(57)【要約】【課題】ノズルを高密度に配設可能な液剤塗布用マルチノズルを提供する。【解決手段】液剤塗布用マルチノズルの本体を構成するケーシングブロック５０ｃの先端に液剤塗布エリアに対応した隆起面５２ａを形成し、この隆起面５２ａに複数の吐出口５４を形成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケーシングブロックの先端に液剤塗布エリアに対応した隆起面を形成し、前記隆起面に液剤を吐出する複数の吐出口を形成した液剤塗布用マルチノズル。
【請求項２】
ケーシングブロックの先端に液剤塗布エリアに対応した帯状の隆起面を形成し、前記帯状の隆起面に沿って液剤を吐出する吐出溝を形成した液剤塗布用マルチノズル。
【請求項３】
ケーシングブロックの先端に液剤塗布エリアに対応した矩形帯状の隆起面を形成し、前記矩形帯状の隆起面に沿って液剤を吐出する吐出溝を形成すると共に、矩形帯状の隆起面の内側のケーシングブロックの先端に液剤を吐出する１又は２以上の吐出口を形成した液剤塗布用マルチノズル。
【請求項４】
ケーシングブロックの先端に液剤塗布エリアとしての孔部又は切欠きの縁部形状に対応した隆起部を形成し、前記隆起部の基部に沿って液剤を吐出する複数の吐出口を形成した液剤塗布用マルチノズル。
【請求項５】
ケーシングブロックの先端に液剤塗布エリアとしての孔部又は切欠きの縁部形状に対応した隆起部を形成し、前記隆起部の基部に沿って液剤を供給する長溝を形成した液剤塗布用マルチノズル。
【請求項６】
ケーシングブロックの先端に液剤塗布エリアとしての孔部又は切欠きの縁部形状に対応した隆起部を形成し、前記隆起部の基部に沿って液剤を吐出する複数の吐出口を形成すると共に、前記隆起部の側面に前記吐出口に連通し隆起部の高さ方向に延在した溝部を形成した液剤塗布用マルチノズル。
【請求項７】
ケーシングブロックの先端に液剤塗布エリアとしての孔部周縁又は切欠き縁部形状に対応した隆起部を形成し、前記隆起部の基部に沿って液剤を供給する長溝を形成すると共に、前記隆起部の側面に前記長溝に連通し隆起部の高さ方向に延在した溝部を形成した液剤塗布用マルチノズル。
【請求項８】
ケーシングブロックの先端に、磁気ヘッドを支持する磁気ヘッドサスペンションのロードビーム駆動用アクチュエータ素子が嵌合するベースプレートの孔部又は切欠きの縁部形状に対応した隆起部を形成し、前記隆起部の基部に沿って液剤を吐出供給する複数の吐出口又は長溝を形成した液剤塗布用マルチノズル。
【請求項９】
磁気ヘッドを支持する磁気ヘッドサスペンションのベースプレートとロードビームの組立体に液剤を塗布する液剤塗布用マルチノズルであって、前記マルチノズルの本体を構成するケーシングブロックの先端に、ロードビーム駆動用アクチュエータ素子が嵌合する前記ベースプレートの孔部又は切欠きの縁部形状に対応した隆起部を形成すると共に前記隆起部の基部に沿って液剤を吐出供給する複数の吐出口又は長溝を形成し、かつ、前記ケーシングブロックの先端にロードビームに対して液剤を塗布する吐出口を形成した液剤塗布用マルチノズル。
【請求項１０】
前記隆起部の側面に前記吐出口又は長溝に連通し隆起部の高さ方向に延在した溝部を形成した請求項８又は９の液剤塗布用マルチノズル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液剤塗布用マルチノズルに係り、特にハードディスクドライブ（ＨＤＤ）用磁気ヘッドサスペンションの微細部分等に対する接着用液剤の塗布に適したマルチノズルに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＨＤＤに使用される磁気ヘッドサスペンションは、キャリッジアーム等の支持軸に取り付けられるベースプレートと、ベースプレートから先方に延びるロードビームを有する。前記支持軸はＶＣＭ（Voice Coil Motor）を用いたアクチュエータで駆動され、これによってロードビームの先端側にフレクシャを介して取り付けられる磁気ヘッドをシーク方向に位置決め制御する。近年の高記録密度型ＨＤＤでは前記支持軸を駆動するアクチュエータだけでは高精度な磁気ヘッドの位置決め制御が困難なため、ベースプレートとロードビームとの間にさらに微動アクチュエータを設け、この微動アクチュエータによってロードビームをシーク方向に揺動させる二段階アクチュエータ型が採用されている。
【０００３】
ところで、磁気ヘッドサスペンションに微動アクチュエータなどの各種部品を取り付けるのに一般的に接着用液剤が使用される。この液剤は絶縁性のものと導電性のものがあり、シリンジに蓄えられた液剤にエア圧（又はピストン等による機械的な圧）をかけてシリンジ先端のノズルから液剤を吐出させ対象ワークの所望の液剤塗布エリアに塗布する。一般的なノズルとしては図１１（Ａ）に示すものがあり、このノズル１０の上端入口部１０ａをシリンジの吐出口に接続し、シリンジをロボットで支持した状態でノズル１０を所定の液剤塗布エリアに移動させ、ノズル先端１０ｂから液剤を点状に塗布する。或いは、図１１（Ｂ）のようにロボットでノズル先端１０ｂを移動させながら液剤をライン状に塗布する。
【０００４】
図１１（Ａ）のノズル１０はノズル先端１０ｂの吐出口が一つのシングルノズルであるが、液剤塗布エリアが複数箇所または広範囲にわたる場合は塗布時間短縮のため図１２（Ａ）のようなマルチノズル２０が使用されることがある。このマルチノズル２０は液剤の流入側となる入口部２０ａが一系統であるが、ケーシングブロック２０ｃ内で吐出側が複数の通路に分岐し、この分岐通路の末端に位置する複数の円筒状ノズル２０ｂから液剤を一斉に吐出する構造である。なお、ブロックに形成したマルチノズルについては特許文献１に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−３００２５７号公報（図４参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
マルチノズルを使用して微量の液剤を広範囲に塗布したい場合、ノズルを狭ピッチで多数設ける必要がある。しかし、ノズルには最低限の円筒肉厚が必要であるし、ノズル間にも製作上最低限のピッチ隙間が必要である。このため、図１２（Ａ）のようなマルチノズル２０ではノズル間ピッチを狭くするには限界がある。従って、図１２（Ｂ）のように塗布した液剤３０の量が少ないと液剤３０が島状に分かれてしまう反面、図１２（Ｃ）のように液剤３０を塗布し過ぎると塗布厚が必要以上に大きくなって液剤３０の使用量が増大すると共に接着性が低下するおそれがある。また、ノズルが細いためノズルが破損・変形しやすいという課題もある。本発明は以上の課題を解決すべくノズルを高密度に配設可能な液剤塗布用マルチノズルを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、前記課題を解決するために、ケーシングブロックの先端に液剤塗布エリアに対応した隆起面を形成し、前記隆起面に液剤を吐出する複数の吐出口を形成した液剤塗布用マルチノズルを提供する。
前記隆起面は帯状の隆起面としてもよく、この帯状の隆起面に沿って液剤を吐出する吐出溝を形成してもよい。
前記隆起面は矩形帯状の隆起面としてもよく、この矩形帯状の隆起面に沿って液剤を吐出する吐出溝を形成するだけでなく、矩形帯状の隆起面の内側のケーシングブロックの先端に液剤を吐出する１又は２以上の吐出口を形成してもよい。
【０００８】
本発明の別の形態として、ケーシングブロックの先端に液剤塗布エリアとしての孔部又は切欠きの縁部形状に対応した隆起部を形成し、前記隆起部の基部に沿って液剤を吐出する複数の吐出口を形成してもよい。この場合、前記隆起部の基部の複数の吐出口に代えて液剤を供給する長溝を形成してもよい。また、前記隆起部の側面に前記吐出口又は長溝に連通し隆起部の高さ方向に延在した溝部を形成してもよい。
【０００９】
本発明は別の形態として、ケーシングブロックの先端に、磁気ヘッドを支持する磁気ヘッドサスペンションのロードビーム駆動用アクチュエータ素子が嵌合するベースプレートの孔部又は切欠きの縁部形状に対応した隆起部を形成し、前記隆起部の基部に沿って液剤を吐出供給する複数の吐出口又は長溝を形成した液剤塗布用マルチノズルを提供する。前記隆起部の側面には、前記吐出口又は長溝に連通し隆起部の高さ方向に延在した溝部を形成することができる。
【００１０】
本発明は他の形態として、磁気ヘッドを支持する磁気ヘッドサスペンションのベースプレートとロードビームの組立体に液剤を塗布する液剤塗布用マルチノズルであって、前記マルチノズルの本体を構成するケーシングブロックの先端に、ロードビーム駆動用アクチュエータ素子が嵌合する前記ベースプレートの孔部又は切欠きの縁部形状に対応した隆起部を形成すると共に前記隆起部の基部に沿って液剤を吐出供給する複数の吐出口又は長溝を形成し、かつ、前記ケーシングブロックの先端にロードビームに対して液剤を塗布する吐出口を形成した液剤塗布用マルチノズルを提供する。前記隆起部の側面には、前記吐出口又は長溝に連通し隆起部の高さ方向に延在した溝部を形成することができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明は、ケーシングブロックの先端に液剤塗布エリアに対応した隆起面を形成し、この隆起面に液剤を吐出する複数の吐出口を形成しているので、従来のように円筒状ノズルを複数配設したマルチノズルのようにノズルの肉厚やノズル間最低すき間を考慮する必要がなく、吐出口の径を可及的に小さくすることで高密度の液剤塗布用マルチノズルが得られる。また、従来のマルチノズルに比べて破損・変形のおそれが少ないという利点がある。さらに、吐出口を形成した隆起面によって液剤塗布エリアが規定されるので、正確な位置と範囲での液剤塗布が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】（Ａ）は本発明の第１の形態に係るマルチノズルの斜視図、（Ｂ）はマルチノズルの部分断面図。
【図２】本発明の第２の形態に係るマルチノズルの斜視図。
【図３】本発明の第３の形態に係るマルチノズルの斜視図。
【図４】（Ａ）は本発明の第４の形態に係るマルチノズルの斜視図、（Ｂ）はマルチノズルの変形例の底面図、（Ｃ）はマルチノズルの別の変形例の底面図。
【図５】磁気ヘッドサスペンションの斜視図。
【図６】シリンジ、マルチノズルおよび磁気ヘッドサスペンションの斜視図。
【図７】（Ａ）はケーシングブロックの下面斜視図、（Ｂ）は変形例に係るケーシングブロックの下面斜視図。
【図８】（Ａ）はベースプレートとロードビームの組立体にマルチノズルを接近させた状態の側面図、（Ｂ）は磁気ヘッドサスペンションのベースプレートに液剤を塗布した状態の斜視図。
【図９】微動アクチュエータを嵌合したベースプレートの斜視図。
【図１０】微動アクチュエータを嵌合したベースプレートの斜視図。
【図１１】（Ａ）はノズルの斜視図、（Ｂ）はノズルによる液剤線状塗布を示す側面図。
【図１２】（Ａ）はマルチノズルの斜視図、（Ｂ）と（Ｃ）はマルチノズルによる液剤塗布を示す側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
第１の形態
以下に本発明の第１〜第４の形態を図に基づいて説明する。図１（Ａ）は第１の形態に係るマルチノズル５０を示し、このマルチノズル５０は中空立方体形状のケーシングブロック５０ｃを有する。このケーシングブロック５０ｃの上面中央には図示しないシリンジの吐出口に接続される筒状の入口部５０ａが形成されている。この入口部５０ａはケーシングブロック５０ｃ内の中空部に連通している。ケーシングブロック５０ｃの下面中央には、矩形帯状の隆起部５２が形成されている。この隆起部５２の大きさ、形状は、液剤を塗布する対象ワークの液剤塗布エリアの大きさ、形状に対応している。隆起部５２の矩形状の隆起面５２ａには、図１（Ｂ）に示すようにケーシングブロック５０ｃ内の中空部に連通する複数の吐出口５４が隆起面５２ａに沿って等間隔に形成されている。吐出口５４は従来公知の技術を使用して形成可能であり、例えばキリ加工、放電加工、レーザー加工によって形成することができる。吐出口５４の数や大きさは液剤塗布量等に応じて任意に設定可能である。図示例では矩形状隆起面の辺々に各６個の吐出口５４が形成されている。吐出口５４の径は例えば０．０３〜０．１ｍｍとすることができる。従来の円筒状ノズルではノズル内径が０．１５ｍｍ程度が限界であったが、本発明では０．１ｍｍ以下の径のノズルでも容易に形成することができる。
【００１４】
ケーシングブロック５０ｃの材質は、加工するノズルの径や塗布する液剤の種類に応じて任意に最適なものを選択することができる。金属類では例えば超硬金属、ダイス鋼、ハイス鋼、ステンレス鋼、銅などを使用することができる。非金属類では例えばセラミックスやルビーを使用することができる。また液剤が腐食性の場合は例えばステンレス鋼が適するし、熱伝導率を重視する場合は例えば銅が適する。熱等による変形を抑制する必要がある場合は例えばルビーを使用することができるし、耐熱性を重視する場合は例えばセラミックスを使用することができる。防錆ないし耐食性向上、非粘着性等向上のために必要に応じてケーシングブロックにコーティングを施すことができる。例えば摩擦係数を低減するためにＤＬＣコーティングを施すことができるし、非粘着性等向上のためにフッ素樹脂コーティングを施すことができる。
【００１５】
図１（Ａ）のマルチノズル５０は以下のように使用する。まずマルチノズル５０を取り付けたシリンジをロボットアームに固定する。そしてこのロボットアームを操作してマルチノズル５０を図１（Ｂ）のように液剤を塗布しようとする対象ワークＷの近くまで移動させる。次に、マルチノズル５０の隆起面を対象ワークＷの液剤塗布エリアに平行に対面させ、両者の間に所定のすき間Ｃを確保する。このすき間Ｃの大きさは液剤塗布量に対応したものとし、塗布量（塗布厚）が多い（厚い）場合は大きめのすき間とし、塗布量（塗布厚）が少ない（薄い）場合は小さめのすき間とする。この状態で吐出口から液剤を所定量吐出させると、吐出された液剤が前記すき間Ｃに均一に拡散し、所定厚みで矩形状の塗布済液剤５６が形成される。
【００１６】
第２の形態
図２は第２の形態に係るマルチノズル６０を示す。ケーシングブロック５０ｃと入口部６０ａの関係は図１と同じである。このマルチノズル６０のケーシングブロック６０ｃの下面中央には矩形帯状の隆起部６２が形成されている。この隆起部６２の大きさ、形状は、液剤を塗布する対象ワークの液剤塗布エリアの大きさ、形状に対応している。隆起部６２の矩形状の隆起面６２ａには一対の吐出溝６４ａ、６４ｂが形成されている。各吐出溝６４ａ、６４ｂの一端にはケーシングブロック６０ｃ内の中空部に連通する連通口６６ａ、６６ｂが接続されている。吐出溝６４ａ、６４ｂと連通口６６ａ、６６ｂは従来公知の技術を使用して形成可能であり、例えばキリ加工、放電加工、レーザー加工によって形成することができる。吐出溝の幅は例えば０．０３〜０．１ｍｍとすることができる。
【００１７】
図２のマルチノズル６０も使用法は図１のものと同じでよい。連通口６６ａ、６６ｂから液剤を所定量吐出させると、この液剤が吐出溝６４ａ、６４ｂ全体に行き渡ると共に、吐出溝６４ａ、６４ｂから下方にはみ出した液剤が対象ワークの液剤塗布エリアに付着して所定厚みでコ字状の塗布済液剤６８ａ、６８ｂを形成する。なお、銀などの導電性微粒子を含有する液剤を塗布する場合、従来のノズルではノズル詰まりの問題があったが、このように吐出溝６４ａ、６４ｂにより液剤を塗布することでノズル詰まりの問題が解消する。
【００１８】
第３の形態
図３は第３の形態に係るマルチノズル８０を示す。ケーシングブロック８０ｃと入口部８０ａの関係は図１と同じである。このマルチノズル８０のケーシングブロック８０ｃの下面中央には矩形状の隆起部８２が形成されている。この隆起部８２の隆起面８２ａの周縁部には一対のコ字状の吐出溝８４ａ、８４ｂが形成され、各吐出溝８４ａ、８４ｂの一端に図２と同様に連通口８６ａ、８６ｂが接続されている。隆起面８２ａの中央には比較的大きな第１吐出口８７が形成され、この第１吐出口８７の両側に比較的小さな第２吐出口８８が形成されている。これら吐出口８７、８８はケーシングブロック８０ｃ内に連通している。吐出溝８４ａ、８４ｂ、連通口８６ａ、８６ｂおよび吐出口８７、８８は従来公知の技術を使用して形成可能であり、例えばキリ加工、放電加工、レーザー加工によって形成することができる。吐出溝８４ａ、８４ｂの幅と吐出口８７、８８の径は例えば０．０３〜０．１ｍｍとすることができる。
【００１９】
図３のマルチノズル８０も使用法は図１のものと同じである。連通口８６ａ、８６ｂから液剤を所定量吐出させると、この液剤が吐出溝８４ａ、８４ｂ全体に行き渡ると共に、吐出溝８４ａ、８４ｂから下方にはみ出した液剤が対象ワークの液剤塗布エリアに付着して所定厚みでコ字状の塗布済液剤９０ａ、９０ｂを形成する。また、第１吐出口８７と第２吐出口８８から吐出された液剤は点状の塗布液剤９１、９２を形成する。
【００２０】
第４の形態
図４（Ａ）は第４の形態に係るマルチノズル１００を示す。ケーシングブロック１００ｃと入口部１００ａの関係は図１と同じである。このマルチノズル１００のケーシングブロック１００ｃの下面中央には矩形帯状の隆起部１０２が形成されている。この隆起部１０２の基部の周縁にはケーシングブロック１００ｃ内に連通する複数の吐出口１０４が等間隔で形成されている。吐出口１０４は従来公知の技術を使用して形成可能であり、例えばキリ加工、放電加工、レーザー加工によって形成することができる。吐出口１０４の径は例えば０．０３〜０．１ｍｍとすることができる。隆起部１０２の厚みに対応した外側面には、前記吐出口１０４に対して垂直上方に連通した断面半円弧状の溝部１０６が形成されている。
【００２１】
図４（Ａ）のマルチノズル１００も基本的使用法は図１のものと同じである。但し、液剤の塗布エリアは対象ワークに形成した孔部又は切欠きの縁部である。詳しくは図４（Ａ）に示すように、対象ワークとしての板状ワーク１０８に前記隆起部１０２の形状に対応した一回り大きめの孔部１０８ａが形成され、この孔部１０８ａの縁部が液剤塗布エリアとなる。ロボットアームを操作してマルチノズル１００の隆起部１０２を上方から孔部１０８ａに嵌合させると共に、ケーシングブロック１００ｃの下面と板状ワーク１０８との間、および孔部１０８ａ内面と隆起部１０２側面との間に所定のすき間を確保する。この状態で各吐出口１０４から液剤を所定量吐出させると、縁部上面に塗布済液剤１１０ａを形成すると共に、溝部１０６に行き渡った液剤が孔部１０８ａ内面とのすき間に拡散して塗布済液剤１１０ｂを形成する。このように、本発明の第４の形態では三次元的な液剤塗布を一度に行うことができる。
【００２２】
別の形態として図４（Ｂ）および図４（Ｃ）に示すマルチノズル１１０、１２０がある。図４（Ｂ）のマルチノズル１１０は隆起部１０２の基部に沿ってＬ字状の長溝１１２ａ、１１２ｂを形成したもので、長溝１１２ａ、１１２ｂの中央すなわち隆起部１０２の角部に近い部分にケーシングブロック内に連通する連通口１１４ａ、１１４ｂが形成されている。隆起部１１２の厚みに対応した外側面には図４（Ａ）のような溝部１０６を形成していないが、孔部１０８ａ内面とのすき間を適正に確保することにより長溝１１２ａ、１１２ｂから吐出された液剤を同すき間に均一に導入することが可能である。
【００２３】
図４（Ｃ）のマルチノズル１２０は隆起部１２２の基部に沿ってＬ字状の長溝１２２ａ、１２２ｂを形成したもので、長溝１２２ａ、１２２ｂの中央すなわち隆起部１２２の角部に近い部分にケーシングブロック内に連通する連通口１２４ａ、１２４ｂが形成されている。隆起部１２２の厚みに対応した外側面には前記長溝１２２ａ、１２２ｂに対して垂直上方に連通した断面半円弧状の溝部１２６が形成されている。この場合も図４（Ａ）の場合と同様に塗布済液剤１１０ａ、１１０ｂを形成することができる。
【００２４】
次に、本発明のマルチノズルの具体的適用例について説明する。図５はベースプレート１３２とロードビーム１３４を有する磁気ヘッドサスペンション１３０を示す。ベースプレート１３２にはキャリッジアーム等の支持軸を取り付けるための軸孔１３２ａと、ロードビーム１３４をシーク方向に揺動させる微動アクチュエータ（圧電素子）を嵌合するための孔部１３２ｂが形成されている。微動アクチュエータはこの孔部１３２ｂの前後端縁に対して液剤で固着される。図６は微動アクチュエータの固着用液剤を塗布するためのケーシングブロック１４０をシリンジ１４１に取り付けた状態を示す。このケーシングブロック１４０の下面には図４のマルチノズルに類似したマルチノズル１４２が形成されている。詳しくは図７（Ａ）に示すように、ケーシングブロック１４０の下面中央にベースプレート１３２の孔部１３２ｂの形状に対応し孔部１３２ｂよりは一回り小さな隆起部１４４が形成されている。隆起部１４４の厚み（隆起量）はベースプレート１３２の厚みとほぼ同じか、ベースプレート１３２の厚みよりも若干大きい。この隆起部１４４の前側と後側の基部に沿って複数の吐出口１４６が形成されている。隆起部１４４の厚みに対応した側面には、前記吐出口１４６に対して垂直上方に連通した断面半円弧状の溝部１４７が形成されている。また、隆起部１４４の下面の隆起面１４４ａに、左右各３個の吐出口１４８a〜１４８ｃが形成されている。別の形態として、図７（Ｂ）に示すマルチノズル１５０がある。このマルチノズル１５０は複数の吐出口１４６に代えて長溝１５２を形成したもので、長溝１５２の一部にケーシングブロック内に連通する連通口が接続されている。
【００２５】
前記マルチノズル１４２は以下のように使用する。すなわち、ロボットアームを操作して図８（Ａ）に示すようにケーシングブロック１４０をベースプレート１３２の上方に移動させ、隆起部１４４を孔部１３２ｂの直上に位置合わせした状態でケーシングブロック１４０を下降させる。隆起部１４４の下面である隆起面１４４ａがベースプレート１３２の下面に重ねられたロードビーム１３４の上面に対して所定のすき間で平行に対向するまでケーシングブロック１４０が下降すると、その位置でロボットアームを停止する。この状態では隆起部１４４が孔部１３２ｂの内面と所定のすき間を明けて嵌合され、かつ、ケーシングブロック１４０の下面とベースプレート１３２の上面との間にも所定のすき間が形成される。この状態で各吐出口１４６から液剤（絶縁性液剤）を吐出させると、図８（Ａ）のように隆起部１４４の溝部１４７に吐出された液剤が孔部１３２ｂ内面とのすき間に均一に拡散して塗布済液剤１６０ａ、１６０ｂが形成される。また、隆起面１４４ａの吐出口１４８ａ〜１４８ｃから吐出された液剤によってロードビーム１３４の上面に点状の塗布済液剤１６２ａ〜１６２ｃが形成される。なお、図８（Ｂ）の１６４、１６６は従来のシングルノズルによってロードビーム１３４の上面に塗布した導電性液剤を示す（図８（Ａ）の塗布済液剤１６２ａ〜１６２ｃは図示省略）。
【００２６】
次に、ロボットアームを操作してケーシングブロック１４０を上昇させ、代わって図９のように矩形薄板状の一対の微動アクチュエータ１７０ａ、１７０ｂを孔部１３２ｂに嵌合する。これにより微動アクチュエータ１７０ａ、１７０ｂの前後両端が塗布済液剤１６０ａ、１６０ｂによってベースプレート１３２の孔部１３２ｂに固定されると共に、ロードビーム１３４の上面の塗布済液剤１６２ａ〜１６２ｃおよび導電性液剤１６４、１６６に微動アクチュエータ１７０ａ、１７０ｂの下面が接続される。最後に図１０のように従来のシングルノズルによって微動アクチュエータ１７０ａ、１７０ｂの前端上面とベースプレート１３２との間に導電性液剤１７２ａ、１７２ｂを塗布する。
【００２７】
このように本発明のマルチノズル１４２を使用すると孔部１３２ｂの縁部に対する液剤１６０ａ、１６０ｂの塗布と、ロードビーム１３４の上面に対する液剤１６２ａ〜１６２ｃの塗布を同時に行うことができる。従来の塗布方法ではベースプレート１３２に対する液剤塗布とロードビーム１３４に対する液剤塗布は別々の工程で行っていたが、本発明のマルチノズル１４２を使用することによりベースプレート１３２とロードビーム１３４に対する液剤塗布を同時に行うことができる。このことは、単に塗布時間の短縮という利点が得られるだけでなく、ベースプレート１３２とロードビーム１３４の両方の塗布位置の相対位置関係が極めて正確で誤差が生じないという利点も得られる。すなわち、従来の塗布方法ではベースプレート１３２の塗布工程とロードビーム１３４の塗布工程が別々になるためワークの工程間搬送に伴う位置決め誤差等によって前記塗布位置の相対位置関係にも誤差が発生しやすいが、本発明のマルチノズル１４２を使用すれば工程間搬送がないので位置決め誤差がなく、マルチノズル１４２の仕様によって前記相対位置関係が一定に定まることになる。
【産業上の利用可能性】
【００２８】
本発明の液剤塗布用マルチノズルは、磁気サスペンションの部品取付用に限らず広く産業上の利用可能性を有する。
【符号の説明】
【００２９】
１０    ノズル
１０ａ  上端入口部
１０ｂ  ノズル先端
２０    マルチノズル
２０ａ  入口部
２０ｂ  円筒状ノズル
２０ｃ  ケーシングブロック
３０    液剤
５０    マルチノズル
５０ａ  入口部
５０ｃ  ケーシングブロック
５２    隆起部
５２ａ  隆起面
５４    吐出口
５６    塗布済液剤
６０    マルチノズル
６０ａ  入口部
６０ｃ  ケーシングブロック
６２    隆起部
６２ａ  隆起面
６４ａ  吐出溝
６６ａ  連通口
６８ａ  塗布済液剤
８０    マルチノズル
８０ａ  入口部
８０ｃ  ケーシングブロック
８２    隆起部
８２ａ  隆起面
８４ａ、８４ｂ  吐出溝
８６ａ、８６ｂ  連通口
８７    吐出口
８８    吐出口
９０ａ、９０ｂ  塗布済液剤
９１    塗布液剤
９２    吐出口
１００  マルチノズル
１００ａ  入口部
１００ｃ  ケーシングブロック
１０２  隆起部
１０４  吐出口
１０６  溝部
１０８  板状ワーク
１０８ａ  孔部
１１０  マルチノズル
１１０ａ  塗布済液剤
１１０ｂ  塗布済液剤
１１２  隆起部
１１２ａ  長溝
１１４ａ  連通口
１２０  マルチノズル
１２２  隆起部
１２２ａ、１２２ｂ  長溝
１２４ａ、１２４ｂ  連通口
１２６  溝部
１３０  磁気ヘッドサスペンション
１３２  ベースプレート
１３２ａ  軸孔
１３２ｂ  孔部
１３４  ロードビーム
１４０  ケーシングブロック
１４１  シリンジ
１４２  マルチノズル
１４４  隆起部
１４４ａ隆起面
１４６  吐出口
１４８a-１４８ｃ  吐出口
１４７  溝部
１５０  マルチノズル
１５２  長溝
１６２ａ-１６２ｃ  塗布済液剤
１６４  導電性液剤
１７０ａ、１７０ｂ  微動アクチュエータ
１７２ａ、１７２ｂ  導電性液剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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