(57)【要約】【課題】磁気検出型の位置検出装置の位置検出タイミング遅れを小さくし、位置検出精度を高める。【解決手段】環状の磁性基板（１１）の上に円弧状の磁石板（１２Ａ，１２Ｂ）を偶数個互いに間隔Ｄをあけて配列し、その上にそれぞれ円弧状のヨーク板（１３Ａ，１３Ｂ）を積層し、隣接ヨーク板（１３Ａ，１３Ｂ）の端面間に空隙Ｇを形成する。空隙Ｇは間隔Ｄより小さく、間隔Ｄの周方向中央に位置する。各磁石板（１２Ａ，１２Ｂ）は厚さ方向に着磁されており、隣接する磁石板の互いに対向する面において着磁方向は互いに逆方向とされている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気検出型の位置検出装置であり、
軟磁性材で形成された環状の磁性基板と、
上記磁性基板の上に積層され、互いに間隔をあけて第１の円周上に配列された偶数個の円弧状の磁石板と、
それぞれの上記磁石板の上に積層され、互いに空隙を形成して第２の円周上に配列された軟磁性材で形成された偶数個の円弧状のヨーク板と、
上記ヨーク板の配列の面から積層方向に一定距離を隔てて周方向に相対的に移動可能に配置された磁気センサ、
とを含み、
隣接する上記ヨーク板間の空隙は隣接する上記磁石板間の間隔と等しいかそれより狭く、上記間隔の中央に位置し、各上記磁石板は積層方向に着磁されており、隣接する上記磁石板の互いに対向する端面における着磁方向は互いに逆極性とされていることを特徴とする位置検出装置。
【請求項２】
磁気検出型の位置検出装置であり、
軟磁性材で形成された円弧状の磁性基板と、
上記磁性基板の上に積層され、互いに間隔をあけて第１の円周上に配列された２個の円弧状の磁石板と、
それぞれの上記磁石板の上に積層され、互いに空隙を形成して第２の円周上に配列された軟磁性材で形成された２個の円弧状のヨーク板と、
上記ヨーク板の配列の面から積層方向に一定距離を隔てて周方向に相対的に移動可能に配置された磁気センサ、
とを含み、
隣接する上記ヨーク板間の空隙は隣接する上記磁石板間の間隔と等しいかそれより狭く、上記間隔の中央に位置し、各上記磁石板は積層方向に着磁されており、隣接する上記磁石板の互いに対向する端面における着磁方向は互いに逆極性とされていることを特徴とする位置検出装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の位置検出装置において、上記磁性基板と、上記磁石板と、上記ヨーク板は、上記磁性基板の回転軸方向に順次積層されていることを特徴とする位置検出装置。
【請求項４】
請求項１又は２記載の位置検出装置において、上記磁性基板と、上記磁石板と、上記ヨーク板は、同一平面上において上記磁性基板の回転軸から半径方向外側に順次積層されていることを特徴とする位置検出装置。
【請求項５】
請求項３又は４記載の位置検出装置において、上記磁石板の数は２個であり、各磁石板は互いに周方向に間隔を空けて配置された複数の磁石板片のグループで構成されていることを特徴とする位置検出装置。
【請求項６】
磁気検出型の位置検出装置であり、
軟磁性材で形成され、一方向に延長された磁性基板と、
上記磁性基板の上に積層され、互いに間隔をあけて上記磁性基板の長さ方向に配列された少なくとも３個の磁石板と、
それぞれの上記磁石板の上に積層され、互いに空隙を形成して配列された軟磁性材で形成された少なくとも３個のヨーク板と、
上記ヨーク板の配列の面から一定の距離を隔てて相対的に移動可能に配置された磁気センサ、
とを含み、
隣接する上記ヨーク板間の空隙は隣接する上記磁石板間の間隔より狭く、上記間隔の中央に位置し、各上記磁石板は積層方向に着磁されており、隣接する上記磁石板の互いに対向する端面における着磁方向は互いに逆極性とされていることを特徴とする位置検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は自動車や産業機器などの回転部位や直線移動部位の位置検出を行う磁気検出型の位置検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、回転角度位置を検出する磁気式のエンコーダの場合、特許文献１に示されているように多極に着磁された円板状の磁石の回転により生じる磁界の方向の切り替わりを近接配置された磁気センサで検出していた。図１０Ａは特許文献１に示されている磁気ロータリエンコーダの平面図であり、参照記号は特許文献とは変えてある。図１０Ｂ及び１０Ｃはこの磁気ロータリエンコーダの構造と動作を理解し易くするために本願発明者が作成した説明のための斜視図及び側面図である。この従来技術においては、回転軸方向に着磁された円板状磁石を９０°ごとの扇状磁石板８１Ａ〜８１Ｄに分割し、隣接磁石板の磁極性Ｎ，Ｓが互いに反転するように配置し、一体に固定し円板状の回転子８１を形成している。回転子８１の板面から距離を隔ててこの例では３つの磁気センサ８２ａ，８２ｂ，８２ｃが回転子８１の回転軸Ｏｘを中心とする同一円上に６０°間隔で配置されている。
【０００３】
図１０Ｂ，１０Ｃには３つの磁気センサの１つを代表して磁気センサ８２として示しており、磁気センサ８２の磁界検出方向は矢印８４で示すように回転子８１の板面と垂直な方向である。回転子８１が回転軸Ｏｘを中心に回転するにつれ、同一磁極の上に磁気センサ８２が位置するときは磁気センサ８２は同一電気極性の磁気検出信号を出力し、磁極が反転すると磁気検出信号の電気極性が反転する。従って、回転子８１が回転すると磁気センサ８２は正負が交番する磁気検出信号を出力する。図１０の従来技術では３つの磁気センサ８２ａ，８２ｂ，８２ｃから位相が互いに６０°ずれた３つの磁気検出信号が得られる。
【０００４】
図１０Ｃは回転子８１が回転して磁気センサ８２が隣接する２つの磁石板８１Ａと８１Ｂの境界に位置した時を示しており、このとき磁気センサ８２を垂直方向（磁界検出方向８４）に通る磁界成分がほぼ零となる状態を示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平06-88704号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
図１０の従来技術では、隣接する磁石板の境界近傍における磁束密度が小さいため、磁気センサが一方の磁石板から他方の磁石板へ相対的に移動していくときの磁界の切り替わりが緩やかであり、その結果、磁気センサの検出出力の立ち上がり、立下りの勾配が小さく、磁気センサの検出出力を閾値で論理判定して得られる位置検出信号のヒステリシス幅が大となり、位置検出タイミングが遅れ、また回転角度検出精度を高くすることが困難であった。この発明の目的は、位置検出タイミングの遅れが小さく、検出精度を高めることができる位置検出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の発明による磁気検出型の位置検出装置は、
軟磁性材で形成された環状の磁性基板と、
上記磁性基板の上に積層され、互いに間隔をあけて第１の円周上に配列された偶数個の円弧状の磁石板と、
それぞれの上記磁石板の上に積層され、互いに空隙を形成して第２の円周上に配列された軟磁性材で形成された偶数個の円弧状のヨーク板と、
上記ヨーク板の配列の面から積層方向に一定距離を隔てて相対的に周方向に移動可能に配置された磁気センサ、
とを含み、
隣接する上記ヨーク板間の空隙は隣接する上記磁石板間の間隔と等しいかそれより狭く、上記間隔の中央に位置し、各上記磁石板は積層方向に着磁されており、隣接する上記磁石板の互いに対向する端面における着磁方向は互いに逆極性とされていることを特徴とする。
【０００８】
第２の発明による磁気検出型の位置検出装置は、
軟磁性材で形成された円弧状の磁性基板と、
上記磁性基板の上に積層され、互いに間隔をあけて第１の円周上に配列された２個の円弧状の磁石板と、
それぞれの上記磁石板の上に積層され、互いに空隙を形成して第２の円周上に配列された軟磁性材で形成された２個の円弧状のヨーク板と、
上記ヨーク板の配列の面から積層方向に一定距離を隔てて周方向に相対的に移動可能に配置された磁気センサ、
とを含み、
隣接する上記ヨーク板間の空隙は隣接する上記磁石板間の間隔と等しいかそれよりより狭く、上記間隔の中央に位置し、各上記磁石板は積層方向に着磁されており、隣接する上記磁石板の互いに対向する端面における着磁方向は互いに逆極性とされていることを特徴とする。
【０００９】
第３の発明による磁気検出型の位置検出装置は、
軟磁性材で形成され、一方向に延長された磁性基板と、
上記磁性基板の上に積層され、互いに間隔をあけて上記磁性基板の長さ方向に配列された少なくとも３個の磁石板と、
それぞれの上記磁石板の上に積層され、互いに空隙を形成して配列された軟磁性材で形成された少なくとも３個のヨーク板と、
上記ヨーク板の配列の面から一定の距離を隔てて相対的に移動可能に配置された磁気センサ、
とを含み、
隣接する上記ヨーク板間の空隙は隣接する上記磁石板間の間隔より狭く、上記間隔の中央に位置し、各上記磁石板は積層方向に着磁されており、隣接する上記磁石板の互いに対向する端面における着磁方向は互いに逆極性とされていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、ヨーク板の空隙近傍に磁力線を集中させることができるので空隙近傍における位置に対する磁束密度の変化が急峻となり、その結果、位置検出のタイミング遅れが小さくなり、位置検出精度が高くなる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】Ａはこの発明の第１実施例の斜視図、Ｂはその平面図、Ｃはその側面図。
【図２】磁気センサとその磁気検出信号出力を処理する論理判定回路を説明するためのブロック図。
【図３】Ａは磁気検出信号の波形例を示す図、Ｂは磁気検出信号を論理判定して得た位置検出信号の波形を示す図。
【図４】Ａは第１実施例と変形従来技術による磁気センサ位置での磁束密度のシミュレーション結果を比較するグラフ、ＢはＡにおける空隙Ｇ近傍の拡大図。
【図５】この発明の第２実施例の斜視図。
【図６】この発明の第３実施例の斜視図。
【図７】この発明の第４実施例の斜視図。
【図８】この発明の第５実施例の斜視図。
【図９】この発明の第６実施例の平面図。
【図１０】Ａは従来技術によるロータリーエンコーダの平面図、Ｂはその斜視図、Ｃはその側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。
【００１３】
［第１実施例］
図１Ａはこの発明の第１実施例による磁気検出型の位置検出装置の斜視図を示し、図１Ｂはその平面図、図１Ｃは側面図を示している。この実施例では、環状の磁性基板１１と、その磁性基板の板面上に周方向に配列して取り付けられた円弧状の偶数個（この例では２個）の磁石板１２Ａ，１２Ｂと、その磁石板のそれぞれの上に重ねて取り付けられた円弧状の偶数個のヨーク板１３Ａ，１３Ｂとから回転子１０が構成されている。位置検出装置は回転子１０と、そのヨーク板の板面と一定の間隔を隔てて相対的に回動可能に設けられた磁気センサ１４とを含む。
【００１４】
環状の磁性基板１１は透磁率の高い軟磁性材料、例えば、パーマロイや珪素鋼板から作成される。円弧状の磁石板１２Ａ，１２Ｂは、例えばフェライト系やサマリウムコバルト系やネオジウム系などの強磁性材から切削加工や成型加工で形成され、環状の磁性基板１１と同じ内径と外径を有する環状磁石から等円弧長で偶数個切り出した形状を有する。それぞれの磁石板の円弧の中心角は互いに等しく、それらの和は３６０°より小さく選び、磁性基板１１上に互いに間隔Ｄを隔てて同一円周上に周方向に磁石板を配列されている。また、各磁石板１２Ａ，１２Ｂは磁性板１１及びヨーク板１３Ａ，１３Ｂとの積層方向（この実施例では回転軸Ｏｘ方向）に着磁されており、かつ、隣接する磁石板の周方向に互いに対向する端面で磁極が互いに逆極性となるように着磁されている。
【００１５】
円弧状のヨーク板１３Ａ，１３Ｂも同一円周上に配列されており、ヨーク板１３Ａの周方向両端面は隣接するヨーク板１３Ｂの端面と近接し、空隙Ｇを空けて対向する。空隙Ｇは隣接する磁石板１２Ａ，１２Ｂの端面間の間隔Ｄより狭く、かつ間隔Ｄの周方向中央に位置している。空隙Ｇを形成するヨーク板１３Ａ，１３Ｂの対向する端面は、図のように互いに平行でもよいし、周方向と直角な面でもよい。同様に、間隔Ｄを形成する磁石板１２Ａ，１２Ｂの対向する端面も互いに平行でもよいし、周方向と直角な面でもよい。磁性基板１１、磁石板１２Ａ，１２Ｂ，ヨーク板１３Ａ，１３Ｂは回転軸Ｏｘ方向に積層され、互いに例えば外周面をモールド（図示せず）で固定されて回転子１０が形成されている。図１の実施例においてはこの回転子１０はこの発明の位置検出装置が使用される図示されてない産業機器が有している回動部の回動軸に取り付けられ、その産業機器の非可動部に磁気センサ１４がヨーク板１３Ａ，１３Ｂの板面と距離を隔てて対向するように固定される。磁気センサ１４の磁界検出方向は図中に矢印１４Ｓで示すようにヨーク板１３Ａ，１３Ｂの板面に垂直、即ち、磁性版、磁石板、ヨーク板の積層方向とされている。
【００１６】
磁気センサ１４としては例えばホール素子や磁気抵抗素子を使用することができる。例えばホール素子を使用する場合、図２に示すように磁気センサ１４は４つの端子を有し、一対の端子に定電圧VBを印加し（定電圧動作の場合）、他の一対の端子から磁気検出信号VMが出力される。磁気検出信号VMは論理判定回路２０により増幅され、論理判定され、判定結果が位置検出信号SDとして出力される。
【００１７】
図１Ｃに示すように、磁石板１２Ａからの磁力線の多くは透磁率の高いヨーク板１３Ａに入り、ヨーク板１３Ａに導かれて空隙Ｇ方向の先端に向かって流れる。その結果、磁力線はヨーク板１３Ａの先端部に集中し、先端部近傍の表面から矢印曲線で示すように空気中に放射される。磁力線は空隙Ｇの近傍の空気中を通り、ヨーク板１３Ｂの先端部近傍の表面に入り、ヨーク板１３Ｂ中をヨーク板１３Ａにおける磁力線と逆方向に流れて磁石板１２Ｂに入る。磁石板１３Ｂから出て磁性基板１１に入ったほとんどの磁力線は磁性基板１１を通って磁石板１２Ａに戻る。この実施例においては、各空隙Ｇにおいて対向する磁極が逆極性となる必要があるので、空隙Ｇは偶数必要であり、従って、磁石板もヨーク板も同じ偶数個が設けられる。
【００１８】
例えば図１Ｃにヨーク板１３Ａの表面から上方に破線で示すように磁気センサ１４が位置しているときは、磁気センサ１４は磁界検出方向１４Ｓに貫通する磁力線による磁界を検出し、その磁界の方向に対応した電気極性の磁気検出信号VMを出力する。回転子１０の回転により磁気センサ１４が空隙Ｇに接近するにつれ、磁気センサ１４を貫通する磁力線の数は増加するが、その方向は空隙Ｇを越えるときに反転し、その結果、磁気センサ１４の磁気検出信号VMの電気極性は反転し、更にヨーク板１３Ｂの周方向において磁気センサ１４が空隙Ｇから離れるにつれ、逆方向に貫通する磁力線の数は減少する。
【００１９】
図１の実施例の場合、回転子１０が１回転すると磁気センサ１４の磁気検出信号VMは図３Ａに示すように正負が交番する一周期の波形となる。図３Ａの波形は磁気センサ１４の位置が空隙Ｇの中央で回転子１０が回転を開始し、１回転して元の空隙Ｇの中央に戻った場合を示している。論理判定回路２０は絶対値が等しい正と負の閾値電圧+Vth, -Vthを有し、図３Ａ，Ｂに示すように、磁気検出信号VMが正の閾値電圧+Vthを超えると判定出力（即ち、位置検出信号SD）はＯＮ状態（論理"1"）となる。このＯＮ状態は磁気検出信号VMが+Vthより下がっても、負方向に-Vthを超えない限りは維持される。次に、磁気検出信号VMが-Vthを負方向に超えるとＯＦＦ状態（論理"0"）となり、次に磁気検出信号VMが+Vthを超えるまでＯＦＦ状態を維持する。このような特性をヒステリシスと呼んでいる。
【００２０】
このようにして、論理判定回路２０は、入力された例えば図３Ａに示す磁気検出信号VMを論理判定し、図３Ｂに示すような位置検出信号SDを出力する。図３Ａ，Ｂに示すように、論理判定回路２０は磁気検出信号VMを閾値電圧+Vth, -Vthと比較して論理判定を行うため、例えば磁気検出信号VMが+Vthから-Vthに変化する角度幅（ヒステリシス幅）dAの間、論理状態は直前の状態を維持しているため、位置検出は角度dA/2の遅れを生じることになる。従って、ヒステリシス幅dAはできるだけ小さいことが望まれる。
【００２１】
図４Ａは図１の第１実施例と図７の従来技術における磁気センサ１４及び８２を貫通する磁力線の磁界検出方向成分の磁束密度をシミュレーションにより計算した結果を示す。ただし、図７では４つの扇状磁石板を使用しているが、図１と比較するため、図７の磁石板の数は２つとし、しかも図１と同様の円弧状とし、図１と同じ外径及び内径の２つの円弧状磁石板（中心角１８０°）が連結された環状の回転子とされている。以下、これを変形従来技術と呼ぶ。
【００２２】
第１実施例の磁性基板１１、磁石板１２Ａ，１２Ｂ，ヨーク板１３Ａ，１３Ｂ及び変形従来技術の磁石板はいずれも外径11.5mm、内径8.5mm、厚さ１mmである。また、第１実施例及び変形従来技術とも磁石板の保持力は200kA/mである。更に、第１実施例では磁性基板１１とヨーク板１３Ａ，１３Ｂを電磁軟鉄で形成するものとする。また、円弧状の各磁石板１２Ａ，１２Ｂの中心角は１４０°とし、円弧状の各ヨーク板１３Ａ，１３Ｂの中心角は168.5°とする。従って、各間隔Ｄの中心角は４０°（前記外径と内径の中間で約3.49mm）であり、空隙Ｇは1.00mm（中心角11.46°）である。
【００２３】
磁気センサの半径方向の位置はいずれも回転子の中心から10mmであり、磁気センサと回転子の表面との間の距離（以下、センサ距離と呼ぶ）が１mmの場合と、２mmの場合について、磁気センサを貫通する磁力線の磁界検出方向成分の磁束密度をシミュレーションにより計算した結果を図４Ａのグラフの縦軸に示す。横軸は、磁気センサの位置を空隙Ｇの中央（変形従来技術の場合は隣接磁石板の接合境界）に合わせて０とし、回転子を回転させた角度を表す。図から明らかなように、同じセンサ距離では第１実施例による空隙近傍の磁束密度は変形従来技術における磁石板接合境界近傍の磁束密度より高いが、空隙から周方向に離れるに従って磁束密度は減少し、この例では変形従来技術より低くなっている。このことは、この発明では磁性基板１１及びヨーク板１３Ａ，１３Ｂを使用することにより磁石板の表面の広い領域から磁力線を導いて空隙近傍に集中させることができることを示している。センサ距離が大きくなれば当然、磁気センサ位置での磁束密度は減少する。
【００２４】
図４Ｂは図４Ａにおける位置１８０°の近傍を拡大したものである。論理判定回路２０における論理判定のための閾値電圧+Vth, -Vthに対応する磁束密度をそれぞれ0.01T（テスラ）、-0.01Tとすると、センサ距離が１mmの場合、第１実施例ではヒステリシス幅dAは約2.3°と、変形従来技術の約2.9°より狭くなっている。センサ距離が２mmの場合も第１実施例のほうがヒステリシス幅dAが小さい。従って、第１実施例のほうが位置検出のタイミング遅れが小さく、位置検出精度は高いことがわかる。
【００２５】
つまり、従来の位置検出装置では磁石の表面での磁束密度を一定とすると、隣接磁石板の接合部近傍領域からの磁力線は接合部に集まって接合部近傍空間での磁束密度が高くなるが、磁石板表面からの磁力線は透磁率の低い空気中に放射されるので、接合部から離れるにつれ、磁石表面からの磁力はそれほど接合部近傍に集まらない。これに対し、この発明では磁石板の表面から出た磁束は空気より透磁率が高いヨーク板を通り空隙Ｇ方向に流れやすいので、空隙近傍の空間の磁束密度を従来より高くすることができる。その結果、磁気センサが空隙を越えるときに生じる磁束密度の反転の勾配（即ち、検出磁界の反転の勾配）が急峻になり、ヒステリシス幅が小さくなる。この効果は高い透磁率のヨーク板を使用することにより得られるものであり、間隔Ｄと空隙Ｇの周方向の長さ（それぞれの長さをＤとＧで表すとする）がＧ＝Ｄであってもこの発明の効果は生じるが、Ｄ＞Ｇとするのが好ましい。
【００２６】
変形従来技術においても、磁石の保持力を強くしたり、厚くすることでヒステリシス幅を小さくできるが、発生する磁力が周囲に与える影響も増し、磁石のコストも増加するので好ましくない。この発明では、磁石を軟磁性材で挟むので、強度が向上し、パーミアンス係数も大きくなり、減磁しにくくなる効果もある。
【００２７】
なお、図１の実施例では磁性板１１、磁石板１２Ａ，１２Ｂ，ヨーク板１３Ａ，１３Ｂの外径及び内径がそれぞれ同じ場合を示したが、磁性板１１及びヨーク板１３Ａ，１３Ｂと比べ、磁石板１２Ａ，１２Ｂの外径を小さく及び／又は内径を大きくしてもよい。
【００２８】
［第２実施例］
図５はこの発明による位置検出装置の第２実施例を示す。この実施例では、環状の磁性基板１１と、同一円周上に配列された円弧状の磁石板１２Ａ，１２Ｂと、同一円周上に配列された円弧状のヨーク板１３Ａ，１３Ｂとが、同一面上で半径方向に内側から外側へ順次積層され、回転子１０が形成されている。これら磁性基板１１、磁石板１２Ａ，１２Ｂ、ヨーク板１３Ａ，１３Ｂの回転軸Ｏｘ方向の幅は等しくされている。
【００２９】
円弧状の磁石板１２Ａ，１２Ｂは積層方向、この実施例では半径方向に着磁されており、隣接する磁石板の着磁方向は互いに逆極性とされている。第１実施例と同様に、各磁石板１２Ａ，１２Ｂの周方向両端面はそれぞれ隣接する磁石板の一端面と間隔Ｄを空けて対向し、各ヨーク板１３Ａ，１３Ｂも隣接するものの周方向端面は空隙Ｇを空けて対向する。各空隙Ｇは対応する間隔Ｄの中央に位置する。この実施例においても空隙Ｇは偶数個必要であり、従って、磁石板およびヨーク板もそれぞれ同じ偶数個必要である。
【００３０】
磁気センサ１４はヨーク板１３Ａ，１３Ｂの外周面から半径方向外側に距離を隔てて配置される。磁気センサ１４の磁界検出方向１４Ｓはヨーク板１３Ａ，１３Ｂの外周面と垂直な半径方向（積層方向）である。その他、各部材の材質は第１実施例の対応するものと同様でよい。この第２実施例によっても空隙Ｇ近傍の磁束密度を高めることができるので、位置検出のヒステリシス幅が小さくなり、従って、位置検出タイミング遅れが小さく、位置検出精度が高くなる。
【００３１】
［第３実施例］
図６はこの発明による第３実施例の位置検出装置を示す。この実施例は第１実施例の環状の回転子１０の環を切断して直線方向に伸ばした構造を有している。従って、磁性基板１１は直線レール板状に伸びており、その上の磁石板、及びヨーク板は長方形に形成されている。ただし、少なくとも２つの空隙Ｇを設けるため、３個以上の所望の数の磁石板１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄ、…と、それと同数のヨーク板１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ，１３Ｄ，…が設けられている。磁性基板１１、磁石板１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄ及びヨーク板１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃ，１３Ｄが積層一体化されて形成された直進体１０’は、図示してない産業機器が有する位置検出対象の直線可動部に、その可動方向と直進体１０’の長さ方向を一致させて取り付けられる。直進体１０’と共に位置検出装置を構成する磁気センサ１４は産業機器の、非可動部に、ヨーク板の表面から距離を隔てて固定される。
【００３２】
第３実施例の各構成部材も、第１実施例の対応する構成部材と同様の材質で構成してよい。
【００３３】
［第４実施例］
図１の実施例において、磁石材料のコストを下げるため、各磁石板１２Ａ，１２Ｂの周方向中間部の１箇所又は複数箇所に磁石板を切断する隙間を形成してもよい。その例を図７に示す。図７は、図１の各磁石板１２Ａ，１２Ｂの両端部をそれぞれ磁石板片１２Ａ１，１２Ａ２及び１２Ｂ１，１２Ｂ２として残し、中間部を切除してそれぞれ隙間１２Ａｄ，１２Ｂｄを形成した場合を示す。従って、磁石板１２Ａは磁石板片１２Ａ１と１２Ａ２のグループで構成され、磁石板１２Ｂは磁石板片１２Ｂ１と１２Ｂ２のグループで構成される。これにより磁石板１２Ａ，１２Ｂに必要は磁石材料の量を減らすことができる。
【００３４】
なお、このように隙間をあけて磁石板片１２Ａ１，１２Ａ２，１２Ｂ１，１２Ｂ２を配列することにより円弧状の各磁石板片の中心角は小さくなり、その円弧長に対し、幅（半径方向の長さ）がある程度大きければ、円弧でなく、長方形の磁石板変を使用してもよい。その場合、長方形の四隅はいずれも磁性基板１１及びヨーク板１３Ａ，１３Ｂの内周面及び外周面から外にはみ出さないように長方形の寸法と配置を決める。
【００３５】
［第５実施例］
図５の実施例についても、図７の実施例と同様に、図８に示すように磁性板１２Ａ及び１２Ｂをそれぞれ複数の磁性板片１２Ａ１，１２Ａ２及び１２Ｂ１，１２Ｂ２で構成するように隙間１２Ａｄ及び１２Ｂｄを形成してもよい。
【００３６】
［第６実施例］
図１の実施例では環状の回転子１０を有する位置検出装置の例を示したが、環状でなく、円弧状であってもよい。その例を図９に示す。この例は、図１Ｂにおける回転子１０を中心軸Ｏｘを通る直線で切断して形成した１８０°の円弧状を有する。空隙Ｇは円弧の周方向中央に位置している。もちろん、円弧として１８０°である必要はなく、それより大でも、小でもよい。このように円弧状の回転子１０とすることにより、磁性板材料の量を減らすことができ、コストを下げることができる。
【００３７】
同様に図５の実施例においても、環状の回転子１０から切り出した円弧状の回転子（図示せず）を使用してもよい。また、図９に一点鎖線で示すように、各磁石板１２Ａ，１２Ｂを図７の実施例と同様に周方向に隙間１２Ａｄ，１２Ｂｄをあけて配列された複数の磁石板片のグループで構成してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明は、産業機器の回転部材や直線可動部材の位置検出に利用することが可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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