(57)【要約】【課題】ガスを安価且つ容易に使用できるワーク搬送台車を提供する。【解決手段】ガスを消費する機器１１を有し、閉じた軌条を周回するワーク搬送台車１に、ガスを蓄えるバッファタンク１３，１４を設け、バッファタンク１３，１４にガスを供給できる受入流路２２，２３にカプラ１６，１７設け、ワーク搬送台車１が軌条を１周するたびに、カプラ１６，１７に外部の供給流路２９，３０を接続して、ワーク搬送台車１の１周の周回の間に必要な量のガスをバッファタンク１３，１４に補給する。【選択図】図２
2011079625.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスを消費する機器と、
ガスを蓄えるバッファタンクと、
前記バッファタンクにガスを供給できる受入流路と、
前記受入流路に設けたカプラとを有することを特徴とするワーク搬送台車。
【請求項２】
前記ガスを消費する機器と前記バッファタンクとの間にレギュレータを有することを特徴とする請求項１に記載のワーク搬送台車。
【請求項３】
前記受入流路に、逆止弁および開閉弁の少なくともいずれかを設けたことを特徴とする請求項１または２に記載のワーク搬送台車。
【請求項４】
閉じた軌条上をワーク搬送台車が循環するワーク加工システムにおいて、
前記ワーク搬送台車は、ガスを消費する機器と、ガスを収容するバッファタンクと、前記バッファタンクにガスを供給できる受入流路と、前記受入流路に設けたカプラとを有し、
前記軌条上の前記ワーク搬送台車を停止させられる位置に、前記カプラに供給流路を接続して、前記バッファタンクにガスを供給する供給ステーションを設けたことを特徴とするワーク加工システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワーク搬送台車およびワーク加工システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、フラットディスプレイパネルの製造では、特許文献１〜３に記載されているように、複数のガラス基板（ワーク）を保持して、レールに沿って加熱炉内を通過するワーク搬送台車が使用される。ワーク搬送台車は、ガラス基板の真空引き作業に用いられるエアシリンダや空気圧によって膨張して気密性を確保する空気圧チャック等を備え、その駆動のための圧縮空気を製造するエアコンプレッサがそれぞれに設けられている。空気圧チャックでは、圧縮空気にドレンが混入していると、その機能を損なう場合があり、低露点の圧縮空気が必要とされる。このため、フラットディスプレイパネル製造用のワーク搬送台車には、スーパードライヤを備えるエアコンプレッサが搭載されている。
【０００３】
このように、ワーク搬送台車にエアコンプレッサを搭載すると、その他の搭載機器との間の空間が小さくなり、メンテナンス性が損なわれるという問題がある。また、各ワーク搬送台車にエアコンプレッサを搭載すると、設備コストが大きくなる。さらに、スーパードライヤは、ドレンのために常に圧縮空気を放出するので、圧縮空気の補充のために断続的に稼働し、電力を消費し続ける。
【０００４】
特許文献４のワーク検査装置は、圧縮空気によって開閉してワークを把持するチャックを備える搬送するパレットの圧縮空気の流路にカプラを設け、パレットの停止位置において、カプラに管路を接続して圧縮空気を供給または排出することで、チャックを開閉させている。
【０００５】
しかしながら、特許文献１〜３のフラットパネルの製造設備（ワーク加工システム）では、ワーク搬送台車が加熱炉の中を移動しながら圧縮空気を消費するので、特許文献４のワーク検査装置のように、ワーク搬送台車に管路を接続して外部から圧縮空気を供給することはできない。
【０００６】
また、フラットディスプレイパネルの製造に用いるワーク搬送台車は、特許文献１〜３に記載されているように、パネルに封入する発光ガスのボンベも搭載しており、ボンベの残圧が低くなると、人手によってそれらのボンベを交換している。多数のワーク搬送台車を使用する生産設備では、交換用のボンベも多数必要となり、数多くのボンベを管理しなければならない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−１７３３３１号公報
【特許文献２】特開２００２−３２４４８６号公報
【特許文献３】特開２００５−２１６８３０号公報
【特許文献４】特開平１１−２９５０６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
前記問題点に鑑みて、本発明は、ガスを安価且つ容易に使用できるワーク搬送台車およびそのようなワーク搬送台車を使用したワーク加工システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するために、本発明によるワーク搬送台車は、ガスを消費する機器と、ガスを蓄えるバッファタンクと、前記バッファタンクにガスを供給できる受入流路と、前記受入流路に設けたカプラとを有するものとする。
【００１０】
この構成によれば、カプラを介して供給されたガスをバッファタンクに一時的に蓄えることで、ワークを搬送・加工している間に消費するガスをまかなうことができる。また、ワーク搬送台車毎に、圧縮機やガスボンベのようなガスの供給源を設ける必要がないので、設備コストや管理コストが小さく、ワーク搬送台車の有効スペースも大きくとれる。また。カプラを介してガスの供給源に接続することで、簡単にガスを補給できるため、製造プロセスのサイクル毎に、頻繁にガスを補給することができる。これにより、バッファタンクの容量が小さくても、ガスの圧力を高くして蓄えるガスの量を多くする必要がないので、バッファタンクに高い耐圧性が要求されない。
【００１１】
また、本発明のワーク搬送台車において、前記ガスを消費する機器と前記バッファタンクとの間にレギュレータを有してもよい。
【００１２】
この構成によれば、ガスの使用圧力よりもバッファタンクの圧力を高くすることで、ガスの使用圧力を一定にできる。
【００１３】
また、本発明のワーク搬送台車において、前記受入流路に、逆止弁および開閉弁の少なくともいずれかを設けてもよい。
【００１４】
この構成によれば、カプラを外した状態で、受入流路を介してバッファタンクガスが漏出しない。
【００１５】
また、本発明によれば、閉じた軌条上をワーク搬送台車が循環するワーク加工システムは、前記ワーク搬送台車が、ガスを消費する機器と、ガスを収容するバッファタンクと、前記バッファタンクにガスを供給できる受入流路と、前記受入流路に設けたカプラとを有し、前記軌条上の前記ワーク搬送台車を停止させられる位置に、前記カプラに供給流路を接続して、前記バッファタンクにガスを供給する供給ステーションを設けたものとする。
【００１６】
この構成によれば、供給ステーションにおいて、各ワーク搬送台車のバッファタンクに次に供給ステーションに停留するまでに消費する分のガスを蓄えるので、ワーク搬送台車が移動しながらガスを消費できる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、ワーク搬送台車にガスを蓄えるバッファタンクを設け、着脱容易なカプラを介してバッファタンクに頻繁にガスを補給できるようにしたので、ワーク搬送台車に圧縮機のようなガスの製造装置やガスボンベのような高圧のガス供給源を搭載する必要がない。これにより、ワーク加工システムの設備コストおよび運転コストを低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１実施形態のフラットディスプレイパネル製造設備のレイアウト図である。
【図２】図１のパネル搬送台車および供給ステーションの概略図である。
【図３】本発明の第２実施形態のフラットディスプレイパネル製造設備のパネル搬送台車および供給ステーションの概略図である。
【図４】本発明の第３実施形態のフラットディスプレイパネル製造設備のパネル搬送台車および供給ステーションの概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
これより、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の第１実施形態のフラットディスプレイパネル製造設備（ワーク加工システム）のレイアウト図である。このフラットディスプレイパネル製造設備は、フラットディスプレイパネル用のガラス基板（ワーク）を積載して移動する複数のワーク搬送台車１が、閉じた軌条２の上を循環する。
【００２０】
軌条２は、それぞれ直線状のレールＲからなる往路および復路と、往路および復路の両端に設けられ、ワーク搬送台車１を往路から復路または復路から往路へと移し替えるトランスファー装置Ｔとからなる。
【００２１】
軌条２の往路は、大半が、ガラス基板を加熱して内部空間を真空引きするための加熱炉３の中を延伸している。加熱炉３の直後には、ガラス基板に発光ガスを封入する封入ステーション４が設けられている。
【００２２】
軌条２の復路には、ガラス基板の真空排気および発光ガス封入のための流路となるチップ管を封止する封止ステーション５と、ワーク搬送台車１からガラス基板を取り出すアンローディングステーション６と、メンテナンスのためにワーク搬送台車１を引き出す引き出しステーション７と、ワーク搬送台車１にガラス基板を積み込むローディングステーション８とワーク搬送台車１に発光ガスおよび圧縮空気を供給する供給ステーション９とが設けられている。
【００２３】
図２に、ガス供給ステーション９に停止しているワーク搬送台車１を簡略化して示す。ワーク搬送台車１は、上部の収容スペースに、ガラス基板Ｐを保持する複数の保持部材１０と、それぞれガラス基板Ｐを真空引きして発光ガスを封入するために、空気圧で動作するチャックおよびエアシリンダを備える複数のヘッド（ガスを消費する機器）１１とを有する。
【００２４】
また、ワーク搬送台車１は、下部の機械スペースに、ヘッド１１を真空引きするための真空ポンプ１２と、発光ガスを蓄えるガスバッファタンク１３と、圧縮空気を蓄えるエアバッファタンク１４と、ヘッド１１の構成要素に、真空ポンプ１２、ガスバッファタンク１３およびエアバッファタンク１４を、所定のプログラムにしたがって接続する分配制御装置１５とを有する。
【００２５】
ガスバッファタンク１３およびエアバッファタンク１４は、それぞれ、末端にメス型のカプラ１６，１７を備え、逆止弁１８，１９および受入弁２０，２１が設けられた受入流路２２，２３が接続されている。カプラ１６，１７は、ワーク搬送台車１の底面に、下向きに固定されている。また、ガスバッファタンク１３およびエアバッファタンク１４は、それぞれ、レギュレータ２４，２５を介して分配制御装置１５にガスおよび圧縮空気を供給する。
【００２６】
逆止弁１８，１９および受入弁２０，２１は、ガスバッファタンク１３およびエアバッファタンク１４から受入流路２２，２３を介して圧縮空気および発光ガスが漏出しないようにするためのものであり、封止能力が十分であれば、いずれか一方であってもよい。また、逆止弁１８，１９および受入弁２０，２１は、カプラ１６，１７に内蔵されてもよい。
【００２７】
また、ワーク搬送台車１は、底面に、２つのローラからなる位置決め受け部材２６を有する。位置決め受け部材２６は、不図示の搬送バーを受け入れて、ワーク搬送台車１の駆動のためにも供される。
【００２８】
供給ステーション９は、発光ガスのガスボンベ２７および低露点空気圧縮機２８を備え、ガスボンベ２７および低露点空気圧縮機２８から、発光ガスおよび圧縮空気をワーク搬送台車１の受入流路２２，２３に供給するための供給流路２９，３０を有する。供給流路２９，３０の先端には、エアシリンダ３１，３２によって昇降して、カプラ１６，１７と結合するオス型のカプラ３３，３４が設けられている。尚、ガスボンベ２７および低露点空気圧縮機２８は、供給ステーション９から離れた場所に設置され、配管によって供給ステーション９に発光ガスおよび圧縮ガスを供給するものであってもよい。
【００２９】
供給流路２９には、レギュレータ３５および供給弁３６が設けられ、カプラ１６とカプラ３３とが結合したときだけ、供給流路２９を介して受入流路２２に所定圧力の発光ガスを供給するようになっている。供給流路３０は、供給弁３７を有し、カプラ１７にカプラ３４が結合したときだけ、受入流路２３に圧縮空気を供給する。
【００３０】
また、供給ステーション９は、エアシリンダ３８によって昇降して、ワーク搬送台車１の位置決め受け部材２６を係止する位置決め部材３９を有している。
【００３１】
本実施形態のフラットディスプレイパネル製造設備において、ワーク搬送台車１は、軌条２を１周する毎に、供給ステーション９上に停止して、カプラ１６，１７にカプラ３３，３４が結合されることにより、受入流路２２，２３に供給流路２９，３０が接続され、ガスバッファタンク１３に発光ガスが、エアバッファタンク１４に圧縮空気が、それぞれ、所定の圧力で供給される。
【００３２】
勿論、１周の軌条２に複数の供給ステーション９を設けて、エアバッファタンク１４に圧縮空気を２回に分けて補給してもよい。また、圧縮空気および発光ガスの消費量が少ない場合は、数周に１回、圧縮空気および発光ガスを補給するようにしてもよい。
【００３３】
ワーク搬送台車１のガスバッファタンク１３に発光ガスを供給するために、カプラ１６にカプラ３３を接続したとき、受入流路２２および供給流路２９の受入弁２０と供給弁３６との間には、空気が閉じこめられる。この空気は、受入弁２０および供給弁３６を開いてガスバッファタンク１３に発光ガスを供給すると、バッファタンク１３に流入し、ガスバッファタンク１３内において、供給された発光ガスと混ざり合う。このため、１回に供給する発光ガスの量に対して、受入流路２２および供給流路２９に取り込まれる空気量が十分に小さくなるように、受入流路２２および供給流路２９の受入弁２０と供給弁３６との間の空間を小さくすることが好ましい。さらに、カプラ１６およびカプラ３３にバルブを内蔵したものを用いて、カプラ１６とカプラ３３とを分離したとき、受入流路２２および供給流路２９に空気が進入しないようにすることがより好ましい。
【００３４】
また、供給ステーション９は、位置決め部材３９によって受け部材２６を係止してワーク搬送台車１の位置決めを行うが、さらに、カプラ１６，１７またはカプラ３３，３４が自動調芯機構を備えることが望ましい。
【００３５】
ガスバッファタンク１３およびエアバッファタンク１４は、ワーク搬送台車１が軌条２を１周する間のディスプレイパネルの製造工程において消費する量の発光ガスおよび圧縮空気を供給できればよい。このため、ガスバッファタンク１３およびエアバッファタンク１４は、容積の大きいものや高圧のものでなくてもよい。また、ガスバッファタンク１３およびエアバッファタンク１４は、圧縮ガスおよび発光ガスの供給のために電動機を必要としないので、ワーク搬送台車１の消費電力が小さい。また、ワーク搬送台車１は、ガスバッファタンク１３およびエアバッファタンク１４が動力機構を有しないので、メンテナンスの頻度も低くてよい。
【００３６】
図３に、本発明の第２実施形態のフラットディスプレイパネル製造設備のワーク搬送台車１ａおよび供給ステーション９ａを示す。本実施形態のワーク搬送台車１ａは、構成上、ガスバッファタンク１３の受入流路２２が排気弁４０を介して真空ポンプ１２に接続されている点のみが第１実施形態と異なる。そこで、第１実施形態と同じ構成要素には同じ符号を付して、重複する説明を省略する。
【００３７】
本実施形態において、ワーク搬送台車１のガスバッファタンク１３に発光ガスを供給する際は、カプラ１６にカプラ３３を接続した後、受入流路２２の受入弁２０および供給流路２９の供給弁３６を開く前に、先ず排気弁４０を開放して、真空ポンプ１２によって受入流路２２の内部の空気を排気することで、ガスバッファタンク１３に空気が混入しないようにする。
【００３８】
さらに、図４に、本発明の第３実施形態のフラットディスプレイパネル製造設備のワーク搬送台車１ｂおよび供給ステーション９ｂを示す。本実施形態の構成は、供給ステーション９ｂに真空ポンプ４１が設置され、供給流路２９に排気弁４２を介して真空ポンプ４１が接続されている点が、第１実施形態と異なる。ここでも、第１実施形態と同じ構成要素には同じ符号を付して、重複する説明を省略する。
【００３９】
この真空ポンプ４１も、第２実施形態と同様に、受入流路２２のカプラ１６に供給流路２９のカプラ３３を接続した後、受入弁２０および供給弁３６を開いてガスバッファタンク１３に発光ガスを供給する前に、排気弁４２を開いて受入流路２２および供給流路２９の内部を真空引きして、発光ガスに空気が混入しないようにするものである。
【００４０】
本実施形態では、第２実施形態と異なり、受入流路２２および供給流路２９の内部を真空引きするために、各ワーク搬送台車１ｂに設けた真空ポンプ１２を用いず、供給ステーション９ｂに専用の真空ポンプ４１を設置したので、高真空を実現してより高いレベルで発光ガスに空気が混入することを防止できる。
【符号の説明】
【００４１】
１，１ａ，１ｂ…ワーク搬送台車
２…軌条
９，９ａ，９ｂ…供給ステーション
１１…ヘッド（ガスを消費する機器）
１２…真空ポンプ
１３…ガスバッファタンク
１４…エアバッファタンク
１６，１７…カプラ
１８，１９…逆止弁
２０，２１…受入弁
２２，２３…受入流路
２４，２５…レギュレータ
２７…ガスボンベ
２８…低露点空気圧縮機
２９，３０…供給流路
３１，３２…エアシリンダ
３３，３４…カプラ
３５…レギュレータ
３６，３７…供給弁
４０，４２…排気弁
４１…真空ポンプ
Ｐ…ガラス基板（ワーク）
Ｒ…レール
【図１】
2011079625.tif 000003
【図２】
2011079625.tif 000004
【図３】
2011079625.tif 000005
【図４】
2011079625.tif 000006