(57)【要約】【課題】被試験メモリの試験を被試験メモリの容量よりも少ない内部メモリで試験する。【解決手段】被試験メモリを試験する試験装置であって、被試験メモリの一部のメモリ領域に対応する試験データおよび試験結果の少なくとも一方の試験情報を記憶する内部メモリを有し、被試験メモリを試験する試験用集積回路デバイスと、被試験メモリの全メモリ領域に対応する試験情報を記憶する外部メモリと、外部メモリに接続され、試験対象のメモリ領域に応じた試験情報を外部メモリおよび内部メモリの間で転送するメモリコントローラと、を備える試験装置および試験方法を提供する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験メモリを試験する試験装置であって、
前記被試験メモリの一部のメモリ領域に対応する試験データおよび試験結果の少なくとも一方の試験情報を記憶する内部メモリを有し、前記被試験メモリを試験する試験用集積回路デバイスと、
前記被試験メモリの全メモリ領域に対応する前記試験情報を記憶する外部メモリと、
前記外部メモリに接続され、試験対象のメモリ領域に応じた前記試験情報を前記外部メモリおよび前記内部メモリの間で転送するメモリコントローラと、
を備える試験装置。
【請求項２】
前記内部メモリは、前記被試験メモリの一部のメモリ領域に対応する前記試験結果を記憶し、
前記メモリコントローラは、前記一部のメモリ領域に対応する前記試験結果を前記内部メモリから取得して、前記外部メモリに格納する
請求項１に記載の試験装置。
【請求項３】
前記内部メモリは、前記試験結果として、前記被試験メモリの一部のメモリ領域に対応してアドレス位置毎の良否を示すフェイルデータを記憶し、
前記メモリコントローラは、試験対象となるメモリ領域に応じた前記フェイルデータを前記外部メモリから読み出して前記内部メモリへと転送し、
前記試験用集積回路デバイスは、試験対象のメモリ領域を試験して前記内部メモリに格納された前記フェイルデータを更新し、
前記メモリコントローラは、更新された前記フェイルデータを前記内部メモリから取得して、前記外部メモリに格納する
請求項１または２に記載の試験装置。
【請求項４】
前記外部メモリは、前記被試験メモリの各ブロックの良否を示すブロックフェイルデータを格納し、
前記メモリコントローラは、試験対象となるブロックの前記ブロックフェイルデータを前記外部メモリから読み出して前記内部メモリへと転送し、
前記試験用集積回路デバイスは、前記内部メモリに格納された前記ブロックフェイルデータから既に不良が検出された不良ブロックを特定して前記不良ブロックの試験をスキップする
請求項１から３のいずれかに記載の試験装置。
【請求項５】
前記被試験メモリは、フラッシュメモリであり、
前記メモリコントローラは、前記被試験メモリの一部のメモリ領域に前記試験データをプログラムする間、および前記被試験メモリの一部のメモリ領域を消去する間の少なくとも一方において、前記外部メモリおよび前記内部メモリの間で前記試験情報を転送する
請求項１から４のいずれかに記載の試験装置。
【請求項６】
前記メモリコントローラは、前記被試験メモリの一部のメモリ領域に前記試験データをプログラムする間、および前記被試験メモリの一部のメモリ領域を消去する間の少なくとも一方において、次のメモリ領域に対応する前記試験データおよび直前のメモリ領域の前記試験結果の少なくとも一方を前記外部メモリおよび前記内部メモリの間で転送する
請求項５に記載の試験装置。
【請求項７】
前記試験用集積回路デバイス、前記外部メモリ、および前記メモリコントローラを有する複数の試験サイトと、
前記複数の試験サイトのそれぞれの前記メモリコントローラに接続され、前記複数の試験サイトによる試験を制御する試験コントローラと、
を備える請求項１から６のいずれかに記載の試験装置。
【請求項８】
前記複数の試験サイトのそれぞれの前記メモリコントローラは、前記試験コントローラおよび前記外部メモリの間で前記試験情報を転送する請求項７に記載の試験装置。
【請求項９】
被試験メモリを試験する試験方法であって、
前記被試験メモリの一部のメモリ領域に対応する試験データおよび試験結果の少なくとも一方の試験情報を記憶する内部メモリを有し、前記被試験メモリを試験する試験段階と、
前記被試験メモリの全メモリ領域に対応する前記試験情報を外部メモリに記憶する外部記憶段階と、
前記外部メモリに接続され、試験対象のメモリ領域に応じた前記試験情報を前記外部メモリおよび前記内部メモリの間で転送するメモリコントロール段階と、
を備える試験方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験装置および試験方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、メモリ試験装置は、被試験メモリ（ＤＵＴ：Ｄｅｖｉｃｅ  Ｕｎｄｅｒ  Ｔｅｓｔ）を複数接続して、これらの複数のメモリを並行して試験していた（例えば、特許文献１、２参照）。
特許文献１  特開平７−１３０２００号公報
特許文献２  特開２００６−３１８５７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、このような試験対象となる被試験メモリの容量は増大しているので、試験装置は膨大な試験パターンデータおよびフェイルデータ等を取り扱うことになる。したがって、複数の被試験メモリに試験パターンデータおよびフェイルデータ等をそれぞれ送信する試験部に、大容量のメモリを備える必要があった。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、本発明の第１の態様においては、被試験メモリを試験する試験装置であって、被試験メモリの一部のメモリ領域に対応する試験データおよび試験結果の少なくとも一方の試験情報を記憶する内部メモリを有し、被試験メモリを試験する試験用集積回路デバイスと、被試験メモリの全メモリ領域に対応する試験情報を記憶する外部メモリと、外部メモリに接続され、試験対象のメモリ領域に応じた試験情報を外部メモリおよび内部メモリの間で転送するメモリコントローラと、を備える試験装置および試験方法を提供する。
【０００５】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】本実施形態に係る試験装置１００の構成例を被試験メモリ１０と共に示す。
【図２】本実施形態に係る試験ボード１５０の構成例を示す。
【図３】本実施形態に係る試験装置１００の動作フローを示す。
【図４】本実施形態に係る試験装置１００の変形例の動作フローを示す。
【図５】本実施形態に係る試験装置１００の変形例の処理のタイミングを、時間軸を横軸にして示す。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【０００８】
図１は、本実施形態に係る試験装置１００の構成例を被試験メモリ１０と共に示す。試験装置１００は、例えば、フラッシュメモリ、マルチ・チップ・パッケージ（ＭＣＰ）デバイスに内蔵されたメモリ、またはシステム・オン・チップ（ＳＯＣ）に設けられたメモリ等の少なくとも１つの被試験メモリ１０を試験する。試験装置１００は、複数の試験部のそれぞれが含む内部メモリと試験サイトが有する外部メモリとの間で、試験に用いる試験データおよび試験結果の少なくとも一方の試験情報を転送しながら、被試験メモリ１０を試験する。これにより、各試験部の内部メモリの容量を低減しつつ、大容量の被試験メモリの試験を可能とする。
【０００９】
試験装置１００は、試験コントローラ１１０と、ネットワーク部１２０と、制御ボード１３０と、デバイス接続部１４０と、試験ボード１５０とを備える。試験コントローラ１１０は、制御ボード１３０および複数の試験ボード１５０に接続され、複数の試験ボード１５０による試験を制御する。より具体的には、試験コントローラ１１０は、ワークステーション等の外部のコンピュータまたは記憶装置等から試験に用いる試験プログラムを取得して、もしくは、ユーザからの入力により試験プログラムを取得して、当該プログラムを実行することにより、制御ボード１３０および試験ボード１５０の動作を制御してよい。
【００１０】
試験コントローラ１１０は、試験プログラムにより指定される試験情報、試験シーケンス、および／または制御コマンド等を、ネットワーク部１２０を介して対応する制御ボード１３０または試験ボード１５０に送信してよい。また、試験コントローラ１１０は、一例として、複数の試験ボード１５０のそれぞれから試験結果を読み出す。これにより、試験コントローラ１１０は、複数の被試験メモリ１０のそれぞれの試験結果をユーザに表示したり、一の試験結果に応じて次の試験内容を変更したりすることができる。
【００１１】
ネットワーク部１２０は、試験コントローラ１１０と、制御ボード１３０と、複数の試験ボード１５０とを通信可能に接続する。ネットワーク部１２０は、汎用または専用のインターフェイスを介して試験コントローラ１１０と、制御ボード１３０と、複数の試験ボード１５０とを接続して、通信パケットをそれぞれ転送してよい。ネットワーク部１２０は、Ethernet（登録商標）、ＵＳＢ、Serial RapidIO等の汎用の高速シリアルインターフェースまたはパラレルインターフェースを用いてよい。
【００１２】
制御ボード１３０は、複数の試験ボード１５０のそれぞれに電源電圧を供給する。また、制御ボード１３０は、複数の試験ボード１５０のそれぞれを制御する。制御ボード１３０は、被試験メモリ１０に対する電源供給の制御、および試験ボード１５０と被試験メモリ１０との間の接続／切断するスイッチのＯＮ／ＯＦＦ制御を実行してもよい。制御ボード１３０は、試験の種類または項目等に応じて、試験ボード１５０と被試験メモリ１０との接続をデバイス接続部１４０に指示してよい。また、制御ボード１３０は、被試験メモリ１０の種類および数、試験ボード１５０の種類および数等に応じて、複数の試験ボード１５０と複数の１０との接続をデバイス接続部１４０に指示してよい。試験装置１００は、複数の制御ボード１３０を備えてもよい。
【００１３】
デバイス接続部１４０は、制御ボード１３０、試験ボード１５０、および被試験メモリ１０の間を通信可能に接続する。デバイス接続部１４０は、制御ボード１３０の指示に応じて、制御ボード１３０、試験ボード１５０、および被試験メモリ１０の間の接続を、スイッチによってＯＮ／ＯＦＦしてもよい。デバイス接続部１４０は、一例として、マザーボードおよびソケットを含む。デバイス接続部１４０は、ソケットに搭載された被試験メモリ１０と試験ボード１５０とをマザーボードを介して通信可能に接続してよい。
【００１４】
試験ボード１５０は、試験コントローラ１１０の試験パターン、試験シーケンス、および／または制御コマンド等に基づき、被試験メモリ１０を試験する。試験装置１００は、同時に試験する被試験メモリ１０の数に応じて同種の試験ボード１５０を複数搭載してよい。複数の試験ボード１５０のそれぞれは、１つの被試験メモリ１０または複数の被試験メモリ１０にそれぞれデバイス接続部１４０を介して接続されてよい。
【００１５】
また、それぞれの試験ボード１５０は、試験装置１００と着脱できてよい。試験ボード１５０は、デバイス接続部１４０を介して被試験メモリ１０に試験信号を供給して、被試験メモリ１０からの応答信号を受信する。複数の制御ボード１３０および試験ボード１５０は、一例として、当該試験装置１００の本体部であるテストヘッドの内部に収納される。
【００１６】
図２は、本実施形態に係る試験ボード１５０の構成例を示す。試験ボード１５０は、ボードコントローラ２１０と試験サイト２２０を備える。ボードコントローラ２１０は、試験コントローラ１１０が送信する試験情報、試験シーケンス、および／または制御コマンド等を受信して、試験を実行すべき試験サイト２２０に、試験シーケンス、および／または制御コマンド等を送信する。ボードコントローラ２１０は、試験に用いる試験データおよび試験結果の少なくとも一方の試験情報、試験の開始、終了、中断等の制御コマンド、および／または試験シーケンスを実行すべき試験サイト２２０にそれぞれ送信する。
【００１７】
試験サイト２２０は、１以上の被試験メモリ１０と接続して、ボードコントローラ２１０から送信された制御コマンドに応じて、ボードコントローラ２１０から送信された試験パターンデータおよび期待値データ等を用いて接続した被試験メモリ１０を試験する。試験サイト２２０は、試験部２３０と、外部メモリ２４０と、サブコントローラ２５０とを有する。試験サイト２２０は、複数の被試験メモリ１０を試験する場合は、被試験メモリ１０と同数の試験部２３０を有してよい。
【００１８】
試験部２３０は、試験用集積回路デバイスとして機能し、１つの被試験メモリ１０を試験する。試験部２３０は、内部メモリ２３５を含む。内部メモリ２３５は、被試験メモリ１０の一部のメモリ領域に対応する試験データおよび試験結果の少なくとも一方の試験情報を記憶する。内部メモリ２３５は、一例として、被試験メモリ１０の一部のメモリ領域の試験に用いるデータを記憶できる程度の容量を持つ。
【００１９】
外部メモリ２４０は、試験サイト２２０に接続された各被試験メモリ１０の全メモリ領域に対応する試験情報を記憶する。ここで試験情報は、試験データである試験パターンデータおよび期待値データ、試験結果、パターンフェイルデータ等でよい。ここで、外部メモリ２４０は、試験サイト２２０に接続された各被試験メモリ１０に対して、同一の試験パターンデータを用いて試験を実行する場合、記憶すべき試験情報を共有して記憶容量を削減してよい。
【００２０】
サブコントローラ２５０は、メモリコントローラとして機能し、外部メモリ２４０に接続されて、試験対象のメモリ領域に応じた試験情報を外部メモリ２４０および内部メモリ２３５の間で転送する。具体的には、サブコントローラ２５０は、試験コントローラ１１０からのデータをボードコントローラ２１０を介して受け取り、受け取ったデータを外部メモリ２４０に格納する。サブコントローラ２５０は、格納した外部メモリ２４０のデータを内部メモリ２３５に転送する。また、サブコントローラ２５０は、内部メモリ２３５に格納される試験結果を外部メモリ２４０へと戻す。
【００２１】
図３は、本実施形態に係る試験装置１００の動作フローを示す。試験コントローラ１１０は、試験プログラムを実行する（Ｓ３００）。試験コントローラ１１０は、試験プログラムにより指定された試験パターンデータ、期待値データ、パターンフェイルデータ等の試験情報を制御ボード１３０および試験ボード１５０に送信する。また、制御ボード１３０は、実行する試験に応じて、試験ボード１５０と被試験メモリ１０の接続をデバイス接続部１４０に指示してよい。
【００２２】
ボードコントローラ２１０は、試験コントローラ１１０から受け取った試験情報のうち、接続先の試験サイト２２０がそれぞれ使用する試験情報を、それぞれの試験サイト２２０に送信する。ここで、試験コントローラ１１０は、各試験サイトが用いる試験情報のそれぞれが、試験ボード１５０の用いられるべき試験サイト２２０のそれぞれへとボードコントローラ２１０が正しく送信できるように、試験ボード１５０と被試験メモリ１０の接続に応じたヘッダ情報を試験情報に付加してよい。
【００２３】
試験サイト２２０に含まれる１以上の試験部２３０は、ボードコントローラ２１０が送信した試験情報を外部メモリに保持する。試験部２３０は、外部メモリに保持された試験情報のうち、一部の試験情報を内部メモリ２３５に転送する（Ｓ３１０）。ここで試験部２３０は、サブコントローラ２５０を介して外部メモリ２４０にアクセスする。試験部２３０は、一回めの試験が実施される被試験メモリ１０の一部のメモリ領域に対して使われる試験パターンデータを内部メモリ２３５に記憶させてよい。ここで試験部２３０は、試験情報である期待値データについても、試験パターンデータと同様に外部メモリに保持させ、一部の期待値データを内部メモリ２３５に転送してよい。
【００２４】
試験装置１００は、被試験メモリ１０の良否（パス／フェイル）を判定する以外に、フェイル解析等を実施する場合、パターンフェイルデータも試験情報として試験サイト２２０に供給する（Ｓ３２０）。ここでパターンフェイルデータは、被試験メモリ１０のフェイル情報とフェイルが生じたアドレス情報とを記憶したデータでよく、一例として、被試験メモリ１０のブロック、セクタ、ワード、またはビット毎にフェイルの有無を示す。試験部２３０は、パターンフェイルデータを外部メモリ２４０に記憶させ、一回めの試験における被試験メモリ１０の一部のメモリ領域のフェイルデータを記憶するパターンフェイルデータを内部メモリ２３５に転送させてよい。
【００２５】
ここで試験装置１００は、パターンフェイルデータを試験部に供給する例を説明したが、これに代えて、試験部２３０は、外部メモリ２４０のパターンフェイルデータを記憶する領域をクリアしてもよい。この場合、試験部２３０は、予め定められたブロック毎の試験を実施する毎に、ブロック毎のパターンフェイルデータを内部メモリ２３５に記憶して、外部メモリに転送する。
【００２６】
次に、試験部２３０は、内部メモリ２３５に記憶された試験パターンデータおよび期待値データを用いて被試験メモリ１０を予め定められたブロック毎に試験する（Ｓ３３０）。試験部２３０は、試験プログラムによって指定された試験シーケンスに従って、被試験メモリ１０に対して、制御信号により試験パターンデータの書き込み、読み出しを実行する。試験部２３０は、被試験メモリ１０から読み出した試験パターンデータを期待値データと比較して、その一致、不一致により被試験メモリ１０の良否を判定する。
【００２７】
試験部２３０は、被試験メモリ１０の良否の判定結果である試験結果を記憶する（Ｓ３４０）。内部メモリ２３５は、被試験メモリ１０の一部のメモリ領域に対応する試験結果を記憶し、サブコントローラ２５０は、一部のメモリ領域に対応する試験結果を内部メモリ２３５から取得して、外部メモリ２４０に格納する。これによって試験部２３０は、試験結果を外部メモリ２４０に転送することができる。
【００２８】
ここで、試験部２３０は、フェイル解析等を実施する場合、かつ、比較結果が不一致の場合、外部メモリ２４０からパターンフェイルデータを読み出し、フェイル情報を更新して内部メモリ２３５に記憶する。サブコントローラ２５０は、更新されたフェイルデータを内部メモリ２３５から読み出して外部メモリ２４０へと転送して書き戻す。これによって、試験部２３０は、フェイルデータの更新と外部メモリ２４０への転送を実行することができる。
【００２９】
ここで、試験部２３０は、予め被試験メモリ１０の一部の領域が不良領域または不使用領域であることが判明している場合に、不良ブロックとして登録して当該領域の試験をスキップしてよい。外部メモリ２４０は、被試験メモリ１０の各ブロックの良否を示すブロックフェイルデータを格納し、サブコントローラ２５０は、試験対象となるブロックのブロックフェイルデータを外部メモリ２４０から読み出して内部メモリ２３５へと転送し、試験部２３０は、内部メモリ２３５に格納されたブロックフェイルデータから既に不良が検出された不良ブロックを特定して不良ブロックの試験をスキップする。これによって試験部２３０は、被試験メモリ１０の不良ブロックの試験をスキップすることができる。
【００３０】
試験部２３０は、一例として、全てのメモリ領域を試験していない場合、実行すべき試験が終了していないと判別する（Ｓ３５０）。また、試験部２３０は、試験の中断または停止の制御コマンドを受け取ったことに応じて、試験を中断または停止してよい。試験部２３０は、実行すべき試験が終了していない場合、外部メモリ２４０に記憶されている次のブロックの試験に用いる試験情報を読み出して内部メモリ２３５に上書きして試験情報を更新する（Ｓ３６０）。試験部２３０は、実行すべき試験が終了するまで、試験情報を更新して試験を実行するステップＳ３３０からステップＳ３５０の過程を繰り返す。
【００３１】
以上の本実施形態に係る試験装置１００によれば、複数の試験部２３０のそれぞれが試験対象のメモリ領域に応じた試験情報を外部メモリ２４０と内部メモリ２３５の間で転送させつつ、複数の被試験メモリ１０の試験を実行する。これによって試験装置１００は、一部のメモリ領域のためのデータを記憶できるだけの容量を有する試験部２３０を用いて、被試験メモリ１０の全メモリ領域の試験を実行することができる。
【００３２】
図４は、本実施形態に係る試験装置１００の変形例の動作フローを示す。本変形例に係る試験装置１００は、特に、フラッシュメモリ等の書き込み動作（プログラム）および／または消去に時間のかかるメモリを被試験メモリ１０として試験する。
【００３３】
フラッシュメモリは、各アドレスにおいて１回のプログラムでデータ書き込みに成功するとは限らないので、複数回のプログラムを繰り返す。プログラムに成功するまでの回数は被試験メモリ１０の種類によって異なり、また同種の被試験メモリ１０であってもアドレス毎に相違する。そこで試験装置１００は、フラッシュメモリのプログラム試験として、規定回数以内でデータをプログラムしたい全てのメモリセルにプログラムができた場合に、被試験メモリ１０を良品と判断する。
【００３４】
試験装置１００は、データ消去試験についても同様に、規定回数以内においてデータを消去したい全てのメモリセルについてデータを消去することができた場合に、被試験メモリ１０を良品と判断する。本変形例の試験装置１００は、プログラム試験および／またはデータ消去試験を、試験実行に必要な他の動作と並行して実行して効率的に試験する。本変形例は、試験プログラムを実行するステップＳ３００からパターンフェイルデータを試験部２３０に分配するステップＳ３２０まで、図３と略同一であるのでこれらの過程の記載を省略する。
【００３５】
サブコントローラ２５０は、被試験メモリ１０の一部のメモリ領域に試験データをプログラムする間、および被試験メモリ１０の一部のメモリ領域を消去する間の少なくとも一方において、外部メモリ２４０および内部メモリ２３５の間で試験情報を並行して転送する。本変形例の動作フローにおいて、試験部２３０は、試験パターンデータを被試験メモリ１０にプログラムする（Ｓ３３０）間に、直前に実行した試験結果を内部メモリ２３５から外部メモリ２４０に転送する（Ｓ３３５）。内部メモリ２３５は、現在の試験に用いる試験パターンデータ、期待値データ、および直前の試験結果を記憶する。
【００３６】
試験部２３０は、被試験メモリ１０の一部のメモリ領域に対応する良否の判定結果である試験結果を記憶する（Ｓ３４０）。内部メモリ２３５は、直前に実行した試験結果を記憶した領域に、被試験メモリ１０の現在の試験の試験結果を上書きしてよい。試験部２３０は、次の試験の試験パターンデータを被試験メモリ１０にプログラムする間に、上書きした試験結果を内部メモリ２３５から外部メモリ２４０に転送して、新たな試験結果を同じ領域に上書きする。これによって試験部２３０は、試験実行の間に試験情報を順次転送することができる。
【００３７】
本変形例の動作フローは、試験パターンデータを被試験メモリ１０にプログラムする間に直前の試験結果を転送することを説明したが、これに代えて、外部メモリ２４０は、被試験メモリ１０の一部のメモリ領域を消去する間に直前の試験結果を転送してもよい。これによっても試験部２３０は、試験実行の間に試験情報を順次転送することができる。
【００３８】
また、サブコントローラ２５０は、被試験メモリ１０の一部のメモリ領域に試験データをプログラムする間、および被試験メモリ１０の一部のメモリ領域を消去する間の少なくとも一方において、次のメモリ領域に対応する試験データおよび直前のメモリ領域の試験結果の少なくとも一方を外部メモリ２４０および内部メモリ２３５の間で転送する。本変形例の動作フローにおいて、試験部２３０は、被試験メモリ１０の一部のメモリ領域を消去する（Ｓ３４２）間に、次のメモリ領域に対応する試験パターンデータを外部メモリ２４０から内部メモリ２３５に転送する（Ｓ３４４）。
【００３９】
内部メモリ２３５は、直前に実行した試験パターンデータを記憶した領域に、被試験メモリ１０の次の試験に用いる試験パターンデータを上書きしてよい。試験部２３０は、被試験メモリ１０の一部のメモリ領域を消去した後に、次の試験パターンデータが内部メモリ２３５に上書きされているので、速やかに次の試験を実行することができる。
【００４０】
図５は、本実施形態に係る試験装置１００の変形例の処理のタイミングを、時間軸を横軸にして示す。図中には、試験部２３０から被試験メモリ１０への制御処理、被試験メモリ１０から試験部２３０への応答処理、内部メモリ２３５から外部メモリ２４０への転送処理、および外部メモリ２４０から内部メモリ２３５への転送処理についてそれぞれ示した。
【００４１】
試験部２３０は、試験データを被試験メモリ１０にプログラムするプログラム処理を被試験メモリ１０に指示する。ここで、試験部２３０は、内部メモリ２３５に記憶されている試験パターンデータに基づく試験データを被試験メモリ１０に送信する。ここで、試験部２３０は、一例として、予め定められたデータ量に達するまで、試験パターンデータに基づく試験データを被試験メモリ１０に送信して書き込みを指示する処理を繰り返す。試験部２３０は、プログラム処理を指示している間に、直前に実行した試験結果を内部メモリ２３５から外部メモリ２４０に転送する。
【００４２】
被試験メモリ１０は、プログラム処理を完了させると、試験部２３０に処理の完了を通知する。ここで被試験メモリ１０は、一例として、試験データのプログラム処理が完了するまで、データ書き込み処理とベリファイ処理を繰り返す。試験部２３０は、プログラム処理の完了を通知されたことに基づき、被試験メモリ１０にプログラムした結果の読み出しを指示する。
【００４３】
被試験メモリ１０は、試験部２３０の指示に応じて読み出した結果を試験部２３０に送信する。試験部２３０は、読み出した結果を受信すると、期待値データと比較して試験結果となる比較結果を内部メモリに記憶する。試験部２３０は、次に、被試験メモリ１０のメモリ消去を被試験メモリ１０に指示する。試験部２３０は、メモリ消去を指示している間に、次のメモリ領域に対応する試験パターンデータを外部メモリ２４０から内部メモリ２３５に転送する。
【００４４】
被試験メモリ１０は、メモリ消去を完了させると、試験部２３０に処理の完了を通知する。ここで被試験メモリ１０は、一例として、予め定められたメモリ量の消去が完了するまで、メモリ消去処理とベリファイ処理を繰り返す。試験部２３０は、メモリ消去の完了を通知されたことに基づき、被試験メモリ１０にメモリ消去した結果の読み出しを指示する。
【００４５】
被試験メモリ１０は、試験部２３０の指示に応じて読み出した結果を試験部２３０に送信する。試験部２３０は、読み出した結果を受信すると、期待値データと比較して試験結果となる比較結果を内部メモリに記憶する。試験部２３０は、以上の一連のプログラム試験とメモリ消去試験を、試験が終了するまで繰り返す。これによって、試験装置１００は、試験実行の間に試験情報を順次転送することができる。
【００４６】
本変形例は、被試験メモリ１０の一部のメモリ領域を消去する間に次の試験パターンデータを転送することを説明したが、これに代えて、試験部２３０は、被試験メモリ１０の一部のメモリ領域に試験データをプログラムする間に次の試験パターンデータを転送してもよい。これによっても試験部２３０は、速やかに次の試験を実行することができる。
【００４７】
以上の本変形例において、試験部２３０は、直前の試験結果の転送および／または次の試験パターンデータの転送を、試験の間に実行することを説明した。これに代えて、またはこれに加えて、試験部２３０は、試験の間にパターンフェイルデータを転送してよい。例えば、試験部２３０は、被試験メモリ１０の一部のメモリ領域に試験データをプログラムする間、および被試験メモリ１０の一部のメモリ領域を消去する間の少なくとも一方において、外部メモリ２４０および内部メモリ２３５の間で直前の試験結果に対応するパターンフェイルデータを転送する。これによって試験部２３０は、試験実行の間に試験情報を順次転送することができる。
【００４８】
また、試験部２３０は、被試験メモリ１０の一部のメモリ領域に試験データをプログラムする間、および被試験メモリ１０の一部のメモリ領域を消去する間の少なくとも一方において、次のメモリ領域に対応するパターンフェイルデータおよび直前のメモリ領域のパターンフェイルデータの少なくとも一方を外部メモリ２４０および内部メモリ２３５の間で転送してよい。これによって、試験部２３０は、試験実行の間に試験情報を順次転送させつつ、速やかに次の試験を実行することができる。
【００４９】
試験部２３０は、被試験メモリ１０の一部のメモリ領域に試験データをプログラムする間、および被試験メモリ１０の一部のメモリ領域を消去する間の少なくとも一方において、次の試験パターンデータおよびパターンフェイルデータを転送することを説明した。これに代えて、試験部２３０は、被試験メモリ１０の一部のメモリ領域に試験データをプログラムする間、および被試験メモリ１０の一部のメモリ領域を消去する間の少なくとも一方において、次回以降に用いる試験パターンデータおよびパターンフェイルデータを転送してもよい。
【００５０】
以上の実施例に係る試験装置１００において、試験部２３０は、サブコントローラ２５０を介して外部メモリ２４０にアクセスして外部メモリ２４０および内部メモリ２３５の間で試験情報を転送する例を説明した。これに代えて、試験装置１００は、サブコントローラ２５０が試験部２３０を介して内部メモリ２３５にアクセスして外部メモリ２４０および内部メモリ２３５の間で試験情報を転送してもよい。試験装置１００は、試験サイト２２０内部において、試験情報を分配することによって、試験情報を順次転送させてよい。
【００５１】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【００５２】
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【符号の説明】
【００５３】
１０  被試験メモリ、１００  試験装置、１１０  試験コントローラ、１２０  ネットワーク部、１３０  制御ボード、１４０  デバイス接続部、１５０  試験ボード、２１０  ボードコントローラ、２２０  試験サイト、２３０  試験部、２３５  内部メモリ、２４０  外部メモリ、２５０  サブコントローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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