(57)【要約】      （修正有）【課題】楕円偏光板における偏光板の透過軸と位相差板の遅相軸又は進相軸との間の貼合角を短時間で測定できるようにする。【解決手段】光源１から光をバンドパスフィルタ２を通して単一波長とした測定光が光検出器８に至る測定光路上に偏光子３と検光子６が配置されている。楕円偏光板５を測定対象試料として偏光子３と検光子６の間の測定光路上に配置し、偏光子３と検光子６とをそれぞれ１回転させたときの偏光子及び検光子の内側の円の部分と外側の円環状の部分の透過光強度変化をライトガイド７で分離して別々に光検出器８に導き、その２つの透過光強度変化図形の最大透過光強度の方位の差から楕円偏光板の偏光板と位相差板との貼合角を測定する。【選択図】図１
2011117792.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
偏光板と位相差板とからなり偏光板の透過軸と位相差板の遅相軸又は進相軸とが貼合角ψをもって貼合された楕円偏光板からなる被測定物に対し、前記位相差板側から単一波長の測定光を照射する光源光学系と、
前記光源光学系と前記被測定物との間に配置された第１回転円板からなり、該第１回転円板の表面の一部であって該第１回転円板の内側の円内部分又は外側の円環状部分にのみ偏光板が配置され、偏光板配置領域以外の領域が光透過領域となっている偏光子と、
前記被測定物に対し前記偏光子とは反対側に配置され前記第１回転円板の回転軸と同軸上に回転中心をもつ第２回転円板からなり、該第２回転円板の表面の円周に沿った領域で前記第１回転円板の偏光板配置領域と重ならない領域にのみ偏光板が配置され、偏光板配置領域以外の領域が光透過領域となっている検光子と、
前記検光子の偏光板配置領域のみを透過してきた測定光を検出する第１光検出器と、
前記偏光子の偏光板配置領域のみを透過してきた測定光を検出する第２光検出器と、
前記第１光検出器と第２光検出器の検出信号を取り込み、第１光検出器信号から前記被測定物の偏光板の透過軸方位φｐを求め、求めた透過軸方位φｐと前記被測定物の位相差板の既知の位相差Ｒｅ、及び第２光検出器信号を用いて前記被測定物の貼合角ψを算出する演算処理部と、
を備えた貼合角測定装置。
【請求項２】
該貼合角測定装置は貼合角が概ね０°又は概ね９０°を目標に貼合された楕円偏光板を被測定物とする貼合角測定装置であり、
前記演算処理部は、
前記検光子を一回転したときの前記第１光検出器信号による透過光強度図形の最大透過光強度方位から前記被測定物の偏光板の透過軸方位φｐを求める透過軸方位φｐ算出手段と、
前記偏光子を一回転したときの前記第２光検出器信号による透過光強度図形の最大透過光強度方位から前記被測定物の楕円方位角Ψを求める楕円方位角Ψ算出手段と、
前記楕円方位角Ψ算出手段で求められた楕円方位角Ψと前記透過軸方位φｐ算出手段で求められた透過軸方位φｐとの差としてφｐ基準の楕円方位角Ψ'（＝ Ψ−φｐ）を算出する楕円方位角Ψ'算出手段と、
楕円偏光板の貼合角ψと楕円方位角Ψ'及び位相差板の位相差Ｒｅの関係を保持しているψ対Ψ'，Ｒｅ関係保持部と、
前記ψ対Ψ'，Ｒｅ関係保持部に保持されたψ対Ψ'，Ｒｅ関係に前記楕円方位角Ψ'算出手段で求められた楕円方位角Ψ'と前記被測定物の位相差板の既知の位相差Ｒｅを適用して前記被測定物の貼合角ψを算出する貼合角ψ算出手段と
を備えている請求項１に記載の貼合角測定装置。
【請求項３】
該貼合角測定装置は貼合角が約２０°〜約７０°の範囲にある楕円偏光板を被測定物とする貼合角測定装置であり、
前記演算処理部は、
前記検光子を一回転したときの前記第１光検出器信号による透過光強度図形の最大透過光強度方位から前記被測定物の偏光板の透過軸方位φｐを求める透過軸方位φｐ算出手段と、
前記透過軸方位φｐ算出手段で求めた透過軸方位φｐと前記被測定物の位相差板の既知の位相差Ｒｅを用い、前記偏光子を一回転したときの前記第２光検出器信号による透過光強度図形のカーブフィッティングにより前記被測定物の貼合角ψを算出する貼合角ψ算出手段と
を備えている請求項１に記載の貼合角測定装置。
【請求項４】
前記光源光学系は測定光を平行光束として被測定物に照射する平行光学系を含んでおり、
前記偏光子の偏光板配置領域と前記検光子の偏光板配置領域は同心円形状であり、前記偏光子と検光子の一方は内側の円内部分が偏光板配置領域となり外側の円環状部分が透明ガラス板となっており、他方は内側の円内部分が透明ガラス板となり外側の円環状部分が偏光板配置領域となっているものである請求項１から３のいずれか一項に記載の貼合角測定装置。
【請求項５】
前記偏光子と検光子を回転させる回転機構は共通のモータにより前記偏光子と検光子を同時に回転させるようになっている請求項１から４のいずれか一項に記載の貼合角測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置に用いられる偏光板と位相差板とが貼合された楕円偏光板の貼合角を測定する装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、図７（ａ）のように偏光板５ａと位相差板５ｂとが貼合された積層体５は、偏光板５ａから位相差板５ｂを透過した光が楕円偏光になることから、楕円偏光板と呼ばれる。そのような透過光の偏光解析法の１つに、楕円偏光板の位相差板側に配置した偏光板（検光子又は偏光子）を回転したときの全体の透過光の強度変化から楕円率と楕円方位角とを測定する回転検光子法又は回転偏光子法がある。その方法は、ＳＴＮ（Super Twisted Nematic）型液晶セルの補償用楕円偏光板に代表されるような、位相差板の位相差が１００ｎｍ以上あり、かつ偏光板と位相差板との貼合角（偏光板の透過軸と位相差板の遅相軸又は進相軸とのなす角）が約２０°〜約７０°の範囲であるような楕円偏光板であれば、位相差板の位相差と楕円偏光板の貼合角をともに精度よく測定できる（特許文献１参照。）。
【０００３】
しかし、最近の液晶表示装置にはＶＡ（Vertical Alignment）型液晶セルやＩＰＳ（In-Plane Switching）型液晶セルが多く利用されており、それらに用いられる楕円偏光板では、偏光板と位相差板は貼合角が概ね約０°又は概ね９０°になるように加工される場合がある。ここで「概ね」と表現したのは、正確に０°又は９０°に設定されるだけでなく、仕様上０°又は９０°から数度ずれた角度を目標に設計された場合もあるためである。いずれにしても、その目標とされた貼合角に対してどの程度のズレ角があるかを測定するには、回転検光子と回転偏光子及び波長板からなる構成の測定装置で測定する方法がある（特許文献２参照。）。
【０００４】
貼合角を測定する測定系としては、図９に示すような測定系を使用する。その測定系では、光源装置１からの光がバンドパスフィルタ２を通して単一波長の測定光とされ、その測定光が光検出器８に至る測定光路上に偏光子３と検光子６が配置される。偏光子３と検光子６の間の測定光路上に位相差板５ｂが光源側となるように偏光板５ａと位相差板５ｂが貼合された楕円偏光板５が被測定物として配置される。偏光子３と被測定物の間の測定光路上に波長板４が配置される。偏光子３、波長板４及び検光子６は測定光路の光軸を回転中心として回転することができる。また、偏光子３と波長板４は測定光路上の位置と測定光路から外れた位置の間で移動可能に配置されている。
【０００５】
まず、ＳＴＮ型液晶セル補償用の楕円偏光板を測定する場合について説明する。この場合は図９に示す測定系において、波長板４を備える必要はない。先ず図１０（ａ）のように偏光子３と波長板４が測定系にない状態で検光子６のみを１回転すると図８（ａ）のような透過光強度変化が得られる。その光強度変化は（１）式で表されるので、カーブフィッティングの演算処理によって被測定物５の偏光板５ａの透過軸方位φpを求める。
2011117792.tif 000003
ここで、Ｉ01は被測定物がないときの透過光強度、θaは検光子６の回転角、Ｔpy，Ｔpxは検光子６の透過軸方向と吸収軸方向のそれぞれの透過率、Ｔsy，Ｔsxは被測定物の楕円偏光板５の偏光板の透過軸方向と吸収軸方向のそれぞれの透過率、φpは被測定物の楕円偏光板５の偏光板の透過軸方位である。
【０００６】
φpを求めた後、図１０（ｂ）のように検光子６の透過軸方位が被測定物の偏光板の透過軸方位φpになるように検光子６を回転して固定する。次に偏光子３を測定系に入れて、偏光子３を１回転すると図８（ｂ）のような透過光強度変化が得られる。その光強度変化は（２）式で表されるので、カーブフィッティングの演算処理によって被測定物５の偏光板と位相差板の貼合角ψを求める。
2011117792.tif 000004
ここで、Ｉ02は被測定物がないときの透過光強度、θpは偏光子３の回転角、ψは楕円偏光板５の偏光板と位相差板の貼合角、λは測定波長、Ｒeは位相差板の位相差である。
【０００７】
一方、偏光板の透過軸と位相差板の遅相軸又は進相軸が概ね０°又は概ね９０°で貼合された楕円偏光板ではその透過光はほぼ直線偏光であるために、この場合の楕円偏光板を複合偏光板又は積層偏光板と呼ぶことがある。複合偏光板を測定する場合、図１０（ｂ）の状態で偏光子３を１回転したときの透過光強度図形は、図８（ｂ）のようにはならずに、図８（ａ）と殆ど同じ図形になる。そのような場合には、（２）式のカーブフィッティングでは正確な貼合角ψを得ることはできない。そこで、特許文献２に記載の方法では、０°もしくは９０°で貼合された楕円偏光板の貼合ズレ角、又は０°もしくは９０°からわずかにずれた角度で貼合された楕円偏光板の貼合角を測定するために、図１０（ａ）の測定の次に図１０（ｂ）の測定で透過光の楕円率と楕円方位角を求めた後に、図１０（ｃ）のように波長板４を測定系に入れ、その波長板４の遅相軸又は進相軸がφp＋４５°になるように回転して固定した後、さらに偏光子３を１回転して透過光の楕円率と楕円方位角を求める。一般的に、透過光の楕円率と楕円方位角は透過光強度図形Ｉ（θ）から比較的容易に得られる。Ｉ（θ）の最小値Ｉｍｉｎ、最大値Ｉｍａｘ及びＩ（θ）の最大値を与える偏光子３の方位Ψが得られると、楕円率は（Ｉｍｉｎ／Ｉｍａｘ）1/2、楕円方位角はΨと表される。したがって、φp基準で表した楕円方位角をΨ'とすると、Ψ'＝Ψ−φpとなる。特許文献２に記載の方法は、楕円偏光板のみのときの透過光の楕円率と楕円方位角が波長板を重ね合わせることによって変化する現象を利用し、波長板を重ね合わせた後の楕円率と楕円方位角の測定値を、シミュレーション結果と比較することによって、複合偏光板の貼合ズレ角又は貼合角を測定することを可能にしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特許第３５３９００６号公報
【特許文献２】特開２００９−１２２１５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
偏光板と位相差板との目標貼合角が概ね０°又は概ね９０°のときには、仮に貼合角に数度のズレがあったとしても、図７（ｂ）のように楕円偏光板の透過光は楕円偏光板を構成する偏光板通過後の直線偏光とほとんど同じである。上記の従来法（特許文献２に記載の方法）は、図９のような測定装置を用い、１点の測定において先ず波長板４と偏光子３が測定系にない状態で検光子６を１回転して複合偏光板５の偏光板の透過軸方位φpを測定し、次に偏光子３を測定系へ入れて１回転し、さらに波長板４を測定系に入れて波長板４の遅相軸又は進相軸がφp＋４５°になるように回転して固定したのち、さらに偏光子３を１回転するという手順を必要とする。その方法は、複合偏光板の貼合ズレ角を測定する確実な方法として定着しているものの、１点あたりの測定時間が長くなる。
【００１０】
貼合角が約２０°〜約７０°の範囲であるような楕円偏光板であっても、図９のような測定装置を用いる従来の方法（特許文献１に記載の方法）は、まず偏光子３と波長板４が測定系にない状態で検光子６のみを１回転して被測定物の偏光板５ａの透過軸方位φpを求め、その後、検光子６の透過軸方位を被測定物の偏光板の透過軸方位φpに合わせて固定した状態で偏光子３を測定系に入れて偏光子３を１回転することによって被測定物５の偏光板と位相差板の貼合角ψを求めるので、この方法も楕円偏光板の貼合角を精度よく測定できる方法として定着しているものの、やはり１点あたりの測定時間が長くなる。
【００１１】
本発明は、楕円偏光板における偏光板の透過軸と位相差板の遅相軸又は進相軸との間の貼合角を短時間で測定できるようにすることを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の貼合角測定装置は、一実施例を示す図１を参照して説明すると、偏光板５ａと位相差板５ｂとからなり偏光板５ａの透過軸と位相差板５ｂの遅相軸又は進相軸とが貼合角ψをもって貼合された楕円偏光板からなる被測定物５に対し、位相差板側５ｂから単一波長の測定光を照射する光源光学系１，２と、光源光学系１，２と被測定物５との間に配置された偏光子３と、被測定物５に対し偏光子３とは反対側に配置された検光子６と、測定光を検出する光検出器８−１，８−２と、光検出器８−１，８−２の検出信号を取り込み被測定物５の貼合角ψを算出する演算処理部９を備えている。
【００１３】
そして、偏光子３は第１回転円板からなり、第１回転円板の表面の一部であって第１回転円板の内側の円内部分（又は外側の円環状部分）にのみ偏光板が配置され、偏光板配置領域以外の領域が光透過領域となっている。
【００１４】
検光子６は第１回転円板の回転軸と同軸上に回転中心をもつ第２回転円板からなり、第２回転円板の表面の円周に沿った領域で第１回転円板の偏光板配置領域と重ならない領域にのみ偏光板が配置され、偏光板配置領域以外の領域が光透過領域となっている。
【００１５】
光検出器８−１，８−２は、検光子６の偏光板配置領域のみを透過してきた測定光を検出する第１光検出器８−１と、偏光子３の偏光板配置領域のみを透過してきた測定光を検出する第２光検出器８−２とからなる。
【００１６】
演算処理部９は、第１光検出器８−１と第２光検出器８−２の検出信号を取り込み、第１光検出器８−１の検出信号から被測定物の偏光板の透過軸方位φｐを求め、求めた透過軸方位φｐと被測定物の位相差板の既知の位相差Ｒｅを用い、第２光検出器８−２の検出信号を用いて被測定物の貼合角ψを算出するものである。
【００１７】
測定の対象とする楕円偏光板は、概ね０°又は概ね９０°で貼合された複合偏光板と称される楕円偏光板に限らず、ＳＴＮ型液晶セル補償用の楕円偏光板のように貼合角が約２０°〜約７０°の範囲であるような楕円偏光板も含んでいる。
【００１８】
本発明の第１の形態は、貼合角が概ね０°又は概ね９０°を目標に貼合された楕円偏光板を被測定物とする貼合角測定装置である。この場合の演算処理部９は、図２に示されるように、透過軸方位φｐ算出手段２２、楕円方位角Ψ算出手段２４、楕円方位角Ψ'算出手段２６、ψ対Ψ'，Ｒｅ関係保持部２８及び貼合角ψ算出手段３２を備えている。
【００１９】
透過軸方位φｐ算出手段２２は、検光子を一回転したときの第１光検出器８−１の検出信号による透過光強度図形の最大透過光強度方位から被測定物の偏光板の透過軸方位φｐを求める。
【００２０】
楕円方位角Ψ算出手段２４は、偏光子を一回転したときの第２光検出器８−２の検出信号による透過光強度図形の最大透過光強度方位から被測定物の楕円方位角Ψを求める。
【００２１】
楕円方位角Ψ'算出手段２６は、楕円方位角Ψ算出手段２４で求められた楕円方位角Ψと透過軸方位φｐ算出手段で求められた透過軸方位φｐとの差としてφｐ基準の楕円方位角Ψ'（＝ Ψ−φｐ）を算出する。
【００２２】
ψ対Ψ'，Ｒｅ関係保持部２８は、楕円偏光板の貼合角ψと楕円方位角Ψ'及び位相差板の位相差Ｒｅの関係を保持している。
【００２３】
そして、貼合角ψ算出手段３２は、ψ対Ψ'，Ｒｅ関係保持部２８に保持されたψ対Ψ'，Ｒｅ関係に楕円方位角Ψ'算出手段２６で求められた楕円方位角Ψ'と被測定物の位相差板の既知の位相差Ｒｅを適用して被測定物の貼合角ψを算出するものである。
【００２４】
この形態では、図１の２つの光検出器８−1，８−２で得られる透過光強度図形はいずれも、ほぼ図８（ａ）のような図形である。検光子６の偏光板配置領域の透過光強度図形から得られる最大強度の方位がφpであり、偏光子３の偏光板配置領域の透過光強度図形から得られる最大強度の方位がΨとなる。φpとΨとの差すなわちΨ'は僅かであり、大きくても１°以下である。
【００２５】
また、図８（ａ）のような図形は（１）式で表現されるが、（１）式中にはＩ01、Ｔsy，Ｔsxおよびφpの４つの未知数が含まれる。本発明では被測定物の偏光板の透過率Ｔsy，Ｔsxを求める必要はないので、ここでは、図１の２つの光検出器８−1，８−２で得られる透過光強度図形をいずれも（１）式の代わりに次式で現すことにする。
2011117792.tif 000005
ここで、Ｉmax、Ｉminは透過光強度の最大値、最小値、θは偏光子又は検光子の回転角、φは最大透過光強度の方位であってφp又はΨに相当する。（４）式は未知数３つで簡潔なため、（１）式で表すよりもカーブフィッティングの精度が良くなり、求めるφpとΨの値も安定する。φpとΨが求まればそれらの差Ψ'も求まる。
【００２６】
（２）式と（３）式において、波長λと偏光板の透過軸φpを一定にし、貼合角ψと位相差Ｒｅとを変化させて計算すれば透過光強度図形Ｉ（θ）を自由に描くことができ、そのときのφpを基準にした最大透過光強度の方位Ψ'も容易に求めることができる。例えばλ＝５９０ｎｍでψを０°から０．５°まで、Ｒeを５０ｎｍから１６０ｎｍまで、それぞれを変化させたときのΨ'を計算し、その結果をグラフにすると図４のようになる。図４よりψとΨ'は直線関係になり、その傾きはＲeによって変わることが分かる。そこで、図４の各直線の傾きとＲeとの関係をグラフにすると図５のようになり、指数関数で近似できる。したがって、被測定物の位相差Ｒeが既知であればΨ'を測定することにより次式によって貼合角ψを算出することができる。
2011117792.tif 000006
【００２７】
（５）式の係数は測定波長によって異なる値になるが、固定された波長で測定する限りは装置定数として扱える。
【００２８】
図２に示された演算処理部９において、ψ対Ψ'，Ｒｅ関係保持部２８には(５)式を保持しておく。被測定物の位相差Ｒeは既知の値として入力部から演算処理部９に入力して保持しておけばよい。
【００２９】
図６は図５で得られた近似式を元に位相差ＲｅごとにΨ'と貼合角ψとの関係を示したグラフである。貼合角ψ算出手段３２での算出処理は、図６において、位相差ＲｅとΨ'とから貼合角ψを求めることに相当する。
【００３０】
本発明では、位相差Ｒｅを既知として扱うが、液晶表示装置に使用される位相差板の位相差Ｒｅの変動は非常に小さく、多く見積もっても目標値に対して２ｎｍ以下である。仮に（５）式においてＲｅ＝５０ｎｍと１００ｎｍに固定したときに、ψ＝０．２°と０．５°である場合、実際の被測定物のＲｅがそれぞれ（目標値＋２ｎｍ）であったときに、（５）式より得られるψがいくら変わるかを見積もると表１のようになる。
【００３１】
【表１】
2011117792.tif 000007
【００３２】
表１より、Ｒｅが目標値に対して２ｎｍずれた被測定物を、目標値のＲｅ値を利用したままで測定したときに測定される貼合角ψは０．０４°程度影響を受けることが分かる。この誤差は、要求されるψの測定精度±０．１°からみて十分使用可能と言える。
【００３３】
本発明の第２の形態は、貼合角が約２０°〜約７０°の範囲にある楕円偏光板を被測定物とする貼合角測定装置である。この場合の演算処理部９は、図３に示されるように、透過軸方位φｐ算出手段２２及び貼合角ψ算出手段３２aを備えている。
【００３４】
透過軸方位φｐ算出手段２２は第１の形態のものと同じであり、検光子を一回転したときの第１光検出器８-１の検出信号による透過光強度図形の最大透過光強度方位から被測定物の偏光板の透過軸方位φｐを求める。
【００３５】
貼合角ψ算出手段３２aは透過軸方位φｐ算出手段２２で求めた透過軸方位φｐと被測定物の位相差板の既知の位相差Ｒｅを用い、偏光子を一回転したときの第２光検出器８-２の検出信号による透過光強度図形に（２）,（３)式を当てはめるカーブフィッティングにより被測定物の貼合角ψを算出する。
【００３６】
第２の形態は、ＳＴＮ型液晶セル補償用の楕円偏光板などの貼合角を測定する場合に使用されるものであり、（５）式を用いることなく特許文献１と同じ演算手順で（２）式、（３）式から貼合角を求める。
【発明の効果】
【００３７】
本発明の貼合角測定装置によれば、楕円偏光板を構成する偏光板と位相差板との貼合角が概ね０°又は概ね９０°を目標に貼合加工された場合の貼合角もしくは目標貼合角からのズレ角に限らず、貼合角が約２０°〜約７０°の範囲にある楕円偏光板の貼合角の測定でも、偏光子と検光子をそれぞれ１回ずつ回転させるだけでよいため、測定時間が短くなる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の楕円偏光板を測定するための測定系の一実施例の概略構成図である。
【図２】第１の形態における演算処理部を示すブロック図である。
【図３】第２の形態における演算処理部を示すブロック図である。
【図４】計算によって求めた複合偏光板の位相差Ｒｅと貼合角ψ及び観測される２つの透過光の偏光方位角の差Ψ'との関係をあらわすグラフである。
【図５】図４のグラフの位相差Ｒｅと各直線の傾きとの関係を示すグラフである。
【図６】図５で得られた近似式を元に位相差ＲｅごとにΨ'と貼合角ψとの関係を示したグラフである。
【図７】（ａ）は楕円偏光板、（ｂ）は複合偏光板と称される楕円偏光板の透過光の偏光状態を説明する概略斜視図である。
【図８】（ａ）は図１０（ａ）の測定系で偏光板の透過軸を測定したときの透過光強度図形、（ｂ）は図１０（ｂ）の測定系で楕円偏光板を測定したとき透過光強度図形である。
【図９】従来法の複合偏光板を測定するための測定系の一例を示す概略構成図である。
【図１０】従来法の複合偏光板を測定するときの光学系の動きを順に示した概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００３９】
図１は、楕円偏光板における貼合角を測定するための貼合角測定装置の一実施例を示す概略構成図である。
【００４０】
光源１からの光が単一波長光の測定光として被測定物である楕円偏光板５に照射される。光源１としては、例えばハロゲンランプと、ハロゲンランプからの光を導くライトガイドからなるものとすることができる。その場合にはハロゲンランプからの光を単一波長光にするためにバンドパスフィルタ２が光路上に配置される。光源１としてはレーザ光源を使用することもできる。レーザ光源の場合には単一波長光を発振させることによりバンドパスフィルタ２を省略することができる。以下の説明では光源１としてハロゲンランプを使用し、バンドパスフィルタ２が配置されているものとして説明する。
【００４１】
さらに、光源１とバンドパスフィルタ２の間に測定光を並行光にするための光学系が配置されていることが好ましい。
【００４２】
バンドパスフィルタ２と楕円偏光板５が配置される試料台上の位置の間で測定光の光路上には、径の異なる２つの同心円形状であって内側の円内が偏光板になっている偏光子３が配置される。楕円偏光板５を透過した測定光を検出するために２つの光検出器８-１と8-２が配置される。楕円偏光板５と光検出器８-１,８-２の間の測定光路上には偏光子３と同様に径の異なる２つの同心円形状であって外側の円環状部分が偏光板になっている検光子６が配置されている。偏光子３と検光子６は、その偏光軸の方位が変えられるように回転可能に支持され、かつ１つのモータで同期回転する機構になっており、その回転角度はエンコーダで検出できるようになっている。
【００４３】
検光子６と光検出器８-１,８-２の間にはライトガイド７が配置されている。ライトガイド７は多数の光ファイバを一端面が円形の入射面になるように束ねたものである。ライトガイド７の入射端面の円環状部分は偏光子３の透明ガラス領域を通過し検光子６の偏光板配置領域を通過してきた測定光を受光し、第１の光検出器８-１に導く。ライトガイド７の入射端面の中央部の円形部分は偏光子３の偏光板配置領域を通過し検光子６の透明ガラス領域を通過してきた測定光を受光し、第２の光検出器８-２に導く。
【００４４】
光検出器８-１,８-２の検出信号に基づいて２つの透過光強度図形のそれぞれの最大透過光強度の方位を求め、それらの値から貼合角を算出するための演算処理部９が設けられている。演算処理部９は図２又は図３に示された機能を果たすものであり、専用のコンピュータにより又はこの測定装置の動作を制御するコンピュータにより実現される。
【００４５】
偏光子３と検光子６は、必ずしも１つのモータで駆動する必要はなく、その回転角度の検出が可能な機構であれば個々の独立回転であってもよい。
【符号の説明】
【００４６】
１      光源
２      バンドパスフィルタ
３      偏光子
４      波長板
５      複合偏光板
６      検光子
７      ライドガイド
８      光検出器
９      演算処理部
２２      透過軸方位φｐ算出手段
２４      楕円方位角Ψ算出手段
２６      楕円方位角Ψ'算出手段
２８      ψ対Ψ'，Ｒｅ関係保持部
３２，３２ａ      貼合角ψ算出手段
【図１】
2011117792.tif 000008
【図２】
2011117792.tif 000009
【図３】
2011117792.tif 000010
【図４】
2011117792.tif 000011
【図５】
2011117792.tif 000012
【図６】
2011117792.tif 000013
【図７】
2011117792.tif 000014
【図８】
2011117792.tif 000015
【図９】
2011117792.tif 000016
【図１０】
2011117792.tif 000017