(57)【要約】【課題】レーザ光源の故障の有無の検査に要するコストを削減することができるレーザマーキング装置を提供すること。【解決手段】任意の２つ以上の光源２に対してレーザ光を所定時間出射させるための制御を順次択一的に行うことが可能とされた光源制御手段１４と、光源制御手段１４の制御の下でレーザ光を出射すべき光源２ごとに、受光手段１７によって前記制御に対応する受光結果が得られたか否かに基づいて、光源２の良否を個別に判定する光源判定手段１９と、光源判定手段１９によって不良と判定された光源２ごとに、光源２が不良である旨の警告を個別に出力する警告出力手段２０とを備えたこと。【選択図】図２
2011079013.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を出射する複数の光源と、
これら各光源のそれぞれに対応する位置に設けられ、前記各光源からそれぞれ出射された前記レーザ光を伝送する複数の光ファイバと、
これら各光ファイバの出射端が当該各出射端に対する前記レーザ光の出射側の位置に設けられた出光レンズとともにホルダ内に保持されてなり、前記各光ファイバによって伝送された前記レーザ光を前記各出射端から前記出光レンズを介して被加工物に照射する光学ヘッドと、
この光学ヘッドまたは前記被加工物を、前記出射端における光軸方向に直交する所定の方向に沿って移動させる移動手段と
を備え、
前記移動手段によって前記光学ヘッドまたは前記被加工物を移動させつつ、前記各光ファイバによって伝送された前記レーザ光を前記光学ヘッドによって前記被加工物に照射することにより、前記被加工物に所定のパターンをマーキングするレーザマーキング装置であって、
前記各光ファイバによって伝送された前記レーザ光のそれぞれの一部を、前記光学ヘッドの内部または前記光学ヘッドの外部における前記光学ヘッドの近傍位置において受光可能とされた前記光源よりも少数の受光手段と、
任意の２つ以上の前記光源に対して前記レーザ光を所定時間ずつ出射させるための制御を順次択一的に行うことが可能とされた光源制御手段と、
この光源制御手段の順次択一的な前記制御の際に、前記制御の下で前記レーザ光を出射すべき前記光源ごとに、前記受光手段によって前記制御に対応する受光結果が得られたか否かに基づいて光源の良否を個別に判定する光源判定手段と、
この光源判定手段によって不良と判定された前記光源ごとに、光源が不良である旨の警告を個別に出力する警告出力手段と
を備えたことを特徴とするレーザマーキング装置。
【請求項２】
レーザ光を出射する複数の光源と、
これら各光源のそれぞれに対応する位置に設けられ、前記各光源からそれぞれ出射された前記レーザ光を伝送する複数の光ファイバと、
これら各光ファイバの出射端が当該各出射端に対する前記レーザ光の出射側の位置に設けられた出光レンズとともにホルダ内に保持されてなり、前記各光ファイバによって伝送された前記レーザ光を前記各出射端から前記出光レンズを介して被加工物に照射する光学ヘッドと、
この光学ヘッドまたは前記被加工物を、前記出射端における光軸方向に直交する所定の方向に沿って移動させる移動手段と
を備え、
前記移動手段によって前記光学ヘッドまたは前記被加工物を移動させつつ、前記各光ファイバによって伝送された前記レーザ光を前記光学ヘッドによって前記被加工物に照射することにより、前記被加工物に所定のパターンをマーキングするレーザマーキング装置であって、
前記各光ファイバによって伝送された前記レーザ光のそれぞれの一部を、前記光学ヘッドの内部または前記光学ヘッドの外部における前記光学ヘッドの近傍位置において受光可能とされた前記光源よりも少数の受光手段と、
前記各光源に対する前記レーザ光の出射の有無の制御を行う光源制御手段と、
この光源制御手段の前記制御が行われた際に、前記受光手段の受光結果が前記制御が行われた際に前記受光手段において得られるべき受光量に相当する受光結果であるか否かに基づいて光源の良否を判定する光源判定手段と、
この光源判定手段によって光源が不良と判定された場合に、光源が不良である旨の警告を出力する警告出力手段と
を備えたことを特徴とするレーザマーキング装置。
【請求項３】
前記出光レンズは、前記各出射端から出射された前記レーザ光をコリメートする第１のレンズと、この第１のレンズによってコリメートされた前記レーザ光を収束させる第２のレンズとからなり、
前記受光手段は、前記ホルダの内部における前記第１のレンズと前記第２のレンズとの間の位置に、前記第１のレンズによってコリメートされた前記レーザ光の前記第２のレンズへの入射を妨げない状態であって、前記各出射端から出射された前記レーザ光に起因する前記ホルダの内部の散乱光を受光可能な状態に配置されており、
前記光源判定手段は、前記受光手段による前記散乱光の受光結果を、前記光源の良否の判定に用いること
を特徴とする請求項１または請求項２に記載のレーザマーキング装置。
【請求項４】
前記出光レンズは、前記各出射端から出射された前記レーザ光をコリメートする第１のレンズと、この第１のレンズによってコリメートされた前記レーザ光を収束させる第２のレンズとからなり、
前記受光手段は、前記ホルダの内部における前記第１のレンズ面に対する前記レーザ光の入射側の位置に、前記各出射端から出射されて前記第１のレンズに入射した前記レーザ光のうちの前記第１のレンズによって反射された反射光を受光可能な状態に配置されており、
前記光源判定手段は、前記受光手段による前記反射光の受光結果を、前記光源の良否の判定に用いること
を特徴とする請求項１または請求項２に記載のレーザマーキング装置。
【請求項５】
前記光学ヘッドの外部における前記光学ヘッドの近傍位置において前記各光ファイバにおける前記出射端の近傍部位を曲げた状態で保持する曲げ保持手段を備え、
前記受光手段は、前記曲げ保持手段の近傍位置に、前記各光ファイバによって伝送された前記レーザ光のうちの前記各光ファイバにおける前記曲げ保持手段による保持部位から前記各光ファイバの外部に漏れた漏れ光を受光可能な状態に配置されており、
前記光源判定手段は、前記受光手段による前記漏れ光の受光結果を、前記光源の良否の判定に用いること
を特徴とする請求項１または請求項２に記載のレーザマーキング装置。
【請求項６】
前記受光手段の数は、１つとされていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のレーザマーキング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザマーキング装置に係り、特に、被加工物にレーザ光を照射することによって被加工物に所定のパターンをマーキングするのに好適なレーザマーキング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体レーザ（ＬＤ：Laser Diode）等のレーザ光源を備えた装置においては、レーザ光源から出射されたレーザ光をモニタするための受光手段を搭載し、この受光手段による受光結果に応じてレーザ光源の出力を制御することが行われていた。
【０００３】
例えば、特許文献１には、半導体レーザ素子の光出力をモニタするフォトダイオードを備えた半導体レーザモジュールが開示されている。
【０００４】
また、特許文献２には、ワット級ワンチップ半導体レーザの光出力の変動がフォトダイオードによってフィードバックされるレーザ加工装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−１３３６６４号公報
【特許文献２】特開２００５−３４９４３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、従来から、レーザ光を適用した技術の１つとして、レーザマーキングが知られている。レーザマーキングにおいては、被加工物の表面にレーザ光を照射して、該表面をレーザ光のエネルギによって瞬間的に改質（溶融、蒸発、変色等）させることにより、被加工物に対して文字、図形または記号等の所望のパターンをマーキング（刻印または印字）するようになっている。
【０００７】
このようなレーザマーキングを行うレーザマーキング装置においては、被加工物へのレーザマーキングを適正に行うために、レーザ光源の性能を管理することが重要となる。したがって、レーザマーキング装置に特許文献１等に示すようなレーザ光源から出射されるレーザ光をモニタする従来技術を適用して、レーザ光のモニタ結果に基づいたレーザ光源の性能の良否の検査を行うことには大いに意義がある。
【０００８】
しかしながら、従来は、レーザ光源ごとにレーザ光をモニタするための受光手段を設けていたため、従来技術をそのままレーザマーキング装置に適用した場合には、レーザマーキング装置の態様によってはレーザ光源の良否の検査に要するコストが過大となってしまう場合がある。
【０００９】
すなわち、従来から、レーザマーキング装置の中には、例えば、特開平０９−１５６１５３号公報に示すように、複数の光ファイバを縦一列に並べて光学ヘッドを構成し、この光学ヘッドの各光ファイバによって複数のレーザ光源（半導体レーザの発光部）からそれぞれ出射されたレーザ光を伝送し、伝送されたレーザ光を被印字物に照射して印字を行うものもあった。そして、この種のレーザマーキング装置に従来技術をそのまま適用する場合には、各レーザ光源から出射されたレーザ光をモニタするためのレーザ光源と同数の受光手段を設けることが必要となり、受光手段の数に応じた費用が掛かってしまうことになる。
【００１０】
そこで、本発明は、このような点に鑑みなされたものであり、レーザ光源の良否の検査に要するコストを削減することができるレーザマーキング装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前述した目的を達成するため、本発明に係るレーザマーキング装置は、レーザ光を出射する複数の光源と、これら各光源のそれぞれに対応する位置に設けられ、前記各光源からそれぞれ出射された前記レーザ光を伝送する複数の光ファイバと、これら各光ファイバの出射端が当該各出射端に対する前記レーザ光の出射側の位置に設けられた出光レンズとともにホルダ内に保持されてなり、前記各光ファイバによって伝送された前記レーザ光を前記各出射端から前記出光レンズを介して被加工物に照射する光学ヘッドと、この光学ヘッドまたは前記被加工物を、前記出射端における光軸方向に直交する所定の方向に沿って移動させる移動手段とを備え、前記移動手段によって前記光学ヘッドまたは前記被加工物を移動させつつ、前記各光ファイバによって伝送された前記レーザ光を前記光学ヘッドによって前記被加工物に照射することにより、前記被加工物に所定のパターンをマーキングするレーザマーキング装置であって、前記各光ファイバによって伝送された前記レーザ光のそれぞれの一部を、前記光学ヘッドの内部または前記光学ヘッドの外部における前記光学ヘッドの近傍位置において受光可能とされた前記光源よりも少数の受光手段と、任意の２つ以上の前記光源に対して前記レーザ光を所定時間ずつ出射させるための制御を順次択一的に行うことが可能とされた光源制御手段と、この光源制御手段の順次択一的な前記制御の際に、前記制御の下で前記レーザ光を出射すべき前記光源ごとに、前記受光手段によって前記制御に対応する受光結果が得られたか否かに基づいて光源の良否を個別に判定する光源判定手段と、この光源判定手段によって不良と判定された前記光源ごとに、光源が不良である旨の警告を個別に出力する警告出力手段とを備えたことを特徴としている。
【００１２】
そして、このような構成によれば、光源制御手段により、任意の２つ以上の光源に対してレーザ光を所定時間ずつ出射させるための制御を順次択一的に行うようにした上で、光源判定手段により、受光手段によって光源制御手段の制御に対応する受光結果が得られたか否かに基づいて光源の良否を光源ごとに個別に判定し、警告出力手段により、光源判定手段によって不良と判定された光源ごとに個別に警告を出力することができるので、光源と同数の受光手段を要することなく光源の良否を検査することができる。
【００１３】
また、本発明に係る他のレーザマーキング装置は、レーザ光を出射する複数の光源と、これら各光源のそれぞれに対応する位置に設けられ、前記各光源からそれぞれ出射された前記レーザ光を伝送する複数の光ファイバと、これら各光ファイバの出射端が当該各出射端に対する前記レーザ光の出射側の位置に設けられた出光レンズとともにホルダ内に保持されてなり、前記各光ファイバによって伝送された前記レーザ光を前記各出射端から前記出光レンズを介して被加工物に照射する光学ヘッドと、この光学ヘッドまたは前記被加工物を、前記出射端における光軸方向に直交する所定の方向に沿って移動させる移動手段とを備え、前記移動手段によって前記光学ヘッドまたは前記被加工物を移動させつつ、前記各光ファイバによって伝送された前記レーザ光を前記光学ヘッドによって前記被加工物に照射することにより、前記被加工物に所定のパターンをマーキングするレーザマーキング装置であって、前記各光ファイバによって伝送された前記レーザ光のそれぞれの一部を、前記光学ヘッドの内部または前記光学ヘッドの外部における前記光学ヘッドの近傍位置において受光可能とされた前記光源よりも少数の受光手段と、前記各光源に対する前記レーザ光の出射の有無の制御を行う光源制御手段と、この光源制御手段の前記制御が行われた際に、前記受光手段の受光結果が前記制御が行われた際に前記受光手段において得られるべき受光量に相当する受光結果であるか否かに基づいて光源の良否を判定する光源判定手段と、この光源判定手段によって光源が不良と判定された場合に、光源が不良である旨の警告を出力する警告出力手段とを備えたことを特徴としている。
【００１４】
そして、このような構成によれば、光源判定手段により、光源制御手段の制御が行われた際における受光手段の受光結果が、当該制御が行われた際に得られるべき受光量に相当する受光結果であるか否かに基づいて光源の良否を判定し、警告出力手段により、光源判定手段の判定結果に応じて警告を出力することができるので、光源と同数の受光手段を要することなく光源の良否を検査することができる。
【００１５】
さらに、前記出光レンズは、前記各出射端から出射された前記レーザ光をコリメートする第１のレンズと、この第１のレンズによってコリメートされた前記レーザ光を収束させる第２のレンズとからなり、前記受光手段は、前記ホルダの内部における前記第１のレンズと前記第２のレンズとの間の位置に、前記第１のレンズによってコリメートされた前記レーザ光の前記第２のレンズへの入射を妨げない状態であって、前記各出射端から出射された前記レーザ光に起因する前記ホルダの内部の散乱光を受光可能な状態に配置されており、前記光源判定手段は、前記受光手段による前記散乱光の受光結果を、前記光源の良否の判定に用いるようにしてもよい。
【００１６】
そして、このような構成によれば、受光手段により、各光源から出射されたレーザ光のそれぞれの一部を散乱光として受光して光源の良否の判定に用いることができるので、簡易な構成によって光源の良否を検査することができる。
【００１７】
さらにまた、前記出光レンズは、前記各出射端から出射された前記レーザ光をコリメートする第１のレンズと、この第１のレンズによってコリメートされた前記レーザ光を収束させる第２のレンズとからなり、前記受光手段は、前記ホルダの内部における前記第１のレンズ面に対する前記レーザ光の入射側の位置に、前記各出射端から出射されて前記第１のレンズに入射した前記レーザ光のうちの前記第１のレンズによって反射された反射光を受光可能な状態に配置されており、前記光源判定手段は、前記受光手段による前記反射光の受光結果を、前記光源の良否の判定に用いるようにしてもよい。
【００１８】
そして、このような構成によれば、受光手段により、各光源から出射されたレーザ光のそれぞれの一部を第１のレンズからの反射光として受光して光源の良否の判定に用いることができ、また、被加工物からの戻り光がほとんど届かないような位置において反射光を受光することができるので、簡易な構成によって光源の良否を適正に検査することができる。
【００１９】
また、前記光学ヘッドの外部における前記光学ヘッドの近傍位置において前記各光ファイバにおける前記出射端の近傍部位を曲げた状態で保持する曲げ保持手段を備え、前記受光手段は、前記曲げ保持手段の近傍位置に、前記各光ファイバによって伝送された前記レーザ光のうちの前記各光ファイバにおける前記曲げ保持手段による保持部位から前記各光ファイバの外部に漏れた漏れ光を受光可能な状態に配置されており、前記光源判定手段は、前記受光手段による前記漏れ光の受光結果を、前記光源の良否の判定に用いるようにしてもよい。
【００２０】
そして、このような構成によれば、受光手段により、各光源から出射されたレーザ光のそれぞれの一部を曲げ保持手段による保持部位からの漏れ光として受光して光源の良否の判定に用いることができるので、簡易な構成によって光源の良否を検査することができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、レーザ光源の良否の検査に要するコストを削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明に係るレーザマーキング装置の第１実施形態を示す概略斜視図
【図２】図１の側面図
【図３】本発明に係るレーザマーキング装置の第１実施形態において、光センサの具体的な配置位置を示す構成図
【図４】本発明に係るレーザマーキング装置の第１実施形態において、第１の変形例を示す構成図
【図５】本発明に係るレーザマーキング装置の第１実施形態において、第２の変形例を示す構成図
【図６】本発明に係るレーザマーキング装置の第１実施形態において、実施例を示すタイムチャート
【図７】本発明に係るレーザマーキング装置の第１実施形態において、実施例を示すフローチャート
【図８】本発明に係るレーザマーキング装置の第２実施形態において、実施例を示すタイムチャート
【図９】本発明に係るレーザマーキング装置の第２実施形態において、実施例を示す回路図
【発明を実施するための形態】
【００２３】
（第１実施形態）
以下、本発明に係るレーザマーキング装置の第１実施形態について、図１乃至図６を参照して説明する。
【００２４】
図１および図２に示すように、本実施形態におけるレーザマーキング装置１は、被加工物としてのワーク４に対するレーザマーキングに用いられるようになっている。なお、ワーク４としては、レーザマーキングが可能な種々の材質（例えば、金属やプラスチック等）からなるものを採用することができる。
【００２５】
レーザマーキング装置１は、図１におけるＹ軸方向（図２における紙面垂直方向）に等間隔を設けて整列配置された複数のレーザ光源２を有している。これら複数のレーザ光源２は、図１および図２におけるＸ軸方向（図１および図２における紙面横方向）のうちの一方（右方向）に向かってレーザ光Ｌをそれぞれ出射するようになっている。各レーザ光源２としては、ＣＡＮパッケージ型または基板実装型の半導体レーザ、ＹＡＧレーザ、炭酸ガスレーザもしくは固体レーザ等の種々のレーザ光源２を採用することができる。また、レーザ光源２の個数は、図示されている個数に限定されないことは勿論である。
【００２６】
また、図１および図２に示すように、各レーザ光源２のそれぞれに対するレーザ光Ｌの出射側の近傍位置（図１および図２における右方近傍位置）には、各レーザ光源２にそれぞれ対応するレーザ光源２と同数の複数のレンズ３が対向配置されている。これら複数のレンズ３は、その光軸をそれぞれに対応するレーザ光源２の光軸に一致させるようにして、レーザ光源２の整列方向と同方向に整列配置されている。各レンズ３には、それぞれに対応するレーザ光源２から出射されたレーザ光Ｌが入射するようになっており、これらの入射した各レーザ光Ｌは、各レンズ３によってそれぞれ収束された上でレーザ光源２からのレーザ光Ｌの出射方向と同方向へと出射されるようになっている。各レンズ３は、それぞれに対応するレーザ光源２とともに不図示のホルダ内に一体的に収容されていてもよい。
【００２７】
さらに、図１および図２に示すように、各レンズ３のそれぞれに対するレーザ光Ｌの出射側の近傍位置（図１および図２における右方近傍位置）には、各レンズ３および各レーザ光源２にそれぞれ対応するレンズ３およびレーザ光源２と同数の複数の第１の光ファイバ５が、その入射端をレンズ３側に向けるようにして配置されている。これら複数の第１の光ファイバ５は、その光軸（換言すればコアの中心軸）をそれぞれに対応するレンズ３の光軸に一致させるようにして、レンズ３の整列方向と同方向に整列配置されている。各第１の光ファイバ５の入射端には、各第１の光ファイバ５にそれぞれに対応するレンズ３から出射されたレーザ光Ｌが入射するようになっている。そして、これらの入射した各レーザ光Ｌは、各第１の光ファイバ５のコアとクラッドとの界面における全反射を繰り返しながら、各第１の光ファイバ５の出射端側に向かってコア内を伝送されるようになっている。なお、各第１の光ファイバ５における入射端側の部位は、レンズ３およびレーザ光源２を収容する図示しないホルダに設けられたファイバ挿入孔を介してホルダ内に挿入されていてもよい。
【００２８】
さらにまた、図１および図２に示すように、各第１の光ファイバ５の出射端側の部位には、各第１の光ファイバ５にそれぞれ対応する第１の光ファイバ５と同数の複数のファイバコネクタ６が、その入射側の端部（図１および図２における左端部）側を介して接続されている。これら複数のファイバコネクタ６における出射側の端部（図１および図２における右端部）側には、各ファイバコネクタ６にそれぞれ対応するファイバコネクタ６と同数の複数の第２の光ファイバ７が、その入射端側の部位を介して接続されている。そして、各ファイバコネクタ６は、それぞれに内蔵された図示しないフェルールによって、各第１の光ファイバ５の出射端とこれらにそれぞれ対応する各第２の光ファイバ７の入射端とを光学的に結合するようになっている。すなわち、各ファイバコネクタ６内において、各第１の光ファイバ５の出射端から出射されたレーザ光Ｌは、各第１の光ファイバ５にそれぞれ対応する各第２の光ファイバ７の入射端に入射するようになっている。さらに、これらの入射したレーザ光Ｌは、各第２の光ファイバ７のコアとクラッドとの界面における全反射を繰り返しながら、各第２の光ファイバ７の出射端７ａ側に向かってコア内を伝送されるようになっている。なお、ファイバコネクタ６としては、ＳＣコネクタ、ＦＣコネクタまたはＬＣコネクタ等の各種のコネクタを設計コンセプトに応じて適宜採用すればよい。
【００２９】
また、図１および図２に示すように、各第２の光ファイバ７は、その出射端（すなわち、第２の光ファイバ７のコアの出射側の端面）における光軸方向が図１および図２におけるＺ軸方向に平行になるように、その出射端側の部位がＺ軸方向における一方（図１および図２における下方向）に向かって屈曲されている。また、各第２の光ファイバ７の出射端７ａのＺ軸方向における位置は、互いに同位置とされている。さらに、各第２の光ファイバ７の出射端７ａは、Ｚ軸方向に直交し且つ各第２の光ファイバ７の出射端７ａを含む仮想平面内に、Ｙ軸方向に対して所定の鋭角をなすような所定の整列方向に等間隔を設けるようにして互いに近接した状態に整列配置されている。この近接した状態において、互いに隣位する第２の光ファイバ７同士は、そのクラッドの外周面における出射端側の部位が互いに接触した状態になっていてもよい。
【００３０】
さらに、図１および図２に示すように、各第２の光ファイバ７の出射端７ａに対するレーザ光Ｌの出射側の位置（図１および図２における下方位置）には、出光レンズを構成する第１のレンズ８および第２のレンズ９が、Ｚ軸方向に互いに間隔を設けて１つずつ配置されている。これら第１のレンズ８および第２のレンズ９の双方の光軸は、いずれもＺ軸方向に平行とされているとともに、互いに一致したものとなっている。ここで、第１のレンズ８には、各第２の光ファイバ７の出射端７ａから図１および図２における下方向に向かって出射されたレーザ光Ｌがそれぞれ入射するようになっている。そして、第１のレンズ８は、入射した各レーザ光Ｌを、それぞれコリメートした上で、図１および図２における下方向に向かってそれぞれ出射するようになっている。第２のレンズ９には、第１のレンズ８から出射された各レーザ光Ｌがそれぞれ入射するようになっている。そして、第２のレンズ９は、入射した各レーザ光Ｌを、それぞれ収束させた上で、図１および図２における下方向に向かってそれぞれ出射するようになっている。
【００３１】
さらにまた、図２に示すように、各第２の光ファイバ７における出射端７ａ、第１のレンズ８および第２のレンズ９は、ホルダ１６内に一体的に収容されて保持されており、これら各出射端７ａ、第１のレンズ８、第２のレンズ９およびホルダ１６によって、光学ヘッド１０が構成されている。より具体的には、図３に示すように、ホルダ１６は、円筒形状の胴部１６ａと、この胴部１６ａの図３における上部開口を遮蔽する円板状の蓋部１６ｂとによって構成されている。胴部１６ａの内部における蓋部１６ａの近傍位置には、第１のレンズ８が、その外周面を胴部１６ａの内周面に接触させるようにして接着や圧入等の固定方法によって固定されている。また、胴部１６ａの内部であって、図３における下部開口の位置には、第２のレンズ９が、その外周面を胴部１６ａの内周面に接触させるようにして接着や圧入等の固定方法によって固定されている。さらに、蓋部１６ｂには、この蓋部１６ｂを図３における縦方向に貫通する長孔状の貫通孔１６ｃが形成されている。この貫通孔１６ｃには、各第２の光ファイバ７における出射端７ａ側の部位が、各出射端７ａを蓋部１６ｂの下面と同一面上に位置させる深さまで挿入されており、これら各出射端７ａ側の部位は、接着等の固定方法によって蓋部１６ｂに固定されている。
【００３２】
図１および図２に戻って、光学ヘッド１０に対するレーザ光Ｌの出射側の位置（図１および図２における下方位置）には、移動手段としてのワーク搬送装置１１が配設されている。本実施形態におけるワーク搬送装置１１は、ベルトコンベアとされ、ワーク４が載置された状態で搬送される無端のコンベアベルト１２と、このコンベアベルト１２を外周に巻回した図２に示す複数のローラ１３とを有している。ローラ１３は、モータ等の図示しない駆動源によって回転駆動されるようになっており、このローラ１３の回転駆動にコンベアベルト１２が従動することによって、コンベアベルト１２のワーク載置面１２ａ（図１および図２における上面）が、Ｘ軸方向における一方（図１および図２における右方向）へと移動するようになっている。また、図２に示すように、光学ヘッド１０にＺ軸方向において対向する位置には、ワーク載置面１２ａ上に載置された状態で加工位置に搬送されたワーク４が、その被加工面４ａを光学ヘッド１０側に向けた状態で配置されるようになっている。このワーク４は、ワーク搬送装置１１により、Ｘ軸方向に沿って図１および図２における右方向へと移動されることになる。
【００３３】
また、図２に示すように、各レーザ光源２には、光源制御手段としてのレーザ光源制御部１４が電気的に接続されており、このレーザ光源制御部１４は、各レーザ光源２に対してレーザ光Ｌの出射動作の制御を行うようになっている。なお、レーザ光Ｌの出射動作の制御には、レーザ光源２に対する図示しない電源からの電力の供給の有無を制御することによるレーザ光源２からのレーザ光Ｌの出射の有無の制御や、レーザ光源２によるレーザ光Ｌの出射周期または出射タイミングに関する制御等が含まれている。
【００３４】
さらに、図２に示すように、レーザ光源制御部１４には、マーキング開始検出部１５が接続されおり、このマーキング開始検出部１５は、ワーク４がワーク搬送装置１１による搬送にともなってマーキングの開始位置に到達したことを検出し、この検出結果をレーザ光源制御部１４に入力するようになっている。そして、レーザ光源制御部１４は、マーキング開始検出部１５から前記検出結果が入力されると、マーキングすべきパターンの形状に応じるように各レーザ光源２からのレーザ光Ｌの出射を適宜開始させるようになっている。なお、マーキング開始検出部１５は、例えば、マーキングの開始位置に到達したワーク４の所定の基準部位（例えば、ワーク４における前記ワーク搬送方向先頭側の端部）を検出するＣＣＤカメラや、ローラ１３の回転数がワーク４の搬送開始位置からマーキングの開始位置までのワーク４の搬送量に対応する所定の回転数に達したことを例えばローラ１３の駆動源への電力の供給状態（例えば、駆動源としてのモータに印加される電圧のパルス数）を監視することによって検出する回転数検出手段等を備えたものであってもよい。
【００３５】
そして、このような構成により、ワーク搬送装置１１によってマーキングの開始位置に到達したワーク４の被加工面４ａに対して、各レーザ光源２から適宜出射されて第１の光ファイバ５および第２の光ファイバ７によって伝送されたレーザ光Ｌが、第２の光ファイバ７の出射端７ａから出光レンズを介して照射されるようになっている。これにより、ワーク４の被加工面４ａにおけるレーザ光Ｌの照射部位が、レーザ光Ｌのエネルギによって改質（溶融、蒸発、または変色等）され、この改質された部分に、第２の光ファイバ７の出射端の形状（例えば、円形）とほぼ同形状を呈するドットが形成されるようになっている。このドットは、レーザマーキング装置１によるマーキングの最小単位となる。そして、このようなドットの形成を、ワーク搬送装置１１によってワーク４を図１および図２における右方向（以下、ワーク搬送方向と称する）に搬送（移動）させつつ連続的または間欠的に行うことによって、ドットの集合からなる所定のパターンを被加工面４ａにマーキングすることができるようになっている。したがって、マーキングの進行方向（以下、マーキング進行方向と称する）（換言すれば、レーザ光Ｌの走査方向）は、前記ワーク搬送方向に抗する方向（図１および図２における左方向）となる。なお、このような構成に加えて、さらに、光学ヘッド１０をＹ軸方向に移動させるアクチュエータを設けるようにしてもよい。
【００３６】
また、本実施形態においては、ワーク搬送装置１１によって複数のワーク４を順次搬送しつつ、各ワーク４に対して所定のパターンを順次マーキングすることができるようになっている。
【００３７】
なお、ワーク４にマーキングするパターンとしては、１次元バーコード、ＱＲコード等の２次元コード、アライメントマークまたはバッドマーク等があり、特に、太線等の被加工面４ａ上の所定の領域を複数のドットで隙間無く塗り潰すようなパターン（塗り潰しパターン）のマーキングに本発明を好適に用いることができる。
【００３８】
そして、このようなレーザマーキングのための基本構成を備えた上で、更に、本実施形態においては、レーザ光源２の性能の良否を検査するための手段が講じられている。
【００３９】
すなわち、図３に示すように、ホルダ１６の内部における第１のレンズ８と第２のレンズ９との間の位置には、受光手段としての１つの光センサ１７が配置されている。より具体的には、ホルダ１６の胴部１６ａの内周面における第１のレンズ８および第２のレンズ９から等距離の位置には、当該内周面の一部をホルダ１６の径方向における外側に陥没させてなる凹部１６ｄが形成されている。そして、この凹部１６ｄには、光センサ１７が、その受光面（センサ面）をホルダ１６の径方向における内側に向けるようにして公知の固定方法によって固定されている。また、図３に示すように、光センサ１７の受光面は、第１のレンズ８によってコリメートされたレーザ光Ｌに対してそのビーム径方向における外側の位置に配置されており、これにより、第１のレンズ８によってコリメートされたレーザ光Ｌの第２のレンズ９への入射が光センサ１７によって妨げられないようになっている。
【００４０】
このように配置された光センサ１７は、各第２の光ファイバ７によって伝送されたレーザ光Ｌのそれぞれの一部を、光学ヘッド１０の内部において受光可能とされている。より具体的には、光センサ１７は、各出射端７ａから出射されたレーザ光Ｌに起因してホルダ１６の内部に発生した散乱光ＬＤを受光可能とされている。なお、ここでの散乱光ＬＤには、第１のレンズ８に入射したレーザ光Ｌのうちのコリメートされなかった一部の光や、第２のレンズ９に入射したレーザ光Ｌのうちの第２のレンズ９によるフレネル反射によって反射された光等の種々の光が含まれるが、いずれも、各出射端７ａから出射されたレーザ光Ｌが元となって発生したものである。そして、光センサ１７は、その受光結果を電気信号に変換（光電変換）して出力するようになっている。なお、光センサ１７としては、受光された光を電気信号に変換することが可能な種々のセンサを採用することができる。例えば、光センサ１７としてフォトディテクタを採用してもよい。
【００４１】
また、本実施形態において、レーザ光源制御部１４は、各レーザ光源２に対して、レーザ光Ｌの出射動作の制御として、任意の２つ以上のレーザ光源２に対してレーザ光Ｌを所定時間ずつ出射させるための制御（以下、第１の制御と称する）を順次択一的に行うことが可能とされている。
【００４２】
さらに、図３に示すように、光センサ１７には、光源判定手段としてのレーザ光源判定部１９が、ケーブル１８を介して電気的に接続されており、このレーザ光源判定部１９には、光センサ１７によって出力された電気信号が入力するようになっている。なお、ケーブル１８は、胴部１６ａに穿設された開孔１６ｅを介してホルダ１６の外部に引き出されている。また、図２および図３に示すように、レーザ光源判定部１９は、レーザ光源制御部１４にも電気的に接続されている。なお、光センサ１７の駆動（電力の供給）は、レーザ光源判定部１９が行うようにしてもよい。
【００４３】
そして、このようなレーザ光源判定部１９は、レーザ光源制御部１４によって順次択一的な第１の制御が行われた際に、光センサ１７によって第１の制御に対応する受光結果が得られたか否かに基づいて、レーザ光源２の良否を判定するようになっている。ただし、ここでの光センサ１７の受光結果は、第１の制御にしたがってレーザ光源２から出射されたレーザ光Ｌに起因する散乱光ＬＤの受光結果である。このレーザ光源２の良否の判定は、第１の制御の下でレーザ光Ｌを出射すべきレーザ光源２ごとに順次かつ個別に行われるようになっている。
【００４４】
より具体的には、レーザ光源判定部１９は、順次択一的な第１の制御の流れの中で、或る１つのレーザ光源２を対象とした第１の制御が行われた際に、光センサ１７によって所定の規定値を超える信号値（例えば、電圧値）を示す電気信号が出力された場合には、その１つのレーザ光源２が良好であると判定するようになっている。
【００４５】
一方、レーザ光源判定部１９は、順次択一的な第１の制御の流れの中で、或る１つのレーザ光源２を対象とした第１の制御が行われた際に、光センサ１７によって前記規定値を超える信号値を示す電気信号が出力されなかった場合には、その１つのレーザ光源２が不良であると判定するようになっている。
【００４６】
このようなレーザ光源２の良否の判定は、レーザ光源２が所望の光量のレーザ光Ｌを出射しているか否かの判定ととらえることもできる。
【００４７】
なお、レーザ光源判定部１９は、レーザ光源制御部１４から第１の制御が行われたことを逐次検知して、その検知した時点ごとの光センサ１７の受光結果（電気信号）を前記規定値と比較することによって前記判定を行うようにすればよい。また、前記規定値は、レーザマーキング装置１に搭載された図示しないメモリ内に、レーザ光源判定部１９が読み出して前記判定に利用することが可能な状態に記憶させておけばよい。
【００４８】
さらに、図２および図３に示すように、レーザ光源判定部１９には、警告出力手段としての警告表示処理部２０が電気的に接続されており、この警告表示処理部２０には、表示部２１が電気的に接続されている。警告表示処理部２０には、第１の制御の対象となったレーザ光源２ごとのレーザ光源判定部１９の判定結果が順次入力されるようになっている。そして、警告表示処理部２０は、入力された判定結果に基づいて、レーザ光源判定部１９によって不良と判定されたレーザ光源２ごとに、レーザ光源２が不良である旨の警告を表示部２１に個別に表示（出力）するようになっている。一方、警告表示処理部２０は、レーザ光源判定部１９によって良好と判定されたレーザ光源２については、警告を表示しないようになっている。
【００４９】
なお、光センサ１７の駆動は、レーザ光源制御部１４が第１の制御を行う期間に限定して行うようにすることが好ましい。また、第１の制御は、レーザ光源２の良否検査用の制御として、マーキングの開始前に行うようにしてもよい。
【００５０】
また、本発明における警告出力手段は、前述した警告表示処理部２０のみに限定されるものではない。例えば、警告出力手段として、レーザ光源判定部１９の判定結果が不良を示す場合にスピーカから警報音を音声出力する警報出力手段を設けるようにしてもよい。
【００５１】
（第１の変形例）
次に、図４は、本実施形態の第１の変形例として、図３とは異なる光センサ１７の配置構成を示したものである。
【００５２】
すなわち、図４に示すように、本変形例においては、光センサ１７が、ホルダ１６の内部における第１のレンズ面８に対するレーザ光Ｌの入射側の位置に配置されている。より具体的には、本変形例において、ホルダ１６の蓋部１６ｂの下面には、当該下面の一部を上方に陥没させてなる凹部１６ｆが形成されており、この凹部１６ｆには、光センサ１７が、その受光面を第１のレンズ面８側（図４における下方）に向けるようにして公知の固定方法によって固定されている。また、光センサ１７に接続されたケーブル１８は、蓋部１６ｂに形成された開孔１６ｇを介してホルダ１６の外部に引き出されている。
【００５３】
このように配置された本変形例の光センサ１７は、各第２の光ファイバ７によって伝送されたレーザ光Ｌのそれぞれの一部として、各出射端７ａから出射されて第１のレンズ８に入射したレーザ光Ｌのうちの第１のレンズ８によって反射された反射光ＬＲ（図４参照）を、光学ヘッド１０の内部において受光可能とされている。
【００５４】
そして、本変形例のレーザ光源判定部１９は、光センサ１７から反射光ＬＲの受光結果として出力された電気信号を用いてレーザ光源２の良否を判定するようになっている。
【００５５】
本変形例においては、光センサ１７が、図３に示した構成よりもホルダ１６における胴部１６ａの下部開口から遠い位置に配置されているため、被加工物４ａからの戻り光が光センサ１７にほとんど届かないようにすることができる。
【００５６】
（第２の変形例）
次に、図５は、本実施形態の第２の変形例として、図３および図４とは異なる光センサ１７の配置構成を示したものである。
【００５７】
図５に示すように、本変形例においては、光学ヘッド１０の外部における光学ヘッド１０の図５における上部近傍位置に、曲げ保持手段としての曲げ保持ローラ２２が配設されており、この曲げ保持ローラ２２は、光学ヘッド１０に取り付けられた直方体状の筐体２３内に固定されている。そして、図５に示すように、各第２の光ファイバ７における出射端７ａの近傍部位は、筐体２３内に開孔２３ｂを介して収容された状態で、曲げ保持ローラ２２の外周に巻回されることによって曲げた状態に保持されている。さらに、図５に示すように、本変形例においては、光センサ１７が、各第２の光ファイバ７における曲げ保持ローラ２２による曲げ保持部位に図５における右方において対向する筐体２３の壁部上の位置に、その受光面を曲げ保持部位側に向けるようにして固定されている。なお、光センサ１７は、筐体２３に形成された開孔２３ａの内周面に、そのケーブル１８側の部位を筐体２３の外部に露出させた状態で固定されている。
【００５８】
このようにして配置された本変形例の光センサ１７は、各第２の光ファイバ７によって伝送されたレーザ光Ｌのそれぞれの一部として、各第２の光ファイバ７によって伝送されたレーザ光Ｌのうちの曲げ保持部位から各第２の光ファイバ７の外部に漏れた漏れ光ＬＬ（図５参照）を、光学ヘッド１０の外部において受光可能とされている。
【００５９】
そして、本変形例のレーザ光源判定部１９は、光センサ１７から漏れ光ＬＬの受光結果として出力された電気信号を用いてレーザ光源２の良否を判定するようになっている。
【実施例１】
【００６０】
次に、図６は、本実施形態における実施例として、レーザ光源制御部１４による順次択一的な第１の制御の制御内容（図６（ａ）〜（ｃ））およびこの制御内容に対応する光センサ１７の受光結果（図６（ｄ）、（ｅ））ならびにこの受光結果に応じたレーザ光源２の良否（図６（ｄ）、（ｅ））を示したものである。
【００６１】
ここで、図６（ａ）〜（ｃ）は、各レーザ光源２を代表して、互いに隣位する３つの第２の光ファイバ７の出射端７ａに対応する第１〜第３の３つのレーザ光源２に対するレーザ光源制御部１４の第１の制御を示したタイムチャートである。ただし、図６（ａ）〜（ｃ）において、各レーザ光源２に対する第１の制御は、各レーザ光源２に対する１パルス分の駆動パルス（例えば、レーザ駆動電流）の印加として行われるようになっている。なお、レーザ光源２に対する１パルス分の駆動パルスの印加は、レーザ光源２（但し、正常に駆動されるレーザ光源）に所定時間（例えば、１msec）のレーザ光Ｌの出射を行わせることに相当する。
【００６２】
図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、第１〜第３のレーザ光源２に対する駆動パルスの印加は、一定周期Ｔごとに行われており、また、１つのレーザ光源２に対する駆動パルスの印加が終了した後に、他の１つのレーザ光源２への駆動パルスの印加が開始されるようになっている。
【００６３】
そして、図６（ｄ）は、図６（ａ）〜（ｃ）のような駆動パルスが印加された場合における光センサ１７から出力される電気信号（光センサ出力信号）の一例を示している。図６（ｄ）の電気信号は、第１〜第３のレーザ光源２に印加された駆動パルスにそれぞれ時間的に対応するようなピーク値（Ｈ）を有するとともに、各ピーク値がいずれも規定値（Ｖ）を超えているため、第１〜第３のレーザ光源２が良好であることを示すものとなる。このような場合、レーザ光源判定部１９は、第１〜第３のレーザ光源２がいずれも良好と判定し、警告表示処理部２０は、警告を表示しないことになる。
【００６４】
一方、図６（ｅ）は、図６（ａ）〜（ｃ）のような駆動パルスが印加された場合における光センサ１７から出力される電気信号の図６（ｄ）と異なる一例を示している。図６（ｅ）の電気信号は、第２のレーザ光源２に印加された駆動パルスに対応するピーク値（Ｈ）を有しないため、第２のレーザ光源２が不良であることを示すものとなる。このような場合、レーザ光源判定部１９は、第２のレーザ光源２が不良と判定し、警告表示処理部２０は、第２のレーザ光源２が不良であることを示す警告（例えば、第２のレーザ光源２が不良である旨の文字情報）を表示することになる。
【００６５】
本実施例の具体的な動作は、図７のフローチャートに示すように行われるようになっている。
【００６６】
すなわち、本実施例においては、レーザ光源２の良否の判定のための処理を開始した後、まず、図７のステップ１（ＳＴ１）において、レーザ光源制御部１４により、順次択一的な第１の制御の対象となる第ｉ（但し、ｉは自然数で初期値は１）のレーザ光源２への第１の制御の開始動作として、第ｉのレーザ光源２への駆動パルスの印加を開始する。
【００６７】
次いで、ステップ２（ＳＴ２）において、レーザ光源判定部１９により、光センサ１７の受光結果（電気信号）の読み取りを開始する。
【００６８】
次いで、ステップ３（ＳＴ３）において、レーザ光源制御部１４による第ｉのレーザ光源２への駆動パルスの印加と、レーザ光源判定部１９による光センサ１７の受光結果の読み取りとを１msec継続させる。
【００６９】
次いで、ステップ４（ＳＴ４）において、第ｉのレーザ光源２への第１の制御の終了動作として、第ｉのレーザ光源２への駆動パルスの印加を終了する。
【００７０】
次いで、ステップ５（ＳＴ５）において、レーザ光源判定部１９による光センサ１７の受光結果の読み取りを終了する。
【００７１】
次いで、ステップ６（ＳＴ６）において、レーザ光源判定部１９により、ステップ２（ＳＴ２）〜ステップ５（ＳＴ５）の期間において読み取られた光センサ１７の受光結果が示す信号値が前記規定値を超えるか否かを判定する。そして、このステップ６（ＳＴ６）において肯定的な判定結果が得られた場合には、ステップ７（ＳＴ７）に進み、否定的な判定結果が得られた場合には、ステップ８（ＳＴ８）に進む。
【００７２】
ここで、ステップ７（ＳＴ７）に進む場合には、レーザ光源制御部１４により、ステップ１（ＳＴ１）において第１の制御の対象となっていたレーザ光源２が、順次択一的な第１の制御が最後に行われるべき第Ｎのレーザ光源２であるか否か（すなわち、ｉ＝Ｎか否か）を判定する。そして、ステップ７（ＳＴ７）において肯定的な判定結果が得られた場合には、処理を終了し、否定的な判定結果が得られた場合には、ステップ９（ＳＴ９）に進む。
【００７３】
一方、ステップ８（ＳＴ８）に進む場合には、警告表示処理部２０により、第ｉのレーザ光源２が不良であることを示す警告を出力してステップ７（ＳＴ７）に進む。
【００７４】
最後に、ステップ９においては、ｉを１つインクリメント（ｉ＝ｉ+１）し、第１の制御の対象を次のレーザ光源２に変更してステップ１（ＳＴ１）に戻る。
【００７５】
（第２実施形態）
次に、本発明に係るレーザマーキング装置の第２実施形態について、第１実施形態との相違点に限定して説明する。なお、便宜上、本実施形態のレーザマーキング装置を説明するにあっては、第１実施形態と同様の符号を用いることにする。
【００７６】
本実施形態におけるレーザマーキング装置１の第１実施形態との相違点は、主として、レーザ光源制御部１４の制御内容およびレーザ光源判定部１９の判定方法にある。
【００７７】
すなわち、本実施形態において、レーザ光源制御部１４は、各レーザ光源２に対して、レーザ光Ｌの出射動作の制御として、各レーザ光源２に対するレーザ光Ｌの出射の有無の制御を行うようになっている。ただし、本実施形態において、当該レーザ光Ｌの出射の有無の制御は、任意の２つ以上のレーザ光源２からレーザ光Ｌを同時に出射させるための第２の制御とされている。この第２の制御は、全てのレーザ光源２にレーザ光Ｌを同時に出射させるための制御であってもよい。
【００７８】
さらに、本実施形態において、レーザ光源判定部１９は、レーザ光源制御部１４によって第２の制御が行われた際における光センサ１７の受光結果、すなわち、第２の制御にしたがって任意の２つ以上のレーザ光源２から同時に出射された各レーザ光Ｌに起因する散乱光ＬＤの受光結果に基づいて、レーザ光源２の良否を判定するようになっている。
【００７９】
具体的には、レーザ光源判定部１９は、レーザ光源制御部１４によって第２の制御が行われた際に、光センサ１７の受光結果が第２の制御が行われた際に光センサ１７において得られるべき受光量（ここでは散乱光ＬＤの受光量）に相当する受光結果であるか否かに基づいて、レーザ光源２の良否を判定するようになっている。
【００８０】
より具体的には、レーザ光源判定部１９は、第２の制御が行われた際における光センサ１７の受光結果が、所定の閾値を超える信号値を示す電気信号となる場合には、レーザ光源２が良好であると判定するようになっている。一方、レーザ光源判定部１９は、レーザ光源制御部１４によって第２の制御が行われた際における光センサ１７の受光結果が、閾値以下の信号値を示す電気信号となる場合には、レーザ光源２が不良と判定するようになっている。ここで、本実施形態においては、複数のレーザ光源２から同時にレーザ光Ｌが出射され、光センサ１７によって得られる受光量が各レーザ光源２から同時に出射されたレーザ光Ｌのそれぞれの一部を合計した総受光量となるため、レーザ光源２の良否の判定は、レーザ光源２の個々を特定するまでには至らない。しかし、本実施形態においては、レーザ光Ｌを同時に出射させようとした複数のレーザ光源２のうちのいずれかが不良であれば、そのことを確実に検知することができる。
【００８１】
なお、前記閾値としては、シミュレーションや実験結果に基づいて好適な値を設定すればよい。この閾値は、第２の制御においてレーザ光Ｌを同時に出射させようとするレーザ光源２の数を可変とする場合には、レーザ光Ｌを出射させようとするレーザ光源２の数に応じて異なる値が自動的に選択されて設定されるようにすればよい。ただし、図３の構成を採用する場合には、光センサ１７にワーク４側からの戻り光が入射する場合があり、この場合には、戻り光の光量も、電気信号の信号値に加算されることになる。そこで、このような場合におけるレーザ光源判定部１９の誤判定を防止するためには、前記閾値として、戻り光が予め加味された値を設定することが望ましい。
【００８２】
そして、本実施形態において、警告表示処理部２０は、レーザ光源判定部１９の判定結果が不良となる場合には、レーザ光源２が不良である旨の警告を表示部２１に表示し、判定結果が良好となる場合には、警告を表示しないようになっている。なお、本実施形態における警告表示処理部２０は、レーザ光源判定部１９によってレーザ光源２が不良と判定された場合に警告ランプを点灯させるものであってもよい。
【００８３】
さらに、本実施形態においても、第１実施形態における第１の変形例または第２の変形例を適用することができ、レーザ光源判定部１９が、光センサ１７による反射光ＬＲ（図４参照）または漏れ光ＬＬ（図５参照）の受光結果をレーザ光源２の良否の判定に用いるようにしてもよい。
【実施例２】
【００８４】
次に、図８は、本実施形態における実施例として、レーザ光源制御部１４による第２の制御の制御内容（図８（ａ）〜（ｃ））およびこの制御内容に対応する光センサ１７の受光結果（図８（ｄ）、（ｅ））ならびにこの受光結果に応じたレーザ光源２の良否（図８（ｄ）、（ｅ））を示したものである。
【００８５】
ここで、図８（ａ）〜（ｃ）は、各レーザ光源２を代表して、図６と同様の第１〜第３の３つのレーザ光源２に対するレーザ光源制御部１４による駆動パルスの印加状態を示したタイムチャートである。なお、駆動パルスの意義は図６と同様である。ただし、図８（ａ）〜（ｃ）に示すように、本実施例においては、図６とは異なり、第１〜第３のレーザ光源２に対する駆動パルスの印加が同時に行われている。
【００８６】
そして、図８（ｄ）は、図８（ａ）〜（ｃ）のような駆動パルスが印加された場合における光センサ１７から出力される電気信号の一例を示している。図８（ｄ）の電気信号は、そのピーク値（Ｈ）が閾値ＴＨを超えているため、第１〜第３のレーザ光源２が良好であることを示すものとなる。この場合には、レーザ光源判定部１９は、レーザ光源２が良好と判定し、警告表示処理部２０は、警告を表示しないことになる。
【００８７】
一方、図８（ｅ）は、図８（ａ）〜（ｃ）のような駆動パルスが印加された場合における光センサ１７から出力される電気信号の図８（ｄ）と異なる一例を示している。図８（ｅ）の電気信号は、そのピーク値（Ｈ）が閾値ＴＨよりも小さいため、第１〜第３のレーザ光源２のいずれかが不良であることを示すものとなる。この場合、レーザ光源判定部１９は、レーザ光源２が不良と判定し、警告表示処理部２０は、警告を表示することになる。なお、図８においては、便宜上、駆動パルスを同時に印加するレーザ光源２を３つにしているが、本発明は、これに限定されるものではなく、例えば、駆動パルスを同時に印加するレーザ光源２の数が図８よりも多くなれば、その数に応じて閾値ＴＨも高く設定されることになる。
【００８８】
本実施例における警告表示処理部２０は、例えば、図９に示すような第１のＮＯＲ回路３０と第２のＮＯＲ回路３１とを備えることによって実現することができる。
【００８９】
図９に示すように、第１のＮＯＲ回路３０には、レーザ光源制御部１４から、第１〜第３のレーザ光源２に対する第２の制御の制御結果に対応するデジタル信号が入力されるようになっている。具体的には、駆動パルスを印加したレーザ光源２については信号「１」が、駆動パルスを印加しなかったレーザ光源２については信号「０」が、それぞれ入力されるようになっている。
【００９０】
第２のＮＯＲ回路３１には、第１のＮＯＲ回路３０から、その出力値としてのデジタル信号が入力されるとともに、レーザ光源判定部１９から、レーザ光源２の良否の判定結果に対応するデジタル信号が入力されるようになっている。レーザ光源判定部１９から入力されるデジタル信号は、光センサ１７の受光結果が第２の制御に対応する閾値を超える場合（レーザ光源２が良好と判定された場合）には「１」の信号となり、当該受光結果が第２の制御に対応する閾値以下の場合（レーザ光源２が不良と判定された場合）には「０」の信号となる。
【００９１】
そして、警告表示処理部２０の出力段３２においては、第２のＮＯＲ回路３１の出力値が「１」の場合には、警告を表示し、「０」の場合には、警告を表示しないようになっている。
【００９２】
以上述べたように、本発明によれば、レーザ光源判定部１９により、レーザ光源制御部１４による第１の制御または第２の制御が行われた際における光センサ１７の受光結果に基いてレーザ光源２の良否を判定することができるので、レーザ光源２と同数の受光手段を要することなくレーザ光源２の良否を検査することができる。
【００９３】
なお、本発明は、前述した実施の形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々変更することができる。例えば、光センサ１７の数は、レーザ光源２よりも少数であれば１個に限定されないが、コスト削減の観点からは、光センサ１７はできるだけ少数であることが望ましい。
【００９４】
また、前述した実施形態においては、ワーク４をワーク搬送方向に搬送してレーザ光Ｌをマーキング進行方向に走査するようになっているが、第２の光ファイバ７の出射端７ａをマーキング進行方向に移動させることによってレーザ光Ｌをマーキング進行方向に走査するようにしてもよい。この場合に、移動手段としては、光学ヘッド１０をマーキング進行方向に移動させることが可能な各種の公知のアクチュエータを用いればよい。
【符号の説明】
【００９５】
１  レーザマーキング装置
２  レーザ光源
４  ワーク
７  第２の光ファイバ
７ａ  出射端
８  第１のレンズ
９  第２のレンズ
１０  光学ヘッド
１１  ワーク搬送装置
１４  レーザ光源制御部
１７  光センサ
１９  レーザ光源判定部
２０  警告表示処理部
【図１】
2011079013.tif 000003
【図２】
2011079013.tif 000004
【図３】
2011079013.tif 000005
【図４】
2011079013.tif 000006
【図５】
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【図６】
2011079013.tif 000008
【図７】
2011079013.tif 000009
【図８】
2011079013.tif 000010
【図９】
2011079013.tif 000011