(57)【要約】【課題】キャビティ基板のスクリーン印刷に用いられるマスクのクリーニングを十分に行うことができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機のマスクのクリーニング方法を提供することを目的とする。【解決手段】マスク１３に対して相対移動し、ノズル部４１の上端にペーパー部材４２を掛け渡して形成したマスク接触領域Ｒをキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣの各凸状部１３ｔの下面に順次接触させて各凸状部１３ｔの下面に付着したペーストＰｓｔを除去するクリーニング装置１６を備える。クリーニング装置１６は、キャビティ部対応マスク領域ＭＲＣの凸状部１３ｔの下面に付着したペーストＰｓｔの除去を行っている間に、ペーパー部材４２がマスク１３に対して摺動する巻き取り方向及び巻き取り速度でペーパー部材４２の巻き取りを行うペーパー部材巻き取り機構５７を有する。【選択図】図８
2011126052.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板本体の上面の一部に形成された複数の開口部それぞれの底面に設けられた複数の第１電極及び基板本体の上面に設けられた複数の第２電極を有する基板の位置決めを行う基板位置決め部と、基板本体の開口部に嵌合する下方に突出した形状の複数の凸状部のそれぞれに第１電極に対応する第１のパターン孔が形成された第１マスク領域及び第１マスク領域とは異なる領域として設けられて第２電極に対応する第２のパターン孔が形成された平板状の第２マスク領域を有したマスクとを備え、基板位置決め部に位置決めされた基板の上面にマスクの第１マスク領域を接触させて第１電極にスクリーン印刷を行った後、前記基板の上面にマスクの第２マスク領域を接触させて第２電極にスクリーン印刷を行うスクリーン印刷機であって、
マスクに対して相対移動し、ペーパー部材支持部の上端にペーパー部材を掛け渡して形成したマスク接触領域を第１マスク領域の各凸状部の下面に順次接触させて第１マスク領域の各凸状部の下面に付着したペーストを除去するとともに、マスク接触領域を第２マスク領域の下面に接触させて第２マスク領域の下面に付着したペーストを除去するクリーニング装置を備え、
クリーニング装置は、第１マスク領域の凸状部の下面に付着したペーストの除去を行っている間に、ペーパー部材がマスクに対して摺動する巻き取り方向及び巻き取り速度でペーパー部材の巻き取りを行うペーパー部材巻き取り手段を有したことを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項２】
基板本体の上面の一部に形成された複数の開口部それぞれの底面に設けられた複数の第１電極及び基板本体の上面に設けられた複数の第２電極を有する基板の位置決めを行う基板位置決め部と、基板本体の開口部に嵌合する下方に突出した形状の複数の凸状部のそれぞれに第１電極に対応する第１のパターン孔が形成された第１マスク領域及び第１マスク領域とは異なる領域として設けられて第２電極に対応する第２のパターン孔が形成された平板状の第２マスク領域を有したマスクとを備え、基板位置決め部に位置決めされた基板の上面にマスクの第１マスク領域を接触させて第１電極にスクリーン印刷を行った後、前記基板の上面にマスクの第２マスク領域を接触させて第２電極にスクリーン印刷を行うスクリーン印刷機のマスクのクリーニング方法であって、
ペーパー部材支持部の上端にペーパー部材を掛け渡してマスク接触領域を形成したクリーニング装置をマスクに対して相対移動させ、マスク接触領域を第１マスク領域の各凸状部の下面に順次接触させて第１マスク領域の各凸状部の下面に付着したペーストを除去する工程と、
クリーニング装置をマスクに対して相対移動させ、マスク接触領域を第２マスク領域の下面に接触させて第２マスク領域の下面に付着したペーストを除去する工程とを含み、
第１マスク領域の各凸状部の下面に付着したペーストを除去する工程において、第１マスク領域の凸状部の下面に付着したペーストの除去を行っている間に、ペーパー部材が第１マスク領域に対して摺動する巻き取り方向及び巻き取り速度でペーパー部材の巻き取りを行うことを特徴とするスクリーン印刷機のマスクのクリーニング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板本体の上面及び基板本体の上面に形成された開口部の底面に電極を有するいわゆるキャビティ基板にスクリーン印刷を施すスクリーン印刷機及びこのスクリーン印刷機のマスクのクリーニング方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品が実装される基板の中には、基板本体の上面のほか基板本体の上面に形成された開口部（キャビティ部）の底面にも電極を有したいわゆるキャビティ基板が知られている。このキャビティ基板は電子部品を三次元に配置できるため、小型でありながら高密度化な基板を構成することができる。
【０００３】
このようなキャビティ基板のキャビティ部の底面に設けられた電極（キャビティ部電極）と基板本体の上面に設けられた電極（フラット部電極）とに半田等のペーストを印刷するには、キャビティ部に嵌合する下方に突出した形状の凸状部にキャビティ部電極に応じたパターン孔を有した第１マスク領域と、フラット部電極に応じたパターン孔を有した平板状の第２マスク領域とを互いに異なる領域として備えたマスクを有するスクリーン印刷機が用いられる。
【０００４】
このようなスクリーン印刷機では、基板へのスクリーン印刷を終えた後、次に投入される基板に対するスクリーン印刷に備えるため、マスクに対して相対移動し、上端にペーパー部材を掛け渡して形成したマスク接触領域をマスクの下面に接触させてマスクの下面に付着したペーストを除去するクリーニング装置を備えたものが知られている（例えば特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−６６８３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、キャビティ部に嵌合する凸状部を有した第１マスク領域の下面をクリーニング装置によってクリーニングする場合、各凸状部の下面にペーパー部材を順次接触させていくと、ひとつの凸状部の下面のペーストの除去が終わった後、ペーパー部材が次にクリーニングを行う凸状部に接触するときに、前の凸状部から除去したペーストが次の凸状部に擦り付けられてしまうことがあり、マスクのクリーニングが不十分となって、スクリーン印刷の印刷精度が悪化する場合があるという問題点があった。
【０００７】
そこで本発明は、キャビティ基板のスクリーン印刷に用いられるマスクのクリーニングを十分に行うことができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機のマスクのクリーニング方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載のスクリーン印刷機は、基板本体の上面の一部に形成された複数の開口部それぞれの底面に設けられた複数の第１電極及び基板本体の上面に設けられた複数の第２電極を有する基板の位置決めを行う基板位置決め部と、基板本体の開口部に嵌合する下方に突出した形状の複数の凸状部のそれぞれに第１電極に対応する第１のパターン孔が形成された第１マスク領域及び第１マスク領域とは異なる領域として設けられて第２電極に
対応する第２のパターン孔が形成された平板状の第２マスク領域を有したマスクとを備え、基板位置決め部に位置決めされた基板の上面にマスクの第１マスク領域を接触させて第１電極にスクリーン印刷を行った後、前記基板の上面にマスクの第２マスク領域を接触させて第２電極にスクリーン印刷を行うスクリーン印刷機であって、マスクに対して相対移動し、ペーパー部材支持部の上端にペーパー部材を掛け渡して形成したマスク接触領域を第１マスク領域の各凸状部の下面に順次接触させて第１マスク領域の各凸状部の下面に付着したペーストを除去するとともに、マスク接触領域を第２マスク領域の下面に接触させて第２マスク領域の下面に付着したペーストを除去するクリーニング装置を備え、クリーニング装置は、第１マスク領域の凸状部の下面に付着したペーストの除去を行っている間に、ペーパー部材がマスクに対して摺動する巻き取り方向及び巻き取り速度でペーパー部材の巻き取りを行うペーパー部材巻き取り手段を有した。
【０００９】
請求項２に記載のスクリーン印刷機のマスクのクリーニング方法は、基板本体の上面の一部に形成された複数の開口部それぞれの底面に設けられた複数の第１電極及び基板本体の上面に設けられた複数の第２電極を有する基板の位置決めを行う基板位置決め部と、基板本体の開口部に嵌合する下方に突出した形状の複数の凸状部のそれぞれに第１電極に対応する第１のパターン孔が形成された第１マスク領域及び第１マスク領域とは異なる領域として設けられて第２電極に対応する第２のパターン孔が形成された平板状の第２マスク領域を有したマスクとを備え、基板位置決め部に位置決めされた基板の上面にマスクの第１マスク領域を接触させて第１電極にスクリーン印刷を行った後、前記基板の上面にマスクの第２マスク領域を接触させて第２電極にスクリーン印刷を行うスクリーン印刷機のマスクのクリーニング方法であって、ペーパー部材支持部の上端にペーパー部材を掛け渡してマスク接触領域を形成したクリーニング装置をマスクに対して相対移動させ、マスク接触領域を第１マスク領域の各凸状部の下面に順次接触させて第１マスク領域の各凸状部の下面に付着したペーストを除去する工程と、クリーニング装置をマスクに対して相対移動させ、マスク接触領域を第２マスク領域の下面に接触させて第２マスク領域の下面に付着したペーストを除去する工程とを含み、第１マスク領域の各凸状部の下面に付着したペーストを除去する工程において、第１マスク領域の凸状部の下面に付着したペーストの除去を行っている間に、ペーパー部材が第１マスク領域に対して摺動する巻き取り方向及び巻き取り速度でペーパー部材の巻き取りを行う。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、ペーパー部材のマスク接触領域を第１マスク領域の凸状部の下面に接触させてその部分に付着したペーストの除去を行っている間に、ペーパー部材が第１マスク領域に対して摺動する巻き取り方向及び巻き取り速度でペーパー部材の巻き取りを行うようになっているので、ひとつの凸状部のペーストの除去を終えた後、次にペーストの除去を行う凸状部にペーパー部材が接触したときに、前の凸状部から除去したペーストが後の凸状部に擦り付けられてしまうことがない。このため、キャビティ基板のスクリーン印刷に用いられるマスクのクリーニングを十分に行うことができ、印刷精度を向上させることができる。また、凸状部の下面に付着したペーストの除去を行っている間にペーパー部材の巻き取りを行うことから、凸状部同士が極めて近い距離で隣接している場合であっても、前の凸状部から除去したペーストが後の凸状部に擦り付けられてしまう事態を確実に防止することができる。また、ペーパー部材は、第１マスク領域に対して摺動する巻き取り方向及び巻き取り速度で巻き取られるので、ペーパー部材は凸状部の下面に対してこすられ、ペーストはペーパー部材によって効率よく除去される。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の平面図
【図２】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の概略構成図
【図３】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が印刷対象とするキャビティ基板の（ａ）平面図（ｂ）側断面図
【図４】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクの（ａ）平面図（ｂ）側断面図
【図５】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるクリーニング装置の（ａ）斜視図（ｂ）部分側断面図
【図６】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図７】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図８】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるクリーニング装置の動作説明図
【図９】本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるクリーニング装置の動作説明図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１において、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は、その上流側から投入された基板２の搬入及び位置決めを行ってスクリーン印刷を施した後、図示しない下流側の装置（例えば部品実装機）に搬出する。以下、説明の便宜上、基板２の搬送方向である水平面内方向（図１の紙面左右方向）をＸ軸方向、Ｘ軸方向と直交する水平面内方向（図１の紙面上下方向）をＹ軸方向とする。また、上下方向（図１の紙面に垂直な方向）をＺ軸方向とする。
【００１３】
図１及び図２において、スクリーン印刷機１は、基台１１の上に基板２の位置決めを行う一対のコンベア機構から成る基板位置決め部１２を備えており、基板位置決め部１２の上方にはスクリーン印刷用のマスク１３のほか、ペースト供給ヘッド１４、カメラユニット１５及びクリーニング装置１６をそれぞれ基台１１に対して移動自在に備えている。また、図１において、基台１１上における基板位置決め部１２の基板２の搬送方向（Ｘ軸方向）の前後の位置には、外部から投入された基板２を搬入して（図１中に示す矢印Ａ）、基板位置決め部１２に基板２を受け渡す一対のコンベア機構から成る基板搬入部１２ａと、基板位置決め部１２から受け取った基板２を外部に搬出する一対のコンベア機構から成る基板搬出部１２ｂを備えている。
【００１４】
図３（ａ），（ｂ）において基板２は、下層側基板部材２１ａの上面に上層側基板部材２１ｂが貼り合わされて成る基板本体２１をベースに構成されている。基板本体２１の上面（上層側基板部材２１ｂの上面）には複数のフラット部電極ｆｄが設けられており、基板本体２１の上面の一部（上層側基板部材２１ｂの一部）に設けられた開口部であるキャビティ部ＣＶの底面（下層側基板部材２１ａの上面）には複数のキャビティ部電極ｃｄが設けられている。すなわちこの基板２は、基板本体２１の上面の一部に形成された複数のキャビティ部ＣＶそれぞれの底面に設けられた複数のキャビティ部電極ｃｄ（第１電極）及び基板本体２１の上面に設けられた複数のフラット部電極ｆｄ（第２電極）を有したキャビティ基板となっている。
【００１５】
図４（ａ），（ｂ）において、マスク１３は全体として矩形形状を有しており、その四辺は枠部材１３ｗによって支持されている。そして、枠部材１３ｗによって囲まれた矩形の領域には、互いに別個の領域であるキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣとフラット部対応マスク領域ＭＲＦが設けられている。
【００１６】
キャビティ部対応マスク領域ＭＲＣには、基板２の複数のキャビティ部ＣＶのそれぞれに嵌合する下方に突出した形状の複数の凸状部１３ｔが設けられており、各凸状部１３ｔには下層側基板部材２１ａの上面（キャビティ部ＣＶの底面）に設けられた複数のキャビ
ティ部電極ｃｄに対応する複数の第１のパターン孔Ｈ１が設けられている。一方、フラット部対応マスク領域ＭＲＦには、上層側基板部材２１ｂの上面に設けられた複数のフラット部電極ｆｄに対応する複数の第２のパターン孔Ｈ２が設けられている。
【００１７】
図４（ａ）から分かるように、キャビティ部対応マスク領域ＭＲＣはマスク１３の短辺方向（Ｘ軸方向）と平行なマスク１３の中心線ＣＬを挟んで位置する２つのマスク１３の領域のうちの一方側から成っており、フラット部対応マスク領域ＭＲＦは中心線ＣＬを挟んで位置する２つのマスク１３の領域の他方側から成っている。このように本実施の形態におけるマスク１３は、下方に突出した形状の複数の凸状部１３ｔを備えたキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣ（第１マスク領域）及びキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣとは異なる領域として設けられた平板状のフラット部対応マスク領域ＭＲＦ（第２マスク領域）を有する、キャビティ基板対応のマスクとなっている。
【００１８】
図２において、スクリーン印刷機１が備える基板位置決め部１２はその全体が水平面内方向（ＸＹ面内方向）及び上下方向（Ｚ軸方向）に移動自在に設けられており、基板位置決め部１２全体を移動させることにより、基板位置決め部１２により位置決めした基板２をマスク１３に対して位置合わせすることができる。
【００１９】
図２において、スクリーン印刷機１が備えるペースト供給ヘッド１４はマスク１３の上方において水平面内方向（ＸＹ面内方向）及び上下方向（Ｚ軸方向）に移動自在に設けられており、下部にはＹ軸方向に対向する２つのガイド部材１４ａを備えている。各ガイド部材１４ａはＸ軸方向に延びた「へら」状の部材から成り、ペースト供給ヘッド１４に内蔵されたペーストカートリッジ１４ｂより下方に供給（圧送）されるペーストＰｓｔがマスク１３上の目的とする箇所に集中して供給されるようにペーストＰｓｔの流路のガイドを行う。
【００２０】
図２及び図５（ａ），（ｂ）において、スクリーン印刷機１が備えるクリーニング装置１６は、全体が水平面内方向（ここではＹ軸内方向）に移動自在に設けられており（図１中に示す矢印Ｂ）、上端が水平で矩形の筒状閉断面に形成されたペーパー部材支持部であるノズル部４１及びＹ軸方向に延び、ノズル部４１の上端をＹ軸方向に通過するように掛け渡されて配置されたペーパー部材４２を有して成る。ノズル部４１の上端に掛け渡されたペーパー部材４２の一部は、ノズル部４１によってマスク１３の下面に下方から接触されるマスク接触領域Ｒ（図５（ｂ）及び図２）を形成している。
【００２１】
クリーニング装置１６は、マスク接触領域Ｒをマスク１３の下面に接触させた状態でマスク１３に対して相対移動することにより、マスク１３の下面に付着したペーストＰｓｔを除去する（拭き取る）。ノズル部４１をＹ軸方向に挟む位置には一対のローラ部材４３が設けられており、ペーパー部材４２はこれら一対のローラ部材４３の回転動作によって巻き取られてマスク接触領域Ｒの更新がなされる。
【００２２】
図２及び図５（ａ），（ｂ）において、クリーニング装置１６のノズル部４１の内部は上下に貫通する空気吸引管路４１ａとなっており、この空気吸引管路４１ａ内に真空圧を供給することにより、ペーパー部材４２のマスク接触領域Ｒを介して空気吸引管路４１ａ内に空気を吸引することができる。
【００２３】
基板搬入部１２ａ、基板位置決め部１２及び基板搬出部１２ｂの作動による基板２の搬送動作は、スクリーン印刷機１が備える制御装置５０（図２）が図示しないアクチュエータ等から成る基板搬送機構５１（図２）の作動制御を行うことによってなされる。また、基板位置決め部１２全体の水平面内方向及び上下方向への移動による基板２のマスク１３に対する位置合わせ動作は、スクリーン印刷機１が備える制御装置５０が図示しないアク
チュエータ等から成る基板位置決め機構５２（図２）の作動制御を行うことによってなされる。
【００２４】
ペースト供給ヘッド１４の水平面内方向及び上下方向への移動によるペースト供給ヘッド１４のマスク１３に対する位置決め動作は、制御装置５０が図示しないアクチュエータ等から成るペースト供給ヘッド移動機構５３（図２）の作動制御を行うことによってなされ、ペースト供給ヘッド１４からのペーストＰｓｔの供給動作は、制御装置５０が図示しないアクチュエータ等から成るペースト供給機構５４（図２）の作動制御を行うことによってなされる。
【００２５】
図２において、カメラユニット１５は撮像視野を上方に向けた第１カメラ１５ａ及び撮像視野を下方に向けた第２カメラ１５ｂから成り、カメラユニット１５のマスク１３の下方での水平面内方向への移動動作は、制御装置５０が図示しないアクチュエータ等から成るカメラ移動機構５５の作動制御を行うことによってなされる。また、第１カメラ１５ａ及び第２カメラ１５ｂの撮像動作制御は制御装置５０によってなされ、第１カメラ１５ａ及び第２カメラ１５ｂの撮像動作によって得られた画像データは制御装置５０に入力される（図２）。
【００２６】
クリーニング装置１６のマスク１３に対する位置決め及びＹ軸方向への移動動作は、制御装置５０が図示しないアクチュエータ等から成るクリーニング装置移動機構５６（図２）の作動制御を行うことによってなされる。また、一対のローラ部材４３によるペーパー部材４２の巻き取り動作は、制御装置５０が図示しないアクチュエータ等から成るペーパー部材巻き取り機構５７（図２）の作動制御を行うことによってなされる。また、空気吸引管路４１ａ内に真空圧を供給して行うペーパー部材４２のマスク接触領域Ｒを介した空気の吸引動作は、制御装置５０が図示しないアクチュエータ等から成る吸引機構５８（図２）の作動制御を行うことによってなされる。
【００２７】
このスクリーン印刷機１による基板２へのスクリーン印刷の実行工程では、先ず、基板２がスクリーン印刷機１の基板搬入部１２ａに投入される。スクリーン印刷機１の制御装置５０は、図示しない検出器により、基板搬入部１２ａに基板２が投入されたことを検知したら、基板搬送機構５１を作動させ、基板搬入部１２ａから基板位置決め部１２に基板２を受け渡させて基板位置決め部１２に基板２を位置決めさせる（基板位置決め工程）。そして、基板位置決め部１２に基板２を位置決めさせたら、基板位置決め機構５２を作動させて、基板位置決め部１２ごと基板２を移動させ、マスク１３のキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣ内の第１のパターン孔Ｈ１と基板２に設けられたキャビティ部電極ｃｄとが上下に対向するようにマスク１３（キャビティ部対応マスク領域ＭＲＣ）に対する基板２の位置合わせを行う（図６（ａ）。第１の位置合わせ工程）。
【００２８】
このキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣに対する基板２の位置合わせでは、スクリーン印刷機１の制御装置５０は、カメラ移動機構５５の作動制御を行うことにより、キャビティ部対応マスク領域ＭＲＣの下方でカメラユニット１５を水平移動させ、第１カメラ１５ａによってキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣ内に設けられたマスク側位置決めマーク（図示せず）を撮像（画像認識）するとともに、第２カメラ１５ｂによって基板２に設けられた基板側位置決めマーク（図示せず）を撮像（画像認識）し、これら両位置決めマークが上下方向に一致するように基板２を移動させる。
【００２９】
スクリーン印刷機１の制御装置５０は、上記第１の位置合わせ工程が終了したら、基板位置決め機構５２を作動させて、基板位置決め部１２ごと基板２を上昇させ（図６（ａ）中に示す矢印Ｃ１）、基板２の上面をマスク１３の下面に接触させる。これによりマスク１３の凸状部１３ｔと基板２のキャビティ部ＣＶが上下に嵌合し、キャビティ部対応マス
ク領域ＭＲＣ内の第１のパターン孔Ｈ１と基板２のキャビティ部電極ｃｄとが上下に合致した状態となる（図６（ｂ）。第１のマスク接触工程）。
【００３０】
スクリーン印刷機１の制御装置５０は、上記第１のマスク接触工程が終了したら、ペースト供給ヘッド１４のガイド部材１４ａをマスク１３のキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣの上面に接触させたうえで、ペースト供給ヘッド１４からマスク１３のキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣ内（凸状部１３ｔ内）にペーストＰｓｔを供給させる。これによりマスク１３の第１のパターン孔Ｈ１内にペーストＰｓｔが充填される（図６（ｃ）。第１のペースト充填工程）。
【００３１】
スクリーン印刷機１の制御装置５０は、上記第１のペースト充填工程が終了したら、基板位置決め機構５２を作動させて、基板位置決め部１２ごと基板２を下降させ（図６（ｄ）中に示す矢印Ｃ２）、基板２とマスク１３（キャビティ部対応マスク領域ＭＲＣ）を上下方向に相対的に離間させる（図６（ｄ））。これによりペーストＰｓｔの版抜けが行われ、基板２の各キャビティ部電極ｃｄ上にペーストＰｓｔが印刷（転写）される（第１の版抜け工程）。
【００３２】
スクリーン印刷機１の制御装置５０は、上記第１の版抜け工程が終了したら、基板位置決め機構５２を作動させて、基板位置決め部１２ごと基板２をＹ軸方向へ移動させ、マスク１３のフラット部対応マスク領域ＭＲＦ内の第２のパターン孔Ｈ２と基板２に設けられたフラット部電極ｆｄとが上下に対向するようにマスク１３（フラット部対応マスク領域ＭＲＦ）に対する基板２の位置合わせを行う（図７（ａ）。第２の位置合わせ工程）。
【００３３】
このフラット部対応マスク領域ＭＲＦに対する基板２の位置合わせでは、スクリーン印刷機１の制御装置５０は、カメラ移動機構５５の作動制御を行うことにより、フラット部対応マスク領域ＭＲＦの下方でカメラユニット１５を水平移動させ、第１カメラ１５ａによってフラット部対応マスク領域ＭＲＦ内に設けられたマスク側位置決めマーク（図示せず）を撮像（画像認識）するとともに、第２カメラ１５ｂによって基板２に設けられた基板側位置決めマーク（図示せず）を撮像（画像認識）し、これら両位置決めマークが上下方向に一致するように基板２を移動させる。
【００３４】
スクリーン印刷機１の制御装置５０は、上記第２の位置合わせ工程が終了したら、基板位置決め機構５２を作動させて、基板位置決め部１２ごと基板２を上昇させ（図７（ａ）中に示す矢印Ｄ１）、基板２の上面をマスク１３の下面に接触させる。これによりマスク１３のフラット部対応マスク領域ＭＲＦ内の第２のパターン孔Ｈ２と基板２のフラット部電極ｆｄとが上下に合致した状態となる（図７（ｂ）。第２のマスク接触工程）。
【００３５】
ここで、キャビティ部電極ｃｄは基板２の上面から窪んで設けられたキャビティ部ＣＶ内に設けられているので、キャビティ部電極ｃｄへのペーストＰｓｔの印刷が終了した後にマスク１３を基板２の上面に接触させても、マスク１３がキャビティ部電極ｃｄ上のペーストＰｓｔと接触することはない（図７（ｃ）参照）。
【００３６】
スクリーン印刷機１の制御装置５０は、上記第２のマスク接触工程が終了したら、ペースト供給ヘッド１４のガイド部材１４ａをマスク１３のフラット部対応マスク領域ＭＲＦの上面に接触させたうえで、ペースト供給ヘッド１４からマスク１３のフラット部対応マスク領域ＭＲＦ内にペーストＰｓｔを供給させる。これによりマスク１３の第２のパターン孔Ｈ２内にペーストＰｓｔが充填される（図７（ｃ）。第２のペースト充填工程）。
【００３７】
スクリーン印刷機１の制御装置５０は、上記第２のペースト充填工程が終了したら、基板位置決め機構５２を作動させて、基板位置決め部１２ごと基板２を下降させ（図７（ｄ
）中に示す矢印Ｄ２）、基板２とマスク１３（フラット部対応マスク領域ＭＲＦ）を上下方向に相対的に離間させる（図７（ｄ））。これによりペーストＰｓｔの版抜けが行われ、基板２の各フラット部電極ｆｄ上にペーストＰｓｔが印刷（転写）される（第２の版抜け工程）。
【００３８】
スクリーン印刷機１の制御装置５０は、上記第２の版抜け工程が終了したら、基板位置決め機構５２を作動させて、基板位置決め部１２と基板搬出部１２ｂとのコンベア機構同士の位置合わせを行う。そして、基板位置決め部１２と基板搬出部１２ｂとのコンベア機構同士の位置合わせが終わったら基板搬送機構５１を作動させ、基板位置決め部１２から基板搬出部１２ｂに基板２を受け渡させた後、基板搬出部１２ｂによりスクリーン印刷機１から基板２を搬出させる（基板搬出工程）。これにより、スクリーン印刷機１による基板２へのスクリーン印刷の実行工程が終了する。
【００３９】
本実施の形態におけるスクリーン印刷機１では、上記手順によって基板２にペーストＰｓｔの印刷を施すが、スクリーン印刷機１の制御装置５０は、基板２の数枚分についてのスクリーン印刷工程を終了したら、クリーニング装置１６を用いてマスク１３の下面のクリーニングを行う。このマスク１３の下面のクリーニングでは、キャビティ部対応マスク領域ＭＲＣについてのクリーニングと、フラット部対応マスク領域ＭＲＦについてのクリーニングとを、それぞれ別々に行う。
【００４０】
マスク１３のキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣのクリーニングでは、スクリーン印刷機１の制御装置５０は、クリーニング装置移動機構５６の作動制御を行って、クリーニング装置１６全体を水平面内方向（ここではＹ軸方向。図８（ａ）〜図８（ｄ）中に示す矢印Ｅ）に移動させつつ、キャビティ部対応マスク領域ＭＲＣ内の凸状部１３ｔのひとつの下面にクリーニング装置１６のペーパー部材４２のマスク接触領域Ｒを接触させる（図８（ａ））。そうすると、マスク１３のキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣ内の凸状部１３ｔの下面に付着していたペーストＰｓｔ（ペーストＰｓｔの残り滓ＤＳ）はペーパー部材４２のマスク接触領域Ｒにくっついて除去され、マスク１３の凸状部１３ｔの下面（キャビティ部対応マスク領域ＭＲＣの下面）がクリーニングされる。
【００４１】
スクリーン印刷機１の制御装置５０は、ひとつの凸状部１３ｔの下面のクリーニングが終了したら、ペーパー部材４２のマスク接触領域Ｒが隣の凸状部１３ｔに接触するようにクリーニング装置１６全体をＹ軸方向に移動させて、次々に各凸状部１３ｔの下面のクリーニングを行う（図８（ａ）→図８（ｂ）→図８（ｃ）→図８（ｄ））。これにより、全ての凸状部１３ｔの下面からペーストＰｓｔが除去される（第１のペースト除去工程）。
【００４２】
スクリーン印刷機１の制御装置５０は、マスク１３のキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣ内の各凸状部１３ｔの下面に付着したペーストＰｓｔの除去を行うにおいて、クリーニング装置１６のペーパー部材４２のマスク接触領域Ｒが凸状部１３ｔの下面に接触している間、すなわち、キャビティ部対応領域ＭＲＣ内の凸状部１３ｔの下面に付着したペーストＰｓｔの除去を行っている間にペーパー部材巻き取り機構５７を作動させてペーパー部材４２の巻き取りを行う（図８（ａ）〜（ｄ）中に示す矢印Ｆ。ペーパー部材巻き取り工程）。これにより、キャビティ部対応マスク領域ＭＲＣ内のひとつの凸状部１３ｔのペーストＰｓｔの除去を終えた後、次にペーストＰｓｔの除去を行う凸状部１３ｔに接触したときに、前の凸状部１３ｔから除去したペーストＰｓｔが後の凸状部１３ｔに擦り付けられてしまうことを防止することができる。
【００４３】
ここで、ペーパー部材４２の巻き取り時におけるノズル部４１に対するペーパー部材４２の移動方向（巻き取り方向）は、マスク１３に対するノズル部４１の移動方向と同一の方向であってもよいし、反対の方向であってもよいが、ペーパー部材４２をマスク１３に
こすり付けてペーストＰｓｔが効率よく除去される（拭き取られる）ようにするためには、マスク１３に対してノズル部４１が相対移動している間に、ペーパー部材４２がマスク１３に対して摺動するようにする必要がある。このためクリーニング装置１６は、マスク１３の凸状部１３ｔの下面に付着したペーストＰｓｔの除去を行っている間に、ペーパー部材４２がマスク１３に対して摺動する巻き取り方向及び巻き取り速度でペーパー部材４２の巻き取りを行う。具体的には、スクリーン印刷機１の制御装置５０は、ノズル部４１に対するペーパー部材４２の移動方向（巻き取り方向）をマスク１３に対するノズル部４１の移動方向と同一の方向にするか、或いは、ノズル部４１に対するペーパー部材４２の移動方向をマスク１３に対するノズル部４１の移動方向とは反対の方向にしたうえで、ノズル部４１に対するペーパー部材４２の移動速度と、マスク１３に対するノズル部４１の移動速度とが同一にならないようにする。
【００４４】
一方、スクリーン印刷機１におけるマスク１３のフラット部対応マスク領域ＭＲＦのクリーニングでは、スクリーン印刷機１の制御装置５０は、クリーニング装置移動機構５６の作動制御を行って、クリーニング装置１６全体を水平面内方向（ここではＹ軸方向。図９中に示す矢印Ｇ）に移動させつつ、フラット部対応マスク領域ＭＲＦの下面にクリーニング装置１６のペーパー部材４２のマスク接触領域Ｒを接触させる（図９）。そうすると、マスク１３のフラット部対応マスク領域ＭＲＦの下面に付着していたペーストＰｓｔ（ペーストＰｓｔの残り滓ＤＳ）はペーパー部材４２のマスク接触領域Ｒにくっついて除去され、マスク１３の下面がクリーニングされる（第２のペースト除去工程）。
【００４５】
なお、上記のスクリーン印刷機１におけるマスク１３のクリーニングの際には、スクリーン印刷機１の制御装置５０は吸引機構５８の作動制御を行い、空気吸引管路４１ａからペーパー部材４２のマスク接触領域Ｒを介して空気を真空吸引するようにする。これによりマスク１３の下面に付着したペーストＰｓｔはペーパー部材４２側に吸い出され、ペーストＰｓｔの除去が効果的に行われる。
【００４６】
以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１は、基板本体２１の上面の一部に形成された複数のキャビティ部ＣＶ（開口部）それぞれの底面に設けられた複数のキャビティ部電極ｃｄ（第１電極）及び基板本体２１の上面に設けられた複数のフラット部電極ｆｄ（第２電極）を有する基板２の位置決めを行う基板位置決め部１２と、基板本体２１のキャビティ部ＣＶに嵌合する下方に突出した形状の複数の凸状部１３ｔのそれぞれにキャビティ部電極ｃｄに対応する第１のパターン孔Ｈ１が形成されたキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣ（第１マスク領域）及びキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣとは異なる領域として設けられてフラット部電極ｆｄに対応する第２のパターン孔Ｈ２が形成された平板状のフラット部対応マスク領域ＭＲＦ（第２マスク領域）を有したマスク１３とを備え、基板位置決め部１２に位置決めされた基板２の上面にマスク１３のキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣを接触させてキャビティ部電極ｃｄにスクリーン印刷を行った後、基板２の上面にマスク１３のフラット部対応マスク領域ＭＲＦを接触させてフラット部電極ｆｄにスクリーン印刷を行うスクリーン印刷機１であり、マスク１３に対して相対移動し、ペーパー部材支持部であるノズル部４１の上端にペーパー部材４２を掛け渡して形成したマスク接触領域Ｒをキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣの各凸状部１３ｔの下面に順次接触させてキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣの各凸状部１３ｔの下面に付着したペーストＰｓｔを除去するとともに、マスク接触領域Ｒをフラット部対応マスク領域ＭＲＦの下面に接触させてフラット部対応マスク領域ＭＲＦの下面に付着したペーストＰｓｔを除去するクリーニング装置１６を備え、クリーニング装置１６は、キャビティ部対応マスク領域ＭＲＣの凸状部１３ｔの下面に付着したペーストＰｓｔの除去を行っている間に、ペーパー部材４２がマスク１３に対して摺動する巻き取り方向及び巻き取り速度でペーパー部材４２の巻き取りを行うペーパー部材巻き取り手段（ペーパー部材巻き取り機構５７）を有したものとなっている。
【００４７】
また、本実施の形態におけるスクリーン印刷機のマスクのクリーニング方法は、基板本体２１の上面の一部に形成された複数のキャビティ部ＣＶ（開口部）それぞれの底面に設けられた複数のキャビティ部電極ｃｄ（第１電極）及び基板本体２１の上面に設けられた複数のフラット部電極ｆｄ（第２電極）を有する基板２の位置決めを行う基板位置決め部１２と、基板本体２１のキャビティ部ＣＶに嵌合する下方に突出した形状の複数の凸状部１３ｔのそれぞれにキャビティ部電極ｃｄに対応する第１のパターン孔Ｈ１が形成されたキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣ（第１マスク領域）及びキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣとは異なる領域として設けられてフラット部電極ｆｄに対応する第２のパターン孔Ｈ２が形成された平板状のフラット部対応マスク領域ＭＲＦ（第２マスク領域）を有したマスク１３とを備え、基板位置決め部１２に位置決めされた基板２の上面にマスク１３のキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣを接触させてキャビティ部電極ｃｄにスクリーン印刷を行った後、基板２の上面にマスク１３のフラット部対応マスク領域ＭＲＦを接触させてフラット部電極ｆｄにスクリーン印刷を行うスクリーン印刷機１のマスク１３のクリーニング方法であり、ペーパー部材支持部であるノズル部４１の上端にペーパー部材４２を掛け渡してマスク接触領域Ｒを形成したクリーニング装置１６をマスク１３に対して相対移動させ、マスク接触領域Ｒをキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣの各凸状部１３ｔの下面に順次接触させてキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣの各凸状部１３ｔの下面に付着したペーストＰｓｔを除去する工程（第１のペースト除去工程）と、クリーニング装置１６をマスク１３に対して相対移動させ、マスク接触領域Ｒをフラット部対応マスク領域ＭＲＦの下面に接触させてフラット部対応マスク領域ＭＲＦの下面に付着したペーストＰｓｔを除去する工程（第２のペースト除去工程）とを含み、キャビティ部対応マスク領域ＭＲＣの各凸状部１３ｔの下面に付着したペーストＰｓｔを除去する工程（第１のペースト除去工程）において、キャビティ部対応マスク領域ＭＲＣの凸状部１３ｔの下面に付着したペーストＰｓｔの除去を行っている間に、ペーパー部材４２がキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣに対して摺動する巻き取り方向及び巻き取り速度でペーパー部材４２の巻き取りを行うようになっている。
【００４８】
このように、本実施の形態におけるスクリーン印刷機１（スクリーン印刷機１のマスク１３のクリーニング方法）では、ペーパー部材４２のマスク接触領域Ｒをキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣの凸状部１３ｔの下面に接触させてその部分に付着したペーストＰｓｔの除去を行っている間に、ペーパー部材４２がキャビティ部対応マスク領域ＭＲＣに対して摺動する巻き取り方向及び巻き取り速度でペーパー部材４２の巻き取りを行うようになっているので、ひとつの凸状部１３ｔのペーストＰｓｔの除去を終えた後、次にペーストＰｓｔの除去を行う凸状部１３ｔにペーパー部材４２が接触したときに、前の凸状部１３ｔから除去したペーストＰｓｔが後の凸状部１３ｔに擦り付けられてしまうことがない。このため、キャビティ基板のスクリーン印刷に用いられるマスク１３のクリーニングを十分に行うことができ、印刷精度を向上させることができる。また、凸状部１３ｔの下面に付着したペーストＰｓｔの除去を行っている間にペーパー部材４２の巻き取りを行うことから、凸状部１３ｔ同士が極めて近い距離で隣接している場合であっても、前の凸状部１３ｔから除去したペーストＰｓｔが後の凸状部１３ｔに擦り付けられてしまう事態を確実に防止することができる。また、ペーパー部材４２は、キャビティ部対応マスク領域ＭＲＣに対して摺動する巻き取り方向及び巻き取り速度で巻き取られるので、ペーパー部材４２は凸状部１３ｔの下面に対してこすられ、ペーストＰｓｔはペーパー部材４２によって効率よく除去される。
【００４９】
これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、キャビティ部対応マスク領域ＭＲＣの各凸状部１３ｔの下面のクリーニングを行った後にフラット部対応マスク領域ＭＲＦの下面のクリーニングを行うようにしていたが、クリーニングの順序はその逆であっ
てもよい。また、上述の実施の形態では、スクリーン印刷機１が備えるクリーニング装置１６は、基板２の搬送方向（Ｘ軸方向）と直交する水平面内方向であるＹ軸方向に移動してマスク１３の下面をクリーニングするようになっていたが、クリーニング装置１６の移動方向は特に限定されず、基板２の搬送方向と平行な方向であるＸ軸方向に移動してマスク１３の下面をクリーニングするようになっていてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
キャビティ基板のスクリーン印刷に用いられるマスクのクリーニングを十分に行うことができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機のマスクのクリーニング方法を提供する。
【符号の説明】
【００５１】
１  スクリーン印刷機
２  基板
１２  基板位置決め部
１３  マスク
１３ｔ  凸状部
１６  クリーニング装置
２１  基板本体
４１  ノズル部（ペーパー部材支持部）
４２  ペーパー部材
５７  ペーパー部材巻き取り機構（ペーパー部材巻き取り手段）
ＣＶ  キャビティ部（開口部）
ｃｄ  キャビティ部電極（第１電極）
ｆｄ  フラット部電極（第２電極）
ＭＲＣ  キャビティ部対応マスク領域（第１マスク領域）
ＭＲＦ  フラット部対応マスク領域（第２マスク領域）
Ｈ１  第１のパターン孔
Ｈ２  第２のパターン孔
Ｒ  マスク接触領域
Ｐｓｔ  ペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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