(57)【要約】【課題】４以上の元素を含む試料の相解析を効率良く行えるようにする。【解決手段】相解析画面上に表示された２元散布図（又は３元散布図）上で、分析者がマウス操作等によりプロット点の集まり（クラスター）を異なる色の囲み線ａ、ｂ、ｃで指定すると、各囲み線内に含まれるプロット点は囲み線と同色に変更される（ａ）。同時に、相解析画面上に表示された分布図上では、散布図上のプロット点に対応した位置が同色で示される。したがって、分布図上でクラスターに対応する領域がそれぞれ異なる色Ｍａ、Ｍｂ、Ｍｃで示される（ｂ）。表示される散布図が別の元素組合せのものに切り替えられても、分布図上の各位置に対応したプロット点に同じ色が与えられる（ｃ）。これにより、異なる元素組合せの散布図を関連付けることができる。また、異なる散布図上で指定したクラスターの位置を１つの分布図上で確認することができる。【選択図】図４
2011153858.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料上で励起線の照射位置を２次元的に移動させつつ励起線照射部位から放出されたＸ線を順次検出することにより、試料中の各元素のマッピング分析が可能なＸ線分析装置にあって、試料上の２次元領域内の多数の微小領域からそれぞれ得られたＸ線強度データを処理して表示部に表示するＸ線分析用表示処理装置において、
a)２次元領域内の微小領域毎に２元素又は３元素のＸ線強度や元素濃度又はその割合をそれぞれ点としてプロットして得られる散布図とその２次元領域内の元素の分布を示す分布図とを同一画面内に表示する描画処理手段と、
b)分析者の指示に応じて、前記描画処理手段により表示される散布図を任意の２元素又は３元素に対応したものに切り替える散布図切替手段と、
c)前記描画処理手段により表示される散布図上で分析者が任意の範囲を指定するための範囲指定手段と、
とを備え、前記描画処理手段は、前記範囲指定手段により指定された散布図上の範囲に存在するプロット点を範囲毎に異なる所定の色で示すとともに、該散布図と同一画面内に表示される分布図上で散布図上の各プロット点に対応する微小領域の位置をプロット点と同色で表示し、さらに、前記散布図切替手段により散布図が切り替えられたときに、その切り替え後の散布図上の各プロット点を前記分布図上の対応する微小領域の位置に与えられている色で表示することを特徴とするＸ線分析用表示処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子線プローブマイクロアナライザ、走査電子顕微鏡、蛍光Ｘ線分析装置等、電子線やＸ線などを励起線として試料から放出されるＸ線を検出するＸ線分析装置において、マッピング分析の結果を表示するための表示処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子線プローブマイクロアナライザ（以下、「ＥＰＭＡ」と称す）では、マッピング分析を行うことにより、試料上の２次元領域内の微小領域毎に含有元素の種類と量とを調べることができる（特許文献１など参照）。マッピング分析で得られた結果を解析する際には、２元素又は３元素についての特性Ｘ線強度又はその強度から計算される元素濃度の散布図を作成し、その図上のプロット点の分布から、試料に含まれる化合物の種類や含有割合を確認する手法、即ち、相解析（相分析も同義）が頻繁に用いられる。
【０００３】
図１０は一般的な２元散布図の表示例であり、横軸にＡｌの特性Ｘ線強度、縦軸にＣａの特性Ｘ線強度を割り当てている。図上の１つのデータ点は試料上の測定対象である２次元領域内の或る１箇所の微小領域に対応している。ここでは、Ａｌ、Ｃａの２元素の少なくともいずれか一方を含む化合物が試料に複数含まれることで、データ点の密度が高い領域が２元散布図に複数現れている。
【０００４】
図１１は３元散布図（３元系状態図とも呼ばれる）の表示例とその説明図である（特許文献２、非特許文献１など参照）。図１１（ｂ）に示すように、３元散布図は正三角形状のグラフの各辺をそれぞれ異なる元素の強度軸（Ａ軸、Ｂ軸、Ｃ軸）に割り当てたもので、マッピング分析における或る微小領域のデータを対応する強度位置にプロットする。このプロット位置を一意に定めるためには、データ点毎に３元素の強度の合計を規格化する必要がある。そこで、３元素の強度の合計が１００％になるように各元素の強度を規格化する。即ち、Ａ軸、Ｂ軸、Ｃ軸の強度軸はそれぞれ０〜１００％の範囲を表し、３元素の強度をそれぞれＩ1、Ｉ2、Ｉ3、３元素の強度の和をＩsumとすると、データ点のプロット位置は（Ｉ1/Ｉsum、Ｉ2/Ｉsum、Ｉ3/Ｉsum）である。
【０００５】
試料上の２次元領域内の各微小領域で得られたデータ点を３元散布図中に位置付けると、例えば図１１（ａ）に示すようになる。３元散布図でも２元散布図と同様に、１つのデータ点は試料上の或る１箇所の微小領域に対応している。ここでは、Ａｌ、Ｓｉ、Ｃａの３元素の少なくともいずれかを含む化合物が試料に複数含まれることで、データ点の密度が高い領域が３元散布図に複数現れている。
【０００６】
２元散布図、３元散布図のいずれでも、図上でデータ点が集中する領域における２元素又は３元素の含有比率に基づいて、化合物を推定することができる。しかしながら、試料に４以上の元素が含まれる場合には、相解析では、４以上の元素のうちの異なる２元素又は３元素の組み合わせの２元散布図又は３元散布図に対応した複数の元素分布図（元素マッピング図）を見比べて、４以上の元素の組み合わせが試料上で存在する位置を調べる必要がある。このため、相解析の作業は煩雑で面倒であり、効率が悪いのみならず、正確な解析には或る程度の経験や熟練が必要であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０００−１８０３９２号公報
【特許文献２】特開平１１−２６９５８４号公報
【非特許文献】
【０００８】
【非特許文献１】「ＥＰＭＡによる相分析カラーマップ」、［平成２１年１２月９日検索］、株式会社ユービーイー科学分析センター、インターネット＜URL :  http://www.ube-ind.co.jp/usal/service/local/s268b.pdf＞
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は上記課題を解決するために成されたものであり、その目的とするところは、４以上の元素が含まれる試料に対し相解析による含有化合物の推定やその分布の検証などを行う際に、分析者の作業の負担を軽減するとともに正確な結果を導出できるように適切な支援を行うことができるＸ線分析用表示処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために成された本発明は、試料上で励起線の照射位置を２次元的に移動させつつ励起線照射部位から放出されたＸ線を順次検出することにより、試料中の各元素のマッピング分析が可能なＸ線分析装置にあって、試料上の２次元領域内の多数の微小領域からそれぞれ得られたＸ線強度データを処理して表示部に表示するＸ線分析用表示処理装置において、
a)２次元領域内の微小領域毎に２元素又は３元素のＸ線強度や元素濃度又はその割合をそれぞれ点としてプロットして得られる散布図とその２次元領域内の元素の分布を示す分布図とを同一画面内に表示する描画処理手段と、
b)分析者の指示に応じて、前記描画処理手段により表示される散布図を任意の２元素又は３元素に対応したものに切り替える散布図切替手段と、
c)前記描画処理手段により表示される散布図上で分析者が任意の範囲を指定するための範囲指定手段と、
を備え、前記描画処理手段は、前記範囲指定手段により指定された散布図上の範囲に存在するプロット点を範囲毎に異なる所定の色で示すとともに、該散布図と同一画面内に表示される分布図上で散布図上の各プロット点に対応する微小領域の位置をプロット点と同色で表示し、さらに、前記散布図切替手段により散布図が切り替えられたときに、その切り替え後の散布図上の各プロット点を前記分布図上の対応する微小領域の位置に与えられている色で表示することを特徴としている。
【００１１】
本発明に係るＸ線分析用表示処理装置は、コンピュータにインストールされた専用のソフトウエアが該コンピュータ上で動作することにより具現化されるものであり、通常、表示部はコンピュータ本体に接続されるモニタ、範囲指定手段はコンピュータ本体に接続されるマウス等のポインティングデバイスやキーボードなどである。
【００１２】
また散布図と分布図とが「同一画面内」に表示されるとは、１つのウインドウ内の異なる領域に散布図と分布図とが表示される場合と、同時に開かれる２つのウインドウ内の一方に散布図が他方に分布図が表示される場合と、を含む。一般にウインドウは表示画面上で任意の位置に移動可能であるから、後者の場合、２つのウインドウは並べて配置される場合もあれば一部又は全部が重なった状態である場合もある。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係るＸ線分析用表示処理装置では、試料上の測定対象である２次元領域内の各微小領域から得られるＸ線強度データに基づいて作成される散布図と分布図（元素マッピング図）とが同一画面内に表示される。散布図上の或る１点は、或る微小領域における２元素（２元散布図の場合）又は３元素（３元散布図の場合）のＸ線強度や濃度そのもの（絶対値）又は強度や濃度の割合（相対値）を示す。一方、分布図上の或る１点は、２次元領域内の微小領域の位置を示す。したがって、散布図上の点（プロット点）と分布図上の点（画素）とは一対一に対応している。
【００１４】
本発明に係るＸ線分析用表示処理装置においては、同時に表示される散布図と分布図とで対応する点が同一の色で表示され、その散布図が異なる元素の組み合わせのものに切り替えられた場合でも、更新される散布図上の各プロット点の色は分布図上の色分けに対応したものとなる。一般的な相解析では、分析者は任意の元素組み合わせに対する散布図上でプロット点が集中している部分が同一の化合物である可能性が高いと判断し、その集中しているプロット点を囲むように範囲指定手段により１乃至複数の範囲を指定する。すると、指定された範囲に含まれるプロット点が着色され、それぞれ対応した分布図上の点が同色になる。したがって、分布図上では指定された２元素又は３元素を同程度の割合で含む部分毎に色分けがされる。
【００１５】
この状態で、分析者の指示に応じて散布図切替手段が表示される散布図を別の元素組み合わせの散布図に変更すると、その散布図上の各プロット点も分布図上の色分けに対応して着色される。このため、例えば切り替え前が元素Ａ、Ｂの２元散布図、切り替え後が元素Ｃ、Ｄの２元散布図である場合、元素Ａ、Ｂが或る割合で存在するような微小領域に、元素Ｃ、Ｄがどの程度含まれているのか、或いは含まれていないのか、を分析者が視覚的に知ることができる。また、分布図により、それが２次元領域内でどのように分布しているのかも併せて知ることができる。
【００１６】
このように本発明に係るＸ線分析用表示処理装置によれば、同じ微小領域に含まれる元素を、異なる元素組み合わせの複数の散布図上で容易に確認することができる。そのため、４以上の元素が試料に含まれる場合であっても、分析者が相解析を行うのに有用な情報を簡単な操作によって提供することができ、相解析の作業の効率を向上させることができる。また、相解析における分析者の作業負荷が軽減され、経験や熟練の不足を補った正確性の高い解析が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施例である表示処理装置を用いたＥＰＭＡの要部の構成図。
【図２】本実施例のＥＰＭＡで表示される相解析画面の一例を示す図。
【図３】本実施例のＥＰＭＡで表示される散布図元素選択画面の一例を示す図。
【図４】本実施例のＥＰＭＡにおける特徴的な表示処理の一例の概略説明図。
【図５】本実施例のＥＰＭＡにおける特徴的な表示処理実行時の画面の一例を示す図。
【図６】本実施例のＥＰＭＡで表示される３次元散布図の一例（ＸＹＺ表示グラフ）を示す図。
【図７】本実施例のＥＰＭＡで表示される３次元散布図の他の例（ピラミッド表示グラフ）を示す図。
【図８】ＸＹＺ表示グラフの概略説明図。
【図９】ピラミッド表示グラフの概略説明図。
【図１０】一般的な２元散布図の表示例を示す図。
【図１１】一般的な３元散布図の表示例（ａ）及びその説明図（ｂ）。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明に係る表示処理装置を用いたＥＰＭＡの一実施例について、添付図面を参照して説明する。図１は本実施例によるＥＰＭＡの概略構成図である。
【００１９】
図１において、電子線照射部１は電子銃２や図示しない偏向コイル等を含み、微小径の電子線を試料ステージ４上に載置された試料３に照射する。電子線を受けて、試料３の表面から元素に特有の波長を有する特性Ｘ線が放出される。この特性Ｘ線は分光結晶５で波長分散され、特定の波長の回折Ｘ線がＸ線検出器６で検出される。例えば試料３上の電子線照射位置と分光結晶５とＸ線検出器６とは常にローランド円上に位置しており、図示しない駆動機構により分光結晶５は直線的に移動しつつ傾斜され、この移動に連動してＸ線検出器６は回動される。これにより、ブラックの回折条件を満たすように、つまり分光結晶５に対する特性Ｘ線の入射角と回折Ｘ線の出射角とが等しい状態が維持されつつ分析対象のＸ線の波長走査が達成される。Ｘ線検出器６によるＸ線強度の検出信号はデータ処理部９に入力され、データ処理部９は、波長走査に応じたＸ線スペクトルを作成する。
【００２０】
試料ステージ４は試料ステージ駆動部７によりｘ軸、ｙ軸の二軸方向に移動可能であり、この移動により試料３上での電子線照射位置は走査される。分析制御部８は試料３に対する分析を実行するために、試料ステージ駆動部７、分光結晶５やＸ線検出器６を移動させる駆動機構、データ処理部９などの動作を制御する。中央制御部１０には、分析者（オペレータ）が指示を与えるためのキーボードやマウス（又はそれ以外のポインティングデバイス）を含む操作部１２や、分析者に分析結果等の情報を提供する表示部１３が接続され、分析条件の設定などを行うとともに分析結果などを出力する機能を有する。通常、中央制御部１０、分析制御部８、及びデータ処理部９の全て又は一部は、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）により構成され、ＰＣにインストールされた専用の制御／処理ソフトウエアを実行することでそれぞれの機能が達成される。
【００２１】
このＥＰＭＡにおいてマッピング分析を行う際には、分析制御部８の制御の下に、試料３上の任意の（分析者により指定された）２次元領域内で電子線照射位置を走査しつつ特性Ｘ線の検出を繰り返すことにより、その２次元領域内に設定された微小領域毎にＸ線スペクトルを作成する。各種元素はそれぞれ特有の波長（エネルギー）の特性Ｘ線を放出するから、Ｘ線スペクトル上で特定波長のピークを検出し、そのピーク強度を求めることにより、特定の元素の強度（濃度）が得られる。これにより、２次元領域内の微小領域毎に、含有元素のＸ線強度又は濃度データを取得することができ、それがデータ処理部９内のデータ保存部９０に格納される。
【００２２】
中央制御部１０にその機能の一部として含まれる表示処理部１１は、分析者による操作部１２の操作に応じて、データ保存部９０に格納されているＸ線強度又は濃度データを利用して散布図や分布図（元素マッピング図）などを作成し、表示部１３の画面上に表示する。以下、分析者が相解析を実行する際に、表示処理部１１を中心に行われる描画処理について詳述する。
【００２３】
分析者が相解析を行うべく操作部１２で所定の操作を行って相解析プログラムを起動させると、表示処理部１１は、図２に示すような相解析画面（ウインドウ）２０を表示部１３の画面上に表示する。相解析画面２０には、分布図表示領域２１と散布図表示領域２２とが設けられている。設定によるが、この例では初期的に、分布図表示領域２１にＳＥＭ画像などの表面観察画像が表示され、散布図表示領域２２には所定の２元素の散布図（２元散布図）が表示されている。
【００２４】
散布図表示領域２２には、予め定められた複数の元素のうちの任意の２元素の組み合わせによる２元散布図、又は任意の３元素の組み合わせによる３元散布図の１つが切り替え可能に表示される。表示される散布図の元素組み合わせの変更は、所定のアイコン又はボタンをクリック操作することで現れる、図３に示す散布図元素選択画面３０において行うことができる。即ち、この散布図元素選択画面３０には２元散布図と３元散布図との指定ボタンが設けられ、各散布図の元素組み合わせがラジオボタンにより行えるようになっている。
【００２５】
図３の例では、２元散布図の２元素はＡｌとＣａであり、３元散布図の３元素はＡｌ、Ｃａ、Ｃである（なお、図３において、Ｘ、Ｙは２元散布図の横軸及び縦軸、Ａ、Ｂ、Ｃは３元散布図のＡ軸、Ｂ軸、Ｃ軸に対応する（図１１（ｂ）参照））。分析者がラジオボタンで元素の組み合わせを適宜変更して［２元散布図］［３元散布図］の一方のボタンをマウス等でクリックすると、この操作を受けて表示処理部１１は、Ｘ線強度又は濃度データを用い、指定されている元素組み合わせに対応した２元散布図又は３元散布図を作成し、これを散布図表示領域２２に表示する。つまり、その直前に散布図表示領域２２に表示されている散布図が更新される。なお、散布図表示領域２２に表示される散布図の切り替え操作、散布図元素選択画面３０上のほか、後述するような３次元散布図を用いても行うことができる。
【００２６】
いま、相解析画面２０の散布図表示領域２２に図４（ａ）左に示すような２元散布図が表示されているものとする。この２元散布図上の各プロット点はそれぞれ分布図上の或る位置の点（微小領域）に対応している。初期的には、２元散布図上の各プロット点の表示色は標準色（例えば黒色）である。
【００２７】
一般に、試料に含まれる化合物の種類やその含有割合に応じて、２元散布図上にはプロット点の集まり（クラスター）がいくつか出現する。１つのクラスターは、指定されている２又は３元素（図４（ａ）の例では元素Ａ、Ｂ）をほぼ一定の割合で含有している試料上の部位を示していると考えられるから、相解析の際には、同一クラスターが試料上でどのように分布しているのかを調べることが有用である。そこで、分析者はマウス等の操作により散布図上でカーソルを移動させて所望の範囲を囲み線により指定する。この囲み線は複数設定でき、各囲み線の色はそれぞれ異なる（この表示色は別途設定可能である）。
【００２８】
図４（ａ）右に示すように、散布図上で矩形又はそのほかの任意の形状の囲み線ａ、ｂ、ｃで所望の範囲が指定されると、表示処理部１１は、１つの範囲に属する複数のプロット点が１つのグループであると認識する。そして、１つ範囲に含まれる複数のプロット点の表示色をその範囲の囲み線の色に変更する。図４では３つの囲み線ａ、ｂ、ｃの各範囲内のプロット点の色の相違を十分に表現できないので、図４（ａ）右の右方に示す塗りつぶしで各プロット点が表されているものとする。いずれの囲み線にも含まれないプロット点の表示色は変化せず、初期色（例えば黒）のままである。
【００２９】
表示処理部１１は囲み線の指定に伴って上述のように散布図上のプロット点の表示色を変更すると同時に、表示色が変更された各プロット点に対応した分布図上での位置に関する情報を取得する。そして、分布図表示領域２１に表示されている分布図上でその位置の点（画素）に、対応するプロット点と同じ色を与え、分布図上にその色の画素を重ねて表示する。したがって、散布図上で囲み線ａで囲まれた範囲のプロット点に対応した分布図上の部位は色Ｍａで塗りつぶされ、散布図上で囲み線ｂで囲まれた範囲のプロット点に対応した分布図上の部位は色Ｍｂで塗りつぶされ、散布図上で囲み線ｃで囲まれた範囲のプロット点に対応した分布図上の部位は色Ｍｃで塗りつぶされる。一方、散布図上で囲み線ａ、ｂ、ｃで囲まれる範囲のいずれにも入らないプロット点に対応した分布図上の部位は元の観察像がそのまま露出した状態Ｍｅとなる。
これにより、分布図表示領域２１に表示される分布図は、図４（ｂ）に示すように、散布図上で分析者により指定された１乃至複数のクラスターに対応して色分けがなされた分布図となる。
【００３０】
別の元素の組み合わせを調べるために、分析者が例えば上述した散布図元素選択画面３０において元素の組み合わせの変更を指示したものとする。表示処理部１１はこれを受けて、指定された元素に対応した散布図を作成して散布図表示領域２２に表示する（散布図を変更する）。このとき、新たな散布図上のプロット点に対し、分布図上の各点に与えられている色（Ｍａ、Ｍｂ、Ｍｃ）を与える。したがって、例えば元素Ｃ、Ｄの組み合わせを指示したとき、それに応じて作成・表示される２元散布図上の各プロット点の色は、Ｍａ、Ｍｂ、Ｍｃ又は初期色Ｍｅのいずれかとなる（図４（ｃ）参照）。この散布図は元素Ｃ、Ｄをそれぞれ所定割合で含む化合物の存在を示している。
【００３１】
また、この散布図上で先に使用した色Ｍａ、Ｍｂ、Ｍｃとは別の色Ｍｄの囲み線でクラスターを指定すると、分布図表示領域２１に表示されている図４（ｂ）に示すような分布図において、囲み線で囲まれる範囲に含まれるプロット点に対応する位置に色Ｍｄの点が重畳される。即ち、異なる元素組み合わせの散布図上でそれぞれ指定されたクラスターに対応した領域が、１つの分布図上に反映されることになる。これにより、元素Ａ、Ｂを所定割合で含む領域と、元素Ｃ、Ｄを所定割合で含む領域とが、分布図上で一目で確認できるようになる。また、分布図上で元素Ａ、Ｂを所定割合で含む部位において元素Ｃ、Ｄの含有割合がどのようになっているのかを、散布図上で一目で確認することができる。
【００３２】
上記説明では散布図を２元散布図としたが、分析者が３元散布図を選択した場合でも同様である。即ち、分析者が３元散布図を選択するために相解析画面２０上の散布図切替ボタン２３をクリックすると、表示処理部１１はその時点で指定されている３元素（図３の指定例ではＡｌ、Ｃａ、Ｃ）の３元散布図を作成し、散布図表示領域２２にこれを表示する。その際に、３元散布図上の各プロット点に対して、その時点で表示している分布図上の各点に与えられている色が与えられる。
【００３３】
図５に実際の相解析画面２０の表示例を示す。（ａ）はＡｌ、Ｃａの２元散布図上で３つの囲み線を指定した後の状態を示す図である。散布図上の３つの囲み線５１、５２、５３は赤色、黄色、及び緑色であり、各囲み線５１〜５３内のプロット点も同色である。また、分布図上でプロット点に対応した位置も同色で表示される。（ｂ）は（ａ）の状態から元素の組み合わせをＳｉ、Ｃに変更した後の状態を示す図である。２元散布図は元素Ｓｉ、Ｃの組み合わせに変更されているが、散布図上の各プロット点は分布図上の各位置の色で示されている。ここでは、散布図上において青色の囲み線５４でクラスターを指定している。囲み線５４内のプロット点も同色であり、これらプロット点に対応した分布図上の位置も青色で示されている。（ｃ）は（ｂ）の状態から元素の組み合わせをＡｌ、Ｓｉ、Ｃａとした３元散布図に変更した後の状態を示す図である。散布図上の各プロット点は赤色、黄色、緑色、青色、又は黒色のいずれかであり、分布図上の部位との対応関係が明確になる。
【００３４】
上記説明では、相解析画面２０の散布図表示領域２２に表示される散布図を切り替えるときの元素組合せを散布図元素選択画面３０上で指定するようにしていたが、次に説明するように、元素組合せをグラフィカルに指定することも可能である。
【００３５】
図２に示すような相解析画面２０上で分析者が３次元散布図表示のための所定の操作を行うと、この指示を受けた表示処理部１１は図６に示すような３次元散布図画面（ウインドウ）４０を相解析画面２０の上に重ねて表示する。
【００３６】
３次元散布図画面４０にはグラフ表示領域４１が設けられており、この領域４１に３次元散布図が表示される。３次元散布図には、ＸＹＺ表示、トライアングル表示、ピラミッド表示の３種のグラフがあり、これらはグラフ表示領域４１上部のグラフスタイル選択枠４２内に設けられた３つのボタンをマウスでクリックすることにより、択一的に選択可能である。図６はＸＹＺ表示グラフが選択された状態である。
【００３７】
図８はＸＹＺ表示グラフの簡単な説明図である。ＸＹＺ表示グラフは、３次元空間内で互いに直交するｘ、ｙ、ｚの各軸について原点を始点とする＋ｘ、＋ｙ、＋ｚ、−ｘ、−ｙ、−ｚの６方向に、予め選択された最大６個の元素の優先順位に従って各元素の強度をとったグラフである。図６の例では、＋ｘ、＋ｙ、＋ｚ、−ｘ、−ｙ、−ｚの各方向にそれぞれ、Ａｌ、Ｃａ、Ｓｉ、Ｃ、Ｃｕ、Ｆｅの各元素の強度が対応付けられている。ｘ、ｙ、ｚの３軸によって、３次元空間は８個の３次元的な象限に区分される。各象限は上記６元素のうちのいずれかの３つの元素の強度軸から成る空間である。図８では＋ｘ、＋ｙ、＋ｚで囲まれる第１象限を模式的に直方体で示している。
【００３８】
ＸＹＺ表示グラフの空間内には、最大６元素で、それら元素の中で任意の３元素を抽出した８個の３元素組合せのデータが表示される。２次元的な散布図と同様に、１個のデータ点は、試料上の２次元領域内の或る１点（微小領域）における３元素の強度（又は濃度）を表す。例えば図８で示した第１象限に位置するデータ点は、２次元領域内の或る１点における＋ｘ、＋ｙ、＋ｚに対応付けられた３元素の強度を表す。全てのデータ点は象限毎に相違する色とされており、データ点がいずれの象限に存在するか、即ち、いずれの３元素組み合わせで表されるかの視認が容易である。
【００３９】
グラフ表示領域４１内に表示される３次元グラフは、縦方向及び横方向のスライダ４３の操作によりそれぞれ回転可能である。これにより、任意の視野方向（角度）から見たグラフを描出することができるから、例えば図６に示したグラフにおいて裏側に隠れている、例えばＳｉ、Ｃ、Ｃｕの３元素のＸ線強度データも容易に確認することができる。また、拡大・縮小ボタン４４をクリックすることで、グラフを拡大・縮小することもできる。
【００４０】
例えば分析者がグラフスタイル選択枠４２内のボタン操作でピラミッド表示を指示すると、表示処理部１１は、グラフ表示領域４１内に表示されるグラフを図７に示すようなピラミッド表示に切り替える。図９はピラミッド表示グラフの簡単な説明図である。ピラミッド表示は、最大６元素の中で上記優先順位に従った４つの元素（ここではＥ１、Ｅ２、Ｅ３、Ｅ４）を正三角錐の各頂点に割り当て、その正三角錐の４つの面それぞれに、通常の平面的な３元散布図を表示したものである。
【００４１】
図７の例は、Ａｌ、Ｃａ、Ｓｉ、Ｃという４元素を正三角錐の頂点に割り当てたもので、Ａｌ、Ｃａ、Ｓｉの３元散布図は裏側に隠れて見えない状態である。このピラミッド表示のグラフも上述したように縦方向及び横方向スライダ４３の操作により回転可能であるから、その操作によりＡｌ、Ｃａ、Ｓｉの３元散布図も確認することができる。
【００４２】
図６に示したＸＹＺ表示のグラフ又は図７に示したピラミッド表示のグラフにおいて、任意の位置をマウス等でクリックすると、表示処理部１１は、その位置に対応付けられた３元素を認識し、その３元素が指定されたものと判断して、相解析画面２０の散布図表示領域２２にその３元素に対応した３元散布図を表示する。例えばＸＹＺ表示のグラフにおいては仮想的に手前側に存在する象限のみを選択可能とし、その象限に対応付けられた３元素が指定されたものとみなせばよい。また、ピラミッド表示の場合には、画面に現れている面のいずれかが選択されたときに、その面に対応付けられた３元素が指定されたものとみなせばよい。
【００４３】
以上のように、本実施例のＥＰＭＡでは、相解析画面２０内に表示される散布図上のプロット点と分布図上の各部位とを対応付けて色表示するようにし、散布図が切り替えられたときにも同様にプロット点を色表示するようにしたので、相解析に有用な情報を分析者に提供することができる。
【００４４】
なお、上記実施例はＥＰＭＡを例に挙げて説明したが、励起線は電子線に限らず、Ｘ線、イオン線など他の励起線を用いて試料上のマッピング分析が可能な様々なＸ線分析装置に適用することができる。
【符号の説明】
【００４５】
１…電子線照射部
２…電子銃
３…試料
４…試料ステージ
５…分光結晶
６…Ｘ線検出器
７…試料ステージ駆動部
８…分析制御部
９…データ処理部
９０…データ保存部
１０…中央制御部
１１…表示処理部
１２…操作部
１３…表示部
２０…相解析画面
２１…分布図表示領域
２２…散布図表示領域
２３…散布図切替ボタン
３０…散布図元素選択画面
４０…３次元散布図画面
４１…グラフ表示領域
４２…グラフスタイル選択枠
４３…スライダ
４４…拡大・縮小ボタン
５１、５２、５３、５４…囲み線
【図１】
2011153858.tif 000003
【図２】
2011153858.tif 000004
【図３】
2011153858.tif 000005
【図８】
2011153858.tif 000006
【図９】
2011153858.tif 000007
【図１０】
2011153858.tif 000008
【図４】
2011153858.tif 000009
【図５】
2011153858.tif 000010
【図６】
2011153858.tif 000011
【図７】
2011153858.tif 000012
【図１１】
2011153858.tif 000013