(57)【要約】【課題】揮発性有機化合物含有ガスを吸着塔に導入して吸着させた後、加熱した脱着用水蒸気で脱着させて、脱着用水蒸気に同伴した揮発性有機化合物を、脱着用水蒸気を生成するための燃料として利用する際に、他の燃料の消費量を抑制する。【解決手段】吸着塔１１への脱着用水蒸気の供給口を吸着塔１１両端方向に複数段となるように設け、脱着後の水蒸気を抜き出して燃焼炉１３へ通じる一端側に設けた供出口１６に近い供給口１５Ａと、吸着塔の他端側に設けた供給口１５Ｅとを少なくとも設けて、供出口１６に近い側の供給口１５Ａから順に開放するようにする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
揮発性有機化合物を吸着する吸着剤を充填した吸着層を内部に有する吸着塔に、揮発性有機化合物を含有するガスを導入し、揮発性有機化合物を吸着剤に吸着させて含有量を低減させた処理後ガスを排出した後、燃焼炉で加熱した脱着用水蒸気を導入して吸着剤から揮発性有機化合物を脱着させ、脱着した有機化合物含有水蒸気を前記燃焼炉に導入して燃焼させる、吸着塔の運用方法であって、
上記脱着用水蒸気の吸着塔への供給口は吸着塔の両端方向に分かれた複数段からなるものとし、そのうちの最も前記一端側の供給口を、吸着塔の内部に吸着層が占める位置の側面に設け、揮発性有機化合物を脱着した後の有機化合物含有水蒸気を抜き出す供出口を前記一端側の供給口よりも前記一端側に設け、
前記一端側に位置する供給口から脱着用水蒸気を導入する、
揮発性有機化合物吸着塔の運用方法。
【請求項２】
上記燃焼炉に温度センサを設け、燃焼開始後に予め規定した以上の温度上昇を検知したら、上記燃焼炉に供給する燃料の量を低減させる請求項１に記載の運用方法。
【請求項３】
上記燃焼炉に温度センサを設け、最も前記他端側の供給口は、上記温度センサが予め規定した温度下限値以下になった際に開放する、請求項１又は２に記載の運用方法。
【請求項４】
上記吸着塔を複数基からなるものとし、一方の吸着塔で吸着を終えた後脱着を行う間に、他方の吸着塔で吸着を行うことで、上記ガスの処理を継続して行う請求項１乃至３のいずれか１項に記載の運用方法。
【請求項５】
有機化合物を吸着する吸着剤を充填した吸着層を内部に有する吸着塔と、その吸着剤から前記揮発性有機化合物を脱着させるための脱着用水蒸気を加熱する熱交換器と、熱交換器のために燃料及び脱着した有機化合物含有水蒸気とを燃焼させる燃焼炉とからなる、揮発性有機化合物を含有するガスの含有量を低減させる揮発性有機化合物処理装置であって、
上記脱着用水蒸気の上記吸着塔への供給口は両端方向に複数段からなり、それら供給口は前記一端側にあるものから開放する供給口制御回路を有し、
揮発性有機化合物を脱着した後の有機化合物含有水蒸気を抜き出す供出口は最も前記一端側の供給口よりも前記一端側に設けた、揮発性有機化合物処理装置。
【請求項６】
上記燃焼炉が温度センサを有し、予め規定した温度Ｔ３と炉内温度とを比較して炉内温度がＴ３以上となったら上記燃焼炉に供給する燃料の量を低減させる燃料制御回路を有する請求項５に記載の揮発性有機化合物処理装置。
【請求項７】
上記燃焼炉が温度センサを有し、
上記供給口制御回路は、予め規定した温度Ｔ４と炉内温度とを比較して炉内温度がＴ４以下となった後に、最も前記他端側にある供給口を開放する請求項５又は６に記載の揮発性有機化合物処理装置。
【請求項８】
上記吸着塔を複数基有し、一の吸着塔が吸着を行っている間に、他の吸着塔に脱着用水蒸気を供給して脱着を実行可能とするように、それぞれの吸着塔への供給口を両端方向に複数段設けた請求項５乃至７のいずれか１項に記載の揮発性有機化合物処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、揮発性有機化合物を含むガスを排出する前に、ガスから揮発性有機化合物を処理するにあたり、その処理作業の効率を向上させる運用方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
工場から発生する排ガスには、そのまま大気中に排出すると問題を起こす揮発性有機化合物が含まれる場合がある。この場合、排ガスを大気中に排出する前に、含有している揮発性有機化合物を処理しなければならない。その方法として、活性炭等の吸着剤を内蔵した吸着塔で、排ガス中に含まれる揮発性有機化合物を吸着剤に吸着させ、ガス中の濃度を低減させて大気へ排出し、その後、吸着剤から揮発性有機化合物を脱着させて吸着塔を再利用可能にするとともに、揮発性有機化合物を処理するという吸脱着方式が一般的である。
【０００３】
上記の脱着には、揮発性有機化合物を含まないガスを吸着剤に接触させることが必要である。一基の吸着塔で脱着と同時に吸着することはできないので、脱着は速やかに実行することが好ましい。脱着を速める方法としては、脱着用のガスを大量に導入する方法、真空ポンプで吸引して圧力を低下させる方法、吸熱反応である脱着を促進するために高温の脱着用水蒸気を導入する方法などがある。
【０００４】
高温の脱着用水蒸気を導入するには、その加熱のために燃料を大量に消費してしまうので、燃料を節約する方法が検討されている。特許文献１には、この回収した揮発性有機化合物を含む脱着用水蒸気を燃焼炉に誘導し、揮発性有機化合物を燃料として燃焼させ（請求項１）、その燃焼熱を利用して、脱着用水蒸気の加熱を行うこと（請求項２）が記載されている。
【０００５】
一方、特許文献２には、真空ポンプで吸引する吸着塔で、吸着剤を設けた吸着剤層を複数段に分けて設けることで、高性能の真空ポンプを使わなくても、脱着速度を速める方法が提案されている。この文献に記載の吸着塔は、揮発性有機化合物であるアルコール類を含有するガスを下方から導入して、アルコール類が低減された排ガスを上方から抜き出すものである（特許文献２図１）。脱着用ガスの導入孔（パージエア導入管）を最上部の吸着剤層より上の箇所と各吸着剤層間に設け、脱着したガスの排気孔（排気導管）を各吸着剤層間と最下部の吸着剤層より下の箇所とに設けてある（特許文献２［００３９］）。その上で、脱着用ガスの導入孔と、それと吸着剤層を一つ挟んだ下にある排気導管との自動弁をセットで上から順次開き、脱着が終わり次第順次閉じる（特許文献２［００４２］〜［００４５］）。
【０００６】
ただし、この方法は吸引によって各層で段階的に脱着するものであり、加熱した脱着用水蒸気による方法では、個々の層間からガスを吸引する特許文献２の方法を採用してもこのような効果はない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００７−２２２７３６号公報
【特許文献２】特開２００２−２９３７５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１（図１）に記載のように、揮発性有機化合物を含有する排ガスを吸着塔の下方から導入して、処理済みのガスを上方から排出するのに対して、脱着用水蒸気を吸着剤層の上方から導入して、吸着剤層の全部分で脱着させて、吸着剤層の下方側から抜き出すのでは、脱着用水蒸気が吸着剤層を通過するのに時間がかかりすぎてしまう。それはつまり、燃焼炉において脱着用水蒸気を生成するための加熱開始から、有機化合物が水蒸気に同伴して抜き出されて、燃焼炉（水蒸気生成装置）に到達するまでに時間が掛かりすぎてしまう。それまでの間は回収した揮発性有機化合物を燃料として用いることができず、ＬＮＧガスなどの別の燃料を使用しなければならず、無駄が生じていた。
【０００９】
そこでこの発明は、加熱した脱着用水蒸気を用いて吸着塔から揮発性有機化合物を脱着する際に、脱着開始から燃料として利用可能にするまでのタイムラグを短縮して、燃料の無駄を抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この発明は、
脱着用水蒸気の吸着塔への供給口を両端方向に分かれた複数段からなるものとして、
そのうちの最も吸着塔の一端側の供給口を、吸着塔の内部に吸着層が占める位置の側面に設け、
吸着塔の一端側に位置する供給口から開放して脱着用水蒸気を吸着層の途中から導入し、脱着させて揮発性有機化合物を取り込んだ有機化合物含有水蒸気を吸着塔の前記一端側から抜き出すことで、上記の課題を解決したのである。
【００１１】
複数段の供給口のうち、最初に開く供給口は前記一端側、すなわち、有機化合物含有水蒸気の抜き出しをする供出口側に最も近いものである。このため、脱着用水蒸気が最初に吸着層を抜け出て燃焼炉に到達するまでの時間は、従来のように吸着層の全域を通過させていた場合よりも短縮できるようになる。これにより、燃料のみで燃焼炉の加熱を行わなければならない時間を短縮できる。
【００１２】
また、全供給口のうち、最後に開放することになる最も前記他端側のものは、吸着層よりも前記他端側に設けることにより、吸着層全体を脱着対象とすることができる。
【００１３】
具体的には、最も前記一端側の供給口は、吸着層の両端方向中央の位置よりも前記一端側の位置に設けてあると、供給された脱着用水蒸気が吸着層を抜けるまでの時間を大幅に短縮することができる。なお、最も前記他端側の供給口は、吸着層の前記他端側の端部か、それよりも前記他端側にあることが望ましい。最も前記他端側に位置する供給口より供出口から遠くなる箇所にある吸着剤の脱着効率が下がるためである。
【００１４】
燃焼炉には温度センサを設けておき、燃焼炉での温度上昇を検知したら、燃焼炉に供給する燃料の量を絞るようにする燃料制御回路を設けておくとよい。揮発性有機化合物を含んだ脱着用水蒸気が燃焼炉に到達したら、燃焼炉に供給される可燃物質の量が増えて温度が上昇するので、この温度上昇を検知して、燃焼炉内の温度が適温となるように燃料の供給量を絞ることで、燃料を節約することができる。
【００１５】
さらにその後、温度センサが燃焼炉の温度の低下を検知したら、供給される揮発性有機化合物の量が低下していることを意味するので、より他端側にある供給口を開いて、吸着層のうち未だ揮発性有機化合物を脱着されていない部分に脱着用水蒸気を供給して、脱着されて燃焼炉に供給される揮発性有機化合物を増やし、燃焼炉での燃焼を安定させることができる。また、それぞれの供給口を、上記一端側にあるものから時間経過とともに順に開放していってもよい。この場合、予め各供給口を開放しておく時間を設定しておく。さらに、各供給口を時間経過とともに開放し、最も他端側の供給口だけを、上記温度センサが温度の低下を検知したら開放するようにしてもよい。
【００１６】
なお、吸着層は一層だけからなるものでもよいし、複数段設けた脱着用水蒸気の供給口ごとに、複数層設けても良い。複数層に分かれている場合、最も上記一端側に位置する供給口は、最も上記一端側に位置する吸着層の存在する箇所か、又はその吸着層とそれより一つ上記他端側に位置する吸着層との間に設ける。
【００１７】
なお、供出口は最も上記一端側の供給口よりも上記一端側に設けてあればよく、吸着層が占める箇所の側面でもよいし、吸着層の端部より上記一端側でもよい。
【発明の効果】
【００１８】
この発明を、揮発性有機化合物を含有するガスを処理する吸着塔で実施することにより、揮発性有機化合物の除去に用いる燃料の消費を抑え、省エネを図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】この発明を実施する吸着塔及びその周辺装置の概念図
【図２】この発明を実施する脱着工程のフロー図
【図３】吸着塔を二基備えて実施する吸着工程及び脱着工程のフロー図
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、この発明の実施形態を説明する。この発明は、揮発性有機化合物含有ガスの濃度を低減させて大気中へ排出可能とし、その分の揮発性有機化合物を回収して燃料として使用する揮発性有機化合物処理装置にかかるものである。図１はこの発明にかかる揮発性有機化合物処理装置の全体像の例を示す。
【００２１】
この発明で処理する揮発性有機化合物とは、常圧で加熱することで気体になり得る有機化合物であり、特に常温で液体であるものが吸着処理しやすい。例えば、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール等の炭素数が１〜８程度のアルコール、トルエン、ベンゼンなどの芳香族有機化合物などの、炭化水素系の溶剤が挙げられる。
【００２２】
この発明を実施する揮発性有機化合物処理装置は、吸着塔１１と、燃焼炉１３と、熱交換器１４とからなる。
【００２３】
吸着塔１１は、略円筒形であり、内部は下方側の端部近傍に設けた一枚の多孔板２０で仕切ってある。この多孔板上に、揮発性有機化合物を吸着し、加熱により脱着できる吸着剤を充填させた吸着層１２を設けている。この吸着剤としては、例えば活性炭などが挙げられる。
【００２４】
吸着塔１１の吸着層１２より上端側には、揮発性有機化合物含有ガスＡの導入口１７が設けてあり、吸着層１２より下端側には、揮発性有機化合物を吸着剤に吸着されて濃度が低下した処理後ガスＢの排出口１８が設けてある。排出口１８は大気中へ放出するものである。
【００２５】
また、吸着塔１１の吸着層１２を設けた部分の側面と下端とに、複数段（図１では合計５段）からなる脱着用水蒸気Ｆの供給口１５Ａ〜１５Ｅが設けてある。最上段の供給口１５Ａは吸着層１２の上下方向中央よりも上で吸着層１２の上端の多孔板２０よりも下に位置しており、最下段の供給口１５Ｅは吸着層１２の下端よりも下に位置している。また、有機化合物を脱着した有機化合物含有水蒸気Ｋを抜き出すための供出口１６が、吸着層１２の上端よりも上端側に設けてある。
【００２６】
燃焼炉１３は、上記脱着用水蒸気Ｆを生成するための熱を発生させるものであり、燃料Ｄを供給する燃料供給口２１と、吸着塔１１の供出口１６から送られてきた有機化合物含有水蒸気Ｋを供給する含有水蒸気供給口２２、バーナ（図示せず）、煙突（図示せず）、内部温度を測定する燃焼炉温度センサ２４を有する。この燃焼炉１３で発生した熱が、熱交換器１４へ供給される。
【００２７】
熱交換器１４には、水蒸気の元となる水Ｅを供給する水供給口２６を備え、水Ｅを加熱して得られた脱着用水蒸気Ｆを吸着塔１１の供給口１５Ａ〜１５Ｅへ供給する、脱着用水蒸気供給路２５と、脱着用水蒸気供給路２５の内部温度を測定する水蒸気温度センサ２８とを有する。なお、水供給口２６は、脱着用水蒸気供給路２５内に水Ｅを噴霧する機能を有している。また、脱着用水蒸気供給路２５は、途中で分岐（２７ａ，２７ｂ）しており、一の分岐２７ｂは大気への開放口２９に繋がるとともに、分岐２７ａと熱交換器１４の間で循環経路を形成している。
【００２８】
この発明にかかる揮発性有機化合物処理装置は、まず、吸着塔１１に導入された揮発性有機化合物含有ガスＡに含まれる揮発性有機化合物を、吸着層１２の吸着剤に吸着させる。吸着層１２を通過した処理後ガスＢは排出口から出て大気中へ放出される。この吸着作業を一定時間が経過するまで、又は、吸着能が一定以下になるまで行う。なお、吸着能の低下を検知して吸着を止めるには、排出口１８に揮発性有機化合物の検出装置（図示せず）を設け、そこで処理後ガスＢに含まれる揮発性有機化合物の濃度を測定し、予め定めた値以上になったら、吸着層１２の吸着能が限界に達していると解釈して導入口１７の弁へ閉める命令を出す制御回路を設ける。
【００２９】
一方、吸着を終える前から脱着の準備を進めておく。脱着用水蒸気Ｆは即座に供給開始できるものではないので、吸着終了後から加熱を始めると、脱着が始まるまでの間にタイムラグが生じてしまい、本来必要な吸着工程が止まってしまうためである。なお、吸着塔１１が二基以上ある場合は、一方で吸着工程を止めても他方で吸着工程を行うことができるが、その場合は常に脱着用水蒸気Ｆを用意していることとなる。
【００３０】
この脱着工程を図２のフローを用いて説明する。まず、燃焼炉１３で燃料Ｄの燃焼を開始し、脱着用水蒸気供給路２５の循環経路内の空気を、経路中に設けたファン（図示せず）で循環させる（Ｓ１１）。この時の空気温度を水蒸気温度センサ２８で検知し、水蒸気が生成できる設定温度Ｔ１以上になったことを水制御回路３０が確認したら（Ｓ１２）、分岐２７ａから熱交換器１４へ戻る脱着用水蒸気供給路２５中への水Ｅの水供給口２６の弁を開放し、水Ｅを噴霧して熱交換器１４内で水蒸気を生成させる（Ｓ１３）。熱交換器１４では、水蒸気温度センサ２８で生成する水蒸気の温度を検知しておき、脱着用水蒸気Ｆが脱着に好適な温度Ｔ２になるまで（Ｓ１４）、又は吸着が終了するまで、開放口２９への弁を開放して、大気中へ放出する（Ｓ１５）。脱着は吸熱反応であるため、十分に高温の水蒸気でなければ脱着が速やかに進行しないからである。なお、ここで脱着用水蒸気Ｆとは、過熱水蒸気又は飽和水蒸気である。
【００３１】
吸着塔１１での吸着が終了し、脱着用水蒸気Ｆが所定の温度Ｔ２以上になったら（Ｓ１４）、開放口制御回路３１は、開放口１９への弁を閉じ、最も供出口１６に近い供給口１５Ａへの脱着用水蒸気Ｆの弁を開放する（Ｓ１６）。供給口１５Ａに供給された脱着用水蒸気Ｆは、吸着層１２の上層部分に吸着した揮発性有機化合物を脱着させて、有機化合物含有水蒸気Ｋとなって供出口１６から供出させる（Ｓ１７）。ここで、供給口１５Ａは吸着層１２の上端に近いほど、脱着した有機化合物含有水蒸気Ｋが吸着層１２を抜けて上方の供出口１６に到達するまでの時間は短くなる。ひいては、その供出口１６から燃焼炉１３へ通じる含有水蒸気供給口２２に有機化合物含有水蒸気Ｋが到達する（Ｓ１８）までの時間も短縮される。
【００３２】
有機化合物含有水蒸気Ｋが燃焼炉１３に到達すると（Ｓ１８）、燃焼炉１３に供給される可燃物の合計量が増えるので、燃焼炉１３内の温度が上昇する。この温度上昇を燃焼炉温度センサ２４で検知する。燃料Ｄのみの燃焼の際の温度上昇の誤差分を上回るとして規定する規定の温度Ｔ３を燃料制御回路３３に予め規定しておき、燃焼炉温度センサ２４の検知温度がＴ３以上となったら（Ｓ１９）、有機化合物含有水蒸気Ｋの到達により、可燃物が増えたとみなして、燃料供給口２１へ供給される燃料Ｄの弁を絞り、燃料Ｄを節約する（Ｓ２０）。
【００３３】
ただし、有機化合物含有水蒸気Ｋに含まれる有機化合物は、供給口１５Ａ付近に吸着した揮発性有機化合物が徐々に脱着されていくにつれて減っていくので、順次供出口１６に近い側の供給口１５Ｂ、１５Ｃ，１５Ｄ，１５Ｅの弁を開放していき、燃焼炉１３に供給される揮発性有機化合物の量が過度に低下しないようにする。この開放するタイミングは、最も供出口１６側にある供給口１５Ａを開放してからの経過時間によって決定しておいてもよいし、燃焼炉１３の燃焼炉温度センサ２４が予め規定した温度低下を示す、すなわち、燃やすべき可燃物の量が減少したことを検知したら、順次開放するようにしてもよい。温度低下を検知する場合、可燃物が減少して対処すべきと考えられる炉内温度Ｔ４を予め規定した供給口制御回路３２が、燃焼炉温度センサ２４の温度低下を検知したら（Ｓ２１）、供給口１５Ｂ〜１５Ｅの未開放の弁のうち、最も供出口１６側（上端側）にある弁を開放する（Ｓ２２〜Ｓ２５）。一つの弁を開放して、一旦炉内温度が上昇したら、再び炉内温度を監視し、温度低下を検知したら次の弁を開放する。これを、全ての供給口が開くまで続ける（Ｓ２６）。なお、次の弁を開放したら、それまで開放していた供給口の弁は閉鎖する。
【００３４】
供給口１５Ａ〜１５Ｅを開放してから、吸着層１２における脱着が十分に進行する時間ｔ１が経過したら（Ｓ２７）、弁１５Ａ〜１５Ｅを閉鎖して脱着を終了する（Ｓ２８）。また、吸着塔１１が一基である場合には、燃料Ｄを供給する燃料供給口２１の弁を閉めて、燃焼炉１３での燃焼を終了する（Ｓ２９）。また、合わせて供出口１６の弁も閉じる。
熱交換器１４でなお生成する余剰の脱着用水蒸気は、開放口２９の弁を開放して大気中へ放出する（Ｓ３０）。
【００３５】
以上で吸着塔１１の脱着は終了し、再び吸着層１２での吸着が可能な状態になったので、揮発性有機化合物含有ガスＡの導入口１７を開放して吸着を開始し、一定時間吸着した後、上記と同様の手順で脱着を行う。
【００３６】
この発明の他の実施形態として、吸着塔１１に設ける供給口１５Ａ〜１５Ｅ、供出口１６，導入口１７、排出口１８の位置は、上下方向が逆でもよい。
【００３７】
また、別の実施形態として、吸着塔１１を二基備えた実施形態が挙げられる。吸着塔１１が一基である前記の実施形態では、脱着をしている間は揮発性有機化合物含有ガスＡの処理ができないので、一時的に処理を停止して蓄えておかなければならないが、吸着塔１１を二基備えていると、一基で吸着を終えて脱着へ移行する間に、もう一基で吸着を開始することができるので、脱着に要する時間が吸着可能な時間よりも短ければ、揮発性有機化合物含有ガスＡの処理を停止することなく続けることができる。この実施形態を実現するには、各々の吸着塔１１への供給、排出等を行う口をそれぞれ設けて、個々の弁を独立に動作可能とするように前記の制御回路を用意する。
【００３８】
このような吸着塔１１を二基備えた実施形態での吸着及び脱着の手順を図３に示す。まず、吸着塔αでの吸着終了とともに、吸着塔βでの吸着を開始する。吸着塔βの吸着能が低下しきるまでに、吸着塔αの吸着層１２に対して脱着を開始する。まず供給口１５Ａを開放し、最初の有機化合物含有水蒸気Ｋが到達して燃焼炉１３の温度が上昇したら、燃料Ｄの供給量を低減させる（Ｓ２０）。その後、燃焼炉１３の温度低下（Ｓ２１）を検知するとともに、順次供給口１５Ｂ〜１５Ｅを開放して（Ｓ１６）、吸着層１２の脱着を進行させる。脱着が十分に進行したら、吸着塔αへの脱着用水蒸気の導入を停止する（Ｓ４１）。燃焼炉１３には有機化合物含有水蒸気Ｋが到達しなくなるので、足りなくなった燃焼物質分を補うために、一旦燃料Ｄの供給量を回復させ（Ｓ４２）、燃焼を維持する。また、この間脱着用水蒸気Ｆは常に生成しているが、供給口１５Ａ〜１５Ｅは全て閉ざされているので、分岐２７ａから熱交換器１４に循環させておくか、適宜開放口２９から開放する。そして、吸着塔βでの吸着が終了したら、脱着により機能を回復した吸着塔αでの吸着を開始し、その間に吸着塔βへの脱着用水蒸気Ｋの供給を開始して、同様に脱着を行う。
【符号の説明】
【００３９】
１１  吸着塔
１２  吸着層
１３  燃焼炉
１４  熱交換器
１５Ａ〜１５Ｅ  供給口
１６  供出口（有機化合物含有水蒸気）
１７  導入口（揮発性有機化合物含有ガス）
１８  排出口（処理後ガス）
２１  燃料供給口
２２  含有水蒸気供給口
２４  燃焼炉温度センサ
２５  脱着用水蒸気供給路
２６  水供給口
２７ａ，２７ｂ  分岐
２８  水蒸気温度センサ
２９  開放口
３０  水制御回路
３１  開放口制御回路
３２  供給口制御回路
３３  燃料制御回路
Ａ  揮発性有機化合物含有ガス
Ｂ  処理後ガス
Ｄ  燃料
Ｅ  水
Ｆ  脱着用水蒸気
Ｈ  排出水蒸気
Ｋ  有機化合物含有水蒸気
【図１】
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【図２】
2011206690.tif 000004
【図３】
2011206690.tif 000005