(57)【要約】【課題】  装置内でチューブを適正に接続させる作業の円滑化を可能とするチューブを提供することである。【解決手段】  流体が流れるチューブであって、該チューブ上に印字された該流体の流動方向を示す方向記号と、該チューブ上に印字された該チューブの種別を示す種別記号とを備え、該方向記号と該種別記号とは異なる色を有し、該方向記号上に該種別記号が印字されていることを特徴とする。【選択図】図３
2011094694.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流れるチューブであって、
該チューブ上に印字された該流体の流動方向を示す方向記号と、
該チューブ上に印字された該チューブの種別を示す種別記号とを備え、
該方向記号と該種別記号とは異なる色を有し、
該方向記号上に該種別記号が印字されていることを特徴とするチューブ。
【請求項２】
前記方向記号は淡色を有し、前記種別記号は濃色を有している請求項１記載のチューブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は流体が流れるチューブに関する。
【背景技術】
【０００２】
産業機械や製造装置には水やエアといった各種の流体を用いるものが多い。例えば、半導体デバイスの製造工程において、半導体ウエーハを研削して薄化するグラインダと呼ばれる研削装置や、薄化された半導体ウエーハをチップ状に分割するダイサーと呼ばれる切削装置も各種の流体を用いている。
【０００３】
切削装置は、少なくとも半導体ウエーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウエーハを切削する切削ブレードを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、切削された半導体ウエーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
【０００４】
また、研削装置は、少なくとも半導体ウエーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウエーハを研削する研削ホイールを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、研削された半導体ウエーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
【０００５】
更に、これらの切削装置や研削装置では、チャックテーブルに半導体ウエーハを吸引するための負圧を発生させるエア吸引源や、エアベアリングに高圧エアを供給するエア供給源、洗浄装置に洗浄液を供給する洗浄液供給源等を備えるとともに、流体の吸引源や供給源からそれぞれの作用箇所へ流体を導くための配管が設けられている。
【０００６】
このような切削装置や研削装置における各種流体の配管としては、直径十〜数十ｍｍ程度の柔軟性を有するチューブが一般的に用いられており、適切な長さに切断されたチューブが装置内の適所に接続されている。
【０００７】
長さや太さが異なる複数のチューブを適正に接続するためには、チューブの種類を識別する必要がある。そこで従来は、チューブ番号を示す数字等の識別情報が印字された短い筒状のマーカーをチューブの両端部に装着してチューブの識別を可能にするとともに、流れる流体の向きが印字された短い筒状のマーカーをチューブの両端部に装着して装置内での流体の流れを確認できるようにしていた。
【０００８】
一方、通常チューブはリールに巻かれて蓄積されており、リールから引き出したチューブを目的の長さに切断した後、手作業で両端部に方向記号や種別記号を示す短い筒状のマーカーを装着するようにしていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平１０−３２１５６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところが従来技術のように流体の流動方向を示す方向記号やチューブの種別を示す種別記号が印字された筒状のマーカーをチューブの両端部に装着する方法では、作業者が誤ったマーカーをチューブに装着してしまったり、チューブに装着したマーカーが外れてチューブの識別ができず、装置内のチューブを適正に接続する作業が滞るという問題が発生していた。
【００１１】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、装置内へ又は装置内のチューブを適正に接続する作業の円滑化を可能とするチューブを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明によると、流体が流れるチューブであって、該チューブ上に印字された該流体の流動方向を示す方向記号と、該チューブ上に印字された該チューブの種別を示す種別記号とを備え、該方向記号と該種別記号とは異なる色を有し、該方向記号上に該種別記号が印字されていることを特徴とするチューブが提供される。
【００１３】
好ましくは、方向記号は淡色を有し、種別記号は濃色を有している。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によると、チューブには流体の流れる方向を示す方向記号と、チューブの種別を示す種別記号が印字されているので、マーカーが外れてチューブの識別ができなくなることが防止される。
【００１５】
また、印字を自動で行えば、作業者によるマーカー装着ミスによってチューブの識別ができなくなることが防止される。従って、装置内へチューブを適正に接続させる作業の円滑化が可能となる。
【００１６】
請求項２記載の発明によると、方向記号を淡色とし、種別記号を濃色として、且つ、方向記号上に種別記号を印字することで、使用するチューブの色によらず記号の読み取りが容易となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】切削装置の外観斜視図である。
【図２】ダイシングテープを介して環状フレームで支持された半導体ウエーハの斜視図である。
【図３】本発明のチューブの原理を説明する図である。
【図４】本発明のチューブを切削装置の配管に利用した実施形態を示す図である。
【図５】図４の実施形態の一部拡大図である。
【図６】図４の実施形態の一部拡大図である。
【図７】図４の実施形態の一部拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は配管に本発明のチューブを利用した切削装置２の外観斜視図を示している。切削装置２の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作手段４が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像手段によって撮像された画像が表示されるＣＲＴ等の表示手段６が設けられている。
【００１９】
図２に示すように、ダイシング対象の発光デバイスウエーハＷの表面においては、第１のストリート（分割予定ライン）Ｓ１と第２のストリートＳ２とが直交して形成されており、第１のストリートＳ１と第２のストリートＳ２とによって区画されてＬＥＤ等の多数のデバイスＤがウエーハＷ上に形成されている。
【００２０】
ウエーハＷは粘着テープであるダイシングテープＴに貼着され、ダイシングテープＴの外周縁部は環状フレームＦに貼着されている。これにより、ウエーハＷはダイシングテープＴを介してフレームＦに支持された状態となり、図１に示したウエーハカセット８中にウエーハが複数枚（例えば２５枚）収容される。ウエーハカセット８は上下動可能なカセットエレベータ９上に載置される。
【００２１】
ウエーハカセット８の後方には、ウエーハカセット８から切削前のウエーハＷを搬出するとともに、切削後のウエーハをウエーハカセット８に搬入する搬出入手段１０が配設されている。ウエーハカセット８と搬出入手段１０との間には、搬出入対象のウエーハが一時的に載置される領域である仮置き領域１２が設けられており、仮置き領域１２には、ウエーハＷを一定の位置に位置合わせする位置合わせ手段１４が配設されている。
【００２２】
仮置き領域１２の近傍には、ウエーハＷと一体となったフレームＦを吸着して搬送する旋回アームを有する搬送手段１６が配設されており、仮置き領域１２に搬出されたウエーハＷは、搬送手段１６により吸着されてチャックテーブル１８上に搬送され、このチャックテーブル１８に吸引されるとともに、複数の固定手段（クランプ）１９によりフレームＦが固定されることでチャックテーブル１８上に保持される。
【００２３】
チャックテーブル１８は、回転可能且つＸ軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル１８のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウエーハＷの切削すべきストリートを検出するアライメント手段２０が配設されている。
【００２４】
アライメント手段２０は、ウエーハＷの表面を撮像する撮像手段２２を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべきストリートを検出することができる。撮像手段２２によって取得された画像は、表示手段６に表示される。
【００２５】
アライメント手段２０の左側には、チャックテーブル１８に保持されたウエーハＷに対して切削加工を施す切削手段（切削ユニット）２４が配設されている。切削手段２４はアライメント手段２０と一体的に構成されており、両者が連動してＹ軸方向及びＺ軸方向に移動する。
【００２６】
切削手段２４は、回転可能なスピンドル２６の先端に切削ブレード２８が装着されて構成され、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード２８は撮像手段２２のＸ軸方向の延長線上に位置している。
【００２７】
２５は切削が終了したウエーハＷを洗浄装置２７まで搬送する搬送手段であり、洗浄装置２７では、ウエーハＷを洗浄するとともにエアノズルからエアを噴出させてウエーハＷを乾燥する。
【００２８】
次に図３を参照して、本発明のチューブの原理を説明する。チューブ１１は例えば透明樹脂から形成されており、チューブ１１上には矢印Ａで示す流体の流動方向を示す方向記号１３が印字されている。更に、方向記号１３上にはチューブ１１の種別を示す種別記号１５が印字されている。
【００２９】
この種別記号１５は、例えばエアを流すチューブと、水を流すチューブとを区別し、更にチューブの接続箇所を区別可能なような記号である。好ましくは、方向記号１３は黄色等の淡色から形成され、種別記号１５は紺又は黒等の濃色から形成される。
【００３０】
方向記号を淡色とし、種別記号を濃色として、且つ、方向記号１３上に種別記号１５を印字することにより、チューブ１１の色によらず方向記号１３及び種別記号１５の読み取りが容易となる。
【００３１】
図４を参照すると、本発明のチューブの原理を使用した切削装置２の配管構成図が示されている。エア源４０からは高圧エアがチューブ３１を介してクリーンユニット４６に供給される。図５の拡大図に示すように、チューブ３１上には方向記号３１ａが印字され、方向記号３１ａ上には種別記号Ａ０が印字されている。
【００３２】
クリーンユニット４６は複数枚のフィルタを有しており、エア源４０から供給された高圧エアを洗浄化する。クリーンユニット４６からはチューブ３３を介してチャックテーブル１８へ吸引リリース時の吹き上げ用エアが供給され、チューブ３５を介してエジェクタ等の負圧発生手段５２に高圧エアが供給され、チューブ３７を介してスピンドルユニット３０にエアベアリング用のエアが供給される。
【００３３】
クリーンユニット４６からは更に、チューブ３９を介して切削ブレード２８をカバーするホイールカバー３２にホイールカバー開閉用エアが供給され、チューブ４１を介してエアを供給してエアカーテン３４を形成し、チューブ４３を介して顕微鏡３８用の分岐継ぎ手５６にエアが供給される。図５に示すように、これらのチューブ３３〜４３は、エアの供給方向を矢印で示す方向記号と、方向記号上に印字された種別記号Ａ１〜Ａ６を有している。
【００３４】
負圧発生手段５２は、オリフィスを通過する高圧流体を利用して負圧を発生させるものであり、チューブ４５を介してチャックテーブル１８にチャックテーブルバキューム用負圧を供給し、チューブ４７を介してスピンナ洗浄装置２７にスピンナテーブルバキューム用負圧を供給する。
【００３５】
図６の拡大図に示すように、チューブ４５には負圧供給方向を示す矢印からなる方向記号が印字され、方向記号上に種別記号Ａ１１が印字されている。チューブ４７上には負圧供給方向を示す矢印からなる方向記号が印字され、方向記号上に種別記号Ａ１２が印字されている。
【００３６】
図７の拡大図に最も良く示されるように、分岐継ぎ手５６からはチューブ４９を介して顕微鏡３８にカバー開閉用エアが供給され、チューブ５１を介してマクロ顕微鏡用ブローエアが供給され、チューブ５３を介してミクロ顕微鏡用ブローエアが供給される。
【００３７】
チューブ４９は方向記号と方向記号上に印字された種別記号Ａ１３を有しており、チューブ５１は方向記号と方向記号上に印字された種別記号Ａ１４を有しており、チューブ５３は方向記号と方向記号上に印字された種別記号Ａ１５を有している。
【００３８】
チャックテーブル１８からの排出エアはチューブ５５を介してダクト６０に排出され、スピンナ洗浄装置２７からの排出エアはチューブ５７を介してダクト６０に排出され、スピンドル３０からの排出エアはチューブ５９を介してダクト６０に排出される。
【００３９】
ホイールカバー３２からの排出エアはチューブ６１を介してダクト６０に排出され、エアカーテン３４からの排出エアはチューブ６３を介してダクト６０に排出され。顕微鏡３８からの排出エアはチューブ６５を介してダクト６０に排出される。
【００４０】
このように、切削装置２の各構成部品で使用されたエアは全てダクト６０に排出される。更に、エアを供給するチューブには例えば無色透明なチューブが使用され、種別記号には「Ａｉｒ」を示すＡが使用されている。
【００４１】
冷却液源４２からは例えば市水等の冷却液がチューブ６７を介してクリーンユニット４８に供給される。クリーンユニット４８は複数枚のフィルタを含んでおり、これらのフィルタで冷却液を濾過する。
【００４２】
クリーンユニット４８からは、チューブ６９を介してスピンドル２６を回転可能に支持するスピンドルユニット３０に冷却液が供給される。スピンドルユニット３０から排出される冷却液は、チューブ７１を介してドレイン５８に排出される。チューブ６７，６９，７１は液体を供給するため、例えば水色に着色されている。更に、種別記号に「Ｌｉｑｕｉｄ」を示すＬが使用されている。
【００４３】
切削・洗浄液源４４からはチューブ７３を介して例えば純水等の液体がクリーンユニット５０に供給される。クリーンユニット５０は複数枚のフィルタを含んでいる。クリーンユニット５０からは、チューブ７５を介してスピンナ洗浄装置２７に洗浄液が供給され、チューブ７７を介してホイールカバー用分岐継ぎ手５４に切削液が供給され、チューブ７９を介して供給された液体がウォーターカーテン３６を形成する。
【００４４】
図７の拡大図に最もよく示されるように、分岐継ぎ手５４からはチューブ８３を介してホイールカバー３２にシャワーノズル用切削液が供給され、チューブ８５を介してブレード冷却用切削液が供給され、チューブ８７を介してシャワー用切削液が供給される。
【００４５】
スピンナ洗浄装置２７から排出される洗浄液はチューブ８１を介してドレイン５８に排出され、ホイールカバー３２から排出される切削液はチューブ８９を介してドレイン５８に排出され、ウォーターカーテン３６を形成した液体はチューブ９１を介してドレイン５８に排出される。
【００４６】
チューブ７３乃至チューブ９１は、冷却液、切削液等の液体を供給したり、使用済みの液体を排出するために使用されるため、エア供給用チューブと区別するために例えば水色に着色されている。更に、これらのチューブには「Ｌｉｑｕｉｄ」を示すＬが印字されている。
【００４７】
上述したように、エアを供給するチューブと液体を供給するチューブとを色分けすることにより、作業者によるチューブの接続ミスを防止できる。更に、チューブ上に方向記号と種別記号を直接印字することにより、従来のようにマーカーが外れてチューブの識別ができなくなることが防止される。
【００４８】
また、チューブ上に直接印字する方向記号を黄色、黄緑色等の淡色とし、チューブの種別を示す種別記号を紺又は黒等の濃色とし、且つ、方向記号上に種別記号を印字することにより、チューブの色によらず方向記号及び種別記号の読み取りが容易となる。
【００４９】
上述した実施形態では、本発明のチューブを切削装置の配管に適用した例について説明したが、本発明のチューブの使用はこれに限定されるものではなく、例えば研削装置、研磨装置等の他の加工装置の配管にも同様に適用である。
【符号の説明】
【００５０】
２    切削装置
１１    チューブ
１３    方向記号
１５    種別記号
２８    切削ブレード
３０    スピンドルユニット
３２    ホイールカバー
３８    顕微鏡
４０    エア源
４２    冷却液源
４４    切削・洗浄液源
５２    負圧発生手段
５８    ドレイン
６０    ダクト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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