(57)【要約】【課題】ケース内に収納された大型ガラス基板の清浄性を確保しつつ基板の損傷無く保管および輸送する手法を提供すること。【解決手段】本発明では、ガラス基板搬送用ケース（１０）の４辺の各周辺部のうちの対向する２辺の周辺部の中央部のそれぞれに、ガラス基板（１１）を収容した状態のケースを水平面に対して傾斜可能とするための旋回治具（１８ａ、１８ｂ）を設け、この旋回治具（１８ａ、１８ｂ）を搬送用台車３０の枠体３１の柱部の頂部に設けられた治具（３２）で支持し、所定の角度範囲での傾斜を可能とした。これにより、高さおよび幅方向どちらも制限された通路でもケース（１０）を傾斜させて搬送することが可能となり、ケース（１０）内に収納された大型ガラス基板（１１）の清浄性を確保しつつ基板の損傷無く保管および輸送することが可能となる。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１辺の長さが１０００ｍｍ以上で厚さが１０ｍｍ以上の大型矩形ガラス基板の搬送用ケースであって、
前記ガラス基板を載置する矩形の下部本体と該下部本体に嵌合して内部を密閉する蓋である矩形の上部本体とを有し、
前記下部本体は、周辺部に設けられた下外枠部と、該下外枠部に設けられた下嵌合部と、４辺の各周辺部のそれぞれに設けられた基板載置部と、該基板載置部のそれぞれに設けられた基板固定部と、前記４辺の各周辺部のうちの対向する２辺の周辺部のそれぞれに互いに対向して設けられた治具取付部であって該対向する周辺部に設けられた治具取付部を結ぶ直線を旋回軸として前記ケースの水平面からの傾斜を可能とする旋回治具の取付部とを有し、
前記上部本体は、前記下嵌合部との嵌め合いにより前記ケース内部を密閉する上嵌合部を有する上外枠部を備えている、
ことを特徴とするガラス基板搬送用ケース。
【請求項２】
前記４辺の各周辺部のうちの隣り合う２辺の周辺部の基板載置部に設けられた基板位置決め部を備えている請求項１に記載のガラス基板搬送用ケース。
【請求項３】
前記治具取付部に取り付けられる旋回治具は着脱可能である請求項１又は２に記載のガラス基板搬送用ケース。
【請求項４】
請求項１乃至３の何れか１項に記載のガラス基板搬送用ケースを運搬するためのガラス基板搬送用台車であって、
前記治具取付部に取り付けられた旋回治具の支持部と、前記ケースの主面が水平面となす傾斜角を維持するための傾斜角決定部と、を備えているガラス基板搬送用台車。
【請求項５】
前記傾斜角を水平面を基準として０〜９０度の範囲で決定可能である請求項４に記載のガラス基板搬送用台車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はガラス基板を搬送するために用いられるケースおよび台車に関し、より詳細には、液晶ディスプレイ等を製造する際のゴミ除けとして使用されるリソグラフィ用ペリクルの製造用基板である大型ガラス基板を搬送するために特に有用な搬送技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩ等の半導体デバイスの製造或は液晶ディスプレイ等の製造においては、フォトマスクに描画されたパターンを光照射によりウエハーや原板に転写する。このようなフォトリソグラフィ工程で用いられるフォトマスクにゴミやパーティクルが付着していると、これら付着物が露光光を吸収したり屈折させてしまう。その結果、転写パターンの変形やエッジの切れの劣化等を引起し、パターンの寸法、品質、外観などが損なわれるという問題があった。
【０００３】
このような問題に鑑み、フォトリソグラフィに関連する工程は通常、クリーンルーム内で行われるが、それでもフォトマスクを常に清浄に保つことは容易ではない。そこで、フォトマスク表面にペリクルを貼り付けてゴミやパーティクルといった異物の付着を防止し、この状態のフォトマスクを用いて露光が行なわれている。
【０００４】
この場合、異物はフォトマスクの表面には直接付着せず、ペリクル上に付着するため、リソグラフィ時に焦点をフォトマスクのパターン上に合わせておけば、ペリクル上の異物は転写に無関係となる。
【０００５】
一般的なペリクルは、光を良く透過させるニトロセルロース、酢酸セルロースあるいはフッ素樹脂などからなる透明なペリクル膜を、アルミニウム合金、ステンレス、ポリエチレンなどからなるペリクルフレームの上端面に貼り付けないし接着したものである。また、ペリクルフレームの下端にはフォトマスクに装着するためのポリブデン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂等からなる粘着層、及び粘着層の保護を目的とした離型層（セパレータ）が設けられる。
【０００６】
ペリクルは、フォトマスクに貼付した後には外部からのフォトマスク表面への異物付着に対する防止効果はあるものの、ペリクル自体に異物が付着していると、当該異物がフォトマスクに付着してしまう虞がある。従って、ペリクル自体は清浄なものである必要があり、ペリクル膜の製造に使用される大型のガラス基板にも高い清浄性が求められる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−２５０６８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
このようなことから、ペリクル膜の製造等に使用される大型ガラス基板の保管や輸送に用いられるケースには、内部に収容されるガラス基板表面の清浄性を維持し且つ基板を損傷させない構造のものが求められる。
【０００９】
具体的には、帯電防止性能に優れ擦れた際にも発塵の少ない材質からなり、基板および構成部品間の接触を極力防ぐ構造であり、しかも、外力が加わった際の変形を防ぐ高剛性な構造のケースが要求される。
【００１０】
しかし、従来の基板搬送の手法は、基板搬送ケースに取付けてあるキャスターなどを使用して垂直搬送するというものであり、大型ガラス基板を搬送する際には天井との干渉のために垂直搬送は不可能となるなど、基板搬送ケース内に収納された大型ガラス基板の清浄性を確保しつつ基板に損傷を与えることなく保管および輸送を行なうという要求を十分に満足しているとは云い難いというのが実情である（例えば、特許文献１参照）。
【００１１】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、リソグラフィ用ペリクルの製造等に用いられる大型ガラス基板を保管および輸送する際に、収納された大型ガラス基板の清浄性を確保しつつ基板に損傷を与えることのない搬送用ケースおよび搬送用台車を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上述の課題を解決するために、本発明に係るガラス基板搬送用ケースは、１辺の長さが１０００ｍｍ以上で厚さが１０ｍｍ以上の大型矩形ガラス基板の搬送用ケースであって、前記ガラス基板を載置する矩形の下部本体と該下部本体に嵌合して内部を密閉する蓋である矩形の上部本体とを有し、前記下部本体は、周辺部に設けられた下外枠部と、該下外枠部に設けられた下嵌合部と、４辺の各周辺部のそれぞれに設けられた基板載置部と、該基板載置部のそれぞれに設けられた基板固定部と、前記４辺の各周辺部のうちの対向する２辺の周辺部のそれぞれに互いに対向して設けられた治具取付部であって該対向する周辺部に設けられた治具取付部を結ぶ直線を旋回軸として前記ケースの水平面からの傾斜を可能とする旋回治具の取付部とを有し、前記上部本体は、前記下嵌合部との嵌め合いにより前記ケース内部を密閉する上嵌合部を有する上外枠部を備えていることを特徴とする。
【００１３】
好ましくは、前記４辺の各周辺部のうちの隣り合う２辺の周辺部の基板載置部に設けられた基板位置決め部を備えている。また、前記治具取付部に取り付けられる旋回治具は着脱可能である態様とすることができる。
【００１４】
本発明に係るガラス基板搬送用台車は、本発明のガラス基板搬送用ケースを運搬するためのガラス基板搬送用台車であって、前記治具取付部に取り付けられた旋回治具の支持部と、前記ケースの主面が水平面となす傾斜角を維持するための傾斜角決定部とを備えている。
【００１５】
好ましくは、本発明のガラス基板搬送用台車は、前記傾斜角を水平面を基準として０〜９０度の範囲で決定可能である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明では、ガラス基板搬送用ケースの４辺の各周辺部のうちの対向する２辺の周辺部の中央部のそれぞれに、ガラス基板を収容した状態のケースを水平面に対して傾斜可能とするための旋回治具を設け、この旋回治具を搬送用台車の枠体の柱部の頂部に設けられた治具で支持し、所定の角度範囲での傾斜を可能とした。これにより、高さおよび幅方向どちらも制限された通路でもケースを傾斜させて搬送することが可能となり、ケース内に収納された大型ガラス基板の清浄性を確保しつつ基板の損傷無く保管および輸送することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】ケースの下部本体にガラス基板が収納された状態の一態様を示す上面概略図である。
【図２】図１中の破線Ａに沿う断面概略図である。
【図３】図１中の破線Ｂに沿う断面概略図である。
【図４】図１中の破線Ｃに沿う断面概略図である。
【図５】本発明のガラス基板搬送用ケースを搬送用台車に積載した状態を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に、図面を参照して、本発明に係るガラス基板搬送用ケースおよびガラス基板搬送用台車について説明する。
【００１９】
図１は、本発明のガラス基板搬送用ケースの下部本体にガラス基板が収納された状態の一態様を示す上面概略図である。ガラス基板１１は１辺の長さが１０００ｍｍ以上で厚さが１０ｍｍ以上の大型矩形ガラス基板であり、このガラス基板１１は、ガラス基板搬送用ケースの矩形の下部本体１２の４辺の各周辺部（周縁部）のそれぞれに設けられた基板載置部１５の上に載置され、該基板載置部１５のそれぞれに設けられた基板固定部（基板固定具）１４をノブ１６で上から締め付けることでガラス基板１１が固定されている。この図では、４辺の各周辺部の３箇所に基板載置部１５が設けられている例を図示している。
【００２０】
また、４辺の各周辺部のうちの隣り合う２辺の周辺部端に設けられた基板載置部１５には、下部本体１２内に収容された状態のガラス基板１１の位置決めを行なうための治具（基板位置決め部）１３が設けられている。この基板位置決め部１３は、ガラス基板１１をハンドリングアーム（不図示）を用いて基板載置部１５上に載置した際の位置修正のために用いるためのもので、例えば、樹脂部品と金属製のネジ部品にて構成される。
【００２１】
さらに、４辺の各周辺部のうちの対向する２辺の周辺部の中央部のそれぞれには、ガラス基板１１を収容した状態のケースを水平面に対して傾斜可能とするための旋回治具１８ａ、ｂの取付部１７ａ、ｂが設けられ、これら取付部１７ａ、ｂに旋回治具１８ａ、ｂが互いに対向した状態で固定されている。従って、旋回治具１８ａと１８ｂを結ぶ直線は、ガラス基板１１を収容した状態のケースを水平面に対して傾斜させる際の旋回軸となる。なお、旋回治具の取付部１７ａ、ｂに取り付けられる旋回治具１８ａ、ｂは、その着脱が可能なものとすることができる。
【００２２】
基板固定部１４は、ガラス基板１１の表面つまりペリクルを成膜する面に接触することになるため、ガラス基板１１のなるべく端の部分（エッジ部）を押さえるような位置に設けられる。これら基板載置部１５および基板固定部１４の配置や個数、あるいはその形状は、ガラス基板１１を載置又は取出しする際に用いるハンドリングアーム（不図示）の形状等に応じて適宜設計すればよく、本願の図面に例示された形態に限定されるものではない。
【００２３】
図２は、図１中の破線Ａに沿う断面概略図である。下部本体１２には、周辺部（周縁部）に、下嵌合部２０を有する下外枠部１９が設けられている。下嵌合部２０は、ケース内部を密閉する蓋である矩形の上部本体２１の周辺部に設けられた上外枠部２６に形成された上嵌合部２７と嵌め合うことでケース内部を密閉する。外部からの異物侵入を防ぐため、嵌合部の隙間は可能な限り狭いことが望ましい。また、上部本体２１と下部本体１２との嵌合部における接触による発塵を防止するため、下嵌合部２０の周縁部には、ガスケット（不図示）が埋め込まれていると良い。さらに、ケース内部の密封性を高めるため、上下本体を粘着テープ（不図示）で密封した上で、パチン錠と称される締め付け金具など（不図示）で固定することが好ましい。
【００２４】
ケースの下部本体１２および上部本体２１ならびに下部本体１２に設けられる基板位置決め部１３、基板載置部１５、基板固定部１４の材質は、ナイロンやポリアセタールなどのエンジニアリングプラスチックから適宜選択することができる。なお、帯電による異物付着を低減するため、帯電防止材料を使用することが好適である。また、これら樹脂部材の色は、異物を確認しやすいように黒色であることが好ましい。
【００２５】
樹脂製である上部本体２１の上面および下部本体１２の裏面には、それぞれ、変形防止のための補強材２２、２３が設けられている。また、ケースを傾斜させて搬送用台車に積載した際には下方側となる下部本体１２の側面に負荷が掛かるため、下部本体１２の側面には補強材２４が設けられている。補強材２３と２４をパチン錠の台座金具（不図示）で各々連結させることとすれば、補強材としての剛性が向上する。補強材の材質は、ステンレス鋼、アルミニウム合金など選択することができるが、ガラス基板搬送用ケースの強度を維持しつつ総重量をなるべく軽くするという観点からは、比強度の大きい材料を使用することが好ましい。なお、図中符号２５で示したものはケースの脚部である。
【００２６】
図３および図４は、それぞれ、図１中の破線Ｂおよび破線Ｃに沿う断面概略図である。図３に示したように、基板載置部１５には、下部本体１２内に収容された状態のガラス基板１１の位置決めを行なうための基板位置決め部１３が設けられている。
【００２７】
図５は、本発明のガラス基板搬送用ケースを搬送用台車に積載した状態を示す斜視図である。搬送ケースを搬送する際の姿勢としては、ケースの主面を水平にした状態での搬送や垂直に立てた状態での搬送が想定されるが、前者は高さ方向に制限のある場合には有利である一方、幅方向に制限のある場合には不利であり、後者はその反対である。エアーシャワーや製造装置が設置してある実際のクリーンルーム内における搬送通路では、高さおよび幅方向どちらも制限されてしまうことは珍しくない。そこで、高さおよび幅方向どちらも制限されても搬送できるよう、ガラス基板搬送用ケース１０を傾斜させて搬送可能とすることが好ましい。
【００２８】
図５に示した態様の搬送用台車３０では、枠体３１の柱部の頂部の対向する位置２箇所に、ケース１０の対向する２辺の中央部に設けられた脱着可能な旋回治具の支持部３２が設けられており、この支持部３２には、ケース１０の主面が水平面となす傾斜角を維持した状態とすることのできる傾斜角決定のための機構（不図示）が設けられている。
【００２９】
なお、傾斜角決定機構（すなわち、ケース１０を傾斜させた際の固定機構）としては、例えば、ワイヤー、ネジ付ノブ、パチン錠などの締結具を例示することができる。また、安全性の観点から、傾斜角決定機構が外れた場合でもケース１０が旋回しないようなストッパ（不図示）を設けることが望ましい。さらに、枠体３１の下部には車輪３３が設けられている。
【００３０】
旋回治具支持部３２には樹脂製ローラ（不図示）が設けてあり、ケース１０を無理なく円滑に傾斜させることができる。ケース１０の傾斜可能範囲（傾斜角範囲）は、搬送通路の高さおよび幅に応じて適宜設計すればよく、この図の形態に何ら限定されるものではない。なお、一般的な搬送通路では、この傾斜角は水平面を基準として、０〜９０度の範囲で維持可能であることが好ましい。
【実施例】
【００３１】
以下、本発明の実施例を説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００３２】
ポリアクリロニトリル系の非晶性熱可塑性樹脂板（商品名サンバレックス、三協化成（株）製）を使用し、図１乃至４に示したケース下部本体１２および上部本体２１を接着により製作した。上部本体１２と下部本体２１の内寸は１９４０ｍｍ×１８００ｍｍで、各々を組合せたケース１０の外形寸法は、２０２０ｍｍ×１８８０ｍｍ、厚さ１９５ｍｍである。なお、この外形寸法は、補強材含む一方、突起部は除いた値である。
【００３３】
補強材２２、２３、２４はアルミニウム合金製押出材を組合せて使用し、変形を防ぐ高剛性な構造とした。また、ガラス基板１１の大きさは、１７８０ｍｍ×１６２０ｍｍ、厚さ１７ｍｍである。
【００３４】
基板載置部１５、基板固定部１４および基板位置決部１３は、耐摩耗性、帯電防止性能に優れた超高分子量ポリエチレン（商品名U-PE300、日本ポリペンコ（株）製）を機械加工にて製作し、図１に示すガラス基板１１の周囲各辺に３箇所配置した。
【００３５】
また、ケース１０の水平面からの最大傾斜角度が６５度で、全高（ａ）が約１９２０ｍｍ、奥行（ｂ）が約１０００ｍｍ、枠体最低高さ（ｃ）が９６ｍｍの、図５に示したような搬送用台車３０を製作した。
【００３６】
先ず、ガラス基板１１の収納方法を以下に記す。基板位置決部１３を予め待避させておき、ガラス基板１１をハンドリングアームなどを用いて基板載置部１５上に置き、基板位置決部１３のネジ部を回してガラス基板１１の端面を押し位置を修正する。
【００３７】
次に、待避させていた基板位置決部１３の段差部をガラス基板１１のエッジ部に導き、ノブ１６にて基板位置決部１３を締付けてガラス基板１１を固定する。
【００３８】
その後、上部本体２１を下部本体１２に重ね合わせて周囲を粘着テープで密封し、上部本体２１と下部本体１２をパチン錠で締付ける。
【００３９】
次に、ケース１０の対向する２辺の中央部に旋回治具１８ａ、１８ｂを取付け、搬送用台車３０の頂部に設けてある旋回治具支持部３２に上記旋回治具を載置し、所定の角度までケース１０を傾斜させ、傾斜角決定機構であるネジ付ノブにてケース１０を搬送用台車３０に締結する。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
上述したように、本発明によれば、ケース内に収納された大型ガラス基板の清浄性を確保しつつ基板の損傷無く保管および輸送する手法が提供される。
【符号の説明】
【００４１】
１０  ガラス基板搬送用ケース
１１  ガラス基板
１２  下部本体
１３  基板位置決部
１４  基板固定部（基板固定具）
１５  基板載置部
１６  ノブ
１７ａ、ｂ  取付部
１８ａ、ｂ  旋回治具
１９  下外枠部
２０  下嵌合部
２１  上部本体２１
２２、２３、２４  補強材
２５  脚
２６  上外枠部
２７  上嵌合部
３０  搬送用台車
３１  枠体
３２  旋回治具支持部
３３  車輪
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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