(57)【要約】【課題】部分的に公差の規定の異なる部品の外形寸法の測定を、煩雑な作業を伴うことなく効率的に行う。【解決手段】測定物の三次元形状測定に関する所定の性能属性がそれぞれ異なる三次元測定部１０−１，１０−２，１０−３と、測定物の測定箇所に対応させて、所定の性能属性に基づいて三次元測定部１０−１，１０−２，１０−３から一の三次元測定部を選択する測定箇所特定部２１と、選択された一の三次元測定部に測定物を測定させる測定実行部２３とを備えた。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定物の三次元形状測定に関する所定の性能属性がそれぞれ異なる複数の三次元形状測定手段と、
前記測定物の測定箇所に対応させて、前記所定の性能属性に基づいて前記複数の三次元形状測定手段から一の三次元形状測定手段を選択する選択手段と、
前記選択手段によって選択された前記一の三次元形状測定手段に前記測定物を測定させる測定実行手段と、
を備えたことを特徴とする三次元形状計測装置。
【請求項２】
請求項１記載の三次元形状計測装置において、
前記測定物に関する三次元ＣＡＤ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ  Ａｉｄｅｄ  Ｄｅｓｉｇｎ）データと前記測定物の測定箇所における公差情報とを記憶する記憶手段をさらに備え、
前記選択手段は、
前記記憶手段に記憶された三次元ＣＡＤデータと前記公差情報と前記所定の性能属性とに基づいて、前記測定物の測定箇所に対応させて、前記複数の三次元形状測定手段から一の三次元形状測定手段を選択する
ことを特徴とする三次元形状計測装置。
【請求項３】
請求項２記載の三次元形状計測装置において、
前記選択手段は、
前記記憶手段に記憶された三次元ＣＡＤデータと前記公差情報と前記所定の性能属性とに基づいて、前記測定物の測定箇所に対応させて、前記複数の三次元形状測定手段から測定に用いる三次元形状測定手段の候補を選出し、測定に要する時間を最も短くするように前記三次元形状測定手段の候補から一の三次元形状計測手段を選択する
ことを特徴とする三次元形状計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、三次元形状計測装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
三次元形状計測技術の一つとして、スリット光源から扇形状に射出されたスリット光を測定物に照射するとともに、その測定物の表面に映るスリット光の輝線（光切断線）をカメラで撮像し、その画像上の位置に基づいて測定物の三次元形状を計測する光切断法と呼ばれる計測技術が知られている。また、ステレオ法と呼ばれる三次元形状計測技術も知られている。これら三次元形状計測技術を適用した三次元形状計測装置は、工業製品やそれに使用される部品の外形寸法を測定して不良品を検出する検査等に利用されている。
【０００３】
工業製品に使用される部品には高精度な品質を求められるものがある。例えば、プリンターや時計のように可動機構を備えて高精度に動作する精密機器では、それに使用される精密部品に高い寸法精度が要求される。このように高い寸法精度の求められる精密部品は、用途や機能に応じて寸法精度（公差）が決められるため、部品ごとに公差が異なることがある。また、同一の部品内でも場所によって公差が異なることがある。
【０００４】
また、プリンターのような精密機器においては、使用される精密部品の大きさが様々である。例えば、Ａ４サイズの紙を印刷可能なコンシューマー向けプリンターに使用される精密部品には、一辺の長さが数ｃｍから数１０ｃｍにわたる部品が含まれる。
【０００５】
また、精密部品には形状の複雑なものがあり、三次元形状計測装置を用いて外形寸法を計測する場合に、単一方向からのスリット光の照射だけでは、隠れ（Ｏｃｃｌｕｓｉｏｎ）が生じることがある。従来、この問題を解決するために、測定物の周囲に複数のシフトレンズ型の光切断式センサーを配置して輪郭形状計測を行う光学式形状計測装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−５６２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来、三次元形状計測装置で精密部品の外形寸法を測定する際には、測定者が部品図面や検査仕様書を参照しながら部品の位置や姿勢を変え、また公差の種類に応じて計測装置を切替えて測定しており、測定者には煩雑な作業による多大な負担がかかっていた。
また、特許文献１記載の光学式形状計測装置は、複雑な形状を有する精密部品の測定には有用であるが、１つの測定物における測定箇所ごとの公差に応じて測定を行う技術については一切開示がない。
【０００８】
そこで、本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、部分的に公差の規定の異なる部品の外形寸法の測定を、煩雑な作業を伴うことなく効率的に行う三次元形状計測装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記の課題を解決するために、以下［１］−［３］の手段を提供するものである。
［１］  測定物の三次元形状測定に関する所定の性能属性がそれぞれ異なる複数の三次元形状測定手段と、前記測定物の測定箇所に対応させて、前記所定の性能属性に基づいて前記複数の三次元形状測定手段から一の三次元形状測定手段を選択する選択手段と、前記選択手段によって選択された前記一の三次元形状測定手段に前記測定物を測定させる測定実行手段と、を備えたことを特徴とする三次元形状計測装置。
［２］  上記［１］記載の三次元形状計測装置において、前記測定物に関する三次元ＣＡＤ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ  Ａｉｄｅｄ  Ｄｅｓｉｇｎ）データと前記測定物の測定箇所における公差情報とを記憶する記憶手段をさらに備え、前記選択手段は、前記記憶手段に記憶された三次元ＣＡＤデータと前記公差情報と前記所定の性能属性とに基づいて、前記測定物の測定箇所に対応させて、前記複数の三次元形状測定手段から一の三次元形状測定手段を選択することを特徴とする三次元形状計測装置。
［３］  上記［２］記載の三次元形状計測装置において、前記選択手段は、前記記憶手段に記憶された三次元ＣＡＤデータと前記公差情報と前記所定の性能属性とに基づいて、前記測定物の測定箇所に対応させて、前記複数の三次元形状測定手段から測定に用いる三次元形状測定手段の候補を選出し、測定に要する時間を最も短くするように前記三次元形状測定手段の候補から一の三次元形状計測手段を選択することを特徴とする三次元形状計測装置。
【００１０】
本発明によれば、部分的に公差の規定の異なる部品の外形寸法の測定を、煩雑な作業を伴うことなく効率的に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態である三次元形状計測装置の機能構成を示すブロック図である。
【図２】同実施形態における三次元測定部の機能構成を示すブロック図である。
【図３】同実施形態における三次元測定部に関する性能属性テーブルのデータ構成図である。
【図４】同実施形態において、三次元形状計測装置が三次元形状測定を行っている様子を模式的に示した斜視図である。
【図５】同実施形態における測定指示情報のデータ構成図である。
【図６】同実施形態における三次元形状計測装置の処理手順を示すフローチャートである。
【図７】同実施形態において、測定計画作成部が作成する測定計画情報の例である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発明の一実施形態である三次元形状計測装置の機能構成を示すブロック図である。同図に示すように、三次元形状計測装置１は、三次元測定部（三次元形状測定部）１０−１，１０−２，１０−３（それぞれを指して三次元測定部１０と呼ぶ。）と、制御部２０と、記憶部３０と、載置台駆動部４０と、載置台５０とを含んで構成される。
【００１３】
三次元測定部１０は、測定対象である測定物の外形寸法を光切断法によって測定するものである。本実施形態では、３つの三次元測定部１０−１，１０−２，１０−３を用いた例を示して説明するが、これに限定することなく、三次元形状計測の用途、測定物の大きさや構造、三次元形状計測装置全体にかけるコスト等によって適宜個数を変更してもよい。
【００１４】
図２は、三次元測定部１０の機能構成を示すブロック図である。同図に示すように、三次元測定部１０は、スリット光源１１と、撮像部１２と、計測部１３とを含んで構成される。
スリット光源１１は、コヒーレント光を、スリットを通して扇形状に広がるスリット光にして射出する光源である。コヒーレント光としては、レーザー光を用いるのがよい。スリット光源１１は、射出口部から射出されるスリット光の中心光軸が、射出口部の点を原点とする三次元直交座標系における所定の角度を有して設置される。
また、スリット光源１１は、三次元計測部１０−１，１０−２，１０−３ごとに、焦点距離が異なるようにする。具体的には、三次元計測部１０−１，１０−２，１０−３ごとに、スリット光源１１のスリット光の射出部分に曲率の異なるシリンドリカルレンズを設けて焦点距離を異ならせる。なお、スリット光源１１の焦点距離は、後述する撮像部１２の光学系の焦点距離と併せて適切な組み合わせにする。
【００１５】
撮像部１２は、例えば、デジタルカメラやデジタルビデオカメラである。撮像部１２は、その光学系の光軸がスリット光の中心光軸と平行ではない所定の角度で傾斜する位置、具体的には測定物からの反射光を光学系に入射させて撮像可能な位置に設置される。測定物の反射部分は輝線である光切断線として可視化されるので、撮像部１２は、その光切断線を撮像して撮像画像データを計測部１３に供給する。
撮影部１２は、寸法の大きな測定物を撮像する際にもクリアな画像が得られる被写界深度で測定範囲を撮像できるよう、複数の焦点距離、合焦位置を有する光学系を備える。なお、撮像部１２は、固定焦点レンズではなくズームレンズを備えてもよい。
また、撮像部１２は、三次元測定部１０−１，１０−２，１０−３ごとに、解像度の異なる撮像素子を用いるようにする。
計測部１３は、撮像画像データを取り込むと、その画像から光切断線を検出して画像上の位置を特定し、測定物表面の外形寸法を測定し、測定結果である外形寸法データを出力する。
【００１６】
図１の説明に戻り、三次元測定部１０−１，１０−２，１０−３は、測定物に対するスリット光の中心光軸の照射角度（測定物に対する視点）がそれぞれ異なる位置に設置される。
【００１７】
上記説明したように、本実施形態において、三次元測定部１０−１，１０−２，１０−３は、三次元形状測定に関する性能属性が異なるようにしてある。この性能属性とは、撮像部１２の撮像素子の解像度、撮像部１２の撮影位置、スリット光源１１の射出口部の位置である照射位置、スリット光の中心光軸の照射角度、撮像部１２から測定物までの撮影距離、光学系の焦点距離、合焦点位置、被写界深度、画角、スリット光の焦点距離等である。
撮像部１２の撮影位置は、撮影箇所までの撮影距離を測る基準位置となるものである。撮像部１２の撮影位置およびスリット光源１１の照射位置は、三次元形状測定装置１における所定の位置（例えば、載置台５０上の中心位置）を原点とした絶対三次元直交座標系における座標値で表される。
【００１８】
記憶部３０は、その機能構成上、ＣＡＤ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ  Ａｉｄｅｄ  Ｄｅｓｉｇｎ）データ記憶部３１と、測定指示情報記憶部３２と、測定結果記憶部３３とを含んで構成される。記憶部３０は、半導体記憶装置もしくはハードディスク装置またはその両方で構成される。
【００１９】
ＣＡＤデータ記憶部３１は、測定物の外形形状の設計仕様である三次元ＣＡＤデータを、識別子であるＣＡＤデータＩＤに関連づけて記憶する。この三次元ＣＡＤデータには測定箇所の位置情報が設計寸法データとして含まれるが、この設計寸法データは、三次元ＣＡＤデータにおける特定の位置を基準位置として規定されている。
【００２０】
測定指示情報記憶部３２は、三次元ＣＡＤデータに規定された測定物の測定箇所の位置情報（測定箇所情報）と当該測定箇所に対応して規定された公差情報とを含む測定指示情報を、ＣＡＤデータＩＤに関連付けて記憶する。
なお、三次元ＣＡＤデータに測定物の測定箇所に対応して規定された公差情報が含まれている場合は、測定指示情報および測定指示情報記憶部３２は省略することができる。
測定結果記憶部３３は、三次元測定部１０の測定結果である外形寸法データを記憶する。
【００２１】
制御部２０は、測定物の測定計画を作成したり、この測定計画に従って三次元測定部１０および載置台駆動部４０を制御したりして三次元形状計測装置１全体を制御する。
制御部２０は、その機能構成上、測定箇所特定部２１と、測定計画作成部２２と、測定実行部２３とを含んで構成される。
【００２２】
測定箇所特定部２１は、三次元測定部１０−１，１０−２，１０−３に関する性能属性テーブルを記憶する。図３は、性能属性テーブルのデータ構成図である。同図に示すように、性能属性テーブルは、各性能属性を三次元測定部１０ごとにまとめたものである。
測定箇所特定部２１は、ＣＡＤデータ記憶部３１に記憶された三次元ＣＡＤデータと、測定指示情報記憶部３２に記憶された測定指示情報とをそれぞれ読み込んで測定物の測定箇所および公差を特定し、性能属性テーブルを参照して測定可能な三次元測定部１０の候補を選出する。つまり、測定箇所特定部２１は、三次元ＣＡＤデータから測定物の設計仕様上の外形形状における測定箇所の位置情報を取得し、測定指示情報から測定箇所における公差情報を取得する。そして、測定箇所特定部２１は、性能属性テーブルを参照して、測定箇所ごとに、物理的に測定不能な三次元測定部１０を少なくとも除いて三次元測定部１０の候補を選出する。
【００２３】
測定計画作成部２２は、選出された三次元測定部１０の候補から、測定物を動かす移動時間、すなわち測定にかかる時間が最小となる測定箇所と三次元測定部１０との組み合わせを決定する。そして、測定計画作成部２２は、測定箇所を測定する三次元測定部１０の動作シーケンスを作成して測定計画情報にまとめる。
測定実行部２３は、測定計画情報に基づいて三次元測定部１０を制御して測定物の外形形状の測定を行わせる。そして、外形寸法データを三次元測定部１０から受信すると測定結果記憶部３３に記憶する。
【００２４】
載置台駆動部４０は、測定実行部２３の制御によって、測定物の載置された載置台５０を移動させる。移動方向は、水平面に平行な直交軸であるＸ軸およびＹ軸のそれぞれの軸方向と、両軸の交点を通る鉛直軸を中心に半時計周りの回転方向である。なお、鉛直方向に移動させるようにしてもよい。
載置台５０は、水平面に平行に設けられる。
【００２５】
図４は、三次元形状計測装置１が三次元形状測定を行っている様子を模式的に示した斜視図である。同図に示すように、三次元形状計測装置１の載置台５０には測定物Ｏｂｊが載置されている。測定物Ｏｂｊには、測定箇所Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの４つの測定箇所が設けられている。そして、三次元測定部１０−１，１０−２，１０−３が、測定物Ｏｂｊに対する視点がそれぞれ異なる向きとなるようにして設置されている。
【００２６】
図５は、測定指示情報記憶部３２に記憶される測定指示情報のデータ構成図である。同図に示すように、測定指示情報は、測定物ＩＤと、ＣＡＤデータＩＤと、測定箇所情報と、公差情報とのレコードを含んで構成される。測定指示情報は、ＣＡＤデータＩＤを主キーとしてＣＡＤデータ記憶部３１に記憶された三次元ＣＡＤデータと関連付けされる。測定物ＩＤは、測定物Ｏｂｊに付与された識別情報である。測定箇所情報は、三次元ＣＡＤデータにおける測定箇所を示す位置情報である。公差情報は、測定箇所の寸法の測定誤差の許容値である。
【００２７】
次に、本実施形態である三次元形状計測装置の動作について説明する。三次元形状計測装置１は、三次元形状計測を開始する前に、以下のいずれかの方法によって測定物の位置および姿勢の設定を行う。第１の方法は、位置決めを行うための治具を用いて、載置台５０の予め定められた固定位置に測定物を設置する方法である。第２の方法は、三次元測定部１０−１，１０−２，１０−３のうちいずれか１つまたは複数の三次元測定部１０を用いて、載置台５０に載置した測定物をスキャンして位置および姿勢を決定するという方法である。
なお、上記第１および第２の方法のいずれにおいても、測定箇所を測定可能な位置まで移動させる方法が決定できる程度の精度を有していればよい。
【００２８】
図６は、三次元形状計測装置１の処理手順を示すフローチャートである。ステップＳ６０１において、測定箇所特定部２１は、ＣＡＤデータ記憶部３１から三次元ＣＡＤデータを読み込む。次に、ステップＳ６０２において、測定箇所特定部２１は、測定指示情報記憶部３２から測定指示情報を読み込む。
【００２９】
次に、ステップＳ６０３において、測定箇所特定部２１は、三次元ＣＡＤデータと測定指示情報とに基づいて測定物Ｏｂｊの測定箇所の位置および公差を特定し、測定箇所特定部２１に記憶された性能属性テーブルを参照して、測定可能な三次元測定部１０の候補を選出する。
【００３０】
具体的には、測定箇所特定部２１は、三次元ＣＡＤデータおよび測定指示情報から測定箇所Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄの位置情報と各測定箇所における公差情報とを取得する。そして、測定箇所特定部２１は、例えば、測定指示情報の測定箇所情報と性能属性テーブルの照射位置および照射角度とを参照して、測定箇所Ａに対しては、三次元測定部１０−２，１０−３のスリット光は照射できないため三次元測定部１０−１を候補として選出し、測定箇所Ｂ，Ｃ，Ｄに対しては、三次元測定部１０−１のスリット光は照射できないため三次元測定部１０−２，１０−３を候補として選出する。
また、測定箇所特定部２１は、例えば、測定指示情報の公差情報と性能属性テーブルの解像度とを参照して、測定箇所Ｂについては公差情報が＋０．２／−０．１ｍｍであり、また測定箇所Ｃについては公差情報が±０．１ｍｍであり、許容値が最も小さい０．１ｍｍを含むため、最も解像度の高い三次元測定部１０−２を候補として選出する。
また、測定箇所特定部２１は、例えば、測定指示情報の撮影箇所情報と性能属性テーブルの撮影位置および撮影距離とを参照して、測定箇所の位置とＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄと三次元測定部１０との計算上の距離と、性能属性テーブルの撮影距離とのマッチングのよい組み合わせを候補として選出する。
【００３１】
そして、測定箇所特定部２１は、性能属性ごとの測定箇所と三次元測定部１０とのマッチングを総合的に判断して測定箇所Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄそれぞれの測定箇所と測定に使用される三次元測定部１０との組み合わせの候補を決定する。組み合わせの決定に際しては、例えば、性能属性ごとに優先度を決めておき、優先度の高い性能属性により大きな重みづけをして組み合わせの候補を決定する。
【００３２】
次に、ステップＳ６０４において、測定計画作成部２２は、選出された三次元測定部１０の候補から、測定物を動かす移動時間、すなわち測定にかかる時間が最小となる測定箇所と三次元測定部１０との組み合わせを決定する。これにおいて、同一位置で複数の三次元測定部１０による測定ができるか否かも考慮して決定するのが好ましい。
次に、ステップＳ６０５において、測定計画作成部２２は、決定した測定箇所を測定する三次元測定部１０の動作シーケンスを測定計画情報にまとめる。測定計画情報の具体例については後述する。
【００３３】
次に、ステップＳ６０６において、測定実行部２３は、測定計画情報を該当する三次元測定部１０に送信して測定物Ｏｂｊの外形形状の測定を行わせる。測定が終了すると、測定実行部２３は、三次元測定部１０から外形寸法データを受信し、これを測定結果記憶部３３に記憶する。
次に、ステップＳ６０７において、測定実行部２３は、全ての測定箇所を測定したか否かを判定し、未測定の測定箇所があると判定した場合（Ｓ６０７：ＮＯ）はステップＳ６０４の処理に移る。一方、測定実行部２３は、ステップＳ６０７の処理において、全ての測定箇所の測定が完了したと判定した場合（Ｓ６０７：ＹＥＳ）はこのフローチャートの処理を終了する。
【００３４】
図７は、ステップＳ６０５の処理において測定計画作成部２２が作成した測定計画情報の例である。同図に示すように、測定計画作成部２２は、測定箇所Ａについては、三次元測定部１０−１が唯一の候補であり、図４に示すように既に三次元測定部１０−１の測定範囲内にあるため、これの測定順序を１番と決定する。そして、測定計画作成部２２は、三次元測定部１０−１のスリット光が測定箇所Ａを光切断してスキャンするように、例えば測定物ＯｂｊをＸ方向に３６．６ｍｍだけ移動させるという動作シーケンスを生成する。この移動距離は、三次元ＣＡＤデータと測定箇所の位置情報と性能属性の撮影距離とに基づき計算したものである。
【００３５】
また、測定箇所Ｂについては、三次元測定部１０−２，１０−３が候補であるが、図４に示すように既に三次元測定部１０−２の測定範囲内にあるため、測定計画作成部２２は三次元測定部１０−２を選択してその測定順序を２番と決定する。そして、測定計画作成部２２は、三次元測定部１０−２のスリット光が測定箇所Ｂを光切断してスキャンするように、例えば測定物ＯｂｊをＹ方向に２４．５ｍｍだけ移動させるという動作シーケンスを生成する。
【００３６】
また、測定箇所Ｄについては、三次元測定部１０−２，１０−３が候補であるが、図４に示すように既に三次元測定部１０−３の測定範囲内にあるため、測定計画作成部２２は三次元測定部１０−３を選択してその測定順序を３番と決定する。そして、測定計画作成部２２は、三次元測定部１０−３のスリット光が測定箇所Ｄを光切断してスキャンするように、例えば測定物Ｏｂｊを−Ｙ方向に１２．８ｍｍだけ移動させるという動作シーケンスを生成する。
【００３７】
また、測定箇所Ｃについては、三次元測定部１０−２，１０−３が候補であるが、図5に示すように測定箇所Ｃの公差は±０．１ｍｍであり精度の高い撮像が要求されるため、測定計画作成部２２は、所定の公差基準値よりも測定箇所Ｃの公差が小さいことを確認して解像度の高い方の撮像部１２で撮像することを選択する。そして、測定計画作成部２２は、図３の性能属性テーブルに基づいて三次元測定部１０−２を選択して、これの測定順序を４番と決定する。
次に、測定計画作成部２２は、測定物Ｏｂｊを三次元測定部１０−２の方向に合わせるために、載置台５０の向きをΘ方向に１８０．０度だけ回転させ、三次元測定部１０−２の測定範囲内に測定箇所Ｃが入るように、例えば測定物ＯｂｊをＸ方向に４５ｍｍだけ移動させ、さらに、三次元測定部１０−２のスリット光が測定箇所Ｃを光切断してスキャンするように測定物ＯｂｊをＹ方向に２２．０ｍｍだけ移動させるという動作シーケンスを生成する。
【００３８】
以上説明したとおり、本実施形態によれば、複雑な形状を有し各測定箇所の公差の規定が異なる測定物の外形寸法の測定を、測定者の煩雑な作業を伴うことなく効率的に行うことができる。
【００３９】
なお、本実施形態では、測定計画を測定箇所ごとに作成する手順について説明したが、予め全ての測定計画を作成して測定計画情報を作成した後に、その測定計画情報に従って測定を行わせるようにしてもよい。
【００４０】
また、本実施形態では、三次元測定部を、光切断法による三次元形状計測を行う構成として説明したが、これに限らず、例えばステレオ法による三次元形状計測を行う構成にしてもよい。
【００４１】
また、本実施形態では、測定物を移動させるために測定物を載置した載置台を移動させるようにしたが、これに限らず、三次元測定部を移動させるようにしてもよい。
【００４２】
また、本実施形態である三次元形状計測装置の一部、例えば制御部の機能をコンピューターで実現するようにしてもよい。この場合、その機能を実現するためのプログラムをコンピューター読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピューターシステムに読み込ませ、実行することによって実現してもよい。なお、ここでいう「コンピューターシステム」とは、ＯＳ（Ｏｐｅｒａｔｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ）や周辺機器のハードウェアを含むものとする。また、「コンピューター読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、光ディスク、メモリカード等の可搬型記録媒体、コンピューターシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピューター読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピューターシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持するものを含んでもよい。また上記のプログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであってもよく、さらに前述した機能をコンピューターシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせにより実現するものであってもよい。
【００４３】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。
【符号の説明】
【００４４】
１  三次元形状計測装置
１０−１，１０−２，１０−３  三次元測定部
１１  スリット光源
１２  撮像部
１３  計測部
２０  制御部
２１  測定箇所特定部
２２  測定計画作成部
２３  測定実行部
３０  記憶部
３１  ＣＡＤデータ記憶部
３２  測定指示情報記憶部
３３  測定結果記憶部
４０  載置台駆動部
５０  載置台
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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