(57)【要約】【課題】基板の傾き補正を基板が移動している状態で行なうことを可能とする。【解決手段】基板搬送ライン５は下基板１の搬送方向（矢印）に対して左側の左側ローラコンベア５Ｌと右側の右側コンベア５Ｒとで構成され、左側ローラコンベア５Ｌは下基板１の搬送方向のローラ２１ａの列を有し、右側ローラコンベア５Ｒも下基板１の搬送方向のローラ２１ｂの列を有する。また、これらには夫々、基板検出センサ２４ａ，２４ｂが設けられており、図２（ｂ）に示すように、搬送される下基板１が傾いている場合には、ローラコンベア５Ｌ，５Ｒでの基板検出センサ２４ａ，２４ｂがこの下基板１の夫々の辺部を検出されるタイミングの時間差からこの傾きの大きさと方向とを検出し、この検出結果に応じてローラコンベア５Ｌ，５Ｒのいずれか一方のローラ２１ａまたは２１ｂによる搬送速度を定常速度より異ならせ、下基板１をその傾き角度だけ回転させる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の搬送方向に対して左右方向に左側コンベアと右側コンベアとが配置されてなるコンベアを有し、該左側コンベアと該右側コンベアとを駆動することにより、該基板を定常速度で搬送する基板搬送装置であって、
該左側コンベアと該右側コンベアとに、該基板の搬送方向に垂直な方向に間隔を空けて配置され、搬送される該基板を検出する基板検出センサと、
該左側コンベアの該基板検出センサと該右側コンベアの該基板検出センサとによる該基板の検出タイミングの時間差をとから搬送される該基板のその搬送方向に対する傾き角を求め、該傾き角に応じて該左側コンベアによる該基板の搬送速度と該右側コンベアによる該基板の搬送速度とを異ならせる制御手段と
を設け、
該左側コンベアによる該基板の搬送速度と該右側コンベアによる該基板の搬送速度とを異ならせて、該基板を該左側コンベアと該右側コンベアとの面内で回転させることにより、該基板の傾きを補正することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板搬送装置において、
前記コンベアは、前記左側コンベアと前記右側コンベアとからなる複数の区間コンベアが前記基板の搬送方向に配列されてなり、
該区間コンベア毎に、前記基板の傾き角を検出し、検出した該傾き角に応じて前記基板を回転させることにより、前記基板の傾きを補正することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の基板搬送装置において、
前記コンベアでは、前記右側コンベアと前記左側コンベアとのいずれか一方を増速することにより、前記定常速度で搬送される前記基板の一方の辺部側の移動速度を該定常速度よりも速い速度もしくは遅い速度で移動させて、前記基板を回転させることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項４】
基板の搬送方向に対して左右方向に左側コンベアと右側コンベアとが配置され、該左側コンベアと該右側コンベアとを駆動することにより、該基板を定常速度で搬送するコンベアでの基板の傾き補正方法であって、
該左側コンベアと該右側コンベアとに互いに該基板の搬送方向に対して垂直方向に配置された基板検出センサで該基板を検出することにより、その検出結果を基に該基板の傾きを検出し、
検出された該基板の傾きに応じて、該左側コンベアによる該基板の移動速度と該右側コンベアによる該基板の移動速度とを異ならせて、該左側コンベア，該右側コンベア上で該基板を、該定常速度で搬送しながら、回転させ、該基板の傾きを補正することを特徴とする基板の傾き補正方法。
【請求項５】
請求項４に記載の基板の傾き補正方法であって、
前記コンベアは、前記左側コンベアと前記右側コンベアとからなる複数の区間コンベアが前記基板の搬送方向に配列されてなり、
該区間コンベア毎に、前記基板の傾き角を検出し、検出した該傾き角に応じて前記基板を前記定常速度で搬送しながら回転させることにより、前記基板の傾きを補正することを特徴とする基板の傾き補正方法。
【請求項６】
請求項４または５に記載の基板の傾き補正方法であって、
前記コンベアでは、前記右側コンベアと前記左側コンベアとのいずれか一方を増速することにより、前記定常速度で搬送される前記基板の一方の辺部側の移動速度を該定常速度よりも速い速度もしくは遅い速度で移動させて、前記基板を回転させることを特徴とする基板の傾き補正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶基板の基板貼合システムに係り、特に、貼り合せ完了までの時間短縮を図ると共に、システム中でのロボットによる基板の受け渡し作業を極力少なくした基板搬送装置と基板の傾き補正に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルの製造には、透明電極や薄膜トランジスタアレイを設けた２枚のガラス基板を、数μｍ程度の極めて接近した間隔をもって、基板の周縁部に設けた接着剤（以下、シール剤ともいう）で貼り合わせ（以下、貼合後の基板を液晶表示パネルという）、それによって形成された基板間の空間に液晶を封止する工程がある。
【０００３】
この液晶の封止には、注入口を設けないようにシール剤をクローズしたパターンに描画した一方の基板上に液晶を滴下しておいて、真空チャンバ内において他方の基板をこの一方の基板上に配置し、これら上下の基板を接近させて貼り合わせる方法などがある。
【０００４】
かかる液晶基板の貼合方法の一従来方法として、真空チャンバ内に基板を搬入・搬出するために予備室を設け、真空チャンバ内を予備室と同じ雰囲気にして基板の出し入れを行なう方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
この特許文献１には、また、上基板と下基板とを搬送治具に載せて、予備室から貼合室へコンベア上を搬送することが開示されている。
【０００６】
また、他の従来例として、下基板を第１ロード室からスペーサ散布装置，封止材塗布装置，液晶注入装置及び第１予備整列装置を経てアセンブリー装置に搬送し、上基板を第２ロード室から第２予備整列室及び予備室を経て同じアセンブリー装置に搬送し、アセンブリー装置でこれら２枚の基板を貼り合わせた後、封止材硬化装置，熱処理装置及び基板切断装置を経てこの貼り合わせた基板をアンロード装置に送るシステムが知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００７】
さらに、他の従来例として、基板の位置決めや傾きの補正を機械的に行なうようにした機構を備えたプリント基板搬送コンベアが提案されている（例えば、特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００１−３０５５６３号公報
【特許文献２】特開２００３−１５１０１号公報
【特許文献３】特開平１０−３１０２２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記特許文献１に記載の技術では、液晶基板組立システムにおいて、基板を貼り合わせるための貼合室（真空チャンバ）に基板の出し入れをする際に、貼合室内を予備室と同じ雰囲気にするために、貼合室内を常に真空状態にしておき、この貼合室の一方側に設けられている一方の予備室内に大気状態で貼り合わせる２枚の基板を搬入し、搬入が終了すると、この予備室を真空状態にして、これら２枚の基板をこの予備室から貼合室内に搬送する。貼合室では、これら基板を上テーブルと下テーブルとに保持し、上テーブルを下テーブルに保持されている下基板上に降下させることにより、これら上下２枚の基板の貼り合わせが行なわれる。貼合室でこれら２枚の基板の貼り合わせが終了すると、これら貼り合わされた基板は、この貼合室の他方側に設けられている他方の予備室から排出される。特許文献１に記載の装置は、かかる構成となっているために、装置が長い構造となり、それに大きな設置面積を必要としている。
【００１０】
また、夫々の予備室や貼合室を真空状態にする必要があるため、そのための装置を配置する必要があり、しかも、真空状態するまでに時間がかかってタクトタイムを短くするには限界がある。さらに、上記特許文献１には、その前工程との関係は何等記載していない。さらに、予備室から貼合室への上下基板の搬送に搬送治具を用いるために、搬送治具への基板の受け渡しなどに時間がかかるという課題もある。
【００１１】
また、上記特許文献２では、各装置間を移動手段で基板を移動させると記載しているのみであって、どのような搬送手段を用いて基板を搬送し、各装置に受け渡すかの記載は何等開示されていない。
【００１２】
ところで、ローラコンベア方式で基板を搬送する場合、ローラコンベア上に基盤を載せる際やローラコンベアの急激な停止などにより、搬送中の基板がその搬送方向に対してある角度傾く場合がある。
【００１３】
上記特許文献３には、基板の傾きを補正する方法が記載されているが、この方法で基板の傾きの補正を行なう場合、基板を所定位置に停止させ、しかる後、停止した基板を横から押してその傾きをなくすようにするものであるから、傾きの補正に時間が掛かるし、かかる動作を行なわせるための夫々の機械的な機構が必要となり、装置が大型化するといった問題がある。
【００１４】
本発明の目的は、かかる問題を解消し、基板の傾き補正をこの基板を移動させている状態で行なうことを可能とし、傾き補正に要する時間を短縮でき、かつ装置全体の小型を実現できて、基板を、傾きがない状態で、搬送先の機構部に搬送することができるようにした基板搬送装置と基板の傾き補正方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的を達成するために、本発明は、基板の搬送方向に対して左右方向に左側コンベアと右側コンベアとが配置されてなるコンベアを有し、左側コンベアと右側コンベアとを駆動することにより、基板を定常速度で搬送する基板搬送装置であって、左側コンベアと右側コンベアとに、基板の搬送方向に垂直な方向に間隔を空けて配置され、搬送される基板を検出する基板検出センサと、左側コンベアの基板検出センサと右側コンベアの基板検出センサとによる基板の検出タイミングの時間差をとから搬送される基板のその搬送方向に対する傾き角を求め、傾き角に応じて左側コンベアによる基板の搬送速度と右側コンベアによる基板の搬送速度とを異ならせる制御手段とを設け、左側コンベアによる基板の搬送速度と右側コンベアによる基板の搬送速度とを異ならせて、基板を左側コンベアと右側コンベアとの面内で回転させることにより、基板の傾きを補正することを特徴とするものである。
【００１６】
また、コンベアは、左側コンベアと右側コンベアとからなる複数の区間コンベアが基板の搬送方向に配列されてなり、区間コンベア毎に、基板の傾き角を検出し、検出した傾き角に応じて基板を回転させることにより、基板の傾きを補正することを特徴とするものである。
【００１７】
さらに、コンベアでは、右側コンベアと左側コンベアとのいずれか一方を増速することにより、定常速度で搬送される基板の一方の辺部側の移動速度を定常速度よりも速い速度もしくは遅い速度で移動させて、基板を回転させることを特徴とするものである。
【００１８】
上記目的を達成するために、本発明は、基板の搬送方向に対して左右方向に左側コンベアと右側コンベアとが配置され、左側コンベアと右側コンベアとを駆動することにより、基板を定常速度で搬送するコンベアでの基板の傾き補正方法であって、左側コンベアと右側コンベアとに互いに基板の搬送方向に対して垂直方向に配置された基板検出センサで基板を検出することにより、その検出結果を基に基板の傾きを検出し、検出された基板の傾きに応じて、左側コンベアによる基板の移動速度と右側コンベアによる基板の移動速度とを異ならせて、左側コンベア，右側コンベア上で基板を、定常速度で搬送しながら、回転させ、基板の傾きを補正することを特徴とするものである。
【００１９】
また、本発明は、コンベアが、左側コンベアと右側コンベアとからなる複数の区間コンベアが基板の搬送方向に配列されてなり、区間コンベア毎に、基板の傾き角を検出し、検出した傾き角に応じて基板を定常速度で搬送しながら回転させることにより、基板の傾きを補正することを特徴とするものである。
【００２０】
さらに、本発明は、コンベアでは、右側コンベアと左側コンベアとのいずれか一方を増速することにより、定常速度で搬送される基板の一方の辺部側の移動速度を定常速度よりも速い速度もしくは遅い速度で移動させて、基板を回転させることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によると、基板貼合のためのシール剤を塗布する塗布装置から貼合装置やシール剤硬化装置（紫外線照射装置）などをほぼ直列に配置するとともに、下基板や貼りあわせが完了した液晶パネルの搬送に左右別駆動方式のローラコンベアを用いて搬送し、各装置の手前で基板の傾きを補正することができ、かつ貼合装置や貼合室に上下基板を同時に搬入できるようにしたために、液晶パネルの製作時間を大幅に短縮でき、かつ装置手前で基板の傾き補正を行なうために、塗布や貼合精度が大幅に向上する。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明による基板搬送装置と基板の傾き補正方法を備えた液晶パネル組立システムの全体配置を示す平面図である。
【図２】図１に示す液晶パネル組立システムでの本発明による基板搬送装置と基板の傾き補正方法の一実施形態を示す概略構成図である。
【図３】図１に示す液晶パネル組立システムでの本発明による基板搬送装置と基板の傾き補正方法の他の実施形態を示す概略構成図である。
【図４】図１における基板貼合室の一具体例とこの基板貼合室での前処理室からの基板搬入及び後処理室への基板搬出動作を示す縦断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２４】
図１は本発明による基板搬送装置と基板の傾き補正方法を備えた液晶パネル組立システムの全体配置を示す平面図であって、１は下基板、２は上基板、３は基板搬入ロボット、４は整列機構、５は第１の搬送ライン(インライン)、６は第２の搬送ライン(サイドライン)、７はペースト塗布機(シールディスペンサ)、８は短絡用電極形成用塗布機、９は液晶滴下装置、１０は第１の検査室、１１は基板反転装置、１２は移載室、１３はロボットハンド、１４は前処理室、１５は基板貼合室（真空チャンバ）、１６は後処理室、１７は紫外線照射室、１８は第２の検査室（パネル検査室）、１９は貼合基板（液晶パネル）、２０は第３の搬送ラインである。
【００２５】
同図において、下基板１が搬送される第１の搬送ライン(インライン)５と、ＴＦＴ（Thin Film Transistor：薄膜トランジスタ）などが形成された上基板２が搬送される第２の搬送ライン(サイドライン)６とが設けられている。洗浄された上基板２及び下基板１を搬送する第１の搬送ライン５及び第２の搬送ライン６は、ローラが搬送方向に１列に配列されてなるローラコンベアまたはベルトコンベアで構成されている。２つのローラコンベアまたはベルトコンベアが、基板の移動方向に対して左右方向に分割されて配置されており、夫々が別々の駆動機構で別々に駆動制御できるように構成されている。以下は、ローラコンベアで構成されたことで説明する。上下基板１，２は、ローラコンベア上を夫々搬送される。
【００２６】
第１の搬送ライン５の手前には、洗浄された下基板１をこのシステムに搬入する基板搬入ロボット３と、基板搬入ロボット３から下基板１を整列させるための整列機構４とが設けている。整列機構４から第１の搬送ライン５に下基板１が受け渡され、第１の搬送ライン５上を下基板１がその貼合面を上にして矢印方向に移動する。この第１の搬送ライン５の途中には、下基板１上にシール剤（接着剤）を環状（閉ループ状）に塗布するペースト塗布機(シールディスペンサ)７が設けている。このペースト塗布機７と直列（即ち、下流側）に、導電性ペーストをスポット的に塗布する短絡用電極形成用塗布機８が配置されている。
【００２７】
さらに、この短絡用電極形成用塗布機８の下流側には、上記のように塗布されたシール剤のループ内に液晶を所望量滴下する液晶滴下装置９が配置されている。この液晶滴下装置９の下流側には、塗布されたシール剤や滴下された液晶などの状態を検査する第１の検査室１０が配置されている。この第１の検査室１０で検査された下基板１は、移載室１２に設けられたロボットハンド１３により、前処理室１４と第２の検査室１８との間に設けられた第３の搬送ライン２０に受け渡される。この第３の搬送ライン２０も、ローラコンベアで形成されている。この第３の搬送ライン２０により、まず、下基板１が基板搬入側の前処理室１４内に搬入される。さらに、第２搬走ライン６で搬送されて来た上基板２が、基板反転装置１１で表裏反転された後、移載室１２に設けられたロボットハンド１３により、前処理室１４内に搬入される。
【００２８】
なお、前処理室１４にも、上基板２を保持して基板貼合室（真空チャンバ）１５に搬入するロボットハンド（図示せず）と、下基板１を搬送するローラコンベア（図示せず）とが設けている。また、この前処理室１４には、ローラコンベアを伸縮させるコンベア伸縮機構（図示せず）が設けられており、前処理室１４と基板貼合室１５との間に設けられているゲートバルブ（図示せず）が開くと、このコンベア伸縮機構により、ローラコンベアがゲートバルブを越えて基板貼合室１５のローラコンベアに接続できるように構成している。
【００２９】
上下両基板１，２が前処理室１４に搬入されると、前処理室１４の基板搬入側の入り口に設けられたゲートバルブ（図示せず）が閉じられ、前処理室１４内が、図示していない真空ポンプにより、所定の真空度（１５０Ｔorr程度：以下、これを半真空という）になるまで排気される。前処理室１４内が半真空の状態になると、基板貼合室１５との間のゲートバルブが開かれ、ローラコンベアがコンベア伸縮機構により基板貼合室１５側に伸ばされて基板貼合室１５のローラコンベアに接続される。このローラコンベア上を下基板１が移動して基板貼合室１５内に搬入され、また、ロボットハンドにより、上基板２が基板貼合室１５内に搬入される。このとき、基板貼合室１５内は半真空状態となっている。この前処理室１４には、下基板１を受け取って基板貼合室１５の下テーブルに搬送する第３の搬送ライン２０となるローラコンベアと、上基板２を受け取って基板貼合室１５の上テーブル(加圧板)３１（図４）に受け渡すためのロボットハンド２８（図４）とが設けている。なお、基板貼合室１５における基板１，２の受け取りの詳細は後述する。
【００３０】
基板貼合室１５での両基板１，２の受け渡しが終了し、その上下両テーブル４６，４７（図４）にこれら上下基板１，２が夫々保持されると、前処理室１４から伸ばされていたローラコンベアは前処理室１４内に縮められ、上記のゲートバルブが閉じられる。その後、基板貼合室１５内は高真空（約５×１０-3Torr）になるまで排気される。その後、上下両基板１，２の位置合わせを行ないながら、上テーブルを降下させて上基板２の下基板１への貼り合わせを実行する。この貼り合わせが終了すると、基板貼合室１５内が半真空に戻され、基板貼合室１５と後処理室１６の間のゲートバルブ（図示せず）が開放される。このとき、後処理室１６は半真空の状態となっている。
【００３１】
後処理室１６にも、コンベア伸縮機構（図示せず）が設けられており、基板貼合室１５との間のゲートバルブが開くと、後処理室１６に設けられたこのコンベア伸縮機構が動作し、後処理室１６からローラコンベアが伸ばされて基板貼合室１５のローラコンベアに接続されて、後処理室１６に上下基板１，２が貼り合わされてなる貼合基板（即ち、液晶パネル）１９が搬入される。後処理室１６に貼合基板１９が搬入されると、ローラコンベアは後処理室１６内に縮められ、後処理室１６と基板貼合室１５との間のゲートバルブが閉じられて、後処理室１６内を大気状態にする。後処理室１６内が大気状態となると、後処理室１６と紫外線照射室１７との間のゲートバルブ（図示せず）が開かれ、後処理室１６に設けられているコンベア伸縮機構（図示せず）により、紫外線照射室１７のローラコンベアに接続される。その後、かかるローラコンベア上を紫外線照射室１７内に液晶パネル１９が搬入され、そこでシール剤に紫外線が照射されてシール剤を硬化させる。シール剤の硬化が完了すると、ローラコンベア上を液晶パネル１９が搬送され、第２の検査室（パネル検査室）１８に運ばれてその検査が行なわれる。
【００３２】
このように、各処理室１４〜１８をほぼ直線状に並べて、一部にロボットハンドを用いているが、ほぼ全体に基板の搬送にローラコンベアを用いる構成としたために、装置の設置面積を最小限に抑制することができる。
【００３３】
また、以上のシステム構成で液晶パネル１９が製造されるが、この液晶基板貼合システムでは、基板１，２の搬送は、大部分がローラコンベアによって行なわれるために、従来のロボットハンドによる搬送に比べて、上下基板１，２がその搬送方向に関して時計回り方向あるいは反時計回り方向に回転して傾き、位置合わせの精度が低下する恐れがある。そこで、搬送路上で停止する場合に発生する基板の位置ずれを防止して、各処理装置に上下基板１，２を受け渡すときに位置ズレのない状態にする必要がある。そのため、この実施形態では、第１の搬送ライン５や第２の搬送ライン６のローラコンベアでの各処理部へ上下基板１，２を受け渡す手前で、位置合わせを行なう（即ち、上下基板１，２の回転（傾き）を検出し、その傾きを補正する）ための検出センサが配置されている。
【００３４】
図２は図１に示す液晶パネル組立システムでの本発明による基板搬送装置と基板の傾き補正方法の一実施形態を示す概略構成図であって、同図（ａ）は基板（ここでは、下基板１を例に示す）が正常な姿勢で搬送されている状態を、同図（ｂ）は基板が回転した（傾いた）状態で搬送されている状態を夫々示しており、５Ｌは左側ローラコンベア、５Ｒは右側ローラコンベア、２１ａ，２１ｂはローラ、２２ａ，２２ｂは動力伝達軸、２３ａ，２３ｂは駆動モータ、２４ａ，２４ｂは基板検出センサであり、前出図面に対応する部分には同一符号を付けて重複する説明を省略する。ここでは、第１の搬送ライン５について説明するものであるが、第２の搬送ラインについても、同様である。また、ここでは、下基板１について説明するが、上基板２についても、同様である。
【００３５】
同図において、ローラコンベアからなる第１の搬送ライン５では、その左右に夫々ローラ２１ａ，２１ｂの列が配置され、夫々左右のローラ２１ａ，２１ｂを駆動するための駆動モータ２３ａ，２３ｂに動力伝達源２２ａ，２２ｂを介して接続されている。駆動モータ２３ａ，２３ｂの駆動力が動力伝達源２２ａ，２２ｂを介してローラ２１ａ，２１ｂに伝達され、これにより、ローラ２１ａ，２１ｂが回転駆動される。これらローラ２１ａ，２１ｂ上に下基板１が載置された状態でこれらローラ２１ａ，２１ｂを回転駆動することにより、下基板１が矢印方向に搬送される。
【００３６】
ここで、ローラ２１ａの列と駆動モータ２３ａと動力伝達源２２ａとは左側ローラコンベア５Ｌを形成し、ローラ２１ｂの列と駆動モータ２３ｂと動力伝達源２２ｂとが右側ローラコンベア５Ｒを形成しており、左側ローラコンベア５Ｌが下基板１の搬送方向（白抜き矢印で示す）に関して左側に、右側ローラコンベア５Ｒが同じく右側に夫々配置され、かつ左側ローラコンベア５Ｌのローラ２１ａの列上に下基板１の左側辺部が、右側ローラコンベア５Ｌのローラ２１ｂの列上に下基板１の右側辺部が夫々載ってこの下基板１が搬送されるように、左側ローラコンベア５Ｌと右側ローラコンベア５Ｌとの間隔が保たれている。
【００３７】
かかる左側ローラコンベア５Ｌと右側ローラコンベア５Ｒとからなるローラコンベアが用いられる第１の搬送ライン５には、搬送方向に対して直角方向（左右方向）に、下基板１の左右両辺部の通過を検出する基板検出センサ２４ａ，２４ｂが配置されている。下基板１がペースト塗布機７（図１）のテーブル（図示せず）の手前に搬送されてくると、この第１の搬送ライン５に設置されている基板検出センサ２４ａ，２４ｂによってこの下基板１の左右両辺部が検出される（なお、図２では、下基板１が基板検出センサ２４ａ，２４ｂを通過した後の状態を示している）。左右夫々の側の基板検出センサ２４ａ，２４ｂのうちのいずれか一方が下基板１の辺部を検出すると、検出した側の駆動モータ２３ａまたは２３ｂを停止させるように、図示しない制御手段が制御する。図２（ａ）に示すように、、基板検出センサ２４ａ，２４ｂが同時に下基板１の夫々の辺部の先端を検出したときには、制御手段は下基板１が傾きのない正しい状態で搬送されてきたものと判定し、駆動モータ２３ａ，２３ｂをそのまま回転駆動して下基板１を搬送させる。
【００３８】
そこで、図２（ｂ）に示すように、下基板１が進行方向からみて（以下、同様）反時計回転方向に回転して（傾いて）搬送されている（即ち、下基板１の左辺部側が右辺部側よりも遅れて搬送されている）とすると、左側ローラコンベア５Ｌと右側ローラコンベア５Ｒに配置されている基板検出センサ２４ａ，２４ｂが同時に下基板１を検出せず、まず、右側ローラコンベア５Ｒの基板検出センサ２４ｂ（以下、右側の基板検出センサ２４ｂという）が下基板１を検出し、次いで、左側ローラコンベア５Ｌの基板検出センサ２４ａ（以下、左側の基板検出センサ２４ａという）が下基板１を検出することになるが、右側の基板検出センサ２４ｂが下基板１を検出してから左側の基板検出センサ２４ａが下基板１を検出するまでは、そのときの移動速度（これを、以下、定常速度という）をそのまま維持して下基板１を搬送させる。その後、左側の基板検出センサ２４ａが下基板１を検出すると、左側の駆動モータ２３ａを増速させて下基板１の左辺部側を右辺部側よりも（即ち、定常速度よりも）速い移動速度（以下、これを傾き補正速度という）で搬送させる。これにより、下基板１は搬送されながら反時計回り方向に回転することになり、この下基板１の傾きが補正されていく。
【００３９】
このように、下基板１の傾きを補正するようにするために、図示しない制御部により、右側の基板検出センサ２４ｂが下基板１の右辺部側を検出してから左側の基板検出センサ２４ａが下基板１の左辺部側を検出するまでの時間が求められ、かかる時間を基に下基板１の傾き方向と傾き量とを求め、これらを基に予め決められた所定の距離移動したときにかかる下基板１の傾きが補正されるための下基板１の移動速度を傾き補正速度として求め、この傾き補正速度で下基板１の左辺部が移動するように、左側の駆動モータ２３ａの回転速度を設定する。これにより、下基板１の左辺部はこの傾き補正速度で移動することになるが、下基板１の右辺部は定常速度で移動しているので、下基板１は、搬送されながら、反時計回り方向に回転して、反時計方向の回転による傾きが補正されることになる。
【００４０】
このように、ロールコンベア上で、下基板１の搬送を停止させることなく、この下基板１の傾き補正をすることができ、このため、図１でのペースト塗布機７や液晶滴下装置９，基板貼合装置１５などのテーブルに下基板１を載置したときの木の下基板の位置合せを行なう必要がなくなり、作業時間の短縮を図ることが可能となる。
【００４１】
なお、上記の各装置には、夫々の処理を行なうためのテーブルが設けられており、各テーブルには、下基板１の停止位置を規定するために、基板位置決め機構を備えている。この位置決め機構は、基板搬送方向に対して、直角方向に下基板１の左右両辺部側の進行を規定する上下動する２本の規制ピンで構成されている。下基板１がローラコンベア上を装置内に搬送されてくると、この規制ピンが下基板１の移動を停止させるようにローラコンベアよりも上まで突出させ、この下基板１の進行を止めるものである。
【００４２】
図３は図１に示す液晶パネル組立システムでの本発明による基板搬送装置と基板の傾き補正方法の他の実施形態を示す概略構成図であって、同図（ａ）は基板（ここでは、下基板１を例に示す）が傾いた姿勢から正常な姿勢へと傾きが補正される過程を、同図（ｂ）は下基板１の移動速度の変化を夫々示しており、２１ａ1〜２１ａ3，２１ｂ1〜２１ｂ3はローラ、２２ａ1〜２２ａ2，２２ｂ1〜２２ｂ3は動力伝達軸、２３ａ1〜２３ａ3，２３ｂ1〜２３ｂ3は駆動モータ、２４ａ1〜２４ａ3，２４ｂ1〜２４ｂ3は基板検出センサ、２５1〜２５3は区間ローラコンベアであり、前出図面に対応する部分には同一符号を付けて重複する説明を省略する。ここでは、第１の搬送ライン５について説明するものであるが、第２の搬送ラインについても、同様である。また、ここでは、下基板１について説明するが、上基板２についても、同様である。
【００４３】
図２に示す実施形態では、ローラコンベアの１箇所に基板検出センサ２４ａ，２４ｂを配置したが、図３に示すこの実施形態では、装置間の基板搬送路の距離が長い場合、搬送路をその搬送方向に複数の区間に分割され、夫々の区間毎にローラコンベアが配置されたものとして（ここでは、３個の区間ローラコンベア２５1〜２５3を配置しているものとしているが、これに限るものではない）、区間ローラコンベア毎に搬送速度を可変できるように、駆動装置を設けた構成としている。
【００４４】
図３（ａ）において、この実施形態は、装置間の距離が長い下基板１の搬送路を３つの区間に分割し、区間毎に夫々左側ローラコンベアと右側ローラコンベアとからなる区間ローラコンベア２５1，２５2，２５3が配置された構成をなしている。そして、夫々の区間ローラコンベア２５1，２５2，２５3において、その左側のローラコンベア（即ち、左側ローラコンベア）の始端側に基板検出センサ２４ａ1，２４ａ2，２４ａ3が、その右側のローラコンベア（即ち、右側ローラコンベア）の始端側に基板検出センサ２４ｂ1，２ｂａ2，２４ｂ3が夫々設けられている。下基板１は、これら区間ローラコンベア２５1，２５2，２５3を一定の定常速度で搬送されるものであるが、下基板１に傾きがあると、区間ローラコンベア２５1では、基板検出センサ２４ａ1，２４ｂ1によってこの傾きが検出され、区間ローラコンベア２５2では、基板検出センサ２４ａ2，２４ｂ2によってこの傾きが検出され、区間ローラコンベア２５3では、基板検出センサ２４ａ3，２４ｂ3によってこの傾きが検出されることにより、この下基板１の傾きが区間ローラコンベア２５1，２５2，２５3で搬送されているときに補正されるものである。
【００４５】
ここで、区間ローラコンベア２５1は、下基板１の搬送方向に配列されるローラ２１ａ1の列と駆動モータ２３ａ1とこの駆動モータ２３ａ1の回転駆動力を夫々のローラ２１ａ1に伝達する動力伝達軸２２ａ1とからなる左側ローラコンベアと、下基板１の搬送方向に配列されるローラ２１ｂ1の列と駆動モータ２３ｂ1とこの駆動モータ２３ｂ1の回転駆動力を夫々のローラ２１ｂ1に伝達する動力伝達軸２２ｂ1とからなる右側ローラコンベアとで構成され、区間ローラコンベア２５2も同様に、下基板１の搬送方向に配列されるローラ２１ａ2の列と駆動モータ２３ａ2とこの駆動モータ２３ａ2の回転駆動力を夫々のローラ２１ａ2に伝達する動力伝達軸２２ａ2とからなる左側ローラコンベアと、下基板１の搬送方向に配列されるローラ２１ｂ2の列と駆動モータ２３ｂ2とこの駆動モータ２３ｂ2の回転駆動力を夫々のローラ２１ｂ2に伝達する動力伝達軸２２ｂ2とからなる右側ローラコンベアとで構成され、区間ローラコンベア２５3も同様に、下基板１の搬送方向に配列されるローラ２１ａ3の列と駆動モータ２３ａ3とこの駆動モータ２３ａ3の回転駆動力を夫々のローラ２１ａ3に伝達する動力伝達軸２２ａ3とからなる左側ローラコンベアと、下基板１の搬送方向に配列されるローラ２１ｂ3の列と駆動モータ２３ｂ3とこの駆動モータ２３ｂ3の回転駆動力を夫々のローラ２１ｂ3に伝達する動力伝達軸２２ｂ3とからなる右側ローラコンベアとで構成されている。
【００４６】
次に、図３（ｂ）を用いて、この実施形態の動作を説明する。
【００４７】
下基板１が、図示するように、角度θだけ傾いた状態で区間ローラコンベア２５1から搬送開始されるものとする。そこで、区間ローラコンベア２５1では、まず、その基板検出センサ２４ａ1，２４ｂ1のうち、基板検出センサ２４ｂ1が下基板１の右辺部の通過を検出する（図３（ｂ）の時刻Ｔ1）。下基板１は、図３（ｂ）での時刻Ｔ0で加速度α1で搬送開始し、時刻Ｔ1での下基板１の移動速度は、図３（ｂ）に示すように、定常速度のＶ1である(例えば、Ｖ1＝７５０ｍｍ／ｓｅｃ）。この定常速度Ｖ1で距離ΔＬ1だけ走行すると、基板検出センサ２４ａ1が下基板１の左辺部を検出するが（図３（ｂ）の時刻Ｔ2）、この検出があると、下基板１のこれら基板検出センサ２４ｂ1，２４ａ1の検出時間差（Ｔ2−Ｔ1）と下基板１の搬送速度Ｖ1と基板検出センサ２４ａ1，２４ｂ1間の距離Ｋとから、図示しない制御部が下基板１の傾き角θ（＝ｔａｎ-1Ｖ1・(Ｔ2−Ｔ1)／Ｋ）を求める。
【００４８】
下基板１の傾き量θが求まると（図３（ｂ）も時刻Ｔ2）、制御部は、区間ローラコンベア２５1の駆動モータ２３ａ1に加速度α1で傾き補正速度Ｖ2まで増速するように指令を出し、時間ｔ1で区間ローラコンベア２５1の左側ローラコンベアのローラ２１ａ1を傾き補正速度Ｖ2に増速させる。そして、増速させた方の下基板１の辺部（即ち、左辺部）をこの傾き補正速度Ｖ2でｔ2時間移動させて後(これによる移動距離ΔＤ1。このとき、下基板１の右辺部は定常速度Ｖ1で移動している)、減速度α2で減速させ、定常速度Ｖ1にする。ここで、かかるローラコンベア（即ち、この第１の搬送ライン５（図１））で搬送される下基板１の間隔をｌとすると、時刻Ｔ1から時刻（Ｔ1＋ｔ1＋ｔ2＋ｔ3）までに移動した距離ｘがｘ＝ｌsinθになるように、傾き補正速度Ｖ2に増速させるものである（但し、区間ローラコンベア２５1，２５2，２５3の間隔は、この距離ｘを越えるものとする）。
【００４９】
以上の処理により、下基板１の傾きが補正されてその傾き角θは０となるか、小さくなり、次に、下基板１が距離ΔＬ2だけ搬送されて次の区間ローラコンベア２５2に進むと、その基板検出センサ位置２４ａ2、２４ｂ2で同様の下基板１の辺部の検出が行なわれ（図３（ｂ）の時刻Ｔ3，Ｔ4）、この下基板１に傾きがあれば、区間ローラコンベア２５1と同様にして、傾き方向や傾き角が検出され、この傾き角の補正が行なわれる。なお、図３（ｂ）において、区間ローラコンベア２５2で、時刻Ｔ4からそのとき検出された傾き角θに応じた傾き補正速度Ｖ3に増速されて距離ΔＤ2だけ移動することにより、この検出された傾き角θの補正が行なわれ、また、区間ローラコンベア２５3では、時刻Ｔ6からそのとき検出された傾き角θに応じた傾き補正速度Ｖ4に増速されて距離ΔＤ3だけ移動することにより、この傾き角θの補正が行なわれる。
【００５０】
なお、区間ローラコンベア２５1で傾き角の補正により、下基板１に傾きがなくなった場合には、区間ローラコンベア２５2，２５3では、傾きが検出されないので、傾き角の補正は行なわれず、下基板１は全体として定常速度Ｖ1で搬送されるものであり、また、区間ローラコンベア２５2で傾き角の補正により、下基板１に傾きがなくなった場合には、区間ローラコンベア２５3では、傾きが検出されないので、傾き角の補正は行なわれず、下基板１は全体として定常速度Ｖ1で搬送されるものである。
【００５１】
図３（ｂ）をさらに詳細に説明すると、上記の制御部は、検出した補正すべき傾き量から、傾き方向に応じて、左側／右側ローラコンベアのいずれか一方の増速する速度を求める。ここでは、区間ローラコンベア２５1での傾き量の補正量が検出された傾き量に達していないために、この区間ローラコンベア２５1で補正処理された下基板１には、傾き量が残っていることになり、このため、区間ローラコンベア２５2においても、区間ローラコンベア２５1と同様に、下基板１の傾き角の検出が行なわれ、その補正処理が行なわれる。しかし、区間ローラコンベア２５2で検出される傾き量は区間ローラコンベア２５1で検出される傾き量よりも小さくなっているために、この区間ローラコンベア２５2における定常速度Ｖ1から増速された傾き補正速度は、図３(ｂ)に示すように、Ｖ3と区間ローラコンベア２５1で増速された傾き補正速度Ｖ2よりも小さくしている。但し、加速度の値を区間ローラコンベア２５1での加速度α1と等しくして、増速された傾き補正速度Ｖ2よりも小さい傾き補正速度Ｖ3としたものである。この傾く補正速度Ｖ3で区間ローラコンベア２５2を所定距離ΔＤ2だけ走行させ、しかる後、区間ローラコンベア２５1と同じ減速度α2でこの傾き補正速度Ｖ3から減速した定常速度Ｖ1で移動する状態にする。
【００５２】
一方、区間ローラコンベア２５2の他方側のローラコンベアでは、下基板１を一定の定常速度Ｖ1で移動させる。これにより、傾きによって下基板１の遅れている側が早く進み、傾きのない状態に補正されるが、加減速の状態が理想値にならない場合もあり、傾きが許容値内にならないことがある。このため、この下基板１の傾きを区間ローラコンベア２５3の基板検出センサ２４ａ3，２４ｂ3で検出する。この検出結果による動作が、区間ローラコンベア２５1の場合と同様に行なわれる。即ち、図３(ｂ)に示すように、区間ローラコンベア２５3での後で下基板１を検出した（時刻Ｔ6）した側のローラコンベアで下基板１のこの側を増速して傾き補正を行なう。この場合の増速した傾き補正速度Ｖ4と、区間ローラコンベア２５での増速した傾き補正速度Ｖ3よりも小さな速度になる。
【００５３】
この傾き補正により、下基板１の傾きは許容範囲内となり、そのまま所定位置に停止させる。なお、このようにした基板１を最終的に停止させるときには、図３（ｂ）に示すように、移動速度を速度Ｖ5まで減速して、予め決められた停止位置に合わせて停止させるようにしている。なお、かかる停止位置とは、先に説明したように、ローラコンベアの高さ位置より高い位置まで上下動するストッパピンの位置とし、このストッパピンによってした基板１を停止させるようにしてもよい。
【００５４】
なお、以上のことは、上基板２についても同様である。
【００５５】
以上のように、基板の傾きの補正を、基板の移動を停止させずに行なうことにより、基板の搬送時間を大幅に短縮することができるともに、傾き補正に要する時間を設ける必要はない。
【００５６】
また、図３に示す実施形態においては、後から検出された側の基板の辺部をローラコンベアで傾き補正速度に増速することにより、基板の傾きを補正するようにしたが、同じローラコンベアでの２つの検出センサのうち、後から検出された側の基板の辺部の搬送速度を一定に保ち、先に検出された側の基板の辺部を定常速度から減速することにより、基板の傾きを補正することもでき、上記と同様の効果が得られることは言うまでもない。
【００５７】
ところで、図１での上記装置での各テーブルは、図示しない駆動機構によって上下に移動できるように構成しており、ローラコンベアによってこのテーブル上まで下基板１が搬送されてきてローラコンベアが停止すると、このテーブルを上昇させることにより、ローラコンベアからテーブル面上に下基板１を受け取ることができるようになっている。なお、テーブルに設けられたローラコンベアに上下移動機構を設けて、ローラコンベアをテーブル面より下まで移動させて基板を受け渡すようにすることも可能である。
【００５８】
図４は図１における基板貼合室１５の一具体例とこの基板貼合室１５での前処理室１４からの基板搬入及び後処理室１６への基板搬出動作を示す縦断面図であって、２６はコンベア伸縮機構、２７はローラコンベア、２８はロボットハンド、２９は指部、３０は吸着パッド、３１は上テーブル、３２は粘着ピン、３３はゲートバルブ、３４は下テーブル、３５は基板受渡し用のローラコンベア、３６はゲートバルブ、３７はコンベア伸縮機構、３８はローラコンベアであり、図１に対応する部分には同一符号を付けて重複する説明を省略する。
【００５９】
同図において、前処理室１４（図１）には、その下側に、伸縮するコンベア伸縮機構２６を備えたローラコンベア２７が設けられ、その天井側に、ロボットハンド２８が設けている。基板貼合室１５と前処理室１４との間にゲートバルブ３３が設けられており、基板貼合室１５内は、通常、所定の真空度に保持されている。なお、基板貼合室１５と後処理室１６（図１）との間にも、ゲートバルブ３６が設けている。基板貼合室１５は、図示するように、真空チャンバとなっており、その中に下基板１を保持する下テーブル３４と上基板２を保持する上テーブル３１とが設けている。
【００６０】
前処理室１４のローラコンベア２７には、コンベア伸縮機構２６が設けられており、基板貼合室１５と前処理室１４との間のゲートパルブ３３が開くと、コンベア伸縮機構２６により、基板貼合室１５のローラコンベアまで前処理室１４のローラコンベア２７が伸びて接続され、下基板１が下テーブル３４上に搬入できるように構成している。基板の貼合時には、図示しない駆動機構により、上テーブル３１を下テーブル３４側に降下させて下基板１と上基板２との貼り合わせが行なわれる。
【００６１】
前処理室１４に設けられているロボットハンド２８の指部２９には、複数の吸着パッド３０が設けている。また、先に説明したように、前処理室１４の上テーブル３１側にも、伸縮自在な粘着パッド（吸着ピン）３２が複数設けられており、ロボットハンド２８の指部２９の間を上テーブル３１側の粘着パッド３２が降下して上基板２を吸着保持できるようにしている。これらの吸着パッド３０，３２には、その中心部に負圧を供給する供給口（図示せず）が設けられており、この供給口に負圧を供給することにより、上基板２を吸着するようにしている。なお、負圧源や供給配管に関しては、図示を省略している。
【００６２】
上記のように、上基板２の受け渡しに際しては、負圧で吸着できるように、前処理室１４及び基板貼合室１５内は半真空状態にして、各粘着パッド３０，３２に供給する負圧はそれよりも真空度を高くしている。
【００６３】
上基板２の前処理室１４から基板貼合室１５への受渡し時には、ロボットハンド２８側の粘着パッド３０と上テーブル３１側の粘着パッド３２との両方で上基板２を保持した後に、ロボットハンド２８側の粘着パッド３０の負圧供給を停止して、ロボットハンド２８及び伸ばされていたローラコンベア２７を前処理室１４に退避させる。その後、上基板２は粘着パッド３２で上テーブル３１の面まで持ち上げられ、かつこれら複数の粘着パッド３２で保持するように構成されている。従って、真空度を上げても、粘着力で上基板２が上テーブル３１に保持され、落下することはない。
【００６４】
下基板１と上基板２との貼り合わせが終了すると、上テーブル３１を上基板２に押し付けた状態で粘着パッド３２をこの上テーブル３１の面よりも上側に持ち上げることにより、上基板２の面から粘着パッド３２を剥がすことができる。なお、このとき、粘着パッド３２の中央部に設けた負圧供給口から正圧の気体を吹付けることにより、粘着パッド３２を容易に剥がすことができる。
【００６５】
なお、下テーブル３４には、図示しない粘着シート（粘着部材）と複数の負圧供給口とが設けられて、下基板１が移動しないように保持されるようにしている。下基板１からこの粘着部材を引き剥がす場合には、下テーブル３４は移動させずに、粘着シートの中央部に設けた負圧供給口から圧縮気体を供給して引き剥がすようにする。または、負圧供給口の中央部に上下ピンを設けておき、下基板１をこの上下ピンで押し上げることにより、下基板１から粘着部材を引き剥がすことが可能である。
【００６６】
前処理室１４に設けられているローラコンベア２７は、伸縮機構２６により、基板貼合室１５側に伸縮できる構造となっており、前処理室１４と基板貼合室１５との間のゲートバルブ３３が閉じているときには、前処理室１４側に縮められており、ゲートバルブ３３が開いて下基板１を基板貼合室１５内に搬送するときには、基板貼合室１５側に伸びて、基板貼合室１５に設けられている基板受渡し用のローラコンベア３５にドッキングし、下基板１がスムーズに基板貼合室１５の下テーブル３４に受け渡せるように構成されている。下テーブル３４は受取りコンベアとしての図２に示すような構成のローラコンベア３５の左右側の区間ローラコンベアの間に設けており、上下移動可能なように駆動機構が設けている。
【００６７】
また、後処理室１６には、そこに設けられているコンベア伸縮機構３７により、基板貼合室１５側に伸縮できるローラコンベア３８が設けられており、下基板１と上基板２との貼り合わせが完了して後処理室１６と基板貼合室１５との間のゲートバルブ３６が開くと、ローラコンベア３８が基板貼合室１５側に伸びて基板受渡し用のローラコンベア３５に接続し、このローラコンベア３５からローラコンベア３８を介して、基板貼り合わせによって形成させた液晶パネル１９が基板貼合室１５から搬出され、後処理室１６に搬送される。
【００６８】
なお、ここでは、基板貼合室１５への上下基板１，２の搬入と上下テーブル３１，３４への載置保持とをほぼ同時に行なうことができ、これにより、液晶パネル１９の組立時間を大幅に短縮できる。
【００６９】
上記のように、前処理室１４から上下基板１，２が夫々基板貼合室１５の上テーブル３１，下テーブル３４に保持されると、ゲートバルブ３３が閉じられる。なお、基板貼合室１５と後処理室１６との間のゲートバルブ３６は予め閉じられている。ゲートバルブ３３が閉じると、基板貼合室１５内を半真空状態から高真空状態として上下基板１，２の貼り合わせが行なわれる。図示していないが、基板貼合室１５の室外には、上テーブル３１を上下動させる駆動機構や粘着パッド３２を上下動する駆動機構が設けられ、これら駆動機構に設けられた動力伝達軸が上テーブル３１や粘着パッド３２に連結されており、かかる駆動機構を動作させて粘着パッド３２や上テーブル３１を上下に移動させることにより、上下基板１，２の貼り合わせが行なわれる。この貼り合わせ時には、上テーブル３１を下テーブル３４側に移動させる。
【００７０】
上下基板１，２の貼り合わせが終了すると、先に述べたように、基板貼合室１５内を半真空状態とし、予め半真空状態としている後処理室１６を高真空状態にする。基板貼合室１５内が半真空状態となると、ゲートバルブ３６が開かれ、後処理室１６からローラコンベア３８が基板貼合室１５内に伸びて基板受け渡し用のローラコンベア３５上の上下基板１，２が貼り合わされて液晶パネル１９となっている作成物が後処理室１６に搬出される。後処理室１６に液晶パネル１９が搬入されると、ゲートバルブ３６が閉じ、後処理室１６内が大気状態に戻される。後処理室１６内が大気に戻されることにより、液晶パネル１９全体に大気圧が均一に加わり、上下基板１，２間の間隔が正規の間隔になる。しかる後、図１において、第３の搬送ライン２０を構成するローラコンベアにより、液晶パネル１９が紫外線照射室１７に搬送される。そこで、シール剤が、紫外線が照射されることにより、硬化される。シール剤の硬化が終了すると、同じくローラコンベアにより、液晶パネル１９がパネル検査室１８に送られ、その状態が検査されて図示しない次の工程に送られる。
【００７１】
以上のように、この具体例では、図４において、基板貼合室１５内の状態を半真空の状態と高真空の状態とを繰り返すようにするために、その前後に前処理室１４と後処理室１６とを設け、それら側に夫々ゲートバルブ３３，３６を設けて開閉することにより、上下基板１，２の受け入れ及びその貼り合わせ後の液晶パネル１９の送り出しを行なう構成とした。このように、基板貼合室１５内の状態を半真空状態と高真空状態との切り替えを繰り返すことにより、基板貼合室１５内を真空状態にする時間の短縮を図るとともに、基板貼合室１５内での清浄度の低下を防止するようにしたものである。
【００７２】
そして、基板貼合装置１５内に上下基板１，２を略同時に搬入して上テーブル３１と下テーブル３４に保持するようしているため、従来、別々に搬入していた場合に比べて、貼合に要する時間を短縮できる。
【００７３】
また、基板の貼り合せを行なう前の工程の各処理室の配置を略直線状に配置し、上下基板１，２の搬送にローラコンベアを用いた構成としたために、各処理装置のテーブル構成を略同じ構成にでき、かつ装置の設置面積を縮小することが可能となり、かつタクトタイムを短縮することができた。
【００７４】
さらに、基板をローラコンベアまたはベルトコンベア上で搬送し、かつ基板の水平方向の傾きの補正を搬送中に、基板の移動を止めることなく、できるように構成したために、テーブル上で傾き補正が不要となり、タクトタイムを向上することができる。
【符号の説明】
【００７５】
１  下基板
２  上基板
３  基板搬入ロボット
４  整列機構
５  第１の搬送ライン(インライン)
５Ｌ  左側ローラコンベア
５Ｒ  右側ローラコンベア
６  第２の搬送ライン(サイドライン)
７  ペースト塗布機(シールディスペンサ)
８  短絡用電極形成用塗布機
９  液晶滴下装置
１０  第１の検査室
１１  基板反転装置
１２  移載室
１３  ロボットハンド
１４  前処理室
１５  基板貼合室（真空チャンバ）
１６  後処理室
１７  紫外線照射室
１８  第２の検査室（パネル検査室）
１９  貼合基板（液晶パネル）
２０  第３の搬送ライン
２１ａ，２１ｂ，２１ａ1〜２１ａ3，２１ｂ1〜２１ｂ3  ローラ
２２ａ，２２ｂ，２２ａ1〜２２ａ2，２２ｂ1〜２２ｂ3  動力伝達軸
２３ａ，２３ｂ，２３ａ1〜２３ａ3，２３ｂ1〜２３ｂ3  駆動モータ
２４ａ，２４ｂ，２４ａ1〜２４ａ3，２４ｂ1〜２４ｂ3  基板検出センサ
２５1〜２５3  区間ローラコンベア
２６  コンベア伸縮機構
２７  ローラコンベア
２８  ロボットハンド
２９  指部
３０  吸着パッド
３１  上テーブル
３２  粘着ピン
３３  ゲートバルブ
３４  下テーブル
３５  基板受渡し用のローラコンベア
３６  ゲートバルブ
３７  コンベア伸縮機構
３８  ローラコンベア
【図１】
2011242534.tif 000003
【図２】
2011242534.tif 000004
【図３】
2011242534.tif 000005
【図４】
2011242534.tif 000006