(57)【要約】【課題】第２被測定部の変位が時間軸に対して急激に変化するような場合であっても第１被測定部に対する第２被測定部の相対変位を正確に測定することが可能な変位測定装置を提供する。【解決手段】外軸（第１被測定部）１１に固定されるセンサ本体部３１と、このセンサ本体部３１に対して出退可能な触針部３２と、この触針部３２を内軸（第２被測定部）１２に従動させる従動手段とを備え、センサ本体部３１に対する触針部３２の出退量を検出することにより外軸１１に対する内軸１２の相対的な変位を測定する変位測定装置で、触針部３２をセンサ本体部３１に対して弾性付勢することなく出退自在に保持し、内軸１２側に設けられた磁石（保持部）３５に、触針部３２側に設けられた鉄製の接触子（被保持部）４２を吸着させることにより触針部３２を内軸１２に従動させるように構成する。【選択図】図６
2011133317.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１被測定部に固定されるセンサ本体部と、該センサ本体部に対して出退可能な触針部と、該触針部を第２被測定部に従動させる従動手段とを備え、前記センサ本体部に対する前記触針部の出退量を検出することにより前記第１被測定部に対する前記第２被測定部の相対的な変位を測定する変位測定装置において、前記触針部は前記センサ本体部に対して弾性付勢されることなく出退自在に保持されており、前記従動手段は、前記第２被測定部側又は前記触針部側に設けられた保持部と、前記触針部側又は前記第２被測定部側に設けられ且つ前記保持部により保持される被保持部とで構成されていることを特徴とする変位測定装置。
【請求項２】
前記保持部は前記被保持部を吸着により保持するように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の変位測定装置。
【請求項３】
前記保持部と前記被保持部とが磁石とこの磁石に吸着される強磁性体とで構成されていることを特徴とする請求項２に記載の変位測定装置。
【請求項４】
前記磁石又は前記強磁性体は、非磁性体を介して前記触針部の先端側に固定されていることを特徴とする請求項３に記載の変位測定装置。
【請求項５】
前記磁石と前記強磁性体とが略一点で接触するようにそれらの少なくとも一方の先端側が尖形又は略球面に形成されていることを特徴とする請求項３又は４に記載の変位測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１被測定部に対する第２被測定部の相対変位を測定するための変位測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
第１被測定部に対する第２被測定部の相対変位を測定する変位測定装置には、従来は特許文献１に記載されているようなダイヤルゲージ等の変位センサが一般に用いられていた。この種の変位センサは、第１被測定部に固定されるセンサ本体部と、このセンサ本体部に対して出退可能な触針部と、この触針部をセンサ本体部に対して軸方向外向きに弾性付勢して第２被測定部に圧着させることにより触針部を第２被測定部に従動させるバネ部材とを備え、センサ本体部に対する触針部の出退量を検出することにより、第１被測定部に対する第２被測定部の相対変位を測定するように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−３００３１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のダイヤルゲージ等の変位センサは、上述したように、バネ部材により触針部を第２被測定部に圧着させることにより触針部を第２被測定部に従動させるようになっているため、例えば第１被測定部に対して第２被測定部が高速で振動する場合など、第２被測定部の変位が時間軸に対して急激に変化するような場合には、触針部を第２被測定部の動作に正確に追随させることができず、正確な測定結果を得られない場合があった。また、例えば第２被測定部に所定の駆動力をかけて変位を測定する場合、バネ力が駆動力の一部となって測定結果に悪影響を与えることも考えられる。
【０００５】
本発明は、このような従来の問題点に鑑みてなされたものであり、第１被測定部に対して第２被測定部が高速で振動する場合など、第２被測定部の変位が時間軸に対して急激に変化するような場合であっても、触針部を第２被測定部の動作に正確に追随させて第１被測定部に対する第２被測定部の相対変位を正確に測定することが可能な変位測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、第１被測定部に固定されるセンサ本体部と、該センサ本体部に対して出退可能な触針部と、該触針部を第２被測定部に従動させる従動手段とを備え、前記センサ本体部に対する前記触針部の出退量を検出することにより前記第１被測定部に対する前記第２被測定部の相対的な変位を測定する変位測定装置において、前記触針部は前記センサ本体部に対して弾性付勢されることなく出退自在に保持されており、前記従動手段は、前記第２被測定部側又は前記触針部側に設けられた保持部と、前記触針部側又は前記第２被測定部側に設けられ且つ前記保持部により保持される被保持部とで構成されている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、第２被測定部の変位が時間軸に対して急激に変化するような場合であっても、触針部を第２被測定部の動作に正確に追随させることができ、また触針部を弾性付勢していないためにその力が第２被測定部への駆動力の一部となって測定結果に悪影響を与えることもなく、第１被測定部に対する第２被測定部の相対変位を正確に測定することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態を示す変位測定装置の全体側面図及び正面図である。
【図２】被測定物の一例としての伸縮自在シャフトの一部断面図である。
【図３】変位センサの一部断面図である。
【図４】触針部の先端側の分解断面図である。
【図５】被測定物に対する変位センサと磁石の装着状態を示す斜視図である。
【図６】被測定物に対する変位センサと磁石の装着状態を示す平面断面図である。
【図７】本実施形態の変位測定装置による変位測定結果（ａ）及び従来の変位測定装置による変位測定結果（ｂ）の一例である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳述する。図１〜図７は、本発明の一実施形態を例示している。本実施形態に係る変位測定装置１は、伸縮自在シャフト等の被測定物２の捩り方向の変位（ガタ）を測定するためのもので、図１に示すように、被測定物２を保持する被測定物保持部３、この被測定物保持部３により保持された被測定物２に対して所定のパターンでトルクを作用させる駆動部４、被測定物２の捩り方向の変位を測定する変位センサ５、駆動部４の駆動制御処理や変位センサ５の測定値に基づくポスト処理等の各種制御処理を行う制御部６、この制御部６に対して各種設定入力等を行うキーボード、操作盤等の操作入力部７、制御部６から出力される測定結果等の各種情報を表示する表示部８等を備え、装置台９上に搭載されている。
【００１０】
被測定物２の一例である伸縮自在シャフトは、図２に示すように、円筒状に形成された外軸（第１被測定部）１１と、同じく円筒状に形成され且つ外軸１１内に嵌合する内軸  （第２被測定部）１２と、外軸１１及び内軸１２の端部に夫々設けられた一対の自在継手１３，１４とを備えている。外軸１１の内周面側及び内軸１２の外周面側には、夫々スプライン歯１１ａ，１２ａが多数形成されており、これらが互いに噛み合うことにより、外軸１１と内軸１２とは軸方向摺動自在且つトルク伝達可能に連結されている。
【００１１】
被測定物保持部３は、例えば上下に配置された一対の駆動側チャック１５及び固定側チャック１６と、被測定物２の大きさ等に応じて駆動側チャック１５と固定側チャック１６との少なくとも一方、例えば固定側チャック１６の位置を調整する位置調整手段１７とを備えている。駆動側チャック１５は、被測定物２の上端側を駆動部４からの駆動力を伝達可能な状態で保持するもので、例えば装置台９上に立設された支持プレート１８の前面側に駆動部４等を介して下向きに支持されており、本実施形態ではこの駆動側チャック１５に被測定物２の内軸１２側の自在継手１４（図２）が固定されている。
【００１２】
固定側チャック１６は、被測定物２の下端側を回転不能に保持するもので、例えば支持プレート１８の前面側に昇降可能に支持された昇降台１９上に上向きに固定されており、本実施形態ではこの固定側チャック１６に被測定物２の外軸１１側の自在継手１３が固定されている。なお、昇降台１９は、送りねじ機構等よりなる位置調整手段１７を介して支持プレート１８上に支持されており、例えば手動でハンドル２０を操作することによりその高さ位置を調整可能となっている。
【００１３】
駆動部４は、例えば被測定物保持部３の上部側に配置されており、支持プレート１８の前側に駆動軸２１ａを下向きにした状態で装着されたモータ２１、このモータ２１と駆動側チャック１５との間に上下方向に配置された伝達軸２２、例えば伝達軸２２の回転変位を測定するエンコーダ２３、例えば伝達軸２２におけるトルクを測定するトルクセンサ２４等を備えている。
【００１４】
伝達軸２２は、その上端側がモータ２１の駆動軸２１ａに対して例えばカップリング２５を介して一体に連結され、下端側が駆動側チャック１５に固定されており、モータ２１の正逆両方向の駆動力（トルク）が、この伝達軸２２、駆動側チャック１５等を介して被測定物２に伝達されるようになっている。なお、カップリング２５は、過負荷時に駆動軸２１ａと伝達軸２２との間のトルク伝達を切断するトルクリミッタとしての機能を有している。
【００１５】
モータ２１は、被測定物２に例えば所定値のトルクを正逆両方向に所定周期で繰り返し作用させるように、例えばエンコーダ２３、トルクセンサ２４等の測定値に基づく制御部６の制御により正逆両方向に駆動されるようになっている。
【００１６】
変位センサ５は、例えば一般的な差動トランス方式を採用した接触式変位センサで、図３等に示すように、センサ本体部３１と、このセンサ本体部３１の軸方向一端側に出退自在に装着された触針部３２とを備え、図５等に示すように、センサ本体部３１がセンサホルダ３３により被測定物２の外軸１１に固定され、触針部３２は、磁石ホルダ３４により被測定物２の内軸１２に固定された磁石３５に吸着されて内軸１２の捩り方向の動作に従動するようになっている。
【００１７】
センサ本体部３１は、図３に示すように例えば略円筒状の筐体３６と、この筐体３６の内面に沿って配置される１次コイル３７ａ及びその軸方向両側に配置される一対の２次コイル３７ｂと、筐体３６内に設けられ且つ触針部３２を軸方向の１又は複数箇所で軸方向褶動自在に保持する軸受部３８とを備えている。また、触針部３２は、可動鉄心３９を備えたシャフト部４０と、このシャフト部４０の先端側に絶縁ピン４１を介して装着された接触子４２とを備え、シャフト部４０の後端側がセンサ本体部３１内に挿入され、軸受部３８を介して軸方向出退自在に保持されている。
【００１８】
センサ本体部３１側の１次コイル３７ａを交流で励磁すると、触針部３２の出退動作に伴う可動鉄心３９の移動により、その可動鉄心３９と２つの２次コイル３７ｂとの位置関係に応じて２次コイル３７ｂに交流電圧が発生するため、その電圧に基づいて触針部３２の出退量、即ち変位を測定することができる。なお、本実施形態の変位センサ５は、センサ本体部３１に対して触針部３２を例えば突出方向に弾性付勢するバネ部材等は備えておらず、触針部３２はセンサ本体部３１に対して出退方向に移動自在である。
【００１９】
接触子４２は、例えば鉄製（強磁性体の一例）で、図４に示すように先端側が例えば略半球状に形成され、後端側に例えば着脱用の雄ねじ部４３が設けられている。絶縁ピン４１は、ナイロンその他の非磁性体材料により例えば円柱状に形成されており、シャフト部４０と接触子４２との間に、それらシャフト部４０と接触子４２とが互いに接触しないように着脱自在に装着されている。
【００２０】
即ちこの絶縁ピン４１は、図４に示すようにその両端側に例えばタップ穴にヘリサートが挿入されることにより雌ねじ部４４，４５が互いに貫通しないように形成され、更に後端側の雌ねじ部４４にはスタッドボルト４６が装着されて雄ねじ部４７が形成されており、この後端側の雄ねじ部４７がシャフト部４０の先端側に形成された雌ねじ部４８にねじ込まれることによりシャフト部４０に着脱自在に固定され、また先端側の雌ねじ部４５に接触子４２側の雄ねじ部４３がねじ込まれることにより接触子４２を着脱自在に保持している。
【００２１】
この変位センサ５を外軸１１に固定するセンサホルダ３３は、図５及び図６に示すように、例えば互いに平行な第１，第２アーム部５１ａ，５１ｂの一端側が連結部５１ｃにより一体に連結されて略コの字型に形成されたクランプ本体５１と、第１アーム部５１ａの内面側に固定され且つ第２アーム部５１ｂとの対向面側に例えばＶ溝５２ａが形成されたクランプブロック５２と、先端部をクランプブロック５２に対向させるように第２アーム部５１ｂに螺着されたクランプボルト５３と、例えば第１アーム部５１ａの先端側に設けられ且つ変位センサ５のセンサ本体部３１を着脱自在に保持するセンサ保持部５４とを備え、クランプブロック５２とクランプボルト５３とで外軸１１を挟持することにより外軸１１に着脱自在に固定されている。変位センサ５は、このセンサホルダ３３により、図６に示すように外軸１１の軸心に垂直な面内で且つセンサ軸心が外軸１１の軸心と交差しない状態で保持される。
【００２２】
また、磁石３５を内軸１２に固定する磁石ホルダ３４は、図５に示すように、例えば互いに平行な第１，第２アーム部５５ａ，５５ｂの一端側が連結部５５ｃにより一体に連結されて略コの字型に形成されたクランプ本体５５と、第１アーム部５５ａの内面側に固定され且つ第２アーム部５５ｂとの対向面側に例えばＶ溝５６ａが形成されたクランプブロック５６と、先端部をクランプブロック５６に対向させるように第２アーム部５５ｂに螺着されたクランプボルト５７と、例えば第１アーム部５５ａに固定された磁石保持アーム５８とを備え、クランプブロック５６とクランプボルト５７とで内軸１２を挟持することにより内軸１２に着脱自在に固定されている。磁石保持アーム５８は、例えば第１アーム部５５ａから内軸１２に略平行に突設されており、その先端側に磁石３５が装着されている。
【００２３】
これらセンサホルダ３３と磁石ホルダ３４とは、図６に示すように変位センサ５の触針部３２がその可動範囲の例えば略中間にある状態で接触子４２が磁石３５に接触（吸着）するように、互いの装着高さ及び角度が調整される。これにより、変位センサ５のセンサ本体部３１がセンサホルダ３３を介して外軸１１に固定され、変位センサ５の触針部３２は、磁石ホルダ３４により内軸１２に固定された磁石３５に吸着されて内軸１２に従動するため、変位センサ５により外軸１１に対する内軸１２の捩り方向の相対変位を測定することができる。
【００２４】
また、触針部３２は、可動鉄心３９が設けられたシャフト部４０と鉄製の接触子４２との間に非磁性体よりなる絶縁ピン４１が配置されているため、変位センサ５が磁気を利用する差動トランス方式を採用しているにも拘わらず、磁石３５の磁気が測定結果に及ぼす悪影響を排除できる。更に、接触子４２の先端部は略半球状に形成されており、図６に示すように磁石３５の端面３５ａに対して例えば略一点で接触するようになっているため、外軸１１に対して内軸１２が捩り方向に相対的に変位することにより、磁石３５の端面３５ａと触針部３２の軸心とのなす角度が微妙に変化するにも拘わらず、その影響を受けることなく常に正確な変位測定が可能である。
【００２５】
なお、このように外軸１１に対して内軸１２が捩り方向に相対的に変位したとき、センサ本体部３１に対する触針部３２の相対的な軌跡は実際には円弧状になるが、変位センサ５により得られる測定値は直線変位となる。しかしながらそれらの差は僅かであるため、例えば被測定物２の捩り方向のガタの角度を測定する際には、「円弧の長さ＝直線の長さ」とみなし、変位センサ５による測定値（直線変位）と、被測定物２と変位センサ５との軸心間距離とに基づいて三角関数を用いて算出することができる。
【００２６】
図７（ａ）は、本実施形態の変位測定装置１により、被測定物２に対して正逆一定範囲のトルクを一定周期で作用させた場合の、外軸１１に対する内軸１２の捩り方向の変位測定結果を示しており、横軸が変位センサ５による測定変位、縦軸がトルク入力値となっている。また、図７（ｂ）は、図７（ａ）に対して、変位センサのみをバネ部材が内蔵された従来の変位センサに変更した場合の変位測定結果を示している。この図７（ｂ）で用いた従来の変位センサは、触針部がバネ部材により突出方向に弾性付勢されており、そのバネ力により触針部を内軸１２側の所定部位に圧着させることにより触針部を内軸１２に従動させているものとする。
【００２７】
図７（ａ），（ｂ）共に、波形は図中に示す矢印の方向に描かれるが、従来の変位センサを用いた図７（ｂ）では、トルクの方向が反転した直後の波形に、縦軸と平行な部分、即ちトルクが変動しているにも拘わらず測定変位が変動していない部分（Ｐ及びＱ）が現れている。これは、図７（ｂ）の場合には触針部がバネ部材によって内軸１２側に圧着されているため、その測定力（バネ部材による付勢力、センサ本体部と触針部との間の摩擦力等）が大きく、内軸１２側の変位の急変に触針部が追随できていないためであると考えられる。
【００２８】
なお、変位センサの測定力は、静止状態から動き出す瞬間に最も大きくなるため（最大静止摩擦力＞動摩擦力）、測定力が０でない従来の変位センサを用いた場合には、図７  （ｂ）のＰ，Ｑ部のような縦軸に平行な部分は必ず現れる。従って、従来の変位センサを用いた測定では、変位が急変したような測定結果が得られた場合、それが実際の変位によるものなのか、センサの測定力の影響によるものなのかを判別することができない。
【００２９】
それに対して本実施形態の変位測定装置１による図７（ａ）では、トルクの方向が反転した直後の波形についても、縦軸と平行な部分は現れておらず、トルクの変動に応じて測定変位が常に変化している。これは、本実施形態の変位測定装置１では触針部を磁石で内軸１２側に吸着させて従動させていることにより、内軸１２側の変位の急変にも触針部が的確に追随できているためであると考えられる。また、本実施形態の変位センサ５は差動トランス式であるため、触針部３２とセンサ本体部３１との間に発生する摩擦力は極小であり、それによって触針部３２の追随性がより向上している。このように、本発明に係る変位センサでは測定力による測定結果への悪影響が排除されるため、実際に変位が急変するような測定についても正確に行うことが可能である。
【００３０】
以上説明したように、本実施形態の変位測定装置１では、変位センサ５の触針部３２がセンサ本体部３１に対して弾性付勢されることなく出退自在に保持されており、内軸（第２被測定部）１２側に設けられた磁石（保持部）３５と、触針部３２側に設けられ且つ磁石（保持部）３５によって吸着保持される鉄製の接触子４２とで構成される従動手段により触針部３２を内軸（第２被測定部）１２に従動させているため、内軸１２の変位が時間軸に対して急激に変化するような場合であっても、触針部３２を内軸１２の動作に正確に追随させて外軸１１に対する内軸１２の相対変位を正確に測定することが可能である。
【００３１】
また、触針部３２を弾性付勢するバネ部材を設けていないため、そのバネ力が入力トルクの一部となって測定結果に悪影響を及ぼすこともない。しかも、従来の一般的な変位センサからバネ部材を除去すると共に接触子４２を鉄製とし、その接触子４２が当接する相手方を磁石で構成するだけでよいため、コストを低く抑えることができ、また装置が大型化することもないという利点もある。
【００３２】
しかも、変位センサ５の触針部３２と内軸（第２被測定部）１２側とを磁石で接続しているため、測定時の作業性が向上すると共に、変位センサ５の破損等を防止できる。即ち、ワーク取り替え時に変位センサ５の触針部３２を第２被測定部から容易に切り離すことができるため、測定間の作業性が向上し、サイクルタイムの減少が期待されると共に、被測定物の着脱作業中に変位センサ５の触針部３２に異常な負荷が作用することがなく、変位センサ５の破損等を防止できる。
【００３３】
また、鉄製の接触子４２は、非磁性体よりなる絶縁ピン４１を介して触針部３２の先端側に固定されているため、磁気を利用する差動トランス方式の変位センサ５を採用しているにも拘わらず、磁石３５の磁気が測定結果に及ぼす悪影響を排除できる。更に、接触子４２の先端部は略半球状に形成されており、磁石３５の端面３５ａに対して例えば略一点で接触するようになっているため、外軸１１に対して内軸１２が捩り方向に相対的に変位することにより、磁石３５の端面３５ａと触針部３２の軸心とのなす角度が微妙に変化するにも拘わらず、その影響を受けることなく常に正確な変位測定が可能である。
【００３４】
以上、本発明の実施形態について例示したが、本発明はこの実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。例えば、実施形態では伸縮自在シャフトを被測定物とし、その外軸（第１被測定部）１１に対する内軸（第２被測定部）１２の捩り方向の相対変位を測定する例を示したが、捩り方向以外の相対変位を測定対象としてもよい。例えば、実施形態と同じ伸縮自在シャフトを被測定物とし、その外軸（第１被測定部）１１に対する内軸（第２被測定部）１２の伸縮方向の相対変位を測定対象としてもよい。
【００３５】
本発明に係る変位測定装置では、変位センサ５の設置方向に拘わらず触針部３２を第２被測定部の動きに追随させることができるため、例えば触針部３２が上向きとなるように配置する等、被測定物の種類等に応じて変位センサ５を任意の向きに配置することが可能である。また、本発明の変位測定装置は触針部の追随性が良いため、変位測定全般に対応可能であり、常時摺動部や振動部の他、スティックスリップの測定、物体の動き出し時の変位測定や動き出しのタイミングの測定も可能である。また、低荷重で変位するワークの変位測定にも有効である。
【００３６】
変位センサは差動トランス式のものに限らず、磁化したスケールとその磁気を感知するスライドセンサー部とを有するマグネスケールや、エンコーダ、干渉計等を用いたものを採用してもよい。それらのうち、例えばマグネスケールによる変位センサは、差動トランス式の変位センサと同様に触針部とセンサ本体部との間に発生する摩擦力が非常に小さいため、触針部の追随性が良く理想的である。
【００３７】
触針部を第２被測定部に従動させる従動手段として、実施形態では内軸（第２被測定部）１２側に磁石３５を固定し、触針部３２側の接触子４２を鉄製（強磁性体）とした例を示したが、例えば触針部側の接触子を磁石とし、第２被測定部側に強磁性体よりなる当接板を固定してもよい。もちろん、強磁性体は鉄に限られるものではない。また、接触子４２とシャフト部４０との間に配置する非磁性体についてもナイロンに限られるものではない。なお、磁気の影響を受けない方式の変位センサを用いる場合には、接触子とシャフト部との間に非磁性体を介在させる必要はない。
【００３８】
また、実施形態では接触子４２の先端部を略半球状に形成し、磁石３５の端面３５ａに対して例えば略一点で接触するように構成したが、接触子４２の先端部を尖形としてもよい。また、磁石３５の先端部を略半球状又は尖形とし、接触子４２側の端面を平面に形成してもよいし、磁石３５と接触子４２の両方を略半球状又は尖形としてもよい。
【００３９】
また、磁石と強磁性体との組み合わせと同じく、触針部と第２被測定部との一方側に設けられた保持部により他方側に設けられた被保持部を吸着させる従動手段としては、静電気力を利用するもの、バキュームを利用するもの等が考えられ、また吸着と類似の方法として粘着物を利用するもの等が考えられる。但し、静電気力を利用するものについてはノイズの影響が懸念され、バキュームを利用するものは真空回路を設ける必要からコスト高となり、また粘着物を利用するものについては粘着力が一定でないなどの問題がある。また、吸着以外の方法を利用する従動手段として、コレットチャック、３つ爪チャック、ダイヤフラムチャック等の各種チャック装置を用いてもよい。なお、コレットチャック等のように、保持部として磁石を用いないものについては、接触子とシャフト部との間に非磁性体を配置する必要はない。
【００４０】
変位センサのセンサ本体部を第１被測定部に固定するホルダ、及び強磁性体等の被保持部又は磁石等の保持部を第２被測定部に固定するホルダについては、被測定物の種類等に応じて適切な構成を採用すればよい。
【符号の説明】
【００４１】
１  変位測定装置
１１  外軸（第１被測定部）
１２  内軸（第２被測定部）
３１  センサ本体部
３２  触針部
３５  磁石（保持部）
４２  接触子（強磁性体，被保持部）
４１  絶縁ピン（非磁性体）
【図１】
2011133317.tif 000003
【図２】
2011133317.tif 000004
【図３】
2011133317.tif 000005
【図４】
2011133317.tif 000006
【図５】
2011133317.tif 000007
【図６】
2011133317.tif 000008
【図７】
2011133317.tif 000009