(57)【要約】【課題】基板の搬送を行うローラを洗浄する洗浄装置を提供する。【解決手段】カラーフィルタ基板の製造ラインに用いられる基板の搬送用ローラを洗浄する装置であって、搬送用ローラを洗浄する洗浄手段と、洗浄手段に洗浄液を送液する送液手段と、洗浄液を貯蔵する洗浄液貯蔵手段と、洗浄手段を上下移動する上下移動手段と、装置の動作を制御する制御手段と、を備え、かつ、搬送用ローラ上に基板の無いことを確認した後、洗浄手段を搬送用ローラに接触させ、搬送用ローラを回転させながら洗浄することを特徴とする搬送ローラ自動洗浄装置。【選択図】図４
2011224512.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラーフィルタ基板の製造ラインに用いられる基板の搬送用ローラを洗浄する装置であって、
搬送用ローラを洗浄する洗浄手段と、
洗浄手段に洗浄液を送液する送液手段と、
洗浄液を貯蔵する洗浄液貯蔵手段と、
洗浄手段を上下移動する上下移動手段と、
装置の動作を制御する制御手段と、を備え、かつ、
搬送用ローラ上に基板の無いことを確認した後、洗浄手段を搬送用ローラに接触させ、搬送用ローラを回転させながら洗浄することを特徴とする搬送ローラ自動洗浄装置。
【請求項２】
洗浄手段はウエスに洗浄液をしみこませた洗浄ヘッドを有し、該洗浄ヘッドは各搬送用ローラ間隔と等間隔に設けられたことを特徴とする請求項１記載の搬送ローラ自動洗浄装置。
【請求項３】
カラーフィルタ基板の製造ラインに備えられた欠陥検査装置に設けられた搬送用ローラの洗浄を行うことを特徴とする請求項１または２記載の搬送ローラ自動洗浄装置。
【請求項４】
カラーフィルタ基板の製造ラインに備えられた各処理装置間に設けられた搬送用ローラの洗浄を行うことを特徴とする請求項１または２記載の搬送ローラ自動洗浄装置。
【請求項５】
ガントリーに備えられたことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の搬送ローラ自動洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ製造ラインにおける搬送用ローラの自動洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１は、カラーフィルタの一例を断面で示した図である。カラーフィルタ１は、ガラス基板２上にブラックマトリックス（以下、ＢＭ）３、赤Ｒの着色画素（以下、Ｒ画素）４−１、緑Ｇの着色画素（以下、Ｇ画素）４−２、青Ｂの着色画素（以下、Ｂ画素）４−３、透明電極５、及びフォトスペーサー（Ｐｈｏｔｏ  Ｓｐａｃｅｒ）（以下、ＰＳ）６、バーテイカルアライメント（Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）（以下、ＶＡ）７が順次形成されたものである。
【０００３】
上記構造のカラーフィルタの製造方法は、フォトリソグラフィ法、印刷法、インクジェット法が知られているが、図２は一般的に用いられているフォトリソグラフィ法の工程を示すフロー図である。カラーフィルタは、先ず、ガラス基板上にＢＭを形成処理する工程（Ｃ１）、ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ２）、着色フォトレジストを塗布および予備乾燥処理する工程（Ｃ３）、着色フォトレジストを乾燥、硬化処理するプリベーク工程（Ｃ４）、露光処理する工程（Ｃ５）、現像処理する工程（Ｃ６）、着色フォトレジストを硬化処理する工程（Ｃ７）、透明電極を成膜処理する工程（Ｃ８）、ＰＳ、ＶＡを形成処理する工程（Ｃ９）がこの順に行われ製造される。
【０００４】
例えば、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の順にパターンが形成される場合には、カラーフィルタ用ガラス基板（以下、基板）を洗浄処理する工程（Ｃ２）から、着色フォトレジストを硬化処理する工程間（Ｃ７）では赤Ｒ、緑Ｇ、青Ｂの順に着色レジストを変更して３回繰り返されてＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素が形成される。
【０００５】
図３にカラーフィルタ製造ラインの一例を示す。図３に示される製造ライン１１はある特定の１色の着色パターンを形成するためのもので、ストッカ装置１２と、ストッカ装置からラインに投入する投入装置１３と、洗浄装置１４と、塗布装置１５と、露光装置１６と、現像装置１７と、ベーク装置１８と、基板をストッカ装置に搬出する搬出装置１９とを備えている。また、塗布装置１５の後には着色フォトレジストの膜厚や塗布ムラを検査する欠陥検査装置２７が設けられ、現像装置１７の後には異物やパターンの欠けを検査する欠陥検査装置２８が設けられている。上記各工程の処理を行う装置（以下、処理装置）や検査装置は搬送装置（１）２１から搬送装置（６）２６によって接続されている。更に、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の３色の画素が形成された後に、搬送装置（６）２６の外に設けられた検査装置２９や修正装置３０によって検査や修正が行われ、その後搬出装置１９を経てストッカ装置に搬出される。尚、搬入装置１３からストッカ装置１２へ空のカセットが回収され、また、ストッカ装置１２は、空のカセットを搬出装置１９に供給する。
【０００６】
上記カラーフィルタ製造ラインの搬送装置（１）２１〜搬送装置（６）２６や、検査装置２７〜２９では、一般的に搬送用ローラを用いた搬送方法によって基板は搬送される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−１６２５１６号公報
【特許文献２】国際公開ＷＯ２００７／１０２３２１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記基板の搬送を行うローラが、処理装置から発生した異物や基板に付着していた異物がローラに付着し、付着した異物が基板の汚れやキズなどの不良発生の原因となる。この不良が発生した場合には、不良の発見、不良発生場所の特定、異物の除去を行う必要があるために、一時的な機械停止による生産停止ロスやローラの清掃を行うための人的ロスが発生する。
【０００９】
搬送ローラが異物の付着により汚染された場合、装置の停止、異物の除去作業、異物除去後の確認作業などを実施する必要があり、装置の稼働率低下を招く。
【００１０】
そこで本発明は、基板の搬送を行うローラを洗浄する洗浄装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の請求項１に係る発明は、カラーフィルタ基板の製造ラインに用いられる基板の搬送用ローラを洗浄する装置であって、
搬送用ローラを洗浄する洗浄手段と、
洗浄手段に洗浄液を送液する送液手段と、
洗浄液を貯蔵する洗浄液貯蔵手段と、
洗浄手段を上下移動する上下移動手段と、
装置の動作を制御する制御手段と、を備え、かつ、
搬送用ローラ上に基板の無いことを確認した後、洗浄手段を搬送用ローラに接触させ、搬送用ローラを回転させながら洗浄することを特徴とする搬送ローラ自動洗浄装置である。
【００１２】
本発明の請求項２に係る発明は、洗浄手段はウエスに洗浄液をしみこませた洗浄ヘッドを有し、該洗浄ヘッドは各搬送用ローラ間隔と等間隔に設けられたことを特徴とする請求項１記載の搬送ローラ自動洗浄装置である。
【００１３】
本発明の請求項３に係る発明は、カラーフィルタ基板の製造ラインに備えられた欠陥検査装置に設けられた搬送用ローラの洗浄を行うことを特徴とする請求項１または２記載の搬送ローラ自動洗浄装置である。
【００１４】
本発明の請求項４に係る発明は、カラーフィルタ基板の製造ラインに備えられた各処理装置間に設けられた搬送用ローラの洗浄を行うことを特徴とする請求項１または２記載の搬送ローラ自動洗浄装置である。
【００１５】
本発明の請求項５に係る発明は、ガントリーに備えられたことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の搬送ローラ自動洗浄装置である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明による搬送ローラの自動洗浄装置によれば、従来、自動検査装置によって異物やキズの不良を検出した場合に、搬送ローラに付着した異物を取除くために、製造ラインを一時停止したり、搬送ローラの清掃のために多大な労力を必要としていたが、製造ラインを一時停止することなく、また搬送ローラの清掃のために多大な労力省くことが出来、その結果、カラーフィルタ基板の生産効率の向上や、品質維持することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】カラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を断面で示した図。
【図２】一般的に用いられているフォトリソグラフィ法の工程のフロー図。
【図３】カラーフィルタ製造ラインの一例を示す図。
【図４】本発明に係る搬送ローラの自動洗浄装置の概略構成を示す図。
【図５】本発明に係る自動洗浄装置が適用されるカラーフィルタ製造ラインの概略図。
【図６】本発明に係る自動洗浄装置によって欠陥検査装置に備えられた搬送ローラを洗浄する場合を示す図。
【図７】欠陥検査装置が搭載されたガントリーに本発明に係る自動洗浄装置を設けた場合を示す図。
【図８】本発明に係る自動洗浄装置が洗浄する場合の基板存在を確認するために一般的に行われているネットワークを説明するための図。
【図９】本発明に係る自動洗浄装置の上下移動機構によって洗浄ヘッドユニットが下げられ、搬送ローラに接する位置で停止することを示す図（欠陥検査装置に備えられた搬送ローラの場合）。
【図１０】本発明に係る自動洗浄装置が処理装置間の搬送装置の搬送ローラを洗浄する場合を示す図。
【図１１】本発明に係る自動洗浄装置が処理装置間の搬送装置の搬送ローラを洗浄する場合を示す図（処理装置間の搬送ローラの場合）。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を用いて本発明を実施する形態を詳細に説明する。
【００１９】
図４は、本発明に係る搬送ローラの自動洗浄装置の概略構成を示したものである。図４の搬送ローラの自動洗浄装置３１は洗浄手段である洗浄ヘッドユニット３２と、洗浄ヘッドユニット３２に洗浄液を送液する送液手段である供給配管３３−１と３３−２と、洗浄液を貯蔵する洗浄液貯蔵手段である洗浄液貯蔵タンク３４と、洗浄ヘッドユニット３２を矢印３５の方向に上下移動する上下移動手段であるヘッド上下移動機構３６と、洗浄装置全体の動作を制御する制御手段である制御部３７と、を備えている。ヘッド上下移動機構３６は、例えばボールねじを用いてもよく、エアシリンダーを用いても達成できる。洗浄ヘッドユニット３２は、図４では９個の洗浄ヘッド３２−１〜３２−９を有しており、各洗浄ヘッドには、洗浄ウエス３８−１〜３８−９が備えられており、更に、洗浄ウエス３８−１〜３８−９には供給配管３３−２を介して洗浄液が供給される。洗浄ウエス３８−１〜３８−９への洗浄液の供給は、ポンプまたは配管ポンプの経路の途中に設けた電磁バルブの開閉を制御して滴下させることによって達成できる。供給配管３３−１はフレキシブルな配管であり、洗浄ヘッドユニット３２の上下移動に対応して伸縮または曲折する。洗浄液は、例えばＩＰＡ（イソプロピルアルコール）を用いることが出来る。洗浄ヘッドユニット３２の各洗浄ヘッド３２−１〜３２−９の間隔Ｐ１は、搬送ローラ４０の各ローラ４０−１〜４０−９の間隔Ｐ２と同じ間隔で設けられている。
【００２０】
図５は本発明に係る自動洗浄装置が適用されるカラーフィルタ製造ラインの概略図である。製造ライン１１１は、ストッカ装置１１２と、ストッカ装置からラインに投入する投入装置１１３と、洗浄装置１１４と、塗布装置１１５と、露光装置１１６と、現像装置１１７と、ベーク装置１１８と、カラーフィルタ基板（以下、基板）をストッカ装置に搬出する搬出装置１１９とを備えている。また、塗布装置１１５や現像装置１１７の後には着色フォトレジストの塗布ムラや異物やパターンの欠けを検査する検査装置１２８が設けられている。上記各工程の処理を行う装置や検査装置は搬送装置（１ａ）１２１から搬送装置（６ａ）１２６によって接続されている。更に、搬送装置（６ａ）１２６の外に設けられた検査装置１２９や修正装置１３０によって検査や修正が行われ、その後搬出装置１１９を経てストッカ装置に搬出される。上記カラーフィルタ製造ラインの搬送装置（１ａ）１２１〜搬送装置（６ａ）１２６や、検査装置１２７〜１２９では、搬送用ローラを用いた搬送方法によって基板は搬送され、本発明に係る自動洗浄装置は、前記搬送装置（１ａ）１２１〜搬送装置（６ａ）１２６や検査装置１２７〜１２９の搬送用ローラの洗浄に用いられる。
【００２１】
次に、本発明に係る自動洗浄装置が設けられる欠陥検査装置が備えられる搬送ローラを洗浄する場合と、工程内の処理装置間の搬送装置の搬送ローラを洗浄する場合について説明する。
【００２２】
図６は、欠陥検査装置に備えられた搬送ローラを洗浄する場合を示す図で、基板を検査する場合に欠陥検査装置を搭載する従来から用いられているガントリー（橋桁の両端に一定の間隔を置いて２本の走行脚を設け、車輪によりレール上を走行する構造を有する門型のクレーンを指す）を示す図である。図６（ａ）は側面から見た図で、図６（ｂ）は図６（ａ）の１００で示される方向から見た図である。近年のディスプレイの大型化に伴って、大型液晶ディスプレイ用カラーフィルタの検査は、基板４１を搬送用ローラ４０の上に載置し、撮像カメラ４２を有する欠陥検査装置を搭載したガントリー４３を矢印４４で示される方向に移動させて行っている。検査が終了すると基板４１は矢印４５で示す方向に搬送される。
【００２３】
図７は上記欠陥検査装置に備えられた搬送ローラを洗浄する場合を示す図で、欠陥検査装置が搭載されたガントリーに自動洗浄装置を設けた場合を示す図である。図７（ａ）は側面から見た図で、図７（ｂ）は図７（ａ）の１０１で示される方向から見た図である。自動洗浄装置３１はガントリー４３に取り付けられる。ガントリー４３は基板４１の検査のために例えば矢印４４が示す１０３の方向に移動し、撮像カメラ４２が備えられた欠陥検査装置によって基板４１は検査される。基板４１の検査が終了するとガントリー４３は矢印４４が示す１０４の方向に移動して検査前と同じ位置に戻る。一方、基板４１は搬送ローラ４０によって矢印４５で示す方向に搬送される。基板４１を検査する際は、洗浄ヘッド３２−１〜３２−９は基板４１に接触しないように、また、撮像カメラ４２の視野に入らないようにヘッド上下移動機構３６によって上方に位置される。
【００２４】
自動洗浄装置３１が、搬送ローラ４０を洗浄する場合は、欠陥検査装置に備えられた搬送ローラ上の基板の有無を確認し、基板が無い場合に洗浄が行われる。基板の存在は、図８に示すように、一般的に行われているネットワークを介して行うことが出来る。図８はカラーフィルタ製造に用いられる工程内の処理装置及び欠陥検査装置のネットワーク構成を示すもので、処理装置５０〜５１と、欠陥検査装置５２〜５３及び制御ユニット５４がＥｔｈｅｒｎｅｔ（登録商標）５５、またはＣＣ  Ｌｉｎｋ、または光ケーブル等により接続されており、その構成要素間は相互に通信可能となっている。処理装置５０〜５１や欠陥検査装置５２〜５３の搬入口及び搬出口には基板毎に設けられた基板ＩＤコードを読取るＩＤコード読取装置によって読取られ、読取られたＩＤコードデータは制御ユニット内に備えられた記憶装置に記憶され、該記憶されたデータによって基板の存在位置を知ることが出来る。
【００２５】
上記基板の存在位置を確認することによって、基板が自動検査を行う搬送ローラ上に存在しないことを確認した後、ガントリー４３に備えられた自動洗浄装置は、図９に示すよう洗浄ヘッド３２−１〜３２−９がヘッド上下移動機構３６によって矢印４６の方向に下げられ、搬送ローラ４０−１〜４０−９に接する位置で停止する。この時既に洗浄ウエス３８−１〜３８−９には洗浄液が供給配管３３−１及び３３−２を介して供給されている。搬送ローラ４０−１〜４０−９の洗浄は、洗浄液が供給された洗浄ウエス３８−１〜３８−９を搬送ローラ４０−１〜４０−９に接したまま、搬送ローラ４０−１〜４０−９を回転させながら行われる。
【００２６】
次に本発明による自動洗浄装置によってカラーフィルタ製造ラインの処理装置間の搬送装置の搬送ローラを洗浄する場合について説明する。
【００２７】
図１０は処理装置間の搬送装置の搬送ローラを洗浄する場合の自動洗浄装置を示す図で、図１０（ａ）は側面から見た図で、図１０（ｂ）は図１０（ａ）の１０５で示される方向から見た図である。自動洗浄装置３１はガントリー４７に取り付けられる。
【００２８】
図１１に示すようにガントリー４７が矢印４９で示す方向に移動して、自動洗浄装置３１が搬送ローラ４８の各ローラ４８−１〜４８−９を洗浄する。搬送ローラ４８の各ローラ４８−１〜４８−９を洗浄する場合は、搬送ローラ上の基板４１の有無を確認し、基板が無い場合に洗浄が行われる。基板の有無は、上記図８に示すネットワークを介して確認することが出来る。
【００２９】
本発明に係る自動洗浄装置の実施形態では、搬送装置（１１）１２１〜搬送装置（１６）１２６や検査装置１２７〜１２９の搬送用ローラを洗浄する場合を例示したが、適用範囲及び洗浄の頻度は適宜選択すれば良い。
【００３０】
以上のように、従来、欠陥検査装置で異物やキズの不良を検出した場合に、不良発生場所の特定や異物の除去を行っていたために、製造ラインの一時停止や搬送ローラの清掃のために多大な労力を必要としていたが、本発明による搬送ローラの自動洗浄装置で適宜搬送ローラを洗浄することによって、前記製造ラインの一時停止をすることなく、また搬送ローラの清掃のために多大な労力省くことが出来、その結果、基板の品質を維持することが出来る。
【符号の説明】
【００３１】
１・・・カラーフィルタ
２・・・ガラス基板
３・・・ブラックマトリックス（ＢＭ）
４−１・・・赤Ｒの着色画素（Ｒ画素）
４−２・・・緑Ｇの着色画素（Ｇ画素）
４−３・・・青Ｂの着色画素（Ｂ画素）
５・・・透明電極
６・・・フォトスペーサー（ＰＳ）
７・・・バーテイカルアライメント（ＶＡ）
１１・・・製造ライン
１２・・・ストッカ装置
１３・・・投入装置
１４・・・洗浄装置
１５・・・塗布装置
１５−１、１５−２・・・塗布装置
１６・・・露光装置
１６−１、１６−２・・・露光装置
１７・・・現像装置
１８・・・ベーク装置
１９・・・搬出装置
２１〜２６・・・搬送装置（１）〜搬送装置（６）
２７、２８・・・検査装置
２９・・・搬送装置（６）の外に設けられた検査装置
３０・・・搬送装置（６）の外に設けられた修正装置
３１・・・自動洗浄装置
３２・・・洗浄ヘッドユニット
３２−１〜３２−９・・・洗浄ヘッド
３３−１、３３−２・・・供給配管
３４・・・洗浄液貯蔵タンク
３５・・・洗浄ヘッドユニットを移動する方向を示す矢印
３６・・・ヘッド上下移動機構
３７・・・制御部
３８−１〜３８−９・・・洗浄ウエス
４０・・・搬送用ローラ
４０−１〜４０−９・・・搬送ローラ
４１・・・基板
４２・・・撮像カメラ
４３・・・ガントリー
４４・・・ガントリーの移動方向
４５・・・基板の搬送方向を示す矢印
４６・・・洗浄ヘッドユニットが移動する方向を示す矢印
４７・・・ガントリー
４９・・・ガントリーの移動方向を示す矢印
４８・・・搬送ローラ
４８−１〜４８−９・・・搬送ローラの各ローラ
５０〜５１・・・処理装置
５２〜５３・・・欠陥検査装置
５４・・・制御ユニット５４
５５・・・Ｅｔｈｅｒｎｅｔ（登録商標）
１１１・・・製造ライン
１１２・・・ストッカ装置
１１３・・・投入装置
１１４・・・洗浄装置
１１５・・・塗布装置
１１６・・・露光装置
１１７・・・現像装置
１１８・・・ベーク装置
１１９・・・搬出装置
１２８・・・検査装置
１２１・・・搬送装置（１ａ）
１２６・・・搬送装置（６ａ）
１２９・・・検査装置
１３０・・・修正装置
１００・・・図を見る方向
１０１・・・図を見る方向
１０４・・・ガントリーの移動方向
１０５・・・図を見る方向
Ｐ１・・・洗浄ヘッドユニットの各洗浄ヘッドの間隔
Ｐ２・・・搬送ローラの各ローラ間隔
【図２】
2011224512.tif 000003
【図３】
2011224512.tif 000004
【図５】
2011224512.tif 000005
【図８】
2011224512.tif 000006
【図１】
2011224512.tif 000007
【図４】
2011224512.tif 000008
【図６】
2011224512.tif 000009
【図７】
2011224512.tif 000010
【図９】
2011224512.tif 000011
【図１０】
2011224512.tif 000012
【図１１】
2011224512.tif 000013