(57)【要約】【課題】多量の点滴乾燥された試料を常に一定の高さ位置に保持することによって分析感度および分析精度を向上させる蛍光Ｘ線分析用試料保持具を提供する。【解決手段】本発明の蛍光Ｘ線分析用試料保持具１は、筒状固着具３と、筒状固着具３の内側に所定の大きさの窪み部２ｃを形成するためのたるみ部２ａおよび筒状固着具の一方の端部３ａに沿って固着される周辺部２ｂを有する高分子フィルム２と、筒状固着具４の内周に沿って上方にスライドされて高分子フィルムのたるみ部２ａの、筒状固着具４の内周近傍を押し上げる筒状保持具４とを備え、高分子フィルムのたるみ部２ａが下方に押し下げられることにより形成される窪み部２ｃに液体試料Ｓが滴下乾燥され、筒状保持具４が上方にスライドされ、筒状保持具の一方の端部４ａによってたるみ部２ａが平坦にされて乾燥された試料を保持する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体試料を蛍光Ｘ線分析するために用いられる蛍光Ｘ線分析用試料保持具であって、
筒状固着具と、
その筒状固着具の内側に所定の大きさの窪み部を形成するためのたるみ部および前記筒状固着具の一方の端部に沿って固着される周辺部を有する高分子フィルムと、
前記筒状固着具の内径よりも小さい外径を有し、前記筒状固着具の内周に沿ってスライド可能な筒状保持具であって、前記筒状固着具の一方の端部から前記筒状固着具の内側に挿入されて、前記筒状固着具の内周に沿って上方にスライドされて前記高分子フィルムのたるみ部の、前記筒状固着具の内周近傍を押し上げる筒状保持具とを備え、
前記高分子フィルムのたるみ部が下方に押し下げられることにより形成される窪み部に液体試料が滴下乾燥され、前記筒状保持具が前記筒状固着具の内周に沿って上方にスライドされ、前記筒状保持具の一方の端部によって前記たるみ部が平坦にされる位置で支持されるとともに乾燥された試料を保持する蛍光Ｘ線分析用試料保持具。
【請求項２】
請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析用試料保持具を備える蛍光Ｘ線分析装置であって、
前記窪み部に液体試料が滴下乾燥され、前記筒状保持具によって前記たるみ部が平坦にされて試料を保持した前記窪み部であった部位に１次Ｘ線を照射するＸ線源と、
前記窪み部であった部位から発生する２次Ｘ線の強度を測定する検出手段とを備える蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項３】
蛍光Ｘ線分析用試料保持具の作製方法であって、
筒状固着具と高分子フィルムを準備し、
前記筒状固着具の内側に所定の大きさの窪み部を形成するためのたるみ部が生じるように前記筒状固着具の一方の端部に沿って前記高分子フィルムの周辺部を固着し、
前記筒状固着具の内径よりも小さい外径を有し、前記筒状固着具の内周に沿ってスライド可能な筒状保持具を準備し、
前記筒状保持具を前記筒状固着具の一方の端部より内側に挿入し、前記筒状固着具の内周に沿って上方にスライドさせて前記高分子フィルムのたるみ部の、前記筒状固着具の内周近傍を押し上げて前記筒状保持具の一方の端部によって前記たるみ部を平坦にし、
前記筒状保持具を下方にスライドさせ、再度前記高分子フィルムのたるみ部を形成してこのたるみ部を下方に押し下げることにより、滴下される液体試料を保持する窪み部を形成する蛍光Ｘ線分析用試料保持具の作製方法。
【請求項４】
請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析用試料保持具を用いる蛍光Ｘ線分析方法であって、
前記窪み部に液体試料を滴下乾燥させ、
前記筒状保持具によって前記たるみ部を平坦にする位置で支持するとともに、前記窪み部であった部位に乾燥された試料を保持させ、
前記窪み部であった部位に１次Ｘ線を照射して、発生する２次Ｘ線の強度を測定する蛍光Ｘ線分析方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体試料を蛍光Ｘ線分析するために用いられる蛍光Ｘ線分析用試料保持具ならびにそれを用いる蛍光Ｘ線分析方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体試料を蛍光Ｘ線分析するための技術として、極薄のポリマーフィルムに直径２ｍｍの窪みを成形した試料保持具がＭＯＸＴＥＫ社から販売されている。また、図１３に示すように液体試料Ｓを蛍光Ｘ線分析するために用いられる蛍光Ｘ線分析用試料保持具１であって、輪状の台座２と、台座２に所定の張力で保持される周辺部３ａおよびＸ線を透過させるための透過部３ｂを有する厚さ１２μｍ以下の熱収縮性フィルム３とを備え、透過部３ｂに窪み３ｃが形成されており、透過部の窪み３ｃに液体試料Ｓが滴下されて乾燥されることにより、透過部３ｂが平坦になるとともに、乾燥された試料を保持する蛍光Ｘ線分析用試料保持具１がある（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２２２６１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、ＭＯＸＴＥＫ社の試料保持具は、ポリマーフィルムを成形して製作されているので、点滴された液体試料Ｓの乾燥前の試料保持具５０の状態を示す断面図である図１４および点滴された液体試料Ｓの乾燥後の試料保持具５０の状態を示す断面図である図１５に示すように、液体試料Ｓが点滴される窪み５４は、液体試料Ｓの乾燥後であっても乾燥前と同様に窪んでいるが、液体試料Ｓの乾燥段階においてポリマーフィルム５３に少し変形が生じ、個々の試料保持具５０によって窪み５４に保持されている乾燥された試料Ｓの高さが変動し、検出される蛍光Ｘ線強度が変動する。そのため、精度よく分析することができない。
【０００５】
特許文献１に記載の蛍光Ｘ線分析用試料保持具１は、室温において熱収縮性フィルム３を輪状の台座２に所定の張力でぴんと張った状態に伸張し、この伸張した状態で押圧冶具によって押圧して窪み３ｃを形成する。したがって、室温ではこの窪み３ｃは平坦な元の状態に戻らない。この窪み３ｃに液体試料が滴下乾燥される。この液体試料が乾燥されるときの熱量によって熱収縮性フィルム３が収縮して平坦になるとともに、乾燥された試料を保持する。このように、この蛍光Ｘ線分析用試料保持具１では、熱収縮性フィルム３が液体試料の乾燥時の熱量によって平坦な状態に戻ることができる窪み３ｃでなければならないので、その窪み３ｃの径は小さく深さは浅く、窪み３ｃが液体試料を保持できる容量は小さい。液体試料を保持できる容量が小さいために試料の濃縮度が低く、高感度の蛍光Ｘ線分析を行うことができない。
【０００６】
この浅い窪み３ｃに液体試料を滴下すると、窪み３ｃの周辺壁に沿って液体試料が這い上がり、液体試料が窪み３ｃの外側に広がることがある。特に、有機溶媒溶液の試料ではこの這い上がり現象が起こり易く、液体試料の一部が窪み３ｃの外で乾燥することがある。そのため、試料によって乾燥された試料の保持位置が異なるため、蛍光Ｘ線分析の感度が変動する。また、熱収縮性フィルム３が液体試料の乾燥時に均一な平坦面に戻らず、一部波状になることがある。熱収縮性フィルム３が波状になると、滴下乾燥された試料の高さ位置が変動するため、蛍光Ｘ線分析の感度が変動する。
【０００７】
本発明は前記従来の問題に鑑みてなされたもので、液体試料を蛍光Ｘ線分析するために用いられる蛍光Ｘ線分析用試料保持具ならびにそれを用いる蛍光Ｘ線分析方法および装置において、多量の点滴乾燥された試料を常に一定の高さ位置に保持することができる蛍光Ｘ線分析用試料保持具を提供することによって分析感度を向上させるとともに分析精度を向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するために、本発明の蛍光Ｘ線分析用試料保持具は、液体試料を蛍光Ｘ線分析するために用いられる蛍光Ｘ線分析用試料保持具であって、筒状固着具と、その筒状固着具の内側に所定の大きさの窪み部を形成するためのたるみ部および前記筒状固着具の一方の端部に沿って固着される周辺部を有する高分子フィルムと、前記筒状固着具の内径よりも小さい外径を有し、前記筒状固着具の内周に沿ってスライド可能な筒状保持具であって、前記筒状固着具の一方の端部から前記筒状固着具の内側に挿入されて、前記筒状固着具の内周に沿って上方にスライドされて前記高分子フィルムのたるみ部の、前記筒状固着具の内周近傍を押し上げる筒状保持具とを備え、前記高分子フィルムのたるみ部が下方に押し下げられることにより形成される窪み部に液体試料が滴下乾燥され、前記筒状保持具が前記筒状固着具の内周に沿って上方にスライドされ、前記筒状保持具の一方の端部によって前記たるみ部が平坦にされる位置で支持されるとともに乾燥された試料を保持する。
【０００９】
本発明の蛍光Ｘ線分析用試料保持具によれば、多量の点滴乾燥された試料を常に一定の高さ位置に保持することができるので、高感度および高精度の分析を行うことができる。
【００１０】
本発明の蛍光Ｘ線分析装置は、本発明の蛍光Ｘ線分析用試料保持具を備える蛍光Ｘ線分析装置であって、前記窪み部に液体試料が滴下乾燥され、前記筒状保持具によって前記たるみ部が平坦にされて試料を保持した前記窪み部であった部位に１次Ｘ線を照射するＸ線源と、前記窪み部であった部位から発生する２次Ｘ線の強度を測定する検出手段とを備える。
【００１１】
本発明の蛍光Ｘ線分析用試料保持具の作製方法は、蛍光Ｘ線分析用試料保持具の作製方法であって、筒状固着具と高分子フィルムを準備し、前記筒状固着具の内側に所定の大きさの窪み部を形成するためのたるみ部が生じるように前記筒状固着具の一方の端部に沿って前記高分子フィルムの周辺部を固着し、前記筒状固着具の内径よりも小さい外径を有し、前記筒状固着具の内周に沿ってスライド可能な筒状保持具を準備し、前記筒状保持具を前記筒状固着具の一方の端部より内側に挿入し、前記筒状固着具の内周に沿って上方にスライドさせて前記高分子フィルムのたるみ部の、前記筒状固着具の内周近傍を押し上げて前記筒状保持具の一方の端部によって前記たるみ部を平坦にし、前記筒状保持具を下方にスライドさせ、再度前記高分子フィルムのたるみ部を形成してこのたるみ部を下方に押し下げることにより、滴下される液体試料を保持する窪み部を形成する。
【００１２】
本発明の蛍光Ｘ線分析用試料保持具の作製方法によれば、多量の点滴乾燥された試料を常に一定の高さ位置に保持することができる蛍光Ｘ線分析用試料保持具を作製することができるので、高感度および高精度の分析を行うことができる。
【００１３】
本発明の蛍光Ｘ線分析方法は、本発明の蛍光Ｘ線分析用試料保持具を用いる蛍光Ｘ線分析方法であって、前記窪み部に液体試料を滴下乾燥させ、前記筒状保持具によって前記たるみ部を平坦にする位置で支持するとともに、前記窪み部であった部位に乾燥された試料を保持させ、前記窪み部であった部位に１次Ｘ線を照射して、発生する２次Ｘ線の強度を測定する。
【００１４】
本発明の蛍光Ｘ線分析方法および装置によれば、本発明の蛍光Ｘ線分析用試料保持具を用いるので、本発明の蛍光Ｘ線分析用試料保持具と同様の作用効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の第１実施形態である蛍光Ｘ線分析用試料保持具の筒状固着具の縦断面図である。
【図２】同試料保持具の筒状固着具に筒状保持具が挿入された状態を示す縦断面図である。
【図３】同試料保持具のたるみ部が平坦になっている状態を示す縦断面図である。
【図４】同試料保持具の窪み部が押圧冶具によって形成される状態を示す縦断面図である。
【図５】同試料保持具による液体試料の保持状態を示す縦断面図である。
【図６】同試料保持具のたるみ部が平坦になり乾燥された試料を保持する状態を示す縦断面図である。
【図７】Ｓｉの検量線である。
【図８】本発明の第３実施形態である上面照射型蛍光Ｘ線分析装置の概略図である。
【図９】本発明の第３実施形態の変形である下面照射型蛍光Ｘ線分析装置の概略図である。
【図１０】Ｎａの測定データである。
【図１１】Ｍｇの測定データである。
【図１２】Ａｌの測定データである。
【図１３】従来の試料保持具の斜視図である。
【図１４】従来の他の試料保持具が液体試料を保持する状態を示す縦断面図である。
【図１５】同試料保持具が乾燥された試料を保持する状態を示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の第１実施形態である蛍光Ｘ線分析用試料保持具について説明する。筒状固着具３と高分子フィルム２を準備し、図１に示すように筒状固着具３の内側に所定の大きさの窪み部を形成するためのたるみ部２ａを形成するように、筒状固着具３の一方の端部３ａに沿って高分子フィルムの周辺部２ｂを固着する。このたるみ部２ａは所定の半径を有する円形である。高分子フィルムの周辺部２ｂを固着する方法については後述する。筒状固着具３は、他の内周部位よりも大きい滑り摩擦力を有する係止部、例えば３列の円周スリット３ｃを、他方の端部３ｂの内周に備えている。例えば、筒状固着具３は外径４３．５ｍｍ、内径４０．５ｍｍ、高さ２３ｍｍの筒状であり、ポリエチレン、ポリスチレンなどの樹脂材料からなる。例えば、高分子フィルム２は厚さ１２μｍ以下、好ましくは２〜８μｍのポリエステル、ポリプロピレン、ポリイミドなどからなり、材質としてはポリイミドがより好ましい。
【００１７】
筒状固着具３の内径よりも小さい外径を有し、筒状固着具３の内周に沿ってスライド可能な筒状保持具４を準備する。例えば、筒状保持具４は外径４０．０ｍｍ、内径３８ｍｍ、高さ２４．５ｍｍの筒状であり、ポリエチレン、ポリスチレンなどの合成樹脂材料からなる。
【００１８】
図２に示すように筒状保持具４を筒状固着具３の他方の端部３ｂより内側に挿入し、筒状固着具３の内周に沿って上方にスライドする。筒状固着具３を上方にスライドする方法としては、筒状保持具４の他方の端部４ｂを机上に置いて、筒状保持具４の外径よりも僅かに大きい内径と十分な深さを持つ釣鐘型の押し込み冶具（図示なし）を用いて、筒状固着具３を筒状保持具４の外周に沿って下方にスライドさせてもよい。
【００１９】
筒状固着具３の内周に沿って上方にスライドさせると、図３に示すように筒状保持具４の一方の端部４ａによってたるみ部２ａが平坦にされる位置で支持される。このとき、筒状保持具４の一方の端部の端面４ｄと筒状固着具３の他方の端部の端面３ｄが面一になった位置で、筒状固着具３の係止部３ｃによってたるみ部２ａが支持され、ぴんと張った平坦な状態に伸張される。
【００２０】
ぴんと張った平坦な状態への伸張は、筒状保持具４の一方の端部の端面４ｄが筒状固着具３の他方の端部の端面３ｄよりも数ｍｍ出っ張った位置で、たるみ部２ａが支持されてもよい。本発明の第１実施形態の試料保持具１では、端面４ｄと端面３ｄが面一、または端面４ｄが端面３ｄよりも数ｍｍ出っ張った位置でたるみ部２ａが支持されるように、筒状保持具４の高さが筒状固着具３の高さよりも１．５ｍｍ高く形成されている。
【００２１】
図３から分かるように、筒状保持具４の一方の端部の端面４ｄと筒状固着具３の他方の端部の端面３ｄが面一の状態で支持されている高分子フィルム２のたるみ部２ａは、その全体が平面上に伸張されると、筒状保持具４の高さと同外径の１／２とが加算された長さの半径を有する円形である。
【００２２】
筒状保持具４を下方にスライドさせ、再度前記高分子フィルムのたるみ部２ａを形成してこのたるみ部２ａを下方に押し下げることにより、滴下される液体試料Ｓを保持する窪み部２ｃを形成する。図４に示すように例えば直径１５ｍｍ、長さ１００ｍｍの円柱である、ポリエチレンやテフロン（登録商標）などの合成樹脂製、または高分子フィルム２を損傷させないように端面が処理されたガラス管などの押圧冶具５を用いて、たるみ部２ａを下方に押し下げることによって窪み２ｃを形成する。形成される窪み部２ｃは、例えば深さが約２０ｍｍ、平面視で直径が約１５ｍｍの円形である。窪み２ｃの形状は上記に限らず、平面視で楕円形、矩形など点滴された液体試料が保持できる窪んだ形状であればよい。また、寸法も上記に限らず筒状保持具４を下方にスライドさせる距離を変えることによって、深さ２〜２０ｍｍ、平面視での最大長さ５〜３５ｍｍなど点滴する液体試料量に適した大きさに形成すればよい。
【００２３】
高分子フィルム２を筒状固着具３に固着する方法について説明する。前記したようにたるみ部２ａの円形の所定の半径は筒状保持具４の高さと同外径によって算出することができるので、この所定の半径を有する円の外周に、筒状固着具３の一方の端部３ａに沿って固着するためののりしろとなる周辺部２ｂを有する高分子フィルム２を準備する。例えば、前記した外径４０．０ｍｍ、内径３８ｍｍ、高さ２４．５ｍｍの筒状保持具４を用い、周辺部２ｂの幅を２０ｍｍにすると、たるみ部２ａの半径は４４．５ｍｍであるので、半径６４．５ｍｍの高分子フィルム２を準備する。高分子フィルム２の試料が接触しない面にたるみ部２ａと周辺部２ｂとの境界に線を表示するなどして、のりしろとなる周辺部２ｂの領域を明確にして、筒状固着具３の一方の端部３ａ、例えば端部３ａの外周に沿って周辺部２ｂを固着する。固着する個所は端部３ａの外周に限らず、端部３ａの端面であってもよい。高分子フィルム２を固着する方法は溶着、接着剤による接着、粘着テープによる貼付などによるのが好ましいが、リング等によって固定されていてもよい。
【００２４】
なお、第１実施形態の試料保持具１の作製方法も本発明の実施形態である。
【００２５】
この試料保持具１を用いる蛍光Ｘ線分析においては、図５に示すように、窪み２ｃに液体試料Ｓを滴下する。ここで、窪み２ｃはその周囲よりも窪んでいるので、液体試料Ｓは窪み２ｃから周囲に転がることがなく、窪み２ｃで安定に保持される。そして、滴下した液体試料Ｓを適切な加熱乾燥器具により４０〜６０℃に加熱乾燥させると、窪み２ｃの液体試料Ｓが乾燥されて保持される。
【００２６】
筒状保持具４を筒状固着具３の内周に沿って上方にスライドさせると、図６に示すようにたるみ部２ａがぴんと張った平坦になる位置で係止部３ｃによって支持され、その位置で乾燥された試料Ｓが保持される。
【００２７】
試料保持具１を蛍光Ｘ線分析装置の試料台へ載置して、液体試料Ｓの含有成分Ｓを保持した窪み２ｃであった部位に１次Ｘ線を照射して蛍光Ｘ線分析を行う。試料保持具１を蛍光Ｘ線分析装置の試料台へ載置する方法については、後述する。
【００２８】
第１実施形態の試料保持具１を用いて、微量のＳｉを含んだエーテル類溶液試料１を１００μｌ（マイクロリットル）点滴乾燥して１次Ｘ線出力２．４ＫＷで測定したときの検量線を図７に示す。この検量線は横軸がＳｉの濃度、縦軸が蛍光Ｘ線強度であり、４ｐｐｍ以下の範囲で良い直線性を示している。蛍光Ｘ線強度の測定時間が１２０秒間であるこの検量線から検出限界ＬＬＤを算出すると３０ｐｐｂとなる。この測定結果によれば、今迄測定することができなかった有機溶媒中の微量のＳｉの測定が可能となった。
【００２９】
以上のように、第１実施形態の蛍光Ｘ線分析用試料保持具１によれば、高分子フィルムのたるみ部２ａを下方に押し下げることにより深い大きな窪み部２ｃが形成されるので、多量の液体試料を１度に滴下・乾燥でき、高い濃縮度によって高感度の分析を高精度で行うことができる。従来技術のように多量の液体試料を点滴するために、複数回点滴すると、点滴量の誤差が複数回累積し、点滴量誤差が大きくなり分析精度が悪くなる。例えば、１０回点滴したら誤差は１０倍になる。さらに、乾燥された試料Ｓがぴんと張った平坦に伸張された高分子フィルム２に保持されるので、測定時の試料高さは常に一定の高さになり、精度のよい分析を行うことができる。特に表面張力が弱く、液体試料が這い上がり窪みの外側に広がり易い有機溶媒溶液の試料であっても深い大きな窪み部２ｃの一定位置に保持されるため、再現性のよい分析を行なうことができ、その効果は顕著である。さらに、点滴乾燥された試料Ｓの保持担体として高分子フィルム２を用いているので、保持担体からの散乱Ｘ線を減少させてバックグラウンドを抑制することができる。
【００３０】
次に、本発明の第２実施形態の蛍光Ｘ線分析方法について説明する。この分析方法に使用される蛍光Ｘ線分析装置１０は、本発明の第３実施形態であり、図８に示すように、第１実施形態の蛍光Ｘ線分析用試料保持具１を備える装置であって、試料保持具１が直接または試料ホルダ１８を介して載置される試料台である試料ステージ１７と、液体試料Ｓが滴下されて乾燥されることにより、乾燥された試料Ｓを保持した窪み２ｃであった部位２ｄに１次Ｘ線１２を照射するＸ線管などのＸ線源１１と、窪み２ｃであった部位２ｄから発生する蛍光Ｘ線などの２次Ｘ線１５の強度を測定するＸ線検出器などの検出手段１６とを備えている。試料ホルダ１８からの散乱線の影響を低減するため、また、高さ調整のための適切な素材のスペーサー１９を備えてもよい。
【００３１】
この装置を使用する第２実施形態の蛍光Ｘ線分析方法では、第１実施形態の蛍光Ｘ線分析用試料保持具１の窪み２ｃに液体試料Ｓを滴下して乾燥させた後、筒状保持具４を筒状固着具３の内周に沿って上方にスライドさせ、図６に示すようにたるみ部２ａがぴんと張った平坦になる位置で係止部３ｃによって支持され、その位置で乾燥された試料Ｓが保持される。乾燥された試料Ｓが保持された試料保持具１全体を、底付き円筒状の試料ホルダ１８の開口部に載置して、その試料ホルダ１８を試料ステージ１７に載置する。
【００３２】
試料ホルダ１８を用いず、試料保持具１を直接試料ステージ１７に載置してもよい。
【００３３】
以上のように試料ステージ１７に載置した試料保持具１の乾燥された試料Ｓを保持した窪み２ｃであった部位２ｄに１次Ｘ線１２を照射して、発生する２次Ｘ線１５の強度を測定する。
【００３４】
元素Ｎａ、Ｍｇ、Ａｌがそれぞれ５０００ｐｐｍ含有されているオイルを芳香族系有機溶媒で２００倍に希釈し、その芳香族系溶液を、本実施形態の分析方法によって、窪み２ｃに３０μｌ点滴して１次Ｘ線出力５０Ｗで１２０秒間測定したデータを図１０〜１２に示す。この測定データは、横軸が蛍光Ｘ線分析装置のゴニオの走査角度である２θ、縦軸が蛍光Ｘ線強度である。この測定結果は、検出限界ＬＬＤが、Ｎａ３．３ｐｐｍ、Ｍｇ２．３ｐｐｍ、Ａｌ０．６８ｐｐｍという高感度なデータである。したがって、高倍率に希釈しても試料中の微量成分の測定をすることができる。さらに重油などのオイル試料を高倍率に希釈することによって共存元素の影響を充分に抑制することができ、高精度の分析ができる。なお、図１０〜１２に示す測定データの採取には、液体試料を保持する高分子フィルム２として厚さ１２μｍのポリプロピレンフィルムを用いた。
【００３５】
以上は、乾燥された試料Ｓの上方から１次Ｘ線１２を照射するいわゆる上面照射の場合であるが、図９に示すように、乾燥された試料Ｓの下方から１次Ｘ線を照射するいわゆる下面照射の場合にも、試料保持具１を用いることができる。
【００３６】
第２、第３実施形態の方法、装置によれば、第１実施形態の蛍光Ｘ線分析用試料保持具１を用いるので、第１実施形態と同様の作用効果が得られる。
【００３７】
前記した実施形態においては、高分子フィルム２を筒状固着具３の一方の端部３ａに沿って固着した蛍光Ｘ線分析用試料保持具１について説明したが、筒状固着具３を用いずに、筒状保持具の一方の端部に沿って脱着可能なスナップリング（図示なし）によって、筒状保持具４に高分子フィルム２を支持してもよい。例えば、ポリエチレン製のスナップリングは、筒状保持具の一方の端部の外周において凹凸の嵌合によって結合され、その嵌合を外すことによって筒状保持具から取外すことができる。
【００３８】
このスナップリングを用いる蛍光Ｘ線分析用試料保持具においては、高分子フィルム２をスナップリングと筒状保持具４の一方の端部４ａとの間に挟み、押圧冶具５によって所望の大きさの窪み部２ｃを形成した後、スナップリングで高分子フィルム２を筒状保持具４の一方の端部４ａに支持する。この窪み２ｃに液体試料Ｓを滴下して乾燥させる。液体試料Ｓが乾燥すると、スナップリングを筒状保持具４から取外し、高分子フィルム２を筒状保持具の一方の端部４ａの端面においてぴんと張った平坦になるように伸張して、スナップリングで高分子フィルム２を筒状保持具の一方の端部４ａに支持する。窪み２ｃであった部位２ｄに乾燥された試料Ｓが保持されているので、第２実施形態の分析方法と同様に試料保持具１全体を、試料ホルダ１８の開口部に載置して、その試料ホルダ１８を試料ステージ１７に載置して分析する。
【００３９】
この分析方法は、所望の大きな窪み部２ｃが形成されるので、多量の液体試料を１回の操作で滴下・乾燥でき、高い濃縮度によって高感度かつ高精度の分析をすることができる。従来技術のように多量の液体試料を点滴するために、複数回点滴すると、点滴量の誤差が複数回累積し、点滴量誤差が大きくなり分析精度が悪くなる。例えば、１０回点滴したら誤差は１０倍になる。さらに、乾燥された試料Ｓがぴんと張った平坦に伸張された高分子フィルム２に保持されるので、測定時の試料高さは常に一定の高さになり、精度のよい分析を行うことができる。特に、表面張力が弱く液体試料が這い上がり窪みの外側に広がり易い有機溶媒溶液の試料であっても深い大きな窪み部２ｃの一定位置に保持されるため、再現性のよい分析を行なうことができ、その効果は顕著である。
【符号の説明】
【００４０】
１    蛍光Ｘ線分析用試料保持具
２    高分子フィルム
２ａ  たるみ部
２ｂ  周辺部
２ｃ  窪み部
２ｄ  窪みであった部位
３    筒状固着具
３ａ  筒状固着具の一方の端部
４    筒状保持具
４ａ  筒状保持具の一方の端部
１０  蛍光Ｘ線分析装置
１１  Ｘ線源
１２  １次Ｘ線
１５  ２次Ｘ線
１６  検出手段
Ｓ    液体試料
【図１】
2011089794.tif 000003
【図２】
2011089794.tif 000004
【図３】
2011089794.tif 000005
【図４】
2011089794.tif 000006
【図５】
2011089794.tif 000007
【図６】
2011089794.tif 000008
【図７】
2011089794.tif 000009
【図８】
2011089794.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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