(57)【要約】      （修正有）【課題】マスクをパネル基板から取り外す場合に、セル内への空気の急な入り込みや該基板の振動を抑制でき、セル充填済みの粒子群を舞い上がらせず、隔壁上面への粒子残存もなく、均一な粒子群の充填ができる情報表示用パネルの製造方法。【解決手段】パネル基板上のセル開口部に対応した開口部を有するマスクを、開口部同士が対応するように位置決めするとともに、情報表示画面領域にある隔壁および情報表示画面領域の周囲に設けた枠リブの上に接触させて配置するマスク配置工程と、マスクの上に乾燥した粒子群を載せ、粒子搬送部材をマスクに押し当てながら移動させることで、粒子群を移動させて、マスクの開口部を介してパネル基板上のセル内に配置する粒子配置工程と、パネル基板上のセル内に粒子群を配置し終えた後、パネル基板上の隔壁上面とマスクとを引き離すマスク引き離し工程とを行うに際し、マスクの粒子群を載せる面と反対側の面を粗面にする。【選択図】図４
2011133786.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気的に駆動可能な粒子を含んだ粒子群として構成した表示媒体を、パネル基板間の情報表示画面領域にあたる空間を隔壁で区切って設けたセル内に配置し、前記表示媒体を電気的に駆動させて情報を表示する情報表示用パネルの製造方法であって、パネル基板上の前記セル開口部に対応した開口部を有するマスクを、マスクの開口部とパネル基板上の前記セル開口部とが対応するように位置決めするとともに、前記情報表示画面領域にある隔壁および前記情報表示画面領域の周囲に設けた枠リブの上に接触させて配置するマスク配置工程と、前記マスクの上に乾燥した前記粒子群を載せ、粒子搬送部材を前記マスクに押し当てながら移動させることで、前記粒子群を移動させて、前記マスクの開口部を介して前記パネル基板上のセル内に配置する粒子配置工程と、前記パネル基板上のセル内に粒子群を配置し終えた後、パネル基板上の隔壁上面と前記マスクとを引き離すマスク引き離し工程とを行うに際して、前記マスクが、粒子群を載せる面と反対側の面を粗面にしたものであることを特徴とする情報表示用パネルの製造方法。
【請求項２】
前記電気的に駆動可能な粒子を含んだ粒子群として構成した表示媒体が、平均粒子径が、１μｍ〜２０μｍの帯電性粒子を含んだ粒子群であり、対向させたパネル基板もしくはパネル基板の外側に配置した対向電極対を介して形成した電界でパネル基板間の空間を移動させる情報表示用パネルの製造方法であることを特徴とする請求項１に記載の情報表示用パネルの製造方法。
【請求項３】
前記粗面の表面粗さＲａを０．５μｍ〜８μｍの範囲とすることを特徴とする請求項１または２に記載の情報表示用パネルの製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の情報表示用パネルの製造方法で用いるマスクであって、粒子群を載せない側の面を、表面粗さＲａが０．５μｍ〜８μｍの粗面としたことを特徴とする情報表示用パネルの製造方法で用いるマスク。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、粒子移動方式の情報表示用パネルの製造方法に関し、特に、表示媒体とする粒子群を、マスクを用いてパネル基板上に設けたセル内に配置する粒子配置工程を含んだ情報表示用パネルの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、帯電性粒子を含んだ粒子群として構成した表示媒体を、パネル基板間の情報表示画面領域にあたる空間を隔壁で区切って設けたセル内に配置し、前記表示媒体を電界で駆動させて情報を表示する情報表示用パネルの製造方法として、パネル基板上の前記セル開口部に対応した開口部を有するマスクを、マスクの開口部とパネル基板上の前記セル開口部とが対応するように位置決めするとともに、前記情報表示画面領域にある隔壁および前記情報表示画面領域の周囲に設けた枠リブの上に配置するマスク配置工程と、前記マスクの上に乾燥した前記粒子群を載せ、粒子搬送部材を前記マスクに押し当てながら移動させることで、前記粒子群を移動させて、前記マスクの開口部を介して前記パネル基板上のセル内に配置する粒子配置工程と、前記パネル基板上のセル内に粒子群を配置し終えた後、パネル基板上の隔壁上面および枠リブ上面と前記マスクとを引き離すマスク引き離し工程とを含んだ情報表示用パネルの製造方法が知られている。（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
図９および図１０はそれぞれ上述した従来の情報表示用パネルの製造方法における粒子配置工程の一例を説明するための図である。図９および図１０に示す例においては、パネル基板５１上のセル５７の開口部に対応した開口部６１−１を有するマスク６１を、マスク６１の開口部６１−１とパネル基板５１上のセル５７の開口部とが対応するように、隔壁５４および隔壁５４の周囲に設けた枠リブ６２上に配置した後、マスク６１の上に表示媒体とする粒子群（ここでは白色帯電性粒子５３Ｗａを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体５３Ｗ）を載せ、粒子搬送部材６３をマスク６１に押し当てながら移動させることで粒子群を移動させて、マスク６１の開口部６１−１を介してパネル基板１上のセル５７内に粒子群を充填している。
【０００４】
図９および図１０に一例を示す従来の情報表示用パネルの製造方法における粒子配置工程では、使用する粒子５３Ｗａの量が少なくて済み、また、マスク６１で隔壁５４の部分を覆うため、パネル基板の上方から粒子群を撒布する方式で必須であった、粒子充填後に隔壁上に付着した不要な粒子を除去する粒子除去工程を必要としないなど、表示媒体とする粒子群５３Ｗを効率よくセル５７内へ充填することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１４８３８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した従来の情報表示用パネルの製造方法における粒子配置工程では、図９に示すように、パネル基板上の隔壁および前記隔壁の外側周囲に設けた枠状隔壁とは離して配置したマスクが、粒子搬送部材で押されて隔壁上に付いた状態になり、粒子搬送部材が通過した後には元の位置に戻る場合があり、この戻るときの反動で、マスク開口部を通過してマスクの下側にある粒子がパネル基板上の隔壁上面や枠リブ上面に付着してしまうことがあったり、図１０に示すように、パネル基板上の隔壁および前記隔壁の外側周囲に設けた枠リブとは離して配置したマスクが、粒子搬送部材で押されて隔壁上に付いた状態になり、粒子搬送部材が通過した後にもそのままマスクと隔壁上面および枠リブ上面とが付着したままの状態で粒子配置工程を終了した後、マスクをパネル基板上の隔壁上面から引き離す際に発生する風によって、セル内に配置した粒子が舞い上がってパネル基板上の隔壁上面に付着してしまうことがあったりし、問題となっていた。図１０に示す例の場合において、粒子配置を終了し、マスクをパネル基板上の隔壁上面から引き離す際に発生する問題を、図１１を用いてもう少し説明する。
【０００７】
図１１に示すように、次の粒子充填に備えてマスク６１の周囲４辺を同時に引き上げて、マスク６１をパネル基板１から引き離して除去する必要がある。その際、上述した従来の粒子配置工程では、粒子搬送部材６３によりマスク６１を隔壁５４および枠リブ６２に強く押し当てつつ移動させて粒子を充填しているため、マスク６１と隔壁５４または枠リブ６２とが貼り付いてしまい、マスク６１を隔壁５４または枠リブ６２から引き離し難くなっていた。この現象は幅の広い枠リブ６２でより発生しやすくなっていた。そして、マスクを持ち上げる途中のある時点で、急にマスク６１が隔壁５４または枠リブ６２から剥がれるため、セル５４内に空気が急に入り込んだり、パネル基板５１に振動が発生したりして、パネル基板５１上のセル５４内に充填済みの粒子群を舞い上がらせることとなり、均一な表示媒体の充填ができなくなる問題があった。
【０００８】
本発明の目的は上述した問題点を解消して、パネル基板上のセル開口部に対応した開口部を有するマスクを、マスクの開口部とパネル基板上の前記セル開口部とが対応するように位置決めするとともに、前記マスクの上に乾燥した粒子群を載せ、粒子搬送部材を前記マスクに押し当てながら移動させることで、前記粒子群を移動させて、前記マスクの開口部を介して前記パネル基板上のセル内に配置する粒子配置工程およびこの粒子配置工程にてパネル基板上のセル内に粒子群を配置し終えた後、パネル基板上の隔壁上面および枠リブ上面と前記マスクとを引き離すマスク引き離し工程とのいずれにおいても、セル内に急に空気が入り込むことやパネル基板が振動することを抑制して、セル内に充填済みの粒子群を舞い上がらせることがなく、隔壁上や枠リブ上に粒子付着を発生させることを防ぐとともに、表示媒体とする粒子群を均一に配置できる情報表示用パネルの製造方法およびその情報表示用パネルの製造方法で用いるマスクを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の情報表示用パネルの製造方法は、電気的に駆動可能な粒子を含んだ粒子群として構成した表示媒体を、パネル基板間の情報表示画面領域にあたる空間を隔壁で区切って設けたセル内に配置し、前記表示媒体を電気的に駆動させて情報を表示する情報表示用パネルの製造方法であって、パネル基板上の前記セル開口部に対応した開口部を有するマスクを、マスクの開口部とパネル基板上の前記セル開口部とが対応するように位置決めするとともに、前記情報表示画面領域にある隔壁および前記情報表示画面領域の周囲に設けた枠リブの上に接触させて配置するマスク配置工程と、前記マスクの上に乾燥した前記粒子群を載せ、粒子搬送部材を前記マスクに押し当てながら移動させることで、前記粒子群を移動させて、前記マスクの開口部を介して前記パネル基板上のセル内に配置する粒子配置工程と、前記パネル基板上のセル内に粒子群を配置し終えた後、パネル基板上の隔壁上面と前記マスクとを引き離すマスク引き離し工程とを行うに際して、前記マスクが、粒子群を載せる面と反対側の面を粗面にしたものであることを特徴とするものである。
【００１０】
また、本発明の情報表示用パネルの製造方法の好適例としては、前記電気的に駆動可能な粒子を含んだ粒子群として構成した表示媒体が、平均粒子径が、１μｍ〜２０μｍの帯電性粒子を含んだ粒子群であり、対向させたパネル基板もしくはパネル基板の外側に配置した対向電極対を介して形成した電界でパネル基板間の空間を移動させる情報表示用パネルの製造方法であること、前記粗面の表面粗さＲａを０．５μｍ〜８μｍの範囲とすること、がある。
【００１１】
さらに、本発明の情報表示用パネルの製造方法に用いるマスクは、粒子群を載せない側の面を、表面粗さＲａが０．５μｍ〜８μｍの粗面としたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の情報表示用パネルの製造方法によれば、パネル基板上のセル開口部に対応した開口部を有するマスクを、マスクの開口部とパネル基板上の前記セル開口部とが対応するように位置決めするとともに、情報表示画面領域にある隔壁および前記情報表示画面領域の周囲に設けた枠リブの上に接触させて配置するマスク配置工程と、前記マスクの上に乾燥した粒子群を載せ、粒子搬送部材を前記マスクに押し当てながら移動させることで、前記粒子群を移動させて、前記マスクの開口部を介して前記パネル基板上のセル内に配置する粒子配置工程と、前記パネル基板上のセル内に粒子群を配置し終えた後、パネル基板上の隔壁上面と前記マスクとを引き離すマスク引き離し工程とを行うに際して、前記マスクが、粒子群を載せる面と反対側の面を粗面にしたものであるので、粒子配置工程の最中に粒子が前記情報表示画面領域の周囲に設けた枠リブの上面に付着することを防止できるとともに、マスク引き離し工程の最中に、セル内に急に空気が入り込むことやパネル基板が振動することを抑制して、セル内に充填済みの粒子群を舞い上がらせることをなくして、隔壁上や枠リブ上に粒子を付着させることを防ぐことができ、表示媒体とする粒子群を均一にセル内に配置できる。
【００１３】
また、前記表示媒体とする粒子群を、平均粒子径が、１μｍ〜２０μｍの帯電性粒子含んだ粒子群とし、前記マスクの、粒子群を載せる面と反対側の面の表面粗さＲａを、０．５μｍ〜８μｍの粗面とした場合は、粒子配置工程の最中に粒子が前記情報表示画面領域の周囲に設けた枠リブの上面に付着することを防止できるとともに、マスク引き離し工程の最中に、セル内に急に空気が入り込むことやパネル基板が振動することを抑制して、セル内に充填済みの粒子群を舞い上がらせることをなくして、隔壁上や枠リブ上に粒子を付着させることを防ぐことができ、表示媒体とする粒子群を均一にセル内に配置できるので好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の情報表示用パネルの製造方法を適用した帯電粒子駆動型の情報表示用パネルの一例を説明するための図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の情報表示用パネルの製造方法を適用した帯電粒子駆動型の情報表示用パネルの他の一例を説明するための図である。
【図３】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の情報表示用パネルの製造方法における粒子配置工程の一例を説明するための図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の情報表示用パネルの製造方法で用いるマスクとマスクを配置する隔壁との対応の一例を説明するための図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の情報表示用パネルの製造方法で用いるマスクとマスクを配置する隔壁との対応の他の例を説明するための図である。
【図６】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の情報表示用パネルの製造方法で用いるマスクとマスクを配置する隔壁との対応のさらに他の例を説明するための図である。
【図７】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の情報表示用パネルの製造方法で用いるマスクにおけるマスク支持構造の一例を説明するための図である。
【図８】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の情報表示用パネルの製造方法で用いるマスクにおけるマスク支持構造の他の例を説明するための図である。
【図９】従来の情報表示用パネルの製造方法における粒子配置工程の一例を説明するための図である。
【図１０】従来の情報表示用パネルの製造方法における粒子配置工程の他の例を説明するための図である。
【図１１】従来の情報表示用パネルの製造方法におけるマスクを引き離して除去する状態を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
＜本発明の情報表示用パネルの製造方法の対象となる情報表示用パネルについて＞
まず、本発明の情報表示用パネルの製造方法の対象となる情報表示用パネルのうち、帯電性粒子を含んだ粒子群を表示媒体として用いる情報表示用パネルの一例について説明する。上記情報表示用パネルでは、対向する２枚の基板間の空間に封入した表示媒体に電界が付与される。付与された電界方向に沿って、表示媒体が電界による力やクーロン力などによって引き寄せられ、表示媒体が電界方向の変化によって移動することにより、画像等の情報表示がなされる。従って、表示媒体が、均一に移動し、かつ、繰り返し表示情報を書き換える時あるいは表示情報を継続して表示する時の安定性を維持できるように、表示パネルを設計する必要がある。ここで、表示媒体を構成する粒子にかかる力は、粒子同士のクーロン力により引き付けあう力の他に、電極や基板との電気鏡像力、分子間力、液架橋力、重力などが考えられる。
【００１６】
本発明の情報表示用パネルの製造方法の対象となる情報表示用パネルのうち、帯電性粒子を含んだ粒子群を表示媒体として用いる情報表示用パネルの例を、図１（ａ）、（ｂ）〜図２（ａ）、（ｂ）に基づき説明する。
【００１７】
図１（ａ）、（ｂ）に示す例では、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成した少なくとも２種類の表示媒体（ここでは負帯電性白色粒子３Ｗａを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体３Ｗと正帯電性黒色粒子３Ｂａを含んだ粒子群として構成した黒色表示媒体３Ｂを示す）を、隔壁４で形成された各セル７において、背面側のパネル基板１に設けた電極５（ストライプ電極）と観察側の透明なパネル基板２に設けた透明電極６（ストライプ電極）とが対向直交交差して形成する画素電極対の間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図１（ａ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色の表示を、あるいは、図１（ｂ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色の表示を白黒のドットでマトリックス表示している。なお、図１（ａ）、（ｂ）において、手前にある隔壁は省略している。また、８は接着剤である。さらに、ここではセルと画素（ドット）とが１対１に対応する例を示している。
【００１８】
図２（ａ）、（ｂ）に示す例では、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成した少なくとも２種類の表示媒体（ここでは負帯電性白色粒子３Ｗａを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体３Ｗと正帯電性黒色粒子３Ｂａを含んだ粒子群として構成した黒色表示媒体３Ｂを示す）を、隔壁４で形成された各セルにおいて、基板１に設けた電極５（ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）付き画素電極）と基板２に設けた電極６（共通電極）との間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図２（ａ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色の表示を、あるいは、図２（ｂ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色の表示を白黒のドットでマトリックス表示している。なお、図２（ａ）、（ｂ）において、手前にある隔壁は省略している。また、８は接着剤である。さらに、ここではセルと画素（ドット）とが１対１に対応する例を示している。
【００１９】
＜本発明の情報表示用パネルの製造方法における粒子配置工程について＞
次に、本発明の情報表示用パネルの製造方法における粒子配置工程の一例について、図３（ａ）、（ｂ）を参照して説明する。図３（ａ）、（ｂ）に示す例において、図１（ａ）、（ｂ）〜図２（ａ）、（ｂ）に示す例と同一の部材には同一の符号を付し、その説明を省略する。図３（ａ）、（ｂ）に示す例では、２種類のいずれも乾燥した白色表示媒体３Ｗ（白色粒子群）と黒色表示媒体３Ｂ（黒色粒子群）とをセル７内に充填して配置する方法の一例を示している。
【００２０】
本例では、まず、図３（ａ）に示すように、白色粒子群３Ｗに対しマスクを用いた粒子配置工程を実施する。図３（ａ）に示すマスクを用いた粒子配置工程では、パネル基板１上の隔壁４で形成されたセル７の開口部７−１に対応した開口部１１−１を有するマスク１１を、マスク１１の開口部１１−１とパネル基板１上のセル７の開口部７−１とが対応するように、隔壁４および隔壁４の周囲に形成された枠リブ１２上に接触して載せた後、マスク１１の上に白色粒子３Ｗａを含んだ白色粒子群３Ｗを載せ、粒子搬送部材１３をマスク１１に押し当てならが移動させることで白色粒子群３Ｗを移動させて、マスク１１の開口部１１−１を介してパネル基板１のセル７内に白色粒子群３Ｗを充填し、配置している。図３（ａ）に示す例では、マスク１１は隔壁４および枠リブ１２の上面に接するように配置している。粒子搬送部材１３で押されてもマスク１１が変形しないので、セル７内に配置済みの粒子群が舞い上がることがなく、マスクされている隔壁上面に粒子が付着することもない。
【００２１】
次に、図３（ｂ）に示すように、白色粒子群３Ｗをセル内に配置し終えたパネル基板１に配置する黒色粒子群３Ｂに対し同じくマスクを用いる粒子配置工程を実施する。図３（ｂ）に示すマスクを用いた粒子配置工程では、図３（ａ）に示す例と同様に、パネル基板１上の隔壁４で形成されたセル７の開口部７−１に対応した開口部１１−１を有するマスク１１を、マスク１１の開口部１１−１とパネル基板１上のセル７の開口部７−１とが対応するように、隔壁４および隔壁４の周囲に設けた枠リブ１２上に接触して載せた後、マスク１１の上に黒色粒子３Ｂａを含んだ黒色粒子群３Ｂを載せ、粒子搬送部材１３をマスク１１に押し当てならが移動させることで黒色粒子群３Ｂを移動させて、マスク１１の開口部１１−１を介してパネル基板１のセル７内に、予め配置されている白色粒子群３Ｗに重ねて、黒色粒子群３Ｂを充填している。そして、もう一方のパネル基板２を接着剤８などを用いて貼り合わせることで、本発明の対象となる図１および図２に一例として示した情報表示用パネルを得ている。
ここでは、マスクをパネル基板上に配置した後、マスクの上に粒子群を載せることを示したが、予め粒子群を載せたマスクをパネル基板上に配置してもよい。
【００２２】
上述した図３（ａ）、（ｂ）に基づく説明から明らかなように、本発明の情報表示用パネルの製造方法における粒子配置工程の一例では、図３（ａ）に示す白色粒子群３Ｗの配置工程においても、図３（ｂ）に示す黒色粒子群３Ｂの配置工程においても、マスクは隔壁４および枠リブに接するように配置しているため、図９に示す従来の情報表示用パネルの製造方法における粒子配置工程のように粒子搬送部材で押されて変形したマスクが元に戻ることがなく、変形したマスクが元に戻るときにセル内やマスク下にある粒子を舞い上がらせることにより発生する隔壁上や枠リブ上への粒子付着の不具合が解消され、また、図１０に示す従来の情報表示用パネルの製造方法における粒子配置工程のように粒子搬送部材で押されて変形したマスクが隔壁上や枠リブ上に付いたまま元に戻らず、マスクを取り外すマスク取り外し工程を実施する前に突然元に戻り、そのときにセル内やマスク下にある粒子を舞い上がらせることにより発生する隔壁上や枠リブ上への粒子付着の不具合が解消される。
【００２３】
さらに、図３（ａ）に示す白色粒子群３Ｗの配置工程と、図３（ｂ）に示す黒色粒子群３Ｂの配置工程との間において、一旦、白色粒子群配置用のマスク１１を隔壁４および枠リブ１２から引き離して取り外し、黒色粒子群配置用のマスク１１と交換する必要があるとともに、二種類の粒子群を配置し終わった後に、マスク１１を隔壁４および枠リブ１２から引き離して取り外す必要がある。もちろん、一種類の粒子群をセル内に配置する粒子配置工程でも、一種類の粒子群を配置した後に、マスク１１を隔壁４および枠リブ１２から引き離して取り外す必要がある。本発明では、このマスク１１の隔壁４および枠リブ１２から引き離して取り外すマスク引き離し工程における不具合も解消している。
【００２４】
＜本発明の情報表示用パネルの製造方法の特徴＞
本発明の情報表示用パネルの製造方法の特徴は、上述した情報表示用パネルの製造方法における、粒子配置工程およびマスク引き離し工程において、互いに対向して接するマスク面と、隔壁上面および枠リブ上面との関係においてマスク裏面を粗面とした点にある。マスク１１をパネル基板１にセットしたとき、マスク１１と隔壁４上面および隔壁の周囲に設けた枠リブ１２上面との接触が、マスク１１裏面に形成した粗面を介するものとなるため、マスク１１が隔壁４の上面をマスクしてセル７内に粒子群を配置する機能を維持し、次の、パネル基板上の隔壁および枠リブからマスクを引き離すマスク引き離し工程を行うときには、セル内に急に空気が入り込むことやパネル基板が振動することを抑制して、セル内に充填済みの粒子群を舞い上がらせることがなく、したがって、隔壁上や枠リブ上に粒子を付着させることを防ぐことができ、表示媒体とする粒子群を均一にセル内に配置できる。
【００２５】
また、本発明のマスクにおいては、マスク１１の隔壁４および枠リブ１２と対向する面において、隔壁４の上面および枠リブ１２の上面と接する部分だけを粗面にすればよいが、開口部１１−１以外の全面を粗面にすることが好ましい。この場合は、開口部１１−１以外の全面を粗面にすることで、本発明のマスク１１をより簡単な工程で作製することができる。マスク１１に開口部１１−１を形成した後に、マスク表面全体に粗面化処理を施したり、マスク表面全体に粗面化処理を施した後、開口部１１−１を形成したりできるからである。さらに、本発明のマスクにおいては、粗面の表面粗さＲａを０．５μｍ〜８μｍとすることが好ましい。
マスク面を粗面にする方法としては、メタルマスクでは、基材の上にマスクにしたいメタル層を電鋳法で積層して形成する場合には、基材表面を所望の表面粗さにしておき、メタルマスク側にその粗さを転写する方法がある。また、予め作製しておいたマスク表面を、サンドブラスト法やブラッシング法などのように研磨して所望の粗面にすることもできる。その他、所望の粗さに対応する粒子径の微粒子を含んだ塗料を塗布した後硬化させる方法を用いることもできる。
【００２６】
マスクの粗面の表面粗さＲａを０．５μｍ〜８μｍとすることが好ましいのは以下の理由による。すなわち、マスク粗面の表面粗さＲａが０．５μｍ未満であると、マスク裏面と、隔壁上面および枠リブ上面とが密着した状態になりやすく、マスク引き離し工程においてパネル基板上の隔壁および枠リブからマスクを引き離す際にマスクを引き離しにくいことがあるためであり、一方、マスク粗面の表面粗さＲａが８μｍを超えると以下の不都合がある。つまり、本発明の対象とする帯電粒子移動型情報表示用パネルの場合、表示媒体とする粒子群は、平均粒子径が１μｍ〜２０μｍの帯電性粒子で構成されるため、粒子配置工程で用いるマスク厚が１０μｍ〜８０μｍの範囲が好ましく、この厚さのマスク裏面のＲａを８μｍを超える粗面にしようとするとマスクが破損するようになり目的の粗面をもったマスクが得られない。また、マスク厚が８０μｍを超えると、平均粒子径が１μｍ〜２０μｍの帯電性粒子では、マスク開口に粒子が詰まりやすくなり効率的な粒子配置工程が得られなくなり、１０μｍ未満のマスク厚のマスクは作製そのものが困難なので、作製可能で、本発明の実施において好適なマスク厚の範囲が前記範囲となる。
マスクを電鋳法で作製する場合、表面粗さＲａを０．１μｍ未満にすることは難しく、何も後から加工を加えないで得られるマスク表面の表面粗さＲａは０．１μｍ程度になる。
【００２７】
マスク１１の開口部１１−１は、隔壁４で囲まれたセル７の開口部と同じ形状で角がない角丸付きの形状としたり、円形や楕円形、レーストラック形等の角がない形状とする。したがって、マスク１１の開口部１１−１の大きさは、隔壁４で囲まれたセル７の開口部よりも小さい開口となる。粒子の配置工程を行なう時には、隔壁４の上面がマスク１１の開口部１１−１に露出しないようにマスク１１を配置する。
【００２８】
マスク１１は、材料にステンレス鋼（ＳＵＳ）、ニッケル合金、アルミニウム、鉄、銅等の金属を用いたメタルマスクや、汎用プラスチックを用いた樹脂製マスクおよびメタル部分と樹脂部分とを組み合せた複合マスクなどが用いられる。メタルマスクの一部に絶縁部材を設けて部分的に絶縁性部分を有する導電性メタルマスクとしたり、樹脂製マスクの一部に導電部材を設けて部分的に導電性部分を有する樹脂製マスクとしたりすることができる。マスクの厚さは１０μｍ〜２００μｍの範囲が好ましく強度的に優れたメタルマスクが好適である。厚さが１０μｍ〜５０μｍのメタルマスクは電鋳法で作製することができる。この方法によれば、基材の上にマスクを電鋳成形するため、基材面の表面粗さが転写された表面粗さを形成できる。
【００２９】
マスク１１の開口１１−１は、隔壁４で囲まれたセル７の開口部がマスク１１の開口部１１−１に露出しなければよく、その形状はどのような形状であっても良い。マスク目詰まりが起きにくい角丸付き四角形、角丸付き六角形、楕円形、円形、レーストラック形などが好ましく用いられる。さらにその形状はセル開口形状に合わせるか円形状、楕円形状、レーストラック形状のいずれかにするのが好ましい。
【００３０】
次に、図４（ａ）、（ｂ）〜図６（ａ）、（ｂ）を参照して、本発明のマスクにおける隔壁とマスクとの対応について説明する。図４（ａ）、（ｂ）〜図６（ａ）、（ｂ）に示す例において、図４（ａ）、図５（ａ）および図６（ａ）は基板上のセル開口部７−１を有する隔壁４の形状を示し、図４（ｂ）、図５（ｂ）および図６（ｂ）は開口部１１−１を有するマスク１１の形状を示している。
【００３１】
図４（ａ）、（ｂ）に示す例では、隔壁４の四角形のセル開口部７−１に対しマスク１１の円形の開口部１１−１を１対１で配置した例を示しており、マスク１１の円形の開口部１１−１は隔壁４の四角形のセル開口部７−１に含まれる大きさに設定されている。図５（ａ）、（ｂ）に示す例では、隔壁４の四角形のセル開口部７−１に対しマスク１１の四角形の開口部１１−１を１対１で配置した例を示しており、マスク１１の四角形の開口部１１−１は隔壁４の四角形のセル開口部７−１に含まれる大きさに設定されている。図６（ａ）、（ｂ）に示す例では、隔壁４の四角形のセル開口部７−１に対しマスク１１の四角形の開口部１１−１を１対１で配置した例を示しており、マスク１１の四角形の開口部１１−１は隔壁４の四角形のセル開口部７−１と同じ大きさに設定されている。
【００３２】
次に、図７（ａ）、（ｂ）および図８（ａ）、（ｂ）を参照して、本発明のマスクにおけるマスク支持構造について説明する。図７（ａ）、（ｂ）に示す例では、マスク１１の周囲全体に弾力付与部材２１を配置し、マスク１１を弾力付与部材２１を介して断面が正方形の中空の枠体２２により支持している。図８（ａ）、（ｂ）に示す例では、マスク１１の周囲８箇所に８個の弾力付与部材２３を配置し、マスク１１を８個の弾力付与部材２３を介して断面が長方形の中空の枠体２４により支持している。
【００３３】
張力付与部材２１、２３としては、マスク本体の周囲全体に配置する布状（ｆａｂｒｉｃ）のものや織物状（ｍｅｓｈ）のもののほか、マスク本体の周囲に対して部分的に均等に配置するプラスチック、ゴム、金属等の弾性材をシート状にしたものやプラスチック、ゴム、金属等の弾性材をコイル状にしたもののような、いわゆるスプリング状の弾性体が挙げられる。布状または織物状の張力付与部材２１、２３を構成する繊維には、ポリエステル繊維、ポリアリレート繊維等の化学合成繊維、木綿、絹等の天然繊維、ステンレス細線、ニッケル-クロム合金（Ｎｉ-Ｃｒ）細線等の金属繊維などが用いられる。繊維の太さ（線径）は材質によるが、１５μｍ〜２００μｍの範囲の繊維が用いられる。シート状の弾性体には、ナイロン、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリイミド（ＰＩ）、ポリウレタン（ＰＵ）等の樹脂材料や、天然ゴム、各種合成ゴム等のゴム系材料や、ステンレス鋼、アルミニウム、アルミニウム合金等の金属材料が用いられる。
【００３４】
枠体２２、２４は、マスクよりも大きな開口を有し、マスクに張力を付与しつつ保持する張力付与部材を複数有するものである。枠体２２、２４は、反ったり歪んだりしにくい、言い換えれば剛性の高い材料で構成する。ステンレス鋼、鉄、アルミニウム、アルミニウム合金、黄銅等の金属材料およびポリイミド（ＰＩ）、ポリエチルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリプロピレン（ＰＰ）等のプラスチック材料を中空構造に構成したものや中空としない無垢構造に構成したもの、ガラス繊維補強したエポキシ樹脂などが好適に用いられる。
【００３５】
上述した支持構造を有する本発明のマスク１１では、枠体２２、２４を持ち上げることで、マスク１１を隔壁４および枠リブ１２から引き離しているため、マスク１１を隔壁４および枠リブ１２から一度に引き離して除去する構成となっている。
【００３６】
＜本発明で用いる各構成部材について＞
次に、上述した粒子配置工程の説明および情報表示用パネルに用いる各構成部材について説明する。
【００３７】
本発明の情報表示用パネルの製造方法の対象となる情報表示用パネルにおけるセルの開口の大きさは、長方形であれば、１辺の長さが５０μｍ〜１０００μｍ程度、好ましくは１００μｍ〜３００μｍ程度であり、ハニカム（六角形）形状の場合は、向かい合う頂点の距離が１００μｍ〜１０００μｍ程度、好ましくは１００μｍ〜３００μｍ程度である。
【００３８】
基板間空間をセルに仕切るための隔壁の配置は格子状、ハニカム状、網目状などにすることができる。セルの横断面形状は、四角形、三角形、六角形、階段型八角形等の多角形や、円形、楕円形、レーストラック形等いずれでも良いし、複数の形状を組み合わせても良い。非表示部となる隔壁の占める割合を小さくできる点からは四角形、階段型八角形や六角形が好ましく、表示媒体を構成する粒子を移動しやすくできる点からは曲線を有する形状が好ましい。前記二つの点から角丸付きの四角形や角丸付きの六角形、角丸付きの階段型八角形が好ましく用いられる。
【００３９】
粒子配置工程で用いる粒子搬送部材は、マスク（マスク本体）上をマスクと接触しながら移動させることができるもので、進行方向に対して直角な方向を長手方向とする板状、棒状、筒状の形態や円柱形、円筒形にして転がるように構成したローラ状の形態が用いられる。粒子搬送部材は、その長手方向を、例えば、進行方向に対して直角な方向としたままマスクと接触しながら移動させるが、進行方向に対して直角以外の角度方向としたまま移動させてもよいし、その角度を変えながら移動させるようにしてもよい。マスク上に載せた乾燥した粒子群を搬送するのに適した構成を用いればよい。また、マスクの上を移動させる回数は、１回もしくは数回繰り返すことで行うことができる。粒子搬送部材の移動方向を一定方向にして繰り返したり、移動方向を交互に切り替えて往復させて繰り返したりすることができる。
【００４０】
粒子搬送部材のマスクと接触する部分に配置する材料としては、ウレタンゴム、シリコーンゴム等の各種合成ゴム材料や天然ゴム材料のほか、ポリエステル樹脂、ナイロン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリウレタン樹脂等の各種樹脂材料が用いられる。また、粒子搬送部材のマスクと接触する部分は、マスクと接触した時に変形できる程度の弾性体となっていることが好ましく、前記弾性材料の弾性率を調整して配置したり、スポンジ状や刷毛状に加工して弾性率を調整して配置したりする。
【００４１】
情報表示用パネルのパネル基板上に設ける隔壁や枠リブの形成材料としては、レジスト材が好適であり、液状レジスト材やドライフィルムレジスト材が用いられる。ドライフィルムレジスト材の一例として、アルフォＮＩＴ２（ニチゴーモートン社製）やＰＤＦ３００（新日鐵化学社製）を使用することができる。  
【００４２】
情報表示用パネルのパネル基板に必要に応じて配置する導電膜としては、観察側基板の情報表示画面領域には透明な導電膜を設ける必要があり、酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、酸化インジウム、亜鉛ドープ酸化インジウム（ＩＺＯ）、アルミニウムドープ酸化亜鉛（ＡＺＯ）、アンチモン錫酸化物（ＡＴＯ）、導電性酸化錫、導電性酸化亜鉛等の透明導電金属酸化物類、ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン、poly(3,4-ethylenedioxythiophene)-poly-(styrenesulfonate)（ＰＥＤＯＴ：ＰＳＳ）等の透明導電性高分子類で形成した導電膜が挙げられ、必要に応じてパターニングして用いる。
【００４３】
情報表示画面領域外や背面側基板に設ける導電膜は、導電膜は透明であってもよいし、透明でなくてもよく、酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、酸化インジウム、亜鉛ドープ酸化インジウム（ＩＺＯ）、アルミニウムドープ酸化亜鉛（ＡＺＯ）、アンチモン錫酸化物（ＡＴＯ）、導電性酸化錫、導電性酸化亜鉛等の導電金属酸化物類、ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン、poly(3,4-ethylenedioxythiophene)-poly-(styrenesulfonate)（ＰＥＤＯＴ：ＰＳＳ）等の導電性高分子類や、金、銀、銅、アルミニウム、ニッケル、クロム等の金属や、これらの金属を主成分とする合金が挙げられ、必要に応じてパターニングして用いる。
【００４４】
導電膜の形成方法としては、上記例示の材料をスパッタリング法、真空蒸着法、ＣＶＤ（化学蒸着）法、塗布法等で薄膜状に形成する方法や金属箔（例えば圧延銅箔）をラミネートする方法、導電剤を溶媒や合成樹脂バインダーに混合して塗布したりする方法が用いられる。パターン形成可能で導電性である上記材料を好適に用いることができる。なお、観察側基板の情報表示画面領域に設ける導電膜の厚さは、導電性が確保でき光透過性に支障がなければ良く、０．０１μｍ〜１０μｍが好ましく、０．０５μｍ〜５μｍがより好ましい。また、情報表示画面領域外や背面側基板に設ける導電膜の厚さは、導電性が確保できれば良く、０．０１μｍ〜１０μｍが好ましく、０．０５μｍ〜５μｍがより好ましい。
【００４５】
透明導電膜として好適なＩＴＯ等の金属酸化物系材料は、金属材料に比べて可とう性が小さい。ＩＴＯ等の金属酸化物系材料でライン状の導電膜を構成する場合には、透明導電膜中での断線防止のため、金属細線と併用することが好ましい。この金属細線の幅は、１μｍ〜１０μｍとすれば表示視認性の妨げとならないので好ましい。情報表示画面領域外や背面側基板に設ける導電膜は光透過性を考慮する必要がないので電気抵抗が小さく、可とう性にも優れた前記金属材料が好適に用いられる。また、情報表示画面領域外や背面側基板に設ける導電膜の厚さは電気抵抗および生産性、コストの観点から、０．０１μｍ〜１０μｍに設計される。
【００４６】
＜本発明で用いる粒子群について＞
本発明の製造方法を適用する情報表示用パネルにおいて表示媒体を構成する粒子群は、平均粒子径d(0.5)が、１μｍ〜２０μｍの範囲であり、一種類の粒子で構成したり、複数種類の粒子を組み合せて構成したりする。平均粒子径d(0.5)がこの範囲より大きいと表示上の鮮明さに欠け、この範囲より小さいと粒子同士の凝集力が大きくなりすぎるために表示媒体としての移動に支障をきたすようになる。
【００４７】
さらに、表示媒体を構成する粒子（粒子群）の粒子径分布に関して、下記式に示される粒子径分布Spanを５未満、好ましくは３未満とする。
Span＝（ｄ(0.9)−ｄ(0.1)）／ｄ(0.5) 
（但し、ｄ(0.5)は粒子の50％がこれより大きく、50％がこれより小さいという粒子径をμｍで表した数値、ｄ(0.1)はこれ以下の粒子の比率が10％である粒子径をμｍで表した数値、ｄ(0.9)はこれ以下の粒子が90％である粒子径をμｍで表した数値である。）
Spanを５以下の範囲に納めることにより、表示媒体を構成する粒子のサイズが揃い、表示媒体としての均一な移動が可能となる。
【００４８】
さらにまた、表示媒体として複数の粒子群を使用する場合には、使用した粒子群の内、最大の平均粒子径d(0.5)を示す粒子群の平均粒子径d(0.5)に対する、最小の平均粒子径d(0.5)を示す粒子群の平均粒子径d(0.5)の比を１０以下とする。たとえ粒子径分布Spanを小さくしたとしても、複数の粒子群は表示媒体として互いに反対方向に動くので、互いの粒子群を構成している粒子サイズが近い方が表示媒体として容易に移動できるようになるので好適であり、それがこの範囲となる。
【００４９】
なお、上記の粒子径分布および粒子径は、レーザー回折／散乱法などから求めることができる。測定対象となる粒子にレーザー光を照射すると空間的に回折／散乱光の光強度分布パターンが生じ、この光強度パターンは粒子径と対応関係があることから、粒子径および粒子径分布が測定できる。
ここで、粒子径および粒子径分布は、体積基準分布から得られたものである。具体的には、Mastersizer2000(Malvern Instruments Ltd.）測定機を用いて、窒素気流中に粒子群を投入し、付属の解析ソフト（Mie理論を用いた体積基準分布を基本としたソフト）にて、平均粒子径および粒子径分布の測定を行うことができる。
【００５０】
さらに、帯電性粒子を含んだ粒子群を表示媒体として、気体中空間で駆動させる方式とする場合には、パネル基板間の表示媒体を取り巻く空隙部分の気体の管理が重要であり、表示安定性向上に寄与する。具体的には、空隙部分の気体の湿度について、２５℃における相対湿度を６０％RH以下、好ましくは５０％RH以下とすることが重要である。
この空隙部分とは、対向する基板１、基板２に挟まれる部分から、電極５、６、表示媒体（３Ｂ、３Ｗ）の占有部分、隔壁４の占有部分、パネル基板間のシール部分を除いた、いわゆる表示媒体が接する気体部分を指すものとする。
空隙部分の気体は、先に述べた湿度領域であれば、その種類は問わないが、乾燥空気、乾燥窒素、乾燥アルゴン、乾燥ヘリウム、乾燥二酸化炭素、乾燥メタンなどが好適である。この気体は、その湿度が保持されるようにパネル基板間に封入することが必要であり、例えば、表示媒体の充填、パネルの組み立てなどを所定湿度環境下にて行い、さらに、外からの湿度侵入を防ぐシール剤、シール方法を施すことが肝要である。
【００５１】
本発明の対象とする情報表示用パネルの基板と基板との間隔は、表示媒体が駆動できて、表示コントラストを維持できればよいが、通常２μｍ〜５００μｍ、好ましくは５μｍ〜２００μｍに、表示媒体とする粒子群を構成する粒子の大きさや充填量に合わせて調整される。
表示媒体とする粒子群に帯電性粒子を用いる場合は、基板と基板との間隔は１０μｍ〜１００μｍ、好ましくは１０μｍ〜５０μｍの範囲で調整される。さらに、基板間の気体中空間における表示媒体の体積占有率は５〜７０％が好ましく、さらに好ましくは５〜６０％である。７０％を超える場合には表示媒体としての粒子の移動に支障をきたし、５％未満の場合にはコントラストが不明確となり易い。
【００５２】
本発明に係る情報表示用パネルに用いる表示媒体とする粒子群は、帯電性粒子を含む粒子群としたり、導電性粒子を含む粒子群としたり、磁性粒子を含む粒子群としたり、半導体性粒子を含む粒子群としたりすることができる。これらの粒子群に対して、例えば、電界を付与したり、電荷を注入したり、正孔を注入したり、電気的に磁界を付与したりすることによってこれらの粒子群を表示媒体として移動させることができ、この表示媒体を視認することによって表示された情報を認識する。
【実施例】
【００５３】
以下、実際の例について説明する。
【００５４】
ニッケル合金製のマスクを電鋳法で作製する際に母型とする基材表面の表面粗さＲａを変更し、厚さ３０μｍの実施例１〜５および比較例１〜２のマスクを作製した。作製したマスク裏面の表面粗さＲａをレーザー式表面粗さ測定機で測定したところ以下の表１に示すようになっていた。これらのマスクを使用し、ここでは、白色粒子群をセル内に充填配置した後、マスク引き上げ速度を２ｍｍ／ｓｅｃとしてマスクを基板上の隔壁から引き離し、その後の状態を観察して評価した。結果を以下の表１に示す。表１における綜合評価記載欄には、不具合なく製造できた例には「ＯＫ」、不具合があった例には「ＮＧ」を表記した。
【００５５】
なお、ここで使用した白色粒子群は以下のようにして作製した。
（白色粒子）
ポリメチルペンテンポリマー（ＴＰＸ−Ｒ１８：三井化学社製）１００重量部と、着色剤として二酸化チタン（タイペークＣＲ−９０：石原産業社製）１００重量部と、負帯電の荷電制御剤としてフェノール系縮合物（ボントロンＥ８９：オリエント化学製）５重量部とを２軸混練機により溶融混練し、ジェットミル（ラボジェットミルＩＤＳ−ＬＪ型：日本ニューマチック（株）製）で細かく粉砕し、分級機（ＭＤＳ−２：日本ニュ−マチック工業）を用いて分級し、溶融球状化装置（ＭＲ−１０：日本ニュ−マチック工業）を用いて溶融球状化し、平均粒子径が、９．５μｍの負帯電性の白色粒子を得た。
【００５６】
【表１】
2011133786.tif 000003
【００５７】
表１の結果から、マスク裏面を粗面とした実施例１〜５は、マスク裏面が平滑面に近い、表面粗さＲａが０．１μｍであった比較例１と比べて、粒子配置工程における隔壁上面への粒子付着が少なくなることがわかった。また、マスク厚３０μｍのマスクの裏面の表面粗さＲａを１０μｍとしたマスクを作製しようとしたところ、マスク開口部以外にも穴があいてしまい、使用できるマスクは得られなかった。このことから、マスク裏面の表面粗さを０．５〜８μｍとすることが好ましいことがわかった。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明を用いて製造する情報表示用パネルは、ノートパソコン、電子手帳、ＰＤＡ(Personal Digital Assistants)と呼ばれる携帯型情報機器、携帯電話、ハンディターミナル等のモバイル機器の表示部、電子書籍、電子新聞等の電子ペーパー、看板、ポスター、黒板（ホワイトボード）等の掲示板、電子卓上計算機、家電製品、自動車用品等の表示部、ポイントカード、ＩＣカード等のカード表示部、電子広告、情報ボード、電子ＰＯＰ(Point Of Presence, Point Of Purchase advertising)、電子値札、電子棚札、電子楽譜、ＲＦ−ＩＤ機器の表示部のほか、ＰＯＳ端末、カーナビゲーション装置、時計など様々な電子機器の表示部に好適に用いられる。他に、リライタブルペーパー（本発明に係る画素サイズの電界形成用画素電極対を有する外部電界形成手段を用いて書換えできるものや、外部の表示書換え手段に接続して情報を書き換えた後、接続を解放しても情報を表示したままにすることができるもの）としても好適に用いられる。
【符号の説明】
【００５９】
１、２  パネル基板
３Ｗ  白色粒子群
３Ｗａ  白色粒子
３Ｂ  黒色粒子群
３Ｂａ  黒色粒子
４  隔壁
５、６  電極
７  セル
７−１  セル開口部
８  接着剤
１１  マスク
１１−１  マスクの開口部
１２  枠リブ
１３  粒子搬送部材
２１、２３  弾力付与部材
２２、２４  枠体
【図１】
2011133786.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2011133786.tif 000012
【図１０】
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【図１１】
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