(57)【要約】      （修正有）【課題】ダイシング工程において、表面保護テープを被切断体表面に貼り付け、被切断体と一括して切断することにより、被切断体表面を切削クズ等のダスト等の付着による汚染から保護し、且つ、ダイシング工程後に、個々のチップから表面保護テープを容易に剥離除去する方法を提供する。【解決手段】被切断体表面にダイシング表面保護テープを貼り付け、これを前記被切断体とともに切断した後、被切断体を傾けた状態で該ダイシング表面保護テープを除去する方法を提供する。【選択図】図１
2011054641.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被切断体の片面に刺激により易剥離性を発現するダイシング表面保護用テープを貼り付けて複合体とした後、該ダイシング表面保護用テープ側を上面となるように該複合体を位置させて、該ダイシング表面保護用テープ側から被切断体を切断し、次いで、Ａ．該ダイシング表面保護用テープに刺激を与えて易剥離性とする工程、Ｂ．該複合体を反転させるまでの任意の角度に傾ける工程、Ｃ．該複合体から切断された該ダイシング表面保護用テープのみを剥離除去する工程の、Ａ〜Ｃの工程を順に行うか、Ｂ，Ａ，Ｃの順に行うか、又はＢの後にＡの工程とＣの工程を同時に行う被切断体からのダイシング表面保護テープの剥離除去方法。
【請求項２】
被切断体の片面に刺激により易剥離性を発現するダイシング表面保護用テープを貼り付けて複合体とした後、該ダイシング表面保護用テープ側を下面となるように該複合体を位置させて、該ダイシング表面保護用テープ側から被切断体を切断し、次いで、Ａ．該ダイシング表面保護用テープに刺激を与えて易剥離性とする工程、Ｃ．該複合体から切断された該ダイシング表面保護用テープのみを剥離除去する工程の、ＡとＣの工程を順に行うか、又はＡとＣの工程を同時に行う被切断体からのダイシング表面保護テープの剥離除去方法。
【請求項３】
Ｂ工程をロボットアーム、複合体の保持装置に設けた回転軸、又はシート状物の反転装置により行う請求項１記載の方法。
【請求項４】
ダイシング表面保護用テープに易剥離性を発現させる刺激が、熱、紫外線、又は電磁波である請求項１〜３のいずれかに記載の方法。
【請求項５】
熱による刺激が、加熱された、気体、液体、固体の熱媒体と接触させること、赤外線の照射のいずれか１つ以上の手段による刺激である請求項４に記載の方法。
【請求項６】
熱による刺激が、加熱された気体、窒素ガス、水の吹きつけによる手段、加熱された気体、窒素ガス、水を入れた容器に浸漬する手段、赤外線ランプ、赤外線レーザー、赤外線ＬＥＤによる赤外線の照射、プレートヒータ、バンドヒータ、リボンヒータによる請求項５に記載の方法。
【請求項７】
保護テープの剥離除去手段が、気圧差によりテープを吸引する手段である請求項１〜６のいずれかに記載の方法。
【請求項８】
保護テープの剥離除去手段が、気圧差によりテープを吹き飛ばす手段である請求項１〜７のいずれかに記載の方法。
【請求項９】
気圧差によりテープを吹き飛ばす手段が加熱された気体を用いる手段である請求項８のいずれかに記載の方法。
【請求項１０】
気圧差によりテープを吹き飛ばす手段が気体と共に柔軟な樹脂球等の担体を用いる手段である請求項８又は９に記載の方法。
【請求項１１】
保護テープの剥離除去手段が、被切断体の裏面より振動を与える手段を併用する手段である請求項１〜１０のいずれかに記載の方法。
【請求項１２】
被切断体の裏面より振動を与える手段が超音波振動子である請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
保護テープの剥離除去手段が、保護テープを帯電された物体に静電気力により吸着させる手段である請求項１〜１２のいずれかに記載の方法。
【請求項１４】
刺激により易剥離性を発現するダイシング表面保護用テープが、刺激により収縮することで易剥離性となるダイシング表面保護用テープ、刺激により発泡剤含有接着剤層が発泡することで易剥離性となるダイシング表面保護用テープ、刺激により巻回することで易剥離性となるダイシング表面保護用テープ、のいずれかである請求項１〜１３のいずれかに記載の方法。
【請求項１５】
被切断体が半導体ウェハ、ガラス板、樹脂板のいずれかである請求項１〜１４のいずれかに記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハをはじめとする被切断体を個片化(ダイシング)する工程において、被切断体にダイシング表面保護テープが貼付された状態でダイシングされた後の剥離除去方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
バックグラインド工程後に行われるウエハ個片化工程(以下ダイシング工程)において、従来ウエハ回路形成面はむき出しの状態である。従って回路形成面には、ダイシング時の切削水、ウエハ切削によって生じる切削クズ等のダスト等が付着し、暴露されている電子部品表面の回路形成面は汚染されることを前提としていた。このような汚染により、不良を起こす可能性がある。この場合に、ウエハの回路形成面に保護テープを貼り付け、ウエハと保護テープとを一括してダイシングすることによって、電子部品を、切削クズ等のダスト等から保護することが考えられている。しかしながら、従来の保護テープでは、個片化したウエハから個々に保護テープを剥離除去することが困難なため、実用化には至っていない。
【０００３】
さらに、近年、半導体用材料に対する薄型化、軽量化の要望が一層高まっている。半導体用シリコンウエハについては、厚み１００μｍ若しくはそれ以下にまで薄くする必要が生じているが、このような薄膜ウエハは非常に脆く割れやすい。このため、個片化したウエハからの保護テープの剥離除去の困難性はさらに大きくなっている。そこで、保護テープを剥離する方法として、剥離用テープを保護テープに貼付け、剥離用テープの剥離と同時に被着体より剥離する方法や、エアーを吹き付けることによってその力で剥離する方法等が考えられている。
【０００４】
特開２００３−１９７５６７号公報では、ダイシング前に、電子部品表面の回路形成面に保護テープを貼り合わせ、切削水、切削クズ等からの汚染を防止する方法が述べられている。保護テープを収縮させてから、エアーを当てたり、剥離用テープを貼り合わせて剥離テープに外力を加えることにより、剥離テープと共に剥離を行ったりして除去する方法が記載されている。
【０００５】
さらに特開２００６−１９６８２３号公報では、保護テープ基材にポリオレフィンフィルムを用い、除去時加熱することで基材を熱収縮させ、保護テープを反らせることで、除去を容易にさせる方法が記載されている。
【０００６】
この方法において、保護テープの剥離きっかけがなければ、上記の方法での保護テープの剥離は難しい。つまり、被着体より保護テープを剥離するためには、剥離きっかけが必要となる。従って、容易に剥離きっかけを作ることのできる保護テープが必要となり、その剥離きっかけを作る方法として、上記の公報に記載された加熱等の収縮原因となる刺激の付与によって保護テープを収縮させることによりきっかけを作る方法や、収縮層と拘束層を積層させた保護テープを用いて、保護テープを加熱等の収縮原因となる刺激の付与により自発的に巻回させることにより、保護テープの剥離きっかけを作る方法等が考えられる。
【０００７】
そこで、上記の収縮、特に熱収縮によって生じる保護テープの変形は反り返るだけで無く、皺くちゃになる等のでたらめな形状変形を引き起こす。その結果、例えば皺くちゃになる場合には、皺の凹凸の凸部と基板との間に細かい隙間が生じることになり、そのような隙間をきっかけにして保護テープをこじ開けるような何らかの手段、例えばエアーの吹きつけ等を行うと、保護テープ粘着剤と被着体(チップ)との界面が剥離する方向に力が働くこととなり、結果的に半導体ウエハ等の基板から保護テープが粘着力に抗して剥離される。ただし、エアーにより剥離を進める剥離方法はこのでたらめな形状変形だけではなく、自発的に巻回させる規則的な形状変形であっても採用できる手段である。
【０００８】
このように、従来においても保護テープの剥離を行うことが可能であったが、これらの方法は、図１２に記載のように、ダイシング工程に引き続いて回路面を保護するダイシング表面保護用テープを上向きにして水平に置いた状態で行うのであり、その状態で剥離・回収を行うと、特に上記のようにエアーを吹き付ける場合、その際に剥離された個々のダイシング表面保護用テープが被切断体表面を吹き飛ばされたり、滑ったり、転がったり、跳ねたりする可能性が高いので、この結果、被切断体表面を汚染したり、破損したりするおそれがある。  
【０００９】
さらに、このように転がったり跳ねたりした個々のダイシング表面保護用テープは、ダイシングテープとダイシングリング上にも転がってダイシングテープやダイシングリング上に付着する可能性があり、この付着したものを剥離することは困難である。
このように付着された状態では、その後の個々の物品となった被切断体がダイシングテープを延伸してピックアップされる工程の際に、ダイシング表面保護用テープが付着した箇所の該ダイシングテープの部分の延伸特性が変化するために、ダイシングテープ全体として予定通りの延伸ができなくなる。
そうすると、互いの間隔が拡がった物品のそれぞれの位置が予定通りの位置ではなくなるので、自動的にピックアップする装置において、ピックアップ用の治具が予め設定された箇所において物品と正確に接触できず、確実にピックアップすることができない。その結果、ピックアップ用治具と被切断体の位置関係が狂うこと等による不良品が発生することになる。
また、剥離テープを用いて剥がす方法はダイシング表面処理用テープの高さが揃っていないと、剥離残りの発生や剥離テープが被切断体に接触する可能性があり、かつピンセットによる剥離は手作業によるものでもあり効率的ではない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００３−１９７５６７号公報
【特許文献２】特開２００６−１９６８２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の課題は、予め表面保護テープを被切断体表面に貼り付け、ダイシング工程において被切断体と一括して切断することにより、被切断体表面を切削クズ等のダスト等の付着による汚染から保護し、且つ、その後に、表面保護テープ個々のチップから容易に剥離除去されるようなダイシング工程において、被切断体表面に貼り付けられ、被切断体と一括して切断された保護テープの確実な剥離除去方法を提供し、それにより切断された保護テープが被切断体やダイシングテープ、ダイシングリングを汚染することを防止し、ひいてはピックアップ工程に悪影響を与えることを防止する方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の課題を解決する本発明の方法は、被切断体の片面に刺激により易剥離性を発現するダイシング表面保護用テープを貼り付けて複合体とした後、該ダイシング表面保護用テープ側を上面となるように該複合体を位置させて、該ダイシング表面保護用テープ側から被切断体を切断し、次いで、Ａ．該ダイシング表面保護用テープに刺激を与えて易剥離性とする工程、Ｂ．該複合体を反転させるまでの任意の角度に傾ける工程、Ｃ．該複合体から切断された該ダイシング表面保護用テープのみを剥離除去する工程の、Ａ〜Ｃの工程を順に行うか、Ｂ，Ａ，Ｃの順に行うか、又はＢの後にＡの工程とＣの工程を同時に行い被切断体からのダイシング表面保護テープを剥離除去するか、又は、被切断体の片面に刺激により易剥離性を発現するダイシング表面保護用テープを貼り付けて複合体とした後、該ダイシング表面保護用テープ側を下面となるように該複合体を位置させて、又は任意の向きに該複合体を位置させて、該ダイシング表面保護用テープ側から被切断体を切断し、次いで、Ａ．該ダイシング表面保護用テープに刺激を与えて易剥離性とする工程、Ｃ．該複合体から切断された該ダイシング表面保護用テープのみを剥離除去する工程の、ＡとＣの工程を順に行うか、又はＡとＣの工程を同時に行うことにより被切断体からのダイシング表面保護テープの剥離除去を行う方法である。
【００１３】
さらに、そのような方法において、該Ｂ工程をロボットアーム、複合体の保持装置に設けた回転軸、又はシート状物の反転装置によってもよく、該ダイシング表面保護用テープに易剥離性を発現させる刺激が、加熱された気体、液体、固体の熱媒体と接触させること、赤外線の照射のいずれか１つ以上の手段であって、具体的には熱された空気、窒素ガス、水の吹きつけによる手段、加熱された空気、窒素ガス、水を入れた容器に浸漬する手段、赤外線ランプ、赤外線レーザー、赤外線ＬＥＤによる赤外線の照射、プレートヒータ、バンドヒータ、リボンヒータ等によるか、紫外線、又は電磁波である。
その後の保護テープの剥離除去手段が、気圧差によりテープを吸引又は吹き飛ばす手段であり、その際に柔軟な樹脂球を併用したり、さらに被切断体の裏面から超音波振動子等により振動させることも採用できる。
さらに、刺激により易剥離性を発現するダイシング表面保護用テープが、刺激により収縮、発泡剤含有接着剤層が発泡、又は巻回することで易剥離性となる方法であり、被切断体が半導体ウエハ、ガラス板、樹脂板のいずれかであってもよい方法である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の表面保護テープの剥離除去方法は、該テープを被切断体表面に貼り付け、被切断体と一括して切断した後に該テープを剥離・回収するにあたって、被切断体を傾けるか反転させることにより、剥離された該テープが被切断体表面から離れるように移動されるので、ダイシングテープやダイシングリングに付着することによりこれらを汚染し、ひいてはピックアップ工程に悪影響を与えることを防止する。また、さらにダイシング表面保護テープとして、切断時にて発生する該テープの付与により付勢され、端部（１端部又は対向する２端部）から通常主収縮軸方向へ、被着体から剥離しながら、自発的に巻回して筒状巻回体を形成するテープを採用した場合には、被着体を損傷したり、不完全な剥離により被着体を汚染することなく、被着体表面からきわめて簡易に除去でき、ダイシング工程における切削クズ等のダスト等の付着による汚染から被切断体表面を保護すると共に、筒状巻回体がダイシングテープ等に付着してその後のピックアップ工程における支障を発生することがない方法である。このため、特に脆弱な被着体に貼着する表面保護テープとして有用である。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の表面保護テープの剥離除去方法の一例を示す概略図である。
【図２】本発明の表面保護テープの剥離除去方法の他の一例を示す概略図である。
【図３】本発明に用いる表面保護テープの一例の積層体１０を示す概略断面図である。
【図４】本発明に用いる表面保護テープの一例の積層体１１を示す概略断面図である。
【図５】本発明に用いる表面保護テープの一例の積層体１２を示す概略断面図である。
【図６】本発明に用いる表面保護テープの一例の積層体１３を示す概略断面図である。
【図７】本発明に用いる表面保護テープの一例の積層体１４を示す概略断面図である。
【図８】本発明に用いる表面保護テープの一例の積層体１５を示す概略断面図である。
【図９】本発明に用いる表面保護テープの自発巻回する様子の一例を示す概略図である。
【図１０】本発明に用いる表面保護テープが、被着体に貼付され、該被着体と一括してダイシングされた後に、自発巻回する様子の一例を示す概略図である。
【図１１】本発明の表面保護テープの剥離除去方法を用いたチップ形成の流れの一例を示す図である。
【図１２】従来の表面保護テープの剥離方法を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の表面保護テープの剥離除去方法は、被切断体の片面に刺激により易剥離性を発現するダイシング表面保護用テープを貼り付けて複合体とした後、該被切断体のダイシング表面保護用テープを貼り付けた側からダイシングを行い、複合体を任意の角度に傾けた状態で、切断された個々のダイシング表面保護用テープを被切断体表面から剥離除去することにより、切断されて、かつ易剥離性を発現されたダイシング表面保護用テープや、該テープ、被切断体等の切断時に発生する粉状物を確実に被切断体から剥離除去を行うものである。
本発明において、被切断体としては、半導体ウエハ、ガラス、セラミック、半導体封止用樹脂等、従来よりダイシング工程の対象となっているもの全般を含み、８インチシリコーンミラーウエハ等の半導体ウエハが好ましく用いられる。被切断体の切断後の大きさは、好ましくは１０mm×１０mm以下の大きさである。
【００１７】
ダイシング表面保護用テープについて、その基材は、公知の単層又は複層の樹脂フィルムを一軸又は二軸延伸してなる熱収縮性フィルムでよい。
この基材に設ける粘着剤層としては、公知のゴム系、アクリル系等及び公知の充填剤及びさらに公知の各種添加剤を含有する粘着剤でよいが、アジド化合物やアジ化合物等の気体発生剤を含有させて、加熱により該気体発生剤が分解して気体を発生することにより、該粘着剤層を多孔質とすることで粘着剤層とその表面を凹凸にし、被切断体との接着面積を減少させることにより易剥離性を発現させる気体発生剤含有粘着剤、または、粘着剤にガス内包マイクロカプセルを含有させて、使用時において加熱により該マイクロカプセルが破壊され、内包されていたガスが粘着剤層内に拡がることにより該粘着剤層を多孔質として、上記気体発生剤含有ダイシング表面保護用テープと同様の機構により易剥離性を発現させるガス内包マイクロカプセル含有粘着剤等を使用することができる。
さらに、紫外線等の活性エネルギー線の照射で三次元網目構造が形成されることによる硬化の結果、粘着力が低下して易剥離性となる公知の粘着剤も使用することができる。その粘着剤には公知の天然ゴムやポリイソブチレンゴム、スチレン・ブタジエンゴム、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体ゴム、再生ゴム、ブチルゴム、ポリイソブチレンゴム、ＮＢＲ等のゴム系ポリマーをベースポリマーに用い、周知の各種添加剤を配合してなるゴム系粘着剤；シリコーン系粘着剤；アクリル系粘着剤等の粘着剤組成物において、これを構成する樹脂を炭素−炭素多重結合含有反応性基で化学修飾したものや、さらにポリ（メタ）アクリロイル基等の反応基を有する単量体や重合体を配合したものを使用することができる。
【００１８】
これらの粘着剤に必要な粘着力は、粘着力の低下のための処理前及び処理後において、シリコンミラーウェハを被着体に用いた１８０°ピール剥離試験（室温（２５℃））において、６．５Ｎ／１０mm以下（例えば、０．０５〜６．５Ｎ／１０mm、好ましくは０．２〜６．５Ｎ／１０mm）、特に６．０Ｎ／１０mm以下（例えば、０．０５〜６．０Ｎ／１０mm、好ましくは０．２〜６．０Ｎ／１０mm）であり、粘着剤層の厚みは一般には１０〜２００μm、好ましくは２０〜１００μm、さらに好ましくは３０〜６０μmである。前記厚みは、薄すぎると粘着力が不足するため被着体を保持、仮固定することが困難となりやすく、厚すぎると不経済であり、取扱性にも劣るため好ましくない。
【００１９】
上記のような粘着特性を備える範囲において、低粘着化の処理を必要に応じて行い、次いで／もしくは同時に刺激によりダイシング表面保護用テープの基材を収縮させることが必要である。
刺激とは接着されたダイシング表面保護用テープを易剥離性とするために必要な加熱、紫外線照射等のエネルギー付与手段による処理であって、具体的には、加熱空気の噴射、加熱された水等の液体中への浸漬、赤外線ランプ、赤外線レーザー、赤外線ＬＥＤ，プレートヒータ、バンドヒータ、リボンヒータ等の任意の加熱手段や、紫外線ランプやマイクロ波等の照射手段を用いることができ、加熱温度としては、被切断体の特性に悪影響を及ぼさない温度であって、５０℃以上の温度、好ましくは５０℃〜１８０℃、さらに好ましくは７０〜１８０℃であり、紫外線ランプやマイクロ波の照射も同様に被切断体の特性に悪影響を及ぼさない範囲での照射エネルギー量であって、ダイシング表面保護用テープの特に接着剤層を架橋・分解等により粘着力を低減させて易剥離性とすることができる程度の処理を行うものである。なお、上記の加熱された水等への浸漬による手段を採用した場合には、その後において乾燥させるための周知の乾燥手段を利用した工程を必要とする。
こうして、これらのダイシング表面保護用テープは刺激を受けた後に被切断体との間にわずかでも隙間を形成させることが、その後の除去工程を円滑に進める上で必要である。
【００２０】
またこれらのダイシング表面保護用テープとして、好ましくは  少なくとも１軸方向に収縮性を有する収縮性フィルム層と、該収縮性フィルム層の収縮を拘束する拘束層とが積層され、収縮原因となる刺激の付与により、１端部から１方向へ又は対向する２端部から中心に向かって自発的に巻回して１又は２個の筒状巻回体を形成しつつ剥離するダイシング表面保護テープを使用することができる。
【００２１】
そして本発明において、０°を超えて反転させるまでの任意の角度に傾ける工程は、    ダイシング工程を被切断体を水平面に載置し、その上面に貼り付けたダイシング表面保護用テープをダイシングする際の状態、つまり被切断体を水平に置き、その上面が貼り付けられたダイシング表面保護用テープにより保護された状態の傾きを０°として、この被切断体を傾斜させた際の水平面との傾きを該角度とした工程である。そして水平の被切断体の下面に貼り付けられたダイシング表面保護用テープが位置する状態を１８０°に傾けた状態、つまり上記の０°の傾きのものを反転させた状態とする。  よって、本発明において、０°を超えて反転させるまでの任意の向きに傾ける工程とは、０°からわずかに傾けた状態から反転させた状態までの任意の角度で傾ける工程である。
【００２２】
本発明において、このダイシング表面保護用テープを被着体に貼りあわせた後、ダイシングを行う。ダイシング装置・方法としては公知の方法を任意に選択して採用すればよく、ダイシング時に切断部に水や気体の噴射を併用する工程も採用でき、ダイシング表面保護用テープを用いることによる制限は無い。なお、被着体が半導体ウエハである場合には、被着体にダイシング表面保護用テープを貼り合わせた後、バックグラインド工程を行い、そのままテープを剥がすことなくダイシング工程を行ってもよい。
また、ダイシング工程は、複合体を０°の角度、つまりダイシング表面保護用テープを上面に貼り付けた被切断体を水平に位置させた状態で行うことが一般的であるが、本発明においてはダイシング工程を複合体を傾けた上で行うことも可能である。さらに傾ける角度としては、複合体を垂直、つまり９０°としてもよく、あるいは１８０°つまり反転させてダイシング表面保護用テープが下面に向けた後にダイシングを行ってもよい。
【００２３】
本発明において、被切断体を傾ける手段としては、被切断体を保持する枠状物、板状物又はアーム等の部材を別の駆動装置により駆動する回転軸に接続し、この回転軸を回動させることにより被切断体を該部材ごと傾ける手段を採用することができ、また、例えば、ロボットアーム等に該部材ごと被切断体を把持させて、このロボットアームを回動させる手段や、シート状物を反転させるための公知の手段に該部材ごと被切断体を設けてなる手段を採用することができる。また、公知のワークの位置を調整する装置により被切断体を傾けるようにすることも可能である。
このように傾けると、たとえ被切断体上において切断されたダイシング表面保護用テープが転がっても、その傾きに従って転がることになりダイシングテープ表面への付着を防止できることになり、さらにその傾きを９０°以上とすると、もはや切断されたダイシング表面保護用テープは単に落下することはあっても、被切断体の表面を転がることがないので、その周囲のダイシングテープやダイシングリング表面等に付着することがない。このような理由により、本発明は被切断体を傾けた状態で切断されたダイシング表面保護用テープを剥離除去を行うことにより前記の効果を奏することができる。
【００２４】
本発明におけるダイシング表面保護用テープの剥離除去のための手段としては、気圧差によりテープを吸引及び／又は吹き飛ばすことができる装置を用いる手段、その吹き飛ばす手段に樹脂粒子を併用してその樹脂粒子の運動エネルギーを剥離除去するためのエネルギーとする手段、静電気を利用して吸着を行う手段等を採用することができ、その際には被切断体の裏面より超音波振動子による振動を与えることを併用することも可能であるし、気圧差により吹き飛ばす手段を採用する際には、加熱された気体を用いて表面保護テープに刺激を与えながら吹き飛ばして剥離除去することも可能である。
【００２５】
具体的に気圧差によりテープを吸引及び／又は吹き飛ばすことができる装置を用いる手段として、各種エアクリーナーやブロアー等による気体の吹き付けや真空装置等に接続したノズルによる吸引、またはこれらの装置の併用により気体の吹きつけと吸引を行うことが挙げられる。
これらの吹き付けや吸引の強度は本発明に沿って剥離除去が可能となる範囲で任意に設定すれば良いが、被切断体を破壊したり物性を変化させない程度の強度でなくてはならないし、気体を吹き付ける際には、切断されたダイシング表面保護用テープや、粉状微粒子が舞い散り、これらがダイシングテープやダイシングリング等に付着して、ひいてはその後のピックアップ工程に支障を来したり、チップを汚染したりしないように吹き付ける向き等を検討することが求められる。
このため、単にエアクリーナーやブロアー等により気体を吹き付けるのみではなく、場合により吹き出した気体を剥離された表面保護テープと共に回収するような位置に気体を吸引する吸引用ノズルを設置することが望ましい。
また、被切断体に付着する切断されたダイシング表面保護用テープはその端部に気体を吹き付けられた結果、被切断体から剥離されるように、被切断体とダイシング表面保護用テープとの間に気体を押し込むようにしなくてはいけないので、吹き付けられる気体の被切断体表面に対する角度は十分に小さい必要がある。そうでない場合には、吹き付けられる気体が被切断体上のダイシング表面保護用テープを押さえるように作用するので、十分に剥離できなくなる恐れがある。
さらに、ダイシング表面保護用テープに剥離性を付与するための刺激として、加熱された水等の液体による手段を採用した場合には、その後の乾燥手段としてこの気体を吹き付けて剥離除去する工程を兼ねることも可能である。
【００２６】
通常、被切断体上の切断されたダイシング表面保護用テープが単に刺激により収縮するに留まるものである場合や、ガス発生等により粘着力の低下により剥離性を発現する場合には、収縮後やガス発生等の後にどの方向に向けて特に易剥離性を示すのか、あるいはどの方向に向けて被切断体表面との間に特に大きな隙間を有しているのかが不明であるので、剥離除去のために気体を吹き付ける、及び又は吸引する際には、被切断体に対して一方向のみから行うのではなく、多方向から気体の吹き付けや吸引を行うことにより、より確実なダイシング表面保護用テープの剥離除去を行うことができるし、切断されて格子状に形成された被切断体の間の隙間にも存在する切断時に生じた微粉も多方向からの吹きつけによりさらに確実に除去することができる。
【００２７】
吹き付ける気体の流れに柔軟な樹脂球をのせて、被切断体及びダイシング表面保護用テープに該樹脂球を衝突させることにより、該樹脂球の運動エネルギーを活用して該テープの剥離を促進することもできる。但し、該樹脂球を使用することにより被切断体を破壊したり、その物性に悪影響を与えることがないようにしなければならないし、しかも、該樹脂球がダイシングテープやダイシングリングに付着すると、その後のピックアップ工程に悪影響を及ぼしかねず、本発明の目的を達成しないことになるのでこれらの点を注意しなくてはならない。
【００２８】
このため、該樹脂球は被切断体に悪影響を与えない程度に柔軟性を有し、かつ気体の吹きつけと共に十分に吸引を行って、噴射された該樹脂球を全て回収する。そのような用途に使用できる樹脂球は例えばスポンジ状の多孔性で柔軟なもの、あるいは多孔性ではなくても全体に十分に柔軟であること等や、粘着力や帯電による静電気力等によって被切断体に付着しないという性質を有することが必要である。
さらに吹き付ける際には吹き付ける強さに周期的又は非周期的に強弱をつけることにより、ダイシング表面保護用テープに振動を与えることで、ダイシング保護テープ端部と被切断体との隙間を拡大して、より剥離除去を容易にすることも可能である。
これらの場合において、気体の吹きつけに使用する気体としては、空気や窒素ガス等でよく、また加熱されたものを使用することもでき、この場合にはダイシング表面保護用テープを易剥離性とするために上記のように収縮や巻回させたり、粘着剤層を加熱により発泡させながら吹き付けられた気体によりダイシング表面保護用テープを剥離除去させることができる。例えば加熱された空気をダイシング表面保護用テープの一部の面から順に吹き付けて、加熱による刺激の付与と剥離を同時に行ってもよい。
【００２９】
ダイシング表面保護用テープを吸引する際には、吸引ノズルを極力被切断体に近づけると、このテープに加わる吸引力が強くなりより確実に剥離除去できる。またノズルの構造をノズル先端内部に螺旋状のミゾを設ける等の渦流を形成できるような構造にして、さらに吸引力を強化することもできる。
【００３０】
さらに、静電気を利用して吸着を行う手段を採用する場合には、帯電させたローラ状物や棒状物の側面やブラシの表面を被切断体のダイシング表面保護用テープ表面近くを沿うようにして該被切断体全面にわたって移動させる。このような操作を２回以上繰り返し、２回目以上以降は静電気の極性を逆にしたものを該被切断体表面に沿って移動させることもできる。該ブラシが柔軟な素材からなる場合には、被切断体表面を傷つけないように接触させることによって表面保護テープを除去することも可能である。
この場合においては、該被切断体との電位差を大きくし過ぎると、該被切断体の特性を変化させるおそれがあり、逆に電位差を小さくし過ぎると、十分にダイシング表面保護用テープを剥離除去できない可能性があるので、その電位差を十分に検討する必要がある。このため、上記の帯電させたローラ等の電位を考慮しつつ、被切断体を予め帯電させておくこともできる。
また、静電気を利用した清浄化は、除去すべき対象物が小さくても除去効果を発揮するので、個々の被切断体の間に存在する微粉を除去するために、上記の気圧を利用した剥離除去工程に続いて行ってもよい。
【００３１】
さらにこれらのダイシング表面保護用テープの剥離除去手段と共に、超音波振動子等を用いて被切断体を振動させることで、付着しているダイシング表面保護用テープや微粉に振動を伝えて、ダイシング表面保護用テープと被切断体との間に隙間を形成する等し、あるいは、表面保護用テープと被切断物との間の接着を剥離しながら気体を吹きつけるにより、その隙間を拡げるようにして該ダイシング表面保護用テープを剥離除去することも可能である。
【００３２】
ただし、超音波振動子を被切断体に接触させて振動をさせると、その振動により被切断体が破壊される恐れがあるので、振動の出力と被切断体との接触方法を考慮する等が求められる。さらに、被切断体の一点に超音波振動子を接触させてもその接触点から被切断体が破壊させる可能性があるので、超音波振動子と被切断体との間にダイシングシート等に加えて振動を拡散する機能を備えた別の層を形成しておくことが、被切断体全体にわたって均一な振動を付与する点において好ましい。
【００３３】
さらに好ましくは、ダイシング表面保護テープとして、少なくとも１軸方向に収縮性を有する収縮性フィルム層と、該収縮性フィルム層の収縮を拘束する拘束層とが積層され、収縮原因となる刺激の付与により、１端部から１方向へ又は対向する２端部から中心に向かって自発的に巻回して１又は２個の筒状巻回体を形成しつつ剥離するダイシング表面保護テープの使用と、本発明における該複合体を反転させるまでの任意の角度に傾ける工程を組み合わせて使用することが望ましい。そしてこのダイシング表面保護テープは以下の性質や形状等を備えたものである。
【００３４】
上記筒状巻回体とは、テープの両端が重なって完全に筒状に巻回したものに限らず、テープの両端が重ならずに離れた状態で、筒の側面の一部が開いた形状のものも含み、好ましくは、テープの両端が重なって完全に筒状に巻回している状態のものである。
【００３５】
筒状巻回体を形成しつつ剥離するダイシング表面保護テープは、巻回後に弧を描いており、被切断体表面と例えば１本のラインで接する状態にある。なお、本明細書において、「自発的に巻回」とは、テープに収縮原因となる刺激を付与しただけで、手等を使わなくても、テープが被着体から自然と剥離して、例えば、剥離きっかけが得られることを意味する。
【００３６】
該筒状巻回体を形成しつつ剥離するダイシング表面保護テープでは、好ましくは、加熱により、１端部から１方向へ又は対向する２端部から中心に向かって自発的に巻回して１又は２個の筒状巻回体を形成しつつ、被切断体から剥離する。
【００３７】
自発的に剥離する温度は、例えば、上限温度は被切断体が影響を受けずに巻回する温度であれば、特に限定はされないが、例えば、５０℃以上、好ましくは５０℃〜１８０℃、さらに好ましくは７０℃〜１８０℃とすることができる。
【００３８】
筒状巻回体を形成しつつ剥離するダイシング表面保護テープでは、好ましくは、前記拘束層が、収縮性フィルム層側の弾性層と収縮性フィルム層とは反対側の剛性フィルム層とで構成されている。また、本発明の表面保護テープは、好ましくは、さらに、粘着剤層を有し、前記粘着剤層は、好ましくは活性エネルギー線（例えばＵＶ）硬化性粘着剤を含む。
【００３９】
筒状巻回体を形成しつつ剥離するダイシング表面保護テープとしては、収縮性フィルム層/拘束層の積層体が用いられ、好ましくは、収縮性フィルム層/弾性層/剛性フィルム層/粘着剤層の積層体を用いることができる(以下、これらの積層体を自発巻回性テープということがある)。この構成により、収縮応力が偶力に変換され、確実にテープは収縮原因となる刺激の付与後筒状巻回体に変形する為、後の剥離工程でのテープ除去が極めて簡便となる。なおテープを構成する材料等詳細は、特許第４１５１８５０号に準じたものでよい。具体的には、テープは収縮性フィルム層/弾性層/剛性フィルム層/粘着剤層からなる積層体(自発巻回性テープ)が好ましい。
【００４０】
本発明の方法として、好ましくは、筒状巻回体を形成しつつ剥離するダイシング表面保護テープの剥離除去方法が、被切断体の表面に貼り付けられた少なくとも１軸方向に収縮性を有する収縮性フィルム層と、該収縮性フィルム層の収縮を拘束する拘束層とが積層されたダイシング表面保護テープを貼付する工程と、前記ダイシング表面保護テープが貼付された状態で、前記被切断体を切断する工程と、切断された被切断体表面に貼付された前記ダイシング表面保護テープに収縮原因となる刺激を付与し、１端部から１方向へ又は対向する２端部から中心に向かって自発的に巻回して１又は２個の筒状巻回体を形成させる工程と、該複合体を反転させるまでの任意の角度に傾ける工程と、切断された個々の被切断体表面に貼付された前記ダイシング表面保護テープを剥離除去する工程とを含み、その該複合体を反転させるまでの任意の角度に傾ける工程は上記の被切断体を切断する工程の前から、１端部から１方向へ又は対向する２端部から中心に向かって自発的に巻回して１又は２個の筒状巻回体を形成させる工程の後のいずれかの段階に設けてなるものである。
【００４１】
さらに好ましくは、ダイシング後、従来(保護テープが無い場合)はダイシングされた被着体を回収する工程(ピックアップ)に入るが、本発明の表面保護テープの剥離除去方法では、ダイシング後に被切断体とダイシング表面保護テープを反転させるまでの任意の角度に傾けるか、あるいは、ダイシング表面保護テープに加熱等の収縮原因となる刺激の付与のいずれか一方を先に行い、その後に他方を行った後に、本テープを剥離除去する工程(剥離除去工程)を行う。
【００４２】
筒状巻回体を形成しつつ剥離するダイシング表面保護テープの剥離除去方法では、好ましくは、前記収縮原因となる刺激は加熱である。また、好ましくは、前記加熱前又は加熱と同時に、活性エネルギー線の照射を行う工程をさらに有する。
【００４３】
このような剥離除去工程は、ａ．（粘着剤層がＵＶ硬化性粘着剤の場合には）ＵＶ照射を行う工程；ｂ．収縮原因となる刺激の付与を行ってテープを筒状巻回体に変形する工程；及びｃ．変形したテープを被着体より除去する工程を含み、最も好ましくは、ａ，ｂ，ｃの順で進める。これらの工程は、同時に行っても良い。
【００４４】
ａの方法としては従来より知られる方法でよく、高圧水銀灯、キセノンランプ、紫外線ＬＥＤ等を光源に用いて、ＵＶ波長域の光をテープに対して、５００〜１０００mJ／cm2程度照射すればよい。
【００４５】
ｂの収縮原因となる刺激の付与方法としては、好ましくは加熱をすることができ、加熱には、例えばホットプレート、ヒートガン、赤外線ランプ等の加熱源を用いることが可能であり、本テープの変形が速やかに起こる温度に到達するよう、適切な方法を選択して用いる。加熱温度は、例えば、上限温度は被切断体が影響を受けずに巻回する温度であれば、特に限定はされないが、例えば、５０℃以上、好ましくは５０℃〜１８０℃、さらに好ましくは７０℃〜１８０℃とすることができる。なお収縮原因となる刺激の付与は均一に付与して、全てのテープを一度に変形させるほか、スポット的に行っても良く、例えばスポット加熱装置等を用いて任意位置で部分的に加熱して変形させる方法でもよい。
【００４６】
ｃの方法としては、風を吹き付けて変形したテープを吹き飛ばす、掃除機での吸引、静電気力による吸着等が考えられる。なお、剥離テープを用いる場合には、剥離テープが被着体表面に接触しないよう貼りあわせ方法を工夫する必要がある(後述の参考例参照)。
【００４７】
剥離工程は、好ましくは、テープを変形させるための加熱装置・方法(ホットプレート、ヒートガン等)を用いた加熱工程と、加熱後の保護テープ除去方法(吹き飛ばす、吸引する、剥離テープを貼り付ける等)を用いた除去工程とを含む。好ましくは、加熱工程において、ホットプレート、ヒートガン、若しくは赤外線ランプのいずれか、又はこれらの組み合わせを用いて加熱する。
【００４８】
好ましくは、除去工程において、表面保護テープを風による吹き飛ばし、若しくは吸引による吸引除去のいずれか、又はこれらの組み合わせにより除去する。吸引除去は、好ましくは掃除機等を用いて行なう。なお、ここで、風による吹き飛ばしを行う際にその風を加熱された風とすると、上記の剥離工程と除去工程を実質的に同時に行うことになり効率的に除去できる。
【００４９】
以下、本発明の実施の形態について、筒状巻回体を形成しつつ剥離するダイシング表面保護テープを使用した例に挙げて図面を参照しつつ説明するが、下記の方法は筒状巻回体を形成するダイシング表面保護用テープに限定されるものではなく、剥離や処理手段、ダイシング表面保護用テープを構成する粘着剤層や収縮フィルム層に使用する材料は、本発明の方法における各種ダイシング表面保護テープに使用可能である。
【００５０】
図１は、筒状巻回体を形成しつつ剥離するダイシング表面保護テープ（表面保護テープ）１を用いた剥離方法の一例を示す概略図である。以下、図１に沿って説明する。
【００５１】
＜ダイシング用の試料の作成＞
図１に示すように、表面保護テープ１を、ウエハ等の被着体７に貼り付け、積層体を作成する。被着体７としては、半導体ウエハ、ガラス、セラミック、半導体封止用等の樹脂等、従来よりダイシング工程の対象となっているもの全般を含む。表面保護テープ１の、ウエハ等の被着体７への貼り付けは、特に限定されず、例えば、ハンドローラを用いて貼付できる。
【００５２】
被着体７としては、８インチシリコンミラーウエハ等の半導体ウエハが好ましく用いられる。被着体として半導体ウエハを用いた場合等には、積層体中の被着体にバックグラインド等の処理を行って、被着体を所定の厚みとしてもよい。被着体が半導体シリコンウエハの場合、シリコンウエハの厚みは、数十μm〜数百μmのものが使用でき、特に、厚さが１００μm以下の極薄のシリコンウエハも使用することができる。
【００５３】
次に、表面保護テープ１と被着体７との積層体の被着体７側を、ダイシングテープ８に貼り付け、表面保護テープ１、被着体７、及びダイシングテープ８との積層体とする。ダイシングテープ８としては、特に限定されず、公知のダイシングテープを使用できる。この積層体を、ダイシング用の試料９とする。この積層体を、さらに、ダイシングリング１９に貼り付けても良い。ダイシングリング１９は使用しなくても良い。表面保護テープ１、被着体７、及びダイシングテープ８との積層体を、ダイシングテープ８に貼付する方法は特に限定されず、例えば、ハンドローラを用いて貼付できる。
【００５４】
＜ダイシング＞
続いて、ダイシング用の試料９を、ダイシングする。ダイシングは、公知のダイシング装置を用いて行うことができ、ブレードダイシングや、レーザーダイシング等で行うことができる。ダイシングは、水をかけながら行っても良い。切削水量は、特に限定されず、例えば１L／minとすることができる。ダイシングにより、試料９は、例えば、５mm×５mm、又は１０mm×１０mm等のチップ形状とされる。
【００５５】
ブレードダイシングの場合、ダイシングスピードやブレード回転数は、被着体７の素材、厚み等により、任意に設定できる。被着体７がシリコンウエハの場合、ダイシングスピードは、例えば６０〜１００mm／sec、好ましくは７０〜９０mm／secとすることができ、ブレード回転数は、例えば３００００〜５００００rpm、好ましくは３５０００〜４５０００rpmとすることができる。ブレードハイトは、公知の範囲で、適宜、任意に設定できる。
【００５６】
本発明にて使用する表面保護テープ１は、被着体７に貼付した場合、被着体７と一括して切断される。表面保護テープ１は、確実に被着体７に貼付することができ、ダイシング時の保護テープの飛びを防止できるものとする。
【００５７】
そのような表面保護テープ１と被着体との積層体は、良好なダイシング性を示し、ウエハ欠け、割れが生じたり、若しくは表面保護テープ１／被着体７の界面にダイシング時の水が侵入したりすることなく、表面保護テープ１と被着体７とが積層したチップを得ることができる。
【００５８】
＜収縮原因となる刺激の付与＞
本発明の方法における表面保護テープ１は、熱等の収縮原因となる刺激の付与によって巻回し自発的に被着体７から剥離するものが好ましい。図１においては、収縮原因となる刺激に関し、一例として加熱を行うが加熱には限定されない。図１に示すように、ダイシングにより得られたチップに例えば加熱等の収縮原因となる刺激を付与すると、表面保護テープ１は変形して弧を描き、巻回体１’となる。巻回体１’と被着体７との接点は、他の従来例の剥離ライナーが変形した他の任意の形状と比べて小さく、好ましくは筒状形状を呈している。このため、巻回体１’と被着体７との接点は、例えば一本のラインのみとなる。
【００５９】
なお、表面保護テープ１の剥離のための加熱の時期は任意で、特に限定されないが、被着体７の保護の観点から、なるべく遅い、剥離が必要とされるぎりぎりのタイミングが好ましい。
【００６０】
このような表面保護テープ１を例えば加熱により自発巻回させた場合、加熱温度、テープ構成等について所定の条件を選択することにより、確実に、再現性良く生じ、被着体７から確実に剥離させることができる。そのため、表面保護テープの剥離もれがない。
【００６１】
表面保護テープへの加熱等の収縮原因となる刺激の付与は、剥離作業を行う際の必要に応じて、被着体全面を均一に刺激してもよく、全面を段階的に刺激、さらには剥離きっかけを作るためだけに部分的に刺激してもよい。例えば、粘着シートの加熱温度、及び加熱時間は、使用する熱収縮基材の収縮性に応じて適宜調節することができ、表面保護テープが自発的に剥離する温度とすることができる。加熱時間は、例えば５〜６００秒間程度、好ましくは５〜３００秒間程度、さらに好ましくは５〜１８０秒間程度である。
【００６２】
加熱方法としては、特に限定されないが、ホットプレート、ヒートガン、赤外線ランプ等の加熱源を例示できる。例えば、ホットプレートによる加熱では、ホットプレート上の全てのチップ上の表面保護テープが同時に自発巻回する。例えば、ヒートガンによる加熱では、局所的なチップの加熱も可能であるため、一部のチップ上の表面保護テープのみを必要に応じて自発巻回させることができる。
【００６３】
表面保護テープ１の加熱温度は、例えば、上限温度は被切断体が影響を受けずに巻回する温度であれば、特に限定はされないが、例えば、５０℃以上、好ましくは５０℃〜１８０℃、さらに好ましくは７０℃〜１８０℃とすることができる。加熱温度が５０℃より低いと、表面保護テープ１について、剥離に十分な変形が得られないか、または、変形が速やかに生じない。また、加熱温度が高すぎると、被着体７の破損等の不具合が生じる。
【００６４】
自発的に巻回して形成される巻回体１’の描く弧の直径ｒの大きさは、例えば、加熱温度、熱風の量等の加熱の条件、表面保護テープ１の組成・構成等により、適宜、調整できる。即ち、巻回体１’の巻き具合は、好ましくは、加熱の条件、表面保護テープ１の構成等の条件により定まる。該直径ｒが小さい程、巻回の度合いは強くなる。表面保護テープ１を、加熱によって、好ましくは、筒状巻回体に変形させる。
【００６５】
巻回体１’は、例えば、収縮基材の加熱収縮応力に起因して形成され、収縮応力の発現は熱的不可逆過程(再加熱しても非収縮時の状態に戻らない)であるため、いったん巻回した後は、加熱を続けても勝手には巻き戻らず、また、加熱後の収縮基材、剛直基材の高い弾性によって、応力によっても容易には巻き戻らず、一定形状を保持する。このため、容易につぶれたり、拡がったりしない。
【００６６】
例えば、図４、図８等の積層体であれば、８０℃で３０秒程度加熱した巻回体を巻き戻すには、例えば１．３Ｎ／１０mm以上の応力が必要であると見積もられ、また、１０mm幅の巻回体１’の径を１／３程度に圧縮するには、例えば２５０g〜３００g重の荷重が必要であり、荷重がなくなると巻回体の径は初期状態にほぼ戻る。さらに、前述のように、巻回体１’の巻き具合は条件の設定により定めることができる。該条件により、個々のチップは、実質的に、一定の同一形状を示す。
【００６７】
なお、表面保護テープ１は、ＵＶ硬化性粘着剤を含んでも良い。この場合、表面保護テープ１の自発巻回用の加熱等の収縮原因となる刺激の付与前に、ＵＶ照射をすることができる。ＵＶ照射は、当該刺激の付与と同時でも良い。
【００６８】
そして、図１に示すように、表面保護テープを付着させた被切断体を任意の段階において、反転するまでの任意の角度に傾けることが必要である、その任意の段階はいずれでもよいが、例えば、ダイシング工程の前、ダイシング後表面保護テープ刺激を与える前の間、さらに表面保護テープを剥離除去する工程の間に傾けることにより、剥離除去工程においてダイシングテープやダイシングリングに切断された表面保護テープが付着することがない。また、傾ける工程を２回以上行うことも可能である。
【００６９】
図１では表面保護テープを付着させた被切断体を９０°傾けて垂直に立てた状態や１８０°傾けて反転させた状態で切断された表面保護テープを除去することが示されている。
【００７０】
＜除去＞
図１及び２に記載したように、表面保護テープ１を変形した巻回体１’を被着体７から除去する方法としては、例えば、以下の方法がある。
（i）吹き飛ばす方法。
（ii）吸引により除去する方法。
（iii）樹脂球等を利用し吹き飛ばして吸引する。
(iv)静電気による吸着で剥がす方法。
【００７１】
除去は、全てのチップ上の表面保護テープを巻回体１’に変形してから行っても良く、また、チップの一部についてその上の表面保護テープが巻回体１’に変形したものについて、順次、行っても良いが、除去工程の前までには、表面保護テープを貼り付けた被切断体を反転させるまでの任意の角度に傾ける工程を経て傾けておく、さらに好ましくは反転させておくことが、表面保護テープがダイシングテープ等に付着することがないために望ましい。
【００７２】
（i）の吹き飛ばす方法では、図１に示すように風力発生媒体を用いてブローし、巻回体１’を吹き飛ばすことにより、被着体７上に形成された巻回体１’を除去できる。本発明の表面保護テープ１は、ダイシング後の個片化された状態での加熱等の収縮原因となる刺激の付与により確実に変形し、実質的に同一形状の巻回体１’となり、全てのチップにおいて、好ましくは、被着体７と１本のラインでのみ接する。このため、比較的弱い風力で容易に除去されうる。
【００７３】
風力発生媒体としては、ブロアー、ドライヤー、扇風機等の周知の装置を用いることができる。該吹き飛ばす方法による除去は、表面保護テープ１を前もって加熱等して巻回体１’を形成した後に、例えば常温のエアーで行ってもよく、温風又は熱風で行っても良い。
【００７４】
また、該吹き飛ばす方法による除去は、表面保護テープ１を加熱等により巻回体形成しながら行っても良い。この場合、熱風を用いることができる。熱風の温度は、例えば、表面保護テープ１の表面温度が８０℃〜１００℃となるように定めることができる。
【００７５】
ブローは、被着体７に対し、例えば１０〜５０度の角度で行うことができる。ブローの時間は、特に限定されないが、例えば１分〜５分、好ましくは２分〜４分とすることができる。
【００７６】
また、（i）の吹き飛ばす方法による表面保護テープ１の除去は、ホットプレート等の加熱媒体により、被着体７と巻回体１’とを補助的に加熱しながら行っても良い。この場合、加熱媒体による補助的加熱温度は、例えば５０℃〜７０℃とすることができる。
【００７７】
（ii）の吸引により除去する方法では、図１に示すように、吸引媒体を用いて吸引し、巻回体１’を吸引することにより、被着体７上に形成された巻回体１’を除去する。本発明の表面保護テープ１は、ダイシング後の個片化された状態で加熱等の収縮原因となる刺激の付与により確実に変形し、実質的に同一形状の巻回体１’となり、全てのチップにおいて、好ましくは、被着体７と１本のラインでのみ接する。このため、比較的弱い力で容易に除去されうる。
【００７８】
吸引媒体としては、掃除機等の周知の吸引装置を用いることができ、吸引ノズルの先で空気が渦流を発生するようなノズルの形状としてもよい。該吸引により吸引除去する方法による除去は、表面保護テープ１を前もって加熱等の収縮原因となる刺激の付与をして巻回体１’を形成した後に行っても良く、また、表面保護テープ１を加熱等して巻回体形成しながら同時に行っても良い。
【００７９】
また、（ii）の吸引により吸引除去する方法による表面保護テープ１の除去は、ホットプレート等の加熱媒体により、被着体７と巻回体１’とを予備加熱して行っても良い。この場合、加熱媒体による予備加熱温度は、例えば５０℃〜７０℃とすることができる。
【００８０】
上記の(i)の吹き飛ばす方法と(ii)の吸引による方法を併用することも図２に示すが、吹き飛ばされた巻回された表面保護テープが飛散せずダイシングシート等に付着する可能性を低減させる点において吸引を同時に行うことがさらに望ましい。
この併用に際しては、吹き飛ばすためのノズルと吸引のためのノズルを表面保護テープ近くに位置させること、あるいは、図２に示すように１つのノズルに気体を噴射する噴射口と吸引口を隣接して設けることが必要であり、また、特に吹き飛ばされた表面保護テープを確実に吸引するには、吸引するためのノズル又は吸引口を大きくして、噴射された気体が拡がる範囲をカバーするようにすることが必要である。
【００８１】
このような(i)の吹き飛ばす方法と(ii)の吸引による方法を併用しながら、図１に示すように、(iii)の樹脂球等の担体を併用して吹き付けると、その担体の運動エネルギーも加わりさらに確実に表面保護テープを除去できる。この際に使用する樹脂球としてはスポンジ状の多孔質のものが被切断体を傷つけることがないので好ましく、その大きさは刺激が与えられて被切断体から一部が剥離された状態の表面保護テープのその被切断体との隙間に入りこむような微細な粒子でもよいし、また切断された被切断体の１片の大きさと同様の大きさを径とするような大きさでもよい。このような担体の併用とは独立して超音波振動子による振動も併用できる。
【００８２】
また上記の(iv)の静電気を用いる方法としては、刺激を与えて除去可能となった表面保護シートに回転する静電気を帯電させたローラー等を接近させつつ移動させる。帯電したローラーが回転しているので、該表面保護シートに接近し対向する該ローラの面には除去された表面保護シートが付着しておらず、静電気力により表面保護シートの除去が進展する。この静電気による方法は切断された表面保護シートが周囲に飛散せずに回収が可能であるので、切断されたダイシング表面保護シートがダイシングシート等に付着せずにその後の工程を円滑に進めることができる。
【００８３】
［表面保護テープ］
図３に、本発明の方法において好ましく使用できる表面保護テープの一例である積層体１０の概略断面図を示す。表面保護テープ１は、例えば、図３に示すように、収縮性フィルム層２と拘束層３との積層体１０とすることができる。収縮性フィルム層２は、好ましくは、１軸収縮性を有する。拘束層３は、収縮性フィルム層２の収縮を拘束する層として機能する。
【００８４】
また、図４は、本発明の表面保護テープの一例の積層体１１を示す概略断面図である。図５は、本発明の表面保護テープの一例の積層体１２を示す概略断面図である。図４に示される積層体１１は、１軸収縮性を有する収縮性フィルム層２と、該収縮性フィルム層２の収縮を拘束する拘束層３との積層体である。
【００８５】
収縮性フィルム層２としては、少なくとも１軸方向に収縮性を有するフィルム層であればよく、熱収縮性フィルム、光により収縮性を示すフィルム、電気的刺激により収縮するフィルム等の何れで構成されていてもよい。なかでも、作業効率等の観点から、熱収縮性フィルムで構成されているのが好ましい。
【００８６】
拘束層３は、収縮性フィルム層２側の弾性層３１と収縮性フィルム層２とは反対側の剛性フィルム層３２とで構成されている。また、図５に示される積層体１２では、図４に示される積層体１１の剛性フィルム層３２側に粘着剤層４が積層されている。この場合、図４の積層体１１は、図５の積層体１２の支持基材として機能する。
【００８７】
さらに、図６に、本発明の表面保護テープの一例の積層体１３の概略断面図を示す。積層体１３では、図５に示される積層体１２の粘着剤層４の剛性フィルム層の反対側に、剥離ライナー５が積層されている。
【００８８】
図７は、本発明の表面保護テープの一例の積層体１４を示す概略断面図である。積層体１４は、収縮性フィルム層２、拘束層３としての弾性層３１及び剛性フィルム層３２、中間層６、粘着剤層４がこの順に積層された積層体であって、加熱等の収縮原因となる刺激の付与により、１端部から１方向へ又は対向する２端部から中心に向かって自発的に巻回して１又は２個の筒状巻回体を形成しうる。積層体１４は、図７に示されるように、収縮性フィルム層２と、該収縮性フィルム層２の収縮を拘束する拘束層３としての弾性層３１及び剛性フィルム層３２と、中間層６と粘着剤層４とが順に積層されてなる。
【００８９】
中間層６は、上記剛性フィルム層３２と粘着剤層４との間に位置し、収縮性フィルム層／弾性層／剛性フィルム層からなる複合基材の引っ張り応力を緩和して、ウエハを極めて薄く研削する際に発生するウエハの反りを抑制する働きを有する。中間層６は、上記剛性フィルム層と比べて低弾性を示すことを特徴としている。
【００９０】
図８は、本発明の表面保護テープの一例の積層体１５を示す概略断面図である。図８に示される積層体１５は、収縮性フィルム層２と活性エネルギー線硬化型粘着剤層３３とが積層され、該活性エネルギー線硬化型粘着剤層３３の収縮性フィルム層２と反対側の面に剥離ライナー５が貼着された構成を有する。
【００９１】
積層体１５は、好ましくは、少なくとも１軸方向に収縮性を有する収縮性フィルム層と、活性エネルギー線を照射することにより硬化して、８０℃における引張り弾性率と厚みの積が５×１０3N／m以上１×１０5N／m未満となる活性エネルギー線硬化型粘着剤層とが積層された構成を有し、熱を加えることにより、１端部から１方向へ又は対向する２端部から中心に向かって自発的に巻回して１又は２個の筒状巻回体を形成しうる。また、上記収縮性フィルム層と活性エネルギー線硬化型粘着剤層との間には、自発巻回性を損なわない範囲で他の層を有していてもよいが、８０℃における引張り弾性率と厚みの積が４×１０5N／m以上（特に１×１０5N／m以上）の層を有しないことが好ましい。
【００９２】
［収縮性フィルム層］
収縮性フィルム層２としては、熱を加えることにより、少なくとも１軸方向に収縮性を有するフィルム層であればよい。収縮性フィルム層は、１軸方向のみに収縮性を有していてもよいし、或る方向（１軸方向）に主たる収縮性を有し、該方向とは異なる方向（例えば、該方向に対して直交する方向）に副次的な収縮性を有していてもよい。収縮性フィルム層１は単層であってもよく、２以上の層からなる複層であってもよい。
【００９３】
収縮性フィルム層２の主収縮方向の収縮率は、７０〜１８０℃の範囲の所定温度（例えば、８０℃等）において、例えば５〜９０％、好ましくは３０〜９０％、特に好ましくは５０〜９０％である。収縮性フィルム層を構成する収縮性フィルム層の主収縮方向以外の方向の収縮率は、好ましくは１０％以下、さらに好ましくは５％以下、特に好ましくは３％以下である。収縮性フィルム層の熱収縮性は、例えば押出機により押し出されたフィルムに延伸処理を施すことにより付与することができる。
【００９４】
なお、本明細書中、収縮率（％）は、［（収縮前の寸法−収縮後の寸法）／（収縮前の寸法）］×１００の式より算出される値を意味しており、特に断らない限り、主収縮軸方向の収縮率を示す。
【００９５】
前記収縮性フィルム層２としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリノルボルネン、ポリイミド、ポリアミド、ポリウレタン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル等から選択される１種又は２種以上の樹脂からなる１軸延伸フィルムが挙げられる。なかでも、粘着剤の塗工作業性等に優れる点で、ポリエステル系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリノルボルネン等のポリオレフィン系樹脂（環状ポリオレフィン系樹脂を含む）、ポリウレタン系樹脂からなる１軸延伸フィルムが好ましい。このような収縮性フィルム層として、東洋紡社製の「スペースクリーン」、グンゼ社製の「ファンシーラップ」、東レ社製の「トレファン」、東レ社製の「ルミラー」、ＪＳＲ社製の「アートン」、日本ゼオン社製の「ゼオノア」、旭化成社製の「サンテック」等の市販品の利用が可能である。
【００９６】
なお、積層体１５において、活性エネルギー線硬化型粘着剤層３３を硬化させる際に、活性エネルギー線照射を収縮性フィルム層２を通して行うときには、収縮性フィルム層２は所定量以上の活性エネルギー線を透過しうる材料（例えば透明性を有する樹脂等）で構成する必要がある。
【００９７】
収縮性フィルム層２の厚みは、一般には５〜３００μm、好ましくは１０〜１００μmである。収縮性フィルム層２の厚みが大きすぎると、剛性が高くなって自発巻回が起こらず、収縮性フィルム層と活性エネルギー線照射後の活性エネルギー線硬化型粘着剤層３３との間で分離し、積層体破壊につながりやすい。また剛性の大きなフィルムは、テープ貼り合わせ時の応力が残存し、弾性変形力が大きく、ウエハを薄くした際に反りが大きくなり、搬送等により被着体が破損し易くなる傾向がある。
【００９８】
収縮性フィルム層２の表面は、隣接する層との密着性、保持性等を高めるため、慣用の表面処理、例えば、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理等の化学的又は物理的処理、下塗り剤（例えば、粘着物質等）によるコーティング処理等が施されていてもよい。
【００９９】
［拘束層］
拘束層３は収縮性フィルム層２の収縮を拘束し、反作用力を生み出すことにより、積層体全体として偶力を生み出し、巻回を引き起こす駆動力となる。また、この拘束層３により、収縮性フィルム層２の主収縮方向とは異なる方向の副次的収縮が抑制され、１軸収縮性とは言っても必ずしも一様とは言えない収縮性フィルム層２の収縮方向が一方向に収斂する働きもあると考えられる。このため、積層シートに収縮性フィルム層２の収縮を促す熱を加えると、拘束層３における収縮性フィルム層２の収縮力に対する反発力が駆動力となって、積層シートの外縁部（１端部又は対向する２端部）が浮き上がり、収縮性フィルム層２側を内にして、端部から１方向又は中心方向（通常、収縮性フィルム層の主収縮軸方向）へ自発的に巻回して筒状巻回体が形成されるものと考えられる。また、この拘束層３により、収縮性フィルム層２の収縮変形により生じる剪断力が粘着剤層４や被着体に伝達されるのを防ぐことができるため、再剥離時の粘着力の低下した粘着剤層（例えば、硬化した粘着剤層）の破損や、被着体の破損、前記破損した粘着剤層による被着体の汚染等を防止できる。
【０１００】
拘束層３は収縮性フィルム層２の収縮を拘束する機能を発現するため、弾性および収縮性フィルム層２に対する接着性（粘着性を含む）を有している。また、拘束層３は筒状巻回体を円滑に形成させるため、ある程度の靱性あるいは剛性を備えているのが好ましい。拘束層３は単層で構成されていてもよく、また機能を複数の層に分担させた複層で構成されていてもよい。拘束層３は、好ましくは、弾性層３１と剛性フィルム層３２とから構成される。
【０１０１】
［弾性層］
弾性層３１は、収縮性フィルム層２の収縮時の温度下（表面保護テープ１としての積層体１２及び積層体１３において、積層体１１を表面保護テープの支持基材として用いる場合は、積層体１２及び積層体１３の剥離時の温度下）で変形しやすいこと、すなわちゴム状態であることが好ましい。但し、流動性のある材料では、十分な反作用力が生じず、最終的には収縮性フィルム層単独で収縮してしまい、変形（自発巻回）を起こすことができない。従って、弾性層３１は３次元架橋等により流動性を抑えたものが好ましい。また、弾性層３１は、その厚みによっても、収縮性フィルム層２の非一様な収縮力のうち弱い力の成分に抵抗して、該弱い力の成分による収縮変形を防ぐことで、一様な収縮方向へと変換する作用を有する。ウエハ研削後によって生じる反りは、ウエハへ粘着シートを貼り合わせる際の応力が残存し、この残存応力によって収縮性フィルム層が弾性変形することによって生じると考えられるが、弾性層はこの残存応力を緩和して反りを低下させる働きもある。
【０１０２】
従って、弾性層３１は、粘着性を有し、ガラス転移温度が例えば５０℃以下、好ましくは室温（２５℃）以下、より好ましくは０℃以下の樹脂で形成するのが望ましい。弾性層３１の収縮性フィルム層２側の表面の粘着力は、１８０°ピール剥離試験（ＪＩＳ  Ｚ  ０２３７に準拠、引張り速度３００mm／分、５０℃）の値で、好ましくは０．５N／１０mm以上の範囲である。この粘着力が低すぎると、収縮性フィルム層２と弾性層３１との間で剥離が生じやすくなる。
【０１０３】
また、弾性層３１のずり弾性率Ｇは室温（２５℃）から剥離時温度（例えば８０℃）において、１×１０4Pa〜５×１０6Pa（特に、０．０５×１０6Pa〜３×１０6Pa）が好ましい。ずり弾性率が小さすぎると収縮性フィルム層の収縮応力を巻回に必要な応力へと変換する作用が乏しくなり、逆に大きすぎると、剛性を強めるために巻回性に乏しくなるほか、一般に弾性が高いものは粘着性に乏しく積層体の作製が困難になりやすいことや、残存応力を緩和する働きも乏しくなるからである。弾性層３１の厚みとしては、好ましくは１５〜１５０μm程度である。前記厚みが薄すぎると、収縮性フィルム層２の収縮に対する拘束性が得られにくく、応力緩和の効果も小さくなる。逆に厚すぎると自発巻回性が低下し、また取扱性、経済性に劣り好ましくない。従って弾性層３１のずり弾性率Ｇ（例えば８０℃における値）と厚みの積（ずり弾性率Ｇ×厚み）は、好ましくは１〜１０００N／m（より好ましくは１〜１５０N／m、さらに好ましくは１．２〜１００N／m）である。
【０１０４】
また、弾性層３１としては、粘着剤層４が活性エネルギー線硬化型粘着剤層の場合には活性エネルギー線を透過しやすい材料で形成され、製造上や作業性等の観点から厚みが適宜選択できてフィルム形状にしやすい成形加工性に優れるものであるのが好ましい。
【０１０５】
弾性層３１として、例えば、表面（少なくとも収縮性フィルム層２側の表面）に粘着処理が施されたウレタンフォームやアクリルフォーム等のフォーム材料（発泡フィルム）や、ゴム、熱可塑性エラストマー等を素材とする非発泡樹脂フィルム等の樹脂フィルム（シートを含む）等を使用できる。粘着処理に用いる粘着剤としては、特に制限はなく、例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、ビニルアルキルエーテル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、ウレタン系粘着剤、スチレン−ジエンブロック共重合体系粘着剤等の公知の粘着剤を１種又は２種以上組み合わせて用いることができる。特に、粘着力の調整等の点から、アクリル系粘着剤が好ましく用いられる。なお、粘着処理に用いる粘着剤の樹脂と、発泡フィルムや非発泡樹脂フィルムの樹脂は、高い親和性を得るため同種の樹脂が好ましい。例えば、粘着処理にアクリル系粘着剤を用いる場合には、フォーム材料としてアクリルフォーム等が好適である。
【０１０６】
また、弾性層３１として、例えば架橋型エステル系粘着剤、架橋型アクリル系粘着剤等のそれ自体接着性を有する樹脂組成物で形成してもよい。このような、架橋型エステル系粘着剤、架橋型アクリル系粘着剤等により形成された層（粘着剤層）は、別途粘着処理を施す必要がなく比較的簡便な方法で製造可能であり、生産性、経済性に優れるため好ましく用いられる。
【０１０７】
上記架橋型エステル系粘着剤は、エステル系重合体をベースポリマーとするエステル系粘着剤に架橋剤が添加された構成を有している。エステル系重合体としては、例えば、ジオールとジカルボン酸との縮合重合物からなるポリエステル等が挙げられる。
【０１０８】
ジオールの例としては、例えば、（ポリ）カーボネートジオールが挙げられる。（ポリ）カーボネートジオールとしては、例えば、（ポリ）ヘキサメチレンカーボネートジオール、（ポリ）３−メチル（ペンタメチレン）カーボネートジオール、（ポリ）トリメチレンカーボネートジオールや、これらの共重合物等が挙げられる。ジオール成分又は（ポリ）カーボネートジオールは単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。なお、（ポリ）カーボネートジオールが、ポリカーボネートジオールである場合、その重合度は特に制限されない。
【０１０９】
（ポリ）カーボネートジオールの市販品としては、例えば、商品名「ＰＬＡＣＣＥＬ  ＣＤ２０８ＰＬ」、商品名「ＰＬＡＣＣＥＬ  ＣＤ２１０ＰＬ」、商品名「ＰＬＡＣＣＥＬ  ＣＤ２２０ＰＬ」、商品名「ＰＬＡＣＣＥＬ  ＣＤ２０８」、商品名「ＰＬＡＣＣＥＬ  ＣＤ２１０」、商品名「ＰＬＡＣＣＥＬ  ＣＤ２２０」、商品名「ＰＬＡＣＣＥＬ  ＣＤ２０８ＨＬ」、商品名「ＰＬＡＣＣＥＬＣＤ２１０ＨＬ」、商品名「ＰＬＡＣＣＥＬ
ＣＤ２２０ＨＬ」［以上、ダイセル化学工業（株）製］等が挙げられる。
【０１１０】
ジオール成分としては、（ポリ）カーボネートジオールのほか、必要により、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ヘキサンジオール、オクタンジオール、デカンジオール、オクタデカンジオール等の成分を併用してもよい。
【０１１１】
また、ジカルボン酸成分としては、炭素数２〜２０の脂肪族又は脂環族炭化水素基を分子骨格とするジカルボン酸又はその反応性誘導体を必須成分として含むジカルボン酸成分を好適に用いることができる。前記炭素数２〜２０の脂肪族又は脂環族炭化水素基を分子骨格とするジカルボン酸又はその反応性誘導体において、炭化水素基は直鎖状であってもよく、また分岐鎖状であってもよい。このようなジカルボン酸又はその反応性誘導体の代表的な例として、コハク酸、メチルコハク酸、アジピン酸、ピメリック酸、アゼライン酸、セバシン酸、１，１２−ドデカン二酸、１，１４−テトラデカン二酸、テトラヒドロフタル酸、エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、及びこれらの酸無水物や低級アルキルエステル等が挙げられる。ジカルボン酸成分は単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。
【０１１２】
ジオールとジカルボン酸との組み合わせとしては、ポリカーボネートジオールとセバシン酸、または、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、フタル酸、マレイン酸等が好ましく使用できる。
【０１１３】
また、上記架橋型アクリル系粘着剤は、アクリル系重合体をベースポリマーとするアクリル系粘着剤に架橋剤が添加された構成を有している。アクリル系重合体としては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル等の（メタ）アクリル酸Ｃ1−Ｃ20アルキルエステル等の（メタ）アクリル酸アルキルエステルの単独又は共重合体；前記（メタ）アクリル酸アルキルエステルと、他の共重合性モノマー［例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、フマル酸、無水マレイン酸等のカルボキシル基又は酸無水物基含有モノマー；（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル等のヒドロキシル基含有モノマー；（メタ）アクリル酸モルホリル等のアミノ基含有モノマー；（メタ）アクリルアミド等のアミド基含有モノマー；（メタ）アクリロニトリル等のシアノ基含有モノマー；（メタ）アクリル酸イソボルニル等の脂環式炭化水素基を有する（メタ）アクリル酸エステル等］との共重合体等が挙げられる。
【０１１４】
アクリル系重合体としては、特に、エチルアクリレート、ブチルアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレート等の（メタ）アクリル酸Ｃ1−Ｃ12アルキルエステルの１種又は２種以上と、２−ヒドロキシエチルアクリレート等のヒドロキシル基含有モノマー及びアクリル酸等のカルボキシル基又は酸無水物基含有モノマーから選択された少なくとも１種の共重合性モノマーとの共重合体、或いは（メタ）アクリル酸Ｃ1−Ｃ12アルキルエステルの１種又は２種以上と、脂環式炭化水素基を有する（メタ）アクリル酸エステルと、ヒドロキシル基含有モノマー及びカルボキシル基又は酸無水物基含有モノマーから選択された少なくとも１種の共重合性モノマーとの共重合体が好ましい。
【０１１５】
アクリル系重合体は、例えば、上記に例示の単量体成分（及び重合開始剤）を無溶剤で光（紫外線等）重合することにより、高粘度の液状プレポリマーとして調製される。次に、このプレポリマーに架橋剤を添加することにより架橋型アクリル系粘着剤組成物を得ることができる。なお、架橋剤はプレポリマー製造時に添加しておいてもよい。また、上記に例示の単量体成分を重合して得られたアクリル系重合体又はその溶液に架橋剤と溶媒（アクリル系重合体の溶液を用いる場合は必ずしも必要ではない）を加えることにより、架橋型アクリル系粘着剤組成物を得ることもできる。
【０１１６】
架橋剤としては、特に制限はなく、例えば、イソシアネート系架橋剤、メラミン系架橋剤、エポキシ系架橋剤、アクリレート系架橋剤（多官能アクリレート）、イソシアネート基を有する（メタ）アクリル酸エステル等を使用できる。アクリレート系架橋剤としては、例えば、ヘキサンジオールジアクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等が例示される。イソシアネート基を有する（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、２−イソシアナトエチルアクリレート、２−イソシアナトエチルメタクリレート等が例示される。なかでも、架橋剤として、アクリレート系架橋剤（多官能アクリレート）やイソシアネート基を有する（メタ）アクリル酸エステル等の紫外線（ＵＶ）反応性架橋剤が好ましい。架橋剤の添加量は、通常、上記ベースポリマー１００重量部に対して０．０１〜１５０重量部程度、好ましくは０．０５〜５０重量部程度、特に好ましくは０．０５〜３０重量部程度である。
【０１１７】
架橋型アクリル系粘着剤は、ベースポリマー及び架橋剤のほかに、架橋促進剤、粘着付与剤（例えば、ロジン誘導体樹脂、ポリテルペン樹脂、石油樹脂、油溶性フェノール樹脂等）、増粘剤、可塑剤、充填剤、老化防止剤、酸化防止剤等の適宜な添加剤を含んでいてもよい。
【０１１８】
弾性層３１としての架橋型アクリル系粘着剤層は、例えば、上記プレポリマーに架橋剤を添加した架橋型アクリル系粘着剤組成物を、キャスト法等の公知の方法により、所望の厚み、面積を有するフィルム状とし、再度光照射して架橋反応（及び未反応モノマーの重合）を進行させることにより、目的に見合った弾性層３１を簡便に得ることができる。こうして得られた弾性層（架橋型アクリル系粘着剤層）は自粘着性を有するため、収縮性フィルム層２と剛性フィルム層３２の層間にそのまま貼り合わせて使用することができる。架橋型アクリル系粘着剤層として、日東電工（株）製の商品名「ＨＪ−９１５０Ｗ」等の市販の両面接着テープを利用できる。なお、フィルム状の粘着剤を収縮性フィルム層２と剛性フィルム層３２の層間に貼り合わせた後、再度光照射することにより架橋反応を行ってもよい。
【０１１９】
また、弾性層３１としての架橋型アクリル系粘着剤層は、上記のアクリル系重合体と架橋剤とが溶媒に溶解した架橋型アクリル系粘着剤組成物を剛性フィルム層３２の表面に塗工し、その上に収縮性フィルム層２を貼り合わせた後、光照射することにより得ることもできる。なお、粘着剤層４が活性エネルギー線硬化型粘着剤層である場合には、再剥離の際、粘着剤層４を硬化させるときの活性エネルギー線照射（光照射）により前記架橋型アクリル系粘着剤を硬化（架橋）させてもよい。
【０１２０】
本発明における弾性層３１の構成成分には、さらにガラスビーズ、樹脂ビーズ等のビーズが添加されていてもよい。弾性層３１にガラスビーズや樹脂ビーズを添加すると、粘着特性やずり弾性率を制御しやすい点で有利である。ビーズの平均粒径は、例えば１〜１００μm、好ましくは１〜２０μm程度である。ビーズの添加量は、弾性層３１の全体１００重量部に対して、例えば０．１〜１０重量部、好ましくは１〜４重量部である。前記添加量が多すぎると粘着特性が低下する場合があり、少なすぎると上記効果が不十分となりやすい。
【０１２１】
［剛性フィルム層］
剛性フィルム層３２は拘束層３に剛性あるいは靱性を付与することで、収縮性フィルム層２の収縮力に対して反作用の力を生み出し、ひいては巻回に必要な偶力を発生する機能を有する。剛性フィルム層３２を設けることにより、収縮性フィルム層２に加熱等の収縮原因となる刺激の付与がされた際、積層シート又は粘着シートが、途中で停止したり方向がずれたりすることなく円滑に自発巻回し、形の整った筒状巻回体を形成することができる。
【０１２２】
剛性フィルム層３２を構成する剛性フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル；ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン；ポリイミド；ポリアミド；ポリウレタン；ポリスチレン等のスチレン系樹脂；ポリ塩化ビニリデン；ポリ塩化ビニル等から選択される１種又は２種以上の樹脂からなるフィルムが挙げられる。なかでも、粘着剤の塗工作業性等に優れる点で、ポリエステル系樹脂フィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリアミドフィルム等が好ましい。剛性フィルム層３２は単層であっても２以上の層が積層された複層であってもよい。剛性フィルム層３２を構成する剛性フィルムは非収縮性であり、収縮率は、例えば５％以下、好ましくは３％以下、さらに好ましくは１％以下である。
【０１２３】
剛性フィルム層３２のヤング率と厚みの積（ヤング率×厚み）は、剥離時温度（例えば８０℃）において、好ましくは３．０×１０5N／m以下（例えば、１．０×１０2〜３．０×１０5N／m）、さらに好ましくは２．８×１０5N／m以下（例えば、１．０×１０3〜２．８×１０5N／m）である。剛性フィルム層３２のヤング率と厚みの積が小さすぎると収縮性フィルム層２の収縮応力を巻回応力へと変換する作用に乏しく、方向性収斂作用も低下しやすくなり、逆に大きすぎると剛性によって巻回が抑制されやすくなる。剛性フィルム層３２のヤング率は、剥離時温度（例えば８０℃）において、好ましくは３×１０6〜２×１０10N／m2、さらに好ましくは１×１０8〜１×１０10N／m2である。ヤング率が小さすぎると形の整った巻回した筒状巻回体が得られにくくなり、逆に大きすぎると自発巻回が起こりにくくなる。剛性フィルム層３２の厚みは、例えば２０〜１５０μm、好ましくは２５〜９５μm、さらに好ましくは３０〜９０μm、特に好ましくは３０〜８０μm程度である。前記厚みが薄すぎると、形の整った巻回した筒状巻回体が得られにくくなり、厚すぎると自発巻回性が低下し、また取扱性、経済性に劣り好ましくない。
【０１２４】
また、剛性フィルム層３２としては、粘着剤層４が活性エネルギー線硬化型粘着剤層の場合には活性エネルギー線を透過しやすい材料で形成され、製造上や作業性等の観点から厚みが適宜選択できてフィルム形状にしやすい成形加工性に優れるものであるのが好ましい。
【０１２５】
上記の例では拘束層３は弾性層３１と剛性フィルム層３２とで構成されているが、必ずしもこのような構成にする必要はない。例えば、弾性層３１に適度な剛性を付与して、剛性フィルム層３２を省略することもできる。
【０１２６】
［粘着剤層］
粘着剤層４としては、もともと粘着力の小さい粘着剤層を用いることもできるが、被着体に貼着可能な粘着性を有しており、所定の役割が終了した後には、何らかの方法（低粘着化処理）で粘着性を低下又は消失可能な再剥離性の粘着剤層であるのが好ましい。このような再剥離性粘着剤層は、公知の再剥離性粘着シートの粘着剤層と同様に構成できる。自発巻回性の観点から、粘着剤層又は低粘着化処理後の粘着剤層の粘着力（１８０°ピール剥離、対シリコンミラーウエハ、引張り速度３００mm／分）は、例えば常温（２５℃）で、６．５N／１０mm以下（特に６．０N／１０mm以下）であるのが望ましい。
【０１２７】
粘着剤層４としては、好ましくは活性エネルギー線硬化型粘着剤層を使用できる。活性エネルギー線硬化型粘着剤層は、初期には粘接着性を有し、赤外線、可視光線、紫外線、Ｘ線、電子線等の活性エネルギー線の照射により３次元網目構造を形成して高弾性化するような材料で構成することができ、このような材料として、活性エネルギー線硬化型粘着剤等を利用できる。活性エネルギー線硬化型粘着剤は、活性エネルギー線硬化性を付与するための活性エネルギー線反応性官能基を化学修飾した化合物、又は活性エネルギー線硬化性化合物（又は活性エネルギー線硬化性樹脂）を含有する。従って、活性エネルギー線硬化型粘着剤は、活性エネルギー線反応性官能基で化学的に修飾された母剤、又は活性エネルギー線硬化性化合物（又は活性エネルギー線硬化性樹脂）を母剤中に配合した組成物により構成されるものが好ましく用いられる。
【０１２８】
前記母剤としては、例えば、従来公知の感圧性接着剤（粘着剤）等の粘着物質を使用することができる。粘着剤として、例えば、天然ゴムやポリイソブチレンゴム、スチレン・ブタジエンゴム、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体ゴム、再生ゴム、ブチルゴム、ポリイソブチレンゴム、ＮＢＲ等のゴム系ポリマーをベースポリマーに用いたゴム系粘着剤；シリコーン系粘着剤；アクリル系粘着剤等が例示される。なかでも、アクリル系粘着剤が好ましい。母剤は１種、又は２種以上の成分で構成してもよい。
【０１２９】
アクリル系粘着剤としては、例えば（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル等の（メタ）アクリル酸Ｃ1−Ｃ20アルキルエステル等の（メタ）アクリル酸アルキルエステルの単独又は共重合体；該（メタ）アクリル酸アルキルエステルと他の共重合性モノマー［例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、フマル酸、無水マレイン酸等のカルボキシル基又は酸無水物基含有モノマー；（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル等のヒドロキシル基含有モノマー；（メタ）アクリル酸モルホリル等のアミノ基含有モノマー；（メタ）アクリルアミド等のアミド基含有モノマー等］との共重合体等のアクリル系重合体をベースポリマーに用いたアクリル系粘着剤等が例示される。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて使用できる。
【０１３０】
活性エネルギー線硬化型粘着剤を活性エネルギー線硬化させるための化学修飾に用いる活性エネルギー線反応性官能基、及び活性エネルギー線硬化性化合物としては、赤外線、可視光線、紫外線、Ｘ線、電子線等の活性エネルギー線により硬化可能なものであれば特に限定されないが、活性エネルギー線照射後の活性エネルギー線硬化型粘着剤の３次元網状化（網目化）が効率よくなされるものが好ましい。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて使用できる。化学修飾に用いられる活性エネルギー線反応性官能基としては、例えば、アクリロイル基、メタクリロイル基、ビニル基、アリル基、アセチレン基等の炭素−炭素多重結合を有する官能基等が挙げられる。これらの官能基は、活性エネルギー線の照射により炭素−炭素多重結合が開裂してラジカルを生成し、このラジカルが架橋点となって３次元網目構造を形成することができる。なかでも、（メタ）アクリロイル基は、活性エネルギー線に対して比較的高反応性を示すことができ、また豊富な種類のアクリル系粘着剤から選択して組み合わせて使用できる等、反応性、作業性の観点で好ましい。
【０１３１】
活性エネルギー線反応性官能基で化学的に修飾された母剤の代表的な例として、ヒドロキシル基やカルボキシル基等の反応性官能基を含む単量体［例えば、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸等］を（メタ）アクリル酸アルキルエステルと共重合させた反応性官能基含有アクリル系重合体に、分子内に前記反応性官能基と反応する基（イソシアネート基、エポキシ基等）及び活性エネルギー線反応性官能基（アクリロイル基、メタクリロイル基等）を有する化合物［例えば、（メタ）アクリロイルオキシエチレンイソシアネート等］を反応させて得られる重合体が挙げられる。
【０１３２】
前記反応性官能基含有アクリル系重合体における反応性官能基を含む単量体の割合は、全単量体に対して、例えば５〜４０重量％、好ましくは１０〜３０重量％である。前記反応性官能基含有アクリル系重合体と反応させる際の分子内に前記反応性官能基と反応する基及び活性エネルギー線反応性官能基を有する化合物の使用量は、反応性官能基含有アクリル系重合体中の反応性官能基（ヒドロキシル基、カルボキシル基等）に対して、例えば５０〜１００モル％、好ましくは６０〜９５モル％である。
【０１３３】
活性エネルギー線硬化性化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート等のポリ（メタ）アクリロイル基含有化合物等の炭素−炭素二重結合を２つ以上有する化合物等が挙げられる。これらの化合物は単独で、又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。なかでも、ポリ（メタ）アクリロイル基含有化合物が好ましく、例えば特開２００３−２９２９１６号公報に例示されている。以下、ポリ（メタ）アクリロイル基含有化合物を、「アクリート系架橋剤」と称する場合がある。
【０１３４】
活性エネルギー線硬化性化合物としては、また、オニウム塩等の有機塩類と、分子内に複数の複素環を有する化合物との混合物等を用いることもできる。前記混合物は、活性エネルギー線の照射により有機塩が開裂してイオンを生成し、これが開始種となって複素環の開環反応を引き起こして３次元網目構造を形成することができる。前記有機塩類には、ヨードニウム塩、フォスフォニウム塩、アンチモニウム塩、スルホニウム塩、ボレート塩等が含まれ、前記分子内に複数の複素環を有する化合物における複素環には、オキシラン、オキセタン、オキソラン、チイラン、アジリジン等が含まれる。具体的には、技術情報協会編、光硬化技術（２０００）に記載の化合物等を利用できる。
【０１３５】
活性エネルギー線硬化性樹脂としては、例えば、分子末端に（メタ）アクリロイル基を有するエステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、メラミン（メタ）アクリレート、アクリル樹脂（メタ）アクリレート、分子末端にアリル基を有するチオール−エン付加型樹脂や光カチオン重合型樹脂、ポリビニルシンナマート等のシンナモイル基含有ポリマー、ジアゾ化したアミノノボラック樹脂やアクリルアミド型ポリマー等、感光性反応基含有ポリマーあるいはオリゴマー等が挙げられる。さらに高活性エネルギー線で反応するポリマーとしては、エポキシ化ポリブタジエン、不飽和ポリエステル、ポリグリシジルメタクリレート、ポリアクリルアミド、ポリビニルシロキサン等が挙げられる。なお、活性エネルギー線硬化性樹脂を使用する場合には、前記母剤は必ずしも必要でない。
【０１３６】
活性エネルギー線硬化型粘着剤としては、前記アクリル系重合体又は活性エネルギー線反応性官能基で化学的に修飾されたアクリル系重合体（側鎖に活性エネルギー線反応性官能基が導入されたアクリル系重合体）と前記活性エネルギー線硬化性化合物（炭素−炭素二重結合を２つ以上有する化合物等）との組み合わせからなるものが特に好ましい。前記組み合わせは、活性エネルギー線に対して比較的高い反応性を示すアクリレート基を含み、しかも多様なアクリル系粘着剤から選択できるため、反応性や作業性の観点から好ましい。このような組み合わせの具体例として、側鎖にアクリレート基が導入されたアクリル系重合体と、炭素−炭素二重結合を有する官能基（特にアクリレート基）を２つ以上有する化合物との組み合わせ等が挙げられる。このような組み合わせとしては、特開２００３−２９２９１６号公報等に開示のものを利用できる。
【０１３７】
前記側鎖にアクリレート基が導入されたアクリル系重合体の調製法としては、例えば、側鎖に水酸基を含むアクリル系重合体に、アクリロイルオキシエチルイソシアナート、メタクリロイルオキシエチルイソシアナート等のイソシナナート化合物を、ウレタン結合を介して結合する方法等を用いることができる。
【０１３８】
活性エネルギー線硬化性化合物の配合量は、例えば、母剤（例えば、前記アクリル系重合体又は活性エネルギー線反応性官能基で化学的に修飾されたアクリル系重合体）１００重量部に対して、０．５〜２００重量部程度、好ましくは５〜１８０重量部、さらに好ましくは２０〜１３０重量部程度の範囲である。
【０１３９】
活性エネルギー線硬化型粘着剤には、３次元網目構造を形成する反応の速度等の向上を目的として、活性エネルギー線硬化性を付与する化合物を硬化させるための活性エネルギー線重合開始剤が配合されていてもよい。
【０１４０】
活性エネルギー線重合開始剤は、用いる活性エネルギー線の種類（例えば、赤外線、可視光線、紫外線、Ｘ線、電子線等）に応じて公知乃至慣用の重合開始剤を適宜選択できる。作業効率の面から、紫外線で光重合開始可能な化合物が好ましい。代表的な活性エネルギー線重合開始剤として、ベンゾフェノン、アセトフェノン、キノン、ナフトキノン、アンスラキノン、フルオレノン等のケトン系開始剤；アゾビスイソブチロニトリル等のアゾ系開始剤；ベンゾイルパーオキシド、過安息香酸等の過酸化物系開始剤等が挙げられるが、これらに限定されない。市販品として、例えば、チバガイギー社製の商品名「イルガキュア１８４」、「イルガキュア６５１」等がある。
【０１４１】
活性エネルギー線重合開始剤は単独で又は２種以上を混合して使用できる。活性エネルギー線重合開始剤の配合量としては、通常、上記母剤１００重量部に対して０．０１〜１０重量部程度、好ましくは１〜８重量部程度である。なお、必要に応じて前記活性エネルギー線重合開始剤とともに活性エネルギー線重合促進剤を併用してもよい。
【０１４２】
活性エネルギー線硬化型粘着剤には、上記成分のほか、活性エネルギー線硬化前後に適切な粘着性を得るために、架橋剤、硬化（架橋）促進剤、粘着付与剤、加硫剤、増粘剤等、耐久性向上のために、老化防止剤、酸化防止剤等の適宜な添加剤が必要に応じて配合される。
【０１４３】
好ましい活性エネルギー線硬化型粘着剤としては、例えば、活性エネルギー線硬化性化合物を母剤（粘着剤）中に配合した組成物、好ましくはＵＶ硬化性化合物をアクリル系粘着剤中に配合したＵＶ硬化型粘着剤が用いられる。特に活性エネルギー線硬化型粘着剤の好ましい態様としては、側鎖アクリレート含有アクリル粘着剤、アクリレート系架橋剤（ポリ（メタ）アクリロイル基含有化合物；多官能アクリレート）、及び紫外線光開始剤を含むＵＶ硬化型粘着剤が用いられる。側鎖アクリレート含有アクリル粘着剤とは、側鎖にアクリレート基が導入されたアクリル系重合体の意味であり、上記と同様のものを同様の方法で調製して利用できる。アクリレート系架橋剤とは、ポリ（メタ）アクリロイル基含有化合物として上記に例示の低分子化合物である。紫外線光開始剤としては、代表的な活性エネルギー線重合開始剤として上記に例示のものを利用できる。
【０１４４】
また、粘着剤層４を構成する粘着剤として、上記アクリル系粘着剤を母材とした非活性エネルギー線硬化型粘着剤を用いることも可能である。この場合には、筒状巻回体を生成する際の剥離応力よりも小さな粘着力を有するものが適合可能であり、例えば、シリコンミラーウェハを被着体に用いた１８０°ピール剥離試験（室温（２５℃））において、６．５N／１０mm以下（例えば、０．０５〜６．５N／１０mm、好ましくは０．２〜６．５N／１０mm）、特に６．０N／１０mm以下（例えば、０．０５〜６．０N／１０mm、好ましくは０．２〜６．０N／１０mm）のものを用いることができる。
【０１４５】
このような粘着力の小さいアクリル系粘着剤を母材とした非活性エネルギー線硬化型粘着剤としては、（メタ）アクリル酸アルキルエステル［例えば（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル等の（メタ）アクリル酸Ｃ1−Ｃ20アルキルエステル］と、反応性官能基を有するモノマー［例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、フマル酸、無水マレイン酸等のカルボキシル基又は酸無水物基含有モノマー；（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル等のヒドロキシル基含有モノマー；（メタ）アクリル酸モルホリル等のアミノ基含有モノマー；（メタ）アクリルアミド等のアミド基含有モノマー等］と、必要に応じて用いられる他の共重合性モノマー［例えば、（メタ）アクリル酸イソボルニル等の脂環式炭化水素基を有する（メタ）アクリル酸エステル、アクリロニトリル等］との共重合体に、前記反応性官能基と反応しうる架橋剤［例えば、イソシアネート系架橋剤、メラミン系架橋剤、エポキシ系架橋剤等］を添加して架橋させたアクリル系粘着剤等が好ましく用いられる。
【０１４６】
粘着剤層４は、例えば、粘着剤、活性エネルギー線硬化性化合物、必要に応じて溶媒を添加して調製したコーティング液を、拘束層３の表面（上記の例では、剛性フィルム層３２の表面）に塗布する方法、適当な剥離ライナー（剥離ライナー）上に前記コーティング液を塗布して粘着剤層を形成し、これを拘束層３上に転写（移着）する方法等、慣用の方法により形成できる。転写による場合は、拘束層３との界面にボイド（空隙）が残る場合がある。この場合、オートクレーブ処理等により加温加圧処理を施し、ボイドを拡散させて消滅させることができる。粘着剤層４は単層、複層の何れであってもよい。
【０１４７】
粘着剤層４の構成成分には、さらにガラスビーズ、樹脂ビーズ等のビーズが添加されていてもよい。粘着剤層４にガラスビーズや樹脂ビーズを添加すると、ずり弾性率を高めて粘着力を低下させやすくなる。ビーズの平均粒径は、例えば１〜１００μm、好ましくは１〜２０μm程度である。ビーズの添加量は、粘着剤層４の全体１００重量部に対して、例えば２５〜２００重量部、好ましくは５０〜１００重量部である。前記添加量が多すぎると分散不良を起こして粘着剤の塗布が困難になる場合があり、少なすぎると上記効果が不十分となりやすい。
【０１４８】
粘着剤層４の厚みは、一般には１０〜２００μm、好ましくは２０〜１００μm、さらに好ましくは３０〜６０μmである。前記厚みは、薄すぎると粘着力が不足するため被着体を保持、仮固定することが困難となりやすく、厚すぎると不経済であり、取扱性にも劣るため好ましくない。
【０１４９】
本発明にて使用する表面保護テープ１は、収縮性フィルム層２と拘束層３（好ましくは弾性層３１と剛性フィルム層３２）とを重ね、ハンドローラーやラミネーター等の積層手段や、オートクレーブ等の大気圧圧縮手段を、目的に応じて適宜選択的に用いて積層させることにより製造できる。また、本発明の表面保護テープは、前記表面保護テープ１の拘束層３の表面に粘着剤層４を設けることにより、あるいは予め片面に粘着剤層４を設けた拘束層３（又は、剛性フィルム層３２）を収縮性フィルム層２（又は、収縮性フィルム層２と弾性層３１）と重ね合わせて積層することにより製造してもよい。
【０１５０】
表面保護テープ１が、活性エネルギー線硬化性化合物を被着体７と接触する側に有する場合、表面保護テープ１を被着体７に貼着し、ダイシング加工を施した後に、表面保護テープ１の被着体７と接触する側に活性エネルギー線照射を行い、粘着力を低下させることができる。その後、又はそれとともに、収縮性フィルム層の収縮原因となる熱を加え、表面保護テープ１の１端部から１方向（通常、主収縮軸方向）へ又は対向する２端部から中心に向かって（通常、主収縮軸方向へ）自発的に巻回させ、１又は２個の筒状巻回体を形成させることにより被着体７から剥離することができる。加熱等の収縮原因となる刺激の付与は、好ましくは、活性エネルギー線照射とともに行う。なお、表面保護テープ１の１端部から１方向へ自発巻回する場合は、１個の筒状巻回体が形成され（一方向巻回剥離）、表面保護テープ１の対向する２端部から中心に向かって自発的に巻回する場合は、平行に並んだ２個の筒状巻回体が形成される（二方向巻回剥離）。
【０１５１】
ダイシング加工後、例えば、粘着剤層４が活性エネルギー線硬化型粘着剤層の場合には、粘着剤層４に活性エネルギー線照射を行うとともに、又はその後、所要の加熱等の収縮原因となる刺激の付与手段により収縮性フィルム層２に加熱等の収縮原因となる刺激を付与すると、粘着剤層４は硬化して粘着力を失い、収縮性フィルム層２が収縮変形しようとするため、表面保護テープ１が浮き上がって、その外縁部（又は対向する二つの外縁部）より表面保護テープ１が巻回する。加熱等の収縮原因となる刺激の付与条件により、さらに巻回しつつ、一方向（又は方向が互いに逆の二方向（中心方向））へ自走して１個（又は２個）の筒状巻回体を形成する。ここで筒状巻回体とは、テープの両端が接触または重なった筒状巻回体のみならず、テープの両端が非接触で筒の一部が開放された状態のものも含む。この際、拘束層３によって粘着シートの収縮方向が調整されるので、一軸方向へ巻回しつつ速やかに筒状巻回体が形成される。そのため、表面保護テープ１を被着体７から極めて容易に且つ綺麗に剥離することができる。
【０１５２】
加熱により、収縮原因となる刺激を付与する場合、加熱温度は収縮性フィルム層２の収縮性に応じて適宜選択できる。加熱温度は、例えば、上限温度は被切断体が影響を受けずに巻回する温度であれば、特に限定はされないが、例えば、５０℃以上、好ましくは５０℃〜１８０℃、さらに好ましくは７０℃〜１８０℃とすることができる。活性エネルギー線照射、加熱処理は同時に行ってもよく、段階的に行ってもよい。また加熱は被着体全面均一に加温するだけでなく、全面を段階的に加温する、さらには剥離きっかけを作るためだけに部分的に加熱してもよく、易剥離性を活用する目的において適宜選択できる。
【０１５３】
［中間層］
中間層を形成する材料としては、特に限定されることがなく、例えば、粘着剤層で挙げられている粘着剤や、一般的に樹脂フィルムといわれるポリエチレン（ＰＥ）、エチレン−ビニルアルコール共重合体（ＥＶＡ）、エチレン−エチルアクリレート共重合体（ＥＥＡ）等の各種軟質樹脂、アクリル系樹脂とウレタンポリマーの混合樹脂、アクリル系樹脂と天然ゴムとのグラフト重合体等を使用することができる。
【０１５４】
前記アクリル系樹脂を形成するアクリル系モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル等の（メタ）アクリル酸Ｃ1−Ｃ20アルキルエステル等の（メタ）アクリル酸アルキルエステルを単独で、又は該（メタ）アクリル酸アルキルエステルと共重合可能なモノマー［例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、フマル酸、無水マレイン酸等のカルボキシル基又は酸無水物基含有モノマーと混合して使用することができる
【０１５５】
本発明における中間層を形成する材料としては、なかでも、剛性フィルム層との密着性の点で、アクリル系樹脂とウレタンポリマーの混合樹脂や、アクリル系樹脂と天然ゴムとのグラフト重合体を使用することが好ましく、特に、アクリル系樹脂とウレタンポリマーの混合樹脂が好ましい。なお、ウレタンポリマーは周知慣用の方法で製造することができる。
【０１５６】
中間層と上記剛性フィルム層との接着性を向上させることを目的として、中間層と剛性フィルム層との間に適宜、下塗り層を設けてもよい。また、中間層と上記粘着剤層との接着性を向上させることを目的として、中間層表面に、必要に応じて、マット処理、コロナ放電処理、プライマー処理、架橋処理（例えば、シランを使用した化学架橋処理等）等の慣用の物理的又は化学的処理を施すことができる。
【０１５７】
中間層は、その材料形態に応じて、周知慣用の方法により形成することができ、例えば、溶液状を呈する場合は、剛性フィルム層の表面に塗布する方法、適当な剥離ライナー（セパレータ）上に溶液を塗布して中間層を形成し、これを剛性フィルム層上に転写（移着）することにより形成することができる。また、中間層として軟質樹脂や混合樹脂を使用する場合は、剛性フィルム層上に、該樹脂を押出ラミネートする方法や、予めフィルム状に形成した樹脂をドライラミネート、或いは、粘接着性のある下塗り剤を介して貼り合わせる方法等が挙げられる。
【０１５８】
中間層の２３℃におけるずり弾性率としては、粘着シートの貼り合わせ易さや、テープカット等の作業性の点で、１×１０4Pa〜４×１０7Pa程度、好ましくは、１×１０5Pa〜２×１０7Pa程度である。２３℃におけるずり弾性率が１×１０4Paを下回ると、ウエハ研削圧により中間層がウエハ外周からはみ出し、ウエハを破損する恐れがある。また、２３℃におけるずり弾性率が４×１０7Paを上回ると、反りを抑制する機能が低下する傾向がある。
【０１５９】
中間層の厚みは、１０μm以上であることが好ましく、なかでも、３０μm以上（特に、５０μm以上）であることが好ましい。中間層の厚みが１０μmを下回ると、研削によるウエハの反りを効果的に抑制することが困難となる傾向がある。また、研削精度を保つため、中間層の厚みは１５０μm未満であることが好ましい。
【０１６０】
また、中間層は上記引っ張り応力を緩和する機能を有するだけでなく、研削中にウエハ表面の凹凸を吸収するクッションの働きをも有することが好ましく、中間層と上記粘着剤層との厚みの和が３０μm以上（なかでも、５０〜３００μm）であることが好ましい。一方、中間層と上記粘着剤層との厚みの和が３０μmを下回ると、ウエハに対する粘着力が不足する傾向があり、貼り合わせ時にウエハ表面の凹凸を吸収しきれないため、研削中にウエハが破損したり、ウェハエッジに欠けが生じやすくなる傾向がある。また、中間層と上記粘着剤層との厚みの和が３００μmを上回ると、厚さ精度が低下して、研削中にウエハが破損しやすくなり、また、自発巻回性が低下する傾向がある。
【０１６１】
中間層のずり弾性率と厚みの積（ずり弾性率×厚み）は、例えば、２３℃において、好ましくは１５０００N／m下（例えば、０．１〜１５０００N／m）、好ましくは３０００N／m以下（例えば、３〜３０００N／m）、特に好ましくは、１０００N／m以下（例えば、２０〜１０００N／m）程度である。中間層のずり弾性率と厚みの積が大きすぎると、収縮性フィルム層／弾性層／剛性フィルム層からなる複合基材の引っ張り応力を緩和することが困難となり、研削によるウエハの反りを抑制することが困難となる傾向があり、剛性によって貼り合わせ時にウエハ表面の凹凸を吸収しきれないため、研削中にウエハが破損したり、ウェハエッジに欠けが生じやすくなる傾向がある。中間層のずり弾性率と厚みの積が小さすぎると、ウエハ外へ中間層がはみ出し、エッジ欠けや破損が生じやすくなる。さらに巻回性を低下させる作用ももたらす。
【０１６２】
［活性エネルギー線硬化型粘着剤層］
活性エネルギー線硬化型粘着剤層３３は、活性エネルギー線照射前は、被着体に貼着して、被着体に「割れ」や「欠け」が発生することから保護するために十分な粘着力を有し、加工後は、赤外線、可視光線、紫外線、Ｘ線、電子線等の活性エネルギー線を照射することにより３次元網目構造を形成させて硬化させることにより、被着体に対する粘着力を低下させると共に、上記収縮性フィルム層が熱によって収縮する際に、その収縮に反発する拘束層としての作用を発揮することができるため、収縮に対する反発力が駆動力となって表面保護テープの外縁部（端部）が浮き上がり、収縮性フィルム層側を内にして、端部から１方向へ又は対向する２端部から中心（２端部の中心）に向かって自発的に巻回して１又は２個の筒状巻回体を形成することができる。
【０１６３】
活性エネルギー線硬化型粘着剤層３３を形成する粘着剤としては、活性エネルギー線硬化性を付与するための活性エネルギー線反応性官能基を化学修飾した化合物、又は、活性エネルギー線硬化性化合物（又は活性エネルギー線硬化性樹脂）を少なくとも含有することが好ましい。従って、活性エネルギー線硬化型粘着剤は、活性エネルギー線反応性官能基で化学的に修飾された母剤、及び／又は、活性エネルギー線硬化性化合物（又は活性エネルギー線硬化性樹脂）を母剤中に配合した組成物により構成されるものが好ましく用いられる。
【０１６４】
前記母剤としては、例えば、従来公知の感圧型接着剤（粘着剤）等の粘着物質を使用することができる。粘着剤として、例えば、天然ゴムやポリイソブチレンゴム、スチレン・ブタジエンゴム、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体ゴム、再生ゴム、ブチルゴム、ポリイソブチレンゴム、ＮＢＲ等のゴム系ポリマーをベースポリマーに用いたゴム系粘着剤；シリコーン系粘着剤；アクリル系粘着剤等が例示される。なかでも、アクリル系粘着剤が好ましい。母剤は１種、又は２種以上の成分で構成してもよい。
【０１６５】
アクリル系粘着剤としては、例えば（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル等の（メタ）アクリル酸Ｃ1−Ｃ20アルキルエステル等の（メタ）アクリル酸アルキルエステルの単独又は共重合体；該（メタ）アクリル酸アルキルエステルと他の共重合性モノマー［例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、フマル酸、無水マレイン酸等のカルボキシル基又は酸無水物基含有モノマー；（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル等のヒドロキシル基含有モノマー；（メタ）アクリル酸モルホリル等のアミノ基含有モノマー；（メタ）アクリルアミド等のアミド基含有モノマー等］との共重合体等のアクリル系重合体をベースポリマーに用いたアクリル系粘着剤等が例示される。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて使用できる。
【０１６６】
活性エネルギー線硬化させるための化学修飾に用いる活性エネルギー線反応性官能基、及び活性エネルギー線硬化性化合物としては、赤外線、可視光線、紫外線、Ｘ線、電子線等の活性エネルギー線により硬化可能なものであれば特に限定されないが、活性エネルギー線照射により３次元網状化（網目化）が効率よくなされるものが好ましい。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて使用できる。
【０１６７】
化学修飾に用いられる活性エネルギー線反応性官能基としては、例えば、アクリロイル基、メタクリロイル基、ビニル基、アリル基、アセチレン基等の炭素−炭素多重結合を有する官能基等が挙げられる。これらの官能基は、活性エネルギー線の照射により炭素−炭素多重結合が開裂してラジカルを生成し、このラジカルが架橋点となって３次元網目構造を形成することができる。なかでも、アクリロイル基又はメタクリロイル基は、活性エネルギー線に対して比較的高反応性を示すことができ、また豊富な種類のアクリル系粘着剤から選択して組み合わせて使用できる等、反応性、作業性の観点で好ましい。
【０１６８】
活性エネルギー線反応性官能基で化学的に修飾された母剤の代表的な例として、ヒドロキシル基やカルボキシル基等の反応性官能基を含む単量体［例えば、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸等］を（メタ）アクリル酸アルキルエステルと共重合させた反応性官能基含有アクリル系重合体に、分子内に前記反応性官能基と反応する基（イソシアネート基、エポキシ基等）及び活性エネルギー線反応性官能基（アクリロイル基、メタクリロイル基等）を有する化合物［例えば、（メタ）アクリロイルオキシエチレンイソシアネート等］を反応させて得られる重合体が挙げられる。
【０１６９】
前記反応性官能基含有アクリル系重合体における反応性官能基を含む単量体の割合は、全単量体に対して、例えば５〜４０重量％、好ましくは１０〜３０重量％である。前記反応性官能基含有アクリル系重合体と反応させる際の分子内に前記反応性官能基と反応する基及び活性エネルギー線反応性官能基を有する化合物の使用量は、反応性官能基含有アクリル系重合体中の反応性官能基（ヒドロキシル基、カルボキシル基等）に対して、例えば５０〜１００モル％、好ましくは６０〜９５モル％である。
【０１７０】
活性エネルギー線硬化性化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート等の、分子内にアクリロイル基やメタクリロイル基等の炭素−炭素二重結合を含む基を２つ以上有する化合物等が挙げられる。これらの化合物は単独で、又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。なかでも、アクリロイル基及び／又はメタクリロイル基を２以上有する化合物が好ましく、例えば特開２００３−２９２９１６号公報に例示されている。
【０１７１】
活性エネルギー線硬化性化合物としては、オニウム塩等の有機塩類と、分子内に複数の複素環を有する化合物との混合物等を用いることもできる。前記混合物は、活性エネルギー線の照射により有機塩が開裂してイオンを生成し、これが開始種となって複素環の開環反応を引き起こして３次元網目構造を形成することができる。前記有機塩類には、ヨードニウム塩、フォスフォニウム塩、アンチモニウム塩、スルホニウム塩、ボレート塩等が含まれ、前記分子内に複数の複素環を有する化合物における複素環には、オキシラン、オキセタン、オキソラン、チイラン、アジリジン等が含まれる。具体的には、技術情報協会編、光硬化技術（２０００）に記載の化合物等を利用できる。
【０１７２】
活性エネルギー線硬化性樹脂としては、例えば、エステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、メラミン（メタ）アクリレート、アクリル樹脂（メタ）アクリレート等の分子内にアクリロイル基又はメタクリロイル基を有するポリマー又はオリゴマー；分子内にアリル基を有するチオール−エン付加型樹脂や光カチオン重合型樹脂；ポリビニルシンナマート等のシンナモイル基含有ポリマー；ジアゾ化したアミノノボラック樹脂やアクリルアミド型ポリマー等の感光性反応基含有ポリマーあるいはオリゴマー等が挙げられる。さらに高活性エネルギー線で反応するポリマーとしては、エポキシ化ポリブタジエン、不飽和ポリエステル、ポリグリシジルメタクリレート、ポリアクリルアミド、ポリビニルシロキサン等が挙げられる。なお、活性エネルギー線硬化性樹脂を使用する場合には、前記母剤は必ずしも必要でない。
【０１７３】
活性エネルギー線硬化性樹脂の分子量としては、例えば、５０００未満程度、好ましくは１００〜３０００程度である。活性エネルギー線硬化性樹脂の分子量が５０００を上回ると、例えば（母剤である）アクリル系重合体との相溶性が低下する傾向となる。
【０１７４】
活性エネルギー線硬化性樹脂としては、活性エネルギー線に対して比較的高い反応性を示すことができる点で、エステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、メラミン（メタ）アクリレート、アクリル樹脂（メタ）アクリレート等の分子内にアクリロイル基又はメタクリロイル基を有するオリゴマーを使用することが好ましい。
【０１７５】
活性エネルギー線硬化型粘着剤としては、選択肢が多く、活性エネルギー線照射前後での弾性率調整が行いやすい点で、活性エネルギー線硬化性を付与するための活性エネルギー線反応性官能基を化学修飾した化合物、及び、活性エネルギー線硬化性化合物（又は活性エネルギー線硬化性樹脂）を組み合わせて使用することが好ましく、特に、側鎖に（メタ）アクリロイル基が導入されたアクリル系重合体と、分子内にアクリロイル基又はメタクリロイル基を有するオリゴマーとの組み合わせが、活性エネルギー線に対して比較的高い反応性を示す（メタ）アクリロイル基を含み、しかも多様なアクリル系粘着剤から選択できるため、反応性や作業性の観点から好ましい。このような組み合わせとしては、特開２００３−２９２９１６号公報等に開示のものを利用できる。
【０１７６】
活性エネルギー線硬化性樹脂（例えば、分子内にアクリロイル基又はメタクリロイル基を有するオリゴマー）の配合量は、例えば、母剤（例えば、前記側鎖に（メタ）アクリロイル基が導入されたアクリル系重合体）１００重量部に対して、０．５〜２００重量部程度、好ましくは５〜１８０重量部、さらに好ましくは２０〜１３０重量部程度の範囲である。
【０１７７】
活性エネルギー線硬化型粘着剤には、３次元網目構造を形成する反応速度の向上を目的として、活性エネルギー線硬化性を付与する化合物を硬化させるための活性エネルギー線重合開始剤が配合されていてもよい。
【０１７８】
活性エネルギー線重合開始剤は、用いる活性エネルギー線の種類（例えば、赤外線、可視光線、紫外線、Ｘ線、電子線等）に応じて公知乃至慣用の重合開始剤を適宜選択できる。作業効率の面から、紫外線で光重合開始可能な化合物が好ましい。代表的な活性エネルギー線重合開始剤として、ベンゾフェノン、アセトフェノン、キノン、ナフトキノン、アンスラキノン、フルオレノン等のケトン系開始剤；アゾビスイソブチロニトリル等のアゾ系開始剤；ベンゾイルパーオキシド、過安息香酸等の過酸化物系開始剤等が挙げられるが、これらに限定されない。市販品として、例えば、チバ・ジャパン社製の商品名「イルガキュア１８４」、「イルガキュア６５１」等がある。
【０１７９】
活性エネルギー線重合開始剤は単独で又は２種以上を混合して使用できる。活性エネルギー線重合開始剤の配合量としては、通常、上記母剤１００重量部に対して０．０１〜１０重量部程度、好ましくは１〜８重量部程度である。なお、必要に応じて前記活性エネルギー線重合開始剤とともに活性エネルギー線重合促進剤を併用してもよい。
【０１８０】
活性エネルギー線硬化型粘着剤層の構成成分には、さらにガラスビーズ、樹脂ビーズ等のビーズが添加されていてもよい。活性エネルギー線硬化型粘着剤層にガラスビーズや樹脂ビーズを添加すると、ずり弾性率を高めて粘着力を低下させやすくなる。ビーズの平均粒径は、例えば１〜１００μm、好ましくは１〜２０μm程度である。ビーズの添加量は、活性エネルギー線硬化型粘着剤層の全体１００重量部に対して、例えば２５〜２００重量部、好ましくは５０〜１００重量部である。前記添加量が多すぎると分散不良を起こして粘着剤の塗布が困難になる場合があり、少なすぎると上記効果が不十分となりやすい。
【０１８１】
活性エネルギー線硬化型粘着剤には、上記成分のほか、活性エネルギー線硬化前後に適切な粘着性を得るために、架橋剤、硬化（架橋）促進剤、粘着付与剤、加硫剤、増粘剤等、耐久性向上のために、老化防止剤、酸化防止剤等の適宜な添加剤が必要に応じて配合される。
【０１８２】
特に活性エネルギー線硬化型粘着剤の好ましい態様としては、側鎖（メタ）アクリロイル基含有アクリル粘着剤、分子内にアクリロイル基又はメタクリロイル基を有するオリゴマー、アクリレート系架橋剤（ポリ（メタ）アクリロイル基含有化合物；多官能アクリレート）、及び紫外線光開始剤を含むＵＶ硬化型粘着剤が用いられる。
【０１８３】
活性エネルギー線硬化型粘着剤層は、例えば、粘着剤、活性エネルギー線硬化性化合物、必要に応じて溶媒を添加して調製したコーティング液を、上記収縮性フィルム層の表面に塗布する方法、適当な剥離ライナー（剥離ライナー）上に前記コーティング液を塗布して活性エネルギー線硬化型粘着剤層を形成し、これを収縮性フィルム層上に転写（移着）する方法等、慣用の方法により形成できる。転写による場合は、収縮性フィルム層との界面にボイド（空隙）が残る場合がある。この場合、オートクレーブ処理等により加温加圧処理を施し、ボイドを拡散させて消滅させることができる。活性エネルギー線硬化型粘着剤層は単層、複層の何れであってもよい。
【０１８４】
活性エネルギー線硬化型粘着剤層の厚みは、一般には１０〜４００μm（例えば２０〜３００μm）、好ましくは２０〜２００μm、さらに好ましくは３０〜１００μmである。前記厚みは、薄すぎると粘着力が不足するため被着体を保持、仮固定することが困難となりやすく、厚すぎると不経済であり、取扱性に劣る傾向がある。
【０１８５】
活性エネルギー線硬化型粘着剤層３３は、活性エネルギー線照射前は、常温（２５℃）における引張り弾性率と厚みの積が０．１〜１００N／m程度、好ましくは、０．１〜２０N／mであることが好ましく、粘着力（１８０°ピール剥離、対シリコンミラーウエハ、引張り速度３００mm／分）としては、例えば常温（２５℃）で、０．５N／１０mm〜１０N／１０mmの範囲が好ましい。活性エネルギー線照射前の引張り弾性率と厚みの積、及び、粘着力が、上記範囲を外れると、粘着力が不足するため被着体を保持、仮固定することが困難となる傾向がある。
【０１８６】
そして、活性エネルギー線硬化型粘着剤層３３は、活性エネルギー線を照射することにより硬化して、８０℃における引張り弾性率と厚みの積が５×１０3N／m以上１×１０5N／m未満（好ましくは８×１０3N／m以上１×１０5N／m未満）となることを特徴とする。活性エネルギー線照射後の引張り弾性率と厚みの積が５×１０3N／mを下回ると、十分な反作用力が生じず、熱収縮性フィルムの収縮応力によりテープ全体が折れ曲がる、波打つ(皺くちゃになる）等の不定形に変形して自発巻回を起こすことができない。
【０１８７】
そして、活性エネルギー線硬化型粘着剤層３３に活性エネルギー線を照射することにより、８０℃における引張り弾性率と厚みの積が５×１０3N／m以上１×１０5N／m未満となるように硬化することができるため、活性エネルギー線照射後は、適度な靱性あるいは剛性を備え、拘束層としての作用を発揮することができる。この拘束層により、収縮性フィルム層が熱収縮する際に、その収縮を拘束し、反作用力を生み出すことができ、例えば図８の積層体１５全体として偶力を生み出し、巻回を引き起こすための駆動力とすることができる。
【０１８８】
また、収縮性フィルム層２の主収縮方向とは異なる方向の副次的収縮が抑制され、１軸収縮性とは言っても必ずしも一様とは言えない収縮性フィルム層２の収縮方向が一方向に収斂する働きもあると考えられる。このため、例えば図８の積層体１５に収縮性フィルム層の収縮を促す熱を加えると、拘束層としての作用を発揮する硬化後の活性エネルギー線硬化型粘着剤層３３における、収縮性フィルム層２の収縮力に対する反発力が駆動力となって、積層体１５の外縁部（１端部又は対向する２端部）が浮き上がり、収縮性フィルム層２側を内にして、端部から１方向又は中心方向（通常、収縮性フィルム層２の主収縮軸方向）へ自発的に巻回して筒状巻回体が形成されるものと考えられる。
【０１８９】
さらに、ウエハ研削後によって生じる反りは、ウエハへ粘着シートを貼り合わせる際の応力が残存し、この残存応力によって収縮性フィルム層が弾性変形することによって生じると考えられるが、弾性層はこの残存応力を緩和して反りを低下させる作用をも発揮することができる。また、拘束層としての作用を発揮する硬化後の活性エネルギー線硬化型粘着剤層３３により、収縮性フィルム層の収縮変形により生じる剪断力が被着体に伝達されるのを防ぐことができるため、剥離時の被着体の破損を防止できる。さらにまた、活性エネルギー線硬化型粘着剤層３３は、硬化することにより被着体に対する粘着力が著しく低下するため、剥離時に被着体に糊残りすることなく、容易に剥離することができる。
【０１９０】
本発明における表面保護テープは、好ましくは、収縮性フィルム層２と活性エネルギー線硬化型粘着剤層３３とを重ね、ハンドローラーやラミネーター等の積層手段や、オートクレーブ等の大気圧圧縮手段を、目的に応じて適宜選択的に用いて積層させることにより製造できる。
【０１９１】
活性エネルギー線としては、例えば、赤外線、可視光線、紫外線、放射線、電子線等を挙げることができ、使用する表面保護テープの活性エネルギー線硬化型粘着剤層の種類に応じて、適宜選択できる。例えば、紫外線硬化型粘着剤層を有する表面保護テープを使用する場合は、活性エネルギー線として紫外線を使用する。
【０１９２】
紫外線の発生方式については特に限定されることがなく、周知慣用の発生方式を採用することができ、例えば、放電ランプ方式（アークランプ）、フラッシュ方式、レーザー方式等を挙げることができる。本発明においては、工業的な生産性に優れる点で、放電ランプ方式（アークランプ）を使用することが好ましく、なかでも、照射効率に優れる点で、高圧水銀ランプやメタルハライドランプを使用した照射方法を使用することが好ましい。
【０１９３】
紫外線の波長としては、紫外領域の波長を、特に限定されることなく使用することができるが、一般的な光重合に使用され、前記紫外線発生方式で使用される波長として、２５０〜４００nm程度の波長を使用することが好ましい。紫外線の照射条件としては、活性エネルギー線硬化型粘着剤層を構成する粘着剤の重合を開始させて、８０℃における引張り弾性率と厚みの積が５×１０3N／m以上１×１０5N／m未満となるように硬化させることができればよく、照射強度としては、例えば、１０〜１０００mJ／cm2程度、好ましくは、５０〜６００mJ／cm2程度である。紫外線の照射強度が１０mJ／cm2を下回ると、活性エネルギー線硬化型粘着剤層の硬化が不十分となり、拘束層としての作用を発揮することが困難となる傾向がある。一方、照射強度が１０００mJ／cm2を上回ると、活性エネルギー線硬化型粘着剤層の硬化が進行し過ぎてひび割れる傾向がある。
【０１９４】
［剥離ライナー］
本発明にて使用する表面保護テープ１には、表面の粘着剤層４、又は活性エネルギー線硬化型粘着剤層３３の平滑化及び保護、ラベル加工、ブロッキング防止の観点等から、粘着剤層４、又は活性エネルギー線硬化型粘着剤層３３の表面に剥離ライナー５（セパレータ）が設けられていてもよい。剥離ライナー５は被着体に貼り合わせる際に剥がされるものであり、必ずしも設けなくてもよい。用いられる剥離ライナー５としては、特に限定されず、公知慣用の剥離紙等を使用できる。
【０１９５】
剥離ライナー５としては、例えば、剥離処理層を有する基材、フッ素系ポリマーからなる低接着性基材や無極性ポリマーからなる低接着性基材等を用いることができる。上記剥離処理層を有する基材としては、例えば、シリコーン系、長鎖アルキル系、フッ素系、硫化モリブデン等の剥離処理剤により表面処理されたプラスチックフィルムや紙等が挙げられる。
【０１９６】
上記フッ素系ポリマーからなる低接着性基材におけるフッ素系ポリマーとしては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリフッ化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体、クロロフルオロエチレン・フッ化ビニリデン共重合体等が挙げられる。
【０１９７】
上記無極性ポリマーからなる低接着性基材における無極性ポリマーとしては、例えば、オレフィン系樹脂（例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等）等が挙げられる。なお、剥離ライナーは公知乃至慣用の方法により形成することができる。
【０１９８】
上記剥離ライナー５の厚さとしては、特に限定されるものではないが、例えば、１０〜２００μm、好ましくは、２５〜１００μm程度である。また、必要に応じて、活性エネルギー線硬化型粘着剤層が環境紫外線によって硬化するのを防止するため、剥離ライナーに紫外線防止処理等が施されていてもよい。
【０１９９】
図９に、本発明にて使用する表面保護テープが自発巻回する様子を示す。図９において、（Ａ）は収縮性フィルム層に、熱等の収縮原因となる刺激を加える前の表面保護テープ１を示す図、（Ｂ）は収縮性フィルム層に熱等の収縮原因となる刺激が付与された表面保護テープ（活性エネルギー線硬化型粘着剤層を有する場合には、活性エネルギー線硬化型粘着剤層が硬化し、粘着力が低下した後の粘着シート）がシート外縁部（１端部）から一方向（通常、収縮性フィルム層の主収縮軸方向）に巻回し始めた時の状態を示す図、（Ｃ）はシートの巻回が終了して１個の筒状巻回体が形成された時の状態（一方向巻回）を示す図である。また、（Ｄ）はシートの対向する２端部から中心に向かって（通常、収縮性フィルム層の主収縮軸方向へ）自発的に巻回して２個の筒状巻回体が形成されたときの状態（二方向巻回）を示す図である。
【０２００】
なお、粘着シートが一方向巻回を起こすのか、或いは二方向巻回を起こすのかは、活性エネルギー線硬化型粘着剤層を有する場合には、活性エネルギー線照射後の活性エネルギー線硬化型粘着剤層（拘束層としての作用を有する粘着剤層）の収縮性フィルム層に対する粘着力や引張り弾性率と厚みの積等によって変化する。
【０２０１】
図９において、Ｌは表面保護テープの巻回方向（通常、収縮性フィルム層の主収縮軸方向）の長さ（シートが円形状の場合は直径）を示し（図９（Ａ））、ｒは形成された筒状巻回体の直径（シートが円形状等の場合のように筒状巻回体の直径が巻回体の長さ方向において一定でない場合は、最大直径）を示す（図９（Ｃ）、（Ｄ））。本発明の表面保護テープにおいては、ｒ／Ｌの値は後述の実施例によって定義される値であり、好ましくは０．００１〜１の範囲である。なお、Ｌは、例えば３〜２０００mm、好ましくは３〜１０００mmとすることができる。なお、粘着剤層のない積層シートは、自発巻回性に関し、粘着剤層を有する粘着シートと同様の挙動を示す。
【０２０２】
粘着シートにおけるＬに直交する方向の長さは、例えば３〜２０００mm、好ましくは３〜１０００mm程度とすることができる。ｒ／Ｌの値は、収縮性フィルム層２、拘束層３（弾性層３１及び剛性フィルム層３２）、粘着剤層４の各層の材料の種類、組成及び厚み等、特に拘束層３を構成する弾性層３１のずり弾性率及び厚み及び剛性フィルム層３２のヤング率及び厚みを調整することにより上記の範囲にすることができる。ｒ／Ｌの値は、収縮性フィルム層、ならびに活性エネルギー線硬化型粘着剤層を有する場合には活性エネルギー線硬化型粘着剤層の各層の材料の種類、組成及び厚み等、特に活性エネルギー線照射後の活性エネルギー線硬化型粘着剤層（拘束層としての作用を有する粘着剤層）の引張り弾性率、及び厚みを調整することにより上記の範囲にすることができる。この例では、表面保護テープの形状は四角形であるが、これに限らず、目的に応じて適宜選択でき、円形状、楕円形状、多角形状等の何れであってもよい。
【０２０３】
なお、本発明にて使用する表面保護テープは、シートの巻回方向の長さＬが長くなっても同様に巻回する。したがって、当該表面保護テープに加熱等の収縮原因となる刺激を付与して収縮させたときに自発的に巻回して形成される筒状巻回体の直径ｒと該表面保護テープの巻回方向の長さＬとの比（ｒ／Ｌ）の下限値は、シートの巻回方向の長さＬが大きくなるほど小さくなるものである。
【０２０４】
図１０に、表面保護テープ１が、被着体７に貼付され、該被着体７と一括してダイシングされた後に、自発巻回する様子の一例を示す。図１０に示すように、加熱等の収縮原因となる刺激の付与により、表面保護テープ１は、一定の直径を有する筒状巻回体となる。なお、表面保護テープ１が、活性エネルギー線硬化型粘着剤層等を有している場合には、加熱等の収縮原因となる刺激の付与前に、又は加熱等の収縮原因となる刺激の付与と同時に、活性エネルギー線照射を行っても良い。
【０２０５】
図１１に、本発明の方法を用いたチップ形成の流れの一例を示すと、まず、表面保護テープを被着体に貼り合わせる（工程４１）。続いて、被着体が半導体ウエハの場合には、バックグラインドしても良い（工程４２）。工程４２は、被着体が半導体ウエハの場合に行われることがあるが、行わなくても良い。次に、被着体の表面保護テープを貼付した面と反対側の面にダイシングテープ／ダイシングリングを貼り合わせる（工程４３）。但し、ダイシングリングは貼り合わせなくても良い。
【０２０６】
工程４３に続いて、ダイシングを行う（工程４４）。次に、表面保護テープにＵＶ硬化性粘着剤を使用している場合には、ＵＶ露光を行う（工程４５）。なお、ＵＶ露光は行わなくても良い。続いて、表面保護テープを自発巻回により被着体から剥離させるために、例えば加熱を行う（工程４６）。加熱方法には特にこだわらず、ホットプレート、ヒートガン、赤外線ランプ等が、適宜、使用できる。なお加熱はピックアップ前(ダイシングテープごと）である。または加熱工程の前後に被着体を傾斜させる。その工程に続いて、自発巻回して被着体から剥離した表面保護テープを除去する（工程４７）。除去方法は、特に限定されないが、例えば、吹き飛ばす、吸引する等が挙げられる。そして、工程４３から工程４７の間の任意の１以上の段階において、被切断体を傾ける工程を設けることが必要である。
【０２０７】
被着体のダイシング時に本発明で好ましく使用される表面保護テープを用いると、剥離時の応力による被着体の破損を回避でき、例えば厚みの薄い半導体ウエハ等の脆弱な被着体をダイシングする場合であっても、それを破損したり汚染したりすることなく、簡易に表面保護テープを該被着体から剥離除去することができる。
【実施例】
【０２０８】
以下に、実施例に基づいて本発明の方法に使用する表面保護テープを詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例の表面保護テープを使用するものに限定されない。なお、弾性層及び剛性フィルム層のずり弾性率、弾性層の収縮性フィルムに対する粘着力は以下のようにして測定した。また筒状巻回体として機能するか否かを判断する指標であるｒ／Ｌは下記に示す方法により定義した。
【０２０９】
［剛性フィルム層のヤング率（８０℃）の測定］
剛性フィルム層のヤング率はＪＩＳ  Ｋ７１２７に準じ以下の方法で測定した。引張り試験機として島津社製オートグラフＡＧ−１ｋＮＧ（加温フード付き）を用いた。長さ２００mm×幅１０mmに切り取った剛性フィルムをチャック間距離１００mmで取り付けた。加温フードにより８０℃の雰囲気にした後、引張り速度５mm／分で試料を引張り、応力−歪み相関の測定値を得た。歪みが０．２％と０．４５％の２点について荷重を求めヤング率を得た。この測定を同一試料について５回繰り返し、その平均値を採用した。
【０２１０】
［弾性層のずり弾性率（８０℃）の測定］
弾性層のずり弾性率については以下の方法で測定した。各実施例及び比較例に記述されている弾性層を1．５mm〜２mmの厚みで作製した後、これを直径７．９mmのパンチで打ち抜き、測定用の試料を得た。Ｒｈｅｏｍｅｔｒｉｃ  Ｓｃｉｅｎｔｉｆｉｃ  社製の粘弾性スペクトロメーター（ＡＲＥＳ）を用いて、チャック圧１００ｇ重、ずりを周波数１Ｈｚに設定して測定を行った［ステンレススチール製８mmパラレルプレート（ティエーインスツルメンツ社製、型式７０８．０１５７）を使用］。そして、８０℃におけるずり弾性率を測定した。
【０２１１】
［弾性層の収縮性フィルムに対する粘着力の測定］
弾性層の収縮性フィルムに対する粘着力を１８０°ピール剥離試験（５０℃）により測定した。積層シート［粘着剤層（活性エネルギー線硬化型粘着剤層、非活性エネルギー線硬化型粘着剤層）を設けないこと以外は粘着シートと同様にして作製したもの。但し、弾性層に紫外線反応性架橋剤を含んでいるが未だ紫外線照射していないものについては、紫外線を５００mJ／cm2の強度で照射した後のもの］を幅１０mmの大きさに切断し、剛性フィルム層（図１の２２）側の面を剛直支持基材（シリコンウエハ）と粘着テープを用いて貼り合わせ、収縮性フィルム層側表面にピール剥離試験機の引張り治具を粘着テープを用いて貼り合わせ、これを５０℃の加温ステージ（ヒーター）上に、剛直支持基材が加温ステージに接触するように裁置した。引張り治具を１８０°方向に、引張り速度３００mm／分で引張り、収縮性フィルム層と弾性層との間で剥離が生じたときの力（N／１０mm）を測定した。なお、剛直支持基材厚みの違いによる測定誤差を無くすため、剛直支持基材厚みは３８μmとして規格化した。
【０２１２】
［非活性エネルギー線硬化型粘着剤層のシリコンミラーウエハに対する粘着力の測定］
下記製造例２及び４で得られた２種の非活性エネルギー線硬化型粘着剤の積層体をポリエチレンテレフタレート基材（厚み３８μm）にハンドローラーを用いて貼り合わせた。これを幅１０mmに切断し、剥離シートを除去した後に４インチミラーシリコンウェハ（信越半導体社製、商品名「ＣＺ−Ｎ」）にハンドローラーで貼り合わせた。これをピール剥離試験機の引張り治具を粘着テープを用いて貼り合わせた。引張り治具を１８０°方向に、引張り速度３００mm／分で引張り、収縮性フィルム層と弾性層との間で剥離が生じたときの力（N／１０mm）を測定した。
【０２１３】
なお、下記製造例１及び３で得た活性エネルギー線硬化型粘着剤層についても、測定前に紫外線露光を５００mJ／cm2を行った以外は上記と同様の方法で４インチミラーシリコンウェハ（信越半導体社製、商品名「ＣＺ−Ｎ」）に対する粘着力を測定した。その結果いずれの粘着剤においても０.３N／１０mm以下で剥離するに十分に粘着力が低下していた。このため以下実施例において、活性エネルギー線硬化型粘着剤層のシリコンウエハに対する粘着力記載は省略する。
【０２１４】
［ｒ／Ｌ値の測定］
下記実施例で得られた粘着シートを１００×１００mmに切断した後、活性エネルギー線硬化型粘着剤を用いたものについては、紫外線を約５００mJ／cm2照射した。粘着シートの１端部を収縮フィルムの収縮軸方向に沿って８０℃の温水に浸漬し、変形を促した。筒状巻回体となったものについては、直径を定規を用いて求め、この値を１００mmで除してｒ／Ｌとした。なお、粘着剤層のない積層シートは、自発巻回性に関し、粘着剤層を有する粘着シートと同様の挙動を示す。
【０２１５】
＜粘着剤層の製造＞
製造例1
［活性エネルギー線硬化型粘着剤層（１）の製造］
アクリル系重合体［組成：2-エチルヘキシルアクリレート：アクリル酸モルホリル：２−ヒドロキシエチルアクリレート＝７５：２５：２２（モル比）を共重合して得られたもの］の２−ヒドロキシエチルアクリレート由来の水酸基の５０％をメタクリロイルオキシエチルイソシアナート（２−イソシアナトエチルメタクリレート）と結合させ、側鎖にメタクリレート基を有するアクリル系重合体を製造した。
【０２１６】
この側鎖にメタクリレート基を有するアクリル系重合体１００重量部に対して、光重合性架橋剤であるアロニクスＭ３２０(東亜合成社製；トリメチロールプロパンＰＯ変性（ｎ≒２）トリアクリレート)１５重量部、光開始剤（チバガイギー社製、商品名「イルガキュア６５１」）１重量部、イソシアナート系架橋剤（商品名「コロネートＬ」）１重量部、を混合して活性エネルギー線硬化型粘着剤を調製した。
【０２１７】
得られた活性エネルギー線硬化型粘着剤を、アプリケータを用いて剥離シート（三菱ポリエステルフィルム（株）製、商品名「ＭＲＦ３８」）上に塗工した後、溶媒等の揮発物を乾燥して、厚み３５μmの活性エネルギー線硬化型粘着剤層が剥離シート上に設けられた積層体を得た。
【０２１８】
製造例２
［非活性エネルギー線硬化型粘着剤層（１）の製造］
アクリル系共重合体［ブチルアクリレート：アクリル酸＝１００：３（重量比）を共重合して得られたもの］１００重量部に、エポキシ系架橋剤（三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドＣ」）０．７重量部、イソシアナート系架橋剤（商品名「コロネートＬ」）２重量部を混合して非エネルギー硬化型粘着剤を調製した。
【０２１９】
得られた非活性エネルギー線硬化型粘着剤を、アプリケータを用いて剥離シート（三菱ポリエステルフィルム（株）製、商品名「ＭＲＦ３８」）上に塗工した後、溶媒等の揮発物を乾燥して、厚み３０μmの非活性エネルギー線硬化型粘着剤層が剥離シート上に設けられた積層体を得た。
【０２２０】
製造例３
［活性エネルギー線硬化型粘着剤層（２）の製造］
アクリル系重合体［組成：ブチルアクリレート：エチルアクリレート：２−ヒドロキシエチルアクリレート＝５０：５０：２０（重量比）を共重合して得られたもの］の２−ヒドロキシエチルアクリレート由来の水酸基の８０％をメタクリロイルオキシエチルイソシアナート（２−イソシアナトエチルメタクリレート）と結合させ、側鎖にメタクリレート基を有するアクリル系重合体を製造した。
【０２２１】
この側鎖にメタクリレート基を有するアクリル系重合体１００重量部に対して、炭素−炭素２重結合を有する官能基を２つ以上含む化合物として日本合成化学工業社製、商品名「紫光ＵＶ１７００」１００重量部、光開始剤（チバガイギー社製、商品名「イルガキュア１８４」）３重量部、イソシアナート系架橋剤（商品名「コロネートＬ」）１．５重量部を混合して活性エネルギー線硬化型粘着剤を調製した。
【０２２２】
得られた活性エネルギー線硬化型粘着剤を、アプリケータを用いて剥離シート（三菱ポリエステルフィルム（株）製、商品名「ＭＲＦ３８」）上に塗工した後、溶媒等の揮発物を乾燥して、厚み３０μmの活性エネルギー線硬化型粘着剤層が剥離シート上に設けられた積層体を得た。
【０２２３】
製造例４
［非活性エネルギー線硬化型粘着剤層（２）の製造］
アクリル系共重合体［ブチルアクリレート：アクリル酸＝１００：３（重量比）を共重合して得られたもの］１００重量部に、エポキシ系架橋剤（三菱ガス化学社製、商品名「テトラッドＣ」）０．７重量部、イソシアナート系架橋剤（商品名「コロネートＬ」）２重量部を混合して非エネルギー硬化型粘着剤を調製した。
【０２２４】
得られた非活性エネルギー線硬化型粘着剤を、アプリケータを用いて剥離シート（三菱ポリエステルフィルム（株）製、商品名「ＭＲＦ３８」）上に塗工した後、溶媒等の揮発物を乾燥して、厚み３０μmの非活性エネルギー線硬化型粘着剤層が剥離シート上に設けられた積層体を得た。
【０２２５】
参考例１
＜収縮性フィルム層/拘束層（弾性層/剛性フィルム層）/活性エネルギー線硬化型粘着剤からなる保護テープの製造＞
エステル系重合体［ダイセル化学社製ＰＬＡＣＣＥＬ  ＣＤ２２０ＰＬ：セバシン酸＝１００：１０（重量比）を共重合して得られた物］１００重量部と「コロネートＬ」（架橋剤、日本ポリウレタン工業社製）４重量部とを混合し、酢酸エチルに溶解した溶液を、剛性フィルム層としてのポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム、厚み３８μm：東レ社製、商品名「ルミラーＳ１０５」、片面易印刷処理品）の非易印刷処理面に塗布・乾燥して、弾性層を形成した。その上に収縮性フィルム層（１軸延伸ポリエステルフィルム、厚み３０μm：東洋紡社製、商品名「スペースクリーンＳ７０５３」）を重ね、ハンドローラーを用いて積層し、積層シート（エステル系粘着剤層の厚み３０μm）を得た。
【０２２６】
製造例１で得た積層体の活性エネルギー線硬化型粘着剤層（１）側を、上記で得られた積層シートの剛性フィルム層側と積層した。得られた積層体をラミネーターに通して密着させ、収縮性フィルム層／拘束層［弾性層（エステル系粘着剤層)／剛性フィルム層（ＰＥＴフィルム層）］／活性エネルギー線硬化型粘着剤（１）層／剥離シートからなる保護テープを得た。
【０２２７】
＜ダイシング性検討＞
得られた保護テープから剥離シートを剥がし、８インチシリコンミラーウエハのミラー面(表面)に、該保護テープの活性エネルギー線硬化型粘着剤（１）層側をハンドローラーで貼りあわせた。その後、ウエハ研削装置(ＤＩＳＣＯ社製、ＤＦＧ８５６０）でウエハ厚みが２００μmになるよう研削した。次に、研削した側であるウエハ裏面に、ダイシングテープとしてＮＢＤ２１７０Ｋ−Ｘ１(日東電工社製)を貼り合わせ、さらに、ダイシングリングに貼り付けた。この後、ウエハを５×５mmの個片とするよう、ダイシング装置(ＤＩＳＣＯ社製、ＤＦＤ６５１)でシングルカットダイシング(一枚のブレードで一度に、保護テープとウエハを切断)した。
【０２２８】
ダイシング後目視検査で、一つの個片でもウエハ欠け、割れが生じた、もしくは保護テープ/ウエハ界面にダイシング時の洗浄水による水浸入が認められたものを不良、そうで無い場合を良と判断した。その結果、ダイシング性は良と判断した。
【０２２９】
＜剥離性試験＞
上記ダイシング後の保護テープ付き８インチシリコンミラーウエハを、高圧水銀灯を光源としたＵＶ露光機を用いて露光(５００mJ／cm2、１５秒間)し、９０℃の吸着ホットプレートに設置し、剥離性試験を行った。１分程度経過後、ダイシングされたすべての個片上で保護テープが筒状巻回体に変形しながら剥離した。
【０２３０】
＜保護テープの回収・除去＞
次に個片化されたウエハ上から保護テープを回収・除去した。方法は次の２点で行った。
（１）ピンセット作業
ウエハ表面に傷がつかないようピンセットで剥離テープをつまみ、全数剥離するに要する時間を計測した。
（２）剥離テープ使用
８インチウェハと同寸法に切り取ったポリエチレンテレフタレートに両面テープ（日東電工社製、Ｎ５０００）を貼った剥離テープを用意し、ウエハ表面に接触しないようハンドローラーで貼り合わせて剥離し、個片化した保護テープの何％が剥離テープで回収できるかを計測した。
【０２３１】
保護テープの回収結果は表1に示すように、（１）のピンセット作業では、15分ですべての保護テープを回収することができた。保護テープは、全てほぼ同じ形の筒状巻回体に変形しており、該筒状巻回体は剛性を有しているため、ピンセットでの回収は容易であった。また、（２）の剥離テープを使用した方法によっても、すべての筒状巻回体がほぼ同一の高さを有しており、また剛性があるため、剥離テープへの筒状巻回体の接着漏れがなく、１００％回収できた。
【０２３２】
なお、上記収縮性フィルム層の主収縮方向の熱収縮率は、１００℃で７０％以上であり、エステル系粘着剤層（弾性層）のずり弾性率（８０℃）は２．８８×１０5N／m2であり、ずり弾性率と厚みの積は８．６４N／mである。エステル系粘着剤層（弾性層）の収縮性フィルム層に対する粘着力（５０℃）は１３N／１０mmであった。
【０２３３】
また、ＰＥＴフィルム層（剛性フィルム層）の８０℃におけるヤング率は３．７２×１０9N／m2であり、ヤング率と厚みの積は１．４１×１０5N／mである。ｒ／Ｌは０．０６であった。
【０２３４】
参考例２
＜収縮性フィルム層/拘束層（弾性層/剛性フィルム層）/非活性エネルギー線硬化型粘着剤からなる保護テープの製造＞
エステル系重合体［ダイセル化学社製ＰＬＡＣＣＥＬ  ＣＤ２２０ＰＬ：セバシン酸＝１００：１０（重量比）を共重合して得られた物］１００重量部と「コロネートＬ」（架橋剤、日本ポリウレタン工業社製）４重量部とを混合し、酢酸エチルに溶解した溶液を、剛性フィルム層としてのポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム、厚み３８μm：東レ社製、商品名「ルミラーＳ１０５、片面コロナ処理品）の非コロナ処理面に塗布・乾燥し、弾性層を形成した。その上に収縮性フィルム層（１軸延伸ポリエステルフィルム、厚み３０μm：東洋紡社製、商品名「スペースクリーンＳ７０５３」）を重ね、ハンドローラーを用いて積層し、積層シート（エステル系粘着剤層の厚み３０μm）を得た。
【０２３５】
製造例２で得た積層体の非活性エネルギー線硬化型粘着剤層（１）側を、上記で得られた積層シートの剛性フィルム層側と積層した。得られた積層体をラミネーターに通して密着させ、収縮性フィルム層／拘束層［弾性層（エステル系粘着剤層)／剛性フィルム層（ＰＥＴフィルム層）］／非活性エネルギー線硬化型粘着剤（１）層／剥離シートからなる保護テープを得た。
【０２３６】
＜ダイシング性検討＞
得られた保護テープを用いて、実施例１と同様に、保護テープ付き８インチシリコンミラーウエハを、シングルカットダイシングした。ダイシング後の保護テープ付き８インチシリコンミラーウエハを、実施例１と同様に目視検査した結果、ダイシング性は良と判断した。
【０２３７】
＜剥離性試験＞
上記ダイシング後の保護テープ付き８インチシリコンミラーウェハを、９０℃の吸着ホットプレート上に設置し、剥離性試験を行った。１分程度経過後、ダイシングされたすべての個片上で保護テープが筒状巻回体に変形しながら剥離した。
【０２３８】
＜保護テープの回収・除去＞
次に個片化されたウエハ上から保護テープを、参考例１と同様に、（１）（２）の回収方法で回収した。
【０２３９】
保護テープの回収結果は、表1に示すように、（１）のピンセット作業では、１５分ですべての保護テープを回収することができた。保護テープは、全てほぼ同じ形の筒状巻回体に変形しており、該筒状巻回体は剛性を有しており、ウエハから浮き上がっているため、ピンセットでの回収は容易であった。
【０２４０】
また、（２）の剥離テープを使用した方法による保護テープの回収においても、すべての筒状巻回体がほぼ同一の高さを有しており、また剛性があるため、剥離テープへの筒状巻回体の接着漏れがなく、１００％回収できた。
【０２４１】
なお、上記収縮性フィルム層の主収縮方向の熱収縮率は、１００℃で７０％以上であり、エステル系粘着剤層（弾性層）のずり弾性率（８０℃）は２．８８×１０5N／m2であり、ずり弾性率と厚みの積は８．６４N／mである。エステル系粘着剤層（弾性層）の収縮性フィルム層に対する粘着力（５０℃）は１３N／１０mmであった。
【０２４２】
また、ＰＥＴフィルム層（剛性フィルム層）の８０℃におけるヤング率は３．７２×１０9N／m2であり、ヤング率と厚みの積は１．４１×１０5N／mである。ｒ／Ｌは０．０６であった。
【０２４３】
比較例１
＜ポリオレフィン基材/活性エネルギー線硬化性粘着剤層からなる保護テープの製造＞
製造例１で得た積層体の活性エネルギー線硬化型粘着剤層（１）側を、をポリオレフィン系基材であるトレファン(東レ社製、両面コロナ処理品、厚み６０μm)と積層した。得られた積層体をラミネーターに通して密着させ、ポリオレフィン基材／ＵＶ硬化性粘着剤/剥離シートからなる保護テープを得た。
【０２４４】
＜ダイシング性検討＞
得られた保護テープを用いて、実施例１と同様に、保護テープ付き８インチシリコンミラーウエハを、シングルカットダイシングした。ダイシング後の保護テープ付き８インチシリコンミラーウエハを、実施例１と同様に目視検査した結果、ダイシング性は良と判断した。
【０２４５】
＜剥離性試験＞
上記ダイシング後の保護テープ付き８インチシリコンミラーウエハを、高圧水銀灯を光源としたＵＶ露光機を用いて露光(５００mJ／cm2、１５秒間)し、９０℃の吸着ホットプレート上に設置し、剥離性試験を行った。１分程度経過後、個片上で保護テープに不定形でわずかな変形が生じたが、目視上剥離は起きていなかった。
【０２４６】
＜保護テープの回収＞
次に個片化されたウエハ上から保護テープを、実施例１と同様に、（１）（２）の回収方法で回収した。
【０２４７】
保護テープの回収結果は、表１に示すように、（１）のピンセット作業では、１時間後も完了せず、困難をきわめた。保護テープは、それぞれランダムに変形しており、ウエハからの浮き上がりも不十分で、ピンセットでの回収は困難であった。
【０２４８】
また、（２）の剥離テープを使用した方法による保護テープの回収においても、テープに不定形でわずかな変形が生じたに過ぎないため、剥離テープへの接着が不十分であり、１３％しか回収できなかった。
【０２４９】
【表１】
2011054641.tif 000003
【０２５０】
実施例１
＜収縮性フィルム層/拘束層（弾性層/剛性フィルム層）/活性エネルギー線硬化型粘着剤からなる保護テープの製造＞
アクリル系重合体（第一レース社製、商品名「レオコートＲ１０２０Ｓ」）１００重量部、ペンタエリスリトール変性アクリレート架橋剤（日本化薬社製、商品名「ＤＰＨＡ４０Ｈ」）１０重量部、「テトラッドＣ」（架橋剤、三菱瓦斯化学社製）０．２５重量部、「コロネートＬ」（架橋剤、日本ポリウレタン工業社製）２重量部、「イルガキュア６５１」（光開始剤、チバガイギー社製）３重量部をメチルエチルケトンに溶解したポリマー溶液を、剛性フィルム層としてのポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム、厚み３８μm：東レ社製、商品名「ルミラーＳ１０」）の一方の面に塗布・乾燥し、弾性層を形成した。さらに、その上に収縮性フィルム層（１軸延伸ポリエステルフィルム、厚み６０μm：東洋紡社製、商品名「スペースクリーンＳ５６３０」）を重ね、ハンドローラーを用いて積層し、積層シート（アクリル系粘着剤層の厚み３０μm）を得た。
【０２５１】
製造例３で得た活性エネルギー線硬化型粘着剤層（２）／剥離シートからなる積層体の、活性エネルギー線硬化型粘着剤層（２）側を、上記で得られた積層シートの剛性フィルム層側と積層した。
【０２５２】
得られた積層体をラミネーターに通して密着させ、収縮性フィルム層／拘束層［アクリル系粘着剤層（弾性層）／ＰＥＴフィルム層（剛性フィルム層）］／活性エネルギー線硬化型粘着剤（１）層／剥離シートからなる保護テープを得た。
【０２５３】
実施例２
＜収縮性フィルム層/拘束層（弾性層/剛性フィルム層）/非活性エネルギー線硬化型粘着剤（２）からなる保護テープの製造＞
実施例１において、活性エネルギー線硬化型粘着剤層（２）を製造例４で得た非活性エネルギー線硬化型粘着剤層（２）とした以外は、実施例１と同様にして、保護テープを得た。
【０２５４】
なお、実施例１，２において、上記熱収縮性フィルムの主収縮方向の熱収縮率は、１００℃で７０％以上であった。また、アクリル系粘着剤層（弾性層）のずり弾性率（８０℃）は０.７２×１０6N／m2であり、ずり弾性率と厚みの積は２１.６N／mであり、アクリル系粘着剤層（弾性層）の収縮性フィルム層に対する粘着力（５０℃）は４.４N／１０mmであった。また、ＰＥＴフィルム層（剛性フィルム層）の８０℃におけるヤング率は３．７２×１０9N／m2であり、ヤング率と厚みの積は１．４１×１０5N／mであった。ｒ／Ｌは０．０４５であった。
【０２５５】
比較例２
ポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム、厚み５０μm：東レ社製、商品名「ルミラーＳ１０５」）の易接着処理面側に、製造例３で得た積層体の活性エネルギー線硬化型粘着剤層（２）側と積層した。得られた積層体をラミネーターに通して密着させ、基材フィルム層／活性エネルギー線硬化型粘着剤層／剥離シートからなる保護テープを得た。
【０２５６】
比較例３
比較例２において、活性エネルギー線硬化型粘着剤層（２）を製造例４で得た非活性エネルギー線硬化型粘着剤層（２）とした以外は、比較例２と同様の保護テープを得た。
【０２５７】
比較例４
比較例２において、ポリエチレンテレフタレートフィルムをエチレン酢酸ビニル共重合体（三井デュポン社製、「エバフレックスＰ１００７」）を押し出し成形にて１００μｍの厚みにしたフィルムにコロナ処理にて易接着処理したものとした以外は、比較例２と同様の保護テープを得た。
【０２５８】
比較例５
比較例２において、ポリエチレンテレフタレートフィルムを、低分子量ポリエチレンを押し出し成形にて１００μmの厚みにしたフィルムにコロナ処理にて易接着処理したものに変更した以外は、比較例１と同様の保護テープを得た。
【０２５９】
＜バックグラインド工程＞
実施例１，２及び比較例２〜５で得られた保護テープをハンドローラーにて８インチシリコンミラーウエハに貼り付けた。その後、以下の条件でバックグラインドし、所定の厚みのシリコンウエハと保護テープの積層体を得た。
バックグラインド条件
装置：ディスコ社製、商品名「ＤＦＧ−８５６０」
Ｚ１ホイール：ディスコ社製、商品名「ＧＦ−０１−ＳＤ３６０−ＶＳ−１００」＃                  ３６０砥粒
Ｚ２ホイール：ディスコ社製、商品名「ＢＧＴ２７０ＩＦ−０１−１−４／６−Ｂ−                  Ｋ０９」＃２０００砥粒
Ｚ２研削量：５０μm
ウエハ仕上げ厚み：２５０μm
【０２６０】
＜ダイシングテープ貼り付け工程＞
バックグラインド工程にて得られたシリコンウエハと実施例１，２及び比較例３〜６の保護テープとの積層体の保護テープと反対側の面（シリコンウエハ側）に、ハンドローラーにて、ダイシングテープ（日東電工社製、ＮＢＤ−２１７０Ｋ−Ｘ１）を貼り付け、それぞれの積層体についてダイシング用試料を得た。
【０２６１】
＜ダイシング工程＞
ダイシングテープ貼り付け工程で得られた各ダイシング用試料に、以下の条件でダイシングを実施してチップ形状とし、チップ付きワークを得た。
ダイシング条件
装置：ディスコ社製、商品名「ＤＦＤ−６５１」
ダイシングブレード：ディスコ社製ＮＢＣ−ＺＨ２０５Ｏ−２７ＨＥＥＥ
ダイシングスピード：８０mm／sec
ブレード回転数：４００００rpm
ブレードハイト：５０μm
切削水量：１L／min
チップサイズ：１０mm×１０mm
【０２６２】
＜保護テープへの紫外線照射＞
次いで、活性エネルギー線硬化型粘着剤層を用いている、実施例１、比較例２，４，５に関し、保護テープ側から下記条件で紫外線を照射した。
紫外線照射条件
装置：日東精機社製、商品名「ＮＥＬ  ＵＭ−８１０」
紫外線照度：２０mW／cm2
紫外線光量：１０００mJ／cm2
【０２６３】
＜保護テープの加熱・除去＞
（１）熱風による保護テープ除去
上記で得られた、実施例１，２及び比較例２〜５で得られた保護テープを貼付したチップ付きワークを、ダイシングテープ側が接するように、ホットプレート上に設置・吸着した。該ホットプレートは、表面温度６０℃とした吸着機構を有するものを使用した。
【０２６４】
次いで、ドライヤー(石崎電気製作所社製、プラジェット、ＰＪ２１４Ａ）を用いて、保護テープ側から保護テープ表面温度が８０℃となるように、４５度の角度で熱風を３分間当てた。
【０２６５】
その後、熱風を止め、チップ付きワークをホットプレートから除去し、保護テープの剥離成功数を目視にて数えた。[剥離成功数]を[チップ付きワーク上の全チップ数]で除した値を、熱風による保護テープ除去成功率とした。そして、チップ付きワークを水平においた場合のチップと保護テープの接着力と、チップ付きワークを垂直や反転等に傾けて置いた場合のチップと保護テープの接着力との間には実質的な違いはないので、チップ付きワークを垂直や反転等に傾けて保護テープを除去した除去成功率の結果は、実施例のようにチップ付きワークを水平において実験した保護テープの除去成功率に関する結果に基づいて確認できる。
【０２６６】
（２）剥離テープによる保護テープ除去
上記で得られた、実施例１，２及び比較例２〜５で得られた保護テープを貼付したチップ付きワークを、ダイシングテープ側が接するように、ホットプレート上に設置・吸着した。該ホットプレートは、表面温度６０℃とした吸着機構を有するものを使用した。
【０２６７】
次いで、保護テープ表面温度が８０℃となるようにホットプレートの温度を制御し、３分間放置した。その後、保護テープ表面に、剥離テープ（日東電工社製、商品名「ＥＬＰ  ＢＴ−３１５」を２３０mm，約４Kgのハンドローラーを用いて貼り付け、３０秒静置させた後、剥離角度約１２０度、剥離点移動速度３００mm／minで剥離した。
【０２６８】
その後、チップ付きワークをホットプレートから除去し、保護テープの剥離成功数を目視にて数えた。[剥離成功数]を[チップ付きワーク上の全チップ数]で除した値を剥離テープによる保護テープ除去成功率とした。
【０２６９】
実施例１，２及び比較例２〜５において、保護テープ除去実験を実施した結果を表２に示す。比較例２〜５では、全て剥離きっかけを得難く、保護テープ除去率は低かった。実施例１，２では、保護テープを完全に除去する事ができた。そして、この結果からみて、実施例１，２において、保護テープ除去時にチップ付きワークを傾けても、保護テープを確実に除去できることは当業者が十分に理解できることである。
【０２７０】
【表２】
2011054641.tif 000004
【符号の説明】
【０２７１】
１    表面保護テープ
１’  加熱等の収縮原因となる刺激の付与による、変形後の表面保護テープ
１０〜１５  表面保護テープの一例の積層体
２    収縮性フィルム層
３    拘束層
３１  弾性層
３２  剛性フィルム層
３３  活性エネルギー線硬化型粘着剤層
４    粘着剤層
５    剥離ライナー
６    中間層
７    ウエハ等の被着体
８    ダイシングテープ
９    ダイシング用の試料
１９  ダイシングリング
１０１    従来例の表面保護テープ
１０１’  従来例の加熱変形後の表面保護テープ
１０９    従来例のダイシング用の試料
【図１】
2011054641.tif 000005
【図２】
2011054641.tif 000006
【図３】
2011054641.tif 000007
【図４】
2011054641.tif 000008
【図５】
2011054641.tif 000009
【図６】
2011054641.tif 000010
【図７】
2011054641.tif 000011
【図８】
2011054641.tif 000012
【図９】
2011054641.tif 000013
【図１０】
2011054641.tif 000014
【図１１】
2011054641.tif 000015
【図１２】
2011054641.tif 000016