(57)【要約】【目的】簡易な構成により被測定ガス中に含まれるＰＭの濃度を検出するパティキュレート検出素子であって、発熱体によって加熱できない非加熱領域へのＰＭの堆積を抑制すると共に、再生時の加熱時間を短くして、又は、加熱温度を低くして耐久性を向上させた信頼性の高いパティキュレート検出素子を提供する。【解決手段】被測定ガスに晒され、電気絶縁性耐熱基板１３の表面に所定の間隙を設けて対向する一対の検出電極１１、１２を設けた検出部１００と、検出部１００を所定の温度に加熱する発熱体１４０とを具備し、被測定ガス６００中の導電性微粒子ＰＭの濃度を検出するパティキュレート検出素子１０において、被測定ガス６００に晒される部位の少なくとも一部に、導電性微粒子ＰＭを酸化可能な触媒層２０を設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定ガスに晒され、電気絶縁性耐熱基板の表面に所定の間隙を設けて対向する一対の検出電極を形成した検出部と、該検出部を所定の温度に加熱する発熱体とを具備し、被測定ガス中の導電性微粒子の濃度を検出するパティキュレート検出素子において、
被測定ガスに晒される部位の少なくとも一部に、導電性微粒子を酸化可能な触媒層を設けたことを特徴とするパティキュレート検出素子。
【請求項２】
上記触媒層は、４００℃以下の温度で上記導電性微粒子を酸化可能な触媒材料からなる第１の触媒層であって、少なくとも上記発熱体によって加熱することができない非加熱領域の表面を覆うように形成した請求項１に記載のパティキュレート検出素子。
【請求項３】
上記触媒層は、電気絶縁性材料からなり、４００℃以上５５０℃以下の温度で上記導電性微粒子を酸化可能な触媒材料からなる第２の触媒層であって、少なくとも上記一対の検出電極の間に露出する上記電気絶縁性基板の表面を覆うように、及び／又は、上記検出電極の下面と上記電気絶縁性基板の上面との間に上記電気絶縁性基板の表面を覆うように形成する請求項１又は２に記載のパティキュレート検出素子。
【請求項４】
被測定ガス流路に載置され、被測定ガス中の導電性微粒子の濃度を検出するパティキュレート検出センサであって、
パティキュレート検出素子として、被測定ガスに晒される部位の少なくとも一部に、導電性微粒子を酸化可能な触媒層を設けた請求項１ないし３のいずれか１項に記載のパティキュレート検出素子と、該パティキュレート検出素子の測定部を被測定ガス中に保持するハウジングと、該ハウジングに固定され、上記パティキュレート検出素子の検出部を保護しつつ被測定ガスを導入・導出する被測定ガス入出孔を有するカバー体とを具備することを特徴とするパティキュレート検出センサ。
【請求項５】
上記カバー体は、その内側に向かって張り出し、上記パティキュレート検出素子の非加熱領域の周囲に導入された被測定ガスと、上記検出部の周囲に導入された被測定ガスとを区画する隔壁を具備する請求項４に記載のパティキュレート検出センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自動車用内燃機関の排気系等に使用され、被測定ガス中に含まれる導電性微粒子の濃度の検知に適したパティキュレート検出素子及びこれを用いたパティキュレート検出センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、コモンレール式燃料噴射システム、過給器システム、酸化触媒、ディーゼルパティキュレートフィルタ（ＤＰＦ）、選択触媒還元（ＳＣＲ）システム、排気再循環（ＥＧＲ）システム等を組み合わせて、ディーゼル機関やガソリンリーンバーン機関等の燃焼排気中に含まれる窒素酸化物（ＮＯｘ）、カーボンなどの粒子状物質（ＰＭ）、未燃炭化水素（ＨＣ）等の環境負荷物質の低減が図られている。
このようなシステムに用いられるＤＰＦは、一般に、耐熱性に優れ、かつ、無数の細孔を有する多孔質セラミックスを素材としたハニカム構造とされ、多孔質の隔壁に存在する細孔中にＰＭを捕捉し、ＰＭが堆積して細孔に目詰まりを起こして圧力損失が高くなると、バーナや発熱体等で加熱したり、機関の燃焼爆発後に少量の燃料を噴射するポスト噴射等によりＤＰＦ内に高温の燃焼排気を導入したりして、ＤＰＦを加熱し、ＤＰＦ内に捕集されたＰＭを燃焼除去して再生できる構成とされている。
内燃機関の燃焼効率をさらに向上すべく、このようなＤＰＦの再生時期の判断や、ＤＰＦの劣化、破損等を検出する車載式故障診断装置（オンボードダイアグノーシス、ＯＢＤ）や、内燃機関のフィードバック制御等において、燃焼排気中に含まれるＰＭの濃度を高精度で連続的に検出できる検出手段が必要とされている。
【０００３】
燃焼排気中のＰＭの濃度の検出手段として、特許文献１には、耐熱性及び電気絶縁性を有する基板の表面に一対の電極を形成し、該電極間を検出部とし、前記基板の裏面及び／又は内部に発熱体を形成し、該基板上の検出部を形成する前記電極、検出部及び端子部を除く導電部を気密で電気絶縁物質よりなる保護層で被覆し、該検出部と保護層との境界付近の発熱体の発熱密度を該検出部の発熱密度より高くし、該検出部の温度を４００℃以上で且つ６００℃以下に加熱することを特徴とするスモーク濃度センサが開示されている。
このような、スモーク濃度センサでは、検出部、及び、発熱密度の高い検出部と保護層との境界付近に堆積したスモークは発熱体によって加熱除去されるので、これらの部位へのスモークの堆積は抑制できると期待される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、発熱密度の高い検出部と保護層との境界付近から離れた部分は、発熱体によって加熱されておらず、表面温度が低くなる。このため、発熱密度が高く表面温度の高い境界付近と表面温度の低い部分との温度勾配が大きくなり、その周辺に漂う被測定ガス中に含まれる微粒子は、その温度勾配によって温度の低い保護層側に流され、却ってその表面に堆積し易くなることが判明した。
このような従来のスモーク濃度センサを長期に渡って使用すると、発熱体によって加熱できない領域に加熱除去できないスモークが堆積し続ける虞がある。
さらに、このような加熱できない領域に堆積したスモークが外部からの振動によって剥がれ落ちて検出部を覆ったり、センサ保護のために設けられているカバー体内に残留し、カバー体に設けた被測定ガスを導入する導入孔を塞いだりすることによってセンサの検出精度が低下する虞もある。
【０００５】
また、一般的な従来のスモーク濃度センサでは、検出部に堆積したスモークを、発熱体によって加熱、又は、被測定ガスの温度を昇温して、周期的に燃焼除去することによってセンサを再生している。
しかし、ＰＭの自然燃焼可能な温度は６５０℃以上であり、加熱温度が低いと、十分に焼却除去されない虞があり、また、焼却除去にかかる時間も長いため、繰り返し行われる再生時の検出部への熱ストレスによって、電気絶縁性耐熱基板が割れたり、電極部の導電性成分が拡散するマイグレーション等が発生したりしてセンサの耐久性が低下する虞もある。
【０００６】
そこで、かかる実情に鑑み、本願発明は、簡易な構成により被測定ガス中に含まれる導電性の微粒子の濃度を検出するパティキュレート検出素子であって、測定部を加熱する発熱体によって加熱されない非加熱領域に付着したＰＭを低温で除去可能とすると共に、検出素子の再生時の加熱温度、又は、加熱時間を下げて、検出素子の耐久性の向上と信頼性の向上とを図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の発明では、被測定ガスに晒され、電気絶縁性耐熱基板の表面に所定の間隙を設けて対向する一対の検出電極を形成した検出部と、該検出部を所定の温度に加熱する発熱体とを具備し、被測定ガス中の導電性微粒子の濃度を検出するパティキュレート検出素子において、被測定ガスに晒される部位の少なくとも一部に、導電性微粒子を酸化可能な触媒層を設ける（請求項１）。
【０００８】
第１の発明によれば、上記触媒層の酸化促進作用によって、導電性微粒子の自然燃焼温度である６５０℃よりも低い温度で酸化除去可能となる。したがって、パティキュレート検出素子の受ける熱ストレスが緩和され、耐久性の高いパティキュレート検出素子が実現できる。
【０００９】
上記触媒層は、４００℃以下の温度で上記導電性微粒子を酸化可能な触媒材料からなる第１の触媒層であって、少なくとも上記発熱体によって加熱することができない非加熱領域の表面を覆うように形成する（請求項２）。
【００１０】
第２の発明によれば、上記発熱体によって加熱することができない非加熱領域に付着した導電性微粒子を４００℃以下の低温で酸化除去できる。したがって、長期に渡って使用しても、非加熱領域に導電性微粒子が堆積する虞がなく、信頼性の高いパティキュレート検出素子が実現できる。
【００１１】
第３の発明では、上記触媒層は、電気絶縁性材料からなり、４００℃以上５５０℃以下の温度で上記導電性微粒子を酸化可能な触媒材料からなる第２の触媒層であって、少なくとも上記一対の検出電極の間に露出する上記電気絶縁性基板の表面を覆うように、及び／又は、上記検出電極の下面と上記電気絶縁性基板の上面との間に上記電気絶縁性基板の表面を覆うように形成する（請求項３）。
【００１２】
第３の発明によれば、被測定ガス中に含まれる導電性微粒子の濃度を検出する際に上記発熱体によって検出抵抗の温度特性を安定化するべく４００℃より低い温度に加熱したときには上記第２の触媒層が作用せず、安定して検出部に堆積した導電性微粒子の量が検出でき、再生時には、上記発熱体によって４００℃以上５５０℃以下の自然燃焼開始温度より低い温度に加熱したときに上記検出部に堆積した導電性微粒子を短時間で酸化除去できる。
したがって、パティキュレート検出素子に対する熱ストレスが緩和され、耐久性の高いパティキュレート検出素子が実現できる。
【００１３】
第４の発明では、被測定ガス流路に載置され、被測定ガス中の導電性微粒子の濃度を検出するパティキュレート検出センサであって、パティキュレート検出素子として、被測定ガスに晒される部位の少なくとも一部に、導電性微粒子を酸化可能な触媒層を設けた請求項１ないし３のいずれか１項に記載のパティキュレート検出素子と、該パティキュレート検出素子の測定部を被測定ガス中に保持するハウジングと、該ハウジングに固定され、上記パティキュレート検出素子の検出部を保護しつつ被測定ガスを導入・導出する被測定ガス入出孔を有するカバー体とを具備する（請求項５）。
【００１４】
第４の発明によれば、上記カバー体の内側に導入された被測定ガス中に含まれる導電性微粒子が上記パティキュレート検出素子の測定部以外に堆積した導電性微粒子が上記触媒層によって酸化除去されるので、信頼性の高いパティキュレート検出センサが実現できる。
【００１５】
第５の発明では、上記カバー体は、その内側に向かって張り出し、上記パティキュレート検出素子の非加熱領域の周囲に導入された被測定ガスと、上記検出部の周囲に導入された被測定ガスとを区画する隔壁を具備する（請求項４）。
【００１６】
第５の発明によれば、非加熱領域に接触する被測定ガスの動きを規制し、温度の低下を抑制すると共に、非加熱領域に接触する導電性微粒子の侵入を阻むことで、さらに、非加熱領域への導電性微粒子の堆積を少なくし、上記触媒層によって燃焼除去し易くすることができる。したがって、パティキュレート検出センサの耐久性、信頼性がさらに向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の第１の実施形態におけるパティキュレート検出素子の概要を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図。
【図２】本発明の第１の実施形態におけるパティキュレート検出素子の概要を示す展開斜視図。
【図３】本発明の第２の実施形態におけるパティキュレート検出素子の概要を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図。
【図４】本発明の第３の実施形態におけるパティキュレート検出素子の概要を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図。
【図５】本発明の第３の実施形態におけるパティキュレート検出素子の変形例を示し、（ａ）は要部拡大正面図、（ｂ）は要部拡大断面図。
【図６】本発明の効果を比較例と共に示し、（ａ）は、再生完了時間に対する特性図、（ｂ）は再生可能温度に対する特性図、（ｃ）は耐久性に対する特性図。
【図７】本発明のパティキュレート検出素子を有する第１の実施形態におけるパティキュレート検出センサの概要を示す断面図。
【図８】本発明のパティキュレート検出素子を有する第２の実施形態におけるパティキュレート検出センサの概要を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明の第１の実施形態におけるパティキュレート検出素子１０は、例えば、ディーゼル内燃機関の排気流路に載置され、排気流路を流れる燃焼排気等の被測定ガス中に含まれる粒子状物質（ＰＭ）を捕集するディーゼルパティキュレートフィルタ（ＤＰＦ）の故障診断（ＯＢＤ）や、ＤＰＦの再生制御を行うべく、燃焼排気中のＰＭ、特に、導電性微粒子を検出するパティキュレート検出センサ１に用いられる。
【００１９】
本発明の第１の実施形態におけるパティキュレート検出素子１０及びこれを含むパティキュレート検出センサ１の概要について図を参照して説明する。
図１、図２に示すように、パティキュレート検出素子１０は、アルミナ等の電気絶縁性耐熱材料をドクターブレード法、プレス成形法、ＣＩＰ、ＨＩＰ等の公知の方法により平板状に形成した電気絶縁性耐熱基板１３と、スクリーン印刷等の公知の方法により白金等の導電性材料を用いて電気絶縁性耐熱基板１３上に所定の距離を離隔して設けた一対の検出電極１１、１２と、検出電極１１、１２と外部の電気抵抗計測手段とを導通させるリード部１１１、１２１及び端子部１１２、１２２と、本発明の要部であり、導電性微粒子を酸化可能な触媒材料を用いて、電気絶縁性基板１３の少なくとも非加熱領域の表面を覆うように形成した触媒層２０と、検出電極１１、１２によって形成される検出部を所定の温度に加熱して、検出抵抗を安定化したり、検出部に堆積したＰＭを加熱除去したりするための通電により発熱する発熱体１４０と、発熱体１４０と図略の通電制御装置とを接続する一対の発熱体リード部１４１ａ、１４１ｂと、発熱体端子部１４３ａ、１４３ｂと、電気絶縁性耐熱基板１５と、絶縁性耐熱基板１５を貫通し発熱体リード部１４１ａ、１４１ｂと発熱体端子部１４３ａ、１４３ｂとを導通するスルーホール電極１４２ａ、１４２ｂと、によって構成されている。
以下、パティキュレート検出素子１０において、発熱体１４０によって加熱可能な領域を加熱領域（本図中、点線によって囲んだ領域）と称し、発熱体１４０によって加熱できない領域を非加熱領域（本図中、一点破線によって囲んだ領域）と称す（他の実施形態においても同様とする）。  
【００２０】
触媒層２０は、被測定ガス中に含まれるカーボンなどの導電性微粒子を４００℃以下の温度で酸化可能な触媒材料からなる第１の触媒層であって、少なくとも発熱体１４０によって加熱することができない非加熱領域の表面を覆うように形成されている。
具体的には、触媒層２０には、希土類元素を添加したセリア系酸化物(例えばＣｅ０.６５Ｐｒ０.２Ｌａ０.１５Ｏ２)、セリアジルコニア固溶酸化物（例えばＺｒ０．５Ｃｅ０．５Ｏ２）、Ｃｏ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｖ、Ｍｏ、Ｐｄ酸化物及びアルカリ金属酸化物、Ａｇ担持酸化物（Ａｇ担持Ａｌ２Ｏ３、Ａｇ担持ＣｅＯ２）、金属担持プロトン導電体触媒（例えばＰｔ担持Ｓｎ０.９Ｉｎ０.１Ｐ２Ｏ７）等を用いることができる。
触媒層２０とリード部１１１、１２１の電気絶縁性を確保するために、触媒層２０に、絶縁性の触媒材料を用いても良いし、触媒層２０とリード部１１１、１２１の間にリード部１１１、１２１の表面を覆うように電気絶縁性耐熱材料を用いて図略の絶縁性耐熱保護層を形成しても良い。
このようにリード部１１１、１２１との間に絶縁性耐熱保護層を形成する場合には、触媒層２０として、Ｐｔ等の導電性のある貴金属触媒を用いることもできる。
なお、本実施形態において、被測定ガスの上流側に対向する表面にのみ触媒層２０を形成した例を示したが、被測定ガスの下流側に対向する表面及び両側面を含んでパティキュレート検出素子１０の非加熱領域の全周を覆うように形成しても良い（他の実施形態においても同様である）。                  
【００２１】
図３を参照して本発明の第２の実施形態におけるパティキュレート検出素子１０ａについて説明する。なお、上記実施形態と同様の構成については同じ符号を付したので説明を省略し、相違点についてのみ説明する。
上記実施形態においては、触媒層２０を、電気絶縁性基板１３の非加熱領域にのみ設けた例を示したが、本実施形態においては、図３に示すように触媒層２０ａを検出電極１１、１２の下面と電気絶縁性基板１３の上面との間で、電気絶縁性基板の表面を覆うように延設しても良い。
このような構成とすることによって、検出部１００に堆積したＰＭを自然燃焼温度よりも低い温度で、可熱除去できる。なお、本実施形態においては、触媒層２０ａは、検出時において測定部１００を加熱する温度より高い温度で触媒活性を示すものが望ましく、また、検出電極１１、１２との絶縁性を確保する必要がある。
【００２２】
図４を参照して本発明の第３の実施形態におけるパティキュレート検出素子１０ｂについて説明する。本実施形態においては、図４に示すように、発熱体１４０によって加熱できない非加熱領域には、第１の実施形態と同様の第１の触媒層２０を形成し、発熱体１４０によって加熱可能な加熱領域（検出部形成領域）には、第２の触媒層２１を設けてある。
第２の触媒層２１は、電気絶縁性材料からなり、４００℃以上５５０℃以下の温度で導電性微粒子を酸化可能な触媒材料によって形成されている。
このような構成とすることによって、被測定ガス中に含まれる導電性微粒子の濃度を検出する際には発熱体１４０によって検出抵抗の温度特性を安定化するべく４００℃より低い温度に加熱されているので、第２の触媒層２１が作用せず、安定して検出部１００に堆積した導電性微粒子の量が検出でき、再生時には、発熱体１４０によって４００℃以上５５０℃以下の自然燃焼開始温度より低い温度に加熱したときには、検出部１００に堆積した導電性微粒子を短時間で酸化除去できる。一方、非加熱領域に形成した第１の触媒層２０は、４００℃以下の低い温度で触媒活性を示すものを用いるのが望ましい。
このように、第１の触媒層２０と第２の触媒層２１とを活性温度の異なるものとすることによって、検出時には、測定部１００に堆積するＰＭは加熱除去されることなく、非加熱領域に堆積するＰＭのみが加熱を要せず酸化除去され、センサの再生時には、発熱体１４０による４００℃以上５５０℃以下の温度での加熱で速やかに酸化除去できるので、センサとしての耐久性、信頼性が高くなる。
【００２３】
図５は、第３の実施形態におけるパティキュレート検出素子１０ｂの変形例を示す要部拡大図である。
上記実施形態においては、第２の触媒層２１を検出電極１１、１２の下面と電気絶縁性基板１３との間で検出部１００において電気絶縁性基板１３の表面全面を覆うように設けた例を示したが、図５に示すように、一対の検出電極１１、１２の間に露出する電気絶縁性基板１３の表面のみを覆うように形成しても良い。このような構成としても、上記実施形態と同様の効果が生まれ、さらに、検出部１００ｂの検出電極１１、１２から露出する電気絶縁性基板１３の表面のみに第２の触媒層２１を形成するので、高価な触媒の使用量を減らすことも可能となる。
【００２４】
図６を参照して、本発明の効果について説明する。本発明者等は、本発明の第１の実施形態として図１に示したパティキュレート検出素子１０と、第３の実施形態として図３に示したパティキュレート検出素子１０ｂと、比較例として、触媒層２０、２１の形成されていないパティキュレート検出素子を用いて、ＰＭが堆積し、検出電極１１、１２の間で検出される電気抵抗が一定となった状態から、発熱体１４０に通電を行い、（ａ）検出電極１１、１２間が絶縁状態となり、センサの再生が完了するまでの時間、（ｂ）再生が可能となる温度、（ｃ）耐久性について試験を行った。
それぞれの結果を、実施例１、実施例２、比較例として図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示す。図６に示すように、本発明により、再生完了時間が短くなり、再生可能温度も低くなり、耐久時間が長くなることが判明した。
【００２５】
図７を参照して、本発明の被測定ガスに晒される部位の一部に触媒層２０を設けたパティキュレート検出素子１０を有するパティキュレート検出センサ１について説明する。
なお、パティキュレート検出素子として上述したパティキュレート検出素子１０、１０ａ、１０ｂのいずれを用いても良い。
パティキュレート検出センサ１は、パティキュレート検出素子１０を内側に挿入保持する略筒状のインシュレータ４０と、被測定ガス流路壁６０に固定され、インシュレータ４０を保持すると共に、パティキュレート検出素子１０の検出部を被測定ガス流路６００内の所定の位置に保持するハウジング５０と、ハウジング５０の先端側に設けられ、パティキュレート検出素子１０の検出部を保護するカバー体３０と、ハウジング５０の基端側に設けられ、接続金具１１３、１２３を介してパティキュレート検出素子１０の端子部１１２、１２２に接続され、検出部１００に捕集・堆積されたＰＭ量に応じて変化する検出電極１１、１２間の検出電気抵抗ＲＸを外部の電気抵抗検出手段に伝達する一対の信号線１１４、１２４と、パティキュレート検出素子１０に内蔵された発熱体１４０と発熱体端子部１４３ａ、１４３ｂ、接続金具１４４ａ、１４４ｂを介して接続される一対の導通線１４５ａ、１４５ｂとを、封止部材７０を介して基端側で固定する略筒状のケーシング８０とによって構成されている。
カバー体３０には、ＰＭを含む被測定ガスを検出部１００に導入・導出するための被測定ガス入出孔３１０、３１１が適宜穿設されている。  
【００２６】
図８を参照して本発明のパティキュレート検出素子１０を用いたパティキュレート検出センサの第２の実施形態におけるパティキュレート検出センサ１ｃについて説明する。
本実施形態においては、発熱体１４０によって加熱可能なパティキュレート検出素子１０の加熱領域の周囲に導入され加熱領域に触れる被測定ガスと、加熱できない非加熱領域の周囲に導入され非加熱領域に触れる被測定ガスとを区画するように、カバー体３０ｃの内側側面に内側方向に伸びる略円環状の隔壁３２を設けてある。
カバー体３０ｃをこのような構造とすることによって、非加熱領域に接触する被測定ガスの動きを規制し、温度の低下を抑制すると共に、非加熱領域に接触するＰＭの侵入を阻むことで、さらに、非加熱領域へのＰＭの堆積を少なくし、非加熱領域に形成された触媒層２０によって酸化除去し易くすることもできる。
【００２７】
本発明は上記実施形態に限定するものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
例えば、上記施形態においては、パティキュレート検出素子１０の長手軸方向に対して直交する方向に伸びる複数の櫛歯状に形成した検出電極１１、１２を対向させて一対の電極を形成した例を示したが、本発明において一対の検出電極１１、１２の形状を特に限定するものではなく、検出電極１１、１２を、パティキュレート検出素子１０の長手軸方向に伸びる複数の櫛歯状に形成し、これらを所定の間隙を設けて対向させて一対の電極としても良いし、検出電極１１、１２を略渦巻状に形成し、所定の間隙を設けて対向させて一対の電極としても良い。
さらに、上記実施形態においては、自動車エンジン等の内燃機関に搭載されるパティキュレート検出センサを例に説明したが、本発明のパティキュレート検出センサは、車載用に限定されるものではなく、火力発電所等の大規模プラントにおけるパティキュレート検出の用途にも利用可能である。
【符号の説明】
【００２８】
１  パティキュレート検出センサ
１０  パティキュレート検出素子
１００  検出部
１１、１２  検出電極
１１１、１２１  リード部
１１２、１２２  端子部
１１３、１１３  接続金具
１１４、１１４  信号線
１３、１５  電気絶縁性耐熱基板
１４０  発熱体
１４１ａ、１４１ｂ  発熱体リード部
１４２ａ、１４２ｂ  スルーホール電極
１４３ａ、１４３ｂ  発熱体端子部
１４４ａ、１４４ｂ  接続金具
１４５ａ、１４５ｂ  通電線
２０、２０ａ、２０ｂ  触媒層（第１の触媒層）
２１、２１ａ、２１ｂ  触媒層（第２の触媒層）
３０  カバー体
３１０、３１１  被測定ガス入出孔
４０  インシュレータ
５０  ハウジング
６０  ケーシング
７０  封止部材
８０  被測定ガス流路壁
８００  被測定ガス流路
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２９】
【特許文献１】特開昭５９−１９７８４７号公報
【図１】
2011080781.tif 000003
【図２】
2011080781.tif 000004
【図３】
2011080781.tif 000005
【図４】
2011080781.tif 000006
【図５】
2011080781.tif 000007
【図６】
2011080781.tif 000008
【図７】
2011080781.tif 000009
【図８】
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