(57)【要約】【課題】搬送車システムにおいて移載装置のコストを低減する。【解決手段】搬送車システム１は、ステーション７と、物品Ｃをステーション７との間で移載可能な搬送車５とを備えている。ステーション７は、上下方向に昇降可能な昇降台２７を含む昇降装置２５を有している。搬送車５は、ステーション７に対して横方向に移動可能なスライドフォーク１７を含むスライドフォーク機構１３を有している。搬送車５からステーション７に物品Ｃを移載する場合は、以下の動作が行われる。昇降装置２５は昇降台２７を下方位置に配置しており、スライドフォーク機構１３は物品Ｃが載ったスライドフォーク１７を突出させることでスライドフォーク１７を昇降台２７の上方に配置する。次に、昇降装置２５は昇降台２７を上昇させることで昇降台２７の上に物品Ｃを載せる。【選択図】図１
2011032001.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステーションと、
物品を前記ステーションとの間で移載可能な搬送車とを備え、
前記ステーションは、上下方向に昇降可能な昇降台を含む昇降装置を有しており、
前記搬送車は、前記ステーションに対して横方向に移動可能な横方向移動部材を含む横方向移載装置を有しており、
前記ステーションから前記搬送車に前記物品を移載する場合は、前記昇降装置は前記昇降台の上に前記物品を載せた状態で前記昇降台を上方位置に配置しており、前記横方向移載装置は前記横方向移動部材を突出させることで前記横方向移動部材を前記昇降台の下方に配置し、前記昇降装置は前記昇降台を下降させることで前記物品を前記横方向移動部材の上に置き、前記横方向移載装置は前記横方向移動部材を引っ込めることで前記物品を前記搬送車に移載し、
前記搬送車から前記ステーションに前記物品を移載する場合は、前記昇降装置は前記昇降台を下方位置に配置しており、前記横方向移載装置は前記物品が載った前記横方向移動部材を突出させることで前記横方向移動部材を前記昇降台の上方に配置し、前記昇降装置は前記昇降台を上昇させることで前記昇降台の上に前記物品を載せる、
搬送車システム。
【請求項２】
前記昇降装置を横方向に移動させるための移動機構をさらに備えている、請求項１に記載の搬送車システム。
【請求項３】
前記横方向移載装置は、前記横方向移動部材の先端部に設けられたローラをさらに有しており、
前記ステーションは、前記横方向移動部材が移動するときに前記ローラが走行する上側走行面をさらに有している、請求項１または２に記載の搬送車システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送車システムに関し、特に、ステーションと、物品をステーションとの間で移載可能な搬送車とを備えた搬送車システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
大型化したガラス基板やそれが複数収納されたカセットを搬送するための搬送車が知られている。搬送車は、工場内のクリーンルーム内を自動走行して、処理装置間で物品を搬送する。
【０００３】
搬送車が走行する軌道は、例えば、天井から吊り下げられたレールである。この場合、レールおよび搬送車が走行する空間は外部から遮断されたクリーンルームになっている。
【０００４】
搬送車は、ステーション間を走行して、ガラス基板やカセットを搬送する。搬送車は、左右前後に車輪を有しており、例えば前方の車輪が駆動輪になっており、後方の車輪が従動輪になっている。駆動輪には、モータが接続されている。搬送車は、さらに、左右のガイドレールに当接するガイドローラを有している。
【０００５】
ステーションにはスカラーアームによる移載装置が設けられている。スカラーアームによる移載装置が、搬送車からガラス基板やカセットをステーションの載置場所に移載したり、ステーションの載置場所からガラス基板やカセットを搬送車に移載したりする（例えば、特許文献１を参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−２９４３０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前記搬送車システムでは、移載装置としてスカラーアームによる移載装置を用いているので、コストが大変に高く、しかも機構が複雑なのでメンテナンスが大変である。
【０００８】
本発明の課題は、搬送車システムにおいて移載装置のコストを低減することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る搬送車システムは、ステーションと、物品をステーションとの間で移載可能な搬送車とを備えている。ステーションは、上下方向に昇降可能な昇降台を含む昇降装置を有している。搬送車は、ステーションに対して横方向に移動可能な横方向移動部材を含む横方向移載装置を有している。
ステーションから搬送車に物品を移載する場合は、以下の動作が行われる。
・昇降装置は、昇降台の上に物品を載せた状態で昇降台を上方位置に配置する。
・横方向移載装置は、横方向移動部材を突出させることで横方向移動部材を昇降台の下方に配置する。
・昇降装置は、昇降台を下降させることで物品を横方向移動部材の上に置く。
・横方向移載装置は、横方向移動部材を引っ込めることで物品を搬送車に移載する。
搬送車からステーションに物品を移載する場合は、以下の動作が行われる。
・昇降装置は、昇降台を下方位置に配置する。
・横方向移載装置は、物品が載った横方向移動部材を突出させることで横方向移動部材を昇降台の上方に配置する。
・昇降装置は、昇降台を上昇させることで昇降台の上に物品を載せる。
この搬送車システムでは、物品の移載はステーションの昇降装置と搬送車の横方向移載装置の協働作業によって行われる。具体的には、昇降装置は昇降動作によって物品を搬送車の横方向移動部材の上に置いたり横方向移動部材の上から取っていったりする。以上の動作において、横方向移動部材の荷重が昇降装置に作用することがない。また、横方向移動部材は物品を乗せた状態で突出した状態と引っ込んだ状態とを繰り返す。以上の動作においては、昇降装置の荷重が横方向移動部材に作用することがない。以上より、各装置の剛性を低くすることができ、その結果、搬送車システムの移載を行う装置のコストが低くなる。
【００１０】
搬送車システムは、昇降装置を横方向に移動させるための移動機構をさらに備えていてもよい。
この搬送車システムでは、昇降装置が横移動をすることができるので、他の装置（例えば、ピック＆プレース装置）を別途設けるよりコストを低くできる。
【００１１】
横方向移載装置は、横方向移動部材の先端部に設けられたローラをさらに有していてもよい。その場合、ステーションは、横方向移動部材が移動するときにローラが走行する上側走行面をさらに有している。
この搬送車システムでは、物品が置かれた横方向移動部材が移動するときに、物品の荷重はステーションの上側走行面によって受けられている。したがって、横方向移動部材に大きな荷重が作用することがない。その結果、横方向移動部材の剛性を落として、搬送車システムの移載を行う装置のコストをさらに低くすることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る搬送車システムでは、移載を行う装置のコストが低減される。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態としての搬送車システムの部分模式平面図。
【図２】搬送車システムの制御構成を示すブロック図。
【図３】移載動作の過程を説明するための模式平面図。
【図４】移載動作の過程を説明するための模式平面図。
【図５】移載動作の過程を説明するための模式平面図。
【図６】移載動作の過程を説明するための模式平面図。
【図７】移載動作の過程を説明するための模式平面図。
【図８】移載動作の過程を説明するための模式正面図。
【図９】移載動作の過程を説明するための模式正面図。
【図１０】移載動作の過程を説明するための模式正面図。
【図１１】移載動作の過程を説明するための模式正面図。
【図１２】移載動作の過程を説明するための模式正面図。
【図１３】ステーション・コントローラの移載制御動作を示すフローチャート。
【図１４】搬送車内コントローラの移載制御動作を示すフローチャート。
【図１５】ステーション・コントローラの移載制御動作を示すフローチャート。
【図１６】搬送車内コントローラの移載制御動作を示すフローチャート。
【図１７】他の実施形態における搬送車システムの部分模式平面図。
【図１８】さらに他の実施形態における搬送車システムの部分模式平面図。
【図１９】さらに他の実施形態における搬送車システムの側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
（１）搬送車システム全体
図１を用いて、搬送車システム１を説明する。図１は、本発明の一実施形態としての搬送車システムの部分模式平面図である。
【００１５】
搬送車システム１は、大型化したガラス基板やそれが複数収納されたカセットを搬送するためのシステムである。搬送車システム１は、天井から吊り下げられたレール３と、レール３上を自動走行する搬送車５と、レール３に沿って配置されたステーション７とを有している。搬送車システム１では、レール３および搬送車５が走行する空間は外部から遮断されたクリーンルームになっている。
【００１６】
（２）搬送車
搬送車５は、工場内のクリーンルーム内を自動走行して、ステーション７間でガラス基板やカセット等の物品Ｃを搬送する。
【００１７】
搬送車５は、左右前後に車輪８を有しており、前方の車輪８が駆動輪になっており、後方の車輪８が従動輪になっている。駆動輪には、走行モータ９が接続されている。
【００１８】
搬送車５には、スライドフォーク機構１３が設けられている。スライドフォーク機構１３は、物品Ｃを左右方向に移動させることが可能な装置である。スライドフォーク機構１３は、一対のレール１５と、レール１５上に配置された一対のスライドフォーク１７と、一対のスライドフォーク１７を駆動するためのフォーク駆動機構１９（図２）とを有している。
【００１９】
一対のレール１５は、走行方向に直角の方向（搬送車左右方向）に平行に延びている。一対のスライドフォーク１７は、一対のレール１５にそれぞれスライド自在に連結されており、レール１５上の第１位置と、レール１５から左右片側（この実施形態では左側）に突出する第２位置との間で移動可能である。フォーク駆動機構１９（図２）はスライドフォーク１７を両位置の間で移動させることができる。
【００２０】
図８〜図１２から明らかなように、一対のスライドフォーク１７の突出方向先端１７ａの下部にはローラ１８が設けられている。ローラ１８は、フォーク伸縮方向に対して垂直かつ水平方向に延びる軸を中心に回転できる。
【００２１】
（３）ステーション
ステーション７は、レール３の近傍に配置されており、例えば処理装置の入口ポートまたは／および出口ポートの機能を有している。
【００２２】
ステーション７は、レール３に近い第１受け渡し場所２１と、レール３から遠い第２受け渡し場所２３とを有している。第１受け渡し場所２１は搬送車５との間で物品Ｃを移載するための領域であり、第２受け渡し場所２３は処理装置のクレーン（図示せず）との間で物品Ｃを移載するための領域である。
【００２３】
ステーション７は、さらに、昇降装置２５を有している。昇降装置２５は、昇降可能な昇降台２７と、昇降台２７を上下方向に駆動するための昇降駆動機構２９（図２）とを有している。昇降駆動機構２９によって、昇降台２７は下方位置と上方位置との間で移動可能である。
【００２４】
ステーション７は、さらに、昇降装置２５を横方向に移動させるための横方向移動機構３１（図２）を有している。横方向移動機構３１によって、昇降装置２５は、第１受け渡し場所２１と第２受け渡し場所２３との間で移動可能である。
【００２５】
ステーション７は、さらに、一対の走行面部材２４を有している。一対の走行面部材２４はスライドフォーク１７のローラ１８を受けるための部材である。一対の走行面部材２４は、第１受け渡し場所２１に設けられており、スライドフォーク１７が突出したときにスライドフォーク１７の下方に配置されている。
一対の走行面部材２４は、スライドフォーク１７が伸びる図左右方向に平行に延びており、両者間には隙間が確保されている。昇降台２７は、この隙間を上下に移動可能になっている（後述）。
【００２６】
ここで、図１を参照しながら、各装置の位置・大きさの関係を整理して説明する。
レール３は、図１の上下方向に延びている。ステーション７の第１受け渡し場所２１はレール３の左側近傍に配置され、第２受け渡し場所２３は第１受け渡し場所２１から左側に所定距離だけ離れた位置に配置されている。
【００２７】
昇降装置２５は、横方向移動機構３１によって第１受け渡し場所２１と第２受け渡し場所２３との間で移動可能である。昇降装置２５が第１受け渡し場所２１にある状態で、昇降台２７は、一対の走行面部材２４同士の間および一対のスライドフォーク１７（突出状態）同士の間に配置されている。昇降台２７の図上下方向幅は一対の走行面部材２４同士の間隔および一対のスライドフォーク１７（突出状態）同士の間隔より狭くなっている。したがって、昇降台２７が昇降する際に、一対の走行面部材２４同士や一対のスライドフォーク１７（突出状態）が昇降台２７に干渉することはない。
【００２８】
昇降台２７が第１受け渡し場所２１の下方位置にあるときには、図９に示すように、昇降台２７の上面は走行面部材２４の上面より下方にある。また、昇降台２７が第１受け渡し場所２１の上方位置にあるときには、図１１に示すように、昇降台２７の上面は走行面部材２４の上面より上方にあり、しかも伸びた状態のスライドフォーク１７の上面よりさらに上方にある。
【００２９】
（４）制御構成
図２を用いて、搬送車システム１の制御構成を説明する。図２は、搬送車システムの制御構成を示すブロック構成図である。
【００３０】
搬送車システム１は、主に、ステーション７のステーション・コントローラ３３と、搬送車内コントローラ３５とを有している。ステーション・コントローラ３３と搬送車内コントローラ３５は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等からなりプログラムを実行するコンピュータであり、上位のコントローラと交信可能であり、さらに相互に交信も可能である。
【００３１】
ステーション・コントローラ３３は、昇降駆動機構２９と、横方向移動機構３１に接続され、それぞれに駆動信号を送信できる。
搬送車内コントローラ３５は、走行モータ９およびフォーク駆動機構１９に接続され、それぞれに駆動信号を送信できる。
なお、図示していないが、ステーション・コントローラ３３および搬送車内コントローラ３５には、他の駆動部やセンサが接続されている。
【００３２】
（５）物品移載動作
ステーション７は、上下方向に昇降可能な昇降台２７を含む昇降装置２５を有しており、搬送車５は、ステーション７に対して横方向に移動可能なスライドフォーク１７を含むスライドフォーク機構１３を有している。以上に述べたステーション７の昇降装置２５と搬送車５のスライドフォーク機構１３とが協働することで、搬送車システム１における移載機構が実現されている。移載作業時に、スライドフォーク機構１３はスライドフォーク１７を伸縮させる動作を行うだけであり、昇降装置２５は昇降台２７上下方向に移動させるだけである。このように各装置の動作が単純であるので、構造が簡単になる。また、各装置に作用する荷重が低減できるので、装置の強度を低くすることができる。
以下、物品移載動作の詳細について説明する。
【００３３】
（６）搬送車からステーションへの物品移載動作
図３〜図１４を用いて、搬送車５とステーション７との間での物品の移載動作を説明する。図３〜図７は、移載動作の過程を説明するための模式平面図である。図８〜図１２は、移載動作の過程を説明するための模式正面図である。図１３は、ステーション・コントローラの移載制御動作を示すフローチャートである。図１４は、搬送車コントローラの移載制御動作を示すフローチャートである。
【００３４】
以下、搬送車５からステーション７に物品Ｃを移載する動作を説明する。
図３および図８に示すように、最初に、物品Ｃを積んだ搬送車５がステーション７の第１受け渡し場所２１前に停止する。このとき、昇降装置２５の昇降台２７は、ステーション７の第２受け渡し場所２３の下方位置に配置されている。
【００３５】
続いて、図４および図９に示すように、横方向移動機構３１（図２）が昇降装置２５を第１受け渡し場所２１に移動させる。これにより、昇降装置２５の昇降台２７は、ステーション７の第１受け渡し場所２１の下方位置に配置される。
【００３６】
この状態から、図５および図１０に示すように、フォーク駆動機構１９（図２）がスライドフォーク１７をステーション７側に伸ばす。スライドフォーク１７は、物品Ｃを載せた状態で移動し、その時にローラ１８が走行面部材２４上を回転しながら移動していく。
【００３７】
さらに、昇降駆動機構２９（図２）が昇降台２７を上方に移動させ、それにより昇降台２７は物品Ｃを持ち上げてスライドフォーク１７から引き離す。続いて、フォーク駆動機構１９（図２）スライドフォーク１７を搬送車５側に縮める（図６および図１１）。
【００３８】
最後に、図７および図１２に示すように、横方向移動機構３１（図２）が昇降装置２５を第２受け渡し場所２３に移動させる。この状態で、図示しないクレーンが物品Ｃを昇降台２７から運び去るのを待つ。
【００３９】
（６−１）ステーション・コントローラの制御動作
図１３を用いて、ステーション・コントローラ３３の制御動作について説明する。
ここでは、図３および図８に示すように、搬送車５がステーション７の前に停止した状態からの制御動作を説明する。
【００４０】
ステップＳ１では、ステーション・コントローラ３３は、横方向移動機構３１に駆動信号を送信して、昇降装置２５を第２受け渡し場所２３から第１受け渡し場所２１に移動させる（図４および図９）。
【００４１】
ステップＳ２では、ステーション・コントローラ３３は、搬送車５のスライドフォーク１７がステーション７側に伸びてくるのを待つ。ステーション・コントローラ３３は、図示しないセンサによってスライドフォーク１７の伸びを検出してもよいし、または搬送車内コントローラ３５からの通知信号によってスライドフォーク１７の伸びを把握してもよい。スライドフォーク１７がステーション７側に伸びると（図５および図１０）、制御フローはステップＳ３に移行する。
【００４２】
ステップＳ３では、ステーション・コントローラ３３は、昇降駆動機構２９に駆動信号を送信して、昇降台２７を下方位置から上方位置に移動させる。その結果、物品Ｃはスライドフォーク１７から昇降台２７に乗り移る。
【００４３】
ステップＳ４では、ステーション・コントローラ３３は、搬送車５のスライドフォーク１７が搬送車５側に縮むのを待つ。ステーション・コントローラ３３は、図示しないセンサによってスライドフォーク１７の縮みを検出してもよいし、または搬送車内コントローラ３５からの通知信号によってスライドフォーク１７の縮みを把握してもよい。スライドフォーク１７が搬送車５側に縮むと（図６および図１１）、制御フローはステップＳ５に移行する。なお、ステップＳ４を省略してもよく、その場合に制御フローはステップＳ３からステップＳ５に移行する。
【００４４】
ステップＳ５では、ステーション・コントローラ３３は、昇降駆動機構２９に駆動信号を送信して、昇降台２７を第１受け渡し場所２１から第２受け渡し場所２３に移動させる（図７および図１２）。
【００４５】
（６−２）搬送車内コントローラの制御動作
図１４を用いて、搬送車内コントローラ３５の制御動作について説明する。
ここでは、図３および図８に示すように、搬送車５がステーション７の前に停止した状態からの制御動作を説明する。
【００４６】
ステップＳ１１では、搬送車内コントローラ３５は、昇降装置２５の昇降台２７が第１受け渡し場所２１の下方位置に配置されるのを待つ。搬送車内コントローラ３５は、図示しないセンサによって昇降台２７が第１受け渡し場所２１の下方位置にあるのを検出してもよいし、またステーション・コントローラ３３からの通知信号によって昇降台２７が第１受け渡し場所２１の下方位置にあるのを把握してもよい。昇降台２７が第１受け渡し場所２１の下方位置に配置されると（図４および図９）、制御フローはステップＳ１２に移行する。
【００４７】
ステップＳ１２では、搬送車内コントローラ３５は、フォーク駆動機構１９に駆動信号を送信して、スライドフォーク１７をステーション７側に伸ばす。
【００４８】
ステップＳ１３では、搬送車内コントローラ３５は、昇降台２７が上方位置に移動して物品Ｃをスライドフォーク１７からすくい上げるのを待つ。搬送車内コントローラ３５は、図示しないセンサによって昇降台２７が上方位置に移動したことを検出してもよいし、またはステーション・コントローラ３３からの通知信号によって昇降台２７が上方位置に移動したことを把握してもよい。昇降台２７が上方位置に移動すると、制御フローはステップＳ１４に移行する。
【００４９】
ステップＳ１４では、搬送車内コントローラ３５は、フォーク駆動機構１９に駆動信号を送信して、スライドフォーク１７を搬送車５側に縮める（図６および図１１）。
【００５０】
（７）ステーションから搬送車への物品移載動作
以下、ステーション７から搬送車５に物品Ｃを移載する動作を説明する。
図７および図１２に示すように、最初に、空の搬送車５がステーション７の第１受け渡し場所２１前に停止する。このとき、昇降装置２５の昇降台２７は、ステーション７の第２受け渡し場所２３の上方位置に物品Ｃを載せて配置されている。
【００５１】
続いて、図６および図１１に示すように、横方向移動機構３１が昇降装置２５を第１受け渡し場所２１に移動させる。これにより、昇降装置２５の昇降台２７は、ステーション７の第１受け渡し場所２１の上方位置に配置される。
【００５２】
この状態から、図５に示すように、フォーク駆動機構１９がスライドフォーク１７をステーション７側に伸ばす。
【００５３】
さらに、図１０に示すように、昇降駆動機構２９が昇降台２７を下方に移動させ、それにより昇降台２７は物品Ｃから離れて物品Ｃをスライドフォーク１７に載置する。続いて、図４および図９に示すように、フォーク駆動機構１９がスライドフォーク１７を搬送車５側に縮める。スライドフォーク１７は、物品Ｃを載せた状態で移動し、その時にローラ１８が走行面部材２４上を回転しながら移動していく。これにより、物品Ｃは搬送車５に移載される。
【００５４】
最後に、図３および図８に示すように、横方向移動機構３１が昇降装置２５を第２受け渡し場所２３に移動させる。
【００５５】
（７−１）ステーション・コントローラの制御動作
図１５を用いて、ステーション・コントローラ３３の制御動作について説明する。
ここでは、図７および図１２に示すように、空の搬送車５がステーション７の前に停止した状態からの制御動作を説明する。
【００５６】
ステップＳ２１では、ステーション・コントローラ３３は、横方向移動機構３１に駆動信号を送信して、昇降装置２５を第２受け渡し場所２３から第１受け渡し場所２１に移動させる（図６および図１１）。
【００５７】
ステップＳ２２では、ステーション・コントローラ３３は、搬送車５のスライドフォーク１７がステーション７側に延びてくるのを待つ。ステーション・コントローラ３３は、図示しないセンサによってスライドフォーク１７の伸びを検出してもよいし、または搬送車内コントローラ３５からの通知信号によってスライドフォーク１７の伸びを把握してもよい。スライドフォーク１７がステーション７側に伸びると、制御フローはステップＳ２３に移行する。
【００５８】
ステップＳ２３では、ステーション・コントローラ３３は、昇降駆動機構２９に駆動信号を送信して、昇降台２７を上方位置から下方位置に移動させる。その結果、物品Ｃは昇降台２７からスライドフォーク１７に乗り移る（図５および図１０）。
【００５９】
ステップＳ２４では、ステーション・コントローラ３３は、搬送車５のスライドフォーク１７が搬送車５側に縮むのを待つ。ステーション・コントローラ３３は、図示しないセンサによってスライドフォーク１７の縮みを検出してもよいし、または搬送車内コントローラ３５からの通知信号によってスライドフォーク１７の縮みを把握してもよい。スライドフォーク１７が搬送車５側に縮むと（図４および図９）、制御フローはステップＳ２５に移行する。なお、ステップＳ２４を省略してもよく、その場合に制御フローはステップＳ２３からステップＳ２５に移行する。
【００６０】
ステップＳ２５では、ステーション・コントローラ３３は、昇降駆動機構２９に駆動信号を送信して、昇降台２７を第１受け渡し場所２１から第２受け渡し場所２３に移動させる（図３および図８）。
【００６１】
（７−２）搬送車内コントローラの制御動作
図１６を用いて、搬送車内コントローラ３５の制御動作について説明する。
ここでは、図７および図１２に示すように、空の搬送車５がステーション７の前に停止した状態からの制御動作を説明する。
【００６２】
ステップＳ３１では、搬送車内コントローラ３５は、昇降装置２５の昇降台２７が第１受け渡し場所２１の上方位置に配置されるのを待つ。搬送車内コントローラ３５は、図示しないセンサによって昇降台２７が第１受け渡し場所２１の上方位置にあるのを検出してもよいし、またステーション・コントローラ３３からの通知信号によって昇降台２７が第１受け渡し場所２１の上方位置にあるのを把握してもよい。昇降台２７が第１受け渡し場所２１の上方位置に配置されると（図６および図１１）、制御フローはステップＳ３２に移行する。
【００６３】
ステップＳ３２では、搬送車内コントローラ３５は、フォーク駆動機構１９に駆動信号を送信して、スライドフォーク１７をステーション７側に伸ばす。
【００６４】
ステップＳ３３では、搬送車内コントローラ３５は、昇降台２７が下方位置に移動して物品Ｃをスライドフォーク１７に載せるのを待つ。搬送車内コントローラ３５は、図示しないセンサによって昇降台２７が下方位置に移動したことを検出してもよいし、またはステーション・コントローラ３３からの通知信号によって昇降台２７が下方位置に移動したことを把握してもよい。昇降台２７が下方位置に移動すると（図５および図１０）、制御フローはステップＳ３４に移行する。
【００６５】
ステップＳ３４では、搬送車内コントローラ３５は、フォーク駆動機構１９に駆動信号を送信して、スライドフォーク１７を搬送車５側に縮める（図４および図９）。
【００６６】
（８）特徴
搬送車システム１は、ステーション７と、物品Ｃをステーション７との間で移載可能な搬送車５とを備えている。ステーション７は、上下方向に昇降可能な昇降台２７を含む昇降装置２５を有している。搬送車５は、ステーション７に対して横方向に移動可能なスライドフォーク１７を含むスライドフォーク機構１３を有している。ステーション７から搬送車５に物品Ｃを移載する場合は、以下の動作が行われる。
・昇降装置２５は、昇降台２７の上に物品Ｃを載せた状態で昇降台２７を上方位置に配置している（Ｓ２１）。
・スライドフォーク機構１３は、スライドフォーク１７を突出させることでスライドフォーク１７を昇降台２７の下方に配置する（Ｓ３２）。
・昇降装置２５は、昇降台２７を下降させることで物品Ｃをスライドフォーク１７の上に置く（Ｓ２３）。
・スライドフォーク機構１３は、スライドフォーク１７を引っ込めることで物品Ｃを搬送車５に移載する（Ｓ３４）。
搬送車５からステーション７に物品Ｃを移載する場合は、以下の動作が行われる。
・昇降装置２５は、昇降台２７を下方位置に配置する（Ｓ１）。
・スライドフォーク機構１３は、物品Ｃが載ったスライドフォーク１７を突出させることでスライドフォーク１７を昇降台２７の上方に配置する（Ｓ１２）。
・昇降装置２５は、昇降台２７を上昇させることで昇降台２７の上に物品Ｃを載せる（Ｓ３）。
この搬送車システム１では、物品Ｃの移載はステーション７の昇降装置２５と搬送車５のスライドフォーク機構１３の協働作業によって行われる。具体的には、昇降装置２５は昇降動作によって物品Ｃを搬送車５のスライドフォーク１７の上に置いたりスライドフォーク１７の上から取っていったりする。以上の動作においては、スライドフォーク１７の荷重が昇降装置２５に作用することがない。また、スライドフォーク１７は物品Ｃを乗せた状態で突出した状態と引っ込んだ状態とを繰り返す。以上の動作においては、昇降装置２５の荷重がスライドフォーク１７に作用することがない。以上より、各装置の剛性を低くすることができ、その結果、搬送車システム１の移載装置のコストが低くなる。
【００６７】
搬送車システム１は、昇降装置２５を横方向に移動させるための横方向移動機構３１をさらに備えている。
この搬送車システム１では、昇降装置２５が横移動をすることができるので、他の装置（例えば、ピック＆プレース装置）を別途設けるよりコストを低くできる。
【００６８】
スライドフォーク機構１３は、スライドフォーク１７の先端部に設けられたローラ１８をさらに有している。ステーション７は、スライドフォーク１７が移動するときにローラ１８が走行する走行面部材２４をさらに有している。
この搬送車システム１では、物品Ｃが置かれたスライドフォーク１７が移動するときに、物品Ｃの荷重はステーション７の走行面部材２４によって受けられている。したがって、スライドフォーク１７に大きな荷重が作用することがない。その結果、スライドフォーク１７の剛性を落として、搬送車システム１の移載装置のコストをさらに低くすることができる。
【００６９】
以上に述べた作用効果は、特に、搬送車がクリーンルーム内の天井を走行する搬送車システムにおいて、下記の理由によって効果的である。
・一般には、搬送車が天井を走行する搬送車システムでは、搬送車の重量を大きくしないことが要請されている。それに対して、本実施形態では、搬送車５に搭載されているのがスライドフォーク機構１３のみとなるので、軽量化という好ましい効果が得られる。
・一般には、搬送車クリーンルーム内を走行する搬送車システムでは、クリーン度を低下させ無いことが要請されている。それに対して、本実施形態では、搬送車５に搭載されているのがスライドフォーク機構１３のみとなるので、簡単な構造によってクリーン度を低下させにくいという好ましい結果が得られる。
・搬送車が天井を走行すする搬送車システムでは、搬送車の高さをあまり高くしないことが要請されている。それに対して、本実施形態では、搬送車５に搭載されているがスライドフォーク機構１３のみとなるので、搬送車の高さを低くできるという好ましい結果が得られる。
【００７０】
（９）他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００７１】
（Ａ）前記実施形態では物品は液晶やカセットであるとして説明したが、本発明はそのような実施形態に限定されない。例えば、本発明は一般的に物品を搬送する搬送車システムにも適用できる。
【００７２】
（Ｂ）前記実施形態では横方向移載装置としてスライドフォーク機構が用いられていたが、本発明はそのような実施形態に限定されない。本発明は、スカラーアームなどの他の種類の横方向移載装置を搬送車に搭載した搬送車システムにも適用できる。
【００７３】
（Ｃ）前記実施形態では、ステーションは搬送車と同じ高さに配置されているが、本発明はそのような実施形態に限定されない。
図１７を用いて、他の実施形態を説明する。図１７は、他の実施形態における搬送車システムの部分模式面図である。
【００７４】
図１７に示す搬送車システム１０１では、搬送車１０５は天井を走行しており、ステーション１０７は搬送車１０５に対してかなり低い位置に配置されている。ただし、ステーション１０７の平面視における位置は前記実施形態と同様である。搬送車システム１０１は、リフタ１０８をさらに有している。
【００７５】
リフタ１０８は、片持ちリフタであり、昇降台１０９と昇降駆動機構１１０とを有している。リフタ１０８は、レール１０３の側方でかつステーション７の図上側に配置されている。昇降台１０９は昇降動作を行うことで、搬送車１０５のスライドフォーク１１７との間で物品Ｃを移載できる。さらに、昇降台１０９は下方に移動してステーション１０７との間で物品を移載できる。
【００７６】
（Ｄ）図１８を用いて、さらに他の実施形態を説明する。図１８は、さらに他の実施形態における搬送車システムの部分模式平面図である。
図１８に示す搬送車システム２０１では、搬送車２０５は天井を走行しており、ステーション２０７は搬送車２０５に対してかなり低い位置に配置されている。ただし、ステーション２０７の平面視における位置は前記実施形態とは異なっており、第１受け渡し位置と第２受け渡し位置がレールと平行に並ぶようになっている。搬送車システム２０１は、リフタ２０８をさらに有している。
【００７７】
リフタ２０８は、片持ちリフタであり、昇降台２０９と昇降駆動機構２１０とを有している。リフタ２０８は、ステーション２０７のレールと反対側に配置されている。昇降台２０９は昇降動作を行うことで、搬送車２０５のスライドフォーク２１７との間で物品Ｃを移載できる。さらに、昇降台２０９は下方に移動してステーション２０７との間で物品Ｃを移載できる。
【００７８】
図１９を用いて、さらに他の実施形態を説明する。図１９は、さらに他の実施形態における搬送車システムの側面図である。
搬送車は天井に吊されたレール２０３上を走行する。
搬送車システム２０１’は、横方向移動機構２３１と、それに搭載された昇降装置２２５とを有している。横方向移動機構２３１は、例えば床面を走行しており、レール３からかなり下方に配置されている。昇降装置２２５は、レール２０３付近の高い位置と床面付近の低い位置との間で伸縮してＦＯＵＰを昇降可能である。
搬送車システム２０１’は、例えば、図１に示す実施形態に適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００７９】
本発明は、ステーションと、物品をステーションとの間で移載可能な搬送車とを備えた搬送車システムに広く適用できる。
【符号の説明】
【００８０】
１      搬送車システム
３      レール
５      搬送車
７      ステーション
８      車輪
９      走行モータ
１３    スライドフォーク機構（横方向移載装置）
１５    レール
１７    スライドフォーク（横方向移動部材）
１７ａ  突出方向先端
１８    ローラ
１９    フォーク駆動機構
２１    第１受け渡し場所
２３    第２受け渡し場所
２４    走行面部材
２５    昇降装置
２７    昇降台
２９    昇降駆動機構
３１    横方向移動機構（移動機構）
３３    ステーション・コントローラ
３５    搬送車内コントローラ
１０１  搬送車システム
１０３  レール
１０５  搬送車
１０７  ステーション
１０８  リフタ
１０９  昇降台
１１０  昇降駆動機構
１１７  スライドフォーク
２０１  搬送車システム
２０５  搬送車
２０７  ステーション
２０８  リフタ
２０９  昇降台
２１０  昇降駆動機構
２１７  スライドフォーク
Ｃ      物品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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