(57)【要約】【課題】駆動源を減らし、コンパクトなシングルワイヤソーを提供する。【解決手段】供給リール４から固定砥粒ワイヤ７を溝ローラー８間に掛け回した後、巻取リール５で巻き取るように構成し、ワイヤ７を一方向または往復動するようにして溝ローラー８間で走行させ加工物Ｗを切断するようにしたワイヤソー１において、供給リール４を摩擦力によって回転させる供給側圧接ローラー９と、巻取リール５を摩擦力によって回転させる巻取側圧接ローラー１０と、両圧接ローラー９、１０とを接触させてその摩擦力により、両圧接ローラー９、１０とを回転させる無端ベルト１５と、無端ベルト１５を走行駆動させる駆動モーター１３とを設け、駆動モーター１３で無端ベルト７を一方向に回転駆動させることにより、供給側圧接ローラー９及び巻取側圧接ローラー１０の摩擦力を介して供給リール４と巻取リール５を回転させてワイヤ７を走行させるようにする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給リールから供給される１本の固定砥粒ワイヤを複数の溝ローラー間にワイヤが１列となるように掛け回した後、巻取リールで巻き取るように構成し、該ワイヤを一方向または往復動するようにして前記溝ローラー間で走行させて加工物を切断するようにしたワイヤソーにおいて、
前記供給リールに圧接し、前記供給リールを摩擦力によって回転させる供給側圧接ローラーと、
前記巻取リールに圧接し、前記巻取リールを摩擦力によって回転させる巻取側圧接ローラーと、
前記供給側圧接ローラーと巻取側圧接ローラーとを接触させてその摩擦力により、前記供給側圧接ローラーと巻取側圧接ローラーとを回転させる無端ベルトと、
前記無端ベルトを走行駆動させる駆動モーターとを設け、
前記駆動モーターで前記無端ベルトを一方向に回転駆動させることにより、供給側圧接ローラー及び巻取側圧接ローラーの摩擦力を介して供給リールと巻取リールを回転させてワイヤを走行させるようにしたことを特徴とするワイヤソー。
【請求項２】
請求項１のワイヤソーにおいて、
前記ワイヤソーの溝ローラーを支持する前面支持板と、
前面支持板の後方に立設固定された機枠と、
前面支持板に固定されるとともにその一端が前記機枠に嵌挿軸支された揺動軸と、
前記揺動軸の他端側に固定された揺動板と、
前記揺動板に固定された揺動軸から所定の距離離れた位置でその一端が軸支された回転軸と、
前記回転軸の他端側に固定された上下方向に移動自在なスライド部材と、
前記スライド部材に固定され水平方向に移動自在なナット部材と、
前記ナット部材に螺合したボールネジと、
前記ボールネジを駆動するサーボモーターとを設け、
前記サーボモーターを正逆転駆動することにより、ナット部材の水平方向への移動力を前記スライド部材を通じて上下方向への移動に振分けて前記揺動板の振り子運動に変換させることにより、前記揺動板に固定された揺動軸を回転させて前面支持板を揺動運動させるようにしたことを特徴とするワイヤソー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固定砥粒ワイヤを用いたワイヤソーに関する。さらに詳しくは、固定砥粒ワイヤを１本巻き回し、シリコン、サファイア等の高脆性材料を１列切断するシングルワイヤソーに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ダイヤモンド等の砥粒を電着や樹脂によって芯線に固定した固定砥粒ワイヤを用い、この固定砥粒ワイヤを複数の溝が刻まれた複数本の溝ローラーに巻き回し、前記の溝ローラー間に形成されたワイヤ列にシリコンやサファイア等の高脆性材料を押し付けて複数のウエハに切断するマルチワイヤソーが知られている（例えば特許文献１）。
【０００３】
また、固定砥粒ワイヤをエンドレス状に形成し、この固定砥粒ワイヤを樹脂プーリーに掛け渡して１列切断するシングルワイヤソーも知られている。
【０００４】
ところで、シリコンやサファイア等のインゴットから半導体材料を作成するためには結晶方位が重要であり、このインゴットをマルチワイヤソーで切断を行なう前に結晶方位を示すオリエンテーションフラット（以後、オリフラと呼ぶ）が設けられる。
【０００５】
上記のオリフラを設けるには複数のワイヤ列ではなく１列のワイヤでインゴットを切断する必要があり、その切断にシングルワイヤソーが求められている。
【０００６】
また、切断されたウエハをチップ状にするにあたり、厚みのあるウエハを切断したり、あるいは特定部分に溝入れ加工を施したりする場合にも、複数本のワイヤを使用すると必要以外の部分まで加工が行われてしまう場合があり、この場合にもシングルワイヤソーが要求される場合がある。
【０００７】
さらには、宝石等の特殊加工や高脆性材料の特殊加工、また各種の多面カット等の需要もあり、コンパクトなシングルワイヤソーが求められている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平１１−２９１１５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、従来の特許文献１のようなマルチワイヤソーにおいては、シリコン等からウエハを切り出すには複数枚のウエハが一度に得られるため、非常に効率が良いが、上記のようなマルチワイヤソーは複数のワイヤ列を保持しながら、切断を行なうため大掛かりな装置となり、ワイヤ列を駆動するにも複数溝が刻まれた加工ローラーを駆動するモーターや供給リール及び巻取リールを駆動させる大容量のモーターが必要となる問題がある。
【００１０】
また、上記のマルチワイヤソーにおいては、加工ローラーを駆動するモーター、供給リール及び巻取リールを駆動させるモーターを全て同期させて駆動させる必要があり、制御機構も複雑となるとともにコストも高く付く問題がある。
【００１１】
そこで、上記特許文献１のワイヤソーは、供給リールと巻取リールに圧接させるローラーを設け、供給側及び巻取側の両圧接ローラーを駆動させて供給リールと巻取リールを間接的に駆動させ、前記供給リールと巻取リール間で同期が取り切れずに発生する張力変化を圧接ローラーをスリップさせて吸収し、ワイヤの張力を安定させるようにしている。
【００１２】
しかしながら、上記特許文献１のワイヤソーにおいては供給リール及び巻取リールの両リールをそれぞれ圧接させるローラーで駆動するようにしているもののこれらの両圧接ローラーにはそれぞれ駆動モーターが設けられ、両駆動モーターで同期が取り切れない（すなわち回転差が吸収できない）部分を圧接ローラーとリール間のスリップで吸収するものであり、少なくとも供給リール及び巻取リールは２つの駆動モーターで駆動する必要がある。
【００１３】
また、固定砥粒ワイヤをエンドレス状に接続し、このエンドレス状の固定砥粒ワイヤで切断する方法は、ある程度装置をコンパクトに形成することが可能であるものの接続部分のワイヤ強度が弱く、ワイヤが断線したり、また、ワイヤ長さが短いため直ぐに目詰まりして切れなくなったりするために、切断面積が大きい、インゴットの１本切りや、オリエンテーションフラットの形成等には向かない問題がある。また、頻繁にワイヤを交換する必要があり、作業が煩雑になる問題もある。
【００１４】
そこで、固定砥粒ワイヤの供給リールと巻取リールを設け、これらの両リールにサーボモーターを接続して供給リールと巻取リールを同期させて駆動し、ワイヤ列を１列に巻回して１列切断することも考えられるが、両モーターの同期を取る必要があり、制御が複雑化するとともにモーターを２個設けなければならず、上記と同様にコストが高く付く問題がある。
【００１５】
そこで、本発明の目的は、コンパクトでコストも安く、さらにある程度の長時間切断も可能なワイヤソーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
そこで、請求項１の発明は、供給リールから供給される１本の固定砥粒ワイヤを複数の溝ローラー間にワイヤが１列となるように掛け回した後、巻取リールで巻き取るように構成し、該ワイヤを一方向または往復動するようにして前記溝ローラー間で走行させて加工物を切断するようにしたワイヤソーにおいて、前記供給リールに圧接し、前記供給リールを摩擦力によって回転させる供給側圧接ローラーと、前記巻取リールに圧接し、前記巻取リールを摩擦力によって回転させる巻取側圧接ローラーと、前記供給側圧接ローラーと巻取側圧接ローラーとを接触させてその摩擦力により、前記供給側圧接ローラーと巻取側圧接ローラーとを回転させる無端ベルトと、前記無端ベルトを走行駆動させる駆動モーターとを設け、前記駆動モーターで前記無端ベルトを一方向に回転駆動させることにより、供給側圧接ローラー及び巻取側圧接ローラーの摩擦力を介して供給リールと巻取リールを回転させてワイヤを走行させるようにした構成を採用したワイヤソーである。
【００１７】
なお、前記の供給側圧接ローラー及び巻取側圧接ローラーとそれぞれ対向する位置に前記無端ベルトを前記両圧接ローラーに向けて押圧する供給側従動ローラーと巻取側従動ローラーとを設ければ、さらに圧接ローラーと無端ベルト間の摩擦力が高まり、供給リールと巻取リールを安定して走行回転できる。なお、従動ローラーを２個だけでなく、適宜圧接ローラーに無端ベルトを押圧するようにすれば、より一層圧接ローラーと無端ベルト間の摩擦力を高めることができ、張力が安定した精度良いワイヤの走行を行うことができる。
【００１８】
また、請求項２の発明は、請求項１のワイヤソーにおいて、前記ワイヤソーの溝ローラーを支持する前面支持板と、前面支持板の後方に立設固定された機枠と、前面支持板に固定されるとともにその一端が前記機枠に嵌挿軸支された揺動軸と、前記揺動軸の他端側に固定された揺動板と、前記揺動板に固定された揺動軸から所定の距離離れた位置でその一端が軸支された回転軸と、前記回転軸の他端側に固定された上下方向に移動自在なスライド部材と、前記スライド部材に固定され水平方向に移動自在なナット部材と、前記ナット部材に螺合したボールネジと、前記ボールネジを駆動するサーボモーターとを設け、前記サーボモーターを正逆転駆動することにより、ナット部材の水平方向への移動力を前記スライド部材を通じて上下方向への移動に振分けて前記揺動板の振り子運動に変換させることにより、前記揺動板に固定された揺動軸を回転させて前面支持板を揺動運動させるようにした構成を採用したワイヤソーである。
【発明の効果】
【００１９】
上記のように供給リールと巻取リールを１つのモーターで駆動できるようにしたので、ワイヤソーを小型化でき、複数のモーターで駆動する場合に必要なモーター同士の同期をとる必要もないので、制御も簡素化できコストダウンを行うことができる。なお、溝ローラーはワイヤの巻き回し量が少ないため、ワイヤの走行に追従して回転することになり、溝ローラーのための駆動手段は必要ない。
【００２０】
また、供給リールと巻取リールを設けてあるので１本のエンドレスワイヤで切断するワイヤソーに比べ、加工に時間がかかる加工物であっても精度よく切断でき、ワイヤを交換する手間も必要ない。従って、最近大口径化してきたサファイアや窒化ガリウム、炭化ケイ素等の面方位出しのためのオリフラ加工等であってもワイヤの交換なしに切断を行うことができる。
【００２１】
また、ワイヤソーのワイヤ部分についての揺動運動をサーボモーターによるボールネジ駆動により行なうようにしたので、揺動軸をタイミングベルト等を使用して回転させる場合に比べて分解能良く、揺動角、揺動速度を細かく制御できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明のワイヤソーの一部切欠き正面図である。
【図２】図１の一部切欠きＡ−Ａ方向矢視側面図である。
【図３】図１のワイヤソーのＢ−Ｂ方向矢視断面図である。
【図４】図１のワイヤソーのＣ−Ｃ方向矢視側面図である。
【図５】本発明のワイヤソーの一部切欠き背面図である。
【図６】本発明のワイヤソーの揺動機構部の拡大図である。
【図７】図６のＤ−Ｄ方向矢視断面図である。
【図８】（ａ）、（ｂ）は本発明のワイヤソーのワイヤ巻き回し状態の説明図である。
【図９】本発明のワイヤソーの駆動機構を説明する説明図である。
【図１０】本発明のワイヤソーの揺動機構の動作を説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
本発明の一実施形態について、図１乃至図８に基づいて以下に説明する。
【００２４】
図１は本発明のワイヤソーの下方部分の一部を切り欠いた正面図であり、ワイヤソー１図示しない機台の後方に機枠２が立設され、前記機枠２の前面側に後述する揺動軸２３を介して揺動可能に前面支持板３が設けられている。
【００２５】
前記前面支持板３の右側上方には、ダイヤモンド等の砥粒がワイヤ表面に電着等で固定された固定砥粒ワイヤ７の供給リール４が設けられており、この供給リール４から繰り出された固定砥粒ワイヤ７は、トラバースプーリー６、テンションローラー１１を経由し、溝ローラー８ａ、８ｂに巻き回された後、巻取側のテンションローラー１１及びトラバースプーリー６を経由して巻取ローラー５に巻き取られるようになっている。
【００２６】
なお、溝ローラー８ａ、８ｂには図８（ａ）、（ｂ）のごとく巻き回され、加工部分には１列のワイヤ７が供給されるようになっている（図示理解が容易なようにやや誇張して描いてある）。図８（ａ）は、溝ローラー８ａ、８ｂ部分を上面から見た図であり、溝ローラー８ａ、８ｂはそれぞれ３列の溝が形成されており、溝ローラー８ａ、８ｂの上面側で斜めに掛け渡されている。図８（ｂ）は、溝ローラー８ａ、８ｂ部分を下面から見た図であり、溝ローラー８ａ、８ｂの上面側で斜めにワイヤ７を掛け渡すことにより、加工部分に１列だけワイヤ７を供給するようになっている。
【００２７】
また、図１のように溝ローラー８ａ、８ｂの間の下方には図示しない適宜の機構で上下動する加工台５１が設けられ、加工台５１の上面には切断時に加工物Ｗを固定するカーボンやセラミック等のダミー部材５０が固定され、その上部に加工する加工物Ｗが接着されている。なお、図示しないが、加工物Ｗの周辺には適宜のノズルから水やグリコール等の冷却液が吐出されるようになっている。
【００２８】
前記供給リール４及び巻取リール５はそれぞれ揺動アーム２０の先端に軸支されており、前記揺動アーム２０はＬ字型に形成された圧接ローラー支持板１９に設けられた軸１８と軸支されて軸１８を中心に二点鎖線位置から実線位置まで揺動可能になっている。この実線位置では後述する供給側圧接ローラー９と供給リール４に巻き回されたワイヤ７とが接するようになっている。また、同様に巻取リール５の巻取面と圧接ローラー１０とが接するようになっている。なお、上記の供給側と巻取側は左右対称の構成となっているので供給側と巻取側の説明は特に必要を除いて一方のみを説明する。
【００２９】
なお、供給リール４及び巻取リール５は、ワイヤ７を交換する際に揺動アーム２０を揺動させ、二点鎖線位置でワイヤ７を交換するようになっており、供給リール４及び巻取リール５は、適宜のネジで脱着可能になっている。
【００３０】
また、前記圧接ローラー９、１０の表面には摩擦力を高めるためのゴム等の弾性部材で形成された摩擦部材４６が設けられており、圧接ローラー９、１０の回転が供給リール４、及び巻取リール５に伝達されるようになっている。
【００３１】
上記供給側圧接リール９は、図２のように軸３８が圧接ローラー支持板１９に嵌挿軸支され、その軸３８の後端部が前面支持板３に軸支されている。また、巻取リール４は、揺動アーム２０に軸支されるとともに前記揺動アーム２０を介して圧接ローラー支持板１９に軸支されている。
【００３２】
また、図１及び図４のように前記前面支持板３の中央上方には前方に向かって上部支持板４０が設けられ、前記上部支持板４０の前端には鉛直下方にモーター固定枠１２が固定されており、このモーター固定枠１２に駆動モーター１３が設けられている。
【００３３】
前記モーター固定枠１２と前面支持板３の間には間隔をおいてプーリー支持枠４１、４１が並設されており、これら両プーリー支持枠４１、４１間に駆動プーリー１４が軸支されて駆動モーター１３に接続され、このモーター１３の駆動により駆動プーリー１４が回転するようになっている。
【００３４】
また、この駆動プーリー１４の下方には供給側圧接ローラー９及び巻取側圧接ローラー１０と対向するように供給側従動ローラー１６及び巻取側従動ローラー１７が設けられ、これらの各ローラーに無端ベルト１５が掛け渡されている。上記の供給側従動ローラー１６及び巻取側従動ローラー１７は、それぞれ無端ベルト１５を供給側圧接ローラー９及び巻取側圧接ローラー１０に押圧するようになっており、この無端ベルト１５の走行回転を直接両圧接ローラー９、１０に伝達するようになっている。なお、供給側圧接ローラー９及び巻取側圧接ローラー１０は互いに逆回転するように無端ベルト１５と接触するようになっている。従って、駆動モーター１３を駆動することで、供給側圧接ローラー９を介して供給リール４が供給回転し、供給されたワイヤ７が溝ローラー８ａ、８ｂ間を走行し、加工物Ｗを加工した後、巻取側圧接ローラー１０を介して巻取リール５が巻取回転してワイヤ７を巻き取るようになっている。
【００３５】
なお、本実施形態では供給側圧接ローラー９と巻取側圧接ローラー１０は互いに逆回転するように構成したが、供給リール４が供給回転し、巻取リール５が巻き取り回転するように構成すれば、互いに逆回転する構成に限定されない。
【００３６】
また、無端ベルト１５の掛け渡し形状は図示のようにほぼ三角形状だけでなく適宜な形状に配置でき、従動ローラーにおいてもさらに個数を増やしてより摩擦力を伝達し易いように配置できる。
【００３７】
次に図１、図２、図５に基づいてワイヤ７をトラバースするトラバース機構について説明する。トラバースプーリー６は、前面支持板３に設けられたガイド４８のガイド軸４４の前端側に回転可能に軸支されており、前記ガイド軸４４の後端側はカップリング４７を介してラック付モーター２８のラック２９と接続固定されている。
【００３８】
前記ラック付モーター２８は、前面支持板３の後方に固定した支持枠に固定されており、このラック付モーター２８を駆動させることでラック２９が前後に移動してトラバースプーリー６が前後に移動しながら、供給リール４及び巻取リール５に繰り出し及び巻取されるワイヤ７を供給及び巻取位置に従ってガイドするようになっている。
【００３９】
次に図１、図２、図５に基づいてテンションプーリー１１について説明する。テンションプーリー１１は軸２１の前端に軸支され、この軸２１は、前面支持板３の開口部２２を貫通して後端がスライドガイド２７と固定されており、このスライドガイド２７が上下方向のガイド軸２６に沿って上下動可能に構成されることにより、テンションプーリー１１は上下方向に移動可能になっている。
【００４０】
また、前記スライドガイド２７は上方にシリンダ２５が接続されており、適宜圧力を加えてワイヤ７に適正な張力を付与するようになっている。なお、このシリンダ２５に代えてバネ等で張力を付与するようにしても良い。
【００４１】
次に揺動機構３０について図３及び図５乃至図７に基づいて説明する。図３及び図５のように機枠２の背面側中央付近には揺動機構３０が設けられている。この揺動機構３０は、図６及び図７のように機枠２にベアリング６０及びガイド５９によって軸支された揺動軸２３の前端部分を前面支持板３に固定し、機枠２を後方に貫通した揺動軸２３は、前記機枠２にガイド５９を介して固定された固定板３２を貫通し、その揺動軸２３の後端が揺動板３１の上方中央に固定されている。
【００４２】
また、固定板３２の側面に設けられた側板３５、３５の一方にはサーボモーター３４が設けられ、このサーボモーター３４には両側板３５、３５の間に水平に設けられたボールネジ３６が接続されている。
【００４３】
このボールネジ３６には、ナット部材５８が設けられ、ボールネジ３６を駆動することで前記ナット部材５８が水平方向に移動可能になっている。また、前記ナット部材５８にはその後方（図７の図示右側）の上下方向にガイド軸５６が設けられ、そのガイド軸５６に沿って上下方向に摺動可能にスライドガイド５５が設けられており、このスライドガイド５５の裏面中央には回転軸３３が固定されている。
【００４４】
前記回転軸３３の他端側は揺動板３１の下方中央に軸支されており、前記サーボモーター３４を駆動することでナット部材５８の横方向の移動を、スライドガイド５５を通じて揺動軸２３を中心とした揺動板３１の振り子運動に変換させることにより、揺動軸２３を回転させて前面支持板３を揺動させるようになっている。
【００４５】
以上が、本発明のワイヤソーの構成であり、次に本発明のワイヤソーの動作について図９及び図１０に基づいて説明する。
【００４６】
図９はワイヤ７の駆動原理を説明するために駆動部分のみを模式的に表したものである。モーター１４を矢印方向（時計方向）に駆動させることにより、無端ベルト１５は矢印方向に回転走行し、これと外接している供給側圧接ローラー９は反時計方向に回転することになる。この供給側圧接ローラー９が回転するとこれに圧接された供給リール４が時計方向に回転し、ワイヤ７が繰り出される。
【００４７】
一方、巻取側圧接ローラー１０は無端ベルト１５により、反時計方向に回転され、この巻取側圧接ローラー１０に圧接された巻取リール５は時計方向に回転し、ワイヤ７が巻き取られる。
【００４８】
なお、ここで供給リール４の外径と巻取リール５の外径が異なっても、供給側圧接ローラー９と巻取側圧接ローラー１０が１本の無端ベルト１５の走行と連動して回転しているので、例えば供給リール４の径が大きく、巻取リール５の径が小さい場合であっても、例えば供給側圧接ローラー９と巻取側圧接ローラー１０の径が同一径とすれば、供給リール４の回転が遅くなり、巻取リール５の回転が早まって、結果、一定量のワイヤ７の供給と巻き取りが行なわれるので張力変動が生じない。
【００４９】
また、上記において供給側圧接ローラー９と巻取側圧接ローラー１０の径が異なっても両圧接ローラー９、１０は１本の無端ベルト１５の走行と連動して回転しているので、それぞれの回転差は供給リール４及び巻取リール５の回転速度差で吸収される、絶えず同期が取られた状態でワイヤ７が走行することになる。例えば、供給側圧接ローラー９の径が大きく、巻取側圧接ローラー１０の径が小さい場合は、供給側圧接ローラー９の１回転の間に巻取側ローラー１０が多く回転し、結果、供給リール４から供給側圧接ローラー９の１回転で供給されるワイヤ量は、巻取リール５が供給リール４よりも早く回転することにより吸収されることになる。すなわち、ワイヤ供給量とワイヤ回収量は無端ベルト１５が走行する量に依存し、両圧接ローラー９、１０や供給リール４及び巻取リール５の径には依存しないため、供給リール４と巻取リール５の同期を簡単に行なえる。
【００５０】
次に揺動機構３０の動作について図１０に基づいて説明すると、前面支持板３は、機枠２に対して揺動軸２３を中心として揺動運動するようになっており、加工物Ｗの切断時に揺動機構３０をサーボモーター３４の正逆回転駆動により往復動作させると二点鎖線位置のようにワイヤ７が前面支持板３とともに揺動し、加工物Ｗとワイヤ７との接触が線接触から点接触となるので切断効率が向上する。また、加工時にはワイヤ７を冷却したり切削屑を排出させるために界面活性剤の添加された冷却水や、グリコール等の冷却液が用いられるが、この冷却液の切削部への持込が良くなり切断効率が向上する。
【００５１】
また、サーボモーター３４とボールネジ３６を使用して揺動機構３０を動作させるようにしたので、分解能良く揺動機構３０を制御でき、揺動角や揺動速度、揺動のタイミングを細かく制御することができる。さらに、タイミングベルト等を用いて駆動する場合に比べモーターに減速機構等を設けなくても良く、コンパクトに安く精度良い揺動が行なえる。
【００５２】
なお、この揺動は往復動させても良いし、例えば一方向に傾斜させた状態で切断することもでき、揺動角度や揺動速度も任意に設定できる。また、絶えず、一定の揺動角で往復動作させても良いし、切断途中に段階的に揺動角や揺動速度を変位させることもできる。
【００５３】
以上が本発明のワイヤソーの構成であるが、発明の範囲内で適宜変更できることは言うまでもない。
【００５４】
例えば、本発明の実施形態では圧接ローラーに直接無端ベルトを外接させて走行駆動させるようにしているが、圧接ローラーにプーリー等を設け、該プーリーに無端ベルトを掛け回して間接的に圧接ローラーを回転させるようにしても良い。すなわち、供給側圧接ローラーと回収側圧接ローラーが無端ベルトの走行に応じて回転するように構成するものであれば適宜利用できる。
【符号の説明】
【００５５】
Ｗ    加工物
１    ワイヤソー
２    機枠
３    前面支持板
４    供給リール
５    巻取リール
６    トラバースプーリー
７    ワイヤ
８ａ  溝ローラー
８ｂ  溝ローラー
９    供給側圧接ローラー
１０    巻取側圧接ローラー
１１    テンションプーリー
１２    モーター固定枠
１３    駆動モーター
１４    駆動プーリー
１５    無端ベルト
１６    供給側従動ローラー
１７    巻取側従動ローラー
１８    軸
１９    圧接ローラー支持板
２０    揺動アーム
２１    軸
２２    開口部
２３    揺動軸
２５    シリンダ
２６    ガイド軸
２７    スライドガイド
２８    ラック付モーター
２９    ラック
３０    揺動機構
３１    揺動板
３２    固定板
３３    回転軸
３４    サーボモーター
３５    側板
３６    ボールネジ
３８    軸
４０    上部支持板
４１    プーリー支持枠
４２    カップリング
４３    プーリー軸
４４    ガイド軸
４６    摩擦部材
４７    カップリング
４８    スライドガイド
５０    ダミー部材
５１    貼付け台
５５    スライドガイド
５６    ガイド軸
５７ａ  テンションプーリー
５７ｂ  テンションプーリー
５８    ナット部材
５９    ガイド
６０    ベアリング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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