(57)【要約】【課題】エッチング時に生成した反応生成物を速やかに被エッチング層から離すことにより、被エッチング面内においてエッチングレートが不均一になることを抑制する。【解決手段】まず、基板３００に被エッチング層を形成する。次いで、被エッチング層上にマスクパターンを形成する。次いで、マスクパターンをマスクとして被エッチング層をウェットエッチングする。このウェットエッチングを行う工程において、マスクパターンを下側に向かせて基板３００をエッチング槽１００に浸漬させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に被エッチング層を形成する工程と、
前記被エッチング層上にマスクパターンを形成する工程と、
前記マスクパターンをマスクとして前記被エッチング層をウェットエッチングする工程と、
を備え、
前記ウェットエッチングを行う工程において、前記マスクパターンを下側に向かせて前記基板をエッチング槽に浸漬させる半導体装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体装置の製造方法において、
前記被エッチング層を形成する工程の前に、
前記基板に電極パッドを形成する工程と、
前記電極パッド及びその周囲に、前記電極パッド上に位置する開口部を有する保護絶縁膜を形成する工程と、
前記保護絶縁膜の上に選択的にバンプコアを形成する工程と、
を備え、
前記被エッチング層を形成する工程は、前記バンプコア上、前記保護絶縁膜上、及び前記電極パッド上に、前記被エッチング層としての導電膜を形成する工程であり、
前記被エッチング層をウェットエッチングする工程において、前記導電膜を選択的に除去することにより、前記導電膜及び前記バンプコアからなるバンプ、及び前記電極パッドと前記バンプとを接続する配線を形成する半導体装置の製造方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の半導体装置の製造方法において、
前記基板は、第１の主面であり被エッチング層が形成されている表面と、第２の主面であり前記表面とは反対側の面である裏面とを有しており、
前記ウェットエッチングを行う工程において、
複数の前記基板を互いに平行に並べて前記エッチング槽に浸漬させ、
前記基板の相互間をエッチング液が流れるように、前記エッチング槽内に整流板を設ける半導体装置の製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載の半導体装置の製造方法において、
前記ウェットエッチングを行う工程において、
前記整流板の周囲における前記エッチング液の流れは、前記基板の端面に平行な成分が前記基板の裏面から表面に向かっており、
前記基板の裏面と平行な方向から見た場合に、前記整流板は、前記エッチング液の流れにおいて上流側に向いている面のうち前記基板側の端部が、前記基板の裏面と略面一、又は前記基板の端面と重なっている半導体装置の製造方法。
【請求項５】
請求項３又は４に記載の半導体装置の製造方法において、
前記基板の相互間において、前記基板の裏面側における前記エッチング液の流れは、前記基板の表面側における前記エッチング液の流れより早い半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェットエッチングにより被エッチング膜を選択的に除去する工程を有する半導体装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置には、半導体装置を実装基板に実装するためにバンプなどの外部接続端子が形成されている。近年は、コアを樹脂で形成し、このコア上に導電膜を選択的に形成することにより外部接続端子を形成することが行われている。コアの上に導電膜を選択的に形成する工程においては、ウェットエッチングが用いられる。
【０００３】
なお、特許文献１には、リフトオフ法に用いられる薬液処理装置において、ウェハの表面を下向きにすることが記載されている。特許文献１に記載の技術は、レジストがリフトオフされるときに、レジスト上に位置するメタルが配線パターンと接触することを抑制することを目的としている。すなわちリフトオフにおいてウェハの表面を下向きにすると、ウェハ上からリフトオフし始めた不要なメタルが、自重により下方向に垂れ下がる。これにより、この不要なメタルが配線パターンと接触することが抑制される。
【０００４】
また特許文献２には、電解めっき処理装置において、めっき液をメッキ槽の底面から回収してからメッキ槽の上方から供給することで、めっき液を循環させることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１５１９４９号公報
【特許文献２】特開２００５−２８１７２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ウェットエッチングにおいては、被エッチング層が形成されている被エッチング面内においてエッチャントの濃度が不均一になり、これによって被エッチング面内においてエッチングレートが不均一になることがある。本発明者が検討した結果、この原因の一つが、エッチング時に生成した反応生成物であることが判明した。すなわち、反応生成物は被エッチング層で生成するが、生成した後に被エッチング面の近傍を漂うため、未反応のエッチャントが被エッチング面に接近することを阻害する。このため、エッチング時に生成した反応生成物を速やかに被エッチング面から離すことが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、基板に被エッチング層を形成する工程と、
前記被エッチング層上にマスクパターンを形成する工程と、
前記マスクパターンをマスクとして前記被エッチング層をウェットエッチングする工程と、
を備え、
前記ウェットエッチングを行う工程において、前記マスクパターンを下側に向かせて前記基板をエッチング槽に浸漬させる半導体装置の製造方法が提供される。
【０００８】
本発明によれば、基板は、エッチング槽の中においてマスクパターンが下側に向いた状態にある。このため、エッチング時に生成した反応生成物には、被エッチング層が形成されている被エッチング面から離れる方向に重力が加わる。従って、反応生成物を速やかに被エッチング面から離すことができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、エッチング時に生成した反応生成物を速やかに被エッチング層が形成されている被エッチング面から離すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１の実施形態に用いられるエッチング装置の構成を示す図である。
【図２】第１の実施形態に係る半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図３】第１の実施形態に係る半導体装置の製造方法を説明する断面図である。
【図４】エッチング槽の内部において基板の表面側を下に向けることの効果を説明するための図である。
【図５】図２（ａ）に示した状態の基板を図１に示したエッチング装置を用いてエッチングするときのエッチング液の流れを説明するための模式図である。
【図６】第２の実施形態に係るエッチング装置の構成を示す図である。
【図７】第３の実施形態に係るエッチング装置の構成を示す図である。
【図８】第４の実施形態に係るエッチング装置の構成を示す図である。
【図９】第５の実施形態に係るエッチング装置の構成を示す図である。
【図１０】図９の要部を拡大した図である。
【図１１】整流板を用いないときの問題を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１２】
（第１の実施形態）
本実施形態に係る半導体装置の製造方法は、以下の工程を有する。まず、基板３００に被エッチング層を形成する。次いで、被エッチング層上にマスクパターンを形成する。次いで、マスクパターンをマスクとして被エッチング層をウェットエッチングする。このウェットエッチングを行う工程において、マスクパターンを下側に向かせて基板３００をエッチング槽１００に浸漬させる。以下、詳細に説明する。
【００１３】
図１は、本実施形態に用いられるエッチング装置の構成を示す図である。このエッチング装置は、エッチング槽１００、エッチング液の循環路１２０、基板ホルダー２００、及びホルダー支持部材２１０を有している。
【００１４】
エッチング槽１００はエッチング液を保持している。循環路１２０は、エッチング槽１００の底面に設けられた排出口１０２から、エッチング槽１００が保持しているエッチング液を回収し、エッチング槽１００の上方から再びエッチング液をエッチング槽１００に供給する。循環路１２０には、エッチング液を循環させるためにポンプ１２２が設けられている。なお、エッチング槽１００の液面には、エッチング液より軽い不純物が浮遊している。この不純物は、エッチング槽１００の液面からオーバーフローして、排出口１０２から回収されたエッチング液に合流する経路（図示せず）を通る。そしてこの不純物は、排出口１０２から回収されたエッチング液に含まれている、エッチング液より重い不純物とともに、ポンプ１２２の手前に設置されたフィルター（図示せず）で回収される。このようにエッチング液は、フィルターによって濾過されてポンプ１２２及び循環路１２０を通過する。
【００１５】
基板ホルダー２００は、複数の基板３００を互いに平行に並べた状態で保持する。基板ホルダー２００は、基板３００を垂直な状態で保持する。基板ホルダー２００をエッチング槽１００が保持しているエッチング液に浸漬させることにより、複数の基板３００に対して同時にウェットエッチングが行われる。
【００１６】
ホルダー支持部材２１０は、基板ホルダー２００をエッチング槽１００に浸漬させるときに、基板ホルダー２００の下部を保持する。ホルダー支持部材２１０は、基板３００の表面側が下に向く方向に基板ホルダー２００を傾けて保持する。このため、基板３００がエッチング槽１００に浸漬した状態では、基板３００に形成された被エッチング層及びマスクパターンは下方を向いている。なおエッチング槽１００の中においてエッチング液は、上から下に向けて流れる。このため、エッチング液は、基板３００の相互間を流れる。なお本実施形態において基板３００の表面とは、基板３００が有する２つの主面のうち被エッチング層を有する側の面を意味している。また基板３００の裏面とは、基板３００が有する２つの主面のうち表面とは反対側の面を意味している。
【００１７】
次に、図２及び図３を用いて、本実施形態に係る半導体装置の製造方法を説明する。この半導体装置の製造方法は、樹脂製のバンプコアを用いてバンプを形成する方法である。
【００１８】
まず図２（ａ）に示すように、基板３００の第１の主面（被エッチング面）に多層配線層３１０を形成する。基板３００は、例えばシリコンウェハである。多層配線層３１０の最上層の配線層には、電極パッド３３０が形成されている。次いで、多層配線層３１０上に保護絶縁膜３２０を形成する。次いで、保護絶縁膜３２０を選択的に除去することにより、保護絶縁膜３２０に、パッド３３０上に位置する開口３２２を形成する。
【００１９】
次いで、保護絶縁膜３２０上に絶縁樹脂層を形成し、この絶縁樹脂層を選択的に除去する。これにより、保護絶縁膜３２０上に複数のバンプコア３４２が形成される。
【００２０】
次いで、電極パッド３３０上、保護絶縁膜３２０上、及びバンプコア３４２上に導電膜４００を形成する。導電膜４００は、例えばＡｕ膜である。次いで、導電膜４００上にレジスト膜を形成し、このレジスト膜を露光及び現像する。これにより、導電膜４００上にはレジストパターン５００が形成される。
【００２１】
次いで、図２（ａ）に示した状態の基板３００を、図１に示したエッチング装置を用いてエッチングする。エッチング液には、例えばＫＩ３水溶液が用いられる。これにより、図２（ｂ）に示すように、導電膜４００のうちレジストパターン５００に覆われていない部分は除去される。これにより、バンプ３４０及び配線３５０が形成される。バンプ３４０は、導電膜３４４及びバンプコア３４２から形成されている。配線３５０は、電極パッド３３０とバンプ３４０を接続している。
【００２２】
その後、図３に示すようにレジストパターン５００を除去する。
【００２３】
図４は、エッチング槽１００の内部において基板３００の表面側を下に向けることの効果を説明するための図である。エッチング槽１００の中において導電膜４００をエッチングすると、基板３００の表面の近傍に反応生成物５０が生成する。反応生成物５０には、重力α、基板３００と反応生成物５０の間で生じる分子間相互作用と静電気相互作用のバランスで決まる吸着力β、及びエッチング液の流れに吸引される力γの合成力δが加わる。基板３００の表面側が下を向いているため、重力αは、基板３００から離れる方向を向いている。このため、反応生成物５０に加わる合成力δは、基板３００から離れる方向になる。従って、反応生成物５０は速やかに基板３００の表面から離れる。
【００２４】
図５は、図２（ａ）に示した状態の基板３００をウェットエッチングするときのエッチング液の流れを説明するための模式図である。図２（ａ）に示した状態のバンプコア３４２は、図２（ａ）に示した断面とは垂直な方向に長く延伸している。そして図３に示すように、一つのバンプコア３４２の一部を利用することにより、一つのバンプコア３４２によって複数のバンプ３４０及び配線３５０が形成される。
【００２５】
レジストパターン５００は、一つのバンプ３４０及び配線３５０それぞれに対して一つ形成される。上記したように、一つのバンプコア３４２によって複数のバンプ３４０及び配線３５０が形成される。このため、複数のレジストパターン５００が互いに間隔をあけて、一つのバンプコア３４２を縦断するように設けられる。
【００２６】
そしてエッチング液は、図中実線の矢印で示すように、レジストパターン５００によって整流された状態で、レジストパターン５００の間を流れてくる。しかし、レジストパターン５００の間には、バンプコア３４２のうちレジストパターン５００によって被覆されていない部分が位置している。このため、レジストパターン５００の間を流れてきたエッチング液は、図中点線で示すように、バンプコア３４２によって一部がレジストパターン５００の側面に向かって流れる。このため、基板３００の表面におけるエッチング液の流れが速いと、レジストパターン５００の周囲に新たなエッチング液が供給されやすくなるため、被エッチング層である導電膜４００のうちレジストパターン５００で被覆されている領域のサイドエッチング量が増加する。そして処理時間が長くなると、導電膜４００のみではなくレジストパターン５００も側面から劣化し、レジストパターン５００のマスク性が劣化してしまう。
【００２７】
これに対して図１に示したエッチング装置では、エッチング槽１００の内部において上から下に向けてエッチング液が流れる。そしてエッチング槽１００の内部において、基板３００は、表面側が下に向いている。このため、上から下に向けて流れてきたエッチング液は、基板３００の裏面側によって整流され、基板３００の裏面に沿って流れる。従って、基板３００の相互間を流れるエッチング液は、基板３００の裏面側で流れが速くなり、基板３００の表面側で遅くなる。このため、上記したサイドエッチング量の増加とレジストパターン５００の劣化が抑制される。また、この流速の差が図４のエッチング液の流れに吸引される力γを大きくし、反応生成物５０を、より早く、より確実に基板３００の表面から離す。
【００２８】
以上、本実施形態によれば、エッチング槽１００の内部において基板３００の表面側が下を向いている。従って、反応生成物５０に加わる重力αは、基板３００から離れる方向を向いている。このため、反応生成物５０に加わる力の合成力δは、基板３００から離れる方向になる。従って、反応生成物５０は速やかに基板３００から離れる。
【００２９】
（第２の実施形態）
図６は、第２の実施形態に係るエッチング装置の構成を示す図である。このエッチング装置は、循環路１２０からエッチング槽１００にエッチング液を供給するための供給管１２５を有する点を除いて、第１の実施形態で用いたエッチング装置と同様の構成である。供給管１２５は先端がエッチング槽１００内のエッチング液の中に入り込んでいる。また供給管１２５の延伸方向は、エッチング槽１００の中における基板３００と平行である。このエッチング装置を用いた半導体装置の製造方法は、第１の実施形態と同様である。
【００３０】
本実施形態でも、第１の実施形態と同様に、反応生成物５０に加わる力の合成力δは、基板３００から離れる方向になる。従って、反応生成物５０は速やかに基板３００から離れる。また、供給管１２５の延伸方向は、エッチング槽１００の中における基板３００と平行であるため、供給管１２５から供給されたエッチング液の流れは、基板３００と平行になる。このため、基板３００の相互間におけるエッチング液の流速は速くなる。従って、図４に示した反応生成物５０に加わる力のうちエッチング液の流れに吸引される力γは、第１の実施形態と比較して大きくなる。従って、反応生成物５０はさらに速やかに基板３００の表面から離れる。
【００３１】
（第３の実施形態）
図７は、第３の実施形態に係るエッチング装置の構成を示す図である。このエッチング装置は、エッチング槽１００の側面に排出口１０２が設けられており、またエッチング槽１００の側面のうち排出口１０２と対向する領域に、エッチング液を戻す導入口１２４が設けられている。そしてエッチング槽１００の内部において基板ホルダー２００は、基板３００が水平かつ表面が下向きとなるように、ホルダー支持部材２１０によって支持されている。このエッチング装置を用いた半導体装置の製造方法は、第２の実施形態と同様である。
【００３２】
本実施形態において、エッチング槽１００の内部におけるエッチング液の流れは、横向きである。上記したように基板３００は水平に配置されているため、エッチング液は基板３００の相互間を流れる。
【００３３】
本実施形態によっても、第１の実施形態と同様に、反応生成物５０に加わる力の合成力δは、基板３００から離れる方向になる。従って、反応生成物５０は速やかに基板３００の表面から離れる。
【００３４】
（第４の実施形態）
図８は、第４の実施形態に係るエッチング装置の構成を示す図である。このエッチング装置は、エッチング槽１００の内部において、基板ホルダー２００が、基板３００が斜めとなるようにホルダー支持部材２１０によって支持される点を除いて、第３の実施形態に係るエッチング装置と同様の構成である。このエッチング装置を用いた半導体装置の製造方法は、第１の実施形態と同様である。
【００３５】
基板３００は、エッチング液の流れにおける上流側が、下流側よりも下に位置するように傾いている。このため、エッチング液は、基板３００の裏面側によって整流され、基板３００の裏面に沿って流れる。従って、基板３００の相互間を流れるエッチング液は、基板３００の裏面側で流れが速くなり、基板３００の表面側で遅くなる。
【００３６】
本実施形態によっても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００３７】
（第５の実施形態）
図９は、第５の実施形態に係るエッチング装置の構成を示す図である。このエッチング装置は、以下の点を除いて第１の実施形態で用いたエッチング装置と同様の構成である。
【００３８】
まず、エッチング液の循環路１２０は、エッチング液を、エッチング槽１００の側面のうち基板３００の裏面に対向する領域の上部からエッチング槽１００に供給する。そしてエッチング槽１００内においてエッチング液は、エッチング槽１００の側面の上部から供給された後、エッチング槽１００の下方に向かって流れる。
【００３９】
またエッチング槽１００の中には整流板２２０が設けられている。整流板２２０は、基板３００の相互間をエッチング液が流れるように、基板３００それぞれの上方に配置されている。
【００４０】
なお、エッチング槽１００の内部において基板３００は表面側が下を向いている。このため、第１の実施形態と同様に、反応生成物５０に加わる力の合成力δは、基板３００から離れる方向になる。従って、反応生成物５０は速やかに基板３００の表面から離れる。
【００４１】
図１０は、図９の要部を拡大した図である。上記したように、エッチング槽１００においてエッチング液は、側面のうち基板３００の裏面に対向する領域の上部から供給されている。このため、整流板２２０の周囲においてエッチング液の流れは水平方向の成分を有している。この水平方向の成分は、基板３００の裏面から表面に向かう方向に向いている。このため、整流板２２０の周囲におけるエッチング液の流れは、基板３００の端面３０６に平行な成分が基板３００の裏面３０４から表面３０２に向かっている。
【００４２】
そして、基板３００の裏面３０４と平行な方向から見た場合に、整流板２２０は、エッチング液の流れにおいて上流側に向いている面２２２のうち基板３００側の端部が、基板３００の裏面３０４と略面一、又は基板３００の端面３０６と重なっている。このため、エッチング液は、整流板２２０の面２２２に当たって、基板３００の裏面３０４と平行な方向に整流され、その後基板３００の裏面３０４に沿って流れる。従って、基板３００の相互間を流れるエッチング液は、基板３００の裏面３０４側で流れが速くなり、基板３００の表面３０２側で遅くなる。このため、図５を用いて説明したサイドエッチング量の増加とレジストパターン５００の劣化が抑制される。また、この流速の差が図４のエッチング液の流れに吸引される力γを大きくし、反応生成物５０を、より早く、より確実に基板３００の表面から離す。
【００４３】
なお、整流板２２０を用いない場合、図１１に示すように、エッチング液は基板３００の裏面３０４によって整流される。この場合、エッチング液の一部は基板３００の相互間の領域で渦を形成する。基板３００の表面３０２のうちこの渦にあたる部分は、他の部分と比較してエッチングレートが早くなる。整流板２２０を用いると、このような問題が生じることを抑制できる。
【００４４】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【符号の説明】
【００４５】
５０ 反応生成物
１００ エッチング槽
１０２ 排出口
１２０ 循環路
１２２ ポンプ
１２４ 導入口
１２５ 供給管
２００ 基板ホルダー
２１０ ホルダー支持部材
２２０ 整流板
２２２ 面
３００ 基板
３０２ 表面
３０４ 裏面
３０６ 端面
３１０ 多層配線層
３２０ 保護絶縁膜
３２２ 開口
３３０ 電極パッド
３４０ バンプ
３４２ バンプコア
３４４ 導電膜
３５０ 配線
４００ 導電膜
５００ レジストパターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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