(57)【要約】【課題】ウェーハ搬送装置、特に故障リスクの高いアーム部分に対し、新たにハードウェアを追加することなく、通常動作中に故障の前兆を検知し、点検時期の最適化を図ることにより、装置稼働率を向上させる。【解決手段】ベルト及びプーリーを含み、モータの回転運動を直線運動に変換するためのリンク機構を有するアーム部、及びウェーハを把持するためのハンド部を含み、前記ウェーハを搬送するロボットと、前記モータの回転位置を検出するための回転位置検出部を含むモータ制御部と、前記ハンド部の通過を検出するためのハンド部位置検出部とを含む半導体ウェーハ搬送装置の診断方法であって、前記ハンド部を前記ハンド部位置検出部にて検出した時の前記回転位置を記録し、前記回転位置の変化量に基づいて前記ベルトの劣化を検出する。【選択図】図４
2011091072.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベルト及びプーリーを含み、モータの回転運動を直線運動に変換するためのリンク機構を有するアーム部、及びウェーハを把持するためのハンド部を含み、前記ウェーハを搬送するロボットと、前記モータの回転位置を検出するための回転位置検出部を含むモータ制御部と、前記ハンド部の通過を検出するためのハンド部位置検出部とを含む半導体ウェーハ搬送装置の診断方法であって、前記ハンド部を前記ハンド部位置検出部にて検出した時の前記回転位置を記録し、前記回転位置の変化量に基づいて前記ベルトの劣化を検出することを特徴とする半導体ウェーハ搬送装置の診断方法。
【請求項２】
前記回転位置を搬送動作毎に記録することを特徴とする請求項１記載の半導体ウェーハ搬送装置の診断方法。
【請求項３】
前記ベルトの劣化を検出した場合に、表示部に警告を表示する、又は上位装置である半導体製造装置に警告信号を伝達することを特徴とする請求項１又は２に記載の半導体ウェーハ搬送装置の診断方法。
【請求項４】
前記変化量の時系列データを保存し、調査及び解析に利用することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の半導体ウェーハ搬送装置の診断方法。
【請求項５】
ベルト及びプーリーを含み、モータの回転運動を直線運動に変換するためのリンク機構を有するアーム部、及びウェーハを把持するためのハンド部を含み、前記ウェーハを搬送するロボットと、前記モータの回転位置を検出するための回転位置検出部を含むモータ制御部とを含む半導体ウェーハ搬送装置であって、前記ハンド部の通過を検出するためのハンド部位置検出部と、前記ハンド部を前記ハンド部位置検出部にて検出した時の前記回転位置を記録する記録部とを含むことを特徴とする半導体ウェーハ搬送装置。
【請求項６】
前記回転位置が閾値に達していることを判断する判断部を有することを特徴とする請求項５記載の半導体ウェーハ搬送装置。
【請求項７】
前記判断部が、前記回転位置が前記閾値に達していると判断した時に、前記ロボットの動作を即停止するか、警告のみを行って前記ロボットの動作は継続するかを選択可能としたことを特徴とする請求項５又は６に記載の半導体ウェーハ搬送装置。
【請求項８】
前記ハンド部位置検出部がロードポートに設置したウェーハ飛び出しセンサであることを特徴とする請求項５〜７のいずれか一項に記載の半導体ウェーハ搬送装置。
【請求項９】
前記回転位置検出部が前記モータに接続したエンコーダであることを特徴とする請求項５〜８のいずれか一項に記載の半導体ウェーハ搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ搬送装置の診断方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハ搬送装置は、装置外部から供給されるウェーハ収納容器（以下、ＦＯＵＰと略記する。）からウェーハを取り出し、半導体製造装置に供給するとともに、半導体製造装置から排出されたウェーハを取り出し、ＦＯＵＰへ収納する。
【０００３】
半導体工場において、装置稼働率の向上、及びメンテナンス時間の短縮は、生産効率を高めるための重要な課題となっている。また、装置の予期せぬ故障は、半導体工場全体のスケジュールに影響を及ぼし、生産効率をダウンさせる要因となる。
【０００４】
一般に、半導体ウェーハ搬送装置は、アームを伸縮させてウェーハ搬送を行っており、アームは常に可動しているため、アーム故障のリスクは高い。これを防止する手段として、構成部品の磨耗、劣化等を確認し事前に修理することが有効であるが、一般に装置は機構部がカバー等で覆われており、通常の動作中は目視確認できない状態である。
【０００５】
そのため、装置を停止させ、場合によっては装置を分解するなどの点検作業が必要となる。装置の稼働率を下げないためには、できる限り故障発生の直前まで装置を稼働させ、点検周期を長くとることが有効であるが、通常動作中に機構部を目視確認できない状況では、部品の寿命等を考慮し点検周期を算出するしか方法はなく、点検周期の最適化が困難であった。そのため、無駄に点検作業をすることにもなり、装置稼働率向上の妨げとなっていた。
【０００６】
一方、アームの停止精度のずれなどから故障の前兆を検知し、点検時期を最適化する方法も考えられる。具体的には、カメラで撮影し画像処理により位置ずれを検出する方法や、アームの移動先に光センサ等を設置して停止位置ずれを検出する方法などが考えられる。
【０００７】
しかし、停止位置でずれ発生は、既に故障状態であり、これを検出しても予防保全にはならない。また、これらの方法では、位置ずれを検出するためのハードウェアを新たに実装する必要がありコストが高くなる、あるいは位置ずれを検出するための専用の動作が必要になるなどの欠点があった。
【０００８】
特許文献１には、基板処理装置であって、被処理基板を露光処理する露光処理装置と被処理基板にレジスト液を供給して処理または／及び被処理基板に現像液を供給して処理するレジスト処理装置との間に配置され、前記露光処理装置と前記レジスト処理装置との間で被処理基板の搬送を実質的に行う搬送機構と、前記露光処理装置にて処理された被処理基板に対して所定の温度にて加熱処理を行う加熱機構と、前記露光処理装置及び前記レジスト処理装置と信号の受け渡しを行うとともに、実質的に前記露光処理装置側の制御装置の制御下にされる制御機構とを具備し、当該基板処理装置内の雰囲気圧力は、前記レジスト処理装置内の雰囲気圧力または／及び前記露光処理装置内の雰囲気圧力よりも低い雰囲気圧力に設定される基板処理装置が開示されている。
【０００９】
特許文献２には、少なくとも方向転換ができる基台上に、スライド部材と、ウェーハを吸着保持する保持部材とを具備し、一つの対象物から他の対象物にウェーハを移し替える搬送装置であって、該搬送装置の一部に、ウェーハを移し替える各対象物との位置関係を検知・検出する検知・検出手段を設けたことを特徴とするウェーハ搬送装置が開示されている。
【００１０】
特許文献３には、予め定める回転軸線まわりに回転自在に設けられる回転駆動部材と、回転駆動部材を回転駆動する駆動源と、回転駆動部材に巻掛けられ、駆動対象物が装着される索条体とを含む駆動装置の索条体の伸び量を検出する伸び量検出装置であって、回転駆動部材の角変位位置を検出する角変位位置検出手段と、駆動対象物の移動経路に設定される基準位置に、駆動対象物が配置されたことを検出する配置状態検出手段と、現時点での、駆動対象物が基準位置に配置された状態における角変位位置と、現時点から予め定める期間をあけた過去の時点での、駆動対象物が基準位置に配置された状態における角変位位置とを比較する演算手段とを含むことを特徴とする伸び量検出装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００６−２８７１８１号公報
【特許文献２】特開２００２−９１３４号公報
【特許文献３】特開２００５−２３３３８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
一般に、半導体ウェーハ搬送装置（以下、ウェーハ搬送装置又は搬送装置とも呼ぶ。）のアームは、ベルト及びプーリーを使ったリンク機構になっており、故障の主な原因はベルトの劣化（伸び）により発生するベルトに対するプーリーの滑り、あるいはベルト切れである。ベルトの劣化（伸び）は、経年や動作回数によって徐々に悪化していくものであるが、ベルトに対するプーリーの滑りが発生する前段階では、アームの停止精度に影響が出ることはないため、ベルトの劣化（伸び）を検出することはできなかった。
【００１３】
本発明の目的は、半導体ウェーハ搬送装置、特に、故障リスクの高いアーム部分について、通常動作中に故障の前兆を検知し、点検時期の最適化を図り、装置稼働率を向上させることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の半導体ウェーハ搬送装置の診断方法は、ベルト及びプーリーを含み、モータの回転運動を直線運動に変換するためのリンク機構を有するアーム部、及びウェーハを把持するためのハンド部を含み、前記ウェーハを搬送するロボットと、前記モータの回転位置を検出するための回転位置検出部を含むモータ制御部と、前記ハンド部の通過を検出するためのハンド部位置検出部とを含む半導体ウェーハ搬送装置の診断方法であって、前記ハンド部を前記ハンド部位置検出部にて検出した時の前記回転位置を記録し、前記回転位置の変化量に基づいて前記ベルトの劣化を検出することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、通常のウェーハ搬送動作中にアーム故障の主要因であるベルトの劣化具合を把握することができる。
【００１６】
また、本発明によれば、点検時期の最適化を図ることができ、装置稼働率を向上による半導体工場の生産効率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施例であるミニエンバイロメントシステムを示す外観斜視図である。
【図２】図１のミニエンバイロメントシステムの内部に設置されたロボットを示す斜視図である。
【図３】図１のミニエンバイロメントシステムのセンサ及び制御部等を示す構成図である。
【図４】図２のロボットアームの電気部品及び制御部等を示す構成図である。
【図５】図１のＦＯＵＰを示す斜視図である。
【図６Ａ】図１のロードポートにおけるＦＯＵＰの開状態を示す概略断面図である。
【図６Ｂ】図１のロードポートにおけるＦＯＵＰの閉動作を示す概略断面図である。
【図６Ｃ】図１のロードポートにおけるＦＯＵＰの閉状態を示す概略断面図である。
【図６Ｄ】図１のＦＯＵＰからウェーハが飛び出した状態を示す概略断面図である。
【図７Ａ】図４のロボットアームによるウェーハ取り出し動作を示す上面図である。
【図７Ｂ】図７Ａのロボットアームによるウェーハ取り出し動作を示す概略側面図である。
【図７Ｃ】図４のロボットアームによるウェーハ取り出し動作を示す上面図である。
【図７Ｄ】図７Ｃのロボットアームによるウェーハ取り出し動作を示す概略側面図である。
【図７Ｅ】図７Ｃのロボットアームによるウェーハ取り出し動作を示す概略側面図である。
【図８】図４のロボットアームのティーチング手順を示すフローチャートである。
【図９】図３のモータ制御部の内部レジスタを示す模式構成図である。
【図１０】図３の内部メモリのデータ配置を示す模式構成図である。
【図１１】図４のロボットアームによるウェーハ搬送動作を示す概略構成図である。
【図１２】図４のロボットアームのキャリブレーション手順を示すフローチャートである。
【図１３】図４のロボットアームのベルトが劣化する過程を示すグラフである。
【図１４】図４に示すロボットアームのベルトの劣化を検出する手順を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明は、半導体プロセス分野でのウェーハ搬送装置におけるアーム部の診断方法に関するものである。
【００１９】
本発明の目的は、半導体ウェーハ搬送装置、特に、故障リスクの高いアーム部分について、新たにハードウェアを追加することなく、通常動作中に故障の前兆を検知し、点検時期の最適化を図ることにより、装置稼働率を向上させることにある。
【００２０】
本発明では、故障リスクの高いアーム部分のベルト劣化（伸び）により、アーム伸び動作が駆動モータ回転に対して遅れることに着目し、ウェーハ搬送装置の標準構成部品であるウェーハ飛び出し検出用のセンサを、アームに取り付けられたハンドが通過した時点でのアーム駆動モータの回転位置を計測し、その回転位置の変化量により、アームのベルト劣化を検出する。上記の回転位置の計測は、搬送動作毎に行ってもよいし、数回〜数十回の搬送動作に１回行ってもよい。
【００２１】
以下、本発明の一実施形態に係る半導体ウェーハ搬送装置の診断方法、及び半導体ウェーハ搬送装置について説明する。
【００２２】
前記半導体ウェーハ搬送装置の診断方法は、前記回転位置を搬送動作毎に記録することが望ましい。
【００２３】
前記半導体ウェーハ搬送装置の診断方法は、前記ベルトの劣化を検出した場合に、表示部に警告を表示する、又は上位装置である半導体製造装置に警告信号を伝達することが望ましい。
【００２４】
前記半導体ウェーハ搬送装置の診断方法は、前記変化量の時系列データを保存し、調査及び解析に利用することが望ましい。
【００２５】
前記半導体ウェーハ搬送装置は、ベルト及びプーリーを含み、モータの回転運動を直線運動に変換するためのリンク機構を有するアーム部、及びウェーハを把持するためのハンド部を含み、前記ウェーハを搬送するロボットと、前記モータの回転位置を検出するための回転位置検出部を含むモータ制御部とを含む半導体ウェーハ搬送装置であって、前記ハンド部の通過を検出するためのハンド部位置検出部と、前記ハンド部を前記ハンド部位置検出部にて検出した時の前記回転位置を記録する記録部とを含むものである。
【００２６】
前記半導体ウェーハ搬送装置は、前記回転位置が閾値に達していることを判断する判断部を有することが望ましい。
【００２７】
前記半導体ウェーハ搬送装置は、前記判断部が、前記回転位置が前記閾値に達していると判断した時に、前記ロボットの動作を即停止するか、警告のみを行って前記ロボットの動作は継続するかを選択可能とすることが望ましい。
【００２８】
前記半導体ウェーハ搬送装置は、前記ハンド部位置検出部がロードポートに設置したウェーハ飛び出しセンサであることが望ましい。
【００２９】
前記半導体ウェーハ搬送装置は、前記回転位置検出部が前記モータに接続したエンコーダであることが望ましい。
【００３０】
以下、図面を用いて具体的な実施例を説明する。
【実施例１】
【００３１】
図１は、本発明の一実施例であるミニエンバイロメントシステム（以下、ミニエンと略記する。）を示す外観斜視図である。
【００３２】
図２は、図１のミニエンバイロメントシステムの内部に設置されたロボットを示す斜視図である。
【００３３】
図３は、図１のミニエンバイロメントシステムのセンサ及び制御部等を示す構成図である。
【００３４】
半導体製造装置１００へウェーハ１０６を供給し、この半導体製造装置１００で加工または検査を行ったウェーハ１０６を半導体製造装置１００から排出する搬送装置において、ウェーハ１０６の搬送を局所クリーン下で行う設備をミニエン１０１と称する。
【００３５】
ミニエン１０１は、半導体製造装置１００との接続部、ミニエン筐体１０２、ロードポート部１０３、ファンフィルターユニット１０５（以下、ＦＦＵと略記する。）及びパネル１０７（表示部）を含み、内部には、図２に示すロボット２００、図３に示すコントローラ３００、プリアライナ３１１、外部メモリ３１２及びティーチングペンダント３１３を含む。
【００３６】
半導体製造装置１００は、ミニエン１０１の上位装置に位置づけられ、ＲＳ−２３２Ｃやイーサネット（登録商標）などの通信手段や、パラレル入出力信号により、ミニエン１０１と指令や応答の伝達を行い、ミニエン１０１より供給されたウェーハ１０６の加工または検査を行う。
【００３７】
ミニエン筐体１０２は、システム外部を固定板（外装カバー）で覆い、外部と隔離した空間である搬送室を供給し、ロードポート部１０３や半導体製造装置１００などとの接合部の役割を有する。
【００３８】
ロードポート１０３は、ＦＯＵＰ１０４（開閉可能な密閉容器（ウェーハ収納容器））を固定する固定台と、ＦＯＵＰ開閉機構を有しており、ミニエン筐体１０２内に単一または複数箇所で接合され、半導体製造装置１００及びミニエン筐体１０２にウェーハ１０６を供給する役割を有する。
【００３９】
パネル１０７は、タッチパネル、液晶画面、スイッチなどを有し、表示機能及び操作機能を有しており、後述するように、作業員の補助や外部操作のインターフェースとしての役割を有している。また、パネル１０７は、システムの構成によっては、取り外すことが可能としてティーチングペンダント３１３としての役割を有していてもかまわない。
【００４０】
図２に示すように、ロボット２００は、ミニエン筐体１０２内部に設置されている。アーム２０３、２０４（アーム部とも呼ぶ。）は、ダブルアーム方式であり、同時に二枚のウェーハ１０６を搬送することが可能である。走行軸用モータ２０２（サーボモータ）が駆動することにより、横方向に走行移動（水平動作）させる走行軸駆動部２０１と、アーム２０３、２０４を昇降方向に移動（上下動作）させる昇降軸駆動部２０５と、アーム２０３、２０４を回転方向に移動（旋回動作）させる旋回軸駆動部２０６と、アーム２０３、２０４を伸縮方向に移動（水平動作）させるアーム水平駆動部２０７、２０８の５軸を有している。
【００４１】
ロボット２００のアーム２０３及び２０４は、マニピュレータであるハンド２０９及び２１０（ハンド部とも呼ぶ。）がそれぞれ接合されており、ウェーハ１０６を載せるためのウェーハハンドリング機構を有している。
【００４２】
ロボット２００のウェーハハンドリング機構は、ウェーハ１０６の裏面を真空吸着することにより把持する機能を有しているが、ウェーハ１０６の側面を把持する側面把握機能でもかまわない。
【００４３】
ロボット２００は、上記５軸の駆動部及びウェーハハンドリング機構により、半導体製造装置１００、ロードポート１０３、プリアライナ３１１（図３に示す。）など、ミニエン筐体１０２内部の各ティーチングポイントへのウェーハ１０６の搬送を行う。
【００４４】
ロボット２００は、ウェーハ１０６を搬送可能であれば、シングルアーム方式でもかまわない。
【００４５】
図３において、プリアライナ３１１は、半導体製造装置１００にウェーハ１０６を供給する前にロボット２００によりウェーハ１０６を載置され、ウェーハ１０６を回転することで、ノッチまたはオリフラを一定方向に合わせたり、ウェーハ１０６の偏芯量を測定したりするアライメント機構を有している。
【００４６】
外部メモリ３１２は、ＵＳＢメモリ、ＳＤカード、メモリスティック、ＣＦカードなどの持ち運び可能な外部補助記憶装置であり、システムにより任意でかまわない。
【００４７】
ティーチングペンダント３１３は、ロボット２００にミニエン筐体１０２内におけるウェーハ１０６の搬送位置（ティーチングポイント）を教示させるためのペンダントである。
【００４８】
コントローラ３００は、中央演算処理部３０１、上位装置インターフェース３０２（図中、インターフェースはＩ／Ｆと略記してある。）、内部メモリ３０３、ロボット入出力信号インターフェース３０４、各種機器インターフェース３０５、駆動制御部３２０及びモータ制御部３０６を有している。
【００４９】
中央演算処理部３０１は、システムバス３０９を介し、上位装置インターフェース３０２、内部メモリ３０３、ロボット入出力信号インターフェース３０４、各種機器インターフェース３０５、モータ制御部３０６などと接続され、半導体製造装置１００からの指令コマンド又はパネル１０７若しくはティーチングペンダント３１３からの外部操作によって、ミニエン１０１に実装されたすべての機器の制御を行う機能を有している。
【００５０】
中央演算処理部３０１は、マイクロプロセッサユニット（以下、ＭＰＵと略記する。）や各種メモリなどを有している中央演算処理装置（以下、ＣＰＵと略記する。）であるが、一般的なパーソナルコンピュータ（以下、ＰＣと略記する。）などやＣＰＵボードでもよく、システムに適したものでよい。
【００５１】
上位装置インターフェース３０２は、イーサネットやＲＳ−２３２Ｃなどによる半導体製造装置１００との通信手段や、デジタルまたはアナログの入出力信号を行うためのインターフェース回路を有しており、システムバス３０９を介して、半導体製造装置１００と中央演算処理部３０１との間の指令コマンドや各データや入出力信号などの伝達を行う機能を有している。
【００５２】
内部メモリ３０３は、揮発性メモリと不揮発性メモリとそれらのインターフェース回路と外部メモリ３１２へ転送するための回路などを有しており、主に、大容量の不揮発性メモリを複数個実装した回路で構成されている。
【００５３】
内蔵メモリ３０３の不揮発メモリには、ティーチングデータ４１０（図４に示す。）が保存されている。
【００５４】
図１０にティーチングデータの内容を示す。
【００５５】
以下では、アーム２０３及び２０４をそれぞれ、第一アーム及び第二アームと呼ぶ。
【００５６】
ＦＯＵＰ１０４、プリアライナ３１１及び半導体製造装置１００に対して、各々、走行軸のウェーハ取り出し待機位置１００１、旋回軸のウェーハ取り出し待機位置１００２、昇降軸のウェーハ取り出し待機位置１００３、第一アーム軸のウェーハ取り出し待機位置１００４、第二アーム軸のウェーハ取り出し待機位置１００５、走行軸のウェーハ取り出し位置１００６、旋回軸のウェーハ取り出し位置１００７、昇降軸のウェーハ取り出し位置１００８、第一アーム軸のウェーハ取り出し位置１００９、第二アーム軸のウェーハ取り出し位置１０１０、走行軸のウェーハハンドリング位置１０１１、旋回軸のウェーハハンドリング位置１０１２、昇降軸のウェーハハンドリング位置１０１３、第一アーム軸のウェーハハンドリング位置１０１４、及び第二アーム軸のウェーハハンドリング位置１０１５を登録保存する。
【００５７】
ロボット入出力信号インターフェース３０４は、ロボット２００内部の各種センサ３３５や電磁弁３３６、その他、ロボット２００内部に実装された機器などのインターフェース回路を有している。
【００５８】
各種センサ３３５は、ロボット２００の内部に実装された真空圧確認用の圧力センサ、各軸の原点センサ、±リミットセンサ、ウェーハ有無確認用の反射型または透過型センサなどである。
【００５９】
各種機器インターフェース３０５は、ロードポート部１０３、ＦＦＵ１０５、プリアライナ３１１、パネル１０７、外部メモリ３１２、ティーチングペンダント３１３などの各種外部周辺機器のインターフェース回路を有しており、中央演算処理部３０１により、システムバス３０９を介し、各機器との通信や入出力信号の制御を行う。
【００６０】
駆動制御部３２０は、第一アーム軸用モータ３３１の制御を行うサーボアンプ３２１と、第二アーム軸用モータ３３２の制御を行うサーボアンプ３２２と、旋回軸用モータ３３３の制御を行うサーボアンプ３２３と、昇降軸用モータ３３４の制御を行うサーボアンプ３２４と、走行軸用モータ２０２の制御を行うサーボアンプ３２５とを有している。ここで、モータはサーボモータである。各サーボモータやサーボアンプは、システムや機構にあった汎用的なものでよく、ＡＣサーボでもＤＣサーボでもかまわないし、セミクローズドループ方式のステッピングモータでもかまわない。
【００６１】
モータ制御部３０６は、システムバス３０９を介し、中央演算処理部３０１とコマンドやデータの送受信を行い、駆動制御部３２０の任意の軸を動作させる指令パルス出力など、目的に応じた各種の出力信号３０８と、各軸のモータ回転位置情報のエンコーダ入力など、各種の入力信号３０７とを有しており、ロボット２００の運動制御を行う機能を有している。ここで、入力信号３０７は、駆動制御部からモータ制御部への入力信号であり、出力信号３０８は、モータ制御部から駆動制御部への出力信号である。
【００６２】
一般に、モータの運動制御は、位置指令やトルク指令、速度指令などがあるが、本実施例においては、位置及び速度を指令パルスによって運動制御する方式を採用している。
【００６３】
モータ制御部３０６から各サーボアンプへの主な出力信号３０８は、原点サーチ、サーボオン、偏差カウンタクリア、アラームクリア、指令パルスなどである。
【００６４】
モータ制御部３０６への各サーボアンプからの主な入力信号３０７は、サーボレディ、アラーム、インポジション、エンコーダ値、トルクモニタ、速度モニタなどである。
【００６５】
図９に、モータ制御部３０６内のデータレジスタを示す。
【００６６】
モータ制御部３０６には、モータを駆動するための出力レジスタとして、走行軸駆動指令パルスレジスタ９０１、旋回軸駆動指令パルスレジスタ９０２、昇降軸駆動指令パルスレジスタ９０３、第一アーム軸駆動指令パルスレジスタ９０４及び第二アーム軸駆動指令パルスレジスタ９０５、並びに、モータの回転位置を示す入力レジスタとして、走行軸駆動エンコーダ値レジスタ９０６、旋回軸駆動エンコーダ値レジスタ９０７、昇降軸駆動エンコーダ値レジスタ９０８、第一アーム軸駆動エンコーダ値レジスタ９０９及び第二アーム軸駆動エンコーダ値レジスタ９１０が実装されている。
【００６７】
次に、第一アーム２０３を例として、図４を用いてロボットアームの構成例及び制御の概略を説明する。
【００６８】
第一アーム軸用モータ３３１の回転動力は、駆動伝達ベルト４３１を介して第一プーリー４３４に伝達され、さらに、第一リンクベルト４３２、第二プーリー４３５、第二リンクベルト４３３、第三プーリー４３６に伝達され、第一ハンド２０９がアーム直進軌道４０１上を直線運動するリンク機構になっている。ここで、上記の各種のベルトは、ゴムなどの弾性体で形成されている。
【００６９】
中央演算処理部３０１から、駆動制御部３０６の指令パルス設定レジスタ４０７に目標位置を書き込むことにより、サーボアンプ３２１を介して第一アーム軸用モータ３３１が回転し、第一ハンド２０９が直線運動する。
【００７０】
第一アーム軸用モータ３３１の駆動軸４３７には、エンコーダ４３８が実装されており、サーボアンプ３２１を介し、インクリメンタル方式のエンコーダ信号として駆動制御部３０６内のエンコーダカウンタ４０８でカウントされており、中央演算処理部３０１で読み出し第一ハンド２０９の現在位置を把握することが可能である。
【００７１】
ただし、エンコーダ４３８は駆動軸４３７に実装されているため、リンク機構においてベルトに対するプーリーの滑りやベルト切れといった不具合が生じた場合には、中央演算処理部３０１がエンコーダ値４０８から算出した現在位置と、第一ハンド２０９の実際の現在位置とでは乖離が発生し、停止精度不良、最悪は干渉事故を引き起こす可能性がある。ベルトに対するプーリーの滑りやベルト切れといったリンク機構の不具合は、経年や可動回数などにより徐々に劣化（伸び）していく場合が多く、初期段階での劣化を発見できれば、点検、修理により、停止精度不良、干渉事故などを防止することができる。
【００７２】
ハンド２０９は、吸着用開口部４４０を３箇所に有しており、電磁弁３３６により真空供給元４４１の制御を行い、ウェーハ１０６のハンドリング（真空吸着）を行っている。
【００７３】
真空吸着用の真空ライン４４２は、設定されている閾値との比較により吸着ＯＮまたは吸着ＯＦＦ信号を出力する圧力センサ４４３が接続されており、ロボット入出力信号インターフェース３０４を介して中央演算処理部３０１に出力され、ウェーハ１０６の吸着状態を確認している。
【００７４】
コントローラ３００においては、ロボット入出力信号インターフェース３０４を介して圧力センサ４４３及び電磁弁３３６と信号の入出力を行い、ロードポートモータ制御部３０６を介してサーボアンプ３２１と指令パルス４０７及びエンコーダ４０８の入出力を行う。また、各種機器インターフェース３０５を介してウェーハ飛び出し信号４０９が中央演算処理部３０１に送信される。
【００７５】
次に、ＦＯＵＰの閉動作とウェーハ飛び出しセンサについて図５及び図６を用いて説明する。
【００７６】
図５に、ＦＯＵＰ１０４の概観を示す。
【００７７】
ＦＯＵＰ１０４は、ウェーハを収納する密閉容器であり、容器本体５０１と蓋５０２とで構成されている。蓋５０２は、前述のようにロードポート１０３によって開閉することができる。また、ＦＯＵＰ１０４の容器本体５０１には、ウェーハ１０６を載せるためのスロット５０３（棚）が設けてある。
【００７８】
図６Ａ〜６Ｄを用いてＦＯＵＰ１０４の蓋５０２を閉める動作の概略を説明する。
【００７９】
図６Ａは、図１のロードポートにおけるＦＯＵＰの開状態を示す概略断面図である。
【００８０】
図６Ｂは、図１のロードポートにおけるＦＯＵＰの閉動作を示す概略断面図である。
【００８１】
図６Ｃは、図１のロードポートにおけるＦＯＵＰの閉状態を示す概略断面図である。
【００８２】
図６Ｄは、図１のＦＯＵＰからウェーハが飛び出した状態を示す概略断面図である。
【００８３】
図６Ａは、蓋が開いている状態を示す。
【００８４】
蓋６０２は、ロードポートの蓋開閉機構６０３によって容器本体５０１から外され、ウェーハ１０６搬送時に第一ハンド２０９、第二ハンド２１０と干渉しないように、ＦＯＵＰ１０４本体の開口部より下の位置で保持されている。蓋５０２を閉めるためには、一旦、ロードポート１０３の蓋開閉機構６０３を容器本体５０１と同じ位置まで上昇させた後、容器本体５０１に押し付けて蓋５０２を結合させる必要がある。
【００８５】
図６Ｂは、ロードポート１０３の蓋開閉機構６０３が容器本体５０１と同じ位置まで上昇している状態を示す。また、図６Ｃは、容器本体５０１に蓋５０２を押し付けて結合させ、蓋５０２を閉めた状態を示す。
【００８６】
しかし、ＦＯＵＰ１０４の閉動作において、ウェーハ１０６がロードポート１０３の蓋開閉機構６０３の上下軌道上まで飛び出していると、ロードポート１０３の蓋開閉機構６０３の上昇動作時にウェーハ１０６に干渉し、ウェーハ１０６を破損させる可能性がある。
【００８７】
これを防ぐために、一般的にロードポート１０３には、ウェーハ飛び出しを検出するウェーハ飛び出しセンサ４２１が実装されている。ウェーハ飛び出しセンサ４２１の信号は、図４に示すように、各種機器インターフェース３０５内のウェーハ飛び出しセンサ状態レジスタに反映され、中央演算処理部３０１で読み出すことができる。
【００８８】
図６Ｄは、ウェーハ１０６がロードポートの蓋開閉機構６０３の上下軌道上まで飛び出した状態を示す。
【００８９】
次に、図１１を用いてウェーハ搬送動作について説明する。
【００９０】
ミニエン筐体１０２はロボット２００の可動範囲よりも狭い場合が多く、またミニエン筐体１０２内にはユニット類が取り付けられている場合もあるため、ロボット２００を自由に動作させた場合には、干渉事故を起こす恐れがある。そのため、ウェーハ１０６が決められた軌道上を移動するように、ロボット２００の経由地点（ティーチングポイントと称す）を登録し、ウェーハ搬送を行う。
【００９１】
ミニエン筐体１０２内の主なティーチングポイントは、ＦＯＵＰ１０４からウェーハ１０６を取り出す又は収納する前のウェーハ取り出し待機位置１１０１、ＦＯＵＰ１０４内のウェーハをハンドリングするウェーハ取り出し位置１１０２、プリアライナからウェーハ１０６を取り出す又は収納する前の待機位置１１０３、プリアライナ３１１のウェーハ１０６をハンドリングするウェーハハンドリング位置１１０４、半導体製造装置１００からウェーハ１０６を取り出す又は収納する前の待機位置１１０５、及び半導体製造装置１００のウェーハをハンドリングするウェーハハンドリング位置１１０６である。
【００９２】
一般的なミニエン１０１のウェーハ搬送シーケンスは、ＦＯＵＰ１０４からウェーハ１０６を取り出し、プリアライナ３１１にウェーハ１０６を置いてアライメントを行い、アライメント終了後ウェーハ１０６をプリアライナ３１１から取り出し、半導体製造装置１００へウェーハ１０６を収納する。また、半導体製造装置１００で処理が終わったウェーハ１０６を取り出し、ＦＯＵＰ１０４へ収納する。
【００９３】
ウェーハの取り出し動作の例として、第一ハンド２０９でＦＯＵＰ１０４からウェーハ１０６を取り出す動作を例に図７Ａ〜７Ｅを用いて説明する。
【００９４】
図７Ａは、図４のロボットアームによるウェーハ取り出し動作（ウェーハ取り出し待機位置）を示す上面図である。
【００９５】
図７Ｂは、図７Ａのロボットアームによるウェーハ取り出し動作（ウェーハ取り出し位置）を示す概略側面図である。
【００９６】
図７Ｃは、図４のロボットアームによるウェーハ取り出し動作を示す上面図である。
【００９７】
図７Ｄは、図７Ｃのロボットアームによるウェーハ取り出し動作を示す概略側面図である。
【００９８】
図７Ｅは、図７Ｃのロボットアームによるウェーハ取り出し動作を示す概略側面図である。
【００９９】
まず、図７Ａに示すように、ロボット２００の走行軸駆動部２０１、昇降軸駆動部２０５、旋回軸駆動部２０６及びアーム水平駆動部２０７を動作させ、ウェーハ１０６の取り出し待機位置に第一ハンド２０９を移動する。
【０１００】
ウェーハ取り出し待機位置は、ウェーハ１０６及び第一ハンド２０９の中心線７１０が一致しており、第一アーム２０３が縮んでいる状態である。このときの側面図が図７Ｂである。この時、ウェーハ１０６はＦＯＵＰ１０４のスロット５０３（棚）に載っており、第一ハンド２０９はウェーハ１０６より下の位置にある。
【０１０１】
次に、図７Ｃに示すように、アーム水平駆動部２０７を動かして第一アーム２０３を伸ばし、第一ハンド２０９をウェーハ１０６の下側からすくい上げる位置まで進入させる。このときの側面図が図７Ｄである。
【０１０２】
次に、図７Ｅに示すように、真空吸着用の電磁弁３３６を制御し第一ハンド２０９の吸着用開口部４４０から真空引きを行いながら昇降軸駆動部２０５を動作させ、第一ハンド２０９を上昇させてウェーハ１０６をハンドリング（真空吸着）する。
【０１０３】
次に、図８のフローチャートを用いて、第一ハンド２０９でＦＯＵＰ１０４からウェーハ１０６を取り出す動作におけるウェーハ取り出し待機位置及びウェーハ取り出し位置のティーチングを行う場合の手順を説明する。
【０１０４】
（ステップ８００）
ティーチングペンダント３１３を使って、ロボット２００の走行軸駆動部２０１、昇降軸駆動部２０５、旋回軸駆動部２０６及びアーム水平駆動部２０７を駆動し、ウェーハ取り出し待機位置に第一ハンド２０９を移動する。
【０１０５】
（ステップ８１０）
モータ制御部３０６内のモータ回転位置を示す入力レジスタ、走行軸駆動エンコーダ値レジスタ９０６、旋回軸駆動エンコーダ値レジスタ９０７、昇降軸駆動エンコーダ値レジスタ９０８、第一アーム軸駆動エンコーダ値レジスタ９０９及び第二アーム軸駆動エンコーダ値レジスタ９１０（図９に示す。）のデータを読み出し、ＦＯＵＰ１０４に対する走行軸のウェーハ取り出し待機位置１００１、旋回軸のウェーハ取り出し待機位置１００２、昇降軸のウェーハ取り出し待機位置１００３、第一アーム軸のウェーハ取り出し待機位置１００４及び第二アーム軸のウェーハ取り出し待機位置１００５（図１０に示す。）にそれぞれ登録保存する。
【０１０６】
（ステップ８２０）
ティーチングペンダント３１３を使って、ロボット２００の走行軸駆動部２０１、昇降軸駆動部２０５、旋回軸駆動部２０６及びアーム水平駆動部２０７を駆動し、ウェーハ取り出し位置に第一ハンド２０９を移動する。
【０１０７】
（ステップ８３０）
モータ制御部３０６内のモータ回転位置を示す入力レジスタ、走行軸駆動エンコーダ値レジスタ９０６、旋回軸駆動エンコーダ値レジスタ９０７、昇降軸駆動エンコーダ値レジスタ９０８、第一アーム軸駆動エンコーダ値レジスタ９０９及び第二アーム軸駆動エンコーダ値レジスタ９１０のデータを読み出し、ＦＯＵＰ１０４に対する走行軸のウェーハ取り出し位置１００６、旋回軸のウェーハ取り出し位置１００７、昇降軸のウェーハ取り出し位置１００８、第一アーム軸のウェーハ取り出し位置１００９及び第二アーム軸のウェーハ取り出し待機位置１０１０にそれぞれ登録保存する。
【０１０８】
（ステップ８４０）
ティーチングペンダント３１３を使って、ウェーハ取り出し位置からロボット２００の昇降軸駆動部２０５を動作させ、第一ハンド２０９がウェーハハンドリング位置７０４になるまでハンドを上昇させる。
【０１０９】
（ステップ８５０）
モータ制御部３０６内のモータ回転位置を示す入力レジスタ、走行軸駆動エンコーダ値レジスタ９０６、旋回軸駆動エンコーダ値レジスタ９０７、昇降軸駆動エンコーダ値レジスタ９０８、第一アーム軸駆動エンコーダ値レジスタ９０９及び第二アーム軸駆動エンコーダ値レジスタ９１０のデータを読み出し、ＦＯＵＰ１０４に対する走行軸のウェーハハンドリング位置１０１１、旋回軸のウェーハハンドリング位置１０１２、昇降軸のウェーハハンドリング位置１０１３、第一アーム軸のウェーハハンドリング位置１０１４及び第二アーム軸のウェーハハンドリング位置１０１５にそれぞれ登録保存する。
【０１１０】
次に、本実施例におけるアーム位置ずれ検出方法について説明する。
【０１１１】
図４に示すように、アーム２０３は、第一アーム軸用モータ３３１の回転動力が駆動伝達ベルト４３１を介して第一プーリー４３４に伝達され、さらに、第一リンクベルト４３２、第二プーリー４３５、第二リンクベルト４３３、第三プーリー４３６に伝達され、第一ハンド２０９がアーム直進軌道４０１上を直線運動するリンク機構になっているため、ベルトに対するプーリーの滑りが故障の主な原因となっている。ベルトに対するプーリーの滑りが発生すると、搬送精度に影響するばかりでなく、最悪の場合、干渉事故を引き起こす可能性がある。
【０１１２】
ベルトに対するプーリーの滑りは、ベルトの劣化（伸び）による緩みが原因であることが多く、経年や稼働回数などにより徐々に劣化していく場合が多いため、緩みを検出することができれば、故障の前兆を検知し予防保全を図ることができる。
【０１１３】
しかし、エンコーダ４３８は駆動軸４３７に実装されており、中央演算処理部３０１がエンコーダ値４０８から算出した位置を第一ハンド２０９の位置として認識しているため、ベルトの緩みにより、第一ハンド２０９の実際の位置が中央演算処理部３０１の算出した位置と乖離していることを認識できないため、ベルトの緩みを検出できない。
【０１１４】
本実施例では、ミニエン１０１据付時の第一ハンド２０９によるウェーハ飛び出しセンサ遮光位置と、通常ウェーハ搬送シーケンス中でのウェーハ飛び出しセンサ遮光位置とを比較することにより、ベルトの緩みを検出する。
【０１１５】
図１２に、ミニエン１０１据付時の第一ハンド２０９によるウェーハ飛び出しセンサ遮光位置登録（キャリブレーションと称する。）のフローチャートを示す。
【０１１６】
（ステップ１２００）
ロボット２００をウェーハ取り出し待機位置１１０１（ウェーハ取り出し待機位置ティーチングポイント）に移動させる。
【０１１７】
このとき、第一ハンド２０９によるウェーハ１０６のハンドリングは行っていない。
【０１１８】
（ステップ１２０１）
第一ハンド２０９をウェーハ取り出し位置１１０２（ウェーハ取り出し位置ティーチングポイント）まで移動させるために、第一アーム２０３のモータ３３１を駆動する。
【０１１９】
（ステップ１２０２）
第一ハンド２０９をウェーハ取り出し位置１１０２に到達したかどうかを監視する。
【０１２０】
（ステップ１２０３）
第一アーム２０３が伸び動作をしている間、第一ハンド２０９でウェーハ飛び出しセンサ４２１を遮光するかどうか監視する。
【０１２１】
（ステップ１２０４）
第一ハンド２０９がウェーハ飛び出しセンサ４２１を遮光したら、第一アーム軸駆動エンコーダ値レジスタ９０９の値をウェーハ飛び出しセンサ遮光初期位置１０２１に保存する。
【０１２２】
（ステップ１２０５）
第一ハンド２０９がウェーハ飛び出しセンサ４２１を遮光せずに、ウェーハ取り出し位置１１０２に到達した場合、キャリブレーションが正常に完了しなかったとして異常終了する。
【０１２３】
次に、前記キャリブレーションのデータを使って、ミニエン１０１の通常ウェーハ搬送中に、第一アーム２０３の位置ずれを検出する方法について、図１３を用いて説明する。
【０１２４】
第一アーム２０３の位置ずれ検知は、前記キャリブレーション時の動作と同じ、ＦＯＵＰ１０４からウェーハ１０６取り出し動作の第一アーム２０３伸び動作中に行う。
【０１２５】
ウェーハ取り出し待機位置１１０１からウェーハ取り出し位置１１０２まで第一アーム２０３を伸ばすに従い、モータの回転位置を示す第一アーム軸駆動エンコーダ値レジスタ９０９の値はカウントアップされ増加していく。キャリブレーション時のウェーハ飛び出しセンサ遮光タイミングを１３００に示す。第一アーム２０３のリンクベルトに緩みが生じた場合のウェーハ飛び出しセンサ遮光タイミングを１３０１に示す。
【０１２６】
第一アーム２０３のリンクベルトに緩みが生じると、第一アーム軸用モータ３３１の回転動力をベルトによってプーリーに伝達する際、ベルトの片側に伸びが生じ、プーリーの回転が遅れるため、第一アーム２０３の伸び速度が遅くなる。
【０１２７】
その結果、ベルト伸びが発生した場合のウェーハ飛び出しセンサ遮光タイミング１３０５は遅れて遮光することになり、その時のモータ回転位置を示す第一アーム軸レジスタ９０９のエンコーダ値１３０２とキャリブレーション時の基本となるウェーハ飛び出しセンサ遮光初期位置におけるエンコーダ値１０２０とに偏差１３０６が発生する。この偏差１３０６は、ベルトに緩みがない場合でも、多少は発生するものであるから、異常と判断するために閾値１３０４をパラメータとして設定し、偏差１３０６が閾値１３０４を超えた場合に異常と判断する。
【０１２８】
ここで、モータの回転位置が閾値に達していることは、中央演算処理部３０１等の判断部にて判断する。
【０１２９】
本図においては、第一ハンド２０９がウェーハ飛び出しセンサ４２１を通過した時点における第一アーム軸用モータ３３１の回転位置を計測し、この回転位置の変化量（偏差１３０６に対応する。）に基づいてベルトの劣化を検出する。
【０１３０】
第一ハンド２０９の通過によるウェーハ飛び出しセンサ４２１の遮光を検出した時の第一アーム軸用モータ３３１の回転位置を計測し、この回転位置の変化量に基づいてベルトの劣化を検出するエンコーダ値を記録する記録部は、外部メモリ３１２でも内部メモリ３０３でもよく、他の記録媒体でもよい。
【０１３１】
図１４のフローチャートを用いて、通常ウェーハ搬送中の第一アーム２０３位置ずれの検出方法を具体的に説明する。
【０１３２】
（ステップ１４００）
ロボット２００をウェーハ取り出し待機位置ティーチングポイント１１０１に移動させる。
【０１３３】
このとき、第一ハンド２０９によるウェーハ１０６のハンドリングは行っていない。
【０１３４】
（ステップ１４０１）
第一ハンド２０９をウェーハ取り出し位置１１０２まで移動させるために、第一アーム２０３のモータ３３１を駆動する。
【０１３５】
（ステップ１４０２）
第一アーム２０３が伸び動作をしている間、第一ハンド２０９でウェーハ飛び出しセンサ４２１を遮光するかどうか監視する。本ステップでは、ウェーハ飛び出しセンサ４２１が投光から遮光に変化した変化点検出でＹＥＳに分岐する。
【０１３６】
（ステップ１４０３）
第一ハンド２０９がウェーハ飛び出しセンサ４２１を遮光したら、第一アーム軸駆動エンコーダ値レジスタ９０９の値をウェーハ飛び出しセンサ遮光位置１０３０に保存する。
【０１３７】
また、記録日時を付加し、時系列的にウェーハ飛び出しセンサの遮光位置を内部メモリ１０４０または外部メモリ３１２に保存する。外部メモリ３１２は、前述のように持ち運び可能な外部補助記憶装置であり、ミニエン１０１から取り出してパーソナルコンピュータ等に接続し、前記時系列データを解析することが可能である。
【０１３８】
（ステップ１４０４）
第一ハンド２０９がウェーハ取り出し位置１１０２に到達したかどうかを監視する。
【０１３９】
（ステップ１４０５）
キャリブレーション時のウェーハ飛び出しセンサ遮光初期位置１０２１とウェーハ飛び出しセンサ遮光位置１０３０とを比較し、機構的な特性からあらかじめ定めた偏差閾値１０５０以上に差があった場合には、ベルトの伸びによる第一アーム２０３の位置ずれが発生していると判断して異常検出へ分岐する。
【０１４０】
（ステップ１４０６）
本アーム位置ずれ検出は、点検時期の最適化による予防保全を目的としている。位置ずれを検出しても装置の動作は継続し、警告のみを発する場合、及び、装置を停止して警告を発する場合を考慮し、動作を継続するか、停止するかについては、異常時停止／継続選択パラメータ１０６０であらかじめ定義するようにしてある。
【０１４１】
（ステップ１４０７）
異常時停止／継続選択パラメータ１０６０が継続になっている場合には、ウェーハ取り出し動作を継続して行う。
【０１４２】
（ステップ１４０８）
第一アーム２０３の位置ずれが発生したことを警告し、第一アーム２０３の点検を促す。警告の方法には、ミニエン１０１に取り付けられたパネル１０７に警告（異常）を表示する方法、及び、上位装置である半導体製造装置１００に通信やパラレル入出力信号により警告信号（異常信号）を伝達（送信）し、半導体製造装置の表示器に表示し、さらに、上位のホストコンピュータに報告する方法がある。この警告信号に基づいて、ユーザに点検を促す。
【０１４３】
上述のステップ（工程）は、第一ハンド２０９及び第一アーム２０３を用いて説明しているが、第二ハンド２１０及び第二アーム２０４についても同様の操作を行う。
【０１４４】
これにより、本発明の目的である点検時期の最適化を図ることができる。
【０１４５】
上述の実施例においては、ロードポートに設置したウェーハ飛び出しセンサによりハンド部の通過を検出しているが、これに限定されるものではなく、赤外線若しくは可視光線を利用する光センサ又は電磁波若しくは超音波を利用するセンサを用いてハンド部の通過を検出してもよい。これらのセンサを総称してハンド部位置検出部と呼ぶことにする。ハンド部位置検出部は、必ずしもロードポートに設置しなくてもよい。
【０１４６】
また、上述の実施例においては、モータの回転位置をエンコーダにより検出しているが、これに限定されるものではない。エンコーダを一般化して回転位置検出部と呼ぶことにする。
【符号の説明】
【０１４７】
１００：半導体製造装置、１０１：ミニエンバイロメントシステム、１０２：ミニエン筐体、１０３：ロードポート、１０４：ＦＯＵＰ、１０５：ファインフィルターユニット、１０６：ウェーハ、１０７：パネル、２００：ロボット、２０１：走行軸駆動部、２０２：走行軸用モータ、２０３：第一アーム、２０４：第二アーム、２０５：昇降軸駆動部、２０６：旋回軸駆動部、２０７：第一アーム駆動部、２０８：第二アーム駆動部、２０９：第一ハンド、２１０：第二ハンド、３００：コントローラ、３０１：中央演算処理部、３０２：上位装置インターフェース、３０３：内部メモリ、３０４：ロボット入出力信号インターフェース、３０５：各種機器インターフェース、３０６：モータ制御部、３０７：入力信号、３０８：出力信号、３０９：システムバス、３１１：プリアライナ、３１２：外部メモリ、３１３：ティーチングペンダント、３２０：駆動制御部、３２１：第一アーム軸用サーボアンプ、３２２：第二アーム軸用サーボアンプ、３２３：旋回軸用サーボアンプ、３２４：昇降軸用サーボアンプ、３２５：走行軸用サーボアンプ、３３１：第一アーム軸用モータ、３３２：第二アーム軸用モータ、３３３：旋回軸用モータ、３３４：昇降軸用モータ、３３５：各種センサ、３３６：電磁弁、４０１：アーム直進軌道、４０７：指令パルス設定レジスタ、４０８：エンコーダカウンタ、４２１：ウェーハ飛び出しセンサ、４３１：駆動伝達ベルト、４３２：第一リンクベルト、４３３：第二リンクベルト、４３４：第一プーリー、４３５：第二プーリー、４３６：第三プーリー、４３７：駆動軸、４３８：エンコーダ、４４０：吸着用開口部、４４１：真空供給元、４４２：真空ライン、４４３：圧力センサ、５０１：容器本体、５０２：蓋、５０３：スロット、６０３：蓋開閉機構、、７１０：中心線、１１０１：ウェーハ取り出し待機位置、１１０２：ウェーハ取り出し位置、１１０３：待機位置、１１０４：ウェーハハンドリング位置、１１０５：待機位置、１１０６：ウェーハハンドリング位置、１３００、１３０１：ウェーハ飛び出しセンサ遮光タイミング、１３０２：エンコーダ値、１３０４：閾値、１３０５：ウェーハ飛び出しセンサ遮光タイミング、１３０６：偏差。
【図１】
2011091072.tif 000003
【図２】
2011091072.tif 000004
【図３】
2011091072.tif 000005
【図４】
2011091072.tif 000006
【図５】
2011091072.tif 000007
【図６Ａ】
2011091072.tif 000008
【図６Ｂ】
2011091072.tif 000009
【図６Ｃ】
2011091072.tif 000010
【図６Ｄ】
2011091072.tif 000011
【図７Ａ】
2011091072.tif 000012
【図７Ｂ】
2011091072.tif 000013
【図７Ｃ】
2011091072.tif 000014
【図７Ｄ】
2011091072.tif 000015
【図７Ｅ】
2011091072.tif 000016
【図８】
2011091072.tif 000017
【図９】
2011091072.tif 000018
【図１０】
2011091072.tif 000019
【図１１】
2011091072.tif 000020
【図１２】
2011091072.tif 000021
【図１３】
2011091072.tif 000022
【図１４】
2011091072.tif 000023