(57)【要約】 【課題】  液路の形状を制約することなく安価且つ簡易に製作でき、高品質な断熱構造を提供すること。【解決手段】  断熱構造３０は、発熱体１１側に配設され、熱伝導率の高い内面パネル４０と、ユニット１０の外部１０ｂ側に配設され、熱伝導率の高い外面パネル５０と、内面パネル４０と外面パネル５０との間に挟まれるように配設され、例えば液体（水）などの冷却媒体６１が流れる液路（流路）であり、発熱体１１から発生し外部１０ｂに伝達する熱を冷却媒体６１によって断熱する熱伝導率の低い樹脂製のチューブ６０と、内面パネル４０と外面パネル５０との間にてチューブ６０を挟み込み、チューブ６０を固定する挟み込み部材７０とを有している。【選択図】図１Ｄ
2011169518.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱を発生する発熱体を有するユニットに配設され、断熱性能を有する断熱構造であって、
前記発熱体側に配設される内面パネルと、
前記ユニットの外部側に配設される外面パネルと、
前記内面パネルと前記外面パネルとの間に挟まれるように配設され、冷却媒体が流れる液路であり、前記発熱体から発生し前記外部に伝達する前記熱を前記冷却媒体によって断熱する樹脂製のチューブと、
前記内面パネルと前記外面パネルとの間にて前記チューブを挟み込み、前記チューブを固定する挟み込み部材と、
を具備することを特徴とする断熱構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば精密装置における一方のユニットから発生する高温の熱がこのユニットに隣接する精密装置における他方のユニットに影響を及ぼさないように及びこれらユニットが設置される設置環境にこの熱が影響を及ぼさないように、一方のユニットから発生する熱を断熱するために樹脂チューブを使用する断熱構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体製造装置や精密測定器などの精密装置は、複数のユニットから構成されている。これらユニットは、精密機械が設置される環境の温度変化から多大な影響を受ける。そのためこの精密装置の内部において、一方のユニットから発生する高温の熱がこのユニットに隣接する精密装置における他方のユニットに影響を及ぼさないように及びこれらユニットが設置される設置環境にこの熱が影響を及ぼさないように、一方のユニットには、精密機械が設置される環境の温度を自身から発生する熱によって変化させないように、熱を断熱する高い断熱性能が要求されている。
【０００３】
そのため一方のユニットは、断熱のために、断熱構造が配設されている。なお断熱構造は、他方のユニットにも配設されてもよい。また断熱構造は、一方のユニットと他方のユニットとの間に配設されていてもよい。
【０００４】
断熱構造には、断熱のために、例えば液体等の冷却媒体を流すための液路が配設されている。この液路は、例えばステンレスやアルミニウムなどの熱伝導率の高い金属素材によって製作されている。
【０００５】
例えば図８（ａ）に示すように、断熱構造１２０は、例えば、外面パネル１２１と、熱を発生する発熱体を有するユニットに配設され、熱吸収板である内面パネル１２２と、上述した液路である冷却パイプ１２４とを有している。一般的に冷却パイプ１２４は、上述したように金属素材によって製作されており、図８（ｃ）に示すように外面パネル１２１と内面パネル１２２とに挟まれ、例えばロウ付けや溶接などからなる溶接部１２６によって外面パネル１２１と接合している。
【０００６】
冷却パイプ１２４には、例えば水などの冷却媒体が流れる。これにより、発熱体からユニットと内面パネル１２２と外面パネル１２１を介して外部に向う熱が冷却される。また外面パネル１２１を通じて外部からユニット内部に向う熱が冷却され、内面パネル１２２を通じてユニット内部が冷却される。  
このように断熱構造１２０は、断熱する。
【０００７】
このような断熱構造１２０は、パネル１３０として構成される。一方のパネル１３０ａと他方のパネル１３０ｂとが同じ冷却媒体を用いる場合、一方のパネル１３０ａにおける冷却パイプ１２４ａと、他方のパネル１３０ｂにおける冷却パイプ１２４ｂとは、継手１３２ａ，１３２ｂと、樹脂製のチューブ１３４とによって連結している。継手１３２ａ，１３２ｂは、チューブ１３４と冷却パイプ１２４ａ，１２４ｂとを連結する。
【０００８】
このとき冷却媒体は、冷却パイプ１２４ａからチューブ１３４を通じて冷却パイプ１２４ｂに流れる。
【０００９】
例えば特許文献１には、パイプ内に冷媒を通すことにより周辺雰囲気との熱交換を行う構造の熱交換器において、パイプをサーペンタイン成形して、その所定平面に平行な１枚もしくはそれ以上の板材に複数本のスリットを設け、パイプのサーペンタイン成形面の上下交互にパイプと当接するように挿入してフィンを形成するなどして、パイプに板材などを接合した熱交換器について開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００１−４１６６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上述したように液路である冷却パイプ１２４は金属素材によって製作されている。しかしながら金属素材を使用することは、熱伝導性が良い反面、例えば工作機器による曲げ加工が必要となる。そのため液路の形状と長さとは制約され、加工によってコストがかかってしまう。また冷却パイプ１２４は、溶接部１２６によって外面パネル１２１に接合する必要があり、コストと手間とが掛かる。
【００１２】
冷却パイプ１２４が所望の長さを確保するためには、短尺の冷却パイプ１２４を継ぎ手や溶接などで繋ぐ必要が生じる。しかしながらこの場合、液漏れなどが生じ、品質が低下してしまう虞がある。
【００１３】
またパネル１３０ａとパネル１３０ｂとにおいて、冷却パイプ１２４ａと冷却パイプ１２４ｂとが継手１３２ａ，１３２ｂによって樹脂製のチューブ１３４と連結すると、継手１３２ａ，１３２ｂから液漏れなどが生じ、品質が低下してしまう虞がある。
【００１４】
そのため本発明は、上記事情に鑑み、液路の形状を制約することなく安価且つ簡易に製作でき、高品質な断熱構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は目的を達成するために、熱を発生する発熱体を有するユニットに配設され、断熱性能を有する断熱構造であって、前記発熱体側に配設される内面パネルと、前記ユニットの外部側に配設される外面パネルと、前記内面パネルと前記外面パネルとの間に挟まれるように配設され、冷却媒体が流れる液路であり、前記発熱体から発生し前記外部に伝達する前記熱を前記冷却媒体によって断熱する樹脂製のチューブと、前記内面パネルと前記外面パネルとの間にて前記チューブを挟み込み、前記チューブを固定する挟み込み部材と、を具備することを特徴とする断熱構造を提供する。
【００１６】
また本発明は目的を達成するために、前記挟み込み部材の間に配設され、前記挟み込み部材間で前記熱が伝達することを防止する熱絶縁プレートと、前記挟み込み部材が前記チューブを挟んだ際に、前記挟み込み部材に当接せずに前記熱絶縁プレートを貫通するように配設され、前記挟み込み部材を締結する締結部材と、をさらに具備することを特徴とする上記に記載の断熱構造を提供する。
【００１７】
また本発明は目的を達成するために、前記挟み込み部材において、一方の前記挟み込み部材は前記内面パネルと前記チューブとの間に配設され、一方の前記挟み込み部材は、前記チューブの形状に合わせて略半円弧形状を有し、前記チューブと面当接するチューブ当接部と、前記熱絶縁プレートを挟み込む挟み込み部と、前記内面パネルの形状に合わせて平面形状を有し、前記内面パネルに面当接する内面パネル当接部と、を有し、他方の挟み込み部材は、前記外面パネルと前記チューブとの間に配設され、他方の前記挟み込み部材は、前記チューブの形状に合わせて略半円弧形状を有し、前記チューブと面当接するチューブ当接部と、一方の前記挟み込み部材における前記挟み込み部と共に前記熱絶縁プレートを挟み込む挟み込み部と、前記外面パネルの形状に合わせて平面形状を有し、前記外面パネルに面当接する外面パネル当接部とを有することを特徴とする上記に記載の断熱構造を提供する。
【００１８】
また本発明は目的を達成するために、前記一方の挟み込み部材は、圧縮によって密着した状態で前記チューブと当接するチューブ当接部と、前記熱絶縁プレートを挟み込む挟み込み部とを有し、前記他方の挟み込み部材は、圧縮によって密着した状態で前記チューブと当接するチューブ当接部と、一方の前記挟み込み部材における前記挟み込み部と共に前記熱絶縁プレートを挟み込む挟み込み部とを有することを特徴とする上記に記載の断熱構造を提供する。
【００１９】
また本発明は目的を達成するために、一方の前記挟み込み部材は、凹形状を有する前記内面パネルの蓋であり、他方の前記挟み込み部材は、前記チューブを覆うように凹形状を有し、前記チューブを覆うと同時に密着し面当接し、底面部にて凹形状を有する前記外面パネルと面当接し、上面部にて前記一方の挟み込み部材と面当接していることを特徴とする上記に記載の断熱構造を提供する。
【００２０】
また本発明は目的を達成するために、互いに貼り合わさることで複数の前記チューブを挟み込み、前記挟み込み部材を兼ねる１対の樹脂製のシートと、前記チューブに巻かれ、さらに前記シートの互いに対向する面に貼り付けられる金属箔と、前記シートと前記シートとの間に挟みこまれる熱絶縁部材と、を有する断熱カーテンを有することを特徴とする上記に記載の断熱構造を提供する。
【００２１】
また本発明は目的を達成するために、前記チューブには、金属箔が巻かれ、前記内面パネルと前記外面パネルとは、前記挟み込み部材を兼ねることを特徴とする上記に記載の断熱構造を提供する。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、液路の形状を制約することなく安価且つ簡易に製作でき、高品質な断熱構造を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１Ａ】図１Ａは、第１の実施形態において、発熱体を有するユニットと、ユニットに配設される断熱構造の概略斜視図である。
【図１Ｂ】図１Ｂは、断熱構造の概略斜視図である。
【図１Ｃ】図１Ｃは、断熱構造の拡大斜視図である。
【図１Ｄ】図１Ｄは、断熱構造の側面図である。
【図１Ｅ】図１Ｅは、チューブの配設の変形例を示す断熱構造の概略斜視図である。
【図２】図２は、第１の実施形態の変形例を示す概略図である。
【図３Ａ】図３Ａは、第２の実施形態における断熱構造の概略斜視図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、断熱構造の内部を示す概略斜視図である。
【図３Ｃ】図３Ｃは、断熱構造の分解斜視図である。
【図３Ｄ】図３Ｄは、断熱構造の概略側面図である。
【図３Ｅ】図３Ｅは、断熱構造の概略側面図である。
【図４Ａ】図４Ａは、第２の実施形態における第１の変形例の断熱構造の概略斜視図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、図４Ａに示す断熱構造の概略側面図である。
【図５Ａ】図５Ａは、第２の実施形態における第２の変形例の断熱構造におけるチューブの側面図である。
【図５Ｂ】図５Ｂは、第２の実施形態における第２の変形例の断熱構造の側面図である。
【図５Ｃ】図５Ｃは、第２の実施形態における第２の変形例の断熱構造の側面図である。
【図５Ｄ】図５Ｄは、第２の実施形態における第２の変形例の断熱構造の側面図である。
【図６】図６は、第２の実施形態における第３の変形例の断熱構造の側面図である。
【図７】図７は、第２の実施形態における第４の変形例の断熱構造におけるチューブの側面図である。
【図８】図８（ａ）は、従来の断熱構造を示す概略図である。図８（ｂ）は、図８（ａ）に示す断熱構造の断面図である。図８（ｃ）は、図８（ｂ）の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。図１Ａと図１Ｂと図１Ｃと図１Ｄとを参照して第１の実施形態について説明する。  
図１Ａに示すように例えば半導体製造装置や精密測定器などの精密装置は、複数のユニット１０から構成されている。ユニット１０は、熱を発生する発熱体１１をユニット１０の内部１０ａに有している。発熱体１１は、例えばモータなどである。またユニット１０の隣接、またはユニット１０の周辺には、精密装置が設置される環境の温度変化から多大な影響を受ける図示しない他のユニットが設置されている。図示しないユニットは、ユニット１０と略同様の構成を有している。
【００２５】
ユニット１０は、ユニット１０や他のユニットが設置される環境の温度を発熱体１１から発生する熱によって変化させないための断熱性能を有する断熱構造３０を有している。  
図１Ａに示すように断熱構造３０は、発熱体１１側に配設され、ユニット１０の背面となる。
【００２６】
図１Ｂ乃至図１Ｄに示すように断熱構造３０は、発熱体１１側に配設され、熱伝導率の高い内面パネル４０と、ユニット１０の外部１０ｂ側に配設され、熱伝導率の高い外面パネル５０と、内面パネル４０と外面パネル５０との間に挟まれるように配設され、例えば液体（水）などの冷却媒体６１が流れる液路（流路）であり、発熱体１１から発生し外部１０ｂに伝達する熱を冷却媒体６１によって断熱する熱伝導率の低い樹脂製のチューブ６０と、内面パネル４０と外面パネル５０との間にてチューブ６０を挟み込み、チューブ６０を固定する挟み込み部材７０と、挟み込み部材７０の間に配設され、挟み込み部材７０間で熱が伝達することを防止する熱絶縁プレート９０とを有している。
【００２７】
内面パネル４０と外面パネル５０とは、例えば平板形状を有する金属板である。図１Ｄに示すように内面パネル４０と外面パネル５０との間には、断熱のためにチューブ６０と挟み込み部材７０とが配設される。内面パネル４０の熱伝導率と外面パネル５０の熱伝導率とは、互いに略同一であり、チューブ６０の熱伝導率よりも高い。
【００２８】
図１Ｂと図１Ｃとに示すようにチューブ６０は、例えば円筒形状を有しており、所望な長さを有するものである。図１Ｂに示すようにチューブ６０は、内面パネル４０と外面パネル５０との長手方向に沿って配設されている１本のチューブ６０が内面パネル４０と外面パネル５０との長手方向における両端にて折り返され、折り返されたチューブ６０が内面パネル４０と外面パネル５０との短手方向に複数連接されている状態になるように形成されている。つまりチューブ６０は、チューブ６０が内面パネル４０と外面パネル５０との長手方向に突出している凸形状に形成され且つこの状態のチューブ６０が内面パネル４０と外面パネル５０との短手方向に複数連接された状態となるように、形成されている。
【００２９】
図１Ｄに示すように１対の挟み込み部材７０において、一方の挟み込み部材７１は、内面パネル４０とチューブ６０との間に配設されている。挟み込み部材７１は、チューブ６０の形状に合わせて略半円弧形状を有し、チューブ６０と面当接するチューブ当接部７１ａと、挟み込み部材７３の後述する挟み込み部７３ｂと共に熱絶縁プレート９０を挟み込む挟み込み部７１ｂと、内面パネル４０の形状に合わせて平面形状を有し、内面パネル４０に面当接する内面パネル当接部７１ｃとを有している。この挟み込み部材７１は、チューブ６０の形状と内面パネル４０の形状とに合わせて１枚の板金から予め金型によって製作される。そのためチューブ当接部７１ａと挟み込み部７１ｂと内面パネル当接部７１ｃとは、連接している。ここで挟み込み部７１ｂが内面パネル４０から離れていれば、チューブ当接部７１ａは、内面パネル４０に当接していても良いし、離れていても良い。
【００３０】
また図１Ｄに示すように他方の挟み込み部材７３は、外面パネル５０とチューブ６０との間に配設されている。挟み込み部材７３は、チューブ６０の形状に合わせて略半円弧形状を有し、チューブ６０と面当接するチューブ当接部７３ａと、挟み込み部材７１の挟み込み部７１ｂと共に熱絶縁プレート９０を挟み込む挟み込み部７３ｂと、外面パネル５０の形状に合わせて平面形状を有し、外面パネル５０に面当接する外面パネル当接部７３ｃとを有している。この挟み込み部材７３は、チューブ６０の形状と外面パネル５０の形状とに合わせて１枚の板金を予め金型によって作成される。そのためチューブ当接部７３ａと挟み込み部７３ｂと外面パネル当接部７３ｃとは、連接している。ここで挟み込み部７３ｂが外面パネル５０から離れていれば、チューブ当接部７３ａは、外面パネル５０に当接していても良いし、離れていても良い。
【００３１】
挟み込み部材７０の熱伝導率は、チューブ６０の熱伝導率よりも高く、内面パネル４０の熱伝導率と外面パネル５０の熱伝導率と略同一である。
【００３２】
挟み込み部材７０は、例えば銅やアルミニウムなどの金属で、例えば金型によって形成されるものである。特に、チューブ当接部７１ａ，７３ａは、チューブ６０との当接面積を多く確保しより多くの熱をチューブ６０に伝達し、外部１０ｂへの伝熱と輻射とを防止して断熱するために、チューブ６０の形状に合わせて形成される。
【００３３】
挟み込み部材７１は、発熱体１１から発生し内面パネル４０から伝導された熱と、内面パネル４０から輻射によって伝達された熱とを、内面パネル４０から内面パネル当接部７１ｃと挟み込み部７１ｂとチューブ当接部７１ａとを介してチューブ６０に伝達する伝達部材である。また挟み込み部材７３は、発熱体１１から発生し、内面パネル４０を介して輻射によって外面パネル５０に伝達し、外面パネル５０から伝導された熱と、外面パネル５０から輻射によって伝達された熱とを、外面パネル当接部７３ｃと挟み込み部７３ｂとチューブ当接部７３ａとを介してチューブ６０に伝達する伝達部材でもある。このように挟み込み部材７０は、内面パネル４０と外面パネル５０とから挟み込み部材７０に伝達された熱をチューブ６０に伝達することで、ユニット１０から精密装置（他方のユニット）が設置される環境と他方のユニットへの伝熱を防止し、断熱する断熱板となると同時に、輻射熱をチューブ６０に伝達することで、ユニット１０から精密装置（他方のユニット）が設置される環境と他方のユニットへの輻射を防止する輻射防止板となる。
【００３４】
熱絶縁プレート９０は、例えば樹脂材料によって形成されている。  
図１Ｃと図１Ｄとに示すように熱絶縁プレート９０は、挟み込み部材７０における挟み込み部７１ｂと挟み込み部７３ｂとに挟み込まれる。熱絶縁プレート９０は、挟み込み部７１ｂと挟み込み部７３ｂとの間に配設され、挟み込み部７１ｂから挟み込み部７３ｂに向って熱が伝達することを防止し、挟み込み部７３ｂから挟み込み部７１ｂに向って熱が伝達することを防止する。
【００３５】
熱絶縁プレート９０には、挟み込み部材７１，７３がチューブ６０を挟んだ際に、挟み込み部材７１，７３を締結するネジ等の締結部材９１が配設されている。締結部材９１は、挟み込み部７１ｂと挟み込み部７３ｂとに当接せずに熱絶縁プレート９０を貫通する。そのため熱絶縁プレート９０は、熱が挟み込み部材７１（挟み込み部７１ｂ）から締結部材９１を通じて挟み込み部材７３（挟み込み部７３ｂ）に向って伝達することを防止し、熱が挟み込み部材７３（挟み込み部７３ｂ）から締結部材９１を通じて挟み込み部材７１（挟み込み部７１ｂ）に向って伝達することを防止する。
【００３６】
このような断熱構造３０は、図１Ａに示すようにユニット１０の背面の大きさに合わせてユニット１０として複数配設されている。断熱構造３０が複数配設されている場合、チューブ６０は、各断熱構造３０に渡って配設されている一本の長尺のものであり、例えば一方の断熱構造３０から露出し、ユニット１０から露出し、ユニット１０の側面にて折り返されて他方の断熱構造３０に配設されるものである。
【００３７】
次に本実施形態の動作方法について説明する。  
挟み込み部材７１と挟み込み部材７３とは、チューブ当接部７１ａとチューブ当接部７３ａとによってチューブ６０を挟み、挟み込み部７１ｂと挟み込み部７３ｂとによって熱絶縁プレート９０を挟み、締結部材９１によって締結される。
【００３８】
そして内面パネル当接部７１ｃが内面パネル４０に面当接し、外面パネル当接部７３ｃが外面パネル５０に面当接した状態で、挟み込み部材７１と挟み込み部材７３とは、内面パネル４０と外面パネル５０との間に配設され、チューブ６０には、冷却媒体６１が流れる。
【００３９】
このとき発熱体１１から発生した熱は、内面パネル４０から少なくとも内面パネル当接部７１ｃに伝達される。そのため挟み込み部材７１は、内面パネル当接部７１ｃから挟み込み部７１ｂとチューブ当接部７１ａとを介してチューブ６０にこの熱を直接伝達する。
【００４０】
また発熱体１１から発生し、内面パネル４０を介して輻射によって外面パネル５０に伝達した熱は、少なくとも外面パネル当接部７３ｃに伝達される。そのため挟み込み部材７３は、チューブ当接部７３ａから挟み込み部７３ｂとチューブ当接部７３ａとを介してチューブ６０にこの熱を直接伝達する。
【００４１】
チューブ６０は、内面パネル４０から挟み込み部材７１（内面パネル当接部７１ｃと挟み込み部７１ｂとチューブ当接部７１ａ）を通じて伝達された熱と、外面パネル５０から挟み込み部材７３（外面パネル当接部７３ｃと挟み込み部７３ｂとチューブ当接部７３ａ）を通じて伝達された熱とを、冷却媒体６１によって冷却する。
【００４２】
このように挟み込み部材７０が内面パネル４０と外面パネル５０とにおける熱を無駄なくチューブ６０に伝達することで、チューブ６０はユニット１０から精密装置が設置される環境と他方のユニットへ無駄なく断熱する。
【００４３】
また発熱体１１から発生し、内面パネル４０に伝達された熱は、内面パネル４０から輻射される。挟み込み部材７１は、この輻射熱を、内面パネル当接部７１ｃと挟み込み部７１ｂとチューブ当接部７１ａとで受けて、チューブ当接部７１ａからチューブ６０に伝達する。
【００４４】
また上述したように外面パネル５０に伝達された熱は、外面パネル５０から輻射される。挟み込み部材７３は、この輻射熱を、外面パネル当接部７３ｃと挟み込み部７３ｂとチューブ当接部７３ａとで受けて、チューブ当接部７３ａからチューブ６０に伝達する。
【００４５】
チューブ６０は、内面パネル４０から輻射された熱と、外面パネル５０から輻射された熱とを、チューブ当接部７１ａとチューブ当接部７３ａとを介して冷却媒体６１によって冷却する。
【００４６】
このように挟み込み部材７０が輻射熱をチューブ６０に伝達することで、チューブ６０はユニット１０から精密装置が設置される環境と他方のユニットへ無駄なく断熱する。
【００４７】
また熱絶縁プレート９０は、内面パネル４０から外面パネル５０に直接熱が伝達することを防止し、外面パネル５０から内面パネル４０に直接熱が伝達することを防止する。
【００４８】
また熱絶縁プレート９０は、熱が挟み込み部材７１（挟み込み部７１ｂ）から締結部材９１を通じて挟み込み部材７３（挟み込み部７３ｂ）に向って伝達することを防止し、熱が挟み込み部材７３（挟み込み部７３ｂ）から締結部材９１を通じて挟み込み部材７１（挟み込み部７１ｂ）に向って伝達することを防止する。
【００４９】
このように本実施形態では、チューブ６０を樹脂製にすることで、液路の形状を特殊な加工を必要とせずに製作することができ、安価且つ製作の手間を簡便にできる。また本実施形態では、チューブ６０を挟み込み部材７０によって挟み込んで内面パネル４０と外面パネル５０との間に配設するために、溶接部などによって内面パネル４０や外面パネル５０に接合する必要がなく、コストと手間と減らすことができる。また本実施形態では、樹脂のために所望の長さを有する長尺のチューブ６０を用いることができる。また本実施形態では、この所望の長さを有する長尺のチューブ６０を用いることで、断熱構造３０がユニット１０として複数配設されていても継ぎ手などが不要となり、液漏れを防止でき、安価且つ高品質にすることができる。
【００５０】
また本実施形態では、熱絶縁プレート９０によって、内面パネル４０から外面パネル５０に直接熱が伝達することを防止でき、外面パネル５０から内面パネル４０に直接熱が伝達することを防止することができる。
【００５１】
また本実施形態では、締結部材９１を挟み込み部材７１と挟み込み部材７３とに当接させずに、熱絶縁プレート９０を貫通させて挟み込み部材７１と挟み込み部材７３とを締結部材９１によって締結させている。これにより本実施形態では、締結部材９１によって伝熱が生じることを熱絶縁プレート９０によって防止するができ、高品質に断熱することができる。
【００５２】
また本実施形態では、挟み込み部材７０によって、内面パネル４０と外面パネル５０とに伝達した熱と、内面パネル４０と外面パネル５０とから輻射によって伝達された熱とをチューブ６０に伝熱することができるために、高品質に断熱することができる。
【００５３】
また本実施形態では、チューブ６０を樹脂製にすることで、フレキシブル性を要求される断熱部位にも配設することができる。
【００５４】
なお本実施形態では、チューブ６０は、例えば一方の断熱構造３０から露出し、さらにユニット１０から露出しユニット１０の側面にて折り返されて他方の断熱構造３０に配設されるものとしたが、各断熱構造３０に渡って配設されている一本の長尺のものであればこれに限定されない。チューブ６０は、図１Ｅに示すように、例えば一方の断熱構造３０から露出してユニット１０の内部１０ａにて折り返されて他方の断熱構造３０に配設されてもよい。
【００５５】
またチューブ６０の配設は、熱がチューブ６０に伝達できれば上記のように両端で折り返されることに限定される必要はない。
【００５６】
また本実施形態では、内面パネル４０と外面パネル５０とから輻射される熱を考慮しなくてよい場合、チューブ当接部７１ａと挟み込み部７１ｂとは内面パネル当接部７１ｃと共に内面パネル４０に当接し、チューブ当接部７３ａと挟み込み部７３ｂとは外面パネル当接部７３ｃと共に外面パネル５０に当接していてもよい。  
また本実施形態では、内面パネル４０と外面パネル５０とから輻射される熱を考慮する場合、チューブ当接部７１ａと挟み込み部７１ｂとの少なくとも一方は内面パネル４０から離れ、チューブ当接部７３ａと挟み込み部７３ｂとの少なくとも一方は外面パネル５０から離れていればよい。  
このように挟み込み部材７０は、内面パネル４０と外面パネル５０とから伝導と輻射、または伝導によってのみ熱を伝達される。
【００５７】
次に本実施形態の変形例について図２を参照して説明する。  
本変形例の内面パネル４０の熱伝導率は、外面パネル５０の熱伝導率よりも低い。そのため内面パネル４０は、輻射しやすい。よって挟み込み部材７０は、輻射熱をチューブ６０に伝達するために、内面パネル４０と外面パネル５０とから離れている。また挟み込み部材７１と挟み込み部材７３とは互い違いに配設されている。
【００５８】
このように本変形例では、より多くの輻射熱をチューブ６０に伝達することができ、より高品質の断熱性能を得ることができる。
【００５９】
また本変形例では、チューブ当接部７１ａ，７３ａと挟み込み部７１ｂ，７３ｂのみを金型で製作すればよいために、安価且つ簡易に挟み込み部材７０を製作することができる。
【００６０】
次に、本発明に係る第２の実施形態について図３Ａから図３Ｅを参照して説明する。なお、第１の実施形態と同一の構成については、第１の実施形態と同一の参照符号を付すことにより説明を省略する。  
本実施形態の内面パネル４０と外面パネル５０とは、図３Ｅに示すように、例えば凹形状を有している箱部材である。内面パネル４０は、外面パネル５０よりも小さく、外面パネル５０によって覆いかぶされる。このとき内面パネル４０と外面パネル５０との間には、断熱のためにチューブ６０と挟み込み部材７０とが配設される。
【００６１】
図３Ｃと図３Ｄと図３Ｅとに示すように、挟み込み部材７０において、挟み込み部材７１は、圧縮によって密着した状態でチューブ６０と当接するチューブ当接部７１ａと、挟み込み部７３ｂと共に熱絶縁プレート９０を挟み込む挟み込み部７１ｂとを有している。
【００６２】
また図３Ｃと図３Ｄと図３Ｅとに示すように、挟み込み部材７３は、圧縮によって密着した状態でチューブ６０と当接するチューブ当接部７３ａと、挟み込み部７１ｂと共に熱絶縁プレート９０を挟み込む挟み込み部７３ｂとを有している。
【００６３】
挟み込み部材７０の熱伝導率は、チューブ６０の熱伝導率よりも高く、内面パネル４０の熱伝導率と外面パネル５０の熱伝導率と略同一である。
【００６４】
図３Ｃに示すよう挟み込み部材７０は、例えば銅やアルミニウムなどの金属で、チューブ６０との当接面積を多く確保し、伝熱と輻射とを防止して断熱するために、予め窪みのある板金において、図３Ｄと図３Ｅとに示すように、窪みでチューブ６０と熱絶縁プレート９０を挟み込んだ状態で互いに向って圧縮する曲げ加工によって製作される。この窪みは、あらかじめ金型などで形成されていても良いし、圧縮する際に形成しても良い。
【００６５】
このように挟み込み部材７０が加工されると、板金である挟み込み部材７０は、密着した状態でチューブ６０と当接し挟み込み、略四角形形状を有するチューブ当接部７１ａ，７３ａと、熱絶縁プレート９０を挟み込み、平面形状を有する挟み込み部７１ｂ，７３ｂとを有することとなる。
【００６６】
図３Ｅに示すように、挟み込み部材７１は、内面パネル４０から輻射によって伝達された熱をチューブ当接部７１ａと挟み込み部７１ｂとを介してチューブ６０に伝達する伝達部材である。また挟み込み部材７３は、外面パネル５０から輻射によって伝達された熱をチューブ当接部７３ａと挟み込み部７３ｂとを介してチューブ６０に伝達する伝達部材である。このように挟み込み部材７０は、内面パネル４０と外面パネル５０とから挟み込み部材７０に伝達された熱をチューブ６０に伝達することで、ユニット１０から精密装置（他方のユニット）が設置される環境と他方のユニットへの伝熱を防止し、断熱する断熱板となると同時に輻射熱をチューブ６０に伝達することで、ユニット１０から精密装置（他方のユニット）が設置される環境と他方のユニットへの輻射を防止する輻射防止板となる。  
挟み込み部材７０は、内面パネル４０と外面パネル５０とから輻射によってのみ熱を伝達される。
【００６７】
また図３Ｅに示すように、本実施形態の熱絶縁プレート９０は、内面パネル４０から外面パネル５０に直接伝熱することを防止し、外面パネル５０から内面パネル４０に直接伝熱することを防止するために、内面パネル４０と外面パネル５０との当接部にも配設されている。
【００６８】
次に本実施形態の動作方法について説明する。  
図３Ｄに示すように、例えば挟み込み部材７１において、熱絶縁プレート９０が挟み込み部７１ｂに載置され、チューブ６０がチューブ当接部７１ａに載置される。この状態で挟み込み部材７３は、熱絶縁プレート９０とチューブ６０とを挟み込む。
【００６９】
次に、挟み込み部材７１と挟み込み部材７３とは、チューブ６０との当接面積を多く確保するために、互いに向って圧縮され曲げ加工によって製作される。このときチューブ当接部７１ａ，７３ａは密着した状態でチューブ６０を挟み込み（押し潰し）、挟み込み部７１ｂ，７３ｂは熱絶縁プレート９０を挟み込む。
【００７０】
挟み込み部材７１と挟み込み部材７３とは、熱絶縁プレート９０を貫通する締結部材９１によって締結する。  
この状態で、挟み込み部材７０とチューブ６０と熱絶縁プレート９０と締結部材９１とは内面パネル４０に配設され、内面パネル４０は外面パネル５０によって覆いかぶされる。このとき内面パネル４０と外面パネル５０との当接部には、熱絶縁プレート９０が配設され、チューブ６０には、冷却媒体６１が流れる。
【００７１】
発熱体１１から発生し、内面パネル４０に伝達された熱は、内面パネル４０から挟み込み部材７１に向って輻射される。挟み込み部材７１は、この輻射熱を、チューブ当接部７１ａと挟み込み部７１ｂとで受けて、チューブ当接部７１ａからチューブ６０に無駄なく伝達する。
【００７２】
また内面パネル４０からの輻射によって外面パネル５０に伝達された熱は、外面パネル５０から挟み込み部材７３に向って輻射される。挟み込み部材７３は、この輻射熱を、チューブ当接部７３ａと挟み込み部７３ｂとで受けて、チューブ当接部７３ａからチューブ６０に無駄なく伝達する。
【００７３】
チューブ６０は、内面パネル４０から輻射された熱と、外面パネル５０から輻射された熱とを、チューブ当接部７１ａとチューブ当接部７３ａを介して冷却媒体６１によって冷却する。
【００７４】
また熱絶縁プレート９０は、第１の実施形態と同様に動作するために詳細な説明を省略する。なお本実施形態の熱絶縁プレート９０は、内面パネル４０から外面パネル５０に直接伝熱することを防止し、外面パネル５０から内面パネル４０に直接伝熱することを防止する。
【００７５】
このように本実施形態では、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。  
また本実施形態では、挟み込み部材７０を圧縮することで、チューブ当接部７１ａ，７３ａにて当接面積を多く確保でき、特殊な加工が不要になるため、金型を不要にでき、容易に加工でき、断熱構造３０を安価にすることができる。
【００７６】
また本実施形態では、圧縮によって挟み込み部をチューブ６０に密着させることができ、締結部材９１によって熱絶縁プレート９０を強固に挟むことができるために、より効率的にチューブ６０に伝熱することができる。
【００７７】
次に本実施形態の第１の変形例に図４Ａと図４Ｂを参照して説明する。  
本実施形態では、断熱構造３０は、ユニット１０の背面として構成されるものではなく、ユニット１０の背面１０ｃに配設される。
【００７８】
内面パネル４０と外面パネル５０とは、第１の実施形態と同様に例えば凹形状を有しているが、大きさは略同一である。なお内面パネル４０は、背面１０ｃに配設される。また外面パネル５０は、内面パネル４０よりも深みを有している。
【００７９】
また例えば、挟み込み部材７１は、平板であり、内面パネル４０を覆う。このとき挟み込み部材７１は、内面パネル４０の蓋となる。そして、挟み込み部材７１と内面パネル４０との間には空間部４１が形成される。挟み込み部材７１にはチューブ６０が載置され、このとき挟み込み部材７１はチューブ６０と面当接する。
【００８０】
挟み込み部材７３は、チューブ６０を覆うように凹形状を有している。挟み込み部材７３は、チューブ６０を覆うと同時に密着し面当接する。挟み込み部材７３は、底面部７３ｄにて外面パネル５０と面当接し、上面部７３ｅにて挟み込み部材７１と面当接している。挟み込み部材７３の高さは、外面パネル５０の深さと略同一である。
【００８１】
挟み込み部材７１の熱伝導率と挟み込み部材７３の熱伝導率とは、内面パネル４０の熱伝導率と略同一である。
【００８２】
次に本変形例の動作方法について説明する。  
発熱体１１から発生した熱は、背面１０ｃと内面パネル４０とを介して挟み込み部材７１と、外面パネル５０とに伝達する。  
挟み込み部材７１は、伝達された熱を底面部７３ｄと上面部７３ｅとを含む挟み込み部材７３と、挟み込み部材７１とを介してチューブ６０に伝達する。  
挟み込み部材７３は、挟み込み部材７１から上面部７３ｅを介して伝達された熱と、外面パネル５０から底面部７３ｄを介して伝達された熱とをチューブ６０に伝達する。
【００８３】
また発熱体１１から発生した熱は、背面１０ｃに伝達し、さらに空間部４１を介して輻射によって内面パネル４０に伝達する。  
また発熱体１１から発生し、内面パネル４０に伝達された熱は、内面パネル４０から輻射される。また上述したように外面パネル５０に伝達された熱は、外面パネル５０から輻射される。挟み込み部材７３は、この輻射熱を受けてチューブ６０に伝達する。  
チューブ６０は、挟み込み部材７１と挟み込み部材７３とを通じて伝達された熱を冷却媒体６１によって冷却する。  
なお挟み込み部材７１，７３はチューブ６０に面当接する。そのため熱は、無駄なくチューブ６０に伝達し、断熱される。
【００８４】
このように挟み込み部材７０が内面パネル４０と外面パネル５０とにおける熱をチューブ６０に伝達することで、チューブ６０はユニット１０から精密装置が設置される環境と他方のユニットへ断熱する。
【００８５】
このように本変形例では、挟み込み部材７１全面によって内面パネル４０から伝熱されさらに輻射熱を受けている。また本変形例では、挟み込み部材７３において、底面部７３ｄにて外面パネル５０と面当接し外面パネル５０から伝熱され、上面部７３ｅにて挟み込み部材７０と面当接し挟み込み部材７０から伝熱され、外面パネル５０と挟み込み部材７０とから輻射熱を受けている。これにより本変形例では、チューブ６０に第１の実施形態よりも多くの熱を伝達することができ、高品質な断熱性能を得ることができる。
【００８６】
次に本実施形態の第２の変形例について図５Ａと図５Ｂと図５Ｃと図５Ｄとを参照して説明する。  
本変形例では、図５Ｃに示すように断熱カーテン９５を構成することができる。断熱カーテン９５は、内面パネル４０と外面パネル５０との間に配設される。
【００８７】
断熱カーテン９５は、互いに貼り合わさることで複数のチューブ６０を挟み込み、挟み込み部材７０を兼ねる１対の樹脂製のシート９７と、図５Ａと図５Ｂとに示すようにチューブ６０の熱伝導性を向上させるために、チューブ６０に巻かれ、さらにシート９７の互いに対向する面９７ａに貼り付けられる金属箔６３と、一方のシート９７と他方のシート９７との間に挟みこまれる熱絶縁部材９９とを有している。
【００８８】
金属箔６３は、例えばアルミ材などが用いられる。
シート９７は、チューブ６０を挟み込む挟み込み部材７０でもある。シート９７は、樹脂製であるために、チューブ６０の形状に合わせて変形自在である。断熱カーテン９５は、シート９７によってフレキシブルに曲がるために、チューブ６０の設置の自由度を向上させることができる。
【００８９】
これにより本変形例は、チューブ６０の設置の自由度を増すことができる。  
また本変形例では、金属箔６３によって熱の伝達を向上させることができ、高品質な断熱性能を得ることができる。
【００９０】
次に本実施形態の第３の変形例について図６を参照して説明する。  
第３の変形例において、例えば、金属箔６３がチューブ６０に巻かれていれば、チューブ６０が外面パネル５０と内面パネル４０との間に直接配設されていてもよい。このとき内面パネル４０と外面パネル５０とは、挟み込み部材７０を兼ねている。内面パネル４０と外面パネル５０とは、挟み込み部材７０と同様に、金型によって製作されるものではなく、チューブ６０との当接面積を多く確保し、伝熱と輻射とを防止して断熱するために、板金をチューブ６０を挟み込んだ状態で互いに向って圧縮する曲げ加工によって製作される。
【００９１】
また内面パネル４０と外面パネル５０とは、チューブ６０を圧縮する際に押しつぶすために、面接触する。このとき内面パネル４０と外面パネル５０とは、チューブ６０の位置を固定する。
【００９２】
そのため本変形例では、内面パネル４０と外面パネル５０とにおける熱を、面接触と金属箔６３とによってより効率よくチューブ６０に伝達することができる。また本変形例では、内面パネル４０と外面パネル５０とにおける輻射熱を、金属箔６３によってより効率よくチューブ６０に伝達することができる。これにより本変形例では、より高い断熱性能を得ることができる。
【００９３】
また本変形例では、内面パネル４０と外面パネル５０とが挟み込み部材７０を兼ねているために、安価にすることができる。また本変形例では、内面パネル４０と外面パネル５０とが圧縮によってチューブ６０を圧縮して固定するために、製作の手間を簡便にすることができ短時間に作製することができる。
【００９４】
次に本実施形態の第４の変形例について図７を参照して説明する。  
上述した各実施形態と変形例における樹脂製のチューブ６０は、熱伝導性を向上させるために金属のフィラーなどの熱伝導性の良い素材を、チューブ６０の樹脂材料に配合して成形してもよい。この場合、金属箔６３は不要となり、作業性を向上させることができる。
【００９５】
このように本発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。
【符号の説明】
【００９６】
１０…ユニット、１１…発熱体、３０…断熱構造、４０…内面パネル、４１…空間部、５０…外面パネル、６０…チューブ、６１…冷却媒体、７０，７１，７３…挟み込み部材、７１ａ，７３ａ…チューブ当接部、７１ｂ，７３ｂ…挟み込み部、７１ｃ…内面パネル当接部、７３ｃ…外面パネル当接部、９０…熱絶縁プレート、９１…締結部材。
【図１Ａ】
2011169518.tif 000003
【図１Ｂ】
2011169518.tif 000004
【図１Ｃ】
2011169518.tif 000005
【図１Ｄ】
2011169518.tif 000006
【図１Ｅ】
2011169518.tif 000007
【図２】
2011169518.tif 000008
【図３Ａ】
2011169518.tif 000009
【図３Ｂ】
2011169518.tif 000010
【図３Ｃ】
2011169518.tif 000011
【図３Ｄ】
2011169518.tif 000012
【図３Ｅ】
2011169518.tif 000013
【図４Ａ】
2011169518.tif 000014
【図４Ｂ】
2011169518.tif 000015
【図５Ａ】
2011169518.tif 000016
【図５Ｂ】
2011169518.tif 000017
【図５Ｃ】
2011169518.tif 000018
【図５Ｄ】
2011169518.tif 000019
【図６】
2011169518.tif 000020
【図７】
2011169518.tif 000021
【図８】
2011169518.tif 000022