(57)【要約】【課題】緩衝性を高めつつ、載置板の高さを低く抑え、低周波の振動を軽減すると共に、載置板の水平レベルの調整を可能とし、かつ、安価に提供できるようにする。【解決手段】支持体Ｂに置かれる基台１から複数個のゴム緩衝部４を介して吊板２を吊り下げ、この吊板２に複数本の防振脚体５を立設し、これらの防振脚体５により、基台１の上方に、被支持体Ａを載せる載置板３を支持し、各防振脚体５の下部及び上部にゴム緩衝部６を設け、各ゴム緩衝部４，６には、内部材７，１３と外部材８，１４の環状溝７ａ，８ａ，１３ａ，１４ａに環状の防振ゴム１１，１５を嵌め込んだものを用いる。また、基台１から吊板２を吊り下げるゴム緩衝部４には、減圧に伴い、吊板２を引き上げるように動作する内圧調整機構を設ける。【選択図】図１
2011021630.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体(B)に置かれる基台(1)から複数個のゴム緩衝部(4)を介して吊板(2)を吊り下げ、この吊板(2)に複数本の防振脚体(5)を立設し、これらの防振脚体(5)により、基台(1)の上方に、被支持体(A)を載せる載置板(3)を支持し、各防振脚体(5)の下部及び上部にゴム緩衝部(6)を設け、各ゴム緩衝部(4,6)には、内部材(7,13)と外部材(8,14)の環状溝(7a,8a,13a,14a)に環状の防振ゴム(11,15)を嵌め込んだものを用いた除振台。
【請求項２】
前記基台(1)から吊板(2)を吊り下げるゴム緩衝部(4)に、内圧調整機構を設け、その内圧を変化させることにより、吊板(2)の傾斜を補正して、載置板(3)の水平レベル調整ができるようにしたことを特徴とする請求項１に記載の除振台。
【請求項３】
前記内圧調整機構は、内部材(13)の上方に設けた圧力室(19)内の減圧に伴い、吊板(2)を引き上げるように動作することを特徴とする請求項２に記載の除振台。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、被支持体である各種機器類と、支持体である床等との間の振動の伝達を抑制する除振台に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、下記特許文献１には、図６に示すように、床等の支持体Ｂに置かれる基台５１の四隅に防振脚体５２を立設し、これにより、各種機器類である被支持体Ａを載せる載置板５３を支持し、各防振脚体５２の下部及び上部にゴム緩衝部５４を設けると共に、各防振脚体５２中間部に空気バネ５５を介在させ、緩衝性を向上させるものが記載されている。
【０００３】
このゴム緩衝部５４は、内部材５４ａと外部材５４ｂの環状溝に環状の防振ゴム５４ｃを嵌め込んだものとされている。また、空気バネ５５は、減圧により被支持体を上昇させる方向の引張力を付与したものとされている。
【０００４】
このような除振台は、空気の弾力を利用する空気バネ５５により、長いストロークに亘って安定的かつ柔軟に緩衝され、また、ゴム緩衝部５４により、方向性なく緩衝されて、自己位置復元性を有するものとなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−２６７４４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記除振台のように、空気バネ５５を防振脚体５２の中間部に介在させて緩衝性を高めようとすると、載置板５３の位置が高くなり、低周波の揺れが生じやすくなるという問題がある。
【０００７】
また、機器類の重心や載置位置が載置板５３の中心部からずれて、載置板５３に偏った荷重が作用した場合、載置板５３が傾き、機器類の使用に支障が生じる場合もある。
【０００８】
また、ゴム緩衝部５４に加えて、空気バネ５５を装備するため、高価なものになるという問題がある。
【０００９】
そこで、この発明は、緩衝性を高めつつ、載置板の高さを低く抑え、低周波の振動を軽減すると共に、載置板の水平レベルの調整を可能とし、かつ、安価に提供できるようにすることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するため、この発明に係る除振台は、支持体に置かれる基台から複数個のゴム緩衝部を介して吊板を吊り下げ、この吊板に複数本の防振脚体を立設し、これらの防振脚体により、基台の上方に、被支持体を載せる載置板を支持し、各防振脚体の下部及び上部にゴム緩衝部を設け、各ゴム緩衝部には、内部材と外部材の環状溝に環状の防振ゴムを嵌め込んだものを用いる構成としたのである。
【００１１】
また、前記基台から吊板を吊り下げるゴム緩衝部に、内圧調整機構を設け、その内圧を変化させることにより、吊板の傾斜を補正して、載置板の水平レベル調整ができるようにしたのである。
【００１２】
また、前記内圧調整機構は、内部材の上方に設けた圧力室内の減圧に伴い、吊板を引き上げるように動作するものとしたのである。
【発明の効果】
【００１３】
この発明に係る除振台では、防振脚体のゴム緩衝部と直列的に機能するゴム緩衝部を、防振脚体の中間部に設けるのではなく、基台と吊板との間に介在させたので、優れた緩衝性を確保しつつ、載置板の高さを低く抑え、低周波の振動を含め幅広い周波数の振動を軽減でき、緩衝のために空気バネを使用することもないので、製造コストを抑制できる。
【００１４】
また、このゴム緩衝部に設けた内圧調整機構により、吊板の傾斜を補正して、載置板の水平レベルを調整ができるので、簡単な操作で、載置板を水平に保持し、安定した状態で機器類を使用することができる。
【００１５】
また、内圧調整機構を、減圧に伴い吊板を引き上げる構成としたので、加圧に伴い吊板を下方から押し上げる構成に比べて、載置板の高さを低く抑えたまま、水平レベルの調整機能を付与することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】この発明に係る除振台の一部切欠全体正面図
【図２】同上の除振台の平面図
【図３】同上のIII−III線に沿った縦断側面図
【図４】同上の一部拡大縦断正面図
【図５】同上の防振脚体の分解斜視図
【図６】従来の除振台の概略縦断正面図
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、この発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【００１８】
図１乃至図３に示すように、この除振台は、床や机等の支持体Ｂに置かれ、平板部１ａが周囲の脚部１ｂにより支持体Ｂから浮き上がった状態に支持される基台１と、基台１の平板部１ａからゴム緩衝部４を介して吊り下げられる吊板２と、吊板２の四隅及び中央部に立設された防振脚体５により基台１の上方に支持される載置板３とを備え、載置板３に電子顕微鏡等の被支持体Ａが載せられる。
【００１９】
防振脚体５は、図４及び図５に示すように，支軸となる内部材７の下部及び上部にゴム緩衝部６を設けたものとされている。
【００２０】
ゴム緩衝部６は、前記内部材７及び外部材８を形成する外環９，１０と、環状の防振ゴム１１とから構成されている。防振ゴム１１は、内周側及び外周側の上下各面が傾斜した四角形断面とされている。
【００２１】
内部材７は、長い円柱軸部の外周下部及び上部にＶ字形断面の環状溝７ａを設けたものとされている。
【００２２】
外部材８の一方の外環９は、内周に傾斜面９ａを設け、ボルトの挿通穴９ｂと、ねじ穴９ｃとを周方向に４個ずつ配置し、挿通穴９ｂの入口の周囲に座ぐり部９ｄを設け、内部材７が嵌る開口部の周囲に凹溝９ｅを設けたものとされ、他方の外環１０は、内周に傾斜面１０ａを設け、ねじ穴１０ｂを周方向に４個配置したものとされている。
【００２３】
この防振脚体５を組み立てるには、各ゴム緩衝部６を形成するため、内部材７の環状溝７ａに防振ゴム１１の内周側を嵌め、外環９が防振脚体５の端部側となるように外環９，１０を重ねて、防振ゴム１１を挟み込む。これに伴い、傾斜面９ａ，１０ａにより形成されたＶ字形断面の環状溝８ａに防振ゴム１１の外周側が嵌まり込む。
【００２４】
そして、この状態で、ボルト１２を挿通穴９ｂを介しねじ穴１０ｂにねじ込んで、外環９，１０を一体化し、ボルト１２の頭部を座ぐり部９ｄに没入させる。
【００２５】
この防振脚体５は、基台１の平板部１ａに形成した貫穴１ｃに挿通して、凹溝９ｅにＯリング２２を嵌め、吊板２の上面及び載置板３の下面に形成した円形の凹部にゴム緩衝部６を嵌め込み、ボルト２３を、吊板２の挿通穴２ｂ及び載置板３の挿通穴３ａを介してねじ穴９ｃにねじ込むことにより、吊板２及び載置板３に固定する。
【００２６】
一方、図２に示すように、基台１から吊板２を吊り下げるゴム緩衝部４は、吊板２の四隅の防振脚体５の近傍にそれぞれ配置され、図４に示すように、内部材１３及び外部材１４と、環状の防振ゴム１５とから構成されている。
【００２７】
外部材１４は、基台１の平板部１ａと、その上面に取り付けられるケース体１６とから構成されている。防振ゴム１５は、内周側及び外周側の上下各面が傾斜した四角形断面とされている。
【００２８】
内部材１３は、短い円柱軸部の外周上部にＶ字形断面の環状溝１３ａを設けたものとされている。
【００２９】
外部材１４の一方をなす平板部１ａの上面には、貫穴１ｅの内周に傾斜面１ｄが設けられ、ケース体１６の内周下部には傾斜面１６ａが設けられている。
【００３０】
このゴム緩衝部４を形成するには、内部材１３の環状溝１３ａに防振ゴム１５の内周側を嵌め、平板部１ａに形成した貫穴１ｅに内部材１３を挿通し、吊板２の挿通穴２ａを介し内部材１３のねじ穴１３ｂにボルト１７をねじ込み、吊板２に内部材１３を固定する。
【００３１】
次に、ケース体１６を内部材１３の上方に被せる。これに伴い、傾斜面１ｄ，１６ａにより形成されたＶ字形断面の環状溝１４ａに防振ゴム１５の外周側が嵌まり込む。
【００３２】
そして、この状態で、ボルト１８をケース体１６の挿通穴１６ｂを介し平板部１ａのねじ穴１ｆにねじ込んで、ケース体１６を基台１に固定する。
【００３３】
このように形成したゴム緩衝部４には、ケース体１６の内側において、内部材１３の上方に圧力室１９が設けられ、圧力室１９からケース体１６の外部へ連通する連通路１９ａを介し逆止弁２０が取り付けられる。そして、逆止弁２０にポンプへ至るエアチューブ２１が接続される。
【００３４】
このように構成した除振台を使用する際には、載置板３の上面に被支持体Ａを載せ、被支持体Ａが直立せず傾いている場合には、載置板３の下がっている部分に対応するゴム緩衝部４に繋がったエアチューブ２１を介して、そのゴム緩衝部４の圧力室１９から空気を吸い出し、圧力室１９の減圧に伴い、内部材１３を引き上げることにより、吊板２の傾斜を補正して、載置板３の水平レベルを調整する。
【００３５】
また、載置板３の一部分が上がりすぎた場合には、圧力室１９内の減圧を緩めると、その部分が下降し、水平レベルを微調整することができる。また、ポンプにより圧力室１９内を大気圧以上に加圧して、載置板３の一部分を強制的に下降させることもできる。
【００３６】
上記のような除振台では、防振脚体５のゴム緩衝部６と直列的に機能するゴム緩衝部４を、防振脚体５の中間部に設けるのではなく、基台１と吊板２との間に介在させたので、優れた緩衝性を確保しつつ、載置板３の高さを低く抑えることができ、低周波の振動を重点的に軽減することができる。
【００３７】
また、ゴム緩衝部４，６として、環状溝７ａ，８ａ，１３ａ，１４ａに環状の防振ゴム１１，１５を嵌め込んだものを用いたので、全方向の振動に対応でき、載置板３に載置した被支持体Ａは、振動しても自動的に所定位置に復帰するほか、特性の異なる防振ゴム１１，１５に交換することにより、幅広い荷重や周波数に対応することができる。
【００３８】
そして、図６に示す従来の除振台のように、緩衝のために空気バネを使用することもないので、製造コストを抑制できる。
【００３９】
また、ゴム緩衝部４に設けた内圧調整機構により、吊板２の傾斜を補正して、載置板３の水平レベルを調整ができるので、簡単な操作で、載置板３を水平に保持し、安定した状態で機器類を使用することができる。
【００４０】
さらに、この内圧調整機構を、減圧に伴い吊板２を引き上げる構成としたので、加圧に伴い吊板２を下方から押し上げる構成に比べて、載置板３の高さを低く抑えたまま、水平レベルの調整機能を付与することができる。
【００４１】
なお、上記実施形態は、床や机等の支持体Ｂから電子顕微鏡等の被支持体Ａへの振動の伝達を抑制するものを想定して例示したが、このような構成の除振台は、コンプレッサーや真空ポンプ、ブロアユニット等の振動発生源となる被支持体Ａから床等の支持体Ｂへの振動の伝達を抑制するものとしても使用できる。
【符号の説明】
【００４２】
１  基台
１ａ  平板部
１ｂ  脚部
１ｃ  貫穴
１ｄ  傾斜面
１ｅ  貫穴
１ｆ  ねじ穴
２  吊板
２ａ，２ｂ  挿通穴
３  載置板
３ａ  挿通穴
４  ゴム緩衝部
５  防振脚体
６  ゴム緩衝部
７  内部材
７ａ  環状溝
８  外部材
８ａ  環状溝
９，１０  外環
９ａ  傾斜面
９ｂ  挿通穴
９ｃ  ねじ穴
９ｄ  座ぐり部
９ｅ  凹溝
１０ａ  傾斜面
１０ｂ  ねじ穴
１１  防振ゴム
１２  ボルト
１３  内部材
１３ａ  環状溝
１３ｂ  ねじ穴
１４  外部材
１４ａ  環状溝
１５  防振ゴム
１６  ケース体
１６ａ  傾斜面
１６ｂ  挿通穴
１７，１８  ボルト
１９  圧力室
１９ａ  連通路
２０  逆止弁
２１  エアチューブ
２２  Ｏリング
２３  ボルト
Ａ  被支持体
Ｂ  支持体
【図１】
2011021630.tif 000003
【図２】
2011021630.tif 000004
【図３】
2011021630.tif 000005
【図４】
2011021630.tif 000006
【図５】
2011021630.tif 000007
【図６】
2011021630.tif 000008