(57)【要約】【課題】ライン流動状況から統計値を求め、該統計値に基づいて流動制御設定を行う方法を提供する。【解決手段】基板存在位置情報と、バッファ装置における空段数情報と、装置稼働情報と、を取得し、監視ポジションと監視ゾーンにおける前記３つの情報から基板数の統計値と、基板滞在時間の統計値と、基板搬送時間の統計値と、任意装置からの基板の払い出し時間間隔の統計値と、を算出し、算出した値から監視ポジションの基板滞留時間の上限値と、基板の払い出し停止対象装置への払い出し停止指示発令から解除までの払い出し停止時間と、監視ポジションで基板の滞留が解消するまでの払い出し停止指示間隔と、バッファ装置の空段数の上限値及び下限値と、監視ゾーンの基板滞留枚数の「上限値」と「下限値」を設定することを特徴とするカラーフィルタ製造ライン流動制御設定方法。【選択図】図７
2011227393.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の処理装置と、処理装置を接続する複数の搬送装置と、複数の基板を一時的に格納するバッファ装置と、を有するカラーフィルタ製造ラインを制御する方法であり、
処理装置及び搬送装置内に存在する基板の基板存在位置情報と、
バッファ装置における空段数情報と、
処理装置及び搬送装置の稼働状況を示す装置稼働情報と、を取得し、
処理装置、搬送装置及びバッファ装置内の１部または全てを監視ポジションとし、また複数の装置にまたがる部分を監視ゾーンとし、前記３つの情報から
前記監視ポジションや監視ゾーンに存在する基板数の統計値と、
前記監視ポジションや監視ゾーン内の基板滞在時間の統計値と、
前記監視ポジションや監視ゾーンの基板搬送時間の統計値と、
任意装置からの基板の払い出し時間間隔の統計値と、を算出し、
前記算出した値を用いて、
監視ポジションの基板滞留時間の上限値と、
基板の払い出し停止対象装置への払い出し停止指示発令から解除までの払い出し停止時間と、
監視ポジションで基板の滞留が解消するまでの払い出し停止指示間隔と、
バッファ装置の空段数の上限値及び下限値と、
監視ゾーンの基板滞留枚数の「上限値」と「下限値」を設定することを特徴とするカラーフィルタ製造ライン流動制御設定方法。
【請求項２】
複数の処理装置と、処理装置を接続する複数の搬送装置と、複数の基板を一時的に格納するバッファ装置と、を有するカラーフィルタ製造ラインであり、
処理装置及び搬送装置内に存在する基板の基板存在位置情報を取得する手段と、
バッファ装置における空段数情報を取得する手段と、
処理装置及び搬送装置の稼働状況を示す装置稼働情報を取得する手段と、を備え、
処理装置、搬送装置及びバッファ装置内の１部または全てを監視ポジションとし、また複数の装置にまたがる部分を監視ゾーンとし、前記３つの情報から
前記監視ポジションや監視ゾーンに存在する基板数の統計値と、
前記監視ポジションや監視ゾーン内の基板滞在時間の統計値と、
前記監視ポジションや監視ゾーンの基板搬送時間の統計値と、
任意装置からの基板の払い出し時間間隔の統計値と、を算出する手段を備え、
前記算出する手段によって得られた算出値を用いて、
監視ポジションの基板滞留時間の上限値と、
基板の払い出し停止対象装置への払い出し停止指示発令から解除までの払い出し停止時間と、
監視ポジションで基板の滞留が解消するまでの払い出し停止指示間隔と、
バッファ装置の空段数の上限値及び下限値と、
監視ポジションの基板滞留枚数の上限値と下限値を設定する手段を備えたことを特徴とするカラーフィルタ製造ライン。
【請求項３】
前記監視ポジションに設定された前記基板滞留時間の上限値を超えた場合には、前記基板の払い出し停止対象装置への払い出し停止指示を発行し、前記払い出し停止指示間隔時間が経過した後に停止解除の指示を発行することを特徴とする請求項２に記載のカラーフィルタ製造ライン。
【請求項４】
前記設定されたバッファ装置の空段数が下限値を下回った場合には払い出し停止対象装置に払い出し停止指示を発行し、その後、空き段数が設定された上限値を超えた場合に停止解除の指示を発行することを特徴とする請求項２に記載のカラーフィルタ製造ライン。
【請求項５】
前記設定された監視ゾーン内基板数が上限値を超えた場合には、払い出し停止対象装置に払い出し停止指示を発行し、その後、監視ゾーン内基板数が下限値を下回った場合には、払い出し停止指示対象装置に停止解除の指示を発行することを特徴とする請求項２に記載のカラーフィルタ製造ライン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ製造ラインにおける基板の流動制御設定方法及びその設定方法を用いたカラーフィルタ製造ラインにに関する。
【背景技術】
【０００２】
図１は、カラーフィルタの一例を断面で示した図である。カラーフィルタ１は、ガラス基板２上にブラックマトリックス（以下、ＢＭ）３、赤Ｒの着色画素（以下、Ｒ画素）４−１、緑Ｇの着色画素（以下、Ｇ画素）４−２、青Ｂの着色画素（以下、Ｂ画素）４−３、透明電極５、及びフォトスペーサー（Ｐｈｏｔｏ  Ｓｐａｃｅｒ）（以下、ＰＳ）６、バーテイカルアライメント（Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）（以下、ＶＡ）７が順次形成されたものである。
【０００３】
上記構造のカラーフィルタの製造方法は、フォトリソグラフィ法、印刷法、インクジェット法が知られているが、図２は一般的に用いられているフォトリソグラフィ法の工程を示すフロー図である。カラーフィルタは、先ず、ガラス基板上にＢＭを形成処理する工程（Ｃ１）、ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ２）、着色フォトレジストを塗布および予備乾燥処理する工程（Ｃ３）、着色フォトレジストを乾燥、硬化処理するプリベーク工程（Ｃ４）、露光処理する工程（Ｃ５）、現像処理する工程（Ｃ６）、着色フォトレジストを硬化処理する工程（Ｃ７）、透明電極を成膜処理する工程（Ｃ８）、ＰＳ、ＶＡを形成処理する工程（Ｃ９）がこの順に行われ製造される。
【０００４】
例えば、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の順にパターンが形成される場合には、カラーフィルタ用ガラス基板を洗浄処理する工程（Ｃ２）から、着色フォトレジストを硬化処理する工程間（Ｃ７）では赤Ｒ、緑Ｇ、青Ｂの順に着色レジストを変更して３回繰り返されてＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素が形成される。
【０００５】
図３にカラーフィルタ製造ラインの一例を示す。図３に示される製造ライン１１はある特定の１色の着色パターンを形成するためのもので、ストッカ装置１２と、ストッカ装置からラインに投入する投入装置１３と、洗浄装置１４と、塗布装置１５と、露光装置１６と、現像装置１７と、ベーク装置１８と、基板をストッカ装置に搬出する搬出装置１９とを備えている。また、塗布装置１５の後には着色フォトレジストの膜厚や塗布ムラを検査する検査装置２７が設けら、現像装置１７の後には異物やパターンの欠けを検査する検査装置２８が設けられている。上記各工程の処理を行う装置（以下、処理装置）や検査装置は搬送装置（１）２１から搬送装置（６）２６によって接続されている。更に、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の３色の画素が形成された後に、搬送装置（６）２６の外に設けられた検査装置２９や修正装置３０によって検査や修正が行われ、その後搬出装置１９を経てストッカ装置に搬出される。尚、搬入装置１３からストッカ装置１２へ空のカセットが回収され、また、ストッカ装置１２は、空のカセットを搬出装置１９に供給する。
【０００６】
また、図４に示すように処理装置を複数台設けて、タクトタイムを速めたり、同時に異なった色のパターンを形成するといった製造ラインも導入されている。図４では、塗布装置１５−１及び１５−２、露光装置１６−１及び１６−２が設けられている。
【０００７】
このような製造ラインでは、装置のトラブルやイレギュラー処理があった場合には処理時間が増加して、ライン内に基板が滞留する場合がある。そこで、予め滞留が予想される箇所の搬送装置には滞留基板を一時的に格納するバッファ装置を適宜配置することによっ
て、基板の滞留が緩和され、各処理装置の稼動効率を向上させることが出来る。
【０００８】
しかしながら、バッファ装置に長時間格納されていたり、バッファ装置から溢れて搬送装置内に滞留している基板は、着色パターンの形成開始から完了までの処理時間が長くなるため、品質上好ましくない。
【０００９】
また、処理装置及び搬送装置を仕掛かり状態の異なる基板で共用する構成の製造ラインの場合には、ある色の着色パターン形成処理で生じたトラブルにより基板の滞留が発生すると、他の色の着色パターン形成処理にも影響が及び、単純にバッファ装置のみで基板の滞留を吸収することは難しい。
【００１０】
このような問題を解決するためにライン流動制御システム及びライン流動制御方法やカラーフィルタ製造ラインが提案されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特願２００９−０３５４９８号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
上記特許文献１に提案されているライン流動制御システム及びライン流動制御方法やカラーフィルタ製造ラインでは、基板滞留抑止、及びガラス基板の搬送ルート確保のために、以下のようなライン流動制御を行っている。
【００１３】
図５は特許文献１に示されるライン流動制御を説明するための図である。ライン流動制御システム制御側では基板滞留時間、バッファ装置の空段数、特定ゾーン滞留時間、バッファ装置内基板滞留時間等を予めオペレータによって設定（制御設定）し（Ａ）、ライン内装置側では上記設定された項目に対応する装置内の監視情報が「情報授受部」によりライン流動制御システム側へ常時通知され（Ｂ）、更にライン流動制御システム側は、上記監視情報と上記設定条件に基づいて制御設定の条件に合致した装置に対して、払い出し停止指示の発令／解除を行う（Ｃ）。
【００１４】
基板滞留時間監視とは、監視対象装置内の特定ポジション（監視対象装置内に予め規定された所定のポジション）に同一の基板が存在する時間を監視することである。例えば、ライン流動制御システム側で制御の前提として以下を設定する。即ち、滞留時間を監視するポジションや該ポジションにおける基板の滞留時間の上限値や、更に上限値を超えた場合には払い出し停止指示を発令する対象装置や、払い出し停止指示発令から解除までの時間を予め設定する。一方、ライン内装置側は、情報授受部により基板存在位置情報をライン流動制御システム側へ常時通知する。ライン流動制御システム側は、特定ポジションの滞留時間を監視し、上記制御設定の条件に合致した装置に対して、払い出し停止指示の発令／解除を行う。
【００１５】
バッファ装置の空段数監視は、監視対象としてバッファ装置が設定されている場合に使用される情報を監視することである。例えば、ライン流動制御システム側で制御の前提として以下を設定する。即ち、空段数を監視する対象バッファ装置や、空段数の下限値及び上限値や、空段数≦下限値の場合には制御対象である基板の払い出し装置に対して払い出し停止指示を発令することや、その後、空段数＞上限値になった場合には払い出し停止指示を解除することや、バッファ空段数に基づいて、払い出し停止指示を発令する対象装置を設定する。一方、ライン内装置側は、情報授受部によりバッファ装置内空段数情報をライン流動制御システム側へ常時通知する。このようにしてライン流動制御システム側は、
制御設定の条件に合致した装置に対して、払い出し停止指示（バッファリング開始指示）の発令／解除を行う。
【００１６】
特定ゾーン滞留監視は、特定したポジションの組み合わせによって設けられた監視ゾーンにおける基板の滞留時間を監視することであり、例えば、ライン流動制御システム側で制御の前提として以下を設定する。即ち、監視ゾーンや監視ゾーン内基板数の上限値及び下限値や、監視ゾーン内基板数に基づいて払い出し停止指示を発令する対象装置を予め設定しておき、基板数≧上限値の場合には対象装置に対して払い出し停止指示発令することや、基板数＜下限値の場合には払い出し停止指示解除を行うことを設定する。一方、ライン内装置側は、「情報授受部」により基板存在位置情報をライン流動制御システム側へ常時通知する。ライン流動制御システムは、監視ゾーン内の基板数を監視し、制御設定の条件に合致した装置に対して、払い出し停止指示の発令／解除を行う。
【００１７】
上記に示された監視のほかに、バッファ装置内基板滞留時間や、装置運転状態の監視が行われる。
【００１８】
しかしながら上記方法では、制御の前提となる滞留時間の上限値、バッファ空段数の上限値／下限値、監視ゾーン内基板数の上限値／下限値等、制御の前提条件を事前にオペレータ判断で設定する必要があった。しかしこの設定はオペレータの経験によって設定されるのであって、設定値を見出すのに時間が掛かるという問題があった。また、製造ラインのタクト（基板流動間隔）が変化した場合は、再度設定をやり直さなければならないという問題もあった。
【００１９】
そこで本発明は、このような問題点に鑑みてカラーフィルター製造ラインの流動制御において、ライン流動状況から統計値を求め、該統計値に基づいて流動制御設定を行うことによって、オペレータの作業負荷を軽減し、且つオペレータによる設定のバラツキを防いだ流動制御を行うことが出来、またその結果、基板の滞留が緩和され、各処理装置の稼動効率を向上させることが出来る。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
上記課題を解決するための手段として、本発明の請求項１に係る発明は、複数の処理装置と、処理装置を接続する複数の搬送装置と、複数の基板を一時的に格納するバッファ装置と、を有するカラーフィルタ製造ラインを制御する方法であり、
処理装置及び搬送装置内に存在する基板の基板存在位置情報と、
バッファ装置における空段数情報と、
処理装置及び搬送装置の稼働状況を示す装置稼働情報と、を取得し、
処理装置、搬送装置及びバッファ装置内の１部または全てを監視ポジションとし、また複数の装置にまたがる部分を監視ゾーンとし、前記３つの情報から
前記監視ポジションや監視ゾーンに存在する基板数の統計値と、
前記監視ポジションや監視ゾーン内の基板滞在時間の統計値と、
前記監視ポジションや監視ゾーンの基板搬送時間の統計値と、
任意装置からの基板の払い出し時間間隔の統計値と、を算出し、
前記算出した値を用いて、
監視ポジションの基板滞留時間の上限値と、
基板の払い出し停止対象装置への払い出し停止指示発令から解除までの払い出し停止時間と、
監視ポジションで基板の滞留が解消するまでの払い出し停止指示間隔と、
バッファ装置の空段数の上限値及び下限値と、
監視ゾーンの基板滞留枚数の「上限値」と「下限値」を設定することを特徴とするカラーフィルタ製造ライン流動制御設定方法である。
【００２１】
また、本発明の請求項２に係る発明は、複数の処理装置と、処理装置を接続する複数の搬送装置と、複数の基板を一時的に格納するバッファ装置と、を有するカラーフィルタ製造ラインであり、
処理装置及び搬送装置内に存在する基板の基板存在位置情報を取得する手段と、
バッファ装置における空段数情報を取得する手段と、
処理装置及び搬送装置の稼働状況を示す装置稼働情報を取得する手段と、を備え、
処理装置、搬送装置及びバッファ装置内の１部または全てを監視ポジションとし、また複数の装置にまたがる部分を監視ゾーンとし、前記３つの情報から
前記監視ポジションや監視ゾーンに存在する基板数の統計値と、
前記監視ポジションや監視ゾーン内の基板滞在時間の統計値と、
前記監視ポジションや監視ゾーンの基板搬送時間の統計値と、
任意装置からの基板の払い出し時間間隔の統計値と、を算出する手段を備え、
前記算出する手段によって得られた算出値を用いて、
監視ポジションの基板滞留時間の上限値と、
基板の払い出し停止対象装置への払い出し停止指示発令から解除までの払い出し停止時間と、
監視ポジションで基板の滞留が解消するまでの払い出し停止指示間隔と、
バッファ装置の空段数の上限値及び下限値と、
監視ポジションの基板滞留枚数の上限値と下限値を設定する手段を備えたことを特徴とするカラーフィルタ製造ラインである。
【００２２】
また、本発明の請求項３に係る発明は、前記監視ポジションに設定された前記基板滞留時間の上限値を超えた場合には、前記基板の払い出し停止対象装置への払い出し停止指示を発行し、前記払い出し停止指示間隔時間が経過した後に停止解除の指示を発行することを特徴とする請求項２に記載のカラーフィルタ製造ラインである。
【００２３】
また、本発明の請求項４に係る発明は、前記設定されたバッファ装置の空段数が下限値を下回った場合には払い出し停止対象装置に払い出し停止指示を発行し、その後、空き段数が設定された上限値を超えた場合に停止解除の指示を発行することを特徴とする請求項２に記載のカラーフィルタ製造ラインである。
【００２４】
また、本発明の請求項５に係る発明は、前記設定された監視ゾーン内基板数が上限値を超えた場合には、払い出し停止対象装置に払い出し停止指示を発行し、その後、監視ゾーン内基板数が下限値を下回った場合には、払い出し停止指示対象装置に停止解除の指示を発行することを特徴とする請求項２に記載のカラーフィルタ製造ラインである。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によるカラーフィルタ製造ライン流動制御設定方法及びその設定方法を用いたカラーフィルタ製造ラインによれば、従来、オペレータの判断で行っていた基板の流動制御の設定を、基板存在位置情報と、バッファ装置内空段数情報と、処理装置及び搬送装置の稼働状況を示す装置稼働情報とを取得し、取得した情報に基づいて基板の流動制御の設定を行うことが可能となり、その結果、従来、オペレータの判断で行っていた設定のバラツキを無くすことが出来、基板の製造ライン内での滞留を解消することが出来、更に、製造ラインのタクトの変動があった場合には、タクトの変動に追従した設定が行われるため、基板の製造効率の低下を防止することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】カラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を断面で示した図。
【図２】一般的に用いられているフォトリソグラフィー法の工程のフロー図。
【図３】１色の着色パターンを形成するためのカラーフィルタ製造ラインの一例を示す図
【図４】処理装置を複数台設けてたカラーフィルタ製造ラインの一例を示す図。
【図５】従来のライン流動制御を説明するための図。
【図６】本発明に係るカラーフィルタ製造ラインの一例でその一部を示す模式図。
【図７】本発明に係るライン流動制御設定システムの全体構成を示した図。
【図８】本発明に係る制御設定の内、監視ポジションの「滞留時間上限値」、払い出し停止指示発令から解除までの「払い出し停止時間」、「払い出し停止指示間隔」を設定する場合を説明するための図。
【図９】本発明に係るバッファ装置の空段数の「上限値」及び「下限値」を設定する場合を説明するための図。
【図１０】本発明に係るバッファ空段数の「上限値」及び「下限値」を設定する場合のフローを示す図。
【図１１】本発明に係る監視ゾーン内の基板滞留枚数の「上限値」と「下限値」を設定する場合を説明するための図。
【図１２】本発明に係る監視ゾーン内の滞留基板数の「上限値」「下限値」を設定する場合のフローを示す図。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、図面を用いて本発明を実施する形態を詳細に説明する。
【００２８】
図６は本発明に係るカラーフィルタ製造ラインの一例でその一部を示す模式図である。図６に示すカラーフィルタ製造ライン３１は、フォトリソグラフィ法によって基板上に複数色の着色パターンを形成するためのものであり、２色以上の着色パターン形成を平行して行うことが出来るように、各工程毎に２台または３台の処理装置が並列に設けられている。カラーフィルタ製造工程のうち、フォトリソグラフィ法によって４色の着色パターンを形成するための処理ラインのみが示されている。また、図６における矢印は、各装置間の接続関係と基板の搬送方向を表している。
【００２９】
カラーフィルタ製造ライン３１は、ストッカ装置３２と、搬入装置３３ａ及び３３ｂと、洗浄装置３４ａ及び３４ｂと、塗布装置３５ａ及び３５ｂと、露光装置３６ａ〜３６ｃと、現像装置３７ａ〜３７ｃと、ベーク装置３８ａ〜３８ｃと、搬出装置３９ａ〜３９ｃと、を備えており、前記各装置間には搬送装置（１１）４１〜搬送装置（１６）４６で接続されている。また、塗布装置３５ａ及び３５ｂの後段と、現像装置３７ａ〜３７ｃの後段には、検査装置４７及び４８が設けられている。更に搬送装置（１６）４６には検査装置４９及び修正装置５０が接続されている。
【００３０】
ストッカ装置３２は、基板が収納された複数のカセット及び空の複数のカセットを格納する装置であり、例えば自動倉庫に相当するものである。ストッカ装置３２は、カセットを移送するための移送装置を備えており、基板が収納されたカセットを搬入装置３３ａ及び３３ｂに供給し、空のカセットを搬入装置３３ａ及び３３ｂから回収する。また、ストッカ装置３２は、空のカセットを搬出装置３９ａ〜３９ｃに供給し、基板が収納されたカセットを搬出装置３９ａ〜３９ｃから回収する。
【００３１】
搬入装置３３ａ及び３３ｂは、ストッカ装置３２から供給されたカセットから未処理の基板を取出し、取り出した基板を搬送装置（１１）４１に供給する。
【００３２】
図６に示されるカラーフィルタ製造ラインには、洗浄装置は２台、塗布装置は２台、露光装置は３台、現像装置は３台、ベーク装置は３台設けられているが、着色パターンの色によって各処理工程において使われる処理装置は予め設定される。基板は、予め設定された処理装置へ該処理装置の前段の搬送装置を制御することによって搬送され処理される。
【００３３】
以下にカラーフィルタのパターン形成処理は、赤（Ｒ）→緑（Ｇ）→青（Ｂ）の順で行われる場合について説明する。前記の順でパターン形成処理を行う場合、パターン形成処理される基板は先ず、ストッカ装置３２から赤パターンを形成するための工程であるＲ工程に投入され、搬入装置３３ａまたは３３ｂによって搬送装置（１１）４１に載置される。搬送装置（１１）４１は基板の搬送先設定に従い、洗浄装置３４ａまたは３４ｂに基板を搬送する。洗浄された基板は次に搬送装置（１２）４２に載置され、搬送先設定に従い搬送装置（１２）４２によって、塗布装置３５ａまたは３５ｂに搬送され、赤の着色フォトレジストが塗布される。塗布された基板は次に検査装置４７で検査された後、搬送装置（１３）４３によって露光装置３６ａ〜３６ｃのいずれかに搬送され、露光される。同じように搬送装置（１４）４４によって、現像装置３７ａ〜３７ｃのいずれかに搬送され現像された後、検査装置３８で検査され、搬送装置（１５）４５によって、ベーク３７ａ〜３７ｃのいずれかに搬送され、更に搬送装置（１６）４６を経て赤パターンのパターン形成処理が終了し、搬送装置（１１）４１に再び載置され、次の緑パターンを形成する為の工程であるＧ工程に投入される。
【００３４】
Ｇ工程ではＲ工程と同様、前記基板は洗浄、搬送装置（１２）、塗布、検査、搬送装置（１３）、露光、搬送装置（１４）、現像、検査、搬送装置（１５）、ベーク、搬送装置（１６）を経て緑パターンのパターン形成処理が行われ、搬送装置（１１）に再び載置され、次の青パターンを形成する為の工程であるＢ工程に投入される。
【００３５】
Ｂ工程では前記基板はＲ工程、Ｇ工程と同様、洗浄、搬送装置（１２）、塗布、検査、搬送装置（１３）、露光、搬送装置（１４）、現像、検査、搬送装置（１５）、ベークを経て青パターンのパターン形成処理が行われる。
【００３６】
赤、緑、青の３色のパターン形成処理された前記基板は、搬送装置（１６）４６によって検査装置４９、修正装置５０に搬送され、検査、修正された結果によって搬出装置３９ａ〜３９ｃのいずれかを介してストッカ装置３２のカセットに回収される。
【００３７】
パターン形成処理される基板は、搬送装置によって次の処理装置に搬送先が選択されるが、カラーフィルタ製造装置を動作させる前に、搬送装置毎に搬送先は設定され、設定された搬送先は、例えば工場内ネットワークを介して搬送装置に送られ基板は搬送される。
【００３８】
赤パターンを形成処理する工程であるＲ工程、緑パターンを形成処理するＧ工程、青パターンを形成処理する工程であるＢ工程の各工程の処理されるべき基板の搬送装置毎の前記搬送先設定の一例を表１に示す。
【００３９】
【表１】
2011227393.tif 000003
【００４０】
表１の搬送先設定例では、Ｒ工程の基板は、洗浄（１）→塗布（１）→露光（１）→現像（１）→ベーク（１）→搬送装置（１１）の搬送先が設定される。Ｇ工程の基板は洗浄（２）→塗布（２）→露光（２）→現像（２）→ベーク（２）→搬送装置（１１）の搬送先が設定される。Ｂ工程の基板は洗浄（１）→塗布（１）→露光（３）→現像（３）→ベーク（３）→検査、修正の搬送先が設定され、基板は前記搬送先設定の例に従って搬送される。
【００４１】
このように基板は搬送装置が制御されて次の処理装置に搬送されるが、該処理装置が、基板を処理中であったり、故障を発生した場合には、一時的に基板を収納するために搬送装置（１２）４２〜４６の搬送路の途中にはバッファ５１〜５５が設けられている。
【００４２】
図７は、本発明に係るライン流動制御設定システムの全体構成を示したものである。ライン流動制御システム６０は、基板存在情報記憶部６４と、自動制御設定機能部６５と、自動制御設定機能部６５に接続された基板存在位置情報を取得する手段である基板存在位置情報取得部６６とバッファ装置における空き段数を取得する手段である空き段数情報取得部６７と処理装置及び搬送装置の稼働状況を示す装置稼働情報を取得する手段である装置稼働情報取得部６８と前記３つの情報から各種統計値を算出する手段である統計値算出部６９と、を含む制御装置６１と、ネットワーク６３を介して制御装置６１と双方向通信可能に接続される複数のライン内装置６２−１〜６２−Ｎとから構成されている。ライン内装置６２−１〜６２−Ｎは、図６に示したカラーフィルタ製造ライン３１を構成する各装置（即ち、処理装置、搬送装置、搬入装置、搬出装置、バッファ装置、検査装置、修正装置）に相当する。ライン内装置６２−１〜６２−Ｎは、情報を授受する情報授受部６２−１−１〜６２−Ｎ−１と、装置の動作を制御する動作制御部６２−１−２〜６２−Ｎ−２を備えている。制御装置６１はネットワーク（ネットワーク形式は問わない）を介して、前記複数のライン内装置６２−１〜６２−Ｎの情報授受部６２−１−１〜６２−Ｎ−１と情報の授受を行う。ライン内装置６２−１〜６２−Ｎは、情報授受部により「基板存在位置情報」と、「バッファ装置内空段数情報」と、「処理装置及び搬送装置の稼働状況を示す装置稼働情報」を制御装置６１へ通知する。
【００４３】
制御装置６１は、前記「基板存在位置情報」と、「バッファ装置内空段数情報」と、「処理装置及び搬送装置の稼働状況を示す装置稼働情報」を取得し、前記３つの情報からライン内装置のある装置内の１部または全ての部分（以下、監視ポジションという）、ないし複数の装置内に跨る部分（以下、監視ゾーンという）に存在する基板数や、監視ポジションや監視ゾーンの基板滞在時間や、監視ポジションや監視ゾーンの基板搬送時間や、基板の払い出し時間間隔や、監視ポジションや監視ゾーンの基板存在数を算出し、算出した値を用いて、制御を行う場合の設定値（制御用設定値）を決定する。該設定値は制御装置６１内の記憶部（図示せず）に記憶される。
【００４４】
該制御用設定値は、基板の製品の品種や使用される材料（基板の種類やサイズ、着色フォトレジストの種類）や、ライン毎に設定されることが望ましい。また、該制御用設定値は、過去に取得した統計値から決定した設定値を用いるか、または、製造中の基板の統計値に基づいて決定した設定値を用いても良い。
【００４５】
制御装置６１は、前記記憶部に記憶された制御用設定値と、ライン内装置６２−１〜６２−Ｎの稼働状況や基板の存在状況に基づいて、ライン内装置の動作制御部６２−１〜６２−Ｎに指示を発行する。
【００４６】
制御装置６１から発行される指示に従って各ライン内装置の動作制御部６２−１−２〜６２−Ｎ−２は、ライン内装置６２−１〜６２−Ｎの動作を制御する。より詳細には、動作制御部６２−１−２〜６２−Ｎ−２は、制御装置６１から受け取った基板排出停止指示及び停止解除指示に応じてライン内装置６２−１〜６２−Ｎの内、払い出し停止指示対象装置からの基板の排出を制御する。
【００４７】
また、ライン内装置がバッファ装置であった場合は、制御装置６１によって発行されるバッファリング（基板を格納すること）指示を受け取り、指示された基板の格納動作を開始する。
【００４８】
情報授受部により得られる「基板存在位置情報」を管理する基板存在履歴情報管理について説明する。
＜１．基板存在履歴情報管理＞
基板は、次に示す基板存在位置情報を取得する手段である基板存在位置情報取得部６６
によって存在位置が取得される。即ち、基板は基板毎に発番される識別コードで管理され、ライン内装置６２−１〜６２−Ｎの情報授受部６２−１−１〜６２−Ｎ−１が基板存在位置（以下、ポジションという）の基板の識別コードを基板の物理的な移動に合わせて制御装置６１へ通知することで、全基板の存在位置が確認できる。また、前記存在する基板のコードとは別に処理装置及び搬送装置の稼働状況を示す装置稼働情報を取得する手段である装置稼働情報取得部６８によって装置稼働状況が取得され時系列で保存される（この場合、データ形式は問わない）。表２に保存された基板存在履歴情報の一例を示す。表２に示される装置１０１は例えば図６における搬送装置（１１）４１であって、装置１０２は洗浄装置３４ａまたは３４ｂであって、装置３は搬送装置（１２）４２である。時刻１／１／１２：００：００には装置１０１（搬送装置（１１））内のポジションａにはコード１００５の基板が存在し、ポジションｂにはコード１００４の基板が存在している。尚この時刻では装置１０１は正常運転中（正常運転中信号：１）であることを示している。次の時刻１／１／１２：００：０５では前記コード１００５の基板は、装置１０１のポジションｂに移行しており、また前記コード１００４の基板は、装置１０２（洗浄装置３４ａまたは３４ｂ）のポジションａに移行している。
【００４９】
【表２】
2011227393.tif 000004
【００５０】
上記制御用設定値は、以下の項目が設定される。即ち、設定値は、「監視ポジションの滞留時間上限値」、払い出し停止指示発令から解除までの「払い出し停止時間」、「払い出し停止指示間隔」「バッファ装置の空段数の上限値」及び「下限値」、監視ゾーンの基板滞留枚数の「上限値」と「下限値」が設定手段である自動制御設定機能部６５で設定される。
【００５１】
次に、制御設定について説明する。
＜２．制御設定の自動化＞
【００５２】
特定ポジション滞留監視について説明する。
＜２−１．特定ポジション滞留監視＞
基板存在履歴情報に基づいて以下の方法で、制御設定のための各統計量を算出する手段である統計値算出部６９で算出する。ここで云う特定ポジションとは、ライン内装置の内、監視対象装置内に予め規定された所定のポジションを指す。制御設定を算出する際に使用される統計量は、「平均値」「中央値」「最小値」「最頻値」のいずれか選択可能とする。尚、装置が運転停止中の際に該当装置に存在していた基板は算出から除外する。
【００５３】
次に、制御設定の内、監視ポジションの「滞留時間上限値」、払い出し停止指示発令から解除までの「払い出し停止時間」、「払い出し停止指示間隔」を設定する場合を図８を用いて説明する。図８において、装置１０１は例えば図６における搬送装置（１１）４１であって、装置１０２は洗浄装置３４ａまたは３４ｂであって、装置Ｎはベーク装置３８ａ〜３８ｃを示す。図８ではベーク装置は基板の流れ方向にポジションが３分割され、３つ目の分割ポジションが滞留監視ポジション７０となっている。
「滞留時間上限値」は、滞留監視ポジション７０における基板滞在時間の平均値（Ａ）とする。
「払い出し停止時間」は、滞留監視ポジション７０が所属する装置（図８では、装置Ｎ）からの平均基板払い出し間隔の平均値（Ｂ）とする。
「払い出し停止指示間隔」は、払い出し停止指示先装置７１から滞留監視ポジション７０まで（即ち、矢印７２で示される間隔）の基板搬送時間の平均値（Ｃ）とする。
尚、ここで云う「払い出し停止指示間隔」は、滞留監視ポジション７０の滞留が解消するまでの予測時間を指す。また、ここでは、前記（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）はいずれも平均値を用いたが、前述したように制御設定を算出する際に使用される統計量は、「平均値」
「中央値」「最小値」「最頻値」のいずれかを選択することができる。
【００５４】
このようにして滞留監視ポジション（図８では、例えばベーク装置の３つ目の分割ポジションが滞留監視ポジション７０となっている）の「滞留時間上限値」が設定手段である自動制御設定機能部６５で設定され、「滞留時間上限値」を超えた場合には、制御装置６１は払い出し停止指示先（装置１０１）に払い出し停止指示を発行し、停止解除条件として排出停止からの所定時間（即ち、払い出し停止時間）後に停止解除を指示することが出来る。
【００５５】
次に、制御設定の内、バッファ装置の空段数の「上限値」及び「下限値」を設定する場合を図９を用いて説明する。
バッファ装置の空段数の「上限値」及び「下限値」を設定する場合にはバッファ装置における空段数監視を行う。
＜２−２．バッファ装置空段数監視＞
制御設定の準備として、基板存在履歴情報に基づいて以下の項目を算出する手段である統計値算出部６９で算出する。算出に使用する統計量は「平均値」「中央値」「最大値」「最頻値」のいずれか選択可能とする。尚、装置が運転停止中の時間帯は算出対象から除外する。また、図９に示す装置１０１、装置１０２、装置Ｎは例えば、図８に示す装置と同じとする。
払い出し停止指示先から監視バッファまでのゾーン７３の基板存在枚数の平均値を（Ｄ）とし、（Ｄ）を用い図１０に示すフローに従って、バッファ空段数の「上限値」及び「下限値」を設定手段である自動制御設定機能部６５で設定する。
説明のために用いられる各項目を述べる。
（Ｄ）は払い出し停止指示先から監視バッファまでの基板存在枚数統計量、
（Ｐ）は計算用変数、
（Ｋ１）は算出エラー時下限値割合（定数）、
（Ｋ２）は算出エラー時上限値割合（定数）、
（Ｍ）は監視対象バッファ装置の最大段数を示す。
【００５６】
図１０において、払い出し停止指示先から監視バッファまで（ゾーン７３）の基板存在枚数統計量Ｄを算出し（Ｓ１）、Ｄ＜Ｍの場合は（Ｓ２のＹＥＳ）、Ｍ−ＤをＰとする（Ｓ３）。求めたＰがＤ<Ｐの場合は（Ｓ４のＹＥＳ）、バッファ空段数の「下限値」をＤとし、「上限値」をＰとする（Ｓ５）。一方ステップ（Ｓ４）でＮＯの場合は、「下限値」をＤとし、「上限値」をＤ＋１とする（Ｓ６）。また、ステップ（Ｓ２）でＮＯの場合は、「下限値」をＭ＊Ｋ１とし、「上限値」をＭ＊Ｋ２とする（Ｓ７）。尚、ステップ（Ｓ３）は、監視対象バッファ内の全基板の排出が完了した直後に、上流装置から基板が到着するタイミングを狙うための設定を算出するものである。
【００５７】
このようにしてバッファ空段数の「上限値」及び「下限値」を設定し、バッファ空段数が下限値を下回った場合（バッファに余裕がなくなった場合）には払い出し停止指示先（装置１０１）に払い出し停止指示が発行され、その後、停止解除条件として空き段数が設定された上限値を超えた場合に停止解除の指示を発行することが出来る。
【００５８】
次に、制御設定の内、監視ゾーン内の基板滞留枚数の「上限値」と「下限値」を設定する場合を図１１を用いて説明する。
【００５９】
＜２−３．特定ゾーン滞留監視＞
制御設定の準備として、基板存在履歴情報に基づいて以下の項目を統計値算出部６９で算出する。
算出に使用する統計量は、基板枚数に関するものは「平均値」「中央値」「最大値」「
最頻値」のいずれか選択可能とし、搬送時間に関するものは「平均値」「中央値」「最小値」「最頻値」のいずれか選択可能とする。
但し、装置が運転停止中の際に該当装置に存在していた基板及び、装置が運転停止中の時間帯は算出対象から除外する。例えば、図１１に示す装置１０１、装置１０２、装置Ｎは図８に示す装置と同じとする。
滞留監視ゾーンの平均基板存在枚数を（Ｅ）とし（ここで、監視ゾーンは装置Ｎ−１と装置Ｎを含む停滞監視ゾーン７４を指す）、監視ゾーンが所属する装置からの平均基板払い出し間隔を（Ｆ）とし、更に払い出し停止指示先装置〜停滞監視ゾーン直前（矢印７５で示されるゾーン）までの平均基板搬送時間を（Ｇ）とする。
【００６０】
上記算出する手段である統計値算出部６９によって算出された（Ｅ）、（Ｆ）、（Ｇ）を用い、図１２に示すフローに従って監視ゾーン内の滞留基板数の「上限値」「下限値」を設定手段である自動制御設定機能部６５で設定する。
説明のために用いられる各項目を述べる。
（Ｅ）は監視ゾーンの平均基板存在枚数、
（Ｆ）は監視ゾーンが所属する装置からの平均基板払い出し間隔、
（Ｇ）は払い出し停止指示先装置〜停滞監視ゾーン直前までの平均基板搬送時間
（Ｑ）は計算用変数、
（Ｌ）は監視ゾーンの存在可能ポジション数である。
【００６１】
監視ゾーン内の平均基板存在枚数（Ｅ）と、監視ゾーンが所属する装置からの平均基板払い出し間隔（Ｆ）と、払い出し停止指示先装置〜監視ゾーン直前までの平均基板搬送時間（Ｇ）を算出し（Ｔ１）、次にＱ＝Ｇ÷Ｆを求める（Ｔ２）。このＱがＱ＜Ｌの場合で（Ｔ３のＹＥＳ）、更にＱ＜（Ｅ＋１）の場合は（Ｔ４のＹＥＳ）、監視ゾーン内基板数の「下限値」をＱとし、「上限値」を（Ｅ＋１）とする（Ｔ５）。一方ステップ（Ｔ３）でＮＯの場合及びステップ（Ｔ４）でＮＯの場合は、「下限値」をＥとし、「上限値」をＥ＋１とする（Ｔ６）。尚、ステップ（Ｔ２）は、監視ゾーン内の全基板の排出が完了した直後に、上流装置から基板が到着するタイミングを狙うための設定を算出するものである。
【００６２】
このようにして設定手段である自動制御設定機能部６５で監視ゾーン内基板数の「上限値」及び「下限値」を設定し、監視ゾーン内基板数が上限値を超えた場合には、払い出し停止指示先（装置１０１）に払い出し停止指示を発行し、その後、停止解除条件として監視ゾーン内基板数が下限値を下回った場合には、払い出し停止指示先（装置１０１）に停止解除の指示を発行することが出来る。
【００６３】
上記実施の形態では、カラーフィルタの製造ラインの場合を例示したが、これに限定されるものではなく、複数の搬送装置や、処理装置や、バッファ装置によって構成される製造ラインやに広く適用することが出来る。
【００６４】
以上のように、本発明によるカラーフィルタ製造ライン流動制御設定方法及びその方法を用いたカラーフィルタ製造ラインによれば、従来、オペレータの判断で行っていた基板の流動制御の設定を、「基板存在位置情報」と、「バッファ装置内空段数情報」と、「処理装置及び搬送装置の稼働状況を示す装置稼働情報」と、を取得し、取得した情報に基づいて行うことが可能となり、その結果、オペレータによる設定のバラツキを無くすことが出来、基板の製造ライン内での滞留を解消することが出来、更に、製造ラインのタクトの変動があった場合には、タクトの変動に追従した設定が行われるため、基板の製造効率の低下を防止することが出来る。
【符号の説明】
【００６５】
１・・・カラーフィルタ
２・・・ガラス基板
３・・・ブラックマトリックス（ＢＭ）
４−１・・・赤Ｒの着色画素（Ｒ画素）
４−２・・・緑Ｇの着色画素（Ｇ画素）
４−３・・・青Ｂの着色画素（Ｂ画素）
５・・・透明電極
６・・・フォトスペーサー（ＰＳ）
７・・・バーテイカルアライメント（ＶＡ）
１１・・・製造ライン
１２・・・ストッカ装置
１３・・・投入装置
１４・・・洗浄装置
１５・・・塗布装置
１５−１、１５−２・・・塗布装置
１６・・・露光装置
１６−１、１６−２・・・露光装置
１７・・・現像装置
１８・・・ベーク装置
１９・・・搬出装置
２１〜２６・・・搬送装置（１）〜搬送装置（６）
２７、２８・・・検査装置
２９・・・搬送装置（６）の外に設けられた検査装置
３０・・・搬送装置（６）の外に設けられた修正装置
３１・・・カラーフィルタ製造ライン
３２・・・ストッカ装置
３３ａ、３３ｂ・・・搬入装置
３４ａ、３４ｂ・・・洗浄装置
３５ａ、３５ｂ・・・塗布装置
３６ａ〜３６ｃ・・・露光装置
３７ａ〜３７ｃ・・・現像装置
３８ａ〜３８ｃ・・・ベーク装置
３９ａ〜３９ｃ・・・搬出装置
４１〜４６・・・搬送装置（１１）〜搬送装置（１６）
４７、４８、４９・・・検査装置
５０・・・修正装置
６０・・・ライン流動制御システム
６１・・・制御装置
６２−１〜６２−Ｎ・・・ライン内装置
６２−１−１〜６２−Ｎ−１・・・情報授受部
６２−１−２〜６２−Ｎ−２・・・動作制御部
６３・・・ネットワーク
６４・・・基板存在情報記憶部
６５・・・自動制御設定機能部
６６・・・基板存在位置情報取得部
６７・・・空き段数情報取得部
６８・・・装置稼働情報取得部
６９・・・統計値算出部
７０・・・滞留監視ポジション
７１・・・払い出し停止指示先装置
７２・・・払い出し停止指示先装置から滞留監視ポジションまでの範囲を示す矢印
７３・・・払い出し停止指示先から監視バッファまでのゾーン
７４・・・停滞監視ゾーン
７５・・・払い出し停止指示先装置から停滞監視ゾーン直前までの範囲を示す矢印
【図２】
2011227393.tif 000005
【図３】
2011227393.tif 000006
【図４】
2011227393.tif 000007
【図５】
2011227393.tif 000008
【図６】
2011227393.tif 000009
【図７】
2011227393.tif 000010
【図８】
2011227393.tif 000011
【図９】
2011227393.tif 000012
【図１０】
2011227393.tif 000013
【図１１】
2011227393.tif 000014
【図１２】
2011227393.tif 000015
【図１】
2011227393.tif 000016