(57)【要約】【課題】対象物の表面をより均一に研磨する。【解決手段】  研磨用治具１は、対象物Ｔの表面を研磨する本体２を有し、本体２は、凹部８と、該凹部８の内部と外部とを連通する複数の連通路１０とを有し、該複数の連通路１０は、一端が凹部８の内部に通じ、本体２を平面透視したときに、他端が一端よりも外側に位置している。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物の表面を研磨する本体を有し、前記本体は、凹部と、該凹部の内部と外部とを連通する複数の連通路とを有し、該複数の連通路は、一端が前記凹部の内部に通じ、前記本体を平面透視したときに、他端が前記一端よりも外側に位置している研磨用治具。
【請求項２】
平面透視したときに、前記一端は、前記凹部の内周面に位置し、前記他端は、前記本体の外表面に位置し、前記連通路が、前記凹部から前記本体の外表面まで貫通している請求項１に記載の研磨用治具。
【請求項３】
前記本体は、前記対象物を研磨する研磨用表面を有し、
前記凹部は、前記研磨用表面に開口を有し、
前記複数の連通路は、前記開口に通じる前記研磨用表面に設けられた溝を有する請求項１又は請求項２に記載の研磨用治具。
【請求項４】
前記複数の連通路は、前記本体に設けられた貫通孔を有する請求項１から請求項３のいずれかに記載の研磨用治具。
【請求項５】
前記複数の連通路は、平面透視したときに、外周方向に沿って配列されるとともに、凹部側端部から外部側端部への傾斜の向きが揃っている複数の第１連通路を有する請求項１から請求項４のいずれかに記載の研磨用治具。
【請求項６】
前記本体は、前記対象物を研磨する研磨用表面を有し、
前記複数の連通路は、前記研磨用表面に垂直な方向において互いに同じ位置にある複数の第１連通路と、該垂直な方向において互いに同じ位置にあり、かつ前記第１連通路とは異なる位置にある複数の第２連通路とを有する請求項１から請求項４のいずれかに記載の研磨用治具。
【請求項７】
前記複数の第１連通路は、前記研磨用表面に平行な面に沿って形成されており、前記複数の第２連通路は、前記研磨用表面に平行であって、前記第１連通路が形成された面とは異なる面に沿って形成されている請求項６に記載の研磨用治具。
【請求項８】
前記研磨用表面を正面として平面透視したとき、前記第１連通路および前記第２連通路は、凹部側端部から外部側端部に向けて、前記凹部から放射状に広がる仮想直線に関してそれぞれ傾くように設けられており、前記第１連通路および前記第２連通路の傾きは、前記仮想直線に関して逆向きである請求項６又は請求項７に記載の研磨用治具。
【請求項９】
前記第１連通路および前記第２連通路は、前記仮想直線に関して線対称に位置している請求項８に記載の研磨用治具。
【請求項１０】
前記研磨用表面を正面として平面透視したとき、前記第１連通路および前記第２連通路は、前記凹部から放射状に広がる複数の直線のうち対応する直線に関して線対称に位置し、前記第１連通路および前記第２連通路のそれぞれは、該直線に交わる若しくは該直線に最も近い部位から外部側端部に向けて、該直線との間の距離が大きくなるように延在している請求項８に記載の研磨用治具。
【請求項１１】
前記研磨用表面を正面として平面透視したとき、前記本体は円状であり、
前記第１連通路および前記第２連通路は、前記円の接線に垂直な各直線に関して線対称に位置し、前記第１連通路および前記第２連通路のそれぞれは、該直線に交わる若しくは該直線に最も近い部位からから外部側端部に向けて、該直線との間の距離が大きくなるよう
に延在している請求項８に記載の研磨用治具。
【請求項１２】
請求項１から請求項１１に記載の研磨用治具と、
前記対象物を支持する支持部と、
前記対象物の前記表面上に研磨用流体を供給する供給部と
を有する研磨装置。
【請求項１３】
対象物の表面を研磨する本体を有し、該本体は、凹部と、該凹部の内部と外部とを連通する複数の連通路とを有し、該複数の連通路は、一端が前記凹部の内部に通じ、前記本体を平面透視したときに、他端が前記一端よりも外側に位置している研磨用治具を用いた研磨方法であって、
前記対象物の前記表面上に前記本体を設置する工程と、
前記対象物の前記表面上に研磨用流体を供給する工程と、
前記研磨用流体を前記複数の連通路を介して前記凹部内に流入および前記凹部内から流出させながら、前記本体を回転させる工程と
を有する研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨用治具およびそれを用いた研磨装置並びに研磨方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
金属製品およびセラミック製品の製造過程では、表面の平坦化および鏡面化のために研磨加工が行われる。この研磨加工では、例えば、砥石と研磨対象物との間に研磨用の砥粒と液体とを有するスラリーを供給し、砥石を回転させて、研磨対象物の表面（以下、「被研磨面」ともいう。）を研磨する（例えば、特許文献１参照）。上記スラリーは、通常、砥石と被研磨面との間に供給され、外部に排出されることにより、被研磨面上を移動している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２２２９６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、研磨対象物が、例えば凹形状を有しており、その凹形状の内部の底面を研磨する場合、スラリーを凹形状の外部に排出することが困難であるために、被研磨面上でスラリーが滞留してしまう。特に、被研磨面に砥石の凹部を対向させて研磨を行う場合、その凹部にスラリーが滞留してしまい、凹部内でスラリー中の砥粒が沈降して被研磨面に不均一に堆積し、その結果、被研磨面を均一に研磨することができないといった問題が生じる。
【０００５】
従って、対象物の表面をより均一に研磨することができる研磨用治具、それを用いた研磨装置並びに研磨方法が求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係る研磨用治具は、対象物の表面を研磨する本体を有し、前記本体は、凹部と、該凹部の内部と外部とを連通する複数の連通路とを有し、該複数の連通路は、一端が前記凹部の内部に通じ、前記本体を平面透視したときに、他端が前記一端よりも外側に位置している。
【０００７】
本発明の一態様に係る研磨装置は、前記研磨用治具と、前記対象物を支持する支持部と、前記対象物の前記表面上に研磨用流体を供給する供給部とを有する。
【０００８】
本発明の一態様に係る研磨方法は、対象物の表面を研磨する本体を有し、該本体は、凹部と、該凹部の内部と外部とを連通する複数の連通路とを有し、該複数の連通路は、一端が前記凹部の内部に通じ、前記本体を平面透視したときに、他端が前記一端よりも外側に位置している研磨用治具を用いた研磨方法であって、前記対象物の前記表面上に前記本体を設置する工程と、前記対象物の前記表面上に研磨用流体を供給する工程と、前記研磨用流体を前記複数の連通路を介して前記凹部内に流入および前記凹部内から流出させながら、前記本体を回転させる工程とを有する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の一態様による研磨用治具によれば、対象物の表面をより均一に研磨することができる。
【００１０】
本発明の一態様による研磨装置によれば、対象物の表面をより均一に研磨することができる。
【００１１】
本発明の一態様による研磨方法によれば、対象物の表面をより均一に研磨することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】（ａ）は本発明の一実施形態に係る研磨用治具の斜視図であり、（ｂ）は（ａ）に示す研磨用治具を用いた研磨装置を示す斜視図である。
【図２】（ａ）は研磨装置の断面図であり、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した拡大断面図である。
【図３】研磨用表面を正面として図１の本体を平面透視したときの平面透視図である。
【図４】（ａ），（ｃ）は本発明の一実施形態に係る研磨用治具を用いて対象物を研磨している状態を模式的に示した部分拡大断面図であり、（ｂ），（ｄ）はそれぞれ（ａ），（ｃ）に示す研磨用治具を研磨用表面を正面として平面透視したときの構成をその回転方向と共に示す平面透視図である。
【図５】（ａ），（ｂ）は、対象物上を移動する研磨用治具の軌跡の一例を示した平面図である。
【図６】（ａ），（ｂ）は、研磨用表面表面を正面として本体を平面透視したときのバリエーションを示す平面透視図である。
【図７】（ａ）〜（e）は、連通路の形態を説明するための本体の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
【００１４】
本発明の一実施形態に係る研磨用治具について説明する。図１および図２に示すように、本実施形態による研磨用治具１は、対象物Ｔの表面を研磨する本体２を有する。本体２は、対象物Ｔの被研磨面Ｔｓに対向して、被研磨面Ｔｓの研磨に作用する表面（以下、「研磨用表面」ともいう。）４を有する。本体２は、回転軸３によって回転駆動力が伝えられ、回転軸３とともに回転する。ここでは、対象物Ｔが凹形状の容器体であり、その凹形状の内部の底面が被研磨面Ｔｓであるとする。また、対象物Ｔは、支持台６に固定されている。
【００１５】
なお、研磨装置は、研磨用治具１と対象物Ｔを支持する支持台６と、対象物Ｔの被研磨面Ｔｓ上に研磨用流体を供給する供給部Ｓｐと、回転軸３に回転駆動力を伝える駆動力伝達部Ｒｔとを有する。ここで、供給部Ｓｐおよび駆動力伝達部Ｒｔは、図２（ａ）にのみ示し、その他の図では省略している。
【００１６】
図２に示すように、本体２は、凹部８と、凹部８と外部とを連通する複数の連通路１０とを有する。これらの連通路１０は、一端が凹部８の内部に通じ、本体２を平面透視したときに、他端が上記一端よりも外側に位置している。好ましくは、図２に示すように、連通路１０全体が凹部８の側方に設けられている。複数の連通路１０は、具体的に、本体２の研磨用表面４に設けられた複数の溝１０ａ（１０ａ１〜１０ａ６）と、本体２に設けられた複数の貫通孔１０ｂ（１０ｂ１〜１０ｂ６）とを有する。複数の溝１０ａは、研磨用表面４に設けられた凹部８の開口８ａに通じ、複数の貫通孔１０ｂは、凹部８と外部との間で本体２を貫通する。複数の溝１０ａは、研磨用表面４に垂直な方向において互いに同じ位置にある。複数の貫通孔１０ｂは、研磨用表面４に垂直な方向において互いに同じ位置にあり、かつ複数の溝１０ａとは異なる位置にある。ここでは、複数の貫通孔１０ｂは
、研磨用表面４に平行であって、複数の溝１０ａが形成された面（ここでは、研磨用表面４）とは異なる面に沿って形成されている。なお、本明細書では、各溝１０ａ１〜１０ａ６を区別しないときは、「溝１０ａ」と表記し、各貫通孔１０ｂ１〜１０ｂ６を区別しないときは、「貫通孔１０ｂ」と表記する。
【００１７】
次に、これらの連通路１０について詳細に説明する。図３に示すように、複数の溝１０ａは、研磨用表面４を正面として本体２を平面視したときに、外周方向に沿って配列されるとともに、凹部側端部から外部側端部への傾斜の向きが揃っている。また、複数の貫通孔１０ｂは、研磨用表面４を正面として本体２を平面透視したときに、外周方向に沿って配列されるとともに、凹部側端部から外部側端部への傾斜の向きが揃っている。
【００１８】
また、研磨用表面４を正面として本体２を平面透視したとき、溝１０ａｍ（ｍは１〜６の整数）および貫通孔１０ｂｍ（ｍは１〜６の整数）は、凹部側端部から外部側端部に向けて、凹部８から放射状に広がる仮想直線のうち対応する仮想直線Ａｍに関してそれぞれ傾くように設けられている。また、溝１０ａｍおよび貫通孔１０ｂｍの傾く向きは、上記仮想直線Ａｍに対して互いに逆向きである。ここでは、溝１０ａｍおよび貫通孔１０ｂｍは、その外部側端部が仮想直線Ａｍを挟んで仮想直線Ａｍの両側にあり、溝１０ａｍおよび貫通孔１０ｂｍと仮想直線Ａｍとが交わる部位から外部側端部に向けて、溝１０ａｍおよび貫通孔１０ｂｍと仮想直線Ａｍとの間の距離が大きくなっている。
【００１９】
また、溝１０ａｍおよび貫通孔１０ｂｍは、上記仮想直線Ａｍに関して線対称に位置することが好ましい。例えば、図３に示すように、溝１０ａ１および貫通孔１０ｂ１は、点線で示す仮想の直線Ａ１に関して線対称に位置している。溝１０ａと貫通孔１０ｂを、このように仮想の直線を挟んで両側に対称に位置させることによって、研磨用流体Ｆが凹部８に流入、および凹部８から流出するときの流量の時間的な変動を抑制することができる。このため、研磨用治具３０が回転しながら移動しても、研磨用流体Ｆの凹部８内への流入量および凹部８からの流出量がそれぞれ一定となる。すなわち、流入する度に流入量が変化したり、流出する度に流出量が変化したりといった経時変化が抑制され、その結果、被研磨面Ｔｓをより均一に研磨することができる。
【００２０】
さらに、溝１０ａおよび貫通孔１０ｂの形状が全て同じであり、溝１０ａの数および貫通孔１０ｂの数が同じであれば、研磨用流体Ｆの流入および流出が同一条件でおこなわれるために、研磨用流体Ｆの凹部８に対する流入量および流出量の時間的な変化がより抑制され、被研磨面Ｔｓをより均一に研磨することができる。しかし、研磨方法や研磨用流体Ｆの種類によって研磨用流体Ｆの凹部８内への溜まりやすさ、および凹部８からの排出されやすさが異なる場合には、溝１０ａおよび貫通孔１０ｂの形状および本数の少なくとも１つを敢えて異ならせることにより、研磨用流体Ｆの流入量および流出量を異ならせることも可能である。
【００２１】
また、研磨用表面４が円形であるとき、上記仮想直線Ａｍは、円の接線に垂直な直線とみなして、溝１０ａｍおよび貫通孔１０ｂｍを配置することができる。
【００２２】
次に、研磨用治具１を用いて対象物Ｔを研磨する場合の研磨用治具１の使用方法を説明する。対象物Ｔの凹形状の内部には、研磨用流体Ｆが供給される。そして、研磨用治具１の本体２は、回転軸３によって回転される。図４に示すように、研磨用治具１の本体２がＤ１方向に回転すると、溝１０ａの外部側端部から凹部側端部への向きが回転方向に沿うものとなるため、研磨用流体Ｆが溝１０ａを通ってｆ１方向に凹部８へ流入する。そして、凹部８へ流入した研磨用流体Ｆは、貫通孔１０ｂを通って外部へ排出される。このとき、貫通孔１０ｂの外部側端部から凹部側端部への向きは、回転方向Ｄ１に反するものとなるため、貫通孔１０ｂから研磨用流体Ｆが流入することが抑制される。
【００２３】
一方、本体２が上記Ｄ１方向と反対方向であるＤ２方向に回転すると、貫通孔１０ｂの外部側端部から凹部側端部への向きが回転方向に沿うものとなるため、研磨用流体Ｆが貫通孔１０ｂからｆ１方向に凹部８へ流入する。そして、凹部８へ流入した研磨用流体Ｆは、溝１０ａからｆ２方向に外部へ流出する。このとき、溝１０ａの外部側端部から凹部側端部への向きは、回転方向Ｄ２に反するものとなるため、溝１０ａから研磨用流体Ｆが流入することが抑制される。
【００２４】
このように、本体２に連通路１０を設け、その連通路１０の一端が凹部８の内部に通じ、本体２を平面透視したときに、他端が上記一端よりも外側に位置している場合には、本体２を回転させた場合に、その連通孔１０を介して研磨用流体Ｆが凹部８内に強制的に流入し、さらに凹部８内から流出するので、研磨用流体Ｆが凹部８と外部との間で循環し、研磨用治具１の研磨用表面４と対象物Ｔの被研磨面Ｔｓとの間に研磨用流体Ｆが滞留することを抑制することができる。
【００２５】
また、本体２を平面透視したときに、研磨用流体の凹部８内への流入又は凹部８外への流出といった同じ機能を有する複数の連通孔１０が、外周方向に沿って配列されるとともに、凹部側端部から外部側端部への傾斜の向きが揃っている場合は、その流入又は流出がよりスムーズに行われることから、凹部８内と外部との流通がよりスムーズに行われる。よって、被研磨面上において研磨用流体が滞留することが抑制され、被研磨面をより均一に研磨することができる。なお、研磨用流体の凹部８からの排出に用いられる複数の連通孔１０について、それらが外周方向に沿って配列されるとともに、凹部側端部から外部側端部への傾斜の向きが揃っていると、凹部８内に研磨用流体が滞留することが抑制され、より好ましい。
【００２６】
上述の研磨用部材１を用いた研磨方法は、対象物Ｔの被研磨面Ｔｓ上に本体２を設置する工程と、対象物Ｔの被研磨面Ｔｓ上に研磨用流体Ｆを供給する工程と、研磨用流体Ｆを複数の連通路１０を介して凹部８に流入および凹部８から流出させながら、本体２を回転させる工程とを有している。
【００２７】
研磨用流体Ｆには、砥粒Ｇが分散している。研磨用治具１の研磨用表面４と、対象物Ｔの被研磨面Ｔｓは、研磨用流体Ｆを介して摺動し、被研磨面Ｔｓが研磨される。本体２は、回転軸３とともに回転すると共に、研磨用表面の中心の軌跡２２が例えば、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、被研磨面Ｔｓ上を移動する。
【００２８】
図５（ａ）では、研磨用治具１の本体２の回転中心は、始点２２ａから螺旋状の軌跡２２を描きながら終点２２ｂへ移動する。このとき、研磨用表面４の摺動始端部位は２４ａ、摺動終端部位は２４ｂの位置である。
【００２９】
図５（ｂ）では、本体２の回転中心は、始点２２ａから終点２２ｂまで屈曲しながら移動する。このとき、このとき、研磨用表面４の摺動始端部位は２４ａ、摺動終端部位は２４ｂの位置である。
【００３０】
本実施の形態による研磨用治具１によれば、研磨を行う際に、研磨用治具１の研磨用表面４と対象物Ｔの被研磨面Ｔｓとの間に研磨用流体Ｆが滞留することを抑制することができる。よって、研磨用流体Ｆ中の砥粒Ｇが沈降して被研磨面に不均一に堆積するといったことを抑制することができる。従って、砥粒Ｇが枯渇せず、砥粒Ｇが滞留することも抑制され、砥粒Ｇが被研磨面Ｔｓ上により均一に広がるために、被研磨面Ｔｓ全体をより均一に研磨することができる。ここで、均一に研磨するとは、被研磨面Ｔｓの凹凸ができるだけ無くなるように研磨し、被研磨面Ｔｓの平坦度の値を小さくすることを意味する。
【００３１】
なお、図３においては、対応する溝１０ａおよび貫通孔１０ｂが、本体２を平面透視したとき交わるように設けられているが、離間するように設けられていてもよい。この場合、溝１０ａｍおよび貫通孔１０ｂｍのそれぞれは、凹部側端部（仮想直線Ａｍに最も近い部位）から外部側端部に向けて、仮想直線Ａｍとの距離が大きくなるように延在する。
【００３２】
また、溝１０ａおよび貫通孔１０ｂは、形状が全て同一である必要はなく、一部が異なっていてもよい。さらに、溝１０ａの数および貫通孔１０ｂの数は、同じである必要はなく、異なっていてもよい。ただし、溝１０ａおよび貫通孔１０ｂの形状が全て同じであり、溝１０ａの数および貫通孔１０ｂの数が同じであれば、研磨用流体Ｆの流入および流出が同一条件でおこなわれるために、研磨用流体Ｆの対流がスムーズとなり、被研磨面Ｔｓをより均一に研磨することができる。
【００３３】
図６（ａ），（ｂ）は、研磨用表面４を正面として本体２を平面透視したときのバリエーションを示す平面透視図である。これらの場合も、研磨用表面４を正面として本体２を平面透視したとき、溝１０ａおよび貫通孔１０ｂは、凹部側端部から外部側端部に向けて、凹部８から放射状に広がる仮想直線のうち対応する仮想直線Ａｍに関してそれぞれ傾くように設けられている。
【００３４】
図６（ａ）は、溝１０ａおよび貫通孔１０ｂが螺旋状に形成された研磨用表面４を示している。このように、研磨用表面４に形成される溝１０ａおよび貫通孔１０ｂは、直線状のみならず曲線であってもよい。
【００３５】
図６（ｂ）は、研磨用表面４が円形状ではなく、多角形状からなる場合を示している。このように研磨用表面４の形状は、円形状に限られず、多角形状等の種々の形状を選択することができる。
【００３６】
また、連通路１０は、一端が凹部８の内部に通じ、本体２を平面透視したときに、他端が上記一端よりも外側に位置していればよく、種々の形態を取り得る。この構成によれば、遠心力によって凹部８から研磨用流体Ｆが流出する。また、研磨用流体Fの凹部８への
流入も起こる。
【００３７】
図７は、連通路１０の形態を説明するための本体２の断面図である。図７では、図示を簡略化するために、連通路１０を太線で示している。図７（ａ）〜（e）において、連通
路１０は、一端２５ａが凹部８の内部に通じ、矢印Kの方向に本体２を平面透視したとき
に、他端２５ｂが上記一端２５aよりも外側に位置している。この構成であれば、一端２
５ａは、凹部８の内面のいずれの位置に存在していてもよく、他端２５ａは、本体２の外表面のいずれの位置に存在してもよい。例えば、（a）では、連通路１０の一端２５aが凹部８の側面に位置し、他端２５ｂが本体２の側面に位置している。また、この構成では、連通路１０が一端２５aから他端２５ｂに向けて傾斜している。（ｂ）では、連通路１０
の一端２５ａが凹部８の側面に位置し、他端２５ｂが研磨用表面４に対向する本体２の上面に位置している。（ｃ）では、連通路１０の一端２５aが凹部８の底面に位置し、他端
２５ｂが本体２の側面に位置している。（ｄ）では、連通路１０の一端２５aが凹部８の
底面に位置し、他端２５ｂが本体２の上面に位置している。（e）では、連通路１０の一
端２５ａが凹部８の底面に位置し、他端２５ｂが研磨用表面４の側面に位置している。
【００３８】
これらの図７（a）〜（ｅ）に示した連通路１０は、研磨用流体Ｆの凹部８内への流入
用および研磨用流体Ｆの凹部８からの排出用のいずれにも使用可能である。従って、研磨用流体Ｆの凹部８内への流入用連通路および研磨用流体Ｆの凹部８からの排出用連通路として、図７（ａ）〜図７（ｅ）をどのように組み合わせてもよい。しかし、研磨用流体Ｆ
のスムーズな移動のためには、例えば、図７（ａ），（ｄ），（ｅ）のように、連通路１０は、角部をもたず、直線状若しくは曲線状であることが好ましい。さらに、連通路１０は、図２に示すように、一端２５ａから他端２５ｂにかけて、研磨用表面４に平行な面に沿って延在することが好ましい。また、図７（ｂ），（ｄ）については、他端２５ｂが本体２の上面に位置しているため、これを流入用連通路として用いるためには、研磨用流体Ｆの液面が、本体２の上面より上に位置していることが必要である。
【００３９】
また、連通路１０は、その一部が研磨用表面４の溝であってもよい。例えば、図７（ｂ）における連通路１０の一部２６ａが研磨用表面４に設けられてもよい。
【００４０】
なお、図２および図７（ａ）の構成は、平面透視したときに、連通路１０の一端２５ａが、凹部８の側面、すなわち凹部８の内周面に位置し、連通路１０の他端２５ｂが、本体２の外表面に位置している。また、図２および図７（ａ）において、連通路１０は、本体２を貫通している。
【００４１】
また、図７に示した上述の連通路１０についても、平面透視したときに、外周方向に沿って配列されるとともに、凹部側端部から外部側端部への傾斜の向きが揃っていることが好ましい。
【００４２】
なお、上述の説明では、溝１０ａが形成された面と貫通孔１０ｂが形成された面とを平行にしたが、必ずしも平行である必要はない。また、複数の溝１０ａを必ずしも同一平面上に設ける必要はなく、複数の貫通孔１０ｂも必ずしも同一平面上に設ける必要はない。しかし、複数の溝１０ａおよび複数の貫通孔１０ｂの少なくとも一方を同一平面上に形成すると、凹部８内を移動する研磨用流体Ｆの乱流が抑制されるため、被研磨面Ｔｓと研磨用表面４との間に介在する砥粒Ｇの量が、研磨に悪影響を及ぼさない程度に常に一定となり、経時変化しにくい。このため、被研磨面Ｔｓ全体がより均一に研磨される。さらには、複数の溝１０ａおよび複数の貫通孔１０ｂをそれぞれ同一平面上に形成するとともに、複数の溝１０ａが形成された面と複数の貫通孔１０ｂが形成された面とを平行にすると、被研磨面Ｔｓと研磨用表面４との間に介在する砥粒Ｇの量がさらに経時変化しにくくなり、被研磨面Ｔｓ全体がより均一に研磨される。
【００４３】
さらに、上述の本体２は、連通孔１０として、溝１０ａと貫通孔１０ｂとを有していたが、研磨用流体Ｆの凹部８に対する流入用および流出用の連通部１０が全て溝であっても、全て貫通孔であってもよい。
【符号の説明】
【００４４】
Ｔ：対象物
Ｔｓ：被研磨面
２：本体
３：回転軸
４：研磨用表面
６：支持台
８：凹部
８ａ：開口
１０：連通路
１０ａ，１０ａ１〜１０ａ６：溝
１０ｂ，１０ｂ１〜１０ｂ６：貫通孔
２２：軌跡
２２ａ：始点
２２ｂ：終点
２４ａ：摺動始端部位
２４ｂ：摺動終端部位
Ｒｔ：駆動力伝達部
Ｓｐ：供給部
Ｆ：研磨用流体
Ｇ：砥粒
Ｄ１，Ｄ２：回転方向
ｆ１：流入方向
ｆ２：流出方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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