(57)【要約】【課題】型の成形面に成形素材との密着力及び摺動抵抗が異なる離型膜を形成して成形することで形状精度の高い光学素子を成形する。【解決手段】光学素子の成形用型セット１０は、対向配置された上型１１及び下型１２と、この上型１１の成形面１１ａに形成された第１の離型膜１６と、下型１２の成形面１２ａに形成され、第１の離型膜１６とは異なる材質の第２の離型膜１８と、を有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向配置された第１の型及び第２の型と、
前記第１の型の成形面に形成された第１の離型膜と、
前記第２の型の成形面に形成され、前記第１の離型膜とは異なる材質の第２の離型膜と、を有する、光学素子の成形用型セット。
【請求項２】
請求項１に記載の光学素子の成形用型セットにおいて、
成形される光学素子は、両凹形状又は両凸形状であり、
前記第１の型の成形面は、前記光学素子の光学面のうち、光軸に直交する面と前記光学素子の外周部における接線とのなす角度が大きい方の該光学面を成形する成形面であり、
前記第１の離型膜は、前記第２の離型膜に比べ、成形素材との密着力が高い、光学素子の成形用型セット。
【請求項３】
請求項１に記載の光学素子の成形用型セットにおいて、
成形される光学素子は、メニスカス形状であり、
前記第１の型の成形面は、前記光学素子の凹面側の光学面を成形する成形面であり、
前記第１の離型膜は、前記第２の離型膜に比べ、成形素材との密着力が高い、光学素子の成形用型セット。
【請求項４】
第１の離型膜が成形面に形成された第１の型と、該第１の離型膜とは異なる材質の第２の離型膜が成形面に形成された第２の型とを対向配置する工程と、
成形素材を加熱し、対向配置された前記第１の型及び前記第２の型を接近移動させて該成形素材を加圧して光学素子を成形する工程と、を有する、光学素子の製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の光学素子の製造方法において、
成形される光学素子は、両凹形状又は両凸形状であり、
前記第１の型の成形面は、前記光学素子の光学面のうち、光軸に直交する面と前記光学素子の外周部における接線とのなす角度が大きい方の該光学面を成形する成形面であり、
前記第１の離型膜は、前記第２の離型膜に比べ、前記成形素材との密着力が高い、光学素子の製造方法。
【請求項６】
請求項４に記載の光学素子の製造方法において、
成形される光学素子は、メニスカス形状であり、
前記第１の型の成形面は、前記光学素子の凹面側の光学面を成形する成形面であり、
前記第１の離型膜は、前記第２の離型膜に比べ、前記成形素材との密着力が高い、光学素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス材料などの成形素材を加熱、加圧して光学素子を製造する光学素子の製造方法及び光学素子の成形用型セットに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、レンズ等の光学素子の製造方法として、精密プレスによる成形技術が採用されている。この成形技術では、金型を用いて加熱及び軟化されたガラス等の成形素材を押圧成形することにより、高品質な光学素子が得られる。
ただし、この加熱工程では、成形素材及び金型がガラス軟化点付近にまで加熱されるため、成形された光学素子と成形型とが融着するおそれがある。
これに対し、従来、例えば特許文献１では、金型における光学素子の光学面（光学機能面）を形成するための第１成形面と、その外周に連なる第２成形面とで異なる材質からなる成形面にすることで、光学素子の割れ、カン（ヒビ）等の不具合の発生を防止する技術が提案されている。
【０００３】
これにより、冷却工程で、光学素子の中央よりも周辺部の方が収縮率が大きいため、第１成形面よりも第２成形面の離型性を良くして、第２成形面と光学素子との間の融着を抑制するというものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−５５８７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１では、成形素材（例えば硝材）の種類によって成形素材と成形面との密着力が異なるために、金型成形面の部分的な材質変更では十分な効果が得られないおそれがある。また、光学素子の形状によっては、光軸に直交する面と光学素子の外周部における接線とのなす角度（傾斜角）が大きい部分で離型が速くなるため、光学素子の形状精度がばらつくという課題があった。
本発明は、斯かる課題を解決するためになされたもので、型本体の成形面に、成形素材との密着力及び摺動抵抗が異なる離型膜を形成することで形状精度の高い光学素子を成形可能な光学素子の製造方法及び光学素子の成形用型セットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の光学素子の成形型は、
対向配置された第１の型及び第２の型と、
前記第１の型の成形面に形成された第１の離型膜と、
前記第２の型の成形面に形成され、前記第１の離型膜とは異なる材質の第２の離型膜と、を有する。
また、上記の光学素子の成形型において、
成形される光学素子は、両凹形状又は両凸形状であり、
前記第１の型の成形面は、前記光学素子の光学面のうち、光軸に直交する面と前記光学素子の外周部における接線とのなす角度が大きい方の該光学面を成形する成形面であり、
前記第１の離型膜は、前記第２の離型膜に比べ、成形素材との密着力が高い。
また、上記の光学素子の成形型において、
成形される光学素子は、メニスカス形状であり、
前記第１の型の成形面は、前記光学素子の凹面側の光学面を成形する成形面であり、
前記第１の離型膜は、前記第２の離型膜に比べ、成形素材との密着力が高い。
また、本発明の光学素子の製造方法は、
第１の離型膜が成形面に形成された第１の型と、該第１の離型膜とは異なる材質の第２の離型膜が成形面に形成された第２の型とを対向配置する工程と、
成形素材を加熱し、対向配置された前記第１の型及び前記第２の型を接近移動させて該成形素材を加圧して光学素子を成形する工程と、を有する。
【０００７】
また、上記の光学素子の製造方法において、
成形される光学素子は、両凹形状又は両凸形状であり、
前記第１の型の成形面は、前記光学素子の光学面のうち、光軸に直交する面と前記光学素子の外周部における接線とのなす角度が大きい方の該光学面を成形する成形面であり、
前記第１の離型膜は、前記第２の離型膜に比べ、前記成形素材との密着力が高い。
また、上記の光学素子の製造方法において、
成形される光学素子は、メニスカス形状であり、
前記第１の型の成形面は、前記光学素子の凹面側の光学面を成形する成形面であり、
前記第１の離型膜は、前記第２の離型膜に比べ、前記成形素材との密着力が高い。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、型本体の成形面に、成形素材との密着力及び摺動抵抗が異なる離型膜を形成することで形状精度の高い光学素子を成形可能な光学素子の製造方法及び光学素子の成形用型セットを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１の実施の形態の成形用型セットの断面図である。
【図２】同上の上型の断面図である。
【図３】同上の下型の断面図である。
【図４】離型膜の密着力の大小を判定する判定装置の断面図である。
【図５】成形用型セットにより成形した両凹レンズの形状を示す図である。
【図６】第２の実施の形態の成形用型セットの断面図である。
【図７】同上の上型の断面図である。
【図８】同上の下型の断面図である。
【図９】成形用型セットにより成形した両凸レンズの形状を示す図である。
【図１０】第３の実施の形態の成形後の凹メニスカスレンズの形状を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面に基づき本発明の実施の形態を説明する。
［第１の実施の形態］
図１は、第１の実施の形態の成形用型セットの断面図である。また、図２は、上型の断面図、図３は、下型の断面図である。
成形用型セット１０は、対向配置された一対の第１の金型としての上型１１、及び第２の金型としての下型１２と、スリーブ１３とを有している。上型１１及び下型１２は、スリーブ１３の内部で、それぞれの成形面１１ａ，１２ａが対向するようにスリーブ１３の両端側から嵌挿されている。
【００１１】
上型１１は円柱状をなし、先端に凸球面状（又は凸非球面状）の成形面１１ａが形成されている。また、下型１２も円柱状をなし、先端に凸球面状（又は凸非球面状）の成形面１２ａが形成されている。
上型１１は、スリーブ１３の軸方向に摺動可能となっている。また、上型１１の成形面１１ａと下型１２の成形面１２ａとの間には、所定形状の成形素材１４が配置されている。本実施の形態では、この成形素材１４として円柱形状のガラス素材が用いられている。
なお、上型１１及び下型１２は、タングステンカーバイド（ＷＣ）等の超硬合金を研削、研磨して仕上げられている。また、成形素材１４は、市販の光学ガラスが用いられている。
【００１２】
本実施の形態では、上型１１及び下型１２の成形面１１ａ、１２ａはいずれも凸状であるため、光学面が両凹形状の光学素子が成形される。なお、例えば、上型１１及び下型１２の成形面１１ａ、１２ａがともに凹状である場合は、光学面が両凸形状の光学素子が成形される。
一般に、高精度な成形品を得るためには、加熱温度を上げて成形素材１４の粘性を下げたりプレス圧力を高める等の型への転写特性を向上するための成形条件と、成形後の冷却保持時間を延長して型内で製品を十分に冷却し、離型後の変形量のバラツキを少なくするための成形条件と、を同時に満足することが必要とされる。
しかし、型への転写特性を向上させることを重視すると、型と成形品とが融着して離型が困難となったり、成形品に割れが発生する等の問題が発生する。
このため、本実施の形態では、型の成形面に離型膜を一様に形成（例えばコーティング）することで、型と成形品との離型性の向上を図っている。また、離型膜は、例えばスパッタ法により形成されることができる。
【００１３】
図２に示すように、上型１１の成形面１１ａには、第１の離型膜１６がコーティングされている。また、図３に示すように、下型１２の成形面１２ａには、第２の離型膜１８がコーティングされている。
本実施の形態では、第１の離型膜１６と第２の離型膜１８とは異なる材質が用いられている。また、この第１の離型膜１６と第２の離型膜１８とは、成形素材１４との密着力及び摺動抵抗が異なっている。
なお、密着力は、成形工程内で光学素材（ガラス素材）１４と離型膜１６、１８との接触部位に作用する力で、お互いがくっついていようとする力である。この密着力は、光学素材１４の組成、離型膜１６、１８の組成、温度、圧力によって変化する値である。また、摺動抵抗は、光学素材１４と離型膜１６、１８との接触面での動きに対する抵抗値である。
本実施の形態では、主として離型膜１６、１８の密着力が、成形される光学素子の形状精度および外観欠陥に及ぼす影響に着目して実験を行った。
【００１４】
本実施の形態では、離型膜１６、１８の材質として、例えば３種類の離型膜を用意した（離型膜Ａ、離型膜Ｂ、離型膜Ｃ）。
離型膜Ａは、イリジウムＩｒ合金中にレニウムＲｅ又はオスミウムＯｓ又はプラチナＰｔの３つのうち１つを２重量％以上３０重量％以下を含み、かつロジウムＲｈを２重量％以上１５重量％以下を含む。
離型膜Ｂは、ＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ  Ｌｉｋｅ  Ｃａｒｂｏｎダイヤモンドライクカーボン）であり、ダイヤモンドに類似した炭素薄膜材料である。
離型膜Ｃは、イリジウムＩｒ合金中にレニウムＲｅ又はオスミウムＯｓ又はプラチナＰｔの３つのうち１つを２重量％以上５０重量％以下を含み、かつロジウムＲｈを２重量％以上１５重量％以下を含む。
これらの離型膜Ａ、Ｂ、Ｃの夫々の密着力の大きさについては、以下の関係を有する。
離型膜Ｃの密着力    ＞  離型膜Ａの密着力  ＞  離型膜Ｂの密着力
すなわち、離型膜Ｃの密着力が最も大きく、離型膜Ａの密着力は中程度、離型膜Ｂの密着力は最も小さい。
【００１５】
図４は、離型膜３１、３２の密着力の大小を判定する判定装置の断面図である。
同図４において、この判定装置２０は、上下に対向配置された上型２１及び下型２２を有し、対向する成形面２１ａ、２２ａはいずれも平面形状である。これらの成形面２１ａ、２２ａの間に成形素材２４が配置されている。上型２１は上プレート２６に固定され、下型２２は下プレート２７に固定されている。
上プレート２６及び下プレート２７には、夫々ヒーター２８、２９が内蔵されている。また、上プレート２６は、図示しないエアーシリンダーによって上下方向（矢印Ａ方向）に昇降可能となっている。
【００１６】
上型２１及び下型２２の夫々の成形面２１ａ、２２ａには、密着力の大小を判定すべき異なる離型膜３１、３２がコーティングされている。また、本実施の形態では、下型２２の離型膜３２は、基準となる貴金属系の離型膜Ａを使用している。
こうして、下型２２の成形面２２ａに成形素材２４を載置した後、上型２１を下降させて成形素材２４を挟み込む。
【００１７】
次いで、上型２１及び下型２２の温度を成形素材２４の屈伏点＋１０℃に加熱する。
そして、成形素材２４、上型２１、及び下型２２が均温になるまで、上型２１を成形素材２４に当接したまま、その状態で位置保持する。
次いで、所定の成形圧力でプレスを行い、成形素材２４と上型２１及び下型２２との接触面積が同じ状態で任意の厚みに変形させる。
さらに、上記状態を保持したまま、成形素材２４、上型２１、及び下型２２を成形素材２４のガラス転移点（Ｔｇ）にまで冷却する。この冷却は、内蔵したヒーター２８、２９の温度を下げることにより行う。
【００１８】
こうして冷却後、上プレート２６を上昇させ、成形素材２４と上型２１（又は下型２２）との強制離型を行う。
このとき、成形素材２４と先に離型する上型２１又は下型２２との密着力が小さいことがわかる。すなわち、成形素材２４と上型２１とが先に離型すれば、成形素材２４と上型２１との密着力が小さい。また、成形素材２４と下型２２とが先に離型すれば、成形素材２４と下型２２との密着力が小さい。
なお、上記と同じ方法で、例えばロードセル等を用いて密着力の測定を行うことも可能である。しかし、上プレート２６の摺動抵抗、移動速度等の影響による測定ばらつきが発生すること、及び、装置が高価となるおそれがあるため、本実施の形態では、上記判定装置２０を用いて実験を行った。
また、例えば上記と同様の方法を用いることで、光学素子を成形して得ることができる。
【００１９】
次に、図５は、成形用型セット１０により成形した両凹レンズ（光学素子）１５の形状を示す図である。
この光学素子１５は、外径Ｄ＝φ１４ｍｍ、中心厚ｔ＝０．８ｍｍ
Ｌ面の最外周部の傾斜角θ１＝１．７°
Ｒ面の最外周部の傾斜角θ２＝６２°
である。
なお、ここで、傾斜角θ１、θ２は、例えば図５において、光軸Ｏ−Ｏに直交する面と光学素子１５の外周部（Ｄ）における接線ｄとのなす角度をいう。
【００２０】
図５の光学素子１５を、Ｌ面及びＲ面ともに密着力が小さい離型膜Ｂ（Ｃ系）をコーティングして成形した場合、Ｒ面の外周部の形状精度のバラツキが大きく、図面規格を満足しなかった。
これは、光学素子１５のＲ面の外周部の傾斜角θ２が大きいこと、及び成形素材１４（光学素子１５の原素材）と離型膜Ｂとの密着力が小さいため冷却過程でのＲ面の外周部の離型温度が高い領域でばらつくため、と考えられる。このため、Ｌ面及びＲ面に離型膜Ｂを用いた場合、離型温度のばらつきにより、光学素子１５の形状がバラツキ、安定しない。
また、Ｌ面及びＲ面に密着力が中程度の離型膜Ａをコーティングして成形した場合も、上記と同じ結果が得られた。ただし、この場合は、光学素子１５のＲ面の外周部の形状ばらつきは、離型膜Ｂを用いた場合よりも小さかった。
【００２１】
これは、離型温度が高いと、成形素材１４の粘性割合が高い領域なので、外力の影響により、成形された光学素子１５の形状が容易に変化するためと考えられる。
なお、通常の成形で好ましい離型温度は、成形素材１４の歪点以下である。この歪点は、成形素材１４がガラスの場合、その粘性流動が事実上おこりえない温度で、徐冷後における下限温度に相当する。また、粘度が１０１４．５ｄＰａ・ｓに相当する温度である。
さらに、上記と同じ成形条件で、Ｌ面及びＲ面に密着力が大きい離型膜Ｃ（貴金属系）をコーティングして成形した場合、Ｒ面の外周部の光学素子１５の形状精度は安定したが、Ｌ面に微小な表層割れ（ガラスの表面の割れ）が発生した。
【００２２】
この表層割れは、Ｌ面の傾斜角θ１が小さいために、Ｌ面の離型時に大きな力が必要となり、成形素材１４の強度を超えるために、表層割れが発生したものと考えられる。
本実施の形態では、Ｌ面に生じた表層割れの不具合を解決するために、Ｌ面を成形する下型１２の成形面１２ａ（図１参照）に離型膜Ｂをコーティングした。また、Ｒ面を成形する上型１１の成形面１１ａ（図１参照）に離型膜Ｃをコーティングした。こうして、同じ成形条件で成形した。その結果、光学素子１５のＲ面の外周部の形状は安定して図面規格を満足し、Ｌ面の表層割れも発生しなかった。
上記で使用した成形素材１４は、Ｌａ系硝材で歪点５３０℃、ガラス転移点５７０℃のものを使用した。
成形条件は以下の通りである。
成形温度：６１５℃  成形圧力：１００ｋｇｆ
冷却速度：５００℃まで０．５℃／ｓｅｃ
【００２３】
本実施の形態によれば、成形される光学素子１５が両凹形状の場合（図５参照）、光学素子１５の光軸Ｏ−Ｏに直交する面Ｐ−Ｐと光学素子１５の外周部における接線とのなす角度（θ１、θ２）が大きい方（θ２）のＲ面側の成形面１１ａに、成形素材１４との密着力が離型膜Ｂよりも高い方の離型膜Ｃを用いたので、割れやカンのない形状精度の高い光学素子１５を得ることができた。
［第２の実施の形態］
【００２４】
図６は、第２の実施の形態の成形用型セットの断面図である。また、図７は、上型の断面図、図８は、下型の断面図である。なお、第１の実施の形態と同一又は相当する部材には同一の符号を付して説明する。
図６〜図８において、上型１１は円柱状をなし、先端に凹球面状（又は凹非球面状）の成形面１１ａが形成されている。また、下型１２も円柱状をなし、先端に凹球面状（又は凹非球面状）の成形面１２ａが形成されている。また、成形素材１４としては、例えば球形状のガラス素材を用いることができる。
本実施の形態では、上型１１及び下型１２の成形面１１ａ、１２ａはいずれも凹状であるため、光学面が両凸形状の光学素子１５’（図９参照）が成形される。また、上型１１の成形面１１ａには、第１の離型膜１６として離型膜Ｃを用い、下型１２の成形面１２ａには、第２の離型膜１８として離型膜Ｂを用いた。
【００２５】
図９は、成形用型セット１０により成形した両凸レンズ（光学素子）１５’の形状を示す図である。
この光学素子１５’は、外径Ｄ＝φ１７ｍｍ、中心厚ｔ＝３ｍｍ
Ｌ面の最外周部の傾斜角θ１＝２１°
Ｒ面の最外周部の傾斜角θ２＝２４°
である。傾斜角θ１、θ２の定義は、第１の実施の形態と同様である。
なお、図９の光学素子１５’を、Ｌ面及びＲ面ともに、密着力が高い離型膜Ｃをコーティングした成形用型セット１０で成形を行ったところ、Ｌ面で融着が発生した。
すなわち、離型膜Ｃと成形素材（ガラス）１４がくっついて、離型膜Ｃ側にガラスが残るという現象（融着）が発生した。
また、上記と同じ成形条件で、Ｌ面及びＲ面ともに密着力が中程度の離型膜Ａをコーティングした成形用型セット１０で成形したところ、Ｌ面の表面に表層割れが発生した。
【００２６】
これら２事例ともに、成形素材（ガラス）１４と離型膜Ｃ又は離型膜Ａとの密着力が大きいために、傾斜角θ１が小さいＬ面において、離型がスムーズに行われないために不具合が発生したと考えられる。
これは、一般に、傾斜角θが小さい光学面では、離型するのに要する力が傾斜角θが大きい光学面よりも多く必要となるためである（図５参照）。
次に、上記と同じ成形条件で、Ｌ面及びＲ面ともに密着力が小さい離型膜Ｂをコーティングした成形用型セット１０で成形したところ、Ｌ面の表面に成形素材（ガラス）１４の揮発物による曇りが発生した。
これは、Ｌ面の形状精度を測定した結果、下型１２の成形面１２ａが凹形状になっていたために、離型直後に成形素材（ガラス）１４と下型１２の成形面１２ａとの間に微小隙間が発生して、揮発物の濃度が上昇したためと考えられる。
【００２７】
さらに、Ｌ面に密着力の小さい離型膜Ｂを使用し、Ｒ面に密着力の大きい離型膜Ｃを使用して、上記と同一成形条件で成形した。その結果、表面欠陥がなく形状精度も安定した光学素子１５’が得られた。
本実施の形態で使用した成形素材（ガラス）１４は、Ｌａ系硝材で歪点５３０℃、ガラス転移点５７０℃のものを使用した。
成形条件は以下の通りである。
成形温度：６１５℃  成形圧力：１５０ｋｇｆ
冷却速度：５００℃まで０．５℃／ｓｅｃ
【００２８】
本実施の形態によれば、成形される光学素子１５’が両凸形状の場合（図９参照）、光軸Ｏ−Ｏに直交する面Ｐ−Ｐと光学素子１５’の外周部における接線とのなす角度（θ１、θ２）が大きい方（θ２）のＲ面側の成形面１１ａに、成形素材１４との密着力が離型膜Ｂよりも高い方の離型膜Ｃを用いたので、割れやカンのない形状精度の高い光学素子１５’を得ることができた。
［第３の実施の形態］
【００２９】
図１０は、本実施の形態で成形された凹メニスカスレンズ（光学素子）１５”の形状を示す図である。なお、使用する上型及び下型の形状は、第１の実施の形態で示したものと同様であるので、図示を省略する。また、第１の実施の形態と同一又は相当する部材には同一の符号を付して説明する。
この光学素子１５”は、外径Ｄ＝φ１０ｍｍ、中心厚ｔ＝２．０５ｍｍ、コバ厚ｓ＝４．５ｍｍである。
【００３０】
図１０の光学素子１５”を、Ｌ面及びＲ面ともに密着力が大きい離型膜Ｃをコーティングした成形用型セット１０で成形を行ったところ、面頂（ａ点）付近で割れが発生した。
また、上記と同じ成形条件で、Ｌ面及びＲ面ともに密着力が中程度の離型膜Ａをコーティングした成形用型セット１０で成形したところ、Ｌ面の曲面と平面とのつなぎ部（ｂ点）で割れが発生した。
さらに、上記と同じ成形条件で、Ｌ面及びＲ面ともに密着力の小さい離型膜Ｂをコーティングした成形用型セット１０で成形したところ、Ｒ面の外周部（ｃ点）の形状精度のバラツキが大きく、光学素子１５”の仕様を満足しなかった。
【００３１】
これは、離型膜Ａ及び離型膜Ｃのいずれも、成形素材（ガラス）１４と離型膜Ａ、Ｃとの密着力が大きいために、発生した不具合現象であると考えられる。
また、成形の過程で冷却時に、中心厚ｔとコバ厚ｓの厚みの差によって発生する応力、及びＬ面，Ｒ面の形状（凹凸）による離型タイミングの変化、さらに応力の発生位置によって欠陥の発生位置が異なったためと考えられる。
次に、上記と同じ成形条件で、Ｌ面及びＲ面ともに密着力の大きい離型膜Ｃをコーティングした成形用型セット１０で成形したところ、凹面（Ｒ面）側の外周部（ｃ点）の離型温度が高くなるために、光学素子１５”の形状が安定しない結果となった。
【００３２】
そこで、Ｌ面に密着力の小さい離型膜Ｂを使用し、Ｒ面に密着力の大きい離型膜Ｃを使用して、上記と同一成形条件で成形した。その結果、表面欠陥がなく形状精度も安定した光学素子１５”が得られた。
本実施の形態で使用した成形素材（ガラス）１４は、Ｌａ系硝材で歪点５３０℃、転移点５７０℃のものを使用した。
成形条件は以下の通りである。
成形温度：６１５℃  成形圧力：８０ｋｇｆ
冷却速度：５００℃まで０．５℃／ｓｅｃ
【００３３】
本実施の形態によれば、成形される光学素子１５”がメニスカス形状の場合（図１０参照）、凹面側の光学面（Ｒ面）を成形する金型の成形面に、成形素材１４との密着力が高い方の離型膜Ｃを用いたので、表面欠陥がなく形状精度も安定した光学素子１５”を得ることができた。
【符号の説明】
【００３４】
１０    成形用型セット
１１    上型
１１ａ  成形面
１２    下型
１２ａ  成形面
１３    スリーブ
１４    成形素材
１５    光学素子
１５’  光学素子
１５”  光学素子
１６    第１の離型膜
１８    第２の離型膜
２０    判定装置
２１    上型
２１ａ  成形面
２２    下型
２２ａ  成形面
２４    成形素材
２６    上プレート
２７    下プレート
２８    ヒーター
２９    ヒーター
３１    離型膜
３２    離型膜
【図１】
2011144095.tif 000003
【図２】
2011144095.tif 000004
【図３】
2011144095.tif 000005
【図４】
2011144095.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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