(57)【要約】【課題】  ２つのプレーナ型アクチュエータを適正に設置することができ、保持部材の干渉が生じることがなく、さらに配線の取り回しを容易に行うことのできるプレーナ型プレーナ型アクチュエータの取付けユニットを提供する。【解決手段】  一次側アクチュエータ支持枠９と二次側アクチュエータ支持枠１０とを備えた取付けフレーム８を、一次側アクチュエータ支持枠９と二次側アクチュエータ支持枠１０とのなす内角が所定の角度に保持されるように一体化した。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一次側プレーナ型アクチュエータを取付けるための一次側アクチュエータ支持枠と、二次側プレーナ型アクチュエータを取付けるための二次側アクチュエータ支持枠とを備えた取付けフレームと、を備え、前記各アクチュエータの可動部を揺動させることにより二次元走査をするように前記各アクチュエータを設置可能なプレーナ型アクチュエータの取付けユニットであって、
前記取付けフレームは、前記一次側アクチュエータ支持枠と前記二次側アクチュエータ支持枠とのなす内角を所定の角度に保持するように一体化されていることを特徴とするプレーナ型アクチュエータの取付けユニット。
【請求項２】
前記取付けフレームには、前記一次側アクチュエータ支持枠と前記二次側アクチュエータ支持枠とのなす内角を所定の角度に保持する保持部材が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のプレーナ型アクチュエータの取付けユニット。
【請求項３】
前記一次側アクチュエータ支持枠と前記二次側アクチュエータ支持枠に設けられ前記一次側プレーナ型アクチュエータおよび前記二次側プレーナ型アクチュエータのアクチュエータ側端子部に電気的に接続される支持枠側端子部と、
前記支持枠側端子部から前記一次側アクチュエータ支持枠、前記二次側アクチュエータ支持枠および前記保持部材の少なくともいずれかの表面を引き回されて接続端子部に接続される配線パターンと、
を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプレーナ型アクチュエータの取付けユニット。
【請求項４】
前記支持枠側端子部は、端子形成部に設けられており、前記端子形成部には、上方に突出する液だれ防止部が形成されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のプレーナ型アクチュエータの取付けユニット。
【請求項５】
前記一次側アクチュエータ支持枠および前記二次側アクチュエータ支持枠には、前記一次側プレーナ型アクチュエータおよび前記二次側プレーナ型アクチュエータのヨークを支持するためのヨーク支持凹部または凸部が形成されていることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のプレーナ型アクチュエータの取付けユニット。
【請求項６】
前記一次側アクチュエータ支持枠および前記二次側アクチュエータ支持枠の下面は、前記一次側プレーナ型アクチュエータおよび前記二次側プレーナ型アクチュエータを搭載する際に、前記取付けフレームを保持するための設置面とされていることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のプレーナ型アクチュエータの取付けユニット。
【請求項７】
前記取付けフレームは、射出成型により一体的に形成されていることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のプレーナ型アクチュエータの取付けユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプレーナ型アクチュエータの取付けユニットに係り、特に、枠状の固定部に平板状の可動部を揺動可能に軸支してなるプレーナ型アクチュエータを取付けて固定するためのプレーナ型アクチュエータの取付けユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、枠状の固定部に平板状の可動部を揺動可能に軸支する構造のアクチュエータとして、例えば半導体製造技術を利用し、シリコン基板を異方性エッチングし、枠状の固定部と平板状の可動部と固定部に可動部を軸支するトーションバーとを一体に形成し、可動部に駆動コイルを設け、可動部の駆動コイルに静磁界を付与する例えば永久磁石のような静磁界発生手段を設け、通電により駆動コイルに発生する磁界と静磁界発生手段による静磁界との相互作用により発生するローレンツ力を利用して可動部を揺動させる電磁駆動タイプのプレーナ型アクチュエータがある（例えば、特許文献１参照）。
そして、このようなアクチュエータは、例えば、可動部にミラーを設けることで光ビームを偏向走査する光スキャナなどに適用される。
【０００３】
このようなアクチュエータをスキャナなどに適用した場合、従来から、２つのアクチュエータを用い、各アクチュエータの可動部を互いに直交する方向に揺動させることにより、二次元走査をすることが行われている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第２７２２３１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記従来の技術においては、２つのアクチュエータを所定の角度に設置するために、所定の角度を調整するための治具を用い、各アクチュエータを１つずつ位置合わせする必要があることから、調整作業が極めて困難であるという問題を有している。また、各アクチュエータを設置した場合に、各アクチュエータを保持するための部材が干渉してしまうおそれがあり、適正な設置を行うことができないという問題を有している。さらに、各アクチュエータを設置した場合に、各アクチュエータへの電気配線を行う場合に、配線の引き回しが極めて困難であるとともに大型化してしまうという問題をも有している。
【０００６】
本発明は前記した点に鑑みてなされたものであり、２つのアクチュエータを適正に設置することができ、保持部材の干渉が生じることがなく、さらに配線の取り回しを容易に行うことができ、さらに小型化を図ることができるプレーナ型アクチュエータの取付けユニットを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は前記目的を達成するために、請求項１の発明に係るプレーナ型アクチュエータの取付けユニットは、一次側プレーナ型アクチュエータを取付けるための一次側アクチュエータ支持枠と、二次側プレーナ型アクチュエータを取付けるための二次側アクチュエータ支持枠とを備えた取付けフレームと、を備え、前記各アクチュエータの可動部を揺動させることにより二次元走査をするように前記各アクチュエータを設置可能なプレーナ型アクチュエータの取付けユニットであって、
前記取付けフレームは、前記一次側アクチュエータ支持枠と前記二次側アクチュエータ支持枠とのなす内角を所定の角度に保持するように一体化されていることを特徴とする。
【０００８】
請求項２に係る発明は、請求項１において、前記取付けフレームには、前記一次側アクチュエータ支持枠と前記二次側アクチュエータ支持枠とのなす内角を所定の角度に保持する保持部材が設けられていることを特徴とする。
【０００９】
請求項３に係る発明は、請求項１または請求項２において、前記一次側アクチュエータ支持枠と前記二次側アクチュエータ支持枠に設けられ前記一次側プレーナ型アクチュエータおよび前記二次側プレーナ型アクチュエータのアクチュエータ側端子部に電気的に接続される支持枠側端子部と、
前記支持枠側端子部から前記一次側アクチュエータ支持枠、前記二次側アクチュエータ支持枠および前記側板の少なくともいずれかの表面を引き回されて接続端子部に接続される配線パターンと、
を備えていることを特徴とする。
【００１０】
請求項４に係る発明は、請求項１から請求項３のいずれか一項において、前記支持枠側端子部は、端子形成部に設けられており、前記端子形成部には、上方に突出する液だれ防止部が形成されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項５に係る発明は、請求項１から請求項４のいずれか一項において、前記一次側アクチュエータ支持枠および前記二次側アクチュエータ支持枠には、前記一次側プレーナ型アクチュエータおよび前記二次側プレーナ型アクチュエータのヨークを支持するためのヨーク支持凹部または凸部が形成されていることを特徴とする。
【００１２】
請求項６に係る発明は、請求項１から請求項５のいずれか一項において、前記一次側アクチュエータ支持枠および前記二次側アクチュエータ支持枠の下面は、前記一次側プレーナ型アクチュエータおよび前記二次側プレーナ型アクチュエータを搭載する際に、前記取付けフレームを保持するための設置面とされていることを特徴とする。
【００１３】
請求項７に係る発明は、請求項１から請求項６のいずれか一項において、前記取付けフレームは、射出成型により一体的に形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１に係る発明によれば、取付けフレームを、一次側アクチュエータ支持枠と二次側アクチュエータ支持枠とのなす内角を所定の角度に保持するように一体化し、各一次側アクチュエータ支持枠および二次側アクチュエータ支持枠にそれぞれ一次側プレーナ型アクチュエータおよび二次側プレーナ型アクチュエータを搭載するようにしているので、各プレーナ型アクチュエータの角度を調整するための治具が不要であり、しかも、開き角の精度が高く、調整作業を不要とすることができる。
【００１５】
請求項２に係る発明によれば、取付けフレームに、一次側アクチュエータ支持枠と二次側アクチュエータ支持枠とのなす内角を所定の角度に保持する保持部材を設けるようにしているので、この側板により、一次側アクチュエータ支持枠と二次側アクチュエータ支持枠とのなす内角が所定の角度に確実に保持されるように補強することが可能となる。
【００１６】
請求項３に係る発明によれば、一次側アクチュエータ支持枠から引き回された配線パターンと、二次側アクチュエータ支持枠から引き回された配線パターンとを、一次側アクチュエータ支持枠、二次側アクチュエータ支持枠および保持部材のいずれかの表面に引き回して接続端子部に接続するようにしているので、配線パターンの引き回しスペースを大きく確保することができ、配線パターンの引き回しを容易に行うことができる。
【００１７】
請求項４に係る発明によれば、支持枠側端子部を設ける端子形成部に、上方に突出する液だれ防止部を形成するようにしているので、支持枠側端子部とアクチュエータ側端子部とを電気的に接続する際に、ワイヤーボンディングなどにより接続した後、アクチュエータ側端子部と支持枠側端子部とを腐食および外的要因による断線などから保護するためのポッティングなどが不要な部分に流出してしまうことを防止することができる。
【００１８】
請求項５に係る発明によれば、一次側アクチュエータ支持枠および二次側アクチュエータ支持枠に、一次側プレーナ型アクチュエータおよび二次側プレーナ型アクチュエータのヨークを支持するためのヨーク支持凹部を形成するようにしているので、ヨークをヨーク支持凹部または凸部に接着することにより、ヨークの接着面積を増大させるとともに、ヨークの位置決めを容易にすることができ、ヨーク部分を確実にかつ精度よく固定することができる。
【００１９】
請求項６に係る発明によれば、一次側アクチュエータ支持枠および二次側アクチュエータ支持枠の下面を、一次側プレーナ型アクチュエータおよび二次側プレーナ型アクチュエータを搭載する際に、取付けフレームを保持するための設置面としているので、この設置面により一次側アクチュエータ支持枠および二次側アクチュエータ支持枠を適正に保持させることができ、一次側プレーナ型アクチュエータおよび二次側プレーナ型アクチュエータの搭載作業を容易に行うことができる。
【００２０】
請求項７に係る発明によれば、取付けフレームを射出成型により一体的に形成するよう取付けフレームを容易に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明に係るプレーナ型アクチュエータの取付けユニットに搭載されるプレーナ型アクチュエータの実施形態を示す概略図である。
【図２】本発明に係るプレーナ型アクチュエータの取付けユニットの実施形態を示す断面図である。
【図３】本発明に係るプレーナ型アクチュエータの取付けユニットの実施形態を示す斜視図である。
【図４】本発明に係るプレーナ型アクチュエータの取付けユニットの実施形態を示す側面図である。
【図５】本発明に係るプレーナ型アクチュエータの取付けユニットの実施形態を示す一次側アクチュエータ支持枠部分の斜視図である。
【図６】本発明に係るプレーナ型アクチュエータの取付けユニットの実施形態を示す一次側アクチュエータ支持枠部分の平面図である。
【図７】本発明に係るプレーナ型アクチュエータの取付けユニットの実施形態を示す二次側アクチュエータ支持枠部分の斜視図である。
【図８】本発明に係るプレーナ型アクチュエータの取付けユニットの実施形態を示す二次側アクチュエータ支持枠部分の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２３】
図１は本発明に係る取付けユニットに装着されるプレーナ型アクチュエータの実施形態を示す概略図である。
【００２４】
図１に示すように、本実施形態のプレーナ型アクチュエータ１は、枠状の固定部２を備えており、この固定部２の内側には、一対のトーションバー３，３を介して平板状の可動部４が揺動自在に支持されている。
【００２５】
可動部４上には、可動部４を駆動するための駆動コイル（図示せず）が設けられており、固定部２の上面には、可動部４を挟んで互いに反対磁極を対向させて配置される一対の静磁界発生部材５が配置されている。また、固定部２上面には、静磁界発生部材５を囲むようにヨーク６が配置されている。
【００２６】
また、図２から図６は本発明に係るプレーナ型アクチュエータの取付けユニットの実施形態を示したものであり、本実施形態においては、取付けユニット７は、取付けフレーム８を備えている。この取付けフレーム８は、一次側プレーナ型アクチュエータ１ａを取付けるための一次側アクチュエータ支持枠９と、二次側プレーナ型アクチュエータ１ｂを取付けるための二次側アクチュエータ支持枠１０とを備えている。これら一次側アクチュエータ支持枠９および二次側アクチュエータ支持枠１０は、これら一次側アクチュエータ支持枠９と、二次側アクチュエータ支持枠１０とのなす内角が所定の角度に保持されるように、互いにほぼ平行に配置された一対の保持部材１１ａ，１１ｂの間に一体的に固定されている。本実施形態における取付けユニット７は、射出成型により一体成型されている。なお、射出成型に代えてレーザ等による三次元成型（三次元の機械加工など）により成型してもよい。
【００２７】
一次側アクチュエータ支持枠９には、一次側プレーナ型アクチュエータ１ａが搭載されており、一次側プレーナ型アクチュエータ１ａは、そのトーションバー３が一次側アクチュエータ支持枠９の長手方向に沿うように配置されている。一次側プレーナ型アクチュエータ１ａの固定部２の両端部には、所定の配線を行うための複数のアクチュエータ側端子部１２ａが所定間隔ごとに配列されており、一次側アクチュエータ支持枠９の一次側プレーナ型アクチュエータ１ａの両端部に対応する位置には、端子形成部１３ａが一次側プレーナ型アクチュエータ１ａの端縁に沿って形成されている。端子形成部１３ａのアクチュエータ側端子部１２ａに対応する位置には、複数の支持枠側端子部１４ａが所定間隔ごとに配列されており、端子形成部１３ａの一次側プレーナ型アクチュエータ１ａから離れた位置には、上方に突出する液だれ防止部１５ａが形成されている。支持枠側端子部１４ａには、配線パターン１６が接続されており、この配線パターン１６は、一次側アクチュエータ支持枠９の両端部から側板１１ｂに引き回されている。
【００２８】
さらに、一次側アクチュエータ支持枠９の両側部には、一次側プレーナ型アクチュエータ１ａ側のヨーク６の下面および側面を支持するためのヨーク支持凹部１７ａが形成されており、このヨーク支持凹部１７ａの上面は、一次側プレーナ型アクチュエータ１ａの固定部２の上面とほぼ同様の高さとなるように形成されている。また、一次側アクチュエータ支持枠９の下面は、一次側プレーナ型アクチュエータ１ａを搭載するための搭載装置（図示せず）に取付けフレーム８を設置する際に、取付けフレーム８の一次側アクチュエータ支持枠９を水平に保持することができるように、一次側プレーナ型アクチュエータ１ａの搭載面と平行な一次側設置面１８ａとされている。
【００２９】
また、二次側アクチュエータ支持枠１０には、二次側プレーナ型アクチュエータ１ｂが搭載されており、二次側プレーナ型アクチュエータ１ｂは、そのトーションバー３が二次側アクチュエータ支持枠１０の幅方向に沿うように配置されている。すなわち、一次側プレーナ型アクチュエータ１ａと二次側プレーナ型アクチュエータ１ｂとは、互いに直交する方向に可動できるように配置されている。
【００３０】
二次側プレーナ型アクチュエータ１ｂの固定部２の一端部には、所定の配線を行うための複数のアクチュエータ側端子部１２ｂが所定間隔ごとに配列されており、二次側アクチュエータ支持枠１０の二次側プレーナ型アクチュエータ１ｂの一端部に対応する位置には、端子形成部１３ｂが二次側プレーナ型アクチュエータ１ｂの端縁に沿って形成されている。端子形成部１３ｂのアクチュエータ側端子部１２ｂに対応する位置には、複数の支持枠側端子部１４ｂが所定間隔ごとに配列されており、端子形成部１３ｂの二次側プレーナ型アクチュエータ１ｂから離れた位置には、上方に突出する液だれ防止部１５ｂが形成されている。支持枠側端子部１４ｂには、配線パターン１６が接続されており、この配線パターン１６は、二次側アクチュエータ支持枠１０の側部から保持部材１１ｂに引き回されている。さらに、二次側アクチュエータ支持枠１０の両側部には、二次側プレーナ型アクチュエータ１ｂのヨーク６の下面を支持するためのヨーク支持凹部１７ｂが形成されており、このヨーク支持凹部１７ｂの上面は、二次側プレーナ型アクチュエータ１ｂの固定部２の上面とほぼ同様の高さとなるように形成されている。さらに、ヨーク支持凹部１７ｂの一側縁には、ヨーク６を搭載する際に位置決めを行うための位置決め凸部１９が形成されている。なお、二次側プレーナ型アクチュエータ１ｂ側のヨーク６の位置決め凸部１９に対応する部分は、位置決め凸部１９と嵌合可能なように凹部が形成されている。
【００３１】
また、二次側アクチュエータ支持枠１０の下面は、二次側プレーナ型アクチュエータ１ｂを搭載するための搭載装置（図示せず）に取付けフレーム８を設置する際に、取付けフレーム８の二次側アクチュエータ支持枠１０を水平に保持することができるように、二次側プレーナ型アクチュエータ１ｂの搭載面と平行な二次側設置面１８ｂとされている。
【００３２】
また、保持部材１１ｂには、図示しない制御装置に電気的に接続される複数の接続端子部２０，２０…が形成されており、この接続端子部２０には、一次側アクチュエータ支持枠９から引き回された配線パターン１６と、二次側アクチュエータ支持枠１０から引き回された配線パターン１６とがそれぞれ接続されている。一方、本実施形態の保持部材１１ａは取付けユニット７を水平に保持するための面として構成されており、本実施形態においては、配線パターン１６は、形成されていないが、配線パターン１６等を形成するようにしてもよい。これら保持部材１１ａ，１１ｂは、一次側アクチュエータ支持枠９と、二次側アクチュエータ支持枠１０とのなす内角が所定の角度に確実に保持されるように補強する機能を有しているが、必ずしも面状に限られず、梁状等であってもよい。また、取付けフレーム８のみで強度が確保されるのであれば、必ずしも必要でない。
【００３３】
なお、支持枠側端子部１４ａ、１４ｂ、配線パターン１６および接続端子部２０は、取付けユニット７上に表面配線により一体的に形成されるものであり、配線パターン１６の引き回し経路は、任意に設定することが可能であり、また接続端子部２０も任意の位置に形成してもよい。
【００３４】
次に、本実施形態の作用について説明する。
【００３５】
まず、一次側プレーナ型アクチュエータ１ａおよび二次側プレーナ型アクチュエータ１ｂを取付けフレーム８に搭載する方法について説明する。
【００３６】
最初に、取付けフレーム８の一次側設置面１８ａを所定の搭載装置に設置して一次側アクチュエータ支持枠９を水平に保持させる。このように一次側設置面１８ａを設け、この一次側設置面１８ａにより、一次側アクチュエータ支持枠９を適正に保持させることができ、一次側プレーナ型アクチュエータ１ａの搭載作業を容易に行うことができるものである。
【００３７】
この状態で、取付けフレーム８の一次側アクチュエータ支持枠９に一次側プレーナ型アクチュエータ１ａを搭載する。この際、ヨーク支持凹部１７ａの立ち上がり部分に一次側プレーナ型アクチュエータ１ａのヨーク６を当接させて位置決めをし、一次側プレーナ型アクチュエータ１ａを一次側アクチュエータ支持枠９に接着するとともに、ヨーク６をヨーク支持凹部１７ａに接着する。このとき、ヨーク６をヨーク支持凹部１７ａの底面のみに接着するだけでなく、ヨーク支持凹部１７ａの立ち上がり部分にも接着することで、ヨーク６を２面（２方向）で固定できるためヨーク６部分を確実に固定することが可能となる。
【００３８】
次に、一次側アクチュエータ支持枠９の支持枠側端子部１４ａと一次側プレーナ型アクチュエータ１ａのアクチュエータ側端子部１２ａとをワイヤーボンディングなどにより電気的に接続した後、ポッティングなどよりアクチュエータ側端子部１２ａと支持枠側端子部１４ａとを腐食および外的要因による断線などから保護する。このとき、本実施形態においては、端子形成部１３ａの一次側プレーナ型アクチュエータ１ａから離れた位置に上方に突出する液だれ防止部１５ａを形成するようにしているので、ポッティングなどの際に、ポッティング樹脂等が配線パターン１６側にたれてしまうことによる接続端子部２０の接続不良などを確実に防止することができるものである。
【００３９】
また、同様に、取付けフレーム８の二次側設置面１８ｂを所定の搭載装置に設置して二次側アクチュエータ支持枠１０を水平に保持した状態で、取付けフレーム８の二次側アクチュエータ支持枠１０に二次側プレーナ型アクチュエータ１ｂを搭載する。この際、二次側プレーナ型アクチュエータ１ｂのヨーク６の切欠部と位置決め凸部１９と嵌合させて位置決めをするとともに、二次側プレーナ型アクチュエータ１ｂを二次側アクチュエータ支持枠１０に接着するとともに、ヨーク６をヨーク支持凹部１７ｂおよび位置決め凸部１９に接着する。このとき、ヨーク６をヨーク支持凹部１７ｂの底面と立ち上がり部分および位置決め凸部１９に接着することで、ヨーク６部分を確実に固定することが可能となる。
【００４０】
次に、二次側アクチュエータ支持枠１０の支持枠側端子部１４ｂと二次側プレーナ型アクチュエータ１ｂのアクチュエータ側端子部１２ｂとをワイヤーボンディングなどにより電気的に接続する。その後、ポッティングなどよりアクチュエータ側端子部１２ｂを腐食等から保護する。
【００４１】
このように一次側プレーナ型アクチュエータ１ａおよび二次側プレーナ型アクチュエータ１ｂが搭載された取付けフレーム８を、所定の光学装置および制御装置が設けられた装置の所定の位置に設置した後、側板１１ｂの接続端子部２０を制御装置側に接続することにより、取付けフレーム８の装着が完了する。
【００４２】
そして、この状態で、一次側プレーナ型アクチュエータ１ａの可動部４および二次側プレーナ型アクチュエータ１ｂの可動部４を互いに直交する方向に揺動させることにより、光学装置から照射させる光の二次元走査が可能となる。このプレーナ型アクチュエータの可動部４をねじれモードで振動させるときの駆動原理は、例えば、特許第２７２２３１４号公報等で詳述されているので、以下、簡単に説明する。
【００４３】
すなわち、可動部４の駆動コイルに電流を流すと、静磁界発生手段による静磁界との相互作用によりローレンツ力が発生し、トーションバー３の軸方向と平行な可動部４の対辺部分に互いに逆方向の回転力が発生し、可動部４が揺動する。可動部４を揺動させるための回転力は、駆動コイルに流す駆動電流値に比例するので、駆動コイルに供給する駆動電流値を制御することで、可動部４の揺動角度を制御することができる。
【００４４】
そのため、光学装置から所定の光を一次側プレーナ型アクチュエータ１ａの可動部４に入射させると、一次側プレーナ型アクチュエータ１ａの可動部４の揺動動作により光学装置からの入射光を一次元方向に走査させて二次側プレーナ型アクチュエータ１ｂの可動部４に向けて反射させる。そして、二次側プレーナ型アクチュエータ１ｂの可動部４の揺動動作により、一次側プレーナ型アクチュエータ１ａからの反射光を一次側プレーナ型アクチュエータ１ａによる走査方向と直交する方向に走査させ、所定の出力部に反射させる。これにより、光学装置からの光を二次元で操作させることが可能となる。
【００４５】
以上述べたように、本実施形態においては、取付けフレーム８に、所定の角度に保持された一次側アクチュエータ支持枠９および二次側アクチュエータ支持枠１０を設け、これら各一次側アクチュエータ支持枠９および二次側アクチュエータ支持枠１０にそれぞれ一次側プレーナ型アクチュエータ１ａおよび二次側プレーナ型アクチュエータ１ｂを搭載するようにしているので、各アクチュエータの角度調整が不要となり、二次元アクチュエータを得ることができる。また、一次側アクチュエータ支持枠９から引き回された配線パターン１６と、二次側アクチュエータ支持枠１０から引き回された配線パターン１６とを保持部材１１に配置し、この配線パターン１６を接続端子部２０に接続するようにしているので、配線パターン１６の引き回しスペースを大きく確保することができ、配線パターン１６の引き回しを容易に行うことができる。
【００４６】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能である。
【符号の説明】
【００４７】
１ａ  一次側プレーナ型アクチュエータ
１ｂ  二次側プレーナ型アクチュエータ
２  固定部
３  トーションバー
４  可動部
５  静磁界発生部材
６  ヨーク
７  取付けユニット
８  取付けフレーム
９  一次側アクチュエータ支持枠
１０  二次側アクチュエータ支持枠
１１ａ，１１ｂ  保持部材
１２ａ，１２ｂ  アクチュエータ側端子部
１３ａ，１３ｂ  端子形成部
１４ａ，１４ｂ  支持枠側端子部
１５ａ，１５ｂ  液だれ防止部
１６  配線パターン
１７ａ，１７ｂ  ヨーク支持凹部
１８ａ  一次側設置面
１８ｂ  二次側設置面
１９  位置決め凸部
２０  接続端子部
【図１】
2011028095.tif 000003
【図２】
2011028095.tif 000004
【図３】
2011028095.tif 000005
【図４】
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【図５】
2011028095.tif 000007
【図６】
2011028095.tif 000008
【図７】
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【図８】
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