(57)【要約】      （修正有）【課題】ウエハ表面の溢れた接着剤を粘着して除去するウエハラミネーターリリースフィルム保護機構を提供する。【解決手段】ウエハを置く下チャンバーと、下チャンバー上方に位置し複数の気孔を開設する上チャンバーと、上チャンバーと下チャンバーとの間に伸張しリリースフィルムの位置を絶えず交換でき、未使用のリリースフィルムを巻いて設置するコンベアローラーと、使用後のリリースフィルムを巻き取るレシービングローラーからなり、エアー供給装置は、上チャンバーに設けた気孔から下チャンバーに設置するウエハへとエアー供給を行い、上チャンバーと下チャンバーとの間に位置するリリースフィルムは、供給エアーの影響を受けウエハ表面に粘着し、供給エアーの停止後、リリースフィルムはウエハ表面から離れ、ウエハ表面の溢れた接着剤を粘着して除去する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハラミネーターリリースフィルム保護機構は、
ウエハを置く下チャンバー、該下チャンバー上方に位置し、該下チャンバーに相対して上下に移動し、該下チャンバーに接近し、或いは離れる上チャンバー、リリースフィルムの位置を絶えず交換できるリリースフィルム輸送装備、該上チャンバーの気孔と通じ、エアー供給により加圧し、リリースフィルムを連動して、ウエハ及びフィルム表面に粘着して、ラミネート及び溢れた接着剤を粘着して除去するエアー供給装置からなり、
該上チャンバーには、該下チャンバーに対応する複数の気孔を開設し、
リリースフィルムは、該上チャンバーと該下チャンバーとの間に伸張し、
該リリースフィルム輸送装備は、未使用のリリースフィルムを巻いて設置するコンベアローラ、使用後のリリースフィルムを巻き取るピックローラからなることを特徴とするウエハラミネーターリリースフィルム保護機構。
【請求項２】
前記リリースフィルム輸送装備は、リリースフィルムを伸張させ、該上チャンバーと該下チャンバーとの間で、リリースフィルムを平坦で整った状態とさせるフィルム伸張シリンダーをそれぞれ設置し、
該フィルム伸張シリンダーは、該上チャンバーと連動する状態に設置するため、該上チャンバーが上昇、下降すると、該フィルム伸張シリンダーもまた同期に上昇、下降し、
こうして、リリースフィルムは、該上チャンバーに従い、同期に上昇、下降することを特徴とする請求項１記載のウエハラミネーターリリースフィルム保護機構。
【請求項３】
前記エアー供給装置は、該上チャンバー上方に設置し、該上チャンバーに従い同期に移動し、
該気孔は、該上チャンバーを垂直に貫通する形態を呈することを特徴とする請求項１記載のウエハラミネーターリリースフィルム保護機構。
【請求項４】
前記ウエハラミネーターリリースフィルム保護機構は、コンベアローラを駆動する直流モーター、ピックローラを駆動するトルクモーターを備えることを特徴とする請求項１記載のウエハラミネーターリリースフィルム保護機構。
【請求項５】
前記ウエハラミネーターリリースフィルム保護機構は、該上チャンバーと該下チャンバーの両側に位置し、該上チャンバーの下降時には横に移動し、該上チャンバーと該下チャンバーとに嵌り固定する安定固定装置を備えることを特徴とする請求項１記載のウエハラミネーターリリースフィルム保護機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハラミネーターリリースフィルム保護機構に関し、特にウエハのラミネート作業に応用する保護装置で、リリースフィルムを利用して、ラミネート作業を行うウエハのフィルムに接着剤の溢れが生じた部位に対して粘着して排除し、後に続くラミネート作業の歩留りを一定に保つことができるウエハラミネーターリリースフィルム保護機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のウエハ裁断装置は、長方形のフィルムを利用し、フィルムをウエハ上に粘着させ、次にカッターにより余分な部分を除去していた。
カッターとウエハとの接触を回避するため、裁断するフィルムは、ウエハの面積より大きくなければならない。
しかし、ウエハの製造工程に対応し、ウエハの外周囲にはフィルムを粘着しない部分を残す必要がある。
【０００３】
中華民国特許出願第０９６２０２９５４号「ウエハのフィルム切断機」は、水平状の台座上に、枠フレーム体を設置し、該台座上には、上接着裁断機構を設置し、該枠フレーム体下方にハング状に設置する。
該上接着裁断機構は、枠フレーム体に対応し、数個の可動棒を利用して上下移動が可能である。
該上接着裁断機構底部には、上外環状体、内環状体、環状カッターを設置する。
下接着裁断機構は、該上接着裁断機構下方の台座位置に設置し、底板、下外環状体、プットプレートからなる。
フィードコンポーネントは、該下接着裁断機構の片側に設置し、フィルムロールを設置し、原料を供給する。
アウトワードコンポーネントは、該下接着裁断機構の該フィードコンポーネントに対応する反対側に設置し、フィルムロールを巻き取ることができる。
従来の裁断設備は、該上接着裁断機構の下方への移動を利用する。
該上外環状体は、先ず、フィルムを下方へと押し、張った状態とし、しかも、該内環状体は下降して、ウエハを置いたプットプレート上に向かう。
これにより、フィルムは、ウエハと枠フレーム頂点面に粘着され、同時に、該内環状体外周囲の環状カッターは下降し、フィルムを切断する。
続いて、エアー供給コンポーネントを利用して、フィルムをウエハ上に緊密に接着させる。
【０００４】
日本特開昭63-096907号特許「半導体保護膜の自動切断装置」は、リール装置を利用し、フィルムを輸送し、カットしようとするフィルムを、ウエハ表面上へと輸送する。
次に、下ピストンを利用してウエハを支え、該下ピストンが上から下へと作動することで、ウエハ外周縁の円形ブレードが突出する。
さらに、上ピストンが下へと押し、フィルムを裁断し、裁断されたフィルムは、ウエハと共に傍らへと移動する。
この種の従来の方式は、ウエハ外周縁の円形ブレードを利用して、中央にウエハを積載する下ピストンを利用し、ウエハをフィルムと共に下方へと移動させ、上ピストンの下方への作動を対応させ、フィルムを裁断するものである。
【０００５】
前記２種のウエハ保護膜の裁断装置において、裁断完成後のフィルムのその後の動作は、先ずプレ接着を行い、その後加圧し、ウエハ上に緊密に接着させる。
しかし、裁断完成及びプレ接着後のウエハにおいて、その保護膜表面には、接着剤の溢れが発生し易く、特に、裁断後の保護膜外周囲に多い。
もし、排除作業を行わなければ、この後に続く、保護膜とウエハとの圧合作業に影響を及ぼし、歩留りに悪い影響を与えてしまう。
本発明は、ウエハがプレ接着を完成後に、ラミネート作業を行う保護装置に応用し、リリースフィルムを用いて、ウエハのフィルム部位の接着剤の溢れが生じた部位に対して、粘着して排除を行い、後に続くラミネート作業の歩留りを一定に保つことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】中華民国特許出願第０９６２０２９５４号明細書
【特許文献２】日本特開昭63-096907号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明が解決しようとする課題は、ウエハのラミネート作業に応用する保護装置で、リリースフィルムを利用して、ラミネート作業を行うウエハのフィルムに接着剤の溢れが生じた部位に対して粘着して排除し、後に続くラミネート作業の歩留りを一定に保つウエハラミネーターリリースフィルム保護機構を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明は下記のウエハラミネーターリリースフィルム保護機構を提供する。
ウエハラミネーターリリースフィルム保護機構は、下チャンバー、上チャンバー、エアー供給装置、リリースフィルム輸送装備、安定固定装置をからなり、
該下チャンバーには、ウエハを置き、
該上チャンバーは、該下チャンバー上方に位置し、しかも、該上チャンバーは、該下チャンバーに相対して上下に移動し、該下チャンバーに接近し、或いは離れ、これにより該チャンバーにウエハを置き、或いは分離し、
しかも、該上チャンバーは、エアー供給装置の気体を該下チャンバー方向へと噴き出す複数の気孔を垂直に開設し、該エアー供給装置は、該上チャンバー上方に設置し、該上チャンバーと同期に上下に移動し、
該リリースフィルム輸送装備は、コンベアローラ、ピックローラからなり、
該コンベアローラは、ウエハ表面の溢れた接着剤を吸着するリリースフィルムを巻いて設置し、
該リリースフィルム輸送装備は、該リリースフィルムに、該上チャンバーと該下チャンバーとの間を通過させ、該コンベアローラと該ピックローラのローリングにより、該リリースフィルムのウエハに対応する位置を変え、
該ピックローラは、使用後のリリースフィルムを巻き取り、
該リリースフィルム輸送装備は、リリースフィルムを伸張させ、該上チャンバーと該下チャンバーとの間で、リリースフィルムを平坦で整った状態とさせるフィルム伸張シリンダーをそれぞれ設置し、
該フィルム伸張シリンダーは、該上チャンバーと連動する状態に設置するため、該上チャンバーが上昇、下降すると、該フィルム伸張シリンダーもまた同期に上昇、下降し、こうして、リリースフィルムは、該上チャンバーに従い、同期に上昇、下降し、
該コンベアローラは、直流モーターに駆動され、該ピックローラは、トルクモーターに駆動され、
該安定固定装置は、該上チャンバーと該下チャンバーの両側に位置し、該上チャンバーの下降時には横に移動し、該上チャンバーと該下チャンバーとに嵌り固定し、
これにより、該エアー供給装置は、該上チャンバーの気孔から該下チャンバーに設置するウエハにエアー供給を行い、該上チャンバーと該下チャンバーとの間に位置するリリースフィルムは、加圧エアー供給の影響を受け、ウエハ表面に粘着し、
エアー供給が停止すると、リリースフィルムはウエハ及びフィルム表面から離れた形態を回復し、ウエハ表面の溢れた接着剤を粘着して除去することができる。
すなわち本発明は下記の特徴を有する。
（１）ウエハラミネーターリリースフィルム保護機構は、
ウエハを置く下チャンバー、該下チャンバー上方に位置し、該下チャンバーに相対して上下に移動し、該下チャンバーに接近し、或いは離れる上チャンバー、リリースフィルムの位置を絶えず交換できるリリースフィルム輸送装備、該上チャンバーの気孔と通じ、エアー供給により加圧し、リリースフィルムを連動して、ウエハ及びフィルム表面に粘着して、ラミネート及び溢れた接着剤を粘着して除去するエアー供給装置からなり、
該上チャンバーには、該下チャンバーに対応する複数の気孔を開設し、
リリースフィルムは、該上チャンバーと該下チャンバーとの間に伸張し、
該リリースフィルム輸送装備は、未使用のリリースフィルムを巻いて設置するコンベアローラ、使用後のリリースフィルムを巻き取るピックローラからなることを特徴とするウエハラミネーターリリースフィルム保護機構。
（２）前記リリースフィルム輸送装備は、リリースフィルムを伸張させ、該上チャンバーと該下チャンバーとの間で、リリースフィルムを平坦で整った状態とさせるフィルム伸張シリンダーをそれぞれ設置し、
該フィルム伸張シリンダーは、該上チャンバーと連動する状態に設置するため、該上チャンバーが上昇、下降すると、該フィルム伸張シリンダーもまた同期に上昇、下降し、
こうして、リリースフィルムは、該上チャンバーに従い、同期に上昇、下降することを特徴とする（１）記載のウエハラミネーターリリースフィルム保護機構。
（３）前記エアー供給装置は、該上チャンバー上方に設置し、該上チャンバーに従い同期に移動し、
該気孔は、該上チャンバーを垂直に貫通する形態を呈することを特徴とする（１）記載のウエハラミネーターリリースフィルム保護機構。
（４）前記ウエハラミネーターリリースフィルム保護機構は、コンベアローラを駆動する直流モーター、ピックローラを駆動するトルクモーターを備えることを特徴とする（１）記載のウエハラミネーターリリースフィルム保護機構。
（５）前記ウエハラミネーターリリースフィルム保護機構は、該上チャンバーと該下チャンバーの両側に位置し、該上チャンバーの下降時には横に移動し、該上チャンバーと該下チャンバーとに嵌り固定する安定固定装置を備えることを特徴とする（１）記載のウエハラミネーターリリースフィルム保護機構。
【発明の効果】
【０００９】
本発明ウエハラミネーターリリースフィルム保護機構は、ラミネート作業を行うウエハに対して、溢れた接着剤の粘着と除去を行うことができ、ウエハ上の溢れた接着剤がラミネーター機器に粘着し、これが後続のウエハのラミネート作業の歩留りに悪影響を及ぼすことを回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の上チャンバーがフィルム伸張シリンダーの同期上昇、下降作動を連動する様子を示す模式図である。
【図２】本発明の上チャンバーがフィルム伸張シリンダーの同期上昇、下降作動を連動する様子を示す模式図である。
【図３】本発明のウエハ表面の溢れた接着剤を粘着して除去する作業プロセスを示す模式図である。
【図４】本発明のウエハ表面の溢れた接着剤を粘着して除去する作業プロセスを示す模式図である。
【図５】本発明のウエハ表面の溢れた接着剤を粘着して除去する作業プロセスを示す模式図である。
【図６】本発明のウエハ表面の溢れた接着剤を粘着して除去する作業プロセスを示す模式図である。
【図７】本発明のウエハ表面の溢れた接着剤を粘着して除去する作業プロセスを示す模式図である。
【図８】本発明の溢れた接着剤を粘着して除去する動作の局部拡大模式図である。
【図９】本発明の溢れた接着剤を粘着して除去する動作の局部拡大模式図である。
【図１０】本発明の溢れた接着剤を粘着して除去する動作の局部拡大模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下に図面を参照しながら本発明を実施するための最良の形態について詳細に説明する。
【実施例】
【００１２】
ウエハラミネーターリリースフィルム保護機構は、ウエハのラミネート作業に応用する保護装置で、リリースフィルムを利用して、ラミネート作業を行うウエハのフィルムに接着剤の溢れが生じた部位に対して粘着して排除し、後に続くラミネート作業の歩留りを一定に保つことができる。
【００１３】
図１、２に示すように、本発明ウエハラミネーターリリースフィルム保護機構は、下チャンバー1、上チャンバー2、エアー供給装置3、リリースフィルム輸送装備4からなる。
【００１４】
該下チャンバー1には、ウエハを置く。
該上チャンバー2は、該下チャンバー1上方に位置し、しかも、該上チャンバー2は、該下チャンバー1に相対して上下に移動し、該下チャンバー1に接近し、或いは離れる。  
こうして、該下チャンバー1にウエハを置く、或いは分離することができる。
該上チャンバー2には、エアー供給装置3の、気体を該下チャンバー1方向へと加圧して噴出す複数の気孔21を垂直に開設する(図５参照)，
【００１５】
該エアー供給装置3は、該上チャンバー2上方に設置し、該上チャンバー2と同期に上下に移動する。
該リリースフィルム輸送装備4は、コンベアローラ41及びピックローラ42からなる。
該コンベアローラ41は、ウエハ表面の溢れた接着剤を吸着するリリースフィルムを巻いて設置する。
該リリースフィルム輸送装備4は、該リリースフィルムに、該上チャンバー2と該下チャンバー1との間を通過させ、該コンベアローラ41及び該ピックローラ42のローリングにより、該リリースフィルムのウエハに対応する位置を変える。
該ピックローラ42は、使用後のリリースフィルムを巻き取る。
【００１６】
該リリースフィルム輸送装備4は、該上チャンバー2と該下チャンバー1との間に、両側に距離を隔ててフィルム伸張シリンダー43をそれぞれ設置する（図３参照）。
該伸張シリンダー43は、リリースフィルムを伸張させ、該上チャンバー2と該下チャンバー1との間で、リリースフィルムを平坦で整った状態とさせることができる。
該フィルム伸張シリンダー43は、該上チャンバー2と連動する状態に設置するため、該上チャンバー2が上昇、下降すると、該フィルム伸張シリンダー43もまた同期に上昇、下降する。
こうして、リリースフィルムは、該上チャンバー2に従い、同期に上昇、下降する（図１、２参照）。
該コンベアローラ41は、直流モーター5（図３参照）に駆動され、該ピックローラ42は、トルクモーター6（図３参照）により駆動される。
【００１７】
該安定固定装置7は、該上チャンバー2と該下チャンバー1の両側に位置し、該上チャンバー2の下降時には横に移動し、該上チャンバー2と該下チャンバー1とに嵌り固定する。
これにより、該エアー供給装置3は、該上チャンバー2の気孔21から該下チャンバー1に設置するウエハへと、加圧エアーを供給する。
該上チャンバー2と該下チャンバー1との間に位置するリリースフィルムは、加圧エアー供給の影響を受け、ウエハ及びフィルム表面に粘着する。
エアー供給の停止後、リリースフィルムは、ウエハ表面から離れた形態を回復し、ウエハ表面の溢れた接着剤を粘着して除去することができる。
【００１８】
図３〜７に示すように、本発明ウエハラミネーターリリースフィルム保護機構が、ウエハ表面の溢れた接着剤を粘着して除去するプロセスにおいて、ラミネート動作を完成したウエハは、該下チャンバー1に位置する(図３参照)。
該上チャンバー2は、下降し、該下チャンバー1の位置に接近する(図４参照)。
該エアー供給装置3は、気体を、該気孔21から噴出し、リリースフィルムを連動して、ウエハ表面に粘着させる(図５参照)。
エアー供給作業の完成後に、エアー供給を停止すると、リリースフィルムは、ウエハ表面から分離した形態を回復する。
こうして、リリースフィルムにより、ウエハ表面の溢れた接着剤を粘着して除去する(図６参照)。
最後に、該上チャンバー2が上昇し、ウエハの交換を行い、及び該コンベアローラ41及び該ピックローラ42のローリングにより、リリースフィルムを未使用の部位に交換する(図７参照)。
【００１９】
図８〜１０は、溢れた接着剤を粘着して除去する動作を示す。
図８は、図４の状態に対応し、該上チャンバー2が下降し、該下チャンバー1の位置に接近する様子を示す。
図９は、図５の状態に対応し、エアー供給により、リリースフィルムを連動して、ウエハ表面に粘着させる様子を示す。
図１０は、図６の状態に対応し、エアー供給を停止し、リリースフィルムがウエハの接着剤が溢れた部位を粘着して除去する様子を示す。
【００２０】
上記したように、本発明ウエハラミネーターリリースフィルム保護機構は、ラミネート作業を行うウエハに対して、溢れた接着剤の粘着と除去を行うことができ、ウエハ上の溢れた接着剤がラミネーター機器に粘着し、これが後続のウエハのラミネート作業の歩留りに悪影響を及ぼすことを回避することができる。
【００２１】
上記の本発明名称と内容は、本発明技術内容の説明に用いたのみで、本発明を限定するものではない。本発明の精神に基づく等価応用或いは部品（構造）の転換、置換、数量の増減はすべて、本発明の保護範囲に含むものとする。
【産業上の利用可能性】
【００２２】
本発明は特許請求の要件である新規性を備え、従来の同類製品に比べ十分な進歩を有し、実用性が高く、社会のニーズに合致しており、産業上の利用価値は非常に大きい。
【符号の説明】
【００２３】
1  下チャンバー
2  上チャンバー
21  気孔 
3  エアー供給装置
4  リリースフィルム輸送装備
41  コンベアローラ
42  ピックローラ
43  フィルム伸張シリンダー
5  直流モーター
6  トルクモーター
7  安定固定装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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