(57)【要約】【課題】現像ムラが生じない塗膜を形成し得る着色硬化性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】着色剤（Ａ）、バインダー樹脂（Ｂ）、感光剤（Ｃ）、硬化剤（Ｄ）、溶剤（Ｅ）及びトリフェニルホスフィン（Ｆ）を含有する着色硬化性樹脂組成物。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
着色剤（Ａ）、バインダー樹脂（Ｂ）、感光剤（Ｃ）、硬化剤（Ｄ）、溶剤（Ｅ）及びトリフェニルホスフィン（Ｆ）を含有する着色硬化性樹脂組成物。
【請求項２】
着色剤（Ａ）が、式（１）で表される化合物を含有する着色剤である請求項１記載の着色硬化性樹脂組成物。
【化１】
2011032298.tif 000044
［式（１）中、Ｒ１〜Ｒ４は、それぞれ独立に、水素原子、−Ｒ６又は炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基を表す。該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、−Ｒ６、−ＯＨ、−ＯＲ６、−ＳＯ３−、−ＳＯ３Ｈ、ＳＯ３Ｍ、−ＣＯ２Ｈ、−ＣＯ２Ｒ６、−ＳＯ３Ｒ６、−ＳＯ２ＮＨＲ８又は−ＳＯ２ＮＲ８Ｒ９で置換されていてもよい。
Ｒ５は、−ＳＯ３−、−ＳＯ３Ｈ、ＳＯ３Ｍ、−ＣＯ２Ｈ、−ＣＯ２Ｒ６、−ＳＯ３Ｒ６、−ＳＯ２ＮＨＲ８又は−ＳＯ２ＮＲ８Ｒ９を表す。
ｍは、０〜５の整数を表す。ｍが２以上の整数である場合、複数のＲ５は、同一であっても異なっていてもよい。
Ｘは、ハロゲン原子を表す。
ａは、０又は１の整数を表す。
Ｒ６は、炭素数１〜１０の飽和炭化水素基を表す。該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子で置換されていてもよい。該飽和炭化水素基に含まれるメチレン基は、酸素原子、カルボニル基又は−ＮＲ７−で置換されていてもよい。
Ｒ７は、炭素数１〜１０の飽和炭化水素基を表す。該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子で置換されていてもよい。該飽和炭化水素基に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基で置換されていてもよい。
Ｒ８及びＲ９は、それぞれ独立に、炭素数１〜１０の直鎖又は分岐のアルキル基、炭素数３〜３０のシクロアルキル基又は−Ｑを表す。あるいはＲ８及びＲ９は、互いに結合して炭素数１〜１０の複素環を形成していてもよい。
Ｑは、炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基又は炭素数５〜１０の芳香族複素環基を表し、該芳香族炭化水素基及び芳香族複素環基に含まれる水素原子は、−ＯＨ、−Ｒ６、−ＯＲ６、−ＮＯ２、−ＣＨ＝ＣＨ２、−ＣＨ＝ＣＨＲ６又はハロゲン原子で置換されていてもよい。
炭素数１〜１０の直鎖又は分岐のアルキル基及び炭素数３〜３０のシクロアルキル基に含まれる水素原子は、水酸基、ハロゲン原子、−Ｑ、−ＣＨ＝ＣＨ２又は−ＣＨ＝ＣＨＲ６で置換されていてもよい。炭素数１〜１０の直鎖又は分岐のアルキル基及び炭素数３〜３０のシクロアルキル基に含まれるメチレン基は、酸素原子、カルボニル基又は−ＮＲ６−で置換されていてもよい。炭素数１〜１０の複素環に含まれる水素原子は、−Ｒ６、−ＯＨ又は−Ｑで置換されていてもよい。
Ｍは、ナトリウム原子又はカリウム原子を表す。］
【請求項３】
トリフェニルホスフィン（Ｆ）の含有量が、着色硬化性樹脂組成物の固形分に対して、２〜７質量％である請求項１又は２記載の着色硬化性樹脂組成物。
【請求項４】
溶剤（Ｅ）が、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル及びジアセトンアルコールからなる群から選ばれる少なくとも２種の溶剤を含んでなる溶剤である請求項１〜３のいずれか記載の着色硬化性樹脂組成物。
【請求項５】
感光剤（Ｃ）が、ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルである請求項１〜４のいずれか記載の着色硬化性樹脂組成物。
【請求項６】
硬化剤（Ｄ）が、式（２）で表される２価の基を２つ以上有する硬化剤である請求項１〜５のいずれか記載の着色硬化性樹脂組成物。
【化２】
2011032298.tif 000045
［式（２）中、Ｙ１は、水素原子又は炭素数１〜４のアルキル基を表す。］
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか記載の着色硬化性樹脂組成物を用いて形成される塗膜。
【請求項８】
請求項１〜６のいずれか記載の着色硬化性樹脂組成物を用いて形成されるカラーフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、着色硬化性樹脂組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
デジタルカメラやデジタルビデオなどに用いられるイメージセンサは、カラーフィルタを有する。
そして、カラーフィルタの製造方法には、フォトレジストに代表される感光性樹脂組成物に顔料や染料などの色素を含有させた着色感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィー法により製造する方法が開発されてきた。
前記の製造方法によれば、顔料や染料などの色素によって光の三原色（赤色、緑色、青色）にそれぞれ着色された画素の集合体であるカラーフィルタが形成される。
【０００３】
このような塗膜を形成するための着色硬化性樹脂組成物として、例えば、着色剤、バインダー樹脂、感光剤、硬化剤及び溶剤を含んでなる着色硬化性樹脂組成物が開示されている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１４２２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記の着色剤、バインダー樹脂、感光剤、硬化剤及び溶剤を含んでなる着色硬化性樹脂組成物を用いて形成した塗膜では、現像ムラが発生する場合があった。本発明の課題は、現像ムラを生じない塗膜を形成し得る着色硬化性樹脂組成物を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者は、前記の課題を解決し得る着色硬化性樹脂組成物を見出すべく検討した結果、着色剤（Ａ）、バインダー樹脂（Ｂ）、感光剤（Ｃ）、硬化剤（Ｄ）、溶剤（Ｅ）及びトリフェニルホスフィン（Ｆ）を含有する着色硬化性樹脂組成物によって、現像ムラを生じない塗膜を形成することができることを見出し、本発明に至った。
【０００７】
即ち、本発明は以下の［１］〜［８］を提供するものである。
［１］着色剤（Ａ）、バインダー樹脂（Ｂ）、感光剤（Ｃ）、硬化剤（Ｄ）、溶剤（Ｅ）及びトリフェニルホスフィン（Ｆ）を含有する着色硬化性樹脂組成物。
［２］着色剤（Ａ）が、式（１）で表される化合物を含有する着色剤である前記［１］記載の着色硬化性樹脂組成物。
【化１】
2011032298.tif 000002
［式（１）中、Ｒ１〜Ｒ４は、それぞれ独立に、水素原子、−Ｒ６又は炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基を表す。該芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、−Ｒ６、−ＯＨ、−ＯＲ６、−ＳＯ３−、−ＳＯ３Ｈ、ＳＯ３Ｍ、−ＣＯ２Ｈ、−ＣＯ２Ｒ６、−ＳＯ３Ｒ６、−ＳＯ２ＮＨＲ８又は−ＳＯ２ＮＲ８Ｒ９で置換されていてもよい。
Ｒ５は、−ＳＯ３−、−ＳＯ３Ｈ、ＳＯ３Ｍ、−ＣＯ２Ｈ、−ＣＯ２Ｒ６、−ＳＯ３Ｒ６、−ＳＯ２ＮＨＲ８又は−ＳＯ２ＮＲ８Ｒ９を表す。
ｍは、０〜５の整数を表す。ｍが２以上の整数である場合、複数のＲ５は、同一であっても異なっていてもよい。
Ｘは、ハロゲン原子を表す。
ａは、０又は１の整数を表す。
Ｒ６は、炭素数１〜１０の飽和炭化水素基を表す。該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子で置換されていてもよい。該飽和炭化水素基に含まれるメチレン基は、酸素原子、カルボニル基又は−ＮＲ７−で置換されていてもよい。
Ｒ７は、炭素数１〜１０の飽和炭化水素基を表す。該飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子で置換されていてもよい。該飽和炭化水素基に含まれるメチレン基は、酸素原子又はカルボニル基で置換されていてもよい。
Ｒ８及びＲ９は、それぞれ独立に、炭素数１〜１０の直鎖又は分岐のアルキル基、炭素数３〜３０のシクロアルキル基又は−Ｑを表す。あるいはＲ８及びＲ９は、互いに結合して炭素数１〜１０の複素環を形成していてもよい。
Ｑは、炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基又は炭素数５〜１０の芳香族複素環基を表し、該芳香族炭化水素基及び芳香族複素環基に含まれる水素原子は、−ＯＨ、−Ｒ６、−ＯＲ６、−ＮＯ２、−ＣＨ＝ＣＨ２、−ＣＨ＝ＣＨＲ６又はハロゲン原子で置換されていてもよい。
炭素数１〜１０の直鎖又は分岐のアルキル基及び炭素数３〜３０のシクロアルキル基に含まれる水素原子は、水酸基、ハロゲン原子、−Ｑ、−ＣＨ＝ＣＨ２又は−ＣＨ＝ＣＨＲ６で置換されていてもよい。炭素数１〜１０の直鎖又は分岐のアルキル基及び炭素数３〜３０のシクロアルキル基に含まれるメチレン基は、酸素原子、カルボニル基又は−ＮＲ６−で置換されていてもよい。炭素数１〜１０の複素環に含まれる水素原子は、−Ｒ６、−ＯＨ又は−Ｑで置換されていてもよい。
Ｍは、ナトリウム原子又はカリウム原子を表す。］
［３］トリフェニルホスフィン（Ｆ）の含有量が、着色硬化性樹脂組成物の固形分に対して、２〜７質量％である前記［１］又は［２］記載の着色硬化性樹脂組成物。
［４］溶剤（Ｅ）が、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル及びジアセトンアルコールからなる群から選ばれる少なくとも２種の溶剤を含んでなる溶剤である前記［１］〜［３］のいずれか記載の着色硬化性樹脂組成物。
［５］感光剤（Ｃ）が、ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルである前記［１］〜［４］のいずれか記載の着色硬化性樹脂組成物。
［６］硬化剤（Ｄ）が、式（２）で表される２価の基を２つ以上有する硬化剤である前記［１］〜［５］のいずれか記載の着色硬化性樹脂組成物。
【化２】
2011032298.tif 000003
［式（２）中、Ｙ１は、水素原子又は炭素数１〜４のアルキル基を表す。］
［７］前記［１］〜［６］のいずれか記載の着色硬化性樹脂組成物を用いて形成される塗膜。
［８］前記［１］〜［６］のいずれか記載の着色硬化性樹脂組成物を用いて形成されるカラーフィルタ。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の着色硬化性樹脂組成物によれば、現像ムラを生じない塗膜を形成することができる。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の着色硬化性樹脂組成物は、着色剤（Ａ）を含有する。
【００１０】
本発明の着色硬化性樹脂組成物に用いられる着色剤（Ａ）としては、特に限定されるものではなく、通常、着色硬化性樹脂組成物に用いられる着色剤を使用することができるが、中でも、下記式（１）で表される化合物を含有する着色剤であることが好ましい。
【００１１】
【化３】
2011032298.tif 000004
【００１２】
式（１）で表される化合物における置換基Ｒ１〜Ｒ４は、それぞれ独立に、水素原子、−Ｒ６又は炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基を表す。
【００１３】
ここで、上記Ｒ６は、炭素数１〜１０の飽和炭化水素基を表す。また、該炭素数１〜１０の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子で置換されていてもよく、メチレン基は、酸素原子、カルボニル基又は−ＮＲ７−（Ｒ７は、炭素数１〜１０の飽和炭化水素基を表す。該炭素数１〜１０の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子で置換されていてもよく、メチレン基は、酸素原子又はカルボニル基で置換されていてもよい。）で置換されていてもよい。
【００１４】
−Ｒ６としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ペンチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、シクロペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、ヘプチル基、シクロヘプチル基、オクチル基、２−エチルヘキシル基、シクロオクチル基、ノニル基、デカニル基、トリシクロデカニル基、メトキシプロピル基、エトキシプロピル基、ヘキシロキシプロピル基、２−エチルヘキシロキシプロピル基、メトキシヘキシル基、エトキシプロピル基などが挙げられる。
【００１５】
置換基Ｒ１〜Ｒ４における炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基などが挙げられる。
【００１６】
また、置換基Ｒ１〜Ｒ４における炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、−Ｒ６、−ＯＨ、−ＯＲ６、−ＳＯ３−、−ＳＯ３Ｈ、ＳＯ３Ｍ、−ＣＯ２Ｈ、−ＣＯ２Ｒ６、−ＳＯ３Ｒ６、−ＳＯ２ＮＨＲ８又は−ＳＯ２ＮＲ８Ｒ９で置換されていてもよい。
【００１７】
ここで、上記Ｒ６は、前記と同じ意味を表す。
上記Ｒ８及びＲ９は、それぞれ独立に、炭素数１〜１０の直鎖又は分岐のアルキル基、炭素数３〜３０のシクロアルキル基又は−Ｑ（Ｑは、炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基又は炭素数５〜１０の芳香族複素環基を表し、これらに含まれる水素原子は、−ＯＨ、−Ｒ６、−ＯＲ６、−ＮＯ２、−ＣＨ＝ＣＨ２、−ＣＨ＝ＣＨＲ６又はハロゲン原子で置換されていてもよい。）を表す。
Ｒ８及びＲ９における、炭素数１〜１０の直鎖又は分岐のアルキル基及び炭素数３〜３０のシクロアルキル基に含まれる水素原子は、−ＯＨ、ハロゲン原子、−Ｑ、−ＣＨ＝ＣＨ２又は−ＣＨ＝ＣＨＲ６で置換されていてもよく、メチレン基は、酸素原子、カルボニル基又は−ＮＲ６−で置換されていてもよい。
Ｒ８及びＲ９は、互いに結合して炭素数１〜１０の複素環を形成していてもよい。この場合、炭素数１〜１０の複素環に含まれる水素原子は、−Ｒ６、−ＯＨ又は−Ｑで置換されていてもよい。
また、上記Ｍは、ナトリウム原子又はカリウム原子を表す。
【００１８】
置換基Ｒ１〜Ｒ４における炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基に含まれる水素原子と置換してもよいハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子などが挙げられる。
【００１９】
−ＯＲ６としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、ｎ−プロポキシ基、イソプロポキシ基、ｎ−ブトキシ基、ｓｅｃ−ブトキシ基、ｔｅｒｔ−ブトキシ基、ｎ−ペンチルオキシ基、ｎ−ヘキシルオキシ基、ヘプチルオキシ基、オクチルオキシ基、２−エチルヘキシルオキシ基、ノニルオキシ基、デシルオキシ基等などが挙げられる。
【００２０】
−ＣＯ２Ｒ６としては、例えば、メチルオキシカルボニル基、エチルオキシカルボニル基、プロピルオキシカルボニル基、イソプロピルオキシカルボニル基、ブチルオキシカルボニル基、イソブチルオキシカルボニル基、ペンチルオキシカルボニル基、イソペンチルオキシカルボニル基、ネオペンチルオキシカルボニル基、シクロペンチルオキシカルボニル基、ヘキシルオキシカルボニル基、シクロヘキシルオキシカルボニル基、ヘプチルオキシカルボニル基、シクロヘプチルオキシカルボニル基、オクチルオキシカルボニル基、２−エチルヘキシルオキシカルボニル基、シクロオクチルオキシカルボニル基、ノニルオキシカルボニル基、デカニルオキシカルボニル基、トリシクロデカニルオキシカルボニル基、メトキシプロピルオキシカルボニル基、エトキシプロピルオキシカルボニル基、ヘキシロキシプロピルオキシカルボニル基、２−エチルヘキシロキシプロピルオキシカルボニル基、メトキシヘキシルオキシカルボニル基などが挙げられる。
【００２１】
−ＳＯ３Ｒ６としては、例えば、メタンスルホニル基、エタンスルホニル基、ヘキサンスルホニル基、デカンスルホニル基などが挙げられる。
【００２２】
−ＳＯ２ＮＨＲ８としては、スルファモイル基、メタンスルファモイル基、エタンスルファモイル基、プロパンスルファモイル基、イソプロパンスルファモイル基、ブタンスルファモイル基、イソブタンスルファモイル基、ペンタンスルファモイル基、イソペンタンスルファモイル基、ネオペンタンスルファモイル基、シクロペンタンスルファモイル基、ヘキサンスルファモイル基、シクロヘキサンスルファモイル基、ヘプタンスルファモイル基、シクロヘプタンスルファモイル基、オクタンスルファモイル基、２−エチルヘキサンスルファモイル基、１，５−ジメチルヘキサンスルファモイル基、シクロオクタンスルファモイル基、ノナンスルファモイル基、デカンスルファモイル基、トリシクロデカンスルファモイル基、メトキシプロパンスルファモイル基、エトキシプロパンスルファモイル基、プロポキシプロパンスルファモイル基、イソプロポキシプロパンスルファモイル基、ヘキシロキシプロパンスルファモイル基、２−エチルヘキシロキシプロパンスルファモイル基、メトキシヘキサンスルファモイル基、３−フェニル−１−メチルプロパンスルファモイル基などが挙げられる。
【００２３】
さらに、−ＳＯ２ＮＨＲ８としては、下記式で表される基が挙げられる。
【００２４】
【化４】
2011032298.tif 000005
【００２５】
【化５】
2011032298.tif 000006
【００２６】
【化６】
2011032298.tif 000007
【００２７】
【化７】
2011032298.tif 000008
【００２８】
【化８】
2011032298.tif 000009
【００２９】
【化９】
2011032298.tif 000010
【００３０】
【化１０】
2011032298.tif 000011
【００３１】
【化１１】
2011032298.tif 000012
【００３２】
【化１２】
2011032298.tif 000013
【００３３】
【化１３】
2011032298.tif 000014
【００３４】
【化１４】
2011032298.tif 000015
【００３５】
【化１５】
2011032298.tif 000016
【００３６】
【化１６】
2011032298.tif 000017
【００３７】
【化１７】
2011032298.tif 000018
【００３８】
−ＳＯ２ＮＨＲ８として例示される上記化合物において、式中、Ｘ１は、ハロゲン原子を表し、Ｘ２は、炭素数１〜３のアルキル基、炭素数１〜３のアルコキシ基、ハロゲン原子又はニトロ基を表す。また、Ｘ３は、炭素数１〜３のアルキル基又は炭素数１〜３のアルコキシ基を表す。さらに、Ｘ２及びＸ３におけるアルキル基及びアルコキシ基の水素原子は、ハロゲン原子で置換されていてもよい。
【００３９】
Ｘ１、Ｘ２およびＸ３におけるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子などが挙げられる。
ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数１〜３のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、パーフルオロメチル基などが挙げられる。
ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数１〜３のアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基などが挙げられる。
【００４０】
中でも、−ＳＯ２ＮＨＲ８としては、Ｒ８が、素数６〜８の分岐状アルキル基、炭素数５〜７の脂環式アルキル基、アリル基、フェニル基、炭素数８〜１０のアラルキル基、炭素数２〜８の水酸基含有アルキル基およびアリール基又は炭素数２〜８のアルコキシ基含有アルキル基またはアリール基であるものが好ましく、特に、２−エチルヘキシル基であるものが好ましい。
【００４１】
−ＳＯ２ＮＲ８Ｒ９としては、例えば、下記式で表される基が挙げられる。
【００４２】
【化１８】
2011032298.tif 000019
【００４３】
【化１９】
2011032298.tif 000020
【００４４】
【化２０】
2011032298.tif 000021
【００４５】
【化２１】
2011032298.tif 000022
【００４６】
【化２２】
2011032298.tif 000023
【００４７】
−ＳＯ２ＮＲ８Ｒ９として例示される上記化合物において、式中、Ｘ２は、前記と同じ意味を表す。
【００４８】
中でも、−ＳＯ２ＮＲ８Ｒ９としては、Ｒ８及びＲ９が、炭素数６〜８の分岐状アルキル基、炭素数５〜７の脂環式アルキル基、アリル基、フェニル基、炭素数８〜１０のアラルキル基、炭素数２〜８の水酸基含有アルキルおよびアリール基又は炭素数２〜８のアルコキシ基含有アルキルまたはアリール基であるものが好ましく、特に、２−エチルヘキシル基であるものが好ましい。
【００４９】
式（１）中の置換基Ｒ１〜Ｒ４における、炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基の置換基としては、エチル基、プロピル基、フェニル基、ジメチルフェニル基、−ＳＯ３Ｒ６又は−ＳＯ２ＮＨＲ８が好ましい。
【００５０】
置換基を有する炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基としては、メチルフェニル基、ジメチルフェニル基、トリメチルフェニル基、エチルフェニル基、ヘキシルフェニル基、デカニルフェニル基、フルオロフェニル基、クロロフェニル基、ブロモフェニル基、ヒドロキシフェニル基、メトキシフェニル基、ジメトキシフェニル基、エトキシフェニル基、ヘキシロキシフェニル基、デカニロキシフェニル基、トリフルオロメチルフェニル基などが挙げられる。
【００５１】
式（１）中の置換基Ｒ１〜Ｒ４においては、Ｒ１及びＲ２の中の少なくとも１つ、又は、Ｒ３及びＲ４の中の少なくとも１つが、炭素数１〜４のアルキル基又は置換されていてもよい炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基であることが好ましい。
また、Ｒ１及びＲ２の中の少なくとも１つ、かつ、Ｒ３及びＲ４の中の少なくとも１つが、炭素数１〜４のアルキル基又は置換されていてもよい炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基であることが好ましく、特に、Ｒ１及びＲ２の中の少なくとも１つ、かつ、Ｒ３及びＲ４の中の少なくとも１つが、置換されていてもよい炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基であることがより好ましい。
【００５２】
式（１）で表される化合物における置換基Ｒ５は、−ＳＯ３−、−ＳＯ３Ｈ、ＳＯ３Ｍ、−ＣＯ２Ｈ、−ＣＯ２Ｒ６、−ＳＯ３Ｒ６、−ＳＯ２ＮＨＲ８又は−ＳＯ２ＮＲ８Ｒ９を表す。
式（１）中、ｍは０〜５の整数を表し、ｍが２以上の整数である場合、複数のＲ５は、同一であっても異なっていてもよい。
【００５３】
Ｒ５として、好ましくは、カルボキシル基、エチルオキシカルボニル基、スルホキシル基、２−エチルヘキシロキシプロパンスルファモイル基、１，５−ジメチルヘキサンスルファモイル基、３−フェニル−１−メチルプロパンスルファモイル基、イソプロポキシプロパンスルファモイル基が挙げられる。
【００５４】
式（１）中、Ｘは、ハロゲン原子を表し、ａは、０又は１の整数を表す。
Ｘで示されるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子及び臭素原子などが挙げられる。
【００５５】
式（１）で表される化合物としては、下記式（１−１）又は（１−２）で表される化合物であることが好ましい。
【００５６】
【化２３】
2011032298.tif 000024
［式（１−１）中、Ｒ１１〜Ｒ１４は、それぞれ独立に、水素原子、−Ｒ６又は炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基を表す。該炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、−Ｒ６、−ＯＨ、−ＯＲ６、−ＳＯ３−、−ＳＯ３Ｈ、−ＳＯ３Ｎａ、−ＣＯ２Ｈ、−ＣＯ２Ｒ６、−ＳＯ３Ｒ６、−ＳＯ２ＮＨＲ８又は−ＳＯ２ＮＲ８Ｒ９で置換されていてもよい。
Ｒ１５は、水素原子、−ＳＯ３−、−ＳＯ３Ｈ、−ＳＯ２ＮＨＲ８又は−ＳＯ２ＮＲ８Ｒ９を表す。
Ｒ１６は、−ＳＯ３−、−ＳＯ３Ｈ、−ＳＯ２ＮＨＲ８又は−ＳＯ２ＮＲ８Ｒ９を表す。
Ｒ６、Ｒ８、Ｒ９、ｍ、Ｘ及びａは、前記と同じ意味を表す。］
【００５７】
【化２４】
2011032298.tif 000025
［式（１−２）中、Ｒ２１〜Ｒ２４は、それぞれ独立に、水素原子、−Ｒ２６又は炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基を表す。該炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、−Ｒ２６、−ＯＨ、−ＯＲ２６、−ＳＯ３−、−ＳＯ３Ｎａ、−ＣＯ２Ｈ、−ＣＯ２Ｒ２６、−ＳＯ３Ｈ、−ＳＯ３Ｒ２６又は−ＳＯ２ＮＨＲ２８で置換されていてもよい。
Ｒ２５は、−ＳＯ３−、−ＳＯ３Ｎａ、−ＣＯ２Ｈ、−ＣＯ２Ｒ２６、−ＳＯ３Ｈ又は−ＳＯ２ＮＨＲ２８を表す。
Ｒ２６は、炭素数１〜１０の飽和炭化水素基を表す。該炭素数１〜１０の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、−ＯＲ２７又はハロゲン原子で置換されていてもよい。
Ｒ２７は、炭素数１〜１０の飽和炭化水素基を表す。該炭素数１〜１０の飽和炭化水素基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子で置換されていてもよい。
Ｒ２８は、水素原子、−Ｒ２６、−ＣＯ２Ｒ２６又は炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基を表し、該炭素数６〜１０の芳香族炭化水素基に含まれる水素原子は、−Ｒ２６又は−ＯＲ２６で置換されていてもよい。
ｍ、Ｘ及びａは、前記と同じ意味を表す。］
【００５８】
さらに、式（１）で表される化合物としては、下記式（１−３）で表される化合物であることが好ましい。
【００５９】
【化２５】
2011032298.tif 000026
［式（１−３）中、Ｒ３１及びＲ３２は、それぞれ独立に、フェニル基を表す。該フェニル基に含まれる水素原子は、ハロゲン原子、−Ｒ２６、−ＯＲ２６、−ＣＯ２Ｒ２６、−ＳＯ３Ｒ２６又は−ＳＯ２ＮＨＲ２８で置換されていてもよい。
Ｒ３３は、−ＳＯ３−又は−ＳＯ２ＮＨＲ２８を表す。
Ｒ３４は、水素原子、−ＳＯ３−又は−ＳＯ２ＮＨＲ２８を表す。
Ｒ２６、Ｒ２８、Ｘ及びａは、前記と同じ意味を表す。］
【００６０】
さらに、式（１）で表される化合物としては、下記式（１−４）で表される化合物であることが、より好ましい。
【００６１】
【化２６】
2011032298.tif 000027
［式（１−４）中、Ｒ４１及びＲ４２は、それぞれ独立に、フェニル基を表す。該フェニル基に含まれる水素原子は、−Ｒ２６又は−ＳＯ２ＮＨＲ２８で置換されていてもよい。
Ｒ４３は、−ＳＯ３−又は−ＳＯ２ＮＨＲ２８を表す。
Ｒ２６、Ｒ２８、Ｘ及びａは、前記と同じ意味を表す。］
【００６２】
式（１）で表される化合物としては、例えば、下記式（１ａ）〜式（１ｆ）で表される化合物が挙げられる。
【００６３】
【化２７】
2011032298.tif 000028
［式（１ａ）中、Ｒ５１及びＲ５２は、それぞれ独立に、水素原子、−ＳＯ３−、−ＳＯ３Ｈ、−ＣＯ２Ｈ又は−ＳＯ２ＮＨＲ５０を表す。Ｒ５０は、２−エチルヘキシルを表す。Ｘ及びａは、上記と同じ意味を表す。］
【００６４】
【化２８】
2011032298.tif 000029
［式（１ｂ）中、Ｒ５１は、上記と同じ意味を表す。］
【００６５】
式（１ｂ）で表される化合物は、式（１ｂ−１）で表される化合物の互変異性体である。
【化２９】
2011032298.tif 000030
［式（１ｂ−１）中、Ｒ５１、Ｘ及びａは、上記と同じ意味を表す。]
【００６６】
【化３０】
2011032298.tif 000031
[式（１ｃ）及び式（１ｄ）中、Ｒ５３、Ｒ５４及びＲ５５は、それぞれ独立に、−ＳＯ３−、−ＳＯ３Ｎａ又は−ＳＯ２ＮＨＲ５０を表す。Ｒ５０は、２−エチルヘキシルを表す。]
【００６７】
【化３１】
2011032298.tif 000032
[式（１ｅ）及び式（１ｆ）中、Ｒ５６、Ｒ５７及びＲ５８は、それぞれ独立に、水素原子、−ＳＯ３−、−ＳＯ３Ｈ又は−ＳＯ２ＮＨＲ５０を表す。Ｒ５０は、２−エチルヘキシルを表す。]
【００６８】
式（１ａ）〜式（１ｆ）で表される化合物としては、具体的には、スルホローダミンＢ、スルホローダミンＢの−ＳＯ３−又は−ＳＯ３Ｈをスルホンアミド化した化合物、Ｃ．Ｉ．ソルベントレッド４９、ローダミンＢ、Ｃ．Ｉ．アシッドバイオレット１０２、Ｃ．Ｉ．アシッドバイオレット１０２の−ＳＯ３−又は−ＳＯ３Ｈをスルホンアミド化した化合物、Ｃ．Ｉ．アシッドレッド２８９、Ｃ．Ｉ．アシッドレッド２８９の−ＳＯ３−又は−ＳＯ３Ｈをスルホンアミド化した化合物などが挙げられる。本発明の着色剤（Ａ）としては、中でも、式（１ｅ）又は式（１ｆ）で表される化合物が好ましく、具体的にはＣ．Ｉ．アシッドレッド２８９、Ｃ．Ｉ．アシッドレッド２８９の−ＳＯ３−又は−ＳＯ３Ｈをスルホンアミド化した化合物が好ましい。とりわけ、式（Ａ−I）で表される化合物が好ましい。
【化３２】
2011032298.tif 000033
【００６９】
式（１）で表される化合物は、例えば、−ＳＯ３Ｈを有する色素または色素中間体を定法によりクロル化して、得られた−ＳＯ２Ｃｌを有する色素または色素中間体をＲ８−ＮＨ２で表されるアミンと反応させることにより製造することができる。また、特開平３−７８７０２号公報３頁の右上欄〜左下欄に記載の方法により製造された色素を、上記同様、クロル化後、アミンと反応させることにより製造することができる。
【００７０】
着色剤（Ａ）が、式（１）で表される化合物を含有する着色剤である場合、着色剤（Ａ）は、式（１）で表される化合物を含む着色剤（以下、「着色剤（Ａ１）」という場合がある。）の他に、さらに他の着色剤を含有する着色剤であってよい。他の着色剤としては、染料及び顔料などが挙げられる。好ましくは染料である。
【００７１】
染料としては、酸性染料、塩基性染料、直接染料、硫化染料、建染染料、ナフトール染料、反応染料、分散染料などが挙げられ、従来のカラーフィルタ用途として公知の染料から選択することができる。
具体的には、例えば、Ｃ．Ｉ．ソルベント・イエロー４、１４、１５、２４、８２、９４、９８、１６２；Ｃ．Ｉ．ソルベント・レッド４５；
Ｃ．Ｉ．ソルベント・オレンジ２、７、１１、１５、２６、５６；
Ｃ．Ｉ．ソルベント・ブルー３５、３７、５９、６７；
Ｃ．Ｉ．アシッド・イエロー１７、２９、４０、７６；
Ｃ．Ｉ．アシッド・レッド９１、９２、９７、１１４、１３８、１５１；
Ｃ．Ｉ．アシッド・オレンジ５１、６３；
Ｃ．Ｉ．アシッド・ブルー８０、８３、９０；
Ｃ．Ｉ．アシッド・グリーン９、１６、２５、２７；
Ｃ．Ｉ．ベーシック・レッド１などが挙げられ、好ましくは、Ｃ．Ｉ．ソルベント・イエロー８２、１６２、Ｃ．Ｉ．ソルベント・レッド４５、Ｃ．Ｉ．ソルベント・オレンジ５６、Ｃ．Ｉ．ソルベント・ブルー６、Ｃ．Ｉ．アシッド・ブルー９０、Ｃ．Ｉ．アシッド・グリーン９、１６、Ｃ．Ｉ．ベーシック・レッド１などが挙げられる。
【００７２】
前記の顔料としては、有機顔料及び無機顔料が挙げられ、カラーインデックス（Ｔｈｅ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｄｙｅｒｓ ａｎｄ Ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ出版）でピグメント（Ｐｉｇｍｅｎｔ）に分類されている化合物が挙げられる。
具体的には、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１、３、１２、１３、１４、１５、１６、１７、２０、２４、３１、５３、５５、６０、６５、７３、７４、８１、８３、８６、９３、９４、９５、９７、９８、１００、１０１、１０４、１０６、１０８、１０９、１１０、１１３、１１４、１１６、１１７、１１９、１２０、１２５、１２６、１２７、１２８、１２９、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１５６、１６６、１７３、１７５、１９４、２１４などの黄色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ２、５、１３、１６、１７：１、３１、３４、３６、３８、４０、４２、４３、４６、４８、４９、５１、５２、５５、５９、６０、６１、６４、６５、７１、７３などのオレンジ色の顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１、２、３、４、５、６、７、９、１０、１４、１７、２２、２３、３１、３８、４１、４８：１、４８：２、４８：３、４８：４、４９、４９：１、４９：２、５２：１、５２：２、５３：１、５７：１、６０：１、６３：１、６６、６７、８１：１、８１：３、８１、８３、８８、９０、９７、１１２、１１９、１０５、１２２、１２３、１４４、１４６、１４９、１６６、１６８、１６９、１７０、１７１、１７２、１７５、１７６、１７７、１７８、１７９、１８０、１８４、１８５、１８７、１８８、１９０、１９２、２００、２０２、２０６、２０７、２０８、２０９、２１０、２１５、２１６、２２４、２２６、２４２、２５４、２５５、２６４、２６５などの赤色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、１５：３、１５：４、１５：６、６０などの青色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、３、５：１、１９、２３、２７、２９、３２、３６、３８、４２などのバイオレット色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン１、２、４、７、３６、５８などの緑色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、２５などのブラウン色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、７などの黒色顔料などが挙げられる。中でも、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、１３９、１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、２４２、２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッドバイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６及びＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６、５８から選ばれる少なくとも一つの顔料を含有していることが好ましい。これらの顔料は、単独でも、２種以上を混合して用いてもよい。
【００７３】
前記の顔料のうち有機顔料は、必要に応じて、ロジン処理、酸性基又は塩基性基が導入された顔料誘導体や顔料分散剤などを用いた表面処理、高分子化合物などによる顔料表面へのグラフト処理、硫酸微粒化法などによる微粒化処理、又は不純物を除去するための有機溶剤や水などによる洗浄処理、イオン性不純物のイオン交換法などによる除去処理などが施されていてもよい。
【００７４】
前記の顔料分散剤としては、市販の界面活性剤を用いることができ、例えば、シリコーン系、フッ素系、エステル系、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性などの界面活性剤などが挙げられ、それぞれ単独で又は２種以上を組合せて用いられる。前記の界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、３級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイミン類等のほか、商品名でＫＰ（信越化学工業（株）製）、ポリフロー（共栄化学（株）製）、エフトップ（トーケムプロダクツ社製）、メガファック（ＤＩＣ（株）製）、フロラード（住友スリーエム（株）製）、アサヒガード、サーフロン（以上、旭硝子（株）製）、ソルスパース（ゼネカ（株）製）、ＥＦＫＡ（ＥＦＫＡ  ＣＨＥＭＩＣＡＬＳ社製）、ＰＢ８２１（味の素（株）製）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ（ビックケミー社製）などが挙げられる。
【００７５】
着色剤（Ａ１）及びその他の着色剤は、それぞれ１種または２種以上を組合わせて用いることができる。また、着色剤（Ａ１）及びその他の着色剤は、任意の比率で混合して用いることができる。その場合、着色剤（Ａ１）及びその他の着色剤の混合比率は、質量比で、以下の範囲にあることが好ましい。
着色剤（Ａ１）；２０〜６０質量％
その他の着色剤；４０〜８０質量％
【００７６】
着色剤（Ａ１）およびその他の着色剤の混合比率が前記の範囲にあると、目的の分光を得ることができ、好ましい。
【００７７】
着色剤（Ａ）の含有量は、着色硬化性樹脂組成物中の固形分に対して質量分率で、好ましくは１〜７５質量％であり、より好ましくは１０〜７０質量％であり、さらに好ましくは２０〜６５質量％である。ここで、固形分とは、着色硬化性樹脂組成物から溶剤を除いた成分の合計量をいう。着色剤（Ａ）の含有量が前記の範囲にあると、目的の分光を得ることができ、好ましい。
【００７８】
本発明の着色硬化性樹脂組成物は、バインダー樹脂（Ｂ）を含有する。
【００７９】
本発明の着色硬化性樹脂組成物に用いられるバインダー樹脂（Ｂ）としては、特に限定されるものではなく、通常、着色硬化性樹脂組成物に用いられるものを使用することができる。中でも、アルカリ性の現像液に溶解し得るアルカリ可溶性樹脂であることが好ましく、例えば、カルボキシ基を有する樹脂、及びヒドロキシ基（特にフェノール性水酸基）を有する樹脂などが挙げられる。これらは、単独で又は２種以上を組合わせて用いることができる。
【００８０】
そのようなアルカリ可溶性樹脂としては、例えば、ｐ−クレゾールのノボラック樹脂、ｐ−クレゾールとｍ−クレゾールとのノボラック樹脂、下記式（３）で表される構造を有するノボラック樹脂などのノボラック樹脂、ポリビニルフェノール、スチレンとビニルフェノールとの共重合体などが挙げられる。中でも、ノボラック樹脂が好ましい。これらは、単独で又は２種以上組合わせて用いることができる。
【化３３】
2011032298.tif 000034
【００８１】
バインダー樹脂（Ｂ）としては、例えば、マルカリンカーＭ、マルカリンカーＣＳＴ−１５、マルカリンカーＣＳＴ−７０（丸善石油化学（株）製）、ヒタノール１５０１（日立化成（株）製）、タッキロール１０１（田岡化学工業（株）製）、タマノル７５０８（荒川化学工業（株）製）、ＰＳＭ−４２６１、ＰＳＭ−４３２４、ＰＳＭ−４３２７、ＰＳＭ−４３２６（いずれも群栄化学（株）製）、ＣＲＧ−９５１（昭和高分子（株）製）などの市販品を用いてもよい。
【００８２】
バインダー樹脂（Ｂ）の分子量は、特に限定されるものではないが、例えば、ポリスチレン換算の重量平均分子量として、３，０００〜１００，０００、さらに５，０００〜５０，０００程度であることが好ましい。バインダー樹脂（Ｂ）の重量平均分子量が、前記の範囲にあると、塗布性が良好となる傾向があり、また現像時に膜減りが生じにくく、さらに現像時に非画素部分の抜け性が良好である傾向にあり、好ましい。
【００８３】
バインダー樹脂（Ｂ）の含有量は、着色硬化性樹脂組成物中の固形分に対して質量分率で、好ましくは１〜５０質量％、より好ましくは１〜２０質量％である。バインダー樹脂（Ｂ）の含有量が前記の範囲にあると、露光部の像液への溶解性、パターンの形状が良好になる傾向があり、好ましい。
【００８４】
本発明の着色硬化性樹脂組成物は、感光剤（Ｃ）を含有する。
【００８５】
感光剤（Ｃ）としては、特に限定されるものではなく、通常、着色硬化性樹脂組成物に用いられるものを使用することができる。例えば、ｏ−ベンゾキノンジアジドスルホン酸エステル、ｏ−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル、ｏ−ベンゾキノンジアジドスルホン酸アミドまたはｏ−ナフトキノンジアジドスルホン酸アミドなどが挙げられ、感度が高い傾向にあることから、中でも、ナフトキノンジアジド基を有する化合物が好ましく、ｏ−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルが特に好ましい。これらは、単独で又は２種以上を組合わせて用いることができる。
【００８６】
ナフトキノンジアジド基を有する化合物としては、例えば、ｏ−ナフトキノンジアジドスルホン酸化合物と下記式（I）〜（V）からなる群から選択される少なくとも１種のフェノール化合物とのエステル化合物、及びこれらエステル化合物の２種以上の混合物などが挙げられる。
【００８７】
【化３４】
2011032298.tif 000035
【００８８】
ｏ−ナフトキノンジアジドスルホン酸化合物としては、ｏ−ナフトキシノンジアジド−５−スルホン酸、ｏ−ナフトキシノンジアジド−４−スルホン酸などが挙げられる。
【００８９】
感光剤（Ｃ）の含有量は、着色硬化性樹脂組成物中の固形分に対して質量分率で、好ましくは１〜４０質量％、より好ましくは１０〜４０質量％である。感光剤（Ｃ）の含有量が前記の範囲にあると、未露光部と露光部の溶解速度差が大きくなることにより、現像残膜率が高く保持できる傾向があり、好ましい。
【００９０】
本発明の着色硬化性樹脂組成物は、硬化剤（Ｄ）を含有する。
【００９１】
硬化剤（Ｄ）としては、特に限定されるものではなく、通常、着色硬化性樹脂組成物に用いられるものを使用することができるが、中でも、加熱により硬化させる加熱硬化剤が適している。
【００９２】
そのような硬化剤としては、例えば、メラミン化合物や下記式（i）〜（vi）の化合物などが挙げられる。
【化３５】
2011032298.tif 000036
【００９３】
特に、本発明の着色硬化性樹脂組成物が含有する硬化剤（Ｄ）としては、下記式（２）で表される２価の基を、２つ以上有する化合物であることが好ましい。
【化３６】
2011032298.tif 000037
［式（２）中、Ｙ１は、水素原子又は炭素数１〜４のアルキル基を表す。］
【００９４】
そのような化合物としては、具体的には、ヘキサメトキシメチルメラミン及び上記式（iii）、（iv）、（v）、（vi）で表される化合物などが挙げられる。
【００９５】
硬化剤（Ｄ）の含有量は、着色硬化性樹脂組成物中の固形分に対して質量分率で、好ましくは１〜３０質量％、より好ましくは１０〜３０質量％である。硬化剤（Ｄ）の含有量が前記の範囲にあると、着色硬化性樹脂組成物から形成した塗膜やパターンの溶剤に対する耐性が良好になる傾向があり、好ましい。
【００９６】
本発明の着色硬化性樹脂組成物は、溶剤（Ｅ）を含有する。
【００９７】
本発明の着色硬化性樹脂組成物が含有する溶剤（Ｅ）としては、好ましくは、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル及びジアセトンアルコールからなる群から選ばれる少なくとも２種の溶剤からなる溶剤が挙げられる。
即ち、乳酸エチルとプロピレングリコールモノメチルエーテルとの混合溶剤、乳酸エチルとジアセトンアルコールとの混合溶剤、プロピレングリコールモノメチルエーテルとジアセトンアルコールとの混合溶剤、及び乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルとジアセトンアルコールとの混合溶剤が挙げられる。中でも、乳酸エチルを含有する混合溶剤であることがより好ましい。
【００９８】
乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル及びジアセトンアルコールは、任意の比率で混合して用いることができる。
特に、乳酸エチルの含有量は、溶剤（Ｅ）の合計量に対して、好ましくは１０〜９０質量％であり、さらに１５〜８５質量％であることがより好ましい。
また、プロピレングリコールモノメチルエーテル及びジアセトンアルコールからなる群から選ばれる少なくとも１種の溶剤の含有量は、溶剤（Ｅ）の合計量に対して、好ましくは１０〜９０質量％であり、さらに１５〜８５質量％であることがより好ましい。
【００９９】
このような混合溶剤を用いることにより、着色硬化性樹脂組成物の各成分との相溶性を確保して、スピンコーター、スリット＆スピンコーター、スリットコーター（ダイコーター、カーテンフローコーターとも呼ばれることがある。）、インクジェット、ロールコータ、ディップコーターなどの種々の塗布装置を利用して、種々の塗布法、特に、スピン塗布法によって凹凸基板上に塗布した場合においても、有効に筋の発生を防止することができる。
【０１００】
溶剤（Ｅ）は、前述した溶剤のみで構成されることが好ましいが、本発明の効果を損なわない程度であれば、その他の溶剤を含んでいてもよい。その他の溶剤としては、通常、着色硬化性樹脂組成物に用いられている各種溶剤を使用することができ、例えば、モノアルコール、多価アルコールなどのアルコール類が挙げられる。
このようなアルコールとして、具体的には、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ペンタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールエチルエーテル、プロピレングリコールプロピルエーテル、エチレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、乳酸メチル、２-メチル乳酸メチル、３−メトキシブタノール、グリセリンなどが挙げられる。
【０１０１】
さらに、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル及びエチレングリコールモノブチルエーテルのようなエチレングリコールモノアルキルエーテル類；
メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテートなどのエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類；
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテートなどのアルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類；
プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテルなどのプロピレングリコールモノアルキルエーテル類；
プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールエチルメチルエーテル、プロピレングリコールジプロピルエーテルプロピレングリコールプロピルメチルエーテル、プロピレングリコールエチルプロピルエーテルなどのプロピレングリコールジアルキルエーテル類
プロピレングリコールメチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールエチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールプロピルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールブチルエーテルプロピオネートなどのプロピレングリコールアルキルエーテルプロピオネート類；
メトキシブチルアルコール、エトキシブチルアルコール、プロポキシブチルアルコール、ブトキシブチルアルコールなどのブチルジオールモノアルキルエーテル類；
メトキシブチルアセテート、エトキシブチルアセテート、プロポキシブチルアセテート、ブトキシブチルアセテートなどのブタンジオールモノアルキルエーテルアセテート類；
メトキシブチルプロピオネート、エトキシブチルプロピオネート、プロポキシブチルプロピオネート、ブトキシブチルプロピオネートなどのブタンジオールモノアルキルエーテルプロピオネート類；
ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエチルエーテルなどのジプロピレングリコールジアルキルエーテル類；
ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどの芳香族炭化水素類；
メチルエチルケトン、アセトン、メチルアミルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン類；
酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル、２−ヒドロキシプロピオン酸エチル、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、ヒドロキシ酢酸メチル、ヒドロキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸プロピル、乳酸ブチル、３−ヒドロキシプロピオン酸メチル、３−ヒドロキシプロピオン酸エチル、３−ヒドロキシプロピオン酸プロピル、３−ヒドロキシプロピオン酸ブチル、２−ヒドロキシ−３−メチルブタン酸メチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸プロピル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、エトキシ酢酸プロピル、エトキシ酢酸ブチル、プロポキシ酢酸メチル、プロポキシ酢酸エチル、プロポキシ酢酸プロピル、プロポキシ酢酸ブチル、ブトキシ酢酸メチル、ブトキシ酢酸エチル、ブトキシ酢酸プロピル、ブトキシ酢酸ブチル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−メトキシプロピオン酸ブチル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−エトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸ブチル、２−ブトキシプロピオン酸メチル、２−ブトキシプロピオン酸エチル、２−ブトキシプロピオン酸プロピル、２−ブトキシプロピオン酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸プロピル、３−メトキシプロピオン酸ブチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸プロピル、３−エトキシプロピオン酸ブチル、３−プロポキシプロピオン酸メチル、３−プロポキシプロピオン酸エチル、３−プロポキシプロピオン酸プロピル、３−プロポキシプロピオン酸ブチル、３−ブトキシプロピオン酸メチル、３−ブトキシプロピオン酸エチル、３−ブトキシプロピオン酸プロピル、３−ブトキシプロピオン酸ブチル、ピルビン酸エチルなどのエステル類；
テトラヒドロフラン、ピランなどの環状エーテル類；
γ−ブチロラクトンなどの環状エステル類； 
さらに、メチルセルソルブ、エチルセルソルブ、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、Ｎ，Ｎ’−ジメチルホルムアミド、シクロヘキサン、酢酸プロピレングリコールモノエチルエーテルなどを含有していてもよい。
【０１０２】
溶剤（Ｅ）の含有量は、着色硬化性樹脂組成物に対して質量分率で、好ましくは１０〜９０質量％、より好ましくは５０〜９０質量％である。溶剤（Ｅ）の含有量が、前記の範囲にあると、塗布性が良好になる傾向があり、好ましい。
【０１０３】
本発明の着色硬化性樹脂組成物は、トリフェニルホスフィン（Ｆ）を含有する。
【０１０４】
トリフェニルホスフィン（Ｆ）の含有量は、着色硬化性樹脂組成物の固形分（着色硬化性樹脂組成物から溶剤を除いた成分の合計量）に対して質量分率で、好ましくは２〜７質量％である。トリフェニルホスフィンの含有量が２質量％以上であると、現像ムラが抑制される傾向にあり好ましい。また、着色硬化性樹脂組成物から形成した塗膜やパターンの耐薬品性低下、残膜率低下の観点から、７質量％以下であることが好ましく、さらに６質量％以下、特に４質量％以下であることがより好ましい。
【０１０５】
本発明の着色硬化性樹脂組成物には、必要に応じて、充填剤、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、連鎖移動剤などの種々の添加剤を併用してもよい。
【０１０６】
充填剤として、例えば、ガラス、シリカ、アルミナなどが挙げられる。
他の高分子化合物としては、例えば、エポキシ樹脂、マレイミド樹脂などの硬化性樹脂ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフルオロアルキルアクリレート、ポリエステル、ポリウレタンなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。
【０１０７】
界面活性剤としては、市販の界面活性剤を用いることができる。界面活性剤は、シリコーン系、フッ素系、エステル系、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性などの界面活性剤のいずれでもよい。具体的には、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、３級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイミン類などが挙げられ、商品名でＫＰ（信越化学工業（株）製）、ポリフロー（共栄化学（株）製）、エフトップ（トーケムプロダクツ社製）、メガファック（ＤＩＣ（株）製）、フロラード（住友スリーエム（株）製）、アサヒガード、サーフロン（以上、旭硝子（株）製）、ソルスパース（ゼネカ（株）製）、EFKA（EFKA CHEMICALS社製）、ＰＢ８２１（味の素（株）製）などを用いることができる。
【０１０８】
密着促進剤としては、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。
【０１０９】
酸化防止剤としては、例えば、２−ｔｅｒｔ−ブチル−６−（３−ｔｅｒｔ−ブチル−２−ヒドロキシ−５−メチルベンジル）−４−メチルフェニルアクリレート、２−［１−（２−ヒドロキシ−３，５−ジ−ｔｅｒｔ−ペンチルフェニル）エチル］−４，６−ジ−ｔｅｒｔ−ペンチルフェニルアクリレート、６−［３−（３−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）プロポキシ］−２，４，８，１０−テトラ−ｔｅｒｔ−ブチルジベンズ［ｄ、ｆ］［１，３，２］ジオキサフォスフェピン、３，９−ビス［２−｛３−（３−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）プロピオニルオキシ｝−１，１−ジメチルエチル］−２，４，８，１０−テトラオキサスピロ［５．５］ウンデカン、２，２’−メチレンビス（６−ｔｅｒｔ−ブチル−４−メチルフェノール）、４，４’−ブチリデンビス（６−ｔｅｒｔ−ブチル−３−メチルフェノール）、４，４’−チオビス（２−ｔｅｒｔ−ブチル−５−メチルフェノール）、２，２’−チオビス（６−ｔｅｒｔ−ブチル−４−メチルフェノール）、ジラウリル３，３’−チオジプロピオネート、ジミリスチル３，３’−チオジプロピオネート、ジステアリル３，３’−チオジプロピオネート、ペンタエリスリチルテトラキス（３−ラウリルチオプロピオネート）、１，３，５−トリス（３，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンジル）−１，３，５−トリアジン−２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ）−トリオン、３，３’，３’’，５，５’，５’’−ヘキサ−ｔｅｒｔ−ブチル−ａ，ａ’，ａ’’−（メシチレン−２，４，６−トリイル）トリ−ｐ−クレゾール、ペンタエリスリトールテトラキス［３−（３，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］、２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−メチルフェノールなどが挙げられる。
【０１１０】
紫外線吸収剤としては、例えば、２−（２−ヒドロキシ−５−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）−２Ｈ−ベンゾトリアゾール、オクチル−３−［３−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−（５−クロロ−２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イル）フェニル］プロピオネート、２−［４−［（２−ヒドロキシ−３−ドデシルオキシプロピル）オキシ］−２−ヒドロキシフェニル］−４，６−ビス（２，４−ジメチルフェニル）−１，３，５−トリアジン、２−［４−［（２−ヒドロキシ−３−（２’−エチル）ヘキシル）オキシ］−２−ヒドロキシフェニル］−４，６−ビス（２，４−ジメチルフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（２−ヒドロキシ−４−ブチルオキシフェニル）−６−（２，４−ビス−ブチルオキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２−（２−ヒドロキシ−４−［１−オクチルオキシカルボニルエトキシ］フェニル）−４，６−ビス（４−フェニルフェニル）−１，３，５−トリアジン、２−（２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イル）−４，６−ビス（１−メチル−１−フェニルエチル）フェノール、２−（２Ｈ−ベンゾトリアゾール−２−イル）−６−（１−メチル−１−フェニルエチル）−４−（１，１，３，３−テトラメチルブチル）フェノール、２−（３−ｔｅｒｔ−ブチル−２−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどが挙げられる。
【０１１１】
光安定剤としては、例えば、コハク酸と（４−ヒドロキシ−２，２，６，６−テトラメチルピペリジン−１−イル）エタノールからなる高分子、Ｎ，Ｎ'，Ｎ''，Ｎ'''−テトラキス（４，６−ビス（ブチル−（Ｎ−メチル−２，２，６，６−テトラメチルピペリジン−４−イル）アミノ）トリアジン−２−イル）−４，７−ジアザデカン−１，１０−ジアミン、デカンジオイックアシッドと、ビス（２，２，６，６−テトラメチル−１−（オクチルオキシ）−４−ピペリジニル）エステルと、１，１−ジメチルエチルヒドロパーオキシドとの反応物、ビス（１，２，２，６，６−ペンタメチル−４−ピペリジニル）−［［３，５−ビス（１，１−ジメチルエチル）−４−ヒドロキシフェニル］メチル］ブチルマロネート、２，４−ビス［Ｎ−ブチル−Ｎ−（１−シクロヘキシルオキシ−２，２，６，６−テトラメチルピペリジン−４−イル）アミノ］−６−（２−ヒドロキシエチルアミン）−１，３，５−トリアジン、ビス（１，２，２，６，６−ペンタメチル−４−ピペリジニル）セバケート、メチル（１，２，２，６，６−ペンタメチル−４−ピペリジニル）セバケートなどが挙げられる。
【０１１２】
連鎖移動剤としては、例えば、ドデシルメルカプタン、２，４−ジフェニル−４−メチル−１−ペンテンなどが挙げられる。
【０１１３】
本発明の着色硬化性樹脂組成物は、例えば、以下のようにして、基材、例えば、シリコンウェハ、ガラス、金属、プラスチック等の基板、カラーフィルタ、各種絶縁又は導電膜、駆動回路等を形成したこれらの基板上に塗布することによって、塗膜を形成することができる。塗膜は、乾燥及び硬化したものであることが好ましい。また、得られた塗膜を所望の形状にパターニングして、パターンとして用いることもできる。さらに、これら塗膜又はパターンを、表示装置等の構成部品の一部として形成して使用してもよい。
【０１１４】
まず、本発明の着色硬化性樹脂組成物を、基材上に塗布する。
塗布は、前述したように、スピンコーター、スリット＆スピンコーター、スリットコーター、インクジェット、ロールコータ、ディップコーターなどの種々の塗布装置を用いて行うことができる。中でも、溶解性、乾燥防止、異物の発生防止などの理由から、スピンコート法による塗布、つまり、スリット＆スピンコーター又はスピンコーターなどを利用する塗布を行うことが好ましい。
【０１１５】
次いで、乾燥又はプリベークして、溶剤などの揮発成分を除去することが適している。これにより、平滑な未硬化塗膜を得ることができる。
乾燥又はプリベークの温度は、例えば、８０〜１３０℃程度が挙げられる。また、塗膜の膜厚は、特に限定されず、用いる材料、用途等によって適宜調整することができ、例えば、０．４〜２μｍ程度が例示される。
【０１１６】
さらに、得られた未硬化塗膜に、目的のパターンを形成するためのマスクを介して、光、例えば、水銀灯、発光ダイオードから発生する紫外線などを照射する。この際のマスクの形状は特に限定されず、種々の形状が挙げられる。また、線幅も、マスクサイズによって、適宜調整することができる。
露光には、例えば、マスクアライナーやステッパーなどの露光装置を使用する。これらを用いれば、露光部全体に均一に平行光線を照射でき、且つマスクと基板の正確な位置合せを行える。光源の種類は、ポジ型感光性組成物を可溶化できる限り特に限定されないが、通常、ｇ線、ｈ線又はｉ線などの紫外線が使用される。
【０１１７】
この後、塗膜をアルカリ水溶液に接触させて所定部分、例えば、露光部を溶解させ、現像することにより、目的とするパターン形状を得ることができる。
現像方法は、液盛り法、ディッピング法、スプレー法などのいずれでもよい。さらに現像時に基材を任意の角度に傾けてもよい。
【０１１８】
現像に使用する現像液は、通常、アルカリ性化合物と界面活性剤とを含む水溶液である。アルカリ性化合物は、無機及び有機のアルカリ性化合物のいずれであってもよい。
無機アルカリ性化合物の具体例としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、燐酸水素二ナトリウム、燐酸二水素ナトリウム、燐酸水素二アンモニウム、燐酸二水素アンモニウム、燐酸二水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニアなどが挙げられる。
また、有機アルカリ性化合物としては、例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、２−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミンなどが挙げられる。
これらの無機及び有機アルカリ性化合物のアルカリ現像液中の濃度は、好ましくは０．０１〜１０質量％であり、より好ましくは０．０３〜５質量％である。
【０１１９】
アルカリ現像液中の界面活性剤は、ノニオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤又はカチオン系界面活性剤のいずれであってもよい。
ノニオン系界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン／オキシプロピレンブロックコポリマー、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミンなどが挙げられる。
アニオン系界面活性剤としては、例えば、ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウムやオレイルアルコール硫酸エステルナトリウムのような高級アルコール硫酸エステル塩類、ラウリル硫酸ナトリウムやラウリル硫酸アンモニウムのようなアルキル硫酸塩類、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムやドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウムのようなアルキルアリールスルホン酸塩類などが挙げられる。
カチオン系界面活性剤としては、例えば、ステアリルアミン塩酸塩やラウリルトリメチルアンモニウムクロライドのようなアミン塩又は第四級アンモニウム塩などが挙げられる。
アルカリ現像液中の界面活性剤の濃度は、好ましくは０．０１〜１０質量％、より好ましくは０．０５〜８質量％、特に好ましくは０．１〜５質量％である。
【０１２０】
現像後、水洗を行い、さらに必要に応じて、ポストベークを行ってもよい。ポストベークは、例えば、１５０〜２５０℃、好ましくは１６０〜２２０℃、より好ましくは１７０〜２００℃で行われる。ポストベーク時間は、数分程度、例えば、１〜３分間が適している。
【０１２１】
このようにして得られる塗膜又はパターンは、例えば、液晶表示装置に使用されるフォトスペーサ、パターニング可能なオーバーコート、カラーフィルタとして有用である。また、未硬化塗膜へのパターニング露光の際に、ホール形成用フォトマスクを使用することにより、ホールを形成することができ、層間絶縁膜として有用である。さらに、未硬化塗膜への露光の際に、フォトマスクを使用せず、全面露光及び加熱硬化又は加熱硬化のみを行うことにより、透明膜又は着色膜を形成することができる。この透明膜又は着色膜は、オーバーコートとして有用である。また、タッチパネル等の表示装置にも用いることができる。これにより、高品質の塗膜又はパターンを備えた表示装置を、高い歩留りで製造することが可能である。
本発明の着色硬化性樹脂組成物は、液晶表示装置やイメージセンサの画素となる塗膜又は着色パターンなどを形成するために好適に利用することができる。また、これらの塗膜又はパターンをその構成部品の一部として備えるカラーフィルタ、アレイ基板、さらに、これらカラーフィルタ及び／又はアレイ基板などを具備する表示装置、例えば、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、固体撮像装置などに利用することができる。
【実施例】
【０１２２】
以下、実施例によって本発明をより詳細に説明する。例中、含有量ないし使用量を表す％及び部は、特に断らない限り質量基準である。
【０１２３】
［合成例１］
下記式（３−I）で示される化合物〔商品名；ＰＩＰＥ−ＣＤ；三井化学（株）製〕５０．８部、メチルイソブチルケトン５０．８部及びシュウ酸９．５部の混合物を、８０℃で攪拌しながら、１時間かけてホルマリン（ホルムアルデヒドを質量分率で３７％含有する）１３．８部を滴下して加えた。滴下終了後、９１℃に昇温して、同温度で１０時間反応させた。反応後の反応混合物に、イオン交換水１２５部、メチルイソブチルケトン７６部を加えて洗浄した。さらに、メチルイソブチルケトン５１部、イオン交換水１２５部を加えて洗浄し、その後蒸留により脱水して、バインダー樹脂（樹脂Ｂ−ｂ）のメチルイソブチルケトン溶液（固形分：３７％）１４５．５部を得た。得られたバインダー樹脂（樹脂Ｂ−ｂ）の重量平均分子量（ＧＰＣ、ポリスチレン換算）は、７．０×１０３であった。
【０１２４】
［合成例２］
下記式（３−I）で示される化合物〔商品名；ＰＩＰＥ−ＣＤ；三井化学（株）製〕５０．８部、メチルイソブチルケトン５０．８部及びシュウ酸９．５部の混合物を、８０℃で攪拌しながら、１時間かけてホルマリン（ホルムアルデヒドを質量分率で３７％含有する）１３．８部を滴下して加えた。滴下終了後、９１℃に昇温して、同温度で１０時間反応させた。反応後の反応混合物に、イオン交換水１２５部、メチルイソブチルケトン７６部を加えて洗浄した。さらに、メチルイソブチルケトン５１部、イオン交換水１２５部を加えて洗浄し、その後蒸留により脱水して、樹脂のメチルイソブチルケトン溶液１４５．５部を得た。得られた樹脂の溶液にメチルイソブチルケトン１３３部、ｎ−ヘプタン３６３部を加えて分別し、樹脂層（液体）としてバインダー樹脂（樹脂Ｂ−ｃ）を取り出した。このバインダー樹脂（樹脂Ｂ−ｃ）に乳酸エチル１４５．８部を加えて、バインダー樹脂（樹脂Ｂ−ｃ）の乳酸エチル溶液（固形分：３３％）を得た。得られたバインダー樹脂（樹脂Ｂ−ｃ）の重量平均分子量（ＧＰＣ、ポリスチレン換算）は、１．３×１０４であった。
【０１２５】
【化３７】
2011032298.tif 000038
【０１２６】
［合成例３］
内容積３０００ｍｌの三ツ口フラスコにｍ−クレゾール１７．６部、ｐ−クレゾール１７．６部、２，５−キシレノール１５．９部、メチルイソブチルケトン４７．６部、１０％シュウ酸水９．７部、酢酸１０．０部を仕込み１００℃の油浴で加熱攪拌しながら３７．０％ホルマリン水溶液２７．０部を４０分かけて滴下した。その後、さらに１５時間反応させた。反応後、水洗脱水してバインダー樹脂（樹脂Ｂ−ｄ）のメチルイソブチルケトン溶液（固形分：５０％）１０３．６部を得た。得られたバインダー樹脂（樹脂Ｂ−ｄ）の重量平均分子量（ＧＰＣ、ポリスチレン換算）は、４．３×１０３であった。
【０１２７】
前記の樹脂Ｂｂ、Ｂｃ、Ｂｄのポリスチレン換算重量平均分子量（Ｍｗ）の測定については、ＧＰＣ法を用いて、以下の条件で行った。
装置          ；ＨＬＣ-８１２０ＧＰＣ（東ソー（株）製）
カラム        ；ＴＳＫ−ＧＥＬＧ４０００ＨＸＬ＋ＴＳＫ−ＧＥＬＧ２０００ＨＸＬ（直列接続）
カラム温度    ；４０℃
溶剤          ；ＴＨＦ
流速          ；１．０ｍＬ／ｍｉｎ
注入量        ；５０μＬ
検出器        ；ＲＩ
測定試料濃度  ；０．６質量％（溶剤；ＴＨＦ）
校正用標準物質；ＴＳＫ  ＳＴＡＮＤＡＲＤ  ＰＯＬＹＳＴＹＲＥＮＥ  Ｆ−４０、Ｆ−４、Ｆ−１、Ａ−２５００、Ａ−５００（東ソー（株）製）
【０１２８】
［実施例１］
（Ａ）着色剤：式（Ａ−I）で表される着色剤（以下、「着色剤Ａ−ａ」とする）  ２１部、
（Ａ）着色剤：Ｃ．Ｉ．ソルベントオレンジ５６  ２０部、
（Ａ）着色剤：Ｃ．Ｉ．ソルベントイエロー１６２  １８部、
（Ｂ）バインダー樹脂：樹脂Ｂ−ａ  ２部（固形分換算２部）、
※ 樹脂Ｂ−ａ；マルカリンカーＣＳＴ−１５〔丸善石油化学（株）製〕（スチレンとヒドロキシスチレンの共重合体。全共重合体ユニットに対してヒドロキシスチレンの割合が１５モル％、重量平均分子量９．０×１０３（カタログ値））
（Ｃ）感光剤：ｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸と下記式（Ｃ−I）で表される化合物とのエステル化物（以下、「感光剤Ｃ−ａ」とする）  ２４部、
（Ｄ）硬化剤：ヘキサメトキシメチロールメラミン  １４部、
（Ｅ）溶剤：乳酸エチル  １２８部、
（Ｅ）溶剤：ジアセトンアルコール  １５０部、
（Ｅ）溶剤：１−メトキシ−２−プロパノール  １５０部
（Ｆ）トリフェニルホスフィン  ２部（着色硬化性樹脂組成物の固形分量１００部に対して２部）、
を混合して、着色硬化性樹脂組成物１を得た。なお、組成物に対して５０ｐｐｍのシリコーン系界面活性剤〔ＳＨ８４００：東レ・ダウコーニング製〕を添加した。
【０１２９】
【化３８】
2011032298.tif 000039
【０１３０】
【化３９】
2011032298.tif 000040
【０１３１】
得られた着色硬化性樹脂組成物１について、下記の方法により、その評価を行った。結果を表３に示す。
【０１３２】
＜パターン形成＞
シリコンウェハ上に、ポリグリシジルメタクリレート樹脂を主成分とした平坦化膜形成材をスピンコート法により塗布し、１２０℃で２分間加熱して揮発成分を除去し、０．９６μｍの膜厚の支持体を形成した。該支持体上に、プリベーク後の膜厚が１．００±０．０５μｍとなるように、着色硬化性組成物１をスピンコート法により塗布した。次いで１００℃で１分間プリベークして、塗膜を形成した。その後、露光機〔ＮＳＲ−１７５５ｉ７Ａ；(株)ニコン製〕を用いて、ｉ線を照射した。
なお、フォトマスクとして、３μｍ角の市松状パターンを形成するためのフォトマスクを用いた。
照射後、現像液〔２．３８％ＴＭＡＨ水溶液、２３℃〕に１分間浸漬し、現像した。現像後、水洗、乾燥をして、赤色パターンを得た。得られたパターンの膜厚は、膜厚測定装置〔Ａｘｉｏｓｐｅｅｄ；Ｚｅｉｓｓ社製〕を用いて測定したところ、０．９５μｍであった。
【０１３３】
＜現像ムラ評価＞
得られたパターンを、走査型電子顕微鏡〔Ｓ−４０００；（株）日立製作所製〕でパターン上面から観察した。現像ムラが生じていないものを良好と、生じているものを不良と判断した。良好である場合を○として、結果を表３に示す。
【０１３４】
［実施例２〜９、比較例１］
表１及び表２に示す組成となるように、実施例１と同様にして、着色硬化性樹脂組成物を調製し、得られた着色硬化性樹脂組成物について、実施例１と同様にしてその評価を行った。結果を表３に示す。
【０１３５】
【表１】
2011032298.tif 000041
【０１３６】
【表２】
2011032298.tif 000042
【０１３７】
【表３】
2011032298.tif 000043
【０１３８】
本発明の着色硬化性樹脂組成物からなる塗膜は、塗膜の現像ムラが生じないことがわかった。一方、比較例の着色硬化性樹脂組成物からは、現像ムラを生じない塗膜を形成することができなかった。
【産業上の利用可能性】
【０１３９】
本発明の着色硬化性樹脂組成物によれば、現像ムラを生じない塗膜を形成することができる。