(57)【要約】【課題】容器本体の分離を自動化させ易い基板用収納容器を提供する。【解決手段】容器本体３を載置支持可能な載置支持部材４を、容器本体３を載置支持する支持部分２７と、その支持部分２７にて容器本体３を載置支持した状態において給気口と対向する位置にファンフィルタユニット５を位置させるようにファンフィルタユニット５が装着された装着部分２８とを備えて構成し、支持部分２７に、受け止め支持体が上下方向に挿抜可能な開口部３１を形成し、容器本体３を、開口部３１に挿入された受け止め支持体にて下部が受け止め支持される状態で載置支持部材４に対して上方側に分離可能に構成する【選択図】図３
2011091270.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で複数枚収納可能な基板収納空間を備えた容器本体と、前記容器本体の前記基板収納空間に清浄空気を供給するファンフィルタユニットとが備えられ、
前記容器本体が、その側部に前記基板を出し入れするための出し入れ口と前記ファンフィルタユニットにて供給される清浄空気を前記基板収納空間に給気するための給気口とを形成して構成された基板用収納容器であって、
前記容器本体を載置支持可能な載置支持部材が、前記容器本体を載置支持する支持部分と、その支持部分にて前記容器本体を載置支持した状態において前記給気口と対向する位置に前記ファンフィルタユニットを位置させるように前記ファンフィルタユニットが装着された装着部分とを備えて構成され、
前記支持部分に、受け止め支持体が上下方向に挿抜可能な開口部が形成され、
前記容器本体が、前記開口部に挿入された前記受け止め支持体にて下部が受け止め支持される状態で前記載置支持部材に対して上方側に分離可能に構成されている基板用収納容器。
【請求項２】
前記載置支持部材の前記支持部分が、平板状に構成され、
前記容器本体が、その下部が複数の枠材を格子状に並べて構成されて、前記受け止め支持体にて前記枠材が受け止め支持されるように構成されている請求項１記載の基板用収納容器。
【請求項３】
電動式モータにて正逆方向に回転駆動される回転ドラムと、前記回転ドラムに巻回されて前記回転ドラムの回転に伴って繰り出し及び巻き取り操作されるシート状の扉部分とを備えて前記容器本体の前記出し入れ口を開閉するシャッター装置が、前記載置支持部材の出し入れ口側の端部に立設された一対の支持用枠材にて支持される状態で前記載置支持部材に装着され、
前記シャッター装置の下方で且つ前記一対の支持用枠材の間に、前記載置支持部材に対して上方側に分離された前記容器本体が前記基板を出し入れする方向に沿って通過可能な通過口が形成されている請求項１又は２記載の基板用収納容器。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の基板用収納容器を搬送する搬送設備であって、
前記基板用収納容器を搬送する収納容器搬送手段と前記容器本体を搬送する容器本体搬送手段との間に配設されて、前記収納容器搬送手段から前記基板用収納容器を受け取り、前記容器本体を前記載置支持部材から分離させた後、その分離させた前記容器本体を前記容器本体搬送手段に受け渡す中継搬送手段が設けられ、
前記収納容器搬送手段が、前記載置支持部材における前記支持部分が前記装着部分よりも前記容器本体搬送手段が存在する側に位置させる状態で前記基板用収納容器を前記中継搬送手段に受け渡すように構成され、
前記中継搬送手段が、前記収納容器搬送手段から前記載置支持部材を載置支持する状態で前記基板用収納容器を受け取る第１支持体と、前記容器本体を水平方向の前記容器本体搬送手段が存在する側に載置搬送して前記容器本体を前記容器本体搬送手段に受け渡す前記受け止め支持体としての第２支持体と、前記第２支持体を前記第１支持体に対して相対的に昇降移動させる昇降操作手段とを備えて構成され、
前記第２支持体が、前記昇降操作手段にて前記第１支持体に対して相対的に昇降移動されることにより、前記第１支持体に載置支持されている前記載置支持部材の載置面より下方に位置する非搬送状態と、前記載置支持部材の前記開口部に下方側から挿入されて前記容器本体の前記下部を載置支持して前記容器本体を前記載置支持部材から上方側に分離させた搬送状態とに切り換え可能で、且つ、前記搬送状態において前記容器本体を前記容器本体搬送手段に受け渡すように構成されている搬送設備。
【請求項５】
液体を用いて前記容器本体を洗浄する洗浄装置が設けられ、
前記容器本体搬送手段が、前記中継搬送手段から受け取った前記容器本体を前記洗浄装置に搬送するように構成されている請求項４記載の搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で複数枚収納可能な基板収納空間を備えた容器本体と、前記容器本体の前記基板収納空間に清浄空気を供給するファンフィルタユニットとが備えられ、前記容器本体が、その側部に前記基板を出し入れするための出し入れ口と前記ファンフィルタユニットにて供給される清浄空気を前記基板収納空間に給気するための給気口とを形成して構成された基板用収納容器、及び、それを搬送する搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる基板用収納容器は、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイに使用されるガラス基板等の基板を収納する際に用いられるものであり、上下方向に間隔を隔てて並べる状態で基板収納空間に複数枚収納することより、複数の基板を積層状態で収納することができるように構成されている。そして、ガラス基板等の高いクリーン度が要求される基板を基板用収納容器に収納する場合、外部よりも基板用収納容器の基板収納空間のクリーン度を高くする局所クリーン技術が用いられる。即ち、容器本体を上下左右に側壁を備えた筒状に形成し、その前後一側部に形成される給気口に対向する状態でファンフィルタユニットを設けて、ファンフィルタユニットにて清浄空気を基板収納空間に供給させるように構成されている。そして、このように清浄空気を基板収納空間に供給させて基板に沿った気流を基板収納空間に形成することにより、基板収納空間のクリーン度を高く維持して基板に塵埃が付着することを防止している。
【０００３】
このような基板用収納容器において、従来では、ファンフィルタユニットがＦＦＵ用枠体に装着されており、このＦＦＵ用枠体が筒状の容器本体に対して分離・結合可能に取り付けられていた。つまり、基板用収納容器を洗浄する場合、ＦＦＵ用枠体は電装部品を含むファンフィルタユニットが装着されているため水溶液等の液体では洗浄することができないので、容器本体をＦＦＵ用枠体から分離させて容器本体のみを洗浄するようにしていた（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
そして、ＦＦＵ用枠体は、ファンフィルタユニットが給気口と対向するように容器本体に取り付けられており、その形状は側面視でＩ字状に形成されている。
また、ＦＦＵ用枠体の容器本体への取り付けについて説明を加えると、ＦＦＵ用枠体の下端部を容器本体の下端部に設けられた係合支持板に上方側から係合させるとともに、ＦＦＵ用枠体の上端部に設けられた係合部材を容器本体に上端部に上方側から係合させて、ＦＦＵ用枠体を容器本体に結合させており、容器本体をＦＦＵ用枠体から分離させる場合は、ＦＦＵ用枠体を容器本体に対して上方側に移動させるようにして容器本体をＦＦＵ用枠体から分離させていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−０９４４９４号公報（段落番号「００５４」、図１５）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記従来の基板用収納容器では、ＦＦＵ用枠体の側面視形状がＩ字状に形成されているため、ＦＦＵ用枠体単体では安定が悪く転倒し易いものであるため、容器本体の分離を自動化させ難いものであった。
【０００７】
説明を加えると、容器本体をＦＦＵ用枠体から分離させる場合、ＦＦＵ用枠体の下面を支持した状態でＦＦＵ用枠体を持ち上げることで容器本体をＦＦＵ用枠体から分離させることが考えられるが、ＦＦＵ用枠体は側面視形状がＩ字状であり単体では安定が悪いため、分離させるときにＦＦＵ用枠体が転倒する虞がある。このように、容器本体を分離させる際にＦＦＵ用枠体が転倒する虞があるため、容器本体の分離を自動化させ難いものであった。
【０００８】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、容器本体の分離を自動化させ易い基板用収納容器を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明にかかる基板用収納容器は、基板を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で複数枚収納可能な基板収納空間を備えた容器本体と、前記容器本体の前記基板収納空間に清浄空気を供給するファンフィルタユニットとが備えられ、前記容器本体が、その側部に前記基板を出し入れするための出し入れ口と前記ファンフィルタユニットにて供給される清浄空気を前記基板収納空間に給気するための給気口とを形成して構成されたものであって、その基板用収納容器の第１特徴構成は、
前記容器本体を載置支持可能な載置支持部材が、前記容器本体を載置支持する支持部分と、その支持部分にて前記容器本体を載置支持した状態において前記給気口と対向する位置に前記ファンフィルタユニットを位置させるように前記ファンフィルタユニットが装着された装着部分とを備えて構成され、前記支持部分に、受け止め支持体が上下方向に挿抜可能な開口部が形成され、前記容器本体が、前記開口部に挿入された前記受け止め支持体にて下部が受け止め支持される状態で前記載置支持部材に対して上方側に分離可能に構成されている点にある。
【００１０】
すなわち、給気口に対向する状態でファンフィルタユニットを設けて、ファンフィルタユニットにて清浄空気を基板収納空間に供給させるように構成されている。このように清浄空気を基板収納空間に供給させて基板に沿った気流を基板収納空間に形成することにより、基板収納空間のクリーン度を高く維持して基板に塵埃が付着することが防止されている。
【００１１】
そして、載置支持部材の支持部分に容器本体を載置支持させて容器本体を載置支持部材に結合させた状態で、受け止め支持体を開口部に下方側から挿入させることにより、この挿入された受け止め支持体にて容器本体の下部を受け止め支持される状態で載置支持部材に対して容器本体が相対的に持ち上げられ、容器本体を載置支持部材に対して上方側に分離させることができる。
【００１２】
載置支持部材は、ファンフィルタユニットが装着された装着部分と容器本体が載置支持される支持部分とを備えて構成されており、載置支持部材の横側面視の形状として、装着部分のＩ字状の部分と支持部分の一字状の部分とで全体としてＬ字状に形成することができるので、容器本体を載置支持部材から分離させるときに、容器本体が載置支持される支持部分を支持することでファンフィルタユニットが装着された装着部分を一体的に支持することができる。よって、装着部分を含めた載置支持部材を広い面積で安定よく支持できるので、容器本体を載置支持部材に対して分離させるときに装着部分が転倒し難く、容器本体の分離を自動化させ易いものとなった。従って、容器本体の分離を自動化させ易い基板用収納容器を提供することができるに至った。
【００１３】
本発明にかかる基板用収納容器の第２特徴構成は、基板用収納容器の第１特徴構成において、前記載置支持部材の前記支持部分が、平板状に構成され、前記容器本体が、その下部が複数の枠材を格子状に並べて構成されて、前記受け止め支持体にて前記枠材が受け止め支持されるように構成されている点にある。
【００１４】
すなわち、容器本体の下部は、複数の枠材を格子状に並べて構成されているため開口しているが、容器本体を載置支持する載置支持部材の支持部分が平板状に構成されているため、容器本体を載置支持部材に載置支持させた状態では、容器本体の下部の開口を載置支持部材にて閉塞することができる。
【００１５】
よって、容器本体は、その下部を枠材を格子状に並べて構成することで軽量化を図ることができながら、容器本体を載置支持部材に載置支持させた状態では、容器本体の下部を閉塞することができ、供給させた清浄空気にて基板に沿った気流を基板収納空間に形成させ易い。また、載置支持部における支持部分を平板状に構成することで、支持部分の重量化により装着部分との重力バランスが載置支持部材をより安定よく支持できるバランスとなる。
【００１６】
本発明にかかる基板用収納容器の第３特徴構成は、電動式モータにて正逆方向に回転駆動される回転ドラムと、前記回転ドラムに巻回されて前記回転ドラムの回転に伴って繰り出し及び巻き取り操作されるシート状の扉部分とを備えて前記容器本体の前記出し入れ口を開閉するシャッター装置が、前記載置支持部材の出し入れ口側の端部に立設された一対の支持用枠材にて支持される状態で前記載置支持部材に装着され、前記シャッター装置の下方で且つ前記一対の支持用枠材の間に、前記載置支持部材に対して上方側に分離された前記容器本体が前記基板を出し入れする方向に沿って通過可能な通過口が形成されている点にある。
【００１７】
すなわち、シャッター装置は、回転ドラムから扉部分を繰り出すことにより、その繰り出した扉部分にて容器本体の出し入れ口を閉じることができ、このように出し入れ口を閉じた状態では、出し入れ口から基板収納空間に塵埃が侵入することを防ぐことができる。また、シャッター装置は、回転ドラムに扉部分を巻き取ることにより、容器本体の出し入れ口を開くことができ、このように出し入れ口を開いた状態では、シャッター装置の全体が通過口よりも上方に位置しており、載置支持部材に対して上方側に分離された容器本体が基板を出し入れする方向に沿って通過口を通過させることができる。
【００１８】
そして、電動式モータ等が備えられているシャッター装置は水溶液等の液体で洗浄することができないため、基板用収納容器を洗浄するときはシャッター装置を容器本体から分離させる必要がある。本特徴構成によれば、シャッター装置は載置支持部材に装着されているため、容器本体を載置支持部材から分離することでシャッター装置を容器本体から分離させることができるので、容器本体の分離を容易に行える。
【００１９】
また、シャッター装置の下方に形成された通過口を通して容器本体を移動させることができるため、シャッター装置の上方を移動させる場合に比べて、容器本体を載置支持部材から分離させるときの容器本体の上方側への移動量を抑えることができるので、この点でも容器本体の分離を容易に行える。
【００２０】
本発明にかかる搬送設備は、基板用収納容器の第１〜第３特徴構成のいずれか１つを備えた基板用収納容器を搬送する設備であって、その搬送設備の第１特徴構成は、
前記基板用収納容器を搬送する収納容器搬送手段と前記容器本体を搬送する容器本体搬送手段との間に配設されて、前記収納容器搬送手段から前記基板用収納容器を受け取り、前記容器本体を前記載置支持部材から分離させた後、その分離させた前記容器本体を前記容器本体搬送手段に受け渡す中継搬送手段が設けられ、前記収納容器搬送手段が、前記載置支持部材における前記支持部分が前記装着部分よりも前記容器本体搬送手段が存在する側に位置させる状態で前記基板用収納容器を前記中継搬送手段に受け渡すように構成され、前記中継搬送手段が、前記収納容器搬送手段から前記載置支持部材を載置支持する状態で前記基板用収納容器を受け取る第１支持体と、前記容器本体を水平方向の前記容器本体搬送手段が存在する側に載置搬送して前記容器本体を前記容器本体搬送手段に受け渡す前記受け止め支持体としての第２支持体と、前記第２支持体を前記第１支持体に対して相対的に昇降移動させる昇降操作手段とを備えて構成され、前記第２支持体が、前記昇降操作手段にて前記第１支持体に対して相対的に昇降移動されることにより、前記第１支持体に載置支持されている前記載置支持部材の載置面より下方に位置する非搬送状態と、前記載置支持部材の前記開口部に下方側から挿入されて前記容器本体の前記下部を載置支持して前記容器本体を前記載置支持部材から上方側に分離させた搬送状態とに切り換え可能で、且つ、前記搬送状態において前記容器本体を前記容器本体搬送手段に受け渡すように構成されている点にある。
【００２１】
すなわち、中継搬送手段は、収納容器搬送手段から載置支持部材を第１支持体に載置支持する状態で基板用収納容器を受け取った後、昇降操作手段にて第２支持体を第１支持体に対して相対的に上昇移動させて第２支持体を非搬送状態から搬送状態に切り換えることにより、第２支持体が載置支持部材の開口部に下方側から挿入されて、その挿入された第２支持体にて容器本体の下部が載置支持されて容器本体が載置支持部材から上方側に分離される。その後、容器本体が第２支持体にて容器本体搬送手段が存在する側に載置搬送されて容器本体搬送手段に受け渡される。このようにして、搬送設備において容器本体を載置支持部材から自動的に分離させることができる。
【００２２】
本発明にかかる搬送設備の第２特徴構成は、搬送設備の第１特徴構成において、液体を用いて前記容器本体を洗浄する洗浄装置が設けられ、前記容器本体搬送手段が、前記中継搬送手段から受け取った前記容器本体を前記洗浄装置に搬送するように構成されている点にある。
【００２３】
すなわち、基板用収納容器を洗浄装置にて洗浄する場合、載置支持部材にはファンフィルタユニットが装着されているため、容器本体を載置支持部材から分離させて容器本体のみを洗浄する必要があるが、搬送設備において容器本体を載置支持部材から自動的に分離させることができるので、人為的に容器本体を載置支持部材から分離させる必要がなく、容器本体のみを容易に洗浄することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】第１実施形態における搬送設備の正面図
【図２】第１実施形態における基板用収納容器の結合斜視図
【図３】第１実施形態における基板用収納容器の分解斜視図
【図４】第１実施形態における容器本体の斜視図
【図５】第１実施形態における載置支持部材の斜視図
【図６】第１実施形態における基板用収納容器の分解作用図
【図７】第１実施形態における基板用収納容器の分解作用図
【図８】第２実施形態における基板用収納容器の結合斜視図
【図９】第２実施形態における基板用収納容器の分解斜視図
【発明を実施するための形態】
【００２５】
〔第１実施形態〕
以下、本発明の基板用収納容器、及び、それを搬送する搬送設備の第１実施形態について図面に基づいて説明する。
図１に示すように、搬送設備は、基板用収納容器２を搬送する設備である。この搬送設備にて搬送される基板用収納容器２は、容器本体３とこの容器本体３を載置支持する載置支持部材４とが分離可能に構成されている。
【００２６】
そして、搬送設備には、基板用収納容器２を搬送する収納容器搬送手段としてのスタッカークレーン７と、基板用収納容器２における容器本体３を載置支持部材４から分離させる中継搬送手段８と、容器本体３を搬送する容器本体搬送手段としてのローラ式の搬送コンベア９とが設けられており、中継搬送手段８は、スタッカークレーン７と搬送コンベア９との間に配設されている。
【００２７】
スタッカークレーン７は、基板用収納容器２を収納する収納棚１０から取り出した基板用収納容器２を中継搬送手段８に受け渡し、また、中継搬送手段８から受け取った基板用収納容器２を収納棚１０に収納するようにして、収納棚１０と中継搬送手段８との間で基板用収納容器２を搬送するように構成されている。
【００２８】
中継搬送手段８は、スタッカークレーン７から基板用収納容器２を受け取り、容器本体３を載置支持部材４から分離させた後、その分離させた容器本体３を搬送コンベア９に受け渡し、また、搬送コンベア９から容器本体３を受け取り、その容器本体３を載置支持部材４に結合させた後、基板用収納容器２をスタッカークレーン７に受け渡すようにして、スタッカークレーン７と搬送コンベア９との間で基板用収納容器２を搬送し且つ容器本体３と載置支持部材４とを分離・結合するように構成されている。
【００２９】
搬送コンベア９は、中継搬送手段８から受け取った容器本体３を基板１又は容器本体３に対して処理を行う処理装置１１に受け渡し、また、処理装置１１から受け取った容器本体３を中継搬送手段８に受け渡すようにして、中継搬送手段８と処理装置１１との間で容器本体３を搬送するように構成されている。
【００３０】
また、搬送設備は、クリーン空間１３に設置されており、天井部から床部に清浄空気を通風させるダウンフロー式の清浄空気通風手段１４が設けられている。
この清浄空気通風手段１４は、床部を構成するグレーティング床１５の下方の空間と天井部を構成するエアーフィルタ１６の上方の空間とが、通風ファン１７及びプレフィルタ１８を備えた循環路１９にて連通されており、クリーン空間１３内の空気を、プレフィルタ１８とエアーフィルタ１６とで清浄化させながら循環させて、清浄空気をクリーン空間１３の天井部から床部に通風させるように構成されている。
【００３１】
〔基板用収納容器〕
図２及び図３に示すように、搬送設備において搬送される基板用収納容器２は、矩形状の基板１を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で複数枚収納可能な基板収納空間Ｓを備えた容器本体３と、容器本体３の基板収納空間Ｓに清浄空気を供給するファンフィルタユニット５と、このファンフィルタユニット５が装着され且つ容器本体３を載置支持する載置支持部材４とを備えて構成されている。
【００３２】
図４に示すように、容器本体３は、その側部に基板１を出し入れするための出し入れ口２１とファンフィルタユニット５にて供給される清浄空気を基板収納空間Ｓに給気するための給気口２２とを形成して構成されている。そして、出し入れ口２１は、容器本体３の前側部に形成され、給気口２２は、容器本体３の後側部に形成されており、出し入れ口２１と給気口２２とは互いに対向するように形成されている。尚、図４（ａ）は、前方側左斜め上方からの容器本体３の斜視図を示しており、容器本体３の一部を切り欠いている。また、図４（ｂ）は、後方側左斜め下方からの容器本体３の斜視図を示している。
【００３３】
容器本体３について説明を加えると、容器本体３は、枠材を四角柱状に枠組みして本体フレーム２３を形成し、その本体フレーム２３の上部と左右の横側部とを側板２４で閉塞して門状に形成されている。そして、容器本体３の前側部は、側板２４にて閉塞されておらず、その前側部に出し入れ口２１が形成されている。また、容器本体３の後側部も、側板２４にて閉塞されておらず、その後側部に給気口２２が形成されている。容器本体３の下部は、下部形成用の枠材２３ａを格子状に並べて構成されており、側板２４にて閉塞されていないため開口しているが、図２に示すように、容器本体３を載置支持部材４に載置支持させた状態ではその載置支持部材４にて閉塞される。尚、下部を構成する下部形成用の枠材２３ａが、本願発明における容器本体３の底部を構成する複数の枠材に相当する。
【００３４】
つまり、容器本体３は、ファンフィルタユニット５にて供給される清浄空気を給気口２２から給気し、基板収納空間Ｓ内を後方側から前方側に清浄空気を通気させ、出し入れ口２１から清浄空気を排気させるように構成されている。そして、基板収納空間Ｓ内を後方側から前方側に清浄空気を通気させることで、その気流により基板１に塵埃が付着することを防止するとともに、出し入れ口２１から清浄空気を排気させることにより出し入れ口２１から基板収納空間Ｓへの塵埃の侵入が防止されている。
【００３５】
また、容器本体３には、基板収納空間Ｓに収納する基板１を載置支持するための基板支持体２５が備えられており、この基板支持体２５は本体フレーム２３に支持されている。また、基板支持体２５は、上下方向に間隔を隔てて並ぶ複数枚の基板１の枚数に応じて上下方向に複数並べて設けられており、複数の基板支持体２５の夫々は、横方向に並ぶ複数本の棒材にて構成されている。ちなみに、容器本体３の内部空間にて基板収納空間Ｓが形成されている。
【００３６】
図５に示すように、載置支持部材４は、容器本体３を載置支持する支持部分２７と、その支持部分２７にて容器本体３を載置支持した状態において給気口２２と対向する位置にファンフィルタユニット５を位置させるようにファンフィルタユニット５が装着された装着部分２８とを備えて構成されている。尚、図５（ａ）は、前方側左斜め上方からの載置支持部材４の斜視図であり、図５（ｂ）は、後方側左斜め下方からの載置支持部材４の斜視図である。
【００３７】
載置支持部材４について説明を加えると、載置支持部材４の支持部分２７は、枠材を平面視で矩形の格子状に枠組みして支持フレーム２９を形成し、その支持フレーム２９に底板３０を取り付けて平板状に構成されている。また、載置支持部材４の装着部分２８は、支持部分２７の後端部から立設される状態で支持部分２７に連結され、且つ、ファンフィルタユニット５が起立姿勢で容器横幅方向に並ぶ状態で３台装着されている。そして、載置支持部材４は、側面視で一字状の支持部分２７と側面視でＩ字状の装着部分２８とで側面視でＬ字状に形成されている。尚、底板３０は、横幅方向に４枚並べ、その列を前後方向に３列並べるように計１２枚取り付けられている。
【００３８】
支持部分２７には、並べられた底板３０のうちの３列夫々において横幅方向の両端に位置する２枚の底板３０に形成する形態で後述する昇降式支持体４２が上下方向に挿抜可能な開口部３１が形成されている。このように形成された開口部３１は、容器横幅方向に間隔を隔てて２列形成されており、その夫々が、容器前後方向に沿う形状に形成されている。ちなみに、載置支持部材４における２列の開口部３１の間に位置する部分が、スタッカークレーン７にて支持され、開口部３１の容器横幅方向外方側に位置する部分が、収納棚１０に収納される際に支持される。
【００３９】
装着部分２８には、載置支持部材４に載置支持された容器本体３の後端部を覆うフード部３２が設けられている。このフード部３２は、容器本体３の後端部における左右の横側方及び上方を覆う形状に形成されている。また、図６に示すように、フード部３２は、容器本体３が支持部分２７に載置支持された状態において、容器本体３の上部とフード部３２との間に上下方向の隙間が形成されており、この隙間が形成されていることにより、図７に示すように、載置支持部材４に対して容器本体３を上方側に分離させるときに、容器本体３がフード部３２と接触しないように構成されている。
【００４０】
図５（ｂ）に示すように、載置支持部材４には、非接触給電装置３３の受電部３３ａが備えられており、収納棚１０に収納された状態では、収納棚１０に備えられた非接触給電装置３３の給電部３３ｂ（図１参照）から供給された電力によりファンフィルタユニット５が作動されるように構成されている。
また、載置支持部材４には、受電部３３ａに供給された電力を蓄えるバッテリ（図示せず）も備えられており、基板用収納容器２をスタッカークレーン７にて搬送するとき等、受電部３３ａが給電部３３ｂから離れて基板用収納容器２に電力が供給されなくなる状態では、バッテリに蓄えられた電力にてファンフィルタユニット５が作動されるように構成されている。
【００４１】
基板用収納容器２には、容器本体３を載置支持部材４に載置支持された状態において、容器本体３の載置支持部材４に対する水平方向への移動を規制する規制手段３４が備えられている。この規制手段３４は、載置支持部材４の支持フレーム２９に連結支持される形態で設けられて載置支持部材４の上面より上方に突出する位置決めピン３４ａと、容器本体３の下部形成用の枠材２３ａに形成された凹部３４ｂとで構成されている。そして、規制手段３４は、載置支持部材４に容器本体３を載置した際に凹部３４ｂに位置決めピン３４ａが係合することにより、容器本体３の載置支持部材４に対する水平方向の移動を規制するように構成されている。
【００４２】
そして、容器本体３の下部形成用の枠材２３ａは、その一部の容器前後方向に沿う枠材２３ａ（図４（ｂ）において仮想線で示す枠材２３ａ）が載置支持部材４に容器本体３を載置支持させた状態において載置支持部材４に形成された開口部３１の真上に位置するように配設されている。そして、開口部３１に挿入された後述する昇降式支持体４２にて下部形成用の枠材２３ａが受け止め支持される状態で容器本体３が持ち上げられるように構成されており、容器本体３は、開口部３１に挿入された昇降式支持体４２にて下部形成用の枠材２３ａが受け止め支持される状態で載置支持部材４に対して上方側に分離可能に構成されている。
【００４３】
次に、搬送設備について説明を加える。搬送設備には、液体としての水溶液を用いて容器本体３を洗浄する洗浄装置Ｗが処理装置１１として設けられている。以下、スタッカークレーン７、中継搬送手段８及び搬送コンベア９にて、収納棚１０と洗浄装置Ｗとの間で基板用収納容器２及び分離された容器本体３を搬送する場合について説明する。ちなみに、この場合、基板１が収納されていない基板用収納容器２が搬送される。
【００４４】
〔スタッカークレーン〕
まず、スタッカークレーン７について説明を加える。
図１に示すように、基板用収納容器２を収納する収納部１０ａを上下方向及び棚横幅方向に並設した収納棚１０が互いに対向する状態で一対設けられており、この一対の収納棚１０の間にスタッカークレーン７が配設されている。スタッカークレーン７は、一対の収納棚１０の間に形成された走行経路３６をその長手方向に沿って走行移動する走行台車３７と、走行台車３７に立設された昇降マストに昇降自在に案内支持される昇降台３８と、昇降台３８に支持されたフォーク式の移載装置３９とを備えて構成されている。移載装置３９は、一対の収納棚１０と自己との間や中継搬送手段８と自己との間で基板用収納容器２を移載可能で且つ縦軸心周りに旋回可能に構成されている。ちなみに、収納棚１０の収納部１０ａには、ファンフィルタユニット５が装着されている後端部を出し入れ口２１が形成されている前端部より走行経路３６側に位置させる状態で基板用収納容器２が収納されている。
【００４５】
走行経路３６に隣接する状態で中継搬送手段８が設けられており、スタッカークレーン７は、基板用収納容器２を中継搬送手段８に受け渡し可能で且つ基板用収納容器２を中継搬送手段８から受け取り可能に構成されている。そして、スタッカークレーン７は、移載装置３９を旋回させることにより搬送している基板用収納容器２の向きを１８０°変更可能に構成されており、搬送先の中継搬送手段８の位置が搬送元の収納部１０ａの位置に対して走行経路３６の反対側に位置する場合は移載装置３９の旋回により基板用収納容器２の向きを１８０°変更して中継搬送手段８に受け渡す、また、搬送先の中継搬送手段８の位置が搬送元の収納部１０ａの位置に対して走行経路３６の同じ側に位置する場合は基板用収納容器２の向きを変更せずに中継搬送手段８に受け渡すことにより、中継搬送手段８に対して基板用収納容器２を受け渡すときは、基板用収納容器２の後端部を前端部より走行経路３６側に位置させる状態で受け渡される。
【００４６】
そして、中継搬送手段８の走行経路３６から離れる側に搬送コンベア９が設けられており、スタッカークレーン７から中継搬送手段８に受け渡される時点で基板用収納容器２は、その前端部が後端部より搬送コンベア９が存在する側に位置させる状態であり、換言すれば、載置支持部材４における支持部分２７が装着部分２８よりも搬送コンベア９が存在する側に位置させた状態である。つまり、スタッカークレーン７は、基板用収納容器２の後端部を前端部より走行経路３６側に位置させる状態で中継搬送手段８に受け渡すことで、載置支持部材４における支持部分２７が装着部分２８よりも搬送コンベア９が存在する側に位置させる状態で基板用収納容器２を中継搬送手段８に受け渡すように構成されている。
【００４７】
〔中継搬送手段〕
次に、中継搬送手段８について説明を加える。
図６及び図７に示すように、中継搬送手段８は、スタッカークレーン７から載置支持部材４を載置支持する状態で基板用収納容器２を受け取る第１支持体としての固定式支持体４１と、容器本体３を水平方向の搬送コンベア９が存在する側に載置搬送して容器本体３を搬送コンベア９に受け渡す第２支持体としての昇降式支持体４２と、昇降式支持体４２を固定式支持体４１に対して昇降移動させる電動式シリンダ等で構成された昇降操作手段４３（図１参照）とを備えて構成されている。尚、昇降式支持体４２が、本願発明の受け止め支持体に相当する。
【００４８】
固定式支持体４１は、走行経路３６と搬送コンベア９との間の箇所に位置固定状態で設けられており、載置支持部材４における開口部３１より容器横幅方向で外方側の部分を載置支持する形態で、基板用収納容器２における容器横幅方向の両端部を載置支持するように構成されている。よって、固定式支持体４１は、載置支持部材４から容器本体３を分離させた状態でも、残る載置支持部材４のみを載置支持可能に構成されている。
【００４９】
昇降式支持体４２は、昇降操作手段４３にて固定式支持体４１に対して昇降移動されることにより、固定式支持体４１に載置支持されている載置支持部材４の載置面より下方に位置する非搬送状態（図６参照）と、載置支持部材４の開口部３１に下方側から挿入されて容器本体３の下部を載置支持して容器本体３を載置支持部材４から上方側に分離させた搬送状態（図７参照）とに切り換え可能に構成されている。尚、載置支持部材４の載置面は、載置支持部材４における支持部分２７の上面に相当する。
【００５０】
また、昇降式支持体４２には、容器本体３を載置支持する回転駆動可能な複数の駆動ローラ４２ａが設けられており、容器本体３を受け止め支持した状態で駆動ローラ４２ａを回転駆動させることにより、容器本体３をその容器前後方向（基板出し入れ方向）に沿って水平方向に搬送可能であり、容器本体３を搬送コンベア９に受け渡すことや容器本体３を搬送コンベア９から受け取ることができるように構成されている。
【００５１】
昇降式支持体４２について説明を加えると、昇降式支持体４２における駆動ローラ４２ａは、固定式支持体４１に基板用収納容器２を載置支持させて基板用収納容器を予め設定された分離作業位置に位置決めされた状態において、その載置支持された基板用収納容器２における開口部３１の真下に位置するように設けられている。
【００５２】
そして、昇降式支持体４２は、基板用収納容器２が固定式支持体４１にて載置支持されている状態で、昇降操作手段４３にて上昇移動されて非搬送状態から搬送状態に切り換えられると、駆動ローラ４２ａが載置支持部材４の開口部３１に下方側から挿通されて、駆動ローラ４２ａにて載置支持部材４に載置支持されている容器本体３の下部を受け止め支持して上方側に持ち上げるように構成されている。このように載置支持部材４から持ち上げられた容器本体３は載置支持部材４に対して上方側に分離される。このときの昇降操作手段４３による容器本体３の持ち上げ量は、位置決めピン３４ａにおける底板３０から突出している部分の長さより長い量に設定されており、容器本体３を持ち上げて分離させた状態では、容器本体３は規制手段３４にて規制されることなく載置支持部材４に対して水平方向に搬送可能な状態となっている。ちなみに、容器本体３の上部とフード部３２との間に形成される上下方向の隙間は、位置決めピン３４ａにおける底板３０から突出している部分の長さより広い間隔となっている。
【００５３】
よって、昇降式支持体４２が搬送状態に切り換えられた状態では、その昇降式支持体４２にて受け止め支持された容器本体３は規制手段３４にて載置支持部材４に対する水平方向への移動が規制されておらず、駆動ローラ４２ａの回転駆動により容器本体３を水平方向に搬送することができ、中継搬送手段８は、容器本体３を搬送コンベア９に受け渡すことや容器本体３を搬送コンベア９から受け取ることができる。
【００５４】
また、昇降式支持体４２は、載置支持部材４が固定式支持体４１にて載置支持され且つ容器本体３が昇降式支持体４２にて載置支持している状態で、昇降操作手段４３にて下降移動されて搬送状態から非搬送状態に切り換えられると、駆動ローラ４２ａが載置支持部材４の開口部３１から下方側に抜出され、位置決めピン３４ａが凹部３４ｂに係合されるように駆動ローラ４２ａにて受け止め支持されていた容器本体３が載置支持部材４上に降ろされる。このように載置支持部材４に降ろされた容器本体３は載置支持部材４に載置支持されて載置支持部材４と結合される。
【００５５】
〔搬送コンベア〕
次に、搬送コンベア９について説明を加える。
図１に示すように、搬送コンベア９は、ローラ式のコンベアにて構成されており、中継搬送手段８から受け取った容器本体３を洗浄装置Ｗに搬送し、且つ、洗浄装置Ｗから搬送されてきた容器本体３を中継搬送手段８に受け渡すように構成されている。そして、搬送コンベア９は、その搬送面の高さが、搬送状態の昇降式支持体４２の搬送面と同高さとなるように設けられており、昇降式支持体４２が搬送状態に切り換えられた状態では、容器本体３を昇降式支持体４２に受け渡すことや容器本体３を昇降式支持体４２から受け取ることができるように構成されている。
【００５６】
従って、このように構成された搬送設備では次のように基板用収納容器２が搬送される。つまり、スタッカークレーン７にて基板用収納容器２が収納棚１０から取り出され、中継搬送手段８にて容器本体３が基板用収納容器２から分離され、搬送コンベア９にて容器本体３が洗浄装置Ｗに搬送される。洗浄装置Ｗでは、基板用収納容器２からファンフィルタユニット５や受電部３３ａ等の電装機器が取り外された状態で容器本体３のみが洗浄される。そして、搬送コンベア９にて洗浄装置Ｗから容器本体３が搬送され、中継搬送手段８にて容器本体３が載置支持部材４に結合され、スタッカークレーン７にて基板用収納容器２が収納棚１０に収納される。
【００５７】
〔第２実施形態〕
次に、本発明の基板用収納容器、及び、それを搬送する搬送設備の第２実施形態について図面に基づいて説明する。
尚、第２実施形態は、基板用収納容器２の構成が異なる以外は第１実施形態と同様に構成されているため、第１実施形態と同様の構成については同じ符号をつけて説明は省略し、主に第１実施形態と異なる構成を説明する。
【００５８】
図８及び図９に示すように、支持部分２７には、載置支持部材４に載置支持された容器本体３の前端部を覆う前フード部４６が設けられている。この前フード部４６は、容器本体３の前端部における左右の横側方及び上方を覆う形状に形成されている。また、前フード部４６は、容器本体３が支持部分２７に載置支持された状態において、容器本体３の上部と前フード部４６との間に上下方向の隙間が形成されており、この隙間が形成されていることにより、載置支持部材４に対して容器本体３を上方側に分離させるときに、容器本体３が前フード部４６と接触しないように構成されている。尚、フード部３２と前フード部４６とは、上端の左右両端部同士が枠材にて互いに連結されている。
【００５９】
そして、基板用収納容器２に、容器本体３の出し入れ口２１を開閉するシャッター装置４７が設けられている。このシャッター装置４７は、電動式モータにて正逆方向に回転駆動される回転ドラム４８と、回転ドラム４８に巻回されて回転ドラム４８の回転に伴って繰り出し及び巻き取り操作されるシート状の扉部分４９とを備えて構成されており、前フード部４６にて載置支持される形態で載置支持部材４に装着されている。
【００６０】
そして、支持部分２７と前フード部４６とにより、載置支持部材４に対して上方側に分離された容器本体３が容器前後方向（基板出し入れ方向）に沿って通過可能な通過口５０が形成されている。シャッター装置４７は、扉部分４９を通過口５０に繰り出して扉部分４９にて通過口５０を閉じると閉じ状態と、扉部分４９を巻き取って扉部分４９を通過口５０より上方に退避させた開き状態とに切り換え可能に構成されている。つまり、シャッター装置４７は、閉じ状態において、載置支持部材４における通過口５０を閉じることにより容器本体３の出し入れ口２１を閉じるように構成されている。
【００６１】
そして、前フード部４６の容器本体３の前端部における左右の横側方を覆う部分が、載置支持部材４の出し入れ口側端部に立設された一対の支持用枠材４６ａに相当するものであり、シャッター装置４７の下方で且つ一対の支持用枠材４６ａの間に通過口５０が形成されている。尚、載置支持部材４の前端部が出し入れ口側端部に相当する。
【００６２】
〔別実施形態〕
（１）  上記実施形態では、容器本体３の下部を複数の枠材を格子状に並べて構成し、その容器本体３の下部を、側板２４にて閉塞せずに平板状に構成された載置支持部材４の支持部分２７にて閉塞するように構成したが、容器本体３の下部を、側板２４にて閉塞するように構成し、容器本体３を横倒れ姿勢の筒状に形成してもよい。この場合、載置支持部材４の支持部分２７は平板状に構成しなくてもよく、底板３０を備えなくてもよい。
【００６３】
（２）  上記実施形態では、昇降操作手段４３により第２支持体を昇降移動させるように構成したが、昇降操作手段４３により第１支持体を昇降移動させるように構成してもよく、また、昇降操作手段４３にて第１支持体と第２支持体とを各別に昇降移動させるように構成してもよい。
【００６４】
（３）  上記実施形態では、収納容器搬送手段としてスタッカークレーン７を設けたが、収納容器搬送手段として、基板用収納容器を載置搬送するコンベアや基板用収納容器を載置させた状態で走行する台車にて構成してもよい。また、容器本体搬送手段として搬送コンベア９を設けたが、容器本体搬送手段として、容器本体３を載置させた状態で走行する台車やスタッカークレーンにて構成してもよい。
【００６５】
（４）  上記実施形態では、容器本体３の前側部に出し入れ口２１を形成し、容器本体３の後側部に給気口２２を形成して、出し入れ口２１と給気口２２とを互いに対向するように形成したが、例えば、容器本体３の前側部に出し入れ口２１を形成し、容器本体３の左右の横側部に給気口２２を形成して、出し入れ口２１と給気口２２とを互いに対向しないように形成する等、容器本体３の側部において出し入れ口２１や給気口２２を形成する箇所は適宜変更可能である。
【符号の説明】
【００６６】
１    基板
２    基板用収納容器
３    容器本体
４    載置支持部材
５    ファンフィルタユニット
７    収納容器搬送手段
８    中継搬送手段
９    容器本体搬送手段
２１    出し入れ口
２２    給気口
２３ａ  枠材
２７    支持部分
２８    装着部分
３１    開口部
４１    第１支持体
４２    第２支持体（受け止め支持体）
４３    昇降操作手段
４６ａ  支持用枠材
４７    シャッター装置
４８    回転ドラム
４９    扉部分
５０    通過口
Ｓ    基板収納空間
Ｗ    洗浄装置
【図１】
2011091270.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2011091270.tif 000008
【図７】
2011091270.tif 000009
【図８】
2011091270.tif 000010
【図９】
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