(57)【要約】      （修正有）【課題】配向膜印刷用スタンパー並びにその製造方法及びその製造システムを提供する。【解決手段】共にロール状のベースフィルム102とネガティブフィルム104との間に感光性樹脂が塗布された印刷フィルム積層物（以後ＰＦと略称）を供給する材料供給部100と、上記ＰＦの厚さを調整する厚さ調整部300と、上記ＰＦの上面に位置するガラス固定板410と、上記ガラス固定板上側に位置する上面ＵＶ照射装置420と、上記ＰＦの下面に位置し上記ガラス固定板との間隔調整を通じて製品の厚さを決定する厚さ調整板430と、上記厚さ調整板の一部領域の高さ微細調整を通じて上記ガラス固定板と厚さ調整板との間の平坦度を調節する平坦度調節部440を備える上面露光部400を含み、上記ＰＦが材料供給部から上面露光部に引出されることを特徴とする配向膜印刷用スタンパー製造システム及びこれを通じて製作された配向膜印刷用スタンパー。【選択図】図３
2011242778.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロール状のベースフィルムとロール状のネガティブフィルムとの間に感光性樹脂が積層された印刷フィルム積層物を供給する材料供給部；
上記印刷フィルム積層物の厚さを調整する厚さ調整部；及び
上記印刷フィルム積層物の上面に位置する上面ガラスと、
上記上面ガラス上側に位置し、延長された棒状の複数のＵＶランプを含む上面ＵＶ照射装置と、
上記印刷フィルム積層物の下面に位置し、上記上面ガラスとの間隔調整を通じて配向膜印刷用スタンパー厚さを決定する厚さ調整板と、
上記厚さ調整板の一部領域の高さ微細調整を通じて上記上面ガラスと厚さ調整板との間の平坦度を調節する平坦度微細調節部と、
を備える上面露光部；
を含み、
上記印刷フィルム積層物が、上記材料供給部から上記上面露光部へ引出され、
上記ＵＶランプの延長方向軸と上記印刷フィルム積層物の移動方向軸との間の方向角が、２０度乃至８５度であることを特徴とする、
配向膜印刷用スタンパー製造システム。
【請求項２】
上記平坦度微細調節部は、
上記厚さ調整板の下側に配置される下側板；
上記下側板と厚さ調整板との間を結合させる結合部材；及び
上記下側板を貫いて上記厚さ調整板の下側面に密着された変形部材を含むことを特徴とする、
請求項１に記載の配向膜印刷用スタンパー製造システム。
【請求項３】
上記結合部材及び上記変形部材として、ボルト又はナットが使用され、
上記変形部材は、μｍ単位で上昇及び下降することを特徴とする、
請求項２に記載の配向膜印刷用スタンパー製造システム。
【請求項４】
上記ＵＶランプの延長方向軸と、上記印刷フィルム積層物の移動方向軸との間の方向角が３０度乃至４５度であることを特徴とする、請求項１に記載の配向膜印刷用スタンパー製造システム。
【請求項５】
上記材料供給部から提供された上記ベースフィルムの隣接領域の感光性樹脂の一部を露光する下面露光部と、
上記上面露光部から引出された配向膜印刷用スタンパーを引出す引出部と、
をさらに含むことを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の配向膜印刷用スタンパー製造システム。
【請求項６】
ベースフィルム上に感光性樹脂を塗布し、感光性樹枝上にネガティブフィルムを配置する段階と；
上記ベースフィルムの下側からベースフィルム方向にＵＶ光を照射してベースフィルム上面に位置した感光性樹脂の一部を硬化させる段階と；
上記ベースフィルムとネガティブフィルムとを加圧して厚さを調節する段階と；
上記ネガティブフィルムの上側領域でＵＶ光を照射し、硬化されていない感光性樹脂を硬化させる一方で、ネガティブフィルムの上側をガラス板に加圧し、ベースフィルムを金属性板に加圧し、目標とする配向膜印刷用スタンパーの厚さになるように上記金属性板の一部の高さを調節し、ＵＶ光を発散するＵＶランプの延長方向軸をフィルムの移動方向軸に対して２０度乃至８５度斜めに配置してＵＶ光を照射する段階と；
を含むことを特徴とする、配向膜印刷用スタンパーの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配向膜印刷用スタンパー並びこれの製造方法及びこれの製造システムに関するもので、液晶表示素子（Liquid  Crystal  Display  Device;  LCD）に用いられる配向膜印刷のためのスタンパー製品の厚さ精密度と印刷の厚さ精密度を向上させる配向膜印刷用スタンパーとこれの製造システムそして、スタンパーを利用して製作された液晶表示装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
通常、液晶表示素子（Liquid  Crystal  Display;  LCD）は、電界を利用して液晶の光透過率を調節することによって画像の表示を実現する。
【０００３】
これのために、液晶表示素子は、液晶セルがマトリックス状に配列された液晶パネルと、この液晶パネルを駆動するための駆動回路を備えるように構成される。液晶パネルには、液晶セルそれぞれに電界を印加するための画素電極と共通電極が設けられる。通常、画素電極は、下部基板に液晶セルごとに形成される一方、共通電極は上部基板の全面に形成される。
【０００４】
下部基板の画素電極それぞれは、スイッチング素子で用いられる薄膜トランジスター（Thin  Film  Transistor：TFT）に接続される。画素電極は、薄膜トランジスターを通じて供給されるデータ信号によって共通電極とともに液晶セルを駆動する。
【０００５】
図１は、従来技術による液晶表示素子の断面図である。
【０００６】
図１を参照すると、従来の液晶表示素子は、上部基板（11）上に順次に形成されるブラックマットリックス（32）、カラーフィルター（30）及び透明電極（28）により構成される上板と、下部基板（1）上に形成される薄膜トランジスター及び画素電極（22）により構成される下板と、上板と下板との間に形成されるスペーサー（26）と、上板及び下板の間のスペーサー（26）によって設けられる内部空間に注入される液晶（38）と、を備える。
【０００７】
上板において、ブラックマットリックス（32）は、上部基板（11）上にマトリックス状に形成され、上部基板（11）の表面をカラーフィルター（30）が形成される多数のセル領域に分離し、隣接セル間の光干渉を防止する役割を演じる。このブラックマットリックス（32）が形成された上部基板（1）上に赤、緑、青三原色のカラーフィルター（30）が順次に形成される。この場合、三原色のカラーフィルター（30）それぞれは、ブラックマトリックス（32）が形成された上部基板（1）の全面に白色光源を吸収し特定波長（赤色、緑、または青色）の光のみを透過させる物質を塗布した後、パターニングすることによって形成される。ブラックマトリックス（32）及びカラーフィルター（30）が形成された上部基板（1）上に、グランド電位が供給される透明導電膜である透明電極（28）を塗布し、上板を完成するようになる。
【０００８】
下板で液晶セルの駆動をスイッチングする薄膜トランジスターは、ゲートライン及びデータラインの交差部に形成され、データライン及びゲートラインの中で少なくともいずれか１つに重畳される画素電極（22）は、マトリックス状に配列され下部基板（1）上に形成される。下部基板（1）上に金属膜を塗布した後パターニングすることによって、ゲートラインとゲート電極とが形成される。ゲートライン及びゲート電極を覆うように下部基板上に全面蒸着してゲート絶縁膜（12）が形成される。ゲート絶縁膜（12）上に、第１及び第２半導体物質（14、16）を順次に蒸着した後、パターニングすることによって、活性層（14）と抵抗接点層（ohmic  contact）（16）とが形成される。次いで、ゲート絶縁膜（12）上に、金属膜を塗布した後、パターニングすることによって、データライン、ソース電極（8）及びドレイン電極（10）を形成した後、所定サイズのチャンネルを形成するために抵抗接点層（16）をエッチングして活性層（14）を露出させる。そして、ゲート絶縁膜上に有機物保護膜（18）をスピンコーティング（spin  coating）によって表面が平坦となるように蒸着した後、パターニングすることによって、ドレイン電極（10）が露出するようにコンタクトホール（20）が形成される。次に、保護層（18）上に透明電導性物質を塗布してパターニングすることによって、ドレイン電極（10）と電気的に接続される画素電極（22）が形成される。画素電極（22）が形成された下部基板（1）の全面に配向膜（24）を塗布した後、ラビング（rubbing）工程を行って下板が完成される。
【０００９】
以後、上板と下板を定位置させて合着した後、球形状のスペーサー（26）を散布した後、液晶を注入して封止することによって、液晶表示素子が完成される。
【００１０】
上記のように、完成された液晶表示装置を光学素子に活用するためには、液晶分子を特定方向に配向させなければならないので、通常の液晶分子は局所的のみで配向する。従って、液晶分子を特定方向に配向させるために、配向膜と呼ばれる有機高分子膜をＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）電極上に人為的に形成する。このために、配向膜は、配向液、例えば、ポリアミド酸（Polyamic  acid）、可溶性ポリイミドなどを基板上に塗布し硬化してポリイミド化した後、ラビングすることによって形成される。
【００１１】
具体的に、配向膜印刷方法は、配向膜印刷装置を利用して基板上面に配向液を印刷し、上記配向液を60℃〜80℃程度の温度で加熱し１次硬化した後、さらに高い80℃〜200℃程度の温度で加熱し２次硬化する。その後、配向液の表面にラビングまたは光照射して配向膜を形成する。
【００１２】
図２は、従来技術による配向膜印刷装置の概念図である。
【００１３】
図２を参照すると、一般的な液晶表示装置の配向膜印刷装置は、配向液を供給するディスペンサー（56）と、印刷マスク（52）に取り囲まれて配向液を液晶表示素子基板（50）上面に印刷する印刷ロール（51）と、印刷マスク（52）に配向液を接着させるアニロックスロール（53）と、ディスペンサー（56）で提供した配向液をアニロックスロール（Anilox  Roll;53）に付けるドクターロール（Doctor  Roll;54）と、液晶表示素子基板（50）がローディングされ、安着されるステージ（58）と、液晶表示素子基板（50）をステージ（58）上にローディングさせるローディング装置（60）と、配向膜が印刷された液晶表示素子基板（50）をステージ（58）上でアンローディング（unloading）させるアンローディング装置（62）とを備える。
【００１４】
液晶表示素子基板（50）は、ローディング装置（60）によって、ステージ（58）上にローディングされた後、配向膜印刷が完了すれば、アンローディング装置（62）によってステージ（58）上からアンローディングされる。ステージ（58）は、図示しない駆動モーターに接続され、回転する駆動ローラー（59）によって一方向に移送される。
【００１５】
ディスペンサー（56）は、アニロックスロール（53）上に設置され、図示しない駆動装置によって、左右に動いて配向液をアニロックスロール（53）の外周面に供給する。ドクターロール（54）は、当該ドクターロールの外周面がアニロックスロール（53）の外周面と接触された状態でディスペンサー（56）から供給された配向液をアニロックスロール（53）の外周面に全部付けられるようにする役割を演じる。
【００１６】
印刷マスク（52）は、ゴム材質として印刷ロール（51）の外周面に付着される。このような、印刷マスク（52）は、印刷ロール（51）の回転によって、アニロックスロール（53）の外周面と接触されることによって、アニロックスロール（53）の外周面に印刷した配向液を液晶表示素子基板（50）上に印刷する。
【００１７】
このような従来の配向膜印刷装置及び方法は、左右に動いて配向液を供給するディスペンサー（56）によって、配向液、例えば、ポリイミド（polyimide）溶液をドクターロール（54）とアニロックスロール（53）との間に溜まるようにした後、ドクターロール（54）とアニロックスロール（53）の回転によって、下に流れた後、印刷ロール（51）の外周面に巻かれた印刷マスク（52）に接着される。この時、印刷ロール（51）が回転し始めれば、駆動モーターに電源が印加され、駆動ローラー（59）が回転するようになる。駆動ローラー（59）の回転によって、液晶表示素子基板（50）がローディングされたステージ（58）が一定な速度を有して、一方向に移送される。ここで、印刷ロール（51）の回転速度とステージ（57）の動作速度は、同一に設定される。
【００１８】
配向液が全部接着された印刷マスク（52）は、印刷ロール（51）の回転により回転しながらステージ（58）によって、移送される液晶表示素子基板（50）と接触され、液晶表示素子基板（50）の表面に薄い厚さの配向液を印刷する。
【００１９】
液晶表示素子基板（50）上に、配向膜印刷が完了すれば、アンローディング装置（62）は、ステージ（58）上に安着された液晶表示素子基板（50）を外部にアンローディングさせるようになる。この時、ステージ（58）は、アンローディング装置（62）によって、液晶表示素子基板（50）がアンローディングされた後、駆動ローラー（59）の逆回転によって、ローディング装置（60）方に後進して復帰するようになる。次いで、前述したような過程によって配向液を他の基板（50）上に印刷する。
【００２０】
勿論、他の方法では配向膜を印刷過程を通じて透明電極とカラーフィルターを備えた基板に印刷することができる。フレキソ印刷のようにスタンパーに対応する配向膜が印刷するようにできる。
【００２１】
このような配向膜印刷用スタンパーの製造技術は、多様な技術が開発されつつある。
【００２２】
特に、最近では、ＵＶ（ultraviolet）感光性樹脂を利用し、配向膜を印刷するスタンパー製造技術が脚光を浴びている。
【００２３】
これは、第１ガラス基板にベースフィルムを敷いて、その上部に液状のＵＶ感光性樹脂を塗布した後、薄膜の透明なカバーフィルムと透光と非透光領域を有するイメージフィルムを積層し、第２ガラス基板を積層する。
【００２４】
次いで、上記フィルムの外側でＵＶ照射装置を通じてＵＶ光を所定時間照射する。この時、ＵＶ照射によって、イメージフィルムの透光領域内のＵＶ感光性樹脂が硬化され、非透光性領域には硬化されない。
【００２５】
次いで、カバーフィルムとイメージフィルムを除去し、硬化されない樹脂を除去して配向膜印刷用スタンパーを製造する。
【００２６】
しかし、このような従来の液晶表示素子の配向膜印刷用スタンパーは、そのサイズを大きくすることができない短所があった。
【００２７】
なお、ベースフィルムと液状ＵＶ感光性樹脂及びカバーフィルムとイメージフィルムなどの材料を、第１ガラス基板と第２ガラス基板間に固定配置した状態でスタンパーを製造するので、スタンパーの連続製造が不可能な問題点があった。
【００２８】
また、２つのガラス基板の間で製品が硬化されながらその厚さが決定される。しかし、現在のガラス加工技術においては、ガラス２枚間の間隔の±30μｍの誤差を減らせない実情である。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２９】
従って、本発明は、上記の問題の少なくとも１つを解決するために創出されたもので、既存のシステムから脱却し、材料供給、下面露光、厚さ調整、上面露光及び分散処理するシステムを通じて製品の引出方法として配向膜印刷用スタンパーを製造するによって、スタンパーを連続製造することができる配向膜印刷用スタンパー並びこれの製造方法及びこれの製造システムを提供するものである。
【００３０】
また、本発明は、厚さ調整部に厚さ調整のため微細調整部を設置し、上面露光部を通じて製品のサイズ及び厚さ精密度を向上させる配向膜印刷用スタンパー並びこれの製造方法及びこれの製造システムを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００３１】
本発明によるロール状のベースフィルムとロール状のネガティブフィルムとの間に感光性樹脂を積層する材料供給部;上記積層された部位中、ベースフィルム部位をＵＶ硬化させる下面露光部;上記積層されて下面露光された部位の厚さを調節する厚さ調整部;上記厚さを調整した部位を微細調整して精密な厚さを維持させ、ＵＶ光線でパターンを硬化する上面露光部;上記各部分を一定な速度で引き出す製品引出部を特徴とする配向膜印刷用スタンパー製造システムを提供する。
【００３２】
上記上面露光部は、上記印刷フィルム積層物の上面に位置する上面ガラスと、上記上面ガラス上側に位置する上面ＵＶ照射装置と、上記印刷フィルム積層物の下面に位置し、上記上面ガラスとの間隔調整を通じて製品の厚さを決定する厚さ調整板と、上記厚さ調整板の一部領域の高さ微細調整を通じて上記上面ガラスと厚さ調整板との間の平坦度を調節する平坦度微細調節部を備える。
【００３３】
上記平坦度調節部は、上記厚さ調整板の下側に配置される下側板;上記下側板と厚さ調整板との間を結合させる結合部材;及び上記下側板を貫いて上記厚さ調整板の下側面に密着された変形部材を含むことを特徴とする。
【００３４】
上記結合部材と上記変形部材でボルト又はナットを使用し、上記変形部材はμｍ単位で上昇及び下降することを特徴とする。
【００３５】
上記上面ＵＶ照射装置は、延長された棒状の複数のＵＶランプを含み、上記ＵＶランプの延長方向軸と、上記印刷フィルム積層物の移動方向軸との間の角度が20度乃至85度であることを特徴とする。
【００３６】
また、本発明は、ロール状のベースフィルムとロール状のネガティブフィルムとの間に感光性樹脂が塗布された印刷フィルム積層物を供給する材料供給部;上記印刷フィルム積層物の厚さを調整する厚さ調整部;上記印刷フィルム積層物の上面に位置するガラス固定板と、上記ガラス固定板上側に位置する複数の棒タイプのＵＶランプを備え、上記ＵＶランプが上記印刷フィルム積層物の引出方向に対して斜めに配置された上面ＵＶ照射装置と、上記印刷フィルム積層物の下面に位置し、上記ガラス固定板との間隔調整を通じて製品の厚さを決定する厚さ調整板と、上記厚さ調整板の一部領域の高さ微細調整を通じて上記ガラス固定板と厚さ調整板との間の平坦度を調節する平坦度調節部を備える上面露光部を含み、上記印刷フィルム積層物が材料供給部から上面露光部に引出される配向膜印刷用スタンパー製造システムを提供する。
【００３７】
上記ＵＶランプの延長方向軸と、上記印刷フィルム積層物の移動方向軸との間の方向角が20度乃至85度であるものを特徴とする。
【００３８】
上記材料供給部から提供された上記ベースフィルム隣接領域の感光性樹脂一部を露光する下面露光部と、上記上面露光部から引出された製品を引き出す引出部をさらに含むことを特徴とする。
【００３９】
ベースフィルムとネガティブフィルムとの間に感光性樹脂が位置する製品の厚さ誤差が±30μｍ以内であることを特徴とする配向膜印刷用スタンパーを提供する。
【００４０】
上記厚さ誤差が±5μｍ乃至±10μｍであることを特徴とする。
【００４１】
ベースフィルム上に感光性樹脂を塗布し、感光性樹枝上にネガティブフィルムを配置する段階;上記ベースフィルムの下側からベースフィルム方向にＵＶ光を照射し、ベースフィルム上面に位置した感光性樹脂一部を硬化させる段階;上記ベースフィルムとネガティブフィルムを加圧して厚さを調節する段階;及び上記ネガティブフィルム上側領域でＵＶ光を照射して硬化されていない感光性樹脂を硬化させる一方で、ネガティブフィルムの上側をガラス板に加圧し、ベースフィルムを金属性板に加圧し、目標とする製品の厚さになるように上記金属性板の一部の高さを調節し、ＵＶ光を発散するＵＶランプをフィルムの移動方向軸に対して斜めに配置し、ＵＶ光を照射する段階を含むことを特徴とする配向膜印刷用スタンパーの製造方法を提供する。
【発明の効果】
【００４２】
上述したように、本発明は材料供給、下面露光、上面露光及び厚さ調整を分散処理するシステムを通じて製品の引出方法として配向膜印刷用スタンパーを製造してスタンパーを連続に作られる。
【００４３】
また、露光時、厚さを調整する微細調整部を設置し、上面露光部のランプ位置調整を通じて製品のサイズ及び厚さ精密度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】従来技術による液晶表示素子の断面図である。
【図２】従来技術による配向膜印刷装置の概念図である。
【図３】本発明の一実施例による配向膜印刷用スタンパー製造システムの図面である。
【図４】一実施例による下面露光部の図面である。
【図５】一実施例による厚さ調節部の図面である。
【図６】一実施例による上面露光部の図面である。
【図７】一実施例による上面露光部の概念図である。
【図８】一実施例による上面露光部の厚さ微細調整板と平坦度調節部間の連結関係を説明するための一部平面図である。
【図９】一実施例による上面ＵＶ照射装置の斜視図である。
【図１０】一実施例による上面ＵＶ照射装置に対する平面概念図である。
【図１１】ＵＶ照射装置の位置別光量を説明するための図面である。
【図１２】ＵＶ照射装置の位置別光量を説明するための図面である。
【図１３】上部露光まで完了した製品の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４５】
以下、添付された図面を参照しながら、本発明の実施例をさらに詳細に説明する事にする。しかし、本発明は、以下で開示される実施例に限られるものではなく、多様な形態で具現されてよい。但し、本実施例は本発明の開示が完全になるようにし、通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されるものである。図面上において、同一符号は、同一な要素を指称する。
【００４６】
図３は、本発明の一実施例による配向膜印刷用スタンパー製造システムの図面であり、図４は、一実施例による下面露光部の図面であり、図５は、一実施例による厚さ調節部の図面であり、図６は、一実施例による上面露光部の図面であり、図７は、一実施例による上面露光部の概念図であり、図８は、一実施例による上面露光部の厚さ微細調整板と平坦度調節部間の連結関係を説明するための一部平面図である。図９は、一実施例による上面ＵＶ照射装置の斜視図であり、図１０は、一実施例による上面ＵＶ照射装置に対する平面概念図である。
【００４７】
図３乃至図１０を参照すれば、本発明による液晶表示素子の配向膜印刷用スタンパー製造システムはインラインシステムでロールタイプの製品の引出方法として配向膜印刷用スタンパーを製作する。このような配向膜印刷用スタンパー製造システムにおいて、材料供給部（100）、下面露光部（200）、厚さ調整部（300）、上面露光部（400）及び製品引出部（500）が順次に配列される。
【００４８】
材料供給部（100）は、ロール状のベースフィルム（102）とロール状のネガティブフィルム（104）との間に感光性樹脂（103）が塗布された印刷フィルム積層物（101）を、下面露光部（200）に供給する。
【００４９】
上記材料供給部（100）は、図３に図示されたように、ベースフィルム（102）が巻き取られているベースフィルム供給ロール（110）と、上記ベースフィルム（102）を移動させる供給ベース（120）と、上記移動するベースフィルム（102）上に感光性樹脂（103）を供給する樹脂供給筒（130）と、上記感光性樹脂（103）上面に上げられるネガティブフィルム（104）が巻き取られているネガティブフィルム供給ロール（140）とを備える。
【００５０】
このように材料供給部（100）は、ベースフィルム（102）とネガティブフィルム（104）との間に感光性樹脂（103）を位置させ、印刷フィルム積層物（101）を製作して同時に製品引出部（500）方向にこれを移動させる。即ち、ベースフィルム（102）がロールから解かれながら製品引出部（500）方向に移動し、その上部に感光性樹脂（103）が塗布され、さらに感光性樹脂（103）上部にネガティブフィルム（104）が解かれながら製品引出方向に移動するようになる。
【００５１】
勿論、図１に図示されたように、材料供給部（100）において、回転ローラーなどのような供給ベース（120）が多様な位置に多様な方法で配置されてよい。
【００５２】
ここで、樹脂供給筒（130）を、移動するベースフィルム（102）上面に樹脂を供給し、ベースフィルム（102）上面に樹脂が均一に供給されるように構成することができる。これのために樹脂供給筒（130）の樹脂排出口の幅がベースフィルム（102）の幅と同様であるとか類似であるものが効果的である。
【００５３】
下面露光部（200）は、材料供給部（100）から供給される印刷フィルムの積層物（101）内のベースフィルム（102）と隣接した領域の感光性樹脂（103）の一部を１次露光させる。これを通じてベースフィルム（102）領域の一定な厚さの樹脂が硬化される。
【００５４】
下面露光部（200）は、図４に図示されたように印刷フィルム積層物（101）のベースフィルム（102）が接する下面ガラス板（210）と、上記下面ガラス板（210）の下側に位置し上記ベースフィルム（102）方向にＵＶ光を照射する下面ＵＶ照射装置（220）を含む。
【００５５】
下面ガラス板（210）は、ベースフィルム（102）の幅より大きい幅を有するものが効果的である。これを通じて製品引出部（500）へ移動するベースフィルム（102）の全面が上記下面ガラス板（210）を経由するようにすることができる。
【００５６】
下面ＵＶ照射装置（220）は、図面のように多数のＵＶランプを含むものが効果的である。多数のＵＶランプが、内部が空いており上部が開放されたボックス形状の空間に配置される。そして、ボックスの内部には、光を反射する反射膜が設けられてもよい。勿論、ボックスの上部に透光性の板が配置されてもよい。
【００５７】
ここで、上記ＵＶランプは、バータイプのランプを使うのが効果的である。
【００５８】
そして、この時、ＵＶランプの延長方向が上記ベースフィルムの移動方向に対して垂直に配置されるものが望ましい。勿論、ここに限定されず、後述する上面露光部で言及したような配置も可能である。
【００５９】
上記ＵＶランプのＵＶ光によって感光性樹脂（103）が硬化され（図４のＡ領域参照）ベースフィルム（102）に付着固定される。そして、残り上部領域の感光性樹脂は液状状態を維持しながら下面露光部（200）を通り過ぎるようになる。
【００６０】
厚さ調整部（300）は、印刷フィルム積層物（101）の厚さを１次調節する。即ち、厚さ調整部（300）は目標とする配向膜印刷用スタンパーの厚さに対応されるように印刷フィルム積層物（101）を加圧する。
【００６１】
厚さ調整部（300）は、図５に図示されたように所定の厚さ、即ち、配向膜印刷用スタンパーの厚さに対応する厚さで上下に離隔された第１及び第２の厚さの調節手段（311、312）と、上記第１及び第２の厚さの調節手段（311、312）の間隔を調節する間隔調節装置（320）とを備える。
【００６２】
本実施例においては、図５のように、上記印刷フィルム積層物（101）の移動方向の前後にそれぞれ一対の第１及び第２の厚さの調節手段（311、312）が位置する。
【００６３】
第１及び第２の厚さの調節手段（311、312）は、円形の棒状で製作されるものが効果的である。この時、上記棒の長さは、印刷フィルム積層物（101）の幅と同一であるかまたは当該幅より大きいものが効果的である。これを通じて印刷フィルム積層物（101）の全面を均一に加圧することができる。この時、第１厚さの調節手段（311）は、印刷フィルム積層物（101）のベースフィルム（102）に接触し、第２厚さの調節手段（312）はネガティブフィルム（104）に接触する。
【００６４】
間隔調節装置（320）は、印刷フィルム積層物（101）を基準として下側と上側にそれぞれ固定された第１及び第２固定体（321、322）と、一対の第１厚さの調節手段（311）をそれぞれ支持する第１支持体（323）と、一対の第２厚さの調節手段（312）をそれぞれ支持する第２支持体（324）と、上記第１支持体（323）と第１固定体（321）に接続され、上記第１支持体（323）の高さを微細調整する第１間隔調節体（325）と、上記第２支持体（324）と第２固定体（323）に接続され、上記第２支持体（324）の高さを調節する第２間隔調節体（326）とを備える。
【００６５】
ここで、間隔調節体（325、326）と支持体（323、324）とは、ねじ山構造として結合され、間隔調節体（325、326）の回転に従ってねじ山構造によって支持体（323、324）が下降する。勿論、ここに限定されず、この体はラック（rack）とピニオン（pinion）などの構造又は上下スライディング構造等、多様な上下移動構造として製作されてもよい。また、これを自動又は受動駆動方式を適用して制御してもよい。
【００６６】
ここで、間隔調節装置（320）による第１及び第２の厚さの調節手段の間隔は、μｍ単位で微細調整され得る。
【００６７】
上面露光部（400）によって、印刷フィルム積層物（101）内の感光性樹脂（103）が完全に経過される。この時、感光性樹脂（103）上側のネガティブフィルム（104）によって、一部領域はＵＶによって露光及び硬化されない。そして、上面露光部（400）で印刷用スタンパーが製作され、その最終厚さが決定される。
【００６８】
従って、その表面厚さの精密度は、非常に精密でなければならない。従来技術において、言及したように従来には製品の厚さの誤差を±30μｍ以内で減らせない実情があった。これに本出願人は、上面露光部（400）の制御を通じてこれの誤差を±30μｍ以内で減らす製品を開発した。
【００６９】
下記でこのような上面露光部に関する図６乃至図１０の図面を参照しながら説明する。
【００７０】
上面露光部（400）は、印刷フィルム積層物（101）の上面に位置する上面ガラス（410）と、上記上面ガラス（410）上側に位置する上面ＵＶ照射装置（420）と、上記印刷フィルム積層物（101）の下面に位置し、上面ガラス（410）との間隔調整を通じて配向膜印刷用スタンパーの製品の厚さを決定する厚さ調整板（430）と、上記厚さ調整板（430）の微細調整を通じて上記上面ガラス（410）と厚さ調整板（430）との間の平坦度を調節する平坦度微細調節部（440）を含む。
【００７１】
上面ガラス（410）は、図７に図示されたように結合された厚さ調整板（430）と平坦度微細調節部（440）と一定な間隔に離隔されている。この時、上記間隔は実際目標とする配向膜印刷用スタンパーの厚さと同一である。ここで、上面ガラス（410）は、別途の固定手段によって上記厚さ調整板（430）の上側領域に固定される。上面ガラス（410）は、印刷フィルム積層物（101）のネガティブフィルム（104）に接触されるものが望ましい。これを通じてその上側で照射されるＵＶ光が印刷フィルム積層物（101）内に照射されるようにできる。
【００７２】
上記上面ガラス（410）の下側には厚さ調整板（430）が位置する。厚さ調整板（430）は、印刷フィルム積層物（101）のベースフィルム部分に接続される。本実施例では厚さ調整板（430）として鉄板を使う。勿論、ここに限定せず、多様な形態の板状の物質を用いることができる。そして、その表面加工を通じて表面平坦度が非常に優れた金属板を用いるのが望ましい。
【００７３】
そして、上記厚さ調整板（430）の下側には厚さ調整板（430）を固定し、厚さ調整板（430）と上面ガラス（410）との間の表面平坦度を一致させるための微細調節部（440）が設けられる。
【００７４】
微細調節部（440）は、上記厚さ調整板（430）の下側に配置される下側板（441）と、上記下側板（441）と厚さ調整板（430）との間を結合させる結合部材（442）と、上記下側板（441）を貫いて厚さ調整板（430）の下側面に局所的な圧力を加え、厚さ調整板（430）の平坦度を局所的に変形させる変形部材（443）とを備える。図６に図示されたように、微細調節部（440）は、上記各部材を支持する下部製品誘導部（444）を備える。
【００７５】
この時、上記下側板（441）として、先の厚さ調整板（430）と同一な材質の鉄板を用いてもよいく、他の金属板を用いてもよい。ここでは上記下側板（441）の厚さが厚さ調整板（430）の厚さより厚いものが効果的である。これを通じて下側板（441）が、厚さ調整板（430）を効果的に支持し、厚さ調整板（430）の変形に対する弾性力を減らすことができる。
【００７６】
上記結合部材（442）は、ボルト及び／又はナットを用いるのが効果的である。このような結合部材（442）の使用のために、図８に図示されたように、厚さ調整板（430）には上記結合部材（442）が結合固定されるホーム（例えば固定ボルト穴及び固定ナット穴）が設けられる。そして、図８のように、上記下側板（441）には結合部材（442）が貫く貫通ホームが設けられる。
【００７７】
変形部材（443）は、下側板（441）を貫いて厚さ調整板（430）の下側面に密着されたボルト又はナットを用いるのが効果的である。変形部材（443）は、下側板（441）の全面に均一に分布されるものが効果的である。これを通じて厚さ調整板（430）の全面にかけてその平面度を調節することができる。即ち、変形部材（443）が上昇すると、変形部材（443）と密着されていた厚さ調整板（430）領域が上昇するようになる。また、変形部材（443）が下降すると、これと密着された厚さ調整板（430）領域が相対的に下降するようになる。このように変形部材（443）で用いられるナットの調整を通じて厚さ調整板（430）の平面度を上面ガラス（410）に合うように調整することができる。即ち、これを通じて上部にある厚さ調整板（430）が曲がれながらガラスとの間隔誤差を最小化することができる。
【００７８】
この時、変形部材（443）は、μｍ単位で上昇及び下降する。これを通じて厚さ調整板（430）の該当領域の平面度をマイクロメートル単位に調整することができる。従って、このような変形部材（443）を通じて上面ガラス（410）と厚さ調整板（430）との間の平坦度誤差を±10μｍまで達成することができる。
【００７９】
現在、ガラス加工技術としては、ガラス表面の平坦度の誤差範囲を±30μｍ以内で調節することは実質的に不可能である。従って、既存の配向膜印刷用スタンパーの厚さ平坦化の誤差は±30μｍまで適用された。しかし、本実施例においては、配向膜印刷用スタンパーの厚さ平坦化の誤差を±10μｍまで適用させることができる。
【００８０】
ここで、下側板（441）には、上記変形部材（443）が貫いて、結合される微細調節ねじ穴が設けられるものが効果的である。この時、穴の内側面には、変形部材（443）に対応するねじ山が形成されているものが効果的である。
【００８１】
配向膜印刷時の印刷の厚さ精密度は、製品の厚さ精密度が30％を占め、製品表面の網点（dot）のサイズと均一配列性が70％を占める。
【００８２】
従って、前述したような平坦度調節部を通じて製品の厚さ精密度は、従来に比べ向上させることができる。
【００８３】
また、本実施例では製品表面の網点のサイズと配列の均一性を進展させるために、印刷フィルム積層物（101）に照射されるＵＶ光量を全体面に均一に照射した。このために上面ＵＶ照射装置（420）内のＵＶランプの配列を変化させた。
【００８４】
図９及び図１０に図示されたように、上面ＵＶ照射装置（420）は複数のＵＶランプ（421）と複数のＵＶランプ（421）を支持するＵＶランプボックス（422）とを含む。
【００８５】
図面に図示されたように、ＵＶランプボックス（422）は、印刷フィルム積層物（101）の移動方向に長く延長された四角形形態を有する。そして、ＵＶランプボックス（422）は、上記上面ガラス（410）の上側に固定装着される。勿論、上記上面ガラス（410）が上記ＵＶランプボックス（422）に固定されてもよい。
【００８６】
ＵＶランプ（421）は、図面のように一方向に長く延長されたところ、バータイプ（bar  type）に製作される。本実施例においては、印刷フィルム積層物（101）の移動方向に対して水平に延長された延長基準軸に対して上記ＵＶランプ（421）が斜めに配置されるものが効果的である。この時、ＵＶランプ（421）の延長長さに平行な軸と上記延長基準軸が成す方向角（θ）が20度乃至85度になるものが効果的である。好ましくは上記方向角（θ）が30度乃至45度であるものが効果的である。
【００８７】
これを通じてＵＶランプから照射される光の光量を一定にして網点のサイズと配列の均一性を向上させることができる。上記範囲より小さい場合には、光が及ばない領域が発生し、上記範囲より大きい場合には従来の垂直方向との差がない光量が中央領域に集中される現象が発生する。
【００８８】
ここに上記のように、印刷フィルム積層物（101）の移動方向軸に対してＵＶランプを斜めに照射する時と、ＵＶランプを垂直に配置する場合の位置別光量と位置別配向膜印刷の厚さを測定した。
【００８９】
この時、移動方向軸とＵＶランプとが成す角は30度である本発明の場合と、移動方向軸とランプが成す角が0度である場合のＵＶ照射装置（即ち、露光器）の位置別光量を測定した。
【００９０】
図１１及び図１２は、ＵＶ照射装置の位置別光量を説明するための図面である。
【００９１】
図１１は、移動方向軸とランプの角度が0度である場合の各位置を示し、図１２は移動方向軸とランプの角度が30度である場合の各位置を示す。
【００９２】
図１１及び図１２のように、印刷フィルム積層物（101）の移動によって、ＵＶ照射装置は流入部、排出部及び中間部で分離する。
【００９３】
先に図１１のように、移動方向軸とランプの角度が0度である場合、印刷フィルム積層物（101）上部には8個のランプが配置される。勿論、ここに限定されず、これより多いとか少ないこともある。この時、流入部でのランプ領域とランプ間の間隔にそれぞれ順次に1番から15番まで番号を付与する。そして、中間部にもランプ領域とランプ間の間隔にそれぞれ順次に16番から30番まで番号を付与する。また、排出部にもランプ領域とランプ間の間隔領域に31番から45番まで番号を付与する。該当の番号が付与された領域を中心に露光器、即ち、ＵＶ照射装置による光量を測定し、これを下記表１のように整理した。
【００９４】
【表１】
2011242778.tif 000003
【００９５】
次いで、図１２のように、移動方向軸とランプの角度が30度である場合、印刷フィルム積層物（101）上部には、9個乃至10個のランプが配置される。勿論、角度とランプ間隔によってこれより多い場合も少ない場合もある。この時、ランプ間の間隔は、先の0度と同一である。流入部には約9個のランプが配置される。これにランプ領域とランプ間の間隔にそれぞれ順次に1番から18番まで番号を付与する。中間部と排出部には約10個のランプが配置される。従って、中間部にはランプ領域とランプ間の領域にそれぞれ順次に19番から36番まで番号を付与し、排出部には38番から56番まで番号を付与する。そして、該当番号が付与された領域での露光器による光量を測定し、これを表２のように整理した。
【００９６】
【表２】
2011242778.tif 000004
【００９７】
図１３は、上部露光まで完了した製品の断面図である。
【００９８】
図１３のように、製品を水平方向に約13個の領域に分離し、この領域での配向膜印刷の厚さ即ち、コーティング厚さを測定した。
【００９９】
先に、移動方向軸とランプの角度が0度である場合は、下記の表３の通りとなる。コーティング厚さの単位はÅ（オングストローム）である。
【０１００】
【表３】
2011242778.tif 000005
【０１０１】
次いで、移動方向軸とランプの角度が30度である場合は、下記の表４の通りとなる。
【０１０２】
【表４】
2011242778.tif 000006
【０１０３】
上記表３及び表４のように、移動方向軸とランプの角度が0度である場合には、部位別光量差が大きいので、配向膜印刷の厚さの差が113Åになる。しかし、移動方向軸とランプの角度が30度である場合には、部位別光量差が少ないので、配向膜印刷の厚さの差が15Åであまり差がないことが分かる。これは配向膜の平坦度が向上されたことが分かる。これは印刷均一度が非常に向上されたことを意味する。
【０１０４】
本実施例においては、上述した上面露光部（400）を通じて感光性樹脂が硬化された製品は、水平状態を維持しながら排出されるように製品引出部（500）に引出される。
【０１０５】
この時、製品引出部（500）は、引出ロ−ルと引出ロ−ルを回転させるモーターを備える。
【０１０６】
上述したように、本実施例においては、上記システムを利用してベースフィルムと感光性樹脂及びネガティブフィルムが積層された配向膜印刷用スタンパーを製作することができるし、この時、スタンパーの製品の厚さ誤差を±30μｍ以下に減らすことができる。好ましくは±20μｍに減らすことができる。例えば、製品の厚さ誤差が±5μｍ乃至±10μｍ範囲の製品を製作することができる。
【０１０７】
このような配向膜印刷用スタンパーの製造方法は、上述したシステムによって製作される。即ち、先に、ベースフィルム上に感光性樹脂を塗布し、感光性樹枝上にネガティブフィルムを配置する。ベースフィルムの下側方向からベースフィルム方向にＵＶ光を照射してベースフィルム上面に位置した感光性樹脂一部を硬化させる。次いで、ベースフィルムとネガティブフィルムを加圧して厚さを調節する。次いで、ネガティブフィルム上側領域でＵＶ光を照射して硬化されていない感光性樹脂を硬化させる。この時、ネガティブフィルムの上側をガラス板に加圧し、ベースフィルムを金属性板に加圧し、目標とする製品の厚さになるようにする。この時、ガラス板と金属性板間の離隔間隔の誤差を減らすために金属性板の一部の高さを調節する。そして、ＵＶ光を発散するＵＶランプをフィルムの移動方向軸に対して斜めに配置する。これを通じて印刷用スタンパーの製品の厚さと印刷後の厚さ均一度を向上させることができる。
【０１０８】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる例に限定されない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについても、当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【符号の説明】
【０１０９】
100  ：材料供給部        200  ：下面露光部
300  ：厚さ調整部        400  ：上面露光部
410  ：ガラス固定板      420  ：上面ＵＶ照射装置
430  ：厚さ調整板        440  ：平坦度調節部
500  ：製品引出部
【図１】
2011242778.tif 000007
【図２】
2011242778.tif 000008
【図３】
2011242778.tif 000009
【図４】
2011242778.tif 000010
【図５】
2011242778.tif 000011
【図６】
2011242778.tif 000012
【図７】
2011242778.tif 000013
【図８】
2011242778.tif 000014
【図９】
2011242778.tif 000015
【図１０】
2011242778.tif 000016
【図１１】
2011242778.tif 000017
【図１２】
2011242778.tif 000018
【図１３】
2011242778.tif 000019