(57)【要約】  【課題】  大型のペリクル、フォトマスクあるいはガラス基板のような大型精密部材を極めて清浄な状態を保ったまま保管、輸送できる、高剛性、軽量かつ低コストの大型精密部材収納容器を提供する。  【解決手段】  大型精密部材４を収納し、その全体を覆って嵌合するトレイ３とカバー２とを備える大型精密部材収納容器１において、トレイ３およびカバー２のうち、少なくともトレイ３は、アルミニウム、アルミニウム合金あるいはマグネシウム合金から構成される大型精密部材収納容器１とする。【選択図】図２
2011007827.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
大型精密部材を収納し、その全体を覆って嵌合するトレイとカバーとを備える大型精密部材収納容器において、
上記トレイおよび上記カバーのうち、少なくとも上記トレイは、アルミニウム、アルミニウム合金あるいはマグネシウム合金から構成されることを特徴とする大型精密部材収納容器。
【請求項２】
前記トレイおよび前記カバーのうち、少なくとも前記トレイは、鋳造により製造されたものであることを特徴とする請求項１に記載の大型精密部材収納容器。
【請求項３】
前記トレイあるいは前記カバーの厚さは、平面部において４〜１０ｍｍの範囲であることを特徴とする請求項２に記載の大型精密部材収納容器。
【請求項４】
前記トレイあるいは前記カバーの表面は塗装されており、なおかつその塗膜の表面粗さはＲａ１０μm以下であることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の大型精密部材収納容器。
【請求項５】
前記塗膜は導電性物質を含むことを特徴とする請求項４に記載の大型精密部材収納容器。
【請求項６】
前記トレイにおいて、その外縁は、それより内方にある内底面に比べて前記カバー側に突出する凸形状であり、その凸形状の外縁の裏側は凹形状であることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の大型精密部材収納容器。
【請求項７】
前記トレイあるいは前記アルミニウム、アルミニウム合金若しくはマグネシウム合金から構成される前記カバーの少なくとも一方において、少なくとも一つの開口部を有し、その開口部にはその全面を覆う樹脂板若しくはガラス板が取り付けられていることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の大型精密部材収納容器。
【請求項８】
前記開口部を覆う前記樹脂板若しくは前記ガラス板と、前記トレイ若しくは前記カバーとの間隙は、接着性樹脂により完全に密封されていることを特徴とする請求項７に記載の大型精密部材収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大型精密部材、特に、液晶製造におけるフォトリソグラフィ工程で使用される一辺が５００ｍｍを超える大きさの大型ペリクル、大型フォトマスクまたは大型フォトマスク用ガラス基板などを収納するための容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体製造あるいは液晶ディスプレイ等の製造においては、半導体ウェーハあるいは液晶用原板に光を照射してパターンを作製するが、この際に用いるフォトマスクあるいはレチクル（以下、単に、フォトマスクと記述）に塵や埃等の異物が付着していると、当該異物が光を吸収したりあるいは曲げるため、転写したパターンが変形したり、エッジがシャープにならない他、下地が黒く汚れたりするなど、製造物の寸法、品質、外観などが損なわれるという問題があった。このため、これらの作業は、通常、クリーンルームで行われているが、それでもフォトマスクを常に清浄に保つことは難しい。そこで、フォトマスクの表面への異物の付着を防止するため、ペリクルをフォトマスクに貼り付けた後に露光を行っている。この場合、異物はフォトマスクの表面には直接付着せず、ペリクル上に付着する。このため、リソグラフィの際に焦点をフォトマスクのパターン上に合わせておけば、ペリクル上の異物は転写に無関係となる。
【０００３】
一般に、ペリクルは、光を良く透過させるニトロセルロース、酢酸セルロースあるいはフッ素樹脂などからなる厚さ１〜１０μm程度のペリクル膜を、アルミニウム、ステンレス、ポリエチレンなどからなるペリクルフレームの上端面に貼り付けあるいは接着したものである。さらに、ペリクルフレームの下端には、フォトマスクに装着するためのポリブデン樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂等からなる粘着層、およびペリクルを使用するまで上記粘着層を保護するための離型層（セパレータ）が設けられる。一方、フォトマスクは、通常、合成石英などからなるガラス基板の片面にＣｒなどからなる遮光膜を設け、その遮光膜上に所望の回路パターンを描画したものである。描画後のフォトマスクは、パターンの欠陥を検査した後、高度に洗浄され、極めて清浄な状態を保ったまま、そのパターンを保護するようにペリクルが貼り付けられる。そのため、ペリクルは、使用前において、特にその内面側に異物付着があってはならず、しかも、上記のように、事実上洗浄が不可能な材質および構造であるため、製造後の保管からユーザまでの輸送において、異物の付着を極力防ぐ必要がある。一方、フォトマスクおよびフォトマスクを作製する前のガラス基板についても、この必要性は同様である。
【０００４】
近年、液晶ディスプレイの大型化に伴いフォトマスクおよびペリクルも著しく大型化してきている。当然、それに伴いこれらの収納容器も大型になる。従来から、収納容器は、コストが低いこと、軽量であること、一体成形が可能なこと、形状の自由度が高いなどの理由から、真空成形あるいは接着接合による樹脂製のものが用いられてきた。しかしながら、収納容器が大型化した場合、収納物の重量が増大することに加え、外力に対する変形量が大きくなるため、収納容器内での収納物あるいは収納容器自体に移動や擦れが生じる。このような容器内での発塵やペリクルの変形を防ぐためには、収納容器の剛性を高くする必要がある。この要求により、従来から、樹脂製のペリクル収納容器のトレイおよびカバーの少なくとも一方の外面側に金属製の補強板を取り付ける方法が提案されている（特許文献１を参照）。また、フォトマスクあるいはガラス基板においても同様の補強方法が提案されている（特許文献２，３を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−０３７２６９
【特許文献２】特開２００５−１７０５０７
【特許文献３】特開２００６−１８４４１４
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上記の樹脂製容器の外側に補強板を取り付ける方法においては次のような問題がある。その問題の内、主要な問題は、コストと重量に関するものである。剛性については、補強板を高剛性なものにしあるいはその使用量を増やすことにより、十分に高めることが可能である。しかし、それに伴い、樹脂トレイおよびカバーとの締結点数が増加するため、組立に要する補助部品ならびに組立工数が増加し、大きなコストアップに繋がる。例えば、外寸１５２６ｍｍ×１７４８ｍｍ×８ｍｍのペリクル用として従来用いられてきた収納容器であってＡＢＳ樹脂製真空成形体の外側にアルミニウム合金引き抜き型材を補強板として取り付けた従来型収納容器の場合には、組立だけに、作業者４名で約１０時間を要していた。また、補強板を増やすほど重量が増すため、剛性を高くするほど、トレイおよびカバーの材質として樹脂を使用しているメリットが失われていく。さらには、樹脂製のトレイおよびカバーは複雑形状のものでも成形可能であるが、取り付ける補強板は、コストを考慮すると、比較的単純な形状の組み合わせとせざるを得ない。したがって、この点からも、重量増加に繋がりやすい。これらの理由から、これまで、ペリクル、フォトマスクあるいはガラス基板等の清浄を保った状態で輸送できる高剛性を有しながらも、軽量であり、なおかつ製作にかかる工数およびコストが低いという優れた収納容器は存在していなかった。
【０００７】
本発明は、上記のような問題に鑑みなされたもので、大型のペリクル、フォトマスクあるいはガラス基板のような大型精密部材を極めて清浄な状態を保ったまま保管、輸送できる、高剛性、軽量かつ低コストの大型精密部材収納容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を解決するため、本発明の一形態は、大型精密部材を収納し、その全体を覆って嵌合するトレイとカバーとを備える大型精密部材収納容器において、トレイおよびカバーのうち、少なくともトレイは、アルミニウム、アルミニウム合金あるいはマグネシウム合金から構成される大型精密部材収納容器としている。
【０００９】
また、本発明の別の一形態は、トレイおよびカバーのうち、少なくともトレイが鋳造により製造された大型精密部材収納容器としている。
【００１０】
さらに、本発明の別の一形態は、トレイあるいはカバーの厚さを平面部において４〜１０ｍｍの範囲とする大型精密部材収納容器としている。
【００１１】
また、本発明の別の一形態は、トレイあるいはカバーの表面が塗装されており、なおかつその塗膜の表面粗さをＲａ１０μm以下とする大型精密部材収納容器としている。
【００１２】
さらに、本発明の別の一形態は、塗膜が導電性物質を含む大型精密部材収納容器としている。
【００１３】
また、本発明の別の一形態は、トレイにおいて、その外縁を、それより内方にある内底面に比べてカバー側に突出する凸形状とし、その凸形状の外縁の裏側を凹形状とする大型精密部材収納容器としている。
【００１４】
さらに、本発明の別の一形態は、トレイあるいはアルミニウム、アルミニウム合金若しくはマグネシウム合金から構成されるカバーの少なくとも一方において、少なくとも一つの開口部を有し、その開口部にはその全面を覆う樹脂板若しくはガラス板が取り付けられている大型精密部材収納容器としている。
【００１５】
また、本発明の別の一形態は、開口部を覆う樹脂板若しくはガラス板と、トレイ若しくはカバーとの間隙を、接着性樹脂により完全に密封されている大型精密部材収納容器としている。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、大型のペリクル、フォトマスクあるいはガラス基板のような大型精密部材を極めて清浄な状態を保ったまま保管、輸送できる、高剛性、軽量かつ低コストの大型精密部材収納容器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、第一の実施の形態にかかる大型精密部材収納容器の斜視図である。
【図２】図２は、図１に示す大型精密部材収納容器にペリクルを収納した場合の分解斜視図である。
【図３】図３は、図２に示すトレイおよびその一部拡大断面を示めす斜視図である。
【図４】図４は、ペリクルを収納した第二の実施の形態にかかる大型精密部材収納容器の分解斜視図である。
【図５】図５は、第三の実施の形態に係る大型精密部材収納容器のバックル近傍の一部断面図である。
【図６】図６は、本発明の各実施の形態に係る大型精密部材収納容器の付随的な構造を説明するための一部断面図である。
【図７】図７は、大型精密部材としてフォトマスクを収納した場合の第四の実施の形態に係る大型精密部材収納容器の分解斜視図である。
【図８】図８は、大型精密部材としてフォトマスクを収納した場合の第五の実施の形態に係る大型精密部材収納容器の分解斜視図である。
【図９】図９は、図７または図８に示す大型精密部材収納容器におけるフォトマスクの固定手段近傍の一部断面図である。
【図１０】図１０は、本発明の実施例にて製造した大型精密部材収納容器の分解斜視図であって、収納されるペリクルと共に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に、本発明の大型精密部材収納容器の各実施の形態について説明する。
【００１９】
１．第一の実施の形態
第一の実施の形態は、大型精密部材収納容器を構成するトレイをアルミニウム、アルミニウム合金あるいはマグネシウム合金の鋳造物とし、カバーを樹脂製とする形態である。
【００２０】
図１は、第一の実施の形態にかかる大型精密部材収納容器の斜視図である。図２は、図１に示す大型精密部材収納容器にペリクルを収納した場合の分解斜視図である。
【００２１】
図１および図２に示すように、第一の実施の形態にかかる大型精密部材収納容器1は、薄い略箱型の容器であり、通常の使用状態において上側のカバー２と下側のトレイ３を備える。カバー２とトレイ３は開閉可能であり、それらを嵌合して閉めた状態では大型精密部材収納容器１の内部に空間が存在する。大型精密部材の一例であるペリクル４はその空間内に収納可能である。しかしながら、単にその空間内にペリクル４を収納するだけでは、輸送中にペリクル４が大型精密部材収納容器1内で移動し、擦れ等に起因する発塵によって、ペリクル４に多数の異物が付着するおそれがある。このため、内部の収納物に適した固定手段をトレイ３上に設け、輸送時に収納物が移動しないように、その収納物を固定手段に固定する必要がある。
【００２２】
カバー２は、トレイ３側に凹部を有する樹脂成形体である。カバー２を構成する樹脂材料としては、ＡＢＳ樹脂の他、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ＰＥＴ樹脂などのポリエステル系樹脂、ＰＥ、ＰＰなどのポリオレフィン系樹脂、あるいはポリスチレン樹脂等を用いることができるが、他の樹脂材料を用いても良く、これらに限定されるものではない。ただし、大型精密部材収納容器１内のペリクル４の視認性を考慮すると、カバー２は透明（無色透明であるか有色透明であるかを問わない）あるいは半透明であるのが好ましい。したがって、透明性に加え、剛性、成形・接着等の加工性およびコスト等も加味すると、カバー２の材料に、ＡＢＳ樹脂またはアクリル樹脂を用いるのが特に好ましく、さらには帯電防止性を付与すれば、より好ましい。
【００２３】
カバー２は、好適には真空成形にて製造されるが、真空成形以外に樹脂側から金型側にガス圧を及ぼして成形する圧空成形、当該圧空成形と真空成形との両方を組み合わせた圧空真空成形によって製造することもでき、材料の成形性、金型形状の複雑さ等を考慮して適宜選択することができる。また、上記成形方法以外の成形方法を選択しても良い。
【００２４】
カバー２の対向する両短辺には、それぞれ２個の把持部２０が備えられている。把持部２０は、カバー２をトレイ３から開閉するための構成部材である。適切な強度になるように把持部２０を構成すれば、大型精密部材収納容器１全体の運搬にも用いることが可能ではあるが、カバー２に過度の剛性が必要になるため、通常、カバー２の開閉用途のみに限定して把持部２０を設計するのが好ましい。また、この実施の形態では、把持部２０は、カバー２と別の部材として製作したものを成形後のカバー２にボルト止め（図示しない）しているが、カバー２の構成部材を一体成形して把持部の形状としても良い。また、その取付位置としては、カバー２の対向する両長辺のみ、あるいは上記両短辺とともに両長辺に備えるようにしても良い。
【００２５】
トレイ３は、カバー２側に凹部を有するアルミニウム、アルミニウム合金またはマグネシウム合金の成形体である。トレイ３の製造法としては、鋳造、プレス加工等を用いることが好ましいが、特に、鋳造を用いるのが好ましい。プレス加工の場合、平滑で清浄な表面が得られるという利点がある。この場合、材質としては一般の展伸用アルミニウム合金、Ａｌ−Ｃｕ系、Ａｌ−Ｍｎ系、Ａｌ−Ｍｇ系、Ａｌ−Ｍｇ−Ｓｉ系、Ａｌ−Ｚｎ−Ｍｇ系の各種合金などを使用できるが、特に、成形・溶接等の加工性の観点からＡｌ−Ｍｇ系（ＪＩＳ  ５０００系）、Ａｌ−Ｍｇ−Ｓｉ系（ＪＩＳ  ６０００系）を選択するのが好ましい。マグネシウム合金の場合は、アルミニウム合金に比べると、プレス成形性に劣るものの、温間プレスを用いる場合には、Ｍｇ−Ａｌ−Ｚｎ系のＡＺ３１等を好適に使用することができる。
【００２６】
しかし、プレス加工においては、本発明で対象にするような大型の成形を行う場合、金型の加工費が高額になることに加え、使用するプレス機も数百トン以上の加圧力を有し、ほぼ自動車製造設備と同等のものが必要となるため、製造コストが非常に高くなるというデメリットがある。また、加工に際しては、同一厚みの薄板を使用するため、部材だけでは十分な剛性を確保することができない。そのため、リブを多く設け、剛性の不足を補う必要がある。
【００２７】
一方、鋳造を採用した場合、鋳造法としては砂型法、ロストワックス法、ダイカスト法などを選択することができる。これらより、製造する大型精密部材収納容器１の大きさと生産量を考慮して最適なものを選択すれば良いが、特に、コスト面で優位な砂型鋳造が好ましい。鋳造においては、複雑な形状であっても1回の成形でほとんど完成品に近い形状が得られ、機械加工を要する部分は、ペリクル４の固定手段や取り付け孔などの数箇所だけである。このため、鋳造は、非常に生産性が高いという利点を有する。鋳造を採用する場合の材質としては、一般の鋳造用合金を好適に使用できるが、その中でも、アルミニウム合金であればＡｌ−Ｓｉ−Ｍｇ系、Ａｌ-Ｓｉ−Ｃｕ系、Ａｌ−Ｓｉ−Ｃｕ-Ｍｇ系の合金が特に好ましい。ただし、Ａｌ−Ｓｉ−Ｃｕ系合金であっても、Ｓｉ含有量の極めて多いもの（例えば、ＪＩＳ  ＡＣ８、ＡＣ９等）は、Ｓｉの偏析や機械加工性に問題があり、好ましくない。また、マグネシウム合金の場合においては、Ｍｇ−Ａｌ−Ｚｎ系（例えば、ASTM  ＡＺ９１）、Ｍｇ−Ａｇ系（例えば、ASTM  ＱＥ２２）、Ｍｇ−希土類元素系が強度、加工性のバランスから特に好ましい。
【００２８】
また、トレイ３の厚みは、平面部において４〜１０ｍｍの範囲、さらには５〜８ｍｍの範囲とするのが好ましい。平面部の厚さを４ｍｍ（より好ましくは５ｍｍ）以上とすることにより、鋳造時の湯流れに問題がなく、特に面積が大きい平面部において溶湯を十分に充填させることができ、もって欠陥の発生を低減できる。また、平面部の厚さを１０ｍｍ（より好ましくは８ｍｍ）以下とすることにより、凝固時の収縮量を抑え、引けによる欠陥を生じにくくすることができる。また、冷却時間の増大を防止し、強度および生産性を高めることもできる。加えて、軽量化を図ることができる。なお、平面部以外の屈曲部や外周部など、特に剛性を要求される部分については、上記厚みの範囲に限定されるものではなく、剛性面から検討した所望の厚さとすることができる。
【００２９】
さらに、１回の鋳造にてトレイ３全体を鋳造できない場合には、分割した構造で製作し、それぞれを溶接あるいは接着、ネジおよびリベット等の締結手段により接合してトレイ３を構成することも可能である。接合部の処理工数がかかる分だけ不利にはなるが、型が小型で済むことによるコストダウンに加え、1つの鋳造物が小さいことにより鋳造品質では有利になることから、一体製造に問題が生じる可能性がある場合には、分割製造を採用することもできる。
【００３０】
上記のように、鋳造、特に砂型鋳造を採用する場合、鋳造物の表面は、その表面粗さが大きい鋳肌となる。鋳肌のままでは、その表面に異物が溜りやすいため、清浄度の高い製品を収納するのに適していない。また、凝固時にガスの抜けた跡であるピンホール等が多数存在するため、高度に洗浄することが難しい。このため、鋳造後のトレイ３の表面を、研磨あるいはサンドブラストによる平滑化処理などを施すのが好ましく、さらには、その平滑化後に塗装を行い、その表面粗さがＲａ１０μｍ以下となるようにするのが特に好ましい。この場合、必然的に塗膜を厚くすることになるため、鋳肌の下地処理は不要となり、生産性をより向上できる。さらに、その塗膜に、導電性物質（カーボンブラック、金属等）を含めるのが好ましい。塗膜に導電性を付与すると、帯電した異物がペリクル４に付着するのを効果的に防止することができると共に、収納されるペリクル４を取り出す際の帯電や静電破壊を効果的に防止することができる。
【００３１】
トレイ３の対向する両短辺および両長辺には、それぞれ片側２個ずつの把持部３０が設けられている。把持部３０は、トレイ３、あるいは大型精密部材収納容器１を運搬する際に把持するためのものである。この実施の形態では、把持部３０は、トレイ３とは別の部品として単体で製作したものをボルト（図示しない）にてトレイ３に締結しているが、トレイ３の形状を工夫して一体成形した構造としても良い。これらの位置、形状は、全体の重量を考慮して適宜設定することができる。
【００３２】
図３は、図２に示すトレイ３およびその一部拡大断面を示す斜視図である。図３に示す一部拡大断面は、トレイ３を点線Xにて切断した後に、一点鎖線で示す領域Ａを拡大して示すものである。このように、トレイ３の外縁３１は、その内側にある内底面３２と比べてカバー２側に突出して形成され、その裏側３３はそれとは逆に凹形状となっている。外縁３１を単純な厚肉形状にせずにその裏側３３を凹形状とすることにより、鋳造時の引けに伴い発生する欠陥を低減できると共に、トレイ３の軽量化を図ることができる。また、外縁３１は、リブ効果によりトレイ３上において最も高い剛性が得られる領域であるため、収納物であるペリクル４を搭載するのに最も適しており、使用に際してはフライス等でその突出面３１ａを平面切削して仕上げるのが好ましい。
【００３３】
２．第二の実施の形態
第二の実施の形態は、大型精密部材収納容器を構成するトレイとカバーの両方を、アルミニウム、アルミニウム合金あるいはマグネシウム合金の鋳造物とする形態である。
【００３４】
図４は、ペリクルを収納した第二の実施の形態にかかる大型精密部材収納容器の分解斜視図である。
【００３５】
この実施の形態では、トレイ３は、第一の実施の形態で説明したものと同様の構造を有する。カバー２は、トレイ３と同様に、アルミニウム、アルミニウム合金あるいはマグネシウム合金から構成されるが、第一の実施形態にて記述したトレイ３と同様に、その材質を適宜選択することができる。ここで、カバー２とトレイ３の材質は、必ずしも同一でなくとも良い。例えば、トレイ３の材質を、特に高い剛性を付与すべくアルミニウム合金とする一方で、カバー２の材質を、特に開封時の軽量性に優れるようにマグネシウム合金とすることができる。
【００３６】
また、この実施の形態では、カバー２に開口部２１が設けられており、さらに、その開口部２１を完全に覆うように樹脂板２２が取り付けられている。樹脂板２２とカバー２との隙間は、その隙間から発塵しないように、また、外部と通気して大型精密部材収納容器１内に異物を侵入させないように、接着性樹脂などで充填され、完全に密封されているのが好ましい。ただし、樹脂板２２のカバー２への固定方法としては、樹脂板２２とカバー２との間にシール部材（Ｏリング等）を介在させ、樹脂板２２をカバー２の内側に嵌め込むようにしても良い。また、このような開口部２１を有する実施の形態においても、カバー２の肉厚は、上記第一の実施の形態で記述したトレイ３と同じ理由により、４〜１０ｍｍの範囲、さらには５〜８ｍｍの範囲であるのが望ましい。
【００３７】
図４中のカバー２に図示される点線領域２２ａは、樹脂板２２を矢印Ｂの方向に向かってカバー２の内側に固定した状態を示す。ここで、樹脂板２２は１枚に限定されるものではなく、開口部２２毎に個別に、または、複数の開口部２１に共通となるように複数枚としても良い。開口部２１の形状は、図４に例示した矩形に限らず、例えば円形など他の形状でも良い。また、樹脂板２２は、開口部２１を完全に覆うことができればどのような形状であっても良い。さらに、図４の例示では、樹脂板２２は、開口部２１の内側から取り付けられているが、外側から取り付けられていても良い。樹脂板２２の材質としては、ＡＢＳ樹脂の他、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ＰＥＴ樹脂などのポリエステル系樹脂、ＰＥ、ＰＰなどのポリオレフィン系樹脂あるいはポリスチレン樹脂等を用いることができる。これら材質からの選択としては、例えば、図４に例示したカバー２に樹脂板２２を備える場合には、内部に収納したペリクル４が視認できるように、ＡＢＳ樹脂、アクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂等の透明性により優れた樹脂を選択するのが好ましい。また、帯電防止性を有する樹脂板２２を用いるのがさらに望ましい。なお、樹脂板２２に代えて、あるいは樹脂板２２と併用して、ガラス板等を用いることもできる。
【００３８】
一方、この実施の形態では例示していないが、トレイ３に、カバー２と全く同様に開口部を設け、その開口部を樹脂板にて覆っても良い。トレイ３に樹脂板を取り付ける場合には、トレイ３上に付着した異物を確認するため、樹脂板は有色、特には黒色であることが望ましい。それらの材質としては、アクリル樹脂、ＡＢＳ樹脂などをスモークブラウン、スモークグレーあるいは黒色等に着色したものを用いることができる。そして、これらについても、帯電防止性を付与するのがさらに望ましい。また、収納物の形状によっては、トレイ３とカバー２を同一の形態とし、トレイ３とカバー２の区別が無い構成とすることもできる。
【００３９】
３．第三の実施の形態
第三の実施の形態は、第一の実施の形態と同様、トレイをアルミニウム、アルミニウム合金またはマグネシウム合金の鋳造物で形成し、カバーを樹脂製とする形態であり、トレイとカバーをバックルで固定する方式のものである。
【００４０】
図５は、第三の実施の形態に係る大型精密部材収納容器のバックル近傍の一部断面図である。
【００４１】
図５（５Ａ）および（５Ｂ）に示すように、カバー２とトレイ３とを固定するバックルとしては、カバー２側の略垂直な端面２４などに固定可能な固定部４１とトレイ３側の略垂直な端面３４等に固定可能な駆動部４２から構成されるバックル４０を用いることができる。また、カバー２側がバックルの構成部材を固定しておけないような形状の場合には、例えば、図５（５Ｂ）に示すように、トレイ３側の略垂直な端面３４だけで固定できるバックル５０を用いて、カバー２の端部２５にバックル５０の一部を引っ掛けてカバー２とトレイ３を締結することもできる。このように、カバー２とトレイ３との締結手段は、カバー２およびトレイ３の固定箇所の形状により適宜選択することができる。この実施の形態では、カバー２とトレイ３、あるいはトレイ３に固定されるバックル４０，５０を例示したが、トレイ３あるいはカバー２から完全に取り外しできるクリップ等によりカバー２とトレイ３を締結することも可能である。
【００４２】
また、図５（５Ａ）および（５Ｂ）に示すように、トレイ３の突出面３１ａには、ペリクル４をトレイ３に保持するための保持具５が固定されている。保持具５は、図中には１個しか示されていないが、通常、トレイ３の外縁３１に沿って複数個固定される。保持具５は、輸送中にペリクル４がトレイ３内で移動しないよう確実に固定できるものであれば良く、種々の形式のものを利用できる。この例では、保持具５に支持されるピンをペリクル４のフレームの側面に設けられた非貫通の丸孔に挿入することにより、ペリクル４が固定されている。
【００４３】
４．付属的な構造例
図６は、本発明の各実施の形態に係る大型精密部材収納容器の付随的な構造を説明するための一部断面図である。
【００４４】
外部から大型精密部材収納容器１内への異物の侵入防止手段として、カバー２とトレイ３との嵌合面にガスケット６０に代表されるシール材を挟み、矢印Ｆで示すようにカバー２とトレイ３を嵌合することにより互いの接合面を密着させるのが好ましい。同様の手段としては、この他に外周の全周に粘着テープを貼り付ける等の方法も選択することができる。
【００４５】
また、大型精密部材収納容器１の内外に気圧差が生じた場合に、カバー２とトレイ３の嵌合解除を容易にするため、内外気圧を調整するための貫通孔を設け、さらには、空気の流入時における異物の侵入を防ぐためにフィルタ２６を備えることもできる。
【００４６】
さらに、トレイ３の底面にキャスタ７０を固定し、大型精密部材収納容器１の移動を容易にすることもできる。
【００４７】
５．第四の実施の形態
第四の実施の形態は、第一の実施の形態と同様、トレイをアルミニウム、アルミニウム合金またはマグネシウム合金の鋳造物で形成し、カバーを樹脂製とする形態であり、ペリクルに代えて、フォトマスクを収納するものである。
【００４８】
第一、第二および第三の各実施の形態では大型のペリクル４を収納した例について例示してきたが、対象とする収納物としてはペリクル４のみならず、高度の清浄性が要求される部材、例えば、フォトマスクやフォトマスク用ガラス基板等についても応用が可能である。ただし、フォトマスク等とペリクル４では、双方に大きな重量の差がある。例えば、１６２０ｍｍ×１７８０ｍｍ×１７ｍｍの石英ガラス基板の重量は約１１０ｋｇであるが、その石英ガラス基板と相応する１５２６ｍｍ×１７４８ｍｍ×８ｍｍのペリクル４の重量は約３ｋｇである。このため、フォトマスク等のガラス部材を収納する容器の場合、第一、第二および第三の各実施の形態に準じた構成としつつ、個別の部材としては、フォトマスク等のガラス部材に対応した設計を行うことが必要である。
【００４９】
図７は、大型精密部材としてフォトマスクを収納した場合の第四の実施の形態に係る大型精密部材収納容器の分解斜視図である。
【００５０】
図７に示すように、第四の実施の形態にかかる大型精密部材収納容器1は、第一の実施の形態と同様、薄い略箱型の容器であり、カバー２とトレイ３を備える。カバー２とトレイ３は開閉可能であり、それらを嵌合して閉めた状態において形成される空間に、フォトマスク６を収納可能である。また、輸送時にフォトマスク６が移動しないように、トレイ３に固定手段を設け、当該固定手段を用いて、フォトマスク６をトレイ３に固定するようにしている。カバー２およびトレイ３の材質、構造、寸法等に関する内容は、第一の実施の形態と共通するので、その説明を省略する。
【００５１】
６．第五の実施の形態
第五の実施の形態は、第二の実施の形態と同様、大型精密部材収納容器を構成するトレイとカバーの両方を、アルミニウム、アルミニウム合金あるいはマグネシウム合金の鋳造物とする形態であり、ペリクルに代えて、フォトマスクを収納するものである。
【００５２】
図８は、大型精密部材としてフォトマスクを収納した場合の第五の実施の形態に係る大型精密部材収納容器の分解斜視図である。
【００５３】
この実施の形態では、カバー２およびトレイ３は、第二の実施の形態で説明したものと同様の材質および構造を有する。また、カバー２には、開口部２１が設けられており、さらに、その開口部２１を完全に覆うように樹脂板２２が取り付けられている。樹脂板２２とカバー２との隙間は、その隙間から発塵しないように、また、外部と通気して大型精密部材収納容器１内に異物を侵入させないように、接着性樹脂などで充填され、完全に密封されているのが好ましい。さらに、樹脂板２２を透明度の高い材質にすることもでき、それによって内部のフォトマスク６の収納状況を外部から容易に視認できる。カバー２の肉厚は、上記第一の実施の形態で記述したトレイ３と同じ理由により、４〜１０ｍｍの範囲、さらには５〜８ｍｍの範囲であるのが望ましい。
【００５４】
図９は、図７または図８に示す大型精密部材収納容器におけるフォトマスクの固定手段近傍の一部断面図である。
【００５５】
図９（９Ａ）および（９Ｂ）に示すように、トレイ３の突出面３１ａには、フォトマスク６をトレイ３に保持するための保持具７が固定されている。保持具７は図中に１個しか示されていないが、前述のペリクル４に比べて重量の大きなフォトマスク６を固定するには、ペリクル４の固定に要する個数以上の保持具７をトレイ３に備えるのが好ましい。保持具７は、図９（９Ｃ）に拡大して示すように、フォトマスク６の上下両面の外周エッジをそれぞれ傾斜面で挟むように固定する機構を有している。保持具７は、突出面３１ａに固定される本体部７１と、当該本体部７１の内部の空間に挿入されその本体部７１の上方に突出する上方突出部７２と、当該本体部７１の下方からトレイ３の内方に向かって突出する下方突出部７３と、本体部７１の内部の空間からトレイ３の内方に向かって突出すると共に上方突出部７２と下方突出部７３との間で移動可能に構成される可動突出部７４と、当該可動突出部７４を上方に付勢する弾性体（例えば、バネ）７５と、上方突出部７２に設けられるねじ穴を貫通し、可動突出部７４の上面に当接するねじ７６を備える。下方突出部７３は、その上面がトレイ３の内方に向かって下方傾斜する傾斜面を有する。また、可動突出部７４は、その下面がトレイ３の内方に向かって上方傾斜する傾斜面を有する。ねじ７６を回して可動突出部７４に向けてねじ込んでいくと、可動突出部７４は、弾性体７５に抗して下方に移動する。一方、ねじ７６を上述とは逆の方向に回していくと、可動突出部７４は、弾性体７５の復元力に従って上方に移動する。このように、可動突出部７４の高さを調節することにより、下方突出部７３との間で、種々の厚さのフォトマスク６の上下両面の外周エッジを上下方向から挟み、フォトマスク６を確実に固定することができる。なお、弾性体７５は、上述と異なり、上方突出部７２と可動突出部７４との間にあって可動突出部７４を下方に付勢するものであっても良い。
【００５６】
７．各実施の形態における作用・効果
上記各実施の形態によれば、大型精密部材収納容器１において、トレイ３およびカバー２のうち少なくともトレイ３をアルミニウム、アルミニウム合金あるいはマグネシウム合金で構成しているため、軽量で高剛性の収納容器を得ることができる。また、特に、鋳造法により大型精密部材収納容器１を製造することにより、複雑な補強部材を用いることなく、一回の鋳造で最終形状に近い形状でなおかつ高剛性の収納容器を得ることができる。したがって、組立工数が極めて少ない低コストの収納容器を得ることができる。また、鋳造にて製造したトレイ３、あるいはトレイ３とカバー２の両方の平面部の厚さを４〜１０ｍｍ（より好ましくは５〜８ｍｍ）とすることにより、欠陥の発生を抑制し、強度および生産性を高め、かつ軽量化を図ることができる。さらに、塗膜に導電性を付与することにより、帯電した異物が大型精密部材に付着するのを効果的に防止することができると共に、収納される大型精密部材を取り出す際の帯電や静電破壊を効果的に防止することができる。加えて、帯電防止性塗料にて表面粗さＲａ１０μｍ以下となるような塗装を施すことにより、収納する大型精密部材への異物付着を大幅に減少することができる。また、トレイ３の外縁３１をトレイ３の内底面３２から突出させ、その裏側３３を凹形状とすることにより、鋳造時の引けに伴い発生する欠陥を低減できると共に、トレイ３の軽量化を図ることができる。さらには、鋳造物（トレイ３、あるいはカバー２とトレイ３の両方）に開口部２１を設け、その開口部２１を樹脂板２２で密閉し、さらには隙間を接着性樹脂により完全に封止することにより、大型精密部材への異物付着を防止し、かつさらなる軽量化を得ることができる。樹脂板２２を透明度の高い材質にすれば、収納物（ペリクル４、フォトマスク６など）の収納状況を外から容易に確認することができる。
【実施例】
【００５７】
以下に、本発明の実施例を説明する。ただし、本発明は、その実施例に限定されるものではない。
【００５８】
ペリクル４を収納することを目的として、図１に示すような外観の大型精密部材収納容器１を製作した。この容器１の大きさは、幅１９００ｍｍ、奥行き１７００ｍｍ、高さ（トレイ３の底面からカバー２の天面まで）１８０ｍｍである。以下に、カバー２およびトレイ３の詳細を説明する。
【００５９】
図１０に、この実施例にて製造した大型精密部材収納容器の分解斜視図を、収納されるペリクルと共に示す。
【００６０】
カバー２は、厚さ３ｍｍの帯電防止処理された透明アクリル樹脂を用いて真空成形法により一体で成形した。成形後、カバー２の周囲のトリミング処理を行った後にバリやカエリを除去し、両短辺の側面に各２箇所ずつ、ハンドリングのためのハンドル２０を内側からボルト（図示しない）により取り付けた。トレイ３はＡｌ−Ｓｉ−Ｍｇ系の鋳造用アルミニウム合金（ＪＩＳ  ＡＣ４ＣＨ）を用いて砂型鋳造により製造した。
【００６１】
鋳造において、Ａｌ−Ｓｉ−Ｍｇ系の鋳造用アルミニウム合金（ＪＩＳ  ＡＣ４ＣＨ）の母材溶解はシリコニット電気炉を用いて大気中で行い、成形後のガス孔などのポロシティ欠陥を減少させる目的から、坩堝内を真空ポンプにより減圧して溶湯内のガスを低減した後に鋳造を行った。砂型は、特に、中央の薄肉部への湯流れを良くすることを考慮して、湯口を中央部と両短辺の周縁部の合計３箇所に設け、また引け巣を防止するために十分な押し湯を確保した。給湯は３箇所同時に行い、冷却後、砂型よりトレイ３を取り出し、大型マシニングセンタにより湯口除去、外寸の仕上げ、ペリクル４が搭載される突出面３１ａの平面加工ならびに固定具５を取り付けるための孔加工を行った。その後、界面活性剤および水道水を用いて洗浄を行い、鋳造および機械加工時に付着した鋳砂、切削油、異物を除去し、さらに大型のオーブンにて加熱し、水分を完全に除去した。
【００６２】
次に、鋳造物の外観検査を行い、割れや引け巣などの鋳造欠陥が無いことを確認した後、清浄な環境にてトレイ３を縦に保持し、黒色の帯電防止性塗料（商品名：ＥＣ−０６／ナガセケムテックス社製）をスプレー法により塗布し、乾燥させた。塗装に際しては、１回の塗布量を塗膜１０μｍ程度となるように制御し、垂れ落ちなどによる塗膜の厚さムラや外観不良が発生しないようにした。乾燥後、重ね塗りを繰り返し、３回塗装後の最終的な膜厚は約３０〜４０μｍであった。
【００６３】
トレイ３の４箇所の開口部３７には、別途用意した１４８０ｍｍ×１６５０ｍｍ×３ｍｍの帯電防止黒色ＡＢＳ樹脂板３６（商品名：トヨラックパレル／東レ株式会社製）を上側から被せ、エポキシ系接着剤（商品名：ＭＯＳ７／コニシ株式会社製）により接着固定した。なお、この際、樹脂板３６とトレイ３に間隙が生じないように、接着剤を端部まで十分に行き渡るように塗布した。さらに、接着剤の硬化後、トレイ３上に固定具５をペリクル４のフレームの所定の取り付け穴に嵌合できる位置に調整して、ボルトにて取り付けた。その後、トレイ３とカバー２との締結手段として、ハンドル３０やバックル４０を取り付けた。
【００６４】
トレイ３について、塗装面の表面粗さを触針式表面粗さ測定機にて計測したところ、Ｒａ＝３μｍであり、元の鋳肌面を反映しない、平滑かつ清浄な平面であった。また、外観上も適度なマット調で、目視異物検査が容易な好適なものであった。また、重量計測の結果、カバー２は約２３ｋｇ、トレイ３はＡＢＳ樹脂板（８ｋｇ）を合わせて４１ｋｇ、大型精密部材収納容器１の総重量は６４ｋｇであり、極めて軽量に仕上げることができた。さらに、専門業者で行われる鋳造工程ならびに機械加工工程を除き、組立製作に要した工数は、ＡＢＳ樹脂板３６の接着を含めても、作業者２名でおよそ１時間であり、従来品に対して大幅に工数を短縮することができた。
【００６５】
このようにして製造した大型精密部材収納容器１のカバー２、トレイ３をクラス１０のクリーンルーム内に搬入し、界面活性剤とＰＶＡ製スポンジを用いて十分にスクラブ洗浄した後、純水によるすすぎを行い、自然乾燥により完全に乾燥させた。その後、暗室内にて異物検査および外観検査を行った。カバー２は樹脂製大型真空成形品であるので、特に問題がなかった。トレイ３についても、塗装面、ＡＢＳ樹脂板３６の表面、ならびに鋳造物とＡＢＳ樹脂板３６との接合部の全てにおいて清浄な状態で、引け巣、湯流れ跡、ブローホール等の鋳造欠陥の他、接合部の接着欠陥も全く見られず、良好な外観であった。
【００６６】
そこで、さらに、大型精密部材収納容器１に対して別途製作したペリクル４を収納し、輸送試験を行った。ここで使用したペリクル４は、外寸１５２６ｍｍ×１７４８ｍｍ、内寸１４９３ｍｍ×１７１１ｍｍ、高さ６．２ｍｍの黒色アルマイト処理を施したＡ５０５２アルミニウム合金製ペリクルフレームを用い、その片端面にマスク粘着層として幅６ｍｍ、高さ２ｍｍのシリコーン粘着層を形成し、さらに反対側の端面にダイコート法により成膜した厚さ６μｍのフッ素樹脂製ペリクル膜をシリコーン粘着剤で貼り付けたものである。なお、マスク粘着層は、前記ペリクルフレームと略同寸の形状に切断加工されたセパレータであってフッ素変性シリコーン離型剤を塗布した厚さ１２５μｍのＰＥＴフィルム製セパレータにより保護されている。このペリクル４を暗室内で異物検査し、付着している異物の位置を正確にマップに記載した後、製造した大型精密部材収納容器１に収納した。
【００６７】
ペリクル４の収納後、２名の作業員で該大型精密部材収納容器１を搬送してみたが、通常の扱いにおいて、当該容器１の変形や軋みは全く感じられなかった。そこで、さらに、両長辺側に３名ずつの作業者を配置し、該大型精密部材収納容器１に対して６人がかりで故意に捻りを加えてみたが、内部のペリクル膜は平面を保ったままで、当該膜のシワや弛みの発生など、容器１の変形を示唆する兆候は見られなかった。
【００６８】
次に、ペリクル４を収納した大型精密部材収納容器１を、帯電防止ＰＥ製梱包袋にて２重包装した後、クリーンルームより搬出し、強化ダンボール箱にて梱包した。輸送試験は、この梱包物をトラック便にて群馬県高崎市から福岡県北九州市までの往復距離（およそ１１００ｋｍ、高速道路使用）を、積み下ろしを含めて３回実施したのち、再びクリーンルーム内に収容し、内部のペリクル４について外観検査、および付着異物の有無を検査する試験とした。その結果、ペリクルフレーム、ペリクル膜ともに全く損傷は確認されなかった。また、膜上の異物についても位置、個数とも輸送前と全く変化無い状態であった。これらの結果から、大型精密部材収納容器１は、軽量で、製造時の組立工数が少ないながらも、ペリクル４をはじめとする大型精密部材を清浄な状態で輸送するのに十分な剛性を有していることが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００６９】
本発明は、精密基板、例えばペリクルあるいはガラス製フォトマスク等を収納し、あるいはこれを運搬するのに利用することができる。
【符号の説明】
【００７０】
１    大型精密部材収納容器
２    カバー
３    トレイ
４    ペリクル（大型精密部材の一例）
６    フォトマスク（大型精密部材の一例）
２１    開口部
２２    樹脂板
３１    外縁
３２    内底面
３３    裏側
３６    ＡＢＳ樹脂板
３７    開口部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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