(57)【要約】【課題】  複列の磁気エンコーダトラックを有しながら、トラック間の磁気干渉が生じてもセンサにより回転検出用の等ピッチ信号を精度良く検出することができ、また所望のエアギャップとすることができ、且つ、コンパクト化を図ると共に構造を簡単化することができる磁気エンコーダおよびその着磁装置を提供する。【解決手段】  磁気エンコーダトラック１には、回転検出用の等ピッチ信号を生成するためのＮ極とＳ極とが交互に並ぶ着磁磁気パターンＰａが形成され、各磁気エンコーダトラック１，２の磁気信号を読み取るセンサに対し、エアギャップを隔てて使用される磁気エンコーダＭＥにおいて、磁気エンコーダトラック１は、両列の磁気エンコーダトラック１，２の磁気が干渉して前記センサの位置に作用する被検出磁気パターンＰｓａが等ピッチとなるように形成されている。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複列の隣り合って並ぶ環状の磁気エンコーダトラックを一体に有し、少なくとも一つの磁気エンコーダトラックには、回転検出用の等ピッチ信号を生成するためのＮ極とＳ極とが交互に並ぶ着磁磁気パターンが形成され、各磁気エンコーダトラックの磁気信号を読み取るセンサに対し、エアギャップを隔てて使用される磁気エンコーダにおいて、
前記少なくとも一つの磁気エンコーダトラックは、両列の磁気エンコーダトラックの磁気が干渉して前記センサの位置に作用する被検出磁気パターンが等ピッチとなるように形成されていることを特徴とする磁気エンコーダ。
【請求項２】
請求項１において、前記複列の磁気エンコーダトラックのうち、前記一つの磁気エンコーダトラックに隣り合う他の磁気エンコーダトラックには、回転基準位置を示す着磁磁気パターンが形成され、
前記他の磁気エンコーダトラックの着磁磁気パターンが、回転検出用の前記一つの磁気エンコーダトラックと同じ磁極数であり、且つ、前記一つの磁気エンコーダトラックの着磁磁気パターンに対し位相のずれを有し、前記他の磁気エンコーダトラックは、前記一つの磁気エンコーダトラックの着磁磁気パターンに対する位相のずれを用いて回転基準位置を示すものとした磁気エンコーダ。
【請求項３】
請求項１において、前記複列の磁気エンコーダトラックのうち、前記一つの磁気エンコーダトラックに隣り合う他の磁気エンコーダトラックは、特定の円周方向位置にＮ極またはＳ極の磁極を形成しその他の円周方向位置を無着磁として、回転基準位置を示す着磁磁気パターンが形成されている磁気エンコーダ。
【請求項４】
請求項１において、前記複列の磁気エンコーダトラックのうち、前記一つの磁気エンコーダトラックに隣り合う他の磁気エンコーダトラックは、特定の円周方向位置にＮ極またはＳ極の磁極を形成し、その他の円周方向位置に、前記特定の円周方向位置の磁極とは反対の磁極を形成して、回転基準位置を示す着磁磁気パターンが形成されている磁気エンコーダ。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれか１項において、前記各磁気エンコーダトラックは、磁気エンコーダトラックの並び方向の各トラック幅を１ｍｍ以上５ｍｍ以下として形成されている磁気エンコーダ。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれか１項において、前記複列の隣り合う磁気エンコーダトラックの境界線から０．５ｍｍ以上３ｍｍ以下各々の磁気エンコーダトラック側に離隔した各磁気エンコーダトラック上に、前記センサの検出部が配置され、前記センサに対し、０．３ｍｍより大きく４ｍｍ未満のエアギャップを隔てて使用される磁気エンコーダ。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のいずれか１項において、前記磁気エンコーダトラックが、フェライト焼結磁石、ゴムまたは樹脂にフェライト粉末が混成された磁石のいずれかにより構成され、この磁気エンコーダトラックの厚さが０．５ｍｍより大きく４ｍｍ未満である磁気エンコーダ。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のいずれか１項において、前記一つの磁気エンコーダトラックにおける着磁磁気パターンの円周方向の各磁極の長さＬが０．３ｍｍ以上５ｍｍ以下であり、各磁気エンコーダトラックの並び方向の各トラック幅ＷとＷ＞Ｌの関係が成立している磁気エンコーダ。
【請求項９】
請求項１において、前記複列の隣り合う磁気エンコーダトラックは、互いに磁極数の異なる着磁磁気パターンが形成され、前記少なくとも一つの磁気エンコーダトラックは、両列の磁気エンコーダトラックの磁気が干渉して前記センサの位置に作用する被検出磁気パターンが等ピッチとなるように、着磁磁気パターンが非等ピッチに形成されている磁気エンコーダ。
【請求項１０】
請求項９において、前記複列の隣り合う磁気エンコーダトラック間に、磁性体を介在させた磁気エンコーダ。
【請求項１１】
請求項９において、前記複列の磁気エンコーダトラックを芯金上に設け、前記複列の隣り合う磁気エンコーダトラック間に、隙間を介在させてこれら磁気エンコーダトラックを配設した磁気エンコーダ。
【請求項１２】
請求項９ないし請求項１１のいずれか１項において、前記一つの磁気エンコーダトラックにおける、磁気エンコーダトラックの並び方向のトラック幅は、前記一つの磁気エンコーダトラックに隣り合う他の磁気エンコーダトラックにおけるトラック幅と異なるものとした磁気エンコーダ。
【請求項１３】
請求項９ないし請求項１２のいずれか１項において、前記複列の隣り合う磁気エンコーダトラックの両検出面が同一平面にない磁気エンコーダ。
【請求項１４】
複列の隣り合って並ぶ直線上の磁気エンコーダトラックを一体に有し、少なくとも一つの磁気エンコーダトラックには、等ピッチ信号を生成するためのＮ極とＳ極とが交互に並ぶ着磁磁気パターンが形成され、各磁気エンコーダトラックの磁気信号を読み取るセンサに対し、エアギャップを隔てて使用される磁気エンコーダにおいて、
前記少なくとも一つの磁気エンコーダトラックは、両列の磁気エンコーダトラックの磁気が干渉して前記センサの位置に作用する被検出磁気パターンが等ピッチとなるように形成されていることを特徴とする磁気エンコーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、各種機器の回転検出、回転角度検出、および直線移動検出に使用する磁気エンコーダに関する。
【背景技術】
【０００２】
軸受要素の技術分野に関し、ライン状に並べた磁気センサを使用して、内挿したパルス信号を得る技術が開示されている（特許文献１，２）。
１回転あたりの磁極対数が異なる磁気ドラムと、複数の磁気センサとを使用して絶対角度を演算する技術が開示されている（特許文献３）。
前記特許文献１，２における磁気センサを使用して、異なる２つの磁気エンコーダの位相差に基づいて絶対角度を検出する角度検出装置が開示されている（特許文献４）。
前記特許文献４に使用する磁気エンコーダであって、複列の隣り合う磁気トラック間に隙間を設けた技術が開示されている（特許文献５）。
前記特許文献４に使用する磁気エンコーダであって、複列の隣り合う磁気トラック間に磁性体を設けた技術が開示されている（特許文献６）。
多磁極を形成した磁気エンコーダを製造する技術が開示されている（特許文献７）。
特許文献１，２に使用する磁気エンコーダであって、異なる位相をもつ複列トラックの技術が開示されている（特許文献８）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特表２００１−５１８６０８号公報
【特許文献２】特表２００２−５４１４８５号公報
【特許文献３】特開平６−５８７６６号公報
【特許文献４】特開２００８−２３３０６９号公報
【特許文献５】特開２００８−２６７８６７号公報
【特許文献６】特開２００８−２６７８６８号公報
【特許文献７】特許第４０２４４７２号公報
【特許文献８】特表２００２−５１２６８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
複列の磁気エンコーダを使用して、回転機器の制御用の回転センサまたは角度センサを実現しようとする場合、複数の磁気トラックの間隔が狭くなると、磁気トラック間の磁気的な干渉が大きくなり、検出精度が悪化するという課題がある。
特に、複列の磁気トラックが近接配置されている場合、および、複列の磁気トラックの境界線に近接して磁気センサが配置される場合には、磁気的な干渉の影響が大きくなる。
また、このようなセンサを機器に搭載する場合、回転部材である磁気エンコーダと固定部材であるセンサとの間には、安全なエアギャップを確保し、接触等による故障を防止する必要がある。
【０００５】
複列の磁気トラック間に磁性体で構成した分離帯を設けることで、磁気干渉を低減することができる。しかし、磁気エンコーダの構造が複雑になるため、製造コストが増加する課題がある。また、前記磁性体が存在すると、磁気エンコーダから放出される磁界の一部が磁性体によって短絡されるため、センサに到達する磁力が弱くなってしまうのも課題となる。
一方、磁気トラック間の距離を大きくとれば磁気干渉が減少するが、大きな実装スペースが必要になるため、検出装置のサイズをコンパクトにできなくなってしまう。
【０００６】
実際の組込み設計においては、機器をコンパクト化するためにセンサの配置スペースをできるだけ小さくすることが望まれており、２ｍｍ〜１０ｍｍ程度の狭い幅に複列トラックを形成した磁気エンコーダが必要となる。
しかし、機械公差や使用環境条件の制約があるため、磁気エンコーダ表面とセンサとのギャップを狭くするのは難しく、０．３ｍｍ〜４ｍｍ程度のエアギャップを確保して組み込む必要がある。また、センサの検出する磁界強度は、各トラックの回転方向に対する幅の中央付近がもっとも磁力が強くなるため、センサを各トラックの中央付近に配置するのが望ましい。このような状況でも、十分な磁界強度が確保された位置にセンサを配置可能で、精度の高い磁気信号を正確に読み取ることができる複列の磁気エンコーダが必要であった。そのためには、複列の磁気トラックに形成された磁気パターンが、互いの影響を受けずに、できる限りくっきりとした境界をもって形成されており、センサの検出位置でも正確な磁界信号が実現できている必要があった。
【０００７】
図２１（Ａ）は従来のラジアルタイプの磁気エンコーダ５０の断面図、図２１（Ｂ）は従来のアキシアルタイプの磁気エンコーダ５０の断面図である。図２２（Ａ）は、磁気エンコーダ５０に所望の磁気パターンを着磁したときの磁気トラック表面の着磁状態を示す。この磁気エンコーダ５０に対して、エアギャップ１ｍｍの位置にセンサを配置した場合、センサが読み取る被検出磁気パターンは、図２２（Ｂ）のようになる。同図に示すように、前記被検出磁気パターンにおける、それぞれのトラック５１，５２の境界付近での着磁状態がなだらかに変わっている。これにより、それぞれのトラック５１，５２の信号を読み取った磁気センサの情報は精度が悪化する。
図２２（Ａ）の磁気トラック表面の理想的な着磁状態が実現できても、磁気センサのエアギャップが大きくなると、他方のトラックの信号の影響を受け易くなり、実際の磁気センサの位置において、各トラックの信号を読み取った磁気センサの情報精度が悪化する。この精度の悪化を防ぐ方法と、その課題は以下の通りである。
【０００８】
・各トラック上に配置するセンサの位置を他方のトラックから遠ざけることが有効であるが、この場合省スペース化を図れない。また、複列の磁気エンコーダトラックの形成幅Ｗも大きくなり、磁気エンコーダ自体のコンパクト化が難しい。
・エアギャップを小さくして、他方のトラックからの影響を相対的に小さくするのも有効であるが、実現できるエアギャップには制限があり、可能な構成は限定される。
・両列の磁気エンコーダトラック間に、磁性体、溝、無着磁領域を介在させた磁気エンコーダを構成すると、他方のトラックの信号の影響が小さくなるが、磁気エンコーダの構造が複雑になるため、製造コストが増加してしまう。
【０００９】
図２３（Ａ）は従来のラジアルタイプの磁気エンコーダ５３の断面図、図２３（Ｂ）は従来のアキシアルタイプの磁気エンコーダ５３の断面図である。
図２４、図２５には、前記特許文献４に記載された複列の磁気エンコーダ５３と誤差の概念を示す。分かり易く説明するために、Ｃｈ１，Ｃｈ２トラックの磁極対数をそれぞれ８、７とし、理想的な状態つまり誤差なしの状態に着磁された磁気エンコーダとした。エアギャップは１ｍｍとする。図２４（Ａ），（Ｂ）は、Ｃｈ１，Ｃｈ２トラックの磁気パターンを表しており、理想的な状態のため誤差はない。
【００１０】
図２５に示すように、各トラックが近接すると、実際のセンサの位置に作用する被検出磁気パターンは、異なる極対数により互いのトラックの磁気の干渉により誤差を含んだ誤差パターンとなる。この誤差パターンは、理想的な着磁磁気パターンの位置に対するずれを意味している。
つまり角度０度のとき互いのトラックがＮ極で揃っていると、Ｃｈ１トラックはＣｈ２トラックの磁気パターンの磁気の干渉の影響を受ける。この場合、Ｃｈ２トラックの磁気パターンの各磁極対の方がＣｈ１トラックの磁気パターンの各磁極対よりも大きいため、Ｃｈ１トラックは、見かけ上の（実際のセンサの位置に作用する）磁極対の長さが大きくなり、誤差は＋方向となる。９０度付近までこの誤差は大きくなるが、９０〜１８０度では反対に誤差が小さくなり、１８０度付近で誤差がゼロになる。これは、Ｃｈ１，Ｃｈ２トラックの磁気パターンが徐々にずれることで反転し、Ｃｈ１トラックの磁極対の長さが見かけ上小さくなるためである。１回転の誤差パターンは正弦波状になり、Ｃｈ２トラックの誤差パターンは、Ｃｈ１トラック側の誤差パターンを反転した特性となる。なお、磁気エンコーダの磁極対数が多ければ多い程この誤差パターンは正弦波に近似する。この誤差は以下のパラメータによって大きく変化する。
【００１１】
・エアギャップを小さくすると誤差は減るが、部品の組み付け精度が必要になり、磁気センサとのエアギャップを自由に調整することができず、組み込み方法が制限される。
・複列トラック同士を遠ざけるか、または隣り合うトラック間に磁性体を挿入することで、誤差を小さくする。しかし、複列トラック同士を遠ざけると、磁気エンコーダのコンパクト化が図れない。隣り合うトラック間に磁性体を設けた磁気エンコーダは製造が難しく、製造コストが高くなる。
・複列トラックの信号を読み取る磁気センサ同士の間隔を遠ざけることも考えられるが、検出装置のコンパクト化が図れない。
【００１２】
この発明の目的は、複列の磁気エンコーダトラックを有しながら、トラック間の磁気干渉が生じてもセンサにより回転検出用の等ピッチ信号を精度良く検出することができ、また所望のエアギャップとすることができ、且つ、コンパクト化を図ると共に構造を簡単化することができる磁気エンコーダを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明における第１の発明の磁気エンコーダは、複列の隣り合って並ぶ環状の磁気エンコーダトラックを一体に有し、少なくとも一つの磁気エンコーダトラックには、回転検出用の等ピッチ信号を生成するためのＮ極とＳ極とが交互に並ぶ着磁磁気パターンが形成され、各磁気エンコーダトラックの磁気信号を読み取るセンサに対し、エアギャップを隔てて使用される磁気エンコーダにおいて、前記少なくとも一つの磁気エンコーダトラックは、両列の磁気エンコーダトラックの磁気が干渉して前記センサの位置に作用する被検出磁気パターンが等ピッチとなるように形成されていることを特徴とする。
【００１４】
各列の磁気エンコーダトラックの表面に、所望の着磁磁気パターンを形成した場合、この磁気エンコーダに対して、所望のエアギャップの位置でセンサが読み取る被検出磁気パターンは理想的な状態からズレを起こす。これは、両列の磁気エンコーダトラックが一体に近接することで互いの列の着磁磁気パターンの磁気が干渉することに起因する。
この構成によると、少なくとも一つの磁気エンコーダトラックは、両列の磁気エンコーダトラックの磁気が干渉して前記センサの位置に作用する被検出磁気パターンが等ピッチとなるように形成されている。このため、所望のエアギャップとしたうえで、両列の磁気エンコーダトラックの磁気干渉を利用して、磁気エンコーダの構造を複雑化することなく、センサの実際の検出位置での被検出磁気パターンを等ピッチにすることができる。よって、複列の磁気エンコーダトラックを有しながら、センサにより回転検出用の等ピッチ信号を精度良く検出することができる。この構成によると、複列の磁気エンコーダトラック同士を離隔させたり、トラック間に磁性体等を介在させる必要がなくなるため、磁気エンコーダの構造を簡単化でき、製造コストの低減を図れるうえ、磁気エンコーダのコンパクト化を図ることができる。
【００１５】
前記複列の磁気エンコーダトラックのうち、前記一つの磁気エンコーダトラックに隣り合う他の磁気エンコーダトラックには、回転基準位置を示す着磁磁気パターンが形成され、前記他の磁気エンコーダトラックの着磁磁気パターンが、回転検出用の前記一つの磁気エンコーダトラックと同じ磁極数であり、且つ、前記一つの磁気エンコーダトラックの着磁磁気パターンに対し位相のずれを有し、前記他の磁気エンコーダトラックは、前記一つの磁気エンコーダトラックの着磁磁気パターンに対する位相のずれを用いて回転基準位置を示すものとしても良い。
【００１６】
前記複列の磁気エンコーダトラックのうち、前記一つの磁気エンコーダトラックに隣り合う他の磁気エンコーダトラックは、特定の円周方向位置にＮ極またはＳ極の磁極を形成しその他の円周方向位置を無着磁として、回転基準位置を示す着磁磁気パターンが形成されているものとしても良い。
前記複列の磁気エンコーダトラックのうち、前記一つの磁気エンコーダトラックに隣り合う他の磁気エンコーダトラックは、特定の円周方向位置にＮ極またはＳ極の磁極を形成し、その他の円周方向位置に、前記特定の円周方向位置の磁極とは反対の磁極を形成して、回転基準位置を示す着磁磁気パターンが形成されているものとしても良い。
【００１７】
前記各磁気エンコーダトラックは、磁気エンコーダトラックの並び方向の各トラック幅を１ｍｍ以上５ｍｍ以下として形成されているものであっても良い。
前記「並び方向」とは、磁気エンコーダの回転軸心の軸方向に平行な方向、または磁気エンコーダの回転軸心の軸方向に直交する方向を意味する。
エアギャップの設定によりセンサの検知する磁界強度は変化するが、この構成によると、磁気エンコーダトラックの並び方向の各トラック幅を１ｍｍ以上５ｍｍ以下とすることで、各磁気エンコーダトラックの磁気信号をそれぞれ検出することが可能となる。
【００１８】
前記複列の隣り合う磁気エンコーダトラックの境界線から０．５ｍｍ以上３ｍｍ以下各々の磁気エンコーダトラック側に離隔した各磁気エンコーダトラック上に、前記センサの検出部が配置され、前記センサに対し、０．３ｍｍより大きく４ｍｍ未満のエアギャップを隔てて使用されるものであっても良い。
前記境界線から０．５ｍｍ以上３ｍｍ以下の各磁気エンコーダトラック上に、センサの検出部を配置したうえで、エアギャップが０．３ｍｍ以下では、例えばゴムまたは樹脂で形成した磁気エンコーダトラックと接触し、磁気エンコーダトラックの表面が損傷するおそれがある。また、前記磁気エンコーダトラックとセンサとの間に異物が噛込まれ易くなり、磁気エンコーダトラックの表面が損傷するおそれがある。前記エアギャップが４ｍｍ以上では、着磁強度の低下が避けられず、また、両列の磁気エンコーダトラックの磁気の干渉を適切に制御することが難しくなりセンサの検出位置で正確な磁界信号を生成することが困難となる。
【００１９】
前記磁気エンコーダトラックが、希土類磁石の焼結磁石、希土類磁石の粉末がゴムまたは樹脂に混成された磁石、フェライト焼結磁石、ゴムまたは樹脂にフェライト粉末が混成された磁石のいずれかにより構成され、この磁気エンコーダトラックの厚さが０．５ｍｍより大きく４ｍｍ未満であっても良い。
磁気エンコーダトラックの厚さが０．５ｍｍ以下の場合、形成された磁気エンコーダトラック内部の反磁界が大きくなる。このため、高温使用時、不可逆減磁が起こりやすく、磁石としての信頼性が低下する。磁気エンコーダトラックの厚さが４ｍｍ以上の場合、着磁ヘッド間の距離が離れるため、着磁したい磁気エンコーダトラックに十分な磁束を流しにくくなる。
この構成によると、磁気エンコーダトラックの厚さを０．５ｍｍより大きくしたため、形成された磁気エンコーダトラック内部の反磁界を小さくし、高温使用時、不可逆減磁が起こり難く、磁石としての信頼性を向上することができる。
【００２０】
前記一つの磁気エンコーダトラックにおける着磁磁気パターンの円周方向の各磁極の長さＬが０．３ｍｍ以上５ｍｍ以下であり、各磁気エンコーダトラックの並び方向の各トラック幅ＷとＷ＞Ｌの関係が成立しているものとしても良い。Ｗ＞Ｌとすることにより、複列の磁気エンコーダトラック間に作用する磁気干渉の誤差の影響を小さくすることができる。また、各磁極の長さＬを０．３ｍｍ以上５ｍｍ以下とすれば、各磁気エンコーダトラックの磁気信号を必要十分に検出可能となる。
【００２１】
前記複列の隣り合う磁気エンコーダトラックは、互いに磁極数の異なる着磁磁気パターンが形成され、前記少なくとも一つの磁気エンコーダトラックは、両列の磁気エンコーダトラックの磁気が干渉して前記センサの位置に作用する被検出磁気パターンが等ピッチとなるように、着磁磁気パターンが非等ピッチに形成されていても良い。
【００２２】
複列の磁気エンコーダトラックが近接すると、実際のセンサの位置に作用する被検出磁気パターンは、異なる磁極数により互いのトラックの磁気の干渉により誤差を含んだ誤差パターンとなる。
この構成によると、少なくとも一つの磁気エンコーダトラックは、両列の磁気エンコーダトラックの磁気が干渉して前記センサの位置に作用する被検出磁気パターンが等ピッチとなるように、着磁磁気パターンが非等ピッチに形成されている。複列の磁気エンコーダトラックを近接させて一体に設けると、互いの磁気エンコーダトラックの磁気干渉が誤差パターンを打消し合い誤差を低減させ得る。実際のセンサの位置に作用する被検出磁気パターンを、誤差のない理想的なものに近づけることができる。よって、複列の磁気エンコーダトラックを有しながら、センサにより回転検出用の等ピッチ信号を精度良く検出することができる。
【００２３】
前記複列の隣り合う磁気エンコーダトラック間に、磁性体を介在させても良い。
前記複列の磁気エンコーダトラックを芯金上に設け、前記複列の隣り合う磁気エンコーダトラック間に、隙間を介在させてこれら磁気エンコーダトラックを配設しても良い。
これらの場合、互いの磁気エンコーダトラックの磁気干渉が誤差パターンを打消し合う効果をさらに高めることができる。
【００２４】
前記一つの磁気エンコーダトラックにおける、磁気エンコーダトラックの並び方向のトラック幅は、前記一つの磁気エンコーダトラックに隣り合う他の磁気エンコーダトラックにおけるトラック幅と異なるものとしても良い。この場合、センサの配置が自由になるため、磁気エンコーダを機器に組込み易くなる。
前記複列の隣り合う磁気エンコーダトラックの両検出面が同一平面にないものとしても良い。
【００２５】
この発明における第２の発明の磁気エンコーダは、複列の隣り合って並ぶ直線上の磁気エンコーダトラックを一体に有し、少なくとも一つの磁気エンコーダトラックには、速度検出用の等ピッチ信号を生成するためのＮ極とＳ極とが交互に並ぶ着磁磁気パターンが形成され、各磁気エンコーダトラックの磁気信号を読み取るセンサに対し、エアギャップを隔てて使用される磁気エンコーダにおいて、前記少なくとも一つの磁気エンコーダトラックは、両列の磁気エンコーダトラックの磁気が干渉して前記センサの位置に作用する被検出磁気パターンが等ピッチとなるように形成されていることを特徴とする。
【００２６】
直動エンコーダに複列の磁気エンコーダを適用した場合においても、少なくとも一つの磁気エンコーダトラックは、両列の磁気エンコーダトラックの磁気が干渉して前記センサの位置に作用する被検出磁気パターンが等ピッチとなるように形成されている。このため、所望のエアギャップとしたうえで、両列の磁気エンコーダトラックの磁気干渉を利用して、磁気エンコーダの構造を複雑化することなく、センサの実際の検出位置での被検出磁気パターンを等ピッチにすることができる。よって、複列の磁気エンコーダトラックを有しながら、センサにより回転検出用の等ピッチ信号を精度良く検出することができる。この構成によると、複列の磁気エンコーダトラック同士を離隔させたり、トラック間に磁性体等を介在させる必要がなくなるため、磁気エンコーダの構造を簡単化でき、製造コストの低減を図れるうえ、コンパクト化を図ることができる。
【発明の効果】
【００２７】
この発明における第１の磁気エンコーダは、複列の隣り合って並ぶ環状の磁気エンコーダトラックを一体に有し、少なくとも一つの磁気エンコーダトラックには、回転検出用の等ピッチ信号を生成するためのＮ極とＳ極とが交互に並ぶ着磁磁気パターンが形成され、各磁気エンコーダトラックの磁気信号を読み取るセンサに対し、エアギャップを隔てて使用される磁気エンコーダにおいて、前記少なくとも一つの磁気エンコーダトラックは、両列の磁気エンコーダトラックの磁気が干渉して前記センサの位置に作用する被検出磁気パターンが等ピッチとなるように形成されているため、複列の磁気エンコーダトラックを有しながら、トラック間の磁気干渉が生じてもセンサにより回転検出用の等ピッチ信号を精度良く検出することができ、また所望のエアギャップとすることができ、且つ、コンパクト化を図ると共に構造を簡単化することができる。
【００２８】
この発明における第２の磁気エンコーダは、複列の隣り合って並ぶ直線上の磁気エンコーダトラックを一体に有し、少なくとも一つの磁気エンコーダトラックには、速度検出用の等ピッチ信号を生成するためのＮ極とＳ極とが交互に並ぶ着磁磁気パターンが形成され、各磁気エンコーダトラックの磁気信号を読み取るセンサに対し、エアギャップを隔てて使用される磁気エンコーダにおいて、前記少なくとも一つの磁気エンコーダトラックは、両列の磁気エンコーダトラックの磁気が干渉して前記センサの位置に作用する被検出磁気パターンが等ピッチとなるように形成されているため、複列の磁気エンコーダトラックを有しながら、トラック間の磁気干渉が生じてもセンサにより回転検出用の等ピッチ信号を精度良く検出することができ、また所望のエアギャップとすることができ、且つ、コンパクト化を図ると共に構造を簡単化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】（Ａ）は、この発明の一実施形態に係るラジアルタイプの磁気エンコーダの断面図、（Ｂ）はアキシアルタイプの磁気エンコーダの断面図である。
【図２】（Ａ）は同磁気エンコーダにおけるトラック表面での着磁磁気パターンを示す図、（Ｂ）は同磁気エンコーダにおける所望のエアギャップでの被検出磁気パターンを示す図である。
【図３】（Ａ）は、この発明の他の実施形態に係るラジアルタイプの磁気エンコーダの断面図、（Ｂ）はアキシアルタイプの磁気エンコーダの断面図である。
【図４】（Ａ）は、この発明のさらに他の実施形態に係るラジアルタイプの磁気エンコーダの断面図、（Ｂ）はアキシアルタイプの磁気エンコーダの断面図である。
【図５】同磁気エンコーダの着磁磁気パターンを示す図である。
【図６】この発明のさらに他の実施形態に係る磁気エンコーダの着磁磁気パターンの各種例を示す図である。
【図７】この発明のさらに他の実施形態に係る磁気エンコーダの着磁磁気パターンの例を示す図である。
【図８】この発明のさらに他の実施形態に係る磁気エンコーダの着磁磁気パターンの例を示す図である。
【図９】（Ａ）は、この発明のさらに他の実施形態に係るラジアルタイプの磁気エンコーダの断面図、（Ｂ）はアキシアルタイプの磁気エンコーダの断面図である。
【図１０】同磁気エンコーダの両磁気エンコーダトラックを近接配置した着磁磁気パターンの例を示す図である。
【図１１】（Ａ）は、同磁気エンコーダのうち一方の磁気エンコーダトラックの着磁磁気パターンおよびその誤差パターンを示す図、（Ｂ）は同磁気エンコーダのうち他方の磁気エンコーダトラックの着磁磁気パターンおよびその誤差パターンを示す図である。
【図１２】（Ａ）は、この発明のさらに他の実施形態に係るラジアルタイプの磁気エンコーダの断面図、（Ｂ）はアキシアルタイプの磁気エンコーダの断面図である。
【図１３】（Ａ）は、この発明のさらに他の実施形態に係るラジアルタイプの磁気エンコーダの断面図、（Ｂ）はアキシアルタイプの磁気エンコーダの断面図である。
【図１４】（Ａ）は、この発明のさらに他の実施形態に係るラジアルタイプの磁気エンコーダの断面図、（Ｂ）はアキシアルタイプの磁気エンコーダの断面図である。
【図１５】（Ａ）は、この発明のさらに他の実施形態に係るラジアルタイプの磁気エンコーダの断面図、（Ｂ）はアキシアルタイプの磁気エンコーダの断面図である。
【図１６】（Ａ）は、この発明のさらに他の実施形態に係るラジアルタイプの磁気エンコーダの断面図、（Ｂ）はアキシアルタイプの磁気エンコーダの断面図である。
【図１７】（Ａ）は、この発明のさらに他の実施形態に係るラジアルタイプの磁気エンコーダの断面図、（Ｂ）はアキシアルタイプの磁気エンコーダの断面図である。
【図１８】（Ａ）は、この発明のさらに他の実施形態に係るラジアルタイプの磁気エンコーダの断面図、（Ｂ）はアキシアルタイプの磁気エンコーダの断面図である。
【図１９】この発明のさらに他の実施形態に係る磁気エンコーダの着磁磁気パターンの例を示す図である。
【図２０】この発明のさらに他の実施形態に係る磁気エンコーダの着磁磁気パターンの例を示す図である。
【図２１】（Ａ）は従来のラジアルタイプの磁気エンコーダの断面図、（Ｂ）は従来のアキシアルタイプの磁気エンコーダの断面図である。
【図２２】（Ａ）磁気エンコーダに所望の磁気パターンを着磁したときの磁気トラック表面の着磁状態の例を示す図、（Ｂ）は所望のエアギャップの位置でセンサが読み取る磁気状態の例を示す図である。
【図２３】（Ａ）は従来のラジアルタイプの磁気エンコーダの断面図、（Ｂ）は従来のアキシアルタイプの磁気エンコーダの断面図である。
【図２４】（Ａ）は、同磁気エンコーダの一方の磁気エンコーダトラックの着磁磁気パターンを示す図、（Ｂ）は同磁気エンコーダの他方の磁気エンコーダトラックの着磁磁気パターンを示す図である。
【図２５】同磁気エンコーダの着磁磁気パターンおよびその誤差パターンを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
この発明の一実施形態を図１および図２と共に説明する。
この実施形態に係る磁気エンコーダは、例えば、各種機器の回転検出、回転角度検出、および直線移動検出に使用する磁気エンコーダに適用される。
【００３１】
図１（Ａ），（Ｂ）に示すように、磁気エンコーダＭＥは、複列の隣り合って並ぶ環状の磁気エンコーダトラック１，２を一体に有する。これら磁気エンコーダトラック１，２は、円盤状（図１（Ｂ））または円筒状の芯金３の表面上に隣り合わせて同心状（図１（Ａ））に並べて設けられている。例えば、図１（Ｂ）に示すように、アキシアルタイプの環状磁性体を着磁して得られる磁気エンコーダＭＥは、軸受回転輪等の外周面Ｄａに前記芯金３の円筒部を圧入嵌合して取付けられる。磁気エンコーダトラック１，２は、例えば、磁性粉を含むゴム、プラスチック、焼結体等であり、着磁によってそれぞれゴム磁石、プラスチック磁石、焼結磁石等となる。なお、前記環状磁性体はアキシアルタイプに限定されるものではなく、例えば図１（Ａ）に示すようなラジアルタイプであっても良い。
【００３２】
磁気エンコーダトラック１，２は、フェライト焼結で成形した磁石（いわゆるフェライト焼結磁石）、ゴムまたは樹脂にフェライト磁性粉末を混ぜ込んで成形した磁石のいずれかにより構成される。磁石材料を希土類磁石で構成してもよいが、着磁が容易で安価であるため通常の使用条件においてはフェライトのほうが望ましい。この例では、図２（Ａ）に示すように、各磁気エンコーダトラック１，２は周方向に沿ってＮ磁極とＳ磁極とが交互に着磁されている。図１（Ａ），（Ｂ）に示すように、この磁気エンコーダＭＥは、その検出面が、各磁気エンコーダトラック１，２の磁気信号を読み取るセンサＳａ，Ｓｂに対し、０．３ｍｍより大きく４ｍｍ未満のエアギャップＧｐを隔てて配置されて使用される。また、図２（Ａ），（Ｂ）に示すように、複列の隣り合う磁気エンコーダトラック１，２の境界線Ｌｋから０．５ｍｍ以上３ｍｍ以下各々の磁気エンコーダトラック１，２側に離隔した各磁気エンコーダトラック１，２上に、センサＳａ，Ｓｂの検出部が配置されている。図２（Ａ），（Ｂ）の点線で示すセンサ読み取り位置Ｐ１，Ｐ２に、センサＳａ，Ｓｂの検出部が配置されている。
【００３３】
各磁気エンコーダトラック１，２の各トラック幅Ｗを１ｍｍ以上５ｍｍ以下とし、各磁極の長さＬを０．３ｍｍ以上５ｍｍ以下としている。前記各トラック幅Ｗは、この磁気エンコーダＭＥの回転方向に直交するトラック並び方向の各トラック幅である。前記各磁極の長さＬは、磁気エンコーダＭＥの回転方向に沿った磁気パターンにおける各磁極の長さである。これら各トラック幅Ｗと各磁極の長さＬとは、Ｗ＞Ｌの関係を満たすのが望ましい。また、図１（Ａ），（Ｂ）に示すように、磁気エンコーダトラック１，２の厚さｔ１を０．５ｍｍより大きく４ｍｍ未満としている。
【００３４】
図２２（Ａ）に示した磁気パターンを所望のパターンとしてセンサで検出するように構成した場合を例として、実際の着磁磁気パターンの形成方法について説明する。図２（Ａ）は磁気エンコーダ表面における着磁磁気パターンを示し、図２（Ｂ）は実際のセンサＳａ，Ｓｂの検出部が配置された位置で検出される被検出磁気パターンの例を示している。
図２（Ａ），（Ｂ）に示すように、磁気エンコーダＭＥは、複列（この例では２列）の隣り合って並ぶ環状の磁気エンコーダトラック１，２を一体に有し、これら磁気エンコーダトラック１，２には、Ｎ極とＳ極とが交互に並ぶ着磁磁気パターンＰａ、Ｐｂが形成されている。これらのうち、一つの磁気エンコーダトラック１であるＡＢトラックは、回転検出用の等ピッチ信号を生成するために使用され、他方の磁気エンコーダトラック２であるＺトラックは、原点信号を生成するために使用される。Ｚトラックの着磁磁気パターンＰｂは、ＡＢトラックと同じ磁極数であり、且つ、ＡＢトラックの着磁磁気パターンＰａに対し位相のずれを有する。
【００３５】
磁気エンコーダからエアギャップＧｐを隔てて対向する、実際のセンサ検出部Ｓａ，Ｓｂで検出される被検出磁気パターンにおいては、図２（Ｂ）に示したように、ＡＢトラック側の磁極幅Ｌ２１，Ｌ，Ｌ２２は等しくなり、回転検出用の等ピッチ信号を生成するための等ピッチ磁気パターンとなっている。この状態とするためには、両列の磁気エンコーダトラック１，２の磁気が干渉した結果、図２（Ｂ）のパターンとなるように磁気エンコーダトラックを形成する必要がある。すなわち、図２（Ａ）に示したように、磁気の干渉による影響を補償するような着磁磁気パターンを磁気エンコーダ表面に形成する。具体的には、ＡＢトラックにおいては、Ｌ１２＜Ｌ＜Ｌ１１の不等ピッチの関係で着磁磁気パターンが形成され、被検出磁気パターンＰｓａが等ピッチとなるように、着磁磁気パターンＰａの着磁ピッチが変調されている。一方、Ｚトラックにおいては、Ｌ１１′＜Ｌ２１′＜Ｌ、Ｌ＜Ｌ２２′＜Ｌ１２′となるように着磁磁気パターンが形成され、各磁極の円周方向に沿った磁極幅が狭い部分ではより狭く、広い部分ではより広くなるように、着磁磁気パターンＰｂが変調されている。
ＡＢトラックにエアギャップＧｐを隔てて対向するセンサＳａ（図１）は、その磁気センサ素子の検出した磁界信号から互いに９０°位相の異なるＡ相およびＢ相のパルス信号を出力する。ＺトラックにエアギャップＧｐを隔てて対向するセンサＳｂ（図１）は、その磁気センサ素子の検出した磁界信号から原点位置を示すＺ相のパルス信号を出力する。これらＡ相、Ｂ相およびＺ相のパルス信号（ＡＢＺ相信号）は、互いに９０度位相が異なる信号である。
【００３６】
以上説明した磁気エンコーダＭＥの構成によると、ＡＢトラックは、両列のＡＢトラック，Ｚトラックの磁気が干渉してセンサＳａの位置に作用する被検出磁気パターンＰｓａが等ピッチとなるように形成されている。このため、所望のエアギャップＧｐとしたうえで、両列の磁気エンコーダトラック１，２の磁気干渉を利用して、磁気エンコーダＭＥの構造を複雑化することなく、センサＳａの実際の検出位置での被検出磁気パターンＰｓａを等ピッチにすることができる。複列の磁気エンコーダトラック１，２を有しながら、センサＳａにより回転検出用の等ピッチ信号を精度良く検出することができる。この構成によると、複列の磁気エンコーダトラック１，２同士を互いに離隔させたり、トラック１，２間に磁性体等を介在させる必要がなくなるため、磁気エンコーダＭＥの構造を簡単化でき、製造コストの低減を図れるうえ、磁気エンコーダＭＥのコンパクト化を図れる。
【００３７】
エアギャップＧｐの設定によりセンサＳａ，Ｓｂの検知する磁界強度は変化するが、この構成によると、磁気エンコーダトラック１，２の各トラック幅Ｗを１ｍｍ以上５ｍｍ以下とすることで、各磁気エンコーダトラック１，２の磁気信号をそれぞれ検出することが可能となる。
また、磁気エンコーダトラック１，２の厚さｔ１つまり磁石部分の厚さが０．５ｍｍ以下の場合、形成された磁気エンコーダトラック内部の反磁界が大きくなる。このため、高温使用時、不可逆減磁が起こりやすく、磁石としての信頼性が低下する。磁気エンコーダトラック１，２の厚さｔ１が４ｍｍ以上の場合、エンコーダ表面から裏面にかけて磁束を貫通させて着磁するときに、着磁したい磁気エンコーダトラックに十分な磁束を流しにくくなる。
【００３８】
この構成によると、磁気エンコーダトラック１，２の厚さｔ１を０．５ｍｍより大きくしたため、形成された磁気エンコーダトラック内部の反磁界を小さくし、高温使用時、不可逆減磁が起こり難く、磁石としての信頼性を向上することができる。さらに磁気エンコーダトラック１，２の厚さｔ１を４ｍｍ未満としたため、着磁したい磁気エンコーダトラック１，２に十分な磁束を流すことができる。
各磁極の長さＬを０．３ｍｍ以上５ｍｍ以下とし、各トラック幅Ｗと各磁極の長さＬとは、Ｗ＞Ｌの関係を満たすのが望ましく、複列の磁気エンコーダトラック１，２間に作用する磁気干渉の誤差の影響を小さくすることができる。また、各磁極の長さＬを０．３ｍｍ以上５ｍｍ以下とすれば、各磁気エンコーダトラック１，２の磁気信号を必要十分に検出可能となる。
【００３９】
他の実施形態について説明する。
以下の説明においては、各形態で先行する形態で説明している事項に対応している部分には同一の参照符を付し、重複する説明を略する。構成の一部のみを説明している場合、構成の他の部分は、先行して説明している形態と同様とする。実施の各形態で具体的に説明している部分の組合せばかりではなく、特に組合せに支障が生じなければ、実施の形態同士を部分的に組合せることも可能である。
図３（Ａ），（Ｂ）の磁気エンコーダは、複列（この例では２列）の隣り合って並ぶ磁気エンコーダトラック１，２のうち、一方の磁気エンコーダトラック１のトラック幅Ｗを、他方の磁気エンコーダトラック２のトラック幅Ｗと異ならせている。この場合、各磁気エンコーダトラック１，２に対応するセンサの配置が自由になるため、各種機器に磁気エンコーダＭＥおよびセンサを組み込み易くなる。
【００４０】
図４（Ａ），（Ｂ）、図５に示すように、３列以上の隣り合う磁気エンコーダトラックを一体に有する磁気エンコーダＭＥとしても良い。例えば、Ｚトラックを複数列有するものとしても良い。この場合、得られた信号を利用して、より複雑な回転検出を行うことが可能となる。
図６（Ａ），（Ｂ）に示すように、複列（この例では２列）の磁気エンコーダトラック１，２を有する磁気エンコーダＭＥにおいて、Ｚトラック上の特定の円周方向位置だけに、一方の磁極である例えばＮ極を形成する。Ｚトラック上のその他の円周方向位置を無着磁としても良い。図６（Ｃ）に示すように、Ｚトラック上の特定の円周方向位置だけに、一方の磁極である例えばＮ極を形成し、その他の円周方向位置に、前記特定の円周方向位置の磁極とは反対の磁極を形成しても良い。
【００４１】
図７に示すように、磁気エンコーダＭＥの一定角度（この例では１８０度）毎に磁極の長さＬを異ならせ、位置検出用の信号の間隔が異なるものとしても良い。この例では、基準信号が少なくとも１８０度毎に１回ある。この磁気エンコーダＭＥによると、位置検出用の信号の間隔が変わる度に基準信号を得るため、複雑な位置検出を容易に得ることが可能となる。
図８に示すように、着磁分布の境界線Ｌｍつまり各磁極の境界線Ｌｍが、磁気エンコーダＭＥの回転方向と直角になっていないものであって、矢符Ａにて表記する回転方向に対し一定の傾斜角度α１を有するものとしても良い。
【００４２】
この発明のさらに他の実施形態を説明する。
図９および図１０に示す磁気エンコーダＭＥａは、互いに磁極数の異なる着磁磁気パターンが形成された、複列の隣り合って並ぶ環状の磁気エンコーダトラック１，２を一体に有する。この磁気エンコーダＭＥａは、例えば１ｍｍのエアギャップＧｐを隔てて使用される。分かり易く説明するために、複列の磁気エンコーダトラック１，２のうちＣｈ１トラックの磁極対数を８とし、Ｃｈ２トラックの磁極対数を７とした。
【００４３】
複列の磁気エンコーダトラック１，２のうち、図１１（Ａ）のＣｈ１トラックは、図２５のＣｈ１トラックの誤差パターンを反転したものであり、図１１（Ｂ）のＣｈ２トラックは、図２５のＣｈ２トラックの誤差パターンを反転したものである。図１１（Ａ），（Ｂ）のＣｈ１，Ｃｈ２トラックがそれぞれ単独で存在する場合、各誤差パターンは周期的である。これらＣｈ１，Ｃｈ２トラックが図１０に示すように近接すると、互いのＣｈ１，Ｃｈ２トラックの磁気が干渉して誤差パターンを打ち消し合い誤差が無くなる。製品に現れる特徴として、所望のエアギャップＧｐである１ｍｍのセンサＳａ，Ｓｂの位置で計測した被検出磁気パターンは等ピッチである。所望のエアギャップＧｐ以外の例えば磁気エンコーダＭＥａの表面等では、誤差パターンが周期的になっている。
以上のように両列のトラック１，２の磁気が干渉して誤差パターンを打ち消し合い誤差が無くなるため、磁気エンコーダＭＥａの構造を複雑化することなく、磁気エンコーダＭＥａのコンパクト化を図れるうえ、精度の良い磁気エンコーダＭＥａとすることができる。
【００４４】
この実施形態では、エアギャップＧｐを１ｍｍとし、Ｃｈ１，Ｃｈ２トラックの磁極対数をそれぞれ８，７としているが、これらの数値に必ずしも限定されるものではない。すなわち所望のエアギャップＧｐ、所望の磁極対数を選択したときの磁気干渉の誤差の大きさ、誤差パターンを打ち消すように磁気エンコーダトラック１，２に着磁すれば良い。例えば、Ｃｈ１，Ｃｈ２トラックの磁極対数がそれぞれ３２，２８の場合、９０°毎に磁極対数がそれぞれ８，７となる。この場合、前述の誤差パターンが１回転あたり４回繰り返すため、変調する磁気パターンも４回に設定すれば良い。さらに、必ずしも両列の磁気エンコーダトラック１，２を共に変調する必要はなく、特に精度が必要とされる一方の磁気エンコーダトラック１（２）だけを変調して構成しても良い。
【００４５】
エアギャップＧｐを１ｍｍ以外のエアギャップとする場合、エアギャップＧｐが大きい程、変調する磁気パターンの大きさを大きくすれば良い。この場合、所望のエアギャップＧｐで磁気エンコーダＭＥａを実現できるため、設計の自由度が上がる。したがって、磁気エンコーダＭＥａおよびセンサＳａ，Ｓｂの対象機器等への組み込みの制限が緩和され、磁気エンコーダＭＥａの汎用性を高めることができる。
複列の磁気エンコーダトラック１，２同士を遠ざける、またはトラック１，２間に磁性体等を挿入する必要がないため、磁気エンコーダＭＥａの構造を簡単化し製造コストの低減を図れる。複列の磁気エンコーダトラック１，２の信号を読み取るセンサＳａ，Ｓｂ同士の間隔を遠ざける必要がないため、磁気エンコーダＭＥａおよびセンサＳａ，Ｓｂを含む機器全体のコンパクト化を図れる。
【００４６】
図１２（Ａ）、（Ｂ）に示すように、複列の磁気エンコーダトラック１，２間に磁性体のスペーサ１２を配置した構造としても良い。磁性体から成るスペーサ１２が互いの磁気エンコーダトラック１，２からの漏れ磁界をショートするため、相互の磁気干渉が低減されて、より精度の高い複列の磁気エンコーダＭＥａが実現できる。
【００４７】
図１３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、複列の磁気エンコーダトラック１，２間に溝Ｖを設けた構造としても良い。前記溝Ｖは、溝底に向かうに従って幅狭となる断面Ｖ字状に形成される。この溝Ｖにより、着磁工程での互いの影響、およびセンサＳａ，Ｓｂ（図９）での検出における磁気干渉がさらに低減されるため、より精度の高い複列の磁気エンコーダＭＥａが実現できる。また、溝Ｖが溝底に向かうに従って幅狭となる断面Ｖ字状に形成されるため、隣り合う磁気エンコーダトラック１，２の表面を互いに確実に離隔させることができる。それ故、図９のものよりも高精度の複列の磁気エンコーダＭＥａを実現し得る。溝Ｖの形状は断面Ｖ字型に限らず、断面Ｕ字型などとしてもよい。
図１４（Ａ）、（Ｂ）に示すように、複列の磁気エンコーダトラック１，２間に無着磁領域から成る環状部材１３を設けても良い。この環状部材１３により隣り合う磁気エンコーダトラック１，２の表面を互いに確実に離隔させることができる。それ故、図９のものよりも高精度の複列の磁気エンコーダＭＥａを実現し得る。
【００４８】
図１５（Ａ）、（Ｂ）に示すように、一方の磁気エンコーダトラック１のトラック幅Ｗが、他方の磁気エンコーダトラック２のトラック幅Ｗと異なるものとしても良い。この場合、各磁気エンコーダトラック１，２に対応するセンサの配置が自由になるため、各種機器に磁気エンコーダＭＥａおよびセンサを組み込み易くなる。
図１６（Ａ）、（Ｂ）に示すように、一方の磁気エンコーダトラック１のトラック表面が、他方の磁気エンコーダトラック２のトラック表面に対し同一平面になくても良い。図１６（Ａ）のものでは、軸方向先端側の磁気エンコーダトラック１のトラック表面１ａが、軸方向先端に向かうに従ってトラック厚さｔ１が薄くなる傾斜面となるように形成されている。図１６（Ｂ）のものでは、外径側の磁気エンコーダトラック１のトラック表面１ａが、外径側に向かうに従ってトラック厚さｔ１が薄くなる傾斜面となるように形成されている。
【００４９】
図１７（Ａ）のものでは、軸方向基端側の磁気エンコーダトラック２のトラック全体が、軸方向先端側の磁気エンコーダトラック１よりも薄肉に形成されている。図１７（Ｂ）のものでは、内径側の磁気エンコーダトラック２のトラック全体が、外径側の磁気エンコーダトラック１よりも薄肉に形成されている。
これら図１６、図１７の磁気エンコーダＭＥａによると、両列の磁気エンコーダトラック１，２の検出面を同一平面としなくてもよく、着磁強度に差を設けて、両列の磁気エンコーダトラック１，２の磁気の干渉を容易に制御することが可能となる。
【００５０】
図１８、図１９に示すように、３列以上の隣り合う磁気エンコーダトラック１，２．１４を一体に有する磁気エンコーダＭＥａとしても良い。この例では、図１９に示すように、８極対から成るＣｈ１トラックと、７極対から成るＣｈ２トラックと、６極対から成るＣｈ３トラックとが順次並ぶ磁気エンコーダＭＥａとしている。この場合、得られた信号を利用して、より複雑な回転検出を行うことが可能となる。
図２０に示すように、着磁分布の境界線Ｌｍつまり各磁極の境界線Ｌｍが、磁気エンコーダＭＥａの回転方向と直角になっていないものであって、矢符Ａにて表記する回転方向に対し一定の傾斜角度α１を有するものとしても良い。
【００５１】
前記各実施形態では、環状の磁気エンコーダトラックを有する回転型の磁気エンコーダについて示しているが、回転型のみに限定されるものではない。例えば、リニア（直動）エンコーダに複列磁気エンコーダを適用したものについても、前記各実施形態と同様の作用効果を奏する。
【符号の説明】
【００５２】
１，２…磁気エンコーダトラック
Ｇｐ…エアギャップ
ＭＥ，ＭＥａ…磁気エンコーダ
Ｐａ，Ｐｂ…着磁磁気パターン
Ｐｓａ，Ｐｓｂ…被検出磁気パターン
Ｓａ，Ｓｂ…センサ
Ｗ…トラック幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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