(57)【要約】【課題】流向依存性の少ない流速計測を行う流向流速計を提供する。【解決手段】流向流速計は、被計測流体を加熱する加熱部１１と、加熱部１１の周囲に配置され、被計測流体の温度を計測する少なくとも３つ以上の温度計測部１２ａ〜１２ｈと、温度計測部１２ａ〜１２ｈにより計測された被計測流体の温度の変化から、被計測流体の流向及び流速を演算する演算部とを備える。３以上の温度計測部１２ａ〜１２ｈの中点Ｃａ〜Ｃｈは正多角形の頂点を成し、当該正多角形の中心点と加熱部１１の中心点Ｃｔは同じ位置に配置されている。被計測流体の流向が温度計測部１２ａ〜１２ｈの中点Ｃａ〜Ｃｈに向いた場合に比べて、被計測流体の流向が隣接する２つの温度計測部１２ａ〜１２ｈの間に向いた場合の被計測流体の流速に対する流向流速計の感度を高くする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被計測流体を加熱する加熱部と、
当該加熱部の周囲に配置され、前記被計測流体の温度を計測する少なくとも３つ以上の温度計測部と、
前記温度計測部により計測された前記被計測流体の温度の変化から、前記被計測流体の流向及び流速を演算する演算部と、を備え、
前記３以上の温度計測部の中点は正多角形の頂点を成し、当該正多角形の中心点と前記加熱部の中心点は同じ位置に配置され、
前記被計測流体の流向が前記温度計測部の中点に向いた場合に比べて、前記被計測流体の流向が隣接する２つの前記温度計測部の間に向いた場合の前記被計測流体の流速に対する流向流速計の感度を高くする
ことを特徴とする流向流速計。
【請求項２】
前記温度計測部の感度はその中点と端で等しく、前記温度計測部の中点と前記加熱部の中心点の間の距離は、前記温度計測部の端と前記加熱部の中心点の間の距離よりも長いことを特徴とする請求項１に記載の流向流速計。
【請求項３】
前記温度計測部の中点と前記加熱部の中心点の間の距離は、前記温度計測部の端と前記加熱部の中心点の間の距離と等しく、前記温度計測部の感度はその中点よりも端で高いことを特徴とする請求項１に記載の流向流速計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被計測流体を加熱する加熱部と、加熱部の周囲に配置された少なくとも３つ以上の温度計測部とを備え、温度計測部により計測された被計測流体の温度の変化から被計測流体の流向及び流速を計測する流向流速計に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の流向流速計として、被計測流体（地下水）の中に配置されたヒータ（加熱部）と、その周囲に配置された４つの温度センサ（温度計測部）とを備えたものが従来から知られている（特許文献１参照）。特許文献１では、ヒータに一定時間通電してから、４つの温度センサの各々が最も高い温度に達するまでの時間をそれぞれ求め、これらの時間から地下水の流速及び流向を演算している。
【０００３】
また、半導体装置の製造に用いられる微細加工技術を利用して、ＳＯＩ基板の一部に空洞部を設け、当該空洞部を介してＳＯＩ基板から熱分離した薄膜に、ヒータ及びそのヒータを取り囲むように配列した複数の温度センサアレイを配置したフローセンサが従来から知られている（特許文献２参照）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭５９−１６０７８８号公報（特に、第２図、第３図及び第２頁右上欄〜同頁左下欄参照）
【特許文献２】特開２００６−１６２４２３号公報（特に、図１参照）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、加熱部により加熱された被計測流体の高温部は流向の下流側に裾を引くため、被計測流体の流向がある温度計測部の中点に向いた場合、高温部の裾の中心が温度計測部の中点に向かうため、その温度計測部は多くの熱を受けて出力が大きくなる。その結果、流向流速計は早い流速を計測する。これに対して、被計測流体の流向が隣接する２つの温度計測部の間に向いた場合、高温部の裾は、隣接する２つの温度計測部の端に跨って交わるため、各々の温度計測部は少ない熱を受けて出力が小さくなる。その結果、流向流速計は遅い流速を計測する。このように、温度計測部と流向との位置関係に依って、計測される流速に差が生じてしまうという問題がある。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みて成されたものであり、その目的は、流向依存性の少ない流速計測を行う流向流速計を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の特徴は、被計測流体を加熱する加熱部と、当該加熱部の周囲に配置され、被計測流体の温度を計測する少なくとも３つ以上の温度計測部と、温度計測部により計測された被計測流体の温度の変化から、被計測流体の流向及び流速を演算する演算部と、を備える流向流速計であって、３以上の温度計測部の中点は正多角形の頂点を成し、当該正多角形の中心点と加熱部の中心点は同じ位置に配置され、被計測流体の流向が温度計測部の中点に向いた場合に比べて、被計測流体の流向が隣接する２つの温度計測部の間に向いた場合の被計測流体の流速に対する流向流速計の感度を高くすることである。
【０００８】
本発明の特徴によれば、被計測流体の流向が温度計測部の中点に向いた場合に比べて、被計測流体の流向が隣接する２つの温度計測部の間に向いた場合の被計測流体の流速に対する流向流速計の感度を高くすることで、流速に対する感度を補正することができるので、被計測流体の流向に依らず、当該被計測流体の流速を正確に計測することができる。
【０００９】
本発明の特徴において、被計測流体の流向が隣接する２つの温度計測部の間に向いた場合、被計測流体の高温部は、隣接する２つの温度計測部の端に交わる。そこで、温度計測部の中点と加熱部の中心点の間の距離を、温度計測部の端と加熱部の中心点の間の距離よりも長くしてもよい。ただし、温度計測部の感度はその中点と端で等しくする。これにより、温度計測部の端は、温度計測部の中点よりも、受ける熱の量は少ないが、加熱部からの距離が短いため相対的に高い温度を測定することになり、出力が大きくなる。よって、被計測流体の流向が温度計測部の中点に向いた場合に比べて、被計測流体の流向が隣接する２つの温度計測部の間に向いた場合の被計測流体の流速に対する流向流速計の感度を高くすることができる。
【００１０】
これとは逆に、温度計測部の中点と加熱部の中心点の間の距離を、温度計測部の端と加熱部の中心点の間の距離と等しくして、温度計測部の感度をその中点よりも端で高くしてもよい。これにより、温度計測部の端は、温度計測部の中点よりも少ない熱を受けても出力を大きくすることができる。よって、被計測流体の流向が温度計測部の中点に向いた場合に比べて、被計測流体の流向が隣接する２つの温度計測部の間に向いた場合の被計測流体の流速に対する流向流速計の感度を高くすることができる。
【発明の効果】
【００１１】
以上説明したように、本発明によれば、流向依存性の少ない流速計測を行う流向流速計を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１（ａ）は、本発明の実施の形態に係わる流向流速計のうち検知部の構成を示す平面図であり、図１（ｂ）は、第１の変形例を示す平面図であり、図１（ｃ）は、第２の変形例を示す平面図である。
【図２】図１（ａ）の流向流速計においてヒータ１１により加熱された被計測流体の高温部の裾引きＨＡの様子を示し、図２（ａ）は、被計測流体の流向ＦＤが温度センサ１２ｄの中点Ｃｄに向いた場合を示し、図２（ｂ）は、被計測流体の流向ＦＤが隣接する２つの温度センサ１２ｄ、１２ｅの間に向いた場合を示す。
【図３】図３（ａ）及び図３（ｂ）は、比較例に係わる流向流速計の検知部の構成を示す平面図である。
【図４】本発明の実施の形態に係わる流向流速計の構成のうち演算部が有する機能及び処理動作の一例を説明する為のベクトル図である。
【図５】流速を一定にして流向を０°〜３６０°まで変化させた場合の流向流速計が算出した合成ベクトルＲＶの軌跡の一例を示すグラフである。
【図６】図３（ａ）の流向流速計においてヒータ６１により加熱された被計測流体の高温部の裾引きＨＡの様子を示し、図６（ａ）は、被計測流体の流向ＦＤが温度センサ６２ｄの中点Ｃｄに向いた場合を示し、図６（ｂ）は、被計測流体の流向ＦＤが隣接する２つの温度センサ６２ｄ、６２ｅの間に向いた場合を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。図面の記載において同一部分には同一符号を付している。
【００１４】
図１（ａ）を参照して、本発明の実施の形態に係わる流向流速計の構成を説明する。本発明の実施の形態に係わる流向流速計は、液体や気体などの被計測流体を加熱する加熱部としてのヒータ１１と、ヒータ１１の周囲に配置され、被計測流体の温度を計測する８つの温度計測部としての温度センサ１２ａ〜１２ｈと、温度センサ１２ａ〜１２ｈにより計測された被計測流体の温度の変化から、当該被計測流体の流向及び流速を演算する演算部とを備える。
【００１５】
ヒータ１１及び温度センサ１２ａ〜１２ｈを含む検知部は、被計測流体の中に配置されている。ヒータ１１及び温度センサ１２ａ〜１２ｈは図１（ａ）に示す一平面上に配置され、流向流速計は当該平面内における被計測流体の流向及び流速を計測する。温度センサ１２ａ〜１２ｈは、ヒータ１１から離間してヒータ１１の周りを取り囲むように配置されている。また、温度センサ１２ａ〜１２ｈの中点Ｃａ〜Ｃｈは正八角形の頂点を成し、当該正八角形の中心点とヒータ１１の中心点Ｃｔは同じ位置に配置されている。
【００１６】
温度センサ１２ａ〜１２ｈは、ヒータ１１の中心点Ｃｔに向かって左右に拡がる所定の幅を有している。温度センサ１２ａ〜１２ｈの中点Ｃａ〜Ｃｈとヒータ１１の中心点Ｃｔの間の距離は、温度センサ１２ａ〜１２ｈの端とヒータ１１の中心点Ｃｔの間の距離よりも長い。ここで、温度センサ１２ａ〜１２ｈの端とは、当該幅方向の端を示している。
【００１７】
温度センサ１２ａ〜１２ｈは、図１（ａ）の平面において、角部を持たない、湾曲した平面形状を有している。温度センサ１２ａ〜１２ｈの曲率半径は、温度センサ１２ａ〜１２ｈの中点Ｃａ〜Ｃｈとヒータ１１の中心点Ｃｔの間の距離よりも短い。これにより、上記した、「温度センサ１２ａ〜１２ｈの中点Ｃａ〜Ｃｈとヒータ１１の中心点Ｃｔの間の距離は、温度センサ１２ａ〜１２ｈの端とヒータ１１の中心点Ｃｔの間の距離よりも長い」という温度センサ１２ａ〜１２ｈの形状が得られる。なお、本発明の実施の形態において、温度センサ１２ａ〜１２ｈとしてはサーモパイルを用い、サーモパイルの感度はその中点と端で等しい。
【００１８】
図４を参照して、本発明の実施の形態に係わる流向流速計の構成のうち演算部が有する機能及び処理動作の一例を説明する。図４の実線及び点線で示した矢印ＴＰ１〜ＴＰ８は、温度センサ１２ａ〜１２ｈの出力電圧から求められるベクトルを示す。ベクトルＴＰ１〜ＴＰ８の向きは、ヒータ１１の中心点Ｃｔから温度センサ１２ａ〜１２ｈの中点Ｃａ〜Ｃｈへの方向に相当する。ベクトルＴＰ１〜ＴＰ８の角度は、図１（ａ）のヒータ１１の中心点Ｃｔから温度センサ１２ａと温度センサ１２ｈの隙間に向かう方向を０°とした場合における時計回り方向の回転角度に相当する。そして、ベクトルＴＰ１〜ＴＰ８の長さは、温度センサ１２ａ〜１２ｈから出力される電圧に応じて変化する量であって、温度センサ１２ａ〜１２ｈが配置された方向ごとの流速成分に相当する。
【００１９】
したがって、演算部は、先ず、温度センサ１２ａ〜１２ｈの各出力電圧に基づいて、温度センサ１２ａ〜１２ｈごとのベクトルＴＰ１〜ＴＰ８を演算し、その後、温度センサ１２ａ〜１２ｈごとのベクトルＴＰ１〜ＴＰ８を合算して合成ベクトルＲＶを求める。合成ベクトルＲＶの向きは流向流速計により計測される流向（流れの方向）に相当し、合成ベクトルＲＶの長さは流向流速計により計測される流速に相当する。
【００２０】
具体的には、先ず、ヒータ１１に１ｍＡの直流電流を流し、各温度センサ１２ａ〜１２ｈの出力電圧を測定する。各温度センサ１２ａ〜１２ｈのヒータ１１の中心点Ｃｔに対する角度と出力電圧とを用いて、図４に示すような極座標上においてベクトルＴＰ１〜ＴＰ８を形成する。そして、この８つのベクトルＴＰ１〜ＴＰ８の和を合成ベクトルＲＶとして求める。
【００２１】
このようにして、図１（ａ）に示した流向流速計は、ヒータ１１と温度センサ１２ａ〜１２ｈとを用いて、温度センサ１２ａ〜１２ｈにより計測された被計測流体の温度の変化から被計測流体の流向及び流速を計測することができる。
（変形例）
【００２２】
「温度センサ１２ａ〜１２ｈの中点Ｃａ〜Ｃｈとヒータ１１の中心点Ｃｔの間の距離は、温度センサ１２ａ〜１２ｈの端とヒータ１１の中心点Ｃｔの間の距離よりも長い」という温度センサ１２ａ〜１２ｈの形状は、図１（ａ）に示したものに限定されない。その他にも、例えば、図１（ｂ）に示すように、温度センサ１３ａ〜１３ｈは、中点Ｃａ〜Ｃｈ近傍において角部を持ち、端がヒータ１１側に向かって屈折した「く」の字の形状であっても構わない。当該角部の角度を調整することにより、温度センサ１３ａ〜１３ｈの中点Ｃａ〜Ｃｈとヒータ１１の中心点Ｃｔの間の距離を、温度センサ１３ａ〜１３ｈの端とヒータ１１の中心点Ｃｔの間の距離よりも長くすることができる。
【００２３】
図１（ｂ）に示す例では、温度センサ１３ａ〜１３ｈの端が、温度センサ１３ａ〜１３ｈの中点Ｃａ〜Ｃｈを頂点とする正八角形の辺に沿うように、当該角部の角度が調整された場合を示している。
【００２４】
更に、例えば、図１（ｃ）に示すように、図１（ｂ）と同じように「く」の字の形状であっても、温度センサ１４ａ〜１４ｈの端が、温度センサ１４ａ〜１４ｈの中点Ｃａ〜Ｃｈを頂点とする正八角形の辺よりも内側、即ちヒータ１１側に位置するように、当該角部の角度を調整してもよい。
【００２５】
なお、温度センサ１２ａ〜１２ｈの中点Ｃａ〜Ｃｈとヒータ１１の中心点Ｃｔの間の距離を、温度センサ１２ａ〜１２ｈの端とヒータ１１の中心点Ｃｔの間の距離よりもどの程度長くするかは、実際の温度センサ１２ａ〜１２ｈの特性が適切になるように、すなわち、後述する図５の軌跡Ｔ３０を円形に近づくように、決定すればよい。
（比較例）
【００２６】
図３（ａ）及び図３（ｂ）を参照して、比較例に係わる流向流速計の検知部の構成を説明する。図３（ａ）に示す流向流速計では、ヒータ６１の周囲に、被計測流体の温度を計測する８つの温度センサ６２ａ〜６２ｈが配置されている。温度センサ６２ａ〜６２ｈは、ヒータ６１の中心点を中心とする円に沿って、湾曲した平面形状を有している。よって、図３（ａ）の例では、温度センサ６２ａ〜６２ｈの中点とヒータ６１の中心点の間の距離は、温度センサ６２ａ〜６２ｈの端とヒータ６１の中心点の間の距離と等しい。また、温度センサ６２ａ〜６２ｈの曲率半径は、温度センサ６２ａ〜６２ｈの中点とヒータ６１の中心点の間の距離と等しい。
【００２７】
一方、図３（ｂ）に示す流向流速計において、ヒータ６１の周囲に配置された８つの温度センサ６３ａ〜６３ｈは、平坦な平面形状を有する。よって、図３（ｂ）の例では、温度センサ６３ａ〜６３ｈの中点とヒータ６１の中心点の間の距離は、温度センサ６３ａ〜６３ｈの端とヒータ６１の中心点の間の距離よりも短い。
【００２８】
図６を参照して、図３（ａ）の流向流速計においてヒータ６１により加熱された被計測流体の高温部の裾引きＨＡの様子を説明する。図６（ａ）は、被計測流体の流向ＦＤが温度センサ６２ｄの中点Ｃｄに向いた場合を示す。この場合、裾引きＨＡの中心は温度センサ６２ｄの中点Ｃｄに向かうため、温度センサ６２ｄは多くの熱を受けて出力が大きくなる。その結果、図４のベクトルＴＰ４の長さが長くなり、流向流速計は早い流速を計測してしまう。
【００２９】
これに対して、図６（ｂ）は、被計測流体の流向ＦＤが隣接する２つの温度センサ６２ｄ、６２ｅの間に向いた場合を示す。この場合、高温部の裾引きＨＡは、温度センサ６２ｄ、６２ｅに跨って交わるため、各々の温度センサ６２ｄ、６２ｅは少ない熱を受けて出力が小さくなる。その結果、図４のベクトルＴＰ４及びベクトルＴＰ５の長さが短くなり、流向流速計は遅い流速を計測する。
【００３０】
図５を参照して、流速を一定にして流向を０°〜３６０°まで変化させた場合の流向流速計が算出した合成ベクトルＲＶの軌跡について説明する。図５には、毎秒５ｍの流速についての合成ベクトルＲＶの軌跡Ｔ５と、毎秒３０ｍの流速についての合成ベクトルＲＶの軌跡Ｔ３０とを示す。
【００３１】
流速が遅い場合の一例として、毎秒５ｍの流速についての合成ベクトルＲＶの軌跡Ｔ５は、ほぼ円形に近い。これより、毎秒５ｍの流速において、流向流速計は、流向依存性の少ない流速計測を行うことができると言える。
【００３２】
これに対して、流速が速い場合の一例として、毎秒３０ｍの流速についての合成ベクトルＲＶの軌跡Ｔ３０は、八角形に近い形状を有する。また、軌跡Ｔ３０の八角形の頂点の方向は、図３（ａ）の８つの温度センサ６２ａ〜６２ｈの中点の方向と同じである。なお、図５の点線は、図３（ａ）の８つの温度センサ６２ａ〜６２ｈの中点を結ぶ正八角形を示している。
【００３３】
ここで、合成ベクトルＲＶａは、図６（ａ）に示した被計測流体の流向ＦＤが温度センサ６２ｄの中点Ｃｄに向いた場合を示し、合成ベクトルＲＶｂは、図６（ｂ）に示した被計測流体の流向ＦＤが隣接する２つの温度センサ６２ｄ、６２ｅの間に向いた場合を示している。合成ベクトルＲＶｂは、合成ベクトルＲＶａよりも短い。実際の流速が同じであっても、流向が図６（ａ）に示す方向と図６（ｂ）に示す方向とで異なれば、流向流速計が計測する流速は、図６（ａ）に示す場合よりも図６（ｂ）に示す場合の方が遅くなってしまう。このように、図３（ａ）に示す比較例においては、温度センサ６２ａ〜６２ｈと流向ＦＤとの位置関係に依って、温度センサ６２ａ〜６２ｈが受ける熱量が変化するため、計測される流速に差が生じてしまう。
【００３４】
なお、ここでは示さないが、温度センサの数が３つの場合及び４つの場合に、合成ベクトルＲＶの軌跡Ｔ３０が三角形或いは四角形になることは、上記と同様な実験により確認されている。
【００３５】
流向流速計が総ての流向について流速を正確に計測するためには、図５に示す合成ベクトルＲＶの軌跡Ｔ３０が円形になる必要がある。
【００３６】
そこで、本発明の実施の形態及びその変形例においては、例えば図１（ａ）に示したように、温度センサ１２ａ〜１２ｈの中点Ｃａ〜Ｃｈとヒータ１１の中心点Ｃｔの間の距離を、温度センサ１２ａ〜１２ｈの端とヒータ１１の中心点Ｃｔの間の距離よりも長くする。
【００３７】
図２（ａ）に示すように、被計測流体の流向ＦＤが温度センサ１２ｄの中点Ｃｄに向いた場合、裾引きＨＡの中心は温度センサ１２ｄの中点Ｃｄに向かう。しかし、温度センサ１２ａ〜１２ｈの中点Ｃａ〜Ｃｈとヒータ１１の中心点Ｃｔの間の距離は温度センサ１２ａ〜１２ｈの端に比べて長いため、温度センサ１２ｄは相対的にやや低い温度を測定することになり出力が小さくなる。その結果、図４のベクトルＴＰ４の長さが短くなり、流向流速計が計測する流速が遅くなる。
【００３８】
一方、図２（ｂ）に示すように、被計測流体の流向ＦＤが隣接する２つの温度センサ１２ｄ、１２ｅの間に向いた場合、高温部の裾引きＨＡは、温度センサ１２ｄ、１２ｅの端に跨って交わる。しかし、温度センサ１２ａ〜１２ｈの端とヒータ１１の中心点Ｃｔの間の距離は温度センサ１２ａ〜１２ｈの中点Ｃａ〜Ｃｈに比べて短いため、温度センサ１２ｄは相対的にやや高い温度を測定することになり、出力が大きくなる。その結果、図４のベクトルＴＰ４の長さが長くなり、流向流速計が計測する流速が速くなる。
【００３９】
これにより、図５に示した合成ベクトルＲＶａを短くして、合成ベクトルＲＶｂを長くすることができるので、図５に示す合成ベクトルＲＶの軌跡Ｔ３０を円形に近づけることができる。
【００４０】
以上説明したように、本発明の実施の形態によれば、以下の作用効果が得られる。
【００４１】
温度センサ１２ａ〜１２ｈの中点Ｃａ〜ｃｈとヒータ１１の中心点Ｃｔの間の距離を、温度センサ１２ａ〜１２ｈの端とヒータ１１の中心点Ｃｔの間の距離よりも長くする。ただし、温度センサ１２ａ〜１２ｈの感度はその中点と端で等しくする。これにより、温度センサ１２ａ〜１２ｈの端は、温度センサ１２ａ〜１２ｈの中点Ｃａ〜Ｃｈよりも、受ける熱の量は少ないが、ヒータ１１からの距離が短いため相対的に高い温度を測定することになり、出力が大きくなる。よって、被計測流体の流向ＦＤが温度センサ１２ａ〜１２ｈの中点Ｃａ〜Ｃｈに向いた場合に比べて、被計測流体の流向ＦＤが隣接する２つの温度計測部１２ａ〜１２ｈの間に向いた場合の被計測流体の流速に対する流向流速計の感度を高くすることができる。これにより、流向流速計が総ての流向について流速を正確に計測することができる。
（その他の実施の形態）
【００４２】
上記のように、本発明は、１つの実施形態及びその変形例によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
【００４３】
例えば、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示したように、温度センサ６２ａ〜６２ｈの中点とヒータ６１の中心点の間の距離を、温度センサ６２ａ〜６２ｈの端とヒータ６１の中心点の間の距離と等しく或いは短くして、温度センサ６２ａ〜６２ｈ、温度センサ６３ａ〜６３ｈの感度をその中点よりも端で高くしてもよい。
【００４４】
具体的には、温度センサ６２ａ〜６２ｈ、温度センサ６３ａ〜６３ｈがサーモパイルである場合、中点部分の接点の数を少なくして中点付近の起電力を低下させたり、中点付近の個々の熱電対を太くして熱電対を伝わって外部へ逃げる熱量を多くすることで中点付近の温度自体を低くすればよい。これにより、流向ＦＤがある温度センサ６２ａ〜６２ｈ、６３ａ〜６３ｈの中点方向と一致した場合、その温度センサの感度が少し低くすることができる。
【００４５】
換言すれば、被計測流体の流向ＦＤが温度センサ６２ａ〜６２ｈ、６３ａ〜６３ｈの中点に向いた場合に比べて、被計測流体の流向ＦＤが隣接する２つの温度センサ６２ａ〜６２ｈ、６３ａ〜６３ｈの間に向いた場合の被計測流体の流速ＦＤに対する流向流速計の感度を高くすることで、流速に対する感度を補正することができるので、被計測流体の流向に依らず、当該被計測流体の流速を正確に計測することができる。
【００４６】
また、実施の形態及び変形例において温度センサの数が８個である場合について説明したが、温度センサの数はこれに限定されるものではなく、温度センサの数は３〜７或いは９以上であってもよい。
【００４７】
このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を包含するということを理解すべきである。したがって、本発明はこの開示から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ限定されるものである。
【符号の説明】
【００４８】
１２ａ〜１２ｈ、１３ａ〜１３ｈ、１４ａ〜１４ｈ、６２ａ〜６２ｈ、６３ａ〜６３ｈ      温度センサ（温度計測部）
１１、６１    ヒータ（加熱部）
Ｃａ〜Ｃｈ    中点
Ｃｔ    中心点
ＦＤ    風向
ＨＡ    高温部
ＴＰ１〜ＴＰ８    ベクトル
ＲＶ、ＲＶａ、ＲＶｂ    合成ベクトル
【図１】
2011013019.tif 000003
【図２】
2011013019.tif 000004
【図３】
2011013019.tif 000005
【図４】
2011013019.tif 000006
【図５】
2011013019.tif 000007
【図６】
2011013019.tif 000008