(57)【要約】【課題】素子アレイに含む複数の素子を、高精度に所望の厚みに一括して成形する。【解決手段】一組の型を備え、一組の該型の各々に設けられ相対する一組の成形面の間で成形材料を圧縮して複数の素子が配列された素子アレイに成形する成形型であって、一組の前記成形面の各々には、前記素子を成形する素子成形部が相対するように複数配列されており、前記型の一方又は双方に設けられ、一組の前記成形面の間に介在して一組の該成形面の間隔を規定する少なくとも一つのストッパを備える素子アレイ成形型。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一組の型を備え、一組の該型の各々に設けられ相対する一組の成形面の間で成形材料を圧縮して複数の素子が配列された素子アレイに成形する成形型であって、
一組の前記成形面の各々には、前記素子を成形する素子成形部が相対するように複数配列されており、
前記型の一方又は双方に設けられ、一組の前記成形面の間に介在して一組の該成形面の間隔を規定する少なくとも一つのストッパを備える素子アレイ成形型。
【請求項２】
請求項１に記載の素子アレイ成形型であって、
前記ストッパを複数備え、これらのストッパは、一組の前記成形面の間に分散して配置されており、
少なくとも一方の前記型が可撓であって、可撓な前記型の前記成形面とは反対側の面は弾性体で支持されている素子アレイ成形型。
【請求項３】
請求項２に記載の素子アレイ成形型であって、
可撓な前記型において、前記成形面とは反対側の面で、隣り合う前記素子成形部の間にあたる領域に溝が形成されている素子アレイ成形型。
【請求項４】
請求項１に記載の素子アレイ成形型であって、
前記ストッパが設けられた前記型は、前記素子成形部をそれぞれ有する複数の型部材と、複数の該型部材が配列される基板と、を有し
複数の前記型部材の各々に、前記ストッパが一体に形成されている素子アレイ成形型。
【請求項５】
請求項１に記載の素子アレイ成形型であって、
前記ストッパが設けられた前記型は、前記素子成形部をそれぞれ有する複数の型部材と、複数の該型部材が配列される基板と、を有し、
前記ストッパは、前記基板に固定されている素子アレイ成形型。
【請求項６】
請求項５に記載の素子アレイ成形型であって、
前記ストッパは、複数の前記型部材の配列に応じて前記基板上の領域を区画するように該基板に設けられており、
複数の前記型部材の各々は、前記ストッパにより位置決めされている素子アレイ成形型。
【請求項７】
請求項６に記載の素子アレイ成形型であって、
前記ストッパは、複数の前記型部材の各々の周囲を取り囲む隔壁である素子アレイ成形型。
【請求項８】
請求項７に記載の素子アレイ成形型であって、
前記隔壁において、隣り合う前記型部材を隔てている部分の各々の先端には、切り欠き部が設けられている素子アレイ成形型。
【請求項９】
請求項１に記載の素子アレイ成形型であって、
前記ストッパが設けられた前記型は、前記素子成形部をそれぞれ有する複数の型部材と、複数の該型部材が配列される第１の基板と、該第１の基板の下に積層される第２の基板と、を有し、
前記ストッパは、前記第１の基板を貫通して前記第２の基板に固定されており、
前記第１の基板及び前記第２の基板は、それらの積層方向に相対移動可能である素子アレイ成形型。
【請求項１０】
請求項５〜９のいずれか一項に記載の素子アレイ成形型であって、
前記ストッパの熱膨張・収縮特性が、前記型部材の熱膨張・収縮特性と同等である素子アレイ成形型。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか一項に記載の素子アレイ成形型であって、
前記ストッパは、抜き勾配を有する素子アレイ成形型。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか一項に記載の素子アレイ成形型であって、
前記ストッパの表面を鏡面仕上げされている素子アレイ成形型。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか一項に記載の素子アレイ成形型であって、
前記ストッパの表面に前記成形材料と親和性の低い被膜が形成されている素子アレイ成形型。
【請求項１４】
請求項１〜１２のいずれか一項に記載の素子アレイ成形型であって、
前記ストッパは、前記成形材料と親和性の低い材料で形成されている素子アレイ成形型。
【請求項１５】
請求項１〜１４のいずれか一項に記載の素子アレイ成形型を用いて成形された素子アレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の素子が配列された素子アレイを成形する素子アレイ成形型、及び該素子アレイ成形型を用いて成形された素子アレイに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話やＰＤＡ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ  Ｄｉｇｉｔａｌ  Ａｓｓｉｓｔａｎｔ）などの電子機器の携帯端末には撮像ユニットが搭載されている。このような撮像ユニットは、一般に、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）イメージセンサやＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ−Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）イメージセンサなどの固体撮像素子と、固体撮像素子の受光領域に結像するレンズ群とを備えている。
【０００３】
携帯端末の普及により、それに搭載される撮像ユニットにも更なる生産性が要求される。かかる要求に対して、複数のレンズを相互に連結した状態に一括して形成してなるレンズアレイを複数積層し、そして、積層方向に並ぶレンズ群を個々に含む複数のモジュールに分割して、これを量産する技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、近年では、上記の撮像ユニットに搭載される固体撮像素子の高画素化、及び画素の微細化が進展している。その結果、撮像ユニットに搭載されるレンズには高い形状精度が求められ、例えばレンズの厚みについてはμｍオーダーの精度が求められるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】国際公開第０８／１５３１０２号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載された技術では、一組の型の各々に設けられた相対する一組の成形面の間で光硬化性や熱硬化性の樹脂材料を圧縮してレンズアレイを成形している。これによると、レンズの厚みは、成形面の間隔で決まるが、その間隔を規定する手段については言及されていない。型を加圧する圧縮機への型の取り付け精度によっては、成形面の間隔に誤差が生じ、レンズ厚みの精度が低下する虞があった。
【０００７】
本発明は、上述した事情に鑑みなされたものであり、その目的は、素子アレイに含む複数の素子を、高精度に所望の厚みに一括して成形することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
一組の型を備え、一組の該型の各々に設けられ相対する一組の成形面の間で成形材料を圧縮して複数の素子が配列された素子アレイに成形する成形型であって、一組の前記成形面の各々には、前記素子を成形する素子成形部が相対するように複数配列されており、前記型の一方又は双方に設けられ、一組の前記成形面の間に介在して一組の該成形面の間隔を規定する少なくとも一つのストッパを備える素子アレイ成形型。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、ストッパにより一組の成形面の間隔が規定され、それに伴って、相対する各組の素子成形部の間隔が規定されるので、複数の素子を、高精度に所望の厚みに一括して成形することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施形態を説明するための、素子アレイの一例を示す図である。
【図２】図１の素子アレイをＩＩ−ＩＩ線断面で示す図である。
【図３】本発明の実施形態を説明するための、素子アレイ成形型の一例を示す図である。
【図４】図４Ａ〜図４Ｃは、図３の素子アレイ成形型を用いた素子アレイの成形工程を示す図である。
【図５】本発明の実施形態を説明するための、素子アレイ成形型の他の例を示す図である。
【図６】図５の素子アレイ成形型におけるストッパの配置を示す図である。
【図７】図５の素子アレイ成形型におけるストッパの配置の変形例を示す図である。
【図８】図１の素子アレイの変形例を示す図である。
【図９】図９Ａ及び図９Ｂは、図８の素子アレイを複数積層して素子アレイ積層体を形成する過程を順次示す図である。
【図１０】本発明の実施形態を説明するための、素子アレイ成形型の他の例を示す図である。
【図１１】図１１Ａ〜図１１Ｃは、図１０の素子アレイ成形型の製造方法の一例を示す図である。
【図１２】図１２Ａ及び図１２Ｂは、図１０の素子アレイ成形型の製造方法の他の例を示す図である。
【図１３】本発明の実施形態を説明するための、素子アレイ成形型の他の例を示す図である。
【図１４】図１３の素子アレイ成形型におけるストッパの配置を示す図である。
【図１５】図１３の素子アレイ成形型の変形例を示す図である。
【図１６】図１５の素子アレイ成形型をＸＶＩ−ＸＶＩ線断面で示す図である。
【図１７】図１５の素子アレイ成形型の製造方法の一例を示す図である。
【図１８】本発明の実施形態を説明するための、素子アレイ成形型の他の例を示す図である。
【図１９】図１８の素子アレイ成形型の変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
図１及び図２は、素子アレイの一例を示す。図１及び図２に示す素子アレイは、レンズアレイである。
【００１２】
図１及び図２に示すように、レンズアレイ１は、複数のレンズ２と、連結部３と、を備えている。
【００１３】
複数のレンズ２は、図示の例では、碁盤目状に配列されている。なお、レンズ２の配列は、碁盤目状には限られず、放射状、同心の円環状、その他の２次元の配列であってもよく、また、１次元の配列であってもよい。
【００１４】
レンズ２は、その表裏に所定の光学面２ａ、２ｂが形成されている。図示の例では、光学面２ａ、２ｂは、いずれも凸形状の球面となっているが、用途に応じて、凸形状の球面、凹形状の球面、非球面、又は平面の種々の組み合わせを採り得る。
【００１５】
連結部３は、各レンズ２と、その周囲のレンズ２との間の隙間を埋めるように形成されており、複数のレンズ２を相互に連結している。連結部３は、全体として略円盤状をなしている。
【００１６】
連結部３には、厚み方向に貫通する貫通孔４が形成されている。図示の例では、貫通孔４は、レンズアレイ１の中心部にあたる位置に一つ形成されている。
【００１７】
レンズ２及び連結部３は、透光性の樹脂組成物で一体に形成されている。レンズ２を形成する樹脂組成物としては、例えばエネルギー硬化性の樹脂組成物を好適に用いることができる。エネルギー硬化性の樹脂組成物は、熱により硬化する樹脂組成物、あるいは活性エネルギー線の照射（例えば紫外線、電子線照射）により硬化する樹脂組成物のいずれであってもよい。
【００１８】
レンズ２を形成する樹脂組成物は、モールド形状の転写適性等、成形性の観点から硬化前には適度な流動性を有していることが好ましい。具体的には常温で液体であり、粘度が１０００〜５００００ｍＰａ・ｓ程度のものが好ましい。
【００１９】
また、レンズ２を形成する樹脂組成物は、硬化後にはリフロー工程を通しても熱変形しない程度の耐熱性を有していることが好ましい。該観点から、硬化物のガラス転移温度は２００℃以上であることが好ましく、２５０℃以上であることがより好ましく、３００℃以上であることが特に好ましい。樹脂組成物にこのような高い耐熱性を付与するためには、分子レベルで運動性を束縛することが必要であり、有効な手段としては、（１）単位体積あたりの架橋密度を上げる手段、（２）剛直な環構造を有する樹脂を利用する手段（例えばシクロヘキサン、ノルボルナン、テトラシクロドデカン等の脂環構造、ベンゼン、ナフタレン等の芳香環構造、９，９’−ビフェニルフルオレン等のカルド構造、スピロビインダン等のスピロ構造を有する樹脂、具体的には例えば、特開平９−１３７０４３号公報、同１０−６７９７０号公報、特開２００３−５５３１６号公報、同２００７−３３４０１８号公報、同２００７−２３８８８３号公報等に記載の樹脂）、（３）無機微粒子など高Ｔｇの物質を均一に分散させる手段（例えば特開平５−２０９０２７号公報、同１０−２９８２６５号公報等に記載）等が挙げられる。これらの手段は複数併用してもよく、流動性、収縮率、屈折率特性など他の特性を損なわない範囲で調整することが好ましい。
【００２０】
また、レンズ２を形成する樹脂組成物は、形状転写精度の観点からは硬化反応による体積収縮率が小さい樹脂組成物が好ましい。樹脂組成物の硬化収縮率としては１０％以下であることが好ましく、５％以下であることがより好ましく、３％以下であることが特に好ましい。硬化収縮率の低い樹脂組成物としては、例えば（１）高分子量の硬化剤（プレポリマ−など）を含む樹脂組成物（例えば特開２００１−１９７４０号公報、同２００４−３０２２９３号公報、同２００７−２１１２４７号公報等に記載、高分子量硬化剤の数平均分子量は２００〜１００，０００の範囲であることが好ましく、より好ましくは５００〜５０，０００の範囲であり、特に好ましくは１，０００〜２０，０００の場合である。また該硬化剤の数平均分子量／硬化反応性基の数で計算される値が、５０〜１０，０００の範囲にあることが好ましく、１００〜５，０００の範囲にあることがより好ましく、２００〜３，０００の範囲にあることが特に好ましい。）、（２）非反応性物質（有機/無機微粒子，非反応性樹脂等）を含む樹脂組成物（例えば特開平６−２９８８８３号公報、同２００１−２４７７９３号公報、同２００６−２２５４３４号公報等に記載）、（３）低収縮架橋反応性基を含む樹脂組成物（例えば、開環重合性基（例えばエポキシ基（例えば、特開２００４−２１０９３２号公報等に記載）、オキセタニル基（例えば、特開平８−１３４４０５号公報等に記載）、エピスルフィド基（例えば、特開２００２−１０５１１０号公報等に記載）、環状カーボネート基（例えば、特開平７−６２０６５号公報等に記載）等）、エン／チオール硬化基（例えば、特開２００３−２０３３４号公報等に記載）、ヒドロシリル化硬化基（例えば、特開２００５−１５６６６号公報等に記載）等）、（４）剛直骨格樹脂（フルオレン、アダマンタン、イソホロン等）を含む樹脂組成物（例えば、特開平９−１３７０４３号公報等に記載）、（５）重合性基の異なる２種類のモノマーを含み相互貫入網目構造（いわゆるＩＰＮ構造）が形成される樹脂組成物（例えば、特開２００６−１３１８６８号公報等に記載）、（６）膨張性物質を含む樹脂組成物（例えば、特開２００４−２７１９号公報、特開２００８−２３８４１７号公報等に記載）等を挙げることができ、本発明において好適に利用することができる。また上記した複数の硬化収縮低減手段を併用すること（例えば、開環重合性基を含有するプレポリマーと微粒子を含む樹脂組成物など）が物性最適化の観点からは好ましい。
【００２１】
また、レンズ２を形成する樹脂組成物は、高−低２種類以上のアッベ数の異なる樹脂の混合物が望まれる。高アッベ数側の樹脂は、アッベ数（νｄ）が５０以上であることが好ましく、より好ましくは５５以上であり特に好ましくは６０以上である。屈折率（ｎｄ）は１．５２以上であることが好ましく、より好ましくは１．５５以上であり、特に好ましくは１．５７以上である。このような樹脂としては、脂肪族の樹脂が好ましく、特に脂環構造を有する樹脂（例えば、シクロヘキサン、ノルボルナン、アダマンタン、トリシクロデカン、テトラシクロドデカン等の環構造を有する樹脂、具体的には例えば、特開平１０−１５２５５１号公報、特開２００２−２１２５００号公報、同２００３−２０３３４号公報、同２００４−２１０９３２号公報、同２００６−１９９７９０号公報、同２００７−２１４４号公報、同２００７−２８４６５０号公報、同２００８−１０５９９９号公報等に記載の樹脂）が好ましい。低アッベ数側の樹脂は、アッベ数（νｄ）が３０以下であることが好ましく、より好ましくは２５以下であり特に好ましくは２０以下である。屈折率（ｎｄ）は１．６０以上であることが好ましく、より好ましくは１．６３以上であり、特に好ましくは１．６５以上である。このような樹脂としては芳香族構造を有する樹脂が好ましく、例えば９,９’−ジアリールフルオレン、ナフタレン、ベンゾチアゾール、ベンゾトリアゾール等の構造を含む樹脂（具体的には例えば、特開昭６０−３８４１１号公報、特開平１０−６７９７７号公報、特開２００２−４７３３５号公報、同２００３−２３８８８４号公報、同２００４−８３８５５号公報、同２００５−３２５３３１号公報、同２００７−２３８８８３号公報、国際公開第２００６／０９５６１０号、特許第２５３７５４０号公報等に記載の樹脂等）が好ましい。
【００２２】
また、レンズ２を形成する樹脂組成物には、屈折率を高めたり、アッベ数を調整したりするために、無機微粒子をマトリックス中に分散させることが好ましい。無機微粒子としては、例えば、酸化物微粒子、硫化物微粒子、セレン化物微粒子、テルル化物微粒子が挙げられる。より具体的には、例えば、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化スズ、酸化ニオブ、酸化セリウム、酸化アルミニウム、酸化ランタン、酸化イットリウム、硫化亜鉛等の微粒子を挙げることができる。特に上記高アッベ数の樹脂に対しては、酸化ランタン、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム等の微粒子を分散させることが好ましく、低アッベ数の樹脂に対しては、酸化チタン、酸化スズ、酸化ジルコニウム等の微粒子を分散させることが好ましい。無機微粒子は、単独で用いても２種以上を併用してもよい。また、複数の成分による複合物であってもよい。また、無機微粒子には光触媒活性低減、吸水率低減などの種々の目的から、異種金属をドープしたり、表面層をシリカ、アルミナ等異種金属酸化物で被覆したり、シランカップリング剤、チタネートカップリング剤、有機酸（カルボン酸類、スルホン酸類、リン酸類、ホスホン酸類等）又は有機酸基を持つ分散剤などで表面修飾してもよい。無機微粒子の数平均粒子サイズは通常１ｎｍ〜１０００ｎｍ程度とすればよいが、小さすぎると物質の特性が変化する場合があり、大きすぎるとレイリー散乱の影響が顕著となるため、１ｎｍ〜１５ｎｍが好ましく、２ｎｍ〜１０ｎｍが更に好ましく、３ｎｍ〜７ｎｍが特に好ましい。また、無機微粒子の粒子サイズ分布は狭いほど望ましい。このような単分散粒子の定義の仕方はさまざまであるが、例えば、特開２００６−１６０９９２号に記載されるような数値規定範囲が好ましい粒径分布範囲に当てはまる。ここで上述の数平均１次粒子サイズとは、例えばＸ線回折（ＸＲＤ）装置あるいは透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）などで測定することができる。無機微粒子の屈折率としては、２２℃、５８９ｎｍの波長において、１．９０〜３．００であることが好ましく、１．９０〜２．７０であることが更に好ましく、２．００〜２．７０であることが特に好ましい。無機微粒子の樹脂に対する含有量は、透明性と高屈折率化の観点から、５質量％以上であることが好ましく、１０〜７０質量％が更に好ましく、３０〜６０質量％が特に好ましい。
【００２３】
樹脂組成物に微粒子を均一に分散させるためには、例えばマトリックスを形成する樹脂モノマーとの反応性を有する官能基を含む分散剤（例えば特開２００７−２３８８８４号公報実施例等に記載）、疎水性セグメント及び親水性セグメントで構成されるブロック共重合体（例えば特開２００７−２１１１６４号公報に記載）、あるいは高分子末端又は側鎖に無機微粒子と任意の化学結合を形成しうる官能基を有する樹脂（例えば特開２００７−２３８９２９号公報、特開２００７−２３８９３０号公報等に記載）等を適宜用いて微粒子を分散させることが望ましい。
【００２４】
また、レンズ２を形成する樹脂組成物には、シリコーン系、フッ素系、長鎖アルキル基含有化合物等の公知の離型剤やヒンダードフェノール等の酸化防止剤等の添加剤が適宜配合されていてもよい。
【００２５】
また、レンズ２を形成する樹脂組成物には、必要に応じて硬化触媒又は開始剤を配合することができる。具体的には、例えば特開２００５−９２０９９号公報（段落番号〔００６３〕〜〔００７０〕）等に記載の熱又は活性エネルギー線の作用により硬化反応（ラジカル重合あるいはイオン重合）を促進する化合物を挙げることができる。これらの硬化反応促進剤の添加量は、触媒や開始剤の種類、あるいは硬化反応性部位の違いなどによって異なり一概に規定することはできないが、一般的には硬化反応性樹脂組成物の全固形分に対して０．１〜１５質量％程度が好ましく、０．５〜５質量％程度がより好ましい。
【００２６】
レンズ２を形成する樹脂組成物は、上記成分を適宜配合して製造することができる。この際、液状の低分子モノマー（反応性希釈剤）等に他の成分を溶解することができる場合には別途溶剤を添加する必要はないが、このケースに当てはまらない場合には溶剤を用いて各構成成分を溶解することにより硬化性樹脂組成物を製造することができる。該硬化性樹脂組成物に使用できる溶剤としては、組成物が沈殿することなく、均一に溶解又は分散されるものであれば特に制限はなく適宜選択することができ、具体的には、例えば、ケトン類（例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等）、エステル類（例えば、酢酸エチル、酢酸ブチル等）、エーテル類（例えば、テトラヒドロフラン、１，４−ジオキサン等）アルコール類（例えば、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール、エチレングリコール等）、芳香族炭化水素類（例えば、トルエン、キシレン等）、水等を挙げることができる。硬化性組成物が溶剤を含む場合には溶剤を乾燥させた後にモールド形状転写操作を行うことが好ましい。
【００２７】
図３は、図１のレンズアレイ１を成形する成形型を示す。
【００２８】
図３に示す成形型１０は、上型１１及び下型１２を備えている。
【００２９】
上型１１の成形面２０には、レンズアレイ１におけるレンズ２の配列と同じ並びで、複数のレンズ成形部２１が碁盤目状に配列されている。レンズ成形部２１は、レンズ２の一方の光学面２ａを成形する。
【００３０】
また、上型１１の成形面２０には、ストッパ２２が一体に形成されている。ストッパ２２は、成形面２０の中心部に一つ設けられており、成形面２０より突出している。図示の例において、ストッパ２２は、先端に向うに従って先細るテーパ状に形成されたピンとされている。
【００３１】
下型１２の成形面３０には、レンズアレイ１におけるレンズ２の配列と同じ並びで、複数のレンズ成形部３１が碁盤目状に配列されている。レンズ成形部３１は、レンズ２の他方の光学面２ｂを成形する。
【００３２】
上型１１、及び下型１２の材料は、レンズ２や連結部３を形成するエネルギー硬化性の樹脂材料に応じて適宜選択される。樹脂材料として熱硬化のものを用いた場合には、型の材料は、例えば熱伝導率に優れる金属材料や、赤外線を透過する材料が用いられる。また、樹脂材料として紫外線硬化のものを用いた場合には、型の材料は、例えば紫外線を透過する材料が用いられ、また、樹脂材料として電子線硬化のものを用いた場合には、型の材料は、その電子線を透過する材料が用いられる。
【００３３】
図４Ａ〜図４Ｃは、図３の成形型１０を用いたレンズアレイ１の成形工程を示す。
【００３４】
図４Ａに示すように、レンズ２及び連結部３を形成する樹脂材料Ｍを、下型１２の成形面３０上に供給する。
【００３５】
次いで、図４Ｂに示すように、図示しない圧縮機によって上型１１を降下させ、上型１１の成形面２０と下型１２の成形面３０との間で樹脂材料Ｍを挟んで圧縮し、樹脂材料Ｍを成形面２０、３０に倣って変形させる。
【００３６】
上型１１の降下に伴い、上型１１に設けられたストッパ２２が、その先端において下型１２の成形面３０に当接する。それにより、上型１１の成形面２０と下型１２の成形面３０との間隔が一意に定められ、相対する各組のレンズ成形部２１、３１の間隔が規定される。
【００３７】
次いで、図４Ｃに示すように、樹脂材料Ｍにエネルギーを加えて硬化させ、レンズアレイ１を得る。相対する各組のレンズ成形部２１、３１の間でレンズ２が形成される。また、レンズ成形部２１、３１を除く成形面２０、３０の間で連結部３が形成される。そして、上型１１のストッパ２２によって、貫通孔４が形成される。
【００３８】
ストッパ２２は、テーパ状に形成されて抜き勾配を有しているので、上型１１からのレンズアレイ１の離型は容易である。抜き勾配としては、０．２〜１０度、好ましくは０．３〜５度、更に好ましくは０．５〜３度である。なお、ストッパ２２の表面に鏡面仕上げを施して摩擦を低減し、離型性のさらなる向上を図るようにしてもよい。鏡面仕上げはＲｍａｘ２５μｍ以下、好ましくはＲｍａｘ６．３μｍ以下、更に好ましくはＲｍａｘ０．８μｍ以下である。あるいは、樹脂材料Ｍと親和性の低い材料でストッパ２２の表面に被膜を形成するようにして、離型性のさらなる向上を図るようにしてもよい。被膜の材料としては、例えばフッ素系の離型剤を用いることができる。
【００３９】
このように、上型１１の成形面２０と下型１２の成形面３０との間に介在するストッパ２２によって、成形面２０、３０の間隔が一意に定められ、相対する各組のレンズ成形部２１、３１の間隔が規定されるので、高精度に所望の厚みに複数のレンズ２を一括して成形することができる。
【００４０】
図５は、素子アレイ成形型の他の例を示す。
【００４１】
図５に示す成形型１１０は、上型１１１及び下型１１２と、弾性体１１３とを備えている。この成形型１１０は、レンズアレイ１０１を成形する成形型であって、成形されるレンズアレイ１０１は、図１のレンズアレイ１と貫通孔４の数、及び配置を異にするのみであり、共通する要素には共通の符号を付し、説明を省略する。
【００４２】
上型１１１の成形面１２０には、レンズアレイ１０１における複数のレンズ２の配列と同じ並びで、複数のレンズ成形部１２１が碁盤目状に配列されている。レンズ成形部１２１は、レンズ２の一方の光学面２ａを成形する。また、上型１１１の成形面１２０には、複数のストッパ１２２が分散して設けられている。
【００４３】
下型１１２の成形面１３０には、レンズアレイ１０１における複数のレンズ２の配列と同じ並びで、複数のレンズ成形部１３１が碁盤目状に配列されている。レンズ成形部１３１は、レンズ２の他方の光学面２ｂを成形する。
【００４４】
上型１１１において、成形面１２０とは反対側の外表面１２３で、隣り合うレンズ成形部１２１の間にあたる領域の各々には、溝１２４が形成されている。それにより、上型１１１は全体として可撓となっている。換言すれば、各レンズ成形部１２１は、他のレンズ成形部１２１に対して上下に（組みをなすレンズ成形部１３１と相対する方向に）移動可能となっている。複数の溝１２４を外表面１２３に形成することによって、レンズアレイ１０１の形状に影響を及ぼすことなく、上型１１１にフレキシブル性を付与することができる。
【００４５】
弾性体１１３は、上型１１１の外表面１２３に接合されており、外表面１２３を全面に亘って覆っている。弾性体１１３としては、例えば耐熱性に優れるゴム等の材料を用いることができる。
【００４６】
図６は、成形型１１０における複数のストッパ１２２の配置の一例を示す。
【００４７】
図６に示すように、ストッパ１２２は、上型１１１の成形面１２０上で碁盤目状に配列されているレンズ成形部１２１を個々に隔てる格子の各格子点に設けられている。換言すれば、ストッパ１２２は、各レンズ成形部１２１の周囲に少なくとも一つ設けられている。
【００４８】
この成形型１１０を用いたレンズアレイ１０１の成形は、上述の成形型１０を用いたレンズアレイ１の成形と同様にしてなされる。即ち、下型１１２の成形面１３０上に樹脂材料Ｍを供給し、これを上型１１１の成形面１２０と下型１１２の成形面１３０との間で挟んで圧縮し、樹脂材料Ｍを成形面１２０、１３０に倣って変形させる。そして、樹脂材料Ｍにエネルギーを加えて硬化させ、レンズアレイ１０１を得る。相対する各組のレンズ成形部１２１、１３１の間でレンズ２がそれぞれ形成される。また、レンズ成形部１２１、１３１を除く成形面１２０、１３０の間で連結部３が形成される。そして、上型１１１の複数のストッパ１２２によって、複数の貫通孔４が形成される。
【００４９】
上型１１１の成形面１２０と下型１１２の成形面１３０との間にストッパ１２２が介在し、それによって、成形面１２０、１３０の間隔が一意に定められ、相対する各組のレンズ成形部１２１、１３１の間隔が規定されるので、高精度に所望の厚みに複数のレンズ２を一括して成形することができる。
【００５０】
ここで、上型１１１や下型１１２の加工歪、樹脂材料Ｍの圧縮時における上型１１１や下型１１２の加圧変形、樹脂材料Ｍの硬化時における上型１１１や下型１１２の熱変形、等によって成形面１２０、１３０の平面度が低下する場合がある。この場合にも、上型１１１は弾性体１１３を介して圧縮機で加圧され、その圧力が上型１１１の全体に作用し、そして、上型１１１が可撓であることから、上型１１１の複数のストッパ１２２のいずれもが下型１１２の成形面１３０に確実に当接する。それにより、上記の歪や変形に起因する各組のレンズ成形部１２１、１３１の間隔のバラツキが補正され、高精度に所望の厚みに複数のレンズ２を一括して成形することができる。
【００５１】
なお、複数のストッパ１２２は、上型１１１の成形面１２０上で碁盤目状に配列されている複数のレンズ成形部１２１を個々に隔てる格子の各格子点に設けられているものとして説明したが、上記の歪や変形に起因する各組のレンズ成形部１２１、１３１の間隔のバラツキを補正可能な最大ピッチで配置すれば良い。図７に示す例は、同心の略円環状に配置したものである。それにより、ストッパ１２２の数を抑制することができる。
【００５２】
また、成形型１１０を用いて成形されるレンズアレイの連結部３には、上型１１１における複数のストッパ１２２の配置に対応して複数の貫通孔４が形成されるが、上型１１１に多数のストッパ１２２を設けて連結部３に多数の貫通孔４を形成し、それにより、複数のレンズ２をそれらの並び方向に変位可能に相互に連結するようにすることもできる。図８に示すレンズアレイ１０１は、隣り合うレンズ２の間で連結部３に千鳥状に多数の貫通孔４が形成されており、連結部３の伸縮によって複数のレンズ２はそれらの並び方向に変位可能となる。
【００５３】
図９Ａ及び図９Ｂは、図８のレンズアレイ１０１を複数積層してレンズアレイ積層体を形成する過程を示す。
【００５４】
図９Ａは、二つのレンズアレイ１０１が積層される前の状態を示し、一方のレンズアレイ１０１における複数のレンズ２のピッチと、他方のレンズアレイ１０１における複数のレンズ２のピッチとにズレがある場合を示している。従って、積層方向に並ぶ二つのレンズ２の光軸にもズレが生じている。図９Ｂは二つのレンズアレイ１０１が積層された後の状態に示し、各レンズアレイ１０１において、それに含む複数のレンズ２の各々は連結部３の伸縮によってそれらの並び方向に変位可能であることから、二つのレンズアレイ１０１を積層する際に、積層方向に並ぶ二つのレンズ２の光軸を一致させることができる。
【００５５】
図１０は、素子アレイ成形型の他の例を示す。
【００５６】
図１０に示す成形型２１０は、上型２１１及び下型２１２を備えている。この成形型２１０は、図５のレンズアレイ１０１を成形する成形型である。
【００５７】
上型２１１は、複数の型部材２２４と、基板２２５とを有している。
【００５８】
各型部材２２４の一方の表面には、レンズ２の一方の光学面２ａを成形するレンズ成形部２２１が形成され、また、レンズ成形部２２１の周囲にストッパ２２２が一体に形成されている。図示の例では、ストッパ２２２はピンであり、レンズ成形部２２１に関して対象位置に二つ設けられている。これらの型部材２２４は、レンズアレイ１０１における複数のレンズ２の配列と同じ並びで基板２２５上に配列されて基板２２５に接合されている。上型２１１の成形面２２０は、複数の型部材２２４の表面、及び複数の型部材２２４の間に露呈する基板２２５の表面で構成される。
【００５９】
下型２１２は、複数の型部材２３４と、基板２３５とを有している。
【００６０】
各型部材２３４の一方の表面には、レンズ２の他方の光学面２ｂを成形するレンズ成形部２３１が形成されている。これらの型部材２３４は、レンズアレイ１０１における複数のレンズ２の配列と同じ並びで基板２３５上に配列されて基板２３５に接合されている。下型２１２の成形面２３０は、複数の型部材２３４の表面、及び複数の型部材２３４の間に露呈する基板２３５の表面で構成される。
【００６１】
図１１Ａ〜図１１Ｃは、図１０の成形型２１０の製造方法の一例を示す。
【００６２】
図１１Ａ〜図１１Ｃに示す例は、マスター型２２６を用いて、射出成形や圧縮成形などの適宜な方法により複数の型部材２２４を予め作製し、これらの型部材２２４を基板２２５上に並べて上型２１１を製造するものである。同様に、下型２１２もまた、マスター型を用いて複数の型部材２３４を予め作製し、これらの型部材２３４を基板２３５上に並べて製造する。
【００６３】
この成形型２１０を用いたレンズアレイ１０１の成形は、上述の成形型１０を用いたレンズアレイ１の成形と同様にしてなされる。即ち、下型２１２の成形面２３０上に樹脂材料Ｍを供給し、これを上型２１１の成形面２２０と下型２１２の成形面２３０との間で挟んで圧縮し、樹脂材料Ｍを成形面２２０、２３０に倣って変形させる。そして、樹脂材料Ｍにエネルギーを加えて硬化させ、レンズアレイ１０１を得る。
【００６４】
上型２１１の成形面２２０と下型２１２の成形面２３０との間にストッパ２２２が介在し、それによって、成形面２２０、２３０の間隔が一意に定められ、相対する各組のレンズ成形部２２１、２３１の間隔が規定されるので、高精度に所望の厚みに複数のレンズ２を一括して成形することができる。
【００６５】
また、上型２１１の基板２２５や下型２１２の基板２３５に、例えば耐熱性に優れるゴムなどの弾性のあるものを用いて、上型２１１や下型２１２を可撓とすれば、それらの歪や変形に起因する各組のレンズ成形部２２１、２３１の間隔のバラツキを補正することができ、高精度に所望の厚みに複数のレンズ２を一括して成形することもできる。
【００６６】
図１２Ａ及び図１２Ｂは、図１０の成形型２１０の製造方法の他の例を示す。
【００６７】
図１２Ａ及び図１２Ｂに示す例は、基板２２５上で各型部材２２４が配置される位置に成形材料をディスペンサ等で定量供給する。そして、基板２２５とマスター型２２７との間で成形材料を圧縮して型部材２２４を成形する工程を、マスター型２２７を移動させながら繰り返して、上型２１１を製造するものである。同様に、下型２１２もまた、マスター型を用い、基板２３５とマスター型との間で成形材料を圧縮して型部材２３４を成形する工程を、マスター型を移動させながら繰り返して製造する。
【００６８】
図１３は、素子アレイ成形型の他の例を示す。
【００６９】
図１３に示す成形型３１０は、上型３１１及び下型３１２と、弾性体３１３とを備えている。なお、この成形型３１０は、レンズアレイを成形する成形型であって、成形されるレンズアレイは、図５のレンズアレイ１０１同じであり、以下の説明において、適宜レンズアレイ１０１の構成を参照する。
【００７０】
上型３１１は、その全体が薄肉とされており、可撓となっている。上型３１１の成形面３２０には、レンズアレイ１０１における複数のレンズ２の配列と同じ並びで、複数のレンズ成形部３２１が碁盤目状に配列されている。レンズ成形部３２１は、レンズ２の一方の光学面２ａを成形する。
【００７１】
弾性体３１３は、上型３１１の外表面３２３に接合されており、外表面３２３を全面に亘って覆っている。
【００７２】
下型３１２は、複数の型部材３３４と、複数のストッパ３３２と、基板３３５とを有している。
【００７３】
各型部材３３４の一方の表面には、レンズ２の他方の光学面２ｂを成形するレンズ成形部３３１が形成されている。これらの型部材３３４は、レンズアレイ１０１における複数のレンズ２の配列と同じ並びで碁盤目状に基板３３５上に配列されて基板３３５に接合されている。下型３１２の成形面３３０は、複数の型部材３３４の表面、及び複数の型部材３３４の間に露呈する基板３３５の表面で構成される。
【００７４】
各ストッパ３３２は、基板３３５に固定され、成形面３３０より突出している。図示の例では、各ストッパ３３２はピンであって、これらのストッパ３３２は、予め長さを揃えて基板３３５に固定してもよいし、また、基板３３５に固定した後に研削加工等を施して長さを揃えてもよい。
【００７５】
図１４は、図１３の成形型３１０における複数のストッパ３３２の配置を示す。
【００７６】
複数のストッパ３３２の各々は、基板３３５上における複数の型部材３３４の配列に応じて基板３３５上の領域を区画するように設けられている。図示の例では、碁盤目状に配列されている複数の型部材３３４を個々に隔てる格子の各格子点に設けられている。そこで、複数の型部材３３４を予め作製し、これらの型部材３３４を基板３３５上に並べる場合に、ストッパ３３２により各型部材３３４を位置決めして、これらの型部材３３４を基板３３５上に配列することができる。
【００７７】
この成形型３１０を用いたレンズアレイ１０１の成形は、上述の成形型１０を用いたレンズアレイ１の成形と同様にしてなされる。即ち、下型３１２の成形面３３０上に樹脂材料Ｍを供給し、これを上型３１１の成形面３２０と下型３１２の成形面３３０との間で挟んで圧縮し、樹脂材料Ｍを成形面３２０、３３０に倣って変形させる。そして、樹脂材料Ｍにエネルギーを加えて硬化させ、レンズアレイ１０１を得る。
【００７８】
上型３１１の成形面３２０と下型３１２の成形面３３０との間にストッパ３２２が介在し、それによって、成形面３２０、３３０の間隔が一意に定められ、相対する各組のレンズ成形部３２１、３３１の間隔が規定されるので、高精度に所望の厚みに複数のレンズ２を一括して成形することができる。
【００７９】
そして、上型３１１は弾性体３１３を介して圧縮機で加圧され、その圧力が上型３１１の全体に作用し、そして、上型３１１は可撓であることから、下型３１２の複数のストッパ３３２のいずれもが上型３１１の成形面３２０に確実に当接する。それにより、上述の成形型１１０と同様に、上型３１１や下型３１２の歪や変形に起因する各組のレンズ成形部３２１、３３１の間隔のバラツキが補正され、高精度に所望の厚みに複数のレンズ２を一括して成形することができる。さらに、複数のストッパ３３２を基板３３５に固定した後に長さを揃える場合において、複数の型部材３３４の厚みムラを測定し、それを基に各ストッパ３３２の長さを補正するようにすれば、更に高精度に所望の厚みに複数のレンズ２を一括して成形することができる。
【００８０】
上述の例において、下型３１２に設けられるストッパ３３２は、下型３１２を構成する型部材３３４や基板３３５とは別体に形成され、よって、ストッパ３３２には多様な材料を用いることができるが、レンズアレイ１０１を形成する樹脂材料Ｍと親和性の小さい材料であることが好ましい。それによれば、下型３１２からのレンズアレイ１０１の離型が容易となる。樹脂材料Ｍと親和性の小さい材料としては、テトラフルオロエチレン等のフッ素系材料を例示することができ、そのようなフッ素系材料でストッパ３３２全体を形成してもよいし、フッ素系材料でストッパ３３２の表面を被覆するようにしてもよい。
【００８１】
また、型部材３３４の成形材料に熱可塑性、又は熱硬化性の材料を用いる場合には、ストッパ３３２の熱膨張・熱収縮特性を、型部材３２４の熱膨張・熱収縮特性に合わせておくことが好ましい。それによれば、樹脂材料Ｍの硬化時に、樹脂材料Ｍをプレスし続けることができ、レンズ２のヒケを回避することができる。型部材３３４及びストッパ３３２の材料としては、例えばレンズアレイ１０１を形成する樹脂材料Ｍと同じ材料（段落番号〔００１９〕〜〔００２６〕）を用いることができ、その表面を上記のフッ素系材料で被覆することにより、レンズアレイ１０１の離型性を確保することができる。
【００８２】
図１５及び図１６は、図１３の成形型３１０の変形例を示す。なお、図１３の成形型３１０とは下型３１２の構成を異にするのみであるので、上型３１１の図示は省略する。
【００８３】
図１５及び図１６に示す下型３１２は、基板３３５に固定されるストッパ３３２が、複数の型部材３３４の各々の周囲を取り囲む隔壁とされている。そして、ストッパ３３２において、隣り合う型部材３３４を隔てている部分の各々の先端の一部が切り欠かかれている。
【００８４】
この成形型３１０を用いたレンズアレイの成形は、上述の成形型１０を用いたレンズアレイ１の成形と同様にしてなされる。即ち、下型３１２の成形面３３０上に樹脂材料Ｍを供給し、これを上型３１１の成形面３２０（図１３参照）と下型３１２の成形面３３０との間で挟んで圧縮し、樹脂材料Ｍを成形面３２０、３３０に倣って変形させる。そして、樹脂材料Ｍにエネルギーを加えて硬化させ、レンズアレイ１０１を得る。複数のレンズ２は、切り欠き部３３６にて樹脂材料Ｍが硬化してなる連結部３により相互に連結される。
【００８５】
図１７は、図１５の成形型３１０の製造方法の一例を示す。
【００８６】
図１７に示すように、基板３３５上で各型部材３３４が配置される位置はストッパ３３２で囲われており、そこに成形材料をディスペンサ等で定量供給する。そして、基板３３５とマスター型３３７との間で成形材料を圧縮して型部材３３４を成形する工程を、マスター型３３７を移動させながら繰り返して、下型３１２を製造する。このように、基板３３５上で各型部材３３４が配置される位置はストッパ３３２で囲われていることで、非常に低粘度で、かつ基板３３５に対して濡れ性の高い成形材料も用いることができる。
【００８７】
図１８は、素子アレイ成形型の他の例を示す。
【００８８】
図１８に示す成形型４１０は、上型４１１及び下型４１２と、弾性体４１３とを備えている。なお、この成形型４１０は、図５のレンズアレイ１０１を成形する成形型であって、以下の説明において、適宜レンズアレイ１０１の構成を参照する。
【００８９】
上型４１１は、その全体が薄肉とされており、可撓となっている。上型４１１の成形面４２０には、レンズアレイ１０１における複数のレンズ２の配列と同じ並びで、複数のレンズ成形部４２１が碁盤目状に配列されている。レンズ成形部４２１は、レンズ２の一方の光学面２ａを成形する。
【００９０】
弾性体４１３は、上型４１１の外表面４２３に接合されており、外表面４２３を全面に亘って覆っている。
【００９１】
下型４１２は、複数の型部材４３４と、複数のストッパ４３２と、第１の基板４３５ａと、第１の基板４３５ａの下に積層される第２の基板４３５ｂとを有している。
【００９２】
各型部材４３４の一方の表面には、レンズ２の他方の光学面２ｂを成形するレンズ成形部４３１が形成されている。これらの型部材４３４は、レンズアレイ１０１における複数のレンズ２の配列と同じ並びで碁盤目状に第１の基板４３５ａ上に配列されて第１の基板４３５ａに接合されている。下型４１２の成形面４３０は、複数の型部材４３４の表面、及び複数の型部材４３４の間に露呈する第１の基板４３５ａの表面で構成される。
【００９３】
複数のストッパ４３２は、第２の基板４３５ｂに分散して配置されて第２の基板４３５ｂに固定されている。そして、各ストッパ４３２は、第１の基板４３５ａを貫通して成形面４３０より突出している。
【００９４】
第１の基板４３５ａと第２の基板４３５ｂとは、その積層方向に相対移動可能であり、そこで、第１の基板４３５ａと第２の基板４３５ｂとの間にスペーサ４１４を介在させることで、成形面４３０より突出する各ストッパ４３２の成形面４３０からの突出量が調整される。それにより、この成形型４１０を用いたレンズアレイ１０１の成形において、成形面４２０、４３０の間隔を調整して、相対する各組のレンズ成形部４２１、４３１の間隔を種々に規定することができる。
【００９５】
図１９は、図１８の成形型４１０の変形例を示す。
【００９６】
図１９に示す成形型４１０において、第１の基板４３５ａには、第２の基板４３５ｂを貫通する支持棒４３６が設けられている。この支持棒４３６を介して第１の基板４３５ａを第２の基板４３５ｂとは独立に加圧することができる。それによれば、レンズアレイ１０１を形成する樹脂材料Ｍの硬化時に、プレスし続けることが可能となり、レンズ２のヒケの発生を抑制することができる。
【００９７】
以上、説明したように、本明細書に開示された素子アレイ成形型は、一組の型を備え、一組の該型の各々に設けられ相対する一組の成形面の間で成形材料を圧縮して複数の素子が配列された素子アレイに成形する成形型であって、一組の前記成形面の各々には、前記素子を成形する素子成形部が相対するように複数配列されており、前記型の一方又は双方に設けられ、一組の前記成形面の間に介在して一組の該成形面の間隔を規定する少なくとも一つのストッパを備える。
【００９８】
また、本明細書に開示された素子アレイ成形型は、前記ストッパを複数備え、これらのストッパは、一組の前記成形面の間に分散して配置されており、少なくとも一方の前記型が可撓であって、可撓な前記型の前記成形面とは反対側の面は弾性体で支持されている。
【００９９】
また、本明細書に開示された素子アレイ成形型は、可撓な前記型において、前記成形面とは反対側の面で、隣り合う前記素子成形部の間にあたる領域に溝が形成されている。
【０１００】
また、本明細書に開示された素子アレイ成形型は、前記ストッパが設けられた前記型が、前記素子成形部をそれぞれ有する複数の型部材と、複数の該型部材が配列される基板と、を有し、複数の前記型部材の各々に、前記ストッパが一体に形成されている。
【０１０１】
また、本明細書に開示された素子アレイ成形型は、前記ストッパが設けられた前記型が、前記素子成形部をそれぞれ有する複数の型部材と、複数の該型部材が配列される基板と、を有し、前記ストッパは、前記基板に固定されている。
【０１０２】
また、本明細書に開示された素子アレイ成形型は、前記ストッパが、複数の前記型部材の配列に応じて前記基板上の領域を区画するように該基板に設けられており、複数の前記型部材の各々は、前記ストッパにより位置決めされている。
【０１０３】
また、本明細書に開示された素子アレイ成形型は、前記ストッパが、複数の前記型部材の各々の周囲を取り囲む隔壁である。
【０１０４】
また、本明細書に開示された素子アレイ成形型は、前記隔壁において、隣り合う前記型部材を隔てている部分の各々の先端には、切り欠き部が設けられている。
【０１０５】
また、本明細書に開示された素子アレイ成形型は、前記ストッパが設けられた前記型が、前記素子成形部をそれぞれ有する複数の型部材と、複数の該型部材が配列される第１の基板と、該第１の基板の下に積層される第２の基板と、を有し、前記ストッパは、前記第１の基板を貫通して前記第２の基板に固定されており、前記第１の基板及び前記第２の基板は、それらの積層方向に相対移動可能である。
【０１０６】
また、本明細書に開示された素子アレイ成形型は、前記ストッパの熱膨張・収縮特性が、前記型部材の熱膨張・収縮特性と同等である。
【０１０７】
また、本明細書に開示された素子アレイ成形型は、前記ストッパが、抜き勾配を有する。
【０１０８】
また、本明細書に開示された素子アレイ成形型は、前記ストッパの表面を鏡面仕上げされている。
【０１０９】
また、本明細書に開示された素子アレイ成形型は、前記ストッパの表面に前記成形材料と親和性の低い被膜が形成されている。
【０１１０】
また、本明細書に開示された素子アレイ成形型は、前記ストッパが、前記成形材料と親和性の低い材料で形成されている。
【０１１１】
また、本明細書に開示された素子アレイは、上記のいずれかの素子アレイ成形型を用いて成形されている。
【符号の説明】
【０１１２】
１  レンズアレイ（素子アレイ）
２  レンズ（素子）
２ａ、２ｂ  光学面
３  連結部
４  貫通孔
１０  成形型
１１  上型
１２  下型
２０  成形面
２１  レンズ成形部
２２  ストッパ
３０  成形面
３１  レンズ成形部
１０１  レンズアレイ
１１０  成形型
１１１  上型
１１２  下型
１１３  弾性体
１２０  成形面
１２１  レンズ成形部
１２２  ストッパ
１２３  外表面
１２４  溝
１３０  成形面
１３１  レンズ成形部
２１０  成形型
２１１  上型
２１２  下型
２２０  成形面
２２１  レンズ成形部
２２２  ストッパ
２２４  型部材
２２５  基板
２２６  マスター型
２２７  マスター型
２３０  成形面
２３１  レンズ成形部
２３４  型部材
２３５  基板
３１０  成形型
３１１  上型
３１２  下型
３１３  弾性体
３２０  成形面
３２１  レンズ成形部
３２３  外表面
３３０  成形面
３３１  レンズ成形部
３３２  ストッパ
３３４  型部材
３３５  基板
３３６  切り欠き部
３３７  マスター型
４１０  成形型
４１１  上型
４１２  下型
４１３  弾性体
４１４  スペーサ
４２０  成形面
４２１  レンズ成形部
４２３  外表面
４３０  成形面
４３１  レンズ成形部
４３２  ストッパ
４３４  型部材
４３５ａ、４３５ｂ  基板
４３６  支持棒
Ｍ  樹脂材料
【図１】
2011098487.tif 000003
【図２】
2011098487.tif 000004
【図３】
2011098487.tif 000005
【図４】
2011098487.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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