(57)【要約】【課題】ベースユニットを台車に載せる時に予め、向きを合わせておかなくても、搭載後に容易にテストヘッドの正面に向きを合わせられるベースユニット搬送台車を実現する。【解決手段】ストヘッドにベースユニットを着脱しあるいは運搬するベースユニット搬送台車において、一方の面にキャスターが取り付けられた第１のプレートと、この第１のプレートの他方の面に一方端が接続された昇降機構と、この昇降機構の他方端に一方の面が接続された第２のプレートと、この第２のプレートの他方の面に一方の面が取り付けられ他方の面に前記ベースユニットが搭載され前記ベースユニットを回転あるいは水平方向に移動する移動手段と、を具備したことを特徴とするベースユニット搬送台車である。【選択図】図１
2011140283.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テストヘッドにベースユニットを着脱しあるいは運搬するベースユニット搬送台車において、
一方の面にキャスターが取り付けられた第１のプレートと、
この第１のプレートの他方の面に一方端が接続された昇降機構と、
この昇降機構の他方端に一方の面が接続された第２のプレートと、
この第２のプレートの他方の面に一方の面が取り付けられ他方の面に前記ベースユニットが搭載され前記ベースユニットを回転あるいは水平方向に移動する移動手段と、
を具備したことを特徴とするベースユニット搬送台車。
【請求項２】
前記移動手段は水平方向に回転できる回転台
を具備したことを特徴とする請求項１記載のベースユニット搬送台車。
【請求項３】
前記移動手段は前記第２のプレートの他方の面に接するボールキャスターと、
このボールキャスターが一方の面に取り付けられ他方の面に前記ベースユニットが搭載される移動台と、
前記第２のプレートの他方の面に設けられ前記ボールキャスターが前記第２のプレートから落下するのを防止する落下防止機構と、
を具備したことを特徴とする請求項１記載のベースユニット搬送台車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ベースユニット搬送台車に関するものである。
更に詳述すれば、半導体試験装置のベースユニットを搬送する為の台車に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図６は従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図である。
図において、第１のプレート１１は、一方の面にキャスター１２が取り付けられてる。
昇降機構１３は、この第１のプレート１１の他方の面に一方端が接続され、後述する、第２のプレートを昇降する。
第２のプレート１４は、この昇降機構１３の他方端に一方の面が接続されている。
【０００３】
以上の構成において、図６に示す如く、搬送台車上にベースユニットＡを載せることができる。
搬送台車はキャスタ１２により移動することができるので、ベースユニットＡを載せた搬送台車をテストヘッドＢと接続する位置まで移動させ、昇降機構１３によりテストヘッドＢと搬送台車の高さを合わせた後に、ベースユニットＡをスライドさせて、テストヘッドＢの上に搭載する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭５８−２２３５７４号公報
【特許文献２】特開昭５９−１２４４５８号公報
【特許文献３】特開昭６０−０２２５５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような装置においては、以下の問題点がある。
ベースユニットは、謂わば、鉄の塊であり非常に重い。
したがって、ベースユニットを台車に載せる時に、テストヘッドとの向きを合わせておく必要がある。
即ち、テストヘッドの正面にベースユニットの正面がくるように台車に載せておかないといけない。
半導体試験装置はクリーンルーム内に設置されるのが普通であり、通路は非常に狭いのが普通である。
【０００６】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、ベースユニットを台車に載せる時に予め、向きを合わせておかなくても、搭載後に容易にテストヘッドの正面に向きを合わせられるベースユニット搬送台車を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１のベースユニット搬送台車においては、
テストヘッドにベースユニットを着脱しあるいは運搬するベースユニット搬送台車において、一方の面にキャスターが取り付けられた第１のプレートと、この第１のプレートの他方の面に一方端が接続された昇降機構と、この昇降機構の他方端に一方の面が接続された第２のプレートと、この第２のプレートの他方の面に一方の面が取り付けられ他方の面に前記ベースユニットが搭載され前記ベースユニットを回転あるいは水平方向に移動する移動手段と、を具備したことを特徴とする。
【０００８】
本発明の請求項２のベースユニット搬送台車においては、請求項１記載のベースユニット搬送台車において、
前記移動手段は水平方向に回転できる回転台を具備したことを特徴とする。
【０００９】
本発明の請求項３のベースユニット搬送台車においては、請求項１記載のベースユニット搬送台車において、
前記移動手段は前記第２のプレートの他方の面に接するボールキャスターと、このボールキャスターが一方の面に取り付けられ他方の面に前記ベースユニットが搭載される移動台と、前記第２のプレートの他方の面に設けられ前記ボールキャスターが前記第２のプレートから落下するのを防止する落下防止機構と、を具備したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
ベースユニットをベースユニット搬送台車に載せる時に、予め、テストヘッドの正面の向きを考慮して、ベースユニットをベースユニット搬送台車に載せる必要がなく、ベースユニットのテストヘッドへの搭載時に、移動手段によりベースユニットの向きを容易に合わせられるベースユニット搬送台車が得られる。
【００１１】
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
テストヘッドと接続する時に、ベースユニットの向きがテストヘッドと合っていなければ、回転台の回転テーブルと共にベースユニットを回転させ、テストヘッドとベースユニットの向きを容易に合わせることができるベースユニット搬送台車が得られる。
また、回転テーブルと共にベースユニットを回転させることができるので、９０°や２７０°回転した状態で回転テーブルを固定できるようにしておけば、狭いクリーニング室内のテストヘッドの正面に対して、容易に横向きに台車を接続することができるベースユニット搬送台車が得られる。
【００１２】
本発明の請求項３によれば、次のような効果がある。
回転テーブルの代わりに、移動台の下にボールキャスタが設置されたので、移動台は回転だけではなく、前後左右に移動させることができるので、ベースユニットとテストヘッドの位置を合わせる時に、位置の微調整も容易にできるベースユニット搬送台車が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の動作説明図である。
【図３】図１の動作説明図である。
【図４】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図５】図４の動作説明図である。
【図６】従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、図２，図３は図１の動作説明図である。
図において、図６と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図６との相違部分のみ説明する。
【００１５】
図１において、移動手段２１は、第２のプレート１４の他方の面に一方の面が取り付けられ他方の面に、ベースユニットＡが搭載され、ベースユニットＡを回転あるいは水平方向に移動する。
この場合は、移動手段２１は水平方向に回転できる回転台２２を有する。
この場合は、回転軸２２１と回転軸２２１により回転する回転テーブル２２２とを有する。
【００１６】
以上の構成において、この場合は、搬送台車上の回転テーブル２２２は回転軸２２１により搬送台車と接続されている。
回転軸２２１は、例えば、スラストベアリングなどで構成されていて、回転テーブル２２２は搬送台車上で３６０度回転することができる。
なお、他の回転軸の構成の例としては、回転の中心を決める軸と軸受け、および、荷重を支える為のカムフォロアなどを有する構成が考えられる。
【００１７】
搬送台車上の回転テーブル２２２には、ベースユニットＡを載せることができる。
搬送台車はキャスタ１２により移動することができるので、ベースユニットＡを載せた搬送台車を、テストヘッドＢと接続する位置まで移動させ、昇降機構１３によりテストヘッドＢと搬送台車の高さを合わせる。
【００１８】
テストヘッドＢと搬送台車の高さを合わせた後に、ベースユニットＡをスライドさせて、テストヘッドＡの上に搭載する。
また、搬送台車上部にある回転テーブル２２２により、ベースユニットＡの向きを容易に変えることができる。
【００１９】
この結果、ベースユニットＡをベースユニット搬送台車に載せる時に、予め、テストヘッドＢの正面の向きを考慮して、ベースユニットＡをベースユニット搬送台車に載せる必要がなく、ベースユニットＡのテストヘッドＢへの搭載時に、移動手段２１によりベースユニットＡの向きを容易に合わせられるベースユニット搬送台車が得られる。
【００２０】
図２に示す如く、テストヘッドＢと接続する時に、ベースユニットＡの向きがテストヘッドと合っていなければ、回転台２２の回転テーブル２２２と共にベースユニットＡを回転させ、テストヘッドＢとベースユニットＡの向きを容易に合わせることができるベースユニット搬送台車が得られる。
【００２１】
また、図３に示す如く、回転テーブル２２２と共にベースユニットＡを回転させることができるので、９０°や２７０°回転した状態で回転テーブル２２２を固定できるようにしておけば、狭いクリーニング室内のテストヘッドＢの正面に対して、容易に横向きに台車を接続することができるベースユニット搬送台車が得られる。
【００２２】
図４は、本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
図４において、移動手段２１は、ボールキャスター３１と移動台３２と落下防止機構３３とを有する。
ボールキャスター３１は、第２のプレート１４の他方の面に接する。
【００２３】
移動台３２は、ボールキャスター３１が一方の面に取り付けられ、他方の面にベースユニットＡが搭載される。
落下防止機構３３は、第２のプレートの他方の面に設けられ、ボールキャスター３１が第２のプレート１４から落下するのを防止する。
この場合は、落下防止機構３３は、落下防止柵が使用されている。
【００２４】
この結果、回転テーブル２２２の代わりに、移動台３２の下にボールキャスタ３１が設置されたので、移動台３２は回転だけではなく、前後左右に移動させることができるので、ベースユニットＡとテストヘッドＢの位置を合わせる時に、位置の微調整も容易にできるベースユニット搬送台車が得られる。
【００２５】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【符号の説明】
【００２６】
１１    第１のプレート
１２    キャスター
１３    昇降機構
１４    第２のプレート
２１    移動手段
２２    回転台
２２１  回転軸
２２２  回転テーブル
３１    ボールキャスター
３２    移動台
３３    落下防止機構
Ａ      ベースユニット
Ｂ      テストヘッド
【図１】
2011140283.tif 000003
【図２】
2011140283.tif 000004
【図３】
2011140283.tif 000005
【図４】
2011140283.tif 000006
【図５】
2011140283.tif 000007
【図６】
2011140283.tif 000008