(57)【要約】【課題】防振基礎を使用することなしに検出器の微振動レベルの校正を容易に行なうことができる検出器の校正方法、及び検出装置を提供する。【解決手段】可動部の駆動により生成される検出信号を出力する検出手段と、所定の校正信号に応じて可動部をテスト駆動させるテスト駆動手段と、を備えた検出器の校正方法であって、検出器と同一の振動検出特性を有し、第２検出信号を出力する第２検出手段を備える第２検出器を、検出器と検出方向が逆向きになるように設置する設置工程（ステップＳ１１）と、検出器のテスト駆動手段に校正信号を入力して、検出器の検出手段からの検出信号と、第２検出器の第２検出手段からの第２検出信号とを同期して取得する取得工程（ステップＳ１３）と、検出信号と第２検出信号とを加算して補正信号を生成する加算工程（ステップＳ１４）と、補正信号を出力する出力工程（ステップＳ１５）と、を有する。【選択図】図４
2011220841.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外乱振動により変位可能な可動部の駆動により生成される検出信号を出力する検出手段と、所定の校正信号により前記可動部をテスト駆動させるテスト駆動手段と、を備えた検出器の校正方法であって、
前記検出器と同一の振動検出特性を有し、第２検出信号を出力する第２検出手段を備える第２検出器を、前記検出器と検出方向が逆向きになるように設置する設置工程と、
前記検出器の前記テスト駆動手段に校正信号を入力して、前記検出器の前記検出手段からの検出信号と、前記第２検出器の前記２検出手段からの第２検出信号とを同期して取得する取得工程と、
前記取得工程により取得された前記検出信号と前記第２検出信号とを加算して補正信号を生成する加算工程と、
前記加算工程により生成された補正信号を出力する出力工程と、
を有することを特徴とする検出器の校正方法。
【請求項２】
外乱振動により変位可能な可動部の駆動により生成された検出信号を出力する検出手段と、所定の校正信号により前記可動部をテスト駆動させるテスト駆動手段と、を備えた検出器の校正方法であって、
前記検出器と同一の振動検出特性を有し、第２検出信号を出力する第２検出手段を備える第２検出器を、前記検出器と検出方向が同じ向きになるように設置する設置工程と、
前記検出器の前記検出手段の出力極性に対し、前記第２検出器の前記第２検出手段の出力極性を反転させる反転工程と、
前記検出器の前記テスト駆動手段に校正信号を入力して、前記検出器の前記検出手段からの検出信号と、前記第２検出器の前記２検出手段からの第２検出信号とを同期して取得する取得工程と、
前記取得工程により取得された前記検出信号と前記第２検出信号とを加算して補正信号を生成する加算工程と、
前記加算工程により生成された補正信号を出力する出力工程と、
を有することを特徴とする検出器の校正方法。
【請求項３】
前記検出器と前記第２検出器とは、感度、固有振動数、及び減衰定数を等しくすることで同一の振動検出特性を有するように構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の検出器の校正方法。
【請求項４】
外乱振動により変位可能な可動部の駆動により生成される検出信号を出力する検出手段と、所定の校正信号により前記可動部をテスト駆動させるテスト駆動手段と、を備えた第１検出器と、
前記第１検出器と同一の振動検出特性を有し、第２検出信号を出力する第２検出手段を備え、前記第１検出器と検出方向が逆向きになるように設置された第２検出器と、
前記第１検出器の前記テスト駆動手段に校正信号を入力して、前記第１検出器の前記検出手段からの検出信号と、前記第２検出器の前記２検出手段からの第２検出信号とを同期して取得する取得手段と、
前記取得手段により取得された前記検出信号と前記第２検出信号とを加算して補正信号を生成する加算手段と、
前記加算手段により生成された補正信号を出力する出力手段と、
を備えることを特徴とする検出装置。
【請求項５】
外乱振動により変位可能な可動部の駆動により生成された検出信号を出力する検出手段と、所定の校正信号により前記可動部をテスト駆動させるテスト駆動手段と、を備えた第１検出器と、
前記第１検出器と同一の振動検出特性を有し、前記第１検出器の前記検出手段の出力極性に対して反転した出力極性で第２検出信号を出力する第２検出手段を備え、前記第１検出器と検出方向が同じ向きになるように設置された第２検出器と、
前記第１検出器の前記テスト駆動手段に校正信号を入力して、前記第１検出器の前記検出手段からの検出信号と、前記第２検出器の前記２検出手段からの第２検出信号とを同期して取得する取得手段と、
前記取得手段により取得された前記検出信号と前記第２検出信号とを加算して補正信号を生成する加算手段と、
前記加算手段により生成された補正信号を出力する出力手段と、
を備えることを特徴とする検出装置。
【請求項６】
前記第１検出器と前記第２検出器とは、感度、固有振動数、及び減衰定数を等しくすることで同一の振動検出特性を有するように構成されていることを特徴とする請求項４又は５に記載の検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検出器の校正方法、及び検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、速度計、加速度計、振動計、地震計などのように振動を検出する検出器が知られており、製品の出荷前において検出誤差を校正する手法が提案されている（特許文献１参照）。
また、こうした検出器においては、検出器のテストコイルに規定レベルの校正信号を入力することでフォースコイルに対して模擬的な振動を与え、出力される波形を確認して検出器の健全性を確認する校正方法が知られている。
かかる校正方法では、地盤の常時微振動（地下深部の脈動、風力、交通、人間の活動等に因る常時振動）と同じくらいの微振動レベルで校正を行う場合、図８（ａ）に示すように、校正信号と常時微振動とが重畳して分離が困難である。
そこで、常時微振動と同じくらいの微振動レベルで校正を行う場合には、図８（ｂ）に示すように、地盤と検出器との間に防振基礎を設けることで常時微振動を除去する方法が実施されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２０８９９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記の方法では、防振基礎等の別部材を必要とするため、設置作業が煩雑になるという問題があった。
本発明の課題は、防振基礎を使用することなしに検出器の微振動レベルの校正を容易に行なうことができる検出器の校正方法、及び検出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記課題を解決するために、
請求項１に記載の発明は、
外乱振動により変位可能な可動部の駆動により生成される検出信号を出力する検出手段と、所定の校正信号により前記可動部をテスト駆動させるテスト駆動手段と、を備えた検出器の校正方法であって、
前記検出器と同一の振動検出特性を有し、第２検出信号を出力する第２検出手段を備える第２検出器を、前記検出器と検出方向が逆向きになるように設置する設置工程と、
前記検出器の前記テスト駆動手段に校正信号を入力して、前記検出器の前記検出手段からの検出信号と、前記第２検出器の前記２検出手段からの第２検出信号とを同期して取得する取得工程と、
前記取得工程により取得された前記検出信号と前記第２検出信号とを加算して補正信号を生成する加算工程と、
前記加算工程により生成された補正信号を出力する出力工程と、
を有することを特徴とする。
【０００６】
また、請求項２に記載の発明は、
外乱振動により変位可能な可動部の駆動により生成された検出信号を出力する検出手段と、所定の校正信号により前記可動部をテスト駆動させるテスト駆動手段と、を備えた検
出器の校正方法であって、
前記検出器と同一の振動検出特性を有し、第２検出信号を出力する第２検出手段を備える第２検出器を、前記検出器と検出方向が同じ向きになるように設置する設置工程と、
前記検出器の前記検出手段の出力極性に対し、前記第２検出器の前記第２検出手段の出力極性を反転させる反転工程と、
前記検出器の前記テスト駆動手段に校正信号を入力して、前記検出器の前記検出手段からの検出信号と、前記第２検出器の前記２検出手段からの第２検出信号とを同期して取得する取得工程と、
前記取得工程により取得された前記検出信号と前記第２検出信号とを加算して補正信号を生成する加算工程と、
前記加算工程により生成された補正信号を出力する出力工程と、
を有することを特徴とする。
【０００７】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の検出器の校正方法において、
前記検出器と前記第２検出器とは、感度、固有振動数、及び減衰定数を等しくすることで同一の振動検出特性を有するように構成されていることを特徴とする。
【０００８】
また、請求項４に記載の発明にかかる検出装置は、
外乱振動により変位可能な可動部の駆動により生成される検出信号を出力する検出手段と、所定の校正信号により前記可動部をテスト駆動させるテスト駆動手段と、を備えた第１検出器と、
前記第１検出器と同一の振動検出特性を有し、第２検出信号を出力する第２検出手段を備え、前記第１検出器と検出方向が逆向きになるように設置された第２検出器と、
前記第１検出器の前記テスト駆動手段に校正信号を入力して、前記第１検出器の前記検出手段からの検出信号と、前記第２検出器の前記２検出手段からの第２検出信号とを同期して取得する取得手段と、
前記取得手段により取得された前記検出信号と前記第２検出信号とを加算して補正信号を生成する加算手段と、
前記加算手段により生成された補正信号を出力する出力手段と、
を備えることを特徴とする。
【０００９】
また、請求項５に記載の発明にかかる検出装置は、
外乱振動により変位可能な可動部の駆動により生成された検出信号を出力する検出手段と、所定の校正信号により前記可動部をテスト駆動させるテスト駆動手段と、を備えた第１検出器と、
前記第１検出器と同一の振動検出特性を有し、前記第１検出器の前記検出手段の出力極性に対して反転した出力極性で第２検出信号を出力する第２検出手段を備え、前記第１検出器と検出方向が同じ向きになるように設置された第２検出器と、
前記第１検出器の前記テスト駆動手段に校正信号を入力して、前記第１検出器の前記検出手段からの検出信号と、前記第２検出器の前記２検出手段からの第２検出信号とを同期して取得する取得手段と、
前記取得手段により取得された前記検出信号と前記第２検出信号とを加算して補正信号を生成する加算手段と、
前記加算手段により生成された補正信号を出力する出力手段と、
を備えることを特徴とする。
【００１０】
また、請求項６に記載の発明は、請求項４又は５に記載の検出装置において、
前記第１検出器と前記第２検出器とは、感度、固有振動数、及び減衰定数を等しくすることで同一の振動検出特性を有するように構成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、第２検出器から出力される第２検出信号は、検出器（第１検出器）から出力される検出信号に含まれる常時微振動と同振幅で逆位相の振動を有するため、第１検出器からの検出信号にこれを加算することで、当該第１検出器からの出力に含まれる常時微振動が打ち消されるようになっている。
従って、第１検出器に校正信号を入力した場合、第１検出器から常時微振動の除かれた検出信号（補正信号）が出力されることとなり、防振基礎等の別部材を使用することなしに、常時微振動の影響を排除した検出器の校正を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】第１実施形態の検出装置の全体構成を示す概略図である。
【図２】図１の検出装置における検出器の模式構成図である。
【図３】図１の検出装置における検出器の校正方法を説明するための図である。
【図４】図１の検出装置における検出器の校正方法を説明するフローチャートである。
【図５】第２実施形態の検出装置の全体構成を示す概略図である。
【図６】図５の検出装置における検出器の校正方法を説明するための図である。
【図７】図５の検出装置における検出器の校正方法を説明するフローチャートである。
【図８】従来の校正方法を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して、この発明の実施形態について説明する。
【００１４】
［第１実施形態］
本実施形態の検出装置１００は、図１に示すように、加速度等を検出するために使用する検出器（第１検出器）１００ａと、当該検出器１００ａを校正するために使用する第２の検出器（第２検出器）１００ｂと、を備えて構成されている。
【００１５】
検出器１００ａは、図２に示すように、本体ケース１と、本体ケース１に固着されたマグネット部２と、外乱振動によって変位する振子（可動部）３と、振子３の変位検出を行うための変位検出部４と、振子３を変位可能に支持するための支持バネ５と、変位検出部４からの信号を入力し、振子３を駆動するために入力信号に応じた量の電流を供給するサーボアンプ６と、サーボアンプ６によって供給された電流の量に応じた検出信号を出力する検出信号出力部１１ａ，１１ｂと、検出信号出力部１１ａ，１１ｂから出力された検出信号及び第２の検出器１００ｂから出力された検出信号（第２検出信号）を加算して補正信号を生成する加算器１２と、などを備えている。
【００１６】
マグネット部２は、中央に、円形凹状に形成された凹部２ａを有し、その凹部２ａの中央部には、円柱状の突出部２ｂが上方へ向けて突設されている。
振子３は、円筒形の周面部３ｄと、上面側の開口を閉塞する上面部３ｅと、下面が開放されて形成された凹状の収容部３ｃと、を備え、有底円筒形状をなしている。周面部３ｄの下部内側にはフォースコイル３ａが巻回され、フォースコイル３ａの外側にテストコイル３ｂが巻回されている。振子３は、図２に示すように、収容部３ｃにて突出部２ｂを収容するように本体ケース１ａ内に配置されている。また、振子３は、その上面部３ｅの内面と突出部２ｂの上面とを支持バネ５によって接続することにより、マグネット部２に対して変位可能に支持されている。なお、振子３は、少なくともフォースコイル３ａ及びテストコイル３ｂが凹部２ａ内に収容されるように配置されている。
【００１７】
フォースコイル３ａは、サーボアンプ６に接続され、サーボアンプ６からの電流の供給によりマグネット部２の作用によって電磁気力を発生させ、振子３を駆動するものである。
テストコイル３ｂは、振子３が正常に作動するか否かをテストするためのものであって、校正信号入力部８を介して所定の校正信号を入力することにより、マグネット部２の作用によって電磁気力を発生させ、振子３をテスト駆動するものである。なお、この校正信号は、後述するプロセッサ７にも入力されている。これにより、テストコイル３ｂは、所定の校正信号により振子３をテスト駆動させるテスト駆動手段として機能する。
【００１８】
変位検出部４は、コンデンサとして機能する振子３の上面部３ｅの外面に取り付けられた可動極板４ａと、可動極板４ａの上面に対向配置され、本体ケース１の固定部（図示省略）に取り付けられた固定極板４ｂとからなる。この可動極板４ａ及び固定極板４ｂは、それぞれサーボアンプ６へ信号出力を行っている。各極板の電気容量は極板間の距離によってそれぞれ可変し、サーボアンプ６への出力信号のレベルはそれぞれ極板の電気容量により変動する。すなわち、変位検出部４は、可動極板４ａと固定極板４ｂとの間の距離によって可変する静電容量の検出結果が特定可能な変位信号をサーボアンプ６へ出力している。
【００１９】
サーボアンプ６は、電源入力部９を介して外部からの電源供給により動作し、変位検出部４からの変位信号により、振子３の変位量に応じた量の電流をフォースコイル３ａへ供給している。詳しくは、サーボアンプ６は、可動極板４ａ及び固定極板４ｂの電気容量を比較し、その比較結果に応じた量の電流をフォースコイル３ａへ供給する。
このとき、サーボアンプ６は、振子３の変位方向（ずれ方向）とは逆方向の力が発生するように電流の供給を行う。その結果、振子３は零位置である所定の中立位置へ変位することとなる。
【００２０】
このような構成により、振子３に振動が与えられ、振子３が零位置である中立位置からずれると、変位検出部４がこのずれ量を検出する。そして、このずれ量に応じた検出信号がサーボアンプ６に入力されると、サーボアンプ６はフォースコイル３ａに電流を流すように機能する。その結果、フォースコイル３ａはマグネット部２の作用によって電磁気力を発生して、振子３の変位方向とは逆方向の力が発生し、振子３が再び中立位置に戻る。
【００２１】
フォースコイル３ａは、検出信号出力部１１ａ，１１ｂと電気的に接続されており、検出信号出力部１１ａ，１１ｂからは、フォースコイル３ａに流れた電流の量に応じた信号が出力される。詳しくは、フォースコイル３ａに流れた電流値を計測するために、フォースコイル３ａの電流回路に負荷抵抗Ｒを設け、電圧変換された信号が検出信号出力部１１ａ，１１ｂより出力される。この出力値は、可動極板４ａと固定極板４ｂとの間隔に応じて変化するフォースコイル３ａに流れる電流値に対応しているので、この出力値を計測することにより、振子３に加えられた加速度を検出することができる。
これにより、フォースコイル３ａは、外乱振動により変位可能な振子３の駆動により生成される検出信号を出力する検出手段として機能する。
【００２２】
また、検出信号出力部１１ａ，１１ｂから出力された信号は、加算器１２に入力される。加算器１２において、検出信号出力部１１ａ，１１ｂから出力された信号は、第２の検出器１００ｂの検出信号出力部１１ａ，１１ｂから出力された第２検出信号と加算されて補正信号が生成されるため、加算器１２からは補正信号が出力されることとなる。
これにより、加算器１２は、検出器１００ａからの検出信号と、第２の検出器１００ｂからの第２検出信号とを加算して補正信号を生成する加算手段と、生成された補正信号を出力する出力手段と、して機能する。
【００２３】
プロセッサ７は、前述した校正信号が入力された場合にこれを検出するものである。プロセッサ７は、特に図示はしないが、所定の演算を行うＣＰＵと、制御を行うためのプログラムやデータが格納されたＲＯＭと、作業領域として用いられるＲＡＭと、同期信号を
生成する同期回路とを有している。
プロセッサ７は、例えば、校正信号が入力されたことを検出したときに、第２の検出器１００ｂが検出信号（第２検出信号）を出力するよう要求する要求信号を、要求信号出力部１０を介して第２の検出器１００ｂに出力する。第２の検出器１００ｂは、この要求信号に応じて、検出器１００ａから出力される検出信号と同期した第２検出信号を出力する。
即ち、プロセッサ７は、テストコイル３ｂへ校正信号を入力した場合に、検出器１００ａのフォースコイル３ａ（検出手段）から出力される検出信号と、第２検出器１００ｂのフォースコイル３ａ（第２検出手段）から出力される第２検出信号とを同期して取得する取得手段として機能する。
また、プロセッサ７は、リミットスイッチＬＳと電気的に接続されている。プロセッサ７は、例えば、校正信号が入力されたことを検出したときに、リミットスイッチＬＳを駆動して、オープン状態からクローズ状態へ変位させる。
なお、リミットスイッチＬＳは、電源入力部９を経由して入力される電源をフォースコイル３ａへ供給するためのものである。リミットスイッチＬＳがクローズ状態である場合に、電源をフォースコイル３ａへ供給するようになっている。
【００２４】
ところで、本実施形態の検出装置１００には、前記したように、第２の検出器１００ｂが備えられている。第２の検出器１００ｂは、検出器１００ａと同一の構成を有するものであるため、具体的な構成の説明は省略するが、検出器１００ａと同一の駆動機構や、振子３の駆動により生成される検出信号を出力するフォースコイル３ａ（第２検出手段）を備えており、感度、固有振動数、及び減衰定数を等しくすることで、検出器１００ａと同一の振動検出特性を有するように（即ち入力に対する出力が同じとなるように）構成されている。
また、第２の検出器１００ｂは、上下逆向きに取り付けられることで、図１に示すように、検出方向が検出器１００ａと逆向きになるように設置されている。
この第２の検出器１００ａは、検出器１００ａの健全性を確認するために検出器１００ａに校正信号を入力する場合に、当該検出器１００ａの出力に含まれる常時微振動を打ち消すために使用されるものである。
【００２５】
ここで、第２の検出器１００ａを用いて、どのようにして検出器１００ａの出力に含まれる常時微振動を打ち消すのか説明する。
検出器１００ａ，１００ｂからは、校正信号などの信号の入力がない場合でも、常時微振動が出力されている。そして、同一の振動検出特性の検出器を検出方向が逆向きとなるように取り付けると、常時微振動は同振幅・逆位相の出力となる（図３（ａ）参照）。このため、これらの出力を加算すれば、互いの常時微振動が打ち消された出力となる（図３（ｂ）参照。）
そこで、検出器１００ａに校正信号を入力する際に、第２の検出器１００ｂからの第２検出信号を同期させて取得し、検出器１００ａからの出力に加算すれば、検出器１００ａの出力に含まれる常時微振動が打ち消されることとなる（図３（ｃ）参照。）。つまり、加算器１２からの出力は、検出器１００ａの出力信号の中から、不要波である常時微振動の除去された補正信号となっている。
【００２６】
従って、本実施形態の検出装置１００によれば、図４に示す校正方法が実行される。
先ず、ステップＳ１１において、作業者は、同一の振動検出特性を有する２つの検出器１００ａ，１００ｂを、検出方向が互いに逆向きになるように設置する（設置工程）。
次いで、ステップＳ１２において、作業者は、一方の検出器（ここでは検出器１００ａａ）に対して校正信号を入力する。
次いで、ステップＳ１３において、検出器１００ａは、検出器１００ｂから検出信号と同期した第２検出信号を取得する（取得工程）。
次いで、ステップＳ１４において、検出器１００ａは、検出信号に、検出器１００ｂから取得した第２検出信号を加算し、常時微振動が打ち消された補正信号を生成する（加算工程）。
次いで、ステップＳ１５において、検出器１００ａは、生成した補正信号を出力する（出力工程）。
【００２７】
以上のように、本実施形態の検出装置１００及び検出方法によれば、同一の振動検出特性を有する２つの検出器１００ａ,１００ｂを検出方向が逆向きになるように設置し、一方の検出器１００ａに校正信号を入力して検出信号を出力する場合に、第２の検出器１００ｂからの第２検出信号を同期して取得し、検出器１００ａからの検出信号と第２検出器１００ｂからの第２検出信号とを加算して補正信号を生成し、生成した補正信号を出力する構成となっている。
このとき第２の検出器１００ｂから出力される第２検出信号は、検出器１００ａから出力される検出信号に含まれる常時微振動と同振幅で逆位相の振動であるため、検出器１００ａからの検出信号にこれを加算することで、検出器１００ａからの出力に含まれる常時微振動が打ち消されるようになっている。
従って、検出器１００ａに校正信号を入力した場合、検出器１００ａから常時微振動の除かれた検出信号（補正信号）が出力されることとなり、防振基礎等の別部材を使用することなしに、常時微振動の影響を排除した検出器１００ａの校正を行うことができることとなる。
【００２８】
［第２実施形態］
次に、本発明にかかる第２実施形態について第１実施形態と異なる点を中心に説明する。なお、第１実施形態と同様の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
【００２９】
図５に示すように、本実施形態における検出装置２００は、加速度等を検出するために使用する検出器（第１検出器）２００ａと、当該検出器２００ａを校正するために使用する第２の検出器（第２検出器）２００ｂと、を備えて構成されている。
検出器２００ａ,２００ｂは、感度、固有振動数、及び減衰定数を等しくすることで、互いに同一の振動検出特性を有するように構成され、検出器２００ａ,２００ｂの検出方向が同じ向きとなるように設置されている。
そして、本実施形態の第２の検出器２００ｂは、検出器２００ａと同一の駆動機構や、振子３の駆動により生成される検出信号を出力するフォースコイル３ａ（第２検出手段）を備え、この第２検出手段は、検出器２００ａの検出手段の出力極性に対し、配線が逆にされることで出力極性が反転されている。
このため、本実施形態の検出装置２００においては、検出器２００ｂからの出力は１８０度ずれた（逆位相の）信号に変換されることとなり（図６（ａ）参照）、加算器１２にて、この逆位相の信号を検出器２００ａからの出力に加算することで、結果として、検出器２００ａからの出力に含まれる常時微振動を除去した補正信号が生成されるようになっている（図６（ｂ）参照）。
【００３０】
従って、本実施形態の検出装置２００によれば、図７に示す校正方法が実行される。
先ず、ステップ２１において、作業者は、２つの検出器２００ａ，２００ｂを、検出方向が同じ向きになるように設置する。
次いで、ステップＳ２２において、作業者は、一方の検出器（ここでは２００ｂ）の出力極性を反転させる（反転工程）。
次いで、ステップＳ２３において、作業者は、一方の検出器（ここでは検出器２００ａａ）のテストコイル３ｂに対して校正信号を入力する。
次いで、ステップＳ２４において、校正信号の入力された検出器２００ａは、他方の検出器２００ｂから、自身の出力と同期した検出信号を取得する（取得工程）。
次いで、ステップＳ２５において、検出器２００ａは、２つの検出信号を加算して補正信号を生成する（加算工程）。
次いで、ステップＳ２６において、検出器２００ａは、生成された補正信号を出力し（出力工程）する。
【００３１】
以上より、本実施形態の検出装置２００によれば、第１実施形態と同様の効果が得られるのは勿論のこと、２つの検出器２００ａ，２００ｂが、同一の振動検出特性を有するように構成され、検出方向が同じ向きになるように設置されている為、何れか一方が破損した場合でも他方で振動検出の代用が可能である。従って、検出装置２００は、検出器１００ａと比較して利便性が高く、運用上より好ましい。
【００３２】
なお、上記第２実施形態においては、配線を逆にすることで出力極性を反転させていたが、例えば移相器等を用いて逆位相の信号に変換することとしても良い。
【００３３】
また、上記第１及び第２実施形態では、検出器としてサーボ機構を利用して振動を検出する装置を例示して説明しているが、サーボ機構は必須ではない。
また、上記第１及び第２実施形態では、２つの検出器のうち、検出器１００ａ及び２００ａに校正信号を入力するものとして説明しているが、検出器１００ｂ、２００ｂに校正信号を入力しても同様の校正方法が実施可能である。
【符号の説明】
【００３４】
１００、２００  検出装置
１００ａ、２００ａ  検出器（第１検出器）
１００ｂ、２００ｂ  第２の検出器（第２検出器）
３  振子（可動部）
３ａ  フォースコイル（検出手段、第２検出手段）
３ｂ  テストコイル（テスト駆動手段）
４  変位検出部
６  サーボアンプ
７  プロセッサ（取得手段）
８  校正信号入力部
９  電源入力部
１０  要求信号出力部
１０ｂ  検出器
１１ａ，１１ｂ  検出信号出力部
１２  加算器（加算手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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