(57)【要約】【課題】２台実装ヘッドをＸ方向に移動可能に支持する２本のＸビームと、Ｙ方向に移動可能にそれぞれのＸビームの両端側を支持する一対のＹビームとを備える部品実装装置において、一方の実装ヘッドまたはＸビームに生じる振動による他方の実装ヘッドまたはＸビームに与える影響を低減して、部品の実装精度を向上させる。【解決手段】一方のＹビームに第１支持部を介在させて第１Ｘビームの一端を支持させるとともに、他方のＹビームに第２支持部を介在させて第２Ｘビームの一端を支持させて、第１支持部による第１Ｘビームの支持位置をＸ方向に変位させることにより、第１Ｘビームより一方のＹビームに伝達される振動を抑制するとともに、第２支持部による第２Ｘビームの支持位置をＸ方向に変位させることにより、第２Ｘビームより他方のＹビームに伝達される振動を抑制する。【選択図】図１
2011187468.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品を保持して基板上に実装する第１実装ヘッドおよび第２実装ヘッドと、
基板の表面沿いの方向であるＸ方向に移動可能に、第１実装ヘッドを支持する第１Ｘビームと、
基板の表面沿いの方向であるＸ方向に移動可能に、第２実装ヘッドを支持する第２Ｘビームと、
基板の表面沿いの方向でありかつＸ方向と直交するＹ方向に移動可能に、第１Ｘビームおよび第２Ｘビームの両端側を支持する一対のＹビームと、
Ｙ方向に移動可能に一方のＹビームに支持されかつ第１Ｘビームの一端側を支持する第１支持部を有し、第１支持部による第１Ｘビームの支持位置をＸ方向に変位させることで第１ＸビームのＸ方向の振動を吸収する第１振動吸収部と、
Ｙ方向に移動可能に他方のＹビームに支持されかつ第２Ｘビームの一端側を支持する第２支持部を有し、第２支持部による第２Ｘビームの支持位置をＸ方向に変位させることで第２ＸビームのＸ方向の振動を吸収する第２振動吸収部とを備える、部品実装装置。
【請求項２】
第１および第２振動吸収部において、Ｙ方向の剛性がＸ方向の剛性よりも高くなるように、第１および第２支持部が形成されている、請求項１に記載の部品実装装置。
【請求項３】
第１振動吸収部は、第１Ｘビームの一端側を支持する第１支持部としてＹ方向沿いの支持面を有し、当該支持面をＸ方向に変位させることで第１ＸビームのＸ方向の振動を吸収する第１変位吸収部であり、
第２振動吸収部は、第２Ｘビームの一端側を支持する第２支持部としてＹ方向沿いの支持面を有し、当該支持面をＸ方向に変位させることで第２ＸビームのＸ方向の振動を吸収する第２変位吸収部である、請求項１または２に記載の部品実装装置。
【請求項４】
第１および第２変位吸収部は、
第１または第２Ｘビームの一端側を支持するＹ方向沿いの支持面を有する薄板と、
薄板のＹ方向における両端部を支持する薄板支持部とを備え、
Ｘ方向において薄板を弾性変形させることにより、第１または第２ＸビームのＸ方向の変位を吸収する、請求項３に記載の部品実装装置。
【請求項５】
第１および第２変位吸収部は、薄板の支持面の反対側に、Ｘ方向における薄板の弾性変形を許容する変位吸収用空間を備える、請求項４に記載の部品実装装置。
【請求項６】
第１および第２変位吸収部において、Ｘ方向沿いかつＹ方向沿いのＸＹ平面における薄板支持部の断面がＸ字形状であり、薄板支持部のＸ形状の断面における互いに離間された両端部にて、Ｙ方向における薄板の両端部が支持される、請求項４または５に記載の部品実装装置。
【請求項７】
変位吸収用空間が、Ｘ方向およびＹ方向に直交するＺ方向において開放されている、請求項５に記載の部品実装装置。
【請求項８】
部品を保持して基板上に実装する第１および第２実装ヘッドと、基板の表面沿いの方向であるＸ方向に移動可能に、第１および第２実装ヘッドをそれぞれ支持する第１および第２Ｘビームと、基板の表面沿いの方向でありかつＸ方向と直交するＹ方向に移動可能に、第１および第２Ｘビームの両端側を支持する一対のＹビームとを備える部品実装装置において、
一方のＹビームに第１支持部を介在させて第１Ｘビームの一端を支持させるとともに、他方のＹビームに第２支持部を介在させて第２Ｘビームの一端を支持させて、第１支持部による第１Ｘビームの支持位置をＸ方向に変位させることにより、第１Ｘビームより第１支持部を介して一方のＹビームに伝達される振動を抑制するとともに、第２支持部による第２Ｘビームの支持位置をＸ方向に変位させることにより、第２Ｘビームより第２支持部を介して他方のＹビームに伝達される振動を抑制して、第１実装ヘッドと第２実装ヘッドとの間の相互の振動影響を低減させる、部品実装装置における振動抑制方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に部品を実装する部品実装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の部品実装装置として、部品を保持する複数の吸着ノズルが装備された実装ヘッドと、基板の表面沿いの方向であるＸ方向に沿って移動可能に実装ヘッドを支持するＸビームと、Ｘ方向と直交するＹ方向に移動可能にＸビームの両端部を支持する２本のＹビームとを備えたものが知られている。このような構成の部品実装装置では、それぞれのＹビームに両端部が支持された状態のＸビームがＹ方向に移動されるとともに、Ｘビームに支持されている実装ヘッドがＸ方向に移動されることにより、基板の実装位置に対して実装ヘッドが位置合わせされて、基板上に部品が実装される。
【０００３】
また、このような部品実装装置において、２本のＹビームの間に、２本のＸビームを支持させて、それぞれのＸビームに移動可能に支持される２台の実装ヘッドを用いて、効率的な部品実装を実現するような装置構成が採用されている。近年、部品実装における生産性の向上に加えて、部品実装精度の向上を図ることが強く求められている。
【０００４】
このような従来の部品実装装置として、例えば、特許文献１に開示された部品実装装置では、２本のＹビーム間に２本のＸビームを支持させた構成において、それぞれのＹビームの断面構造を工夫することでＹビームをＸ方向にしなるような構成とし、Ｘビームの熱膨張による伸縮を吸収するとともに、Ｘビームが高速移動した後の残留振動の収束を速めることで、部品実装精度を向上させる提案がなされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−２２８９７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような従来の部品実装装置では、部品実装における生産性向上のために、２台の実装ヘッドは異なる動作を並行して行う場合が多い。例えば、一方の実装ヘッドが基板上への部品実装動作を行っている間に、他方の実装ヘッドが部品供給部にて部品取り出し動作を行う場合がある。
【０００７】
このように２台の実装ヘッドが互いに異なる動作を並行して行うような場合に、特許文献１に開示されている部品実装装置では、一方の実装ヘッドおよびＸビームの動作により生じた振動がＹビームに伝達され、この振動がさらに他方のＸビームおよび実装ヘッドに伝達されてしまう。このような振動の伝達は、部品の位置認識や実装動作などの精度に悪影響を与えるおそれがある。このような振動の伝達による影響を回避するためには、２台の実装ヘッド相互間における動作を制限する必要があり、部品実装における生産性の向上が阻害される。
【０００８】
また、それぞれのＸビームの熱膨張により生じる力は、Ｙビームが受けることになるため、Ｙビームに剛性も要求され、Ｙビームが大型化してしまうという課題もある。
【０００９】
従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、２台実装ヘッドをＸ方向に移動可能に支持する２本のＸビームと、Ｙ方向に移動可能にそれぞれのＸビームの両端側を支持する一対のＹビームとを備える部品実装装置において、一方の実装ヘッドまたはＸビームに生じる振動が、他方の実装ヘッドまたはＸビームに伝達されることを抑制して、部品の実装精度を向上させる部品実装装置および振動抑制方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
【００１１】
本発明の第１態様によれば、部品を保持して基板上に実装する第１実装ヘッドおよび第２実装ヘッドと、基板の表面沿いの方向であるＸ方向に移動可能に、第１実装ヘッドを支持する第１Ｘビームと、基板の表面沿いの方向であるＸ方向に移動可能に、第２実装ヘッドを支持する第２Ｘビームと、基板の表面沿いの方向でありかつＸ方向と直交するＹ方向に移動可能に、第１Ｘビームおよび第２Ｘビームの両端側を支持する一対のＹビームと、Ｙ方向に移動可能に一方のＹビームに支持されかつ第１Ｘビームの一端側を支持する第１支持部を有し、第１支持部による第１Ｘビームの支持位置をＸ方向に変位させることで第１ＸビームのＸ方向の振動を吸収する第１振動吸収部と、Ｙ方向に移動可能に他方のＹビームに支持されかつ第２Ｘビームの一端側を支持する第２支持部を有し、第２支持部による第２Ｘビームの支持位置をＸ方向に変位させることで第２ＸビームのＸ方向の振動を吸収する第２振動吸収部とを備える、部品実装装置を提供する。
【００１２】
本発明の第２態様によれば、第１および第２振動吸収部において、Ｙ方向の剛性がＸ方向の剛性よりも高くなるように、第１および第２支持部が形成されている、第１態様に記載の部品実装装置を提供する。
【００１３】
本発明の第３態様によれば、第１振動吸収部は、第１Ｘビームの一端側を支持する第１支持部としてＹ方向沿いの支持面を有し、当該支持面をＸ方向に変位させることで第１ＸビームのＸ方向の振動を吸収する第１変位吸収部であり、第２振動吸収部は、第２Ｘビームの一端側を支持する第２支持部としてＹ方向沿いの支持面を有し、当該支持面をＸ方向に変位させることで第２ＸビームのＸ方向の振動を吸収する第２変位吸収部である、第１態様または第２態様に記載の部品実装装置を提供する。
【００１４】
本発明の第４態様によれば、第１および第２変位吸収部は、第１または第２Ｘビームの一端側を支持するＹ方向沿いの支持面を有する薄板と、薄板のＹ方向における両端部を支持する薄板支持部とを備え、Ｘ方向において薄板を弾性変形させることにより、第１または第２ＸビームのＸ方向の変位を吸収する、第３態様に記載の部品実装装置を提供する。
【００１５】
本発明の第５態様によれば、第１および第２変位吸収部は、薄板の支持面の反対側に、Ｘ方向における薄板の弾性変形を許容する変位吸収用空間を備える、第４態様に記載の部品実装装置を提供する。
【００１６】
本発明の第６態様によれば、第１および第２変位吸収部において、Ｘ方向沿いかつＹ方向沿いのＸＹ平面における薄板支持部の断面がＸ字形状であり、薄板支持部のＸ形状の断面における互いに離間された両端部にて、Ｙ方向における薄板の両端部が支持される、第４態様または第５態様に記載の部品実装装置を提供する。
【００１７】
本発明の第７態様によれば、変位吸収用空間が、Ｘ方向およびＹ方向に直交するＺ方向において開放されている、第５態様に記載の部品実装装置を提供する。
【００１８】
本発明の第８態様によれば、部品を保持して基板上に実装する第１および第２実装ヘッドと、基板の表面沿いの方向であるＸ方向に移動可能に、第１および第２実装ヘッドをそれぞれ支持する第１および第２Ｘビームと、基板の表面沿いの方向でありかつＸ方向と直交するＹ方向に移動可能に、第１および第２Ｘビームの両端側を支持する一対のＹビームとを備える部品実装装置において、一方のＹビームに第１支持部を介在させて第１Ｘビームの一端を支持させるとともに、他方のＹビームに第２支持部を介在させて第２Ｘビームの一端を支持させて、第１支持部による第１Ｘビームの支持位置をＸ方向に変位させることにより、第１Ｘビームより第１支持部を介して一方のＹビームに伝達される振動を抑制するとともに、第２支持部による第２Ｘビームの支持位置をＸ方向に変位させることにより、第２Ｘビームより第２支持部を介して他方のＹビームに伝達される振動を抑制して、第１実装ヘッドと第２実装ヘッドとの間の相互の振動影響を低減させる、部品実装装置における振動抑制方法を提供する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、第１実装ヘッドを支持する第１Ｘビームの一端側を、第１振動吸収部を介在させて一方のＹビームに支持させるとともに、第２実装ヘッドを支持する第２Ｘビームの一端側を、第２振動吸収部を介在させて他方のＹビームに支持させる構成が採用されている。また、第１および第２振動吸収部は、その支持部によるＸビームの支持位置をＸ方向に変位させることでＸビームのＸ方向の振動を吸収する機能を有している。
【００２０】
そのため、第１実装ヘッドまたは第１Ｘビームに生じたＸ方向の振動は、第１振動吸収部にて吸収されて、一方のＹビームに伝達される振動量を低減させることができる。また、第２実装ヘッドまたは第２Ｘビームに生じたＸ方向の振動は、第２振動吸収部にて吸収されて、他方のＹビームに伝達される振動量を低減させることができる。したがって、一方実装ヘッドまたはＸビームに生じたＸ方向の振動が、Ｙビームを介して他方の実装ヘッドまたはＸビームに伝達されることを抑制することができる。よって、部品の実装精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１実施形態にかかる部品実装装置の模式斜視図
【図２】第１実施形態の第１Ｘ方向変位吸収部の模式斜視図
【図３】第１実施形態の第１Ｘ方向変位吸収部の模式部分平面図
【図４】第１実施形態の第１Ｘ方向変位吸収部の模式部分平面図
【図５】第１実施形態の第１Ｘ方向変位吸収部の模式部分平面図
【図６】第２実施形態の第１Ｘ方向変位吸収部の模式斜視図
【図７】第３実施形態の第１Ｘ方向変位吸収部の模式斜視図
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００２３】
（第１実施形態）
本発明の第１の実施形態にかかる部品実装装置１の模式斜視図を図１に示す。
【００２４】
図１に示すように、本第１実施形態の部品実装装置１は、部品を吸着保持する第１および第２実装ヘッド３、５３、と、第１実装ヘッド３をＸ方向に進退移動可能に支持するＸ方向に延在した第１Ｘビーム１０と、第２実装ヘッド５３をＸ方向に進退移動可能に支持するＸ方向に延在した第２Ｘビーム６０と、第１および第２Ｘビーム１０、６０をＹ方向に進退移動可能に支持する２本（一対）のＹビーム２０とを備えている。また、部品実装装置１の基台４上には、２本のＹビーム２０が支持されている。さらに、基台４上には、基板５が保持される基板保持テーブル６と、基板保持テーブル６に対して、基板５を搬入・搬出する基板搬送部７と、複数の部品が供給される部品供給部８とが配置されている。なお、Ｘ方向（左右方向）およびＹ方向（前後方向）は、共に基板５の表面沿いの方向であり、かつ互いに直交する方向である。また、Ｚ方向（上下方向）は、Ｘ方向およびＹ方向に直交する方向である。
【００２５】
本第１の実施形態の部品実装装置１において、第１実装ヘッド３と第２実装ヘッド５３とは実質的に同じ構造を有しており、また、第１Ｘビーム１０と第２Ｘビーム６０とは実質的に同じ構造を有している。そのため、それぞれの実装ヘッドおよびＸビームに共通する構造の説明については、両者を代表して、第１実装ヘッド３および第１Ｘビーム１０について行うものとする。
【００２６】
第１実装ヘッド３は、部品を吸着保持する複数の吸着ノズル２を装備しており、これらの吸着ノズル２は、Ｚ方向に昇降可能かつＺ方向の軸心周りに回転可能とされている。
【００２７】
第１Ｘビーム１０には、第１実装ヘッド３をＸ方向に進退移動させる図示しない駆動手段（リニア駆動部など）が装備されている。なお、第１Ｘビーム１０は、そのＹ方向の移動特性を高めるために比較的軽量な剛性部材にて形成されることが好ましく、例えば、アルミニウムなどの軽量金属材料にて形成される。
【００２８】
２本のＹビーム２０は基台４のＸ方向の両縁部に支持されており、２本のＹビーム２０の互いに対向する側面にて、第１Ｘビーム１０の両端部がＹ方向に進退移動可能に支持されるとともに、第２Ｘビーム６０の両端部がＹ方向に進退移動可能に支持されている。なお、Ｙビーム２０には、第１Ｘビーム１０のＹ方向の進退移動を駆動する駆動手段（リニア駆動部など）および第２Ｘビーム６０のＹ方向の進退移動を駆動する駆動手段が装備されている。なお、第１Ｘビーム１０と第２Ｘビーム６０のＹ方向の進退移動は、それぞれの駆動手段により互いに独立して行われる。
【００２９】
また、第１Ｘビーム１０の一方の端部（基準側端部）１１Ａは、図１の図示Ｘ方向左側に配置されるＹビーム２０（２０Ａ）に支持されており、他方の端部（変位側端部）１１Ｂは、図示Ｘ方向右側に配置されるＹビーム２０（２０Ｂ）に、第１Ｘ方向変位吸収部３０を介在させて支持されている。さらに、第２Ｘビーム６０の一方の端部（基準側端部）６１Ａは、図１の図示Ｘ方向右側に配置されるＹビーム２０（２０Ｂ）に支持されており、他方の端部（変位側端部）６１Ｂは、図示Ｘ方向左側に配置されるＹビーム２０（２０Ａ）に、第２Ｘ方向変位吸収部８０を介在させて支持されている。すなわち、図１に示すように、第１Ｘビーム１０および第２Ｘビーム６０において、基準側端部と変位側端部とは、ＸＹ平面視で互いに逆側に配置されるように設定されており、それぞれのＸ方向変位吸収部３０、８０の配置についても、互いに逆側（Ｘ方向に対向）となるように設定されている。
【００３０】
本第１実施形態では、これらの第１Ｘ方向変位吸収部３０および第２Ｘ方向変位吸収部８０が、ＸビームにおけるＸ方向の振動を吸収する振動吸収部の一例となっている。また、第１Ｘ方向変位吸収部３０と第２Ｘ方向変位吸収部８０とは実質的に同じ構造を有している。そのため、第１Ｘ方向変位吸収部３０および第２Ｘ方向変位吸収部８０に共通する構造の説明については、両者を代表して、第１Ｘ方向変位吸収部３０について行うものとする。なお、この第１Ｘ方向変位吸収部３０の構成については後述する。
【００３１】
基板保持テーブル６は基台４の略中央に配置されている。また、基板搬送部７は、Ｘ方向に沿って基板５を搬送するように基台４上に配置されている。部品供給部８は、例えば複数のカセットフィーダーの集合体として構成され、基台４におけるＹ方向の両縁部上に配置されている。
【００３２】
このような構成の部品実装装置１において、部品実装を行う場合には、まず、第１Ｘビーム１０が図１のＹ方向奥側に移動されるとともに、第１実装ヘッド３がＸ方向に移動されることでそれぞれの吸着ノズル２のＸＹ移動が行われて、図示奥側に位置される部品供給部８上に位置決めされ、それぞれの吸着ノズル２に部品を吸着保持させる。その後、第１実装ヘッド３のＸＹ移動が行われて、基板保持テーブル６に保持された基板５における部品実装位置に吸着ノズル２が位置決めされて、吸着保持されているそれぞれの部品が基板５上に実装される。
【００３３】
第１実装ヘッド３による基板５上への部品の実装動作が行われている間に、第２Ｘビーム６０が図１のＹ方向手前側に移動されるとともに、第２実装ヘッド５３がＸ方向に移動されることでそれぞれの吸着ノズル２のＸＹ移動が行われて、図示手前側に位置される部品供給部８上に位置決めされ、それぞれの吸着ノズル２に部品を吸着保持させる。その後、第２実装ヘッド５３のＸＹ移動が行われて、基板保持テーブル６に保持された基板５における部品実装位置に吸着ノズル２が位置決めされて、吸着保持されているそれぞれの部品が基板５上に実装される。
【００３４】
さらに基板５上、あるいは次の別の基板５上に部品の実装を行う場合には、これらの動作を繰り返して行うことにより、第１実装ヘッド３および第２実装ヘッド５３による部品の実装が連続的に行われる。特に、一方の実装ヘッドにより部品供給部８からの部品の取り出し動作を行っている間に、他方の実装ヘッドにより基板５への部品の実装動作を行うようにすることで、効率的な部品実装を行うことができる。
【００３５】
次に、第１Ｘ方向変位吸収部３０および第２Ｘ方向変位吸収部８０の構成の説明にあたって、両者を代表して第１Ｘ方向変位吸収部３０の構成について、図２の模式斜視図、図３、図４、図５の模式図を用いて詳細に説明する。
【００３６】
図２に示すように、第１Ｘ方向変位吸収部３０は、Ｙ方向に進退移動可能にＹビーム２０Ｂに支持されたブロック３１（薄板支持部の一例である。）と、ブロック３１に支持されるとともに、第１Ｘビーム１０の変位側端部１１Ｂを支持する支持面３２ａを有する長方形状の薄板として形成された支持プレート３２（支持部（第１支持部３２Ａ）の一例である。）とを備えている。なお、第２Ｘ方向変位吸収部８０には、第２Ｘビーム６０の変位側端部６１Ｂを支持する支持面３２ａを有する長方形状の薄板として形成された支持プレート３２（支持部（第２支持部３２Ｂ）の一例である。）が備えられている。この第２Ｘ方向変位吸収部８０の支持プレート３２（第２支持部３２Ｂ）の構成および機能については、第１Ｘ方向変位吸収部３０の支持プレート３２（第１支持部３２Ａ）と同様であるため、その説明を省略する。
【００３７】
第１Ｘ方向変位吸収部３０の支持プレート３２（第１支持部３２Ａ）の支持面３２ａは、Ｘ方向に直交しかつＹ方向沿った平面であり、この支持プレート３２の中央領域において、第１Ｘビーム１０の変位側端部１１Ｂが支持されている。また、ブロック３１は、そのＸＹ平面（Ｘ方向およびＹ方向沿いの平面）における断面が大略コ字形状を有する剛体として形成されている。このブロック３１の大略コ字形状の断面における突出された両端部である支持端部３１ａにて、支持プレート３２のＹ方向における両端部３２ｂを支持している。また、ブロック３１のそれぞれの支持端部３１ａの間には、支持プレート３２の支持面３２ａの反対側の面と接する空間が配置されており、この空間が変位吸収用空間Ｓとなっている。なお、この変位吸収用空間Ｓは、Ｚ方向において開放されている。
【００３８】
また、支持プレート３２は、Ｘ方向において外力が加わった場合に、Ｘ方向に弾性変形するような形状および材料により形成されることが好ましい。支持プレート３２の形成材料としては、例えば、ばね鋼鋼材などを適用することができる。また、変位吸収用空間Ｓは、支持プレート３２がＸ方向に弾性変形された場合に、支持プレート３２における第１Ｘビーム１０の支持部分である中央領域がブロック３１に接触せず、支持プレート３２の弾性変形を許容するように設けられている。
【００３９】
Ｙビーム２０Ｂの側面には、Ｙ方向に沿ったＬＭレール２１が配置されており、このＬＭレール２１に係合して、Ｙ方向に進退移動可能なＬＭブロック３３がブロック３１に固定されている。
【００４０】
次に、図３〜図５に示す第１Ｘ方向変位吸収部３０の模式図を用いて、第１Ｘビーム１０のＸ方向における変位を吸収することで、第１Ｘビーム１０に生じたＸ方向の振動を吸収する原理について説明する。
【００４１】
図３に示すように、第１実装ヘッド３および第１Ｘビーム１０にＸ方向の振動が生じていない状態では、第１Ｘビーム１０の変位側端部１１Ｂを支持する支持プレート３２（第１支持部３２Ａ）は、Ｙ方向に沿ってほぼ平坦な状態（すなわち、Ｘ方向に変位されていない状態）にある。さらに、支持プレート３２のＹ方向における両端部３２ｂは、ブロック３１のそれぞれの支持端部３１ａに支持された状態にある。
【００４２】
このような状態において、部品実装装置１において、第１実装ヘッド３または第１Ｘビーム１０の進退移動が行われると、第１Ｘビーム１０に振動が生じる。それに伴って第１Ｘビーム１０は基準側端部１１Ａを基準として、変位側端部１１ＢがＸ方向に変位しようとする。これにより、第１Ｘビーム１０の変位側端部１１Ｂを支持している支持プレート３２に対して、図４に示すＸ方向右向きの力Ｆ１および図５に示すＸ方向左向きの力Ｆ２が生じる。支持プレート３２は、薄板形状を有しているため、この力Ｆ１およびＦ２を受けてＸ方向右向きおよび左向きに変位量Ｄ１、Ｄ２だけ弾性変形して撓んだ状態が振動周期にて交互に繰り返される。これにより、第１Ｘビーム１０のＸ方向の変位をＸ方向変位吸収部３０にて吸収することができ、その結果、第１Ｘビーム１０に生じたＸ方向の振動を吸収する（減少させる）ことができる。
【００４３】
したがって、第１Ｘビーム１０に振動が生じるような場合であっても、Ｘ方向変位吸収部３０において、第１Ｘビーム１０の変位側端部１１Ｂの変位量に応じて支持プレート３２をＸ方向に弾性変形させることで、第１Ｘビーム１０のＸ方向における振動を吸収することができる。また、薄板形状を有する支持プレート３２と、第１Ｘビーム１０との固有振動数を異ならせることで、振動を効果的に吸収することができる。
【００４４】
さらに、第１Ｘ方向変位吸収部３０において、支持プレート３２のＹ方向における両端部３２ｂが、ブロック３１のそれぞれの支持端部３１ａにより支持されているため、支持プレート３２を薄板状に形成しながらＹ方向における必要な剛性を確保できる。すなわち、支持プレート３２の面方向の剛性を用いて、第１Ｘビーム１０の変位側端部１１ＢにおけるＹ方向の支持剛性を確保することができる。
【００４５】
特に、部品実装装置１では、基台４のＹ方向における両縁部に部品供給部８が配置され、中央付近に基板５が配置される構成が採用されているため、部品の実装動作が繰り返し行われる場合に、第１Ｘビーム１０や第２Ｘビーム６０のＹ方向沿いの移動頻度が多くなる。このような観点から、支持プレート３２のＹ方向における両端部３２ｂをブロック３１に確実に支持させて、Ｙ方向の支持剛性を確保することが好ましい。また、このようにＹ方向の支持剛性を確保することにより、第１Ｘビーム１０に生じるＹ方向の振動についても抑制することができる。特に、第１Ｘビーム１０のＹ方向の移動が行われ、その後停止した際に生じるＹ方向の残留振動を低減させるためにも、このようにＹ方向の支持剛性を高めることは効果的である。
【００４６】
すなわち、第１Ｘ方向変位吸収部３０では、第１Ｘビーム１０のＸ方向の支持剛性よりもＹ方向の支持剛性を高めることで、Ｙ方向における移動位置精度を確保しながら、Ｘ方向の振動がＹビームに伝達されることを効果的に抑制することができる。
【００４７】
また、第１Ｘ方向変位吸収部３０において、支持プレート３２は、ブロック３１によりＹ方向の両端部３２ｂが支持されているが、Ｚ方向の両端部は支持されていない構造が採用されている。すなわち、ブロック３１において、変位吸収用空間ＳがＺ方向において連通して開放されるような構造が採用されている。そのため、支持プレート３２の全周囲がブロック３１により支持されるような場合に比して、支持プレート３２をＸ方向に変位し易くすることができる。なお、仮に第１Ｘビーム１０などの構成部材がＺ方向に変位するような場合が生じても、それぞれの吸着ノズル２の昇降動作量を調整することで、このようなＺ方向の変位は実質的に補正することができる。
【００４８】
ここで、第１Ｘ方向変位吸収部３０における各部材の好適な寸法の例について図２を用いて説明する。
【００４９】
支持プレート３２の両端部３２ｂの支持スパンの長さＷ２（すなわち、変位吸収用空間ＳのＹ方向の長さ）は、Ｘビーム１０のＹ方向の幅寸法Ｗ１の１．８〜３倍程度に設定することが好ましい。また、支持プレート３２の板厚Ｔは１．５〜３ｍｍ程度、変位吸収用空間ＳのＸ方向における深さＤは１ｍｍ程度として、第１Ｘビーム１０のＸ方向の振動により生じるＸ方向の変位量を十分に吸収できるような深さに設定することが好ましい。なお、支持プレート３２のＺ方向の高さ寸法Ｈ２は、第１Ｘビーム１０のＺ方向の高さ寸法Ｈ１と同程度かそれ以上に設定することが好ましい。
【００５０】
上述のような第１Ｘビーム１０に生じるＸ方向の振動を第１Ｘ方向変位吸収部３０にて吸収する原理と同様な原理により、第２Ｘビーム６０に生じるＸ方向の振動を第２Ｘ方向変位吸収部８０にて吸収することができる。
【００５１】
本第１実施形態によれば、第１Ｘビーム１０に生じるＸ方向の振動は、第１Ｘ方向変位吸収部３０にて吸収することができ、図１の右側のＹビーム２０Ｂにこの振動が伝達されることを抑制できる。その結果、Ｙビーム２０Ｂにその基準側端部６１Ａが支持されている第２Ｘビーム６０に対して、第１実装ヘッド３および第１Ｘビーム１０に生じる振動が伝達されることを抑制できる。
【００５２】
同様に、第２Ｘビーム６０に生じるＸ方向の振動は、第２Ｘ方向変位吸収部８０にて吸収することができ、図１の右側のＹビーム２０Ａにこの振動が伝達されることを抑制できる。その結果、Ｙビーム２０Ａにその基準側端部１１Ａが支持されている第１Ｘビーム１０に対して、第２実装ヘッド５３および第２Ｘビーム６０に生じる振動が伝達されることを抑制できる。
【００５３】
また、このような一方の実装ヘッドから他方の実装ヘッドへの振動の伝達抑制は、第１Ｘビーム１０（第２Ｘビーム６０）の変位側端部１１Ｂ（６１Ｂ）を、第１Ｘ方向変位吸収部３０（第２Ｘ方向変位吸収部８０）を介して、Ｙ方向に移動可能にＹビーム２０Ｂ（Ｙビーム２０Ａ）に支持させることで、薄板状の支持プレート３２とブロック３１という比較的簡単な構造を用いて実現することができる。
【００５４】
さらに、支持プレート３２をＸ方向に弾性変形させることにより、第１Ｘビーム１０（第２Ｘビーム６０）のＸ方向の変位を吸収可能としながら、支持プレート３２のＹ方向の両端部３２ｂをブロック３１に支持させることで、支持プレート３２の面方向の剛性を用いて、第１Ｘビーム１０（第２Ｘビーム６０）に対するＹ方向の支持剛性を確保することができる。よって、それぞれのＸビーム１０、６０におけるＹ方向の振動伝達についても抑制することができる。
【００５５】
また、部品実装装置１において連続的に部品実装動作が行われると、使用環境温度が上昇（例えば、常温から２０℃程度上昇）する。この使用環境温度の上昇に伴って、第１Ｘビーム１０および第２Ｘビーム６０が熱膨張して、Ｘ方向に例えば、０．２〜０．３ｍｍ程度の伸びる（Ｘ方向の変位量）ことになる。このようにＸビーム１０、６０において、熱による伸びあるいは縮みが生じるような場合であっても、Ｘビーム１０、６０のＸ方向の変位を、Ｘ方向変位吸収部３０、８０にて吸収することができる。
【００５６】
よって、部品実装装置１において、一方の実装ヘッドまたはＸビームに生じる振動が、他方の実装ヘッドまたはＸビームに伝達されることを、比較的簡単な構造にて、抑制することができ、部品の実装精度を向上させることができる。
【００５７】
さらに、部品実装装置１において、使用環境温度が変化するような場合であっても、それぞれのＸビームの熱膨張・収縮量を吸収することができ、部品の実装精度を向上させることができる。
【００５８】
（第２実施形態）
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。例えば、本発明の第２の実施形態にかかる部品実装装置が備える第１Ｘ方向変位吸収部１３０の構成を図６の模式斜視図に示す。なお、上記第１実施形態の部品実装装置１が備える各構成部材と実質的に同じ構成部材には、同じ参照番号を付して、その説明を省略する。なお、第２Ｘ方向変位吸収部（図示せず）の構成は、第１Ｘ方向変位吸収部１３０の構成と実質的に同じである。
【００５９】
図６に示すように、本第２実施形態の部品実装装置では、図１に示すように第１Ｘビーム１０の両端部１１（１１Ａ、１１Ｂ）は、Ｙビーム２０（２０Ａ、２０Ｂ）の側面部にて支持されるのではなく、Ｙビーム２０の上面部にて支持されている点において、上記第１実施形態と異なる構成が採用されている。具体的には、第１Ｘ方向変位吸収部１３０において、ブロック３１はその側面が、スライダーブロック１３１に固定されている。このスライダーブロック１３１は、Ｙ方向に進退移動可能にＹビーム２０Ｂに支持されており、その下面にＬＭブロック１３３が配置されるとともに、Ｙビーム２０Ｂの上面にＬＭレール１２１が配置されている。
【００６０】
このような構成では、第１Ｘビーム１０において振動が生じた場合に、支持プレート３２（第１支持部３２Ａ）をＸ方向に弾性変形させることで、ＬＭブロック１３３とＬＭレール１２１との係合部分に伝達されるＸ方向の振動量を低減させることができる。
【００６１】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態にかかる部品実装装置が備える第１Ｘ方向変位吸収部２３０の模式斜視図を図７に示す。なお、第２Ｘ方向変位吸収部（図示せず）の構成は、第１Ｘ方向変位吸収部２３０の構成と実質的に同じである。
【００６２】
図７に示すように、本第３実施形態の第１Ｘ方向変位吸収部２３０は、支持プレート３２（第１支持部３２Ａ）のＹ方向の両端部３２ｂを支持するブロック（薄板支持部）として、ＸＹ平面において大略Ｘ字形状の断面を有するＸブロック２３１を備えている点において、上記それぞれの実施形態とは異なる構成を有している。
【００６３】
図７に示すように、Ｘブロック２３１は、大略Ｘ字形状の断面における互いに離間された両端部を支持端部２３１ａとして、支持プレート３２の両端部３２ｂを支持している。さらにＸブロック２３１において、両支持端部２３１ａの間の空間が変位吸収用空間Ｓとなっており、この変位吸収用空間Ｓは、Ｚ方向において開放されている。
【００６４】
このような構成により、第１Ｘビーム１０のＸ方向における変位（すなわち振動）を、支持プレート３２の弾性変形に加えて、Ｘブロック２３１の弾性変形によっても吸収することが可能となる。したがって、第１Ｘビーム１０に生じた振動を効果的に吸収することができる。
【００６５】
なお、上述のそれぞれの実施形態では、本発明の振動吸収部の様々な形態の例について説明したが、振動吸収部の構成としてはその他様々な構成を採用することができる。
【００６６】
例えば、Ｘ方向変位吸収部における変位吸収用空間Ｓ内に振動吸収剤（ゲル剤など）を配置することにより、Ｘ方向変位吸収部における振動吸収効果をさらに高めることもできる。
【００６７】
また、薄板を用いた構成を有するＸ方向変位吸収部に変えて、Ｘビームの端部の支持位置をＸ方向に変位可能にＹビームに支持させるような摺動ガイドを用いてＸ方向変位吸収部を構成することもできる。ただし、薄板も用いた構成を採用することで、Ｘビームの残留振動を効果的に低減できる。
【００６８】
また、第１Ｘビーム１０に設けられる第１Ｘ方向変位吸収部３０と、第２Ｘビーム６０に設けられる第２Ｘビーム変位吸収部８０とが、実質的に同じ構造を有している場合を例として説明したが、Ｘビームに生じた振動を吸収する機能を有する構造であれば、互いに異なる構造の変位吸収部を設けても良い。
【００６９】
なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
【符号の説明】
【００７０】
１  部品実装装置
２  吸着ノズル
３  第１実装ヘッド
４  基台
５  基板
６  基板保持テーブル
７  基板搬送部
８  部品供給部
１０  第１Ｘビーム
１１Ａ  基準側端部
１１Ｂ  変位側端部
２０、２０Ａ、２０Ｂ  Ｙビーム
２１  ＬＭレール
３０  第１Ｘ方向変位吸収部
３１  ブロック
３１ａ  支持端部
３２  支持プレート（第１支持部３２Ａ、第２支持部３２Ｂの一例）
３２ａ  支持面
３２ｂ  端部
３３  ＬＭブロック
５３  第２実装ヘッド
６０  第２Ｘビーム
６１Ａ  基準側端部
６１Ｂ  変位側端部
８０  第２Ｘ方向変位吸収部
Ｓ  変位吸収用空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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