(57)【要約】【課題】ＩＣ製造工場の生産性を向上させる群管理システムを提供する。【解決手段】  予め、複数のフロアレイアウト画像データファイルを準備して、保存フォルダに保存しておく（ステップＡ１）。フロアレイアウト画像の登録時に、保存したフロアレイアウト画像データファイル群の中から、実際と一致するフロアレイアウト画像データファイルを選択して、レイアウト表示システム３０に読み込む（ステップＡ２）。操作画面に表示されたフロアレイアウト画像データファイルに複数台の基板処理装置Ｍ１〜Ｍｎを実際のフロアレイアウト図面に基づいて順次配置して表示させて行く（ステップＡ３）。フロアレイアウト詳細表示ファイルを保存する（ステップＡ４）。【選択図】          図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に処理を施す基板処理装置と、少なくとも１台の基板処理装置に接続される群管理装置とによって構成される基板処理システムにおいて、
前記群管理装置は、予め登録しておいた複数のフロアレイアウト画面ファイルから所定のフロアレイアウト画面ファイルを選択して表示し、この選択されたフロアレイアウト画面ファイル内の所望の位置に、前記基板処理装置を示すデータが順次配置されることにより、前記フロアレイアウト画面の前記所望の位置に前記基板処理装置を割り当てることを特徴とする基板処理システム。
【請求項２】
基板に処理を施す基板処理装置に接続される群管理装置であって、
予め登録しておいた複数のフロアレイアウト画面ファイルから所定のフロアレイアウト画面ファイルを選択して表示し、この選択されたフロアレイアウト画面ファイル内の所望の位置に、前記基板処理装置を示すデータが順次配置されることにより、前記フロアレイアウト画面の前記所望の位置に前記基板処理装置を割り当てることを特徴とする群管理装置。
【請求項３】
予め登録しておいた複数のフロアレイアウト画面ファイルから所定のフロアレイアウト画面ファイルを選択して表示し、この選択されたフロアレイアウト画面ファイル内の所望の位置に、前記基板処理装置を示すデータが順次配置されることにより、前記フロアレイアウト画面の前記所望の位置に前記基板処理装置を割り当てることを特徴とする基板処理装置の状態表示方法。
【請求項４】
前記フロアレイアウト画面内における障害のあった基板処理装置の表示状態が切り替えられるよう構成される請求項３記載の基板処理装置の状態表示方法。
【請求項５】
前記フロアレイアウト画面内において指定されたエリアが選択されると、前記指定されたエリアが操作画面の表示範囲内に収まるサイズに拡大表示される請求項３記載の基板処理装置の状態表示方法。
【請求項６】
更に前記指定されたエリアに、基板処理装置状態表示エリアを設け、前記基板処理装置からの状態報告に応じて表示を切り替えるように構成される請求項５記載の基板処理装置の状態表示方法。
【請求項７】
前記基板処理装置は、酸化膜形成装置、レジスト塗布装置、縮小投影露光装置、現像装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、ＣＶＤ装置、不純物導入装置、拡散装置、アニール装置、スパッタリング装置、ウエハダイシング装置、ダイボンディング装置、ワイヤボンディング装置、樹脂封止体成形装置、リード成形装置から選択される基板処理装置のうち少なくとも一つを含む請求項３記載の基板処理装置の状態表示方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理システムに関し、例えば、半導体集積回路装置（以下、ＩＣという。）の製造工場において、半導体素子を含む集積回路が作り込まれる半導体ウエハ（以下、ウエハという。）に金属膜や絶縁膜および半導体膜を形成する基板処理装置群を管理するのに利用して有効なものに関する。
【背景技術】
【０００２】
高度に進んだＩＣの製造工場においては、１００台以上の基板処理装置が工場内のフロアに設置されており、これらの基板処理装置はいずれもコンピュータによってそれぞれ制御されるように構成されている。
そして、これらの基板処理装置の運用は有機的かつ効率的に管理する必要があるので、これらの基板処理装置のコントローラをコンピュータによって構築された群管理装置にネットワークによってそれぞれ接続してなる基板処理システムにより、基板処理装置群を統括的に群管理することが、一般的に行われている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、従来の基板処理システムにおける群管理装置は、複数台の基板処理装置の状態情報を一覧画面に表示するように構成されているに過ぎず、各基板処理装置が作業フロアのどの位置に配置されているのかを表示する機能は具備していない。
このために、基板処理装置に障害が発生した場合には、基板処理装置の状態については認識することができても、その基板処理装置が作業フロアのどこの位置に配置されているのかを認識することが難しい。
その結果、不慣れな作業者の場合には、基板処理装置の配置図面（フロアレイアウト図面）を参照しても、フロア内を順に確認して障害が発生した基板処理装置を確認したりする等の無駄な作業時間が生じるために、作業効率の低下ひいては、装置稼働率の低下を招いていた。
具体的には、フロアレイアウト図面を参照しても、基板処理装置自体に状態を明示するシグナルタワー等が備え付けられていても、フロアがパーティション等の壁で仕切られている場合、遠くからそのシグナルタワーを見ることができないため、障害が発生した基板処理装置を発見することが容易ではなかった。
【０００４】
本発明の目的は、装置に障害等が発生した場合、予め群管理装置で位置を確認することで、作業者がフロア内で装置を探す時間を費やすことなく、目的とする装置への移動を容易にし、結果として作業効率の向上を図ることができる基板処理システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本願において開示される発明のうち代表的なものは、次の通りである。
（１）基板に処理を施す基板処理装置と、少なくとも１
台の基板処理装置に接続される群管理装置とによって構成される基板処理システムにおいて、
前記群管理装置は、予め登録しておいた複数のフロアレイアウト画面ファイルから所定のファイルを選択して表示し、この選択されたフロアレイアウト画面内に、据え付けられる複数の基板処理装置を割り当てることにより、前記基板処理装置のレイアウト表示を行うことが可能であることを特徴とする基板処理システム。
（２）前記（１）において、障害が発生した前記基板処理装置を前記フロアレイアウト画面に明示させることを特徴とする基板処理システム。
（３）前記（２）において、障害が発生した前記基板処理装置を前記フロアレイアウト画面に色を変えて明示させることを特徴とする基板処理システム。
（４）前記（３）において、前記フロアレイアウト画面における色を変えた前記基板処理装置の部分が選択されると、選択された部分の詳細を表示させることを特徴とする基板処理装置。
【発明の効果】
【０００６】
前記した（１）によれば、例えば、障害が発生した基板処理装置をフロアレイアウト画面に明示することができるので、フロア内を順に確認して障害が発生した基板処理装置を確認する等の無駄な作業時間の発生を防止することができる。
その結果、目的とする装置に容易に移動することができるので、障害から復旧する作業（例えば、メンテナンス作業）にかかる時間を減らし、装置稼働率の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の一実施の形態である群管理システムを示すブロック図である。
【図２】レイアウト表示登録フローを示すフローチャートである。
【図３】フロアレイアウト画像データファイル保存フォルダを示す模式図である。
【図４】フロアレイアウト登録ウインドを示す画面図である。
【図５】フロアレイアウト画像データファイルを選択するポップアップ画面図である。
【図６】フロアレイアウト画像データファイルを選択した画面図である。
【図７】装置リストウインドを示す画面図である。
【図８】装置用矩形データのフロアレイアウト画像データファイルの所望の位置へのドラッグを示す画面図である。
【図９】フロアレイアウト表示ファイルウインドを示す画面図である。
【図１０】文字表示エリアへの文字の書き込みを示す画面図である。
【図１１】詳細表示エリアの指定を示す画面図である。
【図１２】詳細表示拡大率と指定範囲の座標との関係を示す模式図である。
【図１３】フロアレイアウト表示フローの運用時のプロセスフローを示すフローチャートである。
【図１４】障害発生基板処理装置の表示状態の切り替えを示す画面図である。
【図１５】詳細表示の切り替えを示す画面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の一実施の形態を図面に即して説明する。
【０００９】
本実施の形態において、本発明に係る基板処理システムは、ＩＣの製造方法の所謂フロントエンドを実施するＩＣ製造工場において、多数台の基板処理装置を群管理するものとして構成されている。
図１ に示されているように、本実施の形態に係る基板処理システム（
以下、群管理システムという。）１０は、多数台の基板処理装置Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３・・・Ｍｎと、各基板処理装置Ｍ１〜Ｍｎにネットワーク１１によってそれぞれ接続された群管理装置２０を備えている。
【００１０】
基板処理装置Ｍ１〜Ｍｎの具体例としては、酸化膜形成装置、レジスト塗布装置、縮小投影露光装置、現像装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、ＣＶＤ装置、不純物導入装置、拡散装置、アニール装置、スパッタリング装置等々がある。
一般的なＩＣ製造工場であっても、これらの基板処理装置Ｍ１〜Ｍｎを１００台以上備えており、１００台以上の基板処理装置がＩＣ製造工場の建屋内のクリーンルームと呼ばれているフロアに有機的かつ合理的にレイアウトされて設置されている。
各基板処理装置Ｍ１〜Ｍｎはそれぞれに与えられたレシピを自動的に実施するために、パーソナルコンピュータ等から構築されたコントローラを備えており、これらのコントローラが群管理装置２０にネットワーク１１
によって接続されている（図１参照）。
【００１１】
群管理装置２０はパーソナルコンピュータやメーンフレームおよびスーパーコンピュータ等から構築されている。
群管理装置２０には、キーボードやマウス等によって構成された入力装置２１、テレビモニタ等によって構成された表示装置２２、記憶媒体駆動装置等によって構成された記憶装置２３等が接続されている。
群管理装置２０はクリーンルーム内に設置してもよいが、クリーンルーム外に設置されるのが、一般的である。
【００１２】
群管理装置２０はＧＵＩ（グラフィカル・ユーザ・インタフエース）システムを備えている。
ＧＵＩシステム２４は表示装置２２に表示された操作画面上のアイコン（機能を表す図形記号）をマウスポインタで指示してクリックしたり、カーソルで指示して決定したりして選択することにより、画面を切り替えたり、処理や命令、判断およびデータ（情報）を入力することができるようにするソフトウエア、である。
群管理装置２０には本発明の特徴点としてのアプリケーションソフトウエアであるレイアウト表示システム３０が組み込まれている。
レイアウト表示システム３０は、予め登録しておいた複数のフロアレイアウト画面ファイルから所定のファイルを選択して表示し、この選択されたフロアレイアウト画面内に、実際に据え付けられる複数の基板処理装置を割り当てることにより、前記基板処理装置のレイアウト表示を行うように構成されている。
すなわち、レイアウト表示システム３０は後述するプログラムフローを実行するように構成されている。
【００１３】
以下、レイアウト表示システム３０について説明する。
【００１４】
予め、図２に示されたレイアウト表示登録フローにより、レイアウト表示システム３０に対するレイアウト表示を登録する。
ところで、ＩＣ製造工場毎にフロアのレイアウトは異なるため、フロアレイアウト画面の背景を各ＩＣ製造工場毎に設定する必要がある。
しかし、フロアレイアウト画面の背景を各ＩＣ製造工場毎に設定していたのでは、レイアウト表示登録の都度に、多大の手間が浪費されることになる。
【００１５】
そこで、本実施の形態においては、各ＩＣ製造工場のレイアウトに合せフロアレイアウトの背景画面をレイアウト表示登録の都度に毎回作成するのではなく、予め、複数のフロアレイアウト画像データファイルを準備して、レイアウト表示システム３０の専用の保存フォルダまたは群管理装置２０の記憶装置２３の保存フォルダに保存しておく（ステップＡ１）。
そして、各ＩＣ製造工場毎のフロアレイアウト画像の登録時においては、予め保存フォルダに保存した複数のフロアレイアウト画像データファイルの中から、これからレイアウト表示登録しようとするＩＣ製造工場のフロアレイアウトの実際の背景に一致するフロアレイアウト画像データファイルを選択して、レイアウト表示システム３０に読み込む（ステップＡ２）。
【００１６】
ステップＡ１およびステップＡ２を具体的に例示すると、次の手順になる。
フロアレイアウト画像データファイルＦ（図３参照）が複数種類、ＩＣ製造工場のフロアレイアウト図面に基づいて作成され、図３に示されたフロアレイアウト画像データファイル保存フォルダに保存される。
なお、フロアレイアウト画像データファイル保存フォルダは、レイアウト表示システム３０または群管理装置２０の記憶装置２３に設定されている。
【００１７】
実際のフロアレイアウト表示の登録時において、レイアウト表示システム３０が起動されると、まず、図４に示されているように、群管理装置２０の表示装置２２の操作画面（以下、操作画面という。）にフロアレイアウト登録ウインドが表示される。
フロア選択ボタンを押下すると、図５に示されているように、ポップアップウインドが表示されるので、オペレータは実際のＩＣ
製造工場のフロアレイアウトの背景に一致するフロアレイアウト画像データファイル（例えば、Ｆ１）を選択する。
【００１８】
続いて、選択されたフロアレイアウト画像データファイルＦ１
が、図３に示されたフロアレイアウト画像データファイル保存フォルダから読み出されて、図６に示されているように、操作画面に表示される。
表示されたフロアレイアウト画像データファイルＦ１が所望のフロアレイアウトの背景であれば、オペレータは登録ボタンを押下する。
【００１９】
次に、オペレータは操作画面に表示されたフロアレイアウト画像データファイルＦ１の画面に複数台の基板処理装置Ｍ１〜
Ｍｎを、ＩＣ製造工場の実際のフロアレイアウト図面に基づいて順次配置して、表示させて行く（ステップＡ３）。
このフロアレイアウト画像データファイルＦ１の画面の上に表示する基板処理装置Ｍ１〜Ｍｎは、自由に配置可能である。
【００２０】
ここで、各基板処理装置Ｍ１〜 Ｍｎの配置座標は、後述する詳細レイアウト表示時の各基板処理装置の位置を把握するために必要であるので、登録情報として後述するフロアレイアウト表示保存フォルダに保存する。
また、フロアレイアウト画像データファイルＦ１の画面の上にそれぞれ配置した各基板処理装置Ｍ１〜Ｍｎ
の認識を容易にするために、各基板処理装置Ｍ１〜Ｍｎの名称を表示し、各基板処理装置Ｍ１〜Ｍｎの配置座標と各基板処理装置Ｍ１〜Ｍｎの名称をそれぞれリンクさせる。
さらに、フロアレイアウトをより理解し易くするために、各基板処理装置Ｍ１〜Ｍｎだけでなく、フロアの通路や出入口等の目印となる部分に対しても文字情報の表示を自由に可能とする。
【００２１】
ステップＡ３の手順を具体的に例示すると、次のようになる。
図７に示されているように、操作画面のツールボックスの装置ボタンが押下されると、装置リストウインドが表示されるので、オペレータは所望の（例えば、Ｍ１）の装置名称を選択する。選択すると、装置用矩形データが操作画面に表示される。
【００２２】
続いて、図８に示されているように、装置用矩形データをフロアレイアウト画像データファイルＦ１の所望の位置にドラッグする。
【００２３】
このドラッグにより、図９に示されているように、フロアレイアウト画像データファイルＦ１と各基板処理装置名称と配置座標とが関連づけて表示されているフロアレイアウト表示ファイルウインドが表示されるので、オペレータは登録ボタンを押下する。
登録ボタンが押下されると、図９ に示されたフロアレイアウト表示ファイルが、レイアウト表示システム３０
または群管理装置２０ に設定されたフロアレイアウト表示ファイル保存フォルダに保存される。
【００２４】
以上の手順が繰り返されることにより、フロアレイアウト画像データファイルＦ１の画面にＩＣ製造工場の実際のフロアレイアウト図面上の複数台の基板処理装置Ｍ１〜Ｍｎが全て配置されて行く。
【００２５】
必要に応じて、画面上の仮想のフロアレイアウトをより理解し易くするために、フロアレイアウト画像データファイルＦ１の画面にＩＣ製造工場の実際のフロアレイアウト図面上の通路や出入口等の目印となる文字情報が表示されて登録される。
この文字情報の表示は、例えば、図１０に示された手順で実施することができる。
図１０に示されているように、操作画面のツールボックスの範囲選択ボタンを押下し、フロアレイアウト画像データファイルＦ１に文字表示エリアを指定する。
続いて、文字ボタンを押下し、文字表示エリアに文字（例えば、入口や出口）を書き込んで行く。
【００２６】
また、フロアレイアウト画像データファイルＦ１の画面の上にそれぞれ配置した各基板処理装置Ｍ１〜Ｍｎ
の認識を容易にするために、フロアレイアウト詳細表示（以下、詳細表示という。）ファイルが、レイアウト表示システム３０または群管理装置２０に設定された詳細表示ファイル保存フォルダに保存される（ステップＡ
４）。
【００２７】
このステップＡ４の手順を具体的に例示すると、次のようになる。
図１１に示されているように、操作画面のツールボックスの範囲選択ボタンを押下し、フロアレイアウト画像データファイルＦ１に詳細表示したいエリアを指定する。
この詳細表示の画面も画像データによって表示されるが、フロアレイアウト画像データファイルＦ１の指定したエリアの画像データをコピーし、操作画面の表示範囲内に収まるサイズに拡大後、詳細表示用の画像データとして保存する。
図１２に示されているように、画像データ拡大時の拡大率と指定範囲の左上座標は詳細表示時における各基板処理装置の表示のための座標と表示サイズとを取得するために必要となるので、内部データとして保存する。図９のレイアウト表示ファイルと比較してフロアレイアウト画像データファイルＦ１と各基板処理装置の位置情報と名称だけでなく、さらに、これらに加え、拡大率や詳細レイアウトの位置情報と画像ファイルも関連付けて表示されている。
各基板処理装置の座標は詳細レイアウト背景用画像データの左上を原点として、取得した拡大率を元に詳細レイアウト画面上に表示する基板処理装置の座標を設定する。
【００２８】
オペレータが所望する詳細表示ファイルについての保存が完了すると、図２に示されているように、レイアウト表示登録フローが終了する。
【００２９】
次に、以上のようにして登録されたフロアレイアウト表示フローがＩＣ製造工場において運用される時のプロセスフローを、任意の基板処理装置で障害が発生した場合について、図１３によって説明する。
【００３０】
群管理システム１０がパワーオンリセットされると、パワーオンリセット信号が群管理装置２０に入力される（図示せず）。これにより、群管理装置２０のプログラムはプログラム０番地からプロセスフローを開始する（ステップＢ１）。
【００３１】
所定の操作により、レイアウト表示システム３０ が起動されると、図９に示されたフロアレイアウト表示ファイルをフロアレイアウト表示ファイル保存フォルダから読み出して、フロアレイアウトを操作画面に表示させる（ステップＢ２）。
【００３２】
その後は、群管理装置２０のシーケンスのプロセスフローが順次実施されて行く。
この際に、オペレータは操作画面のフロアレイアウト表示を監視することにより、ＩＣ製造工場のフロア全体の基板処理装置群の状況を把握することができる。
【００３３】
群管理装置２０のシーケンスのプロセスフローの実施中に、基板処理装置に障害が発生すると、障害が発生した基板処理装置から障害発生報告信号が群管理装置２０に自動的にネットワーク１１を経由して送信されて来る（ステップＢ３）。
【００３４】
この障害発生報告信号に基づいて、図１４に示されているように、レイアウト表示システム３０は操作画面のフロアレイアウト表示内における障害報告のあった当該基板処理装置の表示状態（図１４では網かけ）を切り替える（ステップＢ４）。
これにより、障害発生中の基板処理装置が明確となり、また、オペレータは障害が発生した基板処理装置がフロアのどの位置に設置されているかを認識することができる。
【００３５】
オペレータは障害が発生した基板処理装置の詳細を知りたい場合には、表示の切り替わった基板処理装置の付近をマウスでクリックすることにより、図１５に示されているように、詳細表示に切り替える（ステップＢ５）
。
【００３６】
詳細表示は詳細レイアウト登録時に取得した指定範囲の左上および右下の座標時情報を持つことにより可能である。
マウスがクリックされたときの座標情報より該当する詳細表示ファイルを検索し、該当する詳細表示ファイルが登録されている場合に画面を切替えて表示する。
また、詳細表示の画面では基板処理装置の状態把握をより一層明確に行うために、表示された基板処理装置のエリアに基板処理装置状態表示エリアを設け、例えば、基板処理装置からの状態報告に合せ色を変化させて表示する。
【００３７】
なお、基板処理装置によっては同時に複数の状態が発生する可能性があるので、複数の基板処理装置状態表示エリアにて区別することができるようにする。
【００３８】
前記実施の形態によれば、次の効果が得られる。
【００３９】
1 )  群管理システムにおいて、基板処理装置のフロアレイアウトを表示することにより、フロアに配置された基板処理装置の場所が明確となるため、障害の発生している基板処理装置の場所の特定が容易となり、障害対応を速やかに行うことができる。
【００４０】
2 )  フロアレイアウト画面背景を画像データとして取り込むことにより、よりリアルなフロアレイアウトを容易に設定して表示することができる。
【００４１】
3 )  フロアレイアウト表示と詳細表示とがリンクすることにより、フロア全体のレイアウト表示と局所的な詳細表示との切替が容易となる。
【００４２】
4 )  フロアレイアウト詳細表示の画面では基板処理装置からの状態報告内容に合せてシグナルタワーの表示を切替えることにより、基板処理装置の運用状態を容易に把握することができる。
【００４３】
なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。
【００４４】
例えば、群管理装置は基板処理装置群と同じフロアに設置する必要はなく、クリーンルーム外（事務所等）に設置しておくこともできる。
また、基板処理装置と同じフロアに群管理装置を設置しておき、クリーンルーム外（事務所等）に設置された操作端末（パーソナルコンピュータ等）に基板処理装置のフロアレイアウトを表示させるように構成してもよい。
【００４５】
基板処理装置はＩＣ製造工場の前工程で使用される酸化膜形成装置、レジスト塗布装置、縮小投影露光装置、現像装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、ＣＶＤ装置、不純物導入装置、拡散装置、アニール装置、スパッタリング装置等々に限らず、ＩＣ製造工場の後工程で使用されるウエハダイシング装置、ダイボンディング装置、ワイヤボンディング装置、樹脂封止体成形装置、リード成形装置等の基板処理装置を含んでもよい。
【００４６】
また、ウエハを処理する場合について説明したが、液晶パネルや磁気ディスク、光ディスク等の基板全般について適用することができる。
【符号の説明】
【００４７】
Ｍ１〜Ｍｎ … 基板処理装置、１０ … 群管理システム（基板処理システム）、１１
… ネットワーク、２０ … 群管理装置、２１ … 入力装置、２２ … 表示装置、２３ … 記憶装置、２４  … ＧＵＩ システム、３０ … レイアウト表示システム。
【図１】
2011091431.tif 000003
【図２】
2011091431.tif 000004
【図３】
2011091431.tif 000005
【図４】
2011091431.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2011091431.tif 000013
【図１２】
2011091431.tif 000014
【図１３】
2011091431.tif 000015
【図１４】
2011091431.tif 000016
【図１５】
2011091431.tif 000017