(57)【要約】【課題】太陽電池セル内の各部の電位分布を測定することを可能にする太陽電池セル測定用試料台を提供する。【解決手段】プローブバー１７に配置された複数の電圧測定プローブ１７２のそれぞれに電圧出力端子を独立に電気的に接続する。これにより、各電圧出力端子のうちの任意の端子に電圧計のテストリード等を接続しておき、電圧測定プローブ１７２を測定対象の太陽電池セル５０に押し当てた状態で太陽電池セル５０に光を照射すれば、各電圧出力端子に対応する電圧測定プローブ１７２における太陽電池セル５０との接触点の電位を測定することができ、太陽電池セル内の各部の電位分布を調べることができ、１枚の太陽電池セル内の各部の電気特性を評価することができる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
a)複数の電圧測定プローブが一列に配置されたプローブバーと、
b)前記プローブバーのプローブ先端に対向するように配置された、測定対象の太陽電池セルが載置される試料載置部と、
c)前記電圧測定プローブのそれぞれに独立に電気的に接続された複数の電圧出力端子が配置されたターミナル部と
を備えることを特徴とする太陽電池セル測定用試料台。
【請求項２】
前記電圧測定プローブの配置が異なる複数種類のプローブバーを交換可能に保持するプローブバー保持部を備えることを特徴とする請求項１に記載の太陽電池セル測定用試料台。
【請求項３】
前記試料載置部が、複数の裏面電圧測定プローブが試料載置面に２次元的に配置されたものであるとともに、
前記ターミナル部が、前記裏面電圧測定プローブのそれぞれに独立に電気的に接続された複数の裏面電圧出力端子を有するものであることを特徴とする請求項１又は２に記載の太陽電池セル測定用試料台。
【請求項４】
前記試料載置部が、
a)試料載置面からその裏面まで貫通する複数の貫通孔を有する試料載置プレートと、
b)前記試料載置プレートの裏面に対向するように配置されており、該試料載置プレート側の面における前記貫通孔に対応する位置に各貫通孔を貫く長さの前記裏面電圧測定プローブが固定されたプローブ固定部と
を備えることを特徴とする請求項３に記載の太陽電池セル測定用試料台。
【請求項５】
a)電圧測定プローブを有するプローブバーと、
b)前記プローブバーのプローブ先端に対向するように配置されており、複数の裏面電圧測定プローブが試料載置面に２次元的に配置された試料載置部と、
c)前記裏面電圧測定プローブのそれぞれに独立に電気的に接続された複数の裏面電圧出力端子が配置されたターミナル部と
を備えることを特徴とする太陽電池セル測定用試料台。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光の照射により太陽電池セルが出力する電圧を測定する際に用いられる太陽電池セル測定用試料台に関する。
【背景技術】
【０００２】
図８に結晶系シリコン太陽電池セルの一例を示す。結晶系シリコン太陽電池セルでは一般にｐ型シリコン基板の表面（受光面）にリン拡散等によりｎ型シリコンの層が形成されており、受光面には図８(ａ)に示すように多数の細いフィンガー電極５１と、それに直交する比較的幅の広いバスバー電極５２が形成されている。また、その裏側の面には全面に裏面電極５３が形成されている（図８(ｂ)）。
【０００３】
太陽電池セル５０に光が入射するとｐｎ接合面にて電子正孔対が生成し、ｐｎ接合面に生じている内部電場により電子はｎ型シリコン側に、正孔はｐ型シリコン側にそれぞれ移動する。このとき、受光面及び裏面の各電極が接続され閉回路が形成されていれば、電子がフィンガー電極５１及びバスバー電極５２を通じて外部に流れ、閉回路に電流が流れる。
【０００４】
なお、太陽電池セルは一般に図９に示す等価回路で表すことができるが、太陽電池セルは面内の各部分がそれぞれ光エネルギーを電力に変換する機能を有するものであるため、図８に示すように電極を形成した場合には図１０に示すように１枚の太陽電池セルは小さな太陽電池が平面的に並列に連なったものと見なすことができる。
【０００５】
結晶系シリコン太陽電池セルの電気特性の評価はＪＩＳ  Ｃ８９１３「結晶系太陽電池セル出力測定方法」に則って、疑似太陽光を照射するソーラシミュレータにより行われることが多く、その測定には通常、図１１(ａ)に示すような構造を有する試料台６０ａが用いられる（特許文献１参照）。試料台６０ａは、測定対象の太陽電池セル５０が載置される平板状の金属プレート６１と、太陽電池セル５０のバスバー電極の直上に位置するように配置されるプローブバー６２ａとを備える。
プローブバー６２ａはバスバー電極の幅に収まるような薄い金属板であって、その下端から複数の電流測定プローブ６３及び１本の電圧測定プローブ６４が突出する。前者の複数の電流測定プローブ６３はいずれもプローブバー６２ａの本体である金属板を介して受光面電流出力端子６５に電気的に接続されている。後者の電圧測定プローブ６４は金属板との間に介在する絶縁部材により金属板から絶縁され、電線で表面電圧出力端子６６に接続されている。
太陽電池セル５０の裏面電極に接する金属プレート６１は裏面電流出力端子６８に接続されている。金属プレート６１の中央には貫通孔が設けられており、その貫通孔には１本の電圧測定プローブ６７が挿入されている。電圧測定プローブ６７は上端が太陽電池セル５０の裏面電極の中央に接触し、金属プレート６１から絶縁された状態で電線により裏面電圧出力端子６９に接続されている。なお、各プローブの内部には、各プローブ先端を一定の押圧力で電極に接触させるためのバネが組み込まれている。
測定の際には、金属プレート６１に載置された太陽電池セル５０のバスバー電極にプローブバー６２ａの各プローブを押し当てた状態で太陽電池セル５０に疑似太陽光を真上から照射する。このとき、プローブバーは太陽電池セル５０に対して垂直にし、プローブバーの影がバスバー電極の幅内に収まるようにする。この状態で、疑似太陽光の照射により太陽電池セル５０から出力される電流及び電圧を、電流出力端子６５、６８に接続された電流計及び電圧出力端子６６、６９に接続された電圧計により四端子法にて測定する。
【０００６】
太陽電池セル測定用試料台としては上記のものの他に、図１１(ｂ)や図１２(ａ)(ｂ)に示すような構造を有するものが用いられることもある。図１１(ｂ)に示す試料台６０ｂではプローブバー６２ｂに複数の電圧測定プローブ６４が設けられており、各電圧測定プローブ６４に取り付けられた電線はいずれも同じ表面電圧出力端子６６に接続されている。
図１２(ａ)(ｂ)に示す試料台６０ｃ、６０ｄは太陽電池セル５０の下に金属プレートではなくプローブバーが配置されたものである。図１２(ａ)に示す試料台６０ｃでは上下のプローブバーが図１１(ａ)に示したプローブバー６２ａと同じもの、つまり電圧測定プローブ６４が１本のものである。図１２(ｂ)に示す試料台６０ｄでは上下のプローブバーが図１１(ｂ)に示したプローブバー６２ｂと同じもの、つまり電圧測定プローブ６４が複数のものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開2006-118983号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
前述したとおり、太陽電池セルは面内の各部分がそれぞれ光エネルギーを電力に変換する機能を有するため、各部分の製造・加工条件の僅かの違いにより各部分の電気特性に差違が生じ、位置により電位が異なる可能性がある。
しかし、従来の太陽電池セル測定用試料台では電圧については太陽電池セルの平均的な電圧を測定することしか想定されていなかったため、１枚の太陽電池セル内の各部の電位分布を測定することができなかった。
【０００９】
本発明は以上のような課題を解決するために成されたものであり、その目的は、太陽電池セル内の各部の電位分布を測定することを可能にする太陽電池セル測定用試料台を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために成された本発明の第１の態様である太陽電池セル測定用試料台は、
a)複数の電圧測定プローブが一列に配置されたプローブバーと、
b)前記プローブバーのプローブ先端に対向するように配置された、測定対象の太陽電池セルが載置される試料載置部と、
c)前記電圧測定プローブのそれぞれに独立に電気的に接続された複数の電圧出力端子が配置されたターミナル部と
を備えることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明の第２の態様である太陽電池セル測定用試料台は、
a)電圧測定プローブを有するプローブバーと、
b)前記プローブバーのプローブ先端に対向するように配置されており、複数の裏面電圧測定プローブが試料載置面に２次元的に配置された試料載置部と、
c)前記裏面電圧測定プローブのそれぞれに独立に電気的に接続された複数の裏面電圧出力端子が配置されたターミナル部と
を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る太陽電池セル測定用試料台によれば、プローブバー又は試料載置部に配置された太陽電池セル内の複数箇所の電位を測定するための複数の電圧測定プローブに、複数の電圧出力端子がそれぞれ独立に電気的に接続されているため、各電圧出力端子のうちの任意の端子に電圧計のテストリード等を接続しておき、電圧測定プローブを測定対象の太陽電池セルに押し当てた状態で太陽電池セルに光を照射すれば、各電圧出力端子に対応する電圧測定プローブにおける太陽電池セルとの接触点の電位や２つの電圧測定プローブにおける太陽電池セルとの各接触点間の電位差を測定することができる。これにより太陽電池セル内の各部の電位分布を調べることができ、１枚の太陽電池セル内の各部の電気特性を評価することができる。
なお、薄膜で構成された発電層が透明基板上に形成された薄膜太陽電池セルでは、一般に発電層と基板の間に透明電極を設ける。透明電極は比較的電気抵抗が大きいため、それによる電圧降下が大きく、セル内の各部の電位分布が顕著に現れやすい。そのため、薄膜太陽電池セルでは電位分布を測定することの重要性が高く、そのような薄膜太陽電池セルの電気特性を評価する際に本発明の太陽電池セル測定用試料台は特に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施例である太陽電池セル測定用試料台の斜視図。
【図２】試料台部を説明する図であり、(ａ)は平面図、(ｂ)は(ａ)のＡ−Ａ矢視断面図である。
【図３】試料台部の主要部の分解斜視図。
【図４】試料台部の主要部の縦断面図。
【図５】ターミナル部の平面図(ａ)及び側面図(ｂ)。
【図６】実施例２に係る太陽電池セル測定用試料台を説明する図であり、(ａ)は斜視図、(ｂ)は(ａ)のＢ矢視正面図、(ｃ)は(ａ)のＣ矢視側面図である。
【図７】薄膜太陽電池セルの概略構造を示す断面図。
【図８】結晶系のシリコン太陽電池セルの一例を示す図。
【図９】太陽電池セルの一般的な等価回路を示す図。
【図１０】太陽電池セルの他の等価回路を示す図。
【図１１】太陽電池セル下面を金属プレートで支える従来の試料台を示す図。
【図１２】太陽電池セル下面をプローブバーで支える従来の試料台を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の一実施例である太陽電池セル測定用試料台について、図面を参照して説明する。
【実施例１】
【００１５】
図１は本実施例の太陽電池セル測定用試料台１０の斜視図である。太陽電池セル測定用試料台１０は測定対象の太陽電池セルが載置される試料台部１１と、測定電圧の出力端子を有するターミナル部３０とを備える。本実施例が対象とする太陽電池セル５０は縦横125mmの大きさの結晶系シリコン太陽電池セルであり、受光面にバスバー電極及びフィンガー電極が形成されている。
【００１６】
図２は試料台部１１の平面図(ａ)及びその図におけるＡ−Ａ矢視断面図(ｂ)、図３は試料台部１１の主要部の分解斜視図、図４は試料台部１１の主要部の縦断面図である。太陽電池セル５０が載置される試料載置プレート１２は、４本の支柱１４によって支持され中央が開口するテーブル１５の上面に、開口を塞ぐように取り付けられている。試料載置プレート１２は上面に金メッキ等が施された銅板であり、後述する裏面電圧測定プローブ２０を通すための貫通孔１６が二次元的に（例えば縦横に８個ずつ）並ぶ。また、図示はしていないが、試料載置プレート１２上面の複数箇所に太陽電池セル５０を吸着するための吸引口が設けられ、各吸引口は試料載置プレート１２内の流路を通じて真空ポンプに繋がる。
【００１７】
試料載置プレート１２の上方にはバスバー電極と同じ本数（ここでは３本）のプローブバー１７がバスバー電極の直上にて互いに平行に配置され、各プローブバー１７及び試料載置プレート１２の周囲には直上から照射される疑似太陽光以外の光を遮断するためのカバー１３が設けられている。図４に示すように、プローブバー１７は高い導電性を有する銅等からなる金属板１７１と、複数の表面電圧測定プローブ１７２と、複数の電流測定プローブ１７３とを有する。
金属板１７１は太陽電池セル５０のバスバー電極の幅に収まるような厚さの薄い金属板であり、上下方向に貫かれた複数の貫通孔のそれぞれに表面電圧測定プローブ１７２と電流測定プローブ１７３が挿入され固定されている。
表面電圧測定プローブ１７２は金属板１７１との間に介在する絶縁部材により金属板１７１から絶縁されており、各表面電圧測定プローブ１７２には電線１８１がそれぞれに独立に接続されている。電線１８１は太陽電池セル５０に照射される光を遮らないように金属板１７１の上面からはみ出さないようにその上面に固定され、各電線１８１に独立に接続するピンを有するプローブバー用コネクタ１８２に接続される。
電流測定プローブ１７３は金属板１７１に電気的に接続するように固定され、金属板１７１の端には電線１８３が取り付けられる。この電線１８３と試料載置プレート１２に取り付けられている電線１２２により、太陽電池セル５０の出力電流を測定することができる。
なお、表面電圧測定プローブ１７２及び電流測定プローブ１７３の内部には各プローブ先端を一定の押圧力で太陽電池セル５０に接触させるためのバネが組み込まれている。
【００１８】
図２に示すようにテーブル１５の上面には、プローブバー１７の端部を保持するプローブバー保持部１９が設けられている。プローブバー保持部１９はネジ等によりプローブバー１７を脱着可能に保持するものである。また、プローブバー保持部１９は樹脂等の絶縁性を有する材料から成るものであり、各プローブバー１７を絶縁した状態で保持する。
プローブバー１７の固定位置の調整を容易にするために、プローブバー保持部１９とテーブル１５の間にはレール１９１が配置されており、プローブバー保持部１９はレール１９１上の任意の位置で固定することができる。
【００１９】
試料載置プレート１２の下方には、試料載置プレート１２の各貫通孔１６に対応する位置に裏面電圧測定プローブ２０が立設されたプローブ固定部２１が配置されている。プローブ固定部２１は樹脂等の絶縁性を有する板である。図４に示すように裏面電圧測定プローブ２０にはそれぞれ独立に電線２２１が取り付けられ、各電線２２１はそれぞれに独立に接続するピンを有するプローブ固定部側コネクタ２２２に接続されている。なお、裏面電圧測定プローブ２０の内部にも各プローブ先端を一定の押圧力で太陽電池セル５０の裏面に接触させるためのバネが組み込まれている。
【００２０】
図２に示すようにプローブ固定部２１の下面には昇降機構２３が取り付けられており、ハンドル２４を回すことによってプローブ固定部２１が昇降する。昇降機構の構造は様々なものが考えられるが、本実施例では図２(ｂ)に示すように、スライダー等により上下方向のみに移動可能であり下面に傾斜面を有する支持部２３１と、支持部２３１の下面に平行な傾斜面を上面に有するくさび部材２３２と、くさび部材２３２を直線移動させるためのボールねじ２３３とを備えたものを用いる。
【００２１】
図５にターミナル部３０の平面図(ａ)及び側面図(ｂ)を示す。ターミナル部３０にはプローブバー１７及びプローブ固定部２１の各電圧測定プローブの配列に対応する並びで表面電圧出力端子３１及び裏面電圧出力端子３２が取り付けられている。各電圧出力端子に取り付けられた電線はターミナル部３０背面に配置された表面電圧用コネクタ３３又は裏面電圧用コネクタ３４に繋がる。表面電圧用コネクタ３３にはプローブバー用コネクタ１８２が、裏面電圧用コネクタ３４にはプローブ固定部側コネクタ２２２がそれぞれ接続される。
【００２２】
太陽電池セル５０の電圧を測定する際には、まずプローブバー１７をプローブバー保持部１９から取り外した状態で、測定対象の太陽電池セル５０を、受光面を上に向けて試料載置プレート１２に載置し、真空ポンプを動作させて試料載置プレート１２の上面に吸着保持する。次に、プローブバー１７の各プローブが太陽電池セル５０のバスバー電極に接触するようにプローブバー１７をプローブバー保持部１９に取り付ける。そして、ハンドル２４を回転させて昇降機構２３によりプローブ固定部２１を持ち上げ、太陽電池セル５０の裏面に裏面電圧測定プローブ２０を接触させる。
【００２３】
この状態で、ターミナル部３０の表面電圧出力端子３１及び裏面電圧出力端子３２のうちの任意の端子に電圧計のテストリードを接続し、ソーラシミュレータから照射される疑似太陽光を太陽電池セル５０の上面に照射する。このとき、表面電圧出力端子３１の一つの端子と裏面電圧出力端子３２の一つの端子に電圧計のテストリードが接続されていれば、太陽電池セル５０の裏面の或る位置に対する受光面の或る位置の電位を測定することができる。また、表面電圧出力端子３１のうちの２つの端子又は裏面電圧出力端子３２のうちの２つの端子に電圧計のテストリードを接続すれば、太陽電池セル５０の表面又は裏面の２箇所の間の電位差を測定することができる。これらの測定を繰り返すことにより、太陽電池セル内の各部の電位分布を調べることができる。また、得られた電位分布と上述した電流の測定値に基づいて、太陽電池セル５０が出力する電力の分布も調べることができる。
【００２４】
上記測定の繰り返しは自動的に行ってもよく、例えばターミナル部３０と電圧計の間に、測定に用いる端子をコンピュータ制御で切り替える切替制御装置（具体的には、測定位置や測定順序等が入力されたコンピュータの指示に基づいて、ターミナル部３０の各電圧出力端子に繋がる複数の入力端子のうちで、電圧計に繋がる２つの出力端子に接続される２つの端子を、リレー等により順次切り替える切替制御装置）を介在させ、その切替が行われる度に電圧計から出力される測定値をコンピュータ等に読み込ませてもよい。
【００２５】
以上のようにして得られるデータは１枚の太陽電池セル内の各部の電気特性を表すものであり、このデータは太陽電池セルの製造方法や電極材料の改善等に役立つ情報となる。また、太陽電池セルの量産ラインにて、太陽電池セル内のどの点を電圧測定ポイントとすべきかを決定する際に有用な情報ともなる。
【００２６】
プローブバー１７については、表面電圧測定プローブ１７２の配置（例えばピッチや本数）が異なるものを複数用意しておき、それらを適宜交換してもよい。これにより、太陽電池セル５０の表面の電圧測定ポイントを変更することができる。
同様に、裏面電圧測定プローブ２０の配置が異なるプローブ固定部２１及びその配置に応じた貫通孔１６を有する試料載置プレート１２をそれぞれ複数用意しておき、それらを適宜交換してもよい。これにより、太陽電池セル５０の裏面の電圧測定ポイントを変更することができる。
【００２７】
なお、基板の反りが生じやすい薄型の太陽電池セルを測定するときは、プローブバーの電流測定プローブと電極の接触圧が太陽電池セルの位置により異なりやすく、これにより各プローブと電極の接触抵抗等に差違が生じやすい。
また、プローブがパスバー電極の幅方向の中心からずれると、ずれ側のフィンガー電極から送られる電流はバスバー電極を幅方向に比較的短い距離だけ通過してプローブに到達する。一方、その反対側のフィンガー電極から送られる電流はバスバー電極を幅方向に比較的長い距離だけ通過してプローブに到達する。このようにずれ側とその反対側において上記各距離が異なると、それぞれにおいてバスバー電極の抵抗値等による電圧降下に差違が生じる。そのため、プローブバーの位置によってプローブから出力される電圧が変化する。特にバスバー電極の幅が狭いときには、プローブのずれにより、ずれ側とその反対側の上記距離の比率が大きく変化することになるため、プローブのずれが出力電圧に大きく影響する。
これらのような状況の下では、従来の１本の電圧測定プローブを表面電極に接触させる方法では、プローブの接触位置によって大きな電圧測定誤差を生ずることがある。そのため、その測定値は１枚の太陽電池セル全体の電気特性を評価するためのデータとしては適当でない。
これに対し本発明では、複数の電圧測定プローブを表面電極に接触させ、各接点の電位を独立に測定するため、得られた複数の測定値に基づいて１枚の太陽電池セル内の平均的な電位を算出することができる。このような平均的な電位の値は、上記従来の方法による１点の測定値とは異なり大きな誤差が生じにくいため、１枚の太陽電池セル全体の電気特性を評価するためのデータとしてより適当である。
【実施例２】
【００２８】
図６は本発明の第２実施例に係る太陽電池セル測定用試料台４０の概略構成を示す図である。太陽電池セル測定用試料台４０は、薄膜で構成された発電層が透明基板上に形成された薄膜太陽電池セル７０を測定対象とするものである。
【００２９】
薄膜太陽電池セル７０は図７に示すように、ガラス基板やプラスチックフィルム等の透明な基板７１の上に、ＩＴＯ等の透明電極７２、アモルファスシリコン等の発電層７３及び金属等の表層電極７４がこの順に積層されたものである。各層は図６(ａ)に示すように基板７１上で短冊状の領域に分割された短冊状セルとして形成され、短冊状セルの各隣接部では図７に示すように上記各層の離間部の位置が少しずつずれている。この隣接部において、発電層７３の離間部には一方の短冊状セルの表層電極７４が入り込み、他方の短冊状セルの透明電極７２に接触する。これにより、光照射により生じる電流は図７にて矢印で示すように各セルを順に流れる。このように各セルを電気的に直列に接続することにより、両端の短冊状セルから高い出力電圧を得ることができる。
なお、薄膜太陽電池セルでは、結晶系シリコン太陽電池セルとは異なり基板にシリコンウエハを用いないため、大型化が容易であり、１辺を１ｍ以上にすることもできる。本実施例の太陽電池セル測定用試料台４０では、そのような大型の太陽電池セルを測定対象としてもよく、もちろん結晶系シリコン太陽電池セルと同程度の比較的小型のものを測定対象としてもよい。また、薄膜太陽電池セルはアモルファスシリコン太陽電池セルに限らず、GaAs等の化合物系太陽電池セル、色素増感太陽電池や有機薄膜太陽電池等の有機系太陽電池セル等であってもよい。
【００３０】
太陽電池セル測定用試料台４０は、薄膜太陽電池セル７０が載置される試料載置プレート４２と、複数の電圧測定プローブ４７３が一列に配置された２本のプローブバー４７を有する。試料載置プレート４２はガラス等の透明なプレートであり、下方から照射される疑似太陽光を透過する。
【００３１】
プローブバー４７は薄膜太陽電池セル７０の中の複数の短冊状セルのうちの両端のセルの上に配置され、プローブバー４７の各電圧測定プローブ４７３が表層電極７４に接触する。各電圧測定プローブ４７３は実施例１と同様にそれぞれ独立した電線に接続し、各電線はそれぞれに対応する電圧出力ピンを有する多ピンコネクタ４５に接続する。多ピンコネクタ４５は実施例１と同様に複数の電圧出力端子を有するターミナル部に接続する。
なお、薄膜太陽電池セル７０全体の電気特性を評価する際には、このように複数の短冊状セルのうちの両端のセルにプローブバー４７を接触させればよく、薄膜太陽電池セル７０内の特定の領域の電気特性を評価する際には、その特定領域に対応する短冊状セルにプローブバー４７を接触させればよい。
また、プローブバー４７の本数は２本に限らず、例えば１本であっても、複数の短冊状セルと同じ数であってもよい。
図６ではプローブバー４７には電圧測定プローブ４７３しか配置されていないが、実施例１と同様に、電流を測定するための電流測定プローブを別途配置してもよい。
【００３２】
薄膜太陽電池セル７０の電圧を測定する際には、まず、薄膜太陽電池セル７０を試料載置プレート４２に、基板７１を下に向けて載置する。次に、薄膜太陽電池セル７０の上にプローブバー４７を配置し、電圧測定プローブ４７３を薄膜太陽電池セル７０の表層電極７４に接触させる。そして、試料載置プレート４２の下方に配置されたソーラシミュレータから発せられる疑似太陽光を試料載置プレート４２を通して薄膜太陽電池セル７０の下面に照射する。この状態で、各電圧測定プローブ４７３に対応する電圧出力端子のうちの任意の２つの端子の電位差を測定する。これにより、薄膜太陽電池セル７０内の各部の電位分布を測定することができる。このとき、測定に用いる２つの端子は、同一のプローブバー４７内の２つの電圧測定プローブ４７３に対応するものであっても、異なるプローブバー４７のうちの一方のプローブバーの電圧測定プローブ４７３と他方のプローブバーの電圧測定プローブ４７３のそれぞれに対応するものであってもよい。
【００３３】
本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨の範囲で適宜変更が許容される。例えば、ターミナル部は上記実施例では試料台部から独立したターミナルボックスであるが、複数の電圧出力端子が固定されたプレート等であってもよく、それを試料台部１１に取り付けてもよい。また、電圧出力端子であるピンを複数有するコネクタをターミナル部としてもよい。
【符号の説明】
【００３４】
１０、４０…太陽電池セル測定用試料台
１１…試料台部
１２、４２…試料載置プレート
１２２、１８１、１８３、２２１…電線
１３…カバー
１４…支柱
１５…テーブル
１６…貫通孔
１７、４７…プローブバー
１７１…金属板
１７２…表面電圧測定プローブ
１７３、４７３…電流測定プローブ
１８２…プローブバー用コネクタ
１９…プローブバー保持部
１９１…レール
２０…裏面電圧測定プローブ
２１…プローブ固定部
２２２…プローブ固定部側コネクタ
２３…昇降機構
２３１…支持部
２３２…くさび部材
２３３…ボールねじ
２４…ハンドル
３０…ターミナル部
３１…表面電圧出力端子
３２…裏面電圧出力端子
３３…表面電圧用コネクタ
３４…裏面電圧用コネクタ
４５…多ピンコネクタ
５０…太陽電池セル
５１…フィンガー電極
５２…バスバー電極
５３…裏面電極
６０ａ、６０ｂ、６０ｃ、６０ｄ…試料台
６１…金属プレート
６２ａ、６２ｂ…プローブバー
６３…電流測定プローブ
６４…電圧測定プローブ
６５…受光面電流出力端子
６６…表面電圧出力端子
６７…電圧測定プローブ
６８…裏面電流出力端子
６９…裏面電圧出力端子
７０…薄膜太陽電池セル
７１…基板
７２…透明電極
７３…発電層
７４…表層電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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