(57)【要約】【課題】信頼性の高い高記録密度対応の光ディスク、又はＤＶＤ、ＣＤなどの光ディスクを提供できる光ディスク製造装置を提供する。【解決手段】ノズル部材３Ｆによってディスク基板Ｄの上に供給された液膜形成物質を高速回転による遠心力で展延する回転処理装置２と、前記ノズル部材３Ｆを支承するアーム部材３Ｃとを備える光ディスク製造装置において、前記アーム部材３Ｃの先端部分には、前記液膜形成物質供給機構４と前記ノズル部材３Ｆとの間を選択的に開閉する液膜形成物質開閉弁３Ｄと、その液膜形成物質開閉弁３Ｄにおける前記液膜形成物質の流出部に着脱可能に取り付けられた濾過部材３Ｅとが備えられ、前記ノズル部材３Ｆは前記濾過部材３Ｅの流出部に取り付けられ、前記液膜形成物質供給機構４内で発生した粒子までも除去可能にして高品質の液膜を前記ディスク基板Ｄ上に形成可能にする光ディスク製造装置。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク基板の上に供給された液膜形成物質を高速回転による遠心力で展延する回転処  理装置と、前記ディスク基板の上に前記液膜形成物質を吐出するノズル部材と、
該ノズル部材に前記液膜形成物質を供給する液膜形成物質供給機構と、
前記ノズル部材を支承するアーム部材と、
前記アーム部材を運動させるノズル部材駆動装置とを備える光ディスク製造装置において、
前記アーム部材の先端部分に取り付けられ、前記液膜形成物質供給機構と前記ノズル部材との間を選択的に開閉する液膜形成物質開閉弁と、
該液膜形成物質開閉弁と前記ノズル部材との間に着脱可能に取り付けられた濾過部材と、
を備え、前記液膜形成物質供給機構内で発生した粒子までも除去可能にして高品質の液膜を前記ディスク基板上に形成することを特徴とする光ディスク製造装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記液膜形成物質は、光透過膜を形成するのに適した光透過膜形成用材料、記録膜を形成するのに適した記録膜形成用材料、保護膜を形成するのに適した保護膜形成用材料、前記ディスク基板と他のディスク基板とを貼り合せるのに適した接着剤のいずれかであることを特徴とする光ディスク製造装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２において、
前記濾過部材は、
前記液膜形成物質開閉弁に脱着可能で、前記液膜形成物質が流入する流入部と、
前記ノズル部材に脱着可能で、前記液膜形成物質が流出する流出部と、
前記流入部と流出部との間に配置された濾過材料と、
を備え、前記流入部から流入された前記液膜形成物質を前記濾過材料で濾過した後、前記流出部から流出することを特徴とする光ディスク製造装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかにおいて、
前記濾過部材は、該濾過部材内に溜まった気体を排気するための排気用弁を備えることを特徴とする光ディスク製造装置。
【請求項５】
請求項３において、
前記排気用弁は、前記液膜形成物質開閉弁が閉じて前記液膜形成物質を遮断しているときに開くことを特徴とする光ディスク製造装置。
【請求項６】
請求項５において、
前記排気用弁は、前記濾過部材内に溜まった気体が設定値を越えるときに出力される電気信号によって、電磁的に開くことを特徴とする光ディスク製造装置。
【請求項７】
請求項３ないし請求項６のいずれかにおいて、
前記排気用弁を制御するタイマ装置を備え、該タイマ装置に予め設定された設定時間ごとに出力される出力信号に基づいて前記排気用弁を開閉し、前記濾過部材内に溜まった気体を自動的に排気することを特徴とする光ディスク製造装置。
【請求項８】
請求項３ないし請求項６のいずれかにおいて、
前記液膜形成物質開閉弁の開閉回数を計数するカウンタ装置を備え、前記開閉回数が設定回数に達するときに前記カウンタ装置は出力信号を発生し、この出力信号に基づいて前記排気用弁が開いて、前記濾過部材内に溜まった気体を自動的に排気することを特徴とする光ディスク製造装置。
【請求項９】
請求項３ないし請求項６のいずれかにおいて、
前記液膜形成物質供給機構から前記液膜形成物質開閉弁までの間の配管に流量計を備え、前記液膜形成物質開閉弁が開いているときの前記液膜形成物質の流量が設定値以下になるときに、前記排気用弁が開いて、前記濾過部材内に溜まった気体を自動的に排気することを特徴とする光ディスク製造装置。
【請求項１０】
請求項６ないし請求項９のいずれかにおいて、
前記出力信号に基づいて前記濾過部材の交換時期を知らせる報知手段を備えることを特徴とする光ディスク製造装置。
【請求項１１】
請求項１ないし請求項１０のいずれかにおいて、
前記液膜形成物質供給機構は、前記液膜形成物質の流路の途中に、前記液膜形成物質が流入する流入部と流出する流出部とを備える濾過用容器を備え、
該濾過用容器内は前記流入部と前記流出部との間を濾過材料で仕切られており、
前記濾過用容器内に溜まった気体を排気するための排気バルブが前記流入部側に設けられていることを特徴とする光ディスク製造装置。
【請求項１２】
ディスク基板の上に供給された液膜形成物質を高速回転による遠心力で展延する回転処理装置と、前記ディスク基板の上に前記液膜形成物質を吐出するノズル部材と、該ノズル部材に前記液膜形成物質を供給する液膜形成物質供給機構と、前記ノズル部材を支承するアーム部材と、前記アーム部材を運動させるノズル部材駆動装置とを備える光ディスク製造装置において、
前記液膜形成物質供給機構は、前記液膜形成物質の流路の途中に、前記液膜形成物質が流入する流入部と流出する流出部とを備える濾過用容器を備え、
該濾過用容器内は前記流入部と前記流出部との間を濾過材料で仕切られており、
前記容器内に溜まった気体を排気するための排気バルブを前記流入部側に備え、
前記排気バルブは、前記濾過用容器内に溜まった気体が設定値を越えるときに出力される電気信号によって、電磁的に開くことを特徴とする光ディスク製造装置。
【請求項１３】
請求項１２において、
前記排気用弁を制御するタイマ装置を備え、該タイマ装置に予め設定された設定時間ごとに前記排気用弁を開閉し、前記濾過用容器内に溜まった気体を自動的に排気することを特徴とする光ディスク製造装置。
【請求項１４】
請求項１２において、
前記液膜形成物質開閉弁の開閉回数を計数するカウンタ装置を備え、前記開閉回数が設定回数に達するときに前記カウンタ装置は出力信号を発生し、この出力信号に基づいて前記排気バルブが開いて、前記濾過用容器内に溜まった気体を自動的に排気することを特徴とする光ディスク製造装置。
【請求項１５】
請求項１２において、
前記液膜形成物質供給機構から前記液膜形成物質開閉弁までの間の配管に流量計を備え、前記液膜形成物質開閉弁が開いているときの前記液膜形成物質の流量が設定値以下になるときに、前記排気バルブが開いて、前記濾過用容器内に溜まった気体を自動的に排気することを特徴とする光ディスク製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光を利用して書き込み、読み出しが可能な光ディスク、特に高密度記録対応の光ディスクの製造に適した光ディスク製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＨＤＴＶ（Ｈｉｇｈ  Ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎ  Ｔｅｌｅｖｉｓｉｏｎ）画質などの映像の記録及び再生を可能とする次世代光ディスクが実現化に向けて進んでいる。ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｃ）よりも更に短波長の、４０５ｎｍ及びその近傍の発振波長を有する光を発光する半導体レーザ（以下青紫レーザと称す）を用いて記録を行う新しいディスク構造による高密度記録方式が提案されている。例えば、情報記録層を形成してなる厚さ１．１ｍｍのディスク基板上に、厚さ０．１ｍｍの光透過層を形成した構造を有する高記録密度対応の光ディスク、あるいはそれぞれのディスク基板上に情報記録層を形成してなる厚さ０．６ｍｍの２枚の基板を、硬化後には光透過層となる接着剤で貼り合わせた構造を有する高記録密度対応の光ディスクも実現化され始めている。このような次世代光ディスクでは、光透過層を通して青紫レーザにより記録および再生を行うため、光透過層については４０５ｎｍ及びその近傍の波長の光に対する高い透過率が必要となる。また、ＤＶＤに比べて情報記録層が高密度であるので、記録時、再生時ともに非常に高い解像度を要求される。
【０００３】
ＤＶＤあるいはＣＤに限らず、高記録密度対応の光ディスクの製造工程にあっても、有機色素材料を溶剤に溶かしてなる記録用薬液をディスク基板上に供給した後に高速回転させて記録用薬液をディスク基板上に展延させる回転処理工程が必要であるものもあり、また、４０５ｎｍ及びその近傍の波長の光を高い透過率で透過する光透過層を形成するために液膜形成物質をディスク基板上に展延させる別の回転処理工程が必要であったり、あるいは前記光透過層などを保護するための保護層を形成するために保護用液膜形成物質を展延させる更に別の回転処理工程が必要であることがある。これら高速回転処理工程にあっては、前述のようにディスク基板上に供給される記録用薬液、液膜形成物質、保護用液膜形成物質のような液膜形成物質は非常に純度の高いものが要求される。それら液膜形成物質に微粒子や気泡が混入されていると、ディスク基板に形成される塵埃のような粒子や気泡が含まれ、記録や再生に悪影響を及ぼす。ＤＶＤなど従来の光ディスクではその影響があまり問題にならない場合が多いが、高記録密度対応の光ディスクでは悪影響が大きいことが分かってきた。
【０００４】
したがって、従来の場合には、回転処理中に高速回転により振り切られた液膜形成物質を回収して再使用するためにも、スピンコータのような回転処理装置の回転載置台上のディスク基板に前述のような液膜形成物質を円環状に供給するノズル部材と液膜形成物質が収納されているタンクとの間を結ぶ液膜形成物質供給配管の途中にフィルタ部材を設けている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。このようなフィルタ部材は、液膜形成物質に混入している粒子を除去するためのパーティクル除去部材と、気泡を除去するために気体のみを通過させる気体透過膜とを密閉容器に備え、その密閉容器の入口から液膜形成物質を導入して、前記パーティクル除去部材と気体透過膜とを通過させてこれらを除去した液膜形成物質を出口から導出している（例えば、特許文献３参照）。そして清浄化された液膜形成物質は、前記特許文献１の発明に記載されているように、配管、各種の弁体、及びノズル部材を通してディスク基板上に供給される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平０６−１２４４８７号公報
【特許文献２】特開平０８−００７３４７号公報
【特許文献３】特開平１１−２１６３３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、従来装置の場合には、濾過効率の高いフィルタ部材を用いたとしても、配管の途中にフィルタ部材を配設しているだけであるので、フィルタ部材が設けられた以後の配管や各種の弁体において粒子や気体が発生し、粒子や気体が液膜形成物質に混入することもあることが確認された。また、濾過効率の高いフィルタ部材を用いれば、ほとんどの粒子や気泡は除去でき、ＤＶＤ、ＣＤのような従来の光ディスクの場合にはさほど問題にならないことが多いが、高記録密度対応の光ディスクでは問題になることがあり、品質や歩留りの低下を招く。
【０００７】
したがって、本発明はこのような従来の問題点を解決して、品質の高い高記録密度対応の光ディスク、又はＤＶＤ、ＣＤなどの光ディスクを製造できる光ディスク製造装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の発明は、前記課題を解決するために、ディスク基板の上に前記液膜形成物質を吐出するノズル部材と、そのノズル部材に前記液膜形成物質を供給する液膜形成物質供給機構と、前記ノズル部材を支承するアーム部材と、前記アーム部材を運動させるノズル部材駆動装置とを備える光ディスク製造装置において、前記アーム部材の先端部分に取り付けられ、前記液膜形成物質供給機構と前記ノズル部材との間を選択的に開閉する液膜形成物質開閉弁と、該液膜形成物質開閉弁と前記ノズル部材との間に着脱可能に取り付けられた濾過部材とを備え、前記液膜形成物質供給機構内で発生した粒子までも除去可能にして高品質の液膜を前記ディスク基板上に形成することを特徴とする光ディスク製造装置を提供するものである。
【０００９】
第２の発明は、前記第１の発明において、前記液膜形成物質は、光透過膜を形成するのに適した光透過膜形成用材料、記録膜を形成するのに適した記録膜形成用材料、保護膜を形成するのに適した保護膜形成用材料、前記ディスク基板と他のディスク基板とを貼り合せるのに適した接着剤のいずれかであることを特徴とする光ディスク製造装置を提供する。
【００１０】
第３の発明は、前記第１の発明又は前記第２の発明において、前記濾過部材は、前記液膜形成物質開閉弁に脱着可能で、前記液膜形成物質が流入する流入部と、前記ノズル部材に脱着可能で、前記液膜形成物質が流出する流出部と、前記流入部と流出部との間に配置された濾過材料とを備え、前記流入部から流入された前記液膜形成物質を前記濾過材料で濾過した後、前記流出部から流出することを特徴とする光ディスク製造装置を提供するものである。
【００１１】
第４の発明は、前記第１の発明ないし前記第３の発明のいずれかにおいて、前記濾過部材は、その濾過部材内に溜まった気体を排気するための排気用弁を備えることを特徴とする光ディスク製造装置を提供する。
【００１２】
第５の発明は、前記第３の発明において、前記排気用弁は、前記液膜形成物質開閉弁が閉じて前記液膜形成物質を遮断しているときに開くことを特徴とする光ディスク製造装置を提供する。
【００１３】
第６の発明は、前記第５の発明において、前記排気用弁は、前記濾過部材内に溜まった気体が設定値を越えるときに出力される電気信号によって、電磁的に開くことを特徴とする光ディスク製造装置を提供する。
【００１４】
第７の発明は、前記第３の発明ないし前記第６の発明のいずれかにおいて、前記排気用弁を制御するタイマ装置を備え、そのタイマ装置に予め設定された設定時間ごとに出力される出力信号に基づいて前記排気用弁を開閉し、前記濾過部材内に溜まった気体を自動的に排気することを特徴とする光ディスク製造装置を提供する。
【００１５】
第８の発明は、前記第３の発明ないし前記第６の発明のいずれかにおいて、前記液膜形成物質開閉弁の開閉回数を計数するカウンタ装置を備え、前記開閉回数が設定回数に達するときに前記カウンタ装置は出力信号を発生し、この出力信号に基づいて前記排気用弁が開いて、前記濾過部材内に溜まった気体を自動的に排気することを特徴とする光ディスク製造装置を提供するものである。
【００１６】
第９の発明は、前記第３の発明ないし前記第６の発明のいずれかにおいて、前記液膜形成物質供給機構から前記液膜形成物質開閉弁までの間の配管に流量計を備え、前記液膜形成物質開閉弁が開いているときの前記液膜形成物質の流量が設定値以下になるときに、前記排気用弁が開いて、前記濾過部材内に溜まった気体を自動的に排気することを特徴とする光ディスク製造装置を提供する。
【００１７】
第１０の発明は、前記課題を解決するために、前記第６の発明ないし前記第９の発明のいずれかにおいて、前記出力信号に基づいて前記濾過部材の交換時期を知らせる報知手段を備えることを特徴とする光ディスク製造装置を提供するものである。
【００１８】
第１１の発明は、前記第１の発明ないし前記第１０の発明のいずれかにおいて、液膜形成物質供給機構は、前記液膜形成物質の流路の途中に、前記液膜形成物質が流入する流入部と流出する流出部とを備える濾過用容器を備え、その濾過用容器内は前記流入部と前記流出部との間を濾過材料で仕切られており、前記濾過用容器内に溜まった気体を排気するための排気バルブが前記流入部側に設けられていることを特徴とする光ディスク製造装置を提供する。
【００１９】
第１２の発明は、ディスク基板の上に供給された液膜形成物質を高速回転による遠心力で展延する回転処理装置と、前記ディスク基板の上に前記液膜形成物質を吐出するノズル部材と、そのノズル部材に前記液膜形成物質を供給する液膜形成物質供給機構と、前記ノズル部材を支承するアーム部材と、前記アーム部材を運動させるノズル部材駆動装置とを備える光ディスク製造装置において、前記液膜形成物質供給機構は、前記液膜形成物質の流路の途中に、前記液膜形成物質が流入する流入部と流出する流出部とを備える濾過用容器を備え、その濾過用容器内は前記流入部と前記流出部との間を濾過材料で仕切られており、前記容器内に溜まった気体を排気するための排気バルブを前記流入部側に備え、前記排気バルブは、前記濾過用容器内に溜まった気体が設定値を越えるときに出力される電気信号によって、電磁的に開くことを特徴とする光ディスク製造装置を提供するものである。
【００２０】
第１３の発明は、前記第１２の発明において、前記排気用弁を制御するタイマ装置を備え、そのタイマ装置に予め設定された設定時間ごとに前記排気用弁を開閉し、前記濾過用容器内に溜まった気体を自動的に排気することを特徴とする光ディスク製造装置を提供する。
【００２１】
第１４の発明は、前記第１２の発明において、前記液膜形成物質開閉弁の開閉回数を計数するカウンタ装置を備え、前記開閉回数が設定回数に達するときに前記カウンタ装置は出力信号を発生し、この出力信号に基づいて前記排気バルブが開いて、前記濾過用容器内に溜まった気体を自動的に排気することを特徴とする光ディスク製造装置を提供する。
【００２２】
第１５の発明は、前記第１２の発明において、前記液膜形成物質供給機構から前記液膜形成物質開閉弁までの間の配管に流量計を備え、前記液膜形成物質開閉弁が開いているときの前記液膜形成物質の流量が設定値以下になるときに、前記排気バルブが開いて、前記濾過用容器内に溜まった気体を自動的に排気することを特徴とする光ディスク製造装置を提供する。
【発明の効果】
【００２３】
第1の発明によれば、液膜形成物質を輸送する配管又は各種の開閉弁、流量調整弁など
で生じる気泡や粒子までも十分に除去することが可能であるので、ＤＶＤやＣＤは勿論のこと、品質の高い高記録密度対応の光ディスクも得ることができる。
【００２４】
第２の発明によれば、記録膜、保護膜、接着剤層に微粒子が混入することが無いので、膜自身への悪影響、記録、再生への悪影響が無い高品質の光ディスクを製造できる。
【００２５】
また、第３〜第６の発明によれば、ノズル部材がディスク基板上に液膜形成物質を供給する際に悪影響を与えることなく、濾過部材内に溜まった気体を排気することができ、より高品質の光ディスクを製造することができる。
【００２６】
また、第７の発明によれば、設定時間ごとに濾過部材内に溜まった気体を自動的に排気することができ、より効率的に高品質の光ディスクを製造することができる。
【００２７】
また、第８の発明によれば、カウンタ装置の設定回数ごとに自動的に排気でき、より効率的に高品質の光ディスクを製造することができる。
【００２８】
また、第９の発明によれば、ノズル部材からディスク基板に供給された液膜形成物質の設定量ごとに濾過部材内に溜まった気体を自動的に排気することができ、より効率的に高品質の光ディスクを製造することができる。
【００２９】
また、第１０の発明によれば、濾過部材の交換時期を報知するので、濾過部材を適切な時期に交換することが可能であり、生産能率を低下させることなく、より高品質の光ディスクを製造することができる。
【００３０】
更に、第1１の発明によれば、液膜形成物質開閉弁とノズル部材との間に取り付けられ
た濾過部材の前段にフィルタ部材を設けているため、高い精度で液膜形成物質に含有される気泡や粒子を除去することができる。また、濾過部材の交換時期を引き延ばすことができる。また、液膜形成物質に含有される気泡や粒子を除去するフィルタの濾過用容器内に溜まる気体を自動的に除去することが可能であるので、生産能率を低下させることなく、ＤＶＤやＣＤは勿論のこと、品質の高い高記録密度対応の光ディスクの製造にも対応することができる。
【００３１】
第1２の発明ないし第１５の発明によれば、液膜形成物質に含有される気泡や粒子を除
去するフィルタの濾過用容器内に溜まる気体を自動的に除去することが可能であるので、生産能率を低下させることなく、ＤＶＤやＣＤは勿論のこと、品質の高い高記録密度対応の光ディスクの製造にも対応することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明に係る実施形態１の光ディスク製造装置の概略を示す図である。
【図２】本発明に係る光ディスク製造装置のノズル装置の一部分の拡大図を示す図である。
【図３】本発明に用いられる弁制御部の一例を示す図である。
【図４】本発明に用いられる弁制御部の別の一例を示す図である。
【図５】本発明に用いられる弁制御部の更に別の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
[実施形態１]
先ず、本発明を実施するための最良の形態である実施形態１の光ディスク製造装置について図１〜図３を用いて説明する。図１は、本発明の実施形態１の光ディスク製造装置を示す図であり、図1（Ａ）はその液膜形成部を示し、図1（Ｂ）はその液膜形成物質の供給部を示す。図２は、図1（Ａ）で示した液膜形成部のノズル装置３の一部分を拡大した部分
断面図である。図３は、濾過部材３Ｅの制御を説明するための図面である。
【００３４】
図１において、ベース部材１上には回転処理装置２とノズル装置３とが配置されている。回転処理装置２は通常のものであり、ディスク基板Ｄが載置される回転載置台２Ａと、この回転載置台２Ａを高速回転、例えば３０００ｒｐｍから１００００ｒｐｍ程度で高速回転させることができる回転駆動部２Ｂ、及び高速回転による遠心力によってディスク基板Ｄ上の液膜形成物質が振り切られるときに飛散するのを防ぐカバー部２Ｃなどからなる。なお、液膜形成物質の回収機構などについては本発明と直接関係しないので図示するのを省略している。本発明の主な特徴でもあるノズル装置３は、ノズル用駆動部３Ａ、ノズル用駆動部３Ａによって上下動と予め決められた角度を回転する駆動軸部３Ｂ、駆動軸部３Ｂにほぼ直角に結合されているアーム部３Ｃ、アーム部３Ｃの先端部分に固定されている液膜形成物質開閉弁３Ｄ、液膜形成物質開閉弁３Ｄに着脱可能に取り付けられる濾過部材３Ｅ、及び濾過部材３Ｅに好ましくは着脱可能に取り付けられるノズル部材３Ｆなどからなる。なお、液膜形成物質の流量調整弁などについては図示するのを省略している。
【００３５】
濾過部材３Ｅは、小型・軽量なものであって、図２に示すように、密閉容器３Ｅａ、その密閉容器３Ｅａを２分する形で設けられている濾過材３Ｅｂ、密閉容器３Ｅａの上底と下底それぞれに形成されている取付け部３Ｅｃ、３Ｅｄ、密閉容器３Ｅａの上底に形成された気体放出孔部３Ｅｅを有する。濾過部材３Ｅの流入側の取付け部３Ｅｃは、液膜形成物質開閉弁３Ｄの取付け部３Ｄｂとの間で容易に着脱できる構造になっている。液膜形成物質開閉弁３Ｄの取付け部３Ｄｂは、僅かに傾斜の付いている断面台形状のテーパー面Ｔｍを有し、濾過部材３Ｅの流入側の取付け部３Ｅｃは、液膜形成物質開閉弁３Ｄの取付け部３Ｄｂのテーパー面Ｔｍを受け入れて密接する雌型のテーパー面Ｔｆを有する。液膜形成物質開閉弁３Ｄの取付け部３Ｄｂのテーパー面Ｔｍと濾過部材３Ｅの流入側の取付け部３Ｅｃのテーパー面Ｔｆとの密接状態を機械的に保持するための螺合部を備えているが、これについては図示していない。また、濾過部材３Ｅの流出側の取付け部３Ｅｄは、僅かに傾斜の付いている断面台形状のテーパー面ｔｍを有する。ノズル部材３Ｆは、濾過部材３Ｅの流出側の取付け部３Ｅｄのテーパー面ｔｍを受け入れて密接する雌型のテーパー面ｔｆを有する取付け部３Ｆａと、これと一体的に形成されているノズル先端部３Ｆｂとを備える。濾過部材３Ｅとノズル部材３Ｆとの間は、好ましくは前述のような構成になっていて、互いに着脱が容易になっていた方がよいが、固定されていてもよい。
【００３６】
他方、液膜形成物質開閉弁３Ｄの入口部３Ｄａには、図1（Ｂ）に示されている液膜形
成物質供給機構４の可撓性材料からなる配管４Ａが結合されている。この配管４Ａは、液膜形成物質供給機構４から液膜形成物質を液膜形成物質開閉弁３Ｄに供給するホースのようなものであり、ノズル装置３の運動を妨げない可撓性の材質からなる。配管４Ａの先端部は、有機色素材料を溶剤に溶かしてなる記録用薬液、所定の厚みの光透過膜を形成するための液状物質、あるいは光ディスク基板を保護するための保護用物質、又はディスク基板同士を貼り合せるための接着剤のような液膜形成物質が収容されている容器４Ｂの中の底近辺まで延びている。容器４Ｂは、不図示のポンプ機構によってエアー又は窒素ガスが給気されて大気よりも高い所定の気圧になっており、その圧力によって液膜形成物質を圧送する。配管４Ａの途中には液膜形成物質から粒子や気泡を除去するフィルタ部材４Ｃが設けられており、フィルタ部材４Ｃの中に溜まった気体を排気するための排気バルブ４Ｄも備えられている。なお、液膜形成物質の加圧機構などについては本発明と直接関係が無いので、図示するのを省略している。また、容器４Ｂとフィルタ部材４Ｃとが固定位置に固定されて動かない場合には、それらの間を結合する配管４Ａは可撓性材料からなる必要は無い。フィルタ部材４Ｃは、濾過用容器４Ｃａと、この濾過用容器４Ｃａを二つに仕切る形で設けられている濾過材４Ｃｂとから概略なり、気体は濾過用容器４Ｃａにおける液膜形成物質の入口側、つまり図面で濾過材４Ｃｂの上側部分に溜まり、排気バルブ４Ｄを開くことによってその気体が大気に放出される。排気バルブ４Ｄの排気方法については後で触れることにする。
【００３７】
また、濾過部材３Ｅは、その密閉容器３Ｅａの上底に気体放出孔部３Ｅｅを有する。その気体放出孔部３Ｅｅには排気用パイプ５が取り付けられ、排気用パイプ５の途中には排気用弁６が設けられている。排気用弁６は開閉部６Ａとその開閉部を開閉する電磁駆動部６Ｂとからなる通常の小型のものであって、説明上、別々の部分で示しているが、これらは単体の排気用弁６を構成している。排気用弁６は弁制御部７によって自動的に適切な時間に開閉される。そして、排気用弁６は図示しない取付け板に固定されており、その取付け板は好ましくは図１に示したアーム部３Ｃに固定されている。したがって、排気用弁６はアーム部３Ｃによって液膜形成物質開閉弁３Ｄ、濾過部材３Ｅ、ノズル部材３Ｆと一緒に動く。弁制御部７については、動作説明を行いながら、幾つかの実施形態について説明する。
【００３８】
次に、この光ディスク製造装置の動作について説明する。ノズル装置３は各動作サイクルの初めには、ノズル部材３Ｆを回転処理装置２から外れた原点位置に止めておく。図示しない移載アームによって、ディスク基板Ｄが回転処理装置２の回転載置台２Ａに載置されると、ノズル装置３のノズル用駆動部３Ａが駆動軸部３Ｂを所定長だけ伸長させると共に、所定角度だけ回転させ、更に所定長だけ短縮させる。これによってアーム部３Ｃと液膜形成物質開閉弁３Ｄと濾過部材３Ｅとノズル部材３Ｆとが一緒に動き、ノズル部材３Ｆはディスク基板Ｄの内周面上の所定位置で停止する。これと同時に、回転駆動部２Ｂが回転載置台２Ａを低速回転させると共に、開閉信号が図示しないシーケンサから液膜形成物質開閉弁３Ｄに与えられ、液膜形成物質開閉弁３Ｄが所定時間開く。液膜形成物質供給機構４から供給された液膜形成物質は、液膜形成物質開閉弁３Ｄと濾過部材３Ｅとノズル部材３Ｆとを通して、ノズル部材３Ｆの先端からディスク基板Ｄの所定位置にドーナッツ状、つまり円環状に与えられる。次に、回転駆動部２Ｂが回転載置台２Ａを高速回転させ、遠心力によってディスク基板Ｄ上の円環状の液膜形成物質は展延されて一様に拡がり、余剰の液膜形成物質は振り切られる。このようにしてディスク基板Ｄに液膜形成物質の一様な膜が形成される。
【００３９】
このようにして供給される液膜形成物質は、液膜形成物質が収容されている容器４Ｂから配管４Ａ’を通してフィルタ部材４Ｃで濾過され、細かい塵埃のような粒子や気泡は濾過材４Ｃｂによって除去され、可撓性の配管４Ａを通って液膜形成物質開閉弁３Ｄに至る。液膜形成物質開閉弁３Ｄは、例えば本件出願人が提案している発明（特開２００４−２７５８５９号）で提案されている開閉構造が好適である。図示しないシーケンサから開閉信号が液膜形成物質開閉弁３Ｄに送られると、液膜形成物質開閉弁３Ｄは開いて液膜形成物質を濾過部材３Ｅに供給する。開閉信号が消失すると、液膜形成物質開閉弁３Ｄは閉じて液膜形成物質を濾過部材３Ｅに供給するのを止める。濾過部材３Ｅに供給された液膜形成物質は濾過材３Ｅｂによって濾過される。容器４Ｂ内の液膜形成物質は粒子や気泡を含んでいる。これらは、前述のようにフィルタ部材４Ｃで除去されるが、除去できない微細な粒子や気泡はフィルタ部材４Ｃを通過し、配管４Ａ及び液膜形成物質開閉弁３Ｄを通過する過程で、新たな粒子や気泡の生成の原因ともなる。この新たなに生成される粒子や気泡は、特に高記録密度対応の光ディスクにあっては無視することができず、品質に悪影響をもたらす。
【００４０】
本発明にあっては、ノズル部材３Ｆの直前で液膜形成物質に含まれている前述の粒子や気泡を、濾過部材３Ｅで除去しているので、前述のような問題は起こらず、極めて品質の高い光ディスクを提供することができる。しかし、濾過部材３Ｅで濾過された気泡は濾過部材３Ｅに溜まるので、適切な時期に排気用弁６を開いて、濾過部材３Ｅに溜まった気体を放出してやらねばならない。本発明では、弁制御部７が排気用弁６の電磁駆動部６Ｂを制御して適切な時期に開閉部６Ａを開閉するようになっている。図３によって弁制御部７の一例について説明する。この一例は、タイマ装置８を用いて設定時間ごとに排気用弁６を開いて排気するものである。タイマ装置８は、この光ディスク製造装置の稼働時間の経過を計時する計時部８Ａと、開閉間隔Ｔを設定する時間設定部８Ｂと、計時部８Ａが計時した時間と設定時間とを比較する比較部８Ｃとからなる。時間設定部８Ｂに設定される時間Ｔは、この光ディスク製造装置の稼働時間がどの程度になると、濾過部材３Ｅに気体が溜まってノズル部材３Ｆの液膜形成物質の供給に悪影響が出始めるかを予め測定して、設定された時間である。
【００４１】
この光ディスク製造装置が稼動を始めると、その稼動信号がタイマ装置８に入力され、計時部８Ａが計時を行う。そして、その稼動が停止すると、計時を中断してその時間を保持し、再び、稼動が開始されると、計時を累積して行う。比較部８Ｃはその累積の計時時間が時間設定部８Ｂに設定された時間Ｔを越えると、所定パルス幅の出力信号を排気用弁６の電磁駆動部６Ｂに与える。これに伴い、電磁駆動部６Ｂは開閉部６Ａを一定時間開き、その後、開閉部６Ａを閉じる。開閉部６Ａが開いている時間に、濾過部材３Ｅに溜まっている気体が排気用パイプ５と排気用弁６とを通して排気される。このとき、ノズル部材３Ｆの液膜形成物質の供給に悪影響を与えないために、好ましくは、液膜形成物質開閉弁３Ｄに開閉信号が供給されて液膜形成物質開閉弁３Ｄが開いているときは、鎖線で示すように、その開閉信号を受けて電磁駆動部６Ｂが動作しないようになっているのがよい。また、比較部８Ｃからの出力信号がリセット信号として計時部８Ａに与えられ、計時部８Ａの計数値はゼロになる。このように、図３に示す構成の弁制御部７は、この光ディスク製造装置の稼動時間が予め決めた時間長に達するときに、排気用弁６が開いて濾過部材３Ｅ中の気体を放出するようになっている。
【００４２】
[実施形態２]
次に、本発明の実施形態２について説明する。光ディスク製造装置の構造については実施形態１の場合とほぼ同じであるので、図1、図２、図４によって説明する。実施形態１と同様に、ノズル装置３は各動作サイクルの初めには、ノズル部材３Ｆを回転処理装置２から外れた原点位置に止めておく。図示しない移載アームによって、ディスク基板Ｄが回転処理装置２の回転載置台２Ａに載置されると、図示しないシーケンサからの信号によって、ノズル装置３のノズル用駆動部３Ａが駆動軸部３Ｂを所定長だけ伸長させると共に、所定角度だけ回転させ、更に所定長だけ短縮させる。これによってアーム部３Ｃと液膜形成物質開閉弁３Ｄと濾過部材３Ｅとノズル部材３Ｆとが一緒に動き、ノズル部材３Ｆはディスク基板Ｄ上の所定位置で停止する。次に、ノズル用駆動部３Ａが駆動軸部３Ｂを図面の左右方向及び表裏方向、つまりｘ−ｙ方向に動かすことによって、ノズル部材３Ｆはディスク基板Ｄの内周面上を回転する。この回転と同時に、液膜形成物質開閉弁３Ｄに開閉信号が図示しないシーケンサから与えられ、液膜形成物質開閉弁３Ｄが所定時間開くことによって、液膜形成物質供給機構４から供給された液膜形成物質は、液膜形成物質開閉弁３Ｄと濾過部材３Ｅとノズル部材３Ｆとを通して、ノズル部材３Ｆの先端から液膜形成物質がディスク基板Ｄの内周側面上に円環状に与えられる。ノズル部材３Ｆを回転させる代わりに、回転載置台２Ａを低速で回転させても良い。次に、回転駆動部２Ｂが回転載置台２Ａを高速回転させ、遠心力によってディスク基板Ｄ上の円環状の液膜形成物質は展延されて一様に拡がり、余剰の液膜形成物質は振り切られる。このようにしてディスク基板Ｄに液膜形成物質の一様な膜が形成される。他については、弁制御部７の構成及びこれに関連する動作が実施形態１と異なるだけであるので、説明を省略する。
【００４３】
この実施形態２は、ノズル部材３Ｆからディスク基板Ｄ上に供給される液膜形成物質のトータル量は、液膜形成物質開閉弁３Ｄの開閉回数に比例するので、当然に濾過部材３Ｅによって濾過される液膜形成物のトータル量も液膜形成物質開閉弁３Ｄの開閉回数に比例するという知見に基づくものである。したがって、この実施形態では液膜形成物質開閉弁３Ｄを開閉するための開閉信号を受けてその回数を計数するカウンタ部９Ａ、設定回数Ｎを設定する回数設定部９Ｂ、カウンタ部９Ａからの計数値と設定回数Ｎとを比較して、計数値が設定回数Ｎを超えるときに出力信号を発生する比較部９Ｃからなるカウンタ装置９を備える。回数設定部９Ｂの設定回数Ｎは、液膜形成物質開閉弁３Ｄの開閉回数がどの程度になると、濾過部材３Ｅに気体が溜まってノズル部材３Ｆの液膜形成物質の供給に悪影響が出始めるかを予め測定して、悪影響が出始める前、好ましくは直前の値に設定された回数である。
【００４４】
光ディスク製造装置が稼動を始め、液膜形成物質開閉弁３Ｄが開閉する度に、ノズル部材３Ｆが前述のようにディスク基板Ｄに液膜形成物質を供給すると、その度に液膜形成物質開閉弁３Ｄを通過する液膜形成物質は濾過部材３Ｅによって濾過されるので、微量ではあるが、気体が濾過部材３Ｅの密閉容器３Ｅａ内に徐々に溜まって行き、また濾過材３Ｅｂに非常に細かい塵埃のような粒子が蓄積されて行く。ノズル部材３Ｆからディスク基板Ｄに液膜形成物質を供給する動作を多数繰り返す中で、カウンタ部９Ａが計数した値Ｎが、回数設定部９Ｂに予め設定されている設定値Ｎ１を超えると、比較部９Ｃは所定パルス幅の出力信号を排気用弁６の電磁駆動部６Ｂに与える。これに伴い、電磁駆動部６Ｂは開閉部６Ａを一定時間開き、その後、開閉部６Ａを閉じる。開閉部６Ａが開いている時間に、濾過部材３Ｅに溜まっている気体が排気用パイプ５と排気用弁６とを通して放出される。このとき、ノズル部材３Ｆの液膜形成物質の供給に悪影響を与えないために、好ましくは、液膜形成物質開閉弁３Ｄに開閉信号が供給されて、液膜形成物質開閉弁３Ｄが開いているときは電磁駆動部６Ｂが動作しないようになっているのがよい。つまり、液膜形成物質開閉弁３Ｄが閉じているとき、つまりノズル部材３Ｆから液膜形成物質が吐出されていないときに、排気用弁６を開くのが好ましい。なお、比較部９Ｃの前記出力信号によってカウンタ部９Ａはリセットされ、初期値から計数を始める。
【００４５】
またこの実施形態では、カウンタ装置９と同様な構成の第２のカウンタ装置１０と、報知手段１１とを備える。前述のように、ノズル部材３Ｆからディスク基板Ｄに液膜形成物質を供給する動作を繰り返すのに伴って、濾過材３Ｅｂに非常に細かい塵埃のような微粒子が蓄積されて行くので、ノズル部材３Ｆの液膜形成物質の供給に悪影響が生じる前に、新たな濾過部材に交換する必要がある。このために、第２のカウンタ装置１０は液膜形成物質開閉弁３Ｄに供給される開閉信号を計数し、予め設定された設定値Ｎ２になるときに報知手段１１に出力信号を与える。設定値Ｎ２はこの光ディスク装置の運転から予め求められた数値であり、カウンタ装置９の設定値Ｎ１よりも大きな値である。報知手段１１は、一般的なものであり、例えば、発光ダイオード、ランプ、ブザー、あるいは作業者のパーソナルコンピュータなどに音声で報知する手段、又はこれらの組み合わせである。報知手段１１が報知することによって、作業者が濾過部材３Ｅの交換を行う。
【００４６】
交換は、次のようにして行われる。図２において、液膜形成物質開閉弁３Ｄの取付け部３Ｄｂから濾過部材３Ｅの流入側の取付け部３Ｅｃを取り外す。これは、先ず図示しないそれら双方の螺合部を螺回させて外すと、取付け部３Ｄｂの雄型のテーパー面Ｔｍから取付け部３Ｅｃの雌型のテーパー面Ｔｆが容易に外れる。また、同様にして濾過部材３Ｅの流出側の取付け部３Ｅｄからノズル部材３Ｆの取付け部３Ｆａを取り外す。そして、新しい濾過部材に交換し、前述と同様にして新しい濾過部材３Ｅにノズル部材３Ｆを取付け、新しい濾過部材３Ｅを液膜形成物質開閉弁３Ｄに取り付ける。このようにすることによって、ノズル部材３Ｆの液膜形成物質の供給に悪影響が生じる前の適切な時期に、濾過部材３Ｅを交換することが可能になる。
【００４７】
[実施形態３]
次に、本発明の実施形態３について説明する。この光ディスク製造装置の構造については実施形態１、又は実施形態２の場合とほぼ同じであり、弁制御部７及びこれに関連する動作が異なるだけであるので、これら以外の部分につては説明を省略する。この実施形態３では、図２に示されている弁制御部７として図４に示す構成のものを用いる。図４において、図１に示した液膜形成物質開閉弁３Ｄとフィルタ部材４Ｃとを結ぶ配管４Ａの途中にマスフローメータ（流量計）１２を設置する。流量計１２は、配管４Ａを流れる液膜形成物質の流量を測定する。気体が濾過部材３Ｅの密閉容器３Ｅａ内に溜まって行くのに伴って密閉容器３Ｅａ内の気圧が上昇し、これに伴い配管４Ａを流れる液膜形成物質の流量は減少することが知られている。本発明の実施形態３は、このことを利用して適切な時期に排気用弁６を開くものである。
【００４８】
開閉信号が印加（高レベル）されているとき、液膜形成物質開閉弁３Ｄは開いており、配管４Ａを液膜形成物質が流れる。ここで用いる流量計１２は、開閉信号が印加されている時間の流量を測定する。又は、この流量計１２は、流量を正確に測定するために、開閉信号が所定回数、例えば、１０回分の流量を合算する機能を有する。流量計１２によって計測された配管４Ａを流れる液膜形成物質の流量を示す値は、流量−電気信号変換器１３によって、液膜形成物質の流量を示す値に対応する電気信号に変換される。この電気信号はゲート１４を通して比較手段１５に入力される。ゲート手段１４は、液膜形成物質開閉弁３Ｄに開閉信号が供給（高レベル）されているときには、ゲートを閉じ、液膜形成物質開閉弁３Ｄに開閉信号が供給されていない（低レベル）ときだけ、ゲートを開いて前記電気信号を通過させるようになっている。
【００４９】
比較手段１５は、液膜形成物質の流量を示す値に対応する電気信号と流量設定手段１６に設定されている設定値とを比較し、前者が後者よりも小さくなると、出力信号を排気用弁６に与える。この信号を受けて、排気用弁６は開き、前述のように濾過部材３Ｅの密閉容器３Ｅａ内に溜まった気体を放出する。液膜形成物質開閉弁３Ｄが開いてノズル部材３Ｆから液膜形成物質がディスク基板Ｄに供給されているときには、排気用弁６はゲート手段１４によって開くことがないので、液膜形成物質の供給に悪影響を及ぼすことが無い。この実施形態においても、図４に示したような、タイマ装置１０と報知手段１１とを備えても勿論よい。
【００５０】
液膜形成物質供給機構４の排気バルブ４Ｄとして、排気用弁６と同様な構成のものを用いると共に、弁制御部７として図３ないし図５のいずれかに示した構成のものを用いることによって、適切な時期に自動的に排気バルブ４Ｄを開いて、フィルタ部材４Ｃの濾過用容器４Ｃａに溜まった気体を放出することができる。
また、図４に示したような第２のカウンタ装置１０と報知手段１１と同様な手段を備えることによって、フィルタ部材４Ｃの交換時期も報知することができる。また、実施形態１においても、タイマ装置８と同様な第２のタイマ装置と報知装置とを弁制御部７に備え、前記稼働時間が予め設定した時間を超えると、濾過部材の交換時期を報知するようにしてもよい。
【００５１】
なお、液膜形成物質が記録膜を形成するための有機色素を含有する有機色素溶剤、光透過膜を形成するための液状物質、あるいは光ディスク基板を保護するための保護用物質、又はディスク基板同士を貼り合せるための接着剤などによって、材質、粘度、含まれる粒子や気泡の量などが大幅に異なり、したがって、前記設定時間、設定回数、又は設定流量なども大きく異なるので、具体的な数値例については触れない。また、回転処理装置２で使用した液膜形成物質を回収して再利用しない場合には、液膜形成物質に含まれる粒子や気泡も少ないので、液膜形成物質供給機構４からフィルタ部材４Ｃと排気バルブ４Ｄとを除去することも可能である。更に、濾過部材３Ｅとノズル部材３Ｆとは一体的な構造になっていても良い。この場合には、濾過部材３Ｅとノズル部材３Ｆのいずれかを交換するときに双方を交換することになる。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
光を利用して書き込み、読み出しが可能な光ディスク、特に高密度記録対応の光ディスクの製造に適した光ディスク製造装置に利用できる。
【符号の説明】
【００５３】
１・・・ベース部材
２・・・回転処理装置
２Ａ・・・回転処理装置２の回転載置台
２Ｂ・・・回転処理装置２の回転駆動部
２Ｃ・・・回転処理装置２のカバー部
３・・・ノズル装置
３Ａ・・・ノズル用駆動部
３Ｂ・・・駆動軸部
３Ｃ・・・アーム部
３Ｄ・・・液膜形成物質開閉弁
３Ｄａ・・・液膜形成物質開閉弁３Ｄの入口部
３Ｄｂ・・・液膜形成物質開閉弁３Ｄの取付け部
３Ｅ・・・濾過部材
３Ｅａ・・・濾過部材３Ｅの密閉容器
３Ｅｂ・・・濾過部材３Ｅの濾過材
３Ｅｃ・・・濾過部材３Ｅの取付け部
３Ｅｄ・・・濾過部材３Ｅの取付け部
３Ｅｅ・・・濾過部材３Ｅの気体放出孔部
３Ｆ・・・ノズル部材
３Ｆａ・・・ノズル部材３Ｆの取付け部
３Ｆｂ・・・ノズル部材３Ｆのノズル先端部
４・・・液膜形成物質供給機構
４Ａ・・・液膜形成物質供給機構４の配管
４Ｂ・・・液膜形成物質供給機構４の容器
４Ｃ・・・液膜形成物質供給機構４のフィルタ部材
４Ｃａ・・・液膜形成物質供給機構４の濾過用容器
４Ｃｂ・・・液膜形成物質供給機構４の濾過材
４Ｄ・・・液膜形成物質供給機構４の排気バルブ
５・・・排気用パイプ
６・・・排気用弁
６Ａ・・・開閉部
６Ｂ・・・電磁駆動部
７・・・弁制御部
８・・・タイマ装置
８Ａ・・・タイマ装置８の計時部
８Ｂ・・・タイマ装置８の時間設定部
８Ｃ・・・タイマ装置８の比較部
９・・・カウンタ装置
９Ａ・・・カウンタ装置９のカウンタ部
９Ｂ・・・カウンタ装置９の回数設定部
９Ｃ・・・カウンタ装置９の比較部
１０・・・第２のカウンタ装置
１１・・・報知手段
１２・・・流量計
１３・・・流量−電気信号変換手段
１４・・・ゲート手段
１５・・・比較手段
１６・・・流量設定手段
【図１】
2011028838.tif 000003
【図２】
2011028838.tif 000004
【図３】
2011028838.tif 000005
【図４】
2011028838.tif 000006
【図５】
2011028838.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成22年10月19日(2010.10.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク基板の上に液膜形成物質を吐出するノズル部材と、
該ノズル部材に前記液膜形成物質を供給する液膜形成物質供給機構と、
前記ノズル部材を支承するアーム部材と、
前記アーム部材を運動させるノズル部材駆動装置と、
前記液膜形成物質供給機構と前記ノズル部材との間を選択的に開閉する液膜形成物質開閉弁と、
該液膜形成物質開閉弁と前記ノズル部材との間に取り付けられ、密閉容器と、該密閉容器内に設けられる濾過材と、前記密閉容器の上底と下底とにそれぞれに形成される取付け部と、前記密閉容器の上底に形成される気体放出孔部とを有する濾過部材と、
前記気体放出孔部に取り付けられる排気用パイプを介して前記濾過部材の内に溜まった気体を排気する排気用弁と、を備え、
前記液膜形成物質開閉弁と前記濾過部材の前記密閉容器の上底に形成される取付け部とが密接に着脱可能に取り付けられ、
前記濾過部材の前記密閉容器の下底に形成される取付け部と前記ノズル部材とが密接に着脱可能に取り付けられることを特徴とする光ディスク製造装置。
【請求項２】
前記排気用弁は、前記液膜形成物質開閉弁が開いて前記液膜形成物質を供給しているときには開かず、前記液膜形成物質開閉弁が閉じて前記液膜形成物質を遮断しているときには開くことができることを特徴とする請求項１に記載の光ディスク製造装置。
【請求項３】
前記濾過部材を通じて供給される前記液膜形成物質が、開閉弁又は前記液膜形成物質の流量制御弁を介することなく前記ノズル部材に供給されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光ディスク製造装置。
【請求項４】
前記液膜形成物質供給機構は、前記液膜形成物質の流路の途中に、前記液膜形成物質が流入する流入部と流出する流出部とを備える濾過用容器を備え、
該濾過用容器内は前記流入部と前記流出部との間を濾過材料で仕切られており、  前記容器内に溜まった気体を排気するための排気バルブを前記流入部側に備えることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の光ディスク製造装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
第１の発明は、前記課題を解決するために、ディスク基板の上に液膜形成物質を吐出するノズル部材と、該ノズル部材に前記液膜形成物質を供給する液膜形成物質供給機構と、前記ノズル部材を支承するアーム部材と、前記アーム部材を運動させるノズル部材駆動装置と、前記液膜形成物質供給機構と前記ノズル部材との間を選択的に開閉する液膜形成物質開閉弁と、該液膜形成物質開閉弁と前記ノズル部材との間に取り付けられ、密閉容器と、該密閉容器内に設けられる濾過材と、前記密閉容器の上底と下底とにそれぞれに形成される取付け部と、前記密閉容器の上底に形成される気体放出孔部とを有する濾過部材と、前記気体放出孔部に取り付けられる排気用パイプを介して前記濾過部材の内に溜まった気体を排気する排気用弁と、を備え、前記液膜形成物質開閉弁と前記濾過部材の前記密閉容器の上底に形成される取付け部とが密接に着脱可能に取り付けられ、前記濾過部材の前記密閉容器の下底に形成される取付け部と前記ノズル部材とが密接に着脱可能に取り付けられることを特徴とする光ディスク製造装置を提供するものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
第２の発明は、前記排気用弁は、前記液膜形成物質開閉弁が開いて前記液膜形成物質を供給しているときには開かず、前記液膜形成物質開閉弁が閉じて前記液膜形成物質を遮断しているときには開くことができることを特徴とする請求項１に記載の光ディスク製造装置を提供する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
第３の発明は、前記濾過部材を通じて供給される前記液膜形成物質が、開閉弁又は前記液膜形成物質の流量制御弁を介することなく前記ノズル部材に供給されることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光ディスク製造装置を提供するものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
第４の発明は、前記液膜形成物質供給機構は、前記液膜形成物質の流路の途中に、前記液膜形成物質が流入する流入部と流出する流出部とを備える濾過用容器を備え、該濾過用容器内は前記流入部と前記流出部との間を濾過材料で仕切られており、前記容器内に溜まった気体を排気するための排気バルブを前記流入部側に備えることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の光ディスク製造装置を提供する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
本発明によれば、液膜形成物質を輸送する配管又は各種の開閉弁、流量調整弁などで生じる気泡や粒子までも十分に除去することが可能であるので、ＤＶＤやＣＤは勿論のこと、品質の高い高記録密度対応の光ディスクも得ることができる。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
また、本発明によれば、ノズル部材がディスク基板上に液膜形成物質を供給する際に悪影響を与えることなく、濾過部材内に溜まった気体を排気することができ、より高品質の光ディスクを製造することができる。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】削除
【補正の内容】