(57)【要約】【課題】ガラス基板の画像からガラス基板に存在する異物の明度に基づき、異物の存在面を判定する。【解決手段】判定装置２は、算出手段２ｂで対象物の、撮像光が入光される表面に焦点を合わせて撮像された対象物の表面の画像情報から、画像情報に含まれる対象物の表面または対象物の裏面に存在し、撮像部に入光された撮像光を遮る異物の画像の局所的な明度の変化率を算出し、判定手段２ｄで、算出手段２ｂで算出された変化率が、記憶手段（保持手段２ａ）に記憶されている変化率以上の場合に、存在面は対象物の表面であると判定する。【選択図】図１
2011013097.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の対象物に対する異物の存在面を判定する判定装置において、
前記対象物が表面に存在する基準の明度の変化率を記憶した記憶手段と、
前記対象物の、撮像光が入光される表面に焦点を合わせて撮像された前記対象物の表面の画像情報から、前記画像情報に含まれる前記対象物の表面または前記対象物の裏面に存在し、撮像部に入光された前記撮像光を遮る前記異物の画像の局所的な明度の変化率を算出する算出手段と、
前記算出手段で算出された変化率が、前記記憶手段に記憶されている変化率以上である場合に、前記存在面は前記対象物の表面であるとする判定手段と、
を有することを特徴とする判定装置。
【請求項２】
前記算出手段で算出された変化率が、前記記憶手段に記憶されている変化率未満の場合には、
前記算出手段は、前記対象物の表面の前記画像情報から前記異物の画像の第１の面積値を算出するとともに、
前記対象物の裏面に焦点を合わせて撮像された前記対象物の表面の画像情報から前記異物の画像の第２の面積値を算出し、
前記比較手段は、前記第１の面積値と前記第２の面積値とを比較し、
前記判定手段は、前記第１の面積値が前記第２の面積値未満の場合に、前記存在面は前記対象物の表面であると判定する、
ことを特徴とする請求項１記載の判定装置。
【請求項３】
前記第１の面積値が前記第２の面積値以上の場合には、
前記判定手段は、前記存在面は前記対象物の裏面であると判定する、
ことを特徴とする請求項２記載の判定装置。
【請求項４】
対象物が表面に存在する基準の明度の変化率を記憶した記憶手段へのアクセスが可能なコンピュータが、
前記対象物の、撮像光が入光される表面に焦点を合わせて撮像された前記対象物の表面の画像情報を取得し、前記画像情報に含まれる前記対象物の表面または前記対象物の裏面に存在する撮像部に入光された前記撮像光を遮る前記異物の画像の局所的な明度の変化率を算出し、
前記算出された変化率が、前記記憶手段に記憶されている変化率以上である場合に、前記存在面は前記対象物の表面であると判定する、
ことを特徴とする判定方法。
【請求項５】
対象物が表面に存在する基準の明度の変化率を記憶した記憶手段へのアクセスが可能なコンピュータに、
前記対象物の、撮像光が入光される表面に焦点を合わせて撮像された前記対象物の表面の画像情報を取得し、前記画像情報に含まれる前記対象物の表面または前記対象物の裏面に存在する撮像部に入光された前記撮像光を遮る前記異物の画像の局所的な明度の変化率を算出させ、
前記算出された変化率が、前記記憶手段に記憶されている変化率以上である場合に、前記存在面は前記対象物の表面であると判定させる、
ことを特徴とする判定プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
板状の対象物に対する異物の付着面を判定する判定装置、判定方法、及び判定プログラム。
【背景技術】
【０００２】
ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）、光デバイス等の微細構造物の保護のために、例えば、透明なガラス基板が用いられている。また、このような微細構造物の製造過程において、当該ガラス基板に微小な汚れ等の異物及びひび割れ等の欠陥（以下、「異物」と呼ぶ。）がそれぞれ付着並びに発生してしまうことがある。異物が存在したまま、製造された微細構造物の製品は動作に不具合が生じてしまう場合があるために、製造の最終工程で異物の除去工程が組み込まれている。
【０００３】
しかし、最終工程において、ガラス基板の表側（外側）に存在する異物は除去できるが、裏側（内側）に存在する異物は封止されてしまうと除去できない。
そこで、ガラス基板の裏側に存在する異物を、例えば、ガラス基板の封止工程の直前等の製造過程の途中で除去することが必要となる。異物除去のためにガラス基板等の表裏を区別せずに洗浄する場合には、ガラス基板等の反転、または洗浄装置の移送等が必要となり、当該除去工程が煩雑になる恐れがある。ガラス基板の表側のみに異物が存在することが分かれば、製造過程の途中で行う除去工程を簡略化することができる。また、製品の表側に異物が存在すれば、最終工程で行う異物洗浄を見越し、製造過程ではその製品を良品と判断することもできる。
【０００４】
このような理由により、製造過程に、ガラス基板に対する異物の検査工程が行われている。
例えば、表裏に異物が存在するガラス基板の撮像画像のコントラストの違いに注目して、画像コントラストから異物の表裏存在部位を判断する方法がある。具体的には、ガラス基板の表側に撮像装置の焦点が合っている画像のコントラスト値と、焦点が合っていない画像のコントラスト値とをそれぞれ予め設定した閾値と比較することで異物が存在する表裏の判定を行う（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
また、以下のような方法も提案されている。顕微鏡で連続的に焦点位置を変えながら、ガラス基板の画像を撮像し、当該画像の各々の画像について、ソベル・フィルタ等で異物（候補）部の輪郭を抽出する。欠陥候補の各画素の隣接画素との差を該当する異物の最低差レベルと最高差レベルとの差で正規化しさらに積分した値を求め、連続画像での同一位置欠陥の値の変化から、積分値がピークとなる位置を欠陥の存在位置とする（結果として欠陥のエッジの立ち上がり量を求めて比較している。）（例えば、特許文献２参照。）。
【０００６】
別の方法として、焦点深度の浅い顕微鏡で表側（または裏側）を撮像した画像に対して、２つの閾値により欠陥の輪郭領域を検出した後、１異物の各画素について抽出画素と周辺画素とのコントラストの最大値を求め、さらに全輪郭画素の平均値を求める。求めた１異物の全輪郭画素のコントラスト平均値と予め規定した閾値を比較し、閾値以上であれば異物は表側に、閾値以下であれば裏側に存在すると判断する方法（例えば、特許文献３参照。）も提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−１３９４５４号公報
【特許文献２】特開２００４−３６１３８４号公報
【特許文献３】特許第４０３６０４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところが、コントラストから異物の存在面を判定する方法では、表側の異物のサイズが撮像分解能に近くなるとコントラストが低下してしまい、表裏判定が正確に行えなくなるという問題があった。また、逆に裏側の異物のサイズが大きくなると表裏のコントラスト差がなくなり判定が困難になるという問題があった。
【０００９】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、ガラス基板の画像からガラス基板に存在する異物の明度に基づき、異物の存在面を判定する判定装置、判定方法、及び判定プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、板状の対象物に対する異物の存在面を判定する判定装置が提供される。
この判定装置は、対象物が表面に存在する基準の明度の変化率を記憶した記憶手段と、前記対象物の、撮像光が入光される表面に焦点を合わせて撮像された前記対象物の表面の画像情報から、前記画像情報に含まれる前記対象物の表面または前記対象物の裏面に存在し、撮像部に入光された前記撮像光を遮る前記異物の画像の局所的な明度の変化率を算出する算出手段と、前記算出手段で算出された変化率が、前記記憶手段に記憶されている変化率以上である場合に、前記存在面は前記対象物の表面であるとする判定手段と、を有する。
【００１１】
また、上記目的を達成するために、上記の判定装置と同様の処理手順を実行する判定方法及び判定プログラムが提供される。
【発明の効果】
【００１２】
上記の判定装置、判定方法、及び判定プログラムでは、対象物の異物の存在面を正確に判定できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１の実施の形態の判定装置の構成例を示す図である。
【図２】異物が存在する対象物の撮像方法を示す図である。
【図３】異物の撮像結果を示す図（その１）である。
【図４】異物の撮像結果を示す図（その２）である。
【図５】別の異物の撮像結果を示す図である。
【図６】異物の別の撮像結果を示す図である。
【図７】第２の実施の形態の検査装置の構成を示す図である。
【図８】第２の実施の形態の判定装置のハードウェア構成例を示す図である。
【図９】第２の実施の形態の判定装置の機能を示すブロック図である。
【図１０】ガラス基板の表面に焦点が合わせられて撮像されたガラス基板の表面の撮像結果を示す図である。
【図１１】ガラス基板の裏面に焦点が合わせられて撮像されたガラス基板の表面の撮像結果を示す図である。
【図１２】撮像された異物を説明するための模式図である。
【図１３】判定の処理手順を示すフローチャート（その１）である。
【図１４】判定の処理手順を示すフローチャート（その２）である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
［第１の実施の形態］
図１は、第１の実施の形態の判定装置の構成例を示す図である。
【００１５】
判定装置２は、異物が存在する対象物の表面または裏面に焦点を合わせて対象物の表面を撮像する撮像手段１と、判定装置２の判定結果を受け付けて表示する表示手段３とを有し、撮像手段１で撮像された画像情報から異物の存在面を判定する。
【００１６】
ここで、実施の形態に適用される異物が存在する対象物の撮像と、撮像結果を用いた異物の付着面の判定方法の原理とについて説明する。
図２は異物が存在する対象物の撮像方法を示す図である。
【００１７】
図２に示されるように、板状の対象物Ａの表面Ａ１及び裏面Ａ２に異物Ｘ１，Ｘ２がそれぞれ付着している。なお、異物Ｘ１，Ｘ２はそれぞれ同サイズとする。また、撮像系からの撮像光が対象物Ａの表面Ａ１に入射されるように、対象物Ａをセットする。
【００１８】
このような対象物Ａを、撮像系で対象物Ａの表面Ａ１に焦点を合わせて対象物Ａを表面Ａ１側から異物Ｘ１，Ｘ２をそれぞれ１回撮像する。なお、図２に示される、撮像系の構成要素の１つであるレンズ１ａは、焦点深度が対象物Ａの厚さより浅いものを使用する。焦点深度の値は対象物Ａの表面Ａ１に焦点を合わせ、裏面Ａ２側の画像との差異が認識できる程度（具体的には対象物Ａの厚さの１／５〜１／１０程度）とする。なお、焦点深度を極端に浅くすると裏面Ａ２の異物が全く撮像されなくなり、表面Ａ１及び裏面Ａ２の判定が容易となるが、撮像できる視野が非常に狭くなり実用的でない。また、矢印は光路を表している。
【００１９】
対象物Ａの表面Ａ１または裏面Ａ２に異物が存在する場合には、異物が撮像部に入射する光を遮ることによって、異物部分の明度が異物の存在しない部分より暗い（明度の低い）画像が得られる。
【００２０】
撮像系は、図２では、表面Ａ１に焦点を合わせて対象物Ａを撮像しているが、裏面Ａ２に焦点を合わせて同様に撮像することも可能である。
次に、このようにして撮像された対象物Ａの撮像結果について説明する。
【００２１】
図３及び図４はそれぞれ異物の撮像結果を示す図である。
なお、図３及び図４のそれぞれにおいて、（Ａ）は対象物Ａの表面Ａ１の画像である。また、（Ｂ）は、（Ａ）の一点鎖線Ｙ−Ｙ上の明度を表すグラフである。なお、（Ｂ）において、縦軸は明度を表しており、明度が軸に沿って増加する（図中上方）程に明るく、減少する（図中下方）程に暗くなることを示している。そして、横軸は長さを表す。また、（Ｂ）の横軸は、（Ａ）の横軸と対応している。
【００２２】
まず、図３（Ａ）に示されるような撮像結果によれば、対象物Ａの表面Ａ１及び裏面Ａ２にそれぞれ付着した異物Ｘ１，Ｘ２の平面形状が略円形の画像がそれぞれ投影される。
レンズ１ａの特性から表面Ａ１に焦点を合わせて撮像した場合には、表面Ａ１の異物Ｘ１と焦点が合った鮮明な画像が得られる。これに対して、裏面Ａ２の異物Ｘ２には焦点が合っていないため、不鮮明な画像が得られる。
【００２３】
上記画像情報から一点鎖線Ｙ−Ｙ上の明度がグラフ化された図３（Ｂ）の明度曲線によれば、対象物Ａの表面Ａ１の明度は略一定であり、この明度を１００％としている。異物Ｘ１，Ｘ２の存在する部分の明度は低くなり、グラフでは最も低いところを０％としている。また、異物Ｘ１，Ｘ２はそれぞれ中心部に向かうほど暗く、中心部から縁部に進むほど明るくなっている。明度曲線の底部から表面Ａ１の１００％までの明度差について、異物Ｘ１の明度コントラストＣ１は異物Ｘ２の明度コントラストＣ２を上回っており、表面Ａ１に付着した異物Ｘ１は異物Ｘ２よりも中心部が暗いことを意味する。また、異物Ｘ１，Ｘ２の明度曲線の立ち上がり（変化率）は、異物Ｘ１の方が大きい。これは焦点が合っている表面Ａ１の異物Ｘ１と、焦点が合っていない異物Ｘ２との画像の違いによるものである。
【００２４】
ところで、上記の変化率を次のようにして知ることができる。図３（Ｂ）において、異物Ｘ１，Ｘ２の明度曲線の所定区間（例えば、明度曲線の底部０％に対して、明度の２０％〜８０％）の変化率に対応する横軸上の幅Ｗ１，Ｗ２を算出する。即ち、変化率と当該幅は反比例の関係にあり、幅が小さくなると変化率は大きくなり、幅が大きくなると変化率は小さくなる。
【００２５】
そこで、所定の基準変化率に対応する所定の基準幅Ｗｓを予め設定して、基準幅Ｗｓと、幅Ｗ１，Ｗ２とを比較する。この結果、表面Ａ１に付着した異物Ｘ１の幅Ｗ１は、幅Ｗ１≦基準幅Ｗｓ（変化率が基準変化率以上）である。一方、裏面Ａ２に付着した異物Ｘ２の幅Ｗ２は、幅Ｗ２＞基準幅Ｗｓ（変化率が基準変化率よりも小）である。
【００２６】
この結果を用いて、変化率に対応する横軸上の幅と、基準変化率に対応する所定の基準幅とを比較することにより、異物Ｘ１，Ｘ２の付着面を判定することが可能となる。
なお、従来は異物のサイズが大きくなると裏表のコントラスト差がなくなり、異物の存在面の判定が困難であった。しかし、上記の変化率を用いる方法によれば判定可能である。以下に、例えば、図４を参照して説明する。
【００２７】
異物Ｘ３，Ｘ４のそれぞれのサイズが大きすぎる場合（図４（Ａ））には、異物Ｘ３の明度曲線の一部のみが表示されて、全てが表示されない（図４（Ｂ））。このような場合でも、図３の場合と同様にして、異物Ｘ３，Ｘ４の明度曲線の所定区間の変化率に対応する横軸上の幅Ｗ１，Ｗ２を算出して、基準変化率に対応する基準幅Ｗｓと比較することにより、異物Ｘ３，Ｘ４の付着面を判定することが可能である。
【００２８】
次いで、形状が特殊な異物の付着面の判定方法について、図５を参照してについて説明する。
図５は別の異物の撮像結果を示す図である。
【００２９】
なお、図５は、図３及び図４の異物が２つ隣接したような形状の異物Ｘ５が対象物Ａの表面Ａ１に付着されている場合を示している。また、図５は上述した図３及び図４において、対象物Ａの表面Ａ１に新たに異物Ｘ５が付着されており、撮像系による撮像及びその他については図３及び図４と同様である。
【００３０】
まず、図５（Ａ）に示されるような撮像結果によれば、対象物Ａの表面Ａ１に付着した異物Ｘ５の平面形状の画像が投影される。
上記画像情報から一点鎖線Ｙ−Ｙ上の明度がグラフ化された図５（Ｂ）によれば、対象物Ａの表面Ａ１の明度は略一定である。
【００３１】
異物Ｘ５は明度が変化しており、下に凸の２つの明度曲線が重なったように、形状が乱れて示されている。
この場合においても上記の図３及び図４と同様に、異物Ｘ５の明度曲線の明度の２０％〜８０％の変化率に対応する横軸上の幅Ｗｍ，Ｗｎを算出して、基準幅Ｗｓと比較する。幅Ｗｎについては基準幅Ｗｓよりも下回り、異物Ｘ５の付着面が表面Ａ１であると判定される。しかし、幅Ｗｍについては基準幅Ｗｓの値を上回り、付着面が裏面Ａ２であると誤判定されてしまう。
【００３２】
なお、異物Ｘ５の付着面が対象物Ａの表面Ａ１であると判定されるためには、上記の通り、幅Ｗ１≦基準幅Ｗｓの場合である。表面Ａ１に付着された異物Ｘ５の明度の変化率は常に所定の基準変化率を下回ることになるために、表面Ａ１の付着面が裏面Ａ２であると誤判定されることはない。
【００３３】
このように明度曲線の所定区間の変化率に対応する横軸上の幅が基準変化率に対応する所定の基準幅Ｗｓを上回り、付着面が裏面Ａ２であると判定する場合には、誤判定している可能性がある。そこで、以下の判定処理をさらに行うようにする。
【００３４】
図６は、異物の別の撮像結果を示す図である。
図６（Ａ）の左図（「表面」）は、表面Ａ１に焦点が合わせられて撮像された表面Ａ１に付着した異物Ｘ５の画像である。右図（「裏面」）は、裏面Ａ２に焦点が合わせられて撮像された表面Ａ１に付着した異物Ｘ５の画像である。これらの撮像は図２の撮像系によって行われたものである。
【００３５】
また、図６（Ｂ）の左図（「表面」）は、図６（Ａ）の「表面」の画像にて、明度の底部０％に対して、閾値として例えば８０％以下の部分に対して二値化処理を行った結果である。図では当該部分について着色しており、着色した面積の面積値Ｓ１が算出された。同様に、右図（「裏面」）は、図６（Ａ）の「裏面」の画像にて、８０％以下の部分に対して二値化処理を行った結果である。この場合の着色した面積の面積値Ｓ２が算出された。なお、閾値である８０％の値は試料や照明等の特性により変化するために限定されるものでなく、実試料での評価で調整される。
【００３６】
このようにして、表面Ａ１に焦点を合わせて撮影された画像から算出された面積値Ｓ１と、裏面Ａ２に焦点を合わせて撮影された画像から算出された面積値Ｓ２とは大きさが異なっている。異物Ｘ５が表面Ａ１に付着している図６の場合には、面積値Ｓ１＜面積値Ｓ２である。一方、具体的な例については省略するが、異物Ｘ５が裏面Ａ２に付着している場合には、面積値Ｓ１＞面積値Ｓ２となる。
【００３７】
この結果を用いて、図３及び図４の明度の変化率に対応する幅に基づいて付着面が裏面であると判定した場合には、表面Ａ１及び裏面Ａ２に焦点をそれぞれ合わせて撮像した画像に二値化処理を行った面積値を比較することにより、異物の付着面を判定することが可能となる。
【００３８】
図１に戻って説明を続ける。なお、図１では、板状の対象物の表面に異物が１つ存在する場合について説明する。
図１に示される判定装置２は、保持手段２ａ、算出手段２ｂ、比較手段２ｃ及び判定手段２ｄをさらに有する。
【００３９】
保持手段２ａは、上記原理で説明した基準変化率に対応する所定の基準幅Ｗｓを保持する。基準幅Ｗｓは、撮像手段１の画像の明度曲線の所定区間の変化率に対応する幅に比較される。当該幅が基準幅Ｗｓ以下であれば、異物の存在面は表面であると判定される。
【００４０】
算出手段２ｂは、対象物の撮像を行った撮像手段１から通知された対象物の画像情報を利用して、異物の明度曲線の所定区間の変化率に対応する幅を算出する。さらに、撮像手段１が対象物の表面に焦点を合わせて撮像した異物の画像情報を利用して、明度の０％に対して、所定の閾値以下の部分に対して二値化処理を行う。そして、二値化処理を行った部分の面積値Ｓ１を算出する。また、算出手段２ｂは、撮像手段１が対象物の裏面に焦点を合わせて撮像した画像情報を利用して、同様に二値化処理を行った部分の面積値Ｓ２を算出する。
【００４１】
比較手段２ｃは、算出手段２ｂで算出した幅と、保持手段２ａに保持されている基準変化率に対応する幅とを比較する。さらに、算出手段２ｂで算出した表面及び裏面に焦点を合わせて撮像された画像情報の二値化処理した異物の画像の面積値Ｓ１，Ｓ２を比較する。
【００４２】
判定手段２ｄは、比較手段２ｃの幅または面積値の比較結果に基づいて、異物の存在面が対象物の表面または裏面のいずれかであるかの判定を行う。また、判定手段２ｄは判定結果を表示手段３に送信する。
【００４３】
以下に、このような構成を有する判定装置２で行われる存在面の判定処理について説明する。
まず、撮像手段１によって、対象物の表面及び裏面に焦点をそれぞれ合わせて、当該対象物の表面が撮像される。撮像された対象物の画像情報は算出手段２ｂに通知される。
【００４４】
算出手段２ｂは、対象物の表面に焦点を合わせて撮像した画像情報を利用して、異物の明度を算出するとともに、当該明度の明度曲線の所定区間の変化率に対応する横軸上の幅を算出する。さらに、対象物の表面及び裏面に焦点をそれぞれ合わせて撮像した異物の画像情報を利用して、明度の底部０％に対して、所定の閾値以下の部分に対して二値化処理を行って、二値化処理を行った部分の面積値Ｓ１，Ｓ２をそれぞれ算出する。
【００４５】
比較手段２ｃは、算出手段２ｂで算出した幅と、保持手段２ａの基準変化率に対応する幅とを比較する。さらに、算出手段２ｂで算出した面積値Ｓ１，Ｓ２を比較する。
判定手段２ｄは、比較手段２ｃの幅の比較結果が、算出手段２ｂで算出した幅が基準変化率に対応する基準幅以下の場合には、異物の存在面は対象物の表面であると判定する。
【００４６】
一方、算出手段２ｂで算出した幅が基準変化率に対応する基準幅を上回る場合には、さらに、比較手段２ｃの面積値Ｓ１，Ｓ２の比較結果に基づいて判定する。即ち、面積値Ｓ１が、面積値Ｓ２を下回る場合には、異物の存在面は対象物の表面であると判定する。一方、面積値Ｓ１が、面積値Ｓ２を上回る場合には、異物の存在面は対象物の裏面であると判定する。
【００４７】
判定手段２ｄは判定した判定結果を表示手段３に通知して、表示手段３は判定結果を表示する。
このように、異物の存在面の判定に、明度曲線の変化率に基づいて、存在面が表面であることを正確に判定することができる。さらに、明度曲線の変化率に基づいて存在面が裏面である場合には、さらに、対象物の画像の二値化処理が施された面積値に基づいて、存在面が裏面または表面であるかを正確に判定することができる。
【００４８】
以下に、第１の実施の形態をより具体的に説明する。
［第２の実施の形態］
図７は、第２の実施の形態の検査装置の構成を示す図である。なお、図７の図中上下方向をＺ軸方向、図中左右方向をＸ軸及びＹ軸からなるＸ−Ｙ平面とする。
【００４９】
図７に示される検査装置１００は、裏面Ｂ２側がセットされた対象物であるガラス基板Ｂの表面Ｂ１を撮像する撮像装置１０と、撮像装置１０の撮像・動作の制御を行って、異物の存在面を判定する判定装置２０とを有する。
【００５０】
まず、撮像装置１０は、撮像レンズ１１、撮像カメラ１２、焦点合わせステージ１３、基板移動ステージ１４及び照明部１５を有する撮像系である。
撮像レンズ１１は、撮像カメラ１２に着脱可能に装着されて、判定装置２０の制御により、撮像カメラ１２が焦点合わせステージ１３に沿ってＺ軸方向に移動されて、ガラス基板Ｂの表面Ｂ１及び裏面Ｂ２に自由に焦点が合わせられる。また、撮像レンズ１１は、焦点深度が検査対象物のガラス基板Ｂの厚みより浅いものを使用する。焦点深度の値はガラス基板Ｂの表面Ｂ１に焦点を合わせ、裏面Ｂ２側の画像との差異が認識できる程度（具体的にはガラス基板Ｂの厚さの１／５〜１／１０程度）とする。なお、焦点深度を極端に浅くすると裏面Ｂ２の異物等が全く撮像されなくなり、表面Ｂ１及び裏面Ｂ２の判定が容易となるが、撮像できる視野が非常に狭くなり実用的でない。
【００５１】
撮像カメラ１２は、焦点合わせステージ１３にセットされて、判定装置２０からの制御信号に応じて、焦点合わせステージ１３に沿ってＺ軸方向に移動する。撮像カメラ１２は判定装置２０と接続されており、判定装置２０からの制御信号に基づいて、撮像レンズ１１を介してガラス基板Ｂの撮像を行う。また、撮像レンズ１１の特性から表面Ｂ１に焦点を合わせて撮像した場合には、表面Ｂ１の異物と焦点が合った鮮明な画像が得られる。これに対して、裏面Ｂ２の異物には焦点が合っていないため、不鮮明な画像が得られる。ガラス基板Ｂの表面Ｂ１または裏面Ｂ２に異物が存在する場合には、異物が撮像部に入射する光を遮ることによって、異物部分の明度が異物の存在しない部分より暗い（明度の低い）画像が得られる。また、撮像カメラ１２は、撮像したガラス基板Ｂの画像情報を判定装置２０に通知する。
【００５２】
焦点合わせステージ１３は、既述の通り、撮像カメラ１２が設置されており、判定装置２０の制御信号によって、撮像カメラ１２をＺ軸方向に移動させる。
基板移動ステージ１４は、ガラス基板Ｂが表面Ｂ１がＺ軸上方を向くように所定の位置にセットされる。また、基板移動ステージ１４は、判定装置２０に接続されており、判定装置２０の制御信号に応じて、Ｘ−Ｙ平面に自由に移動する。このため、基板移動ステージ１４にセットされたガラス基板Ｂの全面の撮像が可能となる。
【００５３】
照明部１５は、基板移動ステージ１４の裏面（ガラス基板Ｂがセットされていない）側に配置されて、ガラス基板Ｂの裏面Ｂ２側から透過照明を行う。ガラス基板Ｂはこの状態で撮像されることにより、異物のシルエットが撮像されて、異物表面の影響を排除することができる。但し、照明部１５の配置位置は、基板移動ステージ１４の裏面側に限らず、異物の表面形状、状態及び色に応じて、基板移動ステージ１４の表面（ガラス基板Ｂがセットされている）側からの斜光または同軸照明を行うようにしても構わない。
【００５４】
次に、判定装置２０について説明する。
図８は、第２の実施の形態の判定装置のハードウェア構成例を示す図である。
判定装置２０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）２０ａによって装置全体が制御されている。ＣＰＵ２０ａには、バス２０ｇを介してＲＡＭ（Random Access Memory）２０ｂ、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ：Hard Disk Drive）２０ｃ、グラフィック処理装置２０ｄ、入力インタフェース２０ｅ及び通信インタフェース２０ｆが接続されている。
【００５５】
ＲＡＭ２０ｂには、ＣＰＵ２０ａに実行させるＯＳ（Operating System）プログラム及びアプリケーションプログラムの少なくとも一部が一時的に格納される。また、ＲＡＭ２０ｂには、ＣＰＵ２０ａによる処理に必要な各種データが格納される。ＨＤＤ２０ｃには、ＯＳプログラムやアプリケーションプログラムが格納される。
【００５６】
グラフィック処理装置２０ｄには、モニタ３０が接続されている。モニタ３０は、例えば、撮像装置１０で撮像されたガラス基板Ｂの画像及び判定装置２０で判定された判定結果等を出力することができる。
【００５７】
入力インタフェース２０ｅには、キーボード及びマウス等の入力装置４０が接続されている。例えば、検査装置１００でガラス基板Ｂの検査を行うユーザが、このような入力装置４０を介して、撮像装置１０に操作入力を行って、焦点合わせステージ１３及び基板移動ステージ１４をそれぞれ制御し、撮像カメラ１２に撮像を実行させることができる。
【００５８】
通信インタフェース２０ｆには、撮像装置１０が接続されている。通信インタフェース２０ｆは、撮像装置１０で撮像されたガラス基板Ｂの画像情報を受信する。また、入力装置４０で行われた操作入力に応じて、焦点合わせステージ１３及び基板移動ステージ１４の移動信号を撮像装置１０に送信する。
【００５９】
続いて、判定装置２０の機能構成について説明する。
図９は、第２の実施の形態の判定装置の機能を示すブロック図である。また、図１０及び図１１は、ガラス基板の表面及び裏面にそれぞれ焦点が合わせられて撮像されたガラス基板の表面の撮像結果を示す図であって、図１２は、撮像された異物を説明するための模式図である。
【００６０】
なお、図１０〜図１２は、横方向をＸ軸方向、縦方向をＹ軸方向とする。また、図１０及び図１１では、異物ａ１〜異物ａ３を破線で囲んでいる。図１２では、表面Ｂ１に破線で描かれた円形は異物を表している。実際の画像では異物は表面Ｂ１よりも暗く投影されるが、図では着色等を行っていない。
【００６１】
図９に示される判定装置２０は、画像情報保持部２１ａ，２１ｂ、算出情報保持部２２、基準情報保持部２３、画像処理部２４、抽出部２５、算出部２６、比較判定部２７、表示出力部２８及び制御部２９を有する。
【００６２】
画像情報保持部２１ａは、撮像装置１０において、ガラス基板Ｂの表面Ｂ１に焦点が合わせられて、ガラス基板Ｂの表面Ｂ１が撮像された画像情報を保持する。例えば、図１０に示されるような、撮像装置１０によってガラス基板Ｂの表面Ｂ１に焦点を合わせて撮像されたガラス基板Ｂの表面Ｂ１の画像が得られる。画像情報保持部２１ａは、これらの画像情報を保持する。
【００６３】
一方、画像情報保持部２１ｂは、撮像装置１０において、ガラス基板Ｂの裏面Ｂ２に焦点が合わせられて、上記と同様に、ガラス基板Ｂの表面Ｂ１が撮像された画像情報を保持する。例えば、図１１に示されるような、撮像装置１０によってガラス基板Ｂの裏面Ｂ２に焦点を合わせて撮像されたガラス基板Ｂの表面Ｂ１の画像が得られる。画像情報保持部２１ｂは、これらの画像情報を保持する。
【００６４】
算出情報保持部２２は、後述する算出部２６で算出された算出情報を保持する。算出情報は、異物の重心位置、異物の明度曲線の所定区間の変化率に対応する横軸上の幅、異物の所定の閾値以下の部分に二値化処理を行った面積値等を有する。
【００６５】
基準情報保持部２３は、画像の明度を利用して異物候補を抽出する際の基準となる基準明度、基準変化率に対応する基準幅Ｗｓ、規定ずれ量（ΔＸ，ΔＹ）及び規定面積値等を予め保持する。なお、基準明度は、画像において明度の違いにより異物（候補）を抽出する際の基準とする明度の値である。規定ずれ量は、表面を焦点として撮像した画像と、裏面を焦点として撮像した画像との重心の位置のずれの許容量である。また、規定面積値は、後述する異物候補の形状のサイズ（面積）から、異物を識別するための面積値である。異物候補の面積が規定面積値よりも大きいものを異物とする。
【００６６】
画像処理部２４は、画像情報保持部２１ａ，２１ｂから画像情報を取得して、撮像装置１０で撮像されたガラス基板Ｂの画像を生成する。画像処理部２４は生成した画像を表示出力部２８に通知する。
【００６７】
抽出部２５は、画像処理部２４で生成された画像から、基準情報保持部２３で保持される基準明度を基準として、この基準明度を下回る部位を異物とされるもの（以下、「異物候補」と呼ぶ。）として抽出する。例えば、図１０及び図１１に示されるように、撮像された画像では、表面Ｂ１に対して投影された、基準明度を下回る複数の暗部領域が異物候補（異物ａ１〜異物ａ３）として峻別される。
【００６８】
算出部２６では、まず、抽出部２５で抽出された異物候補の重心の位置を算出する。例えば、図１０の場合では、表面Ｂ１に抽出された異物候補（異物ａ１〜異物ａ３）のそれぞれの重心の位置（Ｘ１ｆ、Ｙ１ｆ）、位置（Ｘ２ｆ、Ｙ２ｆ）、位置（Ｘ３ｆ、Ｙ３ｆ）が算出される。図１１の場合も同様に、位置（Ｘ１ｂ、Ｙ１ｂ）、位置（Ｘ２ｂ、Ｙ２ｂ）、位置（Ｘ３ｂ、Ｙ３ｂ）がそれぞれ算出される。また、算出部２６は、抽出した異物候補の明度の底部を０％、表面Ｂ１を１００％とすると、８０％以下の部分に対して二値化処理を行う。そして、二値化処理を行った部分の面積値Ｓ１を算出する。さらに、算出部２６は、例えば、図１２に示されるように、抽出した異物候補の重心位置から矢印Ｚ１〜Ｚ４のそれぞれの方向の明度の２０％〜８０％の立ち上がり区間の明度の変化率に対応する横軸上の幅Ｗｉを算出する。なお、計測方向は４方向に限らない。しかし、測定方向が多すぎる場合には処理時間が増大するだけであって、効果が無い。よって、測定方向は３〜４方向の均等角度方向が好ましい。
【００６９】
比較判定部２７は、算出部２６の算出結果と、基準情報保持部２３が保持する様々な基準情報とをそれぞれ比較して、比較結果に応じて以下の所定の判定を行う。
まず、明度の変化率に対応する幅Ｗｉと、基準変化率に対応する基準幅Ｗｓとを比較する。この比較結果において、幅Ｗｉ≦基準幅Ｗｓであれば、異物候補の存在面は表面Ｂ１と判定し、幅Ｗｉ＞基準幅Ｗｓであれば、後述する異物候補の二値化処理した面積値の比較判定を行う。
【００７０】
そして、表面Ｂ１及び裏面Ｂ２に焦点を合わせてそれぞれ撮像された異物候補について二値化処理を行った部分の面積値Ｓ１，Ｓ２を比較する。例えば、異物候補（異物ａ１）について、面積値Ｓ１＜面積値Ｓ２、の場合には、異物候補の存在面は表面Ｂ１と判定する。また、面積値Ｓ１＞面積値Ｓ２、の場合には、異物候補の存在面は裏面Ｂ２と判定する。
【００７１】
なお、表面Ｂ１及び裏面Ｂ２に焦点を合わせてそれぞれ撮像された異物候補の重心位置のずれについても比較する。例えば、異物候補（異物ａ１）について、｜Ｘ１ｆ−Ｘｂ１｜＜ΔＸ、かつ、｜Ｙ１ｆ−Ｙｂ１｜＜ΔＹであれば、異物ａ１が表面Ｂ１及び裏面Ｂ２のそれぞれに存在すると判定する。当該条件で合わなければ、異物ａ１は表面Ｂ１のみに存在すると判定する。
【００７２】
さらに、比較判定部２７は、上記のように存在面を判定した異物候補の形状の面積と、基準情報保持部２３が保持する規定面積値とを比較して、異物候補が異物であるか、当該異物でない他のもの（ガラス基板の機能に影響を与えないような微細な異物）であるかを判定する。
【００７３】
表示出力部２８は、比較判定部２７の判定結果が通知されると、判定結果の表示要求信号をモニタ３０に送信して、モニタ３０に判定結果を表示させる。
制御部２９は、比較判定部２７の判定結果及び外部からの操作入力に応じて、撮像装置１０の焦点の変更、撮像等の制御信号を撮像装置１０に送信する。
【００７４】
このようなハードウェア構成及び機能を備える判定装置２０の動作について図１３及び図１４を参照して以下に説明する。
図１３及び図１４は、判定の処理手順を示すフローチャートである。
【００７５】
なお、下記の判定処理は撮像装置１０で１回撮像された１画像分の処理を示している。ガラス基板Ｂの全面を検査するために複数回の撮像が必要である場合には、基板移動ステージ１４を移動させて、撮像された画像ごとに下記の処理が行われる。
【００７６】
［ステップＳ１］
外部からの操作入力に応じて制御部２９は撮像装置１０に撮像命令信号を送信する。撮像装置１０は当該信号に応じて、ガラス基板Ｂの表面Ｂ１に焦点を合わせて、ガラス基板Ｂの表面Ｂ１を１回撮像する。
【００７７】
画像処理部２４は、撮像装置１０によって撮像された撮像情報に画像処理を行って生成した画像（表面画像）情報を画像情報保持部２１ａに保持させる。
また、表示出力部２８は、画像情報保持部２１ａが保持する表面画像を受信して、表面画像の表示要求をモニタ３０に送信して、モニタ３０に表示させる。
【００７８】
［ステップＳ２］
抽出部２５は、画像情報保持部２１ａの表面画像において、基準情報保持部２３で保持される基準明度を下回る部位を異物候補として全て抽出する。
【００７９】
［ステップＳ３］
算出部２６は、抽出部２５で抽出された異物候補ごとの重心の位置（重心Ｇ１）を算出する。また、算出部２６は、抽出した異物候補ごとの明度の底部を０％、表面Ｂ１を１００％として、８０％以下の部分に対して二値化処理を行う。そして、二値化処理を行った部分の面積値Ｓ１を算出する。さらに、算出部２６は、選択した異物候補ごとの重心Ｇ１から４方向の明度の２０％〜８０％の立ち上がり区間の明度の変化率に対応する横軸上の幅Ｗ１を算出する。なお、幅Ｗ１は４方向ごとに算出したものの平均値とする。
【００８０】
［ステップＳ４］
比較判定部２７は、ステップＳ３で抽出した全ての異物候補について算出した幅Ｗ１と、基準変化率に対応する基準幅Ｗｓとをそれぞれ比較する。
【００８１】
この比較結果に応じて、次の処理は、幅Ｗ１≦基準幅Ｗｓである異物候補が存在する場合には、ステップＳ５に進められ、幅Ｗ１≦基準幅Ｗｓである異物候補が無い場合、即ち、幅Ｗｉ＞基準幅Ｗｓである異物候補のみが存在する場合には、ステップＳ１１に進められる。
【００８２】
［ステップＳ５］
比較判定部２７は、ステップＳ２で抽出されたもののうち、幅Ｗ１≦基準幅Ｗｓである異物候補の存在面はガラス基板Ｂの表面Ｂ１であると判定する。
【００８３】
［ステップＳ６］
比較判定部２７は、ステップＳ５で存在面が表面Ｂ１であると判定されたもの以外に、幅Ｗｉ＞基準幅Ｗｓである異物候補の有無を判定する。次の処理は、ステップＳ５で判定されたもの以外に、幅Ｗｉ＞基準幅Ｗｓである異物候補が無い場合にはステップＳ７に進められ、有る場合にはステップＳ１１に進められる。
【００８４】
［ステップＳ７］
比較判定部２７は、ステップＳ２で抽出された異物候補を１つ選択して、選択された異物候補の形状の面積と、基準情報保持部２３に保持されている異物の規定面積値とを比較する。次の処理は、選択された異物候補の面積が規定面積値以上である場合にはステップＳ８に進められて、規定面積値未満である場合にはステップＳ９に進められる。
【００８５】
［ステップＳ８］
比較判定部２７は、選択した異物候補は、異物であると判定する。
［ステップＳ９］
比較判定部２７は、選択した異物候補は、ガラス基板の機能に影響を与えないような微細な異物であると判定する。
【００８６】
［ステップＳ１０］
算出部２６は、ステップＳ２で抽出した異物候補のうち、ステップＳ７の判定を行っていないものの有無を判別する。次の処理は、異物候補の残りが有る場合にはステップＳ７に再び進められ、異物候補の残りが無い場合には終了される。
【００８７】
［ステップＳ１１］
制御部２９は、撮像装置１０にガラス基板Ｂの表面Ｂ１から裏面Ｂ２に焦点を合わせさせて、ガラス基板Ｂの裏面Ｂ２を１回撮像させる。
【００８８】
画像処理部２４は、撮像装置１０によって撮像された撮像情報に画像処理を行って生成された画像（裏面画像）情報を画像情報保持部２１ｂに保持させる。
また、表示出力部２８は、画像情報保持部２１ｂが保持する裏面画像を受信して、裏面画像の表示要求をモニタ３０に送信して、モニタ３０に表示させる。
【００８９】
［ステップＳ１２］
抽出部２５は、画像情報保持部２１ｂの裏面画像において、基準情報保持部２３で保持される基準明度を下回る部位を異物候補として全て抽出する。
【００９０】
［ステップＳ１３］
算出部２６は、抽出部２５で抽出された異物候補ごとの重心の位置（重心Ｇ２）を算出する。また、算出部２６は、抽出した異物候補ごとの明度の底部を０％、表面Ｂ１を１００％として、８０％以下の部分に対して二値化処理を行う。そして、二値化処理を行った部分の面積値Ｓ２を算出する。
【００９１】
［ステップＳ１４］
比較判定部２７は、抽出部２５で抽出された異物候補を１つ選択して、選択した異物候補のステップＳ３及びステップＳ１３でそれぞれ算出した重心Ｇ１及び重心Ｇ２のＸ方向及びＹ方向ごとに差分を取る。そして、当該差分が、基準情報保持部２３が保持する規定ずれ量ΔＸ，ΔＹ以内か否かを判定する。
【００９２】
次の処理は、重心Ｇ１及び重心Ｇ２の差分が、規定ずれ量以内である場合、即ち、ステップＳ２で抽出した異物候補がステップＳ１２で抽出した異物候補に対応する場合にはステップＳ１５に進められる。また、規定ずれ量を上回る場合、即ち、ステップＳ２で抽出した異物候補がステップＳ１２で抽出した異物候補に対応しない場合にはステップＳ１７に進められる。
【００９３】
［ステップＳ１５］
比較判定部２７は、ステップＳ３及びステップＳ１３で算出した面積値Ｓ１及び面積値Ｓ２を比較する。次の処理は、面積値Ｓ２の方が面積値Ｓ１よりも小さい場合にはステップＳ１６に進められ、大きい場合にはステップＳ１７に進められる。
【００９４】
［ステップＳ１６］
比較判定部２７は、異物候補の付着面はガラス基板Ｂの裏面Ｂ２であると判定する。
［ステップＳ１７］
比較判定部２７は、異物候補の付着面はガラス基板Ｂの表面Ｂ１であると判定する。
【００９５】
［ステップＳ１８］
算出部２６は、ステップＳ１４で選択した異物候補の残りの有無を判別する。次の処理は、異物候補の残りが無い場合にはステップＳ７に再び進められ、異物候補の残りが有る場合には再びステップＳ１４に進められ、ステップＳ１２で抽出した全ての異物候補についてステップＳ１４〜ステップＳ１７までの処理が行われる。
【００９６】
このように、異物の付着面の判定に、明度曲線の変化率に基づいて、付着面が表面であることを判定することができる。さらに、明度曲線の変化率に基づいて付着面が裏面である場合には、さらに、ガラス基板の画像の二値化処理が施された面積値に基づいて、付着面が裏面または表面であるかを判定することができる。
【００９７】
したがって、上記判定結果で異物がガラス基板の裏面のみに付着している場合には、微細構造物の製品の製造過程で異物の除去工程を省略することができ、製品の製造を容易にすることができる。
【００９８】
なお、上記の処理機能は、コンピュータによって実現することができる。その場合、判定装置２，２０が有すべき機能の処理内容を記述したプログラムが提供される。そのプログラムをコンピュータで実行することにより、上記処理機能がコンピュータ上で実現される。処理内容を記述したプログラムは、コンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録しておくことができる。コンピュータで読み取り可能な記録媒体としては、例えば、磁気記録装置、光ディスク、光磁気記録媒体、半導体メモリなどが挙げられる。磁気記録装置としては、例えば、ハードディスク装置（ＨＤＤ）、フレキシブルディスク（ＦＤ）、磁気テープなどが挙げられる。光ディスクとしては、例えば、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＣＤ−ＲＯＭ（Compact Disc Read Only Memory）、ＣＤ−Ｒ（Recordable）／ＲＷ（ReWritable）などが挙げられる。光磁気記録媒体としては、例えば、ＭＯ（Magneto-Optical disk）などが挙げられる。
【００９９】
プログラムを流通させる場合には、例えば、そのプログラムが記録されたＤＶＤ、ＣＤ−ＲＯＭなどの可搬型記録媒体が販売される。また、プログラムをサーバコンピュータの記憶装置に格納しておき、ネットワークを介して、サーバコンピュータから他のコンピュータにそのプログラムを転送することもできる。
【０１００】
印刷処理プログラムを実行するコンピュータは、例えば、可搬型記録媒体に記録されたプログラムもしくはサーバコンピュータから転送されたプログラムを、自己の記憶装置に格納する。そして、コンピュータは、自己の記憶装置からプログラムを読み取り、プログラムに従った処理を実行する。なお、コンピュータは、可搬型記録媒体から直接プログラムを読み取り、そのプログラムに従った処理を実行することもできる。また、コンピュータは、サーバコンピュータからプログラムが転送されるごとに、逐次、受け取ったプログラムに従った処理を実行することもできる。
【０１０１】
（付記１）  板状の対象物に対する異物の存在面を判定する判定装置において、
前記対象物が表面に存在する基準の明度の変化率を記憶した記憶手段と、
前記対象物の、撮像光が入光される表面に焦点を合わせて撮像された前記対象物の表面の画像情報から、前記画像情報に含まれる前記対象物の表面または前記対象物の裏面に存在し、撮像部に入光された前記撮像光を遮る前記異物の画像の局所的な明度の変化率を算出する算出手段と、
前記算出手段で算出された前記変化率が、記憶手段に記憶されている変化率以上である場合に、前記存在面は前記対象物の表面であるとする判定手段と、
を有することを特徴とする判定装置。
【０１０２】
（付記２）  前記算出手段は、前記対象物の表面の前記画像情報から、前記対象物の表面の明度を最大として、所定値以下の明度の領域を前記異物として抽出することを特徴とする付記１記載の判定装置。
【０１０３】
（付記３）  前記算出手段で算出された変化率が、前記記憶手段に記憶されている変化率未満の場合には、
前記算出手段は、前記対象物の表面の前記画像情報から前記異物の画像の第１の面積値を算出するとともに、
前記対象物の裏面に焦点を合わせて撮像された前記対象物の表面の画像情報から前記異物の画像の第２の面積値を算出し、
前記比較手段は、前記第１の面積値と前記第２の面積値とを比較し、
前記判定手段は、前記第１の面積値が前記第２の面積値未満の場合に、前記存在面は前記対象物の表面であると判定する、
ことを特徴とする付記１記載の判定装置。
【０１０４】
（付記４）  前記第１の面積値が前記第２の面積値以上の場合には、
前記判定手段は、前記存在面は前記対象物の裏面であると判定する、
ことを特徴とする付記３記載の判定装置。
【０１０５】
（付記５）  対象物が表面に存在する基準の明度の変化率を記憶した記憶手段へのアクセスが可能なコンピュータが、
前記対象物の、撮像光が入光される表面に焦点を合わせて撮像された前記対象物の表面の画像情報を取得し、前記画像情報に含まれる前記対象物の表面または前記対象物の裏面に存在する撮像部に入光された前記撮像光を遮る前記異物の画像の局所的な明度の変化率を算出し、
前記算出された変化率が、前記記憶手段に記憶されている変化率以上である場合に、前記存在面は前記対象物の表面であると判定する、
ことを特徴とする判定方法。
【０１０６】
（付記６）  対象物が表面に存在する基準の明度の変化率を記憶した記憶手段へのアクセスが可能なコンピュータに、
前記対象物の、撮像光が入光される表面に焦点を合わせて撮像された前記対象物の表面の画像情報を取得し、前記画像情報に含まれる前記対象物の表面または前記対象物の裏面に存在する撮像部に入光された前記撮像光を遮る前記異物の画像の局所的な明度の変化率を算出させ、
前記算出された変化率が、前記記憶手段に記憶されている変化率以上である場合に、前記存在面は前記対象物の表面であると判定させる、
ことを特徴とする判定プログラム。
【符号の説明】
【０１０７】
１  撮像手段
１ａ  レンズ
２，２０  判定装置
２ａ  保持手段
２ｂ  算出手段
２ｃ  比較手段
２ｄ  判定手段
３  表示手段
１０  撮像装置
１１  撮像レンズ
１２  撮像カメラ
１３  焦点合わせステージ
１４  基板移動ステージ
１５  照明部
２０ａ  ＣＰＵ
２０ｂ  ＲＡＭ
２０ｃ  ＨＤＤ
２０ｄ  グラフィック処理装置
２０ｅ  入力インタフェース
２０ｆ  通信インタフェース
２０ｇ  バス
２１ａ，２１ｂ  画像情報保持部
２２  算出情報保持部
２３  基準情報保持部
２４  画像処理部
２５  抽出部
２６  算出部
２７  比較判定部
２８  表示出力部
２９  制御部
３０  モニタ
４０  入力装置
１００  検査装置
Ａ  対象物
Ａ１，Ｂ１  表面
Ａ２，Ｂ２  裏面
Ｂ  ガラス基板
Ｃ１，Ｃ２  明度コントラスト
Ｇ１，Ｇ２  重心
Ｓ１，Ｓ２，Ｓｉ  面積値
Ｗｓ  基準幅
Ｗ１，Ｗ２，Ｗｉ，Ｗｍ，Ｗｎ  幅
Ｘ１，Ｘ２，Ｘ３、Ｘ４，Ｘ５  異物
【図１】
2011013097.tif 000003
【図２】
2011013097.tif 000004
【図３】
2011013097.tif 000005
【図４】
2011013097.tif 000006
【図５】
2011013097.tif 000007
【図６】
2011013097.tif 000008
【図７】
2011013097.tif 000009
【図８】
2011013097.tif 000010
【図９】
2011013097.tif 000011
【図１０】
2011013097.tif 000012
【図１１】
2011013097.tif 000013
【図１２】
2011013097.tif 000014
【図１３】
2011013097.tif 000015
【図１４】
2011013097.tif 000016