(57)【要約】【課題】経過時間に対して累積吐出量が比例する流体輸送装置を提供する。【解決手段】流体輸送装置１０は、弾性を有するチューブ５０と、チューブ５０を流体の上流側から下流側に順次押圧してチューブ５０の圧閉と開放を繰り返す複数のフィンガー４０〜４６と、チューブ５０の圧閉領域５０ａの最も下流側と流出口部５３との間に設けられる流体貯留部３０と、が備えられている。そして、流体貯留部３０の外郭が、流体貯留部３０の内部圧力の変動に対応して変形可能な弾性を有している。このことによって、流体輸送装置１０を駆動する経過時間と吐出流量とを比例の関係に維持することを可能にする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性を有するチューブと、
前記チューブを流体の上流側から下流側に順次押圧して前記チューブの圧閉と開放を繰り返す複数のチューブ押圧部材と、
前記チューブの圧閉領域の最も下流側と流出口部との間に設けられる流体貯留部と、
が備えられていることを特徴とする流体輸送装置。
【請求項２】
前記流体貯留部の外郭の全体または一部が、前記流体貯留部の内部圧力の変動に対応して変形可能な弾性を有していることを特徴とする請求項１に記載の流体輸送装置。
【請求項３】
前記流体貯留部の容積が、前記複数のチューブ押圧部材のうちの最下流側のチューブ押圧部材による前記チューブの圧閉容積よりも大きいことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の流体輸送装置。
【請求項４】
前記流体貯留部が、前記チューブを保持するチューブ枠に形成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の流体輸送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体輸送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
流体を低速で輸送する装置として蠕動駆動方式の流体輸送装置がある。蠕動駆動方式の一つとして、カム駆動手段の回転により弾性を有するチューブを複数のフィンガーにより流体の上流側から下流側に向かって順次押圧していくものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、回転されるローターの外周部に配置された複数のローラーが、弾性を有するチューブに沿って転動しながら、チューブを上流側から下流側に圧閉して流体を輸送する流体輸送装置というものが知られている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−５１５５５７号公報
【特許文献２】特開平２−２８０７６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような特許文献１や特許文献２では、最も下流側のフィンガーまたはローラーがチューブを圧閉した後、フィンガーまたはローラーがチューブを開放するときに圧閉されていたチューブの流路が圧閉前の状態に復帰する。この際、流路の復帰に伴い、流路の内部圧力が低下してチューブの流出口部にある流体が上流側に逆流する。バイオチップやマイクロタスといった分野に用いる場合ではマイクロ流路に微量の流体を連続流動させることが要求されるが、流出口部の流体が逆流すると、間歇流動となってしまう。また、生体内に薬液を注入する場合に、逆流が発生すると血液や体液等をチューブ内に引き込むことがあり、細管であるチューブ内で固化して詰りの原因となることが考えられる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例に係る流体輸送装置は、弾性を有するチューブと、前記チューブを流体の上流側から下流側に順次押圧して前記チューブの圧閉と開放を繰り返す複数のチューブ押圧部材と、前記チューブの圧閉領域の最も下流側と流出口部との間に設けられる流体貯留部と、が備えられていることを特徴とする。
【０００８】
チューブをチューブ押圧部材で圧閉し、続いて開放すると、圧閉されていたチューブの流路は真空に近い状態の低圧になるため、下流側の流体は流出口部との圧力差によって上流側へ逆流される。本適用例によれば、チューブの圧閉領域の最も下流側と流出口部との間に流体貯留部を設けているために、チューブ押圧部材がチューブの圧閉を開放したときに、流体貯留部内の流体がバッファーとなり、流出口部からの流体の逆流を抑制することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例に係る流体輸送装置は、前記流体貯留部の外郭の全体または一部が、前記流体貯留部の内部圧力の変動に対応して変形可能な弾性を有していることが好ましい。
【００１０】
このような構成によれば、チューブ押圧部材がチューブの圧閉を開放し、流体貯留部内の流体が上流側に逆流しようとするときに流体貯留部の内圧が減少する。すると弾性を有する流体貯留部の外郭が、大気圧によって内側に変形し、流体貯留部の内圧は圧閉の前後で一定に保たれる。このことにより、流体貯留部より下流にある流体の逆流を抑制することができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例に係る流体輸送装置は、前記流体貯留部の容積が、前記複数のチューブ押圧部材のうちの最下流側のチューブ押圧部材による前記チューブの圧閉容積よりも大きいことが好ましい。
【００１２】
このようにすれば、流体貯留部に流体の引き戻し量（逆流）に対して補完できるだけの容積があるため、逆流に起因する流体吐出量の変動を抑制することができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例に係る流体輸送装置は、前記流体貯留部が、前記チューブを保持するチューブ枠に形成されていることが望ましい。
【００１４】
流体貯留部をチューブ枠に形成することで、上述した各適用例による効果が得られるとともに、構造を簡単にすることができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施形態１の第１実施例に係る流体輸送装置の主たる構成を示す平面図。
【図２】図１のＡ−Ｐ−Ａ切断面を示す断面図。
【図３】流体貯留部周辺を示す断面図。
【図４】第１実施例に係るチューブの構成を模式的に示す断面図。
【図５】流体輸送装置の駆動経過時間と累積吐出量の関係を模式的に示すグラフ。
【図６】第２実施例に係る流体貯留部材を示す部分断面図。
【図７】第３実施例に係る流体貯留部を示す部分断面図。
【図８】第４実施例に係る流体輸送装置の一部を示す部分断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。本発明の流体輸送装置は、特許文献１のようにチューブ押圧部材として複数のフィンガーを有する構造、特許文献２のように複数のローラーを有する構造のどちらにも適合可能であるが、以下に説明する実施例では、複数のフィンガーを用いる構造を例示して説明する。
なお、以下の説明で参照する図は、図示の便宜上、部材ないし部分の縦横の縮尺は実際のものとは異なる模式図である。
（実施形態１・第１実施例）
【００１７】
まず、図１、図２、図３を参照して流体輸送装置の構成について説明する。
図１は、実施形態１の第１実施例に係る流体輸送装置の主たる構成を示す平面図、図２は、図１のＡ−Ｐ−Ａ切断面を示す断面図、図３は流体貯留部周辺を示す断面図である。図１〜図３において、本実施例に係る流体輸送装置１０は、チューブユニット１１を制御ユニット１２に形成される空間内に図示左側方向からスライド装着し、固定枠１３によって制御ユニット１２に平面方向に圧接するよう螺子９０を用いて着脱可能に固定して構成されている。
【００１８】
チューブユニット１１は、流体を収容するリザーバー１４と、弾性を有するチューブ５０と、チューブ押圧部材としての複数のフィンガー４０〜４６と、これらを収容する第１チューブ枠５５と第２チューブ枠５６とから構成されている。
【００１９】
チューブ５０は、リザーバー１４に連通する接続部５０ｂと、フィンガー４０〜４６によって圧閉される圧閉領域５０ａと、圧閉領域５０ａに連続する接続部５０ｃと、流出口部５３に連通する接続部５０ｄと、圧閉領域５０ａの最も下流側と流出口部５３との間に設けられる流体貯留部３０と、から構成されている（図１、参照）。
【００２０】
チューブ５０のうち、圧閉領域５０ａと接続部５０ｃと接続部５０ｄとは、チューブ枠としての第１チューブ枠５５に形成されたチューブ案内溝５５ｂに装着されている。チューブ案内溝５５ｂのうち、チューブ５０の圧閉領域５０ａは、チューブユニット１１を制御ユニット１２に装着された状態で、カム２０の回転中心Ｐから平面視して円弧状に形成されたチューブ案内溝５５ｂに沿って配置されている。チューブ５０の接続部５０ｄ（流出口部５３）は、チューブユニット１１及び固定枠１３を貫通して外部に延在される。
【００２１】
フィンガー４０〜４６は、カム２０の回転中心Ｐから等間隔で放射状に配列されている。フィンガー４０〜４６は、第１チューブ枠５５に形成されたフィンガー案内溝５５ａに装着され、第２チューブ枠５６と第１チューブ枠５５とで保持されている。フィンガー４０〜４６のそれぞれの形状は、同じ形状をしているのでフィンガー４３を例示して説明する（図２、参照）。
【００２２】
フィンガー４３は、棒状の軸部４３ａと、軸部４３ａの一方の端部に鍔状に形成されるチューブ押圧部４３ｂと、他方の端部に半球状に形成されるカム当接部４３ｃとから構成されており、本実施形態では金属材料または剛性の高い樹脂材料からなる。チューブ押圧部４３ｂは、チューブ案内溝５５ｂ内に突出してチューブ５０に近接する位置に、カム当接部４３ｃは、チューブユニット１１からカム２０に近接する位置に突出されている。
【００２３】
フィンガー４０〜４６は、チューブ５０とカム２０との間にあって、カム２０の回転中心Ｐ方向からチューブ案内溝５５ｂの外側側壁であるチューブ規制部５５ｃに向かって進退可能である。なお、図２は、フィンガー４３がチューブ５０の流体流動部５１を圧閉した状態を表している。リザーバー１４には、セプタム９５が設けられている。セプタム９５の一端は、第２チューブ枠５６及び第４機枠１８を貫通する開口部６０から外部に覗むように配設されており、組み立てられた状態でリザーバー１４に流体を補充可能な構成としている。
【００２４】
なお、開口部６０を封止する図示しないフィルムを第４機枠１８側に設ける構成とすることができる。フィルムは、空気を通過させ、液体の通過を遮断することが可能な通気フィルムであって、このフィルムを設けることによって、制御ユニット１２内の空間内の防水性を確保できるとともに、リザーバー１４が収容される空間を大気圧に保持している。
【００２５】
また、図３に示すように流体貯留部３０は、第１チューブ枠５５と第２チューブ枠５６とで構成される空間６５内にわずかな隙間を有して配設されている。そして、第２チューブ枠５６には、空間６５に連通する開口部３５が設けられており、開口部３５により空間６５内を大気圧環境としている。なお、開口部３５に前述した通気フィルムで封止しておくことがより好ましい。
【００２６】
制御ユニット１２は、カム２０と、伝達車１１０と、ローター１２０と、駆動源としての振動体１３０と、図示しない電源（小型電池）と、振動体１３０の駆動制御を行う制御回路と、これらを保持する第１機枠１５と第２機枠１６と、制御ユニット１２のケース部材としての第３機枠１７と、第４機枠１８と、から構成されている。
【００２７】
カム２０は、カム車軸２５と、カム車軸２５に軸止されるカム歯車２６とカム案内軸２７と、カム案内軸２７の軸部２７ａに軸止されるカム体２１と、から構成され、第１機枠１５及び第２機枠１６とによって軸支されている。
【００２８】
カム体２１は、図１に示すように、フィンガーを押動しない解除領域２１ａと、フィンガーを押動していく押動領域２１ｂと、フィンガーによるチューブ５０の流体流動部５１を圧閉する圧閉領域２１ｃとを有し、解除領域２１ａ、押動領域２１ｂ、圧閉領域２１ｃは周方向に均等に４箇所形成されている。
【００２９】
伝達車１１０は、ピニオン１１３が形成された伝達車軸１１１と、伝達車軸１１１に軸止された伝達歯車１１２と、から構成され、第１機枠１５及び第２機枠１６とによって軸支され、ピニオン１１３がカム歯車２６と歯合されている。
【００３０】
ローター１２０は、ローター軸１２１と、ローター軸１２１に軸止されるピニオン１２２とから構成され、第１機枠１５及び第２機枠１６とによって軸支され、ピニオン１２２が伝達歯車１１２と歯合されている。
【００３１】
振動体１３０は、圧電素子１３１と、腕部１３２と、ローター軸１２１の側面に当接される凸部１３３と、から構成されている。振動体１３０は、第１機枠１５に植立された固定軸１３５に腕部１３２を螺子等で螺着固定される。なお、振動体１３０の構成及び駆動方法は、特開２００３−３５２８１号公報（図３、図４、参照）に記載の振動体が適合できるので説明を省略する。
【００３２】
次に、本実施例に係るチューブ５０の構成について説明する。
図４は、第１実施例に係るチューブ５０の構成を模式的に示す断面図である。なお、図１も参照する。チューブ５０の一方の端部にはリザーバー１４が形成され、他方の端部には流体貯留部３０が形成されている。なお、リザーバー１４とチューブ５０とを別体としてもよい。
【００３３】
チューブ５０のうち、リザーバー１４と流体貯留部３０との間は、リザーバー１４に連通する接続部５０ｂと、フィンガー４０〜４６により圧閉される圧閉領域５０ａと、流体貯留部３０に連通する接続部５０ｃと、流体貯留部３０の下流側の流体貯留部３０に連通する接続部５０ｄと、から構成される。
【００３４】
なお、本実施例では、リザーバー１４とチューブ５０と流体貯留部３０とは中空成形法によって一体に形成する構成を例示しており、流体貯留部３０の外郭を含めて各部分の肉厚さはほぼ一定であって、弾性を有する材料からなる。そして、リザーバー１４と流体貯留部３０は、内部に流体が存在しない場合には内側に変形可能な程度の弾性を有している。
【００３５】
なお、流体貯留部３０の容積（容量）は、複数のフィンガーのうちの最下流側のフィンガー４６がチューブ５０を圧閉したときの圧閉容積よりも大きく設定され、圧閉容積の数倍とすることが好ましい。
【００３６】
続いて、本実施例における流体輸送方法について図１を参照して説明する。振動体１３０の凸部１３３の楕円振動により、ローター１２０を時計回りに回転させ、ローター１２０の回転力は、ピニオン１２２から伝達歯車１１２、ピニオン１１３を介してカム歯車２６に所定の減速比で伝達され、カム２０が時計回りに回転する。図１の状態は、フィンガー４４が、チューブ５０を圧閉している。フィンガー４５，４６は、カム体２１の押動領域２１ｂにあるためチューブ５０は完全には圧閉していない。
【００３７】
また、フィンガー４１，４２，４３は、カム体２１の解除領域２１ａにあるためチューブ５０は開放されている。フィンガー４０は押動領域２１ｂにかかり始めている状態で、まだチューブ５０は開放状態である。チューブ５０の圧閉されていない領域には流体が入り込んでいる。
【００３８】
さらにカム２０を時計回りに回転させることにより、フィンガー４０〜４６をカム２０の回転方向に上流側（リザーバー１４側）から下流側（流出口部５３）に向かって、流体流動部５１の圧閉〜開放〜圧閉を繰り返し、これらフィンガーの蠕動運動により流体をカム２０の回転方向に流動し、流出口部５３から流体を吐出する。なお、複数のフィンガーのうち少なくとも一つ、好ましくは二つが、チューブ５０を常時圧閉するように構成されている。
【００３９】
なお、リザーバー１４の外郭は弾性を有しており、また、外側の空間は大気圧環境になっているため、内部の流体が流出した場合に内部圧力が低下したときに、大気圧により容積が縮小する。よって、リザーバー１４内部圧力が維持されることにより、リザーバー１４からの流体送出は可能である。
【００４０】
カム２０をさらに回転させると、フィンガー４６はチューブ５０を圧閉した後、カム体２１の圧閉領域２１ｃとの係合が解除され、チューブ５０の弾性力によって回転中心Ｐの方向に戻され、チューブ５０の流体流動部５１の圧閉が解除される。圧閉が解除されたチューブ５０は初期状態に復帰する。圧閉解除の瞬間では、圧閉されていたチューブ５０の流体流動部５１は真空に近い状態の低圧になっているため、下流側の流体は下流部との圧力差によって上流側へ逆流する。この作用について図５を参照して説明する。
【００４１】
図５は、流体輸送装置の駆動経過時間と累積吐出量の関係を模式的に示すグラフであり、従来技術の場合と本発明の場合とを比較している。図５において、ｔ１及びｔ２は、圧閉領域５０ａの最も下流側にあるフィンガー４６がチューブ圧閉を解除するタイミングを示している。図５に示すように、流体貯留部がない従来技術の場合、フィンガー４６がチューブ圧閉を解除するタイミングｔ１のときに上述した理由で逆流が発生する。すると、チューブ５０の流体流動部５１の圧閉容積と、元に復帰したときの容積との差分（Ｖ０）の流量が上流側に逆流するため、一時的に累積吐出量はＶ０分だけ減少し、さらにカム体２１を継続回転する期間における累積吐出量は経過時間に比例する。
【００４２】
以降、カム体２１が１回転し、フィンガー４６がチューブ５０の圧閉を解除するタイミングｔ２に達すると、タイミングｔ１のときと同様に累積吐出量はＶ０分だけ減少する。
【００４３】
よって、従来技術の場合は、このような逆流が発生することにより、最下流側のフィンガー４６によるチューブ５０の圧閉解除のたびに吐出量がＶ０だけ減少し、流体吐出量が均一にならない。また、累積吐出量も減少することになる。
【００４４】
しかしながら本実施例では、チューブ５０の圧閉領域５０ａよりも下流側に流体貯留部３０を設けている。流体貯留部３０の容積は、フィンガー４６による圧閉容積よりも数倍の大きさを有しているため、フィンガー４６による圧閉が解除されたときに圧力差が発生しても、流体貯留部３０内の流体のみが上流側に逆流し、流出口部５３付近の逆流にまでは至らない。つまり、流体貯留部３０が逆流のバッファーとなる。
【００４５】
さらに、流体貯留部３０の外郭は、大気圧により変形する程度の弾性を有しているため、内部の流体が逆流によって内部圧力が減少すれば、大気圧によりその減少分に相当する分だけ変形して内部圧力が一定に維持される。よって、流体貯留部３０より下流にある流体の逆流は発生しない。
【００４６】
流体輸送装置１０をバイオチップやマイクロタスといった分野に用いる場合ではマイクロ流路に微量の流体を連続流動させることが要求されるが、流出口部５３付近の逆流に起因する間歇流動を防止できる。また、生体内に薬液を注入する場合に、逆流に起因する血液や体液等がチューブ内に引き込まれることがなくなり、これらが細管であるチューブ５０内で固化し、チューブ５０の詰りを防止することができる。
（第２実施例）
【００４７】
続いて、第２実施例に係る流体輸送装置について説明する。第２実施例は、前述した第１実施例がチューブ５０と流体貯留部３０とが一体で形成されていることに対して、チューブ５０とは別体で形成される流体貯留部材を用いることを特徴とする。よって、流体貯留部材の構成を中心に説明する。
図６は、第２実施例に係る流体貯留部材を示す部分断面図である。流体貯留部材３１は、弾性を有する薄肉材料により形成されている。
【００４８】
流体貯留部材３１は、風船のような形態を有しており、一方の端部がチューブ５０の接続部５０ｃに連通し、他方は出口チューブ５４に連通されている。なお、出口チューブ５４は、第１実施例（図１、参照）の接続部５０ｄに相当する。ここで、流体貯留部材３１は、流体がないときには大気圧によってつぶれる程度の厚さであって、流体が流体貯留部３０の内部に流動したときの容積は、フィンガー４６によるチューブ５０の圧閉容積よりも数倍の大きさを有するものとする。
【００４９】
このようにしても、前述した実施例と同様な効果が得られるとともに、流体貯留部材３１の肉厚さをチューブ５０よりも薄くすることができるため、内部圧力の変動に対して追従性がよくなり、逆流をより少なくすることができる。
（第３実施例）
【００５０】
続いて、第３実施例に係る流体輸送装置について説明する。第３実施例は、前述した第２実施例に対して流体貯留部材の一部に弾性を有する構成としたことに特徴を有する。よって、第２実施例との相違箇所を中心に説明する。なお、第２実施例と共通部分には同じ符号を附している。
図７は、第３実施例に係る流体貯留部を示す部分断面図である。流体貯留部材３１は、通常使用状態で変形しにくい容器状の枠部材３２と、枠部材３２の開口部を封止するフィルム３３と、から構成され、枠部材３２とフィルム３３とから形成される空間が流体貯留部３０である。
【００５１】
流体貯留部３０は、一方の端部がチューブ５０の接続部５０ｃと連通され、他方の端部は出口チューブ５４に連通されている。なお、フィルム３３は、流体貯留部３０の内圧と大気圧との圧力差に応じて変形する程度の弾性を有している。また、流体貯留部３０の容積は、フィンガー４６によるチューブ５０の圧閉容積よりも数倍の大きさを有する。
【００５２】
このようにしても、前述した第１実施例と同様な効果が得られるとともに、フィルム３３を極薄くすることができるため、内部圧力の変動に対して追従性がよりよくなり、逆流の影響をより少なくすることができる。また、枠部材３２が変形しにくく、定型形状であるため組み立て性が向上するという効果もある。
（第４実施例）
【００５３】
続いて、第４実施例に係る流体輸送装置について説明する。第４実施例は、流体貯留部３０が、チューブ５０を保持するチューブ枠に形成されていることを特徴としている。よって、第１実施例〜第３実施例との相違箇所を中心に説明し、共通部分には同じ符号を附して説明する。
【００５４】
図８は、第４実施例に係る流体輸送装置の一部を示す部分断面図である。図８において、流体貯留部３０は、チューブ枠としての第１チューブ枠５５に形成された凹部５５ｄと、この凹部５５ｄの周縁部に密接固着される上枠３４と、上枠３４の開口部３４ａを封止するフィルム３３とによって形成される空間により構成されている。
【００５５】
第１チューブ枠５５と上枠３４との接合部にはチューブ装着部７１，７２が形成されており、チューブ装着部７１にはチューブ５０の接続部５０ｃが装着され、流体流動部５１と流体貯留部３０とが連通されている。また、チューブ装着部７２には出口チューブ５４が装着され、流出口部５３が流体貯留部３０に連通されている。
【００５６】
なお、チューブ５０は、第１チューブ枠５５のチューブ案内溝５５ｂに挿着し、出口チューブ５４を同様にチューブ案内溝５５ｂに挿着した後、フィルム３３を有する上枠３４を第１チューブ枠５５に固着することで組み立てることができる。その後、第２チューブ枠５６を第１チューブ枠５５に固着することでチューブユニット１１を形成する。
【００５７】
なお、上枠３４と第１チューブ枠５５とを射出成形により第１チューブ枠５５として一体で形成し、流体貯留部３０をフィルム３３で封止した後、チューブ５０の接続部５０ｃをチューブ装着部７１に挿着し、出口チューブ５４をチューブ装着部７２に挿着する工程を用いてもよい。
【００５８】
このような構成によれば、流体貯留部３０を第１チューブ枠５５に形成することで、上述した各実施例による効果が得られるとともに、構造を簡単にすることができる。従って、構成部品が多く含まれる高コストの制御ユニット１２を繰り返し使用とし、低コストのチューブユニット１１を使い捨て使用とする場合、チューブユニット１１の取り扱いが容易になるという効果がある。
【００５９】
なお、本発明は前述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前述した第１実施例〜第４実施例では、チューブ押圧部材として複数のフィンガーを用いる流体輸送装置の構造を例示して説明したが、特許文献２のようなチューブ押圧部材として複数のローラーを用いる構造にも適合できる。
【００６０】
前述した各実施例による流体輸送装置１０は、チューブ５０の外径が１ｍｍ〜２ｍｍ程度、カム体２１の外径７ｍｍ〜１０ｍｍ程度の小型化が可能で、微量流量を安定して連続的に流動することができるため、生体内または生体外に装着し、投薬などの医療用のマイクロポンプに用いることができる。
【００６１】
また、バイオチップやマイクロタスといった分野では、マイクロ流路に微量の流体を連続流動させることが要求されるが、本発明の流体輸送装置はこれらの要求を満足させることができる。
【００６２】
さらに、様々な機械装置において、本発明の流体輸送装置を装置内、または装置外に搭載し、水や食塩水、薬液、油類、芳香液、インク、気体等の流体の輸送に利用することができる。
【符号の説明】
【００６３】
１０…流体輸送装置、３０…流体貯留部、４０〜４６…フィンガー、５０…チューブ、５０ａ…圧閉領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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