(57)【要約】      （修正有）【課題】液体吐出ヘッドの圧力付与手段とプリント配線板の電気的な接続の検査を行う際に、簡単に接続の検査を行うことが可能な液体吐出装置の接続検査方法、製造方法および液体吐出装置を提供する。【解決手段】インクジェットヘッドと、それに形成されたバンプと電気的に接続されるランドを有するＦＰＣと、ドライバＩＣとを備えたプリンタにおいて、バンプとランドの電気的な接続の検査をするための接続検査方法であって、バンプとランドとの接続が正規の接続である場合にのみノズルからインクの液滴が吐出されるように設定された接続検査信号を、ドライバＩＣからインクジェットヘッドに供給する工程と、ノズルからインクの液滴が吐出されたか否かを検出する工程と、あるノズルからインクの液滴が吐出されたと検出された場合にはこのノズルに対応するバンプとランドの接続は正規の接続であると判断する工程とを含む。【選択図】図６
2011005851.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するノズルと、このノズルから液体を吐出させる吐出圧を付与する圧力付与機構と、この圧力付与機構の入力端子である第１接続端子とを有する液体吐出ヘッドと、
前記第１接続端子と電気的に接続される第２接続端子を有する、プリント配線板と、
このプリント配線板と電気的に接続されるとともに、前記プリント配線板を通じて前記圧力付与機構を駆動するための信号を前記圧力付与機構に供給するドライバＩＣと、を備えた液体吐出装置において、前記第１接続端子と前記第２接続端子の電気的な接続の検査をするための接続検査方法であって、
前記第１接続端子と前記第２接続端子との接続が正規の接続である場合には、前記ノズルから液体が吐出されるように設定され、且つ、前記正規の接続ではない場合には、前記ノズルから液体が吐出されないように設定された接続検査信号を、前記ドライバＩＣから前記圧力付与機構に供給する工程と、
前記接続検査信号が前記圧力付与機構に供給されたときに、前記ノズルから液体が吐出されたか否かの第１の検出を行う工程と、
前記第１の検出の結果に基づいて、前記ノズルに対応する前記第１接続端子と前記第２接続端子の接続は前記正規の接続であるか否かの第１の判断を行う工程と、を含む液体吐出装置の接続検査方法。
【請求項２】
前記液体吐出装置は、前記ノズルから前記液体を吐出させて前記ノズルから液体が正常に吐出されるようにノズルを回復させる回復機構を備え、
前記接続検査信号を供給する工程の前に、前記回復機構により前記ノズルから液体を排出させてノズルの回復を行う工程、を含む請求項１に記載の液体吐出装置の接続検査方法。
【請求項３】
前記回復機構は、
前記接続検査信号が供給されたときに比べて前記圧力付与機構が付与する吐出圧が大きくなるように設定されたフラッシング信号を、前記ドライバＩＣから前記圧力付与機構に供給させて、前記ノズルから液体を吐出させるフラッシング動作を行わせるものであり、
前記ノズルの回復を行う工程において、
前記回復機構により前記ドライバＩＣから前記圧力供給機構に前記フラッシング信号を供給させる工程と、
前記フラッシング信号が前記圧力付与機構に供給されたときに、前記ノズルから液体が吐出されたか否かの第２の検出を行う工程と、
前記第２の検出の結果に基づいて、前記ノズルに吐出異常は発生しているか否かの第２の判断を行う工程と、を含む請求項２に記載の液体吐出装置の接続検査方法。
【請求項４】
前記回復機構は、前記液体吐出ヘッドの、前記ノズルが開口するノズル開口面を払拭するワイパーをさらに備え、
前記ノズルの回復の工程において、
前記第２の検出を行う工程の後に、前記ワイパーにより前記インク開口面を払拭する工程、を含む請求項３に記載の液体吐出装置の接続検査方法。
【請求項５】
前記回復機構は、前記液体吐出ヘッドの、前記ノズルが開口するノズル開口面を覆うキャップと、前記キャップに連通するとともに、前記キャップの内部及びノズル開口面で画成された空間を減圧するポンプとを備え、
前記第２の判断を行う工程において、ノズルに吐出異常が発生しているという第２の判断がされた場合に、前記キャップを前記ノズル開口面に密着させた状態で前記ポンプにより前記空間を減圧して、ノズルから液体を吸引するパージ動作を行う工程、を含む請求項３に記載の液体吐出装置の接続検査方法。
【請求項６】
液体を吐出するノズルを含む液体流路と、このノズルから液体を吐出される吐出圧を付与する圧力付与機構と、この圧力付与機構に電気的に接続される第１接続端子とを有する液体吐出ヘッドと、
この液体吐出ヘッドに供給するための液体を貯留する液体タンクと、
この液体タンクと前記液体吐出ヘッドの前記液体流路とを連通する連通流路と、前記第１接続端子と電気的に接続する第２接続端子を有する、プリント配線板と、このプリント配線板と電気的に接続されるとともに、前記プリント配線板を通じて前記圧力付与機構を駆動するための信号を前記圧力付与機構に供給するドライバＩＣとを設ける工程と、
前記第１接続端子と前記第２接続端子とを電気的に接続させる工程と、
前記第１接続端子と前記第２接続端子の接続の検査に使用する検査用の液体を供給する検査ユニットを、前記液体吐出ヘッドに連通する工程と、
前記検査ユニットから前記液体吐出ヘッドの前記液体流路内に、前記検査用の液体を供給する工程と、
前記検査用の液体が供給された後に、前記第１接続端子と前記第２接続端子との接続が正規の接続である場合には前記ノズルから前記検査用の液体が吐出されるとともに、前記正規の接続ではない場合には前記ノズルから前記検査用の液体が吐出されないように設定された接続検査信号を、前記ドライバＩＣから前記圧力付与機構に供給する工程と、
前記接続検査信号が前記圧力付与機構に供給されたときに、前記ノズルから前記検査用の液体が吐出されたか否かの第１の検出を行う工程と、
前記第１の検出の結果に基づいて、前記ノズルに対応する前記第１接続端子と前記第２接続端子の接続は、前記正規の接続であるか否かの第１の判断を行う工程と、
前記第１接続端子と前記第２接続端子の接続が前記正規の接続であるという第１の判断がされた場合には、前記検査ユニットを外して、前記連通流路を前記液体吐出ヘッドに連通させて前記液体吐出ヘッドを組み立てる工程と、を含む液体吐出装置の製造方法。
【請求項７】
液体を吐出する液体吐出装置であって、
液体を吐出するノズルと、このノズルから液体を吐出させる吐出圧を付与する圧力付与機構と、この圧力付与機構の入力端子である第１接続端子とを有する液体吐出ヘッドと、
前記第１接続端子と電気的に接続される第２接続端子を有する、プリント配線板と、
このプリント配線板と電気的に接続されるとともに、前記プリント配線板を通じて前記圧力付与機構を駆動するための信号を前記圧力付与機構に供給するドライバＩＣと、
前記圧力付与機構に前記信号が供給された際に、前記ノズルから液体が吐出されたか否かを検出する吐出検出機構と、
前記第１接続端子と前記第２接続端子の電気的な接続を検査する接続検査機構であって、前記第１接続端子と前記第２接続端子との接続が正規の接続である場合には、前記ノズルから液体が吐出されるように設定され、且つ、前記正規の接続ではない場合には、前記ノズルから液体が吐出されないように設定された接続検査信号を、前記圧力付与機構に供給させるように、前記ドライバＩＣを制御し、
前記接続検査信号が前記圧力付与機構に供給された際に、前記ノズルから液体が吐出されたか否かを検出させるように、前記吐出検査機構を制御する接続検査機構と、
前記吐出検査機構の検出に基づいて、前記ノズルに対応する前記第１接続端子と前記第２接続端子とが、前記正規の接続であるか否かの第１の判断を行う第１判断機構とを備える液体吐出装置。
【請求項８】
前記第１接続端子と前記第２接続端子とは、接触した状態で接続されており、
さらに、前記第１接続端子と前記第２接続端子の周囲には、硬化した合成樹脂層が配置されている請求項７に記載の液体吐出装置。
【請求項９】
前記接続検査機構が前記第１接続端子と前記第２接続端子の電気的な接続を検査してからの経過時間を計時するタイマーと、
この経過時間が、所定時間を超えたか否かを判断する経過時間判断機構と、を備え、
前記接続検査機構は、
前記経過時間判断機構が、前記経過時間が前記所定時間を超えたと判断した場合に、前記接続検査信号を前記圧力付与機構に供給させるように、前記信号供給機構を制御するとともに、前記接続検査信号が前記圧力付与機構に供給された際に、前記ノズルから液体が吐出されたか否かを検出させるように、前記吐出検査機構を制御し、
前記第１判断機構は、前記ノズルから液体が吐出されたか否かの検出結果に基づいて、前記第１接続端子と前記第２接続端子との接続が前記正規の接続であるか否かを判断する請求項７に記載の液体吐出装置。
【請求項１０】
前記吐出検出機構は、前記ノズルから吐出された液体に向けて光を照射する発光部と、前記光を受光する受光部とを含み、前記発光部と前記受光部とは、前記ノズルから吐出された液体を挟むように配置されている請求項７に記載の液体吐出装置。
【請求項１１】
前記液体吐出ヘッドは、前記ノズルから媒体に向けて液体を吐出し、
前記ドライバＩＣは、前記信号としての駆動信号であって、前記圧力付与機構に対して、前記液体吐出ヘッドの前記ノズルから前記媒体に向けて液体が吐出するための吐出圧を前記液体に付与させる駆動信号を前記圧力付与機構に供給し、
前記接続検査信号のパルス高さは、前記駆動信号のパルス高さよりも小さい請求項７の液体吐出装置。
【請求項１２】
前記液体吐出ヘッドは、前記ノズルから媒体に向けて液体を吐出し、
前記ドライバＩＣは、前記信号としての駆動信号であって、前記圧力付与機構に対して、前記液体吐出ヘッドの前記ノズルから前記媒体に向けて液体が吐出するための吐出圧を前記液体に付与させる駆動信号を前記圧力付与機構に供給し、
前記接続検査信号のパルス幅は、前記駆動信号のパルス幅よりも小さいことを特徴とする請求項７の液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
プリント配線板と電気的に接続される液体吐出ヘッドを有する液体吐出装置において、プリント配線板と液体吐出ヘッドの電気的な接続の検査をすることが可能な液体吐出装置の接続検査方法、製造方法、および液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタ等の液体吐出装置は、液体を吐出するノズルと、このノズルから液体を吐出させる吐出圧を付与する圧力付与機構の一例である圧電アクチュエータとを有する液体吐出ヘッドを備え、圧電アクチュエータを駆動することによりノズルから印刷媒体に向けて選択的に液体を吐出して、画像や文字等を印刷媒体に印刷する。この圧電アクチュエータは、入力端子である接続端子を備え、この接続端子は、ドライバＩＣが実装されたプリント配線板の端子と、ハンダ等の導電性金属を介して電気的に接続されている。
【０００３】
ところで、このハンダを用いて圧電アクチュエータとプリント配線板とを接続する場合、プリント配線板の端子のみが露出されるようにプリント配線板の表面をソルダーレジスト等でマスクして、端子上にハンダを塗布していた。このソルダーレジストは通常、硬化させた状態でマスクとして使用するが、硬化の際に収縮する性質を有する為、プリント配線板の表面側がソルダーレジストにより収縮させられ、プリント配線板が湾曲して変形させられるという問題があった。このような問題を避けるべく、ハンダを用いずに圧電アクチュエータとプリント配線板を電気的に接続させることが可能なプリンタが知られている。このプリンタは、入力端子である凸状のバンプを有する圧電アクチュエータと、このバンプに接続される端子を有するプリント配線板とを備え、プリント配線板の、端子が形成された表面が合成樹脂層で覆われている。そして、圧電アクチュエータとプリント配線板とが接続される際には、合成樹脂層が未硬化の状態で、プリント配線板を圧電アクチュエータに向けて押圧する。このとき、バンプが合成樹脂層を貫通して端子と接触する。バンプと端子が接触した状態で合成樹脂層を硬化させることにより、プリント配線板と圧電アクチュエータとを物理的に接続している。これにより、プリント配線板が湾曲して変形した状態で圧電アクチュエータへ接続されることを避けることができるので、接続の際にプリント配線板を扱い易い。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、圧電アクチュエータとプリント配線板との接続において、次のような問題点が発生しうる。例えば、接続の際の押圧力不足が原因で、バンプが端子と接触するまで合成樹脂層を貫通し切らず、バンプと端子とが接触されないことがある。あるいは、大気中の水分による合成樹脂層の劣化が原因で、バンプと端子が離れてしまったりすることがある。これらの場合には、バンプと端子との間の電気的な抵抗が大きくなってしまう為、本体電源から圧電アクチュエータを駆動するために必要な電流が充分に流れず、圧電アクチュエータがノズルから液体を吐出させるように駆動することができない。その為、このような電気的な抵抗の変化を検査するために、従来では専用の検査装置を用いていた。この検査装置は、一対の検査針を検査対象であるバンプと端子とにそれぞれ接触させた状態で、一方の検査針から電流を流し、他方の検査針に流れた電流を測定してバンプと端子の接続部分の抵抗を検査する。その為、バンプと端子の間の電気的な抵抗を検査する際には、各ノズルに対応するバンプと端子にわざわざ一対の検査針を接触させて検査を行わなければならず、検査に手間が掛かるという問題があった。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、液体吐出ヘッドの圧力付与機構とプリント配線板の電気的な接続の検査を行う際に、手間の掛かる検査を避けて簡単に接続の検査を行うことが可能な液体吐出装置の接続検査方法、製造方法および液体吐出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様に従えば、液体を吐出するノズルと、このノズルから液体を吐出させる吐出圧を付与する圧力付与機構と、この圧力付与機構の入力端子である第１接続端子とを有する液体吐出ヘッドと、
前記第１接続端子と電気的に接続される第２接続端子を有する、プリント配線板と、
このプリント配線板と電気的に接続されるとともに、前記プリント配線板を通じて前記圧力付与機構を駆動するための信号を前記圧力付与機構に供給するドライバＩＣと、を備えた液体吐出装置において、前記第１接続端子と前記第２接続端子の電気的な接続の検査をするための接続検査方法であって、
前記第１接続端子と前記第２接続端子との接続が正規の接続である場合には、前記ノズルから液体が吐出されるように設定され、且つ、前記正規の接続ではない場合には、前記ノズルから液体が吐出されないように設定された接続検査信号を、前記ドライバＩＣから前記圧力付与機構に供給する工程と、
前記接続検査信号が前記圧力付与機構に供給されたときに、前記ノズルから液体が吐出されたか否かの第１の検出を行う工程と、
前記第１検出の結果に基づいて、前記ノズルに対応する前記第１接続端子と前記第２接続端子の接続は前記正規の接続であるか否かの第１の判断を行う工程と、を含む液体吐出装置の接続検査方法が提供される。
【０００７】
本発明の第１の態様によれば、第１接続端子と第２接続端子の電気的な接続の検査を行う際に、ドライバＩＣから圧力付与機構に接続検査信号を供給して検査を行う。この接続検査信号は、第１接続端子と第２接続端子との接続が正規の接続である場合にのみ、ノズルから液体が吐出されるように設定されている。その為、ドライバＩＣから圧力付与機構に接続検査信号を供給して、その際にノズルから液体が吐出されたか否かを検出することで、この検出結果から、当該ノズルに対応する第１接続端子と第２接続端子の接続が、正規の接続であるか否かを判断することができる。これにより、プリント配線板と液体吐出ヘッドの電気的な接続の検査を行う際に、検査装置を用いた手間の掛かる検査を避けて、簡単に接続の検査を行うことができる。なお、「正規の接続」とは、第１接続端子と第２接続端子の電気的な接続の状態を示し、ノズルから液体を吐出させるように設定された信号をドライバＩＣから圧力付与機構に供給されたときに、第１接続端子と第２接続端子の電気的な抵抗が原因でノズルからの液体の吐出が阻害されず、正常にノズルから液体の吐出が行われるように接続されたものを指す。
【０００８】
本発明の第２の態様に従えば、液体を吐出するノズルを含む液体流路と、このノズルから液体を吐出される吐出圧を付与する圧力付与機構と、この圧力付与機構に電気的に接続される第１接続端子とを有する液体吐出ヘッドと、
この液体吐出ヘッドに供給するための液体を貯留する液体タンクと、
この液体タンクと前記液体吐出ヘッドの前記液体流路とを連通する連通流路と、前記第１接続端子と電気的に接続する第２接続端子を有する、プリント配線板と、このプリント配線板と電気的に接続されるとともに、前記プリント配線板を通じて前記圧力付与機構を駆動するための信号を前記圧力付与機構に供給するドライバＩＣとを設ける工程と、
前記第１接続端子と前記第２接続端子とを電気的に接続させる工程と、
前記第１接続端子と前記第２接続端子の接続の検査に使用する検査用の液体を供給する検査ユニットを、前記液体吐出ヘッドに連通する工程と、
前記検査ユニットから前記液体吐出ヘッドの前記液体流路内に、前記検査用の液体を供給する工程と、
前記検査用の液体が供給された後に、前記第１接続端子と前記第２接続端子との接続が正規の接続である場合には前記ノズルから前記検査用の液体が吐出されるとともに、前記正規の接続ではない場合には前記ノズルから前記検査用の液体が吐出されないように設定された接続検査信号を、前記ドライバＩＣから前記圧力付与機構に供給する工程と、
前記接続検査信号が前記圧力付与機構に供給されたときに、前記ノズルから前記検査用の液体が吐出されたか否かの第１検出を行う工程と、
前記第１検出の結果に基づいて、ノズルに対応する前記第１接続端子と前記第２接続端子の接続は、前記正規の接続であるか否かの第１判断を行う工程と、
前記第１接続端子と前記第２接続端子の接続が前記正規の接続であるという第１判断がされた場合には、前記検査ユニットを外して、前記連通流路を前記液体吐出ヘッドに連通させて前記液体吐出ヘッドを組み立てる工程と、を含む液体吐出装置の製造方法が提供される。
【０００９】
本発明の第２の態様によれば、液体吐出装置を製造する際に、第１接続端子と第２接続端子の電気的な接続の検査を行う為に、ドライバＩＣから圧力付与機構に接続検査信号を供給して検査を行う。この接続検査信号は、第１接続端子と第２接続端子との接続が正規の接続である場合にのみ、ノズルから液体が吐出されるように設定されている。その為、ドライバＩＣから圧力付与機構に接続検査信号を供給して、その際にノズルから液体が吐出されたか否かを検出することで、この検出結果から、当該ノズルに対応する第１接続端子と第２接続端子との接続が正規の接続であるか否かを判断することができる。さらに、ドライバＩＣから圧力付与機構に接続検査信号が供給される前に、液体吐出ヘッドに検査ユニットを連通させて、液体流路内に検査用の液体を供給する。そして、接続の検査の際には検査用の液体を用いて接続の検査を行うことができるため、液体吐出ヘッド内に長期間貯留された液体を利用して接続の検査を行うことを避けることができる。その為、接続の検査の際に、液体の粘度の増加が原因で、ノズルから液体が吐出されないといった事態を避けることができる。これにより、プリント配線板と液体吐出ヘッドの電気的な接続を検査する際に、第１接続端子と第２接続端子の電気的な接続の検査を正確に行うことができる。
【００１０】
本発明の第３の態様に従えば、液体を吐出する液体吐出装置であって、
液体を吐出するノズルと、このノズルから液体を吐出させる吐出圧を付与する圧力付与機構と、この圧力付与機構の入力端子である第１接続端子とを有する液体吐出ヘッドと、
前記第１接続端子と電気的に接続される第２接続端子を有する、プリント配線板と、
このプリント配線板と電気的に接続されるとともに、前記プリント配線板を通じて前記圧力付与機構を駆動するための信号を前記圧力付与機構に供給するドライバＩＣと、
前記圧力付与機構に前記信号が供給された際に、前記ノズルから液体が吐出されたか否かを検出する吐出検出機構と、
前記第１接続端子と前記第２接続端子の電気的な接続を検査する接続検査機構であって、前記第１接続端子と前記第２接続端子との接続が正規の接続である場合には、前記ノズルから液体が吐出されるように設定され、且つ、前記正規の接続ではない場合には、前記ノズルから液体が吐出されないように設定された接続検査信号を、前記圧力付与機構に供給させるように、前記ドライバＩＣを制御し、
前記接続検査信号が前記圧力付与機構に供給された際に、前記ノズルから液体が吐出されたか否かを検出させるように、前記吐出検査機構を制御する接続検査機構と、
前記吐出検査機構の検出に基づいて、ノズルに対応する前記第１接続端子と前記第２接続端子とが、前記正規の接続であるか否かの第１判断を行う第１判断機構とを備える液体吐出装置が提供される。
【００１１】
本発明の第３の態様によれば、接続検査機構は、第１接続端子と第２接続端子の電気的な接続の検査を行う際に、ドライバＩＣから圧力付与機構に接続検査信号を供給させるように、ドライバＩＣを制御するとともに、接続検査信号が供給された際にノズルから液体が吐出されたか否かを検出させるために、吐出検査機構を制御する。そして、吐出検査機構の検出結果に基づいて、第１判断機構が第１接続端子と第２接続端子との接続が正規の接続であるか否かを判断する。この接続検査信号は、第１接続端子と第２接続端子との接続が正規の接続である場合にのみ、ノズルから液体が吐出されるように設定されている。その為、第１判断機構は、吐出検査機構の検出結果に基づいて、第１接続端子と第２接続端子との接続が正規の接続であるか否かを判断することができる。これにより、抵抗を検査するための検査装置を用いた手間の掛かる検査を避けて、簡単に接続の検査を行うことができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、液体吐出ヘッドの圧力付与機構とプリント配線板の電気的な接続の検査を行う際に、手間の掛かる検査を避けて簡単に接続の検査を行うことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】プリンタ１００の概略構成図である。
【図２】インクジェットヘッド１の一部平面図である。
【図３】図２のＩ−Ｉ線断面図である。
【図４】プリンタ１００の電気的構成を示す概略図である。
【図５】ドライバＩＣ５５から圧電アクチュエータ５までの電気的構成を示す等価回路図である。
【図６】通常の印刷に用いる信号と、接続検査信号について説明する図であり、（ａ）は通常の印刷に用いる信号の電圧波形図であり、（ｂ）は接続検査信号の電圧波形である。
【図７】ランド５２とバンプ６３の接続検査を示すフローチャート図である。
【図８】圧電アクチュエータ５とＦＰＣ５０の接続工程を示す側面図である。
【図９】インクジェットヘッド１に検査ユニット３０１を連結する検査ユニット連結工程を示す側面図である。
【図１０】インクジェットヘッド１にサブタンク２３を連通させる液体吐出ヘッド組み付け工程を示す側面図である。
【図１１】変更形態１の接続検査を示すフローチャート図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
次に、本発明の好適な実施形態について説明する。本実施形態は、液体吐出装置としてノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドに本発明を適用した一例である。
【００１５】
まず、このインクジェットヘッドを有するプリンタについて説明する。図１に示すように、プリンタ１００は、インクを吐出するインクジェットヘッド１（液体吐出ヘッド）と、このインクジェットヘッド１を担持するキャリッジ２と、搬送ローラ３と、メンテナンスユニット２００と、ドット抜け検出装置２０１（吐出検出機構）と、インクカートリッジ２０２〜２０５（液体タンク）を備えている。
【００１６】
インクジェットヘッド１は、キャリッジ２とともに一体的に図１の左右方向（走査方向）へ移動しつつ、インクカートリッジ２０２〜２０５から供給されたインクを、その下面に配置されたノズル２０（図２、図３参照）から記録用紙Ｐに対して吐出する。キャリッジ２は、プリンタ１００内に設けられるCRモータ（図示省略）と連結されており、CRモータにより走査方向に移動させられる。また、搬送ローラ３は、記録用紙Ｐを図１の前方（搬送方向、紙送り方向）へ搬送する。そして、プリンタ１００は、インクジェットヘッド１のノズル２０から記録用紙Ｐへインクを吐出させながら、搬送ローラ３により記録用紙Ｐを前方へ搬送させる。これにより、プリンタ１００は、記録用紙Ｐに所望の画像や文字などを印刷する。
【００１７】
メンテナンスユニット２００は、インクジェットヘッド１のノズル２０が形成される下面と密着可能なキャップ２２０を有するもので、キャップ２２０の内部が吸引ポンプ８７（図４参照）に連通されている。そして、キャップ２２０がインクジェットヘッド１の下面１３a（図３参照）に密着した状態で、吸引ポンプ８７を駆動することにより、ノズル２０からインクを排出する。このとき、インクカートリッジからノズル２０へ新しいインクが流れて、ノズル２０の乾燥を解除することができる。
【００１８】
ドット抜け検出装置２０１は、レーザーを発射する発光部（図示省略）とレーザーを受光する受光部（図示省略）と、インクを受けるフォーム（図示省略）を備える。また、ドット抜け検出装置２０１は、プリンタ１００に設けられる検出制御部８２（図４参照）に接続されており、この検出制御部８２は発光部の制御をするとともに、受光部が受けたレーザーの光量の検出を行うことで、ノズル２０からインクの液滴が吐出されたか否かを検出する。インクの液滴が吐出されたか否かを検出する際には、インクジェットヘッド１をドット抜け検出装置２０１と対向する位置（上方からみて互いに重なり合う位置）に位置付け、発光部からレーザーを照射させた状態でインクの液滴を吐出する。このとき、吐出されたインクの液滴がレーザーを横切って飛翔すると、レーザーが遮断されて受光部が受けるレーザーの光量が小さくなる。それに対し、ノズル２０からインクの液滴が吐出されなかった場合には、受光部が受けるレーザーの光量は変わらない。これにより、検出制御部８２は、ノズル２０からインクの液滴が吐出されたか否かを検出することができる。また、後述にて説明するフラッシング動作においては、フォームにインクを吐出して行う。
【００１９】
次に、インクジェットヘッド１について説明する。図２及び図３に示すように、インクジェットヘッド１は、流路ユニット４と、圧電アクチュエータ５（圧力付与機構）と、フレキシブルプリント配線基板５０（以下、「ＦＰＣ５０」と称する）と、ＦＰＣ５０に実装されるドライバＩＣ５５（信号供給機構）と、を有している。流路ユニット４は、ノズル２０及び圧力室１４を含むインク流路が形成されている。また、圧電アクチュエータ５は、ノズル２０からインクの液滴を吐出させる吐出圧を圧力室１４内のインクに付与するものである。ＦＰＣ５０は、圧電アクチュエータ５とドライバＩＣ５５を電気的に接続する。
【００２０】
まず、流路ユニット４について説明する。図３に示すように、流路ユニット４は、キャビティプレート１０、ベースプレート１１、マニホールドプレート１２、及び、ノズルプレート１３を有しており、これら４枚のプレート１０〜１３が積層状態で接合されて構成されている。
【００２１】
キャビティプレート１０は、複数の圧力室１４を備えている。複数の圧力室１４は平面に沿って配列されており、さらに、平面視で左右方向に長い、略楕円形状を有している。また、複数の圧力室１４は、前後方向に沿って千鳥状に配列されている。なお、千鳥状に配列された２列の圧力室列２１により、１色のインクに対応する１組の圧力室群２２が構成されており、さらに、複数色のインク（例えば、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの４色）にそれぞれ対応した複数組の圧力室群２２が、左右方向に並べられている。なお、図２は、インクジェットヘッド１の上面の一部領域のみを示す一部上面図であり、それゆえ、図２には、１組の圧力室群２２に属する２列の圧力室列２１のみが示されている。
【００２２】
ベースプレート１１は、連通孔１５、１６を有している。連通孔１５、１６は、平面視で圧力室１４の両端部と重なって位置され、圧力室１４と連通されている。
【００２３】
マニホールドプレート１２は、マニホールド１７と連通孔１９とを備えている。マニホールド１７は、平面視で、圧力室１４の連通孔１５側の部分と重なる、前後方向に延びて配置されており、キャビティプレート１０に形成された１つのインク供給口１８に連通されている。また、インク供給口１８は、キャリッジ２に搭載されたサブタンク２３と連通する。サブタンク２３は、チューブ２４を通じてインクカートリッジ２０２〜２０５に繋がれており、かかるインクカートリッジ２０２〜２０５からインクが供給される。連通孔１９は、平面視で複数の圧力室１４のマニホールド１７に連通する端部と反対側の端部と重なって配置されており、連通孔１６に連なる。
【００２４】
また、ノズルプレート１３は、複数のノズル２０を有している。複数のノズル２０は、平面視で複数の連通孔１９に重なる位置に配置されている。図２に示すように、ノズル２０は、対応する圧力室１４の、マニホールド１７に連通する端部と反対側の端部とそれぞれ重なるように配置されている。これにより、複数のノズル２０は、複数の圧力室１４とそれぞれ対応して千鳥状に配列されている。
【００２５】
以上の構成を有する流路ユニット４は、マニホールド１７から圧力室１４を経てノズル２０に至る複数のインク流路（液体流路）を備えている。なお、本実施形態のサブタンク２３とチューブ２４とは、本発明の「連通流路」の一例である。
【００２６】
次に、圧電アクチュエータ５について説明する。図２及び図３に示すように、圧電アクチュエータ５は、振動板３０と、この上面に配置される圧電層３１と、圧電層３１の上面に設けられる複数の個別電極３２と、複数の個別電極３２のそれぞれ接続される端子部３５と、端子部３５から突出する複数のバンプ６２（第１接続端子）とを有している。
【００２７】
振動板３０は、流路ユニット４の上面に接合されており、複数の圧力室１４を覆うように配置されている。また、振動板３０は、平面視で略矩形状の金属板であり、例えば、ステンレス鋼などの鉄系合金、銅系合金、ニッケル系合金、あるいは、チタン系合金などからなる。振動板３０の上面には圧電層３１が積層されており、さらに、圧電層３１の上面には複数の個別電極３２が積層される。振動板３０は、振動板３０と複数の個別電極３２との間で圧電層３１を挟むように配置されており、この圧電層３１に、その厚み方向の電界を生じさせる、共通電極を兼ねている。そして、振動板３０は、ＦＰＣ５０の図示しないグランド配線を介してドライバＩＣ５５に接続されて、常にグランド電位に保持されている。
【００２８】
圧電層３１は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であり強誘電体であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする、圧電材料で形成されている。この圧電層３１は、複数の圧力室１４を覆うように連続的に形成されている。
【００２９】
複数の個別電極３２は、圧力室１４よりも一回り小さい略楕円形の平面形状を有しており、複数の圧力室１４の中央部と対向する領域にそれぞれ配置されている。この個別電極３２は、金、銅、銀、パラジウム、白金、あるいは、チタンなどの導電性材料からなる。
【００３０】
複数の端子部３５は、複数の個別電極３２の連通孔１５側の端部から圧力室１４の周縁を越えて外側の領域まで引き出されている。また、複数のバンプ６２は、銀などの導電性材料で構成されている。これら複数のバンプ６２は、ＦＰＣ５０のランド５３に接触している。バンプ６２とランド５３とは、互いに接触することにより電気的に接続されている。各個別電極３２は、バンプ６２及びＦＰＣ５０のランド５３を介して、ＦＰＣ５０上に実装されたドライバＩＣ５５（図２参照）と電気的に接続されている。
【００３１】
次に、ドライバＩＣ５５が実装されたＦＰＣ５０について説明する。図３に示すように、ＦＰＣ５０は、基材５１と、この基材５１の下面に設けられた複数のランド５３（第２接続端子）と、ドライバＩＣ５５と、基材５１の下面に積層される合成樹脂層６３と、を備えている。ＦＰＣ５０は、圧電アクチュエータ５の上方に所定の間隔をあけて配置されており、右方向に引き出されている。
【００３２】
基材５１は、ポリイミドなどの絶縁性樹脂材料からなり、可撓性を有するものである。また、複数のランド５３は、複数のバンプ６２とそれぞれ対向する位置に設けられており、複数のバンプと接触している。複数のランド５３は、銀や白金などの導電性材料で構成されている。
【００３３】
合成樹脂層６３は、エポキシ樹脂などの熱硬化性の材料で構成されており、ランド５３及びバンプ６２の表面を覆うとともに、圧電アクチュエータ５の端子部３５上に広がっている。このように、合成樹脂層６３を用いて、ランド５３とバンプ６２とを電気的に接続することができる為、ハンダ等の導電性金属を利用して接続をするものに比べて、接続時にハンダが端子部３５を通じて個別電極３２に流れるのを防ぐことができる。これにより、個別電極３２にハンダが流れ込んだまま硬化されて、圧電アクチュエータ５の圧電層３１の駆動領域の駆動が阻害されるのを防止することができる。
【００３４】
ドライバＩＣ５５は、圧電アクチュエータ５を駆動するための信号を供給するもので、ＦＰＣ５０の右方向に引き出された領域に配置されている。また、ドライバＩＣ５５は、ＦＰＣ５０の図示しない複数の配線とそれぞれ接続されており、これらの複数の配線を介して複数のランド５３と電気的に接続されている。そして、ドライバＩＣ５５は、ＰＣ等の入力装置７９（図５参照）により印刷データが供給されると、この印刷データに基づいて複数の個別電極３２に信号を供給する。個別電極３２は、ドライバＩＣ５５より、この信号が供給されると、所定の駆動電位とグランド電位とに切り換えられる。これにより、圧電アクチュエータ５が圧力室１４内のインクに吐出圧を付与して、ノズル２０からインクが吐出される。
【００３５】
次に、プリンタ１００の電気的構成について図４を参照して説明する。図４に示すように、プリンタ１００は、制御装置８０を備えている。ここで、制御装置８０は、例えば、中央処理装置であるＣＰＵ（Central Processing Unit）と、プリンタ１００の全体動作を制御する為の各種プログラムやデータ等が格納されたＲＯＭ（Read Only Memory）と、ＣＰＵで処理されるデータ等を一時的に記憶するＲＡＭ（Random Access Memory）等を備え、ＲＯＭに格納されたプログラムがＣＰＵで実行されることにより、以下に説明するような種々の制御をソフトウェア的に行うものであってもよい。あるいは、演算回路を含む各種回路が組み合わされたハードウェアで実現するものであってもよい。
【００３６】
制御装置８０は、印刷制御部８１、検出制御部８２、メンテ制御部８３、判断部（第１判断機構）８４、タイマー９０を備えている。印刷制御部８１は、PC等の入力装置７９から入力された印刷データに基づいて、CRモータ８５を制御してキャリッジ２を左右方向に往復移動させるとともに、ドライバＩＣ５５を制御してノズル６５からインクの液滴を吐出させる。また、印刷制御部８１は、印刷用紙Pが前方向に搬送されるように、搬送ローラ３を制御する。以上の制御が行われることにより、印刷用紙Pに所望の画像等が印刷させる。
【００３７】
検出制御部８２は、ドット抜け検出装置２０１に接続されており、発光部と受光部の制御を行うとともに、受光部により検出されるレーザーの光量に基づいて、ノズル２０からインクの液滴が吐出されたか否かを検出する。
【００３８】
メンテ制御部８３は、メンテナンスユニット２００と接続される昇降機構８６と、吸引ポンプ８７とを制御して、インクジェットヘッド１のノズル２０からインク及び気泡を排出する吸引動作（パージ動作）を行わせる。
【００３９】
判断部８４は、後述にて説明するランド５３とバンプ６２の接続状態を検査する接続検査の際に、検出制御部８２の検出結果に応じて、ランド５３とバンプ６２との接続状態を判断する。
【００４０】
タイマー９０は、ランド５３とバンプ６２の接続検査が行われてからの経過時間を計時する。
【００４１】
次に、ドライバＩＣ５５から圧電アクチュエータ５までの電気的構成について説明する。図５に示すように、圧電アクチュエータ５において、圧電層３１の、個別電極３２と振動板３０との間に挟まれた領域であって、且つ、分極された領域である駆動領域は、コンデンサ９３と等価であり、ＦＰＣ５０のランド５３と圧電アクチュエータ５のバンプ６２の接続部分は、回路に含まれる抵抗器９４と等価であると考えられる。
【００４２】
このように、インクジェットヘッド１は、ドライバＩＣ５５から駆動対象である圧電アクチュエータ５の充放電を行うコンデンサ９３に電圧を印加する回路の途中に抵抗器９４が直列に接続されたRC回路と等価であると考えることができる。
【００４３】
ここで、インクジェットヘッド１がＲＣ回路とみなされる場合、この回路の抵抗成分は、ＦＰＣ５０の図示しない配線の配線抵抗など種々の抵抗成分を含んでいるが、特に、ランド５３とバンプ６２の接続における電気的な抵抗（抵抗器９４の抵抗値）が大きな割合を占めている。
【００４４】
これは、ランド５３とバンプ６２の接続が、ハンダ等の導電性材料を用いて物理的に強固に接続されているのではなく、単に接触することにより電気的に接続されているだけだからである。このランド５３とバンプ６２の、電気的な接続抵抗が、ランド５３とバンプ６２との接触面積の大きさに相関する。つまり、接触面積が小さいと、抵抗値は大きくなる。
【００４５】
例えば、ＦＰＣ５０と圧電アクチュエータ５の押圧が不十分などの理由で、ランド５３とバンプ６２の接触が不十分である場合には、ランド５３とバンプ６２の接触面積が小さくなり、ランド５３とバンプ６２の接続部分における電気的な抵抗は大きくなる。このとき、ドライバＩＣ５５から圧電アクチュエータ５の個別電極３２に印加される信号の電圧波形がなまってしまい、この個別電極３２に対応するインク流路内のインクへ付与される吐出圧が小さくなり、吐出タイミングがずれてしまう。そのため、所望の吐出特性を得られなくなってしまう。ここで、信号の電圧波形がなまるとは、例えば、信号の立ち上がり時間（立ち下がり時間）が長くなることをいう。一般に、ＲＣ回路の時定数は抵抗値とコンデンサの容量との積で決まるため、ランド５３とバンプ６２の接続部分における電気的な抵抗は大きくなるにつれて、信号の立ち上がり時間が長くなる。その場合には、個別電極３２に印加される信号が、想定される最大電圧に達する前に立ち下がってしまうため、個別電極３２に印加される電圧は低くなる。その為、個別電極３２に印加される信号の電圧波形がなまらないようにするため、つまり、ランド５３とバンプ６２の接続部分における電気的な抵抗が大きくならないようにするために、ランド５３とバンプ６２の接触面積が大きくなるように両者が接続されるのが望ましい。
【００４６】
このように、ランド５３とバンプ６２の接続部分における電気的な抵抗が吐出特性に大きく左右する。その為、ランド５３とバンプ６２の間の電気的な抵抗が所望の抵抗値よりも大きくなっているかどうかを知るために、かかる抵抗の大きさをインクジェットヘッド１の製造中に測定したり、プリンタ１００の駆動時に測定したりすることが望まれる。しかしながら、ランド５３とバンプ６２の接続抵抗を測定するためには、わざわざ測定装置を準備して、この測定装置の一対の検査針をランド５３とバンプ６２にそれぞれ接触させて接続抵抗を測定しなければならず検査工程が複雑になる。また、インクジェットヘッド１が組み付けられた後では、ＦＰＣ５０と圧電アクチュエータ５の間に測定装置の一対の検査針を正確に差し込むことが難しく、接続抵抗を直接測定することは技術的に困難であった。ここで、ランド５３とバンプ６２の接触面積を測定して、この接触面積から接続抵抗を推定することも考えられるが、接触面積を測定する為にランド５３とバンプ６２の接触を解除する必要があり、接触面積を測定することも困難であった。
【００４７】
そこで、本実施形態では、インクジェットヘッド１の組み付け後であっても簡単にランド５３とバンプ６２の電気的な接続の検査をすることができる接続検査方法を提供する。この接続検査方法は、ＦＰＣ５０を圧電アクチュエータ５に接続した後、ドライバＩＣ５５から検査用の接続検査信号を供給し、この接続検査信号を供給されたノズル２０からインクが吐出されたか否かを検出することで、ランド５３とバンプ６２の電気的な抵抗の大きさを判断する。
【００４８】
ここで、接続検査信号について、図６を参照して説明する。図６（a）、（ｂ）に示すように、接続検査信号のパルス幅Ｔｒ２は、通常の印刷に使われる信号のパルス幅Ｔｒ１よりも小さい。その為、接続検査信号がドライバＩＣ５５から供給されたときに、圧電アクチュエータ５に充電される電圧Ｖ３は、通常の印刷時に圧電アクチュエータ５に充電される電圧Ｖ１よりも小さい。その為、圧電アクチュエータ５の個別電極３２に印加させる電圧が小さく、圧電層３１の変形量が小さくなる為、圧力室１４を変化させる変化量も少なくなる。従って、通常の印刷時に比べると吐出されるインクの液滴の体積が小さい。そして、接続検査信号のパルス波形（パルス幅、パルス高さ等）は、接続検査信号が供給された場合の圧電層３１の変形量よりも僅かに減少するだけで（例えば数十％程度）、インクの液滴を吐出するのに必要な吐出圧が付与できなくなるように、即ち、インクジェットヘッド１のノズル２０からインクの液滴が吐出されないように設定されている。つまり、ある信号配線においてランド５３とバンプ６２が正常に接続されている場合には、ランド５３とバンプ６２との間の接続抵抗は十分小さく、個別電極３２に印加される信号の電圧波形はなまらないので、インクジェットヘッド１のノズル２０からインクの液滴が吐出される。しかしながら、ランド５３とバンプ６２が正常に接続されておらず、この間の接続抵抗が大きくなった場合には、接続検査信号がドライバＩＣから供給された場合に圧電アクチュエータ５の個別電極３２に印加される信号の電圧波形がなまってしまい、この個別電極３２に対応するノズル２０からインクの液滴は吐出されない。その為、接続検査信号がドライバＩＣ５５から供給されたときに、ノズル２０からインクの液滴が吐出されたか否かを検出することで、ランド５３とバンプ６２の接続部分における電気的な抵抗が所望の吐出特性を得られる抵抗値より大きいか否かを判断することができる。
【００４９】
なお、ランド５３とバンプ６２の接触面積が大きく、個別電極３２に信号が印加されたときに、所望の吐出特性が得られるように信号の電圧波形がなまらないように、ランド５３とバンプ６２とが接続された状態が、本発明の「正規の接続」の一例である。
【００５０】
次に、本実施形態のプリンタ１００にかかる、ランド５３とバンプ６２の接続検査方法について、図７を参照して説明する。
【００５１】
まず、制御装置８０は、タイマー９０が計時する経過時間が所定時間を超えているかどうかを判断する（S0）。制御装置８０は、タイマー９０が計時する経過時間が所定時間を超えたと判断した場合（S0:YES）には、CRモータ８５を制御してキャリッジ２を移動させて、インクジェットヘッド１をドット抜け検出装置２０１と対向する位置に位置付けさせる。そして、インクジェットヘッド１にフラッシング信号を供給して、インクジェットヘッド１にフラッシング動作を行わせる（S１）（以下、回復工程ともいう）。次に、ドライバIC５５からインクジェットヘッド１に、前述の接続検査信号を供給するように、印刷制御部８１を制御する（S２）（以下、供給工程ともいう）。そして、この接続検査信号を供給してから所定時間の経過後に、ノズル２０からインクの液滴が吐出されたか否かを検出する（S３）（以下、第１検出工程ともいう）。検出制御部８２がノズル２０からインクの吐出を検出しなかった場合（S３：NO）、判断部８４は、このインクの吐出が検出されなかったノズル２０に対応するランド５３とバンプ６２との接続が正規の接続ではないと判断する（S４）（以下、第１判断工程ともいう）。
【００５２】
また、前述のステップS２において、検出制御部８２がノズル２０からインクの吐出を検出した場合（S３：YES）、判断部８４は、このインクの吐出が検出されたノズル２０に対応するランド５３とバンプ６２との接続が正規の接続であると判断する（S４）。
【００５３】
以上の接続検査方法において、接続検査信号は、ランド５３とバンプ６２の接続が正規の接続である場合に、ノズル２０からインクの液滴を吐出することができるように設定されているが、ランド５３とバンプ６２の接続が正規の接続ではない場合には、インクの液滴が吐出されないように設定されている。即ち、ランド５３とバンプ６２の接続が正規の接続ではない場合には、圧電アクチュエータ５が圧力室１４内のインクに付与する吐出圧が小さくなってしまい、ノズル２０からインクの液滴が吐出されない。その為、ノズル２０からインクの液滴が吐出されたか否かを検出することで、ランド５３とバンプ６２の接続が正規の接続であるか否かを判断することができる。なお、検査の精度を向上させるために、各ノズルから複数のインクの液滴が吐出されるように、各ノズルに対して、ドライバIC５５からインクジェットヘッド１へ複数の接続検査信号が与えられてもよい。
【００５４】
また、前述の接続検査が行われるのは、制御装置８０が、タイマー９０により計時される経過時間が所定時間を超えたと判断したときである。このように、経過時間を判断して接続検査を行うのは、ランド５３とバンプ６２の接続が時間の経過により変化するからである。ランド５３とバンプ６２を覆う合成樹脂層６３は、大気中に長時間晒されると、大気中の水分を含んで膨張する。この膨張により、合成樹脂層６３はＦＰＣ５０との接合界面との間の接合強度が弱くなる。この場合には、ランド５３とバンプ６２の間の接続が弱くなる虞があり、ランド５３とバンプ６２の間の電気抵抗が高くなる虞がある。場合によっては合成樹脂層６３がＦＰＣ５０から剥がれてしまう。このように合成樹脂層６３がＦＰＣ５０から剥がれる際に、ランド５３とバンプ６２が互いに離れてしまい、導通が取れなくなる虞がある。但し、合成樹脂層６３がＦＰＣ５０から剥がれる頻度は低く、頻繁に検査を行う必要がない。従って、前述の経過時間が所定時間を超えたときに接続検査を行うようにすることで、ランド５３とバンプ６２の接続が正規の接続ではない可能性が高い場合にのみ検査を行い、接続検査によるインクの消費を抑えることができる。例えば、１ヶ月に一回程度、或いは数ヶ月に一回程度の頻度で検査を行ってもよい。
【００５５】
ここで、本実施形態における制御装置８０、ドライバIC５５、メンテ制御部８３、及び、メンテナンスユニット２００は、本発明の「回復機構」の一例である。また、本実施形態における制御装置８０は、本発明の「経過時間判断機構」の一例である。
【００５６】
次に、本実施形態に係るインクジェットヘッド１の製造方法について図８〜図１０を参照して説明する。インクジェットヘッド１は、各プレート１１〜１４が積層されて接合される。これにより、インクジェットヘッド１が製造される。
【００５７】
そして、図８に示すように、圧電アクチュエータ５に形成されたバンプ６２に、FPC５０のランド５３を接続する（以下、接続工程ともいう）。このとき、加圧加熱装置３５０によりFPC５０を圧電アクチュエータ５に押圧する。これにより、圧電アクチュエータ５のバンプ６２がFPC５０の合成樹脂層６３を貫通して、FPC５０のランド５３と接触させられる。バンプ６２とランド５３とが接触した状態で、加圧加熱装置３５０により加熱することで合成樹脂層６３を硬化して接続する。
【００５８】
次に、図９に示すように、接続検査用に使用する検査ユニット３０１を、インクジェットヘッド１のインク供給口１８に連通させる（以下、検査ユニット連通工程ともいう）。検査ユニット３０１は、検査用に使用するインクが貯留された貯留タンク（図示省略）、及び、インクジェットヘッド１の供給口と連通する連通路を備えている。検査ユニット３０１をインクジェットヘッド１に連通させた後、連通路の途中に設けられた供給ポンプにより、インクジェットヘッド１内が検査用のインクで満たされるように、貯留タンクからインクジェットヘッド１に検査用のインクを供給する（以下、検査用液体供給工程ともいう）。この検査用のインクは、印刷に使用される通常のインクと同じである。ここで、検査ユニット３０１をインクジェットヘッド１に連通させる前に、このFPC５０は、ドライバIC５５を駆動するための各種プログラムが記憶されたROM等を実装する基板（図示省略）を介してPC（図示省略）に接続させる。FPC５０にはドライバIC５５も実装されており、ユーザーがPCを操作することで、ドライバIC５５から圧電アクチュエータ５に信号を供給できる。また、インクジェットヘッド１は、検査装置３０２に接続される。この検査装置３０２は、前述のドット抜け検出装置２０１と同様に、レーザーを発射する発光部３０３とレーザーを受光する受光部３０４と、インクを受ける受容部３０５とを備える。なお、発光部３０３から照射される光は、必ずしもレーザーでなくてもよい。例えば、発光部３０３として発光ダイオード等の光源を使用しうる。また、インクジェットヘッド１を担持するベース３０６を備え、検査を行うときには、インクジェットヘッド１はベース３０６に担持される。このようにインクジェットヘッド１がベース３０６に担持された状態で、ノズル２０から吐出された検査用のインクの液滴が正常に飛翔すると、この飛翔するインクの液滴が発光部３０３から照射されるレーザーを横切るように配置される。
【００５９】
そして、前述の検査用液体供給工程により、検査用のインクがインクジェットヘッド１内に満たされた状態で、ドライバIC５５から圧電アクチュエータ５に接続検査信号を供給する（以下、供給工程ともいう）。この供給工程の際に、ノズル２０から検査用のインクの液滴が吐出されたか否かを、前述の検査装置３０２により検出する（以下、第１検出工程ともいう）。この第１検出工程により、検査装置３０２がノズル２０から検査用のインクの液滴が吐出されたと検出した場合、このノズル２０に対応するランド５３とバンプ６２の接続が、正規の接続であると判断する。また、検査装置３０２がノズル２０から検査用のインクの液滴が吐出されなかったと検出した場合、このノズル２０に対応するランド５３とバンプ６２の接続が正規の接続ではないと判断する（以下、第１判断工程ともいう）。
【００６０】
そして、第１判断工程により、ランド５３とバンプ６２の接続が正規の接続であると判断された場合には、インクジェットヘッド１から検査ユニット３０１を外し、さらに、インクジェットヘッド１を検査装置３０２から取り外す。そして、図１０に示すように、サブタンク２３をインクジェットヘッド１に連通させる。このようにして、インクジェットヘッド１を組み立てる（以下、液体吐出ヘッド組立工程ともいう）。また、ランド５３とバンプ６２の接続が正規の接続ではないと判断された場合には、このインクジェットヘッド１は、検査ユニット３０１を外された後、サブタンク２３に接続されず、廃棄される。
【００６１】
以上の製造方法によれば、インクジェットヘッド１を製造する際に、FPC５０のランド５３と圧電アクチュエータ５のバンプ６２との接続を検査する為に、インクジェットヘッド１にインクカートリッジからインクが供給されるように、インクジェットヘッド１をプリンタ１００に組み付けずに、インクジェットヘッド１へのインクの供給をすることができる。そして、検査用インクは、インクジェットヘッド１に供給される際には、粘度の増加等が無いフレッシュな状態である。その為、インクジェットヘッド１内に長時間貯留されたインクのように、乾燥等により粘度が増加した状態で、接続の検査が行われることはない。その為、接続の検査を行う際に、インクの粘度の増加が原因で、ノズルからインクが吐出されないということを避けることができる。また、ＦＰＣ５０をインクジェットヘッド１に接続する際に、ハンダ等の導電性材料を用いず、ランド５２とバンプ６２とが合成樹脂層６３に覆われて接合されている。これにより、従来のようにハンダ等の導電性材料を用いたときに、硬化前の未硬化状態のハンダが濡れ広がってＦＰＣ５０と圧電アクチュエータ５が近接して配置されるのを防止することができる。
【００６２】
また、検査用に用いるインクを供給する検査ユニット３０１を、インクジェットヘッド１に連通させることで、インクジェットヘッド１にインクが供給される。さらに、圧電アクチュエータ５が、FPC５０を通じてPCに電気的に接続される為、FPC５０に実装されるドライバIC５５に接続検査信号を供給させることができる。また、ノズル２０からインクが吐出されたか否かを検出する検査装置３０２により、ノズル２０からインクが吐出されたか否かを検出することができる。このように、ランド５３とバンプ６２の接続検査を行う際に、検査用インクをインクジェットヘッド１に供給することができる。その為、インクジェットヘッド１のインク流路内に長時間貯留されたインクを使用する場合に、ノズル２０により大気に晒されたインクの乾燥により、ノズル２０からインクが吐出されないといった不吐出を防ぐことができる。従って、ランド５３とバンプ６２の接続を検査する際に、正確に検査を行うことができる。なお、検査用インクとしては、通常の使用に用いられるインクと同等のインクに限られず、例えば、保存液などであってもよい。
【００６３】
次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。
【００６４】
（第１変更形態）
本実施形態において、図６のステップS１にあるように、ノズル２０の乾燥を解除するために、接続検査信号をインクジェットヘッド１に供給する前にフラッシング動作を行わせていた。本発明はこれに限られず、必ずしもフラッシング動作を行わなくてもよく、フラッシング動作に代えて又はフラッシング動作に加えて、パージ動作を行ってもよい。或いは、以下に説明するように、フラッシング動作の際にノズル２０からインクが吐出されたか否かを検出してもよい。
【００６５】
図１１に示すように、制御装置８０は、インクジェットヘッド１をドット抜け検査装置２０１と対向する位置に位置付けた後、ドライバIC５５からインクジェットヘッド１に、フラッシング信号を供給するように、印刷制御部８１を制御する（S１１）。そして、フラッシング信号を供給してから所定時間経過後に、ノズル２０からインクの液滴が吐出されたか否かを検出する（S１２）。検出制御部８２がノズル２０からインクの液滴を吐出したと検出した場合（S１２：YES）、このインクの液滴の吐出が検出されたノズル２０は、乾燥していないと判断して記憶する（S１４）。ノズル２０が乾燥していないと判断された場合には、次の接続検査に進む。また、検出制御部８２がノズル２０からインクの液滴を吐出しなかったと検出した場合（S１２：NO）であって、後述するパージ動作（Ｓ２２）の回数が所定回数以下である場合（Ｓ１３：Ｙｅｓ）には、このインクの液滴の吐出が検出されなかったノズル２０は、乾燥している可能性が高いと判断して、パージ動作（Ｓ２２）を行い、その後再びフラッシング動作を行う。再びフラッシング動作Ｓ１１を行った結果、ノズル２０が乾燥していないと判断された場合（Ｓ１４）にも、同様に次の接続検査に進む。ここで、ノズルが乾燥している場合には、通常、パージ動作（Ｓ２２）を数回繰り返せばノズルの乾燥を取り除くことができる。そのため、パージ動作（Ｓ２２）を数回（所定回数）繰り返してもノズル２０からインクの液滴が吐出されない場合（Ｓ１３：Ｎｏ）には、ノズルの乾燥以外の原因により、ノズル２０の吐出不良が発生している可能性が高い。この場合には、当該ノズル２０に乾燥以外の理由による吐出不良が発生していることを記憶して（Ｓ１３’）、他のノズルについての接続不良を検出するために次の接続検査へ進む。なお、ノズルの乾燥以外の吐出不良の原因としては、例えば、ランド５２とバンプ６３の接続が外れていることなどが考えられる。なお、上述の例におけるパージ動作の所定回数は、１回、又は２回が好適である。このように、各ノズル２０が乾燥しているか否か、及び他の理由による吐出不良が発生しているか否かをRAMに記憶し、次に接続検査を行う。ドライバＩＣ５５からインクジェットヘッド１に、接続検査信号が供給され（Ｓ１５）、この接続検査信号が供給されてから所定時間の経過後に、ノズル２０からインクの液滴が吐出されたか否かを検出する（Ｓ１６）。そして、ノズル２０からインクの液滴が吐出されなかったと判断された場合（Ｓ１６：ＮＯ）、かかるノズル２０が、吐出不良が発生していたノズルであったか否かを判断する（Ｓ１７）。ノズル２０に吐出不良が発生していないと判断されていた場合には（Ｓ１７：ＮＯ）、このノズル２０に対応するランド５２とバンプ６３の接続が正規の接続ではないと判断する（Ｓ１８）。また、このノズル２０に吐出不良が発生していると判断されていた場合には（Ｓ１７：ＹＥＳ）、ノズル２０に吐出不良が発生していると判断する（Ｓ１９）。
【００６６】
さらに、ノズル２０からインクの液滴が吐出されたと判断された場合（Ｓ１６：ＹＥＳ）、このノズル２０に対応するランド５３とバンプ６２の接続は正規の接続であり、且つ、ノズル２０の乾燥等による吐出不良も発生していないと判断する（Ｓ２０）。
【００６７】
以上の検査工程によれば、ランド５２とバンプ６３の接続検査を行う前に、ノズル２０が乾燥しているか否かを検査することができる。このとき、インクジェットヘッド１に供給されるフラッシング信号は、通常の印刷に用いる信号と同様のものである。このフラッシング信号を供給されると、ランド５２とバンプ６３の接続が正規の接続ではない場合であっても、ランド５２とバンプ６３の接続が完全に外れているなどの重大な接続不良が発生していない限り、ノズル２０からインクの液滴が吐出される。しかし、ノズル２０が乾燥している場合には、かかるフラッシング信号がインクジェットヘッド１に供給されたとしても、ノズル２０からインクの液滴が吐出されない。これに対し、接続検査信号のみをインクジェットヘッド１に供給したときに、ノズル２０からインクの液滴が吐出されなかった場合に、ノズル２０が乾燥しているか、若しくは、ランド５２とバンプ６３の接続が正規の接続でないか、を区別できない。このように、フラッシング信号と接続検査信号の２つの信号を供給して、ノズル２０からインクの液滴が吐出されるか否かを検出することで、ノズル２０が乾燥しているか、若しくは、ランド５２とバンプ６３の接続が正規の接続でないか、を区別して判断することができる。
【００６８】
（第２変更形態）
また、本実施形態の接続検査において、フラッシング信号を供給した後に、ノズル２０が開口する下面１３a（図２参照）を、ワイパー２１０（図１参照）で払拭する工程（以下、ワイプ工程ともいう）を備えていてもよい。
【００６９】
フラッシング動作の際に、ノズル２０が開口する下面１３a（図２参照）にインクが付着する。特に、ノズル２０の近傍にインクが付着した状態で、接続検査信号がインクジェットヘッド１に供給されると、付着したインクが落ちてしまうことがある。その為、接続検査信号が供給されたときに、ランド５３とバンプ６２の接続が正規の接続ではない場合であっても、下面１３a（図２参照）のインクがドット抜け検出装置２０１に落ちてしまい、ノズル２０からインクの液滴が吐出されたと検出してしまうことがある。しかし、接続検査信号を供給する前にワイプ工程を備えている為、フラッシング信号を供給した際にノズル２０近傍に付着したインクをワイパー２１０（図１参照）により除去することが可能となり、接続検査信号を供給する際にノズル２０の近傍にインクが付着した状態を避けることができる。これにより、接続の検査の検査精度を向上させることができる。
【００７０】
上記実施形態及びその変更形態において、ノズルからインクが吐出されたか否かは発光部及び受光部を有するドット抜け検出装置等により光学的に検出されていたが、これに限られない。ノズルからインクが吐出されたかどうかを、検出しうる限りにおいて、任意の検出装置を用いてもよい。接続検査信号として１種類の波形を想定していたが、これに限られない。例えば、インクの種類、インクの状態（インク温度、カートリッジ装着からの経過時間）等に応じて、適宜接続検査信号の波形を調整しうる。あるいは、予めインクジェットヘッドの品質検査を行い、インクジェットヘッドを複数のランクにランク分けする場合においては、ランクに応じて適宜接続検査信号の波形を調整しうる。特に、インクの温度はインクの粘度に大きく影響する。そのため、波形の異なる複数種類の接続検査信号を用意して、インクの温度に応じて適宜接続検査信号を選択してもよい。或いは、接続の検査を行う際には、所定のインク温度になるように、インクの温度を調整してもよい。なお、インクの温度を測定する際には、必ずしもインクの温度を直接測定しなくてもよく、インクの温度に応じて温度が変化する部材の温度やプリンタ内の環境温度を測定してもよい。
【００７１】
本実施形態及びその変更形態において、圧電アクチュエータ５を用いたインクジェットヘッド１を例に挙げて説明したが、本発明はかかる構成に限られない。例えば、圧電アクチュエータ５に代えてヒーターを備え、かかるヒーターによりインクを熱してインク流路内に気泡を発生させるとともに、その気泡を熱して膨張させることによりインク内に発生する圧力を利用して、インクを吐出させるサーマル式のインクジェットヘッドであっても、本発明は適用することができる。本発明は、シリアル式のインクジェットヘッドだけでなく、プリンタ中に静止しているライン式のインクジェットヘッドにも適用しうる。
【００７２】
また、本実施形態において、印刷用紙Ｐに向けてインクを吐出して画像等を印刷するプリンタ１００を一例として説明したが、例えば、配線基板にパターン形成用の導電性液体を吐出する液体吐出ヘッドを備えた産業用の液体吐出装置、及び、光導波路を形成する為に光導波路の材料となる樹脂を吐出する液体吐出ヘッドを備えた液体吐出装置など、様々な液体を吐出する液体吐出装置において、本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００７３】
１  インクジェットヘッド
４  流路ユニット
５  圧電アクチュエータ
２３  サブタンク
５０  ＦＰＣ
５３  ランド
５５  ドライバＩＣ
６２  バンプ
８０  制御装置
８４  判断部
１００  インクジェットプリンタ
２０１  ドット抜け検出装置
２０２〜２０５  インクカートリッジ
３０１  検査ユニット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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