(57)【要約】【課題】反射スクリーンの面内において適正な反射膜の膜厚を確保する反射スクリーンの製造方法を提供する。【解決手段】スクリーン基板１０の垂直方向および水平方向に、複数の凹部を形成する凹部形成工程と、凹部の一部にスクリーン基板１０の観察面の法線に対して垂直方向にずれた位置から、反射膜材料を蒸着源としてのフィラメント４０から斜めに蒸着して投影光を反射する反射膜を形成する反射膜形成工程と、を有し、反射膜形成工程は、観察面の表面がフィラメント４０に対して内側に向き、水平方向に曲面となるように配置したスクリーン基板１０とフィラメント４０との間に、フィラメント４０から蒸発する粒子の一部を遮る補正板３６を配置し、補正板３６が垂直方向の軸を回転軸として回転するように構成し、スクリーン基板１０に反射膜材料を蒸着して反射膜を形成する工程である。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクリーン基板の観察面の法線に対して垂直方向にずれた位置に配置されたプロジェクターから、前記観察面に向けて斜めに射出された投影光を、観察側に反射する反射スクリーンの製造方法であって、
前記スクリーン基板の垂直方向および水平方向に、複数の凹部を形成する凹部形成工程と、
前記凹部の一部に前記スクリーン基板の前記観察面の前記法線に対して垂直方向にずれた位置から、反射膜材料を蒸着源から斜めに蒸着して投影光を反射する反射膜を形成する反射膜形成工程と、を有し、
前記反射膜形成工程は、前記観察面の表面が前記蒸着源に対して内側に向き、水平方向に曲面となるように配置した前記スクリーン基板と前記蒸着源との間に、前記蒸着源から蒸発する反射膜材料の粒子の一部を遮る補正板を配置し、
前記スクリーン基板と前記補正板とが垂直方向の軸を回転軸として相対的に回転するように構成し、前記スクリーン基板に反射膜材料を蒸着して前記反射膜を形成する工程であることを特徴とする反射スクリーンの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の反射スクリーンの製造方法において、
前記反射膜形成工程は、
前記蒸着源の上方側から見て前記スクリーン基板を円周上に配置し、その円の中心に配置した前記蒸着源から反射膜材料を斜めに蒸着して前記反射膜を形成することを特徴とする反射スクリーンの製造方法。
【請求項３】
請求項１に記載の反射スクリーンの製造方法において、
前記反射膜形成工程は、
前記蒸着源の上方側から見て、前記スクリーン基板を円周上に配置し、その円の中心から前記スクリーン基板に近づく方向に外れた位置に配置した前記蒸着源から反射膜材料を斜めに蒸着して前記反射膜を形成することを特徴とする反射スクリーンの製造方法。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の反射スクリーンの製造方法において、
前記反射膜形成工程は、
複数の前記蒸着源を用いて前記反射膜を蒸着することを特徴とする反射スクリーンの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、投影光を入射させて用いる反射スクリーンの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プロジェクターなどから射出される投影光を受け、その投影光を反射させて拡大画像を映し出す反射スクリーンが知られている。
例えば、近接型プロジェクター用の反射スクリーンの光の反射は、スクリーン基板の観察面に形成した複数の凹部からなる単位形状部に反射面を設けることで行われている。
特許文献１には、近接型プロジェクター用の反射スクリーンにおいて、スクリーン基板の凹部の投影光が入射される部分に、斜方から反射膜材料を蒸着して反射膜を成膜し、容易に反射面を形成する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１５１９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に示すような、斜方から反射膜材料を蒸着して凹部に反射膜を形成する方法（斜方蒸着法）において、大きな面積を有する反射スクリーンでは、面内の膜厚のばらつきが大きくなるという課題がある。
例えば反射膜の膜厚が薄い部分では反射率が充分に得られず、また、膜厚が厚い部分では反射膜が剥離しやすいという問題が生ずる。
このため、反射スクリーンの全域において適正な反射膜の膜厚を確保する反射スクリーンの製造方法が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかる反射スクリーンの製造方法は、スクリーン基板の観察面の法線に対して垂直方向にずれた位置に配置されたプロジェクターから、前記観察面に向けて斜めに射出された投影光を、観察側に反射する反射スクリーンの製造方法であって、前記スクリーン基板の垂直方向および水平方向に、複数の凹部を形成する凹部形成工程と、前記凹部の一部に前記スクリーン基板の前記観察面の前記法線に対して垂直方向にずれた位置から、反射膜材料を蒸着源から斜めに蒸着して投影光を反射する反射膜を形成する反射膜形成工程と、を有し、前記反射膜形成工程は、前記観察面の表面が前記蒸着源に対して内側に向き、水平方向に曲面となるように配置した前記スクリーン基板と前記蒸着源との間に、前記蒸着源から蒸発する反射膜材料の粒子の一部を遮る補正板を配置し、前記スクリーン基板と前記補正板とが垂直方向の軸を回転軸として相対的に回転するように構成し、前記スクリーン基板に反射膜材料を蒸着して前記反射膜を形成する工程であることを特徴とする。
【０００７】
この反射スクリーンの製造方法によれば、スクリーン基板に複数の凹部を形成する凹部形成工程と、スクリーン基板の凹部の一部に反射膜材料を蒸着源から斜めに蒸着して投影光を反射する反射膜を形成する反射膜形成工程と、を有している。
反射膜形成工程では、観察面が曲面となるように配置したスクリーン基板と蒸着源との間に蒸着源から蒸発する反射膜材料の粒子の一部を遮る補正板を設け、スクリーン基板と補正板とが垂直方向の軸を回転軸として相対的に回転するように構成して反射膜の成膜を行う。
このように、補正板またはスクリーン基板が回転することで、蒸着源とスクリーン基板との間で、補正板が蒸着源から蒸発する粒子の一部を遮ってスクリーン基板の各部に到達する反射膜材料の粒子量を平均化し、スクリーン基板の面内における反射膜の膜厚ばらつきを減少できる。
このことから、スクリーン基板の面内において適正な反射膜の膜厚を確保し、反射率が良好で反射膜剥離のない反射スクリーンを得ることができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例にかかる反射スクリーンの製造方法において、前記反射膜形成工程は、前記蒸着源の上方側から見て前記スクリーン基板を円周上に配置し、その円の中心に配置した前記蒸着源から反射膜材料を斜めに蒸着して前記反射膜を形成することが望ましい。
【０００９】
この反射スクリーンの製造方法によれば、蒸着源を中心とし、その円周上にスクリーン基板を配置して反射膜材料を蒸着している。
このようにすることで、スクリーン基板の水平方向において蒸着源から等距離となる。このため、反射膜の膜厚ばらつきはスクリーン基板の垂直方向について補正を行えばよく、膜厚の補正が容易となる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例にかかる反射スクリーンの製造方法において、前記反射膜形成工程は、前記蒸着源の上方側から見て、前記スクリーン基板を円周上に配置し、その円の中心から前記スクリーン基板に近づく方向に外れた位置に配置した前記蒸着源から反射膜材料を斜めに蒸着して前記反射膜を形成することが望ましい。
【００１１】
この反射スクリーンの製造方法によれば、円周上に配置したスクリーン基板の中心から外れて蒸着源を配置して、反射膜材料を蒸着している。
このようにすることで、反射膜材料をスクリーン基板の面内において入射させる角度を変えることができることから、反射膜の形状、大きさなどを任意に設定することができる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例にかかる反射スクリーンの製造方法において、前記反射膜形成工程は、複数の前記蒸着源を用いて前記反射膜を蒸着することが望ましい。
【００１３】
この反射スクリーンの製造方法によれば、複数の蒸着源を用いて反射膜の蒸着ができ、大きな面積のスクリーン基板に短時間で所定の膜厚の反射膜を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】第１の実施形態に係る反射スクリーンの構成を示す概略平面図。
【図２】第１の実施形態に係る反射スクリーンの構成を示す概略断面図。
【図３】第１の実施形態に係る反射スクリーンの製造工程を説明する概略平面図。
【図４】第１の実施形態に係る反射スクリーンの製造工程を説明する概略断面図。
【図５】第１の実施形態に係る反射スクリーンの製造工程を説明する概略断面図。
【図６】第１の実施形態に係る反射スクリーンの製造に用いられる蒸着装置の構成を示す概略正面図。
【図７】第１の実施形態に係る蒸着装置における蒸着源と補正板とスクリーン基板との配置関係を示す模式断面図。
【図８】第１の実施形態に係る蒸着装置における補正板の形状を説明する概略斜視図。
【図９】他の蒸着装置における蒸着源と補正板とスクリーン基板との配置関係を示す模式断面図。
【図１０】他の蒸着装置の構成を示す概略正面図。
【図１１】他の蒸着装置における蒸着源と補正板とスクリーン基板との配置関係を示す模式断面図。
【図１２】他の蒸着装置における補正板の形状を説明する概略斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
（第１の実施形態）
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の寸法の割合を適宜変更している。また、これらの説明においては直交座標系を設定して各部材の位置関係について説明する。鉛直面内における所定方向をＸ軸方向、鉛直面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれに直交する方向をＺ軸方向とする。
【００１６】
＜反射スクリーン＞
図１は本実施形態に係る反射スクリーンの構成を示す概略平面図である。図２は実施形態に係る反射スクリーンの構成を示す概略断面図である。
図１、図２に示すように、反射スクリーン１００は、反射スクリーン１００の観察面１００ａの中心点を通る法線ＮＬに対して垂直方向（Ｙ軸方向）にずれた位置に配置された光源ＰＶから、観察面１００ａに向けて斜めに投射された投影光Ｌｐを、反射スクリーン１００の観察側（Ｚ軸正方向側）に反射光Ｌｒとして反射するものである。そして、反射スクリーン１００は、法線ＮＬがＺ軸と平行に配置されている。
スクリーン基板１０の基材は、例えば、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリエチレンテレフタート（ＰＥＴ）、エポキシなどの樹脂を用いて形成され可撓性を有している。そして、スクリーン基板１０は樹脂に黒色顔料を混ぜたものが用いられ、全体が黒色で可視光を吸収可能に形成されている。なお、このスクリーン基板１０は、染色等によって全体が黒色の光吸収材によって着色されてもよく、透明基材の片面もしくは両面に黒色の塗装、コーティングしたものであってもよい。
【００１７】
反射スクリーン１００はスクリーン基板１０の観察面１００ａ側に単位形状部としての凹部１１が複数備えられている。そして、この凹部１１は、断面が半球状でありそれぞれが互いに接して配置されている。
凹部１１の一部には投影光を反射する反射膜１２が形成され、その他の部分に外光Ｌｏを吸収する外光吸収部１３が形成されている。
反射膜１２は効率よく投影光を反射させるために、アルミニウム（Ａｌ）等の反射性を有する材料により反射膜１２が形成されている。この反射膜１２は蒸着法により膜厚が１０ｎｍ〜５μｍとなるように成膜されている。
【００１８】
ここで、凹部１１の投影光Ｌｐが照射される部分に合わせて、部分的に反射膜１２が形成されている。また、凹部１１の内壁面の投影光Ｌｐが照射される部分に沿って、観察側（Ｚ軸正方向側）から見て凹状の反射膜１２が光源ＰＶを中心に、観察面１００ａに放射状に形成されている。
これにより、反射スクリーン１００の垂直方向上方（Ｙ軸方向正方向）側および水平方向の両端側に、垂直方向および水平方向に角度を有して観察面１００ａに入射する投影光Ｌｐを、反射膜１２によって観察側のより法線ＮＬに近い方向に効率よく反射させ、投影光Ｌｐの反射率を向上させることができる。
【００１９】
外光吸収部１３は、スクリーン基板１０の基材が露出し、この基材が黒色の光吸収材によって着色されていることから光を吸収できるように構成されている。
なお、凹部１１の半球の直径としては例えば２０μｍ〜２００μｍ程度に形成されている。
さらに、反射膜１２の上にＳｉＯ2などを蒸着して反射防止膜として機能する膜を付加しても良い。
【００２０】
また、スクリーン基板１０の観察面１００ａ上には、凹部１１を充填するように保護層が形成されても良い。保護層は、例えば、樹脂などの可撓性を有する材料で形成することができる。そして、保護層の上でスクリーン基板１０の観察面１００ａ側の最表面には、反射防止膜が形成されても良い。反射防止膜は、保護層と同様な材料で形成され、保護層の表面での投影光または外光などの反射を防止するように保護層との間で屈折率が調整されていることが好ましい。
【００２１】
＜反射スクリーンの製造方法＞
次に、上記で説明した反射スクリーン１００の製造工程について説明する。
図３は本実施形態に係る反射スクリーンの凹部形成工程を説明する概略平面図であり、図４は図３の概略断面図である。図５は反射膜形成工程を説明する概略断面図である。
まず、図３，図４に示すように、スクリーン基板１０の観察面１００ａの垂直方向（Ｙ軸方向）および水平方向（Ｘ軸方向）に、複数の凹部１１を形成する（凹部形成工程）。
【００２２】
凹部１１の形成方法は、例えば、ガラス基板上に形成したエッチングマスク膜に、レーザー加工により多数の凹部１１の形成位置に対応する穴を形成し、この穴を通してウエットエッチングを行うことで、略半球状の凹部形状を形成する。そして、このガラス基板に形成した凹部形状をスクリーン基板に熱や圧力を加えて転写することで凹部１１が得られる。また他の方法として、ガラス基板に形成した凹部形状をもとに電鋳型を製作し、電鋳型からスクリーン基板に凹部形状を転写する方法を用いても良い。
なお、凹部１１の直径および水平方向の中心間の間隔は、例えば、約１００μｍ程度に形成される。また、スクリーン基板１０の基材は樹脂に黒色の顔料が混ぜたものが用いられている。
【００２３】
次に、図５に示すように、スクリーン基板１０の観察側（Ｚ軸正方向側）で、スクリーン基板１０の観察面１００ａの法線ＮＬに対して垂直方向下方側（Ｙ軸負方向側）にずれた位置に蒸着源Ｓを配置する。そして、蒸着法により反射膜材料を観察面１００ａに対して斜めに蒸着させ、凹部１１の内壁面に反射膜１２を形成する（反射膜形成工程）。反射膜材料としては、例えば、アルミニウム等の反射性に優れた金属材料を用いることができる。
【００２４】
蒸着法により反射膜１２を形成する際には、観察面１００ａに対して斜めに投影光Ｌｐを射出するプロジェクターの光源ＰＶの位置を予め想定しておく。そして、観察面１００ａの各凹部１１に対する反射膜材料の蒸着の角度が、観察面１００ａの各凹部１１に対する光源ＰＶからの投影光Ｌｐの入射角度と等しいか、それよりも小さくなるように蒸着源Ｓを配置して各凹部１１に反射膜材料を蒸着させる。
これにより、凹部１１の内壁面の投影光Ｌｐが照射される部分に沿って、観察側（Ｚ軸正方向側）から見て凹状の反射膜１２が、蒸着源Ｓを中心に放射状に形成される。
【００２５】
＜蒸着装置＞
ここで、スクリーン基板に反射膜を形成する蒸着装置の構成について詳しく説明する。
図６は本実施形態に係る反射スクリーンの製造に用いられる蒸着装置の構成を示す概略正面図である。図７は図６のＡ−Ａ断線方向から見た蒸着源と補正板とスクリーン基板の配置関係を示す模式断面図である。図８は本実施形態に係る蒸着装置における補正板の形状を説明する概略斜視図である。
【００２６】
蒸着装置３０には減圧容器３１が備えられ、その内部にスクリーン基板取り付け板３３と、補正板３６と、蒸着源であるフィラメント４０とが設けられている。
減圧容器３１は内部が所望の減圧状態となるようにロータリーポンプ、拡散ポンプ、クライオポンプなどを用いた排気システム（図示せず）が接続されている。
減圧容器３１の内部の上方にはスクリーン基板取り付け板３３が支柱３２を介して減圧容器３１に固定されている。このスクリーン基板取り付け板３３は、図７に示すように上下が開放された円筒状に形成され、その内側にスクリーン基板１０が円周に沿って取り付け可能に構成されている。このように、スクリーン基板１０は蒸着源に対して内側を向き、水平方向に曲面となるように配置される。
【００２７】
減圧容器３１の内部の下方には抵抗加熱用の蒸着源であるフィラメント４０が設けられている。フィラメント４０は、基台４１と絶縁されて固定された電極４２に両端が固定されている。フィラメントはタングステンなどの材料で形成されたバスケット型フィラメントであり、そのバスケット部に蒸着材料であるアルミニウムの線材などが供給される。
なお、抵抗加熱用の蒸着源としては他にヘリカルコイル型フィラメントが使用でき、さらにモリブデンなどで形成された箱型ボートを用いても良い。また、蒸着源としてＥＢガンを用いた蒸着源としても良い。
【００２８】
そして、スクリーン基板取り付け板３３とフィラメント４０との間の位置には、スクリーン基板１０における反射膜の膜厚分布を適正化する補正板３６が設けられている。
補正板３６は、図８に示すように、板材を円筒形に形成し、その一部をＶ字状に切り欠いた切り欠き部３８を有する形状である。そして、補正板３６は吊り下げアーム３４に固定され、吊り下げアーム３４は接続板３９を介して回転軸３５に接続されている。
【００２９】
回転軸３５は減圧容器３１の内部から外部に引き出され、モーターなどの電動機に接続されている。回転軸３５は減圧容器３１の内部で、垂直方向の軸を回転軸として回転できるように構成されている。また、この回転軸３５と減圧容器３１との間には、ウィルソンシール、磁気カップリングシールなどを用いたシール部３７が設けられ減圧容器３１のリークを防いでいる。
【００３０】
蒸着装置３０の上方側より見たスクリーン基板取り付け板３３と、補正板３６と、フィラメント４０の配置は、図７に示すように、蒸着源であるフィラメント４０を中心として補正板３６が設けられ、補正板３６の外側に同心円状にスクリーン基板取り付け板３３が配置されている。
【００３１】
このように、フィラメント４０から蒸発した蒸着粒子は回転する補正板３６によりその一部が遮られ、その他の蒸着粒子はスクリーン基板取り付け板３３の内側に配置されたスクリーン基板１０に斜め方向から入射して蒸着が行われる。
補正板３６はフィラメント４０に近いほど蒸着粒子を多く遮り、フィラメント４０に遠いほど蒸着粒子を少なく遮るように形成され、少なくとも一つの略三角形の形状であれば良い。
【００３２】
以上のように、反射スクリーン１００の反射膜形成工程では、観察面が曲面となるように配置したスクリーン基板１０とフィラメント４０との間にフィラメント４０から蒸発する粒子の一部を遮る補正板３６を設け、補正板３６が垂直方向の軸を回転軸として相対的に回転するように構成して反射膜１２の成膜を行う。
このように、補正板３６が回転することで、フィラメント４０とスクリーン基板１０との間で、補正板３６がフィラメント４０から蒸発する粒子の一部を遮ってスクリーン基板１０の各部に到達する反射膜材料の粒子量を平均化し、スクリーン基板１０の面内における反射膜１２の膜厚ばらつきを減少できる。
このことから、スクリーン基板１０の面内において適正な反射膜１２の膜厚を確保し、反射率が良好で反射膜剥離のない反射スクリーン１００を得ることができる。
【００３３】
また、本実施形態の反射スクリーンの製造方法によれば、フィラメント４０を中心とし、その円周上にスクリーン基板１０を配置して反射膜材料を蒸着している。
このようにすることで、スクリーン基板１０の水平方向においてフィラメント４０から等距離となる。このため、反射膜１２の膜厚ばらつきはスクリーン基板１０の垂直方向について補正を行えばよく、膜厚の補正が容易となる。
【００３４】
さらに、本実施形態の反射スクリーンの製造方法では、反射膜を形成するスクリーン基板１０を水平方向に曲面となるように配置している。このため、蒸着装置３０の減圧容器３１を小さくでき、その容量を小さくすることができる。そして、減圧容器３１内を減圧する排気システムも小容量に対応すればよく、蒸着装置３０のコストを削減でき、ひいては反射スクリーン１００の製造コストを低減することができる。
【００３５】
また、上記で説明した蒸着装置の他に、以下に説明する蒸着装置の構成であっても良い。
＜複数の蒸着源を備える蒸着装置＞
例えば、図６で説明した蒸着装置に複数の蒸着源を備えていても良い。
図９は複数の蒸着源を備えた他の蒸着装置における構成および蒸着源と補正板とスクリーン基板との配置関係を示す模式断面図であり、図７に相当する。このため、上記の実施形態で説明した蒸着装置と同じ構成については同じ符号を付し、蒸着源付近についてのみ説明する。
図９に示すように、本蒸着装置には蒸着源としてのフィラメント４０ａ，４０ｂを備えている。これらのフィラメント４０ａ，４０ｂは、円周上に配置したスクリーン基板取り付け板３３の中心から外れて配置されている。そして、２つのフィラメント４０ａ，４０ｂの間には蒸着粒子の飛散を遮蔽する遮蔽板４５が設けられている。
【００３６】
このような蒸着装置を用いることで、複数のフィラメント４０から反射膜材料を蒸発させて反射膜１２の蒸着ができ、大きな面積のスクリーン基板１０に短時間で所定の膜厚の反射膜１２を形成することが可能である。
また、円周上に配置したスクリーン基板１０の中心から外れてフィラメント４０を配置して、反射膜材料を蒸着することで、反射膜材料をスクリーン基板１０の面内において入射させる角度を変えることができることから、反射膜１２の形状、大きさなどを任意に設定することが可能である。
なお、フィラメント４０の配置は遮蔽板４５を設けずに並列に並べることや、円弧状に並べるなど適宜行うことができる。
【００３７】
＜他の蒸着装置＞
次に反射スクリーンの製造に使用できる他の蒸着装置の構成について説明する。
図１０は反射スクリーンの製造に用いられる蒸着装置の構成を示す概略正面図である。図１１は図１０のＢ−Ｂ断線方向から見た蒸着源と補正板とスクリーン基板との配置関係を示す模式断面図である。図１２は蒸着装置における補正板の形状を説明する概略斜視図である。
【００３８】
蒸着装置５０には減圧容器５１が備えられ、その内部にスクリーン基板取り付け板５３と、補正板５６と、蒸着源であるフィラメント６０とが設けられている。
減圧容器５１は内部が所望の減圧状態となるようにロータリーポンプ、拡散ポンプ、クライオポンプなどを用いた排気システム（図示せず）が接続されている。
減圧容器５１の内部の上方にはスクリーン基板取り付け板５３が支柱５２を介して減圧容器５１に固定されている。このスクリーン基板取り付け板５３は、上下が開放された円筒状に形成され、その内側にスクリーン基板１０が円周に沿って取り付け可能に構成されている。このように、スクリーン基板１０は蒸着源に対して内側を向き、水平方向に曲面となるように配置される。
【００３９】
減圧容器５１の内部の下方には抵抗加熱用の蒸着源であるフィラメント６０が設けられている。フィラメント６０は、基台６１と絶縁されて固定された電極６２に両端が固定されている。フィラメントはタングステンなどの材料で形成されたバスケット型フィラメントであり、そのバスケット部に蒸着材料であるアルミニウムの線材などが供給される。
なお、抵抗加熱用の蒸着源としては他にヘリカルコイル型フィラメントが使用でき、さらにモリブデンなどで形成された箱型ボートを用いても良い。また、蒸着源としてＥＢガンを用いた蒸着源としても良い。
【００４０】
そして、スクリーン基板取り付け板５３とフィラメント６０との間の位置にはスクリーン基板１０における反射膜の膜厚分布を適正化する補正板５６が設けられている。
補正板５６は、図１２に示すように、板材を円筒形に形成し、その一部をＶ字状に切り欠いた切り欠き部５８を有する形状である。そして、補正板５６はリング歯車６３に固定され、リング歯車６３には歯車６４とかみ合っている。歯車６４はモーター６５の回転軸に直結され、モーター６５の回転により垂直方向を回転軸として補正板５６が回転するように構成されている。
【００４１】
蒸着装置５０の上方側より見たスクリーン基板取り付け板５３と、補正板５６と、フィラメント６０の配置は、図１１に示すように、蒸着源であるフィラメント６０を中心として補正板５６が設けられ、補正板５６の外側に同心円状にスクリーン基板取り付け板５３が配置されている。
【００４２】
以上のように、この蒸着装置５０を用いて反射スクリーン１００の反射膜１２を形成することができ、スクリーン基板１０の面内において適正な反射膜の膜厚を確保し、良好な特性を備えた反射スクリーン１００を得ることができる。
【００４３】
なお、上記の蒸着装置においてスクリーン基板取り付け板を固定し、補正板を回転するように構成したが、スクリーン基板を取り付けるスクリーン基板取り付け板を回転させ、補正板を固定する構造であっても良いし、両者を逆向きに回転させる構造であっても良い。
【符号の説明】
【００４４】
１０…スクリーン基板、１１…凹部、１２…反射膜、１３…外光吸収部、３０…蒸着装置、３１…減圧容器、３２…支柱、３３…スクリーン基板取り付け板、３４…吊り下げアーム、３５…回転軸、３６…補正板、３７…シール部、３８…切り欠き部、３９…接続板、４０…フィラメント、４１…基台、４２…電極、４５…遮蔽板、５０…蒸着装置、５１…減圧容器、５２…支柱、５３…スクリーン基板取り付け板、５６…補正板、５８…切り欠き部、６０…蒸着源としてのフィラメント、６１…基台、６２…電極、６３…リング歯車、６４…歯車、６５…モーター、１００…反射スクリーン、１００ａ…観察面、Ｌｏ…外光、Ｌｐ…投影光、Ｌｒ…反射光、ＮＬ…法線、ＰＶ…光源、Ｓ…蒸着源。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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