(57)【要約】【課題】  版や印刷対象のロール軸方向への変位を抑える。【解決手段】  版テーブルや印刷対象テーブル上に取り付けるプレート部材１６の上に、版９や印刷対象１０を保持する吸着ステージ部材１７を隙間を隔てて配置する。吸着ステージ部材１７には、Ｘ軸方向の両端に、軸心位置Ｏを吸着ステージ部材１７の上面寄りに偏在させた状態で回転軸１８を設け、この回転軸１８を、プレート部材１６上に設けた軸受機構１９に、回転と昇降を許容でき且つＸ軸方向及びＹ軸方向の変位を阻止した状態で保持させる。プレート部材１６と吸着ステージ部材１７の隙間に、非圧縮性流体２３をシール部材２２で封止した圧力分布均等化手段２０を設ける。版９や印刷対象１０にＹ軸方向のブランケットロールを上方より接触させるときには、接触部分の傾きを、回転軸１８を中心とする吸着ステージ部材１７の傾動と、シール部材２２及び非圧縮性流体２３の変形で吸収させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
オフセット印刷時に印刷用ロールの直下位置をロール軸方向と直交する水平方向へ相対移動させながら上方より上記印刷用ロールを印圧を付与した状態で接触させるための版や印刷対象を上面側に保持できるようにした保持ステージ部材を、水平なプレート部材の上側に、所要の間隔を隔てて平行に配置すると共に、上記保持ステージ部材の上記印刷用ロールと版や印刷対象との相対移動方向に沿う方向の両端面の中央部に軸心位置を該保持ステージ部材の上端寄りに偏在する状態で設けてなる回転軸を、上記プレート部材の上面に設けた個別の軸受機構に、回転と昇降を許容でき且つ上記相対移動方向及びロール軸方向の変位を拘束した状態で保持させ、更に、上記プレート部材の上面と、保持ステージ部材の下面との隙間に、上記保持ステージ部材に上方より作用する圧力を、上記ロール軸方向に圧力分布を均等化させた状態で該保持ステージ部材ごと支持するための圧力分布均等化手段を介装してなる構成を有することを特徴とする印刷用ロールと版、印刷対象の傾き補正装置。
【請求項２】
圧力分布均等化手段を、プレート部材の上面と保持ステージ部材の下面との隙間に設けた柔軟な部材により周囲が密閉された空間に、非圧縮性流体を封止してなる構成とした請求項１記載の印刷用ロールと版、印刷対象の傾き補正装置。
【請求項３】
圧力分布均等化手段を、プレート部材の上面と保持ステージ部材の下面との隙間に、上下方向に弾性変形可能な複数の弾性部材を敷き詰めてなる構成とした請求項１記載の印刷用ロールと版、印刷対象の傾き補正装置。
【請求項４】
プレート部材の上面と保持ステージ部材の下面との隙間に、印刷用ロールのロール軸方向に沿って保持ステージ部材の回転軸に近い位置には、弾性部材を密に配置し、上記ロール軸方向に沿って保持ステージ部材の回転軸から離れるにしたがって弾性部材を順次疎に配置するようにした請求項３記載の印刷用ロールと版、印刷対象の傾き補正装置。
【請求項５】
プレート部材の上面と保持ステージ部材の下面との隙間に、印刷用ロールのロール軸方向に沿って保持ステージ部材の回転軸に近い位置には、ばね定数の大きな弾性部材を配置し、上記ロール軸方向に沿って保持ステージ部材の回転軸から離れるにしたがってばね定数が小さくなる弾性部材を配置するようにした請求項３記載の印刷用ロールと版、印刷対象の傾き補正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印刷装置におけるブランケットロール等の印刷用ロールを転動させた状態で、その下方をロール軸方向に直交する方向に沿って相対移動する版や印刷対象に対し上方より接触させて印刷処理を行う際に、上記印刷用ロールの外周面の下端側位置と、上記版や印刷対象の表面との間の上記ロール軸方向の傾きを補正するために用いる印刷用ロールと版、印刷対象の傾き補正装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
印刷技術の１つとしてオフセット印刷があり、このうち、凹版を用いたオフセット印刷は、インキングされた凹版より転動するブランケットロールへインクを一旦転写（受理）した後、該ブランケットロールより印刷対象へインクの再転写（印刷）を行うことで、該印刷対象の表面に、上記凹版の印刷パターンを再現性よく印刷することができる手法として知られている。
【０００３】
又、近年、液晶ディスプレイ等の電子回路をガラス基板や樹脂製の基板等の所要の基板上に形成するための手法の一つとして、金属蒸着膜のエッチング等による微細加工に代えて、導電性ペーストを印刷インクとして用いた印刷技術、たとえば、凹版オフセット印刷技術を用いて基板上に電子回路を印刷して形成する手法が提案されてきている。
【０００４】
上記液晶ディスプレイ等の電子回路を基板に形成する場合は、電極となる線幅として、たとえば、１０μｍ程度と微細なものが要求されることがある。更に、基板上に複数の電子回路を重ね合わせて形成することがあり、この場合は版を代えて電子回路の重ね刷りを行うことになるが、印刷位置がずれると電子回路の全体構成が崩れてしまうことから、精度は対象によって多少異なるが、上記線幅を１０μｍ程度とするような精密な電子回路の場合には、重ね合わせる印刷位置の位置ずれを数μｍからサブμｍオーダーに抑えることが必要とされることもある。
【０００５】
そのため、上記基板上に電子回路を印刷により形成する場合は、紙等に文字や画像を印刷する通常のオフセット印刷に比して高い印刷精度が要求される。
【０００６】
なお、版と印刷対象は同じ形状としたほうが、オフセット印刷による転写（受理）と再転写（印刷）による印刷パターンの再現性が高いため、前述した電子回路のような精密な印刷パターンを、上記基板のような平板状の印刷対象に印刷する場合は、平板状の版を用いることが有利に働くとされている。
【０００７】
上記平板状の版、及び、基板等の平板状の印刷対象を用いるオフセット印刷装置としては、たとえば、架台上に一軸方向に延びるガイドレールを設けて、該ガイドレールに、平板状の版と平板状の印刷対象を載置して固定できるようにした移動テーブルを、所要の駆動装置により往復動（走行）可能に取り付け、更に、上記ガイドレールの長手方向の途中位置の上方に、上記ガイドレールの長手方向に直角且つ水平方向に延びるブランケットロールを備えてなる構成としたものがある。
【０００８】
かかる構成としてあるオフセット印刷装置によれば、上記移動テーブル上に保持した版に予めインキングした状態で、移動テーブル上の版及び印刷対象を、該移動テーブルのガイドレールに沿う走行に伴って上記ブランケットロールの下方位置を順次通過させるときに、該版及び印刷対象の表面に上記ブランケットロールを上方より所要の印圧（接触圧力）で順次接触させることにより、上記版からブランケットロールの外周面へのインクの転写（受理）処理を行わせた後、該ブランケットロールの外周面より上記印刷対象へのインクの再転写（印刷）処理を行わせて、オフセット印刷を実施できるようにしてある。
【０００９】
ところで、上記のようなオフセット印刷における転写（受理）処理及び再転写（印刷）処理を実施する際は、ブランケットロールと版や印刷対象との間に付与する印圧の分布に差が生じると、剪断力が発生し、この剪断力が印刷ずれの原因となる。
【００１０】
そのため、上記ブランケットロールと版や印刷対象との間に付与する印圧について、上記ブランケットロールのロール軸方向の圧力分布を均一に保持するためには、上記ブランケットロールを上記版及び印刷対象に接触させるときに、該ブランケットロールの外周面の下端側位置と、版や印刷対象の表面における上記ブランケットロールの直下に位置する部分が、ロール軸方向に沿って平行に配されていることが望ましい。
【００１１】
しかし、機械加工精度や組立精度の限界から、上記ブランケットロールの外周面の下端側位置と、その直下位置の版や印刷対象の表面との間に、ロール軸方向に沿って微小な傾きが生じることを完全に防止することは困難である。
【００１２】
そのために、上記のようなブランケットロールの外周面の下端側位置と、その直下位置の版や印刷対象の表面との間にロール軸方向に沿って微小な傾きが生じた場合の対策として、図９に示すようなローリング方式の傾き補正手段が従来提案されている。
【００１３】
すなわち、上記図９に示す傾き補正手段は、ブランケットロール（図示せず）の下方を走行できるようにしてある移動テーブル１の上側に、上面を上記移動テーブル１の移動方向に直交する方向に沿って凸状となる大きな円弧状曲面３ａとした下部プレート部材３と、下面を上記下部プレート部材３の円弧状曲面３ａに沿って摺動可能な凹状の円弧状湾曲面４ａとしてなる上部プレート部材４とからなるスイベル構造ステージ２を設けて、該スイベル構造ステージ２の上部プレート部材４の上面に、版や印刷対象（図示せず）を載置して保持するようにした構成としてある。
【００１４】
５及び６は上記スイベル構造ステージ２の上部プレート部材４の上面に載置する版や印刷対象の互いに直交する２つの辺をそれぞれ突き当てて水平方向の位置合わせを行うための突き当て位置決め部材である。
【００１５】
かかる構成としてある傾き補正手段によれば、上記スイベル構造ステージ２における上部プレート部材４を、下部プレート部材３の上側で、互いの円弧状湾曲面４ａと円弧状曲面３ａとの摺動を介して移動テーブル１の移動方向に直交する方向に揺動させることにより、該上部プレート部材４上に載置した版や印刷対象を、上記移動テーブル１の移動方向に対してローリングさせることができるようにしてある。
【００１６】
これにより、上記スイベル構造ステージ２における上部プレート部材４の下部プレート部材３上での揺動量を調整して、該上部プレート部材４上に載置した版や印刷対象のローリング量を調整することで、該版や印刷対象の表面を、ブランケットロールの外周面の下端側位置に平行に配置させることができるようにしてある（たとえば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１７】
【特許文献１】特許第３４５９７８３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
ところが、上記特許文献１に示されたローリング方式の傾き補正手段は、スイベル構造ステージ２における上部プレート部材４を下部プレート部材３上で揺動させるための摺動面となる両者の円弧状曲面３ａと円弧状湾曲面４ａが、上方に向けて凸となる大きな円弧状としてあるため、上記上部プレート部材４の揺動中心は、該上部プレート部材４上に載置する版や印刷対象よりも大幅に下方位置となる。そのために、上記上部プレート部材４を下部プレート部材３上で揺動させると、該上部プレート部材４自体が、上記移動テーブル１上で該移動テーブル１の移動方向に直交する方向、すなわち、ブランケットロールのロール軸方向へ変位してしまう。
【００１９】
そのために、上記スイベル構造ステージ２の上部プレート部材４に版や印刷対象を保持させた状態で該上部プレート部材４を下部プレート部材３上で揺動させると、この揺動に伴って上記版や印刷対象も上記移動テーブル１の移動方向に直交する方向であるブランケットロールのロール軸方向へ変位するようになり、その変位量が数μｍ程度に達することがあり得る。そのため、印刷位置の位置ずれを数μｍからサブμｍオーダーに抑えることが必要とされる精密な電子回路のような印刷パターンの印刷を行おうとすると、印刷精度に無視できない影響が出る虞が懸念される。
【００２０】
更に、上記上部プレート部材４に版や印刷対象を保持させた状態では、上記版や印刷対象が、それぞれの水平方向の位置合わせを行うために設けてある突き当て位置決め部材５，６に干渉する虞もある。
【００２１】
したがって、版や印刷対象は、予め、ブランケットロールの外周面の下端側位置に応じて必要とされるローリング量になるように、上記スイベル構造ステージ２の上部プレート部材４の揺動量を決定した後で、突き当て位置決め部材５，６を用いて該上部プレート部材４上での保持位置を位置決めする必要がある。
【００２２】
そのため、上記特許文献１に示された傾き補正手段では、ブランケットロールを回転させることに伴って該ブランケットロールの外周面の下端側位置におけるロール軸方向の傾斜が変化することや、版や印刷対象の製造精度に伴う該版や印刷対象の面内での厚み寸法の不均一性等に起因して、ブランケットロールを転動させた状態で、その下方をロール軸方向と直交する方向に相対移動する版や印刷対象に上方より接触させて印刷処理を行う際に、該ブランケットロールの外周面の下端側位置と、版や印刷対象の表面との間に生じるブランケットロールのロール軸方向に沿う方向の傾きが時間経過と共に変化する場合には、リアルタイムで対応して傾きを補正することはできないというのが実状である。
【００２３】
そこで、本発明は、ブランケットロール等の印刷用ロールを転動させた状態で、その下方をロール軸方向と直交する方向へ相対移動する版や印刷対象に順次接触させて印刷処理を行う際に、該ブランケットロールの外周面の下端側位置のロール軸方向の傾きに追従して、上記版や印刷対象を傾けることができて、上記ブランケットロールの外周面の下端側位置と、上記版や印刷対象の表面における上記ブランケットロールの直下に位置する部分との間に生じる上記ロール軸方向の傾きを常に補正することができ、これにより、上記ブランケットロールと版や印刷対象との間に付与する印圧について、上記ブランケットロールのロール軸方向の圧力分布を均一化させることができ、しかも、上記ブランケットロールの外周面の下端側位置と、上記版や印刷対象の表面との間に生じる上記ロール軸方向の傾きを補正しても、印刷位置の変位を印刷精度に影響が生じない範囲に抑えることが可能な印刷用ロールと版、印刷対象の傾き補正装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
本発明は、上記課題を解決するために、請求項１に対応して、オフセット印刷時に印刷用ロールの直下位置をロール軸方向と直交する水平方向へ相対移動させながら上方より上記印刷用ロールを印圧を付与した状態で接触させるための版や印刷対象を上面側に保持できるようにした保持ステージ部材を、水平なプレート部材の上側に、所要の間隔を隔てて平行に配置すると共に、上記保持ステージ部材の上記印刷用ロールと版や印刷対象との相対移動方向に沿う方向の両端面の中央部に軸心位置を該保持ステージ部材の上端寄りに偏在する状態で設けてなる回転軸を、上記プレート部材の上面に設けた個別の軸受機構に、回転と昇降を許容でき且つ上記相対移動方向及びロール軸方向の変位を拘束した状態で保持させ、更に、上記プレート部材の上面と、保持ステージ部材の下面との隙間に、上記保持ステージ部材に上方より作用する圧力を、上記ロール軸方向に圧力分布を均等化させた状態で該保持ステージ部材ごと支持するための圧力分布均等化手段を介装してなる構成を有する構成とする。
【００２５】
又、上記構成において、圧力分布均等化手段を、プレート部材の上面と保持ステージ部材の下面との隙間に設けた柔軟な部材により周囲が密閉された空間に、非圧縮性流体を封止してなる構成とする。
【００２６】
同様に、上記構成において、圧力分布均等化手段を、プレート部材の上面と保持ステージ部材の下面との隙間に、上下方向に弾性変形可能な複数の弾性部材を敷き詰めてなる構成とする。
【００２７】
更に、上記構成において、プレート部材の上面と保持ステージ部材の下面との隙間に、印刷用ロールのロール軸方向に沿って保持ステージ部材の回転軸に近い位置には、弾性部材を密に配置し、上記ロール軸方向に沿って保持ステージ部材の回転軸から離れるにしたがって弾性部材を順次疎に配置するようにした構成とする。
【００２８】
同様に、上記構成において、プレート部材の上面と保持ステージ部材の下面との隙間に、印刷用ロールのロール軸方向に沿って保持ステージ部材の回転軸に近い位置には、ばね定数の大きな弾性部材を配置し、上記ロール軸方向に沿って保持ステージ部材の回転軸から離れるにしたがってばね定数が小さくなる弾性部材を配置するようにした構成とする。
【発明の効果】
【００２９】
本発明の印刷用ロールと版、印刷対象の傾き補正装置によれば、以下のような優れた効果を発揮する。 
（１）オフセット印刷時に印刷用ロールの直下位置をロール軸方向と直交する水平方向へ相対移動させながら上方より上記印刷用ロールを印圧を付与した状態で接触させるための版や印刷対象を上面側に保持できるようにした保持ステージ部材を、水平なプレート部材の上側に、所要の間隔を隔てて平行に配置すると共に、上記保持ステージ部材の上記印刷用ロールと版や印刷対象との相対移動方向に沿う方向の両端面の中央部に軸心位置を該保持ステージ部材の上端寄りに偏在する状態で設けてなる回転軸を、上記プレート部材の上面に設けた個別の軸受機構に、回転と昇降を許容でき且つ上記相対移動方向及びロール軸方向の変位を拘束した状態で保持させ、更に、上記プレート部材の上面と、保持ステージ部材の下面との隙間に、上記保持ステージ部材に上方より作用する圧力を、上記ロール軸方向に圧力分布を均等化させた状態で該保持ステージ部材ごと支持するための圧力分布均等化手段を介装してなる構成としてあるので、保持ステージ部材の上に載置して保持した版や印刷対象にブランケットロールを印圧を付与した状態で上方より接触させるときには、上記ブランケットロールの外周面の下端側位置と、版や印刷対象の表面との間の傾きが解消されるように保持ステージ部材を受動的に傾動させると共に、この保持ステージ部材の傾動を上記圧力分布均等化手段の変形で吸収することができる。これにより、上記ブランケットロールの外周面の下端側位置と、上記版や印刷対象の表面との間に生じる傾きを常時補正することができて、上記ブランケットロールより版や印刷対象との間に付与する印圧について、ブランケットロールのロール軸方向の圧力分布を均一化させることができる。 
（２）しかも、上記保持ステージ部材の回転中心となる回転軸の軸心位置が、該保持ステージ部材の上端寄りに偏在させてあるため、ブランケットロールの外周面の下端側位置と、上記版や印刷対象の表面との間の傾きを解消させるために上記保持ステージ部材を傾動させても、保持ステージ部材上に保持した版や印刷対象の変位を小さく抑えることができる。 
（３）以上により、基板等の印刷対象に印刷位置の位置ずれを数μｍからサブμｍオーダーに抑えることが必要とされる精密な電子回路のような印刷パターンのオフセット印刷を精度よく実施することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の印刷用ロールと版、印刷対象の傾き補正装置の実施の一形態を示す概略正面図である。
【図２】図１の装置の概略切断正面図である。
【図３】図１の装置の概略側面図である。
【図４】図１の装置の概略平面図である。
【図５】図１の装置によりブランケットロールの外周面の下端側位置と、版や印刷対象の表面との間に生じるブランケットロールのロール軸方向に沿う方向の傾きを補正した状態を示す概略正面図である。
【図６】図１の装置を適用したオフセット印刷装置の概要を示す図である。
【図７】本発明の実施の他の形態を示す概略切断正面図である。
【図８】本発明の実施の更に他の形態を示す概略正面図である。
【図９】従来提案されているローリング方式の傾き補正手段を示す概略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、本発明を実施するための形態を図面を参照して説明する。
【００３２】
図１乃至図６は本発明の印刷用ロールと版、印刷対象の傾き補正装置の実施の一形態として、たとえば、図６に示す如きオフセット印刷装置に適用する場合の例を示すもので、以下のようにしてある。
【００３３】
ここで、先ず、図６に示したオフセット印刷装置について概説すると、該オフセット印刷装置は、水平な架台７の上側に、一方向に延びるガイドレール８を設ける。上記ガイドレール８には、平板状の版９と基板等の平板状の印刷対象１０を保持させるための移動テーブルとして、たとえば、版９と印刷対象１０をそれぞれ個別に保持できるようにした版テーブル１１と印刷対象テーブル１２を、図示しない駆動装置により独立して往復動（走行）可能に取り付ける。
【００３４】
更に、上記ガイドレール８の長手方向における上記版テーブル１１及び印刷対象テーブル１２が共に走行可能な途中個所の上方に、上記ガイドレール８の長手方向と直角且つ水平な方向に延びる印刷ロールとしてのブランケットロール１３を、図示しない回転駆動機構により回転可能に且つ図示しない昇降駆動機構により昇降可能に備えてなる構成とする。
【００３５】
上記版テーブル１１及び印刷対象テーブル１２は、共に、その上部に、本発明の印刷用ロールと版、印刷対象の傾き補正装置（以下、単に本発明の傾き補正装置と云う）１５を、たとえば、ＸＹθの３軸方向の自由度を備えたアライメント機構１４を介在させた状態で一体に設けてなる構成として、該各本発明の傾き補正装置１５の上側に、版９及び印刷対象１０を載置して保持できるようにしてある。
【００３６】
上記構成としてあるオフセット印刷装置に適用する本発明の傾き補正装置１５は、具体的には、図１乃至図４に示す如き構成としてある。なお、説明の便宜上、以下においては、上記ガイドレール８の長手方向をＸ軸方向、該ガイドレール８の長手方向に直角且つ水平な方向であるブランケットロール１３のロール軸方向をＹ軸方向と云うものとする。
【００３７】
すなわち、ベースプレートとなる水平な平板状のプレート部材１６の上側に、上記版９や印刷対象１０を保持させるための手段として、たとえば、図示しない吸着手段を上面側に備えた平板状の保持ステージ部材としての吸着ステージ部材１７を、所要の隙間を隔てて平行に配置する。なお、図６では上記プレート部材１６が、版テーブル１１及び印刷対象テーブル１２に備えた上記アライメント機構１４のトッププレートを兼ねた構成が示してある。
【００３８】
上記吸着ステージ部材１７のＸ軸方向の両端面には、Ｙ軸方向の中央部に、Ｘ軸方向に沿って所要寸法突出するローリング用の回転軸１８を、該回転軸１８の軸心位置Ｏが該吸着ステージ部材１７の上端寄りに偏在する状態でそれぞれ設ける。該各回転軸１８は、その直下位置となる上記プレート部材１６の上面に設けた個別の軸受機構１９に、回転と昇降を許容でき且つＸ軸方向及びＹ軸方向の変位を拘束した状態で保持させる。
【００３９】
更に、上記プレート部材１６の上面と、吸着ステージ部材１７の下面との間の隙間に、上記吸着ステージ部材１７に上方より作用する圧力を、Ｙ軸方向に圧力分布を均等化させた状態で該吸着ステージ部材１７ごと支持するための圧力分布均等化手段２０を介装してなる構成とする。
【００４０】
詳述すると、上記吸着ステージ部材１７の回転軸１８は、両側部に所要の中心角の円弧面を備えた状態で、該円弧面よりも上方となる上端側を水平に切り欠いた形状としてある。これにより、上記吸着ステージ部材１７の各回転軸１８における両側部の円弧面を、それぞれ対応する軸受機構１９に保持させた状態で、該吸着ステージ１７部材を、後述するように、ブランケットロール１３の外周面の下端側位置と、版９や印刷対象１０の表面との間に生じるＹ軸方向の傾きに応じて、上記各回転軸１８を中心に揺動させることができるようにしてあり、且つ吸着ステージ部材１７上に載置する版９や印刷対象１０の上面に対してブランケットロール１３をＸ軸方向に沿って相対移動するブランケットロール１３を接触させる際に、該ブランケットロール１３に対して上記各回転軸１８が接触しないようにしてある。
【００４１】
上記各軸受機構１９は、たとえば、図４に示すように、上記吸着ステージ部材１７に臨むＸ軸方向の片側面（内側面）に、上記吸着ステージ部材１７の各回転軸１８の直径よりもわずかに広い幅寸法で且つＸ軸方向に所要の深さ寸法の溝２１を、上下方向に延びるよう設けた構成として、上記プレート部材１６の上面の所要個所に設置した状態で、該各軸受機構１９の溝２１に、吸着ステージ部材１７の対応する回転軸１８をそれぞれ嵌合させることができるようにしてある。これにより、上記各軸受機構１９の溝２１の内側で、対応する各回転軸１８を回転させることができると共に、上下方向へ移動（昇降）させることができるようにしてある。一方、上記各回転軸１８の両側部を、それぞれ対応する軸受機構１９の溝２１の両側面で拘束することにより、該各回転軸１８と共に上記吸着ステージ部材１７のＹ軸方向への変位を防止できるようにしてある。
【００４２】
又、上記各軸受機構１９の溝２１のＸ軸方向の奥側の面により、上記吸着ステージ部材１７の各回転軸１８の先端面を拘束することで、上記各回転軸１８と一体に吸着ステージ部材１７のＸ軸方向への変位も防止できるようにしてある。
【００４３】
更に、この際、上記各軸受機構１９の溝２１のＸ軸方向の奥側の面と、上記吸着ステージ部材１７の各回転軸１８の先端面とのクリアランスが小さくなるようにした構成としてある。これにより、上記各回転軸１８が、それぞれ対応する軸受機構１９の溝２１のＸ軸方向の奥側の面に対して直角となる水平方向から上下方向に傾かないようにしてあり、よって、上記吸着ステージ部材１７上に保持する版９や印刷対象１０に対してブランケットロール１３よりＸ軸方向に沿って移動荷重が作用しても、該吸着ステージ部材１７に、Ｘ軸方向に関する傾きが生じる虞を防止できるようにしてある。
【００４４】
上記圧力分布均等化手段２０は、たとえば、図２に示すように、上記プレート部材１６の上面と吸着ステージ部材１７の下面との間の空間における吸着ステージ部材１７上に保持する版９の印刷パターン（図示せず）が設けてある領域（印刷対象１０における上記印刷パターンを印刷する領域）よりも広い領域の周りを、全周に亘り柔軟性のあるシール部材２２で密封し、その内側に水や油等の非圧縮性流体２３を封止した構成としてある。これにより、上記吸着ステージ部材１７の自重と、該吸着ステージ部材１７の上に保持する版９又は印刷対象１０自重と、オフセット印刷における版９からブランケットロール１３への転写（受理）処理時にブランケットロール１３より版９へ付与する印圧、又は、ブランケットロール１３より印刷対象１０への再転写（印刷）処理時にブランケットロール１３より印刷対象１０へ付与する印圧とを、上記シール部材２２の内側に封止した非圧縮性流体２３により受けて支持できるようにしてある。
【００４５】
更に、上記のように吸着ステージ部材１７の自重と、版９又は印刷対象１０の自重と、上記ブランケットロール１３より作用させる印圧とを支持した状態のときに、上記吸着ステージ部材１７の回転軸１８を中心とするＹ軸方向への傾動を、上記シール部材２２とその内側に封止した非圧縮性流体２３の変形により許容できるようにしてある。
【００４６】
以上の構成としてある本発明の傾き補正装置１５を、版テーブル１１及び印刷対象テーブル１２の上部に装備したオフセット印刷装置により印刷処理を実施する場合は、版テーブル１１上部に装備した本発明の傾き補正装置１５における吸着ステージ部材１７の上側に版９を載置して保持させる。又、印刷対象テーブル１２上部に装備した本発明の傾き補正装置１５における吸着ステージ部材１７の上側に、印刷対象１０を載置して保持させる。
【００４７】
次いで、上記版９に予めインキングを施した後、該インキング済みの版９を、上記版テーブル１１のガイドレール８に沿う走行に伴ってブランケットロール１３の下方位置を通過させるときに、該ブランケットロール１３を、上記版９の表面に接触させる。
【００４８】
この際、ブランケットロール１３の外周面の下端側位置と、版９の表面との間に、ブランケットロール１３のロール軸方向であるＹ軸方向に傾きが生じている場合は、その傾きに応じて上記ブランケットロール１３が最初に上記版９の表面に対しＹ軸方向の一端側から接触するようになるため、該版９を保持した本発明の傾き補正装置１５の吸着ステージ部材１７では、先にブランケットロール１３が版９に接触したＹ軸方向の一端側と、まだ接触していないＹ軸方向の他端側では、ブランケットロール１３より版９を介して上方より受ける圧力に差が生じる。
【００４９】
上記のようにして吸着ステージ部材１７が上方より受ける圧力に、Ｙ軸方向の一端側と他端側で差が生じ、このＹ軸方向の圧力差が、該吸着ステージ部材１７の下側に設けてある圧力分布均等化手段２０に作用すると、該圧力分布均等化手段２０では、シール部材２２の内側に封止された非圧縮性流体２３が、上記作用しているＹ軸方向の圧力差に応じて、Ｙ軸方向の一端側から他端側へ流動するようになるため、該圧力分布均等化手段２０で支持されている上記吸着ステージ部材１７が、回転軸１８を中心に、上記Ｙ軸方向の圧力差が軽減される方向、すなわち、上記ブランケットロール１３の外周面の下端側位置と版９の表面との間のＹ軸方向の傾きが小さくなる方向へ傾動されるようになる。
【００５０】
その後、上記圧力分布均等化手段２０におけるシール部材２２の内側に封止された非圧縮性流体２３の流動は、上記Ｙ軸方向の圧力分布が均一になるまで、すなわち、該吸着ステージ部材１７上に保持した版９の表面が、上記ブランケットロール１３の外周面の下端側位置に平行な配置とされるまで継続して行われる。
【００５１】
以上により、上記ブランケットロール１３を、上記版９の表面に、接触させるときには、上記ブランケットロール１３の外周面の下端側位置と、版９の表面との間の傾きが受動的に補正されることから、上記ブランケットロール１３の外周面の下端側位置と、版９の表面が常に平行に配置されるようになる。
【００５２】
したがって、その後、ブランケットロール１３より上記版９の表面に所要の印圧を付与すると、該印圧が、上記版９と吸着ステージ部材１７を介して上記圧力分布均等化手段２０のシール部材２２の内側に封止された上記非圧縮性流体２３によって受けられるようになる。よって、上記ブランケットロール１３より上記インキングされた版９に対して、Ｙ軸方向の圧力分布を常時均一化させた印圧を付与した状態で、上記版９からブランケットロール１３への転写（受理）処理が行われるようになる。
【００５３】
その後、上記印刷対象テーブル１２上に本発明の傾き補正装置１５を介して保持した印刷対象１０を、上記印刷対象テーブル１２のガイドレール８に沿う走行に伴ってブランケットロール１３の下方位置を通過させるときに、該ブランケットロール１３を、上記印刷対象１０の表面に接触させる。
【００５４】
この際、ブランケットロール１３の外周面の下端側位置と、印刷対象１０の表面との間に、ブランケットロール１３のロール軸方向であるＹ軸方向に傾きが生じている場合は、上記版９の場合と同様に、その傾きに応じて上記印刷対象１０を介して本発明の傾き補正装置１５の吸着ステージ部材１７が上方より受ける圧力のＹ軸方向の圧力差が軽減される方向、すなわち、上記ブランケットロール１３の外周面の下端側位置と印刷対象１０の表面との間のＹ軸方向の傾きが小さくなる方向へ、圧力分布均等化手段２０で支持されている上記吸着ステージ部材１７が、回転軸１８を中心に傾動されるようになる。
【００５５】
よって、上記ブランケットロール１３を、上記印刷対象１０の表面に、所要の印圧で接触させるときには、上記ブランケットロール１３の外周面の下端側位置と、印刷対象１０の表面との間の傾きが受動的に補正されて、ブランケットロール１３の外周面の下端側位置と、印刷対象１０の表面が常に平行に配置されるようになる。
【００５６】
したがって、その後、上記ブランケットロール１３より上記印刷対象１０の表面に所要の印圧を付与すると、該印圧が、上記印刷対象１０と吸着ステージ部材１７を介して上記圧力分布均等化手段２０のシール部材２２の内側に封止された上記非圧縮性流体２３によって受けられるようになる。よって、上記ブランケットロール１３より上記印刷対象１０に対して、Ｙ軸方向の圧力分布を常時均一化させた印圧を付与した状態で、上記ブランケットロール１３から印刷対象１０への再転写（印刷）処理が行われるようになる。
【００５７】
このように、本発明の傾き補正装置１５によれば、その上方に載置して保持した版９や印刷対象１０にブランケットロール１３を所要の印圧で接触させるときには、上記ブランケットロール１３の外周面の下端側位置と、版９や印刷対象１０の表面との間の傾きが解消されるように吸着ステージ部材１７を受動的にＹ軸方向に傾動させると共に、この吸着ステージ部材１７のＹ軸方向の傾動を上記圧力分布均等化手段２０におけるシール部材２２と、その内側の非圧縮性流体２３の変形で吸収することができる。
【００５８】
したがって、上記ブランケットロール１３の外周面の下端側位置と、上記版９や印刷対象１０の表面における上記ブランケットロール１３の直下に位置する部分との間に生じるＹ軸方向の傾きを常時補正することができ、これにより、上記ブランケットロール１３と版９や印刷対象１０との間に付与する印圧について、上記ブランケットロール１３のロール軸方向であるＹ軸方向の圧力分布を均一化させることができる。
【００５９】
しかも、上記本発明の傾き補正装置１５では、吸着ステージ部材１７の回転中心となる各回転軸１８の軸心位置Ｏが、該吸着ステージ部材１７の上端寄りに偏在するようにしてあるため、ブランケットロール１３の外周面の下端側位置と、上記版９や印刷対象１０の表面との間に生じるＹ軸方向の傾きを解消させるために上記吸着ステージ部材１７を傾動させても、該吸着ステージ部材１７上に保持した版９や印刷対象１０の表面位置から上記回転中心までの距離が短いため、上記版９や印刷対象１０の表面のＹ軸方向への変位を小さく抑えることができる。
【００６０】
たとえば、上記版９や印刷対象１０の表面から、上記吸着ステージ部材１７の回転中心となる各回転軸１８の軸心位置Ｏまでの距離ΔＬ、及び、上記ブランケットロール１３の外周面の下端側位置と、上記版９や印刷対象１０の表面との間に生じるＹ軸方向の傾きを補正するための上記吸着ステージ部材１７を傾動させる角度Δθを、たとえば、ΔＬ＝５ｍｍ、Δθ＝０．００５ｄｅｇとすると、上記版９や印刷対象１０の表面のＹ軸方向への変位量は、５ｍｍ×０．００５×π／１８０＝０．４μｍとなる。よって、上記版９や印刷対象１０の表面のＹ軸方向への変位量を、μｍ単位以下に抑えることができる。
【００６１】
よって、上記本発明の傾き補正装置１５を版テーブル１１及び印刷対象テーブル１２に採用したオフセット印刷装置によれば、オフセット印刷における転写（受理）処理及び再転写（印刷）処理を実施する際は、ブランケットロール１３の外周面の下端側位置と、版９や印刷対象１０の表面との間に生じるＹ軸方向の傾きを常に補正できるため、ブランケットロール１３と版９や印刷対象１０との間に付与する印圧のＹ軸方向の圧力分布を均一にできて、印圧の圧力分布が不均一になることに起因する印刷ずれを防ぐことができると共に、版９や印刷対象１０の表面のＹ軸方向への変位を小さく抑えることができるため、基板等の印刷対象１０に印刷位置の位置ずれを数μｍからサブμｍオーダーに抑えることが必要とされる精密な電子回路のような印刷パターンの印刷を精度よく実施することが可能になる。
【００６２】
上記においては、本発明の傾き補正装置１５の圧力分布均等化手段２０を、プレート部材１６の上面と吸着ステージ部材１７の下面との間の空間の所定領域に、シール部材２２で周りが全周に亘り密閉された空間を形成して、その内側に非圧縮性流体２３を封止した構成として示したが、吸着ステージ部材１７に上方より作用する圧力、具体的には、版９や印刷対象１０の自重、及び、版９や印刷対象１０にブランケットロール１３より付与する印圧からなる圧力を、Ｙ軸方向に圧力分布を均等化させた状態で該吸着ステージ部材１７ごと支持することができるようにしてあれば、たとえば、図７に示すように、内部に密閉された扁平な空間を有する柔軟な袋体２４に、上記と同様の非圧縮性流体２３を封入してなる構成の圧力分布均等化手段２０Ａを形成して、該圧力分布均等化手段２０Ａを、上記プレート部材１６の上面と吸着ステージ部材１７の下面との間に介装させるようにしてもよい。
【００６３】
又、図８に示すように、上記プレート部材１６の上面と吸着ステージ部材１７の下面との間の空間に、上下方向に弾性変形可能なばね等の弾性部材２５を、多数敷き詰めるように介在させてなる構成の圧力分布均等化手段２０Ｂとしてもよい。
【００６４】
この場合、上記吸着ステージ部材１７上に保持した版９や印刷対象１０に対してブランケットロール１３より所要の印圧を作用させるときに、該吸着ステージ部材１７における回転軸１８からの距離が異なる部分に作用する梃子の力を考慮して、上記プレート部材１６の上面と吸着ステージ部材１７の下面との間の空間におけるＹ軸方向に沿って上記回転軸１８に近い個所には上記弾性部材２５を密に設け、上記回転軸１８よりＹ軸方向に沿って離れるにしたがって上記弾性部材２５を疎となるように設置するものとする。なお、図８では、上記回転軸１８よりＹ軸方向に沿って離れるにしたがって弾性部材２５のＹ軸方向の配列間隔について密から疎への変化を設けた場合について示したが、上記回転軸１８よりＹ軸方向に沿って離れるにしたがって上記弾性部材２５のＸ軸方向の配列間隔を密から疎へと順次変化させた列を、Ｙ軸方向に等間隔で配列してもよい。更には、上記回転軸１８よりＹ軸方向に沿って離れるにしたがってＸ軸方向及びＹ軸方向の双方についての上記弾性部材２５の配置を密から疎に変化せるようにしてもよい
更に、図示してないが、上記弾性部材２５の配置の密から疎への変化に代えて、上記プレート部材１６の上面と吸着ステージ部材１７の下面との間の空間におけるＹ軸方向に沿って上記回転軸１８に近い個所には、ばね定数の大きな弾性部材を設け、上記回転軸１８よりＹ軸方向に沿って離れるにしたがってばね定数の小さい弾性部材を設けるようにしてもよい。
【００６５】
上記のように、Ｙ軸方向に沿って弾性部材２５の配置の粗密変化、又は、弾性部材のばね定数の変化を設けることにより、上記吸着ステージ部材１７を上記複数の弾性部材２５からなる圧力分布均等化手段２０Ｂに受けさせるときに、個々の弾性部材２５の負担を平均化させることができるため、吸着ステージ部材１７に局所的な曲げ変形が生じる虞を回避できる。
【００６６】
図７及び図８において、その他の構成は図１乃至図６に示したものと同様であり、同一のものには同一の符号が付してある。
【００６７】
上記いずれの構成においても、図１乃至図６の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００６８】
なお、本発明は上記実施の形態のみに限定されるものではなく、上記プレート部材１６の上面と吸着ステージ部材１７の下面との間に介装させる圧力分布均等化手段は、吸着ステージ部材１７に上方より作用する版９や印刷対象１０の自重、及び、版９や印刷対象１０にブランケットロール１３より付与する印圧による圧力を、吸着ステージ部材１７の傾動により上記Ｙ軸方向に圧力分布を均等化させた状態としてから該吸着ステージ部材１７ごと支持することができるようにしてあれば、図示した圧力分布均等化手段２０，２０Ａ，２０Ｂ以外のいかなる形式の圧力分布均等化手段を採用してもよい。
【００６９】
軸受機構１９は、吸着ステージ部材１７の各回転軸１８を、回転と昇降を許容でき且つＸ軸方向及びＹ軸方向の変位を拘束した状態で保持できるようにしてあれば、たとえば、吸着ステージ部材１７の各回転軸１８を回転自在に保持する軸受を、プレート部材１６上に設けた支柱部材に上下方向のガイドを介して昇降可能に取り付けた構成等、図示した以外のいかなる構成を採用してもよい。
【００７０】
又、ブランケットロール１３から版９や印刷対象１０に付与する印圧は、通常、予め定められており、よって、上記印圧が上記吸着ステージ部材１７上に保持した版９や印刷対象１０に対してＸ軸方向に沿って移動荷重として作用しても、吸着ステージ部材１７全体を支持する圧力分布均等化手段２０，２０Ａ，２０Ｂの変形に伴う該吸着ステージ部材１７の沈み込み量のＸ軸方向の平均値がほぼ一定になると考えられる。このことに鑑みて、各軸受機構１９に、上記吸着ステージ部材１７の沈み込み量のＸ軸方向の平均値に対応した高さ位置で該吸着ステージ部材１７の各回転軸１８を下方から受ける軸支承部材を装備して、この軸支承部材に、上記吸着ステージ部材１７の各回転軸１８を受けさせることで、吸着ステージ部材１７にＸ軸方向に関する傾きが生じる虞を防止させる構成としてもよい。
【００７１】
版９や印刷対象１０を保持するための保持ステージ部材として版９や印刷対象１０を吸着、保持できる吸着ステージ部材１７を例示したが、版９や印刷対象１０を保持するための手段は任意のものを採用してよい。
【００７２】
図６では、プレート部材１６が版テーブル１１や印刷対象テーブル１２に備えるアライメント機構１４のトッププレートを兼ねた構成を示したが、プレート部材１６は、アライメント機構１４とは別体のものとしてもよい。
【００７３】
本発明の本発明の印刷用ロールと版、印刷対象の傾き補正装置１５は、平板状の版９と平板状の印刷対象１０を、本発明の印刷用ロールと版、印刷対象の傾き補正装置１５を介して保持させることができるようにしてあれば、版９と印刷対象１０を共通の移動テーブル上に保持させる形式や、高さ位置を固定したブランケットロール１３に版９や印刷対象１０を下方から接触させるようにした形式、版９や印刷対象１０の水平方向位置を固定し、ブランケットロール１３を移動させながら版９や印刷対象１０に接触させる形式等、いかなる形式のオフセット印刷装置に適用してもよい。
【００７４】
その他本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更を加え得ることは勿論である。
【符号の説明】
【００７５】
９  版
１０  印刷対象
１３  ブランケットロール（印刷用ロール）
１６  プレート部材
１７  吸着ステージ部材（保持ステージ部材）
１８  回転軸
１９  軸受機構
２０，２０Ａ，２０Ｂ  圧力分布均等化手段
２２  シール部材（柔軟な部材）
２３  非圧縮性流体
２４  袋体（柔軟な部材）
２５  弾性部材
Ｏ  軸心位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2011173393.tif 000007
【図６】
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【図７】
2011173393.tif 000009
【図８】
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【図９】
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