(57)【要約】【課題】主軸受が高速で移動し且つ急激に加速又は減速される場合でも、主軸受に搭載された搭載物に微振動が伝達しにくいアクチュエータを提供する。【解決手段】アクチュエータは、駆動プーリ１と、従動プーリ２と、両プーリ１，２の間に掛け渡された無端ベルト３と、ガイドレール４と、無端ベルト３に接続されガイドレール４に沿って直線移動する主軸受５と、カウンタガイドレール６と、無端ベルト３に接続されカウンタガイドレールに沿って直線移動するカウンタ軸受７と、を備える。主軸受５は、軸方向に並んだ３個の軸受部材５Ａ，５Ｂ，５Ｃが連結部材８により連結されてなる。これら軸受部材５Ａ，５Ｂ，５Ｃのうち軸受部材５Ｂは、無端ベルト３に接続されるベルト接続用軸受部材であり、軸受部材５Ａ，５Ｃは、搭載物を搭載する搭載物用軸受部材である。連結部材８は、軸方向には変形せず軸方向以外の方向には変形可能である。【選択図】図１
2011144895.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動装置により回転駆動される駆動プーリと、回転自在に支持された従動プーリと、前記駆動プーリと前記従動プーリとの間に掛け渡され前記駆動プーリの回転に伴って回転する無端ベルトと、軸方向に延びるガイドレールと、前記無端ベルトに接続され且つ前記無端ベルトの回転に伴って前記ガイドレールに沿って軸方向に直線移動する主軸受と、を備え、前記主軸受に搭載物を搭載して直線移動させるアクチュエータにおいて、
前記主軸受は、軸方向に並んだ３個以上の軸受部材が連結部材により連結されてなり、これら軸受部材のうち一部は前記無端ベルトに接続されるベルト接続用軸受部材であり、他部は前記搭載物を搭載する搭載物用軸受部材であるとともに、前記連結部材は軸方向には変形せず軸方向以外の方向には変形可能であることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
軸方向に延びるカウンタガイドレールと、前記主軸受が接続された側とは前記両プーリを挟んで反対側において前記無端ベルトに接続され且つ前記無端ベルトの回転に伴って前記カウンタガイドレールに沿って軸方向に直線移動するカウンタ軸受と、をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記無端ベルトと前記主軸受は、前記主軸受の重心位置において接続されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のアクチュエータ。
【請求項４】
前記ガイドレールの形状は断面略コ字状であり、前記ガイドレールの凹部内に前記無端ベルトの少なくとも一部が配されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項５】
前記連結部材が丸軸状の部材であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【請求項６】
前記連結部材が平板状の部材であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば製造装置には、ワークを移動させるために直線案内軸受装置が備えられており、このような直線案内軸受装置に好適に用いられるアクチュエータが、特許文献１，２に開示されている。
特許文献１，２に開示のアクチュエータは、駆動装置により回転駆動される駆動プーリと、回転自在に支持された従動プーリと、駆動プーリと従動プーリとの間に掛け渡された無端ベルトと、ワーク等の搭載物を搭載して直線移動する主軸受と、主軸受の直線移動を案内するガイドレールと、主軸受のカウンタウェイトとして機能するカウンタ軸受と、カウンタ軸受の直線移動を案内するカウンタガイドレールと、を備えている。主軸受及びカウンタ軸受は無端ベルトに接続されているが、カウンタ軸受は、主軸受が取り付けられた側とは前記両プーリを挟んで反対側に接続されている。
このようなアクチュエータにおいては、主軸受とカウンタ軸受とを逆方向に移動させることにより、加速時，減速時などに生じる主軸受の反力が抑制されるので、それにより振動の抑制が図られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−１０１６４２号公報
【特許文献２】特開２００１−２４８７０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のような従来のアクチュエータは、前記のような振動抑制が図られていても、主軸受が高速で移動し且つ急激に加速又は減速される場合には、微振動が発生するおそれがあった。そのため、直線移動する主軸受の運動精度が若干低下する場合があった。
通常の用途であれば、運動精度が若干低下しても大きな悪影響が生じない場合が多いが、高精度用途のアクチュエータの場合は、無端ベルトを介して主軸受に伝わる微振動が搭載物に悪影響を及ぼすおそれがあった。そのため、振動抑制のさらなる向上が求められていた。
そこで、本発明は上記のような従来技術が有する問題点を解決し、主軸受が高速で移動し且つ急激に加速又は減速される場合でも、主軸受に搭載された搭載物に微振動が伝達しにくいアクチュエータを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記課題を解決するため、本発明は次のような構成からなる。すなわち、本発明のアクチュエータは、駆動装置により回転駆動される駆動プーリと、回転自在に支持された従動プーリと、前記駆動プーリと前記従動プーリとの間に掛け渡され前記駆動プーリの回転に伴って回転する無端ベルトと、軸方向に延びるガイドレールと、前記無端ベルトに接続され且つ前記無端ベルトの回転に伴って前記ガイドレールに沿って軸方向に直線移動する主軸受と、を備え、前記主軸受に搭載物を搭載して直線移動させるアクチュエータにおいて、前記主軸受は、軸方向に並んだ３個以上の軸受部材が連結部材により連結されてなり、これら軸受部材のうち一部は前記無端ベルトに接続されるベルト接続用軸受部材であり、他部は前記搭載物を搭載する搭載物用軸受部材であるとともに、前記連結部材は軸方向には変形せず軸方向以外の方向には変形可能であることを特徴とする。
【０００６】
このような構成であれば、無端ベルトからの微振動は、ベルト接続用軸受部材には伝わるが、搭載物用軸受部材に直接伝わることはない。ベルト接続用軸受部材に伝わった微振動は、連結部材を介して搭載物用軸受部材に伝わるが、前記のように変形可能な連結部材の変形によって微振動が緩衝されるので、搭載物用軸受部材に伝わる微振動は大幅に抑制される。よって、主軸受が高速で移動し且つ急激に加速又は減速される場合でも、無端ベルトから搭載物に伝わる微振動は僅かであり、したがって主軸受に搭載された搭載物に微振動が悪影響を及ぼすおそれはほとんどない。
【０００７】
上記のような本発明のアクチュエータにおいては、軸方向に延びるカウンタガイドレールと、前記主軸受が接続された側とは前記両プーリを挟んで反対側において前記無端ベルトに接続され且つ前記無端ベルトの回転に伴って前記カウンタガイドレールに沿って軸方向に直線移動するカウンタ軸受と、をさらに備えることが好ましい。
また、上記のような本発明のアクチュエータにおいては、前記無端ベルトと前記主軸受は、前記主軸受の重心位置において接続されていることが好ましい。
【０００８】
このような構成であれば、加減速時に無端ベルトの駆動力により主軸受に無用なモーメントが発生することが抑制されるので、主軸受の振動がより一層抑制される。なお、主軸受に搭載物が搭載されている場合は、搭載物が搭載された主軸受の重心位置（すなわち、主軸受と搭載物とを組み合わせたものの重心位置）を、「主軸受の重心位置」というものとする。
【０００９】
さらに、上記のような本発明のアクチュエータにおいては、前記ガイドレールの形状は断面略コ字状であり、前記ガイドレールの凹部内に前記無端ベルトの少なくとも一部が配されていることが好ましい。
このような構成であれば、ガイドレールの凹部と搭載物とが対向しないようにして、無端ベルトから発生する塵埃が搭載物に付着することを抑制することができる。
【００１０】
さらに、前記連結部材は、丸軸状又は平板状の部材であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のアクチュエータは、主軸受が高速で移動し且つ急激に加速又は減速される場合でも、主軸受に搭載された搭載物に微振動が伝達しにくい。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施形態に係るアクチュエータを備える直線案内軸受装置の構造を示す断面図である。
【図２】図１の直線案内軸受装置の上面図である。
【図３】図１の直線案内軸受装置の側面図である。
【図４】図３の直線案内軸受装置のＡ−Ａ断面図である。
【図５】図４の直線案内軸受装置のＢ−Ｂ断面図である。
【図６】変形例のアクチュエータを備える直線案内軸受装置の構造を示す断面図である。
【図７】図６の直線案内軸受装置の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
本発明に係るアクチュエータの実施の形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、本実施形態に係るアクチュエータを備える直線案内軸受装置の構造を示す断面図（軸方向に直交する面で切断した断面の図）であり、図２は、図１の直線案内軸受装置の上面図である。また、図３は、図１の直線案内軸受装置の側面図、図４は、図３の直線案内軸受装置のＡ−Ａ断面図、図５は、図４の直線案内軸受装置のＢ−Ｂ断面図である。
【００１４】
本実施形態に係るアクチュエータは、モータ１０により回転駆動される駆動プーリ１と、回転自在に支持された従動プーリ２と、駆動プーリ１と従動プーリ２との間に掛け渡された環状の無端ベルト３と、軸方向に延びるガイドレール４と、無端ベルト３の回転に伴ってガイドレール４に沿って軸方向に直線移動する主軸受５と、軸方向に延びるカウンタガイドレール６と、無端ベルト３の回転に伴ってカウンタガイドレール６に沿って軸方向に直線移動するカウンタ軸受７と、を備えている。
【００１５】
以下に、本実施形態に係るアクチュエータを備える直線案内軸受装置の構造を、さらに詳細に説明する。フレームの機能を兼ねるガイドレール４の両端には、図２〜４に示すようにレール支持板１２，１３が固定されている。そして、これらレール支持板１２，１３の間に掛け渡されるように、丸軸状のカウンタガイドレール６，６が、ガイドレール４と平行に取り付けられている。
【００１６】
図２〜４において右側のレール支持板１３には、モータ１０が取り付けられている。このモータ１０の回転軸１０ａは、水平且つガイドレール４の軸線（軸方向）に直交する方向に延びており、その先端には駆動プーリ１が取り付けられている。一方、図２〜４において左側のレール支持板１２には、従動プーリ２を回転自在に支持するプーリハウジング１４が取り付けられている。
【００１７】
そして、駆動プーリ１と従動プーリ２との間には、ガイドレール４に沿う方向（軸方向）に無端ベルト３が掛け渡されている。そのため、レール支持板１２，１３は、無端ベルト３を挿通する貫通孔（図示せず）を有する。無端ベルト３の表面（内側面）には、周方向に沿って並ぶ複数の歯（図示せず）が形成されており、駆動プーリ１及び従動プーリ２の外周面に形成された歯（図示せず）と噛み合わされている。そのため、無端ベルト３は、駆動プーリ１の回転により回転駆動されるようになっている。
【００１８】
また、主軸受５は無端ベルト３に接続されているとともに、ガイドレール４に係合されているので、無端ベルト３の回転に伴って主軸受５はガイドレール４に案内されて軸方向に直線移動可能となっている。一方、カウンタ軸受７は無端ベルト３に接続されているとともに、カウンタガイドレール６に係合されているので、無端ベルト３の回転に伴ってカウンタ軸受７はカウンタガイドレール６に案内されて軸方向（主軸受５とは逆方向）に直線移動可能となっている。なお、カウンタ軸受７は、主軸受５が接続された側とは両プーリ１，２を挟んで反対側において、無端ベルト３に接続されている。
【００１９】
ここで、主軸受５及びガイドレール４について、さらに詳細に説明する。ガイドレール４の形状は特に限定されるものではないが、図１に示すように、略コ字状であることが好ましい。すなわち、ガイドレール４は、帯状の底壁２１と該底壁２１の両側部から垂直に立設された一対の側壁２２，２２とからなり、軸方向に直交する面で切断した断面は略コ字状をなしている。
【００２０】
一方、主軸受５は、軸方向に並んだ３個以上（本実施形態においては３個）の軸受部材５Ａ，５Ｂ，５Ｃが連結部材８により連結されてなる。そして、各軸受部材５Ａ，５Ｂ，５Ｃはほぼ同形状である。軸受部材５Ａ，５Ｂ，５Ｃの形状は、ガイドレール４に係合する形状であれば特に限定されるものではないが、ガイドレール４が上記のような断面略コ字状である場合は、ガイドレール４を内包できるような四角筒状の部材である。
【００２１】
すなわち、各軸受部材５Ａ，５Ｂ，５Ｃは、ガイドレール４の底壁２１に対向する底板３１と、ガイドレール４の側壁２２，２２の側面にそれぞれ対向する側板３２，３２と、ガイドレール４の側壁２２，２２の上面にそれぞれ対向する頂板３３と、が連結してなる四角筒状の部材である。このように、主軸受５は、ガイドレール４を内包するようにして、ガイドレール４に係合されている。
【００２２】
３個の軸受部材５Ａ，５Ｂ，５Ｃのうち軸方向中央の軸受部材５Ｂは、無端ベルト３を接続するためのベルト接続用軸受部材であり（搭載物は搭載されない）、軸方向両端の軸受部材５Ａ，５Ｃは、搭載物を搭載するための搭載物用軸受部材である（無端ベルト３とは直接的には接続されていない）。搭載物は、軸受部材５Ａ，５Ｃのどこに搭載してもよいが、搭載物の搭載により主軸受５の質量バランスが崩れる場合には、搭載物のモーメントを相殺するバランスウエイトを搭載するとよい。図１の例では、主軸受５の左側面に搭載物を搭載したので、右側面にバランスウエイトを搭載している。
【００２３】
また、軸受部材５Ａ，５Ｂ，５Ｃを連結する連結部材８は、丸軸状の部材である。この連結部材８は、例えば金属製の部材であり、軸方向には変形せず、軸方向以外の方向には変形可能とされている。円形状の穴が形成された取付部１５が各軸受部材５Ａ，５Ｂ，５Ｃにボルト等により取り付けられているので、該取付部１５の穴に連結部材８を挿通することにより、軸受部材５Ａ，５Ｂ，５Ｃが連結される。なお、図１のように取付部１５にすり割を設ければ、ボルトを締めることにより連結部材８を共締めすることができる。
【００２４】
無端ベルト３と主軸受５（ベルト接続用軸受部材）との接続は、固定具１６により行われている。すなわち、固定具１６を介して、無端ベルト３の一部分が軸受部材５Ｂに固定されている。より詳細に説明すると、軸受部材５Ｂの頂板３３の内面に、四角筒状の固定具１６がボルト（図示せず）等の慣用の固着手段により取り付けられていて、固定具１６の内側面に無端ベルト３がボルト，接着等の慣用の固着手段により固定されている。
【００２５】
無端ベルト３と固定具１６の連結位置は、ガイドレール４の側壁２２，２２の上端よりも低い位置に、すなわちガイドレール４の凹部内に配されている。このように、無端ベルト３と固定具１６の連結位置を、主軸受５の重心位置と一致させることにより、無端ベルト３により主軸受５が駆動されるときに、主軸受５に無用なモーメントが発生することが抑制される。
【００２６】
また、各軸受部材５Ａ，５Ｂ，５Ｃの底板３１と、側板３２，３２と、頂板３３のガイドレール４に対向する各内面には、気体を噴出する噴出口が設置されている。すなわち、主軸受５とガイドレール４との間に気体軸受が形成されている。気体の種類は特に限定されるものではないが、空気が好ましい。また、本実施形態とは逆に、ガイドレール４の外面に気体を噴出する噴出口を設置してもよい。本実施形態においては、図１に示すように、グラファイト多孔質で形成された板状の静圧パッドＳＰが、噴出口として配置されている。
【００２７】
静圧パッドＳＰには、図示しない空気源から圧縮空気が供給されるため、静圧パッドＳＰからガイドレール４の外面に向かって噴出された空気の圧力によって、ガイドレール４に対し主軸受５がわずかに離隔するようになる。そのため、主軸受５は殆ど摩擦なく移動できるようになっている。なお、気体軸受を設ける代わりに、主軸受５とガイドレール４との間にすべり軸受や転がり軸受を設けてもよい。
【００２８】
次に、カウンタ軸受７及びカウンタガイドレール６について詳細に説明する。カウンタガイドレール６，６は、主軸受５に対して質量バランスをとるためのカウンタ軸受７，７を案内することを目的とするものであるため、さほど精度は要求されない。よって、比較的安価に製造できる丸軸としている。そして、カウンタ軸受７，７は、カウンタガイドレール６，６を挿通する円筒孔を有している。
【００２９】
ただし、カウンタガイドレール６が１本であると、カウンタ軸受７がカウンタガイドレール６を中心にして回転してしまうおそれがある。そこで、カウンタガイドレール６を複数（本実施形態においては２本）平行に配置し、それぞれに係合するカウンタ軸受７，７を略板状の固定具１７で連結することにより、カウンタ軸受７，７の動きを軸方向の移動のみに制限することが好ましい。
【００３０】
主軸受５との質量のバランスをとる手段としては、カウンタ軸受７，７に別のバランスウェイトを搭載する手段があるが、例えば主軸受５を比重の小さいアルミ合金で作製し、カウンタ軸受７，７は反対に比重の大きな鉄系材料で製作するなどして、質量のバランスを設計する手段も好ましい。そうすれば、あえてバランスウェイトを付加しなくても、主軸受５との質量のバランスをとることができる。質量のバランスがとれれば、カウンタ軸受７，７に対して加速時の反力がモーメント負荷として発生しなくなるため、カウンタ軸受７，７も小形の物でよい。
【００３１】
無端ベルト３とカウンタ軸受７，７との接続は、固定具１７により行われている。すなわち、固定具１７を介して、無端ベルト３の一部分がカウンタ軸受７，７に固定されている。より詳細に説明すると、図１のように折れ曲がった板状の固定具１７の両端部が、ボルト等の慣用の固着手段によりカウンタ軸受７，７に取り付けられていて、固定具１７の中央部に無端ベルト３がボルト，接着等の慣用の固着手段により固定されている。
【００３２】
固定具１７は、中央部が一段低くなるように折り曲げられており、低くなった中央部に無端ベルト３が固定されている。このように、無端ベルト３と固定具１７の連結位置を、カウンタ軸受７，７の重心位置と一致させることにより、無端ベルト３によりカウンタ軸受７，７が駆動されるときに、カウンタ軸受７，７に無用なモーメントが発生することが抑制される。
【００３３】
また、カウンタ軸受７，７の円筒孔の内面には、気体を噴出する噴出口が設置されている。すなわち、カウンタ軸受７，７とカウンタガイドレール６，６との間に気体軸受が形成されている。気体の種類は特に限定されるものではないが、空気が好ましい。また、本実施形態とは逆に、カウンタガイドレール６，６の外面に、気体を噴出する噴出口を設置してもよい。本実施形態においては、カウンタ軸受７，７の円筒孔の内面に、噴出口として、グラファイト多孔質で形成された円管状の静圧パッドＳＰ，ＳＰを配置した。
【００３４】
静圧パッドＳＰ，ＳＰには、図示しない空気源から圧縮空気が供給されるため、静圧パッドＳＰ，ＳＰからカウンタガイドレール６，６の外面に向かって噴出された空気の圧力によって、カウンタガイドレール６，６に対しカウンタ軸受７，７がわずかに離隔するようになる。そのため、カウンタ軸受７，７は殆ど摩擦なく移動できるようになっている。なお、気体軸受を設ける代わりに、カウンタ軸受７，７とカウンタガイドレール６，６との間にすべり軸受や転がり軸受を設けてもよい。
【００３５】
次に、本実施形態に係るアクチュエータを備える直線案内軸受装置の動作について説明する。主軸受５（軸受部材５Ａ又は５Ｃ）の下面には、検査用のカメラ（図示せず）が搭載されている。主軸受５はガイドレール４に沿って直線移動可能であるので、主軸受５の下方に配置されているワークＷ（図３を参照）の上面を、該カメラにより走査可能となっている。
【００３６】
まず、図示しない空気源から各静圧パッドＳＰに供給された圧縮空気によって、ガイドレール４に対し主軸受５がわずかに離隔した状態に維持されるとともに、カウンタガイドレール６，６に対しカウンタ軸受７，７がわずかに離隔した状態に維持される。ここで、モータ１０が駆動プーリ１を駆動すると、無端ベルト３を介して、ガイドレール４に沿って主軸受５が殆ど摩擦なく移動されるとともに、カウンタガイドレール６，６に沿ってカウンタ軸受７，７が殆ど摩擦なく移動される。そして、駆動プーリ１の駆動を制御することにより、ガイドレール４の両端間で主軸受５を往復直線運動させることができる。
【００３７】
この際、加速時又は減速時に生じる主軸受５の駆動反力は、主軸受５が接続された側とは両プーリ１，２を挟んで反対側に接続されたカウンタ軸受７，７により相殺されるため、振動が抑制されるようになっている。なお、主軸受５及び搭載物の合計の質量と、カウンタ軸受７，７の質量とをほぼ一致させるようにすると、駆動反力をより効果的に相殺でき、効果的に振動を抑制できる。
【００３８】
さらに、本実施形態においては、搭載物を搭載する軸受部材５Ａ，５Ｃと無端ベルト３を接続する軸受部材５Ｂとが別体であるが、従来品は一体であり、搭載物を搭載した主軸受に無端ベルトを接続し駆動力を伝達している。よって、従来品においては、無端ベルトからの振動が搭載物に伝わり、搭載物に悪影響が出るおそれがあった。しかしながら、本実施形態においては、搭載物を搭載する軸受部材５Ａ，５Ｃと無端ベルト３を接続する軸受部材５Ｂとが別体であり、これらを連結する連結部材８により、無端ベルト３からの振動が緩衝されるので、無端ベルト３からの振動が搭載物に伝わりにくい。
【００３９】
詳述すると、無端ベルト３からの振動は軸受部材５Ｂに伝わるが、連結部材８は丸軸状の部材であり、軸方向には変形せず、軸方向以外の方向には変形可能であるという性質を有しているので、伝達された振動によって連結部材８が軸方向に変形することはなく、軸方向以外の方向（径方向）には撓むこととなる。厳密に言えば、連結部材８は軸方向に僅かに伸縮するが、径方向の撓みと比較すると無視できるレベルの変形量であるので、実質的には軸方向に変形することは無いと言える。
【００４０】
よって、無端ベルト３からの振動のうち軸方向の振動は連結部材８を介して軸受部材５Ａ，５Ｃに若干伝わるものの、軸方向以外の方向の振動は連結部材８の変形によって緩衝され、軸受部材５Ａ，５Ｃにはほとんど伝わらない。その結果、主軸受５が高速で移動し且つ急激に加速又は減速される場合でも、移動中の主軸受５の微振動は抑制され、高い真直性が得られる。また、主軸受５に搭載された搭載物に微振動が伝達しにくいので、無端ベルト３からの振動により搭載物に悪影響が出るおそれがほとんどない。そして、連結部材８は丸軸状の部材であるため、径方向であればどの方向に撓む場合でも、振動を緩衝する特性は同一であり、撓む方向によって振動の緩衝されやすさが異なるということがない。
【００４１】
また、駆動プーリ１と従動プーリ２は、この装置の最大の発塵源でもあるが、その対策として両プーリ１，２はそれぞれカバーで覆われている（図２を参照）。そして、カバーの内部は、排気ポンプ（図示せず）により集塵排気がなされるようになっている。これにより、主軸受５が高速で移動し且つ急激に加速又は減速される場合でも、ワークＷに対する異物の付着が極めて少ない。
【００４２】
さらに、ガイドレール４は断面略コ字状であり、したがって側壁２２，２２と底壁２１の外表面は平面からなるので、加工精度（特に真直精度）を向上させ易いという利点がある。また、断面略コ字状のガイドレール４の開口する上側からその内部に無端ベルト３を配置することにより、ガイドレール４の閉じた下側をワークＷに向けることができる。その結果、無端ベルト３から発生した塵埃がワークＷに付着することが抑制されるので、ワークＷにカバーを設ける必要がなく、コストを低減できる。
【００４３】
このような直線案内軸受装置は、製造装置，検査装置，搬送装置等において好適に使用可能であり、特に、主軸受が高速で移動し且つ急激に加速又は減速される条件で直線案内軸受装置が運転されても、主軸受の高精度な直線移動が求められる各種装置に対して好適である。
なお、本実施形態は本発明の一例を示したものであって、本発明は本実施形態に限定されるものではない。例えば、本実施形態においては、主軸受５は３個の軸受部材５Ａ，５Ｂ，５Ｃが連結されてなるものであったが、軸受部材の個数は３個以上であれば特に限定されるものではない。
【００４４】
また、３個の軸受部材５Ａ，５Ｂ，５Ｃのうち１個がベルト接続用軸受部材であり、２個が搭載物用軸受部材であったが、これらの個数は特に限定されるものではなく、ベルト接続用軸受部材を複数としてもよいし、搭載物用軸受部材を単数としてもよい。さらに、３個の軸受部材５Ａ，５Ｂ，５Ｃのうち軸方向中央の軸受部材５Ｂをベルト接続用軸受部材としたが、軸方向中央以外の軸受部材５Ａ，５Ｃをベルト接続用軸受部材としてもよく、複数の軸受部材のうちのベルト接続用軸受部材の軸方向位置は特に限定されるものではない。
【００４５】
さらに、連結部材８として丸軸状の部材を用いた場合には、振動を抑制する性質をより高めるために、丸軸状の部材の外周面を、ゴムのような制振性を有する素材で構成された被膜で覆ってもよい。また、丸軸状の部材を中空状として、その内部にゴムや液体を充填してもよい。
さらに、本実施形態においては、連結部材８として丸軸状の部材を用いた例を示したが、軸方向には変形せず軸方向以外の方向には変形可能であるという性質を有しているならば、連結部材８は丸軸状の部材に限定されるものではなく、例えば、図６，７に示すような平板状の部材を用いることもできる。平板状の部材としては、例えば板バネが好適である。
【００４６】
その構成及び作用は、連結部材８として丸軸状の部材を用いた場合とほぼ同様であるので、同様の部分の説明は省略するが、図６，７に示すように、平板状の部材で構成された連結部材８は、板ナット１８と軸受部材５Ａ，５Ｂ，５Ｃの頂板３３とで挟むことにより主軸受５に固定されている。そして、頂板３３と連結部材８との間には間座１９が介装されている。なお、図６，７においては、図１，５と同一又は相当する部分には、図１，５と同一の符号を付してある。
【００４７】
連結部材８が平板状の部材である場合は、撓む方向によって振動を緩衝する特性が異なり、振動が緩衝されやすい方向とされにくい方向とがある。アクチュエータを備える直線案内軸受装置を実際に使用する場合においては、ローリング方向の振動が最も問題となるので、ヨーイング方向には変形が若干生じにくいものの、ローリング方向及びピッチング方向に変形可能なように、平板状の連結部材８が取り付けられている。その結果、ローリング方向及びピッチング方向の振動が十分に抑制されるようになっている。
さらに、本実施形態においては、主軸受５に搭載する搭載物としてカメラを例示したが、搭載物はカメラに限定されるものではなく、主軸受５には種々の物体や処理装置等を搭載することができる。
【符号の説明】
【００４８】
１      駆動プーリ
２      従動プーリ
３      無端ベルト
４      ガイドレール
５      主軸受
５Ａ，５Ｂ，５Ｃ      軸受部材
６      カウンタガイドレール
７      カウンタ軸受
８      連結部材
１０      モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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