(57)【要約】      （修正有）【課題】スライスされたワーク（ウエハ）の厚みのバラツキを改善すること。【解決手段】予めスライス加工用ワイヤ１２の走行停止時に、一対の補助ワイヤとしての平行出しワイヤ９をワークとスライス加工用ワイヤ１２との間に、スライス加工用ワイヤ１２に押圧する際には解除可能に張設し、次いでワークを補助ワイヤとしての平行出しワイヤ９に押圧移動させて各補助ワイヤとしての平行出しワイヤ９の少なくとも一方張り端部近傍での張力をそれぞれ測定し、得られる二つの張力測定値の大きさが同一になるようにワークの支持方向を調整する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のローラ間に巻回されたスライス加工用ワイヤを走行させながら、このスライス加工用ワイヤに対してワークを押圧移動させてワークをスライス加工するワークのスライス加工方法であって、
ワークをスライス加工するに際して、予めスライス加工用ワイヤの走行停止時にワイヤ走行方向面とスライス開始面との平行出しをする平行出し工程を加え、
平行出し工程が、予めスライス加工用ワイヤの走行停止時に、一対の補助ワイヤをワークとスライス加工用ワイヤとの間に、スライス加工用ワイヤに押圧する際には解除可能に張設し、次いでワークを補助ワイヤに押圧移動させて各補助ワイヤの少なくとも一方張り端部近傍での張力をそれぞれ測定し、得られる二つの張力測定値の大きさが同一になるようにワークの支持方向を調整するワーク支持方向調整工程であることを特徴とするワークのスライス加工方法。
【請求項２】
補助ワイヤの張力が、ワークをスライス加工するときのスライス加工用ワイヤの張り幅の外側位置で測定される請求項１に記載のワークのスライス加工方法。
【請求項３】
スライス加工用ワイヤの走行時にワークをスライス加工用ワイヤに押圧移動させるに際して、予めワークのスライス加工開始面に導電性膜を剥離可能に貼り付け、スライス加工用ワイヤに押圧接触する時に導電性膜を介して流れる電流を検出してワークのスライス開始位置を測定する請求項１または２に記載のワークのスライス加工方法。
【請求項４】
複数のローラと、これらのローラ間に巻回されたスライス加工用ワイヤと、ワークを支持する支持台とを備え、スライス加工用ワイヤを走行させながら、ワーク支持台を移動させてスライス加工用ワイヤに対してワークを押圧させワークをスライス加工するワイヤソーであって、
一対の補助ワイヤと、これらの補助ワイヤをワークとスライス加工用ワイヤとの間に、ワークをスライス加工用ワイヤに押圧する際には解除可能に対向して張設させる支柱と、各補助ワイヤの張力をそれぞれ測定する補助ワイヤの張力測定部と、ワークをスライス加工するに際して、予めワークを補助ワイヤに押圧移動させたときに、得られる二つの張力測定値の大きさが同一になるようにワーク支持台でのワークの支持方向を調整するワーク支持方向調整部とを備えたことを特徴とするワイヤソー。
【請求項５】
補助ワイヤの張力が、ワークをスライス加工するときのスライス加工用ワイヤの張り幅の外側位置で測定されることを特徴とする請求項４に記載のワイヤソー。
【請求項６】
ワーク支持台が、水平水準器と、この水平水準器に基づいてワークの軸の周りの支持角度を調整する支持角度調整部とをさらに備えた請求項４または５に記載のワイヤソー。
【請求項７】
ワーク支持台が、複数のワークをそれぞれ移動可能に支持する複数のワーク支持台の組からなり、かつ各ワーク支持台が下降速度を調整可能としてなる請求項４〜６のいずれか１つに記載のワイヤソー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料よりなるワークをワイヤでスライス加工するワークのスライス加工方法およびワイヤソーに関し、さらに詳しくは、ワークとワイヤとを平行に調整することができるワークのスライス加工方法およびワイヤソーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種のワイヤソーでは、所定の間隔をおいて配置された複数のワイヤガイド（スライス加工用ローラを含む）に、通常一本のスライス（加工）用ワイヤが螺旋状に巻き掛けられている。
【０００３】
スライス用ワイヤは、繰出しリールからワイヤガイドに繰り出されるとともに、スライス加工用ローラ間を通過して巻取りリールに巻き取られる。その間、走行されるスライス用ワイヤには砥粒を含むスラリが供給されるとともに、同スライス用ワイヤにワーク（例えばシリコンインゴット）を押し付けることにより、砥粒のラッピング作用によって同ワークのスライス加工がなされる。スライス用ワイヤの張力は常に一定に調整されている。
【０００４】
具体的に図で説明すれば次の通りである。
図８は従来のマルチワイヤソーの正面と側面から見たカッティングルームの概略図である。図９は従来のワーク１、ワークの取り付け台２、青板ガラス３、アルミニウム板４の関係を示す概略斜視図である。
図９において、ワーク１は青板ガラス３に接着されている。青板ガラス３はアルミニウム板４に接着されている。アルミニウム板４はワーク取り付け台２にボルトで固定されている。
【０００５】
図８において、ワイヤソーＳ０は、所定の間隔をおいて配置された複数のワイヤガイド（スライス加工用ローラ３３を含む）に、一本のスライス用ワイヤ３２が螺旋状に巻き掛けられている。
スライス用ワイヤ３２は、繰出しリールからワイヤガイド３３に繰り出されるとともに、加工用ローラ３３間を通過して巻取りリールに巻き取られる。
【０００６】
しかし、スライスされたワーク、つまりウエハを薄型にしていくとウエハの断面がくさび形になる等の不具合が出る虞がある。ウエハの厚みを均一に精度よくスライスするためには、従来のワイヤの張力を一定に保つだけでは解決できないわけである。
【０００７】
これに対して、ワークを高精度に加工するために、スライスの際に、ワイヤの送り込み側および送り出し側にテンション調節手段を設けることが提案されている（特許文献１参照）。
しかしながら、このようにテンションを調節してもワークとワイヤとを必ずしも平行に維持できない。テンションと、ワークとワイヤとの平行とは直接関係していないからである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−２５５５３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
そこで、本発明の発明者らは、ワークをワイヤでスライス加工する前のスライス加工用ワイヤの走行停止時に、直接ワークとワイヤとを平行に調節できれば、ワイヤによりスラ
イス加工したワーク、つまりウエハの厚みのバラツキを改善できることを見出し、本発明を完成するに至ったものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、複数のローラ間に巻回されたスライス加工用ワイヤを走行させながら、このスライス加工用ワイヤに対してワークを押圧移動させてワークをスライス加工するワークのスライス加工方法であって、
ワークをスライス加工するに際して、予めスライス加工用ワイヤの走行停止時にワイヤ走行方向面とワークのスライス開始面との平行出しをする平行出し工程を加え、平行出し工程が、予めスライス加工用ワイヤの走行停止時に、一対の補助ワイヤとしての平行出しワイヤをワークとスライス加工用ワイヤとの間に、スライス加工用ワイヤに押圧する際には解除可能に張設し、次いでワークを補助ワイヤとしての平行出しワイヤに押圧移動させて各補助ワイヤとしての平行出しワイヤの少なくとも一方張り端部近傍での張力をそれぞれ測定し、得られる二つの張力測定値の大きさが同一になるようにワークの支持方向を調整するワーク支持方向調整工程であることを特徴とするワークのスライス加工方法を提供する。
本発明は、別の観点によれば、複数のローラと、これらのローラ間に巻回されたスライス加工用ワイヤと、ワークを支持する支持台とを備え、スライス加工用ワイヤを走行させながら、ワーク支持台を移動させてスライス加工用ワイヤに対してワークを押圧させワークをスライス加工するワイヤソーであって、
一対の補助ワイヤと、これらの補助ワイヤをワークとスライス加工用ワイヤとの間に、ワークをスライス加工用ワイヤに押圧する際には解除可能に対向して張設させる支柱と、各補助ワイヤの張力をそれぞれ測定する補助ワイヤの張力測定部と、ワークをスライス加工するに際して、予めワークを補助ワイヤに押圧移動させたときに、得られる二つの張力測定値の大きさが同一になるようにワーク支持台でのワークの支持方向を調整するワーク支持方向調整部とを備えたことを特徴とするワイヤソーを提供できる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、走行するスライス加工用ワイヤに押圧移動させることによりワークをスライス加工するに際して、予めスライス加工用ワイヤの走行停止時にワイヤ走行方向面とスライス開始面との平行出しをする。従って、スライス加工用ワイヤの走行方向面とワークのスライス開始面とをスライス加工前に正確に平行出しすることができ、それによってスライスされたワーク（ウエハ）の厚みのバラツキを改善できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に係るワイヤソーの実施の形態１としてマルチワイヤソーの正面と側面から見たカッティングルームの概略図である。
【図２】支柱に伴って平行出し用ワイヤがワークの下に移動し状態を示す図１相当図である。
【図３】平行出し用ワイヤがワークの下に移動し状態を示す図１相当図である。
【図４】ワークの平行出しが完了した状態を示す図１相当図である。
【図５】支柱に伴って平行出し用ワイヤが元に戻った状態を示す図１相当図である。
【図６】本発明に係るワイヤソーの実施の形態２としてマルチワイヤソーの一つのワーク支持台の正面から見た概略図であり、ワーク軸まわりの支持角度を調整する前の状態を示す。
【図７】異なる状態を示す図６相当図であり、ワーク軸まわりの支持角度を調整した後の状態を示す。
【図８】従来のマルチワイヤーソーの正面と側面から見たカッティングルームの概略図である。
【図９】従来のワーク１、ワークの取り付け台２、青板ガラス３、アルミニウム板４の関係を示す概略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明に係るワークのスライス加工方法は、スライス加工用ワイヤを走行させながら、このスライス加工用ワイヤに対してワークを押圧移動させてスライス加工するに際して、予めスライス加工用ワイヤの走行停止時にワイヤ走行方向面とスライス開始面との平行出しをする平行出し工程を加えることを特徴とする。
【００１４】
ここで、「平行出しをする」とは、スライス加工用ワイヤの走行方向面とワークのスライス開始面とを予め平行にすることを意味する。スライス加工用ワイヤの走行方向面は、スライス加工時に、ワークのスライス開始面が当接するワイヤ列の峰を結ぶ面のことである。なお、この「平行出しをする」は、全体的に「ワイヤとワークとの平行出しをする」と簡略に使用することもある。
【００１５】
さて、具体的な平行出し工程としては、（１）予めスライス加工用ワイヤの走行停止時にワークをスライス加工用ワイヤに押圧移動させてスライス加工用ワイヤの両張り端部近傍での張力をそれぞれ測定し、得られる二つの張力測定値の大きさが同一になるようにワークの支持方向を調整するワーク支持方向調整工程が挙げられる。
ここで、スライス加工用ワイヤの両張り端部近傍での張力測定は、例えばスライス加工用ワイヤの両張り端部近傍に張力検出センサをそれぞれ介在させて行う。これらの張力検出センサは、通常「ロードセル」と称されるものを使用できる。ワークの支持方向を調整する方法の詳細は、後述する。
【００１６】
さらに、具体的な平行出し工程としては、（２）予めスライス加工用ワイヤの走行停止時に、一対の補助ワイヤをワークとスライス加工用ワイヤとの間に、スライス加工用ワイヤに押圧する際には解除可能に張設し、次いでワークを補助ワイヤに押圧移動させて各補助ワイヤの少なくとも一方張り端部近傍での張力をそれぞれ測定し、得られる二つの張力測定値の大きさが同一になるようにワークの支持方向を調整するワーク支持方向調整工程が挙げられる。
ここで、各補助ワイヤの一方張り端部近傍での張力測定は、例えば補助ワイヤの一方張り端部近傍に張力検出センサを介在させて行う。この張力検出センサは、通常「ロードセル」と称されるものを使用できる。ワークの支持方向を調整する方法の詳細は、後述する。補助ワイヤとして採用できるワイヤとしては、ピアノ線が挙げられる。
【００１７】
本発明において、補助ワイヤの張力は、ワークをスライス加工するときのスライス加工用ワイヤの張り幅の外側位置で測定されると、スライス加工用ワイヤの走行方向面とワークのスライス開始面との平行度がより正確に確保でき、スライスされたワーク（ウエハ）の厚みのバラツキをさらに改善できるので好ましい。
【００１８】
本発明においては、スライス加工用ワイヤの走行時にワークをスライス加工用ワイヤに押圧移動させるに際して、予めワークのスライス加工開始面に導電性膜を剥離可能に貼り付け、スライス加工用ワイヤに押圧接触する時に導電性膜を介して流れる電流を検出してワークのスライス開始位置を測定すると、ワークのスライス開始を同時に行うことができる。従って、スライス加工用ワイヤに偏った負荷が加わるのを防止でき、より好ましい。
【００１９】
本発明に係るワイヤソーは、スライス加工用ワイヤの両張り端部近傍での張力をそれぞれ測定するスライス加工用ワイヤの張力測定部と、ワークをスライス加工するに際して、予めワイヤ走行停止時にワークをスライス加工用ワイヤに押圧移動させたときに、得られる二つの張力測定値の大きさが同一になるようにワーク支持台でのワークの支持方向を調整するワーク支持方向調整部とを備えたことを特徴とする。
【００２０】
さらに、本発明に係るワイヤソーは、一対の補助ワイヤと、これらの補助ワイヤをワークとスライス加工用ワイヤとの間に、ワークをスライス加工用ワイヤに押圧する際には解除可能に対向して張設させる支柱と、各補助ワイヤの張力をそれぞれ測定する補助ワイヤの張力測定部と、ワークをスライス加工するに際して、予めワークを補助ワイヤに押圧移動させたときに、得られる二つの張力測定値の大きさが同一になるようにワーク支持台でのワークの支持方向を調整するワーク支持方向調整部とを備えたことを特徴とする。
【００２１】
これらのワーク支持方向調整部は、ワーク支持台でのワークの支持方向を調整でき、具体的には、ワークの両端部または片方端部をワーク支持台に対し相対的に上下に微動可能な、ボルトとナットとを長孔を介して締結した構成、ネジを利用する、ラックとピニオンの組み合わせ構成などを挙げることができ、いずれも柱状のワークの支持方向（軸方向）を上向きまたは下向きに微調整できる。このワーク支持方向調整部は、ワーク支持台での
ワークの支持方向を手動または自動で調整できるように構成できる。
【００２２】
本発明においては、ワーク支持台が、水平水準器と、この水平水準器に基づいてワークの軸の周りの支持角度を調整する支持角度調整部とをさらに備えると、ワークの支持方向だけではなく、ワークの軸周りの支持角度を調整でき、スライス加工用ワイヤの走行方向面とワークのスライス開始面とをより正確に平行にすることができるので好ましい。
【００２３】
本発明において、ワーク支持台は、複数のワークをそれぞれ移動可能に支持する複数のワーク支持台の組からなり（このようなワイヤソーをマルチワイヤソーと称する）、かつ各ワーク支持台の下降速度を調整可能としてもよい。この下降速度の調整によって、各ワークが異なる形状であってもスライス加工用ワイヤで同時にスライス加工を開始でき、負荷の変動を防止できるので好ましい。
【００２４】
以下に、本発明に係るワイヤソーの実施の形態を図面に基づいて説明し、併せて本発明に係るワークのスライス加工方法を説明する。
［実施の形態１］
図１は本発明に係るワイヤソーの実施の形態１としてマルチワイヤソーの正面と側面から見たカッティングルームの概略図である。図２〜５は図１とは異なる状態を示す図１相当図である。
【００２５】
図１において、マルチワイヤソーＳ１は、４本のローラ１３と、これらのローラ間に巻回されたスライス加工用ワイヤ（ピアノ線）１２と、ワーク支持台としての４台のワーク取り付け台（差込口）５〜８とを有し、さらに補助ワイヤとしての平行出しワイヤ（ピアノ線）９が上段に２本（一対）、下段に２本（一対）の合計４本備えている。また、平行出しワイヤ９は手前の支柱１０と奥の支柱１１に支えられて配置されている。
【００２６】
１９は、ワーク支持台２を保持するワーク保持部である。このワーク保持部１９は、ボルト２０とナット２１とを長孔２２を介して締結した構成を備え、ワーク１を支持台２を介して保持し、ワーク１の支持方向を調整可能であり、ワーク支持方向調整部となる。
２３・２４は一対の補助ワイヤ９の張力を検出する張力検出センサ、２５は両張力検出センサからの検出信号に基づいて両張力測定値を比較して表示するモニタであり、補助ワイヤ９の張力測定部を構成する。なお、張力検出センサ２３・２４は、通常“ロードセル”と称されているものである。
【００２７】
図２のように、図１の支柱１０と支柱１１の平行だし用のワイヤ９・９がワーク１の下に移動する。図３はスライス加工用ワイヤ１２とワーク１の平行がまだ出ていない状態である。図４はワーク１の平行出し完了を示す。図５はもとの場所に移動させた状態を示す。
【００２８】
次いで、ワークの作成手順を説明する。
ＳｉインゴットをＳｉブロックに角加工する。Ｓｉブロックの角寸法は１５５ｍｍから１５６ｍｍ、長さは２００ｍｍ〜２５０ｍｍとする。
Ｓｉインゴットは通常、バンドソー、外周刃で角加工を行う。
Ｓｉブロック表面の加工ダメージを取り除く。
Ｓｉブロックを青板ガラス（捨板）の上に接着剤で貼り付ける。
青板ガラスには２００ｍｍ〜２５０ｍｍのＳｉブロックを２本接着する。２本のＳｉブロックの全長は４００ｍｍから５００ｍｍ以内にする。
さらに青板ガラスの下にアルミ板を接着する。ワークの準備はこれで完了する。
【００２９】
最近はスライス時間の短縮のため、ワークを４箇所に搭載するマルチワイヤソーがよく
使われている。
ワークとワイヤは平行でなければならないが、実際はワーク１と青板ガラス３の接着、及び青板ガラス３とアルミ板４の接着の際に接着剤の厚みムラがあるため平行にならない。
【００３０】
図１〜５において示す、本発明の実施の形態１としてのマルチワイヤソーＳ０の特徴を補足説明する。
ワークとスライス用ワイヤを平行にするために、図１の４台のワーク取り付け台差込口５〜８が別々に角度を変え、上下に動かすことができる（ワーク支持方向調整部）。
平行出しワイヤー９は上下、手前、奥にのみ可動する。
平行出しワイヤー９はスライス用ワイヤー１２の様に走行することは無い。
所定の張力を設定する時以外は、支柱１０・１１に固定している。
支柱１０・１１は個別に移動できる。
【００３１】
次に、平行出しの方法を説明する。
［実施例１］
図８の従来のマイルチワイヤーソーは、上段に２箇所、下段に２箇所の合計４箇所のワーク取り付け台差込口が全て同時に動くようになっている。
図１の本発明のマルチワイヤーソーはワークの平行出しは個別に（各ワークごとに）行う。つまり、ワークの平行出しは４回行う必要がある。同時に平行出しを行うと、隣のワークの張力の影響を受けるために個々のワークの平行出しができないためである。
【００３２】
４個のワークを搭載後、図２のように図１の支柱１０と、支柱１１の平行だし用のワイヤー９がワーク１の下の平行出しの場所１６に移動する。
平行出し前の平行出しワイヤ９は、２０〜２５Ｎの範囲内で引っ張っておく。
図３はスライス用ワイヤ１２とワーク１の平行がまだ出ていない状態を示す。
図３の様にワーク１を平行出しワイヤ９に十分張力が加わるまで下げる。
ワークが平行出しワイヤに加える加重は、平行出しワイヤがたわむ程度は必要である。具体的には２０Ｎ程度の加重は必要になる。
【００３３】
手前の支柱１０と奥の支柱１１の平行出しワイヤ９の張力を測定する。たとえば手前の支柱１０の平行出しワイヤ９の張力が高く、奥の支柱１１のワイヤ９の張力が低い場合、ワーク支持方向調整部により（ナット２１を緩めて長孔２２を介してボルト２０を下げ、ナット２１を締めなおすことにより）、ワーク取り付け台差込口６の奥を下げる。なお、ワーク取り付け台差込口６の奥側を下げすぎると、奥の支柱１１の平行出しワイヤ９の張力が高くなる。
【００３４】
ワーク取り付け台差込口６の保持方向（角度）を変えて、支柱１０と、支柱１１の平行だし用のワイヤ９の張力を同じにする。
支柱１０と、支柱１１の平行だし用のワイヤ９の張力を同じにしたら、ワーク１の平行出しは完了する。
【００３５】
以上、手動の平行出しの方法を説明したが、自動的に支柱１０と、支柱１１の平行だし用のワイヤ９の張力を同じにすることもできる。
図４はワーク１の平行出し完了状態を示す。
平行出しの終わったワーク１は上に移動させる。次のワークの平行出しを行う。平行出しが４回終われば、平行出しワイヤ９はワークの下から図５の様に、もとの場所の１５に移動させる。
【００３６】
このとき平行出しワイヤ９はワイヤガイド１３から十分離す必要がある。
平行出しワイヤ９とワイヤガイド１３が近いとスライスを開始して、ワークの下降時に平
行出しワイヤ９と接触する恐れがあるからである。平行出しワイヤ９にワークが接触すると、ワークがスライス用ワイヤー１２に届かないためスライスできない。
【００３７】
スライスを行う。
一本のスライス用ワイヤ１２が所定の間隔をおいて配置された複数のワイヤガイド１３に螺旋状に巻き掛けられている。
スライス用ワイヤ１２が繰出しリールからワイヤガイド１３に繰り出されるとともに、ワイヤガイド１３間を通過したスライス用ワイヤ１２は巻取りリールに巻き取られる。
そして、走行するスライス用ワイヤー１２に砥粒を含むスラリがスラリノズル１４から供給されるとともに、同スライス用ワイヤ１２にワークを押し付けることにより、砥粒のラッピング作用によって同ワークのスライス加工がなされる。
【００３８】
［実施例２］
本発明のマルチワイヤソーはワーク取り付け台差込口の下降スピードを個別に設定できる。
そのためワーク取り付け台差込口を個別に下降させ、サイズが違うワークを同時にスライスできる。サイズが違うワーク同時にスライス完了するように、ワーク取り付け台差込口の下降スピードを決める必要がある。
【００３９】
たとえば図３のワーク取り付け台差込口５に１５６ｍｍ角のＳｉインゴットを、図３のワーク取り付け台差込口６に１２６ｍｍ角のＳｉインゴットをワーク取り付ける。
ワーク取り付け台差込口５の加工スピードを２００μｍ／分に設定する。加工時間は７２０分になる。ワーク取り付け台差込口６の加工スピードを１７５μｍ／分とすれば、加工時間は７２０分になる。
【００４０】
［実施例３］
Ｓｉインゴットが角加工の精度のバラツキにより、１から２ｍｍ違う場合のスライス方法を以下に説明する。平行出しは実施例１と同じである。
該当するワークにアルミ箔を貼り付ける。後でアルミ箔は剥がす必要があるため、接着力は剥がせる程度であればよい。またアルミ箔に限らず、導電性のある材質であれば良い。ワーク取り付け台差込口５、６、７、８のいずれかに該当する、規定外のワーク取り付け台差込口と、規定のワーク取り付け台差込口をスライス加工用ワイヤに個別に下降させる。
【００４１】
スライス加工用ワイヤにワークが接触する。
接触するとスライス加工用ワイヤ１２に流れている電流と、ワークに貼り付けたアルミ箔が導通し電気的にスライス加工用ワイヤ１２の位置を検出する。検出するとワーク取り付け台差込口の下降は停止する。
接触する位置がスライスを開始する位置として記憶される。もう一度取り付け台差込口を上にあげアルミ箔を剥がす。
それぞれ該当するワークのスライスを開始する位置を設定してやる。
完了後は規定外と規定内のワークが記憶した位置から同時にスライスできる。
【００４２】
従来は規定外と規定内のワークも同時にスライスしていた。しかし規定内のワークにスライス開始位置をあわせると、規定外のワークはスライス加工用ワイヤ１２に接触しないことや、規定内のワークより先にスライス加工用ワイヤ１２に接触するため、スライス加工用ワイヤに急激な負荷が加わる。そのためスライス加工用ワイヤ１２の張力が減少し、ワイヤガイド１３の溝から飛び出し、スライス加工用ワイヤ１２が所定の間隔を維持できなくなり、ウエハの厚みバラツキの原因になっていた。
【００４３】
[実施の形態２]
図６は本発明に係るワイヤソーの実施の形態２を示す、ワークおよびその支持台周りを正面から見た概略図、図７は異なる状態を示す図６相当図である。
図６において、ワイヤソーＳ２は、ワーク２２を支持するワーク支持台２５と、ローラ３３と、このローラに巻回されたスライス加工用ワイヤ３２とを備えている。３７はワーク支持台２５の支持部、３８は水平水準器である。
【００４４】
［実施例４］
ワーク２２を正面から見た時に、ワーク２２のスライス開始面がスライス加工用ワイヤー３２に対して平行でない場合、支持部３７の支持角度を調整する方法を説明する。
図６はワーク２２を正面から見た時の、支持部３７の支持角度を調整する前を、図７はワークを正面から見た時の、支持部３７の支持角度を調整した後をそれぞれ示す。
【００４５】
図６の支持角度調整用の支持部３７を軸周りに回転させる。角度調整用の支持部３７には水平水準器１８が備えられている。水平になるまで角度調整用の支持部３７を回転させる。
正面の角度を調整する理由は、スライス開始時にワークの角がスライス加工用ワイヤー３２に接触すると、ワークの角の抵抗により実施例３の様なスライス加工用ワイヤー３２に急激な負荷がかかるためである。
【００４６】
以上、本発明のマルチワイヤーソーを使うと、ウエハ厚みは１００μｍから１２０μｍに対応できる。また、ワイヤーとＳｉインゴットが垂直にでき、ウエハの厚みのバラツキを改善できる。
【符号の説明】
【００４７】
１            ワーク
２            ワーク取り付け台（ワーク支持台）
３            青板ガラス
４            アルミニウム板
５            差込口
６            差込口
７            差込口
８            差込口
９            平行出しワイヤ（補助ワイヤ）
１０          支柱
１１          支柱
１２          切削加工ワイヤ（スライス加工用ワイヤ）
１３          ワイヤーガイド（ローラ）
１４          スラリノズル
１５          元の場所
１６          平行出しの場所
１７          角度調整用の支持部
１８          水平水準器
１９          ワーク保持部
２０          ボルト
２１          ナット
２２          長孔
２３          張力検出センサ
２４          張力検出センサ
２５          モニタ
【図１】
2011079135.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2011079135.tif 000009
【図８】
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【図９】
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