(57)【要約】【課題】研磨板と密着した基板を剥離することができ、基板表面の傷及び基板への汚れの付着を抑制できる基板剥離冶具を提供すること。【解決手段】この基板剥離冶具１は、一方端から圧縮空気が供給される貫通路が内部に形成された本体部１１と、本体部１１に対し貫通路の他方端側に傾斜させて取り付けられ圧縮空気を吐出させる扁平ノズル１９と、扁平ノズル１９を含む本体部１１側と一体化され扁平ノズル１９から吐出した圧縮空気によって研磨パッド１３から浮き上がらせたガラス基板１４を受け取って保持する基板受け部１２と、を具備する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方端から圧縮空気が供給される貫通路が内部に形成された本体部と、前記本体部に対し前記貫通路の他方端側に傾斜させて取り付けられ圧縮空気を吐出させるノズルと、前記ノズルを含む前記本体部側と一体化され前記ノズルから吐出した圧縮空気によって研磨板から浮き上がらせた基板を受け取って保持する基板受け部と、を具備したことを特徴とする磁気ディスク用基板剥離冶具。
【請求項２】
前記本体部は、前記貫通路の一部が内部に形成された把持部と、前記貫通路に設けられた開閉手段と、前記把持部に一端部が回動可能に支持されレバー回動操作に応じて前記開閉手段を開閉するレバー部材と、前記把持部と前記ノズルとを連結する連結部材とを備え、
前記基板受け部は、研磨板から浮き上がらせた基板の中央部開口に挿入して当該基板を保持するロール部材と、前記ノズルの先端から水平方向に所定距離離れた位置に前記ロール部材の先端部が位置するように前記ロール部材の基端部を支持する支持部材とを備えたことを特徴とする請求項１記載の磁気ディスク用基板剥離冶具。
【請求項３】
前記ロール部材は、ロールブラシであることを特徴とする請求項２記載の磁気ディスク用基板剥離冶具。
【請求項４】
前記ロール部材は、樹脂スポンジであることを特徴とする請求項２記載の磁気ディスク用基板剥離冶具。
【請求項５】
前記ノズルは、吐出口が前記基板の外径寸法に対応した幅を有する扁平ノズルであることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の磁気ディスク用基板剥離冶具。
【請求項６】
圧縮空気供給源から請求項１から請求項５のいずれかに記載の磁気ディスク用基板剥離冶具への圧縮空気供給経路に設けられ、圧縮空気の１次圧を所定の２次圧に変換する圧力制御手段と、前記圧縮空気供給経路の前記圧力制御手段の上流側に設けられ、バルブ開度の調整により圧縮空気の供給量を制限する開閉バルブと、を備えたことを特徴とする圧力制御機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨板に吸着した基板を剥離する磁気ディスク用基板剥離冶具に関し、特に磁気ディスク用ガラス基板の製造工程において研磨パッドと密着した磁気ディスク用ガラス基板の剥離に好適に用いられる磁気ディスク用基板剥離冶具に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、ハードディスク装置用の記録媒体としてガラス基板を用いた磁気ディスクが広く用いられている。磁気ディスクは、フロートガラスなどの板状のガラス材を円環状のガラス基板に形成する形状加工工程（コアリング及びチャンファリングなど）、研削加工によってガラス基板の厚さを調製する研削加工工程（ラッピング）、研磨加工によってガラス基板を平滑化する研磨加工工程（端面部及び主表面部）などを経て製造されている。
【０００３】
図４は、研磨加工工程で用いられる両面研磨装置の一例を示す図である。この両面研磨装置は、上下一対の研磨定盤４１、４２を有し、これらの研磨定盤４１、４２の表面に張り付けられた軟質ポリシャ（スウェード）の研磨パッド４３によりガラス基板４４を研磨する。この両面研磨装置においては、各研磨定盤４１、４２間にガラス基板４４を保持する円板状のキャリア４５を設置し、上下研磨定盤４１、４２で圧力を付加してキャリア４５を挟み込み、上研磨定盤４２と下研磨定盤４１を逆回転させ、研磨材を供給しながらガラス基板４４の両主表面を研磨する。このような遊星歯車機構では、下研磨定盤４１の中心部に設けられた太陽歯車４６と、この下研磨定盤４１の外周に設けられた内歯車４７との間にキャリア４５が配設される。このとき、キャリア４５の外周に設けられた歯部４８が、太陽歯車４６及び内歯車４７と噛合する。したがって、上研磨定盤４２と下研磨定盤４１を逆回転させることにより、キャリア４５が自転しながら公転する。なお、ガラス基板４４は、キャリア４５の穴部４５ａ内で保持される。
【０００４】
ところで、両面研磨装置を用いた研磨加工では、研磨後のガラス基板と研磨パッドとが密着する現象が発生する。このため、研磨加工工程では、グローブをした手で直接ガラス基板を掴んで剥離し、又は先端を鋭利に尖らせた冶具若しくは先端が薄く形成された冶具をガラス基板と研磨パッドとの間に差し込むことによって研磨パッドからガラス基板を剥離している。
【０００５】
また、研磨パッドと密着したガラス基板を剥離する冶具として、ガラス基板を吸着する吸盤を備えた基板保持固定冶具も提案されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１記載の基板保持固定冶具では、吸盤をガラス基板にあてがった状態で、吸盤内を真空にしてガラス基板を吸着し、研磨パッドからガラス基板を剥離する。吸盤に吸着されたガラス基板は、吸盤内に空気を導入することにより吸盤から取り外すことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−８３５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、研磨パッドと密着したガラス基板を直接手や冶具を用いて剥離する場合には、ガラス基板及び研磨パッドに傷がつく問題がある。また、ガラス基板を吸着して剥離する場合には、吸盤が接触した箇所に汚れが付着すると共に、吸着時間が長くなると吸着箇所が早期に乾燥して汚れが付着する問題がある。
【０００８】
本発明は、かかる点に鑑みて為されたものであり、研磨板と密着した基板を剥離することができ、基板表面の傷及び基板への汚れの付着を抑制できる基板剥離冶具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の基板剥離冶具は、一方端から圧縮空気が供給される貫通路が内部に形成された本体部と、前記本体部に対し前記貫通路の他方端側に傾斜させて取り付けられ圧縮空気を吐出させるノズルと、前記ノズルを含む前記本体部側と一体化され前記ノズルから吐出した圧縮空気によって研磨板から浮き上がらせた基板を受け取って保持する基板受け部と、を具備したことを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、圧縮空気の吐出により、基板表面に接触することなく研磨板と密着した基板を剥離することができる。また、研磨板から浮き上がらせた基板を基板受け部で受け取って保持するので、研磨板から剥離した基板と研磨板との接触を回避できる。したがって、基板表面への傷及び基板への汚れの付着を抑制することができる。
【００１１】
また本発明は、上記基材剥離冶具において、前記本体部は、前記貫通路の一部が内部に形成された把持部と、前記貫通路に設けられた開閉手段と、前記把持部に一端部が回動可能に支持されレバー回動操作に応じて前記開閉手段を開閉するレバー部材と、前記把持部と前記ノズルとを連結する連結部材とを備え、前記基板受け部は、研磨板から浮き上がらせた基板の中央部開口に挿入して当該基板を保持するロール部材と、前記ノズルの先端から水平方向に所定距離離れた位置に前記ロール部材の先端部が位置するように前記ロール部材の基端部を支持する支持部材とを備えたことを特徴とする。
【００１２】
この構成によれば、レバー部材の回動操作により、圧縮空気の吐出を切替えることができる。また、ロール部材の先端部が基板の中央開口部に挿入して基板を保持するので、研磨板から浮き上がらせた基板を中央開口部の下面側から支持することができる。
【００１３】
また本発明は、上記基板剥離冶具において、前記ロール部材は、ロールブラシであることが好ましい。この構成により、ロールブラシの毛先で基板中心部を下面側から支持できるので、基板への傷の付着を抑制することができる。
【００１４】
また本発明は、上記基板剥離冶具において、前記ロール部材は、樹脂スポンジであることが好ましい。この構成により、樹脂スポンジの外周面で基板中心部を端面から支持できるので、基板への傷の付着を抑制することができる。
【００１５】
また本発明は、上記基板剥離冶具において、前記ノズルは、吐出口が前記基板の外径寸法に対応した幅を有する扁平ノズルであることが好ましい。この構成により、基板の幅に対応した圧縮空気を吐出できるので、基板と研磨パッドとを効率よく剥離することができる。
【００１６】
本発明の圧力制御機構は、圧縮空気供給源から上記磁気ディスク用基板剥離冶具への圧縮空気供給経路に設けられ、圧縮空気の１次圧を所定の２次圧に変換する圧力制御手段と、前記圧縮空気供給経路の前記圧力制御手段の上流側に設けられ、バルブ開度の調整により圧縮空気の供給量を制限する開閉バルブと、を備えたことを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、例えば、圧縮空気供給源から供給される圧縮空気の１次圧を、圧力制御手段で所定の２次圧に調製し、且つ開閉バルブのバルブ開度を、磁気ディスク用基板剥離冶具に供給される圧縮空気の単位時間当たりの流量が、磁気ディスク用基板剥離冶具の単位時間当たりの圧縮空気吐出量より小さくなるように制御することにより、磁気ディスク用基板剥離冶具から吐出される圧縮空気量を基板の剥離に必要な必要最小量にすることができる。また、レバー部材を離すのが遅れた際にも基板への過剰の圧縮空気の吐出を抑制することができるので、基板の乾燥を抑制でき、基板表面への汚れの付着を防止できる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、研磨板と密着した基板を剥離することができ、基板表面の傷及び基板への汚れの付着を抑制できる基板剥離冶具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】（ａ）は、本発明の実施の形態に係る基板剥離冶具の平面図であり、（ｂ）は、（ａ）の側面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る基板剥離冶具の圧縮空気供給経路を示す図である。
【図３】（ａ）、（ｂ）は、本発明の実施の形態に係る基板剥離冶具の基板受け部の拡大断面図である。
【図４】研磨加工装置の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。
図１（ａ）は、本発明の実施の形態に係る基板剥離冶具の平面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）の側面図である。図１（ａ）、（ｂ）に示すように、基板剥離冶具１は、内部に圧縮空気を供給する貫通路が形成され貫通路の一方の端部に圧縮空気が供給される本体部１１と、本体部１１と一体化された基板受け部１２とを備える。基板剥離冶具１は、研磨パッド１３とガラス基板１４との境界に圧縮空気を吐出して研磨パッド１３からガラス基板１４を浮き上がらせ、そのガラス基板１４を基板受け部１２で保持する。なお、図１（ｂ）において、基板受け部１２は、Ａ−Ａ線矢視断面について示している。
【００２１】
本体部１１の内部に形成された貫通路の一方の端部には、圧縮空気供給系統を介して圧縮空気供給源に接続される接続部１５が設けられている。貫通路の途中である接続部１５と開放端部１６との間には、流路を開閉させる開閉バルブ（不図示）が設けられている。
【００２２】
本体部１１は、貫通路の一部が内部に形成される把持部１７を有する。把持部１７には一端が回動自在に支持された操作レバー１８が取り付けられている。操作レバー１８は自由端側が把持部１７から離れる方向にバネ（不図示）で付勢される。操作レバー１８を回動操作することにより、貫通路内の開閉バルブを開閉できるように構成されている。
【００２３】
開放端部１６には、貫通孔を有する連結具２０を介して扁平ノズル１９が接続され、貫通路内と扁平ノズル１９の内部とが連通されている。連結具２０は、一端が本体部１１側に接続され、他端が扁平ノズル１９に接続されている。扁平ノズル１９は、連結具２０側の一端に円筒形状の連結部１９ａが設けられ、他端に扁平形状の吐出口１９ｂが設けられている。吐出口１９ｂの間口は、ガラス基板１４の外径寸法に相当する幅を有している。
【００２４】
扁平ノズル１９は、操作レバー１８の回動方向を含む平面Ｆ１に対して傾斜して接続されている。扁平ノズル１９の傾斜角度としては、圧縮空気の吐出によりガラス基板１４を研磨パッド１３から剥離できる範囲であれば特に限定されないが、平面Ｆ１から３５〜４５度程度であることが好ましい。なお、扁平ノズル１９は、連結具２０を介して接続してもよく、本体部１１の開放端部１６に直接接続する構成としてもよい。
【００２５】
扁平ノズル１９には、ノズルアダプタ２１を介して基板受け部１２が固定されている。ノズルアダプタ２１は、テーパー面２１ａを有しており、このテーパー面２１ａを扁平ノズル１９上面に当接させて締結部材２２ａ、２２ｂで締結固定している。また、ノズルアダプタ２１は、吐出口１９ｂに対する反対側の端部２１ｂが、後述する基板受け部１２の天板に締結部材２３ａ、２３ｂで固定されている。
【００２６】
基板受け部１２は、扁平ノズル１９の先端から前方に取り付けられるケース２４と、研磨パッド１３から剥離したガラス基板１４を保持するロールブラシ２５と、研磨パッド１３からのガラス基板１４の剥離時に基板受け部１２を支持する冶具スタンド２６ａ、２６ｂとを備える。
【００２７】
ケース２４は、一面が開放された箱型形状をなしており、天板２４ａと、天板２４ａの外周縁部から垂直に立ち上がる側壁２４ｂとからなる。ケース２４の取付け側（扁平ノズル１９側）の側壁２４ｃは、ノズルアダプタ２１が形成している。ケース２４は、ガラス基板１４を覆うように設けられている。
【００２８】
天板２４ａの下面側中央部には、ロールブラシ２５の基端部が取り付けられている。ロールブラシ２５は、芯材としての取付け軸２５ａと、取付け軸２５ａの外周面に放射状に設けられた毛材とを有する。取付け軸２５ａの上部にはネジ部２５ｂが設けられており、このネジ部２５ｂが、天板２４ａの中央部に設けられた貫通孔２４ｄより天板２４ａから上方に貫通して締結部材２７により締結されている。また、ロールブラシ２５は、取付け軸２５ａの下端が扁平ノズルの先端から水平方向に所定距離離れて位置するように取り付けられている。また、ロールブラシ２５の取付け軸２５ａの下端は、側壁２４ｂの下端からガラス基板１４の厚さより僅かに突出するように設けられている。
【００２９】
ロールブラシ２５は、直径がガラス基板１４の中心部開口である円孔より大きくなるように毛材の毛の長さ及び取付け軸２５ａの大きさが調整されている。また、ロールブラシ２５は、研磨パッド１３から剥離したガラス基板１４中心部の円孔に挿入され、ロールブラシ２５の毛先によりガラス基板１４中心部の円孔を下面から支持するように構成されている。
【００３０】
天板２４ａの下面側外縁部には、円柱形状の冶具スタンド２６ａ、２６ｂが取り付けられている。冶具スタンド２６ａ、２６ｂは、天板２４ａから垂直に下方に伸びて、下端が側壁２４ｂの下端からガラス基板１４の厚さより僅かに突出するように設けられている。また、冶具スタンド２６ａ、２６ｂは、下端を研磨パッド１３に当接させた際、ロールブラシ２５の下端が好ましくはガラス基板１４中央部の円孔に入らない程度の高さになるように、又はより好ましくはガラス基板１４中央部の円孔と同じ高さになるように位置、大きさに調整されている。冶具スタンド２６ａ、２６ｂの上端部は、締結部材２８ａ、２８ｂにより締結固定されている。
【００３１】
次に、図２を参照して、基板剥離冶具１への圧縮空気供給系統について説明する。図２に示すように、基板剥離冶具１には、工場などの計装空気や、エアーコンプレッサーなどの圧縮空気供給源２８から圧縮空気が供給される。基板剥離冶具１への圧縮空気供給系統には、圧縮空気供給源２８側から順に、圧縮空気中の粉塵などを除去するエアーフィルタ２９と、圧縮空気の流量を制御する開閉バルブ３０と、圧縮空気供給源２８から供給される圧縮空気の１次圧を所定の２次圧まで減圧するレギュレータ３１とが配置される。なお、必要に応じてエアーフィルタ２９に加えて空気中の油分や水分を除去するオイルミストコレクタなどを圧縮空気供給系統内に配置してもよい。また、圧縮空気としては、空気以外にも比重の異なる各種ガスを用いてもよい。
【００３２】
次に、図２、図３（ａ）、（ｂ）を参照して基板剥離冶具１を用いたガラス基板１４の剥離動作について説明する。図２に示すように、まず、開閉バルブ３０を開いた状態で圧縮空気の供給を開始する。圧縮空気供給源２８から供給された圧縮空気は、エアーフィルタ２９で粉塵が除去され、レギュレータ３１で所定の設定圧力である２次圧まで減圧されて基板剥離冶具１に供給される。なお、レギュレータ３１の設定圧力は、例えば、０．３ＭＰａに設定する。
【００３３】
図３（ａ）に示すように、基板剥離冶具１は、ロールブラシ２５がガラス基板１４中心部の円孔に対応する位置に配置され、扁平ノズル１９の吐出口１９ｂがガラス基板１４の外周縁近傍に配置されるようにしてロールブラシ２５の取付け軸２５ａの下端及び冶具スタンド２６ａ、２６ｂの下端を研磨パッド１３に当接する。基板受け部１２は、ロールブラシ２５の取付け軸２５ａの下端及び冶具スタンド２６ａ、２６ｂの下端がケース２４の側壁２４ｂの下端より突出するように設けられているため、側壁２４ｂ下端と研磨パッド１３との間に所定の間隔Ｌ１が設けられる。また、基板受け部１２は、側壁２４ｂとガラス基板１４との間に所定の間隔Ｌ２が設けられるように構成されている。
【００３４】
次いで、基板剥離冶具１の操作レバー１８を握ることにより、扁平ノズル１９から研磨パッド１３とガラス基板１４との間（研磨パッド１３とガラス基板１４の外周面取り部との間の空間）に向けてレギュレータ３１で設定された２次圧の圧縮空気が吐出される。圧縮空気が吐出されたガラス基板１４には上方に向けて応力が作用し、研磨パッド１３から剥離される。ここで、ロールブラシ２５の取付け軸２５ａの下端がガラス基板１４中央部の円孔の近傍に配置されているので、図３（ｂ）に示すように、研磨パッド１３から剥離したガラス基板１４は、ロールブラシ２５によってガイドされながら浮き上がり、ロールブラシ２５がガラス基板１４中央部の円孔内に挿入される。また、ロールブラシ２５は、直径がガラス基板１４の内径より大きくなるように調整されているので、ガラス基板１４中央部の円孔の内壁がロールブラシ２５の毛先と接触しながら浮き上がり、浮き上がった状態で毛先によって下面側からガラス基板１４を支持する。このため、基板受け部１２では、研磨パッド１３から剥離したガラス基板１４の落下を防ぐことができ、ガラス基板１４への傷の付着を抑制することができる。なお、ケース２４内に吐出された圧縮空気は、側壁２４ｂ下端と研磨パッド１３との間の間隔Ｌ１よりケース２４外に排出される。
【００３５】
最後に、基板受け部１２に保持されたガラス基板１４を手で取出すことにより、傷及び汚れを付けることなく研磨パッド１３からガラス基板１４を剥離することができる。この時、ガラス基板１４と側壁２４ｂとの間に間隔Ｌ２が設けられているので、ガラス基板１４の取出しが容易となる。なお、本実施の形態では、圧縮空気の吐出時間は、例えば、一秒以下で研磨パッド１３からガラス基板１４を剥離することができる。
【００３６】
本実施の形態では、ガラス基板１４の乾燥を抑制する観点から、ガラス基板１４の剥離時における開閉バルブ３０のバルブ開度が微開であることが好ましく、操作レバー１８を握り、圧縮空気を吐出し続けた状態でレギュレータ３１の表示圧力値が計測範囲以下になるバルブ開度、具体的には０．０５ＭＰａ以下とすることがより好ましい。このようにバルブ開度を調整することにより、基板剥離冶具１から吐出される圧縮空気量をガラス基板１４の剥離に必要な必要最小量にすることができる。また、操作レバー１８を離すのが遅れ、圧縮空気の吐出の停止が遅れた際にも、ガラス基板１４への過剰の圧縮空気の吐出を抑制することができ、ガラス基板１４の乾燥に伴う汚れの付着等を抑制できる。なお、上述した開閉バルブ３０のバルブ開度としては、例えば、レギュレータ３１を介して基板剥離冶具１に供給される圧縮空気の単位時間当たりの流量が、基板剥離冶具１から吐出される単位時間当たりの圧縮空気の流量より小さくなるバルブ開度などが挙げられる。
【００３７】
なお、上述した実施の形態においては、開閉バルブ３０をレギュレータ３１の上流側に設ける例について説明したが、開閉バルブ３０の配置は、基板剥離冶具に供給される圧縮空気の単位時間当たりの流量を調整できる範囲であればレギュレータ３１の下流側に設けてもよく、上流側及び下流側の双方に設けてもよい。また、このような圧縮空気の流量を測定するため、必要に応じれレギュレータ３１と基板剥離冶具１との間に流量計などを設けてもよい。
【００３８】
また、本実施の形態では、圧縮空気の吐出によって研磨パッド１３からガラス基板１４を剥離するので、ガラス基板１４が乾燥しやすくなることが懸念されるが、上述したように圧縮空気の圧力を制御することにより、ガラス基板１４の乾燥を抑制することができ、ガラス基板１４の汚れ及び異物の付着を防止することができる。
【００３９】
なお、ロールブラシ２５の直径の大きさは、研磨パッド１３から剥離したガラス基板１４を保持できる大きさであれば特に限定されない。また、ロールブラシ２５は、取付け軸２５ａの直径、ブラシの毛の長さ及びブラシの材質を組み合わせることにより、異なる大きさ及び重量のガラス基板１４を用いた場合にも適切に保持することができる。
【００４０】
また、ロールブラシ２５の毛材としては、直径０．２ｍｍ程度の樹脂毛を用いることにより、毛先を柔軟にすることができ、ガラス基板１４への傷の付着を抑制することができる。また、毛材の材質としては、例えばナイロンなどを用いることができる。なお、ガラス基板１４への傷の付着をより軽減する観点から、ロールブラシ２５は回転可能に構成してもよい。また、ロールブラシ２５としては、ガラス基板１４中央部の円孔に挿入され、円孔の下面側からガラス基板１４を支持できるロール部材であれば特に限定されず、少ない力で形状変換する樹脂性のスポンジなどを用いてもよい。例えば、スポンジを用いた場合には、ガラス基板の円孔の端面を支持することができる。
【００４１】
本実施の形態では、扁平ノズル１９の吐出口１９ｂの幅をガラス基板１４の直径相当にすることにより、ガラス基板１４と研磨パッド１３との間の境界部に広範囲に圧縮空気が吐出されるので、ガラス基板１４に効果的に応力を発生させることができる。また、扁平ノズル１９は、操作レバー１８の回動方向を含む平面Ｆ１に対して、傾斜して接続されているので、図４に示した研磨装置においても、例えば、把持部１７と下研磨定盤４１との間の干渉を防ぐことができ、操作性を向上させることができる。
【００４２】
また、本実施の形態では、ガラス基板１４を覆うようにケース２４が設けられているので、圧縮空気を吹き付けた際の研磨液の飛散などを防ぐことができる。また、冶具スタンド２６ａ、２６ｂは、研磨パッド１３に当接させた際に、ケース２４下面と研磨パッド１３との間に所定の間隔Ｌ１ができるように配置されているので、ガラス基板１４に圧縮空気に突出された過剰の圧縮空気をケース２４外に放出することができる。さらに、ガラス基板１４とケース２４の側壁２４ｂとの間に所定の間隔Ｌ２ができるようにケース２４を設けることにより、基板受け部１２内からのガラス基板１４の取出しを容易にすることができる。なお、ケース２４は、過剰の圧縮空気を排出できる形状であればケース２４の下端と研磨パッド１３とが当接するようにするように構成してもよい。
【００４３】
以上説明したように、本実施の形態によれば、研磨パッド１３とガラス基板１４との間に圧縮空気を吐出することにより、ガラス基板１４の表面に接触することなく研磨パッド１３と密着したガラス基板１４を取り外すことができるので、ガラス基板１４への傷の付着及び汚れの付着を抑制することができる。
【００４４】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、適宜変更して実施することができる。上記実施の形態における数値、材質、サイズ、処理手順などは一例であり、本発明の効果を発揮する範囲内において種々変更して実施することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明は、ハードディスク用の磁気ディスク用ガラス基板の製造工程や、各種半導ウェーハの製造工程などに適用可能である。
【符号の説明】
【００４６】
１  基板剥離冶具
１１  本体部
１２  基板受け部
１３  研磨パッド
１４  ガラス基板
１５  接続部
１６  開放端部
１７  把持部
１８  操作レバー
１９  扁平ノズル
１９ａ  連結部
１９ｂ  吐出口
２０  連結具
２１  ノズルアダプタ
２１ａ  テーパー面
２１ｂ  端部
２２ａ、２２ｂ、２３ａ、２３ｂ、２７、２８ａ、２８ｂ  締結部材
２４  ケース
２４ａ  天板
２４ｂ、２４ｃ  側壁
２４ｄ  貫通孔
２５  ロールブラシ
２５ｂ  ネジ部
２６ａ、２６ｂ  冶具スタンド
２８  圧縮空気供給源
２９  エアーフィルタ
３０  開閉バルブ
３１  レギュレータ
４１、４２  研磨定盤
４３  研磨パッド
４４  ガラス基板
４５  キャリア
４６  太陽歯車
４７  内歯車
４８  歯部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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