(57)【要約】【課題】レンズ駆動装置の推力を向上させること。【解決手段】中央部に配置された柱状の可動部（１４，１６）を、この可動部の周囲に配置された筒状の固定部（１２，１８，２０，２８）に対して、径方向に位置決めした状態で中心軸（Ｏ）方向に変位可能に支持する板バネ（２２；２４）は、比透磁率が１．１以上のステンレス鋼から成る。【選択図】      図１１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央部に配置された柱状の可動部を、該可動部の周囲に配置された筒状の固定部に対して、径方向に位置決めした状態で中心軸方向に変位可能に支持する板バネであって、
前記板バネが、比透磁率が１．１以上のステンレス鋼から成ることを特徴とする板バネ。
【請求項２】
前記板バネは、
円環状の内周側端部と、
該内周側端部から離間して設けられ、前記内周側端部よりも半径の大きな外周側端部と、
前記内周側端部と前記外周側端部との間を連結するために周方向に沿って設けられたＮ本（Ｎは２以上の整数）のアーム部と、
前記内周側端部と前記Ｎ本のアーム部とを連結するＮ個の内周側連結部と、
前記外周側端部と前記Ｎ本のアーム部とを連結するＮ個の外周側連結部と、
を有する、請求項１に記載の板バネ。
【請求項３】
前記板バネは、
前記外周側端部と各アーム部との間に形成された第１のスリットと、
前記内周側端部と各アーム部との間に形成された第２のスリットとを有し、
前記第１のスリットは、
前記外周側端部と各アーム部との間に形成された円弧状の第１の延在スリット部と、
前記外周側連結部の近傍に形成された第１の根本スリット部とを有し、
前記第２のスリットは、
前記内周側端部と各アーム部との間に形成された実質的に円弧状の第２の延在スリット部と、
前記内周側連結部の近傍に形成された第２の根本スリット部とを有する、
請求項２に記載の板バネ。
【請求項４】
前記第１の根本スリット部は、前記第１の延在スリット部のスリット幅よりも大きい幅を持ち、かつ各アーム部の根本部から離間するように形成された曲線で囲まれた膨出形状をしている、請求項３に記載の板バネ。
【請求項５】
前記内周側連結部は、前記内周側端部を前記可動部に取り付けるための開口を持ち、
前記第２の根本スリット部は、前記開口に近接し、かつ各アーム部の根本部から離間するように、前記第２の延在スリット部から突出して形成されている、請求項３に記載の板バネ。
【請求項６】
前記第２の根本スリット部は、各アーム部から離間するように、前記第２の延在スリット部から突出して形成されている、請求項３に記載の板バネ。
【請求項７】
前記外周側端部は、その隅に形成され、当該外周側端部を前記固定部に取り付けるための丸穴と、該丸穴と前記第１の根本スリット部との間に形成された円弧状のスリットとを持つ、請求項６に記載の板バネ。
【請求項８】
前記第１の根本スリット部は、前記第１の延在スリット部のスリット幅よりも大きい幅を持ち、かつ曲線で囲まれた膨出形状をしており、
前記第２の根本スリット部は、前記第２の延在スリット部のスリット幅よりも大きい幅を持ち、かつ曲線で囲まれた膨出形状をしている、
請求項３に記載の板バネ。
【請求項９】
前記板バネの板厚をｔとし、前記アーム部の幅寸法をｗとしたとき、アームアスペクト比（ｗ／ｔ）が、６．０〜１．５の範囲にある、請求項１に記載の板バネ。
【請求項１０】
前記Ｎが２〜４の範囲にある、請求項９に記載の板バネ。
【請求項１１】
各アーム部が少なくとも１本のスリットを有する、請求項９又は１０に記載の板バネ。
【請求項１２】
隣接するアーム部が互いに重複して配置されている、請求項９又は１０に記載の板バネ。
【請求項１３】
前記内周側端部が蛇腹部を有する、請求項９又は１０に記載の板バネ。
【請求項１４】
駆動源としてボイス・コイル・モータ（ＶＣＭ）を使用したＶＣＭ方式を採用したレンズ駆動装置であって、
前記可動部として、レンズアセンブリを保持するための筒状部を有するレンズホルダと、該レンズホルダに前記筒状部の周囲に位置するように固定された駆動コイルと、を備え、
前記固定部として、前記駆動コイルと対向する永久磁石を備えたヨークを備え、
前記レンズ駆動装置は、前記レンズホルダの筒状部の光軸方向両側に設けられ、前記レンズホルダを径方向に位置決めした状態で光軸方向に変位可能に支持する一対の板バネを備え、
前記一対の板バネの各々は、前記レンズホルダに取り付けられた前記内周側端部と前記ヨークに取り付けられた前記外周側端部とを有し、
前記駆動コイルに通電することで、前記永久磁石の磁界と前記駆動コイルに流れる電流による磁界との相互作用によって、前記可動部を光軸方向に位置調整可能なレンズ駆動装置において、
前記一対の板バネの各々は、請求項２乃至１３の何れか１つに記載の板バネから成ることを特徴とするレンズ駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はレンズ駆動装置に関し、特に、レンズアセンブリ（レンズバレル）を保持するレンズホルダ（可動部）の筒状部の光軸方向両側に設けられ、レンズホルダをハウジング（固定部）に対して径方向に位置決めした状態で、光軸方向に変位可能に支持する板バネ（支持部材；弾性部材）に関する。
【背景技術】
【０００２】
カメラ付携帯電話機には携帯型小型カメラが搭載されている。この携帯型小型カメラには、オートフォーカス用レンズ駆動装置が用いられる。従来から、種々のオートフォーカス用レンズ駆動装置が提案されている。
【０００３】
このようなレンズ駆動装置に使用される駆動源（駆動方法）には、ボイス・コイル・モータ（ＶＣＭ）を使用したＶＣＭ方式と、形状記憶合金（Shape Memory Alloy：ＳＭＡ）を使用したＳＭＡ方式とがある。いずれの方式のレンズ駆動装置においても、レンズを含む可動部（レンズ＋レンズホルダ）を、固定部に対して径方向に位置決めした状態で、光軸方向（中心軸方向）に変位可能に支持する支持部材（弾性部材）が使用される。そのような支持部材（弾性部材）としては、一般的に、少なくとも１つの板バネが使用されている。
【０００４】
従来、板バネの材料として、ベリリウム銅やＳＵＳ系鋼材が使用されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
また、耐衝撃性を向上させた板バネも種々提案されている。
【０００６】
例えば、特許文献２（特開２００９−２１００５５号公報）は、耐衝撃性を向上させた、安価な板バネを開示している。板バネは、各々円環状に形成された内周側端部（内環部）および外周側端部（外環部）と、これらの間を連結するために周方向に沿って設けられたＮ本のアーム部とから構成されている。各アーム部は周方向に沿って延出している。内周側端部と各アーム部との間の内周側連結部は、内周側端部から半径方向外側に突設している。外周側端部と各アーム部との間の外周側連結部は、外周側端部から半径方向内側に突設している。アーム部の内周側根本部の板幅及び外周側根本部の板幅の少なくとも一方が、アーム部の長手方向中央部の板幅よりも広くなっている。
【０００７】
また、特許文献３（特開２００７−３２２５４０公報）は、衝撃による板バネの架橋部（アーム部）の基部（根本部）への応力集中を防止し、耐衝撃性に優れたカメラモジュールを開示している。
【０００８】
特許文献３に開示された板バネは、外環部と、この外環部に対して変位する内環部と、内環部を外環部に対して支持している３本の架橋部（アーム部）とを有する。架橋部は、外環部と内環部の間に形成されているリング状の間隙内において、外環部の内周縁と内環部の外周縁に沿うように延在している。架橋部は、応力集中防止手段であるスリットを有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００９−１２２３６０号公報（［００２７］）
【特許文献２】特開２００９−２１００５５号公報（図３）
【特許文献３】特開２００７−３２３５４０号公報（図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述したオードフォーカス用レンズ駆動装置で駆動される携帯型小型カメラを搭載する携帯電話機に対しては、次に述べるような、２つの性能（特性）の向上が要求されている。第１の性能（特性）は、携帯電話機の使用・保管時の落下等に対する耐衝撃性能（特性）である。第２の性能（特性）は、携帯電話機に搭載されるカメラの高画素化に伴う、動作時のレンズ傾き（チルト）性能（特性）である。
【００１１】
これら性能（特性）は、上記板バネに大きく依存している。耐衝撃性能（特性）を向上させるためには、板バネの平面方向の剛性「歪み」を小さくすれば良い。一方、動作時のレンズ傾き（チルト）性能（特性）を向上させるためには、（板バネ＋レンズホルダ）全体の「ねじり剛性」を大きくすればよい。
【００１２】
しかしながら、板バネ平面方向の剛性と、（板バネ＋レンズホルダ）全体の「ねじり剛性」とは、反比例の関係にある。すなわち、板バネが支配的な耐衝撃性能（特性）とレンズ傾き（チルト）性能（特性）とは反比例の関係にある。
【００１３】
板バネの材料として使用されるベリリウム銅は、上記第１および第２の性能（特性）において優れていることが知られている。そのため、ベリリウム銅は高性能のバネ材料として広く使われている。しかしながら、ベリリウムの化合物は毒性が強いことも知られている。そのため、環境上の観点から、板バネの材料としてベリリウム銅以外の材料を使用すること（ベリリウムフリー）が望まれている。
【００１４】
一方、駆動方法としてＶＣＭ方式を採用するレンズ駆動装置では、駆動手段として永久磁石を使用する。そのため、板バネの材料として透磁率の大きい磁性材料を使用すると、レンズ駆動装置の性能に悪影響を与えてしまう。したがって、板バネの材料としては、透磁率の小さい材料を使用することが好ましい。通常使用されているステンレス鋼（ＳＵＳ）は、比透磁率が１に近い非磁性材料である。
【００１５】
本発明の課題は、高い推力が得られる、板バネおよびレンズ駆動装置を提供することにある。
【００１６】
本発明の他の目的は、説明が進むにつれて明らかになるだろう。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明によれば、中央部に配置された柱状の可動部（１４，１６；４１，４８）を、該可動部の周囲に配置された筒状の固定部（１２，１８，２０，２８；４２）に対して、径方向に位置決めした状態で中心軸（Ｏ）方向に変位可能に支持する板バネ（２２；２２Ａ；２２Ｂ；２２Ｃ；２２Ｄ；２２Ｅ；２２Ｆ；２２Ｇ；２４）であって、前記板バネが、比透磁率が１．１以上のステンレス鋼から成ることを特徴とする板バネが得られる。
【００１８】
上記板バネ（２２；２２Ａ；２２Ｂ；２２Ｃ；２２Ｄ；２２Ｅ；２２Ｆ；２２Ｇ；２４）は、例えば、円環状の内周側端部（２２１；２４１）と、該内周側端部から離間して設けられ、前記内周側端部よりも半径の大きな外周側端部（２２２）と、前記内周側端部と前記外周側端部との間を連結するために周方向に沿って設けられたＮ本（Ｎは２以上の整数）のアーム部（２２３；２４３）と、前記内周側端部と前記Ｎ本のアーム部とを連結するＮ個の内周側連結部（２２４）と、前記外周側端部と前記Ｎ本のアーム部とを連結するＮ個の外周側連結部（２２５）と、から構成されて良い。上記板バネ（２２；２２Ａ；２２Ｂ；２２Ｃ；２２Ｄ；２２Ｅ；２２Ｆ；２２Ｇ；２４）は、前記外周側端部と各アーム部との間に形成された第１のスリット（２２６；２２６Ａ）と、前記内周側端部と各アーム部との間に形成された第２のスリット（２２７；２２７Ａ；２２７Ｂ）とを有してよい。この場合、前記第１のスリットは、前記外周側端部と各アーム部との間に形成された円弧状の第１の延在スリット部（２２６ａ；２２６Ａａ）と、前記外周側連結部の近傍に形成された第１の根本スリット部（２２６ｂ；２２６Ａｂ）とを有してよく、前記第２のスリットは、前記内周側端部と各アーム部との間に形成された実質的に円弧状の第２の延在スリット部（２２７ａ；２２７Ａａ；２２７Ｂａ）と、前記内周側連結部の近傍に形成された第２の根本スリット部（２２７ｂ；２２７Ａｂ；２２７Ｂｂ）とを有してよい。
【００１９】
上記板バネ（２２；２２Ａ；２２Ｂ）において、前記第１の根本スリット部（２２６ｂ）は、前記第１の延在スリット部（２２６ａ）のスリット幅よりも大きい幅を持ち、かつ各アーム部（２２３）の根本部から離間するように形成された曲線で囲まれた膨出形状をしていることが好ましい。また、前記内周側連結部（２２４）は、前記内周側端部（２２１）を前記可動部に取り付けるための開口（２２４ａ）を持ってよい。この場合、前記第２の根本スリット部（２２７ｂ）は、前記開口に近接し、かつ各アーム部（２２３）の根本部から離間するように、前記第２の延在スリット部（２２７ａ）から突出して形成されることが好ましい。また、前記第２の根本スリット部（２２７Ａｂ）は、各アーム部（２２３）から離間するように、前記第２の延在スリット部（２２７Ａａ）から突出して形成されていることが望ましい。前記外周側端部（２２２）は、その隅に形成され、当該外周側端部を前記固定部に取り付けるための丸穴（２２２ａ）と、該丸穴と前記第１の根本スリット部（２２６ｂ）との間に形成された円弧状のスリット（２２２ｂ）とを持ってよい。前記第１の根本スリット部（２２６Ａｂ）は、前記第１の延在スリット部（２２６Ａａ）のスリット幅よりも大きい幅を持ち、かつ曲線で囲まれた膨出形状をしてよく、前記第２の根本スリット部（２２７Ｂｂ）は、前記第２の延在スリット部（２２７Ｂａ）のスリット幅よりも大きい幅を持ち、かつ曲線で囲まれた膨出形状をしていてよい。
【００２０】
また、上記板バネ（２２Ｃ；２２Ｄ；２２Ｅ；２２Ｆ；２２Ｇ）において、前記板バネの板厚をｔとし、前記アーム部（２２３）の幅寸法をｗとしたとき、アームアスペクト比（ｗ／ｔ）が、６．０〜１．５の範囲にあることが好ましい。前記Ｎが２〜４の範囲にあることが望ましい。各アーム部（２２３）は、少なくとも１本のスリット（２２３ａ）を有することが好ましい。隣接するアーム部（２２３）が互いに重複して配置されていてよい。前記内周側端部（２２１）は、蛇腹部（２２１−１）を有してよい。
【００２１】
また、本発明によるレンズ駆動装置（１０）は、駆動源としてボイス・コイル・モータ（ＶＣＭ）を使用したＶＣＭ方式を採用したレンズ駆動装置（１０）である。前記可動部として、レンズアセンブリを保持するための筒状部（１４０）を有するレンズホルダ（１４）と、該レンズホルダに前記筒状部の周囲に位置するように固定された駆動コイル（１６）と、を備える。前記固定部として、前記駆動コイルと対向する永久磁石（１８）を備えたヨーク（２０）を備える。前記レンズ駆動装置（１０）は、前記レンズホルダ（１４）の筒状部（１４０）の光軸（Ｏ）方向両側に設けられ、前記レンズホルダ（１４）を径方向に位置決めした状態で光軸（Ｏ）方向に変位可能に支持する一対の板バネ（２２；２２Ａ；２２Ｂ；２２Ｃ；２２Ｄ；２２Ｅ；２２Ｆ；２２Ｇ；２４）を備える。前記一対の板バネの各々は、前記レンズホルダ（１４）に取り付けられた前記内周側端部と前記ヨークに取り付けられた前記外周側端部とを有する。レンズ駆動装置（１０）は、前記駆動コイル（１６）に通電することで、前記永久磁石（１８）の磁界と前記駆動コイル（１６）に流れる電流による磁界との相互作用によって、前記可動部（１４；１６）を光軸（Ｏ）方向に位置調整可能である。本発明によれば、前記一対の板バネ（２２；２２Ａ；２２Ｂ；２２Ｃ；２２Ｄ；２２Ｅ；２２Ｆ；２２Ｇ；２４）の各々は、上述した板バネから成る。
【００２２】
尚、上記括弧内の参照符号は、理解を容易にするために付したものであり、一例に過ぎず、これらに限定されないのは勿論である。
【発明の効果】
【００２３】
本発明では、板バネが、比透磁率が１．１以上のステンレス鋼から成るので、レンズ駆動装置の推力を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の第１の実施の形態によるレンズ駆動装置の外観斜視図である。
【図２】図１に示したレンズ駆動装置の分解斜視図である。
【図３】本発明の第１の実施例による板バネの化学成分を示す図である。
【図４】図３に示した化学成分を持つ板バネの冷間加工率（％）に対するビッカース硬さ（ＨＶ）の特性を示す特性図である。
【図５】図３に示した化学成分を持つ板バネの低温焼鈍温度（℃）に対するビッカース硬さ（ＨＶ）の特性を示す特性図である。
【図６】本発明の第２の実施例による板バネの化学成分を示す図である。
【図７】図６に示した化学成分を持つ板バネの冷間加工度（％）に対するビッカース硬さ（ＨＶ）の特性を示す特性図である。
【図８】図６に示した化学成分を持つ板バネの熱処理温度（℃）に対するビッカース硬さ（ＨＶ）の特性を示す特性図である。
【図９】ＳＵＳ３０１のビッカース硬度と降伏応力（耐力）との間の関係を示すグラフである。
【図１０】図２に示したレンズ駆動装置の駆動コイルに流す電流（ｍＡ）と、比透磁率の異なる板バネを使用した場合のストローク（μｍ）との関係を示すグラフである。
【図１１】図１０に基いて求められた、比透磁率とＶＣＭ特性傾き（μｍ／ｍＡ）との関係を示すグラフである。
【図１２】本発明の第１の変形例に係る上側板バネ（前側スプリング）の主要部を示す平面図である。
【図１３】本発明の第２の変形例に係る上側板バネ（前側スプリング）の主要部を示す平面図である。
【図１４】本発明の第３の変形例に係る上側板バネ（前側スプリング）の主要部を示す平面図である。
【図１５】本発明の第４の変形例に係る上側板バネ（前側スプリング）の斜視図である。
【図１６】図１５に示した板バネのアスペクト比（ｗ／ｔ）とチルト悪化率（倍）との関係を示すグラフである。
【図１７】本発明の第５の変形例に係る上側板バネ（前側スプリング）を示す平面図である。
【図１８】図１７に示した上側板バネ（前側スプリング）の一部を拡大して示す部分拡大図である。
【図１９】本発明の第６の変形例に係る上側板バネ（前側スプリング）の一部を示す平面図である。
【図２０】本発明の第７の変形例に係る上側板バネ（前側スプリング）の一部を示す平面図である。
【図２１】本発明の第８の変形例に係る上側板バネ（前側スプリング）の一部を示す平面図である。
【図２２】本発明の第２の実施の形態によるレンズ駆動装置の外環を斜め前方上方から観た斜視図である。
【図２３】図２２に示したレンズ駆動装置を、レンズバレルを省いた状態で、斜め前方上方から観た斜視図である。
【図２４】図２２に示したレンズ駆動装置を、レンズバレルと外上側カバーとを省いた状態で、斜め前方上方から観た斜視図である。
【図２５】図２２に示したレンズ駆動装置を、レンズバレルを省いた状態で、斜め前方上方から見た分解斜視図である。
【図２６】図２２に示したレンズ駆動装置を、レンズバレルと外上側カバーと内上側カバーとを省いた状態で示す、正面図である。
【図２７】図２６に示したＳＭＡアセンブリを電極ホルダに取り付けた状態を、斜め前方上方から観た斜視図である。
【図２８】図２７に示した状態を、斜め後方上方から観た斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
【００２６】
図１及び図２を参照して、本発明の第１の実施の形態によるレンズ駆動装置１０について説明する。図１はレンズ駆動装置１０の外観斜視図であり、図２はレンズ駆動装置１０の分解斜視図である。
【００２７】
ここでは、図１及び図２に示されるように、直交座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）を使用している。図１及び図２に図示した状態では、直交座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）において、Ｘ軸は前後方向（奥行方向）であり、Ｙ軸は左右方向（幅方向）であり、Ｚ軸は上下方向（高さ方向）である。そして、図１及び図２に示す例においては、上下方向Ｚがレンズの光軸Ｏ方向である。
【００２８】
但し、実際の使用状況においては、光軸Ｏ方向、すなわち、Ｚ軸方向が前後方向となる。換言すれば、Ｚ軸の上方向が前方向となり、Ｚ軸の下方向が後方向となる。
【００２９】
図示のレンズ駆動装置１０は、駆動源（駆動方法）として、ボイス・コイル・モータ（ＶＣＭ）を使用したＶＣＭ方式を採用した、レンズ駆動装置である。
【００３０】
図示のレンズ駆動装置１０は、オートフォーカス可能なカメラ付き携帯電話機に備えられる。レンズ駆動装置１０は、レンズアセンブリ（バレル）（図示せず）を光軸Ｏ方向に移動させるためのものである。レンズ駆動装置１０は、Ｚ軸方向（光軸Ｏ方向）の下側（後側）に配置されたアクチュエータ・ベース１２を有する。このアクチュエータ・ベース１２の下部（後部）には、図示はしないが、基板に配置された撮像素子が搭載される。この撮像素子は、レンズアセンブリにより結像された被写体像を撮像して電気信号に変換する。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（charge coupled device）型イメージセンサ、ＣＭＯＳ（complementary metal oxide semiconductor）型イメージセンサ等により構成される。したがって、レンズ駆動装置１０と、基板と、撮像素子との組み合わせによって、カメラモジュールが構成される。
【００３１】
レンズ駆動装置１０は、レンズアセンブリ（バレル）を保持するための筒状部１４０を有するレンズホルダ１４と、このレンズホルダ１４に筒状部１４０の周囲に位置するように固定された駆動コイル１６と、この駆動コイル１６と対向する永久磁石１８を備えたヨーク２０と、レンズホルダ１４の筒状部１４０の光軸Ｏ方向両側に設けられた一対の板バネ２２、２４とを備える。一対の板バネ２２、２４は、レンズホルダ１４を径方向に位置決めした状態で光軸Ｏ方向に変位可能に支持する。一対の板バネ２２、２４のうち、一方の板バネ２２は上側板バネと呼ばれ、他方の板バネ２４は下側板バネと呼ばれる。
【００３２】
また、前述したように、実際の使用状況においては、Ｚ軸方向（光軸Ｏ方向）の上方向が前方向、Ｚ軸方向（光軸Ｏ方向）の下方向が後方向となる。したがって、上側板バネ２２は前側スプリングとも呼ばれ、下側板バネ２４は後側スプリングとも呼ばれる。
【００３３】
上側板バネ（前側スプリング）２２および下側板バネ（後側スプリング）２４はいずれも、後述するような、特殊なステンレス鋼の金属製からなる。そして、上側板バネ（前側スプリング）２２および下側板バネ（後側スプリング）２４は、所定の薄板に対するプレス加工、あるいはフォトリソグラフィ技術を用いたエッチング加工により製造される。尚、プレス加工よりもエッチング加工の方が好ましい。その理由は、エッチング加工では、板バネに残留応力が残らないからである。
【００３４】
図２に示されるように、ヨーク２０は八角筒状をしている。すなわち、ヨーク２０は、八角筒形状の外筒部２０２と、この外筒部２０２の上端（前端）に設けられた八角形のリング状端部２０４とを有する。従って、駆動コイル１６も、八角筒状のヨーク２０の形状に合わせた、八角筒状をしている。永久磁石１８は、ヨーク２０の八角筒形状の外筒部２０２の各側辺に配置された、８個の矩形状の永久磁石片１８２から成る。
【００３５】
図２に示されるように、ヨーク２０の外筒部２０２の内周面に、駆動コイル１６と間隔を置いて、永久磁石１８が配置されている。
【００３６】
上側板バネ（前側スプリング）２２はレンズホルダ１４における光軸Ｏ方向上側（前側）に配置され、下側板バネ（後側スプリング）２４はレンズホルダ１４における光軸Ｏ方向下側（後側）に配置される。上側板バネ（前側スプリング）２２と下側板バネ（後側スプリング）２４とは、略同一構成をしている。
【００３７】
上側板バネ（前側スプリング）２２は、レンズホルダ１４に取り付けられた内周側端部２２１と、ヨーク２０に取り付けられた外周側端部２２２と、内周側端部２２１と外周側端部２２２との間を連結するために周方向に沿って設けられたＮ（Ｎは２以上の整数）本のアーム部（架橋部）２２３とを有する。内周側端部２２１は円環状をしている。外周側端部２２２は、内周側端部２２１から離間して設けられ、内周側端部２２１よりも大きい半径を持つ。各アーム部２２３は周方向に沿って延出している。内周側端部２２１と各アーム部２２３との間を連結する内周側連結部２２４は、内周側端部２２１から半径方向外側に突設している。外周側端部２２２と各アーム部２２３との間を連結する外周側連結部２２５は、外周側端部２２２から半径方向内側に突設している。
【００３８】
同様に、下側板バネ（後側スプリング）２４は、レンズホルダ１４に取り付けられた内周側端部２４１と、ヨーク２０に取り付けられた外周側端部（図示せず）と、内周側端部２４１と外周側端部との間を連結するために周方向に沿って設けられたＮ本のアーム部（架橋部）２４３とを有する。内周側端部２４１は円環状をしている。外周側端部は、内周側端部２４１から離間して設けられ、内周側端部２４１よりも大きな半径を持つ。各アーム部２４３は周方向に沿って延出している。内周側端部２４１と各アーム部２４３との間を連結する内周側連結部２４４は、内周側端部２４１から半径方向外側に突設している。外周側端部と各アーム部２４３との間を連結する外周側連結部２４５は、外周側端部から半径方向内側に突設している。
【００３９】
尚、内周側端部は内輪（内環部）とも呼ばれ、外周側端部は外輪（外環部）とも呼ばれる。
【００４０】
上側板バネ（前側スプリング）２２の内周側端部２２１は、レンズホルダ１４とストッパ２６に挟持されて固定されている。換言すれば、ストッパ２６は、上側板バネ（前側スプリング）２２の内周側端部２２１を、レンズホルダ１４との間で挟持するように、レンズホルダ１４と嵌合する。一方、上側板バネ（前側スプリング）２２の外周側端部２２２は、ヨーク２０とカバー２８との間に挟持され固定されている。
【００４１】
ストッパ２６には、次に述べるような機能がある。すなわち、ストッパ２６は、上側板バネ（前側スプリング）２２の内周側端部２２１をレンズホルダ１４にバラツキなく高精度に密着させる機能を持つ。これにより、ＶＣＭ（ボイス・コイル・モータ）特性のバラツキを改善できる。また、ストッパ２６は、上側板バネ（前側スプリング）２２の接着強度を向上させる機能をもつ。これにより、レンズ駆動装置１０の耐衝撃性を向上させている。さらに、ストッパ２６は、レンズ駆動装置１０の落下衝撃の際の上側板バネ（前側スプリング）２２の変形を防止する機能を持つ。これによっても、レンズ駆動装置１０の耐衝撃性を向上させている。また、ストッパ２６は、レンズ駆動装置１０の機械的ストロークを決める機能を持つ。
【００４２】
尚、後述するように、本実施の形態では、このストッパ２６には、レンズホルダ１４の回転防止機能も付加されている。
【００４３】
一方、下側板バネ（後側スプリング）２４の外周側端部は、スペーサ３０を介してヨーク２０に固定されている。換言すれば、スペーサ３０と下側板バネ（後側スプリング）２４の外周側端部とは、ヨーク２０とアクチュエータ・ベース１２との間に挟持されて固定されている。下側板バネ（後側スプリング）２４の内周側端部２４１は、レンズホルダ１４の下端（後端）側に固定されている。
【００４４】
レンズホルダ１４の筒状部１４０の内周壁には雌ネジ１４２が切られている。一方、図示しないが、レンズアセンブリ（バレル）の外周壁には、上記雌ネジ１４２に螺合される雄ネジが切られている。従って、レンズアセンブリ（バレル）をレンズホルダ１４に装着するには、レンズアセンブリ（バレル）をレンズホルダ１４の筒状部１４０に対して光軸Ｏ周りに回転して光軸Ｏ方向に沿って螺合することにより、レンズアセンブリ（バレル）をレンズホルダ１４内に収容し、接着剤なとによって互いに接合する。
【００４５】
この際、レンズホルダ１４が一緒に回転しまう恐れがあるが、後述するように、レンズホルダ１４が回転するのは完全に防止される。
【００４６】
駆動コイル１６に通電することで、永久磁石１８の磁界と駆動コイル１６に流れる電流による磁界との相互作用によって、レンズホルダ１４（レンズアセンブリ）を光軸Ｏ方向に位置調整することが可能である。
【００４７】
下側板バネ（後側スプリング）２４とアクチュエータ・ベース１２との間には、シート状電極３２が配置されている。このシート状電極３２は、駆動コイル１６に電力を供給するためのものである。
【００４８】
図示の実施の形態では、ストッパ２６は、光軸Ｏに対して１８０°だけ回転させた２回回転対称な位置に設けられた２つのコ字形状の回転防止押え部２６２を持つ。これらコ字形状の回転防止押え部２６２は、レンズアセンブリをレンズホルダ１４の筒状部１４０に装着する際に、レンズホルダ１４が回転するのを完全に防止する回転防止部材として働く。すなわち、レンズアセンブリのレンズホルダ１４の筒状部１４０への装着時に、２つのコ字形状の回転防止押え部２６２に治具（図示せず）を差し込み保持することで、レンズホルダ１４が回転するのを完全に防止する。この際、ストッパ１６とカバー２８との間のクリアランスは確保（保持）される。
【００４９】
上記レンズ駆動装置１０において、レンズアセンブリを保持するレンズホルダ１４と駆動コイル１６との組み合わせは、中央部に配置された柱状の可動部（１４，１６）として働く。また、アクチュエータ・ベース１２、永久磁石１８、ヨーク２０、およびカバー２８の組み合わせは、可動部（１４，１６）の周囲に配置された筒状の固定部（１２，１８，２０、２８）として働く。
【００５０】
次に、上側板バネ（前側スプリング）２２および下側板バネ（後側スプリング）２４として使用される材料（材質）について説明する。以下では、上側板バネ２２および下側板バネ２４を纏めて、単に「板バネ」と呼ぶことにする。
【００５１】
本発明の第１の実施形態に係るレンズ駆動装置１０では、板バネ（２２，２４）として、ビッカース硬さが５００ＨＶ以上の材料を使用している。これにより、耐衝撃性能とレンズ傾き（チルト）性能とを両立させた、レンズ駆動装置１０を提供することができる。
【実施例１】
【００５２】
本発明の第１の実施例では、板バネ（２２，２４）として、冷間加工によるビッカース硬さが５００ＨＶ以上と高く、かつ透過率の小さい高硬度非磁性ステンレス鋼を使用する。そのようなステンレス鋼としては、例えば、日本金属工業株式会社製のＮＴＫ  Ｓ−４を使用することができる。その化学成分（質量％）は、図３に示す通りである。
【００５３】
この高硬度非磁性ステンレス鋼の比透磁率は、約１．００２である。
【００５４】
この素材のビッカース硬さは２６０ＨＶと低いが、冷間加工を施すことにより、図４に示されるように、ビッカース硬さを５００ＨＶ以上まで上昇させることができる。図４において、横軸は冷間加工率（％）を示し、縦軸はビッカース硬さ（ＨＶ）を示す。
【００５５】
次に、冷間圧延による板バネの素材（薄板）の製造方法について説明する。まず、素材巻替機を使用して、素材大コイルを必要量に分割する。次に、冷間可逆化逆式圧延機を使用して、焼鈍工程に適合した厚さまで素材を圧延する（中間圧延）。薄板用脱脂装置を使用して、圧延した素材から圧延油を除去する（脱脂洗浄）。堅型連続光輝焼鈍炉を使用して、圧延した素材の結晶組織を調整し、内部歪を除去する（光輝焼鈍）。冷間逆式圧延機を使用して、調整した素材の最終厚みと形状を出し、所定の機械特性へ仕上げる（最終圧延）。薄板用脱脂装置を使用して、圧延した素材から圧延油を除去する（脱脂洗浄）。横型連続光輝焼鈍炉を使用して、圧延した素材から圧延歪を除去する（ＴＡ）。そして、薄板条巾切断機を使用して、圧延した素材を所定寸法に切断する（切断）。
【００５６】
また、図５に示されるように、３００〜５００℃の低温焼鈍により、ビッカース硬さは圧延状態により６０〜７０ＨＶ上昇することが分かる。図５において、横軸は低温焼鈍温度（℃）を示し、縦軸はビッカース硬さ（ＨＶ）を示す。
【００５７】
ここで、ベリリウム銅のビッカース硬さは、３８０〜４５０ＨＶの範囲にあることが知られている。したがって、第１の実施例に係る高硬度非磁性ステンレス鋼のビッカース硬さは、ベリリウム銅のそれよりも高いことが分かる。
【００５８】
この技術分野において周知のように、ビッカース硬さが高ければ高い程、降伏応力（耐力）も高くなることが知られている。
【００５９】
このように、第１の実施例では、板バネとして、ビッカース硬さが５００ＨＶ以上の高硬度非磁性ステンレス鋼を使用することにより、耐衝撃性能とレンズ傾き（チルト）性能とを両立させた、レンズ駆動装置１０を提供することができる。
【実施例２】
【００６０】
本発明の第２の実施例では、板バネとして、冷間加工によるビッカース硬さが５００ＨＶ以上と高い高硬度ステンレス鋼（オーステナイト系のクロム・ニッケル鋼）を使用する。そのようなステンレス鋼としては、例えば、日本金属工業株式会社製のＮＴＫ  ３０１（ＳＵＳ３０１）を使用することができる。その化学成分（質量％）は、図６に示す通りである。
【００６１】
この高硬度ステンレス鋼の比透磁率は、約１．５０である。
【００６２】
この素材のビッカース硬さは１９１ＨＶと低いが、冷間加工を施すことにより、図７に示されるように、ビッカース硬さを５００ＨＶ以上まで上昇させることができる。図７において、横軸は冷間加工度（％）を示し、縦軸はビッカース硬さ（ＨＶ）を示す。
【００６３】
冷間圧延による板バネの素材（薄板）の製造方法は、上記第１の実施例と同様なので、その説明については省略する。
【００６４】
また、図８に示されるように、３００〜４００℃の熱処理によりビッカース硬さは３０〜４０ＨＶ上昇することが分かる。図８において、横軸は熱処理温度（℃）を示し、縦軸はビッカース硬さ（ＨＶ）を示す。
【００６５】
上述したように、ベリリウム銅のビッカース硬さは、３８０〜４５０ＨＶの範囲にあることが知られている。したがって、第２の実施例に係る高硬度ステンレス鋼のビッカース硬さは、ベリリウム銅のそれよりも高いことが分かる。
【００６６】
図９は、ＳＵＳ３０１のビッカース硬さと降伏応力（耐力）との間の関係を示すグラフである。図９において、横軸はビッカース硬さ（ＨＶ）を示し、縦軸は耐力（Ｎ／ｍｍ２）を示す。図９から、ビッカース硬さが高ければ高い程、降伏応力（耐力）も高くなることが分かる。
【００６７】
このように、第２の実施例では、板バネとして、ピッカーズ硬さが５００ＨＶ以上の高硬度ステンレス鋼を使用することにより、耐衝撃性能とレンズ傾き（チルト）性能とを両立させた、レンズ駆動装置１０を提供することができる。
【００６８】
図１０は、図２に示したレンズ駆動装置１０の駆動コイル１６に流す電流（ｍＡ）と、比透磁率の異なる板バネ（２２、２４）を使用した場合のストローク（μｍ）との関係を示すグラフである。
【００６９】
図１０から、比透磁率が１．０００２の板バネ（２２．２４）を使用した場合よりも、比透磁率が１．５の板バネ（２２．２４）を使用した方が、始動電流値が２５ｍＡ増加していることが分かる。また、比透磁率が１．０００２の板バネ（２２．２４）を使用した場合の傾きが６．３であるのに対して、比透磁率が１．５の板バネ（２２．２４）を使用した場合の傾きが７．４であることが分かる。すなわち、比透磁率が高いほうが、推力が増加することが分かる。
【００７０】
図１１は、図１０に基いて求められた、比透磁率とＶＣＭ特性傾き（μｍ／ｍＡ）との関係を示すグラフである。図１１から、比透磁率が１．１以上であれば、従来に比べて十分に高い推力が得られることが分かる。
【００７１】
換言すれば、図２に示すレンズ駆動装置１０において、撮像素子に近い下側板バネ２４として、比透磁率μｓが１．１以上のステンレス鋼を使用することにより、固定側の漏れ磁界を少なくすることができ、レンズ駆動装置１０の推力を増加させることができる。
【００７２】
後述する変形例１〜３は、上記実施例１又は上記実施例２を前提とした上で、より耐衝撃性能を向上させる例である。
【００７３】
［変形例１］
次に、本発明に係る板バネの第１の変形例について説明する。
【００７４】
図１２は、本発明の第１の変形例に係る上側板バネ（前側スプリング）２２の主要部を示す平面図である。尚、下側板バネ（後側スプリング）２４も、上側板バネ（前側スプリング）２２と同様の構成を有するので、その説明については省略する。
【００７５】
上側板バネ２２は、外周側端部２２２と各アーム部２２３との間に形成された第１のスリット２２６を持つ。この第１のスリット２２６は、外周側端部２２２と各アーム部２２３との間に形成された円弧状の第１の延在スリット部２２６ａと、外周側連結部２２５の近傍に形成された第１の根本スリット部２２６ｂとを有する。この第１の根本スリット部２２６ｂは、第１の延在スリット部２２６ａのスリット幅より大きい幅を持ち、かつ各アーム部２２３の根本部から離間するように形成された曲線で囲まれた膨出形状をしている。
【００７６】
また、上側板バネ２２は、内周側端部２２１と各アーム部２２３との間に形成された第２のスリット２２７を持つ。内周側連結部２２４には、内周側端部２２１をレンズホルダ１４に取り付けるための開口２２４ａが形成されている。第２のスリット２２７は、内周側端部２２１とアーム部２２３との間に形成された実質的に円弧状の第２の延在スリット部２２７ａと、内周側連結部２２４の近傍に形成された第２の根本スリット部２２７ｂとを有する。この第２の根本スリット部２２７ｂは、上記開口２２４ａに近接し、かつ各アーム部２２３の根本部から離間するように、第２の延在スリット部２２７ａから突出して形成されている。
【００７７】
このように、各アーム部２２３の根本に、第１及び第２の根本スリット部２２６ｂ、２２７ｂを形成したので、板バネ２２の各アーム部２２３の根本にかかる応力を緩和させることができる。これにより、携帯電話機の落下等の耐衝撃性能を向上させることができる。
【００７８】
また、第２の根本スリット部２２７ｂが、内周側連結部２２４の開口２２４ａに近接しているので、動作時に内周側端部２２１からアーム部２２３へ伝達される捩れを吸収することができる。
【００７９】
［変形例２］
次に、本発明に係る板バネの第２の変形例について説明する。
【００８０】
図１３は、本発明の第２の変形例に係る上側板バネ（前側スプリング）２２Ａの主要部を示す平面図である。尚、下側板バネ（後側スプリング）も、上側板バネ（前側スプリング）２２Ａと同様の構成を有するので、その説明については省略する。
【００８１】
図示の上側板バネ２２Ａは、後述するように、実質的に、第２のスリットの形状が異なる点を除いて、図１２に示した上側板バネ２２と同様の構成を有する。従って、第２のスリットに２２７Ａの参照符号を付してある。説明の簡略化の為に、以下では第１の変形例との相違点についてのみ説明する。
【００８２】
外周側端部２２２は、その四隅に、当該外周側端部２２２をヨーク２２に取り付けるための４つの丸穴２２２ａを持つ。また、外周側端部２２２は、各丸穴２２２ａと第１のスリット２２６の根本スリット部２２６ｂとの間に形成された、円弧状スリット２２２ｂを持つ。
【００８３】
内周側連結部２２４は、図１２に示したような、開口２２４ａを持っていない。
【００８４】
第２のスリットに２２７Ａは、内周側端部２２１とアーム部２２３との間に形成された円弧状の第２の延在スリット部２２７Ａａと、内周側連結部２２４の近傍に形成された第２の根本スリット部２２７Ａｂとを有する。この第２の根本スリット部２２７Ａｂは、各アーム部２２３の根本部から離間するように、第２の延在スリット部２２７Ａａから突出して形成されている。
【００８５】
このように、各アーム部２２３の根本に第１及び第２の根本スリット部２２６ｂ、２２７Ａｂを形成し、第１の根本スリット部２２６ｂの近傍に円弧状スリット２２２ｂを形成したので、板バネ２２Ａの各アーム部２２３の根本にかかる応力を緩和させることができる。これにより、携帯電話機の落下等の耐衝撃性能を向上させることができる。
【００８６】
［変形例３］
次に、本発明に係る板バネの第３の変形例について説明する。
【００８７】
図１４は、本発明の第３の変形例に係る上側板バネ（前側スプリング）２２Ｂの主要部を示す平面図である。尚、下側板バネ（後側スプリング）も、上側板バネ（前側スプリング）２２Ｂと同様の構成を有するので、その説明については省略する。
【００８８】
図示の上側板バネ２２Ｂは、後述するように、第１および第２のスリットの形状が異なる点を除いて、図１３に示した上側板バネ２２Ａと同様の構成を有する。従って、第１および第２のスリットに、それぞれ、２２６Ａおよび２２７Ｂの参照符号を付してある。説明の簡略化の為に、以下では第２の変形例との相違点についてのみ説明する。
【００８９】
第１のスリット２２６Ａは、外周側端部２２２と各アーム部２２３との間に形成された円弧状の第１の延在スリット部２２６Ａａと、外周側連結部２２５の近傍に形成された第１の根本スリット部２２６Ａｂとを有する。この第１の根本スリット部２２６Ａｂは、第１の延在スリット部２２６Ａａのスリット幅より大きい幅を持ち、かつ曲線で囲まれた膨出形状をしている。
【００９０】
第２のスリット２２７Ｂは、内周側端部２２１とアーム部２２３との間に形成された円弧状の第２の延在スリット部２２７Ｂａと、内周側連結部２２４の近傍に形成された第２の根本スリット部２２７Ｂｂとを有する。この第２の根本スリット部２２７Ｂｂは、第２の延在スリット部２２７Ｂａのスリット幅より大きい幅を持ち、かつ曲線で囲まれた膨出形状をしている。
【００９１】
このように、各アーム部２２３の根本に第１及び第２の根本スリット部２２６Ａｂ、２２７Ｂｂを形成し、第１の根本スリット部２２６Ａｂの近傍に円弧状スリット２２２ｂを形成したので、板バネ２２Ｂの各アーム部２２３の根本にかかる応力を緩和させることができる。これにより、携帯電話機の落下等の耐衝撃性能を向上させることができる。
【００９２】
後述する変形例４は、上記実施例１又は上記実施例２を前提とした上で、よりレンズ傾き（チルト）性能を向上させる例である。
【００９３】
［変形例４］
次に、本発明に係る板バネの第４の変形例について説明する。
【００９４】
図１５は、本発明の第４の変形例に係る上側板バネ（前側スプリング）２２Ｃの斜視図である。尚、下側板バネ（後側スプリング）も、上側板バネ（前側スプリング）２２Ｃと同様の構成を有するので、その説明については省略する。
【００９５】
図示の上側板バネ２２Ｃにおいて、その板厚ｔが０．０３ｍｍ〜０．０８ｍｍの範囲にある。アーム部２２３の幅寸法ｗは、０．０８ｍｍ〜０．３５ｍｍの範囲にある。また、アーム部２２３の長さ寸法Ｌは、６ｍｍ〜９ｍｍの範囲ある。図示の上側板バネ２２Ｃでは、アーム部２２３の本数Ｎが４である。しかしながら、この本数Ｎは２〜４の範囲にあればよい。
【００９６】
図１６は、アームアスペクト比（ｗ／ｔ）とチルト悪化率との関係を示すグラフである。図１６において、横軸はアームアスペクト比（ｗ／ｔ）を示し、縦軸はチルト悪化率（倍）を示す。
【００９７】
具体的には、上側板バネ２２Ｃの板厚ｔが０．０３ｍｍで、アーム部２２３の幅寸法ｗが０．１８ｍｍであるとき、アームアスペクト比（ｗ／ｔ）は６．０に等しい。図１６は、このアームアスペクト比（ｗ／ｔ）が６．０のときのチルト悪化率を１とした場合のグラフである。
【００９８】
図１６から、アームアスペクト比（ｗ／ｔ）が小さければ小さい程、チルト悪化率が上昇（悪化）していることが分かる。具体的には、アームアスペクト比（ｗ／ｔ）が６．０〜１．５の範囲では、チルト悪化率が緩やかに上昇しているが、アームアスペクト比（ｗ／ｔ）が１．５未満になると、チルト悪化率が急激に悪化（上昇）していることが分かる。
【００９９】
したがって、アームアスペクト比（ｗ／ｔ）が６．０〜１．５の範囲にあれば、レンズ傾き（チルト）性能を向上させることができることが分かる。
【０１００】
後述する変形例５〜８は、上記実施例１又は上記実施例２を前提とし、かつ上記変形例４を前提とした上で、より耐衝撃性能を向上させる例である。
【０１０１】
［変形例５］
次に、本発明に係る板バネの第５の変形例について説明する。
【０１０２】
図１７は、本発明の第５の変形例に係る上側板バネ（前側スプリング）２２Ｄを示す平面図である。図１８は、図１７に示した上側板バネ（前側スプリング）２２Ｄの一部を拡大して示す部分拡大図である。尚、下側板バネ（後側スプリング）も、上側板バネ（前側スプリング）２２Ｄと同様の構成を有するので、その説明については省略する。
【０１０３】
この第５の変形例は、上記特許文献３に開示されたものと同様の構成を有する。すなわち、上側板バネ２２Ｄにおいて、各アーム部２２３は、１本のスリット２２３ａを有する。このスリット２２３ａは、アーム部２２３の基部への応力集中を防止する応力集中防止手段として働く。これにより、携帯電話機の落下等の耐衝撃性能を向上させることができる。
【０１０４】
［変形例６］
次に、本発明に係る板バネの第６の変形例について説明する。
【０１０５】
図１９は、本発明の第６の変形例に係る上側板バネ（前側スプリング）２２Ｅの一部を示す平面図である。尚、下側板バネ（後側スプリング）も、上側板バネ（前側スプリング）２２Ｅと同様の構成を有するので、その説明については省略する。
【０１０６】
図示の上側板バネ２２Ｅにおいて、各アーム部２２３は、２本のスリット２２３ａを有する。これらスリット２２３ａは、アーム部２２３の基部への応力集中を防止する応力集中防止手段として働く。これにより、携帯電話機の落下等の耐衝撃性能を向上させることができる。
【０１０７】
［変形例７］
次に、本発明に係る板バネの第７の変形例について説明する。
【０１０８】
図２０は、本発明の第７の変形例に係る上側板バネ（前側スプリング）２２Ｆの一部を示す平面図である。尚、下側板バネ（後側スプリング）も、上側板バネ（前側スプリング）２２Ｆと同様の構成を有するので、その説明については省略する。
【０１０９】
図示の上側板バネ２２Ｆは、８本のアーム部２２３を有する。各アーム部２２３は、略９０度の角度の円弧状をしており、隣接するアーム２２３と重複した状態で配置されている。このような構造により、アーム部２２３の基部への応力集中を防止することができる。その結果、携帯電話機の落下等の耐衝撃性能を向上させることができる。
【０１１０】
［変形例８］
次に、本発明に係る板バネの第８の変形例について説明する。
【０１１１】
図２１は、本発明の第８の変形例に係る上側板バネ（前側スプリング）２２Ｇの一部を示す平面図である。尚、下側板バネ（後側スプリング）も、上側板バネ（前側スプリング）２２Ｇと同様の構成を有するので、その説明については省略する。
【０１１２】
図示の上側板バネ２２Ｇにおいて、内周側端部２２１は、蛇腹部２２１−１を有する。このような構造により、アーム部２２３の基部への応力集中を防止することができる。その結果、携帯電話機の落下等の耐衝撃性能を向上させることができる。
【０１１３】
尚、上記変形例８では、内周側端部２２１に蛇腹部２２１−１を設けているが、他の部分に蛇腹部を設けてもよい。例えば、アーム部２２３に蛇腹部を設けてもよい。換言すれば、アーム部２２３は、略円弧状の形状である必要がなく、種々の形状を採用してよい。
【０１１４】
図２２乃至図２６を参照して、本発明の第２の実施の形態によるレンズ駆動装置１０Ａについて説明する。図２２はレンズ駆動装置１０Ａの外観を斜め前方上方から観た斜視図である。図２３はレンズ駆動装置１０Ａを、レンズバレル４１を省いた状態で、斜め前方上方から観た斜視図である。図２４はレンズ駆動装置１０Ａを、レンズバレル４１と外上側カバー４６とを省いた状態で、斜め前方上方から観た斜視図である。図２５はレンズ駆動装置１０Ａを、レンズバレル４１を省いた状態で、斜め前方上方から観た分解斜視図である。図２６はレンズ駆動装置１０Ａを、レンズバレル４１と外上側カバー４６と内上側カバー（ストッパ）６０とを省いた状態で示す、正面図である。
【０１１５】
ここでは、図２２乃至図２６に示されるように、直交座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）を使用している。図２２乃至図２６に図示した状態では、直交座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）において、Ｘ軸方向は前後方向（奥行方向）であり、Ｙ軸方向は左右方向（幅方向）であり、Ｚ軸方向は上下方向（高さ方向）である。図２２乃至図２６に示す例においては、上下方向Ｚがレンズの光軸Ｏ方向である。また、本明細書中では、前方向は第１の側とも呼ばれ、後方向は第２の側とも呼ばれる。
【０１１６】
但し、実際の使用状況においては、光軸Ｏ方向、すなわち、Ｚ軸方向が前後方向となる。換言すれば、Ｚ軸の上方向が前方向となり、Ｚ軸の下方向が後方向となる。
【０１１７】
図示のレンズ駆動装置１０Ａは、駆動源（駆動方法）として、形状記憶合金（Shape Memory Alloy：ＳＭＡ）を使用したＳＭＡ方式を採用した、レンズ駆動装置である。
【０１１８】
図示のレンズ駆動装置１０Ａは、光軸Ｏを通り、かつ前後方向Ｘおよび上下方向Ｚによって規定される（に延在する）平面に対して面対称の構造を有する。
【０１１９】
図示のレンズ駆動装置１０Ａは、例えば、オートフォーカス可能なカメラ付き携帯電話機に備えられる。レンズ駆動装置１０Ａは、可動レンズであるオートフォーカスレンズＡＦＬを内蔵するレンズバレル（レンズアセンブリ）４１を含む。レンズ駆動装置１０Ａは、レンズバレル４１を光軸Ｏ方向にのみ移動させるためのものである。
【０１２０】
図２２に示されるように、レンズ駆動装置１０Ａは、レンズバレル４１を覆う略直方体形状の筐体（ハウジング）４２を備える。換言すれば、筐体（ハウジング）４２内に、レンズバレル４１が配置される。筐体（ハウジング）４２は、アクチュエータ・ベース４４と、外上側カバー４６とを含む。
【０１２１】
一方、図示はしないが、アクチュエータ・ベース４４の中央部には、基板に配置された撮像素子が搭載される。この撮像素子は、可動レンズＡＦＬにより結像された被写体像を撮像して電気信号に変換する。撮像素子は、例えば、ＣＣＤ（charge coupled device）型イメージセンサ、ＣＭＯＳ（complementary metal oxide semiconductor）型イメージセンサ等により構成される。
【０１２２】
レンズ駆動装置１０Ａは、上記レンズバレル４１を保持するレンズホルダ４８を含む。換言すれば、レンズバレル４１はレンズホルダ４８内に保持・固定される。詳述すると、レンズホルダ４８は略円筒状をした筒状部４８２を含む。レンズホルダ４８の筒状部４８２の内周壁には雌ネジ（図示せず）が切られている。一方、レンズバレル４１の外周壁には、上記雌ネジに螺合される雄ネジ（図示）が切られている。従って、レンズバレル４１をレンズホルダ４８に装着するには、レンズバレル４１をレンズホルダ４８に対して光軸Ｏ周りに回転して光軸Ｏ方向に沿って螺合することにより、レンズバレル４１をレンズホルダ４８内に収容し、接着剤などによって互いに接合する。
【０１２３】
レンズホルダ４８は、ハウジング４２内で、後述するように、光軸Ｏ方向にのみ移動可能に支持される。レンズバレル４１とレンズホルダ４８との組み合わせによってレンズ可動部（４１，４８）が構成される。
【０１２４】
レンズホルダ４８の筒状部４８２の外周壁には、前後方向Ｘの前方で半径方向外側に突出する突出部４８４を有する。突出部４８４は、筒状部４８２の上端から下端へ向けて上下方向Ｚに沿って突出している。この突出部４８４は、後述する線状に形成された形状記憶合金ワイヤ６２の中間部６２ａを掛止するためのものである。したがって、突出部４８４は掛止突起とも呼ばれる。
【０１２５】
アクチュエータ・ベース４４は、リング状のベース部４４２と、ベース部４４２の四隅で上下方向Ｚの上方へ僅かに突出する４つのベース突出部４４４を有する。４つのベース突出部４４４は、それぞれ、上方へ突出する４つのベース突起４４４ａを持つ。４つのベース突出部４４４の内、前方の２つのベース突出部４４４間には前方凹部４４６が形成され、後方の２つのベース突出部４４４間には後方凹部４４８が形成されている。
【０１２６】
筐体（ハウジング）４２は、前方支持部材５２と後方支持部材５４とをさらに有する。前方支持部材５２は、アクチュエータ・ベース４４の前方に取り付けられ、後方支持部材５４は、アクチュエータ・ベース４４の後方に取り付けられる。前方支持部材５２と後方支持部材５４は、実質的に同一の形状をしている。前方支持部材５２および後方支持部材５４は、光軸Ｏを通り、かつ左右方向Ｙおよび上下方向Ｚによって規定される（に延在する）平面に関して面対称に配置されている。換言すれば、前方支持部材５２および後方支持部材５４は、上記平面に対して鏡像関係にある。
【０１２７】
前方支持部材５２は第１の支持部材とも呼ばれ、後方支持部材５４は第２の支持部材とも呼ばれる。第１および第２の支持部材を一纏めにして単に、支持部材とも呼ばれる。
【０１２８】
尚、前方支持部材５２は、後述する一対の電極６４を保持するためのものであるので、電極ホルダとも呼ばれる。
【０１２９】
前方支持部材（電極ホルダ）５２は、アクチュエータ・ベース４４の前方凹部４４６に挿入される前方ベース部５２２と、アクチュエータ・ベース４４の前方の一対のベース突出部４４４上に搭載される一対の前方支持突出部５２４と、前方ベース部５２２の両端部と一対の前方支持突出部５２４との間を連結する一対の前方支持連結部５２６とを有する。一対の前方支持突出部５２４は、上方へ突出しており、それぞれ、上方へ突出する一対の前方支持突起５２４ａを持つ。尚、図示はしないが、一対の前方支持突出部５２４は、その底部に、前方の一対のベース突出部４４４から突出した一対のベース突起４４４ａが挿入される一対の前方支持穴を持つ。後述するように、一対の電極６４は、一対の前方支持連結部５２６で保持される。
【０１３０】
同様に、後方支持部材５４は、アクチュエータ・ベース４４の後方凹部４４８に挿入される後方ベース部５４２と、アクチュエータ・ベース４４の後方の一対のベース突出部４４４上に搭載される一対の後方支持突出部５４４と、後方ベース部５４２の両端部と一対の後方支持突出部５４４との間を連結する一対の後方支持連結部５４６とを有する。一対の後方支持突出部５４４は、上方へ突出しており、それぞれ、上方へ突出する一対の後方支持突起５４４ａを持つ。尚、図示はしないが、一対の後方支持突出部５４４は、その底部に、後方の一対のベース突出部４４４から突出した一対のベース突起４４４ａが挿入される一対の後方支持穴を持つ。
【０１３１】
レンズ駆動装置１０Ａは、レンズホルダ４８の筒状部４８２の光軸Ｏ方向の上側および下側にそれぞれ設けられた上側板バネ５６と一対の下側板バネ５８とを備える。上側板バネ５６と一対の下側板バネ５８とは、レンズホルダ４８とハウジング４２との間に配置されて、レンズホルダ４８を径方向に位置決めした状態で光軸Ｏ方向に変位可能に支持する弾性部材５０として働く。
【０１３２】
また、前述したように、実際の使用状況においては、Ｚ軸方向（光軸Ｏ方向）の上方向が前方向、Ｚ軸方向（光軸Ｏ方向）の下方向が後方向となる。したがって、上側板バネ５６は前側スプリングとも呼ばれ、一対の下側板バネ５８は後側スプリングとも呼ばれる。
【０１３３】
これら上側板バネ（前側スプリング）５６および一対の下側板バネ（後側スプリング）５８はいずれも、上述した第１の実施例または第２の実施例で示した、特殊なステンレス鋼の金属製からなる。そして、上側板バネ（前側スプリング）５６および一対の下側板バネ（後側スプリング）５８は、所定の薄板に対するプレス加工、あるいはフォトリソグラフィ技術を用いたエッチング加工により製造される。尚、プレス加工よりもエッチング加工の方が好ましい。その理由は、エッチング加工では、板バネに残留応力が残らないからである。
【０１３４】
上側板バネ５６はレンズホルダ４８における光軸Ｏ方向上側に配置され、一対の下側板バネ５８はレンズホルダ４８における光軸Ｏ方向下側に配置される。
【０１３５】
上側板バネ５６は、レンズホルダ４８に取り付けられる上側リング部５６２と、後述するようにハウジング４２の四隅に取り付けられる４つの上側端部５６４とを有する。上側リング部５６２と４つの上側端部５６４とに間には、４つの上側腕部５６６が設けられている。すなわち、４つの上側腕部５６６は、上側リング部５６２と４つの上側端部５６４とを繋いでいる。
【０１３６】
上側板バネ５６の上側リング部５６２は、レンズホルダ４８の筒状部４８２に固定される。詳述すると、レンズホルダ４８は、筒状部４８２の上端から半径方向外側へ突出する４つの上側ホルダ突出部４８６を有する。４つの上側ホルダ突出部４８６は、それぞれ、上方へ突出する４つの上側ホルダ突起部４８６ａを持つ。上側板バネ５６の上側リング部５６２は、これら４つの上側ホルダ突起部４８６ａがそれぞれ挿入される４つの上側バネ穴５６２ａを持つ。
【０１３７】
一方、上側板バネ５６の４つの上側端部５６４は、前方支持部材５２の一対の前方支持突出部５２４および後方支持部材５４の一対の後方支持突出部５４４に固定される。詳述すると、上側板バネ５６の４つの上側端部５６４は、それぞれ、一対の前方支持突出部５２４に形成された一対の前方支持突起５２４ａおよび一対の後方支持突出部５４４に形成された一対の後方支持突起５４４ａが嵌入される４つの上側端部穴５６４ａを持つ。ハウジング４２は、外上側カバー４６の内部に設けられた樹脂製の内上側カバー６０を更に有する。この内上側カバー６０によって、上側板バネ５６の４つの上側端部５６４が固定される。
【０１３８】
詳述すると、内上側カバー６０は、リング形状をした内カバー本体６０２と、この内カバー本体６０２の四隅で下方へ僅かに突出する４つの係止突出部６０４と、前側の一対の突出部６０４の近傍で下方へ延出する一対の前方延出部６０６と、後側の一対の突出部６０４の近傍で下方へ延出する一対の後方延出部６０８とから構成される。４つの係止突出部６０４は、それぞれ、前方支持部材５２の一対の前方突起５２４ａおよび後方支持部材５４の一対の後方支持突起５４４ａが挿入される４つの貫通穴６０４ａを持つ。したがって、上側板バネ５６の４つの上側端部５６４は、内上側カバー６０の４つの係止突出部６０４と、前方支持部材５２の一対の前方支持突出部５２４および後方支持部材５４の一対の後方支持突出部５４４との間に挟持された状態で、固定される。内上側カバー６０は、上側板バネ５６が前方支持部材５２および後方支持部材５４から外れるのを防止する機能を有するので、ストッパとも呼ばれる。
【０１３９】
従って、ハウジング４２は、アクチュエータ・ベース４４、外上側カバー４６、前方支持部材（電極ホルダ）５２、後方支持部材５４、および内上側カバー（ストッパ）６０から構成される。
【０１４０】
一対の下側板バネ５８の内、一方は左右方向Ｙの右側に設けられ、他方は左右方向Ｙの左側に設けられている。一対の下側板バネ５８は、光軸Ｏを通り、かつ前後方向Ｘおよび上下方向Ｚによって規定される（に延在する）平面に関して面対称に配置されている。換言すれば、一対の下側板バネ５８の一方および他方は、上記平面に対して互いに鏡像関係にある。
【０１４１】
右側の下側板バネ５８は、右方で前後方向Ｘに弧状に延在する下側円弧部５８２と、右側の前後方向Ｘの２隅に設けられた一対の下側端部５８４とを有する。下側円弧部５８２と一対の下側端部５８４との間には、一対の下側腕部５８６が設けられている。すなわち、一対の下側腕部５８６は、下側円弧部５８２と一対の下側端部５８４とを繋いでいる。一対の下側端部５８４は、アクチュエータ・ベース４４の４つのベース突起４４４ａの内、右方に設けられた一対のベース突起４４４ａが嵌入される一対の下側端部穴５８４ａを持つ。したがって、右側の下側板バネ５８の一対の下側端部５８４は、アクチュエータ・ベース４４の右側の一対のベース突出部４４４と、前方支持部材５２の右側の前方突出部５２４および後方支持部材５４の右側の後方突出部５４４との間に挟持されて、固定される。右側の下側板バネ５８の下側円弧部５８２は、レンズホルダ４８の筒状部４８２の下端部の右側に取り付けられる。
【０１４２】
同様に、左側の下側板バネ５８は、左方で前後方向Ｘに弧状に延在する下側円弧部５８２と、左側の前後方向Ｘの２隅に設けられた一対の下側端部５８４とを有する。下側円弧部５８２と一対の下側端部５８４との間には、一対の下側腕部５８６が設けられている。すなわち、一対の下側腕部５８６は、下側円弧部５８２と一対の下側端部５８４とを繋いでいる。一対の下側端部５８４は、アクチュエータ・ベース４４の４つのベース突起４４４ａの内、左方に設けられた一対のベース突起４４４ａが嵌入される一対の下側端部穴５８４ａを持つ。したがって、左側の下側板バネ５８の一対の下側端部５８４は、アクチュエータ・ベース４４の左側の一対のベース突出部４４４と、前方支持部材５２の左側の前方突出部５２４および後方支持部材５４の左側の後方突出部５４４との間に挟持されて、固定される。左側の下側板バネ５８の下側円弧部５８２は、レンズホルダ４８の筒状部４８２の下端部の左側に取り付けられる。
【０１４３】
上側板バネ５６と一対の下側板バネ５８とから成る弾性部材５０は、レンズホルダ４８を光軸Ｏ方向にのみ移動可能に案内する案内手段として働く。上側板バネ５６および一対の下側板バネ５８の各々は、上述したように、上記第１の実施例および第２の実施例で示された、特殊なステンレス鋼から成る。
【０１４４】
このような構成により、レンズ可動部（４１，４８）は、筐体（ハウジング）４２に対して光軸Ｏ方向にのみ移動可能である。
【０１４５】
上記レンズ駆動装置１０Ａにおいて、レンズバレス４１を保持する筒状部４８２を含むレンズホルダ４８は、中央部に配置された可動部（４１，４８）として働く。また、アクチュエータ・ベース４４、外上側カバー４６、前方支持部材（電極ホルダ）５２、後方支持部材５４、および内上側カバー（ストッパ）６０から成るハウジング４２は、可動部（４１，４８）の周囲に配置された筒状の固定部として働く。
【０１４６】
レンズ駆動装置１０Ａは、レンズホルダ４８の筒状部４８２の外壁近傍に配置された線状に形成された形状記憶合金ワイヤ６２と、この形状記憶合金ワイヤ６２の両端部にそれぞれ電気的に接続された一対の電極６４とを備えている。形状記憶合金（ＳＭＡ）ワイヤ６２と一対の電極６４との組み合わせは、形状記憶合金（ＳＭＡ）アセンブリ６６と呼ばれる。ＳＭＡアセンブリ６６は、後述するように、前方支持部材（電極ホルダ）５２に保持される。
【０１４７】
図２７及び図２８を参照して、ＳＭＡアセンブリ６６の前方支持部材（電極ホルダ）５２への取付け状態について説明する。図２７は、ＳＭＡアセンブリ６６を電極ホルダ５２に取り付けた状態を、斜め前方上方から見た斜視図である。図２８は、ＳＭＡアセンブリ６６を電極ホルダ５２に取り付けた状態を、斜め後方上方から見た斜視図である。
【０１４８】
一対の電極６４は、左右対称の形状をしている。一対の電極６４は、実質的に上下方向Ｚに延在している。各電極６４は、前方支持連結部５２６で保持される略Ｌ字型の被保持部６４２と、この被保持部６４２の上端部で断面コ字状に曲げられた接続部６４４と、被保持部６４２の内側端部から下方へ延在する帯状の端子部６４６とを有する。各電極６４は、接続部６４４をかしめて、形状記憶合金ワイヤ６２の端部と電気的に接続される。端子部６４６は、図示しない駆動回路からの駆動電流の供給を受けるためのものである。
【０１４９】
図２８に示されるように、電極６４の被保持部６４２は、電極ホルダ５２の前方支持連結部５２６の背面で保持される。被保持部６４２は円穴６４２ａを持つ。
【０１５０】
図２８に示されるように、前方支持連結部５２６は、被保持部６４２の円穴６４２ａに嵌入するように、その背面から後方へ突出する円柱状の第１の突出部５２６ａを有する。また、前方支持連結部５２６は、被保持部６４２の底面部と係止するように、その背面から後方へ突出する第２の突出部５２６ｂを有する。さらに、前方支持連結部５２６は、被保持部６４２のＬ字の内側曲げ部と係合するように、その背面から後方へ突出する略三角柱状の第３の突出部５２６ｃとを有する。尚、電極６４の被保持部６４２の外側面は、電極ホルダ５２の前方支持突出部５２４の内側壁に係止される。
【０１５１】
このようにして、ＳＭＡアセンブリ６６は、前方支持部材（電極ホルダ）５２に取り付けられている。尚、形状記憶合金ワイヤ６２の中間部６２ａは、レンズホルダ４８の突出部（掛止突起）４８４と掛止される。すなわち、形状記憶合金ワイヤ６２は、レンズホルダ４８とハウジング４２との間に張架されている。
【０１５２】
次に、レンズ駆動装置１０Ａの概略の動作について説明する。
【０１５３】
周知のように、「形状記憶合金」とは、予め与えられた変形歪が、特定の温度領域において、ゼロとなって元の形状に回復する性質を持つ金属である。形状記憶合金は、例えば、ＴｉＮｉ合金からなる。
【０１５４】
尚、図示の形状記憶合金ワイヤ６２は、通電により自己発熱すると予め記憶された収縮長さに収縮し、通電を止めると自然冷却により予め決められた元の長さ（弛緩状態の長さ）に戻るタイプのワイヤである。
【０１５５】
上記弾性部材５０は、レンズホルダ４８を光軸Ｏ方向に沿って下方向に付勢するように作用する。一方、形状記憶合金ワイヤ６２は、駆動回路（図示せず）から一対の電極６４を介して通電されると、収縮する。その結果、レンズホルダ４８は、弾性部材５０の下方向の付勢力に抗して、光軸Ｏ方向に沿って上方へ移動する。
【０１５６】
一方、形状記憶合金ワイヤ６２への通電を停止すると、形状記憶合金ワイヤ６２は自然に冷却される。その結果、弾性部材５０の下方向の付勢力により、形状記憶合金ワイヤ６２は、伸張する。その結果、レンズホルダ４８は、光軸Ｏ方向に沿って下方へ移動する。
【０１５７】
すなわち、形状記憶合金ワイヤ６２は、その通電／非通電による温度変化により光軸Ｏ方向に伸縮し、レンズホルダ４８を光軸Ｏ方向に移動させる移動手段として働く。
【０１５８】
弾性部材５０とＳＭＡアセンブリ６６との組み合わせは、レンズ可動部（４１，４８）を光軸Ｏ方向に移動可能に支持しながら、レンズ可動部（４１，４８）を駆動するレンズ駆動部（５０，６６）として働く。
【０１５９】
レンズ駆動部（５０，６６）とレンズ可動部（４１，４８）とは、図２４に示されるように、光軸Ｏに対して並置されている。したがって、レンズ駆動装置１０Ａを低背化することができる。
【０１６０】
本発明の第２の実施形態に係るレンズ駆動装置１０Ａでは、板バネ（５６，５８）として、ビッカース硬さが５００ＨＶ以上の材料を使用している。これにより、耐衝撃性能とレンズ傾き（チルト）性能とを両立させた、レンズ駆動装置１０Ａを提供することができる。
【０１６１】
以上、本発明についてその好ましい実施の形態によって説明してきたが、本発明の精神を逸脱しない範囲内で、種々の変形が当業者によって可能であるのは明らかである。例えば、上述した実施の形態では、内周側端部２２１と外周側端部２２２との間を３本または４本のアーム部２２３で連結しているが、一般には、内周側端部２２１と外周側端部２２２との間をＮ本（Ｎは２以上の整数）のアーム部で連結する板バネにも適用可能である。但し、Ｎは２〜４の範囲にあることが好ましい。
【符号の説明】
【０１６２】
１０、１０Ａ    レンズ駆動装置
１２    アクチュエータ・ベース
１４    レンズホルダ
１４０    筒状部
１４２    雌ネジ
１６    駆動コイル
１８    永久磁石
１８２    永久磁石片
２０    ヨーク
２０２    外筒部
２２、２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ、２２Ｄ、２２Ｅ、２２Ｆ、２２Ｇ    上側板バネ（前側スプリング）
２２１    内周側端部（内輪）
２２１−１    蛇腹部
２２２    外周側端部（外輪）
２２２ａ    丸穴
２２２ｂ    円弧状スリット
２２３    腕部（アーム部）
２２３ａ    スリット
２２４    内周側連結部
２２４ａ    開口
２２５    外周側連結部
２２６、２２６Ａ    第１のスリット
２２６ａ、２２６Ａａ    第１の延在スリット部
２２６ｂ、２２６Ａｂ    第１の根本スリット部
２２７、２２７Ａ、２２７Ｂ    第２のスリット
２２７ａ、２２７Ａａ、２２７Ｂａ    第２の延在スリット部
２２７ｂ、２２７Ａｂ、２２７Ｂｂ    第２の根本スリット部
２４    後側スプリング（下側板バネ）
２４１    内周側端部（内輪）
２４３    腕部（アーム部）
２６    ストッパ
２６２    コ字形の回転防止押さ部（回転防止部材）
２８    カバー
４１    レンズバレル（レンズアセンブリ）
４２    筐体（ハウジング）
４４    アクチュエータ・ベース
４４２    ベース部
４４４    ベース突出部
４４４ａ    ベース突起
４４６    前方凹部
４４８    後方凹部
４６    外上側カバー
４８    レンズホルダ
４８２    筒状部
４８４    突出部（掛止突起）
４８６    上側ホルダ突出部
４８６ａ    上側ホルダ突起部
５０    弾性部材
５２    前方支持部材（電極ホルダ）
５２２    前方ベース部
５２４    前方支持突出部
５２４ａ    前方支持突起
５２６    前方支持連結部
５２６ａ    第１の突出部
５２６ｂ    第２の突出部
５２６ｃ    第３の突出部
５４    後方支持部材
５４２    後方ベース部
５４４    後方支持突出部
５４４ａ    後方支持突起
５４６    後方支持連結部
５６    上側板バネ（前側スプリング）
５６２    上側リング部
５６２ａ    上側バネ穴
５６４    上側端部
５６４ａ    上側端部穴
５６６    上側腕部
５８    下側板バネ（後側スプリング）
５８２    下側円弧部
５８４    下側端部
５８４ａ    下側端部穴
５８６    下側腕部
６０    内上側カバー（ストッパ）
６０２    内カバー本体
６０４    係止突出部
６０４ａ    貫通穴
６０６    前方突出部
６０８    後方突出部
６２    形状記憶合金ワイヤ
６２ａ    中間部
６４    電極
６４２    被保持部
６４２ａ    丸穴
６４４    接続部
６４６    端子
６６    形状記憶合金（ＳＭＡ）アセンブリ
ＡＦＬ    可動レンズ
ｔ    板バネの板厚
ｗ    アーム部の幅寸法
Ｌ    アーム部の長さ寸法
Ｎ    アーム部の本数
Ｏ    光軸
【図１】
2011169446.tif 000003
【図２】
2011169446.tif 000004
【図３】
2011169446.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2011169446.tif 000010
【図９】
2011169446.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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