(57)【要約】【課題】検査対象の電気的特性をより容易に検査する。【解決手段】接続装置２０は、検査対象１０に形成されている電極１２と接触・離間する接点３１が形成され柔軟性及び導電性を有する基板配線３２が形成されているＦＰＣ３０と、接点３１でＦＰＣ３０と重なり接点３１を押圧方向へ付勢する弾性部材４０と、弾性部材４０が外部へ突出した状態で所定の固定位置に固定されると共に、ＦＰＣ３０が外部から電気的に接続された本体部材５０とを備えている。このように、基板配線３２と弾性部材４０とをそれぞれ別の素材で形成することにより、接点３１の付勢力や導電性の組み合わせを、自由により好適なものとすることが可能である。また、基板配線３２や弾性部材４０が本体部材５０内部で摺動することもなく、異物の発生をより抑制することが可能である。【選択図】図１
2011133330.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象に形成されている電極と接触・離間し該電極を有する電気的回路の電気的特性を検査する検査用の接続装置であって、
前記電極と接触・離間する接点が形成され柔軟性及び導電性を有する１以上の導電部材と、
前記接点で前記導電部材と重なり該接点を所定の押圧方向へ付勢する弾性部材と、
前記弾性部材が筐体外部へ突出した状態で所定の固定位置に固定されると共に、前記導電部材が筐体外部から電気的に接続されている本体部材と、
を備えた接続装置。
【請求項２】
前記導電部材は、柔軟性を有する配線基板に形成され、前記接点が前記検査対象が配置される側の面である検査面に形成されており、
前記弾性部材は、前記検査面の反対側の面で前記導電部材と重なっており前記接点の裏側から該接点を前記押圧方向へ付勢する、請求項１に記載の接続装置。
【請求項３】
前記導電部材は、前記接点に応じて設けられた切込部を有する前記配線基板に形成されている、請求項２に記載の接続装置。
【請求項４】
前記導電部材は、導電性を有するバネ電極によって前記本体部材と電気的に接続されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の接続装置。
【請求項５】
前記弾性部材は、押圧方向に対して前記接点からずれた位置を前記固定位置として前記本体部材に固定されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の接続装置。
【請求項６】
前記弾性部材は、前記導電部材が電気的に接続された側とは異なる側の前記本体部材に固定されているか、又は、前記導電部材が電気的に接続された側と同じ側の前記本体部材に固定されている板バネである、請求項１〜５のいずれか１項に記載の接続装置。
【請求項７】
前記弾性部材は、前記接点に応じて設けられた切込部に対応して切り込みが形成されている櫛歯部を有する板バネである、請求項３に記載の接続装置。
【請求項８】
前記弾性部材は、流体を収容した中空部材である、請求項１〜５のいずれか１項に記載の接続装置。
【請求項９】
前記導電部材は、前記弾性部材の表面に形成されている配線である、請求項８に記載の接続装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接続装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、接続装置としては、円筒形の本体部材としての導電チューブの内側に、スプリングバネ及び接点としてのプランジャーを備え、スプリングバネによりプランジャーを検査対象の電極へ押圧し、検査対象の電気的接続状態を検査するものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。この接続装置では、導電チューブの閉塞側に透孔を穿設することにより、塵埃の侵入を抑えることができるとしている。また、接続装置としては、可撓性を有し一端側が検査対象の電極と接触し他端側がテスターのターミナルに接続される接続電極が本体部材の両面から突出して形成され、検査対象の電気的接続状態を検査するものが提案されている（例えば、特許文献２参照）。この接続装置では、接続電極の一端が本体部材の表面より凹んでおり、他端が本体部材の保持孔内に存在するように構成されており、耐久性を高めることができるとしている。また、接続装置としては、検査対象の電極と接触するコンタクト片と配線基板の端子電極と接触するコンタクト片と、これらのコンタクト片を電気的に接続するリング部とを備えるものが提案されている（例えば、特許文献３参照）。この接続装置では、低コストと長寿命化を図ることができるとしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−３４４４５０号公報
【特許文献２】特開２００９−２５０２６号公報
【特許文献３】特開２００１−２６６９８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載された接続装置では、閉塞側に透孔を穿設することにより塵埃の侵入を抑えるとはいえ、円筒内部をプランジャーが摺動するため金属粉などが発生しやすく、金属粉による摺動阻害や被検査物の汚染など検査に支障が出ることがあった。また、検査対象への押圧方向と軸方向とが傾斜してしてしまうと、より偏った摺動を発生させ同様の不具合が出やすいなどの問題があった。また、特許文献２に記載の接続装置では、被検査物に接するプローブとテスター間に複数の接続電極を有する為安定した電気的接続を得るには、接続電極の高さ方向の精度をより高める必要があり、作製しにくいことがあった。また、接続電極の形状を形成するのにも手間がかかることがあった。また、特許文献３に記載の接続装置では、コンタクト片の部材により導電性と押圧力の付与とを併せて行うことがあり、導電性を優先させた部材（例えば銅、銅合金など）を使用すると押圧力を発生させる耐久性について、押圧力優先時の部材（例えばバネ鋼やステンレスバネ鋼）に劣り、導電性が必要とされる電気的接続の安定耐久性が不十分になることがあった。このように、電気的接続を十分に得ると共に、十分な機械的耐久性を有し、検査対象の電気的特性をより容易に検査することができる接続装置が望まれていた。
【０００５】
本発明は、このような課題に鑑みなされたものであり、検査対象の電気的特性をより容易に検査することができる接続装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の目的を達成するために以下の手段を採った。
【０００７】
即ち、本発明の接続装置は、
検査対象に形成されている電極と接触・離間し該電極を有する電気的回路の電気的特性を検査する検査用の接続装置であって、
前記電極と接触・離間する接点が形成され柔軟性及び導電性を有する１以上の導電部材と、
前記接点で前記導電部材と重なり該接点を所定の押圧方向へ付勢する弾性部材と、
前記弾性部材が筐体外部へ突出した状態で所定の固定位置に固定されると共に、前記導電部材が筐体外部から電気的に接続されている本体部材と、
を備えたものである。
【０００８】
この接続装置は、本体部材には、接点を押圧方向へ付勢する弾性部材が所定の固定位置で固定されると共に、接点が形成されている導電部材が電気的に接続されている。そして、この導電部材と弾性部材とが接点で重なっており、この接点を弾性部材が押圧方向へ付勢する。このように、導電部材と弾性部材とをそれぞれ別の素材で形成することにより、接点の付勢力や導電性の組み合わせを、自由により好適なものとすることが可能である。また、例えば導電部材や弾性部材が本体部材の内部で摺動するものに比して、異物の発生をより抑制することが可能である。したがって、検査対象の電気的特性をより容易に検査することができる。ここで、「所定の押圧方向」は、検査対象が配置される方向としてもよい。また、「所定の固定位置」は、弾性部材が接点を付勢可能である位置であれば、本体部材のいずれの位置としてもよい。
【０００９】
本発明の接続装置において、前記導電部材は、柔軟性を有する配線基板に形成され、前記接点が前記検査対象が配置される側の面である検査面に形成されており、前記弾性部材は、前記検査面の反対側の面で前記導電部材と重なっており前記接点の裏側から該接点を前記押圧方向へ付勢するものとしてもよい。こうすれば、配線基板という簡易な構造により導電部材を形成可能であるため、検査対象の電気的特性をより容易に検査することができる。このとき、前記導電部材は、前記接点に応じて設けられた切込部を有する前記配線基板に形成されているものとしてもよい。こうすれば、例えば、検査対象の電極が各々高さ方向にばらついている場合でも、切込部によって電極の高さ方向の接点のばらつきを各々が吸収可能であるため、検査対象の電気的特性をより容易に検査することができる。
【００１０】
本発明の接続装置において、前記導電部材は、導電性を有するバネ電極によって前記本体部材と電気的に接続されているものとしてもよい。こうすれば、例えば、導電部材と本体部材とをはんだにより電気的に接続しているものに比して、導電部材の取り外しや装着が容易であり、ひいては検査対象の電気的特性をより容易に検査することができる。
【００１１】
本発明の接続装置において、前記弾性部材は、押圧方向に対して前記接点からずれた位置を前記固定位置として前記本体部材に固定されているものとしてもよい。こうすれば、接点が押圧方向に対してずれて移動し、接点が検査対象の電極にずれながら当接することによって接点と電極との電気的接続がより高められるため、検査対象の電気的特性をより検査しやすい。
【００１２】
本発明の接続装置において、前記弾性部材は、前記導電部材が電気的に接続された側とは異なる側の前記本体部材に固定されているか、又は、前記導電部材が電気的に接続された側と同じ側の前記本体部材に固定されている板バネであるものとしてもよい。こうすれば、比較的簡単な構造である板バネにより接点を付勢可能であり、検査対象の電気的特性をより容易に検査することができる。
【００１３】
導電部材が切込部を有する配線基板に形成された態様の本発明の接続装置において、前記弾性部材は、前記接点に応じて設けられた切込部に対応して切り込みが形成されている櫛歯部を有する板バネであるものとしてもよい。こうすれば、導電部材に形成されている接点を櫛歯部により付勢可能であり、電極の高さ方向の接点のばらつきを吸収しやすく、検査対象の電気的特性を一層容易に検査することができる。また、櫛歯部の切り込み長さを個別に調整することにより押圧力を各電極毎に調整可能であるため、複数材質の検査対象の電極に対して電気的特性を一層容易に検査することができる。
【００１４】
あるいは、本発明の接続装置において、前記弾性部材は、流体を収容した中空部材であるものとしてもよい。こうすれば、中空部材を用いて比較的容易な構造で検査対象の電気的特性をより容易に検査することができる。ここで、「流体」としては、空気や窒素などの気体や、水や油などの液体などが挙げられる。このとき、前記導電部材は、前記弾性部材の表面に形成されている配線であるものとしてもよい。こうすれば、構成部品をより低減可能であり、接続装置を作製しやすく、ひいては、検査対象の電気的特性をより容易に検査することができる。なお、本発明の接続装置において、前記弾性部材は、中空部を有さない中実部材であるものとしてもかまわない。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態である接続装置２０の構成の概略を示す構成図。
【図２】接続装置２０の下面側の説明図。
【図３】接続装置２０の分解斜視図。
【図４】ＦＰＣ３０の作製の説明図。
【図５】接続装置２０の動作を説明する説明図。
【図６】接続装置１２０の説明図。
【図７】接続装置２２０の説明図。
【図８】接続装置３２０の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
次に、本発明を実施するための形態を図面を用いて説明する。図１は、本発明の一実施形態である接続装置２０の構成の概略を示す構成図であり、図２は、接続装置２０の下面側の説明図であり、図３は、接続装置２０の分解斜視図である。本実施形態の接続装置２０は、例えばコネクターなどの検査対象１０に形成されている電極１２と接触・離間し、この電極１２を有する電気的回路の電気的特性（接続特性など）を検査する検査用の接続装置として構成されている。この接続装置２０は、配線基板としてのフレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）３０と、ＦＰＣ３０を所定の押圧方向へ付勢する弾性部材４０と、ＦＰＣ３０を電気的に接続すると共に弾性部材４０を固定した本体部材５０と、を備えている。
【００１７】
ＦＰＣ３０は、絶縁性及び柔軟性を有する樹脂によって被覆されており、柔軟性及び導電性を有する複数の導電部材としての基板配線３２がその内部に形成されている。ＦＰＣ３０では、検査対象１０が配置される側（図１での下端側）には接点３１が形成され、本体部材５０側（図１での上端側）には本体部材５０へ電気的に接続するバネ電極３４が形成されている。基板配線３２は、その一端に接点３１が形成され、他端にバネ電極３４が形成されている。このＦＰＣ３０は、バネ電極３４側から接点３１側に向かうと幅が小さくなるように、その外形が形成されており、バネ電極３４に比して接点３１が挟いピッチで形成されている。また、ＦＰＣ３０は、貫通溝であるスリット３６が各々の接点３１に隣接して形成されている。即ち、基板配線３２は、接点３１に応じて設けられたスリット３６を有するＦＰＣ３０に形成されている。このＦＰＣ３０は、一端側であるバネ電極３４側が固定板３８により本体部材５０に固定されると共に、他端側である接点３１側が固定部材４８により弾性部材４０に固定されている。この接続装置２０では、ＦＰＣ３０を本体部材５０と固定板３８とで挟み込んで固定板３８を固定することによりＦＰＣ３０を固定すると共に、ＦＰＣ３０と本体部材５０との電気的接続を図るものとした。このため、固定板３８の取り外しにより、ＦＰＣ３０の取り外しを容易に行うことができる。
【００１８】
ここで、ＦＰＣ３０の作製方法について説明する。図４は、ＦＰＣ３０の作製の説明図である。ＦＰＣ３０の被覆部材は、柔軟性及び絶縁性を有するシート状のものであれば特に限定されないが、例えばポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、ラバーなどの有機化合物が挙げられる。この被覆部材の厚さは、２５μｍ以上１ｍｍ以下が好ましく、２５μｍ以上５０μｍ以下がより好ましい。まず、接点３１側の幅が狭くなるように外形を形成した第１部材３０Ａに、接続部３５が挿入される複数の接続部窓３４Ａと、接点３１に隣接して設ける貫通溝である複数のスリット３６Ａを加工する（図４の左端）。この第１部材３０Ａは、反対面２４側の被覆部材であり、弾性部材４０と接触する側の面に梨地加工してもよい。次に、第１部材３０Ａの表面に基板配線３２を形成する（図４の左２番目）。基板配線３２の形成は、金属箔を用いてもよいし、電鋳や金属材料ペーストの印刷などにより作製することができる。続いて、基板配線３２の一端にバネ電極３４を貼合し、他端側に接点３１を形成する（図４の左３番目）。接点３１やバネ電極３４の材質等は上述したものを適宜用いることができる。そして、接点３１，基板配線３２及びバネ電極３４を形成した第１部材３０Ａの上に、第２部材３０Ｂを貼り合わせ、ＦＰＣ３０を完成する。第２部材３０Ｂは、検査面２２側の被覆部材であり、バネ電極３４が露出する接続窓３４Ｂや接点３１が露出する接点窓３１Ｂ、貫通溝であるスリット３６Ｂが設けられている。このようにして、基板配線３２は外部に露出せず、検査面２２側では接点３１が露出し、反対面２４側では接続部３５が露出した柔軟性のあるＦＰＣ３０を作製することができる。
【００１９】
接点３１は、電極１２の配設間隔に合わせて形成され電極１２と接触・離間するものであり、検査対象１０が配置される側の面である検査面２２側に突出して形成されている。接点３１は、例えば、Ｐｄ、Ｐｔ、Ａｇなどの貴金属、Ｃｕ、Ｎｉなどの導電材を用いることができ、導電性が高く更に硬質であることが、電極１２との電気的接触が良好であり好ましく、例えば、貴金属などがより好ましい。この接点３１は、基板配線３２と同じ材質で作製してもよいし、異なる材質で形成してもよいし、同じ材質としても表面を貴金属などでコートしてもよい。例えば、Ｎｉ下地（３μｍ以下など）にＡｕメッキ（０．７６μｍ以下）を行ったものや、Ｎｉ下地（３μｍ以下など）にＰｄ合金をコート（０．３μｍ以下など）したものなどが好ましい。基板配線３２は、柔軟性及び導電性が比較的高く、資源的により多く存在する材料であることが好ましく、例えば、ＣｕやＣｕ合金などで形成してもよい。箔とした場合は、厚さが１２μｍ以上０．１ｍｍ以下とすることができ、１２μｍ以上５０μｍ以下の範囲が好ましい。また、Ａｇなどのスクリーン印刷用のペーストで基板配線３２を形成してもよく、この場合には、厚さを１０μｍ以下とすることができる。バネ電極３４は、本体部材５０へ電気的に接続する部材であり、逆Ｕ字状に形成された接続部３５を有している（図３参照）。この接続部３５は、本体部材５０側へ傾斜しており、導電性及び可撓性を有する板バネとして機能することにより、接点３１と本体部材５０との電気的接続を行うものである。このバネ電極３４は、例えば、ＣｕやＣｕ合金などで形成してもよい。箔とした場合は、厚さが１２μｍ以上０．１ｍｍ以下とすることができ、１２μｍ以上５０μｍ以下の範囲が好ましい。
【００２０】
弾性部材４０は、ＦＰＣ３０が電気的に接続された側とは異なる側の本体部材５０に固定されており、接点３１で基板配線３２と重なり接点３１を押圧方向へ付勢する板バネとして構成されている。弾性部材４０は、ＦＰＣ３０の検査面２２の反対側の面である反対面２４にてＦＰＣ３０と重なっており接点３１の裏側からこの接点３１を押圧方向へ付勢している。なお、押圧方向は、検査対象１０が配置される方向としてもよい。この弾性部材４０は、ＦＰＣ３０（基板配線３２など）に比して付勢力が強くバネ耐久性の高い材料で形成されていることが好ましく、例えば、鉄やステンレス、エンジニアリングプラスティックなどで形成されていることが好ましい。また、弾性部材４０は、絶縁性を考慮して表面を絶縁部材（例えば絶縁樹脂など）でコートしてもよいし、防錆処理してもよいし、ＦＰＣ３０との摩擦確保のため梨地加工してもよい。この弾性部材４０は、その厚さが５０μｍ以上０．５ｍｍ以下とすることができ、素材のヤング率、バネ設定寸法などに応じてこの厚さを選択することができる。
【００２１】
この弾性部材４０は、本体部材５０に固定する固定部４１と、固定部４１に接続され図１の下方に傾斜して形成された板状部４２と、板状部４２の先端に形成され接点３１を付勢する櫛歯部４４と、を備えている（図２，３参照）。固定部４１は、図２に示すように、矩形状の板状体であり、押圧方向に対して接点３１からずれた位置を固定位置として本体部材５０に固定されている。この接続装置２０では、その上下動に対して固定部４１を支点として円弧を描いて櫛歯部４４の先端が移動する。また、固定部４１は、ＦＰＣ３０が電気的に接続された側とは異なる側の本体部材５０に固定されている。このため、接続装置２０では、ＦＰＣ３０と弾性部材４０とにより、電極１２に接触する略Ｕ字状の接触部を形成している。この弾性部材４０は、接点３１に応じて設けられたスリット３６に対応して切り込みが形成されている、即ち、接点３１に応じて切り込みが形成されている櫛歯部４４を有する板バネとして形成されている。この接続装置２０では、櫛歯部４４の各々がスリット３６に隣接した各々の接点３１をその裏側から付勢するから、各接点３１ごとに上下方向に自由度をもって各接点３１を付勢することができる。この櫛歯部４４の先端は、本体部材５０側へ向かって丸められて形成されており、ＦＰＣ３０の反対面２４の被覆部材の破損などを防止するようになっている。また、板状部４２と櫛歯部４４との略中間には、ＦＰＣ３０の先端を挟み込んでＦＰＣ３０と弾性部材４０とを固定する固定部材４８が配設されている。このため、固定部材４８の取り外しにより、ＦＰＣ３０の取り外しを容易に行うことができる。この固定部材４８は、詳しくは後述する接点３１のワイピング効果を考慮すると、接点３１により近い位置に配設することが好ましい。なお、図１では、接点３１に対して固定部４１側に固定部材４８を設けるものとしたが、接点３１に対して櫛歯部４４の先端側に固定部材４８を設けるものとしてもよい。
【００２２】
本体部材５０は、弾性部材４０を固定すると共に、ＦＰＣ３０を電気的に接続する部材として構成されている。本体部材５０は、電極１２の電気的接続状態を検出する図示しないテスターと電気的に接続する板状体である本体基板５１と、本体基板５１に配設され弾性部材４０を固定する板状体である補助基板５２とにより構成されている。この本体部材５０では、弾性部材４０を本体部材５０の筐体外部へ突出した状態で固定すると共に、本体部材５０の筐体外部からＦＰＣ３０と電気的に接続されている。なお、この本体部材５０では、本体基板５１に対して直交する方向に補助基板５２を配設するものとした。本体基板５１には、その中央部にバネ電極３４に対応して形成されている複数の第１接続電極５３と、第１接続電極５３の各々に接続された本体配線５４と、本体配線５４の各々に接続されコネクター２１を介してテスターに接続される第２接続電極５５と、が形成されている。この本体基板５１では、第１接続電極５３よりも第２接続電極５５のピッチが大きくなるように各々の電極が配設されている。このため、接点３１がより挟ピッチであっても、コネクター２１をこの狭ピッチに合わせずに大きなサイズに作製することができる。
【００２３】
次に、このように構成されている接続装置２０の動作について説明する。図５は、接続装置２０の動作を説明する説明図である。この接続装置２０は、図示しないコネクター検査装置に固定され、検査対象１０に設けられている電極１２の電気的接続を検査する際に用いられる。コネクター検査装置は、接続装置２０を固定した部分が検査対象１０に対して垂直方向（押圧方向）に移動可能であり、接続装置２０の接点３１を検査対象１０の電極１２へ接触・離間可能に構成されている。また、接続装置２０はコネクター２１を介して図示しないテスターに電気的に接続し、接続装置２０の接点３１が検査対象１０の電極１２に接触した状態でこのテスターにより電気信号を与えることにより、検査対象１０の回路の電気的接続を検出するよう構成されている。さて、検査対象１０の検査を開始すると、図５の左図に示すように、接続装置２０を押圧方向に移動させる。そして、接点３１が電極１２へ電気的に接触する。このとき、更に接続装置２０を検査対象１０側へ移動させ続ける。すると、図５の右図に示すように、固定板３８及び固定部材４８で固定されているＦＰＣ３０は、櫛歯部４４に追随して柔軟に動く。また、弾性部材４０の櫛歯部４４の高い付勢力により、接点３１が電極１２へ接触した状態に保持される。また、固定部４１が押圧方向に対して接点３１とずれた位置にあることから、接点３１は円弧を描いて移動する。このように、接続装置２０の押圧方向への移動に伴い、接点３１が押圧方向に対してずれながら電極１２上を移動するため、電極１２の表面に形成されている酸化被膜などの電気抵抗の影響を取り除くことができ（これをワイピング効果とも称する）、検査対象１０の検査をより行いやすい。更に、スリット３６により、各々の接点３１は高さ方向に自由度があるため、複数の電極１２の高さ方向のばらつきを吸収しやすい。そして、検査対象１０の検査を繰り返し行うと、接点３１の劣化などが生じるが、ＦＰＣ３０を取り外しこれを交換することで、効率よく検査を行うことができる。
【００２４】
以上詳述した本実施形態の接続装置２０は、本体部材５０には、接点３１を押圧方向へ付勢する弾性部材４０が、接点３１と押圧方向にずれた位置で固定部４１により所定の固定位置で固定されている。また、接点３１が形成されているＦＰＣ３０が本体部材５０に電気的に接続されている。そして、このＦＰＣ３０と弾性部材４０とが接点３１の裏側で重なっており、この接点３１を弾性部材４０が押圧方向へ付勢する。このように、ＦＰＣ３０と弾性部材４０とをそれぞれ別の素材で形成することにより、接点３１への付勢力や導電性の組み合わせを、自由により好適なものとすることが可能である。したがって、検査対象の電気的特性をより容易に検査することができる。
【００２５】
また、基板配線３２（導電部材）は、柔軟性を有する配線基板（ＦＰＣ３０）に形成され、接点３１が検査面２２に形成されており、弾性部材４０は、反対面２４でＦＰＣ３０と重なっており接点３１の裏側から接点３１を押圧方向へ付勢するため、配線基板という簡易な構造により導電部材を形成可能であり、検査対象の電気的特性をより容易に検査することができる。更に、基板配線３２は、接点３１に応じて設けられたスリット３６を有するＦＰＣ３０に形成されており、検査対象１０の電極３１が各々高さ方向にばらついている場合でも、スリット３６によって電極１２の高さ方向の接点のばらつきを吸収可能であるため、検査対象の電気的特性をより容易に検査することができる。また、弾性部材４０は、接点３１に応じて設けられたスリット３６に対応して切り込みが形成されている櫛歯部４４を有するため、ＦＰＣ３０に形成されている接点３１を櫛歯部４４により付勢可能であり、電極１２の高さ方向の接点のばらつきを吸収しやすく、検査対象の電気的特性を一層容易に検査することができる。また、櫛歯部４４の切り込み長さを個別に調整することにより押圧力を各電極毎に調整可能であり、複数材質の検査対象電極に対して電気的特性を一層容易に検査することができる。更にまた、基板配線３２は導電性を有するバネ電極３４によって本体部材５０と電気的に接続されているため、例えば、基板配線３２と本体部材５０とをはんだにより電気的に接続しているものに比して、ＦＰＣ３０の交換が容易であり、ひいては検査対象１０の電気的特性をより容易に検査することができる。そして、弾性部材４０は押圧方向に対して接点３１からずれた位置を固定位置として本体部材５０に固定されているため、接点３１が押圧方向に対してずれて移動し、接点３１が検査対象の電極１２にずれながら当接することにより、接点と電極との電気的接続がより高められるため、検査対象の電気的特性をより検査しやすい。そしてまた、弾性部材４０は、ＦＰＣ３０が電気的に接続された側とは異なる側の本体部材５０に固定されている板バネであるため、比較的簡単な構造である板バネにより接点３１を付勢可能であり、検査対象の電気的特性をより容易に検査することができる。
【００２６】
また、接続装置２０は、ＦＰＣ３０と板バネの弾性部材４０とにより接点３１と電極１２との電気的な接続及び接続解除を行うことができるため、例えばプランジャーのように本体部材の内部を摺動するものに比して金属片などを生じにくく、より正確な検査を行うことができる。更に、繰り返し使用した際に、比較的簡易的に作製することができるＦＰＣ３０を消耗品として交換すればよいから、検査対象の電気的特性をより容易に検査することができる。
【００２７】
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。説明の便宜のため、上述した構成と同様の構成には同じ符号を付し、以下、その説明を省略する。
【００２８】
例えば、上述した実施形態では、接点３１と第１接続電極５３との間の電気接続をＦＰＣ３０により行うものとしたが、接点３１と第１接続電極５３との間の電気接続を図ることができれば特にこれに限定されない。
【００２９】
上述した実施形態では、固定板３８とバネ電極３４により、ＦＰＣ３０の一端側での基板配線３２と第１接続電極５３との電気的接続を行うものとしたが、例えば、バネ電極３４の代わりに、平板状の端子を用いてもよいし、基板配線３２と第１接続電極５３とをはんだ付けするものとしてもよい。基板配線３２と第１接続電極５３とが電気的に接続できるものとすればよい。また、固定部材４８によりＦＰＣ３０の他端側を固定するものとしたが、固定部材４８の代わりに、ビス止めするものとしてもよいし、接着剤で弾性部材４０に接着するものとしてもよい。また、弾性部材４０のうち接点３１へより近い位置に固定板３８でＦＰＣ３０を固定し、櫛歯部４４と接点３１とのずれを抑制してワイピング効果を得るものとしたが、特にこれに限定されず、例えば、ＦＰＣ３０の他端側を本体部材５０で固定してもよいし、本体部材５０などに配設した他の固定部材に固定するものとしてもよい。
【００３０】
上述した実施形態では、ＦＰＣ３０には、接点３１に隣接してスリット３６を設けるものとしたが、これを省略してもよい。こうすれば、電極１２の高さ方向のばらつきを吸収しにくくなるが、ＦＰＣ３０の作製工程を簡素化することができる。また、弾性部材４０の先端には櫛歯部４４が形成されているものとしたが、これを省略してもよい。こうすれば、電極１２の高さ方向のばらつきを吸収しにくくなるが、弾性部材４０の作製工程を簡素化することができる。
【００３１】
上述した実施形態では、弾性部材４０が押圧方向に対して接点３１からずれた位置を固定位置として本体部材５０に固定されているものとしたが、押圧方向に対して弾性部材４０と接点３１とが同じ位置を固定位置として本体部材５０に固定されているものとしてもよい。こうすれば、接点３１によるワイピング効果が得にくくなるが、導電部材と弾性部材とをそれぞれ別の素材で形成し、接点の付勢力や導電性の組み合わせを、自由により好適なものとすることが可能であるため、検査対象の電気的特性をより容易に検査することができる。なお、弾性部材４０の固定位置は、弾性部材４０が接点３１を押圧方向に付勢可能である位置であれば、本体部材５０のいずれの位置としてもよい。
【００３２】
上述した実施形態では、本体部材５０は、ＦＰＣ３０を電気的に接続する本体基板５１と弾性部材４０を固定する補助基板５２とを備えたものとしたが、図６の接続装置１２０に示すように、１つの部材にＦＰＣ３０を電気的に接続すると共に弾性部材４０を固定するものとしてもよい。図６は、接続装置１２０の説明図である。この接続装置２０は、ＦＰＣ３０を電気的に接続すると共に弾性部材１４０を固定する本体基板１５１からなる本体部材１５０を備えている。こうすれば、構成部品を低減して接続装置２０の作製を容易とし、ひいては検査対象１０の電気的特性をより容易に検査することができる。なお、上述した実施形態では、本体部材５０は２つの部材からなるものとしたが、３つ以上の部材からなるものとしてもよい。
【００３３】
上述した実施形態では、弾性部材４０は、ＦＰＣ３０が電気的に接続された側とは異なる側の本体部材５０に固定されている板バネであるものとしたが、図６の接続装置１２０に示すように、ＦＰＣ３０が電気的に接続された側と同じ側の本体部材１５０に固定されている板バネとしてもよい。この接続装置１２０では、弾性部材１４０はＦＰＣ３０の固定位置の近傍に固定されている。こうしても、比較的簡単な構造である板バネにより接点３１を付勢可能であり、検査対象の電気的特性をより容易に検査することができる。
【００３４】
上述した実施形態では、接点３１を押圧方向へ付勢する弾性部材は板バネであるものとして説明したが、接点３１を押圧方向へ付勢可能なものであれば特にこれに限定されない。例えば、図７の接続装置２２０に示すように、流体を収容した中空部材である弾性部材２４０としてもよい。図７は、接続装置２２０の説明図である。この接続装置２２０は、本体基板２５１からなる本体部材２５０に、ＦＰＣ３０の一端側が電気的に接続されていると共に、本体部材２５０に固定部２４１で円柱状の弾性部材２４０が固定されている。また、ＦＰＣ３０の他端側は、弾性部材２４０の円筒部２４２の表面に固定部材４８により固定されているものとした。弾性部材２４０は、弾性体（例えば樹脂など）により中空の円筒状に形成された円筒部２４２を有している。この弾性部材２４０に収容された流体は、空気や窒素などの気体や、水や油などの液体などが挙げられる。また電極１２への電気的接触は、接続装置２２０をそのまま押圧方向へ移動させて行うものとしてもよいし、図示しないポンプ及びチューブにより弾性部材２４０の円筒部２４２の内部に流体を供給し、弾性部材２４０を膨張させることにより行うものとしてもよい（後述図８参照）。なお、弾性部材２４０は、接点３１に十分な押圧力を付与可能な弾性力を有するほか、電極１２の高さ方向のばらつきを吸収可能な程度にしなやかさを有している材質で形成することが好ましい。こうしても、導電部材と弾性部材とをそれぞれ別の素材で形成し、接点の付勢力や導電性の組み合わせを自由により好適なものとすることが可能であり、検査対象の電気的特性をより容易に検査することができる。
【００３５】
あるいは、接続装置２２０の弾性部材２４０ではＦＰＣ３０を接続するものとしたが、図８に示す接続装置３２０のように、弾性部材３４０の上に基板配線３３２を形成するものとしてもよい。図８は、接続装置３２０の説明図である。この接続装置３２０は、本体基板３５１からなる本体部材３５０に、固定部３４１で中空円柱状の弾性部材３４０が固定されている。弾性部材３４０は、弾性体（例えば樹脂など）により中空の円筒状に形成された円筒部３４２を有している。また、この弾性部材３４０上には、基板配線３３２が直接形成されており、この基板配線３３２の一端に接点３１が形成され、基板配線３３２の他端にバネ電極３３４が接続されている。電極１２への電気的接触は、接続装置３２０をそのまま押圧方向へ移動させて行うものとしてもよいし（図８の右上段）、図示しないポンプ及びチューブにより弾性部材３４０の円筒部３４２の内部に流体を供給し弾性部材３４０を膨張させることにより行うものとしてもよい（図８の右下段）。こうすれば、構成部品をより低減可能であり、接続装置を作製しやすく、ひいては、検査対象１０の電気的特性をより容易に検査することができる。なお、接続装置２２０，３２０では、弾性部材４０を中空部材としたが、接点３１を十分付勢可能であれば、内部に空間のない中実部材としてもよい。
【００３６】
上述した実施形態では、接点３１や基板配線３２などは、６つ形成されているものとしたが、１以上であれば特に限定されず、検査対象１０に合わせた数を設けてもよい。
【００３７】
上述した実施形態では、弾性部材４０が補助基板５２の筐体外部へ突出した状態で固定されると共に、ＦＰＣ３０が本体基板５１の筐体外部から電気的に接続される、即ちＦＰＣ３０や弾性部材４０を本体部材５０の外面に固定するものとしたが、特にこれに限定されず、例えば、ＦＰＣ３０が本体基板５１の内部に電気的に接続されるものとしてもよいし、弾性部材４０が補助基板５２の内部に固定されるものとしてもよい。
【符号の説明】
【００３８】
１０  検査対象、１２  電極、２０，１２０，２２０，３２０  接続装置、２１  コネクター、２２  検査面、２４  反対面、３０  フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）、３０Ａ  第１部材、３０Ｂ  第２部材、３１  接点、３１Ｂ  接点窓、３２，３３２  基板配線、３４，３３４  バネ電極、３４Ａ  接続部窓、３４Ｂ  接続窓、３５  接続部、３６，３６Ａ，３６Ｂ  スリット、３８  固定板、４０，１４０，２４０，３４０  弾性部材、４１，１４１，２４１，３４１  固定部、４２  板状部、４４  櫛歯部、４８  固定部材、５０，１５０，２５０，３５０  本体部材、５１，１５１，２５１，３５１  本体基板、５２  補助基板、５３  第１接続電極、５４  本体配線、５５  第２接続電極、２４２，３４２  円筒部。
【図１】
2011133330.tif 000003
【図２】
2011133330.tif 000004
【図３】
2011133330.tif 000005
【図４】
2011133330.tif 000006
【図５】
2011133330.tif 000007
【図６】
2011133330.tif 000008
【図７】
2011133330.tif 000009
【図８】
2011133330.tif 000010