(57)【要約】【課題】本発明は、容易な構造で確実な接合強度を有する集束チューブ及び集束チューブの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】集束チューブ１を、流体４００の導通を許容するとともに、両端の所定範囲を露出するように、所定範囲より中央側に樹脂製熱収縮チューブ２０を外嵌した流体用樹脂製チューブ１０を、互いに隣接するように複数並列配置し、隣り合う樹脂製熱収縮チューブ２０の密着部分ｍを熱融着によって一体化させた。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体の導通を許容するとともに、樹脂製熱収縮チューブを外嵌した流体用樹脂製チューブを、互いに隣接するように複数並列配置し、隣り合う樹脂製熱収縮チューブの密着部分を熱融着によって一体化させた
集束チューブ。
【請求項２】
前記各流体用樹脂製チューブにおける両端の所定範囲を露出させ、
前記樹脂製熱収縮チューブを前記両端の所定範囲より中央側に外嵌した
請求項１に記載の集束チューブ。
【請求項３】
前記流体用樹脂製チューブを、
前記樹脂製熱収縮チューブの融点より融点が高い樹脂製チューブで構成した
請求項１又は２に記載の集束チューブ。
【請求項４】
流体用樹脂製チューブを、
ＰＴＦＥ樹脂、ＰＦＡ樹脂、ＦＥＰ樹脂、ＥＴＦＥ樹脂、ＰＶＤＦ樹脂、ＰＣＴＦＥ樹脂、及びＥＦＥＰ樹脂のいずれかで構成するふっ素樹脂製チューブで構成した
請求項１から３のうちいずれかに記載の集束チューブ。
【請求項５】
前記樹脂製熱収縮チューブは、
熱収縮前の内径が流体用樹脂製チューブの外径より０．１ｍｍ以上大きく、且つ熱収縮後の内径が流体用樹脂製チューブの外径以下である
請求項１から４のうちいずれかに記載の集束チューブ。
【請求項６】
流体の導通を許容する流体用樹脂製チューブの外側に、両端の所定範囲を露出させた状態で、前記両端の所定範囲より中央側に熱収縮前の樹脂製熱収縮チューブを外嵌し、
前記樹脂製熱収縮チューブの外面同士を密着させて融着金型に並行配置し、
並列配置した前記流体用樹脂製チューブを、前記樹脂製熱収縮チューブとともに、前記融着金型ごと加熱して、外面同士が密着する前記樹脂製熱収縮チューブの密着部分を融着によって一体化させた集束チューブの製造方法。
【請求項７】
前記流体用樹脂製チューブを、前記樹脂製熱収縮チューブの融点より融点が高い樹脂製チューブで構成し、
前記樹脂製熱収縮チューブの融点以上、前記流体用樹脂製チューブの融点未満の加熱温度で加熱して前記樹脂製熱収縮チューブの密着部分を融着して一体化する
請求項６に記載の集束チューブの製造方法。
【請求項８】
前記融着金型の外部で、並行配置した前記流体用樹脂製チューブにおける両端の所定範囲を相互に離間させる離間治具を、加熱前に装着する
請求項６又は７に記載の集束チューブの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば、半導体や液晶の製造プロセスにおけるプロセス流体などの流体をそれぞれ独立して導通させる樹脂製チューブを集束させた集束チューブ、及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば、半導体や液晶の製造プロセスにおけるプロセス流体等の流体の導通を許容するふっ素樹脂製チューブを複数本束ねて一体化させた集束チューブが多く提案されている。
【０００３】
例えば、下記特許文献１の集束チューブもその１つである。  
上記集束チューブは、複数本の熱溶融性ふっ素樹脂製チューブを束ね、その端部外周に外嵌するスリーブの内周に溝を設け、スリーブごと加熱することにより複数本の熱溶融性ふっ素樹脂製チューブとスリーブとを融着一体化する構成である。
【０００４】
上記構成により、融着による接合力のみならず、アンカー効果による接合力が生じ、熱溶融性ふっ素樹脂製チューブとスリーブとの間に極めて十分な接合強度が生じるとされている。  
しかし、上記集束チューブは、スリーブという別部材が必要となるため、部品点数が多くなるとともに、重量増になるといった問題があった。
【０００５】
詳しくは、上記集束チューブは、スリーブを容易に外嵌するために、まず複数本の熱溶融性ふっ素樹脂製チューブを束ね、その外側に熱収縮チューブを外嵌して加熱してばらけ防止を行っている。さらに、スリーブによる接合強度向上を確実にするために、スリーブの内周面に予め熱溶融性ふっ素樹脂の薄い層を熱融着し、熱溶融性ふっ素樹脂製チューブの束とスリーブとの熱融着性を高めている。このように、上記集束チューブは、スリーブ、熱収縮チューブ及び熱溶融性ふっ素樹脂等の部品点数や材料種数及び重量の増加に加えて、熱収縮チューブの外嵌や、スリーブの内周面への熱溶融性ふっ素樹脂の熱融着等の工程が増加するといった問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−１６２１９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで本発明では、容易な構造で確実な接合強度を有する集束チューブ及び集束チューブの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明は、流体の導通を許容するとともに、樹脂製熱収縮チューブを外嵌した流体用樹脂製チューブを、互いに隣接するように複数並列配置し、隣り合う樹脂製熱収縮チューブの密着部分を熱融着によって一体化させた集束チューブであることを特徴とする。
【０００９】
上記流体は、例えば、半導体や液晶等を製造する製造プロセスにおけるプロセス流体や、プロセス流体と熱交換して所望の温度に温度制御する流体状熱媒体等の液体状、ジェル状あるいは気体状の流体とすることができる。また、複数並列配置する流体用樹脂製チューブのそれぞれに導通させる流体は、すべて同じ流体、あるいは使用目的に応じて異なる流体とすることができる。
【００１０】
複数並列配置する上記流体用樹脂製チューブは、それぞれが同樹脂材料で構成したチューブ、あるいは導通させる流体の性状に合わせて異なる樹脂材料で構成したチューブとすることができるとともに、同形状で形成したチューブあるいは異なる形状で形成したチューブとすることができる。
【００１１】
この発明により、容易な構造で確実な接合強度を有する集束チューブを構成することができる。  
詳しくは、複数並列配置した流体用樹脂製チューブに外嵌した樹脂製熱収縮チューブ同士の密着部分を熱融着させるため、容易に一体化させ、確実な接合強度を有する集束チューブを構成することができる。また、樹脂製熱収縮チューブが熱融着されるため、流体を導通させる流体用樹脂製チューブ自体が溶融されず、耐久性のある集束チューブを構成することができる。
【００１２】
詳しくは、例えば溶融性能の高い流体状薬剤を導通させる場合であっても、流体状薬剤が導通される流体用樹脂製チューブ自体が、一体化させるための熱融着によって溶融されていないため、流体用樹脂製チューブが破れたり溶けたりして、流体が漏れ出す危険性がなく、耐久性のある集束チューブを構成することができる。
【００１３】
また、複数並列配置した流体用樹脂製チューブに外嵌した樹脂製熱収縮チューブ同士の密着部分を熱融着させて一体化するため、例えば、スリーブや熱溶融性ふっ素樹脂等を必要とせず、部品点数や材料種数及び重量の増加を抑制することができる。
【００１４】
さらにまた、例えば、複数種の流体を導通させ、その導通させる流体に応じた材質の流体用樹脂製チューブを複数並列配置して集束チューブを構成し、その流体用樹脂製チューブの材質が異なることによって熱融着性が低くなる場合であっても、外嵌した樹脂製熱収縮チューブ同士の密着部分を熱融着させて一体化するため、流体用樹脂製チューブの材質によらず、確実な接合強度を有する集束チューブを構成することができる。
【００１５】
また、流体用樹脂製チューブを、プロセス流体を導通させる樹脂製のプロセス流体用チューブと、前記流体状熱媒体を導通させる樹脂製の流体用熱媒体用チューブとした場合、樹脂製熱収縮チューブを介して流体用樹脂製チューブの外面同士が密着しているため、プロセス流体と流体状熱媒体とを高効率で熱交換することができる。
【００１６】
この発明の態様として、前記各流体用樹脂製チューブにおける両端の所定範囲を露出させ、前記樹脂製熱収縮チューブを前記両端の所定範囲より中央側に外嵌することができる。
【００１７】
これにより、流体用樹脂製チューブの両端の所定範囲に、熱融着によって一体化されずに、相互に離間するチューブ離間部を形成することができる。  
詳述すると、例えば、集束チューブを使用する場合、集束チューブの流体用樹脂製チューブの両端には、流体を供給あるいは送出する供給管あるいは送出管を接続するが、供給管あるいは送出管と、流体用樹脂製チューブとの接続が不確実な場合、不確実な接続によって流体が漏出するおそれがある。しかし、流体用樹脂製チューブの両端にチューブ離間部を形成したことにより、供給管あるいは送出管を確実に接続することができ、流体が供給管あるいは送出管との接続部分から漏出することを防止できる。よって、流体が漏れ出て混ざることを確実に防止できる。
【００１８】
また、この発明の態様として、前記流体用樹脂製チューブを、前記樹脂製熱収縮チューブの融点より融点が高い樹脂製チューブで構成することができる。  
上記構成により、外嵌した樹脂製熱収縮チューブを加熱して熱融着させる際に、流体用樹脂製チューブの融点が前記樹脂製熱収縮チューブの融点より高いため、流体用樹脂製チューブは加熱変形しない。したがって、外嵌した樹脂製熱収縮チューブを加熱して熱融着させるとともに、加熱によって流体用樹脂製チューブに変形の生じない、耐久性のある集束チューブを構成することができる。
【００１９】
また、この発明の態様として、流体用樹脂製チューブを、ＰＴＦＥ樹脂、ＰＦＡ樹脂、ＦＥＰ樹脂、ＥＴＦＥ樹脂、ＰＶＤＦ樹脂、ＰＣＴＦＥ樹脂、及びＥＦＥＰ樹脂のいずれかで構成するふっ素樹脂製チューブで構成することができる。
【００２０】
上記ＰＴＦＥ樹脂は、テトラフルオロエチレン（ＴＦＥ）というふっ素樹脂であり、ポリテトラフルオロエチレン（４フッ化）樹脂であり、耐熱性、耐薬品性、非粘着性、自己潤滑性等に優れた樹脂である。  
上記ＰＦＡ樹脂は、パーフルオロアルコキシアルカンキル樹脂であり、上記ＰＴＦＥ樹脂に匹敵する耐熱性、耐薬品性、非粘着性、自己潤滑性等を有している。
【００２１】
上記ＦＥＰ樹脂は、パーフルオロエチレンプロペンコポリマーアルコキシアルカンキル樹脂であり、耐熱性は上記ＰＴＦＥ樹脂に劣るが、耐薬品性、非粘着性、自己潤滑性等に優れた樹脂である。  
上記ＥＴＦＥ樹脂は、テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体である熱可塑性フッ素樹脂であり、上記ＰＴＦＥ樹脂、ＰＦＡ樹脂、ＦＥＰ樹脂に匹敵する耐薬品性を有するとともに、成形加工性の高い樹脂である。
【００２２】
上記ＰＶＤＦ樹脂は、ポリビニリデンフルオライド（２フッ化）樹脂であり、高純度、高強度、耐薬品性、耐熱性に優れた樹脂である。  
上記ＰＣＴＦＥ樹脂は、ポリクロロトリフルオロエチレン（３フッ化）樹脂であり、耐熱性や耐薬品性は上記ＰＴＦＥ樹脂より劣るが、機械的強度、光学的性質に優れるとともに、透明性や流動性が高く、成形加工性の高い樹脂である。
【００２３】
上記ＥＦＥＰ樹脂は、エチレン・四フッ化エチレン共重合体であり、耐薬品性、非粘着性、耐候性に加えて、接着性及び低温加工性を有する樹脂である。  
上記構成により、容易な構造で確実な接合強度を有するとともに、耐久性及び剛性の高い集束チューブを構成することができる。
【００２４】
また、流体用樹脂製チューブの耐薬品性が高いため、様々な種の流体に適用することができる。したがって、汎用性が高く、品質の安定した集束チューブを得ることができる。  
さらにまた、流体用樹脂製チューブを構成する上記樹脂は多用されるため、品質の高い流体用樹脂製チューブを安定供給することができる。
【００２５】
また、この発明の態様として、前記樹脂製熱収縮チューブは、熱収縮前の内径が流体用樹脂製チューブの外径より０．１ｍｍ以上大きく、且つ熱収縮後の内径が流体用樹脂製チューブの外径以下とすることができる。
【００２６】
上記構成により、樹脂製熱収縮チューブを容易に流体用樹脂製チューブに外嵌させるとともに、熱収縮により、樹脂製熱収縮チューブを容易且つ確実に流体用樹脂製チューブに固定することができる。
【００２７】
また、この発明は、流体の導通を許容する流体用樹脂製チューブの外側に、両端の所定範囲を露出させた状態で、前記両端の所定範囲より中央側に熱収縮前の樹脂製熱収縮チューブを外嵌し、前記樹脂製熱収縮チューブの外面同士を密着させて融着金型に並行配置し、並列配置した前記流体用樹脂製チューブを、前記樹脂製熱収縮チューブとともに、前記融着金型ごと加熱して、外面同士が密着する前記樹脂製熱収縮チューブの密着部分を融着によって一体化させた集束チューブの製造方法であることを特徴とする。
【００２８】
この発明により、容易な構造で確実な接合強度を有する集束チューブを効率よく製造することができる。  
詳しくは、複数並列配置した流体用樹脂製チューブに外嵌した樹脂製熱収縮チューブ同士の密着部分を熱融着させるため、効率よく容易に一体化させ、確実な接合強度を有する集束チューブを製造することができる。
【００２９】
例えば、予め所定長さの流体用樹脂製チューブに樹脂製熱収縮チューブを外嵌させておき、樹脂製熱収縮チューブが外嵌された流体用樹脂製チューブを、樹脂製熱収縮チューブ同士が密着するように並列配置し、樹脂製熱収縮チューブ同士が熱融着するように加熱するだけで、効率よく集束チューブを製造することができる。
【００３０】
また、例えば、複数種の流体を導通させ、その導通させる流体に応じた材質の流体用樹脂製チューブを複数並列配置して集束チューブを構成し、その流体用樹脂製チューブの材質が異なることによる熱融着性が低い場合であっても、それぞれの流体用樹脂製チューブに応じた接着剤を塗布する等の面倒な工程を有することなく、外嵌した樹脂製熱収縮チューブ同士が熱融着するように加熱するだけですみ、効率よく集束チューブを製造することができる。
【００３１】
また、この発明の態様として、前記流体用樹脂製チューブを、前記樹脂製熱収縮チューブの融点より融点が高い樹脂製チューブで構成し、前記樹脂製熱収縮チューブの融点以上、前記流体用樹脂製チューブの融点未満の加熱温度で加熱して前記樹脂製熱収縮チューブの密着部分を融着して一体化することができる。
【００３２】
上記構成により、外嵌した樹脂製熱収縮チューブを、前記樹脂製熱収縮チューブの融点以上、前記流体用樹脂製チューブの融点未満の加熱温度で加熱して熱融着させるため、樹脂製熱収縮チューブのみが溶融されて融着し、流体用樹脂製チューブは加熱変形しない。したがって、加熱によって流体用樹脂製チューブに変形の生じない、耐久性のある集束チューブを製造することができる。
【００３３】
また、この発明の態様として、前記融着金型の外部で、並行配置した前記流体用樹脂製チューブにおける両端の所定範囲を相互に離間させる離間治具を、加熱前に装着することができる。
【００３４】
上記製造方法により、流体用樹脂製チューブのそれぞれに、プロセス流体や流体状熱媒体等の流体の供給あるいは送出する供給管あるいは送出管を確実に接続することができるチューブ離間部を、確実且つ容易に形成することができる。
【００３５】
このようにチューブ離間部を形成したことにより、流体用樹脂製チューブのそれぞれに、プロセス流体や流体状熱媒体等の流体の供給あるいは送出する供給管あるいは送出管を確実に接続することができる。
【発明の効果】
【００３６】
本発明により、容易な構造で確実な接合強度を有する集束チューブ及び集束チューブの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】集束チューブの斜視図。
【図２】集束チューブにおける並行融着部の断面図による説明図。
【図３】集束チューブの製造方法についての説明図。
【図４】流体用樹脂製チューブと樹脂製熱収縮チューブについての説明図。
【図５】集束チューブの製造方法についての説明図。
【図６】集束チューブの製造方法についての説明図。
【図７】集束チューブの製造方法についての説明図。
【図８】集束チューブの融着金型についての説明図。
【図９】別の実施形態の集束チューブについての断面図による説明図。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
この発明の一実施形態を以下図面と共に説明する。  
図１は集束チューブ１の斜視図を示し、図２は集束チューブ１における並行融着部２についての断面図による説明図を示している。
【００３９】
集束チューブ１は、所定の長さで形成した９本の流体用樹脂製チューブ１０を、長手方向Ｌの中央部分の並行融着部２で接合するとともに、並行融着部２の長手方向Ｌの両側に所定長さのチューブ離間部３を構成している。
【００４０】
詳しくは、並行融着部２の断面図である図２（ａ）に示すように、長手方向Ｌの中央部分に樹脂製熱収縮チューブ２０を外嵌した流体用樹脂製チューブ１０を、樹脂製熱収縮チューブ２０が幅方向Ｗに密着するように互いに隣接させて下段に５本及び上段に４本並列配置している。
【００４１】
さらに、上段の４本の上段流体用樹脂製チューブ１０ａのそれぞれが下段の５本の下段流体用樹脂製チューブ１０ｂの間となるように配置し、高さ方向Ｈに密着させて略台形状を形成している。
【００４２】
そして、集束チューブ１は流体用樹脂製チューブ１０における長手方向Ｌの中央部分に外嵌した樹脂製熱収縮チューブ２０同士を熱融着させて並行融着部２を構成して一体化しているため、流体用樹脂製チューブ１０において樹脂製熱収縮チューブ２０が外嵌していない両端側部分、つまり両端から所定長さの範囲で流体用樹脂製チューブ１０が露出している部分については、流体用樹脂製チューブ１０が一体化していないチューブ離間部３を構成している。
【００４３】
流体用樹脂製チューブ１０は、外径Ｄ４ｍｍ×内径３ｍｍ：肉厚０．５ｍｍのＰＦＡ樹脂製（融点：３０５〜３１０℃）であり、適宜の剛性を有するふっ素樹脂チューブで構成しているが、これに限定されず、ＰＴＦＥ樹脂、ＦＥＰ樹脂、ＥＴＦＥ樹脂、ＰＶＤＦ樹脂、ＰＣＴＦＥ樹脂あるいはＥＦＥＰ樹脂製のチューブで構成してもよい。
【００４４】
樹脂製熱収縮チューブ２０は、熱収縮前寸法が外径４．９ｍｍ×内径ｄ４．４ｍｍ：肉厚０．２５ｍｍ且つ熱収縮後の内径が流体用樹脂製チューブ１０の外径Ｄ：４ｍｍ以下となるＦＥＰ製熱収縮チューブ（融点：２７０℃）で構成しているが、これに限定されず、流体用樹脂製チューブ１０の融点より融点が低い樹脂製熱収縮チューブで構成することができる。また、樹脂製熱収縮チューブ２０の寸法も上記寸法に限定されず、熱収縮前の内径ｄが流体用樹脂製チューブの外径Ｄより０．１ｍｍ以上大きく、且つ熱収縮後の内径が流体用樹脂製チューブの外径Ｄ以下となる寸法で構成することができる。
【００４５】
このように、集束チューブ１は、流体用樹脂製チューブ１０の中央部分に外嵌した樹脂製熱収縮チューブ２０のそれぞれが密着する密着部分ｍを熱融着によって一体化して並行融着部２を構成し（図２（ｂ）参照）、長手方向Ｌの外両側に、各流体用樹脂製チューブ１０が融着されていないチューブ離間部３を構成している。
【００４６】
なお、図１において、チューブ離間部３における流体用樹脂製チューブ１０が相互に融着されていないことを明確にするために高さ方向Ｈ及び幅方向Ｗ方向に広げて示しているが、通常は、略ストレート状をなしている。また、図１において、長手方向Ｌの全長の長い集束チューブ１を明確に図示するため、長手方向Ｌの中央部分を省略している。
【００４７】
このように構成された集束チューブ１は、流体用樹脂製チューブ１０内に導通させる流体４００を供給する流体供給管（図示省略）や流体４００の送出を受ける流体送出管（図示省略）をチューブ離間部３で接続して用いることができる。
【００４８】
上述したように、集束チューブ１は、容易な構造で確実な接合強度を有している。  
詳しくは、複数並列配置した流体用樹脂製チューブ１０に外嵌した樹脂製熱収縮チューブ２０同士の密着部分ｍを熱融着させるため、容易に一体化させ、確実な接合強度を有している。また、樹脂製熱収縮チューブ２０が熱融着されるため、流体４００を導通させる流体用樹脂製チューブ１０自体が溶融されず、耐久性のある集束チューブ１を構成している。
【００４９】
具体的には、例えば溶融性能の高い流体状薬剤を流体４００として導通させる場合であっても、流体状薬剤が導通される流体用樹脂製チューブ１０自体が溶融されていないため、流体用樹脂製チューブ１０が破れたり溶けたりして流体状薬剤が漏れ出す危険性がない。
【００５０】
また、集束チューブ１は、複数並列配置した流体用樹脂製チューブ１０に外嵌した樹脂製熱収縮チューブ２０同士の密着部分ｍを熱融着させて一体化するため、例えば、スリーブや熱溶融性ふっ素樹脂等を必要とせず、部品点数や材料種数或いは重量の増加を抑制している。
【００５１】
また、集束チューブ１は、樹脂製熱収縮チューブ２０を流体用樹脂製チューブ１０の両端の所定範囲より中央側に外嵌させ、長手方向Ｌにおける並行融着部２の両外側に、流体用樹脂製チューブ１０が露出し、各流体用樹脂製チューブ１０が融着されていないチューブ離間部３を構成したことにより、集束チューブ１の流体用樹脂製チューブ１０の両端に、流体４００を供給あるいは送出する供給管あるいは送出管を容易且つ確実に接続することができる。
【００５２】
したがって、供給管あるいは送出管と、流体用樹脂製チューブ１０との接続が不確実な場合、不確実な接続によって流体４００が漏出するおそれがあるが、流体用樹脂製チューブ１０の両端にチューブ離間部を形成したことにより、供給管あるいは送出管を確実に接続することができ、流体４００が供給管あるいは送出管との接続部分から漏出することを防止できる。
【００５３】
また、流体用樹脂製チューブ１０を、樹脂製熱収縮チューブ２０を構成するＦＥＰ製熱収縮チューブの融点２７０℃より高い、融点３０５〜３１０℃であるＰＦＡ樹脂製チューブで構成しているため、外嵌した樹脂製熱収縮チューブ２０を加熱して熱融着させる際に、樹脂製熱収縮チューブ２０の表面同士のみが相互に溶融して融着される。したがって、樹脂製熱収縮チューブ２０を熱融着させる際の加熱によって流体用樹脂製チューブ１０が加熱変形することがなく、外嵌した樹脂製熱収縮チューブ２０を融点まで加熱して熱融着させて、耐久性のある集束チューブ１を構成することができる。
【００５４】
また、流体用樹脂製チューブ１０をＰＦＡ樹脂製チューブで構成することによって、耐久性及び剛性の高い集束チューブ１を構成している。したがって、例えば、ディスペンサー等の機器における流体用の配管に集束チューブ１を用いることができる。
【００５５】
また、ＰＦＡ樹脂製チューブで構成した流体用樹脂製チューブ１０は耐薬品性が高いため、様々な種の流体４００に適用することができる。したがって、汎用性が高く、品質の安定した集束チューブ１を得ることができる。  
さらにまた、流体用樹脂製チューブ１０を多用されているＰＦＡ樹脂製チューブで構成することによって、品質の高い流体用樹脂製チューブ１０を安定供給することができ、高品質の集束チューブ１を構成している。
【００５６】
また、熱収縮前の内径が流体用樹脂製チューブ１０の外径Ｄより０．１ｍｍ以上大きい内径ｄ：４．４ｍｍに形成するとともに、熱収縮後の内径が流体用樹脂製チューブ１０の外径Ｄ：４ｍｍ以下となる樹脂製熱収縮チューブ２０を用いているため、樹脂製熱収縮チューブ２０を容易に流体用樹脂製チューブ１０に外嵌させるとともに、熱収縮により、樹脂製熱収縮チューブ２０を容易且つ確実に流体用樹脂製チューブ１０に固定することができる。
【００５７】
次に、図３から図８とともに、集束チューブ１の製造方法について説明する。  
図３は集束チューブ１を製造する準備工程についての説明図を示し、図４は流体用樹脂製チューブ１０と樹脂製熱収縮チューブ２０についての説明図を示している。詳しくは、図４（ａ）は熱収縮前の樹脂製熱収縮チューブ２０を流体用樹脂製チューブ１０に外嵌した状態の断面図を示し、図４（ｂ）は樹脂製熱収縮チューブ２０が熱収縮した状態の断面図を示している。
【００５８】
また、図５は樹脂製熱収縮チューブ２０を熱融着させる融着金型１００に配置する配置工程についての説明図を示し、図６は融着金型１００を組付ける組付け工程についての説明図を示している。図７はチューブ離間部３を形成するための離間部形成プレート２００を装着するプレート装着工程についての説明図を示し、図８は融着金型１００の構成及び密着部分ｍの熱融着についての説明図を示している。
【００５９】
最初に、集束チューブ１を製造するための融着金型１００、離間部形成プレート２００及び中芯３００について説明する。  
集束チューブ１の並行融着部２を形成する、つまり樹脂製熱収縮チューブ２０を熱融着させる融着金型１００は、並行融着部２と同程度の長さの直方体形状であり、上金型１１０と、下金型１２０と、左右の側部押え金型１３０，１３０とで構成している。
【００６０】
上金型１１０は、図８（ａ）に示すように、底面側の中央に、樹脂製熱収縮チューブ２０、下金型１２０の嵌合凸部１２１並びに側部押え金型１３０の嵌合を許容する嵌合凹部１１１を有する門型断面で形成している。
【００６１】
なお、上金型１１０の３／４程度の幅を占める嵌合凹部１１１における底面１１１ａには上向きに凸な半円断面が幅方向Ｗに４つ連続し、４本の上段流体用樹脂製チューブ１０ａの樹脂製熱収縮チューブ２０に対応するチューブ係止溝１１２を有している。
【００６２】
また、上金型１１０における嵌合凹部１１１の幅方向Ｗの外側において、長手方向Ｌに所定間隔を隔てて４箇所配置された固定ボルト１００ａの貫通を許容する固定ボルト貫通孔１１３を備えている（図６，８参照）。
【００６３】
下金型１２０は、図８（ａ）に示すように、下向きに凸な半円断面が幅方向Ｗに５つ連続し、５本の下段流体用樹脂製チューブ１０ｂの樹脂製熱収縮チューブ２０に対応するチューブ係止溝１２２を上面１２１ａに形成した嵌合凸部１２１を有する凸状断面で形成している。
【００６４】
また、下金型１２０における嵌合凸部１２１の幅方向Ｗの外側において、融着金型１００の固定ボルト貫通孔１１３に対応する位置に、固定ボルト１００ａの螺入を許容するボルト螺入孔１２３を備えている。
【００６５】
嵌合凸部１２１の上面１２１ａに載置して、樹脂製熱収縮チューブ２０の側方を押える側部押え金型１３０は、上段流体用樹脂製チューブ１０ａの樹脂製熱収縮チューブ２０の下外側及び下段流体用樹脂製チューブ１０ｂの樹脂製熱収縮チューブ２０の上外側に接する円弧面１３１を有しており、幅方向Ｗの外側面を嵌合凸部１２１の外側面に合わせた状態で、嵌合凹部１１１に嵌合する。
【００６６】
なお、上段流体用樹脂製チューブ１０ａ及び下段流体用樹脂製チューブ１０ｂの樹脂製熱収縮チューブ２０が接するチューブ係止溝１１２、チューブ係止溝１２２及び円弧面１３１は、樹脂製熱収縮チューブ２０の融着を防止する融着防止メッキを施している。本実施例において、融着防止メッキとして、化学反応によってニッケル燐合金をコーティングするカニゼンメッキを施している。また、上金型１１０、下金型１２０及び側部押え金型１３０は同素材で構成している。
【００６７】
離間部形成プレート２００は、図７に示すように、流体用樹脂製チューブ１０の貫通を許容する貫通孔２０１を適宜の間隔を隔てて、上段流体用樹脂製チューブ１０ａと下段流体用樹脂製チューブ１０ｂの本数分を備えるとともに、それぞれの貫通孔２０１を所定の間隔で離間させて配置した薄板状鋼板であり、融着金型１００の長手方向Ｌの両側に装備するように２枚備えている。
【００６８】
中芯３００は、一方の端部に握持用のプレート部３０１を備え、流体用樹脂製チューブ１０の内部空間に挿入可能な径の細棒で構成している。なお、中芯３００は、内部空間に挿入した流体用樹脂製チューブ１０の形状を保持することのできる適宜の強度で構成している。
【００６９】
次に、融着金型１００、離間部形成プレート２００及び中芯３００を用いた集束チューブ１の製造方法について説明する。  
まず、集束チューブ１の準備工程では、流体用樹脂製チューブ１０及び樹脂製熱収縮チューブ２０を形成するために、上記寸法のＰＦＡ樹脂製チューブと上記寸法のＦＥＰ製熱収縮チューブとを、９本分所定の長さに切断し、図３（ａ）に示すように各流体用樹脂製チューブ１０に中芯３００を挿入する。
【００７０】
そして、図３（ｂ）に示すように、流体用樹脂製チューブ１０の長手方向Ｌの中央部分に樹脂製熱収縮チューブ２０を外嵌する。  
この状態で、予め雰囲気温度２００℃に予熱した電気炉内で２分間加熱し、流体用樹脂製チューブ１０に外嵌した樹脂製熱収縮チューブ２０を熱収縮させる。この熱収縮により、図４（ｂ）に示すように、樹脂製熱収縮チューブ２０の内周面と流体用樹脂製チューブ１０の外周面とが隙間なく密着し、樹脂製熱収縮チューブ２０を流体用樹脂製チューブ１０に対して確実に固定することができる。
【００７１】
なお、図４（ａ）に示すように、このとき樹脂製熱収縮チューブ２０を熱収縮前の内径ｄが流体用樹脂製チューブ１０の外径Ｄより０．１ｍｍ以上大きい寸法で構成しているため、容易に樹脂製熱収縮チューブ２０を流体用樹脂製チューブ１０に外嵌することができる。  
また、流体用樹脂製チューブ１０への樹脂製熱収縮チューブ２０の外嵌と、流体用樹脂製チューブ１０への離間部形成プレート２００の挿入とは、どちらを先に行ってもよい。
【００７２】
図５に示す配置工程では、中芯３００を挿入するとともに、外嵌する樹脂製熱収縮チューブ２０を熱収縮させて固定した流体用樹脂製チューブ１０において、並行融着部２を構成する樹脂製熱収縮チューブ２０を下金型１２０のチューブ係止溝１２２に嵌め込み、その樹脂製熱収縮チューブ２０を幅方向Ｗの両側から側部押え金型１３０で挟みこむ。
【００７３】
そして、図６に示す組付け工程では、下金型１２０の上方から嵌合凸部１２１が嵌合凹部１１１に嵌合するように上金型１１０を装着し、固定ボルト１００ａで固定するとともに（図６（ｂ）参照）、中芯３００を流体用樹脂製チューブ１０から抜き出す。
【００７４】
そして、図７に示すプレート装着工程では、融着金型１００を装着した流体用樹脂製チューブ１０の長手方向Ｌの両側から離間部形成プレート２００を装着する。詳しくは、４本の上段流体用樹脂製チューブ１０ａと５本の下段流体用樹脂製チューブ１０ｂを離間部形成プレート２００における所定の貫通孔２０１に挿入する。これにより、密着するように略台形状に並列配置した流体用樹脂製チューブ１０の両端部分を、図７（ｂ）に示すように、幅方向Ｗ及び高さ方向Ｈに広がった状態で形状保持することができる。
【００７５】
この状態で、雰囲気温度が予め３００℃に設定された電気炉（図示省略）の中に融着金型１００及び離間部形成プレート２００ごと流体用樹脂製チューブ１０をセットし、３０分間加熱し、その後金型温度が５０℃になるまで冷却する。
【００７６】
これにより、図８（ｃ），（ｄ）に示すように、外面が密着するように並列配置した樹脂製熱収縮チューブ２０の密着部分ｍが融着して一体化した並行融着部２を形成することができる。
【００７７】
また、離間部形成プレート２００により、流体用樹脂製チューブ１０の両端部分を幅方向Ｗ及び高さ方向Ｈに所定間隔を隔てて離間させていたため、隣り合う流体用樹脂製チューブ１０が融着することなく、チューブ離間部３を構成することができる。
【００７８】
このように、融着金型１００、離間部形成プレート２００及び中芯３００を用いた上記製造方法によって、容易な構造で確実な接合強度を有する集束チューブ１を効率よく製造することができる。
【００７９】
詳しくは、複数並列配置した流体用樹脂製チューブ１０に外嵌した樹脂製熱収縮チューブ２０同士の密着部分ｍを熱融着させるため、効率よく容易に樹脂製熱収縮チューブ２０を一体化させて並行融着部２を形成し、確実な接合強度を有する集束チューブ１を製造することができる。
【００８０】
また、例えば、樹脂製熱収縮チューブ２０を外嵌させず、流体用樹脂製チューブ１０同士を熱融着して一体化させる場合と比較して、低温度且つ短時間で樹脂製熱収縮チューブ２０を熱融着して効率よく一体化することができる。
【００８１】
具体的には、流体用樹脂製チューブ１０を融点が３０５〜３１０℃であるＰＦＡ樹脂製チューブで構成し、樹脂製熱収縮チューブ２０を融点が２７０℃であるＦＥＰ製熱収縮チューブで構成した本実施例において、樹脂製熱収縮チューブ２０を熱融着して並行融着部２を構成するために、雰囲気温度が予め３００℃に設定された電気炉の中で３０分間加熱すれば足りる。しかし、流体用樹脂製チューブ１０を変性ＰＴＦＥ樹脂製チューブで構成し、流体用樹脂製チューブ１０の密着部分を熱融着させて一体化する場合、雰囲気温度が予め３６０℃に設定された電気炉で１時間加熱する必要がある。このように、流体用樹脂製チューブ１０に外嵌した樹脂製熱収縮チューブ２０を熱融着させることにより、低温度且つ短時間で効率よく一体化することができる。
【００８２】
さらにまた、融点が２７０℃であるＦＥＰ製熱収縮チューブで構成した樹脂製熱収縮チューブ２０を、雰囲気温度が予め３００℃に設定された電気炉の中で３０分間加熱して熱融着させているため、融点が３０５〜３１０℃であるＰＦＡ樹脂製チューブで構成した流体用樹脂製チューブ１０は溶融せず、確実に耐久性のある集束チューブ１を構成することができる。
【００８３】
また、融着金型１００の外部で、並行配置した流体用樹脂製チューブ１０における両端の所定範囲を相互に離間させる離間部形成プレート２００を、加熱前に装着しているため、流体用樹脂製チューブ１０のそれぞれに、プロセス流体や流体状熱媒体の供給あるいは送出する供給管あるいは送出管を確実に接続することのできるチューブ離間部を、確実且つ容易に形成することができる。
【００８４】
また、中芯３００を挿入してから流体用樹脂製チューブ１０に樹脂製熱収縮チューブ２０を外嵌して、熱収縮させて樹脂製熱収縮チューブ２０を固定するため、容易に樹脂製熱収縮チューブ２０を外嵌できるとともに、確実に樹脂製熱収縮チューブ２０を流体用樹脂製チューブ１０に固定することができる。
【００８５】
また、中芯３００を挿入し、樹脂製熱収縮チューブ２０を外嵌させた状態で、流体用樹脂製チューブ１０の樹脂製熱収縮チューブ２０部分を下金型１２０のチューブ係止溝１２２に嵌め込むため、流体用樹脂製チューブ１０の形状を中芯３００で保持でき、流体用樹脂製チューブ１０の樹脂製熱収縮チューブ２０をチューブ係止溝１２２に容易に嵌め込むことができる。
【００８６】
また、樹脂製熱収縮チューブ２０が接するチューブ係止溝１１２、チューブ係止溝１２２及び円弧面１３１に、融着防止メッキを施しているため、融着金型１００を加熱した後に、融着金型１００から流体用樹脂製チューブ１０の樹脂製熱収縮チューブ２０を離型することができる。
【００８７】
したがって、例えば、融着金型１００に融着した樹脂製熱収縮チューブ２０を引き剥がすことで樹脂製熱収縮チューブ２０同士の融着がはがれるおそれのある場合と比較して、確実に一体化した並行融着部２を形成することができる。
【００８８】
また、融着金型１００を構成する上金型１１０、下金型１２０及び側部押え金型１３０を同素材で構成しているため、樹脂製熱収縮チューブ２０の密着部分ｍを融着するために加熱した場合であっても、上金型１１０、下金型１２０及び側部押え金型１３０における加熱による熱膨張が同程度であり、異なる素材で構成して異なった熱膨張する場合と比較して、確実に密着部分ｍが融着によって一体化した集束チューブ１を得ることができる。
【００８９】
なお、上述の説明では、流体用樹脂製チューブ１０に導通させる流体４００について、詳述していないが、９本の流体用樹脂製チューブ１０のうち、４本の上段流体用樹脂製チューブ１０ａにプロセス流体４００ａを導通させ、５本の下段流体用樹脂製チューブ１０ｂに液状熱媒体４００ｂを導通させて、並行融着部２において温熱媒体として機能する液状熱媒体４００ｂでプロセス流体４００ａを温度調整する熱交換器として集束チューブ１を用いてもよい（図２参照）。
【００９０】
この場合、熱交換器として機能する集束チューブ１の一方側のチューブ離間部３における上段流体用樹脂製チューブ１０ａの端部に、導通させるプロセス流体４００ａを供給するプロセス流体供給管（図示省略）を接続し、他方側のチューブ離間部３の端部に、導通したプロセス流体４００ａの送出を受けるプロセス流体送出管（図示省略）を接続する。
【００９１】
同様に、集束チューブ１の一方側のチューブ離間部３における下段流体用樹脂製チューブ１０ｂの端部に、導通させる液状熱媒体４００ｂを供給する流体状熱媒体供給管（図示省略）を接続し、他方側のチューブ離間部３における下段流体用樹脂製チューブ１０ｂの端部に、導通した液状熱媒体４００ｂの送出を受ける流体状熱媒体送出管（図示省略）を接続する。
【００９２】
そして、プロセス流体供給管からプロセス流体４００ａを供給し、プロセス流体送出管から送出するとともに、流体状熱媒体供給管から液状熱媒体４００ｂを供給し、流体状熱媒体送出管から送出することで、並行融着部２において、上段流体用樹脂製チューブ１０ａを導通するプロセス流体４００ａと、下段流体用樹脂製チューブ１０ｂを導通する液状熱媒体４００ｂとで、樹脂製熱収縮チューブ２０を介して熱交換することができる。
【００９３】
詳しくは、液状熱媒体４００ｂがプロセス流体４００ａより高温である場合は、流体用樹脂製チューブ１０や樹脂製熱収縮チューブ２０を介して液状熱媒体４００ｂからプロセス流体４００ａに熱が移動するため、プロセス流体４００ａの温度が向上する。逆に、液状熱媒体４００ｂがプロセス流体４００ａより低温である場合は、流体用樹脂製チューブ１０や樹脂製熱収縮チューブ２０を介してプロセス流体４００ａから液状熱媒体４００ｂに熱が移動するため、プロセス流体４００ａの温度が低下する。
【００９４】
このように、熱交換器として機能する集束チューブ１は、上段流体用樹脂製チューブ１０ａを導通するプロセス流体４００ａと、下段流体用樹脂製チューブ１０ｂを導通する液状熱媒体４００ｂとを効率よく熱交換させることによって、温度変化勾配の緩やかな熱交換を実現でき、高精度にプロセス流体４００ａを温度制御することができる。
【００９５】
詳しくは、細いチューブである上段流体用樹脂製チューブ１０ａを導通するプロセス流体４００ａと、樹脂製熱収縮チューブ２０を介して上段流体用樹脂製チューブ１０ａに一体化された下段流体用樹脂製チューブ１０ｂを導通する液状熱媒体４００ｂとで温度変化勾配の緩やかな熱交換を行うため、プロセス流体４００ａの全体を高精度で温度制御することができる。
【００９６】
また、プロセス流体４００ａと液状熱媒体４００ｂとは、上段流体用樹脂製チューブ１０ａと、下段流体用樹脂製チューブ１０ｂとに分かれて導通されるため、例えば、一方のチューブからプロセス流体４００ａと液状熱媒体４００ｂのいずれかが漏出した場合であっても、他方のプロセス流体４００ａや液状熱媒体４００ｂとが混ざることはない。
【００９７】
なお、上段流体用樹脂製チューブ１０ａには個々に異なるプロセス流体４００ａを導通させてもよい。また、例えば、左端の下段流体用樹脂製チューブ１０ｂには温かい液状熱媒体４００ｂを導通させ、右端の下段流体用樹脂製チューブ１０ｂには冷たい液状熱媒体４００ｂを導通させるなど、下段流体用樹脂製チューブ１０ｂに互いに異なる様々な温度の液状熱媒体４００ｂを導通させてもよい。
【００９８】
このように、様々な温度分布の管理が可能となり、極めて汎用性が高く、品質の安定した集束チューブ１を得ることができる。したがって、ディスペンサー等の温調を要する機器に、熱交換器として機能する集束チューブ１を用いることができる。
【００９９】
以上、本発明の構成と、前述の実施態様との対応において、
流体は、流体４００，プロセス流体４００ａ及び液状熱媒体４００ｂに対応し、
以下同様に、
流体用樹脂製チューブは、流体用樹脂製チューブ１０，上段流体用樹脂製チューブ１０ａ及び下段流体用樹脂製チューブ１０ｂに対応し、
熱収縮前の内径は、内径ｄに対応し、
流体用樹脂製チューブの外径は、外径Ｄに対応し、
離間治具は、離間部形成プレート２００に対応するも、上記実施形態に限定するものではない。
【０１００】
例えば、複数種の流体４００を各流体用樹脂製チューブ１０に導通させ、その導通させる流体４００に応じた材質で構成する流体用樹脂製チューブ１０を複数並列配置してもよい。この場合、その流体４００に応じて流体用樹脂製チューブ１０の材質が異なることによって熱融着性が低くなるおそれがあるが、集束チューブ１は、外嵌した樹脂製熱収縮チューブ２０同士の密着部分ｍを熱融着させて一体化するため、流体用樹脂製チューブ１０の材質によらず、確実な接合強度を有することができる。
【０１０１】
さらに、例えば、上述の説明において、幅方向Ｗに密着させて５本の下段流体用樹脂製チューブ１０ｂと、４本の上段流体用樹脂製チューブ１０ａとで略台形状に構成した集束チューブ１について説明したが、図９（ａ）に示すように、幅方向Ｗに密着させて並行配置した６本の上段流体用樹脂製チューブ１０ａと、密着させて並行配置した３本の下段流体用樹脂製チューブ１０ｂと、１本分開けて配置した１本の下段流体用樹脂製チューブ１０ｂで左右非対称形状に構成してもよい。
【０１０２】
これにより、例えば、１本分開けて配置した１本の下段流体用樹脂製チューブ１０ｂに電気配線を挿入する等の流体用樹脂製チューブ１０を鞘管として用いることもできる。また、上段流体用樹脂製チューブ１０ａにプロセス流体４００ａを導通させる場合、左側の３本の上段流体用樹脂製チューブ１０ａを導通させるプロセス流体４００ａと、右側の上段流体用樹脂製チューブ１０ａに導通させるプロセス流体４００ａとでは、導通する上段流体用樹脂製チューブ１０ａに密接する下段流体用樹脂製チューブ１０ｂの本数が異なるため、異なる温度制御を実現することができる。
【０１０３】
また、図９（ｂ）に示すように、幅方向Ｗに密着させて並行配置した５本の流体用樹脂製チューブ１０の上下両側に、隣り合う流体用樹脂製チューブ１０の間に、幅方向Ｗに密着させて並行配置した６本の流体用樹脂製チューブ１０を配置してもよい。
【０１０４】
また、図９（ｃ）に示すように、１本の流体用樹脂製チューブ１０の周りに密接した状態で流体用樹脂製チューブ１０を配置してもよく、さらには、図９（ｄ）に示すように、１本の太径の流体用樹脂製チューブ１０’の周りに密接した状態で流体用樹脂製チューブ１０を配置してもよい。
【０１０５】
さらにまた、図９（ｅ）に示すように、流体用樹脂製チューブ１０をハニカム状に配置してもよい。このように、流体用樹脂製チューブ１０をさまざまな配置で配置することによって、導通する流体４００の用途に応じて導通させることができる。
【符号の説明】
【０１０６】
１…集束チューブ
１０…流体用樹脂製チューブ
１０ａ…上段流体用樹脂製チューブ
１０ｂ…下段流体用樹脂製チューブ
２０…樹脂製熱収縮チューブ
１００…融着金型
２００…離間部形成プレート
４００…流体
４００ａ…プロセス流体
４００ｂ…液状熱媒体
ｄ…内径
Ｄ…外径
ｍ…密着部分
【図１】
2011089606.tif 000003
【図２】
2011089606.tif 000004
【図３】
2011089606.tif 000005
【図４】
2011089606.tif 000006
【図５】
2011089606.tif 000007
【図６】
2011089606.tif 000008
【図７】
2011089606.tif 000009
【図８】
2011089606.tif 000010
【図９】
2011089606.tif 000011