(57)【要約】【課題】ウェハーラミネートダイシングソーの構造を提供する。【解決手段】  本発明のウェハーラミネートダイシングソーの構造は、排出装置及び吸膜盤、切断槽、台で構成したものである。該排出装置はフィルムを延展した態様にし、吸膜盤は未切断のフィルムを吸着する。及び、少なくとも一つの切断槽は、吸膜盤がフィルムを吸着する面に設ける。台にウェハーを置き、吸膜盤が切断完了したフィルムを移動して、台にてウェハーにラミネートすることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
台座、移動部品、ダイシングソーを含み、
該台座の中央に中空部を設け、該台座の中央部の両側にそれぞれフィルムを中空部の上方に延展する圧延ローラを設け、
台座に相対して可動的に移動部品を設置するほか、該移動部品は別途吸膜盤を設け、該吸膜盤は下向きに未切断のフィルムを吸着し、或いは切断済みのフィルムを上へ移動し、該吸膜盤は少なくともフィルムを切断する切断槽を具有し、
該ダイシングソー４は台座１の底部に位置し、中空部１１の態様に対応して設置し、該ダイシングソー４に含まれるのは、刃物及びモーターと昇降装置４３であり、該刃物は中空部に延展し、吸膜盤によって固定するフィルムを切断し、該モーター４２は刃物４１を動かし、切断槽３１２に基づき回転して切断を行い、及び、該昇降装置４３は、刃物４１を上に動かし、切断槽３１２に対応してフィルムを刺してから、モーター４２が刃物４１を動かして切断し、或いは刃物４１を動かし、切断後、切断槽３１２から刃物４１を外すことを特徴とするウェハーラミネートダイシングソー。
【請求項２】
前記吸膜盤の底部に複数のフィルムを吸着固定する穴を設けることを特徴とする請求項１記載のウェハーラミネートダイシングソー。
【請求項３】
前記切断槽は異なる半径の同円心状のものであり、吸膜盤３１の底部に設置することを特徴とする請求項１記載のウェハーラミネートダイシングソー。
【請求項４】
更に台を含み、
該台５はウェハーを設置し、移動部品３が吸膜盤３１を通じて、切断済みのフィルムを次のウェハーとの貼合作業に移りやすくさせるものであり、且つ、該移動部品３は回転部品３２及び昇降部品３３を含み、該回転部品３は吸膜盤３１を中空部１１或いは台５に対応して平行移動し、該昇降部品３３は吸膜盤３１を上下に移動することで、フィルムを吸着し、フィルムを台５まで運ぶことを特徴とする請求項１記載のウェハーラミネートダイシングソー。
【請求項５】
該刃物４１はフィルムを切断するカッター４１１及び、カッター４１１を固定し、且つカッター４１１がフィルムに刺しこむ角度を調整し、フィルムがウェハーと対応するV字型溝を切断する切断角度調整器４１２を含むことを特徴とする請求項１記載のウェハーラミネートダイシングソー。
【請求項６】
該排出装置２は台座１の底部に設け、且つ該排出装置２に含まれるのは、該フィルムを圧延ローラに送り出すフィードローラ２１及び、切断して余った残りのフィルムを圧延ローラ１２より回収する回収ローラー２２であることを特徴とする請求項１記載のウェハーラミネートダイシングソー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はウェハーラミネートダイシングソーの構造に関し、ラミネート作業を行うウェハーに基づき、同一或いはやや小さめのサイズのフィルムを予め切断することで、従来技術の、ウェハーを先にラミネートしてから切断方法による、同一或いはやや小さめのサイズのフィルムに切断できない欠点を克服するウェハーラミネートダイシングソーに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来技術のウェハーラミネート装置は、長方形のフィルムを使用し、該フィルムをウェハーに貼ってから刃物で余分な部分を切断する。刃物とウェハーが接触するのを避けるよう、該切断されたフィルムは必ずウェハーの面積より大きい。しかし、ウェハーの製造過程において、ウェハーのエッジにフィルムを貼り付けていない部分が必要である。
【０００３】
中華民国特許出願第０９６２０２９５４号「ウエハのフィルム切断機」は、水平状の台座にフレームを設置し、該フレームの下方に一つの上ラミネートダイシングソーを吊るす。該上ラミネートダイシングソーはフレームに対応し、数本の可動棒を使って上下移動することができる。該上ラミネートダイシングソーの底部に上外リング、内リング及びカッターリングを設置する。一つの下ラミネートダイシングソーは、上ラミネートダイシングソーの下方の台座に設け、底板、下リング及び材料設置場所を含む。材料供給ユニットは下ラミネートダイシングソーの片側に設置し、フィルムロールの設置及び材料を供給することができる。排出ユニットは下ラミネートダイシングソーの材料供給ユニットと相対する別側に設置し、残りのフィルムロールを巻き回収する。
【０００４】
従来技術のフィルム切断設備は該上ラミネートダイシングソーが下に移動するのを利用し、上の外リングがまずフィルムを下向きに押して広げる。そして内リングがウェハーの設置台まで下降し、フィルムをウェハーとフレームの表面に貼合する。同時に内リングのエッジにあるカッターリングが下降し、フィルムを切断し、空気充填ユニットを使って、フィルムをしっかりとウェハーに貼合する。しかし、この従来技術の設備はフィルムをウェハーに貼合するため、フィルムをまず広げてからウェハーに貼合するなど、手順が多く、且つフィルムをウェハーに貼る際、接触しやすく、ウェハーが損壊しやすい。更にフィルムをまずウェハーに貼合してからフィルムを切断するため、カッターリングがウェハーと接触するのを避けるため、フィルムは必ずウェハーより大きくなる。よって、ウェハーの外回りに回路を設置する必要がある場合、フィルムはウェハーと同一サイズ或いはやや小さめのものにしないといけないが、従来技術ではその問題を克服することができない。
【０００５】
日本特開昭６３‐０９６９０７号の「半導体ウエーハの保護膜の自動打抜き装置」では、ローラー装置を使ってフィルムを送り、切断するフィルムをウェハーの表面に送ると、下ピストンにウェハーを乗せて上から下向きに移動し、ウェハーのエッジにある円形カッターが突出する。そして、上ピストンが下向きに押すと、フィルムが切断され、切断されたフィルムはウェハーと共に次の作業に移る。
【０００６】
当該従来技術はウェハーのエッジに円形カッターを設け、中央に位置する下ピストンがウェハーとフィルムを乗せて下向きに移動し、上ピストンを下ろすことでフィルムを切断する方法である。カッターはウェハーのエッジに位置するため、上記のような切断方法では、フィルムのサイズは必ずウェハーより大きくなり、同様にウェハーより小さいサイズのフィルムに切断することができない。また、該従来技術の円形カッターは、ウェハーを乗せる下ピストンの外周縁に設置するため、円形カッターのサイズを変更するのは大変な作業であり、製造過程で応用しにくいため、更なる改善が必要であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】中華民国特許出願第０９６２０２９５４号明細書
【特許文献２】日本特開昭６３‐０９６９０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、ラミネート作業を行うウェハーのサイズに基づき、同一或いはやや小さめのフィルムを切ることができるウェハーラミネートダイシングソーの構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述の目的を解決するために、本発明は「ウェハーラミネートダイシングソー」を提供するものである。それに含まれるのは一つの台座、一つの排出装置、一つの移動部品、一つのダイシングソー及び一つの台、中空部、圧延ローラ、フィードローラ、回収ローラーを含む。該中空部は台座の中央に設置し、ダイシングソーがそこでフィルムを切断することができる。該台座の中空部両側に、フィルムを中空部の上方にて延展する圧延ローラを設ける。該排出装置はフィルムを圧延ローラに送るフィードローラと、切断した後の残りのフィルムを圧延ローラより回収するピックローラを含み、台座の底部に設置する。
【００１０】
該移動部品３は吸膜盤３１を設け、該吸膜盤３１は移動部品３により下向きに移動し、切断前のフィルムを吸着し、或いは上向きに切断済みのフィルムを離す役割を持つ。該吸膜盤３１の底部は、フィルムを吸着固定できる複数の穴３１１及び、少なくともダイシングソー４が当該予定範囲に基づき、フィルムを切断する切断槽３１２を具有する。切断槽３１２は異なる半径の同円心状で吸膜盤３１の底部に設置することで、複数のサイズのフィルム切断作業を行うことができる。
【００１１】
該ダイシングソー４は台座１の底部に位置し、中空部１１に対応して設置する。該ダイシングソー４に含まれるのは、刃物４１及びモーター４２と昇降装置４３である。該刃物は、中空部１１に延展し、吸膜盤３１によって固定するフィルムを切断する。該モーター４２は刃物４１を動かし、切断槽３１２に基づき回転して切断を行う。及び、該昇降装置４３は、刃物４１を上に移動し、切断槽３１２に対応してフィルムを刺してから、モーター４２が刃物４１を動かして切断をすることができる、或いは刃物４１を動かし、切断後、切断槽３１２から刃物４１を外す。該刃物４１はフィルムを切断するカッター４１１及び、カッター４１１を固定し、且つカッター４１１がフィルムに刺しこむ角度を調整する切断角度調整器４１２を含む。
【００１２】
該台５はウェハーを置き、移動部品３が吸膜盤３１を通じて、切断済みのフィルムを次の貼合作業に移りやすくさせるものである。該移動部品３は回転部品３２及び昇降部品３３を含み、該回転部品３は吸膜盤３１を中空部１１或いは台５に対応して平行移動する。該昇降部品３３は吸膜盤３１を上下に移動することで、フィルムを吸着し、フィルムを台５まで運ぶことができる。
本発明の切断角度調整器は、昇降装置と組合せてカッターを動かし、フィルムにウェハーと対応するV字型切りこみを入れることで、フィルムの切断完了後、完璧にウェハーの表面に対応して貼合しやすくなる。
【００１３】
すなわち、本発明は下記の特徴を有する。
（１）台座、移動部品、ダイシングソーを含み、
該台座の中央に中空部を設け、該台座の中央部の両側にそれぞれフィルムを中空部の上方に延展する圧延ローラを設け、
台座に相対して可動的に移動部品を設置するほか、該移動部品は別途吸膜盤を設け、該吸膜盤は下向きに未切断のフィルムを吸着し、或いは切断済みのフィルムを上へ移動し、該吸膜盤は少なくともフィルムを切断する切断槽を具有し、
該ダイシングソー４は台座１の底部に位置し、中空部１１の態様に対応して設置し、該ダイシングソー４に含まれるのは、刃物及びモーターと昇降装置４３であり、該刃物は中空部に延展し、吸膜盤によって固定するフィルムを切断し、該モーター４２は刃物４１を動かし、切断槽３１２に基づき回転して切断を行い、及び、該昇降装置４３は、刃物４１を上に動かし、切断槽３１２に対応してフィルムを刺してから、モーター４２が刃物４１を動かして切断し、或いは刃物４１を動かし、切断後、切断槽３１２から刃物４１を外すことを特徴とするウェハーラミネートダイシングソー。
（２）前記吸膜盤の底部に複数のフィルムを吸着固定する穴を設けることを特徴とする（１）記載のウェハーラミネートダイシングソー。
（３）前記切断槽は異なる半径の同円心状のものであり、吸膜盤３１の底部に設置することを特徴とする（１）記載のウェハーラミネートダイシングソー。
（４）更に台を含み、
該台５はウェハーを設置し、移動部品３が吸膜盤３１を通じて、切断済みのフィルムを次のウェハーとの貼合作業に移りやすくさせるものであり、且つ、該移動部品３は回転部品３２及び昇降部品３３を含み、該回転部品３は吸膜盤３１を中空部１１或いは台５に対応して平行移動し、該昇降部品３３は吸膜盤３１を上下に移動することで、フィルムを吸着し、フィルムを台５まで運ぶことを特徴とする（１）記載のウェハーラミネートダイシングソー。
（５）該刃物４１はフィルムを切断するカッター４１１及び、カッター４１１を固定し、且つカッター４１１がフィルムに刺しこむ角度を調整し、フィルムがウェハーと対応するV字型溝を切断する切断角度調整器４１２を含むことを特徴とする（１）記載のウェハーラミネートダイシングソー。
（６）該排出装置２は台座１の底部に設け、且つ該排出装置２に含まれるのは、該フィルムを圧延ローラに送り出すフィードローラ２１及び、切断して余った残りのフィルムを圧延ローラ１２より回収する回収ローラー２２であることを特徴とする（１）記載のウェハーラミネートダイシングソー。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は予めウェハーのサイズと同一、或いはやや小さめのサイズの切断槽を具有する吸膜盤を設置し、ダイシングソーが切断槽に基づき切断したフィルムをウェハーに貼合することで、従来技術の先にフィルムを貼合してから切断する際に生じる欠点を克服する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明における立体外観略図である。
【図１Ａ】本発明における吸膜盤の別の角度を表した略図である。
【図２】本発明における拡大略図である。
【図３】本発明におけるフィルム切断過程の略図である。
【図４】本発明におけるフィルム切断過程の略図である。
【図５】本発明におけるフィルム切断過程の略図である。
【図６】本発明におけるフィルム切断過程の別の角度を表した略図である。
【図７】本発明におけるフィルム切断過程の別の角度を表した略図である。
【図８】切断を完了したフィルムの略図である。
【図９】図８の局部拡大略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明によるウェハーラミネートダイシングソーの構造を明確に示すために図に沿って詳細な説明を行う。ラミネート作業を行うウェハーに、予めウェハーのサイズに基づき、同一或いはやや小さめのフィルムを切断することで、従来の先にラミネートしてからフィルムを切断する方法では、ウェハーと同一或いはやや小さめサイズのフィルムに切断できない問題点を克服する。図１及び図２に示すように、本発明の「ウェハーラミネートダイシングソー」は、一つの台座１、排出装置２、一つの移動部品３、一つのダイシングソー４及び一つの台５を含む。
【００１７】
該台座１の中央に、ダイシングソー４がフィルムを切断できる中空部１１を設け、該台座１の中空部１１の両側に、フィルムを中空部１１の上方にて広げるための圧延ローラ１２を設ける。該排出装置２は台座１の底部に設け、且つ該排出装置２に含まれるのは、該フィルムを圧延ローラに送り出すフィードローラ２１及び、切断して余った残りのフィルムを圧延ローラ１２より回収する回収ローラー２２である。
【００１８】
該移動部品３は別途吸膜盤３１を設け、該吸膜盤３１は移動部品３により下向きに移動し、切断前のフィルムを吸着し、或いは上向きに切断済みのフィルムを離す役割を持つ。該吸膜盤３１の底部は、フィルムを吸着固定できる複数の穴３１１及び、少なくともダイシングソー４が当該予定範囲に基づき、フィルムを切断する切断槽３１２を具有する。切断槽３１２は異なる半径の同円心状で吸膜盤３１の底部に設置することで、複数のサイズのフィルム切断作業を行うことができる。
【００１９】
該ダイシングソー４は台座１の底部に位置し、中空部１１に対応して設置する。該ダイシングソー４に含まれるのは、刃物４１及びモーター４２と昇降装置４３である。該刃物は、中空部１１に延展し、吸膜盤３１によって固定するフィルムを切断する。該モーター４２は刃物４１を動かし、切断槽３１２に基づき回転して切断を行う。及び、該昇降装置４３は、刃物４１を上に移動し、切断槽３１２に対応してフィルムを刺してから、モーター４２が刃物４１を動かして切断をすることができる、或いは刃物４１を動かし、切断後、切断槽３１２から刃物４１を外す。該刃物４１はフィルムを切断するカッター４１１及び、カッター４１１を固定し、且つカッター４１１がフィルムに刺しこむ角度を調整する切断角度調整器４１２を含む。
【００２０】
該台５はウェハーを置き、移動部品３が吸膜盤３１を通じて、切断済みのフィルムを次の貼合作業に移りやすくさせるものである。該移動部品３は回転部品３２及び昇降部品３３を含み、該回転部品３は吸膜盤３１を中空部１１或いは台５に対応して平行移動する。該昇降部品３３は吸膜盤３１を上下に移動することで、フィルムを吸着し、フィルムを台５まで運ぶことができる。
【００２１】
図３から図７に示すように、本発明がフィルムを切断する作業において、まず該移動部品３が吸膜盤を下向きに移動し、中空部１１にて延展するフィルムを吸着固定したあと、昇降装置４３がカッター４１１と共に上に上昇し、フィルムを突き刺す。モーター４２が作動し、カッター４１１が回転してフィルムを切断する(図３及び図６を参照)。切断完了後、該移動部品３は吸膜盤３１と共にフィルムを吸着したまま上昇し(図４を参照)、昇降部品４３はカッター４１１と共に下降して、フィルムから離れる。最後に移動部品３が吸膜盤３１と共に台５に移動してウェハーと貼合する(図５及び図７を参照)。
【００２２】
図８及び図９に示すのは、フィルムの切断を完了した後の態様略図である。図９に示すA、B、Cはそれぞれ第一から第三のカッター切り込みポイントを示している。本発明は切断角度調整器４１２と昇降装置４３を組合せ、カッター４１１を動かして切断をする方法である。A、Bの切り込みポイントにより、ウェハーに対応するV字型切り込みをフィルムに入れる。
【００２３】
本発明は予めウェハーと同一、或いはやや小さめのサイズの切断槽を吸膜盤に設け、ダイシングソーが切断槽に基づき切断すれば、適切なサイズのフィルムを得ることができる。予めフィルムをウェハーに貼ってから切断する際に生じる欠点を有効的に避けることができる。
【符号の説明】
【００２４】
１  台座
１１  中空部
１２  圧延ローラ
２  排出装置
２１  フィードローラ
２２  ピックローラ
３  移動部品
３１  吸膜盤
３１１  吸収穴
３１２  切断槽
３２  回転部品
３３  昇降部品
４  ダイシングソー
４１  刃物
４１１  カッター
４１２  切断角度調整器
４２  モーター
４３  昇降装置
５  台
A  第一切り込みポイント
B  第二切り込みポイント
C  第三切りこみポイント
【図１】
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【図１Ａ】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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