(57)【要約】【課題】所望のフィルタ性能を確保しつつ、小型化且つ低背化され、低コストで製造可能なコイル部品を提供する。【解決手段】コイル部品１００は、磁性セラミック材料からなる磁性基板１１と、磁性基板１１の一方の主面に形成されたコイル導体を含む薄膜コイル層１２と、薄膜コイル層１２の主面にめっきにより形成された肉厚なバンプ電極１３ａ〜１３ｄと、バンプ電極１３ａ〜１３ｄの形成位置を除いた薄膜コイル層１２の主面に形成された磁性樹脂層１４とを備えている。バンプ電極１３ａ〜１３ｄの厚さは磁性樹脂層１４の厚さと同等かそれ以上である。絶縁樹脂層１４は各バンプ電極１３ａ〜１３ｄの全周囲を覆うように形成されている。【選択図】図１
2011091097.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性セラミック材料からなる磁性基板と、
前記磁性基板の一方の主面に形成されたコイル導体を含む薄膜コイル層と、
前記薄膜コイル層の主面に形成されたバンプ電極と、
前記バンプ電極の形成位置を除いた前記薄膜コイル層の前記主面に形成された絶縁樹脂層とを備え、
前記バンプ電極は前記コイル導体と異なる層に形成されており、
前記絶縁樹脂層は前記バンプ電極の全周囲に形成されていることを特徴とするコイル部品。
【請求項２】
前記バンプ電極と前記コイル導体の端部とを接続するコンタクトホール導体をさらに備え、
前記コンタクトホール導体は、前記バンプ電極と平面視にて重なる位置に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のコイル部品。
【請求項３】
前記コイル導体の端部に接続された引き出し導体をさらに備え、前記引き出し導体の端部は当該コイル部品の側面から露出する外部端子電極に接続されていることを特徴とする請求項２に記載のコイル部品。
【請求項４】
前記絶縁樹脂層の露出面に形成されたダミー電極をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のコイル部品。
【請求項５】
前記ダミー電極が前記バンプ電極と電気的に接続されていることを特徴とする請求項４に記載のコイル部品。
【請求項６】
前記バンプ電極の側面がエッジのない曲面形状を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載のコイル部品。
【請求項７】
前記絶縁樹脂層は磁性粉含有樹脂材料からなり、
前記コイル導体は、互いに磁気結合する第１及び第２のスパイラルパターンを含み、前記第１及び第２のスパイラルパターンはコモンモードフィルタを構成していることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載のコイル部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コイル部品に関し、特に、コイル導体を内蔵する薄膜コモンモードフィルタの構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、高速な信号伝送インターフェースとしてＵＳＢ２．０規格やＩＥＥＥ１３９４規格が広く普及し、パーソナルコンピュータやデジタルカメラなど数多くのデジタル機器に用いられている。これらのインターフェースでは一対の信号線を用いて差動信号（ディファレンシャル信号）を伝送する差動伝送方式が採用されており、従来のシングルエンド伝送方式よりも高速な信号伝送が実現されている。
【０００３】
高速差動伝送路上のノイズを除去するためのフィルタにはコモンモードフィルタが広く使用されている。コモンモードフィルタは、一対の信号線を伝わる信号の差動成分に対するインピーダンスが低く、同相成分（コモンモードノイズ）に対するインピーダンスが高いという特性を有している。そのため、一対の信号線上にコモンモードフィルタを挿入することにより、ディファレンシャルモード信号を実質的に減衰させることなくコモンモードノイズを遮断することができる。
【０００４】
図１１は、従来の表面実装型コモンモードフィルタの構造を示す略分解斜視図である。
【０００５】
図１１に示すように、従来のコモンモードフィルタ１は、互いに磁気結合された一対のコイル導体５，６を含む薄膜コイル層２と、薄膜コイル層２の上下に設けられたフェライトからなる磁性基板３，４とを備えている。コイル導体５，６の端部は外部端子電極７ａ〜７ｄにそれぞれ接続されており、外部端子電極７ａ〜７ｄは磁性基板３，４の側面及び上下面に形成されている。通常、外部端子電極７ａ〜７ｄは磁性基板の表面へのスパッタリングやめっきにより形成される。
【０００６】
特許文献１には、コモンモードフィルタの端子電極構造が開示されている。このコモンモードフィルタの端子電極は、部品の表面にＡｇを含む導電性ペーストを塗布し、或いはスパッタリングや蒸着等でＡｇ膜を形成した後、このＡｇ膜上に湿式電解めっき処理を行って、Ｎｉの金属膜をさらに形成している。
【０００７】
また、特許文献２には、シリコン基板上に絶縁層、コイル導体を含むコイル層、コイル導体に電気的に接続された外部電極を薄膜形成技術で順次形成し、全体として直方体状の外形を有するコモンモードチョークコイルが開示されている。このコモンモードチョークコイルにおいて、外部電極は絶縁層の上面（実装面）に広がって形成されている。また、内部電極端子は、複数の導電層が積層された多層構造の電極として構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】国際公開ＷＯ２００６／０７３０２９号パンフレット
【特許文献２】特開２００７−５３２５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
図１１に示した従来のコモンモードフィルタ１は、薄膜コイル層２を２つの磁性基板３，４で挟み込んだ構造であるため、コモンモードフィルタの磁気特性が高く、高周波特性に優れるだけでなく、機械的強度も高いという特長を有している。しかしながら、従来のコモンモードフィルタの構造は、上下にフェライトからなる磁性基板を使用しており、フェライト基板はあまり薄くすると割れやすいことから薄型化が困難であり、さらに２つの磁性基板を重ねることで肉厚となり、低背化されたチップ部品として提供することが難しかった。また、高価な磁性材料を多量に使用するため製造コストが高く、使用用途によってはフィルタ性能が過剰スペックであるという問題もある。
【００１０】
また、従来のコモンモードフィルタは、個々のチップ部品の表面に微小な端子電極をスパッタリング等で形成するものであるため、端子電極を高精度に形成することが非常に難しいという問題がある。さらに、特許文献２に記載のコモンモードチョークコイルでは、何層にも重ねた導体層によって内部電極端子を形成しているため、不良電極が形成される確率が高く、また電極形成のための工数の増加により製造コストが増加するという問題がある。
【００１１】
したがって、本発明の目的は、所望のフィルタ性能を確保しつつ小型化且つ低背化され、低コストで製造可能なコイル部品を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するため、本発明によるコイル部品は、磁性セラミック材料からなる磁性基板と、前記磁性基板の一方の主面に形成されたコイル導体を含む薄膜コイル層と、前記薄膜コイル層の主面に形成されたバンプ電極と、前記バンプ電極の形成位置を除いた前記薄膜コイル層の前記主面に形成された絶縁樹脂層とを備え、前記バンプ電極は前記コイル導体と異なる層に形成されており、前記絶縁樹脂層は前記バンプ電極の全周囲に形成されていることを特徴とする。
【００１３】
本発明によれば、一方の磁性基板が省略された薄型なコイル部品を低コストで提供することができる。また、外部端子電極としてバンプ電極を用いているので従来よりも高精度に電極を形成できる。また、バンプ電極がコイル導体とは異なる層に形成されているので、バンプ電極の一部がコイル導体と平面視にて重なるように配置することができ、コイル部品の小型化を図ることができる。さらに、バンプ電極の全周囲に絶縁樹脂層が設けられているので、バンプ電極を十分に補強することができ、バンプ電極の剥離等を防止することができる。
【００１４】
本発明によるコイル部品は、前記バンプ電極と前記コイル導体の端部とを接続するコンタクトホール導体をさらに備え、前記コンタクトホール導体は、前記バンプ電極と平面視にて重なる位置に設けられていることが好ましい。このように構成すれば、引き出し導体を介在させることなく、バンプ電極とコイル導体とを直接接続することができ、コイル導体の長さの違いによるインダクタンスのズレを少なくすることができる。
【００１５】
本発明によるコイル部品は、前記コイル導体の端部に接続された引き出し導体をさらに備え、前記引き出し導体の端部は当該コイル部品の側面から露出する外部端子電極に接続されていることが好ましい。この構成によれば、外部端子電極を介してバンプ電極とインダクタンス導体を接続することができ、一方の側面に露出する外部端子電極の有無を確認することで、コイル部品の向きを判別することができる。
【００１６】
本発明によるコイル部品は、前記絶縁樹脂層の露出面に形成されたダミー電極をさらに備えることが好ましい。この場合において、前記ダミー電極が前記バンプ電極と電気的に接続されていても良い。このようなダミー電極を設けることで半田接合面を広く確保することができ、実装面への固着強度を高めることができる。
【００１７】
本発明においては、前記バンプ電極の側面がエッジのない曲面形状を有することが好ましい。絶縁樹脂層は、バンプ電極を形成した後に軟化した樹脂を流し込むことにより形成されるが、バンプ電極の側面にエッジの効いたコーナー部があるとバンプ電極の周囲に流動性のある絶縁樹脂がうまく入り込めず、気泡を抱き易い。しかし、バンプ電極の側面が湾曲面である場合には、粘性のある樹脂が隅々まで行き渡るので、気泡を含まない高品質な樹脂層を形成することができる。しかも、絶縁樹脂層とバンプ電極との密着性が高まるので、バンプ電極に対する補強力を高めることができる。
【００１８】
本発明において、前記絶縁樹脂層は磁性粉含有樹脂材料からなり、前記コイル導体は、互いに磁気結合する第１及び第２のスパイラルパターンを含み、前記第１及び第２のスパイラルパターンはコモンモードフィルタを構成していることが好ましい。これによれば、絶縁樹脂層が磁性材料を含むことから、磁性基板と絶縁樹脂層との間に挟まれたコモンモードフィルタの磁気結合を高めることができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、所望のフィルタ性能を確保しつつ小型化且つ低背化され、低コストで製造可能なコイル部品を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の第１の実施の形態によるコイル部品１００の概観構造を示す略斜視図であり、実装面が上向きの状態を示している。
【図２】コイル部品１００の層構造を詳細に示す略分解斜視図である。
【図３】薄膜コイル層１２内の導体パターンとバンプ電極１３ａ〜１３ｄとの位置関係を示す略平面図である。
【図４】コイル部品１００の製造方法を示すフローチャートである。
【図５】多数のコイル部品１００が形成された磁性ウェハーの構成を示す略平面図である。
【図６】本発明の第２の実施形態によるコイル部品２００の構造を示す略外観斜視図である。
【図７】本発明の第３の実施形態によるコイル部品３００の構造を示す略外観斜視図である。
【図８】本発明の第４の実施形態によるコイル部品４００の構造を示す略平面図である。
【図９】本発明の第５の実施形態によるコイル部品５００の構造を示す略平面図である。
【図１０】本発明の第６の実施形態によるコイル部品６００の構造を示す略平面図である。
【図１１】従来の表面実装型コモンモードフィルタの構造を示す略分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、添付図面を参照しながら、本発明の好ましい実施の形態について詳細に説明する。
【００２２】
図１は、本発明の第１の実施の形態によるコイル部品１００の概観構造を示す略斜視図であり、実装面が上向きの状態を示している。
【００２３】
図１に示すように、本実施形態によるコイル部品１００はコモンモードフィルタであって、磁性基板１１と、磁性基板１１の一方の主面（上面）に設けられたコモンモードフィルタ素子を含む薄膜コイル層１２と、薄膜コイル層１２の主面（上面）に設けられた第１〜第４のバンプ電極１３ａ〜１３ｄと、バンプ電極１３ａ〜１３ｄの形成位置を除いた薄膜コイル層１２の主面に設けられた磁性樹脂層１４とを備えている。図示のように、コイル部品１００は略直方体状の表面実装型チップ部品であり、第１〜第４のバンプ電極１３ａ〜１３ｄは磁性樹脂層１４の上面から露出している。なお、実装時には上下反転し、バンプ電極１３ａ〜１３ｄ側を下向きにして使用することは言うまでもない。本明細書においては説明の便宜上、図１に示す実装面が上向きの状態を基準にして上下方向を定義し、磁性樹脂層１４の露出面をコイル部品１００の上面とする。
【００２４】
磁性基板１１は、コイル部品１００の機械的強度を確保すると共に、コモンモードフィルタの閉磁路としての役割を果たすものである。磁性基板１１の材料としては例えば焼結フェライト等の磁性セラミック材料を用いることができる。特に限定されるものではないが、チップサイズが１．０×１．２５×０．５６（ｍｍ）であるとき、磁性基板１１の厚さは０．５５〜０．６ｍｍ程度とすることができる。磁性基板１１は単層構造であってもよく、多層構造であってもよい。
【００２５】
薄膜コイル層１２は、磁性基板１１と磁性樹脂層１４との間に設けられたコモンモードフィルタ素子を含む層である。詳細は後述するが、薄膜コイル層１２は絶縁層と導体パターンとを交互に積層して形成された多層構造を有している。このように、本実施形態によるコイル部品１００はいわゆる薄膜タイプであって、磁性コアに導線を巻回した構造を有する巻線タイプとは区別されるものである。
【００２６】
磁性樹脂層１４は、コイル部品１００の実装面（底面）を構成する層であり、磁性基板１１と共に薄膜コイル層１２を保護すると共に、コイル部品１００の閉磁路としての役割を果たすものである。ただし、磁性樹脂層１４の機械的強度は磁性基板１１よりも小さいため、強度面では補助的な役割を果たす程度である。磁性樹脂層１４としては、フェライト粉を含有するエポキシ樹脂（複合フェライト）を用いることができる。特に限定されるものではないが、チップサイズが１．０×１．２５×０．６（ｍｍ）であるとき、磁性樹脂層１４の厚さは０．０８〜０．１ｍｍ程度とすることができる。
【００２７】
図２は、コイル部品１００の層構造を詳細に示す略分解斜視図である。
【００２８】
図２に示すように、薄膜コイル層１２は、磁性基板１１側から磁性樹脂層１４側に向かって順に積層された第１〜第４の絶縁層１５ａ〜１５ｄと、第２の絶縁層１５ｂ上に形成された第１のスパイラル導体１６及び外部端子電極２１ａ，２１ｂと、第１の絶縁層１５ａ上に形成された第２のスパイラル導体１７及び外部端子電極２１ａ，２１ｂと、第３の絶縁層１５ｃ上に形成された第１〜第４の引き出し導体２０ａ〜２０ｄ、外部端子電極２１ａ，２１ｂ及び内部端子電極２４ａ〜２４ｄとを備えている。
【００２９】
第１〜第４の絶縁層１５ａ〜１５ｄは、異なる層に設けられた導体パターン間を絶縁すると共に、導体パターンが形成される平面の平坦性を確保する役割を果たす。特に、第１の絶縁層１５ａは、磁性基板１１の表面の凹凸を吸収し、導体パターンの加工精度を高める役割を果たす。絶縁層１５ａ〜１５ｄの材料としては、電気的及び磁気的な絶縁性に優れ、加工の容易な樹脂を用いることが好ましく、特に限定されるものではないが、ポリイミド樹脂やエポキシ樹脂を用いることができる。
【００３０】
第１のスパイラル導体１６の内周端は、絶縁層１５ｃを貫通する第１のコンタクトホール導体１８及び引き出し導体２０ｃを介して、内部端子電極２４ａに接続されている。また、第１のスパイラル導体１６の外周端は、引き出し導体２２を介して外部端子電極２１ａに接続されている。
【００３１】
第２のスパイラル導体１７の内周端は、絶縁層１５ｃ及び１５ｂを貫通する第２のコンタクトホール導体１９及び引き出し導体２０ｄを介して、内部端子電極２４ｂに接続されている。また、第２のスパイラル導体１７の外周端は、引き出し導体２３を介して外部端子電極２１ｂに接続されている。
【００３２】
第１及び第２のスパイラル導体１６，１７の外形は共に円形スパイラルである。円形スパイラル導体は高周波での減衰が少ないため、高周波用インダクタンスとして好ましく用いることができる。第１及び第２のスパイラル導体１６，１７は共に同一の平面形状を有しており、しかも平面視で同じ位置に設けられている。第１及び第２のスパイラル導体１６，１７は完全に重なり合っていることから、両者の間には強い磁気結合が生じている。以上の構成により、薄膜コイル層１２内の導体パターンはコモンモードフィルタを構成している。
【００３３】
第１〜第４の絶縁層１５ａ〜１５ｄの中央領域であって第１及び第２のスパイラル導体１６，１７の内側には、第１〜第４の絶縁層１５ａ〜１５ｄを貫通する開口２５が設けられており、開口２５の内部には、磁路を形成するための磁性コア２６が形成されている。磁性コア２６の材料としては、磁性樹脂層１４と同一の材料である磁性粉含有樹脂（複合フェライト）を用いることが好ましい。
【００３４】
絶縁層１５ｄ上には第１〜第４のバンプ電極１３ａ〜１３ｄがそれぞれ設けられている。第１のバンプ電極１３ａは絶縁層１５ｄを貫通するコンタクトホール導体２７ａを介して内部端子電極２４ａに接続され、第２のバンプ電極１３ｂは絶縁層１５ｄを貫通するコンタクトホール導体２７ｂを介して内部端子電極２４ｂに接続され、第３のバンプ電極１３ｃは絶縁層１５ｄを貫通するコンタクトホール導体２７ｃを介して内部端子電極２４ｃに接続され、第４のバンプ電極１３ｄは絶縁層１５ｄを貫通するコンタクトホール導体２７ｄを介して内部端子電極２４ｄに接続されている。なお、本明細書において「バンプ電極」とは、フリップチップボンダーを用いてＣｕ，Ａｕ等の金属ボールを熱圧着することにより形成されるものとは異なり、めっき処理により形成された厚膜めっき電極を意味する。バンプ電極の厚さは、磁性樹脂層１４の厚さと同等かそれ以上であり、０．０８〜０．１ｍｍ程度とすることができる。すなわち、バンプ電極１３ａ〜１３ｄの厚さは薄膜コイル層１２内の導体パターンよりも厚く、特に、薄膜コイル層１２内の導体パターンの５倍以上の厚さを有している。
【００３５】
第１〜第４のバンプ電極１３ａ〜１３ｄが形成された第４の絶縁層１５ｄ上には磁性樹脂層１４が形成されている。磁性樹脂層１４はバンプ電極１３ａ〜１３ｄの周囲を埋めるように設けられている。特に、磁性樹脂層１４は下地面に対して垂直に設けられた各バンプ電極１３ａ〜１３ｄの側面の全周囲を覆っている。
【００３６】
図３は、薄膜コイル層１２内の導体パターンとバンプ電極１３ａ〜１３ｄとの位置関係を示す略平面図である。
【００３７】
図３に示すように、第１及び第２のスパイラル導体１６，１７は、平面視にて重なり合っているので、両者の間には強い磁気結合が生じている。また、本実施形態においては、第１〜第４のバンプ電極１３ａ〜１３ｄの一部がスパイラル導体１６，１７と重なっている。プリント基板への半田実装を確実にするためには、バンプ電極１３ａ〜１３ｄの実装面側の面積をある程度確保しなければならないが、バンプ電極１３ａ〜１３ｄがスパイラル導体１６，１７と重なるように配置した場合には、チップ面積を大きくすることなく電極面積を確保することができる。もちろん、バンプ電極１３ａ〜１３ｄがスパイラル導体１６，１７と重ならないように構成することも可能であるが、その場合にはチップ部品が大型化することになる。
【００３８】
図示のように、磁性樹脂層１４と接するバンプ電極１３ａ〜１３ｄの側面は、エッジのない曲面形状であることが好ましく、バンプ電極１３ａ〜１３ｄは平面視にて円形であることがより好ましい。詳細は後述するが、磁性樹脂層１４は、バンプ電極１３を形成した後、複合フェライトのペーストを流し込むことにより形成されるが、このときバンプ電極１３ａ〜１３ｄの側面１３ｅにエッジの効いたコーナー部があるとバンプ電極の周囲にペーストが完全に充填されず、気泡を含む状態となりやすい。しかし、バンプ電極１３ａ〜１３ｄの側面が湾曲面である場合には、流動性のある樹脂が隅々まで行き渡るので、気泡を含まない緻密な絶縁樹脂層を形成することができる。しかも、磁性樹脂層１４とバンプ電極１３ａ〜１３ｄとの密着性が高まるので、バンプ電極１３ａ〜１３ｄに対する補強性を高めることができる。
【００３９】
本実施形態においては、外部端子電極２１ａ，２１ｂがチップ部品の側面１０ｂから露出しており、コイル部品１００の一方の側面１０ａの形状と反対側の側面１０ｂの形状は異なっている。バンプ電極１３ａ〜１３ｄのレイアウトがＸ軸及びＹ軸の両方に対して対称性を有するため、コイル部品１００の向きをバンプ電極から判断することは困難であるが、本実施形態のように側面の端子電極の形状が異なっていれば、側面の形状からチップ部品の方向性を確認することができる。
【００４０】
以上説明したように、本実施形態によるコイル部品１００は、薄膜コイル層１２の片側にのみ磁性基板１１が設けられ、反対側の絶縁基板が省略され、その代わりに磁性樹脂層１４が設けられているので、薄型なチップ部品を低コストで提供することができる。また、磁性樹脂層１４と同等な肉厚を有するバンプ電極１３ａ〜１３ｄを設けたことにより、チップ部品の側面や上下面に外部電極面を形成する工程を省略することができ、外部電極を容易且つ高精度に形成することができる。また、本実施形態によれば、バンプ電極１３ａ〜１３ｄの一部がコイル導体パターンと平面視にて重なるように設けられていることから、チップ部品の小型化を図ることができる。さらに、本実施形態によれば、バンプ電極１３ａ〜１３ｄの側面の全周囲に磁性樹脂層１４が設けられており、バンプ電極１３ａ〜１３ｄが周囲の磁性樹脂層１４によって支持されているので、バンプ電極１３ａ〜１３ｄを十分に補強することができ、バンプ電極の剥離や変形を防止することができる。
【００４１】
次に、コイル部品１００の製造方法について詳細に説明する。
【００４２】
図４は、コイル部品１００の製造方法を示すフローチャートである。また、図５は、多数のコイル部品１００が形成された磁性ウェハーの構成を示す略平面図である。
【００４３】
図４及び図５に示すように、コイル部品１００の製造では、一枚の大きな磁性基板（磁性ウェハー）上に多数のコモンモードフィルタ素子（コイル導体パターン）を形成した後、各素子を個別に切断することにより多数のチップ部品を製造する量産プロセスが実施される。そのため、まず磁性ウェハーを用意し、（ステップＳ１１）、磁性ウェハーの表面に多数のコモンモードフィルタ素子がレイアウトされた薄膜コイル層１２を形成する（ステップＳ１２）。
【００４４】
薄膜コイル層１２はいわゆる薄膜工法によって形成される。ここで、薄膜工法とは、感光性樹脂を塗布し、これを露光及び現像して絶縁層を形成した後、絶縁層の表面に導体パターンを形成する工程を繰り返すことにより、絶縁層及び導体層が交互に形成された多層膜を形成する方法である。以下、薄膜コイル層１２の形成工程について詳細に説明する。
【００４５】
薄膜コイル層１２の形成では、まず絶縁層１５ａを形成した後、絶縁層１５ａ上に第２のスパイラル導体１７及び外部端子電極２１ａ，２１ｂを形成する。次に、絶縁層１５ａ上に絶縁層１５ｂを形成した後、絶縁層１５ｂ上に第１のスパイラル導体１６及び外部端子電極２１ａ，２１ｂを形成し、さらに絶縁層１５ｂを貫通するコンタクトホール導体１９を形成する。次に、絶縁層１５ｂ上に絶縁層１５ｃを形成した後、絶縁層１５ｃ上に引き出し導体２０ａ〜２０ｄ、外部端子電極２１ａ，２１ｂ及び内部端子電極２４ａ〜２４ｂを形成し、さらに絶縁層１５ｃを貫通するコンタクトホール導体１８，１９をそれぞれ形成する。次に、絶縁層１５ｃ上に絶縁層１５ｄを形成した後、絶縁層１５ｄを貫通するコンタクトホール導体２７ａ〜２７ｄをそれぞれ形成する。
【００４６】
ここで、各絶縁層１５ａ〜１５ｄは、下地面に感光性樹脂をスピンコートし、これを露光及び現像することにより形成することができる。特に、絶縁層１５ａ〜１５ｄは開口２５を有する絶縁層として形成され、絶縁層１５ｂ，１５ｃはコンタクトホール導体１８，１９を有する絶縁層として形成される。絶縁層１５ｄに形成されるコンタクトホール導体２７ａ〜２７ｄは当初から導電性を有することが好ましいが、導電性を有しない単なる貫通孔として形成されてもよい。また、導体パターンの材料としてはＣｕ等を用いることができ、蒸着法又はスパッタリングにより導体層を形成した後、これをパターニングすることにより形成することができる。
【００４７】
次に、絶縁層１５ｄ上にバンプ電極１３（１３ａ〜１３ｄ）を形成する（ステップＳ１３）。バンプ電極１３の形成方法は、まず絶縁層１５ｄの全面に下地金属膜をスパッタリングにより形成する。下地金属膜としては、Ｃｕの単層膜、或いはＣｒ及びＣｕをこの順で成膜した多層膜を用いることができる。このとき、上述した導電性を有しない単なる貫通孔の内部を金属膜で埋めることができ、これにより導電性を有するコンタクトホール導体２７ａ〜２７ｄを形成することができる。次に、シートレジストを貼り付け、露光及び現像することにより、バンプ電極を形成すべき位置にあるシートレジストを選択的に除去し、絶縁層１５ｄ上の端子電極２１ａ〜２４ｄを含む電極形成領域を露出させる。この露出領域に、肉厚なバンプ電極１３ａ〜１３ｄを電気めっきにより形成する。その後、シートレジストを除去し、全面をエッチングすることにより不要な下地金属膜を除去し、バンプ電極１３を端子電極２１ａ〜２４ｄの上方にのみ残すことにより、下地面に対して垂直な略柱状のバンプ電極１３が完成する。このとき、図５に示すように、略柱状のバンプ電極１３は、当初から各チップ部品のための個別のバンプ電極として提供される。
【００４８】
次に、バンプ電極１３が形成された磁性ウェハー上に複合フェライトのペーストを充填し、硬化させて、磁性樹脂層１４を形成する（ステップＳ１４）。このとき、磁性樹脂層１４を確実に形成するため多量のペーストが充填され、これによりバンプ電極１３は樹脂内に埋没した状態となる。そのため、バンプ電極１３の上面が露出するまで磁性樹脂層１４を研磨して所定の厚さにすると共に表面を平滑化する（ステップＳ１５）。さらに、磁性ウェハーについても所定の厚さとなるように研磨する（ステップＳ１６）。その後、磁性ウェハーのダイシングによって各コモンモードフィルタ素子を個片化（チップ化）し、図１に示すチップ部品を作製する（ステップＳ１７）。
【００４９】
このとき、図５に示すように、チップ部品の長手方向（Ｙ方向）に延びる切断ラインＣ１，チップ部品の短手方向（Ｘ方向）に延びる切断ラインＣ２は共にバンプ電極１３の外側を通過するので、バンプ電極１３が切断されることはない。各バンプ電極１３の側面の全周囲は磁性樹脂層１４に覆われた状態となるので、バンプ電極の強度を高めることができる。また、バンプ電極１３の側面がコイル部品２００の側面に露出しないので、実装時の半田フィレットが形成されない外部端子電極を提供することができる。そのため省スペースでの実装が可能であり、高密度実装を実現できる。また、磁性ウェハーのダイシングの際にバンプ電極１３が切断対象とならず、磁性ウェハー及び樹脂層のみが切断対象となるので、ダイシングも容易となる。
【００５０】
次に、チップ部品のバレル研磨を行ってエッジを除去した後（ステップＳ１８）、電気めっきを行い（ステップ１９）、第１〜第４のバンプ電極１３ａ〜１３ｄ及び外部端子電極２１ａ，２１ｂの露出面を平滑な電極面として形成する。このように、チップ部品の外表面をバレル研磨することによりチップ欠け等の破損が生じにくいコイル部品を製造することができる。
【００５１】
以上説明したように、本実施形態によるコイル部品１００の製造方法は、従来において使用していた上下の磁性基板の一方を省略し、その代わりに絶縁樹脂層を形成することから、コイル部品を簡易且つ低コストで製造することができる。また、バンプ電極の周囲に樹脂を充填しているので、バンプ電極を補強することができ、バンプ電極の剥離等を防止することができる。また、本実施形態によるコモンモードフィルタの製造方法は、バンプ電極をめっきにより形成しているので、例えばスパッタリングで形成する場合よりも加工精度の高く安定した外部端子電極を提供することができる。さらに、切断ラインがバンプ電極１３上を通過しないので、バンプ電極の全周囲が樹脂で覆われた構造とすることが出来、バンプ電極１３の信頼性を高めることが出来る。
【００５２】
図６は、本発明の第２の実施形態によるコイル部品２００の構造を示す略外観斜視図である。
【００５３】
図６に示すように、このコイル部品２００の特徴は、バンプ電極１３ａ〜１３ｄが露出するコイル部品２００の上面にダミー電極３１が設けられている点にある。ダミー電極３１は、コイル部品２００の上面の中央部に設けられた矩形状の導体パターンであり、端子電極として機能するものではなく、はんだ接続に使用されるものであり、実装面に対するチップ部品の固着強度を高めるために設けられている。
【００５４】
ダミー電極３１は磁性樹脂層１４の上面に薄いめっき電極として形成されている。この場合、ダミー電極３１をバンプ電極１３ａ〜１３ｄと同じ工程で形成することはできないが、磁性コア２６を磁性樹脂層１４と一緒に形成することができる。ダミー電極３１は、バンプ電極１３ａ〜１３ｄと同様に、肉厚なバンプ形成としてもよい。この場合、磁路を形成するための磁性コア２６（図２参照）を磁性樹脂層１４と一緒に形成することはできないが、バンプ電極１３ａ〜１３ｄと同じ工程で形成できるというメリットがある。
【００５５】
図示のように、コイル部品２００の電極レイアウトは対称性を有するが、第１の実施形態のように外部端子電極２１ａ，２１ｂが側面１０ｂから露出している場合には、側面の形状からコイル部品２００の方向性を容易に確認することができる。
【００５６】
図７は、本発明の第３の実施形態によるコイル部品３００の構造を示す略外観斜視図である。
【００５７】
図７に示すように、このコイル部品３００は、上記矩形状のダミー電極３１ではなく、図１等に示したバンプ電極３１ａ〜３１ｄと同様の円形のダミー電極３２ａ，３２ｂを用いている。図示のように、実装面には６個の電極が設けられており、そのうち長手方向の一端寄りに第１及び第２のバンプ電極１３ａ，１３ｂが配置され、他端寄りに第３及び第４のバンプ電極１３ａ，１３ｂが配置され、チップの長手方向の中央部に円形のダミー電極３２ａ，３２ｂが形成されている。ダミー電極３２ａ，３２ｂは端子電極として機能するものではなく、はんだ接続に使用されるものであり、実装面に対するチップ部品の固着強度を高めるために設けられている。
【００５８】
本実施形態によるコイル部品３００の電極レイアウトもＸ軸及びＹ軸の両方に対して対称性を有するが、第１の実施形態と同様、外部端子電極２１ａ，２１ｂが側面１０ｂから露出しているので、側面の形状からコイル部品２００の方向性を容易に確認することができる。
【００５９】
図８は、本発明の第４の実施形態によるコイル部品４００の構造を示す略平面図である。
【００６０】
図８に示すように、このコイル部品４００の特徴は、バンプ電極１３ａ，１３ｂがコンタクトホール導体１８，１９の上端にそれぞれ直接接続されている点にある。バンプ電極１３ａは、コンタクトホール導体１８を介してスパイラル導体１６の内周端に接続されており、バンプ電極１３ｂは、コンタクトホール導体１９を介してスパイラル導体１７の内周端に接続されている。このような構成を実現するため、スパイラル導体１６の内周端はチップの長手方向の中央部で終端しており、スパイラル導体１７の内周端はスパイラル導体１６の内周端よりも半周進んだ位置で終端している。その結果、スパイラル導体１６，１７の内周端に接続されるコンタクトホール導体１８，１９は互いにＸ方向に引き離され、バンプ電極１３ａ，１３ｂの直下に配置される。コンタクトホール導体１８，１９の位置はバンプ電極１３ａ，１３ｂの中心と一致していなくても構わない。
【００６１】
以上のように、バンプ電極１３ａ，１３ｂは、引き出し導体２０ｃ，２０ｄを介することなくスパイラル導体１６，１７に直接接続されている。したがって、引き出し導体２０ｃ，２０ｄ及び内部端子電極２４ａ，２４ｂを形成するために必要な絶縁層１５ｃを省略することができ、部品の低背化と工数の低減による低コスト化を図ることができる。
【００６２】
図９は、本発明の第５の実施形態によるコイル部品５００の構造を示す略平面図である。
【００６３】
図９に示すように、このコイル部品５００は、図８のコイル部品４００に円形ダミー電極３３ａ，３３ｂを追加したものである。図示のように、実装面には６個の電極が設けられており、そのうちチップの長手方向の中央部に第１及び第２のバンプ電極１３ａ，１３ｂが形成され、長手方向の一端寄りに第３及び第４のバンプ電極１３ｃ，１３ｄが配置され、他端寄りに円形のダミー電極３３ａ，３３ｂが配置されている。ダミー電極３３ａ，３３ｂは端子電極として機能するものではなく、はんだ接続に使用されるものであり、実装面に対するチップ部品の固着強度を高めるために設けられている。
【００６４】
本実施形態によるコイル部品３００の電極レイアウトもＸ軸及びＹ軸の両方に対して対称性を有するが、第１の実施形態と同様、外部端子電極２１ａ，２１ｂが側面１０ｂから露出しているので、側面の形状からコイル部品２００の方向性を容易に確認することができる。
【００６５】
図１０は、本発明の第６の実施形態によるコイル部品６００の構造を示す略平面図である。
【００６６】
図１０に示すように、このコイル部品６００は、図８のコイル部品４００に長円形ダミー電極４１ａ，４１ｂを追加したものである。図示のように、実装面には４個のバンプ電極１３ａ〜１３ｄが設けられており、そのうちチップの長手方向の中央部に第１及び第２のバンプ電極１３ａ，１３ｂが形成され、長手方向の一端寄りに第３及び第４のバンプ電極１３ｃ，１３ｄが配置されている。さらに、第１及び第２のバンプ電極１３ａ，１３ｂと重ねて長円形のダミー電極３３ａ，３３ｂが配置されている。ダミー電極３３ａ，３３ｂは、第１及び第２のバンプ電極１３ａ，１３ｂの形成位置から他端側（第３、第４のバンプ電極１３ｃ，１３ｄとは反対側）に延びている。ダミー電極３３ａ，３３ｂは第１及び第２のバンプ電極１３ａ，１３ｂに接続されていることから、半田接合面を広く確保するためだけでなく、端子電極として機能させることができる。なお、図１０に示した細長いダミー電極４１ａ，４１ｂは磁性樹脂層１４の表面に薄いめっき電極として形成されることが好ましいが、第１及び第２のバンプ電極１３ａ，１３ｂと一体化された肉厚なバンプ電極として形成することも可能である。
【００６７】
以上、本発明の好ましい実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能であり、それらも本発明に包含されるものであることは言うまでもない。
【００６８】
例えば、上記実施形態においては、薄膜コイル層１２の主面に複合フェライトからなる磁性樹脂層１４を形成しているが、磁性を有しない単なる絶縁樹脂層を形成してもよい。また、コイル部品として薄膜コモンモードフィルタを例に挙げたが、本発明はコイル導体層の上下を磁性基板で挟み込むタイプの各種コイル部品に適用可能である。
【００６９】
また、本発明は上記第１〜第５の実施形態を適宜組み合わせて構成することも可能である。例えば、第１の実施形態によるアンテナ装置１００において、図１０に示した長円形状のダミー電極４１ａ，４１ｂを形成することができる。
【００７０】
また、上記実施形態においては、２つのバンプ電極１３ａ，１３ｂをコンタクトホール導体１８，１９に直接接続しているが、４つのバンプ電極１３ａ〜１３ｄすべてにコンタクトホール導体を接続しても良い。この場合、外部端子電極２１ａ，２１ｂは不要となるが、チップの方向性か確認のため、外部端子電極２１ａ，２１ｂをあえて残しても構わない。
【符号の説明】
【００７１】
１    コモンモードフィルタ
２    薄膜コイル層
３，４    磁性基板
５，６    コイル導体
１０ａ，１０ｂ    コイル部品の側面
１１    磁性基板
１２    薄膜コイル層
１３，１３ａ〜１３ｄ    バンプ電極
１４    磁性樹脂層
１５，１５ａ〜１５ｄ    絶縁層
１６    第１のスパイラル導体
１７    第２のスパイラル導体
１８    第１のコンタクトホール導体
１９    第２のコンタクトホール導体
２０ａ〜２０ｄ    引き出し導体
２１ａ，２１ｂ    外部端子電極
２２，２３    引き出し導体
２４ａ〜２４ｄ    内部端子電極
２５    開口
２６    磁性コア
２７ａ〜２７ｄ    コンタクトホール導体
３１    ダミー電極
３２ａ，３２ｂ    ダミー電極
３３ａ，３３ｂ    ダミー電極
４１ａ，４１ｂ    ダミー電極
１００〜６００    コイル部品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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