(57)【要約】【課題】パターン形成体と磁気記録媒体とが接触する際の傷の発生を抑制する。【解決手段】磁気転写部は、固定ホルダ３０に保持されたマスタ情報記録体２００の傾きを調整する固定側傾き調整部７０と、可動ホルダ４０に保持されたマスタ情報記録体２００の傾きを調整する可動側傾き調整部８０と、固定ホルダ３０側に可動ホルダ４０を近づけ、固定ホルダ３０側のマスタ情報記録体２００と可動ホルダ４０側のマスタ情報記録体２００との間に、磁気記録媒体１を挟み込ませる駆動を行う可動ホルダ駆動部と、固定ホルダ３０および可動ホルダ４０で挟まれたマスタ情報記録体２００、マスタ情報記録体２００および磁気記録媒体１を挟んで配置される固定側磁石部材５０および可動側磁石部材６０と、を含む。【選択図】図６
2011253584.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれに第１のパターンが形成された複数の第１のパターン形成体を面方向に並べて保持する第１の保持体に対する、各々の当該第１のパターン形成体の当該第１のパターンの形成面の傾きを、当該第１のパターン形成体毎に調整する工程と、
それぞれに第２のパターンが形成された複数の第２のパターン形成体を面方向に並べて保持する第２の保持体に対する、各々の当該第２のパターン形成体の当該パターンの形成面の傾きを、当該第２のパターン形成体毎に調整する工程と、
傾きが調整された複数の前記第１のパターン形成体を保持する前記第１の保持体と、傾きが調整された複数の前記第２のパターン形成体を保持する前記第２の保持体とを、相対的に移動させ、当該第１の保持体に保持された複数の当該第１のパターン形成体と当該第２の保持体に保持された複数の当該第２のパターン形成体との間に、磁気情報を記録する複数の磁気記録媒体をそれぞれ挟み込む工程と、
前記第１の保持体に保持された複数の前記第１のパターン形成体と前記第２の保持体に保持された複数の前記第２のパターン形成体との間に挟み込まれた複数の前記磁気記録媒体に対し、前記第１のパターンおよび前記第２のパターンを磁気的に転写する工程と
を含む磁気記録媒体の製造方法。
【請求項２】
前記第１のパターン形成体毎に調整する工程では、当該第１のパターンの形成面が、供給されてくる前記磁気記録媒体の対向面に対し平行な状態に近づくように各々の前記第１のパターン形成体の位置を調整し、
前記第２のパターン形成体毎に調整する工程では、当該第２のパターンの形成面が、前記第１のパターン形成体に保持された前記磁気記録媒体の対向面に対し平行な状態に近づくように各々の第２のパターン形成体の位置を調整すること
を特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項３】
前記第１のパターンの形成面の傾きを調整する工程では、前記第１の保持体上に複数の前記第１のパターン形成体を複数箇所で支持し且つそれぞれが個別に伸縮可能な複数の第１の伸縮部材の各伸縮量を調整し、
前記第２のパターンの形成面の傾きを調整する工程では、前記第２の保持体上に複数の前記第２のパターン形成体を複数箇所で支持し且つそれぞれが個別に伸縮可能な複数の第２の伸縮部材の各伸縮量を調整すること
を特徴とする請求項１または２記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項４】
それぞれに第１のパターンが形成された複数の第１のパターン形成体を当該第１のパターンの形成面の向きを揃えた状態で面方向に並べて保持する第１の保持体と、
前記第１の保持体に対する各々の前記第１のパターン形成体の前記第１のパターンの形成面の傾きを当該第１のパターン形成体毎に調整する第１の調整部と、
それぞれに第２のパターンが形成された複数の第２のパターン形成体を当該第２のパターンの形成面の向きを揃えた状態で面方向に並べて保持する第２の保持体と、
前記第２の保持体に対する各々の前記第２のパターン形成体の前記第２のパターンの形成面の傾きを当該第２のパターン形成体毎に調整する第２の調整部と、
前記第１の保持体および前記第２の保持体を相対的に移動させることで、前記第１の調整部にて傾き調整がなされた複数の前記第１のパターン形成体と前記第２の調整部にて傾き調整がなされた複数の前記第２のパターン形成体との間に、磁気情報を記録する複数の磁気記録媒体をそれぞれ挟み込ませるための駆動を行う駆動部と、
前記駆動部による駆動に伴い、前記第１の保持体および前記第２の保持体によって挟まれた複数の第１のパターン形成体、複数の第２のパターン形成体および複数の磁気記録媒体を挟むように配置される磁石部材と
を含む磁気記録媒体の製造装置。
【請求項５】
前記第１の調整部および前記第２の調整部は、１枚の前記磁気記録媒体を挟み込むように構成された一対の前記第１のパターン形成体および前記第２のパターン形成体に対し、当該第１のパターン形成体における前記第１のパターンの形成面および当該第２のパターン形成体における前記第２のパターンの形成面が、前記磁気記録媒体を挟み込むときに平行に近づいた状態となるように、それぞれの調整を行うことを特徴とする請求項４記載の磁気記録媒体の製造装置。
【請求項６】
前記第１の調整部は、前記第１の保持体上に複数の前記第１のパターン形成体を複数箇所で支持し、それぞれが個別に伸縮可能な複数の第１の伸縮部材で構成され、
前記第２の調整部は、前記第２の保持体上に複数の前記第２のパターン形成体を複数箇所で支持し、それぞれが個別に伸縮可能な複数の第２の伸縮部材で構成されること
を特徴とする請求項４または５記載の磁気記録媒体の製造装置。
【請求項７】
複数の前記第１の伸縮部材および複数の前記第２の伸縮部材が、圧電素子で構成されることを特徴とする請求項６記載の磁気記録媒体の製造装置。
【請求項８】
第１のパターンが形成された第１のパターン形成体と、
第２のパターンが形成された第２のパターン形成体と、
前記第２のパターン形成体の前記第２のパターンの形成面の傾きを調整する第２の調整部と、
前記第１のパターン形成体と前記第２の調整部にて傾き調整がなされた前記第２のパターン形成体とを相対的に移動させることで、当該第１のパターン形成体の前記第１のパターンの形成面と当該第２のパターン形成体の前記第２のパターンの形成面との間に、磁気情報を記録する磁気記録媒体を挟み込ませるための駆動を行う駆動部と、
前記駆動部による駆動に伴い、前記磁気記録媒体を挟み込んだ前記第１のパターン形成体および前記第２のパターン形成体を挟むように配置される磁石部材と
を含む磁気記録媒体の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録媒体の製造方法および磁気記録媒体の製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハード・ディスク・ドライブ等に代表される磁気記録装置では、回転する磁気記録媒体に対し、磁気ヘッドを用いたデータの書き込みおよび読み取りが行われる。
この種の磁気記録装置では、磁気記録媒体上の目的とする位置に磁気ヘッドを移動させ、且つ、その位置でのデータの書き込みおよび読み取りを行わせるために、磁気ヘッドの位置決めを行っている。このため、磁気記録媒体には、予め、磁気ヘッドによって読み取られるとともに磁気ヘッドの位置決めに使用される位置決めデータが記録されている。
【０００３】
公報記載の従来技術として、磁気記録媒体に対する位置決めデータ等の記録を、所謂磁気転写方式にて行うことが提案されている（特許文献１参照）。磁気転写においては、記録すべきデータに対応したパターンが形成されたパターン形成体に磁気記録媒体を重ね合わせた状態で、パターン形成体と磁気記録媒体とを挟んで一方向に向かう磁力を加えることで、磁気記録媒体に対するパターンの磁気的な転写を行う。
また、特許文献１には、高低分布を有する弾性体によってパターン形成体を支持し、パターン形成体によって磁気記録媒体を挟み込む際に、パターン形成体の特定箇所から磁気記録媒体を接触させ始めるようにすることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−２５２７０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、パターン形成体の特定箇所から磁気記録媒体を接触させ始める構成を採用した場合には、パターン形成体の特定箇所が磁気記録媒体によって擦られることになり、結果としてパターン形成体や磁気記録媒体が傷ついてしまうおそれがあった。
本発明は、パターン形成体と磁気記録媒体とが接触する際の傷の発生を抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の磁気記録媒体の製造方法は、それぞれに第１のパターンが形成された複数の第１のパターン形成体を面方向に並べて保持する第１の保持体に対する、各々の第１のパターン形成体の第１のパターンの形成面の傾きを、第１のパターン形成体毎に調整する工程と、それぞれに第２のパターンが形成された複数の第２のパターン形成体を面方向に並べて保持する第２の保持体に対する、各々の第２のパターン形成体のパターンの形成面の傾きを、第２のパターン形成体毎に調整する工程と、傾きが調整された複数の第１のパターン形成体を保持する第１の保持体と、傾きが調整された複数の第２のパターン形成体を保持する第２の保持体とを、相対的に移動させ、第１の保持体に保持された複数の第１のパターン形成体と第２の保持体に保持された複数の第２のパターン形成体との間に、磁気情報を記録する複数の磁気記録媒体をそれぞれ挟み込む工程と、第１の保持体に保持された複数の第１のパターン形成体と第２の保持体に保持された複数の第２のパターン形成体との間に挟み込まれた複数の磁気記録媒体に対し、第１のパターンおよび第２のパターンを磁気的に転写する工程とを含んでいる。
【０００７】
この磁気記録媒体の製造方法において、第１のパターン形成体毎に調整する工程では、第１のパターンの形成面が、供給されてくる磁気記録媒体の対向面に対し平行な状態に近づくように各々の第１のパターン形成体の位置を調整し、第２のパターン形成体毎に調整する工程では、第２のパターンの形成面が、第１のパターン形成体に保持された磁気記録媒体の対向面に対し平行な状態に近づくように各々の第２のパターン形成体の位置を調整することを特徴とすることができる。
また、第１のパターンの形成面の傾きを調整する工程では、第１の保持体上に複数の第１のパターン形成体を複数箇所で支持し且つそれぞれが個別に伸縮可能な複数の第１の伸縮部材の各伸縮量を調整し、第２のパターンの形成面の傾きを調整する工程では、第２の保持体上に複数の第２のパターン形成体を複数箇所で支持し且つそれぞれが個別に伸縮可能な複数の第２の伸縮部材の各伸縮量を調整することを特徴とすることができる。
【０００８】
また、他の観点から捉えると、本発明の磁気記録媒体の製造装置は、それぞれに第１のパターンが形成された複数の第１のパターン形成体を第１のパターンの形成面の向きを揃えた状態で面方向に並べて保持する第１の保持体と、第１の保持体に対する各々の第１のパターン形成体の第１のパターンの形成面の傾きを第１のパターン形成体毎に調整する第１の調整部と、それぞれに第２のパターンが形成された複数の第２のパターン形成体を第２のパターンの形成面の向きを揃えた状態で面方向に並べて保持する第２の保持体と、第２の保持体に対する各々の第２のパターン形成体の第２のパターンの形成面の傾きを第２のパターン形成体毎に調整する第２の調整部と、第１の保持体および第２の保持体を相対的に移動させることで、第１の調整部にて傾き調整がなされた複数の第１のパターン形成体と第２の調整部にて傾き調整がなされた複数の第２のパターン形成体との間に、磁気情報を記録する複数の磁気記録媒体をそれぞれ挟み込ませるための駆動を行う駆動部と、駆動部による駆動に伴い、第１の保持体および第２の保持体によって挟まれた複数の第１のパターン形成体、複数の第２のパターン形成体および複数の磁気記録媒体を挟むように配置される磁石部材とを含んでいる。
【０００９】
この磁気記録媒体の製造装置において、第１の調整部および第２の調整部は、１枚の磁気記録媒体を挟み込むように構成された一対の第１のパターン形成体および第２のパターン形成体に対し、第１のパターン形成体における第１のパターンの形成面および第２のパターン形成体における第２のパターンの形成面が、磁気記録媒体を挟み込むときに平行に近づいた状態となるように、それぞれの調整を行うことを特徴とすることができる。
また、第１の調整部は、第１の保持体上に複数の第１のパターン形成体を複数箇所で支持し、それぞれが個別に伸縮可能な複数の第１の伸縮部材で構成され、第２の調整部は、第２の保持体上に複数の第２のパターン形成体を複数箇所で支持し、それぞれが個別に伸縮可能な複数の第２の伸縮部材で構成されることを特徴とすることができる。
さらに、複数の第１の伸縮部材および複数の第２の伸縮部材が、圧電素子で構成されることを特徴とすることができる。
【００１０】
さらに、他の観点から捉えると、本発明の磁気記録媒体の製造装置は、第１のパターンが形成された第１のパターン形成体と、第２のパターンが形成された第２のパターン形成体と、第２のパターン形成体の第２のパターンの形成面の傾きを調整する第２の調整部と、第１のパターン形成体と第２の調整部にて傾き調整がなされた第２のパターン形成体とを相対的に移動させることで、第１のパターン形成体の第１のパターンの形成面と第２のパターン形成体の第２のパターンの形成面との間に、磁気情報を記録する磁気記録媒体を挟み込ませるための駆動を行う駆動部と、駆動部による駆動に伴い、磁気記録媒体を挟み込んだ第１のパターン形成体および第２のパターン形成体を挟むように配置される磁石部材とを含んでいる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、パターン形成体と磁気記録媒体とが接触する際の傷の発生を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施の形態が適用される磁気記録媒体を備えた磁気記録再生装置の構成の一例を示した図である。
【図２】磁気記録媒体の断面構成の一例を示す図である。
【図３】磁気記録媒体の上面図である。
【図４】本実施の形態における磁気記録媒体の製造方法の一例を示すフローチャートである。
【図５】表面検査および磁気転写を行うための表面検査・磁気転写装置の上面図である。
【図６】磁気転写工程で用いられる磁気転写部の構成の一例を示す断面図である。
【図７】磁気転写部における固定ホルダの構成の一例を示す正面図である。
【図８】磁気転写部における可動ホルダの構成の一例を示す正面図である。
【図９】磁気転写部における第１転写部の構成の一例を示す斜視図である。
【図１０】磁気転写部で用いられるマスタ情報記録体の構成の一例を示す図である。
【図１１】磁気転写部に設けられた傾き調整部の構成の一例を示す図である。
【図１２】表面検査・磁気転写装置における制御ブロックの一例を示す図である。
【図１３】磁気転写部における各マスタ情報記録体の傾き調整手順の一例を示したフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１は、本実施の形態が適用される磁気記録媒体１を備えた磁気記録再生装置の構成の一例を示した図である。
この磁気記録再生装置は、データを磁気情報として磁気的に記録する磁気記録媒体１と、磁気記録媒体１を回転駆動させる回転駆動部２と、磁気記録媒体１にデータを書き込むとともに磁気記録媒体１に記録されたデータを読み取る磁気ヘッド３と、磁気ヘッド３を搭載するキャリッジ４と、キャリッジ４を介して磁気記録媒体１に対して磁気ヘッド３を相対移動させるヘッド駆動部５と、外部から入力された情報を処理して得られた記録信号を磁気ヘッド３に出力し、磁気ヘッド３からの再生信号を処理して得られた情報を外部に出力する信号処理部６とを備えている。
ここで、本実施の形態では、磁気記録媒体１が円盤状の形状を有しており、後述するように、その両面にそれぞれデータを記録するための記録層が形成されている。そして、図１に示す例では、１台の磁気記録再生装置に複数（ここでは３枚）の磁気記録媒体１が取り付けられている。
【００１４】
図２は、図１に示す磁気記録媒体１の断面構成の一例を示す図である。なお、磁気記録媒体１に対するデータの記録方式には面内記録方式と垂直記録方式とが存在するが、本実施の形態では、垂直記録方式において使用される磁気記録媒体１について説明を行う。
この磁気記録媒体１は、基板１００と、基板１００の上に形成された密着層１１０と、密着層１１０の上に形成された軟磁性下地層１２０と、軟磁性下地層１２０の上に形成された配向制御層１３０と、配向制御層１３０の上に形成された非磁性下地層１４０と、非磁性下地層１４０の上に形成された垂直記録層１５０と、垂直記録層１５０の上に形成された保護層１６０と、保護層１６０の上に形成された潤滑層１７０とを備えている。そして、本実施の形態では、基板１００の両面のそれぞれに、密着層１１０、軟磁性下地層１２０、配向制御層１３０、非磁性下地層１４０、垂直記録層１５０、保護層１６０、および潤滑層１７０が形成されるようになっている。なお、以下の説明においては、必要に応じて、基板１００の両面に密着層１１０から保護層１６０までを積層したもの、換言すれば、基板１００に潤滑層１７０以外を形成したものを、積層基板１８０と称することがある。
【００１５】
本実施の形態では、基板１００として非磁性体が使用されており、例えばアルミニウムやアルミニウム合金などの金属材料からなる金属基板を用いてもよく、例えばガラスや、セラミック、シリコン、シリコンカーバイド、カーボンなどの非金属材料からなる非金属基板を用いてもよい。また、これら金属基板や非金属基板の表面に、例えばメッキ法やスパッタ法などを用いて、ＮｉＰ層又はＮｉＰ合金層が形成されたものを用いることもできる。
【００１６】
これらのうち、ガラス基板としては、例えば、通常のガラスや結晶化ガラスなどを用いることができ、通常のガラスとしては、例えば、汎用のソーダライムガラスや、アルミノシリケートガラスなどを用いることができる。また、結晶化ガラスとしては、例えば、リチウム系結晶化ガラスなどを用いることができる。また、セラミック基板としては、例えば、汎用の酸化アルミニウムや、窒化アルミニウム、窒化珪素などを主成分とする焼結体、又はこれらの繊維強化物などを用いることができる。
【００１７】
また、基板１００は、後述するようにＣｏ又はＦｅが主成分となる軟磁性下地層１２０と接することで、表面の吸着ガスや、水分の影響、基板成分の拡散などにより、腐食が進行する可能性がある。このため、基板１００と軟磁性下地層１２０との間に密着層１１０を設けることが好ましい。なお、密着層１１０の材料としては、例えば、Ｃｒ、Ｃｒ合金、Ｔｉ、Ｔｉ合金など適宜選択することが可能である。また、密着層１１０の厚みは２ｎｍ（２０Å）以上であることが好ましい。
【００１８】
軟磁性下地層１２０は、垂直記録方式を採用した場合において、記録再生時のノイズの低減を図るために設けられる。
本実施の形態において、軟磁性下地層１２０は、密着層１１０の上に形成される第１軟磁性層１２１と、第１軟磁性層１２１の上に形成されるスペーサ層１２２と、スペーサ層１２２の上に形成される第２軟磁性層１２３とを備えている。すなわち、軟磁性下地層１２０は、第１軟磁性層１２１と第２軟磁性層１２３とによってスペーサ層１２２を挟み込んだ構成を有している。
これらのうち、第１軟磁性層１２１および第２軟磁性層１２３は、Ｆｅ：Ｃｏを４０：６０〜７０：３０（原子比）の範囲で含む材料を用いるのが好ましく、またその透磁率や耐食性を高めるためＴａ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｃｒからなる群から選ばれる何れか１種を１原子％〜８原子％の範囲で含有させるのが好ましい。
また、スペーサ層１２２としては、Ｒｕ、Ｒｅ、Ｃｕ等を用いることができるが、この中では特にＲｕを用いるのが好ましい。
【００１９】
配向制御層１３０は、非磁性下地層１４０を介してこの上に積層される垂直記録層１５０の結晶粒を微細化して、記録再生特性を改善するために設けられる。
配向制御層１３０を構成する材料については、特に限定されるものではないが、ｈｃｐ構造、ｆｃｃ構造、アモルファス構造を有するものが好ましい。特に、Ｒｕ系合金、Ｎｉ系合金、Ｃｏ系合金、Ｐｔ系合金、Ｃｕ系合金が好ましく、またこれらの合金を多層化したものを用いてもよい。例えば、基板１００側からＮｉ系合金とＲｕ系合金との多層構造、Ｃｏ系合金とＲｕ系合金との多層構造、Ｐｔ系合金とＲｕ系合金との多層構造を採用することが好ましい。
【００２０】
非磁性下地層１４０は、この上に積層される垂直記録層１５０の初期積層部における結晶成長の乱れを抑制し、記録再生時のノイズの発生を抑制するために設けられる。ただし、非磁性下地層１４０については、必ずしも設ける必要はない。
本実施の形態において、非磁性下地層１４０は、Ｃｏを主成分とする金属に、さらに酸化物を含んだ材料からなることが好ましい。非磁性下地層１４０におけるＣｒの含有量は、２５原子％〜５０原子％とすることが好ましい。非磁性下地層１４０における酸化物としては、例えばＣｒ、Ｓｉ、Ｔａ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｍｇ、Ｃｏなどの酸化物を用いることが好ましく、その中でも特に、ＴｉＯ２、Ｃｒ２Ｏ３、ＳｉＯ２などを好適に用いることができる。非磁性下地層１４０における酸化物の含有量としては、磁性粒子を構成する、例えばＣｏ、Ｃｒ、Ｐｔ等の合金を１つの化合物として算出したｍｏｌ総量に対して、３ｍｏｌ％以上１８ｍｏｌ％以下であることが好ましい。
【００２１】
本実施の形態における垂直記録層１５０は、非磁性下地層１４０の上に形成される第１磁性層１５１と、第１磁性層１５１の上に形成される第１非磁性層１５２と、第１非磁性層１５２の上に形成される第２磁性層１５３と、第２磁性層１５３の上に形成される第２非磁性層１５４と、第２非磁性層１５４の上に形成される第３磁性層１５５とを備えている。すなわち、垂直記録層１５０では、第１磁性層１５１と第２磁性層１５３とによって第１非磁性層１５２を挟み込み、第２磁性層１５３と第３磁性層１５５とによって第２非磁性層１５４を挟み込んだ構成を有している。
【００２２】
これらのうち、第１磁性層１５１、第２磁性層１５３および第３磁性層１５５は、磁気ヘッド３から供給される磁気エネルギーによって垂直記録層１５０の厚さ方向に磁化の向きを反転させ、その状態を維持することでデータを記憶するために設けられる。
これら第１磁性層１５１、第２磁性層１５３および第３磁性層１５５は、Ｃｏを主成分とする金属からなる磁性粒子と非磁性の酸化物とを含み、磁性粒子を酸化物で囲んだグラニュラ型構造を有するものを用いることが好ましい。
【００２３】
ここで、第１磁性層１５１、第２磁性層１５３および第３磁性層１５５を構成する酸化物としては、例えばＣｒ、Ｓｉ、Ｔａ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｍｇ、Ｃｏなどの酸化物を用いることが好ましい。その中でも特に、ＴｉＯ２、Ｃｒ２Ｏ３、ＳｉＯ２などを好適に用いることができる。また、垂直記録層１５０の中で最下層となる第１磁性層１５１については、２種類以上の酸化物からなる複合酸化物を含んでいることが好ましい。その中でも特に、Ｃｒ２Ｏ３−ＳｉＯ２、Ｃｒ２Ｏ３−ＴｉＯ２、Ｃｒ２Ｏ３−ＳｉＯ２−ＴｉＯ２などの組成物を好適に用いることができる。
【００２４】
また、第１磁性層１５１、第２磁性層１５３および第３磁性層１５５を構成する磁性粒子に適した材料としては、例えば、９０（Ｃｏ１４Ｃｒ１８Ｐｔ）−１０（ＳｉＯ２）｛Ｃｒ含有量１４原子％、Ｐｔ含有量１８原子％、残部Ｃｏからなる磁性粒子を１つの化合物として算出したモル濃度が９０ｍｏｌ％、ＳｉＯ２からなる酸化物組成が１０ｍｏｌ％｝、９２（Ｃｏ１０Ｃｒ１６Ｐｔ）−８（ＳｉＯ２）、９４（Ｃｏ８Ｃｒ１４Ｐｔ４Ｎｂ）−６（Ｃｒ２Ｏ３）の他、（ＣｏＣｒＰｔ）−（Ｔａ２Ｏ５）、（ＣｏＣｒＰｔ）−（Ｃｒ２Ｏ３）−（ＴｉＯ２）、（ＣｏＣｒＰｔ）−（Ｃｒ２Ｏ３）−（ＳｉＯ２）、（ＣｏＣｒＰｔ）−（Ｃｒ２Ｏ３）−（ＳｉＯ２）−（ＴｉＯ２）、（ＣｏＣｒＰｔＭｏ）−（ＴｉＯ）、（ＣｏＣｒＰｔＷ）−（ＴｉＯ２）、（ＣｏＣｒＰｔＢ）−（Ａｌ２Ｏ３）、（ＣｏＣｒＰｔＴａＮｄ）−（ＭｇＯ）、（ＣｏＣｒＰｔＢＣｕ）−（Ｙ２Ｏ３）、（ＣｏＣｒＰｔＲｕ）−（ＳｉＯ２）などを挙げることができる。
【００２５】
また、第１非磁性層１５２および第２非磁性層１５４は、垂直記録層１５０を構成する第１磁性層１５１、第２磁性層１５３および第３磁性層１５５の個々での磁化反転を容易とし、磁性粒子全体での磁化反転の分散を小さくすることで、ノイズを低減するために設けられる。
本実施の形態において、第１非磁性層１５２および第２非磁性層１５４は、例えばＲｕおよびＣｏを含んでいることが好ましい。
【００２６】
なお、この例では、垂直記録層１５０を構成する磁性層を３層（第１磁性層１５１、第２磁性層１５３および第３磁性層１５５）としていたが、これに限られるものではなく、４層以上の磁性層を備えた構成とすることも可能である。また、この例では、垂直記録層１５０を構成する各磁性層（第１磁性層１５１、第２磁性層１５３および第３磁性層１５５）の間に非磁性層（第１非磁性層１５２および第２非磁性層１５４）を設けていたが、これに限られるものではなく、例えば異なる組成を有する２つの磁性層を、重ねて配置するようにしてもかまわない。
【００２７】
保護層１６０は、垂直記録層１５０の腐食を抑制するとともに、磁気ヘッド３が磁気記録媒体１に接触したときに、磁気記録媒体１の表面の損傷を防いで保護するために設けられる。
保護層１６０としては、従来公知の材料を使用することができ、例えばＣ、ＳｉＯ２、ＺｒＯ２を含むものを使用することが可能である。保護層１６０の厚みは、１〜１０ｎｍとすることが、図１に示す磁気記録再生装置において磁気ヘッド３と磁気記録媒体１との距離を小さくできるので、高記録密度の点から好ましい。
【００２８】
潤滑層１７０は、磁気ヘッド３が磁気記録媒体１に接触したときに磁気ヘッド３および磁気記録媒体１の表面の摩耗を抑制するために設けられる。
潤滑層１７０としては、従来公知の材料を使用することができ、例えばパーフルオロポリエーテル、フッ素化アルコール、フッ素化カルボン酸などの潤滑剤を用いることが好ましい。潤滑層１７０の厚さは、１〜２ｎｍとすることが、図１に示す磁気記録再生装置において磁気ヘッド３と磁気記録媒体１との距離を小さくできるので、高記録密度の点から好ましい。
【００２９】
図３は、図１に示す磁気記録媒体１の上面図である。また、図３には、磁気記録媒体１の表面に設けられる複数のデータ領域を模式的に示している。
本実施の形態における磁気記録媒体１は、上述したように円盤状の形状を有しており、その中央部には磁気記録媒体１の表裏を貫通する円形状の孔が形成されている。以下の説明では、磁気記録媒体１における円形状の孔の縁を内端１ａと称し、磁気記録媒体１における外周の縁を外端１ｂと称する。
【００３０】
図３に示す磁気記録媒体１の表面には、磁気ヘッド３（図１参照）を用いたデータ（磁気情報）の読み書きを行うための読み書きデータ記憶領域Ａ１と、磁気ヘッド３を用いたデータの読み書きにおいて磁気ヘッド３の位置決めに用いられるデータ（位置決めデータという）を記憶する位置決めデータ記憶領域Ａ２とが設けられている。この例において、位置決めデータ記憶領域Ａ２は、磁気記録媒体１の表面に、放射状に複数設けられている。また、磁気記録媒体１の表面には、同心円状に、複数のトラックＴが設けられる。なお、図示はしていないが、図３に示す磁気記録媒体１の裏面にも、同様にして、読み書きデータ記憶領域Ａ１と位置決めデータ記憶領域Ａ２とが設けられている。ただし、磁気記録媒体１の表裏面のそれぞれに設けられた位置決めデータ記憶領域Ａ２は、表裏で位置を合わせなくてもかまわない。
【００３１】
磁気記録媒体１の位置決めデータ記憶領域Ａ２には、位置決めデータとして、例えば、磁気ヘッド３による読み取り時において検出信号の利得調整に用いられるＡＧＣ（Auto Gain Control）パターン、サーボ信号の検出に用いられる検出パターン、サーボ・トラックのシリンダ情報あるいはセクタ情報の検出に用いられるアドレス・パターン、そして目的とするトラックＴに磁気ヘッド３を移動させた後にそのトラックＴ上に磁気ヘッド３を追従させるのに用いられるバースト・パターン（いずれも図示せず）等を含むサーボ・パターンが記憶されている。なお、サーボ・パターンは、磁気記録媒体１に設けられた垂直記録層１５０の厚み方向の磁化の向きを、位置決めデータに合わせて適宜反転させることで構成されている。
【００３２】
図４は、本実施の形態における磁気記録媒体１の製造方法の一例を示すフローチャートである。本実施の形態では、磁気記録媒体１の製造過程において、上述した位置決めデータ記憶領域Ａ２にサーボ・パターンの書き込みを行っていること、より具体的には、後述するマスタ情報記録体２００（図１０参照）を用いて、磁気記録媒体１にサーボ・パターンを磁気転写していることに特徴がある。
【００３３】
磁気記録媒体１の製造に先立ち、予め円盤状に形成されるとともに中央部に表裏を貫通する円形状の孔が形成された基板１００を準備し、予備洗浄を行った後、この基板１００に対する研磨を行う（ステップ１０１）。ステップ１０１における基板１００の研磨は、例えばダイヤモンドスラリーを用いたメカニカルポリッシュで行うことが望ましい。
【００３４】
そして、研磨後の基板１００は、その平均表面粗さ（Ｒａ）が１ｎｍ（１０Å）以下、好ましくは０．５ｎｍ以下であることが、磁気ヘッド３（図１参照）を低浮上させた高記録密度記録に適している点から好ましい。また、研磨後の基板１００の表面の微小うねり（Ｗａ）が０．３ｎｍ以下（より好ましくは０．２５ｎｍ以下。）であることが、磁気ヘッド３を低浮上させた高記録密度記録に適している点から好ましい。また、研磨後の基板１００の端面のチャンファー部の面取り部と、側面部との少なくとも一方の表面平均粗さ（Ｒａ）が１０ｎｍ以下（より好ましくは９．５ｎｍ以下。）のものを用いることが、磁気ヘッド３の飛行安定性にとって好ましい。なお、微少うねり（Ｗａ）は、例えば、表面荒粗さ測定装置Ｐ−１２（ＫＬＭ−Ｔｅｎｃｏｒ社製）を用い、測定範囲８０μｍでの表面平均粗さとして測定することができる。
【００３５】
次に、研磨が施された基板１００に対し、前洗浄を行う（ステップ１０２）。ステップ１０２における基板１００の前洗浄は、研磨が施された基板１００を、純水あるいは超純水に浸漬して超音波振動を加えながら行うことが好ましい。そして、前洗浄がなされた基板１００は、速やかにスピン法等で乾燥させることが好ましい。
【００３６】
続いて、前洗浄が施された基板１００に対し、密着層１１０、軟磁性下地層１２０、配向制御層１３０、非磁性下地層１４０、垂直記録層１５０および保護層１６０を順次積層する成膜工程を行う（ステップ１０３）。ここで、生産性を向上させるという観点からすれば、ステップ１０３における各層の形成を、例えばそれぞれが成膜機能を備えた複数のチャンバを直列に接続したインライン式成膜装置で行うことが好ましい。また、生産性を向上させるという観点からすれば、成膜工程で形成される各層をスパッタリング法で形成することが望ましい。ただし、保護層１６０の強度を確保しつつ薄膜化するという観点からすれば、密着層１１０から垂直記録層１５０についてはスパッタリング法で形成する一方、保護層１６０についてはＣＶＤ法で形成することが好ましい。このように、前洗浄が施された基板１００に対し成膜工程を行うことで、積層基板１８０（図２参照）が得られる。
【００３７】
そして、成膜工程によって得られた積層基板１８０に対し、後洗浄を行う（ステップ１０４）。ステップ１０４における積層基板１８０の後洗浄は、記録層に含まれる金属元素の腐食を防ぐために水素水を用いて行うのが好ましい。ここで、水素水とは、純水もしくは超純水に、高純度の水素ガスを溶解した水であり、金属元素の腐食を低減し、また水のクラスターを小さくして洗浄能力を高めたものである。
【００３８】
本実施の形態の後洗浄工程は、後述するワイピング工程（ステップ１０７）、バーニッシュ工程（ステップ１０８）では除去しきれない積層基板１８０表面の汚染物を除去する目的で行われる。これらの汚染物は、後述する潤滑剤塗布工程（ステップ１０５）や上記ワイピング工程およびバーニッシュ工程の後では水素水による洗浄除去が困難となる場合がある。その理由は、推測ではあるが、汚染物が潤滑層１７０に覆われるとその撥水性により除去が困難となること、ワイピング工程およびバーニッシュ工程の後では汚染物が積層基板１８０の表面に塗り込められ、除去しにくくなってしまうことが考えられる。なお、水素水を用いた後洗浄工程によっても、スパッタダスト等の粉状物をある程度は除去することが可能ではあるが、ワイピング工程およびバーニッシュ工程のように積層基板１８０の表面をスクラブし、ワイプし、または削る効果が低いため、積層基板１８０の表面に強固に付着した粉状物を除去することは困難である。よって、この水素水を用いた後洗浄工程は、ワイピング工程やバーニッシュ工程と併用するのが好ましい。
【００３９】
次に、後洗浄が施された積層基板１８０に対し、潤滑剤を塗布し（ステップ１０５）、積層基板１８０に潤滑層１７０を形成する。続いて、潤滑層１７０が塗布された積層基板１８０を１００℃程度で数分間加熱するベークを行う（ステップ１０６）。これにより、潤滑層１７０に含まれる水分が揮発し、且つ、積層基板１８０の最表面側に設けられた保護層１６０と保護層１６０に接する潤滑層１７０との密着性が高まる。以上により、磁気記録媒体１が得られる。
【００４０】
次いで、ベークが施された磁気記録媒体１の表面をワイピングする（ステップ１０７）。ワイピング工程は、磁気記録媒体１の表面に付着したスパッタダスト等を拭き取るために行われる。これは、上述したように、ステップ１０４の後洗浄工程は水素水への浸漬によるものであり、これだけでは、磁気記録媒体１の表面に強固に付着した粉状物を除去することが困難であるからである。
【００４１】
ワイピング工程は、例えば布製のワイピングテープ等を用いて行なわれ、このワイピングテープを磁気記録媒体１の表面に対して相対走行させつつ、ゴム製のコンタクトロールまたはパッドによってワイピングテープ表面を磁気記録媒体１の表面に押し当てることにより、磁気記録媒体１の表面を軽く拭くことによって行われる。このような処理を行うことにより、磁気記録媒体１の表面に付着していたスパッタダスト等が除去されることになる。その結果、得られた磁気記録媒体１を図１に示す磁気記録再生装置に組み込んだ場合に、磁気記録媒体１に対する磁気ヘッド３の浮上量をより小さくすることが可能となる。
【００４２】
ここで、ワイピング工程に用いられるワイピングテープとしては、超極細繊維よりなる布帛を帯状にスリットしたワイピングテープや、超極細繊維マルチフィラメント糸の織編物等が用いられる。
【００４３】
また、このようなワイピングテープを用いる磁気記録媒体１のワイピング方法は、具体的には、磁気記録媒体１を回転させつつ、この磁気記録媒体１の磁性層側の面に、ワイピングテープの表面（拭き面）を押し当てることにより行われる。これにより、磁気記録媒体１の表面のスパッタダスト等が拭き取られ、表面が清浄化する。ここで、ワイピングテープは、供給リールと巻取りリールとの間に掛け渡されており、供給リールから順次供給され、巻取りリールに巻き取られる。そして、この供給リール側から巻取りリール側に走行する途中で、ワイピングテープは、拭き面と反対側の面（裏面）がゴム等のバッキングロールまたはフェルト等により押圧され、その拭き面が磁気記録媒体１の表面に押し当てられる。
【００４４】
そして、ワイピングが施された磁気記録媒体１の表面に対しバーニッシュを行う（ステップ１０８）。
バーニッシュ工程は、磁気記録媒体１の表面に形成または付着した突起物を除去するため、その表面を、研磨テープを用いて研磨する工程である。このような処理を行うことにより、得られた磁気記録媒体１を図１に示す磁気記録再生装置に組み込んだ場合に、磁気記録媒体１に対する磁気ヘッド３の浮上量をより小さくすることができる。また、後述する磁気転写工程において、磁気記録媒体１とマスタ情報記録体２００との間に隙間が生じて転写パターンが不鮮明となり、マスタ情報記録体２００が損傷を受けるのを防ぐことができる。
【００４５】
バーニッシュ工程は、アルミナ砥粒を塗布した研磨テープ等を用いて行なわれ、この研磨テープをゴム製のコンタクトロールによって磁気記録媒体１の表面に押し当てることにより、磁気記録媒体１の表面を軽く研磨することにより行われる。このような処理を行うことにより、磁気記録媒体１の表面の異常突起等が除去される。
【００４６】
バーニッシュ工程に用いられる研磨テープ（バーニッシュテープ）としては、通常ポリエステル製のベースフィルム上に研磨材層を形成してなるテープを使用する。そして、この研磨材層が磁気記録媒体１の磁性層側の面と接触して摺動することによって、磁気記録媒体１の表面に付着した微小な塵埃が除去されると共に、その表面に存在する異常突起等が研磨・除去されて、その表面が平滑化される。研磨材としては、平均粒子径が０．０５μｍ〜５０μｍ程度の、酸化クロム、α−アルミナ、炭化珪素、非磁性酸化鉄、ダイヤモンド、γ−アルミナ、α，γ−アルミナ、熔融アルミナ、コランダム、人造ダイヤモンド等が用いられる。
【００４７】
また、このような研磨テープを用いる磁気記録媒体１のバーニッシュ加工は、具体的には、磁気記録媒体１を回転させつつ、この磁気記録媒体１の磁性層側の面に、研磨テープの砥粒面を押し当てることにより行われる。これにより、磁気記録媒体１の表面の突起が研磨除去され平滑化される。ここで、研磨テープは、供給リールと巻取りリールとの間に掛け渡されており、供給リールから順次供給され、巻取りリールに巻き取られる。そして、この供給リール側から巻取りリール側に走行する途中で、研磨テープは、砥粒面と反対側の面（裏面）がゴム等のバッキングロールまたはフェルト等により押圧され、研磨テープの研磨面が磁気記録媒体１の表面に押し当てられる。
【００４８】
次に、バーニッシュが施された磁気記録媒体１に対し、初期磁化を行う（ステップ１０９）。この例では、垂直記録方式で用いられる磁気記録媒体１を対象としているため、初期磁化工程は、磁気記録媒体１の表面に垂直方向に一方向の初期直流磁界を印加することによって行われる。その際に印加する初期直流磁界は永久磁石、電磁石によって発生させることが可能であり、好ましくは、より安定で磁力の強いＮｄＦｅＢ系の焼結磁石を用いて発生させるのが好ましい。また、初期磁化工程は磁気記録媒体１と磁石とを非接触状態で行うことが、磁気記録媒体１の表面の清浄性を維持する上で好ましい。
【００４９】
ここで、本実施の形態の磁気記録媒体１における垂直記録層１５０（第１磁性層１５１、第２磁性層１５３、第３磁性層１５５）の保磁力Ｈｃは、通常、３２０ｋＡ／ｍ（約４０００Ｏｅ）以上になっている。よって、初期磁化工程では、垂直記録層１５０の各磁性層を直流磁化することが可能な磁石を用いるとよい。
【００５０】
その後、初期磁化が施された磁気記録媒体１に対し、表面検査を行う（ステップ１１０）。表面検査工程では、初期磁化後の磁気記録媒体１の表面への塵埃の付着や異常突起の有無を検査する。
そして、表面検査が完了した磁気記録媒体１に対し磁気転写を行い（ステップ１１１）、磁気記録媒体１にサーボ・パターンを記憶させた位置決めデータ記憶領域Ａ２（図３参照）を設ける。
なお、ステップ１１０の表面検査工程およびステップ１１１の磁気転写工程は、一連の動作として実行されるが、この詳細については後述する。
【００５１】
続いて、磁気転写が施された磁気記録媒体１に対しグライド検査を行う（ステップ１１２）。グライド検査工程では、磁気転写済の磁気記録媒体１の表面に突起物が無いかどうか、実際にヘッドを浮上走行させて検査する。磁気ヘッド３を用いて磁気記録媒体１をデータの書き込み（記録）および読み出し（再生）を実行する際に、磁気記録媒体１の表面に浮上量（磁気記録媒体１と磁気ヘッド３の間隔）以上の高さの突起があると、磁気ヘッド３が突起にぶつかって磁気ヘッド３が損傷したり、磁気記録媒体１に欠陥が発生したりする原因となる。このため、グライド検査では、そのような高い突起の有無を検査する。
【００５２】
次いで、グライド検査に合格した磁気記録媒体１に対し、サーティファイ検査を行う（ステップ１１３）。サーティファイ検査工程では、通常の磁気記録再生装置と同様に、磁気記録媒体１に対して磁気ヘッド３で予め決められた信号を記録した後、記録した信号を再生し、得られた再生信号によって磁気記録媒体１の記録不良を検出し、磁気記録媒体１の電気特性や欠陥の有無など磁気記録媒体１の品質を確かめる。上述した方法で製造した磁気記録媒体１には、既にサーボ・パターンが書き込まれているため、サーボ情報を用いない従来の方式でのサーティファイ検査を実施することが困難となっている。このため、本実施の形態では、磁気記録媒体１に磁気転写されたサーボ・パターン（位置決めデータ）を利用して磁気ヘッド３を特定箇所に位置づけし、データの読み書きを行う形式の検査を行う。
そして、サーティファイ検査に合格した磁気記録媒体１が、製品として出荷されることになる。
【００５３】
では、上述したステップ１１０における表面検査工程およびステップ１１１における磁気転写工程について、より詳細に説明する。
図５は、表面検査および磁気転写を行うための表面検査・磁気転写装置１０の上面図である。なお、以下では、図５において、図中左側から右側に向かう方向をＸ方向、図中下側から上側に向かう方向をＹ方向、そして図中奥側から手前側に向かう方向をＺ方向として説明を行う。
【００５４】
表面検査・磁気転写装置１０は、Ｙ方向に対してＸ方向が長辺側となる矩形状の基台１１と、ステップ１０９に示す初期磁化が施された磁気記録媒体１を収容する転写前媒体収容部１２と、転写前媒体収容部１２から取り出された磁気記録媒体１に対しステップ１１０に示す表面検査を行う表面検査部１３と、表面検査がなされた磁気記録媒体１にサーボ・パターンを磁気転写する磁気転写部１４と、サーボ・パターンの磁気転写がなされた磁気記録媒体１を収容する転写済媒体収容部１５と、表面検査部１３による表面検査の結果が不合格となった磁気記録媒体１を収容する不具合品収容部１６とを備える。また、表面検査・磁気転写装置１０は、転写前媒体収容部１２、表面検査部１３、転写済媒体収容部１５および不具合品収容部１６の間で磁気記録媒体１の授受を行う垂直多関節ロボット１８をさらに備える。さらに、表面検査・磁気転写装置１０は、垂直多関節ロボット１８に保持された磁気記録媒体１の磁気転写部１４に対する位置決めに用いられる位置検出部１９と、磁気転写部１４に対する位置決めがなされた磁気記録媒体１の振動検出に用いられる振動検出部２０とをさらに備える。
【００５５】
表面検査・磁気転写装置１０において、転写前媒体収容部１２、表面検査部１３、磁気転写部１４、転写済媒体収容部１５、不具合品収容部１６、垂直多関節ロボット１８、位置検出部１９および振動検出部２０は、基台１１の上部側に配置されている。これに対し、表面検査部１３、磁気転写部１４、垂直多関節ロボット１８、位置検出部１９および振動検出部２０の駆動系は、基台１１よりも下部側に配置されている。また、本実施の形態の表面検査・磁気転写装置１０は、ダウンフロー方式を採用したクリーンルーム内に配置されており、表面検査・磁気転写装置１０には、上方から下方（図５において−Ｚ方向）に空気が流れるようになっている。
【００５６】
なお、以下の説明においては、転写前媒体収容部１２から表面検査部１３を介して、磁気転写部１４あるいは不具合品収容部１６に供給される、磁気転写工程実行前の磁気記録媒体１を『転写前媒体』と称する。また、以下の説明では、磁気転写部１４から転写済媒体収容部１５に供給される、磁気転写工程実行後の磁気記録媒体１を『転写済媒体』と称する。
【００５７】
転写前媒体収容部１２は複数の転写前媒体を立てた状態で収容可能な収容容器１２ａを、転写済媒体収容部１５は複数の転写済媒体を立てた状態で収容可能な収容容器１５ａを、そして、不具合品収容部１６は複数の転写前媒体（不具合品）を立てた状態で収容可能な収容容器１６ａを、それぞれ備えている。ここで、これら収容容器１２ａ、１５ａ、１６ａには、共通の構造を有するものを用いている。そして、転写前媒体収容部１２においては転写前媒体が空になったときに、転写済媒体収容部１５においては転写済媒体がいっぱいになったときに、そして不具合品収容部１６においては転写前媒体（不具合品）がいっぱいになったときに、それぞれ新たなものと交換されるようになっている。
【００５８】
表面検査部１３は、垂直多関節ロボット１８によって転写前媒体収容部１２から運ばれてきた転写前媒体の両面について表面検査を行う。表面検査部１３における表面検査の手法としては、例えば図示しないレーザ光源を用いて転写前媒体の両面を走査し、その反射光に基づいて表面における異常（突起等）の有無を検出するものが挙げられる。
【００５９】
磁気転写部１４は、垂直多関節ロボット１８によって表面検査部１３から運ばれてきた転写前媒体の両面に、サーボ・パターンの磁気転写を行う。この磁気転写部１４では、一度に複数枚（この例では３枚）の転写前媒体に対する磁気転写を行うことができるように構成されており、１枚の転写前媒体に磁気転写を行う第１転写部１４ａと、他の１枚の転写前媒体に対する磁気転写を行う第２転写部１４ｂと、さらに他の１枚の転写前媒体に対する磁気転写を行う第３転写部１４ｃとを備えている。ここで、第１転写部１４ａ、第２転写部１４ｂおよび第３転写部１４ｃは、Ｚ方向に直交するＸ−Ｙ平面において、それぞれが正三角形の頂点となる位置関係を有するように配置されている。なお、磁気転写部１４の構成の詳細については後述する。
【００６０】
垂直多関節ロボット１８は、基台１１に搭載された基部１８ａと、基部１８ａの上部に取り付けられ三次元方向（Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向）への移動が許容されたアーム部１８ｂとを備えている。そして、アーム部１８ｂの自由端には、磁気記録媒体１（転写前媒体および転写済媒体の両者）を保持するためのチャック部（図示せず）が取り付けられている。
【００６１】
位置検出部１９は、例えばレーザ等からなる光源とＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサ等からなる受光部とを備えている。そして、位置検出部１９は、磁気転写部１４の近傍において垂直多関節ロボット１８のアーム部１８ｂに保持された転写前媒体の位置を検出するようになっている。
【００６２】
振動検出部２０は、例えばレーザ等からなる光源とＣＣＤイメージセンサ等からなる受光部とを備えている。そして、振動検出部２０は、磁気転写部１４の近傍において垂直多関節ロボット１８のアーム部１８ｂに保持された転写前媒体の振動を検出するようになっている。
【００６３】
次に、磁気転写部１４の構成の詳細について説明する。
図６は磁気転写工程で用いられる磁気転写部１４の構成の一例を示す断面図である。また、図７は磁気転写部１４における固定ホルダ３０の構成の一例を示す正面図であり、図８は磁気転写部１４における可動ホルダ４０の構成の一例を示す正面図である。さらに、図９は磁気転写部１４における第１転写部１４ａの構成の一例を示す斜視図であり、図１０は磁気転写部１４で用いられるマスタ情報記録体２００の構成の一例を示す図である。ここで、図１０（ａ）はマスタ情報記録体２００の上面図を、また、図１０（ｂ）は図１０（ａ）におけるＸＢ−ＸＢ断面図を、それぞれ示している。なお、図６は、図５、図７および図８に示すＶＩ−ＶＩ断面に対応している。
【００６４】
図６乃至図８に示すように、磁気転写部１４は、基台１１（図５参照）に固定された状態で搭載され、それぞれにサーボ・パターンが予め磁気的に記録された３枚のマスタ情報記録体２００を上方に固定した状態で保持する固定ホルダ３０と、固定ホルダ３０よりも上部（Ｚ方向側）において固定ホルダ３０に対向して配置されるとともに、固定ホルダ３０に近づく側（−Ｚ方向側）および固定ホルダ３０から遠ざかる側（Ｚ方向側）に移動できるように配置され、それぞれにサーボ・パターンが予め磁気的に記録された３枚のマスタ情報記録体２００を下方に固定した状態で保持する可動ホルダ４０とを備える。なお、固定ホルダ３０に取り付けられた３枚のマスタ情報記録体２００および可動ホルダ４０に取り付けられた３枚のマスタ情報記録体２００は、１対１の関係で互いに対向した状態で配置されている。
【００６５】
なお、本実施の形態では、固定ホルダ３０側に保持される３枚のマスタ情報記録体２００が第１のパターン形成体として、可動ホルダ４０側に保持される３枚のマスタ情報記録体２００が第２のパターン形成体として、それぞれ機能している。また、本実施の形態では、固定ホルダ３０が第１の保持体として、可動ホルダ４０が第２の保持体として、それぞれ機能している。
【００６６】
ここで、固定ホルダ３０側の３枚のマスタ情報記録体２００は、それぞれにおける上面（露出面）の傾きを調整するために設けられた固定側傾き調整部７０を介して、固定ホルダ３０に取り付けられている。一方、可動ホルダ４０側の３枚のマスタ情報記録体２００は、それぞれにおける下面（露出面）の傾きを調整するために設けられた可動側傾き調整部８０を介して、可動ホルダ４０に取り付けられている。なお、これら固定側傾き調整部７０および可動側傾き調整部８０の詳細については後述する。本実施の形態では、固定側傾き調整部７０が第１の調整部として、可動側傾き調整部８０が第２の調整部として、それぞれ機能している。
【００６７】
また、固定ホルダ３０に取り付けられた３枚のマスタ情報記録体２００の下方には、固定ホルダ３０を挟んで、それぞれ、固定側磁石５１を備えた固定側磁石部材５０が配置されている。各固定側磁石部材５０は、固定ホルダ３０に対向配置される固定側磁石５１と、固定側磁石５１を保持する固定側磁石保持部５２と、固定側磁石５１の背面側から下方に伸びる固定側磁石支持部５３とを備えている。固定側磁石支持部５３は、Ｚ方向（垂直方向）には固定された状態で支持され、且つ、図９に示す矢印方向には回転可能に支持されている。これにより、固定側磁石支持部５３の回転に伴って固定側磁石保持部５２に保持された固定側磁石５１が回転するようになっている。
【００６８】
一方、可動ホルダ４０に取り付けられた３枚のマスタ情報記録体２００の上方には、可動ホルダ４０を挟んで、それぞれ、可動側磁石６１を備えた可動側磁石部材６０が配置されている。各可動側磁石部材６０は、可動ホルダ４０に対向配置される可動側磁石６１と、可動側磁石６１を保持する可動側磁石保持部６２と、可動側磁石６１の背面側から上方に伸びる可動側磁石支持部６３とを備えている。可動側磁石支持部６３は、Ｚ方向（垂直方向）には進退可能に支持され、且つ、図９に示す矢印方向には回転可能に支持されている。これにより、可動側磁石支持部６３の進退に伴って可動側磁石保持部６２に保持された可動側磁石６１が進退するとともに、可動側磁石支持部６３の回転に伴って可動側磁石保持部６２に保持された可動側磁石６１が回転するようになっている。
【００６９】
また、固定側磁石部材５０において、固定側磁石５１は、固定側磁石保持部５２に対し、固定側磁石支持部５３の回転中心を通る直径方向に沿って取り付けられている。そして、固定側磁石５１は、固定ホルダ３０と対向する側が一方の極性の磁極（例えばＮ極）となるように固定側磁石保持部５２に保持されている。
一方、可動側磁石部材６０において、可動側磁石６１は、可動側磁石保持部６２に対し、可動側磁石支持部６３の回転中心を通る直径方向に沿って取り付けられている。そして、可動側磁石６１は、可動ホルダ４０と対向する側が他方の極性の磁極（例えばＳ極）となるように可動側磁石保持部６２に保持されている。
なお、本実施の形態では、固定側磁石部材５０および可動側磁石部材６０が、磁石部材として機能している。
【００７０】
本実施の形態では、図９に示したように、磁気転写部１４を構成する第１転写部１４ａが、対向配置される２枚のマスタ情報記録体２００と、２枚のマスタ情報記録体２００を上下から挟むように配置される固定側磁石部材５０および可動側磁石部材６０とによって構成されている。また、図９には図示していないが、図６に示す固定側傾き調整部７０および可動側傾き調整部８０も、第１転写部１４ａを構成している。なお、詳細は説明しないが、他の第２転写部１４ｂおよび第３転写部１４ｃも、第１転写部１４ａと同じ構成を有している。
【００７１】
そして、本実施の形態では、第１転写部１４ａ、第２転写部１４ｂおよび第３転写部１４ｃのそれぞれにおいて、固定側磁石５１と可動側磁石６１とが、固定ホルダ３０および可動ホルダ４０を挟んで対向するように配置される。また、第１転写部１４ａ、第２転写部１４ｂおよび第３転写部１４ｃのそれぞれにおいて、固定側磁石部材５０および可動側磁石部材６０は、固定側磁石５１と可動側磁石６１とを対向させた状態を維持しながら、ともに回転するように構成されている。
【００７２】
図１０に示すマスタ情報記録体２００は、磁気記録媒体１よりも直径が大きい円盤状の形状を有している。また、マスタ情報記録体２００の一方の面には、サーボ・パターンに対応する微細な凹凸が形成されたサーボ・パターン形成領域ＳＰが設けられている。この例において、サーボ・パターン形成領域ＳＰは、マスタ情報記録体２００の一方の面に、中央部と外縁部とを除いて、放射状に複数設けられている。なお、図７に示す固定ホルダ３０あるいは図８に示す可動ホルダ４０にマスタ情報記録体２００を取り付けた際には、サーボ・パターン形成領域ＳＰを設けた面（パターンの形成面）が、それぞれ露出した状態になる。
【００７３】
また、固定ホルダ３０に取り付けられる方のマスタ情報記録体２００の中央部には、表裏を貫通する第１貫通孔２００ａおよび第２貫通孔２００ｂが設けられている。これら第１貫通孔２００ａおよび第２貫通孔２００ｂは、マスタ情報記録体２００においてサーボ・パターン形成領域ＳＰよりも内側（中心側）に設けられている。なお、可動ホルダ４０に取り付けられる方のマスタ情報記録体２００には、これら第１貫通孔２００ａおよび第２貫通孔２００ｂは不要である。この理由については後述する。
【００７４】
なお、本実施の形態では、固定ホルダ３０側に取り付けられたマスタ情報記録体２００が第１のパターン形成体として機能することになるが、その際、このマスタ情報記録体２００に記録されたサーボ・パターンが第１のパターンとなり、このマスタ情報記録体２００におけるサーボ・パターンの形成面が第１のパターンの形成面となる。また、本実施の形態では、可動ホルダ４０側に取り付けられたマスタ情報記録体２００が第２のパターン形成体として機能することになるが、その際、このマスタ情報記録体２００に記録されたサーボ・パターンが第２のパターンとなり、このマスタ情報記録体２００におけるサーボ・パターンの形成面が第２のパターンの形成面となる。
【００７５】
次に、マスタ情報記録体２００の構造について説明すると、マスタ情報記録体２００は、円盤状の基体２０１と、この基体２０１の一方の面に形成されたマスタ磁性層２０２と、マスタ磁性層２０２の上に形成されたマスタ保護層２０３とを備えている。ここで、図１０（ｂ）は、サーボ・パターン形成領域ＳＰにおけるマスタ情報記録体２００の断面構成を示しており、この部位には、サーボ・パターンに対応した凸部２０４および凹部２０５が存在している。なお、マスタ情報記録体２００の一方の面のうち、サーボ・パターン形成領域ＳＰ以外の領域は、マスタ情報記録体２００と磁気記録媒体１との吸着を防ぐため、サーボ・パターン形成領域ＳＰにおける凹部２０５と同じ高さとなっている。
【００７６】
マスタ情報記録体２００は公知の方法によって製造できるが、例えば次の製造方法を掲げることができる。先ず、シリコンウェハの表面に電子線レジストをスピンコート法により塗布する。塗布後、このレジストに対し、電子線露光装置を用いて、サーボ・パターンに対応させて変調した電子ビームを照射し、レジストを露光する。その後、レジストを現像し、未露光部分を除去して、シリコンウェハ上にレジストのパターンを形成する。
【００７７】
次いで、このレジストパターンをマスクとして用い、シリコンウェハに対して反応性エッチング処理を行い、レジストでマスクされていない箇所を掘り下げる。このエッチング処理後、シリコンウェハ上に残存するレジストを溶剤で洗浄除去する。その後、シリコンウェハを乾燥させてマスタ情報記録体２００を作製するための原盤を得る。
【００７８】
この原盤上に、Ｎｉからなる導電層をスパッタリング法により１０ｎｍ程度形成する。その後、この導電層を形成した原盤を母型として用い、電鋳法により、この原盤上に数μｍ厚のＮｉ層を形成する。その後、Ｎｉ層を原盤から外し、このＮｉ層を洗浄等して、表面に凸部を配設した基体２０１を得る。
【００７９】
次いで、この基体２０１の表面にマスタ磁性層２０２を形成する。このマスタ磁性層２０２については磁気記録媒体１に用いられる磁性層（第１磁性層１５１等）と同じものが使用できる。またマスタ磁性層２０２の上には磁気記録媒体１と同様にマスタ保護層２０３を形成する。このマスタ保護層２０３は、マスタ情報記録体２００の耐摩耗性すなわちマスタ情報記録体２００の転写耐久性を高めるものであり、数ｎｍ程度の厚さの硬質炭素膜等を用いることができる。以上の製造工程によってマスタ情報記録体２００を得ることができる。
なお、このようにして得られたマスタ情報記録体２００は、例えば１０万枚以上の磁気記録媒体１の製造（磁気転写）に繰り返し使用される。
【００８０】
また、図６および図７に示したように、固定ホルダ３０は、マスタ情報記録体２００の保持面と固定側磁石部材５０との対向面とを貫通し、マスタ情報記録体２００の保持面において各マスタ情報記録体２００の取り付け位置中央部に開口が設けられた２つ（合計で６つ）の第１吸引路３１と、マスタ情報記録体２００の保持面と固定側磁石部材５０との対向面とを貫通し、マスタ情報記録体２００の保持面においてマスタ情報記録体２００の取り付け位置の外側に開口が設けられた３つの第２吸引路３２とを備える。さらに、固定ホルダ３０は、マスタ情報記録体２００の保持面において第２吸引路３２の開口よりも外側に周方向に沿って取り付けられたＯリング３３を備えている。なお、固定ホルダ３０のマスタ情報記録体２００の保持面での第１吸引路３１の１組（２つ）の開口には、固定ホルダ３０にマスタ情報記録体２００を取り付けた際に、マスタ情報記録体２００側の第１貫通孔２００ａおよび第２貫通孔２００ｂが重ね合わされるようになっている。
【００８１】
これに対し、可動ホルダ４０は、固定ホルダ３０と対向する側の面に３枚のマスタ情報記録体２００を保持するとともに、その背面側には可動側磁石部材６０が設けられた記録体保持部４０ａと、記録体保持部４０ａの周縁を覆うように設けられた筒状体４０ｂとを備えている。また、可動ホルダ４０は、筒状体４０ｂの内周面に周方向に沿って取り付けられ、周方向にわたって記録体保持部４０ａの外周面に接触するＯリング４１をさらに備えている。ここで、可動ホルダ４０を構成する記録体保持部４０ａおよび筒状体４０ｂは、互いに独立して固定ホルダ３０に対し進退可能に取り付けられ、筒状体４０ｂは粗動機構として、また、記録体保持部４０ａは微動機構として、それぞれ用いられている。また、筒状体４０ｂの固定ホルダ３０と対向する側の端部は、固定ホルダ３０に設けられたＯリング３３に対し一周にわたって対向し且つ接触するようになっている。なお、可動ホルダ４０の記録体保持部４０ａには、固定ホルダ３０のような吸引路は設けられていない。このため、記録体保持部４０ａに取り付けられるマスタ情報記録体２００には、第１貫通孔２００ａおよび第２貫通孔２００ｂを設けておく必要がない。
【００８２】
では、磁気転写部１４において各マスタ情報記録体２００の位置決め（傾き調整）に用いられる固定側傾き調整部７０および可動側傾き調整部８０について、より詳細に説明する。
図１１は、固定側傾き調整部７０および可動側傾き調整部８０の構成の一例を示す図である。より具体的に説明すると、図１１（ａ）は、第１転写部１４ａにおける固定側傾き調整部７０を図６において上方からみた図であり、図１１（ｂ）は、固定側傾き調整部７０を図１１（ａ）に示すＩＸＢ方向からみた図である。一方、図１１（ｃ）は、第１転写部１４ａにおける可動側傾き調整部８０を図６において下方からみた図であり、図１１（ｄ）は、可動側傾き調整部８０を図１１（ｃ）に示すＩＸＤ方向からみた図である。なお、図１１（ａ）、（ｂ）では、第１貫通孔２００ａおよび第２貫通孔２００ｂの記載を省略している。
【００８３】
まず、図１１（ａ）、（ｂ）を参照しながら、固定側傾き調整部７０について説明を行う。
本実施の形態の固定側傾き調整部７０は、３つの圧電素子すなわち固定側第１圧電素子７１、固定側第２圧電素子７２および固定側第３圧電素子７３を備えている。これら固定側第１圧電素子７１、固定側第２圧電素子７２および固定側第３圧電素子７３は、それぞれの−Ｚ方向側の端部が固定ホルダ３０に固定され、それぞれのＺ方向側の端部がマスタ情報記録体２００の他方の面（サーボ・パターン形成領域ＳＰを設けていない面）に固定されるようになっている。また、これら固定側第１圧電素子７１、固定側第２圧電素子７２および固定側第３圧電素子７３は、円盤状のマスタ情報記録体２００の中心を重心とする正三角形の各頂点に配置されている。なお、本実施の形態では、これら固定側第１圧電素子７１、固定側第２圧電素子７２および固定側第３圧電素子７３のそれぞれが、第１の伸縮部材として機能している。
【００８４】
本実施の形態では、上述したように、マスタ情報記録体２００の直径が、これに重ねられる磁気記録媒体１の直径よりも大きく設定されている。そして、固定側傾き調整部７０を構成する固定側第１圧電素子７１、固定側第２圧電素子７２および固定側第３圧電素子７３は、マスタ情報記録体２００を、磁気記録媒体１との対向部よりも外側（外端１ｂ（図３参照）よりも外側）で支持している。なお、以下の説明においては、磁気記録媒体１のうち、固定ホルダ３０に保持されたマスタ情報記録体２００のサーボ・パターン形成領域ＳＰを設けた面と接する側の面を、第１面１Ａと称する。また、磁気記録媒体１の中心を軸として、第１面１Ａを扇状に３等分した場合に、固定側第１圧電素子７１側となる領域を第１面第１領域１Ａａと呼び、固定側第２圧電素子７２側となる領域を第１面第２領域１Ａｂと呼び、固定側第３圧電素子７３側となる領域を第１面第３領域１Ａｃと呼ぶ。
【００８５】
次に、図１１（ｃ）、（ｄ）を参照しながら、可動側傾き調整部８０について説明を行う。
本実施の形態の可動側傾き調整部８０は、３つの圧電素子すなわち可動側第１圧電素子８１、可動側第２圧電素子８２および可動側第３圧電素子８３を備えている。これら可動側第１圧電素子８１、可動側第２圧電素子８２および可動側第３圧電素子８３は、それぞれのＺ方向側の端部が可動ホルダ４０（実際には図６に示す記録体保持部４０ａ）に固定され、それぞれの−Ｚ方向側の端部がマスタ情報記録体２００の他方の面（サーボ・パターン形成領域ＳＰを設けていない面）に固定されるようになっている。また、これら可動側第１圧電素子８１、可動側第２圧電素子８２および可動側第３圧電素子８３は、円盤状のマスタ情報記録体２００の中心を重心とする正三角形の各頂点に配置されている。なお、本実施の形態では、これら可動側第１圧電素子８１、可動側第２圧電素子８２および可動側第３圧電素子８３のそれぞれが、第２の伸縮部材として機能している。
【００８６】
本実施の形態では、上述したように、マスタ情報記録体２００の直径が、これに重ねられる磁気記録媒体１の直径よりも大きく設定されている。そして、可動側傾き調整部８０を構成する可動側第１圧電素子８１、可動側第２圧電素子８２および可動側第３圧電素子８３は、マスタ情報記録体２００を、磁気記録媒体１との対向部よりも外側（外端１ｂ（図３参照）よりも外側）で支持している。なお、以下の説明においては、磁気記録媒体１のうち、可動ホルダ４０に保持されたマスタ情報記録体２００のサーボ・パターン形成領域ＳＰを設けた面と接する側の面を、第２面１Ｂと称する。また、磁気記録媒体１の中心を軸として、第２面１Ｂを扇状に３等分した場合に、可動側第１圧電素子８１側となる領域を第２面第１領域１Ｂａと呼び、可動側第２圧電素子８２側となる領域を第２面第２領域１Ｂｂと呼び、可動側第３圧電素子８３側となる領域を第２面第３領域１Ｂｃと呼ぶ。
【００８７】
そして、本実施の形態では、２枚のマスタ情報記録体２００を挟んで、固定側第１圧電素子７１および可動側第１圧電素子８１、固定側第２圧電素子７２および可動側第２圧電素子８２、固定側第３圧電素子７３および可動側第３圧電素子８３が、それぞれ対向するように配置されている。したがって、１枚の磁気記録媒体１において、第１面第１領域１Ａａおよび第２面第１領域１Ｂａ、第１面第２領域１Ａｂおよび第２面第２領域１Ｂｂ、そして第１面第３領域１Ａｃおよび第２面第３領域１Ｂｃは、それぞれ表裏となる関係を有している。
【００８８】
ここで、固定側傾き調整部７０を構成する固定側第１圧電素子７１、固定側第２圧電素子７２および固定側第３圧電素子７３、および、可動側傾き調整部８０を構成する可動側第１圧電素子８１、可動側第２圧電素子８２および可動側第３圧電素子８３は、それぞれ、逆圧電効果により、供給電圧の大きさに応じてＺ方向に伸縮する機能を有している。そして、各圧電素子に対する給電電圧の大きさは、後述するように個別に設定することが可能となっている。
【００８９】
図１２は、図５に示す表面検査・磁気転写装置１０における制御ブロックの一例を示す図である。
表面検査・磁気転写装置１０は、装置全体の動作を制御するためのコントローラ９０を備えている。このコントローラ９０には、表面検査部１３による転写前媒体の表面検査結果、位置検出部１９による転写前媒体の位置検知結果、そして振動検出部２０による転写前媒体の振動検知結果が入力されるようになっている。また、コントローラ９０は、表面検査部１３、位置検出部１９、振動検出部２０、垂直多関節ロボット１８を駆動するロボット駆動部９１、磁気転写部１４に設けられた可動ホルダ４０（記録体保持部４０ａ、筒状体４０ｂ）を駆動する駆動部の一例としての可動ホルダ駆動部９２、固定ホルダ３０の第１吸引路３１、第２吸引路３２に接続された吸引機構（図示せず）を駆動する吸引駆動部９３、固定側磁石部材５０および可動側磁石部材６０を駆動する磁石駆動部９４、そして固定側傾き調整部７０および可動側傾き調整部８０を構成する各圧電素子を駆動する圧電素子駆動部９５に、それぞれ制御信号を出力するようになっている。
【００９０】
では、図５乃至図１２を用いて、表面検査・磁気転写装置１０による表面検査工程および磁気転写工程について説明を行う。なお、以下に説明する動作は、コントローラ９０によって制御される。また、初期状態において、磁気転写部１４は、図６に示すように、固定ホルダ３０に対し可動ホルダ４０がＺ方向すなわち上方に待避した状態にあり、両者の間には開放された空間が形成されているものとする。さらに、初期状態において、３つの固定側傾き調整部７０および３つの可動側傾き調整部８０を構成する各圧電素子には、第１転写部１４ａ、第２転写部１４ｂおよび第３転写部１４ｃのそれぞれに設けられた２枚のマスタ情報記録体２００の各サーボ・パターンの形成面が、それぞれにおいて平行となるように、予め決められた設定値にて電圧が供給されている。なお、これらの設定値の決定手法については後述する。
【００９１】
動作の開始に伴い、垂直多関節ロボット１８のアーム部１８ｂが、転写前媒体収容部１２に収容される転写前媒体を１枚チャックして取り出し、チャックした転写前媒体を表面検査部１３に向けて移送する。続いて、移送されてきた転写前媒体を表面検査部１３に設けられたチャック機構（図示せず）が保持すると、アーム１８ｂが転写前媒体のチャックを解除し、表面検査部１３から待避する。
【００９２】
次いで、表面検査部１３は、保持した転写前媒体の両面についてそれぞれ表面検査を行う。表面検査部１３による検査が完了すると、垂直多関節ロボット１８のアーム部１８ｂが表面検査部１３側に移動し、アーム部１８ｂが表面検査部１３に保持された転写前媒体をチャックした後、表面検査部１３がこの転写前媒体のチャックを解除する。
【００９３】
ここで、表面検査の結果について、コントローラ９０が少なくともいずれか一方の面において不合格であると判断した場合は、アーム部１８ｂが、チャックした転写前媒体を不具合品収容部１６に向けて移送し、チャックを解除して不具合品収容部１６に収容させた後、不具合品収容部１６から待避する。
一方、表面検査の結果について、コントローラ９０が両面とも合格であると判断した場合は、アーム部１８ｂが、チャックした転写前媒体を磁気転写部１４に向けて搬送する。そして、アーム部１８ｂは、アーム部１８ｂに保持された転写前媒体が、磁気転写部１４において固定ホルダ３０および可動ホルダ４０に挟まれた状態となるように移動していく。
【００９４】
この間、位置検出部１９は、アーム部１８ｂに保持された転写前媒体が、磁気転写部１４に設けられた２枚のマスタ情報記録体２００と正対する位置に到達したか否かを検出している。この位置の検出結果に基づき、コントローラ９０は、アーム部１８ｂに保持された転写前媒体が、磁気転写部１４に設けられた２枚のマスタ情報記録体２００と正対する位置に到達した時点でアーム部１８ｂの駆動を停止させる。
【００９５】
ここで、磁気転写部１４に１枚目の転写前媒体を供給する場合、アーム部１８ｂは、磁気転写部１４の第１転写部１４ａを構成する２枚のマスタ情報記録体２００と正対する位置まで、転写前媒体を移動させる。また、磁気転写部１４に２枚目の転写前媒体を供給する場合、アーム部１８ｂは、磁気転写部１４の第２転写部１４ｂを構成する２枚のマスタ情報記録体２００と正対する位置まで、転写前媒体を移動させる。さらに、磁気転写部１４に３枚目の転写前媒体を供給する場合、アーム部１８ｂは、磁気転写部１４の第３転写部１４ｃを構成する２枚のマスタ情報記録体２００と正対する位置まで、転写前媒体を移動させる。
【００９６】
なお、マスタ情報記録体２００の中心に対する転写前媒体の中心の位置決めの要求精度は、±７．５μｍ、より好ましくは±５．０μｍの範囲内であれば十分である。なぜなら、転写前媒体に磁気転写されるサーボ・パターンが、仮に転写前媒体の中心に対して偏心していたとしても、磁気転写後のサーボ・パターンを用いて磁気ヘッド３がトラックＴに追従することができるのであれば、磁気記録媒体１に対するデータの読み書きは可能となるからである。
【００９７】
また、振動検出部２０は、位置決めに伴って停止したアーム部１８ｂに取り付けられた転写前媒体の振動の大きさを検出している。そして、コントローラ９０は、振動検出部２０によって検出された振動の大きさが磁気記録媒体１のデータ面に対して平行の方向、すなわちＸ軸およびＹ軸を含む面において±１．０μｍ以下となった後に、対応する第１吸引路３１（例えば１枚目の転写前媒体の場合には第１転写部１４ａに設けられた第１吸引路３１）を介した吸引を開始させることで、転写前媒体の下方に位置する固定ホルダ３０側に転写前媒体をチャックさせ、固定ホルダ３０に取り付けられたマスタ情報記録体２００に転写前媒体の第１面１Ａを接触させる。そして、固定ホルダ３０側に転写前媒体をチャックしてから、アーム部１８ｂはこの転写前媒体のチャックを解除し、磁気転写部１４から待避する。
【００９８】
そして、上述した動作を、磁気転写部１４に３枚の転写前媒体が供給されるまで、繰り返し行う。その結果、磁気転写部１４を構成する第１転写部１４ａ、第２転写部１４ｂおよび第３転写部１４ｃのそれぞれに、転写前媒体が取り付けられることになる。
【００９９】
続いて、磁気転写部１４において、可動ホルダ４０（記録体保持部４０ａ、筒状体４０ｂ）および可動側磁石部材６０が固定ホルダ３０側に近づく方向（−Ｚ方向）へと移動を開始する。これに伴い、まず、筒状体４０ｂの周部端面が固定ホルダ３０に設けられたＯリング３３に突き当たった後に停止する。また、記録体保持部４０ａおよび可動側磁石部材６０は、筒状体４０ｂが停止した後も固定ホルダ３０側に近づく方向（−Ｚ方向）へと移動を続け、固定ホルダ３０に設けられた３枚のマスタ情報記録体２００と可動ホルダ４０の記録体保持部４０ａに設けられた３枚のマスタ情報記録体２００とによって、３枚の転写前媒体を挟み込んだ後に停止する。このとき、固定ホルダ３０に取り付けられた３枚のマスタ情報記録体２００には、各転写前媒体の第１面１Ａが接触する一方、可動ホルダ４０に取り付けられた３枚のマスタ情報記録体２００には、各転写前媒体の第２面１Ｂが接触することになる。なお、記録体保持部４０ａの停止位置は予め決められており、その結果、第１転写部１４ａ、第２転写部１４ｂおよび第３転写部１４ｃのそれぞれにおいて、２枚のマスタ情報記録体２００および１枚の転写前媒体には、予め設定された軽い荷重が加えられる。また、このとき、固定ホルダ３０と記録体保持部４０ａと筒状体４０ｂとの間には、固定ホルダ３０に設けられたＯリング３３と筒状体４０ｂに設けられたＯリング４１とを用いて、閉空間が形成される。続いて、３つの第２吸引路３２を介した吸引を開始させることで、第１転写部１４ａ、第２転写部１４ｂおよび第３転写部１４ｃのそれぞれにおいて、閉空間内に存在する２枚のマスタ情報記録体２００と１枚の転写前媒体との間に存在する隙間が真空引きされ、閉空間内外の差圧によって２枚のマスタ情報記録体２００の各サーボ・パターン形成領域ＳＰの形成面と１枚の転写前媒体の両面とがそれぞれ密着していく。なお、この間が、『挟み込む工程』に対応している。
【０１００】
次に、第１転写部１４ａ、第２転写部１４ｂおよび第３転写部１４ｃのそれぞれにおいて、固定側磁石部材５０および可動側磁石部材６０は、固定側磁石支持部５３および可動側磁石支持部６３を軸とし、それぞれにおける２枚のマスタ情報記録体２００と１枚の転写前媒体とを挟んで、固定側磁石５１および可動側磁石６１を対向させた状態を維持しながら少なくとも半回転する。なお、この動作は、第１転写部１４ａ、第２転写部１４ｂおよび第３転写部１４ｃのそれぞれにおいて、同期して行われる。
【０１０１】
第１転写部１４ａ、第２転写部１４ｂおよび第３転写部１４ｃのそれぞれにおいて、固定側磁石５１および可動側磁石６１が半回転する間、２枚のマスタ情報記録体２００に挟まれた転写前媒体では、固定側磁石５１および可動側磁石６１により、初期磁化工程とは逆向きの直流磁界が周方向に順次印加される。すなわち、各転写前媒体を挟み込む２枚のマスタ情報記録体２００のサーボ・パターン形成領域ＳＰを設けた面に対し、垂直な方向に磁場が形成される。すると、転写前媒体のうち、固定ホルダ３０側のマスタ情報記録体２００と接する第１面１Ａ側では、このマスタ情報記録体２００の凹部２０５と対向する部位における磁性層の磁化の向きは初期磁化工程後の状態を維持するものの、凸部２０４と接する部位における磁性層の磁化の向きは反転した状態となる。また、この転写前媒体のうち、可動ホルダ４０側のマスタ情報記録体２００と接する第２面１Ｂ側でも、このマスタ情報記録体２００の凹部２０５と対向する部位における磁性層の磁化の向きは初期磁化工程後の状態を維持するものの、凸部２０４と接する部位における磁性層の磁化の向きは反転した状態となる。このようにして、転写前媒体の両面には、それぞれ、マスタ情報記録体２００に設けられた凹凸の配列からなるサーボ・パターンが、磁化の向きの配列からなるサーボ・パターンとして転写される。その結果、磁気転写部１４に取り付けられた３枚の転写前媒体は、それぞれ、位置決めデータ記憶領域Ａ２にサーボ・パターンが記憶された転写済媒体となる。なお、この間が、『磁気的に転写する工程』に対応している。
【０１０２】
このようにして磁気転写が完了すると、まず、第２吸引路３２を介した吸引を停止して閉空間内を大気圧とし、次いで、可動ホルダ４０（記録体保持部４０ａ、筒状体４０ｂ）および可動側磁石部材６０が元の位置への後退を開始する。これにより、固定ホルダ３０に保持された３枚の転写済媒体は、外部に露出した状態となる。
【０１０３】
次いで、垂直多関節ロボット１８のアーム部１８ｂが、磁気転写部１４の固定ホルダ３０上に保持された３枚の転写済媒体を、転写済媒体収容部１５に順次搬送する。転写済媒体収容部１５に転写済媒体を搬送する際、垂直多関節ロボット１８は、まず、第１転写部１４ａに供給されていた転写済媒体を取り出し、次いで、第２転写部１４ｂに供給されていた転写済媒体を取り出し、最後に、第３転写部１４ｃに供給されていた転写済媒体を取り出す。この間、第１転写部１４ａ、第２転写部１４ｂおよび第３転写部１４ｃでは、それぞれ、固定ホルダ３０に取り付けられたマスタ情報記録体２００に吸着された転写前媒体がアーム１８ｂにてチャックされた後、第１吸引路３１を介した吸引を停止して吸着の解消を行う。
【０１０４】
以降、上述した手順を繰り返すことにより、転写前媒体の取り出し、転写前媒体に対する表面検査、複数の転写前媒体に対するサーボ・パターンの一括転写、そして、サーボ・パターンが転写された複数の転写済媒体の回収、が順次行われていく。
【０１０５】
では、磁気転写部１４に設けられた各圧電素子に供給する電圧の設定値の決定手法について説明する。
図１３は、磁気転写部１４における各マスタ情報記録体２００の傾き調整手順の一例を示したフローチャートである。なお、以下に説明するマスタ情報記録体２００の傾き調整は、例えば、磁気転写部１４に取り付けるマスタ情報記録体２００を交換した場合や、転写済媒体におけるサーボ・パターンを読み取って得られた読み取り信号のＳＮ比が低下していた場合などに実行される。なお、最初の状態では、第１転写部１４ａ、第２転写部１４ｂおよび第３転写部１４ｃのそれぞれにおいて、固定側傾き調整部７０を構成する固定側第１圧電素子７１、固定側第２圧電素子７２および固定側第３圧電素子７３、そして、可動側傾き調整部８０を構成する可動側第１圧電素子８１、可動側第２圧電素子８２および可動側第３圧電素子８３への印加電圧が、それぞれ初期値（例えば０Ｖ）に設定されているものとする。
【０１０６】
まず、上述した手順に従い、磁気転写部１４を構成する第１転写部１４ａ、第２転写部１４ｂおよび第３転写部１４ｃのそれぞれに１枚ずつ転写前媒体を供給し、各転写前媒体にサーボ・パターンを一括転写し（ステップ２０１）、得られた３枚の転写済媒体を磁気転写部１４から取り外す。なお、以下の説明においては、第１転写部１４ａで磁気転写がなされた磁気記録媒体１を第１転写済媒体と呼び、第２転写部１４ｂで磁気転写がなされた磁気記録媒体１を第２転写済媒体と呼び、第３転写部１４ｃで磁気転写がなされた磁気記録媒体１を第３転写済媒体と呼ぶ。また、このとき、取り外された３枚の転写済媒体の各面には、それぞれ、第１面第１領域１Ａａ、第１面第２領域１Ａｂおよび第１面第３領域１Ａｃ、そして、第２面第１領域１Ｂａ、第２面第２領域１Ｂｂおよび第２面第３領域１Ｂｃの対応付けがなされているものとする。
【０１０７】
次に、ステップ２０１で得られた第１転写済媒体における第１面１Ａのサーボ・パターンを読み取り、第１面第１領域１Ａａ、第１面第２領域１Ａｂおよび第１面第３領域１Ａｃのそれぞれにおける読み取り信号のＳＮ比（以下では第１媒体第１面特性と称する）を取得する（ステップ２０２）。また、この第１転写済媒体における第２面１Ｂのサーボ・パターンを読み取り、第２面第１領域１Ｂａ、第２面第２領域１Ｂｂおよび第２面第３領域１Ｂｃのそれぞれにおける読み取り信号のＳＮ比（以下では第１媒体第２面特性と称する）を取得する（ステップ２０３）。
【０１０８】
次いで、ステップ２０１で得られた第２転写済媒体における第１面１Ａのサーボ・パターンを読み取り、第１面第１領域１Ａａ、第１面第２領域１Ａｂおよび第１面第３領域１Ａｃのそれぞれにおける読み取り信号のＳＮ比（以下では第２媒体第１面特性と称する）を取得する（ステップ２０４）。また、この第２転写済媒体における第２面１Ｂのサーボ・パターンを読み取り、第２面第１領域１Ｂａ、第２面第２領域１Ｂｂおよび第２面第３領域１Ｂｃのそれぞれにおける読み取り信号のＳＮ比（以下では第２媒体第２面特性と称する）を取得する（ステップ２０５）。
【０１０９】
さらに、ステップ２０１で得られた第３転写済媒体における第１面１Ａのサーボ・パターンを読み取り、第１面第１領域１Ａａ、第１面第２領域１Ａｂおよび第１面第３領域１Ａｃのそれぞれにおける読み取り信号のＳＮ比（以下では第３媒体第１面特性と称する）を取得する（ステップ２０６）。また、この第３転写済媒体における第２面１Ｂのサーボ・パターンを読み取り、第２面第１領域１Ｂａ、第２面第２領域１Ｂｂおよび第２面第３領域１Ｂｃのそれぞれにおける読み取り信号のＳＮ比（以下では第３媒体第２面特性と称する）を取得する（ステップ２０７）。
【０１１０】
続いて、ステップ２０２で得られた第１媒体第１面特性に基づいて、第１転写部１４ａの固定側傾き調整部７０に設けられた固定側第１圧電素子７１、固定側第２圧電素子７２および固定側第３圧電素子７３のそれぞれに対する電圧の設定値を決定する（ステップ２０８）。また、ステップ２０３で得られた第１媒体第２面特性に基づいて、第１転写部１４ａの可動側傾き調整部８０に設けられた可動側第１圧電素子８１、可動側第２圧電素子８２および可動側第３圧電素子８３のそれぞれに対する電圧の設定値を決定する（ステップ２０９）。
【０１１１】
次に、ステップ２０４で得られた第２媒体第１面特性に基づいて、第２転写部１４ｂの固定側傾き調整部７０に設けられた固定側第１圧電素子７１、固定側第２圧電素子７２および固定側第３圧電素子７３のそれぞれに対する電圧の設定値を決定する（ステップ２１０）。また、ステップ２０５で得られた第２媒体第２面特性に基づいて、第２転写部１４ｂの可動側傾き調整部８０に設けられた可動側第１圧電素子８１、可動側第２圧電素子８２および可動側第３圧電素子８３のそれぞれに対する電圧の設定値を決定する（ステップ２１１）。
【０１１２】
さらに、ステップ２０６で得られた第３媒体第１面特性に基づいて、第３転写部１４ｃの固定側傾き調整部７０に設けられた固定側第１圧電素子７１、固定側第２圧電素子７２および固定側第３圧電素子７３のそれぞれに対する電圧の設定値を決定する（ステップ２１２）。また、ステップ２０７で得られた第３媒体第２面特性に基づいて、第３転写部１４ｃの可動側傾き調整部８０に設けられた可動側第１圧電素子８１、可動側第２圧電素子８２および可動側第３圧電素子８３のそれぞれに対する電圧の設定値を決定する（ステップ２１３）。以上により、各圧電素子に対する電圧の設定値の決定が完了する。
【０１１３】
そして、この後に実行される磁気転写工程においては、上記ステップ２０８〜ステップ２１３において決定された各設定値にて各圧電素子に電圧の供給が行われる。なお、この例においては、上述したステップ２０１〜ステップ２１３が、『第１のパターン形成体毎に調整する工程』、および、『第２のパターン形成体毎に調整する工程』に対応している。
【０１１４】
ここで、磁気転写部１４における各マスタ情報記録体２００の傾き調整を、一例をあげて説明する。なお、以下では、第１転写部１４ａを例として説明を行うが、他の第２転写部１４ｂおよび第３転写部１４ｃにおいても、それぞれ同様の手順にて個別に調整が行われる。
【０１１５】
また、以下の説明では、ステップ２０２で取得される第１媒体第１面特性に関し、第１面第１領域１ＡａにおけるＳＮ比を第１面第１ＳＮ比ＣＡａと呼び、第１面第２領域１ＡｂにおけるＳＮ比を第１面第２ＳＮ比ＣＡｂと呼び、第１面第３領域１ＡｃにおけるＳＮ比を第１面第３ＳＮ比ＣＡｃと呼ぶ。さらに、第１媒体第２面特性に関し、第２面第１領域１ＢａにおけるＳＮ比を第２面第１ＳＮ比ＣＢａと呼び、第２面第２領域１ＢｂにおけるＳＮ比を第２面第２ＳＮ比ＣＢｂと呼び、第２面第３領域１ＢｃにおけるＳＮ比を第２面第３ＳＮ比ＣＢｃと呼ぶ。そして、この例では、ＣＡａ＞ＣＡｂ＞ＣＡｃ、且つ、ＣＢａ＞ＣＢｂ＞ＣＢｃの結果が得られているものとする。
【０１１６】
ステップ２０８では、第１面第１領域１Ａａに対応する第１面第１ＳＮ比ＣＡａに基づいて、第１面第１領域１Ａａに対応する固定側第１圧電素子７１の設定値を決定し、また、第１面第２領域１Ａｂに対応する第１面第２ＳＮ比ＣＡｂに基づいて、第１面第２領域１Ａｂに対応する固定側第２圧電素子７２の設定値を決定し、さらに、第１面第３領域１Ａｃに対応する第１面第３ＳＮ比ＣＡｃに基づいて、第１面第３領域１Ａｃに対応する固定側第３圧電素子７３の設定値を決定する。
【０１１７】
ここで、固定側第１圧電素子７１の電圧の設定値を第１面第１設定値ＶＡａとし、固定側第２圧電素子７２の電圧の設定値を第１面第２設定値ＶＡｂとし、固定側第３圧電素子７３の電圧の設定値を第１面第３設定値ＶＡｃとする。上述したようにＣＡａ＞ＣＡｂ＞ＣＡｃの関係が得られている場合、ステップ２０８では、ＶＡａ＜ＶＡｂ＜ＶＡｃの関係を有するように、各設定値が決められる。なお、この理由については後述する。
【０１１８】
一方、ステップ２０９では、第２面第１領域１Ｂａに対応する第２面第１ＳＮ比ＣＢａに基づいて、第２面第１領域１Ｂａに対応する可動側第１圧電素子８１の設定値を決定し、また、第２面第２領域１Ｂｂに対応する第２面第２ＳＮ比ＣＢｂに基づいて、第２面第２領域１Ｂｂに対応する可動側第２圧電素子８２の設定値を決定し、さらに、第２面第３領域１Ｂｃに対応する第２面第３ＳＮ比ＣＢｃに基づいて、第２面第３領域１Ｂｃに対応する可動側第３圧電素子８３の設定値を決定する。
【０１１９】
ここで、可動側第１圧電素子８１の電圧の設定値を第２面第１設定値ＶＢａとし、可動側第２圧電素子８２の電圧の設定値を第２面第２設定値ＶＢｂとし、可動側第３圧電素子８３の電圧の設定値を第２面第３設定値ＶＢｃとする。上述したようにＣＢａ＞ＣＢｂ＞ＣＢｃの関係が得られている場合、ステップ２０９では、ＶＢｃ＜ＶＢｂ＜ＶＢａの関係を有するように、各設定値が決められる。なお、この理由については後述する。
【０１２０】
その後の磁気転写工程において、固定側第１圧電素子７１には第１面第１設定値ＶＡａが、固定側第２圧電素子７２には第１面第２設定値ＶＡｂが、そして固定側第３圧電素子７３には第１面第３設定値ＶＡｃが、それぞれ供給される。各設定値がＶＡａ＜ＶＡｂ＜ＶＡｃの関係を有している場合、各圧電素子のＺ方向の伸びは、固定側第３圧電素子７３が最も大きくなり、固定側第２圧電素子７２、固定側第１圧電素子７１の順に小さくなる。これに伴い、これらの圧電素子に支持された固定ホルダ３０側のマスタ情報記録体２００のパターンの形成面は、各圧電素子の伸びの大きさに応じて、初期状態からみて傾斜した状態となる。この例では、第１転写済媒体の第１面１ＡにおいてＳＮ比が最も低下していた第１面第３領域１Ａｃに対し、固定ホルダ３０側のマスタ情報記録体２００の対向部位が、磁気記録媒体１の第１面１Ａに近づく側（固定ホルダ３０から遠ざかる側）に移動した状態で固定されることになる。
【０１２１】
また、可動側第１圧電素子８１には第２面第１設定値ＶＢａが、可動側第２圧電素子８２には第２面第２設定値ＶＢｂが、そして可動側第３圧電素子８３には第２面第３設定値ＶＢｃが、それぞれ供給される。各設定値がＶＢｃ＜ＶＢｂ＜ＶＢａの関係を有している場合、各圧電素子のＺ方向の伸びは、可動側第１圧電素子８１が最も大きくなり、可動側第２圧電素子８２、可動側第３圧電素子８３の順に小さくなる。これに伴い、これらの圧電素子に支持された可動ホルダ４０側のマスタ情報記録体２００のパターンの形成面は、各圧電素子の伸びの大きさに応じて、初期状態からみて傾斜した状態となる。この例では、第１転写済媒体の第２面１ＢにおいてＳＮ比が最も低下していた第２面第１領域１Ｂａに対し、可動ホルダ４０側のマスタ情報記録体２００の対向部位が、磁気記録媒体１の第２面１Ｂに近づく側（可動ホルダ４０から遠ざかる側）に移動した状態で固定されることになる。
【０１２２】
すると、第１転写部１４ａでは、固定ホルダ３０側に取り付けられたマスタ情報記録体２００と、可動ホルダ４０側に取り付けられたマスタ情報記録体２００とによって転写前媒体を挟み込む直前の状態において、２枚のマスタ情報記録体２００の対向面（それぞれにおけるサーボ・パターンの形成面）を、平行な状態に近づけることができるようになる。その結果、各マスタ情報記録体２００に転写前媒体が接触し始めるときに、転写前媒体の一部が局所的にマスタ情報記録体２００に突き当たることに伴って生じる、マスタ情報記録体２００の傷つきを抑制することが可能になる。また、これに伴い、転写済媒体における局所的な転写不良も抑制できるようになる。なお、ここでいう『平行』とは、完全な平行を指すものではなく、対向配置される２枚のマスタ情報記録体２００のサーボ・パターンの形成面のギャップが、面内において１００ｎｍの範囲に収まるものを含む概念である。
【０１２３】
また、他の第２転写部１４ｂおよび第３転写部１４ｃにおいても、同様の理由により、マスタ情報記録体２００の傷つきおよび転写済媒体における局所的な転写不良を抑制することが可能になる。本実施の形態では、固定ホルダ３０および可動ホルダ４０のそれぞれに３枚のマスタ情報記録体２００を取り付けることで、３枚の磁気記録媒体１に一括して磁気転写を行う構成としているが、固定ホルダ３０および可動ホルダ４０のそれぞれに３枚のマスタ情報記録体２００を取り付けただけでは、各転写部を構成する２枚のマスタ情報記録体２００の平行度を確保することが困難なものとなっている。そこで、本実施の形態では、予め、転写部毎に２枚のマスタ情報記録体２００の平行度調整を行っておくことで、各転写部における不具合および各転写部で得られた転写済媒体の不具合の発生を回避している。
【０１２４】
そして、本実施の形態では、各転写部において、固定側傾き調整部７０を構成する固定側第１圧電素子７１〜固定側第３圧電素子７３、および、可動側傾き調整部８０を構成する可動側第１圧電素子８１〜可動側第３圧電素子８３を、磁気記録媒体１の外端１ｂよりも外側に配置することで、これらが、固定側磁石部材５０および可動側磁石部材６０を用いた磁気記録媒体１に対する磁場の形成において、邪魔にならないようにしている。
【０１２５】
さらに、上述した磁気転写工程では、磁気転写部１４の可動部位（例えば可動ホルダ４０）の移動に伴って、埃等の異物が舞いやすくなる。そして、磁気転写部１４に供給された磁気記録媒体１に、このような異物が付着してしまった場合には、磁気転写部１４において２枚のマスタ情報記録体２００と１枚の転写前媒体との間に挟み込まれてしまい、磁気記録媒体１におけるサーボ・パターンの転写不良や、マスタ情報記録体２００の傷つきによる機械的な破損および低寿命化が生じる懸念がある。
【０１２６】
ここで、１回の可動ホルダ４０の移動に伴って生じるダストの発生量が同じであると仮定すると、本実施の形態のように、一度に複数枚（この例では３枚）の磁気記録媒体１に一括して磁気転写を行った場合、従来のように、一度に１枚の磁気記録媒体１に磁気転写を行う場合と比べて、１枚の磁気記録媒体１にダストが付着する確率を低くすることができる。このため、磁気転写部１４の可動部位によって飛散した異物が、転写前媒体に付着するという事態、および、磁気転写部１４において２枚のマスタ情報記録体２００と１枚の転写前媒体との間に挟み込まれるという事態の発生を抑制することができる。それゆえ、磁気記録媒体１におけるサーボ・パターンの転写不良や、マスタ情報記録体２００の傷つきによる機械的な破損および低寿命化を抑制することができる。
【０１２７】
また、本実施の形態では、複数枚（この例では３枚）の磁気記録媒体１に一括して磁気転写を行っていることから、例えば１枚ずつ磁気転写を行う場合と比較して、１枚の磁気記録媒体１毎に固定ホルダ３０および可動ホルダ４０を開閉させなくて済む分、磁気転写工程における生産性（例えば単位時間あたりの出力枚数）を向上させることができる。
【０１２８】
さらに、本実施の形態では、磁気転写工程において、転写前媒体の各データ面を上下方向に向けるとともに、２枚のマスタ情報記録体２００で上下から転写前媒体を挟んだ状態で磁気転写を行っている。このように、重力方向に沿って２枚のマスタ情報記録体２００により転写前媒体を挟み込むことで、磁気転写における転写前媒体への加圧を安定化させること、換言すれば、磁気転写における転写前媒体での加圧の分布むらを抑制することができる。これに伴い、本実施の形態では、磁気転写されたサーボ・パターンにおける磁化の強さの面内むらを抑制することが可能になる。
【０１２９】
さらにまた、本実施の形態では、可動ホルダ４０の下方に配置される固定ホルダ３０に転写前媒体の供給を行うようにしたので、重力を利用して転写前媒体を安定的に固定ホルダ３０上に配置させることができる。そして、本実施の形態では、可動ホルダ４０の下方に配置される固定ホルダ３０側において転写前媒体を吸着して固定するようにしたので、固定された転写前媒体を安定した状態で保持することが可能になる。
【０１３０】
そして、本実施の形態では、可動ホルダ４０に取り付けられたマスタ情報記録体２００におけるサーボ・パターンの形成面を鉛直下方に向けるようにしているので、この面にはダスト等が付着しにくくなっている。一方、本実施の形態では、固定ホルダ３０に取り付けられたマスタ情報記録体２００におけるサーボ・パターンの形成面が鉛直上方を向くことになるが、ダウンフロー方式を採用したクリーンルーム内に表面検査・磁気転写装置１０（磁気転写部１４）を配置しているので、この面にダスト等が落下してきたとしても、ダウンフローすなわち上方から下方に向かう空気の流れによって、この面へのダストの付着を抑制することが可能になる。
【０１３１】
また、上述した磁気転写工程では、大きく振動した状態のままの転写前媒体をマスタ情報記録体２００に接触させた場合、転写前媒体によってマスタ情報記録体２００の接触面が傷つけられてしまい、結果として、マスタ情報記録体２００の寿命（転写に使用しうる回数）が短くなってしまうおそれがある。特に本実施の形態では、マスタ情報記録体２００に凹凸によるサーボ・パターンを形成しているため、転写前媒体との接触時に凹凸が欠けたり変形してしまったりした場合には、以降の磁気転写において転写不良が生じてしまうことになる。これに対し、本実施の形態では、供給されてくる転写前媒体を、磁気転写部１４に設けられたマスタ情報記録体２００に対して位置決めして停止させた後、転写前媒体の振動が減衰した状態で、マスタ情報記録体２００に接触させるようにした。これにより、転写前媒体とマスタ情報記録体２００との接触に起因するマスタ情報記録体２００の機械的な破損および低寿命化を抑制することができる。
【０１３２】
なお、本実施の形態では、磁気転写部１４において、固定ホルダ３０を可動ホルダ４０の下方に配置するようにしていたが、これに限られるものではない。すなわち、両者の上限関係を入れ替え、固定ホルダ３０を可動ホルダ４０の上方に配置するようにしてもよい。また、本実施の形態では、磁気転写部１４において、固定ホルダ３０側に転写前媒体を吸着させるようにしていたが、これに限られるものではなく、可動ホルダ４０側に転写前媒体を吸着させるようにしてもかまわない。さらに、本実施の形態では、磁気転写部１４において、３枚の磁気記録媒体１に対し一括してサーボ・パターンの磁気転写を行う場合について説明を行ったが、これに限られるものではなく、２枚以上であればよい。さらにまた、本実施の形態では、垂直多関節ロボット１８を用いた磁気転写部１４への磁気記録媒体１の供給および磁気転写部１４からの磁気記録媒体１の取り出しを、１枚ずつ行うようにしていたが、これに限られるものではなく、複数枚分をまとめて行うようにしてもかまわない。
【０１３３】
そして、本実施の形態では、複数の転写前媒体に一括してサーボ・パターンを磁気転写する例について説明を行ったが、これに限られるものではなく、例えば第１転写部１４ａのみを有し、１枚の転写前媒体に対しサーボ・パターンを磁気転写する場合にも、同様に適用可能である。
ただし、この場合には、第１転写部１４ａを構成する２枚のマスタ情報記録体２００の両者の傾き調整を行う必要はなく、いずれか一方のマスタ情報記録体２００の傾き調整が行えるようにしてあればよい。具体的に説明すると、例えば可動ホルダ４０側のマスタ情報記録体２００）に可動側傾き調整部８０を設ける一方、固定ホルダ３０側では固定側傾き調整部７０を設けることなく固定ホルダ３０に直接マスタ情報記録体２００を取り付けるようにしてもよい。また、逆に、例えば固定ホルダ３０側のマスタ情報記録体２００に固定側傾き調整部７０を設ける一方、可動ホルダ４０側では可動側傾き調整部８０を設けることなく可動ホルダ４０に直接マスタ情報記録体２００を取り付けるようにしてもかまわない。
【０１３４】
また、本実施の形態では、各転写部を構成する２枚のマスタ情報記録体２００を上下に配置する場合を例として説明を行ったが、これに限られるものではなく、各転写部を構成する２枚のマスタ情報記録体２００を水平方向に配置する態様に適用することもできる。
【符号の説明】
【０１３５】
１…磁気記録媒体、１Ａ…第１面、１Ｂ…第２面、１０…表面検査・磁気転写装置、１４ａ…第１転写部、１４ｂ…第２転写部、１４ｃ…第３転写部、３０…固定ホルダ、４０…可動ホルダ、４０ａ…記録体保持部、４０ｂ…筒状体、５０…固定側磁石部材、６０…可動側磁石部材、７０…固定側傾き調整部、７１…固定側第１圧電素子、７２…固定側第２圧電素子、７３…固定側第３圧電素子、８０…可動側傾き調整部、８１…可動側第１圧電素子、８２…可動側第２圧電素子、８３…可動側第３圧電素子、９０…コントローラ、９１…ロボット駆動部、９２…可動ホルダ駆動部、９３…吸引駆動部、９４…磁石駆動部、９５…圧電素子駆動部、２００…マスタ情報記録体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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