(57)【要約】【課題】検査対象物の移送を速めた場合であっても、プローブ先端から検査対象物までのギャップを一定に保ち、安定的に非破壊検査を行い得る非破壊検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】検査対象物１の移送手段に配置する非破壊検査装置であって、検査対象物１の下面または上面のいずれか一面に接触するように非導電性のシートを配置するギャップ保持手段２と、ギャップ保持手段２のシートを検査対象物１とで挟み込む渦流探傷のプローブ３とを備え、ギャップ保持手段２はシートの厚みでプローブ３先端から検査対象物１までのギャップを一定にし、検査対象物１の移送中に非破壊検査を行うように構成したものである。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物の移送手段に配置する非破壊検査装置であって、前記検査対象物の下面または上面のいずれか一面に接触するように非導電性のシートを配するギャップ保持手段と、該ギャップ保持手段のシートを検査対象物とで挟み込む渦流探傷のプローブとを備え、前記ギャップ保持手段はシートの厚みでプローブ先端から検査対象物までのギャップを一定にし、検査対象物の移送中に非破壊検査を行うように構成したことを特徴とする渦流探傷の非破壊検査装置。
【請求項２】
検査対象物の他面をプローブと反対側から押える押付手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の非破壊検査装置。
【請求項３】
ギャップ保持手段は、非導電性のシートを走行可能なベルトで構成したことを特徴とする請求項１に記載の非破壊検査装置。
【請求項４】
押付手段は、検査対象物の反りを強制するローラで構成したとを特徴とする請求項２に記載の非破壊検査装置。
【請求項５】
押付手段は、検査対象物の反りを強制する受部と、受部と検査対象物との間に位置するシートとを備えたことを特徴とする請求項２に記載の非破壊検査装置。
【請求項６】
移送手段を複数のコンベアで構成し、隣接するコンベアの間にギャップ保持手段及びプローブを配置したことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の非破壊検査装置。
【請求項７】
移送手段を複数のコンベアで構成し、隣接するコンベアの間に押付手段を配置したことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の非破壊検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の移送中に非破壊検査を行う非破壊検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に金属の薄板を製造する圧延工程では薄板の表面や内部に割れ等のきずを生じる可能性があり、現在、薄板のきずを検査する非破壊検査方法では薄板の表面を目視で検査すると共に薄板の内部を超音波探傷で非破壊検査を行うようにしている。
【０００３】
また非破壊検査の他の手段としては、コイルにより金属の薄板に渦電流を生じるプローブと、プローブ等の信号から関数処理に基づいて薄板の割れ等のきずを判断する制御部とを備える非破壊検査装置を用い、渦流探傷により非破壊検査を行うものがある。
【０００４】
ここで渦流探傷の非破壊検査装置は、薄板に対して空気を噴射し、プローブ先端から検査対象物までのギャップ（間隔）を一定にすると共に狭い間隔で設定し、検出精度を高めるようにしている。また非破壊検査装置のプローブは回転可能に構成され、移送する薄板に対してプローブの軌道を螺旋状にして非破壊検査を行うようにしている。
【０００５】
尚、非破壊検査に関連する先行技術文献情報としては、例えば、下記の特許文献１等が既に存在している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平８−１０１１６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、圧延工程や移送工程において検査対象物の移送を速め、検査の処理効率を高める際には、検査対象物への空気の噴射によってプローブ先端から検査対象物までのギャップを一定に保つことが困難になる可能性があった。また検査対象物の移送を速めることに伴ってプローブの回転速度を高める必要があるため、移送の高速化に適切に対応できないという問題があった。
【０００８】
本発明は上述の実情に鑑みてなしたもので、検査対象物の移送を速めた場合であっても、プローブ先端から検査対象物までのギャップを一定に保ち、安定的に非破壊検査を行い得る非破壊検査装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の非破壊検査装置は、検査対象物の移送手段に配置する非破壊検査装置であって、前記検査対象物の下面または上面のいずれか一面に接触するように非導電性のシートを配するギャップ保持手段と、該ギャップ保持手段のシートを検査対象物とで挟み込む渦流探傷のプローブとを備え、前記ギャップ保持手段はシートの厚みでプローブ先端から検査対象物までのギャップを一定にし、検査対象物の移送中に非破壊検査を行うように構成したものである。
【００１０】
また本発明の非破壊検査装置において、検査対象物の他面をプローブと反対側から押える押付手段を備えることが好ましい。
【００１１】
更に本発明の非破壊検査装置において、ギャップ保持手段は、非導電性のシートを走行可能なベルトで構成することが好ましい。
【００１２】
更にまた本発明の非破壊検査装置において、押付手段は、検査対象物の反りを矯正するローラで構成することが好ましい。
【００１３】
また本発明の非破壊検査装置において、押付手段は、検査対象物の反りを矯正する受部と、受部と検査対象物との間に位置するシートとを備えることが好ましい。
【００１４】
更に本発明の非破壊検査装置において、移送手段を複数のコンベアで構成し、隣接するコンベアの間にギャップ保持手段及びプローブを配置することが好ましい。
【００１５】
更に本発明の非破壊検査装置において、移送手段を複数のコンベアで構成し、隣接するコンベアの間に押付手段を配置することが好ましい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の非破壊検査装置によれば、検査対象物の移送を速めて検査の処理効率を高める場合であっても、検査対象物とプローブとでギャップ保持手段のシートを挟み込み、ギャップ保持手段のシートの厚みによりプローブ先端から検査対象物までのギャップを一定に保つので、安定的に非破壊検査を行うことができる。またプローブを回転させることなく、ギャップ保持手段のシートによりプローブを固定状態で検査し得るので、検査対象物の移送の高速化に対応して非破壊検査を行うことができるという種々の優れた効果を奏し得る。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明を実施する形態の第一例を概念的に示す側面図である。
【図２】本発明を実施する形態の第一例であって移送手段及びギャップ保持手段の配置を概念的に示す平面図である。
【図３】本発明を実施する形態の第一例であって押付手段の配置を概念的に示す平面図である。
【図４】検査対象物及びギャップ保持手段のシートを挟み込む状態を概念的に示す拡大側面図である。
【図５】プローブホルダ内のプローブの配置を示す概念図である。
【図６】本発明を実施する形態の第二例を概念的に示す側面図である。
【図７】本発明を実施する形態の第二例であって移送手段及び押付手段の配置を概念的に示す平面図である。
【図８】本発明を実施する形態の第二例であってギャップ保持手段の配置を概念的に示す平面図である。
【図９】参考例を概念的に示す側面図である。
【図１０】参考例であってプローブ及び押圧ローラを概念的に示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明を実施する形態の第一例を図１〜図５を参照して説明する。ここで第一例の非破壊検査装置は請求項１〜４，６に対応している。
【００１９】
第一例の非破壊検査装置は、板状の検査対象物１を移送する移送手段に配置されるものであり、検査対象物１の下面または上面のいずれか一面（第一例では下面）に非導電性のシートを配するギャップ保持手段２と、ギャップ保持手段２のシートを介して検査対象物１の一面に近接する渦流探傷のプローブ３と、検査対象物１の他面をプローブ３と反対側から押える押付手段４とを備えている。
【００２０】
移送手段は、両側のコンベアプーリ５に無端状ベルト６を巻き掛けたコンベア７であり、複数のコンベア７を配置して板状の検査対象物１を移送するようにしている。ここで板状の検査対象物１は、金属等の導電体からなる圧延工程の圧延板や移送工程の薄板等であるが、渦流探傷により検査し得るものならば、材質や厚さは特に制限されるものではない。
【００２１】
ギャップ保持手段２は、互いに隣接する二つのコンベア７の間に位置し、板状の検査対象物１の下面に近接する第一従動プーリ８及び第二従動プーリ９と、第一従動プーリ８及び第二従動プーリ９の下方に位置する主プーリ１０とに、シート状のベルト１１を無端状に巻き掛けて構成されている。またベルト１１は、第一従動プーリ８と第二従動プーリ９の間を走行する部分が板状の検査対象物１の移送方向と略平行になって検査対象物１の下面に面接触している。更にベルト１１は、厚みを０.１０ｍｍ以上０.５０ｍｍ未満、好ましくは０．２５ｍｍ以上０．３０ｍｍ以下にした非導電性のシートで形成されており、素材は非導電性で且つ摺動性に優れたポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂や、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等の樹脂で構成されている。ここでギャップ保持手段２は、検査対象物１の移送に伴ってベルト１１を従動させても良いし、主プーリ１０にモータ等の駆動手段を備えてベルト１１を検査対象物の移送と同期させるようにしても良い。またベルト１１は継ぎ目のないものが好ましい。
【００２２】
プローブ３は、検査対象物１の移送方向と略垂直に延在するプローブホルダ１２内に、互い違い（千鳥状）に複数個（図５では８個）で配置され、検査範囲を重ねて非破壊検査の範囲に漏れが無いようにしている。プローブホルダ１２は、外部から延在するフレーム１３によりベルト１１の内周側で第一従動プーリ８と第二従動プーリ９との間に固定され、ベルト１１の下側に面接触してプローブ３と検査対象物１とでギャップ保持手段２のベルト１１を挟み込むようにしている。ここでプローブ３は、コイル（図示せず）により磁界ｍを生じて導電体の検査対象物１に渦電流を生じ、薄板の違う部位で比較する相互誘導自己比較方式で構成されているが、プローブ３で渦流探傷し得るならば方式や構成は制限されるものではない。またプローブ３内のコイルは、螺旋状に支持されると共にプローブ３の先端から０．１ｍｍ離れた位置にコイル先端を配置している。
【００２３】
押付手段４は、プローブ３の上方に位置するローラ１４で構成されており、ローラ１４は、プローブ３の反対側から検査対象物１及びギャップ保持手段２のベルト１１を押圧している。またローラ１４は、軸部１５にスプリング等の弾性手段（図示せず）を備えて板厚の異なる板状の検査対象物１に対応し得ると共に、ローラ１４の荷重及び弾性力等により板状の検査対象物１の反りを矯正するようにしている。更にローラ１４は、ポリウレタン等の非導電性の樹脂素材からなる外周部１６を備え、渦流探傷に影響を与えることがないようにすると共に、外周部１６の圧縮変形により平面状の接触面を構成するようにしている。ここでローラ１４は、検査対象物１の移送に伴って従動して回転しても良いし、モータ等の駆動手段（図示せず）を備えて検査対象物１の移送と同期するように回転しても良い。
【００２４】
以下本発明を実施する形態の第一例の作用を説明する。
【００２５】
板状の検査対象物１を渦流探傷により非破壊検査を行う際には、移送手段のコンベア７で板状の検査対象物１を高速で移送し、同時に板状の検査対象物１の移送に伴って、ギャップ保持手段２のベルト１１を走行させると共に押付手段４のローラ１４を回転させ、プローブ３と押付手段４のローラ１４とにより板状の検査対象物１及びギャップ保持手段２のベルト１１を一時的に挟み込んで下流側へ移送する。
【００２６】
そして板状の検査対象物１及びギャップ保持手段２のベルト１１を挟み込んだ際には、ベルト１１のシートの厚みによってプローブ３先端から検査対象物１までのギャップ（間隔）を一定に保つと共にギャップを０.１０ｍｍ以上０．５ｍｍ以下、好ましくは０．２５ｍｍ以上０．３０ｍｍ以下の一定値にし、プローブ３の渦流探傷によりベルト１１のシートを介して板状の検査対象物１を下方から非破壊検査を行う。
【００２７】
ここでプローブ３は、フレーム１３に固定された状態で渦流探傷を行うと共に、ギャップ保持手段２によりプローブ３先端から検査対象物１までのギャップが一定に維持されるので、検査対象物１を高速で移送する場合でも渦流探傷の非破壊検査に悪影響を与えることがない。またギャップ保持手段２のベルト１１を形成するシートは、非導電体であることから渦流探傷に影響を与えることがなく、またシートの良好な摺動性によりプローブ３に影響を与えることなくプローブホルダ１２を摺動すると共に板状の検査対象物１にきずを付けることがない。更にギャップ保持手段２は、シートの厚みの異なるベルト１１に交換することにより、プローブ３先端から検査対象物１までのギャップを所望の距離（リフトオフ量）に設定することが可能となり、また適宜、調整・交換することも可能となる。
【００２８】
以下、プローブ３と検査対象物１との間に非導電性のシートを配置した場合の渦流探傷の状態を試験した。
【００２９】
［試験１］
試験１では、フッ素系の樹脂からなる非導電性のシートを用い、シートの厚さを０．５０ｍｍ、０．３０ｍｍ、０．２５ｍｍを用いて、夫々プローブ３先端から非磁性体の検査対象物１の表面までのギャップを変えて検査を試みた。
〔試験方法の条件設定〕
探傷範囲を所定の部位（検査対象物１の端部より５０ｍｍ〜１００ｍｍ）とし、走査ピッチを５ｍｍピッチとし、走査方法を手動走査とした。
非破壊検査装置の設定条件は、試験周波数を４０ｋＨｚ、８０ｋＨとし、感度設定を一定にし、位相設定を９０°（垂直指示）にして所定の試験体の探傷範囲にて最大波形となる波形を得るようにし、更に画面出力レンジを０．５Ｖ／Ｄｉｖとした。
検査対象物１は、厚さ１．５ｍｍのチタン板であって内部に２０μｍのきずが連なるように集合したきずや、４０μｍのきずを有するものを使用した。
【００３０】
その結果、シートの厚さが０．５０ｍｍの場合には、連続的な擬似信号が発生し、渦流探傷に用いることができず、シートの厚さが０．３０ｍｍ、０．２５ｍｍの場合には、連続的な擬似信号が発生せず、またきず検出範囲が広くなり、好適に適用し得ることが明らかとなった。またシートの厚さが薄くなれば耐久性が低下し、０．１０ｍｍ未満では好ましくないことが想定された。
【００３１】
而して、このように実施の形態の第一例によれば、検査対象物１の移送を速めて検査の処理効率を高める場合であっても、検査対象物１とプローブ３とでギャップ保持手段２のベルト１１を挟み込み、ベルト１１のシートの厚みによりプローブ３先端から検査対象物１までのギャップを一定に保ち且つ狭い距離にするので、従来例の如く検査対象物１に空気を噴出する必要がなく、安定的に非破壊検査を行うことができる。また従来例の如くプローブ３を回転させることなく、ギャップ保持手段２のシートによりプローブ３を固定状態で検査し得るので、検査対象物１の移送の高速化に対応して非破壊検査を好適に行うことができる。
【００３２】
実施の形態の第一例において、検査対象物１の他面をプローブ３と反対側から押える押付手段４を備えると、押付手段４により板状の検査対象物１の反りを矯正してプローブ３が非破壊検査を行う範囲の平坦度を保証し、プローブ３先端から検査対象物１までのギャップを適切に一定に保つと共に、平坦度によりズレや振動等を抑制し、検査対象物１の移送の高速化に対応して非破壊検査を一層好適に行うことができる。
【００３３】
実施の形態の第一例において、ギャップ保持手段２は、非導電性のシートを走行可能なベルト１１で構成すると、走行可能なベルト１１と押圧手段のローラ１４とにより、板状の検査対象物１を一時的に挟み込んで安定に移送し得るので、プローブ３先端から検査対象物１までのギャップを適切に一定に保つと共に、検査対象物１の移送の高速化に適切に対応して非破壊検査を行うことができる。
【００３４】
実施の形態の第一例において、押付手段４は、検査対象物１の反りを強制するローラ１４で構成すると、回転可能なローラ１４により、板状の検査対象物１を押圧して安定に移送し得るので、プローブ３先端から検査対象物１までのギャップを適切に一定に保つと共に、検査対象物１の移送の高速化に適切に対応して非破壊検査を行うことができる。
【００３５】
実施の形態の第一例において、移送手段を複数のコンベア７で構成し、隣接するコンベア７の間にギャップ保持手段２及びプローブ３を配置すると、板状の検査対象物１の移送と非破壊検査を同時に為し得るので、検査対象物１の移送の高速化に適切に対応して非破壊検査を行うことができる。
【００３６】
実施の形態の第一例において、ベルト１１のシートの厚みを０.１０ｍｍ以上０.５０ｍｍ未満にすると、板状の検査対象物１を移送すると共に、ブローブ３により適切に渦流探傷で非破壊検査を行うことができる。ここでベルト１１のシートの厚みを０.１０ｍｍ未満にすると耐久性に劣り、ベルト１１のシートの厚みを０.５０ｍｍ以上にすると連続的な擬似信号が発生して渦流探傷に適用することができない。またベルト１１のシートの厚みを０．２５ｍｍ以上０．３０ｍｍ以下にすると、きず検出範囲が広くなり、渦流探傷で好適に非破壊検査を行うことができる。
【００３７】
以下、本発明を実施する形態の第二例を図６〜図８を参照して説明する。図中、図１〜図５と同一の符号を付した部分は同一物を表している。ここで第二例の非破壊検査装置は請求項１〜３，５，７に対応している。
【００３８】
第二例の非破壊検査装置は、板状の検査対象物１を移送する移送手段に配置されるものであり、検査対象物１の下面または上面のいずれか一面（第二例では上面）に非導電性のシートを配するギャップ保持手段２１と、ギャップ保持手段２１のシートを介して検査対象物１の一面に近接する渦流探傷のプローブ２２と、検査対象物１の他面をプローブ２２と反対側から押える押付手段２３とを備えている。
【００３９】
移送手段は、第一例と同様に、両側のコンベアプーリ５に無端状ベルト６を巻き掛けたコンベア７であり、複数のコンベア７を配置して板状の検査対象物１を移送するようにしている。ここで板状の検査対象物１は、金属等の導電体からなる圧延工程の圧延板や移送工程の薄板等であるが、渦流探傷により検査し得るものならば、材質や厚さは特に制限されるものではない。
【００４０】
ギャップ保持手段２１は、互いに隣接する二つのコンベア７の上方に位置し、コンベアプーリ５の上方に位置する第一上方プーリ２４及び第二上方プーリ２５に、シート状のベルト２６を無端状に巻き掛けて構成されている。またベルト２６は、第一上方プーリ２４と第二上方プーリ２５の間で下方を走行する部分がプローブ２２等により余勢されて検査対象物１の上面に面接触している。更にベルト２６は、厚みを０.１０ｍｍ以上０.５０ｍｍ未満、好ましくは０．２５ｍｍ以上０．３０ｍｍ以下にした非導電性のシートで形成されており、素材は非導電性で且つ摺動性に優れたポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂や、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等の樹脂で構成されている。ここでギャップ保持手段２１は、検査対象物１の移送に伴ってベルト２６を従動させても良いし、第一上方プーリ２４または第二上方プーリ２５にモータ等の駆動手段を備えてベルト２６を検査対象物１の移送と同期させるようにしても良い。またベルト２６は継ぎ目のないものが好ましい。
【００４１】
プローブ２２は、検査対象物１の移送方向と略垂直に延在するプローブホルダ２７内に、第一例と同様に、互い違い（千鳥状）に複数個で配置され、検査範囲を重ねて非破壊検査に漏れが無いようにしている。プローブホルダ２７は、外部から延在する上部フレーム２８によりベルト２６の内周側で第一上方プーリ２４と第二上方プーリ２５との間に位置すると共に、上部フレーム２８からスプリング等の弾性手段２９を介して余勢されている。またプローブホルダ２７は、ベルト２６の上側に面接触してプローブ２２と検査対象物１とでギャップ保持手段２１のベルト２６を挟み込むようにしている。ここでプローブ２２は、コイル（図示せず）により磁界ｍを生じて導電体の検査対象物１に渦電流を生じ、薄板の違う部位で比較する相互誘導自己比較方式で構成されているが、プローブ２２で渦流探傷し得るならば方式や構成は制限されるものではない。またプローブ３内のコイルは、螺旋状に支持されると共にプローブ３の先端から０．１ｍｍ離れた位置にコイル先端を配置している。
【００４２】
押付手段２３は、互いに隣接する二つのコンベア７の間に位置し、外部から延在する下部フレーム３０により板状の検査対象物１の下面に近接する受部３１を備えると共に、受部３１の両側に位置して板状の検査対象物１の下面に近接する第一補助プーリ３２及び第二補助プーリ３３と、第一補助プーリ３２及び第二補助プーリ３３の下方に位置する主プーリ３４とに、シート状の補助ベルト３５を無端状に巻き掛けて構成している。また押付手段２３の補助ベルト３５は、受部３１によって検査対象物１及びギャップ保持手段２１のベルト２６へ余勢されて面接触している。また押付手段２３の受部３１は、プローブ２２等の加重や弾性力を介して板状の検査対象物１の反りを矯正するようにしている。ここで補助ベルト３５は、検査対象物１の移送に伴って従動して回転しても良いし、モータ等の駆動手段（図示せず）を備えて検査対象物１の移送と同期するように回転しても良い。
【００４３】
以下本発明を実施する形態の第二例の作用を説明する。
【００４４】
板状の検査対象物１を渦流探傷により非破壊検査を行う際には、移送手段のコンベア７で板状の検査対象物１を高速で移送し、同時に板状の検査対象物１の移送に伴って、ギャップ保持手段２１のベルト２６を走行させると共に押付手段２３の補助ベルト３５を走行させ、プローブ２２の荷重等と押付手段２３の受部３１とにより板状の検査対象物１及びベルト２６を一時的に挟み込んで下流側へ移送する。
【００４５】
そして板状の検査対象物１及びギャップ保持手段２１のベルト２６を挟み込んだ際には、ベルト２６のシートの厚みによってプローブ２２先端から検査対象物１までのギャップ（間隔）を一定に保つと共にギャップを０.１０ｍｍ以上０．５ｍｍ以下、好ましくは０．２５ｍｍ以上０．３０ｍｍ以下の一定値にし、プローブ２２の渦流探傷によりベルト２６のシートを介して板状の検査対象物１を上方から非破壊検査を行う。
【００４６】
ここでプローブ２２は、上方フレーム２８に支持された状態で渦流探傷を行うと共に、ギャップ保持手段２１によりプローブ２２先端から検査対象物１までのギャップが一定に維持されるので、検査対象物１を高速で移送する場合でも渦流探傷の非破壊検査に悪影響を与えることがない。またギャップ保持手段２１のベルト２６を形成するシートは、非導電体であることから渦流探傷に影響を与えることがなく、またシートの良好な摺動性によりプローブ２２に影響を与えることなくプローブホルダ２７を摺動すると共に板状の検査対象物１にきずを付けることがない。更にギャップ保持手段２１は、シートの厚みの異なるベルト２６に交換することにより、プローブ２２先端から検査対象物１までのギャップを所望の距離（リフトオフ量）に設定することが可能となり、また適宜、調整・交換することも可能となる。
【００４７】
而して、このように実施の形態の第二例によれば、第一例と同様な作用効果を得ることができる。
【００４８】
実施の形態の第二例において、押付手段２３は、検査対象物１の反りを強制する受部３１と、受部３１と検査対象物１との間に位置する補助ベルト３５のシートとを備えると、受部３１と補助ベルト３５のシートにより、板状の検査対象物１を押圧して安定に移送し得るので、プローブ２２先端から検査対象物１までのギャップを適切に一定に保つと共に、検査対象物１の移送の高速化に適切に対応して非破壊検査を行うことができる。
【００４９】
実施の形態の第二例において、移送手段を複数のコンベア７で構成し、隣接するコンベア７の間に押付手段２３を配置すると、板状の検査対象物１の移送と非破壊検査を同時に為し得るので、検査対象物１の移送の高速化に適切に対応して非破壊検査を行うことができる。
【００５０】
以下、参考例を図９、図１０を参照して説明する。図中、図１〜図８と同一の符号を付した部分は同一物を表している。
【００５１】
参考例の非破壊検査装置は、板状の検査対象物１を移送する移送手段に配置されるものであり、検査対象物１の下面または上面のいずれか一面（参考例では上面）に非導電性の押圧ローラ４１を配するギャップ保持手段４２と、押圧ローラ４１を介して検査対象物１の一面に近接する渦流探傷のプローブ４３と、検査対象物１の他面をプローブ４３と反対側から押える押付手段４４とを備えている。
【００５２】
移送手段は、第一例、第二例と同様に、両側のコンベアプーリ５に無端状ベルト６を巻き掛けたコンベア７であり、複数のコンベア７を配置して板状の検査対象物１を移送するようにしている。ここで板状の検査対象物１は、金属等の導電体からなる圧延工程の圧延板や移送工程の薄板等であるが、渦流探傷により検査し得るものならば、材質や厚さは特に制限されるものではない。
【００５３】
ギャップ保持手段４２は、互いに隣接する二つのコンベア７の間の上方に二台で構成され、二本の押圧ローラ４１を夫々備えている。ここで二本の押圧ローラ４１は板状の検査対象物１の移送方向を直交する方向へ平行に延在しており、支持部４５を介してプローブ４３のプローブホルダ４６に支持されている。
【００５４】
プローブ４３は、検査対象物１の移送方向と略垂直に延在するプローブホルダ４６内に、第一例と同様に、互い違い（千鳥状）に複数個で配置され、検査範囲を重ねて非破壊検査に漏れが無いようにしている。プローブホルダ４６は、外部から延在するフレーム（図示せず）により支持され、プローブ４３先端から検査対象物１までのギャップが０.１０ｍｍ以上０.５０ｍｍ未満、好ましくは０．２５ｍｍ以上０．３０ｍｍ以下で一定に維持されている。ここでプローブ４３は、コイル（図示せず）により磁界ｍを生じて導電体の検査対象物１に渦電流を生じ、薄板の違う部位で比較する相互誘導自己比較方式で構成されているが、プローブ４３で渦流探傷し得るならば方式や構成は制限されるものではない。
【００５５】
押付手段４４は、第二例と同様に、互いに隣接する二つのコンベア７の間に位置し、外部から延在する下部フレーム４７により板状の検査対象物１の下面に近接する受部４８を備えると共に、受部４８の両側に位置して板状の検査対象物１の下面に近接する第一補助プーリ４９及び第二補助プーリ５０と、第一補助プーリ４９及び第二補助プーリ５０の下方に位置する主プーリ５１とに、シート状の補助ベルト５２を無端状に巻き掛けて構成している。また押付手段４４の補助ベルト５２は、受部４８とによって検査対象物１へ余勢されて面接触している。更に押付手段４４の受部４８は、押圧ローラ４１を介して板状の検査対象物１の反りを矯正するようにしている。ここで補助ベルト５２は、検査対象物１の移送に伴って従動して回転しても良いし、モータ等の駆動手段（図示せず）を備えて検査対象物１の移送と同期するように回転しても良い。
【００５６】
以下参考例の作用を説明する。
【００５７】
板状の検査対象物１を渦流探傷により非破壊検査を行う際には、移送手段のコンベア７で板状の検査対象物１を高速で移送し、同時に板状の検査対象物１の移送に伴って、ギャップ保持手段４２の押圧ローラ４１を回転させると共に押付手段４４の補助ベルト５２を走行させ、押圧ローラ４１と押付手段４４の受部４８とにより板状の検査対象物１を一時的に挟み込んで下流側へ移送する。
【００５８】
そして板状の検査対象物１を挟み込んだ際には、押圧ローラ４１でプローブ４３先端から検査対象物１までのギャップ（間隔）を一定に保つと共にギャップを狭い間隔で設定し、プローブ４３の渦流探傷により板状の検査対象物１について非破壊検査を行う。
【００５９】
ここでプローブ４３は、フレームに固定された状態で渦流探傷を行うと共に、ギャップ保持手段４２によりプローブ４３先端から検査対象物１までのギャップが一定に維持されるので、検査対象物１を高速で移送する場合でも渦流探傷の非破壊検査に悪影響を与えることがない。
【００６０】
而して、このように参考例によれば、第一例、第二例と同様な作用効果を得ることができる。
【００６１】
尚、本発明の非破壊検査装置は、上述の形態例にのみ限定されるものではなく、非破壊検査装置を既存の移送手段に設けても良いこと、その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【符号の説明】
【００６２】
１  検査対象物
２  ギャップ保持手段
３  プローブ
４  押付手段
７  コンベア
１１  ベルト
１４  ローラ
２１  ギャップ保持手段
２２  プローブ
２３  押付手段
２６  ベルト
３１  受部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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