(57)【要約】【課題】群管理システムと統計解析システムとが統合された基板処理システムを提供する。【解決手段】基板処理システムであって、複数の装置３０と、装置３０からの出力データを収集する群管理システム１０と、装置３０からの出力データのうち特定イベントに係る出力データを統計解析する統計解析システム２０とで構成され、群管理システム１０は、装置３０からの出力データを受信するデータ受信部１１と、受信された出力データを蓄積する装置データＤＢ１５と、統計解析システム２０が統計解析を行うときに利用するデータである制御データを統計解析制御データ１４として蓄積する手段と、を含み、統計解析システム２０は、起動時に群管理システム１０から制御データを受信し、制御データに基づき統計解析システム２０を初期化する。【選択図】図１
2011249387.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板処理装置と、前記複数の基板処理装置からの出力データを収集する群管理装置と、前記複数の基板処理装置からの出力データのうち、特定のイベントに係る出力データを統計解析する統計解析装置とで構成される基板処理システムであって、
前記群管理装置は、
前記複数の基板処理装置それぞれから送信される出力データを受信する第一のデータ受信手段と、
前記第一のデータ受信手段によって受信された出力データを蓄積する第一のデータ管理手段と、
前記統計解析装置が統計解析を行うときに利用するデータである制御データを蓄積する第二のデータ管理手段と、
を含み、
前記統計解析装置は、起動時に前記群管理装置から前記制御データを受信し、該制御データに基づき前記統計解析装置を初期化する
基板処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造装置など複数の基板処理装置の情報を管理する基板処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造分野では、生産履歴や稼動状態等の半導体製造装置の情報を蓄積、閲覧できる群管理システムを使用して、生産効率の向上を図っている。また、半導体製造装置の情報をモニタし、統計解析システムを用いることで、不良解析を行う。
【０００３】
また、半導体製造装置やＧＵＩ端末が増加しても、群管理システム内でのデータ検索処理の負荷を増大させず、ＧＵＩ端末でのデータ検索と表示を迅速に行うシステムが開示されている（例えば特許文献１）。
【０００４】
ここで、従来の基板処理システムの構成を図９に示し、従来の問題点を説明する。従来の群管理システム１０Ａは、例えば基板処理装置である装置３０の集中制御機能や、装置３０の出力データの蓄積、閲覧機能があるが、多数の装置群を管理するため、処理性能の問題から装置３０の出力データに対して統計解析を用いて高度な不良解析を行うことはできない。また、装置３０にメーカ独自の仕様が盛り込まれる場合があるため群管理システム１０Ａは汎用性に欠ける点もある。
【０００５】
一方従来の統計解析システム２０Ａは、汎用的なシステムであり、装置３０の出力データに対して統計解析を用いた高度な不良解析を行うことができる。統計解析システム２０Ａは、解析項目に対する特定のデータを特定のイベントにトリガさせて収集しており、解析項目を追加、変更した場合に過去のデータに遡って統計解析を行うことができない。また、汎用的なシステムであるため、装置メー力独自の仕様(機能、データ、インタフェース、等)は反映されず、装置毎の特徴が十分に生かされない場合がある。
【０００６】
このような理由から、従来の基板処理システムでは、群管理システム１０Ａと統計解析システム２０Ａとが別々に運用されている。よって、従来の基板処理システムは、群管理システム端末４０Ａ、統計解析システム端末４０Ｂの２つの異なる端末が用意され、ユーザは異なるユーザインタフェースを使い分ける必要がある。また従来の基板処理システムでは、互いのデータを相互利用することができないため、相互利用するには、群管理システム１０Ａ、統計解析システム２０Ａそれぞれが個別に装置３０から装置データを取得し、データ交換するという手順を踏む必要がある。
【０００７】
また近年、半導体製造装置の不良解析に対する重要度が増しており、新しく設定された解析項目に対してもできる限り迅速に対応する必要がある。しかしながら、統計解析には十分な過去データが必要となるため、統計解析を行う際には、新しく解析項目を設定した後に十分なデータが蓄積されるまで待つか、他のシステムから何らかの方法でデータを取り込む必要がある。この手続きは煩雑であり、また非効率的である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００８−２８３１６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであり、複数台の装置の情報を一元管理することができる群管理システムと、装置情報に対して高度な不良解析を行うことができる統計解析システムとを統合させることで、以下の効果を得ることを目的とする。
（１）ユーザインタフェースを統合して使い勝手を向上させる。
（２）群管理装置が収集したデータで統計解析システムのデータを補完して不良解析の精度を向上させる。
（３）不良解析結果を装置群管理で利用して生産性を向上させる。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した課題を解決するため、本発明の一態様に係る基板処理システムは、複数の基板処理装置と、前記複数の基板処理装置からの出力データを収集する群管理装置と、前記複数の基板処理装置からの出力データのうち、特定のイベントに係る出力データを統計解析する統計解析装置とで構成される基板処理システムであって、前記群管理装置は、前記複数の基板処理装置それぞれから送信される出力データを受信する第一のデータ受信手段と、前記第一のデータ受信手段によって受信された出力データを蓄積する第一のデータ管理手段と、前記統計解析装置が統計解析を行うときに利用するデータである制御データを蓄積する第二のデータ管理手段と、を含み、前記統計解析装置は、起動時に前記群管理装置から前記制御データを受信し、該制御データに基づき前記統計解析装置を初期化することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
群管理装置と統計解析装置とを統合し利便性を向上させることができ、ユーザの使い勝手を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施の形態に係る基板処理システムの構成の一例を示す図である。
【図２】本実施の形態に係る基板処理システムの初期化の動作の一例を示す図である。
【図３】本実施の形態に係る、装置３０からの装置出力データの流れの一例を示す図である。
【図４】本実施の形態に係る、データ解析(統計解析)処理のデータの流れの一例を示す図である。
【図５】本実施の形態に係る総合システム端末での表示例を示す図である。
【図６】本実施の形態に係る、統計解析データ解析項目の追加、編集、および統計解析用過去データの補完の流れの一例を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態に係る装置３０の側面透視図の一例を示す図である。
【図８】本発明の実施の形態に係る装置３０の平面透視図の一例を示す図である。
【図９】従来の基板処理システムの構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１４】
図１に、本実施の形態に係る基板処理システムの構成例を示す。基板処理システム１は、群管理システム１０、統計解析システム２０、複数の装置３０、および総合システム端末４０で構成される。群管理システム１０、統計解析システム２０、装置３０は、それぞれＬＡＮ（Local Area Network）５０を介して相互に通信することができる。
【００１５】
群管理システム１０は、装置３０からの装置出力データを収集し、管理する従来の群管理機能の他に、統計解析システム２０を制御するための機能を持つ。
【００１６】
群管理システム１０は、装置３０から送信される装置出力データを受信するデータ受信部１１（第一のデータ受信手段）と、装置出力データを蓄積する装置データＤＢ（Database)１５（第一のデータ管理手段）とを有する。また群管理システム１０は、統計解析制御データ１４を蓄積する手段（第二のデータ管理手段）を有し、これら装置出力データと制御データとは個別に、ハードディスクドライブ、ＵＳＢメモリ等の不揮発性な記憶装置である不揮発性記憶装置３０１（格納手段）に格納されている。
【００１７】
また群管理システム１０は、データの蓄積、検索を行うデータ管理部１３と、統計解析システム２０との通信、制御を行う統計解析管理部１２を有する。統計解析制御データ１４は、ユーザから追加または編集された解析項目が定義されているデータであり、統計解析システム２０は統計解析を行うときに統計解析制御データ１４の解析項目に則り統計解析を制御する。
【００１８】
統計解析システム２０は、装置出力データのうち、特定のイベントに係る装置出力データを統計解析する従来のデータ解析機能の他に、統計解析システム２０の起動時に群管理システム１０から統計解析制御データ１４を受け取り、統計解析システム２０を初期化する機能を有する。この初期化には、統計解析を行うときに使用されるデータが含まれる。また統計解析システム２０は、解析結果を群管理システム１０に通知するための機能を有する。これら各機能は、装置出力データを受信するデータ受信部２１と、統計解析制御データ１４を受信し統計解析制御データ１４に基づき初期化するとともに、解析、結果通知を行うデータ解析部２２と、データ解析部２２によって解析されたデータを蓄積する解析データＤＢ２３とで実現される。解析データＤＢ２３は、不揮発性記憶装置３０２に記憶されている。
【００１９】
総合システム端末４０は、群管理システム１０とデータの送受信を行うことができるように接続されており、従来の群管理システム端末４０Ａの機能の他に、統計解析システム２０の解析結果を表示する機能や、統計解析システム２０の制御データを編集する機能を有する。
【００２０】
群管理システム１０は、図示しないＣＰＵ（Central Processing Unit）、主記憶装置、および不揮発性記憶装置３０１を少なくとも有するコンピュータであり、統計解析システム２０は、図示しないＣＰＵ、主記憶装置、および不揮発性記憶装置３０２を少なくとも有するコンピュータである。上述の各機能部は、不揮発性記憶装置３０１、３０２に予め導入されているプログラム（例えばデータ受信プログラム、統計解析管理プログラム等）が、主記憶装置に展開され、ＣＰＵにて実行されることで実現される。また、総合システム端末４０は、ユーザに対してのデータの表示や入力を担う入出力部（モニター、プリンタ、キーボード、マウス等）、ＣＰＵ、主記憶装置、不揮発性記憶装置を有するコンピュータである。装置３０は本実施の形態では基板処理装置である。その詳細については後述する。
【００２１】
次に、基板処理システム１の初期化の動作について、図２を参照しつつ説明する。
【００２２】
基板処理システム１の起動時（すなわち、群管理システム１０、統計解析システム２０の起動時）、群管理システム１０の統計解析管理部１２は、統計解析制御データ１４を取得する（Ｓ１）。群管理システム１０は、取得データを統計解析システム２０のデータ解析部２２に送信し、データ解析部２２は、統計解析制御データ１４を取得し統計解析システム２０を初期化する（Ｓ２）。
【００２３】
図３に装置３０からの装置出力データの流れを示す。装置３０から群管理システム１０へのデータは、データ受信部１１により受信され（Ｓ１１）、データ管理部１３に送られ(Ｓ１２)、装置データＤＢ１５へ蓄積される(Ｓ１３)。また、データ受信部１１は、装置出力データを総合システム端末４０へ送り(Ｓ１４)、総合システム端末４０は、装置３０の生産履歴や稼動状態を含む情報をリアルタイムに一覧表示する。
【００２４】
装置３０から統計解析システム２０へのデータは、群管理システム１０のデータ受信部１１経由で統計解析システム２０のデータ受信部２１に送信され(Ｓ１５)、データ解析部２２に送信され(Ｓ１６)、解析データＤＢ２３へ蓄積される(Ｓ１７)。
【００２５】
統計解析システム２０では解析に必要なデータのみを扱うため、群管理システム１０のデータ受信部１１または統計解析システム２０のデータ受信部２１がデータのフィルタリングを行うか、装置３０が「Interface A」などの解析に必要なデータのみを統計解析システム２０へ直接送信するような実装であってもよい (Ｓ１５Ａ)。
【００２６】
図４にデータ解析(統計解析)処理の際のデータの流れを示す。データ解析は特定の区間、特定のデータに対して実施される。統計解析システム２０が区間の終了イベントを受信した時(Ｓ２１)、データ解析部２２によってデータ解析(統計解析)が開始される。データ解析部２２は、解析データＤＢ２３より過去の解析データを取得し(Ｓ２２)、今回取得したデータと合わせて統計解析を実行する。解析結果は、群管理システム１０の統計解析管理部１２に送付され(Ｓ２３)、総合システム端末４０へも通知される（Ｓ２４）。群管理システム１０は、解析結果が不良である旨の通知をデータ解析部２２から受け取った場合に、担当ユーザに対してメール通知などを行うことも可能である。
【００２７】
図５に解析結果の表示例を示す。総合システム端末４０では、装置３０それぞれの状態をリアルタイムで一覧表示することができる。装置情報一覧画面（図５（Ａ）参照）では、装置３０それぞれの情報と共に、統計解析システム２０から通知されたデータ解析結果の未読数(一度も参照されていない解析結果の数)を表示する(図５（Ａ）の「統計解析」欄)。尚、この装置情報一覧画面では、装置３０の識別名称である「装置」、データ解析結果の未読数である「統計解析」、装置３０で不具合が発生した総件数である「アラーム」、現在の装置３０の状態を示す「ステータス」の各項目が少なくとも表示される。この装置情報一覧画面でデータ解析結果の未読数がクリック選択されることで、総合システム端末４０は、対象装置のデータ解析結果一覧画面を表示する（図５（Ｂ）参照）。データ解析結果一覧画面では、未読データを含む過去の解析結果の情報を一覧表示する。尚、一覧表示される項目は、解析種別の名称である「項目」、解析した「日時」、解析した「結果」、およびその「詳細情報」である。
【００２８】
データ解析結果一覧画面でユーザ所望の解析結果が選択されることで、解析内容を表すグラフ画面が表示される(図５（Ｃ）参照)。この詳細データは、群管理システム１０の統計解析管理部１２を経由して、統計解析システム２０の解析データＤＢ２３より取得される。
【００２９】
次に、図６を参照しつつ統計解析データ解析項目の追加、編集、および統計解析用過去データの補完の流れを説明する。統計解析データ解析項目の追加、編集は、総合システム端末４０の統計解析編集画面で実施される(Ｓ３１)。追加、編集された解析項目は群管理システム１０の統計解析管理部１２に通知され(Ｓ３２)、統計解析制御データ１４として不揮発性記憶装置３０１に格納される(Ｓ３３)。統計解析管理部１２は、解析項目の追加、編集の発生を統計解析システム２０のデータ解析部２２に通知する(Ｓ３４)。通知を受けたデータ解析部２２は、この新しい統計解析制御データ１４を群管理システム１０の統計解析管理部１２を介して受け取り(Ｓ３５Ａ、Ｓ３５Ｂ)、統計解析システム２０の解析項目を更新する。
【００３０】
またデータ解析部２２は、新しい解析項目に関して統計解析を行うため、群管理システム１０のデータ管理部１３に対して必要な過去データの要求を行い(Ｓ３６）、データ管理部１３は、装置データＤＢ１５に蓄積されている過去データを取得し、データ解析部２２に送信する（Ｓ３７）。データ解析部２２は、受信した過去データを解析データＤＢ２３へ格納する(Ｓ３８)。このように過去データを取得しておくことで、統計解析システム２０は次回のデータ解析において信頼性のある統計解析が可能となる。
【００３１】
次に、本実施の形態の装置３０について説明する。本実施の形態において、装置３０は、一例として、半導体装置（ＩＣ）の製造方法における処理工程を実施する半導体製造装置として構成されている。尚、以下の説明では、基板処理装置として基板に酸化、拡散処理やＣＶＤ処理などを行なう縦型の装置（以下、単に処理装置という）を適用した場合について述べる。図７は、本発明に適用される処理装置の側面透視図として示されている。また、図８は図７に示す処理装置の平面透視図である。
【００３２】
図７及び図８に示されているように、シリコン等からなるウエハ（基板）２００を収納したウエハキャリアとしてフープ（基板収容器、以下ポッドという。）１１０が使用されている処理装置１００は、筐体１１１を備えている。筐体１１１の正面壁の正面前方部には、メンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口１０３が開設され、この正面メンテナンス口１０３を開閉する正面メンテナンス扉１０４、１０４ｂがそれぞれ建て付けられている。
【００３３】
筐体１１１の正面壁には、ポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が筐体１１１の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口１１２は、フロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉されるようになっている。また、ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側にはロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置されており、ロードポート１１４はポッド１１０を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド１１０はロードポート１１４上に工程内搬送装置（図示せず）によって搬入され、かつ、ロードポート１１４上から搬出されるようになっている。
【００３４】
筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置されており、回転式ポッド棚１０５は複数個のポッド１１０を保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚１０５は、垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱１１６と、支柱１１６に上下四段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７とを備えており、複数枚の棚板１１７は、ポッド１１０を複数個宛それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
【００３５】
筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置されており、ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと、搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成されており、ポッド搬送装置１１８は、ポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ（基板収容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を搬送するように構成されている。
【００３６】
筐体１１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１９が後端にわたって構築されている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａには、ウエハ２００をサブ筐体１１９内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口１２０、１２０には、一対のポッドオープナ１２１、１２１がそれぞれ設置されている。
【００３７】
ポッドオープナ１２１は、ポッド１１０を載置する載置台１２２、１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３、１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は、載置台１２２に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
【００３８】
サブ筐体１１９は、ポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５の設置空間から流体的に隔絶された移載室１２４を構成している。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されており、ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａ及びウエハ移載装置１２５ａを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ及びウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ（基板保持体）１２５ｃをウエハ２００の載置部として、ボート（基板保持具）２１７に対してウエハ２００を装填（チャージング）及び脱装（ディスチャージング）するように構成されている。
【００３９】
図７に示されているように、移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側と反対側である右側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するように、供給フアン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されており、ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置１３５が設置されている。
【００４０】
クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、ノッチ合わせ装置１３５およびウエハ移載装置１２５ａに流通された後に、図示しないダクトにより吸い込まれて、筐体１１１の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット１３４によって、移載室１２４内に吹き出されるように構成されている。
【００４１】
移載室１２４の後側領域には、大気圧未満の圧力（以下、負圧という。）を維持可能な機密性能を有する筐体（以下、耐圧筐体という。）１４０が設置されており、この耐圧筐体１４０によりボート２１７を収容可能な容積を有するロードロック方式の待機室であるロードロック室１４１が形成されている。
【００４２】
耐圧筐体１４０の正面壁１４０ａにはウエハ搬入搬出開口（基板搬入搬出開口）１４２が開設されており、ウエハ搬入搬出開口１４２はゲートバルブ（基板搬入搬出口開閉機構）１４３によって開閉されるようになっている。耐圧筐体１４０の一対の側壁には、ロードロック室１４１へ窒素ガスを給気するためのガス供給管１４４と、ロードロック室１４１を負圧に排気するための排気管１４５とがそれぞれ接続されている。
【００４３】
ロードロック室１４１上方には、処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２の下端部は炉口ゲートバルブ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成されている。耐圧筐体１４０の正面壁１４０ａの上端部には、炉口ゲートバルブ１４７を処理炉２０２の下端部の開放時に収容する炉口ゲートバルブカバー１４９が取り付けられている。
【００４４】
図７に示されているように、耐圧筐体１４０にはボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）が設置されている。ボートエレベータ１１５に連結された連結具としてのアーム１２８には蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられており、シールキャップ２１９はボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。
【００４５】
ボート２１７は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０枚〜１２５枚程度）のウエハ２００をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。
【００４６】
次に、図７及び図８に示す処理装置の動作について説明する。図７及び図８に示されているように、ポッド１１０がロードポート１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放され、ロードポート１１４の上のポッド１１０はポッド搬送装置１１８によって筐体１１１の内部へポッド搬入搬出口１１２から搬入される。
【００４７】
搬入されたポッド１１０は、回転式ポッド棚１０５の指定された棚板１１７へポッド搬送装置１１８によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載される。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４にはクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、筐体１１１の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。
【００４８】
載置台１２２に載置されたポッド１１０はその開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ポッド１１０のウエハ出し入れ口が開放される。また、予め内部が大気圧状態とされていたロードロック室１４１のウエハ搬入搬出開口１４２がゲートバルブ１４３の動作により開放されると、ウエハ２００はポッド１１０からウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、ノッチ合わせ装置１３５にてウエハを整合した後、ウエハ搬入搬出開口１４２を通じてロードロック室１４１に搬入され、ボート２１７へ移載されて装填（ウエハチャージング）される。ボート２１７にウエハ２００を受け渡したウエハ移載装置１２５ａはポッド１１０に戻り、次のウエハ１１０をボート２１７に装填する。
【００４９】
この一方（上段または下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハ移載装置１２５によるウエハのボート２１７への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１２１には回転式ポッド棚１０５ないしロードポート１１４から別のポッド１１０がポッド搬送装置１１８によって搬送され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。
【００５０】
予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７装填されると、ウエハ搬入搬出開口１４２がゲートバルブ１４３によって閉じられ、ロードロック室１４１は排気管１４５から真空引きされることにより、減圧される。
【００５１】
ロードロック室１４１が処理炉２０２内の圧力と同圧に減圧されると、処理炉２０２の下端部が炉口ゲートバルブ１４７によって開放される。このとき、炉口ゲートバルブ１４７は炉口ゲートバルブカバー１４９の内部に搬入されて収容される。
【００５２】
続いて、シールキャップ２１９がボートエレベータ１１５の昇降台１６１によって上昇されて、シールキャップ２１９に支持されたボート２１７が処理炉２０２内へ搬入（ローディング）されて行く。
【００５３】
ローディング後は、処理炉２０２にてウエハ２００に任意の処理が実施される。そして、処理後は、ボートエレベータ１１５によりボート２１７が引き出され、更に、ロードロック室１４０内部を大気圧に復圧させた後にゲートバルブ１４３が開かれる。その後は、ノッチ合わせ装置１３５でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ２００およびポッド１１０は筐体１１１の外部へ払出される。
【００５４】
尚、本実施の形態の操作端末である総合システム端末４０は、装置３０と同様のフロア(クリーンルーム)に配置される必要はなく、例えば、ＬＡＮ接続された外部（例えば事務所）に配置されてもよい。また、装置３０は、本実施の形態では基板処理装置として説明し、特に半導体製造装置として説明したが、半導体製造装置だけでなくＬＣＤ装置のようなガラス基板を処理する装置にも適用できる。他の基板処理装置である露光装置、塗布装置、乾燥装置、加熱装置等にも適用可能である。
【００５５】
また、成膜処理には、例えば、ＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜、窒化膜を形成する処理、金属を含む膜を形成する処理等を含む。更に、アニール処理、酸化処理、窒化処理、拡散処理等の処理でも構わない。
【００５６】
以上、本実施の形態において好ましい形態における基板処理システムは、複数の基板処理装置と、前記複数の基板処理装置からの出力データを収集する群管理装置と、前記複数の基板処理装置からの出力データのうち、特定のイベントに係る出力データを統計解析する統計解析装置とで構成される基板処理システムであって、前記群管理装置は、前記複数の基板処理装置それぞれから送信される出力データを受信する第一のデータ受信手段と、前記第一のデータ受信手段によって受信された出力データを蓄積する第一のデータ管理手段と、ユーザから追加または編集された解析項目が定義されているデータであって、前記統計解析装置が統計解析を行うときに前記解析項目に則り統計解析を制御するデータである制御データを蓄積する第二のデータ管理手段と、前記出力データと前記制御データを個別に格納する格納手段と、を含み、前記統計解析装置は、該統計解析装置の起動時に前記群管理装置から前記制御データを受信し、該制御データに基づき前記統計解析装置を初期化する。
【００５７】
また、本実施の形態の基板処理システムにおいて、前記統計解析装置は、前記基板処理装置から送信される特定のイベントに係る出力データ又は前記群管理装置から送信される特定の出力データにフィルタリングされた出力データを受信する前記第二のデータ受信手段と、前記出力データを前記制御データに基づき統計解析するデータ解析手段と、該統計解析された解析データを蓄積する蓄積手段とを含むものである。
【００５８】
また本実施の形態の基板処理システムは、更に、前記解析データの表示、または前記制御データの編集を含む機能を有する操作端末を有し、前記操作端末は、前記複数の基板処理装置の出力データに基づいて、生産履歴や稼動状態を含む情報をリアルタイムに一覧表示する。
【００５９】
本実施の形態において好ましい形態における群管理装置は、複数の基板処理装置と、前記複数の基板処理装置からの出力データを収集する群管理装置と、前記複数の基板処理装置からの出力データのうち、特定のイベントに係る出力データを統計解析する統計解析装置とで構成される基板処理システムの群管理装置であって、前記群管理装置は、前記複数の基板処理装置それぞれから送信される出力データを受信する第一のデータ受信手段と、前記第一のデータ受信手段によって受信された出力データを蓄積する第一のデータ管理手段と、ユーザから追加または編集された解析項目が定義されているデータであって、前記統計解析装置が統計解析を行うときに前記解析項目に則り統計解析を制御するデータであり、且つ、前記統計解析装置が起動するときに利用されるデータである制御データを蓄積する第二のデータ管理手段と、前記出力データと前記制御データを個別に格納する格納手段と、を含む。
【００６０】
また、実施の形態において好ましい形態における統計解析方法は、複数の基板処理装置と、前記複数の基板処理装置からの出力データを収集する群管理装置と、前記複数の基板処理装置からの出力データのうち、特定のイベントに係る出力データを統計解析する統計解析装置とで構成される基板処理システムの統計解析方法であって、前記群管理装置が、前記複数の基板処理装置それぞれから送信される出力データを受信し、受信された出力データを蓄積し、ユーザから追加または編集された解析項目が定義されているデータであって、前記統計解析装置が統計解析を行うときに前記解析項目に則り統計解析を制御するデータである制御データを蓄積し、前記出力データと前記制御データを個別に格納し、前記統計解析装置が、該統計解析装置の起動時に前記群管理装置から前記制御データを受信し、該制御データに基づき前記統計解析装置を初期化し、前記複数の基板処理装置の統計解析を行う。
【００６１】
また、実施の形態において好ましい形態におけるデータ収集方法は、複数の基板処理装置と、前記複数の基板処理装置からの出力データを収集する群管理装置と、前記複数の基板処理装置からの出力データのうち、特定のイベントに係る出力データを統計解析する統計解析装置とで構成される基板処理システムのデータ収集方法であって、前記群管理装置が、前記複数の基板処理装置それぞれから送信される出力データを受信し、受信された出力データを蓄積し、ユーザから追加または編集された解析項目が定義されているデータであって、前記統計解析装置が統計解析を行うときに前記解析項目に則り統計解析を制御するデータである制御データを蓄積し、前記出力データと前記制御データを個別に格納し、前記統計解析装置が、該統計解析装置の起動時に前記群管理装置から前記制御データを受信し、該制御データに基づき前記統計解析装置を初期化し、前記複数の基板処理装置の統計解析を行い、その解析結果を蓄積する。
【符号の説明】
【００６２】
１  基板処理システム、１０  群管理システム、１１  データ受信部、１２  統計解析管理部、１３  データ管理部、１４  統計解析制御データ、１５  装置データＤＢ、２０  統計解析システム、２１  データ受信部、２２  データ解析部、２３  解析データＤＢ、３０  装置、４０  総合システム端末、５０  ＬＡＮ、１００  処理装置、３０１、３０２  不揮発性記憶装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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