(57)【要約】【課題】計数誤差を補正する。【解決手段】張力・速度計測装置は、半導体レーザ１を発振させるレーザドライバ４と、半導体レーザ１の出力を電気信号に変換するフォトダイオード２の出力に含まれる干渉波形を数える計数装置７とを有する。計数装置７は、計数期間中の干渉波形の周期を測定し、この測定結果から計数期間中の干渉波形の周期の度数分布を作成し、この度数分布から、階級値と度数との積が最大となる階級値を干渉波形の周期の代表値Ｔ０とし、代表値Ｔ０の０．５倍未満である階級の度数の総和Ｎｓと、代表値Ｔ０の（ｎ＋０．５）倍以上（ｎ＋１．５）倍未満である階級の度数の総和Ｎｗnとを求め、これらの度数ＮｓとＮｗnに基づいて計数結果を補正する【選択図】  図１
2011007722.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
特定の物理量と信号の数とが線形の関係を有し、前記特定の物理量が一定の場合は略単一周波数となる前記信号を数える計数装置において、
一定の計数期間における入力信号の数を数える信号計数手段と、
前記計数期間中の前記入力信号の周期を信号が入力される度に測定する信号周期測定手段と、
この信号周期測定手段の測定結果から前記計数期間中の信号周期の度数分布を作成する度数分布作成手段と、
前記度数分布から、階級値と度数との積が最大となる階級値を前記信号周期の代表値として求める代表値算出手段と、
前記度数分布から、前記代表値の０．５倍未満である階級の度数の総和Ｎｓと、前記代表値の（ｎ＋０．５）倍以上（ｎ＋１．５）倍未満（ｎは１以上の自然数）である階級の度数の総和Ｎｗnとを求め、これらの度数ＮｓとＮｗnに基づいて前記信号計数手段の計数結果を補正する補正値算出手段とを備えることを特徴とする計数装置。
【請求項２】
請求項１記載の計数装置において、
前記補正値算出手段は、前記信号計数手段の計数結果をＮ、前記代表値をＴ０、前記信号周期がとり得る最大値をＴmaxとしたとき、補正後の計数結果Ｎ’を、
【数１】
2011007722.tif 000006
により求めることを特徴とする計数装置。
【請求項３】
測定対象にレーザ光を放射する半導体レーザと、
発振波長が連続的に単調増加する第１の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する第２の発振期間のうち少なくとも一方が繰り返し存在するように前記半導体レーザを動作させる発振波長変調手段と、
前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手段と、
この検出手段の出力信号を入力とし、前記第１の発振期間と前記第２の発振期間の各々を計数期間として、前記干渉波形の数を数える、請求項１または２記載の計数装置と、
この計数装置の計数結果から前記測定対象の物理量を求める演算手段とを備えることを特徴とする物理量センサ。
【請求項４】
特定の物理量と信号の数とが線形の関係を有し、前記特定の物理量が一定の場合は略単一周波数となる前記信号を数える計数方法において、
一定の計数期間における入力信号の数を数える信号計数手順と、
前記計数期間中の前記入力信号の周期を信号が入力される度に測定する信号周期測定手順と、
この信号周期測定手順の測定結果から前記計数期間中の信号周期の度数分布を作成する度数分布作成手順と、
前記度数分布から、階級値と度数との積が最大となる階級値を前記信号周期の代表値として求める代表値算出手順と、
前記度数分布から、前記代表値の０．５倍未満である階級の度数の総和Ｎｓと、前記代表値の（ｎ＋０．５）倍以上（ｎ＋１．５）倍未満（ｎは１以上の自然数）である階級の度数の総和Ｎｗnとを求め、これらの度数ＮｓとＮｗnに基づいて前記信号計数手順の計数結果を補正する補正値算出手順とを備えることを特徴とする計数方法。
【請求項５】
請求項４記載の計数方法において、
前記補正値算出手順は、前記信号計数手順の計数結果をＮ、前記代表値をＴ０、前記信号周期がとり得る最大値をＴmaxとしたとき、補正後の計数結果Ｎ’を、
【数２】
2011007722.tif 000007
により求めることを特徴とする計数方法。
【請求項６】
発振波長が連続的に単調増加する第１の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する第２の発振期間のうち少なくとも一方が繰り返し存在するように半導体レーザを動作させる発振手順と、
前記半導体レーザから放射されたレーザ光と測定対象からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手順と、
この検出手順で得られた出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記第１の発振期間と前記第２の発振期間の各々について数える信号抽出手順と、
この信号抽出手順の計数結果から前記測定対象の物理量を求める演算手順とを備え、
前記信号抽出手順は、前記検出手順で得られた出力信号を入力とし、前記第１の発振期間と前記第２の発振期間の各々を計数期間として、請求項４または５記載の各手順を用いることを特徴とする物理量計測方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、信号の数を数える計数装置、および計数装置を用いて干渉波形の数を測定し測定対象の物理量を求める干渉型の物理量センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体レーザの自己結合効果を用いた波長変調型のレーザ計測器が提案されている（特許文献１参照）。このレーザ計測器の構成を図２２に示す。図２２のレーザ計測器は、物体２１０にレーザ光を放射する半導体レーザ２０１と、半導体レーザ２０１の光出力を電気信号に変換するフォトダイオード２０２と、半導体レーザ２０１からの光を集光して物体２１０に照射すると共に、物体２１０からの戻り光を集光して半導体レーザ２０１に入射させるレンズ２０３と、半導体レーザ２０１に発振波長が連続的に増加する第１の発振期間と発振波長が連続的に減少する第２の発振期間とを交互に繰り返させるレーザドライバ２０４と、フォトダイオード２０２の出力電流を電圧に変換して増幅する電流−電圧変換増幅部２０５と、電流−電圧変換増幅部２０５の出力電圧を２回微分する信号抽出回路２０６と、信号抽出回路２０６の出力電圧に含まれるモードホップパルス（以下、ＭＨＰとする）の数を数える計数装置２０７と、物体２１０との距離および物体２１０の速度を算出する演算装置２０８と、演算装置２０８の算出結果を表示する表示装置２０９とを有する。
【０００３】
レーザドライバ２０４は、時間に関して一定の変化率で増減を繰り返す三角波駆動電流を注入電流として半導体レーザ２０１に供給する。これにより、半導体レーザ２０１は、発振波長が一定の変化率で連続的に増加する第１の発振期間と発振波長が一定の変化率で連続的に減少する第２の発振期間とを交互に繰り返すように駆動される。図２３は、半導体レーザ２０１の発振波長の時間変化を示す図である。図２３において、Ｐ１は第１の発振期間、Ｐ２は第２の発振期間、λａは各期間における発振波長の最小値、λｂは各期間における発振波長の最大値、Ｔｔは三角波の周期である。
【０００４】
半導体レーザ２０１から出射したレーザ光は、レンズ２０３によって集光され、物体２１０に入射する。物体２１０で反射された光は、レンズ２０３によって集光され、半導体レーザ２０１に入射する。フォトダイオード２０２は、半導体レーザ２０１の光出力を電流に変換する。電流−電圧変換増幅部２０５は、フォトダイオード２０２の出力電流を電圧に変換して増幅し、信号抽出回路２０６は、電流−電圧変換増幅部２０５の出力電圧を２回微分する。計数装置２０７は、信号抽出回路２０６の出力電圧に含まれるＭＨＰの数を第１の発振期間Ｐ１と第２の発振期間Ｐ２の各々について数える。演算装置２０８は、半導体レーザ１の最小発振波長λａと最大発振波長λｂと第１の発振期間Ｐ１におけるＭＨＰの数と第２の発振期間Ｐ２におけるＭＨＰの数に基づいて、物体２１０との距離および物体２１０の速度を算出する。
【０００５】
以上のようなレーザ計測器では、例えば外乱光などのノイズをＭＨＰとして数えたり、信号の歯抜けのために数えられないＭＨＰがあったりして、計数装置で数えるＭＨＰの数に誤差が生じ、算出した距離等の物理量に誤差が生じるという問題点があった。
そこで、発明者は、計数期間中のＭＨＰの周期を測定し、測定結果から計数期間中の周期の度数分布を作成し、度数分布からＭＨＰの周期の代表値を算出し、度数分布から、代表値の第１の所定数倍以下である階級の度数の総和Ｎｓと、代表値の第２の所定数倍以上である階級の度数の総和Ｎｗとを求め、これらの度数ＮｓとＮｗに基づいてＭＨＰの計数結果を補正することにより、計数時の欠落や過剰な計数の影響を除去することができる計数装置を提案した（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−３１３０８０号公報
【特許文献２】特開２００９−４７６７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献２に開示された計数装置によれば、ＳＮ（Signal to Noise ratio）が極端に低下しない限り、概ね良好な補正を行うことができる。
しかしながら、特許文献２に開示された計数装置では、短距離測定で信号強度がヒステリシス幅と比較して極端に強い場合、計数装置に入力される信号に２値化のしきい値付近でＭＨＰよりも高周波のノイズによってチャタリングが生じ、短い周期の信号やＭＨＰの本来の周期の半分程度の周期の信号が多発する場合がある。この場合、ＭＨＰの本来の周期よりも短い周期が周期の分布の代表値になってしまうので、ＭＨＰの計数結果を正しく補正することができず、ＭＨＰの計数結果が本来の値よりも例えば数倍大きくなってしまうという問題点があった。
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、計数装置に入力される信号に高周波のノイズが連続して発生している場合であっても、計数誤差を補正することができる計数装置および計数方法、ＭＨＰの計数誤差を補正して物理量の測定精度を向上させることができる物理量センサおよび物理量計測方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、特定の物理量と信号の数とが線形の関係を有し、前記特定の物理量が一定の場合は略単一周波数となる前記信号を数える計数装置において、一定の計数期間における入力信号の数を数える信号計数手段と、前記計数期間中の前記入力信号の周期を信号が入力される度に測定する信号周期測定手段と、この信号周期測定手段の測定結果から前記計数期間中の信号周期の度数分布を作成する度数分布作成手段と、前記度数分布から、階級値と度数との積が最大となる階級値を前記信号周期の代表値として求める代表値算出手段と、前記度数分布から、前記代表値の０．５倍未満である階級の度数の総和Ｎｓと、前記代表値の（ｎ＋０．５）倍以上（ｎ＋１．５）倍未満（ｎは１以上の自然数）である階級の度数の総和Ｎｗnとを求め、これらの度数ＮｓとＮｗnに基づいて前記信号計数手段の計数結果を補正する補正値算出手段とを備えることを特徴とするものである。
また、本発明の計数装置の１構成例において、前記補正値算出手段は、前記信号計数手段の計数結果をＮ、前記代表値をＴ０、前記信号周期がとり得る最大値をＴmaxとしたとき、補正後の計数結果Ｎ’を、
【数１】
2011007722.tif 000003
により求めることを特徴とするものである。
【００１０】
また、本発明の物理量センサは、測定対象にレーザ光を放射する半導体レーザと、発振波長が連続的に単調増加する第１の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する第２の発振期間のうち少なくとも一方が繰り返し存在するように前記半導体レーザを動作させる発振波長変調手段と、前記半導体レーザから放射されたレーザ光と前記測定対象からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手段と、この検出手段の出力信号を入力とし、前記第１の発振期間と前記第２の発振期間の各々を計数期間として、前記干渉波形の数を数える計数装置と、この計数装置の計数結果から前記測定対象の物理量を求める演算手段とを備えることを特徴とするものである。
【００１１】
また、本発明は、特定の物理量と信号の数とが線形の関係を有し、前記特定の物理量が一定の場合は略単一周波数となる前記信号を数える計数方法において、一定の計数期間における入力信号の数を数える信号計数手順と、前記計数期間中の前記入力信号の周期を信号が入力される度に測定する信号周期測定手順と、この信号周期測定手順の測定結果から前記計数期間中の信号周期の度数分布を作成する度数分布作成手順と、前記度数分布から、階級値と度数との積が最大となる階級値を前記信号周期の代表値として求める代表値算出手順と、前記度数分布から、前記代表値の０．５倍未満である階級の度数の総和Ｎｓと、前記代表値の（ｎ＋０．５）倍以上（ｎ＋１．５）倍未満（ｎは１以上の自然数）である階級の度数の総和Ｎｗnとを求め、これらの度数ＮｓとＮｗnに基づいて前記信号計数手順の計数結果を補正する補正値算出手順とを備えることを特徴とするものである。
【００１２】
また、本発明の物理量計測方法は、発振波長が連続的に単調増加する第１の発振期間と発振波長が連続的に単調減少する第２の発振期間のうち少なくとも一方が繰り返し存在するように半導体レーザを動作させる発振手順と、前記半導体レーザから放射されたレーザ光と測定対象からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手順と、この検出手順で得られた出力信号に含まれる前記干渉波形の数を、前記第１の発振期間と前記第２の発振期間の各々について数える信号抽出手順と、この信号抽出手順の計数結果から前記測定対象の物理量を求める演算手順とを備え、前記信号抽出手順は、前記検出手順で得られた出力信号を入力とし、前記第１の発振期間と前記第２の発振期間の各々を計数期間として、信号計数手順と信号周期測定手順と度数分布作成手順と代表値算出手順と補正値算出手順の各手順を用いることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、計数期間中の入力信号の周期を測定し、この測定結果から計数期間中の信号周期の度数分布を作成し、度数分布から、階級値と度数との積が最大となる階級値を信号周期の代表値として求め、度数分布から、代表値の０．５倍未満である階級の度数の総和Ｎｓと、代表値の（ｎ＋０．５）倍以上（ｎ＋１．５）倍未満（ｎは１以上の自然数）である階級の度数の総和Ｎｗnとを求め、これらの度数ＮｓとＮｗnに基づいて信号計数手段の計数結果を補正することにより、計数装置に入力される信号に高周波のノイズが連続して発生している場合であっても、計数誤差を高精度に補正することができる。
【００１４】
また、本発明では、計数誤差を高精度に補正可能な計数装置を用いることにより、計数装置に入力される信号に干渉波形よりも高周波のノイズが連続して発生している場合であっても、測定対象の物理量を高精度に計測することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る物理量センサの１例である振動周波数計測装置の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態における電流−電圧変換増幅部の出力電圧波形およびフィルタ部の出力電圧波形を模式的に示す波形図である。
【図３】モードホップパルスについて説明するための図である。
【図４】半導体レーザの発振波長とフォトダイオードの出力波形との関係を示す図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態における計数装置と演算装置の動作を示すフローチャートである。
【図６】本発明の第１の実施の形態における計数装置の構成の１例を示すブロック図である。
【図７】本発明の第１の実施の形態における計数装置の計数結果補正部の構成の１例を示すブロック図である。
【図８】本発明の第１の実施の形態における計数装置の動作を説明するための図である。
【図９】モードホップパルスの周期の度数分布の１例を示す図である。
【図１０】本発明の第１の実施の形態におけるカウンタの計数結果の補正原理を説明するための図である。
【図１１】本発明の第１の実施の形態における演算装置の構成の１例を示すブロック図である。
【図１２】本発明の第１の実施の形態における演算装置の２値化部の動作を説明するための図である。
【図１３】本発明の第１の実施の形態における演算装置の周期測定部の動作を説明するための図である。
【図１４】本発明の第１の実施の形態における計数装置の計数結果を２値化した２値化出力の周期の度数分布の１例を示す図である。
【図１５】本発明の第１の実施の形態における演算装置のカウンタの計数結果の補正に用いる度数を模式的に表す図である。
【図１６】物体の振動の最大速度と物体との距離の比が半導体レーザの波長変化率よりも小さい場合に、本発明の第１の実施の形態に係る振動周波数計測装置で得られる信号を説明するための図である。
【図１７】図１６の２値化出力に応じて作成される周期の度数分布を示す図である。
【図１８】物体の振動の最大速度と物体との距離の比が半導体レーザの波長変化率よりも大きい場合に、本発明の第１の実施の形態に係る振動周波数計測装置で得られる信号を説明するための図である。
【図１９】本発明の第２の実施の形態における演算装置の構成の１例を示すブロック図である。
【図２０】本発明の第２の実施の形態における計数装置と演算装置の動作を示すフローチャートである。
【図２１】本発明の第３の実施の形態に係る物理量センサの１例である振動周波数計測装置の構成を示すブロック図である。
【図２２】従来のレーザ計測器の構成を示すブロック図である。
【図２３】図２２のレーザ計測器における半導体レーザの発振波長の時間変化の１例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
［第１の実施の形態］
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は本発明の第１の実施の形態に係る物理量センサの１例である振動周波数計測装置の構成を示すブロック図である。
図１の振動周波数計測装置は、測定対象の物体１０にレーザ光を放射する半導体レーザ１と、半導体レーザ１の光出力を電気信号に変換するフォトダイオード２と、半導体レーザ１からの光を集光して放射すると共に、物体１０からの戻り光を集光して半導体レーザ１に入射させるレンズ３と、半導体レーザ１を駆動する発振波長変調手段となるレーザドライバ４と、フォトダイオード２の出力電流を電圧に変換して増幅する電流−電圧変換増幅部５と、電流−電圧変換増幅部５の出力電圧から搬送波を除去するフィルタ部６と、フィルタ部６の出力電圧に含まれる自己結合信号であるモードホップパルス（ＭＨＰ）の数を数える計数装置７と、計数装置７の計数結果に基づいて物体１０の振動周波数を求める演算装置８と、演算装置８の計測結果を表示する表示装置９とを有する。
【００１７】
フォトダイオード２と電流−電圧変換増幅部５とは、検出手段を構成している。以下、説明容易にするために、半導体レーザ１には、モードホッピング現象を持たない型（ＶＣＳＥＬ型、ＤＦＢレーザ型）のものが用いられているものと想定する。
【００１８】
レーザドライバ４は、時間に関して一定の変化率で増減を繰り返す三角波駆動電流を注入電流として半導体レーザ１に供給する。これにより、半導体レーザ１は、注入電流の大きさに比例して発振波長が一定の変化率で連続的に増加する第１の発振期間Ｐ１と発振波長が一定の変化率で連続的に減少する第２の発振期間Ｐ２とを交互に繰り返すように駆動される。このときの半導体レーザ１の発振波長の時間変化は、図２３に示したとおりである。本実施の形態では、発振波長の最大値λｂ及び発振波長の最小値λａはそれぞれ常に一定になされており、それらの差λｂ−λａも常に一定になされている。
【００１９】
半導体レーザ１から出射したレーザ光は、レンズ３によって集光され、物体１０に入射する。物体１０で反射された光は、レンズ３によって集光され、半導体レーザ１に入射する。ただし、レンズ３による集光は必須ではない。フォトダイオード２は、半導体レーザ１の内部又はその近傍に配置され、半導体レーザ１の光出力を電流に変換する。電流−電圧変換増幅部５は、フォトダイオード２の出力電流を電圧に変換して増幅する。
【００２０】
フィルタ部６は、変調波から重畳信号を抽出する機能を有するものである。図２（Ａ）は電流−電圧変換増幅部５の出力電圧波形を模式的に示す図、図２（Ｂ）はフィルタ部６の出力電圧波形を模式的に示す図である。これらの図は、フォトダイオード２の出力に相当する図２（Ａ）の波形（変調波）から、図２の半導体レーザ１の発振波形（搬送波）を除去して、図２（Ｂ）のＭＨＰ波形（干渉波形）を抽出する過程を表している。
【００２１】
ここで、自己結合信号であるＭＨＰについて説明する。図３に示すように、ミラー層１０１３から物体１０までの距離をＬ、レーザの発振波長をλとすると、以下の共振条件を満足するとき、物体１０からの戻り光と半導体レーザ１の光共振器内のレーザ光は強め合い、レーザ出力がわずかに増加する。
Ｌ＝ｑλ／２                                                    ・・・（１）
式（１）において、ｑは整数である。この現象は、物体１０からの散乱光が極めて微弱であっても、半導体レーザ１の共振器内の見かけの反射率が増加することにより、増幅作用が生じ、十分観測できる。
【００２２】
図４は、半導体レーザ１の発振波長をある一定の割合で変化させたときの発振波長とフォトダイオード２の出力波形との関係を示す図である。式（１）に示したＬ＝ｑλ／２を満足したときに、戻り光と光共振器内のレーザ光の位相差が０°（同位相）になって、戻り光と光共振器内のレーザ光とが最も強め合い、Ｌ＝ｑλ／２＋λ／４のときに、位相差が１８０°（逆位相）になって、戻り光と光共振器内のレーザ光とが最も弱め合う。そのため、半導体レーザ１の発振波長を変化させていくと、レーザ出力が強くなるところと弱くなるところとが交互に繰り返し現れ、このときのレーザ出力をフォトダイオード２で検出すると、図４に示すように一定周期の階段状の波形が得られる。このような波形は一般的には干渉縞と呼ばれる。この階段状の波形、すなわち干渉縞の１つ１つがＭＨＰである。ある一定時間において半導体レーザ１の発振波長を変化させた場合、測定距離に比例してＭＨＰの数は変化する。
【００２３】
次に、計数装置７と演算装置８の動作について説明する。図５は計数装置７と演算装置８の動作を示すフローチャートである。
次に、計数装置７は、フィルタ部６の出力電圧に含まれるＭＨＰの数を第１の発振期間Ｐ１と第２の発振期間Ｐ２の各々について数える（図５ステップＳ１）。図６は計数装置７の構成の１例を示すブロック図である。計数装置７は、２値化部７１と、論理積演算部（ＡＮＤ）７２と、カウンタ７３と、計数結果補正部７４と、記憶部７５とから構成される。電流−電圧変換増幅部５とフィルタ部６と計数装置７の２値化部７１とＡＮＤ７２とカウンタ７３とは、信号計数手段を構成している。
【００２４】
図７は計数結果補正部７４の構成の１例を示すブロック図である。計数結果補正部７４は、周期測定部７４０と、度数分布作成部７４１と、代表値算出部７４２と、補正値算出部７４３とから構成される。
【００２５】
図８（Ａ）〜図８（Ｆ）は計数装置７の動作を説明するための図であり、図８（Ａ）はフィルタ部６の出力電圧の波形、すなわちＭＨＰの波形を模式的に示す図、図８（Ｂ）は図８（Ａ）に対応する２値化部７１の出力を示す図、図８（Ｃ）は計数装置７に入力されるゲート信号ＧＳを示す図、図８（Ｄ）は図８（Ｂ）に対応するカウンタ７３の計数結果を示す図、図８（Ｅ）は計数装置７に入力されるクロック信号ＣＬＫを示す図、図８（Ｆ）は図８（Ｂ）に対応する周期測定部７４０の測定結果を示す図である。
【００２６】
まず、計数装置７の２値化部７１は、図８（Ａ）に示すフィルタ部６の出力電圧がハイレベル（Ｈ）かローレベル（Ｌ）かを判定して、図８（Ｂ）のような判定結果を出力する。このとき、２値化部７１は、フィルタ部６の出力電圧が上昇してしきい値ＴＨ１以上になったときにハイレベルと判定し、フィルタ部６の出力電圧が下降してしきい値ＴＨ２（ＴＨ２＜ＴＨ１）以下になったときにローレベルと判定することにより、フィルタ部６の出力を２値化する。
【００２７】
ＡＮＤ７２は、２値化部７１の出力と図８（Ｃ）のようなゲート信号ＧＳとの論理積演算の結果を出力し、カウンタ７３は、ＡＮＤ７２の出力の立ち上がりをカウントする（図８（Ｄ））。ここで、ゲート信号ＧＳは、計数期間（本実施の形態では第１の発振期間Ｐ１または第２の発振期間Ｐ２）の先頭で立ち上がり、計数期間の終わりで立ち下がる信号である。したがって、カウンタ７３は、計数期間中のＡＮＤ７２の出力の立ち上がりエッジの数（すなわち、ＭＨＰの立ち上がりエッジの数）を数えることになる。
【００２８】
一方、計数結果補正部７４の周期測定部７４０は、計数期間中のＡＮＤ７２の出力の立ち上がりエッジの周期（すなわち、ＭＨＰの周期）を立ち上がりエッジが発生する度に測定する。このとき、周期測定部７４０は、図８（Ｅ）に示すクロック信号ＣＬＫの周期を１単位としてＭＨＰの周期を測定する。図８（Ｆ）の例では、周期測定部７４０は、ＭＨＰの周期としてＴα，Ｔβ，Ｔγを順次測定している。図８（Ｅ）、図８（Ｆ）から明らかなように、周期Ｔα，Ｔβ，Ｔγの大きさは、それぞれ５クロック、４クロック、２クロックである。クロック信号ＣＬＫの周波数は、ＭＨＰの取り得る最高周波数に対して十分に高いものとする。
記憶部７５は、カウンタ７３の計数結果と周期測定部７４０の測定結果を記憶する。
【００２９】
ゲート信号ＧＳが立ち下がり、計数期間が終了した後、計数結果補正部７４の度数分布作成部７４１は、記憶部７５に記憶された測定結果から計数期間中のＭＨＰの周期の度数分布を作成する。
続いて、計数結果補正部７４の代表値算出部７４２は、度数分布作成部７４１が作成した度数分布から、ＭＨＰの周期の代表値Ｔ０を算出する。特許文献２に開示された計数装置では、ＭＨＰの周期の代表値として最頻値や中央値を用いたが、計数装置に入力される信号に２値化のしきい値付近でＭＨＰよりも高周波のノイズによってチャタリングが連続して発生している場合には、最頻値や中央値は周期の代表値として適していない。
【００３０】
そこで、本実施の形態の代表値算出部７４２は、階級値と度数との積が最大となる階級値をＭＨＰの周期の代表値Ｔ０とする。表１に、度数分布の数値例およびこの数値例における階級値と度数との積を示す。
【００３１】
【表１】
2011007722.tif 000004
【００３２】
表１の例では、度数が最大である最頻値（階級値）は１である。これに対して、階級値と度数との積が最大となる階級値は６であり、最頻値とは異なる値になっている。階級値と度数との積が最大となる階級値を代表値Ｔ０とする理由については後述する。代表値算出部７４２は、このような代表値Ｔ０の算出を、度数分布作成部７４１によって度数分布が作成される度に行う。
【００３３】
計数結果補正部７４の補正値算出部７４３は、度数分布作成部７４１が作成した度数分布から、周期の代表値Ｔ０の０．５倍未満である階級の度数の総和Ｎｓと、周期の代表値Ｔ０の（ｎ＋０．５）倍以上（ｎ＋１．５）倍未満（ｎは１以上ｎmax以下の自然数）である階級の度数の総和Ｎｗnとを求め、カウンタ７３の計数結果を次式のように補正する。
【００３４】
【数２】
2011007722.tif 000005
【００３５】
式（２）において、Ｎはカウンタ７３の計数結果であるＭＨＰの数、Ｎ’は補正後の計数結果、ＴmaxはＭＨＰの周期がとり得る最大値である。
図９にＭＨＰの周期の度数分布の１例を示す。図９において、９００はＭＨＰの周期の度数分布、９０１は階級値と度数との積の値（計数期間において、ある階級の信号が占める時間を示す占有値）である。
【００３６】
図９の例では、計数装置に入力される信号に高周波のノイズが連続して発生しているために、０．５Ｔ０未満の短い周期が分布の最頻値となっている。したがって、分布の代表値として最頻値を用いると、ノイズの周期を基準としてＭＨＰの計数結果に補正をかけてしまうことになるので、誤った計数補正を施す結果になる。そこで、ＭＨＰの数を数える計数期間において、ある階級の信号が占める時間、つまり階級値と度数との積が最も大きい階級値を基準として、カウンタ７３の計数結果を補正する。以上が、階級値と度数との積が最大となる階級値を代表値Ｔ０とする理由である。
【００３７】
図１０はカウンタ７３の計数結果の補正原理を説明するための図であり、図１０（Ａ）はフィルタ部６の出力電圧の波形、すなわちＭＨＰの波形を模式的に示す図、図１０（Ｂ）は図１０（Ａ）に対応するカウンタ７３の計数結果を示す図である。
ノイズのために、ＭＨＰの波形には欠落が生じたり、信号として数えるべきでない波形が生じたりして、結果としてＡＮＤ７２の出力の波形にも欠落や信号として数えるべきでない波形が生じ、カウンタ７３の計数結果に誤差が生じる。
【００３８】
信号の欠落が生じると、欠落が生じた箇所でのＭＨＰの周期Ｔｗは、本来の周期のおよそ２倍になる。つまり、ＭＨＰの周期が代表値Ｔ０のおよそ２倍以上の場合には、信号に欠落が生じていると判断できる。そこで、周期Ｔｗ以上の階級の度数の総和Ｎｗを信号が欠落した回数と見なし、このＮｗをカウンタ７３の計数結果Ｎに加算することで、信号の欠落を補正することができる。
【００３９】
また、本来１つのＭＨＰがノイズのために２つに分割された箇所での２つのＭＨＰのうち短いほうの周期Ｔｓは、本来の周期のおよそ０．５倍よりも短い周期になる。つまり、ＭＨＰの周期が代表値Ｔ０の０．５倍未満の場合には、信号を過剰に数えていると判断できる。そこで、周期Ｔｓ未満の階級の度数の総和Ｎｓを信号を過剰に数えた回数と見なし、このＮｓをカウンタ７３の計数結果Ｎから減算することで、誤って数えたノイズを補正することができる。
【００４０】
以上が、式（２）に示した計数結果の補正原理である。なお、本実施の形態では、Ｔｗを代表値Ｔ０の２倍の値とせずに、代表値Ｔ０の（ｎ＋０．５）倍以上（ｎ＋１．５）倍未満としているが、この理由については、特許文献２に開示されている。
計数装置７は、以上のような処理を第１の発振期間Ｐ１と第２の発振期間Ｐ２の各々について行う。
【００４１】
次に、演算装置８は、計数装置７が数えたＭＨＰの数に基づいて物体１０の振動周波数を算出する。図１１は演算装置８の構成の１例を示すブロック図である。演算装置８は、計数装置７の計数結果等を記憶する記憶部８０と、計数装置７の計数結果を２値化する２値化部８１と、２値化部８１から出力された２値化出力の周期を測定する周期測定部８２と、２値化出力の周期の度数分布を作成する度数分布作成部８３と、２値化出力の周期の分布の代表値である基準周期を算出する基準周期算出部８４と、２値化出力のパルスの数を数える２値化出力計数手段となるカウンタ８５と、カウンタ８５の計数結果を補正する補正部８６と、補正された計数結果に基づいて物体１０の振動周波数を算出する周波数算出部８７とから構成される。
【００４２】
計数装置７の計数結果は、演算装置８の記憶部８０に格納される。演算装置８の２値化部８１は、記憶部８０に格納された、計数装置７の計数結果を２値化する（図５ステップＳ２）。図１２は２値化部８１の動作を説明するための図であり、図１２（Ａ）は半導体レーザ１の発振波長の時間変化を示す図、図１２（Ｂ）は計数装置７の計数結果の時間変化を示す図、図１２（Ｃ）は２値化部８１の出力Ｄ（ｔ）を示す図である。図１２（Ｂ）において、Ｎ’ｕは第１の発振期間Ｐ１の計数結果、Ｎ’ｄは第２の発振期間Ｐ２の計数結果である。
【００４３】
２値化部８１は、時間的に隣接する２つの発振期間Ｐ１，Ｐ２の計数結果Ｎ’ｕとＮ’ｄの大小を比較して、これらの計数結果を２値化する。２値化部８１は、具体的には以下の式を実行する。
Ｉｆ  Ｎ’ｕ（ｔ）≧Ｎ’ｄ（ｔ−１）  ｔｈｅｎ  Ｄ（ｔ）＝１    ・・・（３）
Ｉｆ  Ｎ’ｕ（ｔ）＜Ｎ’ｄ（ｔ−１）  ｔｈｅｎ  Ｄ（ｔ）＝０    ・・・（４）
Ｉｆ  Ｎ’ｄ（ｔ）≦Ｎ’ｕ（ｔ−１）  ｔｈｅｎ  Ｄ（ｔ）＝１    ・・・（５）
Ｉｆ  Ｎ’ｄ（ｔ）＞Ｎ’ｕ（ｔ−１）  ｔｈｅｎ  Ｄ（ｔ）＝０    ・・・（６）
【００４４】
式（３）〜式（６）において、（ｔ）は現時刻ｔにおいて計測されたＭＨＰの数であることを表し、（ｔ−１）は現時刻ｔの１回前に計測されたＭＨＰの数であることを表している。式（３）、式（４）は、現時刻ｔの計数結果が第１の発振期間Ｐ１の計数結果Ｎ’ｕで、１回前の計数結果が第２の発振期間Ｐ２の計数結果Ｎ’ｄの場合である。この場合、２値化部８１は、現時刻ｔの計数結果Ｎ’ｕ（ｔ）が１回前の計数結果Ｎ’ｄ（ｔ−１）以上であれば、現時刻ｔの出力Ｄ（ｔ）を「１」（ハイレベル）とし、現時刻ｔの計数結果Ｎ’ｕ（ｔ）が１回前の計数結果Ｎ’ｄ（ｔ−１）より小さい場合は、現時刻ｔの出力Ｄ（ｔ）を「０」（ローレベル）とする。
【００４５】
式（５）、式（６）は、現時刻ｔの計数結果が第２の発振期間Ｐ２の計数結果Ｎ’ｄで、１回前の計数結果が第１の発振期間Ｐ１の計数結果Ｎ’ｕの場合である。この場合、２値化部８１は、現時刻ｔの計数結果Ｎ’ｄ（ｔ）が１回前の計数結果Ｎ’ｕ（ｔ−１）以下であれば、現時刻ｔの出力Ｄ（ｔ）を「１」とし、現時刻ｔの計数結果Ｎ’ｄ（ｔ）が１回前の計数結果Ｎ’ｕ（ｔ−１）より大きい場合は、現時刻ｔの出力Ｄ（ｔ）を「０」とする。
【００４６】
こうして、計数装置７の計数結果は２値化される。２値化部８１の出力Ｄ（ｔ）は記憶部８０に格納される。２値化部８１は、以上のような２値化処理を、計数装置７によってＭＨＰの数が測定される時刻毎（発振期間毎）に行う。
【００４７】
計数装置７の計数結果を２値化することは、物体１０の変位の方向を判別することを意味する。つまり、半導体レーザ１の発振波長が増加しているときの計数結果Ｎ’ｕが、発振波長が減少しているときの計数結果Ｎ’ｄ以上の場合（Ｄ（ｔ）＝１）、物体１０の移動方向は半導体レーザ１に接近する方向であり、計数結果Ｎ’ｕが計数結果Ｎ’ｄより小さい場合（Ｄ（ｔ）＝０）、物体１０の移動方向は半導体レーザ１から遠ざかる方向である。したがって、基本的には図１２（Ｃ）に示した２値化出力の周期を求めることができれば、物体１０の振動周波数を算出することができる。
【００４８】
周期測定部８２は、記憶部８０に格納された２値化出力Ｄ（ｔ）の周期を測定する（図５ステップＳ３）。図１３は周期測定部８２の動作を説明するための図である。図１３において、Ｈ１は２値化出力Ｄ（ｔ）の立ち上がりを検出するためのしきい値、Ｈ２は２値化出力Ｄ（ｔ）の立ち下がりを検出するためのしきい値である。
【００４９】
周期測定部８２は、記憶部８０に格納された２値化出力Ｄ（ｔ）をしきい値Ｈ１と比較することにより、２値化出力Ｄ（ｔ）の立ち上がりを検出し、２値化出力Ｄ（ｔ）の立ち上がりから次の立ち上がりまでの時間ｔｕｕを測定することにより、２値化出力Ｄ（ｔ）の周期を測定する。周期測定部８２は、このような測定を２値化出力Ｄ（ｔ）に立ち上がりエッジが発生する度に行う。
【００５０】
あるいは、周期測定部８２は、記憶部８０に格納された２値化出力Ｄ（ｔ）をしきい値Ｈ２と比較することにより、２値化出力Ｄ（ｔ）の立ち下がりを検出し、２値化出力Ｄ（ｔ）の立ち下がりから次の立ち下がりまでの時間ｔｄｄを測定することにより、２値化出力Ｄ（ｔ）の周期を測定してもよい。周期測定部８２は、このような測定を２値化出力Ｄ（ｔ）に立ち下がりエッジが発生する度に行う。
【００５１】
周期測定部８２の測定結果は記憶部８０に格納される。次に、度数分布作成部８３は、周期測定部８２の測定結果から、一定時間Ｔ（Ｔ＞Ｔｔであり、例えば１００×Ｔｔ、すなわち三角波１００個分の時間）における周期の度数分布を作成する（図５ステップＳ４）。図１４は度数分布の１例を示す図である。度数分布作成部８３が作成した度数分布は、記憶部８０に格納される。度数分布作成部８３は、このような度数分布の作成をＴ時間毎に行う。
【００５２】
続いて、基準周期算出部８４は、度数分布作成部８３が作成した度数分布から、２値化出力Ｄ（ｔ）の周期の代表値である基準周期Ｔｒを算出する（図５ステップＳ５）。一般に、周期の代表値は最頻値や中央値であるが、本実施の形態においては、最頻値や中央値が周期の代表値として適していない。そこで、基準周期算出部８４は、階級値と度数との積が最大となる階級値を基準周期Ｔｒとする。階級値と度数との積が最大となる階級値を基準周期Ｔｒとする理由については後述する。算出された基準周期Ｔｒの値は、記憶部８０に格納される。基準周期算出部８４は、このような基準周期Ｔｒの算出を、度数分布作成部８３によって度数分布が作成される度に行う。
【００５３】
一方、カウンタ８５は、周期測定部８２および度数分布作成部８３と並行して動作し、度数分布作成部８３が度数分布作成の対象とする期間と同じ一定時間Ｔの期間において、２値化出力Ｄ（ｔ）の立ち上がりエッジの数Ｎａ（すなわち、２値化出力Ｄ（ｔ）の「１」のパルスの数）を数える（図５ステップＳ６）。カウンタ８５の計数結果Ｎａは、記憶部８０に格納される。カウンタ８５は、このような２値化出力Ｄ（ｔ）の計数をＴ時間毎に行う。
【００５４】
補正部８６は、度数分布作成部８３が作成した度数分布から、基準周期Ｔｒの０．５倍以下である階級の度数の総和Ｎｓａと、基準周期Ｔｒの１．５倍以上である階級の度数の総和Ｎｗａとを求め、カウンタ８５の計数結果Ｎａを次式のように補正する（図５ステップＳ７）。
Ｎａ’＝Ｎａ−Ｎｓａ＋Ｎｗａ                                    ・・・（７）
式（７）において、Ｎａ’は補正後の計数結果である。この補正後の計数結果Ｎａ’は、記憶部８０に格納される。補正部８６は、このような補正をＴ時間毎に行う。
【００５５】
図１５は度数の総和ＮｓａとＮｗａを模式的に表す図である。図１５において、Ｔｓａは基準周期Ｔｒの０．５倍の階級値、Ｔｗａは基準周期Ｔｒの１．５倍の階級値である。図１５における階級が、周期の代表値であることは言うまでもない。なお、図１５では記載を簡略化するため、基準周期ＴｒとＴｓａとの間、及び基準周期ＴｒとＴｗａとの間の度数分布を省略している。
【００５６】
式（７）に示した計数結果の補正原理は、特許文献２に開示された計数結果の補正原理や、式（２）に示した計数結果の補正原理と同様なので、簡単に説明する。本来、２値化出力Ｄ（ｔ）の周期は物体１０の振動周波数によって異なるが、物体１０の振動周波数が不変であれば、２値化出力Ｄ（ｔ）のパルスは同じ周期で出現する。しかし、ノイズのために、ＭＨＰの波形には欠落が生じたり、信号として数えるべきでない波形が生じたりして、結果として２値化出力Ｄ（ｔ）の波形にも欠落や信号として数えるべきでない波形が生じ、２値化出力Ｄ（ｔ）のパルスの計数結果に誤差が生じる。
【００５７】
信号の欠落が生じると、欠落が生じた箇所での２値化出力Ｄ（ｔ）の周期Ｔｗａは、本来の周期のおよそ２倍になる。つまり、２値化出力Ｄ（ｔ）の周期が基準周期Ｔｒのおよそ２倍以上の場合には、信号に欠落が生じていると判断できる。そこで、周期Ｔｗａ以上の階級の度数の総和Ｎｗａを信号が欠落した回数と見なし、このＮｗａをカウンタ８５の計数結果Ｎａに加算することで、信号の欠落を補正することができる。
【００５８】
また、スパイクノイズなどによって本来の信号が分割された箇所での２値化出力Ｄ（ｔ）の周期Ｔｓａは、本来の周期と比較して０．５倍よりも短い信号と０．５倍よりも長い信号の２つになる。つまり、２値化出力Ｄ（ｔ）の周期が基準周期Ｔｒのおよそ０．５倍以下の場合には、信号を過剰に数えていると判断できる。そこで、周期Ｔｓａ以下の階級の度数の総和Ｎｓａを信号を過剰に数えた回数と見なし、このＮｓａをカウンタ８５の計数結果Ｎａから減算することで、誤って数えたノイズを補正することができる。以上が、式（７）に示した計数結果の補正原理である。
【００５９】
周波数算出部８７は、補正部８６が計算した補正後の計数結果Ｎａ’に基づいて、物体１０の振動周波数ｆｓｉｇを次式のように算出する（図５ステップＳ８）。
ｆｓｉｇ＝Ｎａ’／Ｔ                                            ・・・（８）
表示装置９は、演算装置８が算出した振動周波数ｆｓｉｇの値を表示する。
【００６０】
以上のように、本実施の形態では、計数期間中のＭＨＰの周期を測定し、この測定結果から計数期間中のＭＨＰの周期の度数分布を作成し、この度数分布から、階級値と度数との積が最大となる階級値をＭＨＰの周期の代表値Ｔ０とし、代表値Ｔ０の０．５倍未満である階級の度数の総和Ｎｓと、代表値Ｔ０の（ｎ＋０．５）倍以上（ｎ＋１．５）倍未満である階級の度数の総和Ｎｗnとを求め、これらの度数ＮｓとＮｗnに基づいてカウンタ７３の計数結果を補正することにより、計数装置に入力される信号にＭＨＰよりも高周波のノイズが連続して発生している場合であっても、ＭＨＰの計数誤差を高精度に補正することができるので、物体１０の振動周波数の計測精度を向上させることができる。
【００６１】
また、本実施の形態では、時間的に隣接する第１、第２の発振期間Ｐ１，Ｐ２の計数結果の大小を比較してＭＨＰの計数結果を２値化し、２値化出力Ｄ（ｔ）の周期を測定して一定時間Ｔにおける周期の度数分布を作成し、周期の度数分布から２値化出力Ｄ（ｔ）の周期の分布の代表値である基準周期Ｔｒを算出し、一定時間Ｔの期間において２値化出力Ｄ（ｔ）のパルスの数を数え、度数分布から、基準周期Ｔｒの０．５倍以下である階級の度数の総和Ｎｓａと基準周期Ｔｒの１．５倍以上である階級の度数の総和Ｎｗａとを求め、これらの度数ＮｓａとＮｗａに基づいて２値化出力Ｄ（ｔ）のパルスの計数結果を補正することにより、２値化出力Ｄ（ｔ）の計数誤差を補正することができるので、物体１０の振動周波数の計測精度を向上させることができる。
【００６２】
次に、基準周期算出部８４が、階級値と度数との積が最大となる階級値を基準周期Ｔｒとする理由について説明する。
波長変調（本実施の形態では三角波変調）を用いた自己結合型のレーザ計測装置においては、各計数期間におけるＭＨＰの数は、物体１０との距離に比例したＭＨＰの数と計数期間における物体１０の変位（速度）に比例したＭＨＰの数との和もしくは差になる。物体１０の振動の最大速度と物体１０との距離の比と、半導体レーザ１の波長変化率の大小関係によって、計測装置で得られる信号の状況を以下の２通りに分けることができる。
【００６３】
まず、物体１０の振動の最大速度と物体１０との距離の比が、半導体レーザ１の波長変化率よりも小さい場合について説明する。図１６（Ａ）〜図１６（Ｄ）は、この場合に本実施の形態の振動周波数計測装置で得られる信号を説明するための図であり、図１６（Ａ）は物体１０との距離の時間変化を示す図、図１６（Ｂ）は物体１０の速度の時間変化を示す図、図１６（Ｃ）は計数装置の計数結果の時間変化を示す図、図１６（Ｄ）は計数装置の計数結果を２値化した２値化出力Ｄ（ｔ）を示す図である。図１６（Ｂ）において，１６０は速度が小さい箇所を示し、１６１は物体１０の移動方向が半導体レーザ１に接近する方向であることを示し、１６２は物体１０の移動方向が半導体レーザ１から遠ざかる方向であることを示している。
【００６４】
物体１０の振動の最大速度と物体１０との距離の比が半導体レーザ１の波長変化率よりも小さい場合は、物体１０との距離に比例したＭＨＰの数が、計数期間における物体１０の変位（速度）に比例したＭＨＰの数よりも常に大きいため、半導体レーザ１の発振波長が増加しているときの計数結果Ｎ’ｕと発振波長が減少しているときの計数結果Ｎ’ｄとの差の絶対値が２つの計数期間（本実施の形態では発振期間Ｐ１とＰ２）における物体１０の変位に常に比例することになる。この場合、Ｎ’ｕ−Ｎ’ｄを時系列でプロットすると、半導体レーザ１への接近方向を正とした振動の速度を示す。そのため、Ｎ’ｕ−Ｎ’ｄの符号が物体１０の運動方向を示すことになり、この符号によって物体１０の変位を２値化することができる。
【００６５】
このとき、度数分布作成部８３によって作成される周期の度数分布は、図１７のようになる。
図１６（Ｃ）に示すように物体１０の速度が小さい箇所１６３において、例えば外乱光などに起因するホワイトノイズが加わると、２値化出力Ｄ（ｔ）の符号が切り替わる箇所１６４において、２値化出力Ｄ（ｔ）の符号が本来の値と逆の値になることがある。また、例えば外乱光などに起因するスパイクノイズが加わると、図１６（Ｄ）に示すように箇所１６５において２値化出力Ｄ（ｔ）の符号が局所的に反転する。
【００６６】
その結果、度数分布作成部８３によって作成される周期の度数分布は、図１７に示すように、基準周期Ｔｒを中心とした正規分布１９０と、スパイクノイズに起因する符号反転による度数１９１と、ホワイトノイズに起因する符号逆転による度数１９２との和になる。また、２値化を実施したときの信号の欠落の度数１９３は、大きな速度を持った低周波ノイズが混入しない限り生じないことが多い。
【００６７】
次に、物体１０の振動の最大速度と物体１０との距離の比が、半導体レーザ１の波長変化率よりも大きい場合について説明する。図１８（Ａ）〜図１８（Ｄ）は、この場合に本実施の形態の振動周波数計測装置で得られる信号を説明するための図であり、図１８（Ａ）は物体１０との距離の時間変化を示す図、図１８（Ｂ）は物体１０の速度の時間変化を示す図、図１８（Ｃ）は計数装置７の計数結果の時間変化を示す図、図１８（Ｄ）は２値化部８１による２値化出力Ｄ（ｔ）を示す図である。図１８（Ｂ）において，２２０は速度が小さい箇所を示し、２２１は物体１０の移動方向が半導体レーザ１に接近する方向であることを示し、２２２は物体１０の移動方向が半導体レーザ１から遠ざかる方向であることを示している。
【００６８】
物体１０の振動の最大速度と物体１０との距離の比が、半導体レーザ１の波長変化率よりも大きい場合は、物体１０の最大速度付近で、物体１０との距離に比例したＭＨＰの数が、計数期間における物体１０の変位（速度）に比例したＭＨＰの数よりも小さくなるため、半導体レーザ１の発振波長が増加しているときの計数結果Ｎ’ｕと発振波長が減少しているときの計数結果Ｎ’ｄとの差が２つの計数期間（本実施の形態では発振期間Ｐ１とＰ２）における物体１０の変位に比例する期間と、計数結果Ｎ’ｕと計数結果Ｎ’ｄとの和が２つの計数期間における物体１０の変位に比例する期間とが存在する。
【００６９】
この場合、物体１０の振動の速度は、図１８（Ｂ）のようにＮ’ｕ−Ｎ’ｄとＮ’ｕ＋Ｎ’ｄを時系列でプロットしたグラフの合成で表現することができる。ただし、速度の方向は常にＮ’ｕとＮ’ｄとの大小関係と一致するため、Ｎ’ｕ−Ｎ’ｄの符号が物体１０の運動方向を示すことになり、この符号によって物体１０の変位を２値化することができる。
【００７０】
物体１０の振動の最大速度と物体１０との距離の比が、半導体レーザ１の波長変化率よりも小さい場合と同様に、物体１０の速度が小さい箇所２２３において、例えば外乱光などに起因するホワイトノイズが加わると、２値化出力Ｄ（ｔ）の符号が切り替わる箇所２２４において、２値化出力Ｄ（ｔ）の符号が本来の値と逆の値になることがある。また、例えば外乱光などに起因するスパイクノイズが加わると、図１８（Ｄ）に示すように箇所２２５において２値化出力Ｄ（ｔ）の符号が局所的に反転する。このとき、度数分布作成部８３によって作成される周期の度数分布は、図１７と同様である。
【００７１】
本実施の形態のように物体１０の変位を２値化した２値化出力Ｄ（ｔ）を補正する場合においては、高周波ノイズの補正が重要になる。高周波ノイズによる短い周期での符号の変化は物体１０の本来の振動の周期の度数を上回ることがあり、周期の代表値として最頻値や中央値などを用いた場合、誤って振動周期よりも短いノイズの周期を基準として補正を掛けてしまう懸念がある。そのため、振動周波数を算出するための一定時間Ｔの期間において、ある階級の信号が占める時間、つまり階級値と度数との積が最も大きい階級値を基準周期Ｔｒとして、カウンタ８５の計数結果の補正を実施する。以上が、階級値と度数との積が最大となる階級値を基準周期Ｔｒとする理由である。
代表値算出部７４２が、階級値と度数との積が最大となる階級値を代表値Ｔ０とする理由も同様である。つまり、代表値Ｔ０として最頻値や中央値を用いるよりも、計数期間において、ある階級の信号が占める時間が最も大きい階級値を代表値Ｔ０とした方が、高周波ノイズが存在する場合にはより好ましい。
【００７２】
［第２の実施の形態］
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。第１の実施の形態では、２値化出力Ｄ（ｔ）の周期の度数分布と２値化出力Ｄ（ｔ）のパルスの数とを求める時間を一定時間Ｔとしたが、この時間を可変長にしてもよい。
図１９は本実施の形態の演算装置８ａの構成の１例を示すブロック図である。演算装置８ａは、記憶部８０と、２値化部８１と、周期測定部８２ａと、度数分布作成部８３ａと、基準周期算出部８４と、補正部８６ａと、周波数算出部８７ａと、周期和算出部８８とから構成される。
【００７３】
図２０は本実施の形態の計数装置７と演算装置８ａの動作を示すフローチャートである。半導体レーザ１、フォトダイオード２、レーザドライバ４、電流−電圧変換増幅部５、フィルタ部６、計数装置７、および演算装置８ａの記憶部８０と２値化部８１の動作は、第１の実施の形態と同じである。
【００７４】
周期測定部８２ａは、記憶部８０に格納された２値化出力Ｄ（ｔ）の一定個数Ｎａ（Ｎａは２以上の自然数で、例えば１００）個のパルスについて、周期を測定する（図２０ステップＳ９）。２値化出力Ｄ（ｔ）の周期の測定方法は、例えば第１の実施の形態で説明した方法を用いればよい。周期測定部８２ａの測定結果は記憶部８０に格納される。周期測定部８２ａは、このような測定を２値化出力Ｄ（ｔ）の「１」のパルスがＮａ個発生する度に行う。
【００７５】
度数分布作成部８３ａは、２値化出力Ｄ（ｔ）の一定個数Ｎａ個のパルスについて実施された周期測定部８２ａの測定結果から、周期の度数分布を作成する（図２０ステップＳ１０）。度数分布作成部８３ａが作成した度数分布は、記憶部８０に格納される。度数分布作成部８３ａは、このような度数分布の作成を２値化出力Ｄ（ｔ）の「１」のパルスがＮａ個発生する度に行う。
基準周期算出部８４の動作は、第１の実施の形態と同様である（図２０ステップＳ５）。
【００７６】
周期和算出部８８は、記憶部８０に格納された周期測定部８２ａの測定結果から、２値化出力Ｄ（ｔ）の一定個数Ｎａ個のパルスについて測定された周期の総和Ｔを算出する（図２０ステップＳ１１）。算出された周期の総和Ｔは、記憶部８０に格納される。
【００７７】
補正部８６ａは、度数分布作成部８３ａが作成した度数分布から、基準周期Ｔｒの０．５倍以下である階級の度数の総和Ｎｓａと、基準周期Ｔｒの１．５倍以上である階級の度数の総和Ｎｗａとを求め、一定個数Ｎａを式（７）のように補正する（図２０ステップＳ１２）。補正後の値Ｎａ’は、記憶部８０に格納される。補正部８６ａは、このような補正を２値化出力Ｄ（ｔ）の「１」のパルスがＮａ個発生する度に行う。
【００７８】
周波数算出部８７ａは、補正部８６ａが算出した補正後の値Ｎａ’と周期和算出部８８が算出した周期の総和Ｔに基づいて、物体１０の振動周波数ｆｓｉｇを式（８）のように算出する（図２０ステップＳ１３）。
【００７９】
その他の構成は、第１の実施の形態と同じである。こうして、本実施の形態のように、演算装置８の代わりに演算装置８ａを用いる場合においても、物体１０の振動周波数の測定精度を向上させることができる。
第１の実施の形態では、２値化出力Ｄ（ｔ）の周期の度数分布と２値化出力Ｄ（ｔ）のパルスの数とを求める時間が一定時間Ｔで固定されているため、周期の総和が一定時間Ｔと一致しない場合がある。このため、第１の実施の形態では、物体１０の振動周波数に測定誤差が生じる可能性がある。
【００８０】
これに対して、本実施の形態では、周期和算出部８８で算出される周期の総和が式（８）で用いる時間Ｔと等しくなるようにしたので、第１の実施の形態と同様の効果が得られるだけでなく、振動周波数の測定精度をさらに向上させることができる。
【００８１】
［第３の実施の形態］
次に、本発明の第３の実施の形態について説明する。第１、第２の実施の形態では、ＭＨＰ波形を含む電気信号を検出する検出手段としてフォトダイオード２と電流−電圧変換増幅部５とを用いたが、フォトダイオードを使用することなくＭＨＰ波形を抽出することも可能である。図２１は本発明の第３の実施の形態に係る物理量センサの１例である振動周波数計測装置の構成を示すブロック図であり、図１と同様の構成には同一の符号を付してある。本実施の形態の振動周波数計測装置は、第１、第２の実施の形態のフォトダイオード２と電流−電圧変換増幅部５の代わりに、検出手段として電圧検出部１１を用いるものである。
【００８２】
電圧検出部１１は、半導体レーザ１の端子間電圧、すなわちアノード−カソード間電圧を検出して増幅する。半導体レーザ１から放射されたレーザ光と物体１０からの戻り光とによって干渉が生じるとき、半導体レーザ１の端子間電圧には、ＭＨＰ波形が現れる。したがって、半導体レーザ１の端子間電圧からＭＨＰ波形を抽出することが可能である。
【００８３】
フィルタ部６は、電圧検出部１１の出力電圧から搬送波を除去する。振動周波数計測装置のその他の構成は、第１、第２の実施の形態と同じである。
こうして、本実施の形態では、フォトダイオードを使用することなくＭＨＰ波形を抽出することができ、第１、第２の実施の形態と比較して振動周波数計測装置の部品を削減することができ、振動周波数計測装置のコストを低減することができる。また、本実施の形態では、フォトダイオードを使用しないので、外乱光による影響を除去することができる。
【００８４】
本実施の形態では、レーザドライバ４から半導体レーザ１に供給する駆動電流をレーザ発振のしきい値電流付近に制御することが好ましい。これにより、半導体レーザ１の端子間電圧からＭＨＰを抽出することが容易になる。
【００８５】
なお、第１〜第３の実施の形態において少なくとも計数装置７と演算装置８，８ａとは、例えばＣＰＵ、記憶装置およびインタフェースを備えたコンピュータとこれらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。このようなコンピュータを動作させるためのプログラムは、フレキシブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、メモリカードなどの記録媒体に記録された状態で提供される。ＣＰＵは、読み込んだプログラムを記憶装置に書き込み、このプログラムに従って第１〜第３の実施の形態で説明した処理を実行する。
【００８６】
なお、第１〜第３の実施の形態では、本発明の計数装置を振動周波数計測装置に適用した場合について説明したが、これに限るものではなく、本発明の計数装置は他の分野にも適用することができる。本発明の計数装置が有効な場合は、計数の対象となる信号の数が特定の物理量（第１〜第３の実施の形態の場合は半導体レーザ１と物体１０との距離、および物体１０の変位）と線形の関係を有し、特定の物理量が一定の場合は信号が略単一周波数となる場合である。
また、信号が単一周波数でなくても、特定の物理量が計数期間と比較して十分低い周波数で、例えば１／１０以下の周波数で振動している対象物の速度のように周期分布の広がりが小さい場合も略単一周波数として本発明の計数装置は有効である。
【００８７】
また、第１〜第３の実施の形態では、物理量センサの例として振動周波数計測装置を挙げて説明したが、これに限るものではなく、本発明を他の物理量センサに適用してもよい。すなわち、計数装置の計数結果から物体の張力を算出してもよいし、特許文献１に開示されているように、計数装置の計数結果から物体との距離および物体の速度を算出するようにしてもよい。物理量センサが算出する物理量が様々なことから明らかなように、上記の特定の物理量と、物理量センサが算出する物理量とは同じ場合もあるが、異なる場合もある。
【産業上の利用可能性】
【００８８】
本発明は、信号の数を数える計数装置や、計数装置を用いて干渉波形の数を測定し測定対象の物理量を求める干渉型の物理量センサに適用することができる。
【符号の説明】
【００８９】
１…半導体レーザ、２…フォトダイオード、３…レンズ、４…レーザドライバ、５…電流−電圧変換増幅部、６…フィルタ部、７…計数装置、８，８ａ…演算装置、９…表示装置、１０…物体、１１…電圧検出部、７１…２値化部、７２…論理積演算部、７３…カウンタ、７４…計数結果補正部、７５…記憶部、８０…記憶部、８１…２値化部、８２，８２ａ…周期測定部、８３，８３ａ…度数分布作成部、８４…基準周期算出部、８５…カウンタ、８６，８６ａ…補正部、８７，８７ａ…周波数算出部、８８…周期和算出部、７４０…周期測定部、７４１…度数分布作成部、７４２…代表値算出部、７４３…補正値算出部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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