(57)【要約】【課題】より簡単に画像測定機の校正を行うことができるようにする。【解決手段】標準尺５１は、被検物を撮像して得られた観察画像に基づいて被検物の部位間の距離を測定する画像測定機の校正に用いられる校正器である。標準尺５１には、原点からの長さを示す目盛１０１と、目盛１０１の真値を得るための器差が内包されているコード１０２が設けられている。画像測定機の校正時には、画像測定機によりコード１０２の読み込みとデコードがされ、これにより得られた器差から目盛１０１の真値が算出される。そして、画像測定機により各目盛１０１を対象とした距離測定がされ、その測定結果と、コード１０２から得られた真値とから、画像測定機の測定誤差が求められる。目盛１０１の真値を得るためのコード１０２を標準尺５１に設けることで、より簡単に校正を行うことができるようになる。本発明は、観察システムに適用することができる。【選択図】図３
2011169677.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像された画像に基づいて測定を行う画像測定機の校正に用いられる校正器であって、
前記画像測定機により撮像され、測定対象とされる目盛と、
前記目盛を対象とした測定の真値を得るための情報が含まれる校正部と
が設けられていることを特徴とする校正器。
【請求項２】
前記校正部には、前記目盛近傍に設けられた、前記真値を得るためのコード化された情報が含まれる
ことを特徴とする請求項１に記載の校正器。
【請求項３】
撮像された画像に基づいて測定を行う画像測定機であって、
前記画像測定機の校正に用いられる校正器に設けられた、測定対象となる目盛の画像を撮像するとともに、前記校正器に設けられた、前記目盛の真値を得るための情報が含まれる校正部の画像を撮像する撮像手段と、
前記目盛の画像に基づいて得られた、前記目盛を対象とした測定結果と、前記校正部の画像に基づいて得られた前記真値とを用いて、前記画像測定機による測定の誤差を算出する演算手段と
を備えることを特徴とする画像測定機。
【請求項４】
前記校正部は、前記目盛近傍に設けられた、前記真値を得るためのコード化された情報を含み、
前記校正部の画像上の前記コード化された情報をデコードすることにより、前記真値を得るための情報を抽出するデコーダをさらに備える
ことを特徴とする請求項３に記載の画像測定機。
【請求項５】
前記撮像手段は、測定対象とされる被検物の画像をさらに撮像し、
前記演算手段は、前記誤差に基づいて、前記画像測定機による測定結果を補正する補正値をさらに算出し、前記被検物の画像に基づいて得られた、前記被検物を対象とした測定結果を、前記補正値を用いて補正する
ことを特徴とする請求項３または請求項４に記載の画像測定機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、より簡単に画像測定機の校正を行うことができるようにした校正器および画像測定機に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、被検物を撮像し、撮像により得られた画像を用いて被検物の所望の部位の長さ等を測定する画像測定機が知られている。画像測定機では、定期的にステージ等の真直や直角などの誤差を補正するために標準尺を用いた校正を行ったり、その校正結果から測定精度の検定を行ったりする必要がある。
【０００３】
画像測定機の校正は、標準尺を対象として長さ等の測定を行い、その測定結果と、標準尺自体の校正値から得られる、標準尺を対象とした測定の真値とを比較して、画像測定機による測定の誤差を求めることにより行われる。
【０００４】
画像測定機の校正に用いられる標準尺は、測定の基準となるものであり、トレーサビリティ体系に則る上位の測定装置による測定によって、定期的に値付けがされている。この値付けの結果、つまり標準尺の校正値は、検査成績書として紙に印刷されるか、またはフロッピーディスク（登録商標）にデータとして記録されていた。
【０００５】
また、測定機器の校正データを管理する方法として、測定機器の測定誤差等からなる校正データが含まれるＱＲコード（Quick Response code）（登録商標）を、その測定機器自体にレーザにより描画する方法も提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−４４１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述した技術では、簡単に画像測定機の校正を行うことはできなかった。例えば、標準尺の値付けの結果が検査成績書に印刷される場合には、画像測定機の校正時において、ユーザは、検査成績書に記載された標準尺の校正値をいちいち画像測定機に入力しなければならなかった。この場合、校正値の誤入力が生じたり、検査成績書を紛失してしまったりする恐れがあった。
【０００８】
また、標準尺の値付けの結果がフロッピーディスク（登録商標）に記録される場合には、校正値の誤入力の発生をある程度抑制することはできるが、フロッピーディスク（登録商標）の持ち出し等により情報が漏洩したり、コンピュータウィルスに感染したりする恐れがある。このような情報の漏洩等の防止のため、画像測定機が設置される工場などでは、工場内へのフロッピーディスク（登録商標）の持ち込みが禁止されていることも多い。
【０００９】
さらに、測定機器にＱＲコード（登録商標）を描画する方法では、測定機器に描画されるのは、あくまで測定機器自体の校正結果であり、測定機器の校正に用いる標準尺等の校正器の値付けの結果は、やはり検査成績書といった紙媒体やフロッピーディスク（登録商標）により管理しなければならず、不便であった。
【００１０】
なお、この測定機器では、ＱＲコード（登録商標）に含まれる校正結果の読み出しには、別途スキャナが必要となるだけでなく、定期点検により測定機器の校正を行った場合に、測定機器に描画された校正結果を、新たに得られた校正結果に書き換えることも困難であった。
【００１１】
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、より簡単に画像測定機の校正を行うことができるようにするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の校正器は、撮像された画像に基づいて測定を行う画像測定機の校正に用いられる校正器であって、前記画像測定機により撮像され、測定対象とされる目盛と、前記目盛を対象とした測定の真値を得るための情報が含まれる校正部とが設けられていることを特徴とする。
【００１３】
本発明の画像測定機は、撮像された画像に基づいて測定を行う画像測定機であって、前記画像測定機の校正に用いられる校正器に設けられた、測定対象となる目盛の画像を撮像するとともに、前記校正器に設けられた、前記目盛の真値を得るための情報が含まれる校正部の画像を撮像する撮像手段と、前記目盛の画像に基づいて得られた、前記目盛を対象とした測定結果と、前記校正部の画像に基づいて得られた前記真値とを用いて、前記画像測定機による測定の誤差を算出する演算手段とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、より簡単に画像測定機の校正を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明を適用した測定システムの一実施の形態の構成例を示す図である。
【図２】画像測定機の構成例を示す図である。
【図３】標準尺の例を示す図である。
【図４】コントローラおよびホストコンピュータの構成例を示す図である。
【図５】校正処理を説明するフローチャートである。
【図６】標準尺の他の例を示す図である。
【図７】校正処理を説明するフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して、本発明を適用した実施の形態について説明する。
【００１７】
〈第１の実施の形態〉
［測定システムの構成］
図１は、本発明を適用した測定システムの一実施の形態の構成例を示す図である。
【００１８】
この測定システムは、画像測定機１１、コントローラ１２、およびホストコンピュータ１３から構成される。
【００１９】
画像測定機１１は、測定対象の被検物を撮像して、その撮像により得られた観察画像に基づいて被検物の所望の部位の長さ等を測定する測定装置であり、画像測定機１１には、被検物が載置されるステージ２１と、コラム２２とが設けられている。コラム２２にはズームヘッド２３が保持されており、ズームヘッド２３は、コラム２２に対して図中、上下方向（以下、ｚ方向とも称する）に移動する。
【００２０】
ズームヘッド２３の内部には、被検物を撮像するカメラや、被検物からの観察光をカメラに導く光学系が設けられており、またズームヘッド２３の図中、下側の端には、対物レンズ２４も設けられている。
【００２１】
ユーザが測定システムを利用して、被検物の寸法等を測定する場合、ユーザは、画像測定機１１の視野内で被検物の所望の部位が観察されるように、ホストコンピュータ１３を操作する。すなわち、ホストコンピュータ１３は、ユーザの操作に応じて、画像測定機１１の駆動をコントローラ１２に指示する。すると、コントローラ１２は、ホストコンピュータ１３の指示に従って画像測定機１１のステージ２１やズームヘッド２３を移動させたり、画像測定機１１に被検物の観察画像を撮像させたりする。撮像により得られた観察画像は、画像測定機１１からコントローラ１２を介してホストコンピュータ１３に供給され、表示される。
【００２２】
また、ホストコンピュータ１３は、観察画像と、画像測定機１１からコントローラ１２を介して供給された、ステージ２１やズームヘッド２３の移動量とに基づいて、被検物の指定された部位の長さ等の測定値を算出し、その算出結果を表示する。
【００２３】
このような測定システムでは、定期的に画像測定機１１の校正が行われて、画像測定機１１の測定誤差を補正する補正値が更新されたり、校正結果から画像測定機１１の測定精度の検定がされたりする。画像測定機１１の校正時には、例えば、定期的に値付けされた標準尺などの基準となる校正器が用いられて、補正値が算出される。
【００２４】
［画像測定機の構成］
また、図１の画像測定機１１は、より詳細には図２に示すように構成される。
【００２５】
画像測定機１１では、ステージ２１の中央には、測定対象の被検物等が載置され、光を透過させるステージガラス２１ａが設けられている。図２の例では、ステージガラス２１ａ上には、校正器である標準尺５１が載せられている。
【００２６】
また、ステージ２１は移動台５２に保持されており、移動台５２は固定台５３に保持されている。移動台５２におけるステージ２１と対向する面には、図中、奥行き方向（以下、ｙ方向とも称する）に長いガイド５４−１およびガイド５４−２が設けられており、移動台５２の図中、左側の側面にはモータ５５が設けられている。
【００２７】
モータ５５の軸には、ｙ方向に長い送りねじ５６が接続されており、モータ５５が駆動すると送りねじ５６が回動する。すると、送りねじ５６によりステージ２１が押されて、ステージ２１は、ガイド５４−１およびガイド５４−２の長手方向に沿って、ｙ方向に移動する。
【００２８】
同様に、固定台５３における移動台５２と対向する面には、図中、横方向（以下、ｘ方向とも称する）に長いガイド５７−１およびガイド５７−２が設けられており、固定台５３の図中、奥行き側の側面にはモータ５８が設けられている。
【００２９】
モータ５８の軸には、ｘ方向に長い送りねじ５９が接続されており、モータ５８が駆動すると送りねじ５９が回動する。すると、送りねじ５９により移動台５２が押されて、移動台５２は、ガイド５７−１およびガイド５７−２の長手方向に沿って、ｘ方向に移動する。移動台５２が固定台５３に対してｘ方向に移動すると、移動台５２に保持されているステージ２１も移動台５２とともにｘ方向に移動することになる。
【００３０】
また、移動台５２の図中、右側の側面には、ステージ２１のｙ方向の位置を特定するリニアエンコーダ６０が設けられている。リニアエンコーダ６０は、移動台５２に固定された主尺６１と、ステージ２１に固定されるヘッド部６２とから構成される。
【００３１】
例えば、ヘッド部６２は、主尺６１の一方の側面側から測定光を射出し、主尺６１の他方の側面側において、主尺６１の側面に設けられた目盛を透過してきた測定光を受光する。ステージ２１が移動台５２に対してｙ方向に移動すると、ステージ２１に固定されたヘッド部６２も、移動台５２に固定された主尺６１に対して移動するので、ヘッド部６２が測定光を受光して光電変換することで得られる電気信号も変化することになる。
【００３２】
ヘッド部６２は、ステージ２１の移動に伴う電気信号の変化から、ステージ２１のｙ方向の位置を特定し、その特定結果をコントローラ１２に出力する。具体的には、ステージ２１のｙ方向の位置を示す情報として、ｘｙ座標系におけるステージ２１のｙ座標が出力される。
【００３３】
同様に、固定台５３の図中、手前側の側面には、ステージ２１のｘ方向の位置を特定するリニアエンコーダ６３が設けられている。リニアエンコーダ６３は、固定台５３に固定された主尺６４と、移動台５２に固定されるヘッド部６５とから構成される。
【００３４】
例えば、ヘッド部６５は、主尺６４の一方の側面側から測定光を射出し、主尺６４の他方の側面側において、主尺６４の側面に設けられた目盛を透過してきた測定光を受光する。ステージ２１、つまり移動台５２が固定台５３に対してｘ方向に移動すると、ヘッド部６５も主尺６４に対して移動するので、ヘッド部６５が測定光を受光して光電変換することで得られる電気信号も変化する。
【００３５】
ヘッド部６５は、ステージ２１の移動に伴う電気信号の変化から、ステージ２１のｘ方向の位置を特定し、その特定結果として、ｘｙ座標系におけるステージ２１のｘ座標をコントローラ１２に出力する。
【００３６】
さらに、画像測定機１１における固定台５３の図中、下側には、ステージ２１上の測定対象に照明光を照射する透過照明部６６が設けられている。透過照明部６６は、光源などからなり、透過照明部６６から射出された照明光は、固定台５３、移動台５２、およびステージガラス２１ａを通って、標準尺５１などの測定対象に照射される。
【００３７】
また、ステージ２１の図中、上側には、透過照明部６６と対向するように対物レンズ２４、リレーレンズ６７、ズーム光学系６８、およびカメラ６９が配置されている。対物レンズ２４は、ステージ２１上の観察対象から入射した観察光を集光し、リレーレンズ６７を介してズーム光学系６８に導く。
【００３８】
ズーム光学系６８は、例えば複数のレンズからなり、リレーレンズ６７から入射した観察光の像を拡大または縮小してカメラ６９に入射させる。カメラ６９は、ズーム光学系６８から入射した観察光の像を撮像することで観察対象を撮像し、その結果得られた観察画像をコントローラ１２に供給する。なお、リレーレンズ６７乃至カメラ６９は、図１のズームヘッド２３の内部に設けられている。
【００３９】
［標準尺の構成］
さらに、画像測定機１１の校正に用いられる標準尺５１には、例えば図３に示すように、測定対象となる複数の目盛１０１と、ＱＲコード（登録商標）などの２次元のコード１０２とが設けられている。図３では、図中、縦方向の１つの線分が１つの目盛１０１を表しており、各目盛１０１は、図中、横方向に並べられて設けられている。例えば、図中、左端の目盛１０１が基準（原点）とされ、基準となる左端の目盛１０１から、左端から右方向にｎ番目の目盛１０１までの長さ（距離）が、ｎ番目の目盛１０１の値とされる。
【００４０】
なお、以下、図中、左端の目盛１０１から右方向にｎ番目にある目盛１０１を、単にｎ番目の目盛１０１とも呼ぶこととする。
【００４１】
また、標準尺５１は、トレーサビリティに則る上位の測定装置によって、定期的に値付けされる。つまり、基準となる左端の目盛１０１から各目盛１０１までの実際の長さ（以下、真値と称する）は、標準尺５１の径時変化により変わるので、各目盛１０１の本来あるべき値と、真値との誤差が標準尺５１の各目盛１０１の器差として定期的に求められる。なお、以下、目盛１０１の本来あるべき値を公称値とも呼ぶこととする。
【００４２】
このように定期的に求められた各目盛１０１の器差が、目盛１０１の真値を得るための情報としてコード１０２に内包されている。その他、コード１０２には、標準尺５１の型番、標準尺５１の校正年月日、標準尺５１を特定する固有番号が内包されている。なお、以下、コード１０２に含まれる器差、型番、校正年月日、および固有番号からなる情報を、標準尺５１の校正データとも呼ぶこととする。
【００４３】
コード１０２は、例えばシールなどに印刷されて、標準尺５１の原点とされる目盛１０１の近傍に貼り付けられる。コード１０２が印刷されたシールを原点近傍の特定の位置に貼り付ければ、コード１０２が目印となって、標準尺５１を用いて画像測定機１１の校正を行うときに、ステージ２１に標準尺５１が誤った向きで配置されることを防止することができる。
【００４４】
また、シールのように標準尺５１に着脱可能な媒体を利用して、コード１０２を標準尺５１に付加することで、標準尺５１の校正データが更新された場合であっても、標準尺５１のコード１０２を更新後のものに簡単に付け替えることができる。
【００４５】
なお、図３では、標準尺５１の校正データが含まれる校正部として、ＱＲコード（登録商標）からなるコード１０２が標準尺５１に付加される例について説明したが、校正データを含む校正部はバーコード、数値、文字などとされてもよい。例えば、校正データが数値や文字とされる場合には、ホストコンピュータ１３において、それらの数値や文字の観察画像から、画像解析により校正データが抽出される。
【００４６】
また、校正データには、目盛１０１の真値を得るための情報として器差が含まれると説明したが、目盛１０１の真値が含まれるようにしてもよい。
【００４７】
［コントローラとホストコンピュータの構成］
また、図１のコントローラ１２およびホストコンピュータ１３は、より詳細には、図４に示すように構成される。
【００４８】
コントローラ１２は、駆動制御部１４１および座標読み込み部１４２を備えている。駆動制御部１４１は、モータ５５およびモータ５８を駆動してステージ２１を移動させたり、ズームヘッド２３を移動させたりする。また、座標読み込み部１４２は、ヘッド部６２およびヘッド部６５からステージ２１のｙ座標およびｘ座標（以下、単に座標とも称する）を読み込んで、ホストコンピュータ１３に供給する。
【００４９】
ホストコンピュータ１３は、操作入力部１４３、制御部１４４、表示部１４５、および記録部１４６から構成される。操作入力部１４３は、例えばマウスやキーボード、スティック型の操作装置などからなり、ユーザの操作に応じた信号を制御部１４４に供給する。
【００５０】
制御部１４４は、操作入力部１４３からの信号に応じて、ホストコンピュータ１３全体の動作を制御する。制御部１４４は、デコーダ１５１、画像処理部１５２、および演算部１５３を備えている。
【００５１】
デコーダ１５１は、画像測定機１１において撮像された、コード１０２の観察画像を用いてコード１０２をデコードし、コード１０２から校正データを抽出する。画像処理部１５２は、画像測定機１１において撮像された、標準尺５１の目盛１０１の観察画像から、画像処理により目盛１０１の位置を特定する。演算部１５３は、標準尺５１の校正データ、観察画像上の目盛１０１の位置などを用いて、画像測定機１１の補正値を算出する。
【００５２】
表示部１４５は、液晶ディスプレイなどからなり、制御部１４４から供給された画像を表示する。記録部１４６は、不揮発性のメモリからなり、画像測定機１１の補正値などの各種のデータや画像を記録する。
【００５３】
［校正処理の説明］
ところで、画像測定機１１では、ステージ２１や、送りねじ５６、ガイド５４−１等の部位が径時変化すると、寸法測定等において測定誤差が生じる。そのため、画像測定機１１では、定期的に測定精度の検定と測定誤差の校正を行う必要がある。
【００５４】
画像測定機１１のｘ方向およびｙ方向の寸法測定の校正を行おうとする場合、ユーザは、図２に示したように、標準尺５１をステージ２１の予め定められた位置に配置して操作入力部１４３を操作し、校正の開始を指示する。すると、測定システムは、ユーザの指示に応じて、画像測定機１１のｘ方向およびｙ方向の測定の補正値を算出する処理である校正処理を開始する。
【００５５】
以下、図５のフローチャートを参照して、測定システムによる校正処理について説明する。なお、以下では、ｘ方向の測定の補正値を算出する場合を例として説明を続ける。ｘ方向の補正値が算出される場合には、標準尺５１は、目盛１０１がｘ方向に並ぶようにステージ２１上に配置される。
【００５６】
ステップＳ１１において、カメラ６９は標準尺５１のコード１０２の観察画像を撮像することにより、コード１０２を読み込む。
【００５７】
すなわち、コントローラ１２は、透過照明部６６に照明光を射出させるとともに、制御部１４４の指示に応じてカメラ６９を制御し、観察画像を撮像させる。標準尺５１からの観察光は対物レンズ２４乃至ズーム光学系６８を介してカメラ６９に入射するので、カメラ６９は入射した観察光を光電変換することで、観察画像を撮像する。このようにして得られた観察画像は、コントローラ１２および制御部１４４を介して表示部１４５に供給され、表示される。
【００５８】
ユーザは、表示部１４５に表示された観察画像を見ながら操作入力部１４３を操作することで、カメラ６９の視野内にコード１０２が充分な大きさで納まるように、ステージ２１やズームヘッド２３を、適宜移動させる。
【００５９】
制御部１４４は、ユーザの操作によって操作入力部１４３から供給される信号に応じて、駆動制御部１４１を制御し、駆動制御部１４１は、制御部１４４の制御に従ってズームヘッド２３またはステージ２１を移動させる。例えば、駆動制御部１４１は、モータ５５やモータ５８を駆動することで、ステージ２１をｘｙ方向に移動させる。
【００６０】
コード１０２がカメラ６９の視野に納まると、ユーザは、操作入力部１４３を操作して、コード１０２の読み取りを指示する。すると、制御部１４４は、カメラ６９により撮像された観察画像をキャプチャして、コード１０２が表示されている観察画像を得る。
【００６１】
ステップＳ１２において、デコーダ１５１は、キャプチャにより得られた観察画像を用いてコード１０２をデコードし、コード１０２に含まれている校正データを抽出する。
【００６２】
校正データが得られると、ユーザは操作入力部１４３を操作して、標準尺５１の測定対象となる目盛１０１がカメラ６９の視野のほぼ中心に位置するように、ステージ２１の移動を指示する。すると、ステップＳ１３において、駆動制御部１４１は、制御部１４４の制御に従ってモータ５８を駆動させ、ステージ２１をｘ方向に移動させる。
【００６３】
例えば、画像測定機１１の校正時には、標準尺５１の全ての目盛１０１が、基準（原点）となる目盛１０１に近いものから順番に測定対象とされ、各目盛１０１の位置に対応するｘ方向のステージ２１の各位置の補正値が算出される。
【００６４】
したがって、標準尺５１の基準となる目盛１０１がカメラ６９の視野中心にある状態から、測定対象となるｎ番目の目盛１０１が、カメラ６９の視野のほぼ中心に位置する状態となるように、順次、ステージ２１がｘ方向に移動される。
【００６５】
ステップＳ１４において、カメラ６９は標準尺５１の目盛１０１の観察画像を撮像する。より詳細には、制御部１４４は、カメラ６９からコントローラ１２を介して供給された観察画像をキャプチャして、目盛１０１が表示されている観察画像を得る。
【００６６】
ステップＳ１５において、座標読み込み部１４２は、目盛１０１の観察画像のキャプチャ時におけるステージ２１のｘ座標をヘッド部６５から読み込んで、演算部１５３に供給する。
【００６７】
ステップＳ１６において、画像処理部１５２は、キャプチャにより得られた目盛１０１の観察画像に基づいて、測定対象となっているｎ番目の目盛１０１の観察画像上における位置を算出する。例えば、画像処理部１５２は、観察画像の各領域のコントラストに基づいて、目盛１０１のエッジ部分を特定することにより、観察画像上の目盛１０１の位置を求める。
【００６８】
ステップＳ１７において、演算部１５３は、座標読み込み部１４２からのｘ座標、画像処理部１５２により算出された観察画像上の目盛１０１の位置、および対物レンズ２４等の倍率に基づいて、測定対象の目盛１０１の測定値を算出する。
【００６９】
測定対象の目盛１０１の撮像時におけるステージ２１のｘ座標を用いれば、標準尺５１の原点とされる目盛１０１の撮像時から、測定対象の目盛１０１の撮像時までのステージ２１のｘ方向の移動量が求まる。各目盛１０１の撮像時には、各目盛１０１はカメラ６９の視野のほぼ中心にあるので、求まったステージ２１の移動量は、原点から測定対象の目盛１０１までのおおよその長さに等しい。
【００７０】
しかしながら、撮像画像上の目盛１０１の位置は、座標読み込み部１４２により読み出されたｘ座標により示される撮像画像上の特定位置（例えば、撮像画像の中心位置）と一致するとは限らない。そこで、演算部１５３は、観察画像上の目盛１０１の位置と対物レンズ２４等の倍率とを用いて、目盛１０１の位置から特定位置までの実空間上の距離を求め、求めた距離と、ｘ座標により得られた原点から目盛１０１までのおおよその距離から、目盛１０１の測定値を算出する。この測定値は、画像測定機１１により測定された、標準尺５１の原点から測定対象の目盛１０１までのｘ方向の距離である。
【００７１】
ステップＳ１８において、制御部１４４は、標準尺５１の全ての目盛１０１について、測定値を算出したか否かを判定する。
【００７２】
ステップＳ１８において、まだ全ての目盛１０１の測定値が算出されていないと判定された場合、処理はステップＳ１３に戻り、次の目盛１０１が測定対象とされ、その目盛１０１の測定値が求められる。
【００７３】
一方、ステップＳ１８において、全ての目盛１０１の測定値が算出されたと判定された場合、処理はステップＳ１９へと進む。
【００７４】
ステップＳ１９において、演算部１５３は、各目盛１０１の測定値と、デコーダ１５１によりコード１０２から抽出された校正データとを用いて、画像測定機１１の測定精度の検定を行う。
【００７５】
具体的には、校正データには、各目盛１０１の真値を得るための器差が含まれており、演算部１５３は、各目盛１０１の器差と公称値とから各目盛１０１の真値を求める。
【００７６】
そして、演算部１５３は、各目盛１０１について測定値と真値との差分を求め、それらの差分が予め定められた所定の条件を満たしている場合、画像測定機１１は充分な測定精度を有し、画像測定機１１の規格を満たしているとされる。所定の条件は、例えば、目盛１０１の測定値と真値の差分（測定誤差）の最大値と最小値の差が、所定の閾値以下であることなどとされる。
【００７７】
測定精度の検定が行われると、その検定結果は、制御部１４４から表示部１４５に供給されて表示される。
【００７８】
ステップＳ２０において、演算部１５３は、各目盛１０１について算出した測定値と真値の差分（測定誤差）に基づいて、標準尺５１の各目盛１０１の値の測定時におけるステージ２１のｘ方向の各位置、つまり目盛１０１に対応する主尺６４の目盛の補正値を算出する。
【００７９】
この補正値は、例えば区間毎の係数とされ、演算部１５３において、実際に画像測定機１１により測定対象である被検物の所望の部位の長さを測定したときのｘ座標に乗算されて、画像測定機１１自身を要因として生じる測定誤差の補正に利用される。これにより、より精度よく寸法測定を行うことができるようになる。なお、被検物の部位の長さを測定する処理は、ステップＳ１３乃至ステップＳ１７の処理と同様の処理である。
【００８０】
このようにして算出された補正値は、演算部１５３から記録部１４６に供給されて記録される。例えば、補正値は、画像測定機１１による測定処理を制御するためのソフトウェアにおいて利用されるデータとして、ハードディスクなどからなる記録部１４６に記録される。なお、その他、補正値は、コントローラ１２や画像測定機１１に設けられた不揮発性のメモリに記録されるようにしてもよい。
【００８１】
ｘ方向のリニアエンコーダ６３に設けられた主尺６４の目盛の補正値が求められて記録されると、校正処理は終了する。
【００８２】
以上のようにして、測定システムは、被検物の測定に用いられるカメラ６９により、標準尺５１に付加されたコード１０２を読み取ってデコードし、その結果得られた校正データを用いて、画像測定機１１の校正を行う。
【００８３】
このように、標準尺５１の目盛１０１近傍にシールによりコード１０２を付加し、これを読み取って校正データを得ることで、より簡単に画像測定機１１の校正を行うことができる。しかも、測定システムによれば、校正データを得るための新たなハードウェアを必要とせず、校正データをいちいち入力する必要もないし、校正データを紛失する恐れもない。また、校正データが記録されたリムーバブルメディアをホストコンピュータ１３等に着脱する必要もないので、情報漏洩やコンピュータウィルス感染の恐れもない。
【００８４】
なお、画像測定機１１の校正用のソフトウェアに、デコーダ１５１を実現するコード解読用ソフトウェアが組み込まれていない場合には、コード１０２の観察画像が静止画像として一旦保存される。そして、コード解読用ソフトウェアが起動されて観察画像から校正データが抽出されてファイルとして保存され、校正用のソフトウェアにより、そのファイルから校正データが読み込まれる。
【００８５】
また、校正データの情報量が多く、１つのコード１０２に校正データを格納しきれない場合には、複数のコード１０２を標準尺５１に設けるようにしてもよい。そのような場合、例えば校正データを複数のコード１０２に分割して格納するとともに、各コード１０２に、それらの複数のコード１０２の位置関係を示す情報を格納しておけば、より迅速に校正を行うことが可能となる。
【００８６】
例えば、最初に読み込むべきコード１０２に、次に読み込むべきコード１０２の位置を特定する情報が格納されていれば、ホストコンピュータ１３は、その情報に基づいてステージ２１を次に読み込むべきコード１０２の位置に移動させ、コード１０２の読み込みを指示することができる。これにより、特にユーザに操作をさせることなく、より簡単かつ迅速に校正データを得ることができる。
【００８７】
〈第２の実施の形態〉
［標準尺の構成］
また、標準尺５１に複数のコードが設けられる場合、図６に示すように、標準尺５１の目盛１０１ごとにコード１８１−１乃至コード１８１−Ｎ（コード１８１−６乃至コード１８１−（Ｎ−５）は不図示）が設けられるようにしてもよい。
【００８８】
図６の例では、標準尺５１におけるＮ個の目盛１０１のそれぞれの図中、下側に、対応するコード１８１−１乃至コード１８１−Ｎのそれぞれがシールに印刷されて貼り付けられている。例えば、１番目の目盛１０１の下側に設けられたコード１８１−１には、標準尺５１の型番、校正年月日、および固有番号が含まれており、ｎ番目（但し、２≦ｎ≦Ｎ）の目盛１０１には、その目盛１０１の器差が含まれている。
【００８９】
なお、以下、コード１８１−１乃至コード１８１−Ｎのそれぞれを個々に区別する必要のない場合、単にコード１８１と称する。また、コード１８１は、例えばＱＲコード（登録商標）とされる。
【００９０】
［校正処理の説明］
このように標準尺５１の目盛１０１ごとにコード１８１が設けられる場合、校正処理においては、各目盛１０１に対応するコード１８１の読み込みと、その目盛１０１の測定値の算出を行う処理が、目盛１０１ごとに繰り返し行われることになる。
【００９１】
以下、図７のフローチャートを参照して、標準尺５１が図６に示す構成とされる場合に、測定システムにより行われる校正処理について説明する。なお、以下では、ｘ方向の測定の補正値を算出する場合を例として説明を続けることとする。
【００９２】
校正処理が開始されると、ユーザは、表示部１４５に表示された観察画像を見ながら操作入力部１４３を操作して、測定対象のｎ番目の目盛１０１に対応するコード１８１がカメラ６９の視野内に充分な大きさで納まるように、ステージ２１を移動させる。
【００９３】
するとステップＳ５１において、制御部１４４は、ユーザの操作に応じて駆動制御部１４１を制御し、コード１８１がカメラ６９の視野内に納まるように、ステージ２１を移動させる。
【００９４】
そして、ステップＳ５２において、カメラ６９はコード１８１の観察画像を撮像することでコード１８１を読み込む。また、ステップＳ５３において、デコーダ１５１は、コントローラ１２を介してカメラ６９から供給されたコード１８１の観察画像に基づいて、コード１８１をデコードし、測定対象の目盛１０１の器差を得る。なお、ステップＳ５２およびステップＳ５３の処理は、図５のステップＳ１１およびステップＳ１２と同様の処理である。
【００９５】
測定対象の目盛１０１の器差が得られると、ユーザは、操作入力部１４３を操作して、その測定対象の目盛１０１がカメラ６９の視野内に充分な大きさで納まるように、ステージ２１を移動させる。
【００９６】
すると、ステップＳ５４乃至ステップＳ５８の処理が行われ、測定対象の目盛１０１の観察画像が撮像されて、得られた観察画像から目盛１０１の測定値が算出される。なお、これらの処理は、図５のステップＳ１３乃至ステップＳ１７の処理のそれぞれと同様であるため、その説明は省略する。
【００９７】
このようにして測定対象の目盛１０１の測定値が得られると、ステップＳ５９において、制御部１４４は、標準尺５１の全ての目盛１０１について測定値を算出したか否かを判定する。
【００９８】
ステップＳ５９において、まだ全ての目盛１０１の測定値が算出されていないと判定された場合、処理はステップＳ５１に戻り、次の目盛１０１が測定対象とされて、その目盛１０１に対応するコード１８１の読み取り、および目盛１０１の測定値の算出が行われる。
【００９９】
一方、ステップＳ５９において、全ての目盛１０１の測定値が算出されたと判定された場合、処理はステップＳ６０へと進む。そして、その後、ステップＳ６０およびステップＳ６１の処理が行われて校正処理は終了するが、これらの処理は図５のステップＳ１９およびステップＳ２０と同様であるので、その説明は省略する。
【０１００】
以上のようにして、測定システムは、標準尺５１の目盛１０１を順次、測定対象とし、目盛１０１に対応するコード１８１の読み取りと、目盛１０１の測定値の算出とを、目盛１０１ごとに行って、画像測定機１１の校正を行う。
【０１０１】
標準尺５１の各目盛１０１近傍に、それらの目盛１０１に対応するコード１８１を付加し、これを読み取って各目盛１０１の器差を得ることで、より簡単に画像測定機１１の校正を行うことができる。
【０１０２】
なお、複数の画像測定機１１において、１つの標準尺５１が校正器として共通で使用される場合があるが、個々の画像測定機１１の視野（対物レンズ２４の倍率等）が同一であるとは限らない。そこで、各画像測定機１１の視野に合わせて、同じ情報が含まれ、かつ大きさが異なる複数のコード１０２やコード１８１を、標準尺５１に貼り付けておくようにしてもよい。なお、測定軸はＸＹの２軸以外にも１軸を測定するものであってもよく、更に多くの軸を対象とすることもできる。
【０１０３】
また、以上においては、校正器を用いた画像測定機１１の校正として、距離測定の場合を例に説明をしたが、校正器を用いた校正は距離測定に限らず、画像の倍率の補正や、画像測定機１１の光学系の収差の補正、ズーム光学系６８やターレットなどの部材の光軸補正等、どのようなものであってもよい。
【０１０４】
例えば、これらの倍率、収差、光軸等について校正を行う場合には、キャリブレーションプレートと呼ばれる校正器が用いられ、校正が行われる。すなわち、キャリブレーションプレートにシール等により貼り付けられたコードが、画像測定機１１により読み取られてデコードされ、校正データが取得される。そして、キャリブレーションプレートの目盛（特定位置を示すマーク）を対象とした測定が行われ、その測定結果と校正データとから、光学倍率や収差などについての補正値が算出されて記録される。
【０１０５】
なお、本発明の実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
【符号の説明】
【０１０６】
１１  画像測定機，  １２  コントローラ，  １３  ホストコンピュータ，  ２１  ステージ，  ５１  標準尺，  ６０  リニアエンコーダ，  ６３  リニアエンコーダ，  １０１  目盛，  １０２  コード，  １４１  駆動制御部，  １４２  座標読み込み部，  １５１  デコーダ，  １５２  画像処理部，  １５３  演算部，  １８１−１乃至１８１−Ｎ，１８１  コード
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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