(57)【要約】【課題】  各バルブプレートが簡単に取り付けられかつ取り外され、各バルブプレートが取り付け状態において安定して堅固に保持され、正確に市合わせされうるような閉塞ユニット等を提供する。【解決手段】  ２つのバルブプレート(7)(8)の間にある支持プレート(19)に対して、当該２つのバルブプレート(7)(8)が取り外し可能に固定される。バルブプレート(7)(8)を支持プレート(19)に対して固定するための押圧部材(20)(21)により、当接しあう複数の押圧面(22)-(26)が相互に押圧される。押圧面(22)-(26)のうち少なくとも１つが傾斜面として形成され、当該傾斜面によってバルブプレート(7)(8)が支持プレート(19)に押し付けられる。【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１バルブ開口部(2)を閉塞するための第１バルブプレート(7)と、第２バルブ開口部(3)を閉塞するための第２バルブプレート(8)とを備えている真空バルブ用の閉塞ユニットであって、
前記第１バルブプレート(7)および前記第２バルブプレート(8)の間にあって、前記第１バルブプレート(7)および前記第２バルブプレート(8)が取り外し可能に固定される支持プレート(19)と、
前記第１バルブプレート(7)および前記第２バルブプレート(8)を前記支持プレート(19)に対して固定するための少なくとも１つの押圧部材(20)(21)とを備え、
前記少なくとも１つの押圧部材(20)(21)によって当接しあう複数の押圧面(22)-(26)が相互に押圧され、
前記押圧面(22)-(26)のうち少なくとも１つが傾斜面として形成され、これにより前記第１バルブプレート(7)および前記第２バルブプレート(8)のそれぞれが前記支持プレート(19)に対して圧接されることを特徴とする閉塞ユニット。
【請求項２】
請求項１記載の閉塞ユニットにおいて、
前記少なくとも１つの押圧部材(20)(21)により、前記第１バルブプレート(7)および前記第２バルブプレート(8)と、前記支持プレート(19)との押圧面(24)(25)(26)が相互に圧接され、前記第１バルブプレート(7)および前記第２バルブプレート(8)と、前記押圧部材(20)(21)との押圧面(23)(22)が相互に圧接されることを特徴とする閉塞ユニット。
【請求項３】
請求項１または２記載の閉塞ユニットにおいて、
相互に押圧しあう複数の押圧面(22)-(26)のすべてが傾斜面として形成され、これにより前記第１バルブプレート(7)および前記第２バルブプレート(8)のそれぞれが前記支持プレート(19)に対して圧接されることを特徴とする閉塞ユニット。
【請求項４】
請求項１〜３のうちいずれか１つに記載の閉塞ユニットにおいて、
前記押圧部材(20)(21)を押圧するため、前記押圧部材(20)(21)に当接する少なくとも１つの押圧ネジ(27)が設けられていることを特徴とする閉塞ユニット。
【請求項５】
請求項１〜４のうちいずれか１つに記載の閉塞ユニットにおいて、
前記第１バルブプレート(7)および前記第２バルブプレート(8)のそれぞれが、複数の押圧部材(20)(21)により前記支持プレート(19)に対して圧接されることを特徴とする閉塞ユニット。
【請求項６】
請求項５記載の閉塞ユニットにおいて、
前記第１バルブプレート(7)および前記第２バルブプレート(8)のそれぞれを前記支持プレート(19)に対して押圧する前記複数の押圧部材(20)(21)が、実質的に長方形状に形成されている前記第１バルブプレート(7)および前記第２バルブプレート(8)における一方の長辺に沿って相互に離れて配置されていることを特徴とする閉塞ユニット。
【請求項７】
請求項１〜６のうちいずれか１つに記載の閉塞ユニットにおいて、
前記第１バルブプレート(7)および前記第２バルブプレート(8)のそれぞれから前記支持プレート(19)に向かう方向に作用する力成分(Fk)を生じさせるため、前記第１バルブプレート(7)および前記第２バルブプレート(8)に設けられている押圧面(24)と当接しあう前記支持プレート(19)の押圧面(25)(26)が、その表面法線が前記支持プレート(19)の中央にある中間平面(30)に対して向いている傾斜面として形成されていることを特徴とする閉塞ユニット。
【請求項８】
請求項１〜７のうちいずれか１つに記載の閉塞ユニットにおいて、
前記第１バルブプレート(7)および前記第２バルブプレート(8)のそれぞれから前記支持プレート(19)に向かう方向に作用する力成分を生じさせるため、前記第１バルブプレート(7)および前記第２バルブプレート(8)に設けられている押圧面(23)と当接しあう前記押圧部材(20)(21)のそれぞれの押圧面(22)が、その表面法線が前記支持プレート(19)の中央の中間平面(30)に対して向いている傾斜面として形成されていることを特徴とする閉塞ユニット。
【請求項９】
請求項１〜８のうちいずれか１つに記載の閉塞ユニットにおいて、
前記第１バルブプレート(7)および前記第２バルブプレート(8)のそれぞれと前記支持プレート(19)との間に構成されている案内機構により、前記第１バルブプレート(7)および前記第２バルブプレート(8)のそれぞれが前記支持プレート(19)に対して変位することが可能とされ、前記案内機構が前記第１バルブプレート(7)および前記第２バルブプレート(8)が前記支持プレート(19)から外れることを防止することを特徴とする閉塞ユニット。
【請求項１０】
請求項９記載の閉塞ユニットにおいて、
前記支持プレート(19)に対して前記第１バルブプレート(7)および前記第２バルブプレート(8)のそれぞれを案内するため、前記第１バルブプレート(7)および前記第２バルブプレート(8)と前記支持プレート(19)とのうち一方に設けられている突出部(34)が挿入されるアンダーカット溝部(33)が、前記第１バルブプレート(7)および前記第２バルブプレート(8)と前記支持プレート(19)とのうち他方に形成され、前記突出部(34)が前記アンダーカット溝部(33)のアンダーカット形成されている側壁に係合することを特徴とする閉塞ユニット。
【請求項１１】
請求項９または１０記載の閉塞ユニットにおいて、
前記第１バルブプレート(7)および前記第２バルブプレート(8)のそれぞれが、前記第１バルブプレート(7)および前記第２バルブプレート(8)と前記支持プレート(19)との当接しあう押圧面(24)(25)(26)から反対側のストッパにいたるまで、前記支持プレート(19)に対して変位可能であることを特徴とする閉塞ユニット。
【請求項１２】
請求項９〜１１のうちいずれか１つに記載の閉塞ユニットにおいて、
前記第１バルブプレート(7)および前記第２バルブプレート(8)のそれぞれと前記支持プレート(19)との間の前記案内機構により予め定められている変位経路が、前記押圧面(20)(21)に作用する押圧力に対して平行に調整されていることを特徴とする閉塞ユニット。
【請求項１３】
第１バルブシート(11)により囲まれている第１バルブ開口部(2)および第２バルブシート(12)により囲まれている第２バルブ開口部(3)を有するバルブハウジング(1)と、
前記第１バルブ開口部(2)を閉塞するための第１バルブプレート(7)および前記第２バルブ開口部(3)を閉塞するための第２バルブプレート(8)を有する閉塞ユニット(6)とを備えている真空バルブであって、
前記閉塞ユニット(6)が請求項１〜１２のうちいずれか１つにしたがって構成されていることを特徴とする真空バルブ。
【請求項１４】
請求項１３記載の真空バルブにおいて、
前記閉塞ユニット(6)がバルブロッド(13)に取り付けられ、
前記バルブロッド(13)によって前記閉塞ユニット(6)が、
前記第１バルブ開口部(2)および前記第２バルブ開口部(3)が開放されている開位置と、
前記第１バルブ開口部(2)の軸(4)および前記第２バルブ開口部(3)の軸(5)の方向に見て前記第１バルブ開口部(2)および前記第２バルブ開口部(3)が覆われている一方で前記第１バルブシート(11)および前記第２バルブシート(12)から離れている中間位置と、
前記第１バルブプレート(7)が前記第１バルブシート(11)に押し付けられる一方で前記第２バルブプレート(8)が前記第２バルブシート(12)から離れている第１閉位置と、
前記第２バルブプレート(8)が前記第２バルブシート(12)に押し付けられる一方で前記第１バルブプレート(7)が前記第１バルブシート(11)から離れている第２閉位置との間で変位可能であることを特徴とする真空バルブ。
【請求項１５】
真空バルブ用の閉塞ユニット(6)の支持プレート(19)に対して固定されるバルブプレートであって、
前記バルブプレート(7)(8)が傾斜面として形成されている少なくとも１つの押圧面(23)(24)を備え、前記バルブプレート(7)(8)が少なくとも１つの押圧面(20)(21)により前記支持プレート(19)に押圧されることにより、前記バルブプレート(7)(8)が前記支持プレート(19)に対して圧接されることを特徴とするバルブプレート。
【請求項１６】
請求項１５記載のバルブプレートにおいて、
前記バルブプレート(7)(8)が、前記バルブプレートを前記支持プレート(19)に対して変位させるために案内するとともに、前記バルブプレート(7)(8)が前記支持プレート(19)から外れることを防止するための案内面を備えていることを特徴とするバルブプレート。
【請求項１７】
請求項１６記載のバルブプレートにおいて、
溝部(33)または前記バルブプレート(7)(8)の突出部のアンダーカット形成されている側壁、または、前記バルブプレート(7)(8)において前記支持プレート(19)に対向している側に前記案内面が形成されていることを特徴とするバルブプレート。
【請求項１８】
請求項１６または１７記載のバルブプレートにおいて、
傾斜面として形成されている前記少なくともの１つの押圧面(23)(24)が、前記支持プレート(19)に対する前記バルブプレート(7)(8)の変位を制限するためのストッパを構成することを特徴とするバルブプレート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空バルブ用の閉塞ユニット、真空バルブおよび真空バルブ用の閉塞ユニットの支持プレートに対して固定されるバルブプレートに関する。
【背景技術】
【０００２】
第１および第２バルブプレートにより交互に閉塞される、第１および第２のバルブ開口部を有する真空バルブが知られている（特許文献１および２参照）。両方のバルブプレートは、バルブロッドまたはバルブロッドに取り付けられている端部材により保持されている。バルブロッドに対する各バルブプレートの角度を調節するため、当該取り付けは旋回ボルトにより実現されている。
【０００３】
真空バルブの開状態において、バルブロッドは引き戻され、両方のバルブ開口部は開放されている。真空バルブを閉じるため、両方のバルブプレートは開位置から中間位置に動かされる。両方のバルブプレートは中間位置において両方のバルブ開口部の中間にあり、バルブ開口部から離れている。この中間位置から、バルブロッドが自らに対して垂直な揺動軸回りに揺動することにより、第１バルブ開口部が第１バルブプレートにより閉塞され、あるいは、第２バルブ開口部が第２バルブプレートにより閉塞される。たとえば第１バルブ開口部の閉塞状態において第２プレートが修理される。すなわち、シール部材が交換されるとともに、ひっくり返される。
【０００４】
第１および第２バルブプレートにより閉塞されうる、第１および第２バルブ開口部を有する別の真空バルブが知られている（特許文献３参照）。各バルブプレートは別個のバルブロッドに連結されている。
【０００５】
相互に独立して変位可能な第１および第２バルブプレートを有する真空バルブが提案されている（特許文献４参照）。バルブプレートの一方が、バルブロッドに取り付けられている支持ユニットにより支持されている。支持ユニットにはバルブプレートを動かすため多数のアクチュエータが装備され、バルブプレートは、スライド式案内機構の技術にしたがって構成されている案内機構を介してアクチュエータに連結され、バルブプレートがアクチュエータから取り外されうる。
【０００６】
バルブプレートをバルブシートに位置合わせするため、バルブプレートの軸回りにバルブプレートが限定的に揺動されうるように、バルブロッドにバルブプレートを支持させる技術が提案されている（特許文献５参照）。
【０００７】
バルブプレートが軸回りに傾動可能であり、バルブロッドがこの軸に対して垂直になるように、バルブロッドにバルブプレートを支持させる技術が知られている（特許文献６参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】アメリカ合衆国特許公報  ＵＳ６３９０４４８Ｂ１
【特許文献２】アメリカ合衆国特許公報  ＵＳ６９１３２４３Ｂ１
【特許文献３】アメリカ合衆国特許公報  ＵＳ６０９５７４１
【特許文献４】国際公開公報  ＷＯ２００９／０７０８２４Ａ１
【特許文献５】アメリカ合衆国特許公報  ＵＳ７１３４６４２Ｂ２
【特許文献６】アメリカ合衆国特許公報  ＵＳ６４７１１８１Ｂ２
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、各バルブプレートが簡単に取り付けられかつ取り外され、各バルブプレートが取り付け状態において安定して堅固に保持され、正確に位置合わせされうるような閉塞ユニット等を提供することを解決課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、第１バルブ開口部を閉塞するための第１バルブプレートと、第２バルブ開口部を閉塞するための第２バルブプレートとを備えている真空バルブ用の閉塞ユニットに関する。
【００１１】
前記課題を解決するための本発明の閉塞ユニットは、前記第１バルブプレートおよび前記第２バルブプレートの間にあって、前記第１バルブプレートおよび前記第２バルブプレートが取り外し可能に固定される支持プレートと、前記第１バルブプレートおよび前記第２バルブプレートを前記支持プレートに対して固定するための少なくとも１つの押圧部材とを備え、前記少なくとも１つの押圧部材によって当接しあう複数の押圧面が相互に押圧され、前記押圧面のうち少なくとも１つが傾斜面として形成され、これにより前記第１バルブプレートおよび前記第２バルブプレートのそれぞれが前記支持プレートに対して圧接されることを特徴とする。
【００１２】
本発明の閉塞ユニットによれば、２つのバルブプレートが当該２つのバルブプレートの間にある支持プレートに対して取り付けられるとともに取り外される。各バルブプレートを支持プレートに固定するために少なくとも１つの押圧部材が用いられる。押圧部材により当接しあう押圧面が相互に押圧され、押圧面のうち少なくとも１つが傾斜面として形成されている。これにより、各バルブプレートが支持プレートに対して圧接される。
【００１３】
少なくとも１つの傾斜面により、各バルブプレートから支持プレートに向かう方向に作用する力成分が生じ、これによりバルブプレートが支持プレートに対して圧接される。各傾斜面は各押圧部材から受ける押圧力に対して４５°など、２０°〜７０°の範囲の角度で傾斜している。
【００１４】
バルブプレートが支持プレートに対して圧接されることにより、バルブプレートがぶれることなく安定に固定される。そして、バルブプレートが支持プレートに対して、微小な公差しか残さずに位置合わせされる。押圧部材の使用により、簡易な取り付けまたは取り外しが可能になっている。
【００１５】
各押圧部材による押圧に対して、押圧部材に当接する少なくとも１つの押圧ネジが設けられ、各傾斜面が押圧ネジの軸に対して４５°など、２０°〜７０°の範囲の角度で傾斜していることが好ましい。
【００１６】
少なくとも１つの押圧部材によって圧接されている各バルブプレートおよび支持プレートの当接しあう押圧面は、各バルブプレートおよびこれに圧接されている少なくとも１つの押圧部材の当接しあう押圧面と同様、少なくとも一方が傾斜面として形成されることにより、各バルブプレートが支持プレートに押し付けられている。
【００１７】
特に、各バルブプレートおよび支持プレートの押圧しあう押圧面と、押圧部材それ自体および各バルブプレートの押圧しあう押圧面も含む、少なくとも１つの押圧部材により押圧しあう押圧面のすべてが傾斜面として形成されることにより、各バルブプレートが支持プレートに対して圧接されている。
【００１８】
本発明の適当な実施態様において、各バルブ開口部を閉塞するためにバルブプレートが動かされる方向について見た場合、各バルブプレートは、隅角部が直角でありながらも丸みが付けられ、対向する長辺および対向する短辺を有する略長方形状に形成されている。このような実質的に長方形状のバルブプレートにより、略長方形状またはスリット状のバルブ開口部が閉塞される。
【００１９】
各バルブプレートを押圧する少なくとも１つの押圧部材は、バルブプレートにおける一方の長辺に沿った側面に当接する。好ましくは、バルブプレートを押圧するための複数の押圧部材が、長方形状のバルブプレートの長辺側面に沿って相互に離れて設けられている。
【００２０】
本発明の好ましい実施態様において、バルブプレートおよび支持プレートの間に構成されている案内機構により、各バルブプレートが支持プレートに対して変位可能であり、当該案内機構はバルブプレートが支持プレートから外れることを防止する。
【００２１】
これにより、バルブプレートは、バルブプレートと支持プレートとの当接しあう押圧面から対向側のストッパまで、支持プレートに対して変位することができる。この状態において、バルブプレートを固定するために少なくとも１つの押圧部材が取り付けられる。この案内機構により、押圧部材の取り付けに際してバルブプレートの落下が防止されるとともに、支持プレートに対して位置が合わせられる。
【００２２】
支持プレートに対するバルブプレートの案内のため、両者のうち一方に少なくともアンダーカット溝部が形成されることが好ましい。この溝部には両者のうち他方の突出部が係合する。これにより、突出部が、アンダーカットにより形成されたアンダーカット溝部の側壁（起立面）に当接する。このような案内機構はスライド式の案内機構の形で構成される。
【００２３】
本発明の閉塞ユニットが適用される真空バルブは、第１バルブシートにより囲まれている第１バルブ開口部および第２バルブシートにより囲まれている第２バルブ開口部を有するバルブハウジングを備えている。第１バルブ開口部を閉塞するために第１バルブプレートは第１バルブシートに押し付けられ、第２バルブ開口部を閉塞するために第２バルブプレートは第２バルブシートに押し付けられる。
【００２４】
本発明の真空バルブは、たとえば、真空プロセスを実施するためのプロセス装置における搬送チャンバおよびプロセスチャンバの間の搬送バルブを構成してもよい。
【００２５】
本発明は真空バルブ用の閉塞ユニットの支持プレートに対して固定されるバルブプレートに関する。
【００２６】
前記課題を解決するための本発明のバルブプレートは、傾斜面として構成されている少なくとも１つの押圧面を有している。当該押圧面により、少なくとも１つの押圧部材によってバルブプレートが支持プレートに押圧される際に、バルブプレートが支持プレートに押し付けられる。
【００２７】
バルブプレートが、傾斜面として構成されている第１押圧面および第２押圧面を有し、第１押圧面が傾斜面として構成されている支持プレートの押圧面と当接するとともに、第２押圧面が傾斜面として構成されている少なくとも１つの押圧部材の押圧面と当接することが好ましい。
【００２８】
バルブプレートと支持プレートとの間の案内機構を構成するためにさらなる溝部または突起が設けられ、案内機構が支持プレートからバルブプレートが外れることを防止し、特にスライド式の案内機構の形態で構成されることが好ましい。案内経路は、バルブプレートの各傾斜面の延長線に対して傾斜しており、好ましくは垂直であることが好ましい。
【００２９】
本発明の利点および詳細は図面に基づいて説明される。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の閉塞ユニットの斜視図。
【図２】図１の閉塞ユニットの分解図。
【図３】支持プレートの斜視図。
【図４】図１および図２において背後に隠れているバルブプレートを単独で表わす図。
【図５】図１のＡ−Ａ線に沿った横断面図。
【図６】図１のＢ−Ｂ線に沿った横断面図。
【図７】離反状態にあって、図６の横断面図において閉状態に向かって相互に平行に動かされる支持プレートおよび両方のバルブプレートを表わす図。
【図８】中央（図１の断面線Ｃ−Ｃ）に沿った断面図。
【図９】図１の閉塞ユニットおよび真空バルブの斜視図。
【図１０】第１閉状態における真空バルブの断面図。
【図１１】図１０に対応する第２閉状態における真空バルブの部分断面図。
【図１２】図１１に対応する開放状態における真空バルブの部分断面図。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
本発明の閉塞ユニットの一実施形態が図１〜図８に示されている。図９〜図１２は当該閉塞ユニットが取り付けられる真空バルブの一実施形態を部分的に示している。真空バルブは第１バルブ開口部２および第２バルブ開口部３を有するバルブハウジング１を備えている。第１バルブ開口部２および第２バルブ開口部３はバルブハウジング１の対向する壁部に設けられている。
【００３２】
本実施形態では第１バルブ開口部２および第２バルブ開口部３は一直線に並んでいる。すなわち、第１バルブ開口部２の軸４および第２バルブ開口部３の軸の方向に見た場合に第１バルブ開口部２および第２バルブ開口部３はお互いに重なっている。軸４および５はお互いに平行であって同一の直線上にある。特に第１バルブ開口部２および第２バルブ開口部３は同等の寸法を有する。
【００３３】
本実施形態では第１バルブ開口部２および第２バルブ開口部３はスリット状に形成され、長辺が短辺より著しく長い、実質的に長方形状の横の切れ目形状を有している。
【００３４】
このようなバルブ開口部を有する真空バルブは、たとえば半導体処理装置において搬送バルブとして使用される。真空バルブは搬送モジュール（搬送チャンバ）およびプロセスモジュール（プロセスチャンバ）の間に設けられる。この場合、プロセスモジュールにおいて加工されるウェハ等のワークピースが、搬送モジュールから真空バルブを通じてプロセスモジュールに搬送される。
【００３５】
当該真空バルブはロードロックモジュールおよび搬送モジュールの間に設けられてもよい。この場合、ワークピースが雰囲気領域からロードロックモジュールを通じて搬送モジュールに搬送される。
【００３６】
真空バルブの第１バルブ開口部２または第２バルブ開口部３を閉塞するため、バルブハウジング１の中に設けられている閉塞ユニット６が用いられる。閉塞ユニット６は第１バルブプレート７および第２バルブプレート８を備えている。第１バルブプレート７はシール部材９を有し、第２バルブプレート８はシール部材１０を有している。
【００３７】
第１バルブ開口部２が閉塞される一方で第２バルブ開口部３が開放されている第１閉状態において（図１０参照）、第１バルブプレート７のシール部材９は第１バルブ開口部２を囲う第１バルブシート１１に押し付けられる。これに対して、第２バルブプレート８のシール部材１０は第２バルブ開口部３を囲う第２バルブシート１２から離れている。
【００３８】
第２バルブ開口部３が閉塞されている一方で第１バルブ開口部２が開放されている第２閉状態において（図１１参照）、第２バルブプレート８のシール部材１０は第２バルブ開口部３を囲う第２バルブシート１２に押し付けられる。これに対して、第１バルブプレート７のシール部材９は第１バルブ開口部２を囲う第１バルブシート１１から離れている。
【００３９】
全開状態において（図１２参照）、第１バルブ開口部２および第２バルブ開口部３が開放されている。軸４，５の方向に見た場合、閉塞ユニット６は第１バルブ開口部２および第２バルブ開口部３に重なっていない。
【００４０】
真空バルブのこれらの状態間で閉塞ユニット６を変位させるため、閉塞ユニット６にはバルブロッド１３が取り付けられている。バルブロッド１３は適当な変位アクチュエータ１４，１５，１６により動かされる。
【００４１】
真空バルブの開状態（図１２参照）から、いずれか一方の閉状態（図１０または図１１参照）への遷移を実現するため、閉塞ユニット６は中間位置を経て変位する。中間位置において、軸４，５の方向に見た場合に閉塞ユニット６は第１バルブ開口部２および第３バルブ開口部３を覆う一方、第１バルブシート１１および第２バルブシート１２から離れている。閉塞ユニット６は、図１０および図１１に示されている位置の間の中間位置にある。
【００４２】
閉塞ユニット６を中間位置と、第１バルブシート１１および第２バルブシート１２のうち一方に押し付けられる位置との間で変位させるため、本実施形態ではバルブロッド１３が、バルブロッド１３に対して垂直な軸１７の回りに揺動される。軸１７回りにバルブロッド１３を揺動させるための変位アクチュエータ１４，１５としてピストンシリンダユニットが示されている。
【００４３】
バルブロッド１３を中間位置と、図１２に示されている開位置との間で変位させるため、変位アクチュエータ１６として同様にピストンシリンダユニットが示されている。このピストンシリンダユニットのシリンダは、バルブハウジング１またはこれに堅固に連結されているアクチュエータハウジング１８に対して軸１７の回りに揺動可能に支持されている。変位アクチュエータ１４，１５は、変位アクチュエータ１６のシリンダを軸１７の回りに揺動させるため、共同して機能する。
【００４４】
閉塞ユニット６が取り付けられているバルブロッド１３の揺動によって閉塞ユニット６が２つの対向するバルブシート１１，１２のうち一方または他方に押し付けられる真空バルブは、当該技術分野における文献等から公知のものである。
【００４５】
変位アクチュエータ１６のシリンダのためのリニア式案内機構等により、第１バルブ開口部２の軸４および第２バルブ開口部３の軸５の方向にバルブロッド１３が直線的に動かされ、閉塞ユニット６を中間位置から直線的な変位により第１バルブシート１１および第２バルブシート１２のうち一方に押し付けられてもよい。
【００４６】
ピストンシリンダユニットとは異なる形態の変位アクチュエータ１４，１５，１６が採用されてもよい。
【００４７】
ここで、閉塞ユニット６の構成を図１〜図８を用いて詳細に説明する。第１バルブプレート７および第２バルブプレート８が、当該２つのバルブプレート７，８の間にある支持プレート１９に対して取り外し可能に固定されている。第１バルブプレート７および第２バルブプレート８は、その一方の側面を支持プレート１９の一方の側面に当接させている。
【００４８】
支持プレート１９に当接している側面の反対側にあるバルブプレートの他方の側面には、第１バルブプレート７のシール部材９および第２バルブプレート８のシール部材１０が設けられている。
【００４９】
支持プレート１９の両方の側壁には第１バルブプレート７および第２バルブプレート８のそれぞれが当接している。
【００５０】
環状の弾性シール部材９，１０はＯリング等から構成され、バルブプレート７，８の溝部に配置されている。他の実施形態として加硫された環状のシール部材が採用されてもよい。
【００５１】
第１バルブプレート７を支持プレート１９に対して固定するために押圧部材２０が用いられ、第２バルブプレート８を支持プレート１９に対して固定するために押圧部材２１が用いられる。押圧部材２０，２１は押圧面２２を有し、押圧部材２０の押圧面２２は第１バルブプレート７の第１押圧面２３に当接し、押圧部材２１の押圧面２２は第２バルブプレート８の第１押圧面２３に当接している。
【００５２】
第１バルブプレート７および第２バルブプレート８は、支持プレーと１９の押圧面２５，２６のそれぞれに当接する第２押圧面２４を有している。
【００５３】
押圧部材２０，２１により、押圧部材の当接している押圧面２２，２３と、第１バルブプレート７および第２バルブプレート８と、プレート７，８，１９の当接している押圧面２４，２５，２６とが相互に押圧される。この目的のため、押圧部材２０，２１を支持プレート１９にネジ止めする押圧ネジ２７が用いられる。本実施形態では押圧ネジ２７は押圧部材２０，２１の開口部を通り、支持プレート１９のネジ穴３７に螺着される。
【００５４】
押圧面２２〜２６は当接しあう傾斜面として形成されている。ここで「傾斜面」とは、当該押圧面２２〜２６またはその表面法線が、押圧部材２０を第１バルブプレート７に押し付け、押圧部材２１を第２バルブプレート８に押し付ける押圧力Ｆ（図６に記号で示されている。）に対して傾斜していることを意味する。押圧部材２２〜２６のそれぞれと押圧力Ｆとのなす角度２８は、約４５°等、３０°〜６０°の範囲にある。
【００５５】
押圧面２２〜２６の傾斜配置により、当接している傾斜面２２〜２６を通じて、支持プレート１９に向かう方向について第１バルブプレート７および第２バルブプレート８のそれぞれから作用する力成分Ｆｋが生じる。当接しあう傾斜面に対して垂直な方向に斜面から受ける垂直抗力Ｆｎのほか、その分力である支持プレート１９に対して向かっている力成分Ｆｋと、支持プレート１９に対して平行な力成分とが図６に示されている。
【００５６】
押圧力Ｆは押圧ネジ２７の軸２９に対して平行である。
【００５７】
好ましくは、押圧ネジ２７の軸２９が相互に平行になるようにして、第１バルブプレート７および第２バルブプレート８の同じ側においてより多数の押圧部材２０，２１が用いられてもよい。
【００５８】
本実施形態では、第１バルブプレート７および第２バルブプレート８は、面積が大きい側から見た場合に略長方形状を有している（直角で丸みを帯びた隅角部を有する）。押圧部材２０，２１はバルブプレート７，８の長辺に沿って相互に離れた状態で当該長辺の側面に当接している。
【００５９】
押圧ネジ２７を受け入れるネジ穴３７はその前側が支持プレート１９の幅狭の側面に設けられている。第１バルブプレート７の押圧部材２０に用いられる押圧ネジ２７を受け入れるネジ穴３７と、第２バルブプレート８の押圧部材２１に用いられる押圧ネジ２７を受け入れるネジ穴３７とが支持プレート１９の同じ幅狭の側面に設けられている。
【００６０】
押圧力Ｆに対して平行な横スリットにおいて、第１バルブプレート７および第２バルブプレート８により、本実施形態では、第１バルブプレート７および第２バルブプレート８の突出部であって、支持プレート１９に対して向かっている突出部の側面に押圧面２３，２４が設けられている。
【００６１】
押圧面２３，２４の表面法線は、支持プレート１９の中央の中間平面３０（図７参照）に向いており、中間平面に対して９０°とは異なる角度３１をなしている。角度３１は約４５°等、２０°〜７０°の範囲にある。支持プレート１９の中間平面３０から離れるほど押圧面２３，２４は相互に近づいている。全体的に、押圧面２３，２４が有する突出部はバチ型連結のような形態である。
【００６２】
支持プレート１９の押圧面２５，２６の表面法線は、中間平面３０に向いており、中間平面に対して９０°とは異なる角度３２をなしている。角度３２は約４５°等、２０°〜７０°の範囲にある。
【００６３】
取り付け位置において、押圧部材２０，２１の押圧面２２の表面法線は、支持プレート１９の中間平面３０に向いており、中間平面に対して９０°とは異なる角度３２をなしている。角度３２は約４５°等、２０°〜７０°の範囲にある。
【００６４】
支持プレート１９の中間平面３０は、第１バルブプレート７および第２バルブプレート８のそれぞれが当接している支持プレート１９の両側面の中心にある。支持プレート１９がバルブロッド１３に取り付けられている状態において、中間平面３０はバルブロッド１３に対して平行である。
【００６５】
バルブプレート７，８は案内機構により支持プレート１９に連結されている。案内機構によりバルブプレート７，８は支持プレート１９に対して変位することができる。案内機構によりバルブプレート７，８は、押圧力Ｆに対して垂直かつ中間平面３０に対して平行な方向について、支持プレート１９に対して変位することが防止されている。
【００６６】
支持プレート１９およびバルブプレート７，８に相互に係合する適当な形状の凸部および凹部等、別の方法によって当該方向について支持プレート１９に対するバルブプレート７，８の変位が防止されうる。
【００６７】
第１バルブプレート７および第２バルブプレート８のそれぞれが支持プレート１９に取り付けられ、押圧部材２０，２１がまだ取り付けられていない状態で、第１バルブプレート７および第２バルブプレート８のそれぞれが支持プレート１９から外れることが防止されている限り、第１バルブプレート７および第２バルブプレート８のそれぞれと、支持プレート１９との間に構成されている案内機構は、第１バルブプレート７および第２バルブプレート８のそれぞれを支持プレート１９に取り付ける役割を果たす。
【００６８】
スライド式案内機構として構成される、このような案内機構を構成するため、第１バルブプレート７および第２バルブプレート８は、支持プレート１９に向いている側面にアンダーカットされた溝部３３を有している。溝部３３に対して支持プレート１９に設けられ、アンダーカットされた側壁または溝部３３の側面に当接する突出部３４が噛み合う。これにより、第１バルブプレート７および第２バルブプレート８が支持プレート１９から離れることが防止される。
【００６９】
図８からわかるように、突出部３４は、溝部３３のアンダーカットされた側壁と係合する、アンダーカットされた側壁または起立面を有している。溝部３３のアンダーカットされた側壁は、各バルブプレート７，８と、支持プレート１９との間の案内機構の案内面を構成する。
【００７０】
図面から明らかなように、案内機構はスライド式の案内機構の形態で構成されることが好ましい。アンダーカットされた溝部３３またはアンダーカットされた側壁を有する突出部３４は異なる形態であってもよい。アンダーカットされた溝部が支持プレート１９に形成され、突出部３４がバルブプレート７，８に形成されてもよい。
【００７１】
各バルブプレート７，８が、直線式案内機構として構成されている案内機構によって支持プレートに対して案内される方向は、本実施形態では前期のように押圧力Ｆに対して平行である。
【００７２】
各バルブプレート７，８と支持プレート１９との間に構成されている案内機構により、各バルブプレート７，８は、各プレート７，８，１９の押圧面２４，２５，２６の反対側のストッパにいたるまで変位することができる。ストッパにより変位が制限される。
【００７３】
バルブプレート７，８が支持プレート１９に対して上方に変位するとき、バルブプレート７，８が下降することが防止される。押圧部材２０，２１が取り付けられる前に、バルブプレート７，８の支持プレート１９に対する位置が調節される。
【００７４】
図３から明らかなように、第１バルブプレート７に向いている側壁に、突出部３４および押圧面２５が設けられている。対向しあう側壁は、そこに突出部３４が上方領域に達しているほかは、基本的に同様に構成されている（両側が上方領域まで達しているまたは両側が上方領域から離れて途切れている）。
【００７５】
図１および図２から明らかなように、支持プレート１９に対して反対側の第１バルブプレート７の側壁に、シール部材９が設けられている。支持プレート１９に対して反対側の第２バルブプレート８の表面は、同様に構成され、そこにシール部材１０が設けられている。
【００７６】
図４から明らかなように、支持プレート１９に向いている第２バルブプレート８の側壁には、アンダーカット溝部３３と、第１押圧面２３と、第２押圧面２４とが設けられている。支持プレート１９に向いている第１バルブプレート７の側壁も同様に構成されている。
【００７７】
バルブ開口部２，３の一方の閉塞に際してバルブロッド１３が軸１７の回りに傾動するにもかかわらず、閉塞ユニット６が各バルブシート１１，１２に押し付けられている状態で、各シール部材９，１０をその周長にわたり均等に押し付けるため、支持プレート１９に対して反対側にあるバルブプレート７，８の側壁は相互に垂直である。取り囲む角度は、本実施形態では約１．６°であるが、これは実用的により大きくても、より小さくてもよく、たとえば１°〜３°の範囲にあってもよい。
【００７８】
この傾斜状態は、本実施形態では第２バルブプレート８の楔形状を通じて実現されている。両方のバルブプレート７，８がともに楔形状に形成され、これに加えてまたは代えて支持プレート１９が楔形状に形成されてもよい（それぞれ横断面図をとった場合）。
【００７９】
このような支持プレート１９の反対側にある両バルブプレート７，８の側壁の傾斜配置に代えて、支持プレート１９がバルブロッド１３に対して傾動可能に支持されていてもよい。このように傾動可能な支持方法は、たとえば前記特許文献６に相当する技術水準から公知のものである。
【００８０】
支持プレートをバルブロッドに連結するための十分な柔軟性を有する金属製の連結要素により、支持プレートがバルブロッドに対して傾動可能に支持される。バルブロッドが軸１７の回りに傾動する代わりにバルブロッドが直線的に動かされる場合、閉塞ユニット６を中間位置から両方のバルブシート１１，１２に押し付けるために当該傾斜配置は必要ではない。
【００８１】
支持プレート９はバルブロッド１３に対して次のように連結される。バルブロッド１３の端部が支持プレート１９の収容開口部３５に挿入される。支持プレート１９の対向しあう側から、支持プレート１９の穴を通じている連結ネジ３６が、バルブロッド１３の端部に設けられている前額側のネジ穴に螺合される。連結ネジ３６の軸およびバルブロッド１３の軸は、支持プレート１９の中間平面３０に対して平行である。
【００８２】
バルブシート１１，１２に対する閉塞ユニット６の姿勢の適合を可能とするため、相互に連結された状態においてバルブロッド１３の軸回りに支持プレート１９が揺動されうる。バルブロッドをバルブプレートに連結させるこのような構成は、たとえば前記特許文献５に相当する技術水準から公知のものである。
【００８３】
バルブプレート７，８は、バルブロッドが取り付けられる上側であって、バルブロッド１３の反対側にある幅狭側面に、バルブプレート７，８の取り付けまたは取り外しに際して工具がねじり嵌めされる少なくとも１つのネジ穴３８，３９を備えている。そのような工具を用いる作業は、たとえば前記特許文献５に相当する技術水準から公知のものである。支持プレート１９の上側の幅狭側面には、バルブロッド１３に対する取り付けまたは取り外しに際して、工具がねじり嵌めによって取り付けられる同様のネジ穴４０が設けられている。
【００８４】
本実施形態では、バルブハウジングは、プロセスチャンバ側に取り出し可能なパネルを備えている。パネルはバルブプレートに向いている側に、シール部材９と第１バルブ開口部２との中間にあって、シール部材９をプロセスチャンバに導入されるプロセスガスの攻撃から保護するシール部材４１を備えている。バルブプレート７およびシール部材４１を有するパネルには、プロセスガスから保護するためのコーティングが施されている。
【００８５】
前記のように相互に当接する押圧面の両方が傾斜面と形成され、相互に当接する押圧面２２〜２６の一方のみが傾斜面として形成されている場合、支持プレート１９に向かう方向の力成分Ｆｋが生じる。各押圧部材２０，２１および各バルブプレート７，８の相互に当接する押圧面のうち少なくとも一方、好ましくは両方が傾斜面として形成されている場合、あるいは、各バルブプレート７，８および支持プレート１９の間で相互に当接する押圧面のうち少なくとも一方、好ましくは両方が傾斜面として形成されている場合、支持プレート１９に対して各バルブプレート７，８が押し付けられる。
【００８６】
ただし、各押圧部材２０，２１および各バルブプレート７，８の間に少なくとも１つの傾斜面、好ましくは相互に当接する２つの傾斜面が形成されている場合も、各バルブプレート７，８および支持プレート１９の間に少なくとも１つの傾斜面、好ましくは相互に当接する２つの傾斜面が形成されている場合も同様に支持プレート１９に対して各バルブプレート７，８が押し付けられる。
【００８７】
押圧面２０または２１が引っ張られた場合、各バルブプレート７，８および支持プレート１９の間の案内機構の遊びにしたがって案内面が外側で噛み合う。
【００８８】
支持プレート１９の押圧面２５，２６は、突出部３４の上部（各バルブプレート７，８が動かされる方向であって、反対向きの方向にある突出部３４の部分）に設けられてもよい。押圧面２５，２６に対して当接する各バルブプレート７，８の第２の押圧面２４は、図４における溝部３３の上部が制限されている領域に設けられている。
【００８９】
押圧面２２と、２５または２６と、押圧面２３および２４とは、押圧力Ｆの方向に離れており、図３において支持プレート１９の前側に示されているように、突出部３４は好ましくは上方で若干幅広になっている。
【００９０】
突出部３４がバルブプレート８に設けられ、溝部３３が支持プレート１９に設けられてもよい。
【００９１】
支持プレート１９に対するバルブプレート８の案内機構は、２つの突出部３４と係合する２つの溝部３３を備えていてもよい。この場合、両方の溝部３３または両方の突出部３４は、支持プレート１９の（バルブロッドに支持される）中央部分の両側、または、バルブプレート７，８およびこれから離れている中央部分の両側に設けられてもよい。
【００９２】
突出部および溝部には、バルブプレートが支持プレートから外れるのを防止するためにさらなるアンダーカット側壁が設けられてもよい。差し込みを楽にするため、溝部の差し込み側が広がり（溝部を見たときにＶ字形状になる）、これに加えてまたは代えて、突出部が幅狭または先細になる（突出部を見たときにＶ字形状になる）ように形成される。
【００９３】
当接しあう押圧面は前記のように、各バルブプレート７，８が支持プレート１９から外れることを防止する溝部および突出部の縁部に形成されてもよい。当接しあう押圧部材２１の押圧面２２と、バルブプレート７，８の第１押圧面２３とのそれぞれは、各バルブプレート７，８または支持プレート１９の中央部分から離れて設けられている。
【００９４】
支持プレート１９および各バルブプレート７，８の連結は、バルブロッド１３との連結部分から両側に離れている２つの部分でのみ実現されている。支持プレート１９は各バルブプレート７，８との連結部分と、バルブロッド１３との連結部分との中間にある部分において柔軟に構成され、当該部分を通じて各バルブプレート７，８からの間隔を有する。これにより、支持プレート１９の揺動が可能になり、バルブプレート７，８がバルブロッド１３に対して垂直な軸回りに傾動（回動）することができる。このように傾動可能な軸受は、前記特許文献６により公知の傾動可能な軸受であってもよい。
【００９５】
前記方法によってバルブプレートが取り付けられる、本明細書における意味での支持プレートとして、取り付け状態においてバルブプレートが押し付けられる平坦部分を少なくとも有する、バルブプレートを支持するさまざまな構成が考えられる。ねじれ棒の技術などにしたがって構成される、棒状部分が支持プレートに設けられてもよい。
【００９６】
バルブプレート７，８が支持プレート１９に対して、支持プレート１９におけるバルブロッド１３との連結部分から離れており、かつ、当該連結部分の対向しあう側にある２つの部分でのみ押圧されている場合、支持プレートからバルブプレートが外れることを防止する案内機構が個々のバルブプレート７，８に対して１つのみ設けられてもよい。当該案内機構は、支持プレート１９においてバルブロッド１３との連結部分に設けられる。これにより、さまざまな熱膨張の結果としての押圧が回避されうる。
【符号の説明】
【００９７】
１‥バルブハウジング、２‥バルブ開口部、３‥バルブ開口部、４‥軸、５‥軸、６‥閉塞ユニット、７‥第１バルブプレート、８‥第２バルブプレート、９‥シール部材、１０‥シール部材、１１‥第１バルブシート、１２‥第２バルブシート、１３‥バルブロッド、１４‥変位アクチュエータ、１５‥変位アクチュエータ、１６‥変位アクチュエータ、１７‥軸、１８‥アクチュエータハウジング、１９‥支持プレート、２０‥押圧部材、２１‥押圧部材、２２‥押圧面、２３‥第１押圧面、２４‥第２押圧面、２５‥押圧面、２６‥押圧面、２７‥押圧ネジ、２８‥角度、２９‥軸、３０‥中間平面、３１‥角度、３２‥角度、３３‥溝部、３４‥突出部、３５‥収容開口部、３６‥連結ネジ、３７‥ネジ穴、３８‥ネジ穴、３９‥ネジ穴、４０‥ネジ穴、４１‥シール部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2011094795.tif 000011
【図１０】
2011094795.tif 000012
【図１１】
2011094795.tif 000013
【図１２】
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