(57)【要約】【課題】基板上に付着した異物を除去する際に基板の損傷を抑制する。【解決手段】電気光学装置の製造方法は、粘着面を有する粘着テープ（２３０）を押圧して平坦化する平坦化工程と、平坦化された粘着テープを、基板（２０）上に形成された膜（２２）に貼り付けた後に剥離して前記膜上の異物（３００）を除去する異物除去工程とを備える。粘着テープを平坦化することにより、粘着面の平坦度のバラツキを抑制し、もって、粘着面における粘着力のバラツキを抑制することができる。この結果、基板上に形成された膜上の異物が粘着テープにより除去される際に、該粘着テープにより該膜が損傷することを抑制することができる。【選択図】図３
2011215525.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘着面を有する粘着テープを押圧して平坦化する平坦化工程と、
前記平坦化された粘着テープを、基板上に形成された膜に貼り付けた後に剥離して前記
膜上の異物を除去する異物除去工程と
を備えることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項２】
前記膜は、ラビング処理が施された配向膜であることを特徴とする請求項１に記載の電
気光学装置の製造方法。
【請求項３】
前記平坦化工程においては、前記粘着テープを、前記粘着テープの前記粘着面とは反対
側の面から押圧して前記粘着面を平坦面に貼り付けた後に、前記平坦面から剥離すること
を特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置の製造方法。
【請求項４】
前記平坦化工程においては、前記粘着面を平坦化することを特徴とする請求項１乃至３
のいずれか一項に記載の電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶装置等の電気光学装置の製造方法に関し、特に、該電気光学装置
を構成する、例えば電子回路等が形成された基板上に付着した異物をテープを用いて除去
する工程を備えた電気光学装置の製造方法の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の方法として、例えば、粘着テープを基板の配向膜に粘着させて異物を除去した
後に、基板表面に残留した残留粘着材の粘着力を紫外線照射により低下させ、粘着力が低
下された残留粘着材をエアブローによって基板上から除去する方法が提案されている（特
許文献１参照）。或いは、配向膜上に液体の有機被膜を塗布し、有機被膜の乾燥後に除塵
用のテープにより有機被膜を剥離する方法が提案されている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２３１２７号公報
【特許文献２】特開２００２−１６２６１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、粘着テープの粘着面は必ずしも平坦ではなく、粘着面において粘着力のバラ
ツキが生じる可能性がある。上述の背景技術では、粘着力のバラツキについては考慮され
ていない。すると、粘着力のバラツキに起因して、基板又は該基板上に形成された膜が損
傷する可能性があるという技術的問題点がある。
【０００５】
本発明は、例えば上記問題点に鑑みてなされたものであり、基板上に付着した異物を除
去する際に基板又は該基板上に形成された膜の損傷を抑制することができる電気光学装置
の製造方法を提案することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記課題を解決するために、粘着面を有する粘着
テープを押圧して平坦化する平坦化工程と、前記平坦化された粘着テープを、基板上に形
成された膜に貼り付けた後に剥離して前記膜上の異物を除去する異物除去工程とを備える
。
【０００７】
本発明の電気光学装置の製造方法によれば、平坦化工程において、粘着面を有する粘着
テープが押圧され平坦化される。そして、異物除去工程において、平坦化された粘着テー
プが、基板上に形成された膜に貼り付けられた後に剥離されることにより、該膜上の異物
が除去される。
【０００８】
尚、粘着テープの平坦化は、例えば、粘着テープを平坦な面を有する部材に押圧するこ
とによって行ってもよいし、或いは、粘着テープを二つのローラーの間に通し、該二つの
ローラーで粘着テープを押圧することによって行ってもよい。
【０００９】
本願発明者の研究によれば、以下の事項が判明している。即ち、粘着テープは、その品
質によっては、粘着面の平坦度にバラツキが存在する。すると、平坦度のバラツキに起因
して粘着面における粘着力のバラツキが生じ、基板上に形成された膜上の異物を粘着テー
プにより除去する際に、該膜が損傷する可能性がある。例えば、基板上に形成された膜が
、液晶表示装置における配向膜である場合、異物（例えば、ラビングカス）が除去される
際に配向膜が損傷すると、配向不良が生じ、表示画像の品質が低下してしまう。
【００１０】
尚、粘着面の平坦度が均一な粘着テープを開発及び製造することも考えられるが、例え
ば費用対効果を考慮すると現実的ではない。また、仮に粘着面の平坦度が均一な粘着テー
プを製造したとしても、粘着テープは、一般的にロール状に巻いた状態で保管されるため
、粘着テープが実際に使用される際に、粘着面の平坦度が均一であるとは限らない。
【００１１】
しかるに本発明では、平坦化工程において粘着テープが平坦化され、異物除去工程にお
いて、該平坦化された粘着テープにより、基板上に形成された膜上の異物が除去される。
このため、粘着テープの粘着面の平坦度にバラツキが存在していたとしても、粘着テープ
の平坦化に伴って粘着面も平坦化することができるので、基板上に形成された膜上の異物
が粘着テープにより除去される際に、該粘着テープにより該膜が損傷することを抑制する
ことができる。
【００１２】
本発明の電気光学装置の製造方法の一態様では、前記膜は、ラビング処理が施された配
向膜である。
【００１３】
この態様によれば、ラビング処理の際に発生したラビングカスを適切に除去できると共
に、配向膜が損傷することを抑制することができる。この結果、該配向膜が形成された基
板を備える、本発明に係る「電気光学装置」の一例としての、液晶表示装置の表示画像の
品質が低下することを抑制することができる。
【００１４】
本発明の電気光学装置の製造方法の他の態様では、前記平坦化工程においては、前記粘
着テープを、前記粘着テープの前記粘着面とは反対側の面から押圧して前記粘着面を平坦
面に貼り付けた後に、前記平坦面から剥離する。
【００１５】
この態様によれば、比較的容易にして、粘着テープを平坦化することができ、実用上非
常に有利である。
【００１６】
本発明の電気光学装置の製造方法の他の態様では、前記平坦化工程においては、前記粘
着面を平坦化する。
【００１７】
この態様によれば、平坦化工程において、粘着テープの粘着面を確実に平坦化すること
ができるので、実用上非常に有利である。
【００１８】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための形態から明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態に係る液晶装置を、ＴＦＴアレイ基板上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図である。
【図２】図１のＨ−Ｈ´線断面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る平坦化工程の概念を示す概念図である。
【図４】本発明の実施形態に係る異物除去工程の概念を示す概念図である。
【図５】平坦化処理後の除塵テープの粘着面の表面形状プロファイルの一例である。
【図６】平坦化処理前の除塵テープの粘着面の表面形状プロファイルの一例である。
【図７】平坦化処理を施されていない除塵テープを用いて、配向膜の異物が除去された基板により構成された液晶装置の表示画面の一例を示す概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明に係る電気光学装置の製造方法の実施形態を、図面に基づいて説明する。
尚、以下の図では、各層・各部材を図面上で確認可能な程度の大きさとするために、該各
層・各部材毎に縮尺を異ならしめている。
【００２１】
＜電気光学装置＞
先ず、本発明に係る製造方法により製造された電気光学装置の実施形態を、図１及び図
２を参照して説明する。尚、本実施形態では、電気光学装置の一例として、駆動回路内蔵
型のアクティブマトリックス駆動方式の液晶装置を挙げる。
【００２２】
本実施形態に係る液晶装置の全体構成について、図１及び図２を参照して説明する。図
１は、本実施形態に係る液晶装置を、ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏ
ｒ）アレイ基板上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図であり、図
２は、図１のＨ−Ｈ´線断面図である。
【００２３】
図１及び図２において、本実施形態に係る液晶装置１００では、ＴＦＴアレイ基板１０
及び対向基板２０が対向配置されている。ＴＦＴアレイ基板１０は、例えば、石英基板、
ガラス基板、シリコン基板等の基板からなり、対向基板２０は、例えば、石英基板、ガラ
ス基板等の基板からなる。ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間に液晶層５０が封
入されており、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とは画像表示領域１０ａの周囲に位
置するシール領域に設けられたシール材５２により相互に接着されている。
【００２４】
シール材５２は、両基板を貼り合わせるための、例えば紫外線硬化樹脂や熱硬化樹脂、
又は紫外線・熱併用型硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいてＴＦＴアレイ基板１０
上に塗布された後、紫外線照射、加熱等により硬化させられたものである。シール材５２
中には、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間隔（即ち、ギャップ）を所定値とす
るためのグラスファイバ或いはガラスビーズ等のギャップ材が散布されている。尚、ギャ
ップ材を、シール材５２に混入されるものに加えて若しくは代えて、画像表示領域１０ａ
又は画像表示領域１０ａの周辺に位置する周辺領域に、配置するようにしてもよい。
【００２５】
図１において、シール材５２が配置されたシール領域の内側に並行して、画像表示領域
１０ａを規定する遮光性の額縁遮光膜５３が、対向基板２０側に設けられている。但し、
このような額縁遮光膜５３の一部又は全部は、ＴＦＴアレイ基板１０側に内蔵遮光膜とし
て設けられてもよい。
【００２６】
周辺領域のうち、シール材５２が配置されたシール領域の外側に位置する領域には、デ
ータ線駆動回路１０１及び外部回路接続端子１０２がＴＦＴアレイ基板１０の一辺に沿っ
て設けられている。この一辺に沿ったシール領域よりも内側にサンプリング回路７が額縁
遮光膜５３に覆われるようにして設けられている。走査線駆動回路１０４は、この一辺に
隣接する２辺に沿ったシール領域の内側の額縁領域に、額縁遮光膜５３に覆われるように
して設けられている。
【００２７】
ＴＦＴアレイ基板１０上には、対向基板２０の４つのコーナー部に対向する領域に、両
基板間を上下導通材１０７で接続するための上下導通端子１０６が配置されている。これ
らにより、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間で電気的な導通をとることができ
る。更に、外部回路接続端子１０２と、データ線駆動回路１０１、走査線駆動回路１０４
、上下導通端子１０６等とを電気的に接続するための引回配線９０が形成されている。
【００２８】
図２において、ＴＦＴアレイ基板１０上には、駆動素子である画素スイッチング用のト
ランジスタや走査線、データ線等の配線が作り込まれた積層構造が形成される。この積層
構造の詳細な構成については図２では図示を省略してあるが、この積層構造の上に、ＩＴ
Ｏ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）を含んでなる画素電極９ａが、画素毎に所定の
パターンで島状に形成されている。
【００２９】
画素電極９ａは、後述する対向電極２１に対向するように、ＴＦＴアレイ基板１０上の
画像表示領域１０ａに形成されている。ＴＦＴアレイ基板１０における液晶層５０の面す
る側の表面、即ち画素電極９ａ上には、配向膜１６が画素電極９ａを覆うように形成され
ている。尚、配向膜１６、及び後述する配向膜２２は、所定方位にラビングが施された有
機配向膜である。
【００３０】
対向基板２０におけるＴＦＴアレイ基板１０との対向面上に、遮光膜２３が形成されて
いる。遮光膜２３は、例えば対向基板２０における対向面上に平面的に見て、格子状に形
成されている。対向基板２０において、遮光膜２３によって非開口領域が規定され、遮光
膜２３によって区切られた領域が、例えばプロジェクタ用のランプや直視用のバックライ
トから出射された光を透過させる開口領域となる。尚、遮光膜２３をストライプ状に形成
し、該遮光膜２３と、ＴＦＴアレイ基板１０側に設けられたデータ線等の各種構成要素と
によって、非開口領域を規定するようにしてもよい。
【００３１】
遮光膜２３上に、ＩＴＯを含んでなる対向電極２１が複数の画素電極９ａと対向して形
成されている。遮光膜２３上に、画像表示領域１０ａにおいてカラー表示を行うために、
開口領域及び非開口領域の一部を含む領域に、図２には図示しないカラーフィルタが形成
されるようにしてもよい。対向基板２０の対向面上における、対向電極２１上には、配向
膜２２が形成されている。
【００３２】
尚、図１及び図２に示したＴＦＴアレイ基板１０上には、これらのデータ線駆動回路１
０１、走査線駆動回路１０４、サンプリング回路７等に加えて、複数のデータ線に所定電
圧レベルのプリチャージ信号を画像信号に先行して各々供給するプリチャージ回路、製造
途中や出荷時の当該液晶装置の品質、欠陥等を検査するための検査回路等を形成してもよ
い。
【００３３】
＜製造方法＞
次に、本発明に係る製造方法の実施形態について、図３乃至図６を参照して説明する。
尚、本実施形態では、上述した液晶装置１００を構成する対向基板２０上に形成された配
向膜２２にラビング処理が施された後に、該配向膜２２上に付着した異物（例えば、ラビ
ングカス）を除去する工程を一例として挙げる。
【００３４】
図３は、本実施形態に係る平坦化工程の概念を示す概念図であり、図４は、本実施形態
に係る異物除去工程の概念を示す概念図である。
【００３５】
図３及び図４において、パレット２１０上には、平坦面を有するガラス板２５０と、複
数の対向基板２０とが交互に載置されている。ここで、対向基板２０上には、異物３００
が付着しているものとする。尚、パレット２１０は、図面の右側から左側に向かって移動
する。
【００３６】
本実施形態では、対向基板２０上に付着した異物３００を除去する際、先ず、図３に示
すように、ゴムローラー２２０が図中の矢印の方向に除塵テープ２３の粘着面とは反対側
の面を押圧ながら移動することにより、除塵テープ２３０がガラス板２５０に押圧され、
平坦化される。つまり、除塵テープ２３０の粘着面が、ゴムローラー２２０により、ガラ
ス板２５０に貼り付けられることによって、除塵テープ２３０の粘着面が平坦化される。
【００３７】
次に、除塵テープ２３０がガラス板２５０から剥離され、該剥離された除塵テープ２３
０とパレット２１０との間隙に、複数の対向基板２０が配置される。続いて、図４に示す
ように、ゴムローラー２２０が図中の矢印の方向に除塵テープ２３の粘着面とは反対側の
面を押圧ながら移動することにより、平坦化された除塵テープ２３０が複数の対向基板２
０に押圧される。つまり、平坦化された除塵テープ２３０の粘着面が、複数の対向基板２
０に貼り付けられる。
【００３８】
次に、除塵テープ２３０が、巻き取りロール２４０側に巻き取られながら、複数の対向
基板２０の各々から剥離されることにより、複数の対向基板２０の各々の上に付着してい
た異物３００が除去される。
【００３９】
尚、除塵テープ２３０がガラス板２５０から剥離される際には、例えば、除塵テープ２
３０及び巻き取りロール２４０を夫々支持する支持部材が、図中の上下方向に移動しても
よいし、除塵テープ２３０が巻き取りロール２４０側に一旦巻き取られた後、除塵テープ
２３０のガラス板２５０に押圧された部分が、複数の対向基板２０に押圧されるように、
除塵テープ２３０側に巻き戻すようにしてもよい。
【００４０】
ここで、除塵テープ２３０の粘着面の表面形状について、図５及び図６を参照して説明
する。図５は、平坦化処理後の除塵テープの粘着面の表面形状プロファイルの一例であり
、図６は、平坦化処理前の除塵テープの粘着面の表面形状プロファイルの一例である。図
５及び図６において、（ａ）は、一の方向（Ｘ方向）に粘着面を切った断面であり、（ｂ
）は、該一の方向と交わる方向（Ｙ方向）に粘着面を切った断面である。
【００４１】
平坦化された除塵テープ２３０の粘着面の表面形状（図５参照）は、平坦化前の除塵テ
ープ２３０の粘着面の表面形状（図６参照）に比べて、粘着膜表面のうねりが小さくなる
と共に、大きく窪んだ部位が無くなっていることがわかる。
【００４２】
仮に、除塵テープ２３０を平坦化せずに、例えば対向基板２０上に付着した異物３００
を除去すると、粘着面における粘着力のバラツキに起因して、対向基板２０上に形成され
た配向膜２２上の異物３００を除去する際に、該配向膜２２が損傷するおそれがある。そ
して、損傷した配向膜２２を有する対向基板２０を備えて構成された液晶装置では、配向
不良が生じ、例えば図７に示すような、表示ムラのある画像が表示される（即ち、画像品
質が低下する）。
【００４３】
尚、図７は、平坦化処理を施されていない除塵テープを用いて、配向膜の異物が除去さ
れた基板により構成された液晶装置の表示画面の一例を示す概念図である。
【００４４】
しかるに本実施形態では、上述の如く、対向基板２０上に付着した異物３００が除去さ
れる前に、除塵テープ２３０が平坦化される。このため、対向基板２０上に形成された配
向膜２２上の異物３００が除塵テープ２３０により除去される際に、該除塵テープ２３０
により配向膜２２が損傷することを抑制することができる。
【００４５】
尚、本実施形態に係る、「除塵テープ２３０」、「対向基板２０」及び「配向膜２２」
は、夫々、本発明に係る「粘着テープ」、「基板」及び「膜」の一例である。
【００４６】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲及び明細書全体
から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような
変更を伴う電気光学装置の製造方法もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００４７】
２０…対向基板、２２…配向膜、１００…液晶装置、２１０…パレット、２２０…ゴム
ローラー、２３０…除塵テープ、２４０…巻き取りロール、２５０…ガラス板、３００…
異物
【図１】
2011215525.tif 000003
【図２】
2011215525.tif 000004
【図３】
2011215525.tif 000005
【図４】
2011215525.tif 000006
【図５】
2011215525.tif 000007
【図６】
2011215525.tif 000008
【図７】
2011215525.tif 000009