(57)【要約】【課題】密閉容器内で除湿乾燥された樹脂タブレットを取り出して供給する際に再度吸湿することなく供給可能な樹脂タブレット供給装置を提供する。【解決手段】１回分の樹脂封止に用いられる樹脂タブレットＴＢを保持するタブレットホルダ６より樹脂タブレットＴＢが密閉容器６０へ収容され密閉された密閉容器６０内を減圧して樹脂タブレットＴＢの微孔空間に含有されている水分が除湿乾燥される。また減圧された密閉容器６０内を常圧へ戻す際に、当該密閉容器６０内へ外気より低湿度に調製されたドライエアを送り込まれ、除湿乾燥後の樹脂タブレットＴＢの微孔空間を当該記ドライエアで置換する。ドライエアで置換された樹脂タブレットＴＢが密閉容器６０から取り出されてプレス部へ搬送される。【選択図】図４
2011091338.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１回分の樹脂封止に用いられる樹脂タブレットを保持するタブレットホルダより受け渡されて密閉可能な密閉容器と、
前記密閉された密閉容器内を減圧して前記樹脂タブレットの微孔空間に含有されている水分を除去する減圧手段と、
前記減圧された密閉容器内を常圧へ戻す際に、当該密閉容器内へ外気より低湿度に調製されたドライエアを送り込むことにより、除湿乾燥後の前記樹脂タブレットの微孔空間を当該ドライエアで置換するドライエア充てん手段と、
前記ドライエアで置換された樹脂タブレットが前記密閉容器から取り出してプレス部へ搬送する樹脂タブレット供給手段と、を備えたことを特徴とする樹脂タブレット供給装置。
【請求項２】
前記タブレットホルダと、その上方に配置される前記密閉容器と、その上方に待機し前記プレス部へ樹脂タブレットを搬送するローダが、前記樹脂タブレットの上下方向の搬送ラインに沿って直列配置されることを特徴とする請求項１記載の樹脂タブレット供給装置。
【請求項３】
前記タブレットホルダを底部に設けられた貫通孔より前記タブレットホルダに保持された樹脂タブレットを前記ローダに向けて突き上げる突き上げロッドを備え、前記タブレットホルダを開放された前記密閉容器に近接した上昇位置まで上昇させて前記突き上げロッドにより樹脂タブレットを突き上げ、前記密閉容器を閉じることにより樹脂タブレットが受け渡されることを特徴とする請求項２記載の樹脂タブレット供給装置。
【請求項４】
前記密閉容器は、樹脂タブレットが突き上げられる位置に両側で開閉移動可能な可動蓋と該可動蓋が閉じる開口端にシール材が設けられた可動容器とを備え、突き上げロッドに突き上げられた樹脂タブレットに前記可動蓋を接近させて当該突き上げロッドを一旦退避させることにより当該可動蓋に樹脂タブレットが受け渡され、前記可動容器を可動蓋に接近させて樹脂タブレットが密閉収納されることを特徴とする請求項３記載の樹脂タブレット供給装置。
【請求項５】
前記可動蓋に樹脂タブレットが支持されたまま可動容器を離間させて密閉容器が開放され、突き上げロッドを突き上げて樹脂タブレットを上方に待機するローダハンドに受け渡されることを特徴とする請求項４記載の樹脂タブレット供給装置。
【請求項６】
被成形品供給部において供給された被成形品及び請求項１乃至請求項５のいずれか記載の樹脂タブレット供給装置から供給された樹脂タブレットを保持してプレス部へ搬入するローダと、プレス部から成形品を保持して成形品収納部へ取り出すアンローダとが、移動レール部を共用して移動し所要のプレス部に一方向から進退動することにより樹脂封止が行われることを特徴とする樹脂封止装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、樹脂タブレット供給装置及びこれを備えた樹脂封止装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
樹脂タブレット内の水分による樹脂成形品へのボイド発生を防止する方法として、樹脂封止装置に供給する樹脂タブレットを乾燥処理させる方法が提案されている。例えば、樹脂タブレットを露点が−５℃以下の雰囲気中または、３ｍｍＨｇ以下の真空中に保管することで、樹脂タブレット内の水分を除去した後に、当該樹脂タブレットを樹脂封止装置に供給して樹脂封止する方法が開示されている（特許文献１参照）。
また、タブレットストッカ内に樹脂タブレットを収容したまま当該ストッカ内に乾燥熱風を送り込むことによって除湿乾燥及び予熱を行なって、成形直前に必要なタブレットを送り出す装置も提案されている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭５８−１９７８３１号公報
【特許文献２】特開昭６３−１１９０１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１記載の樹脂封止方法によれば、上記真空雰囲気下で樹脂タブレットを除湿した後、真空破壊を行って真空容器から樹脂タブレットを取り出すと、大気中の水分が樹脂タブレットに１０％程度存在する微孔空間に吸収されてしまうため、除湿効果を維持することができなくなってしまう。
また、特許文献２に示す樹脂タブレットを除湿乾燥及び予熱を繰り返す装置においては、予熱により固形化した樹脂タブレットが変形してローダのチャックハンドなどにより掴めなくなる不具合が生じたり、樹脂の温度も上昇することで硬化反応が進行して成形品質が低下したりするなどの不具合も想定される。
【０００５】
本願発明の目的は、密閉容器内で除湿乾燥された樹脂タブレットを取り出して供給する際に再度吸湿することなく供給可能な樹脂タブレット供給装置及びこれを備えてボイドの発生を防いで成形品質を高めた樹脂封止装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
以上の課題を解決し、以下に述べる実施形態に適用される手段は、以下の構成を有する。
すなわち、１回分の樹脂封止に用いられる樹脂タブレットを保持するタブレットホルダより受け渡されて密閉可能な密閉容器と、前記密閉された密閉容器内を減圧して前記樹脂タブレットの微孔空間に含有されている水分を除去する減圧手段と、前記減圧された密閉容器内を常圧へ戻す際に、当該密閉容器内へ外気より低湿度に調製されたドライエアを送り込むことにより、除湿乾燥後の前記樹脂タブレットの微孔空間を当該記ドライエアで置換するドライエア充てん手段と、前記ドライエアで充てんされた樹脂タブレットを前記密閉容器から取り出してプレス部へ搬送する樹脂タブレット供給手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
また、前記タブレットホルダと、その上方に配置される前記密閉容器と、その上方に待機し前記プレス部へ樹脂タブレットを搬送するローダが、樹脂タブレットの上下方向の搬送ラインに沿って直列配置されることを特徴とする。
【０００８】
また、前記タブレットホルダを底部に設けられた貫通孔より前記タブレットホルダに保持された樹脂タブレットを前記ローダに向けて突き上げる突き上げロッドを備え、前記タブレットホルダを開放された前記密閉容器に近接した上昇位置まで上昇させて前記突き上げロッドにより樹脂タブレットを突き上げ、前記密閉容器を閉じることにより樹脂タブレットが受け渡されることを特徴とする。
【０００９】
前記密閉容器は、樹脂タブレットが突き上げられる位置に両側で開閉移動可能な可動蓋と該可動蓋が閉じる開口端にシール材が設けられた可動容器とを備え、突き上げロッドに突き上げられた樹脂タブレットに前記可動蓋を接近させて当該突き上げロッドを一旦退避させることにより当該可動蓋に樹脂タブレットが受け渡され、前記可動容器を可動蓋に接近させて樹脂タブレットが密閉収納されることを特徴とする。
【００１０】
前記可動蓋に樹脂タブレットが支持されたまま可動容器を離間させて密閉容器が開放され、突き上げロッドを突き上げて樹脂タブレットを上方に待機するローダハンドに受け渡されることを特徴とする。
【００１１】
樹脂封止装置においては、被成形品供給部において供給された被成形品及び上述した樹脂タブレット供給装置から供給された樹脂タブレットを保持してプレス部へ搬入するローダと、プレス部から成形品を保持して成形品収納部へ取り出すアンローダとが、移動レール部を共用して移動し所要のプレス部に一方向から進退動することにより樹脂封止が行われることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
上述した樹脂タブレット供給装置を用いれば、１回分の樹脂封止に用いられる樹脂タブレットを保持するタブレットホルダより樹脂タブレットが密閉容器へ収容され密閉された密閉容器内を減圧して樹脂タブレットの微孔空間に含有されている水分が除湿乾燥される。また減圧された密閉容器内を常圧へ戻す際に、当該密閉容器内へ外気より低湿度に調製されたドライエアが送り込まれるので、除湿乾燥後の樹脂タブレットの微孔空間が当該ドライエアで置換されるのである。これにより樹脂タブレットを密閉容器から取り出してプレス部へ搬送する際に、再度樹脂タブレットが吸湿することを抑制することができる。
【００１３】
タブレットホルダと、その上方に配置される密閉容器と、その上方に待機しプレス部へ樹脂タブレットを搬送するローダが、樹脂タブレットの上下方向の搬送ラインに沿って直列配置されるので、樹脂タブレットの供給動作が同一搬送ライン上で行うことができる。これによりサイクルタイムの短縮化が可能になると共に、樹脂タブレット供給装置とタブレットホルダとが上下に配置されるので少ない面積に設置することも可能である。
【００１４】
また、タブレットホルダに保持された樹脂タブレットをローダに向けて突き上げる突き上げロッドにより、樹脂タブレットを突き上げて密閉容器へ受渡しが行われる。このように、突き上げロッドの昇降動作により、タブレットホルダから密閉容器へ、密閉容器からローダへ樹脂タブレットが受け渡されるので、装置構成を簡略化することができる。
【００１５】
突き上げロッドに突き上げられた樹脂タブレットに可動蓋を接近させて当該突き上げロッドを一旦退避させることにより当該可動蓋に樹脂タブレットが受け渡され、可動容器を可動蓋に接近させて樹脂タブレットが密閉収納されるので、樹脂タブレットの位置を変更することなく密閉容器への受渡しがスムーズに行なえる。
【００１６】
可動蓋に樹脂タブレットが支持されたまま可動容器を離間させて密閉容器が開放され、突き上げロッドを突き上げて樹脂タブレットを上方に待機するローダハンドに受け渡されるので、樹脂タブレットの位置を変えずに密閉容器からローダへ受け渡すことができる。
【００１７】
被成形品供給部において供給された被成形品及び上述した樹脂タブレット供給装置から供給された樹脂タブレットを保持してプレス部へ搬入するローダと、プレス部から成形品を保持して成形品収納部へ取り出すアンローダとが、移動レール部を共用して移動し所要のプレス部に一方向から進退動することにより樹脂封止が行われている。これにより、ローダによるプレス部への被成形品及び樹脂タブレット（ワーク）の供給とアンローダによるプレス部からの成形品の取り出しが交互に迅速に行えるうえに、ボイドの発生を抑えて成形品質を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】第１実施形態にかかる樹脂タブレット乾燥装置の平面図と矢印Ａ−Ａ方向断面図である。
【図２】第２実施形態にかかる樹脂タブレット乾燥装置の平面図と矢印Ａ−Ａ方向断面図である。
【図３】図１又は図２にかかる樹脂タブレット乾燥装置を具備する樹脂封止装置の平面図である。
【図４】他例に係る樹脂タブレット供給装置の一例を示す平面図及び矢印Ａ−Ａ方向断面図である。
【図５】図４の樹脂タブレット供給装置の樹脂タブレット供給動作を示す断面説明図である。
【図６】図４に示す樹脂タブレット供給装置の樹脂タブレット供給動作を示す断面説明図である。
【図７】図４に示す樹脂タブレット供給装置の樹脂タブレット供給動作を示す断面説明図である。
【図８】図４に示す樹脂タブレット供給装置の樹脂タブレット供給動作を示す断面説明図である。
【図９】図４に示す樹脂タブレット供給装置の樹脂タブレット供給動作を示す断面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下に、本発明の好適な実施形態について図面に基づいて詳細に説明する。
樹脂タブレット供給装置を備えた樹脂封止装置の概略構成について、図１乃至図３を参照して説明する。
図３において、樹脂封止装置１０は被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に増設レールユニットＣを分離可能に備えている。被成形品供給ユニットＡ、成形品収納ユニットＢ及び増設レールユニットＣのそれぞれが移動レール部と台座部を有しており、台座部には各種機能部を備えることが可能である。本実施例では増設レールユニットＣとしてプレス部３１が各々挿脱可能に設けられている。以下、各ユニットの構成について説明する。
【００２０】
［被成形品供給ユニットＡ］
図１において、被成形品供給部１は、供給マガジン２に収納された被成形品８（リードフレーム、樹脂基板などに半導体チップが搭載されたもの）をインデックステーブル３へ載せた後、プレヒート部４へ向きを揃えて送り出す。プレヒート部４では、被成形品８がプレヒートされて後述するローダ１４に受け渡される。
【００２１】
樹脂タブレット供給装置５は、例えば樹脂タブレットを送り出す公知のリニアフィーダから整列して送り出された樹脂タブレットをインデックステーブル（図示せず）で一時的に蓄えながらタブレットホルダ６へ装填する。また、樹脂タブレットを装填されたタブレットホルダ６は受渡し位置まで上昇させて樹脂タブレットがローダ１４に受け渡される。樹脂タブレット供給装置５は、タブレットホルダ６の昇降動作を行なう近傍に配置されている。
【００２２】
［成形品収納ユニットＢ］
図１において、成形品取出部１８は、いずれかのプレス部よりアンローダ１５により取出された成形品を下方に待機している移動テーブル１９へ受け渡される。アンローダ１５は、成形品を成形品取出部１８に待機している移動テーブル１９へ受け渡すと次の成形品の取出し動作に移行する。移動テーブル１９は成形品を載置してディゲート部２０へ搬送する。ディゲート部２０は、移動テーブル１９へ載置されて搬送された成形品を押えてツイストすることによりゲートブレイクし不要樹脂を分離する。不要樹脂は図示しないスクラップボックスへ回収される。移動テーブル１９は成形品のみを載置して成形品収納部２１へ搬送する。成形品収納部２１において、移動テーブル１９に搬送された成形品を成形品ピックアップ２２により一端保持する。そして、移動テーブル１９が成形品取出部１８へ向かって移動すると、下方に設けられた収納マガジン２３へ必要に応じて旋回して向きを揃えて収納する。
【００２３】
［増設レールユニットＣ］
増設レールユニットＣは、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に挿脱可能に設けられている。増設レールユニットＣは、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に増設されて、供給側移動レール部１３と収納側移動レール部２６との間を増設側移動レール部２８により連結し、該増設側移動レール部２８上をローダ１４及びアンローダ１５が各々共用して移動可能になっている（図３参照）。
【００２４】
増設レールユニットＣの増設側台座部２９には、プレス部３１などの様々な機能を有する機能部を搭載可能になっている。増設レールユニットＣは、被成形品供給ユニットＡと成形品収納ユニットＢとの間に移動レール部どうしが連続するように挿入された後、増設側台座部２９と供給側台座部９との間、増設側台座部２９と収納側台座部２５との間、増設側台座部２９どうしの間を各々ボルト締めして連結されている。
【００２５】
また、成形品収納ユニットＢの収納側移動レール部２６に沿って吸引ダクト２７、増設レールユニットＣの移動レール部２８に沿って吸引ダクト３０、被成形品供給ユニットＡの移動レール部１３に沿って吸引ダクト１６が各々併設されている。この吸引ダクト２７，３０，１６は、アンローダ１５のアンローダ側吸引ダクトに接続可能なダクト連結部２７ａ，３０ａ，１６ａより直列に接続されている。アンローダ１５がプレス部２４，３１，７に進入する際にアンローダ側吸引ダクトがダクト連結部２７ａ，３０ａ，１６ａを介して吸引ダクト２７，３０，１６に連結して、図示しない集塵機へ集塵するようになっている。
【００２６】
プレス部７，３１，２４は本実施例では４箇所に並設されている。各プレス部はモールド金型及び該モールド金型を型締め型開きする公知の型開閉機構及びモールド金型のキャビティに樹脂圧を印加しながら封止樹脂を送り出す公知のトランスファ機構等が装備されている。供給側台座部９に設けられたプレス部７には、モールド金型の金型面を覆うリリースフィルムを張設するフィルムハンドラＬＦが設けられている。
【００２７】
ローダ１４及びアンローダ１５は移動レール部１３，２８，２６を共用して移動するようになっている。即ち、ローダ１４は、プレヒート部４で被成形品８（リードフレーム等）を受け取って保持し、タブレットホルダ６より樹脂タブレットＴＢを受け取って保持し、各プレス部７，３１，２４へ一方向から進退移動して搬入するようになっている。また、樹脂封止後の成形品はモールド金型より離型され、アンローダ１５により成形品取出部１８へ搬出されるようになっている。アンローダ１５が各プレス部７，３１，２４へ進入する位置では、アンローダ側吸引ダクト（図示せず）がダクト連結部２７ａ，３０ａ，１６ａを介して吸引ダクト３０に連結して上下金型面をクリーニングしながら吸引動作を行い、樹脂かすなどの塵を集塵機へ集塵するようになっている。
【００２８】
ここで、樹脂タブレット供給装置５の概略構成について説明する。
タブレットホルダ６（図３参照）は１回分の樹脂封止に用いられる樹脂タブレットＴＢを保持孔（貫通孔）に保持したまま昇降して、後述する突き上げロッドにより保持孔底部より突き上げてローダ１４にハンドに受け渡すようになっている。タブレットホルダ６よりローダ１４に受け渡された樹脂タブレットＴＢは一旦密閉容器６０へ収納され除湿乾燥される。
【００２９】
図１及び図２に密閉容器６０の一例を示す。図１（Ａ），図２（Ａ）は容器平面図、図１（Ｂ），図２（Ｂ）は矢印Ａ−Ａ断面図である。密閉容器６０は、ローダ１４より受け渡された樹脂タブレットＴＢを密閉可能に収納する。この密閉容器６０は、容器本体６２と蓋体６４とを具備している。容器本体６２の開口縁部にはシール材６６が設けられている。また、容器本体６２の両側壁には配管接続口６３ａ，６３ｂが各々設けられている。配管接続口６３ａ，６３ｂには後述する真空吸引装置５０，ドライエア充てん装置５１が配管接続されている。また、蓋体６４には、容器本体６２内に嵌め込まれる嵌込み部６４ａが設けられている。容器本体６２に樹脂タブレットＴＢを収容して蓋体６４を閉じると、密閉容器６０がシール材６６により密閉される。
【００３０】
真空吸引装置５０（減圧手段）は配管５０ａを介して密閉容器６０（容器本体６２）の一方側に接続されている。また、ドライエア充てん装置５１（ドライエア充てん手段）は配管５１ａを介して密閉容器６０（容器本体６２）の他方側に接続されている。真空吸引装置５０が接続する配管５０ａ並びにドライエア充てん装置５１が接続する配管５１ａには、開閉弁（図示せず）が設けられており、密閉容器６０の配管接続口６３ａ，６３ｂを接続状態と遮断状態とで切り替えられるようになっている。真空吸引装置５０は、密閉された密閉容器６０内を所定時間真空吸引することにより減圧して樹脂タブレットＴｂにおよそ１０％程度存在する微孔空間に含有されている水分を除去する。
【００３１】
また、ドライエア充てん装置５１は、上記減圧された密閉容器６０内を常圧へ戻す際に、当該密閉容器６０内へ外気（例えば湿度６０％乃至６５％）より低湿度（例えば湿度５０％以下）に調製されたドライエアを送り込む。これにより、除湿乾燥後の樹脂タブレットＴＢの微孔空間を当該記ドライエアで置換する。
【００３２】
ドライエアを充てんされた樹脂タブレットＴＢは、密閉容器６０の蓋体６４を開放して、上方に待機するローダ１４のハンドにより再度チャックされて容器本体６２から取り出して該当するプレス部７，３１，２４へ搬送される。
【００３３】
密閉容器６０に収納される樹脂タブレットＴＢは、図１（Ａ）（Ｂ）に示すように横置き状態でも、図２（Ａ）（Ｂ）に示す縦置き状態のいずれでもよい。但し、ローダ１４のハンドとの受渡し動作を考慮すると、図２の形態が望ましい。
【００３４】
実験によれば、フィラー充てん率７５％の円柱状の樹脂タブレットＴＢ（サイズ；φ１５ｍｍ×１７ｍｍ）を湿度５０％のドライエアで置換した後、常圧に戻して湿度６５％の部屋に１時間程度放置したところ、２ｍｍｇ程度の吸湿しか認められないことが判明している。これは、樹脂タブレットＴＢの外壁面から水蒸気の分子が侵入する際の微孔空間の抵抗が大きく、吸湿するのに時間を要するためと推認される。
また、密閉容器６０から取り出された樹脂タブレットＴＢは、およそ２分以内にプレス部へ搬送されてモールド金型のポットへ投入される。また、プレス部にはヒータを内蔵しているため、一般に湿度は５０％以下と低いため、吸湿環境になりにくいと考えられる。
【００３５】
したがって、樹脂タブレットＴＢを密閉容器６０から取り出してプレス部へ搬送する際に、再度樹脂タブレットが吸湿するのを抑制することができ、しかもその効果が長持ちするため、ボイドの発生を抑えて成形品質を向上することができる。
【００３６】
次に、樹脂タブレット供給装置及びこれを用いた樹脂封止装置の他例について図４乃至図９を参照して説明する。
上記実施形態と樹脂封止装置の概略構成は同様であるので、同一部材には同一番号を付して説明を援用するものとし、以下では樹脂タブレット供給装置の構成を中心に説明する。
【００３７】
図３の樹脂タブレット供給装置５は、タブレットホルダ６の昇降動作を行なう近傍に配置されていたが、本実施形態では、図９に示すように、樹脂タブレット供給装置５はタブレットホルダ６の直上に配置されている。以下、この構成について具体的に説明する。
【００３８】
図４（Ａ）は開放された密閉容器６０及びタブレットホルダ６の平面図、図４（Ｂ）は矢印Ａ−Ａ方向断面図である。図４（Ａ）において、タブレットホルダ６と、該タブレットホルダ６より上方に配置された密閉容器６０と、該密閉容器６０より上方に待機するローダ１４とが、樹脂タブレットＴＢの上下方向の搬送ラインに沿って直列配置される（図９参照）。
これにより、樹脂タブレットＴＢの供給動作が同一搬送ライン上で行なえるため、サイクルタイムの短縮化を図り、しかもタブレット供給装置５とタブレットホルダ６が上下に配置されるので少ない面積に設置することも可能になる。
【００３９】
また、図４（Ａ）において、タブレットホルダ６は、１回の樹脂封止に必要な樹脂タブレットＴＢを例えば直列状に５箇所で保持するようになっている。
また、タブレットホルダ６の下方には、タブレットホルダ６の保持位置に対応して底部に設けられた貫通孔６ａより樹脂タブレットＴＢをローダ１４に向けて突き上げる突き上げロッドＲを備えている。突き上げロッドＲは、例えば図示しない電動モータにより昇降可能に設けられている。このように、突き上げロッドＲの昇降動作により、タブレットホルダ６から密閉容器６０へ、更には密閉容器６０からローダ１４へ樹脂タブレットＴＢが受け渡されるので、装置構成を簡略化することができる。
【００４０】
図４（Ａ）（Ｂ）において、密閉容器６０は、複数の樹脂タブレットＴＢが突き上げられる位置に両側で開閉移動可能な可動蓋６５と、該可動蓋６５が閉じる開口端にシール材６６が設けられた可動容器６８とを備えている。
また、可動蓋６５の可動容器６８内へ嵌め込まれる嵌込み部６５ａの底部側はＵ字状に切り欠かれた切欠き部６５ｃが樹脂タブレットＴＢに応じて５箇所に形成されている。各切欠き部６５ｃの一部を横切るように樹脂タブレットＴＢの底部を支持可能な支持板６５ｂが各々設けられている。後述するように、突き上げロッドＲに突き上げられた各樹脂タブレットＴＢが可動蓋６５の支持板６５ｂに各々受け渡され、該可動蓋６５に対して可動容器６８を近接させて閉じることにより樹脂タブレットＴＢが密閉容器６０内に密閉されるようになっている。
【００４１】
また、図７（Ｂ）に示すように、可動蓋６５には配管５０ａを介して真空吸引装置５０が接続され、可動容器６８には配管５１ａを介してドライエア充てん装置５１が接続されている。各配管５０ａ，５１ａには開閉弁（図示せず）が設けられており、密閉容器６０と接続状態と遮断状態とで切り替えられるようになっている。
【００４２】
次に、樹脂タブレットＴＢの供給動作について図５乃至図８を参照して具体的に説明する。
図５（Ａ）において、密閉容器６０は、可動蓋６５と可動容器６８が開放した両側に離間した開放状態にある。樹脂タブレットＴＢを装填されたタブレットホルダ６が開放された密閉容器６０の近傍まで上昇させる。
また、図５（Ｂ）において可動蓋６５を、樹脂タブレットＴＢの搬送ライン（タブレットホルダ６の上部）に向けて移動させる。
【００４３】
次に、図６（Ａ）に示すように駆動源を駆動して突き上げロッドＲを突き上げて樹脂タブレットＴＢをタブレットホルダ６から密閉容器６０に向けて上昇させる。また、図６（Ｂ）に示すように可動蓋６５を更に可動容器６８に向けて接近させる。このとき、可動蓋６５を樹脂タブレットＴＢに向けて接近させても嵌込み部６５ａに設けられた切欠き部６５ｃにより突き上げロッドＲと干渉することがない。そして、突き上げロッドＲに突き上げられた樹脂タブレットＴＢの底部を支持板６５ｂが支持可能になる位置まで可動蓋６５を接近させる。
【００４４】
そして、図７（Ａ）に示すように、突き上げロッドＲを一旦タブレットホルダ６の下方に退避させる。これにより可動蓋６５の支持板６５ｂに樹脂タブレットＴＢが受け渡される。
そして、図７（Ｂ）に示すように、可動蓋６５に樹脂タブレットＴＢが受け渡されたまま、可動容器６８のシール材６６が可動蓋６５とクランプされるまで閉じることにより、支持板６５ｂに樹脂タブレットＴＢが支持されたまま嵌込み部６５ａが可動容器６８内に進入して密閉容器６０が密閉される。このように、タブレットホルダ６に装填された樹脂タブレットＴＢは、上下方向の搬送ラインの位置を変更することなく密閉容器６０への受渡しがスムーズに行なえる。
【００４５】
真空吸引装置５０は、密閉された密閉容器６０内を所定時間真空吸引することにより減圧して樹脂タブレットＴｂにおよそ１０％程度存在する微孔空間に含有されている水分を除去する。また、ドライエア充てん装置５１は、上記減圧された密閉容器６０内を常圧へ戻す際に、当該密閉容器６０内へ外気（例えば湿度６０％乃至６５％）より低湿度（例えば湿度５０％以下）に調製されたドライエアを送り込む。これにより、除湿乾燥後の樹脂タブレットＴＢの微孔空間を当該記ドライエアで置換する。
【００４６】
図８（Ａ）において、可動蓋６５の支持板６５ｂに樹脂タブレットＴＢが支持されたまま可動容器６８を離間させて密閉容器６０が開放される。また、図８（Ｂ）において、駆動源を起動して突き上げロッドＲを突き上げて切欠き部６５ｃを通じて支持板６５ｂに支持された樹脂タブレットＴＢが押し上げられ、密閉容器６０より上方に待機するローダ１４のハンドに受け渡される。
このようにして、樹脂タブレットＴＢの上下方向の搬送ラインを変更せずに密閉容器６０からローダ１４へ樹脂タブレットＴＢを一括して受け渡すことができる。
【００４７】
上述した実施形態においては、可動蓋６５に切欠き部６５ｃの一部に設けた支持板６５ｂにて樹脂タブレットＴＢを支持したが、スリット付の支持板やスライド式のシャッター、開閉式のハンド等の突き上げロッドＲと干渉せずに樹脂タブレットＴＢを支持する他の構成であってもよい。
また、樹脂封止装置は、樹脂タブレット供給装置５により除湿乾燥された樹脂タブレットＴＢが直ちにローダ１４に受け渡されてプレス部へ搬入される実施形態について説明したが、除湿乾燥された樹脂タブレットＴＢをドライエアで満たされた保管容器に収容しておき、必要に応じて保管容器から取り出して樹脂成形を行うことも可能である。
また、樹脂封止装置は、ローダ１４とアンローダ１５が移動レール部を共用する形態に限られるものではなく、ローダ１４とアンローダ１５が個別に移動する形態でもよい。
【符号の説明】
【００４８】
Ａ  被成形品供給ユニット
Ｂ  成形品収納ユニット
Ｃ  増設レールユニット
ＴＢ  樹脂タブレット
Ｒ  突き上げロッド
１  被成形品供給部  
２  供給マガジン  
３  インデックステーブル  
４  プレヒート部  
５  樹脂タブレット供給装置  
６  タブレットホルダ  
７，２４，３１  プレス部  
８  被成形品  
９  供給側台座部  
１０  樹脂封止装置  
１３  供給側移動レール部  
１４  ローダ  
１５  アンローダ  
１６，２７，３０  吸引ダクト  
１６ａ，２７ａ，３０ａ  ダクト連結部  
１８  成形品取出部  
１９  移動テーブル  
２０  ディゲート部  
２１  成形品収納部  
２２  成形品ピックアップ  
２３  収納マガジン  
２５  収納側台座部  
２６  収納側移動レール部  
２８  増設側移動レール部  
２９  増設側台座部  
５０  真空吸引装置  
５０ａ，５１ａ  配管  
５１  ドライエア充てん装置  
６０  密閉容器  
６２  容器本体  
６３ａ，６３ｂ  配管接続口  
６４  蓋体  
６４ａ，６５ａ  嵌込み部  
６５  可動蓋  
６５ｂ  支持板  
６５ｃ  切欠き部  
６６  シール材  
６８  可動容器  
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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