(57)【要約】【課題】軸線のずれを抑制して信頼性をより向上することができるリニアアクチュエータを提供する。【解決手段】固定子１２の各コア２３，２４は、第１コア２６，２８と、第２コア２７，２９とを備える。第１コア２６，２８は、コイル２１，２２の外周面を覆う外筒部２６ａ，２８ａ、並びに板バネ１４，１６側の内周面及び先端面をそれぞれ覆う第１内筒部２６ｂ，２８ｂ及び蓋壁部２６ｃ，２８ｃを有する。第２コア２７，２９は、板バネ１４，１６の反対側の内周面及び先端面をそれぞれ覆う第２内筒部２７ａ，２９ａ及び底壁部２７ｂ，２９ｂを有する。両外筒部２６ａ，２８ａは、中心軸線Ｏの方向に重ねられる両底壁部２７ｂ，２９ｂの外周縁部と嵌合して該両底壁部２７ｂ，２９ｂを挟持する嵌合溝４１，４２をそれぞれ有するとともに、中心軸線Ｏの方向に対向する両外筒部２６ａ，２８ａ間に間隙Ｃが設定されている。【選択図】図１
2011109831.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心軸線に沿って並設された２つのコイル及びこれらコイルを個別に収容する２つのコアを有する固定子と、前記中心軸線の方向で一対のヨークにて永久磁石を挟み込んでなる可動子と、前記固定子に支持され前記中心軸線の方向で前記可動子を挟み込む２枚の板バネと、前記可動子を挟み込んだ前記２枚の板バネを前記中心軸線に沿って貫通して前記可動子ともども前記２枚の板バネを締結する非磁性シャフトとを有するリニアアクチュエータにおいて、
前記各コアは、
前記コイルの外周面を覆う外筒部、並びに前記中心軸線の方向における前記板バネ側の内周面及び先端面をそれぞれ覆う第１内筒部及び蓋壁部を有する第１コアと、
前記中心軸線の方向における前記板バネの反対側の内周面及び先端面をそれぞれ覆う第２内筒部及び底壁部を有する第２コアとを備え、
前記両外筒部は、前記中心軸線の方向に重ねられる前記両底壁部の外周縁部と嵌合して該両底壁部を挟持する嵌合溝をそれぞれ有するとともに、前記中心軸線の方向に対向する前記両外筒部間に間隙が設定されていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記板バネに結合される前記ヨークの外周側及び前記蓋壁部の内周側の少なくとも一方に、前記中心軸線の方向に沿って往復移動する前記板バネとの干渉を避ける段差を設定したことを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項３】
請求項２に記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記固定子が嵌入されるケースと、
前記ケースに圧入されるばね固定部材とを備え、
前記蓋壁部の外周縁部には、前記板バネの板厚よりも小さい前記中心軸線の方向の深さを有して前記板バネと嵌合する挟持溝が形成されており、
前記板バネは、前記挟持溝との嵌合部において、前記蓋壁部の反対側から前記中心軸線の方向に重ねられる前記ばね固定部材との間に挟持されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアアクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
リニアアクチュエータは、バネを併用し共振させることによって少ない損失で駆動できることから、加振アクチュエータ等として利用されている。そして、このリニアアクチュエータを用いた加振アクチュエータ等は高効率である等優れた性能を発揮できることから、各種防振アクチュエータとしての利用が期待されている。
【０００３】
リニアアクチュエータとしては、ボイスコイルモータが知られている。このボイスコイルモータは、永久磁石により作られた磁界の中でコイルに電流を流すことによりコイルに生じる力で駆動を行うもので、コイルを含む可動子が動く可動コイル型とも呼ばれている。この可動コイル型のものは、コイルを含む可動子に電流を流さなければならず、可動子の移動でそのための給電線に断線が生じる可能性が高くなるなど、信頼性に劣るという問題がある。
【０００４】
そこで、特許文献１のリニアアクチュエータでは、可動コイル型のものに対して永久磁石とコイルとの関係を入れ替え、永久磁石を含む可動子が動く可動磁石型のものが提案されている。このリニアアクチュエータの固定子は、中心軸線に沿って並設された２つのコイル及び磁極を形成する３つのティースを備えるとともに、これらコイル等を収容してそれらの外周面を覆う磁性金属からなるケースを備える。固定子は、両コイルの通電方向が正逆切り替えられることで、互いに相反する方向の磁界を形成して永久磁石を加振するもので、３つのティースはケースと協働して磁気回路を構成する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−２２５６２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、特許文献１のリニアアクチュエータでは、磁気回路を構成するティース及びケースが別体であることで、これらの間に形成される径方向の間隙によって磁気損失が生じ、効率が悪化する可能性がある。そこで、磁気回路を構成するケースを廃止して、両コイルを個別に収容するコアによって該コイルの外周面を覆うことが提案されている。この場合、両コイルの対向側で中心軸線の方向に重ねられる両コアの密着性が悪いと、例えば両コア間で軸線がずれて信頼性が損なわれる可能性がある。
【０００７】
本発明の目的は、軸線のずれを抑制して信頼性をより向上することができるリニアアクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記問題点を解決するために、請求項１に記載の発明は、中心軸線に沿って並設された２つのコイル及びこれらコイルを個別に収容する２つのコアを有する固定子と、前記中心軸線の方向で一対のヨークにて永久磁石を挟み込んでなる可動子と、前記固定子に支持され前記中心軸線の方向で前記可動子を挟み込む２枚の板バネと、前記可動子を挟み込んだ前記２枚の板バネを前記中心軸線に沿って貫通して前記可動子ともども前記２枚の板バネを締結する非磁性シャフトとを有するリニアアクチュエータにおいて、前記各コアは、前記コイルの外周面を覆う外筒部、並びに前記中心軸線の方向における前記板バネ側の内周面及び先端面をそれぞれ覆う第１内筒部及び蓋壁部を有する第１コアと、前記中心軸線の方向における前記板バネの反対側の内周面及び先端面をそれぞれ覆う第２内筒部及び底壁部を有する第２コアとを備え、前記両外筒部は、前記中心軸線の方向に重ねられる前記両底壁部の外周縁部と嵌合して該両底壁部を挟持する嵌合溝をそれぞれ有するとともに、前記中心軸線の方向に対向する前記両外筒部間に間隙が設定されていることを要旨とする。
【０００９】
同構成によれば、前記両底壁部において前記中心軸線の方向に重ねられる前記両第２コアは、前記両底壁部の外周縁部が前記両外筒部の前記嵌合溝に嵌合することで、前記両第１コアともども前記中心軸線に沿う軸取り（心出し）がなされる。また、前記中心軸線の方向に対向する前記両外筒部間に間隙が設定されていることで、該両外筒部（両第１コア）は、前記間隙の範囲で前記両底壁部の挟持力を調整可能である。従って、前記嵌合溝による前記両底壁部の外周縁部の挟持力を好適に確保することができ、前記両第２コアの前記中心軸線に沿う軸取りをより安定化することができる。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のリニアアクチュエータにおいて、前記板バネに結合される前記ヨークの外周側及び前記蓋壁部の内周側の少なくとも一方に、前記中心軸線の方向に沿って往復移動する前記板バネとの干渉を避ける段差を設定したことを要旨とする。
【００１１】
同構成によれば、前記段差により、前記中心軸線の方向に沿って往復移動する前記板バネと、前記ヨーク又は蓋壁部との干渉を避けることができる。
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のリニアアクチュエータにおいて、前記固定子が嵌入されるケースと、前記ケースに圧入されるばね固定部材とを備え、前記蓋壁部の外周縁部には、前記板バネの板厚よりも小さい前記中心軸線の方向の深さを有して前記板バネと嵌合する挟持溝が形成されており、前記板バネは、前記挟持溝との嵌合部において、前記蓋壁部の反対側から前記中心軸線の方向に重ねられる前記ばね固定部材との間に挟持されることを要旨とする。
【００１２】
同構成によれば、前記挟持溝の前記中心軸線の方向の深さは、前記板バネの板厚よりも小さく設定されていることで、前記板バネは、前記中心軸線の方向に前記挟持溝から突出する。従って、前記蓋壁部（第１コア）及び前記ばね固定部材は、前記挟持溝との嵌合部において互いに干渉することなく前記ケースに対する前記ばね固定部材の圧入荷重によって挟持することができる。また、前記板バネは、前記挟持溝と嵌合することで、前記第１コア（固定子）との間で前記中心軸線に沿う軸取り（心出し）をより正確に行うことができ、ひいては前記板バネに結合される前記可動子と前記固定子との間で軸取りをより正確に行うことができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明では、軸線のずれを抑制して信頼性をより向上することができるリニアアクチュエータを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態を示す断面図。
【図２】永久磁石を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図面に従って説明する。
図１は、本実施形態に係るリニアアクチュエータを示す縦断面図である。同図に示されるように、このリニアアクチュエータは、有蓋円筒状のケース１１を備える。このケース１１は、蓋壁の近傍で段部１１ａを介して拡開されている。そして、ケース１１内には、その中心軸線Ｏに沿って円環状の固定子１２が嵌入・収容されている。この固定子１２は、中心軸線Ｏに沿って並設された２つのコイル２１，２２及びこれらコイル２１，２２を個別に収容する２つのコア２３，２４を有する。なお、コイル２１は、一側への巻き線方向で巻装されており、コイル２２は、コイル２１に対して反転した他側への巻き線方向で巻装されている。中心軸線Ｏに沿って並設された両コイル２１，２２は、直列接続されており、通電時には互いに相反する方向の磁界を形成する。
【００１６】
コア２３は、中心軸線Ｏの方向に２分された磁性金属（鉄、磁性ステンレスなど）からなる第１コア２６及び第２コア２７を有する。そして、第１コア２６は、コイル２１の外周面を覆う外筒部２６ａ、並びに中心軸線Ｏの方向におけるコア２４から離隔する側の内周面及び先端面をそれぞれ覆う第１内筒部２６ｂ及び蓋壁部２６ｃを有する。第２コア２７は、中心軸線Ｏの方向におけるコア２４側の内周面及び先端面をそれぞれ覆う第２内筒部２７ａ及び底壁部２７ｂを有する。
【００１７】
同様に、コア２４は、中心軸線Ｏの方向に２分された磁性金属からなる第１コア２８及び第２コア２９を有する。そして、第１コア２８は、コイル２２の外周面を覆う外筒部２８ａ、並びに中心軸線Ｏの方向におけるコア２３から離隔する側の内周面及び先端面をそれぞれ覆う第１内筒部２８ｂ及び蓋壁部２８ｃを有する。第２コア２９は、中心軸線Ｏの方向におけるコア２３側の内周面及び先端面をそれぞれ覆う第２内筒部２９ａ及び底壁部２９ｂを有する。
【００１８】
なお、第２コア２７，２９は、底壁部２７ｂ，２９ｂにおいて中心軸線Ｏの方向に密着するように重ねられている。そして、第１及び第２内筒部２６ｂ，２７ａ間、並びに第１及び第２内筒部２８ｂ，２９ａ間には、中心軸線Ｏの方向に間隙が設定されている。固定子１２は、第１内筒部２６ｂ、第２内筒部２７ａ，２９ａ及び第１内筒部２８ｂによって中心軸線Ｏに沿って並設された３つの磁極（端磁極、中央磁極及び端磁極）を形成する。中央磁極を２つの第２コア２７，２９で形成するのは、形状を簡素化して安価な製法（プレス加工）で製造するためである。
【００１９】
ケース１１内には、中心軸線Ｏの方向に前記段部１１ａに密着する態様でリング状のばね固定部材１３が圧入・収容されるとともに、該ばね固定部材１３と前記第１コア２６（蓋壁部２６ｃ）との間に円盤状の板バネ１４が挟持されている。同様に、ケース１１内には、固定子１２よりも開口側でリング状のばね固定部材１５が圧入・収容されるとともに、該ばね固定部材１３と前記第１コア２８（蓋壁部２８ｃ）との間に円盤状の板バネ１６が挟持されている。
【００２０】
固定子１２の内周側には、中心軸線Ｏの方向で両板バネ１４，１６間に挟み込まれる態様で可動子１７が配置されている。この可動子１７は、板バネ１４，１６側に配設された磁性金属からなる一対のヨーク３１，３２を有するとともに、中心軸線Ｏの方向でこれら両ヨーク３１，３２にて挟み込まれた永久磁石３３を有する。なお、ヨーク３１は、永久磁石３３に向かって段階的に拡径されるように段付き円柱状に成形されており、該永久磁石３３に密着する大径部３１ａにおいて、前記第１及び第２内筒部２６ｂ，２７ａ間の間隙に径方向で対向する。同様に、ヨーク３２は、永久磁石３３に向かって段階的に拡径されるように段付き円柱状に成形されており、該永久磁石３３に密着する大径部３２ａにおいて、前記第１及び第２内筒部２８ｂ，２９ａ間の間隙に径方向で対向する。そして、永久磁石３３の中心軸線Ｏに沿った長さは、中央磁極を形成する両第２内筒部２７ａ，２９ａの中心軸線Ｏに沿った長さ以下に設定されている。なお、ヨーク３１，３２は、最小径となる座部３１ｂ，３２ｂにおいて、対応する板バネ１４，１６に当接する。また、ヨーク３１，３２及び永久磁石３３には、互いに同等の内径を有する挿通孔３１ｃ，３２ｃ，３３ａがそれぞれ形成されている。
【００２１】
リニアアクチュエータの備える非磁性シャフト３６は、前記挿通孔３１ｃ，３２ｃ，３３ａの内径と同等の外径を有する軸部３６ａを備えており、可動子１７を挟み込んだ２枚の板バネ１４，１６を中心軸線Ｏに沿って貫通して可動子１７ともども２枚の板バネ１４，１６を締結する。すなわち、この非磁性シャフト３６は、板バネ１４を貫通する軸部３６ａの一方の先端から径方向外側に延出する締付け形状（例えば六角形）の頭部３６ｂを有するとともに、板バネ１６を貫通する軸部３６ａの他方の先端部に刻設されたねじ部３６ｃを有する。そして、頭部３６ｂは、中心軸線Ｏの方向で板バネ１４を介して前記ヨーク３１の座部３１ｂに対向配置されている。また、ねじ部３６ｃには、中心軸線Ｏの方向で板バネ１６を介して前記ヨーク３２の座部３２ｂに対向配置されるロックナット３７が締め付けられる。以上により、非磁性シャフト３６は、頭部３６ｂ及びロックナット３７にて、可動子１７ともども２枚の板バネ１４，１６を締結する。
【００２２】
ここで、２枚の板バネ１４，１６を介して固定子１２に浮動支持された可動子１７は、中心軸線Ｏに沿って往復移動（微小振幅動作）可能となっている。そして、２枚の板バネ１４，１６は、その付勢力にて可動子１７を可動範囲の略中央位置となる基準位置に復帰させるとともに固定子１２との径方向の空隙を確保する。
【００２３】
そして、可動子１７が可動範囲の中央位置にあるとき、ヨーク３１の大径部３１ａは、第１及び第２内筒部２６ｂ，２７ａ間の中央位置にその外周面の中央位置が径方向で対向するように配置されるとともに、ヨーク３２の大径部３２ａは、第１及び第２内筒部２８ｂ，２９ａ間の中央位置にその外周面の中央位置が径方向で対向するように配置され、更に永久磁石３３は、固定子１２の中央磁極を形成する両第２内筒部２７ａ，２９ａの内周面の中央位置にその外周面の中央位置が径方向で対向するように配置される。このような配置関係にあることで、コイル２１，２２の非通電時には、前記永久磁石３３による磁束は、前記一対のヨーク３１，３２と、両第２内筒部２７ａ，２９ａとの間で閉ループとなる磁気回路を構成する。従って、この状態では、可動子１７をその可動範囲の中央位置に保持する力が働く。
【００２４】
また、前記両コイル２１，２２は、通電方向が正逆切り替えられて通電されるようになっており、通電時には、可動子１７は、通電方向に応じて形成される互いに相反する方向の磁界により永久磁石３３が加振されることで、その可動範囲の中央位置（基準位置）を原点（振動中心）として中心軸線Ｏに沿って往復移動する。
【００２５】
なお、板バネ１４に結合されるヨーク３１の外周側は、座部３１ｂの段差Ｄ分だけ板バネ１４から中心軸線Ｏの方向に離隔されており、板バネ１６に結合されるヨーク３２の外周側は、座部３２ｂの段差Ｄ分だけ板バネ１６から中心軸線Ｏの方向に離隔されている。これにより、中心軸線Ｏに沿う可動子１７の往復移動に際し、該可動子１７（ヨーク３１，３２）と板バネ１４，１６との干渉がより確実に抑制される。
【００２６】
次に、固定子１２を構成するコア２３，２４等について更に説明する。
図１に拡大して示すように、前記第１コア２６，２８の外筒部２６ａ，２８ａは、前記第２コア２７，２９の底壁部２７ｂ，２９ｂの外径よりも小さい内径及び大きい外径をそれぞれ有しており、外筒部２６ａ，２８ａの対向する先端部には、中心軸線Ｏの方向に重ねられる両底壁部２７ｂ，２９ｂの外周縁部と嵌合する円環状の嵌合溝４１，４２がそれぞれ形成されている。両第２コア２７，２９は、底壁部２７ｂ，２９ｂの外周縁部が両外筒部２６ａ，２８ａの嵌合溝４１，４２に嵌合することで、両第１コア２６，２８ともども中心軸線Ｏに沿う軸取り（心出し）がなされる。また、第１コア２６，２８は、嵌合溝４１，４２において、中心軸線Ｏの方向に重ねられる両底壁部２７ｂ，２９ｂを挟持しており、該底壁部２７ｂ，２９ｂ（嵌合溝４１，４２）の径方向外側で中心軸線Ｏの方向に対向する両外筒部２６ａ，２８ａの端面２６ｄ，２８ｄ間に間隙Ｃが設定されている。両外筒部２６ａ，２８ａ（両第１コア２６，２８）は、間隙Ｃの範囲で両底壁部２７ｂ，２９ｂの挟持力を調整可能であることで、嵌合溝４１，４２による前記両底壁部２７ｂ，２９ｂの外周縁部の挟持力が好適に確保される。
【００２７】
図１に拡大して示すように、第１コア２６の蓋壁部２６ｃの外周縁部には、ばね固定部材１３の内径と同等の内径を有するリング状の固定壁４３が突設されるとともに、該固定壁４３の先端部には、中心軸線Ｏの方向にばね固定部材１３に重ねられる板バネ１４の外周縁部と嵌合する円環状の挟持溝４４が形成されている。この挟持溝４４の中心軸線Ｏの方向の深さｄは、板バネ１４の板厚ｔよりも小さく設定されている。板バネ１４は、ばね固定部材１３に重ねられる外周縁部が挟持溝４４に嵌合することで、中心軸線Ｏに沿う軸取り（心出し）がなされる。また、第１コア２６は、挟持溝４４において、中心軸線Ｏの方向にばね固定部材１３に重ねられる板バネ１４の外周縁部を挟持しており、該板バネ１４は、板厚ｔ及び深さｄの偏差Δ（＝ｔ−ｄ）分だけ中心軸線Ｏの方向に挟持溝４４から突出する。従って、蓋壁部２６ｃ（第１コア２６）及びばね固定部材１３は、挟持溝４４との嵌合部において互いに干渉することなくケース１１に対する固定子１２を介したばね固定部材１５の圧入荷重によって板バネ１４を挟持することができる。
【００２８】
さらに、板バネ１４に結合される第１コア２６（蓋壁部２６ｃ）の内周側は、挟持溝４４の段差Ｄ１分だけ板バネ１４から中心軸線Ｏの方向に離隔されている。これにより、中心軸線Ｏに沿う可動子１７の往復移動に際し、固定子１２（第１コア２６）と板バネ１４との干渉がより確実に抑制される。
【００２９】
なお、第１コア２８の蓋壁部２８ｃにも、同様に固定壁４３及び挟持溝４４が形成されている。板バネ１６は、外周縁部が挟持溝４４に嵌合することで、中心軸線Ｏに沿う軸取り（心出し）がなされる。また、ばね固定部材１５は、挟持溝４４に嵌合する板バネ１６の外周縁部を挟持しており、蓋壁部２８ｃ（第１コア２８）及びばね固定部材１５は、挟持溝４４との嵌合部において互いに干渉することなくケース１１に対するばね固定部材１５の圧入荷重によって板バネ１６を挟持することができる。板バネ１６に結合される第１コア２８（蓋壁部２８ｃ）の内周側も、同様に挟持溝４４の段差Ｄ１分だけ板バネ１６から中心軸線Ｏの方向に離隔され、固定子１２（第１コア２８）と板バネ１６との干渉がより確実に抑制される。
【００３０】
また、図２に模式的な断面図を示すように、本実施形態では、一対のヨーク３１，３２に挟まれる永久磁石３３の内周部及び外周部に、テーパ４６，４７が形成されている。断面形状におけるこれらテーパ４６，４７の傾斜角度θ１，θ２は、４５°以上に設定されている。テーパ４６，４７は、例えば永久磁石３３等の組付け時に該永久磁石３３の角部が欠けることを抑制するためのものである。
【００３１】
以上詳述したように、本実施形態によれば、以下に示す効果が得られるようになる。
（１）本実施形態では、両底壁部２７ｂ，２９ｂにおいて中心軸線Ｏの方向に重ねられる両第２コア２７，２９は、両底壁部２７ｂ，２９ｂの外周縁部が両外筒部２６ａ，２８ａの嵌合溝４１，４２に嵌合することで、両第１コア２６，２８ともども中心軸線Ｏに沿う軸取り（心出し）がなされる。また、中心軸線Ｏの方向に対向する外筒部２６ａ，２８ａ間に間隙Ｃが設定されていることで、該両外筒部２６ａ，２８ａ（両第１コア２６，２８）は、間隙Ｃの範囲で両底壁部２７ｂ，２９ｂの挟持力を調整可能である。従って、嵌合溝４１，４２による両底壁部２７ｂ，２９ｂの外周縁部の挟持力を好適に確保することができ、両第２コア２７，２９の中心軸線Ｏに沿う軸取りをより安定化することができる。
【００３２】
（２）本実施形態では、板バネ１４，１６に結合されるヨーク３１，３２の外周側に段差Ｄを設定したことで、中心軸線Ｏの方向に沿って往復移動する板バネ１４，１６と、ヨーク３１，３２との干渉を避けることができる。また、板バネ１４，１６に結合される蓋壁部２６ｃ，２８ｃの内周側に段差Ｄ１を設定したことで、中心軸線Ｏの方向に沿って往復移動する板バネ１４，１６と、蓋壁部２６ｃ，２８ｃとの干渉を避けることができる。また、板バネ１４，１６と、ヨーク３１，３２又は蓋壁部２６ｃ，２８ｃとの干渉を避けるために別部材（ワッシャ等）を追加する必要がない。さらに、板バネ１４，１６を往復移動（振動）させる範囲を広くできることで、該板バネ１４，１６の性能（耐久性）を向上することができる。
【００３３】
（３）本実施形態では、挟持溝４４の中心軸線Ｏの方向の深さｄは、板バネ１４，１６の板厚ｔよりも小さく設定されていることで、板バネ１４，１６は、中心軸線Ｏの方向に挟持溝４４から突出する。従って、蓋壁部２６ｃ，２８ｃ（第１コア２６，２８）及びばね固定部材１３，１５は、挟持溝４４との嵌合部において互いに干渉することなくケース１１に対するばね固定部材１５の圧入荷重によって挟持することができる。また、板バネ１４，１６は、挟持溝４４と嵌合することで、第１コア２６，２８（固定子１２）との間で中心軸線Ｏに沿う軸取り（心出し）をより正確に行うことができ、ひいては板バネ１４，１６に結合される可動子１７と固定子１２との間で軸取りをより正確に行うことができる。
【００３４】
（４）本実施形態では、永久磁石３３の内周部及び外周部にテーパ４６，４７を形成したことで、例えば永久磁石３３等の組付け時に該永久磁石３３の角部が欠けることを抑制することができる。特に、雰囲気温度変化に伴い永久磁石３３が熱変形しても、ヨーク３１，３２との間に隙間が生じず、且つ、永久磁石３３が割れないような締付けトルクを設定することで、磁束の漏れを抑制することができ、装置全体としての性能を向上することができる。
【００３５】
（５）本実施形態では、対のヨーク３１，３２で永久磁石３３を挟み込んで固定したことで、該永久磁石３３の固定のために接着剤を使用する必要がなく、コストを低減し、接着剤漏れ及び剥がれ等の問題を解消することができる。また、永久磁石３３は、ヨーク３１，３２と隙間なく接触することで、磁束の漏れを抑制することができ、装置全体としての性能を向上することができる。
【００３６】
（６）本実施形態では、固定子１２及び可動子１７を連結する板バネ１４，１６によってこれら固定子１２（コア２３，２４）及び可動子１７（ヨーク３１，３２）の軸取りをケース１１等に依存することなく直に行うことができ、低コストで装置全体としての精度及び性能を向上することができる。
【００３７】
（７）本実施形態では、中央磁極を簡易な形状の２つの第２コア２７，２９で構成したことで、製造工数を削減することができ、ひいてはコストを削減することができる。
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
【００３８】
・前記実施形態において、可動子１７ともども２枚の板バネ１４，１６を締結する非磁性シャフト３６は、例えばカシメピンなどであってもよい。
・前記実施形態において、可動子１７の可動範囲の基準位置は、該可動範囲の適宜の中間位置であってもよい。
【００３９】
・前記実施形態において、永久磁石３３は、ネオジム磁石などであってもよい。
・本発明は、エンジン（内燃機関）や、冷蔵庫のコンプレッサなどの振動に対して逆位相の振動を発生させて該振動を相殺するアクティブな制振装置や、自動車などの乗員に対して心地よい揺れ（マッサージ、音）を提供する振動装置に適用可能である。
【００４０】
次に、上記実施形態及び別例から把握できる技術的思想について以下に追記する。
（イ）請求項１〜３のいずれか一項に記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記一対のヨークに挟まれる前記永久磁石の内周部及び外周部の少なくとも一方に、テーパを形成したことを特徴とするリニアアクチュエータ。同構成によれば、前記永久磁石の内周部及び外周部の少なくとも一方にテーパを形成したことで、例えば前記永久磁石等の組付け時に該永久磁石の角部が欠けることを抑制することができる。
【００４１】
（ロ）請求項２に記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記蓋壁部の外周縁部には、前記板バネと嵌合する挟持溝が形成されていることを特徴とするリニアアクチュエータ。同構成によれば、前記板バネは、前記嵌合溝と嵌合することで、前記第１コア（固定子）との間で前記中心軸線に沿う軸取り（心出し）をより正確に行うことができ、ひいては前記板バネに結合される前記可動子と前記固定子との間で軸取りをより正確に行うことができる。
【符号の説明】
【００４２】
Ｏ…中心軸線、１１…ケース、１２…固定子、１３，１５…ばね固定部材、１４，１６…板バネ、１７…可動子、２１，２２…コイル、２３，２４…コア、２６，２８…第１コア、２６ａ，２８ａ…外筒部、２６ｂ，２８ｂ…第１内筒部、２６ｃ，２８ｃ…蓋壁部、２７，２９…第２コア、２７ａ，２９ａ…第２内筒部、２７ｂ，２９ｂ…底壁部、３１，３２…ヨーク、３３…永久磁石、３６…非磁性シャフト、４１，４２…嵌合溝、４４…挟持溝。
【図１】
2011109831.tif 000003
【図２】
2011109831.tif 000004