(57)【要約】【課題】砥石ローラの砥石径をできる限り小さくして、接触抵抗を小さくでき、砥石ローラの撓みを防止できる研磨設備を提供する。【解決手段】板状の被加工物１を支持搬送するコンベヤ装置１１を設け、コンベヤ装置による搬送経路１０中に研磨ゾーン２０を形成するとともに、研磨ゾーンに研磨装置２１を配設した。研磨装置を、搬送経路の方向の複数箇所に設けた砥石ローラ２２と、各砥石ローラに上方から当接するバックアップローラ３５から構成した。研磨作用している砥石ローラが上方に撓もうとすることを、砥石ローラに上方から当接しているバックアップローラによって阻止でき、砥石ローラの径を小さくしながらも、常に均一な研磨を安定して行える。砥石ローラの径を小さくできることで、被加工物に対する砥石ローラの接触する円弧長さを短くでき、接触抵抗（接触圧力）を減少できて、研磨時における発熱を低く抑えることができ、研磨送り速度を速くできて研磨能率を向上できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の被加工物を支持搬送するコンベヤ装置が設けられ、このコンベヤ装置による搬送経路中に研磨ゾーンが形成されるとともに、この研磨ゾーンには研磨装置が配設され、この研磨装置が、搬送経路の方向の複数箇所に設けられた砥石ローラと、各砥石ローラに上方から当接して設けられたバックアップローラとから構成されていることを特徴とする研磨設備。
【請求項２】
砥石ローラとバックアップローラとは直状に形成されるとともに、砥石ローラの径よりもバックアップローラの径を大きく構成したことを特徴とする請求項１記載の研磨設備。
【請求項３】
砥石ローラは、直状のローラ部と、このローラ部の外周に積層形成された砥石層とからなるとともに、ローラ軸心方向の複数箇所には砥石層が積層形成されていない環状溝部が形成され、バックアップローラは、直状のローラ部におけるローラ軸心方向の複数箇所に、前記環状溝部内に位置して砥石ローラのローラ部に当接される鍔状部が形成され、砥石ローラの径よりもバックアップローラの径を大きく構成したことを特徴とする請求項１記載の研磨設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえば液晶パネル用の硝子板、半導体のシリコン基板、セラミックス基板など各種の板状の被加工物を研磨するのに使用される研磨設備に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のものとしては、次のような構成が提供されている。すなわち、搬送方向の複数箇所に設けられている組ローラーは、上部（または下部）に位置した大径のバフローラーと、下部（または上部）に位置した小径のバックアップローラーとにより構成されている。そしてバフローラーとバックアップローラーとの間に板状ワークを供給して、その表面を研磨している（たとえば、特許文献１参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２６６２９７号公報（第２頁、図１−図２）
【特許文献２】特開２００９−１８４１０号公報
【特許文献３】特開２００４−２６８２４９号公報
【特許文献４】特開平６−９１５１５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記した従来構成によると、板状ワークの表面研磨を精度良く（均一状に）行うためには、バフローラーを撓むことなく駆動回転させなければならず、そのためには撓み難い大径のバフローラーが使用される。その際に、板状ワークの幅が広くなるとバフローラーの長さが長くなり、それに比例してバフローラーの径を大きくする必要がある。その結果、大径で重量大のバフローラーが使用されることになり、大径のバフローラーを使用したとき、その一度に研磨する深さにより多少は異なるが、たとえば、図６の（ｂ）に示すように、板状ワークＷに対するバフローラーＲの接触する円弧長さＬＬが長くなり、接触抵抗（接触圧力）が増加することになる。これにより、研磨時における発熱によって板状ワークＷに溶解やクラックが発生することになり、これを防止するためには、研磨送り速度を遅くしなければならず、研磨能率が低下することになる。
【０００５】
そこで本発明の請求項１記載の発明は、砥石ローラの砥石径をできる限り小さくして、接触抵抗を小さくし得、しかも砥石ローラの撓みを防止し得る研磨設備を提供することを目的としたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前述した目的を達成するために、本発明の請求項１記載の研磨設備は、板状の被加工物を支持搬送するコンベヤ装置が設けられ、このコンベヤ装置による搬送経路中に研磨ゾーンが形成されるとともに、この研磨ゾーンには研磨装置が配設され、この研磨装置が、搬送経路の方向の複数箇所に設けられた砥石ローラと、各砥石ローラに上方から当接して設けられたバックアップローラとから構成されていることを特徴としたものである。
【０００７】
したがって請求項１の発明によると、コンベヤ装置により板状の被加工物を搬送経路上において所定の速度で支持搬送し得、そして研磨ゾーンを移動する間に、研磨装置の砥石ローラ群によって被加工物の表面（上面）を段階的に研磨し、以て最終段の研磨装置による研磨によって、被加工物を所定厚さに形成し得る。その際に、研磨作用している砥石ローラが上方に撓もうとすることを、この砥石ローラに上方から当接しているバックアップローラによって阻止し得、これにより、砥石ローラの径を小さくしながらも、常に均一な研磨を安定して行える。このようにして研磨を行うに、砥石ローラの径を小さくし得ることで、被加工物に対する砥石ローラの接触する円弧長さを短くして、接触抵抗（接触圧力）を減少し得ることになる。
【０００８】
また本発明の請求項２記載の研磨設備は、上記した請求項１記載の構成において、砥石ローラとバックアップローラとは直状に形成されるとともに、砥石ローラの径よりもバックアップローラの径を大きく構成したことを特徴としたものである。
【０００９】
したがって請求項２の発明によると、砥石ローラの径をできる限り小さくし得ることで、被加工物に対する砥石ローラの接触する円弧長さをより短くして、より接触抵抗（接触圧力）を減少し得ることになる。
【００１０】
そして本発明の請求項３記載の研磨設備は、上記した請求項１記載の構成において、砥石ローラは、直状のローラ部と、このローラ部の外周に積層形成された砥石層とからなるとともに、ローラ軸心方向の複数箇所には砥石層が積層形成されていない環状溝部が形成され、バックアップローラは、直状のローラ部におけるローラ軸心方向の複数箇所に、前記環状溝部内に位置して砥石ローラのローラ部に当接される鍔状部が形成され、砥石ローラの径よりもバックアップローラの径を大きく構成したことを特徴としたものである。
【００１１】
したがって請求項３の発明によると、研磨作用している砥石ローラが上方に撓もうとすることを、この砥石ローラの環状溝部群に上方から当接しているバックアップローラの鍔状部群によって阻止し得、これにより、砥石ローラの径を小さくしながらも、常に均一な研磨を安定して行える。しかも、ダイヤモンド砥石層に対してバックアップローラは直接に当接しないことになり、以て砥石ローラのダイヤモンド砥石層として、バックアップローラを直接に当接し難いものを採用し得る。このようにして研磨を行うに、砥石ローラの径を小さくし得ることで、被加工物に対する砥石ローラの接触する円弧長さを短くして、接触抵抗（接触圧力）を減少し得ることになる。
【発明の効果】
【００１２】
上記した本発明の請求項１によると、コンベヤ装置により板状の被加工物を搬送経路上において所定の速度で支持搬送でき、そして研磨ゾーンを移動する間に、研磨装置の砥石ローラ群によって被加工物の表面（上面）を段階的に研磨でき、以て最終段の研磨装置による研磨によって、被加工物を所定厚さに形成できる。その際に、研磨作用している砥石ローラが上方に撓もうとすることを、この砥石ローラに上方から当接しているバックアップローラによって阻止でき、これにより、砥石ローラの径を小さくしながらも、常に均一な研磨を安定して行うことができる。このようにして研磨を行うに、砥石ローラの径を小さくできることで、被加工物に対する砥石ローラの接触する円弧長さを短くでき、接触抵抗（接触圧力）を減少できることになる。これにより、研磨時における発熱を低く抑えることができ、以て研磨送り速度を速くできて研磨能率を向上できる。
【００１３】
また上記した本発明の請求項２によると、砥石ローラの径をできる限り小さくできることで、被加工物に対する砥石ローラの接触する円弧長さをより短くでき、より接触抵抗（接触圧力）を減少でき、以て研磨送り速度をより速くできて研磨能率を向上できる。
【００１４】
そして上記した本発明の請求項３によると、研磨作用している砥石ローラが上方に撓もうとすることを、この砥石ローラの環状溝部群に上方から当接しているバックアップローラの鍔状部群によって阻止でき、これにより、砥石ローラの径を小さくしながらも、常に均一な研磨を安定して行える。しかも、ダイヤモンド砥石層に対してバックアップローラは直接に当接しないことになり、以て砥石ローラのダイヤモンド砥石層として、バックアップローラを直接に当接し難いものを容易に採用できる。このようにして研磨を行うに、砥石ローラの径をできる限り小さくできることで、被加工物に対する砥石ローラの接触する円弧長さを短くでき、接触抵抗（接触圧力）を減少できることになる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施の形態１を示し、研磨設備における要部の斜視図である。
【図２】同研磨設備の一部切り欠き側面図である。
【図３】同研磨設備の平面図である。
【図４】同研磨設備の正面図である。
【図５】同研磨設備における要部の一部切り欠き背面図である。
【図６】本発明の実施の形態１の研磨設備における研磨状態と従来の研磨状態とを比較する概略側面図であって、（ａ）は実施の形態１、（ｂ）は従来例である。
【図７】本発明の実施の形態２を示し、研磨設備の平面図である。
【図８】同研磨設備における要部の一部切り欠き背面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
［実施の形態１］
以下に、本発明の実施の形態１を、硝子板の研磨に採用した状態として、図１〜図６（ａ）に基づいて説明する。
【００１７】
箱枠状の設備本体５上には、その上面側に硝子板（板状の被加工物の一例）１がセットされている被加工物搭載用のパレット２を、搬送経路１０上において所定の速度で支持搬送するローラコンベヤ装置（コンベヤ装置の一例）１１が設けられている。すなわちローラコンベヤ装置１１は、搬送経路１０を挟んで左右一対（コンベヤ幅方向で一対）のコンベヤフレーム１２が設備本体５上に固定されている。そして搬送経路１０の方向における所定ピッチ置きの複数箇所に搬送ローラ１３が配設され、これら搬送ローラ１３は、そのローラ軸１４が軸受１５を介して前記コンベヤフレーム１２に回転自在に支持されている。各ローラ軸１４の一端に受動輪体１６が設けられ、これら受動輪体１６群に亘って配設された無端回動体（タイミングベルト）１７に、設備本体５に設けられた回転駆動部１８が連動連結されている。また、搬送ローラ１３間に位置されて所定ピッチ置きに左右一対の幅決めローラ１９が設けられ、これら幅決めローラ１９は設備本体５側に対して、縦軸心の周りに遊転自在として設けられている。なお幅決めローラ１９は、左右方向において位置調整自在に構成してもよい。以上の１２〜１９などにより、ローラコンベヤ装置１１の一例が構成される。
【００１８】
前記ローラコンベヤ装置１１による搬送経路１０中の所定箇所に研磨ゾーン２０が形成されるとともに、この研磨ゾーン２０には研磨装置２１が配設されている。ここで研磨装置２１は、搬送経路１０の方向の７箇所（複数箇所）に設けられた砥石ローラ２２と、各砥石ローラ２２に上方から当接して設けられたバックアップローラ３５などから構成されている。なお、砥石ローラ２２とバックアップローラ３５とは直状に形成されるとともに、砥石ローラ２２の径２２Ｄよりもバックアップローラ３５の径３５Ｄを大きく、すなわち［２２Ｄ＜３５Ｄ］に構成されている。そして、コンベヤフレーム１２の研磨ゾーン２０に対応する部分には上方への突出部１２Ａが一体形成され、この突出部１２Ａにおける搬送経路１０の方向の複数箇所には昇降体（後述する。）３２を嵌合案内するスリット部１２Ｂが形成されている。
【００１９】
すなわち、研磨ゾーン２０に位置される搬送ローラ１３群のうち、１つ置きの搬送ローラ１３に上方から対向されて砥石ローラ２２が設けられている。これら砥石ローラ２２は、直状（フラット状）のローラ部２３と、このローラ部２３の外周に積層形成されたダイヤモンド砥石層（砥石層の一例）２４と、ローラ部２３の両端に一体形成された小径のローラ軸部２５などから構成されている。このローラ軸部２５は、左右一対の保持体２６に軸受２７を介して遊転自在に支持されるとともに、これら保持体２６は、昇降体３２の下部に形成された凹部３３内に上下方向に可動自在に設けられ、そして保持体２６の下面とコンベヤフレーム１２の上面との間には、保持体２６（砥石ローラ２２）を上昇付勢するばね体（付勢体の一例）２８が設けられている。また各ローラ軸部２５は、それぞれ砥石回転モータ２９に連動部３０を介して連動連結され、ここで砥石回転モータ２９群は、設備本体５側に設けられた共通の保持枠体６に支持されている。なお連動部３０は、昇降体３２の昇降に対応して撓み連動自在に構成されている。
【００２０】
前記バックアップローラ３５は、たとえば鉄などの金属製であって、直状（フラット状）のローラ部３６と、このローラ部３６の両端に一体形成された小径で段状のローラ軸部３７とからなり、これらローラ軸部３７が前記昇降体３２に軸受３８を介して遊転自在に支持されている。これによりバックアップローラ３５は、そのローラ部３６が前記砥石ローラ２２におけるダイヤモンド砥石層２４に上方から当接して設けられる。そして、バックアップローラ３５のローラ軸部３７には受動歯車３９が外嵌固定され、この受動歯車３９は、前記砥石ローラ２２のローラ軸部２５に外嵌固定された伝動歯車３１に噛合されている。
【００２１】
ここで砥石ローラ２２の径２２Ｄに対してバックアップローラ３５の径３５Ｄは、たとえば径２２Ｄが４０ｍｍのとき径３５Ｄが１４０ｍｍとし、約３．５倍として大きく構成されている。そしてローラコンベヤ装置１１における搬送ローラ１３の径１３Ｄは中間として、すなわち、［２２Ｄ＜１３Ｄ＜３５Ｄ］とされている。
【００２２】
前記昇降体３２を昇降させる昇降装置４１が設けられている。すなわち、前記突出部１２Ａでスリット部１２Ｂの上部には軸受け体４２が設けられ、この軸受け体４２に回動自在に支持された縦軸４３の下部には精密なボール螺子体４４が連結されている。そしてボール螺子体４４に螺合されるナット体４５が、昇降体３２の上部に形成された凹所３４内に設けられている。前記突出部１２Ａの上方にはサーボモータ４６が設けられ、このサーボモータ４６に連動した減速機４７からの駆動軸４８が、連動体４９を介して前記縦軸４３に連動連結されている。なお減速機４７は、枠部材５０を介して突出部１２Ａ側に支持されている。以上の４２〜５０などにより昇降装置４１の一例が構成され、そして、２２〜５０などにより研磨装置２１の一例が構成される。
【００２３】
以下に、上記した実施の形態１における作用を説明する。
回転駆動部１８により、無端回動体１７や受動輪体１６を介して搬送ローラ１３群を回転駆動させることで、その上面に硝子板１がセットされているパレット２を、左右一対の幅決めローラ１９により幅決めしながら、搬送経路１０上において所定の速度で支持搬送し得る。そしてパレット２が研磨ゾーン２０を移動する間に、研磨装置２１の砥石ローラ２２群によって硝子板１の表面（上面）を段階的に研磨し、以て最終段の研磨装置２１による研磨によって、硝子板１を所定厚さに形成し得る。
【００２４】
その際に研磨装置２１による研磨は、次のようにして行われる。すなわち、砥石回転モータ２９の駆動により、連動部３０を介して砥石ローラ２２を搬送ローラ１３の回転方向とは同方向に駆動回転させることで、この砥石ローラ２２のダイヤモンド砥石層２４によって、搬送経路１０上において所定の速度で支持搬送しているパレット２上の硝子板１の表面（上面）を研磨し得る。そして、砥石ローラ２２の駆動回転により伝動歯車３１と受動歯車３９とを介して、バックアップローラ３５を砥石ローラ２２の回転方向とは逆方向に駆動回転させることで、この研磨作用している砥石ローラ２２が上方に撓もうとすることを、この砥石ローラ２２に上方から当接しているバックアップローラ３５によって阻止できる。
【００２５】
このような研磨の際に、ばね体２８による付勢力によって、保持体２６や軸受２７を介して砥石ローラ２２を上昇付勢することで、この砥石ローラ２２におけるダイヤモンド砥石層２４の上向き部とバックアップローラ３５の下向き部との上下方向での当接力（密着性）を一定状（均一状）にし得る。さらにサーボモータ４６の駆動により、減速機４７からの駆動軸４８を回転させ、駆動軸４８、連動体４９、縦軸４３を介してボール螺子体４４を回転させることで、ナット体４５を介して昇降体３２を下降（昇降）し得、以て硝子板１の表面（上面）に対する砥石ローラ２２におけるダイヤモンド砥石層２４の下向き部の上下方向での当接力（密着性）を一定状（均一状）とし得る。これにより、砥石ローラ２２の径２２Ｄを小さくしながらも、常に均一な研磨を安定して行える。
【００２６】
このようにして研磨を行うに、砥石ローラ２２の径２２Ｄよりもバックアップローラ３５の径３５Ｄを大きくして、砥石ローラ２２の径２２Ｄをできる限り小さくできることで、図６の（ａ）に示すように、硝子板１に対する砥石ローラ２２の接触する円弧長さＳＬを短くでき、接触抵抗（接触圧力）を減少できることになる。これにより、研磨時における発熱を低く抑えることができ、以て研磨送り速度を速くできて研磨能率を向上できる。
【００２７】
また、複数箇所に配設した砥石ローラ２２群により連続して研磨することによって、後半になるに従って、砥粒の小さい砥石ローラ２２を使用でき、以て仕上げ面を細かくすることができる。
【００２８】
上記のような研磨を行うに際し、砥石ローラ２２の部分には電解液が流される。そして、砥石ローラ２２のダイヤモンド砥石層２４にバックアップローラ３５を上方から当接させることで、砥石の表面が新しい砥粒面に成り難いダイヤモンド砥石層２４を、当接させたバックアップローラ３５の機能（砥粒の目だし機能）によって容易に再生でき、常に好適な研磨能力を維持できる。
【００２９】
また、砥石ローラ２２の駆動回転により伝動歯車３１と受動歯車３９とを介して、バックアップローラ３５を砥石ローラ２２の回転方向とは逆方向に駆動回転させるに際し、伝動歯車３１と受動歯車３９との歯車比によって、バックアップローラ３５と砥石ローラ２２との回転を、その周速を同一状（つれまわり状）としている。
【００３０】
なお、ローラ部２３の外周に積層形成されるダイヤモンド砥石層２４としては、メタルボンド砥石、レジンボンド砥石、セラミック砥石などがあり、たとえば、砥石ローラ２２群のうち、上手側（前段側）の砥石ローラ２２群には、強度の高いメタルボンド砥石が積層形成された砥石ローラ２２が使用され、また下手端（終端）の砥石ローラ２２には、綺麗な研磨面とし得るレジンボンド砥石が積層形成された砥石ローラ２２が使用される。
［実施の形態２］
次に、本発明の実施の形態２を、図７、図８に基づいて説明する。
【００３１】
すなわち、砥石ローラ５２は、直状（フラット状）のローラ部５３と、このローラ部５３の外周に積層形成されたダイヤモンド砥石層（砥石層の一例）５４と、ローラ部５３の両端に一体形成された小径のローラ軸部５５などから構成されている。ここでダイヤモンド砥石層５４としては、電着型の砥石や、非常に砥粒の大きな砥石など、バックアップローラを直接に当接し難いものからなる。そして、ローラ部５３におけるローラ軸心方向の２箇所または３箇所（複数箇所）には、ダイヤモンド砥石層５４が積層形成されていない環状溝部５６が形成されている。またバックアップローラ６５は、直状（フラット状）のローラ部６６と、このローラ部６６の両端に一体形成された小径で段状のローラ軸部６７などから構成されている。その際に、ローラ部６６の外周におけるローラ軸心方向の２箇所または３箇所（複数箇所）には、前記環状溝部５６内に位置して砥石ローラ５２のローラ部５３に当接される鍔状部６８が一体形成されている。
【００３２】
そして、砥石ローラ５２の径５２Ｄよりもバックアップローラ６５の径６５Ｄが大きく構成されている。ここで砥石ローラ５２の径５２Ｄに対してバックアップローラ６５の径６５Ｄは、たとえば径５２Ｄが４０ｍｍのとき径６５Ｄが１４０ｍｍとし、約３．５倍として大きく構成されている。また、環状溝部５６の溝深さとダイヤモンド砥石層５４の層厚さとの加算値である凹部量５２ａに対して、鍔状部６８の凸部量６５ａを大きく、すなわち、［５２ａ＜６５ａ］とすることで、ダイヤモンド砥石層５４の外周にローラ部６６が接触することを防止し得る。
【００３３】
なお、環状溝部５６内に鍔状部６８が位置される箇所は、３箇所と２箇所とが交互に位置し、かつ３箇所と２箇所とはローラ軸心方向で位置ずらして配設されている。そして最終段の位置には、上述した実施の形態１で使用した砥石ローラ２２とバックアップローラ３５とからなる組が配設されている。
【００３４】
以下に、上記した実施の形態２における作用を説明する。
研磨装置２１による研磨は、次のようにして行われる。すなわち、砥石回転モータ２９の駆動により、連動部３０を介して砥石ローラ５２を搬送ローラ１３の回転方向とは同方向に駆動回転させることで、この砥石ローラ５２のダイヤモンド砥石層５４によって、搬送経路１０上において所定の速度で支持搬送しているパレット２上の硝子板１の表面（上面）を研磨し得る。そして、砥石ローラ５２の駆動回転により伝動歯車３１と受動歯車３９とを介して、バックアップローラ６５を砥石ローラ５２の回転方向とは逆方向に駆動回転させることで、この研磨作用している砥石ローラ５２が上方に撓もうとすることを、この砥石ローラ５２の環状溝部５６群に上方から当接しているバックアップローラ６５の鍔状部６８群によって阻止できる。
【００３５】
このような研磨の際に、ばね体２８による付勢力によって、保持体２６や軸受２７を介して砥石ローラ５２を上昇付勢することで、この砥石ローラ５２における環状溝部５６群の上向き部とバックアップローラ６５における鍔状部６８群の下向き部との上下方向での当接力（密着性）を一定状（均一状）にし得る。さらにサーボモータ４６の駆動により、減速機４７からの駆動軸４８を回転させ、駆動軸４８、連動体４９、縦軸４３を介してボール螺子体４４を回転させることで、ナット体４５を介して昇降体３２を下降（昇降）し得、以て硝子板１の表面（上面）に対する砥石ローラ５２におけるダイヤモンド砥石層５４の下向き部の上下方向での当接力（密着性）を一定状（均一状）とし得る。これにより、砥石ローラ５２の径５２Ｄを小さくしながらも、常に均一な研磨を安定して行える。
【００３６】
このようにして研磨を行うに、砥石ローラ５２の径５２Ｄよりもバックアップローラ６５の径６５Ｄを大きくして、砥石ローラ５２の径５２Ｄをできる限り小さくできることで、硝子板１に対する砥石ローラ５２の接触する円弧長さを短くでき、接触抵抗（接触圧力）を減少できることになる。これにより、研磨時における発熱を低く抑えることができ、以て研磨送り速度を速くできて研磨能率を向上できる。
【００３７】
また、研磨作用している砥石ローラ５２が上方に撓もうとすることを、砥石ローラ５２の環状溝部５６群に上方から当接しているバックアップローラ６５の鍔状部６８群によって阻止することで、ダイヤモンド砥石層５４に対してバックアップローラ６５は直接に当接しないことになり、以て電着型の砥石や、非常に砥粒の大きな砥石など、バックアップローラを直接に当接し難いものからなるダイヤモンド砥石層５４を容易に採用できる。そして、複数箇所に配設した砥石ローラ５２群により連続して研磨する際に、ダイヤモンド砥石層５４が存在しない３箇所と２箇所とがローラ軸心方向で位置ずらして配設されていることで、削り残りが生じ難い状態で研磨を行うことができ、さらに最終段の溝無しの砥石ローラ２２によって、フラットな仕上がり面の研磨を行うことができる。
【００３８】
上記した実施の形態１，２では、砥石ローラ２２，５２の砥石層としてダイヤモンド砥石層２４，５４を使用した形式が示されているが、これはダイヤモンド砥石層２４，５４に対して少し軟らかい立方晶窒化ほう素砥石層（ＣＢＮ砥石層）を使用した形式などであってもよい。
【００３９】
上記した実施の形態１，２では、コンベヤ装置としてローラコンベヤ装置１１を使用した形式が示されているが、これは駆動式の金属ベルトを使用したベルトコンベヤ装置の形式などであってもよい。
【００４０】
上記した実施の形態１，２では、硝子板（板状の被加工物）１がセットされているパレット２を、搬送経路１０上において所定の速度で支持搬送する形式が示されているが、これは板状の被加工物を直接に支持搬送する形式などであってもよい。
【００４１】
上記した実施の形態１，２では、保持体２６（砥石ローラ２２，５２）を上昇付勢する付勢体としてばね体２８を設けた形式が示されているが、これは油圧または空気圧のシリンダー装置を使用した形式などであってもよい。
【００４２】
上記した実施の形態１，２では、バックアップローラ３５，６５側の受動歯車３９が、砥石ローラ２２，５２側の伝動歯車３１に噛合されて、その周速を同一状（摺接摩擦の生じないつれまわり状）とした連動形式が示されているが、これは伝動歯車３１と受動歯車３９との歯車比を変えて、その周速を異にした（高速連動、または低速連動）とした連動形式や、受動歯車３９や伝動歯車３１を省略して、バックアップローラ３５，６５を摩擦力によってフリー回転させる形式などであってもよい。
【００４３】
上記した実施の形態１，２では、砥石ローラ２２，５２の径２２Ｄ，５２Ｄよりもバックアップローラ３５，６５の径３５Ｄ，６５Ｄが大きく構成された形式が示されているが、これは同径状、または砥石ローラ２２，５２の径が少し大きく構成された形式などであってもよく、これらの場合でも、バックアップローラ３５，６５を使用しない形式に比べて、砥石ローラ２２，５２の径を小さくできる。
【符号の説明】
【００４４】
１        硝子板（板状の被加工物）
２        パレット
５        設備本体
１０      搬送経路
１１      ローラコンベヤ装置（コンベヤ装置）
１２      コンベヤフレーム
１２Ａ    突出部
１３      搬送ローラ
１３Ｄ    搬送ローラ１３の径
１８      回転駆動部
１９      幅決めローラ
２０      研磨ゾーン
２１      研磨装置
２２      砥石ローラ
２２Ｄ    砥石ローラ２２の径
２３      ローラ部
２４      ダイヤモンド砥石層（砥石層）
２８      ばね体（付勢体）
２９      砥石回転モータ
３２      昇降体
３５      バックアップローラ
３５Ｄ    バックアップローラ３５の径
３６      ローラ部
４１      昇降装置
４４      ボール螺子体
４５      ナット体
４６      サーボモータ
５２      砥石ローラ
５２Ｄ    砥石ローラ５２の径
５２ａ      凹部量
５３      ローラ部
５４      ダイヤモンド砥石層（砥石層）
５６      環状溝部
６５      バックアップローラ
６５Ｄ    バックアップローラ６５の径
６５ａ    凸部量
６６      ローラ部
６８      鍔状部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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