(57)【要約】【課題】  粒度分布の幅が狭い微細なチタン酸塩粉末を得ることができるチタン酸塩粉末の製造方法を提供すること。【解決手段】  酸化チタン粒子と、水溶性バリウム塩と、水と、を含むｐＨ１１以上のスラリー中で、上記酸化チタン粒子の表面の少なくとも一部をチタン酸塩に変化させ、表面改質酸化チタン粒子を得る反応工程と、上記表面改質酸化チタン粒子と、バリウム化合物、ストロンチウム化合物、カルシウム化合物、希土類化合物及びジルコニウム化合物からなる群より選択される少なくとも一種と、を含む原料粉体を焼成し、チタン酸塩粉末を得る焼成工程と、を有する、チタン酸塩粉末の製造方法。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸化チタン粒子と、水溶性バリウム塩と、水と、を含むｐＨ１１以上のスラリー中で、前記酸化チタン粒子の表面の少なくとも一部をチタン酸塩に変化させ、表面改質酸化チタン粒子を得る反応工程と、
前記表面改質酸化チタン粒子と、バリウム化合物、ストロンチウム化合物、カルシウム化合物、希土類化合物及びジルコニウム化合物からなる群より選択される少なくとも一種と、を含む原料粉体を焼成し、チタン酸塩粉末を得る焼成工程と、
を有する、チタン酸塩粉末の製造方法。
【請求項２】
前記反応工程において、前記スラリー中に予めバリウム化合物、ストロンチウム化合物、カルシウム化合物、希土類化合物及びジルコニウム化合物からなる群より選択される少なくとも一種を加える、請求項１記載のチタン酸塩粉末の製造方法。
【請求項３】
前記反応工程後、前記表面改質酸化チタン粒子を含む前記スラリー中に炭酸ガスを供給し、未反応のバリウムイオンを炭酸バリウムとして析出させる析出工程を含む、請求項１又は２記載のチタン酸塩粉末の製造方法。
【請求項４】
前記水溶性バリウム塩が、水酸化バリウム、塩化バリウム、硝酸バリウム、酢酸バリウム、ヨウ化バリウム及び臭化バリウム、並びに、これらの水和物からなる群より選択される少なくとも一種である、請求項１〜３のいずれか一項に記載のチタン酸塩粉末の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はチタン酸塩粉末の製造方法に関し、より詳しくは、コンデンサ、ＰＴＣ（Ｐｏｓｉｔｉｖｅ  Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  Ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ）素子などの電子部品用の誘電体材料として有用なチタン酸塩粉末の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
チタン酸バリウム系粉末等のチタン酸塩粉末は、コンデンサやＰＴＣ素子などの電子部品用の誘電体材料として広く用いられている。チタン酸バリウム系粉末は、固相合成法、蓚酸塩法、水熱合成法などによって製造されている。このうち固相合成法は、コストが安く結晶性が高い粉末が得られるという優位性がある。固相合成法によるチタン酸バリウム粉末の製造方法として、例えば特許文献１には、比表面積が１０ｍ２／ｇ以下の炭酸バリウムと、比表面積が１５ｍ２／ｇ以上の酸化チタンとを混合した後、１０００℃以上の温度で焼成する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−３３８５２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、固相合成法では、バリウム原料（主に炭酸バリウム）とチタン原料（酸化チタン）とを高温（例えば１０００℃以上）で反応させるため、温度上昇過程で酸化チタンが粒成長してしまい、微細な粒子が得られにくいという問題や、粒度分布が広くなる（粗大粒子が生成してしまう）という問題があった。
【０００５】
また、上記特許文献１に記載された製造方法では、原料の比表面積を制御することでチタン酸バリウム粉末の粒径バラツキを低減しているものの、温度上昇過程での酸化チタンの粒成長を十分に抑制することができず、チタン酸バリウム粉末の微細化及び粒度分布の均一化が必ずしも十分ではないという問題がある。
【０００６】
本発明は、上記従来技術の有する課題に鑑みてなされたものであり、粒度分布の幅が狭い微細なチタン酸塩粉末を得ることができるチタン酸塩粉末の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は、酸化チタン粒子と、水溶性バリウム塩と、水と、を含むｐＨ１１以上のスラリー中で、上記酸化チタン粒子の表面の少なくとも一部をチタン酸塩に変化させ、表面改質酸化チタン粒子を得る反応工程と、上記表面改質酸化チタン粒子と、バリウム化合物、ストロンチウム化合物、カルシウム化合物、希土類化合物及びジルコニウム化合物からなる群より選択される少なくとも一種と、を含む原料粉体を焼成し、チタン酸塩粉末を得る焼成工程と、を有する、チタン酸塩粉末の製造方法を提供する。
【０００８】
かかる製造方法によれば、上記反応工程により酸化チタン粒子の表面の少なくとも一部をチタン酸塩に変化させた表面改質酸化チタン粒子を、バリウム化合物、ストロンチウム化合物、カルシウム化合物、希土類化合物及びジルコニウム化合物からなる群より選択される少なくとも一種とともに焼成することにより、酸化チタンをそのまま用いる場合と比較して、温度上昇過程での粒成長を大幅に抑制することができる。そのため、本発明のチタン酸塩粉末の製造方法によれば、固相合成法の特徴である低コスト、高結晶性というメリットを活かしたまま、粒度分布の幅が狭い微細なチタン酸塩粉末（チタン酸バリウム系粉末）を効率的に得ることができる。
【０００９】
また、本発明は、上記チタン酸塩粉末の製造方法の上記反応工程において、上記スラリー中に予めバリウム化合物、ストロンチウム化合物、カルシウム化合物、希土類化合物及びジルコニウム化合物からなる群より選択される少なくとも一種を加える、チタン酸塩粉末の製造方法を提供する。バリウム化合物、ストロンチウム化合物、カルシウム化合物、希土類化合物及びジルコニウム化合物からなる群より選択される少なくとも一種の化合物は、上記反応工程を行った後に表面改質酸化チタン粒子に加えてもよいが、その場合、それらを混合する作業が必要となる。これに対し、反応工程において予め上記化合物を加えた場合、表面改質酸化チタン粒子と上記化合物とが十分に混合されるため、作業の効率化を図ることができるとともに、組成ずれが抑制された均質なチタン酸塩粉末を得ることができる。
【００１０】
また、本発明のチタン酸塩粉末の製造方法は、上記反応工程後、上記表面改質酸化チタン粒子を含む上記スラリー中に炭酸ガスを供給し、未反応のバリウムイオンを炭酸バリウムとして析出させる析出工程を含むことが好ましい。このように、スラリー中に炭酸ガスを供給して未反応のバリウムイオンを炭酸バリウムとして析出させることにより、スラリー中に残存するバリウムイオンを有効活用することができるとともに、得られるチタン酸塩粉末の組成ずれを抑制することが可能となる。
【００１１】
また、本発明のチタン酸塩粉末の製造方法において、上記水溶性バリウム塩は、水酸化バリウム、塩化バリウム、硝酸バリウム、酢酸バリウム、ヨウ化バリウム及び臭化バリウム、並びに、これらの水和物からなる群より選択される少なくとも一種であることが好ましい。これらの水溶性バリウム塩を用いることにより、反応工程において酸化チタン粒子の表面の少なくとも一部を効率的にチタン酸塩（チタン酸バリウム）に変化させることができ、粒度分布の幅が狭い微細なチタン酸塩粉末をより効率的に得ることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、固相合成法の特徴である低コスト、高結晶性というメリットを活かしたまま、粒度分布の幅が狭い微細なチタン酸塩粉末を得ることができるチタン酸塩粉末の製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明をその好適な実施形態に即して詳細に説明する。
【００１４】
本発明のチタン酸塩粉末の製造方法は、酸化チタン粒子と、水溶性バリウム塩と、水と、を含むｐＨ１１以上のスラリー中で、上記酸化チタン粒子の表面の少なくとも一部をチタン酸塩に変化させ、表面改質酸化チタン粒子を得る反応工程と、上記表面改質酸化チタン粒子と、バリウム化合物、ストロンチウム化合物、カルシウム化合物、希土類化合物及びジルコニウム化合物からなる群より選択される少なくとも一種と、を含む原料粉体を焼成し、チタン酸塩粉末を得る焼成工程と、を有する方法である。
【００１５】
上記反応工程においては、まず、酸化チタン粒子と、水溶性バリウム塩と、水と、を含むｐＨ１１以上のスラリーを調製する。次に、このスラリー中で、酸化チタン粒子の表面の少なくとも一部をチタン酸バリウム等のチタン酸塩に変化させ、表面改質酸化チタン粒子を得る。
【００１６】
上記スラリーは、少なくとも水溶性バリウム塩と、酸化チタン粒子と、水とを混合することにより調製することができ、これにより、水溶性バリウム塩が溶解した水溶液中に酸化チタン粒子が分散したスラリーを得ることができる。このとき、スラリーのｐＨを１１以上に調整するために、必要に応じて塩基性物質を加える。また、スラリーには、焼成工程での原料粉体となるバリウム化合物、ストロンチウム化合物、カルシウム化合物、希土類化合物及びジルコニウム化合物からなる群より選択される少なくとも一種の化合物の一部又は全部を予め加えてもよい。
【００１７】
水溶性バリウム塩としては、水に溶解してバリウムイオンを供給可能なものであれば特に限定されないが、水に対する溶解度（溶媒１００ｇに溶ける溶質の質量）が２０℃で１ｇ以上のものであることが好ましく、３ｇ以上のものであることがより好ましい。
【００１８】
水溶性バリウム塩として具体的には、例えば、水酸化バリウム、塩化バリウム、硝酸バリウム、酢酸バリウム、ヨウ化バリウム及び臭化バリウム、並びに、これらの水和物等が挙げられる。これらの中でも、不純物の混入を低減させるという観点から、水酸化バリウム及びその水和物が好ましく、水酸化バリウム８水和物がより好ましい。これらの水溶性バリウム塩は、１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００１９】
水溶性バリウム塩として水酸化バリウム又はその水和物を用いる場合、これらは強塩基であるため、塩基性物質を加えることなくスラリーのｐＨを１１以上にすることができる。塩基性物質を加えない場合は、水酸化バリウム又はその水和物をスラリーのｐＨが１１以上になるまで加える。なお、水溶性バリウム塩として水酸化バリウム又はその水和物を用いる場合でも、塩基性物質を更に加えてもよい。一方、水溶性バリウム塩として塩化バリウム、硝酸バリウム、酢酸バリウム、ヨウ化バリウム又は臭化バリウム、或いはこれらの水和物を用いる場合には、スラリーのｐＨを１１以上にするために、塩基性物質を添加する必要がある。この塩基性物質としては、例えば、アンモニア、テトラメチルアミンハイドライド、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等が挙げられる。
【００２０】
スラリーのｐＨは、１１以上であることが必要であり、１２以上であることが好ましい。スラリーのｐＨが１１未満であると、反応工程において酸化チタンとバリウムイオンとの反応が十分に進行せず、酸化チタン粒子の表面の少なくとも一部がチタン酸バリウム等のチタン酸塩に変化した表面改質酸化チタンを得ることが困難となる。
【００２１】
また、スラリー中のバリウムイオン濃度は、工業性、及び、酸化チタン粒子の表面を効率的にバリウムイオンと反応させる観点から、０．１ｍｏｌ／Ｌ以上であることが好ましく、０．２〜２ｍｏｌ／Ｌであることがより好ましい。このような濃度では、一部の水溶性バリウム塩（例えば、水酸化バリウム８水和物）は、反応開始前は完全には溶解していない。しかしながら、反応中にスラリーの温度が上がること、反応が進行するに従いバリウムイオン濃度が低下していくこと、によって反応終了後はバリウム塩が完全に消費される。
【００２２】
酸化チタン粒子としては、公知のものを特に制限なく使用することができる。酸化チタン粒子の平均粒子径は、１０〜２００ｎｍであることが好ましく、２０〜１００ｎｍであることがより好ましい。この平均粒子径が１０ｎｍ未満であると、最終生成物であるチタン酸塩粉末の粒度分布が広くなる傾向があり、２００ｎｍを超えると、チタン酸塩粉末の平均粒子径が大きくなってしまい、昨今の薄層コンデンサに適さない材料となってしまう傾向がある。
【００２３】
上記スラリー中で酸化チタン粒子の表面の酸化チタンとバリウムイオンとを反応させる方法としては、水熱合成法や、ボールミル等を用いて混合処理する方法等が挙げられる。
【００２４】
水熱合成法では、スラリーをオートクレーブに入れ、撹拌しながら加熱することにより反応を行う。加熱温度は、８０℃以上とすることが好ましく、９０〜２００℃とすることがより好ましい。加熱温度が２００℃を超えると、装置コストが高くなったり、装置からの不純物の混入が多くなる傾向がある。一方、加熱温度が８０℃未満であると、反応が十分に進行せず、酸化チタン粒子の表面に占めるチタン酸バリウム等のチタン酸塩の割合が少なくなり、焼成時の酸化チタンの粒成長を抑制する効果が低下する傾向がある。また、圧力は自生圧力であるが、具体的には０．１〜２．０ＭＰａとすることが好ましい。また、反応時間は、酸化チタン粒子の表面が十分にチタン酸バリウム等のチタン酸塩に変化するように適宜調整されるが、０．５〜４時間とすることが好ましく、１〜２時間とすることがより好ましい。
【００２５】
上記スラリーの混合処理は、例えば、ボールミル、ビーズミル、湿式ジェットミル等を用いて行うことができる。この混合処理を行うことにより、酸化チタン粒子の表面の少なくとも一部を、水溶性バリウム塩から供給されるバリウムイオンと反応させ、チタン酸バリウム等のチタン酸塩に変化させることができる。また、焼成時の酸化チタンの粒成長をより十分に抑制する観点から、酸化チタン粒子の表面の略全面がチタン酸バリウム等のチタン酸塩に変化していることが好ましく、そのような表面改質酸化チタン粒子が得られるように混合処理を行うことが好ましい。なお、この混合処理では、酸化チタン粒子の表面近傍のみがチタン酸バリウム等のチタン酸塩に変化し、中心部は酸化チタンのままとなる。
【００２６】
ボールミルを用いて混合処理する場合、回転数や混合時間等の条件は、酸化チタン粒子の表面が十分にチタン酸バリウム等のチタン酸塩に変化するように適宜調整されるが、例えば、５０〜２００ｒｐｍで３〜２４時間混合することが好ましい。また、混合メディアとしては特に制限されないが、例えば、ジルコニアボール等を用いることが好ましい。この時、ボールの運動エネルギーが熱エネルギーに変換され、スラリーの温度がある程度（おそらく８０℃以上）に上がることによって反応が進むと考えられる。
【００２７】
以上の反応工程を経て、酸化チタン粒子の表面の少なくとも一部をチタン酸バリウム等のチタン酸塩に変化させた表面改質酸化チタン粒子が得られる。
【００２８】
次に、上記反応工程により表面改質酸化チタン粒子を得た後、必要に応じて該表面改質酸化チタン粒子が分散されたスラリーを乾燥させる。スラリーの乾燥は、スラリーをそのままスプレードライヤー等により乾燥させる方法、スラリーを濾過して固液分離した後、分離した固形分を乾燥機等により乾燥させる方法などにより行うことができる。なお、短時間で乾燥できることから、スラリーをそのままスプレードライヤーにより乾燥させる方法を用いることが好ましい。乾燥温度は、水分を十分に除去できる温度であれば特に制限されず、通常、１５０〜２００℃とすることが好ましい。
【００２９】
また、上記反応工程により表面改質酸化チタン粒子を得た後、該表面改質酸化チタン粒子が分散されたスラリー中に炭酸ガスを供給し、未反応のバリウムイオンを炭酸バリウムとして析出させる析出工程を行うことも好ましい。析出した炭酸バリウムは、焼成工程における原料粉体の一部として有効活用される。その後、上述した方法で乾燥を行うことができる。
【００３０】
次に、焼成工程においては、上記反応工程で得られた表面改質酸化チタン粒子と、バリウム化合物、ストロンチウム化合物、カルシウム化合物、希土類化合物及びジルコニウム化合物からなる群より選択される少なくとも一種とを含む原料粉体を焼成することにより、チタン酸塩粉末を得る。
【００３１】
ここで、バリウム化合物、ストロンチウム化合物、カルシウム化合物、希土類化合物及びジルコニウム化合物からなる群より選択される少なくとも一種の化合物は、上述した反応工程で予め加えておいてもよく、焼成工程で加えてもよい。また、上記化合物の必要量の一部を反応工程で予め加え、残りの上記化合物を焼成工程で加えてもよい。
【００３２】
上記化合物の中でも、原料粉体は少なくともバリウム化合物を含むことが好ましい。また、バリウム化合物としては、炭酸バリウムが好ましい。また、原料粉体には、目的とするチタン酸塩粉末の組成に応じて、表面改質酸化チタン粒子及び上記化合物以外に、他の添加元素を供給する化合物を添加してもよい。
【００３３】
焼成工程において表面改質酸化チタン粒子にバリウム化合物、ストロンチウム化合物、カルシウム化合物、希土類化合物及びジルコニウム化合物からなる群より選択される少なくとも一種の化合物や他の添加元素を供給する化合物を添加する場合には、それらを十分に混合することが好ましい。
【００３４】
焼成工程において、原料粉体の焼成は、９００〜１１００℃、１〜５時間の条件で行うことが好ましい。
【００３５】
以上の焼成工程を経て、チタン酸塩粉末が得られる。本発明の製造方法により得られるチタン酸塩粉末は、焼成時の温度上昇過程での酸化チタンの粒成長が抑制され、粒度分布の幅が狭い微細なものとなる。したがって、本発明の製造方法により得られるチタン酸塩粉末は、コンデンサ、ＰＴＣ素子などの電子部品用の誘電体材料として有用である。
【実施例】
【００３６】
以下、実施例及び比較例に基づいて本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【００３７】
なお、実施例及び比較例で得られたチタン酸バリウム系粉末の平均粒子径及び変動係数は、以下の方法で算出した。すなわち、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真から１００個の粒子を抽出し、この１００個の粒子について円相当径を求め、その平均値を平均粒子径として算出し、｛（標準偏差／平均値）×１００｝を変動係数（％）として算出した。
【００３８】
（実施例１）
酸化チタン粒子（平均粒子径８０ｎｍ）７１．８９ｇと、水酸化バリウム８水和物１５７．７ｇと、イオン交換水２０００ｇとを、直径５ｍｍのジルコニアボールとともにボールミルにより１０８ｒｐｍで１６時間混合した。このときのスラリーのｐＨは１３であった。次いで、スラリーをスプレードライヤーで乾燥させ、酸化チタン粒子の表面のほぼ全面をチタン酸バリウムに変化させた表面改質酸化チタン粒子を得た。得られた表面改質酸化チタン粒子に、炭酸バリウム７８．９４ｇ、酸化ジルコニウム１２．３２ｇ及び炭酸カルシウム１０．０１ｇを加えて混合し、１０６０℃で２時間焼成することで、チタン酸バリウム系粉末を得た。得られたチタン酸バリウム系粉末は、ＸＲＤ及び組成分析によってＢａ０．９Ｃａ０．１Ｔｉ０．９Ｚｒ０．１Ｏ３であることが確認された。また、ＳＥＭ観察の結果、平均粒子径は０．３７μｍであり、変動係数は３８％であった。
【００３９】
（実施例２）
酸化チタン粒子（平均粒子径８０ｎｍ）７９．８８ｇと、炭酸バリウム９８．６８ｇと、水酸化バリウム８水和物１５７．７ｇと、イオン交換水２０００ｇとを、直径５ｍｍのジルコニアボールとともにボールミルにより１０８ｒｐｍで１６時間混合した。このときのスラリーのｐＨは１３であった。次いで、スラリーをスプレードライヤーで乾燥させ、酸化チタン粒子の表面のほぼ全面をチタン酸バリウムに変化させた表面改質酸化チタン粒子と炭酸バリウムとの混合粉末を得た。この混合粉末を１０５０℃で２時間焼成することで、チタン酸バリウム系粉末を得た。得られたチタン酸バリウム系粉末は、ＸＲＤによってＢａＴｉＯ３であることが確認された。また、ＳＥＭ観察の結果、平均粒子径は０．３５μｍであり、変動係数は３５％であった。
【００４０】
（実施例３）
酸化チタン粒子（平均粒子径８０ｎｍ）７９．８８ｇと、炭酸バリウム７８．９４ｇと、水酸化バリウム８水和物１５７．７ｇと、イオン交換水２０００ｇとを、直径５ｍｍのジルコニアボールとともにボールミルにより１０８ｒｐｍで１６時間混合した。このときのスラリーのｐＨは１３であった。次いで、スラリーに炭酸ガスを１２時間吹き込み、スラリー中の未反応のバリウムイオンを炭酸バリウムとして析出させた。その後、濾過によって固液分離を行った。濾紙上のケーキを１２０℃の乾燥機にて１２時間乾燥し、酸化チタン粒子の表面のほぼ全面をチタン酸バリウムに変化させた表面改質酸化チタン粒子と炭酸バリウムとの混合粉末を得た。得られた混合粉末に炭酸カルシウムを１０．０１ｇ加えて混合し、１０６０℃で２時間焼成することで、チタン酸バリウム系粉末を得た。得られたチタン酸バリウム系粉末は、ＸＲＤ及び組成分析によってＢａ０．９Ｃａ０．１ＴｉＯ３であることが確認された。また、ＳＥＭ観察の結果、平均粒子径は０．３８μｍであり、変動係数は３３％であった。
【００４１】
（実施例４）
酸化チタン粒子（平均粒子径８０ｎｍ）７９．８８ｇと、炭酸バリウム９８．７ｇと、塩化バリウム２水和物１２２ｇと、水酸化ナトリウム４０ｇと、イオン交換水２０００ｇとを、直径５ｍｍのジルコニアボールとともにボールミルにより１０８ｒｐｍで１６時間混合した。このときのスラリーのｐＨは１３であった。次いで、スラリーに炭酸ガスを１２時間吹き込み、スラリー中の未反応のバリウムイオンを炭酸バリウムとして析出させた。その後、濾過によって固液分離を行った。濾紙上のケーキを１２０℃の乾燥機にて１２時間乾燥し、酸化チタン粒子の表面のほぼ全面をチタン酸バリウムに変化させた表面改質酸化チタン粒子と炭酸バリウムとの混合粉末を得た。得られた混合粉末を１０３０℃で２時間焼成することで、チタン酸バリウム系粉末を得た。得られたチタン酸バリウム系粉末は、ＸＲＤによってＢａＴｉＯ３であることが確認された。また、ＳＥＭ観察の結果、平均粒子径は０．３３μｍであり、変動係数は３１％であった。ただし、不純物としてナトリウム元素が２１０ｐｐｍ、塩素が４８０ｐｐｍ含まれていた。
【００４２】
（実施例５）
酸化チタン粒子（平均粒子径８０ｎｍ）７９．８８ｇと、炭酸バリウム７８．９ｇと、硝酸バリウム１５７ｇと、水酸化カリウム５６ｇと、イオン交換水２０００ｇとを、直径５ｍｍのジルコニアボールとともにボールミルにより１０８ｒｐｍで１６時間混合した。このときのスラリーのｐＨは１３であった。次いで、スラリーに炭酸ガスを１２時間吹き込み、スラリー中の未反応のバリウムイオンを炭酸バリウムとして析出させた。その後、濾過によって固液分離を行った。濾紙上のケーキを１２０℃の乾燥機にて１２時間乾燥し、酸化チタン粒子の表面のほぼ全面をチタン酸バリウムに変化させた表面改質酸化チタン粒子と炭酸バリウムとの混合粉末を得た。得られた混合粉末を１０３０℃で２時間焼成することで、チタン酸バリウム系粉末を得た。得られたチタン酸バリウム系粉末は、ＸＲＤによってＢａＴｉＯ３であることが確認された。また、ＳＥＭ観察の結果、平均粒子径は０．３１μｍであり、変動係数は２９％であった。ただし、不純物としてカリウムが３４０ｐｐｍ含まれていた。
【００４３】
（実施例６）
酸化チタン粒子（平均粒子径８０ｎｍ）７９．８８ｇと、炭酸バリウム９８．７ｇと、酢酸バリウム１２８ｇと、水酸化ナトリウム４０ｇと、イオン交換水２０００ｇとを、直径５ｍｍのジルコニアボールとともにボールミルにより１０８ｒｐｍで１６時間混合した。このときのスラリーのｐＨは１３であった。次いで、スラリーに炭酸ガスを１２時間吹き込み、スラリー中の未反応のバリウムイオンを炭酸バリウムとして析出させた。その後、濾過によって固液分離を行った。濾紙上のケーキを１２０℃の乾燥機にて１２時間乾燥し、酸化チタン粒子の表面のほぼ全面をチタン酸バリウムに変化させた表面改質酸化チタン粒子と炭酸バリウムとの混合粉末を得た。得られた混合粉末を１０３０℃で２時間焼成することで、チタン酸バリウム系粉末を得た。得られたチタン酸バリウム系粉末は、ＸＲＤによってＢａＴｉＯ３であることが確認された。また、ＳＥＭ観察の結果、平均粒子径は０．３４μｍであり、変動係数は３１％であった。ただし、不純物としてナトリウム元素が２３３ｐｐｍ含まれていた。
【００４４】
（実施例７）
酸化チタン粒子（平均粒子径８０ｎｍ）７９．８８ｇと、炭酸バリウム９８．６８ｇと、水酸化バリウム８水和物１２６．２ｇと、塩化ストロンチウム１５．９ｇと、酸化イットリウム（Ｙ２Ｏ３）１．１３ｇと、イオン交換水２０００ｇとを、直径５ｍｍのジルコニアボールとともにボールミルにより１０８ｒｐｍで１６時間混合した。このときのスラリーのｐＨは１２．８であった。次いで、スラリーをスプレードライヤーで乾燥させ、表面改質酸化チタン粒子と、バリウム化合物、ストロンチウム化合物及びイットリウム化合物との混合粉末を得た。ここで、上記表面改質酸化チタン粒子は、酸化チタン粒子の表面の少なくとも一部がチタン酸バリウムストロンチウムに変化している。この混合粉末を１０３０℃で２時間焼成することで、チタン酸バリウム系粉末を得た。得られたチタン酸バリウム系粉末は、ＸＲＤ及び組成分析によってイットリウムを１ｍｏｌ％含んだＢａ０．９Ｓｒ０．１ＴｉＯ３であることが確認された。また、ＳＥＭ観察の結果、平均粒子径は０．３４μｍであり、変動係数は３７％であった。ただし不純物として塩素が１００ｐｐｍ含まれていた。
【００４５】
（比較例１）
酸化チタン粒子（平均粒子径８０ｎｍ）７９．８８ｇと、炭酸バリウム１９７．３５ｇと、イオン交換水２０００ｇとを、直径５ｍｍのジルコニアボールとともにボールミルにより１０８ｒｐｍで１６時間混合した。このときのスラリーのｐＨは９であった。次いで、スラリーをスプレードライヤーで乾燥させ、酸化チタン粒子と炭酸バリウムとの混合粉末を得た。この混合粉末を１０５０℃で２時間焼成することで、チタン酸バリウム系粉末を得た。得られたチタン酸バリウム系粉末は、ＸＲＤによってＢａＴｉＯ３であることが確認された。また、ＳＥＭ観察の結果、平均粒子径は０．４１μｍであり、変動係数は５５％であった。