(57)【要約】【課題】電源供給及びフィードバックを適切に行う試験装置を提供する。【解決手段】ＤＵＴ（被試験デバイス）を搭載し、ＤＵＴの端子に接続されるフォース入力端子を有するＤＵＴボードに接続されて、ＤＵＴを試験する試験装置であって、ＤＵＴに印加する電圧を出力するフォース出力端子およびＤＵＴに印加された電圧をセンスするセンス入力端子を有する電源部と、フォース入力端子をフォース出力端子に接続すると共に、ＤＵＴボードがＤＵＴの端子に印加された電圧をフィードバックする場合にはフィードバックされた電圧をセンス入力端子へと供給し、ＤＵＴボードがＤＵＴの端子に印加された電圧をフィードバックしない場合にはフォース出力端子およびフォース入力端子の間の電圧をセンス入力端子へと供給する接続部と、を備える試験装置を提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＤＵＴ（被試験デバイス）を搭載し、前記ＤＵＴの端子に接続されるフォース入力端子を有するＤＵＴボードに接続されて、前記ＤＵＴを試験する試験装置であって、
前記ＤＵＴに印加する電圧を出力するフォース出力端子および前記ＤＵＴに印加された電圧をセンスするセンス入力端子を有する電源部と、
前記フォース入力端子を前記フォース出力端子に接続すると共に、前記ＤＵＴボードが前記ＤＵＴの端子に印加された電圧をフィードバックする場合にはフィードバックされた電圧を前記センス入力端子へと供給し、前記ＤＵＴボードが前記ＤＵＴの端子に印加された電圧をフィードバックしない場合には前記フォース出力端子および前記フォース入力端子の間の電圧を前記センス入力端子へと供給する接続部と、
を備える試験装置。
【請求項２】
前記接続部は、前記フォース出力端子および前記フォース入力端子の間を接続するフォース線と、前記ＤＵＴの端子に印加された電圧を前記センス入力端子へとフィードバックするセンス線との間に接続された抵抗またはダイオードを有し、前記ＤＵＴボードが前記ＤＵＴの端子に印加された電圧をフィードバックしない場合には前記抵抗またはダイオードを介して前記フォース出力端子および前記フォース入力端子の間の電圧を前記センス入力端子へと供給する請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記接続部は、前記フォース出力端子に接続されるフォース線を分岐して、前記ＤＵＴボード上の複数の前記ＤＵＴに対応する複数の前記フォース入力端子のそれぞれに接続する請求項１または２に記載の試験装置。
【請求項４】
前記接続部は、前記フォース出力端子と前記複数のフォース入力端子のそれぞれとの間を個別に接続または切断する複数のスイッチを有する請求項３に記載の試験装置。
【請求項５】
前記複数のＤＵＴのうち試験により不良が検出された前記ＤＵＴに接続される前記フォース入力端子と前記フォース出力端子との間のスイッチを切断する制御部を備える請求項４に記載の試験装置。
【請求項６】
前記接続部は、前記ＤＵＴボードおよび前記電源部の間において、ＤＵＴボード寄りに設けられる請求項１から５のいずれかに記載の試験装置。
【請求項７】
１つの前記ＤＵＴを搭載し、前記ＤＵＴの端子に接続される前記フォース入力端子と、前記ＤＵＴの端子に印加された電圧を前記接続部へとフィードバックするセンス出力端子とを有する第１の前記ＤＵＴボードを更に備える請求項１から６のいずれかに記載の試験装置。
【請求項８】
複数の前記ＤＵＴを搭載し、前記複数のＤＵＴのそれぞれの端子にそれぞれ接続される複数の前記フォース入力端子と、前記接続部を介して前記センス入力端子に接続されるセンス出力端子とを有し、前記センス出力端子から前記センス入力端子へと接続されるセンス線における前記センス出力端子側の端部を開放端とする第２の前記ＤＵＴボードを更に備える請求項１から７のいずれかに記載の試験装置。
【請求項９】
請求項１から８のいずれかに記載の試験装置に用いられる接続部。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験装置および当該試験装置に用いられる接続部に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数の被試験デバイス（ＤＵＴと呼ぶ場合もある）を並行して試験する試験装置が知られている（例えば特許文献１参照）。また、試験装置からフォース線を介して電源電圧をＤＵＴに供給し、フォース線から分岐したセンス線を介して電源電圧を試験装置にフィードバックする試験装置が知られている（例えば特許文献２参照）。
特許文献１  国際公開第２００８／０２０５５５号パンフレット
特許文献２  特開２００９−９８０３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、ユーザは、試験対象のＤＵＴに対応したボードを作成して試験を行うことがある。ユーザによっては、１つのＤＵＴボードに複数のＤＵＴを搭載することもありうる。したがって、各種のＤＵＴボードが搭載された場合においても電源供給及びフィードバックを適切に行う試験装置の提供が望まれる。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、ＤＵＴ（被試験デバイス）を搭載し、ＤＵＴの端子に接続されるフォース入力端子を有するＤＵＴボードに接続されて、ＤＵＴを試験する試験装置であって、ＤＵＴに印加する電圧を出力するフォース出力端子およびＤＵＴに印加された電圧をセンスするセンス入力端子を有する電源部と、フォース入力端子をフォース出力端子に接続すると共に、ＤＵＴボードがＤＵＴの端子に印加された電圧をフィードバックする場合にはフィードバックされた電圧をセンス入力端子へと供給し、ＤＵＴボードがＤＵＴの端子に印加された電圧をフィードバックしない場合にはフォース出力端子およびフォース入力端子の間の電圧をセンス入力端子へと供給する接続部と、を備える試験装置を提供する。
【０００５】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本発明の実施形態に係る試験装置１００の構成を複数のＤＵＴ９００とともに示す。
【図２】本発明の実施形態に係る試験ボード１５０の構成を示す。
【図３】本実施形態に係るデバイス接続部１４０の構成例をＤＵＴボード５００とともに示す。
【図４】本実施形態に係るデバイス接続部１４０とＤＵＴボード５００の構造の一例を示す。
【図５】本実施形態に係るケーブルユニット３７０および接続ボード３８０の一例を示す。
【図６】本実施形態に係る接続ボードが、単一のＤＵＴ９００を搭載可能なＤＵＴボード５００に接続される場合の接続例を示す。
【図７】本実施形態に係る接続ボード３８０が複数のＤＵＴ９００を搭載可能なＤＵＴボード５００に接続され、いずれも不良品でない２個のＤＵＴ９００を試験する場合の接続例を示す。
【図８】本実施形態に係る接続ボード３８０が複数のＤＵＴ９００を搭載可能なＤＵＴボード５００に接続され、２個のＤＵＴ９００を試験する場合においてそのうち１個が不良品である場合の接続例を示す。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【０００８】
図１は、本実施形態に係る試験装置１００の構成を複数のＤＵＴ９００とともに示す。試験装置１００は、複数のＤＵＴ９００を並行して試験する。ＤＵＴ９００は、一例として、フラッシュメモリ等の不揮発性メモリである。
【０００９】
試験装置１００は、試験コントローラ１１０と、ネットワーク部１２０と、制御ボード１３０と、デバイス接続部１４０と、試験ボード１５０とを備える。試験コントローラ１１０は、制御ボード１３０および複数の試験ボード１５０に接続され、ＵＤＰ／ＩＰ（User Datagram Protocol/Internet Protocol）等の通信パケットを複数の試験ボード１５０および制御ボード１３０とやり取りして、複数の試験ボード１５０および制御ボード１３０を制御する。より具体的には、試験コントローラ１１０は、ワークステーション等の外部のコンピュータまたは記憶装置等から試験に用いる試験プログラムを取得して、もしくは、ユーザからの入力により試験プログラムを取得して、当該プログラムを実行することにより、制御ボード１３０および試験ボード１５０の動作を制御してよい。
【００１０】
試験コントローラ１１０は、試験プログラムにより指定される試験情報、試験シーケンス、および／または制御コマンド等を、ネットワーク部１２０を介して対応する制御ボード１３０または試験ボード１５０に送信してよい。また、試験コントローラ１１０は、一例として、複数の試験ボード１５０のそれぞれから試験結果を読み出す。これにより、試験コントローラ１１０は、複数のＤＵＴ９００のそれぞれの試験結果をユーザに表示したり、一の試験結果に応じて次の試験内容を変更したりすることができる。
【００１１】
ネットワーク部１２０は、試験コントローラ１１０と、制御ボード１３０と、複数の試験ボード１５０とを通信可能に接続する。ネットワーク部１２０は、汎用または専用のインターフェイスを介して試験コントローラ１１０と、制御ボード１３０と、複数の試験ボード１５０とを接続して、通信パケットをそれぞれ転送してよい。ネットワーク部１２０は、Ethernet（登録商標）、ＵＳＢ、Serial RapidIO等の汎用の高速シリアルインターフェースまたはパラレルインターフェースを用いてよい。
【００１２】
制御ボード１３０は、ＤＵＴ９００に対する電源供給の制御、および試験ボード１５０とＤＵＴ９００との間を接続／切断するスイッチのＯＮ／ＯＦＦ制御を実行する。制御ボード１３０は、試験の種類または項目、ＤＵＴ９００が不良品であることを示す情報等に応じて、試験ボード１５０とＤＵＴ９００との接続をデバイス接続部１４０に指示してよい。また、制御ボード１３０は、ＤＵＴ９００の種類および数、試験ボード１５０の種類および数等に応じて、複数の試験ボード１５０と複数のＤＵＴ９００との接続をデバイス接続部１４０に指示してよい。試験装置１００は、複数の制御ボード１３０を備えてもよい。複数の試験ボード１５０および制御ボード１３０は、一例として、当該試験装置１００の本体部であるテストヘッドの内部に収納される。
【００１３】
デバイス接続部１４０は、制御ボード１３０、試験ボード１５０、およびＤＵＴ９００の間を通信可能に接続する。デバイス接続部１４０は、制御ボード１３０の指示に応じて、制御ボード１３０、試験ボード１５０、およびＤＵＴ９００の間の接続を、スイッチによってＯＮ／ＯＦＦする。
【００１４】
試験ボード１５０は、試験コントローラ１１０の試験パターン、試験シーケンス、および／または制御コマンド等に基づき、ＤＵＴ９００を試験する。試験装置１００は、同時に試験するＤＵＴ９００の数に応じて同種の試験ボード１５０を複数搭載してよい。複数の試験ボード１５０のそれぞれは、１つのＤＵＴ９００または複数のＤＵＴ９００にそれぞれデバイス接続部１４０を介して接続されてよい。
【００１５】
また、それぞれの試験ボード１５０は、試験装置１００と着脱できてよい。複数の試験ボード１５０のそれぞれは、１または複数のＤＵＴ９００と接続される。複数の試験ボード１５０のそれぞれは、接続された１または複数のＤＵＴ９００との間で信号を授受して、これら１または複数のＤＵＴ９００を試験する。
【００１６】
図２は、本実施形態に係る試験ボード１５０の構成例を示す。試験ボード１５０は、ファンクション試験部２００と、コントローラ２１０と、信号端子２２０と、電源部２４０と、フォース出力端子２６０と、センス入力端子２８０、１又は複数の複数の制御ドライバ２９０と、１又は複数の複数の制御出力端子２９５とを備える。コントローラ２１０は、試験コントローラ１１０および／または制御ボード１３０と通信し、試験パターン、試験シーケンス、および／または制御コマンド等に基づき試験ボード１５０内の各部を制御する。また、コントローラ２１０は、試験結果、および／または試験ボードのステータス等を試験コントローラ１１０および／または制御ボード１３０へ送信する。また、コントローラ２１０は、制御ドライバ２９０および制御出力端子２９５を介してデバイス接続部１４０に制御信号を与える。制御ドライバ２９０はスイッチを駆動するリレードライバであってよい。
【００１７】
ファンクション試験部２００は、試験コントローラ１１０から提供される試験パターンを、コントローラ２１０を解して受け取り、該試験パターンに基づく試験信号を、信号端子２２０を介してＤＵＴ９００に供給し、試験信号に応じたＤＵＴ９００の出力信号を、信号端子２２０を介して受け取る。ＤＵＴ９００の出力信号が試験パターン中で定義された期待値と一致するか否かに基づき、ＤＵＴ９００の良否を判定する。
【００１８】
フォース出力端子２６０は、ＤＵＴ９００に印加する電圧を出力する。また、センス入力端子２８０は、ＤＵＴ９００に印加された電圧をセンスする。電源部２４０は、電圧源２４２とオペアンプ２４４を備える。電圧源２４２は、試験コントローラ１１０による設定に応じて、ＤＵＴ９００に供給すべき基準電圧をオペアンプ２４４に供給する。オペアンプ２４４が有する２つの入力端子は、それぞれ配線を介して電圧源２４２およびセンス入力端子２８０と接続される。また、オペアンプ２４４の出力端子は配線を介してフォース出力端子２６０と接続される。電圧源２４２から供給される基準電圧と、センス入力端子２８０を介してフィードバック入力されるセンス電圧とに応じて、ＤＵＴ９００に印加するデバイス電源電圧をフォース出力端子２６０から出力する。具体的には、オペアンプ２４４は、センス電圧を基準電圧に近付けるべく、センス電圧が基準電圧より低い場合には出力電圧を高め、センス電圧が基準電圧より高い場合には出力電圧を低下させる。なお、電源部２４０は、フォース線およびセンス線での電圧降下を考慮して基準電圧とセンス電圧とを比較してよい。ここで、電源部２４０は、センス電圧に応じて出力電圧をフィードバック制御する方式として、従来周知の各種の方法を適用しうる。
【００１９】
図３は、本実施形態に係るデバイス接続部１４０の構成例を、ＤＵＴボード５００とともに示す。ＤＵＴボード５００は、少なくとも１つのＤＵＴ９００を搭載し、当該ＤＵＴ９００の端子に接続されるフォース入力端子５１０と、当該ＤＵＴ９００の端子９１０に印加される電圧を、デバイス接続部１４０を介して電源部２４０へとフィードバックするためのセンス出力端子５２０とを備える。例えば、ＤＵＴボード５００はＤＵＴ９００を搭載するためのソケットを備えてよい。また、ＤＵＴボード５００はＤＵＴ９００が供えるパッドと電気的接触を確保するためのプローブを備えてもよい。
【００２０】
デバイス接続部１４０は、制御ボード１３０および試験ボード１５０からの電源および信号を集約し、ＤＵＴボード５００の対応する端子に接続する。デバイス接続部１４０は、バックボード３６０と、１又は複数のケーブルユニット３７０と、１又は複数の接続ボード３８０とを備える。バックボード３６０、ケーブルユニット３７０、および接続ボード３８０は、協働して、制御ボード１３０および試験ボード１５０とＤＵＴボード５００とを電気的に接続する。
【００２１】
バックボード３６０は、制御ボード１３０及び試験ボード１５０が収容されるテストヘッド上に搭載され、一面において、制御ボード１３０および試験ボード１５０とコネクタ等を介して接続され、他の一面においてケーブルユニット３７０とコネクタ等を介して接続される。バックボード３６０は、制御ボード１３０および試験ボード１５０からの電源および信号をケーブルユニット３７０へと導き、各ケーブルユニット３７０に分配する。
【００２２】
ケーブルユニット３７０は、バックボード３６０と接続ボード３８０との間を電気的に接続する。ケーブルユニット３７０は、複数の同軸ケーブル等を有してよい。
【００２３】
図４は、本実施形態に係るデバイス接続部１４０とＤＵＴボード５００の構造の一例を示す。バックボード３６０の一面にはコネクタが配置され、バックボード３６０は当該コネクタを介して制御ボード１３０および試験ボード１５０と接続される。バックボード３６０の他面にもコネクタが配置され、当該コネクタにはケーブルユニット３７０の一端に設けられたコネクタが接続される。ケーブルユニット３７０の他端は、接続ボード３８０に接続される。接続ボード３８０はコネクタを備え、当該コネクタにより、ＤＵＴボード５００と接続される。
【００２４】
図５は、本実施形態に係るケーブルユニット３７０および接続ボード３８０の一例を示す。ケーブルユニット３７０は、システム電源ケーブル３７２、試験信号および／またはＤＵＴ９００の出力信号を伝送する信号ケーブル３７４、フォース出力端子２６０に接続されるフォース線ケーブル３７６、センス入力端子２８０に接続されるセンス線ケーブル３７８、試験ボード１５０の制御出力端子２９５からの制御信号を伝送する制御ケーブル３７９等を含む。
【００２５】
接続ボードは、フォース配線３８２と、センス配線３８４と、複数のスイッチ３８６と、制御配線３８７と、接続素子３８８とを備える。接続ボード３８０は、接続部の一例であり、フォース入力端子５１０をフォース出力端子２６０に接続する。接続ボード３８０は、接続ボード３８０がＤＵＴ９００の端子に印加された電圧をフィードバックする場合にはフィードバックされた電圧をセンス入力端子２８０へと供給する。また、接続ボード３８０は、ＤＵＴボード５００がＤＵＴ９００の端子に印加された電圧をフィードバックしない場合にはフォース出力端子２６０およびフォース入力端子５１０の間の電圧をセンス入力端子２８０へと供給する。
【００２６】
接続ボード３８０は、一端がフォース線ケーブル３７６に接続され、他端がフォース入力端子５１０に接続されるフォース配線３８２と、一端がセンス線ケーブル３７８に接続され、他端がセンス出力端子５２０に接続されるセンス配線３８４とを備える。フォース線ケーブル３７６とフォース配線３８２は、フォース入力端子５１０をフォース出力端子２６０に接続するフォース線を構成する。また、センス線ケーブル３７８とセンス配線３８４は、フィードバックされる電圧をセンス入力端子２８０へと供給するセンス線を構成する。
【００２７】
接続ボード３８０は、フォース出力端子２６０に接続されるフォース線を分岐して、ＤＵＴボード上の複数のＤＵＴ９００に対応する複数のフォース入力端子５１０のそれぞれに接続してよい。この場合、フォース配線３８２は、一端と他端の間に、分岐を有し、単一の電源部２４０からの電圧を複数のＤＵＴ９００に供給できるように構成されてよい。このような構成により、一つの接続ボード３８０から複数のＤＵＴ９００に電圧を供給することができる。図５に示された例では、単一のＤＵＴ９００を試験するため、ＤＵＴ９００には単一のフォース入力端子５１０が設けられ、分岐後のフォース配線のうちの一つが当該フォース入力端子に接続される。
【００２８】
複数のスイッチ３８６は、フォース出力端子２６０と複数のフォース入力端子５１０のそれぞれとの間を個別に接続または切断する。例えば、フォース配線３８２は、分岐されたフォース配線３８２のそれぞれにおいて、当該分岐とＤＵＴボード５００側の端部との間に、試験ボード１５０とＤＵＴ９００との間の接続をＯＮ／ＯＦＦするスイッチ３８６を備えてよい。ＤＵＴボード５００がスイッチを備える必要が無く、ＤＵＴの品種、試験項目等毎にユーザが準備をする必要があるＤＵＴボード５００の部品点数を抑制し構造を簡素化できる。
【００２９】
試験装置１００は、複数のＤＵＴ９００のうち試験により不良が検出されたＤＵＴ９００に接続されるフォース入力端子５１０とフォース出力端子２６０との間のスイッチ３８６を切断する制御部を備えてよい。例えば、試験ボード１５０上に設けられたコントローラ２１０が制御部として機能してもよく、これに代えて、試験コントローラ１１０が制御部として機能してもよい。また、制御ボード１３０が制御部として機能してもよい。例えば、コントローラ２１０が、制御ドライバ２９０に、スイッチ３８６のＯＮ／ＯＦＦを制御するスイッチ制御信号を、制御出力端子２９５および制御ケーブル３７９を介して接続ボード３８０に供給させてよい。スイッチ制御信号は接続ボード３８０に設けられた制御配線３８７を通じてスイッチ３８６に与えられ、スイッチ３８６のＯＮ／ＯＦＦが制御される。このような構成により、試験の種類または項目、ＤＵＴ９００が不良品であることを示す情報等に基づき、各スイッチ３８６を適宜接続または切断することができる。
【００３０】
接続素子３８８は、フォース出力端子２６０およびフォース入力端子５１０の間を接続するフォース線と、ＤＵＴ９００の端子に印加された電圧をセンス入力端子２８０へとフィードバックするセンス線との間に接続される。接続素子３８８は、抵抗又はダイオードであってよい。ＤＵＴボード５００がＤＵＴ９００の端子に印加された電圧をフィードバックしない場合には、接続素子３８８を介してフォース出力端子２６０およびフォース入力端子５１０の間の電圧がセンス入力端子２８０へと供給される。接続素子３８８が抵抗である場合、抵抗値は当該抵抗における電圧降下が測定に大きな影響を与えないように、低い抵抗値に定められることが好ましい。抵抗又はダイオードで構成される接続素子３８８がフォース線とセンス線の間に接続されることにより、ＤＵＴボード５００がＤＵＴ９００の端子に印加された電圧をフィードバックするか否かに応じて、ＤＵＴ９００の端子又はフォース線における電圧を、特段の設定を要することなくフィードバックすることができる。
【００３１】
接続ボード３８０は、ＤＵＴボード５００および電源部２４０の間において、ＤＵＴボード５００寄りに設けられる。例えば接続ボード３８０はコネクタを備え、ＤＵＴボード５００が備える対応するコネクタに嵌合し、電源部２４０との間はケーブルユニット３７０を介して接続してもよい。このような構成により、フォース配線３８２からＤＵＴ９００までの配線長が抑制できるので、ＤＵＴ９００の端子に印加された電圧をフィードバックしない場合でも、電圧をセンスしている箇所からＤＵＴ９００までの間の配線における電圧降下を抑制できる。
【００３２】
図６は、本実施形態に係る接続ボード３８０が、単一のＤＵＴ９００を搭載可能なＤＵＴボード５００に接続される場合の接続例を示す。接続ボード３８０において、フォース配線３８２のＤＵＴボード５００側の端部のうちの１つが、ＤＵＴボード５００のフォース入力端子５１０に接続される。フォース入力端子５１０と接続されないフォース配線に対応するスイッチ３８６は開放状態とされてよい。ＤＵＴボード５００において、フォース入力端子５１０が配線を介してＤＵＴ９００の端子９１０と接続される。端子９１０は、センス出力端子５２０へとつながる配線にも接続される。ＤＵＴ９００の端子９１０に印加される電圧は、センス出力端子５２０からデバイス接続部１４０を介して電源部２４０へとフィードバックされる。フォース入力端子５１０から端子９１０への配線と、端子９１０からセンス出力端子５２０への配線は、端子９１０の直近で分岐していることが好ましい。なお、ＤＵＴボード５００が、フォース配線３８２のＤＵＴボード５００側の端部のうちの複数個又は全てに対応するフォース入力端子を備えてもよい。この場合、複数のフォース入力端子の一部のみを端子９１０に配線してもよいし、複数のフォース入力端子の全てを端子９１０に配線してもよいこのような構成により、単一のＤＵＴ９００を搭載可能なＤＵＴボード５００に搭載されたＤＵＴ９００に対して、ＤＵＴ９００の直近での電圧を電源部２４０にフィードバックし、ＤＵＴ９００の端子９１０における電圧を高精度に設定できる。
【００３３】
図７は、本実施形態に係る接続ボード３８０が複数のＤＵＴ９００を搭載可能なＤＵＴボード５００に接続され、いずれも不良品でない２個のＤＵＴ９００を試験する場合の接続例を示す。ＤＵＴボード５００が、複数のＤＵＴ９００を搭載する場合、ＤＵＴボード５００は、センス出力端子５２０からセンス入力端子２８０へと接続されるセンス線におけるセンス出力端子５２０側の端部を開放端とする。この接続状態においては、ＤＵＴボード５００内部での電圧は接続ボード３８０のセンス配線３８４に与えられず、接続素子３８８を介してフォース配線３８２における電圧がセンス入力端子２８０へと供給される。このような構成により、一つの接続ボード３８０から複数のＤＵＴ９００に電圧を供給する場合でも、フォース線ケーブル３７６およびセンス線ケーブル３７８は接続ボード毎にそれぞれ１本あれば十分なので、ケーブルユニット３７０が含むケーブルの数を抑制できる。
【００３４】
図８は、本実施形態に係る接続ボード３８０が複数のＤＵＴ９００を搭載可能なＤＵＴボード５００に接続され、２個のＤＵＴ９００を試験する場合においてそのうち１個が不良品である場合の接続例を示す。当該ＤＵＴ９００の不良モードによっては、不良品のＤＵＴ９００にデバイス電源電圧を供給した場合に他のＤＵＴ９００の試験に悪影響を及ぼす可能性がある。このため、制御ボード１３０の制御に基づき、当該不良品のＤＵＴ９００に対応するフォース配線３８２に設けられたスイッチ３８６を切断し、不良品のＤＵＴ９００にデバイス電源電圧を供給しない状態で、他のＤＵＴ９００を試験する。このような構成及び制御により、不良品のＤＵＴ９００が他のＤＵＴの試験に影響を及ぼすことを防ぐことができる。
【００３５】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【００３６】
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【符号の説明】
【００３７】
１００  試験装置、１１０  試験コントローラ、１２０  ネットワーク部、１３０  制御ボード、１４０  デバイス接続部、１５０  試験ボード、２００  ファンクション試験部、２１０  コントローラ、２２０  信号端子、２４０  電源部、２６０  フォース出力端子、２８０  センス入力端子、２９０  制御ドライバ、２９５  制御出力端子、３６０  バックボード、３７０  ケーブルユニット、３７２  システム電源ケーブル、３７４  信号ケーブル、３７６  フォース線ケーブル、３７８  センス線ケーブル、３７９  制御ケーブル、３８０  接続ボード、３８２  フォース配線、３８４  センス配線、３８６  スイッチ、３８７  制御配線、３８８  接続素子、５００  ＤＵＴボード、５１０  フォース入力端子、５２０  センス出力端子、９００  ＤＵＴ
【図１】
2011247750.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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