(57)【要約】【課題】簡単な操作手順で、ＤＵＴの各ピンに割り付けられたピンエレクトロニクスカードのピンの位置情報を直感的に把握できる半導体試験装置を提供すること。【解決手段】操作用表示画面を有し、テストヘッドに収納された複数のピンエレクトロニクスカードの各ピンに、試験項目に応じてＤＵＴの所定のピンを割り付けるように構成された半導体試験装置において、  前記操作用表示画面には、検索対象となる前記ＤＵＴのピン番号を入力するＤＵＴピン指定領域と、前記複数のピンエレクトロニクスカードが収納されるテストヘッドにおけるスロットの配置関係を示すスロットレイアウト画面を表示するスロットレイアウト画面表示領域と、前記ＤＵＴのピン番号に対応する検索結果を所定のリスト表示画面フォーマットで表示するリスト表示領域が設けられたことを特徴とするもの。【選択図】                    図１
2011021987.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
操作用表示画面を有し、テストヘッドに収納された複数のピンエレクトロニクスカードの各ピンに、試験項目に応じてＤＵＴの所定のピンを割り付けるように構成された半導体試験装置において、
前記操作用表示画面には、
検索対象となる前記ＤＵＴのピン番号を入力するＤＵＴピン指定領域と、
前記複数のピンエレクトロニクスカードが収納されるテストヘッドにおけるスロットの配置関係を示すスロットレイアウト画面を表示するスロットレイアウト画面表示領域と、
前記ＤＵＴのピン番号に対応する検索結果を所定のリスト表示画面フォーマットで表示するリスト表示領域が設けられたことを特徴とする半導体試験装置。
【請求項２】
前記リスト表示領域に表示されるリスト上における任意のピンの選択に応じて、前記スロットレイアウト画面表示領域のスロットレイアウト画面表示が連動して変化することを特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。
【請求項３】
前記操作用表示画面には、前記スロットレイアウト画面を３次元（３Ｄ）表示するように指示する３Ｄ指示ボタンが設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の半導体試験装置。
【請求項４】
前記操作用表示画面には、前記３次元表示画面の表示回転角度を任意に変更設定する回転指示ボタンが設けられていることを特徴とする請求項３記載の半導体試験装置。
【請求項５】
同時に複数個のＤＵＴの試験を行うように構成されていることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の半導体試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体試験装置に関し、詳しくは、テストヘッドに収納されるピンエレクトロニクスカードの各ピンと試験対象物（以下ＤＵＴという）のピンとの割り付けの可視化表示に関するものである。
【０００２】
図５は、従来の半導体試験装置の概念構成例を示すブロック図である。テストヘッド１０には、複数系統の測定回路が実装された複数ｎ枚のピンエレクトロニクスカード２０がモジュール化されて収納されている。
【０００３】
複数ｍ個のＤＵＴ３０の試験にあたっては、これらピンエレクトロニクスカード２０の各ピンに試験項目に応じてＤＵＴ３０の所定のピンが割り付けられ、ピンエレクトロニクスカード２０の各ピンとＤＵＴ３０の所定のピンとの間で試験項目の測定に関連した直流信号や交流信号や高周波信号やデジタル信号などの各種入出力信号の授受が行われる。
【０００４】
ところで、半導体試験装置のユーザーは、ＤＵＴ３０の試験にあたり、ＤＵＴ３０の試験を効率よく実施し、結果を正しく判断解析するためには、各試験項目におけるピンエレクトロニクスカード２０の各ピンとＤＵＴ３０の所定のピンとの正確な割り付け関係を的確に把握しておく必要がある。
【０００５】
図６は、従来の半導体試験装置における各ピンの割り付け関係を把握するための処理の流れの一例を示す説明図である。
【０００６】
ユーザーが、ＤＵＴ３０のピン番号ＤＵＴＰ＃からピンエレクトロニクスカード２０のピン番号ＨＷＰ＃の位置を把握するのにあたっては、まず第１段階として、半導体試験装置にあらかじめ格納されている（Ａ）に示すデバイス定義ファイルに基づき、ＤＵＴ３０のピン番号ＤＵＴＰ＃を半導体試験装置のピン番号ＡＴＥＰ＃に関連付ける。
【０００７】
続いて、第２段階として、半導体試験装置にあらかじめ格納されている（Ｂ）に示すシステムコンフィギュレーションファイルに基づき、半導体試験装置のピン番号ＡＴＥＰ＃をスロット番号ＳＬＯＴ＃とピンエレクトロニクスカード２０のピン番号ＨＷＰ＃に関連付ける。これにより、ＤＵＴ３０のピン番号ＤＵＴＰ＃に対応するスロット番号ＳＬＯＴ＃およびピンエレクトロニクスカード２０のピン番号ＨＷＰ＃を割り出す。
【０００８】
そして、第３段階として、実際にテストヘッド１０に収納されているピンエレクトロニクスカード２０の配置関係に基づいて作成された（Ｃ）に示すテストヘッド１０のスロットレイアウト図を参照することによりテストヘッド１０に収納されているピンエレクトロニクスカード２０の中から該当するピンエレクトロニクスカード２０を特定し、さらに該当するピン番号ＨＷＰ＃を特定する。なお、（Ｃ）において、特定の図形（たとえば三角マークＭＡＲＫ）により、テストヘッド１０とオペレータの位置関係を示している。
【０００９】
図７は、図６（Ｃ）のスロットレイアウト図に対応するようにあらかじめ作成されて半導体試験装置に格納されているコマンドリストの一例であり、
１）ＤＵＴのピン番号ＤＵＴＰ＃と半導体試験装置のピン番号ＡＴＥＰ＃の対応関係
２）該当するピンエレクトロニクスカード２０が収納されているスロット番号ＳＬＯＴ＃とそのピンエレクトロニクスカード２０に実装されている測定チャネル番号ＣＨ＃と各測定チャネルに対応するように割り当てられたピン番号ＨＷＰ＃の座標情報ＬＯＣＡＴＩＯＮ
３）ＤＵＴと半導体試験装置の各測定チャネルに個別に所定の電源を供給する電源ユニット番号ＰＭＵ（ＤＵＴ）＃、ＰＭＵ（ＡＴＥ）＃
などが記述されている。
【００１０】
このような一連の処理を行うことにより、図８のレイアウト図に直交する直線ＬｘとＬｙの交点で示すように、テストヘッド１０に収納されている該当するピンエレクトロニクスカード２０におけるピンの位置を特定できる。
【００１１】
図９は、同時に２個のＤＵＴ３０の試験を行う場合に、第１段階で参照されるデバイス定義ファイル例図である。前段部分ａで同時に試験を行うＤＵＴ３０の個数「２」を指定し、後段部分ｂでＤＵＴ３０のピン番号ＤＵＴＰ＃を半導体試験装置のピン番号ＡＴＥＰ＃に関連付けている。
【００１２】
たとえば、後段部分ｂの１行目の「１  ＤＰＩＮ１  ＩＯ＝１，２５；」は、ＤＵＴ３０の１番目のピンはＩＯピンであり、一方のＤＵＴ３０の１番目のピンは半導体試験装置のピン番号１が割り当てられ、他方のＤＵＴ３０の１番目のピンは半導体試験装置のピン番号２５が割り当てられていることを表している。
【００１３】
特許文献１には、ＤＵＴの個数にかかわりなく、テストピンのクラスタ割り付けを任意に行うことができるＬＳＩ試験装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開平１１−６４４４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかし、従来の各ピンのピンエレクトロニクスカードの割り付け処理にあたっては、関連付けなければならない情報が多いことから、ピンエレクトロニクスカードのピンの位置情報を直感的に把握しにくく、ピン位置情報の割り付け処理結果を得るまでにかなりの作業時間を要するという問題がある。
この問題は、同時に複数個のＤＵＴの試験を行うように構成されている場合には、さらに顕著になってくる。
【００１６】
本発明は、このような従来の問題点に着目したものであり、その目的は、簡単な操作手順で、ＤＵＴの各ピンに割り付けられたピンエレクトロニクスカードのピンの位置情報を直感的に把握できる半導体試験装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
このような課題を達成する請求項１の発明は、
操作用表示画面を有し、テストヘッドに収納された複数のピンエレクトロニクスカードの各ピンに、試験項目に応じてＤＵＴの所定のピンを割り付けるように構成された半導体試験装置において、
前記操作用表示画面には、
検索対象となる前記ＤＵＴのピン番号を入力するＤＵＴピン指定領域と、
前記複数のピンエレクトロニクスカードが収納されるテストヘッドにおけるスロットの配置関係を示すスロットレイアウト画面を表示するスロットレイアウト画面表示領域と、
前記ＤＵＴのピン番号に対応する検索結果を所定のリスト表示画面フォーマットで表示するリスト表示領域が設けられたことを特徴とする。
【００１８】
請求項２の発明は、請求項１記載の半導体試験装置において、
前記リスト表示領域に表示されるリスト上における任意のピンの選択に応じて、前記スロットレイアウト画面表示領域のスロットレイアウト画面表示が連動して変化することを特徴とする。
【００１９】
請求項３の発明は、請求項１または請求項２記載の半導体試験装置において、
前記操作用表示画面には、前記スロットレイアウト画面を３次元（３Ｄ）表示するように指示する３Ｄ指示ボタンが設けられていることを特徴とする。
【００２０】
請求項４の発明は、請求項３記載の半導体試験装置において、
前記操作用表示画面には、前記３次元表示画面の表示回転角度を任意に変更設定する回転指示ボタンが設けられていることを特徴とする。
【００２１】
請求項５の発明は、請求項１から請求項４のいずれかに記載の半導体試験装置において、
同時に複数個のＤＵＴの試験を行うように構成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
これらにより、簡単な操作手順で、ＤＵＴの各ピンに割り付けられたピンエレクトロニクスカードのピンの位置情報を直感的に把握できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。
【図２】図１の動作を説明する表示画面例図である。
【図３】他の実施例におけるメイン表示画面例図である。
【図４】他の実施例におけるサブ表示画面例図である。
【図５】従来の半導体試験装置の概念構成例を示すブロック図である。
【図６】従来の半導体試験装置における各ピンの割り付け関係を把握するための処理の流れの一例を示す説明図である。
【図７】従来のコマンドリスト例図である。
【図８】テストヘッド１０に収納されているピンエレクトロニクスカード２０のレイアウト例図である。
【図９】同時に２個のＤＵＴ試験を行う場合のデバイス定義ファイル例図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明について、図面を用いて説明する。図１は本発明の主要部の一実施例を示すブロック図であり、各ブロックはバスＢを介して接続されている。
【００２５】
図１において、デバイス定義ファイル格納部１０１には、ＤＵＴ３０のピン番号ＤＵＴＰ＃を半導体試験装置のピン番号ＡＴＥＰ＃に関連付けるためのデバイス定義ファイルが格納されている。
【００２６】
システムコンフィギュレーションファイル格納部１０２には、半導体試験装置のピン番号ＡＴＥＰ＃をスロット番号ＳＬＯＴ＃とピンエレクトロニクスカード２０のピン番号ＨＷＰ＃に関連付けるためのシステムコンフィギュレーションファイルが格納されている。
【００２７】
スロットレイアウトファイル格納部１０３には、複数のピンエレクトロニクスカード２０が収納されるテストヘッド１０におけるスロットの配置関係を示すレイアウトファイルが格納されている。
【００２８】
ピンロケーションコマンド格納部１０４には、スロットレイアウトファイル格納部１０３に格納されているスロットレイアウトファイルに対応するように半導体試験装置にあらかじめ作成されたコマンドリストファイルが格納されている。具体的には、前述図７のコマンドリストと同様に、
１）ＤＵＴのピン番号ＤＵＴＰ＃と半導体試験装置のピン番号ＡＴＥＰ＃の対応関係
２）該当するピンエレクトロニクスカード２０が収納されているスロット番号ＳＬＯＴ＃とそのピンエレクトロニクスカード２０に実装されている測定チャネル番号ＣＨ＃と各測定チャネルに対応するように割り当てられたピン番号ＨＷＰ＃の座標情報ＬＯＣＡＴＩＯＮ
３）ＤＵＴと半導体試験装置の各測定チャネルに個別に所定の電源を供給する電源ユニット番号ＰＭＵ（ＤＵＴ）＃、ＰＭＵ（ＡＴＥ）＃
などが格納されている。
【００２９】
リスト表示フォーマット格納部１０５には、各ピンの割り付け関係をリスト化して表示するためのリスト表示画面フォーマットが格納されている。
【００３０】
操作入力部１０６は、半導体試験装置に必要なデータや命令などを指示入力するためのマンマシーンインタフェースであり、キーボードやマウスなどで構成されている。
【００３１】
入力ピン関連情報検索部１０７は、操作入力部１０６から入力されるＤＵＴのピン番号ＤＵＴＰ＃に基づき、デバイス定義ファイル格納部１０１、システムコンフィギュレーションファイル格納部１０２、スロットレイアウトファイル格納部１０３などを検索し、入力されたＤＵＴのピン番号ＤＵＴＰ＃に関連する半導体試験装置のピン番号ＡＴＥＰ＃、スロット番号ＳＬＯＴ＃、ピンエレクトロニクスカード２０のピン番号ＨＷＰ＃などの位置情報を抽出する。
【００３２】
入力ピン関連情報リスト編集部１０８は、入力ピン関連情報検索部１０７における検索結果を、リスト表示フォーマット格納部１０５に格納されている所定のリスト表示画面フォーマットに展開して表示するように編集する。
【００３３】
表示画面生成部１０９は、入力ピン関連情報リスト編集部１０８で編集されたリストやテストヘッド１０におけるスロットの配置関係を示すスロットレイアウト画面などを含む表示画面を生成する。
【００３４】
スロットレイアウト画面３Ｄ処理部１１０は、表示画面に表示されるスロットレイアウト画面を、立体的に表示させるための所定の処理を行う。
【００３５】
３Ｄ画面回転処理部１１１は、表示画面に立体的に表示されるスロットレイアウト画面を、操作入力部１０６からの設定入力に応じて、指定された角度で回転表示させるための所定の処理を行う。
【００３６】
図２は図１の動作を説明する表示画面例図であり、（Ａ）はスロットレイアウト画面を２次元表示する例を示し、（Ｂ）はスロットレイアウト画面を３次元（３Ｄ）表示する例を示している。
【００３７】
図２（Ａ）、（Ｂ）において、表示画面１２０には、テストヘッド１０におけるスロットの配置関係を示すスロットレイアウト画面を表示するスロットレイアウト画面表示領域１２１と、検索対象となるＤＵＴのピン番号ＤＵＴＰ＃を入力するＤＵＴピン指定領域１２２と、入力ピン関連情報検索部１０７における検索結果を所定のリスト表示画面フォーマットで表示するリスト表示領域１２３が設けられている。
【００３８】
なお、リスト表示領域１２３の近傍には、垂直方向のスクロールバー１２４と水平方向のスクロールバー１２５が設けられている。
【００３９】
また、スロットレイアウト画面表示領域１２１の近傍には、スロットレイアウト画面を（Ｂ）に示すように立体的に表示させるための所定の処理の実行を指示する３Ｄ指示ボタン１２６、立体的に表示されるスロットレイアウト画面を所定の方向に回転表示させるように指示する回転指示ボタン１２７、１２８が設けられている。
【００４０】
スロットレイアウト画面表示領域１２１のスロットレイアウト画面には、ピンエレクトロニクスカード２０が収納されているテストヘッド１０のスロット番号ＳＬＯＴ＃と各ピンエレクトロニクスカード２０に実装されている測定回路の以下のような各機能が併記表示されている。
ＤＰＳ；ＤＵＴ用電源カード
ＲＶＩ；基準用電圧電流源カード
ＨＲ；高分解能カード
ＨＳ；高速度カード
ｏｐｔ；オプションカード
ＤＦＣ；ＤＵＴファンクションテストカード
ＳＡＰＷ；ユーティリティー用電源カード
ＳＴＭ；時間測定カード
ＦＣＮＴ；フェイル制御用カード
【００４１】
操作入力部１０６からＤＵＴピン指定領域１２２に検索対象となるＤＵＴのピン番号ＤＵＴＰ＃が入力されることにより、入力ピン関連情報検索部１０７はデバイス定義ファイル格納部１０１、システムコンフィギュレーションファイル格納部１０２、スロットレイアウトファイル格納部１０３などを検索して、入力されたＤＵＴのピン番号ＤＵＴＰ＃に関連する半導体試験装置のピン番号ＡＴＥＰ＃、スロット番号ＳＬＯＴ＃とそのピンエレクトロニクスカード２０のピン番号ＨＷＰ＃、スロット番号の位置情報Ｌｏｃなどを抽出し、これら抽出データを入力ピン関連情報リスト編集部１０８に出力する。
【００４２】
入力ピン関連情報リスト編集部１０８は、入力ピン関連情報検索部１０７で検索された結果をリスト表示フォーマット格納部１０５に格納されている所定のリスト表示画面フォーマットに展開して表示するように編集し、表示画面生成部１０９に出力する。
【００４３】
これにより、図２（Ａ）、（Ｂ）の表示画面１２０のリスト表示領域１２３には、指定されたＤＵＴのピン番号１〜４に関する以下の項目を含む詳細情報がリスト表示される。
・ＡＴＥ→半導体試験装置のピン番号ＡＴＥＰ＃
・ＳＬＯＴ→テストヘッド１０のスロット番号ＳＬＯＴ＃
・ＨＷｐｉｎ→ピンエレクトロニクスカード２０のピン番号ＨＷＰ＃
・Ｌｏｃ→ピンエレクトロニクスカード２０における指定されたピンの座標位置情報
【００４４】
そして、表示画面１２０のリスト表示領域１２３に表示されるリスト上で、任意のピンの行がたとえば操作入力部１０６のマウスでクリック選択されると、選択された行がハイライト表示されるとともに、ピンエレクトロニクスカード２０における選択されたピンの位置情報がスロットレイアウト画面表示領域１２１に直交する直線の交点により表示される。
【００４５】
図２（Ａ）、（Ｂ）の例では、ＤＵＴの１番目のピンが選択指定された状態を示していて、ＡＴＥピン番号「１」、ＳＬＯＴ番号「１０１」、ＨＷｐｉｎ番号「１」、Ｌｏｃ座標位置「Ｅ２」がハイライト表示されるとともに、ピンエレクトロニクスカード２０における選択されたピンのスロットレイアウト画面表示領域１２１上の座標位置「Ｅ２」が、直交するＸ座標直線「Ｅ」とＹ座標直線「２」の交点により表示されている。
【００４６】
なお、検索対象となるＤＵＴのピン番号が多くてリスト表示領域１２３に一度に表示できない場合には垂直方向のスクロールバー１２４を操作して表示内容を垂直方向にスクロール表示させ、各ピンの関連項目が多くてリスト表示領域１２３に一度に表示できない場合には水平方向のスクロールバー１２５を操作して表示内容を水平方向にスクロール表示させる。
【００４７】
図２（Ａ）の２次元表示画面で３Ｄ指示ボタン１２６が選択されると、スロットレイアウト画面表示領域１２１のスロットレイアウト画面が図２（Ｂ）の３次元（３Ｄ）表示画面に切り替わる。
【００４８】
図２（Ｂ）の３次元（３Ｄ）表示画面において、回転指示ボタン１２７、１２８を操作することにより、スロットレイアウト画面表示領域１２１のスロットレイアウト画面の表示回転角度を任意に変更設定できる。この３次元（３Ｄ）表示画面で３Ｄ指示ボタン１２６が選択されると、再び図２（Ａ）の２次元表示画面に切り替わる。
【００４９】
このように構成することにより、検索したいＤＵＴのピン番号をスロットレイアウト画面表示領域１２１のＤＵＴピン指定領域１２２に入力するだけの簡単な操作で、ＤＵＴのピン番号と半導体試験装置のピン番号の対応関係、該当するピンエレクトロニクスカードが収納されているスロット番号とそのピンエレクトロニクスカードに割り当てられたピン番号の対応関係および該当するピンエレクトロニクスカードにおけるピンの位置情報などを共通の表示画面１２０に可視化表示でき、ピン位置情報の割り付け処理結果を短時間で直感的に把握できる。
【００５０】
図３および図４は他の実施例における表示画面例図であり、同時に複数個のＤＵＴの試験を行うように構成されている半導体試験装置の例を示している。
【００５１】
図３はメイン表示画面例図１３０であり、下部にはテストヘッド１０におけるスロットの配置関係を示すスロットレイアウト画面１３１の表示領域が設けられ、上部には着目するＤＵＴを選択するＤＵＴ選択部１３２の表示領域が設けられている。
【００５２】
図３において、ＤＵＴ選択部１３２で着目するＤＵＴを選択することにより、スロットレイアウト画面１３１の該当するピンエレクトロニクスカードが収納されているスロット番号（たとえば「１０１」）がハイライト表示される。ここで、ハイライト表示されているスロット番号「１０１」をたとえば操作入力部１０６のマウスでクリック選択すると、図４に示すサブ表示画面１４０が表示される。
【００５３】
図４において、下部には（Ａ）に示すピンエレクトロニクスカードのピンレイアウト画面１４１または（Ｂ）に示す半導体試験装置としてのピンレイアウト画面１４２の表示領域が設けられ、上部には着目するＤＵＴを選択するＤＵＴ選択部１４３とピンエレクトロニクスカードのピンレイアウト画面１４１を選択するＨＷｐｉｎ選択部１４４と半導体試験装置としてのピンレイアウト画面１４２を選択するＡＴＥ選択部１４５の表示領域が設けられている。
【００５４】
図４（Ａ）では、ＤＵＴ選択部１４３でＤＵＴとして「１」を選択してＨＷｐｉｎ選択部１４４を選択することにより、ピンエレクトロニクスカードのピンレイアウト画面１４１を表示させている。これにより、本実施例では、選択されたＤＵＴ「１」で使用されているピンの番号１〜８がハイライト表示されている。
【００５５】
図４（Ｂ）では、ＤＵＴ選択部１４３でＤＵＴとして「２」を選択してＡＴＥ選択部１４５を選択することにより、半導体試験装置としてのピンレイアウト画面１４２を表示させている。これにより、本実施例では、選択されたＤＵＴ「２」で使用されているピンの番号８９〜９６がハイライト表示されている。
【００５６】
図３および図４のように構成することにより、マルチＤＵＴの試験にあたって、ＤＵＴの各ピンに割り付けられたピンエレクトロニクスカードのピンの位置情報を、表示画面の表示により、直感的に的確に把握できる。
【００５７】
以上説明したように、本発明によれば、簡単な操作手順で、ＤＵＴの各ピンに割り付けられたピンエレクトロニクスカードのピンの位置情報を直感的に把握できる半導体試験装置を実現できる。
【符号の説明】
【００５８】
１０１  デバイス定義ファイル格納部
１０２  システムコンフィギュレーションファイル格納部
１０３  スロットレイアウトファイル格納部
１０４  ピンロケーションコマンド格納部
１０５  リスト表示フォーマット格納部
１０６  操作入力部
１０７  入力ピン関連情報検索部
１０８  入力ピン関連情報リスト編集部
１０９  表示画面生成部
１１０  スロットレイアウト画面３Ｄ処理部
１１１  ３Ｄ画面回転処理部
１２０  表示画面
１２１  スロットレイアウト画面表示領域
１２２  ＤＵＴピン指定領域
１２３  リスト表示領域
１２４  垂直方向のスクロールバー
１２５  水平方向のスクロールバー
１２６  ３Ｄ指示ボタン
１２７、１２８  回転指示ボタン
【図１】
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【図５】
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【図７】
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【図９】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図６】
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【図８】
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