(57)【要約】【課題】被印加物に短時間で精度よく圧力を印加でき、かつ、装置の構成を簡素化することが可能な圧力印加方法および圧力印加装置を提供すること。【解決手段】被検体１００に検査時に必要な所定の第２圧力を印加する際には、まず、圧力センサ３０が検出する検出圧力に係わらず、ピストン２２を変位させて被検体１００に第１圧力を印加し、次に、圧力センサ３０が検出する検出圧力に応じてピストン２２を変位させて、ピストン装置２０で被検体１００に印加する圧力を所定の第２圧力に調整する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダおよび該シリンダ内に変位可能に配設されたピストンを有するピストン装置と、被印加物に印加される圧力を検出する圧力検出手段とを用いて、前記被印加物に圧力を印加する圧力印加方法であって、
前記圧力検出手段が検出する検出圧力に係わらず、前記被印加物に第１圧力を印加する第１工程と、
前記第１工程の後に、前記圧力検出手段が検出する検出圧力に応じて前記ピストンを変位させて、前記ピストン装置で前記被印加物に所定の第２圧力を印加する第２工程と、を備えることを特徴とする圧力印加方法。
【請求項２】
前記第１工程では、前記ピストン装置で前記被印加物に前記第１圧力を印加することを特徴とする請求項１に記載の圧力印加方法。
【請求項３】
前記第１工程では、前記ピストン装置とは異なる圧力源から前記被印加物に前記第１圧力を印加することを特徴とする請求項１に記載の圧力印加方法。
【請求項４】
前記第２工程では、前記第２圧力を変化させることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載の圧力印加方法。
【請求項５】
前記第２工程では、前記第２圧力を連続的に変化させることを特徴とする請求項４に記載の圧力印加方法。
【請求項６】
前記第２工程では、前記第２圧力を段階的に変化させることを特徴とする請求項４に記載の圧力印加方法。
【請求項７】
シリンダおよび該シリンダ内に変位可能に配設されたピストンを有するピストン装置と、
被印加物に印加される圧力を検出する圧力検出手段と、
前記ピストン装置の作動制御を行う制御手段と、を備え、
前記制御手段は、
前記圧力検出手段が検出する検出圧力に係わらず前記ピストンを変位させて、前記ピストン装置で前記被印加物に第１圧力を印加する第１圧力印加制御と、
前記第１圧力印加制御の後に、前記圧力検出手段が検出する検出圧力に応じて前記ピストンを変位させて、前記ピストン装置で前記被印加物に所定の第２圧力を印加する第２圧力印加制御と、を行うことを特徴とする圧力印加装置。
【請求項８】
シリンダおよび該シリンダ内に変位可能に配設されたピストンを有するピストン装置と、
被印加物に印加される圧力を検出する圧力検出手段と、
前記被印加物に印加される圧力の伝搬経路を、前記ピストン装置からの経路と前記ピストン装置とは異なる圧力源からの経路との間で選択的に切り替える圧力伝搬経路切替手段と、
前記ピストン装置の作動制御および圧力伝搬経路切替手段の切替制御を行う制御手段と、を備え、
前記制御手段は、
前記被印加物に印加される圧力の伝搬経路を前記圧力伝搬経路切替手段で前記圧力源からの経路として、前記圧力検出手段が検出する検出圧力に係わらず、前記被印加物に第１圧力を印加する第１圧力印加制御と、
前記第１圧力印加制御の後に、前記被印加物に印加される圧力の伝搬経路を前記圧力伝搬経路切替手段で前記ピストン装置からの経路に切り替えて、前記圧力検出手段が検出する検出圧力に応じて前記ピストンを変位させて、前記被印加物に所定の第２圧力を印加する第２圧力印加制御と、を行うことを特徴とする圧力印加装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば圧力を印加して行う検査等のために、被印加物に所定の圧力を印加する圧力印加方法および圧力印加装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来技術として、例えば下記特許文献１に開示された圧力印加装置を備える検査装置がある。この検査装置は、圧力源からの空気圧力を調節する圧力コントローラ、圧力コントローラが圧力調節した空気を蓄えるエアタンク、エアタンクへの印加圧力を計測する圧力インジケータ、圧力インジケータの計測値に基づいて圧力コントローラをフィードバック制御する制御部等を備えている。これにより、被検体に空気圧力を印加して検査を行う際には、エアタンクから被検体に短時間で精度よく圧力が印加できるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−２０８６３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来技術の検査装置の圧力印加装置では、エアタンク内に予め精度よく圧力調節した空気を大量に蓄える必要があるため、装置の構成が複雑であるという問題がある。
【０００５】
本発明は、上記点に鑑みてなされたものであり、被印加物に短時間で精度よく圧力を印加でき、かつ、装置の構成を簡素化することが可能な圧力印加方法および圧力印加装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明の圧力印加方法では、
シリンダおよびシリンダ内に変位可能に配設されたピストンを有するピストン装置と、被印加物に印加される圧力を検出する圧力検出手段とを用いて、被印加物に圧力を印加する圧力印加方法であって、
圧力検出手段が検出する検出圧力に係わらず、被印加物に第１圧力を印加する第１工程と、
第１工程の後に、圧力検出手段が検出する検出圧力に応じてピストンを変位させて、ピストン装置で被印加物に所定の第２圧力を印加する第２工程と、を備えることを特徴としている。
【０００７】
これによると、第１工程で圧力検出手段が検出する検出圧力に係わらず被印加物に第１圧力を印加した後に、第２工程で圧力検出手段が検出する検出圧力に応じてピストンを変位させて、ピストン装置で被印加物に所定の第２圧力を印加することができる。したがって、第１工程では、被印加物に暫定的に第１圧力を印加し、第２工程では、被印加物に印加する圧力をピストン装置で第１圧力から所定の第２圧力へ調節することができる。このようにして、比較的構成が簡素なピストン装置を採用して、被印加物に短時間で精度よく圧力を印加することができる。
【０００８】
また、請求項２に記載の発明の圧力印加方法では、第１工程では、ピストン装置で被印加物に第１圧力を印加することを特徴としている。これによると、第１工程および第２工程のいずれにおいても、ピストン装置を圧力源とすることができる。したがって、装置の構成を一層簡素化することができる。
【０００９】
また、請求項３に記載の発明の圧力印加方法では、第１工程では、ピストン装置とは異なる圧力源から被印加物に第１圧力を印加することを特徴としている。これによると、第１圧力の圧力源をピストン装置とは別にすることで、ピストン装置のピストンのストロークを比較的短くしても所定の第２圧力の印加が可能となり、ピストン装置を小型化することが可能である。
【００１０】
また、請求項４に記載の発明の圧力印加方法では、第２工程では、第２圧力を変化させることを特徴としている。これによると、ピストン装置のピストンを変位させるだけで被印加物に複数の所定の第２圧力を印加することができる。
【００１１】
また、請求項５に記載の発明の圧力印加方法では、第２工程では、第２圧力を連続的に変化させることを特徴としている。これによると、ピストン装置のピストンを連続的に変位させるだけで被印加物に連続的に変化する所定の第２圧力を印加することができる。
【００１２】
また、請求項６に記載の発明の圧力印加方法では、第２工程では、第２圧力を段階的に変化させることを特徴としている。これによると、ピストン装置のピストンを段階的に変位させるだけで被印加物に段階的に変化する所定の第２圧力を印加することができる。
【００１３】
また、請求項７に記載の発明の圧力印加装置では、
シリンダおよびシリンダ内に変位可能に配設されたピストンを有するピストン装置と、
被印加物に印加される圧力を検出する圧力検出手段と、
ピストン装置の作動制御を行う制御手段と、を備え、
制御手段は、
圧力検出手段が検出する検出圧力に係わらずピストンを変位させて、ピストン装置で被印加物に第１圧力を印加する第１圧力印加制御と、
第１圧力印加制御の後に、圧力検出手段が検出する検出圧力に応じてピストンを変位させて、ピストン装置で被印加物に所定の第２圧力を印加する第２圧力印加制御と、を行うことを特徴としている。
【００１４】
これによると、請求項１に記載の発明の圧力印加方法を行うことができる。また、第１圧力印加制御時および第２圧力印加制御時のいずれにおいても、ピストン装置を圧力源とすることができ、装置の構成を一層簡素化することができる。
【００１５】
また、請求項８に記載の発明の圧力印加装置では、
シリンダおよびシリンダ内に変位可能に配設されたピストンを有するピストン装置と、
被印加物に印加される圧力を検出する圧力検出手段と、
被印加物に印加される圧力の伝搬経路を、ピストン装置からの経路とピストン装置とは異なる圧力源からの経路との間で選択的に切り替える圧力伝搬経路切替手段と、
ピストン装置の作動制御および圧力伝搬経路切替手段の切替制御を行う制御手段と、を備え、
制御手段は、
被印加物に印加される圧力の伝搬経路を圧力伝搬経路切替手段で圧力源からの経路として、圧力検出手段が検出する検出圧力に係わらず、被印加物に第１圧力を印加する第１圧力印加制御と、
第１圧力印加制御の後に、被印加物に印加される圧力の伝搬経路を前記圧力伝搬経路切替手段でピストン装置からの経路に切り替えて、圧力検出手段が検出する検出圧力に応じてピストンを変位させて、被印加物に所定の第２圧力を印加する第２圧力印加制御と、を行うことを特徴としている。
【００１６】
これによると、請求項１に記載の発明の圧力印加方法を行うことができる。また、第１圧力印加制御時にはピストン装置とは別の圧力源を用い、第２圧力印加制御時にはピストン装置を圧力源とすることができ、ピストン装置を小型化することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明を適用した第１の実施形態における圧力印加装置１の概略構成を示す模式図である。
【図２】第１の実施形態における制御装置９０の概略制御動作を示すフローチャートである。
【図３】圧力印加装置１の圧力印加作動例を示すグラフである。
【図４】第２の実施形態における圧力印加装置１の概略構成を示す模式図である。
【図５】第２の実施形態における制御装置９０の概略制御動作を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に、図面を参照しながら本発明を実施するための複数の形態を説明する。各形態において先行する形態で説明した事項に対応する部分には同一の参照符号を付して重複する説明を省略する場合がある。各形態において構成の一部のみを説明している場合は、構成の他の部分については先行して説明した形態と同様とする。実施の各形態で具体的に説明している部分の組合せばかりではなく、特に組合せに支障が生じなければ、実施の形態同士を部分的に組み合せることも可能である。
【００１９】
（第１の実施形態）
図１は、本発明を適用した第１の実施形態における圧力印加装置１の概略構成を示す模式図であり、図２は、圧力印加装置１の制御装置９０が行う概略制御動作を示すフローチャートである。
【００２０】
図１に示す圧力印加装置１は、圧力が印加される被印加物に相当する被検体（被検査体）１００に圧力を印加して検査を行う検査装置に適用された例を示しており、圧力印加装置１により圧力を印加した際に被検体１００の特性検査を行う検査装置部の図示は省略している。
【００２１】
図１に示すように、圧力印加装置１は、装着部１０、ピストン装置（シリンダ−ピストン装置）２０、圧力センサ３０、配管４０、制御装置９０等により構成されている。
【００２２】
装着部１０は、例えば、金属製の有底筒状の容器体であり、被検体１００を図示上方の開口端側から装着可能となっている。本実施形態の被検体１００は、例えば圧力検出装置である圧力スイッチや圧力センサであり、実使用時の装着部におけるシールおよび係止のために、シール部材であるＯリング１００ａおよび係止部である雄ねじ部１００ｂ（ねじ山の図示は省略）を有している。
【００２３】
詳細な図示は省略しているが、被検体１００の上記した構成に対応して、装着部１０には、筒状部の内面にＯリング１００ａに圧接するシール面や雄ねじ部１００ｂに螺着して係止するための雌ねじ部が形成されている。すなわち、装着部１０の筒状部の内面は、実使用時の装着部と同様の構成となっている。
【００２４】
これにより、装着部１０に被検体１００を装着した場合には、被検体１００が装着部１０に確実に係止され、装着部１０の内部空間と外部空間との気密が保たれるようになっている。なお、装着部１０と被検体１００との係止構造は、上述した螺着構造に限定されず、例えば、被検体１００の着脱を容易とするために、装着部１０に雌ねじ部を設けずに、被検体１００のフランジ部等を装着部１０側に押さえ込む係着体等を利用してもかまわない。
【００２５】
本実施形態のピストン装置２０は、シリンダ２１と、シリンダ２１内に変位可能に配設されたピストン２２と、ピストン２２のロッド部に接続されてピストン２２を変位させる電動式の駆動機構２３（例えばリニアサーボ機構）とにより構成されている。シリンダ２１内の空間（具体的には、シリンダ２１とピストン２２とにより形成されるシリンダ２１内の閉塞空間）は、配管４０により、装着部１０の内部と連通している。
【００２６】
配管４０には、配管４０内の圧力を検出する圧力センサ３０が装着されている。圧力センサ３０は、配管４０と連通する装着部１０内の圧力を検出するものであり、配管４０ではなく装着部１０に直接取り付けられるものであってもよい。圧力センサ３０は、被検体１００に印加される圧力を検出する圧力検出手段に相当する。
【００２７】
制御手段に相当する制御装置９０は、圧力センサ３０からの圧力情報信号を入力するとともに、駆動機構２３に駆動指令信号を出力し、駆動機構２３から駆動位置情報信号を入力するようになっている。制御装置９０は、例えば、プログラマブルコントローラであって、図示を省略した操作盤のスタートスイッチが操作されると、圧力センサ３０からの圧力情報に基づいて駆動機構２３に信号を出力し、ピストン装置２０の作動制御を行うようになっている。
【００２８】
次に、上記構成に基づき圧力印加装置１の作動について説明する。
【００２９】
図２に示すように、制御装置９０は、装着部１０に被検体１００が装着され、図示を省略した操作盤のスタートスイッチが操作されると、まず、ステップＳ１１０で駆動機構２３を所定量作動させ、ピストン２２を所定量変位させる。これに伴い、シリンダ２１内、配管４０内、および装着部１０内が昇圧する。
【００３０】
ステップＳ１１０を実行したときの到達圧力値は、被検体１００を検査する際の印加圧力値に近似していることが好ましく、検査時の印加圧力値よりも若干低いことがより好ましい。ステップＳ１１０では、上述したような到達圧力値となるように、駆動機構２３の作動量を予め設定している。ステップＳ１１０を実行して被検体１００に印加される圧力が第１圧力に相当する。
【００３１】
ステップＳ１１０を実行したら、ステップＳ１２０へ進んで、圧力センサ３０からの入力情報に基づいて、被検体１００に印加されている圧力を検出し、ステップＳ１２１で検出した圧力が所定圧（検査時の印加圧力値、第２圧力に相当）であるか否か判断する。ステップＳ１２１において、検出圧力値が所定圧に一致していないと判断した場合には、ステップＳ１２２へ進んで、駆動機構２３を１単位（最低作動単位）作動させ、ステップＳ１２０へリターンする。
【００３２】
ステップＳ１２１において、検出圧力値が所定圧に一致していると判断した場合には、制御を終了する。このとき、制御装置９０は、例えば、検査装置部の制御装置に、印加圧力調節が完了した旨の信号を出力する。
【００３３】
ステップＳ１１０による工程が、本実施形態において、圧力検出手段が検出する検出圧力に係わらず、被印加物に第１圧力を印加する第１工程に相当し、ステップＳ１２０〜Ｓ１２２による工程が、第１工程の後に、圧力検出手段が検出する検出圧力に応じてピストンを変位させて、ピストン装置で被印加物に所定の第２圧力を印加する第２工程に相当する。
【００３４】
なお、ステップＳ１２２では、駆動機構２３を１単位（最低作動単位）作動させていたが、ステップＳ１２１で判定する検出圧力と検査時の印加圧力値（第２圧力）との乖離度合に応じて、乖離が大きいときほ作動量が大きくなるように駆動機構２３を作動させてもよい。
【００３５】
上述の構成および作動によれば、被検体１００に検査時に必要な所定の第２圧力を印加する際には、まず、圧力センサ３０が検出する検出圧力に係わらず、ピストン２２を変位させて被検体１００に第１圧力を印加し、次に、圧力センサ３０が検出する検出圧力に応じてピストン２２を変位させて、ピストン装置２０で被検体１００に所定の第２圧力を印加する。したがって、ピストン装置２０で被検体１００に対し速やかかつ暫定的に第１圧力を印加した後に、ピストン装置２０で印加圧力を第１圧力から所定の第２圧力へ調節することができる。このようにして、比較的構成が簡素なピストン装置２０を採用して、被検体１００に短時間で精度よく圧力を印加することができる。
【００３６】
本実施形態の圧力印加装置１によれば、図３に例示するように、速やかに第１圧力まで昇圧した後に、所定の第２圧力に調節することができ、例えば、スタート時から図２に示したステップＳ１２０〜Ｓ１２２を繰り返した場合の昇圧と比較して、極めて短時間で所定の第２圧力を得ることができる。
【００３７】
また、第１圧力の印加および第２圧力への調整をいずれもピストン装置２０で行っており、他の圧力源を必要としない。したがって、他の圧力源を利用した場合よりも、圧力印加装置１の構成をより簡素化することができる。
【００３８】
（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態について図４および図５に基づいて説明する。
【００３９】
本第２の実施形態は、前述の第１の実施形態と比較して、第１圧力を得るための圧力源をピストン装置２０とは別に設定した点が異なる。なお、第１の実施形態と同様の部分については、同一の符号をつけ、その説明を省略する。
【００４０】
図４は、本発明を適用した第２の実施形態における圧力印加装置１の概略構成を示す模式図であり、図５は、圧力印加装置１の制御装置９０が行う概略制御動作を示すフローチャートである。
【００４１】
図４に示すように、本実施形態では、配管４０と空圧源１０１（ピストン装置２０とは異なる圧力源に相当）とを配管５０が接続している。配管４０の配管５０接続点よりもシリンダ２１側の部位には、配管４０内の経路（圧力伝搬経路）を開閉する開閉弁４１が配設されている。一方、配管５０には、配管５０内の経路（圧力伝搬経路）を開閉する開閉弁５１が配設されている。
【００４２】
制御装置９０は、開閉弁４１、５１に動作指令信号を出力し、被検体１００に印加される圧力の伝搬経路を、配管４０を介したピストン装置２０からの経路と配管５０を介した空圧源１０１からの経路との間で選択的に切り替えるように、開閉弁４１、５１の開閉制御を行うようになっている。
【００４３】
開閉弁４１、５１は、本実施形態において、被印加物に印加される圧力の伝搬経路を、ピストン装置からの経路とピストン装置とは異なる圧力源からの経路との間で選択的に切り替える圧力伝搬経路切替手段に相当し、制御装置９０は、圧力伝搬経路切替手段の切替制御を行う制御手段に相当する。
【００４４】
なお、配管５０は、配管４０と空圧源１０１とを接続するものに限らず、例えば、空圧源１０１と装着部１０とを直接接続するものであってもよい。また、被印加物に印加される圧力の伝搬経路を、ピストン装置からの経路とピストン装置とは異なる圧力源からの経路との間で選択的に切り替える圧力伝搬経路切替手段は、開閉弁４１、５１に限定されず、例えば、配管４０の配管５０接続点に設けた通路切替弁であってもかまわない。
【００４５】
次に、上記構成に基づき本実施形態の圧力印加装置１の作動について説明する。
【００４６】
図５に示すように、制御装置９０は、装着部１０に被検体１００が装着され、図示を省略した操作盤のスタートスイッチが操作されると、まず、ステップＳ２１０で開閉弁４１を閉じ開閉弁５１を開く。これに伴い、配管５０内、配管４０内の開閉弁４１よりも装着部１０側の配管４０内、および装着部１０内が昇圧する。
【００４７】
ステップＳ２１０を実行したら、ステップＳ２２０で所定時間（本例では１秒）が経過するまでこの状態を維持し、ステップＳ２３０へ進む。ステップＳ２２０は、ステップＳ２１０で形成された圧力印加状態を維持して、装着部１０内の昇圧を確実に完了されるために設定されている。
【００４８】
ステップＳ２１０、Ｓ２２０を実行したときの到達圧力値は、被検体１００を検査する際の印加圧力値に近似していることが好ましく、検査時の印加圧力値よりも若干低いことがより好ましい。ここでは、上述したような到達圧力値となるように、空圧源１０１からの供給圧力を予め設定している。ステップＳ２１０、Ｓ２２０を実行して被検体１００に印加される圧力が第１圧力に相当する。
【００４９】
ステップＳ２３０では、開閉弁４１を開き開閉弁５１を閉じる。これに伴い、装着部１０内、配管４０内、およびシリンダ２１内が同一圧力となり、空圧源１０１からの圧力伝搬が無くなる。ステップＳ２３０を実行したら、ステップＳ１２０へ進んで、以下、第１の実施形態と同様の作動制御を行う。
【００５０】
ステップＳ２１０、Ｓ２２０による工程が、本実施形態において、圧力検出手段が検出する検出圧力に係わらず、被印加物に第１圧力を印加する第１工程に相当し、ステップＳ２３０、Ｓ１２０〜Ｓ１２２による工程が、第１工程の後に、圧力検出手段が検出する検出圧力に応じてピストンを変位させて、ピストン装置で被印加物に所定の第２圧力を印加する第２工程に相当する。
【００５１】
上述の構成および作動によれば、被検体１００に検査時に必要な所定の第２圧力を印加する際には、まず、圧力センサ３０が検出する検出圧力に係わらず、空圧源１０１からの伝搬圧力を導いて被検体１００に第１圧力を印加し、次に、圧力伝搬経路を切り替えて、圧力センサ３０が検出する検出圧力に応じてピストン２２を変位させて、ピストン装置２０で被検体１００に所定の第２圧力を印加する。したがって、空圧源１０１から被検体１００に対し速やかかつ暫定的に第１圧力を印加した後に、ピストン装置２０で印加圧力を第１圧力から所定の第２圧力へ調節することができる。このようにして、比較的構成が簡素なピストン装置２０を採用して、被検体１００に短時間で精度よく圧力を印加することができる。
【００５２】
また、第１圧力の印加を、ピストン装置２０とは異なる空圧源１０１からの圧力で行い、第２圧力への調整をピストン装置２０で行っている。したがって、第１圧力の印加もピストン装置２０で行う場合よりも、ピストン装置２０のピストン２２の変位量が小さくなる。これにより、ストロークが比較的短いピストン装置２０を採用することが可能である。
【００５３】
（他の実施形態）
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に何ら制限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において種々変形して実施することが可能である。
【００５４】
上記各実施形態では、被検体１００に印加する所定の第２圧力は、一定の圧力であったが、所定の第２圧力の値を変化させるものであってもよい。上記各実施形態の圧力印加装置１によれば、ピストン装置２０のピストン２２を変位させるだけで所定の第２圧力を変化させることができる。例えば、ピストン装置２０のピストン２２を連続的に変位させて被検体１００に連続的に変化する所定の第２圧力を印加するものであってもよい。これによれば、印加圧力が変化した際の被検体１００の特性変化を容易に得ることができる。
【００５５】
また、ピストン装置２０のピストン２２を段階的に（間欠的に）変位させて被検体１００に段階的に変化する所定の第２圧力を印加するものであってもよい。また、昇圧と降圧とを交互に繰り返すパターンの所定の第２圧力を印加するものであってもよい。これによれば、例えば被検体１００のヒステリシス特性を容易に得ることが可能である。
【００５６】
また、上記各実施形態では、被検体１００への印加圧力を大気圧から所定の正圧である第２圧力まで昇圧していたが、これに限定されるものではない。例えば、所定の第２圧力は負圧であってもよいし、スタート時の圧力は大気圧以外の正圧もしくは負圧であってもかまわない。また、第１圧力は、第２圧力より高くても低くてもかまわない。
【００５７】
また、上記各実施形態では、圧力印加装置１の制御装置９０は、検査装置部の制御装置とは別である旨の説明をしたが、これに限定されず、圧力印加装置１の制御装置９０は、圧力印加装置１が組み込まれる装置、例えば検査装置の制御装置と一体（共通）であってもかまわない。
【００５８】
また、上記各実施形態では、制御装置９０の制御動作により、第１圧力の印加および第２圧力の印加を行っていたが、少なくとも一部の動作を手動で行うものであってもよい。例えば、上記第２の実施形態の圧力伝搬経路の切り替えを手動操作で行うものであってもよい。また、例えば、上記第１、第２の実施形態のピストン２２の変位を手動操作で行うものであってもよい。また、第１圧力は所定の圧力（所定圧力値）でなくてもかまわない。
【００５９】
また、上記各実施形態では、圧力が印加される被印加物は被検体１００であったが、これに限定されるものではない。例えば、圧力印加装置１を加工装置に適用した場合には、被印加物は被加工物であってもよい。本発明は、所定の圧力を被印加物に印加して特性検査を行ったり加工を行ったりする際に広く適用することが可能である。
【符号の説明】
【００６０】
１  圧力印加装置
２０  ピストン装置
２１  シリンダ
２２  ピストン
２３  駆動機構
３０  圧力センサ（圧力検出手段）
４１、５１  開閉弁（圧力伝搬経路切替手段）
９０  制御装置
１００  被検体（被印加物）
１０１  空圧源（圧力源）
【図１】
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【図２】
2011242290.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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