(57)【要約】【課題】表示パネル基板の受け渡し時に、パネル基板を渡す側と受ける側の平行度がずれると、パネル基板にストレスがかかり、割れや回転ずれ等の課題が発生する。【解決手段】基板搬送部材２は、基板搬送部材昇降装置５によって上昇し、基板保持部材３に吸着保持された表示パネル基板1に当たると、支点４８を中心にして表示パネル基板１と平行に近づき、さらに上昇させることで基板保持部材３から表示パネル基板１を受け取るようにすることで、表示パネル基板１へのストレスなくす。【選択図】図１１
2011032056.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面状の表示パネル基板を搬送する表示パネル基板搬送装置において、
上記表示パネル基板の下面の一部を吸着して固定保持する固定部材と、
この固定部材に対して上下及び水平方向に移動し、上記表示パネル基板の下面を吸着して当該表示パネル基板を上記固定部材との間で受け渡しする可動部材と、
上記表示パネル基板の下面を吸着する上記可動部材の傾斜角を補正する傾斜角補正手段とを備えたことを特徴とする表示パネル基板搬送装置。
【請求項２】
請求項１において、前記傾斜角補正手段は、前記可動部材と前記固定部材との相対的な傾きを検出するセンサを備え、当該センサ出力を用いて上記可動部材の傾きを補正するように構成したことを特徴とする表示パネル基板搬送装置。
【請求項３】
請求項1において、前記傾斜角補正手段は、前記固定部材に対する前記可動部材の傾きを吸収する弾性体で構成したことを特徴とする表示パネル基板搬送装置。
【請求項４】
請求項３において、前記傾斜角補正手段は、前記可動部材の裏面の一点を支点とし、他の点を弾性体で支持する構成としたことを特徴とする表示パネル基板搬送装置。
【請求項５】
請求項１において、前記可動部材と前記固定部材とを前記表示パネル基板の搬送開始位置から搬送終了位置まで複数組配置し、搬送開始位置で吸着した表示パネルを可動部材で下流に水平移動して固定部材に受け渡し、その次の下流に配置された可動部材との間で表示パネル基板を受け渡して更に下流に水平移動させることを順次繰り返すことで、搬送終了位置まで前記表示パネル基板を搬送することを特徴とする表示パネル基板搬送装置。
【請求項６】
平面状の表示パネル基板を搬送する表示パネル基板搬送方法において、
上記表示パネル基板の下面の一部を吸着して固定保持する固定部材と、この固定部材に対して上下及び水平方向に移動し、上記表示パネル基板の下面を吸着して当該表示パネル基板を上記固定部材との間で受け渡しする可動部材とを備え、
上記可動部材が上下して、上記固定部材との間で上記表示パネル基板の受け渡しを行うとき、当該表示パネル基板の折れ曲がりを抑制するように上記可動部材を傾けることを特徴とする表示パネル基板搬送方法。
【請求項７】
請求項６において、前記表示パネル基板の受け渡しを行うとき、前記表示パネル基板の下面に対する、前記可動部材と前記固定部材との双方の吸着力を可変するようにしたことを特徴とする表示パネル基板搬送方法。
【請求項８】
請求項１又は請求項５記載の表示パネル基板搬送装置と、当該表示パネル基板搬送装置を構成する前記固定部材に沿って配置され、当該固定部材に吸着された表示パネル基板を処理する処理装置を備えたことを特徴とする表示パネルモジュール組立装置。
【請求項９】
請求項８において、前記固定部材のうちの特定の固定部材に対して、表示パネル基板を処理する処理装置を複数配置したことを特徴とする表示パネルモジュール組立装置。
【請求項１０】
請求項８又は９において、前記固定部材に沿って配置された表示パネル基板の処理装置を、当該固定部材に対して移動させる機構を備えたことを特徴とする表示パネルモジュール組立装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示パネル基板、例えば液晶やプラズマなどのFPD(Flat Panel Display)の表示パネル基板を搬送する装置、更にはその表示パネルモジュールの組み立てに好適な装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶やプラズマなどのFPDの表示パネル基板には、その基板の周辺に駆動ICを搭載する工程、COF(Chip on Film)やFPC(Flexible Printed Circuits)などのいわゆるTAB(Tape Automated Bonding)接続する工程、更には周辺基板(PCB：printed circuit board)を実装することで表示パネルモジュールを組み立てる工程等、その作業目的に応じて多数の処理工程が必要となる。一般にこのような処理工程はライン状に設置されることから、その処理作業を効率よく行うためには、表示パネル基板を複数の処理工程に亘って、安定して受け渡し搬送させることが重要な課題となる。
【０００３】
このため、表示パネル基板を搬送する方式としては、従来から多数の方式が提案されており、特許文献1および特許文献2では、作業前の表示パネル基板が置かれている載置台から、各処理作業ステージまで、表示パネル基板を下方から持ち上げることで、搬入・搬出する搬送方式が開示されている。そして、この表示パネル基板を安定して搬送するために、吸着力を利用して表示パネル基板を下方から保持し、目的位置まで吸着を切り換えながら搬送することが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開2008-134439号公報
【特許文献２】特開平8-26475号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献2では表示パネル基板を下方から吸着保持することで落下事故を回避し、上記特許文献１では、この様な表示パネル基板を下方から吸着する場合、特にその表示パネル基板を受け渡しする場合に、その吸着力を制御することで表示パネル基板の歪みを防止することについて記載されている。
【０００６】
しかしながら近年、表示パネル基板はますます大型化すると共に、その搬送速度、処理作業速度はより高速化が求められる。このため、表示パネル基板の受け渡しを行う際には、その表示パネル基板の姿勢も重要な課題であることが解った。
【０００７】
本発明の一つの目的は、上記表示パネル基板の受け渡しの際の姿勢、特に受け渡す側の可動部材と受け取る側の固定部材との平行度に起因する問題を解明し、表示パネル基板に与えるストレスを抑制して信頼性の高い表示パネル基板の搬送装置及び方法を提供することにある。
本発明の他の目的は、このための実用性の高い構成、更には信頼性が高く効率的な表示パネルモジュールの組立装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一つの特徴は、表示パネル基板の下面を吸着して安定した搬送を実現しつつ、その基板の受け渡しの際には、表示パネル基板を受け取る側の固定部材にあわせて受け渡す側の可動部材の傾きを補正することにより、さまざまな要因で変動しうる固定部材と可動部材との間の平行度を確保しつつ、表示パネル基板の受け渡しを行うようにしたところにある。
【０００９】
本発明の他の特徴は、このための可動部材の傾斜角を補正する構成、受け渡しの際の吸着力制御との併用、更には表示パネル基板を処理する装置との組合せから成る表示パネルモジュールの組立装置等にあるが、その詳細については以下述べる実施例で説明する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、少なくとも表示パネル基板の受け渡し時には、固定部材と可動部材との平行度が確保されるので、表示パネル基板に与えるストレスが軽減され、安定した信頼性の高い表示パネル基板の搬送を実現することが可能となる。
本発明の他の目的及び特徴による効果については、以下述べる実施例で詳述する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明を適用した表示パネルモジュール組立装置の一構成例。
【図２】図1における表示パネル基板の搬送フローチャート。
【図３】本発明の搬送系を適用した表示パネルモジュール組立装置の平面図であって、同図（A）は大型基板の搬送・処理作業、同図（B）は小型基板の搬送・処理作業を説明するための平面図。
【図４】本発明を適用した搬送系の固定部材と可動部材の一実施例であって、同図（A）は平面図、同図（B）はそのA-A断面図を示す。
【図５】図４の搬送方向に直交する方向の断面図であって、同図（A）は基板搬送部材の下降時、同図（B）は基板搬送部材の上昇時の状態を示す。
【図６】図５の断面図の部分拡大図であって、同図（A）は基板保持部材から基板搬送部材への受け渡し動作時、同図（B)は基板搬送部材から基板保持部材への受け渡し動作時における課題を説明する図面。
【図７】本発明の一実施例に係る表示パネル基板の受け渡し時における理想的な吸着力制御と動作タイミング例を示す図。
【図８】本発明の課題に至る、表示パネル基板受け渡し時の現象を説明する図面。
【図９】本発明の一実施例に係る傾斜角補正機構部の側面図。
【図１０】本発明の他の実施例に係る傾斜角補正機構部の側面図。
【図１１】本発明の他の実施例に係る傾斜角補正機構部の側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態を図1から図11を用いて説明する。尚、これらの具体的な実施形態では、表示パネル基板の可動部材として基板搬送部材、固定部材として基板保持部材の例を挙げて説明するが、これに限るものではない。
【００１３】
また、本実施形態では、表示パネルモジュールの組立装置に適用した場合について説明する。表示パネルモジュール組立装置は、プラズマ及び液晶などのFPDの表示パネル基板を、複数の処理作業工程を経て、該表示パネル基板の周辺に、駆動IC，TABおよびPCBなどを実装する装置である。
【００１４】
例えば、処理作業工程の一例として、
基板端部のTAB貼付け部を清掃する端子クリーニング工程
清掃後の基板端部に異方性導電フィルム(ACF：Anisotropic Conductive Film) を貼付けるACF工程
ACFを貼付けた位置に、基板配線と位置決めしてTABやICを搭載する搭載工程
搭載したTABを加熱圧着することで、ACFフィルムにより固定する圧着工程
搭載したTABやICの位置や接続状態を検査する検査工程
TABの表示パネル基板側と反対側にPCBをACFなどで貼付け搭載するPCB工程
などがある。
【００１５】
表示パネルモジュール組立装置は、これらの処理作業を行う各種処理装置を連続して配置し、その間を基板搬送することで、基板の周辺処理を行うものである。
したがって、基板の受け渡し回数も非常に多くなることから、本発明の基板搬送技術を用いることで、表示パネルモジュールの組立装置全体を通じて、表示パネル基板の割れ、又は表示パネル基板の外れや位置ずれ等を防ぐことができ、その効用は大きい。
【実施例１】
【００１６】
本発明を表示パネルモジュールの組立装置に適用した場合の一実施例について説明する。
【００１７】
図1は、本発明を適用した表示パネルモジュール組立装置の一構成例を示す。なお、図１は特に、表示パネルを搬送する機構に関連した部分を表しており、電気回路系、制御系ハード／ソフト、また表示パネル基板1の外周付近に組み付けられる製品回路基板の供給部や組み付け部などに関する部分については、図示を省略している。
【００１８】
搬送に大きく関連する機構としては搬送系と吸気系がある。吸気系には吸引ポンプ42があり、吸引ポンプ42からは基板搬送部材2へのエア配管42ａ、また、基板保持部材3へのエア配管42bがそれぞれ接続されている。さらに、これらの配管42a及び42bには、エアの開閉を行なう開閉バルブ43がそれぞれ設けられている。そして、開閉バルブ43の開閉は吸引切り替えコントローラ40によって制御され、コントローラからバルブまでは信号線が接続されている。
【００１９】
一方、表示パネル基板を保持／搬送する部分である搬送系は、表示パネル基板1を保持して送る基板搬送部材2と、基板搬送部材2によって移動した表示パネル基板1を固定保持する基板保持部材3からなり、それぞれの部材には表示パネル基板1を吸着するための基板搬送部材2の表面に設けられた吸着孔7、基板保持部材3の表面に設けられた吸着孔8がある。また、この搬送系は基板搬送部コントローラ41によって搬送動作が制御されている。なお、基板搬送部材2への配管42aでは、基板搬送部材2の移動距離に対して配管長さが不足し、その結果、配管の外れや配管へのストレスが発生しないように、図は一例であるが、伸縮式配管42ｃが設けられており、基板搬送部材２が移動しても配管には全く影響を与えない機構になっている。
また、基板搬送部材2の搬送動作を制御する基板搬送部コントローラ41は、吸引バルブの開閉を制御するコントローラと吸引切り換えコントローラ40とは信号線で接続されており、搬送動作と吸引力の切り替えタイミングをあわせている。
【００２０】
図１における表示パネル基板1の現在位置（実線で示す位置）から、一回分だけ下流に搬送（点線で示す）する場合の、表示パネル基板１の搬送フローチャートを図２に示し、このための搬送系の構成例を図３以降に示す。
【００２１】
先ず、図２の搬送フローチャートにおいて、表示パネル基板1は搬送前の位置にある(ステップ１−１)。次に、基板搬送部材２が、後述する構造によって、下方より上昇を開始し(ステップ１−2)、基板搬送部材２が表示パネル基板１の位置まで到達したところで基板保持部材３の吸着を解除し、同時に基板搬送部材２の吸引を開始する(ステップ１−3)。そして、基板搬送部材２が表示パネル基板１を吸着したまま基板保持部３よりさらに上昇し(ステップ１−4)、基板搬送部材２が下流方向に水平搬送して(ステップ１−5)、表示パネル基板１が下流の目標搬送位置まで送られる(ステップ１−6)。目標位置にて基板搬送部材2は表示パネル基板１を吸着したまま下降を開始し(ステップ１−7)、表示パネル基板１が基板保持部材３の位置まで到達した時、基板搬送部材２の吸引を解除し、同時に基板保持部材３の吸引を開始する(ステップ１−８)。さらに、基板搬送部材２は基板保持部材３よりも下降し(ステップ１−9)、表示パネル基板１は目標搬送位置にて基板保持部材３によって吸着固定され、一回の搬送サイクルを終える(ステップ１−１0)。以降、このようなサイクルを順次繰り返すことで、表示パネル基板１の搬送が行われる。
【００２２】
図３は、このような搬送系を用いた表示パネルモジュール組立装置の平面図であって、表示パネル基板１を左から右に向かって順次搬送しながら、その基板１の周辺部に各種処理作業を行うことで、ICやTABなどの実装及び組立作業を行う装置である。同図（A）は、大型基板の搬送および処理作業の状態を示す。表示パネル基板1aの位置から、順次表示パネル基板1bの位置、表示パネル基板1cの位置へ移動する。表示パネル基板1aの位置では処理ユニット16aと処理ユニット16bとにより処理作業を受ける。表示パネル基板1bの位置では処理ユニット16cと処理ユニット16dとにより処理作業を受ける。また、処理ユニッ16a,処理ユニット16b,処理ユニット16c,処理ユニット16d 等の処理ユニット16は、スライドステージのガイドレール6上を移動して、位置決めし、処理作業できるよう構成されている。このための移動装置は、処理ユニット１６側又はスライドステージ側のいずれに設けてもよい。
【００２３】
同図（B）は小型基板の搬送および処理作業の状態を示す。表示パネル基板1dの位置から、順次表示パネル基板1eの位置、表示パネル基板1fの位置、表示パネル基板1gの位置、表示パネル基板1hの位置、表示パネル基板1iの位置へ移動する。表示パネル基板1dの位置では処理ユニット16aにより処理作業を受ける。表示パネル基板1eの位置では処理ユニット16bにより処理作業を受ける。表示パネル基板1fの位置では処理ユニット16cにより処理作業を受ける。表示パネル基板1gの位置では処理ユニット16dにより処理作業を受ける。また、処理ユニット16a,処理ユニット16b,処理ユニット16c,処理ユニット16d 等の処理ユニット16は、スライドステージのガイドレール6上を移動することが出来ることは、上記した通りである。
【００２４】
図３では、まず、基板１の長辺側(ソース側)の処理作業装置群16a〜16dによって基板長辺側(ソース側)の処理を行う様子を示している。その後、図示は省略するが、基板１を回転装置で回転させ、基板１の短辺側(ゲート側)の処理作業を行う。
また、これら実装を行うユニットに対して表示パネル基板1を搬送させる搬送機構は、図３では、基板搬送部材２と基板保持部材３で示している。基板搬送方向に細長い基板保持部材３が、基板搬送方向と直行する並びで複数列配置する構成を示している。そして基板搬送部材２は、前記基板保持部材３との間に複数配置する構造となっている。
また、並置された基板搬送部材２は一体に構成されており、基板保持部材３に保持された表示パネル基板1を、次の処理作業装置位置まで上昇させたのち水平移動して搬送する機構になっている。
【００２５】
図４は、図３の搬送系の詳細であって、基板保持部材と搬送部材からなる受け渡し部の一実施例で、同図（A）は平面図、同図（B）はそのA―A断面図である。図５は図４の搬送方向に直交する方向の断面図であって、受け渡し時の基板搬送部材の上昇及び下降の様子を示す。図４に示す通り、保持部材および搬送部材の表面に吸引穴を一定のピッチで配置しており、負圧により表示パネル基板を基板保持部材や基板搬送部材に吸着できるように構成している。
【００２６】
また、図４において、小型基板の配置領域９，大型基板の配置領域１０は、その下方に配置されている基板搬送部材２や基板保持部材３を図示するために、一部破断するとともに、外形は点線で示している。基板搬送部材２や基板保持部材３の基板側において、基板搬送部材表面の吸引孔８，基板保持部材表面の吸引孔７が設けられる。各処理作業装置での基板への処理動作が完了した後、基板搬送部材2を上昇させることで、基板保持部材3上に配置された表示パネル基板を微小量持ち上げ、その後、基板保持部材3の間隙方向に沿ってスライドすることで、次の作業処理装置まで表示パネル基板を搬送する機構になっている。基板搬送部材をスライドさせるスライド装置としては、図示はしないがリニアモータやボールねじなどによる一般的なスライドステージ機構を適用することができる。また、図４（Ｂ）のA―A断面図に示すように、吸着孔の下の吸引チャンバ１１，開閉バルブ１２，吸引ポンプなどから供給される負圧系１３が設けられている。
【００２７】
基板搬送部材２は、基板保持部材３の間隙に複数本の基板搬送部材が配置されており、それらが一体となって、該基板保持部材３に対して該基板搬送部材２を相対的に上昇および下降する。
【００２８】
図５における基板１の搬送方向は、紙面に直交する方向である。次の搬送処理位置まで、基板１を搬送した基板搬送部材２は、基板搬送部材２を昇降可能にする基板搬送部材昇降装置５にて、降下させる。基板搬送部材昇降装置５は、スライドステージのガイドレール6上でスライドステージのスライダ１５上に構成されることで、表示パネル基板１を、次の処理作業装置４の基板保持部材３上に基板１を受け渡すように、移動可能となる。図５（A）が基板搬送部材２の下降位置、即ち処理作業時の位置関係を示し、図５（B）が基板搬送部材２の上昇位置、即ち基板搬送時の位置関係を示す。表示パネル基板1を、基板保持部材３上に受渡した基板搬送部材２は、降下したまま、元の処理作業装置位置までの戻り動作を行う。この動作を、隣接する処理作業装置4間で同期して行うことで、表示パネル基板1は、順次下流の処理作業装置4の位置に連続的に搬送し、処理を行うことが可能となる。
【００２９】
そして、基板搬送部材２において、水平方向に規定量スライド搬送する前後に、基板搬送部材２の上昇及び下降時、基板保持部材３との間で表示パネル基板1の分離や保持を行う必要がある。このような基板受け渡し時における吸着の切り換えタイミングと基板１の状態について、次に説明する。
【００３０】
図６（A）は、基板保持部材3から基板搬送部材2への表示パネル基板1の受け渡し、同図（B）は、基板搬送部材2から基板保持部材3への表示パネル基板1の受け渡し動作を示している。表示パネル基板1の受け渡しの際、基板搬送部材２表面の吸引孔8又は基板保持部材３表面の吸引孔7のうち、渡す側の吸引力が残っていると、図６（A）又は（B）に示すように、表示パネル基板1にストレスがかかることになる。その結果、表示パネル基板1の割れや吸着痕等が残るなどの課題が生じることになる。
【００３１】
図７は、図６で説明した課題を考慮し、この課題を解消する上で有効な理想的な吸着力の制御と受け渡し動作のタイミング例を示している。図７では、表示パネル基板１は、まず固定部材（基板保持部材３）側にあり、次に可動部材（基板搬送部材２）が上昇して受取り（タイミング１８）、その後、可動部材が適当な距離を搬送方向に水平移動したのち、可動部材が下降して搬送先の新たな固定部材に表示パネル基板を下ろす（タイミング１９）ことで、一回の受け渡し動作を終えるまでの様子を示している。
【００３２】
次に、固定部材および可動部材の吸引力の切り替え（強、弱、0）と、可動部材の動作位置について、さらに具体的に説明する。先に説明した通り、図７では最初、表示パネル基板は固定部材に吸着保持されている。次に表示パネル基板を可動部材に受け渡すために、固定部材で表示パネル基板を保持している吸着力を弱める。同時に固定部材から受け取るために可動部材の吸引力は上昇させる。固定部材と可動部材の吸引力が共に弱になったときのタイミング１８にあわせて、可動部材を、固定部材と同じ高さになるように下降位置から上昇させ、パネル受け渡し位置まで上昇させる。つまりタイミング１８では表示パネル基板は固定部材と可動部材の両方で吸着保持している。さらに、可動部材が上昇を続けることで固定部材から表示パネル基板が引き離され、その後、可動部材の吸引力が強レベルまで上昇するため、水平搬送を行っても表示パネル基板は位置ずれを起こさない。一方、固定部材の吸引力は低下し、無駄な吸引エアの使用を抑制する。
【００３３】
そして、可動部材によって目標位置まで水平搬送させたのち、目標位置の固定部材に表示パネル基板を吸着固定させるために可動部材を下降させる。このときは先の説明とは逆に、パネル基板を保持している可動部材の吸着力を弱め、同時に表示パネル基板を受け取るために固定部材の吸引力を上昇させる。可動部財と固定部材の吸引力が共に弱になるタイミング１９にあわせて、可動部材を、固定部材と同じ高さになる位置まで下降させる。すなわちタイミング１９では、表示パネル基板を可動部材と固定部材の双方が吸着保持している。さらに、可動部材は下降を続けることで固定部材に表示パネル基板が残り、可動部材から表示パネル基板が引き離される。この段階では固定部材の吸引力は強レベルまで上昇しており、表示パネル基板をしっかりと吸着固定する。そして搬送を終えた可動部材の吸引力を低下させることで、吸着の必要の無い所での無駄な吸引エアを使わないようにすることができる。
【００３４】
このようにして、表示パネル基板の一回の搬送動作が終了する。この動作を連続することで、上流から下流に向かって表示パネル基板の連続搬送を行うことができる。
この実施例では、固定部材と可動部材の吸引圧力が丁度弱になるタイミングで、固定部材から可動部財、あるいは可動部材から固定部材へ表示パネル基板が受け渡されるため、その残存する弱い吸着力で基板の位置ズレを抑制しつつ、受け渡し時の表示パネルの引き剥しに伴う損傷をも抑制できるという効果が期待できる。
【００３５】
ところで、基板搬送部材２と基板保持部材３との表示パネル基板の吸着面は、理想的には平行度がゼロに限りなく近いことが望ましい。しかし実際は、以下の要因などにより平行度にずれが発生することが解った。
1．構成する部品の寸法公差、まがり、ねじれ、温度変化による部品形状の変化など。
2．組み立て時の精度。
3．装置を設置した床の経時変化等による装置全体のねじれやゆがみ等。
そして、この平行度のずれが表示パネル基板１の受け渡し動作に影響し、前記図７の制御だけではこの影響を解消することは難しいことが解った。
【００３６】
図8は、表示パネル基板の受け渡し時に上記平行度のずれによって生じる現象を説明する図面であって、表示パネル基板１を搬送する方向に対して横から見た図面である。同図（A）は基板搬送部材２が上昇する前、同図（B）は基板搬送部材２が上昇した後を示している。
表示パネル基板１が基板保持部材３に保持された図（A）の状態から、基板搬送部材２に受け取るために、基板搬送部材昇降装置５の上昇作用によって基板搬送部材２を押し上げる。しかし、前記要因によって、平行度のずれθの傾き角度を持ったまま、基板搬送部材２が上昇を続けると、表示パネル基板１は、基板保持部材２から均一に剥がれることができず、図（B）のように表示パネル基板１にストレスがかかってしまう。また、表示パネル基板１の吸着箇所が同時では無く順次剥がされることによって、表示パネル基板１を回転させるような作用が生じ、回転ずれを発生してしまうことが原理実験によって確認されている。
【００３７】
そこで本発明では、この表示パネル基板の受け渡し時における基板搬送部材２の傾きを補正するようにしたもので、図９にその一実施例を示す。図9において、同図（A）は基板搬送部材２が先に説明した理由等によって傾きが生じている様子を示しており、図（B）は基板搬送部材２の傾き角度が補正された後の状態を示している。
【００３８】
同図（A）の状態において、表示パネル基板１を基板保持部材３に保持された状態から基板搬送部材２に受け取るためには、基板搬送部材昇降装置５の上昇を行う。しかし、図中に示すように、基板搬送部材２に傾きが発生しているままであると、図８で説明した問題が生じる。それを回避するために図9の基板搬送部材2と基板保持部材3は、センサ45によって表示パネル基板１の吸着面を検出するような構成になっている。なお、図9では非接触式の光学式センサを表記しているが、用いるセンサはこの限りで無く、接触式センサでも良い。そして、前記センサ４５からの出力は差分回路４６に入力され、傾き量を差分として演算したのち、その傾き量を補正する分の信号をシリンダ４４に伝達する。なお、図9に示すように基板搬送部材２の角度補正を行う駆動源としてシリンダを表記しているが、ラックアンドピニオンやカムやスクリュ式スライダなどの機構を用いても良い。そして、信号を受けたシリンダ４４が、受けた信号に従い適量を伸縮することによって、基板搬送部材２が基板保持部材３に対して傾いている量を限りなくゼロに近づけるように補正動作を行う。そして、傾きを補正したのち基板搬送部材昇降装置５で上昇させることで、基板搬送部材２は、表示パネル基板１を基板保持部材３から均一に受け取ることが可能となり、その結果、表示パネル基板１にはストレスがかからず、また、回転する方向の位置ずれの発生も回避することができる。
【００３９】
本実施例によれば、表示パネル基板１の受け渡し時の平行度を確保できるので、装置組み立て精度の緩和や調整時間の軽減、あるいは経時変化に伴う搬送部分のメンテナンスの軽減、長期的に安定した生産能力が維持できるなど、非常に優れた効果が期待できる。特に、表示パネルモジュールの組立装置においては基板の受け渡し回数が非常に多いことから、装置全体の信頼性向上、設置作業の容易化、更には生産性能の長期安定化の効果は極めて顕著である。
【００４０】
また、図７に示した吸着制御と併用することで、一層安定した表示パネル基板１の搬送が可能となり、今後ますます大型する表示パネル基板に対しても信頼性の高い搬送装置を実現することができるが、図９に示した基板搬送部材の角度補正機構を単独で使用しても本発明の効果を奏することは勿論である。
【実施例２】
【００４１】
本発明の特徴を成す可動部材に対する角度補正機構の他の実施例を図１０に示す。本実施例は、図9に示した方式よりさらに簡単な構成で、その特徴は、角度補正機構に弾性材を用い、基板搬送部材２を可倒式にして、基板保持部材３との平行度の差を弾性力を利用して補正するようにしたころにある。
【００４２】
図10において、同図（A）は基板搬送部材２が先に説明した理由等によって傾いており、同図（B）は基板搬送部材２の傾き角度が補正された状態を示している。同図（A）の状態において、表示パネル基板１を基板保持部材３に保持した状態から基板搬送部材２に受け取るために、基板搬送部材昇降装置5を作動させて基板搬送部材２を上昇させる。しかし、図に示すように基板搬送部材２に傾きがあると、図８で説明した問題が生じる。それを回避するために、基板搬送部材２はバネ４７でベース部分に固定される構成になっている。そして、基板搬送部材２が上昇し、基板保持部材３に吸着保持された表示パネル基板１に当たる位置まで上昇すると、最初に表示パネル基板1に当たった部分が押し下げられ、支点４８を支点にして、その逆の位置の当たらない部分が上がる。
【００４３】
そして、さらに上昇を続けて基板搬送部材２の吸着面全体が基板搬送部材３に吸着固定された表示パネル基板１に均一に突き当たった時に、基板搬送部材２と基板保持部材３のパネル吸着面が限りなく平行に近づいた状態となる。そして、基板搬送部材昇降装置５をさらに上昇させることで、基板搬送部材２は、表示パネル基板1を基板保持部材３から均一に受け取ることが可能となり、その結果、表示パネル基板１にはストレスがかからず、また、回転する方向のずれの発生も回避することができる。
【００４４】
本実施例は、図9に示すようなセンサや差分回路などの部品及び制御系が無いので、比較的シンプルに構成することができる。本実施例においても、装置組み立て精度の緩和や調整時間の軽減、あるいは経時変化に伴う搬送部分のメンテナンスの軽減を図ることができる事は勿論、受け渡しを高速化した時の可動部分の追従性やバネの加重バランスなどを上手く調整することで、経済的に優位な装置とすることができる。
【実施例３】
【００４５】
図１１は、図１０の他の実施例であり、弾性体としてバネ４７に代え板バネ４９を利用し、基板搬送部材２は板バネ４９でベース部分に固定される構成になっている。その動作は図１０と同様、基板搬送部材２が基板搬送部材昇降装置５によって上昇し、基板保持部材３に吸着保持された表示パネル基板1に当たる位置まで上昇したとき、一番先に表示パネル基板1に当たった部分が押し下げられ、支点４８を中心にして、その逆の位置が持ち上がる。さらに上昇して、基板搬送部材２の吸着面全体が表示パネル基板１に均一に突き当たった時に、基板搬送部材２と基板保持部材３のパネル吸着面が限りなく平行に近づいた状態となる。そして、基板搬送部材昇降装置５をさらに上昇させることで、基板搬送部材２は、表示パネル基板１を基板保持部材３から均一の力で受け取ることが可能となり、その結果、表示パネル基板１にはストレスがかからず、また、回転する方向のずれの発生も回避することができる。
【００４６】
本実施例においても、図１０と同様な効果を奏することができ、図１０よりも板バネ４９によって構成を薄くできるため、装置の高さ方向のスペースを低く抑えることができる。
【００４７】
以上のように、本発明の各実施例によれば、表示パネル基板の受け渡し時において、表示パネル基板に割れを生じさせたり、表示パネル基板の外れや位置ずれを生じさせるなどの事故を防ぎ、受け渡し動作を安定させることができる。
【符号の説明】
【００４８】
1…表示パネル基板
2…基板搬送部材
3…基板保持部材
4…処理作業装置
5…基板搬送部材昇降装置
6…スライドステージのガイドレール
7…基板搬送部材表面の吸引孔
8…基板保持部材表面の吸引孔
9…小型基板の配置領域
10…大型基板の配置領域
11…吸着孔の下の吸引チャンバ
12…開閉バルブ
13…吸引ポンプなどから供給される負圧系
15…スライドステージのスライダ
16…処理作業を行う処理ユニット
42…吸引ポンプ
42a…基板搬送部材へのエア配管
42b…基板固定部材へのエア配管
42C…伸縮式配管
43…開閉バルブ
44…シリンダ
45…センサ
46…差分回路
47…バネ
48…支点
49…板バネ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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