(57)【要約】【課題】測定精度を保ちつつ測定時間を短縮させた変位検出装置、変位検出方法及び変位検出プログラムを提供する。【解決手段】スケール１０は、スケール１０に対する検出部２０の所定位置からの移動量Ｌを検出するためのインクリメンタルパターン１２ａにより形成されたＩＮＣトラック１２と、スケール２０に対する検出部２０の絶対位置を検出するためのＡＢＳパターン１３ａにより形成されたＡＢＳトラック１３とを備える。演算部３０は、スケール１０に対する検出部２０の位置を検出する第１演算部と、比較パターンを算出する第２演算部と、比較パターンと検出パターンとを照合してエラーの有無を検出する第３演算部とを備える。【選択図】図３
2011058988.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
位置情報を含むスケールと、
前記スケールに対して相対移動可能に構成されると共に、前記スケールから前記位置情報を検出する検出部と、
前記検出された位置情報に基づき前記検出部の位置を特定する演算部と
を備え、
前記スケールは、
前記スケールに対する前記検出部の所定位置からの移動量を検出するためのインクリメンタルパターンにより形成された第１トラックと、
前記スケールに対する前記検出部の絶対位置を検出するための擬似ランダム系列パターンにより形成された第２トラックと
を前記位置情報として含み、
前記検出部は、前記スケールの所定位置における前記第２トラックの前記擬似ランダム系列パターンを初期パターンとして検出すると共に、前記所定位置からの相対移動量を前記第１トラックから検出し、且つ前記相対移動量を検出した位置における前記第２トラックの前記擬似ランダム系列パターンを検査パターンとして検出し、
前記演算部は、
前記検出部で検出された初期パターン及び相対移動量に基づいて、前記スケールに対する前記検出部の位置を算出する第１演算部と、
前記検出部で検出された初期パターン及び相対移動量に基づいて、前記擬似ランダムパターンの前記所定位置から前記相対移動量だけずれた位置における前記擬似ランダム系列パターンを比較パターンとして算出する第２演算部と、
この第２演算部で算出された比較パターンと前記検出部で検出された検査パターンとを比較して、エラーの有無を判定する第３演算部と
を備えたことを特徴とする変位検出装置。
【請求項２】
前記擬似ランダム系列パターンは、Ｍ系列パターンであり、
前記第２演算部は、前記検出された初期パターン及び相対移動量から、前記第２トラックの始点位置から計測位置までの位相シフト量を求め、この位相シフト量を、前記Ｍ系列パターンを生成する特性多項式で除して得られた剰余多項式を算出し、この剰余多項式に前記第２トラックの始点位置における前記Ｍ系列パターンの初期値を代入することにより前記比較パターンを算出する
ことを特徴する請求項１記載の変位検出装置。
【請求項３】
前記所定位置は、前記変位検出装置の起動直後における前記検出部の初期位置であることを特徴とする請求項１又は２記載の変位検出装置。
【請求項４】
前記第３演算部は、前記第２演算部で算出された比較パターンと前記検出部で検出された検査パターンとが一致しない場合に、エラー信号を出力する
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載の変位検出装置。
【請求項５】
位置情報を含むスケールと、前記スケールに対して相対移動可能に構成されると共に、前記スケールから前記位置情報を検出する検出部と、前記検出された位置情報に基づき前記検出部の位置を特定する演算部とを備え、前記スケールに、前記スケールに対する前記検出部の所定位置からの移動量を検出するためのインクリメンタルパターンにより形成された第１トラックと、前記スケールに対する前記検出部の絶対位置を検出するための擬似ランダム系列パターンにより形成された第２トラックとを前記位置情報として形成した変位検出装置における前記検出部の位置を検出する変位検出方法において、
前記スケールの所定位置における前記第２トラックの前記擬似ランダム系列パターンを初期パターンとして検出する第１検出ステップと、
前記所定位置からの相対移動量を前記第１トラックから検出する第２検出ステップと、
前記相対移動量を検出した位置における前記第２トラックの前記擬似ランダム系列パターンを検査パターンとして検出する第３検出ステップと、
前記検出部で検出された初期パターン及び相対移動量に基づいて、前記スケールに対する前記検出部の位置を算出する第１演算ステップと、
前記検出部で検出された初期パターン及び相対移動量に基づいて、前記擬似ランダムパターンの前記所定位置から前記相対移動量だけずれた位置における前記擬似ランダム系列パターンを比較パターンとして算出する第２演算ステップと、
この第２演算部で算出された比較パターンと前記検出部で検出された検査パターンとを比較して、エラーの有無を判定する第３演算ステップと
を備えたことを特徴とする変位検出方法。
【請求項６】
位置情報を含むスケールと、前記スケールに対して相対移動可能に構成されると共に、前記スケールから前記位置情報を検出する検出部と、前記検出された位置情報に基づき前記検出部の位置を特定する演算部とを備え、前記スケールに、前記スケールに対する前記検出部の所定位置からの移動量を検出するためのインクリメンタルパターンにより形成された第１トラックと、前記スケールに対する前記検出部の絶対位置を検出するための擬似ランダム系列パターンにより形成された第２トラックとを前記位置情報として形成した変位検出装置における前記検出部の位置を検出するためのコンピュータにより実行可能な変位検出プログラムにおいて、
前記スケールの所定位置における前記第２トラックの前記擬似ランダム系列パターンを初期パターンとして検出する第１検出ステップと、
前記所定位置からの相対移動量を前記第１トラックから検出する第２検出ステップと、
前記相対移動量を検出した位置における前記第２トラックの前記擬似ランダム系列パターンを検査パターンとして検出する第３検出ステップと、
前記検出部で検出された初期パターン及び相対移動量に基づいて、前記スケールに対する前記検出部の位置を算出する第１演算ステップと、
前記検出部で検出された初期パターン及び相対移動量に基づいて、前記擬似ランダムパターンの前記所定位置から前記相対移動量だけずれた位置における前記擬似ランダム系列パターンを比較パターンとして算出する第２演算ステップと、
この第２演算部で算出された比較パターンと前記検出部で検出された検査パターンとを比較して、エラーの有無を判定する第３演算ステップと
を備えたことを特徴とする変位検出プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、絶対位置測定が可能なリニアエンコーダ等に応用される、絶対位置測定型の変位検出装置、変位検出方法及び変位検出プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の絶対位置測定が可能な変位検出装置として、波長が異なる複数のインクリメンタルトラック（以下、「ＩＮＣトラック」と呼ぶ。）を組み合わせたものが知られている。しかし、ＩＮＣトラックを組み合わせたものは、絶対位置合成の演算に時間がかかる。このため、ＩＮＣトラックとアブソリュートトラック（以下、「ＡＢＳトラック」と呼ぶ。）を組み合わせ、或いは複数のＩＮＣトラックを組み合わせ、電源投入時にのみ絶対位置を検出し、以後は単独のＩＮＣトラックにより計測値を増減させることで高速な絶対位置検出を可能にするようにした変位検出装置も知られている（特許文献１）。
【０００３】
また、ＡＢＳトラックを有するＡＢＳスケールとしては、擬似ランダム系列符号の一種であるＭ系列符号を使用したものが知られている（特許文献２）。このＡＢＳスケールは、Ｍ系列符号パターンの１周期内では、同一のｎビットのパターンが１箇所にしか現れないという性質を利用している。
【０００４】
上述した従来技術のうち、最初に絶対位置を検出し、以後は単独のＩＮＣトラックを使用して計測値を増減させるものは、計測途中でノイズなどの影響を受けると誤った計測値が得られてしまうという問題がある。
【０００５】
また、Ｍ系列符号パターンを使用したＡＢＳトラックで絶対位置を検出する方式の場合、検出器で観測されたＭ系列符号パターンと、Ｍ系列の生成多項式により生成された符号パターンとの相関演算を行うため、絶対位置検出に時間がかかるという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−３４５３７５号公報
【特許文献２】特開２００８−１４６６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、測定精度を保ちつつ測定時間を短縮させた変位検出装置、変位検出方法及び変位検出プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る変位検出装置は、位置情報を含むスケールと、前記スケールに対して相対移動可能に構成されると共に、前記スケールから前記位置情報を検出する検出部と、前記検出された位置情報に基づき前記検出部の位置を特定する演算部とを備え、前記スケールは、前記スケールに対する前記検出部の所定位置からの移動量を検出するためのインクリメンタルパターンにより形成された第１トラックと、前記スケールに対する前記検出部の絶対位置を検出するための擬似ランダム系列パターンにより形成された第２トラックとを前記位置情報として含み、前記検出部は、前記スケールの所定位置における前記第２トラックの前記擬似ランダム系列パターンを初期パターンとして検出すると共に、前記所定位置からの相対移動量を前記第１トラックから検出し、且つ前記相対移動量を検出した位置における前記第２トラックの前記擬似ランダム系列パターンを検査パターンとして検出し、前記演算部は、前記検出部で検出された初期パターン及び相対移動量に基づいて、前記スケールに対する前記検出部の位置を算出する第１演算部と、前記検出部で検出された初期パターン及び相対移動量に基づいて、前記擬似ランダムパターンの前記所定位置から前記相対移動量だけずれた位置における前記擬似ランダム系列パターンを比較パターンとして算出する第２演算部と、この第２演算部で算出された比較パターンと前記検出部で検出された検査パターンとを比較して、エラーの有無を判定する第３演算部とを備えたことを特徴とする。
【０００９】
本発明に係る変位検出方法は、位置情報を含むスケールと、前記スケールに対して相対移動可能に構成されると共に、前記スケールから前記位置情報を検出する検出部と、前記検出された位置情報に基づき前記検出部の位置を特定する演算部とを備え、前記スケールに、前記スケールに対する前記検出部の所定位置からの移動量を検出するためのインクリメンタルパターンにより形成された第１トラックと、前記スケールに対する前記検出部の絶対位置を検出するための擬似ランダム系列パターンにより形成された第２トラックとを前記位置情報として形成した変位検出装置における前記検出部の位置を検出する変位検出方法において、前記スケールの所定位置における前記第２トラックの前記擬似ランダム系列パターンを初期パターンとして検出する第１検出ステップと、前記所定位置からの相対移動量を前記第１トラックから検出する第２検出ステップと、前記相対移動量を検出した位置における前記第２トラックの前記擬似ランダム系列パターンを検査パターンとして検出する第３検出ステップと、前記検出部で検出された初期パターン及び相対移動量に基づいて、前記スケールに対する前記検出部の位置を算出する第１演算ステップと、前記検出部で検出された初期パターン及び相対移動量に基づいて、前記擬似ランダムパターンの前記所定位置から前記相対移動量だけずれた位置における前記擬似ランダム系列パターンを比較パターンとして算出する第２演算ステップと、この第２演算部で算出された比較パターンと前記検出部で検出された検査パターンとを比較して、エラーの有無を判定する第３演算ステップとを備えたことを特徴とする。
【００１０】
本発明に係る変位検出プログラムは、位置情報を含むスケールと、前記スケールに対して相対移動可能に構成されると共に、前記スケールから前記位置情報を検出する検出部と、前記検出された位置情報に基づき前記検出部の位置を特定する演算部とを備え、前記スケールに、前記スケールに対する前記検出部の所定位置からの移動量を検出するためのインクリメンタルパターンにより形成された第１トラックと、前記スケールに対する前記検出部の絶対位置を検出するための擬似ランダム系列パターンにより形成された第２トラックとを前記位置情報として形成した変位検出装置における前記検出部の位置を検出するためのコンピュータにより実行可能な変位検出プログラムにおいて、前記スケールの所定位置における前記第２トラックの前記擬似ランダム系列パターンを初期パターンとして検出する第１検出ステップと、前記所定位置からの相対移動量を前記第１トラックから検出する第２検出ステップと、前記相対移動量を検出した位置における前記第２トラックの前記擬似ランダム系列パターンを検査パターンとして検出する第３検出ステップと、前記検出部で検出された初期パターン及び相対移動量に基づいて、前記スケールに対する前記検出部の位置を算出する第１演算ステップと、前記検出部で検出された初期パターン及び相対移動量に基づいて、前記擬似ランダムパターンの前記所定位置から前記相対移動量だけずれた位置における前記擬似ランダム系列パターンを比較パターンとして算出する第２演算ステップと、この第２演算部で算出された比較パターンと前記検出部で検出された検査パターンとを比較して、エラーの有無を判定する第３演算ステップとを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
この発明によれば、測定精度を保ちつつ測定時間を短縮させた変位検出装置、変位検出方法及び変位検出プログラムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施形態に係る光電式エンコーダの構成を示す概略図である。
【図２】Ｍ系列を説明するための図である。
【図３】実施形態に係る光電式エンコーダの動作を示すフローチャートである。
【図４】実施形態に係る光電式エンコーダの測定の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
次に、本発明の実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。
【００１４】
［実施形態に係る光電式エンコーダの構成］
先ず、図１を参照して、本発明の実施形態に係る光電式エンコーダの構成について説明する。光電式エンコーダは、図１に示すように、スケール１０、検出部２０、及び演算部３０を有する。光電式エンコーダは、本実施形態では反射型として構成されている。
【００１５】
スケール１０は、検出部２０の位置を検出するための位置情報を有する。スケール１０は、検出部２０から照射された光を、検出部２０に反射させる。スケール１０は、図１に示すように、矩形板状の基板１１、基板１１上に設けられたＩＮＣトラック１２、及びＡＢＳトラック１３を有する。ここで、基板１１の長手方向が、測定時にスケール１０が検出部２０に対して相対的に移動する方向（移動方向Ｘ）である。
【００１６】
ＩＮＣトラック１２は、図１に示すように、ＩＮＣパターン１２ａにて構成されている。ＩＮＣパターン１２ａは、移動方向Ｘに一定のピッチ（例えば、ｎｍオーダー）をもって配列され、一定の幅を有する明暗部からなる。
【００１７】
ＡＢＳトラック１３は、図１に示すように、ＡＢＳパターン１３ａにて構成されている。ＡＢＳパターン１３ａは、移動方向Ｘに一定のピッチ（例えば、μｍオーダー）をもって配列され、Ｍ系列符号に従って、明部又は暗部がランダムに配置されたパターンである。
【００１８】
検出部２０は、図１に示すように、スケール１０に対して移動方向Ｘに相対移動可能に構成されている。検出部２０は、スケール１０から位置情報を検出する。具体的に、検出部２０は、スケール１０（ＩＮＣトラック１２、ＡＢＳトラック１３）に対して光を照射し、その反射光を受光する。そして、検出部２０は、受光した光に基づき、位置情報を検出する。
【００１９】
演算部３０は、図１に示すように、検出された位置情報に基づき検出部２０の位置を特定する。演算部３０は、スケール１０に対する検出部２０の位置を検出する第１演算部と、比較パターンを算出する第２演算部と、比較パターンと検出パターンとを照合してエラーの有無を検出する第３演算部とを備え、例えば、コンピュータに組み込まれたＣＰＵにて構成されている。演算部３０は、記憶部（図示略）からプログラムを読み出し、そのプログラムを実行することにより、各種動作を実現する。
【００２０】
[ＡＢＳパターン１３ａに用いられるＭ系列符号]
次に、図２を参照して、ＡＢＳパターン１３ａに用いられるＭ系列符号について説明する。図２は、７ビットのＭ系列符号を生成する一例を示している。いま、Ｍ系列符号を生成するための生成多項式が、
【００２１】
[数１]
ｘ７＝１＋ｘ
（但し、“＋”は排他的論理和。以下同様。）
【００２２】
であるとすると、Ｍ系列符号は、図２（ａ）に示すような論理回路にて生成される。この論理回路を構成する７ビットのシフトレジスタに初期値として“００００００１”を入力すると、ｃｌｏｃｋ信号が入力される毎に、図中矢印の方向にデータがシフトして、論理回路からは、図２（ｂ）の“１”の項目に示すように、“００００００１０００００１１００００１……”のようなＭ系列符号が出力される。このＭ系列符号の“０”，“１”に対応させて明暗パターンを形成したのがＡＢＳパターン１３ａである。このＭ系列符号は、１２７ビットの周期で、１周期の間に同一の７ビットのパターンは１回しか現れないため、図２（ｃ）に示すように、検出器２０で７ビットのＡＢＳパターン１３ａを検出すれば、１周期内で絶対位置Ａ０，Ａ１，Ａ２，Ａ３，…を検出することが可能になる。
【００２３】
[実施形態に係る光電式エンコーダの測定]
次に、図３のフローチャート、及び図４の測定の概略図を参照して、実施形態に係る光電式エンコーダの測定の概略を説明する。
【００２４】
まず、電源がオン状態になったら、検出部２０は初期位置のＡＢＳトラック１３の画像を取得し（Ｓ１１）、画像情報を復号して初期位置Ｐ１の絶対位置を検出する（Ｓ１２）。初期位置Ｐ１の絶対位置の検出は、図４に示すように、初期位置Ｐ１の検出パターン（初期パターン）と図２（ａ）に示す論理回路から順次出力されるＭ系列符号との相関演算により行う。算出された初期位置Ｐ１の絶対位置は、演算部３０内の図示しない記憶部に記憶される。
【００２５】
次に、検出器２０の計測位置への移動に伴い、検出器２０はＩＮＣトラック１２により初期位置Ｐ１からの移動量Ｌを検出する（Ｓ１３）。演算部３は、記憶部に記憶されている初期位置Ｐ１の絶対位置とＩＮＣトラック１２から検出された移動量Ｌとから計測位置Ｐ２での絶対位置を算出する（Ｓ１４）。これにより、絶対位置の検出は最初のみで、後の計測はＩＮＣトラック１２単独で行うことができるので、高速の位置検出が可能になる。
【００２６】
しかし、ＩＮＣトラック１２のみの計測では、ノイズの影響等で計測値にエラーが発生することがある。そこで、以下に説明する計測値の検証動作が重要になる。
【００２７】
［計測値の検証動作］
ＩＮＣトラック１２で検出器２０の移動量Ｌが検出されたら、この移動量ＬをＭ系列の位相シフト量ｄに変換する（Ｓ１５）。例えば、ＩＮＣトラック１２の明暗のピッチがｎｍオーダー、ＡＢＳトラック１３の最小線幅ＰＡＢＳがμｍオーダーである場合、Ｌ／ＰＡＢＳによって移動量ＬをＭ系列符号のピッチに合わせる必要がある。また、移動量Ｌは電源オン時の初期位置からの移動量であるから、初期位置の絶対位置Ｐ１と移動量とを加えたＡＢＳトラックの初期位置からの位相シフト量ｄを求める必要がある。
【００２８】
次に、位相シフト量ｄに対応するＭ系列符号の比較パターンを算出する（Ｓ１６）。
【００２９】
すなわち、Ｍ系列符号を生成する特性多項式をｆ（ｘ）とすると、位相シフト量ｄだけ位相シフトした符号ｘｄは、
【００３０】
[数２]
ｘｄ＝Ｑ（ｘ）ｆ（ｘ）＋Ｒ（ｘ）
【００３１】
で表される。ここで、Ｑ（ｘ）は商、Ｒ（ｘ）は剰余多項式である。Ｒ（ｘ）の次数がシフトレジスタの段数ｎよりも小さければ、レジスタの初期値から位相シフト量ｄだけシフトした位置の符号が求められる。いま、ｆ（ｘ）＝０であるから、
【００３２】
[数３]
ｘｄ＝Ｒ（ｘ）
【００３３】
と表すことができる。この符号ｘｄは、公知の高速演算法を用いて算出することができる。例えば、図２のＭ系列符号において、ｄ＝１００の場合、高速演算法を用いて、符号ｘ１００を剰余多項式が７次以下になるまで特性多項式ｆ（ｘ）の（２のべき乗）乗で繰り返し除すと、符号ｘ１００の剰余多項式は、次のように求められる。すなわち、数１から、特性多項式ｆ（ｘ）を、
【００３４】
[数４]
ｆ（ｘ）＝ｘ７＋ｘ＋１
【００３５】
とすると、
【００３６】
[数５]
ｘ１００＝（ｘ７＋ｘ＋１）８×ｘ４４−（ｘ５２＋ｘ４４）
【００３７】
となる。ここで、ｆ（ｘ）＝０であるから、｛ｆ（ｘ）｝ｍ＝０となる。よって、
【００３８】
[数６]
ｘ１００＝ｘ５２＋ｘ４４
【００３９】
以下、同様にｍを適当な２のべき乗に設定することにより、多項式の次数を７次以下に下げていくと、
【００４０】
[数７]
Ｒ［ｘ５２／｛ｆ（ｘ）｝４］  →  ｘ５２＝ｘ２８＋ｘ２４
Ｒ［ｘ２８／｛ｆ（ｘ）｝４］  →  ｘ２８＝ｘ４＋ｘ０
Ｒ［ｘ２４／｛ｆ（ｘ）｝２］  →  ｘ２４＝ｘ１２＋ｘ１０
Ｒ［ｘ１２／｛ｆ（ｘ）｝］    →  ｘ１２＝ｘ６＋ｘ５
Ｒ［ｘ１０／｛ｆ（ｘ）｝］    →  ｘ１０＝ｘ４＋ｘ３
Ｒ［ｘ４４／｛ｆ（ｘ）｝４］  →  ｘ４４＝ｘ２０＋ｘ１６
Ｒ［ｘ２０／｛ｆ（ｘ）｝２］  →  ｘ２０＝ｘ８＋ｘ６
Ｒ［ｘ８／｛ｆ（ｘ）｝］     →  ｘ８＝ｘ２＋ｘ１
Ｒ［ｘ１６／｛ｆ（ｘ）｝２］  →  ｘ１６＝ｘ４＋ｘ２
【００４１】
以上の結果より、下式のように７次以下の剰余多項式が求められる。
【００４２】
[数８]
ｘ１００＝ｘ６＋ｘ６＋ｘ５＋ｘ４＋ｘ４＋ｘ４＋ｘ３＋ｘ２＋ｘ２＋ｘ１＋ｘ０
＝ｘ５＋ｘ４＋ｘ３＋ｘ１＋ｘ０
【００４３】
この数８に、図２（ａ）に示した論理回路の７ビットのシフトレジスタの初期値を代入することにより、ｘ１００の符号がｘ１００＝“０”と求められる。同様にｘ１０１，ｘ１０２，…，ｘ１０６を求めると、比較パターンが求められる。
【００４４】
この演算手法は、相関演算による検出方法よりも高速に比較パターンが算出される点が特徴である。
【００４５】
一方、検出器２０は、図４に示すように、計測位置Ｐ２のＡＢＳトラック１３の画像を取得し（Ｓ１７）、画像情報を復号して計測位置Ｐ２におけるＡＢＳパターン１３ａを検査パターンとして検出する（Ｓ１８）。そして、演算部３０は、上記算出された比較パターンと、検出された検査パターンとを照合し（Ｓ１９）、両者が不一致であったら（Ｎｏ）、エラー信号を出力する（Ｓ２０）。また、両者が一致したら（Ｙｅｓ）、計測結果は信頼できるとして、ステップＳ１４で求めた計測結果を出力する（Ｓ２１）。
【００４６】
なお、ＡＢＳトラック１３による検証は、一定間隔で行っても良いし、計測値を求める際に行っても良い。いずれにしても、検証動作は、必要なタイミングで間欠的に行えば良いので、計測時間に影響を及ぼすことが無く、しかも、検証動作においては、高速演算法により比較パターンが求められるので、検証自体も高速に行うことができる。
【００４７】
[実施形態に係る光電式エンコーダの効果]
上記実施形態に係る光電式エンコーダは、最初に絶対位置を検出し、以後はＩＮＣパターン１２ａから移動量Ｌを生成することで変位計測を行なうので高速な変位検出が可能になる。そして、本実施形態に係る光電式エンコーダは、位相シフト量ｄから高速演算法により求めた比較パターンと、計測位置Ｐ２のＡＢＳパターン１３ａとを比較することにより、計測値に誤りがないかを確認でき、測定精度を保つことができる。
【００４８】
ここで、比較例１として、上記の（数１）を用いた相関演算を用いて、比較パターンを生成する方法が考えられる。これに対し、実施形態に係る光電式エンコーダは、上記（数８）の高速演算法により比較パターンを生成する。これにより、実施形態に係る光電式エンコーダは、比較例１よりも、その演算時間を短縮化し、測定時間を短縮化させることができる。
【００４９】
また、比較例２として、予めＡＢＳパターン１３ａに対応する全てのＭ系列符号をメモリに保存し、その保存されたＭ系列から比較パターンを生成する方法が考えられる。これに対し、実施形態に係る光電式エンコーダは、上記（数８）の高速演算法により比較パターンを生成する。すなわち、実施形態に係る光電式エンコーダは、比較例２に必要とされる大容量のメモリを必要としない。
【００５０】
［その他の実施形態］
以上、発明の実施形態を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更、追加等が可能である。例えば、上記実施形態においては、７ビットのＭ系列符号を示したが、本発明は、７ビットに限定されるものではない。また、例えば、上記実施形態は、反射型の光電式エンコーダであるが、本発明は、透過型の光電式エンコーダに適用可能である。本発明は、磁気式エンコーダにも適応可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１０…スケール、  １１…基板、  １２…ＩＮＣトラック、  １２ａ…ＩＮＣパターン、  １３…ＡＢＳトラック、  １３ａ…ＡＢＳパターン、  ２０…検出部、  ３０…演算部。
【図１】
2011058988.tif 000003
【図２】
2011058988.tif 000004
【図３】
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【図４】
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