(57)【要約】【課題】ワークとテープ部材との間の接着性を高めることが可能なテープ接着装置およびテープ接着方法を提供する。【解決手段】テープ接着装置１０Ａは、ワークＷを載置する載置手段５２と、内部を密封状態で閉塞可能な密閉室Ｃ１と、載置手段５２を移動させる移動手段４０と、密閉室Ｃ１の内部に設置され、テープ部材Ｔに対して密着する状態で保持するテープ保持手段６２と、テープ保持手段６２との接触によって密閉室Ｃ１の他の部分から気密に閉塞される閉塞室Ｃ２を形成する封止手段３３と、密閉室Ｃ１の内部を真空吸引する吸引機構７０と、移動手段４０および吸引機構７０の作動を制御する制御手段９０と、を具備し、テープ保持手段６２は、移動手段４０の作動に伴って載置手段５２と共に移動して、テープ保持手段６２を封止手段３３に押し当てて閉塞室を形成する。【選択図】図１
2011253845.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープ部材をワークに対して接着するテープ接着装置であって、
上記ワークを載置する載置手段と、
上記載置手段およびこの載置手段に載置される上記ワークを内在させると共に、内部を密封状態で閉塞可能な密閉室と、
上記ワークの法線方向に向かい、上記載置手段を移動させる移動手段と、
上記密閉室の内部に設置され、上記移動手段の作動による上記載置手段の移動に際して当該載置手段に突き当てられると共に、上記テープ部材に対して密着する状態で当該テープ部材を保持するテープ保持手段と、
上記密閉室のうち上記テープ保持手段が上記載置手段によって突き当てられる側とは反対側に設けられると共に、上記テープ保持手段との接触によって上記密閉室の他の部分から気密に閉塞される閉塞室を形成する封止手段と、
上記密閉室の内部を真空吸引する吸引機構と、
上記移動手段および上記吸引機構の作動を制御する制御手段と、
を具備し、
上記テープ保持手段は、上記移動手段の作動による上記載置手段の移動に際して当該載置手段に突き当てられた後に、上記移動手段の作動に伴って上記載置手段と共に移動して、上記テープ保持手段を上記封止手段に押し当てて上記閉塞室を形成する、
ことを特徴とするテープ接着装置。
【請求項２】
請求項１記載のテープ接着装置であって、
凹嵌部を有する本体部と、この本体部に対して開閉自在に設けられると共に孔部を有する蓋体部とを具備していて、
上記蓋体部のうち上記本体部と対向する部位には、前記封止手段が設けられていて、
上記蓋体部を上記本体部に対して閉じた場合に、上記蓋体部と上記本体部との間を気密に閉塞するシール部材が、これら蓋体部と本体部との境界部分に設けられ、
前記移動手段の摺動部は、上記孔部を通過して前記密閉室の内部に延伸し、かつ該摺動部と上記孔部との間には、これらの間を気密に封止する封止部材が設けられると共に、
上記蓋体部の閉塞状態において、上記シール部材および上記封止部材により封止されると共に上記凹嵌部を備える前記密閉室が形成されている、
ことを特徴とするテープ接着装置。
【請求項３】
請求項２記載のテープ接着装置であって、
前記テープ保持手段は、
前記本体部に取り付けられ、一部が前記凹嵌部を覆うことにより前記載置手段によって突き当てられると共に、フレーム部およびこのフレーム部で囲まれかつ前記ワークに対応する形状に設けられている挿通孔を有するフレーム支持部と、
上記フレーム支持部よりも前記蓋体部側に設置され、前記テープ部材が保持されると共に前記ワークを挿通させることが可能な挿通孔を有するテープフレームと、
を具備し、
上記フレーム支持部は、前記ワークの外周縁部に対して、上記テープフレームよりも近接して設けられている、
ことを特徴とするテープ接着装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載のテープ接着装置であって、
前記閉塞室に大気を導入するための大気開放機構が設けられていると共に、
前記制御手段は、前記閉塞室が形成された後に、上記大気開放機構を作動させる制御を行って前記閉塞室を大気開放する、
ことを特徴とするテープ接着装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載のテープ接着装置であって、
前記移動手段は、
シリンダと、
上記シリンダ内の圧力に応じて挿通可能なピストンロッドと、
前記凹嵌部に形成されている前記孔部に封止部材を介して取り付けられるシリンダ筒と、
上記ピストンロッドの一端側に取り付けられると共に前記載置手段に取り付けられ、かつ上記シリンダ筒の内筒部を摺動するピストンと、
上記ピストンの外周側に取り付けられて、上記ピストンと上記シリンダ筒の内筒部との間に介在するピストンリングと、
を具備することを特徴とするテープ接着装置。
【請求項６】
テープ部材をワークに対して接着するテープ接着装置であって、
上記ワークを載置する載置手段と、
上記載置手段に対して対向して設けられると共に、上記テープ部材に対して密着する状態で当該テープ部材を保持するテープ保持手段と、
上記テープ部材を境界として気密に閉塞されると共に、上記テープ部材から見て上記載置手段が存在する側に位置する第１チャンバと、
上記テープ部材を境界として気密に閉塞されると共に、上記テープ部材から見て上記載置手段が存在する側とは反対側に位置する第２チャンバと、
上記第１チャンバの内部を真空吸引する第１吸引機構と、
上記第２チャンバの内部を真空吸引する第２吸引機構と、
上記第２チャンバに空気を導入する空気導入手段と、
上記ワークの法線方向に向かい、上記載置手段を移動させる移動手段と、
上記第１吸引機構、上記第２吸引機構、上記空気導入手段および上記移動手段の作動を制御する制御手段と、
を具備し、
上記制御手段は、上記ワークが上記テープ部材とは接触せずに近接対向する位置まで上記載置手段を移動させるべく上記移動手段の作動を制御する、
ことを特徴とするテープ接着装置。
【請求項７】
請求項６記載のテープ接着装置であって、
前記制御手段は、
前記第１吸引機構および前記第２吸引機構を作動させて、前記第１チャンバおよび前記第２チャンバの真空吸引を行い、
前記第１吸引機構および前記第２吸引機構の作動に前後して、前記ワークが前記テープ部材とは接触せずに近接対向する位置まで前記載置手段を移動させて、
上記真空吸引の後に、前記空気導入手段を作動させて前記第２チャンバに空気を導入し、この空気の導入によって、前記テープ部材を前記第１チャンバに向けて延伸させ、前記テープ部材と前記ワークとを接着させる、
ことを特徴とするテープ接着装置。
【請求項８】
テープ部材をワークに対して接着するテープ接着方法であって、
上記ワークを載置する上記載置手段に当該ワークを載置した状態で、当該載置手段および上記ワークを内在させかつ内部を密封状態で閉塞可能な密閉室を、吸引手段を用いて真空吸引を行う吸引工程と、
上記吸引工程によって、上記密閉室が設定された真空度に到達したことを検出する真空到達度検出工程と、
上記真空到達度検出工程によって設定された真空度に到達したことの検出後に、上記ワークの法線方向に向かって上記載置手段を移動させる移動手段を作動させて、上記密閉室の内部に設置されると共に上記テープ部材に対して密着する状態で当該テープ部材を保持するテープ保持手段を上記載置手段に突き当てて、さらに上記テープ保持手段を上記載置手段と共に移動させた後に上記テープ部材を封止手段に突き当てて上記密閉室の他の部分から気密に閉塞される閉塞室を形成する閉塞室形成工程と、
上記閉塞室形成工程で閉塞室を形成した後に、上記閉塞室を大気開放することにより上記テープ部材を上記ワークに向けて延伸させ、上記テープ部材と上記ワークとを接着させる接着工程と、
を具備することを特徴とするテープ接着方法。
【請求項９】
テープ部材をワークに対して接着するテープ接着方法であって、
上記テープ部材によって気密に仕切られる第１チャンバと第２チャンバが設けられ、上記第１チャンバには上記ワークを載置する載置手段が設けられ、この載置手段は移動手段の作動によって上記テープ部材に接離する方向に移動させられ、
上記第１チャンバの内部を第１吸引機構を作動させて真空吸引すると共に、上記第２チャンバの内部を第２吸引機構を作動させて真空吸引する吸引工程と、
上記第１吸引機構および上記第２吸引機構の作動に前後して、上記ワークが上記テープ部材とは接触せずに近接対向する位置まで上記載置手段を移動させるべく上記移動手段を作動させる移動工程と、
上記真空吸引の後に、空気導入手段を作動させて上記第２チャンバに空気を導入し、この空気の導入によって、上記テープ部材を上記第１チャンバに向けて延伸させ、上記テープ部材と上記ワークとを接着させる接着工程と、
を具備することを特徴とするテープ接着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに対してテープ部材を接着させるテープ接着装置およびテープ接着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の製造工程においては、半導体ウエハ（以下、ウエハという。）の表面に保護テープ、ダイシングテープ等のテープ部材を貼り付けている。このようなウエハに対するテープ部材の貼付を行うための装置としては、ローラを用いるものがあるが、それ以外に、たとえば特許文献１に示すように、チャンバの内部を真空吸引し、その状態で半導体ウエハとテープ部材との間の貼付を行うものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１１４５９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述の特許文献１の構成においては、チャンバ内を真空吸引した後に、シリンダ機構を作動させて、ウエハをテープ部材に押し当てるようにしている。この特許文献１の方式によると、ウエハに対するテープ部材の接着性が良好となるが、ウエハとテープ部材との間の接着性をより高めることが望まれている。
【０００５】
本発明は上記の事情にもとづきなされたもので、その目的とするところは、ワークとテープ部材との間の接着性を高めることが可能なテープ接着装置およびテープ接着方法を提供しよう、とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明のテープ接着装置の第１の側面は、テープ部材をワークに対して接着するテープ接着装置であって、ワークを載置する載置手段と、載置手段およびこの載置手段に載置されるワークを内在させると共に、内部を密封状態で閉塞可能な密閉室と、ワークの法線方向に向かい、載置手段を移動させる移動手段と、密閉室の内部に設置され、移動手段の作動による載置手段の移動に際して当該載置手段に突き当てられると共に、テープ部材に対して密着する状態で当該テープ部材を保持するテープ保持手段と、密閉室のうちテープ保持手段が載置手段によって突き当てられる側とは反対側に設けられると共に、テープ保持手段との接触によって密閉室の他の部分から気密に閉塞される閉塞室を形成する封止手段と、密閉室の内部を真空吸引する真空吸引手段と、移動手段および真空吸引手段の作動を制御する制御手段と、を具備し、テープ保持手段は、移動手段の作動による載置手段の移動に際して当該載置手段に突き当てられた後に、移動手段の作動に伴って載置手段と共に移動して、テープ保持手段を封止手段に押し当てて閉塞室を形成するものである。
【０００７】
このように構成する場合、制御手段の制御に基づいて移動手段が作動させられ、この作動によって載置手段に載置されているワークがテープ部材に向かって進行する。このとき、テープ保持手段は載置手段に突き当たる状態となり、当該テープ保持手段は封止手段に突き当たって、閉塞室が形成される。ここで、閉塞室を形成する前に、真空吸引手段を作動させて密閉室の内部の吸引を行った後に、閉塞室の内部圧力の方が密閉室の内部圧力よりも高くなるように圧力差が生じるようにする。すると、テープ部材がワークに向かって延伸することにより、当該テープ部材がワークに対して接着する。
【０００８】
このように、閉塞室を予め形成しなくても、後に閉塞室が形成される。そのため、真空吸引手段を用いて内部の吸引を行って低圧とした後に、閉塞室を形成することができる。それにより、閉塞室が、密閉室から予め隔てられている構成と比較して、１つの真空吸引手段を用いる構成とすることができ、２つ以上の真空吸引手段を設けずに済む。それにより、テープ接着装置の製造コストの削減を図ることが可能となる。
【０００９】
また、２つ以上の真空吸引手段を設ける場合には、真空吸引をすればする程、閉塞室と密閉室との間の圧力差を生じさせるため、その圧力差によって真空吸引途中の段階で、テープ部材をワークに接着させてしまう虞がある。しかしながら、真空吸引を行った後に、テープ保持手段を封止手段に押し当てて閉塞室を形成すれば、そのような真空吸引手段の個体差が問題とならなくなる。そのため、真空吸引手段の個体差を解消するための設定等が不要となり、テープ接着装置の製造コストの一層の低減を図ることが可能となる。
【００１０】
さらに、閉塞室を形成した後に、閉塞室の方が密閉室よりも圧力が高くなるように、閉塞室と密閉室との間に差圧を生じさせて、テープ部材をワークに接着させる方式のため、テープ部材のワークに対する接着性を高めることが可能となる。すなわち、閉塞室と密閉室との間の圧力差により、テープ部材が延伸するが、そのテープ部材は、圧力差によってテープ保持手段に近い側よりも、テープ保持手段から離間する中心側の方が、ワークに向かって大きく移動する。そして、最初にテープ部材の中心側をワークに接着させることができ、順次中心側から外周側に向かって接着しているエリアを広げる状態となる。そのため、空気がワークとテープ部材との間に閉じ込められてしまう、といった事態が生じるのを防止可能となり、良好な接着状態を実現可能となる。
【００１１】
また、本発明のテープ接着装置の他の側面は、上述の発明に加えて更に、凹嵌部を有する本体部と、この本体部に対して開閉自在に設けられると共に孔部を有する蓋体部とを具備していて、蓋体部のうち本体部と対向する部位には、封止手段が設けられていて、蓋体部を本体部に対して閉じた場合に、蓋体部と本体部との間を気密に閉塞するシール部材が、これら蓋体部と本体部との境界部分に設けられ、移動手段の摺動部は、孔部を通過して密閉室の内部に延伸し、かつ該摺動部と孔部との間には、これらの間を気密に封止する封止部材が設けられると共に、蓋体部の閉塞状態において、シール部材および封止部材により封止されると共に凹嵌部を備える密閉室が形成されていることが好ましい。
【００１２】
このように構成する場合には、蓋体部を本体部に対して閉じると、シール部材が蓋体部と本体部との間に介在する。加えて、摺動部と孔部との間にも封止部材が介在するため、外部から気密に閉塞される密閉室を形成することができる。それにより、密閉室および閉塞室の内部の真空吸引を良好に行うことが可能となり、ワークに対するテープ部材の接着性を高めることが可能となる。
【００１３】
さらに、本発明のテープ接着装置の他の側面は、上述の発明に加えて更に、テープ保持手段は、本体部に取り付けられ、一部が凹嵌部を覆うことにより載置手段によって突き当てられると共に、フレーム部およびこのフレーム部で囲まれかつワークに対応する形状に設けられている挿通孔を有するフレーム支持部と、フレーム支持部よりも蓋体部側に設置され、テープ部材が保持されると共にワークを挿通させることが可能な挿通孔を有するテープフレームと、を具備し、フレーム支持部は、ワークの外周縁部に対して、テープフレームよりも近接して設けられていることが好ましい。
【００１４】
このように構成する場合には、フレーム支持部とワークの外周縁部の間に存在する隙間は、テープフレームとワークの外周縁部の間に存在する隙間よりも小さくすることが可能となる。そのため、閉塞室の内部圧力が密閉室の内部圧力よりも大きくなるように圧力差が生じた場合に、その圧力差によってフレーム支持部とワークの間の隙間に入り込むテープ部材の量を少なくすることが可能となる。それにより、一層良好な接着状態を実現可能となる。
【００１５】
また、本発明のテープ接着装置の他の側面は、上述の各発明に加えて更に、閉塞室に大気を導入するための大気開放機構が設けられていると共に、制御手段は、閉塞室が形成された後に、大気開放機構を作動させる制御を行って閉塞室を大気開放することが好ましい。
【００１６】
このように構成する場合には、真空吸引手段を作動させて密閉室の内部を真空吸引した後に閉塞室を形成し、その後に大気開放機構を作動させて閉塞室を大気開放することが可能となる。それにより、閉塞室と密閉室との間に大きな圧力差を生じさせることが可能となり、ワークに対してテープ部材を満遍なく接着させることが可能となる。
【００１７】
さらに、本発明のテープ接着装置の他の側面は、上述の各発明に加えて更に、移動手段は、シリンダと、シリンダ内の圧力に応じて挿通可能なピストンロッドと、凹嵌部に形成されている孔部に封止部材を介して取り付けられるシリンダ筒と、ピストンロッドの一端側に取り付けられると共に載置手段に取り付けられ、かつシリンダ筒の内筒部を摺動するピストンと、ピストンの外周側に取り付けられて、ピストンとシリンダ筒の内筒部との間に介在するピストンリングと、を具備することが好ましい。
【００１８】
このように構成する場合には、シリンダ内の圧力に応じてピストンロッドを動かすことにより、載置手段およびワークをテープ部材に対して接離させることが可能となる。また、シリンダ筒が設けられ、さらにシリンダ筒とピストンとの間にピストンリングが設けられることにより、外部からの密閉室の封止性を一層高めることが可能となる。
【００１９】
また、他の発明は、テープ部材をワークに対して接着するテープ接着装置であって、ワークを載置する載置手段と、載置手段に対して対向して設けられると共に、テープ部材に対して密着する状態で当該テープ部材を保持するテープ保持手段と、テープ部材を境界として気密に閉塞されると共に、テープ部材から見て載置手段が存在する側に位置する第１チャンバと、テープ部材を境界として気密に閉塞されると共に、テープ部材から見て載置手段が存在する側とは反対側に位置する第２チャンバと、第１チャンバの内部を真空吸引する第１吸引機構と、第２チャンバの内部を真空吸引する第２吸引機構と、第２チャンバに空気を導入する空気導入手段と、ワークの法線方向に向かい、載置手段を移動させる移動手段と、第１吸引機構、第２吸引機構、空気導入手段および移動手段の作動を制御する制御手段と、を具備し、制御手段は、ワークがテープ部材とは接触せずに近接対向する位置まで載置手段を移動させるべく移動手段の作動を制御する、ことが好ましい。
【００２０】
このように構成する場合には、制御手段の制御に基づいて移動手段が作動させられ、この作動によって載置手段に載置されているワークがテープ部材に向かって進行する。このとき、ワークがテープ部材とは接触せずに近接対向する位置まで、移動手段を作動させるようにする。その状態で、第２チャンバの内部圧力の方が、第１チャンバの内部圧力よりも高くなるように、第１吸引機構、第２吸引機構および／または空気導入手段の作動を制御すれば、テープ部材がワークに向かって延伸し、それによってテープ部材がワークに対して接着する。
【００２１】
このように、テープ部材を挟んで対向する第１チャンバと第２チャンバの圧力差を利用して、テープ部材をワークに接着させる方式のため、テープ部材のワークに対する接着性を高めることが可能となる。すなわち、第１チャンバと第２チャンバの間の圧力差により、テープ部材が延伸するが、そのテープ部材は、圧力差によってテープ保持手段に近い側よりも、テープ保持手段から離間する中心側の方が、ワークに向かって大きく移動する。そして、最初にテープ部材の中心側をワークに接着させることができ、順次中心側から外周側に向かって接着しているエリアを広げる状態となる。そのため、空気がワークとテープ部材との間に閉じ込められてしまう、といった事態が生じるのを防止可能となり、良好な接着状態を実現可能となる。
【００２２】
さらに、本発明のテープ接着装置の他の側面は、上述の発明に加えて更に、制御手段は、第１吸引機構および第２吸引機構を作動させて、第１チャンバおよび第２チャンバの真空吸引を行い、第１吸引機構および第２吸引機構の作動に前後して、ワークがテープ部材とは接触せずに近接対向する位置まで載置手段を移動させて、真空吸引の後に、空気導入手段を作動させて第２チャンバに空気を導入し、この空気の導入によって、テープ部材を第１チャンバに向けて延伸させ、テープ部材と前記ワークとを接着させる、ことが好ましい。
【００２３】
このように構成する場合には、移動手段を作動させるのに前後して、第１吸引機構および第２吸引機構をそれぞれ作動させて、第１チャンバおよび第２チャンバの真空吸引を行う。その後に、空気導入手段を作動させて、第２チャンバに空気を導入する。すると、第２チャンバの内部圧力が、第１チャンバの内部圧力よりも高くなるように圧力差が生じるようにする。すると、テープ部材がワークに向かって延伸し、それによってテープ部材がワークに対して接着する。
【００２４】
このように、テープ部材を挟んで対向する第１チャンバと第２チャンバの圧力差を利用して、テープ部材をワークに接着させる方式のため、テープ部材のワークに対する接着性を高めることが可能となる。特に、真空吸引後に空気導入手段を作動させて第２チャンバに空気を導入するため、ワークに対するテープ部材の接着性を高めることが可能となる。
【００２５】
また、他の発明は、テープ部材をワークに対して接着するテープ接着方法であって、ワークを載置する載置手段に当該ワークを載置した状態で、当該載置手段およびワークを内在させかつ内部を密封状態で閉塞可能な密閉室を、真空吸引手段を用いて真空吸引を行う吸引工程と、吸引工程によって、密閉室が設定された真空度に到達したことを検出する真空到達度検出工程と、真空到達度検出工程によって設定された真空度に到達したことの検出後に、ワークの法線方向に向かって載置手段を移動させる移動手段を作動させて、密閉室の内部に設置されると共にテープ部材に対して密着する状態で当該テープ部材を保持するテープ保持手段を載置手段に突き当てて、さらにテープ保持手段を載置手段と共に移動させた後にテープ部材を封止手段に突き当てて密閉室の他の部分から気密に閉塞される閉塞室を形成する閉塞室形成工程と、閉塞室形成工程で閉塞室を形成した後に、閉塞室を大気開放することによりテープ部材をワークに向けて延伸させ、テープ部材とワークとを接着させる接着工程と、を具備することが好ましい。
【００２６】
このように構成する場合、閉塞室形成工程においては、移動手段が作動させられることにより、載置手段に載置されているワークがテープ部材に向かって進行する。このとき、テープ保持手段は載置手段に突き当たる状態となり、当該テープ保持手段は封止手段に突き当たって、閉塞室が形成される。ここで、閉塞室形成工程の前に、吸引工程において真空吸引手段を作動させて密閉室の内部の吸引を行い、閉塞室形成工程の後に、閉塞室の内部圧力の方が密閉室の内部圧力よりも高くなるように圧力差が生じるようにする。すると、テープ部材がワークに向かって延伸することにより、当該テープ部材がワークに対して接着する。
【００２７】
このように、閉塞室を予め形成しなくても、閉塞室形成工程において閉塞室が形成される。そのため、吸引工程において真空吸引手段を用いて内部の吸引を行って低圧とした後に、閉塞室を形成することができる。それにより、閉塞室が、密閉室から予め隔てられている構成と比較して、１つの真空吸引手段を用いる構成とすることができ、２つ以上の真空吸引手段を設けずに済む。それにより、テープ接着装置の製造コストの削減を図ることが可能となる。
【００２８】
また、２つ以上の真空吸引手段を設ける場合には、それぞれの真空吸引において内部圧力を一致させることが難しく、閉塞室と密閉室との間の圧力差を生じ、その圧力差によって真空吸引途中の段階で、テープ部材をワークに接着させてしまう虞がある。しかしながら、吸引工程で真空吸引を行った後に、閉塞室形成工程でテープ保持手段を封止手段に押し当てて閉塞室を形成すれば、そのような真空吸引手段の個体差が問題とならなくなる。そのため、真空吸引手段の個体差を解消するための設定等が不要となり、テープ接着装置の製造コストの一層の低減を図ることが可能となる。
【００２９】
さらに、閉塞室を形成した後に、接着工程において閉塞室の方が密閉室よりも圧力が高くなるように、閉塞室と密閉室との間に差圧を生じさせて、テープ部材をワークに接着させる方式のため、テープ部材のワークに対する接着性を高めることが可能となる。すなわち、閉塞室と密閉室との間の圧力差により、テープ部材が延伸するが、そのテープ部材は、圧力差によってテープ保持手段に近い側よりも、テープ保持手段から離間する中心側の方が、ワークに向かって大きく移動する。そして、最初にテープ部材の中心側をワークに接着させることができ、順次中心側から外周側に向かって接着しているエリアを広げる状態となる。そのため、空気がワークとテープ部材との間に閉じ込められてしまう、といった事態が生じるのを防止可能となり、良好な接着状態を実現可能となる。
【００３０】
さらに、他の発明は、テープ部材をワークに対して接着するテープ接着方法であって、テープ部材によって気密に仕切られる第１チャンバと第２チャンバが設けられ、第１チャンバにはワークを載置する載置手段が設けられ、この載置手段は移動手段の作動によってテープ部材に接離する方向に移動させられ、第１チャンバの内部を第１吸引機構を作動させて真空吸引すると共に、第２チャンバの内部を第２吸引機構を作動させて真空吸引する吸引工程と、第１吸引機構および第２吸引機構の作動に前後して、ワークがテープ部材とは接触せずに近接対向する位置まで載置手段を移動させるべく移動手段を作動させる移動工程と、真空吸引の後に、空気導入手段を作動させて第２チャンバに空気を導入し、この空気の導入によって、テープ部材を第１チャンバに向けて延伸させ、テープ部材とワークとを接着させる接着工程と、を具備することが好ましい。
【００３１】
このように構成する場合には、吸引工程においては、第１吸引機構および第２吸引機構をそれぞれ作動させて、第１チャンバおよび第２チャンバの真空吸引を行う。この吸引工程に前後する移動工程では、移動手段が作動させられ、この作動によって載置手段に載置されているワークがテープ部材に向かって進行する。また、吸引工程の後に、空気導入手段を作動させて、第２チャンバに空気を導入する。すると、第２チャンバの内部圧力が、第１チャンバの内部圧力よりも高くなるように圧力差が生じるようにする。すると、テープ部材がワークに向かって延伸し、それによってテープ部材がワークに対して接着する。
【００３２】
このように、テープ部材を挟んで対向する第１チャンバと第２チャンバの圧力差を利用して、テープ部材をワークに接着させる方式のため、テープ部材のワークに対する接着性を高めることが可能となる。すなわち、第１チャンバと第２チャンバの間の圧力差により、テープ部材が延伸するが、そのテープ部材は、圧力差によってテープ保持手段に近い側よりも、テープ保持手段から離間する中心側の方が、ワークに向かって大きく移動する。そして、最初にテープ部材の中心側をワークに接着させることができ、順次中心側から外周側に向かって接着しているエリアを広げる状態となる。そのため、空気がワークとテープ部材との間に閉じ込められてしまう、といった事態が生じるのを防止可能となり、良好な接着状態を実現可能となる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明によると、ワークとテープ部材との間の接着性を高めることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本実施の形態の第１の実施の形態に係るテープ接着装置の構成を示す図であり、蓋体部を閉じた状態を示すと共に内部構成の一部を透視した状態について示す側面図である。
【図２】図１のテープ接着装置のうち、シリンダ機構の構成を拡大して示す図である。
【図３】図１のテープ接着装置において、テープフレームの構成を示す平面図である。
【図４】図１のテープ接着装置における制御系統を示す図である。
【図５】図１のテープ接着装置のシリンダ機構の作動の様子を示す図であり、（Ａ）はシリンダ機構が作動する前の状態を示す図であり、（Ｂ）はシリンダ機構が作動してフレーム支持部にウエハ用治具が当接した状態を示す図である。
【図６】図１のテープ接着装置のシリンダ機構の作動の様子を示す図であり、（Ａ）はテープフレームが密閉リングに押し当てられた状態を示す図であり、（Ｂ）は第２チャンバの大気開放によってテープ部材がウエハに接着した状態を示す図である。
【図７】図１のテープ接着装置を用いて、ウエハに対してテープ部材を接着する場合の動作フローを示す図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係るテープ接着装置の構成を示す図であり、蓋体部を閉じた状態を示すと共に内部構成の一部を透視した状態について示す側面図である。
【図９】図８のテープ接着装置のシリンダ機構の作動の様子を示す図であり、（Ａ）はシリンダ機構が作動する前の状態を示す図であり、（Ｂ）はシリンダ機構が作動してテープ部材にウエハが近接対向している状態を示す図である。
【図１０】図８のテープ接着装置のシリンダ機構の作動の様子を示す図であり、第２チャンバの大気開放によってテープ部材がウエハに接着した状態を示す図である。
【図１１】図８のテープ接着装置を用いて、ウエハに対してテープ部材を接着する場合の動作フローを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３５】
（第１の実施の形態）
以下、本発明の第１の実施の形態に係るテープ接着装置１０Ａについて、図１から図７に基づいて説明する。
【００３６】
図１に示すように、テープ接着装置１０Ａは、本体部２０と、蓋体部３０とを主要な構成要素としており、またそれらに付随する各種の構成要素を有している。
【００３７】
＜本体部２０について＞
本体部２０は、本体上面部２１と、フレーム部材２２とを有している。本体上面部２１は、真空吸引時に負荷される圧力を受け止めるために、適切な強度を有した構成となっている。また、フレーム部材２２等のような本体部２０を支える部分も、真空吸引時に負荷される圧力に、十分抗し得るだけの強度を有する構成である。
【００３８】
また、図１に示すように、本体上面部２１のうち、外周側には、環状溝２３が設けられていて、この環状溝２３には、シール部材に対応するシールリング２４が嵌め込まれている。シールリング２４は、Ｏリング状の部材であり、後述する蓋体部３０のリング当接部に当接する。それによって、テープ接着装置１０Ａの内部を、外部（大気）から密閉し、該テープ接着装置１０Ａの内部（第１チャンバＣ１）を真空吸引することを可能としている。
【００３９】
また、本体上面部２１のうち、シールリング２４よりも中央部側には、フレーム設置部２１ａが設けられている（図１他参照）。フレーム設置部２１ａは、後述するフレーム支持部材６１を設置するための部分である。なお、フレーム設置部２１ａは、その上方側（蓋体部３０側）が吸引排気された場合でも、上方側に撓むのを防ぐため、十分な肉厚を有している。
【００４０】
また、フレーム設置部２１ａよりも径方向の中央側には、凹嵌部２５が設けられている。凹嵌部２５は、フレーム設置部２１ａよりも下方側に向かって窪んでいる部分であり、その平面形状は、略円形状を為している。この凹嵌部２５には、後述する取付板５１、ウエハ用治具５２等を介して、ワークとしてのウエハＷが位置する。そして、ウエハＷは、移動手段としてのシリンダ機構４０の駆動によって上下動可能となっている。
【００４１】
また、凹嵌部２５の中央部分には、孔部２６が設けられている。この孔部２６は、凹嵌部２５を貫通するように設けられている。また、本実施の形態では、孔部２６は円孔に設けられている。この孔部２６には、後述するシリンダ筒４５が配置されている。
【００４２】
＜蓋体部３０について＞
図１に示すように、蓋体部３０は、不図示の蝶番を介して本体上面部２１に対して回動可能に設けられている。また、この蓋体部３０は、不図示のロック機構により、本体部２０に対してロックする状態を維持可能となっている。この蓋体部３０のうち、本体部２０のシールリング２４に当接する部分は、リング当接部３１となっている。リング当接部３１は、シールリング２４との当接によって、外部から密閉される空間（第１チャンバＣ１；密閉室に対応）を形成することが可能となっている。なお、本実施の形態では、リング当接部３１は、蓋体部３０の内部上面よりも下方に向かって突出する構成となっている。
【００４３】
また、蓋体部３０の内部上面のうち、後述するフレーム設置部２１ａ（テープフレーム６２）と対向する部位には、環状のリング溝３２が設けられている。このリング溝３２には、封止手段に対応する密閉リング３３が嵌め込まれる。密閉リング３３は、リング溝３２から下方に向かって突出するように取り付けられている。また、密閉リング３３は、後述するテープフレーム６２に当接可能に設けられている。すなわち、後述するシリンダ機構４０が作動して、ウエハＷがテープ部材Ｔに当接し、さらにウエハＷおよびテープ部材Ｔが上昇する場合、テープ部材Ｔが取り付けられているテープフレーム６２も持ち上げられる。そして、テープフレーム６２は、テープ部材Ｔを挟み込む状態で、またはテープ部材Ｔを挟み込まない状態で上述の密閉リング３３と当接する。それにより、蓋体部３０、密閉リング３３、テープフレーム６２およびテープ部材Ｔにより、第１チャンバＣ１から密閉される、閉塞室に対応する第２チャンバＣ２が形成される状態となっている（図６参照）。
【００４４】
また、蓋体部３０の内部上面のうち、リング溝３２（密閉リング３３）に囲まれる部位には、凹部３４が設けられている。凹部３４は、内部上面から所定の寸法だけ、蓋体部３０の上方側に向かって窪んでいる部分である。この凹部３４には、例えば多孔質セラミックスのような、多孔質の材質からなる吸着部材３５が嵌め込まれる。また、図１に示すように、凹部３４の底面３４ａの中央部分には、開口３４ｂが設けられている。この開口３４ｂは、蓋体部３０を貫く挿通孔３６の露出部分である。すなわち、挿通孔３６の下端側は、凹部３４の底面３４ａに露出する開口３４ｂとなっている。また、挿通孔３６の上端側には、管継手３７の一端側が取り付けられている。この管継手３７の他端側は、吸引管３８に接続されている。それにより、後述する真空ポンプ７２の吸引力を、吸着部材３５に及ぼすことを可能としている。なお、蓋体部３０の開閉等の動作を考慮すると、吸引管３８としては、たとえばホース等のように柔軟に変形可能なものを用いることが好ましい。
【００４５】
なお、凹部３４の底面３４ａの全体に吸引力を及ぼすようにするためには、当該凹部３４の底面３４ａよりも若干窪んで設けられる吸引窪み部を設けるようにしても良い。この吸引窪み部は、例えば溝状かつ網目状に設けるようにして、凹部３４の底面３４ａの全体に吸引力を及ぼすことを可能に構成することも可能である。それにより、吸着部材３５には、その全体に亘って吸引力が及ぼされる。なお、吸引窪み部は、溝状かつ網目状には限られない。例えば、吸引窪み部が平面的な形状に設けられると共に、この吸引窪み部から多数の突出部を突出形成し、この突出部で吸着部材３５を受け止めるように構成しても良い。
【００４６】
＜シリンダ機構４０およびシリンダ筒４５について＞
続いて、移動手段に対応するシリンダ機構４０の構成について、説明する。図１および図２に示すように、シリンダ機構４０は、シリンダ４１内にピストンロッド４２を挿通させていて、例えばシリンダ４１内に空気を導入する等、空気圧の作用によってピストンロッド４２を上下動させるものである。ここで、ピストンロッド４２の上端側には、ピストン４３が取り付けられていて、このピストン４３は、シリンダ筒４５の内筒を上下方向に摺動する。なお、シリンダ４１は、後述する制御装置９０の制御に基づいて作動する。
【００４７】
また、ピストン４３の外周側には、ピストンリング４４が取り付けられている。そのため、ピストン４３の外周側とシリンダ筒４５の内筒との間には、このピストンリング４４が介在し、第１チャンバＣ１における真空度を維持可能となっている。なお、ピストンリング４４は、ピストン４３の外周側に１つのみ設けられる構成を採用しても良いが、ピストン４３の外周側にピストンリング４４を２つ以上設ける構成を採用しても良い（図１の構成では、ピストンリング４４は２つ設けられている。）。
【００４８】
また、上述の孔部２６には、シリンダ筒４５が配置されている。このシリンダ筒４５は、筒状部４５ａとフランジ部４５ｂとを有している。この筒状部４５ａの一方側は、孔部２６に挿通させられると共に、筒状部４５ａの他方側は、シリンダ機構４０のシリンダ４１に向かって突出している。また、フランジ部４５ｂの一方側の面（上面）であって、ザグリ孔４５ｃよりも筒状部４５ａに近接する部位には、リング溝４５ｄが設けられている。リング溝４５ｄには、封止部材に対応するパッキン部材４５ｅが嵌め込まれている。パッキン部材４５ｅは、上述のシールリング２４と同様にＯリング状の部材であり、本体上面部２１の下面に当接する。この状態で、シリンダ筒４５をネジ等で取付固定することにより、本体上面部２１の下面とフランジ部４５ｂとの間は、シリンダ筒４５の内筒以外の部分から気密に封止される状態となる。
【００４９】
また、フランジ部４５ｂには、ザグリ孔４５ｃが設けられている。ザグリ孔４５ｃは、フランジ部４５ｂの他方側の面（下面）から上面に向かって不図示のネジを挿入させるための孔である。ここで、筒状部４５ａの一方側が孔部２６に挿通させられている状態で、上述のザグリ孔４５ｃと、本体上面部２１に設けられているネジ孔（図示省略）とを位置合わし、その位置合わせ状態で、ネジを捻じ込む。それにより、シリンダ筒４５が本体上面部２１に取付固定される。
【００５０】
なお、上述のシリンダ機構４０は、本体部２０の内部に設けられている不図示の支持部材に取り付けられている。また、上述のシリンダ筒４５の内筒側には、シリンダライナを設ける構成とすることが好ましい。シリンダライナをシリンダ筒４５の内部に設ける場合、第１チャンバＣ１の気密性を一層向上させることが可能となる。
【００５１】
＜ウエハＷを載置するための構成について＞
続いて、ウエハＷを載置するための構成について説明する。上述のピストン４３の上端部には、円盤状の取付板５１が取り付けられている。さらに、この取付板５１の上面側には、ウエハＷを取り付けるための、ウエハ用治具５２が取り付けられる。このウエハ用治具５２は、たとえばウエハＷを載置可能とするように、当該ウエハＷの形状に対応した窪みを有する形状に形成されている。なお、少なくともウエハ用治具５２は載置手段に対応するが、ウエハ用治具５２と共に取付板５１も載置手段に対応するものとしても良い。
【００５２】
なお、ウエハ用治具５２の形状は、このような窪みを有するものには限られず、別途の形状を有する者としても良い。別途の形状の一例としては、ウエハ用治具５２を、例えばアルミニウムまたはアルミニウム合金等を材質とする円盤状の薄板部材とするものがある。この例では、円盤状のウエハ用治具５２の外周側には、複数の切欠部分が設けられていて、それぞれの切欠部分にピンを位置させて、周方向の位置決めをすることが可能である。なお、切欠部分に位置するピンは、ウエハＷの外周に当接することも可能となっている。また、円盤状のウエハ用治具５２の上面には、ピンを挿通させるためのピン孔が設けられていて、このピン孔にピンを差し込む場合、ウエハＷのオリフラに当該ピンが当接する。なお、この例においては、ウエハＷの位置決めを確実化させるためには、ピン孔は、２つ以上とすることが好ましい。また、ウエハ用治具５２の外周部分には、テープ部材Ｔに対する粘着力が低くなる、非粘着コーティングが施されていることが好ましい。この場合には、ウエハ用治具５２の外周部分がテープ部材Ｔに接触しても、テープ部材Ｔとウエハ用治具５２とが接着せず、剥がす等の余分な手間を省略することが可能となる。
【００５３】
また、ウエハ用治具５２には、ゴムシートが設置されると一層好ましい。ゴムシートは、ウエハＷと略同一の形状を為している。このゴムシートが、ウエハ用治具５２とウエハＷとの間に介在することにより、ウエハ用治具５２等に凹凸が存在する場合でも、その凹凸を吸収することが可能となる。また、ウエハ用治具５２と取付板５１との間には、別途のプレート部材等を介在させるようにしても良い。また、ウエハ用治具５２の外周部分には、テープ部材Ｔに対する粘着力が低くなる、非粘着コーティングが施されている。このため、ウエハ用治具５２の外周部分がテープ部材Ｔに接触しても、テープ部材Ｔとウエハ用治具５２とが接着せず、剥がす等の余分な手間を省略することが可能となる。
【００５４】
＜テープ部材Ｔを支持するための構成について＞
フレーム設置部２１ａには、図１に示すようなフレーム支持部材６１が着脱自在に取り付けられている。フレーム支持部材６１は、テープ保持手段の一部に対応し、例えばリング状を為す部材である。なお、以下の説明では、フレーム支持部材６１のうちリング状のフレーム部６１ａで囲まれる孔部分を、リング孔６１ｂと称呼する。
【００５５】
また、本実施の形態では、フレーム支持部材６１は、本体上面部２１の上面に取り付けられるものの、当該フレーム支持部材６１の内周側が凹嵌部２５の上面側に差し掛かっている。すなわち、フレーム支持部材６１のリング孔６１ｂの直径は、凹嵌部２５の内壁が為す周の直径よりも小さく設けられている。それにより、フレーム支持部材６１のフレーム部６１ａは、凹嵌部２５の周縁の上部に位置するように張り出している。また、リング孔６１ｂの直径は、ウエハ用治具５２の直径よりも小さく設けられている。それにより、シリンダ機構４０の作動によってウエハＷおよびウエハ用治具５２が上方に移動させられると、ウエハ用治具５２の外周側がフレーム支持部材６１の内周側と衝突する。その状態でさらにシリンダ機構４０の作動を継続することにより、フレーム支持部材６１は、ウエハＷおよびウエハ用治具５２と共に上方に移動させられる。
【００５６】
また、本実施の形態では、フレーム支持部材６１のリング孔６１ｂの内壁と、ウエハ用治具５２に載置されるウエハＷの外周との間の隙間は、可能な限り小さく設けられている。そのため、リング孔６１ｂは、ウエハＷの形状に対応した形状を為している。なお、かかるリング孔６１ｂの内壁とウエハＷの外周との間の隙間としては、３ｍｍ以下とするものがあり、１ｍｍ以下とすることが好ましい。
【００５７】
このフレーム支持部材６１には、たとえばピン部材を差し込むための差込孔が設けられている。このピン部材の中には、テープフレーム６２を受け止めて支持するためのピン部材と、テープフレーム６２の回り止めの役割を果たすピン部材の２種類が存在するように構成しても良い。このうち、回り止めの役割を果たすピン部材は、他のピン部材よりも上方側に長く突出する。回り止めとして機能するピン部材は、テープフレーム６２の周方向の位置決めのために設けられている切欠部に位置し、該テープフレーム６２の回転を防止し、かつテープフレーム６２の周方向の位置決めを行う。
【００５８】
また、図１および図３に示すように、フレーム支持部材６１には、テープ保持手段の一部に対応するテープフレーム６２が設置される。テープフレーム６２は、その上面にテープ部材Ｔを張設可能としており、その外観は、円形状のウエハＷにテープ部材Ｔを張設するために、略リング状に設けられている。また、テープフレーム６２の中央部分には、ウエハ用治具５２等を挿通させることが可能なフレーム孔６２ｂが設けられている。このフレーム孔６２ｂを、ウエハ用治具５２およびウエハＷ等が通過することにより、テープフレーム６２に張設されているテープ部材Ｔに対して、ウエハＷが接触可能となっている。
【００５９】
＜吸引機構７０および大気開放機構８０の構成について＞
次に、第１チャンバＣ１を吸引する吸引機構７０、および大気開放機構８０の構成について説明する。本実施の形態では、吸引機構７０は、空気管路７１と、真空ポンプ７２と、第１弁部材７３とを具備している。これらのうち、空気管路７１は、貫通孔７１ａと、管部材７１ｂとから構成されている。貫通孔７１ａは、本体上面部２１を貫いているが、この本体上面部２１の上面のうち、フレーム設置部２１ａと環状溝２３（シールリング２４）との間の部位に、当該貫通孔７１ａの開口が位置するように設けられている。また、管部材７１ｂの一端側は、本体上面部２１の下面側において、貫通孔７１ａと接続されている。
【００６０】
管部材７１ｂの中途部には、第１弁部材７３が接続されている。この第１弁部材７３は、開放／閉塞を切り替えることを可能としていると共に、図１および図４において突出管部７３ａ側への切り替え（大気導入側への切り替え）も可能となっている。この第１弁部材７３としては、例えば、ソレノイドにより開閉可能な、電磁弁を用いることが可能であるが、モータ等の他の駆動源を用いて開閉する方式であっても良い。また、管部材７１ｂの他端側には真空ポンプ７２が接続されている。この真空ポンプ７２が駆動することにより、第１チャンバＣ１内の空気を外部に向けて排出し、当該第１チャンバＣ１を真空吸引することが可能となっている。
【００６１】
また、本実施の形態では、大気開放機構８０は、接続管路８１と、第２弁部材８２とを具備している。これらのうち、接続管路８１は、上述した挿通孔３６と、上述した管継手３７と、上述した吸引管３８とから構成されている。また、第２弁部材８２は、大気開放状態と、大気開放からの閉塞状態とを切り替えることを可能としている。
【００６２】
ここで、シリンダ機構４０の作動によってテープフレーム６２が密閉リング３３に押し付けられることにより、第２チャンバＣ２が形成されるが、この第２チャンバＣ２が形成された後に第２弁部材８２を大気開放側に切り替えると、第２チャンバＣ２を大気開放することが可能となっている。この大気開放により、テープ部材ＴがウエハＷ側に押し付けられる状態となり、ウエハＷとテープ部材Ｔとの間の接着が為される。
【００６３】
なお、上述の吸引機構７０は、コンプレッサ７４を具備する構成を採用しても良い（図１および図４の構成では、コンプレッサ７４を具備している）。図１および図４の構成においては、管部材７１ｂには、コンプレッサ配管７５の一端側も接続されている。コンプレッサ配管７５の他端側は、コンプレッサ７４に接続されていて、該コンプレッサ７４の作動により、第１チャンバＣ１の内部を加圧可能としている。また、コンプレッサ配管７５の中途部には、第１弁部材７３と同様の、第３弁部材７６が設けられている。第３弁部材７６も、開放／閉塞を切り替えることを可能としていると共に、図１等において突出管部７３ａ側への切り替え（大気導入側への切り替え）も可能となっている。
【００６４】
なお、図１および図４に示す構成では、真空ポンプ７２と、コンプレッサ７４とを別個に設け、これらをそれぞれ作動させることにより、第１チャンバＣ１の真空吸引または加圧を行うことを可能としている。しかしながら、１台のポンプのみで真空吸引および加圧が可能な場合、真空ポンプ７２およびコンプレッサ７４に代えて、該１台のポンプのみを設けるようにしても良い。また、本実施の形態では、第１弁部材７３および第３弁部材７６は、大気導入側への切り替えが可能な、三方弁を用いている。しかしながら、第１弁部材７３および第３弁部材７６は、三方弁ではなく、開閉を単純に切り替え可能な弁部材を用いても良い。
【００６５】
＜制御装置９０について＞
図４に示すように、上述のシリンダ４１、真空ポンプ７２、第１弁部材７３、第２弁部材８２、第３弁部材７６、コンプレッサ７４、圧力計９１およびセンサ９２は、制御装置９０に接続されていて、該制御装置９０からの制御指令に対応した信号を受信した後に作動する。この制御装置９０には、オン作動を行うための操作ボタン（不図示）が連結されている。このため、蓋体部３０が閉じ状態か否かを検出するセンサ９２が、閉じ状態であることを検出すると、センサ９２は閉じ状態に対応する信号を制御装置９０に出力し、その閉じ状態において、作業者が作動ボタンを押すと、真空ポンプ７２が作動する。なお、作動ボタンは、蓋体部３０を閉じる度に押すものとしても良いが、作動ボタンがオンとなっている場合に蓋体部３０が閉じられると、自動的にテープ接着装置１０Ａの全体が作動を開始するように構成しても良い。
【００６６】
なお、制御装置９０の制御に関しては、後述する動作説明にて説明する。また、制御装置９０は、制御手段に対応する。
【００６７】
＜テープ接着装置１０Ａの動作について＞
続いて、本実施の形態におけるテープ接着装置１０Ａの動作について、以下に説明する。最初に作業者は、蓋体部３０を開放させ、取付板５１にウエハ用治具５２を取り付ける。この取付と共に、ウエハ用治具５２にウエハＷを載置する。続いて、作業者は、テープフレーム６２にテープ部材Ｔを取り付けると共に、このテープフレーム６２をフレーム支持部材６１に設置する。また、作業者は、フレーム支持部材６１をフレーム設置部２１ａに設置する。
【００６８】
なお、テープフレーム６２をフレーム支持部材６１に設置するのに先立って、制御装置９０の制御により、または制御装置９０の制御によらずに、ピストンロッド４２が最も下方に位置する状態としておく。
【００６９】
次に、作業者は、蓋体部３０を降下させて、蓋体部３０を閉じる状態にする。そして、作業者が、作動ボタンを押すと、制御装置９０は、蓋体部３０が閉じ状態にある場合に対応する検出信号を、センサ９２から受信したか否かを判断する（ステップＳ０１）。この判断において、閉じ状態にある場合の検出信号を受信したと判断される場合（ステップＳ０１でＹｅｓの場合）、続いて、第１弁部材７３を開放状態にすると共に、第２弁部材８２および第３弁部材７６を閉じ状態に切り替える（ステップＳ０２）。また、制御装置９０が、閉じ状態にある場合のセンサ９２からの検出信号を受信していないと判断される場合（ステップＳ０１でＮｏの場合）、再びステップＳ０１に戻り、検出信号を受信したか否かの判断を継続する。
【００７０】
また、上述の切り替えに続いて、制御装置９０は、真空ポンプ７２を作動させ、第１チャンバＣ１の内部の真空吸引を開始する（ステップＳ０３）。かかる作動においては、初期の起動時間の短縮を図るために、コンプレッサ７４も作動させておくようにしても良い。この場合、第３弁部材７６は閉じ状態となるものの、コンプレッサ７４は、第３弁部材７６の突出管部７６ａと連通する状態となる。しかしながら、コンプレッサ７４の起動が速い場合には、コンプレッサ７４を停止させておくようにしても良い。
【００７１】
第１チャンバＣ１の真空吸引の開始後、制御装置９０は、圧力計９１での圧力検出により、規定の圧力以下であることが検出されたか否かを判断する（ステップＳ０４）。なお、規定の圧力としては、たとえば５０Ｐａ程度とするものがあるが、５０Ｐａ以下としても良く、また５０Ｐａ以上としても良い。そして、規定の圧力以下であると判断される場合（ステップＳ０４でＹｅｓの場合）、それまでのようなシリンダ機構４０（シリンダ４１）の上昇前の状態（図５（Ａ）参照）から、シリンダ機構４０（シリンダ４１）を作動させて、ウエハＷをテープ部材Ｔ側に向けて移動させる（ステップＳ０５）。そして、ウエハＷの移動（上昇）が所定だけ為されると、図５（Ｂ）に示すように、ウエハ用治具５２の外周側がフレーム支持部材６１の内周側に接触する。なお、この接触状態では、ウエハＷとテープ部材Ｔとは接触せずに、所定のクリアランスが存在する状態となっている。
【００７２】
なお、圧力計９１での圧力検出により、規定の圧力以下でないと判断される場合（ステップＳ０４でＮｏの場合）、再びステップＳ０４に戻り、規定の圧力以下となったか否かの判断を継続する。
【００７３】
また、ウエハ用治具５２の外周側がフレーム支持部材６１の内周側に接触した後においても、シリンダ４１の作動を継続させる。すると、フレーム支持部材６１は、ウエハ用治具５２の移動（上昇）に伴って移動させられる（上昇させられる）。そして、図６（Ａ）に示すように、テープフレーム６２は、テープ部材Ｔを挟み込む状態で、またはテープ部材Ｔを挟み込まない状態で、密閉リング３３に押し付けられる（押し当てられる）。なお、テープフレーム６２が密閉リング３３に押し付けられた状態となった後に、制御装置９０の制御指令によりシリンダ４１の作動が停止させられ、ウエハＷおよび取付板５１等を上昇させるための動作が停止させられる（ステップＳ０６）。
【００７４】
なお、テープフレーム６２の密閉リング３３に対する押し当ては、上述のようにテープフレーム６２が直接密閉リング３３に押し当てられるものでも良く、またテープフレーム６２がテープ部材Ｔまたは別途の部材を介して間接的に密閉リング３３に押し当てられるものでも良い。
【００７５】
この後に、制御装置９０の制御指令に基づいて、第２弁部材８２は大気開放側に切り替えられる（ステップＳ０７）。すると、第２チャンバＣ２が大気開放される。この大気開放により、テープ部材Ｔを挟んで対向する第１チャンバＣ１と第２チャンバＣ２との間に大きな圧力差が生じる。そのため、テープ部材Ｔは、この圧力差によって延伸し、第２チャンバＣ２はウエハＷに向かって膨らむ。そして、図６（Ｂ）に示すように、この第２チャンバＣ２の膨らみに伴って、テープ部材ＴはウエハＷに押し付けられ、ウエハＷとテープ部材Ｔとの間の接着が実現される。
【００７６】
ここで、テープ部材Ｔの延伸による当該テープ部材Ｔの下方への移動量は、テープフレーム６２からテープ部材Ｔの径方向の中央に向かうにつれて大きくなる。そのため、ウエハＷとテープ部材Ｔとの間の接着部分は、テープ部材ＴおよびウエハＷの中央部分で最初に出現し、その後に接着部分が徐々に外径側に向かって拡がる状態となっている。
【００７７】
以上のようにして、ウエハＷとテープ部材Ｔとの間の接着が為される。なお、第２チャンバＣ２を大気開放する場合、第１チャンバＣ１と第２チャンバＣ２との間の圧力差により、フレーム支持部材６１のリング孔６１ｂの内壁とウエハＷの外周との間の隙間には、テープ部材Ｔが入り込もうとする。しかしながら、上述のようにリング孔６１ｂの内壁とウエハＷの外周との間を、可能な限り小さく設けることにより、テープ部材Ｔが隙間に入り込むのを抑えることが可能となっている。
【００７８】
また、上述のようなウエハＷとテープ部材Ｔとの間の接着が為された後に、制御装置９０の制御指令により、ピストンロッド４２が下降する向きにシリンダ４１を作動させる（ステップＳ０８）。このとき、ピストンロッド４２が最も下方に位置する状態まで、シリンダ４１を作動させる。それにより、テープフレーム６２のテープ部材Ｔに対する押し付け状態が解除され、第２チャンバＣ２が存在しない状態となる。また、ピストンロッド４２を下降させる過程においては、フレーム支持部材６１がフレーム設置部２１ａと当接するが、既にウエハＷはテープ部材Ｔに接着している状態となっている。そのため、ウエハＷは、ピストンロッド４２の下降に伴って下降していくウエハ用治具５２から離れる。
【００７９】
その後に、シリンダ機構４０（シリンダ４１）を停止させる（ステップＳ０９）。なお、ピストンロッド４２が最も下方に位置する状態とはせずに、ピストンロッド４２が最も下方に至るまでの中途の位置で、シリンダ４１の作動を停止させるようにしても良い。
【００８０】
この後に、蓋体部３０を開放して、テープフレーム６２ごと、ウエハＷおよび当該ウエハＷに接着されているテープ部材Ｔを取り出す。
【００８１】
なお、この蓋体部３０の開放に先立って、コンプレッサ７４を作動させて、第１チャンバＣ１の内部を加圧するようにしても良い。この場合には、第１弁部材７３は閉じ状態とすると共に、第３弁部材７６も閉じ状態とするが、第２弁部材８２は開放状態として、コンプレッサ７４から空気を加圧状態で送り込むようにする。このように、第１チャンバＣ１の内部を加圧することにより、ウエハＷとテープ部材Ｔとの間の接着性を、一層高めることが可能となる。
【００８２】
＜効果＞
以上のような構成のテープ接着装置１０Ａによると、真空ポンプ７２を用いて内部の吸引を行って低圧とした後に、第２チャンバＣ２を形成することができる。それにより、第２チャンバＣ２が、第１チャンバＣ１から予め隔てられている構成と比較して、１つの真空ポンプ７２のみを用いる構成とすることができ、２つ以上の真空ポンプを設けずに済む。それにより、テープ接着装置１０Ａの製造コストの削減を図ることが可能となる。
【００８３】
また、２つ以上の真空ポンプを設ける場合には、真空吸引をすればする程、第１チャンバと第２チャンバとの間の圧力差を生じさせるため、その圧力差によって真空吸引途中の段階で、テープ部材ＴをウエハＷに接着させてしまう虞がある。しかしながら、真空吸引を行った後に、テープフレーム６２を密閉リング３３に押し当てて第２チャンバＣ２を形成すれば、そのような真空ポンプ７２の個体差（バラ付き）が問題とならなくなる。そのため、真空ポンプ７２の個体差（バラ付き）を解消するための設定等が不要となり、テープ接着装置１０Ａの製造コストの一層の低減を図ることが可能となる。
【００８４】
さらに、第２チャンバＣ２を形成した後に、第２チャンバＣ２の方が第１チャンバＣ１よりも圧力が高くなるように、第１チャンバＣ１と第２チャンバＣ２との間に差圧を生じさせて、テープ部材ＴをウエハＷに接着させる方式のため、テープ部材ＴのウエハＷに対する接着性を高めることが可能となる。すなわち、第１チャンバＣ１と第２チャンバＣ２との間の圧力差により、テープ部材Ｔが延伸するが、そのテープ部材Ｔは、圧力差によってテープフレーム６２に近い側よりも、テープフレーム６２から離間する中心側の方が、ウエハＷに向かって大きく移動する。そして、最初にテープ部材Ｔの中心側をウエハＷに接着させることができ、順次中心側から外周側に向かって接着しているエリアを広げる状態となる。そのため、空気がウエハＷとテープ部材Ｔとの間に閉じ込められてしまう、といった事態が生じるのを防止可能となり、良好な接着状態を実現可能となる。
【００８５】
また、本実施の形態では、蓋体部３０を本体部２０に対して閉じると、シールリング２４が蓋体部３０と本体部２０との間に介在する。加えて、ピストン４３の外周側とシリンダ筒４５の内筒との間には、このピストンリング４４が介在するため、外部から気密に閉塞される第１チャンバＣ１を形成することができる。それにより、第１チャンバＣ１、および第２チャンバＣ２となる予定の部位の内部の真空吸引を良好に行うことが可能となり、ウエハＷに対するテープ部材Ｔの接着性を高めることが可能となる。
【００８６】
さらに、本実施の形態では、フレーム支持部材６１は、ウエハＷの外周縁部に対して、テープフレーム６２よりも近接して設けられている。このため、フレーム支持部材６１とウエハＷの外周縁部の間に存在する隙間は、テープフレーム６２とウエハＷの外周縁部の間に存在する隙間よりも小さくすることが可能となる。そのため、第２チャンバＣ２の大気開放によって当該第２チャンバＣ２の内部圧力が第１チャンバＣ１の内部圧力よりも大きくなるように圧力差が生じた場合に、その圧力差によってフレーム支持部材６１とウエハＷの間の隙間に入り込むテープ部材Ｔの量を少なくすることが可能となる。それにより、一層良好な接着状態を実現可能となる。
【００８７】
また、本実施の形態では、第２チャンバＣ２に大気を導入するための大気開放機構８０が設けられていて、制御装置９０は、第２チャンバＣ２が形成された後に、大気開放機構８０の第２弁部材８２を作動させる制御を行って、第２チャンバＣ２を大気開放している。このため、第１チャンバＣ１と第２チャンバＣ２との間に大きな圧力差を生じさせることが可能となり、ウエハＷに対してテープ部材Ｔを満遍なく接着させることが可能となる。
【００８８】
さらに、本実施の形態では、シリンダ機構４０は、シリンダ４１と、シリンダ４１内の圧力に応じて挿通可能なピストンロッド４２と、凹嵌部２５形成されている孔部２６にパッキン部材４５ｅを介して取り付けられるシリンダ筒４５と、ピストンロッド４２の一端側に取り付けられると共に取付板５１に取り付けられ、かつシリンダ筒４５の内筒部を摺動するピストン４３と、ピストン４３の外周側に取り付けられて、ピストン４３とシリンダ筒４５の内筒部との間に介在するピストンリング４４と、を具備している。このため、シリンダ４１内の圧力に応じてピストンロッド４２を動かすことにより、取付板５１およびウエハＷをテープ部材Ｔに対して接離させることが可能となる。また、シリンダ筒４５が設けられ、さらにシリンダ筒４５とピストン４３との間にピストンリング４４が設けられることにより、外部からの第１チャンバＣの封止性を一層高めることが可能となる。
【００８９】
（第２の実施の形態）
以下、本発明の第２の実施の形態について説明する。なお、本実施の形態では、上述の第１の実施の形態で述べた構成と同様の構成（部分）については、同一の名称および符号を用いて説明する。また、本実施の形態におけるテープ接着装置１０Ｂに関する説明では、主として、上述の第１の実施の形態に係るテープ接着装置１０Ｂに対して相違する部分に関して説明する。
【００９０】
図８に示すように、本実施の形態のテープ接着装置１０Ｂでは、本体上面部２１の構成の詳細が異なっている。すなわち、フレーム設置部２１ａにフレーム支持部材６１が設置され、さらにフレーム支持部材６１にテープ部材Ｔを張設しているテープフレーム６２が取り付けられることにより、第１チャンバＣ１と第２チャンバＣ２（図９，図１０参照）とが仕切られている。
【００９１】
そのため、フレーム支持部材６１がテープフレーム６２に支持されている状態では、第２チャンバＣ２から第１チャンバＣ１への連通状態が阻止されるように、フレーム支持部材６１とフレーム設置部２１ａとの間、およびフレーム支持部材６１とテープフレーム６２とが隙間なく密接する構成となっている。
【００９２】
また、本実施の形態では、フレーム支持部材６１のフレーム部６１ａは、凹嵌部２５の上部に位置するようには張り出していない。図８においては、凹嵌部２５の直径と、フレーム支持部材６１のリング孔６１ｂの直径とは、略等しくなるように設けられている。しかしながら、上述の第１の実施の形態で説明したように、フレーム支持部材６１のフレーム部６１ａは、凹嵌部２５の周縁の上部に位置するべく、張り出すように構成しても良い。
【００９３】
また、本実施の形態では、上述の第１の実施の形態で述べた吸引機構７０とは異なる吸引機構を有している。すなわち、本実施の形態では、第１吸引機構１００および第２吸引機構１１０という２つの吸引機構を有している。第１吸引機構１００は、空気管路１０１と、第１弁部材１０２と、第１真空ポンプ１０３とを有している。また、第２吸引機構１１０は、空気管路１１１と、第２弁部材１１２と、第２真空ポンプ１１３とを有している。
【００９４】
これらのうち、空気管路１０１は、第１チャンバＣ１に連通している。この空気管路１０１の中途部分には、第１弁部材１０２が設けられている。また、空気管路１０１の他端側は、第１真空ポンプ１０３に接続されている。かかる空気管路１０１、第１弁部材１０２および第１真空ポンプ１０３を具備することにより、第１チャンバＣ１の内部を真空吸引したり、大気開放することを可能としている。
【００９５】
また、空気管路１１１は、第２チャンバＣ２に連通している。この空気管路１１１の中途部分には、空気導入手段に対応する第２弁部材１１２が設けられている。さらにこの第２弁部材１１２の他端側が第２真空ポンプ１１３に接続されている。かかる空気管路１１１、第２弁部材１１２および第２真空ポンプ１１３を具備することにより、第２チャンバＣ２の内部を真空吸引したり、大気開放することを可能としている。
【００９６】
なお、空気管路１０１は、貫通孔１０１ａと、管部材１０１ｂとを有していて、貫通孔１０１ａは、凹嵌部２５の底部を貫通している。また、空気管路１１１も、貫通孔１１１ａと管部材１１１ｂとを有している。ここで、貫通孔１１１ａは、本体上面部２１を貫いているが、この本体上面部２１の上面のうち、フレーム設置部２１ａと環状溝２３（シールリング２４）との間の部位に、当該貫通孔１１１ａの開口が位置するように設けられている。
【００９７】
なお、第２吸引機構１１０は、上述の第１の実施の形態における吸引機構７０と同様に、コンプレッサを具備する構成を採用しても良い。この場合、第２チャンバＣ２の内部を加圧可能に構成される。なお、第１の実施の形態におけるコンプレッサ７４は、第１チャンバＣ１の内部を加圧可能な構成となっているが、本実施の形態におけるコンプレッサは、第２チャンバＣ２の内部を加圧可能に構成されている。しかしながら、それ以外の配管および弁部材の構成については、第１の実施の形態におけるものと同様であるため、詳細についての説明は省略する。
【００９８】
また、本実施の形態では、蓋体部３０の構成が上述の第１の実施の形態における蓋体部３０に対して相違している。本実施の形態における蓋体部３０は、上述の第１の実施の形態における蓋体部３０が具備するような凹部３４およびリング溝３２を有していない。すなわち、本実施の形態においては、フレーム支持部材６１およびテープフレーム６２は、上方に向かって移動させられる構成ではないため、蓋体部３０の内部上面に、凹部３４、リング溝３２等を設ける必要がなくなっている。
【００９９】
＜テープ接着装置１０Ｂの動作について＞
以上のような構成を有するテープ接着装置１０Ｂの動作について、図９〜図１１に基づいて、以下に説明する。本実施の形態におけるテープ接着装置１０Ｂにおいても、最初に作業者は、蓋体部３０を開放させ、取付板５１にウエハ用治具５２を取り付ける。この取付と共に、ウエハ用治具５２にウエハＷを載置する。続いて、作業者は、テープフレーム６２にテープ部材Ｔを取り付けると共に、このテープフレーム６２をフレーム支持部材６１に設置する。また、作業者は、フレーム支持部材６１をフレーム設置部２１ａに設置する。
【０１００】
なお、テープフレーム６２をフレーム支持部材６１に設置するのに先立って、制御装置９０の制御により、または制御装置９０の制御によらずに、ピストンロッド４２が最も下方に位置する状態としておく。
【０１０１】
次に、作業者は、蓋体部３０を降下させて、蓋体部３０を閉じる状態にする。そして、作業者が作動ボタンを押すと、制御装置９０は、蓋体部３０が閉じ状態にある場合に対応する検出信号を、センサ９２から受信したか否かを判断する（ステップＳ１１）。この判断において、閉じ状態にある場合の検出信号を受信したと判断される場合（ステップＳ１１でＹｅｓの場合）、続いて、第１弁部材１０２および第２弁部材１１２を開放状態にする（ステップＳ１２）。また、制御装置９０が、閉じ状態にある場合のセンサ９２からの検出信号を受信していないと判断される場合（ステップＳ１１でＮｏの場合）、再びステップＳ１１に戻り、検出信号を受信したか否かの判断を継続する。
【０１０２】
また、上述の切り替えに続いて、制御装置９０は、第１真空ポンプ１０３および第２真空ポンプ１１３を作動させ、第１チャンバＣ１および第２チャンバＣ２の内部の真空吸引を開始する（ステップＳ１３）。なお、この作動においては、テープ部材Ｔが下方に向かって大きく撓むのを防ぐべく、第１チャンバＣ１の内部の圧力の方が、第２チャンバＣ２の内部の圧力よりも若干大きくなるようにしながら真空吸引を行うことが好ましい。
【０１０３】
上述のような真空吸引の開始後、制御装置９０は、圧力計９１での圧力検出により、規定の圧力以下であることが検出されたか否かを判断する（ステップＳ１４）。そして、規定の圧力以下であると判断される場合（ステップＳ１４でＹｅｓの場合）、シリンダ機構４０（シリンダ４１）を作動させて、ウエハＷをテープ部材Ｔ側に向けて移動させる（ステップＳ１５）。そして、ウエハＷを所定だけ上昇させると、上昇部位の不図示のストッパ機構への衝突、または上昇の位置制御によって、ウエハＷの上昇が停止させられる（ステップＳ１６）。なお、かかる上昇の停止位置においては、ウエハＷとテープ部材Ｔとは接触せずに、所定のクリアランスが存在する状態となっている。
【０１０４】
なお、圧力計９１での圧力検出により、規定の圧力以下でないと判断される場合（ステップＳ１４でＮｏの場合）、再びステップＳ１４に戻り、規定の圧力以下となったか否かの判断を継続する。
【０１０５】
また、ステップＳ１６の後に、制御装置９０の制御指令に基づいて、第２弁部材１１２は大気開放側に切り替えられる（ステップＳ１７）。すると、第２チャンバＣ２が大気開放される。この大気開放により、テープ部材Ｔを挟んで対向する第１チャンバＣ１と第２チャンバＣ２との間に大きな圧力差が生じる。そのため、テープ部材Ｔは、この圧力差によって延伸し、第２チャンバＣ２はウエハＷに向かって膨らむ。そして、この第２チャンバＣ２の膨らみに伴って、テープ部材ＴはウエハＷに押し付けられ、ウエハＷとテープ部材Ｔとの間の接着が実現される。なお、かかるウエハＷとテープ部材Ｔとの間の接着の態様は、上述の第１の実施の形態におけるものと同様である。
【０１０６】
以上のようにして、ウエハＷとテープ部材Ｔとの間の接着が為される。なお、本実施の形態においても、第２チャンバＣ２を大気開放する場合、第１チャンバＣ１と第２チャンバＣ２との間の圧力差により、フレーム支持部材６１のリング孔６１ｂの内壁とウエハＷの外周との間の隙間には、テープ部材Ｔが入り込もうとする。そのため、本実施の形態においても、リング孔６１ｂの内壁とウエハＷの外周との間を、可能な限り小さく設けることが好ましい。
【０１０７】
また、上述のようなウエハＷとテープ部材Ｔとの間の接着が為された後に、制御装置９０の制御指令により、ピストンロッド４２が最も下方に位置する状態まで、シリンダ４１を作動させる（ステップＳ１８）。この下降に際しては、ウエハＷはテープ部材Ｔに対して接着された状態となっているため、ウエハＷは、ピストンロッド４２の下降に伴って下降していくウエハ用治具５２から離れる。
【０１０８】
その後に、シリンダ機構４０（シリンダ４１）を停止させる（ステップＳ１９）。なお、ピストンロッド４２が最も下方に位置する状態とはせずに、ピストンロッド４２が最も下方に至るまでの中途の位置で、シリンダ４１の作動を停止させるようにしても良い。
【０１０９】
この後に、蓋体部３０を開放して、テープフレーム６２ごと、ウエハＷおよび当該ウエハＷに接着されているテープ部材Ｔを取り出す。
【０１１０】
なお、この蓋体部３０の開放に先立って、コンプレッサを作動させて、第１チャンバＣ１の内部を加圧するようにしても良い。この場合、第１チャンバＣ１の内部を加圧することにより、ウエハＷとテープ部材Ｔとの間の接着性を、一層高めることが可能となる。
【０１１１】
＜効果＞
以上のような構成のテープ接着装置１０Ｂにおいても、テープ部材Ｔを挟んで対向する第１チャンバＣ１と第２チャンバＣ２の圧力差を利用して、テープ部材ＴをウエハＷに接着させる方式のため、テープ部材ＴのウエハＷに対する接着性を高めることが可能となる。すなわち、第１チャンバＣ１と第２チャンバＣ２の間の圧力差により、テープ部材Ｔが延伸するが、そのテープ部材Ｔは、圧力差によってテープフレーム６２に近い側よりも、テープフレーム６２から離間する中心側の方が、ウエハＷに向かって大きく移動する。そして、最初にテープ部材Ｔの中心側をウエハＷに接着させることができ、順次中心側から外周側に向かって接着しているエリアを広げる状態となる。そのため、空気がウエハＷとテープ部材Ｔとの間に閉じ込められてしまう、といった事態が生じるのを防止可能となり、良好な接着状態を実現可能となる。
【０１１２】
さらに、本実施の形態では、制御装置９０は、第１真空ポンプ１０３および第２真空ポンプ１１３を作動させて、第１チャンバＣ１および第２チャンバＣ２の真空吸引を行い、その後にウエハＷがテープ部材Ｔとは接触せずに近接対向する位置までウエハ用治具５２を移動させ、さらにその後に第２弁部材１１２が大気開放されるように作動させて第２チャンバＣ２に空気を導入し、この空気の導入によって、テープ部材Ｔを第１チャンバＣ１に向けて延伸させ、テープ部材ＴとウエハＷとを接着させている。
【０１１３】
このように、本実施の形態においても、テープ部材Ｔを挟んで対向する第１チャンバＣ１と第２チャンバＣ２の圧力差を利用して、テープ部材ＴをウエハＷに接着させる方式のため、テープ部材ＴのウエハＷに対する接着性を高めることが可能となる。特に、真空吸引後に第２弁部材１１２が大気開放されるように作動させて第２チャンバＣ２に空気を導入するため、ウエハＷに対するテープ部材Ｔの接着性を高めることが可能となる。
【０１１４】
＜変形例＞
以上、本発明の一実施の形態に係る、テープ接着装置１０Ａ，１０Ｂおよびテープ接着方法について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下、それについて述べる。
【０１１５】
上述の各実施の形態においては、ワークとして、ウエハＷを用いる場合について説明している。しかしながら、ワークとしては、ウエハＷ以外に液晶等のガラス基板や特殊ガラス材、有機ＥＬ用のガラス基板等、各種ＭＥＭＳ（micro electro mechanical systems）に用いられるデバイスを形成するための基板、各種メディア（ＤＶＤ等）の基板等を採用しても良い。また、ワークはこれらの例示には限られず、上述したような貼付および後述するような剥がし等を行うものであれば、どのようなものであっても良い。
【０１１６】
また、上述の各実施の形態では、真空化後に大気（空気）を導入しているが、空気以外のもの、例えば窒素ガス、アルゴンガス等の不活性ガスを導入して、テープ部材ＴのウエハＷに対する接着を行うようにしても良い。また、コンプレッサ７４における加圧時においても、上述の不活性ガスを用いるようにしても良い。
【０１１７】
また、上述の各実施の形態においては、ヒータを用いる構成を採用しても良い。たとえば、上述の取付板５１の上面に、たとえば平面状（たとえば円盤状）のラバーヒータのようなヒータを取り付けるように構成しても良い。その場合、取付板５１の上面には、ヒータを嵌め込むための窪みを設けるようにすることが好ましい。そして、ヒータによりウエハＷを加熱することにより、テープ部材ＴのウエハＷに対する接着性を高めることが可能となる。
【０１１８】
また、上述の第１の実施の形態においては、蓋体部３０にリング溝３２を設け、このリング溝３２に密閉リング３３を嵌め込む構成を採用している。しかしながら、テープフレーム６２に、密閉リングに類似する構成を設けて、蓋体部３０に押し当てる構成を採用しても良い。このような構成を採用した場合にも、上述の第１の実施の形態で述べたものと同様の作用効果を奏させることが可能となる。
【０１１９】
また、上述の各実施の形態では、テープ保持手段として、フレーム支持部材６１およびテープフレーム６２を用いた構成について説明している。しかしながら、テープ保持手段は、これらには限られず、例えば、テープ部材Ｔを吸引保持するための吸着機構を設け、これをテープ保持手段としても良い。
【０１２０】
また、制御手段としては、予め制御条件が設定されているものでも良く、作業者側で任意に制御条件を設定可能な構成でも良い。さらに、シールリング２４、密閉リング３３、パッキン部材４５ｅは、気密に閉塞できる構成であれば、どのような形状・構成であっても良い。
【０１２１】
また、テープ部材Ｔは、上述の実施の形態のものには限られず、ＵＶ硬化型テープ、偏光フィルム、保護シート、透明電極等、ワークの表面に接着可能であれば、種々のものを用いることができる。
【０１２２】
また、別途、ウエハＷやガラス基板にテープ部材Ｔを接着した後に、テープ部材Ｔを切断するための機構を、テープ接着装置１０Ａ，１０Ｂに設けるようにしても良い。
【符号の説明】
【０１２３】
１０Ａ，１０Ｂ…テープ接着装置
２０…本体部
２１…本体上面部
２１ａ…フレーム設置部
２２…環状溝
２３…シールリング（シール部材に対応）
２４…凹嵌部
２５…孔部
３０…蓋体部
３１…リング当接部
３２…リング溝
３３…密閉リング（封止手段に対応）
３４…凹部
３５…吸着部材
３６…挿通孔
３８…ホース
４０…シリンダ機構（移動手段に対応）
４１…シリンダ
４３…ピストン
４４…ピストンリング
４５…シリンダ筒
４５ｅ…パッキン部材（封止部材に対応）
５１…取付板
５２…ウエハ用治具
６１…フレーム支持部材（テープ保持手段の一部に対応）
６１ａ…フレーム部
６１ｂ…リング孔
６２…テープフレーム（テープ保持手段の一部に対応）
７０…吸引機構
７１…空気管路
７２…真空ポンプ
７３…第１弁部材
７４…コンプレッサ
８０…大気開放機構
８１…接続管路
８２…第２弁部材
９０…制御装置（制御手段に対応）
９１…圧力計
９２…センサ
１００…第１吸引機構
１０２…第１弁部材
１０３…第１真空ポンプ
１１０…第２吸引機構
１１２…第２弁部材（空気導入手段に対応）
１１３…第２真空ポンプ
Ｗ…ウエハ（ワークに対応）
Ｔ…テープ部材
Ｃ１…第１チャンバ（密閉室に対応）
Ｃ２…第２チャンバ（閉塞室に対応）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2011253845.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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