(57)【要約】【課題】搬送物の姿勢を変更できるものでありながら、搬送能力の高い搬送装置を提供すること。【解決手段】制御手段が姿勢変更手段２４における保持部２５の保持作動、移動手段２７の移動作動、及び、回転手段の回転作動を制御して、非接触状態で支持された状態の搬送物Ｗを保持位置Ｐ３において保持部２５により保持し、移動手段２７により保持部２５を移動させて搬送方向に沿って保持位置Ｐ３より下流側の保持解除位置Ｐ４まで非接触状態で支持された状態の搬送物Ｗを搬送する間に、移動手段２７により保持部２５を移動させながら回転手段により保持部２５を回転させて保持している搬送物Ｗの搬送姿勢を縦軸心周りに所定角度回転させ、保持解除位置Ｐ４にて搬送物Ｗの保持を解除する搬送装置。【選択図】図１１
2011219238.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送物の下面に向けて空気を供給して水平姿勢又は略水平姿勢で搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段及び前記送風式支持手段にて支持された搬送物に対して搬送方向の推進力を付与する推進力付与手段を備える搬送手段と、
前記搬送手段にて搬送される搬送物を縦軸心周りに回転させて搬送物の搬送姿勢を変更する姿勢変更手段と、
前記搬送手段及び前記姿勢変更手段の作動を制御する制御手段とが設けられた搬送装置であって、
前記姿勢変更手段が、非接触状態で支持された搬送物の平面視での複数の端部に対して係合することにより搬送物を保持自在な保持部と、前記保持部を縦軸心周りに回転させる回転手段と、前記保持部を搬送方向に沿って移動させる移動手段とを備えて構成され、
前記制御手段が、非接触状態で支持された状態の搬送物を保持位置において前記保持部により保持し、前記移動手段により前記保持部を移動させて搬送方向に沿って前記保持位置より下流側の保持解除位置まで非接触状態で支持された状態の搬送物を搬送する間に、前記移動手段により前記保持部を移動させながら前記回転手段により前記保持部を回転させて保持している搬送物の搬送姿勢を縦軸心周りに所定角度回転させ、前記保持解除位置にて搬送物の保持を解除するべく、前記保持部の保持作動、前記移動手段の移動作動、及び、前記回転手段の回転作動を制御するように構成されている搬送装置。
【請求項２】
前記保持部が、前記搬送物の端部に対して係合する係合姿勢と前記端部に対する係合が解除される解除姿勢とに横軸心周りの揺動により姿勢切換自在な複数の係合作用部を備えて構成され、
前記制御手段が、前記保持位置及び前記保持解除位置において前記係合作用部の姿勢切換作動を制御するように構成されている請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
前記搬送手段が、複数の搬送物を順次搬送するように構成され、
前記移動手段が、前記保持部を前記保持位置と前記保持解除位置との間で前記搬送手段の搬送方向に沿って往復移動させるように構成され、
前記保持位置よりも上流側に設定された導入位置から前記保持位置まで搬送物を前記搬送手段の搬送方向に沿って搬送物の搬送姿勢を維持しながら搬送する導入搬送手段が設けられ、
前記制御手段が、搬送物を保持している保持状態の前記保持部を前記保持位置から前記保持解除位置へ移動させた後、搬送物を保持していない非保持状態の前記保持部を前記保持位置に復帰移動させるべく、前記姿勢変更手段の作動を繰り返し制御するように構成され、かつ、前記保持状態の保持部の前記保持位置から前記保持解除位置への移動を開始させた後、前記非保持状態の保持部の前記保持位置への復帰移動を終了させるまでに、後続する搬送物を前記保持位置に搬送するべく、前記導入搬送手段の作動を制御するように構成されている請求項１又は２記載の搬送装置。
【請求項４】
前記制御手段が、前記保持部の回転と前記保持部の前記保持位置からの移動とを同時又は略同時に開始させるように、前記回転手段及び前記移動手段の作動を制御するように構成されている請求項３記載の搬送装置。
【請求項５】
前記搬送手段が、複数の搬送物を順次搬送するように構成され、
前記移動手段が、前記保持部を前記保持位置と前記保持解除位置との間で前記搬送手段の搬送方向に沿って往復移動させるように構成され、
前記保持解除位置から前記保持解除位置よりも下流側に設定された導出位置まで搬送物を前記搬送手段の搬送方向に沿って搬送物の搬送姿勢を維持しながら搬送する導出搬送手段が設けられ、
前記制御手段が、搬送物を保持している保持状態の前記保持部を前記保持位置から前記保持解除位置へ移動させた後、搬送物を保持していない非保持状態の前記保持部を前記保持位置に復帰移動させるべく、前記姿勢変更手段の作動を繰り返し制御するように構成され、かつ、前記保持状態の保持部が前記保持解除位置に位置した状態で保持している搬送物を解放させた後、後続の搬送物を保持している前記保持状態の保持部を前記保持解除位置に移動させるまでに、前記保持部から解放された搬送物を前記保持解除位置から搬送するべく、前記導出搬送手段の作動を制御するように構成されている請求項１〜４の何れか１項記載の搬送装置。
【請求項６】
前記制御手段が、前記保持部の回転と前記保持部の前記保持解除位置までの移動とを同時又は略同時に終了させるように、前記回転手段及び前記移動手段の作動を制御するように構成されている請求項５記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送物の下面に向けて空気を供給して水平姿勢又は略水平姿勢で搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段及び前記送風式支持手段にて支持された搬送物に接触して搬送物に搬送方向の推進力を付与する推進力付与手段を備える搬送手段と、前記搬送手段にて搬送される搬送物を縦軸心周りに回転させて搬送物の搬送姿勢を変更する姿勢変更手段と、前記搬送手段及び前記姿勢変更手段の作動を制御する制御手段とが設けられた搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記搬送装置は、送風式支持手段にて搬送物を非接触状態に支持し、推進力付与手段にて搬送方向の推進力を接触状態で搬送物に付与して、搬送物を搬送するものである。搬送物として、例えば、液晶モニタ等のＦＰＤ用のガラス基板を搬送する場合には、ガラス基板の搬送方向を前後方向としたときの左右中央部分を送風式支持手段にて非接触状態で支持し、搬送方向を前後方向としたときの左右両端部に対して推進力付与手段を接触させて推進力を付与することで、ガラス基板における製品化される左右中央部分を保護しながら搬送するようになっている。
【０００３】
そして、搬送物に対する加工等の処理を行う処理装置間で搬送物を搬送する場合において、前工程の処理装置と後工程の処理装置とで、搬送装置に対する搬送物の授受姿勢が異なるときなどのように、搬送装置にて搬送される搬送物の搬送姿勢を変更する必要がある場合がある。このような搬送物の姿勢を変更できる搬送装置の従来例として、搬送装置で搬送手段にて搬送される搬送物を縦軸心周りに回転させて搬送物の搬送姿勢を変更する姿勢変更手段が設けられたものがある（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
従来では、特許文献１に記載されているように、搬送物を回転させて搬送姿勢を変更する回転位置が設定され、搬送物の底面に吸着して搬送物を保持する吸着部を回転位置において縦軸心周りに回転自在にかつ昇降自在に設けて姿勢変更手段を構成している。そして、吸着部を下降位置に下降させた状態で回転位置に搬送物を搬送させて停止させた後、吸着部を上昇位置に上昇させて吸着部にて搬送物を吸着保持させ、この状態で吸着部を縦軸心周りに設定角度回転させることで、搬送物を回転させて搬送姿勢を変更する。そして、搬送物の回転が完了した後、吸着部による吸着保持を解除するとともに、吸着部を下降位置に下降させてから搬送物の搬送を再開するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−１４５６５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来では、搬送物を搬送方向で一定の回転位置に停止させた状態で吸着部にて吸着保持して回転させて姿勢を変更するので、姿勢変更に要する時間を短縮しようとして吸着部の回転速度を速くすると、回転速度の加速時及び減速時に搬送物の回転中心に生じる慣性トルクが吸着部の吸着保持力より大きくなって、吸着部による搬送物の保持が外れてしまい搬送物の回転を制御できなくなるおそれがある。そのため、吸着部を低速で回転させる必要があり、搬送物の姿勢変更に時間を要していた。また、姿勢変更手段により搬送物を回転させている間は、搬送物は回転位置に停止したままであるので、搬送手段による搬送物の搬送方向に沿う移動が滞ってしまう。このように、姿勢変更手段を設けて搬送物の姿勢を変更できるようにすると搬送装置としての搬送能力が低下するという問題があった。
【０００７】
本発明は上記実情に鑑みて為されたものであって、その目的は、搬送物の姿勢を変更できるものでありながら、搬送能力の高い搬送装置を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この目的を達成するために、本発明に係る搬送装置の第１特徴構成は、搬送物の下面に向けて空気を供給して水平姿勢又は略水平姿勢で搬送物を非接触状態で支持する送風式支持手段及び前記送風式支持手段にて支持された搬送物に対して搬送方向の推進力を付与する推進力付与手段を備える搬送手段と、前記搬送手段にて搬送される搬送物を縦軸心周りに回転させて搬送物の搬送姿勢を変更する姿勢変更手段と、前記搬送手段及び前記姿勢変更手段の作動を制御する制御手段とが設けられた搬送装置において、
前記姿勢変更手段が、非接触状態で支持された搬送物の平面視での複数の端部に対して係合することにより搬送物を保持自在な保持部と、前記保持部を縦軸心周りに回転させる回転手段と、前記保持部を搬送方向に沿って移動させる移動手段とを備えて構成され、前記制御手段が、非接触状態で支持された状態の搬送物を保持位置において前記保持部により保持し、前記移動手段により前記保持部を移動させて搬送方向に沿って前記保持位置より下流側の保持解除位置まで非接触状態で支持された状態の搬送物を搬送する間に、前記移動手段により前記保持部を移動させながら前記回転手段により前記保持部を回転させて保持している搬送物の搬送姿勢を縦軸心周りに所定角度回転させ、前記保持解除位置にて搬送物の保持を解除するべく、前記保持部の保持作動、前記移動手段の移動作動、及び、前記回転手段の回転作動を制御するように構成されている点にある。
【０００９】
本特徴構成によれば、制御手段により搬送手段が制御されることで、搬送物は、送風式支持手段に非接触状態で支持された状態で推進力付与手段による推進力にて搬送方向に搬送される。搬送装置は姿勢変更手段を備えており、この姿勢変更手段は、搬送物の平面視での複数の端部に対して係合することにより搬送物を保持する保持部と、保持部を縦軸心周りに回転させる回転手段と、保持部を搬送方向に沿って移動させる移動手段とを備えている。そして、制御手段が姿勢変更手段の作動を制御することで、保持位置において搬送物の平面視での複数の端部に対して保持部を係合させることにより搬送物を保持部に保持させ、回転手段及び移動手段より、搬送物を係合保持している保持部を移動させながら回転させて、搬送物の搬送姿勢を縦軸心周りに所定角度回転させることができる。
【００１０】
このように、搬送物の平面視での複数の端部に対して係合することにより搬送物を保持している保持部を回転することで保持された搬送物を縦軸心周りに回転させることができるので、保持部の回転速度を速くしても保持部から搬送物が外れ難く、保持部にて確実に保持した状態で搬送物を高速で回転させることができる。そのため、搬送物の姿勢変更を短時間で行うことができる。
【００１１】
しかも、制御手段は、回転手段と移動手段を制御して、保持部を回転させながら搬送方向に沿って移動させるので、搬送物は、保持位置にて保持部に保持された後、回転しながら搬送方向に移動して、保持解除位置にて保持部による保持が解除されることになる。つまり、搬送物の搬送姿勢が変更される間も搬送手段による搬送方向での移動が滞ることがなく、搬送物は、搬送姿勢が変更されている間も搬送方向に沿って移動されることになるので、搬送装置としての搬送能力が高いものとなる。
【００１２】
このように、搬送物の姿勢を変更できるものでありながら、搬送能力の高い搬送装置を得るに至った。
【００１３】
本発明に係る搬送装置の第２特徴構成は、前記保持部が、前記搬送物の端部に対して係合する係合姿勢と前記端部に対する係合が解除される解除姿勢とに横軸心周りの揺動により姿勢切換自在な複数の係合作用部を備え、この係合作用部が前記係合姿勢になると搬送物を保持し、前記解除姿勢になると搬送物を解放するように構成され、前記制御手段が、前記保持位置及び前記保持解除位置において前記係合作用部の姿勢切換作動を制御するように構成されている点にある。
【００１４】
本特徴構成によれば、搬送物の平面視での複数の端部に対して係合する複数の係合作用部を横軸心周りに揺動させることにより係合姿勢と解除姿勢とにその姿勢を切り換えることで、搬送物の保持と保持解除の動作を行うことができる。そのため、保持部の一部分である複数の係合作用部の姿勢を変更させるだけで済むので、保持部全体を昇降させる等の大掛かりな動作を伴うことなく、簡素な構成でかつ短時間で搬送物の保持及び保持解除を行うことができる。したがって、姿勢変更手段のコンパクト化を図ることができるとともに、保持部による搬送物の保持や保持解除を比較的短時間で完了させることができる。例えば、保持部による搬送物の保持や保持解除を、搬送物を停止させた状態で行う場合に、保持位置や保持解除位置での停止時間を極力短くでき、搬送能力の低下を抑制できる。
【００１５】
本発明に係る搬送装置の第３特徴構成は、前記搬送手段が、複数の搬送物を順次搬送するように構成され、前記移動手段が、前記保持部を前記保持位置と前記保持解除位置との間で前記搬送手段の搬送方向に沿って往復移動させるように構成され、前記保持位置よりも上流側に設定された導入位置から前記保持位置まで搬送物を前記搬送手段の搬送方向に沿って搬送物の搬送姿勢を維持しながら搬送する導入搬送手段が設けられ、前記制御手段が、搬送物を保持している保持状態の前記保持部を前記保持位置から前記保持解除位置へ移動させた後、搬送物を保持していない非保持状態の前記保持部を前記保持位置に復帰移動させるべく、前記姿勢変更手段の作動を繰り返し制御するように構成され、かつ、前記保持状態の保持部の前記保持位置から前記保持解除位置への移動を開始させた後、前記非保持状態の保持部の前記保持位置への復帰移動を終了させるまでに、後続する搬送物を前記保持位置に搬送するべく、前記導入搬送手段の作動を制御するように構成されている点にある。
【００１６】
本特徴構成によれば、保持位置よりも上流側に設定された導入位置から保持位置まで搬送物を搬送手段の搬送方向に沿って搬送物の搬送姿勢を維持しながら搬送する導入搬送手段を備えることで、搬送物を保持している保持状態の保持部を保持位置から保持解除位置へ移動させ始めた後、搬送物を保持していない非保持状態の保持部を復帰移動させて保持位置に位置させるまでに、導入搬送手段により後続する搬送物を保持位置に搬送しておくことができる。
【００１７】
つまり、複数の搬送物を順次搬送する場合に、保持部が、先行する搬送物を保持した状態で保持位置から下流側の保持解除位置に移動した後、搬送物を保持していない状態で再び保持位置に戻ってくる間に、導入搬送手段により、後続する搬送物を保持位置に搬送しておくことで、保持部が非保持状態で保持位置に戻ってきたときに、次の保持対象の搬送物が保持位置に準備されている状態にすることができる。
【００１８】
このように、導入位置から保持位置の間は導入搬送手段にて搬送して、保持位置から保持解除位置までは姿勢変更手段にて搬送するようにして搬送物を分担して搬送することで、搬送物を姿勢変更させながら効率よく搬送することができる。
【００１９】
本発明に係る搬送装置の第４特徴構成は、前記制御手段が、前記保持部の回転と前記保持部の前記保持位置からの移動とを同時又は略同時に開始させるように、前記回転手段及び前記移動手段の作動を制御するように構成されている点にある。
【００２０】
本特徴構成によれば、保持部が保持位置からの移動を開始すると同時に又は略同時に保持部の回転が開始されるので、保持部が復帰移動して保持位置に位置したときに導入搬送手段によりすでに保持位置に搬送物が搬送されていれば、直ちに搬送物を保持して搬送物の搬送姿勢を回転させ始めることができる。したがって、搬送物の回転開始までに保持体が搬送方向に沿って移動する距離を極力短くできるので、姿勢変更手段を保持体の移動方向でコンパクトに構成できる。
【００２１】
本発明に係る搬送装置の第５特徴構成は、前記搬送手段が、複数の搬送物を順次搬送するように構成され、前記移動手段が、前記保持部を前記保持位置と前記保持解除位置との間で前記搬送手段の搬送方向に沿って往復移動させるように構成され、前記保持解除位置から前記保持解除位置よりも下流側に設定された導出位置まで搬送物を前記搬送手段の搬送方向に沿って搬送物の搬送姿勢を維持しながら搬送する導出搬送手段が設けられ、前記制御手段が、搬送物を保持している保持状態の前記保持部を前記保持位置から前記保持解除位置へ移動させた後、搬送物を保持していない非保持状態の前記保持部を前記保持位置に復帰移動させるべく、前記姿勢変更手段の作動を繰り返し制御するように構成され、かつ、前記保持状態の保持部が前記保持解除位置に位置した状態で保持している搬送物を解放させた後、後続の搬送物を保持している前記保持状態の保持部を前記保持解除位置に移動させるまでに、前記保持部から解放された搬送物を前記保持解除位置から搬送するべく、前記導出搬送手段の作動を制御するように構成されている点にある。
【００２２】
本特徴構成によれば、保持解除位置から保持解除位置よりも下流側に設定された導出位置まで搬送物を搬送手段の搬送方向に沿って搬送物の搬送姿勢を維持しながら搬送する導出搬送手段を備えることで、保持部が保持解除位置に位置した状態で保持している搬送物を解放した後、後続の搬送物を保持している保持部を保持解除位置に移動させるまでに、導出搬送手段により保持部から解放された搬送物を保持解除位置から搬送しておくことができる。
【００２３】
つまり、複数の搬送物を順次搬送する場合に、保持部が、先行する搬送物を保持解除位置で開放した後、後続する次の搬送物を保持した状態で再び保持解除位置に戻ってくる間に、導出搬送手段により、先行する搬送物を導出位置に搬送しておくことで、保持部が保持解除位置に戻ってきたときに、先に開放した搬送物が保持解除位置から導出されて保持解除位置が空き状態となるように準備しておくことができる。
【００２４】
このように、保持位置から保持解除位置の間は姿勢変更手段にて搬送して、保持解除位置から導出位置までは導出搬送手段にて搬送するようにして搬送物を分担して搬送することで、搬送物を姿勢変更させながら効率よく搬送することができる。
【００２５】
本発明に係る搬送装置の第６特徴構成は、前記制御手段が、前記保持部の回転と前記保持部の前記保持解除位置までの移動とを同時又は略同時に終了させるように、前記回転手段及び前記移動手段の作動を制御するように構成されている点にある。
【００２６】
本特徴構成によれば、保持部が保持解除位置までの移動を終了すると同時に又は略同時に保持部の回転が終了されるので、導出搬送手段に保持解除位置から導出位置までの搬送を担せることで、保持部が保持解除位置に移動した後は、直ちに保持解除位置で搬送物を解放して、後続の搬送物を保持するべく保持位置に復帰移動することができる。したがって、搬送物の回転が終了した後に保持体が搬送方向に沿って移動する距離を極力短くできるので、姿勢変更手段を保持体の移動方向でコンパクトに構成できる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】搬送装置の全体平面図
【図２】搬送装置の全体側面図
【図３】搬送ユニットの斜視図
【図４】搬送ユニットの縦断断面図
【図５】姿勢変更モジュールの縦断断面図
【図６】姿勢変更手段の模式図
【図７】回転アームの端部拡大図
【図８】導入コンベヤの側面図
【図９】制御装置の制御ブロック図
【図１０】制御装置の制御動作のフローチャート
【図１１】搬送装置の搬送作用図
【図１２】搬送装置の搬送作用図
【図１３】搬送装置における各装置の動作タイミングチャート
【発明を実施するための形態】
【００２８】
本発明に係る搬送装置の実施形態について、搬送物として液晶ディスプレイ用のガラス基板Ｗを搬送する搬送装置１を例に図面に基づいて説明する。
【００２９】
図１及び図２に示すように、搬送装置１は、それぞれの搬送方向が同一方向となるように直線状に並べて配置された上流側コンベヤ２及び下流側コンベヤ３と、上流側コンベヤ２及び下流側コンベヤ３の間に配置された姿勢変更モジュール４とを備え、上流側コンベヤ２及び下流側コンベヤ３並びに姿勢変更モジュール４の作動を制御する制御装置Ｈを備えて構成されている。
【００３０】
搬送装置１は、図１及び図２で左から右に向かう方向を搬送方向として直線状の搬送経路に沿って上流側から下流側に複数のガラス基板Ｗを順次搬送し、直線状の搬送経路途中においてガラス基板Ｗを縦軸心Ｘ１周りに回転させてガラス基板Ｗの搬送姿勢を上流側コンベヤ２における上流側姿勢から下流側コンベヤ３における下流側姿勢に変更できるようになっている。本実施形態では、上流側コンベヤ２はガラス基板Ｗをその短手方向が搬送方向に沿う姿勢にて搬送し、下流側コンベヤ３はガラス基板Ｗをその長手方向が搬送方向に沿う姿勢にて搬送する。
【００３１】
上流側コンベヤ２及び下流側コンベヤ３並びに姿勢変更モジュール４により、送風式支持手段１０及び推進力付与手段１１を備えた搬送手段Ｄが構成されている。また、制御装置Ｈが、搬送手段Ｄの作動を制御する制御手段として機能する。以下、上流側コンベヤ２及び下流側コンベヤ３並びに姿勢変更モジュール４について具体的に説明する。
【００３２】
上流側コンベヤ２及び下流側コンベヤ３のそれぞれは、架台５上に設置される複数の搬送ユニット６を搬送方向に沿って並ぶ状態で配置して隣接するもの同士を互いに接続して構成されている。上流側コンベヤ２の搬送ユニット６ａと下流側コンベヤ３の搬送ユニット６ｂとは、左右方向（図１における紙面上下方向）の長さが異なる以外は基本的な構成は同じであるから、上流側コンベヤ２を構成する搬送ユニット６ａを例に搬送ユニット６について説明し、下流側コンベヤ３を構成する搬送ユニット６ｂについては説明を省略する。
【００３３】
搬送ユニット６ａは、図３及び図４に示すように、上面カバー７及び支持枠８からなるケース体９に送風式支持手段１０ａ及び推進力付与手段１１ａを備えて構成されている。
【００３４】
搬送ユニット６ａの送風式支持手段１０ａは、ガラス基板Ｗの下面に向けて清浄空気を供給する複数個のファンフィルタユニット１２と、多数の通気孔１３ａが形成されてファンフィルタユニット１２に載置支持されてガラス基板Ｗの下面に供給される清浄空気の整風を行う整風板１３とを備えて構成されている。ファンフィルタユニット１２は、支持枠８に連結固定されており、塵埃を除去する除塵フィルタ１４と、その除塵フィルタ１４を通してガラス基板Ｗの下面に向けて清浄空気を供給する電動式の送風ファン１５とを一体的に組み付けて構成されている。送風式支持手段１０ａは、ファンフィルタユニット１２を前後方向に隣接させて２つ並べ、左右方向に間隔を隔てて２つ並べた計４つのファンフィルタユニット１２を備えている。また、姿勢変更モジュール４に上流側で隣接する搬送ユニット６ａの送風式支持手段１０ａの整風板１３の下流側部分には、後述する導入コンベヤ２９が送風式支持手段１０ａより上方に突出可能なように導入コンベヤ用スリット１３ｂが搬送方向に沿って形成されている。
【００３５】
搬送ユニット６ａの推進力付与手段１１ａは、左右方向での両端部分において搬送方向に沿って並べて配置され、送風式支持手段１０ａにて非接触状態で支持されたガラス基板Ｗの左右両端部の下面に接触してガラス基板Ｗに搬送方向の推進力を付与する複数の駆動ローラ１６とこれらの駆動ローラ１６を回転駆動させる駆動ローラ用モータＭ１（図９参照）を備えている。
【００３６】
駆動ローラ１６及び駆動ローラ用モータＭ１を支持するケース体９の支持枠８は、外部空気を導入する空気導入口１７を下面に備えた底部プレート１８と、支持枠８の左右方向の両側に搬送方向に沿って固定状態で備えた左右一対の収納フレーム１９とを備えて構成されている。そして、上面カバー７が両側の収納フレーム１９にわたって備えられている。左右一対の収納フレーム１９の夫々には、駆動ローラ用モータＭ１及びこの駆動ローラ用モータＭ１の回転駆動力を複数の駆動ローラ１６に分配する伝動軸２０を備えた伝動機構が内装されている。なお、駆動ローラ１６には、ガラス基板Ｗの左右方向の両端部の側面に接当して、ガラス基板Ｗの左右方向への移動を受け止める大径部１６ａが備えられている。
【００３７】
次に、姿勢変更モジュール４の構成について説明する。図１、図２及び図５に示すように、姿勢変更モジュール４は、上面カバー２１及び平面視が略矩形状の支持枠２２からなるケース体２３に送風式支持手段１０ｂ及び推進力付与手段１１ｂを備えて構成されている。
【００３８】
姿勢変更モジュール４の送風式支持手段１０ｂは、搬送ユニット６の送風式支持手段１０ａと同様に構成されている。すなわち、図５にも示すように、ガラス基板Ｗの下面に向けて清浄空気を供給する複数個のファンフィルタユニット１２と、多数の通気孔１３ａが形成されてファンフィルタユニット１２に載置支持されてガラス基板Ｗの下面に供給される清浄空気の整風を行う整風板１３とを備えて構成されている。ファンフィルタユニット１２は、支持枠２３に連結固定されており、塵埃を除去する除塵フィルタ１４と、その除塵フィルタ１４を通してガラス基板Ｗの下面に向けて清浄空気を供給する電動式の送風ファン１５とを一体的に組み付けて構成されている。
【００３９】
姿勢変更モジュール４の送風式支持手段１０ｂは、支持枠２２に載置支持された複数のファンフィルタユニット１２を前後方向に隣接する状態で備えているが、左右方向に並べる個数は上流側から下流側に向かって２個、３個、２個と搬送方向で異なっている。上流側の端部に配列される２つのファンフィルタユニット１２と、下流側の端部に配列される２つのファンフィルタユニット１２の大きさ及び姿勢は同じであり、これらのファンフィルタユニット１２の大きさ及び姿勢は、搬送方向で中間に位置する３個のファンフィルタユニット１２の大きさ及び姿勢とは異なっている。また、後述する導入コンベヤ２９が送風式支持手段１０ｂより上方に突出可能なように姿勢変更モジュール４の送風式支持手段１０ｂにおける整風板１３の上流側部分には、姿勢変更モジュール４に上流側で隣接する搬送ユニット６ａの送風式支持手段１０ａの整風板１３に形成された導入コンベヤ用スリット１３ｂに連続するように、導入コンベヤ用スリット１３ｃが形成されている（図１参照）。
【００４０】
姿勢変更モジュール４は、ガラス基板Ｗを縦軸心Ｘ１周りに回転させる姿勢変更手段２４を備えており、姿勢変更モジュール４の推進力付与手段１１ｂは、この姿勢変更手段２４にて兼用されている。
【００４１】
図２、図５及び図６に示すように、姿勢変更手段２４は、送風式支持手段１０ｂにて非接触状態で支持されたガラス基板Ｗの平面視での複数の端部に対して係合することによりガラス基板Ｗを保持自在な保持部としての回転アーム２５と、回転アーム２５を縦軸心Ｘ１周りに回転させる回転手段としての回転部２６と、回転アーム２５を搬送方向に沿って移動させる移動手段としてのスライド部２７とを備えている。
【００４２】
図５、図６及び図７に示すように、回転アーム２５は、送風式支持手段１０ｂにて非接触状態で支持されるガラス基板Ｗの高さよりも上方側に配置されており、その両端部には、ガラス基板Ｗの平面視での一対の端部に対して係合する係合姿勢とこれらの端部に対する係合が解除される解除姿勢とに横軸心Ｙ１周りの揺動により姿勢切換自在な複数の係合作用部として、一対のチャック部２８を備えている。この一対のチャック部２８が係合姿勢になるとガラス基板Ｗを保持し、解除姿勢になるとガラス基板Ｗを解放するように構成されている。なお、詳細な説明は省略するが、一対のチャック部２８の姿勢を切り換え駆動するチャック用モータＭ２（図９参照）が、回転アーム２５の両端部に内装されている。
【００４３】
回転アーム２５は、平面視で矩形状のガラス基板Ｗの短辺の長さに対応した長さの長尺状の中空部材にて構成され、両端に設けられた一対のチャック部２８のそれぞれが、ガラス基板Ｗの長辺の略中央部分に係合することでガラス基板Ｗを保持するようになっている。一対のチャック部２８の夫々は、横軸心Ｙ１方向に並ぶ２個の当接片２８ａ・２８ｂを備えており、ガラス基板Ｗの長辺の略中央部分に対して、２個の当接片２８ａ・２８ｂが２箇所で当接することで、一対のチャック部２８が係合姿勢であると、回転アーム２５に対するガラス基板Ｗの相対回転が規制される。なお、一対のチャック部２８における当接片２８ａ・２８ｂの当接面にウレタンゴム等の弾性部材を設けて、ガラス基板Ｗと一対のチャック部２８とが弾性接触できるようにしている。
【００４４】
回転部２６は、回転アーム２５を正逆双方向に回転駆動する回転用モータＭ３（図９参照）及び回転用モータＭ３の回転駆動量を検出することで回転アーム２５の回転位置を検出する回転位置検出手段としての回転位置検出用ロータリエンコーダＲＥ１（図９参照）を備えている。
【００４５】
スライド部２７は、支持枠２２が備える前後一対の支持フレーム２２ａにより複数箇所が支持された状態で搬送方向に沿って設けられたガイドレール２７ａと、このガイドレール２７ａに案内されて、ガラス基板Ｗを保持位置Ｐ３（図１１（ｂ）参照）に位置させる後退限とガラス基板Ｗを保持解除位置Ｐ４（図１２（ｄ）参照）に位置させる前進限との間で往復移動自在に設けられたスライドブロック２７ｂと、スライドブロック２７ｂを搬送方向で上流から下流に向けて前進駆動させ、かつ、搬送方向で下流から上流に向けて後退駆動させる移動用モータＭ４（図９参照）を備えている。また、ガイドレール２７ａの前後両端部には、後退限のスライドブロック２７ｂに検出作用する保持位置検出用センサＳ３（図９参照）、及び、前進限のスライドブロック２７ｂに検出作用する保持解除位置検出用センサＳ４（図９参照）が設けられている。
【００４６】
保持位置Ｐ３では、制御装置Ｈにより回転アーム２５の一対のチャック部２８が解除姿勢から保持姿勢に姿勢変更されガラス基板Ｗが回転アーム２５にて保持される。また、保持解除位置Ｐ４では、制御装置Ｈにより回転アーム２５の一対のチャック部２８が保持姿勢から解除姿勢に姿勢変更されガラス基板Ｗが回転アーム２５から解放される。つまり、制御装置Ｈは、保持位置Ｐ３及び保持解除位置Ｐ４において一対のチャック部２８の姿勢切換作動を制御するように構成されている。
【００４７】
姿勢変更手段２４は、一対のチャック部２８をガラス基板Ｗに係合する係合姿勢に切り換えた状態で回転部２６にて回転アーム２５を縦軸心Ｘ１周りに回転させながらスライド部２７にて回転部２６を搬送方向に沿ったガイドレール２７ａに沿って移動させることで、ガラス基板Ｗを縦軸心Ｘ１周りに回転させながら、ガラス基板Ｗに対して搬送方向の推進力を付与して搬送方向に搬送する。
【００４８】
このように、姿勢変更モジュール４は、推進力付与手段１１ｂを兼用する姿勢変更手段２４を備えており、ガラス基板Ｗの姿勢変更機能に加えてガラス基板Ｗに対して接触して搬送方向への推進力を付与する機能を有している。姿勢変更モジュール４による搬送方向となる回転アーム２５の回転縦軸心Ｘ１の移動方向は、上流側コンベヤ１及び下流側コンベヤ２の搬送方向と一致しており、図１及び図２において左から右に沿う方向となっている。
【００４９】
搬送装置１には、図１、図４、図５及び図１１に示すように、保持位置Ｐ３よりも上流側に設定された導入位置Ｐ２から保持位置P３までガラス基板Wを搬送方向に沿ってガラス基板Wの搬送姿勢を維持しながら搬送する導入搬送手段として導入コンベヤ２９が設けられている。導入コンベヤ２９により搬送されるガラス基板Wの搬送下流側の端部を受け止める左右一対のストッパ４０が姿勢変更モジュール４に設けられている。
【００５０】
一対のストッパ４０は、図１に示すように、姿勢変更モジュール４の搬送方向で中間位置において左右方向に３つ並ぶファンフィルタユニット１２の間に形成される２個の隙間の夫々に１個ずつ配置されている。一対のストッパ４０は、ストッパ昇降用モータＭ９（図９参照）を正逆に回転作動させることにより、導入コンベヤ２９にて保持位置Ｐ３まで搬送されたガラス基板Wの搬送下流側の端辺の２箇所に当接して、ガラス基板Wを上流側姿勢に維持しながらガラス基板Wの搬送方向下流側への移動を規制する上昇位置と、ガラス基板Wの搬送方向下流側への移動を許容する下降位置とに、切り換え自在に構成されている（図１１及び図１２参照）。
【００５１】
また、搬送装置１には、図１に示すように、保持解除位置P４からその保持解除位置P４よりも下流側に設定された導出位置P５までガラス基板Wを搬送方向に沿ってガラス基板Wの搬送姿勢を維持しながら搬送する導出搬送手段としての導出コンベヤ３０が設けられている。導入コンベヤ２９及び導出コンベヤ３０は配置位置が異なるものの基本的な構成は同様であるので、導入コンベヤ２９を例に具体的に説明する。
【００５２】
導入コンベヤ２９は、図１、図４、図５及び図８に示すように、上流側姿勢（導出コンベヤ３０の場合は下流側姿勢）のガラス基板Ｗにおける左右方向の中央部を接触支持する導入側ベルト式推進力付与部３１を備えている。この導入側ベルト式推進力付与部３１は、図４及び図５に示すように、ファンフィルタユニット１２を左右方向に２つ並べることにより左右方向で中間位置に形成される前後方向に細長の隙間Ｇに設けられている。
【００５３】
導入側ベルト式推進力付与手段３１は、図８に示すように、搬送方向の上流側に位置して導入コンベヤ駆動用モータＭ５によって回転する駆動輪３２と、搬送方向の上流側に位置する回転自在な従動輪３３と、これら駆動輪３２と従動輪３３とに亘って巻回し、ガラス基板Ｗの下面を接触支持して推進力を付与するタイミングベルト３４と、タイミングベルト３４における送り経路部分を内周面側から支持する内支持輪３５と、これらを支持する支持枠３６とから構成されている。そして、図８に示すように、支持枠３６には、導入側ベルト式推進力付与部３１を昇降操作するための導入コンベヤ昇降用モータＭ６が前後一対設けられており、各導入コンベヤ昇降用モータＭ６の出力ギヤ３７と、ファンフィルタユニット１２の側面に形成されたラック３８とが噛み合わされている。
【００５４】
一対の導入コンベヤ昇降用モータＭ６を同期した状態で正逆方向に駆動回転させることによって、導入側ベルト式推進力付与部３１は、タイミングベルト３４の上側経路部分の外周面が上流側コンベヤ２及び姿勢変更モジュール４が備える整風板１３よりも上方に位置してガラス基板Ｗの下面に接触自在な上昇位置と、タイミングベルト３４の上側経路部分の外周面が上流側コンベヤ２及び姿勢変更モジュール４が備える整風板１３よりも下方に位置してガラス基板Ｗの下面に接触しない下降位置とに上下昇降自在に構成されている。ベルト式推進力付与部３１が上下昇降する際には、タイミングベルト３４の上側経路部分が上流側コンベヤ２及び姿勢変更モジュール４がそれぞれ備える整風板１３に連続する状態で形成されたスリット１３ｂ・１３ｃを通過することになる。
【００５５】
導出コンベヤ３０は、導出コンベヤ駆動用モータＭ７及び一対の導出コンベヤ昇降用モータＭ８を備えている（図９参照）。導出コンベヤ駆動用モータＭ７を回転駆動させることにより、導出側ベルト式推進力付与手段３９のタイミングベルトが巻回作動し、導入コンベヤ昇降用モータＭ８を同期した状態で正逆方向に駆動回転させることにより、導出側ベルト式推進力付与手段３９が昇降作動する。
【００５６】
次に、搬送装置１の制御構成について説明する。図９に示すように、搬送装置１の作動を制御する制御装置Ｈには、上流側コンベヤ２、導入コンベヤ２９、姿勢変更モジュール４、導出コンベヤ３０及び下流側コンベヤ３が備える各電動モータやファンフィルタユニット１２や各種センサ類が接続されている。
【００５７】
制御装置Ｈには、上流側コンベヤ２の最下流の搬送ユニット６ａにおける準備位置用在荷センサＳ１、各搬送ユニット６ａにおける複数の駆動ローラ用モータＭ１及び複数のファンフィルタユニット１２が接続されている。上流側コンベヤ２の準備位置用在荷センサＳ１は、上流側コンベヤ２の搬送方向で下流側の端部に設定された準備位置Ｐ１（図１１（ａ）参照）までガラス基板Ｗが搬送されたことを検出する光学式センサである。
【００５８】
同様に、制御装置Ｈには、下流側コンベヤ３の最上流の搬送ユニット６ｂにおける完了位置用在荷センサＳ２、各搬送ユニット６ｂにおける複数の駆動ローラ用モータＭ１及び複数のファンフィルタユニット１２が接続されている。下流側コンベヤ３の完了位置用在荷センサＳ２は、下流側コンベヤ３の搬送方向で上流側の端部に設定された完了位置Ｐ６（図１２（ｅ）参照）までガラス基板Ｗが搬送されたことを検出する光学式センサである。
【００５９】
制御装置Ｈには、姿勢変更モジュール４の姿勢変更手段２４における一対のチャック用モータＭ２、回転用モータＭ３、移動用モータＭ４、回転位置検出用ロータリエンコーダＲＥ１、一対のストッパ昇降用モータＭ９及び複数のファンフィルタユニット１２が接続されている。
【００６０】
制御装置Ｈには、導入コンベヤ２９の導入コンベヤ駆動用モータＭ５及び一対の導入コンベヤ昇降用モータＭ６が接続されている。同様に、制御装置Ｈには、導出コンベヤ３０の導出コンベヤ駆動用モータＭ７及び一対の導出コンベヤ昇降用モータＭ８が接続されている。
【００６１】
制御装置Ｈは、非接触状態で支持された状態のガラス基板Ｗを保持位置Ｐ３にて回転アーム２５にて保持し、スライド部２７により回転アーム２５を移動させて搬送方向に沿って保持位置Ｐ３より下流側の保持解除位置Ｐ４まで非接触状態で支持された状態のガラス基板Ｗを搬送する間に、スライド部２７により回転アーム２５を移動させながら回転部２６により回転アーム２５を回転させて保持しているガラス基板Ｗの搬送姿勢を縦軸心Ｘ１周りに９０度回転させ、保持解除位置Ｐ４にてガラス基板Ｗの保持を解除するべく、回転アーム２５の保持作動、スライド部２７の移動作動、及び、回転部２６の回転作動を制御する。
【００６２】
制御装置Ｈは、ガラス基板Ｗを保持している保持状態の回転アーム２５を保持位置Ｐ３から保持解除位置Ｐ４へ移動させた後、ガラス基板Ｗを保持していない非保持状態の回転アーム２５を保持位置Ｐ３に復帰移動させるべく、回転アーム２５の保持作動、スライド部２７の移動作動、及び、回転部２６の回転作動を繰り返し制御する。
【００６３】
制御装置Ｈは、保持状態の回転アーム２５の回転と保持状態の回転アーム２５の保持位置Ｐ３からの移動とを同時又は略同時に開始させるように、回転部２６及びスライド部２７の作動を制御するとともに、保持状態の回転アーム２５の保持位置Ｐ３から保持解除位置Ｐ４への移動を開始させた後、非保持状態の回転アーム２５の保持位置Ｐ３への復帰移動を終了させるまでに、後続するガラス基板Ｗを保持位置Ｐ３に搬送するべく、導入コンベヤ２９の作動を制御する。
【００６４】
制御装置Ｈは、保持状態の回転アーム２５の回転と保持状態の回転アーム２５の保持解除位置Ｐ４までの移動とを同時又は略同時に終了させるように、回転部２６及びスライド部２７の作動を制御するとともに、保持状態の回転アーム２５が保持解除位置Ｐ４に位置した状態で保持しているガラス基板Ｗを解放させた後、後続のガラス基板Ｗを保持している保持状態の回転アーム２５を保持解除位置Ｐ４に移動させるまでに、回転アーム２５から解放されたガラス基板Ｗを保持解除位置Ｐ４から搬送するべく、導出コンベヤ３０の作動を制御する。
【００６５】
制御装置Ｈの制御動作について図１０のフローチャートと図１１及び図１２の動作図に基づき説明する。図１０のフローチャートは、上流側コンベヤ２により準備位置Ｐ１まで搬送されてきたガラス基板Ｗが準備位置Ｐ１から完了位置Ｐ６まで搬送方向に搬送されながら姿勢変更されるまでの間に発生する上流側コンベヤ２、下流側コンベヤ３、姿勢変更モジュール４、導入コンベヤ２９、導出コンベヤ３０の動作を示している。
【００６６】
なお、図１０に示す左右３列のステップ群のうち、左列のステップ群は上流側コンベヤ２及び下流側コンベヤ３並びに導入コンベヤ２９及び導出コンベヤ３０の動作を示し、中央列のステップ群は姿勢変更手段２４の動作を示し、右列のステップ群はストッパ４０の動作を示している。
【００６７】
まず、ステップ＃１〜ステップ＃４で、準備位置用在荷センサＳ１にて準備位置Ｐ１にガラス基板Ｗが搬送されたことが検出されると、準備位置Ｐ１に位置するガラス基板Ｗを上流側コンベヤ２の最下流の搬送ユニット６ａにて導入位置Ｐ２まで上流側姿勢で搬送する（図１１（ａ）参照）。この間に、ステップ＃２で、下降位置に位置している導入コンベヤ２９の上昇を開始させ、ステップ＃３で導入コンベヤ２９の搬送作動を開始させる。これにより、上流側コンベア２により導入位置Ｐ２に搬送されたガラス基板Ｗは、直ちに導入コンベア２９に引き継がれて保持位置Ｐ３へ向けて搬送される。なお、導入コンベヤ２９を上昇位置に切り換える前に搬送作動を開始させておいてもよい。
【００６８】
保持位置Ｐ３へ搬送されるガラス基板Ｗは、上流側部分の左右両端部が上流側コンベヤ２の下流端部で案内されながら導入コンベヤ２９にて左右方向の中央部に対して搬送方向に沿う向きの推進力が付与されるため、保持位置Ｐ３まで搬送される直前までその姿勢が上流側姿勢に維持された状態で搬送される。そして、姿勢変更モジュール４が備える左右一対のストッパ４０にガラス基板Ｗの上流側の単辺の２箇所が受け止められることで、ガラス基板Ｗは、保持位置Ｐ３に位置決めされる（図１１（ｂ）参照）。
【００６９】
ステップ＃５で、導入コンベア２９の搬送作動が停止された後、ステップ＃６で導入コンベア２９が下降位置に切り換えられ、ステップ＃７でチャック部２８が解除姿勢から係合姿勢に切り換えられ、ステップ＃８で一対のストッパ４０が下降位置に切り換えられる。
【００７０】
ステップ＃９で姿勢変更手段２４によるガラス基板Ｗの姿勢変更と搬送方向に沿う移動が開始される。すなわち、回転アーム２５の縦軸心Ｘ１周りの正方向（右回り）の回転と搬送方向下流側への移動とが同時に開始される。これにより、対向する長辺の夫々に対してチャック部２８が係合することで回転アーム２５に確実に保持されたガラス基板Ｗは、縦軸心Ｘ１周りに回転することで上流側姿勢から下流側姿勢に姿勢が変更されながら、搬送方向に沿って保持解除位置Ｐ４まで移動される（図１１（ｃ）参照）。
【００７１】
ガラス基板Ｗが保持解除位置Ｐ４に接近又は到着すると、ステップ＃１０で導出コンベヤ３０が下降位置から上昇位置に切り換えられ、導出コンベヤ３０が準備される。そして、ステップ＃１１で姿勢変更手段２４によるガラス基板Ｗの姿勢変更と搬送方向に沿う移動が終了される。すなわち、回転アーム２５の縦軸心Ｘ１周りの正方向（右回り）の回転と搬送方向下流側への移動とが同時に終了される。
【００７２】
回転アーム２５の回転作動及び移動作動の停止制御は、回転アーム２５の回転位置を検出する回転位置検出用ロータリエンコーダＲＥ１並びに保持位置検出用センサＳ３及び保持解除位置検出用センサＳ４の検出情報に基づいてフィードバック制御される。
【００７３】
このように、回転アーム２５の回転作動と移動作動は同時又は略同時に開始され同時又は略同時に終了される。つまり、回転アーム２５の回転速度と移動速度とは、回転部２６が回転アーム２５を９０度回転させるときの所要時間と、スライド部２７が回転アーム２５を保持位置Ｐ３から保持解除位置Ｐ４まで移動させるときの所要時間とが略一致する関係となっている。
【００７４】
回転アーム２５の回転作動及び移動作動が停止すると、ステップ＃１２でチャック部２８が係合姿勢から解除姿勢に切り換えられ、ガラス基板Ｗは保持解除位置Ｐ４で解放される。そして、ステップ＃１３で上昇位置にある導出コンベヤ３０の搬送作動が開始され、ガラス基板Ｗは下流側姿勢を維持したまま保持解除位置Ｐ４から導出位置Ｐ５まで搬送される（図１２（ｄ）参照）。これにより、姿勢変更手段２４により保持解除位置Ｐ４に搬送されたガラス基板Ｗは、直ちに導出コンベア３０に引き継がれて導出位置Ｐ５へ向けて搬送される。なお、導出コンベヤ３０を上昇位置に切り換える前に搬送作動を開始させておいてもよい
【００７５】
搬送対象のガラス基板Ｗを保持解除位置Ｐ４まで保持していた回転アーム２５は、ステップ＃１２でチャック部２８が解除姿勢に切り換えられると、搬送対象のガラス基板Ｗを保持解除位置Ｐ４から導出位置Ｐ５に導出コンベヤ３０にて搬送している間に、後続するガラス基板Ｗの搬送のために、ステップ＃１５〜ステップ＃１６にて保持位置Ｐ３まで後退させ、かつ、保持位置Ｐ３用の回転位置まで逆回転させて、保持位置Ｐ３にて後続するガラス基板Ｗを保持できる状態に復帰させておく（図１２（ｄ）（ｅ）参照）。
【００７６】
また、ガラス基板Ｗを保持位置Ｐ３にて位置決めする一対のストッパ４０は、搬送対象のガラス基板Ｗが、ステップ＃９〜ステップ＃１０において回転アーム２５が前進及び正回転して下降位置の一対のストッパ４０の上方を通過した後にステップ＃１４で上昇位置に復帰させておく。これにより、回転アーム２５の保持位置Ｐ３への復帰移動及び逆回転が終了する前に、後続する次の搬送対象のガラス基板Ｗを準備位置Ｐ１から先行して搬送しておき、予め導入位置Ｐ３に上流側姿勢で待機させておくことができる（図１２（ｅ）参照）。
【００７７】
導出位置Ｐ５へ搬送されるガラス基板Ｗは、下流側部分の左右両端部が下流側コンベヤ３の上流端部で案内されながら導出コンベヤ３０にて左右方向の中央部に対して搬送方向に沿う向きの推進力が付与されるため、その姿勢が下流側姿勢に維持された状態で搬送される（図１２（ｄ）参照）。
【００７８】
ガラス基板Ｗが導出位置Ｐ５まで搬送されると、ステップ＃１８で導出コンベヤ３０の搬送作動が停止され、ステップ＃１９で導出コンベヤ３０が下降位置に切り換えられる。そして、導出位置Ｐ５まで搬送されたガラス基板Ｗは、ステップ＃１７〜ステップ＃２０において下流側コンベヤ３により完了位置Ｐ６まで下流側姿勢にて搬送される（図１２（ｅ）参照）。
【００７９】
以上説明した制御装置Ｈの制御動作によれば、導入コンベヤ２９、姿勢変更モジュール４及び導出コンベヤ３０が、ガラス基板Ｗを導入位置Ｐ２から導出位置Ｐ５まで分担して搬送することで、先行するガラス基板Ｗを搬送しながら後続のガラス基板Ｗをも搬送することが可能となっている。具体的には、図１３に示すように、姿勢変更モジュール２４の回転アーム２５が保持位置Ｐ３で搬送対象のガラス基板Ｗを保持して保持位置Ｐ３から移動している間に、上流側コンベヤ２により準備位置Ｐ１から導入位置Ｐ２へ後続のガラス基板Ｗを搬送し、回転アーム２５が保持位置Ｐ３に復帰するまでに、導入コンベヤ２９にて保持位置Ｐ３に後続のガラス基板を搬送して準備しておくことができる。
【００８０】
これにより、図１３のタイミングチャートに示すように、１枚のガラス基板Ｗを準備位置Ｐ１から完了位置Ｐ６まで搬送する場合の所要時間に対して、ガラス基板Ｗについての準備位置Ｐ１からの搬送が開始されてから、後続する次のガラス基板Ｗについての準備位置Ｐ１からの搬送が開始されるまでのタクトタイムを短くすることができる。例えば、図１３のタイミングチャートにおいて１マスを２秒とした場合、１枚のガラス基板Ｗについての搬送所要時間は３３秒であるのに対して、タクトタイムはおよそ１７秒となる。このように、複数のガラス基板Ｗを準備位置Ｐ１から姿勢変更させながら搬送方向に沿って順次搬送するときの搬送効率が向上する。
【００８１】
〔別実施形態〕
【００８２】
（１）回転アーム２５の移動作動の停止制御については、ガイドレール２７ａの前後両端部に保持位置検出用センサＳ３及び保持解除位置検出用センサＳ４を設けて、これらのセンサの検出情報に基づいてフィードバック制御するものを例示したが、これに限らず、スライド部２７の移動開始位置（例えば、後退限）からの移動量を検出することで回転アーム２５の搬送方向における位置又はガイドレール２７ａにおける位置を検出する移動位置検出手段を設けて、この移動位置検出手段の検出情報に基づいてフィードバック制御してもよい。また、回転位置検出用ロータリエンコーダＲＥ１の検出情報に基づいて、回転アーム２５の移動作動をフィードバック制御してもよい。この場合、回転部２６とスライドブロック２７ｂとを連動連結して、スライド部２７による回転アーム２５の移動作動と回転部２６による回転アーム２５の回転作動とを連動させることが好ましい。
【００８３】
（２）導入コンベヤ２９の搬送作動の停止制御は、図１０のステップ＃３で導入コンベア２９の搬送作動を開始してから設定時間経過後に停止するようにフィードフォワード制御してもよいし、保持位置Ｐ３にガラス基板Ｗが搬送されたことを検出する保持位置用在荷センサを設けて、この保持位置用在荷センサの検出情報に基づいて搬送作動を停止するようにフィードバック制御してもよい。
【００８４】
（３）上記実施形態では、導入位置Ｐ２から保持位置Ｐ３までガラス基板Ｗを導入コンベヤ２９にて搬送するものを例示したが、導入コンベヤ２９を設けずに、回転アーム２５の搬送方向の移動範囲を上流側に延長し、保持位置を上記実施形態における導入位置Ｐ２に相当する位置に設定して、制御装置Ｈにて、上記実施形態における導入位置Ｐ２に相当する位置にてガラス基板Ｗを保持し、その後、回転アーム２５を回転させずに搬送方向下流側に設定量移動させた後に回転アーム２５の回転を開始するように回転部２６及び移動部２７並びにチャック部２８の作動を制御してもよい。
【００８５】
（４）上記実施形態では、保持解除位置Ｐ４から導出位置Ｐ５までガラス基板Ｗを導出コンベヤ３０にて搬送するものを例示したが、導出コンベヤ３０を設けずに、回転アーム２５の搬送方向の移動範囲を下流側に延長し、保持解除位置を上記実施形態における導出位置Ｐ５に相当する位置に設定して、制御装置Ｈにて、ガラス基板Ｗを保持している回転アーム２５を上記実施形態における保持解除位置Ｐ４に相当する位置から回転させずに搬送方向下流側に設定量移動させて上記実施形態における導出位置Ｐ５に相当する位置にてガラス基板Ｗの保持を解除するように回転部２６及び移動部２７並びにチャック部２８の作動を制御してもよい。
【００８６】
（５）上記実施形態では、導入搬送手段及び導出搬送手段が、昇降自在なベルトコンベヤにて構成されたものを例示したが、これに限らず、搬送物の底面に吸着自在な吸着部を昇降自在にかつ搬送方向に移動自在に設けて構成してもよい。また、搬送物の底面における上流側端部に係合する突起を往復移動自在にかつ昇降自在に備えて構成してもよい。
さらに、搬送物の底面における上流側端部に係合する突起を、無端ベルトの巻回外方側に突出する状態で備えた突起付きベルトを備えて構成してもよい。送風式支持手段にて非接触状態で支持されている搬送物の底面よりも下方に突起付きベルトの巻回経路を配置して、突起が上部側巻回部分に位置するときに送風式支持手段にて非接触状態で支持されている搬送物の底面よりも上方に突出する高さに位置するように構成しておけば、突起付きベルトを昇降自在に設けずに済む。この場合、突起を複数設けるには、巻回方向で隣り合う突起の巻回方向に沿う間隔を導入搬送手段の搬送距離よりも長く設定すればよい。
【００８７】
（６）上記実施形態では、導入搬送手段及び導出搬送手段が搬送される搬送物より下方に配置されたものを例示したが、これに代えて、導入搬送手段又は導出搬送手段を搬送される搬送物の上方に配置してもよい。
【００８８】
（７）上記実施形態では、上流側コンベヤ２がガラス基板Ｗをその短手方向が搬送方向に沿う姿勢にて搬送し、下流側コンベヤ３がその長手方向が搬送方向に沿う姿勢にて搬送するものを例示したが、これと逆の姿勢で搬送するものであってもよい。
【００８９】
（８）上記実施形態では、保持部が、平面視矩形状の搬送物の対向する短辺に対して係合する２つの係合作用部を両端部に備えて、搬送物の短手方向に沿う姿勢にて搬送物を保持するものを例示したが、保持部の具体的構成がこれに限定されるものではない。例えば、３個以上の係合作用部を備えたものであってもよく、その一例としては、平面視矩形状の搬送物の四辺の夫々に係合する４つの係合作用部を備えたものであってもよい。
【００９０】
（９）上記実施形態では、保持部の複数の係合作用部として、搬送物の端部に対して係合する係合姿勢と端部に対する係合が解除される解除姿勢とに横軸心周りの揺動により姿勢切換自在なものを例示したが、保持部の複数の係合作用部として、その下端部が、送風式支持手段にて非接触状態で支持される搬送物の下面高さよりも下方に位置する状態で搬送物の端部に対して係合する係合高さと、その下端部が、送風式支持手段にて非接触状態で支持される搬送物の上面高さよりも上方に位置する状態で搬送物の端部に対する係合が解除される解除高さとに高さ切換自在なものでもよい。
【００９１】
（１０）
上記実施形態では、搬送物の搬送姿勢を縦軸心周りに所定角度として９０度回転させて搬送姿勢を変更するものを例示したが、搬送物を回転させる角度は適宜変更可能である。
【００９２】
（１１）
上記実施形態では、搬送装置の搬送方向が一直線に沿うものを例示したが、例えば、姿勢変更手段よりも上流側の搬送部分と下流側の搬送部分とで搬送方向が異なるものであってもよい。この場合、姿勢変更手段における移動手段は、上流側搬送方向又は下流側搬送方向の何れかに沿って保持部を移動させるように構成すればよい。
【００９３】
（１２）上記実施形態では、送風式支持手段として、ファンフィルタユニットを縦横に複数配列して構成されたものを例示したが、送風式支持手段はファンフィルタユニットを用いずに構成してもよい。例えば、清浄空気を外部から供給する空気供給路を搬送装置に接続して、送風式支持手段が外部供給路から供給される清浄空気を搬送物の下面に向けて供給するものであってもよい。
【００９４】
（１３）上記実施形態では、上流側コンベヤ２及び下流側コンベヤ３における搬送ユニット６の推進力付与手段１１ａとして、複数のガイドローラを備えたものを例示したが、推進力付与手段１１ａとしては搬送ベルトを備えたもの等、種々変更が可能である。
【００９５】
（１４）上記実施形態では、姿勢変更手段の全体が搬送手段と平面視で重なる位置に配置されたものを例示したが、これに限らず、例えば、姿勢変更手段における移動手段の一部を搬送手段の横脇に配置する等、姿勢変更手段の一部を、平面視で搬送手段の存在領域から外れた位置に配置してもよい。このような配置とすることで、搬送装置における姿勢変更手段が設けられた箇所の上下高さを低く抑えることができる。
【００９６】
具体的には、例えば、上記実施形態におけるガイドレール２７ａを姿勢変更モジュール４における横側部に配置して、ガイドレール２７ａから姿勢変更モジュール４の内方側に、水平面において搬送方向と直交する方向に沿って、延びる状態のスライドアームを、搬送方向に沿ってスライド移動自在に設けて、このスライドアームの先端部に回転アーム２５を縦軸心周りに回転自在に設けて、姿勢変更手段２４を構成してもよい。
【００９７】
また、平面視で姿勢変更モジュール４の外部に位置する縦軸心周りに揺動自在な揺動アームを設けて、この揺動アームの揺動半径方向で外方側の部分（例えば、先端部分）に回転アーム２５を縦軸心周りに回転自在（又は、縦軸心周りに回転自在かつ揺動アームに沿って移動自在）に設けて、姿勢変更手段２４を構成してもよい。この場合、制御手段は、揺動アームの揺動作動（又は、揺動アームの揺動作動及び揺動アームに沿う回転アーム２５の移動作動）を制御するように構成すればよい。
【符号の説明】
【００９８】
２、３、４  搬送手段
１０  送風式支持手段
１１  推進力付与手段
２４  姿勢変更手段
２５  保持部
２６  回転手段
２７  移動手段
２８  係合作用部
２９  導入搬送手段
３０  導出搬送手段
Ｘ１  縦軸心
Ｙ１  横軸心
Ｄ    搬送手段
Ｈ    制御手段
Ｗ    搬送物
Ｐ２  導入位置
Ｐ３  保持位置
Ｐ４  保持解除位置
Ｐ５  導出位置
【図１】
2011219238.tif 000003
【図２】
2011219238.tif 000004
【図３】
2011219238.tif 000005
【図４】
2011219238.tif 000006
【図５】
2011219238.tif 000007
【図６】
2011219238.tif 000008
【図７】
2011219238.tif 000009
【図８】
2011219238.tif 000010
【図９】
2011219238.tif 000011
【図１０】
2011219238.tif 000012
【図１１】
2011219238.tif 000013
【図１２】
2011219238.tif 000014
【図１３】
2011219238.tif 000015