(57)【要約】【課題】アクチュエータの作動中においてアクチュエータの振動の振幅を低減させるのに有利なアクチュエータ振動制御装置を提供する。【解決手段】制御装置は、外部１の振動の影響を受ける環境に設置され共振周波数ｆｒを有すると共に作動機構６を作動させる可動部２８をもつアクチュエータ２と、外部の振動の外部振動周波数ｆｍを検知する振動検知部４と、アクチュエータ２の作動時において、アクチュエータ２の駆動周波数ｆがアクチュエータ２の共振周波数ｆｒおよび外部振動周波数ｆｍに対して離間する方向に、アクチュエータ２の駆動周波数ｆを制御する制御部５とをもつ。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部の振動の影響を受ける環境に設置され共振現象を発生させる共振周波数ｆｒを有すると共に作動機構を作動させる可動部もつアクチュエータと、
前記アクチュエータに影響を与える前記外部の振動の外部振動周波数ｆｍを検知する振動検知部と、
前記アクチュエータの作動時において、前記外部の振動が前記アクチュエータに作用する場合に、前記アクチュエータの駆動周波数ｆがアクチュエータの共振周波数ｆｒおよび外部振動周波数ｆｍの双方から離間する方向に、前記アクチュエータの駆動周波数ｆを制御する制御部とを具備するアクチュエータ振動制御装置。
【請求項２】
請求項１において、前記制御部は、前記アクチュエータの駆動周波数ｆが前記アクチュエータの共振周波数ｆｒよりも外部振動周波数ｆｍに対して離間する方向に、前記アクチュエータの駆動周波数ｆを制御するアクチュエータ振動制御装置。
【請求項３】
請求項１または２において、ｆがｆｒよりも高い状態において、（ｉ）ｆｍがｆｒよりも低い低周波領域の状態から、（ｉｉ）ｆｍが増加してｆｒに達する状態を経由して、（ｉｉｉ）ｆｍがｆｒよりも高い高周波領域の状態となるように、ｆｍが増加するとき、前記制御部は、（ｉｉｉ）ではｆｍがｆｒよりも高くなるにつれて前記アクチュエータの駆動周波数ｆをｆｒから離間させるように高周波側に高くする前記アクチュエータ振動制御装置。
【請求項４】
請求項３において、前記制御部は、（ｉｉｉ）において、ｆｍがｆｒよりも高周波側の第１しきい値ｆset-highに到達すると、ｆが、ｆｒよりも高い状態から、ｆｒよりも低い状態に反転するように、アクチュエータの駆動周波数ｆを制御することにより駆動周波数ｆをｆｒおよびｆｍに対して離間させるアクチュエータ振動制御装置。
【請求項５】
請求項１〜４のうちの一項において、ｆがｆｒよりも低い状態において、（ｉｖ）ｆｍがｆｒよりも高い高周波領域の状態から、（ｖ）ｆｍが減少してｆｒに達する状態を経由して、（ｖｉ）ｆｍがｆｒよりも低い低周波領域の状態となるように、ｆｍが減少するとき、前記制御部は、（ｖｉ）ではｆｍがｆｒよりも低くなるにつれて前記アクチュエータの駆動周波数ｆをｆｒから離間させるように低周波側に低くするアクチュエータ振動制御装置。
【請求項６】
請求項５において、前記制御部は、（ｖｉ）において、ｆｍがｆｒよりも低い低周波側の第２しきい値ｆset-lowに到達すると、ｆが、ｆｒよりも低い状態から、ｆｒよりも高い状態に反転するように、前記アクチュエータの駆動周波数ｆを制御することにより駆動周波数ｆをｆｒおよびｆｍに対して離間する方向に移動させるアクチュエータ振動制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はアクチュエータの有害振動を抑制するアクチュエータ振動制御装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、直動かつ振動して動作するリニアモータを使いつつ気体を圧縮するリニア駆動型圧縮機が知られている。このものによれば、アクチュエータであるリニアモータの効率向上のため、共振周波数に近い周波数の領域において、可動子および可動子に接続されてピストンを往復運動させて、気体を圧縮している。リニア駆動型圧縮機の可動子およびピストンは、バネ等の弾性体で弾性支持されているので、リニアモータの外部から、可動子の往復方向に振動を受けると、可動子およびピストンに有害振動が発生し、可動子およびピストンが過剰に移動するおそれがある。ここで、リニアモータの可動子の質量、バネ等の弾性体のバネ定数、更には、ガスの圧力に基づいて、リニアモータの共振周波数が求められる。外部からの振動の周波数がリニアモータの共振周波数に等しいとき、および、リニアモータの可動子を駆動している駆動周波数に等しい場合、外部からの振動の影響を受けて可動子の移動量が過剰に大きくなるおそれがある。
【０００３】
リニア駆動型圧縮機を車両等の移動体に搭載する場合、移動体が移動することに伴う振動の影響で、リニア圧縮機が振動されるので、その可動子およびピストンの移動量が過大になる。そこで、可動子およびピストンがケース等に衝突しないようにする必要がある。
【０００４】
車両等の移動体が振動する環境、即ち、外部からの振動がある環境においては、可動子およびピストンの移動量が過大にならないようにする方策として、ピストン位置を検出したり、算出したり、振動加速度を検出したりして、可動子およびピストンがケース等に衝突する前に、ピストンの振幅方向と振幅量に応じたリニアモータに電流を通電する方法が提案されている（特許文献１）。また、可動子およびピストンの移動量が過大にならないようにする方策として、共振周波数から外れた駆動周波数でリニアモータを運転する技術が提案されている(特許文献２)
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開2003-13864
【特許文献２】特開2002-161863
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
外部からの振動加速度を監視し、電流通電量を制御する方策では、振動加速度や電流の検出手段において、電気ノイズ等の突発的な外乱にも反応してしまい、正しい制御ができない可能性がある。また、圧縮機の出力を増やそうとして、例えば、５０Ｈｚを越えるような高い周波数で駆動する場合、瞬時毎に加速度や電流値をするための制御処理が過大になる可能性がある。また、共振周波数から外れた駆動周波数で運転する場合には、リニアモータの駆動周波数と等しい周波数の外部振動がリニアモータに入力された場合には、両者の振動が重合して過剰な有害振動が発生し、上記した衝突に至るおそれがある。  
【０００７】
本発明は上記した実情に鑑みてなされたものであり、アクチュエータが共振周波数を有する場合であっても、また、外部環境の外部振動がアクチュエータに影響する場合であっても、アクチュエータの作動中においてアクチュエータの有害振動を低減させるのに有利なアクチュエータ振動制御装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るアクチュエータ振動制御装置は、外部の振動の影響を受ける環境に設置され共振現象を発生させる共振周波数ｆｒを有すると共に作動機構を作動させる可動部をもつアクチュエータと、アクチュエータに影響を与える外部の振動の外部振動周波数ｆｍを検知する振動検知部と、アクチュエータの作動時において、外部の振動がアクチュエータに作用する場合に、アクチュエータの駆動周波数ｆがアクチュエータの共振周波数ｆｒおよび外部振動周波数ｆｍの双方から離間する方向に、アクチュエータの駆動周波数ｆを制御する制御部とを具備する。
【０００９】
アクチュエータの作動時において、振動検知部は、アクチュエータに影響を与える外部の振動の外部振動周波数ｆｍを検知する。外部の振動がアクチュエータに作用する場合には、アクチュエータの駆動周波数ｆがアクチュエータの共振周波数ｆｒ（共振：resonance）および外部振動周波数ｆｍの双方から離間する方向に、制御部はアクチュエータの駆動周波数ｆを制御する。このようにアクチュエータが作動するとき、アクチュエータの駆動周波数ｆがアクチュエータの共振周波数ｆｒから離間するため、アクチュエータの可動部の共振現象が抑えられる。更にアクチュエータの駆動周波数ｆが外部振動周波数ｆｍに対して離間するため、外部振動の振幅とアクチュエータの可動部の振動の振幅とが重合することが抑えられ、アクチュエータの振動が更に抑制される。これによりアクチュエータの有害振動が抑制される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、アクチュエータの作動時において、制御部は、アクチュエータの駆動周波数ｆがアクチュエータの共振周波数ｆｒおよび外部振動周波数ｆｍの双方から離間する方向に、アクチュエータの駆動周波数ｆを制御する。このためアクチュエータが共振周波数を有する場合であっても、また、外部環境の外部振動がアクチュエータに影響する場合であっても、アクチュエータの作動中においてアクチュエータの有害振動を低減させるのに有利である。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】実施形態１に係り、アクチュエータ振動制御装置の構成図である。
【図２】実施形態１に係り、外部環境の外部振動周波数ｆｍが固定値であるきときにおいて、アクチュエータの駆動周波数ｆを制御する形態を示す図である。
【図３】実施形態２に係り、外部環境の外部振動周波数ｆｍが変動値であるきときにおいて、アクチュエータの駆動周波数ｆを制御する形態を示す図である。
【図４】実施形態３に係り、外部環境の外部振動周波数ｆｍが変動値であるきときにおいて、アクチュエータの駆動周波数ｆを制御する形態を示す図である。
【図５】実施形態４に係り、外部環境の外部振動周波数ｆｍが変動値であるきときにおいて、アクチュエータの駆動周波数ｆを制御する形態を示す図である。
【図６】適用形態の一例に係り、冷凍サイクルに適用したアクチュエータ振動制御装置の構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明に係るアクチュエータ振動制御装置は、外部環境の振動の影響を受ける環境に設置され共振周波数ｆｒを有すると共に作動機構を作動させる可動部もつアクチュエータと；外部環境の外部振動周波数ｆｍを検知する振動検知部と；アクチュエータの作動時において、外部の振動がアクチュエータに作用する場合、アクチュエータの駆動周波数ｆがアクチュエータの共振周波数ｆｒおよび外部振動周波数ｆｍの双方から離間する方向に、アクチュエータの駆動周波数ｆを制御する制御部とをもつ。
【００１３】
外部環境の振動としては、アクチュエータを搭載している車両、船舶、航空機等の移動体の振動が挙げられる。車両は自動車、トラック、鉄道車両を含む。アクチュエータとしてはモータが挙げられる。
【００１４】
本発明は次の好適形態を採用できる。
・好適形態によれば、制御部は、アクチュエータの駆動周波数ｆがアクチュエータの共振周波数ｆｒよりも外部振動周波数ｆｍに対して離間する方向に、アクチュエータの駆動周波数ｆを制御する。この場合、アクチュエータに有害振動を与えやすい外部振動周波数ｆｍの影響を避けることができる。また、アクチュエータの駆動周波数ｆをアクチュエータの共振周波数ｆｒから離間させつつも、共振周波数ｆｒから過剰に離間させないため、アクチュエータの作動効率の過剰低下が抑制される。
・好適形態によれば、制御部は、図２の（Ａ）〜図２の（Ｃ）に例示されるように、ｆｍ＜ｆｒのとき、ｆｍ＜ｆｒ＜ｆの関係が維持されるように、アクチュエータの駆動周波数ｆを制御する。これにより、アクチュエータの駆動周波数ｆを外部振動周波数ｆｍからできるだけ離間する方向に移動させることができることができ、アクチュエータの有害振動を避け易い。また、アクチュエータの駆動周波数ｆをアクチュエータの共振周波数ｆｒから離間させつつも、過剰に離間させないため、アクチュエータの作動効率の過剰低下が抑制される。
・好適形態によれば、制御部は、図２の（Ｄ）〜（Ｆ）に例示されるように、ｆｒ＜ｆｍのとき、ｆ＜ｆｒ＜ｆｍの関係が維持されるように、アクチュエータの駆動周波数ｆを制御する。これにより、アクチュエータの駆動周波数ｆを外部振動周波数ｆｍからできるだけ離間する方向に移動させることができることができ、アクチュエータの有害振動を避け易い。また、アクチュエータの駆動周波数ｆをアクチュエータの共振周波数ｆｒから離間させつつも、過剰に離間させないため、アクチュエータの作動効率の過剰低下が抑制される。このように周波数を示す軸において、ｆｍが変化するとき、ｆｍとｆとの間にｆｒが位置するように、制御部はｆを制御する。ｆをｆｍから離間させ得る。
・好適形態によれば、ｆがｆｒよりも高い状態において、（ｉ）ｆｍがｆｒよりも低い低周波領域の状態から、（ｉｉ）ｆｍが増加してｆｒに達する状態を経由して、（ｉｉｉ）ｆｍがｆｒよりも高い高周波領域の状態となるように、ｆｍが増加するとき、制御部は、（ｉｉｉ）ではｆｍがｆｒよりも高くなるにつれてアクチュエータの駆動周波数ｆをｆｒから離間させるように高周波側に高くする。ｆｍが増加しても、ｆをｆｒおよびｆｍから離間させ得る。
・好適形態によれば、次の式Ａで示されるように、アクチュエータが通常運転されるときにおける基本運転周波数ｆｂとアクチュエータの共振周波数ｆｒとを一致させず、所定の周波数Δｆずらせることが好ましい。その理由としては、アクチュエータの基本運転周波数ｆｂがアクチュエータの共振周波数ｆｒに一致すると、アクチュエータにおける共振現象が発生し易くなるためである。更に、制御部は、次の式Ｂおよび式Ｃを満足するように、アクチュエータの駆動周波数ｆを制御することが好ましい。式Ｂから理解できるように、ｆおよびｆｍの差を大きくし、ｆおよびｆｍの差の絶対値を大きくすることが好ましい。この場合、アクチュエータの駆動周波数ｆを外部振動周波数ｆｍに対して離間する方向に移動させることができることができる。また、式Ｃから理解できるように、ｆおよびｆｒの差を大きくし、ｆおよびｆｒの差の絶対値を大きくすることが好ましい。この場合、アクチュエータの駆動周波数ｆをアクチュエータの共振周波数ｆｒからも離間する方向に移動させることができることが好ましい。
【００１５】
【数１】
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【００１６】
・好適形態によれば、図３に例示されるように、ｆがｆｒよりも高い状態において（ｆ＞ｆｒ）、（ｉ）ｆｍがｆｒよりも低い低周波領域の状態から、（ｉｉ）ｆｍが増加してｆｒに達する状態を経由して、（ｉｉｉ）ｆｍがｆｒよりも高い高周波領域の状態となるように、ｆｍが増加するとき、制御部は、（ｉ）ではｆ＝ｆｒ＋Δｆαに基づいて、（ｉｉｉ）ではｆ＝ｆｒ＋Δｆα＋α、または、ｆ＝ｆｍ＋Δｆαに基づいて、アクチュエータの駆動周波数ｆを制御する。ここで、Δｆαおよびαはｆｒ未満の正の任意値とすることがで  きる。Δｆαは、ｆｒとｆｂとの差の絶対値が例示される。αはｆｍが高くなると増加する値にでき、具体的には、ｆｍ−ｆｒが例示される。なお、高周波領域および低周波領域は相対的な意味で用いられており、高周波領域は相対的に周波数が高い領域であり、低周波領域は相対的に周波数が低い領域である。
・好適形態によれば、図３に例示されるように、制御部は、（ｉｉｉ）において、ｆｍがｆｒよりも高周波側の第１しきい値ｆset-highに到達すると、ｆが、ｆｒよりも高い状態から、ｆｒよりも低い状態に反転するように、アクチュエータの駆動周波数ｆを制御することによりｆｒおよびｆｍに対して離間する方向に移動させることができる。
・好適形態によれば、ｆがｆｒよりも低い状態において、（ｉｖ）ｆｍがｆｒよりも高い高周波領域の状態から、（ｖ）ｆｍが減少してｆｒに達する状態を経由して、（ｖｉ）ｆｍがｆｒよりも低い低周波領域の状態となるように、ｆｍが減少するとき、制御部は、（ｖｉ）ではｆｍがｆｒよりも低くなるにつれてアクチュエータの駆動周波数ｆをｆｒから離間させるように低周波側に低くする。ｆｍが減少しても、ｆをｆｒおよびｆｍから離間させ得る。
・好適形態によれば、図３に例示されるように、ｆがｆｒよりも低い状態において、（ｉｖ）ｆｍがｆｒよりも高い高周波領域の状態、（ｖ）ｆｍが減少してｆｒに達する状態、（ｖｉ）ｆｍがｆｒよりも低い低周波領域の状態となるように、ｆｍが減少するとき、制御部は、（ｉｖ）ではｆ＝ｆｒ−Δｆβに基づいて、（ｖｉ）ではｆ＝ｆｒ−Δｆβ−β、または、ｆ＝ｆｍ−Δｆβに基づいて、アクチュエータの駆動周波数ｆを制御する。ここで、Δｆβおよびβはｆｒ未満の正の任意値とすることができる。Δｆβは、ｆｒとｆｂとの差の絶対値が例示される。βはｆｍが低くなると増加する値にでき、具体的には、ｆｒ−ｆｍが例示される。
・好適形態によれば、図３に例示されるように、制御部は、（ｖｉ）において、ｆｍがｆｒよりも低い低周波側の第２しきい値ｆset-lowに到達すると、ｆが、ｆｒよりも低い状態から、ｆｒよりも高い状態に反転するように、アクチュエータの駆動周波数ｆを制御することによりｆｒおよびｆｍに対して離間する方向に移動させることができる。
・好適形態によれば、図３に例示されるように、アクチュエータの駆動周波数ｆがｆｒよりも高い領域と、アクチュエータの駆動周波数ｆがｆｒよりも低い領域との間には、且つ、ｆｍがｆｒよりも高い領域とｆｍがｆｒよりも低い領域との間には、ヒステリシス領域が設定されている。
【００１７】
(実施形態１)
以下、本発明の実施形態１について図面を参照しつつ説明する。図１に示すように、アクチュエータ制御装置は、外部として機能する移動体１の振動の影響を受けるように移動体１に設置され作動機構６を作動させる往復直動式の可動部２８をもつアクチュエータ２と、移動体１の外部振動周波数ｆｍを検知する振動検知部としての振動センサ４と、アクチュエータ２の作動時においてアクチュエータ２の駆動周波数ｆがアクチュエータ２の共振周波数ｆｒおよび外部振動周波数ｆｍに対して離間する方向に、アクチュエータ２の駆動周波数ｆを制御する制御部５とをもつ。
【００１８】
アクチュエータ２はリニアモータとすることができ、可動磁界に伴い一方向に往復移動する可動部２８と可動部２８を支持する弾性体２６をもつ。一般的には、可動部２８の移動方向と移動体１が発生する振動の方向が共通する方向であるとき、可動部２８の振動が増加する。ここで、アクチュエータ２の共振周波数ｆｒは、基本的には、可動部２８の質量と、可動部２８を弾性支持する弾性体２６のバネ定数（振動方向のバネ定数）とに基づいて定まる。なお、弾性体２６は可動部２８を弾性支持できるものであれば何でも良く、バネを例示できる。
【００１９】
アクチュエータ２の可動部２８は、通常では、アクチュエータ２の基本運転周波数ｆｂで運転されるように制御部５により制御されている。振動センサ４は、移動体１の外部振動周波数ｆｍを監視する。アクチュエータ２がリニアモータ２０である場合には、振動センサ４は、少なくともリニアモータ２０の可動部２８の移動方向と同一方向の振動を検知することができる。振動センサ４からの信号は制御部５に入力される。制御部５では、移動体１が発生させる振動の周波数ｆｍと、アクチュエータ２の共振周波数ｆｒとを比較し、以下の制御に基づいてアクチュエータ２の実際の駆動周波数ｆを決定する。これにより外乱となる移動体１の振動から、リニアモータ２０の有害振動の発生を抑制させることができる。なお本実施形態によれば、前記した式Ａで示されるように、アクチュエータ２が通常運転されるときにおける基本運転周波数ｆｂとアクチュエータの共振周波数ｆｒとを一致させず、所定の周波数Δｆずらせている。
【００２０】
（１）移動体１の外部振動周波数ｆｍが固定値である場合
一般的には、アクチュエータ２の実際の運転周波数ｆが共振周波数ｆｒに近いとき、アクチュエータ２の作動効率が良好に確保される。このため、アクチュエータ２の実際の運転周波数ｆが共振周波数ｆｒから離れすぎると、共振現象が抑制されるものの、アクチュエータ２の作動効率が低下するおそれがある。そこで本実施形態によれば、運転周波数ｆを共振周波数ｆｒから離間させつつも共振周波数ｆｒから離れすぎないように、制御部５はアクチュエータ２の実際の駆動周波数ｆを制御する。
【００２１】
図２の（Ａ）〜図２の（Ｆ）は、移動体１の外部振動周波数ｆｍが固定値である場合において、アクチュエータ２が作動するとき、移動体１の外部振動周波数ｆｍとアクチュエータ２の実際の駆動周波数ｆとアクチュエータ２の共振周波数ｆｒとの関係を示す。
【００２２】
（１−１）図２の（Ａ）〜図２の（Ｃ）に示すように、ｆｍがｆｒよりも低く、ｆｍ＜ｆｒの場合には、ｆｍ＜ｆｒ＜ｆの関係が維持されるように、制御部５はアクチュエータ２の実際の駆動周波数ｆを制御する。この場合、ｆｍ＜ｆｒ＜ｆの関係が維持されるため、アクチュエータ２の駆動周波数ｆがアクチュエータ２の共振周波数ｆｒよりも外部振動周波数ｆｍに対して離間する方向に、制御部５はアクチュエータ２の駆動周波数ｆを制御する。このためｆがｆｒおよびｆｍから遠ざけられる。特にｆがｆｍから遠ざけられる。よって、アクチュエータ２が作動するとき、外部環境である移動体１の振動の振幅とアクチュエータ２の可動部２８の振動の振幅とが重合することが回避され、アクチュエータ２の有害振動が回避される。すなわち、アクチュエータ２の作動中においてアクチュエータ２の可動部２８の振動の振幅を低減させるのに有利である。
【００２３】
またｆｍ＜ｆｒ＜ｆの関係が維持されるため、アクチュエータ１２の運転周波数ｆが共振周波数ｆｒから離れつつも離れすぎない。よって、アクチュエータ２の可動部２８の共振現象が回避されつつ、アクチュエータ２の作動効率が良好に確保される。なお、共振周波数ｆｒは質量およびバネ定数に基づいて基本的には定まるため、アクチュエータ２における実質的な固定値と考えられる。
【００２４】
ここで、図２の（Ａ）〜図２の（Ｃ）に示す場合には、制御部５は、ｆ＝ｆｒ＋γ１に基づいて、ｆを設定することができる。γ１はｆｒ以下の正の任意値にできる。例えば、γ１はΔｆにできる。例えば、Δｆは、ｆｒおよびｆｂの差の絶対値（式Ａ）にできる。ここで、ｆｒは、アクチュエータ２の共振周波数である。ｆｂは、アクチュエータ２が通常運転されるときにおける基本運転周波数である。具体的には、ｆｒは、４０      〜７０Ｈｚの範囲内、殊に５０〜６０Ｈｚの範囲が例示される。ｆｂは、３９〜７１Ｈｚの範囲内、殊に４９〜６１Ｈｚの範囲が例示される。
【００２５】
（１−２）図２の（Ｄ）〜図２（Ｆ）に示すように、ｆｒ＜ｆｍの場合には、ｆ＜ｆｒ＜ｆｍの関係が維持されるように、制御部５はアクチュエータ２の実際の駆動周波数ｆを制御する。この場合、アクチュエータ２の駆動周波数ｆがアクチュエータ２の共振周波数ｆｒよりも外部振動周波数ｆｍに対して離間する方向に、制御部５はアクチュエータ２の駆動周波数ｆを制御する。このためアクチュエータ２の実際の駆動周波数ｆが外部振動周波数ｆｍおよび共振周波数ｆｒから遠ざけられる。殊にｆがｆｍから遠ざけられる。よって、外部環境である移動体１の振動の振幅とアクチュエータ２の可動部２８の振動の振幅とが重合することが回避され、アクチュエータ２の有害振動が回避される。また、ｆ＜ｆｒ＜ｆｍの関係が維持され、実際の運転周波数ｆが共振周波数ｆｒから離れつつも離れすぎないため、アクチュエータ２の可動部２８の共振現象が回避されつつ、アクチュエータ２の作動効率が良好に確保される。
【００２６】
ここで、図２の（Ｄ）〜図２の（Ｆ）に示す場合には、ｆ＝ｆｒ−γ２に基づいてｆを設定することができる。γ２はｆｒ以下の正の任意値にできる。γ２はΔｆにできる。例えば、Δｆはｆｒおよびｆｂの差の絶対値（式Ａ）にできる。
【００２７】
以上説明したように本実施形態によれば、アクチュエータ２の作動時において、制御部５は、アクチュエータ２の実際の駆動周波数ｆがアクチュエータ２の共振周波数ｆｒおよび外部振動周波数ｆｍの双方から離間する方向に、アクチュエータ２の駆動周波数ｆを制御する。このためアクチュエータ２が共振周波数ｆｒを有する場合であっても、また、移動体１（外部環境）の外部振動がアクチュエータ２に影響する場合であっても、アクチュエータ２の作動中においてアクチュエータ２の可動部２８の有害振動を低減させるのに有利である。殊に、ｆがｆｒよりもｆｍから離間されるため、外部の振動の影響を避けるのに有利である。
【００２８】
(実施形態２)
図３は実施形態２を示す。本実施形態は実施形態１と基本的には同様の構成および作用効果を果たすため、図１を準用する。本実施形態は、移動体１の外部振動周波数ｆｍが変動する場合における制御を示す。図３は、移動体１の外部振動周波数ｆｍが変動する場合において、アクチュエータ２が作動するとき、移動体１の外部振動周波数ｆｍ（横軸）とアクチュエータ２の実際の駆動周波数ｆ（縦軸）とアクチュエータ２の共振周波数ｆｒとの関係を示す。なお、前記した式Ａで示されるように、アクチュエータ２が通常運転されるときにおける基本運転周波数ｆｂとアクチュエータの共振周波数ｆｒとを一致させず、所定の周波数Δｆずらせている。
【００２９】
図３から理解できるように、縦軸で示されるｆがｆｒよりも高い状態のとき（ｆ＞ｆｒ）において、移動体１の外部振動周波数ｆｍが低く、ｆｍ＜ｆｒのときには、図３の特性線Ｗ１として示すように、ｆｍ＜ｆｒ＜ｆの関係を維持させるように、制御部５はｆ＝ｆｒ＋Δｆαに基づいてアクチュエータ２の駆動周波数ｆをｆｒよりも高い値に制御する。これによりｆをｆｒおよびｆｍの双方から離間させる。殊にｆをｆｍから離間させる。
【００３０】
これに対して縦軸で示されるｆがｆｒよりも低い状態のとき（ｆ＜ｆｒ）において、移動体１の外部振動周波数ｆｍが高く、ｆｒ＜ｆｍのときには、図３の特性線Ｗ４として示すように、ｆ＜ｆｒ＜ｆｍの関係が維持されるように、制御部５は、ｆ＝ｆｒ−Δｆβに基づいてアクチュエータ２の駆動周波数ｆをｆｒよりも低い値に制御し、ｆをｆｒおよびｆｍの双方から離間させる。殊にｆをｆｍから離間させる。
【００３１】
さらに、図３の特性線Ｗ１，Ｗ２に示すように、縦軸で示されるｆがｆｒよりも高い状態のとき（ｆ＞ｆｒ）において、（ｉ）ｆｍがｆｒよりも低い低周波領域の状態から、（ｉｉ）ｆｍが増加してｆｒに達する状態を経由して、（ｉｉｉ）ｆｍがｆｒよりも高い高周波領域の状態となるように、ｆｍが増加するときがある。このようにｆｒよりも低い周波数状態に存在した横軸のｆｍがｆｒを通過するように高周波側に増加する場合には、ｆｒに対してヒステリシス領域ｆhis１が設定される。ヒステリシス領域ｆhis１の値は適宜設定される。
【００３２】
この場合、特性線Ｗ１として示すように、（ｉ）ではｆ＝ｆｒ＋Δｆαに基づいて、制御部５はアクチュエータ２の駆動周波数ｆをｆｒよりも高い値に制御する。この場合、ｆｍ＜ｆｒ＜ｆの関係が得られ、ｆｍおよびｆｒからｆが離間する。殊にｆｍからｆが離間する。
【００３３】
特性線Ｗ２として示すように、（ｉｉｉ）ではｆ＝ｆｒ＋Δｆα＋αに基づいて、制御部５はアクチュエータ２の駆動周波数ｆを制御する。これによりｆｒ＜ｆｍ＜ｆの関係が得られ、ｆｍがｆに近づきつつも、ｆがｆｒおよびｆｍに対して離間する。ここで、Δｆαおよびαはｆｒ未満の正の任意値とすることができる。図３の特性線Ｗ２として示すように、ｆｍがｆｒよりも増加すると、ｆｍの増加につれてαは増加するように設定されている。これによりｆをｆｍからできるだけ離間させる。
【００３４】
また、（ｉｉｉ）において、特性線Ｗ２として示すように、横軸で示されるｆｍがｆｒよりもヒステリシス領域ｆhis１を超えて高周波側の第１しきい値ｆset-highに到達すると、特性線Ｗ３として示すように、縦軸で示されるｆが、縦軸において、ｆｒよりも高い状態から、ｆｒよりも低い状態に反転するように、制御部５はアクチュエータ２の駆動周波数ｆを低周波側に制御させる。これによりｆ＜ｆｒ＜ｆｍの関係が得られ、ｆをｆｒおよびｆｒおよびｆｍに対して離間させる。殊にｆをｆｍに対して離間させる方向に移動させる。
【００３５】
更に、図３の特性線Ｗ４，Ｗ５に示すように、縦軸で示されるｆがｆｒよりも低いときにおいて、（ｉｖ）ｆｍがｆｒよりも高い高周波領域の状態から、（ｖ）ｆｍが減少してｆｒに達する状態を経由して、（ｖｉ）ｆｍがｆｒよりも低い低周波領域の状態となるように、ｆｍが減少するときがある。このように縦軸で示されるｆがｆｒよりも低いときにおいて、特性線Ｗ４として示すように、ｆｒよりも高い周波数であったｆｍ（横軸）がｆｒ未満となるように減少する場合には、ｆｒに対してヒステリシス領域ｆhis２が設定される。この場合には、特性線Ｗ４として示すように、（ｉｖ）ではｆ＝ｆｒ−Δｆβに基づいて、制御部５がアクチュエータ２の駆動周波数ｆを制御する。これによりｆ＜ｆｒ＜ｆｍの関係が得られ、ｆはｆｒおよびｆｍから離間する。ｆはｆｍから離間する。（ｖｉ）ではｆ＝ｆｒ−Δｆβ−βに基づいて、制御部５がアクチュエータ２の駆動周波数ｆを制御することにより、ｆｒおよびｆｍに対して離間する方向にｆを制御させることができる。殊にｆをｆｍに対して離間させる。ここで、Δｆβおよびβは、ｆｒ未満の正の任意値とすることができる。横軸のｆｍが減少すると、βは増加するように設定されている。これによりｆをできるだけｆｍから離間させる。
【００３６】
また、（ｖｉ）において、縦軸で示されるｆがｆｒよりも低いときにおいて、特性線Ｗ４，Ｗ５として示すように、ｆｍが、ｆｒよりも低いヒステリシス領域ｆhis２を超えて低周波側の第２しきい値ｆset-lowに到達すると、図３の特性線Ｗ６に示すように、縦軸で示されるｆがｆｒよりも低い状態から、縦軸において、ｆｒよりも高い状態に反転するように、制御部５はアクチュエータ２の駆動周波数ｆを制御することにより、ｆｒおよびｆｍに対して離間する方向にｆを移動させることができる。殊に、ｆをｆｍからできるだけ離間させる。なお、特性線Ｗ３，Ｗ６では直線として記載されているが、周波数が連続して変化するものではない。
【００３７】
以上説明したように本実施形態によれば、アクチュエータ２の作動時において、移動体１の振動周波数ｆｍが変動する場合であっても、制御部５は、アクチュエータ２の実際の駆動周波数ｆがアクチュエータ２の共振周波数ｆｒおよび移動体１の振動周波数ｆｍの双方から離間する方向に、アクチュエータ２の駆動周波数ｆを制御する。殊に、ｆをｆｍから離間させる。このためアクチュエータ２が共振周波数ｆｒを有する場合であっても、また、移動体１（外部環境）の外部振動がアクチュエータ２に影響する場合であっても、アクチュエータ２の作動中においてアクチュエータ２の可動部２８の有害振動を低減させるのに有利である。これによりアクチュエータ２の駆動周波数ｆを外部振動周波数ｆｍからできるだけ離間する方向に移動させることができ、アクチュエータの有害振動を避け易い。
【００３８】
なお本実施形態によれば、ｆｍがｆｒ付近において高い頻度で変動するときには、アクチュエータ２の駆動周波数ｆがｆ＝ｆｒ＋Δｆαに基づいたり、ｆ＝ｆｒ−Δｆβに基づいたりし、ｆが頻繁に変化するおそれがある。そこで、ヒテリシス領域ｆhis１、ヒテリシス領域ｆhis２が設けられており、ｆｍがｆｒ付近において高い頻度で変動するときであっても、ｆが高い頻度で変動することが抑制されている。
【００３９】
(実施形態３)
本実施形態は実施形態１，２と基本的には同様の構成および作用効果を果たすため、図１を準用する。本実施形態は、移動体１の外部振動周波数ｆｍが変動する場合における制御を示す。図４は、移動体１の外部振動周波数ｆｍが変動する場合において、アクチュエータ２の作動するとき、移動体１の外部振動周波数ｆｍ（横軸）とアクチュエータ２の実際の駆動周波数ｆ（縦軸）とアクチュエータ２の共振周波数ｆｒとの関係を示す。図４は図３に対応する。なお、前記した式Ａで示されるように、アクチュエータ２が通常運転されるときにおける基本運転周波数ｆｂとアクチュエータの共振周波数ｆｒとを一致させず、所定の周波数Δｆずらせている。図４において、丸囲み数字は変移番号を示している。
【００４０】
図４から理解できるように、縦軸で示されるｆがｆｒよりも高い状態にあるとき（ｆ＞ｆｒ）において、特性線Ｗ１として示すように、横軸で示されるｆｍがｆｍ＜ｆｒの範囲で変動する場合(図４の変移２)には、ｆｍが固定値の場合と同様に、ｆ=ｆｒ+Δｆに基づいて、制御部５はアクチュエータ２の実際の駆動周波数ｆを制御する。これによりｆｍ＜ｆｒ＜ｆの関係が得られる。この場合、ｆｍおよびｆｒからｆが離間する。殊にｆｍからｆが離間する。なお例えば、Δｆ＝|ｆｒ-ｆｂ|として定義できる。このようにΔｆは、ｆｒとｆｂとの差の絶対値に基づいて定義できる。
【００４１】
図４の特性線Ｗ１，Ｗ２として示すように、ｆｒ未満であった横軸のｆｍがｆｒを通過するように高周波側に増加する場合には、ｆｒに対してヒステリシス領域ｆhis１が設定される。図４の特性線Ｗ２として示すように、横軸で示されるｆｍがｆｒよりも増加し、ｆｒ＜ｆｍ＜（ｆｒ+ｆhis１）の関係が成立する場合には、ｆｒではなく、ｆｍを基準として、ｆ＝ｆｍ＋Δｆに基づいて、制御部５はｆを制御することにより、ｆｒおよびｆｍに対して離間する方向にｆを移動させることができる（図４における変移３および変移５）。殊にｆｍが高くなっているものの、ｆをｆｍに対してできるだけ離間させる。この場合、ｆｍがｆｒよりも増加するにつれて、特性線Ｗ２として示すように、ｆは高周波側に増加し、ｆｒおよびｆｍに対して離間する方向に移動する。
【００４２】
横軸で示されるｆｍがｆｒよりも更に増加し、ｆｒ+ｆhis１≦ｆｍの関係が成立された後には、図４における特性線Ｗ３として示すように、ｆ=ｆｒ-Δｆになるように、制御部５はｆを制御する（図４における変移６）。すなわち、横軸で示されるｆｍが更に増加して高周波側の第１しきい値ｆset-highに到達すると、図４の特性線Ｗ３に示すように、縦軸で示されるｆがｆｒよりも高い状態から、ｆｒよりも低周波側に通過し、ｆｒよりも低い状態に反転するように、制御部５はアクチュエータ２の駆動周波数ｆを制御する。これによりｆをｆｒおよびｆｍに対して離間する方向に移動させることができる。殊に、ｆをｆｍに対して離間させる。
【００４３】
なお、このようにアクチュエータ２の駆動周波数ｆがｆｍの変動に応じて変化したとしても、アクチュエータ２は、冷凍機６０を作動させる機構であるため、冷凍機６０における冷凍出力作用には変動を緩和する作用が存在し、冷凍機６０の冷凍出力の変動は緩和される。
【００４４】
また、図４における特性線Ｗ１，Ｗ２として示すように、ｆｒ＜ｆｍ＜（ｆｒ+ｆhis１）が成立した後、（ｆｒ+ｆhis１）≦ｆｍとが成立する前において、横軸で示されるｆｍがｆｒよりも下降し、ｆｍ＜ｆｒが成立した場合には、ｆ=ｆｒ+Δｆに基づいて、制御部５はｆをｆｒよりも高い値に制御する（図４における変移４）。これによりｆｍ＜ｆｒ＜ｆの関係が得られ、ｆはｆｒおよびｆｍから離間される。殊にｆはｆｍから離間される。
【００４５】
また、図４における特性線Ｗ４として示すように、縦軸で示されるｆがｆｒよりも低いときであっても、ｆｒ＜ｆｍが成立するようにｆｍが高周波側に変動する場合には(図４における変移７)、ｆｍが固定値の場合と同様に、ｆ=ｆｒ-Δｆに基づいて、制御部５はｆをｆｒよりも低い値に制御する。この場合、ｆ＜ｆｒ＜ｆｍが得られ、ｆをｆｒおよびｆｍから離間させる。殊にｆをｆｍから離間させる。
【００４６】
図４における特性線Ｗ４，Ｗ５として示すように、横軸で示されるｆｍがｆｒ未満となるように減少する場合には、（ｆｒ−ｆhis２）≦ｆｍ＜ｆｒが成立するときには、ｆｒではなく、ｆｍを基準とし、ｆ=ｆｍ−Δｆに基づいて、制御部５はｆをｆｒよりも低い値に制御することにより、ｆｒおよびｆｍに対してｆを離間させる方向に移動させることができる（図４における変移８，１０）。
【００４７】
横軸で示されるｆｍが低い周波側の第２しきい値ｆset-lowよりも更に減少するとき、特性線Ｗ６として示すように、ｆｍ＜（ｆｒ−ｆhis２）となった後には、ｆ=ｆｒ+Δｆに基づいて、制御部５はｆを増加させることにより、ｆｒおよびｆｍに対して離間する方向にｆを制御させることができる（図４における変移１１）。
【００４８】
すなわち、横軸で示されるｆｍが低い周波側の第２しきい値ｆset-lowに到達すると、図４の特性線Ｗ６に示すように、縦軸のｆがｆｒよりも低い状態から、ｆｒよりも高周波側に通過し、ｆｒよりも高い状態に反転するように、制御部５はアクチュエータ２の駆動周波数ｆを高周波側に制御することにより、ｆｒおよびｆｍに対してｆを離間させる方向に移動させることができる。殊にｆをｆｍから離間させる。
【００４９】
また図４において、縦軸で示されるｆがｆｒよりも低い状態において、特性線Ｗ５として示すように、ｆｍがｆｒよりも減少し、（ｆｒ−ｆhis２）≦ｆｍ＜ｆｒが成立した後に、ｆｍ＜（ｆｒ−ｆhis２）なる前に、横軸のｆｍがｆｒよりも増加し、ｆｒ≦ｆｍとなった場合は、ｆ=ｆｒ−Δｆに基づいて、制御部５はｆをｆｒよりも低い値に制御する（図４における変移９）。この場合、ｆ＜ｆｒ＜ｆｍの関係が得られ、ｆがｆｒおよびｆｍから離間される。殊にｆがｆｍから離間される。
【００５０】
以上説明したように本実施形態によれば、アクチュエータ２の作動時において、移動体１の振動周波数ｆｍが変動する場合であっても、制御部５は、アクチュエータ２の実際の駆動周波数ｆがアクチュエータ２の共振周波数ｆｒおよび移動体１の振動周波数ｆｍの双方から離間する方向に、アクチュエータ２の駆動周波数ｆを制御する。このためｆがｆｒおよびｆｍから離間される。殊にｆがｆｍから離間される。よって、アクチュエータ２が共振周波数ｆｒを有する場合であっても、また、移動体１（外部環境）の外部振動がアクチュエータ２に影響する場合であっても、アクチュエータ２の作動中においてアクチュエータ２の可動部２８の有害振動を低減させるのに有利である。
【００５１】
(実施形態４)
図５は実施形態４を示す。本実施形態は実施形態１〜３と基本的には同様の構成および作用効果を果たすため、図１を準用する。本実施形態は、移動体１の外部振動周波数ｆｍが変動する場合における制御を示す。図５は、移動体１の外部振動周波数ｆｍが変動する場合において、アクチュエータ２の作動するとき、移動体１の外部振動周波数ｆｍ（横軸）とアクチュエータ２の実際の駆動周波数ｆ（縦軸）とアクチュエータ２の共振周波数ｆｒとの関係を示す。横軸で示されるｆｍがｆｒよりも低く、ｆｍ＜ｆｒのときには、制御部５は、アクチュエータ２の実際の駆動周波数ｆを、ｆｒ＋Δｆαに基づいてｆｒよりも高い値に設定する。これによりｆｍ＜ｆｒ＜ｆの関係が得られる。よって、ｆｍおよびｆｒからｆが離間される。殊にｆｍからｆが離間される。
【００５２】
これに対して、横軸で示されるｆｍがｆｒよりも高く、ｆｒ＜ｆｍのときには、制御部５は、アクチュエータ２の実際の駆動周波数ｆを、ｆｒ−Δｆαに基づいてｆｒよりも低い値に設定する。これによりｆ＜ｆｒ＜ｆｍの関係が得られる。よって、ｆｍおよびｆｒからｆが離間される。殊にｆｍからｆが離間される。なお、前述したようにΔｆαはｆｒ未満の正の任意値にできる。
【００５３】
（適用形態）
図６は冷凍機に適用した形態を示す。図６に示すように、本適用形態に係る装置は、外部として機能する移動体１と、移動体１の振動の影響を受けるように移動体１に設置されたアクチュエータ２と、移動体１の外部振動周波数ｆｍを検知する振動検知部としての振動センサ４と、アクチュエータ２を制御する制御部５と、移動体１に搭載されている作動機構としての冷凍機６０とをもつ。冷凍機６０は蓄冷器６０ａとコールドヘッド６０ｃとを有する。
【００５４】
移動体１としては、船舶、自動車、トラック、鉄道用車両、航空機が例として挙げられる。冷凍機６０として、スターリング型パルス管冷凍機、GM型パルス管冷凍機、スターリング冷凍機、GM冷凍機等が挙げられる。他の作動機構としては、空調用の場合にはランキンサイクルのエアコンが挙げられる。
【００５５】
アクチュエータ２は、リニアモータ２０と、リニアモータ２０で作動されるコンプレッサ３０とを有する。リニアモータ２０は、可動磁界を発生させる固定子２１と、可動磁界に伴い移動する可動子２２と有する。固定子２１は固定鉄心と固定鉄芯に巻回された励磁巻線部とを有する。コンプレッサ３０は、圧縮室３０ａとなるシリンダ室を形成するシリンダ３１と、圧縮室３０ａに嵌合された可動部としてのピストン３２と、ピストン３２に同軸的に連設された駆動軸３３と、圧縮室３０ａと冷凍機６０とを吐出路３４を介して連通させる吐出ポート３５と、圧縮室３０ａと作動機構６とを吸込路３７を介して連通させる吸込ポート３８と、吐出ポート３５を開閉させる吐出弁３６と、吸込ポート３８を開閉させる吸込弁３９とをもつ。
【００５６】
ピストン３２の駆動軸３３は、弾性体２６によりシリンダ室に対する同軸性を高めつつ弾性支持されている。弾性体２６は、駆動軸３３を弾性支持する複数のフレクシャベアリング２６ａ，２６ｃで形成されている。一方のフレクシャベアリング２６ａは、駆動軸３３の軸長方向の一端部３３ａを嵌合させる嵌合孔２６ｘを有しており、一端部３３ａを弾性支持する。他方のフレクシャベアリング２６ｃは、駆動軸３３の軸長方向の他端部３３ｃを嵌合させる嵌合孔２６ｘを有しており、他端部３３ｃを弾性支持する。なお、アクチュエータ２を冷却させる冷却媒体（例えば冷却水等の冷却液）を供給させる冷媒供給通路２ｘと、冷却媒体を排出させる冷媒排出通路２ｙが設けられている。
【００５７】
アクチュエータ２の可動部として機能するピストン３２は、固定子２１に励磁電流を通電するに伴い発生する可動磁界に基づいて、矢印Ｌ１，Ｌ２方向に沿って直動往復移動する。ピストン３２の１回の往復移動を１Ｈｚとする。
【００５８】
ここで、アクチュエータ２のピストン３２の共振周波数ｆｒは、基本的には、ピストン３２および駆動軸３３を含む可動部分の質量と、可動部分をこれの軸長方向に弾性支持する弾性体２６のバネ定数とに基づいて定まり、更に、圧縮室３０ａの作動ガスの圧力を考慮することが好ましい。なお本実施形態によれば、具体的には、アクチュエータ２が共振周波数ｆｒは、例えば、４０〜７０Ｈｚの範囲内、殊に５０〜６０Ｈｚの範囲にできる。アクチュエータ２の実際の駆動周波数ｆは、例えば、３９〜７１Ｈｚの範囲内、殊に４９〜６１Ｈｚの範囲にできる。但しこれらに限定されるものではない。
【００５９】
制御部５の指令に基づいて、リニアモータ２０の固定子２１に励磁電流が流れて可動磁界が発生する。可動磁界に伴い、駆動軸３３およびピストン３２がこれの軸長方向（矢印Ｌ１，Ｌ２方向）に沿って往復移動する。これによりピストン３２が圧縮方向である矢印Ｌ１方向に前進すると、圧縮室３０ａの作動ガス（例えばヘリウムガス、窒素ガス等）は圧縮され、吐出弁３６の開放により吐出路３４を経て蓄冷器６０ａで冷却され、冷凍機６０に供給され、冷凍サイクルによりコールドヘッド６０ｃで冷凍を出力させる。これに対してピストン３２が吸込方向である矢印Ｌ２方向に後退すると、冷凍機６０側の作動ガスは、蓄冷器６０ａで蓄冷させた後、吸込路３７および吸込弁３９を介して圧縮室３０ａに吸い込まれる。このように作動ガスは冷凍機６０およびコンプレッサ３０との間を繰り返して往復移動し、冷凍機６０はコールドヘッド６０ｃから冷凍を出力させる。なお、吐出路３４および吸込路３７には、冷凍機６０側と接続させるコネクタ６３が設けられている。
【００６０】
上記したようにリニアモータ２０が作動してコンプレッサ３０が駆動しているとき、振動センサ４は、少なくともリニアモータ２０の駆動軸３３と同一方向（矢印Ｌ１，Ｌ２方向）に振動する移動体１の振動の周波数ｆｍを検知することができる。振動センサ４からの信号は制御部５に入力される。制御部５は、移動体１の振動の周波数ｆｍと、アクチュエータ２の共振周波数ｆｒとを比較し、上記した各実施形態のいずれかに基づいて、アクチュエータ２の実際の運転周波数ｆをｆｒおよびｆｍに対して離間する方向に移動させる。具体的には、制御部５は、アクチュエータ２の駆動周波数ｆがアクチュエータ２の共振周波数ｆｒよりも移動体１の外部振動周波数ｆｍに対して離間する方向に、アクチュエータ２の駆動周波数ｆを制御する。これにより外乱となる移動体１の振動がリニアモータ２０に伝搬されるとしても、リニアモータ２０の有害振動をできるだけ抑制させることができる。
【００６１】
なお、アクチュエータ２の駆動周波数ｆがｆｍの変動に応じて変化したとしても、アクチュエータ２は、蓄冷器６０ａをもつ冷凍機６０を作動させる機構であるため、冷凍機６０における蓄冷器６０ａの蓄冷作用には変動を緩和する作用が存在し、ひいてはコンプレッサの出力変動による冷凍機６０の出力部の冷凍出力の変動には変動を緩和する作用が存在する。よって、冷凍機６０の冷凍出力の変動は緩和される。
【００６２】
（その他）本発明は上記し且つ図面に示した実施形態のみに限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施できる。冷凍機は蓄冷器を有しない冷凍機に適用しても良い。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明は冷凍機に利用でき、更に、真空ポンプに利用でき、更に、電気自動車等に搭載されるブレーキブースター用のガス圧縮機に利用できる。
【符号の説明】
【００６４】
１は移動体（外部）、２はアクチュエータ、２０はリニアモータ、２８は可動部、２５は弾性体、３０はコンプレッサ、３０ａは圧縮室、３２はピストン、３３は駆動軸、４は振動センサ（振動検知部）、５は制御部、６は作動機構、６０は冷凍機を示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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