(57)【要約】【課題】素子基板と封止基板の貼り合せ時に、素子基板と封止基板の間に気泡が混入することがなく、かつ素子基板と封止基板にずれが生じることがない有機発光パネルの製造装置及び有機発光パネルの製造方法を提供する。【解決手段】下側真空容器１及び上側真空容器２を密閉して、第１の空間と第２の空間を真空とし、封止基板３を上昇させて素子基板４と接触させ、第１の空間に大気圧又は大気圧以上の気体を導入して、第１の空間と第２の空間との間に生じた差圧をダイアフラム８を介して素子基板４に作用させることにより素子基板４と封止基板３とを圧着した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
単一又は複数領域に有機発光素子が設けられた素子基板と、有機発光素子に対応する領域に封止材を配置した封止基板とを真空減圧下で貼り合せることにより前記有機発光素子を封止する有機発光パネルの製造装置であって、
下側真空容器と、
前記下側真空容器に開閉可能に取り付けられた上側真空容器と、
前記上側真空容器の開口部に設けられた弾性体のシートと、
前記下側真空容器内に前記封止材を上側とし前記封止基板の位置を規制する受け座である封止基板用受け座と、
前記有機発光素子を下側として前記封止基板の上方に離間し、かつ前記素子基板と前記封止基板との相対位置を規制する受け座である素子基板用受け座と、
前記封止基板を下側より吸着固定し昇降可能な昇降テーブルと、
前記シートによって仕切られた前記上側真空容器内の第１の空間及び前記下側真空容器内の第２の空間の気体をそれぞれ吸排気可能な吸排気手段と、
前記下側真空容器及び前記上側真空容器を密閉して、前記第１の空間と前記第２の空間を真空とし、前記昇降テーブルを上昇させて前記封止基板と前記素子基板とを接触させ、前記第１の空間に大気圧又は大気圧以上の気体を導入して、前記第１の空間と前記第２の空間との間に生じた差圧を前記シートを介して前記素子基板に作用させることにより前記素子基板と前記封止基板とを圧着するよう制御する制御手段と
を備える
ことを特徴とする有機発光パネルの製造装置。
【請求項２】
前記昇降テーブルは前記封止基板を加熱可能な加熱手段を備える
ことを特徴とする請求項１に記載の有機発光パネルの製造装置。
【請求項３】
単一又は複数領域に有機発光素子が設けられた素子基板と、有機発光素子に対応する領域に封止材を配置した封止基板とを真空減圧下で貼り合せることにより前記有機発光素子を封止する有機発光パネルの製造方法であって、
下側真空容器と、
前記下側真空容器に開閉可能に取り付けられた上側真空容器と、
前記上側真空容器の開口部に設けられた弾性体のシートと、
前記シートによって仕切られた上側真空容器内の第１の空間及び下側真空容器内の第２の空間の気体をそれぞれ吸排気可能な吸排気手段と
を備える有機発光パネルの製造装置において、
前記下側真空容器内に前記封止材を上側とし前記封止基板の位置を規制し、
前記有機発光素子を下側として前記封止基板の上方に離間し、かつ前記素子基板と前記封止基板との相対位置を規制し、
前記封止基板を昇降可能とした上で、
前記下側真空容器及び前記上側真空容器を密閉して、前記第１の空間と前記第２の空間を真空とし、
前記封止基板を上昇させて前記素子基板と接触させ、
前記第１の空間に大気圧又は大気圧以上の気体を導入して、前記第１の空間と前記第２の空間との間に生じた差圧を前記シートを介して前記素子基板に作用させることにより前記素子基板と前記封止基板とを圧着する
ことを特徴とする有機発光パネルの製造方法。
【請求項４】
前記封止基板を加熱する
ことを特徴とすることを特徴とする請求項３に記載の有機発光パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機発光パネルの製造装置及び有機発光パネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）は、極薄で面発光という形状、優れた色再現性やＵＶレスという光の質及び水銀レスで数年以内に蛍光灯より省エネになると予想される環境性能等から、環境にやさしい次世代照明として大いに期待されている。この有機ＥＬは、一般に、透明導電性膜パターニング済ガラス基板を用い、主に、洗浄工程、有機層成膜工程、カソード（陰極）成膜工程、封止工程を経て製造される。そして、有機ＥＬは、有機層等が大気中の水分や酸素に曝されると発光特性が劣化してしまうため、上述した封止工程において、有機層等を外気から遮断する封止構造を設ける必要がある。
【０００３】
このため、例えば、下記特許文献１では、有機層等が成膜された素子基板と封止剤が配置された封止基板とを貼り合せることにより素子基板の有機層等を封止する方法が開示されている。また、下記特許文献２には、素子基板と封止基板の上部に弾性体のシートを設置し、素子基板と封止基板が設置された空間を排気することにより弾性体のシート作用する差圧によって素子基板と封止基板とを貼り合せる方法が開示されている。さらに、下記特許文献３，４には、減圧状態で素子基板と封止基板とを貼り合せる方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−８５９５７号公報
【特許文献２】特開２００５−２７６７５４号公報
【特許文献３】特開２００５−２４３４１３号公報
【特許文献４】特開２００６−１７９３５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１，２に開示された従来の発光パネルの製造装置及び発光パネルの製造方法では、素子基板と封止基板の貼り合せ時に、素子基板と封止基板の間に気泡が混入してしまうという問題があった。また、上記特許文献１〜４に開示された従来の発光パネルの製造装置及び発光パネルの製造方法では、素子基板と封止基板の貼り合せ時に、素子基板と封止基板にずれが生じてしまうという問題があった。
【０００６】
以上のことから、本発明は、素子基板と封止基板の貼り合せ時に、素子基板と封止基板の間に気泡が混入することがなく、かつ素子基板と封止基板にずれが生じることがない有機発光パネルの製造装置及び有機発光パネルの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決する第１の発明に係る有機発光パネルの製造装置は、
単一又は複数領域に有機発光素子が設けられた素子基板と、有機発光素子に対応する領域に封止材を配置した封止基板とを真空減圧下で貼り合せることにより前記有機発光素子を封止する有機発光パネルの製造装置であって、
下側真空容器と、
前記下側真空容器に開閉可能に取り付けられた上側真空容器と、
前記上側真空容器の開口部に設けられた弾性体のシートと、
前記下側真空容器内に前記封止材を上側とし前記封止基板の位置を規制する受け座である封止基板用受け座と、
前記有機発光素子を下側として前記封止基板の上方に離間し、かつ前記素子基板と前記封止基板との相対位置を規制する受け座である素子基板用受け座と、
前記封止基板を下側より吸着固定し昇降可能な昇降テーブルと、
前記シートによって仕切られた前記上側真空容器内の第１の空間及び前記下側真空容器内の第２の空間の気体をそれぞれ吸排気可能な吸排気手段と、
前記下側真空容器及び前記上側真空容器を密閉して、前記第１の空間と前記第２の空間を真空とし、前記昇降テーブルを上昇させて前記封止基板と前記素子基板とを接触させ、前記第１の空間に大気圧又は大気圧以上の気体を導入して、前記第１の空間と前記第２の空間との間に生じた差圧を前記シートを介して前記素子基板に作用させることにより前記素子基板と前記封止基板とを圧着するよう制御する制御手段と
を備える
ことを特徴とする。
【０００８】
上記の課題を解決する第２の発明に係る有機発光パネルの製造装置は、第１の発明に係る有機発光パネルの製造装置において、
前記昇降テーブルは前記封止基板を加熱可能な加熱手段を備える
ことを特徴とする。
【０００９】
上記の課題を解決する第３の発明に係る有機発光パネルの製造方法は、
単一又は複数領域に有機発光素子が設けられた素子基板と、有機発光素子に対応する領域に封止材を配置した封止基板とを真空減圧下で貼り合せることにより前記有機発光素子を封止する有機発光パネルの製造方法であって、
下側真空容器と、
前記下側真空容器に開閉可能に取り付けられた上側真空容器と、
前記上側真空容器の開口部に設けられた弾性体のシートと、
前記シートによって仕切られた上側真空容器内の第１の空間及び下側真空容器内の第２の空間の気体をそれぞれ吸排気可能な吸排気手段と
を備える有機発光パネルの製造装置において、
前記下側真空容器内に前記封止材を上側とし前記封止基板の位置を規制し、
前記有機発光素子を下側として前記封止基板の上方に離間し、かつ前記素子基板と前記封止基板との相対位置を規制し、
前記封止基板を昇降可能とした上で、
前記下側真空容器及び前記上側真空容器を密閉して、前記第１の空間と前記第２の空間を真空とし、
前記封止基板を上昇させて前記素子基板と接触させ、
前記第１の空間に大気圧又は大気圧以上の気体を導入して、前記第１の空間と前記第２の空間との間に生じた差圧を前記シートを介して前記素子基板に作用させることにより前記素子基板と前記封止基板とを圧着する
ことを特徴とする。
【００１０】
上記の課題を解決する第４の発明に係る有機発光パネルの製造方法は、第３の発明に係る有機発光パネルの製造方法において、
前記封止基板を加熱する
ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、素子基板と封止基板の貼り合せ時に、素子基板と封止基板の間に気泡が混入することがなく、かつ素子基板と封止基板にずれが生じることがない有機発光パネルの製造装置及び有機発光パネルの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係る有機発光パネルの製造装置の構成を断面により示した模式図である。
【図２】本発明に係る有機発光パネルの製造装置における素子基板及び封止基板の受け座の構成を示した斜視図である。
【図３】本発明に係る有機発光パネルの製造方法を示した模式図である。
【図４】図３に続く本発明に係る有機発光パネルの製造方法を示した模式図である。
【図５】本発明に係る有機発光パネルの製造方法を示したフロー図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明に係る有機発光パネルの製造装置及び有機発光パネルの製造方法を実施するための形態について、図面を参照しながら説明する。
はじめに、本発明に係る有機発光パネルの製造装置の構成について説明する。
図１は、本発明に係る有機発光パネルの製造装置の構成を断面により示した模式図である。
【００１４】
図１に示すように、本発明に係る有機発光パネルの製造装置は、下側真空容器１と上側真空容器２を備えている。上側の真空容器２はヒンジ１１により下側の真空容器１に開閉可能なように取り付けられている。上側の真空容器２の開口部には弾性体のシートであるダイアフラム８が設置されている。
【００１５】
下側の真空容器１の内部には封止基板３の位置を規制する封止基板用受け座５が設置されている。封止基板用受け座５は、封止基板５に予め配置された封止材を上側として封止基板５を支持する。
【００１６】
封止基板用受け座５の上には素子基板４の位置を規制する素子基板用受け座６が設置されている。素子基板用受け座６は、素子基板４に予め配置された有機発光素子を下側として封止基板３の上方に離間し、かつ素子基板４と封止基板３との相対位置を規制するように素子基板４を支持する。
【００１７】
封止基板３の下方には、封止基板３を下側より吸着固定して昇降することが可能な昇降テーブル７が設置されている。このように、昇降テーブル７に封止基板３を吸着固定するため、封止基板３を上昇させる際に封止基板３がずれてしまうことはない。また、昇降テーブル７には封止基板５を加熱可能な加熱手段であるヒータ７ａが設置されている。
【００１８】
ここで、本発明に係る有機発光パネルの製造装置における封止基板用受け座５、素子基板用受け座６及び昇降テーブル７の構成について説明する。
図２は、本発明に係る有機発光パネルの製造装置における素子基板及び封止基板の受け座の構成を示した斜視図である。
【００１９】
図２に示すように、本実施例に係る有機発光パネルの製造装置においては、封止基板用受け座５は図２中に破線で示す封止基板３の四隅の部分を封止基板用受け座５の封止基板受け面５ａにより支持している。封止基板用受け座５の封止基板３の角部が位置する部分は丸角となっている。このため、封止基板３の封止基板用受け座５への載置が容易になっている。このような構造により、封止基板用受け座５は封止基板３の位置を規制している。
【００２０】
素子基板用受け座６は、図２中に破線で示す素子基板４の２辺の部分を素子基板用受け座６の素子基板受け面６ａにより支持している。素子基板用受け座６の素子基板４の角部が位置する部分は丸角となっている。このため、素子基板４の素子基板用受け座６への載置が容易になっている。このような構造により、素子基板用受け座６は素子基板４の位置を規制している。
【００２１】
昇降テーブル７は、昇降テーブル７を上昇させたときに封止基板用受け座５と緩衝しないように封止基板用受け座５に対応した形状となっており、昇降テーブル７の上面が素子基板４のほぼ全面で支えることができるようになっている。このため、封止基板３と素子基板４とを確実に貼り合せることができる。
【００２２】
また、図１に示すように、上側真空容器２には、上側真空容器２とダイアフラム８とにより形成される第１の空間の気体を脱気し、第１の空間に気体を導入する給排気手段である給排気装置９が設置されている。また、下側真空容器１には、下側真空容器１とダイアフラム８とにより形成される第２の空間の気体を脱気し、第２の空間に気体を導入する給排気手段である給排気装置１０が設置されている。
【００２３】
さらに、本発明に係る有機発光パネルの製造装置は、後述する有機発光パネルの製造方法に基づき昇降テーブル７や給排気装置９，１０等を制御する制御手段である制御装置１２を備えている。
以上が本発明に係る有機発光パネルの製造装置の構成である。
【００２４】
次に、本発明に係る有機発光パネルの製造方法について説明する。
図３，４は、本発明に係る有機発光パネルの製造方法を示した模式図である。なお、図３，４においては、有機発光パネルの製造方法を説明するために有機発光パネルの製造装置の構成を簡略化して示している。また、図５は、本発明に係る有機発光パネルの製造方法を示したフロー図である。
【００２５】
図５に示すように、はじめに、ステップＰ１において、図３中に（ａ）で示すように、封止基板３を封止基板用受け座５へ載置する。
次に、ステップＰ２において、図３中に（ｂ）で示すように、素子基板４を素子基板用受け座６へ載置する。
このように、封止基板３と素子基板４を規制可能な封止基板用受け座５及び素子基板用受け座６に載置することにより、封止基板３と素子基板４の正確な位置合せが可能となる。
【００２６】
次に、ステップＰ３において、図３中に（ｃ）で示すように、昇降テーブル７を封止基板３に接触するまで上昇させる。
次に、ステップＰ４において、図３中に（ｃ）で示した状態で、昇降テーブル７により封止基板３を吸着固定し、昇降テーブル７のヒータ７ａにより封止基板３を加熱する。このように、ヒータ７ａにより封止基板３を加熱することにより、封止基板３に配置した封止材を軟化させて接着を容易とするとともに、封止材の脱ガスを行うことにより、封止性能の向上が可能となる。
【００２７】
次に、ステップＰ５において、図３中に（ｄ）で示すように、上側真空容器２を閉じる。
次に、ステップＰ６において、図３中に（ｄ）で示した状態で、下側真空容器１内、すなわち第１の空間の気体を給排気装置９により真空脱気し、同時に上側真空容器２内、すなわち第２の空間の気体を吸排気装置１０により真空脱気する。このように、封止基板３と素子基板４の貼り合せ時に、封止基板３と素子基板４を離隔して、かつ真空雰囲気とすることにより、封止基板３と素子基板４の間に気泡の混入のない貼り合せ基板を製造することが可能となる。
【００２８】
次に、ステップＰ７において、図４中に（ｅ）で示すように、昇降テーブル７により封止基板３が素子基板４と接触するまで上昇させる。本実施形態に係る有機発光パネルの製造装置によれば、封止基板３は昇降テーブル７に吸着固定された状態で素子基板４と接触するまで上昇させるため、封止基板３と素子基板４との相対位置にずれが生じることを抑制することができる。
【００２９】
なお、封止基板３と素子基板４とを接触させる際、封止基板３の上昇量を可能な限り小さくして封止基板３と素子基板４とを接触させることにより、封止基板３の上昇にともない封止基板３と素子基板４との相対位置にずれが生じることをより一層抑制することができる。
【００３０】
次に、ステップＰ８において、図４中に（ｆ）で示すように、上側真空容器２内、すなわち第１の空間に大気圧の気体を吸排気装置９により導入して、第１の空間と第２の空間との間に生じた差圧を図４（ｆ）中に破線で示す矢印のようにダイアフラム８を介して素子基板４に作用させることにより、素子基板４と封止基板３とを圧着する。なお、ここでは、第１の空間に大気導入することとしたが、大気圧以上の気体を導入するようにしてもよい。この場合、素子基板４に作用する圧力をより大きくすることができ、導入する気体の圧力により素子基板４に作用する圧力を適宜調節することもできる。
【００３１】
なお、本実施形態においては、ステップＰ７において、昇降テーブル７により封止基板３が素子基板４と接触するまで上昇させ、ステップＰ８において、素子基板４と封止基板３とを圧着させることとしたが、これらを同時に行うようにしてもよい。
【００３２】
次に、ステップＰ９において、図４中に（ｇ）で示すように、下側真空容器１内、すなわち第２の空間に大気圧の気体を吸排気装置１０により導入、すなわち下側真空容器１を大気開放する。
次に、ステップＰ１０において、図４中に（ｈ）で示すように、上側真空容器２を開ける。
【００３３】
次に、ステップＰ１１において、図４中に（ｈ）で示した状態で、昇降テーブル７による封止基板３の吸着固定を解除し、昇降テーブル７を下降させる。
最後に、ステップＰ１２において、図４中に（ｈ）で示した状態で、封止基板３と素子基板４とを張り合わせた貼り合せ基板を取り出す。
以上が本発明に係る有機発光パネルの製造方法である。
【００３４】
以上説明したように、本発明に係る有機発光パネルの製造装置及び有機発光パネルの製造方法によれば、封止基板３と素子基板４の貼り合せ時に、封止基板３と素子基板４を離隔して、かつ真空雰囲気とするため、気泡の混入のない貼り合せ基板を製造することが可能となる。
【００３５】
また、封止基板３と素子基板４を規制可能な封止基板用受け座５及び素子基板用受け座６に載置し、封止基板３は昇降テーブル７に吸着固定して上昇させるため、正確に封止基板３と素子基板４の位置合せが可能となる。
【００３６】
また、昇降テーブル７にヒーター７ａを設置して、封止材を配置した封止基板３を加熱することにより、封止材を軟化させて接着を容易とするとともに、封止材の脱ガスを行うことにより、封止性能の向上が可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
本発明は、例えば、単一又は複数領域に有機発光素子が設けられた素子基板と、有機発光素子に対応する領域に封止材を配置した封止基板とを真空減圧下で貼り合せることにより前記有機発光素子を封止する有機発光パネルの製造装置及び有機発光パネルの製造方法において利用することが可能である。
【符号の説明】
【００３８】
１  下側真空容器
２  上側真空容器
３  封止基板
４  素子基板
５  封止基板用受け座
５ａ  封止基板受け面
６  素子基板用受け座
６ａ  素子基板受け面
７  昇降テーブル
７ａ  ヒータ
８  ダイアフラム
９，１０  給排気装置
１１  ヒンジ
１２  制御装置
【図１】
2011040182.tif 000003
【図２】
2011040182.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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