(57)【要約】【課題】  本発明は、カセットに収納された半導体ウエハ等の基板を所定の場所に移載する基板搬送装置に関し、カセット内へのアーム部の挿入時に、変形しているウエハにアーム部が接触するのを防止することを目的とする。【解決手段】  収容容器に上下方向に間隔を置いて水平に収容される基板の先端の上下位置を検出する検出部と、搬送対象とする前記基板の先端の下に挿抜され、前記基板の先端を所定の位置に持ち上げる持上部と、前記持上部により前記先端が所定の位置に持ち上げられた状態で、前記搬送対象の前記基板の下へ挿入され、前記基板を保持した後に該基板を取り出すアーム部と、前記検出部の検出情報に基づいて前記持上部および前記アーム部の駆動を制御する制御部と、を有することを特徴とする。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
収容容器に上下方向に間隔を置いて水平に収容される基板の先端の上下位置を検出する検出部と、
搬送対象とする前記基板の先端の下に挿抜され、前記基板の先端を所定の位置に持ち上げる持上部と、
前記持上部により前記先端が所定の位置に持ち上げられた状態で、前記搬送対象の前記基板の下へ挿入され、前記基板を保持した後に該基板を取り出すアーム部と、
前記検出部の検出情報に基づいて前記持上部および前記アーム部の駆動を制御する制御部と、
を有することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
請求項１記載の基板搬送装置において、
前記検出部は前記搬送対象とする基板の上面の最上位置と下面の最下位置を検出し、
前記制御部は、前記最上位置と前記最下位置との差に基づいて、前記持上部による持ち上げ量を決めることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載の基板搬送装置において、
前記持上部と前記アーム部とは一体として前記搬送対象とする基板の下に挿抜されることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれか１項記載の基板搬送装置において、
前記持上部は前記アーム部と協働して前記基板の取り出しを行うことを特徴とする基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カセットに収納された半導体ウエハ等の基板を所定の場所に移載する基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ウエハの収容されるカセットからのウエハの取り出しは、カセット内に搬送ロボットのアーム部を進入させ、アーム部によりパターンの形成されないウエハの裏面を吸着しウエハを搬出することにより行われている。そして、カセット内には、ウエハが水平に保持され、ウエハの間にアーム部が水平状態で挿抜される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１２０３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、カセット(収容容器)内のウエハは、ウエハの外周部のみをカセットの内壁に形成される溝部に挿入して保持されているため、実装（３次元実装型半導体装置等）を考慮してウエハの肉厚を薄くしていくとウエハの自重によってウエハが撓み、溝部によって支持されていない開口面側においてはウエハの端面が垂れ下がる変形が発生する。そして、このような変形が生じると、カセット内へのアーム部の挿入時にアーム部がウエハに接触しウエハを損傷するおそれがあった。
【０００５】
本発明は、かかる従来の問題を解決するためになされたもので、カセット内へのアーム部の挿入時に、変形しているウエハにアーム部が接触するのを防止することができる基板搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１の発明の基板搬送装置は、収容容器に上下方向に間隔を置いて水平に収容される基板の先端の上下位置を検出する検出部と、搬送対象とする前記基板の先端の下に挿抜され、前記基板の先端を所定の位置に持ち上げる持上部と、前記持上部により前記先端が所定の位置に持ち上げられた状態で、前記搬送対象の前記基板の下へ挿入され、前記基板を保持した後に該基板を取り出すアーム部と、前記検出部の検出情報に基づいて前記持上部および前記アーム部の駆動を制御する制御部と、を有することを特徴とする。
【０００７】
第２の発明の基板搬送装置は、第１の発明の基板搬送装置において、前記検出部は前記搬送対象とする基板の上面の最上位置と下面の最下位置を検出し、前記制御部は、前記最上位置と前記最下位置との差に基づいて、前記持上部による持ち上げ量を決めることを特徴とする。
【０００８】
第３の発明の基板搬送装置は、第１または第２の発明の基板搬送装置において、前記持上部と前記アーム部とは一体として前記搬送対象とする基板の下に挿抜されることを特徴とする。
【０００９】
第４の発明の基板搬送装置は、第１ないし第３のいずれか１の発明の基板搬送装置において、前記持上部は前記アーム部と協働して前記基板の取り出しを行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、カセット内へのアーム部の挿入時に、ウエハにアーム部が接触するのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の基板搬送装置の第１の実施形態を示す説明図である。
【図２】図１のアーム部の詳細を示す説明図である。
【図３】図２の持上アームと挿入アームの詳細を示す説明図である。
【図４】カセットの昇降状態を概念的に示す説明図である。
【図５】ウエハの状態検出動作を示すフローチャートである。
【図６】ウエハデータテーブルを示す説明図である。
【図７】カセットからのウエハの取り出し動作を示すフローチャートである。
【図８】カセットへのウエハの収容動作を示すフローチャートである。
【図９】本発明の基板搬送装置の第２の実施形態を示す説明図である。
【図１０】本発明の基板搬送装置の第３の実施形態を示す説明図である。
【図１１】図１０の持上アームを示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて詳細に説明する。
(第１の実施形態)
図１は、本発明の基板搬送装置の第１の実施形態を示している。
【００１３】
この基板搬送装置は、搬送ロボット１１、昇降部１３、上下位置検出部１５、ステージ１７、制御部１９を有している。
【００１４】
搬送ロボット１１は、アーム部２１、アーム保持部２３、駆動部２５を有している。
【００１５】
アーム部２１は、図２(ａ)、(ｂ)に示すように持上アーム２７、挿入アーム２９、本体部３１を有している。図２(ａ)は上面図、図２(ｂ)は側面図である。この実施形態では、挿入アーム２９の両側に一対の持上アーム２７が配置されている。挿入アーム２９、持上アーム２７は、本体部３１に支持されている。本体部３１は、アーム保持部２３に保持されている。
【００１６】
持上アーム２７は、カム等を用いた周知の上下移動機構３３により上下方向に移動可能とされている。持上アーム２７は、ウエハＷの先端部を下から持ち上げ可能とされている。挿入アーム２９は、ラック、ピニオン等を用いた周知の前後移動機構３５により前後方向に移動可能とされている。挿入アーム２９は、持上アーム２７により持ち上げられているウエハＷの下を通って奥部まで挿入されウエハＷの端部を保持可能とされている。
【００１７】
持上アーム２７、挿入アーム２９には、図３(ａ)、(ｂ)に示すように、ウエハＷの外周部を載置する段部２７ａ，２９ａが形成されている。持上アーム２７の先端には、ウエハＷの先端部を載置する段部２７ａが形成されている。挿入アーム２９の先端には、ウエハＷの後端部を載置する段部２９ａが形成されている。挿入アーム２９の段部２９ａの手前側には、ウエハＷの裏面が接触しないように凹部からなる逃げ部２９ｂが形成されている。
【００１８】
駆動部２５は、アーム保持部２３を介してアーム部２１を移動する。アーム部２１はウエハＷが収納されたカセット３７とステージ１７との間を移動される。
【００１９】
駆動部２５は、移動部材３９、案内部材４１、モータ４３、螺子軸４５を有している。移動部材３９は、案内部材４１上に摺動可能に配置されている。移動部材３９上には、アーム保持部２３の一端が回動可能に固定されている。案内部材４１には、螺子軸４５およびモータ４３が配置されている。モータ４３を駆動し螺子軸４５を回転することで移動部材３９が移動される。モータ４３は、ＡＣサーボモータからなり、モータ４３に付属しているエンコーダ(不図示)からの信号によりモータ４３の回転数を正確に知ることができる。なお、モータ４３にＤＣ整流子モータを使用し整流子のスイッチングパルス信号からモータの回転数を知るようにしても良い。
【００２０】
カセット３７は、直方体状をしており内部には複数のウエハＷが収容されている。カセット３７の内壁部には、上下方向に所定間隔をおいて溝部３７ａが形成されている。溝部３７ａには、ウエハＷの外周部が挿入されウエハＷが水平状態（ただし、後述のように開口部３７ｂ側では垂れ下がっている）で保持されている。カセット３７の一面には、カセット３７へのウエハＷの挿入および取り出しのための開口部３７ｂが形成されている。
【００２１】
昇降部１３は、例えば周知のエレベータ機構からなりカセット３７を上下方向(Ｚ方向)に昇降する。昇降部１３は、任意の位置で停止可能とされている。昇降部１３にはカセット３７の位置を決めるガイド部がカセット３７の４隅に対応する位置に設けられており、載置されるカセット３７は昇降部１３に対して正確に位置決めされる。なお、昇降部１３に載置されるカセット３７は、開口部３７ｂを形成する平面に沿った方向でウエハＷが延在する方向がＸ方向とされている。また、開口部３７ｂを形成する平面に垂直な方向がＹ方向とされている。
【００２２】
上下位置検出部１５は、カセット３７に収容されるウエハＷの上下方向の位置を検出する。上下位置検出部１５は、昇降部１３および搬送ロボット１１を挟んで対向配置される一対の取付部材４７，４９を有している。一方の取付部材４７には、位置検出センサ５１の投光部５１ａが配置されている。他方の取付部材４９には、位置検出センサ５１の受光部５１ｂが配置されている。位置検出センサ５１には、例えばレーザ光を用いた光電センサが使用されている。
【００２３】
ステージ１７は、ウエハＷを所定の位置に載置する。ステージ１７上には、３個のロック爪Ｒが配置されている。ロック爪Ｒは、ロック溝Ｍに沿って移動可能とされている。３個のロック爪Ｒの中央にウエハＷを載置し、ロック爪Ｒをロック溝Ｍに沿って移動するとウエハＷが所定位置で固定される。
【００２４】
制御部１９は、搬送ロボット１１、昇降部１３、上下位置検出部１５、ステージ１７を制御する。搬送ロボット１１の制御には、駆動部２５の制御とともに、アーム部２１の上下移動機構３３、前後移動機構３５の制御が含まれている。
【００２５】
図４は、上下位置検出部１５の位置検出センサ５１によりカセット３７に収容されるウエハＷの上下方向位置の測定を行っている状態を概念的に示している。
【００２６】
図４に示すように、位置検出センサ５１の投光部５１ａからは、受光部５１ｂに向けてレーザ光ＬＢが照射されている。投光部５１ａからのレーザ光ＬＢは、カセット３７の開口部３７ｂを通った後、開口部３７ｂと反対側に形成される開口部３７ｃを通り受光部５１ｂに到達する。昇降部１３の駆動によりカセット３７内のウエハＷが下方向に移動しウエハＷの下端がレーザ光ＬＢの光路に達するとレーザ光ＬＢの光路が遮られ、この時の昇降部１３の位置からウエハＷの下端の高さ方向の位置が検出される。さらに昇降部１３の駆動によりウエハＷが下方向に移動し、ウエハＷの上端がレーザ光ＬＢの光束から外れると、受光部５１ｂはレーザ光ＬＢを受光するようになる。この時の昇降部１３の位置からウエハＷの上端の高さ方向の位置が検出される。ウエハＷの高さ位置は、例えば図４の(ｂ)に示すように昇降部１３の上限位置を基準として上限位置からの下降距離Ｚとして設定される。
【００２７】
図５は、カセット３７内に収容されるウエハＷの状態検出動作を示すフローチャートである。
【００２８】
ステップＳ１００：ウエハＷの状態検出動作が開始されると、昇降部１３にカセット３７が正しくセットされているか否かを判断する。この判断は、昇降部１３のガイド部付近に設けられた図示しないリミットスイッチで行われる。
【００２９】
ステップＳ１０２：カセット３７が正しくセットされている場合には、昇降部１３を基準位置まで移動する。なお、基準位置でカセット３７を載置した場合は、この工程は省略される。
【００３０】
ステップＳ１０４：昇降部１３を下降させながらウエハＷの下端位置と上端位置を検出する。昇降部１３を下降させ、ウエハＷの下端がレーザ光ＬＢを遮った位置を検出する。ウエハＷの下端がレーザ光ＬＢを遮った位置とは、例えばウエハＷがレーザ光ＬＢを遮り受光部５１ｂで受光される光量が所定の値(例えば半分)になった位置である。なお、受光部５１ｂで検出される光量の変化率を１次微分などで求め、変化率が極値となる位置をウエハＷの下端とすることもできる。同様に、昇降部１３を下降させ、ウエハＷの上端がレーザ光ＬＢの遮光を解除した位置をウエハＷの上端の位置として検出する。上端の場合も下端と同様に、例えば受光される光量が所定の値(例えば半分まで回復した値)になった位置や変化率が極値となる位置をウエハＷの上端とすることができる。
【００３１】
ステップＳ１０６：ステップＳ１０４で求めたウエハＷの上端位置と下端位置とから垂れ下がり量を求める。ここで、ウエハＷの肉厚は規格等により既知なので、ウエハＷの上端位置からウエハＷの肉厚分下がった位置にウエハＷの下端があるはずであるが、ウエハＷが薄い場合、自重による変形が発生して溝により保持されていない部分が垂れ下がるため、次式により垂れ下がり量を求めている。
【００３２】
垂れ下がり量＝ウエハＷの上端位置−ウエハＷの下端位置−ウエハＷの肉厚
なお、カセット３７の溝部３７ａの位置は規格により定まっておりウエハＷの厚さも予め分かっている、カセット３７内のウエハＷの上端位置は基準位置に対して推定することができる。そのため、ステップＳ１０４でウエハＷの下端位置だけを検出して、検出した下端位置と、推定される上端位置とから垂れ下がり量を求めることができる。
【００３３】
ステップＳ１０８：昇降部１３を基準位置まで移動する。
【００３４】
ステップＳ１１０：制御部１９のメモリに一時記憶されていた各ウエハＷの上端位置、下端位置、垂れ下がり量を、例えば図６に示すウエハデータテーブルに書き込み、ウエハ状態検出動作を終了する。なお、ウエハデータテーブルには、スロット毎にウエハＷの有無も書き込まれる。
【００３５】
図７は、カセット３７内に収容されるウエハＷの取り出し動作を示すフローチャートである。制御部１９は外部からウエハＷの取り出し指令を受けると、ウエハＷの取り出しフローを開始する。
【００３６】
ステップＳ２００：制御部１９は、持上アーム２７を、挿入アーム２９より挿入アーム２９の厚み分だけ高くなるように上昇する(図２(ｂ)参照)。上昇は、アーム部２１の上下移動機構３３を駆動することで行われる。なお、必ずしも上昇する必要はない。
【００３７】
ステップＳ２０２：制御部１９は、昇降部１３を駆動してカセット３７を昇降し、搬送対象のウエハＷの下端位置が、持上アーム２７より所定量だけ僅かに上となるようにカセット３７を位置決めする(図２(ｂ)参照)。
【００３８】
ステップＳ２０４：制御部１９は、駆動部２５を駆動し、本体部３１を介して持上アーム２７を移動し、持上アーム２７の段部２７ａが搬送対象のウエハＷの直下になるように位置させる(図２(ｂ)参照)。
【００３９】
ステップＳ２０６：制御部１９は、昇降部１３を駆動し、搬送対象のウエハＷの端部と持上アーム２７の段部２７ａが当接するまでゆっくりとウエハＷを下降する(図２(ｄ)参照)。
【００４０】
ステップＳ２０８：制御部１９は、ウエハデータテーブルを参照して昇降部１３を駆動し、搬送対象のウエハＷの垂れ下がり量分だけゆっくりとウエハＷを下降する(図２(ｃ)参照)。この状態で搬送対象のウエハＷの１つ下のウエハＷの上面と挿入アーム２９には十分な空間ができるため、挿入アーム２９と持上アーム２７との間隔を相対的に増大させることができる。具体的には、増大させたい間隔分だけ持上アーム２７と昇降部１３を同期して持ち上げることで、挿入アーム２９と持上アーム２７との間隔を相対的に増大させることができる。挿入アーム２９と持上アーム２７との間隔を相対的に増大させることにより、持上アーム２７とカセット３７との間でウエハＷが撓んでいても、挿入アーム２９と搬送対象のウエハＷの下面とが接触する危険をさらに低減できる。
【００４１】
ステップＳ２１０：制御部１９は、挿入アーム２９を、ウエハＷの受け取り位置まで差し込む。挿入アーム２９の移動は、アーム部２１の前後移動機構３５を駆動することで行われる。ここでウエハＷの受け取り位置とは、挿入アーム２９の段部２９ａがウエハＷの後端の直下にくる位置である(図２(ｃ)および図３(ｂ)参照)。
【００４２】
ステップＳ２１２：制御部１９は、持上アーム２７を、挿入アーム２９の厚み分だけ下降させ段部２７ａと段部２９ａの高さを揃える(この状態で段部２９ａもウエハＷと当接する。図２(ｅ)参照)。下降は、アーム部２１の上下移動機構３３を駆動することで行われる。（挿入アーム２９と持上アーム２７との間隔を相対的に挿入アーム２９の厚み分よりも増大させた場合は、その分も合わせて挿入アーム２９を降下させる。）そして、昇降部１３を駆動してウエハＷを下降し、ウエハＷをアーム部２１に渡す。
【００４３】
ステップＳ２１４：制御部１９は、駆動部２５を駆動してアーム部２１を移動し、ウエハＷをアーム部２１とともに抜き出す。
【００４４】
ステップＳ２１６：制御部１９は、駆動部２５を駆動して搬送対象のウエハＷを所定の位置に搬送した後、ウエハＷをステージ１７上に載置する。より具体的には、モータ４３の駆動により移動部材３９のみを移動してアーム部２１をカセット３７から所定位置まで完全に引き抜く。そして、アーム保持部２３を回動してウエハＷをステージ１７上に移動する。ステージ１７には、ウエハＷの外周部となる位置に複数のピン部材(不図示)が配置されている。ピン部材を突出した状態でウエハＷをピン部材上に載置した後、ピン部材を引き込むことによりウエハＷがステージ１７上に載置され取り出しフローを終了する。
【００４５】
なお、ステップＳ２１２でウエハＷを受け取る際のアーム部２１は、図３(ｂ)に示すように、段部２７ａと段部２９ａの間隔は、ウエハＷの外径より大きくされている(ウエハ対応状態)。段部２７ａ，２９ａの挿入方向の寸法は、ウエハＷが段部２７ａ，２９ａ上を移動しても逃げ部２９ｂに落下しない寸法とされている。また、裏面にパターンを有するウエハＷを載置した場合に、挿入アーム２９とパターンとが接触しないように、逃げ部２９ｂの深さが設定されている。
【００４６】
図８は、ステージ１７に配置されるウエハＷをカセット３７内に収容するウエハＷの収納動作を示すフローチャートである。
【００４７】
ステップＳ３００：収納フローが開始されると、制御部１９は、アーム部２１の前後移動機構３５を駆動し、挿入アーム２９と持上アーム２７とが上述したウエハ対応状態となるように挿入アーム２９を移動する。その後、ステージ１７上でピン部材によって支持されているウエハＷの下に持上アーム２７と挿入アーム２９を差し込み、ピン部材をステージ１７に収納してウエハＷを受け取る。
【００４８】
ステップＳ３０２：制御部１９は、カセット３７の所定の収納スロットにウエハＷを搬送する。また、昇降部１３はウエハＷの高さが収納スロットの溝部３７ａよりも少し高くなるように、カセット３７の高さ方向の位置決めをする。
【００４９】
ステップＳ３０４：制御部１９は、昇降部１３を駆動して、ウエハＷがカセット３７の収納スロットの溝部３７ａの下面に当接するようにカセット３７を上昇する。
【００５０】
ステップＳ３０６：制御部１９は、上下移動機構３３を駆動して、持上アーム２７を、挿入アーム２９の厚み分だけ上昇する。なお、持上アーム２７の上昇は取り出し時と同様に増大してもよい。そして、前後移動機構３５を駆動して挿入アーム２９をウエハＷの下から引き抜き基準位置(図２(ｂ)の位置)に戻す。
【００５１】
ステップＳ３０８：制御部１９は、昇降部１３を駆動して、ウエハＷの垂れ下がり量と所定量を合わせた分だけカセット３７を上昇させる。垂れ下がり量は、ウエハデータテーブルに記憶される取り出した時の各ウエハＷの垂れ下がり量を用いる。
【００５２】
ステップＳ３１０：制御部１９は、駆動部２５を駆動して、アーム部２１を所定の基準位置に戻す。
【００５３】
上述した基板搬送装置では、持上アーム２７をウエハＷの先端部の下に挿入しウエハＷの先端部を所定の位置に持ち上げた状態で、挿入アーム２９をウエハＷの下へ挿入してウエハＷを取り出すようにしたので、カセット３７内へのアーム部２１の挿入時に、変形しているウエハＷにアーム部２１が接触するのを防止することができる。従って、例えば実装を考慮してウエハＷの肉厚を薄く(例えば１００μｍ程度)することでウエハＷが大きく撓んだ場合にも、ウエハＷが損傷するおそれを低減することができる。
【００５４】
上述した基板搬送装置では、上下位置検出部１５によりウエハＷの上端位置と下端位置を検出し、上端位置と下端位置との差に基づいて、持上アーム２７による持ち上げ量を決定するようにしたので、持上アーム２７によりウエハＷの撓みを略なくした状態でウエハＷを支持することができる。従って、持上アーム２７による持上時にウエハＷに大きな負荷が作用することがなくなる。また、挿入アーム２９の挿入時に、挿入アーム２９がウエハＷに接触するのを確実に防止することができる。
【００５５】
上述した基板搬送装置では、持上アーム２７と挿入アーム２９とを一体としてウエハＷの下に挿抜するようにしたので、ウエハＷの持ち上げと、ウエハＷの挿抜を効率的に行うことができる。
【００５６】
上述した基板搬送装置では、持上アーム２７と挿入アーム２９とが協働してウエハＷの取り出しを行うようにしたので、ウエハＷの挿抜を確実に行うことができる。また、ウエハＷの外径等が変化した場合にも制御部１９のソフトを変えるだけで対応することができる。
(第２の実施形態)
図９は、本発明の基板搬送装置の第２の実施形態を示している。なお、この実施形態において第１の実施形態と同一の要素には同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００５７】
この実施形態では、図９(ａ)、(ｂ)に示すように、持上アーム２７Ａの両側に一対の挿入アーム２９Ａが配置されている。持上アーム２７Ａは、上下移動機構３３により上下方向に移動可能とされている。挿入アーム２９Ａは、前後移動機構３５により前後方向に移動可能とされている。
【００５８】
この実施形態では、間隔を開けて配置される一対の挿入アーム２９ＡによりウエハＷが支持されるため、変形し易いウエハＷであっても搬送時の変形を小さく抑制することができる。
(第３の実施形態)
図１０は、本発明の基板搬送装置の第３の実施形態を示している。図１０(ａ)は上面図、図１０(ｂ)は側面図である。なお、この実施形態において第１の実施形態と同一の要素には同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【００５９】
この実施形態では、カセット３７の後側(裏側)に持上アーム２７Ｂが配置されている。持上アーム２７Ｂの先端には、ローラ５５が回転自在に配置されている。カセット３７の後側から持上アーム２７Ｂを挿入すると、持上アーム２７Ｂの先端のローラ５５にウエハＷが当接し、ローラ５５によりウエハＷが持ち上げられる。そして、この時ローラ５５が回転するため、ウエハＷが損傷するのを効果的に防止することができる。
【００６０】
一方、カセット３７の前側には、挿入アーム２９Ｂが配置されている。挿入アーム２９Ｂは、本体部３１に支持されている。挿入アーム２９Ｂは、前後移動機構３５により前後方向に移動可能とされている。挿入アーム２９Ｂは、一対のホーク部Ｈを有している。一対のホーク部Ｈには、図１１に示すように、ウエハＷの先端部および後端部を支持する段部Ｈａ，Ｈｂが形成されている。段部Ｈａ，Ｈｂの間には、逃げ部Ｈｃが形成されている。段部Ｈａ，Ｈｂは、逃げ部Ｈｃ側に向けて傾斜する傾斜面とされている。このように傾斜面とすることで、自重で撓むウエハＷの先端部および後端部を面的に支持することが可能になり、ウエハＷを確実に支持することができる。なお、段部を傾斜面とすることは、第１の実施形態や第２の実施形態でも同様に適用することができる。
【００６１】
この実施形態では、カセット３７の後側から持上アーム２７Ｂを挿入してウエハＷが持ち上げられる。そして、この状態で、ウエハＷの下側に挿入アーム２９Ｂが挿入され、ウエハＷの搬送が行われる。
(実施形態の補足事項)
以上、本発明を上述した実施形態によって説明してきたが、本発明の技術的範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下のような形態でも良い。
【００６２】
(１)上述した実施形態では、ウエハＷの位置検出センサ５１として投光部５１ａから出てカセット３７内を通過したレーザ光ＬＢを受光部５１ｂで受ける構成を用いたが、ウエハＷの画像を取得してウエハＷの状態を検出しても良い。
【００６３】
(２)上述した実施形態では、モータ４３により螺子軸４５を回転して移動部材３９を移動した例について説明したが、例えばベルト駆動等により移動部材を移動するようにしても良い。
【００６４】
(３)上述した実施形態では、半導体ウエハからなる基板の搬送に本発明を適用した例について説明したが、種々の基板の搬送に広く適用することができる。
【００６５】
(４)上述した実施形態では、カセット３７を昇降部１３により昇降した例について説明したが、カセット３７を昇降することなく搬送部を昇降するようにしても良い。
【００６６】
(５)上述した実施形態では、持上アーム２７，２７Ａ，２７ＢによりウエハＷを持ち上げた例について説明したが、例えばエアー、フック等によりウエハＷを持ち上げるようにしても良い。
【符号の説明】
【００６７】
１１…搬送ロボット、１３…昇降部、１５…上下位置検出部、１７…ステージ、１９…制御部、２１…アーム部、２５…駆動部、２７，２７Ａ，２７Ｂ…持上アーム、２９，２９Ａ，２９Ｂ…挿入アーム、Ｗ…ウエハ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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