(57)【要約】【課題】  メンテナンス性に優れた真空用バルブを提供することを目的とする。【解決手段】  流路となる複数の開口面を備えた真空用バルブにおいて、前記開口面のうちの少なくとも１つの開口面から前記真空用バルブの弁体を取り出すことができるように構成したことを特徴とする。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路となる複数の開口面を備えた真空用バルブにおいて、前記開口面のうちの少なくとも１つの開口面から前記真空用バルブの弁体を取り出すことができるように構成したことを特徴とする真空用バルブ。
【請求項２】
前記開口面の直径を、前記弁体の外径よりも大きくしたことを特徴とする請求項１に記載の真空用バルブ。
【請求項３】
前記真空用バルブの筐体を、前記弁体を支持するシリンダロッド用の通孔が設けられた部材と、前記開口面を備えた部材とから構成するとともに一体成型したことを特徴とする請求項１又は２に記載の真空用バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空容器を真空ポンプで真空排気する際に、排気系統を切り換える等の目的で使用される真空バルブに関しに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、真空用バルブとして、例えば、特許文献１に開示がされている。この種のバルブは、通常は、図１に示すように、ピストンロッド１により中空円筒状の筐体２内の長手方向に移動する弁体３を備え、弁体３により開閉する排気口４を筐体２の長手方向の端面に備え、筐体２の側面にフランジ部を備えた中空円筒体５を立設して、その端面に排気口となる開口面６を形成して、内部流路がＬ型の真空用バルブとして構成されたものである。
【０００３】
上記真空用バルブの筐体２の内壁や弁体３のメンテナンスを行う際に、筐体２を分解する必要があった。
しかしながら、高真空用及び／又は高純度ガス用の真空用バルブ等をはじめとして、このような真空用バルブには他の配管や大型の機器等が接続されているので、筐体２の分解の前に、接続された配管等の取り外し作業が必要となるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−３２４０５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本発明は、メンテナンス性に優れた真空用バルブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の解決手段は、請求項１に記載の通り、流路となる複数の開口面を備えた真空用バルブにおいて、前記開口面のうちの少なくとも１つの開口面から前記真空用バルブの弁体を取り出すことができるように構成したことを特徴とする。
また、請求項２記載の本発明は、請求項１に記載の真空用バルブにおいて、前記開口面の直径を、前記弁体の外径よりも大きくしたことを特徴とする。
また、請求項３記載の本発明は、請求項１又は２に記載の真空用バルブにおいて、前記真空用バルブの筐体を、前記弁体を支持するシリンダロッド用の通孔が設けられた部材と、前記開口面を備えた部材とから構成するとともに一体成型したことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、バルブを構成する弁体を流路を構成する開口面から取り出してメンテナンスすることができる。従って、弁体を移動させるピストンロッドとともに取り外す必要がない。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】従来の真空用バルブの側断面図
【図２】（ａ）本発明の一実施の形態の真空用バルブの側断面図（ｂ）同底面図（ｃ）同右側面図
【図３】弁体の取り外し状態の説明図
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明の真空用バルブは、筐体内に弁体と弁座とを備えて、弁として機能するものである。
図２に示される本発明の一実施の形態の真空用バルブは、略立方体形状の筐体１０の底面に弁開口面１１が設けらている。弁開口面１１から筐体１０の内部に向かって流路が形成されており、該流路は、横方向に設けられた流路と直交する部位において、流路断面が狭くなっており、この部位に弁座１２が形成される。
弁座１２の上面に着座して弁の開閉を行う弁体１３は、筐体１０の上面から挿通されるピストンロッド１４の先端部に固定される。図示した例では、ピストンロッド１４の先端部の鍔部に弁体１３の上部を嵌合することにより固定される。また、弁体１３の弁座１２と当接する面の外周部には、リング状のシール部材１５が設けられ、弁体１３が着座した際のシール性を高めるようにしている。尚、筐体１０の上壁１０ｈには、ピストンロッド１４が挿通される通孔１６が設けられているが、この通孔１６の内周面にもシール部材１７を設け、ピストンロッド１４と通孔１６とのシール性を高めるようにしている。また、筐体１０の上面を構成する上壁１０ｈと、筐体の側面を構成する側壁（図示したものでは、１０ｄ，１０ｆ）との接合面にも同様の目的でＯリング等のシール部材が介挿されている。
また、筐体１０の内部には、上述した通り、弁開口面１１から筐体１０の上面に向かう流路に対して直交する方向に流路が形成され、この流路は、筐体１０の右側面に形成された第１の開口面１８、左側面に形成された第２の開口面２０を介して、それぞれ、外部流路に接続されるようになっている。尚、筐体１０の底面及び両側面には、図２の（ｂ）及び（ｃ）に示すように、接続配管のフランジ部を固定するためのボルト孔２４，２５が設けられている。
上記真空用バルブは、エアシリンダ等の駆動機構２１によりピストンロッド１４を上下方向に移動させ、その先端部に設けられた弁体１３を弁座１２に当接及び離間させることにより、筐体１０の内部に設けられた流路の開閉を行うことができる。
【００１０】
本実施の形態では、第１の開口面１８は、弁体１３を筐体１０の外部に取り出すことができる大きさに構成されている。これにより、弁開口面１１や第２の開口面２０（第１の開口面１８以外の開口面）に配管を接続した状態であっても、図３に示すように弁体１３を取り外したり、筐体１０の内部の清掃等のメンテナンスが可能となる。しかも、弁体１３を駆動させるピストンロッド１４を筐体１０から取り外す必要がない。
【００１１】
尚、第１の開口面１８を介して、弁体１３を筐体１０の外部に取り出すことができる大きさに構成する方法としては、弁体１３の任意の面への投影形状のうちの最低１つのパターンの投影形状が、第１の開口面１８内に収まるように構成することをいうものとし、例えば、弁体１３が円板状の部材であれば、その直径ａよりも第１の開口面１８の最大内径ｂを長くする方法等を採用することができる。
【００１２】
上記のように、弁体１３を第１の開口面１８から取り出すことができる構造は、図１に示されるように、筐体１０の上壁１０ｈを除いた上面開口の箱体、即ち、底壁１０ｃとその周りに立設する４枚の側壁（図示されるものは、２枚の側壁１０ｄ，１０ｆ）を一体として構成した場合、或いは、上記箱体と上壁１０ｈとを一体として構成した場合に特に有効である。従来のバルブ構造のように、弁体１３が第１の開口面１８から抜き取ることができない構造の場合、上壁１０ｈは別部品としないと組立が不可能となるが、第１の開口面１８から抜き取ることが可能な構造にすることで、上壁１０ｈを一体成型しても組立が可能となるからである。このような、一体成型は、アルミニウム又はアルミニウム合金からなるブロックを切削加工して得ることができる。
【００１３】
また、図示した例では、第１の開口面１８は、筐体１０の右側面のみに形成したが、その数を制限するものではない。また、筐体１０の形状に関しても、直方体や立方体等の形状に限定するものでもない。
【符号の説明】
【００１４】
１  ピストンロッド
２  筐体
３  弁体
４  排気口
５  中空円筒体
６  開口面
１０  筐体
１０ａ  筐体底面
１０ｂ  筐体右側面
１０ｃ  底壁
１０ｄ  側壁
１０ｆ  側壁
１０ｈ  上壁
１１  弁開口面
１２  弁座
１３  弁体
１４  ピストンロッド
１４ａピストンロッドの鍔部
１５  シール部材
１６  通孔
１７  シール部材
１８  第１の開口面
１９  ボルト
２０  第２の開口面（第１の開口面と対向位置の開口面）
２１  駆動機構
２４  ボルト孔
２５  ボルト孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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