(57)【要約】【課題】検査時に安定した導通特性を得ることができるコンタクトプローブおよびプローブユニットを提供する。【解決手段】板状をなし、当該コンタクトプローブを保持するプローブホルダに固定される第１板状部と、前記第１板状部の端部から突出し、先鋭端を有する第１突出部と、前記第１板状部と厚さが等しい板状をなし、互いに対向する板面が前記第１板状部のいずれかの板面とそれぞれ同じ平面を通過する第２板状部と、前記第２板状部の端部から突出する第２突出部と、前記第１および第２板状部と厚さが等しい帯状の曲線をなして前記第１板状部と前記第２板状部との間で延在し、前記第１板状部と前記第２板状部とを連結する連結部と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性材料を用いて形成され、異なる二つの回路構造を電気的に接続するコンタクトプローブであって、
板状をなし、当該コンタクトプローブを保持するプローブホルダに固定される第１板状部と、
前記第１板状部の端部から突出し、先鋭端を有する第１突出部と、
前記第１板状部と厚さが等しい板状をなし、互いに対向する板面が前記第１板状部のいずれかの板面とそれぞれ同じ平面を通過する第２板状部と、
前記第２板状部の端部から突出する第２突出部と、
前記第１および第２板状部と厚さが等しい帯状の曲線をなして前記第１板状部と前記第２板状部との間で延在し、前記第１板状部と前記第２板状部とを連結する連結部と、
を備えたことを特徴とするコンタクトプローブ。
【請求項２】
前記第２板状部は、
円柱状をなし、前記プローブホルダに固定された第１円柱部材に対して摺動自在に嵌合される摺動用切欠部を有することを特徴とする請求項１記載のコンタクトプローブ。
【請求項３】
前記第２板状部は、
円柱状をなし、前記プローブホルダに固定された第１円柱部材を摺動自在に挿通する挿通孔部を有することを特徴とする請求項１記載のコンタクトプローブ。
【請求項４】
前記第１板状部は、
前記第１突出部の近傍に形成されたスリットを有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載のコンタクトプローブ。
【請求項５】
前記第１板状部は、
前記第１突出部が先端に設けられ、前記第１突出部が突出する方向と直交する方向に延在するカンチレバー部を有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載のコンタクトプローブ。
【請求項６】
前記第１および第２突出部を除く板面を被覆する絶縁被膜を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項記載のコンタクトプローブ。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項記載のコンタクトプローブを板厚方向に複数枚積層し、隣接する二つの前記コンタクトプローブを固着することによって形成されるプローブ束を複数有し、該複数のプローブ束が前記コンタクトプローブの積層方向に沿って積層されてなり、前記二つの回路構造と接触する接触部を備え、
前記プローブホルダは、
前記複数のプローブ束の積層方向の両端部を挟持することによって前記積層方向の力を加えながら前記接触部を保持するとともに、前記コンタクトプローブが有する前記第１板状部が前記プローブホルダに固定することを特徴とするプローブユニット。
【請求項８】
前記プローブホルダに固定され、前記第２板状部を回転可能に支持する前記第１円柱部材と、
前記第１円柱部材と平行な態様で前記プローブホルダに固定され、前記第２板状部を載置する第２円柱部材と、
前記第２板状部および前記第２円柱部材の上方に設けられ、前記第２板状部に対して弾性力を加える弾性部材と、
を有し、
前記接触部は、前記第１および第２円柱部材ならびに前記弾性部材と電気的に絶縁されていることを特徴とする請求項７記載のプローブユニット。
【請求項９】
前記第２板状部は、
前記第２円柱部材に載置され、前記第１円柱部材の軸線を中心軸とする回動に応じて前記第２円柱部材から離間可能である載置用切欠部を有することを特徴とする請求項８記載のプローブユニット。
【請求項１０】
前記弾性部材は、前記接触部を一括して押圧するクリップばねであることを特徴とする請求項８または９記載のプローブユニット。
【請求項１１】
前記弾性部材は、前記プローブ束に対応して設けられるコイルばねであり、
前記コイルばねが前記第２板状部に加える弾性力を調整する調整手段をさらに備えたことを特徴とする請求項８または９記載のプローブユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルや半導体集積回路などの電子部品における導通状態検査や動作特性検査を行う際に、その電子部品の電極や端子に接触して電気信号の送受信を行う導電性のコンタクトプローブおよび複数のコンタクトプローブを収容するプローブユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体集積回路等の検査対象の電気特性検査に関する技術分野において、半導体集積回路の接続端子に対応して複数の導電性のコンタクトプローブを配設し、電極や接続端子と物理的に接触させることによって電気的導通を確保する機能を有するプローブユニットに関する技術が知られている。このプローブユニットは、複数のコンタクトプローブと、複数のコンタクトプローブを保持するプローブホルダとを備える。このようなプローブユニットにおいては、検査対象たる半導体集積回路等の微細化傾向に伴う電極や接続端子の配列間隔の狭小化に対応可能とするために、複数のコンタクトプローブの配列間隔を狭小化するさまざまな技術が提案されている。
【０００３】
例えば、配列間隔の狭小化を実現するコンタクトプローブとして、検査対象等と接触する接触部およびその接触部に対して弾発付勢する弾性部を板状の導電性部材によって一体的に形成した技術が開示されている（例えば、特許文献１参照）。この技術では、板状のコンタクトプローブを板厚方向に並べて配列することにより、狭い領域に多数のコンタクトプローブを配置することが可能となり、検査対象の電極または接続端子の配列間隔の狭小化に対応させることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−３４３３９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した従来技術では、検査時のコンタクトプローブの作動に伴い、検査対象に対して検査用信号を出力する回路構造との接触箇所が微動してしまい、検査時に安定した導通特性を得ることができないという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、検査時に安定した導通特性を得ることができるコンタクトプローブおよびプローブユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るコンタクトプローブは、導電性材料を用いて形成され、異なる二つの回路構造を電気的に接続するコンタクトプローブであって、板状をなし、当該コンタクトプローブを保持するプローブホルダに固定される第１板状部と、前記第１板状部の端部から突出し、先鋭端を有する第１突出部と、前記第１板状部と厚さが等しい板状をなし、互いに対向する板面が前記第１板状部のいずれかの板面とそれぞれ同じ平面を通過する第２板状部と、前記第２板状部の端部から突出する第２突出部と、前記第１および第２板状部と厚さが等しい帯状の曲線をなして前記第１板状部と前記第２板状部との間で延在し、前記第１板状部と前記第２板状部とを連結する連結部と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
また、本発明に係るコンタクトプローブは、上記発明において、前記第２板状部は、円柱状をなし、前記プローブホルダに固定された第１円柱部材に対して摺動自在に嵌合される摺動用切欠部を有することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明に係るコンタクトプローブは、上記発明において、前記第２板状部は、円柱状をなし、前記プローブホルダに固定された第１円柱部材を摺動自在に挿通する挿通孔部を有することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係るコンタクトプローブは、上記発明において、前記第１板状部は、前記第１突出部の近傍に形成されたスリットを有することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係るコンタクトプローブは、上記発明において、前記第１板状部は、前記第１突出部が先端に設けられ、前記第１突出部が突出する方向と直交する方向に延在するカンチレバー部を有することを特徴とする。
【００１２】
また、本発明に係るコンタクトプローブは、上記発明において、前記第１および第２突出部を除く板面を被覆する絶縁被膜を有することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明に係るプローブユニットは、上記発明に記載のコンタクトプローブを板厚方向に複数枚積層し、隣接する二つの前記コンタクトプローブを固着することによって形成されるプローブ束を複数有し、該複数のプローブ束が前記コンタクトプローブの積層方向に沿って積層されてなり、前記二つの回路構造と接触する接触部を備え、前記プローブホルダは、前記複数のプローブ束の積層方向の両端部を挟持することによって前記積層方向の力を加えながら前記接触部を保持するとともに、前記コンタクトプローブが有する前記第１板状部が前記プローブホルダに固定することを特徴とする。
【００１４】
また、本発明に係るプローブユニットは、上記発明において、前記プローブホルダに固定され、前記第２板状部を回転可能に支持する前記第１円柱部材と、前記第１円柱部材と平行な態様で前記プローブホルダに固定され、前記第２板状部を載置する第２円柱部材と、前記第２板状部および前記第２円柱部材の上方に設けられ、前記第２板状部に対して弾性力を加える弾性部材と、を有し、前記接触部は、前記第１および第２円柱部材ならびに前記弾性部材と電気的に絶縁されていることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明に係るプローブユニットは、上記発明において、前記第２板状部は、前記第２円柱部材に載置され、前記第１円柱部材の軸線を中心軸とする回動に応じて前記第２円柱部材から離間可能である載置用切欠部を有することを特徴とする。
【００１６】
また、本発明に係るプローブユニットは、上記発明において、前記弾性部材は、前記接触部を一括して押圧するクリップばねであることを特徴とする。
【００１７】
また、本発明に係るプローブユニットは、上記発明において、前記弾性部材は、前記プローブ束に対応して設けられるコイルばねであり、前記コイルばねが前記第２板状部に加える弾性力を調整する調整手段をさらに備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、コンタクトプローブの第１板状部をプローブホルダに固定しているため、第１板状部から突出する第１突出部と接触する回路構造との接触箇所が検査の際に微動だにしなくなる。したがって、検査時に安定した導通特性を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、本発明の実施の形態１に係るプローブユニットの構成を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１のＡ−Ａ線部分断面図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態１に係るコンタクトプローブを複数束ねたプローブ束の構成を示す斜視図である。
【図４】図４は、図３に示すプローブ束の矢視Ｂ方向から見た部分拡大図である。
【図５】図５は、接触部の上部に設けられるクリップばねの構成を示す斜視図である。
【図６】図６は、本発明の実施の形態１に係るコンタクトプローブに荷重が加わった状態を示す図である。
【図７】図７は、本発明の実施の形態１の第１変形例に係るコンタクトプローブの構成を示す図である。
【図８】図８は、本発明の実施の形態１の第２変形例に係るコンタクトプローブの構成を示す図である。
【図９】図９は、本発明の実施の形態１の第３変形例に係るコンタクトプローブの構成を示す図である。
【図１０】図１０は、本発明の実施の形態２に係るプローブユニットの構成を示す斜視図である。
【図１１】図１１は、図１０のＣ−Ｃ線断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、添付図面を参照して本発明を実施するための形態（以下、「実施の形態」という）を説明する。なお、図面は模式的なものであって、各部分の厚みと幅との関係、それぞれの部分の厚みの比率などは現実のものとは異なる場合もあることに留意すべきであり、図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれる場合があることは勿論である。
【００２１】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１に係るプローブユニットの構成を示す斜視図である。図２は、図１のＡ−Ａ線部分断面図である。これらの図に示すプローブユニット１は、検査対象である液晶パネル等の回路構造の導通状態検査や動作特性検査を行う装置である。プローブユニット１は、検査対象および該検査対象に対して検査用信号を出力する配線基板とそれぞれ接触することによって両者の電気的な接続を図る接触部２と、接触部２を保持するプローブホルダ３とを備える。
【００２２】
接触部２は、薄板状をなす導電性のコンタクトプローブ２１を板厚方向に複数枚積層することによって形成されるプローブ束を複数有する。図３は、プローブ束２１Ｓの構成を示す斜視図である。また、図４は、プローブ束２１Ｓの接着構造を示す図であり、図３の矢視Ｂ方向から見たプローブ束２１Ｓの先端部付近の部分拡大図である。プローブ束２１Ｓは、複数のコンタクトプローブ２１を板厚方向に積層し、エポキシ系接着剤等の接着剤Ｇを用いて隣接するコンタクトプローブ２１を固着したものである。
【００２３】
次に、図２を参照してコンタクトプローブ２１の構成を説明する。コンタクトプローブ２１は、略矩形の主面を有する板状をなす第１板状部２１１と、第１板状部２１１の略矩形の一辺から該辺と直交する方向へ突出し、先鋭端を有する第１突出部２１２と、第１板状部２１１と短辺の長さが等しい略矩形の主面を有するとともに第１板状部２１１と厚さが等しい板状をなし、無負荷時における長手方向が第１板状部２１１の長手方向と一致する第２板状部２１３と、第２板状部２１３の端部から第２板状部２１３の長手方向と交差する方向であって第２板状部２１３の短手方向の縁端部よりも外側の方向へ突出する第２突出部２１４と、第１板状部２１１と厚さが等しい帯状をなして延在し、両端で第１板状部２１１および第２板状部２１３の対向する辺にそれぞれ接続して第１板状部２１１と第２板状部２１３とを連結する連結部２１５と、を備える。
【００２４】
コンタクトプローブ２１の表面のうち、第１突出部２１２、第２突出部２１４および厚さ方向の表面を除く部分には、絶縁被膜２１６が設けられている。絶縁被膜２１６は、パリレン（登録商標）、ポリイミド等の樹脂、またはアルミナ、シリカ等のセラミックスを用いて形成される。また、コンタクトプローブ２１は、絶縁被膜２１６を除いて、銅合金、ニッケル合金または導電性セラミックスなどの導電性材料を用いて形成される。
【００２５】
第１板状部２１１は、第１突出部２１２の近傍に設けられ、第１突出部２１２が突出している辺と平行に延びるスリット２１１ａ、および短手方向の両縁端部からそれぞれ切り欠かれた第１切欠部２１１ｂ、第２切欠部２１１ｃを有する。スリット２１１ａは、第１突出部２１２に荷重が加わると変形して開口面積が若干小さくなる。これにより、第１突出部２１２にばね性を持たせることができる。なお、スリット２１１ａの位置や形状は上述したものに限られるわけではなく、適宜変更することが可能である。
【００２６】
第２板状部２１３は、短手方向の一方の縁端部から略Ｕ字状に切り欠かれた第３切欠部２１３ａと、第３切欠部２１３ａが切り欠かれた縁端部と同じ短手方向の縁端部から略Ｕ字状に切り欠かれた第４切欠部２１３ｂとを有する。第３切欠部２１３ａと第４切欠部２１３ｂは第２板状部２１３の長手方向に沿って並んでおり、第３切欠部２１３ａの方がより深く切り欠かれている。
【００２７】
接触部２を構成する複数のコンタクトプローブ２１の第２突出部２１４の先端は、図４に示すように高さが全て揃っている。このように全ての第２突出部２１４の先端の高さを揃える処理は、機械加工またはエッチング等によって行われる。
【００２８】
連結部２１５は、略Ｕ字曲線をなしている。なお、連結部２１５のなす曲線形状や、第１板状部２１１および第２板状部２１３の板面と平行な部分の幅（図２の面における幅）は、適宜設計変更が可能である。
【００２９】
次に、図１および図２を参照して、プローブホルダ３の構成を説明する。プローブホルダ３は、接触部２を構成する各コンタクトプローブ２１の第２突出部２１４を外部へ露出した状態で接触部２を保持する主枠部３１と、主枠部３１の上面を覆う平板状の上蓋部３２と、上蓋部３２と接触部２との間に介在する平板状の内蓋部３３と、主枠部３１が各コンタクトプローブ２１の第２突出部２１４を突出する側を正面とするときの背面側を覆い、内蓋部３３にネジ止めされる背板部３４と、主枠部３１の内部に設けられ、主枠部３１との間で接触部２をコンタクトプローブ２１の積層方向に挟持して保持する可動式の支持板３５と、を有する。
【００３０】
主枠部３１は、接触部２および支持板３５の端部を露出させる開口部３１１を有する。主枠部３１の下端は、第２突出部２１４の下端よりも上方に位置する。また、主枠部３１の両側面には、背面側から正面側に向かって、矩形断面を有する第１孔部３１２、円形断面を有する第２孔部３１３、および第２孔部３１３よりも径が小さい円形断面を有する第３孔部３１４が順に形成されている。
【００３１】
このうち、第１孔部３１２には、コンタクトプローブ２１の第２切欠部２１１ｃを載置して第１板状部２１１を支持する角柱状の角柱部材４が挿通されて主枠部３１に固定される。また、第２孔部３１３には、コンタクトプローブ２１の摺動用切欠部としての第３切欠部２１３ａを摺動自在に嵌合支持する円柱状の第１円柱部材５が挿通されて主枠部３１に固定される。また、第３孔部３１４には、コンタクトプローブの第４切欠部２１３ｂを支持し、第１円柱部材５より半径が小さい円柱状の第２円柱部材６が挿通されて主枠部３１に固定される。ここで、角柱部材４、第１円柱部材５および第２円柱部材６は、アルミナ、窒化珪素などのセラミックスまたは絶縁コーティングを施した金属を用いて実現される。なお、コンタクトプローブ２１の第２切欠部２１１ｃ、第３切欠部２１３ａおよび第４切欠部２１３ｂの表面が絶縁被膜２１６によって被覆されている場合には、角柱部材４、第１円柱部材５および第２円柱部材６が絶縁性を有していなくてもよい。
【００３２】
図１に示すように、上蓋部３２の主面の四隅には、上蓋部３２を主枠部３１に取り付ける取付用ネジ部材７を螺合するための第１ねじ孔３２１が形成されている。また、接触部２の背面側であって各コンタクトプローブ２１の第１切欠部２１１ｂの上方には、コンタクトプローブ２１をプローブホルダ３に固定するための力を加える固定用ネジ部材８を螺合する第２ねじ孔３２２が列をなして複数形成されている。この第２ねじ孔３２２の径は、プローブ束２１Ｓの積層方向の幅よりも若干小さい。
【００３３】
内蓋部３３は、背板部３４の近くに、上蓋部３２のねじ孔３２２と連通し、固定用ネジ部材８を螺合する第３ねじ孔３３１が厚さ方向に沿って形成されている。また、内蓋部３３の正面側（図２における左端側）の底面には、内蓋部３３の厚さ方向に切り欠かれた内蓋切欠部３３２が形成されている。
【００３４】
以上の構成を有するプローブホルダ３は、セラミックス、熱硬化性樹脂、エンジニアリングプラスチック等の絶縁性材料を用いて形成される。なお、導電性材料からなる母材の表面に絶縁被膜を設けることによってプローブホルダ３を形成することも可能である。
【００３５】
上蓋部３２の第２ねじ孔３２２、および内蓋部３３の第３ねじ孔３３１に螺合される固定用ネジ部材８は、プローブ束２１Ｓに対して一つ設けられる。固定用ネジ部材８の下方には、プローブ束２１Ｓを構成する複数のコンタクトプローブ２１の第１切欠部２１１ｂが重なって形成される凹部の底面と略等しい底面積を有し、その凹部の底面に当接する絶縁性の当接部材９が配設されている。このため、各コンタクトプローブ２１の第１板状部２１１は、角柱部材４と当接部材９とによって挟持され、固定用ネジ部材８の締め付けによってプローブホルダ３に固定される。
【００３６】
接触部２と内蓋部３３の内蓋切欠部３３２との間には、接触部２の積層方向の幅と等しい幅を有するクリップばね１０の上面が当接する。図５は、プローブホルダ３の内部におけるクリップばね１０の配置態様を示す図である。図５においては、内蓋部３３を破線で示している。図５に示すように、クリップばね１０は、接触部２の上面に一括して当接する。これにより、接触部２はクリップばね１０と第２円柱部材６とによって挟持される。
【００３７】
クリップばね１０は、例えば絶縁コーティングを施したりん青銅によって実現され、略Ｕ字状の開口部付近が若干開いた形状をなしている。これに対して、内蓋切欠部３３２と接触部２の上面との隙間は、図２に示すように、クリップばね１０の上面と下面とが平行な態様で嵌まるようになっている。このため、クリップばね１０を内蓋切欠部３３２と接触部２との間に取り付けると、クリップばね１０は接触部２の上面へ弾性力を加えるため、接触部２を構成する各コンタクトプローブ２１の第２突出部２１４には、クリップばね１０から遠ざかる向き（図２の略下向き）の初期荷重が加わる。なお、クリップばね１０の代わりに皿ばねを適用することも可能である。
【００３８】
図６は、以上の構成を有するプローブユニット１を用いた検査時の状態を示す図である。図６において、第１突出部２１２は、背板部３４によって固定されたシート状の配線基板１００の電極１０１に接触する。この際、第１突出部２１２は電極１０１から荷重を受け、第１板状部２１１のスリット２１１ａの開口が変形してその開口面積が小さくなっている。このように、第１突出部２１２の基端部近傍にスリット２１１ａが形成され、第１突出部２１２がばね性を有していることにより、第１突出部２１２の先端と電極１０１とを確実に接触させるとともに、接触の際の衝撃を緩和することができる。また、第１突出部２１２は、第１板状部２１１を介してプローブホルダ３に固定されているため、検査時に第１突出部２１１と電極１０１との接触箇所が微動だにしない。その結果、検査時の導通特性を安定化することができる。
【００３９】
一方、第２突出部２１４は、検査対象２００の電極２０１に接触する。第２突出部２１４が電極２０１に接触する際、第３切欠部２１３ａは第１円柱部材５の軸線を中心軸として、第１円柱部材５を摺動しながら回転する。これに伴い、第４切欠部２１３ｂは、図６に示すように、第２円柱部材６から離間して浮いた状態となる。このような回転に伴って、クリップばね１０の下面側が上面側に向けて撓み開口部が狭まるとともに、連結部２１５も撓んで形状が変化する。ここで、第２突出部２１４は、初期位置から図６の上方に向けてストロークする際に電極２０１の表面を図６の横方向に引っ掻きながら上昇するため、電極２０１の表面に付着した酸化膜や汚れを的確に除去することができる。
【００４０】
以上説明した本発明の実施の形態１によれば、コンタクトプローブ２１の第１板状部２１１をプローブホルダ３に固定しているため、第１板状部２１１から突出する第１突出部２１２と接触する配線基板１００の電極１０１との接触箇所が検査の際に微動だにしなくなる。したがって、検査時に安定した導通特性を得ることが可能となる。
【００４１】
また、本実施の形態１によれば、プローブ束２１Ｓの単位で交換等の作業を行うことができるため、メインテナンスを容易に行うことができる。
【００４２】
また、本実施の形態１によれば、コンタクトプローブ２１の板厚をコントロールすることによって検査対象の電極のピッチに柔軟に対応させることができる。
【００４３】
図７は、本実施の形態１の第１変形例に係るコンタクトプローブの構成を示す図である。同図に示すコンタクトプローブ２２において、コンタクトプローブ２１と同じ構成要素には、図２と同じ符号を付してある。また、絶縁被膜２２６は、第１突出部２１２、第２突出部２１４および厚さ方向の表面を除く部分に設けられている。コンタクトプローブ２２は、第２板状部２２３の構成が、コンタクトプローブ２１の第２板状部２１３の構成と異なる。具体的には、第２板状部２２３は、第３切欠部２１３ａの代わりに、第２円柱部材５の径よりも若干大きい径を有して厚さ方向に貫通され、第２円柱部材５を挿通可能な挿通孔部２２３ａを有する。このほかの第２板状部２２３の構成は、第２板状部２１３の構成と同じである。この挿通孔部２２３ａは、第２円柱部材５に対して摺動しながら回転可能である。したがって、コンタクトプローブ２２は、検査対象２００からの荷重を受けると、第２円柱部材５の中心軸を回転軸として回転し、第４切欠部２１３ｂが第２円柱部材６から離間する。
【００４４】
図８は、本実施の形態１の第２変形例に係るコンタクトプローブの構成を示す図である。同図に示すコンタクトプローブ２３において、コンタクトプローブ２１と同じ構成要素には、図２と同じ符号を付してある。また、絶縁被膜２３６は、第１突出部２１２、第２突出部２１４およびおよび厚さ方向の表面を除く部分に設けられている。コンタクトプローブ２３は、第１板状部２３１の構成が、コンタクトプローブ２１の第１板状部２１１の構成と異なる。具体的には、第１板状部２３１は、略矩形の端部から短辺方向（図８の上下方向）に沿って延在するカンチレバー部２３１ａを有する。カンチレバー部２３１ａの先端からは、カンチレバー部２３１ａの延在方向と直交する方向に突出する先鋭端を有する第１突出部２１２が設けられている。なお、第１切欠部２３１ｂおよび第２切欠部２３１ｃは、コンタクトプローブ２１の第１板状部２１１の第１切欠部２１１ｂおよび第２切欠部２１１ｃとそれぞれ同様の構成を有している。このような構成を有するコンタクトプローブ２３においても、第１突出部２１２がばね性を有しているため、第１突出部２１２の先端と配線基板１００の電極１０１とを確実に接触させるとともに、接触の際の衝撃を緩和することができる。
【００４５】
図９は、本実施の形態１の第３変形例に係るコンタクトプローブの構成を示す図である。同図に示すコンタクトプローブ２４において、コンタクトプローブ２１と同じ構成要素には、図２と同じ符号を付してある。また、絶縁被膜２４６は、第１突出部２１２、第２突出部２１４および厚さ方向の表面を除く部分に設けられている。コンタクトプローブ２４は、連結部２４５の構成が、コンタクトプローブ２１の連結部２１５の構成と異なっている。具体的には、連結部２４５は、２本の曲線部２４５ａ、２４５ｂからなり、この２本の曲線部２４５ａ、２４５ｂが、第１板状部２１１と第２板状部２１３とをそれぞれ連結している。このような構成を有するコンタクトプローブ２４は、連結部２４５が２本の曲線部２４５ａ、２４５ｂを有しているため、ねじれに強い。したがって、特にプローブ束を形成する前のコンタクトプローブ２４単体の状態における耐久性に優れている。
【００４６】
以上説明した本実施の形態１の第１〜第３変形例によれば、上述した実施の形態１と同様、検査時に安定した導通特性を得ることができる。
【００４７】
なお、本実施の形態１において、第１突出部の位置は、コンタクトプローブの背面側であったが、上面側や下面側から突出させる構成とすることも可能である。
【００４８】
（実施の形態２）
図１０は、本発明の実施の形態２に係るプローブユニットの構成を示す図である。図１１は、図１０のＣ−Ｃ線部分断面図である。これらの図に示すプローブユニット１１は、複数のコンタクトプローブ２５が板厚方向に積層されてなる接触部１２と、接触部１２を保持するプローブホルダ１３とを備える。
【００４９】
コンタクトプローブ２５は、第１板状部２５１、第１突出部２５２、第２板状部２５３、第２突出部２５４、連結部２５５、および第２突出部２５４以外のコンタクトプローブ２５の主面を被覆する絶縁被膜２５６を備える。このうち、第２板状部２５３を除くコンタクトプローブ２５の構成は、コンタクトプローブ２１の構成と同じである（スリット２５１ａ、第１切欠部２５１ｂおよび第２切欠部２５１ｃは、コンタクトプローブ２１の第１板状部２１１のスリット２１１ａ、第１切欠部２１１ｂおよび第２切欠部２１１ｃにそれぞれ対応している）。第２板状部２５３は、摺動用切欠部である第３切欠部２５３ａ、第４切欠部２５３ｂに加え、第４切欠部２５３ｂと短手方向に沿って対向する縁端部から切り欠かれた第５切欠部２５３ｃを有する。
【００５０】
プローブホルダ１３は、主枠部３１、上蓋部３６、内蓋部３７および背板部３４を有する。図１０に示すように、上蓋部３６の主面の四隅には、上蓋部３６を主枠部３１に取り付ける取付用ネジ部材７を螺合する第１ねじ孔３６１が形成されている。また、接触部１２の背面側であって各コンタクトプローブ２５の第１切欠部２５１ｂの上方には、コンタクトプローブ２５をプローブホルダ１３に固定するための力を加える固定用ネジ部材８を螺合する第２ねじ孔３６２が列をなして複数形成されている。この第２ねじ孔３６２の径は、プローブ束２５Ｓの積層方向の幅よりも若干小さい。
【００５１】
また、上蓋部３６の正面側（図１１における左端側）であって各コンタクトプローブ２５の第５切欠部２５３ｃの上方には、コンタクトプローブ２５に加える初期荷重を調整するための調整用ネジ部材１４を螺合する第４ねじ孔３６３が列をなして複数形成されている。この第４ねじ孔３６３の径は、プローブ束２５Ｓの積層方向の幅よりも若干小さい。
【００５２】
内蓋部３７は、背板部３４の近くに、上蓋部３６の第２ねじ孔３６２と連通し、固定用ネジ部材８を螺合する第３ねじ孔３７１と、上蓋部３６の第４ねじ孔３６３と連通し、調整用ネジ部材１４を螺合する第５ねじ孔３７２とを有する。
【００５３】
固定用ネジ部材８は、プローブ束２５Ｓに対して一つ設けられる。固定用ネジ部材８の下方には、プローブ束２５Ｓを構成する複数のコンタクトプローブ２５の第１切欠部２５１ｂが重なって形成される凹部の底面と略等しい底面積を有し、その凹部の底面に当接する当接部材９が配設されている。このため、各コンタクトプローブ２５の第１板状部２５１は、角柱部材４と当接部材９とによって挟持され、固定用ネジ部材８の締め付けによってプローブホルダ１３に固定される。
【００５４】
調整用ネジ部材１４も、プローブ束２５Ｓに対して一つ設けられている。調整用ネジ部材１４の下方には、コイルばね１５と、プローブ束２５Ｓを構成する複数のコンタクトプローブ２５の第５切欠部２５３ｃが重なって形成される凹部に当接する当接部材１６とが設けられている。コイルばね１５は、表面に絶縁コーティングされていることが好ましい。当接部材１６は、プローブ束２５Ｓを構成する複数のコンタクトプローブ２５の第５切欠部２５３ｃによって形成される凹部の底面と略等しい底面積を有し、その凹部の底面に当接する板状の底部１６１、底部１６１から調整用ネジ部材１４の方向（図１１の上方）へ延びる基端部１６２とを有している。基端部１６２の径は、コイルばね１５の内径よりも小さい。コイルばね１５の上端は調整用ネジ部材１４に当接する一方、コイルばね１５の下端は底部１６１の上面に当接している。したがって、調整用ネジ部材１４の締め付けにより、コイルばね１５が伸縮し、底部１６１を介してプローブ束２５Ｓへ加える弾性力を変化させることができる。この意味で、調整用ネジ部材１４および当接部材１６は、コイルばね１５が第２板状部２５３に加える弾性力を調整する調整手段を構成している。なお、コイルばね１５を直接プローブ束２５Ｓに当接させるようにしてもよい。
【００５５】
以上説明した本発明の実施の形態２によれば、コンタクトプローブ２５の第１板状部２５１をプローブホルダ１３に固定しているため、第１板状部２５１から突出する第１突出部２５２と接触する配線基板１００の電極１０１との接触箇所が検査の際に微動だにしなくなる。したがって、検査時に安定した導通特性を得ることが可能となる。
【００５６】
また、本実施の形態２によれば、調整用ネジ部材１４の締め付けによってプローブ束２５Ｓの先端位置を調整することができるため、プローブ束２５Ｓごとに先端位置を調整することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
本発明に係るコンタクトプローブおよびプローブユニットは、液晶パネルや半導体集積回路などの電子部品における導通状態検査や動作特性検査を行うのに適しており、特に狭ピッチの電極を多数有する電子部品の検査を行うのに好適である。
【符号の説明】
【００５８】
１、１１  プローブユニット
２、１２  接触部
３、１３  プローブホルダ
４  角柱部材
５  第１円柱部材
６  第２円柱部材
７  取付用ネジ部材
８  固定用ネジ部材
９、１６  当接部材
１４  調整用ネジ部材
１５  コイルばね
２１、２２、２３、２４、２５  コンタクトプローブ
２１Ｓ、２５Ｓ  プローブ束
３１  主枠部
３２、３６  上蓋部
３３、３７  内蓋部
３４  背板部
３５  支持板
１００  配線基板
１０１、２０１  電極
１６１  底部
１６２  基端部
２００  検査対象
２１１、２３１、２５１  第１板状部
２１１ａ、２５１ａ  スリット
２１１ｂ、２３１ｂ、２５１ｂ  第１切欠部
２１１ｃ、２３１ｃ、２５１ｃ  第２切欠部
２１２、２５２  第１突出部
２１３、２２３、２５３  第２板状部
２１３ａ、２５３ａ  第３切欠部
２１３ｂ、２５３ｂ  第４切欠部
２１４、２５４  第２突出部
２１５、２４５  連結部
２１６、２２６、２３６、２４６  絶縁被膜
２２３ａ  挿通孔部
２３１ａ  カンチレバー部
２４５ａ、２４５ｂ  曲線部
２５３ｃ  第５切欠部
３１１  開口部
３１２  第１孔部
３１３  第２孔部
３１４  第３孔部
３２１、３６１  第１ねじ孔
３２２、３６２  第２ねじ孔
３３１、３７１  第３ねじ孔
３３２  内蓋切欠部
３６３  第４ねじ孔
３７２  第５ねじ孔
Ｇ  接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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