(57)【要約】      （修正有）【課題】ワイヤーソー法に係るウェハの洗浄装置に関する。【解決手段】洗浄装置は第１の主面がインゴットに接続された保持板２０と、前記保持板２０の第２の主面に接続された取付板と、切断間隙の領域において前記ウェハ２２を洗浄するためにフラッシング液を供給する機構とを備え、前記保持板２０は、その表面上に配され、前記インゴットに向けて配向された複数の洗浄流路または洗浄管路１７を備え、好ましくは各洗浄流路の一端、特に前記インゴットとは反対側を向く端部がフラッシング液用のリザーバ５に対向して位置する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワイヤーソー法に係るウェハ（２２）の洗浄装置であって、
第１の主面がインゴット（１）に接続された保持板（２、２０）と、
前記保持板（２、２０）の第２の主面に接続された取付板（３）と、
切断板（２３）の領域において前記ウェハ（２２）を洗浄するためにフラッシング液（２１）を送る機構とを備え、
前記フラッシング液（２１）用の平面状のリザーバ（５）が設けられ、
前記保持板（２、２０）が、前記リザーバ（５）を前記インゴット（１）の方向に向け、
前記保持板（２、２０）のソーイングカットによって、前記リザーバ（５）と前記インゴット（１）の個々の切断間隙（２３）との間に洗浄コネクションが確立されることを特徴とする装置。
【請求項２】
複数の洗浄管路（１７）が洗浄コネクションとして設けられ、前記洗浄管路（１７）のそれぞれは、前記リザーバ（５）を対応する前記切断間隙（２３）に直接繋げる請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記洗浄管路（１７）及び前記インゴット（１）の前記各切断間隙（２３）は、同一の切断幅及び切断向きを有する請求項１または２に記載の装置。
【請求項４】
前記リザーバ（５）は、前記インゴット（１）の断面の少なくとも半分、好ましくは前記断面の３分の２から前記断面の全体の面積に対応する面を有する前記請求項の少なくとも１つに記載の装置。
【請求項５】
前記保持板（２０）は、前記リザーバ（５）の下部領域を規定する窪みを備える前記請求項の少なくとも１つに記載の装置。
【請求項６】
少なくとも１つの突起部（２５）が、前記保持板（２０）から前記リザーバに伸びている前記請求項の少なくとも１つに記載の装置。
【請求項７】
前記保持板（２）は、その表面上に配され、前記インゴット（１）に向けて配向された複数の洗浄流路（４）を備え、前記洗浄流路（４）の一端、特に前記インゴット（１）とは反対側を向く端部がフラッシング液用のリザーバ（５）に対向して位置する前記請求項の少なくとも１つに記載の装置。
【請求項８】
前記リザーバ（５）は、前記洗浄流路（４）の少なくとも一部、好ましくは前記洗浄流路（４）の全てに対向して位置している請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記保持板（２、２０）と前記取付板３とによって範囲が規定される空隙によって前記リザーバ（５）が形成される前記請求項の少なくとも１つに記載の装置。
【請求項１０】
前記リザーバ（５）を通り、前記リザーバ（５）を個々の区画（６）に分割する少なくとも１つの仕切壁（９）が設けられた前記請求項の少なくとも１つに記載の装置。
【請求項１１】
前記区画（６）のそれぞれは、対応するフラッシング液注入口（８）を有する請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記フラッシング液注入口（８）のそれぞれは、前記装置の上側の領域または前記装置の長手側の領域のいずれかに位置している請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
前記フラッシング液注入口（８）は、フラッシング液線を接続するまたは取り外す急動継手（１０）を備える請求項１１または１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記洗浄流路（４）は止まり穴（１１）として形成されている前記請求項７〜１３の少なくとも１つに記載の装置。
【請求項１５】
前記洗浄流路（４）のそれぞれは、前記保持板（２）に位置する窪みの底面に配置されている請求項１４に記載の装置。
【請求項１６】
前記窪み（１３）は直線状であり、前記保持板（２）の長手方向にいくつかの前記窪み（１３）が互いに平行に配置され、前記保持板（２）の幅方向に渡って配されている請求項１５に記載の装置。
【請求項１７】
前記保持板（２、２０）はブラスチック部品、特に樹脂からなる部品であるか、もしくは前記保持板（２、２０）はガラス、セラミックスまたはガラスセラミックスからなる前記請求項の少なくとも１つに記載の装置。
【請求項１８】
ワイヤーソー法に係るウェハの洗浄方法であって、フラッシング液が保持板を介してインゴットの切断間隙のそれぞれに送られ、前記方法は
ａ）フラッシング液（２１）を、保持板（２、２０）の領域に位置するリザーバ（５）に導入する工程と、
ｂ）前記リザーバ（５）に対向して位置し、前記保持板（２、２０）の表面上に横及び／または長さ方向に渡って配され、好ましくはインゴット（１）に向けられた細長の洗浄流路（４）または洗浄管路（１７）を介して、前記フラッシング液（２１）を前記保持板（２、２０）に対して略垂直方向に前記インゴット（１）の前記切断間隙（２３）に放出する工程を含むことを特徴とする方法。
【請求項１９】
前記洗浄流路（４）と前記切断間隙（２３）との間のフローコネクションは、前記保持板（２）が切られることにより確立される請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記洗浄管路（１７）は、前記インゴット（１）を切断する間に前記保持板（２０）の底面（１５）を切断することによって生成される請求項１８に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１または請求項１７の導入部に記載のワイヤーソー法に係るウェハ洗浄装置および方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコンウェハ等のウェハは、いわゆるワイヤーソー法によってブロック（インゴット）から製造されるのが現在通例である。切断は、輪状ワイヤと、研磨粒子を含む切断液（sawing fluid）とを使って行われ、その切断液はワイヤの表面上に置かれる。切断液の研磨粒子によって、保持板の一方側に掛けられたインゴットにワイヤが断続的に「食い込んで」いき、その際にインゴットを個々のスライス、いわゆるウェハに分離する。しかしながら、ウェハがこのように切断された後もそれらは以前と同様に接着剤によって取付板に繋がったままになっている。切断工程の終了後、各ウェハの切断面上の切断間隙（sawing gaps）には切断液が存在し、それは一方で付着によってウェハが密着する原因となり、また他方では切断液の粒子ならびに切断屑（シリコン切断屑）によって個々のウェハの切断面が汚染される原因となる。しかしながら、ウェハをさらに加工する上で、切断液の粒子の残留物が全て除去されるようにウェハの洗浄が行われる。
【０００３】
ドイツ国特許出願公開第１０２２０４６８号には、ウェハの洗浄方法および装置が記載され、同方法および装置においてウェハ間の分散流路を介して、フラッシング液が強制的に個々の切断間隙に送られる。この目的のために、インゴットが接着される保持板は、予め形成され、長手方向に伸びた単一の中心的な分散流路を備え、取付板における対応の流路を介してフラッシング液が分散流路に供給される。切断工程の間、インゴットに接着された保持板の領域が切られる。中心流路ならびに保持板が切られたことによって生成された付加的な流路を介してフラッシング液が送られることにより、フラッシング液が切断間隙の領域に到達し、切断間隙から切断残留物、特に切断粒子が洗い流される。しかしながら、この公知の方法の欠点は、各切断間隙の特に外部領域の洗浄が不十分な点である。そのため、連続したウェハの全体に渡って不均一な洗浄作用しか得られなかった。さらに、この公知の方法では、流路が長くなるにつれて洗浄作用が低下するため、この公知の方法を長さの大きいシリコンブロックに対して用いることができない。
【０００４】
米国特許出願公開第２００９／０１１７７１３号には、ウェハ装置（wafer arrangement）の切断間隙の領域における粘着力を低減する方法が記載されている。この方法では、液体または気体媒体を用いて、スペーサーとしての役割を果たすことになっている微粒子を切断間隙の領域に導入し、それにより粘着力を解消することが提案されている。これによって、ウェハの洗浄やウェハを個々に分離するのがより簡単になる。好適なスペーサーとして、プラスチックまたはガラスのスペーサーが提案されている。しかしながら、ウェハを個々に分離した後でスペーサー粒子を除去しなければならない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】ドイツ国特許出願公開第１０２２０４６８号
【特許文献２】米国特許出願公開第２００９／０１１７７１３号
【０００６】
本発明は、包括的な装置および方法を提供することを目的とし、それらを用いることで、ウェハ装置をより好ましく洗浄する装置または方法が実現可能となる。
【０００７】
さらに、前記包括的な装置は、より簡素なデザインを有することを意図する。
【発明の概要】
【０００８】
本発明の目的は、請求項１の特徴により実現される。従属の請求項は、本発明の好適な態様に関するものである。
【０００９】
本発明によれば、インゴットに向けて配向された三次元ならびに二次元のフラッシング液リザーバが設けられる。このリザーバは、広い範囲に渡って、即ち実質的にインゴットの寸法に合わせて、インゴットのすぐ近くならびに切断間隙に、フラッシング液を必要に応じて供給することを可能にする。リザーバは、インゴットに固定接続された薄肉の保持板によって画定されている。インゴットの切断と同時に導入されることが好ましい保持板のソーイングカット（sawing cut）を介して、横方向に配向されたリザーバと、インゴットの個々の切断間隙との間に洗浄コネクション（flushing connection）をもたらすことができる。
【００１０】
複数の洗浄管路が洗浄コネクションとして設けられることが好ましく、各洗浄管路は、平面状のリザーバを、直接かつ垂直に対応する切断間隙に繋ぐ。これにより、幅方向全体に渡って、リザーバからフラッシング液が即座にかつ偏向されずに、その洗浄管路に関連するインゴットの切断間隙に流入する。
【００１１】
洗浄管路ならびにインゴットにおける切断間隙は、それらが同じ一回の切断工程によって生成されることから同等の切断幅ならびに切断方向を有することが好ましい。
【００１２】
本発明に係るリザーバの概念は、そのリザーバが、インゴットの寸法の少なくともその半分が適応し、好ましくはインゴットの断面の少なくとも３分の２に対応する面を有することを可能にする。また、リザーバを、インゴットの断面形状（正方形、長方形、等）に対応するように形成することもできる。このように、インゴットの面全体に渡って最適な洗浄作用がもたらされる。
【００１３】
洗浄管路を、ソーイングカットを介して簡単に導入するために、保持板は、洗浄管路が導入される領域に窪みを備えるか、同領域の壁厚が小さくなっている。
【００１４】
少なくとも１つの突起部、好ましくは複数の突起部が、特にリブまたはスタッドの形で保持板から上に向かってリザーバに伸びているため、フローコネクションを生成するために保持板の底面が上向きに切断されても、ソーイングワイヤは引き続き導かれる。このように、ソーイングワイヤを、保持板の底面の切断間隙と全く同じ並びに再度導入することができる。即ち、ソーイングワイヤが保持板の底面にぶらさがることなく、切断間隙から下向きに導き出すことができる。従って、ソーイングワイヤは、突起部の領域における保持板の底面から実際に出て行くが、ソーイングワイヤは、対応する切断間隙と並ぶ突起部の領域内に留まるため、ソーイングワイヤは対応する並びにも留まる。突起部は完全には上向きに切断されていない。
【００１５】
突起部が、切断面に交差するように配向されていることが好ましい。
【００１６】
本発明のさらに好ましい態様によれば、保持板は、インゴットに向けて配向され、面上に横方向及び/または長さ方向に渡って配された好ましくは細長の洗浄流路を複数備える。また、各洗浄流路の端部、特にインゴットとは反対側を向く端部が、フラッシング液用のリザーバに対向して位置するか、またはその直ぐ近くにある。保持板に予め形成された複数の洗浄流路によって、各切断間隙へのフラッシング液の均一な流入が確かとなり、それゆえに最適な洗浄作用が得られる。それと同時に、保持板の領域において個々の洗浄流路と対向して位置するフラッシング液リザーバによって、インゴットとの接続面において均一な圧力分布がもたらされるため、寸法の大きな、特に長さの大きいインゴットであっても最適に洗浄することができる。従って、本発明は、従来の装置に比べて、洗浄強度及び洗浄速度の双方を大きく向上させることができる。本発明に係る装置の更なる利点は、予備洗浄だけではなく、それよりも最終洗浄が可能となる点である。さらに、配された洗浄流路と、それによってもたらされ、ワイヤーソー工程の後に存在する粘着面分布によって、特に「脱接着」、即ちインゴットまたはウェハと保持板との間で粘着層を好適に分離することが可能となる。
【００１７】
フラッシング液用リザーバが、共通のリザーバとして保持板に沿って少なくとも一部の洗浄流路、好ましくは全ての洗浄流路に対向して位置していると有利である。これは、個々の切断間隙へのフラッシング液の均一な導入の実現を支えるものである。
【００１８】
本発明の好ましい態様によれば、保持板と取付板とによって境界が規定される空隙によってリザーバが形成されるため、リザーバを、構造の点から簡単な方法で保持板と取付板とを対応した形に形成することで設けることができ、より経済的なものとすることができる。
【００１９】
特に、長さの大きいインゴットとそれらに対応する大きさに作られた保持板を用いる場合、個々の仕切壁を用いてリザーバを個々の区画に分割すると、保持板の長さ方向に渡って圧力関係が均一となり、最適になるため有利である。さらに、各区画に好適なフラッシング液注入口が備えられることが好ましく、フラッシング液注入口は、リザーバの側方領域、例えば取付板または保持板上に位置していることが好ましい。
【００２０】
代わりに、各フラッシング剤注入口は装置の上側、例えば取付板の上側に位置していてもよく、その場合狭い空間での取り扱いが容易となる。
【００２１】
素早い交換を可能にするために、フラッシング剤注入口は、フラッシング液線を接続する、または取り外すための急動継手（quick-action coupling）を各自備えていてもよい。
【００２２】
本発明の態様によれば、洗浄流路は止まり穴としての形状を有している。そのため、インゴットに向けて配向された止まり穴の端部と保持板の下面の間に材料層が残る。取付板の下側が切られることによって、洗浄流路が切断間隙まで開通する。
【００２３】
さらに、各洗浄流路を、保持板に位置する窪みの底面に配置してもよい。洗浄の間、リザーバから特に複数の洗浄流路に向かうフラッシング液がその窪みにおいても存在する。それにより、特に、洗浄流路への流れに対してある種のチャネル効果を得ることができる。さらに、この態様は、十分な剛性の面から、保持板の製造に適した成形を確実にする。
【００２４】
この場合、窪みを好ましくは直線状に、例えば、保持板の長手方向にいくつかの直線状の窪みが互いに平行に配置され、保持板の幅方向に渡って配されるように設けてもよい。
【００２５】
洗浄流路の形状は適用要件によって異なる。例えば、洗浄流路は円形、または細長、例えばスロット状であってもよい。
【００２６】
隣接する洗浄流路は、互い違い（offset）に配置されてもよい。この構成案によって、本発明は最も様々な形状の洗浄流路の実現を可能にする。
【００２７】
保持板、即ちインゴットに接着される板は、プラスチック部品として設けられることが好適であり、好ましくは合成樹脂部品または注形樹脂部品であることが好ましい。その代わりとして、特に単純な形状の保持板を取り上げる場合にはセラミックスまたはガラスもしくはガラスセラミックスの保持板を用いることができる。
【００２８】
本発明はさらに、ワイヤーソー法に係るウェハの洗浄方法に関し、同方法は、導入部分で規定した問題を下記の工程の特徴を介して解決することを特徴とする。
ａ）フラッシング液を保持板の領域に位置するリザーバに導入する工程と、
ｂ）前記リザーバに対向して位置し、前記保持板の表面上に横及び／または長さ方向に渡って配され、好ましくは前記インゴットに向けて配向された洗浄流路または洗浄管路を介して、前記フラッシング液を前記保持板に対して略垂直方向に前記インゴットの前記切断間隙に放出する工程。
【００２９】
圧力またはフラッシング液の重力により、フラッシング液がリザーバからインゴットの切断間隙に放出される。各洗浄流路または洗浄管路と切断間隙との間のフローコネクションは、好ましくはインゴットを切断しながら保持板を切るまたは保持板を切断することによって設けられる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
以下に本発明の好適な態様を図面を参照して説明する。分かり易いように、繰り返し出てくる特徴には一度だけ参照符号を付す。以下を示す。
【図１】図１は、本発明に係る装置の第１の態様を、それに固定されたインゴットと共に示す図であり、図１Ａはその斜視図であり、図１Ｂは保持板の底面図であり、図１Ｃは、図１ＢのＡ−Ａ面に沿った断面図であり、図1Ｄは、Ｂ−Ｂ面に沿った断面図である。
【図２】図２Ａは図1に係る態様の保持板の平面図であり、図２Ｂは図２Ａにおける領域Ｂの詳細図であり、図２Ｃは図２ＡにおけるＡ−Ａ断面に沿った断面図であり、図２Ｄは図２Ｃの領域Ｃの詳細図である。
【図３】図３Ａは図1に係る態様の保持板の平面図であり、図３Ｂは図３Ａにおける領域Ｂの詳細図であり、図３Ｃは図３ＡにおけるＡ−Ａ断面に沿った断面図であり、図３Ｄは図３Ｃの領域Ｃの詳細図である。
【図４】図４Ａは図1に係る態様の保持板の平面図であり、図４Ｂは図４Ａにおける領域Ｂの詳細図であり、図４Ｃは図４ＡにおけるＡ−Ａ断面に沿った断面図であり、図４Ｄは図４Ｃの領域Ｃの詳細図である。
【図５】図５は、フラッシング液注入口が上側にある本発明の更なる態様の取付板を介した断面図である。
【図６Ａ】図６Ａは、本発明に係る装置の第２の態様を、それに固定されたインゴットと共に示す図であって、突起部が無い状態の図である。
【図６Ｂ】図６Ｂは、発明に係る装置の第２の態様を、それに固定されたインゴットと共に示す図であって、突起部がある状態における洗浄管路が生成される前の断面図である。
【図７】図７は、洗浄工程における洗浄管路を導入した後の図６に係る装置の部分断面図である。
【図８】図８は、切断工程における図６Ｂに係る装置の部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
図１Ａは、本発明に係る装置の第１の態様の斜視図であり、シリコンブロック等のインゴットを単に破線で示している。インゴット１は、その面全体が保持板２（「切断支柱」とも呼ぶ）の下面に好適な接着剤により接着されている。保持板２の上側には、ワイヤーソー（図示せず）における装置全体を固定するための取付レール７の形体を有す取付突起部を備えた取付板３（「機械保持具」とも呼ぶ）がある。この態様では、いくつかのフラッシング液注入口８（その重要性は後述）が、取付板３の側面の領域に位置している。
【００３２】
保持板２は、磁器、セラミック材料、ガラス、または樹脂、特に注形樹脂からなることが好ましい。保持板２は、およそ２〜２５ｍｍ、好ましくは５〜１５ｍｍの厚みを有する。
【００３３】
図１Ｂは、保持板２の底面図である。それぞれの角部に見えるのは、保持板２と取付板３との間のねじ１４である（図１Ｃも参照のこと）。
【００３４】
保持板２と取付板３とは、フラッシング液用のリザーバ５を共に形成する。このリザーバ５は、保持板２の幅方向全体及び長さ方向全体に渡っている。従って、フラッシング液は、取付板３の壁部を除いて、また（後述の）仕切壁９を除いて保持板２の全面に渡って存在する。
【００３５】
また、図１Ｃに示すように、保持板２は、好ましくはインゴット１に向けられた個々の洗浄流路４を複数備えている。洗浄流路４は、リザーバ５に位置するフラッシング液を、インゴット１の個々の切断間隙（図示せず）に圧力により直接導入させる役割を果たし、それによりインゴット１の長手方向ならびに横方向において均一な洗浄作用が得られる。
【００３６】
図１Ｄから分かるように、リザーバ５を、個々の仕切壁９を用いていくつかの区画６に細分することができる。図１Ｄにおける３つの仕切壁９によって計４つの区画６が設けられている。個々の区画６は、独立したフラッシング液供給源を備えてもよい。これにより、洗浄工程を連続的（カスケード洗浄）に実施することが可能となる。この目的のために、各区画６に1つのフラッシング液注入口８が取付板３の領域において設けられている。これにより、長さの大きいインゴット１全体にフラッシング液を最適な圧力で適用できるようになる。
【００３７】
フラッシング液注入口８は、フラッシング液注入口８のそれぞれが管状のコネクタに素早く連結される、または切り離されることを可能にする急動継手（quick-action coupling）（図示せず）を各自有していてもよい。
【００３８】
原則として、仕切壁９は保持板２に届くように形成されている。
【００３９】
図１Ｄから分かるように、リザーバ５は、保持板２と取付板３とが互いに係合することによって形成される。この目的のために、取付板３は、表面の大きな凹部を備え、そこに個々の仕切壁９が位置する。
【００４０】
図２Ａは保持板２の底面図である。個々の洗浄流路４は溝状の窪み１３内に配置されており、各窪み内で２列に、互い違いに配置されている。溝状の窪み１３は、保持板２の幅方向に渡って配され、互いに平行に伸びている。溝状の窪み１３の側壁は、インゴット１に向かってテーパー状となるように形成されていることが好ましく、これにより、リザーバ５から洗浄流路４にフラッシング液が容易に流入する。
【００４１】
図２Ｃまたは図２Ｄから分かるように、洗浄流路４は、窪み１３の底面の止まり穴１１によって形成されており、その結果、材料層１２が保持板２の面上、特に窪み１３に対向して位置する面上に残っている。この面はインゴットの取付側であり、接着剤が位置する側である。
【００４２】
ワイヤーソー法では、保持板２が材料層１２の領域において切られ、それにより洗浄流路４がインゴットに向かって開く。
【００４３】
図２Ｂによれば、止まり穴１１は円形の外周を有し、互い違いになっている。対応する洗浄流路４の直径は、０．５ｍｍ〜５．０ｍｍの範囲である。
【００４４】
図３Ａ〜図３Ｄに係る本発明の態様は、洗浄流路４の形状の点で上記の態様と異なる。これらは、細長いスロット状の形を有する止まり穴であり、それらは各窪み１３において斜めに配向されている。
【００４５】
図４Ａ〜図４Ｄに係る本発明の態様は、洗浄流路４の形状の点で再度上記の態様と異なる。この態様でも、洗浄流路４は細長いスロット状の形を有するが、各窪み１３の長手方向に配向され、隣接する洗浄流路４と互い違いになっている。
【００４６】
図５は、本発明の態様を図示し、同態様ではフラッシング液注入口８が装置の側部領域にではなく、装置の上側に位置している。このように、取付板３は、その上側からアクセス可能な流路を有し、当該流路はリザーバ５の内側に注いでいる。本発明の上記の態様に対応して、いくつかのそのようなフラッシング液注入口８がいくつかの区画に設けられている。
【００４７】
保持板２を取付板３にねじ止めする代わりに、それらを互いに接着してもよい。
【００４８】
図６は、本発明に係る装置の第２の態様を示し、同装置では、上述の実施形態において参照符号４により同定した種類の洗浄流路が保持板２０に予め形成されていない。それよりも、保持板２０は平易な板として、または図６に示すように内部の上側１６を備えた状態で、もしくは壁厚が小さくなった状態のいずれかで配置されている。この実施形態では、保持板２０の底面１５が粘着層１８を介して取付板３に接続されている。また代わりに、他に取り得るあらゆる接続形体、例えばねじ止め等であってもよい。インゴットはここでも粘着層１９を介して保持板２０の底面に接続される。保持板２０の構成によるが、第１の実施形態のデザインを参照可能なように、第１の実施形態と同一のデザインとなっている。
【００４９】
図６Ａから分かるように、保持板２０と取付板３はフラッシング液用のリザーバ５を形成し、当該リザーバはインゴット１の幅及び長さ方向のほぼ全体に渡っている。とにかく、この構成では、リザーバ５の表面積が、インゴット１の水平断面の少なくとも半分、好ましくは断面の少なくとも３分の２からインゴット１の断面全体を被うことが可能となる。
【００５０】
図６Ｂに係る態様では、２つの突起部２５が保持板２０の底面からリザーバ５に伸びている。突起部２５は、リブまたはスタッドの形状を有し、切断面に交差するように配向されている。代わりに、突起部２５は例えば切断面に対して斜めになるように配置されていてもよい。参照符号２６は継続的に動き回るソーイングワイヤを表わし、図ではその一部を再現しているにすぎない。図６Ｂにおいて、横方向に走る下側の破線は、保持板２０の直ぐ下にあるソーイングワイヤ２６を示す。切断工程の間、ソーイングワイヤ２６はインゴット１内を保持板２０に向かって少しずつ移動し、最終的には保持板２０の底面１５を切断し、そしてリザーバの底面１５の上側１６（図８のリザーバの面２７に対応）にぶつかる。その際、後者はスタッド２５に切断間隙を入れ、図８に係る当該スタッドは、保持板２０に存在する切断間隙２３を上方向に拡大させながら、同時にソーイングワイヤ２６を全く同じ並びに保持する。その後ソーイングワイヤ２６を取り除く場合、ソーイングワイヤ２６を切断間隙２３を介して再度引き出さなければならないが、ソーイングワイヤ２６はこの工程を通して全く同じ並びに留まる。
【００５１】
保持板の底面の厚みは、およそ２〜６ｍｍの範囲であることが好ましい。
【００５２】
理解をより深めるために、図７に、リザーバ５から各切断間隙２３への渡り部分の部分拡大図を示す。本発明によれば、切断間隙２３を生成するための切断工程は保持板２０の底面１５を介して行われ、それにより、ソーイングカット毎に１つの洗浄管路１７が保持板２０及び粘着層１９内で生じ、当該洗浄管路がリザーバ５を直接かつ垂直に切断間隙２３に繋げる。その結果、正常な切断工程の後、リザーバ５の幅方向全体に渡りリザーバ５の面全体が広がっていることから、個々の細長の洗浄管路１７が複数、インゴット１の幅方向全体に渡って存在することになる。
【００５３】
洗浄管路１７及び切断間隙２３の形状寸法（幅）及び向きは、双方が対応する単一のソーイングカットによって生成されることから同一である。
【００５４】
インゴット１を正常に切断した後、図７で示すようにフラッシング液２１がリザーバ５に導入され、圧力によって、または重力によって個々の洗浄管路１７を介してインゴット１の切断間隙２３（図７の矢印参照）に送られ、切断間隙２３内の汚れの粒子や切断粒子２４をインゴット１の幅方向全体に渡って効率的に取り除くことができる。
【００５５】
保持板２と取付板３との間にリザーバ５が配置されることにより、保持板２を成形プラスチック部品、特に注形樹脂部品として考案することができる。注形樹脂部品を用いれば、窪みならびに個々に配置された洗浄流路４の成形を十分な強度で実現することができる。図６及び図７に係る簡素な形状の保持板２０に関して、ガラス、セラミックスまたはガラスセラミックスからなる保持板が用いられるという利点もある。
【００５６】
代わりに、保持板は他の材料からなっていてもよい。
【００５７】
本発明に係る方法は、以下の工程特徴によって特徴付けられる。
ａ）フラッシング液を、保持板の領域に位置するリザーバに導入する工程と、
ｂ）前記リザーバに対向して位置し、前記保持板の表面上に横及び／または長さ方向に渡って配され、好ましくは向けられた洗浄流路または洗浄管路を介して、前記フラッシング液を前記保持板に対して略垂直方向に前記インゴットの前記切断間隙に放出する工程。
【００５８】
容量の大きなリザーバのフラッシング液により、前記液を平坦に配された洗浄管路４を介して前記インゴットの個々の切断間隙に直接放出することができると特に有利であり、それにより洗浄の効率性ならびに洗浄速度を大きく向上することができる。
【００５９】
各洗浄流路４とウェハ間隙との間のフローコネクションは、保持板２が切られることにより、または保持板２０の底面１５が切断されることにより生じる。
【００６０】
概して、本発明は、関連する技術分野に対してかなり特別な貢献をなし、前記シリコンインゴットの予備洗浄及び最終洗浄の分野における製造速度を、同時にかつ大きく高めることが可能となる。
【符号の説明】
【００６１】
１  インゴット
２  保持板
３  取付板
４  洗浄流路
５  リザーバ
６  区画
７  取付レール
８  フラッシング液注入口
９  仕切壁
１０  急動継手
１１  止まり穴
１２  材料層
１３  窪み
１４  ねじ
１５  底面
１６  保持板の底面の上側
１７  洗浄管路
１８  粘着層
１９  粘着層
２０  保持板
２１  フラッシング液
２２  ウェハ
２３  切断間隙
２４  切断粒子
２５  スタッド
２６  ソーイングワイヤ
２７  平坦な底面、リザーバ
【図１】
2011079122.tif 000003
【図２】
2011079122.tif 000004
【図３】
2011079122.tif 000005
【図４】
2011079122.tif 000006
【図５】
2011079122.tif 000007
【図６Ａ】
2011079122.tif 000008
【図６Ｂ】
2011079122.tif 000009
【図７】
2011079122.tif 000010
【図８】
2011079122.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成22年11月11日(2010.11.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2011079122.tif 000015
【図５】
2011079122.tif 000016
【図６Ａ】
2011079122.tif 000017
【図６Ｂ】
2011079122.tif 000018
【図７】
2011079122.tif 000019
【図８】
2011079122.tif 000020
【外国語明細書】
2011079122000001.pdf