(57)【要約】【課題】ウエハラミネータドライフィルム伝送機構を提供する。【解決手段】本発明のウエハラミネータドライフィルム伝送機構は、基台と、フィード装置と、ドライフィルム平坦化装置と、を含み、基台上方は、ドライフィルムを広げ、切断作業可能にする作業ステージ及び圧延ローラを有し、フィード装置は、ドライフィルムを作業ステージに送り、圧延ローラがドライフィルムを広げ易くし、ドライフィルム平坦化装置がドライフィルムを挟持し、引っ張り、フィード装置がローリングを行い、フィルムスイッチ時、同期してドライフィルムに伴い、移動し、ドライフィルムの平坦度を保持する。従って、ドライフィルムの切断後、ドライフィルムに挟持、引っ張る等の動作を施し、同期してフィード装置のフィルムスイッチの過程でドライフィルムと同期移動し、ドライフィルムの未切断ゾーンを作業ステージにスイッチ時、平坦な状態を保持し、後続のフィルム切断作業の歩留まりを向上させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、フィード装置と、ドライフィルム平坦化装置と、を含み、
該基台は、ドライフィルムを広げ、切断作業を行なうことができる作業ステージを有し、該基台は、作業ステージの両端は、それぞれドライフィルムを広げ、ドライフィルムが作業ステージ上方で平坦な状態を呈するようにする圧延ローラを設け、該基台の他に両側には、それぞれドライフィルム平坦化装置を設置させ、ドライフィルム平坦化装置が作業ステージ上で２つの圧延ローラの間で活動変位できるガイドレールを設け、
該フィード装置は、ドライフィルムを作業ステージに送出し、圧延ローラがドライフィルムを広げることができるようにするフィードローラ及びピックローラを含み、該フィードローラは、切断していないドライフィルムをローリングし、該ピックローラは、切断後のドライフィルムの残りを巻き取り、
該フィルム平坦化装置は、ドライフィルムに対して挟持を行なうことができ、フィード装置がローリングを行ない、フィルムをスイッチする時、同期してドライフィルムに伴い移動し、ドライフィルムの平坦度を保持するウエハラミネータドライフィルム伝送機構。
【請求項２】
前記ドライフィルム平坦化装置は、両端がガイドレールと活動的に設置され、ドライフィルム上方の機動ロッド体を跨ぎ、該機動ロッド体の両端は、それぞれドライフィルム両側に対して挟持を行なうことができ、外向きに引っぱりドライフィルムに平坦な状態を獲得させることができる挟持具を設ける請求項１記載のウエハラミネータドライフィルム伝送機構。
【請求項３】
前記基台内部は、フィルム切断機構を設置させる収容空間を有し、且つ該収容空間は、作業ステージと導通し、フィルム切断機構が作業ステージに広げたフィルムに伸出し、切断を行なうことができるようにし、また、該作業ステージの一端には、吸膜装置を上下活動設置させ、吸膜装置が作業ステージに広げたドライフィルムを吸着し、ドライフィルムの切断作業を安定させる移動装置を上向きに設置する請求項記載のウエハラミネータドライフィルム伝送機構。
【請求項４】
前記フィードローラ及びピックローラは、基台の収容空間に設置される請求項１記載の発光ダイオードの色温度制御器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハラミネータドライフィルム伝送機構に関し、特に、ドライフィルムがより平坦な状態を呈し、切断作業を行うことができるようにし、ドライフィルム切断作業の歩留まりを向上させる平坦化機能を有するドライフィルム伝送機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のウエハフィルム切断装置は、長方形のフィルムを利用し、フィルムをウエハ上に貼り付け、フィルムカッターで余計な部分を除去し、カッターがウエハと接触するのを避ける為には、切断するフィルムは、何れもウエハの面積より大きいことが必要とされるが、ウエハ製造工程に合わせ、ウエハ外周にフィルムを貼り付けない一枠の範囲を残す必要がある。
【０００３】
中華民国特許出願第０９６２０２９５４号「ウエハのフィルム切断機」は、水平状の台座上に設置するものが、フレーム構造体と、上貼合切断機構と、下貼合切断機構と、フィードユニットと、排出ユニットと、を含み、フレーム構造体が台座上に設けられ、該上貼合切断機構が該フレーム構造体下方に掛けられ、フレーム構造体に対応して複数の活動ロッドを利用し上下移動することができ、該上貼合切断機構底部に上外環体と、内環体と、刃環を含み、該下貼合切断機構は、上貼合切断機構下方の台座箇所に設けられ、底板と、下外環体と、載置盤と、を含み、該フィードユニットは、下貼合切断機構の一側に設けられ、フィルムローラを組み込ませ、フィルムをフィードすることができ、該排出ユニットは、下貼合切断機構のフィードユニットに相対する他側に設けられ、フィルムローラを巻き取ることができる。
【０００４】
従来のフィルム切断設備は、該上貼合切断機構の下向き移動を利用するものであり、該上外環体は、先ずフィルムを押し下げ、引っ張り、且つ内環体を、ウエハを載置する載置盤まで下降し、フィルムをウエハ及びフレームの上面に貼り付け、同時に、内環体外周の刃環を下降し、フィルムを切断し、気体充填ユニットを利用し、フィルムをウエハ上に緊密に貼合する。しかしながら、この種の従来の設備は、フィルムをウエハ上に貼合することを利用するものであり、フィルムを先ず広げてからウエハに貼合を行う必要があり、ステップが多いだけでなく、フィルムをウエハに貼合する時、接触、衝突が起こり易く、ウエハを損壊させ、使用に不利であり、更に、フィルムがウエハに貼合してから切断を行う制限を受け、刃環がウエハと接触することを避ける為、フィルムがウエハから遠く離れている必要があり、ウエハ外周縁に回路を配置し、フィルムをウエハよりやや小さいか等しくさせる必要がある場合、従来の設備は、要求に応じることができない。
【０００５】
また、日本特開昭63-096907号特許「半導体保護膜の自動切断装置」は、リール装置を利用し、フィルムを伝送し、切断したいフィルムをウエハ表面上に伝送し、下ピストンロッドを上から下に作動し、ウエハ外周縁の円形カッターを突出させ、上ピストンロッドを下向きに押すことによってフィルムを切断し、切断したフィルムをウエハと共に付近へ移動する。
【０００６】
但し、この種の従来の方式は、ウエハ外周縁の円形カッターを利用し、中央に位置するウエハを載置した下ピストンロッドを利用し、ウエハをフィルムと共に下向きに移動し、上ピストンロッドの下向きの動作に合わせてフィルムを切断するが、カッターは、ウエハ外周縁に位置するので、切断したフィルムがウエハより大きく、同様に、フィルムがウエハより小さいという要求に応じることができず、且つこの種の従来の設備の円形カッターは、ウエハを載置する下ピストンロッド外周縁に設置されるので、円形カッターの寸法を変更する必要がある場合、非常に複雑であり、製造工程の利用に不便である。
【０００７】
従来式の予め貼り付けた後にフィルムを切断することが起こす欠点を改善する為、通常、先ずフィルムを予め切断完成させ、人工方式で切断完成したフィルムをウエハ上に載置するが、この種の予め切断し、貼り付ける方式も欠点を有し、フィルムが切断を行なう時にそれを広げて平坦な状態にする必要があるので、圧延ローラを動かし、フィルムの両端を平坦にし、切断可能な状態にすると同時に、転動を介してフィルムを切断可能なゾーンにスイッチする必要があり、フィルムを切断した後のゾーンが一端の圧延ローラまでローリングする時、新たにスイッチしたフィルムゾーンが２つの圧延ローラがフィルムを延ばす時に力を受ける面積が異なることにより、フィルムが平坦な状態を効率的に保持できなくなり易く、更には、後続のフィルム切断作業の歩留まりに影響を及ぼす。
【０００８】
本発明「ウエハラミネータドライフィルム伝送機構」は、先に切断した後に貼り付ける作業に応用するドライフィルム伝送機構であり、ドライフィルム切断後にローリングを続行し、切断ゾーンをスイッチする安定性を効率的に安定化し、平坦を保持し、後続の作業の切断不良を回避することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】中華民国特許出願第０９６２０２９５４号明細書
【特許文献２】日本特開昭63-096907号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、ウエハラミネータドライフィルム伝送機構に関し、具体的に言えば、平坦化機能を有するドライフィルム伝送機構であり、ドライフィルムがより平坦な状態を呈し切断作業を行えるようにし、ドライフィルム作業の歩留まりを向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記目的を達成する為、本発明「ウエハラミネータドライフィルム伝送機構」は、基台と、フィード装置と、ドライフィルム平坦化装置と、を含み、該基台上方は、ドライフィルムを広げ、切断作業を行なうことができる作業ステージを有し、該基台は、作業ステージの両端は、それぞれドライフィルムを広げ、ドライフィルムが作業ステージ上方で平坦な状態を呈するようにする圧延ローラを設け、該基台の他に両側には、それぞれドライフィルム平坦化装置を設置させ、ドライフィルム平坦化装置が作業ステージ上で２つの圧延ローラの間で活動変位できるガイドレールを設け、該基台内部は、フィルム切断機構を設置させる収容空間を有し、且つ該収容空間は、作業ステージと導通し、フィルム切断機構が作業ステージに広げたフィルムに伸出し、切断を行なうことができるようにし、また、該作業ステージの一端には、吸膜装置を上下活動設置させ、吸膜装置が作業ステージに広げたドライフィルムを吸着し、ドライフィルムの切断作業を安定させる移動装置を上向きに設置する。
【００１２】
該フィード装置は、ドライフィルムを作業ステージに送出し、圧延ローラがドライフィルムを広げることができるようにするフィードローラ及びピックローラを含み、該フィードローラは、切断していないドライフィルムをローリングし、該ピックローラは、切断後のドライフィルムの残りを巻き取り、且つ該フィードローラ及びピックローラは、基台の収容空間に設置される。
該ドライフィルム平坦化装置は、ドライフィルムに対して挟持を行なうことができ、フィード装置がローリングを行い、フィルムをスイッチする時、同期してドライフィルムに伴い変位し、ドライフィルムの平坦度を保持し、該ドライフィルム平坦化装置は、両端がガイドレールと活動的に設置され、ドライフィルム上方の機動ロッド体を跨ぎ、該機動ロッド体の両端は、それぞれドライフィルム両側に対して挟持を行なうことができ、外向きに引っぱりドライフィルムに平坦な状態を獲得させることができる挟持具を設ける。
【００１３】
本発明は下記の特徴を有する。
（１）基台と、フィード装置と、ドライフィルム平坦化装置と、を含み、
該基台は、ドライフィルムを広げ、切断作業を行なうことができる作業ステージを有し、該基台は、作業ステージの両端は、それぞれドライフィルムを広げ、ドライフィルムが作業ステージ上方で平坦な状態を呈するようにする圧延ローラを設け、該基台の他に両側には、それぞれドライフィルム平坦化装置を設置させ、ドライフィルム平坦化装置が作業ステージ上で２つの圧延ローラの間で活動変位できるガイドレールを設け、
該フィード装置は、ドライフィルムを作業ステージに送出し、圧延ローラがドライフィルムを広げることができるようにするフィードローラ及びピックローラを含み、該フィードローラは、切断していないドライフィルムをローリングし、該ピックローラは、切断後のドライフィルムの残りを巻き取り、
該フィルム平坦化装置は、ドライフィルムに対して挟持を行なうことができ、フィード装置がローリングを行ない、フィルムをスイッチする時、同期してドライフィルムに伴い移動し、ドライフィルムの平坦度を保持するウエハラミネータドライフィルム伝送機構。
（２）前記ドライフィルム平坦化装置は、両端がガイドレールと活動的に設置され、ドライフィルム上方の機動ロッド体を跨ぎ、該機動ロッド体の両端は、それぞれドライフィルム両側に対して挟持を行なうことができ、外向きに引っぱりドライフィルムに平坦な状態を獲得させることができる挟持具を設ける（１）記載のウエハラミネータドライフィルム伝送機構。
（３）前記基台内部は、フィルム切断機構を設置させる収容空間を有し、且つ該収容空間は、作業ステージと導通し、フィルム切断機構が作業ステージに広げたフィルムに伸出し、切断を行なうことができるようにし、また、該作業ステージの一端には、吸膜装置を上下活動設置させ、吸膜装置が作業ステージに広げたドライフィルムを吸着し、ドライフィルムの切断作業を安定させる移動装置を上向きに設置する（１）記載のウエハラミネータドライフィルム伝送機構。
（４）前記フィードローラ及びピックローラは、基台の収容空間に設置される（１）記載の発光ダイオードの色温度制御器。
【発明の効果】
【００１４】
前記発明内容から分かるように、本発明「ウエハラミネータドライフィルム伝送機構」は、ドライフィルムの切断を行なった後、ドライフィルムに対して挟持、引っ張る等の動作を施し、同期してフィード装置のフィルムスイッチの過程においてドライフィルムと同期して移動し、ドライフィルムの切断してないゾーンを作業ステージにスイッチする時、依然としてその平坦な状態を保持し、後続のフィルム切断作業の歩留まりを向上させ、且つ本発明は、挟持具によってドライフィルムを連動し、切断ゾーンをスイッチし、手動でフィルムを交換することに比較し、切断部位と未切断部位の間隔を精確に制御し、フィルムを節約する効果を達成する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明のウエハラミネータドライフィルム伝送機構の立体外観説明図である。
【図２】本発明のドライフィルム平坦化機構の局部拡大説明図である。
【図３】本発明のドライフィルム平坦化機構の動作説明図である。
【図４】本発明のウエハラミネータドライフィルム伝送機構の側面説明図である。
【図５】本発明のウエハラミネータドライフィルム伝送機構の動作説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明は、ウエハラミネータドライフィルム伝送機構に関し、具体的に言えば、平坦化機能を有するドライフィルム伝送機構であり、ドライフィルムがより平坦な状態を呈し切断作業を行えるようにし、ドライフィルム作業の歩留まりを向上させることを目的とし、図１〜図４に示すように、前記目的を達成する為、本発明の「ウエハラミネータドライフィルム伝送機構」は、基台１と、フィード装置２と、ドライフィルム平坦化装置３と、を含む。
【００１７】
該基台１上方は、ドライフィルムを広げ、切断作業を行なうことができる作業ステージ１１を有し、該基台１は、作業ステージ１１の両端は、それぞれドライフィルムを広げ、ドライフィルムが作業ステージ１１上方で平坦な状態を呈するようにする圧延ローラ１２を設け、該基台１の他に両側には、それぞれドライフィルム平坦化装置３を設置させ、ドライフィルム平坦化装置３が作業ステージ１１上で２つの圧延ローラ１２の間で活動変位できるガイドレール１３を設け、該基台１内部は、フィルム切断機構を設置させる収容空間１４を有し、且つ該収容空間１４は、作業ステージ１１と導通し、フィルム切断機構が作業ステージ１１に広げたフィルムに伸出し、切断を行なうことができるようにし、また、該作業ステージ１１の一端には、吸膜装置を上下活動設置させ、吸膜装置が作業ステージ１１に広げたドライフィルムを吸着し、ドライフィルムの切断作業を安定させる移動装置１５を上向きに設置する。
【００１８】
該フィード装置２は、ドライフィルムを作業ステージ１１に送出し、圧延ローラ１２がドライフィルムを広げることができるようにするフィードローラ２１及びピックローラ２２を含み、該フィードローラ２１は、切断していないドライフィルムをローリングし、該ピックローラ２２は、切断後のドライフィルムの残りを巻き取り、且つ該フィードローラ２１及びピックローラ２２は、基台１の収容空間１４に設置される。
【００１９】
該ドライフィルム平坦化装置３は、ドライフィルムに対して挟持を行なうことができ、フィード装置２がローリングを行い、フィルムをスイッチする時、同期してドライフィルムに伴い変位し、ドライフィルムの平坦度を保持し、該ドライフィルム平坦化装置３は、両端がガイドレールと活動的に設置され、ドライフィルム上方の機動ロッド体３１を跨ぎ、該機動ロッド体３１の両端は、それぞれドライフィルム両側に対して挟持を行なうことができ、外向きに引っぱりドライフィルムに平坦な状態を獲得させることができる挟持具３１１を設ける。
【００２０】
図５は、本発明の「ウエハラミネータドライフィルム伝送機構」がドライフィルム平坦化伝送を行なう説明図であり、作業ステージ１１のドライフィルムが切断作業を完成した後、該機動ロッド体３１は、作業ステージ１１の一旦に移動し、挟持具３１１を介してドライフィルムに対して挟持、引っ張りを行い、フィード装置２がローリングを行い、フィルムをスイッチする時、同期してドライフィルムに伴い、作業ステージ１１の他端まで移動し、ドライフィルムの切断されていないゾーンが作業ステージ１１上で好適な平坦度を呈するようにする。
【００２１】
前記発明内容から分かるように、本発明「ウエハラミネータドライフィルム伝送機構」は、ドライフィルムの切断を行なった後、ドライフィルムに対して挟持、引っ張る等の動作を施し、同期してフィード装置のフィルムスイッチの過程においてドライフィルムと同期して移動し、ドライフィルムの切断してないゾーンを作業ステージにスイッチする時、依然としてその平坦な状態を保持し、後続のフィルム切断作業の歩留まりを向上させ、且つ本発明は、挟持具によってドライフィルムを連動し、切断ゾーンをスイッチし、手動でフィルムを交換することに比較し、切断部位と未切断部位の間隔を精確に制御し、フィルムを節約する効果を達成する。
【符号の説明】
【００２２】
１  基台
１１  作業ステージ
１２  圧延ローラ
１３  ガイドレール
１４  収容空間
１５  移動装置
２  排出装置
２１  フィードローラ
２２  ピックローラ
３  ドライフィルム平坦化装置
３１  機動ロッド体
３１１  挟持具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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