(57)【要約】【課題】作業装置の稼働効率を向上させる。【解決手段】作業装置に搬送された複数の作業対象について当該搬送された作業装置において作業を施す順番を制御する作業順番制御装置１０であって、作業装置に搬送された複数の作業対象の中から、当該作業装置において次に作業を施す作業対象である次回作業対象を、当該複数の作業対象のそれぞれに付与された作業条件に基づいて決定する作業順番決定部１４を有する。作業順番決定部１４は、作業対象に付与された作業条件と、次回作業対象の直前に作業を施す作業対象である直近作業対象に付与された作業条件とが一致する度合いに応じて次回作業対象を決定する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
作業装置に搬送された複数の作業対象について当該搬送された作業装置において作業を施す順番を制御する作業順番制御装置であって、
前記作業装置に搬送された複数の作業対象の中から、当該作業装置において次に作業を施す作業対象である次回作業対象を、当該複数の作業対象のそれぞれに付与された作業条件に基づいて決定する作業順番決定部を有し、
前記作業順番決定部は、前記作業対象に付与された作業条件と、前記次回作業対象の直前に作業を施す作業対象である直近作業対象に付与された作業条件とが一致する度合いに応じて前記次回作業対象を決定する作業順番制御装置。
【請求項２】
請求項１に記載の作業順番制御装置において、
前記作業順番決定部は、前記作業装置に搬送された複数の作業対象のうち、前記直近作業対象に付与された作業条件と完全に一致する作業条件が付与された全一致作業対象を前記次回作業対象とし、前記全一致作業対象が存在しない場合、当該直近作業対象に付与された作業条件によって示される数値との差が所定の範囲内となる数値が作業条件として付与されたみなし一致作業対象を前記次回作業対象とし、前記全一致作業対象及び前記みなし一致作業対象が存在しない場合、当該直近作業対象に付与された作業条件と部分的に一致する作業条件が付与された部分一致作業対象を前記次回作業対象とする作業順番制御装置。
【請求項３】
請求項２に記載の作業順番制御装置において、
前記作業装置は、複数存在し、
前記作業順番決定部は、前記全一致作業対象及び前記みなし一致作業対象が存在しない場合、前記部分一致作業対象のうち、当該作業装置以外の作業装置にて前記全一致作業対象または前記みなし一致作業対象となる部分一致作業対象以外から前記次回作業対象を選択する作業順番制御装置。
【請求項４】
請求項３に記載の作業順番制御装置において、
前記複数の作業装置の中から、前記作業対象を搬送する搬送先となる作業装置を決定する搬送先決定部を有し、
前記搬送先決定部は、前記直近作業対象に付与された作業条件と完全に一致する作業条件が付与された前記作業対象の搬送先を、当該直近作業対象が搬送された作業装置とし、当該直近作業対象に付与された作業条件と完全に一致する作業条件が付与された作業対象が存在しない場合、当該直近作業対象に付与された作業条件と部分的に一致する作業条件が付与された前記作業対象の搬送先を、当該直近作業対象が搬送された作業装置とする作業順番制御装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の作業順番制御装置において、
前記作業装置は、半導体装置の製造工程において仕掛品に不純物イオンを注入するイオン注入装置であり、
前記作業条件には、前記イオン注入におけるエネルギー値、ビーム電流値及びエネルギーの加速度／減速度が少なくとも含まれる作業順番制御装置。
【請求項６】
作業装置に搬送された複数の作業対象について当該搬送された作業装置において作業を施す順番を制御する作業順番制御装置における作業順番制御方法であって、
前記作業装置に搬送された複数の作業対象の中から、当該作業装置において次に作業を施す作業対象である次回作業対象を、当該複数の作業対象のそれぞれに付与された作業条件に基づいて決定する作業順番決定処理を有し、
前記作業順番決定処理は、前記作業対象に付与された作業条件と、前記次回作業対象の直前に作業を施す作業対象である直近作業対象に付与された作業条件とが一致する度合いに応じて前記次回作業対象を決定する処理である作業順番制御方法。
【請求項７】
請求項６に記載の作業順番制御方法において、
前記作業順番決定処理は、前記作業装置に搬送された複数の作業対象のうち、前記直近作業対象に付与された作業条件と完全に一致する作業条件が付与された全一致作業対象を前記次回作業対象とし、前記全一致作業対象が存在しない場合、当該直近作業対象に付与された作業条件によって示される数値との差が所定の範囲内となる数値が作業条件として付与されたみなし一致作業対象を前記次回作業対象とし、前記全一致作業対象及び前記みなし一致作業対象が存在しない場合、当該直近作業対象に付与された作業条件と部分的に一致する作業条件が付与された部分一致作業対象を前記次回作業対象とする処理である作業順番制御方法。
【請求項８】
請求項７に記載の作業順番制御方法において、
前記作業装置は、複数存在し、
前記作業順番決定処理は、前記全一致作業対象及び前記みなし一致作業対象が存在しない場合、前記部分一致作業対象のうち、当該作業装置以外の作業装置にて前記全一致作業対象または前記みなし一致作業対象となる部分一致作業対象以外から前記次回作業対象を選択する処理を含む作業順番制御方法。
【請求項９】
請求項８に記載の作業順番制御方法において、
前記複数の作業装置の中から、前記作業対象を搬送する搬送先となる作業装置を決定する搬送先決定処理をさらに有し、
前記搬送先決定処理は、前記直近作業対象に付与された作業条件と完全に一致する作業条件が付与された前記作業対象の搬送先を、当該直近作業対象が搬送された作業装置とし、当該直近作業対象に付与された作業条件と完全に一致する作業条件が付与された作業対象が存在しない場合、当該直近作業対象に付与された作業条件と部分的に一致する作業条件が付与された前記作業対象の搬送先を、当該直近作業対象が搬送された作業装置とする処理である作業順番制御方法。
【請求項１０】
請求項６乃至９のいずれか１項に記載の作業順番制御方法において、
前記作業装置は、半導体装置の製造工程において仕掛品に不純物イオンを注入するイオン注入装置であり、
前記作業条件には、前記イオン注入におけるエネルギー値、ビーム電流値及びエネルギーの加速度／減速度が少なくとも含まれる作業順番制御方法。
【請求項１１】
作業装置に搬送された複数の作業対象について当該搬送された作業装置において作業を施す順番を制御する作業順番制御装置に、
前記作業装置に搬送された複数の作業対象の中から、当該作業装置において次に作業を施す作業対象である次回作業対象を、当該複数の作業対象のそれぞれに付与された作業条件に基づいて決定する作業順番決定機能を実現させ、
前記作業順番決定機能は、前記作業対象に付与された作業条件と、前記次回作業対象の直前に作業を施す作業対象である直近作業対象に付与された作業条件とが一致する度合いに応じて前記次回作業対象を決定する機能であるプログラム。
【請求項１２】
請求項１１に記載のプログラムにおいて、
前記作業順番決定機能は、前記作業装置に搬送された複数の作業対象のうち、前記直近作業対象に付与された作業条件と完全に一致する作業条件が付与された全一致作業対象を前記次回作業対象とし、前記全一致作業対象が存在しない場合、当該直近作業対象に付与された作業条件によって示される数値との差が所定の範囲内となる数値が作業条件として付与されたみなし一致作業対象を前記次回作業対象とし、前記全一致作業対象及び前記みなし一致作業対象が存在しない場合、当該直近作業対象に付与された作業条件と部分的に一致する作業条件が付与された部分一致作業対象を前記次回作業対象とする機能であるプログラム。
【請求項１３】
請求項１２に記載のプログラムにおいて、
前記作業装置は、複数存在し、
前記作業順番決定機能は、前記全一致作業対象及び前記みなし一致作業対象が存在しない場合、前記部分一致作業対象のうち、当該作業装置以外の作業装置にて前記全一致作業対象または前記みなし一致作業対象となる部分一致作業対象以外から前記次回作業対象を選択する機能を含むプログラム。
【請求項１４】
請求項１３に記載のプログラムにおいて、
前記作業順番制御装置に、
前記複数の作業装置の中から、前記作業対象を搬送する搬送先となる作業装置を決定する搬送先決定機能をさらに実現させ、
前記搬送先決定機能は、前記直近作業対象に付与された作業条件と完全に一致する作業条件が付与された前記作業対象の搬送先を、当該直近作業対象が搬送された作業装置とし、当該直近作業対象に付与された作業条件と完全に一致する作業条件が付与された作業対象が存在しない場合、当該直近作業対象に付与された作業条件と部分的に一致する作業条件が付与された前記作業対象の搬送先を、当該直近作業対象が搬送された作業装置とする機能であるプログラム。
【請求項１５】
請求項１１乃至１４のいずれか１項に記載のプログラムにおいて、
前記作業装置は、半導体装置の製造工程において仕掛品に不純物イオンを注入するイオン注入装置であり、
前記作業条件には、前記イオン注入におけるエネルギー値、ビーム電流値及びエネルギーの加速度／減速度が少なくとも含まれるプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、作業装置に搬送された複数の作業対象について当該搬送された作業装置において作業を施す順番を制御する作業順番制御装置、作業順番制御方法及びプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
通常、工場等において仕掛品に対して所定の作業を施す作業装置へ仕掛ロットを搬送する順番は、仕掛ロットに付与された優先ランクとＦＩＦＯ（Ｆｉｒｓｔ  Ｉｎ  Ｆｉｒｓｔ  Ｏｕｔ）とによって決定される。ＦＩＦＯとは先出し先入れ方式のことである。ＦＩＦＯの場合、作業装置の前に用意されたストッカに置かれた仕掛ロットは、そのストッカに置かれた順番が早い仕掛ロットから順番に作業装置へ搬送され作業が施される。
【０００３】
作業装置において作業を施される仕掛ロットのそれぞれには、同一の作業条件ではなく、異なる作業条件が付与されているのが一般的である。そのため、作業を施された仕掛ロットに付与された作業条件と、その次に作業が施される仕掛ロットに付与された作業条件とが異なる場合、作業装置において作業条件を変更する必要がある。この作業条件を変更する間は作業装置を稼働させることができない。つまり、作業条件を変更するための時間によって作業装置の稼働効率が低下してしまう。なお、作業装置の一例として、半導体装置の製造工程で使用され、半導体装置の仕掛品に不純物イオンを注入するイオン注入作業を施すイオン注入装置がある（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
ここで、仕掛ロットに付与された作業条件等を考慮して作業装置に作業を実施させることにより、作業装置の稼働効率を向上させるための技術が例えば、特許文献２〜４に開示されている。
【０００５】
特許文献２〜４に開示されている技術では、異なる作業条件が付与された仕掛ロットに連続して作業を施す際、それぞれの仕掛ロットに付与された作業条件等に応じ、作業装置における作業条件の変更が少なくなるように、仕掛ロットを作業装置へ搬送する順番を決定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１０−０９２３７１号公報
【特許文献２】特開２００１−７５６０９号公報
【特許文献３】特開２００１−１２５６２１号公報
【特許文献４】特開平０８−３１５０１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述した特許文献２〜４に開示されている技術を利用すれば、作業装置の稼働効率を向上させることができるように思える。しかし、これらの技術では、作業を施された仕掛ロットに付与された作業条件と、その次に作業が施される仕掛ロットに付与された作業条件とが完全に一致する場合だけが考慮されている。
【０００８】
そのため、特許文献２〜４に開示されている技術を利用しても、作業を施された仕掛ロットに付与された作業条件と完全に一致する作業条件が付与された仕掛ロットが存在しなければ、全く別の作業条件が付与された仕掛ロットが次の作業対象として選択される可能性もある。この場合、作業装置における作業条件の変更にかかる時間が長くなり、作業装置の稼働効率が低下してしまうという問題点がある。
【０００９】
また、選択された仕掛ロットが、他の作業装置において作業条件の変更をすることなく作業を施すことが可能な仕掛ロットであった場合、作業装置の稼働効率を向上させる機会を失ってしまうという問題点がある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の作業順番制御装置は、
作業装置に搬送された複数の作業対象について当該搬送された作業装置において作業を施す順番を制御する作業順番制御装置であって、
前記作業装置に搬送された複数の作業対象の中から、当該作業装置において次に作業を施す作業対象である次回作業対象を、当該複数の作業対象のそれぞれに付与された作業条件に基づいて決定する作業順番決定部を有し、
前記作業順番決定部は、前記作業対象に付与された作業条件と、前記次回作業対象の直前に作業を施す作業対象である直近作業対象に付与された作業条件とが一致する度合いに応じて前記次回作業対象を決定する。
【００１１】
また、本発明の作業順番制御方法は、
作業装置に搬送された複数の作業対象について当該搬送された作業装置において作業を施す順番を制御する作業順番制御装置における作業順番制御方法であって、
前記作業装置に搬送された複数の作業対象の中から、当該作業装置において次に作業を施す作業対象である次回作業対象を、当該複数の作業対象のそれぞれに付与された作業条件に基づいて決定する作業順番決定処理を有し、
前記作業順番決定処理は、前記作業対象に付与された作業条件と、前記次回作業対象の直前に作業を施す作業対象である直近作業対象に付与された作業条件とが一致する度合いに応じて前記次回作業対象を決定する処理である。
【００１２】
また、本発明のプログラムは、
作業装置に搬送された複数の作業対象について当該搬送された作業装置において作業を施す順番を制御する作業順番制御装置に、
前記作業装置に搬送された複数の作業対象の中から、当該作業装置において次に作業を施す作業対象である次回作業対象を、当該複数の作業対象のそれぞれに付与された作業条件に基づいて決定する作業順番決定機能を実現させ、
前記作業順番決定機能は、前記作業対象に付与された作業条件と、前記次回作業対象の直前に作業を施す作業対象である直近作業対象に付与された作業条件とが一致する度合いに応じて前記次回作業対象を決定する機能である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、複数の作業対象の中から、作業対象に付与された作業条件と、作業装置において次に作業を施す次回作業対象の直前に作業を施す直近作業対象に付与された作業条件とが一致する度合いに応じて次回作業対象を決定する。そのため、作業装置の稼働効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の作業順番制御装置を適用した搬送システムの実施の一形態の構成を示すブロック図である。
【図２】図１に示した記憶部が有するテーブルの構成の一例を示す図であり、（ａ）は搬送用ストッカ情報テーブルの構成の一例を示す図、（ｂ）は直近作業対象テーブルの構成の一例を示す図、（ｃ）は装置用ストッカ情報テーブルの構成の一例を示す図である。
【図３】図１に示した作業順番決定部が次回作業対象を決定するための判定基準の一例を示す図である。
【図４】図１に示したイオン注入装置において作業条件の変更に要する時間の一例を示す図である。
【図５】図１に示した搬送システムにおいて仕掛ロットをイオン注入装置へ搬送する順番を決定する動作を説明するためのフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１６】
図１は、本発明の作業順番制御装置を適用した搬送システムの実施の一形態の構成を示すブロック図である。
【００１７】
本実施形態の搬送システムは図１に示すように、作業順番制御装置１０と、作業装置であるイオン注入装置２０−１〜２０−４と、搬送用ストッカ管理装置３０と、装置用ストッカ管理装置４０とを備えている。なお、イオン注入装置とは、半導体装置の製造工程で使用され、半導体装置の仕掛品に不純物イオンを注入するイオン注入作業を施す作業装置である。イオン注入作業における作業条件には例えば、エネルギー値やビーム電流値、エネルギーの加速度／減速度等が含まれる。また、本実施形態では、作業装置としてイオン注入装置を一例に説明するが、作業装置はイオン注入装置に限定されない。また、イオン注入装置の台数は４台としているが、この台数に限定されない。
【００１８】
イオン注入装置２０−１〜２０−４のそれぞれは、装置用ストッカ管理装置４０から搬送路５２を介して搬送されてきた作業対象である仕掛ロットの仕掛品に、その仕掛ロットに付与された作業条件でイオン注入作業を施す。なお、本実施形態において仕掛ロットとは、イオン注入作業において同じ作業条件が付与された仕掛品を所定の数だけまとめたものである。また、仕掛ロットのそれぞれには、それぞれを一意に識別できる仕掛ロット識別番号が付与されている。この仕掛ロット識別番号は、搬送用ストッカ管理装置３０及び装置用ストッカ管理装置４０が認識することができる情報である。
【００１９】
装置用ストッカ管理装置４０は、イオン注入装置２０−１〜２０−４のそれぞれと対応付けられた装置用ストッカ４１−１〜４１−４を有している。装置用ストッカ４１−１〜４１−４のそれぞれは装置用ストッカ番号にて一意に識別される。ここでは、装置用ストッカ４１−１〜４１−４のそれぞれの装置用ストッカ番号をそれぞれ１〜４とする。装置用ストッカ４１−１〜４１−４のそれぞれには、搬送用ストッカ管理装置３０から搬送路５１を介して搬送されてきた仕掛ロットが置かれる。装置用ストッカ管理装置４０は、作業順番制御装置１０から送信された作業指示を受信する。なお、作業指示の詳細については後述する。そして、受信した作業指示に含まれる装置用ストッカ番号にて識別される装置用ストッカ４１−１〜４１−４から、その作業指示に含まれる仕掛ロット識別番号にて識別される仕掛ロットをイオン注入装置２０−１〜２０−４へ搬送路５２を介して搬送する。
【００２０】
搬送用ストッカ管理装置３０は、搬送用ストッカ３１を有している。搬送用ストッカ３１には、仕掛ロットが置かれる。搬送用ストッカ管理装置３０は、搬送用ストッカ３１に置かれた仕掛ロットに付与された仕掛ロット識別番号と、その仕掛ロットに付与された作業条件を示す作業条件情報とを作業順番制御装置１０へ送信する。また、搬送用ストッカ管理装置３０は、仕掛ロットに付与された作業条件以外の情報である仕掛ロット情報も仕掛ロット識別番号及び作業条件情報と合わせて作業順番制御装置１０へ送信する。仕掛ロット情報には、その仕掛ロットにイオン注入作業を施す順番の優先度を示す優先ランクや、その仕掛ロットが搬送用ストッカ３１に置かれてから経過した時間である滞留時間等が含まれる。なお、優先ランクはＡ１〜Ａ９、Ｂ１〜Ｂ９、Ｃ１〜Ｃ９、Ｄ１〜Ｄ９で定義され、Ａ１の優先度が最も高く、Ｄ９の優先度が最も低い。また、搬送用ストッカ管理装置３０は、作業順番制御装置１０から出力された搬送指示を受信する。なお、搬送指示の詳細については後述する。そして、受信した搬送指示に含まれる仕掛ロット識別番号にて識別される仕掛ロットを、その搬送指示に含まれる装置用ストッカ番号にて識別される装置用ストッカ４１−１〜４１−４へ搬送路５１を介して搬送する。
【００２１】
作業順番制御装置１０は、受付部１１と、記憶部１２と、搬送用ストッカ３１に置かれた仕掛ロットを搬送する搬送先となる装置用ストッカ４１−１〜４１−４を決定する搬送先決定部１３と、装置用ストッカ４１−１〜４１−４のそれぞれに置かれた複数の仕掛ロットのうち、次にイオン注入装置２０−１〜２０−４のそれぞれへ搬送する仕掛ロットである次回作業対象を決定する作業順番決定部１４とを備えている。
【００２２】
記憶部１２は、搬送用ストッカ３１に置かれた仕掛ロットの作業条件情報及び仕掛ロット情報が格納された搬送用ストッカ情報テーブルと、装置用ストッカ４１−１〜４１−４のそれぞれに置かれた複数の仕掛ロットのそれぞれの作業条件情報及び仕掛ロット情報が格納された装置用ストッカ情報テーブルとを有している。また、記憶部１２は、作業順番決定部１４にて直近に決定された次回作業対象である直近作業対象の作業条件情報が格納された直近作業対象テーブルを有している。
【００２３】
図２は、図１に示した記憶部１２が有するテーブルの構成の一例を示す図であり、（ａ）は搬送用ストッカ情報テーブルの構成の一例を示す図、（ｂ）は直近作業対象テーブルの構成の一例を示す図、（ｃ）は装置用ストッカ情報テーブルの構成の一例を示す図である。
【００２４】
搬送用ストッカ情報テーブルでは図２（ａ）に示すように、搬送用ストッカ３１に置かれた仕掛ロットの仕掛ロット識別番号と、その仕掛ロット識別番号にて識別される仕掛ロットに付与されたエネルギー値、ビーム電流値及びエネルギー加速度／減速度と、その仕掛ロット識別番号にて識別される仕掛ロットの優先ランク及び滞留時間とが対応付けられて１レコードとなっている。
【００２５】
直近作業対象テーブルでは図２（ｂ）に示すように、装置用ストッカ番号と、その装置用ストッカ番号にて識別される装置用ストッカ４１−１〜４1−４から搬送された直近作業対象に付与されたエネルギー値及びビーム電流値とが対応付けられて１レコードとなっている。
【００２６】
装置用ストッカ情報テーブルは、装置用ストッカ番号と対応付けられ、装置用ストッカ番号毎に存在する。つまり、装置用ストッカ情報テーブルは、装置用ストッカ４１−１〜４１−４の数と同じ数だけ存在する。装置用ストッカ情報テーブルでは図２（ｃ）に示すように、装置用ストッカ４１−１〜４１−４のそれぞれに置かれた複数の仕掛ロットのそれぞれの仕掛ロット識別番号と、その仕掛ロット識別番号にて識別される仕掛ロットに付与されたエネルギー値、ビーム電流値及びエネルギー加速度／減速度と、その仕掛ロット識別番号にて識別される仕掛ロットの優先ランク及び滞留時間とが対応付けられて１レコードとなっている。
【００２７】
再度、図１を参照すると、受付部１１は、搬送用ストッカ管理装置３０から送信された仕掛ロット識別番号、作業条件情報及び仕掛ロット情報を受信する。そして、受信したこれらの情報を対応付けて記憶部１２が有する搬送用ストッカ情報テーブルに記憶させる。
【００２８】
搬送先決定部１３は、記憶部１２が有する搬送用ストッカ情報テーブルにおけるエネルギー値及びビーム電流値の両方と一致するレコードを、記憶部１２が有する直近作業対象テーブルから検索する。そして、搬送先決定部１３は、エネルギー値及びビーム電流値の両方が一致するレコードが直近作業対象テーブルから検索された場合、そのエネルギー値及びビーム電流値に対応する仕掛ロット識別番号を搬送用ストッカ情報テーブルから抽出する。それととともに、検索されたレコードの装置用ストッカ番号を直近作業対象テーブルから抽出する。例えば、図２（ａ）に示した搬送用ストッカテーブルにおいて仕掛ロット識別番号「１２３４５」に対応するエネルギー値及びビーム電流値はそれぞれ、「１１１１」、「ＡＡＡＡ」である。図２（ｂ）に示した直近作業対象テーブルにおいてこれらの両方と一致するのは、装置用ストッカ番号「１」のレコードである。従って、搬送先決定部１３は、搬送用ストッカ情報テーブルから仕掛ロット識別番号「１２３４５」を抽出し、直近作業対象テーブルから装置用ストッカ番号「１」を抽出する。なお、エネルギー値及びビーム電流値の両方が一致するレコードが存在しない場合、搬送先決定部１３は、搬送用ストッカ情報テーブルにおけるエネルギー値及びビーム電流値と部分的に一致するレコードの装置用ストッカ番号を直近作業対象テーブルから抽出する。部分的に一致するとは例えば、エネルギー値だけが一致することである。例えば、図２（ａ）に示した搬送用ストッカテーブルにおいて仕掛ロット識別番号「６７８９０」に対応するエネルギー値及びビーム電流値はそれぞれ、「２２２２」、「ＤＤＤＤ」である。この場合、図２（ｂ）に示した直近作業対象テーブルにおいて、エネルギー値及びビーム電流値の両方が一致するレコードが存在しない。但し、図２（ｂ）に示した直近作業対象テーブルにおいて装置用ストッカ番号「４」のレコードは、エネルギー値だけが一致する。従って、この場合、搬送先決定部１３は、搬送用ストッカ情報テーブルから仕掛ロット識別番号「６７８９０」を抽出し、直近作業対象テーブルから装置用ストッカ番号「４」を抽出する。そして、搬送先決定部１３は、抽出された仕掛ロット識別番号及び装置用ストッカ番号を含む搬送指示を搬送用ストッカ管理装置３０へ送信する。また、搬送先決定部１３は、抽出された仕掛ロット識別番号のレコードを、抽出された装置用ストッカ番号に対応する装置用ストッカ情報テーブルに格納し、そのレコードを搬送用ストッカ情報テーブルから削除する。
【００２９】
作業順番決定部１４は、装置用ストッカ４１−１〜４１−４のそれぞれに置かれた複数の仕掛ロットの中から、次にイオン注入装置２０−１〜２０−４へ搬送する次回作業対象を装置用ストッカ４１−１〜４１−４毎に所定の判定基準に基づいて決定する。
【００３０】
ここで、作業順番決定部１４が次回作業対象を決定する方法について説明する。
【００３１】
図３は、図１に示した作業順番決定部１４が次回作業対象を決定するための判定基準の一例を示す図である。図３においては、図中、上に記載されている判定基準ほど優先順位の高い判定基準である。なお、ここでは、作業順番決定部１４が装置用ストッカ４１−１に置かれた複数の仕掛ロットから次回作業対象を決定する場合について説明する。また、ここでは、図２（ｃ）に示した装置用ストッカ情報テーブルが、装置用ストッカ４１−１、すなわち装置用ストッカ番号「１」の装置用ストッカ情報テーブルであるものする。
【００３２】
作業順番決定部１４は、まず、図３に示す優先順位１の判定基準に基づき、装置用ストッカ情報テーブルから優先ランクがＡ３以上のレコードを検索する。図２（ｃ）に示した装置用ストッカ情報テーブルのレコードには、優先ランクがＡ３以上のレコードが存在しない。従って、作業順番決定部１４は次に、図３に示す優先順位２の判定基準に基づき、直近作業対象テーブルにおける装置用ストッカ番号「１」に対応するエネルギー値及びビーム電流値の両方に一致するレコードを、装置用ストッカ番号「１」の装置用ストッカ情報テーブルから検索する。ここでは、直近作業対象テーブルの装置用ストッカ番号「１」に対応するエネルギー値及びビーム電流値はそれぞれ、「１１１１」、「ＡＡＡＡ」である。この場合、装置用ストッカ情報テーブルにおいて、仕掛ロット識別番号「７８９０１」のレコードが優先順位２の判定基準に該当する。従って、仕掛ロット識別番号「７８９０１」にて識別される仕掛ロットが次回作業対象となる。
【００３３】
そして、作業順番決定部１４は、直近作業対象テーブルから装置用ストッカ番号「１」を抽出するとともに、装置用ストッカ情報テーブルから仕掛ロット識別番号「７８９０１」を抽出する。なお、優先順位２の判定基準に該当するレコードも存在しない場合、作業順番決定部１４は、図３の優先順位３の判定基準に基づき、直近作業対象テーブルにおける装置用ストッカ番号「１」に対応するエネルギー値と一致し、装置用ストッカ番号「１」に対応するビーム電流値との差が所定の範囲内となるレコードの仕掛ロット識別番号を装置用ストッカ情報テーブルから抽出する。
【００３４】
そして、作業順番決定部１４は、抽出された装置用ストッカ番号と仕掛ロット識別番号とを含む作業指示を装置用ストッカ管理装置４０へ送信する。また、作業順番決定部１４は、抽出された仕掛ロット識別番号に対応するエネルギー値及びビーム電流値で直近作業対象テーブルの該当する装置用ストッカ番号のレコードを更新する。ここでは、装置用ストッカ番号「１」のレコードが更新される。また、作業順番決定部１４は、抽出された仕掛ロット識別番号のレコードを装置用ストッカ情報テーブルから削除する。
【００３５】
なお、図３に示した優先順位１〜３の判定基準に該当する仕掛ロットが存在しない場合、作業順番決定部１４は、図３に示す優先順位４以下の判定基準に該当する仕掛ロットを次回作業対象とする。この場合、優先順位５，６の判定基準に示すように、直近作業対象に付与された作業条件と部分的に一致する仕掛ロットが次回作業対象となる。なお、優先順位５に示した「ビーム電流値が最も近似」とは、優先順位３に示した「所定の範囲内」を除いて最も近似していることを意味している。
【００３６】
図３の判定基準及びその判定基準の優先順位に示すように、作業順番決定部１４は、直近作業対象に付与された作業条件と一致する度合いが高い作業条件が付与された仕掛ロットを優先的に次回作業対象とする。
【００３７】
図４は、図１に示したイオン注入装置２０−１〜２０−４において作業条件の変更に要する時間の一例を示す図である。図中左側の列には、図３に示した判定基準の優先順位が（  ）内に示されている。なお、本実施形態において作業条件の変更に要する時間とは、イオン注入装置２０−１〜２０−４におけるビーム調整時間と準備時間との合計時間のことである。
【００３８】
図４に示すように、図３に示した優先順位が高い判定基準ほど、イオン注入装置２０−１〜２０−４におけるビーム調整時間と準備時間との合計時間が短くなっている。つまり、図３に示した優先順位に基づいた判定基準で次回作業対象を決定すれば、イオン注入装置２０−１〜２０−４における作業条件の変更にかかる時間を最小限に抑制することができる。これにより、イオン注入装置２０−１〜２０−４の稼働効率を向上させることができる。
【００３９】
なお、図３に示した優先順位１〜３の判定基準に該当する仕掛ロットが存在しない場合、作業順番決定部１４は上述したように、優先順位４以下の判定基準に該当するものを次回作業対象とする。このとき、作業順番決定部１４は、直近作業対象テーブルの他の装置用ストッカ番号に対応するエネルギー値及びビーム電流値を参照する。そして、他の装置用ストッカにおいて優先順位２，３の判定基準に該当する仕掛ロットを除外した上で次回作業対象を決定する。このような仕掛ロットを除外した結果、優先順位４〜７の判定基準に該当する仕掛ロットが存在しなければ、除外した仕掛ロットも含めて次回作業対象を決定すればよい。
【００４０】
また、同じ優先順位の判定基準に複数の仕掛ロットが該当した場合、その判定基準の次の優先順位の判定基準に基づいて、それら複数の仕掛ロットのうちの１つを選択し、選択された仕掛ロットを次回作業対象とすればよい。
【００４１】
以下に、上記のように構成された搬送システムにおいて、仕掛ロットをイオン注入装置２０−１〜２０−４へ搬送する順番を決定する動作について説明する。
【００４２】
図５は、図１に示した搬送システムにおいて仕掛ロットをイオン注入装置２０−１〜２０−４へ搬送する順番を決定する動作を説明するためのフローチャートである。
【００４３】
搬送用ストッカ管理装置３０は、搬送用ストッカ３１に置かれた仕掛ロットの仕掛ロット識別番号、作業条件情報及び仕掛ロット情報を作業順番制御装置１０へ送信する。
【００４４】
搬送用ストッカ管理装置３０から送信された仕掛ロット識別番号、作業条件情報及び仕掛ロット情報を受信した作業順番制御装置１０の受付部１１は、受信したそれらの情報を対応付けて記憶部１２が有する搬送用ストッカ情報テーブルに記憶させる（ステップＳ１）。
【００４５】
次に、作業順番制御装置１０の搬送先決定部１３は、記憶部１２が有する搬送用ストッカ情報テーブルにおけるエネルギー値及びビーム電流値の両方と一致するレコードを記憶部１２が有する直近作業対象テーブルから検索する。
【００４６】
搬送先決定部１３は、エネルギー値及びビーム電流値の両方が一致するレコードが直近作業対象テーブルから検索された場合、そのエネルギー値及びビーム電流値に対応する仕掛ロット識別番号を搬送用ストッカ情報テーブルから抽出する。それととともに、検索されたレコードの装置用ストッカ番号を直近作業対象テーブルから抽出する（ステップＳ２）。なお、エネルギー値及びビーム電流値の両方が一致するレコードが存在しない場合、搬送先決定部１３は上述したように、搬送用ストッカ情報テーブルにおけるエネルギー値及びビーム電流値と部分的に一致するレコードの装置用ストッカ番号を直近作業対象テーブルから抽出する。
【００４７】
次に、搬送先決定部１３は、抽出された仕掛ロット識別番号及び装置用ストッカ番号を含む搬送指示を搬送用ストッカ管理装置３０へ送信する（ステップＳ３）。
【００４８】
また、搬送先決定部１３は、抽出された仕掛ロット識別番号のレコードを、抽出された装置用ストッカ番号に対応する装置用ストッカ情報テーブルに格納し、そのレコードを搬送用ストッカ情報テーブルから削除する。
【００４９】
作業順番制御装置１０から送信された搬送指示を受信した搬送用ストッカ管理装置３０は、受信した搬送指示に含まれる仕掛ロット識別番号にて識別される仕掛ロットを、その搬送指示に含まれる装置用ストッカ番号にて識別される装置用ストッカ４１−１〜４１−４へ搬送路５１を介して搬送する（ステップＳ４）。
【００５０】
次に、作業順番決定部１４は、記憶部１２が有する装置用ストッカ情報テーブルと直近作業対象テーブルとを参照することにより、装置用ストッカ４１−１〜４１−４毎に所定の判定基準に基づいて次回作業対象を決定する（ステップＳ５）。なお、次回作業対象を決定する方法は例えば、図３を用いて上述したような方法である。
【００５１】
次に、作業順番決定部１４は、決定された次回作業対象である仕掛ロットを識別する仕掛ロット識別番号を装置用ストッカ情報テーブルから抽出するとともに、直近作業対象テーブルから装置用ストッカ番号を抽出する（ステップＳ６）。
【００５２】
そして、作業順番決定部１４は、抽出された装置用ストッカ番号及び仕掛ロット識別番号を含む作業指示を装置用ストッカ管理装置４０へ送信する（ステップＳ７）。
【００５３】
また、作業順番決定部１４は、抽出された仕掛ロット識別番号に対応するエネルギー値及びビーム電流値で、直近作業対象テーブルの該当する装置用ストッカ番号のレコードを更新する（ステップＳ８）。また、作業順番決定部１４は、抽出された仕掛ロット識別番号のレコードを装置用ストッカ情報テーブルから削除する。
【００５４】
作業順番制御装置１０から送信された作業指示を受信した装置用ストッカ管理装置４０は、受信した作業指示に含まれる装置用ストッカ番号にて識別される装置用ストッカ４１−１〜４１−４に置かれた仕掛ロットの中から、その作業指示に含まれる仕掛ロット識別番号にて識別される仕掛ロットをイオン注入装置２０−１〜２０−４へ搬送路５２を介して搬送する（ステップＳ９）。
【００５５】
なお、搬送先決定部１３は、搬送用ストッカ３１に仕掛ロットが存在している間、ステップＳ１〜Ｓ３の動作を繰り返す。また、作業順番決定部１４は、装置用ストッカ４１−１〜４１−４に仕掛ロットが複数存在している間、ステップＳ５〜Ｓ９の動作を繰り返す。
【００５６】
このように本実施形態において作業順番制御装置１０は、イオン注入装置２０−１〜２０−４のそれぞれに搬送された複数の仕掛ロットの中から、イオン注入装置２０−１〜２０−４のそれぞれにおいて次に作業を施す作業対象である次回作業対象を、当該複数の仕掛ロットのそれぞれに付与された作業条件に基づいて決定する作業順番決定部１４を有する。作業順番決定部１４は、仕掛ロットに付与された作業条件と、次回作業対象の直前に作業を施す作業対象である直近作業対象に付与された作業条件とが一致する度合いに応じて次回作業対象を決定する。
【００５７】
そのため、イオン注入装置２０−１〜２０−４の稼働効率を向上させることができる。
【００５８】
なお、本発明においては、作業順番制御装置内の処理は上述の専用のハードウェアにより実現されるもの以外に、その機能を実現するためのプログラムを作業順番制御装置にて読取可能な記録媒体に記録し、この記録媒体に記録されたプログラムを作業順番制御装置に読み込ませ、実行するものであっても良い。作業順番制御装置にて読取可能な記録媒体とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＤＶＤ、ＣＤなどの移設可能な記録媒体の他、作業順番制御装置に内蔵されたＨＤＤなどを指す。
【符号の説明】
【００５９】
１０    作業順番制御装置
１１    受付部
１２    記憶部
１３    搬送先決定部
１４    作業順番決定部
２０−１〜２０−４    イオン注入装置
３０    搬送用ストッカ管理装置
３１    搬送用ストッカ
４０    装置用ストッカ管理装置
４１−１〜４１−４    装置用ストッカ
５１，５２    搬送路
【図１】
2011028488.tif 000003
【図２】
2011028488.tif 000004
【図３】
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【図４】
2011028488.tif 000006
【図５】
2011028488.tif 000007