(57)【要約】【課題】被着物表面に粘着等の手段により固着された、加熱により筒状物となったフィルムを被着物表面から除去する際に、その筒状物となったフィルムを把持具により把持したり、担体に付着させたりする際に、該把持具や担体が、筒状物となった該フィルムを被着物表面に向けて付勢する方向に力を加える。このとき、筒状物となったフィルムはその力により押し潰されると、該フィルムと被着物との接触面積が増加して両者間の接着強度が高くなる。その結果、筒状物となったフィルムを被着物から剥離するために、再度把持や担体への付着を行う必要があったり、剥離するためにさらに大きな力を要する。【解決手段】熱収縮基材に接着性樹脂層を介して非熱収縮性基材を積層させてなり、加熱によって筒状形状物に変形し、筒状形状となった後には自動的に復元しない性質を備えたフィルムとする。【選択図】図５
2011224853.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱収縮基材に接着性樹脂層を介して非熱収縮性基材を積層させてなり、加熱によって筒
状形状物に変形し、筒状形状となった後には自動的に復元しない性質を備えたフィルム。
【請求項２】
熱収縮基材が、延伸処理されたポリエステル類、ポリオレフィン類、ポリアミド類から
選択されるものであり、かつ、非熱収縮基材が延伸配向保持処理などで加熱時寸法安定性
が高められた、ポリエステル類、ポリオレフィン類、ポリイミド類、ポリアミド類から選
択されたものである請求項１記載のフィルム。
【請求項３】
熱収縮基材が、室温でのヤング率と厚みの積が４２０００Ｎ／m以上の材料である請求
項1又は２記載のフィルム。
【請求項４】
熱収縮基材が延伸処理されたポリエチレンテレフタレートフィルム又はポリブチレンフ
タレートフィルムであり、非熱収縮基材が加熱時寸法安定化処理がされたポリエチレンテ
レフタレート樹脂フィルムである請求項２記載のフィルム。
【請求項５】
接着性樹脂層がアクリル系モノマー類より重合されたポリマーを用いた粘着剤もしくは
ポリエステルポリオールを用いた接着剤である請求項１〜４記載のフィルム。
【請求項６】
請求項１〜５記載のフィルムの非熱収縮基材側表面に、任意の被着体と接合するための
粘接着剤層を設けてなる粘接着シート。
【請求項７】
外部からの力として、請求項1〜6に記載されたフィルムもしくは粘接着シートを５０×
２０ｍｍに切断後加熱して得られる筒状物を、もとの形状に戻す為に必要な力が０．０１
Ｎ以上あることを特徴としたフィルムもしくは粘接着シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加熱により筒状に変形し、その変形した形状を保持するフィルム及びそのフ
ィルムを使用した粘接着シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
本発明者らはこれまでに、熱収縮フィルム層／接着性樹脂層（粘接着剤層）／剛直樹脂
フィルム層の積層体を基材とした易剥離性粘着シートを開発してきた(特願２００９−０
４１２００号及び特許文献１)
このテープの特徴は、基材を加熱することで発生する収縮応力を積層体でトルクに変換
し、あたかも手で剥離（ピール剥離）するかのごとく粘着シートが被着体より剥離できる
点にある。また、剥離後のテープ形状は筒状となる。
このテープが実用として有用である為には、筒状物を簡便に回収する必要があり、より
詳細には剥離後に筒状となった状態を維持する必要がある。なぜならば、筒状に変形した
テープを実用上有用な方法で回収するには、剥離テープを用いた回収のほか、ロボットア
ーム等でつまみあげる、風により吹き飛ばすなどが考えられるが（特願２００９−２００
２３１号）、いずれの方法においても、筒状形状がこれら回収操作での応力により容易に
変形すると、粘着シートが被着体に再付着するなどして回収困難となるおそれがあるため
である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４１５１８５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の課題は、被着物表面に粘着等の手段により固着された、加熱により筒状物とな
ったフィルムを被着物表面から除去する際に、その筒状物となったフィルムを把持具によ
り把持したり、担体に付着させたりするとき、該把持具や担体が、筒状物となった該フィ
ルムを被着物表面に向けて付勢する方向に力を加えることがある。
このような場合、筒状物となったフィルムはその力により押し潰されると、該フィルム
と被着物との接触面積が増加することになり、必然的に両者間の接着強度が高くなる。そ
のような結果、筒状物となったフィルムを被着物から剥離するために、再度把持や担体へ
の付着を行う必要があったり、剥離するためにさらに大きな力を要する。
このため、結果的に被着体表面での筒状物となったフィルムを被着体表面から除去する
には大きな力を要することになる。
このような現象を解消するには、筒状物となったフィルムの強度を強くすることにより
、把持具による把持や担体に付着させる際に、被着体に向けて付勢する方向に筒状物とな
ったフィルムに力が加えられても、その筒状体の構造が被着体との接着面積が剥離除去工
程に影響する程度に変化することがないようにする必要がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者は上記課題に関して鋭意検討した結果、下記のフィルム及び粘接着シートを発
明するに至った。
熱収縮基材に接着性樹脂層を介して非熱収縮性基材を積層させてなり、加熱によって筒
状形状物に変形し、筒状形状となった後には自動的に復元しない性質を備えたフィルム（
請求項１）、熱収縮基材が、延伸処理されたポリエステル類、ポリオレフィン類、ポリア
ミド類から選択されるものであり、かつ、非熱収縮基材が延伸配向保持処理などで加熱時
寸法安定性が高められた、ポリエステル類、ポリオレフィン類、ポリイミド類、ポリアミ
ド類から選択されたものである請求項１記載のフィルム（請求項２）、熱収縮基材が、室
温でのヤング率と厚みの積が４２０００Ｎ／m以上の材料である請求項1又は２記載のフィ
ルム（請求項３）、熱収縮基材が延伸処理されたポリエチレンテレフタレートフィルム又
はポリブチレンフタレートフィルムであり、非熱収縮基材が加熱時寸法安定化処理がされ
たポリエチレンテレフタレート樹脂フィルムである請求項２記載のフィルム（請求項４）
、接着性樹脂層がアクリル系モノマー類より重合されたポリマーを用いた粘着剤もしくは
ポリエステルポリオールを用いた接着剤である請求項１〜４記載のフィルム（請求項５）
、請求項１〜５記載のフィルムの非熱収縮基材側表面に、任意の被着体と接合するための
粘接着剤層を設けてなる粘接着シート（請求項６）、外部からの力として、請求項1〜6に
記載されたフィルムもしくは粘接着シートを５０×２０ｍｍに切断後加熱して得られる筒
状物を、もとの形状に戻す為に必要な力が０．０１Ｎ以上あることを特徴としたフィルム
もしくは粘接着シート（請求項７）。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、フィルムに粘接着剤層を設けて粘接着シートとし、これを例えばウエ
ハ等のダイシング時の表面保護テープとした場合において、ダイシングにより切断された
粘接着シートが、その後加熱されて、端部よりウエハ等から剥離して筒状形状を呈する。
そして、続いて剥離・除去される際には、剥離・除去用の治具あるいはそのための粘着シ
ート等によって、該筒状形状のものが該ウエハ等に向けて押圧されることになる。
そのような場合においても、該筒状形状のものが必要以上に押し潰されることがなく、
一旦剥離した粘接着シートが再び該ウエハ等に接着して、剥離・除去を困難にすることが
ない。また、たとえ一旦剥離した粘接着シートが再び該ウエハ等に接着しても、フィルム
自体にある程度の剛性を有していることから、すぐに元の押圧前の筒状形状に戻ることが
可能であり、引き続きその筒状形状のものを剥離・除去する工程を円滑に進めることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明のフィルムの断面図。
【図２】本発明の粘接着シートの断面図。
【図３】本発明のフィルム及び粘接着シートが巻回する態様の図。
【図４】本発明の粘接着シートがダイシング用表面保護シートとして使用される際に巻回する図。
【図５】筒状形状物を巻き戻す際の概念図。
【図６】試験１において必要荷重を測定する方法を示す図。
【図７】試験２及び３において必要荷重を測定する方法を示す図。
【図８】試験４において筒状形状物を回収する工程を示す図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明について図面を参照しつつ説明する。図１は、本発明のフィルムを示す断
面図である。図２は、本発明の粘接着シートを示す断面図である。図１に示されるフィル
ム１は、熱収縮性を有する熱収縮基材２と、該熱収縮基材２の収縮を拘束する非熱収縮基
材４とを接着性樹脂層３により積層させてなるフィルムである。また、図２に示される粘
接着シート５は、図１に示されるフィルムの非熱収縮基材４側に粘接着剤層６が積層され
たフィルムである。この場合、フィルム１は粘接着シート５の支持基材として機能する。
【０００９】
熱収縮基材２としては、少なくとも１軸方向に収縮性を有するフィルム層であればよく
、熱収縮性フィルム、光により収縮性を示すフィルム、電気的刺激により収縮するフィル
ム等の何れで構成されていてもよい。なかでも、作業効率等の観点から、熱収縮性フィル
ムで構成されているのが好ましい。熱収縮基材２は、１軸方向のみに収縮性を有していて
もよいし、或る方向（１軸方向）に主たる収縮性を有し、該方向とは異なる方向（例えば
、該方向に対して直交する方向）に副次的な収縮性を有していてもよい。熱収縮基材２は
単層であってもよく、２以上の層からなる複層であってもよい。
【００１０】
熱収縮基材２を構成する収縮性フィルムの主収縮方向の収縮率は、好ましくは３０〜９
０％である。熱収縮基材２が熱収縮性フィルムで構成されている場合、該熱収縮性フィル
ムの主収縮方向の収縮率は、７０〜１８０℃の範囲の所定温度（例えば９５℃、１４０℃
等）において、好ましくは３０〜９０％である。熱収縮基材２を構成する収縮性フィルム
の主収縮方向以外の方向の収縮率は、好ましくは１０％以下、さらに好ましくは５％以下
、特に好ましくは３％以下である。熱収縮性フィルムの熱収縮性は、例えば押出機により
押し出されたフィルムに延伸処理を施すことにより付与することができる。
【００１１】
前記熱収縮性フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステ
ル、ポリエチレンやポリプロピレン等のポリオレフィン、ポリノルボルネン、ポリイミド
、ポリアミド、ポリウレタン、ポリスチレン、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル等か
ら選択される１種又は２種以上の樹脂からなる１軸延伸フィルムが挙げられる。なかでも
、粘接着剤の塗工作業性等に優れる点で、ポリエステル系樹脂、ポリエチレン、ポリプロ
ピレン、ポリノルボルネン等のポリオレフィン系樹脂（環状ポリオレフィン系樹脂を含む
）、ポリウレタン系樹脂からなる１軸延伸フィルムが好ましい。このような熱収縮性フィ
ルムとして、東洋紡社製の「スペースクリーン」、グンゼ社製の「ファンシーラップ」、
東レ社製の「トレファン」、東レ社製の「ルミラー」、ＪＳＲ社製の「アートン」、日本
ゼオン社製の「ゼオノア」、旭化成社製の「サンテック」などの市販品の利用が可能であ
る。
【００１２】
なお、フィルム１をエネルギー線硬化型であるときの粘接着シート５の支持基材として
用いる場合において、エネルギー線硬化型粘着剤層を硬化する際、エネルギー線照射を熱
収縮基材２を通して行うときには、熱収縮基材２は所定量以上のエネルギー線を透過しう
る材料（例えば透明性を有する樹脂等）で構成する必要がある。
【００１３】
熱収縮基材２の厚みは、一般には５〜３００μｍ、好ましくは１０〜１００μｍである
。熱収縮基材２の厚みが大きすぎると、剛性が高くなり筒状形状に変形せず、熱収縮基材
２と非熱収縮基材４との間で分離し、フィルム破壊につながりやすい。また剛性の大きな
フィルムは、テープ貼り合わせ時の応力が残存して起こる、弾性変形力が大きく、ウェハ
を薄くした際に反りが大きくなりやすいことが知られている。熱収縮基材２の表面は、隣
接する層との密着性、保持性などを高めるため、慣用の表面処理、例えば、クロム酸処理
、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理等の化学的又は物理的処理
、下塗り剤（例えば、粘着物質等）によるコーティング処理等が施されていてもよい。
【００１４】
非熱収縮基材４は熱収縮基材２の収縮を拘束し、反作用力を生み出すことにより、フィ
ルム全体として偶力を生み出し、巻回を引き起こす駆動力となる。また、この非熱収縮基
材４により、熱収縮基材２の主収縮方向とは異なる方向の副次的収縮が抑制され、１軸収
縮性とは言っても必ずしも一様とは言えない熱収縮基材２の収縮方向が一方向に収斂する
働きもあると考えられる。このため、フィルム１に熱収縮基材２の収縮を促す熱等の刺激
を与えると、非熱収縮基材４における熱収縮基材２の収縮力に対する反発力が駆動力とな
って、フィルム１の外縁部（１端部又は対向する２端部）が浮き上がり、熱収縮基材２側
を内にして、端部から１方向又は中心方向（通常、熱収縮性フィルムの主収縮軸方向）へ
自発的に巻回して筒状形状に変形するものと考えられる。また、この非熱収縮基材４によ
り、熱収縮基材２の収縮変形により生じる剪断力が粘接着剤層６や被着体に伝達されるの
を防ぐことができるため、再剥離時の粘着力の低下した粘接着剤層６（例えば、硬化した
粘着剤層）の破損や、被着体の破損、前記破損した場合の粘接着剤層６による被着体の汚
染等を防止できる。
【００１５】
非熱収縮基材４は熱収縮基材２の収縮を拘束する機能を発現するため、弾性接着性（粘
着性を含む）を有している。また、非熱収縮基材４は筒状巻回体を円滑に形成させるため
、ある程度の靱性あるいは剛性を備えているのが好ましい。非熱収縮基材４は単層で構成
されていてもよく、また機能を複数の層に分担させた複層で構成されていてもよい。
【００１６】
図１、図２の例では、接着性樹脂層３は非熱収縮基材４と共に非熱収縮性を備えている
。
接着性樹脂層３は、熱収縮基材２の収縮時の温度下（フィルム１を自発巻回性粘接着シ
ートの支持基材として用いる場合は、粘接着シートの剥離時の温度下）で変形しやすいこ
と、すなわちゴム状態であることが好ましい。但し、流動性のある材料では、十分な反作
用力が生じず、最終的には収縮性フィルム単独で収縮してしまい、変形（自発巻回）を起
こすことができない。従って、接着性樹脂層３は３次元架橋等により流動性を抑えたもの
が好ましい。また、接着性樹脂層３は、その厚みによっても、熱収縮基材２の非一様な収
縮力のうち弱い力の成分に抵抗して、該弱い力の成分による収縮変形を防ぐことで、一様
な収縮方向へと変換する作用を有する。ウェハ研削後によって生じる反りは、ウェハへ粘
接着シートを貼り合わせる際の応力が残存し、この残存応力によって収縮性フィルムが弾
性変形することによって生じると考えられるが、接着性樹脂層はこの残存応力を緩和して
反りを低下させる働きもある。
【００１７】
従って、接着性樹脂層３は、粘着性を有し、ガラス転移温度が例えば５０℃以下、好ま
しくは室温（２５℃）以下、より好ましくは０℃以下の樹脂で形成するのが望ましい。接
着性樹脂層３の熱収縮基材２側の表面の粘着力は、１８０°ピール剥離試験（ＪＩＳ Ｚ 
０２３７に準拠、引張り速度３００ｍｍ／分、５０℃）の値で、好ましくは０．５Ｎ／１
０ｍｍ以上の範囲である。この粘着力が低すぎると、熱収縮基材２と接着性樹脂層３との
間で剥離が生じやすくなる。
【００１８】
また、接着性樹脂層３のずり弾性率Ｇは室温から剥離時温度（例えば８０℃）において
、１×１０4Ｐａ〜５×１０6Ｐａ（特に、０．０５×１０6Ｐａ〜３×１０6Ｐａ）が好ま
しい。
ずり弾性率が小さすぎると熱収縮基材２の収縮応力を巻回に必要な応力へと変換する作
用が乏しくなり、逆に大きすぎると、剛性を強めるために巻回性に乏しくなるほか、一般
に弾性が高いものは粘着性に乏しくフィルムの作製が困難になりやすいことや、残存応力
を緩和する働きも乏しくなるからである。接着性樹脂層３の厚みとしては、好ましくは１
５〜１５０μｍ程度である。前記厚みが薄すぎると、熱収縮基材２の収縮に対する拘束性
が得られにくく、応力緩和の効果も小さくなる。逆に厚すぎると筒状形状への変形性が低
下し、また取扱性、経済性に劣り好ましくない。従って接着性樹脂層３のずり弾性率Ｇ（
例えば８０℃における値）と厚みの積（ずり弾性率Ｇ×厚み）は、好ましくは１〜１００
０Ｎ／ｍ（より好ましくは１〜１５０Ｎ／ｍ、さらに好ましくは１．２〜１００Ｎ／ｍ）
である。
【００１９】
また、接着性樹脂層３としては、粘接着剤層６がエネルギー線硬化型粘着剤層の場合に
はエネルギー線を透過しやすい材料で形成され、製造上や作業性等の観点から厚みが適宜
選択できてフィルム形状にしやすい成形加工性に優れるものであるのが好ましい。
【００２０】
接着性樹脂層３として、例えば、表面（少なくとも熱収縮基材２側の表面）に粘着処理
が施されたウレタンフォームやアクリルフォームなどのフォーム材料（発泡フィルム）や
ゴム、熱可塑性エラストマー等を素材とする非発泡樹脂フィルム等の樹脂フィルム（シー
トを含む）などを使用できる。粘着処理に用いる粘着剤としては、特に制限はなく、例え
ば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、ビニルアルキルエーテル系粘着剤、シリコーン系
粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、ウレタン系粘着剤、スチレン−ジ
エンブロック共重合体系粘着剤などの公知の粘着剤を１種又は２種以上組み合わせて用い
ることができる。特に、粘着力の調整などの点から、アクリル系粘着剤が好ましく用いら
れる。なお、粘着処理に用いる粘着剤の樹脂と、発泡フィルムや非発泡樹脂フィルムの樹
脂は、高い親和性を得るため同種の樹脂が好ましい。例えば、粘着処理にアクリル系粘着
剤を用いる場合には、樹脂フィルムとしてアクリルフォームなどが好適である。
【００２１】
また、接着性樹脂層３として、例えば架橋型アクリル系粘着剤等のそれ自体接着性を有
する樹脂組成物で形成してもよい。このような、架橋型アクリル系粘着剤等により形成さ
れた層（粘着剤層）は、別途粘着処理を施す必要がなく比較的簡便な方法で製造可能であ
り、生産性、経済性に優れるため好ましく用いられる。
【００２２】
上記架橋型アクリル系粘着剤は、アクリル系重合体をベースポリマーとするアクリル系
粘着剤に架橋剤が添加された構成を有している。アクリル系重合体としては、例えば、（
メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メ
タ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル等の（メタ）アクリル
酸Ｃ1−Ｃ20アルキルエステルなどの（メタ）アクリル酸アルキルエステルの単独又は共
重合体；前記（メタ）アクリル酸アルキルエステルと、他の共重合性モノマー［例えば、
アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、フマル酸、無水マレイン酸などのカルボキシル
基又は酸無水物基含有モノマー；（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチルなどのヒドロ
キシル基含有モノマー；（メタ）アクリル酸モルホリルなどのアミノ基含有モノマー；（
メタ）アクリルアミドなどのアミド基含有モノマー；（メタ）アクリロニトリルなどのシ
アノ基含有モノマー；（メタ）アクリル酸イソボルニルなどの脂環式炭化水素基を有する
（メタ）アクリル酸エステル等］との共重合体などが挙げられる。
【００２３】
アクリル系重合体としては、特に、エチルアクリレート、ブチルアクリレート、２−エ
チルヘキシルアクリレート等の（メタ）アクリル酸Ｃ1−Ｃ12アルキルエステルの１種又
は２種以上と、２−ヒドロキシエチルアクリレート等のヒドロキシル基含有モノマー及び
アクリル酸等のカルボキシル基又は酸無水物基含有モノマーから選択された少なくとも１
種の共重合性モノマーとの共重合体、或いは（メタ）アクリル酸Ｃ1−Ｃ12アルキルエス
テルの１種又は２種以上と、脂環式炭化水素基を有する（メタ）アクリル酸エステルと、
ヒドロキシル基含有モノマー及びカルボキシル基又は酸無水物基含有モノマーから選択さ
れた少なくとも１種の共重合性モノマーとの共重合体が好ましい。
【００２４】
アクリル系重合体は、例えば、上記に例示の単量体成分（及び重合開始剤）を無溶剤で
光（紫外線等）重合することにより、高粘度の液状プレポリマーとして調製される。次に
、このプレポリマーに架橋剤を添加することにより架橋型アクリル系粘着剤組成物を得る
ことができる。なお、架橋剤はプレポリマー製造時に添加しておいてもよい。また、上記
に例示の単量体成分を重合して得られたアクリル系重合体又はその溶液に架橋剤と溶媒（
アクリル系重合体の溶液を用いる場合は必ずしも必要ではない）を加えることにより、架
橋型アクリル系粘着剤組成物を得ることもできる。
【００２５】
架橋剤としては、特に制限はなく、例えば、イソシアネート系架橋剤、メラミン系架橋
剤、エポキシ系架橋剤、アクリレート系架橋剤（多官能アクリレート）、イソシアネート
基を有する（メタ）アクリル酸エステル等を使用できる。アクリレート系架橋剤としては
、例えば、ヘキサンジオールジアクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレート、
トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートなどが例示される。イソシアネート基を有す
る（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、２−イソシアナトエチルアクリレート
、２−イソシアナトエチルメタクリレートなどが例示される。なかでも、架橋剤として、
アクリレート系架橋剤（多官能アクリレート）やイソシアネート基を有する（メタ）アク
リル酸エステル等の紫外線（ＵＶ）反応性架橋剤が好ましい。架橋剤の添加量は、通常、
上記ベースポリマー１００重量部に対して０．０１〜１５重量部程度、好ましくは０．０
５〜１２重量部程度である。
【００２６】
架橋型アクリル系粘着剤は、ベースポリマー及び架橋剤のほかに、架橋促進剤、粘着付
与剤（例えば、ロジン誘導体樹脂、ポリテルペン樹脂、石油樹脂、油溶性フェノール樹脂
など）、増粘剤、可塑剤、充填剤、老化防止剤、酸化防止剤などの適宜な添加剤を含んで
いてもよい。
【００２７】
接着性樹脂層３としての架橋型アクリル系粘着剤層は、例えば、上記プレポリマーに架
橋剤を添加した架橋型アクリル系粘着剤組成物を、キャスト法などの公知の方法により、
所望の厚み、面積を有するフィルム状とし、再度光照射して架橋反応（及び未反応モノマ
ーの重合）を進行させることにより、目的に見合った接着性樹脂層３を簡便に得ることが
できる。こうして得られた接着性樹脂層（架橋型アクリル系粘着剤層）は自粘着性を有す
るため、熱収縮基材２と非熱収縮基材４の層間にそのまま貼り合わせて使用することがで
きる。架橋型アクリル系粘着剤層として、日東電工（株）製の商品名「ＨＪ−９１５０Ｗ
」などの市販の両面接着テープを利用できる。なお、フィルム状の粘着剤を熱収縮基材２
と非熱収縮基材４の層間に貼り合わせた後、再度光照射することにより架橋反応を行って
もよい。
【００２８】
また、接着性樹脂層３としての架橋型アクリル系粘着剤層は、上記のアクリル系重合体
と架橋剤とが溶媒に溶解した架橋型アクリル系粘着剤組成物を非熱収縮基材４の表面に塗
工し、その上に熱収縮基材２を貼り合わせた後、光照射することにより得ることもできる
。なお、粘接着剤層６がエネルギー線硬化型粘着剤層である場合には、再剥離の際、粘接
着剤層６を硬化させるときのエネルギー線照射（光照射）により前記架橋型アクリル系粘
着剤を硬化（架橋）させてもよい。
【００２９】
本発明における接着性樹脂層３の構成成分には、さらにガラスビーズ、樹脂ビーズ等の
ビーズが添加されていてもよい。接着性樹脂層３にガラスビーズや樹脂ビーズを添加する
と、粘着特性やずり弾性率を制御しやすい点で有利である。ビーズの平均粒径は、例えば
１〜１００μｍ、好ましくは１〜２０μｍ程度である。ビーズの添加量は、接着性樹脂層
３の全体１００重量部に対して、例えば０．１〜１０重量部、好ましくは１〜４重量部で
ある。前記添加量の範囲であれば、粘着特性の低下がなく、上記効果を十分に発揮できる
。
【００３０】
非熱収縮基材４に剛性あるいは靱性を付与することで、熱収縮基材２の収縮力に対して
反作用の力を生み出し、ひいては巻回に必要な偶力を発生する機能を有する。非熱収縮基
材４を設けることにより、熱収縮基材２に熱等の収縮原因となる刺激が付与された際、積
層シート又は粘接着シートが、途中で停止したり方向がずれたりすることなく円滑に自発
巻回し、形の整った筒状巻回体を形成することができる。
【００３１】
非熱収縮基材４を構成するフィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、
ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル；ポリエチレ
ン、ポリプロピレン等のポリオレフィン；ポリイミド；ポリアミド；ポリウレタン；ポリ
スチレン等のスチレン系樹脂；ポリ塩化ビニリデン；ポリ塩化ビニル等から選択される１
種又は２種以上の樹脂からなるフィルムが挙げられる。なかでも、粘接着剤の塗工作業性
等に優れる点で、ポリエステル系樹脂フィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリアミドフ
ィルム等が好ましい。非熱収縮基材４は単層であっても２以上の層が積層された複層であ
ってもよい。非熱収縮基材４を構成するフィルムは非収縮性であり、収縮率は、例えば５
％以下、好ましくは３％以下、さらに好ましくは１％以下である。
【００３２】
非熱収縮基材４のヤング率と厚みの積（ヤング率×厚み）は、剥離時温度（例えば８０
℃）において、好ましくは３．０×１０5Ｎ／ｍ以下（例えば、１．０×１０2〜３．０×
１０5Ｎ／ｍ）、さらに好ましくは２．８×１０5Ｎ／ｍ以下（例えば、１．０×１０3〜
２．８×１０5Ｎ／ｍ）である。非熱収縮基材４のヤング率と厚みの積が上記の範囲内で
あれば、熱収縮基材の収縮応力を巻回応力へと変換でき、方向性収斂作用もあり、剛性が
巻回を抑制することがない。非熱収縮基材４のヤング率は、剥離時温度（例えば８０℃）
において、好ましくは３×１０6〜２×１０10Ｎ／ｍ2、さらに好ましくは１×１０8〜１
×１０10Ｎ／ｍ2である。ヤング率がこの範囲であれば形の整った筒状巻回体が得られ、
かつその筒形形状への変形が起こりやすくなる。非熱収縮基材４の厚みは、例えば２０〜
１５０μｍ、好ましくは２５〜９５μｍ、さらに好ましくは３０〜９０μｍ、特に好まし
くは３０〜８０μｍ程度である。前記厚みが上記の範囲であると、形の整った巻回した筒
状巻回体が得られやすく、かつ自己巻回性が低下せず、また取扱性、経済性に優れること
になる。
【００３３】
粘接着剤層６としては、もともと粘着力の小さい粘着剤層を用いることや、接着力が小
さい接着剤層を用いることもできるが、被着体に貼着可能な粘着性を有しており、所定の
役割が終了した後には、何らかの方法（低粘着化処理）で粘着性を低下又は消失可能な再
剥離性の粘着剤層であるのが好ましい。このような再剥離性粘着剤層は、公知の再剥離性
粘接着シートの粘着剤層と同様に構成できる。自己巻回性の観点から、粘着剤層又は低粘
着化処理後の粘着剤層の粘着力（１８０°ピール剥離、対シリコンミラーウェハ、引張り
速度３００ｍｍ／分）は、例えば常温（２５℃）で、６．５Ｎ／１０ｍｍ以下（特に６．
０Ｎ／１０ｍｍ以下）であるのが望ましい。
【００３４】
粘接着剤層６としては、特にエネルギー線硬化型粘着剤層であるのが好ましい。エネル
ギー線硬化型粘着剤層は、初期には粘接着性を有し、赤外線、可視光線、紫外線、Ｘ線、
電子線などのエネルギー線の照射により３次元網目構造を形成して高弾性化するような材
料で構成することができ、このような材料として、エネルギー線硬化型粘着剤等を利用で
きる。エネルギー線硬化型粘着剤は、エネルギー線硬化性を付与するためのエネルギー線
反応性官能基を化学修飾した化合物、又はエネルギー線硬化性化合物（又はエネルギー線
硬化性樹脂）を含有する。従って、エネルギー線硬化型粘着剤は、エネルギー線反応性官
能基で化学的に修飾された母剤、又はエネルギー線硬化性化合物（又はエネルギー線硬化
性樹脂）を母剤中に配合した組成物により構成されるものが好ましく用いられる。
【００３５】
前記母剤としては、例えば、従来公知の感圧性接着剤（粘着剤）等の粘着物質を使用す
ることができる。粘着剤として、例えば、天然ゴムやポリイソブチレンゴム、スチレン・
ブタジエンゴム、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体ゴム、再生ゴム、ブ
チルゴム、ポリイソブチレンゴム、ＮＢＲなどのゴム系ポリマーをベースポリマーに用い
たゴム系粘着剤；シリコーン系粘着剤；アクリル系粘着剤等が例示される。なかでも、ア
クリル系粘着剤が好ましい。母剤は１種、又は２種以上の成分で構成してもよい。
【００３６】
アクリル系粘着剤としては、例えば（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エ
チル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）ア
クリル酸オクチル等の（メタ）アクリル酸Ｃ1−Ｃ20アルキルエステルなどの（メタ）ア
クリル酸アルキルエステルの単独又は共重合体；該（メタ）アクリル酸アルキルエステル
と他の共重合性モノマー［例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、フマル酸、
無水マレイン酸などのカルボキシル基又は酸無水物基含有モノマー；（メタ）アクリル酸
２−ヒドロキシエチルなどのヒドロキシル基含有モノマー；（メタ）アクリル酸モルホリ
ルなどのアミノ基含有モノマー；（メタ）アクリルアミドなどのアミド基含有モノマー等
］との共重合体などのアクリル系重合体をベースポリマーに用いたアクリル系粘着剤等が
例示される。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて使用できる。
【００３７】
エネルギー線硬化型粘着剤をエネルギー線硬化させるための化学修飾に用いるエネルギ
ー線反応性官能基、及びエネルギー線硬化性化合物としては、赤外線、可視光線、紫外線
、Ｘ線、電子線などのエネルギー線により硬化可能なものであれば特に限定されないが、
エネルギー線照射後のエネルギー線硬化型粘着剤の３次元網状化（網目化）が効率よくな
されるものが好ましい。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて使用できる。
化学修飾に用いられるエネルギー線反応性官能基としては、例えば、アクリロイル基、メ
タクリロイル基、ビニル基、アリル基、アセチレン基などの炭素−炭素多重結合を有する
官能基等が挙げられる。これらの官能基は、エネルギー線の照射により炭素−炭素多重結
合が開裂してラジカルを生成し、このラジカルが架橋点となって３次元網目構造を形成す
ることができる。なかでも、（メタ）アクリロイル基は、エネルギー線に対して比較的高
反応性を示すことができ、また豊富な種類のアクリル系粘着剤から選択して組み合わせて
使用できるなど、反応性、作業性の観点で好ましい。
【００３８】
エネルギー線反応性官能基で化学的に修飾された母剤の代表的な例として、ヒドロキシ
ル基やカルボキシル基等の反応性官能基を含む単量体［例えば、（メタ）アクリル酸２−
ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸等］を（メタ）アクリル酸アルキルエステルと共
重合させた反応性官能基含有アクリル系重合体に、分子内に前記反応性官能基と反応する
基（イソシアネート基、エポキシ基等）及びエネルギー線反応性官能基（アクリロイル基
、メタクリロイル基等）を有する化合物［例えば、（メタ）アクリロイルオキシエチレン
イソシアネートなど］を反応させて得られる重合体が挙げられる。
【００３９】
前記反応性官能基含有アクリル系重合体における反応性官能基を含む単量体の割合は、
全単量体に対して、例えば５〜４０重量％、好ましくは１０〜３０重量％である。前記反
応性官能基含有アクリル系重合体と反応させる際の分子内に前記反応性官能基と反応する
基及びエネルギー線反応性官能基を有する化合物の使用量は、反応性官能基含有アクリル
系重合体中の反応性官能基（ヒドロキシル基、カルボキシル基等）に対して、例えば５０
〜１００モル％、好ましくは６０〜９５モル％である。
【００４０】
エネルギー線硬化性化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリアクリレー
ト、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレー
ト、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシ
ペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、１，４−ブタンジオ
ールジアクリレート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコー
ルジアクリレート等のポリ（メタ）アクリロイル基含有化合物等の炭素−炭素二重結合を
２つ以上有する化合物などが挙げられる。これらの化合物は単独で、又は２種以上を組み
合わせて用いてもよい。なかでも、ポリ（メタ）アクリロイル基含有化合物が好ましく、
例えば特開２００３−２９２９１６号公報に例示されている。以下、ポリ（メタ）アクリ
ロイル基含有化合物を、「アクリート系架橋剤」と称する場合がある。
【００４１】
エネルギー線硬化性化合物としては、また、オニウム塩等の有機塩類と、分子内に複数
の複素環を有する化合物との混合物等を用いることもできる。前記混合物は、エネルギー
線の照射により有機塩が開裂してイオンを生成し、これが開始種となって複素環の開環反
応を引き起こして３次元網目構造を形成することができる。前記有機塩類には、ヨードニ
ウム塩、フォスフォニウム塩、アンチモニウム塩、スルホニウム塩、ボレート塩等が含ま
れ、前記分子内に複数の複素環を有する化合物における複素環には、オキシラン、オキセ
タン、オキソラン、チイラン、アジリジン等が含まれる。具体的には、技術情報協会編、
光硬化技術（２０００）に記載の化合物等を利用できる。
【００４２】
エネルギー線硬化性樹脂としては、例えば、分子末端に（メタ）アクリロイル基を有す
るエステル（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）ア
クリレート、メラミン（メタ）アクリレート、アクリル樹脂（メタ）アクリレート、分子
末端にアリル基を有するチオール−エン付加型樹脂や光カチオン重合型樹脂、ポリビニル
シンナマート等のシンナモイル基含有ポリマー、ジアゾ化したアミノノボラック樹脂やア
クリルアミド型ポリマーなど、感光性反応基含有ポリマーあるいはオリゴマーなどが挙げ
られる。さらに高エネルギー線で反応するポリマーとしては、エポキシ化ポリブタジエン
、不飽和ポリエステル、ポリグリシジルメタクリレート、ポリアクリルアミド、ポリビニ
ルシロキサンなどが挙げられる。なお、エネルギー線硬化性樹脂を使用する場合には、前
記母剤は必ずしも必要でない。
【００４３】
エネルギー線硬化型粘着剤としては、前記アクリル系重合体又はエネルギー線反応性官
能基で化学的に修飾されたアクリル系重合体（側鎖にエネルギー線反応性官能基が導入さ
れたアクリル系重合体）と前記エネルギー線硬化性化合物（炭素−炭素二重結合を２つ以
上有する化合物など）との組み合わせからなるものが特に好ましい。前記組み合わせは、
エネルギー線に対して比較的高い反応性を示すアクリレート基を含み、しかも多様なアク
リル系粘着剤から選択できるため、反応性や作業性の観点から好ましい。このような組み
合わせの具体例として、側鎖にアクリレート基が導入されたアクリル系重合体と、炭素−
炭素二重結合を有する官能基（特にアクリレート基）を２つ以上有する化合物との組み合
わせ等が挙げられる。このような組み合わせとしては、特開２００３−２９２９１６号公
報等に開示のものを利用できる。
【００４４】
前記側鎖にアクリレート基が導入されたアクリル系重合体の調製法としては、例えば、
側鎖に水酸基を含むアクリル系重合体に、アクリロイルオキシエチルイソシアナート、メ
タクリロイルオキシエチルイソシアナートなどのイソシアナート化合物を、ウレタン結合
を介して結合する方法等を用いることができる。
【００４５】
エネルギー線硬化性化合物の配合量は、例えば、母剤（例えば、前記アクリル系重合体
又はエネルギー線反応性官能基で化学的に修飾されたアクリル系重合体）１００重量部に
対して、０．５〜２００重量部程度、好ましくは５〜１８０重量部、さらに好ましくは２
０〜１３０重量部程度の範囲である。
【００４６】
エネルギー線硬化型粘着剤には、３次元網目構造を形成する反応速度の向上を目的とし
て、エネルギー線硬化性を付与する化合物を硬化させるためのエネルギー線重合開始剤が
配合されていてもよい。
【００４７】
エネルギー線重合開始剤は、用いるエネルギー線の種類（例えば、赤外線、可視光線、
紫外線、Ｘ線、電子線等）に応じて公知乃至慣用の重合開始剤を適宜選択できる。作業効
率の面から、紫外線で光重合開始可能な化合物が好ましい。代表的なエネルギー線重合開
始剤として、ベンゾフェノン、アセトフェノン、キノン、ナフトキノン、アンスラキノン
、フルオレノン等のケトン系開始剤；アゾビスイソブチロニトリル等のアゾ系開始剤；ベ
ンゾイルパーオキシド、過安息香酸等の過酸化物系開始剤などが挙げられるが、これらに
限定されない。市販品として、例えば、チバガイギー社製の商品名「イルガキュア１８４
」、「イルガキュア６５１」などがある。
【００４８】
エネルギー線重合開始剤は単独で又は２種以上を混合して使用できる。エネルギー線重
合開始剤の配合量としては、通常、上記母剤１００重量部に対して０．０１〜１０重量部
程度、好ましくは１〜８重量部程度である。なお、必要に応じて前記エネルギー線重合開
始剤とともにエネルギー線重合促進剤を併用してもよい。
【００４９】
エネルギー線硬化型粘着剤には、上記成分のほか、エネルギー線硬化前後に適切な粘着
性を得るために、架橋剤、硬化（架橋）促進剤、粘着付与剤、加硫剤、増粘剤等、耐久性
向上のために、老化防止剤、酸化防止剤等の適宜な添加剤が必要に応じて配合される。
【００５０】
好ましいエネルギー線硬化型粘着剤としては、例えば、エネルギー線硬化性化合物を母
剤（粘着剤）中に配合した組成物、好ましくはＵＶ硬化性化合物をアクリル系粘着剤中に
配合したＵＶ硬化型粘着剤が用いられる。特にエネルギー線硬化型粘着剤の好ましい態様
としては、側鎖アクリレート含有アクリル粘着剤、アクリレート系架橋剤（ポリ（メタ）
アクリロイル基含有化合物；多官能アクリレート）、及び紫外線光重合開始剤を含むＵＶ
硬化型粘着剤が用いられる。側鎖アクリレート含有アクリル粘着剤とは、側鎖にアクリレ
ート基が導入されたアクリル系重合体の意味であり、上記と同様のものを同様の方法で調
製して利用できる。アクリレート系架橋剤とは、ポリ（メタ）アクリロイル基含有化合物
として上記に例示の低分子化合物である。紫外線光重合開始剤としては、代表的なエネル
ギー線重合開始剤として上記に例示のものを利用できる。
【００５１】
また、粘接着剤層６を構成する粘着剤として、上記アクリル系粘着剤を母剤とした非エ
ネルギー線硬化型粘着剤を用いることも可能である。この場合には、筒状巻回体を生成す
る際の剥離応力よりも小さな粘着力を有するものが適合可能であり、例えば、シリコンミ
ラーウェハを被着体に用いた１８０°ピール剥離試験（室温（２５℃））において、６．
５Ｎ／１０ｍｍ以下（例えば、０．０５〜６．５Ｎ／１０ｍｍ、好ましくは０．２〜６．
５Ｎ／１０ｍｍ）、特に６．０Ｎ／１０ｍｍ以下（例えば、０．０５〜６．０Ｎ／１０ｍ
ｍ、好ましくは０．２〜６．０Ｎ／１０ｍｍ）のものを用いることができる。
【００５２】
このような粘着力の小さいアクリル系粘着剤を母剤とした非エネルギー線硬化型粘着剤
としては、（メタ）アクリル酸アルキルエステル［例えば（メタ）アクリル酸メチル、（
メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘ
キシル、（メタ）アクリル酸オクチル等の（メタ）アクリル酸Ｃ1−Ｃ20アルキルエステ
ル］と、反応性官能基を有するモノマー［例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン
酸、フマル酸、無水マレイン酸などのカルボキシル基又は酸無水物基含有モノマー；（メ
タ）アクリル酸２−ヒドロキシエチルなどのヒドロキシル基含有モノマー；（メタ）アク
リル酸モルホリルなどのアミノ基含有モノマー；（メタ）アクリルアミドなどのアミド基
含有モノマー等］と、必要に応じて用いられる他の共重合性モノマー［例えば、（メタ）
アクリル酸イソボルニルなどの脂環式炭化水素基を有する（メタ）アクリル酸エステル、
アクリロニトリル等］との共重合体に、前記反応性官能基と反応しうる架橋剤［例えば、
イソシアネート系架橋剤、メラミン系架橋剤、エポキシ系架橋剤等］を添加して架橋させ
たアクリル系粘着剤などが好ましく用いられる。
【００５３】
粘接着剤層６は、例えば、粘着剤、エネルギー線硬化性化合物、必要に応じて溶媒を添
加して調製したコーティング液を、非熱収縮基材４の表面に塗布する方法、適当な剥離ラ
イナー（セパレータ）上に前記コーティング液を塗布して粘着剤層を形成し、これを非熱
収縮基材４上に転写（移着）する方法など、慣用の方法により形成できる。転写による場
合は、非熱収縮基材４との界面にボイド（空隙）が残る場合がある。この場合、オートク
レーブ処理等により加温加圧処理を施し、ボイドを拡散させて消滅させることができる。
粘接着剤層６は単層、複層の何れであってもよい。
【００５４】
本発明における粘接着剤層６の構成成分には、さらにガラスビーズ、樹脂ビーズ等のビ
ーズが添加されていてもよい。粘接着剤層６にガラスビーズや樹脂ビーズを添加すると、
ずり弾性率を高めて粘着力を低下させやすくなる。ビーズの平均粒径は、例えば１〜１０
０μｍ、好ましくは１〜２０μｍ程度である。ビーズの添加量は、粘接着剤層６の全体１
００重量部に対して、例えば２５〜２００重量部、好ましくは５０〜１００重量部である
。前記添加量がこの範囲であれば、分散不良を起さず粘接着剤の塗布が困難になることが
ない。
【００５５】
粘接着剤層６の厚みは、一般には１０〜２００μｍ、好ましくは２０〜１００μｍ、さ
らに好ましくは３０〜６０μｍである。前記厚みは、薄すぎると粘着力が不足するため被
着体を保持、仮固定することが困難となりやすく、厚すぎると不経済であり、取扱性にも
劣るため好ましくない。
【００５６】
本発明の自発巻回性積層シートは、熱収縮基材２と非熱収縮基材４を接着性樹脂層３を
介して重ね、ハンドローラーやラミネーター等の積層手段や、オートクレーブなどの大気
圧圧縮手段を、目的に応じて適宜選択的に用いて積層させることにより製造できる。また
、本発明の粘接着シートは、前記自発巻回性積層シートの非熱収縮基材４の表面に粘接着
剤層６を設けることにより、あるいは予め片面に粘接着剤層６を設けた非熱収縮基材４を
熱収縮基材２と接着性樹脂層３を介して重ね合わせて積層することにより製造できる。
【００５７】
本発明の粘接着シート５は、例えば、半導体等の保護用粘着シート、半導体ウェハ等の
固定用粘着シートとして利用でき、より具体的には、例えば、シリコン半導体バックグラ
インド用粘着シート、化合物半導体バックグラインド用粘着シート、シリコン半導体ダイ
シング用粘着シート、化合物半導体ダイシング用粘着シート、半導体パッケージダイシン
グ用粘着シート、ガラスダイシング用粘着シート、セラミックスダイシング用粘着シート
等として使用できる。特に、半導体保護用粘着シート、半導体ウェハ固定用粘着シート等
の半導体用粘着シートとして有用である。
【００５８】
次に、本発明の粘接着シートを用いた被着体の加工方法について説明する。本発明の粘
接着シートを被着体に貼着して仮固定し、被着体（被加工物）に所要の加工を施した後、
粘接着シートの粘接着剤層の粘着力を低下させるとともに、熱収縮基材の収縮原因となる
熱等の刺激を付与し、粘接着シートの１端部から１方向（通常、主収縮軸方向）へ又は対
向する２端部から中心に向かって（通常、主収縮軸方向へ）自発的に巻回させ、１又は２
個の筒状形状を形成させることにより被着体から剥離し、加工品を得ることができる。な
お、粘接着シートの１端部から１方向へ変形する場合は、１個の筒状形状が形成され（一
方向巻回剥離）、粘接着シートの対向する２端部から中心に向かって自発的に巻回する場
合は、平行に並んだ２個の筒状形状が形成される（二方向巻回剥離）。
【００５９】
被加工物の代表的な例として、半導体ウェハなどが挙げられる。 加工の種類には、例
えば、研削、切断、研磨、エッチング、旋盤加工、加熱（但し、熱収縮基材が熱収縮基材
の場合には、熱収縮開始温度以下の温度に限られる）などが含まれ、該粘接着シートを用
いて施しうる加工であれば特に限定されない。
【００６０】
被加工物の加工後、例えば、粘接着剤層がエネルギー線硬化型粘着剤層である場合には
、その粘着剤層にエネルギー線照射を行うとともに、所要の加熱手段により熱収縮基材を
加熱すると、粘着剤層は硬化して粘着力を失い、熱収縮基材が収縮変形しようとするため
、粘接着シート外縁部が浮き上がって、その外縁部（又は対向する二つの外縁部）より粘
接着シートが巻回しつつ、一方向（又は方向が互いに逆の二方向（中心方向））へ自走し
て１個（又は２個）の筒状形状を形成する。この際、非熱収縮基材によって粘接着シート
の収縮方向が調整されるので、一軸方向へ巻回しつつ速やかに筒状形状が形成される。そ
のため、粘接着シートを被着体（加工品）から極めて容易に且つ綺麗に剥離することがで
きる。加熱温度は熱収縮基材の収縮性に応じて適宜選択でき、例えば７０〜１８０℃、好
ましくは７０〜１４０℃である。エネルギー線照射、加熱処理は同時に行ってもよく、段
階的に行ってもよい。また加熱は被着体全面に均一に加温するだけでなく、全面を段階的
に加温する、さらには剥離きっかけを作るためだけに部分的に加熱してもよく、易剥離性
を活用する目的において適宜選択すべきである。
【００６１】
図３は本発明のフィルム又は粘接着シートが筒状形状に変形する様子を示す図（斜視図
）であり、（Ａ）は収縮性フィルムの収縮原因となる刺激を付与する前のフィルム又は粘
接着シートを示す図、（Ｂ）は熱収縮基材の収縮原因となる刺激が付与されたフィルム又
は粘接着シート（粘着剤層の粘着力が低下又は消失した後の粘接着シート）がシート外縁
部（１端部）から一方向（通常、収縮性フィルムの主収縮軸方向）に巻回し始めた時の状
態を示す図、（Ｃ）はシートの巻回が終了して１個の筒状形状が形成された時の状態（一
方向巻回）を示す図である。また、（Ｄ）はシートの対向する２端部から中心に向かって
（通常、収縮性フィルムの主収縮軸方向へ）自発的に変形して２個の筒状形状が形成され
たときの状態（二方向巻回）を示す図である。なお、フィルムと、このフィルムに粘接着
剤層を設けた粘接着シートとは、筒状形状への変形性に実質的な差はほとんどない。フィ
ルムや粘接着シートが一方向巻回を起こすのか、或いは二方向巻回を起こすのかは、非熱
収縮基材の熱収縮基材に対する粘着力や非熱収縮基材（特に接着性樹脂層）のずり弾性率
等によって変わる。
【００６２】
図３において、Ｌはフィルム又は粘接着シート５の巻回方向（通常、熱収縮基材の主収
縮軸方向）の長さ（シートが円形状の場合は直径）を示し（図３（Ａ））、ｒは形成され
た筒状形状の直径（シートが円形状等の場合のように筒状形状の直径が筒の長さ方向にお
いて一定でない場合は、最大直径）を示す（図３（Ｃ）、（Ｄ））。本発明のフィルム又
は粘接着シートにおいては、ｒ／Ｌの値は、好ましくは０．００１〜０．３３３の範囲、
さらに好ましくは０．０１〜０．２の範囲である。なお、Ｌは、例えば１０〜２０００ｍ
ｍ、好ましくは３００〜１０００ｍｍである。フィルム又は粘接着シートにおけるＬに直
交する方向の長さは、例えば１０〜２０００ｍｍ、好ましくは３００〜１０００ｍｍ程度
である。ｒ／Ｌの値は、熱収縮基材２、非熱収縮基材４及び接着性樹脂層３、粘接着剤層
６の各層の材料の種類、組成及び厚み等、特に非熱収縮基材４を構成する接着性樹脂層３
のずり弾性率及び厚み及び非熱収縮基材４のヤング率及び厚みを調整することにより上記
の範囲にすることができる。この例では、フィルム又は粘接着シートの形状は四角形であ
るが、これに限らず、目的に応じて適宜選択でき、円形状、楕円形状、多角形状等の何れ
であってもよい。
【００６３】
被着体（被加工物）の加工に本発明の粘接着シートを用いると、剥離時の応力による被
加工物の破損を回避でき、例えば厚みの薄い半導体ウェハなどの脆弱な被着体を加工する
場合であっても、それを破損したり汚染することなく、簡易に粘接着シートを該被着体か
ら剥離することができる。
【００６４】
本発明は上記の材料及び層構成からなり、熱収縮基材に接着性樹脂層を介して非熱収縮
性基材を積層させてなるフィルム及び粘接着シートであって、さらに、加熱されて筒状形
状となった後に、自動的に復元しないという性質を有することが求められる。
この性質を確認するために、図５に示すように、例えば、フィルムを長さ５０ｍｍ幅２
０ｍｍの大きさに切断し、これをＡ工程にて加熱することにより形成される筒状形状物を
、Ｂ工程にて加熱前のもとの長さ５０ｍｍに巻き戻すために必要な力Ｆが０．０１Ｎを超
えれば確実に筒状形状となったフィルムが自動的に復元することがないと判断することが
できる。
なぜならば、筒状形状物はぜんまいのように働くため、巻き戻すための力が必要である
が、その必要な力は筒状形状物の剛性に依る。つまり巻き戻すために必要な力が、０．０
１Ｎを超える場合には、筒状形状物を構成するフィルムは高い剛性を持っており、例えば
、被着体に接着させた後に筒状形状物とし、これを剥離・除去する操作における応力によ
り、該筒状物が押しつぶされるような場合でも、容易に再付着するような変形となる程度
に押しつぶされることがない。もしくは再付着したとしても、高い剛性（弾性）による変
形回復が起こって再付着部分が剥離するため、回収作業が簡便となる。さらに、その力が
０．０５Ｎ以上であればより硬く筒状形状を形成できる。
なお、上記では、フィルムの大きさを長さ５０ｍｍ幅２０ｍｍとしているが、フィルム
の大きさを規定するものではなく、あくまで一例として示したにすぎない。
もちろん、フィルムの大きさが異なれば、おのずと必要な力はその大きさに依存して変
化するので、加熱前のもとの長さに巻き戻すために必要な力は、０．０１Ｎとは異なる力
となる。
【００６５】
そのような、筒状形状となった後には自動的に復元しない性質を備える本発明のフィル
ムに必要な物性として、熱収縮基材のヤング率と厚みの積が４２０００Ｎ／ｍ以上であっ
てもよく、さらに好ましくは８００００Ｎ／ｍ以上である。なぜならば、ぜんまいとして
強くあるためには、積層樹脂層を構成する材料の剛性が高いことが必要であるからである
。
なお、熱収縮基材のヤング率に関して、熱収縮基材は一般に2軸延伸によって作製され
るためにフィルム面内で異方性を持つ(フィルムの縦方向、横方向で異なる値となる)が、
本発明では、両方向のヤング率のうちより高い値を採用できる。
【００６６】
また、フィルムを１０×１０ｍｍに切断し、加熱して筒状形状としたものに対して、荷
重を加えて、荷重を加える前の初期の直径（Ｌ）が荷重を加えた後に１／２となるために
必要な荷重が１Ｎ以上であると、外部応力に強く、剥離・除去するに十分な硬さの筒状形
状を呈するが、さらに１．２Ｎ以上であれば、より剥離・除去に十分な硬度を備えること
ができる。
【００６７】
以下、実施例に基づいて本発明による効果を説明する。
【実施例１】
【００６８】
表１に示すように、熱収縮基材として、東洋紡社製スペースクリーンＳ７２００（厚さ
３０μｍ）（ヤング率と厚みの積が１０２０００Ｎ／ｍ））を使用し、これに接着性樹脂
層であるポリエステルポリオール系粘着剤を介して、非熱収縮基材である東レ社製ルミラ
ーＳ１０５（厚さ３８μｍ）を積層してフィルムを得た。
【実施例２】
【００６９】
非熱収縮基材を東レ社製ルミラーＥ１０（厚さ１２μｍ）とした以外は実施例１と同様
にしてフィルムを得た。
【実施例３】
【００７０】
接着性樹脂層をアクリル系粘着剤からなるものとした以外は実施例１と同様にしてフィ
ルムを得た。
【実施例４】
【００７１】
熱収縮基材として、東レ社製トレファン８Ｄ−ＹＫ５１（厚さ８μｍ）（ヤング率と厚
みの積が２８０００Ｎ／ｍ））を使用し、これに接着性樹脂層であるポリエステルポリオ
ール系粘着剤を介して、非熱収縮基材である東レ社製ルミラーＥ５５（厚さ２５μｍ）を
積層してフィルムを得た。
【００７２】
（試験１）
実施例１〜４のフィルムを幅２０ｍｍ×長さ７０ｍｍに切断した。
図６に示すように、長さ７０ｍｍの端の２０ｍｍに相当する部分を両面テープを用いて
試料支持板（１ｍｍのＳＵＳ板）に貼りつけ、支持板に接合されていない部分をＣ工程に
て加熱して筒状にした。
次にＤ工程にて筒状物の一端部に錘を取り付け、加熱前の形状になる荷重を測定した。そ
の結果実施例1〜３では必要荷重Ｆが０．０７Ｎ以上であったのに対し、実施例4では０．
０１Ｎであった。
【００７３】
（試験２）
実施例１〜４のフィルムを１０×１０ｍｍに切断し、加熱して筒状形状とした。この筒
状形状のものに荷重を加えて圧縮し、筒状形状の高さ（Ｌ’）が初期の直径（Ｌ）の１／
２となるために必要な荷重を測定した。
その結果、実施例１〜３では、いずれも１Ｎ以上必要であったのに対し、実施例４では
測定限界以下である０．０５Ｎであった。
このことから、巻き戻し時に０．０１Ｎ以上の力を要する筒状形状のものは外部応力で
の変形に強いことがわかった。
【００７４】
（試験３）
実施例１〜４のフィルムの非熱収縮基材側にアクリル系粘着剤を塗布し、粘着シートを
作製した。この粘着シートを１０×１０ｍｍに切断した後、加熱して筒状形状とした。
この筒状形状のものをガラス板に貼り付けた後、試験２で用いた測定装置で１０〜１５
Ｎの力を加えて筒状物を可能な限り押しつぶし、粘着剤層をガラス板に密着(粘着)させた
。
この後、積層基材の剛性(弾性)回復により、密着部分が無くなりながら、押しつぶされ
る前の筒状に復元する際の時間を測定した。そして図８のＸで示す形状のように復元する
に要する時間が1分以内なら○、図８のＹで示すように復元せずに１分以上経過すれば×
とした。
その結果、実施例１〜３の積層基材を用いた粘着シートは荷重を解除したと同時に形状
が回復、１分以内で元の形状に復元したが、実施例４のフィルムから得た粘着シートでは
密着したまま形状回復しなかった。このことより、巻き戻し時に０．０１Ｎ以上の力を要
する筒状物は剥離操作応力で被着体に再付着しても、力を取り除きさえすれば、剥離の簡
便さを損なわないことがわかった。
【００７５】
（試験４）
本発明の粘着シートをダイシング時の表面の保護用途に用いることを想定し、下記試験
を行うことで有用性を判断した。
試験３にて作製した実施例１〜４のフィルムに基づく粘着シート4種それぞれについて
、１０×１０ｍｍに切断した後加熱し筒状形状としたものを２５個用意し、５×５ｃｍの
ガラス板に均等に配置した。
図８に示すように、ガラス板上の２５個の筒状物を回収するため、筒状形状の上に５０
ｍｍ幅の日東電工社製ＢＴ３１５（バックグラインドテープ回収テープ）を設置し、ＢＴ
３１５が筒状形状のものに確実に粘着するよう、ＢＴ３１５上方より金属製のバレン（直
径８ｃｍ）を押し当てた。十分に押し込んだ後バレンを除去し、ＢＴ３１５をピール剥離
した。その結果実施例１〜３のフィルムに基づく粘着シートは、いずれも２５個の筒状物
を回収できた。一方実施例4では十分に押し込んだ場合にはＢＴ３１５の一部がガラス板
にも粘着するため、ピール剥離ができなかった。また、ガラス板に接着しないよう押し圧
を弱めたところ、筒状物とＢＴ３１５の粘着も不完全となり、この場合には最大で２０個
しか筒状物を回収できなかった。このため実施例４のテープに基づく粘着シートは実用上
不適であると判断された。
【００７６】
これらの試験１〜４の結果を総合すると、本発明のフィルム及び粘接着シートは、加熱
後に自動的に復元することがない筒状形状を呈するという性質を備えることにより、その
ような性質を備えていない粘接着シートと比較して、被着体表面にて粘接着し筒状形状と
なった後において、その筒状形状のものを剥離除去することを確実に行うことができる効
果を奏するものである。
【００７７】
【表１】
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【符号の説明】
【００７８】
１・・・フィルム
２・・・熱収縮基材
３・・・接着性樹脂層
４・・・非熱収縮基材
５・・・粘接着シート
６・・・粘接着剤層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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