(57)【要約】【課題】梱包箱への合紙の移載を効率よく実施するための合紙移載方法、およびそのような移載の実施を実現する合紙移載装置、を提供する。【解決手段】合紙移載方法は、梱包箱３０の外に準備された合紙２０を、その紙面２１が撓んだ状態となるように吸着機構部４１により吸着するステップと、吸着機構部４１に吸着された合紙２０を梱包箱３０に向けて移動させるステップと、合紙２０を移動させるステップの後、吸着機構部４１による合紙２０の吸着を解除するステップとを備える。【選択図】図５
2011178531.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚のパネルが積層した状態で梱包される梱包箱に、パネル間に介在させるための合紙を移載する合紙移載方法であって、
梱包箱の外に準備された合紙を、その紙面が撓んだ状態となるように吸着機構部により吸着するステップと、
前記吸着機構部に吸着された合紙を梱包箱に向けて移動させるステップと、
前記合紙を移動させるステップの後、前記吸着機構部による合紙の吸着を解除するステップとを備える、合紙移載方法。
【請求項２】
前記合紙を吸着するステップは、前記合紙の紙面を平面視した場合に、その紙面の外縁が紙面の中央側に寄るように合紙を撓ませるステップを含む、請求項１に記載の合紙移載方法。
【請求項３】
前記吸着機構部は、合紙の紙面に負圧を作用させる第１吸着パッドと、合紙の紙面に負圧を作用させ、前記第１吸着パッドと間隔を隔てて設けられた第２吸着パッドとを含み、
前記合紙を吸着するステップは、
前記第１吸着パッドおよび前記第２吸着パッドに合紙を吸着するステップと、
合紙を吸着した前記第１吸着パッドと前記第２吸着パッドとの間の間隔を狭めるステップとを含む、請求項１または２に記載の合紙移載方法。
【請求項４】
前記吸着機構部は、合紙の紙面に負圧を作用させる第１吸着パッドと、合紙の紙面に負圧を作用させ、前記第１吸着パッドと間隔を隔てて設けられた第２吸着パッドとを含み、
前記合紙を吸着するステップは、
準備された合紙の紙面上方に距離を隔てた位置に、前記第１吸着パッドおよび前記第２吸着パッドを位置決めするステップと、
位置決めされた前記第１吸着パッドおよび前記第２吸着パッドから合紙の紙面に対して負圧を作用させることによって、合紙を前記第１吸着パッドおよび前記第２吸着パッドに吸い寄せるステップとを含む、請求項１から３のいずれか１項に記載の合紙移載方法。
【請求項５】
前記吸着機構部は、合紙の紙面に負圧を作用させる第１吸着パッドと、合紙の紙面に負圧を作用させ、前記第１吸着パッドと間隔を隔てて設けられた第２吸着パッドとを含み、
前記第１吸着パッドおよび前記第２吸着パッドは、吸着した合紙の紙面と重なる第１吸着面および第２吸着面をそれぞれ有し、
前記合紙を吸着するステップは、
前記第１吸着パッドおよび前記第２吸着パッドに合紙を吸着するステップと、
合紙を吸着した前記第１吸着パッドおよび前記第２吸着パッドを、前記第１吸着面を延長する平面と前記第２吸着面を延長する平面とが交差するように傾けるステップとを含む、請求項１から４のいずれか１項に記載の合紙移載方法。
【請求項６】
前記梱包箱は、上方に面して開口する開口面を形成し、
前記合紙を吸着するステップは、前記吸着機構部から合紙にその紙面を上方に引き寄せる負圧を作用させるステップを含み、
前記合紙を移動させるステップは、前記吸着機構部に吸着された合紙を、前記開口面を通じて梱包箱内に移動させるステップを含む、請求項１から５のいずれか１項に記載の合紙移載方法。
【請求項７】
前記合紙を吸着するステップは、合紙の紙面が上方に撓んだ状態となるように、合紙を吸着するステップを含む、請求項６に記載の合紙移載方法。
【請求項８】
合紙は、一方向に延伸する第１辺と、前記第１辺に直交する方向に延伸する第２辺とを有する矩形形状の平面視を有し、
前記合紙を吸着するステップは、合紙の紙面の外縁が、前記第１辺および前記第２辺の延伸方向のうちの前記第２辺の延伸方向に沿って紙面の中央側に寄るように、合紙を撓ませるステップを含み、
前記合紙を移動させるステップは、前記合紙を、前記第１辺の延伸方向に沿ってスライドさせながら前記開口部に対して進入させるステップを含む、請求項６または７に記載の合紙移載方法。
【請求項９】
合紙は、一方向に延伸する長辺と、前記長辺に直交する方向に延伸し、前記長辺よりも短い短辺とを有する矩形形状の平面視を有し、
前記合紙を吸着するステップは、合紙の紙面の外縁が、前記長辺および前記短辺の延伸方向のうちの前記短辺の延伸方向に沿って紙面の中央側に寄るように、合紙を撓ませるステップを含む、請求項６から８のいずれか１項に記載の合紙移載方法。
【請求項１０】
合紙は、樹脂製のシートから形成される、請求項１から９のいずれか１項に記載の合紙移載方法。
【請求項１１】
複数枚のパネルが積層した状態で梱包される梱包箱に、パネル間に介在させるための合紙を移載するための合紙移載装置であって、
合紙の紙面に負圧を作用させる第１吸着パッドと、合紙の紙面に負圧を作用させ、前記第１吸着パッドと間隔を隔てて設けられた第２吸着パッドとを含み、梱包箱の外に準備された合紙を前記第１吸着パッドおよび前記第２吸着パッドに吸着する吸着機構部と、
前記第１吸着パッドおよび前記第２吸着パッドに吸着された合紙を梱包箱に向かわせるように、前記吸着機構部を移動させる移動機構部とを備え、
前記吸着機構部は、前記第１吸着パッドと前記第２吸着パッドとの間隔を変化させるように前記第１吸着パッドおよび前記第２吸着パッドの少なくともいずれか一方を駆動させる駆動部をさらに含む、合紙移載装置。
【請求項１２】
複数枚のパネルが積層した状態で梱包される梱包箱に、パネル間に介在させるための合紙を移載するための合紙移載装置であって、
合紙の紙面に負圧を作用させる第１吸着パッドと、合紙の紙面に負圧を作用させ、前記第１吸着パッドと間隔を隔てて設けられた第２吸着パッドとを含み、梱包箱の外に準備された合紙を前記第１吸着パッドおよび前記第２吸着パッドに吸着する吸着機構部と、
前記第１吸着パッドおよび前記第２吸着パッドに吸着された合紙を梱包箱に向かわせるように、前記吸着機構部を移動させる移動機構部とを備え、
前記第１吸着パッドおよび前記第２吸着パッドは、吸着した合紙の紙面と重なる第１吸着面および第２吸着面をそれぞれ有し、前記第１吸着面を延長する平面と前記第２吸着面を延長する平面とが交差するように設けられる、合紙移載装置。
【請求項１３】
前記吸着機構部は、前記第１吸着面を延長する平面と前記第２吸着面を延長する平面とが交差する位置と、前記第１吸着面および前記第２吸着面が平行に延在する位置との間で、前記第１吸着パッドおよび前記第２吸着パッドを駆動させる駆動部をさらに含む、請求項１２に記載の合紙移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、一般的には、合紙移載方法および合紙移載装置に関し、より特定的には、複数枚のパネルが積層した状態で梱包される梱包箱に、パネル間に介在させるための合紙を移載する合紙移載方法およびそのような方法に用いられる合紙移載装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の合紙移載方法に関して、たとえば、特開２００７−１６１２６３号公報には、基板と合紙とを積層して基板を梱包する際に基板を傷、破損から守ることを目的とした梱包方法が開示されている（特許文献１）。特許文献１に開示された梱包方法においては、積まれた合紙を１枚ずつ剥離して、これを基板と合紙とからなる積層体に載置する。この際、まず、合紙吸着装置によって合紙を吸着した状態で合紙の端部を折り曲げる。次に、折り曲げられた合紙の端部をチャック装置によって把持する。チャック装置による合紙の把持が完了したら、合紙吸着装置による合紙の吸着を停止する。次に、チャック装置を水平方向に移動させることによって、チャック装置に把持した合紙を剥離する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１６１２６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ガラス基板や液晶パネルなどに代表される比較的、脆弱なパネル状部品またはパネル状製品は、工場内での搬送や工場からの出荷の際に、これらの間に合紙と呼ばれるシート状の部材が挟み込まれた状態で積層されて梱包箱に梱包される。合紙は、積層されるパネル同士が直接、接触して破損したり密着したりすることを防止するための緩衝材またはスペーサとしての機能を果たす。
【０００５】
しかしながら、このような合紙としては、一般的に樹脂製のシートや紙製のシートなどの柔らかい素材が利用されるため、合紙を精度よく位置決めすることが困難である。このため、準備された合紙を梱包箱に移載する場合に、合紙が梱包箱の内壁に乗り上げるなどの不具合が発生し、移載時の効率を著しく低下させるおそれがある。
【０００６】
そこでこの発明の目的は、上記の課題を解決することであり、梱包箱への合紙の移載を効率よく実施するための合紙移載方法、およびそのような移載の実施を実現する合紙移載装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明に従った合紙移載方法は、複数枚のパネルが積層した状態で梱包される梱包箱に、パネル間に介在させるための合紙を移載する合紙移載方法である。合紙移載方法は、梱包箱の外に準備された合紙を、その紙面が撓んだ状態となるように吸着機構部により吸着するステップと、吸着機構部に吸着された合紙を梱包箱に向けて移動させるステップと、合紙を移動させるステップの後、吸着機構部による合紙の吸着を解除するステップとを備える。なお、合紙とは、柔軟性を有するシート状の部材を意味する。
【０００８】
このように構成された合紙移載方法によれば、吸着機構部による合紙の吸着時に合紙の紙面を撓ませることによって、合紙のその紙面を平面視した時の大きさを縮小することができる。これにより、合紙が梱包箱に入り易くなるため、梱包箱への合紙の移載を効率よく実施することができる。
【０００９】
また好ましくは、合紙を吸着するステップは、合紙の紙面を平面視した場合に、その紙面の外縁が紙面の中央側に寄るように合紙を撓ませるステップを含む。このように構成された合紙移載方法によれば、合紙をその紙面の外縁が紙面の中央側に寄るように撓ませることによって、合紙の外縁と梱包箱の内壁との間の隙間が大きくなる。これにより、合紙が梱包箱に入り易くなる。
【００１０】
また好ましくは、吸着機構部は、合紙の紙面に負圧を作用させる第１吸着パッドと、合紙の紙面に負圧を作用させ、第１吸着パッドと間隔を隔てて設けられた第２吸着パッドとを含む。合紙を吸着するステップは、第１吸着パッドおよび第２吸着パッドに合紙を吸着するステップと、合紙を吸着した第１吸着パッドと第２吸着パッドとの間の間隔を狭めるステップとを含む。
【００１１】
このように構成された合紙移載方法によれば、第１吸着パッドと第２吸着パッドとの間の間隔を狭めることによって、これらの吸着パッド間において合紙の紙面を撓ませることができる。
【００１２】
また好ましくは、吸着機構部は、合紙の紙面に負圧を作用させる第１吸着パッドと、合紙の紙面に負圧を作用させ、第１吸着パッドと間隔を隔てて設けられた第２吸着パッドとを含む。合紙を吸着するステップは、準備された合紙の紙面上方に距離を隔てた位置に、第１吸着パッドおよび第２吸着パッドを位置決めするステップと、位置決めされた第１吸着パッドおよび第２吸着パッドから合紙の紙面に対して負圧を作用させることによって、合紙を第１吸着パッドおよび第２吸着パッドに吸い寄せるステップとを含む。
【００１３】
このように構成された合紙移載方法によれば、合紙の紙面と、第１吸着パッドおよび第２吸着パッドとの間に隙間が生じるように、第１吸着パッドおよび第２吸着パッドを合紙の紙面上方に位置決めする。これにより、合紙が第１吸着パッドおよび第２吸着パッドに吸い寄せられる間に合紙の紙面が湾曲するため、合紙をその紙面が撓んだ状態で吸着することができる。
【００１４】
また好ましくは、吸着機構部は、合紙の紙面に負圧を作用させる第１吸着パッドと、合紙の紙面に負圧を作用させ、第１吸着パッドと間隔を隔てて設けられた第２吸着パッドとを含む。第１吸着パッドおよび第２吸着パッドは、吸着した合紙の紙面と重なる第１吸着面および第２吸着面をそれぞれ有する。合紙を吸着するステップは、第１吸着パッドおよび第２吸着パッドに合紙を吸着するステップと、合紙を吸着した第１吸着パッドおよび第２吸着パッドを、第１吸着面を延長する平面と第２吸着面を延長する平面とが交差するように傾けるステップとを含む。
【００１５】
このように構成された合紙移載方法によれば、第１吸着パッドおよび第２吸着パッドを、第１吸着面を延長する平面と第２吸着面を延長する平面とが交差するように傾けると、合紙はその紙面が第１吸着面および第２吸着面に重なった状態を維持しながら湾曲する。これにより、合紙をその紙面が撓んだ状態で吸着することができる。
【００１６】
また好ましくは、梱包箱は、上方に面して開口する開口面を形成する。合紙を吸着するステップは、吸着機構部から合紙にその紙面を上方に引き寄せる負圧を作用させるステップを含む。合紙を移動させるステップは、吸着機構部に吸着された合紙を、開口面を通じて梱包箱内に移動させるステップを含む。このように構成された合紙移載方法によれば、吸着機構部によって合紙をその紙面が上方に向く形態で吸着しながら、梱包箱内に移動させる。
【００１７】
また好ましくは、合紙を吸着するステップは、合紙の紙面が上方に撓んだ状態となるように、合紙を吸着するステップを含む。このように構成された合紙移載方法によれば、紙面の撓んだ部分が上方に、その撓んだ部分の両側に配置される紙面の外縁が下方に位置決めされる。このため、合紙を開口面を通じて梱包箱内に移動させる際に、上方に撓んだ部分よりも先に紙面の外縁が梱包箱内に収まる。これにより、合紙の吸着を解除するタイミングを早めた場合であっても、合紙をより確実に梱包箱内に移載することができる。
【００１８】
また好ましくは、合紙は、一方向に延伸する第１辺と、第１辺に直交する方向に延伸する第２辺とを有する矩形形状の平面視を有する。合紙を吸着するステップは、合紙の紙面の外縁が、第１辺および第２辺の延伸方向のうちの第２辺の延伸方向に沿って紙面の中央側に寄るように、合紙を撓ませるステップを含む。合紙を移動させるステップは、合紙を、第１辺の延伸方向に沿ってスライドさせながら開口部に対して進入させるステップを含む。
【００１９】
このように構成された合紙移載方法によれば、合紙を開口面に対して進入させる際、紙面の外縁が中央側に寄る方向に直交する方向に沿って合紙をスライドさせることによって、紙面の外縁が開口面で引っかかることをより確実に防ぐことができる。
【００２０】
また好ましくは、合紙は、一方向に延伸する長辺と、長辺に直交する方向に延伸し、長辺よりも短い短辺とを有する矩形形状の平面視を有する。合紙を吸着するステップは、合紙の紙面の外縁が、長辺および短辺の延伸方向のうちの短辺の延伸方向に沿って紙面の中央側に寄るように、合紙を撓ませるステップを含む。
【００２１】
このように構成された合紙移載方法によれば、開口面に対して合紙がその紙面に平行な平面内において傾いた場合に、正規の位置に対する位置ずれの最大長さが、短辺側よりも長辺側で大きくなる。このため、合紙を短辺の延伸方向に沿って紙面の中央側に寄るように、すなわち、合紙の長辺を紙面の中央側に寄せることによって、紙面の外縁が開口部で引っかかることをより確実に防ぐことができる。
【００２２】
また好ましくは、合紙は、樹脂製のシートから形成される。このように構成された合紙移載方法によれば、樹脂製のシートを複数枚のパネル間に介在させることによって、梱包箱内でパネルが傷付いたり、破損したりすることを防止する。
【００２３】
この発明に従った合紙移載装置は、複数枚のパネルが積層した状態で梱包される梱包箱に、パネル間に介在させるための合紙を移載するための合紙移載装置である。合紙移載装置は、吸着機構部と、移動機構部とを備える。吸着機構部は、合紙の紙面に負圧を作用させる第１吸着パッドと、合紙の紙面に負圧を作用させ、第１吸着パッドと間隔を隔てて設けられた第２吸着パッドとを含み、梱包箱の外に準備された合紙を第１吸着パッドおよび第２吸着パッドに吸着する。移動機構部は、第１吸着パッドおよび第２吸着パッドに吸着された合紙を梱包箱に向かわせるように、吸着機構部を移動させる。吸着機構部は、駆動部をさらに含む。駆動部は、第１吸着パッドと第２吸着パッドとの間隔を変化させるように第１吸着パッドおよび第２吸着パッドの少なくともいずれか一方を駆動させる。
【００２４】
このように構成された合紙移載装置によれば、駆動部により第１吸着パッドと第２吸着パッドとの間の間隔を狭めることによって、これらの吸着パッド間において合紙の紙面を撓ませ、合紙のその紙面を平面視した時の大きさを縮小することができる。これにより、合紙が梱包箱に入り易くなるため、梱包箱への合紙の移載を効率よく実施することができる。
【００２５】
この発明の別の局面に従った合紙移載装置は、複数枚のパネルが積層した状態で梱包される梱包箱に、パネル間に介在させるための合紙を移載するための合紙移載装置である。合紙移載装置は、吸着機構部と、移動機構部とを備える。吸着機構部は、合紙の紙面に負圧を作用させる第１吸着パッドと、合紙の紙面に負圧を作用させ、第１吸着パッドと間隔を隔てて設けられた第２吸着パッドとを含み、梱包箱の外に準備された合紙を第１吸着パッドおよび第２吸着パッドに吸着する。移動機構部は、第１吸着パッドおよび第２吸着パッドに吸着された合紙を梱包箱に向かわせるように、吸着機構部を移動させる。第１吸着パッドおよび第２吸着パッドは、吸着した合紙の紙面と重なる第１吸着面および第２吸着面をそれぞれ有する。第１吸着パッドおよび第２吸着パッドは、第１吸着面を延長する平面と第２吸着面を延長する平面とが交差するように設けられる。
【００２６】
このように構成された合紙移載装置によれば、合紙を、その紙面と、互いに交差する角度で設けられた第１吸着面および第２吸着面とが重なった状態で湾曲させることによって、合紙の紙面を撓ませ、合紙のその紙面を平面視した時の大きさを縮小することができる。これにより、合紙が梱包箱に入り易くなるため、梱包箱への合紙の移載を効率よく実施することができる。
【００２７】
また好ましくは、吸着機構部は、第１吸着面を延長する平面と第２吸着面を延長する平面とが交差する位置と、第１吸着面および第２吸着面が平行に延在する位置との間で、第１吸着パッドおよび第２吸着パッドを駆動させる駆動部をさらに含む。
【００２８】
このように構成された合紙移載装置によれば、合紙を吸着するステップ時には、第１吸着パッドおよび第２吸着パッドを第１吸着面および第２吸着面が平行に延在する位置に駆動させ、合紙を撓ませるステップ時には、第１吸着パッドおよび第２吸着パッドを、第１吸着面を延長する平面と第２吸着面を延長する平面とが交差する位置に駆動させる。これにより、第１吸着パッドおよび第２吸着パッドを各ステップに適した姿勢に制御することができる。
【発明の効果】
【００２９】
以上に説明したように、この発明に従えば、梱包箱への合紙の移載を効率よく実施するための合紙移載方法、およびそのような移載の実施を実現する合紙移載装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】この発明の実施の形態１における合紙移載装置を示す側面図である。
【図２】図１中の２点鎖線ＩＩに囲まれた範囲の内部構造を示す断面図である。
【図３】この発明の実施の形態１における合紙移載方法の第１ステップを示す側面図である。
【図４】この発明の実施の形態１における合紙移載方法の第２ステップを示す側面図である。
【図５】この発明の実施の形態１における合紙移載方法の第３ステップを示す側面図である。
【図６】この発明の実施の形態１における合紙移載方法の第４ステップを示す側面図である。
【図７】この発明の実施の形態１における合紙移載方法の第５ステップを示す側面図である。
【図８】吸着機構部により吸着された合紙を示す平面図である。
【図９】梱包箱内に進入する合紙を示す平面図である。
【図１０】梱包箱内に進入する合紙の経路を示す側面図である。
【図１１】図１０中の矢印ＸＩに示す方向から見た合紙の経路を示す正面図である。
【図１２】この発明の実施の形態３における合紙移載方法のステップを示す側面図である。
【図１３】この発明の実施の形態３における合紙移載方法の次のステップを示す側面図である。
【図１４】この発明の実施の形態４における合紙移載装置を示す側面図である。
【図１５】この発明の実施の形態４における合紙移載方法のステップを示す側面図である。
【図１６】この発明の実施の形態４における合紙移載方法の次のステップを示す側面図である。
【図１７】この発明の実施の形態４における合紙移載方法において、梱包箱に移載される合紙の形態を示す側面図である。
【図１８】この発明の実施の形態４における合紙移載方法において、梱包箱に移載される合紙の別の形態を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
この発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、以下で参照する図面では、同一またはそれに相当する部材には、同じ番号が付されている。
【００３２】
（実施の形態１）
図１は、この発明の実施の形態１における合紙移載装置を示す側面図である。図１を参照して、まず、この発明の実施の形態１における合紙移載装置の基本的な構造について説明すると、本実施の形態における合紙移載装置１０は、複数枚のパネルとしてのガラス基板１２が積層した状態で梱包される梱包箱３０に、ガラス基板１２間に介在させるための合紙２０を移載するための装置である。
【００３３】
合紙移載装置１０は、吸着機構部４１と、移動機構部５１とを備える。吸着機構部４１は、合紙２０の紙面２１に負圧を作用させる第１吸着パッドとしての吸着パッド４２ｍと、合紙２０の紙面２１に負圧を作用させ、吸着パッド４２ｍと間隔を隔てて設けられた第２吸着パッドとしての吸着パッド４２ｎとを含み、梱包箱３０の外に準備された合紙２０を吸着パッド４２ｍおよび吸着パッド４２ｎに吸着する。移動機構部５１は、吸着パッド４２ｍおよび吸着パッド４２ｎに吸着された合紙２０を梱包箱３０に向かわせるように、吸着機構部４１を移動させる。
【００３４】
吸着機構部４１は、吸着パッド４２ｍと吸着パッド４２ｎとの間隔を変化させるように吸着パッド４２ｍおよび吸着パッド４２ｎの少なくともいずれか一方としての吸着パッド４２ｍおよび吸着パッド４２ｎを駆動させる駆動部４５をさらに含む。
【００３５】
続いて、図１中の合紙移載装置１０の構造について詳細な説明を行なう。
本実施の形態における合紙移載装置１０は、複数枚のガラス基板１２を梱包箱３０に梱包する際に、ガラス基板１２間に介挿するための合紙２０を梱包箱３０内に移載するために使用される。ガラス基板１２は、液晶パネルの製造に用いられ、たとえば、梱包箱３０に梱包された状態で基板工場からパネル工場に移送される。
【００３６】
ガラス基板１２は、薄板状のパネルとして設けられている。本発明が適用されるパネルは、ガラス基板１２に限られず、たとえば、液晶表示装置の製造に用いられる液晶パネルであってもよい。この場合、液晶パネルは、梱包箱３０に梱包された状態でパネル工場から液晶表示装置の組み立て工場に移送される。また、パネルは、カラーフィルタであってもよい。さらに、本発明が適用されるパネルは、液晶表示装置に関係しない部品、たとえば、プラズマディプレイであってもよいし、半導体ウェハや樹脂製の薄板状部品であってもよい。
【００３７】
複数枚のガラス基板１２は、その表面が水平方向に延在し、積層方向に隣り合うガラス基板１２間で表面同士が向かい合わせとなる姿勢により、梱包箱３０内に収容される。
【００３８】
複数枚の合紙２０が積層された状態で載置台１１上に準備されている。合紙２０は、紙面２１を有する。合紙２０が載置台１１に載置された状態で、紙面２１は、水平方向に延在する。
【００３９】
合紙２０は、梱包箱３０内で隣り合う合紙２０同士が直接、接触して破損したり密着したりすることを防ぐための緩衝材もしくはスペーサとして設けられている。合紙２０は、樹脂製シートや紙製シートなど、柔軟性を有するシート部材から形成されている。合紙２０は、その一方の端部を把持して持ち上げた場合に、他方の端部が自重によって垂れ下がる程度の低剛性のシート部材として設けられている。本実施の形態では、合紙２０として、高発泡ポリエチレン製のシート部材が用いられている。合紙２０は、梱包すべきガラス基板１２のサイズよりも僅かに大きいサイズに形成されている。
【００４０】
梱包箱３０は、載置台１１に隣り合って配置された載置台１３上に載置されている。梱包箱３０は、箱形状に形成されている。梱包箱３０は、上方に面して開口する開口面３２を有する。梱包箱３０は、開口面３２が水平方向に延在するように形成されている。開口面３２は、ガラス基板１２間に介挿される合紙２０のサイズよりも僅かに大きいサイズに形成されている。合紙２０を梱包箱３０に収めた状態において、梱包箱３０の内壁３４と、合紙２０の外縁との間の隙間は、たとえば２ｍｍ以下のサイズである。
【００４１】
合紙移載装置１０は、その主要な構成として、吸着機構部４１および移動機構部５１を有する。本実施の形態では、吸着機構部４１が、吸着パッド４２ｍおよび吸着パッド４２ｎと、ヘッド部４４と、アーム部４９と、駆動部４５とを有して構成されている。
【００４２】
吸着パッド４２ｍおよび吸着パッド４２ｎは、互いに同一構造を有する（以下、吸着パッド４２ｍおよび吸着パッド４２ｎを特に区別しない場合は、吸着パッド４２という）。吸着パッド４２は、合紙２０の紙面２１に負圧を作用させることによって合紙２０を吸着する。吸着パッド４２ｍと吸着パッド４２ｎとは、互いに間隔を隔てて配置されている。吸着パッド４２ｍと吸着パッド４２ｎとが互いに間隔を隔てる方向は、水平方向である。
【００４３】
吸着パッド４２ｍおよび吸着パッド４２ｎは、それぞれ、吸着面４３ｍおよび吸着面４３ｎ（以下、両者を特に区別しない場合は、吸着面４３という）を有する。吸着パッド４２ｍおよび吸着パッド４２ｎは、吸着面４３ｍと吸着面４３ｎとが水平方向に延在する同一平面上に配置されるように設けられている。
【００４４】
吸着パッド４２には、図示しない負圧発生装置が内蔵されており、この負圧発送装置の稼働により、合紙２０の紙面２１に負圧を作用させる。負圧を作用された合紙２０は、その紙面２１が吸着面４３に重なる形態により、吸着パッド４２に吸着される。
【００４５】
図２は、図１中の２点鎖線ＩＩに囲まれた範囲の内部構造を示す断面図である。図１および図２を参照して、駆動部４５は、吸着パッド４２ｍおよび吸着パッド４２ｎにそれぞれ設けられている。駆動部４５は、吸着パッド４２ｍと吸着パッド４２ｎとの間隔を変化させるように吸着パッド４２を駆動させる。
【００４６】
より具体的には、駆動部４５は、ラック・アンド・ピニオン(rack and pinion)を構成するラック４６およびピニオン４７と、モータ４８とを有して構成されている。ラック４６は、吸着パッド４２ｍと吸着パッド４２ｎとが間隔を隔てる方向、すなわち水平方向に複数のギヤが並ぶ形態により形成されている。ピニオン４７は、円形歯車の形態により形成されており、ラック４６と噛み合って配置されている。吸着パッド４２は、ピニオン４７に接続されている。モータ４８は、ピニオン４７を回転可能なように、ピニオン４７の駆動軸に接続されている。
【００４７】
モータ４８からピニオン４７に回転力が付与されることにより、ピニオン４７が回転しながらラック４６との噛み合いによって水平方向に移動する。このピニオン４７とともに吸着パッド４２が水平方向に移動し、結果、吸着パッド４２ｍと吸着パッド４２ｎとの間隔が変化する。
【００４８】
なお、本実施の形態では、吸着パッド４２ｍおよび吸着パッド４２ｎの双方に駆動部４５を設けた場合を説明したが、駆動部４５は、吸着パッド４２ｍおよび吸着パッド４２ｎの少なくともいずれか一方に設けられればよい。たとえば、駆動部４５が吸着パッド４２ｍのみに設けられてもよい。この場合、吸着パッド４２ｍが水平方向に移動することによって、吸着パッド４２ｍと吸着パッド４２ｎとの間の間隔が変化する。
【００４９】
図１を参照して、移動機構部５１は、吸着機構部４１を載置台１１上の位置と載置台１３上の位置との間で移動させることが可能なように設けられている。
【００５０】
より具体的には、移動機構部５１は、案内レール５２，５３と、アーム部５４とを有して構成されている。案内レール５２は、鉛直方向に延伸する。案内レール５２には、その延伸方向に沿ってスライド可能なようにアーム部４９が嵌合されている。アーム部５４は、案内レール５２に接続されている。案内レール５３は、水平方向に延伸する。案内レール５３には、その延伸方向に沿ってスライド移動なようにアーム部５４が嵌合されている。
【００５１】
移動機構部５１は、エアシリンダや油圧装置、モータ等の駆動源をさらに有する。この駆動源の駆動に伴って、吸着機構部４１が、矢印１０１に示す鉛直方向および矢印１０２に示す水平方向に移動する。
【００５２】
図１中に示されていないが、載置台１３に隣り合う位置には、準備されたガラス基板１２を梱包箱３０内に移載するための基板移載装置が設けられている。基板移載装置は、吸着機構部４１が駆動部４５を有する点を除いて、吸着機構部４１および移動機構部５１とほぼ同様の構造を備える。
【００５３】
なお、吸着機構部４１を移動させる移動機構部５１の構造は、図１中に示す構造に限られず、たとえば、ロボットアームを用いた構造などが適宜利用される。
【００５４】
続いて、図１中の合紙移載装置１０を用いて合紙２０を梱包箱３０内に移載する合紙移載方法について説明する。
【００５５】
まず、合紙移載方法の基本的なステップについて説明すると、本実施の形態における合紙移載方法は、複数枚のパネルとしてのガラス基板１２が積層した状態で梱包される梱包箱３０に、ガラス基板１２間に介在させるための合紙２０を移載する方法である。合紙移載方法は、梱包箱３０の外に準備された合紙２０を、その紙面２１が撓んだ状態となるように吸着機構部４１により吸着するステップと、吸着機構部４１に吸着された合紙２０を梱包箱３０に向けて移動させるステップと、合紙２０を移動させるステップの後、吸着機構部４１による合紙２０の吸着を解除するステップとを備える。
【００５６】
次に、本実施の形態における合紙移載方法のステップについて詳細な説明を行なう。図３から図７は、この発明の実施の形態１における合紙移載方法のステップを示す側面図である。
【００５７】
図３を参照して、まず、吸着機構部４１を案内レール５２に沿って下方に移動させる。吸着面４３が合紙２０の紙面２１に重なるように、吸着パッド４２を載置台１１上に位置決めする。図示しない負圧発生装置を稼働させ、吸着パッド４２に合紙２０を吸着する。負圧は、合紙２０を紙面２１の上方に引き寄せる方向に作用する。図４を参照して、次に、吸着機構部４１を案内レール５２に沿って上方に移動させる。これにより、吸着パッド４２に吸着された合紙２０を、載置台１１上に準備された合紙２０から離隔させる。
【００５８】
図５を参照して、次に、駆動部４５の稼働によって、吸着パッド４２ｍと吸着パッド４２ｎとの間を狭めるように吸着パッド４２を駆動させる。これにより、合紙２０は、その紙面２１が撓んだ状態で吸着パッド４２に吸着される。
【００５９】
紙面２１が撓んだ状態についてより具体的に説明すると、紙面２１は、吸着パッド４２ｍと吸着パッド４２ｎとの間で撓んだ状態となる。このとき、紙面２１を平面視した場合に、紙面２１の外縁部２１ｑが紙面２１の中央部２１ｐ側に寄るように紙面２１が撓む。なお、図５中では、紙面２１が下方に撓んだ状態が示されているが、紙面２１が上方に撓んだ状態となってもよい。
【００６０】
図６を参照して、次に、移動機構部５１の稼働によって、吸着パッド４２に吸着された合紙２０を梱包箱３０に向かわせる。より具体的には、吸着機構部４１を案内レール５３に沿って水平移動させるとともに、案内レール５２に沿って下方に移動させる。これにより、吸着機構部４１に吸着された合紙２０を開口面３２を通じて梱包箱３０内に移動させる。この際、紙面２１の外縁部２１ｑが梱包箱３０内（内壁３４に囲まれる位置）に配置される。
【００６１】
合紙２０は柔軟性を有するため、吸着機構部４１を用いて合紙２０を取り扱う場合、合紙２０を精度よく梱包箱３０内に位置決めして移載することは困難である。このため、図６中のステップにおいて合紙２０が梱包箱３０の内壁３４に乗り上げるなどの不具合が生じるおそれがある。また、梱包箱３０のサイズを十分に大きくして、合紙２０と内壁３４との間の隙間を拡大するという考え方もあるが、梱包箱３０の移送時にガラス基板１２に加わる衝撃を小さく抑えるという必要性から、上記方策によって安易に対応することもできない。さらに、本実施の形態では、合紙２０が樹脂性のシート部材から形成されている。このため、周囲の温度環境によって合紙２０が熱変形し、合紙２０と内壁３４との間の隙間の大きさを厳密に管理することができないという問題もある。
【００６２】
これに対して、本実施の形態における合紙移載方法においては、図５中のステップにおいて紙面２１を撓ませることにより、紙面２１を平面視した時の合紙２０の大きさが縮小される。これにより、図６中のステップにおいて合紙２０を開口面３２を通じて梱包箱３０内に移動させる際に、梱包箱３０の内壁３４と、合紙２０の外縁部２１ｑとの間の隙間を拡大させることができる。結果、合紙２０が梱包箱３０内に入り易くなる。
【００６３】
図７を参照して、次に、図示しない負圧発生装置の稼働を停止することにより、吸着パッド４２による合紙２０の吸着を解除する。これにより、紙面２１が吸着パッド４２の吸着面４３から離れ、合紙２０は、梱包箱３０内のガラス基板１２上に配置される。
【００６４】
このように構成された、この発明の実施の形態１における合紙移載装置１０および合紙移載方法によれば、吸着機構部４１による合紙２０の吸着時に紙面２１を撓ませた状態を得ることにより、合紙２０が梱包箱３０内に入り易くなる。これにより、合紙２０の外縁部２１ｑが梱包箱３０の内壁３４に乗り上げるなどの事態を回避し、梱包箱３０への合紙２０の移載を容易かつ迅速に実施することができる。
【００６５】
（実施の形態２）
本実施の形態では、実施の形態１における合紙移載方法の各種変形例について説明する。
【００６６】
図８は、吸着機構部により吸着された合紙を示す平面図である。図中には、図５中のステップに対応する合紙２０が示されている。
【００６７】
図８を参照して、合紙２０は、矢印１２１に示す一方向に延伸する一対の長辺２６と、長辺２６に直交する、矢印１２２に示す方向に延伸する一対の短辺２７とを有する矩形形状の平面視を有する。本変形例では、４つの吸着パッド４２を用いて合紙２０が吸着機構部４１に吸着されている。４つの吸着パッド４２は、各吸着パッド４２の吸着面４３が合紙２０が有する矩形形状の四隅に重なるように設けられている。
【００６８】
この場合、図５中のステップ時、吸着パッド４２を駆動させる方向として複数の方向が考えられる。すなわち、吸着パッド４２を矢印１１１に示す方向に駆動させれば、紙面２１の外縁部２１ｑが短辺２７の延伸方向に沿って中央部２１ｐ側に寄るように、合紙２０が撓む。このとき、紙面２１を平面視した場合に、一対の長辺２６が互いの距離を近接させるように変位する。また、吸着パッド４２を矢印１１２に示す方向に駆動させれば、紙面２１の外縁部２１ｑが合紙２０が有する矩形形状の対角線方向に沿って中央部２１ｐ側に寄るように、合紙２０が撓む。このとき、紙面２１を平面視した場合に、一対の長辺２６および一対の短辺２７がそれぞれ互いの距離を近接させるように変位する。また、吸着パッド４２を矢印１１３に示す方向に駆動させれば、紙面２１の外縁部２１ｑが長辺２６の延伸方向に沿って中央部２１ｐ側に寄るように、合紙２０が撓む。このとき、紙面２１を平面視した場合に、一対の短辺２７が互いの距離を近接させるように変位する。
【００６９】
上記の通り、吸着パッド４２をいずれの方向に駆動させた場合であっても、紙面２１を平面視した時の合紙２０の大きさを縮小させることができる。
【００７０】
図９は、梱包箱内に進入する合紙を示す平面図である。図中には、図６中のステップに対応する合紙２０および開口面３２が示されている。
【００７１】
図９を参照して、図６中のステップにおいて、開口面３２に対して合紙２０が紙面２１に平行な平面内において傾いた場合を想定する。この場合、長辺２６が短辺２７よりも大きい長さを有することに起因して、合紙２０の正規の位置（２点鎖線に示す位置）からの位置ずれの最大長さが、短辺２７側よりも長辺２６側の方が大きくなる（Ｄ２＞Ｄ１）。一方、図８中の矢印１１１に示す方向に吸着パッド４２を駆動させた場合、一対の長辺２６が互いの距離を近接させるように変位する。これにより、合紙２０が開口面３２に対して傾く場合であっても、合紙２０が梱包箱３０の内壁３４に引っかかることをより確実に防ぐことができる。
【００７２】
図１０は、梱包箱内に進入する合紙の経路を示す側面図である。図１１は、図１０中の矢印ＸＩに示す方向から見た合紙の経路を示す正面図である。図中には、図６中のステップに対応する合紙２０および梱包箱３０が示されている。
【００７３】
図１０を参照して、本変形例では、図５中のステップ時、図８中の矢印１１１に示す方向に吸着パッド４２を駆動させる。これにより、紙面２１の外縁部２１ｑが短辺２７の延伸方向に沿って中央部２１ｐ側に寄るように、合紙２０を撓ませる。
【００７４】
次に、図６中のステップ時、合紙２０を、長辺２６の延伸方向に沿ってスライドさせながら下方に移動させ、開口面３２に対して進入させる。この際、図１１中に示す断面においては、合紙２０が撓んだことにより、紙面２１の外縁部２１ｑと梱包箱３０の内壁３４との間の隙間が拡大されている。また、図１０中に示す断面においては、まず、合紙２０の進入方向の前端に位置する短辺２７が梱包箱３０内に進入し、続いて、合紙２０の進入方向の後端に位置する短辺２７が梱包箱３０内に進入する。このような合紙２０の進入の形態により、合紙２０を円滑に梱包箱３０内に移載することができる。
【００７５】
なお、図５中のステップ時、紙面２１の外縁部２１ｑが長辺２６の延伸方向に沿って中央部２１ｐ側に寄るように、合紙２０を撓ませ、図６中のステップ時、合紙２０を、短辺２７の延伸方向に沿ってスライドさせながら下方に移動させ、開口面３２に対して進入させてもよい。
【００７６】
このように構成された、この発明の実施の形態２における合紙移載方法によれば、実施の形態１に記載の効果を同様に得ることができる。
【００７７】
（実施の形態３）
図１２および図１３は、この発明の実施の形態３における合紙移載方法のステップを示す側面図である。図１２中には、図３および図４中のステップに対応するステップが示され、図１３中には、図５中のステップに対応するステップが示されている。
【００７８】
本実施の形態における合紙移載方法は、実施の形態１における合紙移載方法と比較して、合紙２０を撓ませる方法が異なる。以下、実施の形態１における合紙移載方法と重複するステップについては、その説明を繰り返さない。
【００７９】
図１２を参照して、まず、吸着機構部４１を案内レール５２に沿って下方に移動させる。載置台１１上に準備された合紙２０の紙面２１の上方に距離を隔てた位置に、吸着パッド４２を位置決めする。すなわち、合紙２０の紙面２１と吸着面４３との間に隙間が生じるように、吸着パッド４２を位置決めする。
【００８０】
図１３を参照して、次に、図示しない負圧発生装置を稼働させ、吸着パッド４２に合紙２０を吸着する。この際、合紙２０は、その紙面２１の上方に距離を隔てて配置された吸着パッド４２に吸い寄せられる。合紙２０が吸着パッド４２に吸い寄せられる間、合紙２０は、吸着パッド４２ｍと吸着パッド４２ｎとの間で下方に湾曲する。結果、合紙２０は、その紙面２１が撓んだ状態で吸着パッド４２に吸着される。
【００８１】
以降、図６および図７中のステップを実施することにより、梱包箱３０への合紙２０の移載が完了する。
【００８２】
なお、本実施の形態における合紙移載方法は、図１中の合紙移載装置１０から駆動部４５を除いた装置により実施される。
【００８３】
このように構成された、この発明の実施の形態３における合紙移載方法によれば、実施の形態１に記載の効果を同様に得ることができる。
【００８４】
（実施の形態４）
図１４は、この発明の実施の形態４における合紙移載装置を示す側面図である。本実施の形態における合紙移載装置は、実施の形態１における合紙移載装置１０と比較して、基本的には同様の構造を備える。以下、重複する構造についてはその説明を繰り返さない。
【００８５】
図１４を参照して、まず、この発明の実施の形態４における合紙移載装置の基本的な構造について説明すると、本実施の形態における合紙移載装置７０は、複数枚のパネルとしてのガラス基板１２が積層した状態で梱包される梱包箱３０に、ガラス基板１２間に介在させるための合紙２０を移載するための装置である。
【００８６】
合紙移載装置７０は、吸着機構部４１と、移動機構部５１とを備える。吸着機構部４１は、合紙２０の紙面２１に負圧を作用させる第１吸着パッドとしての吸着パッド４２ｍと、合紙２０の紙面２１に負圧を作用させ、吸着パッド４２ｍと間隔を隔てて設けられた第２吸着パッドとしての吸着パッド４２ｎとを含み、梱包箱３０の外に準備された合紙２０を吸着パッド４２ｍおよび吸着パッド４２ｎに吸着する。移動機構部５１は、吸着パッド４２ｍおよび吸着パッド４２ｎに吸着された合紙２０を梱包箱３０に向かわせるように、吸着機構部４１を移動させる。
【００８７】
吸着パッド４２ｍおよび吸着パッド４２ｎは、吸着した合紙２０の紙面２１と重なる第１吸着面としての吸着面４３ｍおよび第２吸着面としての吸着面４３ｎをそれぞれ有する。吸着パッド４２ｍおよび吸着パッド４２ｎは、吸着面４３ｍを延長する平面と吸着面４３ｎを延長する平面とが交差するように設けられる。
【００８８】
続いて、図１４中の合紙移載装置７０の構造について詳細な説明を行なう。
本実施の形態における合紙移載装置７０においては、吸着パッド４２が、図２中の駆動部４５に替えて駆動部７１を有する。駆動部７１は、吸着面４３ｍを延長する平面と吸着面４３ｎを延長する平面とが交差する位置（後述する図１６に示す位置）と、吸着面４３ｍおよび吸着面４３ｎが平行に延在する位置（後述する図１５に示す位置）との間で、吸着パッド４２ｍおよび吸着パッド４２ｎを駆動させる。
【００８９】
より具体的には、駆動部７１は、ピボット部７２と、モータ７３とを有して構成されている。吸着パッド４２は、ピボット部７２を介してヘッド部４４に支持されている。ピボット部７２は、回転自在な軸であり、その軸上にはモータ７３が接続されている。モータ７３からピボット部７２に回転力が付与されることにより、吸着パッド４２が図１４中の矢印１５１に示すようにピボット部７２を支点に揺動する。吸着パッド４２ｍおよび吸着パッド４２ｎの揺動運動に伴って、吸着面４３ｍおよび吸着面４３ｎの傾きが変化する。
【００９０】
続いて、図１４中の合紙移載装置１０を用いて合紙２０を梱包箱３０内に移載する合紙移載方法について説明する。
【００９１】
図１５および図１６は、この発明の実施の形態４における合紙移載方法のステップを示す側面図である。図１５中には、図３中のステップに対応するステップが示され、図１６中には、図４および図５中のステップに対応するステップが示されている。
【００９２】
本実施の形態における合紙移載方法は、実施の形態１における合紙移載方法と比較して、合紙２０を撓ませる方法が異なる。以下、実施の形態１における合紙移載方法と重複するステップについては、その説明を繰り返さない。
【００９３】
図１５を参照して、まず、吸着機構部４１を案内レール５２に沿って下方に移動させる。吸着面４３が合紙２０の紙面２１に重なるように、吸着パッド４２を載置台１１上に位置決めする。この際、吸着パッド４２を、吸着面４３ｍおよび吸着面４３ｎが平行に延在する位置に位置決めしておく。図示しない負圧発生装置を稼働させ、吸着パッド４２に合紙２０を吸着する。
【００９４】
図１６を参照して、次に、吸着機構部４１を案内レール５２に沿って上方に移動させる。これにより、吸着パッド４２に吸着された合紙２０を、載置台１１上に準備された合紙２０から離隔させる。次に、駆動部７１の稼働によって、吸着パッド４２を、吸着面４３ｍを延長する平面と吸着面４３ｎを延長する平面とが交差する位置に駆動させる。この際、合紙２０の紙面２１と吸着面４３とが重なった状態が維持される。このため、合紙２０は、吸着パッド４２の駆動に伴って湾曲し、合紙２０の紙面２１が全体に撓んだ状態が得られる。
【００９５】
以降、図６および図７中のステップを実施することにより、梱包箱３０への合紙２０の移載が完了する。
【００９６】
図１７は、この発明の実施の形態４における合紙移載方法において、梱包箱に移載される合紙の形態を示す側面図である。図１８は、この発明の実施の形態４における合紙移載方法において、梱包箱に移載される合紙の別の形態を示す側面図である。
【００９７】
図１７を参照して、図中に示す例では、図１６中のステップにおいて、吸着面４３ｍと吸着面４３ｎとが向かい合わせとなる方向に吸着パッド４２を駆動させることにより、合紙２０の紙面２１が上方に撓んだ状態が得られる。図１８を参照して、図中に示す例では、図１６中のステップにおいて、吸着面４３ｍと吸着面４３ｎとが背中合わせとなる方向に吸着パッド４２を駆動させることにより、合紙２０の紙面２１が下方に撓んだ状態が得られる。
【００９８】
図１７中に示す例では、紙面２１の外縁部２１ｑが中央部２１ｐよりも下方に位置決めされる。この場合、合紙２０を開口面３２を通じて梱包箱３０に移載するステップ時に、中央部２１ｐよりも先に外縁部２１ｑが梱包箱３０内に進入することになる。外縁部２１ｑが梱包箱３０内に配置された状態で合紙２０の吸着を解除すれば、合紙２０は元の平面状の形態に戻りながらガラス基板１２上に移載される。このため、図１８中に示す例と比較した場合に、合紙２０の吸着を解除するタイミングを早めることができる。
【００９９】
このように構成された、この発明の実施の形態４における合紙移載装置７０および合紙移載方法によれば、実施の形態１に記載の効果を同様に得ることができる。
【０１００】
なお、以上に説明した実施の形態１〜４における合紙移載装置の構造を適宜組み合わせて、新たな合紙移載装置を構成してもよいし、また、合紙移載方法のステップを適宜組み合わせて、新たな合紙移載方法を構成してもよい。たとえば、図８から図１１を参照して説明した実施の形態２における合紙移載方法のステップは、実施の形態３，４における合紙移載方法にも適用可能である。
【０１０１】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【０１０２】
この発明は、主に、ガラス基板や液晶パネルなどのパネル状部品またはパネル状製品の製造工程において利用される。
【符号の説明】
【０１０３】
１０，７０  合紙移載装置、１１，１３  載置台、１２  ガラス基板、２０  合紙、２１  紙面、２１ｐ  中央部、２１ｑ  外縁部、２６  長辺、２７  短辺、３０  梱包箱、３２  開口面、３４  内壁、４１  吸着機構部、４２，４２ｍ，４２ｎ  吸着パッド、４３，４３ｍ，４３ｎ  吸着面、４４  ヘッド部、４５，７１  駆動部、４６  ラック、４７  ピニオン、４８  モータ、４９，５４  アーム部、５１  移動機構部、５２，５３  案内レール、７２  ピボット部、７３  モータ。
【図１】
2011178531.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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