(57)【要約】      （修正有）【課題】弁開度を検出する弁開度検出センサを設けた流体制御弁において、低コストで、組付け時の作業性を向上させることができる流体制御弁を提供する。【解決手段】薬液弁１は、カバー２０の蓋部上に配置される開口から収容し、弁開度検出センサ８０を保持させる内部空間７０Ｓが形成されたセンサカバー７０を備え、センサカバー７０には、カバー２０及び当該センサカバー７０の厚み方向に延びる係止部が形成され、カバー２０には、係止部と係留する溝部が形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁座に当接または離間して流体の流れを制御する弁体と、前記弁体と連結するピストンと、前記ピストンと連結するインジケータと、前記ピストンを収納するシリンダの開口を塞ぐと共に、前記インジケータが挿通する貫通孔を有するカバーと、前記インジケータを介して前記弁体の弁開度を検出する弁開度検出センサとを備える流体制御弁において、
前記カバー上に配置される開口から収容し、前記弁開度検出センサを保持させる内部空間が形成されたセンサカバーを備え、
前記センサカバーまたは前記カバーのいずれか一方には、前記カバー及び前記センサカバーの厚み方向に延びる係止部が形成され、その他方には、前記係止部と係留する溝部が形成されていることを特徴とする流体制御弁。
【請求項２】
請求項１に記載する流体制御弁において、
前記内部空間には、前記開口に向けて突出する弾性変形可能な押圧部を有し、
前記係止部と前記溝部とが係留して、前記弁開度検出センサが、前記カバーと共に前記押圧部によって押圧された状態で、保持されていることを特徴とする流体制御弁。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載する流体制御弁において、
前記センサカバー及び前記カバーは、いずれも樹脂からなることを特徴とする流体制御弁。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３に記載する流体制御弁において、
前記係止部は、前記センサカバーに設けられ、
前記センサカバーには、前記溝部と係留した前記係止部を、前記溝部から係留を解除するための係留解除孔が形成されていることを特徴とする流体制御弁。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか１つに記載する流体制御弁において、
前記インジケータは、当該流体制御弁の軸心方向に延びる軸部と、前記軸部より径外側に突出する突出部を有し、
前記ピストンは、前記軸心方向に対し、前記インジケータの前記突出部と係止する係止部を有すること、
前記突出部を前記係止部に係止させて、前記インジケータと前記ピストンとが、連結していることを特徴とする流体制御弁。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか１つに記載する流体制御弁において、
前記インジケータの上端部は、前記弁開度検出センサが前記弁体の弁開度を検出するときの被検出部となっていることを特徴とする流体制御弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、弁体を弁座に当接または離間させて流体の流れを制御する流体制御弁に関する。詳しくは、弁体の弁開度を検出する弁開度検出センサを備えた流体制御弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体製造装置や液晶パネル製造装置等には、例えば、特許文献１に記載されているような薬液弁が用いられている。薬液弁は、入力ポートと出力ポートの間にある弁座に対し、弁体が当接または離間することで、入力ポートから出力ポートへの薬液の流れを制御する流体制御弁である。特許文献１に記載された薬液弁の断面図を図１９に示す。
特許文献１の薬液弁は、流体制御部、及びこの流体制御部の下流側流路側に流体圧力検出部を併設している。流体制御部は、コイルスプリング等のバネによる付勢力と、この付勢力に抗する向きに、加圧した操作エアによる押圧力とを、ピストンに作用させて、ダイアフラム弁体が弁座に対し、当接または離間するようになっている。
一方、流体圧力検出部は、下流側流路を流れる薬液の圧力を利用して、流体制御部のダイアフラム弁体の弁開閉状態を検出するようになっている。
【０００３】
すなわち、流体圧力検出部では、図１９に示すように、圧力検出体１４０と接続したピストン１５０が、圧力検出体１４０の上下方向に延びるシャフト１６０と一体に形成され、シャフト１６０上部に２面幅を有する被検出部１６１が、薬液弁のカバー１２０から外部に突出している。フォトマイクロセンサ１８０は、このカバー１２０外部にボルト１７２締めで固定したブラケット１７１に保持されている。
特許文献１の薬液弁では、制御する薬液の圧力が、ダイアフラム弁体の弁開量に応じて下流側流路で変化すると、薬液の圧力変動によりシャフト１６０の被検出部１６１が上下動するため、フォトマイクロセンサ１８０が、その光軸１８３で、シャフト１６０の被検出部１６１の動きに基づいて検出する。
作業者は、このフォトマイクロセンサ１８０の検出結果により、流体制御部においてダイアフラム弁体が開弁状態にあるか、あるいは閉弁状態にあるかを確認することができている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１５１２６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の薬液弁のように、弁開度を検出する弁開度検出センサを設けた流体制御弁では、以下の２つの問題があった。
（１）コスト高になる問題
（２）弁開度検出センサの組付け時の作業性が悪い問題
これらの問題は、以下の理由で生じていた。
【０００６】
（１）コスト高になる問題
特許文献１は、フォトマイクロセンサ１８０を薬液弁本体に取付けるのに、大きなブラケット１７１をカバー１２０外部にボルト１７２締めで固定させ、このブラケット１７１にフォトマイクロセンサ１８０を保持させていた。そのため、単にフォトマイクロセンサ１８０を薬液弁本体に固定するためだけに、大きなブラケット１７１を用いたり、そのブラケット１７１をカバー１２０に固定するためだけに、複数のボルト１７１が必要となっていたことで、製品全体で部品点数が増えてしまい、結果的に製品がコストアップとなっていた。
【０００７】
（２）弁開度検出センサの組付け時の作業性が悪い問題
また、本願出願人が出願した特許文献１には開示されていないが、特許文献１の薬液弁では、フォトマイクロセンサ１８０は、細いねじを用いて、複数箇所にねじ止めしてブラケット１７１に固定されていた。そのため、フォトマイクロセンサ１８０の固定作業は、作業者にとって困難を伴い、作業性が悪かった。
また、特許文献１のフォトマイクロセンサのような、光学式の弁開度検出センサの光軸上を、被検出側の被検出部が移動することにより、被検出部が光軸を遮光するか否かで、被検出部の状態を検出する方法では、被検出部の範囲と光軸の位置とが、相対的に正確に位置決めした状態で設定されていないと、被検出部の状態を正確に検出できない。
そのため、流体制御弁の製造時に、弁開度検出センサを流体制御弁本体に取付けるときには、作業者は、個々の流体制御弁毎に、光軸と被検出部とを正確に位置決めする必要があり、その作業に困難を伴い、作業性が悪かった。
【０００８】
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、弁開度を検出する弁開度検出センサを設けた流体制御弁において、低コストで、組付け時の作業性を向上させることができる流体制御弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の問題点を解決するために、本発明の流体制御弁は、次の構成を有している。
（１）弁座に当接または離間して流体の流れを制御する弁体と、弁体と連結するピストンと、ピストンと連結するインジケータと、ピストンを収納するシリンダの開口を塞ぐと共に、インジケータが挿通する貫通孔を有するカバーと、インジケータを介して弁体の弁開度を検出する弁開度検出センサとを備える流体制御弁において、カバー上に配置される開口から収容し、弁開度検出センサを保持させる内部空間が形成されたセンサカバーを備え、センサカバーまたはカバーのいずれか一方には、カバー及びセンサカバーの厚み方向に延びる係止部が形成され、その他方には、係止部と係留する溝部が形成されていることを特徴とする。
（２）（１）に記載する流体制御弁において、内部空間には、開口に向けて突出する弾性変形可能な押圧部を有し、係止部と溝部とが係留して、弁開度検出センサが、カバーと共に押圧部によって押圧された状態で、保持されていることを特徴とする。
（３）（１）または（２）に記載する流体制御弁において、センサカバー及びカバーは、いずれも樹脂からなることを特徴とする。
（４）（１）乃至（３）のいずれか１つに記載する流体制御弁において、係止部は、センサカバーに設けられ、センサカバーには、溝部と係留した係止部を、溝部から係留を解除するための係留解除孔が形成されていることを特徴とする。
（５）（１）乃至（４）のいずれか１つに記載する流体制御弁において、インジケータは、当該流体制御弁の軸心方向に延びる軸部と、軸部より径外側に突出する突出部を有し、ピストンは、軸心方向に対し、インジケータの突出部と係止する係止部を有すること、突出部を係止部に係止させて、インジケータとピストンとが、連結していることを特徴とする。
（６）（１）乃至（５）のいずれか１つに記載する流体制御弁において、インジケータの上端部は、弁開度検出センサが弁体の弁開度を検出するときの被検出部となっていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
上記構成を有する本発明の作用効果について説明する。
本発明の流体制御弁では、
（１）弁座に当接または離間して流体の流れを制御する弁体と、弁体と連結するピストンと、ピストンと連結するインジケータと、ピストンを収納するシリンダの開口を塞ぐと共に、インジケータが挿通する貫通孔を有するカバーと、インジケータを介して弁体の弁開度を検出する弁開度検出センサとを備える流体制御弁であって、カバー上に配置される開口から収容し、弁開度検出センサを保持させる内部空間が形成されたセンサカバーを備え、センサカバーまたはカバーのいずれか一方には、カバー及びセンサカバーの厚み方向に延びる係止部が形成され、その他方には、係止部と係留する溝部が形成されているので、従来必要であった弁開度検出センサを取付ける専用の大きなブラケットや、弁開度検出センサをブラケットに固定させるねじ等を必要せず、係止部と溝部とを係留させるだけで、カバーとセンサカバーに弁開度検出センサを直に取付けて固定させることができる。そのため、当該流体制御弁を構成する部品点数が、従来の流体制御弁よりも少なくでき、コストを低減することができる。
【００１１】
ところで、弁開度検出センサが、例えば、フォトマイクロセンサ等、光軸の遮光と受光を利用して被検出対象物を検出する被接触式のセンサである場合には、弁開度検出センサの取付位置が高精度に位置決めされていないと、弁開度検出センサは、弁体の弁開度の状態を正確に検出できない。
これに対し、本発明の流体制御弁では、弁開度検出センサをカバーとセンサカバーで覆い、係止部を溝部に係留させて、弁開度検出センサを保持しているため、弁開度検出センサのカバーへの取り付け位置は、係止部と溝部とが係留する位置で位置決めされる。そのため、弁開度検出センサの取付け作業では、作業者は、弁開度検出センサをカバーに載置し、その弁開度検出センサにセンサカバーを覆って、係止部を溝部に係留させるだけで、弁開度検出センサを、位置決めされた所定の位置に簡単に取付けることができる。
また、弁開度検出センサを流体制御弁本体に細いねじで固定させる従来の作業は、作業者にとって困難を伴い、弁開度検出センサの組立て性が良くなかったが、本発明の流体制御弁では、ねじを使わず、係止部と溝部とを係留するだけで、弁開度検出センサを固定することができ、組立て時の作業性が向上している。
従って、弁開度検出センサを設けた従来の流体制御弁に比して、部品点数が少なくなるため、コストが低減できると共に、弁開度検出センサの取付け作業を簡単にすることができるため、組付け時の作業性を向上させることができる、という優れた効果を奏する。
【００１２】
（２）また、本発明の流体制御弁では、内部空間には、開口に向けて突出する弾性変形可能な押圧部を有し、係止部と溝部とが係留して、弁開度検出センサが、カバーと共に押圧部によって押圧された状態で、保持されているので、カバーに対し、弁開度検出センサのぐらつきを防止できている。
また、外部で当該流体制御弁に受ける振動等や、弁体が弁座に当接、離間するときに生じる振動等によって、弁開度検出センサが、カバーと相対的にずれてしまうのを防止することができている。すなわち、このような振動が当該流体制御弁に作用しても、製造時に設定されたインジケータと弁開度検出センサとの位置関係を、長期間、維持することができる。
【００１３】
（３）また、本発明の流体制御弁では、センサカバー及びカバーは、いずれも樹脂からなるので、樹脂の中でも、例えば、フッ素系樹脂であれば、機械的強度が比較的大きく、強い酸性液やアルカリ性液にも耐え得る耐薬品性を有している上、射出成形等によって製造し易い利点がある。また、カバーと共にセンサカバーによって、弁開度検出センサをしっかりと安定した状態に固定することができる。
特に、係止部が、センサカバー本体またはカバー本体と一体で成形されている場合、係止部と溝部とを係留させるさせるときに、係止部が弾性変形して溝部に係留されるため、センサカバー及びカバーをいずれも樹脂で形成することで、係止部と溝部とが係留し易くなる。
なお、樹脂の具体的な材質として、例えば、ＰＶＤＦ（ポリビニリデンフルオライド、別名：２フッ化）、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン、別名：４フッ化）等のフッ素系樹脂のほか、ＰＰ（ポリプロピレン）等の樹脂が挙げられる。
【００１４】
（４）また、本発明の流体制御弁では、係止部は、センサカバーに設けられ、センサカバーには、溝部と係留した係止部を、溝部から係留を解除するための係留解除孔が形成されているので、当該流体制御弁のメンテナンス時に、係留解除孔に、例えば、工具や治具等を挿通して、溝部との係留が解除される向きに係止部を変形させるだけで、センサカバーをカバーから容易に取り外すことができる。
【００１５】
（５）また、本発明の流体制御弁では、インジケータは、当該流体制御弁の軸心方向に延びる軸部と、軸部より径外側に突出する突出部を有し、ピストンは、軸心方向に対し、インジケータの突出部と係止する係止部を有すること、突出部を係止部に係止させて、インジケータとピストンとが、連結しているので、ピストンの軸とインジケータの軸部との間で、軸ずれや傾きが多少生じたとしても、ピストンに追従してインジケータが動くことができる。ひいては、弁体と連結するピストンの動きが、インジケータとの間でロスが少なくインジケータに伝わり、弁体の弁開度として、適切な状態で弁開度検出センサで検出される。
【００１６】
（６）また、本発明の流体制御弁では、インジケータの上端部は、弁開度検出センサが弁体の弁開度を検出するときの被検出部となっているので、カバー上に配置した弁開度検出センサが、カバーの貫通孔を挿通したインジケータの上端部の位置状態を検出することで、弁体の弁開度を確認できるようになる。
すなわち、弁体の弁開度を検出する構造が簡単になることから、当該流体制御弁の製造コストが安価になる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施形態に係る薬液弁を示す断面図である。
【図２】実施形態に係る薬液弁を上方から見た平面図である。
【図３】実施形態に係る薬液弁のカバーを示す図であり、（ａ）は上方から見た平面図、（ｂ）は（ａ）中、Ａ−Ａ矢視断面図である。
【図４】実施形態に係る薬液弁のピストンを上方から見た平面図である。
【図５】実施形態に係る薬液弁のピストンの側面図である。
【図６】図５に示すピストンを９０°位相を変えて見たときの側面図である。
【図７】図６中、Ｂ−Ｂ矢視断面図である。
【図８】実施形態に係る薬液弁のインジケータを上方から見た平面図である。
【図９】実施形態に係る薬液弁のインジケータの側面図である。
【図１０】図９に示すインジケータを９０°位相を変えて見たときの側面図である。
【図１１】図１０に示すインジケータを下方から見た平面図である。
【図１２】実施形態に係る薬液弁においてピストンとインジケータとが接続した様子を説明する説明図である。
【図１３】実施形態に係る薬液弁のセンサカバーを上方から見た平面図である。
【図１４】実施形態に係る薬液弁のセンサカバーの側面図である。
【図１５】図１３中、Ｃ−Ｃ矢視断面図である。
【図１６】図１５中、Ｄ部の拡大図である。
【図１７】実施形態に係る薬液弁のセンサカバーを下方から見た平面図である。
【図１８】図１７中、Ｅ−Ｅ矢視断面図である。
【図１９】実施形態に係る薬液弁のセンサカバーの取り外し方を説明する説明図である。
【図２０】第１変形例に係るセンサカバーを示す図であり、（ａ）は下方から見た平面図、（ｂ）は（ａ）中、Ｆ−Ｆ矢視断面図である。
【図２１】第２変形例に係るセンサカバーを示す図であり、（ａ）は下方から見た平面図、（ｂ）は（ａ）中、Ｇ−Ｇ矢視断面図である。
【図２２】第３変形例に係るセンサカバーを示す図であり、（ａ）は下方から見た平面図、（ｂ）は（ａ）中、Ｈ−Ｈ矢視断面図である。
【図２３】第４変形例に係るセンサカバーを示す図であり、（ａ）は下方から見た平面図、（ｂ）は（ａ）中、Ｉ−Ｉ矢視断面図である。
【図２４】従来の薬液弁を断面で示した説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
（実施形態）
以下、本発明に係る流体制御弁について、実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
実施形態では、流体制御弁は、例えば、半導体製造装置や液晶パネル製造装置等に用いられる薬液弁であり、入力ポートと出力ポートの間にある弁座に対し、弁体が当接または離間することで、入力ポートから出力ポートへの薬液の流れを制御する目的で用いられる。
実施形態に係る薬液弁を、図１及び図２に示す。図１は、本実施形態に係る薬液弁の断面図であり、図２は、実施形態に係る薬液弁を上方から見た平面図である。
薬液弁１は、図１に示すように、主としてアクチュエータ部５、ボディ３０、センサカバー７０、弁開度検出センサ８０及び取付板９２等からなる。アクチュエータ部５と、ボディ３０と、取付板９２とは、これらに挿通する図示しないボルトと、これに螺合するナットとの締結力によって、一体に固定されている。
【００１９】
はじめに、ボディ３０について、図１を用いて説明する。
ボディ３０は、本実施形態では、射出成形によりＰＦＡ（ポリテトラフルオロエチレン）等のフッ素系樹脂でブロック状に成形されている。ボディ３０には、図１に示すように、弁座３１、入力ポート３２、出力ポート３３等が形成されている。
【００２０】
次に、アクチュエータ部５について、図１を用いて説明する。
アクチュエータ部５は、シリンダ１０、カバー２０、バネ９１、ダイアフラム弁体４０、ピストン５０、インジケータ６０等によって構成されている。
アクチュエータ部５は、弁座３１にダイアフラム弁体４０を当接または離間させて薬液の流れを制御するものであり、ダイアフラム弁体４０が、バネ９１による付勢力と、この付勢力に抗する向きに、加圧した操作エアＡＲによる押圧力とを作用させて、弁座３１に対し上下動するようになっている。
すなわち、本実施形態では、薬液弁１は、操作エアＡＲによる押圧力がピストン５０に作用しないときに、バネ９１の付勢力によってダイアフラム弁体４０が弁座３１に当接して閉弁し、操作エアＡＲによる押圧力がピストン５０に作用すると、ダイアフラム弁体４０が弁座３１から離間して開弁するノーマルクローズタイプの弁である。
【００２１】
まず、シリンダ１０について説明する。
ピストン５０を収容するシリンダ１０は、本実施形態では、上方から見たときに、操作ポート１７を除いた側面の外形形状が略正方形で、射出成形によりＰＶＤＦ（ポリビニリデンフルオライド、別名：２フッ化）等のフッ素系樹脂でブロック状に成形されている（図２参照）。
シリンダ１０は、その一側面に、操作エアＡＲを流入する操作ポート１７を有し、操作ポート１７は、組付け完了状態にある薬液弁１において、ピストン５０の受圧側に形成される操作エア室と連通するようになっている。
【００２２】
また、シリンダ１０は、図１に示すように、環状の内壁で囲まれた開口１１を有している。シリンダ１０の上方側には、シリンダ係止部１５が、内壁に、この内壁の径内側に突出すると共に、内壁の周方向に円弧状で形成されている。本実施形態では、シリンダ係止部１５は、それぞれ同じ形態で４箇所に設けられ、当該シリンダ１０の各側面にほぼ沿うような形態で、何れのシリンダ係止部１５とも、隣り合うシリンダ係止部１５，１５と均等な間隔をもって形成されている。
なお、隣り合うシリンダ係止部１５，１５の周方向の間隔は、次述するカバー２０の各カバー突出部２５における周方向の長さ（円弧長）よりも大きくなっている。
【００２３】
次に、カバー２０について、図１乃至図３を用いて説明する。図３は、カバーを示す図であり、（ａ）は上方から見た平面図、（ｂ）は（ａ）中、Ａ−Ａ矢視断面図である。
カバー２０は、図１及び図２に示すように、シリンダ１０の開口１１を塞ぐ蓋部２０Ａと、この蓋部２０Ａから下方に延び、シリンダ１０の開口１１より径小な環状で、筒状の円環部２０Ｂとからなる。
カバー２０は、本実施形態では、図２に示すように、上方から見たときに、排気ポート２７を除いた側面の外形形状が略正方形であり、射出成形によりＰＶＤＦ（ポリビニリデンフルオライド、別名：２フッ化）等のフッ素系樹脂でブロック状に成形されている。蓋部２０Ａは、組付け完了後の薬液弁１において、１次室の操作エアＡＲを排出する排気ポート２７を有し、この排気ポート２７を除いた当該蓋部２０Ａの側面形状がシリンダ１０の側面形状と同じ略正方形で形成されている。
【００２４】
また、カバー２０には、図３に示すように、円環部２０Ｂの軸心に、蓋部２０Ａと円環部２０Ｂとを貫通する貫通孔２０Ｈが形成され、後述するインジケータ６０の上端部６１が貫通孔２０Ｈに挿通するようになっている。
また、カバー２０の蓋部２０Ａには、貫通孔２０Ｈを跨ぐ位置に、溝部２１が２箇所形成されている。溝部２１は、当該カバー２０の厚み方向、すなわち当該薬液弁１の軸心ＡＸ方向に蓋部２０Ａに穿設されており、開口の周面を面取りした溝挿入部２１Ａと、溝挿入部２１Ａより深い位置に、溝挿入部２１Ａより径大に形成された溝保持部２１Ｂとを有する。
【００２５】
また、円環部２０Ｂには、カバー突出部２５が、当該円環部２０Ｂの径外側に突出すると共に、当該円環部２０Ｂの周方向に、シリンダ１０のシリンダ係止部１５の形状に対応した円弧状で形成されている。カバー突出部２５は、それぞれ同じ形態で４箇所に設けられ、蓋部２０Ａの各側面にほぼ沿うような形態で、何れのカバー突出部２５とも、隣り合うカバー突出部２５，２８と均等な間隔をもって形成されている。
カバー突出部２５は、シリンダ１０の開口１１内に円環部２０Ｂを挿入し、シリンダ１０上にカバー２０を載置したときに、シリンダ１０とカバー２０とがちょうど合わさった状態で、シリンダ１０のシリンダ係止部１５と係留できる位置に配設されている。また、円環部２０Ｂには、カバー２０でシリンダ１０の開口１１を覆い被せ、シリンダ１０に対し、カバー２０が所定角度で回転した後、それ以上のカバー２０の回転を規制する図示しないストッパが設けられている。
また、図示しないが、円環部２０Ｂの径内側で、貫通孔２０Ｈの外周側には、バネ９１の一端を支持する平面状の支持面２０ａを有している。
【００２６】
次に、ピストン５０について、図４乃至図７を用いて説明する。図４は、ピストンを上方から見た平面図であり、ピストンの側面図を図５及び図６に示す。図７は、図６中、Ｂ−Ｂ矢視断面図である。
ピストン５０は、図５及び図６に示すように、本体部５７と、ピストンロッド５１と、インジケータ接続部５２とからなる。
ピストンロッド５１は、本体部５７から当該薬液弁１の軸心ＡＸ（図１参照）に沿って下方に延びており、当該ピストンロッド５１の先端部をダイアフラム弁体４０のピストン連結部４１Ａと連結させて、ピストン５０とダイアフラム弁体４０とが一体になっている。また、このダイアフラム弁体４０は、その周縁に位置する周縁固定部４１Ｂを、シリンダ１０とボディ３０の間に挟み込んで固定されている。
【００２７】
本体部５７には、シリンダ１０との間をシールするＯリングを配設するシール溝５８が設けられ、このシール溝５８を挟んでバネ力作用部５７Ａとエア圧作用部５７Ｂとが形成されている。バネ力作用部５７Ａは、バネ９１の他端を支持し、エア圧作用部５７Ｂには、操作エアＡＲによる押圧力が作用する。
インジケータ接続部５２は、図４乃至図６に示すように、バネ力作用部５７Ａから当該薬液弁１の軸心ＡＸに沿って上方に延びており、後述するインジケータ６０と連結する部分である。
インジケータ接続部５２は、図４及び図７に示すように、インジケータ６０の軸部６２が挿入される挿入部５５と、この挿入部５５の径外側の部分を、軸心ＡＸの周方向に対し、一部が切り欠かれた切欠き部５３とを有している。インジケータ接続部５２では、挿入部５５より径大に形成された係止部５４が、図５に示すように、挿入部５５下方で、挿入部５５と切欠き部５３とに連通している。係止部５４は、後述するインジケータ６０の突出部６３と、軸心ＡＸ方向に係止する部分である。
【００２８】
次に、インジケータ６０について、図８乃至図１１を用いて説明する。図８は、インジケータを上方から見た平面図であり、図１１は、インジケータを下方から見た平面図である。図９及び図１０はインジケータの側面図である。
インジケータ６０は、弁開度検出センサ８０がダイアフラム弁体４０の弁開度を検出するときの被検出部となる上端部６１を、軸心ＡＸ方向上端に有している。上端部６１は、図８に示すように、互いに向き合う２つの扁平な曲面で形成されている。インジケータ６０は、カバー２０の貫通孔２０Ｈの内周面との間をシールするＯリングを配設するシール溝６８を有し、このシール溝６８の下方側に連結部６４を有している。連結部６４は、ピストン５０とインジケータ６０とが連結状態にあるときには、ピストン５０のインジケータ接続部５２と対向した位置に配置される部分である。
【００２９】
また、インジケータ６０は、連結部６４から軸心ＡＸ方向下端に延びる軸部６２と、この軸部６２先端で軸部６２より径外側に突出する突出部６３とを有している。軸部６２の径は、ピストン５０の挿入部５５の内径よりやや径大となっている。すなわち、インジケータ６０をピストン５０と連結するときに、ピストン５０の切欠き部５３から軸部６２を径内側に挿入し、軸部６２を弾性変形させて、軸部６２が挿入部５５に保持されるようになっている（図１２参照）。
【００３０】
また、インジケータ６０は、インジケータ６０とピストン５０とが連結した状態にあるときに、軸心ＡＸの周方向に対し、ピストン５０と相対的に回転するのを防止する回転規制部６５を有している。回転規制部６５は、軸部６２及び突出部６３から径外側に延び、ピストン５０の切欠き部５３と対応した形状で、この切欠き部５３にちょうど収容できる形状に形成されている。
【００３１】
次に、センサカバー７０について、図１３乃至図１８を用いて説明する。図１３は、センサカバーを上方から見た平面図であり、図１７は、センサカバーを下方から見た平面図である。図１４は、センサカバーの側面図である。図１５は、図１３中、Ｃ−Ｃ矢視断面図、図１６は、図１５中、Ｄ部の拡大図、図１８は、図１７中、Ｅ−Ｅ矢視断面図である。
【００３２】
ここで、センサカバー７０を説明する前に、センサカバー７０で覆う弁開度検出センサ８０について、図１及び図２を用いて簡単に説明する。
本実施形態では、弁開度検出センサ８０は、特許文献１に記載されたフォトマイクロセンサ１８０と同様、光軸上を、被検出側の被検出部が移動することにより、被検出部が光軸を遮光するか否かで、被検出部の状態を検出する光学式の弁開度検出センサである。
具体的には、弁開度検出センサ８０は、図１及び図２に示すように、光軸８３を発光する検出部８２を、板状の本体部８１に有し、検出部８２と電気的に接続するリード線８５が本体部８１から延びた形態のセンサである。
薬液弁１では、ダイアフラム弁体４０が弁座３１に当接または離間して薬液を制御するときに、ダイアフラム弁体４０と一体となっているインジケータ６０もダイアフラム弁体４０の弁開量に応じて上下動するため、弁開度検出センサ８０の光軸８３がインジケータ６０の上端部６１の動きを検出する。
作業者は、この弁開度検出センサ８０の検出結果により、ダイアフラム弁体４０が開弁状態にあるか、あるいは閉弁状態にあるかを確認することができる。
【００３３】
次いで、センサカバー７０について説明する。
センサカバー７０は、カバー２０の蓋部２０Ａ上に配置される開口７１から収容し、弁開度検出センサ８０を保持させる内部空間７０Ｓが形成されている部材である。センサカバー７０は、本実施形態では、例えば、半透明なＰＰ（ポリプロピレン）等の樹脂を射出成形して形成されている。
ここで、センサカバー７０を半透明な樹脂で形成する理由について、簡単に説明する。
すなわち、弁開度検出センサ８０の中には、センサの動作状況を、例えば、本体部８１に設けられたランプで点灯または点滅して表示するものがある。このようなランプ表示付きの弁開度検出センサ８０を薬液弁１が搭載する場合には、センサカバー７０を半透明な樹脂で形成することで、薬液弁１の使用時に、作業者が、センサカバー７０を通じてランプ表示を確認することで、弁開度検出センサ８０の動作状況を把握できるからである。
【００３４】
また、センサカバー７０には、カバー２０及び当該センサカバー７０の厚み方向（図１中、上下方向）に延びる係止部７２が２つ形成されている。２つの係止部７２，７２は、カバー２０に設けた２つの溝部２１，２１の位置と対応する位置に配置されている。係止部７２は、図１７及び図１８に示すように、当該係止部７２の半周分だけ径外に突出し、弾性変形可能な突起片７３を有している。
また、センサカバー７０には、溝部２１と係留した係止部７２を、溝部２１から係留を解除するための係留解除孔７２Ｈが、係止部７２のある位置に２箇所それぞれ形成されている。
【００３５】
センサカバー７０の内部空間７０Ｓには、開口７１に向けて突出した弾性変形可能な押圧部７５が２つ形成されている。
押圧部７５は、当該押圧部７５の径外側に向けて放射状に突出した弾性変形可能な押圧片７６を有している。
【００３６】
次に、薬液弁１の組付け方法について説明する。
薬液弁１の組立ては、先にアクチュエータ部５の仮組付けを行った後、全体的な総組付けとして、仮組付けを完了したアクチュエータ部５と、ボディ３０と、取付板９２とを一体的に重ね合わせて、これ等をボルト及びナットによる締結で固定させる。
【００３７】
アクチュエータ部５の仮組付けでは、まずバネ９１、ピストン５０、インジケータ６０等を組付ける。
具体的には、インジケータ６０の軸部６２、突出部６３及び回転規制部６５を、ピストン５０のインジケータ接続部５２の切欠き部５３から径内に向けて挿入し、軸部６２をピストン５０の挿入部５５内に、回転規制部６５を切欠き部５３にそれぞれ嵌め込む。
これにより、突出部６３及び回転規制部６５を切欠き部５３に収容すると共に、突出部６３がインジケータ接続部５２の係止部５４に係止されて、インジケータ６０の突出部６３の対向面６３ａとピストンロッド５１のインジケータ接続部５２の対向面５２ａとが互いに向き合って、インジケータ６０とピストン５０とが互いに回転することなくしっかりと連結する。
次いで、バネ９１をインジケータ６０径外に挿通し、バネ９１の他端をピストン５０のバネ力作用部５７Ａに載置する。アクチュエータ部５がこの段階まで組付けた状態の駆動部を、シリンダ１０の開口１１側から挿入する。
【００３８】
次いで、カバー２０のシール溝に図示しないシール部材を取付けた後、シリンダ１０の側面に対し、カバー２０の蓋部２０Ａの側面を所定の角度にねじった状態で、カバー２０をシリンダ１０の開口１１に挿入する。
具体的には、インジケータ６０の上端部６１をカバー２０の貫通孔２０Ｈに挿通させると共に、バネ９１の一端を蓋部２０Ａの支持面２０ａに当接させる。当接後、バネ９１を、ピストン５０の支持面と蓋部２０Ａの支持面の両支持面で支持した状態で収縮させながら、カバー２０の蓋部２０Ａをシリンダ１０に当接するまで、カバー２０の円環部２０Ｂをシリンダ１０の開口１１内に挿入する。なお、円環部２０Ｂの周方向に対し、シリンダ１０とカバー２０とが相対的にねじれているため、円環部２０Ｂの開口１１への挿入時には、カバー２０のカバー突出部２５とシリンダ１０のシリンダ係止部１５とが干渉することはない。
図１に示すように、カバー２０の蓋部２０Ａがシリンダ１０上に載置されるまで、円環部２０Ｂが開口１１内に挿入されると、シール溝に取付けたシール部材がシリンダ１０の内壁面に嵌め込まれ、組立て後の薬液弁１に形成されている操作エアＡＲの一次室と二次室とがピストン５０を挟み区画されることになる。
【００３９】
次いで、シリンダ１０に対し、そのシリンダ係止部１５にカバー２０のストッパが当接した状態になるまで、カバー２０を回転させて、蓋部２０Ａの側面とシリンダ１０の側面とがほぼ同一平面上になって双方の側面のねじれを解消し、シリンダ１０とカバー２０とを位置合わせする。
このとき、開口１１内に挿入された円環部２０Ｂも、蓋部２０Ａの回転に追従して回転し、円環部２０Ｂのカバー突出部２５が、シリンダ１０の開口１１にあるシリンダ係止部１５と係止して、シリンダ１０とカバー２０とが互いに離れることなく一体的に係留される。
次いで、ピストンロッド５１の先端部にダイアフラム弁体４０のピストン連結部４１Ａを連結させ、アクチュエータ部５の仮組付けを完了する（図１参照）。
【００４０】
次いで、薬液弁１の全体的な総組付けとして、仮組付けを完了したアクチュエータ部５と、ボディ３０と、取付板９２とを一体的に重ね合わせてこれ等をボルトとナットとの締結で固定した後、弁開度検出センサ８０とセンサカバー７０とを組付ける。
具体的には、ダイアフラム弁体４０の周縁固定部４１Ｂを、アクチュエータ部５のシリンダ１０とボディ３０に挟み込み、アクチュエータ部５、ボディ３０及び取付板９２を一体的に重ね合わせてこれ等をボルトとナットとで締結する。
【００４１】
次いで、弁開度検出センサ８０をカバー２０の蓋部２０Ａ上面に載置し、この弁開度検出センサ８０のリード線８５を外部に出し、本体部８１をセンサカバー７０の開口７１を通じて内部空間７０Ｓに収容できるよう、センサカバー７０を弁開度検出センサ８０に覆い被せ、弁開度検出センサ８０の係止部７２をカバー２０の溝部２１に嵌め込む。このとき、係止部７２の突起片７３が溝挿入部２１Ａを挿通するときに弾性変形しながら溝保持部２１Ｂに入って、係止部７２と溝部２１とが係留する。
インジケータ６０の上端部６１と弁開度検出センサ８０の検出部８２の光軸８３とが位置合わせされたところに、係止部７２と溝部２１とが設けられているため、単に係止部７２を溝部２１に嵌め込むだけで、弁開度検出センサ８０の光軸８３が上端部６１の位置を検出できる。
【００４２】
弁開度検出センサ８０の本体部８１を、内部空間７０Ｓでカバー２０の蓋部２０Ａと共にセンサカバー７０で覆い、係止部７２と溝部２１とを係留すると、センサカバー７０の押圧部７５で押圧片７６が弾性変形して、本体部８１が、カバー２０と共に押圧部７５によって押圧された状態となる。
すなわち、カバー２０、センサカバー７０及び本体部８１において寸法公差による寸法のバラツキが製品毎に生じていても、押圧部７５の押圧片７６による弾性変形により、本体部８１が、押圧部７５によって、ぐらつくことなくしっかりとカバー２０及びセンサカバー７０に保持されている。
かくして、アクチュエータ部５、ボディ３０、センサカバー７０、弁開度検出センサ８０及び取付板９２が一体的に組付けられ、薬液弁１の全体的な総組付けが完了する。
【００４３】
次いで、センサカバー７０の取り外し方について、図１９を用いて説明する。図１９は、治具を用いてセンサカバーを取り外す工程の工程図である。
薬液弁１のメンテナンス時に、弁開度検出センサ８０等を取り外すときには、例えば、図１９に示すような治具９４を用いて、センサカバー７０を取り外す。
本実施形態では、治具９４は、把持部９５を一体化した基部９６に対し、爪９８を２つ有したスライド部材９７が把持部９５を中心に径方向に移動可能に取付けられた治具である。爪９８は、センサカバー７０の係留解除孔７２Ｈに挿入できる大きさになっている。
センサカバー７０をカバー２０から取り外すときには、図１９（ａ）に示すように、まずスライド部材９７の各爪９８を、センサカバー７０の各係留解除孔７２Ｈにそれぞれスライドさせ、爪９８により、軸心ＡＸ（図１９では把持部９５）に向けて係止部７２を変形させる（図１９（ｂ）参照）。これにより、係止部７２が、爪９８に押圧されて、突起片７３が溝保持部２１Ｂから離れ、係止部７２と溝部２１との係留が解除される。この後、爪９８を係留解除孔７２Ｈに挿入したまま、治具９４を引き上げて、センサカバー７０をカバー２０から取り外す。
【００４４】
前述した構成を有する本実施形態に係る薬液弁１の作用効果について説明する。
本実施形態に係る薬液弁１では、弁座３１に当接または離間して薬液の流れを制御するダイアフラム弁体４０と、ダイアフラム弁体４０と連結するピストン５０と、ピストン５０と連結するインジケータ６０と、ピストン５０を収納するシリンダ１０の開口１１を塞ぐと共に、インジケータ６０の上端部６１が挿通する貫通孔２０Ｈを有するカバー２０と、インジケータ６０を介してダイアフラム弁体４０の弁開度を検出する弁開度検出センサ８０とを備える薬液弁１であって、カバー２０の蓋部２０Ａ上に配置される開口７１から収容し、弁開度検出センサ８０を保持させる内部空間７０Ｓが形成されたセンサカバー７０を備え、センサカバー７０には、カバー２０及び当該センサカバー７０の厚み方向に延びる係止部７２が形成され、カバー２０には、係止部７２と係留する溝部２１が形成されているので、従来必要であった弁開度検出センサを取付ける専用の大きなブラケットや、弁開度検出センサをブラケットに固定させるねじ等を必要せず、係止部７２と溝部２１とを係留させるだけで、カバー２０とセンサカバー７０に弁開度検出センサ８０を直に取付けて固定させることができる。
そのため、当該薬液弁１を構成する部品点数が、従来の薬液弁よりも少なくでき、コストを低減することができる。
【００４５】
ところで、弁開度検出センサが、例えば、フォトマイクロセンサ等、光軸の遮光と受光を利用して被検出対象物を検出する被接触式のセンサである場合には、弁開度検出センサの取付位置が高精度に位置決めされていないと、弁開度検出センサは、弁体の弁開度の状態を正確に検出できない。
これに対し、本実施形態に係る薬液弁１では、弁開度検出センサ８０をカバー２０とセンサカバー７０で覆い、係止部７２を溝部２１に係留させて、弁開度検出センサ８０を保持しているため、弁開度検出センサ８０のカバー２０への取り付け位置は、係止部７２と溝部２１とが係留する位置で位置決めされる。
そのため、弁開度検出センサ８０の取付け作業では、作業者は、弁開度検出センサ８０をカバー２０に載置し、その弁開度検出センサ８０にセンサカバー７０を覆って、係止部７２を溝部２１に係留させるだけで、弁開度検出センサ８０を、位置決めされた所定の位置に簡単に取付けることができる。
また、従来、弁開度検出センサを流体制御弁本体に細いねじで固定させる作業は、作業者にとって困難を伴い、弁開度検出センサの組立て性が良くなかった。これに対し、本実施形態に係る薬液弁１では、ねじを使わず、センサカバー７０の係止部７２とカバー２０の溝部２１とを係留するだけで、弁開度検出センサ８０を固定することができ、組立て時の作業性が向上している。
従って、弁開度検出センサを設けた従来の流体制御弁に比して、部品点数が少なくなるため、コストが低減できると共に、弁開度検出センサ８０の取付け作業を簡単にすることができるため、組付け時の作業性を向上させることができる、という優れた効果を奏する。
【００４６】
また、本実施形態に係る薬液弁１では、内部空間７０Ｓには、開口７１に向けて突出する弾性変形可能な押圧部７５を有し、係止部７２と溝部２１とが係留して、弁開度検出センサ８０が、カバー２０と共に押圧部７５の押圧片７６によって押圧された状態で、保持されているので、カバー２０に対し、弁開度検出センサ８０のぐらつきを防止できている。
また、外部で当該薬液弁１に受ける振動等や、ダイアフラム弁体４０が弁座３１に当接、離間するときに生じる振動等によって、弁開度検出センサ８０が、カバー２０と相対的にずれてしまうのを防止することができている。すなわち、このような振動が当該薬液弁１に作用しても、製造時に設定されたインジケータ６０と弁開度検出センサ８０との位置関係を、長期間、維持することができる。
【００４７】
また、本実施形態に係る薬液弁１では、カバー２０は、フッ素系樹脂であるＰＶＤＦ（ポリビニリデンフルオライド、別名：２フッ化）からなるので、ＰＶＤＦは、樹脂の中でも、機械的強度が比較的大きく、強い酸性液やアルカリ性液にも耐え得る耐薬品性を有している上、射出成形等によって製造し易い利点がある。一方、センサカバー７０は、ＰＰ（ポリプロピレン）からなるので、半透明で透視性を有する上、ＰＶＤＦには劣るものの、機械的強度が比較的大きく、耐薬品性をも有しているため、カバー２０と共にセンサカバー７０によって、弁開度検出センサ８０をしっかりと安定した状態に固定することができる。また、センサカバー７０を通じて弁開度検出センサ８０の様子を作業者が確認できる。
特に、係止部７２が、センサカバー７０本体と一体で成形されているので、係止部７２と溝部２１とを係留させるときに、係止部７２が弾性変形して溝部２１に係留されるため、センサカバー７０及びカバー２０をいずれも樹脂で形成することで、係止部７２と溝部２１とが係留し易くなる。
【００４８】
また、本実施形態に係る薬液弁１では、係止部７２は、センサカバー７０に設けられ、センサカバー７０には、溝部２１と係留した係止部７２を、溝部２１から係留を解除するための係留解除孔７２Ｈが形成されているので、当該薬液弁１のメンテナンス時に、係留解除孔７２Ｈに、治具９４に例示した工具や治具を挿通して、溝部２１との係留が解除される向きに係止部７２を変形させるだけで、センサカバー７０をカバー２０から容易に取り外すことができる。
【００４９】
また、本実施形態に係る薬液弁１では、インジケータ６０は、当該薬液弁１の軸心ＡＸ方向に延びる軸部６２と、軸部６２より径外側に突出する突出部６３を有し、ピストン５０は、軸心ＡＸ方向に対し、インジケータ６０の突出部６３と係止する係止部５４を有すること、突出部６３を係止部５４に係止させて、インジケータ６０とピストン５０とが、連結しているので、ピストン５０の軸とインジケータ６０の軸部６２との間で、軸ずれや傾きが多少生じたとしても、ピストン５０に追従してインジケータ６０が動くことができる。
ひいては、ダイアフラム弁体４０と連結するピストン５０の動きが、インジケータ６０との間でロスが少なくインジケータ６０に伝わり、ダイアフラム弁体４０の弁開度として、適切な状態で弁開度検出センサ８０で検出される。
【００５０】
また、本実施形態に係る薬液弁１では、インジケータ６０の上端部６１は、弁開度検出センサ８０がダイアフラム弁体４０の弁開度を検出するときの被検出部となっているので、カバー２０上に配置した弁開度検出センサ８０が、カバー２０の貫通孔２０Ｈを挿通したインジケータ６０の上端部６１の位置状態を検出することで、ダイアフラム弁体４０の弁開度を確認できるようになる。
すなわち、ダイアフラム弁体４０の弁開度を検出する構造が簡単になることから、当該薬液弁１の製造コストが安価になる。
【００５１】
以上において、本発明を実施形態に即して説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、適宜変更して適用できる。
（１）例えば、本実施形態では、シリンダ１０、カバー２０及び取付板９２の何れも、その材質をＰＶＤＦ（ポリビニリデンフルオライド、別名：２フッ化）とし、ボディ３０の材質をＰＦＡ（ポリテトラフルオロエチレン）とし、センサカバー７０をＰＰ（ポリプロピレン）で、それぞれ射出成形で成形した。
しかしながら、シリンダ、カバー、ボディ及びセンサカバーの材質を、例えば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン、別名：４フッ化）等、他のフッ素系樹脂したり、シリンダ、カバー、ボディ、センサカバーのそれぞれの材質を異なるフッ素系樹脂にしても良い。また、シリンダ、カバー、ボディ、センサカバーを切削で形成しても良い。
【００５２】
（２）また、本実施形態では、図１３乃至図１８に示す形状の係止部７２及び押圧部７５を有するセンサカバー７０を用いた。
しかしながら、センサカバー７０に代えて、次述するような、第１乃至第４変形例に係るセンサカバーを用いても良い。
【００５３】
はじめに、第１変形例に係るセンサカバーについて、図２０を用いて簡単に説明する。図２０は、第１変形例に係るセンサカバーを示す図であり、（ａ）は下方から見た平面図、（ｂ）は（ａ）中、Ｆ−Ｆ矢視断面図である。
第１変形例に係るセンサカバー７０Ａでは、係止部７２Ａは、本実施形態に係る係止部７２と、突起片７３Ａ及び係留解除孔７２Ｈを有している点で共通するが、係止部７２と異なり、図２０に示すように、間隙を挟んで周方向に２つ割り等、複数に分割された形態で形成されている。
【００５４】
次に、第２変形例に係るセンサカバーについて、図２１を用いて簡単に説明する。図２１は、第２変形例に係るセンサカバーを示す図であり、（ａ）は下方から見た平面図、（ｂ）は（ａ）中、Ｇ−Ｇ矢視断面図である。
第２変形例に係るセンサカバー７０Ｂでは、係止部７２Ｂは、本実施形態に係る係止部７２と、突起片７３及び係留解除孔７２Ｈを有している点で共通する。また、第１変形例に係る係止部７２Ａとも、突起片７３Ａ及び係留解除孔７２ＨＡを有している点で共通する。しかしながら、センサカバー７０Ｂでは、係止部７２Ｂが、図２１に示すように、係止部７２Ａにおいて周方向に２分割された一方側の部位だけで形成されている。
【００５５】
次に、第３変形例に係るセンサカバーについて、図２２を用いて簡単に説明する。図２２は、第３変形例に係るセンサカバーを示す図であり、（ａ）は下方から見た平面図、（ｂ）は（ａ）中、Ｈ−Ｈ矢視断面図である。
第３変形例に係るセンサカバー７０Ｃでは、押圧部７５Ｃは、本実施形態に係る押圧部７５と、内部空間７０Ｓに２つ形成されている点で共通するが、押圧部７５Ｃの形状が押圧部７５と異なる。
押圧部７５Ｃは、図２２に示すように、厚みが一定で、開口７１に向けて山状に突出して形成され、山頂部分にある押圧突出部７６を弾性変形させるようになっている。
【００５６】
次に、第４変形例に係るセンサカバーについて、図２３を用いて簡単に説明する。図２３は、第４変形例に係るセンサカバーを示す図であり、（ａ）は下方から見た平面図、（ｂ）は（ａ）中、Ｉ−Ｉ矢視断面図である。
第４変形例に係るセンサカバー７０Ｄでは、押圧部７５Ｄは、本実施形態及び第３変形例に係る押圧部７５，７５Ｃと、内部空間７０Ｓに２つ形成されている点で共通するが、押圧部７５Ｄの形状が押圧部７５Ｃと異なる。
押圧部７５Ｄは、図２３に示すように、開口７１に向けて円柱状に突出して形成され、当該押圧部７５Ｄの軸方向に沿って弾性変形させるようになっている。
【００５７】
（３）また、本実施形態では、シリンダ係止部１５を、それぞれ同じ形態で４箇所に設け、当該シリンダ１０の各側面にほぼ沿うような形態で、何れのシリンダ係止部１５とも、隣り合うシリンダ係止部１５，１５と均等な間隔をもって形成した。
しかしながら、シリンダに設ける係止部の数、及び係止部を配設する位置は、本実施形態に限定されるものではなく、適宜変更可能である。
また、カバー突出部２５も、それぞれ同じ形態で４箇所に設け、蓋部２０Ａの各側面にほぼ沿うような形態で、何れのカバー突出部２５とも、隣り合うカバー突出部２５，２５と均等な間隔をもって形成した。係止部と同様に、カバーに設ける突出部の数、及び突出部を配設する位置は、本実施形態に限定されるものではなく、適宜変更可能である。
【００５８】
（４）また、本実施形態では、流体制御弁として、バネ９１の一端をカバー２０の蓋部２０Ａの支持面に、他端をピストン５０のバネ力作用部５７Ａの支持面に支持させ、操作エアＡＲによる押圧力が作用しないときに、バネ９１の付勢力によってダイアフラム弁体４０が弁座３１に当接して閉弁するノーマルクローズタイプの薬液弁１とした。
しかしながら、流体制御弁は、本実施形態のピストン５０の受圧側（図５及び図６では、エア圧作用部５７Ｂ側）に相当するピストンの一方側と、シリンダの底部側との間に付勢部材を配設し、操作エアによる押圧力が作用しないときに、付勢部材の付勢力によって弁体が弁座から離間して開弁し、操作エアによる押圧力が作用すると、弁体が弁座に当接して閉弁するノーマルオープンタイプの弁としても良い。
なお、ノーマルオープンタイプの流体制御弁では、操作ポートが、ノーマルクローズタイプである本実施形態の薬液弁１の排気ポート２７の位置に配設され、排気ポートが、操作ポート１７の位置に配設される。
【符号の説明】
【００５９】
１  薬液弁（流体制御弁）
５  アクチュエータ部
１０  シリンダ
１１  開口
２０  カバー
２０Ｈ  貫通孔
２１  溝部
３１  弁座
４０  ダイアフラム弁体（弁体）
５０  ピストン
５４  係止部
６０  インジケータ
６１  上端部
６２  軸部
６３  突出部
７０  センサカバー
７０Ｓ  内部空間
７１  開口
７２  係止部
７２Ｈ  係留解除孔
７５  押圧部
８０  弁開度検出センサ
ＡＸ  薬液弁（流体制御弁）の軸心
【図１】
2011220359.tif 000003
【図２】
2011220359.tif 000004
【図３】
2011220359.tif 000005
【図４】
2011220359.tif 000006
【図５】
2011220359.tif 000007
【図６】
2011220359.tif 000008
【図７】
2011220359.tif 000009
【図８】
2011220359.tif 000010
【図９】
2011220359.tif 000011
【図１０】
2011220359.tif 000012
【図１１】
2011220359.tif 000013
【図１２】
2011220359.tif 000014
【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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