(57)【要約】【課題】簡単な構成で大型の平板カセットに付着した水等を迅速且つ確実に除去する。【解決手段】複数の基板を収容する基板カセット（平板カセット）の乾燥装置に、基板カセットが収容される乾燥室と、この乾燥室に圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給装置とを設ける。乾燥室の内面に圧縮エアー供給装置から供給された圧縮エアーを基板カセットに向けて噴射する複数の第１及び第２噴射ノズル４，５を設ける。第１噴射ノズル４には、第１開口面積の大きさのノズル孔４ａを設ける。第２噴射ノズル５を第１噴射ノズル４と並んで設け、この第２噴射ノズル５に、第１開口面積よりも小さい第２開口面積の大きさのノズル孔５ａを設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の平板を収容する平板カセットの乾燥装置において、
上記平板カセットが収容される乾燥室と、
上記乾燥室に圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給装置と、
上記乾燥室の内面に並んで配置され、上記圧縮エアー供給装置から供給された圧縮エアーを上記平板カセットに向けて噴射する複数の噴射ノズルとを備え、
上記複数の噴射ノズルは、
第１開口面積の大きさのノズル孔を有する第１噴射ノズルと、
上記第１噴射ノズルと並んで設けられ、第２開口面積の大きさのノズル孔を有する第２噴射ノズルとを含み、
上記第２開口面積は、上記第１開口面積よりも小さい
ことを特徴とする平板カセットの乾燥装置。
【請求項２】
請求項１に記載の平板カセットの乾燥装置において、
上記第２開口面積は、可変に構成されている
ことを特徴とする平板カセットの乾燥装置。
【請求項３】
複数の平板を収容する平板カセットを乾燥させる方法において、
上記平板カセットが収容される乾燥室と、該乾燥室に圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給装置と、上記乾燥室の内面に並んで配置され、上記圧縮エアー供給装置から供給された圧縮エアーを上記平板カセットに向けて噴射する複数の噴射ノズルとを備えた乾燥装置を用意する準備工程と、
上記複数の噴射ノズルのうち、少なくとも１つの噴射ノズルのノズル孔の開口面積を小さくするノズル調整工程と、
上記乾燥室に平板カセットを収容した状態で、上記圧縮エアー供給装置から圧縮エアーを供給し、上記複数の噴射ノズルから圧縮エアーを噴射させる噴射工程とを含み、
上記噴射工程において、上記ノズル孔の開口面積を小さくした噴射ノズルから他の噴射ノズルよりも遠くへ圧縮エアーを噴射させる
ことを特徴とする平板カセットの乾燥方法。
【請求項４】
請求項３に記載の平板カセットの乾燥方法において、
上記噴射工程の後、温風を上記平板カセットに送風して該平板カセットを乾燥させる乾燥工程を含む
ことを特徴とする平板カセットの乾燥方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルに使用するガラス基板などの複数の平板を収容する平板カセットを乾燥させる乾燥装置及びその方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶画面のサイズは、見やすさ等の理由により、ますます大型化の傾向にある。液晶ディスプレイを製造するためには、マザーガラス基板からカラーフィルタ基板やアレイ基板を切り出す必要があるが、液晶画面のサイズの大型化に伴ってマザーガラス基板のサイズが大型化されている。
【０００３】
液晶ディスプレイを製造する各工程において、搬入された複数のマザーガラスを搬送したり、一時的に保管したりするために平板カセットが用いられている。この平板カセットにマザーガラスを収納した状態で、平板カセットが各ステーションに搬送されるので、平板カセットに埃等の種々の汚れが付着する。このため、平板カセットを洗浄水等を噴射して適宜洗浄する必要がある。洗浄後には、平板カセットに付着した水等を圧縮エアー等を用いて乾燥させることが知られている。
【０００４】
なお、平板カセットの乾燥装置ではないが、例えば、特許文献１のように、第１乾燥装置により開口面積の小さいノズルから風束断面積の小さい風速の大きい風を部品に当て、そのノズルを移動することにより部品の水の溜まりやすく水を吹き飛ばしにくい部分を含めて部品に付着したほとんどの水を吹き飛ばし、そののち部品を移動して部品表面にわずかに残存した水を第２乾燥装置により、一方のノズルよりも開口面積の大きいノズルから一方のノズルよりも風束断面積が大きく、風速の小さい風を部品に当て仕上げ乾燥するエアー乾燥機が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】実開平５−４０７９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、圧縮エアーを噴射ノズルから噴射させて平板カセットに付着した水等を吹き飛ばす場合、平板カセットの大型化に伴い、平板カセットのうち噴射ノズルから離れた部分では圧縮エアーが十分に届かず、平板カセットに付着した水等を十分に除去できない。
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１のように、異なる開口面積のノズルを有する乾燥装置を複数設け、各乾燥装置に大型の平板カセットを搬入して乾燥させるようにすると、大きな乾燥装置と、それを設置する広大な場所とが必要となるという問題がある。
【０００８】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、簡単な構成で大型の平板カセットに付着した水等を迅速且つ確実に除去することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するために、この発明では、複数の異なる開口面積を有する複数の噴射ノズルを配置するようにした。
【００１０】
具体的には、第１の発明では、複数の平板を収容する平板カセットの乾燥装置を前提とし、
上記平板カセットの乾燥装置は、
上記平板カセットが収容される乾燥室と、
上記乾燥室に圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給装置と、
上記乾燥室の内面に並んで配置され、上記圧縮エアー供給装置から供給された圧縮エアーを上記平板カセットに向けて噴射する複数の噴射ノズルとを備え、
上記複数の噴射ノズルは、
第１開口面積の大きさのノズル孔を有する第１噴射ノズルと、
上記第１噴射ノズルと並んで設けられ、第２開口面積の大きさのノズル孔を有する第２噴射ノズルとを含み、
上記第２開口面積は、上記第１開口面積よりも小さい構成とする。
【００１１】
上記の構成によると、平板カセットを乾燥室に収容した状態で、第１噴射ノズル及び第２噴射ノズルから圧縮エアーを噴射させ、平板カセットのうち、第１噴射ノズルから噴射される圧縮エアーによって噴射ノズルが設けられた乾燥室の内面から近い部分の水滴等が吹き飛ばされる。一方、第１噴射ノズルよりも開口面積の小さい第２噴射ノズルからは、同じ圧縮エアー供給装置から供給される圧縮エアーであっても、第１噴射ノズルよりも風速の大きい圧縮エアーが噴射されるので、圧縮エアーがより遠くに届く。このため、平板が大型化しても、平板カセットのうち噴射ノズルから遠い部分にある水滴等であっても、噴射ノズルを移動させたり、平板カセットを移動させたりすることなく、圧縮エアーによって迅速且つ確実に吹き飛ばされる。
【００１２】
第２の発明では、第１の発明において、
上記第２開口面積は、可変に構成されている。
【００１３】
上記の構成によると、第２開口面積を小さくすれば、さらに遠くまで圧縮エアーが届くので、平板カセットの形状に合わせて第２開口面積を変更することで、同じ乾燥装置で異なる平板カセットの乾燥を行うことができる。
【００１４】
第３の発明では、複数の平板を収容する平板カセットを乾燥させる方法を前提とし、
上記方法は、
上記平板カセットが収容される乾燥室と、該乾燥室に圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給装置と、上記乾燥室の内面に並んで配置され、上記圧縮エアー供給装置から供給された圧縮エアーを上記平板カセットに向けて噴射する複数の噴射ノズルとを備えた乾燥装置を用意する準備工程と、
上記複数の噴射ノズルのうち、少なくとも１つの噴射ノズルのノズル孔の開口面積を小さくするノズル調整工程と、
上記乾燥室に平板カセットを収容した状態で、上記圧縮エアー供給装置から圧縮エアーを供給し、上記複数の噴射ノズルから圧縮エアーを噴射させる噴射工程とを含み、
上記噴射工程において、上記ノズル孔の開口面積を小さくした噴射ノズルから他の噴射ノズルよりも遠くへ圧縮エアーを噴射させるように構成されている。
【００１５】
上記の構成によると、平板カセットを乾燥室に収容した状態で、複数の噴射ノズルから圧縮エアーを噴射させ、平板カセットのうち、通常の噴射ノズルから噴射される圧縮エアーによって噴射ノズルが設けられた乾燥室の内面から近い部分の水滴等が吹き飛ばされる。一方、通常の噴射ノズルよりも開口面積の小さい噴射ノズルからは、同じ圧縮エアー供給装置から供給される圧縮エアーであっても、通常の噴射ノズルよりも風速の大きい圧縮エアーが噴射されるので、圧縮エアーがより遠くに届く。このため、平板が大型化しても、平板カセットのうち噴射ノズルから遠い部分にある水滴等であっても、噴射ノズルを移動させたり、平板カセットを移動させたりすることなく、圧縮エアーによって迅速且つ確実に吹き飛ばされる。
【００１６】
第４の発明では、第３の発明において、
上記方法は、上記噴射工程の後、温風を上記平板カセットに送風して該平板カセットを乾燥させる乾燥工程を含む構成とする。
【００１７】
上記の構成によると、平板カセットのうち噴射ノズルから遠い部分にある水滴等も圧縮エアーによって迅速且つ確実に吹き飛ばされるので、温風を送る時間を短くすることができ、全体の工程が短くなると共に、必要なエネルギーが確実に削減される。
【発明の効果】
【００１８】
以上説明したように、本発明によれば、通常の噴射ノズルよりも開口面積の小さい噴射ノズルから圧縮エアー供給装置から供給される圧縮エアーを通常の噴射ノズルよりも風速の大きい圧縮エアーとして噴射させるようにしたことにより、簡単な構成で大型の平板カセットに付着した水等を迅速且つ確実に除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】基板カセットの乾燥装置における噴射ノズルから圧縮エアーを噴射する様子を拡大して示す斜視図であり、（ａ）が第１噴射ノズルを示し、（ｂ）が第２噴射ノズルを示す。
【図２】基板カセットを乾燥室に収容する様子を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２１】
−基板カセットの乾燥装置の構成−
図２は本発明の実施形態の基板カセット１０の乾燥装置１を示し、この乾燥装置１は、平板カセットとしての基板カセット１０が収容される乾燥室２を備えている。例えば、この乾燥室２は、正面に基板カセット１０を搬入するための搬入口３を備えている。この乾燥室２には、コンプレッサーなどの圧縮エアー供給装置６から所定の圧力の圧縮エアーが供給されるようになっている。
【００２２】
詳細は図示しないが、この乾燥室２内には、洗浄水が供給可能に構成され、乾燥室２内に設けた洗浄水噴射口から洗浄水を噴射させて基板カセット１０を洗浄可能に構成されている。また、乾燥室２には、温風室が連設され、付着した水等の除去後に基板カセット１０を搬送可能に構成されている。
【００２３】
基板カセット１０は、例えば金属製の角パイプ、Ｉ型鋼等よりなる主柱１１ａを直方体に組み立てたフレーム本体１１を備えている。フレーム本体１１の左右には、上下に延びる一対のワイヤー固定部材１２が前後に複数対並んで設けられ、各一対のワイヤー固定部材１２には、上下に所定の間隔をあけてワイヤー１３が連結されている。この前後に配置された同じ高さのワイヤー１３上に、前方から平板としてのマザーガラス基板（図示せず）を挿入することで、複数のマザーガラス基板を収容可能となっている。マザーガラスの大型化に伴ってマザーガラス１枚当たりの質量が増加する傾向にある。このため、左右のワイヤー固定部材１２は、角パイプからなる補強部材１４で連結されて補強されている。
【００２４】
そして、上記乾燥室２の内面には、複数の第１及び第２噴射ノズル４，５が並んで配置されている。この第１及び第２噴射ノズル４，５は、圧縮エアー供給装置６から供給された圧縮エアーを基板カセット１０に向けて噴射可能に構成されている。
【００２５】
具体的には、第１及び第２噴射ノズル４，５は、図１（ａ）に示すように、第１開口面積の大きさのノズル孔４ａを有する第１噴射ノズル４と、図１（ｂ）に示すように、第２開口面積の大きさのノズル孔５ａを有する第２噴射ノズル５とを含んでいる。例えば、第１及び第２噴射ノズル４，５は、それぞれ噴射方向を変更可能に構成されている。第１噴射ノズル４と第２噴射ノズル５との割合は、任意であるが、基板カセット１０の形状に合わせて適宜配置すればよく、第１噴射ノズル４と第２噴射ノズル５とは、ばらばらに並んで設けられている。そして、第２開口面積は、第１開口面積よりも小さく設定されている。例えば、第１噴射ノズル４と第２噴射ノズル５とで先端部分を取替可能にすれば、随時取替可能となる。また、第２噴射ノズル５の先端部分を回転可能にして絞ることにより、開口面積を調整可能としてもよい。
【００２６】
−基板カセットの乾燥方法−
次に、本実施形態にかかる基板カセット１０の乾燥方法について説明する。
【００２７】
まず、準備工程で、上記乾燥装置１を準備する。乾燥室２には、洗浄水と圧縮エアーとがそれぞれ供給されるようにしておく。圧縮エアー供給装置６から供給される圧縮エアーの容量は、例えば、２０，０００Ｌ／ｍｉｎとする。第１及び第２噴射ノズル４，５を適当な割合で乾燥室２の左右の内面に２６個ずつ配置すれば、１つの噴射ノズル４，５からは約４００Ｌ／ｍｉｎの圧縮エアーを噴射可能となる。
【００２８】
次いで、ノズル調整工程で、第１及び第２噴射ノズル４，５のうち、第２噴射ノズル５のノズル孔５ａの第２開口面積を第１開口面積よりも小さくしておく。このノズル調整工程は、常時同じ形の基板カセット１０を乾燥させる場合には、最初に一度設定しておけばよい。異なる形の基板カセット１０がライン上に流れる場合には、異なる形の基板カセット１０が流れてくる前にノズル調整工程を行えばよい。第２噴射ノズル５の第２開口面積が可変に構成されている場合には、先端部分を絞る等により調整する。このように、第２開口面積を小さくすれば、さらに遠くまで圧縮エアーが届くので、基板カセット１０の形状に合わせて第２開口面積を変更することで、同じ乾燥装置１で異なる基板カセット１０の乾燥を行うことができる。
【００２９】
次いで、マザーガラス基板を収容していない基板カセット１０を搬入口３から搬入する。
【００３０】
次いで、洗浄水噴射口から洗浄水を噴射させて基板カセット１０を洗浄し、溜まった汚れを洗い流す。
【００３１】
次いで、噴射工程で、圧縮エアー供給装置６から圧縮エアーを供給し、第１及び第２噴射ノズル４，５から圧縮エアーを噴射させる。図１（ａ）に示すように、第１噴射ノズル４から噴射される圧縮エアーによって、基板カセット１０のうち、第１及び第２噴射ノズル４，５が設けられた乾燥室２の内面から近い部分（左右の主柱１１ａ、ワイヤー固定部材１２等）の水滴が吹き飛ばされる。一方、第１噴射ノズル４よりも開口面積の小さい第２噴射ノズル５からは、同じ圧縮エアー供給装置６から供給される圧縮エアーであっても、第１噴射ノズル４よりも風速の大きい圧縮エアーが噴射される。このため、圧縮エアーがより遠くに届くので、基板カセット１０のうち第１及び第２噴射ノズル４，５から遠い部分（特に水滴の溜まりやすい補強部材１４の左右中央部分の上面１４ａ）にある水滴も圧縮エアーによって迅速且つ確実に吹き飛ばされる。したがって、基板が大型化して水滴が残りやすい補強部材１４の左右中央部分の上面１４ａの水滴も、圧縮エアー供給装置６の容量を変えることなく、圧縮エアーによって迅速且つ確実に吹き飛ばされる。
【００３２】
次いで、乾燥工程において、乾燥室２に連設された温風室に基板カセット１０が搬送され、この温風室内で温風を基板カセット１０に送風して基板カセット１０を乾燥させる。このとき、すでに基板カセット１０に付着した水滴がほとんど吹き飛ばされているので、温風を送る時間を短くすることができる。したがって、全体の工程が短くなると共に、必要なエネルギーを確実に削減することができる。
【００３３】
したがって、本実施形態にかかる基板カセット１０の乾燥装置１によると、噴射ノズル４，５を移動させたり、基板カセット１０を移動させたりすることなく、簡単な構成で大型の基板カセット１０に付着した水等を迅速且つ確実に除去することができる。
【００３４】
（その他の実施形態）
本発明は、上記実施形態について、以下のような構成としてもよい。
【００３５】
すなわち、上記実施形態では、基板カセット１０は、液晶ディスプレイのマザーガラス基板を収容するためのものとしたが、これに限定されず、カラーフィルタ基板、アレイ基板、液晶パネル、プラズマディスプレイ用パネル等の平板を収容するカセットに適用可能である。
【００３６】
上記基板カセット１０の形状は、上記実施形態に限定されず、樹脂製であってもよい。
【００３７】
また、上記実施形態では、乾燥室２に連設した温風室で乾燥工程を行うようにしているが、乾燥室２内で乾燥工程まで行ってもよい。
【００３８】
なお、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物や用途の範囲を制限することを意図するものではない。
【符号の説明】
【００３９】
１      基板カセットの乾燥装置（平板カセットの乾燥装置）
２      乾燥室
４      第１噴射ノズル
４ａ    ノズル孔
５      第２噴射ノズル
５ａ    ノズル孔
６      圧縮エアー供給装置
１０      基板カセット（平板カセット）
【図１】
2011153732.tif 000003
【図２】
2011153732.tif 000004