(57)【要約】      （修正有）【課題】多数のレーザダイオードを複数の温度域に対し、一つづつ自動測定する。【解決手段】一回の回転角を４５度とした円形なインデックステーブルの外周縁近傍に４５度ピッチで８個のワーク受け入れホルダーを備え、そのホルダーを、１つ置きに高温および中温測定用のものとし、前記ホルダーの特定の位置をワークの供給部とし、その供給部から回転方向に数えて６つめの位置を測定部とする。まず、供給部に位置するホルダーに一つめのワークを供給し、４５度で２回回転させ、前記供給部に位置するホルダーに二つめのワークを供給し、前記一つめのワークが測定部で高温あるいは中温で測定が終了すると、回転方向の前隣となる測定済と異なる温度のホルダーへ移載し、再び前記測定部で異なる温度での測定を行い、測定終了後、その第一のワークを測定部より回転方向で１つ前隣となる位置でピックアップし、収納する。この作業をワークの数だけ繰り返す。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円形をし、一回の回転角に４５度としたインデックステーブルの外周縁近傍に４５度ピッチで８個のワーク受け入れホルダーを備え、そのホルダーは、１つ置きに高温度測定用と中温度測定用のものとし、前記したホルダーのうち特定の位置をワークの供給部とし、その供給部から回転方向に数えて６つめの位置（２７０度位置）を測定部とし、まず、供給部に位置するホルダーに一つめのワークを供給して、４５度で２回回転させ、その時点で前記供給部に位置するホルダーに二つめのワークを供給していく作業を順次続け、前記一つめのワークが測定部で高温あるいは中温での測定が終了すると、回転方向の前隣となる測定済と異なる温度のホルダーへ移載し、再び前記測定部で異なる温度での測定が終了すると、その第一のワークは測定部より回転方向で１つ前隣となる位置でピックアップし、検査済として収納する作業をワークの数だけ繰り返すことを特徴とするレーザダイオードの測定方法。
【請求項２】
一回の４５度の回転時間は４秒とすることを特徴とする請求項１に記載のレーザダイオードの測定方法。
【請求項３】
円形をし、一回の回転角を４０度としたインデックステーブルの外周縁近傍に４０度ピッチで９個のワーク受け入れホルダーを備え、そのホルダーは２つ置きに高温測定用、常温測定用、低温測定用として各々３つづつを備え、前記したホルダーのうち特定の位置をワークの供給部とし、その供給部から回転方向に数えて７つめの位置（２８０度）を測定部とし、まず、供給部に位置するホルダーに一つめのワークを供給して、４０度で３回回転させ、その時点で供給部に位置するホルダーに二つめのワークを供給していく作業を順次続け、前記一つめのワークが測定部で高温、常温もしくは低温での測定が終了すると、回転方向の前隣となる、測定済と異なる温度のホルダーへ移載し、再び前記測定部で二つめの温度での測定が終了すると、その一つめのワークはさらに回転方向で前隣となる、さらに異なる温度のホルダーへ移載し、その３回目の測定が終了すると、測定部より回転方向で１つ前隣となる位置でピックアップし、検査済として収納する作業をワークの数だけ繰り返すことを特徴とするレーザダイオードの測定方法。
【請求項４】
一回の４０度の回転時間は７．５秒とすることを特徴とする請求項３に記載のレーザダイオード測定方法。
【請求項５】
円形をし、一回の回転角を１０８度としたインデックステーブルの外周縁近傍に３６度ピッチで、１０個のワーク受け入れホルダーを備え、そのうち１つは不使用の空きホルダーとし、残る９つのホルダーは２つ置きに高温測定用、常温測定用、低温測定用として３つづつを備え、前記したホルダーのうち特定の位置をワーク供給部とし、その供給部から回転方向に１４４度の位置を測定部とし、まず、供給部に一つめのワークを供給して１０８度回転させ、その時点で供給部に位置するホルダーに二つめのワークを供給していく作業を順次続け、前記一つめのワークが測定部で高温、常温もしくは低温での測定が終了すると回転方向の後隣となるホルダーに移載し、再び二つめの温度での測定が終了すると、その一つめのワークはさらに回転方向で後隣となる、さらに異なる温度のホルダーへ移載し、その３回目の測定が終了すると、測定部より回転方向で１０８度の位置でピックアップし、検査済として収納する作業をワークの数だけ繰り返すことを特徴とするレーザダイオードの測定方法。
【請求項６】
一回の１０８度の回転時間は７．５秒とすることを特徴とする請求項５に記載のレーザダイオードの測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はレーザダイオードの測定方法に関し、特に２〜３の温度域におけるレーザダイオードの電流と光学的、電気的特性の関係で測定し、特性のチェックを行なうためのレーザダイオードの測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、レーザダイオードは周域の温度によって一定光量に対する電流の量に差異が生じ、高温度の方が多くの電流を必要とする。逆に低温下では少電流で光を放射する。各ワーク毎でみた場合、温度の高低によって光が異なり、バラ付いた状態となってしまう。
【０００３】
上記した状態を測定し、製品としての良否をチェックするため、温度テストが行なわれているが、従来は、トレイ状の治具にワークを手詰めでセッティングし、各温度を設定して、一つづつ計測を行なっていたもので、非常に効率が悪く、時間を要し、作業者の負担も大きいものとなっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
出願人は、本願発明に関し、先行する技術文献を調査したが、格別に本願発明と関連し、類似すると思われるものは発見できなかった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本願発明が解決しようとする問題点は、従来、多数のレーザダイオードを複数の温度域に対し、ワークを一つづつ自動測定するという方法は存在していなかったという点である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記した問題点を解決するために、本発明に係るレーザダイオードの測定方法は、円形をし、一回の回転角に４５度としたインデックステーブルの外周縁近傍に４５度ピッチで８個のワーク受け入れホルダーを備え、そのホルダーは、１つ置きに高温度測定用と中温度測定用のものとし、前記したホルダーのうち特定の位置をワークの供給部とし、その供給部から回転方向に数えて６つめの位置（２７０度位置）を測定部とし、まず、供給部に位置するホルダーに一つめのワークを供給して、４５度で２回回転させ、その時点で前記供給部に位置するホルダーに二つめのワークを供給していく作業を順次続け、前記一つめのワークが測定部で高温あるいは中温での測定が終了すると、回転方向の前隣となる測定済と異なる温度のホルダーへ移載し、再び前記測定部で異なる温度での測定が終了すると、その第一のワークは測定部より回転方向で１つ前隣となる位置でピックアップし、検査済として収納する作業をワークの数だけ繰り返すことを特徴とし、一回の４５度の回転時間は４秒とすることを特徴としている。
【０００７】
また、本発明に係るレーザダイオードの測定方法は、円形をし、一回の回転角を４０度としたインデックステーブルの外周縁近傍に４０度ピッチで９個のワーク受け入れホルダーを備え、そのホルダーは２つ置きに高温測定用、常温測定用、低温測定用として各々３つづつを備え、前記したホルダーのうち特定の位置をワークの供給部とし、その供給部から回転方向に数えて７つめの位置（２８０度）を測定部とし、まず、供給部に位置するホルダーに一つめのワークを供給して、４０度で３回回転させ、その時点で供給部に位置するホルダーに二つめのワークを供給していく作業を順次続け、前記一つめのワークが測定部で高温、常温もしくは低温での測定が終了すると、回転方向の前隣となる、測定済と異なる温度のホルダーへ移載し、再び前記測定部で二つめの温度での測定が終了すると、その一つめのワークはさらに回転方向で前隣となる、さらに異なる温度のホルダーへ移載し、その３回目の測定が終了すると、測定部より回転方向で１つ前隣となる位置でピックアップし、検査済として収納する作業をワークの数だけ繰り返すことを特徴とし、一回の４０度の回転時間は７．５秒とすることを特徴としている。
【０００８】
さらに、本発明に係るレーザダイオードの測定方法は、円形をし、一回の回転角を１０８度としたインデックステーブルの外周縁近傍に３６度ピッチで、１０個のワーク受け入れホルダーを備え、そのうち１つは不使用の空きホルダーとし、残る９つのホルダーは２つ置きに高温測定用、常温測定用、低温測定用として３つづつを備え、前記したホルダーのうち特定の位置をワーク供給部とし、その供給部から回転方向に１４４度の位置を測定部とし、まず、供給部に一つめのワークを供給して１０８度回転させ、その時点で供給部に位置するホルダーに二つめのワークを供給していく作業を順次続け、前記一つめのワークが測定部で高温、常温もしくは低温での測定が終了すると回転方向の後隣となるホルダーに移載し、再び二つめの温度での測定が終了すると、その一つめのワークはさらに回転方向で後隣となる、さらに異なる温度のホルダーへ移載し、その３回目の測定が終了すると、測定部より回転方向で１０８度の位置でピックアップし、検査済として収納する作業をワークの数だけ繰り返すことを特徴とし、一回の１０８度の回転時間は７．５秒とすることを特徴としている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係るレーザダイオードの測定方法は上記のように構成されている。そのため、インデックステーブルの予め設定された回転角で順次回転させていくことで、２〜３の温度域において、単一のワークの特性を数値的に測定することが自動的に行なわれることとなり、非常に効率が良く、測定作業がスムーズとなり、作業者にかかる負担、時間は大幅に軽減されることとなる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第一実施例のインデックステーブルのホルダー位置関係を示す図である。
【図２】サイクルを示す図である。
【図３】第二実施例のインデックステーブルのホルダー位置関係を示す図である。
【図４】サイクルを示す図である。
【図５】第三実施例のインデックステーブルのホルダー位置関係を示す図である。
【図６】サイクルを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図として示し、実施例で説明したように構成したことで実現した。
【実施例１】
【００１２】
次に、本発明の第一実施例を図１乃至図２を参照して説明する。この図１、図２にあって１は円形としたインデックステーブルであり、このインデックステーブル１の外周縁近傍には、その中心から４５度分割で８つのホルダー２、２ａ、２ｂ、２ｃ，３、３ａ、３ｂ、３ｃが設けられている。そして、このインデックステーブル１は時計方向に４５度の回転角で回転するものとされ、そのサイクルタイムは４秒とされている。ここで、サイクルタイム、即ち回転時間は、一度回転を開始して停止し、次の回転が始まるまでの時間で測定時間も含まれている。
【００１３】
図２にあって、各図の上部にある数字は経過時間（秒）を示しているもので、初期状態（経過時間０）の位置で、図１に示すホルダー２の位置は対象となるワーク（レーザダイオード）の供給部となる。このインデックステーブル１におけるホルダー２、２ａ‥，３、３ａ‥は１つ置きに高温（８５℃）及び中温（５０℃）を対象としているもので、実施例では２、２ａ‥が高温、３、３ａ‥を中温としている。又、この温度制御はベルチェ効果（熱起電力）の素子が用いられているが、ヒーター等で代替することもできる。そして、図１に示す、供給部から６つめとなるホルダー２ｃの位置が電流と波長の関係（ＩＬ／λ）を測定する測定部とされ、３ｃの位置が最終的にインデックステーブル１からワークを取り出し、治具に収納する収納部となっている。
【００１４】
まず、第一のワーク（レーザダイオード）を多数列設収容されているトレイ治具から、コレットチャック、バキュームチャック等の手段によりピックアップし、供給部へ供給する。この供給後、１サイクル、即ち４５度インデックステーブル１を回転させると、供給部にはホルダー３ｃが位置することとなるが、ここで、ホルダー３ｃには新しい（第二の）ワークの供給はせず、さらに、４５度インデックステーブル１を回転させる。これによって、供給部にはホルダー２ｃが位置される。そして、この時点で供給部に位置するホルダー２ｃに二つめのワークが供給される。
【００１５】
上記した動作を順次行い、６回転（２４秒後）した時に、第一のワークが供給されているホルダー２は測定部へ位置することとなり、ここでまず、高温による測定が実施される。この高温での測定が済むと、さらにインデックステーブル１は４５度回転して、第一のワークを収納部の位置へ送るが、ここで、第一のワークは次の中温での測定に備え、回転方向の１つ前隣となるホルダー３へ、前記したチャック装置によって移載される。この時点で、高温での測定をするためのホルダー２、２ａ‥には４つともワークが供給済となっている。
【００１６】
中温測定用のホルダー３に第一のワークが移載され、さらにインデックステーブル１が４５度に回転すると、供給部には、空となったホルダー２が位置することとなり、このホルダー２に五つめのワークが供給されることとなる。この時点で二つめのワークが供給されているホルダー２ｃは測定部に位置され、高温下での測定がなされる。この動作が順次なされると、１３回転目（５２秒）に、第一のワークが供給されているホルダー３は測定部に位置し、今度は中温での測定がなされる。この中温での測定が終了すると、ホルダー３は収納部の位置へ回転移行され、その位置でインデックステーブル１からチャック装置でピックアップされ、治具トレイへ収納されることとなる。
【００１７】
この第一のワークがピックアップ収納される時に、ホルダー３の前隣となるホルダー２ａには八つめのワークが供給される。この動作を順次繰り返し、最終的に最後のワークは１６個目となり、この最後のワークの収納まで、４５度の４４回転が１７６秒で完了する。即ち、供給、高温での測定、そして移載、中温出の測定、収納の動作を連続して、自動的に１６個のワークに対し、３分弱の時間で済ませることができる。
【実施例２】
【００１８】
次いで、図３乃至図４を参照して、本発明の第二実施例を説明する。１ａは第二実施例として使用するインデックステーブルを示しており、このインデックステーブルの外周近傍には中心から４０度分割で９つのホルダー４、４ａ、４ｂ，５、５ａ、５ｂ，６、６ａ、６ｂが設けられており、このインデックステーブル１ａは時計方向に４０度の回転角で回転するものとされ、そのサイクルタイムは７．５秒とされている。
【００１９】
図４にあって、各図の上部にある数字は経過時間（秒）を示しているもので、初期状態（経過時間０）の位置で、図３に示すホルダー４の位置は対象となるワーク（レーザダイオード）の供給部となる。このインデックステーブル１ａにおけるホルダー４、４ａ‥，５、５ａ‥，６、６ａ‥は２つ置きに低温（−１０℃程度）、常温（２５℃程度）及び高温（８０℃〜９０℃程度）を対象としているもので、この第二実施例ではホルダー４、４ａ‥を低温、５、５ａ‥を常温、６、６ａ‥を高温としている。この温度制御は第一実施例と同様のものとし、図３に示す供給部から７つめとなるホルダー５ｂの位置が第一実施例と同様の測定部とされ、そのホルダー５ｂの前隣となる６ｂの位置が最終的にインデックステーブル１ａからワークを取り出し、治具に収納する収納部となっている。
【００２０】
まず、第一のワーク（レーザダイオード）をトレイ治具から、前記したと同様の手段でピックアップし、供給部に位置しているホルダー４に供給する。この後に、回転角の４０度づつ３サイクル回転させ、ホルダー４と同じ低温対応のホルダー４ｂがこの供給部へ位置すると、そこに第二のワークを供給する。そして、さらに、３サイクル回転させて、ホルダー４ａが供給部に位置すると、そこに、第三のワークを供給し、さらに１サイクル回転させると、第一のワークが供給されているホルダー４が測定部へ位置され、ここで低温測定がなされる。
【００２１】
ホルダー４に供給されている第一のワークの低温測定が終了すると、さらに１サイクル回転させ、ホルダー４が測定部の前隣の位置へ来ると、そこで、第一のワークはホルダー４から、次の常温での測定に備え、その前隣となるホルダー５へチャック装置で移載される。さらに、１サイクル回転させ、ホルダー４が再び供給部へ位置すると、そこに、第四のワークが供給される。
【００２２】
こうした動作で、ホルダー４ａに第六のワークが供給される時、ホルダー５に供給された第一のワークは測定部に位置され、今度は常温での測定がなされる。この第一のワークの常温での測定が終了し、さらに１サイクル回転させると、ホルダー４に供給されている第四のワークが測定部へ位置され、この第四のワークに対しては低温での測定がなされる。この時点で、第一のワークは、さらに次の高温での測定に備え、前隣となるホルダー６へ移載される。
【００２３】
かかるサイクルを繰り返し、ホルダー６が測定部に位置されると、第一のワークは最終的な高温での測定がなされる。この測定後、１サイクル回転させると、ホルダー６は収納部へ位置され、第一のワークはチャック装置でホルダー６からピックアップされ、治具へ収納される。この収納時にホルダー６の前隣となるホルダー４ａには第九のワークが供給されることとなり、瞬間的に９つの全てのホルダーが使用状態となる。
【００２４】
この動作を繰り返して、最終的に最後のワークは１５個目となり、この最後の第十五のワークの収納までは４０度の６６回転で４９５秒で完了する。即ち、供給、低温での測定、移載、常温での測定、再び移載、高温での測定、収納までの動作を連続して自動的に１５個のワークに対し、８分強の時間で済ませることができる。
【実施例３】
【００２５】
次いで、図５乃至図６を参照して、本発明の第三実施例を説明する。図中１ｂは円形をしたインデックステーブルであり、このインデックステーブル１ｂの外周縁近傍には、その中心から３６度分割で、１つを不使用の空きホルダーとした９個のホルダー７、７ａ、７ｂ，８、８ａ、８ｂ，９、９ａ、９ｂが設けられており、このインデックステーブル１ｂは時計方向の分割角度の３倍分となる１０８度の回転角で回転するものとされ、そのサイクルタイムは７．５秒とされている。
【００２６】
図６にあって、各図の上部にある数字は経過時間（秒）を示しているもので、初期状態（経過時間０）の位置で、図５に示すホルダー７の位置は対象となるワーク（レーザダイオード）の供給部となる。このインデックステーブル１ｂにおけるホルダー７、７ｂ、７ａ，８、８ｂ、８ａ，９、９ｂ、９ａは逆時計回り方向に２つ置きに低温（マックスで−４０℃程度）、常温（２５℃程度）、高温（８０℃〜９０℃程度）を対象としているもので、この第三実施例としては７、７ｂ、７ａを低温、８、８ｂ、８ａを常温、９、９ｂ、９ａを高温としている。この温度制御は第一実施例、第二実施例と同様のものとし、供給部から回転方向に１４４度の位置が測定部とされ、その測定部から１０８度の位置がインデックステーブル１ｂからワークを取り出し、治具に収納する収納部となっている。尚、供給部は空きホルダー（図では不要のため特にその存在を示していない）の回転方向で後隣となる。
【００２７】
まず、第一のワーク（レーザダイオード）をトレイ治具から、前記したと同様の手段でピックアップし、供給部に位置している低温用のホルダー７に供給する。この後に、インデックステーブル１ｂを回転角１０８度で１サイクル回転させると、供給部には、やはり低温用のホルダー７ｂが位置するので、このホルダー７ｂに第二のワークを供給し、さらに、１サイクル回転させると、供給部には、やはり低温用のホルダー７ａが位置するので、ここに第三のワークを供給する。即ち、この例では１サイクルの回転ごとに、目的とする対象温度のホルダーが供給部に位置され、次々とワークを供給していくことができる。
【００２８】
そして、三つのワークが供給されている状態で、インデックステーブル１ｂを８サイクル（６０秒）回転させると、第一のワークが供給されているホルダー７は測定部に位置することとなり、ここで低温による測定がなされる。この測定後、１サイクル回転させると、第二のワークが供給されているホルダー７ｂが測定部へ位置され、この第二のワークに対し、低温での測定がなされる。この時点で、第一のワークが供給されているホルダー７は収納部位置となっているが、ここで、第一のワークは、次の常温での測定に備え、後隣となるホルダー８ｂにチャック装置により移載される。
【００２９】
さらに、１サイクル回転させると、第三のワークが供給されているホルダー７ａが測定部に位置し、低温測定がなされる。この時点で、第二のワークは次の常温測定に備え、後隣のホルダー８ａへ移載され、ホルダー７が空き状態で供給部へ位置するので、ここに第四のワークが供給される。ここから１サイクル回転させると、測定部には空きホルダーが位置することとなり、第三のワークは常温の測定に備え、後隣のホルダー８へ移載される。この時に、供給部に位置するホルダー７ｂには第五のワークが供給される。
【００３０】
そして、１５サイクル（１１２．５秒）した時に、第一のワークが供給されているホルダー８ｂは測定部に位置され、今度は常温での測定がなされる。この測定後、１サイクル回転させると、第二のワークが供給されているホルダー８ａが測定部に位置し、常温での測定がなされるが、この時に、第一のワークが供給されているホルダー８ｂは収納部位置にあり、この第一のワークは次の高温測定に備えて、後隣となるホルダー９ｂへと移載される。
【００３１】
この移載後、６サイクルの回転で、第一のワークが供給されているホルダー９ｂは測定部に位置し、高温での測定がなされる。この高温での測定後に１サイクル回転させると、第一のワークが供給されているホルダー９ｂは収納部位置となり、ここで、第一のワークはチャック装置でピックアップされ、トレイ治具へ収納されることとなる。
【００３２】
かかる動作を繰り返して、この第三実施例では最後のワークは１５個目となり、この最後の第１５ワークの収納までは、１０８度で６５回転の４８７．５秒で終了し、第二実施例と比して、１サイクルの７．５秒作業時間を短縮できる。
【００３３】
尚、第二実施例、第三実施例にあって、第一実施例に比べて１サイクルの時間を長くしているのは、低温での測定を組み入れてあるためで、ベルチェ効果素子の温度の変化に要する時間を見込んでいるためである。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明に係る各実施例は上記のように構成されている。本実施例にあっては温度によって状態が変わるレーザダイオードを測定対象としているが、本願方法は、レーザダイオード以外でも複数の温度域で特性が変化する各種電子部品の特性測定にも応用することができる。
【符号の説明】
【００３５】
１、１ａ、１ｂ    インデックステーブル
２、２ａ、２ｂ、２ｃ    高温用ホルダー
３、３ａ、３ｂ、３ｃ    中温用ホルダー
４、４ａ、４ｂ    低温用ホルダー
５、５ａ、５ｂ    常温用ホルダー
６、６ａ、６ｂ    高温用ホルダー
７、７ａ、７ｂ    低温用ホルダー
８、８ａ、８ｂ    常温用ホルダー
９、９ａ、９ｂ    高温用ホルダー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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