(57)【要約】【課題】容器本体の部品点数を減らし、容器本体の生産性を向上して当該容器本体の製造コストを廉価にできる、精密基板収納容器を提供すること。また、容器本体の側壁における取っ手箇所の変形を無くし、その結果、容器本体と精密基板との擦れを無くして、所謂コンタミの原因となる容器本体内での粉塵の発生を防止すると共に、容器本体内で精密基板を位置精度良く支持できる、精密基板収納容器を提供すること。【解決手段】本発明の精密基板収納容器１０は、内部に複数の精密基板Ｗを整列収納する容器本体１２を備える。容器本体１２の相対向する左右両側壁の内面には、精密基板Ｗを支持する支持部が設けられている。一方、容器本体１２の相対向する左右両側壁の外面には、精密基板収納容器を持ち上げる際に把持される取っ手３０が設けられている。この取っ手３０は、容器本体１２に一体に成形されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に複数の精密基板を整列収納する容器本体を備えた精密基板収納容器であって、
前記容器本体の相対向する両側壁の内面には、精密基板を支持する支持部が設けられ、
前記容器本体の相対向する両側壁の外面には、精密基板収納容器を持ち上げる際に把持される取っ手が設けられており、
前記取っ手は、前記容器本体に一体に成形されていることを特徴とする、精密基板収納容器。
【請求項２】
請求項１に記載の精密基板収納容器において、
取っ手には、容器本体の底壁側に向かって開放する開放部が形成されていることを特徴とする、精密基板収納容器。
【請求項３】
請求項２に記載の精密基板収納容器において、
取っ手は、当該取っ手の開放部を挟んで相対向する両側片部と、これら両側片部間に架設される閉塞片部とで構成されていることを特徴とする、精密基板収納容器。
【請求項４】
請求項１から３の何れか１項に記載の精密基板収納容器において、
取っ手の端縁に鍔部が内方に向かって突設され、
前記鍔部の外側端縁に凸状のリブが形成されてなり、
前記リブの側端面は、容器本体を横置き状態としたときの作業面に対して鉛直面をなしていることを特徴とする、精密基板収納容器。
【請求項５】
請求項４に記載の精密基板収納容器において、
鍔部には、食指が当接する位置に凹部が形成されていることを特徴とする、精密基板収容容器。
【請求項６】
請求項１から５までの何れか１項に記載の精密基板収納容器において、
取っ手には、母指が当接する側の外面に滑り防止部が設けられていることを特徴とする、精密基板収納容器。
【請求項７】
請求項１から６までの何れか１項に記載の精密基板収納容器において、
取っ手には、精密基板加工時にロボットハンドにより把持されるサポータが着脱自在に装着されることを特徴とする、精密基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハ及び液晶用ガラス板等の精密基板を収納し、保管及び運搬等に使用される、精密基板収納容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
精密基板の保管及び運搬等に使用される精密基板収納容器としては、たとえば、特許文献１に開示された精密基板収納容器が知られている。
【０００３】
この精密基板収納容器は、内部に複数の精密基板を整列収納する容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体とを備えている。
【０００４】
こうした精密基板収納容器では、容器本体の相対向する両側壁の内面には、精密基板を一定間隔で支持する支持部が形成されている。また、容器本体の相対向する両側壁の外面には、取っ手が取り付けられているので、この取っ手を作業者が握ることで、精密基板収納容器を持ち上げ、運搬が容易になる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−３０６９８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前記特許文献１に記載の技術では、容器本体の相対向する両側壁の外面に容器本体とは別体の取っ手が取り付けられているので、容器本体と取っ手をそれぞれ製造するための装置が必要であるだけでなく、部品点数が多くなり、しかも組立工数が増えて組立作業性が悪くなる結果、製造コストが高くなるという問題があった。
【０００７】
また、容器本体の相対向する両側壁の外面に容器本体とは別体の取っ手が熱融着によって取り付けられているので、この取っ手の融着箇所全体の強度が樹脂の熱劣化や歪みの発生などの理由によって弱くなり、作業者が取っ手を握って精密基板収納容器を持ち運ぶ際に、精密基板や精密基板収納容器の荷重により側壁が変形する場合がある。このように側壁が変形することで、容器本体と容器本体内の精密基板との間で擦れが生じて粉塵が発生し、この粉塵が精密基板に悪影響を及ぼす、所謂コンタミの原因となる。
【０００８】
さらに、上記のように側壁が変形することにより、容器本体内での精密基板の位置精度が悪くなり、当該精密基板を取り出し、処理する際に支障が生じる。
【０００９】
それゆえに、本発明の目的は、部品点数を減らし、容器本体の生産性を向上して当該容器本体の製造コストを廉価にできる、精密基板収納容器を提供することにある。
【００１０】
また、本発明の他の目的は、容器本体の側壁における取っ手箇所の強度を向上させて変形を無くし、その結果、容器本体と精密基板との擦れを無くして、所謂コンタミの原因となる容器本体内での粉塵の発生を防止すると共に、容器本体内で精密基板を位置精度良く支持できる、精密基板収納容器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記目的を達成するため、本発明に係る精密基板収納容器においては、内部に複数の精密基板を整列収納する容器本体を備えた精密基板収納容器であって、前記容器本体の相対向する両側壁の内面には、複数の精密基板を支持する支持部が設けられ、前記容器本体の相対向する両側壁の外面には、精密基板収納容器を持ち上げる際に把持される取っ手が設けられており、前記取っ手は、前記容器本体に一体に成形されていることを特徴とするものである。
【００１２】
本発明においては、取っ手が容器本体の相対向する両側壁の外面に一体に成形されているので、部品点数および組立工数が少なくなり、しかも容器本体の生産性が向上する結果、容器本体の製造コストが廉価になる。
【００１３】
又、このように容器本体に取っ手を一体形成すると、容器本体全体としての強度が向上するため、従来品と比較して容器本体の変形を無くすることができる。これにより、容器本体と容器本体内の精密基板との擦れを防止して、所謂コンタミの原因となる粉塵の発生を無くすることができる。また、容器本体の変形が無くなることにより、容器本体内で精密基板を位置精度良く支持することができる。
【００１４】
又、本発明の精密基板収納容器において、取っ手には、容器本体の底壁側に向かって開放する開放部が形成されている。
【００１５】
本発明において、取っ手には、容器本体の底壁側に向かって開放する開放部が形成されているので、取っ手に指を容易に差し入れて精密基板収納容器を容易に支持することができる。
【００１６】
本発明の精密基板収納容器において、取っ手は、当該取っ手の開放部を挟んで相対向する両側片部と、これら両側片部間に架設される閉塞片部とで構成されている。
【００１７】
本発明の精密基板収納容器においては、容器本体を縦置き状態から横置き状態として精密基板の収納又は取り出しが実行される。そのため、縦置き状態とされた容器本体をそのまま一旦持ち上げた後、当該容器本体を９０度回転させて作業面上に横置き状態とする必要がある。このとき、取っ手は、当該取っ手の開放部を挟んで相対向する両側片部と、これら両側片部間に架設される閉塞片部とで構成されているので、取っ手を確りと把持できる結果、取っ手から指が外れるおそれはない。そのため、ハンドリング操作の際、容器本体を作業面上に確実に横置き状態で載せることができる。
【００１８】
さらに、本発明の精密基板収納容器において、取っ手の端縁に鍔部が内方に向かって突設され、前記鍔部の外側端縁に凸状のリブが形成されてなり、前記リブの側端面は、容器本体を横置き状態としたときの作業面に対して鉛直面をなしているように構成するのが好ましい。
【００１９】
即ち、容器本体内の精密基板を加工、処理するにあたり、この容器本体内の精密基板は当該容器本体内から一旦取り出され、加工、処理がなされるが、この加工、処理された精密基板は再度容器本体内に収納された後、容器本体が作業面上において横置き状態にされ、取っ手がロボットハンドにより把持されて蒸着フィルムにより包装される。このとき、前記鍔部の外側端縁における凸状のリブの側端面は、容器本体を横置き状態としたときの作業面に対して鉛直面をなしているので、作業面上に横置き状態にされた当該容器本体の水平度を保つことができる。
【００２０】
さらにまた、本発明の精密基板収納容器においては、鍔部には、食指が当接する位置に凹部が形成されている。
【００２１】
前記容器本体を縦置き状態から横置き状態とするときには、鍔部の凹部に差し入れられた食指に荷重が均等にかかるので、当該容器本体を縦置き状態から横置き状態とするときに安定した状態で確実にその作業を行うことができる。
【００２２】
加えて、本発明の精密基板収納容器において、取っ手には、母指が当接する側の外面に滑り防止部が設けられているものが望ましい。
【００２３】
前記取っ手には、母指が当接する側の外面に滑り防止部が設けられていると、容器本体を縦置き状態から横置き状態とするときの母指の滑りが防止される結果、当該容器本体を確実に支持し、落下させるおそれがなくなるのである。
【００２４】
また、本発明の精密基板収納容器において、取っ手には、精密基板加工時にロボットハンドにより把持されるサポータが着脱自在に装着し得るものが望ましい。
【００２５】
前記取っ手には、精密基板加工時にロボットハンドにより把持されるサポータが着脱自在に装着し得るので、ロボットハンドで容器本体を確実に把持し、取り扱うことができるのである。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によると、部品点数を減らして精密基板収納容器の生産性を向上し、その結果、当該精密基板収納容器の製造コストを廉価にできる効果を奏するのである。
【００２７】
また、本発明によると、容器本体の側壁における取っ手箇所の変形を無くし、その結果、容器本体と精密基板との擦れを無くして、所謂コンタミの原因となる容器本体内での粉塵の発生を防止すると共に、容器本体内で精密基板を位置精度良く支持できるなどの効果を奏するのである。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施の形態に係る精密基板収納容器の右側面図である。
【図２】精密基板収納容器の容器本体の断面図である。
【図３】容器本体に対して精密基板を収納又は取り出しをする状態を示す図である。
【図４】取っ手にサポータを着脱する状態を示す図である。
【図５】サポータを上方から視た斜視図である。
【図６】サポータを下方から視た斜視図である。
【図７】精密基板収容容器を縦置き状態から横置き状態で作業台上に載せる状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
【００３０】
図１は本発明の実施の形態に係る精密基板収納容器１０の右側面図、図２は精密基板収納容器１０の容器本体１２の断面図である。
【００３１】
本発明の精密基板収納容器１０は、内部に複数の精密基板Ｗを整列収納する容器本体１２と、この容器本体１２の開口を閉鎖する蓋体１４とを備えている。
【００３２】
本発明の精密基板収納容器１０は、この場合、ポリカーボネート樹脂で透明材料又は半透明材料によって成形されている。前記容器本体１２は、図１及び図２に示す縦置き状態で、４つの側壁１６，１８，２０，２２及び底壁２４から構成されて上面が開口した略立方体状の有底筒形に形成されている。
【００３３】
容器本体１２の相対向する左右両側壁１６，１８の内面には、精密基板Ｗを支持する支持部２６が設けられている。この支持部２６には、精密基板Ｗを一定間隔で支持するためのスリット２８が複数形成されている。
【００３４】
一方、容器本体１２の相対向する左右両側壁１６，１８の外面には、精密基板収納容器１０を持ち上げる際に把持される取っ手３０が設けられている。この取っ手３０は、容器本体１２と同素材からなり、容器本体１２に一体に成形されている。
【００３５】
前記取っ手３０には、容器本体１２の底壁２４側に開放する開放部３２が形成されている。具体的には、取っ手３０は、当該取っ手３０の開放部３２を挟んで相対向する両側片部３４，３６と、これら両側片部３４，３６の上端部間に架設される閉塞片部３８とで構成されて、線対称の略逆Ｕ字形状をなしている。取っ手３０の線対称軸線４０は、図１に示すように、容器本体１２の左右両側壁1６，１８の中心線４２に対して、図３に示す容器本体１２の横置き状態でトップ面となる前側壁２０側に偏倚している。
【００３６】
また、取っ手３０の端縁には、左側片部３４、閉塞片部３８及び右側片部３６に沿って鍔部４４が内方に向かって突設されている。この鍔部４４は、取っ手３０と共に母指を除く四指を差し入れるための差し入れ空間を形成する。
【００３７】
鍔部４４の外側端縁には、当該鍔部４４の外側端縁の全長にわたって第１の凸状リブ４６が線状に形成されている。この第１の凸状リブ４６の側端面は、図３に示す容器本体１２を横置き状態としたときの作業台４８の作業面５０に対して鉛直面をなしている。特に、本実施の形態では、容器本体１２の後側壁２２の外面には、容器本体１２を横置き状態としたときに容器本体１２内で精密基板Ｗが支持部２６により水平に支持されるよう、側面視Ｌ字形の支持プレート５２が取り付けられていて、この支持プレート５２の基板部５４に対して、第１の凸状リブ４６の側端面は鉛直面をなしている。
【００３８】
また、鍔部４４には、食指が当接する位置に凹部５６が形成されている。この凹部５６は、閉塞片部３８箇所の鍔部４４におけるコーナー部に配置されている。これに対し、取っ手３０には、母子が当接する側の外面に滑り防止部５８が設けられている。この滑り防止部５８は、取っ手３０の右側片部３６の外面にその幅方向に沿って形成された複数の第２の凸状リブ６０からなり、取っ手３０における右側片部３６の外面が凹凸面をなすように構成されている。
【００３９】
容器本体１２の底壁２４には、図２に示すように、容器本体１２の内部に山形状に膨出する一対の膨出部６２が左右方向に間隔を隔てて形成されている。これら膨出部６２の頂部には、リアリテーナ６４が設けられている。
【００４０】
前記蓋体１４は、容器本体１２と同素材からなる。この蓋体１４は、容器本体１２との間にガスケット（図示せず。）を介して容器本体１２の開口部に固定される。この固定状態において、容器本体１２内に整列収納された各精密基板Ｗの周縁部は、蓋体１４の裏面に設けられたフロントリテーナ（図示せず。）と容器本体１２の底壁２４の膨出部６２に設けたリアリテーナ６４とによって挟持固定される。
【００４１】
ところで、精密基板Ｗの加工時等には、ロボットハンド（図示せず。）に把持されるサポータ７０（図５及び図６参照）が使用される。そこで、本実施の形態では、図４に示すように、このサポータ７０が取っ手３０に着脱自在に装着できるように構成されている。
【００４２】
図５はサポータ７０を上方から視た斜視図、図６はサポータ７０を下方から視た斜視図である。
【００４３】
図５及び図６を参照して、サポータ７０は、合成樹脂を素材として成形されてなる。このサポータ７０は、前記取っ手３０の差し入れ空間に挿入されるサポータ本体７２と、このサポータ本体７２の上面において上下に間隔を隔てて配置された一対のロボットハンドガイド片７４とを備えている。
【００４４】
前記サポータ本体７２は、その外郭形状が取っ手３０の内郭形状と相似形をなし、全体として略塵取形状を有している。
【００４５】
ロボットハンドガイド片７４は、その長さ寸法がサポータ本体７２よりも長い長尺部材からなる。このロボットハンド片７４とサポータ本体７２との接合部の上部には、ロボットハンドの係合部と係合する切欠７６が形成されている。
【００４６】
以上の精密基板収納容器１０によれば、以下の作用・効果を奏する。
【００４７】
（１）取っ手３０が容器本体１２の相対向する左右両側壁１６，１８の外面に一体に成形されているので、容器本体１２の生産性がよくなり、製造ストが廉価になり、また、容器本体１２全体としての強度がアップするため、従前に比して容器本体１２の変形を無くすることができる。これにより、容器本体１２と容器本体１２内の精密基板Ｗとの擦れを防止して、粉塵の発生を無くすることができる結果、所謂コンタミの問題も解決できるのである。また、容器本体１２の変形を無くすることにより、容器本体１２内での精密基板Ｗを位置精度良く支持することができる。
【００４８】
（２）取っ手３０には、容器本体１２の底壁２４側に向かって開放する開放部３２が形成されているので、取っ手３０に指を差し入れ易く、作業性が向上する。
【００４９】
（３）精密基板収納容器１０においては、容器本体１２を縦置き状態から図３に示す横置き状態として精密基板Ｗの収納又は取り出しが実行される。そのため、図７に示すように、縦置き状態にされた容器本体１２をそのまま一旦持ち上げた後、容器本体１２を９０度回転させて作業台４８の作業面５０上に横置き状態にする必要がある。このとき、取っ手３０は、当該取っ手３０の開放部を挟んで相対向する両側片部３４，３６と、これら両側片部３４，３６の上端部間に架設される閉塞片部３８とで構成されているので、取っ手３０から指が外れるおそれはない。そのため、確実なハンドリング操作で容器本体１２を作業面５０上に横置き状態で載せることができる。また、取っ手３０の線対称軸線４０が容器本体１２の左右両側壁１６，１８の中心線４２に対して、容器本体１２の横置き状態でトップ面となる前側壁２０側に偏倚しているので、容器本体１２を縦置き状態から横置き状態にするときに、容器本体１２の回転モーメントの中心が手前側（作業者側）となり、容器本体１２を９０度回転させて作業台４８の作業面５０上にハンドリング良く横置き状態にすることができる。
【００５０】
（４）精密基板収納容器１０においては、容器本体１２内への精密基板Ｗの収納が終了すると、容器本体１２が作業面５０上において横置き状態で取っ手３０がロボットハンドにより把持されて蒸着フィルムにより包装される。このとき、取っ手の左側片部３４、閉塞片部３８及び右側片部３６の上端縁に沿って鍔部４４が内方に向かって突設され、この鍔部４４のそと側端縁の全長にわたって第１の凸状リブ４６が線状に形成されており、第１の凸状リブ４６の側端面は、容器本体１２を横置き状態としたときの作業面５０に対して鉛直面をなしているので、作業面５０上に横置きされた容器本体１２の水平度を保つことができる。
【００５１】
（５）容器本体１２を縦置き状態から横置き状態とするときには、鍔部４４の凹部に差し入れられた食指に荷重が均等にかかるので、容器本体１２を縦置き状態から横置き状態とするときの作業性が向上する。
【００５２】
（６）取っ手３０には、母指が当接する側の外面に滑り防止部５８が設けられているので、容器本体１２を縦置き状態から横置き状態とするときの母指の滑りが防止され、容器本体１２を落下させるおそれがなくなる。また、容器本体１２を持ち上げる際には、母指が当接する取っ手３０の右側片部３６に力が集中するが、滑り防止部５８は、取っ手３０の右側片部３６の外面にその幅方向に沿って形成された複数の第２の凸状リブ６０からなり、取っ手３０の右側片部３６の外面が凹凸面をなすように構成されているので、取っ手３０の右側片部３６の剛性が強くなり、破損するおそれが無くなるのである。
【００５３】
（７）取っ手３０には、精密基板加工時にロボットハンドにより把持されるサポータ７０が着脱自在に装着されるので、精密基板加工時に精密基板収納容器を確実に把持することができる。
【００５４】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。
【００５５】
たとえば、上記実施の形態では、鍔部４４の内側端縁に沿って第１の凸状リブ４６が線状に形成されている例について記載した。しかし、本発明はそのような構成に限定されるものではない。例えば、鍔部４４の外側端縁に沿って第１の凸状リブ４６が点在するように構成しても良いのである。
【００５６】
また、滑り防止部５８に関して、上記実施の形態では、取っ手３０の右側片部３６の外面にその幅方向に沿って複数の第２の凸状リブ６０を形成し、それによって取っ手３０の右側片部３６の外面が凹凸面をなすように構成されている例について記載した。しかし、本発明はそのような構成に限定されるものではない。例えば、滑り防止部５８に関して、取っ手３０の右側片部３６の外面に複数の第２の凸状リブ６０を点在させ、それによって取っ手３０の右側片部３６の外面に凹凸面が形成されるように構成してもよいのである。滑り防止部５８に関して、取っ手３０の右側片部３６の外面にその幅方向に沿って複数の凹溝を形成し、それによって取っ手３０の右側片部３６の外面が凹凸面をなすように構成しても良いのである。さらに、滑り防止部５８に関して、取っ手３０の右側片部３６の外面に粗面加工を施すようにしても良い。
【００５７】
その他、本明細書に添付の特許請求の範囲内での種々の設計変更及び修正を加え得ることは勿論である。
【００５８】
すなわち、本明細書で開示した実施の形態は単に例示であって、本明細書が上述した実施の形態のみに限定されるわけではない。本発明の範囲は、本明細書の記載内容を参酌した上で、別紙の特許請求の範囲によって示され、そこに記載された文言と均等の意味及び範囲内での全ての変更を含む。
【符号の説明】
【００５９】
１０  精密基板収納容器
１２  容器本体
１６，１８，２０，２２  側壁
２４  底壁
２６  支持部
３０  取っ手
３４，３６  両側片部（３４  左側片部、３６  右側片部）
３８  閉塞片部
４４  鍔部
４６  第１の凸状リブ
５６  凹部
５８  滑り防止部
６０  第２の凸状リブ
７０  サポータ
Ｗ  精密基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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