(57)【要約】【課題】オゾン発生装置において、好適に異常放電を検出し、安定した動作を実現する。【解決手段】オゾン発生装置は、互いに離間して配置される第１電極（２１０）及び第２電極（２２０）と、第１電極及び第２電極間にパルス電圧（Ｖｐ）を印加するパルス電源（１００）と、第１電極及び第２電極間に酸素を含む原料ガスを供給する供給手段（３００）と、第１電極及び第２電極間のインピーダンスを検出するインピーダンス検出手段（４００）と、インピーダンスが所定閾値以下である場合に、パルス電圧を弱めるようにパルス電源の制御を行う第１制御手段（５００）と、パルス電源の制御から所定期間内にインピーダンスが所定閾値を超えない場合、パルス電圧を停止するようにパルス電源を制御する第２制御手段（５００）とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに離間して配置される第１電極及び第２電極と、
前記第１電極及び前記第２電極間にパルス電圧を印加するパルス電源と、
前記第１電極及び前記第２電極間に酸素を含む原料ガスを供給する供給手段と、
前記第１電極及び前記第２電極間のインピーダンスを検出するインピーダンス検出手段と、
前記インピーダンスが所定閾値以下である場合に、前記パルス電圧を弱めるように前記パルス電源の制御を行う第１制御手段と、
前記パルス電源の制御から所定期間内に前記インピーダンスが前記所定閾値を超えない場合、前記パルス電圧を停止するように前記パルス電源を制御する第２制御手段と
を備えることを特徴とするオゾン発生装置。
【請求項２】
前記パルス電源の制御から所定期間内に前記インピーダンスが前記所定閾値を超えた場合、前記パルス電圧が弱められた状態を維持するように前記パルス電源を制御する第３制御手段を更に備えることを特徴とする請求項１に記載のオゾン発生装置。
【請求項３】
前記第１電極及び前記第２電極間には前記原料ガスのみが存在することを特徴とする請求項１又は２に記載のオゾン発生装置。
【請求項４】
前記パルス電源は、ナノパルス電源であることを特徴とする請求項３に記載のオゾン発生装置。
【請求項５】
互いに離間して配置される第１電極及び第２電極と、前記第１電極及び前記第２電極間にパルス電圧を印加するパルス電源と、前記第１電極及び前記第２電極間に酸素を含む原料ガスを供給する供給手段とを備えるオゾン発生装置の制御方法であって、
前記第１電極及び前記第２電極間のインピーダンスを検出するインピーダンス検出工程と、
前記インピーダンスが所定閾値以下である場合に、前記パルス電圧を弱めるように前記パルス電源の制御を行う第１制御工程と、
前記パルス電源の制御から所定期間内に前記インピーダンスが前記所定閾値を超えない場合、前記パルス電圧を停止するように前記パルス電源を制御する第２制御工程と
を含むことを特徴とするオゾン発生装置の制御方法。
【請求項６】
互いに離間して配置される第１電極及び第２電極と、
前記第１電極及び前記第２電極間にパルス電圧を印加するパルス電源と、
前記第１電極及び前記第２電極間に酸素を含む原料ガスを供給する供給手段と、
前記第１電極及び前記第２電極間のインピーダンスを検出するインピーダンス検出手段と、
前記インピーダンスが所定閾値以下である場合に、前記パルス電圧を弱めるように前記パルス電源の制御を行う第１制御手段と、
前記パルス電源の制御から所定期間内に前記インピーダンスが前記所定閾値を超えない場合、前記パルス電圧を停止するように前記パルス電源を制御する第２制御手段と
を備えることを特徴とする放電装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばナノパルス放電によりオゾンを発生させるオゾン発生装置、及びその制御方法、並びに放電装置の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のオゾン発生装置として、例えば離間して配置された電極間に電圧を印加し、放電反応によってオゾンを発生させるものがある。このような装置においては、製造時のオゾン発生素子の欠陥を検出するための技術（例えば、特許文献１参照）や、動作時に電極が短絡されてしまうことによって生じる異常電流を防止するための技術（例えば、特許文献２参照）が提案されている。
【０００３】
また、電極間のインピーダンスを計測可能とすることで、インピーダンスが異常な値をとった際に装置の異常を検出するという技術が提案されている（例えば、特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−１８３３０３号公報
【特許文献２】特開２０００−１０３６０５号公報
【特許文献３】特開平８−３２２９１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述したインピーダンスに基づいて異常を検出するような技術では、インピーダンスが異常な値をとると即座に異常を検出してしまうため、回復不可能な異常と回復可能な一時的な異常とを判別することができない。具体的には、例えば装置の物理的破損等による異常と、放電方式の特性である一時的な過剰電流とを判別することができない。よって、上述した技術には、異常を検出すべきでない回復可能な状態においても、装置が停止されてしまうおそれがあるという技術的問題点がある。
【０００６】
本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、好適に異常放電を検出し、安定した動作を実現可能なオゾン発生装置及びその制御方法、並びに放電装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のオゾン発生装置は上記課題を解決するために、互いに離間して配置される第１電極及び第２電極と、前記第１電極及び前記第２電極間にパルス電圧を印加するパルス電源と、前記第１電極及び前記第２電極間に酸素を含む原料ガスを供給する供給手段と、前記第１電極及び前記第２電極間のインピーダンスを検出するインピーダンス検出手段と、前記インピーダンスが所定閾値以下である場合に、前記パルス電圧を弱めるように前記パルス電源の制御を行う第１制御手段と、前記パルス電源の制御から所定期間内に前記インピーダンスが前記所定閾値を超えない場合、前記パルス電圧を停止するように前記パルス電源を制御する第２制御手段とを備える。
【０００８】
本発明のオゾン発生装置によれば、その動作時には、パルス電源より、互いに離間して配置される第１電極及び第２電極間にパルス電圧が印加される。第１電極及び第２電極間には、供給手段によって、酸素を含む原料ガスが供給されている。このため、第１電極及び第２電極間にパルス電圧が印加されると、電極間に酸化分解力の高い放電が生じ、原料ガスに含まれる酸素（Ｏ２）から、一種の活性酸素であるオゾン（Ｏ３）が生成される。
【０００９】
尚、原料ガスは、例えば酸素ボンベや酸素タンク等の然るべき貯留手段から、然るべき供給系統（配管、シーリング、減圧弁及び流量調整弁等）を適宜介して供給される比較的高純度の酸素ガスであってもよいし、例えば外界空間等から然るべき導入装置（例えば、ガスコンプレッサ等）を用いて導入された空気や各種酸素含有ガスであってもよい。
【００１０】
本発明では更に、インピーダンス検出手段によって、第１電極及び第２電極間のインピーダンスが検出される。ここで、検出されたインピーダンスは、所定閾値以下であるか否かが判定される。尚、「所定閾値」とは、異常放電が発生しているか否かを判定するための閾値であり、予め実験的に、経験的に、理論的に又はシミュレーション等に基づいて決定される。例えば、正常動作時のインピーダンスが正の値となるような場合には、所定閾値を“０”とすることで、異常放電を検出することが可能となる。
【００１１】
本発明では、インピーダンスが所定閾値以下である場合に、第１制御手段によって、パルス電圧を弱めるようにパルス電源の制御が行われる。尚、ここでの「弱める」とは、単にパルス電圧の電圧値を低下させることを含む他、周波数の低下等、異常放電を回復するためにパルス電圧に対して行われる様々な処理、又はそれらの処理の組み合わせを含む。よって、パルス電圧が弱められると、装置における異常放電を回復させることができる。
【００１２】
しかしながら、例えば装置の物理的破損等による異常放電については、上述したパルス電源の制御では回復できない場合がある。このため本発明では、パルス電源の制御から所定期間内にインピーダンスが所定閾値を超えない場合に、第２制御手段によって、パルス電圧を停止するようにパルス電源が制御される。即ち、オゾンを発生させるための動作が停止させられる。尚、「所定期間」とは、異常放電が回復可能なものであるか否かを判定するための期間であり、上述した所定閾値と同様に、予め実験的に、経験的に、理論的に又はシミュレーション等に基づいて決定される。
【００１３】
ここで仮に、第１制御手段による制御が行われず、第２手段による制御（即ち、装置の停止）のみが行われるとすると、第１制御手段によるパルス電圧の制御で回復可能な異常放電の場合であっても、オゾンを発生させるための動作が停止させられてしまうことになる。即ち、異常放電が発生する度に動作が停止させられてしまうため、オゾンの発生動作が極めて非効率なものとなってしまう。
【００１４】
しかるに本発明では、上述したように、異常放電が発生した際には、先ずパルス電源を制御することによって異常放電の回復が試みられ、それでも回復しない場合に、オゾンを発生させるための動作が停止させられる。即ち、本発明のオゾン発生装置では、異常放電が回復可能なものであるか否かを判定したうえで、適切な動作を行うことができる。よって、極めて効率的にオゾンを発生させることができる。
【００１５】
以上説明したように、本発明のオゾン発生装置によれば、好適に異常放電を検出し、安定した動作を実現可能である。
【００１６】
尚、本発明に係るオゾン発生装置は、オゾンを必要とする広範な技術分野へ適用可能であることは言うまでもなく、本発明に係るオゾン発生装置の技術的意義は明確である。例えば、本発明に係るオゾン発生装置は、生活排水や工業排水等の各種水処理（例えば、浄化、脱臭、消臭及び殺菌等を含む）、或いは自動車等における排気浄化処理（例えば、酸化触媒の活性促進によるＰＭの酸化燃焼促進）等にも好適に利用可能である。
【００１７】
本発明のオゾン発生装置の一態様では、前記パルス電源の制御から所定期間内に前記インピーダンスが前記所定閾値を超えた場合、前記パルス電圧が弱められた状態を維持するように前記パルス電源を制御する第３制御手段を更に備える。
【００１８】
この態様によれば、第１制御手段によるパルス電源の制御から所定期間内にインピーダンスが所定閾値を超えた場合、第３制御手段によって、パルス電圧が弱められた状態を維持するようにパルス電源が制御される。これにより、パルス電源の制御によって異常放電が回復した場合には、パルス電圧が弱められた状態で装置の動作が維持されることとなる。即ち、パルス電圧が弱められた状態で、オゾンを発生させるための動作が引き続き行われる。よって、再び異常放電が発生するリスクを高めることなく、効率的にオゾンを発生させることが可能となる。
【００１９】
尚、パルス電圧が弱められた状態でなくとも正常な動作が可能と推測されるような場合には、パルス電圧が弱められる前の状態に戻されてもよい。この際、パルス電圧は、瞬間的に制御前の状態とされてもよいし、段階的に強められることによって制御前の状態とされてもよい。
【００２０】
本発明のオゾン発生装置の他の態様では、前記第１電極及び前記第２電極間には前記原料ガスのみが存在する。
【００２１】
この態様によれば、装置の動作時には、第１電極及び第２電極間に供給手段から供給される原料ガスのみが存在することとなる。尚、ここでの「原料ガスのみが存在する」とは、第１電極及び第２電極間（即ち、放電が行われる放電空間）に、原料ガス以外の物質が何もない状態に限定されるものではなく、第１電極及び第２電極間に、装置としての他の部材（例えば、絶縁体等）が配置されないことを意味している。よって、第１電極及び第２電極間に、装置の非動作時に存在するようなもの（例えば、空気等の原料ガス以外のガス）等が残存してしまうような場合も、本態様には含まれる。
【００２２】
本態様では、金属同士（即ち、第１電極及び第２電極）の放電形態となるため、異常放電が発生した場合であっても、異常放電が装置の物理的破損によるものであるか否かを判定することが困難である。
【００２３】
具体的には、例えば電極間に絶縁体が配置されるコロナ放電や、沿面放電、パルスストリーマ放電の場合は、異常放電は装置の物理的破損によるものが多い。これに対し、電極間に絶縁体が配置されない放電形態の場合には、異常放電は装置の物理的破損によるものが比較的少ない。
【００２４】
本態様のオゾン発生装置では、上述したように、インピーダンスが検出されることで、異常放電が回復可能なものであるか否かを判定したうえで、適切な動作を行うことができる。よって、電極間に絶縁体が配置されない場合には特に、効率的にオゾンを発生させることができる。
【００２５】
上述した第１電極及び第２電極間に原料ガスのみが存在する態様では、前記パルス電源は、ナノパルス電源であるように構成してもよい。
【００２６】
この場合、装置の動作時には、第１電極及び第２電極間でナノパルス放電が行われる。電極間に絶縁体が配置されないナノパルス放電の場合には、異常放電は装置の物理的破損によるものが比較的少ない。従って、インピーダンスが検出されることで、異常放電が回復可能なものであるか否かを判定することが可能であれば、効率的にオゾンを発生させることができる。
【００２７】
本発明のオゾン発生装置の制御方法は上記課題を解決するために、互いに離間して配置される第１電極及び第２電極と、前記第１電極及び前記第２電極間にパルス電圧を印加するパルス電源と、前記第１電極及び前記第２電極間に酸素を含む原料ガスを供給する供給手段とを備えるオゾン発生装置の制御方法であって、前記第１電極及び前記第２電極間のインピーダンスを検出するインピーダンス検出工程と、前記インピーダンスが所定閾値以下である場合に、前記パルス電圧を弱めるように前記パルス電源の制御を行う第１制御工程と、前記パルス電源の制御から所定期間内に前記インピーダンスが前記所定閾値を超えない場合、前記パルス電圧を停止するように前記パルス電源を制御する第２制御工程とを含む。
【００２８】
本発明のオゾン発生装置の制御方法によれば、第１電極及び第２電極間のインピーダンスが検出されることで、異常放電が回復可能なものであるか否かを判定することができる。従って、上述したオゾン発生装置と同様に、好適に異常放電を検出し、安定した動作を実現できる。
【００２９】
尚、本発明のオゾン発生装置の制御方法においても、上述した本発明のオゾン発生装置における各種態様と同様の各種態様を採ることが可能である。
【００３０】
本発明の放電装置は上記課題を解決するために、互いに離間して配置される第１電極及び第２電極と、前記第１電極及び前記第２電極間にパルス電圧を印加するパルス電源と、前記第１電極及び前記第２電極間に酸素を含む原料ガスを供給する供給手段と、前記第１電極及び前記第２電極間のインピーダンスを検出するインピーダンス検出手段と、前記インピーダンスが所定閾値以下である場合に、前記パルス電圧を弱めるように前記パルス電源の制御を行う第１制御手段と、前記パルス電源の制御から所定期間内に前記インピーダンスが前記所定閾値を超えない場合、前記パルス電圧を停止するように前記パルス電源を制御する第２制御手段とを備える。
【００３１】
本発明の放電装置によれば、第１電極及び第２電極間のインピーダンスが検出されることで、異常放電が回復可能なものであるか否かを判定することができる。従って、上述したオゾン発生装置と同様に、好適に異常放電を検出し、安定した動作を実現できる。
【００３２】
尚、本発明の放電装置においても、上述した本発明のオゾン発生装置における各種態様と同様の各種態様を採ることが可能である。
【００３３】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する発明を実施するための形態から明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】実施形態に係るオゾン発生装置の全体構成を示すブロック図である。
【図２】実施形態に係るオゾン発生装置の動作を示すフローチャートである。
【図３】正常放電時におけるパルス電圧及びインピーダンスの波形を示すグラフである。
【図４】異常放電時におけるパルス電圧及びインピーダンスの波形を示すグラフである。
【図５】実施形態に係るオゾン発生装置の変形例を概略的に示す部分拡大図（その１）である。
【図６】実施形態に係るオゾン発生装置の変形例を概略的に示す部分拡大図（その２）である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
以下では、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
【００３６】
＜オゾン発生装置＞
先ず、本実施形態に係るオゾン発生装置の構成について、図１を参照して説明する。ここに図１は、本実施形態に係るオゾン発生装置の全体構成を示すブロック図である。
【００３７】
図１において、本実施形態に係るオゾン発生装置は、ナノパルス電源１００と、放電反応器２００と、原料ガス供給部３００と、インピーダンス検出部４００と、コントローラ５００とを備えて構成されている。
【００３８】
尚、オゾン発生装置は、例えば生活排水や工業用排水等の改質処理、殺菌処理、浄化処理又は消臭処理を行う各種水処理プラント、排気経路に排気浄化用の酸化触媒等を備える車両、或いはその他オゾンを必要とする処理プロセスを備えた各種の処理施設等、広範な対象に設置又は搭載され得る。ここでは、オゾン発生装置の適用対象に関しては本発明との相関が低いため、その詳細を省略することとする。また、放電現象を利用したオゾン生成の化学的プロセスも公知であり、その詳細には触れないこととする。
【００３９】
ナノパルス電源１００は、本発明の「パルス電源」の一例であり、後述する放電反応器２００における第１電極２１０及び第２電極２２０間にパルス電圧Ｖｐを印加可能に構成されている。ナノパルス電源１００は、例えば家庭用１００Ｖ電源、工業用２００Ｖ電源、可搬型バッテリ或いは車載用バッテリ等に昇圧回路等の付帯回路を適宜接続してなる電源装置等に電気的に接続されている。
【００４０】
放電反応器２００は、パルス電源１００を介して印加されるパルス電圧Ｖｐにより、所定の放電空間に放電を生じるように構成されている。具体的には、放電反応器２００は、互いに離間されて配置される第１電極２１０及び第２電極２２０を有している。第１電極２１０及び第２電極２００は、例えば金属を含んでなる電極であり、放電空間を形成している。
【００４１】
放電反応器２００は、放電の作用により、放電空間内で原料ガスからオゾンを生成できるような構成となっている。例えば、放電空間を通過した原料ガスは、生成されたオゾンを含むオゾン含有ガスとして、放電反応器２００から排出される構成となっている。
【００４２】
原料ガス供給部３００は、本発明の「供給手段」の一例であり、第１電極２１０及び第２電極２２０間の放電空間に、酸素を含む原料ガスを供給する。尚、原料ガスは、空気であってもよいし、酸素ガスであってもよいし、酸素を含む他のガスであってもよい。
【００４３】
インピーダンス検出部４００は、本発明の「インピーダンス検出手段」の一例であり、放電反応器２００における第１電極２１０及び第２電極２２０間のインピーダンスを検出する。インピーダンス検出部４００は、常時インピーダンスを検出するようにしてもよいし、所定期間毎にインピーダンスを検出するようにしてもよい。或いは、インピーダンスを検出する旨を指示された場合にインピーダンスを検出するようにしてもよい。インピーダンス検出部４００は、後述するコントローラ５００に対して、検出したインピーダンスに係る情報を出力可能に構成されている。
【００４４】
コントローラ５００は、例えば演算回路やメモリ等を含んで構成された制御ユニットであり、ナノパルス電源１００によって印加されるパルス電圧Ｖｐを制御することが可能とされている。より具体的には、コントローラ５００は、インピーダンス検出部４００において検出されたインピーダンスに基づいて、パルス電圧Ｖｐを制御する。このパルス電圧Ｖｐの制御については、後に詳述する。コントローラ５００は、本発明の「第１制御手段」、「第２制御手段」及び「第３制御手段」の一例である。
【００４５】
尚、コントローラ５００は、ナノパルス電源１００以外の各部位の動作を制御する制御ユニット（即ち、装置全体の動作を制御する制御ユニット）として構成されていてもよい。
【００４６】
＜オゾン発生装置の制御方法＞
次に、本実施形態に係るオゾン発生装置の動作及び効果について、図１に加え、図２から図６を参照して説明する。ここに図２は、本実施形態に係るオゾン発生装置の動作を示すフローチャートである。また図３は、正常放電時におけるパルス電圧及びインピーダンスの波形を示すグラフであり、図４は、異常放電時におけるパルス電圧及びインピーダンスの波形を示すグラフである。尚、図３及び４では、電圧値及びインピーダンスの最大値を夫々“１”として図示してある。図５及び図６は夫々、本実施形態に係るオゾン発生装置の変形例を概略的に示す部分拡大図である。
【００４７】
図２において、本実施形態に係るオゾン発生装置の動作時には、先ずナノパルス電源１００の電源がオンとされることで、放電反応器２００における第１電極２１０及び第２電極２２０間にパルス電圧Ｖｐが印加される（ステップＳ１）。放電反応器２００における放電空間（即ち、第１電極２１０及び第２電極２２０間に形成されている空間）には、原料ガス供給部３００から原料ガスが供給されている。酸素を含む原料ガスは、放電の作用によってオゾンを含むガスとなり、放電反応器２００から排出される。
【００４８】
ここで本実施形態では特に、放電時において、放電反応器２００における第１電極２１０及び第２電極２２０間のインピーダンスの値が、インピーダンス検出部４００によって検出される（ステップＳ２）。検出されたインピーダンスに係る情報は、コントローラ５００へと出力される。
【００４９】
続いて、コントローラ５００では、検出されたインピーダンスの値が“０”より大きいか否かが判定される（ステップＳ３）。尚、ここでの“０”という値は、本発明の「所定閾値」として設定された値であり、放電反応器２００における異常放電を検出するための閾値である。
【００５０】
図３に示すように、放電反応器２００において正常放電が行われている際には、放電が開始される時刻ｔ１に電圧値が上昇し、それに伴ってインピーダンスが最大値である“１”から低下する。また、電圧値が低下するのに伴ってインピーダンスが上昇し、放電が終了される時刻ｔ２には、インピーダンスは最大値である“１”となる。尚、正常放電時には、インピーダンスの値は０とはならない。
【００５１】
図４に示すように、放電反応器２００において異常放電が行われている際には、放電が開始される時刻ｔ１に電圧値が上昇し、それに伴ってインピーダンスが最大値である“１”から低下する。また、電圧値が低下した後も、インピーダンスは上昇することなく低下を続ける。異常放電時には、インピーダンスの値は少なくとも瞬間的に“０”となる。
【００５２】
以上の結果から、インピーダンスの値が“０”より大きいか否かを判定することによって、異常放電を検出できることが分かる。尚、インピーダンスの閾値は“０”以外の値とされてもよく、閾値を適宜設定することで、より好適に異常放電を検出することが可能となる。
【００５３】
図２に戻り、コントローラ５００において、インピーダンスの値が“０”より大きいと判定された場合（ステップＳ３：ＹＥＳ）、インピーダンス検出部４００におけるインピーダンスの検出が再び行われる。即ち、現段階では異常放電が発生していないと判定し、再びインピーダンスの検出処理へと戻る。
【００５４】
一方で、インピーダンスの値が“０”以下であると判定された場合（ステップＳ３：ＮＯ）、コントローラ５００によってナノパルス電源１００が制御され、パルス電圧Ｖｐの値が小さくされる（ステップＳ４）。パルス電圧Ｖｐの値が小さくされると、例えば装置の物理的破損等に起因する異常放電以外の異常放電を回復させることができる場合がある。即ち、パルス電圧Ｖｐを制御することによって、一時的な異常放電状態から、正常放電状態へと回復させることが可能である。尚、このような回復動作は、上述したような単にパルス電圧Ｖｐの値を小さくする処理だけでなく、例えばパルス電圧の周波数の低減処理や、それらの処理の組み合わせであってもよい。
【００５５】
パルス電圧Ｖｐの制御が行われると、インピーダンス検出部４００において、再び放電反応器２００における第１電極２１０及び第２電極２２０間のインピーダンスが検出される（ステップＳ５）。
【００５６】
続いてステップＳ３と同様に、コントローラ５００では、検出されたインピーダンスの値が“０”より大きいか否かが判定される（ステップＳ５）。尚、ここでの閾値は、ステップ３と同じ“０”が用いられているが、ステップ３における閾値とは相異なる閾値（即ち、パルス電圧Ｖｐの制御後の閾値として別途設定された値）が用いられてもよい。
【００５７】
コントローラ５００において、インピーダンスの値が“０”より大きいと判定された場合（ステップＳ５：ＹＥＳ）、インピーダンス検出部４００におけるインピーダンスの検出が再び行われる。即ち、パルス電圧Ｖｐの制御によって、異常放電状態が回復されたと判定し、再びインピーダンスの検出処理へと戻る。
【００５８】
一方で、インピーダンスの値が“０”以下であると判定された場合（ステップＳ５：ＮＯ）、異常放電が、パルス電圧Ｖｐの制御によっては回復できないものと判定し、ナノパルス電源１００がオフとされる（ステップＳ６）。即ち、装置におけるオゾン発生動作が停止される。
【００５９】
以上のように、本実施形態に係るオゾン発生装置では、異常放電が発生した際には、先ずパルス電源Ｖｐを制御することによって異常放電の回復が試みられ、それでも回復しない場合に、オゾンを発生させるための動作が停止させられる。即ち、本実施形態に係るオゾン発生装置では、異常放電が回復可能なものであるか否かを判定したうえで、適切な動作を行うことができる。よって、極めて効率的にオゾンを発生させることができる。
【００６０】
図５に示すように、本実施形態に係るオゾン発生装置は、第２電極２２０上に絶縁体２３０を備えるように構成されていてもよい。この場合も、第１電極２１０及び第２電極２２０間で、パルスストリーマ放電やコロナ放電が行われることで、オゾンを発生させることができる。
【００６１】
図６に示すように、本実施形態に係るオゾン発生装置は、第２電極２２０上に設けられた絶縁体２３０に、複数の第１電極２１０が接するように配置されていてもよい。この場合には、沿面放電が行われることにより、オゾンを発生させることができる。
【００６２】
但し、パルス電圧Ｖｐを制御することで回復可能な異常放電は、図５及び図６に示すような絶縁体２３０を有する装置構成の場合に比べて、図１に示すような絶縁体２３０を有しない装置構成の場合（即ち、第１電極２１０及び第２電極２２０間に原料ガスのみが存在するような構成の場合）に発生し易い。よって、上述した本実施形態に係る効果は、図１に示すような装置構成の場合に、より顕著に発揮される。
【００６３】
尚、本実施形態に係るオゾン発生装置は、例えば車両に搭載され、排気浄化に供されるものとして利用される場合がある。この場合、原料ガス供給部３００は、車両のボディに形成された外気導入口と接続される外気導入管、この外気導入管に設置されたガスコンプレッサ等を含んで構成される。即ち、この場合の原料ガスは外気（空気）である。
【００６４】
また、本実施形態に係るオゾン発生装置は、既に述べた多様な用途に適用可能である。この際、その適用用途に応じて原料ガス供給部３００の構成は変化してよい。例えば、オゾン発生装置が、移動体でなく各種施設に設置される構成を採る場合、原料ガス供給部３００は、酸素ボンベや酸素タンク等、比較的高濃度の酸素ガスを貯留する然るべき貯留手段を含む構成、或いは当該貯留手段から放電反応器２００へ酸素ガスを供給可能な構成を有していてもよい。より具体的には、原料ガス供給部３００は、ガス配管、減圧弁、圧力調整弁、流量調整弁及び気密を保ちつつこれらを適宜に連結する各種連結部材等を備える構成を採ってもよい。
【００６５】
以上説明したように、本実施形態に係るオゾン発生装置及びその制御方法によれば、様々な用途において、好適に異常放電を検出し、安定した動作を実現可能である。
【００６６】
尚、本実施形態では、放電によって酸素からオゾンを発生させるオゾン発生装置を例にとり説明したが、何らかの原料ガスに対して放電を行うような放電装置であれば、上述した構成によって、同様の効果を得ることができる。従って、オゾン以外のガスを発生させるようなガス発生装置等にも本発明を適用することが可能である。
【００６７】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うオゾン発生装置及びその制御方法、並びに放電装置もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００６８】
１００…ナノパルス電源、２００…放電反応器、２１０…第１電極、２２０…第２電極、２３０…絶縁体、３００…原料ガス供給部、４００…インピーダンス検出部、５００…コントローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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