持して、吐出ノズル１４８からの吐出を良好に保つためのものである。中継タンク７６に貯留された洗浄液は、中継タンク７６の液位と洗浄液ヘッド７２との高さの差による圧力によって、洗浄液管７４ｃを介して洗浄液ヘッド７２に供給される。洗浄液ヘッド７２に供給された洗浄液は、吐出ノズル１４８における水頭値が適切に維持されていることによって、洗浄液ヘッド７２が稼動することによって吐出される状態で、洗浄液ヘッド７２の圧力室などに充填される。
【００９４】
吐出装置制御部６は、描画吐出制御部６２と、洗浄吐出制御部６７と、洗浄排出制御部６８と、を備えており、描画吐出制御部６２と洗浄吐出制御部６７と洗浄排出制御部６８とは、データバス６９を介して互いに電気的に接続されている。液滴吐出ヘッド１７は、描画吐出制御部６２と電気的に接続されており、描画吐出制御部６２は、予め入力されたプログラムに基づいて、描画情報などに従って液滴吐出ヘッド１７を制御する。洗浄液ヘッド７２と洗浄液ポンプ７８とは、洗浄吐出制御部６７と電気的に接続されており、洗浄吐出制御部６７は、予め入力されたプログラムに基づいて、洗浄液ヘッド７２及び洗浄液ポンプ７８を制御して、フラッシングトレイ５１に洗浄液を供給する。
【００９５】
＜フラッシングユニット＞
＜フラッシングトレイ及び排液装置＞
次に、フラッシングユニット５０のフラッシングトレイ５１及び排液装置８１について、図４を参照して説明する。上述したように、液滴吐出ヘッド１７の保守を実施する装置のひとつであるフラッシングユニット５０は、フラッシングトレイ５１と洗浄液供給装置７１と排液装置８１とを備えている。図４は、フラッシングトレイ及び排液装置の構成を示す説明図である。図４（ａ）は、フラッシングトレイがワーク載置台に取り付けられた状態を示す平面図であり、図４（ｂ）は、フラッシングトレイがワーク載置台に取り付けられた状態を示す側面図であり、図４（ｃ）は、フラッシングトレイと排液装置との全体構成を示す説明図である。図４に示したＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸は、フラッシングトレイ５１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸と一致している。
【００９６】
図４（ａ）又は図４（ｂ）に示すように、フラッシングユニット５０は、２個のフラッシングトレイ５１を備え、それぞれのフラッシングトレイ５１は、ワーク載置台３０の載置台３４に固定されている。
上述したように、ワーク載置台３０は、Ｘ軸走査機構によって、Ｘ軸方向に摺動自在であって、Ｘ軸方向の位置情報を正確に取得可能に支持されている。載置台３４の載置面３４ａには、吸着溝３５が形成されている。図示省略した吸着装置によって吸着溝３５を負圧にすることによって、図４（ａ）及び図４（ｂ）に二点鎖線で示したように載置面３４ａに載置されたワークＷを吸着して、載置台３４に固定する。
フラッシングトレイ５１は、略直方体形状の外形形状を有している。フラッシングトレイ５１は、略直方体形状の長辺を、略正方形形状の平面形状を有する載置台３４におけるＸ軸方向の辺（Ｙ軸方向に延在する辺）に接して、図示省略した固定部材によって固定されることで、載置台３４に固定されている。
ワーク載置台３０が、対象物載置台に相当する。
【００９７】
フラッシングトレイ５１には、鉛直方向の上側が開口したトレイ凹部５１ａが形成されている。液滴吐出ヘッド１７から捨て吐出される機能液の液滴は、トレイ凹部５１ａに着弾するように吐出される。トレイ凹部５１ａのＹ軸方向の位置及び長さは、Ｙ軸方向において、載置面３４ａに載置されたワークＷに機能液を配置可能な位置にある吐出ノズル４８から捨て吐出された液滴が、Ｙ軸方向に移動することなくトレイ凹部５１ａに着弾することが可能な位置及び長さに形成されている。
【００９８】
排液装置８１は、排液管８４と、排液タンク８３と、排液バルブ８６と、吸引ポンプ８８とを備えている。
図４（ｃ）に示したように、フラッシングトレイ５１のトレイ凹部５１ａには、吸収材５９が配設されている。吸収材５９は、多孔質の柔軟な素材で形成されている。トレイ凹部５１ａの底面は、中央部側が低くなる方向に、わずかに傾いており、中央付近の最も低い部分に、排液孔５２が形成されている。排液孔５２は、トレイ凹部５１ａの底面からフラッシングトレイ５１の外面における底面に立設された突起に貫通している。
フラッシングトレイ５１の外面における底面に立設された突起には、排液管８４の一端が外嵌されており、排液管８４の流路が、排液孔５２を介してトレイ凹部５１ａに連通している。排液管８４の他の一端は、排液タンク８３に接続されており、排液タンク８３とトレイ凹部５１ａとは、排液管８４を介して連通している。排液管８４の中間には、排液管８４の流路を閉鎖又は開放する排液バルブ８６が配設されている。排液タンク８３には、吸引ポンプ８８が接続されている。排液管８４は、曲げ変形が容易な素材で形成されており、排液管８４が柔軟に屈曲することで、ワーク載置台３０（フラッシングトレイ５１）の移動に追従して、排液タンク８３とトレイ凹部５１ａとの接続が維持される。
排液装置８１が、排出手段に相当する。吸引ポンプ８８が、負圧形成手段に相当する。
【００９９】
吸引ポンプ８８を稼働させることによって、排液タンク８３の内部を負圧にすることができる。排液タンク８３の内部を負圧にすることで、排液タンク８３に連通するトレイ凹部５１ａ内の液状体や気体を吸引することができる。液状体が吸引されると、排液タンク８３に到って、そこに貯留される。排液バルブ８６によって排液管８４の流路を閉鎖又は開放することによって、トレイ凹部５１ａからの液状体の吸引又は停止を迅速に切替えることができる。
【０１００】
上述したように、吐出装置制御部６は、描画吐出制御部６２と、洗浄吐出制御部６７と、洗浄排出制御部６８と、を備えており、描画吐出制御部６２と洗浄吐出制御部６７と洗浄排出制御部６８とは、データバス６９を介して互いに電気的に接続されている。
吸引ポンプ８８及び排液バルブ８６は、洗浄排出制御部６８と電気的に接続されており、洗浄排出制御部６８は、予め入力されたプログラムに基づいて、吸引ポンプ８８及び排液バルブ８６を制御して、機能液や洗浄液をフラッシングトレイ５１から排液タンク８３に吸引することで排出する。
【０１０１】
＜捨て吐出及び洗浄液供給＞
次に、描画吐出の間に実施される捨て吐出、及び捨て吐出に対応して実施する洗浄液供給について、図５を参照して説明する。以降、ヘッドユニット２１と洗浄液ヘッド７２とを合わせて、ヘッドユニット２４と表記する。図５は、捨て吐出、又は洗浄液供給を実施する際の液滴吐出ヘッド及び洗浄液ヘッドと、フラッシングトレイとの位置関係を示す説明図である。図５（ａ）は、描画吐出時のヘッドユニットと、ワーク及びフラッシングトレイとの位置関係を示す説明図であり、図５（ｂ）は、液滴吐出ヘッドが捨て吐出を実施する際の状態を示す説明図であり、図５（ｃ）は、洗浄液ヘッドが洗浄液の供給を実施する際の状態を示す説明図である。図５に示したＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸は、フラッシングトレイ５１が液滴吐出装置１に取り付けられた状態において、図１に示したＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸と一致している。
【０１０２】
図５（ａ）に示したＸ軸方向に延在する仮想線Ｌａ、仮想線Ｌｂ、仮想線Ｌｃ、及び仮想線Ｌｄは、領域Ａ、領域Ｂ、及び領域Ｃの境界を示す仮想線である。Ｙ軸方向において、領域Ａ、領域Ｂ、又は領域Ｃに機能液を配置可能な位置に位置するヘッドユニット２４を、それぞれヘッドユニット２４ａ、ヘッドユニット２４ｂ、又はヘッドユニット２４ｃと表記する。ヘッドユニット２４に対して、Ｘ軸方向の一方の側（図５（ａ）では紙面に向かって左側）に位置する載置台３４とフラッシングトレイ５１とワークＷとを、それぞれ載置台３４１、フラッシングトレイ５１１、ワークＷ１と表記する。ヘッドユニット２４に対して、Ｘ軸方向のもう一方の側（図５（ａ）では紙面に向かって右側）に位置する載置台３４とフラッシングトレイ５１とワークＷとを、それぞれ載置台３４２、フラッシングトレイ５１２、ワークＷ２と表記する。
【０１０３】
描画吐出に際しては、最初に、ヘッドユニット２４をＹ軸走査機構によってＹ軸方向に移動させることで、例えばヘッドユニット２４ａの位置に位置させる。次に、Ｘ軸走査機構によって載置台３４を、載置台３４１の位置から載置台３４２の位置に移動させる、又は載置台３４１の位置と載置台３４２の位置との間で往復移動させる。当該移動又は往復移動の間に、吐出ノズル４８がワークＷの適切な位置に対向した時点で機能液の液滴を吐出することで、ワークＷの領域Ａの範囲における所定の位置に機能液を配置する描画吐出を実施する。領域Ａ内への機能液の吐出が終了したところで、ヘッドユニット２４をヘッドユニット２４ｂの位置に移動させて、領域Ａの範囲における場合と同様にして、ワークＷの領域Ｂの範囲における所定の位置に機能液を配置する描画吐出を実施する。同様に、ヘッドユニット２４をヘッドユニット２４ｃの位置に移動させて、ワークＷの領域Ｃの範囲における所定の位置に機能液を配置する描画吐出を実施する。
【０１０４】
図５（ｂ）に示したように、載置台３４やフラッシングトレイ５１が矢印ａで示した方向に移動すると、液滴吐出ヘッド１７は、最初に、１７ａで示した液滴吐出ヘッド１７のようにフラッシングトレイ５１に対向する。さらに矢印ａで示した方向に移動すると、１７ｂで示した液滴吐出ヘッド１７のように、ワークＷに対向する。液滴吐出ヘッド１７ａのようにフラッシングトレイ５１のトレイ凹部５１ａに臨んだ位置では、液滴吐出ヘッド１７からトレイ凹部５１ａに向けて捨て吐出を実施する。液滴吐出ヘッド１７ｂのようにワークＷに臨んだ位置では、液滴吐出ヘッド１７からワークＷにおける描画吐出データで指定された描画位置に向けて描画吐出を実施する。
【０１０５】
図５（ｃ）に示したように、載置台３４やフラッシングトレイ５１が矢印ａで示した方向にさらに移動すると、洗浄液ヘッド７２がフラッシングトレイ５１に対向する。洗浄液ヘッド７２がフラッシングトレイ５１のトレイ凹部５１ａに臨んだ位置では、洗浄液ヘッド７２からトレイ凹部５１ａに向けて、洗浄液の吐出を実施して、トレイ凹部５１ａに洗浄液を供給する。
捨て吐出に際しては、トレイ凹部５１ａ内の吸収材５９に着弾した機能液は、吸収材５９に吸収されて広がってゆく。このため、着弾位置に近いほど機能液の密度が高くなる。このため、洗浄液の供給に際しては、捨て吐出の際の機能液の着弾位置に近い位置に、洗浄液を着弾させることが好ましい。
【０１０６】
上述したように、ヘッドユニット２４において、洗浄液ヘッド７２は、２個の洗浄液ヘッド７２が３個の液滴吐出ヘッド１７をＸ軸方向において挟む位置に配設されている。これにより、相対移動の方向がＸ軸方向のどちらであっても、液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出に続けて洗浄液ヘッド７２による洗浄液の供給を実施することができる。あるいは、液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出の直近で、捨て吐出の前に洗浄液の供給を実施することもできる。
洗浄液の着弾位置精度は、描画情報で規定された位置に着弾させることが必要な描画吐出における機能液の着弾位置精度とは異なり、低い精度であってもよい。洗浄液の液滴の大きさの精度は、形成する膜の膜厚などを高い精度で実現することが必要であって、描画情報で規定された正確な大きさの液滴を吐出することが必要な描画吐出における機能液の大きさの精度とは異なり、低い精度であってもよい。
【０１０７】
＜描画工程＞
次に、洗浄液ヘッド７２（洗浄液供給装置７１）による洗浄液の供給を含む描画吐出を実施する描画工程について、図６を参照して説明する。図６は、描画工程を示すフローチャートである。
【０１０８】
図６のステップＳ２１では、描画工程において描画する画像の描画情報を取得する。
次に、ステップＳ２２では、ステップＳ２１で取得した描画情報を実現するための、液滴吐出装置１が備える液滴吐出ヘッド１７における吐出ノズル４８ごとの吐出パターンを作成する。
【０１０９】
次に、ステップＳ２３では、ステップＳ２２で作成した吐出パターンに対応する、捨て吐出の吐出パターンを作成する。捨て吐出を必要とする場合は、吐出を実施しない時間が一定の時間を超えた場合や、一定時間を超えて連続して吐出を実施した場合などである。吐出パターンにおいて、これらの場合が生ずる吐出ノズル４８について、描画吐出の各走査の間に図５を参照して説明したような捨て吐出を実施させる、捨て吐出パターンを作成する。
【０１１０】
次に、ステップＳ２４では、ステップＳ２３で作成した捨て吐出パターンに対応する、洗浄液を供給する洗浄液の供給パターンを作成する。
洗浄液の供給は、捨て吐出された機能液の固化の進行が少ない時点で実施することが好ましいため、液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出に続けて洗浄液ヘッド７２による洗浄液の供給を実施する供給パターンとすることが好ましい。または、液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出の直近で、捨て吐出の前に洗浄液の供給を実施する供給パターンであってもよいし、捨て吐出の直近で、捨て吐出の前及び後の両方で洗浄液の供給を実施する供給パターンであってもよい。
捨て吐出された機能液を良好に洗い流すためには、機能液の量に対応する適切な量の洗浄液が必要である。洗浄液の供給量は、ステップＳ２３において作成された捨て吐出パターンにおいて規定された機能液の捨て吐出量に対応して、洗浄液供給パターンにおいて規定される。洗浄液は、例えば機能液の主溶媒が用いられる。洗浄液としての機能液の主溶媒の供給量は、主溶媒の洗浄能力も考慮して定められることが好ましい。
洗浄液供給パターンは、吐出装置制御部６の洗浄吐出制御部６７が決定する。この場合の洗浄吐出制御部６７が、洗浄調整手段に相当する。
【０１１１】
排液装置８１によるトレイ凹部５１ａ内の排出は、トレイ凹部５１ａ内に機能液を滞留させないためには、少なくとも捨て吐出や洗浄液の供給が実施されるのに同期して実施することが好ましい。しかし、例えば、捨て吐出の前に洗浄液の供給を実施する洗浄液供給パターンでは、洗浄液をトレイ凹部５１ａ内に滞留させる方が好ましい。このため、捨て吐出の前に洗浄液の供給を実施した場合には、洗浄液の供給から一定時間の間は排液装置８１による排液は休止するような排液パターンを、洗浄液供給パターンに含めて作成することが好ましい。
【０１１２】
次に、ステップＳ２５では、ステップＳ２２、ステップＳ２３、及びステップＳ２４で作成した、描画用の吐出パターン、捨て吐出パターン、及び洗浄液供給パターンに従って、捨て吐出及び洗浄液の供給を伴う描画吐出を実施する。
ステップＳ２５を終了して、洗浄液の供給を含む描画吐出を実施する描画工程を終了する。
【０１１３】
＜他の洗浄液ヘッド＞
次に、液滴吐出装置１が備える洗浄液ヘッド７２とは異なる洗浄液ヘッド２７２を備える液滴吐出装置２０１について、図７を参照して説明する。図７は、液滴吐出装置における洗浄液ヘッドの配置を示す図である。図７（ａ）は、洗浄液ヘッドの配置位置を含む液滴吐出装置全体の概略構成を示す外観斜視図であり、図７（ｂ）は、洗浄液ヘッドと、ワーク及びフラッシングトレイとの位置関係を示す説明図である。
【０１１４】
図７（ａ）に示したように、液滴吐出装置２０１は、描画ユニット２０２と、ワークユニット３と、機能液供給ユニット４と、保守ユニット２０５と、吐出装置制御部２０６とを備えている。液滴吐出装置２０１は、描画ユニット２０２、保守ユニット２０５、及び吐出装置制御部２０６が、描画ユニット２、保守ユニット５、又は吐出装置制御部６と異なることが、液滴吐出装置１と異なっている。
【０１１５】
保守ユニット２０５は、フラッシングユニット２５０を備えている。フラッシングユニット２５０は、洗浄液供給装置２７１を備えており、洗浄液供給装置２７１が洗浄液供給装置７１とは異なることがフラッシングユニット５０と異なっている。洗浄液供給装置２７１は、洗浄液ヘッド７２とは異なる洗浄液ヘッド２７２と、洗浄液ヘッド２７２を支持するヘッド支持枠２７５と、を備えている。
描画ユニット２０２は、ヘッドユニット２２１がヘッドユニット２４とは異なることが、描画ユニット２とは異なっている。ヘッドユニット２２１は、液滴吐出ヘッド１７を備えており、洗浄液ヘッド２７２は備えていないことが、液滴吐出ヘッド１７及び洗浄液ヘッド７２を備えるヘッドユニット２４とは異なっている。
【０１１６】
洗浄液供給装置２７１は、洗浄液ヘッド２７２と、洗浄液管７４と、中継タンク７６（図３参照）と、洗浄液タンク７３と、洗浄液ポンプ７８と、ヘッド支持枠２７５と、を備えている。
洗浄液ヘッド２７２の構造は、上述した洗浄液ヘッド７２の構造と同様である。洗浄液ヘッド２７２の構造は、ノズル列２４８Ａの長さがノズル列１４８Ａの長さより長いことが、洗浄液ヘッド７２の構造とは大きく異なっている。洗浄液ヘッド２７２のノズル列２４８Ａの長さは、洗浄液ヘッド７２のノズル列１４８Ａの長さの３倍以上である。
ヘッド支持枠２７５は、Ｙ軸走査機構に隣接して、ワークユニット３の両側にそれぞれ立設された２本の支柱と、２本の支柱に架け渡されたヘッド支持梁を有している。ヘッド支持梁は、ワークユニット３の上方で、Ｙ軸方向に延在している。ヘッド支持梁には、ワークユニット３に臨む位置に洗浄液ヘッド２７２が配設されており、洗浄液ヘッド２７２の吐出ノズル２４８がワークユニット３に臨んでいる。
洗浄液供給装置２７１が、洗浄液供給手段に相当し、洗浄液ヘッド２７２が、供給端末に相当する。
【０１１７】
図７（ｂ）に示したように、洗浄液ヘッド２７２は、Ｘ軸方向において、３個の液滴吐出ヘッド１７を備えるヘッドユニット２２１に隣接して配置されている。洗浄液ヘッド２７２のノズル列２４８Ａは、Ｙ軸方向に延在しており、洗浄液ヘッド７２のノズル列１４８Ａの長さの３倍以上であって、ワーク載置台３０に載置可能なワークＷのＹ軸方向の略全域に対向可能である。フラッシングトレイ５１のトレイ凹部５１ａにおける、ワーク載置台３０に載置されたワークＷに機能液を配置可能な位置にある吐出ノズル４８から吐出された機能液が着弾する位置には、ノズル列２４８Ａの吐出ノズル２４８から吐出させて、洗浄液を配置することが可能である。吐出ノズル２４８が、洗浄液ノズルに相当する。ヘッドユニット２２１を含むヘッドキャリッジが、ヘッドキャリッジに相当する。
【０１１８】
次に、本実施形態による効果について記載する。本実施形態によれば、以下に記載する効果が得られる。
（１）洗浄液供給装置７１又は洗浄液供給装置２７１によって、フラッシングトレイ５１に洗浄液を供給することができる。フラッシングトレイ５１を洗浄液で浸すことで、洗浄液に浸された部分の付着物などを洗浄することができる。
【０１１９】
（２）洗浄液ヘッド７２はヘッドユニット２１に配設されている。これにより、洗浄液を供給するために洗浄液ヘッド７２をフラッシングトレイ５１に対向させる際は、ヘッドユニット２１に搭載された液滴吐出ヘッド１７を、捨て吐出を実施するためにフラッシングトレイ５１に対向させる場合と同様にして、容易に対向させることができる。
【０１２０】
（３）洗浄液ヘッド７２はヘッドユニット２１に配設されている。これにより、洗浄液を供給するために洗浄液ヘッド７２をフラッシングトレイ５１に対向させる際は、ヘッドユニット２１に搭載された液滴吐出ヘッド１７を捨て吐出を実施するためにフラッシングトレイ５１に対向させる際のフラッシングトレイ５１に対する液滴吐出ヘッド１７の位置に、洗浄液ヘッド７２を位置させることができる。
【０１２１】
（４）洗浄液ヘッド７２及び洗浄液ヘッド２７２は、Ｙ軸方向においてワークＷに向けて機能液を吐出して着弾させることが可能な位置にある液滴吐出ヘッド１７に対して、Ｘ軸方向（主走査方向）に並ぶ位置に配設されている。ワークＷに向けて機能液を吐出して着弾させることが可能な位置にある液滴吐出ヘッド１７は、フラッシングトレイ５１に向けて捨て吐出を実施可能な位置にある。洗浄液ヘッド７２及び洗浄液ヘッド２７２が当該位置にある液滴吐出ヘッド１７とＸ軸方向（主走査方向）に並ぶ位置に配設されていることで、捨て吐出を受けたフラッシングトレイ５１を主走査方向にわずかに相対移動させるだけで、フラッシングトレイ５１を洗浄液ヘッド７２又は洗浄液ヘッド２７２に対向させることができる。
【０１２２】
（５）フラッシングトレイ５１は、ワーク載置台３０の載置台３４に固定されている。これにより、捨て吐出を受けるためにフラッシングトレイ５１を液滴吐出ヘッド１７に対向させる際は、液滴吐出ヘッド１７からワークＷに向けて描画吐出を実施する際に、載置台３４に載置されたワークＷを液滴吐出ヘッド１７に対向させる場合と同様にして、容易に対向させることができる。
【０１２３】
（６）フラッシングトレイ５１は、ワーク載置台３０の載置台３４に対して、Ｘ軸方向（主走査方向）に並ぶ位置に配設されている。これにより、主走査方向の相対移動を一回実施する間に、載置台３４に載置されたワークＷに向けての吐出と、フラッシングトレイ５１に向けての捨て吐出との両方を、略連続して実施することができる。
【０１２４】
（７）フラッシングユニット５０は、フラッシングトレイ５１内の液状体を排出可能な排液装置８１を備えている。排液装置８１を用いて、フラッシングトレイ５１に捨て吐出された機能液を排出することによって、機能液がフラッシングトレイ５１内に滞留して固化することでフラッシングトレイ５１内に蓄積されることを抑制することができる。
【０１２５】
（８）排液装置８１は、排液管８４の流路を開閉する排液バルブ８６を備えている。排液バルブ８６を閉じることで、洗浄液が排液管８４の流路から排液タンク８３の方に、自然に流出することを実質的になくすることができる。
【０１２６】
（９）排液装置８１は吸引ポンプ８８を備えている。吸引ポンプ８８を稼働させることによって、排液タンク８３の内部を負圧にすることができる。排液タンク８３の内部を負圧にすることで、排液タンク８３に連通するトレイ凹部５１ａ内の機能液や洗浄液などを吸引して排出することができる。
【０１２７】
（１０）洗浄液の供給量は、ステップＳ２３において作成された捨て吐出パターンにおいて規定された機能液の捨て吐出量に対応して、洗浄液供給パターンにおいて規定される。これにより、捨て吐出された機能液の量に対して供給される洗浄液の量が過剰であったり不測であったりすることを抑制して、適切な量の洗浄液を供給することができる。
【０１２８】
（１１）液滴吐出ヘッド１７から吐出される機能液の主溶媒が、洗浄液としてフラッシングトレイ５１に供給される。フラッシングトレイ５１の付着物は、主に液滴吐出ヘッド１７から捨て吐出された機能液によるものであるため、機能液の主溶媒によって、容易に溶解することができる。
【０１２９】
（１２）洗浄液ヘッド７２及び洗浄液ヘッド２７２の構造は、液滴吐出ヘッド１７の構造と同様である。このため、洗浄液ヘッド７２及び洗浄液ヘッド２７２は、液滴吐出ヘッド１７と略同等の吐出間隔で稼動させることができる。これにより、洗浄液の供給を迅速に実施して、洗浄液を供給するために要する時間を抑制することができる。
【０１３０】
（１３）洗浄液ヘッド７２及び洗浄液ヘッド２７２は、多数の吐出ノズル１４８又は吐出ノズル２４８から成るノズル列１４８Ａ又はノズル列２４８Ａを備えている。これにより、ノズル列１４８Ａ又はノズル列２４８Ａの長さの範囲に、略均等に洗浄液を配置することができる。また、それぞれの吐出ノズル１４８又は吐出ノズル２４８からの吐出量を個別に調整することで、それぞれの吐出ノズル１４８又は吐出ノズル２４８が対応する部分ごとに洗浄液の配置量を調整することができる。
【０１３１】
（１４）洗浄液ヘッド７２は、液滴吐出装置１のヘッドユニット２１が備える３個の液滴吐出ヘッド１７が有するノズル列４８Ａの全体のＹ軸方向の長さと略同等の長さを有するノズル列１４８Ａを有している。これにより、３個の液滴吐出ヘッド１７が捨て吐出を実施して吐出した機能液が着弾した着弾位置の範囲と略同等の範囲に、洗浄液ヘッド７２とフラッシングトレイ５１とをＹ軸方向に相対移動させることを必要とせずに、洗浄液を配置することができる。
【０１３２】
（１５）洗浄液ヘッド２７２は、液滴吐出装置２０１が備えるワーク載置台３０に載置されたワークＷに機能液を配置可能な位置にある吐出ノズル４８から吐出された機能液が着弾する位置には、ノズル列２４８Ａの吐出ノズル２４８から吐出させて、洗浄液を配置することが可能である。これにより、ワークＷに向けての描画吐出の直後又は直前に実施される捨て吐出において吐出された機能液が着弾した着弾位置の範囲と略同等の範囲に、洗浄液ヘッド２７２を用いて洗浄液を配置することができる。
【０１３３】
（１６）洗浄液供給装置７１又は洗浄液供給装置２７１は、洗浄液ヘッド７２又は洗浄液ヘッド２７２を備え、洗浄液を飛行させてフラッシングトレイ５１に供給している。これにより、洗浄液供給装置７１又は洗浄液供給装置２７１と、フラッシングトレイ５１と、を直接結合することを不要にして、直接結合する場合に比べて、フラッシングトレイ５１が固定されたワーク載置台３０の移動を容易にすることができる。
【０１３４】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【０１３５】
（変形例１）前記実施形態においては、洗浄液供給装置７１又は洗浄液供給装置２７１は、洗浄液ヘッド７２又は洗浄液ヘッド２７２を備え、間隔を隔てて位置するフラッシングトレイ５１に洗浄液を供給していたが、洗浄液供給手段の供給端末と捨て吐出受部とが離れていることは必須ではない。洗浄液供給手段を捨て吐出受部に直接接続して、洗浄液を直接供給する構成であってもよい。
【０１３６】
（変形例２）前記実施形態においては、洗浄液ヘッド７２及び洗浄液ヘッド２７２は、同じ吐出ノズル１４８又は吐出ノズル２４８をそれぞれ複数備えていたが、供給端末（洗浄液供給手段）が備える複数の洗浄液ノズルが同じ形状であることは必須ではない。複数の洗浄液ノズルは、互いに洗浄液ノズル孔のノズル孔径が異なる複数種類の洗浄液ノズルを含む構成であってもよい。
【０１３７】
（変形例３）前記実施形態においては、洗浄液ヘッド７２及び洗浄液ヘッド２７２は、吐出ノズル１４８又は吐出ノズル２４８を複数備えていたが、供給端末（洗浄液供給手段）が複数の洗浄液ノズルを備えることは必須ではない。洗浄液ノズルは、１個であってもよい。
【０１３８】
（変形例４）前記実施形態においては、フラッシングトレイ５１がワーク載置台３０に、ワーク載置台３０と一体に移動可能に固定されていたが、捨て吐出受部を対象物載置台と一体に移動可能に設けることは必須ではない。捨て吐出受部を、対象物載置台とは独立して移動する構成であってもよい。例えば、対象物載置台が液状体吐出ヘッドに対向する位置にない状態では、捨て吐出受部を液状体吐出ヘッドに対向する位置に位置させて、捨て吐出を実施可能な状態にすることもできる。
【０１３９】
（変形例５）前記実施形態においては、排液装置８１は、柔軟に屈曲可能な排液管８４を備え、排液タンク８３とフラッシングトレイ５１とを当該排液管８４で接続することで、移動しない排液タンク８３とワーク載置台３０と一体に移動するフラッシングトレイ５１とを接続していた。しかし、捨て吐出受部と排出手段とが一体に移動しないことは必須ではない。例えば、排液装置８１をワーク載置台３０に固定して、排液装置８１をフラッシングトレイ５１と一体に移動可能にするなど、排出手段が捨て吐出受部と一体に移動可能な構成であってもよい。排出手段が捨て吐出受部と一体に移動することで、排液管８４のような接続手段を簡単にすることができる。
【０１４０】
（変形例６）前記実施形態においては、洗浄液供給装置７１又は洗浄液供給装置２７１が備える洗浄液ヘッド７２及び洗浄液ヘッド２７２は、液滴吐出ヘッド１７の構造と同様の構造を有する液滴吐出ヘッドであったが、洗浄液供給手段が洗浄液を吐出する供給端末として液滴吐出ヘッドを備えることは必須ではない。供給端末は、例えば、ディスペンサーのような吐出手段であってもよい。
【０１４１】
（変形例７）前記実施形態においては、洗浄液供給装置７１又は洗浄液供給装置２７１が備える洗浄液ヘッド７２及び洗浄液ヘッド２７２は、液滴吐出ヘッド１７の構造と同様の構造であるが一部仕様が異なる液滴吐出ヘッドであった。しかし、供給端末が液状体吐出ヘッドと異なることは必須ではない。液状体吐出ヘッドと同じものを、供給端末として用いる構成であってもよい。
【０１４２】
（変形例８）前記実施形態においては、洗浄液は、機能液の主溶媒であったが、洗浄液が機能液の主溶媒であることは必須ではない。捨て吐出受部に付着した付着物を溶解したり、捨て吐出受部の面から剥離させたりして、捨て吐出受部を洗浄できる液状体であればどのようなものであってもよい。
また、機能液が溶媒を含む液状体であることも必須ではない。吐出されて着弾した後、物理的又は化学的に変化して、液体から固体に変化するような物質であってもよい。
【０１４３】
（変形例９）前記実施形態においては、排液装置８１は、排液管８４の流路を開閉する排液バルブ８６を備えていたが、排液装置が排液の流路を開閉する装置を備えることは必須ではない。例えば、排液装置の駆動源の稼動状態を制御することによって洗浄液の供給状態を制御する構成であってもよい。
【０１４４】
（変形例１０）前記実施形態においては、排出手段としての排液装置８１は、吸引ポンプ８８を備え、吸引ポンプ８８によって排液管８４の流路を負圧にしてフラッシングトレイ５１の内部の洗浄液などを吸引していたが、排出手段が吸引ポンプ８８のような負圧形成手段を設けることは必須ではない。排出手段は、例えば、重力によって内部の液状体を排出する構成であってもよい。
【０１４５】
（変形例１１）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、インクジェット方式の液滴吐出ヘッドであったが、液状体吐出ヘッドがインクジェット方式の液滴吐出ヘッドであることは必須ではない。液状体を配置する液状体吐出ヘッドは、インクジェット方式とは異なる方式の吐出ヘッドであってもよい。
【０１４６】
（変形例１２）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、一種類の機能液を吐出する構成であったが、液滴吐出ヘッドが吐出する液状体の種類は一種類に限らない。液滴吐出ヘッドは、複数の液状体供給経路及びそれぞれの液状体供給経路が連通して液状体を供給することができるノズル列を備える構成であってもよい。
【０１４７】
（変形例１３）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド１７は、ノズル列４８Ａを２列備えており、それぞれのノズル列４８Ａは１８０個の吐出ノズル４８を有する構成であったが、液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルの構成は液滴吐出ヘッド１７におけるような構成に限らない。液滴吐出ヘッドが有する吐出ノズルの数は何個であってもよいし、液滴吐出ヘッドにおける吐出ノズルの配列も、例えば１列に配列するなど、どのような配列であってもよい。
【０１４８】
（変形例１４）前記実施形態においては、液滴吐出装置１のヘッドユニット２１は３個の液滴吐出ヘッド１７を備えていたが、ヘッドユニットが備える液滴吐出ヘッドの数は、３個に限らない。ヘッドユニットは、何個の液滴吐出ヘッドを備える構成であってもよい。
【０１４９】
（変形例１５）前記実施形態においては、液滴吐出装置１は１個のヘッドユニット２１を備えていたが、液状体吐出装置が備えるヘッドユニットは１個に限らない。液状体吐出装置は、何個のヘッドユニットを備える構成であってもよい。
【符号の説明】
【０１５０】
１…液滴吐出装置、５…保守ユニット、５ａ…移動装置、６…吐出装置制御部、１７…液滴吐出ヘッド、２１…ヘッドユニット、３０…ワーク載置台、３４…載置台、４６…ノズルプレート、４８…吐出ノズル、４８Ａ…ノズル列、５０…フラッシングユニット、５１…フラッシングトレイ、６７…洗浄吐出制御部、６８…洗浄排出制御部、７１…洗浄液供給装置、７２…洗浄液ヘッド、７３…洗浄液タンク、７４…洗浄液管、７８…洗浄液ポンプ、８１…排液装置、８３…排液タンク、８４…排液管、８６…排液バルブ、８８…吸引ポンプ、１４６…ノズルプレート、１４８…吐出ノズル、１４８Ａ…ノズル列、２０１…液滴吐出装置、２０５…保守ユニット、２０６…吐出装置制御部、２２１…ヘッドユニット、２４８…吐出ノズル、２４８Ａ…ノズル列、２５０…フラッシングユニット、２７１…洗浄液供給装置、２７２…洗浄液ヘッド、２７５…ヘッド支持枠。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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