(57)【要約】【課題】リード裏面のはんだの有無を容易に確認できる構造のモールドパッケージを簡易な製造工程で得る。【解決手段】図６（ｂ）に示されるように、共通リード１２の中心軸付近を、その長さ方向と平行にハーフカット加工を行う（裏面溝形成工程）。この工程により、裏面において共通リード１２の中心付近に裏面溝３０が形成される。次に、図６（ｄ）に示されるように、上方のモールド材２４側から、横セクションバー１３のある箇所を、横セクションバー１３と平行に、ブレード１０２を用いたハーフカット加工を行う（モールド分離工程）。この工程により、中心付近でモールド材２４が大きく除去されたモールド溝３１が形成される。次に、図６（ｆ）に示されるように、モールド溝３１の底面を、横セクションバー１３あるいはモールド溝３１と平行に、ブレード１０３でフルカット加工する（切断工程）。【選択図】図６
2011124283.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
モールド材中に電子部品が封止され前記電子部品と電気的に接続されたリードが底面の端部に設けられた構造を具備する複数のモールドパッケージを、単一の金属パターンを用いて構成した後に切断することによって得る、モールドパッケージの製造方法であって、
前記金属パターンにおいて、隣接して製造される２つのモールドパッケージとなる部分の間に、２つに分離されることによってそれぞれ前記２つのモールドパッケージの前記リードとなる共通リードを設け、
前記金属パターン上に前記電子部品を搭載した後に、前記金属パターンにおける前記電子部品が搭載された側と反対側の面が裏面に露出するように、前記モールド材を前記金属パターン上に形成するモールド工程と、
前記裏面側から、前記共通リード中に、前記共通リードと略平行かつ前記共通リードよりも細く、前記共通リードの厚さよりも浅くハーフカット加工した裏面溝を形成する裏面溝形成工程と、
前記裏面と反対側から、前記隣接して製造される２つのモールドパッケージとなる部分の間において、前記裏面溝と略垂直に、前記モールド材及び前記共通リードを、前記裏面溝に達しかつ裏面には達さない深さまでハーフカット加工したモールド溝を形成するモールド分離工程と、
前記モールド溝の底面を、前記モールド溝よりも狭い幅で、前記モールド溝と略平行に切断して前記共通リードを分断する切断工程と、
を具備することを特徴とするモールドパッケージの製造方法。
【請求項２】
前記金属パターンは、前記共通リードと略直交し前記共通リードと一体に形成されたセクションバーを具備し、
前記切断工程において、前記セクションバーを除去するように切断を行うことを特徴とする請求項１に記載のモールドパッケージの製造方法。
【請求項３】
前記金属パターンにおいて、
複数の前記共通リードが並列して形成され、該複数の共通リードは、共通の前記セクションバーで接続されることを特徴とする請求項２に記載のモールドパッケージの製造方法。
【請求項４】
前記切断工程後に、
切断された前記複数の共通リード間に残存したモールド材を除去することを特徴とする請求項３に記載のモールドパッケージの製造方法。
【請求項５】
請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載のモールドパッケージの製造方法によって製造されたことを特徴とするモールドパッケージ。
【請求項６】
ＳＯＮ（Ｓｍａｌｌ  Ｏｕｔｌｉｎｅ  Ｎｏｎ−ｌｅａｄ）型、パッケージ、ＱＦＮ（Ｑｕａｄ  Ｆｌａｔ  Ｎｏｎ−ｌｅａｄ）型パッケージのいずれかであることを特徴とする請求項５に記載のモールドパッケージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モールド材中に電子部品が封入され、底面にリードが設けられた形態のモールドパッケージの製造方法、及びこのモールドパッケージに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、複数の半導体チップ（電子部品）で構成される半導体モジュールは、基板上にこれらの半導体チップが搭載された構造が、樹脂等で構成されたモールド材中に封入されたモールドパッケージの形態とされる場合が多い。モールドパッケージにおける電気端子となるリードは、モールド材の表面に形成され、内部の半導体素子等に接続される。こうしたモールドパッケージの形態は様々であるが、その中に、ノンリード型、例えばＳＯＮ（Ｓｍａｌｌ  Ｏｕｔｌｉｎｅ  Ｎｏｎ−ｌｅａｄ）型として知られるパッケージがある。図８は、その一例となるＳＯＮ型パッケージ９０の外観を示す図である。図８において、（ａ）はその側面図、（ｂ）は上面図、（ｃ）は正面図、（ｄ）は下面図、（ｅ）は斜視図である。このパッケージの特徴は、矩形体形状とされ、半導体チップが内蔵されたモールド材９１の底面の左右端部に、電気端子となる複数のリード９２が設けられている点である。各リード９２は、モールド材９１中に封止されている半導体チップの端子と電気的に接続され、はんだ付けが可能な金属、例えば銅で構成される。この構成においては、底面のリード９２のそれぞれを基板上にはんだで接合することにより、このＳＯＮ型パッケージ９０を基板上に固定し、かつ基板と半導体チップとの電気的接合をとることができる。こうしたノンリード型パッケージの特徴は、この接続を底面と基板との間のみを用いて行うことができるため、電気的接続のためにＳＯＮ型パッケージ９０の底面積よりも大幅に広い面積を必要とすることがなく、高密度に実装することができる点である。このＳＯＮ型パッケージ９０の典型的な大きさは例えば１０ｍｍ×２０ｍｍ程度である。
【０００３】
ただし、このＳＯＮ型パッケージ９０を基板上に実装する際には、各リード９２に充分にはんだが乗っている（付着している）かどうかを作業者が目視、あるいは外観検査装置で確認することが必要になる。このため、実際には、図８に示されるように、各リード９２をわずかにモールド材９１の側面から突き出した形態とし、この突き出た部分を観察することによって、はんだの有無の確認を行っている。すなわち、実際のＳＯＮ型パッケージ９０においては、各リード９２はモールド材９１の側面からわずかに突き出した形態をとる。なお、この突き出した部分で電気接続をとるのではなく、この部分ははんだの有無の確認のみに用いられるため、この突き出し量は１ｍｍ未満である。従って、この構造はこのＳＯＮ型パッケージ９０を高密度で実装する際の障害とはならない。
【０００４】
一方、ＳＯＮ型パッケージ以外においても、はんだによってリードを基板に固定する構成のパッケージであれば、リードに充分にはんだが乗っているか否かの確認は同様に重要である。こうした構造の一例として、特許文献１には、屈曲させたリードの先端にスリットを設けた構造のパッケージが記載されている。この構造においては、屈曲したリードの先端部分で基板との接合を行い、このリード先端のスリットからリード裏面のはんだを確認することができる。従って、はんだ付けを確実に行うことができる。
【０００５】
このように、はんだを用いて基板にリードを接合する構成のパッケージにおいては、リードに充分にはんだが乗っていることが確認しやすい構造が用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平２−２９５０７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
図８の構造のＳＯＮ型パッケージ９０をはんだで基板に接合する際には、リード９２の側面のはんだの有無を目視や外観検査装置で確認する。しかしながら、実際に重要なのは、リード９２の側面ではなく、リード９２の裏面（基板に接合される側の面）におけるはんだの有無である。これに対して、図８の構造では、裏面のはんだを確認することは困難であった。
【０００８】
こうした点においては、特許文献１に記載の構造は極めて有効であり、リード裏面のはんだをスリットを通して確認することができる。しかしながら、この構造を製造するに際しては、各リードの先端にスリットを形成し、かつ各リードを屈曲させる作業が必要になる。スリットを形成するためには、一般には回転するブレード（刃）が用いられるが、この作業を各リードにおいて行うことは、リードの本数が多い場合には、特に生産性を大きく低下させる。特許文献１に記載のパッケージは、リードの数が少ないディスクリート素子のパッケージであり、こうしたパッケージにおいてはこうした形状のリードを用いることは比較的容易である。これに対して、ＳＯＮ型パッケージのような大規模なモールドパッケージにこの技術を用いる場合には、特にその製造工程が複雑となるために、生産性が大きく低下した。
【０００９】
すなわち、リード裏面のはんだの有無を容易に確認できる構造のモールドパッケージを簡易な製造工程で得ることは困難であった。
【００１０】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、上記問題点を解決する発明を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、上記課題を解決すべく、以下に掲げる構成とした。
本発明のモールドパッケージの製造方法は、モールド材中に電子部品が封止され前記電子部品と電気的に接続されたリードが底面の端部に設けられた構造を具備する複数のモールドパッケージを、単一の金属パターンを用いて構成した後に切断することによって得る、モールドパッケージの製造方法であって、前記金属パターンにおいて、隣接して製造される２つのモールドパッケージとなる部分の間に、２つに分離されることによってそれぞれ前記２つのモールドパッケージの前記リードとなる共通リードを設け、前記金属パターン上に前記電子部品を搭載した後に、前記金属パターンにおける前記電子部品が搭載された側と反対側の面が裏面に露出するように、前記モールド材を前記金属パターン上に形成するモールド工程と、前記裏面側から、前記共通リード中に、前記共通リードと略平行かつ前記共通リードよりも細く、前記共通リードの厚さよりも浅くハーフカット加工した裏面溝を形成する裏面溝形成工程と、前記裏面と反対側から、前記隣接して製造される２つのモールドパッケージとなる部分の間において、前記裏面溝と略垂直に、前記モールド材及び前記共通リードを、前記裏面溝に達しかつ裏面には達さない深さまでハーフカット加工したモールド溝を形成するモールド分離工程と、前記モールド溝の底面を、前記モールド溝よりも狭い幅で、前記モールド溝と略平行に切断して前記共通リードを分断する切断工程と、を具備することを特徴とする。
本発明のモールドパッケージの製造方法において、前記金属パターンは、前記共通リードと略直交し前記共通リードと一体に形成されたセクションバーを具備し、前記切断工程において、前記セクションバーを除去するように切断を行うことを特徴とする。
本発明のモールドパッケージの製造方法は、前記金属パターンにおいて、複数の前記共通リードが並列して形成され、該複数の共通リードは、共通の前記セクションバーで接続されることを特徴とする。
本発明のモールドパッケージの製造方法は、前記切断工程後に、切断された前記複数の共通リード間に残存したモールド材を除去することを特徴とする。
本発明のモールドパッケージは、前記モールドパッケージの製造方法によって製造されたことを特徴とする。
本発明のモールドパッケージは、ＳＯＮ（Ｓｍａｌｌ  Ｏｕｔｌｉｎｅ  Ｎｏｎ−ｌｅａｄ）型、パッケージ、ＱＦＮ（Ｑｕａｄ  Ｆｌａｔ  Ｎｏｎ−ｌｅａｄ）型パッケージのいずれかであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明は以上のように構成されているので、リード裏面のはんだの有無を容易に確認できる構造のモールドパッケージを簡易な製造工程で得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施の形態に係るモールドパッケージの製造方法において用いられる金属パターンの単位構造を示す平面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係るモールドパッケージの製造方法において用いられる金属パターンの構成を示す平面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るモールドパッケージの製造方法によって製造されるモールドパッケージの透視図である。
【図４】本発明の実施の形態に係るモールドパッケージの製造方法におけるモールド工程後の構造の平面図（ａ）断面図（ｂ）である。
【図５】本発明の実施の形態に係るモールドパッケージの製造方法における工程中の構造を側面、上面、正面、下面から見た図である。
【図６】本発明の実施の形態に係るモールドパッケージの製造方法における工程中の構造を見た斜視図である。
【図７】本発明の実施の形態に係るモールドパッケージの製造方法によって製造されたモールドパッケージの側面図（ａ）、上面図（ｂ）、正面図（ｃ）、下面図（ｄ）、斜視図（ｅ）である。
【図８】従来のモールドパッケージの一例の側面図（ａ）、上面図（ｂ）、正面図（ｃ）、下面図（ｄ）、斜視図（ｅ）である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態となるモールドパッケージの製造方法につき説明する。この製造方法は、ノンリード型のモールドパッケージ、例えばＳＯＮ型パッケージを製造するのに適している。図１は、この製造方法において用いられる金属パターンの単位構造１０の平面図であり、これはＳＯＮ型パッケージ１個に対応する。この単位構造１０は、製造されるＳＯＮ型パッケージのリードフレームやリード等となる。実際にＳＯＮ型パッケージを製造するに際しては、単位構造１０が多数２次元配列された構成の金属パターンを用いて、多数のＳＯＮ型パッケージが配列された構造を製造し、その後でこれらを分断し、個々のＳＯＮ型パッケージを得る。
【００１５】
この単位構造１０の中央部には、半導体チップ（電子部品）を搭載するリードフレーム１１があり、その左右両側に共通リード１２が平行に複数存在し、これらはそれぞれ左右で横セクションバー（セクションバー）１３に接続される。リードフレーム１１も、上下方向でリードフレーム固定バー１４を用いて縦セクションバー（セクションバー）１５と一体化され、全体が一体化されている。ここで用いられる金属パターン１００は、図２に示されるように、この単位構造１０が多数配列した形態となり、全体が一体化されている。左右に隣接する共通リード１２は、これに直交する横セクションバー１３で接続された形態となる。横セクションバー１３、リードフレーム固定バー１４、縦セクションバー１５は、製造された個々のＳＯＮ型パッケージにおいては不要であるが、これらを金属パターン１００として一体化するために用いられている。また、この金属パターン１００は、はんだ付けの可能な金属、例えば銅合金で構成され、平板を例えばプレス加工することによって図２の形状とされる。従って、図２において、リードフレーム１１、共通リード１２、横セクションバー１３、リードフレーム固定バー１４、縦セクションバー１５は同一平面を構成する。この際の平板の厚さは、例えば０．４ｍｍ程度とされる。横セクションバー１３、リードフレーム固定バー１４、縦セクションバー１５の幅は、図２の構造が強固に保たれるように適宜設定される。ただし、後述するように、横セクションバー１３及び縦セクションバー１５の幅は、フルカット加工の際にこれらが完全に除去されるような幅に設定される。
【００１６】
また、この単位構造１０上に構成されるＳＯＮ型パッケージを上面から見た透視図が図３である。共通リード１２とリードフレーム固定バー１４は切断され、共通リード１２が切断されて分断された後にリード２１となる。リードフレーム１１上には半導体チップ２２が搭載され、半導体チップ２２と各リード２１との接続はボンディングワイヤ２３で行われる。その後、リードフレーム１１周辺がモールド材２４で封入される。リード２１は矩形体のモールド材２４端部から突出し、図８と同様のＳＯＮ型パッケージとなっている。この矩形体を上面から見た大きさは、例えば７．０ｍｍ×５．２ｍｍ程度である。ただし、各リード２１には、スリット２５が形成されている。これにより、リード２１をはんだで接合する際には、このスリット２５から裏面のはんだを上側から確認することができる。
【００１７】
このモールドパッケージの製造方法においては、簡易な工程で、各リード２１にスリット２５が形成された構成のＳＯＮ型パッケージを得ることができる。以下では、この製造方法について説明する。
【００１８】
まず、上記の金属パターン１００において、各リードフレーム１１上に半導体チップ２２を搭載し、半導体チップ２２と共通リード１２とを、ボンディングワイヤ２３で接続する。この作業は、周知の方法により行われる。すなわち、各半導体チップ２２の裏面ははんだ等で各リードフレーム１１に接続され、各ボンディングワイヤ２３は、各半導体チップ２２上にあるパッド（電極）と共通リード１２とを接続するように、超音波接合等によって接続される。その後、この構造全体は、モールド材２４中に封入される（モールド工程）。この状態でのモールド材２４を通して上面から透視した平面図を図４（ａ）に、この構造のＡ−Ａ方向の断面図を図４（ｂ）に示す。モールド材２４としては、例えば１ｍｍ程度の厚さのシート状のモールド樹脂材料を用いることができる。これを加熱して上側（半導体チップ２２がある側）から加圧することにより、図４（ｂ）のような断面構造とすることができる。この構造においては、金属パターン１００の裏面（半導体チップ２２が搭載された側と反対側の面）がその裏面に露出した形態となっている。
【００１９】
以上で用いられる金属パターン１００の構成やモールド工程の内容については、図８に示された従来のＳＯＮ型パッケージを製造する場合、すなわち、リードにスリットが設けられていない場合と同様である。
【００２０】
このモールドパッケージの製造方法におけるその後の製造工程について、以下に、図４（ａ）中の点線で囲まれた領域（対象領域Ｋ）についてのみ示す。この領域は、左右に隣接して製造される２つのＳＯＮ型パッケージとなる部分の間であり、その左右に形成されるＳＯＮ型パッケージのリードが形成される箇所に対応する。この領域における共通リード１２は、２つに分断されることによって各ＳＯＮ型モールドパッケージのリードとなる。ただし、図４の状態（モールド工程後）においては、リード中のスリットに対応する構造は形成されていない。
【００２１】
図５（ａ）〜（ｇ）は、このモールドパッケージの製造方法の各工程におけるこの対象領域Ｋの側面、上面、正面、下面から見た形状をそれぞれ示す。また、同様に、図６（ａ）〜（ｇ）はその斜視図を示す。
【００２２】
図５（ａ）、図６（ａ）においては、図４の状態（モールド封止後）の形態が示されている。すなわち、モールド材２４中に、金属パターン１００の一部（共通リード１２と横セクションバー１３からなる十字型の構造）が埋め込まれており、下面（裏面）ではこの十字型の構造が露出している。
【００２３】
次に、図５（ｂ）、図６（ｂ）に示されるように、この構造に対して、裏面側（モールド材２４のある側と反対側）から回転するブレード（切断刃）１０１を当接させ、共通リード１２の中心軸付近を、その長さ方向と平行にハーフカット加工を行う（裏面溝形成工程）。ここで、ハーフカット加工とは、この構造を切断によって分離するのではなく、ある決まった深さまでの切断加工を行うことを意味する。ブレード１０１は、その切断深さが一定となるように図４の構造の裏面をその刃面の方向（回転軸と垂直な方向）に走査される。この切断深さは、共通リード１２の厚さよりも充分に浅くする。例えば、共通リード１２（金属パターン１００）の厚さが０．４ｍｍである場合には、０．２５ｍｍ程度とする。また、切断する幅（ブレード１０１の厚さ）は、後述するスリットの幅に対応し、共通リード１２の幅よりも狭い。この幅は、ＳＯＮ型パッケージをはんだで接合する際にはんだが確認できる程度の幅であり、かつリードにおいてスリットが形成されずに残った部分が充分な強度で接合できる程度となるように設定される。共通リード１２の幅を０．４ｍｍ程度とした場合には、ブレード１０１の厚さは、例えば０．２ｍｍ程度とする。
【００２４】
この工程により、図５（ｃ）、図６（ｃ）に示されるように、裏面において共通リード１２の中心付近に裏面溝３０が形成される。この工程では、モールド材２４は全く影響を受けない。
【００２５】
次に、図５（ｄ）、図６（ｄ）に示されるように、上方のモールド材２４側（裏面と反対側）から、横セクションバー１３のある箇所（隣接して製造される２つのＳＯＮ型パッケージとなる部分の間）を、横セクションバー１３と平行（前記の裏面溝３０と垂直）に、ブレード１０２を用いたハーフカット加工を行う（モールド分離工程）。その切断深さは、裏面溝３０に達する程度とし、かつ横セクションバー１３を完全に切断はしない深さとする。例えば、シート状のモールド材２４の厚さが１ｍｍ、共通リード１２（金属パターン１００）の厚さが０．４ｍｍである場合には、この切断深さは０．８ｍｍ程度とする。その幅（ブレード１０２の厚さ）は、横セクションバー１３の幅よりも広くし、例えば３．２ｍｍ程度とする。
【００２６】
この工程により、図５（ｅ）、図６（ｅ）に示されるように、中心付近でモールド材２４が大きく除去されたモールド溝３１が形成される。このモールド溝３１の底面には、薄くなった共通リード１２と横セクションバー１３が露出する。例えば、モールド材２４の厚さが１ｍｍ、モールド溝３１の切断深さが０．８ｍｍであった場合には、この領域での共通リード１２の厚さは０．２ｍｍ程度となる。その中央部にある裏面溝３０が形成されていた領域は、モールド分離工程で裏面溝３０と反対側からハーフカット加工されたために、貫通した状態となり、スリット４０が形成される。スリット４０の幅は、裏面溝３０の幅と等しい。
【００２７】
次に、図５（ｆ）、図６（ｆ）に示されるように、モールド溝３１の底面を、横セクションバー１３あるいはモールド溝３１と平行（裏面溝３０と垂直）に、ブレード１０３でフルカット加工する（切断工程）。この加工は、裏面溝形成工程、モールド分離工程とは異なり、共通リード１２あるいは図５（ｅ）に示された構造が左右で完全に分断されるように行う。その切断幅（ブレード１０３の厚さ）は、モールド溝３１の幅（ブレード１０２の厚さ）よりも狭く、かつ横セクションバー１３の幅よりも広くする。従って、モールド溝３１の中で、この構造は左右に分離される。例えば、モールド溝３１の幅（ブレード１０２の厚さ）を３．２ｍｍとした場合には、ブレード１０３の厚さは２．２ｍｍ程度とする。また、この工程により横セクションバー１３は除去される。なお、ここではフルカット加工を行うため、ブレード１０３は、図５中の上側、下側どちらから当接させてもよい。
【００２８】
従って、切断工程後には、図５（ｇ）、図６（ｇ）に示される形態が実現される。この構造においては、左右がそれぞれ独立したＳＯＮ型パッケージの端部となり、それぞれにおいて、共通リード１２が左右に分割されてリード５０、５１となる。また、横セクションバー１３は除去されたため、隣接するリード５０は電気的に独立した構成となる。なお、図６（ｇ）においては、切断工程後の左側の構造のみについて示されているが、右側の構造はこれと左右対称である。このリード５０、５１の中央には、スリット４０が形成されている。
【００２９】
リード５０、５１の長さＬは、モールド分離工程で用いられたブレード１０２の厚さと、切断工程で用いられたブレード１０３の厚さの差分の１／２となる。すなわち、リード５０、５１の長さＬは、ブレード１０２、１０３の厚さによって設定できる。スリット４０の幅Ｄは、ブレード１０１の厚さと等しいため、これによって設定できる。リード５０、５１の厚さｔは、裏面溝形成工程における切断深さとモールド分離工程における切断深さで設定できる。リード５０、５１の幅Ｗは初めの金属パターン１００中の共通リード１２の幅と等しい。従って、スリット４０が形成されたリード５０、５１の構造は、これらの調整によって設定することが可能である。具体的には、各パラメータを前記の値とした場合には、Ｌ＝０．５ｍｍ、Ｄ＝０．２ｍｍ、ｔ＝０．２ｍｍ、Ｗ＝０．４ｍｍ程度となる。
【００３０】
上記の工程において用いられるブレード１０１、１０２、１０３は、図４における対象領域Ｋ以外の領域にも当接され、切断加工が行われる。このうち、裏面溝形成工程において、ブレード１０１は対象領域Ｋの左右に隣接するリードフレーム１１の裏面にも当接し、これに対してもハーフカット加工を行う。従って、裏面溝３０はリードフレーム１１の裏面にも形成される。一方、ブレード１０２、１０３は、隣接するＳＯＮ型パッケージ間においてのみ図４の構造に当接する。従って、これらは前記の構造のリード５０（５１）を形成するためにのみ寄与し、これらは、リードフレーム１１やその上の半導体チップ２２等には全く影響を及ぼさない。このため、上記の工程においては、リードフレーム１１の裏面には裏面溝３０が形成されるが、少なくとも半導体チップ２２が搭載された側の面は上記の工程によって全く影響を受けない。
【００３１】
裏面溝３０がリードフレーム１１中に深く形成された場合には、その機械的強度に影響を与えるため、その深さはこれに悪影響を与えない程度に適宜設定される。一方、裏面溝３０が浅い場合には、モールド分離工程における切断深さを大きく設定しなければスリット４０が形成されない。この場合には、最終的に形成されたリード５０、５１の厚さｔが小さくなり、リード５０、５１の機械的強度が低下する。これらを考慮して、裏面溝形成工程における切断深さ及びモールド分離工程における切断深さは適宜設定される。
【００３２】
なお、上記の工程においては、図４の構造中において隣接するＳＯＮ型パッケージが切断工程で左右方向に分離される。独立した個々のＳＯＮ型パッケージを得るためには、図４中における上下方向の分離を行うことも必要である。
上下方向に隣接するＳＯＮ型パッケージを分離するためには、図４の構造における縦セクションバー１５と平行に、縦セクションバー１５の存在する箇所においてフルカット加工を別途行う。この際、上記の切断工程と同様に、その幅よりも厚いブレードを用いてこのフルカット加工を行うことにより、縦セクションバー１５を除去することができる。この工程においては、図５、６に示された構造は全く影響を受けない。
【００３３】
以上の工程により、金属パターン１００を用いて、図７に示す形態のＳＯＮ型パッケージ７０が複数製造される。その内部構造は、図３に示した通りである。図７において，（ａ）は側面図、（ｂ）は上面図、（ｃ）は正面図、（ｄ）は下面図、（ｅ）は斜視図である。側面の底面側で突出して形成されたリード５０間にはモールド材２４がリード５０と同じ厚さ（ｔ）だけ残っているが、リード５０をはんだ付けする際の障害となることはない。また、仮にこのモールド材２４が何らかの障害となる場合でも、金属で構成されたリード５０に対してこの部分のモールド材２４は機械的に脆いため、これを機械的に除去することは容易である。
【００３４】
このＳＯＮ型パッケージ７０においては、特許文献１に記載の構造と同様に、各リード５０にスリット４０が形成されている。従って、このＳＯＮ型パッケージ７０を基板上にはんだで接続する際に、上側から目視あるいは外観検査装置でリード５０下部のはんだを確認することができる。従って、この接続作業を確実に行うことができる。
【００３５】
また、スリット４０が存在することにより、接合時にスリット４０中にはんだが入り込むことによって特に強固な接合が得られる、いわゆるアンカー効果が発生する。更に、隣接するリード５０の間隔が狭くなった場合には、これらがはんだによってショートする可能性があるが、スリット４０間にはんだが入り込みやすくなれば、この可能性は低くなる。すなわち、このＳＯＮ型パッケージ７０を基板上に接続する際の信頼性が向上する。
【００３６】
このＳＯＮ型パッケージ７０を製造するに際しては、図４の状態とした後（モールド工程後）に、裏面溝形成工程、モールド分離工程、切断工程において計３回の切断作業（ハーフカット加工、フルカット加工）を行う。ここで、モールド分離工程、切断工程については、図８に示されるようなリードにスリットのない構造の従来のＳＯＮ型パッケージを製造する際にも、類似の工程が必要であることが明らかである。従って、上記の製造方法において最も特徴的なのは、裏面溝形成工程である。上記の製造方法においては、この裏面溝形成工程における１回のハーフカット加工を追加するだけで、リードにスリットが形成されたＳＯＮ型パッケージを得ることができる。また、前記の通り、金属パターン１００やモールド工程は、従来のＳＯＮ型パッケージを製造する場合と同様とすることができる。すなわち、簡易な製造工程で、リード裏面のはんだの有無を容易に確認できる構造のモールドパッケージを得ることができる。
【００３７】
なお、上記の例では、切断後に同一構成のＳＯＮ型パッケージが複数得られるものとしたが、本発明はこれに限定されない。上記の裏面溝形成工程、モールド分離工程、切断工程が行える限りにおいて、例えば隣接するＳＯＮ型パッケージの構成（リードフレーム形状、構成等）を異なるものとすることもできる。
【００３８】
また、上記の例において、ＳＯＮ型パッケージの構造を図３の通りとしたが、他の構造でも同様に上記の製造方法を適用できることは明らかである。例えば、一つのパッケージ中で複数のリードフレームや複数の半導体チップが設けられた構成としても同様である。また、リードフレームに半導体チップ以外の電子部品を搭載する場合でも同様である。
【００３９】
また、セクションバー（横セクションバー、縦セクションバー）やリードフレーム固定バー等の、製造後のＳＯＮ型パッケージにおいては存在しない、あるいは存在しても機能を有しない構成要素についても同様である。例えば、上記の例では、横セクションバー１３が用いられていたが、横セクションバーが用いられなくとも、金属パターンとして一体化された構成であれば、同様に上記の製造方法を適用できる。この場合においても、モールド分離工程におけるハーフカット加工と切断工程におけるフルカット加工は、隣接して製造される２つのＳＯＮ型パッケージとなる部分の間において行うことには変わりがない。切断工程における切断はモールド溝の中で行い、切断工程における切断幅（ブレード１０３の厚さ）を、モールド分離工程におけるハーフカット幅（ブレード１０２の厚さ）よりも狭く（薄く）することにより、リードの長さＬを確保することができる。
【００４０】
また、裏面溝（ブレード１０１）は共通リードと平行であるとしたが、上記の構造が形成できる限りにおいて、厳密に平行である必要はない。モールド溝（ブレード１０２）と裏面溝、及び切断工程における切断方向と裏面溝が共に垂直である点についても同様であり、上記の構造が形成できる限りにおいて、厳密に垂直である必要はない。また、共通リードと横セクションバーとは直交する設定としたが、上記の構造が製造できる限りにおいて、厳密に直交する必要はない。同様に、各共通リードが厳密に平行である必要もない。
【００４１】
また、モールド材で構成された底面端部にリードが形成された他の構成のモールドパッケージ、例えばＱＦＮ（Ｑｕａｄ  Ｆｌａｔ  Ｎｏｎ−ｌｅａｄ）型パッケージも同様に製造できる。ＱＦＮ型パッケージの場合には、裏面溝やモールド溝を上記の例と直交方向にも形成することが必要になるが、同様に、スリットが形成されたリードが形成されることは明らかである。また、モールドパッケージに用いられているリードの数に依存せずにこの製造方法が適用できることも明らかである。
【符号の説明】
【００４２】
１０  単位構造
１１  リードフレーム
１２  共通リード
１３  横セクションバー（セクションバー）
１４  リードフレーム固定バー
１５  縦セクションバー（セクションバー）
２１、５０、５１、９２  リード
２２  半導体チップ
２３  ボンディングワイヤ
２４、９１  モールド材
２５、４０  スリット
３０  裏面溝
３１  モールド溝
７０、９０  ＳＯＮ型パッケージ
１００  金属パターン
１０１、１０２、１０３  ブレード
【図８】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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