(57)【要約】【課題】トレイからガラス基板を取り出してガラス基板の確認をするのではなく、パレットに収納された基板枚数、基板の種別（以下、基板種別）を判定することを可能としたガラス基板枚葉トレイ段積み用パレットを提供する。【解決手段】ガラス基板を収納したトレイを段積みするパレットであって、段積みパレットの蓋部または段積みパレットの土台部に備えられたレーザー発光手段と、段積みパレットの土台部または段積みパレットの蓋部に備えられたレーザー検知手段と、レーザー発光手段とレーザー検知手段の間にガラス基板の種別によって異なる形状を有する１角を配置し、１角を透過したレーザー光を検知手段によって得られた検知情報を出力する情報出力部と、検知情報を処理する情報処理部と、を有することを特徴とするガラス基板枚葉トレイ段積み用パレット。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板を収納したトレイを段積みするパレットであって、段積みパレットの蓋部または段積みパレットの土台部に備えられたレーザー発光手段と、段積みパレットの土台部または段積みパレットの蓋部に備えられたレーザー検知手段と、レーザー発光手段とレーザー検知手段の間にガラス基板の種別によって異なる形状を有する１角を配置し、１角を透過したレーザー光を検知手段によって得られた検知情報を出力する情報出力部と、検知情報を処理する情報処理部と、を有することを特徴とするガラス基板枚葉トレイ段積み用パレット。
【請求項２】
レーザー発光手段とレーザー検知手段はそれぞれ複数のレーザーレーザー発光素子と複数のレーザー検知部を有し、レーザーレーザー発光素子とレーザー検知部は対峙する位置に配置されることを特徴とする請求項１記載のガラス基板枚葉トレイ段積み用パレット。
【請求項３】
３つの検知部で検知した検知情報からガラス基板の枚数と種別を判定することを特徴とする請求項１または２に記載のガラス基板枚葉トレイ段積み用パレット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばカラー液晶表示装置に用いるカラーフィルタなどのガラス基板を収納したトレイを段積みするパレットに関するもので、更に詳しくはパレットに収納されている基板の枚数と基板種別を判定、確認することが可能なガラス基板枚葉トレイ段積み用パレットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図１はガラス基板の一例としてカラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの断面の一例を示した図である。カラーフィルタ１は、ガラス基板２上にブラックマトリックス（以下、ＢＭ）３、レッドＲの着色パターン（以下、Ｒ画素）４−１、グリーンＧの着色パターン（以下、Ｇ画素）４−２、ブルーＢの着色パターン（以下、Ｂ画素）４−３、透明電極５、及びフォトスペーサー（Ｐｈｏｔｏ  Ｓｐａｃｅｒ）（以下、ＰＳ）６、バーテイカルアライメント（Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）（以下、ＶＡ）７が順次形成されたものである。
【０００３】
上記構造のカラーフィルタの製造方法は、フォトリソグラフィー法、印刷法、インクジェット法が知られているが、図２は一般的に用いられているフォトリソグラフィー法の工程を示すフロー図である。カラーフィルタは、先ず、ガラス基板上にＢＭを形成処理する工程（Ｃ−１）、ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ−２）、着色フォトレジストを塗布および予備乾燥処理する工程（Ｃ−３）、着色フォトレジストを乾燥、硬化処理するプリベーク工程（Ｃ−４）、露光処理する工程（Ｃ−５）、現像処理する工程（Ｃ−６）、着色フォトレジストを硬化処理する工程（Ｃ−７）、透明電極を成膜処理する工程（Ｃ−８）、ＰＳ、ＶＡを形成処理する工程（Ｃ−９）がこの順に行われ製造される。
【０００４】
ガラス基板２上へのＢＭ３の形成は、例えば、ガラス基板２上に金属薄膜を形成し、この金属薄膜にフォトレジストを塗布した後、フォトリソグラフィー法によってＢＭ形状を有したパターンを露光、現像、エッチングをして形成するといった方法や、または、ガラス基板２上に黒色のフォトレジスト樹脂を塗布し、この樹脂塗膜をフォトリソグラフィー法によってＢＭ形状を有したパターンを露光、現像して、いわゆる樹脂ＢＭと称するパターンを形成する方法がとられている。
【０００５】
例えば、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の順に画素が形成される場合には、カラーフィルタ用ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ−２）から、着色フォトレジストを硬化処理する工程間（Ｃ−７）ではレッドＲ、グリーンＧ、ブルーＢの順に着色レジストを変更して３回繰り返されてＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素が形成される。
【０００６】
上記カラーフィルタの製造工程において、各製造装置を直列に配置する場合や並列に配置する場合など、さまざまな方法が採用されている。特に並列に配置する場合には、各工程の処理時間の差などの理由からガラス基板を一旦トレイに収納し、そのトレイをパレットに段積みすることがある。
【０００７】
この場合、カラーフィルタのガラス基板を効率よく搬送する為、ガラス基板１枚を収納するトレイを積み重ねた収納ケースが使われることがある。その際、収納枚数などの収納ケースの内容情報は、収納装置単位で管理された値をＲＦＩＤ（Ｒａｄｉｏ  Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ  Ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎ）タグなどに書き込み管理されることが多い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−５９１１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら上記収納されている枚数や収納されているガラス基板の種別など収納ケースの内容について、ＲＦＩＤタグなどを用いてガラス基板の収納枚数や種別などの収納情報を書き込み管理する方法においては、書き込み時に不具合が発生した場合や情報を管理するネットワークに不具合が発生した場合には、書き込まれた情報（管理情報）と実際とが異なってしまう。管理情報が実際と異なると、収納情報を確認する為に、再度収納ケースからトレイを取り出して、更にトレイからガラス基板を取り出して確認し、再度収納しなければならなくなり、そのための手間と時間のロスが生じ、更には製造工程を一時停止しなければならないといった問題が生ずる。
【００１０】
そこで本発明は、ガラス基板枚葉トレイ段積み用パレット自体が収納情報を検知及び管理する機構を有することにより、トレイからガラス基板を取り出してガラス基板の確認をするのではなく、パレットに収納された基板枚数、基板の種別（以下、基板種別）を判定することを可能としたガラス基板枚葉トレイ段積み用パレットを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の請求項１に係る発明は、ガラス基板を収納したトレイを段積みするパレットであって、段積みパレットの蓋部または段積みパレットの土台部に備えられたレーザー発光手段と、段積みパレットの土台部または段積みパレットの蓋部に備えられたレーザー検知手段と、レーザー発光手段とレーザー検知手段の間にガラス基板の種別によって異なる形状を有する１角を配置し、１角を透過したレーザー光を検知手段によって得られた検知情報を出力する情報出力部と、検知情報を処理する情報処理部と、を有することを特徴とするガラス基板枚葉トレイ段積み用パレットである。
【００１２】
本発明の請求項２に係る発明は、レーザー発光手段とレーザー検知手段はそれぞれ複数のレーザーレーザー発光素子と複数のレーザー検知部を有し、レーザーレーザー発光素子とレーザー検知部は対峙する位置に配置されることを特徴とする請求項１記載のガラス基板枚葉トレイ段積み用パレットである。
【００１３】
本発明の請求項３に係る発明は、レーザー検知部で検知した検知情報からガラス基板の枚数と種別を判定することを特徴とする請求項１または２に記載のガラス基板枚葉トレイ段積み用パレットである。
【発明の効果】
【００１４】
パレットに段積みされたトレイに収納されているガラス基板の内容情報が、システムデータの不具合によって実際と異なった場合などに、トレイからガラス基板を取り出さずに、パレットにトレイを段積みした状態で、トレイに収納されているガラス基板の枚数や種別を検知することが出来、不具合データの照合が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】カラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を断面で示した図。
【図２】一般的に用いられているフォトリソグラフィー法の工程のフロー図。
【図３】本発明の実施形態に係わるカラーフィルタ枚葉トレイ段積み用パレットの概略構成図。
【図４】本発明の実施形態に係わるレーザーレーザー発光素子を詳細に示した図。
【図５】本発明の実施形態に係わるレーザー検知部を詳細に示した図。
【図６】本発明の実施形態に係わる収納枚数とレーザー光の減衰率の関係を示す図。
【図７】本発明の実施形態に係わる基板の種別を判別することを説明するための図。        （ａ）はレーザー検知センサの配置例を示す図。        （ｂ）は基板種とレーザー検知センサの光の検知の有無を示す図。
【図８】本発明の実施形態に係わる基板の枚数と基板種別を判定するフロー図。
【図９】本発明の実施形態に係わるレーザー検知センサの配置の一例を示す図。        （ａ）はレーザー検知センサが２個の場合の配置を示す図。        （ｂ）はレーザー検知センサが４個の場合の配置を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明に係わるカラーフィルタ枚葉トレイ段積み用パレットの実施形態を説明する。
【００１７】
図３は本発明の実施形態に係わるカラーフィルタ枚葉トレイ段積み用パレットの概略構成図を示す。カラーフィルタ枚葉トレイ段積み用パレットは、枚葉トレイ部１４を段積みした段積みパレットの蓋部１５に備えられたレーザー発光手段であるレーザー発光部１１と、段積みパレット土台部１６に備えられたレーザー検知手段であるレーザー検知部１２と、レーザー検知部１２によって得られた情報を出力する情報出力部１３と、検知情報を処理する情報処理部（図示せず）を有している。尚、レーザー発光部１１を段積みパレット土台部１６に、レーザー検知部１２を段積みパレットの蓋部１５に備えても良い。また、情報処理部はカラーフィルタ枚葉トレイ段積み用パレット内に備えるのではなく、遠隔な場所に備え、他のパレットの情報をも処理できるようにすることが望ましい。
【００１８】
図４はレーザー発光部１１を詳細に示した図である。レーザー発光部１１は３つのレーザー発光素子１１ａ、１１ｂ、１１ｃによって構成されており、レーザー検知部１２に向けて照射される。
【００１９】
図５はレーザー検知部１２を詳細に示した図である。レーザー検知部１２は３つのレーザー検知センサ１２ａ、１２ｂ、１２ｃがレーザー発光部１１の３つのレーザー発光素子１１ａ、１１ｂ、１１ｃと対峙する位置に配置されている。
【００２０】
レーザー光は段積みされている複数の枚葉トレイ１４に収納されている基板の端部を透過しながらレーザー検知部１２に向けて照射される。この際、レーザー光は収納されている基板に照射し吸収される為、レーザー光が照射した基板枚数、つまり、在荷している基板の枚数分、レーザー光が減衰し、最終的にレーザー検知部１２で検知される。
【００２１】
本発明では、上記レーザー光が当たる基板枚数とレーザー光の減衰との関係から基板の収納枚数を算出するものである。
【００２２】
レーザー検知部１２で検知された光の強さから収納枚数を算出するには、「発光量と検知量から算出されるの光量の減衰率」と「収納枚数」の関係から求められた計算式を用いる。
即ち、（収納枚数）＝−ａ×（光量の減衰率）＋ｂ    ［ａ，  ｂ  ：定数］
【００２３】
図６は基板の厚みが０．７５ｍｍ、レーザー発光部１１からレーザー検知部１２までの距離は１８３０ｍｍ、枚葉トレイに収納されている基板間の距離は２０．３ｍｍの場合の基板の収納枚数とレーザー光の減衰率の関係を示す図であり、１０枚間隔でレーザー発光部１１のレーザー発光素子からの光量を複数回検知し減衰率を求めたものである。図６より光の減衰率を求めることによって収納枚数が算出される。
【００２４】
図７は、レーザー発光部１１の３つのレーザー発光素子１１ａ、１１ｂ、１１ｃからのレーザー光の検知有無をレーザー検知部１２に配置された３つのレーザー検知センサ１２ａ、１２ｂ、１２ｃによって判別することで、在荷している基板の種別を判別することを説明するための図である。図７（ａ）はレーザー検知部１２に配置された３つのレーザー検知センサ１２ａ、１２ｂ、１２ｃの位置関係を示す。一方レーザー発光素子１１（図示せず）はレーザー検知センサ１２ａ、１２ｂ、１２ｃと対峙した位置にレーザー発光素子１１ａ、１１ｂ、１１ｃが配置される。図７（ｂ）は３種の基板種別（基板種別Ａ、基板種別Ｂ、基板種別Ｃ）の判定方法を示す図である。基板は４角の内の１角が種別によって異なる形状を有するもので、基板種別Ａはレーザー検知センサ１２ａの相対位置にあって、レーザー検知センサ１２ｂ、１２ｃの相対位置にはない基板である。同様に、基板種別Ｂはレーザー検知センサ１２ａ、１２ｃの相対位置にあって、レーザー検知センサ１２ｂの相対位置にはない基板である。基板種別Ｃはレーザー検知センサ１２ａ、１２ｂ、１２ｃの全ての相対位置にある基板である。
【００２５】
レーザー発光部１１に配置された３つのレーザー発光素子１１ａ、１１ｂ、１１ｃの発光は３つ同時、あるいは例えば１１ａ→１１ｂ→１１ｃの順に発光させても良く、その際レーザー検知センサ１２ａ、１２ｂ、１２ｃのレーザー光の検知有無によって基板の枚数と種別を判定する。
【００２６】
レーザー検知部１２で検知した情報は情報出力部３から情報処理部（図示せず）に出力され収納基板の枚数、基板種別が判定される。
【００２７】
図８に基板の枚数と基板種別を判定するフローを示す。
【００２８】
開始後（Ｓ１）、検知センサ１２ａ、１２ｂ、１２ｃがレーザー光を受光し（Ｓ２）、検知した受光量と予め求めた発光量からレーザー光の減衰率を求める（Ｓ３）。例えば図７において各検知センサ１２ａ、１２ｂ、１２ｃで受光した検知量からレーザー検知センサ１２ａで検知した検知量の減衰率は０．８２、レーザー検知センサ１２ｂの減衰率は０，２５、レーザー検知センサ１２ｃの減衰率は０，５５であったとすると、図６に示される収納枚数と減衰率との関係からレーザー検知センサ１２ａで検知した枚数が７０枚、レーザー検知センサ１２ｂで検知した枚数が２１枚、レーザー検知センサ１２ｃで検知した枚数が４６枚と算出される（Ｓ４）。
【００２９】
次に上記各レーザー検知センサで検知した枚数を算出する。即ちａ＋ｂ＋ｃ＝７０枚、ｃ＝２１枚、ｂ＋ｃ＝４６枚から基板種別Ａ（＝ａ）は２４枚、基板種別Ｂ（＝ｂ）は２６枚、基板種別Ｃ（＝ｃ）は２１枚と算出され（Ｓ５）、直ちに終了する（Ｓ６）。
【００３０】
本発明の実施形態では、レーザー発光素子及びレーザー検知センサはそれぞれ３個の場合を例示したが、これに限定されるものではなく、例えば図９に示すような個数と配置でも良く、ガラス基板の種別数やガラス基板の形状から個数と配置を適宜選択すれば良い。図９（ａ）は２個（１２ａ、１２ｂ）の場合、図（ｂ）は４個（１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ）の場合のレーザー検知センサの配置を示す。
【００３１】
本発明の実施形態では、ガラス基板の例としてカラーフィルタ基板を例示したが、これに限定されず、レーザー光が透過する材質による基板に広く適用することが出来る。
【００３２】
以上のように、本発明によるカラーフィルタ枚葉トレイ段積み用パレットによれば、基板が収納された枚葉トレイが段積みされたパレット内の基板の枚数と基板種別を、基板を取り出して確認することなしに、簡単な機構で判定して確認することが出来、不具合とな
ったデータの照合が可能となる。
【符号の説明】
【００３３】
１・・・カラーフィルタ
２・・・ガラス基板
３・・・ブラックマトリックス（ＢＭ）
４−１・・・レッドＲの着色画素（Ｒ画素）
４−２・・・グリーンＧの着色画素（Ｇ画素）
４−３・・・ブルーＢの着色画素（Ｂ画素）
５・・・透明電極
６・・・フォトスペーサー（ＰＳ）
７・・・バーテイカルアライメント（ＶＡ）
１１・・・レーザー発光部
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ・・・レーザー発光素子
１２・・・レーザー検知部
１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ・・・レーザー検知センサ
１３・・・情報出力部
１４・・・枚葉トレイ部
１５・・・段積みした段積みパレットの蓋部
１６・・・段積みパレット土台部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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