(57)【要約】【課題】検査対象の端部を正確に検出することができる撮影検査システムを提供する。【解決手段】照射部１０が、検査対象の裏面側に設けられ、検査対象の存在位置に向けて光を照射する。照射側偏光部１１が、照射部１０と検査対象の存在位置との間に設けられ、検査対象に向かう照射部１０からの光のうち特定方向に振動する光のみを通過させる。撮影側偏光部１２が、検査対象の表面と撮影部との間に設置され、特定方向と直交する方向に振動する光のみを通過させる。画像処理部１３は、撮影部が撮影した画像にもとづいて、検査対象の端部の位置を検出する。また、照射側偏光部１１は、検査対象の裏面と検査対象の側端部の外側の所定領域とに通過光を出射する。【選択図】図８
2011220949.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状の検査対象の表面を撮影する撮影部を備えた撮影検査システムであって、
前記検査対象の裏面側に設けられ、前記検査対象の存在位置に向けて光を照射する照射部と、
前記照射部と前記検査対象の存在位置との間に設けられ、前記検査対象に向かう前記照射部からの光のうち特定方向に振動する光のみを通過させる照射側偏光部と、
前記検査対象の表面と前記撮影部との間に設置され、前記特定方向と直交する方向に振動する光のみを通過させる撮影側偏光部と、
前記撮影部が撮影した画像にもとづいて、前記検査対象の端部の位置を検出する画像処理部とを備え、
前記照射側偏光部は、前記検査対象の裏面と前記検査対象の側端部の外側の所定領域とに通過光を出射する
ことを特徴とする撮影検査システム。
【請求項２】
検査対象を移動させる移動機構を備えたシステムに適用され、
照射側偏光部における通過光を出射する面は矩形状に形成され、当該矩形状の面における短辺の長さは検査対象の移動方向の長さよりも短く、当該矩形状の面における長辺の長さは検査対象の幅よりも長い
請求項１記載の撮影検査システム。
【請求項３】
検査対象を湾曲させながら移動させる回転ドラム機構を備えたシステムに適用され、
照射側偏光部は、前記回転ドラム機構と一体化され、内周面が照射部と向かい合う筒状に成形されている
請求項１記載の撮影検査システム。
【請求項４】
照射部は、面状発光面を有し、
照射側偏光部は、板状に形成され、かつ、撮影部に対して前記発光面を隠蔽するように形成されている
請求項１記載の撮影検査システム。
【請求項５】
シート状の検査対象の表面を撮影する撮影部を備えた撮影検査システムであって、
前記検査対象の裏面側に設けられ、前記検査対象の存在位置に向けて光を照射する照射部と、
前記検査対象に向かう前記照射部からの光の光量を減らす減光部と、
前記撮影部が撮影した画像にもとづいて、前記検査対象の端部の位置を検出する画像処理部とを備え、
前記減光部は、少なくとも前記検査対象における側端部を含む領域と該領域の外側の所定領域とに向かう光の光量を減らす
ことを特徴とする撮影検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象の端部の位置を検出することができる撮影検査システムおよび撮影検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光透過性を有するシート状のプラスチックや紙、金属、布など（以下、ワークという。）の品質検査を行う場合に、一般に、光源からワークに光を照射し、撮像装置がワークを透過した光にもとづく画像を形成し、形成された画像にもとづいて検査が行われる。
【０００３】
特許文献１には、撮像装置が偏光フィルタを介してワークを撮影した画像にもとづいて、ワークに設けられた貫通穴の大きさおよび形状を検査する装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−８８５３４号公報（段落００１７〜００２２、図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ワークに異物等が付着しているか否か等の品質検査に加えて、ワークの大きさが規定に合致しているか否か等の検査を行うために、ワークの端部の位置を正確に検出することが求められている。また、予めワークに印刷されたマークや埋め込まれた物が所定の位置にあるか否かの検査を行うためにも、ワークの端部の位置を正確に検出することが求められている。しかし、ワークの端部の位置を検出する場合には、以下のような問題がある。
【０００６】
光源は所定の範囲を照射する光を発するので、光源がワークの端部を照射するように設置され、撮像装置が光源によって照射されたワークの端部を撮影する場合に、光源によって発せられた光がワークの外側を通過して直接撮像装置に入射し、撮像装置の画素の画素値が撮影可能な輝度の最大値を超えてしまう画素値の飽和という現象が生じる。
【０００７】
図９は、ワークの端部を撮影する撮像装置の画素の例を示す説明図である。図９に示すように、撮像装置の受光素子の大きさや、撮像装置を構成するレンズの収差、光の回析等を考慮すると、撮像装置によって撮影される画像の１画素に対応する範囲（図９において白丸で示される範囲）は一定の面積を有し、ワーク内の領域とワーク外の領域とを含む範囲である。
【０００８】
撮像装置がワークの端部を撮影する場合に、光源によって発せられてワークの外側を通過した光、つまり、ワークによって減衰されていない光が、直接１画素の範囲の一部（上述したワーク外の領域）に入射する。すると、当該画素の画素値が飽和するという問題が生じる。そのような問題は、微細なルーバー（Ｌｏｕｖｅｒ）が並べられたライトコントロールフィルムなどのプラスチックフィルムを用いて、光源によって発せられた光の拡散を防ぎ、撮像装置への直接光の入射を防ぐ方法を採用した場合にも生じる。
【０００９】
図１０は、光源によって発せられてワークの外側を通過した光が直接撮像装置に入射した場合の撮影画像の例を示す説明図である。図１０（ａ）に示すように、光源によって発せられてワークの外側を通過した光が直接撮像装置の１画素の領域の一部に入射した場合に、ワークの端部に対応する画素の画素値が飽和し、撮像装置によって撮影された画像にもとづいてワークの端部の位置を正確に検出できないという問題がある。
【００１０】
また、ワークの端部に対応する画素の画素値の飽和を防ぐために、単に光源の照度を低下させた場合には、図１０（ｂ）に示すように、光源によって発せられた光がワークを透過しないので、ワークを透過した光にもとづいてワークに付着した異物の検出等をすることができないという問題が生じる。また、予めワークに印刷されたマークや埋め込まれた物が所定の位置にあるか否かの検査を行うことができないという問題が生じる。
【００１１】
特許文献１に記載されている装置は、光源によって発せられた光が撮影対象の外側を通過して撮像装置に入射する場合を想定しておらず、撮影対象の端部の位置を正確に検出することができない。
【００１２】
そこで、本発明は、検査対象の端部の位置を正確に検出することができる撮影検査システムおよび撮影検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明による撮影検査システムは、シート状の検査対象の表面を撮影する撮影部を備えた撮影検査システムであって、検査対象の裏面側に設けられ、検査対象の存在位置に向けて光を照射する照射部と、照射部と検査対象の存在位置との間に設けられ、検査対象に向かう照射部からの光のうち特定方向に振動する光のみを通過させる照射側偏光部と、検査対象の表面と撮影部との間に設置され、特定方向と直交する方向に振動する光のみを通過させる撮影側偏光部と、撮影部が撮影した画像にもとづいて、検査対象の端部の位置を検出する画像処理部とを備え、照射側偏光部は、検査対象の裏面と検査対象の側端部の外側の所定領域とに通過光を出射することを特徴とする。
【００１４】
本発明による他の態様の撮影検査システムは、シート状の検査対象の表面を撮影する撮影部を備えた撮影検査システムであって、検査対象の裏面側に設けられ、検査対象の存在位置に向けて光を照射する照射部と、検査対象に向かう照射部からの光の光量を減らす減光部と、撮影部が撮影した画像にもとづいて、検査対象の端部の位置を検出する画像処理部とを備え、減光部は、少なくとも検査対象における側端部を含む領域と該領域の外側の所定領域とに向かう光の光量を減らすことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、検査対象の外側を通過した光によって画素値が飽和することを防ぎ、撮影部が検査対象の端部を正確に撮影することができる。そして、画像処理部は、撮影部によって撮影された画像にもとづいて検査対象の端部の位置を正確に検出することができる。従って、検査対象の大きさを容易に算出することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明による撮影検査システムの実施形態の構成例を示す説明図である。
【図２】一方の偏光板と他方の偏光板との間にワークがない場合の光源によって発せられた光の経路を示す説明図である。
【図３】一方の偏光板と他方の偏光板との間にワークがある場合の光源によって発せられた光の経路を示す説明図である。
【図４】ワークを透過する光の経路を示す説明図である。
【図５】筒状に成形された偏光板を含む撮影検査システムの構成例を示す説明図である。
【図６】ワークの下方の全体を覆う形状に成形された偏光板を含む撮影検査システムの構成例を示す説明図である。
【図７】光源によって発せられた光を減衰させて通過させる減光板を含む撮影検査システムの構成例を示す説明図である。
【図８】本発明の概要を示すブロック図である。
【図９】撮像装置によって撮影されるワークの端部の例を示す説明図である。
【図１０】光源によって発せられてワークの外側を通過した光が直接撮像装置に入射した場合の撮影画像の例を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
本発明による撮影検査システムの実施形態について、図面を参照して説明する。図１は、本発明による撮影検査システムの実施形態の構成例を示す説明図である。
【００１８】
図１に示すように、本発明による撮影検査システムは、偏光板３ａ，３ｂおよび画像処理装置６を含む。
【００１９】
偏光板３ａは、検査対象である光透過性を有するシート状のワーク５を搬送するベルトコンベア１ａとベルトコンベア１ｂとの間に設置された光源２の上方であって、ワーク５の搬送経路の下方に設置される。つまり、ベルトコンベア１ａ，１ｂによって搬送中のワーク５は、偏光板３ａを介して光源２によって照射される。また、偏光板３ｂは、光源２、偏光板３ａ、およびワーク５の搬送経路の上方であって、ワーク５を撮影する撮像装置４の下方に設置される。つまり、撮像装置４は、光源２によって照射されたワーク５を偏光板３ｂを介して撮影する。画像処理装置６は、撮像装置４に接続されている。
【００２０】
光源２は、例えば、白熱電球、蛍光灯、ランプ、またはＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）である。撮像装置４は、例えば、一次元ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）カメラ、ＴＤＩ（Ｔｉｍｅ  Ｄｅｌａｙｅｄ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）カメラ、フォトダイオード、または直線状に配列されたカメラである。
【００２１】
撮像装置４は、入射した光を電気信号に変換して画像処理装置６に入力する。画像処理装置６は、入力された電気信号に応じて画像を生成し、生成した画像にもとづいてワーク５の端部の位置を識別する。また、画像処理装置６は、生成した画像にもとづいてワーク５に付着した異物等を検出する。なお、ベルトコンベア１ａまたはベルトコンベア１ｂが、ワーク５を搬送するために行うプーリやローラの回転動作に応じてパルス状の信号を出力し、画像処理装置６に当該信号が入力されるように構成されていてもよい。そのように構成された場合には、画像処理装置６が、ベルトコンベア１ａまたはベルトコンベア１ｂによって出力された信号が入力されたタイミングと、撮像装置４によって入力された電気信号にもとづいて生成した画像とにもとづいてワーク５に予め印刷されたマークや埋め込まれた物の位置を検出することができる。
【００２２】
偏光板３ａは、光源２に向かい合う矩形状の面と搬送中のワーク５の裏面である下面に向かい合う矩形状の面とを有する板状またはフィルム状に成形されている。そして、偏光板３ａに設けられた面における短辺の長さはベルトコンベア１ａ，１ｂによって搬送されるワーク５の移動方向の長さよりも短いように成形されている。また、偏光板３ａに設けられた面における長辺の長さは、ワーク５の幅よりも長いように成形されている。偏光板３ｂは、ワーク５の表面である上面に向かい合う面と撮像装置４に向かい合う面とを有する板状またはフィルム状に成形されている。そして、偏光板３ａ，３ｂは、形成された面における特定方向に振動する光のみが通過可能なフィルタ機能を有する。
【００２３】
そして、偏光板３ａおよび偏光板３ｂは、偏光板３ａのワーク５の下面に向かい合う面と、偏光板３ｂのワーク５の上面に向かい合う面とが平行になり、通過可能な光の振動方向がワーク５を介して互いに向かい合う面において９０°異なるように設置される。従って、偏光板３ｂを通過可能な光の振動方向は、偏光板３ａを通過可能な光の振動方向に直交する方向である。
【００２４】
図２は、偏光板３ａと偏光板３ｂとの間にワーク５がない場合の光源２によって発せられた光の経路を示す説明図である。図２に示す例では、偏光板３ａは、縦方向に振動する光のみが通過可能なように設置され、偏光板３ｂは、横方向に振動する光のみが通過可能なように設置されている。
【００２５】
そのように設置された場合には、光源２によって発せられた光のうち、縦方向に振動する光のみが偏光板３ａを通過する。しかし、偏光板３ａを通過した縦方向に振動する光は、横方向に振動する光のみが通過可能な偏光板３ｂによって通過を遮られる。従って、光源２によって発せられた光は、偏光板３ａと偏光板３ｂとの間にワーク５がない場合に、つまり、ワーク５を透過しない場合に、偏光板３ａまたは偏光板３ｂによって通過を遮られ、撮像装置４に入射しない。
【００２６】
図３は、偏光板３ａと偏光板３ｂとの間にワーク５がある場合の光源２によって発せられた光の経路を示す説明図である。
【００２７】
図３に示す例では、図２に示す例と同様に、光源２によって発せられた光のうち、縦方向に振動する光のみが偏光板３ａを通過する。そして、偏光板３ａを通過した光はワーク５を透過する。
【００２８】
図４は、ワーク５を透過する光の経路を示す説明図である。ワーク５の表面は、偏光板３ａを通過した光の一部を正反射する。また、図４に示すように、ワーク５は、様々な形状の物質によって構成されている。ワーク５の内部に入射した光は、ワーク５を構成する物質の内部に屈折して侵入したり、物質の内部で反射されたり吸収されたりして減衰する。ワーク５を構成する物質の内部を透過した光は、さらに他の物質の内部に屈折して侵入したり、物質の内部で反射されたり吸収されたりして減衰する。
【００２９】
そして、偏光板３ａを通過した一定の方向（図３に示す例では縦方向）に振動する光は、ワーク５の内部に入射してワーク５を構成する物質の内部に侵入したり、反射されたりして、振動の方向が変化する。従って、図３に示すように、ワーク５を透過した光（拡散透過光）は、様々な方向に振動している。
【００３０】
図３に示すように、ワーク５を透過した光のうち、横方向に振動する光が偏光板３ｂを通過して撮像装置４に入射する。また、図２に示すように、ワーク５を透過しなかった光は、偏光板３ａまたは偏光板３ｂによって通過を遮られ、撮像装置４に入射しない。従って、撮像装置４にはワーク５を透過した光のみが入射する。つまり、撮像装置４の受光素子には、ワーク５によって減衰された光のみが入射する。従って、ワーク５の端部に対応する画素の画素値の飽和を防ぐことができる。
【００３１】
本実施形態によれば、光源２と撮像装置４との間に偏光板３ａ，３ｂが設置され、ワーク５を透過した光にもとづいてワーク５が撮影されるので、ワーク５の外側を通過した光によって画素値が飽和することを防ぎ、撮像装置４がワーク５の端部を正確に撮影することができる。そして、画像処理装置６は、撮像装置４によって撮影された画像にもとづいてワーク５の端部の位置を正確に検出することができる。そして、画像処理装置６は、検出したワーク５の端部の位置にもとづいて、ワーク５の寸法を算出することができる。そして、ワーク５が所定の寸法であるか否かの検査を行うことが可能になる。また、検出されたワーク５の端部の位置と、算出されたワーク５の寸法とにもとづいて、ワーク５の所定の位置に印刷処理を行うことが可能になる。また、ベルトコンベア１ａまたはベルトコンベア１ｂが、ワーク５を搬送するために行うプーリやローラの回転動作に応じてパルス状の信号を出力し、画像処理装置６に当該信号が入力されるように構成された場合には、画像処理装置６が、ベルトコンベア１ａまたはベルトコンベア１ｂによって出力された信号が入力されたタイミングと、撮像装置４によって入力された電気信号にもとづいて生成した画像とにもとづいて、ワーク５の搬送方向の先端部の左端や、ワーク５の中央などの基準位置から、ワーク５に予め印刷されたマークや埋め込まれた物の距離および方向を検出することができる。そして、予めワークに印刷されたマークや埋め込まれた物が所定の位置にあるか否かの検査を行うことができる。
【００３２】
また、光源２によって発せられた光はワーク５を透過するので、画像処理装置６は、撮像装置４によって撮影された画像にもとづいてワーク５に付着した異物等を検出することができる。よって、一の撮影検査システムで、ワーク５の端部の位置の検出と、ワーク５に付着した異物等の検出とを行うことができる。従って、別個のシステムを用意する必要がなくなり、ワーク５を各システム間を搬送する搬送機能や、各システムの起動作業、メンテナンス作業などが容易になり、コストを削減することができる。
【００３３】
なお、光源２とワーク５との間の偏光板が他の形状であってもよい。図５は、図１に示す偏光板３ａに代えて、筒状に成形された偏光板３ｃを含む撮影検査システムの構成例を示す説明図である。図５に示す例では、偏光板３ｃが、ワーク５を湾曲させながら移動させる移動機構における回転ドラムに適用されている。つまり、偏光板３ｃが、ワーク５を湾曲させながら移動させる移動機構における回転ドラム機構と一体化され、回転ドラムが偏光機能を有する。
【００３４】
図５に示すように、偏光板３ｃは、内周面が光源２と向かい合う筒状に成形されている。そして、偏光板３ｃの外周面がワーク５に接し、円周方向に回転してワーク５を搬送する。また、偏光板３ｂが、偏光板３ｃにおいて内周面が光源２に向かい合う位置の反対側の面（外周面）に向かい合う位置に設置されている。撮像装置４は、偏光板３ｂを介してワーク５を撮影する。画像処理装置６は、撮像装置４に接続されている。
【００３５】
そして、偏光板３ｂは、偏光板３ｃの外周面が偏光板３ｂに向かい合う位置における通過可能な光の振動方向と、偏光板３ｂを通過可能な光の振動方向とが偏光板３ｂにおける偏光板３ｃの外周面に向かい合う面において９０°異なるように設置される。なお、偏光板３ｃの内周面側に画像処理装置６に接続された撮像装置４が設置され、偏光板３ｃの外周面側に光源２が設置されていてもよい。
【００３６】
そのような構成によれば、ワーク５が搬送方向に長い形状である場合であっても、撮像装置４の画素の画素値の飽和を防ぎ、画像処理装置６が、撮像装置４によって撮影された画像にもとづいてワーク５端部の位置を検出することができる。また、画像処理装置６が、ワーク５に付着した異物等を検出することができる。
【００３７】
図６は、図１に示す偏光板３ａに代えて、ワーク５の下方の全体を覆う形状に成形された偏光板３ｄを含む撮影検査システムの構成例を示す説明図である。図６に示す例では、偏光板３ｄが、面発光型の光源２の上面である発光面全体を覆う板状に成形されている。また、偏光板３ｂは、光源２、偏光板３ｄおよびワーク５の上方であって、ワーク５を撮影する撮像装置４の下方に設置される。なお、撮像装置４は、ワーク５の上面の全体を撮影可能な機能を有するとする。
【００３８】
そして、偏光板３ｄおよび偏光板３ｂは、偏光板３ｄのワーク５の下面に向かい合う面と、偏光板３ｂのワーク５の上面に向かい合う面とが平行になり、通過可能な光の振動方向がワーク５を介して互いに向かい合う面において９０°異なるように設置される。
【００３９】
そのような構成によれば、静止状態で、端部の位置を含むワーク５の全体を検査することができる。また、ワーク５の搬送用のベルトコンベア１ａ，１ｂや、筒状に成形した偏光板を用いることなく、簡易な構成でワーク５を検査することができる。なお、偏光板３ｄは、光源２の上面において、設置されたワーク５の中央部分に対応する領域に穴部が設けられていてもよい。
【００４０】
図７は、図１に示す偏光板３ａ，３ｂに代えて、光源２によって発せられた光を減衰させて透過させる減光板７ａ，７ｂを含む撮影検査システムの構成例を示す説明図である。図７に示す例では、減光板７ａ，７ｂは、ワーク５を搬送するベルトコンベア１ａとベルトコンベア１ｂとの間に設置された光源２の上方であって、ワーク５の搬送経路の下方であり、かつ、ワーク５の端部に応じた位置にそれぞれ設置される。なお、減光板７ａ，７ｂに代えて、図１に示す偏光板３ｂと同様な位置に減光板が設置されてもよい。
【００４１】
そのような構成によれば、ワーク５の端部の近傍を通過する光が減光板７ａ，７ｂによって減衰されるので、画素値が飽和することを防ぎ、撮像装置４がワーク５の端部を正確に撮影することができる。
【００４２】
次に、本発明の概要について説明する。図８は、本発明の概要を示すブロック図である。図８に示すように、本発明による撮影検査システム２０は、照射部１０（図１に示す光源２に相当）、照射側偏光部１１（図１に示す偏光板３ａに相当）、撮影側偏光部１２（図１に示す偏光板３ｂに相当）、および画像処理部１３（図１に示す画像処理装置６に相当）を含む。
【００４３】
照射部１０は、検査対象（図１に示すワーク５に相当）の裏面側に設けられ、検査対象の存在位置に向けて光を照射する。照射側偏光部１１は、照射部１０と検査対象の存在位置との間に設けられ、検査対象に向かう照射部１０からの光のうち特定方向に振動する光のみを通過させる。撮影側偏光部１２は、検査対象の表面と撮影部（図１に示す撮像装置４に相当）との間に設置され、特定方向と直交する方向に振動する光のみを通過させる。画像処理部１３は、撮影部が撮影した画像にもとづいて、検査対象の端部の位置を検出する。
【００４４】
また、照射側偏光部１１は、検査対象の裏面と検査対象の側端部の外側の所定領域とに通過光を出射する。
【００４５】
そのような構成によれば、検査対象の外側を通過した光によって撮影部の画素値が飽和することを防ぎ、撮影部が検査対象の端部を正確に撮影することができる。そして、画像処理部１３は、撮像部によって撮影された画像にもとづいて検査対象の端部の位置を正確に検出することができる。従って、検査対象の大きさを容易に算出することができる。
【００４６】
また上記の実施形態では、以下の（１）〜（３）に示すような撮影検査システムも開示されている。
【００４７】
（１）検査対象を移動させる移動機構を備えたシステムに適用され、照射側偏光部１１における通過光を出射する面は矩形状に形成され、当該矩形状の面における短辺の長さは検査対象の移動方向の長さよりも短く、当該矩形状の面における長辺の長さは検査対象の幅よりも長い撮影検査システム。
【００４８】
（２）検査対象を湾曲させながら移動させる回転ドラム機構を備えたシステムに適用され、照射側偏光部１１は、回転ドラム機構と一体化され、内周面が照射部１０と向かい合う筒状に成形されている撮影検査システム。
【００４９】
（３）照射部１０は、面状発光面を有し、照射側偏光部１１は、板状に形成され、かつ、撮影部に対して発光面を隠蔽するように形成されている撮影検査システム。
【００５０】
なお、上記の実施形態では、図８に示す撮影検査システムの照射側偏光部１１および撮影側偏光部１２を転換して、検査対象に向かう照射部１０からの光の光量を減らす減光部（図７に示す減光板７ａ，７ｂに相当）であって、少なくとも検査対象における側端部を含む領域と該領域の外側の所定領域とに向かう光の光量を減らす減光部を備えた撮影検査システムも開示されている。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明を、光透過性を有するシート状の検査対象の端部の位置を検出するシステムに適用可能である。
【符号の説明】
【００５２】
１ａ，１ｂ  ベルトコンベア
２  光源
３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ  偏光板
４  撮像装置
５  ワーク
６  画像処理装置
７ａ，７ｂ  減光板
１０  照射部
１１  照射側偏光部
１２  撮影側偏光部
１３  画像処理部
２０  撮影検査システム
【図１】
2011220949.tif 000003
【図２】
2011220949.tif 000004
【図３】
2011220949.tif 000005
【図４】
2011220949.tif 000006
【図５】
2011220949.tif 000007
【図６】
2011220949.tif 000008
【図７】
2011220949.tif 000009
【図８】
2011220949.tif 000010
【図９】
2011220949.tif 000011
【図１０】
2011220949.tif 000012