(57)【要約】【課題】効果的に加工液の液漏れを防止して、安定した加工作業を行うことができる加工装置を提供することを目的とする。【解決手段】被加工物１００における被加工面１０１の一部を覆って、内部に加工液１５を有する加工室１１を形成するチャンバー容器２０と、チャンバー容器内部に配置され、加工室において加工液を用いて被加工面の加工を行う加工ツール３０と、チャンバー容器の被加工面側に環状に設けられ、被加工面と接触するシール部材２１と、加工室の圧力を、加工室外に対して相対的に減圧する圧力変化装置４０と、加工室を形成した状態のチャンバー容器を、被加工物に対して相対的に移動させる移動手段５０と、チャンバー容器外部に複数配置され、チャンバー容器の複数箇所を、被加工面に対してそれぞれ独立して押圧する押圧手段６０と、を有する加工装置１０とした。【選択図】図１
2011098412.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物における被加工面の一部を覆って、内部に加工液を有する加工室を形成するチャンバー容器と、
該チャンバー容器内部に配置され、前記加工室において前記加工液を用いて前記被加工面の加工を行う加工ツールと、
前記チャンバー容器の前記被加工面側に環状に設けられ、前記被加工面と接触するシール部材と、
前記加工室の圧力を、前記加工室外に対して相対的に減圧する圧力変化装置と、
前記加工室を形成した状態の前記チャンバー容器を、前記被加工物に対して相対的に移動させる移動手段と、
前記チャンバー容器外部に複数配置され、前記チャンバー容器の複数箇所を、前記被加工面に対してそれぞれ独立して押圧する押圧手段と、
を有することを特徴とする加工装置。
【請求項２】
前記加工装置は研磨装置であり、
前記加工液として、研磨液を有し、
前記加工ツールとして、研磨ツールを有することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項３】
前記加工装置は超音波加工装置であり、
前記加工液として、超音波加工用スラリーを有し、
前記加工ツールとして、超音波振動装置に取り付けられたホーンとその先端に取り付られた工具を有することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項４】
前記被加工面の表面形状を検知するセンサと、
該センサの検知結果に応じて、前記複数の押圧手段それぞれの押圧力を独立して変化させるように制御する制御装置と、
を有することを特徴とする請求項１乃至３の何れか一つに記載の加工装置。
【請求項５】
前記被加工面に対する前記加工ツールの接触角度を変化させる加工ツール傾斜手段を有することを特徴とする請求項１乃至４の何れか一つに記載の加工装置。
【請求項６】
前記移動手段によって前記被加工物に対して相対的に移動した前記チャンバー容器の後方の前記被加工面に、洗浄液を供給する洗浄液供給手段を有することを特徴とする請求項１乃至５の何れか一つに記載の加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工装置に関し、特に、加工ツールと加工液を用いて被加工面の加工を行う加工装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、被加工物の被加工面を、加工ツールと加工液を用いて加工する場合の一例として、大面積の光学素子等の被加工物の被加工面を、ポリッシャ等を有する研磨ツールと研磨液、または、超音波振動装置に取り付けられたホーン先端の工具と超音波加工用スラリーを用いて研磨する場合が挙げられる。これらの場合には、従来、被加工物全体が収容できる大きなチャンバー容器に、被加工物と、研磨液又は超音波加工用スラリー（以下、研磨液又は超音波加工用スラリーの両方を示すときは、研磨液等と示す）を入れた上で、研磨ツール又は超音波振動装置に取り付けられたホーン先端の工具（以下、研磨ツール又は超音波振動装置に取り付けられたホーン先端の工具の両方を示すときは、研磨ツール等と示す）を用いて液中研磨する方法が採られていた。
【０００３】
しかし、この方法では、大面積の被加工物全体が収容できる大きなチャンバー容器が必要なことから設備が大型化してしまうという問題や、その大きなチャンバー容器に研磨液等を注入することから大量の研磨液等が必要となるという問題、さらに、チャンバー容器が大きく研磨液等が大量であるが故に、被加工物における一の位置を研磨している間に、被加工物における他の位置付近の研磨液等の中の研磨剤が沈殿や分離を起こし、このため、均一な研磨を行うことができないという問題等、種々の問題が生じていた。
【０００４】
これに対し、特許文献１に示すような、被加工物の被加工面に、研磨液等供給ノズルから研磨液等を供給し続けながら、その研磨液等の供給箇所を研磨ツール等で研磨し、この研磨液等供給ノズルと研磨ツール等を被加工面上で移動させていくことで、被加工面全体の研磨を行う方法が提案されている。
【０００５】
しかし、この方法では、被加工面に研磨液等を常に供給し続けなければならないため、やはり大量の研磨液等が必要になるという問題は生じてしまい、また、大量に供給した研磨液等の処理をするための設備が必要になるという問題も生じてしまうものであった。
【０００６】
そこで、前記したような問題を解決する手段として、特許文献２に示すような、被加工物の被加工面の一部だけを覆う小型の加工装置で、被加工面上を移動しながら被加工面を加工していく方法を用いることが考えられる。より具体的には、被加工面上の一部をチャンバー容器（カバー）で覆い、この中に加工液を注入し、被加工面とチャンバー容器の間をシール部でシールしたり、チャンバー容器内を減圧したりして、加工液がチャンバー容器外にできるだけ漏れないような状態にした上で、チャンバー容器を被加工面上で移動させながら被加工面の加工を行っていく方法である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開昭６１−１２５７５９号公報
【特許文献２】特開２００２−２０８５６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ここで、前記した特許文献２の構成を用いた加工装置の構成では、チャンバー容器からの液漏れ防止策が、シール部によるシールと容器内の減圧のみであり、このため、チャンバー容器と被加工面とが接触している全ての範囲に対して、いつでも同じ力で液漏れ防止策を施していることになる。
【０００９】
しかしながら、被加工面が平面でない場合や被加工面にちょっとした凹凸がある場合等、チャンバー容器と被加工面とが接触している範囲によって、チャンバー容器と被加工面との接触状況が変わってしまうこともある。このようなときに、接触している範囲全体に対して同じ力による液漏れ防止策しか行っていないと、接触範囲毎による状況の変化に対応できず、加工液の液漏れが多くなってしまう場合がある。その結果、効果的に加工液の液漏れを防止することができず、加工液の液漏れが多くなって安定して加工作業を行うことができなくなる可能性が高いという問題があった。
【００１０】
なお、チャンバー容器と被加工面との接触状況の変化に対して、容器内をさらに減圧して、チャンバー容器と被加工面とが接触している範囲全てを強固に接触させることで、さらなる液漏れ防止を図る方法も考えられるが、この方法ではチャンバー容器を被加工面上で移動させ難くなる可能性が高いため、採用することができない。
【００１１】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、効果的に加工液の液漏れを防止して、安定した加工作業を行うことができる加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
かかる課題を解決するために、本発明は、被加工物（１００）における被加工面（１０１）の一部を覆って、内部に加工液（１５）を有する加工室（１１）を形成するチャンバー容器（２０）と、該チャンバー容器（２０）内部に配置され、前記加工室（１１）において前記加工液（１５）を用いて前記被加工面（１０１）の加工を行う加工ツール（３０）と、前記チャンバー容器（２０）の前記被加工面（１０１）側に環状に設けられ、前記被加工面（１０１）と接触するシール部材（２１）と、前記加工室（１１）の圧力を、前記加工室外に対して相対的に減圧する圧力変化装置（４０）と、前記加工室（１１）を形成した状態の前記チャンバー容器（２０）を、前記被加工物（１００）に対して相対的に移動させる移動手段（５０）と、前記チャンバー容器（２０）外部に複数配置され、前記チャンバー容器（２０）の複数箇所を、前記被加工面（１０１）に対してそれぞれ独立して押圧する押圧手段（６０）と、を有する加工装置（１０）としたことを特徴とする。
【００１３】
なお、ここでは、本発明をわかりやすく説明するため、実施の形態を表す図面の符号に対応付けて説明したが、本発明が実施の形態に限定されるものではないことは言及するまでもない。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、加工装置に、チャンバー容器外部に複数配置されて、チャンバー容器の複数箇所を、被加工面に対してそれぞれ独立して押圧する押圧手段を有するため、状況に応じてそれぞれの押圧手段の押圧力を独立して調整することができる。その結果、チャンバー容器と被加工面との接触状況に応じて、複数の接触範囲毎にチャンバー容器の被加工面に対する押圧力を変化させることができ、効果的に加工液の液漏れを防止して、安定した加工作業を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施の形態１に係る加工装置を示す概略断面図である。
【図２】図１の加工装置の加工ツールを傾斜させた状態を示す一部抜粋概略断面図である。
【図３】本発明の実施の形態２に係る加工装置を示す概略断面図である。
【図４】本発明の実施の形態３に係る加工装置を示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
［発明の実施の形態１］
【００１７】
最初に、本発明の実施の形態１について、図１〜図２を用いて説明する。図１は、本発明の実施の形態１に係る加工装置を示す概略断面図である。図２は、図１の加工装置の加工ツールを傾斜させた状態を示す一部抜粋概略断面図である。なお、本実施の形態では、本発明の加工装置の一例として、研磨装置について説明する。
【００１８】
本実施の形態の加工装置１０は、切出し前の液晶パネルを始めとする光学素子等の大面積の被加工物１００における被加工面１０１を加工（本実施の形態では、研磨）するものであり、図１に示すように、加工液１５を有する加工室１１、チャンバー容器２０、シール部材２１、加工ツール３０、圧力変化装置４０、移動手段５０、押圧手段６０、加工液注入装置７０等を有する構成となっている。
【００１９】
チャンバー容器２０は、切出し前の液晶パネルを始めとする光学素子等の大面積の被加工物１００における被加工面１０１の一部を覆うものである。本実施の形態のチャンバー容器２０は、略円筒形状の容器であり、母線方向の一端は開口しており、他端は閉じられているものである。そして、開口した一端側を被加工物１００の被加工面１０１に接触させるようにして、被加工面１０１の一部を覆うようになっている。そして、これにより、チャンバー容器２０と被加工面１０１とで形成された空間を加工室１１とするようになっている。
【００２０】
シール部材２１は、チャンバー容器２０の開口した一端側、すなわち被加工面１０１側において、被加工面１０１と接触する環状の端面に対して、環状に設けられたものであり、ウレタンやゴム等の柔軟性や弾性を有する部材で構成されている。そして、このシール部材２１が被加工面１０１と適度な圧力で密着することで、加工液１５を有する加工室１１を形成した状態のチャンバー容器２０が被加工面１０１に対して相対的に移動可能な程度に接触する構成となっている。
【００２１】
加工液注入装置７０は、加工液１５（本実施の形態では、加工液１５として研磨液が用いられている）をチャンバー容器２０内に注入する装置であり、チャンバー容器２０の外側に配置されている。この加工液注入装置７０には、加工液１５を注入する注入口７１、注入口７１から注入された加工液１５をチャンバー容器２０まで通す注入管７２、当該注入管７２の開閉及び開放状態の調整を行って加工液１５のチャンバー容器２０への注入開始、停止及び注入量の調整を行う注入バルブ７３等が設けられている。そして、注入口７１から注入された加工液１５は、注入バルブ７３を開状態とすることで、注入管７２を通ってチャンバー容器２０内に注入され、チャンバー容器２０と被加工面１０１とで形成された加工室１１に、加工液１５が注入されるようになっている。
【００２２】
圧力変化装置４０は、加工室１１の中の圧力を、加工室１１の外に対して相対的に減圧する装置であり、チャンバー容器２０の外側に配置されている。本実施の形態では、圧力変化装置４０として、直接加工室１１内を減圧する減圧装置が配置されている。この圧力変化装置４０には、チャンバー容器２０に挿通された排気管４１、当該排気管４１を通して加工室１１から空気を排気させる動力源である減圧ポンプ４２、排気管４１の開閉及び開放状態の調整を行って加工室１１からの排気開始、停止及び排気量の調整を行う排気バルブ４３等が設けられている。そして、減圧ポンプ４２を作動させた状態で排気バルブ４３を開状態とすることで、排気管４１を通して加工室１１内の空気を排気し、加工室１１内の減圧を行うようになっている。
【００２３】
なお、加工液注入装置７０の注入管７２と圧力変化装置４０の排気管４１は、チャンバー容器２０に挿通するに当たって、挿通箇所から加工液１５や空気の漏れがなく、加工室１１内の気密性が保たれるように、シール加工が施されている。
【００２４】
加工ツール３０（本実施の形態では、研磨を行うポリッシャ３３等を有する研磨ツール）は、加工室１１内で加工液１５を用いて被加工面１０１の加工を行う（本実施の形態では、研磨液を用いて研磨を行う）ことができるように、チャンバー容器２０内部に配置されているものである。本実施の形態では、チャンバー容器２０の他端の外側（図１における上方）にツール回転用モータ３１が配置されており、このツール回転用モータ３１に、被加工面１０１に対して垂直な回転軸３２が接続されており、この回転軸３２がツール回転用モータ３１の動力によって回動するようになっている。また、回転軸３２はチャンバー容器２０内部の加工室１１に挿通されており、その回転軸３２における被加工面１０１側の端部には、被加工面１０１に接触するポリッシャ３３が設けられている。さらに、回転軸３２の途中（本実施の形態では、チャンバー容器２０の外側）に、ポリッシャ３３を被加工面１０１に押圧する加工圧力加圧装置３４を備えており、ポリッシャ３３が被加工面１０１の研磨を行うのに適切な圧力が掛かるようにされている。また、加工ツール３０の回転軸３２は、チャンバー容器２０に挿通するに当たって、挿通箇所から加工液１５や空気の漏れがなく、加工室１１内の気密性が保たれ、かつ、回転軸３２の回動が支障なく行えるように、シール加工が施されている。
【００２５】
また、図２に示すように、本実施の形態では、加工室１１内の気密性を保ったままで、被加工面１０１に対する加工ツール３０の接触角度を、図１に示したような垂直だけでなく、適宜の斜めの角度に変化させることができる加工ツール傾斜手段３５を備えている。このように、加工ツール３０のポリッシャ３３の被加工面１０１に対する接触角度を変化させることで、ポリッシャ３３が垂直に接触していては加工し難い部分や、加工の平均化を図りたい場合等に対応することができる。
【００２６】
移動手段５０は、加工液１５を有する加工室１１を形成した状態のチャンバー容器２０を、被加工物１００に対して相対的に移動させるものである。この移動手段５０は、適宜の方法により移動を行うものであれば良い。なお、図１には、移動手段５０として、被加工物１００が載置されたステージ５１と、当該ステージを移動させるステージ移動機構５２とを有し、ステージに載置された被加工物１００を移動させることで、所定位置に固定されたチャンバー容器２０を被加工物１００に対して相対的に移動させるものが記載されている。しかし、これに限るものではなく、被加工物１００は固定されていて、チャンバー容器２０が被加工面１０１の上を移動するようになっていても良いし、また、チャンバー容器２０とステージに載置された被加工物１００の双方が移動するようになっていても良い。また、チャンバー容器２０を移動させる場合には、加工液注入装置７０の注入口７１、注入管７２及び注入バルブ７３と、圧力変化装置４０の排気管４１及び排気バルブ４３が、チャンバー容器２０と共に移動するようになっていても良いし、注入管７２及び排気管４１が長く、かつ可撓性を有するように形成されていて、当該注入管７２及び排気管４１のみがチャンバー容器２０と共に移動して、その他の構成は所定箇所に固定されているようになっていても良い。
【００２７】
押圧手段６０は、チャンバー容器２０外部に複数配置されており、チャンバー容器２０の複数箇所を、被加工面１０１に対してそれぞれ独立して押圧するものである。本実施の形態では、押圧手段６０として、エアシリンダがチャンバー容器２０の外周部の４箇所に等間隔に配置されており、それぞれが独立してチャンバー容器２０を被加工面１０１に対して略垂直に押圧するように構成されている。また、本実施の形態では、押圧手段６０のエアシリンダの先端部分とチャンバー容器２０の外周部とは、ボールジョイント構造部６１で接続されており、これにより、チャンバー容器２０が押圧手段６０に対して多少傾斜するような状態になったとしても、双方の接続が維持され、押圧手段６０によるチャンバー容器２０の押圧力を保つことができるようになっている。
【００２８】
なお、本実施の形態では、前記したように、押圧手段６０として、エアシリンダを採用し、当該エアシリンダを４箇所に配置し、エアシリンダとチャンバー容器２０をボールジョイント構造部６１で接続する構造となっていたが、これに限るものではない。例えば、押圧手段６０としては、エアシリンダ以外の押圧可能な手段、例えば圧電素子を用いた押圧構造等を採用しても良い。また、押圧手段６０は、４箇所に配置するのみでなく、チャンバー容器２０の形状やその他の条件によって、２箇所以上の適宜の数を配置するようになっていれば良い。なお、配置箇所が多いと、それだけ細かく押圧力の変化を付けることが可能となる傾向がある。また、押圧手段６０とチャンバー容器２０との接続構造についても、ボールジョイント構造以外の適宜の構造を用いれば良い。
【００２９】
このように、本実施の形態では、加工液１５を有する加工室１１を形成した状態のチャンバー容器２０を、シール部材２１、圧力変化装置４０及び押圧手段６０で複合的に被加工面１０１に圧力を掛けて接触させるため、効果的に加工液１５の液漏れを防止することができるものである。
【００３０】
また、本実施の形態では、被加工面１０１の表面形状を検知するセンサ８０と、センサ８０の検知結果、すなわち被加工面１０１の表面形状に応じて、複数の押圧手段６０それぞれの押圧力を独立して変化させるように制御する制御装置（図示省略）とを有している。これにより、予め設定されていた被加工面１０１の表面形状の計測値に応じて、複数の押圧手段６０の押圧力を独立して変化させる場合に比べて（特に細かい凹凸等の予めの測定が困難な表面形状に応じて押圧力を変化させる必要がある場合に）、より実際の被加工面１０１の表面形状に沿った押圧手段６０の押圧力を発揮させることができ、その結果、加工液１５の液漏れをより効果的に防止することが可能となる。
【００３１】
また、本実施の形態では、移動手段５０によって被加工物１００に対して相対的に移動したチャンバー容器２０の移動後の後方の被加工面１０１に、図１に示すように、洗浄液Ｗを供給する洗浄液供給手段９０を有している。前記したシール部材２１、圧力変化装置４０及び押圧手段６０で液漏れをできるだけ防止するようにしても、完全に液漏れを防ぐのは難しく、どうしても少量の加工液１５は被加工面１０１の上に残ってしまうが、この洗浄液供給手段９０を備えていることにより、その加工液１５を洗浄することができるものである。なお、洗浄液Ｗとしては適宜のものを使用すれば良く、水でも良いし、他の薬液等でも良い。
［発明の実施の形態２］
【００３２】
次に、本発明の実施の形態２について、図３を用いて説明する。図３は、本発明の実施の形態２に係る加工装置を示す概略断面図である。なお、本実施の形態では、本発明の加工装置の一例として、超音波加工装置について説明する。また、本実施の形態において、前記した実施の形態１と同様の箇所については、図示及び説明を省略するか、同じ符号を付して詳しい説明を省略する。
【００３３】
本実施の形態の加工装置１０Ａは、光学素子等の被加工物１００における被加工面１０１を超音波加工するものであり、図３に示すように、加工液１５Ａを有する加工室１１、チャンバー容器２０、シール部材２１、加工ツール３０Ａ、圧力変化装置４０、移動手段５０、押圧手段６０、加工液注入装置７０等を有する構成となっている。
【００３４】
本実施の形態では、加工液１５Ａとして、超音波加工用スラリーを用いており、加工ツール３０Ａとして、超音波振動装置の発振器（図示省略）に取り付けられたホーン３２Ａとその先端に取り付られた工具３３Ａを有する。また、ホーン３２Ａの上部には、工具３３Ａを被加工面１０１に押圧する加工圧力加圧装置３４Ａを備えており、工具３３Ａが被加工面１０１の超音波加工を行うのに適切な圧力が掛かるようにされている。
［発明の実施の形態３］
【００３５】
次に、本発明の実施の形態３について、図４を用いて説明する。図４は、本発明の実施の形態３に係る加工装置を示す概略断面図である。なお、本実施の形態では、本発明の加工装置の一例として、前記した実施の形態１と同様の研磨装置について説明する。また、本実施の形態において、前記した実施の形態１と同様の箇所については、図示及び説明を省略するか、同じ符号を付して詳しい説明を省略する。
【００３６】
本実施の形態の加工装置１０Ｂでは、第１チャンバー容器２０（以下、この実施の形態では、前記した実施の形態１におけるチャンバー容器２０を第１チャンバー容器として説明する）の外側に、被加工面１０１との接触部に第２シール部材２６Ｂを有する第２チャンバー容器２５Ｂを配置している。なお、第２シール部材２６Ｂの素材は、前記した実施の形態１に記載したシール部材２１と同様である。
【００３７】
また、前記した実施の形態１のおいて、圧力変化装置４０として減圧装置を備え、この減圧装置によって第１チャンバー容器２０の中を減圧する構成に替えて、本実施の形態の加工装置１０Ｂでは、圧力変化装置４０Ｂとして、チャンバー容器２０に挿通された吸気管４１Ｂ、当該吸気管４１Ｂを通して加圧室１１に空気を吸気する動力源である加圧ポンプ４２Ｂ、吸気管４１Ｂの開閉及び開放状態の調整を行って加工室１１への吸気開始、停止及び吸気量の調整を行う吸気バルブ４３等を有する加圧装置を備え、第１チャンバー容器２０と第２チャンバー容器２５Ｂの間を加圧装置で加圧し、これにより相対的に第１チャンバー容器２０の中の圧力を下げるようになっている。
【００３８】
これにより、第１チャンバー容器２０の中は大気圧と同じで良いので、加工液１５の補充や交換を、研磨ツール３０や移動手段５０の動きに構わず、適宜のときに行うことができる。これにより、加工装置１０Ｂに加工液１５の循環システムを配設して、加工液１５を循環させながら移動させつつ加工（研磨）を行うことも可能となる。
【００３９】
以上のように、前記した各実施の形態の加工装置１０、１０Ａ、１０Ｂによれば、加工装置１０、１０Ａ、１０Ｂに、チャンバー容器２０外部に複数配置されて、チャンバー容器２０の複数箇所を、被加工面１０１に対してそれぞれ独立して押圧する押圧手段６０を有するため、状況に応じてそれぞれの押圧手段６０の押圧力を独立して調整することができる。その結果、チャンバー容器２０と被加工面１０１との接触状況に応じて、複数の接触範囲毎にチャンバー容器２０の被加工面１０１に対する押圧力を変化させることができ、効果的に加工液１５、１５Ａの液漏れを防止して、安定した加工作業を行うことができる。
【００４０】
この構成は、加工装置１０、１０Ａ、１０Ｂが前記した研磨装置や超音波加工装置であるときに、特に有効であるが，他の加工装置にも適用可能である。
【００４１】
また、前記した各実施の形態では、被加工面１０１の表面形状を検知するセンサ８０と、センサ８０の検知結果、すなわち被加工面１０１の表面形状に応じて、複数の押圧手段６０それぞれの押圧力を独立して変化させるように制御する制御装置（図示省略）とを有しているため、予め設定されていた被加工面１０１の表面形状の計測値に応じて、複数の押圧手段６０の押圧力を独立して変化させる場合に比べて、より実際の被加工面１０１の表面形状に沿った押圧手段６０の押圧力を発揮させることができ、その結果、加工液１５の液漏れをより効果的に防止することが可能となる。
【００４２】
また、前記した各実施の形態では、加工室１１内の気密性を保ったままで、被加工面１０１に対する加工ツール３０の接触角度を、垂直だけでなく、適宜の斜めの角度に変化させることができる加工ツール傾斜手段３５を備えているため、加工ツール３０の被加工面１０１に対する接触角度を変化させることで、加工ツール３０が垂直に接触していては加工し難い部分や、加工の平均化を図りたい場合等に対応することができる。
【００４３】
また、前記した各実施の形態では、移動手段５０によって被加工物１００に対して相対的に移動したチャンバー容器２０の移動後の後方の被加工面１０１に、洗浄液Ｗを供給する洗浄液供給手段９０を有しているため、どうしても被加工面１０１に少量残ってしまう加工液１５を、この洗浄液供給手段９０を備えていることにより、洗浄することができるものである。
【００４４】
なお、以上説明した実施の形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。
【００４５】
例えば、前記した各実施の形態では、チャンバー容器２０が略円筒形状の容器で構成されていたが、これに限るものではなく、角柱形状等の種々の形状の容器を適宜使用すれば良い。
【００４６】
また、前記した実施の形態１，３では、略半球形状のポリッシャを使用していたが、これに限るものではなく、平板形状のもの等、他の形状のものを使用しても良い。
【００４７】
また、前記した各実施の形態では、複数の押圧手段６０それぞれの押圧力の制御を全て、センサ８０の検知結果に基づき行っていたが、本発明は、これに限るものではなく、加工を行うのに先立って、被加工面１０１の表面形状の測定を行い、この測定値に基づき、複数の押圧手段６０それぞれの押圧力を独立して変化させるようになっていても良い。
【００４８】
また、加工前の測定値とセンサ８０の検知結果の両方を用いて、複数の押圧手段６０それぞれの押圧力の制御を行うようになっていても良い。例えば、加工前に被加工面１０１の全体的な表面形状を測定しておき、基本的にはそれに基づき複数の押圧手段６０それぞれの押圧力の制御を行うが、細かい凹凸等の部分的な表面形状をセンサ８０で検知して、最終的にこれを加味して複数の押圧手段６０それぞれの押圧力の制御を行うようになっていても良い。
【００４９】
また、前記した各実施の形態では、被加工物１００の被加工面１０１が、ほぼ水平な平面形状に図示されていたが、本発明の加工装置で加工可能な被加工物の被加工面としては、このようなものに限るものではない。例えば、ちょっとした凹凸を有する被加工面や、曲面を有する被加工面における凸面部分、曲面を有する被加工面における凹面部分、曲率が大きな被加工面、傾斜している被加工面等でも、チャンバー容器の姿勢及び接触状況を、シール部材、圧力変化装置及び独立して押圧する複数の押圧手段で複合的に制御することで、液漏れを防止しながら加工することができる。さらに、傾斜している被加工面の傾斜角度が９０°〜１８０°であったり、９０°未満でも傾斜角度が大きかったりする場合でも、チャンバー容器の姿勢及び接触状況を、シール部材、圧力変化装置及び独立して押圧する複数の押圧手段で複合的に制御すると共に、加工ツールが被加工面に接触する箇所まで加工液を満たすようにすることで、液漏れを防止しながら加工することが可能である。
【符号の説明】
【００５０】
１０  加工装置（研磨装置、超音波加工装置）
１１  加工室
１５  加工液（研磨液）
１５Ａ  加工液（超音波加工用スラリー）
２０  チャンバー容器（第１チャンバー容器）
２５Ｂ  第２チャンバー容器
２１  シール部材
３０  加工ツール（研磨ツール、ホーンと工具）
３５  加工ツール傾斜手段
４０  圧力変化装置（減圧装置、加圧装置）
５０  移動手段
６０  押圧手段
７０  加工液注入装置
８０  センサ
９０  洗浄液供給手段
１００  被加工物
１０１  被加工面
Ｗ  洗浄液
【図１】
2011098412.tif 000003
【図２】
2011098412.tif 000004
【図３】
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【図４】
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