(57)【要約】【課題】加工テーブルの駆動部品にかかる負荷を低減するとともに、精度良くワークを加工制御する加工制御装置およびレーザ加工装置を得ること。【解決手段】加工テーブル上の治具に載置されたワークの３次元レーザ加工を制御する加工制御装置において、ワークのレーザ加工を開始する前に、加工テーブルに移動指令を送って所定の動作を行わせる軸移動指令部３２と、移動指令によって加工テーブルを動作させる際に用いた電流値を測定する電流測定部３３と、ワークを３次元レーザ加工する際の加工条件として、加工テーブルを動作させる駆動軸の軸加速度を、測定された電流値に基づいて設定する軸加速度変更部３４と、設定された軸加速度に従ってワークへの制御指示を出力して３次元レーザ加工を制御する制御指示部３１と、を備える。【選択図】図５
2011070538.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工テーブル上の治具に載置されたワークの３次元レーザ加工を制御する加工制御装置において、
前記ワークのレーザ加工を開始する前に、前記加工テーブルに移動指令を送って所定の動作を行わせる移動指令部と、
前記移動指令によって前記加工テーブルを動作させる際に用いた電流値を測定する電流測定部と、
前記ワークを３次元レーザ加工する際の加工条件として、前記加工テーブルを動作させる駆動軸の軸加速度を、測定された前記電流値に基づいて設定する軸加速度設定部と、
設定された前記軸加速度に従って前記ワークへの制御指示を出力して前記３次元レーザ加工を制御する制御部と、
を備えることを特徴とする加工制御装置。
【請求項２】
前記移動指令は、スリープ信号または白色ノイズの加振信号であることを特徴とする請求項１に記載の加工制御装置。
【請求項３】
前記軸加速度は、前記ワークの加工に用いる加工プログラム毎に設定されることを特徴とする請求項１または２に記載の加工制御装置。
【請求項４】
加工テーブル上の治具に載置されたワークの３次元レーザ加工を行うレーザ加工装置において、
前記ワークのレーザ加工を開始する前に、前記加工テーブルに移動指令を送って所定の動作を行わせる移動指令部と、
前記移動指令によって前記加工テーブルを動作させる際に用いた電流値を測定する電流測定部と、
前記ワークを３次元レーザ加工する際の加工条件として、前記加工テーブルを動作させる駆動軸の軸加速度を、測定された前記電流値に基づいて設定する軸加速度設定部と、
設定された前記軸加速度に従って前記ワークへの制御指示を出力して前記３次元レーザ加工を制御する制御部と、
前記制御部からの制御指示に基づいて、前記ワークの３次元レーザ加工を行う加工処理部と、
を備えることを特徴とするレーザ加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工テーブルを移動させながらワークのレーザ加工制御を行う加工制御装置およびレーザ加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
３次元レーザ加工機は、基本的にワーク表面に対して面直にレーザを照射させることによりレーザ加工を行っている。このような３次元レーザ加工機では、加工テーブル上に治具を載置するとともに治具の上にワークを載置し、ワークの各ティーチング位置に加工テーブルと加工ヘッドを移動させながらレーザ加工を行っている。
【０００３】
例えば、特許文献１に記載の３次元レーザ加工機では、現在の回転軸および姿勢軸の角度からノズル方向ベクトルを算出すると共に、一定時間に姿勢軸が変化した角度を算出している。そして、姿勢軸の角度変化量に応じてノズル方向ベクトルのＸＹ方向を一定に保つように回転軸を回す角度を算出し、算出した角度分、回転軸を回転させる制御を行なっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第０１／０８７５３２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記従来の技術では、加工テーブルを移動させる際には、ワークを載置する治具の重量に関わらず、３次元レーザ加工機に設定された所定の加速度で加工テーブルを移動させている。加工テーブルを移動させる際には、加工テーブルの駆動部に治具の重量分の負荷がかかり駆動部品の短寿命化を招くこととなる。また、ワークを載置する治具の重量が重い場合、正確な位置に加工テーブルを停止させることが困難となり、この結果、ワークの加工精度が悪化するという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、加工テーブルの駆動部品にかかる負荷を低減するとともに、精度良くワークを加工制御する加工制御装置およびレーザ加工装置を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、加工テーブル上の治具に載置されたワークの３次元レーザ加工を制御する加工制御装置において、前記ワークのレーザ加工を開始する前に、前記加工テーブルに移動指令を送って所定の動作を行わせる移動指令部と、前記移動指令によって前記加工テーブルを動作させる際に用いた電流値を測定する電流測定部と、前記ワークを３次元レーザ加工する際の加工条件として、前記加工テーブルを動作させる駆動軸の軸加速度を、測定された前記電流値に基づいて設定する軸加速度設定部と、設定された前記軸加速度に従って前記ワークへの制御指示を出力して前記３次元レーザ加工を制御する制御部と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、加工テーブルを動作させる駆動軸の軸加速度を、加工テーブルを動作させる際に用いた電流値に基づいて設定するので、加工テーブルの駆動部品にかかる負荷を低減できるとともに、精度良くワークを加工制御することが可能になるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、本発明の実施の形態に係る３次元レーザ加工機の構成を示す図である。
【図２】図２は、加工ヘッドの構成の一例を示す図である。
【図３】図３は、棒状部材の治具の一例を示す図である。
【図４】図４は、板状部財の治具の一例を示す図である。
【図５】図５は、実施の形態に係る３次元レーザ加工機の構成を示すブロック図である。
【図６】図６は、実施の形態に係る３次元レーザ加工機の動作手順を示すフローチャートである。
【図７】図７は、軸加速度を設定するための軸移動指令の一例を示す図である。
【図８】図８は、スリープ信号の一例を示す図である。
【図９】図９は、白色ノイズの加振信号の一例を示す図である。
【図１０】図１０は、測定電流値と軸加速度との関係の一例を示す図である。
【図１１】図１１は、電流／軸加速度対応情報の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に、本発明の実施の形態に係る加工制御装置およびレーザ加工装置を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１１】
実施の形態．
図１は、本発明の実施の形態に係る３次元レーザ加工機の構成を示す図である。図１では、３次元レーザ加工機１００の構成例を斜視図として示している。本実施の形態の３次元レーザ加工機１００は、加工テーブル２に搭載したワークＷおよびワークＷを載置する治具５０Ｘの重量毎に設定した軸加速度（後述の軸加速度Ａ）で加工テーブル２を移動させながらワークＷの３次元レーザ加工を行う。
【００１２】
３次元レーザ加工機１００は、ベッド１上にＸ軸方向に移動可能に設けられた加工テーブル（ワークテーブル）２を備えている。加工テーブル２の上面には治具５０Ｘが載置され、治具５０Ｘの上側にワークＷが載置される。治具５０Ｘは、ワークＷを固定するための部材で構成されている。
【００１３】
また、３次元レーザ加工機１００は、左右のコラム４，５間に水平に掛け渡されたクロスレール６と、クロスレール６にＹ軸方向に移動可能に設けられたＹ軸ユニット７と、Ｙ軸ユニット７にＺ軸方向に移動可能に設けられたＺ軸ユニット８と、Ｚ軸ユニット８に取り付けられた加工ヘッド９と、加工ヘッド９の先端部に取り付けられた加工ノズル（レーザ用ノズル）１０と、コンピュータ式の加工制御装置３０を有している。
【００１４】
加工制御装置３０は、マンマシンインタフェースとして、操作盤１１Ａ、ＣＲＴ等の画面表示部１１Ｂを具備している。加工テーブル２、Ｙ軸ユニット７、Ｚ軸ユニット８は、それぞれ、図示省略のＸ軸サーボモータ、Ｙ軸サーボモータ、Ｚ軸サーボモータによって駆動され、加工制御装置３０からの各軸指令によって位置制御される。
【００１５】
加工ヘッド９は、従来のものと同様に構成されている。図２は、加工ヘッドの構成の一例を示す図である。加工ヘッド９は、Ｚ軸ユニット８の先端に軸受部材１３によってα軸（Ｚ軸）の中心軸線周りに回転可能な回転軸１４と、回転軸１４の先端に軸受部材１５によって取り付けられてα軸に対して傾斜した軸線周り（β軸）に回転可能な姿勢軸１６とを有し、姿勢軸１６の先端に加工ノズル１０が取り付けられている。回転軸１４はα軸サーボモータ１７によって回転駆動され、姿勢軸１６はβ軸サーボモータ１８によって回転駆動される。
【００１６】
Ｘ軸サーボモータ、Ｙ軸サーボモータ、Ｚ軸サーボモータ（図示省略）、α軸サーボモータ１７、β軸サーボモータ１８は、それぞれ加工制御装置３０からの駆動信号によって駆動される。また、各軸（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、α軸、β軸）のサーボモータは、ティーチングデータに従って加工テーブル２上のワーク（被加工物）Ｗに対する加工ノズル１０の離間距離を一定に保持しながらレーザ光のスポットが加工線周りを倣うと共に加工ノズル１０の方向姿勢がワークＷの表面に対してほぼ垂直（法線）となるよう加工制御装置３０によって制御される。これにより、回転軸１４および姿勢軸１６を回転させた際に、加工点を不変とすることが可能となる。
【００１７】
つぎに、治具５０Ｘの構成について説明する。治具５０Ｘは、複数からなる棒状の部材であってもよいし、複数からなる板状の部材であってもよい。図３は、棒状部材の治具の一例を示す図であり、図４は、板状部財の治具の一例を示す図である。図３では、治具５０Ｘの一例を棒状治具（棒状部材）５０Ａとして示しており、図４では、治具５０Ｘの一例を板状治具（板状部材）５０Ｂとして示している。
【００１８】
図３に示すように、各棒状治具５０Ａは、一方の端部（下端側）が加工テーブル２上に立てられている。そして、各棒状治具５０Ａは、ワークＷの底面の形状に応じた位置に各棒状治具５０Ａの他方の端部（上端側）が並ぶよう、加工テーブル２上に配置されている。
【００１９】
また、図４に示すように、各板状治具５０Ｂは、側面（下端側）が加工テーブル２上に立てられている。そして、各板状治具５０Ｂは、ワークＷの底面の形状に応じた位置に各棒状治具５０Ａの上端側の側面が並ぶよう、加工テーブル２上に配置されている。なお、治具５０Ｘは、例えば棒状治具５０Ａと板状治具５０Ｂを組み合わせた構成であってもよい。
【００２０】
図５は、実施の形態に係る３次元レーザ加工機の構成を示すブロック図である。３次元レーザ加工機１００は、加工制御装置３０および加工処理装置（加工処理部）４０を有している。加工処理装置４０は、図１に示したベッド１と、加工テーブル２と、左右のコラム４，５と、クロスレール６と、Ｙ軸ユニット７と、Ｚ軸ユニット８と、加工ヘッド９と、加工ノズル１０と、治具５０Ｘと、を有している。加工処理装置４０は、加工制御装置３０の制御指示部３１から送られてくる制御指示情報に従って、ワークＷをレーザ加工する。本実施の形態の加工処理装置４０は、加工テーブル２に搭載したワークＷおよび治具５０Ｘの重量に応じた軸加速度Ａで加工テーブル２を移動させる。
【００２１】
加工制御装置３０は、制御指示部３１、電流測定部３３、軸加速度変更部（軸加速度設定部）３４を備えている。制御指示部３１は、数値制御装置（ＮＣ：Numerical  Control）であり、ワークＷに対応するＮＣデータ（加工プログラム）に基づいて、加工処理装置４０を制御する。制御指示部３１は、加工処理装置４０を制御するための制御指示情報を加工処理装置４０に送る。
【００２２】
本実施の形態の制御指示部３１は、軸移動指令部３２を備えている。軸移動指令部３２は、例えば３次元レーザ加工機１００を起動した際に、加工テーブル２をＸ軸方向に移動させる駆動軸（以下、テーブル駆動軸という）を動作させるよう、加工処理装置４０を制御する。また、制御指示部３１は、ワークＷをレーザ加工する際に、軸加速度変更部３４で設定されたテーブル駆動軸の加速度（軸加速度Ａ）で加工テーブル２を移動させる。
【００２３】
電流測定部３３は、加工テーブル２の移動に用いた出力電流（テーブル駆動軸に供給した電流値）を測定する。電流測定部３３は、軸移動指令部３２の制御によって加工テーブル２が動作している間、テーブル駆動軸への出力電流を測定する。電流測定部３３は、測定した電流を軸加速度変更部３４に送る。
【００２４】
軸加速度変更部３４は、電流測定部３３から送られてくる電流の測定結果（以下、測定電流値Ｉという）に基づいて、軸加速度Ａを設定する。軸加速度変更部３４は、例えば予め設定されている基準の軸加速度Ａを変更することによって軸加速度Ａを設定する。軸加速度変更部３４は、設定した軸加速度ＡでワークＷのレーザ加工を行うよう制御指示部３１に指示を送る。
【００２５】
加工テーブル２の移動の際に加工テーブル２にかかる負荷は、ワークＷの重量だけではなく治具５０Ｘの重量、加工テーブル２の重量も関係する。このため、電流測定部３３によって測定される測定電流値Ｉは、加工テーブル２の重量、治具５０Ｘの重量、ワークＷの重量によって異なる。このうち、加工テーブル２の重量は、何れのワークＷを加工する場合であっても一定である。また、ワークＷの重量は、治具５０Ｘの重量と比べて軽い場合がある。したがって、電流測定部３３によって測定される測定電流値Ｉは、治具５０Ｘの重量の影響を大きく受けることが多い。このため、本実施の形態の軸加速度変更部３４は、測定電流値Ｉに基づいて軸加速度Ａを設定する。換言すると、加工テーブル２の動作に応じた測定電流値Ｉをもとに、治具５０Ｘの重量（治具重量）とワークＷの重量を判断し、加工テーブル２の軸加速度Ａを変更する。これにより、加工テーブル２に搭載したワークＷおよび治具５０Ｘの重量に応じた軸加速度Ａの変更を行うことができる。
【００２６】
つぎに、３次元レーザ加工機１００の動作手順について説明する。図６は、実施の形態に係る３次元レーザ加工機の動作手順を示すフローチャートである。ワークＷのレーザ加工を行うトリガ信号がＯＮになると（ステップＳ１０）、軸移動指令部３２は、加工処理装置４０にテーブル駆動軸を動作させるよう、加工処理装置４０に軸移動に関する指令（軸移動指令）を送る（ステップＳ２０）。ワークＷのレーザ加工を行うトリガ信号は、３次元レーザ加工機１００の電源ＯＮ（起動信号）であってもよいし、サーボＯＮ（Ｘ軸サーボモータへの電源投入）であってもよい。
【００２７】
軸移動指令部３２は、例えばテーブル駆動軸に対して、軸加速度Ａを設定するための軸移動指令を与えてテーブル駆動軸の軸移動を実施する。図７は、軸加速度を設定するための軸移動指令の一例を示す図である。軸移動指令は、例えば三角波や矩形波を組み合わせることによって、加工テーブル２を種々の移動量だけ移動させる指令である。
【００２８】
なお、軸移動指令部３２は、軸移動指令の代わりにスリープ信号や白色ノイズの加振信号を加工処理装置４０に送ってもよい。図８は、スリープ信号の一例を示す図であり、図９は、白色ノイズの加振信号の一例を示す図である。スリープ信号や白色ノイズの加振信号は、周波数応答（ゲイン）を測定することによって、３次元レーザ加工機１００の機械特性を把握する際に用いられる入力信号である。図８に示すように、スリープ信号は、例えばｓｉｎ波である。また、図９に示すように白色ノイズの加振信号は、加工テーブル２をランダムに微小移動をさせるためのランダムな微小信号である。
【００２９】
軸移動指令部３２から、軸移動指令などが加工処理装置４０に送られると、テーブル駆動軸を動作させるＸ軸サーボモータに軸移動指令に応じた電流が送られる。これにより、Ｘ軸サーボモータがテーブル駆動軸を動作させ、加工テーブル２を軸移動指令に応じた位置に移動させる。電流測定部３３は、軸移動指令を加工処理装置４０に送っている間、加工テーブル２の移動に用いた電流を測定電流値Ｉとして測定（サンプリング）する（ステップＳ３０）。測定電流値Ｉは、加工処理装置４０に送られてフィードバック制御に用いられる。また、電流測定部３３は、測定電流値Ｉを軸加速度変更部３４に送る。
【００３０】
軸加速度変更部３４は、測定電流値Ｉが予め設定しておいた規定値（閾値）以上であるか否かを判断する（ステップＳ４０）。規定値は、軸移動指令、スリープ信号、白色ノイズの加振信号などのテーブル駆動軸を動作させる指令に応じて設定される。例えば、図７に示す軸移動指令を加工テーブル２に与えた場合、図７に示した波形に対応する測定電流値Ｉが得られるはずである。したがって、図７に示した波形に応じた規定値を設定しておく。
【００３１】
測定電流値Ｉが予め設定しておいた規定値以上である場合（ステップＳ４０、Ｙｅｓ）、軸加速度Ａを測定電流値Ｉに応じた値に切り換える（ステップＳ５０）。換言すると、軸加速度変更部３４は、測定電流値Ｉが規定値以上である場合、ワークＷおよび治具５０Ｘの搭載重量が大きいと判断して、緩やかな軸加速度Ａに設定する（軸加速度Ａを下げる）。これにより、加工テーブル２を移動させる際の軸加速度Ａが、加工テーブル２に搭載したワークＷおよび治具５０Ｘの重量に応じた軸加速度Ａに設定される。
【００３２】
図１０は、測定電流値と軸加速度との関係の一例を示す図である。軸加速度変更部３４は、例えば図１０に示す測定電流値Ｉと軸加速度Ａとの関係に基づいて測定電流値Ｉを設定する。図１０は、横軸が測定電流値Ｉであり、縦軸が軸加速度Ａである。測定電流値Ｉが所定の規定値以上になると、初期設定されていた軸加速度Ａを小さな値に変更する。このとき、測定電流値Ｉが大きくなるにしたがって、軸加速度Ａが小さくなるよう設定される。換言すると、加工テーブル２に搭載したワークＷおよび治具５０Ｘの重量が重くなるにしたがって、軸加速度Ａが小さくなるよう設定される。
【００３３】
なお、ここでは、図１０に示した測定電流値Ｉと軸加速度Ａとの関係に基づいて、軸加速度Ａを設定する場合について説明したが、図１０以外の測定電流値Ｉと軸加速度Ａとの関係に基づいて、軸加速度Ａを設定してもよい。
【００３４】
また、測定電流値Ｉと軸加速度Ａとの関係は、グラフで示される関係に限らず数式で示される関係であってもよい。軸加速度変更部３４は、例えば式（１）、式（２）を用いて軸加速度Ａを設定する。なお、式（１）でのＩ0が規定値であり、Ａ0が規定値Ｉ0よりも測定電流値Ｉが小さな場合の軸加速度（初期設定値）である。
Ｉ＜Ｉ0、Ａ＝Ａ0・・・（１）
Ｉ≧Ｉ0、Ａ＝−（Ｉ／４）＋Ａ0＋（Ｉ0／４）・・・（２）
【００３５】
また、測定電流値Ｉと軸加速度Ａとの関係として、測定電流値Ｉの所定範囲と軸加速度Ａの所定範囲とを対応付けしておき、この対応関係（後述の電流／軸加速度対応情報１０１）に基づいて軸加速度Ａを設定してもよい。
【００３６】
図１１は、電流／軸加速度対応情報の一例を示す図である。電流／軸加速度対応情報１０１では、測定電流値Ｉと、軸加速度Ａと、が対応付けられている。なお、ここでのＩ0は規定値である。例えば、Ｉ＜Ｉ0と軸加速度Ａの１００％（初期設定値）とが対応付けられ、Ｉ0≦Ｉ＜Ｉ1と初期設定値の６０％の軸加速度Ａとが対応付けられ、Ｉ1≦Ｉ＜Ｉ2と初期設定値の３０％の軸加速度Ａとが対応付けられている。
【００３７】
測定電流値Ｉが予め設定しておいた規定値以上である場合、軸加速度変更部３４は、設定した軸加速度ＡでワークＷのレーザ加工を行うよう制御指示部３１に指示を送る。一方、測定電流値Ｉが予め設定しておいた規定値未満である場合（ステップＳ４０、Ｎｏ）、軸加速度変更部３４は、軸加速度Ａを切り換えることなく初期設定されていた軸加速度Ａをそのまま採用する。そして、軸加速度変更部３４は、初期設定の軸加速度ＡでワークＷのレーザ加工を行うよう制御指示部３１に指示を送る。
【００３８】
この後、ワークＷの加工処理が開始される（ステップＳ６０）。制御指示部３１は、ワークＷをレーザ加工する際に、軸加速度変更部３４が設定した軸加速度Ａで加工テーブル２を移動させる。
【００３９】
なお、軸加速度Ａを手動にて切り換えも可能なように、操作盤１１Ａや画面表示部１１Ｂ（ユーザ画面）に軸加速度Ａを切り換えるための設定欄を設けておいてもよい。軸加速度Ａの手動入力は、ボタン形式または数値の入力形式などで行われる。手動での軸加速度の切り換えが有効な状態に設定されている場合は、緩やかな軸加速度Ａに切り換えられる。また、測定電流値Ｉにおいて規定値Ｉ0よりも測定電流値Ｉが大きな場合は、画面表示部１１Ｂ（ユーザ画面）上に警告またはアラーム表示をして、ユーザ認識のもと軸加速度Ａを手動にて切り換えを実施することも可能とする。
【００４０】
ところで、テーブル駆動軸、モータ、ボールネジなどの加工テーブル２の駆動部品が劣化した場合、加工テーブル２を移動させる際に要する電流が大きくなる場合がある。このような場合であっても、本実施の形態では、測定電流値Ｉに基づいて軸加速度Ａを変更するので、駆動部品の損壊などを防止することが可能となる。
【００４１】
なお、本実施の形態では、加工テーブル２の移動方向がＸ方向である場合について説明したが、加工テーブル２は、Ｘ方向に限らずＹ方向やＺ方向に移動させてもよい。この場合、Ｙ方向やＺ方向への移動の際にも加工テーブル２に搭載したワークＷおよび治具５０Ｘの重量に応じて軸加速度Ａを変更する。
【００４２】
また、ワークＷの加工に用いる加工プログラムが、前回のワークＷの加工に用いた加工プログラムと同一であった場合、前回設定した軸加速度Ａで今回のワークＷを加工してもよい。換言すると、軸加速度Ａは、ワークＷの加工に用いる加工プログラム毎に設定してもよい。この場合、加工プログラム毎の軸加速度Ａをデータベースなどに登録しておく。そして、ワークＷの加工を開始する際に、ワークＷの加工に用いる加工プログラムに対応する軸加速度Ａがデータベースから抽出されてワークＷの加工に用いられる。
【００４３】
このように、実施の形態によれば、加工テーブル２に搭載したワークＷおよび治具５０Ｘの重量に応じて軸加速度Ａを変更するので、加工テーブル２の駆動部品にかかる負荷を低減することができ、その結果駆動部品の長寿命化を図ることが可能となる。また、加工テーブル２に搭載したワークＷおよび治具５０Ｘの重量に応じて軸加速度Ａを変更するので、ワークＷの加工精度を向上させることが可能となる。
【００４４】
また、スリープ信号や白色ノイズの加振信号を用いて測定電流値Ｉを測定するので、容易に測定電流値Ｉを測定することが可能となる。また、軸加速度Ａを、ワークＷの加工に用いる加工プログラム毎に設定するので、重複した軸加速度Ａの設定を行う必要がなくなる。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
以上のように、本発明に係る加工制御装置およびレーザ加工装置は、加工テーブルを移動させながらワークのレーザ加工を行う加工制御に適している。
【符号の説明】
【００４６】
２  加工テーブル
３０  加工制御装置
３１  制御指示部
３２  軸移動指令部
３３  電流測定部
３４  軸加速度変更部
４０  加工処理装置
５０Ａ  棒状治具
５０Ｂ  板状治具
１００  ３次元レーザ加工機
１０１  電流／軸加速度対応情報
Ｗ  ワーク
【図１】
2011070538.tif 000003
【図２】
2011070538.tif 000004
【図３】
2011070538.tif 000005
【図４】
2011070538.tif 000006
【図５】
2011070538.tif 000007
【図６】
2011070538.tif 000008
【図７】
2011070538.tif 000009
【図８】
2011070538.tif 000010
【図９】
2011070538.tif 000011
【図１０】
2011070538.tif 000012
【図１１】
2011070538.tif 000013