(57)【要約】【課題】搬送車システムにおいて搬送効率を低下させない。【解決手段】搬送車システム１は、搬送車３と、ＣＷセンサ５７と、製造コントローラ２１とを備えている。搬送車３は、複数の装置間で基板５０が入ったキャリア４９を搬送する。ＣＷセンサ５７は、キャリア４９内の基板５０の状態を検出する。製造コントローラ２１は、搬送車３の搬送を制御するとともに、ＣＷセンサ５７から異常信号が入力されれば、搬送車３が装置からキャリア４９を他の装置に搬送するのを中止させる。【選択図】図１０
2011140366.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の装置間で基板が入った容器を搬送するための搬送車と、
前記容器内の前記基板の状態を検出するための状態検出装置と、
前記搬送車の搬送を制御するとともに、前記状態検出装置から異常信号が入力されれば、前記搬送車が前記装置から前記容器を他の装置に搬送するのを中止させる搬送制御部と、
を備えた搬送車システム。
【請求項２】
前記装置に併設された装置近傍自動倉庫をさらに備えており、
前記状態検出装置は、前記搬送車が前記容器を前記装置近傍自動倉庫から次工程の装置に搬出する場合に、前記容器内の前記基板の状態を検出する、請求項１に記載の搬送車システム。
【請求項３】
前記搬送車の経路に沿って配置され前記容器を仮置き可能なバッファをさらに備えており、
前記状態検出装置は、前記バッファに設けられており、前記バッファにおいて前記容器内の前記基板の状態を検出する、請求項１または２に記載の搬送車システム。
【請求項４】
前記搬送車の経路に沿って配置された経路配置自動倉庫をさらに備えており、
前記状態検出装置は、前記経路配置自動倉庫に設けられており、前記経路配置自動倉庫において前記容器内の前記基板の状態を検出する、請求項１〜３のいずれかに記載の搬送車システム。
【請求項５】
前記状態検出装置は、前記搬送車に設けられており、前記搬送車に搬送される前記容器内の前記基板の状態を検出する、請求項１〜４のいずれかに記載の搬送車システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送車システムに関し、特に、搬送車が内部に複数の基板を収納した容器を搬送する搬送車システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、予め定まった経路と、経路上に設けられた複数のステーションと、経路に沿って走行して物品を搬送する複数の搬送車とを有する搬送車システムが知られている。搬送車システムでは、ステーションと搬送車との間では、荷つかみ（搬送車にステーションから物品が積み込まれること）や、荷おろし（搬送車からステーションに物品が積み出されること）が行われる。
【０００３】
搬送車システムの代表例としては、半導体工場の搬送システムで用いられる天井搬送車システムが知られている。天井搬送車システムは、天井に設けられた軌道と、軌道に沿って走行可能な天井搬送車とから構成されている。天井搬送車は、主に、軌道に係合する走行部と、半導体ウェハが積まれたＦＯＵＰを保持可能な保持部と、保持部を上下に移動させるための移動機構とを有している。
【０００４】
半導体ウェハや液晶ガラスを移載するための地上搬送車も知られている。地上搬送車は、車体本体と、移載装置とを有している。移載装置は、例えば、移載アーム、基台、ターンテーブル、移載アームから構成されている（例えば、特許文献１を参照。）。
【０００５】
特許文献１に記載の地上搬送車では、移載アームを構成する移載ハンドにマッピングセンサが設けられている。マッピングセンサは、バッファキャリア内の各スロットを探知することで、各スロットにウェハが配置されているか否かを検出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−１６８７１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
搬送車システムでは、搬送車が、ウェハを内部に収納したキャリアを、処理装置、ストッカの間で搬送する。この場合、搬送中にキャリアが傾いて内部のウェハが棚において傾いたりスロットから外れたりするという不具合が生じることがある。また、処理装置においてウェハをキャリアに収納する際に、ウェハがスロットの正規の位置からずれることがある。このように不具合が生じた状態のキャリアを搬送すると、その搬送自体が無駄であるので、搬送効率が低下する。
【０００８】
本発明の課題は、搬送車システムにおいて搬送効率を低下させないことにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る搬送車システムは、搬送車と、状態検出装置と、搬送制御部とを備えている。搬送車は、複数の装置間で基板が入った容器を搬送する。状態検出装置は、容器内の基板の状態を検出する。搬送制御部は、搬送車の搬送を制御するとともに、状態検出装置から異常信号が入力されれば、搬送車が装置から容器を他の装置に搬送するのを中止させる。
このシステムでは、搬送車は容器を装置間で搬送する。ただし、容器内の基板の状態が異常になると、搬送車は装置から容器を他の装置に搬送することを中止する。これにより、無駄な搬送作業がなくなり、その結果、搬送車システムの搬送効率が低下しにくい。
【００１０】
搬送車システムは、装置に併設された装置近傍自動倉庫をさらに備えていてもよい。この場合、状態検出装置は、搬送車が容器を装置近傍自動倉庫から次工程の装置に搬出する場合に、容器内の基板の状態を検出する。
このシステムでは、搬送車が容器を装置近傍自動倉庫から次工程の装置に搬出する場合に容器内の基板の状態が異常であれば、搬送車は容器を目的の装置に搬送するのを中止する。これにより、無駄な搬送作業がなくなり、その結果、搬送車システムの搬送効率が低下しにくい。
【００１１】
搬送車システムは、搬送車の経路に沿って配置され容器を仮置き可能なバッファをさらに備えていてもよい。この場合は、状態検出装置は、バッファに設けられており、バッファにおいて容器内の基板の状態を検出する。
このシステムでは、搬送車がバッファから容器を離れた装置に搬出する場合に容器内の基板の状態が異常であれば、搬送車はその後の容器の搬送を中止する。これにより、無駄な搬送作業がなくなり、その結果、搬送車システムの搬送効率が低下しにくい。
【００１２】
搬送車システムは、搬送車の経路に沿って配置された経路配置自動倉庫をさらに備えていてもよい。この場合は、状態検出装置は、経路配置自動倉庫に設けられており、経路配置自動倉庫において容器内の基板の状態を検出する。
このシステムでは、搬送車が経路配置自動倉庫から容器を離れた装置に搬出する場合に容器内の基板の状態が異常であれば、搬送車は容器の搬送を中止する。これにより、無駄な搬送作業がなくなり、その結果、搬送車システムの搬送効率が低下しない。
【００１３】
状態検出装置は、搬送車に設けられており、搬送車に搬送される容器内の基板の状態を検出してもよい。
このシステムでは、搬送車が容器を搬送開始する場合に容器内の基板の状態が異常であれば、搬送車は容器の搬送を中止する。これにより、無駄な搬送作業がなくなり、その結果、搬送車システムの搬送効率が低下しにくい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る搬送車システムでは、容器内部の基板の状態を適切に検出するので、搬送効率が低下しにくい。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態に係る搬送車システムのレイアウトを示す部分平面図。
【図２】天井搬送車の側面図。
【図３】天井搬送車が処理装置とサイドバッファの間を走行しているときの正面図。
【図４】第２処理装置の概略側面図。
【図５】キャリアとＣＷセンサを示す斜視図。
【図６】キャリアとＣＷセンサを示す平面図。
【図７】キャリアとＣＷセンサを示す側面図。
【図８】搬送車システムの制御系を示すブロック図。
【図９】ＣＷセンサおよび処理装置の通信構成を示すブロック図。
【図１０】装置前ストッカからキャリアを搬送する動作を示す模式図。
【図１１】処理装置およびストッカ、バッファからキャリアを搬送する動作を示す模式図。
【図１２】処理装置から搬送車がキャリアを搬送する動作を示す模式図。
【図１３】キャリア内の基板の状態を検出する処理を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
（１）搬送車システムのレイアウト
本発明の一実施形態が適用される搬送車システム１は、定められた経路上に複数の搬送車３を走行させるためのシステムである。搬送車３は、経路上を走行し、上位のコントローラによって割り付けられる搬送指令に従い、目的の場所から物品を積み込み、次に搬送先の場所まで走行して物品を搬送先の場所に積み出す。
搬送車システム１は、半導体や液晶の製造工場に適用可能である。製造工場では、シリコンウェハやガラスプレート等の基板上に薄膜形成、酸化、エッチング等の種々の処理構成を経て基板上に半導体デバイスや液晶デバイスが形成される。この種の処理装置の間では、搬送車３が基板を収納したキャリアを搬送する。
【００１７】
図１に、搬送車システム１のレイアウトを示す。搬送車システム１は、複数の周回走行路５と、複数の周回走行路５を結ぶ基幹走行路７とを有している。基幹走行路７は全体で１つの周回経路となっている。周回走行路５に沿って複数の第１処理装置９が設けられ、基幹走行路７に沿って複数のストッカ１１が設けられている。ストッカ１１は、周回走行路５における第１処理装置９群間でのバッファの機能を実現している。
【００１８】
第１処理装置９およびストッカ１１には、設備内に物品を搬入するための入庫ポート１３と、設備から物品を搬出するための出庫ポート１５とが設けてある。なお入庫ポート１３と出庫ポート１５とは兼用されていてもよい。
【００１９】
さらに、周回走行路５に沿って複数の第２処理装置５１が設けられている。第２処理装置５１は、処理装置本体５３と、処理装置前ストッカ５５とを有している。処理装置前ストッカ５５には、入庫ポート１３と出庫ポート１５が設けてある。
【００２０】
周回走行路５の内側には、複数のサイドバッファ１７が配置されている。サイドバッファ１７は、図３に示すように、載置部２４と、それをクリーンルームの天井２９から吊す一対の支持部材２６とを有している。さらに、第１処理装置９同士の間で、かつ、周回走行路５の下方には下部バッファ１９が配置されている。下部バッファ１９は、サイドバッファ１７と同様に、載置部と、それを天井から吊す一対の支持部材とを有している。
【００２１】
（２）搬送車の構造
図２および図３を用いて、搬送車３の構造について説明する。
【００２２】
周回走行路５は、主に、走行レール３０から構成されている。走行レール３０は、支柱３１によってクリーンルームの天井２９から支持されている。走行レール３０は、走行レール本体３２と給電レール３３とから構成されている。
【００２３】
搬送車３は、本体ベース３４と、走行駆動部３５と、受電部３６とを有している。本体ベース３４は、走行レール３０の下方に設けられている。走行駆動部３５は、走行レール本体３２内を走行する。受電部３６は、給電レール３３から受電する。
【００２４】
搬送車３は、キャリア４９（例えば、ＦＯＵＰ）を装置間で搬送するための装置である。キャリア４９内には、複数の基板５０（例えば、ウェハ）が収納されている。搬送車３は、懸吊式の搬送車であって、さらに、横移動機構３９、昇降駆動部４０および昇降台４１を有している。昇降駆動部４０は、昇降台４１をベルトやワイヤ、ロープなどの吊持材で昇降させることができる。昇降台４１は、キャリア４９の上部のフランジをハンドによりチャック・解除できる。横移動機構３９は、昇降駆動部４０、昇降台４１およびキャリア４９を、走行レール３０の進行方向と直交する方向に（左右方向に）横移動させることができる。
【００２５】
搬送車３の前後には、さらに、キャリア４９を前後から挟むように前側カバー３７と後側カバー３８が設けられている。
【００２６】
図３に示すように、搬送車３は、その側部がサイドバッファ１７の支持部材２６の側方に近接した位置を走行する。また、搬送車３は、第１処理装置９の出庫ポート１５の上方を走行する。さらに、図示しないが、搬送車３は下部バッファ１９の一対の支持部材同士の間の狭い空間を走行する。
【００２７】
（３）装置前ストッカ
図４を用いて、第２処理装置５１を説明する。図４は、第２処理装置の概略側面図である。
【００２８】
前述のように、第２処理装置５１は、処理装置本体５３と、処理装置前ストッカ５５とを有している。処理装置本体５３は、基板に適宜処理を行うための装置である。処理装置前ストッカ５５は、処理装置本体５３に近接・隣接して設けられている。処理装置前ストッカ５５は、搬送車３と処理装置本体５３との間の処理時間を調整するために設けられている。処理装置前ストッカ５５は、複数の棚を有しており、処理装置本体５３に搬入されるキャリア４９および処理装置本体５３から搬出されるキャリア４９を一時的に保管する機能を有している。処理装置前ストッカ５５は、処理装置本体５３と反対側に入庫ポート１３と出庫ポート１５を有している。さらに、処理装置前ストッカ５５は、処理装置本体５３との間でキャリア４９を搬入・搬出を行うための受け渡しポート５６を有している。
【００２９】
このような処理装置前ストッカ５５を設けることにより、処理装置本体５３または搬送車３のトラブルによりキャリア４９の搬入または搬出が滞っても、システムダウンすることなく連続して物品を第２処理装置５１に搬入および搬出することができる。
【００３０】
なお、図４では、以下の３種類の装置は省略されている。
・入庫ポート１３および出庫ポート１５と処理装置本体５３の間でキャリア４９を移載する装置
・処理装置前ストッカ５５内でキャリア４９を移動するスタッカクレーン
・受け渡しポート５６と処理装置本体５３との間でキャリア４９を移載する装置
【００３１】
（４）ＣＷセンサ
図５〜図７を用いて、ＣＷセンサ（Ｃａｓｓｅｔｔｅ  Ｗａｆｅｒ）５７について説明する。図５はキャリアとＣＷセンサを示す斜視図であり、図６はキャリアとＣＷセンサを示す平面図であり、図７はキャリアとＣＷセンサを示す側面図である。
【００３２】
ＣＷセンサ５７は、処理装置前ストッカ５５の出庫ポート１５に設けられている。ＣＷセンサ５７は、第１光電センサ５８および第２光電センサ５９を有している。第１光電センサ５８および第２光電センサ５９は別のシャフト６０に固定されている。
【００３３】
第１光電センサ５８および第２光電センサ５９は、各々独立した反射式のセンサであり、蓋が閉じた状態のキャリア４９に向かって光を含む電磁波を照射してさらに内部の基板５０から反射して戻ってきた電磁波を受信可能である。以上の動作により、第１光電センサ５８および第２光電センサ５９は、キャリア４９内の基板５０の有無、有る場合には基板５０がスロットに正常な状態で配置されているか否かを検出できる。より詳細には、検出されるのは、キャリア４９全体のスロットにおける基板５０の有無と、当該スロットにおける複数枚基板５０の有無である。以上より、基板５０がスロットに斜めに収納されていること、基板５０が予定外のスロットに収納されていること、および基板５０に欠損が有ることが異常状態として検出され得る。
キャリア４９は、光電センサからの放射に対して透過性を有している。したがって、キャリア４９の蓋を開けることなく、内部の基板の状態を知ることができる。例えば、キャリア４９は、全体または部分が透明または半透明になっていてもよい。また、電磁波の波長は特に限定されない。
この実施例では、キャリア４９の蓋を開ける必要がないので、検出動作が簡単かつ迅速になる。
【００３４】
（５）搬送車システムの制御系
図８を用いて、搬送車システム１の制御系２０を説明する。図８は、搬送車システムの制御系を示すブロック図である。
【００３５】
制御系２０は、製造コントローラ２１と、物流コントローラ２３と、ストッカコントローラ２５と、搬送車コントローラ２７とを有している。
【００３６】
物流コントローラ２３は、ストッカコントローラ２５および搬送車コントローラ２７の上位のコントローラである。
【００３７】
搬送車コントローラ２７は、複数の搬送車３を管理し、これらに搬送指令を割り付ける割り付け機能を有している。なお、「搬送指令」は、走行に関する指令や、荷つかみ位置と荷おろし位置に関する指令を含んでいる。
【００３８】
製造コントローラ２１は、第１処理装置９および第２処理装置５１との間で通信することができる。第１処理装置９および第２処理装置５１は、処理が終了したキャリア４９の搬送要求（荷つかみ要求・荷おろし要求）を製造コントローラ２１に送信する。
【００３９】
製造コントローラ２１は、第１処理装置９および第２処理装置５１からの搬送要求を物流コントローラ２３に送信し、物流コントローラ２３は報告を製造コントローラ２１に送信する。
【００４０】
物流コントローラ２３は、製造コントローラ２１から搬送要求を受けると、ストッカ１１での入庫や出庫が伴っている場合、所定のタイミングで入庫指令や出庫指令をストッカコントローラ２５へ送信する。そして、ストッカコントローラ２５は、これに応じて入庫や出庫指令をストッカ１１へ送信する。物流コントローラ２３は、さらに、製造コントローラ２１から搬送要求を受け取ると、それを搬送指令に変換し、搬送車３への搬送指令割り付け動作を行う。
【００４１】
搬送車コントローラ２７は、搬送指令を作成するために各搬送車３と連続的に通信して、各搬送車３から送信された位置データをもとにその位置情報を得ている。位置情報を取得する例としては、以下の方法がある。第１に、搬送軌道に複数のポイントを設定しておき、搬送車３がポイントを通過したときに通過信号を搬送車コントローラ２７に送信させるようにする。その上で搬送車コントローラ２７が、搬送車３が直近に通過したポイントと、ポイントを通過した時刻を記憶する。そして、そのポイント区間の規定速度と時間をもとに搬送車３の位置を演算して求める。第２に、例えばエンコーダを搬送車３に設けておいて、ポイントを通過してからの走行距離を搬送車３から搬送車コントローラ２７へ位置データとして送信させ、搬送車コントローラ２７がこれによって搬送車３の位置を把握する。
【００４２】
搬送車コントローラ２７は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等からなりプログラムを実行するコンピュータであり、制御部とメモリを有している。搬送車コントローラは、搬送車３と交信するとともに物流コントローラ２３とも交信する。搬送車コントローラ２７のメモリには、ルートマップが保存されている。ルートマップとは、走行ルートの配置、原点の位置、原点を基準とする基準位置や移載位置の座標を記載したマップである。座標は、原点からの走行距離を搬送車３のエンコーダの出力パルス数などに換算したものである。
【００４３】
搬送車３は、制御部とメモリを有している。制御部は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等からなりプログラムを実行するコンピュータである。制御部は、搬送車コントローラ２７と交信可能である。搬送車３は、メモリ内にルートマップを有しており、ルートマップに記載の座標と自機の内部座標（エンコーダによって求めた座標）とを比較しながら走行を続ける。
【００４４】
ストッカコントローラ２５は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等からなりプログラムを実行するコンピュータであり、制御部とメモリを有している。ストッカコントローラ２５は、在荷センサおよびＩＤリーダ（図示せず）に接続され、それらからの検出信号を受信可能である。
【００４５】
ストッカコントローラ２５は、クレーンコントローラ（図示せず）に交信可能に接続されている。クレーンコントローラは、スタッカクレーン（図示せず）に接続され、スタッカクレーンに制御信号を送信可能である。
【００４６】
（６）ＣＷセンサの通信構成
図９を用いて、ＣＷセンサの通信構成を説明する。図９は、ＣＷセンサおよび処理装置の通信構成を示すブロック図である。
搬送車システム１において、第１処理装置９および第２処理装置５１は複数配置されており、それに対応してＣＷセンサ５７が設けられている。ＣＷセンサ５７には、ＣＷセンサ・コントローラ６１が接続されている。ＣＷセンサ・コントローラ６１は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等からなりプログラムを実行するコンピュータであり、制御部とメモリを有している。ＣＷセンサ・コントローラ６１は、ＣＷセンサ５７からの検出情報を受信して、さらに基板５０の正常・異常を判断する。
【００４７】
ＣＷセンサ・コントローラ６１には、さらに、製造コントローラ２１が接続されている。製造コントローラ２１は、ＣＷセンサ・コントローラ６１からの情報に基づいて、物流コントローラ２３に対して、搬送要求または搬送中止要求を送信する。
【００４８】
（７）搬送開始前のキャリア内部を検出する動作
図１０及び図１３を用いて、第２処理装置５１の処理装置前ストッカ５５から搬送車３がキャリア４９を他の装置に搬送するときのキャリア内部を検出する動作について説明する。図１０は、装置前ストッカからキャリアを搬送する動作を示す模式図である。図１３は、キャリア内の基板の状態を検出する処理を示すフローチャートである。
【００４９】
図１３のステップＳ１では、処理装置前ストッカ５５において、図示しないスタッカクレーンがキャリア４９を出庫ポート１５に移動する。ステップＳ２では、ＣＷセンサ・コントローラ６１は、ＣＷセンサ５７からの検出情報に基づいて、キャリア４９内の基板５０の状態が正常であるか否かを判断する。正常である場合は、プロセスはステップＳ３に移行する。異常である場合は、プロセスはステップＳ４に移行する。
なお、変形例として、センサの取り付け先をストッカ内部にしておき、処理が終わって出てきたキャリア内のウェハの状態を直ちに確認するするようにしてもよい。また、搬送車に搬出指令を割り付けておいて、搬送車が到着するまでの待ち時間にキャリア内のウェハの状態を確認して、異常であれば搬出指令割付けを中止してもよい。
【００５０】
ステップＳ３では、ＣＷセンサ・コントローラ６１は正常である旨を製造コントローラ２１に送信する。さらに、製造コントローラ２１は搬送要求を物流コントローラ２３に送信する。これにより、搬送車３はキャリア４９を目的の装置に搬送する。目的の装置では、到着以前に基板５０の正常状態が確認されていることにより、搬入時にロードポートでの基板５０の状態を確認しなくてもすむ場合がある。この場合、ロードポートでキャリアを開いてから直ちに基板５０を処理することができる。
【００５１】
ステップＳ４では、ＣＷセンサ・コントローラ６１は異常である旨を製造コントローラ２１に送信する。さらに、製造コントローラ２１は異常時の搬送要求を物流コントローラ２３に送信する。これにより、搬送車３はキャリア４９を異常キャリア処理装置（図示せず）に搬送を行う。つまり、目的地に対する搬送は中止される。異常キャリア処理装置では、基板は正常な状態に戻される。なお、キャリアの目的地を検査装置に変更する処理を行ってもよい。
【００５２】
以上をまとめると、搬送車システム１は、搬送車３と、ＣＷセンサ５７と、製造コントローラ２１とを備えている。搬送車３は、複数の装置間で基板５０が入ったキャリア４９を搬送する。ＣＷセンサ５７は、キャリア４９内の基板５０の状態を検出する。製造コントローラ２１は、搬送車３の搬送を制御するとともに、ＣＷセンサ５７から異常信号が入力されれば、搬送車３が装置からキャリア４９を他の装置に搬送するのを中止させる。なお、キャリアの目的地を検査装置に変更する処理を行ってもよい。
このシステムでは、搬送車３はキャリア４９を装置間で搬送する。ただし、キャリア４９内の基板５０の状態が異常になると、搬送車３は装置からキャリア４９を他の装置に搬送することを中止させられる。これにより、無駄な搬送作業がなくなり、その結果、搬送車システム１の搬送効率が低下しにくい。すなわち、本発明の課題は無駄な搬送を減らすことで搬送効率を向上させることであり、本発明の解決手段は装置からの搬送開始前にキャリア内の基板状態を検出することである。
【００５３】
また、上記実施形態では、第２処理装置５１からキャリア４９が搬送されるときに基板５０の状態が確認されて、正常・異常いずれの場合でも搬送車３がキャリア４９を第２処理装置５１から搬出する。したがって、第２処理装置５１における稼働率が高くなる。
【００５４】
（８）他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００５５】
（８−１）他の装置にＣＷセンサを設けた変形例
前記実施形態では、処理装置前ストッカ５１にＣＷセンサ５７を設けた場合を説明したが、本発明はこれに限定されない。本発明に係る実施形態としては、ＣＷセンサ５７から異常信号が入力されれば、搬送車３が装置からキャリア４９を他の装置に搬送するのを中止させるようになっていれば、ＣＷセンサ５７の位置はどこであってもよい。
【００５６】
第１変形例として、第１処理装置９、ストッカ１１、サイドバッファ１７、下部バッファ１９の全てまたは一部にＣＷセンサ５７が設けられている例を説明する。図１１にそのような実施例を開示している。図１１は、処理装置およびストッカ、バッファからキャリアを搬送する動作を示す模式図である。この場合、第１処理装置９、ストッカ１１、サイドバッファ１７、下部バッファ１９からキャリア４９が他の装置に搬送される場合に、図１３の処理が実行される。
【００５７】
例えば、ＣＷセンサ５７は、第１処理装置９に設けられており、第１処理装置９においてキャリア４９内の基板５０の状態を検出する。このシステムでは、搬送車３が第１処理装置９からキャリア４９を離れた装置に搬出する場合にキャリア４９内の基板５０の状態が異常であれば、搬送車３はキャリア４９の搬送を中止する。これにより、無駄な搬送作業がなくなり、その結果、搬送車システム１の搬送効率が低下しにくい。
この変形例では、第１処理装置９からキャリア４９が搬送されるときに基板５０の状態が確認されて、正常・異常いずれの場合でも搬送車３がキャリア４９を第２処理装置５１から搬出する。したがって、第１処理装置９における稼働率が高くなる。
【００５８】
例えば、ＣＷセンサ５７は、ストッカ１１に設けられており、ストッカ１１においてキャリア４９内の基板５０の状態を検出する。このシステムでは、搬送車３がストッカ１１からキャリア４９を離れた装置に搬出する場合にキャリア４９内の基板５０の状態が異常であれば、搬送車３はキャリア４９の搬送を中止する。これにより、無駄な搬送作業がなくなり、その結果、搬送車システム１の搬送効率が低下しにくい。
【００５９】
例えば、ＣＷセンサ５７は、サイドバッファ１７および下部バッファ１９に設けられており、サイドバッファ１７および下部バッファ１９においてキャリア４９内の基板５０の状態を検出する。このシステムでは、搬送車３がサイドバッファ１７および下部バッファ１９からキャリア４９を離れた装置に搬出する場合にキャリア４９内の基板５０の状態が異常であれば、搬送車３はその後のキャリア４９の搬送を中止する。これにより、無駄な搬送作業がなくなり、その結果、搬送車システム１の搬送効率が低下しにくい。
【００６０】
第２変形例として、搬送車３にＣＷセンサ５７が設けられている例を説明する。図１２にそのような実施例を開示している。図１２は、処理装置から搬送車がキャリアを搬送する動作を示す模式図である。このシステムでは、搬送車３がキャリア４９を搬送開始する場合にキャリア４９内の基板５０の状態が異常であれば、搬送車３はキャリア４９の目的位置への搬送を中止する。これにより、無駄な搬送作業がなくなり、その結果、搬送車システム１の搬送効率が低下しにくい。
この例では、搬送車３が第１処理装置９、ストッカ１１、サイドバッファ１７からキャリア４９を他の装置に搬送する場合に、図１３の処理が実行される。
【００６１】
（８−２）他の変形例
ＣＷセンサ５７は、一種類の装置のみに設けられていてもよいし、複数種類の装置に設けられていてもよい。ただし、図１０に示すように、処理装置前ストッカ５５にＣＷセンサ５７を設けた場合は、処理装置前ストッカ５５から他の処理装置にキャリア４９が搬送されるときに一度だけ基板５０の状態を検出すればよいので、効率がよい。したがって、ＣＷセンサ５７を処理装置前ストッカのみに設けるという実施例は有効である。
ＣＷセンサの種類は非接触センサであれば特に限定されない。例えば、ＣＷセンサは、透過型の光電センサでもよいし、投光器とカメラからなるセンサでもよい。
一カ所におけるＣＷセンサ５７は１つでもよいし、３つ以上でもよい。
ＣＷセンサ５７は、床置きバッファに設けられていてもよい。
【００６２】
ＣＷセンサ５７は、製造コントローラ２１ではなく、第１処理装置９または第２処理装置５１のコントローラに検出信号を送信するようになっていてもよい。その場合は、第１処理装置９または第２処理装置５１のコントローラから検出信号が製造コントローラ２１に送信される。
さらに、ＣＷセンサ５７は、設置される場所の装置のコントローラに検出信号を送信するようになっていてもよい。例えば、ＣＷセンサ５７は、ストッカコントローラ２５、搬送車コントローラ２７、搬送車３内のコントローラに検出信号を送信することができる。
【００６３】
搬送車システムのレイアウトおよび制御系は、上記実施形態に限定されない。また、搬送車システムが適用される設備の種類も前記実施形態に限定されない。
【００６４】
搬送車の種類は、天井搬送車、無軌道で走行する無人搬送車や有軌道台車のいずれであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明は、搬送車が内部に複数の基板を収納した容器を搬送する搬送車システムに広く適用できる。
【符号の説明】
【００６６】
１        搬送車システム
３        搬送車
５        周回走行路
７        基幹走行路
９        第１処理装置
１１      ストッカ（経路配置自動倉庫）
１３      入庫ポート
１５      出庫ポート
１７      サイドバッファ（バッファ）
１９      下部バッファ（バッファ）
２０      制御系
２１      製造コントローラ（搬送制御部）
２３      物流コントローラ
２４      載置部
２５      ストッカコントローラ
２６      支持部材
２７      搬送車コントローラ
２９      天井
３０      走行レール
３１      支柱
３２      走行レール本体
３３      給電レール
３４      本体ベース
３５      走行駆動部
３６      受電部
３７      前側カバー
３８      後側カバー
３９      横移動機構
４０      昇降駆動部
４１      昇降台
４９      キャリア（容器）
５０      基板
５１      第２処理装置
５３      処理装置本体
５５      処理装置前ストッカ（装置近傍自動倉庫）
５６      受け渡しポート
５７      ＣＷセンサ（状態検出装置）
５８      第１光電センサ
５９      第２光電センサ
６０      シャフト
６１      ＣＷセンサ・コントローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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