(57)【要約】【課題】翼排気部における各構成部材間の伝熱効率を向上する。【解決手段】スペーサ５とステータ翼６が一体に形成されたステータ翼構成体７が軸方向に多段に積層されている。下段側のスペーサ５の段部５ｆと上段側のスペーサ５の下端面５ａとの間には間隙Ｇが形成され、この間隙Ｇに柔軟な材料で形成されたＯリング２１が介装されている。Ｏリング２１はスペーサ５の溝部５ｆおよび下端面５ａの各表面が有する微細な凹凸に倣って変形するため、接触部の接触面積が増大し、これにより、伝熱効率が向上する。【選択図】図５
2011220148.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数段に設けられたロータ翼を有し回転可能に支持されたロータと、
スペーサを介して前記ロータ翼と軸方向に交互に配置された複数段のステータ翼と、
前記スペーサと前記ステータ翼との間または前記軸方向に隣接して配置されたスペーサの間の少なくとも一方に介装され、前記スペーサと前記ステータ翼、または前記スペーサ相互に接触する熱伝達部材とを具備してなり、
前記熱伝達部材は、前記スペーサと前記ステータ翼、または前記スペーサ相互が直接接触する場合よりも伝熱効率が大きくなるように接触面積が増大されて接触していることを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項２】
請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、前記スペーサと前記ステータ翼とは、それぞれ、別部材により形成され、前記各ステータ翼は軸方向に隣接する前記スペーサによって支持されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項３】
請求項２に記載のターボ分子ポンプにおいて、前記スペーサは内周側と外周側とが段差を有する階段状に形成され、前記熱伝達部材は、軸方向に隣接する前記スペーサ相互の外周側の間または内周側の間に介装されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項４】
請求項２に記載のターボ分子ポンプにおいて、前記スペーサは内周側と外周側とが段差を有する階段状に形成され、前記熱伝達部材は、軸方向に隣接する前記スペーサ相互の外周側の間および内周側の間のいずれか一方に介装され、他方はスペーサ同士、あるいはスペーサとステータ翼とが直接接触していることを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項５】
請求項２または３に記載のターボ分子ポンプにおいて、前記熱伝達部材は、軸方向に隣接するスペーサの間、および前記軸方向に隣接するスペーサの間に配置されたステータ翼の三つの部材に熱伝達可能に設けられていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項６】
請求項１に記載のターボ分子ポンプにおいて、前記スペーサと前記ステータ翼とは一つの素材により一体化されたステータ構成体として形成され、軸方向に隣接して配置された前記ステータ翼構成体の間に、前記熱伝達部材が介装されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項７】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載のターボ分子ポンプにおいて、前記熱伝達部材は、Ｏリングまたはコンパウンドの少なくとも１つを含むことを特徴とするターボ分子ポンプ。
【請求項８】
複数段に設けられたロータ翼を有し回転可能に支持されたロータと、
別部材または一つの部材として一体に形成されたスペーサおよびステータ翼からなり、前記ロータ翼部と軸方向に交互に配置された複数段のステータ翼構成体とを具備し、
軸方向に隣接する前記スペーサと前記ステータ翼の一方の部材に一体に設けられた先鋭な突起を他方の部材に食い込ませた熱伝達機構を有することを特徴とするターボ分子ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ターボ分子ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置または分析装置等を中真空から超高真空にする際、ターボ分子ポンプが用いられる。
ターボ真空ポンプは、真空チャンバ内におけるプロセス反応を高品質および高効率に維持するため、真空チャンバ内に供給されるプロセスガス、およびプロセス反応による副生成物を継続的に排気する。プロセスガスおよび反応生成物は、ロータ翼およびステータ翼と衝突および摩擦を繰り返しながら排気される。この過程で、ロータ翼およびステータ翼の温度は次第に上昇する。ロータ翼は高速回転するため、クリープ強度の観点より、長期運転において一定温度以下に保持する必要がある。
【０００３】
ターボ分子ポンプ内は高真空であることから、特に、磁気軸受式型では、ロータ翼とステータ翼との間での熱交換は輻射伝熱が支配的である。一方、ロータ翼からステータ翼に移動した熱は、ステータ翼とスペーサとの接触により抜熱される。つまり、ステータ翼とスペーサとの熱交換は、接触部の接触面積に比例する熱伝導である。ここで、スペーサはロータ翼とステータ翼とを所定の間隔に維持するため、ステータ翼の外周部に、ステータ翼を挟んで積層されるリング形状の部材である。
ロータ翼とステータ翼とが多段に積層されることにより形成される翼排気部を吸気口側と排気口側に二分し、スペーサ相互の接触面積を、排気口側が吸気口側よりも大きくなるようにして吸気口側から排気口側へ伝熱する際の温度勾配を吸気口側でより大きくした構造も知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−３４８７６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記先行文献にも記載されている如く、スペーサ相互の接触は、スペーサ上に直接スペーサを載置する構造が採用されている。このスペーサの境界における接触は、各スペーサの表面には微視的には微小な凹凸が形成されているため、通常、点接触が支配的となっている。
このような点接触による熱交換では、供給されるプロセスガスが増大される近年の高性能、高品質製品を製造するために使用されるターボ真空ポンプの抜熱構造として十分ではなくなっている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に係る発明のターボ分子ポンプは、複数段に設けられたロータ翼を有し回転可能に支持されたロータと、スペーサを介して前記ロータ翼と軸方向に交互に配置された複数段のステータ翼と、前記スペーサと前記ステータ翼との間または前記軸方向に隣接して配置されたスペーサの間の少なくとも一方に介装され、前記スペーサと前記ステータ翼、または前記スペーサ相互に接触する熱伝達部材とを具備してなり、前記熱伝達部材は、前記スペーサと前記ステータ翼、または前記スペーサ相互が直接接触する場合よりも伝熱効率が大きくなるように接触面積が増大されて接触していることを特徴とする。
また、請求項８に係る発明のターボ分子ポンプは、複数段に設けられたロータ翼を有し回転可能に支持されたロータと、別部材または一つの部材として一体に形成されたスペーサおよびステータ翼からなり、ロータ翼部と軸方向に交互に配置された複数段のステータ翼構成体とを具備し、軸方向に隣接するスペーサとステータ翼の一方の部材に一体に設けられた先鋭な突起を他方の部材に食い込ませた熱伝達機構を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
この発明によれば、スペーサとステータ翼の間、またはスペーサ相互の間、あるいはステータ構成体の間の熱伝達面積を増大して伝熱効率を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】この発明のターボ分子ポンプの実施形態１を示す断面図。
【図２】図１に図示されたスペーサが一体に形成されたステータ翼構成体の平面図。
【図３】図１に図示されたスペーサが一体に形成されたステータ翼構成体の側面図。
【図４】図２に図示されたステータ翼構成体のＩＶ−ＩＶ線切断断面図。
【図５】図４に図示されたステータ翼構成体の伝熱機構を説明するための要部拡大断面図。
【図６】この発明のターボ分子ポンプの実施形態１の変形例を示す断面図。
【図７】この発明のターボ分子ポンプの実施形態２を示す断面図。
【図８】この発明のターボ分子ポンプの実施形態２の要部の変形例１を示す断面図。
【図９】この発明のターボ分子ポンプの実施形態２の要部の変形例２を示す断面図。
【図１０】この発明のターボ分子ポンプの実施形態３を示す断面図。
【図１１】この発明のターボ分子ポンプの実施形態３の要部の変形例１を示す断面図。
【図１２】この発明のターボ分子ポンプの実施形態４を示す断面図。
【図１３】この発明のターボ分子ポンプの実施形態４の要部の変形例を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
（実施形態１）
以下、図を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。図１は、本発明によるターボ分子ポンプの実施形態１を示す断面図である。図１に図示されたターボ分子ポンプ１は磁気軸受式ターボ分子ポンプである。ターボ分子ポンプ１のケース部材１１は、シール部材４２により外部から密封するように構成された上ケース１２とベース１３とを備えている。ケース部材１１の内部中心には、複数段のロータ翼４ａ、およびロータ円筒部４ｂを有するロータ４が回転可能に配置されている。
【００１０】
このターボ分子ポンプ１は、上ケース１２の内部空間に翼排気部２を有し、ベース１３の内部空間にネジ溝排気部３を有する複合タイプのターボ分子ポンプである。翼排気部２は、それぞれ、平面が円形状に形成された複数段のロータ翼４ａと、それぞれが、スペーサ５とステータ６が成形により一体に形成された複数のステータ翼構成体７とで構成されている。ネジ溝排気部３はロータ円筒部４ｂとネジステータ８とで構成されている。
【００１１】
ロータ翼４ａとステータ翼構成体７とは、ポンプの軸方向（図示上下方向）に交互に配設されている。軸方向に隣接するステータ構成体７の間には、Ｏリング（熱伝達部材）２１が設けられている。ステータ構成体７およびＯリング２１については後述する。ベース１３上における上ケース１２の内面にはリング状のスペーサ５’が一段載置され、このスペーサ５’上に、ステータ構成体７が複数段積層されている。
【００１２】
円筒形状のネジステータ８の内周面にはネジ溝（図示せず）が形成されている。ロータ４の下部に設けられたロータ円筒部４ｂには、ネジステータ８の内周面に僅かなギャップで対面するネジ溝（図示せず）が形成されている。ネジステータ８は、ボルト４１によってベース１３に固定されている。
【００１３】
ロータ４は、ベース１１に設けられたラジアル磁気軸受３１およびスラスト磁気軸受３２により非接触状態で支持される。磁気軸受３１、３２により非接触で支持されているロータ４は、モータ３５により回転駆動される。ロータ４の磁気浮上位置は、ギャップセンサ３３ａ、３３ｂ、３３ｃにより検出される。３４は、ロータ４が磁気軸受３１、３２による磁気作用で浮上されていない状態において、ロータ４を支持する機械式の保護ベアリングである。
【００１４】
上ケース１２の上部には、フランジ１７が形成されている。フランジ１７の中央部には、吸気口１５が形成されている。フランジ１７は、締結部材（図示せず）により、図示しない真空チャンバの排気系のフランジに取りつけられる。モータ３５によりロータ４を回転駆動すると真空チャンバ内の気体分子が吸気口１５から流入する。吸気口１５から流入した気体分子は翼排気部２において、下流側へと叩き飛ばされる。図示はしないが、ロータ翼４ａとステータ翼６とは翼の傾斜の向きが逆であり、且つ、傾斜角度は、高真空側である前段側から下流側である後段側に向けて、気体分子が逆行しにくい角度に変化して形成されている。気体分子は、翼排気部２において圧縮されて図示下方のネジ溝排気部３へ移送される。
【００１５】
ネジ溝排気部３においては、ネジステータ８に対してロータ円筒部４ｂが高速回転すると粘性流による排気機能が発生し、翼排気部２からネジ溝排気部３へと移送された気体はさらに圧縮されながら排気口４５方向へ移送され真空排気される。なお、本実施の形態では、ネジ溝構成を有するネジ溝排気部３としているが、ネジ溝構成以外の構成も含め、粘性流による排気機能を発揮する部分はドラッグポンプ部と呼ばれる場合もある。
【００１６】
図２は、図１に図示されたステータ翼構成体７の平面図であり、図３はステータ翼構成体７の側面図であり、図４は、図２のＩＶ−ＩＶ線切断断面図である。図３および図４においては、図示の都合上、ステータ構成体７の直径方向に比して厚さ方向を大きい尺度としている。また、図４では、ステータ構成体７を２段に積層した状態を示す。
【００１７】
各ステータ翼構成体７は、円形状のロータ翼４ａが多段に一体に形成されたロータ４の各ロータ翼４ａの間に配置される。このため、全体として、平面円形状のステータ構成体７は、少なくとも２分割以上、しかも、おのおのは円周角が１８０度以下とされた、分割されたステータ構成部を一体化して形成される。
【００１８】
本実施形態では、ステータ翼構成体７を２つに分割されたステータ翼構成部７ａ、７ｂにより構成する場合で説明する。分割された各ステータ構成部７ａ、７ｂは、境界面７ｃを対称面とする線対称に形成されている。各ステータ構成部７ａおよび７ｂは、それぞれ、多数のステータ翼６を有する。多数のステータ翼６は内側連結部７ｄ、７ｄ’および外側連結部７ｅ、７ｅ’で連結され、半円形のリング状に形成されている。各ステータ翼６は、円周方向に沿って傾斜して形成されている。ロータ翼６の傾斜角度は各段によって異なり、吸気口１５側からロータ円筒部４ｂ側に向けて、徐々に、水平に近づくように異なる角度に形成されている。
【００１９】
スペーサ５は、外周側の下端面５ａが内周側の下端面５ｂより下方に延びている。内周側の下端面５ｂには、軸方向に隣接するスペーサ５の上端面５ｃを嵌合する下部溝５ｄが半環状に形成されている。また、外周側面にはＯリング５１を嵌合する側部溝５ｅが形成されている。線対称の形状を有するステータ翼構成部７ａと７ｂとを、互いに外周方向の反対側からロータ翼４ａ間に差し込み、境界面７ｃで接触させた状態でスペーサ５の側部溝５ｅにＯリング５１を嵌め込むことにより一体化する。これにより、各段のステータ翼構成部７が形成される。
【００２０】
なお、図４において、下段側のステータ翼構成体７と上段側のステータ翼構成体７とは、境界面７ｃの位置が円周方向にずれた位置となっている。これは、各ステータ翼構成体７の境界面７ｃの位置が円周方向で一致すると、この境界面７ｃに沿って、気体分子の逆行経路が形成されてしまうので、これを防止するためである。
【００２１】
ステータ翼構成体７のスペーサ５の下部溝５ｄを下段側のステータ翼構成体７のスペーサ５の上端面５ｃに嵌合することにより、各ステータ翼構成体７が径方向にずれるのを防止される。
なお、Ｏリング５１は、ステータ翼構成部７ａと７ｂとを一体化する機能と共に、上ケース１２（図１参照）との間隙をシールする機能を有している。このシール機能により、翼排気部２の下段側から上段側に気体が逆行するのを防止する。
【００２２】
各ステータ翼構成部７ａ、７ｂには、外周面におけるスペーサ５の側部溝５ｅと上端面５ｃとの間に段部５ｆが形成されている。
下段側のステータ翼構成体７のスペーサ５の上端面５ｃに、上段側のステータ翼構成体７のスペーサ５の下部溝５ｄを載置した状態で、下段側のステータ構成体７のスペーサ５の段部５ｆと上段側のステータ翼構成体７のスペーサ５の下端面５ａとの間に間隙Ｇが形成される寸法となっている。この間隙Ｇに弾性を有するＯリング２１が設けられている。Ｏリング２１は、ゴム、中空の金属、あるいはテフロン（登録商標）等のプラスチックで形成されており、その太さ（直径）は間隙Ｇより少し大きいサイズとなっている。好ましくは、熱伝導率の高い素材が用いられる。
本発明のターボ分子ポンプ１では、軸方向に積層された各段のステータ翼構成体７を、その境界部に配置されたＯリング２１により熱伝達を行うようにしたことにより、伝熱効率を向上している。
【００２３】
図５は、図４のＯリング２１付近の拡大図であり、以下、Ｏリング２１の作用について説明する。ステータ構成体７は、通常、アルミニウムで形成されているが、各表面には製造時の表面粗さに由来した微細な凹凸が形成されている。スペーサ５相互、あるいはスペーサ５とステータ翼６とを接触させる熱伝達の場合、通常、各部材の表面に形成された微細な凹凸のために、その接触状態は点接触が支配的となっており、伝熱効率は小さい。
【００２４】
本実施形態では、下段側のステータ翼構成体７のスペーサ５の段部５ｆ上にＯリング２１を載置し、上段側のステータ翼構成体７のスペーサ５の下端面５ａをＯリング２１の上面側から押し付ける。この押し付けによって、下端面５ａおよび段部５ｆの表面に微小な凹凸があっても、Ｏリング２１の接触面は、ある程度、微小な凹凸に倣って弾性変形する。すなわち、Ｏリング２１の表面層により接触部における表面の微細な凹凸が埋められる。このため、ステータ翼構成体７とＯリング２１との接触面積が増大し、その伝熱効率は、金属材料同士の接合による伝熱効率に比べて大きくなる。
【００２５】
この場合、伝熱効率の要素としては、接触面積の他に熱伝導率がある。すなわち、接触面積と熱伝導率の積算によって、伝熱効率を対比する必要がある。一般的には、Ｏリングに用いられる素材のゴム系材料の熱伝導率はアルミニウム等の金属材料の熱伝導率に比してかなり小さい。しかし、上述した如く、伝熱効率は熱伝導率と接触面積との積算によってもとめられるものであり、Ｏリングを介在した場合における接触面積の増大はＯリングが介在しない場合に比して桁違いに大きいものであり、この結果として極めて大きな伝熱効率の向上を図ることが可能である。
なお、図５においては、表面の微細な凹凸は、接触部分の表面においてのみ図示し、且つ、誇張して図示されている。
【００２６】
また、図４および図5から明らかな通り、下段側のステータ構成体７のスペーサ５の上端面５ｃと上段側のステータ構成体７の下部溝５ｄの表面とは、直接、接触している。つまり、この実施形態では、熱伝達は、下段側のスペーサ５の段部５ｆと上段側の下端面５ａとの間に介装されたＯリング２１の部分と、下段側のスペーサ５の上端面５ｃと上段側のスペーサ５の下部溝５ｄが直接接触する境界の２箇所で行われる。
【００２７】
この場合、Ｏリングを用いない従来の構造において２箇所の境界で接触する構造とするためには、２箇所における公差を０としなければならないので、採用することは不可能であった。本発明では、一方はＯリング２１を介装して熱伝達を行う構造であり、Ｏリング２１は、弾性変形するので、直接接触する部位の公差をこの弾性変形量内に収めることにより、複数箇所で熱伝達可能に接触する構造とすることが可能である。この点においても、スペーサの軸方向への伝熱効果を改善することができる。
【００２８】
（実施形態１の変形例）
図６は、実施形態１の変形例を示す。図４に図示された実施形態１においては、上段側のステータ翼構成体７から下段側のステータ構成体７に熱伝達するためのＯリング２１は、下段側のスペーサ５の段部５ｆと上段側のスペーサ５の下端面５ａの間に配置されている。
図６に図示された変形例では、ステータ翼構成体７から下段側のステータ構成体７に熱伝達するためのＯリング２１は、下段側のステータ翼構成体７のスペーサ５の上端面５ｃと上段側のステータ翼構成体７の下部溝５ｄの間に配置されている。
【００２９】
また、下段側のステータ構成体７のスペーサ５の段部５ｆと上段側のステータ構成体７の下端面５ａとは、直接、接触している。つまり、この変形例においても、熱伝達は、下段側のスペーサ５の上端面５ｃと上段側の下部溝５ｄとの間に介装されたＯリング２１の部分と、スペーサ５の段部５ｆとスペーサ５の下端面５ａとが直接接触する境界の２箇所で行われる。
なお、図６に図示された変形例に図４に図示された実施形態１の構造を組合せる構造とすることもできる。つまり、図６において、下段側のスペーサ５の段部５ｆと上段側のスペーサ５の下端面５ａとの間にもＯリング２１を介装する構造としてもよい。
【００３０】
（実施形態２）
図７は、本発明のターボ分子ポンプにおける翼排気部２の実施形態２を示す。
実施形態２においては、スペーサ５とステータ翼６とは分離されている。下段側のスペーサ５の上端面５ｃと上部側のスペーサ５の内周側の下端面５ｂとの間には、両部材に接触するＯリング２１と共に、このＯリング２１に接触するステータ翼６の外周縁が配置されている。すなわち、この実施形態２においては、上段側のスペーサ５と、下段側のスペーサ５と、ステータ翼６との３つの部材が、１つのＯリング２１により相互に熱伝達可能となっている。
【００３１】
（実施形態２の変形例１）
図８は実施形態２の変形例１を示す。図８に図示された変形例１では、下段側のスペーサ５の段部５ｆと上段側のスペーサ５の下端面５ａとの間隙ＧにＯリング２１が配置されている。また、下段側のスペーサ５の上端面５ｃと上部側のスペーサ５の内周側の下端面５ｂとの間にステータ翼６の外周縁が配置されている。
【００３２】
（実施形態２の変形例２）
図９は実施形態２の変形例２を示す。変形例２は、図８に図示された変形例１の構造に図７に図示された実施形態２の構造を適用した構造を有する。
すなわち、変形例２は、下段側のスペーサ５の段部５ｆと上段側のスペーサ５の下端面５ａとの間に形成された間隙ＧにＯリング２１が配置されている。また、下段側のスペーサ５の上端面５ｃと上部側のスペーサ５の内周側の下端面５ｂとの間には、両部材に接触するＯリング２１と共に、このＯリング２１に接触するステータ翼６の外周縁が配置されている。
この変形例２では、２箇所にＯリング２１が配置された構造を有するので、伝熱効率の一層の向上を図ることができる。
【００３３】
（実施形態３）
スペーサ５相互の間、スペーサ５とステータ翼６との間、あるいはステータ翼構成体７相互の熱伝達手段として、１つの独立した部材を介装する必要はない。図１０に本発明の実施形態３として図示されたターボ分子ポンプにおける翼排気部２は、そのような熱伝達機構を用いた構造の一例を示す。
【００３４】
実施形態３におけるスペーサ５の上端面５ｃおよび下端面５ａには、先鋭な半円環状の突起２２が、成形によりスペーサ５に一体に形成されている。このスペーサ５の上端面５ｃおよび下端面５ａに形成された先鋭な突起２２は、ステータ翼６の外周リングの上面および下面から内部に食い込んでいる。
すなわち、軸方向に隣接するスペーサ５に設けた先鋭な突起２２をステータ翼６に食い込ませた熱伝達機構が構成されている。
【００３５】
この熱伝達機構を形成するには、スペーサ５の材料をステータ翼６の材料より硬度の高いものを用いる。そして、下段側のスペーサ７の上端面５ｃに形成された先鋭な突起２２にステータ翼６の先端部の下面を押し込み、次に、ステータ翼６の先端部の上面に上段側のスペーサ５の内周側の下端面５ｂに形成された先鋭な突起２２を押し込む。
食い込んだ突起２２とステータ６の外周リングとは、ステータ翼６の内部で密着するので、接触面積が大きくなる。従って、スペーサ５とステータ翼６の熱伝達率を向上することができる。
【００３６】
（実施形態３の変形例１）
図１１に図示された実施形態３の変形例１は、図１０に図示された熱伝達機構３に、さらに、Ｏリング２１による熱伝達構造を付加した構造を有する。
具体的には、実施形態３の変形例１では、スペーサ５の上端面５ｃおよび下端面５ａに形成された先鋭な突起２２は、ステータ６の外周リングの上面および下面から内部に食い込んでいる。また、下段側のスペーサ５の段部５ｆと上段側のスペーサ５の下端面５ａとの間にＯリング２１が配置されている。
【００３７】
すなわち、実施形態３の変形例１では、一方のステータ翼構成体７の突起２２を他方のステータ翼構成部７の表面から内部に食い込ませた熱伝達機構と、軸方向に隣接するスペーサ５の間に介装された熱伝達部材としてのＯリング２１を備えている。
【００３８】
図１０および図１１に図示する実施形態３およびその変形例において、スペーサ５の硬度をステータ翼６の硬度より高くする必要がある。この場合、例えば、スペーサ５の材料としてステンレス鋼を用い、ステータ翼６の材料としてアルミニウムを用いてもよい。すなわち、異種の材料を用いてもよい。また、スペーサ５の材料として、ジュラルミン、超ジュラルミンのような硬度の高いアルミニウム合金を用い、ステータ翼６の材料として、一般アルミニウムを用いてもよい。
【００３９】
（実施形態４）
図１２は、本発明のターボ分子ポンプの実施形態４を示す。この実施形態４では、熱伝達部材としてコンパウンドを用いた構造を有する。
具体的には、下段側のスペーサ５の上端面５ｃとステータ翼６の先端部の下面との間、およびステータ翼６の先端部の上面と上段側のスペーサ５の内周側の下端面５ｂとの間にコンパウンド２３が介在されている。コンパウンド２３は、ゴムやプラスチック等の絶縁性材料または金属等の導電性材料のいずれでもよく、要は、スペーサ５およびステータ翼６の微細な凹凸を埋め、接触部の接触面積を増大するものであればよい。スペーサ５およびステータ翼６への付着は、コンパウンドを液状またはペースト状としてスプレーにより散布したり、ディスペンサにより塗布したりする方法を用いればよい。なお、熱伝導率の高いコンパウンドを用いるのが望ましい。これは、Ｏリングについて上述した説明と同様の理由である。
【００４０】
（実施形態４の変形例）
図１３に図示された実施形態４の変形例は、図１２に示された実施形態４における熱伝達部材としてコンパウンドと共にＯリングを用いた構造を有する。
図１３においては、下段側のスペーサ５の上端面５ｃと上段側のスペーサ５の内周側の下端面５ｂとの間にＯリング２１が配置され、このＯリング２１にステータ翼６の外周縁が接触している。また、ステータ翼６の外周縁における下面と下段側のスペーサ５との間と、ステータ翼６の外周縁における上面と上段側のスペーサ５との間にはコンパウンド２３が介在されている。
これにより、下段側のスペーサ５、上段側のスペーサ５およびステータ翼６の３つの部材が、Ｏリング２１およびコンパウンド２３の２つの異なる熱伝達部材により熱伝達が可能となっている。
【００４１】
以上の通り、本発明のターボ分子ポンプによれば、スペーサ５とステータ翼６との間または軸方向に隣接して配置されたスペーサの間の少なくとも一方にＯリング２１あるいはコンパウンド２３のような熱伝達部材を介装したので、接触部における接触面積が増大し、伝熱効率を向上するという効果を奏する。上記において、スペーサ５とステータ翼６は、別部材で構成されていてもよいし、成形により一体に形成されていてもよい。
【００４２】
また、本発明のターボ分子ポンプによれば、軸方向に隣接するスペーサ５に先鋭な突起２２を設け、この突起２２をステータ翼６に食い込ませた熱伝達機構を有するので、接触面積が増大し、伝熱効率を向上するという効果を有する。この場合、突起２２をステータ翼６に形成し、スペーサ５に食い込ませるようにしてもよい。
【００４３】
なお、熱伝達部材はＯリング２１またはコンパウンド２３に限られるものではなく、例えば、楔のように、熱伝達を行う複数の部材に接触して橋渡しをするように介装されるものであればよい。
また、磁気軸受式ターボ分子ポンプを実施形態として説明したが、本発明は磁気軸受式に限らず適用することが可能である。
【００４４】
また、本発明は、ネジ溝排気部３を有するターボ分子ポンプを実施形態としたが、ロータ４にネジ溝が形成されたロータ円筒部４ｂを有していないターボ分子ポンプに対してもタ起用することが可能である。
【００４５】
その他、本発明のターボ分子ポンプは、発明の趣旨の範囲において種々変形して適用することが可能であり、要は、複数段に設けられたロータ翼を有し回転可能に支持されたロータと、スペーサを介して前記ロータ翼と軸方向に交互に配置された複数段のステータ翼と、スペーサとステータ翼との間または軸方向に隣接して配置されたスペーサの間の少なくとも一方に介装され、スペーサとステータ翼、またはスペーサ相互に接触する熱伝達部材とを具備してなり、熱伝達部材は、スペーサとステータ翼、またはスペーサ相互が直接接触する場合よりも伝熱効率が大きくなるように接触面積が増大されて接触しているものであればよい。
【００４６】
また、本発明のターボ分子ポンプは、複数段に設けられたロータ翼を有し回転可能に支持されたロータと、別部材または一つの部材として一体に形成されたスペーサおよびステータ翼からなり、ロータ翼部と軸方向に交互に配置された複数段のステータ翼構成体とを具備し、軸方向に隣接するスペーサとステータ翼の一方の部材に一体に設けられた先鋭な突起を他方の部材に食い込ませた熱伝達機構を有するものでもよい。
【符号の説明】
【００４７】
１        ターボ分子ポンプ
４        ロータ
４ａ      ロータ翼
４ｂ      ロータ円筒部
５        スペーサ
６        ステータ翼
７        ステータ翼構成体
７ａ、７ｂ  ステータ翼構成部
１１      ケース部材
１２      上ケース
１３      ベース
１５      吸気口
２１      Ｏリング
２２      突起
２３      コンパウンド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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