(57)【要約】【課題】本発明は半導体検査装置のレシピ設定支援方法及び装置に関し、各レシピの中身を一つ一つ確認しなくても既存のレシピファイル情報が素速く把握できるようにした半導体検査装置のレシピ設定支援方法及び装置を提供することを目的としている。【解決手段】半導体検査装置Ｓ６のレシピにおいて、レシピ設定支援情報管理システムＳ２は、前記レシピファイル情報データベースＳ２−１及びレシピ設定ノウハウデータベースＳ２−２を参照して新規レシピの作成や既存レシピの編集を行なう際、既存レシピファイルの情報や蓄積されたレシピ設定のノウハウ情報から指定された条件に関連性の高いレシピ設定情報を検索し、検索の結果に基づいてレシピ作成・編集システムＳ１でレシピファイルの作成及び編集を行なうように構成する。【選択図】図１
2011134931.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レシピ情報を記憶するレシピファイルと、
該レシピファイルと接続され、レシピファイルの作成や編集を行なうレシピ作成・編集システムと、
レシピファイル情報が記憶されるレシピファイル情報データベースと、
レシピ設定ノウハウ情報が記憶されるレシピ設定ノウハウデータベースと、
これらレシピファイル情報データベース及びレシピ設定ノウハウデータベースと接続され、前記レシピ作成・編集システムから指定された検索条件より、前記レシピファイル情報データベースとレシピ設定ノウハウデータベースとを参照して関連性の高いレシピ設定支援情報を検索し、レシピ作成・編集システムに提供するレシピ設定支援情報管理システムと、
を有し、
半導体検査装置のレシピにおいて、前記レシピ設定支援情報管理システムは、前記レシピファイル情報データベース及びレシピ設定ノウハウデータベースを参照して新規レシピの作成や既存レシピの編集を行なう際、既存レシピファイルの情報や蓄積されたレシピ設定のノウハウ情報から指定された条件に関連性の高いレシピ設定情報を検索し、検索の結果のレシピファイル情報及びレシピ設定ノウハウ情報に基づいて前記レシピ作成・編集システムでレシピファイルの作成及び編集を行なうようにしたことを特徴とする半導体検査装置のレシピ設定支援方法。
【請求項２】
レシピ情報を記憶するレシピファイルと、
該レシピファイルと接続され、レシピファイルの作成や編集を行なうレシピ作成・編集システムと、
レシピファイル情報が記憶されるレシピファイル情報データベースと、
レシピ設定ノウハウ情報が記憶されるレシピ設定ノウハウデータベースと、
これらレシピファイル情報データベース及びレシピ設定ノウハウデータベースと接続され、前記レシピ作成・編集システムから指定された検索条件より、前記レシピファイル情報データベースとレシピ設定ノウハウデータベースとを参照して関連性の高いレシピ設定支援情報を検索し、レシピ作成・編集システムに提供するレシピ設定支援情報管理システムと、
を有し、
半導体検査装置のレシピにおいて、前記レシピ設定支援情報管理システムは、前記レシピファイル情報データベース及びレシピ設定ノウハウデータベースを参照して新規レシピの作成や既存レシピの編集を行なう際、既存レシピファイルの情報や蓄積されたレシピ設定のノウハウ情報から指定された条件に関連性の高いレシピ設定情報を検索し、検索の結果のレシピファイル情報及びレシピ設定ノウハウ情報に基づいて前記レシピ作成・編集システムでレシピファイルの作成及び編集を行なうように構成したことを特徴とする半導体検査装置のレシピ設定支援装置。
【請求項３】
レシピ情報を記憶するレシピファイルと、
該レシピファイルと接続され、レシピファイルの作成や編集を行なうレシピ作成・編集システムと、
レシピファイル情報が記憶されるレシピファイル情報データベースと、
レシピ設定ノウハウ情報が記憶されるレシピ設定ノウハウミラーデータベースと、
これらレシピファイル情報データベース及びレシピ設定ノウハウミラーデータベースと接続され、前記レシピ作成・編集システムから指定された検索条件より、前記レシピファイル情報データベースとレシピ設定ノウハウミラーデータベースとを参照して関連性の高いレシピ設定支援情報を検索し、レシピ作成・編集システムに提供するレシピ設定支援情報管理システムと、
レシピ設定ノウハウ情報が記憶され、このレシピ設定ノウハウ情報をレシピ設定ノウハウミラーデータベースに送るレシピ設定ノウハウデータベースと、該レシピ設定ノウハウデータベースと接続され、更に前記レシピ設定支援情報管理システムと接続され、レシピ設定ノウハウデータを作成するレシピ設定ノウハウサーバーシステムと、
を有し、
半導体検査装置のレシピにおいて、前記レシピ設定支援情報管理システムは、前記レシピファイル情報データベース及びレシピ設定ノウハウミラーデータベースを参照して新規レシピの作成や既存レシピの編集を行なう際、既存レシピファイルの情報や蓄積されたレシピ設定のノウハウ情報から指定された条件に関連性の高いレシピ設定情報を検索し、検索の結果のレシピファイル情報及びレシピ設定ノウハウ情報に基づいて前記レシピ作成・編集システムでレシピファイルの作成及び編集を行なうように構成したことを特徴とする半導体検査装置のレシピ設定支援装置。
【請求項４】
半導体工場ホストコンピュータと、
該ホストコンピュータと接続され、レシピデータを記憶するレシピデータ記憶部と、
レシピ情報を記憶するレシピファイルと、
該レシピファイルと接続され、更に前記ホストコンピュータと接続され、レシピファイルの作成や編集を行なうレシピ作成・編集システムと、
レシピファイル情報が記憶されるレシピファイル情報データベースと、
レシピ設定ノウハウ情報が記憶されるレシピ設定ノウハウミラーデータベースと、
これらレシピファイル情報データベース及びレシピ設定ノウハウミラーデータベースと接続され、前記レシピ作成・編集システムから指定された検索条件より、前記レシピファイル情報データベースとレシピ設定ノウハウミラーデータベースとを参照して関連性の高いレシピ設定支援情報を検索し、レシピ作成・編集システムに提供するレシピ設定支援情報管理システムと、
レシピ設定ノウハウ情報を記憶するレシピ設定ノウハウデータベースと、
該レシピ設定ノウハウデータベースと接続され、回線を介して前記レシピ設定支援情報管理システムとも接続されるレシピ設定ノウハウサーバーシステムと、
を有し、
半導体検査装置のレシピにおいて、前記レシピ設定支援情報管理システムは、前記レシピ設定ノウハウミラーデータベースをレシピ設定ノウハウデータベースの内容で更新しておき、前記レシピデータ記憶部の内容を前記レシピ作成・編集システムにダウンロードしておき、前記レシピ作成・編集システムは、前記レシピファイル情報データベースと、レシピ設定ノウハウミラーデータベースを参照して関連性の高い類似レシピファイルやレシピ設定の組み合せ情報を検索し、検索結果をレシピのレシピファイルやレシピ設定の組み合わせ情報に基づいてレシピの作成及び編集を行なうことでレシピ設定を行ない、調整されたレシピデータを前記半導体工場ホストコンピュータにアップロードするように構成したことを特徴とする半導体検査装置のレシピ設定支援装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体検査装置又は電子ビーム描画装置のレシピ設定支援方法及び装置に関し、更に詳しくは半導体検査装置又は電子ビーム描画装置の検査プロセスに用いられる半導体検査装置又は電子ビーム描画装置のレシピ設定支援方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体検査装置の検査プロセスに用いられるレシピは、半導体検査装置の動作を検査工程毎に規定したものであり、実際に検査プロセスを動作させながらレシピパラメータの調整を繰り返し、多数のレシピパラメータを組み合わせることで最適なレシピ設定を行なっている。ここで、レシピとはプロセスシーケンス及び制御パラメータに関する装置個別の処理プログラムのことである。
【０００３】
半導体検査装置の検査プロセスに用いられるレシピは、技量の異なる技術者が試行錯誤しながらレシピ設定を行なっている。
従来のこの種の装置としては、熱処理装置をプロセスレシピによって制御する装置コントローラを備えた熱処理システムにおいて、前記熱処理装置の構成情報に応じて作成された複数のプロセスレシピを蓄積するデータベースを有し、前記熱処理装置のプロセスレシピ作成の参考となるプロセスレシピを前記データベースに蓄積された複数のプロセスレシピの中から検索するシステムが知られている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−３３１９８号公報（段落００１０）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
１）半導体検査装置又は電子ビーム描画装置の検査プロセスに用いられるレシピは、半導体検査装置上で検査プロセスを動作させながらレシピパラメータを調整し、レシピへ反映する作業を繰り返すことでレシピ設定を最適化していくが、他のレシピを作成する際にそれらの最適化したレシピ設定やノウハウを容易に把握し他のレシピに組み込む手段がないため、毎回実際に検査プロセスを実行しながらレシピパラメータを単独で調整しなければならず作業効率が悪い。
【０００６】
２）既存レシピにどのようなレシピがどのくらい存在するのかなどのレシピ情報を容易に把握することができないため、各レシピの中身を一つ一つ確認しなければならず、共通性の高いレシピファイルやその内容を把握するのに手間と時間がかかってしまう。
【０００７】
３）レシピパラメータの調整は、熟練度により調整時間や質が異なり、特に初心者では質のよいレシピを作成することができるようになるまでに多くの手間と時間を要するため、調整時間や質に大きな差が生じ、検査プロセスの質に大きな影響を与える。
【０００８】
４）既存レシピから共通性の高いレシピを利用することで、ある程度までのレシピ設定は可能であるが、それ以上の設定はノウハウ情報が大きく関わっており、熟練度に依存する面が多い。
【０００９】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであって、各レシピの中身を一つ一つ確認しなくても既存のレシピファイル情報が素速く把握でき、関連性の高いレシピを利用したレシピ設定が容易にできるようにした半導体検査装置のレシピ設定支援方法及び装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記した課題を解決するために、本発明は以下のような構成をとっている。
（１）請求項１記載の発明は、レシピ情報を記憶するレシピファイルと、該レシピファイルと接続され、レシピファイルの作成や編集を行なうレシピ作成・編集システムと、レシピファイル情報が記憶されるレシピファイル情報データベースと、レシピ設定ノウハウ情報が記憶されるレシピ設定ノウハウデータベースと、これらレシピファイル情報データベース及びレシピ設定ノウハウデータベースと接続され、前記レシピ作成・編集システムから指定された検索条件より、前記レシピファイル情報データベースとレシピ設定ノウハウデータベースとを参照して関連性の高いレシピ設定支援情報を検索し、レシピ作成・編集システムに提供するレシピ設定支援情報管理システムと、を有し、半導体検査装置のレシピにおいて、前記レシピ設定支援情報管理システムは、前記レシピファイル情報データベース及びレシピ設定ノウハウデータベースを参照して新規レシピの作成や既存レシピの編集を行なう際、既存レシピファイルの情報や蓄積されたレシピ設定のノウハウ情報から指定された条件に関連性の高いレシピ設定情報を検索し、検索の結果のレシピファイル情報及びレシピ設定ノウハウ情報に基づいて前記レシピ作成・編集システムでレシピファイルの作成及び編集を行なうようにしたことを特徴とする。
【００１１】
（２）請求項２記載の発明は、レシピ情報を記憶するレシピファイルと、該レシピファイルと接続され、レシピファイルの作成や編集を行なうレシピ作成・編集システムと、レシピファイル情報が記憶されるレシピファイル情報データベースと、レシピ設定ノウハウ情報が記憶されるレシピ設定ノウハウデータベースと、これらレシピファイル情報データベース及びレシピ設定ノウハウデータベースと接続され、前記レシピ作成・編集システムから指定された検索条件より、前記レシピファイル情報データベースとレシピ設定ノウハウデータベースとを参照して関連性の高いレシピ設定支援情報を検索し、レシピ作成・編集システムに提供するレシピ設定支援情報管理システムと、を有し、半導体検査装置のレシピにおいて、前記レシピ設定支援情報管理システムは、前記レシピファイル情報データベース及びレシピ設定ノウハウデータベースを参照して新規レシピの作成や既存レシピの編集を行なう際、既存レシピファイルの情報や蓄積されたレシピ設定のノウハウ情報から指定された条件に関連性の高いレシピ設定情報を検索し、検索の結果のレシピファイル情報及びレシピ設定ノウハウ情報に基づいて前記レシピ作成・編集システムでレシピファイルの作成及び編集を行なうように構成したことを特徴とする。
【００１２】
（３）請求項３記載の発明は、レシピ情報を記憶するレシピファイルと、該レシピファイルと接続され、レシピファイルの作成や編集を行なうレシピ作成・編集システムと、レシピファイル情報が記憶されるレシピファイル情報データベースと、レシピ設定ノウハウ情報が記憶されるレシピ設定ノウハウミラーデータベースと、これらレシピファイル情報データベース及びレシピ設定ノウハウミラーデータベースと接続され、前記レシピ作成・編集システムから指定された検索条件より、前記レシピファイル情報データベースとレシピ設定ノウハウミラーデータベースとを参照して関連性の高いレシピ設定支援情報を検索し、レシピ作成・編集システムに提供するレシピ設定支援情報管理システムと、レシピ設定ノウハウ情報が記憶され、このレシピ設定ノウハウ情報をレシピ設定ノウハウミラーデータベースに送るレシピ設定ノウハウデータベースと、該レシピ設定ノウハウデータベースと接続され、更に前記レシピ設定支援情報管理システムと接続され、レシピ設定ノウハウデータを作成するレシピ設定ノウハウサーバーシステムと、を有し、半導体検査装置のレシピにおいて、前記レシピ設定支援情報管理システムは、前記レシピファイル情報データベース及びレシピ設定ノウハウミラーデータベースを参照して新規レシピの作成や既存レシピの編集を行なう際、既存レシピファイルの情報や蓄積されたレシピ設定のノウハウ情報から指定された条件に関連性の高いレシピ設定情報を検索し、検索の結果のレシピファイル情報及びレシピ設定ノウハウ情報に基づいて前記レシピ作成・編集システムでレシピファイルの作成及び編集を行なうように構成したことを特徴とする。
【００１３】
（４）請求項４記載の発明は、半導体工場ホストコンピュータと、該ホストコンピュータと接続され、レシピデータを記憶するレシピデータ記憶部と、レシピ情報を記憶するレシピファイルと、該レシピファイルと接続され、更に前記ホストコンピュータと接続され、レシピファイルの作成や編集を行なうレシピ作成・編集システムと、レシピファイル情報が記憶されるレシピファイル情報データベースと、レシピ設定ノウハウ情報が記憶されるレシピ設定ノウハウミラーデータベースと、これらレシピファイル情報データベース及びレシピ設定ノウハウミラーデータベースと接続され、前記レシピ作成・編集システムから指定された検索条件より、前記レシピファイル情報データベースとレシピ設定ノウハウミラーデータベースとを参照して関連性の高いレシピ設定支援情報を検索し、レシピ作成・編集システムに提供するレシピ設定支援情報管理システムと、レシピ設定ノウハウ情報を記憶するレシピ設定ノウハウデータベースと、該レシピ設定ノウハウデータベースと接続され、回線を介して前記レシピ設定支援情報管理システムとも接続されるレシピ設定ノウハウサーバーシステムと、を有し、半導体検査装置のレシピにおいて、前記レシピ設定支援情報管理システムは、前記レシピ設定ノウハウミラーデータベースをレシピ設定ノウハウデータベースの内容で更新しておき、前記レシピデータ記憶部の内容を前記レシピ作成・編集システムにダウンロードしておき、前記レシピ作成・編集システムは、前記レシピファイル情報データベースと、レシピ設定ノウハウミラーデータベースを参照して関連性の高い類似レシピファイルやレシピ設定の組み合せ情報を検索し、検索結果をレシピのレシピファイルやレシピ設定の組み合わせ情報に基づいてレシピの作成及び編集を行なうことでレシピ設定を行ない、調整されたレシピデータを前記半導体工場ホストコンピュータにアップロードするように構成したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は以下に示すような効果を有する。
（１）請求項１記載の発明によれば、既存レシピファイルの情報をデータベース化し、共通性の高いレシピファイル情報の抽出が容易になったことで、各レシピの中身を一つ一つ確認しなくても既存のレシピファイル情報が素速く把握できるようになり、関連性の高いレシピを利用したレシピ設定が容易になる。
【００１５】
（２）請求項２記載の発明によれば、既存レシピファイルの情報をデータベース化し、共通性の高いレシピファイル情報の抽出が容易になったことで、各レシピの中身を一つ一つ確認しなくても既存のレシピファイル情報が素速く把握できるようになり、関連性の高いレシピを利用したレシピ設定が容易になる。
【００１６】
（３）請求項３記載の発明によれば、レシピ設定ノウハウサーバーシステムからの最新のレシピ設定ノウハウ情報を取得することにより、更新したレシピ設定ノウハウミラーデータベースとレシピファイル情報データベースから関連性の高い類似レシピファイルやレシピ設定の組み合せ情報を検索し、検索結果をレシピに組み込むことができる。
【００１７】
（４）請求項４記載の発明によれば、レシピ設定支援情報管理システムは半導体工場ホストコンピュータからのレシピのダウンロードにより取得したレシピデータにおいて、既存レシピファイル情報やレシピ設定ノウハウ情報から関連性の高い類似レシピファイルやレシピ設定の組み合せ情報を検索し、検索結果をレシピに組み込むことでレシピ設定を行ない、調整されたレシピデータを半導体工場ホストコンピュータへアップロードすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施例１の構成例を示す図である。
【図２】実施例１の動作を示すフローチャートである。
【図３】本発明の実施例２の構成例を示す図である。
【図４】実施例２の動作を示すフローチャートである。
【図５】本発明の実施例３の構成例を示す図である。
【図６】実施例３の動作を示すフローチャートである。
【図７】レシピ作成・編集システム画面を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
［実施例１］
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。図１は本発明の実施例１の構成例を示す図である。図において、Ｓ１はレシピ作成と編集を行なうレシピ作成・編集システム、Ｓ１−１は作成されたレシピデータを記憶するレシピファイル、Ｓ２−１はレシピファイル情報を記憶するレシピファイル情報データベース、Ｓ２−２はレシピ設定ノウハウを記憶するレシピ設定ノウハウデータベース、Ｓ２はこれらレシピファイル情報データベースＳ２−１及びレシピ設定ノウハウデータベースＳ２−２と接続され、レシピ設定のための検索結果であるレシピ設定支援情報を抽出するレシピ設定支援情報管理システムである。該レシピ設定支援情報管理システムＳ２は、レシピ作成・編集システムＳ１に検索結果を通知する。レシピ作成・編集システムＳ１によって半導体検査装置Ｓ６が動作させられる。このように構成された装置の動作を説明すれば、以下の通りである。
【００２０】
この実施例は、半導体検査装置又は電子ビーム描画装置のある検査工程のレシピ作成を行なうため、既存レシピファイル情報やレシピ設定ノウハウ情報から関連性の高い類似レシピファイルやレシピ設定の組み合せ情報を検索し、検索結果をレシピに組み込みレシピ設定を行なうようにしたものである。各構成要素について詳しく説明する。
【００２１】
１）Ｓ１．レシピ作成・編集システム
・レシピ作成・編集システムＳ１（以下単にＳ１とも略す）は、レシピファイルＳ１−１（以下単にＳ−１とも略す）の作成や編集をする機能を有する。
・Ｓ１はＳ１−１の情報の情報の提供や取得をする機能を有する。
・Ｓ１は、レシピ設定支援情報管理システムＳ２（以下単にＳ２とも略す）へ検索条件を指定し、検索する機能を有する。
【００２２】
ここで、検索条件には、装置タイプ、ウェハタイプ、チップサイズ、検査タイプ、検査プラン、検査プラン内処理、検査プラン内処理パラメータ、目的の何れか１つ以上が必要である。検索条件は、指定数が多いほど精度の高いレシピ設定の検索が可能である。
・Ｓ１はＳ２からのレシピ設定支援情報の検索結果を情報別に図示しない表示装置に並び替えて表示する機能を有する。
・Ｓ１は、Ｓ２からのレシピ設定支援情報をＳ１−１に組み込む機能を有する。
【００２３】
ここで、レシピ設定支援情報の組み込み機能は、レシピ設定者が情報別に並び替えられたレシピ設定支援情報の検索結果の一部又は全部を選択し、組み込み可能なレシピ設定部分にドラッグ＆ドロップすることでレシピ設定支援情報が設定される。
【００２４】
２）Ｓ１−１．レシピファイル
・Ｓ１−１は、半導体検査装置の動作を規定したファイルである。
・Ｓ１−１は、検査工程毎に複数作成されるファイルである。
【００２５】
３）Ｓ２．レシピ設定支援情報管理システム
・Ｓ２は、Ｓ１から指定された検索条件より、レシピファイル情報データベースＳ２−１（以下単にＳ２−１とも略す）とレシピ設定ノウハウデータベースＳ２−２（以下単にＳ２−２とも略す）から関連性の高いレシピ設定支援情報を検索し、Ｓ１にレシピファイル情報とレシピ設定ノウハウ情報を送る機能を有する。
・Ｓ２は、Ｓ１から常に最新のＳ１−１の情報が取得でき、取得した情報をＳ２−１へ保持する機能を有する。
【００２６】
４）Ｓ２−１．レシピファイル情報データベース
・Ｓ２−１は、Ｓ１−１の情報をデータ化したデータベースである。
・Ｓ２−１の情報は、主に検索条件に関連性の高い類似レシピファイルの情報をレシピ作成・編集システムに送る際に利用するものである。
【００２７】
５）Ｓ２−２．レシピ設定ノウハウデータベース
・Ｓ２−２は、レシピ設定のノウハウ情報をデータ化したデータベースである。
・Ｓ２−２の情報は、主に検索条件に関連性の高いレシピ設定の組み合せ情報をレシピ作成・編集システムに送る際に利用するものである。
【００２８】
ここで、レシピ設定の組み合せ情報とは、あるレシピパラメータがある設定の場合は、他のレシピパラメータにはどのような設定が好ましいといった設定支援情報である。
図２は実施例１の動作を示すフローチャートである。先ずレシピ作成・編集システムＳ１はレシピ設定支援情報管理システムＳ２にレシピ設定支援情報の検索条件を指定し検索を実行する（Ｋ１）。レシピ設定支援情報管理システムＳ２は、レシピ作成・編集システムＳ１からの指定された検索条件より、レシピファイル情報データベースＳ２−１とレシピ設定ノウハウデータベースＳ２−２から関連性の高いレシピ設定支援情報を検索し、検索結果の中から選択したレシピ設定支援情報をレシピ作成・編集システムＳ１に送る（Ｋ２）。
【００２９】
レシピ作成・編集システムＳ１は、レシピ設定支援情報管理システムＳ２から送られてきた関連性の高いレシピ設定支援情報を指定された情報別に並び替えて図示しない表示部に表示する（Ｋ３）。
【００３０】
レシピ作成・編集システムＳ１は、レシピ設定支援情報管理システムＳ２から送られてきた関連性の高いレシピ設定支援情報から、最適と思われるレシピ設定支援情報を選択し、指定のレシピファイルＳ１−１に情報を組み込む（Ｋ４）。次に、レシピ作成・編集システムＳ１は未調整のレシピ設定があるかどうかチェックする（Ｋ５）。未調整のレシピ設定がある場合には、ステップＫ１に戻ってレシピファイルＳ１−１への情報組み込み処理を続行する。未調整のレシピ設定がない場合には、半導体検査装置Ｓ６にて調整したレシピを実行する（Ｋ６）。
【００３１】
その後、再調整のレシピ設定があるかどうかチェックし（Ｋ７）、ある場合にはステップＫ１に戻ってレシピファイルＳ１−１への情報組み込み処理を続行する。ない場合には、処理を終了する。
【００３２】
実施例１によれば、既存レシピファイルの情報をデータベース化し、共通性の高いレシピファイル情報の抽出が容易になったことで、各レシピの中身を一つ一つ確認しなくても既存のレシピファイル情報が素速く把握できるようになり、関連性の高いレシピを利用したレシピ設定が容易になる。
［実施例２］
図３は本発明の実施例２の構成例を示す図である。図１と同一のものは、同一の符号を付して示す。図１に示す実施例１と異なる点は、レシピ設定ノウハウサーバーシステムＳ３（以下単にＳ３とも略す）が設けられ、レシピ設定支援情報管理システムＳ２とインターネット回線を通じて接続されており、レシピ設定ノウハウサーバーシステムＳ３（以下単にＳ３とも略す）には、レシピ設定ノウハウデータベースＳ３−１（以下単にＳ３−１とも略す）が接続されている点である。また、レシピ設定支援情報管理システムＳ２には、レシピ設定ノウハウミラーデータベースＳ２−３（以下単にＳ２−３とも略す）が接続されている。レシピ設定ノウハウミラーデータベースＳ２−３には、矢印で示すようにレシピ設定ノウハウデータベースＳ３−１からのデータが記憶されるようになっている。このように構成された装置の動作を説明すれば、以下の通りである。
【００３３】
この実施例２は、実施例１に示す構成にレシピ設定ノウハウサーバーシステムＳ３を接続し、レシピ設定支援情報管理システムＳ２はレシピ設定ノウハウサーバーシステムＳ３からのインターネット回線を利用した最新のレシピ設定ノウハウ情報Ｓ３−１を取得することにより、更新したレシピ設定ノウハウミラーデータベースＳ２−３とレシピファイル情報データベースＳ２−１から関連性の高い類似レシピファイルやレシピ設定の組み合わせ情報を検索し、検索結果をレシピに組み込むことでレシピ設定を行なうようにしたものである。各構成要素について詳しく説明する。
【００３４】
１）Ｓ１．レシピ作成・編集システム
２）Ｓ１−１．レシピファイル
３）Ｓ２．レシピ設定支援情報管理システム
４）Ｓ２−１．レシピファイル情報データベース
上記１）〜４）は実施例１で述べたものと同じである。
【００３５】
５）Ｓ２−３．レシピ設定ノウハウミラーデータベース
・Ｓ２−３は、レシピ設定ノウハウをデータ化したデータベースである。
・Ｓ２−３の情報は主に検索条件に関連性の高いレシピ設定の組み合わせ情報をレシピ作成・編集システムに送る。
・Ｓ２−３は、Ｓ３−１をミラー化したデータベースであり、Ｓ３に更新要求を行なうことで、最新のＳ３−１の情報をＳ２−３に送る。
【００３６】
６）Ｓ３．レシピ設定ノウハウサーバーシステム
・Ｓ３は、常に最新のレシピ設定のノウハウ情報を蓄積し、保持する機能を有する。
・Ｓ３は、Ｓ２からの取得要求により、最新のＳ３−１の情報をＳ２−３に送る。
【００３７】
７）Ｓ３−１．レシピ設定ノウハウデータベース
・Ｓ３−１は、レシピ設定ノウハウをデータ化した最新のデータベースである。
・Ｓ３−１の情報は、主に他の半導体検査装置の最新レシピ設定ノウハウ情報をレシピ作成・編集システムに送る。
【００３８】
図４は実施例２の動作を示すフローチャートである。先ずレシピ設定支援情報管理システムＳ２は、レシピ設定ノウハウサーバーシステムＳ３へレシピ設定ノウハウデータベースＳ３−１の取得要求を行い、レシピ設定ノウハウミラーデータベースＳ２−３を最新の情報にアップデートする（Ｋ１）。次に、レシピ作成・編集システムＳ１は、レシピ設定支援情報管理システムＳ２にレシピ設定支援情報の検索条件を指定し検索を実行する（Ｋ２）。
【００３９】
次に、レシピ設定支援情報管理システムＳ２は、レシピ作成・編集システムＳ１から指定された検索条件より、レシピファイル情報データベースＳ２−１とレシピ設定ノウハウミラーデータベースＳ２−３から関連性の高いレシピ設定支援情報を検索し、結果をレシピ作成・編集システムＳ１に送る（Ｋ３）。
【００４０】
レシピ作成・編集システムＳ１は、レシピ設定支援情報管理システムＳ２から送られてきた関連性の高いレシピ設定支援情報を指定された情報別に並び替えて図示しない表示部に表示する（Ｋ４）。次に、レシピ作成・編集システムＳ１は、レシピ設定支援情報管理システムＳ２から送られてきた関連性の高いレシピ設定支援情報から、最適と思われるレシピ設定支援情報を選択し、指定のレシピファイルＳ１−１に組み込む（Ｋ５）。
【００４１】
次に、レシピ作成・編集システムＳ１は未調整のレシピ設定があるかどうかチェックする（Ｋ６）。未調整のレシピ設定がある場合には、ステップＫ１に戻って最適と思われるレシピ設定支援情報を選択する処理に移行する。未調整のレシピ設定がない場合には、半導体検査装置Ｓ６にて調整したレシピを実行する（Ｋ７）。次に、レシピ作成・編集システムＳ１は再調整のレシピ設定があるかどうかチェックし（Ｋ８）、ある場合にはステップＫ１に戻り最適と思われるレシピ設定支援情報を選択する処理に移行する。ない場合には、処理を終了する。
［実施例３］
図５は本発明の実施例３の構成例を示す図である。図３と同一のものは、同一の符号を付して示す。図３に示す実施例２と異なる点は、実施例２の構成に加えて半導体工場ホストコンピュータＳ４（以下単にＳ４とも略す）とこれに付属するレシピデータ部Ｓ４−１（以下単にＳ４−１とも略す）が設けられている点である。半導体工場ホストコンピュータＳ４は、レシピ作成・編集システムＳ１と接続されている。このように構成された装置の動作を説明すれば、以下の通りである。
【００４２】
実施例３は、実施例２に示す構成に、半導体工場ホストコンピュータＳ４を接続し、レシピ設定支援情報管理システムＳ２は、半導体工場ホストコンピュータＳ４からのレシピのダウンロードにより取得したレシピデータ部Ｓ４−１において、既存レシピファイル情報やレシピ設定ノウハウ情報から関連性の高い類似レシピファイルやレシピ設定の組み合わせ情報を検索し、検索結果のレシピファイルやレシピ設定の組み合わせ情報に基づいてレシピの作成及び編集を行なうことでレシピ設定を行ない、調整されたレシピデータを半導体工場ホストコンピュータＳ４にアップロードを行なうものである。
【００４３】
各構成要素について詳しく説明する。
１）Ｓ１．レシピ作成・編集システム
２）Ｓ１−１．レシピファイル
３）Ｓ２．レシピ設定支援情報管理システム
４）Ｓ２−１．レシピファイル情報データベース
５）Ｓ２−３．レシピ設定ノウハウミラーデータベース
６）Ｓ３．レシピ設定ノウハウサーバーシステム
７）Ｓ３−１．レシピ設定ノウハウデータベース
上記１）〜７）は、実施例２の１）〜７）と同じである。
【００４４】
８）Ｓ４．半導体工場ホストコンピュータ
・Ｓ４は、半導体工場における様々な情報管理の中心的な役割をになう統合生産情報管理コンピュータである。
【００４５】
９）Ｓ４−１．レシピデータ部
Ｓ４−１は、半導体検査装置の動作を規定したレシピファイル内のデータである。
図６は実施例３の動作を示すフローチャートである。先ず、レシピ設定支援情報管理システムＳ２は、レシピ設定ノウハウサーバーシステムＳ３へレシピ設定ノウハウデータベースＳ３−１の取得要求を行ない、レシピ設定ノウハウミラーデータベースＳ２−３を最新の情報へアップデートする（Ｋ１）。
【００４６】
半導体工場ホストコンピュータＳ４は、レシピ作成・編集システムＳ１にレシピデータ部Ｓ４−１のダウンロードを行なう（Ｋ２）。次に、レシピ作成・編集システムＳ１は、レシピ設定支援情報管理システムＳ２にレシピ設定支援情報の検索条件を指定し検索を実行する（Ｋ３）。レシピ設定支援情報管理システムＳ２は、レシピ作成・編集システムＳ１からの指定された検索条件よりレシピファイル情報データベースＳ２−１とレシピ設定ノウハウミラーデータベースＳ２−３から関連性の高いレシピ設定支援情報を検索し、結果をレシピ作成・編集システムＳ１に送る（Ｋ４）。
【００４７】
レシピ作成・編集システムＳ１は、レシピ設定支援情報管理システムＳ２から送られてきた関連性の高いレシピ設定支援情報を指定された情報別に並びかえて図示しない表示部に表示する（Ｋ５）。次に、レシピ作成・編集システムＳ１は、レシピ設定支援情報管理システムＳ２から送られてきた関連性の高いレシピ設定支援情報から、最適と思われるレシピ設定支援情報を選択し、指定のレシピファイルＳ１−１に組み込まれる（Ｋ６）。
【００４８】
次に、レシピ作成・編集システムＳ１は、未調整のレシピ設定があるかどうかチェックする（Ｋ７）。ある場合にはステップＫ１に戻り、最適と思われるレシピ設定情報を選択する処理に移行する。ない場合には、半導体検査装置Ｓ６にて調整したレシピを実行する（Ｋ８）。次に、レシピ作成・編集システムＳ１は、再調整のレシピ設定があるかどうかチェックする（Ｋ９）。ある場合にはステップＫ１に戻り、最適と思われるレシピ設定情報を選択する処理に移行する。ない場合はレシピ作成・編集システムＳ１は、半導体工場ホストコンピュータＳ４に最適化したレシピデータ部Ｓ４−１のアップロードを行ない（Ｋ１０）、処理を終了する。
【００４９】
図７はレシピ作成・編集システム画面を示す図で、実施例１に対応している画面である。この画面は、レシピ作成・編集システムＳ１に付属している表示部に表示された画面を示している。丸１は検索条件入力部である。検索パラメータは「：」で区切り、検索条件はスペースで区切るようになっている。この検索条件で検索する場合、丸２の検索ボタンをクリックする。この結果、レシピファイル情報には、丸３に示すレシピファイル情報検索結果表示がなされる。この表示は、レシピファイル情報データベースＳ２−１を検索した結果に基づくものである。
【００５０】
また、ノウハウ情報には、丸３’に示すようなノウハウ情報検索結果表示がなされる。この表示は、レシピ設定ノウハウデータベースＳ２−２を検索した結果に基づくものである。例えば、レシピ設定のノウハウ情報は、図に示すように組み合わせ情報として記憶される。図ではレシピ設定のノウハウ情報１として示されている。その組み合わせ情報は、
１．ｂａｒｅウェーハでは、倍率Ａ倍以下は、Ｘフォーカスを設定
２．ｂａｒｅウェーハでは、倍率Ｂ倍以上は、Ｙフォーカスを設定
３．ｂａｒｅウェーハでは、Ｃ観察時の傾斜はＺ度を設定
というようなものである。
【００５１】
ここで、各ノウハウ情報の一部（詳細情報）を丸４に示すように、ドラッグ＆ドロップによりレシピファイルに組み込むことができる。この場合において、ノウハウ情報の一部をクリックすると、詳細情報を表示させることができるようになっている。また丸４’に示すように、ノウハウ情報の全部（検索結果）をドラッグ＆ドロップによりレシピファイルに組み込むことができる。この場合において、ノウハウ情報の全部をクリックすると、詳細情報を表示させることができるようになっている。
【００５２】
この結果、丸５に示すようにレシピファイル情報及びノウハウ情報の全部（検索結果）又は一部（詳細情報）がレシピファイルへ組み込まれる。このレシピファイルをクリックすると、詳細情報を表示することが可能となる。
【００５３】
上述の実施例では、本発明を半導体検査装置に適用した場合について説明した。しかしながら、本発明はこれに限るものではなく、電子ビーム描画装置にも全く同様に適用することができる。
【００５４】
以上説明した本発明の効果を列挙すると、以下の通りである。
１）既存レシピファイルの情報をデータベース化し共通性の高いレシピファイル情報の抽出が容易になったことで、各レシピの中身を一つ一つ確認しなくても既存のレシピファイル情報が素速く把握できるようになり、関連性の高いレシピを利用したレシピ設定が容易になる。
２）レシピ設定ノウハウ情報をデータベース化し共通性の高いレシピ設定のノウハウ情報の抽出が容易になったことで、レシピ設定ノウハウ情報が素速く把握できるようになり、以下の効果がある。
・時間をかけて半導体検査装置上で検査プロセスを動作させながらレシピパラメータを調整し、レシピファイルの編集を繰り返す回数が抑えられ、調整時間が短縮される。
・熟練度によるレシピパラメータの調整時間や質の差が補われ、一定以上の検査プロセスの質が保たれる。
３）検索したレシピ設定支援情報を対象レシピに容易に組み込むことができるので、レシピ設定の作成及び編集時間が短縮される。
【符号の説明】
【００５５】
Ｓ１      レシピ作成・編集システム
Ｓ１−１  レシピファイル
Ｓ２      レシピ設定支援情報管理システム
Ｓ２−１  レシピファイル情報データベース
Ｓ２−２  レシピ設定ノウハウデータベース
Ｓ６      半導体検査装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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