(57)【要約】      （修正有）【課題】傾斜面を有しないような既存のフランジ部であっても、傾斜面型フランジ継手を用いることができる傾斜リングを提供する。【解決手段】対向したフランジ部２ａ、２ｂ同士を圧着する時に用いるものであって、前記フランジ部２ａ、２ｂとは別体をなし、該フランジ部２ａ、２ｂの対向面の裏側に取り付けられるとともに、前記フランジ部２ａ、２ｂに向かうにつれ外側に広がる傾斜面２０１を有するように構成された傾斜リング２００である。【選択図】図３
2011117469.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向したフランジ部同士を圧着する時に用いるものであって、
前記フランジ部とは別体をなし、該フランジ部の対向面の裏側に取り付けられるとともに、前記フランジ部に向かうにつれ外側に広がる傾斜面を有していることを特徴とする傾斜リング。
【請求項２】
前記傾斜リングが、円環を径方向に分割した形状の複数の分割片からなるものである請求項１記載の傾斜リング。
【請求項３】
隣り合うもの同士が互いに回転可能に連結された一連のユニット部材と、両端のユニット部材を連結するための締結具とを有する結合リングを具備し、
周方向に延びるように設けた凹溝の傾斜側壁からの押圧力によって、対向したフランジ部同士を圧着するものであって、
前記フランジ部とは別体をなし、該フランジ部の対向面の裏側に取り付けられるとともに、前記フランジ部に向かうにつれ外側に広がり、かつ前記傾斜側壁に対応した形状である傾斜面を有していることを特徴とする傾斜リングを具備するものである結合装置。
【請求項４】
請求項１、２又は３記載の傾斜リングを用いた流体供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対向したフランジ部を圧着する時に用いる傾斜リングに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
いわゆるフランジ継手とは、管の端部に設けたフランジ部同士を圧着することによって管同士を接続するものである。その一例として、特許文献１に示すように、フランジ部に形成された傾斜面に径方向の押圧力を加え、その際に発生する軸方向の分力によって、フランジ部同士を圧着する傾斜面型フランジ継手が知られている。かかる傾斜面型フランジ継手の特徴は脱着時も軸方向の長さを必要とせず、コンパクトに構成できる点にある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２８６３２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前記傾斜面型フランジ継手には、傾斜面を有する特別なフランジ部を有する管を用いる必要があり、傾斜面を有しないような既存のフランジ部を有する管を用いることができない。
【０００５】
そこで、本発明は上記の問題を解決すべく、傾斜面を有しないような既存のフランジ部であっても、前記傾斜面型フランジ継手を用いることができるようにする治具である、傾斜リングを提供することをその主たる所期課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
すなわち、本発明に係る傾斜リングは、対向したフランジ部同士を圧着する時に用いるものであって、前記フランジ部とは別体をなし、該フランジ部の対向面の裏側に取り付けられるとともに、前記フランジ部に向かうにつれ外側に広がる傾斜面を有していることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明の別態様としては、隣り合うもの同士が互いに回転可能に連結された一連のユニット部材と、両端のユニット部材を連結するための締結具とを有する結合リングを具備し、周方向に延びるように設けた凹溝の傾斜側壁からの押圧力によって、対向したフランジ部同士を圧着するものであって、前記フランジ部とは別体をなし、該フランジ部の対向面の裏側に取り付けられるとともに、前記フランジ部に向かうにつれ外側に広がり、かつ前記傾斜側壁に対応した形状である傾斜面を有していることを特徴とする傾斜リングを具備するものである結合装置が挙げられる。
【０００８】
前記傾斜リングが、円環を径方向に分割した形状の複数の分割片からなるものであれば、傾斜リングを径方向から取り付けることができるので、例えば、軸方向から取り付けることが困難な場合に有効である。
【０００９】
このような傾斜リングを用いた流体供給装置であれば、コンパクトにできる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、フランジ部に所期の傾斜面を取り付けることができるので、傾斜面を有しないような既存のフランジ部であっても、取り付けた傾斜面に加えられた径方向の押圧力を軸方向への分力へと変換してフランジ部同士を圧着する構造のフランジ継手を用いることができる。かかるフランジ継手は着脱時に軸方向の長さを必要としないので、管同士をコンパクトに構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態における傾斜リングの全体斜視図。
【図２】同実施形態における傾斜リングを別の側から見た全体斜視図。
【図３】同実施形態における傾斜リングを用いて管を結合した状態を示す縦断面図。
【図４】同実施形態において用いる結合リングの部分横断面図。
【図５】同実施形態における結合リングを用いた流体供給装置の構成図。
【図６】本発明の別態様における傾斜リングの全体斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。
【００１３】
本実施形態に係る傾斜リング２００は、フランジ継手３００の構成部品であり、傾斜面を有しないような既存のフランジ部２ａ、２ｂに前記傾斜面型フランジ継手を用いることができるようにするためのものである。このフランジ継手３００は、管１ａ、１ｂの端部に設けたフランジ部２ａ、２ｂ同士を結合することによって、管１ａ、１ｂ同士を接続するものであり、ガスケット７と、位置決めリング２００と、結合リング１００とを備えるものである。まず、管１ａ、１ｂについて説明する。
【００１４】
管１ａ、１ｂは、図３等に示すように、管本体１１ａ、１１ｂと、管本体１１ａ、１１ｂの端部に設けられた円板状のフランジ部２ａ，２ｂとを具備し、フランジ部２ａ，２ｂの先端面同士を対向させて結合されるものである。このフランジ部２ａ，２ｂには、その先端面（以下対向面とも言う）に、閉じた円環状の突起５ａ，５ｂが設けられており、その裏面３ａ、３ｂは、管本体１１ａ、１１ｂと垂直である。更に先端部の外周面には、段部４ａ、４ｂが設けられている。
【００１５】
前記管１ａ、１ｂ同士を結合する場合はフランジ部２ａ，２ｂの対向面の間に等厚円環板状をなすガスケット７を挟み込む。又、この時、対向させた各フランジ部２ａ、２ｂの段部４ａ、４ｂに位置決めリング８をガタなく外嵌させる。更に、対向させたフランジ部２ａ，２ｂに結合リング１００を外嵌させてこれらを緊締結合する。以下に各部を詳述する。
【００１６】
ガスケット７は、その内径が管１ａ、１ｂの内径寸法と一致し、外径が段部４ａ、４ｂの外径と一致するものであり、前記突起５ａ，５ｂが食い込んで気密性を担保するものである。
位置決めリング８は、内径が段部４ａ、４ｂの外径寸法と一致する円筒形状の部材であり、管１ａ、１ｂの中心軸を正確に合致させるためのものである。
【００１７】
結合リング１００は、図４に示すように、隣り合うもの同士が互いに回転可能に連結された複数の（ここでは３つ）ユニット部材５０ａ〜５０ｃと、両端のユニット部材５０ａ、５０ｃを連結するための締結具５２とを備えている。
【００１８】
ユニット部材５０ａ〜５０ｃは、図４等に示すように、ここでは軸方向から見て円環を３分割した形状を概略有するものである。ユニット部材５０ａ〜５０ｃの内周には、対向した１対のフランジ部２ａ，２ｂの外周縁部に外嵌させることができる幅を有した凹溝５１が、周方向に延びるように設けられており、この凹溝５１の側面には傾斜側壁５１ａが形成されている。
【００１９】
締結具５２は、図４に示すように、例えば、基端部がユニット部材５０ｃに取り付けられたボルト部材５２ａとナット部材５２ｂとを具備したものである。ボルト部材５２ａの先端部をユニット部材５０ａの切欠部５４に嵌め込み、ナット部材５２ｂを螺合させることによって両端のユニット部材５０ａ、５０ｃを連結するとともに、結合リング１００の内周径を拡縮することができる。
【００２０】
傾斜リング２００は、傾斜面を有しないような既存のフランジ部２ａ、２ｂに前記傾斜面型フランジ継手を用いることができるようにするためのものであり、図１、図２等に示すように、基面２０２と、内周面２０３と、傾斜面２０１とを具備する。
基面２０２は円環板状であり、その内径及び外径が、フランジ部２ａ、２ｂの裏面３ａ、３ｂの内径寸法及び外径寸法とそれぞれ一致する。
内周面２０３は基面２０２の内径から直立している円筒形状である。
傾斜面２０１は、フランジ部２ａ、２ｂの裏面３ａ、３ｂに取り付けた時、内周面２０３の先端からフランジ部２ａ、２ｂに向かうにつれ外側に広がるものであり、結合リング１００の傾斜側壁５１ａに対応する形状となっており、ここでは、傾斜側壁５１ａの傾斜角度に対応した傾斜角度となっている。
【００２１】
次に、本実施形態に係る傾斜リング２００を用いて管１ａ、１ｂを直列結合する方法について説明する。
【００２２】
まず、基面２０２とフランジ部２ａ、２ｂの裏面３ａ、３ｂとが密着するように、２つの傾斜リング２００を管１ａ、１ｂにそれぞれはめ込む。次に、位置決めリング８の一端部を一方の管１ａの段部４ａに外嵌させ、位置決めリング８の他端部にガスケット７及び他方の段部４ｂを順次嵌め込む。これにより、管１ａ、１ｂ、ガスケット７の中心軸を正確に合致させることができる。
【００２３】
そして、両端が連結されていない開放状態の結合リング１００の凹溝５１を、対向させたフランジ部２ａ，２ｂの外周縁部に外嵌させる。そして、締結具５２を締め付け、結合リング１００の内周径を小さくしていくと、図４に示すように、凹溝５１の側面に形成した傾斜側壁５１ａが、傾斜リング２００の傾斜面２０１を径方向に押圧する。そして、その際に発生する軸方向の分力によって、フランジ部２ａ、２ｂ同士が押し付けられ、突起５ａ，５ｂがガスケット７の両面に食い込んで、十分な気密性を保って管１ａ、１ｂ同士が接続される。
【００２４】
このような構成のものであれば、極めて単純な形状のリングをフランジ部２ａ、２ｂの対向面の裏側に取り付けるだけで、傾斜面を有さないフランジ部２ａ、２ｂであっても、結合リング１００を用いることができる。また、管本体１１ａ、１１ｂの外周面に密着する内周面２０３を有するので、より確実にフランジ部２ａ、２ｂを圧着することができる。
【００２５】
加えて言えば、同実施形態におけるフランジ継手３００を用いて流体供給装置を構成してもよい。その流体供給装置の構成は、例えば、平行に設けた３本の縦流体ラインたるガス供給ラインＬ１と、これらガス供給ラインＬ１間に設けられた１つの横流体ライン、ここでは各ガス供給ラインＬ１にクリーニングガスを供給するクリーニングガス供給ラインＬ２とを具備したものである。
【００２６】
縦流体ラインＬ１はマスフローコントローラＸ１１等の流体機器を備えるものであり、ガス供給ラインとして機能するように構成されている。横流体ラインＬ２はクリーニングガス供給ラインとして機能するように構成されている。なお、ここでは全ての管接続にフランジ継手３００を用いるものとしたが、これに限られず、少なくとも１つの管接続にフランジ継手３００を用いたものであればよい。
【００２７】
なお、図５中、符号Ｌ１はガス供給ライン、符号Ｌ２はクリーニングガス供給ライン、符号Ｘ１１はマスフローコントローラ、符号Ｘ１２、Ｘ１３はバルブや圧力センサ、符号３００はフランジ継手、符号Ｘ４、Ｘ４’、Ｘ４”は配管を示している。
【００２８】
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。例えば、図６に示すように、円環を径方向に分割した形状の複数の分割片からなるものであれば、傾斜リングを径方向から取り付けることができるので、縦横に接続されている又は両端に部材を備える等の理由で、軸方向からの取り付けが困難である管に対しても容易に取り付けることができる。
また、基面に、フランジ部の裏面に形成された締結具等の突起に密着しないように凹ませた形状の退避面を形成してもよい。このようなものであれば、裏面の一部分の形状が異なる複数のフランジ部等に対しても、同じ傾斜リングを用いることができる。
【００２９】
その他、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【符号の説明】
【００３０】
１ａ、１ｂ・・・管
２ａ、２ｂ・・・フランジ部
３ａ、３ｂ・・・裏面
４ａ、４ｂ・・・段部
５ａ、５ｂ・・・突起
７・・・ガスケット
８・・・位置決めリング
１１ａ、１１ｂ・・・管本体
５０ａ、５０ｂ、５０ｃ・・・ユニット部材
５１・・・凹溝
５１ａ・・・傾斜側壁
５２・・・締結具
５２ａ・・・ボルト部材
５２ｂ・・・ナット部材
５３ａ、５３ｂ・・・軸
５４・・・切欠部
１００・・・結合リング
２００・・・傾斜リング
２０１・・・傾斜面
２０２・・・基面
２０３・・・内周面
【図１】
2011117469.tif 000003
【図２】
2011117469.tif 000004
【図３】
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【図４】
2011117469.tif 000006
【図５】
2011117469.tif 000007
【図６】
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