(57)【要約】【課題】配管の誤接続を防止するための道具として、小形軽量で施工現場などへの持ち込みが容易でしかもその取り扱いも容易である配管チェッカーを得ることにある。【解決手段】１個の筐体１に空気が出入りする入口ニップル２および出口ニップル３が設けられ、この入口ニップルには第１チューブ８を介して浮子式流量計６が接続され、この浮子式流量計には第２チューブ１０を介してマイクロポンプ４が接続され、このマイクロポンプは第３チューブ１１を介して出口ニップルに接続されており、第１チューブ、浮子式流量計、第２チューブ、第３チューブ、マイクロポンプ、このマイクロポンプを駆動する電池が該筐体内に収められている配管チェッカーである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１個の筐体にガスが出入りする第１端部および第２端部が設けられ、この第１端部には第１管路を介してガスの流量変化または圧力変化を表示する表示計器が接続され、この表示計器には第２管路を介してポンプが接続され、このポンプは第３管路を介して第２端部に接続されており、第１管路、表示計器、第２管路、第３管路、ポンプ、このポンプを駆動する電池が該筐体内に収められていることを特徴とする配管チェッカー。
【請求項２】
前記第１ないし第３管路のいずれかに流量絞り弁が介装されていることを特徴とする請求項１記載の配管チェッカー。
【請求項３】
前記表示計器が浮子式流量計であることを特徴とする請求項１または２記載の配管チェッカー。
【請求項４】
１個の筐体にガスが出入りする第１端部および第２端部が設けられ、この第１端部には第１管路を介してガスの流量変化または圧力変化を表示する表示計器が接続され、この表示計器には第２管路を介してポンプが接続され、このポンプは第３管路を介して第２端部に接続されており、第１管路、表示計器、第２管路、第３管路、ポンプ、このポンプを駆動する電池が該筐体内に収められている配管チェッカーを使用し、
試験対象となる配管の一方の開口端を前記配管チェッカーの第１端部または第２端部に接続して、ポンプを動作させ、前記配管の他方の開口端を開放または閉止して表示計器の流量変化または圧力変化を確認することを特徴とする配管のチェック方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、配管チェッカーおよびこれを用いた配管のチェック方法に関し、多数の配管を機器類に接続する際に配管を取り違えることがないようにし、正確な接続ができるようにしたものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体製造用ガスはガス容器に充填され、このガス容器はその複数個がシリンダーキャビネットと呼ばれる大型の収納庫に収められている。シリンダーキャビネット内で、万一ガス漏れが発生した場合には、これをただちに検知する必要があり、半導体製造用ガスの種類に応じた複数の吸引式ガス漏洩検知警報器が設けられている。
吸引式ガス漏洩検知警報器では、シリンダーキャビネット内でのガスの吸引点と検知部とが遠く離れており、吸引点と検知部とは配管で接続されている。
【０００３】
吸引点と検知部とが多数あった場合、吸引点と検知部とを誤って接続してしまう恐れがある。このような不具合を防止するため、事前に配管の吸引点側あるいは検知部側の一方の開口端から空気、窒素ガスなどのガスを送り込み、他方の開口端においてこれの噴出を確認して、接続配管の確認を行い、正確に吸引点と検知部を接続することがなされている。
【０００４】
ところが、この方法では、圧縮空気、圧縮窒素ガスなどを充填したボンベを用い、このボンベから配管にガスを送り込むことになり、施工現場にボンベを持ち込む必要が生じるが、ボンベの取り扱いが面倒であり、さらにはボンベの交換も必要になる。また、半導体製造工場では異物の混入を嫌うことからそのようなボンベを持ち込むこともできない場合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平７−１１９９００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
よって、本発明における課題は、配管の誤接続を防止するための道具として、施工現場などへの持ち込みが容易でしかもその取り扱いも容易である配管チェッカーを得ることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
かかる課題を課題を解決するため、
請求項１に係る発明は、１個の筐体にガスが出入りする第１端部および第２端部が設けられ、この第１端部には第１管路を介してガスの流量変化または圧力変化を表示する表示計器が接続され、この表示計器には第２管路を介してポンプが接続され、このポンプは第３管路を介して第２端部に接続されており、第１管路、表示計器、第２管路、第３管路、ポンプ、このポンプを駆動する電池が該筐体内に収められていることを特徴とする配管チェッカーである。
請求項２に係る発明は、前記第１ないし第３管路のいずれかに流量絞り弁が介装されていることを特徴とする請求項１記載の配管チェッカーである。
請求項３に係る発明は、前記表示計器が浮子式流量計であることを特徴とする請求項１または２記載の配管チェッカーである。
【０００８】
請求項４に係る発明は、１個の筐体にガスが出入りする第１端部および第２端部が設けられ、この第１端部には第１管路を介してガスの流量変化または圧力変化を表示する表示計器が接続され、この表示計器には第２管路を介してポンプが接続され、このポンプは第３管路を介して第２端部に接続されており、第１管路、表示計器、第２管路、第３管路、ポンプ、このポンプを駆動する電池が該筐体内に収められている配管チェッカーを使用し、
試験対象となる配管の一方の開口端を前記配管チェッカーの第１端部または第２端部に接続して、ポンプを動作させ、前記配管の他方の開口端を開放または閉止して表示計器の流量変化または圧力変化を確認することを特徴とする配管のチェック方法である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の配管チェッカーにあっては、小型で軽量とすることができ、電源内蔵となっているので、携帯が容易となる。このため、施工現場などに持ち込みやすく、配管チェッカー自体からの発塵等がなく、半導体製造工場内への持ち込みも可能になる。また、配管のチェック方法によれば、表示計器の表示の変化を目視で視認できるので、確認作業が確実となり、配管の誤接続を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の配管チェッカーの一例を示す概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図１は、本発明の配管チェッカーの一例を示すもので、その内部の主要な部品の配置がわかるように、前面のパネルを取り除いた状態での要部の形態を描いたものである。
図中符号１は、筐体を示す。この筐体１は、金属製で外形が立方体状のものであって、その上部には携帯のための把手１ａが取り付けられている。この筐体１の１つの側面には、第１端部となる入口ニップル２と第２端部となる出口ニップル３とが側壁を貫通して設けられている。
【００１２】
また、筐体１の内部には、マイクロポンプ４、流量絞り弁としてのスロットバルブ５、ガスの流量変化または圧力変化を表示する表示計器としての浮子式流量計６、前記マイクロポンプ４を駆動するための電源となる乾電池を内蔵する電池ボックス７が配置されている。
さらに、入口ニップル２には、第１管路となる第１チューブ８の一端が接続されており、この第１チューブ８の他端は流量計６の第１端部（図示略）に接続されている。第１チューブ８にはフィルター９が介装されており、ここを流れる空気中の粉塵等を除去するようになっている。流量計６は、その前面の浮子６ａが上下動して流量変化を表示する表示部が筐体１の図示しない前面パネルを貫通して取り付けられており、その表示部が外部から視認できるようになっている。
【００１３】
流量計６の第２端部（図示略）には、第２管路となる第２チューブ１０の一端が接続されており、この第２チューブ１０の他端はマイクロポンプ４の第１端部（図示略）に接続されている。第２チューブ１０にはスロットバルブ５が介装されており、この第２チューブ１０を流れるガスの流量を調整できるようになっている。スロットバルブ５のハンドル５ａは筐体１の図示しない前面パネルを貫通して外部に配置され、筐体１の外部からスロットバルブ５の絞り量を変えることができるようになっている。
【００１４】
マイクロポンプ４の第２端部（図示略）には、第３管路となる第３チューブ１１の一端が接続され、この第３チューブ１１の他端は出口ニップル３に接続されている。第３チューブ１１にもフィルター１２が介装され、ここを流れる空気中の粉塵等を除去するようになっている。
マイクロポンプ４には、直流低電圧で駆動され、吐出量１．０〜２．０リットル／分程度の能力を有するものが用いられ、リードワイヤ１３によって、電源スイッチ１４を介して電池ボックス７に接続され、回転駆動されるようになっている。電池ボックス７には例えば単３型乾電池などの電池が複数個収容されている。電源スイッチ１４は、その操作部１４ａが図示しない前面パネルを貫通して外部に露出して設けられている。
【００１５】
このような構造により、電源スイッチ１４をオンとすると、マイクロポンプ４が動作する。これにより、入口ニップル２から空気が吸引されて流入し、第１チューブ８、フィルター９を経て流量計６に流れる。流量計６から流出したガスは第２チューブ１０、スロットバルブ５を経てマイクロポンプ４に吸引される。マイクロポンプ４から吐出された空気は第３チューブ１１、フィルター１２を経て出口ニップル３に至り、外部に放出される。
【００１６】
この運転状態において、配管チェッカー内部を流通する空気の流量は流量計６の浮子６ａによって表示される。そして、入口ニップル２あるいは出口ニップル３を指などで閉じると空気の流入が止まり、流量計６はその浮子６ａが下方に落下して流量低下の表示を示す。
【００１７】
次にこの配管チェッカーを用いた配管のチェック方法を説明する。
試験対象となる１本の配管の一方の開口端と配管チェッカーの入口ニップル２とをチューブで接続する。この時、試験対象となる配管の他方の開口端および配管チェッカーの出口ニップル３は開放しておく。
ついで、電源スイッチ１４をオンとするとマイクロポンプ４が動作し、試験対象となる配管の他方の開口端から流入した空気が配管チェッカーの入口ニップル２を経て吸引され、この時の配管チェッカー内を流れる空気の流量が流量計６に表示される。
この状態で、試験対象となる配管の他方の開口端を指などで閉止すると、この配管から吸引される空気がなくなり、その結果配管チェッカー内を流れる空気量がほとんど無くなり、流量計６の浮子６ａが下方に沈下する。これを目視で確認することで、配管を正確に確認することができる。
【００１８】
そして、試験対象となる配管の他方の開口端を指などで閉止しても流量計６の浮子６ａが変化しない場合には、別の配管の開口端が配管チェッカーの入口ニップル２に接続されていると判断され、かくして誤接続を避けることができる。
また、配管チェッカー内にはフィルター９、１２が設けられているので、試験対象となる配管を通して吸引された外部からの空気中の粉塵等が配管チェッカーから排出される空気には含まれることがないので、配管チェッカーを半導体製造工場のクリーンルーム内にもちこんで作業することもできる。
この操作に際して、必要に応じて、スロットバルブ５のハンドル５ａを廻して絞り量を変化させ、配管チェッカー内を流れる空気量を調整し、流量計６の浮子６ａの動きが表示範囲内に収まるようにする。
【００１９】
また、別のチェック方法として、配管チェッカーの出口ニップル３に試験対象となる配管の一方の開口端を接続する方法がある。この時、入口ニップル２は開放しておく。ついで、マイクロポンプ４を動作させると、入口ニップル２から外部の空気が吸引され、出口ニップル３を経て、試験対象となる配管に送り込まれ、試験対象となる配管の他方の開口端から流出する。そして、この配管の他方の開口端を指などで閉じると、空気の外部への流出が止まって、配管チェッカーの流量計６の浮子６ａが沈下して流量低下を示す。これを目視で確認することで、配管を正確に確認することができる。
【００２０】
そして、試験対象となる配管の他方の開口端を指などで閉止しても流量計６の浮子６ａが変化しない場合には、別の配管の開口端が配管チェッカーの出口ニップル３に接続されていると判断され、かくして誤接続を避けることができる。
この方法でも、配管チェッカーから試験対象となる配管に送り込まれる空気中の粉塵等が除去されるので、配管内を汚染することがない。
【００２１】
このように、この配管チェッカーによれば、確実に配管の誤接続を防止することができるととも持ち運びも簡単である。
なお、以上の実施形態では、流量変化あるいは圧力変化を表示する表示計器として、浮子式流量計６を用いているが、これ以外の流量計を用いて流量変化を表示するようにしてもよく、また圧力計を用いて圧力変化を表示するようにしても同様の配管チェックが行える。
しかし、浮子式流量計は、その動作に外部からの電力などの動力が不要であり、かつ浮子が上下動することで流量変化を確実に視認できる利点があり、この配管チェッカーには好適である。
また、スロットバルブ５は、第１チューブ８に介装されているが、第２チューブ１０または第３チューブ１１に介装されていてもよい。
【符号の説明】
【００２２】
１・・筐体、２・・入口ニップル、３・・出口ニップル、４・・マイクロポンプ、５・・スロットバルブ、６・・浮子式流量計、７・・電池ボックス、８・・第１チューブ、１０・・第２チューブ、１１・・第３チューブ
【図１】
2011069415.tif 000003