(57)【要約】【課題】確実に電源ケーブルを電源端子に接続可能、且つ、電源ケーブルの脱離を防止することが可能となる接続装置及び製造装置を提供することにある。【解決手段】製造装置１００に用いられる電源ケーブルＫと電源端子１３５を接続する接続装置１は、狭持部１２として、その一部により電源ケーブルＫの接続部Ｌを押圧可能な第１保持部材３１と、この第１保持部材３１を移動させる移動手段３２と、を有し、接続部Ｌを押圧する第１保持手段３０と、接続部Ｌを保持する第２保持部材５１と、電源端子と連続する端子部５２と、第２保持部材５１を弾性力により付勢する付与手段であるスプリング５６と、を有し、第１保持手段３０により押圧された接続部Ｌを保持する第２保持手段５０と、を備え、第１保持手段３０及び第２保持手段５０により接続部Ｌを狭持する構成とする。【選択図】      図２
2011054354.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電源ケーブルを電源端子に電気的に接続する接続装置であって、
前記電源ケーブルを押圧し、且つ、前記電源ケーブルを保持する第１保持部材、及び、前記電源ケーブルの押圧方向に前記第１保持部材を移動させる移動手段を有する第１保持手段と、
前記第１保持部材により押圧された前記電源ケーブルを保持する第２保持部材、及び、前記第１保持部材により押圧された前記電源ケーブルの移動に伴って前記第２保持部材を弾性的に支持するばね部材を有する第２保持手段と、
前記第１保持部材及び前記第２保持部材との間に設けられ、前記第１保持部材及び前記第２保持部材の互いに対向する面により前記電源ケーブルを狭持する第１間隙部と、
前記第２保持部材と前記ばね部材との間に設けられ、前記電源端子又は前記電源端子と接続される端子部を狭持する第２間隙部と、
を備えることを特徴とする接続装置。
【請求項２】
前記第１保持部材は、その内部に円筒状の収納空間を有し、
前記移動手段は、前記収納空間に回動可能に設けられた円筒状の回転部材と、この回転部材の軸心に対してその回転軸が偏心するクランク軸と、を備え、
前記第１保持手段は、前記クランク軸の回動により前記回転部材が前記クランク軸の回転軸を中心に偏心回転することで前記第１保持部材を移動させ、前記第２保持部材に前記電源ケーブルを押圧することで、前記電源ケーブルを第１間隙部により狭持することを特徴とする請求項１に記載の接続装置。
【請求項３】
前記移動手段の移動を規制可能な規制手段をさらに具備することを特徴とする請求項２に記載の接続装置。
【請求項４】
前記規制手段は、
前記第１保持部材に設けられ、前記収納空間から前記第１保持部材の外面まで貫通する第１開口部と、
前記回転部材の外周面の一部に設けられた有底の円筒形状の第２開口部と、
前記第２開口部に挿入された弾性部材と、
この弾性部材に弾性支持されたピンと、を具備し、
前記回転部材が回動し、前記第１開口部と前記第２開口部とが対向することで、前記ピンが前記第１開口部と前記第２開口部とに跨って位置し、前記回転部材の回動を規制することを特徴とする請求項３に記載の接続装置。
【請求項５】
前記移動手段は、
前記第１保持部材の一部に設けられ、第１傾斜面を有する凹部と、
前記凹部の傾斜面と当接する第２傾斜面を有する楔部材と、を具備し、
前記楔部材を押圧することで、前記第１傾斜面と前記第２傾斜面とが摺動し、前記第１保持部材が移動することを特徴とする請求項１に記載の接続装置。
【請求項６】
半導体ウェハを処理する製造装置であって、
電力を外部に供給可能な電源ケーブルを有する電源部と、
前記電源ケーブルと接続する電源端子を有し、前記電源部から供給される電力により前記半導体ウェハを処理する処理手段と、
前記電源ケーブルを押圧し、且つ、前記電源ケーブルを保持する第１保持部材、及び、前記電源ケーブルの押圧方向に前記第１保持部材を移動させる移動手段を有する第１保持手段と、前記第１保持部材により押圧された前記電源ケーブルを保持する第２保持部材、及び、前記第１保持部材により押圧された前記電源ケーブルの移動に伴って前記第２保持部材を弾性的に支持するばね部材を有する第２保持手段と、前記第１保持部材及び前記第２保持部材との間に設けられ、前記第１保持部材及び前記第２保持部材の互いに対向する面により前記電源ケーブルを狭持する第１間隙部と、前記第２保持部材と前記ばね部材との間に設けられ、前記電源端子又は前記電源端子と接続される端子部を前記第２保持部材及び前記ばね部材で狭持することで、前記第１間隙部に狭持された電源ケーブルと前記電源端子を電気的に接続する第２間隙部と、を具備する接続装置と、
を備えることを特徴とする製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は電源ケーブルを電源端子に接続する接続装置及び製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、半導体の製造装置等に電力を供給するために、製造装置等の電源端子に接続装置を介して電源ケーブルが接続されるものが知られている。このような電源ケーブルを接続する接続装置として、ケーブルの外周に沿って略半円上に湾曲するケーブルの保持部を有するケーブル固定金具をネジ等により装置等の壁面に固定するもの（例えば特許文献１参照）が知られている。また、開放型ヒンジによって結合されたケーブルベットとブリッジとの間にケーブルを配置させ、ブリッジの自由端部をケーブルベットに保持ねじによりねじ込むことで、ケーブルを解除可能に緊締するもの（例えば特許文献２参照）も知られている。さらに、電源端子に電源ケーブルを巻きつけてクリップや板バネ等の保持部を有する接続装置で接続する方法も知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開昭６４−３５７８６号公報
【特許文献２】特開昭６０−２６８９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した接続装置では以下の問題があった。即ち、ネジ等の締結により電源ケーブルを電源端子と接続する接続装置は、オペレータにより手作業で用いられるため、ネジの締結忘れや、緩みの虞があり、締結トルクの管理やネジ頭と締結部とに合いマークを設けることで、締結忘れや緩みを防止する必要がある。このため、作業工程が多くなるという問題もある。また、製造装置が熱雰囲気中にて使用される場合には、ヒートサイクルによって、ネジの緩みが発生する虞もある。
【０００５】
さらに、クリップや板バネ等の保持部により電源ケーブルを保持する接続装置では、電源ケーブルとの設置面積を安定させるために、電源ケーブルの断面形状は平編み線である必要がある。しかし、主として流通している電源ケーブルは丸線であり、平編み線の入手が難しい、又は、コストが高くなる虞がある。しかし、平編み線の変わりに、丸線をクリップ等の接続装置で固定すると電源ケーブルと接続装置との当接が不安定となり、電源ケーブルが切断する虞もある。このため、丸線の電源ケーブルを保持部により固定する場合には、電源ケーブルの断面形状に沿った断面形状を有する保持部を用いる必要がある。
【０００６】
しかし、このような保持部を用いても、被接続部材の接触面が平面であるため、丸線の電源ケーブルと被接続部材の接触面との接触が面接触にならない虞がある等、安定した接触が困難となる虞もある。
【０００７】
そこで本発明は、確実に電源ケーブルを接続可能な接続装置及び製造装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決し目的を達成するために、本発明の接続装置及び製造装置は次のように構成されている。
【０００９】
電源ケーブルを電源端子に電気的に接続する接続装置であって、前記電源ケーブルを押圧し、且つ、前記電源ケーブルを保持する第１保持部材、及び、前記電源ケーブルの押圧方向に前記第１保持部材を移動させる移動手段を有する第１保持手段と、前記第１保持部材により押圧された前記電源ケーブルを保持する第２保持部材、及び、前記第１保持部材により押圧された前記電源ケーブルの移動に伴って前記第２保持部材を弾性的に支持するばね部材を有する第２保持手段と、前記第１保持部材及び前記第２保持部材との間に設けられ、前記第１保持部材及び前記第２保持部材の互いに対向する面により前記電源ケーブルを狭持する第１間隙部と、前記第２保持部材と前記ばね部材との間に設けられ、前記電源端子又は前記電源端子と接続される端子部を狭持する第２間隙部と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
半導体ウェハを処理する製造装置であって、電力を外部に供給可能な電源ケーブルを有する電源部と、前記電源ケーブルと接続する電源端子を有し、前記電源部から供給される電力により前記半導体ウェハを処理する処理手段と、前記電源ケーブルを押圧し、且つ、前記電源ケーブルを保持する第１保持部材、及び、前記電源ケーブルの押圧方向に前記第１保持部材を移動させる移動手段を有する第１保持手段と、前記第１保持部材により押圧された前記電源ケーブルを保持する第２保持部材、及び、前記第１保持部材により押圧された前記電源ケーブルの移動に伴って前記第２保持部材を弾性的に支持するばね部材を有する第２保持手段と、前記第１保持部材及び前記第２保持部材との間に設けられ、前記第１保持部材及び前記第２保持部材の互いに対向する面により前記電源ケーブルを狭持する第１間隙部と、前記第２保持部材と前記ばね部材との間に設けられ、前記電源端子又は前記電源端子と接続される端子部を前記第２保持部材及び前記ばね部材で狭持することで、前記第１間隙部に狭持された電源ケーブルと前記電源端子を電気的に接続する第２間隙部と、を具備する接続装置と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
この発明によれば、確実に電源ケーブルを電源端子に接続可能、且つ、電源ケーブルの脱離を防止することが可能となり、信頼性を向上することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の一実施の形態に係る接続装置を用いた製造装置の構成を模式的に示す説明図。
【図２】本発明の一実施の形態に係る接続装置の構成を示す斜視図。
【図３】同接続装置の構成を示す断面図。
【図４】同接続装置の構成を示す断面図。
【図５】同接続装置の構成を示す断面図。
【図６】同接続装置の構成を示す断面図。
【図７】本発明の第１の変形例に係る接続装置の構成を示す側面図。
【図８】同接続装置の構成を示す側面図。
【図９】同接続装置の構成を示す側面図。
【図１０】本発明の第２の変形例に係る接続装置の構成を示す断面図。
【図１１】同接続装置の構成を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の一実施の形態を、図面を参照して説明する。  
図１は本発明の一実施の形態に係る接続装置１を用いた製造装置１００の構成を模式的に示す説明図、図２は同接続装置１の構成を示す斜視図、図３は同接続装置１の構成を示す縦断面図、図４は同接続装置１の側方の構成を示す縦断面図、図５は同接続装置１の動作及び構成を示す縦断面図、図６は同接続装置１の動作及び構成を示す縦断面図である。なお、図１〜図６中、Ｂはビスを、Ｋは電源ケーブルを、Ｌは電源ケーブルＫの接続部を、Ｗは半導体ウェハ（ウェハ）を、それぞれ示している。
【００１４】
製造装置１００は、例えば、半導体ウェハ（以下「ウェハ」）Ｗを処理し製造する製造装置の一つであって、例えばウェハＷに熱処理を行う熱処理装置である（以下、製造装置１００を熱処理装置１００として説明。）。熱処理装置１００は、ウェハＷの熱処理を行う熱処理室１０１と、熱処理室１０１を加熱しウェハＷを熱処理する熱処理手段（処理手段）１０２と、を備えている。
【００１５】
熱処理室１０１は、反応管１１０、マニホールド１１１、ウェハボード１１２、蓋体１１３、保温筒１１４、ガス供給手段１１５、及び、排気手段１１６を備えている。
【００１６】
反応管１１０は、マニホールド１１１と密閉して（気密に）接続されている。これら反応管１１０及びマニホールド１１１は、その内部に処理空間１１８を形成している。なお、この処理空間１１８は、ウェハＷの処理が行われる所謂処理室である。
【００１７】
ウェハボード１１２は、処理空間１１８に配置される。このウェハボード１１２は、複数、例えば１５０枚程度のウェハＷを水平状態、且つ、上下に所定の間隔を有して保持可能に形成されている。
【００１８】
蓋体１１３は、マニホールド１１１の反応管１１０と接続する端面とは他方の端面に処理空間１１８を密閉可能に接続されている。保温筒１１４は、ウェハボード１１２と蓋体１１３との間に設けられ、ウェハボード１１２を保持可能に形成されるとともに、断熱可能に形成されている。即ち、ウェハボード１１２は、蓋体１１３に保温筒１１４を介して支持されることで、蓋体１１３に対して断熱されて固定される。
【００１９】
また、蓋体１１３はボートエレベータ１１９を備えている。ボートエレベータ１１９は、蓋体１１３をマニホールド１１１に対して離接可能に形成されている。即ち、ボートエレベータ１１９は、蓋体１１３をマニホールド１１１と離接させることで、ウェハボード１１２及び保温筒１１４を処理空間１１８に収納し、且つ、離間させる、所謂ローディング及びアンローディングが可能に形成されている。
【００２０】
ガス供給手段１１５は、マニホールド１１１の外側面から処理空間１１８へと挿入されたガス供給管１１５ａと、処理空間１１８へ供給する処理ガス等のガス流量を調整可能な流量調整部１１５ｂと、を備えている。このようなガス供給手段１１５は、流量調整部１１５ｂによりガス流量が調整された処理ガスを、ガス供給管１１５ａを介して処理空間１１８へ供給可能に形成されている。なお、ここで処理ガスは、例えば、ジクロルシラン、アンモニア等の処理ガスや窒素ガス等の不活性ガスが供給される。また、ガス供給手段１１５は、複数設けられていてもよい。
【００２１】
排気手段１１６は、処理空間１１８からマニホールド１１１の外部へと連続する排気管１１６ａと、この排気管１１６ａに接続され、処理空間１１８内の処理ガス等の雰囲気を排気する排気量を調整することで、処理空間１１８の圧力等を調整可能に形成された排気調整部１１６ｂと、を備えている。
【００２２】
熱処理手段１０２は、ヒータ部１３０、電源部１３１及び温度センサ１３２を備えている。また、熱処理手段１０２は、ヒータ部１３０及び電源部１３１を電気的に接続する接続装置１を備えている。ヒータ部１３０は、反応管１１０の長手方向に沿って複数（図１では５段）配置されたヒータ素線１３４と、これらヒータ素線１３４に電力を供給するための電源端子１３５と、を備えている。
【００２３】
電源部１３１は、電力をヒータ部１３０へと供給可能な電力供給源である。電源部１３１は、外部、ここでは電源端子１３５と接続され、電源端子１３５に電力を供給可能な電源ケーブルＫを備えている。なお、電源部１３１は、例えば、複数のヒータ素線１３４にそれぞれ電力を供給可能に、複数の電源ケーブルＫを備えている。図２，３に示すように、電源ケーブルＫは、その断面形状が円形状に形成されている。電源ケーブルＫは、その端部に接続装置１に接続される接続部Ｌを有している。
【００２４】
接続部Ｌは、電源ケーブルＫの他部と同様にその断面形状が円形状であって、電源ケーブルＫの他部よりも小径形状に形成されている。また、接続部Ｌは、その径方向の荷重に対して所定の強度（耐荷重）を有し、その断面形状の変形を防止可能なケースや被覆材等により形成されている。接続部Ｌは、電源ケーブルＫからの電力を、接続装置１を介して電源端子１３５に通電可能な材質で形成されている。即ち、接続部Ｌは、その材質が高い電気伝導率を有する被覆材で電線が被覆されることで形成されている。なお、接続部Ｌは、その断面形状を適宜設定可能であり、接続装置１の形状によって、方形の断面形状であってもよい。
【００２５】
温度センサ１３２は、ヒータ素線１３４と反応管１１０との間の温度、即ち、ヒータ素線１３４による処理温度を測定可能に形成されている。この温度センサ１３２は、例えば、熱電対が用いられ、ヒータ素線１３４に対してそれぞれ設けられている。なお、温度センサ１３２は、処理空間１１８の温度を直接計測可能に設けられていても良い。
【００２６】
なお、上述した流量調整部１１５ｂ、排気調整部１１６ｂ、電源部１３１及び温度センサ１３２は、例えば、制御部（不図示）に接続されている。この制御部は、ガス供給手段１１５により供給される処理ガスの流量、排気手段１１６により排気される排気量、ヒータ素線１３４へ供給する電力を制御可能に形成されている。
【００２７】
接続装置１は、電源ケーブルＫと熱処理装置１００のヒータ部１３０に設けられた電源端子１３５とを接続可能に形成されている。図２〜６に示すように、接続装置１は、外囲部１１と、狭持部１２と、を備えている。このような接続装置１は、電気伝導性を有する材料で形成されている。なお、接続装置１は、少なくとも、後述する第２保持部材５１が電気伝導性を有する材料で形成されていればよい。
【００２８】
外囲部１１は、方形状の枠状に形成されている。外囲部１１は、一対の側面板１５と、これら側面板１５の一方の端側に設けられる第１端面板２０と、一対の側面板１５の他方の端側に設けられた第２端面板２５と、を備えている。
【００２９】
側面板１５は、その主面に接続部Ｌを挿通可能な貫通孔１６がそれぞれ形成されている。この貫通孔１６は、側面板１５の長手方向の内面間の長さが長く形成されている。これにより、貫通孔１６は、挿通された接続部Ｌを側面板１５の長手方向に移動可能に形成されている。側面板１５の両端側には、切欠部１７と、この切欠部１７を挟んで孔部１８がそれぞれ設けられている。
【００３０】
切欠部１７は、例えばその短辺側が側面板１５の端辺に位置する台形状に側面板１５が切欠されることで形成されている。また、孔部１８は、例えば、ビスＢが挿入可能に形成されている。
【００３１】
第１端面板２０は、一対の側面板１５の一方の端側を連結可能に形成されている。例えば、第１端面板２０は、その一対の側面に、切欠部１７に嵌合可能な台形状の突起部２１と、切欠部１７及び突起部２１の嵌合時にビスＢが螺合する雌ネジ孔を有している。また、第１端面板２０は、その一方の主面に、円筒形状の突起である第１円筒部２２が形成されている。この第１円筒部２２の外径寸法は、後述するスプリング５６の内径よりも小さく形成されることで、スプリング５６の内部に挿入可能に形成されている。
【００３２】
第２端面板２５は、一対の側面板１５の他方の端側を連結可能に形成されている。例えば、第２端面板２５は、その相対する側面に、切欠部１７に嵌合可能な台形状の突起部２６と、切欠部１７及び突起部２６の嵌合時にビスＢが螺合する雌ネジ孔を有している。また、第２端面板２５は、その主面の中心側に、開口部２７を有している。
【００３３】
狭持部１２は、電源ケーブルＫの接続部Ｌを狭持可能に形成されている。詳しく説明すると、狭持部１２は、接続部Ｌを押圧する第１保持手段３０と、この第１保持手段３０により押圧された接続部Ｌを保持する第２保持手段５０と、を備えている。
【００３４】
第１保持手段３０は、ブロック状であって、その一部により電源ケーブルＫの接続部Ｌを押圧可能な第１保持部材３１と、接続部Ｌの押圧方向に第１保持部材３１を移動させる移動手段３２と、を備えている。第１保持部材３１は、その上面に、所定の重圧面積で接続部Ｌを押圧可能、且つ、保持可能に形成された第１保持部３３を有している。第１保持部材３１は、その内部に移動手段３２の一部が収納可能な円筒状に開口する収納空間３４と、収納空間３４の内面から第１保持部材３１の下面側へと貫通する第１開口部３５と、を備えている。
【００３５】
第１保持部３３は、例えば、接続部Ｌの外面を面で押圧可能、且つ、保持可能に形成されている。なお、例えば、第１保持部３３は、接続部Ｌの外形状が円状や円弧状である場合に、その接続部Ｌに当接する面形状が円弧状に形成されている。即ち、第１保持部３３は、接続部Ｌの外面を面（所定の面積）にて押圧可能であって、保持可能であれば、適宜設定可能である。
【００３６】
移動手段３２は、収納空間３４に摺動可能に収納される円筒状の回転部材３７と、回転部材３７の一方の端面に設けられ、回転部材３７の中心軸（軸心）に対して偏心する位置にその回転中心が位置するクランク軸３８と、このクランク軸３８と同心上、且つ、回転部材３７の他方の端面に設けられた保持軸３９と、を備えている。即ち、回転部材３７の中心軸はクランク軸３８の中心軸に対して偏心関係にあり、クランク軸３８の中心軸を回転軸としてクランク軸３８を回転させることで、回転部材３７が偏心回転する。なお、回転部材３７及びクランク軸３８の位置関係は、第１保持部材３１を所定の移動距離だけ移動可能であれば適宜設定可能である。
【００３７】
回転部材３７は、その外周面の一部に設けられた第２開口部４１を有している。この第２開口部４１は、その開口形状が有底の円筒状に形成されている。回転部材３７は、ピン４２と、このピン４２を第２開口部４１の底面側から開口側へと付勢するスプリング等の弾性部材、例えばコイルばね４３と、を第２開口部４１の内部に有している。
【００３８】
ピン４２は、第２開口部４１の内部を往復動可能な外径に形成されているとともに、コイルバネ４３の座面４２ａを有している。即ち、ピン４２は、コイルばね４３によって、常時第２開口部４１の底面側から回転部材３７の外面側へと付勢（押圧）される。また、ピン４２は、回転部材３７が回転し、第１保持部材３１の第１開口部３５と第２開口部４１とが同一位置となることで、第１開口部３５及び第２開口部４１に位置することが可能に形成されている。
【００３９】
また、ピン４２は、第１開口部３５にその一部が挿入可能、且つ、他部は、第１開口部３５への挿入が規制可能な形状に形成されている。具体的には、ピン４２は、その先端側の一部が小径となることで、第１開口部３５へ挿入される挿入部４２ｂが形成されている。また、ピン４２は、例えば、少なくともその一部に明瞭な色彩が施されている。具体的には、ピン４２は、その頭頂部（挿入部４２ｂの先端）が、赤や黄等の明瞭な色彩で形成されている。なお、明瞭な色彩は塗料等が塗布される等により形成される。
【００４０】
即ち、ピン４２は、第１開口部３５及び第２開口部４１との両方に跨って位置することで、回転部材３７が回転することを防止（規制）する規制手段、所謂ロックピンとして機能することが可能に形成されている。
【００４１】
第２保持手段５０は、第２保持部材５１と、端子部５２と、座部５３と、スプリング（ばね部材）５６と、を備えている。第２保持部材５１は、電気伝導性を有する材料で形成されている。第２保持部材５１は、第１保持手段３０により押圧された電源ケーブルＫの接続部Ｌを面にて保持可能に形成された第２保持部５７を有している。第２保持部５７は、例えば、接続部Ｌの外面を面で押圧可能、且つ、保持可能に形成されている。なお、例えば、第２保持部５７は、接続部Ｌの外形状が円状や円弧状である場合に、その接続部Ｌに当接する面形状が円弧状に形成されている。即ち、第２保持部５７は、接続部Ｌの外面を点及び線でなく面にて押圧可能、且つ、保持可能であれば、適宜設定可能である。なお、第１保持部材３１及び第２保持部材５１の間であって、第１保持部３３及び第２保持部５７の互いに対向する対向面により、接続部Ｌが挿入されて狭持される第１間隙部５８が形成される。この第１間隙部５８に、接続部Ｌが挿入されるとともに、移動手段３２及びスプリング５６により所定の押圧力で接続部Ｌが狭持されることで、電源ケーブルＫと第２保持部材５１が電気的に接続されることとなる。
【００４２】
端子部５２は、長方形状に形成され、その幅が外囲部１１内幅と略同一、且つ、外囲部１１内を移動可能な寸法に形成されている。この端子部５２は、第２保持部材５１の接続部Ｌと対向する側と相対する側に設けられ、第２保持部材５１の移動に伴って外囲部１１の内面（側面板１５）に沿って移動可能に形成されている。端子部５２は、熱処理装置１００の電源端子１３５に接続されている。なお、端子部５２は、電源端子１３５であってもよい。即ち、端子部５２は、電源端子１３５と一体に成形されていてもよく、端子部５２を、電源端子１３５と電気的に連続する構成であればよい。
【００４３】
座部５３は、端子部５２に当接するとともに、外囲部１１内を第２保持部材５１の移動に伴って移動可能な板部５４と、この板部５４の端子部５２と当接する主面と相対する主面に設けられた円筒状の突起である第２円筒部５５が形成されている。この第２円筒部５５の外径寸法は、スプリング５６の内径よりも小さく形成されることで、スプリング５６が挿入可能に形成されている。
【００４４】
スプリング５６は、例えばコイルばねである。スプリング５６は、第１、第２円筒部２２，５５がその両端に挿入され、第１端面板２０及び座部５３により保持される。また、スプリング５６は、第１端面板２０及び座部５３を介して第２保持部材５１を弾性的に支持可能に形成されている。具体的に説明すると、スプリング５６は、接続部Ｌが第１保持部材３１により押圧されて移動するのに伴って、接続部Ｌにより押圧された第２保持部材５１が押圧されて移動することとなる。このとき、第２保持部材５１の移動により、座部５３も移動することで、スプリング５６は弾性変形（圧縮変形）するとともに、スプリング５６の復元力により座部５３を支持することで、第２保持部材５１により接続部Ｌを押圧可能に形成されている。このようにスプリング５６は、第２保持部材５１を弾性的に支持することで、第１保持部材３１及び第２保持部材５１により接続部Ｌを狭持可能に形成されている。
【００４５】
なお、第２保持部材５１とスプリング５６との間、具体的には、第２保持部材５１と座部５３との間に、第２間隙部５９が形成される。この第２間隙部５９に、端子部５２が挿入されるとともに、第２保持部材５１と座部５３とにより狭持されることで、第２保持部材５１と電気的に接続することとなる。
【００４６】
このように構成された接続装置１を用いた熱処理装置１００は、ウェハＷの熱処理を繰返し行うこととなる。以下、熱処理装置１００によるウェハＷの熱処理の一例について説明する。
【００４７】
先ず、ウェハＷのローディング工程として、熱処理室１０１内に、複数枚のウェハＷが搬入される。具体的には、ボートエレベータ１１９によって、蓋体１１３をマニホールド１１１に当接させ、処理空間１１８を密閉させることで、ウェハＷが保持されたウェハボード１１２と保温筒１１４を処理空間１１８に搬入し、ローディングが行われる。
【００４８】
次に、圧力調整工程として、排気手段１１６により、処理空間１１８内を排気して処理空間１１８内の圧力を調整する。処理空間１１８内の圧力を調整後、処理空間１１８内を昇温させてウェハＷの熱処理を行う熱処理工程が行われる。具体的には、電源部１３１に接続装置１により接続された各ヒータ素線１３４は、温度センサ１３２により温度管理が行われながら、処理空間１１８を所定の温度に加熱する。所定の温度に処理空間１１８を昇温後、流量調整部１１５ｂにより、所定の処理ガスが処理空間１１８内に供給され、ウェハＷが熱処理される。なお、このウェハＷの熱処理として、例えば減圧ＣＶＤ法による勢膜処理等が挙げられる。
【００４９】
次に、ウェハＷの熱処理後、処理空間１１８内の降温を行う降温工程が行われる。なお、この降温工程として、例えば、ヒータ素線１３４への電源部１３１による電力供給が停止されるとともに、流量調整部１１５ｂ等により処理空間１１８内に不活性ガス等が供給され、処理空間１１８内の降温と処理ガスの置換が行われる。
【００５０】
次に、処理空間１１８から、ウェハボード１１２を搬出するアンローディング工程が行われることで、ウェハＷの熱処理の一連の工程が終了する。
【００５１】
なお、アンローディング工程の終了後、未処理のウェハＷが指示されたウェハボード１１２が処理空間１１８内に収納されて、再度熱処理の一連の工程が行われる。このようなウェハＷの熱処理が繰返し行われる。
【００５２】
なお、電源部１３１及びヒータ素線１３４を接続する接続装置１は、図４〜６に示すように、クランク軸３８を回動させることで、回転部材３７は、クランク軸３８の軸心を中心に偏心回転する。この回転部材３７の偏心回転により、第１保持部材３１は接続装置１の第１保持部材３１が第２端面板２５に最も近接する位置（以下、「最下位置」として説明する。）と第２端面板２５と最も離間する位置（以下、「最上位置」として説明する。）との間を第１保持部材３１が移動することとなる。
【００５３】
以下、接続装置１と電源ケーブルＫとの接続方法を以下説明する。  
先ず、クランク軸３８を必要に応じて回動（回転）させて、図４に示すように接続装置１の第１保持部材３１を最下位置に位置させるとともに、第２間隙部５９に端子部５２を挿入し、第２保持部材５１及び座部５３により端子部５２を狭持させる。なお、第１保持部材３１が最下位置に移動すると、スプリング５６の復元力により、第２保持手段５０も第２端面板２５側へと移動することとなる。このため、第１保持部３３と第２保持部５７とは、当接し、互いに対向する対向面によって、第１間隙部５８が形成されることとなる。
【００５４】
なお、図４に示すように、第１保持部材３１が最下位置に位置するときのクランク軸３８の回動角度を、０°として以下説明する。クランク軸３８の回動角度が０°のときには、第１保持部材３１が最下位置に位置し、第２開口部４１は、上方を向いて開口する。このため、コイルばね４３の復元力により押圧されているピン４２は、第１保持部材３１の収納空間３４の内面に当接することとなる。
【００５５】
次に、電源ケーブルＫの接続部Ｌを、第１保持部３３と第２保持部５７の対向間であるの第１間隙部５８に挿入し、第１保持部３３及び第２保持部５７により狭持させる。この状態で、クランク軸３８を回転させる。クランク軸３８を回転させることで、第１保持手段３０は、図４の状態から図５の状態を介して図６の最上位置へと移動する。
【００５６】
即ち、図５に示すように、クランク軸３８を回動させることで、回転部材３７も回動する。この回転部材３７の回動に伴って、回転部材３７と収納空間３４（第１保持部材３１の内面）とは摺動するとともに、偏心回転した回転部材３７によって第１保持部材３１は上方へと回動しながら移動する。これにより、第１保持部材３１は傾斜するとともに、第２端面板２５から離間する方向へと移動する。
【００５７】
なお、図５に示す第１保持手段３０の状態は、クランク軸３８を略９０°回動させた状態となる。クランク軸３８を９０°回動させることで、回転部材３７も回動するため、回転部材３７に設けられた第２開口部４１も９０°回動することとなる。このため、図３に示すように、第２開口部４１は、その軸心方向が、図４に示す第２開口部４１の位置に対して、略９０°回動した方向に向いて開口する。
【００５８】
さらにクランク軸３８を回動させることで、回転部材３７もさらに回動する。この回転部材３７の偏心回動に伴って、第１保持部材３１は、図５の傾斜状態から、図６に示すように、第２端面板２５から離間する方向に回動しながら移動する。これにより、第１保持部材３１は、その側面が、外囲部１１の長手方向に沿った位置に配置される。即ち、第１保持部材３１は、図４の状態から図６の状態に持ち上がることで、最上位置に位置するとともに、接続部Ｌを第１端面板２０側へと押圧する。
【００５９】
第１保持部材３１により押圧された接続部Ｌは、第１端面板２０側へと押圧されると、第２保持部材５１も押圧されることとなる。第２保持部材５１が押圧されることで、スプリング５６が収縮（弾性変形）し、ばね応力（復元力）が増大する。このため、スプリング５６は、その復元力により、第２保持部材５１を押圧する。即ち、接続部Ｌは、第１保持部材３１及び第２保持部材５１により高い圧力で狭持（保持）される。これにより、接続部Ｌが第２保持部材５１を介して端子部５２に電気的に接続されることとなる。
【００６０】
なお、図６に示す第１保持手段３０の状態は、クランク軸３８を略１８０°回転させた状態となる。即ち、クランク軸３８が略１８０°回転すると、クランク軸３８の回転に伴って、回転部材３７も回転する。これにより、回転部材３７に設けられた第２開口部４１は、下方に向いて開口する。
【００６１】
第２開口部４１は、図４に示す第２開口部４１の位置に対して、略１８０°回動した方向に向いて開口する。これにより、第１開口部３５と第２開口部４１とが互いに対向し、連続する。
【００６２】
第１開口部３５と第２開口部４１とが連続すると、コイルばね４２ａの復元力により押圧されていたピン４２が、第１開口部３５及び第２開口部４１の両方に跨って位置する。第１保持部材３１に対して回転部材３７が回転（回動）しようとすると、回転部材３７の回転移動は、ピン４２により止められる。このように、ピン４２は、回転部材３７の回転を規制（防止）する規制手段として、所謂ロックを行うことが可能となる。
【００６３】
ピン４２は、第２開口部４１から脱離しないように、ピン４２の挿入部４２ｂが第１開口部３５に挿入可能に形成されるとともに、挿入部４２ｂと連続するピン４２の外径は、第１開口部３５の内径よりも大きく形成されている。このため、第１開口部３５にピン４２全体が挿入することがない。
【００６４】
ピン４２により、回転部材３７の動きが規制されるとともに、接続部Ｌが第１保持部材３１及び第２保持部材５１により保持される。また、第２端面板２５の開口部２７、第１開口部３５及び第２開口部４１は、互いに同一の軸心の延長上に位置することとなり、ピン４２が、第２端面板２５の開口部２７から視認可能となる。特に、ピン４２の頭頂部は、明瞭な色彩であるため、ピン４２により回転部材３７の動きが規制されているか否かは、開口部２７を視認し、ピン４２が視認できるか否かで判断可能となる。
【００６５】
なお、接続部Ｌを接続装置１から脱離する場合には、逆の回動方向にクランク軸３８を回動させればよい。具体的には、先ず、ピン４２のロックを解除する。例えば、第２端面板２５の開口部２７から、ピン４２と略同一径の棒体等でピン４２を押圧し、ピン４２を第２開口部４１内に位置させる。この状態は、ピン４２が第２開口部４１内に収納された状態であるため、回転部材３７が回動可能となる。即ち、ピン４２による回転部材３７の回動の規制が解除されることとなる。
【００６６】
ピン４２による回転部材３７の規制解除後、クランク軸３８を回動させることで、回転部材３７も回動し、図６に示す最上位置から、図５の状態を介して、図４に示すように、第１保持部材３１が最下位置に位置することが可能となる。
【００６７】
図４に示す最下位置に第１保持部材３１を位置させることで、第２保持部材５１の押圧力、即ち、スプリング５６による弾性力が最も低くなり、狭持部１２により接続部Ｌを狭持する力が低下する。このため、接続部Ｌを、第１保持部材３１と第２保持部材５１との狭持から脱離させることが可能となる。
【００６８】
このように接続装置１によれば、回転部材３７の軸心と偏心するクランク軸３８を回転させて、接続部Ｌを押圧する第１保持部材３１を最上位置に移動させることで、接続部Ｌが第１保持部材３１と第２保持部材５１とにより所定の圧力で狭持されることとなる。
【００６９】
即ち、第１保持手段３０と第２保持手段５０とにより、電源ケーブルＫが接続装置１に固定（接続）することが可能となる。このような電源ケーブルＫの固定は、スプリング５６の弾性力（復元力）によって第１保持手段３０と第２保持手段５０とにより所定の力で狭持されるため、クランク軸３８を回転させるだけでよい。このため、電源ケーブルＫと、端子部５２に連続する電源端子１３５とを容易に接続することが可能となる。
【００７０】
なお、電源ケーブルＫが固定されると、ピン４２が第１開口部３５に挿入するため、回転部材３７の回動が規制されることから、接続装置１から電源ケーブルＫが脱離することがない。さらに、接続装置１が設けられる製造装置の運転や製造装置の熱サイクル等の環境下に接続装置１が曝されたとしても、これら環境の影響によって回転部材３７が回動することがない。即ち、ピン４２により回転部材３７の回動が規制されるため、接続装置１は、狭持部１２により所定の圧力で常時電源ケーブルＫを狭持することから、確実に電源ケーブルＫを第１間隙部５８で狭持し、電源端子１３５に電気的に接続することが可能となる。
【００７１】
さらに、電源ケーブルＫの固定を解除するには、ピン４２を第２開口部４１内に収納させながらクランク軸３８を回動させるだけでよい。このため、電源ケーブルＫの接続（固定）及び脱離が容易となる。即ち、電源ケーブルＫの固定を確実且つ容易に行うことが可能となり、作業性及び信頼性の向上となる。
【００７２】
なお、確実に電源ケーブルＫが固定されたか否かの確認は、開口部２７からピン４２が視認できるか否かで判断することが可能となる。即ち、ピン４２が開口部２７から視認可能であれば、電源ケーブルＫが確実に接続装置１に接続されていることとなるため、固定忘れ等の防止が可能となる。
【００７３】
このように接続装置１により電源ケーブルＫと電源端子１３５とを接続することで、熱処理装置１００は、電源部１３１からヒータ部１３０に電力を確実に供給することが可能となり、ウェハＷを熱処理室１０１及び熱処理手段１０２により、熱処理することが可能となる。
【００７４】
詳しく説明すると、熱処理装置１００を用いた場合、接続装置１も高温に熱せられることとなる。即ち、接続装置１は、ヒータ部１３０によるウェハＷの熱処理により、接続装置１も熱せられることとなる。即ち、接続装置１は、ウェハＷの熱処理毎に熱が印加されるため、熱サイクル環境下に曝されることとなる。
【００７５】
しかし、上述したように、接続装置１は、熱サイクル等の環境下に曝されても、回転部材３７の回動が規制されており、回動することが無い。このため、狭持部１２により電源ケーブルＫが狭持され、電源ケーブルＫと電源端子１３５とが確実に接続されることとなる。
【００７６】
即ち、熱処理装置１００は、熱処理による熱サイクル下に曝されても、電源部１３１とヒータ部１３０とが確実に接続されているため、確実に、ヒータ部１３０に電力を供給することが可能となる。これにより、製造工程中に、ヒータ部１３０への電力の供給停止を防止することが可能となり、確実に、熱処理装置１００を運転することが可能となる。
【００７７】
上述したように、本発明の接続装置１によれば、第１保持手段３０と第２保持手段５０とにより接続部Ｌを狭持することで、確実に電源ケーブルＫを、接続装置１を介して電源端子１３５に接続することが可能となる。このため、接続装置１により電源ケーブルＫと電源端子１３５とを確実に接続し、熱処理装置１００を確実に運転することが可能となり、熱処理装置１００の信頼性を向上することが可能となる。
【００７８】
また、ピン４２により、回転部材３７の回動を規制することで、熱処理装置１００の運転による熱サイクルや接続装置１の周囲の環境の変化による回転部材３７の回動を防止することが可能となり、接続部Ｌの狭持の緩み等を防止することが可能となる。さらに、接続部Ｌを狭持部１２により狭持されているか否かの確認は、開口部２７からピン４２を視認するだけでよく、狭持部１２による接続部Ｌの狭持（固定）忘れを容易に防止することができる。
【００７９】
次に、図７〜９を用いて、本発明の第１の変形例に係る接続装置１Ａについて説明する。  
図７は本発明の第１の変形例に係る接続装置１Ａの構成を示す側面図、図８は同接続装置１Ａの構成を示す側面図、図９は同接続装置１Ａの構成を示す側面図である。なお、図７〜９において図１〜６と同様の構成及び機能部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００８０】
なお、接続装置１Ａは、上述した接続装置１と同様に、熱処理装置１００に用いられる。図７〜９に示すように、接続装置１Ａは、外囲部１１と、電源ケーブルＫを狭持する狭持部１２Ａと、を備えている。なお、電源ケーブルＫの接続部Ｌは、狭持部１２Ａの形状によってその断面形状を適宜設定可能である。このため、図７〜９に示す狭持部１２Ａを用いた接続装置１Ａに接続する電源ケーブルＫの接続部Ｌは、一例として、方形の断面形状の被覆材で被覆されることで、その断面形状が方形に形成されたものを用いて説明する。
【００８１】
なお、外囲部１１は、上述した第１の実施の形態に係る接続装置１とその詳細な形状が異なるが、その効果及び機能は同様であるため、その詳細な説明は省略する。
【００８２】
狭持部１２Ａは、接続部Ｌを狭持可能に形成されている。詳しく説明すると、狭持部１２Ａは、第１保持手段３０Ａにより押圧された接続部Ｌを保持する第２保持手段５０Ａと、を備えている。なお、第１保持手段３０Ａの第１保持部材３１は、所定の重圧面積で接続部Ｌを押圧可能に形成されていればよく、第１の変形例に係る接続装置１Ａの第１保持部材３１は、例えば、方形状であって、接続部Ｌが当接する一部が略三角形に切欠する形状に形成されている。
【００８３】
第１保持手段３０Ａは、収納空間３４に収納される円筒状の回転部材３７Ａを備えている。なお、この回転部材３７Ａには、第２開口部４１が設けられていない。なお、回転部材３７Ａの回転中心と偏心位置にその回転中心が位置してクランク軸３８及び保持軸３９（不図示）が設けられている。即ち、回転部材３７Ａは、回転部材３７に設けられたピン４２及びコイルばね４３を有さない構成に形成されている。
【００８４】
また、第１保持手段３０Ａは、一方の側面板１５に設けられるとともに、その一方の端部が側面板１５の側面等に固定され、可撓性を有する金属等で形成された連続部材６０と、この連続部材６０の他方の端部に固定されたスペーサ６１と、を備えている。なお、このスペーサ６１の厚さは、第１保持部材３１が最上位置に位置した際に、第２端面板２５と第１保持部材３１との間に嵌入可能な厚さに形成されている。このスペーサ６１は、嵌入時に、第１保持部材３１の移動を規制する規制手段である。
【００８５】
第２保持手段５０Ａは、端子部５２と、座部５３と、スプリング５６と、を備えている。なお、第２保持手段５０Ａは、第２保持部材５１を有さない構成であり、第１保持手段３０Ａにより押圧された接続部Ｌを、接続部Ｌに対向する端子部５２の主面で保持可能に形成されている。即ち、端子部５２及び座部５３が第２保持部材であって、この座部５３と第１保持部３３により、第１間隙部５８及び第２間隙部５９が形成される。なお、端子部５２は、電源端子１３５に接続されていても、電源端子１３５と一体に成形されていてもよい。
【００８６】
このように構成された接続装置１Ａでは、図７〜９に示すように、クランク軸３８を回転させることにより第１保持部材３１を移動させて、接続部Ｌを狭持させる。また図８、９に示すように、第１保持部材３１が傾斜してから最上位置へと移動するときに、スペーサ６１を第１保持部材３１と第２端面板２５との間に嵌入させる。これにより、図９に示すように、第１保持部材３１が最上位置に位置するときには、スペーサ６１が第１保持部材３１と第２端面板２５との間に位置し、第１保持部材３１は、固定される。即ち、スペーサ６１により、第１保持部材３１の移動が規制され、これに伴って回転部材３７Ａの回動も規制されることとなる。なお、スペーサ６１を脱離させるときには、嵌入方向とは逆の方向から、スペーサ６１を押圧するか、又は、連続部材６０を引張ことで取り外せば良い。
【００８７】
このように、スペーサ６１によって、回転部材３７Ａの回動が規制されるため、狭持部１２Ａによる接続部Ｌの狭持（固定）が緩むこともない、即ち、接続部Ｌを狭持部１２Ａにより確実に端子部５２に接続することが可能となる。
【００８８】
上述したように本発明の接続装置１Ａによれば、上述した接続装置１と同一の効果を有するとともに、回転部材３７Ａの規制は、スペーサ６１を第１保持部材３１と第２端面板２５との間に嵌入するだけでよい。また、規制の必要が無い場合には、スペーサ６１を第１保持部材３１と第２端面板２５との間に嵌入しなければ、回転部材３７Ａの移動の規制がなされない。即ち、回転部材３７Ａの規制の有無を、使用者が選択可能となり、汎用性が向上する。
【００８９】
次に、本発明の第２の変形例に係る接続装置１Ｂを、図１０、１１を用いて説明する。  
図１０は本発明の第２の変形例に係る接続装置１Ｂの構成を示す縦断面図、図１１は同接続装置１Ｂの構成を示す縦断面図である。なお、図１０、１１において図２〜９と同様の構成及び機能部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００９０】
接続装置１Ｂは、上述した接続装置１、１Ａと同様に、熱処理装置１００に用いられる。図１０，１１に示すように、接続装置１Ｂは、外囲部１１と、電源ケーブルＫの接続部Ｌを狭持する狭持部１２Ｂと、端子部５２と、を備えている。端子部５２は、狭持部１２Ｂの第２保持手段５０に設けられる座部５３と一体に形成されている。なお、上述した接続装置１，１Ａと同様に、座部５３と端子部５２とは別体であってもよい。
【００９１】
狭持部１２Ｂは、第１保持手段３０Ｂと、第２保持手段５０と、を備えている。第１保持手段３０Ｂは、第１保持部材３１Ｂと、楔部材７０と、を有している。第１保持部材３１Ｂは、第１保持部３３と、その側面に傾斜する切欠により形成された凹部７１と、を備えている。なお、この凹部７１は、第２端面板２５の主面と対向する面が、第２端面板２５の主面に対して傾斜する第１傾斜面を有している。
【００９２】
楔部材７０は、第１保持部材３１Ｂの凹部７１に挿入可能、且つ、凹部７１の第１傾斜面と平行に形成され、凹部７１の第１傾斜面と当接する第２傾斜面を有する略三角形状の薄板に形成されている。なお、第１保持部材３１Ｂは、上述した接続装置１，１Ａに設けられた収納空間３４、回転部材３７及びクランク軸３８を有さない構成である。即ち、第１保持手段３０Ｂは、凹部７１に対して楔部材７０を移動させることで、この楔部材７０により第１保持部材を最上位置及び最下位置間を移動させることが可能に形成されている。
【００９３】
このように構成された接続装置１Ｂは、図１０に示すように、電源ケーブルＫの接続部Ｌを狭持部１２Ｂに挿入させる際には、第１保持部材３１Ｂが最下位置となる位置に、第１保持部材３１Ｂの凹部７１に楔部材７０を当接させておく。
【００９４】
次に、接続部Ｌを狭持部１２Ｂに挿入後、図１１に示すように、第１保持部材３１Ｂが最上位置に位置するように、ハンマ等により楔部材７０を押圧し、楔部材７０を凹部７１に押し入れる。これにより、楔部材７０が第１保持部材３１Ｂの凹部７１に嵌入され、第１保持部材３１Ｂが、最上位置へ移動する。これにより、第１保持部材３１Ｂの最下位置への移動が、楔部材７０により規制され、狭持部１２Ｂにより、接続部Ｌが狭持される。なお、第１保持部材３１Ｂの移動の規制を解除するには、楔部材７０の挿入方向とは反対方向から押圧すればよい。
【００９５】
このように構成された接続装置１Ｂによれば、上述した接続装置１、１Ａと同等の効果を得ることが可能となる。また、回転部材３７を用いるのではなく、楔部材７０を押圧するだけでよいため、簡素な構成とすることが可能となる。なお、楔部材７０の移動を規制する所謂ロック機構等をさらに有する構成であってもよい。
【００９６】
なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではない。例えば、上述した例では、接続装置１の第１保持部材３１に設けられた第１開口部３５が第２端面板２５の開口部２７と対向して設けられ、第２開口部４１が第２端面板２５と対向することで、ピン４２が第１、第２開口部３５，４１に位置する構成としたが、これに限定されない。例えば、第１開口部３５を、第１保持部材３１の側面に設けてもよい。第１開口部３５を第１保持部材３１の側面に設ける場合には、第１保持部材３１が最上位置に位置するときに、第２開口部４１が第１開口部３５と対向するように、第２開口部４１を回転部材３７に設ければよい。これにより、第２端面板２５に開口部２７を設けなくてよい。
【００９７】
また、上述した例では、回転部材３７の回動（第１保持部材３１，３１Ａの移動）を規制するために、ピン４２及びコイルばね４３、連続部材６０及びスペーサ６１を用いたが、これに限定されない。また、第１保持部材３１Ｂの移動を規制するために、楔部材７０を用いる例を挙げたが、これに限定されない。第１保持部材３１〜３１Ｂが最上位置、即ち、電源ケーブルＫの接続部Ｌを狭持部１２〜１２Ｂによる狭持を確実に維持可能、即ち、狭持が緩まない構成であれば、他の構成を用いてもよい。
【００９８】
さらに、上述した例では、接続装置１，１Ａ，１Ｂは熱処理装置１００に用いられるとしたが、これに限定されない。即ち、接続装置１，１Ａ，１Ｂは、熱処理装置１００以外の製造装置であってもよい。例えば、接続装置１，１Ａ，１Ｂは、振動が印加される製造装置や振動装置等の電源端子と電源ケーブルＫとを接続してもよい。例えば、接続装置１は、振動環境下においても、回転部材３７は、ピン４２によりその回動が規制されるため、振動が印加されても回転部材３７が回転することがない。このため、接続装置１は確実に電源ケーブルＫを狭持することが可能となる。また、接続装置１，１Ａ，１Ｂは、これら装置だけでなく、モータの電源端子や、プラズマ用電極と接続する端子等と電源ケーブルＫとを接続してもよく、電源ケーブルＫだけでなく他のケーブルを接続しても勿論よい。この他、本考案の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能である。
【符号の説明】
【００９９】
１〜１Ｂ…接続装置、１１…外囲部、１２〜１２Ｂ…狭持部、１５…側面板、１６…貫通孔、１７…切欠部、１８…孔部、２０…第１端面板、２１…突起部、２２…円筒部、２５…第２端面板、２６…突起部、２７…開口部、３０〜３０Ｂ…第１保持手段、３１〜３１Ｂ…第１保持部材、３２…移動手段、３３…押圧部、３４…収納空間、３５…第１開口部、３７、３７Ａ…回転部材、３８…クランク軸、３９…保持軸、４１…第２開口部、４２…ピン（規制手段）、４２ａ…座面、４２ｂ…挿入部、４３…コイルバネ（弾性部材）、５０，５０Ａ…第２保持手段、５１…第２保持部材、５２…端子部、５３…座部、５４…板部、５５…円筒部、５６…スプリング（ばね部材）、６０…連続部材、６１…スペーサ（規制手段）、７０…楔部材、７１…凹部、１００…製造装置（熱処理装置）、１０１…熱処理室、１０２…熱処理手段、１１０…反応管、１１１…マニホールド、１１２…ウェハボード、１１３…蓋体、１１４…保温筒、１１５…ガス供給手段、１１５ａ…ガス供給管、１１５ｂ…流量調整部、１１６…排気手段、１１６ａ…排気管、１１６ｂ…排気調整部、１１８…処理空間、１１９…ボートエレベータ、１３０…ヒータ部、１３１…電源部、１３２…温度センサ、１３４…ヒータ素線、１３５…電源端子、Ｂ…ビス、Ｋ…電源ケーブル、Ｌ…接続部、Ｗ…半導体ウェハ（ウェハ）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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