(57)【要約】【課題】製造が容易であり、かつ液体流路の形状が安定しやすい脱気膜の製造方法および該方法により製造される脱気装置を提供する。【解決手段】第１の通気膜上にホットメルト樹脂を吐出することにより前記第１の通気膜に突出部を形成し、前記突出部の樹脂が硬化した後、前記第１の通気膜上に、前記突出部を覆うように第２の通気膜を形成することにより脱気膜を製造する。【選択図】図１
2011092905.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の通気膜上に樹脂を吐出することにより前記第１の通気膜に突出部を形成する工程と、前記突出部の樹脂を硬化させた後、前記第１の通気膜上に、前記突出部を覆うように第２の通気膜を形成する工程とを有する脱気膜の製造方法。
【請求項２】
前記突出部の樹脂がホットメルト樹脂である請求項１に記載の脱気膜の製造方法。
【請求項３】
前記突出部をリブ状に形成する請求項１または２に記載の脱気膜の製造方法。
【請求項４】
前記リブ状の突出部を蛇行して形成する請求項３に記載の脱気膜の製造方法。
【請求項５】
前記突出部をドット状に形成する請求項１または２に記載の脱気膜の製造方法。
【請求項６】
シート状の気体流路形成材の一側面を請求項１〜５のいずれかに記載された方法により製造された脱気膜で覆い、他側面を通気膜で覆うことにより該気体流路形成材を内包する封筒状物。
【請求項７】
前記他側面に用いる通気膜として請求項１〜５のいずれかに記載された方法により製造された脱気膜を用いる請求項６に記載の封筒状物。
【請求項８】
前記気体流路形成材の一側面に形成された突出部と、前記他側面に形成された突出部とが前記気体流路形成材の表裏の同じ位置に形成されている請求項７に記載の封筒状物。
【請求項９】
前記気体流路形成材の一側面に形成された突出部と、前記他側面に形成された突出部とが前記気体流路形成材の表裏の異なる位置に形成されている請求項７に記載の封筒状物。
【請求項１０】
液体流入口および液体流出口を有する筐体内に請求項６〜９のいずれかに記載された封筒状物をスパイラル状またはプリーツ状に重ねて収納した脱気装置。
【請求項１１】
前記筐体における液体の流通方向に対して、前記突出部のリブが５〜８５度の角度をなして形成されている請求項１０に記載の脱気装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体中に溶存する気体を脱気させる脱気膜の製造方法および、その方法により製造される封筒状物、および該封筒状物を用いた脱気装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
化学品製造、食品製造、医療、電気機器、半導体製造装置等の様々な分野において、液体中に溶存している気体の脱気（気液分離）が必要となることが多い。上記液体が機能性粒子のような固体懸濁物を含む場合、従来からある中空糸タイプの脱気モジュールでは中空糸開口部の径が小さいため容易に目詰まりを起こしてしまう。
【０００３】
他の脱気装置として、溶存気体を透過させる多孔質高分子膜材をロール状（スパイラル状）、あるいはプリーツ状に重ねてモジュール化したものが知られている。このタイプの装置では、膜材の片側を液体流路とし、膜材の他の片側を減圧とした除去気体流路を構成して脱気を行っている（特許文献１〜４）。
【０００４】
例えば、特許文献１の図８〜図１１には、ケーシング内に合成樹脂の薄膜からなり周囲が閉じられた封筒状の膜構造体が、被脱気液体を通液させる液体流路を形成するための液体流路形成材を介してスパイラル状又はプリーツ状に重ねられてなる脱気装置が記載されている。また特許文献１の図１０（本明細書に添付した図面の図１３）に示されるように、この膜構造体（封筒状脱気膜）５１はその内部に、除去気体の流路を形成するための気体流路形成材５２を有し、膜構造体５１の外側には液体流路形成材５３により液体流路が形成され、かつ、液体流路形成材５３は膜構造体５１の内部が減圧になるとき膜構造体１を構成する薄膜と密着することにより液体流路が形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−７６１０６号公報（図８〜１１）
【特許文献２】特開平８−３３２３０６号公報（図５〜７）
【特許文献３】特開平９−２２５２０６号公報（図７〜１０）
【特許文献４】特開平１０−２１６４０３号公報（図８〜１１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載された従来の脱気装置では、液流路のためのスペーサーとして用いているスクリーンネットの交点に徐々に機能性粒子が堆積し、圧力損失が上昇し、最悪の場合は目詰まりによる閉塞を起こしてしまう。
【０００７】
また本明細書の図１３に示すように液体流路形成材を用いてリブ状（畝状）の立体構造を予め形成する場合は膜構造体の製造工程自体が複雑である。また、図１３から判断する限り、液体流路形成材は糸状物（或いは繊維状物）で構成されているため、（１）これをリブ状に形成することは容易ではないと考えられ、また、（２）外部応力に対して極めて容易に変形するものと考えられる。変形しやすいため膜構造体内の減圧の度合いや気圧むらによって薄膜表面に反映されるリブ形状が必ずしも一定せず、液体の流れが不安定になる。本発明は、製造が容易であり、かつ液体流路の形状が安定しやすい脱気膜の製造方法および該方法により製造される脱気装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達し得た本発明の脱気膜の製造方法は、第１の通気膜上に樹脂を吐出することにより前記第１の通気膜に突出部を形成する工程と、前記突出部の樹脂を硬化させた後、前記第１の通気膜上に、前記突出部を覆うように第２の通気膜を形成する工程とを有するものである。
【０００９】
上記製造方法において、前記突出部の樹脂としてホットメルト樹脂を用いることが望ましい。
【００１０】
上記製造方法において、突出部をリブ状に形成することが望ましい。
【００１１】
上記製造方法において、リブ状の突出部を蛇行させることが望ましい。
【００１２】
上記製造方法において、突出部をドット状に形成することが望ましい。
【００１３】
上記目的を達し得た本発明の封筒状物は、シート状の気体流路形成材の一側面を上記脱気膜で覆い、他側面を通気膜で覆うことにより該気体流路形成材を内包するものである。
【００１４】
上記封筒状物において、他側面に用いる通気膜に代えて上記脱気膜を用いることが望ましい。
【００１５】
上記封筒状物において、前記気体流路形成材の一側面に形成された突出部と、他側面に形成された突出部とを前記気体流路形成材の表裏の同じ位置に形成することが望ましい。
【００１６】
上記封筒状物において、前記気体流路形成材の一側面に形成された突出部と、他側面に形成された突出部とを前記気体流路形成材の表裏の異なる位置に形成することが望ましい。
【００１７】
上記目的を達し得た本発明の脱気装置は、液体流入口および液体流出口を有する筐体内に上記の製造方法により製造された脱気膜をスパイラル状またはプリーツ状に重ねて収納したものである。
【００１８】
上記脱気装置において、筐体における液体の流通方向に対して、突出部のリブが５〜８５度の角度をなして形成されていることが望ましい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の脱気膜の製造方法、および該方法により製造される脱気装置により、製造が容易であり、かつ液体流路の形状が安定な脱気膜の製造方法を提供することが可能となる。また、該方法により製造される脱気装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施の形態における封筒状物の一部斜視図である。
【図２】上記封筒状物のスパイラル状積層物を示す図である。
【図３】上記封筒状物のプリーツ状積層物を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態における脱気装置を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態における脱気膜の製造工程を示す図である。
【図６】本発明の実施の形態における突出部の変形例を示すものである。
【図７】本発明の実施の形態における突出部の変形例を示すものである。
【図８】本発明の実施の形態における突出部の変形例を示すものである。
【図９】本発明の実施の形態における突出部の変形例を示すものである。
【図１０】本発明の実施の形態における突出部の変形例を示すものである。
【図１１】本発明の実施の形態における封筒状物の一例を示すものである。
【図１２】本発明の実施の形態における他の封筒状物を示すものである。
【図１３】従来の脱気膜の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態にかかる脱気膜の製造方法について図面に基づいて詳細に説明する。
【００２２】
図１は、本発明の実施の形態における脱気膜を有する封筒状物１の一部斜視図である。図１に示すように、封筒状物１はＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）膜５，１０により構成され、その内部にはナイロンやポリエステル等で構成される気体流路形成材であるニット材２、ニット材２の一側面に形成された多孔質ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）膜３、ニット材２の他側面に形成された第１の通気膜である多孔質ＰＴＦＥ膜４、この多孔質ＰＴＦＥ膜４上に突出部として形成されたリブ６を備えている。第２の通気膜であるＰＦＡ膜５は、リブ６の上を覆うため、リブ６の立体形状を反映した凸部５ａを有している。
【００２３】
本明細書では、少なくとも第１の通気膜である多孔質ＰＴＦＥ膜４、リブ６、第２の通気膜であるＰＦＡ膜５を含む積層構造を脱気膜と記載している。さらにＰＦＡ膜５とＰＦＡ膜１０とにより封筒状を成し、封筒の内部に、ニット材２の両面に多孔質ＰＴＦＥ膜３，４を積層したものを挿入した構造を封筒状物１と記載している。
【００２４】
被脱気液体中の気体は、次のような方法で脱気されている。図１において封筒状物１の外側が被脱気液体の流路であり、被脱気液体を矢印Ａの方向に流す。一方、封筒状物１の内側は減圧状態にする。これにより、液中に溶存している気体は透過可能なＰＦＡ膜５及び多孔質ＰＴＦＥ膜４を介して、ニット材２側に移行する。そしてこの気体は矢印Ｂの方向に排気される。
【００２５】
以上、封筒状物１の説明では気体流路形成材としてニット材２及び多孔質ＰＴＦＥ膜３を用いたが、これらはいずれも本発明において製造される脱気膜の必須の構成要件ではなく、脱気膜自体はあくまでも第１の通気膜（多孔質ＰＴＦＥ膜４）、突出部（リブ６）、第２の通気膜（ＰＦＡ膜５）を含む積層構造を少なくとも含むものであればよい。
【００２６】
上記のように好ましくは気体流路形成材を形成するが、必ずしもニット材を用いる必要はなく、気体の内部移動を可能とする材料を用いればよい。例えばナイロンのクロス織布、ウレタンスポンジ、ポリエステル、ポリプロピレンのネット、金属ネット等からなる布帛を用いることができ、この布帛の形態は織物、編物、スポンジ、不織布、ネット等の気体流路形成材とすることができる。この気体流路形成材の厚さは０．１〜５ｍｍ（好ましくは０．３〜２ｍｍ）とすることが望ましい。
【００２７】
以上の説明では、第１の通気膜として防水性に優れた多孔質ＰＴＦＥ膜４を用いた場合について説明したが、ＰＴＦＥに限らず、液体の透過を防止し、気体を透過させることができるものであればよく、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリイミド等を使用することもできる。なお、第１の通気膜は、本発明で使用されるホットメルト樹脂に対して濡れ性が低いことが好ましい。ホットメルト樹脂は、第１の通気膜上に突起物を形成する役割を有するためである。
【００２８】
第１の通気膜として多孔質ＰＴＦＥ膜を用いる場合は、多孔質ＰＴＦＥ膜の空孔率を２０〜９０％（好ましくは５０〜８０％）とすることが望ましい。厚さは５〜１００μｍ（好ましくは１０〜５０μｍ）とすることが望ましい。
【００２９】
以上の説明では、第２の通気膜としてＰＦＡ膜５を用いた場合について説明したが、液体の透過を防止し、気体を透過させることができるものであればよく、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体、その他、ポリエチレン、ポリプロピレンなどの各種樹脂を、単独あるいは２種以上の混合物として適宜用いることができる。これらの材料は、液体の透過を防止し、気体を透過させる機能（防液・通気性）を付与できる他、高い耐薬品（有機溶剤、酸、アルカリ）性、および高い耐熱性を有する。
【００３０】
本発明で用いる封筒状物１は、その内部が減圧になるように、末端部或いは中央部等の適所に真空引きのための排気用部材（図示せず）が取り付けられることが好ましい。この排気用部材としては、適宜の材料からなるチューブ状のものを用いることができる。好ましい材料の一例はＰＦＡである。ＰＦＡを排気用部材として用いた場合、ＰＦＡ膜５と同材質であり、熱融着が容易であるという利点がある。排気用部材の外径は４〜１０ｍｍ、肉厚は０．５〜１ｍｍ程度が好ましい。
【００３１】
排気用部材の好ましい取付け方法の他の一例は、封筒状物１の折り目に穴を開け、この穴にパイプ状の軸を通して封筒状物１に取り付ける方法である。取り付けのため、封筒状物１の内部に設けたリング状パーツと、軸の内部に設けたＯリングを用いて、封筒状物１と軸とを挟み込む構成とした。
【００３２】
本発明では、封筒状物１を約５層〜１００層重ねて積層体を構成し、この積層体を合成樹脂あるいは金属等からなる筐体内に収容して脱気装置を構成する。その積層体の形態としては、例えば図２に示すように封筒状物１をスパイラル状に積層してもよいし、図３に示すようにプリーツ状に積層してもよい。いずれの形態の場合も、封筒状物１の表面にリブ６の存在による突起が存在するため、この突起がスペーサーの役割を果たして封筒状物１同士の間に隙間が形成され、これが被脱気液体を流すための流路となる。
【００３３】
図４は、上記積層体を筐体内に収納した脱気装置の構成例を示すものである。図４において筐体１２の内部に、例えば図３のプリーツ状の積層体が収納される（収納される積層体は、勿論、図２に示したスパイラル状の積層体であってもよい）。封筒状物１の適所には排気用部材１５の一端が取り付けられ、該排気用部材１５の他端は筐体１２の外部に引き出されている。筐体１２には、被脱気液体の液体流入口１３、被脱気液体の液体流出口１４、脱気開始時の空気抜きのための空気孔１６がそれぞれ設けられている。また筐体１２内には、封筒状物１が液体流入口１３、被脱気液体の液体流出口１４、空気孔１６等を塞いでしまうことを防止するための合成樹脂ネット１７が配置されている。このような構成において、液体流入口１３から被脱気液体を供給し、排気用部材１５の他端に連結された図示しない真空ラインにより封筒状物１が減圧状態にされると、液体流路内に通液された被脱気液体に溶存している気体が封筒状物１のＰＦＡ膜５及び多孔質ＰＴＦＥ膜４を透過して脱気が行われ、除去された気体はニット材２で形成される気体流路を通り、排気用部材１５から筐体１２の外部に排気される。
【００３４】
但し、本発明において使用される筐体構造はここに例示したものに限定されるものではなく、その他の公知の構造を採用することができる。
【００３５】
また、本発明による第１の脱気装置は、通常の水、水溶液、溶剤液等に溶存する気体の脱気のみならず、濃度が高い溶剤液、油脂液、界面活性剤を含む液、半導体製造で使用される特殊液等に対しても効率よく脱気が行えるものである。また、液体中に溶存する気体は、酸素、炭酸ガス、窒素ガス、炭化水素ガス等の常温常圧でガス状を示す各種の気体であってもよい。
【００３６】
本発明の脱気膜の製造方法は、まず第１の通気膜である多孔質ＰＴＦＥ膜４上にホットメルト樹脂を吐出することにより多孔質ＰＴＦＥ膜４にリブ６を形成するものである。図５は、ホットメルト樹脂の吐出工程を示す図である。図５に示されるように、溶融したホットメルト樹脂を一定量吐出できるホットメルトアプリケーター１８を矢印Ｃの方向に平行移動させながら、多孔質ＰＴＦＥ膜４上に軟化したホットメルト樹脂をライン状に吐出してゆき、リブ６を形成する。図５に示されたホットメルトアプリケーター１８は４つの吐出ノズルを有するため、リブ６を４本ずつ並行して同時に形成することができる。
【００３７】
次に、リブ６が固化した後、多孔質ＰＴＦＥ膜４上に、リブ６を覆うように第２の通気膜であるＰＦＡ膜５を形成する（図１参照）。ＰＦＡ膜５は多孔質ＰＴＦＥ膜４に接着させてもよいが、固着せずともニット材２側を減圧にした際にはＰＦＡ膜５は多孔質ＰＴＦＥ膜４に密着する。ＰＦＡ膜５を多孔質ＰＴＦＥ膜４に接着する場合には、接着の方法は、熱融着であっても接着剤によるものであっても良いが、通気性と柔軟性を損なわないようにするため、熱融着によるものが好ましい。
【００３８】
なお、多孔質ＰＴＦＥ膜４には、ニット材２および多孔質ＰＴＦＥ膜３を積層しておいてもよい。多孔質ＰＴＦＥ膜３とニット材２、ニット材２と多孔質ＰＴＦＥ膜４は熱融着により互いに接着させることができる。もちろん、接着剤を用いて接着させてもよい。
【００３９】
本発明の突出部であるリブ６の形状は、以下の条件を満足することが一層望ましい。例えばリブ６の幅は０．１〜３ｍｍ、好ましくは０．２〜１ｍｍ、より好ましくは０．３〜０．７ｍｍとすることが望ましい。リブ６の高さは０．２〜２ｍｍ、好ましくは０．３〜０．７ｍｍとすることが望ましい。リブ６のピッチ（隣り合うリブ６の間の距離）１〜２０ｍｍ、好ましくは３〜１０ｍｍとすることが望ましい。
【００４０】
以上、リブ６を構成する材料としてホットメルト樹脂を用いた場合について説明したが、本発明ではホットメルト樹脂に限らず、液体の状態から冷却することにより硬化する樹脂、もしくは化学反応（光反応を含む）させることにより硬化する樹脂を用いることができる。
【００４１】
液体の状態から硬化する樹脂の具体例としては、（１）反応硬化型の樹脂としてエポキシ樹脂、ウレタン樹脂、シリコーン樹脂、アクリル樹脂など、（２）光硬化型の樹脂としてアクリル樹脂、シアノアクリレート樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂など、（３）溶剤溶解型の樹脂として天然ゴム、スチレンブタジエンゴム、ニトリルゴム、ＡＢＳ、ＰＶＡ、ニトロセルロースなどを挙げることができる。
【００４２】
リブ６を構成するホットメルト樹脂としては、変性オレフィン系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリアミド系樹脂またはそのコポリマー系樹脂を用いることが望ましい。その他にも、ポリエステル系樹脂、ブチラール系樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂またはその共重合体系樹脂、セルロース誘導体系樹脂、ポリメチルメタクリレート系樹脂、ポリビニルエーテル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂などの各種樹脂を、単独あるいは２種以上の混合物として適宜用いることができる。
【００４３】
以上の説明では、多孔質ＰＴＦＥ膜４の上に突出部を設けるために直線状のリブ６を形成した場合について説明したが、突出部の形状は特に限定されず、適宜種々の形状を採用することも可能である。
【００４４】
図６〜図１０は、突出部の変形例を示すものである。ただし、突出部の形状を表すため、いずれも第２の通気膜（図１のＰＦＡ膜５）を省略して記載している。図６は、突出部であるリブ６に途切れ部を形成したものである。リブ６が途中で途切れている形状を有するために、被脱気液体がリブ６間で相互に行き来することが可能となる。したがって、液体流路の圧力損失を低減することができる。
【００４５】
図７は、突出部をドット状にしたものである。被脱気液体の流れを遮るものが少ないため、圧力損失の一層の低減になる。しかし、ドットの密度が少な過ぎる場合は、封筒状物１と封筒状物１との間のスペーサーの役割を十分に果たせないため逆に圧力損失が上昇してしまうこともある。圧力損失を低く抑えるためには、ドットの密度は、０．１〜１０個／ｃｍ２（好ましくは１〜５個／ｃｍ２）であることが望ましい。
【００４６】
図８は、図６に示した途切れ部を有するリブ６を用いた場合であって、かつ、途切れ部を１列おきに互い違いに配置したものである。このような配置にすることにより、被脱気液体が攪拌され乱流を起こすことで脱気効果が促進されることが期待できる。
【００４７】
図９は、直線状のリブ６を用いたものであるが、リブ６が筐体１２における被脱気液体の流通方向（筐体１２に平行である矢印Ａ（図４））に対して、５〜８５度（好ましくは３０〜６０度、より好ましくは３０〜４５度）の角度をなして形成されているものである。角度をなす方向は、矢印Ａの方向に対して左右どちらの方向でもよい。このようにリブ６を斜めに設けることにより、被脱気液体の流路の道のりが増えるため、いっそう十分な脱気を行うことができる。
【００４８】
図１０は、リブ６が蛇行形状を有する場合を示したものである。リブ６が蛇行している場合も、被脱気液体の流路の道のりが増えるため、いっそう十分な脱気を行うことができる。蛇行形状は、図１０に示すような曲線状の蛇行でもよいし、折れ線が連続する直線的な蛇行でもよい。
【００４９】
図１１は、気体流路形成材であるニット材２の表裏両側に上述した脱気膜を形成することにより該ニット材２を内包する封筒状物１を示したものである。すなわち、図６〜図１０に示した封筒状物１と異なるのは、気体流路形成材の両側側面に本発明にかかるリブ６を配置しているところである。図６〜図１０の封筒状物１では、ニット材２の表裏にある第２の通気膜（ＰＦＡ膜５とＰＦＡ膜１０（図１参照））の長さが異なるため、脱気のため封筒状物１内を減圧した際に封筒状物１が所望の変形を起こさず、かなり複雑な変形を起こしてしまう場合がある。そこで、ＰＦＡ膜５とＰＦＡ膜１０の長さをニット材２の表裏で同等にするため、図１１に示すようにニット材２の表裏両側にリブ６を配置する構成とすることが一層望ましい。
【００５０】
なお、裏側のリブ６を配置する位置は、上記図１１のように表側のリブ６に対応する真裏側の位置、すなわち表裏の同じ位置でもよいし、図１２に示すように、ニット材２表裏の互いに異なる位置（例えば互い違いの位置（半波長分ずれた位置））としてもよい。
【実施例】
【００５１】
以下、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明はもとより下記実施例によって制限を受けるものではなく、前・後記の趣旨に適合し得る範囲で適当に変更を加えて実施することも勿論可能であり、それらはいずれも本発明の技術的範囲に包含される。
【００５２】
なお、本発明の脱気膜の突出部はホットメルト樹脂の吐出により形成されるため、図１３に示す従来の脱気膜と比較して製造が容易であることは明らかであり、また、液体流路の形状が安定的であることも明らかであるため、図１３に示す従来の脱気膜と本発明の脱気膜とを直接比較する実験は行っていない。
【００５３】
（実施例）
１．試験用サンプルの作製
幅３２ｃｍ×長さ１０ｍの多孔質ＰＴＦＥ膜、ニット材、もう一枚の多孔質ＰＴＦＥ膜を熱融着で積層することによって３層ラミネート材を作製した。この３層ラミネート材の上に幅１．５ｍｍ、高さ０．５ｍｍ、ピッチ６ｍｍでホットメルト樹脂のリブを形成した。リブの長手方向は、３層ラミネート材の長手方向とは直角を為す方向（短手方向）に平行とした。リブの形成方法は次の通りである。
【００５４】
マルチヘッドノズル（Ｈ２００ミニビードノズル（１個のノズルに対して６穴））を有するノードソン株式会社製のホットメルトアプリケーター（ホットメルト多重ビードシステム）を用い、変性オレフィン系ホットメルト樹脂（積水フーラー社製、商品名：エスダイン８５１５ＤＡ−１）のリブを、幅１．５ｍｍ、高さ０．５ｍｍ、ピッチ６ｍｍで配置した。ホットメルトアプリケーターによるホットメルト樹脂の吐出条件は次の通りである。
【００５５】
ヒーター温度：
（タンク部及びホース部：１６５℃）
（ガン部：１７０℃）
液体状樹脂の液圧（加熱溶融シリンダー部）：
１００ｐｓｉ（＝０．６９Ｍｐａ）
検量：３０ｃｍビード１本あたり０．１３ｇ
ノズル距離（ノズル先端から多孔質ＰＴＦＥ膜４までの距離）：約２ｍｍ
【００５６】
リブが形成された３層ラミネート材を、厚さ２５μｍのＰＦＡ膜により形成された封筒の内部に挿入し、封筒の一端に真空引き用の中空軸を取り付け、両端を熱融着によりシールした。中空軸を通してＰＦＡ封筒内部を真空引きすると、ＰＦＡ膜は薄くて柔軟な為、リブに沿って密着し、そのまま軸を中心に巻き上げることにより、スパイラル状の積層物を形成した。この積層物をステンレス製の筐体１２に収容し、フランジ中心部から中空軸を貫通させ筐体外部へと導出し、脱気装置（脱気モジュール）を作製した。
【００５７】
２．脱気試験
２種類の流量条件で被脱気液体として純水を脱気モジュールに流通させ、液体流出口における溶存酸素濃度および圧力損失を測定したところ下記表１の通りとなった。ただし、液体流入口において純水の温度は２５℃、大気圧で飽和した溶存酸素の濃度は８．１ｍｇ／リットルであった。
【００５８】
【表１】
2011092905.tif 000003
【００５９】
（比較例）
基本的には、実施例と同様にＰＦＡ封筒内に３層ラミネート材を封入した封筒状物を用いてロール積層物を形成した。実施例との違いは、比較例では３層ラミネート材上にリブを形成していないこと、及び、比較例では、封筒状物の外側にＰＦＡ製メッシュ（６０メッシュ、厚さ０．５ｍｍ）を置き、中空軸を通してＰＦＡ封筒内部を真空引きしながら巻き上げる事で、円筒形の脱気モジュールを形成したことである。
【００６０】
比較例においても同様に、２種類の流量条件で脱気モジュールに純水を流通させ、液体流出口における溶存酸素濃度および圧力損失を測定した。結果は、下記表２の通りとなった。液体流入口における純水の諸条件は実施例と同じである。
【００６１】
【表２】
2011092905.tif 000004
【００６２】
表１及び２から分かるように、比較例の脱気装置では、液体流入口と液体流出口の間で大きな圧力損失が存在していたが（試験３，４）、実施例の脱気装置では、圧力損失は目標値である１ｋＰａを大きく下回り、測定限界以下であった。なお、実施例でも比較例でも、流量を減らせば液体流出口での溶存酸素濃度が低くなっており、脱気機能が一層高く発揮されることがわかる。
【符号の説明】
【００６３】
１  封筒状物
２  ニット材
３、４  多孔質ＰＴＦＥ膜
５、１０  ＰＦＡ膜
５ａ  凸部
６  リブ
７  ロール体
８  プリーツ体
１１  脱気装置
１２  筐体
１３  液体流入口
１４  液体流出口
１５  排気用部材
１６  空気孔
１７  合成樹脂ネット
１８  ホットメルトアプリケーター
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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