(57)【要約】【課題】テストプログラムの記述が誤っている場合でも、ＤＵＴ１００を破壊や損傷から保護することができる半導体試験装置を実現する。【解決手段】被試験対象デバイスに電圧または電流を印加して試験を行う半導体試験装置において、被試験対象デバイスを試験する試験内容が記述されたテストプログラムと被試験対象デバイスに印加できる電圧または電流の許容範囲が記述されたシステム特性記述ファイルとを記憶する記憶部と、テストプログラムとシステム特性記述ファイルとを記憶部から取得し、テストプログラム実行時に許容範囲に基づいてテストプログラムの設定をチェックし、設定が許容範囲を超えていた場合にユーザにエラーを通知するテスタ制御部とを備える。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験対象デバイスに電圧または電流を印加して試験を行う半導体試験装置において、
前記被試験対象デバイスを試験する試験内容が記述されたテストプログラムと前記被試験対象デバイスに印加できる電圧または電流の許容範囲が記述されたシステム特性記述ファイルとを記憶する記憶部と、
前記テストプログラムと前記システム特性記述ファイルとを前記記憶部から取得し、前記テストプログラム実行時に前記許容範囲に基づいて前記テストプログラムの設定をチェックし、前記設定が前記許容範囲を超えていた場合にユーザにエラーを通知するテスタ制御部と
を備えたことを特徴とする半導体試験装置。
【請求項２】
前記システム特性記述ファイルは、前記被試験対象デバイスまでの経路の電気的特性の許容範囲が記述されていることを特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。
【請求項３】
前記テスタ制御部は、
前記テストプログラムと前記システム特性記述ファイルとを前記記憶部から取得するファイル取得手段と、
このファイル取得手段で取得した前記システム特性記述ファイルから前記許容範囲を抽出するパラメータ抽出手段と、
前記テストプログラム実行時に前記許容範囲に基づいて前記テストプログラムの設定をチェックする設定チェック手段と、
前記設定が前記許容範囲を超えていた場合にユーザにエラーを通知するエラー通知手段と
を有することを特徴とする請求項１または２記載の半導体試験装置。
【請求項４】
前記エラーを表示する表示部を備えたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の半導体試験装置。
【請求項５】
前記テスタ制御部は、
前記エラーの内容をログファイルに出力し、前記記憶部に記憶させることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の半導体試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被試験対象デバイス（以下、ＤＵＴ（Device Under Test）という）に電圧または電流を印加して試験を行う半導体試験装置に関し、詳しくは、テストプログラムの記述が誤っている場合でも、ＤＵＴ１００を破壊や損傷から保護することができる半導体試験装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図４は、従来の半導体試験装置の一例を示した構成図である。図４において、ＤＵＴ１００は、被試験対象デバイスである。記憶部１は、ハードディスク等で構成され、ＤＵＴ１００の試験の手順が記載されたテストプログラムが記憶されている。テスタ制御部２は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）やメモリ等から構成され、半導体試験装置を統括的に制御する。表示部３は、液晶ディスプレイ等で構成され、試験結果等を表示する。
【０００３】
テストヘッド５０は、ピンエレクトロニクスカード４１〜ピンエレクトロニクスカード４ｎ（ｎは１以上の整数）、ＭＩＸモジュール５およびＤＣモジュール６を有している。ピンエレクトロニクスカード４１〜４ｎは、ＤＵＴ１００へ試験信号を出力し、ＤＵＴ１００からの出力信号を予め設定された比較電圧と比較して期待値データとの一致または不一致（パスまたはフェイル）を判定する。
【０００４】
ＭＩＸモジュール５は、例えば、信号出力モジュールと信号入力モジュールを有している。信号出力モジュールは、ＤＣ信号だけでなく、任意の電圧波形信号をＤＵＴ１００へ出力することができ、信号入力モジュールは、ＤＵＴ１００からのアナログ出力信号をディジタイズしてデジタルデータに変換する。ＤＣモジュール６は、例えば、ＤＵＴ１００に対して電源電圧を供給し、その時の電流を測定する。
【０００５】
このような半導体試験装置の動作を説明する。
テスタ制御部２は、半導体試験装置のユーザーからの指示に基づいて、記憶部１からテストプログラムを取得し、テストプログラムのビルドを実行する。そして、テスタ制御部２は、ユーザーから試験の開始の指示を受けてテストプログラムに従って試験を実行し、試験結果（パスまたはフェイルの情報）を表示部３に表示させる。
【０００６】
例えば、ＤＵＴ１００に対してファンクション（機能）試験を行う場合には、ピンエレクトロニクスカード４１〜４ｎが、テスタ制御部２からの指示により、パターンデータに基づいた試験信号をＤＵＴ１００へ出力し、ＤＵＴ１００からの出力信号に応じてパスまたはフェイルを判定する。
【０００７】
また、例えば、ＤＵＴ１００動作時の電源電圧の電流を測定する試験を行う場合には、ピンエレクトロニクスカード４１〜４ｎが、テスタ制御部２からの指示により、パターンデータに基づいた試験信号をＤＵＴ１００へ出力してＤＵＴ１００を動作させる。そして、ＤＵＴ１００へ電源電圧を供給しているＤＣモジュール６が、テスタ制御部２からの指示により、この時にＤＵＴ１００へ供給される電源電流を測定する。
【０００８】
このように、テスタ制御部２が、テストプログラムに従い、ピンエレクトロニクスカード４１〜４ｎ、ＭＩＸモジュール５またはＤＣモジュール６等を制御することにより、ＤＵＴ１００の試験を実行する。
【０００９】
特許文献１には、ＤＵＴの仕様に基づく違反条件の設定を自動的に実行可能なテスト支援システムが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００９−０４１１８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかし、図４に示す従来例では、テストプログラムの記述が誤っている場合に、ＤＵＴ１００に対して過電圧または過電流が印加されてしまうため、ＤＵＴ１００を破壊してしまったり、損傷してしまう危険性があった。これを回避するため、従来では、ユーザーがテストプログラムを見て、設定に誤りがないかをチェックしなければならなかった。
【００１２】
そこで本発明の目的は、テストプログラムの記述が誤っている場合でも、ＤＵＴ１００を破壊や損傷から保護することができる半導体試験装置を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
請求項１記載の発明は、
被試験対象デバイスに電圧または電流を印加して試験を行う半導体試験装置において、
前記被試験対象デバイスを試験する試験内容が記述されたテストプログラムと前記被試験対象デバイスに印加できる電圧または電流の許容範囲が記述されたシステム特性記述ファイルとを記憶する記憶部と、
前記テストプログラムと前記システム特性記述ファイルとを前記記憶部から取得し、前記テストプログラム実行時に前記許容範囲に基づいて前記テストプログラムの設定をチェックし、前記設定が前記許容範囲を超えていた場合にユーザにエラーを通知するテスタ制御部と
を備えたことを特徴とするものである。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、
前記システム特性記述ファイルは、前記被試験対象デバイスまでの経路の電気的特性の許容範囲が記述されていることを特徴とするものである。
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の発明において、
前記テスタ制御部は、
前記テストプログラムと前記システム特性記述ファイルとを前記記憶部から取得するファイル取得手段と、
このファイル取得手段で取得した前記システム特性記述ファイルから前記許容範囲を抽出するパラメータ抽出手段と、
前記テストプログラム実行時に前記許容範囲に基づいて前記テストプログラムの設定をチェックする設定チェック手段と、
前記設定が前記許容範囲を超えていた場合にユーザにエラーを通知するエラー通知手段と
を有することを特徴とするものである。
請求項４記載の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載の発明において、
前記エラーを表示する表示部を備えたことを特徴とするものである。
請求項５記載の発明は、請求項１〜３のいずれかに記載の発明において、
前記テスタ制御部は、
前記エラーの内容をログファイルに出力し、前記記憶部に記憶させることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、以下のような効果がある。
被試験対象デバイスに電圧または電流を印加して試験を行う半導体試験装置において、前記被試験対象デバイスを試験する試験内容が記述されたテストプログラムと前記被試験対象デバイスに印加できる電圧または電流の許容範囲が記述されたシステム特性記述ファイルとを記憶する記憶部と、前記テストプログラムと前記システム特性記述ファイルとを前記記憶部から取得し、前記テストプログラム実行時に前記許容範囲に基づいて前記テストプログラムの設定をチェックし、前記設定が前記許容範囲を超えていた場合にユーザにエラーを通知するテスタ制御部とを備えたことにより、被試験対象デバイスの破壊や損傷を招く危険性のある設定をユーザーが認識することができ、未然に危険な設定を回避することができるので、テストプログラムの記述が誤っている場合でも、被試験対象デバイスを破壊や損傷から保護することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の半導体試験装置の一例を示した構成図である。
【図２】テスタ制御部の一例を示した構成図である。
【図３】システム特性記述ファイル、テストプログラムおよびエラー通知の一例である。
【図４】従来の半導体試験装置の一例を示した構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。
図１は、本発明の半導体試験装置の一例を示した構成図である。ここで、図４と同一のものは同一符号を付し、説明を省略する。  図１において、図４に示す構成と異なる点は、記憶部１の代わりに記憶部７が設けられている点、テスタ制御部２の代わりにテスタ制御部８が設けられている点である。
【００１７】
図１において、記憶部７は、ＤＵＴ１００を試験する試験内容が記述されたテストプログラムとＤＵＴ１００に印加できる電圧または電流の許容範囲およびＤＵＴ１００までの経路に出力できる信号の電気的特性の許容範囲が記述されたシステム特性記述ファイルとを記憶する。テスタ制御部８は、テストプログラムとシステム特性記述ファイルとを記憶部７から取得し、テストプログラム実行時に許容範囲に基づいてテストプログラムの設定をチェックし、設定が許容範囲を超えていた場合にユーザにエラーを通知する。
【００１８】
また、図２は、テスタ制御部８の一例を示した構成図である。ファイル取得手段８１は、テストプログラムとシステム特性記述ファイルとを記憶部７から取得する。パラメータ抽出手段８２は、ファイル取得手段８１で取得したシステム特性記述ファイルからＤＵＴに印加できる電圧または電流の許容範囲およびＤＵＴ１００までの経路に出力できる信号の電気的特性の許容範囲を抽出する。設定チェック手段８３は、テストプログラム実行時にパラメータ抽出手段８２で抽出した許容範囲に基づいてテストプログラムの設定をチェックする。エラー通知手段８４は、テストプログラムの設定が許容範囲を超えていた場合にユーザにエラーを通知する。
【００１９】
実際には、ファイル取得手段８１、パラメータ抽出手段８２、設定チェック手段８３およびエラー通知手段８４は、ソフトウェアで構成され、テスタ制御部８がこれらのソフトウェアに従って動作する。
【００２０】
このような半導体試験装置の動作を図３を用いて説明する。
図３は、（ａ）がシステム記述ファイルの一例、（ｂ）がテストプログラムの一例、（ｃ）がエラー通知の一例である。テスタ制御部８のファイル取得手段８１は、半導体試験装置のユーザーからの指示に基づいて、記憶部７からテストプログラムとシステム特性記述ファイルとを取得する。システム特性記述ファイルは、図３に示すように、ライン特性と被測定デバイス特性の項目から構成される。
【００２１】
ライン特性の項目は、ＤＵＴ１００までの経路に出力できる信号の電気的特性（電圧、電流または周波数）の許容範囲が記述されており、この項目は、半導体試験装置の仕様で決まるため、予め記述されており、ユーザが編集できないようになっている。具体的には、LineMaxVoltageは、ＤＵＴ１００までの経路に出力できる電圧の許容範囲を示しており、図３（ａ）の例では、−２０Ｖ〜＋２０Ｖとなっている。
【００２２】
また、LineMaxCurrentは、ＤＵＴ１００までの経路に出力できる電流の許容範囲を示しており、図３（ａ）の例では、−１００ｍＡ〜＋１００ｍＡとなっている。さらに、FreqBandは、ＤＵＴ１００までの経路に出力できる信号の周波数の許容範囲を示しており、図３（ａ）の例では、周波数帯域が１０ＭＨｚまでの信号を出力することができる。
【００２３】
次に、被測定デバイス特性の項目は、ＤＵＴ１００に印加できる電圧または電流の許容範囲が記述されており、この項目は、ユーザが記述する。具体的には、DutMaxVoltageは、ＤＵＴ１００に印加できる電圧の許容範囲を示しており、図３（ａ）の例では、−１０Ｖ〜＋１０Ｖとなっている。DutMaxCurrentは、ＤＵＴ１００に印加できる電流の許容範囲を示しており、図３（ａ）の例では、−５０ｍＡ〜＋５０ｍＡとなっている。
【００２４】
動作の説明に戻る。テスタ制御部８のパラメータ抽出手段８２は、ファイル取得手段８１で取得したシステム特性記述ファイルから許容範囲を抽出する。すなわち、ライン特性項目のDutMaxVoltage、DutMaxCurrentおよびFreqBand、被測定デバイス特性項目のDutMaxVoltageおよびDutMaxCurrentのそれぞれの値を抽出する。
【００２５】
テスタ制御部８の設定チェック手段８３は、テストプログラム実行時にパラメータ抽出手段８２で抽出した許容範囲に基づいてテストプログラムの設定をチェックする。具体的には、ピンエレクトロニクスカード４１〜４ｎ、ＭＩＸモジュール５およびＤＣモジュール６のテストプログラム上の設定で、ＤＵＴ１００に印加される電圧および電流に関係する項目の設定値が、パラメータ抽出手段８２で抽出した許容範囲内に入っているか否かをチェックする。
【００２６】
テスタ制御部８のエラー通知手段８４は、テストプログラムの設定が許容範囲を超えていた場合にユーザにエラーを通知する。例えば、ＤＵＴ１００に印加できる電圧の許容範囲（DutMaxVoltage）が−１０Ｖ〜＋１０Ｖであった場合に、図３（ｂ）に示すテストプログラムではＤＣモジュール６から出力される電圧が＋１２Ｖに設定されており、許容範囲を超えているため、エラー通知手段８４は、図３（ｃ）に示すようなエラーをユーザーに通知する。ユーザーへのエラー通知は、例えば、テスタ制御部８が、表示部３に表示させたり、エラーの内容をログファイルに出力して記憶部７に記憶させる。
【００２７】
もし、テストプログラムの設定が許容範囲を超えていた場合、すなわち、エラーが有る場合には、ＤＵＴ１００に対して電圧または電流は印加されない。ユーザーは、エラーが通知されると、テストプログラム上の該当箇所を修正する。そして、テスタ制御部２は、修正されたテストプログラムを用いて、ＤＵＴ１００の試験を実行する。
【００２８】
このように、テスタ制御部８が、テストプログラムとシステム特性記述ファイルとを記憶部７から取得し、テストプログラム実行時に許容範囲に基づいてテストプログラムの設定をチェックし、設定が許容範囲を超えていた場合にユーザにエラーを通知することにより、ＤＵＴ１００の破壊や損傷を招く危険性のある設定をユーザーが認識することができ、未然に危険な設定を回避することができるので、テストプログラムの記述が誤っている場合でも、ＤＵＴ１００を破壊や損傷から保護することができる。
【００２９】
なお、本発明はこれに限定されるものではなく、以下に示すようなものでもよい。
（１）図１〜図３に示す実施例において、テストプログラムの設定チェックに用いられる許容範囲は、ＤＵＴに印加できる電圧または電流の許容範囲およびＤＵＴ１００までの経路に出力できる信号の電気的特性の許容範囲を用いていたが、ＤＵＴに印加できる電圧または電流の許容範囲のみを用いるようにしてもよい。この場合、システム特性記述ファイルは、被測定デバイス特性のみが記述される。
【００３０】
（２）図１〜図３に示す実施例において、ユーザーがシステム特性記述ファイルに記述する被測定デバイス特性にＤＵＴに印加できる電圧および電流の許容範囲を示したが、電圧または電流のどちらか一方のみを記述するようにしてもよい。この場合、記述された項目のみを用いて、テストプログラムの設定チェックが行われる。
【符号の説明】
【００３１】
３  表示部
７  記憶部
８  テスタ制御部
８１  ファイル取得手段
８２  パラメータ抽出手段
８３  設定チェック手段
８４  エラー通知手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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