(57)【要約】【課題】オペレータがパラメータ名からその内容を把握し易くするための技術を提供する。【解決手段】表示制御部３１１は、入力受付部３１２、情報取得部３１３、および出力部３１４を備える。入力受付部３１２は、パラメータの名称の表示形式の指定入力を受け付ける。情報取得部３１３は、指定された表示形式に適合するパラメータ名が登録された名称データを取得する。出力部３１４は、取得された名称データに登録されているパラメータ名の一覧を画面に表示するための画像信号を表示部３４に出力する。【選択図】図３
2011028489.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機器の構成要素の動作状態を示すパラメータの名称を、画面に表示する表示装置であって、
パラメータの名称の表示形式の指定の入力を受け付ける受付部と、
特定の構成要素の動作に関与する複数のパラメータのうち、前記受付部が指定を受け付けた表示形式に適合するパラメータの名称を画面に表示する表示制御部と、
を備えることを特徴とする表示装置。
【請求項２】
請求項１に記載の表示装置において、
前記表示形式ごとに、前記複数のパラメータから選択されたパラメータの名称が登録されている名称データを記憶する記憶部、
をさらに含み、
前記表示制御部は、
前記受付部が指定を受け付けた表示形式に適合する特定の名称データを取得し、前記特定の名称データに登録されているパラメータの名称を画面に表示することを特徴とする表示装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の表示装置において、
前記指定部が、二以上の表示形式を同時に指定できることを特徴とする表示装置。
【請求項４】
機器を構成する構成要素の各種状態を示すパラメータの名称を、画面に表示する表示方法であって、
(a)  所定の操作入力に基づき、パラメータの名称の表示形式を指定する工程と、
(b)  特定の構成要素の動作に関与する複数のパラメータのうち、前記(a)工程にて指定された表示形式に適合するパラメータの名称を画面に表示する工程と、
を含むことを特徴とする表示方法。
【請求項５】
請求項４に記載の表示方法において、
前記(b)工程は、
(b-1)  前記(a)工程にて指定された表示形式に適合するパラメータの名称が登録されている特定の名称データを記憶部から取得する工程と、
(b-2)  前記特定の名称データに登録されているパラメータの名称を画面に表示する工程と、
を含むことを特徴とする表示方法。
【請求項６】
コンピュータが読み取り可能なプログラムであって、
前記コンピュータが前記プログラムを読み取り、前記コンピュータのＣＰＵが前記プログラムをメモリにて実行することにより、前記コンピュータを、
機器を構成する構成要素の各種状態を示すパラメータの名称を、画面に表示する表示装置であって、
所定の操作入力に基づき、パラメータの名称の表示形式を指定する指定部と、
特定の構成要素の動作に関与する複数のパラメータのうち、前記指定部が指定した表示形式に適合するパラメータの名称を画面に表示する表示制御部と、
を備えることを表示装置として機能させることを特徴とするプログラム。
【請求項７】
請求項６に記載のプログラムにおいて、
前記表示制御部は、
前記指定部により指定された表示形式に適合するパラメータの名称が登録された特定の名称データを記憶部から取得し、前記特定の名称データに登録されているパラメータの名称を画面に表示する表示装置として機能させることを特徴とするプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パラメータの名称を画面に表示する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置等の機器では、搬送装置の周囲に処理部を複数配置することで、集約的な基板処理が実行される場合がある。このような装置では、各構成要素の状態を示すパラメータの値（例えば温度、圧力、弁の開閉）を検査等する手段が準備されている。
【０００３】
上記検査手段では、ＧＵＩ（Graphical User Interface）を用いた表示装置の画面上に、オペレータがパラメータの内容を識別できるように、適当なパラメータの名称（パラメータ名）が表示される。オペレータは、表示装置に表示された複数のパラメータ名の中から特定のパラメータに対応するパラメータ名を選択することで、そのパラメータの値を確認できる。
【０００４】
このようなパラメータ名を表示する技術は、例えば特許文献１に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−３１１５８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、専門分野の異なる複数のオペレータが１つの装置を検査等するような場合、オペレータごとに取り扱うパラメータが異なることがある。例えば、薬液を吐出する装置において、薬液の供給を制御するバルブを管理するような場合、プロセス管理者であれば、薬液の吐出を制御する弁の開閉状態が取り扱う主なパラメータとなるが、電気系統管理者であれば、バルブの制御のために供給される電流量等が主に取り扱うパラメータとなる。
【０００７】
ここで、パラメータ名として「バルブへの供給電流量」が表示されると、プロセス管理者にとっては、この表示がバルブの開閉に関与するパラメータかどうかを認識することが困難である。一方、パラメータ名として「バルブの開閉状態」が表示されると、電気系統の管理者にとっては、この表示がバルブへの供給電流量に関与するかどうかを認識できず、場合によっては不要な表示となる。
【０００８】
このように、パラメータ名の表示の仕方によっては、オペレータがパラメータ名の内容を容易に認識できず、目的のパラメータ名を探し出すことが困難となってしまう。
【０００９】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、オペレータが表示部に表示されたパラメータ名からその内容を把握し易くするための技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を解決するため、第１の態様は、機器の構成要素の動作状態を示すパラメータの名称を、画面に表示する表示装置であって、パラメータの名称の表示形式の指定の入力を受け付ける受付部と、特定の構成要素の動作に関与する複数のパラメータのうち、前記受付部が指定を受け付けた表示形式に適合するパラメータの名称を画面に表示する表示制御部とを備えることを特徴とする。
【００１１】
また、第２の態様は、第１の態様に係る表示装置において、前記表示形式ごとに、前記複数のパラメータから選択されたパラメータの名称が登録されている名称データを記憶する記憶部、をさらに含み、前記表示制御部は、前記受付部が指定を受け付けた表示形式に適合する特定の名称データを取得し、前記特定の名称データに登録されているパラメータの名称を画面に表示することを特徴とする。
【００１２】
また、第３の態様は、第１または第２の態様に係る表示装置において、前記指定部が、二以上の表示形式を同時に指定できることを特徴とする。
【００１３】
また、第４の態様は、機器を構成する構成要素の各種状態を示すパラメータの名称を、画面に表示する表示方法であって、(a)所定の操作入力に基づき、パラメータの名称の表示形式を指定する工程と、(b)特定の構成要素の動作に関与する複数のパラメータのうち、前記(a)工程にて指定された表示形式に適合するパラメータの名称を画面に表示する工程とを含むことを特徴とする。
【００１４】
また、第５の態様は、第４の態様に係る表示方法において、前記(b)工程は、(b-1)前記(a)工程にて指定された表示形式に適合するパラメータの名称が登録されている特定の名称データを記憶部から取得する工程と、(b-2)前記特定の名称データに登録されているパラメータの名称を画面に表示する工程とを含むことを特徴とする。
【００１５】
また、第６の態様は、コンピュータが読み取り可能なプログラムであって、前記コンピュータが前記プログラムを読み取り、前記コンピュータのＣＰＵが前記プログラムをメモリにて実行することにより、前記コンピュータを、機器を構成する構成要素の各種状態を示すパラメータの名称を、画面に表示する表示装置であって、所定の操作入力に基づき、パラメータの名称の表示形式を指定する指定部と、特定の構成要素の動作に関与する複数のパラメータのうち、前記指定部が指定した表示形式に適合するパラメータの名称を画面に表示する表示制御部とを備えることを表示装置として機能させることを特徴とする。
【００１６】
また、第７の態様は、第６の態様に係るプログラムにおいて、前記表示制御部は、前記指定部により指定された表示形式に適合するパラメータの名称が登録された特定の名称データを記憶部から取得し、前記特定の名称データに登録されているパラメータの名称を画面に表示する表示装置として機能させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
第１の態様に係る表示装置によれば、表示形式の指定に基づき、特定の構成要素の動作に関与する複数のパラメータのうちから、取り扱うパラメータの名称を表示させることができる。したがって、オペレータがパラメータの内容を容易に把握できるように、パラメータ名を表示させることができる。
【００１８】
また、第２の態様に係る表示装置によれば、表示形式ごとに表示するパラメータ名を名称データにあらかじめ登録しておくことで、指定された表示形式に適合するパラメータ名を容易に表示できる。
【００１９】
また、第３の態様に係る表示装置によれば、複数の表示形式を選択できるため、同時に表示させるパラメータの名称の数を増やすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】第１実施形態に係る基板処理装置を示す構成図である。
【図２】表示装置の構成を示す図である。
【図３】表示装置の機能ブロックを示す図である。
【図４】表示部の画面に表示されるウインドウを示す図である。
【図５】プロセス技術者向けの名称データを示す図である。
【図６】機械技術者向けの名称データを示す図である。
【図７】ソフトウエア技術者向けの名称データを示す図である。
【図８】電気技術者向けの名称データを示す図である。
【図９】表示装置の動作を示す流れ図である。
【図１０】「プロセス技術者向け」の表示形式が選択されたときのウインドウを示す図である。
【図１１】「ソフトウエア技術者向け」の表示形式が選択されたときのウインドウを示す図である。
【図１２】第２実施形態に係る基板処理装置を示す構成図である。
【図１３】表示部の画面に表示されるウインドウを示す図である。
【図１４】プロセス技術者向けの名称データを示す図である。
【図１５】「プロセス技術者向け」の表示形式が選択されたときのウインドウを示す図である。
【図１６】第３実施形態に係るウインドウを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の好適な実施の形態について、添付の図面を参照しつつ、詳細に説明する。
【００２２】
＜１．  第１実施形態＞
＜１．１．  構成および機能＞
図１は、第１実施形態に係る基板処理装置１を示す構成図である。基板処理装置１は、基板に薬液を供給することで基板を処理する。基板処理装置１は、第一処理部２およびパラメータ名表示装置（以下、単に「表示装置」という。）３を備えている。
【００２３】
＜第一処理部２＞
第一処理部２は、シリンジバルブ２１、エアシリンダ２２、エア供給部２３、電磁バルブ２４、薬液タンク２５、および流量計２６を備えている。第一処理部２は、薬液タンク２５に貯留された所定の薬液を基板に向けて供給する。
【００２４】
シリンジバルブ２１は、薬液タンク２５から図示しない薬液の吐出口まで延びる配管２５１の途中に設けられている。シリンジバルブ２１はエアシリンダ２２に接続されており、弁の開閉がエアシリンダ２２によって制御されている。
【００２５】
エアシリンダ２２には、エア供給部２３が接続されている。エア供給部２３からエアシリンダ２２の内部へ圧縮空気が送られると、エアシリンダ２２のピストンがシリンダ内を摺動する。このエアシリンダ２２の動作に連動して、シリンジバルブ２１が開状態となる。なお、エアシリンダ２２のシリンダはシリンジバルブ内に設けられたバネ（図示せず）により所定方向に付勢されている。そのため、空気の供給が停止されると、シリンダは元の位置に戻り、シリンジバルブ２１が閉状態となる。
【００２６】
電磁バルブ２４は、エア供給部２３とエアシリンダ２２とを接続する配管２３１の途中に接続されている。電磁バルブ２４は、図示しないソレノイドコイルに対する電流の供給によって、その弁の開閉が制御されている。電磁バルブ２４のソレノイドコイルに電流が供給されると、電磁バルブ２４が開状態となり、エア供給部２３から圧縮空気がエアシリンダ２２に供給される。一方、電流の供給が停止されると、電磁バルブ２４が閉状態となり、エアシリンダ２２への圧縮空気の供給が停止される。
【００２７】
流量計２６は、開放されたシリンジバルブ２１を通過する薬液の単位時間あたりの通過量を計測する。
【００２８】
以上のように、第一処理部２では、薬液の供給を制御するシリンジバルブ２１の弁の開閉状態は、供給される電流量によって弁の開閉が制御される電磁バルブ２４の動作に依存している。さらに電磁バルブ２４の動作は、ソレノイドコイルに供給される電流によって制御される。したがって、シリンジバルブ２１の動作に関与するパラメータとしては、（１）シリンジバルブ２１の開閉、（２）シリンジバルブ２１の開度、（３）電磁バルブ２４の開閉、および（４）電磁バルブ２４への供給電流量等が挙げられる。
【００２９】
＜表示装置３＞
図２は、表示装置３の構成を示す図である。表示装置３は、各構成要素の動作状態を示すパラメータの名称（パラメータ名）を画面に表示する。オペレータは、画面に表示されたパラメータ名の一覧を参照して、値を確認したり設定値等を変更したりするパラメータを検索できる。
【００３０】
表示装置３は、ＣＰＵ３１、記憶部３２、入力部３３、表示部３４、ディスク読取部３５、通信部３６を備えている。表示装置３は、一般的なコンピュータとしての構成を備えている。
【００３１】
ＣＰＵ３１は、記憶部３２に記憶されたプログラム４１を実行することによって、各種データの演算や制御信号の生成を実行し、表示装置３の各構成を制御する。ＣＰＵ３１により実現される機能ブロックについては後述する。
【００３２】
記憶部３２は、ＣＰＵ３１の一時的なワーキングエリアとなるＲＡＭ（Random Access Memory）及びハードディスクや、読み取り専用のＲＯＭ（Read Only Memory）等で構成されている。記憶部３２は、プログラム４１や各種データを記憶する記憶媒体としての機能を有する。なお、プログラム４１は、記憶媒体９からディスク読取部３５を介して記憶部３２に転送されてもよいし、ネットワーク上の他の記憶装置等から通信部３６を介して記憶部３２に転送されてもよい。
【００３３】
入力部３３は、表示装置３に対してオペレータの指示を入力するために使用される。すなわち、入力部３３は、表示装置３における入力装置として機能する。具体的に入力部３３は、キーボード、マウス、あるいは各種ボタン類等で構成される。
【００３４】
表示部３４は、各種データを画面に表示する。表示部３４は、ＣＲＴモニタや液晶ディスプレイ等で構成されるが、タッチパネルディスプレイのように入力部３３の機能を一部有しているものでもよい。
【００３５】
ディスク読取部３５は、可搬性の記憶媒体９に記憶されているデータを読み取って記憶部３２に転送する。ディスク読取部３５はパラメータにおけるデータ入力装置として機能する。具体的に、ディスク読取部３５は、光ディスクドライブ、磁気ディスクドライブ、光磁気ディスクドライブ等で構成される。なお、ディスク読取部３５が記憶媒体９にデータを記録させる機能を有する場合には、ディスク読取部３５に記憶部３２の機能の一部を代行させることができる。
【００３６】
通信部３６は、表示装置３と他の装置群との間でデータ通信を行うための機能を有する。通信部３６は、基板処理装置１の第一処理部２が備える各種センサー類に接続されている。表示装置３は、第一処理部２が備える各構成要素の動作状態を示すパラメータ値を、通信部３６を介して取得する。
【００３７】
図３は、表示装置３の機能ブロックを示す図である。表示制御部３１１は、入力受付部３１２、情報取得部３１３、および出力部３１４を備えている。入力受付部３１２、情報取得部３１３、および出力部３１４は、ＣＰＵ３１がプログラム４１に従って動作することにより実現される機能ブロックである。
【００３８】
入力受付部３１２は、入力部３３を介して入力されるオペレータからの命令を受け付ける。この命令には、パラメータ名の表示形式（表示パターン）を指定する命令情報が含まれる。情報取得部３１３は、命令情報に基づき、指定された表示形式に適合するパラメータ名の一覧が登録されたデータ（名称データＤ１〜Ｄ４）を記憶部３２から取得する。そして、出力部３１４は、取得された特定の名称データに基づき、表示部３４の画面にパラメータ名を表示させる。
【００３９】
図４は、表示部３４の画面に表示されるウインドウＷ１を示す図である。ウインドウＷ１は、ＣＰＵ３１がプログラム４１を実行した結果を表示するために画面に割り当てられる表示領域である。
【００４０】
ウインドウＷ１は、パラメータ名表示領域５１および表示形式指定領域５２を有している。パラメータ名表示領域５１は、パラメータの名称が表示される領域である。表示形式指定領域５２は、複数の表示形式の項目（「パラメータＩＤ表示」、「プロセス技術者向け」、「機械技術者向け」、「電気技術者向け」、「ソフトウエア技術者向け」）を表示する領域である。これらの各項目の隣には、特定の項目を選択するためのラジオボタン５３ａ〜５３ｅが配置されている。
【００４１】
ラジオボタン５３ａは、「パラメータＩＤ表示」の表示形式でパラメータ名を表示する際に選択される。この表示形式が選択された場合、図４に示すように、パラメータ名表示領域５１には、シリンジバルブ２１の開閉状態を示すパラメータＩＤ（Parameter01）と、流量計２６による流量の測定結果を示すパラメータＩＤ（Parameter02）とが表示される。
【００４２】
ラジオボタン５３ｂ〜５３ｅは、順に「プロセス技術者向け」、「機械技術者向け」、「ソフトウエア技術者向け」、「電気技術者向け」の各表示形式にそれぞれ関連づけられている。
【００４３】
オペレータは、入力部３３のマウスを介して、画面に表示されたカーソル（図示せず）を、ラジオボタン５３ａ〜５３ｅのいずれか、またはそれらの隣に表示されている表示形式の項目名上に移動させてクリックすることにより、各ラジオボタンに関連づけられた特定の表示形式を選択できる。入力受付部３１１は、特定のラジオボタンが選択されたことを監視することで、表示形式の選択があったかどうかを判断する。
【００４４】
なお、プログラム４１を起動した直後は、自動的にラジオボタン５３ａが選択されるように設定されていている。ただし、他のラジオボタンが自動的に選択されるようにしてもよい。
【００４５】
図５は、プロセス技術者向けの名称データＤ１を示す図である。名称データＤ１では、パラメータ名表示領域５１に表示するパラメータ名として、主にプロセス技術者が利用するパラメータの名称と、そのパラメータ名の定義とが定められている。
【００４６】
具体的に、パラメータＩＤ「Parameter01」の代わりに表示するパラメータ名として、「薬液を制御するバルブの開閉」が登録されている。このパラメータ名には、シリンジバルブ２１の開閉状態を示すParameter01の値が定義付けされている。また、パラメータＩＤ「Parameter02」の代わりに表示するパラメータ名として、「薬液の流量」が登録されている。このパラメータ名には、Parameter02の値が定義付けされている。
【００４７】
図６は、機械技術者向けの名称データＤ２を示す図である。名称データＤ２では、パラメータ名表示領域５１に表示するパラメータ名として、主に機械技術者が扱うパラメータの名称と、そのパラメータ名の定義とが登録されている。
【００４８】
具体的に、パラメータＩＤ「Parameter01」の代わりに表示するパラメータ名として、「シリンジバルブの開度」が登録されている。このパラメータ名には、シリンジバルブ２１の開度を示すパラメータＩＤ（Parameter011）の値が定義付けされている。パラメータＩＤ「Parameter02」については、名称データＤ１の場合と同様に、「薬液の流量」がパラメータ名として登録されており、Parameter02の値が定義付けされている。
【００４９】
図７は、ソフトウエア技術者向けの名称データＤ３を示す図である。名称データＤ３では、パラメータ名表示領域５１に表示するパラメータ名として、主にソフトウエア技術者が扱うパラメータの名称と、そのパラメータ名の定義とが登録されている。
【００５０】
具体的に、パラメータＩＤ「Parameter01」の代わりに表示するパラメータ名として、「電磁バルブの開閉」が登録されている。そして、このパラメータ名には、電磁バルブ２４の開閉を示すパラメータＩＤ（Parameter012）の値が定義付けされている。パラメータＩＤ「Parameter02」については、名称データＤ１と同様に、「薬液の流量」がパラメータ名として登録されており、Parameter02の値が定義付けされている。
【００５１】
図８は、電気技術者向けの名称データＤ４を示す図である。名称データＤ４では、パラメータ名表示領域５１に表示するパラメータとして、主に電気技術者が扱うパラメータの名称と、そのパラメータ名の定義とが登録されている。
【００５２】
具体的に、パラメータＩＤ「Parameter01」の代わりに表示するパラメータ名として、「電磁バルブへの供給電流量」が登録されている。そして、このパラメータ名には、電磁バルブ２４（より具体的にはソレノイドコイル）に供給される電流量を示すパラメータ（Parameter013）の値が定義付けされている。パラメータＩＤ「Parameter02」については、名称データＤ１と同様に、「薬液の流量」がパラメータ名として登録されており、Parameter02の値が定義付けされている。
【００５３】
＜１．２．  動作＞
上記構成の表示装置３の動作について図９〜図１１を参照しつつ説明する。なお、以下に説明する表示装置３の動作は、特に言及しない限り、プログラム４１に従って動作するＣＰＵ３１によって制御されるものとする。
【００５４】
図９は、表示装置３の動作を示す流れ図である。まず、初期状態として、複数の表示形式の中から、「パラメータＩＤ表示」の表示形式が選択される。したがって、表示制御部３１１は、「パラメータＩＤ表示」の表示形式でパラメータ名の一覧を表示させる（ステップＳ１）。具体的には、図４に示したウインドウＷ１が表示部３４の画面に表示される。
【００５５】
この状態で、入力受付部３１２は、オペレータから表示形式の変更に関する命令の入力があったかどうかを判定する（ステップＳ２）。変更の入力あった場合（ステップ２にてＹＥＳ）、入力受付部３１２は、命令情報を情報取得部３１３に出力する。情報取得部３１３は、指定された表示形式に適合する特定の名称データを記憶部３２から取得する（ステップＳ３）。
【００５６】
例えば、ステップＳ２において、「プロセス技術者向け」の表示形式がオペレータによって指定された場合、情報取得部３１３は、記憶部３２から名称データＤ１を取得する。あるいは、ステップＳ２において、「ソフトウエア技術者向け」の表示形式がオペレータによって指定された場合、情報取得部３１３は、記憶部３２から名称データＤ３を取得する。
【００５７】
出力部３１４は、取得された名称データに基づいて生成した画像信号を表示部３４に出力する。これにより、取得された名称データに登録されているパラメータ名が表示部３４の画面に表示される（ステップＳ４）。
【００５８】
図１０は、「プロセス技術者向け」の表示形式が選択されたときのウインドウＷ１を示す図である。「プロセス技術者向け」の表示形式が選択された場合、パラメータ名表示領域５１には、図４に示すパラメータＩＤ「Parameter01」および「Parameter02」の表示の代わりに、名称データＤ１に登録されているパラメータ名「薬液を制御するバルブの開閉」および「薬液の流量」が表示される。
【００５９】
また、図１１は、「ソフトウエア技術者向け」の表示形式が選択されたときのウインドウＷ１を示す図である。「ソフトウエア技術者向け」の表示形式が選択された場合、パラメータ名表示領域５１には、図４に示すパラメータＩＤ「Parameter01」および「Parameter02」の表示の代わりに、名称データＤ３に登録されているパラメータ名「電磁バルブの開閉」および「薬液の流量」が表示される。
【００６０】
なお、オペレータがパラメータの値を確認する場合には、入力部３３のマウスを介して、表示されている特定のパラメータ名の上にカーソルを移動させてクリックする。表示装置３は、この動作に応じて、特定のパラメータ名に定義されたパラメータの値を取得し、ウインドウＷ１とは別のウインドウに表示する。
【００６１】
具体的に、図１１に示すパラメータ名「電磁バルブの開閉」上でクリックが行われると、別のウインドウに、現時点での電磁バルブ２４の「開」または「閉」を示す情報が表示される。このとき、「開」および「閉」の経時的な変化がグラフで表現されるようにしてもよい。
【００６２】
図９に戻って、パラメータ名の一覧表示が完了すると、表示制御部３１１は、オペレータからの表示の終了指示があるかどうかを判定する（ステップＳ５）。なお、ステップＳ２において表示形式の変更指示がなかった場合にも（ステップＳ２にてＮＯ）、表示装置３は、ステップＳ５の動作を実行する。
【００６３】
ステップＳ５にて表示の終了指示があった場合（ステップＳ５にてＹＥＳ）、表示制御部３１１は、表示処理を終了する。また、表示処理の終了指示がない場合（ステップＳ５にてＮＯ）、表示制御部３１１はステップＳ２に戻って再度処理を実行する。
【００６４】
以上のように、本実施形態の表示装置３によると、薬液の供給を制御しているバルブ（シリンジバルブ２１）の動作に関与する複数のパラメータ（（１）シリンジバルブ２１の開閉、（２）シリンジバルブ２１の開度、（３）電磁バルブ２４の開閉、および（４）電磁バルブ２４への供給電流量）のうち、オペレータの指定した専門分野の表示形式に適合するパラメータの名称が表示部３４に表示される。
【００６５】
このように、特定の専門分野のオペレータが主に取り扱うパラメータの名称を選択的に表示することで、各オペレータがパラメータの名称からその内容を容易に理解でき、目的のパラメータに対応するパラメータ名を検索し易くなる。
【００６６】
＜２．  第２実施形態＞
第１実施形態では、表示形式ごとに表示されるパラメータ名の数が一致している。しかしながら、本発明はこのような表示態様に限られるものではない。
【００６７】
図１２は、第２実施形態に係る基板処理装置１ａを示す構成図である。なお、本実施の形態の説明において、第１実施形態と同様の機能を有する要素については同一符号を付してその説明を省略する。
【００６８】
基板処理装置１ａは、表示装置３と第二処理部６とを備えている。基板処理装置１ａは、３数種の薬液Ａ，Ｂ，Ｃを基板に供給することで、基板を処理する。表示装置３は、第二処理部６を構成する構成要素の動作状態を示すパラメータの名称を画面に表示する。
【００６９】
第二処理部６は、薬液タンク６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃ、配管６２Ａ，６２Ｂ，６２Ｃ，６３、バルブ６４Ａ，６４Ｂ，６４Ｃ、および流量計６５を備えている。薬液タンク６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃは、それぞれ薬液Ａ，Ｂ，Ｃを貯留している。また、薬液タンク６１Ａ，６１Ｂ，６１Ｃのそれぞれには、配管６２Ａ，６２Ｂ，６２Ｃが接続されている。
【００７０】
配管６２Ａ，６２Ｂ，６２Ｃは、最終的に一つの配管６３に接続されている。バルブ６４Ａ，６４Ｂ，６４Ｃのそれぞれは、配管６２Ａ，６２Ｂ，６２Ｃの途中に設けられており、薬液Ａ，Ｂ，Ｃの供給を制御する。流量計６５は単位時間当たりに配管６３を通過する薬液の流量を測定する。
【００７１】
図１３は、表示部３４の画面に表示されるウインドウＷ１ａを示す図である。なお、図１３に示すウインドウＷ１ａでは、「パラメータＩＤ表示」の表示形式が選択された状態を示している。この表示形式では、パラメータ名表示領域５１に、流量計６５の測定結果を示すパラメータＩＤ「Parameter03」が表示されている。
【００７２】
図１４は、プロセス技術者向けの名称データＤ１ａを示す図である。名称データＤ１ａは、「プロセス技術者向け」の表示形式が選択された場合に、パラメータＩＤ「Parameter03」の代わりにパラメータ名表示領域５１に表示するパラメータ名として、「薬液Ａの流量」、「薬液Ｂの流量」、「薬液Ｃの流量」の３種類が登録されている。
【００７３】
「薬液Ａの流量」には、バルブ６４Ａの開閉を示すParameter031の値が「開」のときの、Parameter03の値が定義付けされている。同様に、「薬液Ｂの流量」および「薬液Ｃの流量」については、バルブ６４Ｂの開閉を示すParameter032の値が「開」のときのParameter03の値、およびバルブ６４Ｃの開閉を示すParameter033の値が「開」のときのParameter03の値がそれぞれ定義付けられている。
【００７４】
図１５は、「プロセス技術者向け」の表示形式が選択されたときのウインドウＷ１ａを示す図である。「プロセス技術者向け」の表示形式が選択された場合、パラメータ名表示領域５１には、図１３で示したパラメータＩＤ「Parameter03」の代わりに表示するパラメータ名として、名称データＤ１ａに登録されている「薬液Ａの流量」、「薬液Ｂの流量」、および「薬液Ｃの流量」が表示される。
【００７５】
この状態で、オペレータが特定のパラメータ名上にカーソルを移動させて、クリックすると、別のウインドウに該特定のパラメータ名に定義付けられた値が表示される。具体的に、オペレータが「薬液Ａの流量」をクリックした場合、バルブ６４Ａの開閉（Parameter031）が開状態であれば、流量計６５の測定結果（Parameter03）の値が表示される。また、バルブ６４Ａが閉状態であれば、ゼロが表示される。なお、この表示の際に、パラメータ値の経時的な変化がグラフで表現されてもよい。
【００７６】
このように、本実施形態では、「パラメータＩＤ表示」の表示形式では、単に処理液の流量を示すパラメータＩＤ（Parameter03）の一つだけが表示されるのに対して、「プロセス技術者向け」の表示形式では、３つの細分化したパラメータ名がパラメータ名表示領域５１に表示される。このように、本発明は、表示形式によって、細分化された複数のパラメータ名を表示部３４に表示させることも有効である。
【００７７】
＜３．  第３実施形態＞
上記実施形態では、表示形式指定領域５２においてラジオボタン５３を配列することにより、表示形式を一つしか選択できないようにしているが、本発明の表示形式の選択態様はこれに限られるものではない。
【００７８】
図１６は、第３実施形態に係るウインドウＷ１ｂを示す図である。ウインドウＷ１ｂの表示形式指定領域５２には、ラジオボタン５３ａ〜５３ｅのそれぞれの代わりに、チェックボックス５４ａ〜５４ｅが用意されている。本実施形態では、オペレータがチェックボックス５４ａ〜５４ｅをクリックして選択することでチェックマークが表示される。そして、表示形式を同時に複数選択できるようになっている。
【００７９】
図１６に示すように、「ソフト技術者向け」および「電気技術者向け」の表示パターンが選択されると、パラメータ名表示領域５１には、パラメータＩＤ「Parameter01」の代わりに、名称データＤ３に登録されているパラメータ名「電磁バルブの開閉」、および名称データＤ４に登録されているパラメータ名「電磁バルブへの供給電流量」が同時に表示される。
【００８０】
このようにパラメータ名を表示した場合、オペレータがこれらのパラメータ名を選択することによって、電磁バルブへの供給電流量と電磁バルブの開閉との両方のパラメータのそれぞれを検査できるとともに、これらのパラメータの相関状態を検査できる。
【００８１】
以上のように、複数の表示形式を選択可能にすることで、オペレータが同時に取り扱うパラメータの数を増やすことができる。また、パラメータ間の相関状態も検査する事ができる。
【００８２】
＜４．  変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
【００８３】
例えば、上記実施形態では、基板処理装置に本発明を適用しているが、表示装置用パネル製造装置、印刷装置等の種々の機器に適用できる。
【００８４】
また、上記実施形態並びに変形例において説明した各要素は、矛盾が生じない限り組み合わせることが可能である。
【符号の説明】
【００８５】
１，１ａ  基板処理装置
２  第一処理部
３  表示装置
３１  ＣＰＵ
３１１  表示制御部
３１２  入力受付部
３１３  情報取得部
３２  記憶部
３３  入力部
３４  表示部
４１  プログラム
５１  パラメータ名表示領域
５２  表示形式指定領域
５３ａ〜５３ｅ  ラジオボタン
５４ａ〜５４ｅ  チェックボックス
６  第二処理部
９  記憶媒体
Ｄ１〜Ｄ４，Ｄ１ａ  名称データ
Ｗ１，Ｗ１ａ，Ｗ１ｂ  ウインドウ
【図１】
2011028489.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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