(57)【要約】      （修正有）【課題】製造工程において、フレキシブルケーブルに設けられた配線が他の部材に接触して破壊されるのを防止する。【解決手段】フレキシブルケーブル４の引出部を押さえ板７の側面に接合して、流路ユニット２のフレキシブルケーブル４と圧電アクチュエータ３が接合される面に対して、引出部を立ち上げる。その後、補強フレーム８の開口をフレキシブルケーブル４の引出部が通過するように、流路ユニット２と補強フレーム８を積層して接合する。【選択図】図３
2011073309.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力室と、前記圧力室に連通するノズルを有する液体流路が形成された流路ユニットと、
前記流路ユニットに接合され、前記ノズルから液体を吐出させるために前記圧力室内の液体に圧力を付与するアクチュエータと、
前記アクチュエータと電気的に接続される複数の接続端子が設けられた１つの接続部と、この接続部に連なって形成されるものであって、前記複数の接続端子から延びる配線が設けられた複数の引出部とを備えており、前記複数の引出部が前記接続部から互いに異なる方向に延出するように構成された配線部材と、
前記配線部材の前記アクチュエータと反対側の面における前記接続部の前記複数の接続端子よりも前記引出部側に接合された、前記配線部材が前記アクチュエータから剥離するのを抑制する剥離抑制部材と、
前記流路ユニットの前記アクチュエータと前記接続部が接合される領域の周囲に接合され、前記流路ユニットを補強するための補強フレームと、を備えた液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記流路ユニットと前記アクチュエータを接合する第１工程と、
前記アクチュエータと前記配線部材を電気的に接続させる第２工程と、
前記配線部材と前記剥離抑制部材を接合する第３工程と、
前記流路ユニットと前記補強フレームを接合する第４工程と、を備え、
前記第３工程において、
前記配線部材の前記複数の引出部を前記剥離抑制部材に接合させて、前記複数の引出部を前記接続部に対して立ち上げて形成することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記アクチュエータは、圧電材料が積層されて形成された板状の圧電アクチュエータであり、
前記アクチュエータの一方の面が前記流路ユニットと接合されるとともに、前記アクチュエータの他方の面が前記配線部材の前記接続部と接合されており、
前記第１工程から前記第４工程の全ての工程の後に、前記アクチュエータの露出した側面を大気と遮断するために、前記側面を封止材で封止する第５工程をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記剥離抑制部材における前記配線部材の前記複数の引出部が接合される領域は、前記剥離抑制部材と前記配線部材の前記接続部が接合される面から離れるほど近づくように前記接続部が接合される面に対して傾斜しており、
前記第３工程において、前記配線部材の前記複数の引出部を前記剥離抑制部材の前記傾斜した領域に接合して、前記複数の引出部を前記接続部に対して立ち上げることを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
圧力室と、前記圧力室に連通するノズルを有する液体流路が形成された流路ユニットと、
前記流路ユニットに接合され、前記ノズルから液体を吐出させるために前記圧力室内の液体に圧力を付与するアクチュエータと、
前記アクチュエータと電気的に接続される複数の接続端子が設けられた１つの接続部と、この接続部に連なって形成されるものであって、前記複数の接続端子から延びる配線が設けられた複数の引出部とを備えており、前記複数の引出部が前記接続部から互いに異なる方向に延出するように構成された配線部材と、
前記配線部材の前記アクチュエータと反対側の面における前記接続部の前記複数の接続端子よりも前記引出部側に接合された、前記配線部材が前記アクチュエータから剥離するのを抑制する剥離抑制部材と、
前記流路ユニットの前記アクチュエータと前記接続部が接合される領域の周囲に接合され、前記流路ユニットを補強するための補強フレームと、を備えた液体吐出ヘッドであって、
前記配線部材の前記複数の引出部を前記剥離抑制部材に接合させて、前記複数の引出部を前記接続部に対して立ち上げられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッドと、その製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、液体を吐出する液体吐出ヘッドとして、例えばインクジェットプリンタに搭載されたインクジェットヘッドがある。特許文献１に記載されたインクジェットヘッドは、複数のノズルを外部に開口させ内部にインク流路を有するキャビティユニットと、キャビティユニット内のインクに複数のノズルから選択的に吐出する圧力を与える圧電アクチュエータと、圧電アクチュエータに駆動信号を出力するフレキシブルフラットケーブルとが積層配置される構造のヘッドユニットと、ヘッドユニットの背面側に剛性板と補強フレームを備えている。
【０００３】
この特許文献１に記載されたインクジェットヘッドにおいて、印字高速化のためにノズル数を増やすと、駆動電圧が付与される圧電アクチュエータの電極も増え、その結果、圧電アクチュエータの電極と接続されるフレキシブルフラットケーブルの端子電極から引き出される配線数が増えることとなる。フレキシブルフラットケーブルの配線数が増えて、配線密度が高くなると、隣接する配線同士でクロストークが発生するおそれがある。一方、フレキシブルフラットケーブルに配置される配線の配線密度が高くなるのを抑えるためには、フレキシブルフラットケーブルの配線が配置される面積を大きくする必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２７６３３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで本願出願人は、フレキシブルフラットケーブルの配線が設けられる引出部を端子電極が配置される接続部に対して複数設け、フレキシブルフラットケーブルの端子電極から配線を複数の引出部のそれぞれに引き出して配置する構成を考え出した。この構成により、配線密度を高くすることなく、かつ、配線が配置されたそれぞれの引出部の面積大きくすることなく、多くの配線を配置できるようになった。
【０００６】
しかしながら、この引出部を複数設ける構成では、インクジェットヘッドの製造工程において、補強フレームとフレキシブルフラットケーブルが干渉して、補強フレームの角部のバリなどがフレキシブルフラットケーブルを傷つけてしまい、その結果、フレキシブルフラットケーブル上の配線が断線してしまうおそれがあった。従来は、図６（ａ）に示すように、フレキシブルフラットケーブル４の引出部１３が１つのみであったため、引出部１３を補強フレーム８の開口部を通過させるとともに、引出部１３持ち上げることで、引出部１３を補強フレーム８に接触させることなく、図６（ｂ）に示すように、補強フレーム８をヘッドユニット２に接合することができた。
【０００７】
しかし、図６（ｃ）に示すように、フレキシブルフラットケーブル４の引出部１３が２つ設けられた構成では、一方の引出部１３を補強フレーム８の開口部を通過させるだけでは、図６（ｄ）に示すように、補強フレーム８をヘッドユニット２に接合することができず、両方の引出部１３を同時に湾曲させて持ち上げることで補強フレーム８の開口部を通過させるか、あるいは、一方の引出部１３を補強フレーム８の開口部を通過させた後に、他方の引出部１３を湾曲させて補強フレーム８の開口部を通過させる必要がある。いずれの方法でも、フレキシブルフラットケーブル４が補強フレーム８の開口部と接触し、フレキシブルケーブル４に配置された配線が断線するおそれがあった。
【０００８】
そこで、本発明は、端子電極が配置された接続部に対して、端子電極から引き出された配線を配置する引出部が複数設けられたフレキシブルフラットケーブルなどの平型柔軟ケーブルを備えた液体吐出ヘッドにおいて、平型柔軟ケーブル上の配線を断線させることなく液体吐出ヘッドを製造することができる製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
第１の発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、圧力室と、前記圧力室に連通するノズルを有する液体流路が形成された流路ユニットと、前記流路ユニットに接合され、前記ノズルから液体を吐出させるために前記圧力室内の液体に圧力を付与するアクチュエータと、前記アクチュエータと電気的に接続される複数の接続端子が設けられた１つの接続部と、この接続部に連なって形成されるものであって、前記複数の接続端子から延びる配線が設けられた複数の引出部とを備えており、前記複数の引出部が前記接続部から互いに異なる方向に延出するように構成された配線部材と、前記配線部材の前記アクチュエータと反対側の面における前記接続部の前記複数の接続端子よりも前記引出部側に接合された、前記配線部材が前記アクチュエータから剥離するのを抑制する剥離抑制部材と、前記流路ユニットの前記アクチュエータと前記接続部が接合される領域の周囲に接合され、前記流路ユニットを補強するための補強フレームと、を備えた液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記流路ユニットと前記アクチュエータを接合する第１工程と、前記アクチュエータと前記配線部材を電気的に接続させる第２工程と、前記配線部材と前記剥離抑制部材を接合する第３工程と、前記流路ユニットと前記補強フレームを接合する第４工程と、を備え、前記第３工程において、前記配線部材の前記複数の引出部を前記剥離抑制部材に接合させて、前記複数の引出部を前記接続部に対して立ち上げて形成することを特徴としている。
【００１０】
配線部材に設けられた配線が他の部材と接触すると、配線が傷付き断線してしまうおそれがあるが、この発明によれば、配線部材の引出部を接続部に対して立ち上げて形成しているため、引出部が補強フレームと接触することがない。そのため、引出部に設けられた配線が他の部材と接触することがなく、配線が傷付き断線することなく、液体吐出ヘッドを製造することができる。そして、配線部材の引出部を立ち上げる際に、部材を追加することなく、配線部材がアクチュエータから剥離するのを抑制する剥離抑制部材に配線部材の引出部を接合させることで、配線部材の引出部を接続部に対して容易に立ち上げることができる。
【００１１】
第２の発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、前記第１の発明において、前記アクチュエータは、圧電材料が積層されて形成された板状の圧電アクチュエータであり、前記アクチュエータの一方の面が前記流路ユニットと接合されるとともに、前記アクチュエータの他方の面が前記配線部材の前記接続部と接合されており、前記第１工程から前記第４工程の全ての工程の後に、前記アクチュエータの露出した側面を大気と遮断するために、前記側面を封止材で封止する第５工程をさらに備えたことを特徴としている。
【００１２】
これによれば、圧電アクチュエータが大気と接触することで、圧電アクチュエータが大気中の水分を吸収し、圧電アクチュエータに設けられた電極がマイグレーションを起こして、電極同士が導通することで、圧電アクチュエータが破壊されることがある。そのため、圧電アクチュエータを大気から遮断するために封止材で封止することがあるが、この発明によれば、封止材で圧電アクチュエータの側面を封止する際に、圧電アクチュエータに接続させる配線部材の引出部が立ち上げられているため、圧電アクチュエータの側面が露出しており、その露出した圧電アクチュエータの側面を容易に封止材で封止することができる。
【００１３】
第３の発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、前記第２の発明において、前記剥離抑制部材における前記配線部材の前記複数の引出部が接合される領域は、前記剥離抑制部材と前記配線部材の前記接続部が接合される面から離れるほど近づくように前記接続部が接合される面に対して傾斜しており、前記第３工程において、前記配線部材の前記複数の引出部を前記剥離抑制部材の前記傾斜した領域に接合して、前記複数の引出部を前記接続部に対して立ち上げることを特徴としている。
【００１４】
この発明によれば、配線部材の複数の引出部を、配線部材と剥離抑制部材の積層方向から見たときに、配線部の接続部と重なる領域に配置することができるため、引出部に設けられた配線が他の部材と接触することを確実に防止することができる。
【００１５】
第４の発明の液体吐出ヘッドは、圧力室と、前記圧力室に連通するノズルを有する液体流路が形成された流路ユニットと、前記流路ユニットに接合され、前記ノズルから液体を吐出させるために前記圧力室内の液体に圧力を付与するアクチュエータと、前記アクチュエータと電気的に接続される複数の接続端子が設けられた１つの接続部と、この接続部に連なって形成されるものであって、前記複数の接続端子から延びる配線が設けられた複数の引出部とを備えており、前記複数の引出部が前記接続部から互いに異なる方向に延出するように構成された配線部材と、前記配線部材の前記アクチュエータと反対側の面における前記接続部の前記複数の接続端子よりも前記引出部側に接合された、前記配線部材が前記アクチュエータから剥離するのを抑制する剥離抑制部材と、前記流路ユニットの前記アクチュエータと前記接続部が接合される領域の周囲に接合され、前記流路ユニットを補強するための補強フレームと、を備えた液体吐出ヘッドであって、前記配線部材の前記複数の引出部を前記剥離抑制部材に接合させて、前記複数の引出部を前記接続部に対して立ち上げられていることを特徴としている。
【００１６】
この発明によれば、配線部材の複数の引出部と補強フレームが接触しないため、引出部に設けられた配線が傷付き断線することがない。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、配線部材の引出部を接続部に対して立ち上げて形成しているため、引出部が補強フレームと接触することがない。そのため、引出部に設けられた配線が他の部材と接触することがなく、配線が傷付き断線することなく、液体吐出ヘッドを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本実施形態に係るインクジェットヘッドの概略構成を示す外観斜視図である。
【図２】図１のインクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図３】図１のＶ−Ｖ線断面図である。
【図４】本実施形態に係るインクジェットヘッドの製造工程を示す工程図である。
【図５】他の実施形態に係るフレキシブルフラットケーブルを示す平面図である。
【図６】（ａ）、（ｂ）は、１の引出部を有するフレキシブルフラットケーブルが接合された流路ユニットに補強フレームを接合する図、（ｃ）、（ｄ）は、２の引出部を有するフレキシブルフラットケーブルが接合された流路ユニットに補強フレームを接合する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
次に、本発明の好適な実施形態について説明する。本実施形態は、液体供給装置として、記録用紙に対してインクを噴射して画像等を記録する、インクジェットプリンタのインクジェットヘッドに本発明を適用したものである。
【００２０】
図１は、本実施形態に係るインクジェットヘッドの概略構成を示す外観斜視図である。図１に示すように、インクジェットヘッド１は、ノズルや圧力室などのインク流路を有する流路ユニット２と、圧力室内のインクにノズルから吐出させるための圧力を付与する圧電アクチュエータ３（アクチュエータ）と、圧電アクチュエータ３に駆動電圧を供給するフレキシブルケーブル４（配線部材）と、フレキシブルケーブル４が圧電アクチュエータ３から剥離するのを防止する押さえ板７（剥離抑制部材）と、流路ユニット２の変形を抑制するための補強フレーム８などを備えている。
【００２１】
流路ユニット２は、ＳＵＳなどの薄板金属プレートを複数枚積層して形成されており、これらの金属プレートのそれぞれには、エッチングなどにより穴や溝が形成されている。そして、複数の金属プレートが積層して接合されることで、その内部にインク流路を形成する。インク流路は、図２に示すように、インク流入口１０と、インク流入口１０に連通する図示しない共通液室と、共通液室に連通する複数の圧力室と、それぞれの圧力室に連通するノズルを備えている。
【００２２】
圧電アクチュエータ３は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）のセラミックス材料を積層して形成されており、流路ユニット２上に設けられている。圧電アクチュエータ３の上面には、流路ユニット２の複数の圧力室のそれぞれに対応する複数の電極１１と、これら複数の電極１１に対応する図示しない共通電極を有している。圧電アクチュエータ３は、電界が付与されたときに圧電変形をするものであれば、ＰＺＴに限られない。
【００２３】
フレキシブルケーブル４は、可撓性の樹脂（ポリイミドなど）で形成されており、圧電アクチュエータ３の複数の電極１１のそれぞれと電気的に接続される図示しない接続端子と、これらの接続端子のそれぞれから延びた配線と、これらの配線に接続されているドライバＩＣ５と、ドライバＩＣ５と外部の制御基板を接続する端子６が備えられている。
【００２４】
このフレキシブルケーブル４は、接続端子が圧電アクチュエータ３の複数の電極１１とハンダなどにより電気的に接合され、圧電アクチュエータ３上に積層して配置される。この接続端子が配置された接続部１２（図２の点線で囲まれた部分）の両側に接続端子から延びた配線が配置された一対の引出部１３が形成されている。すなわち、配線は、接続部１２の接続端子からいずれかの引出部１３に向けて配置されている。そして、引出部１３のそれぞれの端側には、ドライバＩＣ５と端子６が備えられている。ドライバＩＣ５は駆動することで発熱するが、ドライバＩＣ５の温度が上昇すると、ドライバＩＣ５が破壊されてしまうおそれがある。そのため、ドライバＩＣ５の発熱を放熱する必要があり、複数のドライバＩＣ５が配置されている場合には、互いに離隔して配置されている方が好ましい。そこで、後述するフレキシブルケーブル４を立ち上げた際に、ドライバＩＣ５同士の距離が遠くなるようにドライバＩＣ５は、フレキシブルケーブル４の圧電アクチュエータ３と接合させる面側に配置されている。
【００２５】
押さえ板７は、フレキシブルケーブル４上に積層され、平面視で圧電アクチュエータ３とほぼ同じ外形を有する矩形状の金属板である。この押さえ板７がフレキシブルケーブル４上に両面テープや接着剤などで接合されており、フレキシブルケーブル７が圧電アクチュエータ３から剥離するのを抑制している。すなわち、押さえ板７がない場合に、フレキシブルケーブル４に圧電アクチュエータ３から剥離させる力が働くと、フレキシブルケーブル４の幅方向最外側の端子から順番に内側に向かって、圧電アクチュエータ３の電極１１とを接合しているハンダバンプ１４が剥離することとなる。しかし、押さえ板７がある場合には、フレキシブルケーブル４に圧電アクチュエータ３から剥離させる力が働いても、フレキシブルケーブル４の幅方向に直交する方向における最外側の端子列におけるすべての端子に均等に剥離する力が作用することとなる。そのため、押さえ板７がない場合に比べて、フレキシブルケーブル４が圧電アクチュエータ３から剥離するのを抑制することができる。この押さえ板７は、フレキシブルケーブル４が圧電アクチュエータ３から剥離するのを抑制するものであるため、圧電アクチュエータ３とほぼ同じ外形であることに限られず、圧電アクチュエータ３の最外側に位置する電極１１上のハンダバンプ１４を覆う形状であれば例えば、最外側に位置する電極１１のみに対応する棒状部材など、いかなる形状であってもよい。また、押さえ板７は、金属材料に限られず、樹脂等で形成されていてもよい。
【００２６】
そして、この押さえ板７の側面は、図３に示すように、押さえ板７とフレキシブルケーブル４の積層方向に対して、フレキシブルケーブル４から離れるほど押さえ板７の水平断面が小さくなるように傾斜している。すなわち、押さえ板７の側面は、フレキシブルケーブル４が接合される面に直交する方向に対して傾斜しており、押さえ板７のフレキシブルケーブル４が接合される面と反対側の面の面積は、フレキシブルケーブル４が接合される面の面積よりも小さくなっている。この押さえ板７の側面に、両面テープや接着剤などにより、フレキシブルケーブル４の引出部１３が貼り付けられており、フレキシブルケーブル４は、上方ほど引出部１３の距離が近づくように折り曲げて立ち上げられている。
【００２７】
補強フレーム８は、金属材料からなり、中央部が開口した流路ユニット２を補強するためのロの字型のフレームである。流路ユニット２とは、両面テープや接着剤などで接合されている。そして、流路ユニット２と積層して接合されたときに、流路ユニット２上の圧電アクチュエータ３とフレキシブルケーブル４に対応する中央部が開口している。また、流路ユニット２のインク流入口１０に対応する部分にインク供給口９が形成されている。このインク供給口９は、図示しない外部のインクタンクと連通している。
【００２８】
流路ユニット２は、上述の通り、薄板金属プレートを積層して形成されているため、積層方向の曲げ剛性が低く、外力が作用したときに曲がり塑性変形してしまうおそれがあるため、補強フレーム８で補強している。また、流路ユニット２を走査方向に移動させるための移動手段である図示しないキャリッジ等に取り付ける場合にも、薄板金属プレートを積層してあるため、ねじ留めなどにより固定することが困難であるが、補強フレーム８を介してキャリッジ等と接合することで、製造工程を容易にすることができる。この補強フレーム８は流路ユニット２を補強するものであるため、金属材料に限られず、樹脂等で形成されていてもよく、必要な曲げ剛性を得られるだけその厚さが確保されていればよい。また、その形状は、ロの字型に限られず、コの字型でもよく、さらには、流路ユニット２の短辺方向の両側端部に一対の棒状のものでもよい。すなわち、流路ユニット２の長辺方向に垂直な方向の断面の曲げ剛性を補強するものであれば、いかなる形状であってもよい。
【００２９】
さらに、圧電アクチュエータ３の周囲には、圧電アクチュエータ３の側面を封止するように樹脂などの封止材１５が配置されている。この封止材１５は、圧電アクチュエータ３の側面を覆うように、流路ユニット２とフレキシブルケーブル４、および圧電アクチュエータ３の上面端部にも付着している。圧電アクチュエータ３は、セラミックス材料で形成されているため、大気中の水分を吸収すると、圧電アクチュエータ３の電極１１間や共通電極との間でマイグレーションが発生するのを促進してしまう。そのため、封止材１５により、圧電アクチュエータ３を大気から遮断している。
【００３０】
このインクジェットヘッド１の駆動方法について説明する。
【００３１】
制御基板に入力されたデータに基づき、制御基板から端子６を介してそれぞれのドライバＩＣ５に駆動電圧および駆動信号が供給される。制御基板から供給された駆動電圧と駆動信号に基づき、ドライバＩＣ５が駆動波形を生成する。この駆動波形は、２種類の所定の電圧（例えば、０Ｖと２０Ｖ）を選択的に切り替えるものである。そして、ドライバＩＣ５が接続端子を介して圧電アクチュエータ３の複数の電極１１にその駆動波形を供給する。また、圧電アクチュエータ３の共通電極は常に０Ｖに保持されており、電極１１に付与された電圧との電位差によって電極１１と共通電極に挟まれたＰＺＴに電界が付与され、ＰＺＴが圧電変形する。この圧電変形が、流路ユニット２の圧力室の容積を変化させ、圧力室内のインクに圧力を付与することで、ノズルからインクを吐出させる。
【００３２】
次に、インクジェットヘッド１の製造方法について説明する。
【００３３】
まず、図４（ａ）に示すように、流路ユニット２と圧電アクチュエータ３を接合する（第１工程）。ここでは、流路ユニット２と圧電アクチュエータ３を個別に形成した後、両面テープや接着剤で接合してもよく、また、流路ユニット２上に、エアロゾルデポジション法、ゾルゲル法、スパッタ法などで直接圧電アクチュエータ３を形成してもよい。さらに、流路ユニット２の上に圧電材料となるＰＺＴを主成分とするグリーンシートを積層した後、流路ユニット２とグリーンシートを加熱して焼成させて圧電アクチュエータ３を形成してもよい。
【００３４】
次に、図４（ｂ）に示すように、圧電アクチュエータ３の複数の電極１１上にハンダバンプ１４を形成し、圧電アクチュエータ３上にフレキシブルケーブル４を積層して電極１１とフレキシブルケーブル４の接続端子と接合する（第２工程）。
【００３５】
次に、図４（ｃ）に示すように、フレキシブルケーブル４上の圧電アクチュエータ３と重なる領域に、押さえ板７を両面テープや接着剤などで接合する。そして、図４（ｄ）に示すように、フレキシブルケーブル４を折り曲げて引出部１３を押さえ板７の側面に両面テープや接着剤などで接合する（第３工程）。この際、押さえ板７の側面の傾斜に合わせてフレキシブルケーブル４を接合することで、フレキシブルケーブル４は、上方ほど引出部１３の距離が近づくように立ち上げられている。
【００３６】
その後、図４（ｅ）に示すように、上方から補強フレーム８のロの字の開口に上記フレキシブルケーブル４の立ち上げた部分を通過させて、補強フレーム８を流路ユニット２上に積層して、両面テープや接着剤などにより接合する（第４工程）。
【００３７】
そして、図４（ｆ）に示すように、圧電アクチュエータ３の周囲にその側面を覆うように、封止材１５を塗布する（第５工程）。
【００３８】
補強フレーム８の開口部は、プレス加工により開口されている場合には、開口部にバリが生じていることがある。このバリがフレキシブルケーブル４と接触すると、フレキシブルケーブル４に配置された配線が傷つき断線するおそれがある。一方、補強フレーム８のバリを除去することも考えられるが、その場合には、バリを除去する工程が必要となり、製造コストが高くなる。また、開口部をエッチングなど他の方法により開口する場合には、プレス加工に比べて製造コストが高くなる。さらに、仮に、フレキシブルケーブル４を立ち上げておらず、図４（ｃ）の態様で補強フレーム８を流路ユニット２に接合しようとすると、フレキシブルケーブル４の片持ち梁状の両方の引出部１３を同時に湾曲させて補強フレーム８の開口部を通過させる必要があり、製造工程が煩雑となる。さらに、引出部１３を湾曲させて補強フレーム８の開口部を通過させると、引出部１３が補強フレーム８の開口部や、開口部のバリと接触するおそれがあり、その結果、フレキシブルケーブル４に配置された配線が傷つき断線するおそれがある。
【００３９】
しかしながら、本実施形態の製造工程では、フレキシブルケーブル４を立ち上げて押さえ板７の側面に接合して固定しており、フレキブルケーブル４の立ち上げた引出部１３を容易に補強フレーム８の開口部を通過させることができる。この場合に、補強フレーム８の開口部に多少バリがあったとしても、フレキシブルケーブル４の引出部１３が立ち上げて押さえ板７の側面に固定されているため、バリと接触するおそれもない。そのため、フレキシブルケーブル４の配線が断線することなく、かつ簡単な製造工程でインクジェットヘッド１を製造することができる。
【００４０】
また、フレキシブルケーブル４の引出部１３を立ち上げる際に、部材を追加することなく、従来から用いられているフレキシブルケーブル４が圧電アクチュエータ３から剥離するのを抑制する押さえ部材７の側面に引出部１３を接合させることで、引出部１３を容易に立ち上げて固定することができる。
【００４１】
また、仮に、引出部１３が垂直に立ち上げられているとすると、引出部１３を補強フレーム８の開口部を通過させる際に、引出部１３と補強フレーム８、あるいは、引出部１３に配置されたドライバＩＣ５と補強フレーム８が接触するおそれがある。しかし、本実施形態では、フレキシブルケーブル４は、上方ほど引出部１３の距離が近づくように立ち上げられている。フレキシブルケーブル４とドライバＩＣ５が補強フレーム８と接触して、フレキシブルケーブル４の配線が断線することなく、さらに、ドライバＩＣ５を破壊することもない。
【００４２】
さらに、フレキシブルケーブル４の引出部１３が立ち上げて押さえ板７の側面に固定されているため、第５工程において、圧電アクチュエータ３の周囲に封止材１５を容易に塗布することができる。
【００４３】
以上のとおり、フレキシブルケーブル４の引出部１３を立ち上げて押さえ板７の側面に固定させることで、補強フレーム８の開口部にフレキシブルケーブル４を接触させることがなく、さらに、封止材１５を容易に塗布することができる。
【００４４】
なお、第１工程から第４工程の工程は、いかなる順序で行ってもよい。すなわち、圧電アクチュエータ３が接合された流路ユニット２（第１工程）に、補強フレーム８を先に接合した（第４工程）後に、フレキシブルケーブル４上に接合した押さえ板７の側面にフレキシブルケーブル４の引出部１３を立ち上げて固定し（第３工程）、その後、フレキシブルケーブル４と圧電アクチュエータ３を接合（第２工程）してもよい。
【００４５】
また、流路ユニット２に補強フレーム８を接合した（第４工程）ユニットと、圧電アクチュエータ３上にフレキシブルケーブル４と押さえ板７を積層して接合したユニットのフレキシブルケーブル４の引出部１３を立ち上げて押さえ板７の側面に固定して（第２工程、第３工程）、これらのユニットを接合することで、流路ユニット２と圧電アクチュエータ３を接合（第１工程）してもよい。
【００４６】
以上では、フレキシブルケーブル４の接続部１２の両側に一対の引出部１３が設けられていたが、これに限られず、図５（ａ）に示すように、接続部１２と引出部１３が直線上に配置されていなくてもよい。さらに、図５（ｂ）、（ｃ）に示すように、引出部１３が接続部１２に対して、３つ以上設けられていてもよい。これらの場合には、引出部１３を立ち上げた際に、互いに干渉することがないように、引出部１３の接続部１２側の幅に対して、引出部１３の接続部１２と反対側の幅を狭く構成している。
【符号の説明】
【００４７】
１  インクジェットヘッド
２  流路ユニット
３  圧電アクチュエータ（アクチュエータ）
４  フレキシブルケーブル（配線部材）
７  押さえ板（剥離抑制部材）
８  補強フレーム
１２  接続部
１３  引出部
１５  封止材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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