(57)【要約】【課題】迅速・正確に潤滑油の状態を検出でき、同時に装置の小型化を図ることができる油面検知兼軸受監視装置及び真空ポンプを提供すること。【解決手段】油面検知兼軸受監視装置１−１は、潤滑油１６９の油面１６９ａの位置を検出する油面検知装置であり、同時にその潤滑油導入部１５内に導入された潤滑油１６９の汚れを検知してこの潤滑油１６９が供給される軸受１５７の摩耗の程度を監視する光センサ２２を取り付ける。光センサ２２は油面検知兼軸受監視装置１−１に設置した光発光部２３と光受光部２５とを具備し、光発光部２３から潤滑油導入部１５内の潤滑油１６９に投入した光を光受光部２５に受光させてその受光量を検出することで潤滑油１６９の汚れを検知する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転機械の軸受を潤滑する潤滑油を溜めておく潤滑油室に取り付けられ潤滑油の油面の位置を検出する油面検知装置を具備するとともに、
前記油面検知装置に、この油面検知装置内に導入された潤滑油の汚れを検知して前記軸受の摩耗の程度を監視する光センサを取り付けたことを特徴とする油面検知兼軸受監視装置。
【請求項２】
請求項１に記載の油面検知兼軸受監視装置であって、
前記光センサは前記油面検知装置に設置した光発光部と光受光部とを具備し、光発光部から油面検知装置内の潤滑油に投入した光を光受光部に受光させてその受光量を検出する構成であることを特徴とする油面検知兼軸受監視装置。
【請求項３】
請求項２に記載の油面検知兼軸受監視装置であって、
前記油面検知装置は、内部に導入された潤滑油の油面の上下動に応じて上下動するフロートを、前記光センサの光発光部から光受光部に向かう光の通路に設置し、この光の通路を前記フロートが遮ることで潤滑油の油面の位置を検出する構成であることを特徴とする油面検知兼軸受監視装置。
【請求項４】
請求項１又は２又は３に記載の油面検知兼軸受監視装置を用いた回転機械であって、
前記回転機械は真空ポンプであり、
この真空ポンプを運転制御する制御部は、前記光センサが検知した潤滑油の汚れの検出値を入力するとともに、入力した前記検出値が一定のしきい値を超えた際に警報信号を出力することを特徴とする真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、軸受の潤滑や冷却に用いる潤滑油の油量を検知し、同時に軸受の摩耗劣化等の状態も検知する油面検知兼軸受監視装置及び真空ポンプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、真空ポンプ等の回転機械には回転軸を軸支する軸受が設置されており、この軸受にはこれを潤滑・冷却するための潤滑油が供給される。潤滑油は潤滑油室内に溜められていて、回転機械を駆動したときに潤滑油室内の潤滑油が軸受に供給されて軸受を潤滑・冷却した後に、再び潤滑油室に戻される（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
潤滑油は軸受の摩耗や熱による劣化などにより、異色化し（濁り）、徐々に暗色になっていく。そこで従来、潤滑油の汚れを目視で点検し、汚れがあるレベルに達した場合は潤滑油を入れ替えるなどの保守を行っていた。また目視に代えて光センサを用いて前記潤滑油の異色化を検出する方法もあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平４−１６０２９９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、目視による点検では、半導体工場など、多数のポンプが稼働している場合、この点検は容易ではなく、また人の判断によるため正確な判断は困難であった。一方、光センサを用いて点検する場合は、このような問題は生じないが、光センサ等の汚れ検出装置を別途設置する必要があるので、装置の小型化が阻害される等の問題があった。
【０００６】
本発明は上述の点に鑑みてなされたものでありその目的は、迅速・正確に潤滑油の状態を検出でき、同時に装置の小型化を図ることができる油面検知兼軸受監視装置及びこの油面検知兼軸受監視装置を用いて構成される真空ポンプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本願請求項１に記載の発明は、回転機械の軸受を潤滑する潤滑油を溜めておく潤滑油室に取り付けられ潤滑油の油面の位置を検出する油面検知装置を具備するとともに、前記油面検知装置に、この油面検知装置内に導入された潤滑油の汚れを検知して前記軸受の摩耗の程度を監視する光センサを取り付けたことを特徴とする油面検知兼軸受監視装置にある。
【０００８】
本願請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の油面検知兼軸受監視装置であって、前記光センサは前記油面検知装置に設置した光発光部と光受光部とを具備し、光発光部から油面検知装置内の潤滑油に投入した光を光受光部に受光させてその受光量を検出する構成であることを特徴とする油面検知兼軸受監視装置にある。
【０００９】
本願請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の油面検知兼軸受監視装置であって、前記油面検知装置は、内部に導入された潤滑油の油面の上下動に応じて上下動するフロートを、前記光センサの光発光部から光受光部に向かう光の通路に設置し、この光の通路を前記フロートが遮ることで潤滑油の油面の位置を検出する構成であることを特徴とする油面検知兼軸受監視装置にある。
【００１０】
本願請求項４に記載の発明は、請求項１又は２又は３に記載の油面検知兼軸受監視装置を用いた回転機械であって、前記回転機械は真空ポンプであり、この真空ポンプを運転制御する制御部は、前記光センサが検知した潤滑油の汚れの検出値を入力するとともに、入力した前記検出値が一定のしきい値を超えた際に警報信号を出力することを特徴とする真空ポンプにある。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１に記載の発明によれば、油面検知装置に光センサを取り付けたので、装置のコンパクト化が図れるとともに、光センサによる迅速・正確な潤滑油の状態の検出が可能になり、軸受が故障する前に事前に軸受のオーバーホールや交換等による故障防止処置が行える。
【００１２】
請求項２に記載の発明によれば、光受光部に受光した受光量に応じて、容易且つ確実に潤滑油の状態を検出して軸受の摩耗の程度を判断することができる。
【００１３】
請求項３に記載の発明によれば、光センサを、潤滑油の状態検出と油面検出の両者に共用するので、装置のコンパクト化・小型化が図れる。
【００１４】
請求項４に記載の発明によれば、コンパクトな油面検知兼軸受監視装置を用いるので、真空ポンプ全体のコンパクト化・小型化が図れる。一方真空ポンプは半導体製造装置に広く使用されているが、真空ポンプが急に停止などすると半導体製造装置全体にその影響が及び、大きな損害を生じてしまう恐れがある。このため本発明にかかる油面検知兼軸受監視装置を半導体製造装置用の真空ポンプに用いることで真空ポンプの軸受を監視させれば、軸受の故障を事前に知ることができ、特に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】油面検知兼軸受監視装置１−１を用いて構成された真空ポンプ１００の１例を示す一部断概略側面図である。
【図２】真空ポンプ１００の軸受及び歯車部分の要部拡大概略断面図である。
【図３】油面検知兼軸受監視装置１−１の正面図である。
【図４】油面検知兼軸受監視装置１−１の断面図（図５のＢ−Ｂ断面図）である。
【図５】油面検知兼軸受監視装置１−１の断面図（図３のＡ−Ａ断面図）である。
【図６】真空ポンプ１００の制御ブロック図である。
【図７】油面検知兼軸受監視装置１−２の正面図である。
【図８】油面検知兼軸受監視装置１−２の断面図（図９のＤ−Ｄ断面図）である。
【図９】油面検知兼軸受監視装置１−２の断面図（図７のＣ−Ｃ断面図）である。
【図１０】油面検知兼軸受監視装置１−３の断面図である。
【図１１】油面検知兼軸受監視装置１−４の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１は本発明の一実施形態にかかる油面検知兼軸受監視装置１−１を用いて構成された真空ポンプ１００の１例を示す一部断概略側面図である。また図２は真空ポンプ１００の軸受及び歯車部分の要部拡大概略断面図である。
【００１７】
この真空ポンプ１００はルーツ型のドライ真空ポンプであり、軸受１５５，１５７（軸受１５７は図２参照）に軸支された２本の回転軸１５３（図１，図２では１つの回転軸１５３のみ示している。もう１つの回転軸１５３は図１の紙面奥側に両回転軸１５３が水平で平行に並ぶように設置されている。）にルーツ型ロータ１５９を固定し、ロータケーシング１６１内に収納し、図示する一方の回転軸１５３の一端部にモータ１６３を取り付け、両回転軸１５３の他方の端部に両回転軸１５３を同期させて回転駆動するための歯車（タイミング歯車）１６５を取り付けて構成されている。
【００１８】
回転軸１５３の端部に取り付けた歯車１６５は、ギヤケース１６７内に収納されており、その内部は潤滑油１６９を溜めておく潤滑油室１７１になっている。歯車１６５の下端近傍部分は少し潤滑油１６９内に浸漬しており、また歯車１６５の一端面には油板１７３が取り付けられている。
【００１９】
そしてモータ１６３を駆動すれば、両回転軸１５３が同期反転し、回転軸１５３に固定されたルーツ型ロータ１５９が互いに同期反転し、ルーツ型ロータ１５９の外周面とロータケーシング１６１の内周面との間に閉じ込められた気体が吸込側から吐出側に送り出され、これによって真空排気が行われる。同時に油板１７３が回転することで油板１７３及び歯車１６５が潤滑油１６９を潤滑油室１７１の天井面まで跳ね上げ、矢印で示すように軸受１５７に供給されてこれを潤滑した後、潤滑油室１７１に戻される。
【００２０】
一方図１に示すように、ギヤケース１６７の外側壁の前記潤滑油１６９の油面付近に対向する位置には、油面検知兼軸受監視装置１−１が取り付けられている。図３は油面検知兼軸受監視装置１−１の正面図、図４は断面図（図５のＢ−Ｂ断面図）、図５は別の角度での断面図（図３のＡ−Ａ断面図）である。油面検知兼軸受監視装置１−１は、潤滑油の油面を検出する油面検知装置であると同時に、この油面検知装置内に導入された油の汚れを検知して前記軸受１５７の摩耗の程度を監視する軸受監視装置でもある。すなわち油面検知兼軸受監視装置１−１は、略矩形板状の本体ケース１１の上部に上方向に棒状に突出するセンサ保持部１３を非磁性体の透明な材料にて一体成形してなるケース１０と、本体ケース１１の一方の側面（ギヤケース１６７に対向する側の面）に形成された凹状の潤滑油導入部１５内にその先端側（下記するフロート本体部４３側）が挿入されたフロート１７と、センサ保持部１３の上面から下方に向けて設けた凹状のセンサ挿入部１９に挿入されるスイッチ２１と、本体ケース１１の左右両側面に取り付けられる光センサ（光電センサ）２２とを具備して構成されている。この光センサ２２は透過型の光センサであり、光発光部（発光素子）２３と光受光部（受光素子）２５とを有している。
【００２１】
本体ケース１１の各角部付近には貫通する取付孔２９が設けられている。取付孔２９はケース１０を前記ギヤケース１６７の外側壁に取り付けるためのボルト挿入孔である。ケース１０の左右両外周側面の下部には対向するように発光部収納部３０と受光部収納部３１が形成されている。発光部収納部３０と受光部収納部３１の間には、潤滑油導入部１５を途中に介して、両者を直線状に連結するように本体ケース１１内部を貫通する一対の光導光路３３，３５が形成されている。さらに本体ケース１１の前記ギヤケース１６７を取り付ける側の面からは、本体ケース１１の面から離れる方向に向かって突出する一対のフロート取付基部３７が設けられ、両フロート取付基部３７に水平に架け渡される軸３９によってフロート１７が回動自在にケース１０に取り付けられる。
【００２２】
フロート１７は潤滑油に浮く樹脂材料を略棒状に成形して構成されており、軸部４１の一端側にフロート本体部４３を取り付けている。そして軸部４１の途中の部分が前記軸３９に回動自在に軸支されており、潤滑油１６９の油面１６９ａの上下動に応じてフロート本体部４３が上下動する。フロート本体部４３内にはマグネット（永久磁石）４７が収納されている。マグネット４７はスイッチ２１の真下の位置に配置されている。
【００２３】
センサ挿入部１９に収納されるスイッチ２１はリードスイッチであり、前記フロート本体部４３内のマグネット４７が接近するとオン（又はオフ）し、離れるとオフ（又はオン）するように動作する。スイッチ２１にはリード線４９が接続されており、センサ保持部１３の上部から外部に引き出されている。
【００２４】
図４，図５に示しているフロート１７の位置は、潤滑油導入部１５内に導入されている潤滑油１６９の油面１６９ａが基準位置にある場合の位置を示している。また前記一対の光導光路３３，３５は、常に潤滑油１６９内に開口するように、フロート本体部４３の下部であって、且つ一対の光導光路３３，３５間を結ぶ直線がフロート本体部４３の上下動によって遮られない位置に設けられている。
【００２５】
図６は真空ポンプ１００の制御ブロック図である。同図に示すように真空ポンプ１００にはこの真空ポンプ１００を運転制御する制御部１１０が設けられている。制御部１１０は、図示しない操作パネルからの各種指令信号によって真空ポンプ１００を運転制御するものであり、モータ１６３に駆動信号を出力し、警報手段１７５に警報信号を出力し、油面検知兼軸受監視装置１−１の油面検知装置を構成するスイッチ２１からの出力を入力し、光発光部２３に出力して光受光部２５からの信号を入力する。制御部１１０はもちろん真空ポンプ１００の他の各種制御も行う。警報手段１７５は例えば図示しない操作パネルに設けた警報ランプや、警報ブザー等によって構成される。
【００２６】
そして制御部１１０は、モータ１６３に駆動信号を出力することによって、前述のように真空ポンプ１００を運転する。同時にスイッチ２１からの入力信号により、潤滑油室１７１内の潤滑油１６９の油面１６９ａを検出し、その油面１６９ａが所定のレベル以下になってスイッチ２１がオフ（又はオン）したことを検出した場合は、潤滑油１６９の量が減少したと判断し、前記警報手段１７５にその旨を出力し表示する。この場合、作業者は潤滑油１６９を真空ポンプ１００に補充する。
【００２７】
また真空ポンプ１００を運転しているときは、光発光部２３で発光した光を、光導光路３３と潤滑油導入部１５と光導光路３５とを通して光受光部２５に受光させる。油潤滑式の軸受１５７は、軸受１５７の劣化により摩耗が生じ、その摩耗粉の影響から潤滑油１６９が黒く変色していく。一方前記光受光部２５での光の受光量は、潤滑油１６９が黒くなるほど減少する。そこで制御部１１０は、光受光部２５が検知した検出値を入力し、入力した前記検出値が一定のしきい値を超えた際に、軸受１５７が劣化・摩耗したと判断して、警報手段１７５に警報信号を出力しその旨を表示する。
【００２８】
警報信号が表示された場合、作業者は真空ポンプ１００を点検し、必要に応じて軸受１５７のオーバーホールまたは軸受交換または潤滑油交換などを行う。例えば潤滑油１６９を交換し、再び短期間で警報が出るような場合は、軸受１５７が劣化して摩耗の速さが早いと判断できるので、この段階でオーバーホールや軸受交換を行ってもよい。
【００２９】
以上説明したようにこの油面検知兼軸受監視装置１−１によれば、油面検知兼軸受監視装置１−１として油面検知装置（油面検知兼軸受監視装置１−１の光センサ２２以外の部分）に光センサ２２を取り付けた（一体化も可能である）構成としたので、両者を別々の位置に設置する場合に比べてコンパクト化が図れ、さらにはこの油面検知兼軸受監視装置１−１を取り付ける真空ポンプ１００のコンパクト化・小型化が図れる。また光センサ２２による迅速・正確な潤滑油１６９の状態の検出が可能となり、軸受１５７が故障する前に事前に軸受１５７のオーバーホールや交換等を行うことによって、真空ポンプ１００の故障防止処置が行える。つまり油面検知兼軸受監視装置１−１を真空ポンプ１００に用いることで、真空ポンプ１００の軸受１５７を監視させれば、真空ポンプ１００が急に停止することなどを未然に防止することができ、従ってこの真空ポンプ１００を使用した半導体製造装置を常に安定して運用することができる。つまりこの油面検知兼軸受監視装置１−１は、半導体製造装置に用いる真空ポンプ１００に適用して特に有効である。もちろん他の各種装置に用いても良いことは言うまでもない。
【００３０】
図７は油面検知兼軸受監視装置１−２の正面図、図８は断面図（図９のＤ−Ｄ断面図）、図９は別の角度での断面図（図７のＣ−Ｃ断面図）である。この油面検知兼軸受監視装置１−２において前記油面検知兼軸受監視装置１−１と同一または相当部分には同一符号を付す。なお以下で説明する事項以外の事項については、前記図１〜図６に示す実施形態と同じである。この油面検知兼軸受監視装置１−２において前記油面検知兼軸受監視装置１−１と相違する点は、油面検知兼軸受監視装置１−１で取り付けたスイッチ２１と、このスイッチ２１を取り付けるための本体ケース１１のセンサ保持部１３と、フロート本体部４３内に収納したマグネット４７とを省略し、その代りにフロート本体部４３で光の通路を遮る場所に設置し、油面１６９ａが基準位置にある場合は一対の光導光路３３，３５間を結ぶ直線がフロート本体部４３によって塞がれず、油面１６９ａが下降してフロート本体部４３が下降した場合は前記一対の光導光路３３，３５間を結ぶ直線の間にこのフロート本体部４３が位置するように、一対の光導光路３３，３５とフロート本体部４３とを設置した点である。すなわちフロート１７は、光センサ２２の光発光部２３から光受光部２５に向かう光の通路を横切るように設置され、この光の通路を前記フロート１７が遮ることで潤滑油１６９の油面１６９ａを検出するように構成している。
【００３１】
そして前記実施形態と同様に制御部１１０によって真空ポンプ１００を運転制御する。このとき同時に光発光部２３で発光した光は、光導光路３３と潤滑油導入部１５と光導光路３５とを通して光受光部２５に受光され、これによってフロート本体部４３（即ち油面１６９ａ）が所定のレベル以上の位置にあることを検知する。同時に、制御部１１０は、光受光部２５が検知した検出値を入力し、入力した前記検出値が一定のしきい値を超えた際に、軸受１５７が劣化・摩耗したと判断して、警報手段１７５に警報信号を出力しその旨を表示する。警報信号が表示された場合のその後の作業者の作業は前記実施形態の場合と同じである。
【００３２】
一方潤滑油１６９の油面１６９ａが所定のレベル以下に低下した場合は、フロート本体部４３が下降して光発光部２３から光受光部２５に向かう光の光路が塞がれ、光受光部２５に光が受光されなくなり、これを検出した制御部１１０は潤滑油１６９の量が減少したと判断し、前記警報手段１７５にその旨を表示する。この場合、作業者は潤滑油１６９を真空ポンプ１００に補充する。
【００３３】
以上説明したようにこの油面検知兼軸受監視装置１−２によれば、前記油面検知兼軸受監視装置１−１と同様の作用・効果を有する。さらにこの油面検知兼軸受監視装置１−２によれば、光センサ２２を、潤滑油１６９の状態検出と油面検出の両者に共用するので、油面検知兼軸受監視装置１−２及び油面検知兼軸受監視装置１−２を用いた真空ポンプ１００のコンパクト化・小型化を図ることができる。
【００３４】
図１０は油面検知兼軸受監視装置１−３の断面図（図４に相当する部分の断面図）である。この油面検知兼軸受監視装置１−３において前記油面検知兼軸受監視装置１−１と同一または相当部分には同一符号を付す。なお以下で説明する事項以外の事項については、前記図１〜図６に示す実施形態と同じである。この油面検知兼軸受監視装置１−３において前記油面検知兼軸受監視装置１−１と相違する点は、光発光部２３及び光受光部２５からなる光センサ２２の設置位置及び光導光路３３，３５の形成位置を変更した点である。すなわちこの油面検知兼軸受監視装置１−３においては、光発光部２３と光受光部２５を本体ケース１１の上下に設置し、これに合わせて光導光路３３，３５を上下方向（この実施形態では垂直方向）を向くように形成している。一対の光導光路３３，３５は、光発光部２３から光受光部２５に向かう光が、常に潤滑油１６９の油面１６９ａを通して潤滑油１６９内を通り、且つ一対の光導光路３３，３５間を結ぶ直線がフロート本体部４３の上下動によって遮られない位置となるように設けられている。
【００３５】
そして油面検知兼軸受監視装置１−１の場合と同様に制御部１１０によって真空ポンプ１００を運転制御する。同時にスイッチ２１からの入力信号により、潤滑油室１７１内の油面１６９ａを検出し、その油面１６９ａが所定のレベル以下になってスイッチ２１がオフしたことを検出した場合は、潤滑油１６９の量が減少したと判断し、前記警報手段１７５にその旨を表示する。この場合、作業者は潤滑油１６９を真空ポンプ１００に補充する。
【００３６】
また真空ポンプ１００を運転しているときは、光発光部２３で発光した光を、光導光路３３と潤滑油導入部１５と光導光路３５とを通して光受光部２５に受光させているので、制御部１１０は、光受光部２５が検知した検出値を入力し、入力した前記検出値が一定のしきい値を超えた際は、軸受１５７が劣化・摩耗したと判断して、警報手段１７５に警報信号を出力しその旨を表示する。警報信号が表示された場合のその後の作業者の作業は前記油面検知兼軸受監視装置１−１の場合と同じである。
【００３７】
図１１は油面検知兼軸受監視装置１−４の断面図（図４に相当する部分の断面図）である。この油面検知兼軸受監視装置１−４において前記油面検知兼軸受監視装置１−１と同一または相当部分には同一符号を付す。なお以下で説明する事項以外の事項については、前記図１〜図６に示す実施形態と同じである。この油面検知兼軸受監視装置１−４において前記油面検知兼軸受監視装置１−１と相違する点は、光センサ２２として反射型の光センサを用い、この光センサ２２を本体ケース１１の上部に設置し、これに合わせて光導光路３３を上下方向（この実施形態では垂直方向）に向けて前記光センサ２２から発射される光が潤滑油導入部１５内の潤滑油１６９の油面１６９ａで反射できるように構成した点である。なお前記油面検知兼軸受監視装置１−１で設けた光導光路３５は省略している。この実施形態で用いる光センサ２２は、光発光部（発光素子）と光受光部（受光素子）とが一体となって同方向を向いて設置されており、光発光部から発射された光を油面１６９ａに当て、反射してくる光を光受光部で受けて検知する構成となっている。この光センサ２２は反射された油面の濃淡が検出できるものである。
【００３８】
そして油面検知兼軸受監視装置１−１の場合と同様に制御部１１０によって真空ポンプ１００を運転制御する。同時にスイッチ２１からの入力信号により、潤滑油室１７１内の油面１６９ａを検出し、その油面１６９ａが所定のレベル以下になってスイッチ２１がオフしたことを検出した場合は、潤滑油１６９の量が減少したと判断し、前記警報手段１７５にその旨を表示する。この場合、作業者は潤滑油１６９を真空ポンプ１００に補充する。
【００３９】
また真空ポンプ１００を運転しているときは、光センサ２２の光発光部で発光した光を光導光路３３と潤滑油導入部１５を通して潤滑油１６９の油面１６９ａで反射させ、この反射光を再び潤滑油導入部１５と光導光路３３を通して光センサ２２の光受光部に受光させる。制御部１１０は、光センサ２２の光受光部が検知した潤滑油１６９の濃淡の検出値を入力し、入力した前記検出値が一定のしきい値を超えた際は、軸受１５７が劣化・摩耗したと判断して、警報手段１７５に警報信号を出力しその旨を表示する。警報信号が表示された場合のその後の作業者の作業は前記油面検知兼軸受監視装置１−１の場合と同じである。
【００４０】
以上本発明の実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲、及び明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内において種々の変形が可能である。なお直接明細書及び図面に記載がない何れの形状や構造や材質であっても、本願発明の作用・効果を奏する以上、本願発明の技術的思想の範囲内である。例えば、上記実施形態では光センサ２２は潤滑油１６９の透過度又は濃淡を検出したが、その代りに潤滑油の油色によって軸受の劣化状況を検知・判断するようにしても良い。この場合、光センサとして色を識別できる光センサを用いる。また上記各実施形態では本発明にかかる油面検知兼軸受監視装置を真空ポンプに適用した場合を示したが、真空ポンプ以外の各種回転機械に適用してもよい。また上記実施形態では本発明にかかる真空ポンプを半導体製造装置に適用した場合を示したが、真空ポンプは半導体製造装置以外に適用しても良い。
【符号の説明】
【００４１】
１−１〜１−４  油面検知兼軸受監視装置（油面検知装置）
１０  ケース
１１  本体ケース
１３  センサ保持部
１５  潤滑油導入部
１７  フロート
１９  センサ挿入部
２１  スイッチ
２２  光センサ
２３  光発光部
２５  光受光部
３３，３５  光導光路
４３  フロート本体部
４７  マグネット
１００  真空ポンプ（回転機械）
１１０  制御部
１５３  回転軸
１５５，１５７  軸受
１５９  ルーツ型ロータ
１６１  ロータケーシング
１６３  モータ
１６５  歯車（タイミング歯車）
１６９  潤滑油
１６９ａ  油面
１７１  潤滑油室
１７３  油板
１７５  警報手段
【図１】
2011094761.tif 000003
【図２】
2011094761.tif 000004
【図３】
2011094761.tif 000005
【図４】
2011094761.tif 000006
【図５】
2011094761.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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