(57)【要約】【課題】設計が容易であって、且つ接点間の開閉性能を劣化させることなく接点間の閉成時の衝撃を緩和するとともに、接点の接触圧を確保することのできる接点装置及びそれを用いたリレー、並びにマイクロリレーを提供する。【解決手段】固定接点１０と、可動接点２１ａと、可動部２と、ベース１とを備え、可動部２には、ベース１の対向する部位と当接することで可動部２の変位量を規制するストッパ２０ａと、ストッパ２０ａと当接することで当接する際の衝撃を吸収する衝撃吸収部材１１とが設けられ、衝撃吸収部材１１は、他の部材と接触する瞬間には剛体に似た抵抗を有し、その後接触中においては概ねばね定数が無いように変形する軟質材料から成る。【選択図】図１
2011134506.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定接点と、固定接点に接離自在な可動接点と、可動接点を有するとともに可動接点が固定接点と接触する位置と開離する位置との間で揺動自在な可動部と、可動部と離間して設けられるとともに厚み方向の一面に固定接点が設けられた土台部とを備えた接点装置であって、可動部及び土台部の少なくとも何れか一方には、可動部又は土台部の対向する部位と当接することで可動部の変位量を規制するストッパと、ストッパ若しくは可動部と当接することで当接する際の衝撃を吸収する衝撃吸収部材とが設けられ、衝撃吸収部材は、他の部材と接触する瞬間には剛体に似た抵抗を有し、その後接触中においては概ねばね定数が無いように変形する軟質材料から成ることを特徴とする接点装置。
【請求項２】
前記衝撃吸収部材は、ポリジメチルシロキサンから成ることを特徴とする請求項１記載の接点装置。
【請求項３】
前記衝撃吸収部材は、可動部と揺動方向に沿って常に接触するように配設されたことを特徴とする請求項１又は２記載の接点装置。
【請求項４】
前記ストッパは可動部に設けられ、土台部における前記ストッパと対向する部位には、土台部の厚み方向に窪んだ凹部が設けられ、衝撃吸収部材は膜状に形成され、凹部の開口面を覆うように配設されたことを特徴とする請求項１又は２記載の接点装置。
【請求項５】
前記可動部は、自身に設けられた支点突起を支点として揺動自在であって、支点突起を挟んだ両端部には各々可動接点及びストッパが配設され、土台部には、各可動接点と対向するように固定接点が配設され、凹部は、その衝撃吸収部材で覆われた空間に流体が充填され、且つ凹部のうち各ストッパと対向する部位同士を互いに連結する流路を有することを特徴とする請求項４記載の接点装置。
【請求項６】
前記可動部は、自身に設けられた支点突起を支点として揺動自在であって、支点突起を挟んだ両端部には各々可動接点及びストッパが配設され、土台部には、各可動接点と対向するように固定接点が配設され、且つストッパと対向する部位には、土台部の厚み方向に窪んだ凹部が設けられ、衝撃吸収部材は、可動部と揺動方向に沿って常に接触するように配設される第１の衝撃吸収部材と、膜状に形成されて凹部の開口面を覆うように配設される第２の衝撃吸収部材とから成り、凹部は、その第２の衝撃吸収部材で覆われた空間に流体が充填され、且つ凹部のうち各ストッパと対向する部位同士を互いに連結する流路を有することを特徴とする請求項１又は２記載の接点装置。
【請求項７】
前記凹部には、粘性を有する液体が充填されることを特徴とする請求項５又は６記載の接点装置。
【請求項８】
請求項１乃至７の何れか１項に記載の接点装置と、可動接点が固定接点に対して接離するように可動部を駆動する駆動装置とを備えたことを特徴とするリレー。
【請求項９】
請求項８記載のリレーにおいて、駆動装置が、磁性材料より成り可動部に設けられるアーマチュアを吸引する磁場を発生させることで可動部を揺動させる電磁石装置から成るマイクロリレーであって、基板より成り電磁石装置を収納する収納部が形成され且つ厚み方向の一面側に固定接点が設けられたベースと、ベースの前記一面側に固着される枠状のフレーム、及びフレームに揺動自在に支持される可動部とアーマチュアとを有するメインブロックと、メインブロックにおけるベースの反対側で周部がフレームに固着されるカバーとを備えたことを特徴とするマイクロリレー。
【請求項１０】
請求項８記載のリレーにおいて、駆動装置が、磁性材料より成り可動部に設けられるアーマチュアを吸引する磁場を発生させることで可動部を揺動させる電磁石装置から成るマイクロリレーであって、基板より成り厚み方向の一面側に固定接点が設けられたベースと、ベースの前記一面側に固着される枠状のフレーム、及びフレームに揺動自在に支持される可動部とアーマチュアとを有するメインブロックと、メインブロックにおけるベースの反対側で周部がフレームに固着され且つ電磁石装置を収納する収納部が形成されたカバーとを備えたことを特徴とするマイクロリレー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接点装置及びそれを用いたリレー、並びにマイクロリレーに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、接点の変形や接点同士の固着を防止するために、接点間が閉成する際の衝撃を緩和するとともに、接点の接触圧を確保するための構成を有した接点装置が知られており、例えば特許文献１に開示されている。この特許文献１記載の接点装置（接点開閉装置）は、図１０（ａ）に示すように、ベース７００と、基端部がベース７００に固定されて先端部に固定接点７０１ａを設けた固定接点板７０１と、基端部が可動接点端子７０２に固定されて先端部７０３ｂに固定接点７０１ａと接離する可動接点７０３ａが設けられた可動ばね７０３と、接点間の開閉動作を行うように可動ばね７０３を駆動する駆動部材７０４とから構成される。そして、接点間の閉成時において接点間が閉成するよりも先に可動ばね７０３と当接し、接点閉成後に開離する絶縁材料により形成された動作規制部材７０５が固定接点板７０１に固着されている。
【０００３】
以下、上記従来例の動作について図面を用いて説明する。図１０（ｂ）は、接点間が開離した状態であって、駆動部材７０４が可動ばね７０３に当接した状態を示している。駆動部材７０４が可動ばね７０３を駆動していくと、図１０（ｃ）に示すように、先ず可動ばね７０３の先端部７０３ｂが固定接点７０１ａの接点面よりも突出している動作規制部材７０５の規制片７０５ａの先端面に当接する。続いて、図１０（ｄ）に示すように、可動ばね７０３が動作規制部材７０５に当接した状態で可動接点７０３ａが固定接点７０１ａに接触し、接点間が閉成する。その後、可動ばね７０３は駆動部材７０４によって更に駆動され、その撓みが大きくなると、図１０（ｅ）に示すように、先端部７０３ｂが規制片７０５ａの先端面から開離し、接点が接触圧を有した状態で静止する。
【０００４】
上述のように、接点間が閉成する際に、可動ばね７０３の先端部７０３ｂが動作規制部材７０５の規制片７０５ａに当接することで、可動ばね７０３の速度を減速させることができる。而して、接点間の閉成時における接点同士の衝突による衝撃を緩和させることで、接点バウンス時間を小さくしている。また、接点間の閉成後に可動ばね７０３が動作規制部材７０５から開離するため、接点の接触圧が確保される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平６−２０３７２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記従来例では、接点間が閉成した後に、可動ばね７０３の先端部７０３ｂを動作規制部材７０５から離れさせ、且つ可動ばね７０３の先端部７０３ｂと可動規制部材７０５の規制片７０５ａとの間に十分な間隔を空ける必要がある。このため、可動ばね７０３を接点間の閉成後にもオーバートラベルさせなければならず、オーバートラベル量を考慮した設計をする必要があるために、設計が困難になるという問題があった。
【０００７】
また、上記従来例では、オーバートラベルを利用して接点同士を敢えて摺動させることで各接点の真性面を露出させている。このように真性面を露出させることで、接点間の閉成時の接触抵抗を低減している。しかしながら、半導体微細加工技術により製造されるマイクロリレー等では、各接点が非常に薄く形成されるため、上述のように接点同士を摺動させると各接点が磨耗するという問題があった。更に、各接点の真性面を露出させると、接点同士が固着する虞もあり、総じて接点間の開閉性能が劣化するという問題があった。このため、マイクロリレー等では、接点間が閉成する際の衝撃を緩和するとともに、接点の接触圧を確保する目的で上記従来例の構成を採用することができない。
【０００８】
本発明は、上記の点に鑑みて為されたもので、設計が容易であって、且つ接点間の開閉性能を劣化させることなく接点間の閉成時の衝撃を緩和するとともに、接点の接触圧を確保することのできる接点装置及びそれを用いたリレー、並びにマイクロリレーを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１の発明は、上記目的を達成するために、固定接点と、固定接点に接離自在な可動接点と、可動接点を有するとともに可動接点が固定接点と接触する位置と開離する位置との間で揺動自在な可動部と、可動部と離間して設けられるとともに厚み方向の一面に固定接点が設けられた土台部とを備えた接点装置であって、可動部及び土台部の少なくとも何れか一方には、可動部又は土台部の対向する部位と当接することで可動部の変位量を規制するストッパと、ストッパ若しくは可動部と当接することで当接する際の衝撃を吸収する衝撃吸収部材とが設けられ、衝撃吸収部材は、他の部材と接触する瞬間には剛体に似た抵抗を有し、その後接触中においては概ねばね定数が無いように変形する軟質材料から成ることを特徴とする。
【００１０】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、衝撃吸収部材は、ポリジメチルシロキサンから成ることを特徴とする。
【００１１】
請求項３の発明は、請求項１又は２の発明において、衝撃吸収部材は、可動部と揺動方向に沿って常に接触するように配設されたことを特徴とする。
【００１２】
請求項４の発明は、請求項１又は２の発明において、ストッパは可動部に設けられ、土台部における前記ストッパと対向する部位には、土台部の厚み方向に窪んだ凹部が設けられ、衝撃吸収部材は膜状に形成され、凹部の開口面を覆うように配設されたことを特徴とする。
【００１３】
請求項５の発明は、請求項４の発明において、可動部は、自身に設けられた支点突起を支点として揺動自在であって、支点突起を挟んだ両端部には各々可動接点及びストッパが配設され、土台部には、各可動接点と対向するように固定接点が配設され、凹部は、その衝撃吸収部材で覆われた空間に流体が充填され、且つ凹部のうち各ストッパと対向する部位同士を互いに連結する流路を有することを特徴とする。
【００１４】
請求項６の発明は、請求項１又は２の発明において、可動部は、自身に設けられた支点突起を支点として揺動自在であって、支点突起を挟んだ両端部には各々可動接点及びストッパが配設され、土台部には、各可動接点と対向するように固定接点が配設され、且つストッパと対向する部位には、土台部の厚み方向に窪んだ凹部が設けられ、衝撃吸収部材は、可動部と揺動方向に沿って常に接触するように配設される第１の衝撃吸収部材と、膜状に形成されて凹部の開口面を覆うように配設される第２の衝撃吸収部材とから成り、凹部は、その第２の衝撃吸収部材で覆われた空間に流体が充填され、且つ凹部のうち各ストッパと対向する部位同士を互いに連結する流路を有することを特徴とする。
【００１５】
請求項７の発明は、請求項５又は６の発明において、凹部には、粘性を有する液体が充填されることを特徴とする。
【００１６】
請求項８の発明は、請求項１乃至７の何れか１項に記載の接点装置と、可動接点が固定接点に対して接離するように可動部を駆動する駆動装置とを備えたことを特徴とする。
【００１７】
請求項９の発明は、請求項８記載のリレーにおいて、駆動装置が、磁性材料より成り可動部に設けられるアーマチュアを吸引する磁場を発生させることで可動部を揺動させる電磁石装置から成るマイクロリレーであって、基板より成り電磁石装置を収納する収納部が形成され且つ厚み方向の一面側に固定接点が設けられたベースと、ベースの前記一面側に固着される枠状のフレーム、及びフレームに揺動自在に支持される可動部とアーマチュアとを有するメインブロックと、メインブロックにおけるベースの反対側で周部がフレームに固着されるカバーとを備えたことを特徴とする。
【００１８】
請求項１０の発明は、請求項８記載のリレーにおいて、駆動装置が、磁性材料より成り可動部に設けられるアーマチュアを吸引する磁場を発生させることで可動部を揺動させる電磁石装置から成るマイクロリレーであって、基板より成り厚み方向の一面側に固定接点が設けられたベースと、ベースの前記一面側に固着される枠状のフレーム、及びフレームに揺動自在に支持される可動部とアーマチュアとを有するメインブロックと、メインブロックにおけるベースの反対側で周部がフレームに固着され且つ電磁石装置を収納する収納部が形成されたカバーとを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
請求項１，２の発明によれば、衝撃吸収部材が接触する瞬間に有する剛体に似た抵抗によって、接点間の閉成時の衝撃を緩和することができる。また、衝撃吸収部材が接触後は概ねばね定数が無いように変形するため、可動接点を固定接点から引き離す反力がほぼ生じず、接点の接触圧を確保することができる。而して、従来例のようにオーバートラベル量を大きくしたり、接点同士を摺動させたりする必要がないので、設計が容易であり、且つ接点間の開閉性能を劣化させることなく上記の効果を奏することができる。
【００２０】
請求項３の発明によれば、可動部の加速が衝撃吸収部材との摺動によって妨げられるので、接点間の閉成時の衝撃を大きく緩和することができる。
【００２１】
請求項４の発明によれば、衝撃吸収部材がストッパと接触している間において、より効果的に衝撃吸収部材を変形させることができるので、接点の接触圧を十分に確保することができる。
【００２２】
請求項５の発明によれば、一方の接点間が閉成する際に、ストッパが衝撃吸収部材を押圧することにより流体が流路を介して他方の接点側に移動する。而して、他方の接点間が開成する際に、流体が衝撃吸収部材を押圧する力によって衝撃吸収部材を元の状態に復帰させることができる。また、上記の押圧力により、可動接点を固定接点から引き離すことができる。
【００２３】
請求項６の発明によれば、可動部の加速が第１の衝撃吸収部材との摺動によって妨げられるので、接点間の閉成時の衝撃を大きく緩和することができる。更に、一方の接点間が閉成する際に、ストッパが第２の衝撃吸収部材を押圧することにより流体が流路を介して他方の接点側に移動する。而して、他方の接点間が開成する際に、流体が第２の衝撃吸収部材を押圧する力によって第２の衝撃吸収部材を元の状態に復帰させることができる。また、上記の押圧力により、可動接点を固定接点から引き離すことができる。
【００２４】
請求項７の発明によれば、接点間の開成時に流体が衝撃吸収部材を押圧する力が大きくなるので、より効果的に衝撃吸収部材を元の状態に復帰させることができる。また、上記の押圧力により、可動接点を固定接点から容易に引き離すことができる。
【００２５】
請求項８の発明によれば、請求項１乃至７の何れか１項に記載の効果を奏するリレーを実現することができる。
【００２６】
請求項９，１０の発明によれば、請求項１乃至７の何れか１項に記載の効果を奏するマイクロリレーを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明に係る接点装置の実施形態１を備えたマイクロリレーを示す図で、（ａ）は断面図で、（ｂ）はメインブロックの下面図である。
【図２】本発明に係る接点装置の実施形態２を備えたマイクロリレーを示す断面図である。
【図３】本発明に係る接点装置の実施形態３を備えたマイクロリレーを示す断面図である。
【図４】本発明に係る接点装置の実施形態４を備えたマイクロリレーを示す図で、（ａ）は断面図で、（ｂ）はメインブロックの下面図である。
【図５】本発明に係る接点装置の参考例を示す図で、（ａ）は接点間が開成している状態の断面図で、（ｂ）は接点間が閉成している状態の断面図である。
【図６】同上の他の構成を示す図で、（ａ）は接点間が開成している状態の断面図で、（ｂ）は接点間が閉成している状態の断面図である。
【図７】本発明に係るマイクロリレーの基本形態１を示す図で、（ａ）は分解斜視図で、（ｂ）は下側から見た斜視図である。
【図８】本発明に係るマイクロリレーの基本形態２を示す分解斜視図である。
【図９】同上の断面図である。
【図１０】従来の接点装置を示す図で、（ａ）は全体斜視図で、（ｂ）〜（ｅ）は動作説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明に係る接点装置の実施形態を説明するにあたって、本発明の接点装置を備えたマイクロリレーの基本形態１，２について図面を用いて説明する。尚、以下の説明では、図７（ａ）における上下を上下方向と定めるものとする。
【００２９】
（基本形態１）
本基本形態は、図７（ａ），（ｂ）に示すように、ヨーク６０に巻回されたコイル６２への励磁電流に応じて磁束を発生する電磁石装置６と、矩形板状のガラス基板から成り厚み方向の一面（上面）側において長手方向の両端部それぞれに各１対の固定接点５０が設けられたベース５と、ベース５の上面側に固着される矩形枠状のフレーム３１、及びフレーム３１の内側に配置されて４本の支持ばね部３２を介してフレーム３１に揺動自在に支持される可動部３０、及び可動部３０にそれぞれ２本の接圧ばね部３５を介して支持されるとともに各々可動接点（図示せず）が設けられた２つの可動接点基台部３４、及び磁性材料より成り可動部３０に設けられて電磁石装置６により駆動されるアーマチュア（図示せず）を有するメインブロック３と、メインブロック３におけるベース５の反対側で周部がフレーム３に固着される矩形板状のガラス基板から成るカバー４とを備えている。
【００３０】
電磁石装置６におけるヨーク６０は、図７（ａ）に示すように、２つのコイル６２が直接巻回される細長の矩形板状のコイル巻回部６０ａと、コイル巻回部６０ａの長手方向の両端部それぞれから可動部３０に近づく向きに延設されてコイル６２への励磁電流に応じて互いの先端面が異極に励磁される１対の脚片６０ｂと、両脚片６０ｂの間でコイル巻回部６０ａの長手方向の中央部に重ねて配置された矩形板状の永久磁石６１と、細長の矩形板状であってコイル巻回部６０ａにおける永久磁石６１との対向面の反対側でコイル巻回部６０ａと直交するように固着される樹脂成型体６３とを備えている。尚、ヨーク６０は電磁軟鉄などの鉄板を曲げ加工あるいは鋳造加工することにより形成されており、両脚片６０ｂの断面が矩形状に形成されている。
【００３１】
永久磁石６１は、厚み方向の両磁極面が互いに異極に着磁されており、一方の磁極面がコイル巻回部６０ａに当接し、他方の磁極面が両脚片６０ｂの先端面と同一平面上に位置するように厚み寸法を設定してある。また、各コイル６２は、それぞれ永久磁石６１と両脚片６０ｂとによってコイル巻回部６０ａの長手方向への移動が規制される。樹脂成型体６３は絶縁性を有する樹脂材料から成り、その一面における長手方向の両端部にコイル端子６３ａが一部を露出する形で設けられている。この各コイル端子６３ａにおいて円形状に形成された部位が外部接続用電極を構成し、矩形状に形成された部位がコイル接続部を構成している。尚、各コイル端子６３ａにおける外部接続用電極には、導電性材料（例えば、Ａｕ，Ａｇ，Ｃｕ，半田など）から成るバンプ６４が適宜固着されるが、バンプ６４を固着する代わりにボンディングワイヤをボンディングしても構わない。
【００３２】
ベース５は、パイレックス（登録商標）のような耐熱ガラスにより矩形状に形成されており、図７（ｂ）に示すように、その中央部には厚み方向に貫通して電磁石装置６を収納する収納孔５６が貫設され、四隅の各近傍には厚み方向に貫通するスルーホール（図示せず）が貫設されている。また、ベース５の厚み方向の両面であって各スルーホールの周縁にはランド５２が形成されている。ここで、ベース５の厚み方向において重なるランド５２同士は、スルーホールの内周面に被着された導電性材料（例えば、Ｃｕ，Ｃｒ，Ｔｉ，Ｐｔ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ａｕ，或いはこれらの合金など）から成る導体層（図示せず）によって電気的に接続されている。また、ベース５の厚み方向の他面（下面）側の各ランド５２にはバンプ５３が適宜固着されており、バンプ５３をランド５２に固着することによって、ベース５の下面側ではスルーホールの開口面がバンプ５３により覆われる。各スルーホールの開口面は円形状であって、ベース５の上面には、各スルーホールの開口面及びランド５２を覆うシリコン薄膜から成る４枚の蓋体５４が固着されている。
【００３３】
各１対の固定接点５０は、図７（ａ）に示すように、ベース５の長手方向の両端部においてベース５の短手方向に離間して形成された２つのスルーホールの間で並設されており、前記短手方向において隣り合うスルーホールの周縁に形成されたランド５２と導電パターン５１を介して電気的に接続されている。ここで、固定接点５０及び導電パターン５１及びランド５２の材料としては、例えば、Ｃｒ，Ｔｉ，Ｐｔ，Ｃｏ，Ｃｕ，Ｎｉ，Ａｕ，或いはこれらの合金などの導電性材料を採用すればよく、バンプ５３の材料としては、例えば、Ａｕ，Ａｇ，Ｃｕ，半田などの導電性材料を採用すればよい。尚、スルーホール及び収納孔５６は、例えば、サンドブラスト法やエッチング法などによって形成すればよく、導体層は、例えば、電気めっき法や真空蒸着法、スパッタ法などによって形成すればよい。
【００３４】
収納孔５６の開口面は、図７（ｂ）に示すように十字状であって、ベース５の上面側には、収納孔５６を閉塞するシリコン薄膜からなる蓋体５７が固着されている。ここで、電磁石装置６は、ヨーク６０の両脚片６０ｂの各先端面が蓋体５７と対向する形で収納孔５６に挿入される。電磁石装置６は、永久磁石６１がベース５の厚み寸法内でアーマチュアとヨーク６０とで形成される磁路中に設けられ、樹脂成型体６３の表面がベース５の下面と略面一となっている。尚、蓋体５４，５７は、シリコン基板をエッチングや研磨などで薄膜化することにより形成したシリコン薄膜により構成されており、厚み寸法を２０μｍに設定してある。ここで、蓋体５７の厚み寸法は２０μｍに限定するものではなく、例えば５〜５０μｍ程度の範囲内で適宜設定すればよい。また、蓋体５４，５７は、シリコン薄膜に限らず、ガラス基板をエッチングや研磨などで薄膜化することにより形成したガラス薄膜により構成してもよい。
【００３５】
メインブロック３は、図７（ａ）に示すように、シリコン基板から成る半導体基板を半導体微細加工プロセスにより加工することによって形成された、上述の矩形枠状のフレーム３１と、４本の支持ばね部３２と、フレーム３１の内側に配置される矩形板状の可動部３０と、４本の接圧ばね部３５と、２つの可動接点基台部３４とから構成される。可動部３０におけるベース５との対向面には、例えば、軟鉄、電磁ステンレス、パーマロイなどの磁性材料から成る矩形板状のアーマチュアが固着されている。
【００３６】
支持ばね部３２は、可動部３０の短手方向の両側面側で可動部３０の長手方向に離間して２箇所に形成されている。各支持ばね部３２は、一端部がフレーム３１に一体に連結され、他端部が可動部３０に一体に連結されている。尚、各支持ばね部３２は、平面形状において一端部と他端部との間の部位を同一面内で蛇行した形状に形成することにより長さ寸法を長くしてある。このため、可動部３０が揺動する際に各支持ばね部３２にかかる応力を分散させることができ、各支持ばね部３２が破損するのを防止することができる。
【００３７】
可動部３０は、短手方向の両側縁の中央部から矩形状の突片３６が一体に延設され、フレーム３１の内周面において突片３６に対応する部位からも矩形状の突片３７が一体に延設されている。これら突片３６，３７は互いの先端面同士が対向しており、突片３６の先端面に設けられた凸部が突片３７の先端面に設けられた凹部の内周面に当接することで、フレーム３１の厚み方向に直交する面内における可動部３０の移動が規制される。
【００３８】
可動接点基台部３４は、可動部３０の長手方向において可動部３０の両端部とフレーム３１との間にそれぞれ配置され、そのベース５との対向面（下面）に導電性材料から成る可動接点が固着されている。ここで、可動接点基台部３４は、２本の接圧ばね部３５を介して可動部３０に支持されている。尚、可動部３０の四隅には、アーマチュアの変位量を制限するストッパ部３３がそれぞれ一体に延設されているため、接圧ばね部３５の平面形状は、ストッパ部３３の外周縁の３辺に沿ったコ字状に形成されている。
【００３９】
カバー４は、パイレックス（登録商標）のような耐熱ガラスにより構成されており、メインブロック３との対向面に可動部３０の揺動空間を確保する凹所（図示せず）が形成されている。
【００４０】
ここで、フレーム３１におけるベース５との対向面（下面）の周部には、全周に亘って接合用金属薄膜（図示せず）が形成され、カバー４との対向面（上面）の周部にも全周に亘って接合用金属薄膜３８ａが形成されている。また、ベース５におけるメインブロック３との対向面（上面）の周部にも全周に亘って接合用金属薄膜５５が形成され、カバー４におけるメインブロック３との対向面（下面）の周部にも全周に亘って接合用金属薄膜（図示せず）が形成されている。したがって、メインブロック３とカバー４とベース５とを圧接又は陽極接合により気密的に接合することができ、ベース５とカバー４とフレーム３１とで囲まれる空間の気密性を向上させることができる。
【００４１】
以下、本基本形態の動作について説明する。コイル６２へ通電が行われると、磁化の向きに応じてアーマチュアの長手方向の一端部がヨーク６０の一方の脚片６０ｂに吸引されて可動部３０が揺動し、可動部３０の他端側の可動接点基台部３４に保持された可動接点が対向する１対の固定接点５０に所定の接点圧で接触する。この状態で通電を停止しても、永久磁石６１の発生する磁束により、吸引力が維持され、そのままの状態が保持される。
【００４２】
また、コイル６２への通電方向を逆向きにすると、アーマチュアの長手方向の他端部がヨーク６０の他方の脚片６０ｂに吸引されて可動部３０が揺動し、可動部３０の他端側の可動接点基台部３４に保持された可動接点が対向する１対の固定接点５０に所定の接点圧で接触する。この状態で通電を停止しても、永久磁石６１の発生する磁束により、吸引力が維持され、そのままの状態が保持される。
【００４３】
（基本形態２）
本基本形態は、図８，９に示すように、主として、ベース１００と、ベース１００の厚み方向の一面（上面）側に設けられるメインブロック２００と、メインブロック２００におけるベース１００側とは反対側（上側）に設けられるカバー３００と、電磁石装置４００とを備えている。
【００４４】
ベース１００は、例えば直方体状のガラス基板により形成されており、図８に示すように、ベース１００の上面側における長手方向両端側それぞれには、１対の伝送線路１１０が形成されている。伝送線路１１０は何れも直線状に形成されており、その長手方向がベース１００の短手方向と一致している。また、１対の伝送線路１１０は、ベース１００の短手方向に沿って一直線上に並設されている。ここで、ベース１００の厚み方向の他面（下面）側の長手方向両端側それぞれには、１対の外部接続電極（図示せず）が形成されている。当該１対の外部接続電極は、それぞれ１対の伝送線路１１０各々とベース１００を厚み方向に貫通する貫通孔配線（図示せず）を介して電気的に接続されている。
【００４５】
また、ベース１００の上面側には、伝送線路１１０に電気的に接続される複数の固定接点１２０が形成されている。各固定接点１２０は、各伝送線路１１０においてベース１００の内側となる端部に接続されている。よって、ベース１００の左右両端側それぞれには、固定接点１２０が１対ずつ形成されている。尚、各伝送線路１１０においてベース１００の外側となる端部は、上述の貫通孔配線を介して外部接続電極に電気的に接続されている。また、固定接点１２０は、例えばＣｕやＡｕなどの導電性が良好な金属材料から成る金属薄膜であって、スパッタ法や電気めっき法、真空蒸着法などを利用して形成されている。更に、固定接点１２０は、単層構造に限らず、例えばＡｕ層と、Ａｕ層とベース１００との間に介在されるＴｉ層とから成る多層構造であってもよい。
【００４６】
メインブロック２００は、主として、可動部２１０と、フレーム２２０とを有する。フレーム２２０は、矩形枠状に形成されており、このフレーム２２０の開口内に可動部２１０が配置される。ここで、フレーム２２０の開口は、フレーム２２０の中央部に設けられた矩形状の第１の開口部２３０と、フレーム２２０の長手方向の両端側それぞれに設けられた第２の開口部２３１とを含む。第２の開口部２３１は、それぞれ上下方向の中央部において第１の開口部２３０と連通している。尚、フレーム２２０の外形寸法はベース１００の外形寸法と等しくしてある。
【００４７】
可動部２１０は、フレーム２２０の第１の開口部２３０内に配置される本体部２１１を有している。本体部２１１は矩形板状に形成され、その長手方向をフレーム２２０の長手方向に沿わせた形で第１の開口部２３０内に配置される。本体部２１１の短手方向両端部の各中央部には、接点用突片２１２が突設されており、その先端部は第２の開口部２３１内に配置されている。接点用突片２１２におけるベース１００との対向面（下面）には、可動接点２１３が設けられている（図９参照）。可動接点２１３は、１対の固定接点１２０と接触した際に当該１対の固定接点１２０間を短絡するように構成されている。尚、可動接点２１３は、固定接点１２０と同様にＣｕやＡｕなどの金属材料から成る金属薄膜であり、スパッタ法や電気めっき法、真空蒸着法などを利用して形成されている。また、可動接点２１３も、単層構造に限らず、上述の固定接点１２０と同様に多層構造であってもよい。
【００４８】
一方、本体部２１１におけるカバー３００との対向面（上面）の中央部には、支点突起２１４が突設されている。この支点突起２１４は、可動部２１０の揺動動作（シーソー動作）の支点として用いられる。
【００４９】
このような可動部２１０は、複数（図示では４つ）の支持片２４０によりフレーム２２０と一体に連結されている。支持片２４０は、それぞれフレーム２２０の第１の開口部２３０の長手方向における内側面と、本体部２１１の短手方向の外側面とを一体に連結するように構成されている。４つの支持片２４０は、本体部２１１の中心を中心として点対称となるように配置されている。また、支持片２４０は、厚み方向に直交する面内で本体部２１１の長手方向に沿った方向に進退するように蛇行した形状に形成されている。これによって、可動部２１０がフレーム２２０に揺動自在に支持されるようになっている。また、各支持片２４０を蛇行した形状に形成することで長さ寸法を長くし、可動部２１０が揺動動作する際に支持片２４０に加えられる応力を分散している。
【００５０】
上述したメインブロック２００において、可動部２１０とフレーム２２０と支持片２４０とは、例えば５０μｍ〜３００μｍ程度、好ましくは２００μｍ程度の厚みの半導体基板２５をフォトリソグラフィ技術及びエッチング技術などの半導体微細加工技術を利用してパターニングすることにより一体に形成されている。尚、半導体基板２５は、シリコンから成る半導体層と、酸化シリコン（ＳｉＯ２）より成る絶縁層とを交互に積層したＳＯＩ（２層ＳＯＩ）基板である。
【００５１】
可動部２１０の本体部２１１におけるカバー３００との対向面（上面）には、アーマチュア５００が設けられている。アーマチュア５００は、電磁石装置４００が発生する磁場により可動部２１０を揺動させるために用いられている。アーマチュア５００は、例えば電磁軟鉄、電磁ステンレス、パーマロイなどの磁性材料を機械加工して矩形板状に形成され、接着、溶接、熱着、ロウ付けなどの方法によって本体部２１１に接合されている。また、可動部２１０におけるベース１００との対向面（下面）側には、アーマチュア５００を可動部２１０に保持するとともに可動部２１０を補強する補強部材６００が設けられている。尚、補強部材６００によってマイクロリレーの厚み寸法が大きくなるのを避けるために、ベース１００には補強部材６００を避ける凹部１３０が凹設されている（図９参照）。
【００５２】
上述したメインブロック２００は、可動接点２１３と１対の固定接点１２０とがそれぞれ対向する形で、フレーム２２０をベース１００に接合することによって、ベース１００の上面側に取付けられる。
【００５３】
カバー３００は、例えば絶縁性材料であるガラス基板により形成されており、その外形寸法はベース１００の外形寸法と等しくしてある。このようにカバー３００は、フレーム２２０の開口を閉塞できる大きさに形成されている。カバー３００におけるフレーム２２０側とは反対側の面（上面）の中央部には、厚み方向に貫通する開孔部３１０が形成されている。開孔部３１０は、電磁石装置４００を収納できる大きさに形成され、そのフレーム２２０側の面（下面）には、開孔部３１０全体を閉塞する閉塞板３２０が密着接合されている。閉塞板３２０は、例えば厚みが５〜５０μｍ程度（好ましくは２０μｍ程度）に形成されたシリコン板やガラス板などから成る。この開孔部３１０の内周面と閉塞板３２０とで囲まれる空間部が電磁石装置４００の収納室を構成している。上述のカバー３００は、フレーム２２０におけるベース１００側とは反対側の面（上面）に接合される。
【００５４】
電磁石装置４００は、アーマチュア５００を吸引する磁場を発生させるもので、可動部２１０をラッチするための永久磁石４１０を備えている。電磁石装置４００は、主として、ヨーク４２０と、１対のコイル４３０とを備えている。ヨーク４２０は、長尺矩形板状の主片４２１と、主片４２１の表面側（下面側）の長手方向両端部それぞれに突設された矩形板状の脚片４２２とを一体に備えている。このようなヨーク４２０は、電磁軟鉄などの鉄板を曲げ加工或いは鍛造加工することにより形成されている。永久磁石４１０は、直方体状に形成され、厚み方向の一面側と他面側とが互いに異極となるように着磁されている。この永久磁石４１０は、上記他面をヨーク４２０の主片４２１の下面における長手方向中央部に当接させるようにして、ヨーク４２０に取り付けられる。１対のコイル４３０は、主片４２１における各脚片４２２と永久磁石４１０との間の部位それぞれに配置される。
【００５５】
また、電磁石装置４００には、１対のコイル端子（図示せず）が設けられている。この１対のコイル端子間に電圧を印加することで、両コイル４３０に電流が流れる。このような電磁石装置４００は、カバー３００の上記収納室に収納される。ここで、カバー３００におけるメインブロック２００側とは反対側の面（上面）には、直線状の配線パターン（図示せず）が形成されており、この配線パターンの一端部にコイル端子が半田付けなどによって電気的に接続される。
【００５６】
ベース１００の下面側には、両コイル４３０に通電するための駆動電極（図示せず）が設けられており、この駆動電極と配線パターンの他端部とが厚み方向で重なる位置に、ベース１００、メインブロック２００、カバー３００を厚み方向に貫通する貫通孔（図示せず）が貫設されている。この貫通孔内には貫通孔配線（図示せず）が形成されており、この貫通孔配線と配線パターンとを介して駆動電極とコイル端子とが電気的に接続される。
【００５７】
以下、本基本形態の動作について説明する。両コイル４３０への通電が行われると、磁化の向きに応じてアーマチュア５００の長手方向の一端部がヨーク４２０の一方の脚片４２２に吸引されて可動部２１０の本体部２１１が揺動し、本体部２１１の長手方向一端側の接点用突片２１２に設けられた可動接点２１３が対向する１対の固定接点１２０に所定の接点圧で接触する。この状態で通電を停止しても、永久磁石４１０の発生する磁束により、吸引力が維持され、そのままの状態が保持される。
【００５８】
また、両コイル４３０への通電方向を逆向きにすると、アーマチュア５００の長手方向の他端部がヨーク４２０の他方の脚片４２２に吸引されて可動部２１０の本体部２１１が揺動し、本体部２１１の長手方向他端側の接点用突片２１２に設けられた可動接点２１３が対向する１対の固定接点１２０に所定の接点圧で接触する。この状態で通電を停止しても、永久磁石４１０の発生する磁束により、吸引力が維持され、そのままの状態が保持される。
【００５９】
上述のように、本基本形態では電磁石装置４００をカバー３００の開孔部３１０に収納しているので、電磁石装置４００をベース１００に収納する場合と比較してベース１００の厚みを薄くすることができる。このため、固定接点１２０を外部接続電極に接続するための貫通孔配線を短くすることができ、高周波特性を向上させることができる。また、電磁石装置４００と固定接点１２０との間の距離を長くすることができるので、電磁石装置４００が発生する磁場による影響を低減することができる。
【００６０】
以下、本発明に係る接点装置の各実施形態について図面を用いて説明する。尚、各実施形態を説明する図面においては、各実施形態を備えたマイクロリレーを記載しており、その基本的な構成は基本形態２と共通である。したがって、基本形態２と共通する部分には同一の番号を付すとともに、説明を省略する。また、以下の説明では、図１（ａ）における上下左右を上下左右方向、紙面手前側に向かう方向を前方向、紙面奥側に向かう方向を後方向と定めるものとする。
【００６１】
（実施形態１）
以下、本発明に係る接点装置の実施形態１について図面を用いて説明する。本実施形態は、図１（ａ），（ｂ）に示すように、１対の固定接点１０と、各固定接点１０に接離自在な１対の可動接点２１ａと、可動接点２１ａを有するとともに可動接点２１ａが固定接点１０と接触する位置と開離する位置との間で揺動自在な可動部２とを備える。更に、可動部２と離間して設けられるとともに厚み方向の一面（上面）に各固定接点１０が設けられたベース（土台部）１を備える。尚、ベース１における可動部２の長手方向両端部（左右両端部）と対向する部位にそれぞれ固定接点１０が設けられている。また、本実施形態の可動部２は、カバー３００と対向する一面（上面）に設けられた矩形板状のアーマチュア５００が電磁石装置４００によって吸引されることで揺動するようになっている。
【００６２】
可動部２は、揺動自在に支持される矩形板状の本体部２０と、本体部２０の左右両端部と離間して設けられるとともに固定接点１０と対向する一面（下面）に可動接点２１ａが設けられた矩形板状の１対の接点部２１と、弾性を有し可動部２の左右両端部において本体部２０と接点部２１とを各々互いに連結する２対の支持部２２とから成る。
【００６３】
本体部２０の上面略中央部には、上方に向かって突出する支点突起２０ｂが一体に形成されており、この支点突起２０ｂが可動部２の揺動する際の支点となる。また、本体部２０の左右両端部の下面には、下方に突出するストッパ２０ａがそれぞれ１対ずつ一体に形成されている。これらストッパ２０ａは、可動部２が揺動する際に下端部がベース１に設けられた後述する衝撃吸収部材１１と当接することで、可動部２の上下方向の変位量を規制している。
【００６４】
ベース１の各ストッパ２０ａと対向する部位には、それぞれ厚み方向（下方向）に窪んだ複数（図示では２つ）の凹部１２が設けられている。そして、各凹部１２の開口面を覆うように膜状に形成された衝撃吸収部材１１が配設されている。衝撃吸収部材１１は、例えばＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）のような軟質材料のシリコーンゴムから成る。この衝撃吸収部材１１は、他の部材と接触する瞬間には剛体に似た抵抗を有し、その後接触中においては概ねばね定数が無いように変形する特性を有する。
【００６５】
以下、本実施形態における接点間の閉成時の動作について図１（ａ）を用いて説明する。両コイル４３０への通電が行われると、磁化の向きに応じてアーマチュア５００の長手方向の一端部（図示では右端部）がヨーク４２０の一方の脚片４２２に吸引されて可動部２の本体部２０が揺動する。そして、本体部２０の長手方向一端側（図示では左側）の接点部２１に設けられた可動接点２１ａが、対向する固定接点１０に向かって移動する。ここで、ストッパ２０ａ及び可動接点２１ａは、ストッパ２０ａの先端部が衝撃吸収部材１１に衝突した後に、可動接点２１ａが固定接点１０に当接するような関係に設定している。即ち、ストッパ２０ａの先端部が衝撃吸収部材１１に衝突した後にストッパ２０ａが衝撃吸収部材１１を徐々に押し込むことで、可動接点２１ａが固定接点１０に到達する。そして、駆動力によって支持部２２が撓むことによって、可動接点２１ａは完全に固定接点１０と接触するようになっている。
【００６６】
ここで、ストッパ２０ａが衝撃吸収部材１１に衝突すると、衝撃吸収部材１１の有する特性、即ち、衝突する瞬間には剛体に似た抵抗を有する特性によって、衝突エネルギーが緩和される。而して、可動接点２１ａが固定接点１０に向かう速度を減速することができる。そして、ストッパ２０ａが衝撃吸収部材１１に衝突した後は、衝撃吸収部材１１が概ねばね定数が無いように変形するため、衝撃吸収部材１１のストッパ２０ａに対する反力がほぼ生じない。このため、衝撃吸収部材１１がストッパ２０ａを上方へと押し戻すことが無いので、可動接点２１ａと固定接点１０とが接触している状態を妨げることがない。このため、接点の接触圧を確保することができる。
【００６７】
上述のように、衝撃吸収部材１１が有する特性を利用することにより、接点間の閉成時の衝撃を緩和しつつ接点の接触圧を確保することができる。而して、接点の変形や接点同士の固着を防止するとともに、接点間の閉成時の電気的損失を低減することができる。また、従来例のようなオーバートラベルはあるが、本来可動接点２１ａを押したい距離だけのトラベル量で十分であるので、従来のように動作規制片７０５ａから可動ばね７０３を外さなければならないような大きいオーバートラベルを考慮する必要がない。而して、従来例のようにオーバートラベル量を大きくする必要がないので容易に設計することができる。更に、従来例のように接点同士の摺動を必要としないので、接点間の開閉性能を劣化させることがない。
【００６８】
尚、衝撃吸収部材１１は全くばね定数を有さないわけではなく、自身に加わる圧力が無くなると徐々に元の状態に復帰する。しかしながら、この復帰力は非常に弱いため、接点間を短時間に開閉する場合には、接点間の次回の閉成時に衝撃吸収部材１１が元の状態に戻っておらず、上記で挙げた効果を奏することができない。ここで、凹部１２の衝撃吸収部材１１で覆われた空間が密閉空間であれば、ストッパ２０ａによって衝撃吸収部材１１が押された際に当該空間が圧縮される。而して、接点間の開成時に当該空間が圧縮状態から元の状態に遷移する際の圧力によって衝撃吸収部材１１を元の状態に復帰させることができる。この場合、前記衝撃吸収部材１１の復帰力及び前記圧力を、可動接点２１ａを固定接点１０から引き離す程度の反力とならない程度に抑えるのが望ましい。
【００６９】
（実施形態２）
以下、本発明に係る接点装置の実施形態２について図面を用いて説明する。但し、本実施形態の基本的な構成は実施形態１と共通であるので、共通する部位には同一の番号を付して説明を省略する。本実施形態は、図２に示すように、本体部２０の短手方向一端側（前側）の各凹部１２と、本体部２０の短手方向他端側（後側）の各凹部１２とをそれぞれ上面を開口した流路１２ａで互いに連結している（図示では前側の凹部１２のみ）。そして、流路１２ａを含む前後両側の各凹部１２の開口面をそれぞれ覆うように左右方向に長尺な膜状の衝撃吸収部材１１が２つ（図示では１つ）配設されている。また、流路１２ａを含む各凹部１２は、その衝撃吸収部材１１で覆われた空間に流体Ａ（本実施形態では、空気）が充填されている。
【００７０】
以下、本実施形態における接点間の開閉動作について図２を用いて説明する。尚、以下の説明では、右側の接点間が閉成している状態であると仮定する。両コイル４３０への通電が行われると、実施形態１と同様に、アーマチュア５００の右端部がヨーク４２０の一方の脚片４２２に吸引されて可動部２の本体部２０が揺動する。そして、右側の接点間が開成されるとともに、左側の接点部２１に設けられた可動接点２１ａが、対向する固定接点１０に向かって移動する。左側のストッパ２０ａが衝撃吸収部材１１の左端部に衝突すると、衝撃吸収部材１１の左端部が下方に撓むことにより左側の凹部１２に充填された流体Ａが押圧され、流路１２ａを介して右側の凹部１２に押し流される。一方、右側の凹部１２では、流路１２ａを介して流入する流体Ａによって衝撃吸収部材１１の右端部を上方へ押圧する。このため、衝撃吸収部材１１の右端部が上方へと撓み、元の状態に復帰する。
【００７１】
上述のように、接点間の開成時において、流体Ａが衝撃吸収部材１１を押圧する力によって衝撃吸収部材１１を元の状態に復帰させることができる。このため、接点間を短時間に開閉することが可能となる。また、衝撃吸収部材１１が上方へ押圧される際に、接点部２１及び支持部２２も押し上げられるように設定されている。而して、仮に接点同士が固着していた場合でも、上記の押圧力により接点部２１及び支持部２２が上方へ押し上げられるため、可動接点２１ａを固定接点１０から引き離すことができる。
【００７２】
（実施形態３）
以下、本発明に係る接点装置の実施形態３について図面を用いて説明する。但し、本実施形態の基本的な構成は実施形態１と共通であるので、共通する部位には同一の番号を付して説明を省略する。本実施形態は、図３に示すように、左右方向に長尺な２つ（図示では１つ）の凹部１２を本体部２０の短手方向の一端側と他端側とにそれぞれ設けている。そして、各凹部１２の開口面を覆うように左右方向に長尺な膜状の衝撃吸収部材１１が配設されている。また、各凹部１２は、その衝撃吸収部材１１で覆われた空間に流体Ａ（本実施形態では、空気）が充填されており、左右方向における中央部が左右両端部を互いに連結する流路１２ａとなっている。尚、凹部１２においてストッパ２０ａと対向する部位は、その前後方向の幅寸法が流路１２ａの前後方向の幅寸法よりも大きい広がりをもった構造となっている。更に、衝撃吸収部材１１は、そのストッパ２０ａと対向する左右両端部が接点間の開成時において上方へ突出するように形成されている。
【００７３】
以下、本実施形態における接点の開閉動作について図３を用いて説明する。尚、以下の説明では、右側の接点間が閉成している状態であると仮定する。両コイル４３０への通電が行われると、実施形態１，２と同様に、アーマチュア５００の右端部がヨーク４２０の一方の脚片４２２に吸引されて可動部２の本体部２０が揺動する。そして、右側の接点間が開成されるとともに、左側の接点部２１に設けられた可動接点２１ａが、対向する固定接点１０に向かって移動する。ここで、左側のストッパ２０ａが衝撃吸収部材１１の左端部に衝突すると、衝撃吸収部材１１の左端部が下方に撓むことにより凹部１２の左端部に充填された流体Ａが押圧され、流路１２ａを介して凹部１２の右端部に押し流される。一方、凹部１２の右端部では、流路１２ａを介して流入する流体Ａによって衝撃吸収部材１１の右端部を上方へ押圧する。このため、衝撃吸収部材１１の右端部が上方へと撓み、元の状態に復帰する。
【００７４】
上述のように、接点間の開成時において、流体Ａが衝撃吸収部材１１を押圧する力によって衝撃吸収部材１１を元の状態に復帰させることができる。このため、接点間を短時間に開閉することが可能となる。また、衝撃吸収部材１１が上方へ押圧される際に、接点部２１及び支持部２２も押し上げられるように設定されている。而して、仮に接点同士が固着していた場合でも、上記の押圧力により接点部２１及び支持部２２が上方へ押し上げられるため、可動接点２１ａを固定接点１０から引き離すことができる。ここで、衝撃吸収部材１１の左右両端部が接点間の開成時において上方へ突出するように形成されているので、ストッパ２０ａを上方へと押し上げる力が実施形態２と比較して大きくなる。而して、より効果的に可動接点２１ａを固定接点１０から引き離すことができる。
【００７５】
尚、上記実施形態２，３では、凹部１２に充填する流体Ａとして空気を採用しているが、窒素等の他の気体を採用しても構わない。また、流体Ａとしてシリコーン、シリコングリス、エチレングリコールといった粘性を有する液体を採用してもよい。
【００７６】
（実施形態４）
以下、本発明に係る接点装置の実施形態４について図面を用いて説明する。但し、本実施形態の基本的な構成は実施形態１と共通であるので、共通する部位には同一の番号を付して説明を省略する。本実施形態は、図４（ａ），（ｂ）に示すように、本体部２０の左右両端縁と各々接触するように接点部２１を挟んだ前後両側に複数（図示では４つ）の衝撃吸収部材１３を配設している。衝撃吸収部材１３は、何れも上記各実施形態の衝撃吸収部材１１と同じ材料から膜状に形成され、その上下両端部がそれぞれカバー３００の下面及びベース１の上面と当接している。
【００７７】
以下、本実施形態における接点間の閉成時の動作について図４（ａ）を用いて説明する。両コイル４３０への通電が行われると、実施形態１〜３と同様に、アーマチュア５００の右端部がヨーク４２０の一方の脚片４２２に吸引されて可動部２の本体部２０が揺動する。そして、右側の接点間が開成されるとともに、左側の接点部２１に設けられた可動接点２１ａが、対向する固定接点１０に向かって移動する。ここで、本体部２０の左端縁が左側の衝撃吸収部材１３と接触しているため、本体部２０の左端縁が衝撃吸収部材１３と摺動する。而して、本体部２０と衝撃吸収部材１３との摺動によって可動部２の加速が妨げられる。また、可動接点２１ａと固定接点１０とが接触した後は、衝撃吸収部材１３が本体部２０との摺動によって変形された状態が維持されるため、可動接点２１ａを固定接点１０から引き離す反力が生じることがない。而して、接点の接触圧を確保することができる。
【００７８】
上述のように、可動部２の加速が衝撃吸収部材１３との摺動によって妨げられるので、可動接点２１ａが固定接点１０に向かう速度を減速させることができる。而して、接点間の閉成時の衝突エネルギーを大きく緩和することができる。
【００７９】
尚、図示しないが、実施形態２，３の何れかと本実施形態とを組み合わせて構成してもよい。即ち、ベース１とカバー３００との間に衝撃吸収部材１３（第１の衝撃吸収部材）を設けるとともに、ベース１上面に衝撃吸収部材１１（第２の衝撃吸収部材）及び凹部１２を設けてもよい。この場合、各実施形態の効果を同時に奏することができ、望ましい。
【００８０】
（参考例）
以下、本発明に係る接点装置の参考例について図面を用いて説明する。但し、本参考例の基本的な構成は実施形態１と共通であるので、共通する部位には同一の番号を付して説明を省略する。尚、以下の説明では、図５（ａ）における上下を上下方向と定めるものとする。本参考例は、図５（ａ），（ｂ）に示すように、ストッパ２０ａ及び衝撃吸収部材１１，１３、並びに凹部１２を設ける代わりに、ストッパとしての機能を有する衝撃吸収部材１４をベース１上面に設けている。衝撃吸収部材１４は、上記各実施形態の衝撃吸収部材１１，１３と同じ材料から略直方体状に形成され、その下端部がベース１上面に固着されている。
【００８１】
以下、本参考例における接点間の閉成時の動作について図５（ａ），（ｂ）を用いて説明する。可動接点２１ａが固定接点１０に向かって移動すると、可動接点２１ａが固定接点１０と接触する前に衝撃吸収部材１４の上端部が接点部２１の下面と衝突する。このとき、衝撃吸収部材１１の有する特性、即ち、衝突する瞬間には剛体に似た抵抗を有する特性によって、衝突エネルギーが緩和される。而して、可動接点２１ａが固定接点１０に向かう速度を減速することができる。そして、接点部２１が衝撃吸収部材１４に衝突した後は、衝撃吸収部材１４が概ねばね定数が無いように変形するため、衝撃吸収部材１４の接点部２１に対する反力がほぼ生じない。このため、衝撃吸収部材１４が接点部２１を上方へと押し戻すことが無いので、可動接点２１ａと固定接点１０とが接触している状態を妨げることがない。このため、接点の接触圧を確保することができる。
【００８２】
勿論、図６（ａ），（ｂ）に示すように、衝撃吸収部材１４を接点部２１下面に設けてもよい。この場合も、衝撃吸収部材１４の下端部がベースの上面と衝突し、その後衝撃吸収部材１４が概ねばね定数が無いように変形するため、上記と同様の効果を奏することができる。
【００８３】
尚、上記各実施形態及び参考例の接点装置は基本形態１，２の何れにも採用することができる。基本形態１に上記各実施形態及び参考例の接点装置を採用する場合は、ベース５をベース１、固定接点５４を固定接点１０、可動接点基台部３４に設けられた可動接点を可動接点２１ａ、可動部３０を可動部２に各々置き換えればよい。また、基本形態２に上記各実施形態及び参考例の接点装置を採用する場合は、ベース１００をベース１、固定接点１２０を固定接点１０、可動接点２１３を可動接点２１ａ、可動部２１０を可動部２に各々置き換えればよい。勿論、本発明の接点装置を備えたリレーとしては、上記基本形態のマイクロリレーに限定されるものではなく、他の構造を有するリレー及びマイクロリレーに本発明の接点装置を採用しても構わない。また、可動部を揺動させるための駆動装置は上記の電磁駆動式に限定される必要はなく、例えば静電駆動式の駆動装置を採用しても構わない。
【符号の説明】
【００８４】
１  ベース（土台部）
１０  固定接点
１１  衝撃吸収部材
２  可動部
２０ａ  ストッパ
２１ａ  可動接点
【図１】
2011134506.tif 000003
【図２】
2011134506.tif 000004
【図３】
2011134506.tif 000005
【図４】
2011134506.tif 000006
【図５】
2011134506.tif 000007
【図６】
2011134506.tif 000008
【図７】
2011134506.tif 000009
【図８】
2011134506.tif 000010
【図９】
2011134506.tif 000011
【図１０】
2011134506.tif 000012