(57)【要約】【課題】流体の密度により設定を変更すること無く気泡混入を検出することができる。【解決手段】チューブ内を流れる流体の流量を測定するコリオリ流量計であって、チューブの第１部分の振動を検出する第１振動検出部と、チューブの第１部分と異なる第２部分の振動を検出する第２振動検出部と、第１部分の振動と第２部分の振動とを比較する比較部と、比較の結果のばらつきの大きさを算出する算出部と、ばらつきの大きさに基づいて、流体内に気泡が存在するか否かを判定する判定部と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チューブ内を流れる流体の流量を測定するコリオリ流量計であって、
前記チューブの第１部分の振動を検出する第１振動検出部と、
前記チューブの前記第１部分と異なる前記チューブの第２部分の振動を検出する第２振動検出部と、
前記第１部分の振動と前記第２部分の振動とを比較する比較部と、
前記比較の結果のばらつきの大きさを算出する算出部と、
前記ばらつきの大きさに基づいて、前記流体内に気泡が存在するか否かを判定する判定部と、
を備えるコリオリ流量計。
【請求項２】
前記比較部は、前記第１部分の振動の大きさと前記第２部分の振動の大きさとの比を算出する、
請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項３】
前記ばらつきの大きさは、前記比較の結果の所定数のサンプルの標準偏差に基づく値である、
請求項１または請求項２に記載のコリオリ流量計。
【請求項４】
前記ばらつきの大きさは、前記比較の結果の所定数のサンプルの標準偏差を、前記比較の結果の前記所定数のサンプルの平均値で除した値である、
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のコリオリ流量計。
【請求項５】
チューブ内を流れる流体の流量を測定するコリオリ流量計により、前記流体内の気泡を検出する気泡検出方法であって、
前記チューブの第１部分の振動を検出し、
前記チューブの前記第１部分と異なる前記チューブの第２部分の振動を検出し、
前記第１部分の振動と前記第２部分の振動とを比較し、
前記比較の結果のばらつきの大きさを算出し、
前記ばらつきの大きさに基づいて、前記流体内に気泡が存在するか否かを判定する、
ことを行う気泡検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体中の気泡を検出するコリオリ流量計、気泡検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的なコリオリ流量計は、チューブに設けられた振動センサの振幅が一定になるように、チューブを振動させるドライバの振幅を制御している。流体に気泡が混入していると、気泡が振動センサにおける振動のダンパとして働き、ドライバの振幅が大きくなる。このとき、ドライバの振幅と相関があるドライブ電圧に対する閾値を設定し、ドライブ電圧とその閾値の比較を行うことにより、気泡混入を検出する技術が知られる。
【０００３】
関連する技術として、気体と液体の混合物を含む２相の流れの計測を行うコリオリ流量計が知られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３５４７７０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ドライバの振幅は、流体の密度によっても異なるため、前述の気泡混入を検出する技術においては、流体の密度によってドライブ電圧の閾値を設定する必要がある。
【０００６】
本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、流体の密度に応じて設定を変更することなく気泡混入を検出する技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決するため、本発明の一態様は、チューブ内を流れる流体の流量を測定するコリオリ流量計であって、前記チューブの第１部分の振動を検出する第１振動検出部と、前記チューブの前記第１部分と異なる前記チューブの第２部分の振動を検出する第２振動検出部と、前記第１部分の振動と前記第２部分の振動とを比較する比較部と、前記比較の結果のばらつきの大きさを算出する算出部と、前記ばらつきの大きさに基づいて、前記流体内に気泡が存在するか否かを判定する判定部と、を備える。
【０００８】
また、本発明の一態様は、チューブ内を流れる流体の流量を測定するコリオリ流量計により、前記流体内の気泡を検出する気泡検出方法であって、前記チューブの第１部分の振動を検出し、前記チューブの前記第１部分と異なる前記チューブの第２部分の振動を検出し、前記第１部分の振動と前記第２部分の振動とを比較し、前記比較の結果のばらつきの大きさを算出し、前記ばらつきの大きさに基づいて、前記流体内に気泡が存在するか否かを判定する、ことを行う。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、流体の密度に応じて設定を変更することなく、気泡混入を検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】コリオリ流量計１ａの構成を示す図である。
【図２】気泡検出部２２ａの構成を示すブロック図である。
【図３】気泡検出部２２ａの動作を示すフローチャートである。
【図４】Ｓ１３ａの詳細を示すフローチャートである。
【図５】Ｓ１４の詳細を示すフローチャートである。
【図６】Ｓ１５の詳細を示すフローチャートである。
【図７】Ｓ１６の詳細を示すフローチャートである。
【図８】Ｓ１８の詳細を示すフローチャートである。
【図９】流体中に気泡がない場合の振動センサの出力波形を示す図である。
【図１０】流体中に気泡がある場合の振動センサの出力波形を示す図である。
【図１１】コリオリ流量計１ａにおける気泡量とばらつきＦの関係を示す図である。
【図１２】コリオリ流量計１ｂの構成を示す図である。
【図１３】気泡検出部２２ｂの構成を示すブロック図である。
【図１４】気泡検出部２２ｂの動作を示すフローチャートである。
【図１５】Ｓ１１の詳細を示すフローチャートである。
【図１６】コリオリ流量計１ｂにおける気泡量とばらつきＦの関係を示す図である。
【図１７】コリオリ流量計１ｃの構成を示す図である。
【図１８】気泡検出部２２ｃの構成を示すブロック図である。
【図１９】気泡検出部２２ｃの動作を示すフローチャートである。
【図２０】Ｓ１２の詳細を示すフローチャートである。
【図２１】コリオリ流量計１ｃにおける気泡量とばらつきＦの関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
【００１２】
＜実施の形態１＞
以下、本発明のコリオリ流量計の適用例であるコリオリ流量計１ａについて説明する。
【００１３】
図１は、コリオリ流量計１ａの構成を示す図である。コリオリ流量計１ａは、振動センサ１１ａ，１１ｂ、ドライバ１２、ドライバ制御部１３、信号処理部１４ａ、制御部１５、出力部１６を有する。
【００１４】
チューブ２内には流体が流れる。振動センサ１１ａは、チューブ２上に設けられる。振動センサ１１ｂは、チューブ２上で、振動センサ１１ａより下流に設けられる。ドライバ１２は、チューブ２上で、振動センサ１１ａと振動センサ１１ｂの間に設けられる。
【００１５】
振動センサ１１ａは、その設置位置（第１部分）におけるチューブ２の振動を電気信号に変換する。振動センサ１１ｂは、チューブ２上で、その設置位置（第２部分）におけるチューブ２の振動を電気信号に変換する。ドライバ１２は、ドライバ制御部１３からの信号に従って、チューブ２を振動させる。ドライバ制御部１３は、振動センサ１１ａの出力の振幅が一定になるように、ドライバ１２の振動を制御する。ドライバ制御部１３は、振動センサ１１ａ，１１ｂの少なくともいずれかの出力の振幅が一定になるように、ドライバ１２の振動を制御しても良い。
【００１６】
信号処理部１４ａは、流量算出部２１、気泡検出部２２ａ、Ａ／Ｄ（analog-to-digital）変換部２３ａ，２３ｂを有する。
【００１７】
Ａ／Ｄ変換部２３ａは、振動センサ１１ａから出力されるアナログの信号を、チューブ２の振動周期の１／２以下のサンプル時間間隔Δｔでサンプリングし、デジタルの信号Ｄａへ変換する。同様に、Ａ／Ｄ変換部２３ｂは、振動センサ１１ｂから出力されるアナログの信号を、サンプル時間間隔Δｔでサンプリングし、デジタルの信号Ｄｂへ変換する。
【００１８】
流量算出部２１は、Ａ／Ｄ変換部２３ａ，２３ｂからの信号Ｄａ，Ｄｂの位相差に基づいて、チューブ２内の流体の質量流量を算出する。
【００１９】
気泡検出部２２ａは、Ａ／Ｄ変換部２３ａ，２３ｂからの信号Ｄａ，Ｄｂに基づいて、チューブ２内の流体内の気泡を検出する。
【００２０】
制御部１５は、ドライバ制御部１３、信号処理部１４ａ、出力部１６を制御する。更に、制御部１５は、信号処理部１４ａにより算出された質量流量、気泡混入の検出結果を取得し、その質量流量および検出結果を出力部１６により出力させる。出力部１６は、その質量流量を外部機器へ出力する。外部装置は、例えば、表示装置、ネットワーク装置、コンピュータである。
【００２１】
以下、気泡検出部２２ａについて説明する。
【００２２】
図２は、気泡検出部２２ａの構成を示すブロック図である。気泡検出部２２ａは、信号選定器３３ａ、信号比演算器３４、平均値演算器３５、標準偏差演算器３６、フラッタ演算器３７、異常判定器３８を有する。
【００２３】
図３は、気泡検出部２２ａの動作を示すフローチャートである。
【００２４】
信号選定器３３ａは、信号Ｄａ，Ｄｂのサンプルのうち所定の選定条件を満たすサンプルである選定値Ｅａ，Ｅｂを選定して出力する（Ｓ１３ａ）。
【００２５】
信号比演算器３４は、選定値Ｅａ，Ｅｂを比較する。ここでの信号比演算器３４は、選定値Ｅａ，Ｅｂの二つの値のうち、小さい方の値を大きい方の値で除した値である比Ｒを算出する（Ｓ１４）。
【００２６】
平均値演算器３５は、比ＲのＮ（所定数）サンプルの平均値Ｍを算出する（Ｓ１５）。Ｎは、整数であり、例えば、チューブ２の振動周期のサンプル数より大きい。
【００２７】
標準偏差演算器３６は、比ＲのＮサンプルの標準偏差ＳＤを算出する（Ｓ１６）。
【００２８】
フラッタ演算器３７は、ばらつきの大きさを算出する。ここでのフラッタ演算器３７は、標準偏差ＳＤを平均値Ｍで除した値であるばらつきＦを算出する（Ｓ１７）。ばらつきＦは、比Ｒのばらつき（ゆらぎ）の大きさを示す。
【００２９】
異常判定器３８は、ばらつきＦに基づいて、流体中に気泡が存在することを異常として判定する（Ｓ１８）。
【００３０】
以上で、このフローは終了する。
【００３１】
図４は、Ｓ１３ａの詳細を示すフローチャートである。信号選定器３３ａは、信号Ｄａ，Ｄｂのサンプルが入力される度に、信号Ｄａ，Ｄｂが選定条件を満たすか否かを判定する（Ｓ２１）。ここでの選定条件は、信号Ｄａが所定のレベル閾値より大きく、且つ信号Ｄｂがそのレベル閾値より大きいという条件である。そのレベル閾値は、正の値である。信号Ｄａ，Ｄｂが選定条件を満たす場合（Ｓ２１，Ｙ）、信号選定器３３ａは、信号Ｄａを選定値Ｅａとして出力し、信号Ｄｂを選定値Ｅｂとして出力する（Ｓ２２）。信号Ｄａ，Ｄｂが選定条件を満たさない場合（Ｓ２１，Ｎ）、このフローは、終了する。このフローにより、信号比演算器３４の除算において、除数が０となることを防ぐことができる。
【００３２】
図５は、Ｓ１４の詳細を示すフローチャートである。信号比演算器３４は、選定値Ｅａ，Ｅｂが入力される度に、選定値Ｅａが選定値Ｅｂより大きいか否かを判定する（Ｓ３１）。選定値Ｅａが選定値Ｅｂより大きい場合（Ｓ３１，Ｙ）、信号比演算器３４は、Ｅｂ／Ｅａである比Ｒを算出する（Ｓ３２）。選定値Ｅａが選定値Ｅｂより大きくない場合（Ｓ３１，Ｎ）、信号比演算器３４は、Ｅａ／Ｅｂである比Ｒを算出する（Ｓ３３）。以上で、このフローは、終了する。
【００３３】
図６は、Ｓ１５の詳細を示すフローチャートである。平均値演算器３５は、サンプル数Ｃを１だけ増加させる（Ｓ４１）。平均値演算器３５は、累計ＳＡに比Ｒを加算する（Ｓ４２）。平均値演算器３５は、サンプル数ＣがＮに等しいか否かを判定する（Ｓ４３）。サンプル数ＣがＮに等しくない場合（Ｓ４３，Ｎ）、このフローは終了する。サンプル数ＣがＮに等しい場合（Ｓ４３，Ｙ）、平均値演算器３５は、ＳＡ／Ｃである平均値Ｍを算出する（Ｓ４４）。平均値演算器３５は、累計ＳＡを０に初期化し、サンプル数Ｃを０に初期化する（Ｓ４５）。以上で、このフローは、終了する。
【００３４】
図７は、Ｓ１６の詳細を示すフローチャートである。標準偏差演算器３６は、サンプル数Ｃを１だけ増加させる（Ｓ５１）。標準偏差演算器３６は、累計ＳＢに（Ｒ−Ｍ）を加算する（Ｓ５２）。ここで、累計ＳＢは、比Ｒと平均値Ｍの差の累計を示す。標準偏差演算器３６は、サンプル数ＣがＮに等しいか否かを判定する（Ｓ５３）。サンプル数ＣがＮに等しくない場合（Ｓ５３，Ｎ）、このフローは終了する。サンプル数ＣがＮに等しい場合（Ｓ５３，Ｙ）、標準偏差演算器３６は、次式を用いて、累計ＳＢおよびサンプル数Ｃから標準偏差ＳＤを算出する（Ｓ５４）。
【００３５】
【数１】
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【００３６】
標準偏差演算器３６は、累計ＳＢを０に初期化し、サンプル数Ｃを０に初期化する（Ｓ５５）。以上で、このフローは、終了する。
【００３７】
図８は、Ｓ１８の詳細を示すフローチャートである。異常判定器３８は、ばらつきＦが所定のばらつき閾値より大きいか否かを判定する（Ｓ７１）。ばらつきＦがばらつき閾値より大きくない場合（Ｓ７１，Ｎ）、このフローは終了する。ばらつきＦがばらつき閾値より大きい場合（Ｓ７１，Ｙ）、異常判定器３８は、制御部１５へ流体中に気泡が存在することを異常として通知する（Ｓ７２）。以上で、このフローは、終了する。異常判定器３８から異常を通知された制御部１５は、出力部１６を介して異常を外部機器へ出力する。
【００３８】
図９は、流体中に気泡がない場合の振動センサの出力波形を示す図である。この図中の上段の波形において、横軸は時間を示し、縦軸は振動センサ１１ａ出力を示す。同様に、この図中の下段の波形において、横軸は時間を示し、縦軸は振動センサ１１ｂ出力を示す。流体中に気泡がない場合、振動センサ１１ａ，１１ｂの出力波形は、正弦波状となる。チューブ２上の振動センサ１１ａ，１１ｂの位置が異なるため、振動センサ１１ａ出力と振動センサ１１ｂ出力には、位相差がある。
【００３９】
図１０は、流体中に気泡がある場合の振動センサの出力波形を示す図である。この図中の上段の波形において、横軸は時間を示し、縦軸は振動センサ１１ａ出力を示す。同様に
、この図中の下段の波形において、横軸は時間を示し、縦軸は振動センサ１１ｂ出力を示す。流体中に気泡がある場合、チューブ２上の振動センサ１１ａ，１１ｂの位置が異なるため、振動センサ１１ａ付近の気泡の分布と、振動センサ１１ｂ付近の気泡の分布とは、異なる。従って、振動センサ１１ａ出力における気泡によるノイズ成分と、振動センサ１１ｂ出力における気泡によるノイズ成分とは、異なる。この性質により、流体内の気泡が多いほど、比Ｒ、標準偏差ＳＤ、ばらつきＦは、大きくなる。
【００４０】
一方、振動センサ１１ａ出力に加わる電気的ノイズと振動センサ１１ｂ出力に加わる電気的ノイズとは、ほぼ等しい。従って、比Ｒを算出することにより、電気的ノイズを低減することができる。
【００４１】
図１１は、コリオリ流量計１ａにおける気泡量とばらつきＦの関係を示す図である。この図において、横軸は、測定された流体中の気泡量を示し、縦軸は、そのときに気泡検出部２２ａにより算出されたばらつきＦを示す。気泡量が少ない場合、気泡量に対するばらつきＦは、単調増加でない。しかし、ばらつき閾値以上の領域においては、気泡量が多いほど、ばらつきＦが大きくなる。前述のばらつき閾値は、この気泡量とばらつきＦの関係に基づいて、測定前に設定される。気泡量が０の場合のばらつきＦの値をＦ０とするとき、ばらつき閾値は３Ｆ０程度（２Ｆ０〜４Ｆ０）であることが好ましい。
【００４２】
コリオリ流量計１ａによれば、振動センサ１１ａ，１１ｂから得られる信号のレベルの比ＲのばらつきＦを用いて気泡を検出することにより、流体の密度に応じた設定を行うことなく、気泡を検出することができる。
【００４３】
＜実施の形態２＞
以下、本発明のコリオリ流量計の適用例であるコリオリ流量計１ｂについて説明する。
【００４４】
図１２は、コリオリ流量計１ｂの構成を示す図である。コリオリ流量計１ａと比較すると、コリオリ流量計１ｂは、信号処理部１４ａの代わりに信号処理部１４ｂを有し、コリオリ流量計１ａにおけるその他の構成を有する。信号処理部１４ａと比較すると、信号処理部１４ｂは、気泡検出部２２ａの代わりに気泡検出部２２ｂを有し、他に信号処理部１４ａ内の同一符号で示された構成を有する。
【００４５】
以下、気泡検出部２２ｂについて説明する。
【００４６】
図１３は、気泡検出部２２ｂの構成を示すブロック図である。気泡検出部２２ａと比較すると、気泡検出部２２ｂは、新たに振幅演算器３１を有し、信号選定器３３ａの代わりに信号選定器３３ｂを有し、他に気泡検出部２２ａ内の同一符号で示された構成を有する。
【００４７】
図１４は、気泡検出部２２ｂの動作を示すフローチャートである。
【００４８】
振幅演算器３１は、Ａ／Ｄ変換部２３ａからの信号Ｄａの各サンプルの振幅Ａａと、Ａ／Ｄ変換部２３ｂからの信号Ｄｂの各サンプルの振幅Ａｂと、を算出する（Ｓ１１）。
【００４９】
信号選定器３３ｂは、振幅Ａａ，Ｂａのサンプルのうち所定の選定条件を満たすサンプルである選定値Ｅａ，Ｅｂを選定して出力する（Ｓ１３ｂ）。ここでの選定条件は、振幅Ａａが所定の振幅閾値より大きく、且つ振幅Ａｂがその振幅閾値より大きいという条件である。
【００５０】
その後、気泡検出部２２ｂは、気泡検出部２２ａと同様のＳ１４〜Ｓ１８を行う。
【００５１】
以上で、このフローは終了する。
【００５２】
図１５は、Ｓ１１の詳細を示すフローチャートである。振幅演算器３１は、信号Ｄａのうち連続するＭ個のサンプルである信号Ｘａを取得し、信号Ｄｂのうち連続するＭ個のサンプルである信号Ｘｂを取得する（Ｓ８１）。振幅演算器３１は、信号Ｘａから振幅Ａａを算出し、信号Ｘｂから振幅Ａｂを算出する（Ｓ８２）。信号Ｘから振幅Ａを算出する式は、次式で表される。
【００５３】
【数２】
2011089774.tif 000004
【００５４】
ここで、時間Ｔは、（サンプル数Ｍ×サンプル時間間隔Δｔ）である。この式を用いて、Ｘの値を信号Ｘａとするときに得られるＡの値が、振幅Ａａである。同様に、この式を用いて、Ｘの値を信号Ｘｂとするときに得られるＡの値が、振幅Ａｂである。以上で、このフローは終了する。ここで、Ｍは、例えば、チューブ２の振動周期の２倍程度（１〜３倍）のサンプル数であることが好ましい。
【００５５】
図１６は、実施の形態２における気泡量とばらつきＦの関係を示す図である。この図において、横軸は、測定された流体中の気泡量を示し、縦軸は、そのときに気泡検出部２２ｂにより算出されたばらつきＦを示す。気泡量が少ない場合、気泡量に対するばらつきＦは、単調増加でない。しかし、ばらつき閾値以上の領域においては、コリオリ流量計１ａと同様、気泡量が多いほど、ばらつきＦが大きくなる。
【００５６】
コリオリ流量計１ｂによれば、振動センサ１１ａ，１１ｂから得られる信号の振幅の比ＲのばらつきＦを用いて気泡を検出することにより、流体の密度に応じた設定を行うことなく、気泡を検出することができる。
【００５７】
＜実施の形態３＞
以下、本発明のコリオリ流量計の適用例であるコリオリ流量計１ｃについて説明する。
【００５８】
図１７は、コリオリ流量計１ｃの構成を示す図である。コリオリ流量計１ａと比較すると、コリオリ流量計１ｃは、信号処理部１４ａの代わりに信号処理部１４ｃを有し、コリオリ流量計１ａにおけるその他の構成を有する。信号処理部１４ａと比較すると、信号処理部１４ｃは、気泡検出部２２ａの代わりに気泡検出部２２ｃを有し、他に信号処理部１４ａ内の同一符号で示された構成を有する。
【００５９】
以下、気泡検出部２２ｃについて説明する。
【００６０】
図１８は、気泡検出部２２ｃの構成を示すブロック図である。気泡検出部２２ａと比較すると、気泡検出部２２ｃは、新たに傾き演算器３２を有し、信号選定器３３ａの代わりに信号選定器３３ｃを有し、他に気泡検出部２２ａ内の同一符号で示された構成を有する。
【００６１】
図１９は、気泡検出部２２ｃの動作を示すフローチャートである。
【００６２】
傾き演算器３２は、Ａ／Ｄ変換部２３ａからの信号Ｄａのゼロクロス点を検出し、そのゼロクロス点における信号Ｄａの傾きＬａを算出する。同様に、傾き演算器３２は、Ａ／Ｄ変換部２３ｂからの信号Ｄｂのゼロクロス点を検出し、そのゼロクロス点における信号Ｄａの傾きＬｂを算出する（Ｓ１２）。
【００６３】
信号選定器３３ｃは、傾きＬａ，Ｌｂのサンプルのうち所定の選定条件を満たすサンプルである選定値Ｅａ，Ｅｂを選定して出力する（Ｓ１３ｃ）。選定条件は、傾きＬａが所定の傾き閾値より大きく、且つ傾きＬｂがその傾き閾値より大きいという条件である。その傾き閾値は、正の値である。
【００６４】
その後、気泡検出部２２ｃは、気泡検出部２２ａと同様のＳ１４〜Ｓ１８を行う。
【００６５】
以上で、このフローは終了する。
【００６６】
図２０は、Ｓ１２の詳細を示すフローチャートである。まず、信号Ｄの値を信号Ｄａとして次のＳ９１〜Ｓ９４を行う。傾き演算器３２は、信号Ｄのうち連続する３個のサンプルである信号Ｐｉ（ｉ＝０，１，２）を取得する（Ｓ９１）。傾き演算器３２は、（Ｐ１×Ｐ２）である乗算値Ｑを算出する（Ｓ９２）。傾き演算器３２は、乗算値Ｑが０より小さいか否かを判定する（Ｓ９３）。乗算値Ｑが０より小さくない場合（Ｓ９３，Ｎ）、このフローは終了する。乗算値Ｑが０より小さい場合（Ｓ９３，Ｙ）、傾き演算器３２は、（Ｐ２−Ｐ０）である傾きＬを算出する（Ｓ９４）。以上で、このフローは終了する。このとき、傾き演算器３２は、算出された傾きＬの値を傾きＬａとして出力する。
【００６７】
同様に、信号Ｄの値を信号Ｄｂとして前述のＳ９１〜Ｓ９４を行う。このとき、傾き演算器３２は、算出された傾きＬの値を傾きＬｂとして出力する。
【００６８】
このフローによれば、信号Ｄａ，Ｄｂのそれぞれについて、負のＰ１から正のＰ２へ立ち上がるゼロクロス点の傾きＬａ，Ｌｂを算出することができる。
【００６９】
図２１は、コリオリ流量計１ｃにおける気泡量とばらつきＦの関係を示す図である。この図において、横軸は、測定された流体中の気泡量を示し、縦軸は、そのときに気泡検出部２２ｃにより算出されたばらつきＦを示す。気泡量が少ない場合、気泡量に対するばらつきＦは、単調増加でない。しかし、ばらつき閾値以上の領域においては、コリオリ流量計１ａと同様、気泡量が多いほど、ばらつきＦが大きくなる。
【００７０】
コリオリ流量計１ｃによれば、振動センサ１１ａ，１１ｂから得られる信号の傾きの比ＲのばらつきＦを用いて気泡を検出することにより、流体の密度に応じた設定を行うことなく、気泡を検出することができる。
【００７１】
以下、本発明のコリオリ流量計の他の形態について説明する。
【００７２】
信号選定器３３ａ，３３ｂ，３３ｃは、選定条件を満たすサンプルを選定する代わりに、サンプルに所定のオフセット値を加算しても良い。
【００７３】
信号比演算器３４は、比Ｒの代わりに、選定値Ｅａ，Ｅｂの差を算出しても良い。
【００７４】
異常判定器３８は、ばらつきＦの代わりに、比Ｒの標準偏差ＳＤ、比Ｒの分散等、他のばらつきを示す値に基づいて、異常を判定しても良い。
【００７５】
第１振動検出部は、例えば、振動センサ１１ａである。第２振動検出部は、例えば、振
動センサ１１ｂである。比較部は、例えば、信号比演算器３４である。算出部は、例えば、平均値演算器３５、標準偏差演算器３６、フラッタ演算器３７である。判定部は、例えば、異常判定器３８である。
【符号の説明】
【００７６】
１ａ，１ｂ，１ｃ  コリオリ流量計
２  チューブ
１１ａ，１１ｂ  振動センサ
１２  ドライバ
１３  ドライバ制御部
１４ａ，１４ｂ，１４ｃ  信号処理部
１５  制御部
１６  出力部
２１  流量算出部
２２ａ，２２ｂ，２２ｃ  気泡検出部
２３ａ，２３ｂ  Ａ／Ｄ変換部
３３ａ，３３ｂ，３３ｃ  信号選定器
３１  振幅演算器
３２  傾き演算器
３４  信号比演算器
３５  平均値演算器
３６  標準偏差演算器
３７  フラッタ演算器
３８  異常判定器
【図１】
2011089774.tif 000005
【図２】
2011089774.tif 000006
【図３】
2011089774.tif 000007
【図４】
2011089774.tif 000008
【図５】
2011089774.tif 000009
【図６】
2011089774.tif 000010
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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