(57)【要約】      （修正有）【課題】真空時におけるチャンバ内部への大気の流入を抑制することができ、かつ、ダイヤフラムに穴を開ける必要のないラミネート装置、およびラミネート装置のダイヤフラム取り付け方法を提供する。【解決手段】下面が開放された内部空間を有する上ケース２と、上面が開放された内部空間を有する下ケース３と、上ケースの下面側に着脱可能で、ダイヤフラムの周縁部を支持するフレーム４と、上ケースと下ケースの少なくとも一方に設けられた排吸気手段１１，１２と、上ケースと下ケースとの間に配置された被ラミネート体を支持および加熱するための支持台および加熱手段７，８とを備える。そして、このラミネート装置はさらに、上ケースとフレームとの間にダイヤフラムを挟み込んだ状態で、上ケースおよびフレームの端面よりも内側で、上ケースとフレームを締め付けるための締付け具３２を備える。【選択図】図２Ａ
2011255641.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下面が開放された内部空間を有する上ケースと、
上面が開放された内部空間を有する下ケースと、
前記上ケースの下面側に着脱可能で、ダイヤフラムの周縁部を支持するフレームと、
前記上ケースと前記下ケースの少なくとも一方に設けられた排吸気手段と、
前記上ケースと前記下ケースとの間に配置された被ラミネート体を支持および加熱するための支持台および加熱手段とを備えるラミネート装置において、
前記上ケースと前記フレームとの間に前記ダイヤフラムを挟み込んだ状態で、前記上ケースおよび前記フレームの端面よりも内側で、前記上ケースと前記フレームを締め付けるための締付け具を備えることを特徴とするラミネート装置。
【請求項２】
前記締付け具は、
前記上ケースの端面よりも内側で前記上ケースを上方から押圧可能な第１の分割体と、
前記フレームの端面よりも内側で前記フレームを下方から押圧可能な第２の分割体と、
前記第１および第２の分割体を回動させるための支点ピンとを有し、
前記第１の分割体の一端部側には、前記支点ピンが嵌挿される第１のピン穴が設けられ、
前記第１の分割体の他端部側には、前記上ケースを上方から押圧するための第１の押圧面が設けられ、
前記第２の分割体の一端部側には、前記支点ピンが嵌挿される第２のピン穴が設けられ、
前記第２の分割体の他端部側には、前記フレームを下方から押圧するための第２の押圧面が設けられている、
ことを特徴とする請求項１に記載のラミネート装置。
【請求項３】
前記締付け具は、
前記締付け具の取り付け時または取り外し時に、前記上ケースの上面または前記フレームの下面に沿って転がり移動するローラーと、
前記ローラーが前記上ケースの上面または前記フレームの下面を押圧するよう、前記ローラーを付勢するスプリングと、
を有することを特徴とする請求項１に記載のラミネート装置。
【請求項４】
前記締付け具の一端部側には、前記フレームを下方から押圧するための押圧面が設けられ、
前記締付け具の他端部側には、前記上ケースを上方から押圧するネジを通すためのネジ穴が設けられている、
ことを特徴とする請求項１に記載のラミネート装置。
【請求項５】
前記締付け具は、前記締付け具を前記ラミネート装置に取り付けられた状態でロックするためのロック機能を有することを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のラミネート装置。
【請求項６】
下面が開放された内部空間を有する上ケースと、
上面が開放された内部空間を有する下ケースと、
前記上ケースの下面側に着脱可能で、ダイヤフラムの周縁部を支持するフレームと、
前記上ケースと前記下ケースの少なくとも一方に設けられた排吸気手段と、
前記上ケースと前記下ケースとの間に配置された被ラミネート体を支持および加熱するための支持台および加熱手段とを備えるラミネート装置において、
前記上ケースと前記フレームとの間に前記ダイヤフラムを挟み込んだ状態で、前記上ケースおよび前記フレームの端面よりも内側で、前記上ケースと前記フレームを締付け具により締め付ける、
ことを特徴とするラミネート装置のダイヤフラム取り付け方法。
【請求項７】
前記締付け具は、
前記上ケースの端面よりも内側で前記上ケースを上方から押圧可能な第１の分割体と、
前記フレームの端面よりも内側で前記フレームを下方から押圧可能な第２の分割体と、
前記第１および第２の分割体を回動させるための支点ピンとを有し、
前記第１の分割体の一端部側には、前記支点ピンが嵌挿される第１のピン穴が設けられ、
前記第１の分割体の他端部側には、前記上ケースを上方から押圧するための第１の押圧面が設けられ、
前記第２の分割体の一端部側には、前記支点ピンが嵌挿される第２のピン穴が設けられ、
前記第２の分割体の他端部側には、前記フレームを下方から押圧するための第２の押圧面が設けられており、
前記上ケースと前記フレームを、前記第１の押圧面と前記第２の押圧面との間で前記締付け具により締め付けることを特徴とする請求項６に記載のラミネート装置のダイヤフラム取り付け方法。
【請求項８】
前記締付け具は、ローラーと、前記ローラー用のスプリングとを有し、
前記上ケースの上面または前記フレームの下面に沿って前記ローラーを転がり移動させることで、前記締付け具の取り付けまたは取り外しを行い、
前記ローラーが前記上ケースの上面または前記フレームの下面を押圧するよう、前記スプリングにより前記ローラーを付勢することで、前記上ケースと前記フレームを締め付けることを特徴とする請求項６に記載のラミネート装置のダイヤフラム取り付け方法。
【請求項９】
前記締付け具の一端部側には、前記フレームを下方から押圧するための押圧面が設けられ、
前記締付け具の他端部側には、前記上ケースを上方から押圧するネジを通すためのネジ穴が設けられており、
前記上ケースを前記ネジにより上方から押圧し、前記フレームを前記押圧面にて下方から押圧することで、前記上ケースと前記フレームを締め付けることを特徴とする請求項６に記載のラミネート装置のダイヤフラム取り付け方法。
【請求項１０】
前記締付け具のロック機能により、前記締付け具を前記ラミネート装置に取り付けられた状態でロックすることを特徴とする請求項６から９のいずれか１項に記載のラミネート装置のダイヤフラム取り付け方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池モジュール等の被ラミネート体をラミネートするためのラミネート装置、およびそのラミネート装置におけるダイヤフラムの取り付け方法に関する。
【０００２】
本発明は特に、真空時におけるチャンバ内部への大気の流入を抑制することや、ダイヤフラムに穴を開けずにダイヤフラムを固定することのできるラミネート装置、およびそのラミネート装置におけるダイヤフラムの取り付け方法に関する。
【０００３】
なお、ダイヤフラムの新規取り付けも交換もともにダイヤフラムの「取り付け」を伴うため、本明細書ではこれらをまとめてダイヤフラムの取り付けという。
【背景技術】
【０００４】
従来のラミネート装置の構造は、例えば、特許文献１や特許文献２に記載されている。以下、図５から図８を参照して、これらの特許文献に記載のラミネート装置について説明する。
【０００５】
図５は、従来のラミネート装置１の構造を概略的に示した側方断面図である。図５において、Ｘ方向およびＹ方向は水平方向を表し、Ｚ方向は鉛直方向を表す。Ｘ，Ｙ，Ｚ方向は、互いに垂直となっている。
【０００６】
図５に示すように、ラミネート装置１は、下面が開放された内部空間を有する上ケース２と、上面が開放された内部空間を有する下ケース３と、上ケース２の下面側または下ケース３の上面側に着脱可能なフレーム４を備える。上ケース２は、図示しない昇降装置により上下動が可能なように構成されている。
【０００７】
図５の場合、フレーム４は、上ケース２に取り付けられるが、下ケース３に取り付けられるようにしてもよい。
【０００８】
図５の場合、フレーム４は、ダイヤフラム５の周縁部を支持し、上ケース２に取り付けられる。ダイヤフラム５は例えば、フッ素ゴム、ブチル、シリコンのような耐熱性のある弾性体のシートからなる。
【０００９】
上ケース２と下ケース３との間には、被ラミネート体６を支持および加熱するための支持台７および加熱手段８が設けられている。加熱手段８はここでは、支持台７の下部に配置されたヒータ盤である。加熱手段８は例えば、支持台７の内部に設けられていても構わない。
【００１０】
支持台７は、支柱９によって下ケース３から支持されている。一方、加熱手段８は、昇降手段１０によって昇降可能に支持されている。
【００１１】
昇降手段１０は、加熱手段８を被ラミネート体６に近づけあるいは遠ざけ、それによって支持台７を介して被ラミネート体６を好ましい状態で加熱することができる。
【００１２】
加熱手段８は、支持台７と一体化され、被ラミネート体６を直接加熱するようにしてもよい。
【００１３】
上ケース２は、排吸気手段１１を有している。一方、下ケース３は、排吸気手段１２を有している。図５では真空ポンプの図示を省略しているが、排吸気手段１１，１２は、排吸気口、排吸気管、真空ポンプを含んでいる。また、排吸気手段は、下ケース３のみまたは上ケース２のみに設けられている場合もある。
【００１４】
フレーム４の下ケース３との接合面には、シール部材１３が設けられており、上ケース２と下ケース３が合着したときに、上ケース２と下ケース３の内部空間が気密になるようにしている。
【００１５】
図５のラミネート装置１によって、ラミネート加工は以下のように行われる。
【００１６】
最初に、上ケース２と下ケース３は互いに離開されており、ダイヤフラム５が、弛まないように排吸気手段１１によって上ケース２に引きつけられる。
【００１７】
次に、矢印Ｐで示すように、被ラミネート体６が、上ケース２と下ケース３との間に搬入される。被ラミネート体６は例えば、太陽電池モジュールであり、積層体からなり、層の間には熱によって層を溶着する充填剤が配置されている。
【００１８】
被ラミネート体６が支持台７の上に載置されると、上ケース２が下降し、上ケース２と下ケース３が互いに合着され、上ケース２と下ケース３の内部にダイヤフラム５によって仕切られた上チャンバ１４と下チャンバ１５が形成される。
【００１９】
次に、加熱手段８を支持台７に近づけ、被ラミネート体６を加熱するとともに、排吸気手段１１，１２を操作して、上チャンバ１４内を大気圧に戻し、同時に下チャンバ１５内を真空引きする。
【００２０】
これにより、ダイヤフラム５の上面に大気圧がかかり、被ラミネート体６の表面が均等に圧縮される。被ラミネート体６は、圧縮されると同時に加熱されることにより、充填剤によって層が一体的に固着し、ラミネートされた積層体になる。
【００２１】
１つの被ラミネート体６のラミネート加工が完了すると、上ケース２と下ケース３が離開し、次の被ラミネート体６が搬入されて上記工程を繰り返す。
【００２２】
このようなラミネート装置１において、ダイヤフラム５は、例えば以下のようにして交換される。
【００２３】
ダイヤフラム５は、繰り返しの使用により、真空を保つ性能が劣化し、交換する必要が生じる。従来のダイヤフラム５の交換方法を、図６に説明的に示す。
【００２４】
図６は、従来のラミネート装置１におけるダイヤフラムの取り付け方法（交換方法）を説明するための側方断面図である。図６において、図５と同一の部分については図５と同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００２５】
図６のダイヤフラム５は、交換される新しいダイヤフラムを示している。この新しいダイヤフラム５は、周縁部に複数の把手１６が取り付けられている。
【００２６】
ラミネート装置１のサイズを例示すると、約２ｍ×４ｍである。そのため、ダイヤフラム５は、それ以上のサイズを有している。把手１６は、人間が両手で引けるように約５０ｃｍ間隔でダイヤフラム５の周縁部に多数取り付けられている。図６においては、理解を容易にするため把手１６を大きく示しているが、実際はダイヤフラム５の大きさに比して図示のものよりも小さい。
【００２７】
ダイヤフラム５を交換する際には、図６に示すように、上ケース２を上げ、フレーム４を取り外して古いダイヤフラム５を取り外し、新しいダイヤフラム５を上ケース２とフレーム４との間に搬入する。
【００２８】
次に、加熱手段８によってダイヤフラム５を加熱し、ダイヤフラム５を予め伸張させ、しかる後に、多数の人間がダイヤフラム５を取り囲み、把手１６をもってダイヤフラム５を四方に広がるように引っ張る。ダイヤフラム５は、矢印Ｑに示す方向（Ｘ方向の順方向および逆方向）と、図６の紙面に垂直な方向（Ｙ方向の順方向および逆方向）に引っ張られる。
【００２９】
ダイヤフラム５が所定の寸法広がったところで、人間の手によって把手１６を保持したまま、上ケース２を下降させる。そして、ダイヤフラム５の周縁部を上ケース２とフレーム４との間に挟み、その状態で上ケース２とフレーム４をボルト等の締結具によって固く締結し、ダイヤフラム５を緊張させた状態でフレーム４によってダイヤフラム５の周縁部を把持する。
【００３０】
なお、このようなラミネート装置１や、該ラミネート装置１におけるダイヤフラム５の取り付け方法については、例えば、特許文献１に例示されている。
【００３１】
ここで、従来のラミネート装置１におけるダイヤフラム５の固定方法の例について説明する。
【００３２】
図７は、クランプを用いたダイヤフラム５の固定方法について説明するための側方断面図である。
【００３３】
図７では、上ケース２に、複数のクランプレバー２３が設けられている。各クランプレバー２３は、上ケース２の外面側壁に取り付けられたブラケット２５に、取付け軸２４を介して支持されている。また、各クランプレバー２３の下部には、環状の止め金２２が遊着されている。止め金２２は、フレーム４の外面側壁に取り付けられた掛け金２１に係止できるようになっている。
【００３４】
図７では、ダイヤフラム５を上ケース２とフレーム４との間に挟んだ状態で、止め金２２を掛け金２１に引っ掛け、クランプレバー２３をその取付け軸２４を中心に上方に向けて回転させる。これにより、フレーム４が上方に持ち上がり、ダイヤフラム５が上ケース２とフレーム４との間に固定される。
【００３５】
図８は、ボルトを用いたダイヤフラム５の固定方法について説明するための側方断面図である。
【００３６】
図８には、上ケース２を上下方向に貫通する複数のボルト穴２７と、フレーム４の上面に設けられた複数のボルト穴（ネジ穴）２８が示されている。
【００３７】
図８では、ダイヤフラム５を上ケース２とフレーム４との間に挟んだ状態で、ボルト穴２７にボルト２６を差し込み、当該ボルト２６をネジ穴２８に締め込む。これにより、ダイヤフラム５が、上ケース２とフレーム４との間にボルト２６で固定される。
【００３８】
なお、以上のようなダイヤフラム５の固定方法については、例えば、特許文献２に例示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００３９】
【特許文献１】特開２０１０−５２３８７号公報
【特許文献２】特許第３８９０２０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００４０】
しかしながら、図７や図８に示す方法には、以下のような問題がある。
【００４１】
図７に示す方法では、クランプレバー２３が上ケース２の外面側壁に取り付けられているため、クランプレバー２３を締める際に、フレーム４の下部の外側（図７のαの部分）に上方向の力がかかり、フレーム４の下部の内側（図７のβの部分）が下がる。その結果、真空時にフレーム４と下ケース３との間からチャンバ内部に大気が流入しやすくなるという問題がある。
【００４２】
一方、図８に示す方法では、ダイヤフラム５に、ボルト２６を通す穴を開ける必要があり、穴を開ける工程のために、ダイヤフラム５の取り付け時間が長くなるという問題がある。さらには、一度穴を開けると穴の位置によってダイヤフラム５の取り付け位置が制限されるため、ダイヤフラム５の張り直しが困難になるという問題がある。
【００４３】
そこで、本発明は、真空時におけるチャンバ内部への大気の流入を抑制することができ、かつ、ダイヤフラムに穴を開ける必要のないラミネート装置、およびラミネート装置のダイヤフラム取り付け方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００４４】
本発明の一の態様であるラミネート装置は、下面が開放された内部空間を有する上ケースと、上面が開放された内部空間を有する下ケースと、前記上ケースの下面側に着脱可能で、ダイヤフラムの周縁部を支持するフレームと、前記上ケースと前記下ケースの少なくとも一方に設けられた排吸気手段と、前記上ケースと前記下ケースとの間に配置された被ラミネート体を支持および加熱するための支持台および加熱手段とを備える。そして、前記ラミネート装置はさらに、前記上ケースと前記フレームとの間に前記ダイヤフラムを挟み込んだ状態で、前記上ケースおよび前記フレームの端面よりも内側で、前記上ケースと前記フレームを締め付けるための締付け具を備える。
【００４５】
また、本発明の別の態様であるラミネート装置のダイヤフラム取り付け方法は、下面が開放された内部空間を有する上ケースと、上面が開放された内部空間を有する下ケースと、前記上ケースの下面側に着脱可能で、ダイヤフラムの周縁部を支持するフレームと、前記上ケースと前記下ケースの少なくとも一方に設けられた排吸気手段と、前記上ケースと前記下ケースとの間に配置された被ラミネート体を支持および加熱するための支持台および加熱手段とを備えるラミネート装置に使用される。そして、前記取り付け方法では、前記上ケースと前記フレームとの間に前記ダイヤフラムを挟み込んだ状態で、前記上ケースおよび前記フレームの端面よりも内側で、前記上ケースと前記フレームを締付け具により締め付ける。
【発明の効果】
【００４６】
本発明によれば、真空時におけるチャンバ内部への大気の流入を抑制することができ、かつ、ダイヤフラムに穴を開ける必要のないラミネート装置、およびラミネート装置のダイヤフラム取り付け方法を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の第１実施形態のラミネート装置の構造を概略的に示した側方断面図である。
【図２Ａ】図１のラミネート装置の構造をより詳細に示した側方断面図である。
【図２Ｂ】図２Ａのラミネート装置の構造を示した側方断面図である。
【図２Ｃ】図２Ａのラミネート装置の構造を示した平面図である。
【図２Ｄ】図２Ａに示すＣ型締付け具の構造を示した側方断面図である。
【図２Ｅ】図２Ａに示すＣ型締付け具の動作を説明するための側方断面図である。
【図２Ｆ】Ｃ型締付け具が使用されたラミネート装置を示した平面図である。
【図２Ｇ】Ｃ型締付け具が使用されたラミネート装置を示した側方断面図である。
【図３Ａ】本発明の第２実施形態のラミネート装置の構造を概略的に示した側方断面図である。
【図３Ｂ】図３Ａのラミネート装置の構造を示した側方断面図である。
【図３Ｃ】図３Ａのラミネート装置の構造を示した平面図である。
【図３Ｄ】図３Ａに示すＣ型締付け具の動作を説明するための側方断面図である。
【図４Ａ】本発明の第３実施形態のラミネート装置の構造を概略的に示した側方断面図である。
【図４Ｂ】図４Ａに示すＣ型締付け具の構造を示した側方断面図である。
【図４Ｃ】図４Ａに示すＣ型締付け具の構造を示した側方断面図である。
【図４Ｄ】図４Ａに示すＣ型締付け具の構造を示した平面図である。
【図４Ｅ】本発明の第３実施形態の変形例のラミネート装置の構造を概略的に示した側方断面図である。
【図４Ｆ】図４Ｅに示すＣ型締付け具の構造を示した側方断面図である。
【図４Ｇ】図４Ｅに示すＣ型締付け具の構造を示した側方断面図である。
【図４Ｈ】図４Ｅに示すＣ型締付け具の構造を示した平面図である。
【図５】従来のラミネート装置の構造を概略的に示した側方断面図である。
【図６】従来のラミネート装置におけるダイヤフラムの取り付け方法を説明するための側方断面図である。
【図７】クランプを用いたダイヤフラムの固定方法について説明するための側方断面図である。
【図８】ボルトを用いたダイヤフラムの固定方法について説明するための側方断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４８】
本発明の実施形態を、図面に基づいて説明する。
【００４９】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態のラミネート装置３１の構造を概略的に示した側方断面図である。図１のラミネート装置３１の全般的な構造は、図５のラミネート装置１の構造と同様である。図１において、図５と同一の部分については図５と同一の符号を付し、重複する説明は省略し、図５との相違点を中心に説明する。
【００５０】
図１に示すように、ラミネート装置３１は、下面が開放された内部空間を有する上ケース２と、上面が開放された内部空間を有する下ケース３と、上ケース２の下面側または下ケース３の上面側に着脱可能なフレーム４を備える。図１の場合、フレーム４は、上ケースの下面側に取り付けられ、ダイヤフラム５の周縁部を支持している。
【００５１】
上ケース２と下ケース３との間には、被ラミネート体６を支持および加熱するための支持台７および加熱手段８が設けられている。本実施形態では、加熱手段８が、支持台７と一体化されている。支持台７および加熱手段８は、支柱９によって下ケース３から支持されている。
【００５２】
上ケース２は、排吸気手段１１を有しており、下ケース３は、排吸気手段１２を有している。本実施形態の上ケース２には、排吸気手段１１が１つだけ設けられているが、上ケース２には、排吸気手段１１を複数設けても構わない。同様に、本実施形態の下ケース３には、排吸気手段１２が１つだけ設けられているが、下ケース３には、排吸気手段１３を複数設けても構わない。また、排吸気手段は、下ケース３のみまたは上ケース２のみに設けられている場合もある。
【００５３】
被ラミネート体６をラミネート加工する際には、支持台７の上に被ラミネート体６を搬入した後、上ケース２を下降させて上ケース２と下ケース３を合着させる。これにより、上ケース２と下ケース３の内部に、ダイヤフラム５によって仕切られた上チャンバ１４と下チャンバ１５が形成される。次に、上下チャンバ１４，１５内を真空引きをした後、上チャンバ１４のみに大気を導入する。これにより、ダイヤフラム５が下方に膨張して、被ラミネート体６が支持台７とダイヤフラム５により挟圧される。その結果、被ラミネート体６の内部のＥＶＡ（エチレンビニルアセテート）樹脂の化学反応が促進されて、ラミネート加工がなされる。
【００５４】
本実施形態では、図１に示すように、ラミネート装置３１に、Ｃ型締付け具３２が取り付けられている。そして、上ケース２とフレーム４との間にダイヤフラム５を挟み込んだ状態で、上ケース２とフレーム４がＣ型締付け具３２により締め付けられている。以下、このＣ型締付け具３２について詳細に説明する。
【００５５】
図２Ａは、図１のラミネート装置３１の構造をより詳細に示した側方断面図である。
【００５６】
図２Ａには、上記のＣ型締付け具３２が示されている。Ｃ型締付け具３２は、上ケース２を上方から押圧可能な第１の分割体３２ｂと、フレーム４を下方から押圧可能な第２の分割体３２ｃとを有する。図２Ａにはさらに、第１の分割体３２ｂと第２の分割体３２ｃを回動させるための支点ピン３２ａが示されている。
【００５７】
本実施形態では、上ケース２とフレーム４との間にダイヤフラム５を挟み込んだ状態で、上ケース２とフレーム４を第１の分割体３２ｂと第２の分割体３２ｃにより上下から挟み込み、上ケース２とフレーム４をＣ型締付け具３２によって締め付ける。これにより、上ケース２とフレーム４との間のダイヤフラム５が固定される。図２Ａには、Ｃ型締付け具３２によってダイヤフラム５が固定された様子が示されている。
【００５８】
図２Ａには、第１の分割体３２ｂを上下方向に貫通する第１のボルト穴３２ｅと、第２の分割体３２ｃを上下方向に貫通する第２のボルト穴３２ｆが示されている。本実施形態では、具体的には、これらのボルト穴３２ｅ，３２ｆに共通のボルト３２ｄを差し込み、上ケース２とフレーム４をこのボルト３２ｄで締め付けることで、ダイヤフラム５を固定する。本実施形態では、ダイヤフラム５の取り付け時にはボルト３２ｄを締め込み、ダイヤフラム５の取り外し時にはボルト３２ｄをゆるめる。
【００５９】
図２Ａに示すように、第１の分割体３２ｂの一端部側には、支点ピン３２ａが嵌挿される第１のピン穴３２ｇが設けられ、第１の分割体３２ｂの他端部側には、上ケース２を上方から押圧するための第１の押圧面Ｓ1が設けられている。同様に、第２の分割体３２ｃの一端部側には、支点ピン３２ａが嵌挿される第２のピン穴３２ｈが設けられ、第２の分割体３２ｃの他端部側には、フレーム４を下方から押圧するための第２の押圧面Ｓ2が設けられている。
【００６０】
本実施形態では、第１および第２のピン穴３２ｇ，３２ｈに、共通の支点ピン３２ａが嵌挿されており、上ケース２とフレーム４は、第１の押圧面Ｓ1と第２の押圧面Ｓ2との間でＣ型締付け具３２により締め付けられている。後述の図２Ｂには、Ｘ方向から見た第１および第２の押圧面Ｓ1，Ｓ2が示され、後述の図２Ｃには、Ｚ方向から見た第１および第２のピン穴３２ｇ，３２ｈが示されている。
【００６１】
図２Ａでは、上ケース２およびフレーム４の締付け位置がＰ1で示され、上ケース２およびフレーム４のダイヤフラム５近傍における外面側壁（端面）の位置がＰ2で示されている。
【００６２】
本実施形態では、矢印Ａで示すように、締付け位置Ｐ1が端面位置Ｐ2よりも内側（ダイヤフラム５の中心側）に入った構造が採用されており、Ｃ型締付け具３２が、上ケース２とフレーム４を、端面位置Ｐ2よりも内側で締め付けている。具体的には、第１の分割体３２ｂが、端面位置Ｐ2よりも内側で上ケース２を上方から押圧し、第２の分割体３２ｃが、端面位置Ｐ2よりも内側でフレーム４を下方から押圧している。
【００６３】
なお、締付け具３２は、本実施形態ではおおむねＣ型の断面形状を有しているが、上ケース２を上方から押圧可能な部材と、フレーム４を下方から押圧可能な部材とを有していれば、Ｃ型以外の断面形状を有していても構わない。また、これらの部材はそれぞれ、単一の材料で形成されていても、複数の材料で形成されていても構わない。
【００６４】
図２Ａにはさらに、フレーム４の上面に設けられた凹部内に配置された丸パッキン３３と、フレーム４の下面に設けられた凹部内に配置された丸パッキン３４が示されている。丸パッキン３３は、ダイヤフラム５の下面に接する位置に配置されており、丸パッキン３４は、下ケース３の上面に接する位置に配置されている。これらの丸パッキン３３，３４は、ラミネート加工時に上ケース２と下ケース３を密着させる際に、チャンバ１４，１５の真空漏れを防ぐために配置されている。
【００６５】
図２Ｂおよび図２Ｃはそれぞれ、図２Ａのラミネート装置３１の構造を示した側方断面図および平面図である。図２Ｂには、Ｃ型締付け具３２をＸ方向から見た様子が示されており、図２Ｃには、Ｃ型締付け具３２をＺ方向から見た様子が示されている。Ｃ型締付け具３２の構造および動作の詳細は、図２Ｄおよび図２Ｅに示されている。
【００６６】
図２Ｄは、図２Ａに示すＣ型締付け具３２の構造を示した側方断面図である。図２Ｄには、第１の分割体３２ｂと第２の分割体３２ｃが、ボルト３２ｄで固定された様子が示されている。
【００６７】
図２Ｅは、図２Ａに示すＣ型締付け具３２の動作を説明するための側方断面図である。Ｃ型締付け具３２がボルト３２ｄで固定されていない場合、第１の分割体３２ｂと第２の分割体３２ｃは、図２Ｅに示すように動作させることが可能である。符号３２ｂ’および３２ｃ’で示す破線は、第１および第２の分割体３２ｂ，３２ｃが、支点ピン３２ａを中心に回転する様子を示している。
【００６８】
本実施形態では、このようなＣ型締付け具３２を複数使用して、上ケース２とフレーム４との間にダイヤフラム５を固定する。これらのＣ型締付け具３２によりダイヤフラム５を固定した様子を、図２Ｆおよび図２Ｇに示す。
【００６９】
図２Ｆおよび図２Ｇはそれぞれ、複数のＣ型締付け具３２が使用されたラミネート装置３１を示した平面図および側方断面図である。
【００７０】
本実施形態では、Ｃ型締付け具３２は、図２Ｆに示すように、ラミネート装置３１の周囲にほぼ等間隔に取り付けられる。隣り合うＣ型締付け具３２間の間隔は、例えば３００ｍｍ〜４００ｍｍである。一方、ラミネート装置３１のサイズは、例えば約２ｍ×４ｍである。
【００７１】
図２Ｆおよび図２Ｇには、剥離シート４３と、剥離シート４３に付着したＥＶＡ（エチレンビニルアセテート）樹脂を取り除くための上ブラシ４１と、上ブラシ４１の近傍に設けられた上ブラシ用ローラー４２が示されている。
【００７２】
剥離シート４３は、図２Ｇに示すように、上ケース２の上面、下面、およびＸ方向に垂直な側面を取り囲む環状の形状を有している。図２Ｇでは、排吸気手段１１が、剥離シート４３とぶつかる位置に配置されているが、これは作図上の便宜によるものであり、実際は、排吸気手段１１は、剥離シート４３とぶつからない位置に配置されている。
【００７３】
また、上ブラシ４１および上ブラシ用ローラー４２は、上ケース２の外側に設置されている。図２Ｆおよび図２Ｇにおいて、上ブラシ４１は、剥離シート４３の外側に配置されており、ブラシ用ローラー４２は、剥離シート４３の内側に配置されている。
【００７４】
図２Ｆおよび図２Ｇにはさらに、被ラミネート体６を搬送するためにコンベアを動かすための搬送チェーン４４と、搬送チェーン４４を覆う搬送チェーンカバー４５が示されている。搬送チェーン４４および搬送チェーンカバー４５は、ラミネート装置３１の側面に設置されている。
【００７５】
なお、Ｃ型締付け具３２とこれらの部品（４１〜４５）との関係については、後述することにする。
【００７６】
ここで、図２Ａを参照しつつ、ラミネート装置３１におけるダイヤフラム５の取り付け方法について説明する。
【００７７】
まず、上ケース２とフレーム４との間にダイヤフラム５を挟んだ状態で、ダイヤフラム５を周囲から引っ張る。この際、ダイヤフラム５を引っ張るために、ダイヤフラム５にはラミネート装置３１からはみ出た部分が必要である。
【００７８】
次に、上ケース２をフレーム４の上に降ろす。これにより、ダイヤフラム５が、上ケース２とフレーム４により挟まれ、上ケース２の重力によりダイヤフラム５が固定される。ただし、この状態においては、上ケース２をフレーム４から取り外すと、ダイヤフラム５が固定されていない状態となってしまう。
【００７９】
次に、ラミネート装置３１からはみ出ているダイヤフラム５を切る。この際、ダイヤフラム５は、Ｃ型締付け具３２の内側におさまる大きさに切る必要がある。
【００８０】
次に、Ｃ型締付け具３２を用意して、ラミネート装置３１に取り付ける。具体的には、上ケース２とフレーム４を第１の分割体３２ｂと第２の分割体３２ｃにより挟み込み、次に、上ケース２とフレーム４をボルト３２ｄにより締め付ける。これにより、上ケース２とフレーム４が一体化し、ダイヤフラム５が固定される。なお、図２Ａには、ダイヤフラム５が、Ｃ型締付け具３２の内側におさまっている様子が示されている。
【００８１】
なお、ダイヤフラム５は、ボルト穴３２ｅおよび３２ｆよりも内側で第１の分割体３２ｂと第２の分割体３２ｃにより挟み込まれており、ダイヤフラム５は、ボルト穴３２ｅおよび３２ｆの下部には存在していない点に留意されたい。その結果、本実施形態では、ボルト３２ｄを通すための穴をダイヤフラム５に開けずに、ダイヤフラム５が上ケース２とフレーム４との間に固定されている。
【００８２】
また、図２Ｆおよび図２Ｇのように複数のＣ型締付け具３２を取り付ける際、これらのＣ型締付け具３２は、同時に取り付ける必要はなく、順番に取り付けても構わない。よって、Ｃ型締付け具３２の取り付け作業は、必ずしも複数人で行う必要はなく、一人の作業者のみで行っても構わない。
【００８３】
最後に、本実施形態のラミネート装置３１の効果について説明する。
【００８４】
上述の図７に示す方法では、上ケース２の外面側壁に取り付けられたクランプレバー２３によってダイヤフラム５を固定する。そのため、クランプレバー２３を締める際に、フレーム４の下部の外側に上方向の力がかかってフレーム４の下部の内側が下がり、真空時にフレーム４と下ケース３との間からチャンバ内部に大気が流入しやすくなってしまう。即ち、真空漏れが生じやすくなってしまう。
【００８５】
これに対し、本実施形態では、上ケース２を上方から押圧可能な第１の分割体３２ｂと、フレーム４を下方から押圧可能な第２の分割体３２ｃとを有する締付け具３２により、上ケース２とフレーム４を挟み込んで締め付けることで、ダイヤフラム５を固定する。
【００８６】
よって、本実施形態によれば、図２Ａに示すように、上ケース２およびフレーム４の端面位置Ｐ2よりも内側で、上ケース２とフレーム４を締め付けることが可能となる。このことには、上ケース２の外面側壁にクランプ時の力がかかる図７の方法と比べ、フレーム４の下部の内側が下がることを抑制でき、真空漏れが生じにくくなるという利点がある。
【００８７】
このように、本実施形態によれば、真空時におけるチャンバ内部への大気の流入を抑制することが可能となる。
【００８８】
また、上述の図８に示す方法では、上ケース２およびフレーム４に設けられたボルト穴２７，２８を利用して、ダイヤフラム５をボルト２６で固定する。そのため、図８に示す方法では、ダイヤフラム５に、ボルト２６を通す穴を開ける必要があり、穴を開ける工程のために、ダイヤフラム５の取り付け時間が長くなるという問題がある。さらには、一度穴を開けると穴の位置によってダイヤフラム５の取り付け位置が制限されるため、ダイヤフラム５の張り直しが困難になるという問題がある。
【００８９】
これに対し、本実施形態では、上記のような締付け具３２により上ケース２とフレーム４を挟み込んで締め付けることで、ダイヤフラム５を固定する。よって、本実施形態によれば、図２Ａに示すように、ボルト２６を通すための穴をダイヤフラム５に開けずに、ダイヤフラム５を固定することが可能となる。これにより、本実施形態では、ダイヤフラム５の取り付け時間の短縮や張り直しが可能となり、ラミネート装置３１の稼働率の向上やコストダウンを実現することが可能となる。
【００９０】
また、本実施形態の締付け具３２は、支点ピン３２ａと、支点ピン３２ａを中心に回転可能な第１および第２の分割体３２ｂ，３２ｃにより構成されており、第１および第２の分割体３２ｂ，３２ｃにはそれぞれ、第１および第２のボルト穴３２ｅ，３２ｆが設けられている。
【００９１】
これにより、本実施形態では、これらのボルト穴３２ｅ，３２ｆを使用して、上ケース２とフレーム４をボルト３２ｄで締め付けることが可能となっている。締付け具３２をボルト３２ｄ以外で締め付ける構成の具体例については、後述の第２実施形態で説明する。
【００９２】
なお、本実施形態では、加熱手段８が、下チャンバ１５（下ケース３）内に設置されているが（図１参照）、上チャンバ１４（上ケース２）内に設置されていても構わない。
【００９３】
また、本実施形態では、ラミネート装置３１内に１組の支持台７および加熱手段８が設けられ、チャンバ内部に１つの被ラミネート体６を収容可能な構造が採用されている（図１参照）。しかしながら、本実施形態では、ラミネート装置３１内に複数組の支持台７および加熱手段８を設け、チャンバ内部に複数の被ラミネート体６を収容可能な構造を採用しても構わない。この場合には、これらの被ラミネート体６を上下に積層して収容する多段式の構造を採用して、チャンバ内部のスペースの無駄を少なくすることが望ましい。
【００９４】
また、本実施形態のＣ型締付け具３２は、図２Ｆおよび図２Ｇに示すように、上ケース２およびフレーム４の側部に取り付けられる。そのため、Ｃ型締付け具３２のサイズが大きすぎると、上ブラシ用ローラー４２、搬送チェーン４４、搬送チェーンカバー４５等の他の部品の動作や設置を邪魔してしまう可能性がある。よって、Ｃ型締付け具３２のサイズは、これらの部品の動作や設置の妨げとならないサイズとすることが望まれる。
【００９５】
以上のように、本実施形態によれば、真空時におけるチャンバ内部への大気の流入を抑制することができ、かつ、ダイヤフラム５に穴を開ける必要のないラミネート装置３１、およびラミネート装置３１のダイヤフラム取り付け方法を提供することが可能となる。
【００９６】
（第２実施形態）
図３Ａは、本発明の第２実施形態のラミネート装置５１の構造を概略的に示した側方断面図である。図３Ａのラミネート装置５１の全般的な構造は、図５のラミネート装置１や図２Ａのラミネート装置３１の構造と同様である。図３Ａにおいて、図５や図２Ａと同一の部分についてはこれらと同一の符号を付し、重複する説明は省略し、図５や図２Ａとの相違点を中心に説明する。
【００９７】
図３Ａには、図２Ａに示すＣ型締付け具３２と異なる構造を有するＣ型締付け具５２が示されている。図３Ａに示すＣ型締付け具５２は、上ケース２を上方から押圧可能な部材として、スプリング５２ｅによって付勢されるローラー５２ｃを有し、フレーム４を下方から押圧可能な部材として、締付け具本体５２ａを有する。図３Ａでは、ローラー５２ｃが上ケース２を上方から押圧する第１の押圧面がＳ3で示され、締付け具本体５２ａがフレーム４を下方から押圧する第２の押圧面がＳ4で示されている。
【００９８】
本実施形態では、フレーム４の下部に、締付け具本体５２ａの下側の先端部を着脱可能にはめ込むための溝Ｇが設けられている。また、溝Ｇと締付け具本体５２ａとの接触面の断面形状は、図３Ａに示すように、フレーム４の下方の点Ｆを中心とする円弧形となっている。
【００９９】
よって、締付け具本体５２ａは、点Ｆを支点として回転可能となっている。また、上記接触面の断面形状が円弧形であるため、締付け具本体５２ａが回転しても、締付け具本体５２ａと溝Ｇとの間の面接触が保たれるようになっている。支点Ｆは、図３Ａに示すように、締付け具本体５２ａの下側の先端部内に位置しており、溝Ｇの内部に位置している。
【０１００】
締付け具本体５２ａには、締付け具本体５２ａを回転させるための握り部５２ｂが取り付けられている。握り部５２ｂは、少ない力で締付け具本体５２ａを回転させることができるよう、支点Ｆから比較的遠い位置に設けることが望ましい。本実施形態では、握り部５２ｂと支点Ｆとの距離が、ローラー５２ｃと支点Ｆとの距離よりも遠くなっている。締付け具本体５２ａは、握り部５２ｂを回転させることにより、溝Ｇから外すことが可能である。
【０１０１】
また、締付け具本体５２ａの上側の先端部には、スプリング軸５２ｆを上下方向に貫通させるためのスプリング軸穴５２ｇが設けられている。そして、スプリング軸５２ｆの上端には、第１のスプリングストッパ５２ｈが取り付けられ、スプリング軸５２ｆの上端と下端との間には、第２のスプリングストッパ５２ｉが取り付けられている。これにより、スプリング軸５２ｆが、スプリング軸穴５２ｇから抜けないようになっている。
【０１０２】
図３Ａにはさらに、ローラー５２ｃ用のスプリング５２ｅが示されている。スプリング５２ｅは、締付け具本体５２ａの上側の先端部と第２のスプリングストッパ５２ｉとの間に配置されており、スプリング５２ｅの内部には、スプリング軸５２ｆが貫通している。そして、スプリング軸５２ｆの下部には、ローラー回転軸５２ｄが貫通している。ローラー５２ｃは、ローラー回転軸５２ｄを中心に回転可能となっている。なお、ローラー回転軸５２ｄは、スプリング軸５２ｆの下端と第２のスプリングストッパ５２ｉとの間を貫通している。
【０１０３】
本実施形態では、Ｃ型締付け具５２の取り付けや取り外しを、握り部５２ｂの押し引きにより行うことが可能である。
【０１０４】
本実施形態では、Ｃ型締付け具５２を取り付ける際には、握り部５２ｂをラミネート装置５１の内側方向に押す。これにより、ローラー５２ｃが上ケース２の上面に沿って転がり移動し、上ケース２の上面に設けられた溝Ｈにローラー５２ｃがはまり込む。こうして、Ｃ型締付け具５２がラミネート装置５１に取り付けられる。
【０１０５】
一方、Ｃ型締付け具５２を取り外す際には、握り部５２ｂをラミネート装置５１の外側方向に引く。これにより、ローラー５２ｃは、溝Ｈから抜け出て、取り付け時とは逆方向に上ケース２の上面に沿って転がり移動する。こうして、Ｃ型締付け具５２がラミネート装置５１から取り外される。
【０１０６】
このように、本実施形態では、Ｃ型締付け具５２の取り付けや取り外しを、握り部５２ｂの押し引きにより行うことができる。また、本実施形態では、Ｃ型締付け具５２をラミネート装置５１に取り付けることで、ローラー５２ｃが、スプリング５２ｅのスプリング弾性により付勢されて、上ケース２の上面を押圧する。これにより、本実施形態では、上ケース２とフレーム４が締付け具本体５２ａとローラー５２ｃにより締め付けられ、上ケース２とフレーム４との間のダイヤフラム５が固定される。
【０１０７】
なお、本実施形態では、ラミネート装置５１に取り付けられたＣ型締付け具５２が不意に外れることがないよう、ダイヤフラム５近傍における上ケース２の上面とフレーム４の下面との距離や、溝Ｈの深さや、スプリング５２ｅの弾性係数を、適切な値に設定することが望ましい。また、これらの値は、握り部５２ｂによるＣ型締付け具５２の取り付けや取り外しが困難にならない程度の値とすることが望ましい。
【０１０８】
図３Ｂおよび図３Ｃはそれぞれ、図３Ａのラミネート装置５１の構造を示した側方断面図および平面図である。図３Ｂには、Ｃ型締付け具５２をＸ方向から見た様子が示されており、図３Ｃには、Ｃ型締付け具５２をＺ方向から見た様子が示されている。Ｃ型締付け具５２の動作の詳細は、図３Ｄに示されている。
【０１０９】
図３Ｄは、図３Ａに示すＣ型締付け具５２の動作を説明するための側方断面図である。上述のように、Ｃ型締付け具５２は、支点Ｆを中心に回転させることが可能である。符号５２’で示す破線は、Ｃ型締付け具５２が、支点Ｆを中心に回転する様子を示している。
【０１１０】
本実施形態では、このようなＣ型締付け具５２を複数使用して、上ケース２とフレーム４との間にダイヤフラム５を固定する。これらのＣ型締付け具５２によるダイヤフラム５の固定方法は、第１実施形態と同様である（図２Ｆ，図２Ｇを参照）。
【０１１１】
ここで、図３Ａを参照しつつ、ラミネート装置５１におけるダイヤフラム５の取り付け方法について説明する。
【０１１２】
まず、ダイヤフラム５を、上ケース２とフレーム４との間に挟む。次に、締付け具本体５２ａの下側の先端部を、フレーム４の溝Ｇにはめ込む。この時点では、Ｃ型締付け具５２は、フレーム４に固定されていないことに留意されたい。
【０１１３】
次に、握り部５２ｂを持ち、握り部５２ｂをラミネート装置５１の内側に向けて押す。これにより、Ｃ型締付け具５２は、支点Ｆを中心として、ラミネート装置５１の内側方向に回転する。また、ローラー５２ｃは、上ケース２の上面を転がることとなる。
【０１１４】
図３Ａに示すように、上ケース２の側面付近において、上ケース２の上面の形状は曲線状になっており、そこに溝Ｈが設けられている。よって、本実施形態では、Ｃ型締付け具５２を一定以上の力で押さないと、ローラー５２ｃが溝Ｈの位置まで到達しない。ローラー５２ｃが溝Ｈの位置まで到達すると、ローラー５２ｃは溝Ｈにおさまり、スプリング５２ｅがローラー５２ｃを下向きに押す力により、ダイヤフラム５は固定される。
【０１１５】
また、スプリング５２ｅがローラー５２ｃを下向きに押す力により、ローラー５２ｃが固定されると共に、締付け具本体５２ａも固定される。これにより、一定以上の力がＣ型締付け具５２にかからない限り、Ｃ型締付け具５２が外れなくなる。
【０１１６】
一方、ダイヤフラム５を取り外す際には、握り部５２ｂを持ち、握り部５２ｂをラミネート装置５１の外側に向けて引くことで、取り外し可能である。この際、Ｃ型締付け具５２を一定以上の力で引かないと、ローラー５２ｃは溝Ｈから抜け出ない。
【０１１７】
なお、ダイヤフラム５の取り付け時には、第１実施形態で説明したように、Ｃ型締付け具５２を取り付ける前に、ラミネート装置５１からはみ出たダイヤフラム５を切り、ダイヤフラム５をＣ型締付け具５２の内側におさまる大きさにする必要がある。この際、本実施形態では、ローラー５２ｃが溝Ｈにおさまる際にダイヤフラム５が邪魔にならないよう、ダイヤフラム５を、溝Ｈに届かない大きさに切っておくことが望ましい。図３Ａには、溝Ｈに届かない大きさに切られたダイヤフラム５が示されている。
【０１１８】
最後に、本実施形態のラミネート装置５１の効果について説明する。
【０１１９】
本実施形態では、第１実施形態と同様、上ケース２を上方から押圧可能な部材（ローラー５２ｃ）と、フレーム４を下方から押圧可能な部材（締付け具本体５２ａ）とを有する締付け具５２により、上ケース２とフレーム４を挟み込んで締め付けることで、ダイヤフラム５を固定する。
【０１２０】
よって、本実施形態によれば、第１実施形態と同様、上ケース２およびフレーム４の端面位置Ｐ2よりも内側で、上ケース２とフレーム４を締め付けることが可能となり、真空時におけるチャンバ内部への大気の流入を抑制することが可能となる。
【０１２１】
また、本実施形態では、図８に示すようなボルト２６ではなく、上記のような締付け具５２により上ケース２とフレーム４を挟み込んで締め付けることで、ダイヤフラム５を固定する。よって、本実施形態によれば、第１実施形態と同様、ボルトを通すための穴をダイヤフラム５に開けずに、ダイヤフラム５を固定することが可能となる。
【０１２２】
また、本実施形態の締付け具５２は、上ケース２の上面に沿って転がり移動するローラー５２ｃと、ローラー５２ｃが上ケース２の上面を押圧するよう、ローラー５２ｃを付勢するスプリング５２ｅ等により構成されている。
【０１２３】
これにより、本実施形態では、ボルトを使用せずに締付け具５２を固定することが可能となり、ダイヤフラム５の取り付け作業が簡易化される。一般に、スプリング５２ｅの弾性力に抗してローラー５２ｃを転がすのに要する力や時間は、ボルトを締めるのに要する力や時間よりも少なくて済む。よって、本実施形態によれば、ボルトを締めるのに比べ、少ない力で短時間にダイヤフラム５を取り付けることが可能となる。
【０１２４】
なお、本実施形態では、上ケース２を上方から押圧可能な部材の方を、締付け具本体５２ａとして、フレーム４を下方から押圧可能な部材の方を、ローラー５２ｃとしても構わない。
【０１２５】
また、本実施形態では、Ｃ型締付け具５２に、Ｃ型締付け具５２をラミネート装置５１に取り付けられた状態でロックするためのロック機能を設けても構わない。理由は、本実施形態では、スプリング弾性によりＣ型締付け具５２を固定しているため、Ｃ型締付け具５２に誤って大きな力がかかると、Ｃ型締付け具５２が外れる可能性があるからである。
【０１２６】
ロック機能の例としては、窓ガラスの開閉レバーに設けられているロックや、市販のキャスター等に設けられているローラーの回転止めのロックのようなものが挙げられる。或いは、小さな針金状の鍵で開閉させることが可能な鍵穴をＣ型締付け具５２に設けるようにしてもよい。
【０１２７】
このようなロック機能によれば、ロックを解除するかロック等を破壊しない限り、Ｃ型締付け具５２は一般に外れないため、Ｃ型締付け具５２が意図せずに外れてしまう可能性を低減することが可能となる。なお、このようなロック機能は、第２実施形態に限らず、第１実施形態に適用しても構わない。また、上記以外のロック機能の例については、後述する第３実施形態にて説明する。
【０１２８】
以上のように、本実施形態によれば、真空時におけるチャンバ内部への大気の流入を抑制することができ、かつ、ダイヤフラム５に穴を開ける必要のないラミネート装置５１、およびラミネート装置５１のダイヤフラム取り付け方法を提供することが可能となる。
【０１２９】
（第３実施形態）
図４Ａは、本発明の第３実施形態のラミネート装置６１の構造を概略的に示した側方断面図である。図４Ａのラミネート装置６１の全般的な構造は、図５のラミネート装置１や図２Ａのラミネート装置３１などの構造と同様である。図４Ａにおいて、図５や図２Ａと同一の部分についてはこれらと同一の符号を付し、重複する説明は省略し、図５や図２Ａとの相違点を中心に説明する。
【０１３０】
図４Ａには、図２Ａに示すＣ型締付け具３２や、図３Ａに示すＣ型締付け具５２と異なる構造のＣ型締付け具６２が示されている。
【０１３１】
本実施形態のＣ型締付け具６２は、図４Ａに示す形状の締付け具本体６２ａにより構成されている。締付け具本体６２ａの一端部側（下側の先端部側）には、フレーム４を下方から押圧するための押圧面Ｓ6が設けられており、締付け具本体６２ａの他端部側（上側の先端部側）には、上ケース２を上方から押圧するネジ６２ｃを通すためのネジ穴６２ｄが設けられている。図４Ａでは、ネジ６２ｃが上ケース２を上方から押圧する押圧面が、Ｓ5で示されている。
【０１３２】
ネジ６２ｃの根元には、図４Ａに示すように、締付けハンドル６２ｂが取り付けられている。本実施形態では、図４Ａに示す位置に締付け具本体６２ａを配置し、ネジ穴６２ｄにネジ６２ｃを差し込み、締付けハンドル６２ｂを回してネジ６２ｃを締めることで、上ケース２がネジ６２ｃにより上方から押圧されると共に、フレーム４が押圧面Ｓ6にて下方から押圧される。このようにして、上ケース２とフレーム４がＣ型締付け具６２により締め付けられ、上ケース２とフレーム４との間のダイヤフラム５が固定される。
【０１３３】
図４Ｂおよび図４Ｃは、図４Ａに示すＣ型締付け具６２の構造を示した側方断面図である。図４Ｂには、図４Ａと同様、Ｃ型締付け具６２をＹ方向から見た様子が示され、図４Ｃには、Ｃ型締付け具６２をＸ方向から見た様子が示されている。
【０１３４】
図４Ｄは、図４Ａに示すＣ型締付け具６２の構造を示した平面図である。図４Ｄには、Ｃ型締付け具６２をＺ方向から見た様子が示されている。図４Ｄに示すように、本実施形態の締付けハンドル６２ｂは、Ｚ方向から見て棒状の形状を有している。図４Ｄでは、この形状の長手方向が、Ｙ方向となっている。
【０１３５】
なお、図４Ａおよび図４Ｂでは、作図の便宜上、図４Ｃや図４Ｄとは締付けハンドル６２ｂの締付け具合が異なっている点に留意されたい。
【０１３６】
次に、第３実施形態の変形例について説明する。
【０１３７】
図４Ｅは、本発明の第３実施形態の変形例のラミネート装置６１の構造を概略的に示した側方断面図である。図４Ｅのラミネート装置６１の全般的な構造は、図４Ａのラミネート装置６１の構造と同様である。図４Ｅにおいて、図４Ａと同一の部分については図４Ａと同一の符号を付し、重複する説明は省略し、図４Ａとの相違点を中心に説明する。
【０１３８】
図４Ｅに示す締付け具本体６２ａの上面には、ネジ穴６２ｄに加え、ロック部材用の穴６２ｇが設けられている。図４Ｅには、穴６２ｇに挿入される挿入部６２ｆと、穴６２ｇの上部に突き出る突出部６２ｅからなるロック部材が示されている。図４Ｅには、ロック部材の挿入部６２ｆが、穴６２ｇに挿入され、ロック部材の突出部６２ｅが、穴６２ｇの上部に突き出ている様子が示されている。
【０１３９】
ネジ穴６２ｄとロック部材用の穴６２ｇは、図４Ｅに示すように、締付けハンドル６２ｂを回すと、締付けハンドル６２ｂと突出部６２ｅとがぶつかる位置に設けられている。よって、本変形例では、ネジ６２ｃをネジ穴６２ｄに取り付けた後に、ロック部材の挿入部６２ｆを穴６２ｇに取り付けることで、締付けハンドル６２ｂが緩んで回転するのを防止することが可能となる。即ち、ロック部材は、Ｃ型締付け具６２をラミネート装置６１に取り付けられた状態でロックするロック機能を発揮する。
【０１４０】
よって、本変形例によれば、Ｃ型締付け具６２が意図せずに外れてしまう可能性を低減することが可能となる。
【０１４１】
なお、ロック部材の挿入部６２ｆと、ロック部材用の穴６２ｇには、ネジ溝が切られていても、切られていなくても構わない。前者には、ロック部材がしっかりと固定され、ロック部材が意図せずに外れてしまう可能性が低減されるという利点がある。一方、後者には、ロック部材の取り付けや取り外しが容易になるという利点がある。
【０１４２】
図４Ｆおよび図４Ｇは、図４Ｅに示すＣ型締付け具６２の構造を示した側方断面図である。図４Ｆには、図４Ｅと同様、Ｃ型締付け具６２をＹ方向から見た様子が示され、図４Ｇには、Ｃ型締付け具６２をＸ方向から見た様子が示されている。
【０１４３】
図４Ｈは、図４Ｅに示すＣ型締付け具６２の構造を示した平面図である。図４Ｈには、Ｃ型締付け具６２をＺ方向から見た様子が示されている。図４Ｈでは、図４Ｄと同様、締付けハンドル６２ｂの形状の長手方向が、Ｙ方向となっている。
【０１４４】
なお、図４Ｅおよび図４Ｆでは、作図の便宜上、図４Ｇや図４Ｈとは締付けハンドル６２ｂの締付け具合が異なっている点に留意されたい。
【０１４５】
最後に、再び図４Ａを参照して、本実施形態のラミネート装置６１の効果について説明する。
【０１４６】
本実施形態では、締付け具本体６２ａの一端部側に、フレーム４を下方から押圧するための押圧面Ｓ6が設けられ、締付け具本体６２ａの他端部側に、上ケース２を上方から押圧するネジ６２ｃを通すためのネジ穴６２ｄが設けられた締付け具６２により、上ケース２とフレーム４を挟み込んで締め付けることで、ダイヤフラム５を固定する。
【０１４７】
よって、本実施形態によれば、第１及び第２実施形態と同様、上ケース２およびフレーム４の端面位置Ｐ2よりも内側で、上ケース２とフレーム４を締め付けることが可能となり、真空時におけるチャンバ内部への大気の流入を抑制することが可能となる。
【０１４８】
また、本実施形態では、図８に示すようなボルト２６ではなく、上記のような締付け具６２により上ケース２とフレーム４を挟み込んで締め付けることで、ダイヤフラム５を固定する。よって、本実施形態によれば、第１及び第２実施形態と同様、ボルトを通すための穴をダイヤフラム５に開けずに、ダイヤフラム５を固定することが可能となる。
【０１４９】
また、本実施形態では、締付け具６２を、締付け具本体６２ａにネジ穴６２ｄを設けるだけで製造でき、締付け具６２の製造が容易になるという利点がある。
【０１５０】
以上のように、本実施形態によれば、真空時におけるチャンバ内部への大気の流入を抑制することができ、かつ、ダイヤフラム５に穴を開ける必要のないラミネート装置６１、およびラミネート装置６１のダイヤフラム取り付け方法を提供することが可能となる。
【０１５１】
なお、第１実施形態のＣ型締付け具３２では、ボルト３２ｄ以外の締結部材を採用するようにしても構わない。
【０１５２】
また、第２実施形態のＣ型締付け具５２では、ローラー５２ｃ以外の回転部材や、スプリング５２ｅ以外の弾性部材を採用するようにしても構わない。
【０１５３】
また、第３実施形態のＣ型締付け具６２では、締付け具本体６２ａが、単一の部材で構成されていても、複数の部材で構成されていても構わない。
【０１５４】
以上、本発明の具体的な態様の例を、第１から第３実施形態により説明したが、本発明は、これらの実施形態に限定されるものではない。
【符号の説明】
【０１５５】
１  ラミネート装置
２  上ケース
３  下ケース
４  フレーム
５  ダイヤフラム
６  被ラミネート体
７  支持台
８  加熱手段
９  支柱
１０  昇降手段
１１  排吸気手段
１２  排吸気手段
１３  シール部材
１４  上チャンバ
１５  下チャンバ
１６  把手
２１  掛け金
２２  止め金
２３  クランプレバー
２４  取付け軸
２５  ブラケット
２６  ボルト
２７  ボルト穴
２８  ボルト穴（ネジ穴）
３１  ラミネート装置
３２  Ｃ型締付け具
３２ａ  支点ピン
３２ｂ  第１の分割体
３２ｃ  第２の分割体
３２ｄ  締付けボルト
３２ｅ  第１のボルト穴
３２ｆ  第２のボルト穴
３２ｇ  第１のピン穴
３２ｈ  第２のピン穴
３３  丸パッキン
３４  丸パッキン
４１  上ブラシ
４２  上ブラシ用ローラー
４３  剥離シート
４４  搬送チェーン
４５  搬送チェーンカバー
５１  ラミネート装置
５２  Ｃ型締付け具
５２ａ  締付け具本体
５２ｂ  握り部
５２ｃ  ローラー
５２ｄ  ローラー回転軸
５２ｅ  スプリング
５２ｆ  スプリング軸
５２ｇ  スプリング軸穴
５２ｈ  第１のスプリングストッパ
５２ｉ  第２のスプリングストッパ
６１  ラミネート装置
６２  Ｃ型締付け具
６２ａ  締付け具本体
６２ｂ  締付けハンドル
６２ｃ  ネジ
６２ｄ  ネジ穴
６２ｅ  ロック部材の突出部
６２ｆ  ロック部材の挿入部
６２ｇ  ロック部材用の穴
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
2011255641.tif 000005
【図２Ｃ】
2011255641.tif 000006
【図２Ｄ】
2011255641.tif 000007
【図２Ｅ】
2011255641.tif 000008
【図２Ｆ】
2011255641.tif 000009
【図２Ｇ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図３Ｄ】
2011255641.tif 000014
【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
2011255641.tif 000018
【図４Ｅ】
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【図４Ｆ】
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【図４Ｇ】
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【図４Ｈ】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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