(57)【要約】【課題】無電極蛍光ランプの光束劣化を抑制し、ランプ効率を高める無電極蛍光ランプの製造方法を提供する。【解決手段】バルブ本体と、バルブ本体と接合されるキャビティ形成部と、バルブを保護する保護膜と、紫外線を可視光に変換する蛍光体膜と、キャビティ形成部に設けられた排気細管とを備えた無電極蛍光ランプの製造方法であって、バルブ本体とキャビティ形成部を形成する第１工程（Ｓ１）と、バルブ本体とキャビティ形成部に保護膜と蛍光体膜を塗布する第２工程（Ｓ２）と、蛍光体膜を高温で焼成する第３工程（Ｓ３）と、バルブ本体とキャビティ形成部を接合してバルブを形成する第４工程（Ｓ４）と、バルブ内を高温で真空排気する第５工程（Ｓ５）と、不活性ガスが封入されたバルブにプラズマを発生させ、真空排気を行う第６工程（Ｓ６）と、バルブ内に希ガスと水銀を封入する第７工程（Ｓ７）と、排気細管を封止する第８工程（Ｓ８）とを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電ガスである希ガスおよび水銀が封入された透光性のバルブと、高周波電流が通電されることにより高周波電磁界を発生させる誘導コイルと、バルブの内壁面に被着されバルブを保護する保護膜と、保護膜におけるバルブの内壁面側とは反対側に被着され高周波電磁界の作用による放電ガスの放電により発生した紫外線を可視光に変換する蛍光体膜とを備え、バルブにおける電球状に形成され口金側の端部が開口されたバルブ本体と、バルブ本体以外の部位に、口金側が開放された有底筒状に形成されバルブ本体に挿入されるキャビティ形成部とが、口金側の端部同士を接合することにより構成されており、キャビティ形成部には、一端部がキャビティ形成部の底部に連結されて内部空間がバルブ本体の内部空間に連通し、他端部が封止された排気細管が設けられている無電極蛍光ランプの製造方法であって、バルブ本体とキャビティ形成部とをそれぞれ形成する第１工程と、バルブ本体とキャビティ形成部それぞれに保護膜を形成してから蛍光体膜を塗布する第２工程と、蛍光体膜を大気中にて高温で焼成する第３工程と、バルブ本体とキャビティ形成部とを接合することでバルブを形成する第４工程と、上記他端部が開放された状態の排気細管を通してバルブ内を高温で真空排気する第５工程と、不活性ガスが封入されたバルブに外部からエネルギーを与えることでプラズマを発生させ、真空排気を行うことで蛍光体膜に含まれる水分および不純物を取り除く第６工程と、バルブ内に放電ガスである希ガスおよび水銀を封入する第７工程と、排気細管の上記他端部を封止する第８工程とを有することを特徴とする無電極蛍光ランプの製造方法。
【請求項２】
前記第６工程は、前記不活性ガスが封入された前記バルブに外部からエネルギーを与えることでプラズマを発生させる過程と、前記蛍光体膜に含まれる水分および不純物を取り除き真空排気を行う過程とを同時に行うことを特徴とする請求項１記載の無電極蛍光ランプの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、無電極蛍光ランプの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、無電極蛍光ランプとして、例えば図５に示すように、放電ガスである希ガス（例えば、アルゴンなど）および水銀が封入された透光性のバルブ１と、高周波電流が通電されることにより高周波電磁界を発生させる誘導コイル１５とを備え、バルブ１の内壁面にバルブ１を保護する保護膜３が被着されるとともに、保護膜３におけるバルブ１の内壁面側とは反対側に被着され高周波電磁界の作用による放電ガスの放電により発生した紫外線を可視光に変換する蛍光体膜４が被着され、バルブ１における電球状の外郭（以下、バルブ本体と称する）１ａ以外の部位に、誘導コイル１５を収納するキャビティ５が形成されてなる無電極蛍光ランプが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この種の無電極蛍光ランプのバルブ１は、電球状に形成され口金２側の端部が開口されたバルブ本体１ａと、口金２側が開放された有底筒状に形成されバルブ本体１ａに挿入されるキャビティ形成部１ｂとの口金２側の端部同士を接合することにより構成されており、キャビティ形成部１ｂには、一端部がキャビティ形成部１ｂの底部に連結されて内部空間がバルブ本体１ａの内部空間に連通し、他端部が封止された排気細管７が設けられている。排気細管７内には、バルブ１内に水銀蒸気を供給する水銀アマルガムが収納された金属容器１２が配置され、金属容器１２を排気細管７の上記一端部側と上記他端部側から挟持するように、排気細管７内に設けられたくぼみ部８にて固定される上記一端部側の第１のガラスロッド１１ａと、上記他端部側の第２のガラスロッド１１ｂとが配置されている。ここで、上述の誘導コイル１５は、排気細管７に外装された筒状のフィライトコア１７に巻回されている。また、誘導コイル１５とフィライトコア１７とを具備するカプラ１６がキャビティ形成部１ｂに収納されている。なお、保護膜３および蛍光体膜４は、バルブ１の内壁面の略全面に形成されており、図５ではその一部のみを図示している。この無電極蛍光ランプは、バルブ１内に電極を持たない構造のため、電極劣化による不点灯がなく、一般的に有電極蛍光ランプと比べて長寿命であると言われている。
【０００４】
また、無電極蛍光ランプを点灯させる点灯装置は、例えば図６に示すように、バルブ１内の誘導コイル１５（図５参照）に高周波電流（例えば、周波数が１３．５６ＭＨｚの電流）を供給する電源ユニット２０と、電源ユニット２０と誘導コイル１５とを電気的に接続する管灯線１９と、商用電源からなる交流電源（図示せず）に接続されるプラグ２２と、プラグ２２と電源ユニット２０とを電気的に接続する電源線２１とで構成される。上記交流電源から電源ユニット２０に電力を供給し、電源ユニット２０から誘導コイル１５に上記高周波電流を流すことによって、バルブ１内に高周波電磁界が発生し、高周波電磁界の作用による放電ガスの放電により発生した紫外線が蛍光体膜４（図５参照）によって可視光に変換され、バルブ１の外部へ放射される。
【０００５】
このような無電極蛍光ランプの製造方法としては、例えば図７に示すように、バルブ本体１ａ（図５参照）とキャビティ形成部１ｂ（図５参照）とをそれぞれ形成する工程（Ｓ１）と、バルブ本体１ａとキャビティ形成部１ｂそれぞれに保護膜３（図５参照）を形成してから蛍光体膜４を塗布する塗布工程（Ｓ２）と、蛍光体膜４（図５参照）を大気中にて高温で焼成する焼成工程（Ｓ３）と、バルブ本体１ａとキャビティ形成部１ｂとを接合することでバルブ１を形成する工程（Ｓ４）と、上記他端部が開放された状態の排気細管７を通してバルブ１内を高温で真空排気する真空排気工程（Ｓ５）と、バルブ１内に放電ガスである希ガス（例えば、アルゴンなど）および水銀（アマルガムを含む）を封入する工程（Ｓ７）と、バルブ１内の排気細管７（図５参照）の上記他端部を封止する工程（Ｓ８）とを有する方法が知られている。さらに、上述の各工程は、それぞれ別々の製造装置で行われ、各製造装置はそれぞれ処理時間が異なるので、各工程間に待ち時間が発生する。そのため、待ち時間を調整するために、製造途中の仕掛け品を一時保管する必要が生じ、バルブ１（図５参照）の内部と外部とを連通させる上記他端部が開放された排気細管７から、大気が流入されないようにバルブ１内に不活性ガス（例えば、窒素ガスなど）を封入して保管することが提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平７−２７２６８８号公報
【特許文献２】特開２００７−２９４２６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、図７に示した無電極蛍光ランプの製造方法に上記特許文献２に記載された技術を適用すれば、バルブ１（図５参照）内に不活性ガスを封入してあるので、大気中に含まれる水分がバルブ１内に取り込まれることを防止し、バルブ１の内壁面に形成された蛍光体膜４（図５参照）に水分が吸着されることを防止することができる。しかしながら、上述の製造方法では焼成工程（Ｓ３）にて蛍光体膜４を焼成し、真空排気工程（Ｓ５）にて真空排気を行っているにもかかわらず、真空排気で蛍光体膜４に含まれている有機物などの不純物が除去し切れなかったりして、水分および不純物がバルブ１内に残留し、蛍光体膜４に付着されていることが懸念される。そこで、無電極蛍光ランプの使用時に、蛍光体膜４に残留している水分および不純物が、バルブ１の内部空間に拡散されて不純ガスとなり、無電極蛍光ランプが光束劣化し、無電極蛍光ランプのランプ効率が低下する。また、無電極蛍光ランプが光束劣化するその他の原因としては、蛍光体膜４の経時的な劣化なども考えられる。
【０００８】
なお、蛍光体膜４に含まれている有機物とは、塗布工程（Ｓ２）の作業性を向上するために、蛍光体の粉末と、例えば酢酸ブチルからなる有機溶媒と、例えばニトロセルロースからなる増粘剤とを混合したものからなる。上記有機物をバルブ１の内壁面に塗布した後に、大気中にて高温で蛍光体膜４を焼成すると、上記増粘剤が酸化して、上記有機溶液が蒸発するので、蛍光体膜４からバルブ１内に水分および不純物が排出され、高温にて真空排気を行うことによって、水分および不純物がバルブ１の外部に除去される。
【０００９】
不純ガスの濃度を低減させる方法として、焼成工程（Ｓ３）および真空排気工程（Ｓ５）において、温度を高くする方法や、焼成工程（Ｓ３）および真空排気工程（Ｓ５）の処理時間を長くする方法が考えられるが、焼成工程（Ｓ３）および真空排気工程（Ｓ５）は約４５０度以上の高温で行われるため、蛍光体膜４の性能劣化が懸念され、あまり温度を高くする方法は好ましくなく、できる限り低温で、且つ、短時間で行うのがよい。
【００１０】
また、不純ガスの濃度を低減させる他の方法として、例えば有電極蛍光ランプのバルブ内に配置され、不純ガスを吸着するゲッターを使用する方法が考えられるが、実際にこの方法によって行ったところ、効果は得られなかった。この原因としては、有電極蛍光ランプの場合は、電極寿命を考慮してあまり管壁負荷（入力電力／バルブ内の表面積）を大きくすることが難しい。有電極蛍光ランプの管壁負荷は、通常０．０３〜０．０５［Ｗ／ｃｍ２］である。一方、無電極蛍光ランプの場合は電極がないため、管壁負荷を大きくすることができる。無電極蛍光ランプの管壁負荷は、通常０．１〜０．２［Ｗ／ｃｍ２］である。そのため、無電極蛍光ランプのバルブ１内の表面積が入力電力に対して小さくなるものの、管壁温度が高くなり、有電極蛍光ランプの場合と比較して、多量の不純ガスが蛍光体膜４からバルブ１の内部空間に排出されると考えられる。そのため、これらの不純ガスを吸着するためには、多量のゲッターが必要となる。また、ゲッターの経時的な劣化や無電極蛍光ランプのバルブ１内に多量のゲッターを配置すること等を考慮すると、無電極蛍光ランプにゲッターを使用する方法は適当でないと考えられる。
【００１１】
本発明は上記の事由に鑑みて為されたものであり、その目的は、無電極蛍光ランプの光束劣化を抑制し、ランプ効率を高める無電極蛍光ランプの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１の発明は、放電ガスである希ガスおよび水銀が封入された透光性のバルブと、高周波電流が通電されることにより高周波電磁界を発生させる誘導コイルと、バルブの内壁面に被着されバルブを保護する保護膜と、保護膜におけるバルブの内壁面側とは反対側に被着され高周波電磁界の作用による放電ガスの放電により発生した紫外線を可視光に変換する蛍光体膜とを備え、バルブにおける電球状に形成され口金側の端部が開口されたバルブ本体と、バルブ本体以外の部位に、口金側が開放された有底筒状に形成されバルブ本体に挿入されるキャビティ形成部とが、口金側の端部同士を接合することにより構成されており、キャビティ形成部には、一端部がキャビティ形成部の底部に連結されて内部空間がバルブ本体の内部空間に連通し、他端部が封止された排気細管が設けられている無電極蛍光ランプの製造方法であって、バルブ本体とキャビティ形成部とをそれぞれ形成する第１工程と、バルブ本体とキャビティ形成部それぞれに保護膜を形成してから蛍光体膜を塗布する第２工程と、蛍光体膜を大気中にて高温で焼成する第３工程と、バルブ本体とキャビティ形成部とを接合することでバルブを形成する第４工程と、上記他端部が開放された状態の排気細管を通してバルブ内を高温で真空排気する第５工程と、不活性ガスが封入されたバルブに外部からエネルギーを与えることでプラズマを発生させ、真空排気を行うことで蛍光体膜に含まれる水分および不純物を取り除く第６工程と、バルブ内に放電ガスである希ガスおよび水銀を封入する第７工程と、排気細管の上記他端部を封止する第８工程とを有することを特徴とする。
【００１３】
この発明によれば、バルブ内を高温で真空排気する第５工程とバルブ内に放電ガスである希ガスおよび水銀を封入する第７工程との間に、不活性ガスをバルブ内に封入し、外部からエネルギーを与えてバルブ内にプラズマを発生させて、蛍光体膜に含まれる水分および不純物を排出させ、真空排気を行う第６工程を設けていることによって、バルブ内の不純ガスの濃度を低減することができので、無電極蛍光ランプの光束劣化を抑制することができ、ランプ効率を高めることができる。
【００１４】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記第６工程は、前記不活性ガスが封入された前記バルブに外部からエネルギーを与えることでプラズマを発生させる過程と、前記蛍光体膜に含まれる水分および不純物を取り除き真空排気を行う過程とを同時に行うことを特徴とする。
【００１５】
この発明によれば、前記不活性ガスによりプラズマを発生させる過程と、真空排気を行う過程とを同時に行うことによって、前記蛍光体膜に含まれる水分および不純物を効率的に取り除くことができ、且つ、前記バルブ内の不純ガスの濃度を低減することができるので、無電極蛍光ランプの光束劣化を抑制することができ、ランプ効率を高めることができる。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１の発明では、不活性ガスが封入されたバルブの外部からエネルギーを与えてバルブ内にプラズマを発生させて、バルブ内の蛍光体膜に含まれる水分および不純物を排出させ、真空排気を行うことによって、無電極蛍光ランプの光束劣化を抑制し、ランプ効率を高めることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施形態の無電極蛍光ランプの製造方法を示すフローチャートである。
【図２】同上の無電極蛍光ランプの製造方法における第５工程ないし第８工程を示す概略説明図である。
【図３】同上の無電極蛍光ランプと、従来例を示す無電極蛍光ランプとにおけるランプ効率とランプ点灯時間との相関図である。
【図４】同上の無電極蛍光ランプの製造方法において、他の構成例を用いた第６工程を示す概略説明図である。
【図５】従来例を示す無電極蛍光ランプの概略断面図である。
【図６】同上の無電極蛍光ランプを点灯させる点灯装置の概略説明図である。
【図７】同上の無電極蛍光ランプの製造方法を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本実施形態における無電極蛍光ランプの製造方法について、図１〜図２を参照しながら説明するが、無電極蛍光ランプの構造は、図５に示した従来例の無電極蛍光ランプと同じなので、図５に示した従来例と同様の構成要素には同一の符号を付して説明する。
【００１９】
本実施形態の無電極蛍光ランプの製造方法は、図１に示すように、バルブ本体１ａとキャビティ形成部１ｂとをそれぞれ形成する第１工程（Ｓ１）と、バルブ本体１ａとキャビティ形成部１ｂそれぞれに保護膜３を形成してから蛍光体膜４を塗布する第２工程（Ｓ２）と、蛍光体膜４を大気中にて高温で焼成する第３工程（Ｓ３）と、バルブ本体１ａとキャビティ形成部１ｂとを接合することでバルブ１を形成する第４工程（Ｓ４）と、上記他端部が開放された状態の排気細管７を通してバルブ１内を高温で真空排気する第５工程（Ｓ５）と、不活性ガス（例えば、アルゴンなど）が封入されたバルブ１内に外部からエネルギーを与えることでプラズマを発生させ、真空排気を行うことで蛍光体膜４に含まれる水分および不純物を取り除く第６工程（Ｓ６）と、バルブ１内に放電ガスである希ガス（例えば、アルゴンなど）および水銀を封入する第７工程（Ｓ７）と、バルブ１内の排気細管７の上記他端部を封止する第８工程（Ｓ８）とを有する。
【００２０】
以下に、本実施形態における無電極蛍光ランプの製造方法の手順を詳述する。
【００２１】
まず、第１工程（Ｓ１）では、バルブ本体１ａ、キャビティ形成部１ｂを透光性材料により形成するが、バルブ本体１ａの形成過程とキャビティ形成部１ｂの形成過程との順序は限定するものではない。
【００２２】
第２工程（Ｓ２）では、まず、例えば水とポリエチレンオキサイドとの溶液に二酸化珪素（シリカ）を混合した懸濁液（以下、スラリーと称する）を、バルブ本体１ａの内壁面およびキャビティ形成部１ｂの外壁面に沿うように垂れ流して塗布する。次に、塗布した上記スラリーに空気を吹き付けて上記スラリーを乾燥させることにより保護膜３を形成する。それから、蛍光体（青色蛍光体、緑色蛍光体および赤色蛍光体の混合物）の粉末と、例えば酢酸ブチルからなる有機溶媒と、例えばニトロセルロースからなる増粘剤とを混合した混合液を、保護膜３に積層するように垂れ流して塗布する。そして、塗布した上記混合液に空気を吹き付けて上記混合液を乾燥させることで蛍光体膜４を形成する。
【００２３】
第３工程（Ｓ３）では、まず、蛍光体膜４を大気中にて高温（例えば、４５０度）で焼成することにより、蛍光体膜４に含まれる上記増粘剤を酸化させ、上記有機溶液を蒸発させて、蛍光体膜４から水分および不純物を排出する。
【００２４】
第４工程（Ｓ４）では、バルブ本体１ａとキャビティ形成部１ｂとを接合することでバルブ１を形成する。
【００２５】
第５工程（Ｓ５）では、図２に示すように、上記他端部が開放された状態の排気細管７を通してバルブ１内を高温で真空排気を行う。
【００２６】
第６工程（Ｓ６）では、まず、図２に示すように、バルブ１内に排気細管７を通して不活性ガス（例えば、アルゴンなど）を封入する。次に、バルブ１の最大外径付近に巻回された誘導コイル２４に高周波電力装置２５から高周波電流（例えば、周波数が１３．５６ＭＨｚの電流）を通電することによって、バルブ１内に高周波電磁界を発生させ、バルブ１内の不活性ガスを励起させることで、バルブ１内にプラズマを発生させる（図２中の一点鎖線）。このプラズマによって発生した不活性ガスによるイオンが蛍光体膜４に含まれている水分および不純物の原子または分子に衝突する効果（スパッタ効果）を用いることによって、蛍光体膜４に残留している水分および不純物がバルブ１の内部空間に排出される（以下、プラズマ洗浄と称する）。それから、上述のプラズマが発生している状態で、真空排気を行う真空装置２３にて、バルブ１の外部に排気細管７を通って水分および不純物を真空排気する。なお、プラズマ洗浄用の不活性ガスはアルゴンに限らず、例えばネオン、クリプトン、キセノンなどであってもよい。但し、バルブ１内に封入されたプラズマ洗浄用の不活性ガスが蛍光体膜４に侵入することがあるため、プラズマ洗浄用の不活性ガスは、最終的にバルブ１内に封入される希ガスと同じものがよい。
【００２７】
第７工程（Ｓ７）では、図２に示すように、バルブ１内に排気細管７を通して、放電ガスである希ガス（例えば、アルゴンなど）および水銀（アマルガムを含む）を導入し、排気細管７に第１のガラスロッド１１ａ、金属容器１２、第２のガラスロッド１１ｂを順次挿入する。
【００２８】
第８工程（Ｓ８）では、図２に示すように、バルブ１内の排気細管７の上記他端部を封止し、バルブ１のキャビティ形成部１ｂにより形成されているキャビティ５にフィライトコア１７に巻回された誘導コイル１５を具備したカプラ１６を収納し、バルブ１に口金２を取り付けて、無電極蛍光ランプが形成される。
【００２９】
以上説明した本実施形態の無電極蛍光ランプの製造方法では、バルブ１内を高温で真空排気する第５工程とバルブ１内に放電ガスである希ガスおよび水銀を封入する第７工程との間に、プラズマ洗浄用の不活性ガスをバルブ１内に封入し、外部からエネルギーを与えてバルブ１内にプラズマを発生させて、蛍光体膜４に含まれる水分および不純物を取り除き、真空排気を行うことによって、バルブ１内の不純ガスの濃度を低減することができので、無電極蛍光ランプの光束劣化を抑制することができ、ランプ効率を高めることができる。
【００３０】
ここにおいて、本実施形態では、上述の説明から分かるように、プラズマ洗浄用の不活性ガスが封入されたバルブ１に外部からエネルギーを与えることでプラズマを発生させる過程と、蛍光体膜４に含まれる水分および不純物を取り除き真空排気を行う過程とを同時に行うようにしている。
【００３１】
本実施形態における第６工程（Ｓ６）では、プラズマ洗浄用の不活性ガス（例えば、アルゴンなど）が励起されて発生したプラズマをバルブ１内で発生させたまま、真空排気を行うことによって、蛍光体膜４に残留している水分および不純物を効率的にバルブ１の外部に排出することができる。また、水分および不純物を取り除くことによって、バルブ１内の不純ガスの濃度を低減することができので、無電極蛍光ランプの光束劣化を抑制することができ、ランプ効率を高めることができる。
【００３２】
一実施例として、上述の第６工程において、プラズマ洗浄用の不活性ガスであるアルゴンを所定の圧力（例えば、約４０Ｐａ）でバルブ１内に封入し、バルブ１の最大外径（外径１１０ｍｍ）付近に１回巻回された誘導コイル２４に高周波電力装置２５（電力１００Ｗ）から高周波電流（周波数が１３．５６ＭＨｚの電流）を約１０分間通電し、アルゴンが励起されて発生したプラズマをバルブ１内で発生させたまま（ランプが点灯したまま）、真空装置２３にて真空排気を行い、ランプが消灯した後（約１分後）に、再度アルゴンをバルブ１内に封入して、同様の作業を少なくとも３回行った無電極蛍光ランプを作製した。なお、プラズマ洗浄用の不活性ガスであるアルゴンによってプラズマ洗浄を行う場合、プラズマ洗浄用の不活性ガスを高圧（例えば、約６７Ｐａ）にするとアーク放電が起こらず、プラズマの発光領域（図２中の一点鎖線）が大きくならない場合がある。この作業にて形成された定格が５０Ｗの無電極蛍光ランプと、従来例の製造方法（図７参照）で形成された定格が５０Ｗの無電極蛍光ランプとの２個ずつについて、ランプ点灯時間が０時間、１００時間、２００時間においてランプ効率を測定し、結果を図３に示した。
【００３３】
本実施形態の無電極蛍光ランプの製造方法で形成された実施例の無電極蛍光ランプおよび従来例の製造方法で形成された無電極蛍光ランプにおけるランプ効率（光束／ランプ入力電力）とランプ点灯時間との相関関係は、図３に示すように、従来例の製造方法で形成された無電極蛍光ランプ（図３では、ハおよびニ）は、ランプ点灯時間が０時間の場合、ランプ効率が約８６［ｌｍ／Ｗ］であるが、ランプ点灯時間が１００時間の場合、ランプ効率が約８１［ｌｍ／Ｗ］と、約５［ｌｍ／Ｗ］低下した。一方、本実施形態の無電極蛍光ランプの製造方法で形成された実施例の無電極蛍光ランプ（図３では、イおよびロ）は、ランプ点灯時間が０時間の場合、ランプ効率は約８７［ｌｍ／Ｗ］であるが、ランプ点灯時間が１００時間の場合、ランプ効率が約８４［ｌｍ／Ｗ］と、約３［ｌｍ／Ｗ］低下した。したがって、本実施形態の無電極蛍光ランプの製造方法で形成された無電極蛍光ランプは、従来例の製造方法で形成された無電極蛍光ランプと比較して、ランプ点灯時間が１００時間の場合において、ランプ効率が約３［ｌｍ／Ｗ］向上したことになる。したがって、本実施形態の無電極蛍光ランプの製造方法の第６工程（Ｓ６）において、蛍光体膜４に残留している水分および不純物を取り除くことによって、バルブ１内の不純ガスの濃度を低減することができるので、無電極蛍光ランプの光束劣化が抑制されたと考えられる。なお、定格が５０Ｗの無電極蛍光ランプに１００Ｗの高周波電力を印加したが、無電極蛍光ランプが無電極であり、高負荷による電極劣化がないため、実施することができる。
【００３４】
また、通常、蛍光ランプは有電極や無電極にかかわらず、最初の点灯時から１００時間経過した時点までに無電極蛍光ランプの光束劣化が大きいと言われている。そのため蛍光ランプの明るさが急激に変化しないように、ランプ点灯時間が１００時間点灯した時点でのランプ効率をランプ点灯時間が０時間のランプ効率として、カタログなどにエネルギー消費効率（ランプの光束値）で記載されている。なお、最初の点灯時から１００時間経過した時点のランプ効率は、ランプ点灯時間が０時間のランプ効率よりも数％ほど劣化すると一般的に言われている（但し、蛍光ランプによって異なる）。
【００３５】
また、本実施形態の無電極蛍光ランプの製造方法の第６工程において、プラズマ洗浄を行う方法として、誘導コイル２４に高周波電力装置２５から高周波電流を通電されることによって、バルブ１内に高周波電磁界を発生させ、バルブ１内のプラズマ洗浄用の不活性ガスが励起し、バルブ１内にプラズマを発生させているが、例えば図４に示すように、テスラーコイルなどの高電圧発生装置２８を用いて、バルブ１の最大外径付近に外装された金属リング２７に、高電圧発生装置２８から電線２９を介して均等になるように高電圧を印加する方法であってもよい。
【００３６】
以上説明した本実施形態の無電極蛍光ランプの製造方法では、不活性ガスによりプラズマを発生させる工程と、真空排気を行う工程とを同時に行うことによって、蛍光体膜４に含まれる水分および不純物を効率的に取り除くことができ、且つ、バルブ１内の不純ガスの濃度を低減することができるので、無電極蛍光ランプの光束劣化を抑制することができ、ランプ効率を高めることができる。
【符号の説明】
【００３７】
１  バルブ
１ａ  バルブ本体
１ｂ  キャビティ形成部
２  口金
３  保護膜
４  蛍光体膜
５  キャビティ
７  排気細管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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