(57)【要約】      （修正有）【課題】製造情報が変更された場合であっても、従来よりも迅速な対応を図ることができる生産システムおよび電子デバイスの製造方法の提供。【解決手段】生産支援システム１は、製品の製造に関する履歴情報を格納する履歴情報格納部３と、プロセスフロー情報を格納するマスタデータ格納部６と、前記履歴情報格納部に格納された製造情報が変更された時までの間における前記履歴情報に基づいて過去フロー情報を作成する過去フロー情報作成部４と、前記マスタデータ格納部に格納された前記製造情報が変更された時以降に行われる予定の製造工程に関する情報に基づいて予定フロー情報を作成する予定フロー情報作成部７と、前記過去フロー情報と、前記予定フロー情報と、に基づいて前記製造情報が変更されたプロセスフロー情報を作成するプロセスフロー情報作成部８と、前記作成されたプロセスフロー情報の適否を解析する解析部１０と、を有する。【選択図】図１
2011204805.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プロセスフロー情報を作成する生産支援システムと、前記プロセスフロー情報に基づいて製品の製造を行う製造装置と、を備えた生産システムであって、
生産支援システムは、
前記製品の製造に関する履歴情報を格納する履歴情報格納部と、
前記プロセスフロー情報を格納するマスタデータ格納部と、
前記履歴情報格納部に格納された製造情報が変更された時までの間における前記履歴情報に基づいて過去フロー情報を作成する過去フロー情報作成部と、
前記マスタデータ格納部に格納された前記製造情報が変更された時以降に行われる予定の製造工程に関する情報に基づいて予定フロー情報を作成する予定フロー情報作成部と、
前記過去フロー情報と、前記予定フロー情報と、に基づいて前記製造情報が変更されたプロセスフロー情報を作成するプロセスフロー情報作成部と、
前記作成されたプロセスフロー情報の適否を解析する解析部と、
を有することを特徴とする生産システム。
【請求項２】
前記プロセスフロー情報作成部は、前記過去フロー情報と、前記予定フロー情報と、を連結することで前記製造情報が変更されたプロセスフロー情報を作成することを特徴とする請求項１記載の生産システム。
【請求項３】
前記製造装置は、前記解析部において適正と判断された前記製造情報が変更されたプロセスフロー情報に基づいて製品の製造を行うことを特徴とする請求項１または２に記載の生産システム。
【請求項４】
製造情報が変更された時までの間における履歴情報に基づいて過去フロー情報を作成する工程と、
プロセスフロー情報に含まれている前記製造情報が変更された時以降に行われる予定の製造工程に関する情報に基づいて予定フロー情報を作成する工程と、
前記過去フロー情報と、前記予定フロー情報と、に基づいて前記製造情報が変更されたプロセスフロー情報を作成する工程と、
前記作成されたプロセスフロー情報の適否を解析する工程と、
前記適正と判断された前記製造情報が変更されたプロセスフロー情報に基づいて製品の製造を行う工程と、
を備えたことを特徴とする電子デバイスの製造方法。
【請求項５】
前記製品の製造を行う工程における前記製品の製造に関する情報を履歴情報として格納する工程を備えたことを特徴とする請求項４記載の電子デバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生産システムおよび電子デバイスの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置、フラットパネルディスプレイなどの電子デバイスの製造においては、一連の製造の流れに関する情報（以下、プロセスフロー情報と称する）に基づいて製造が行われている。このプロセスフロー情報は過去の製造工程における経験やノウハウなどに基づいて作成され、マスタデータとして所定の格納部などに格納されている。そして、格納されているマスタデータ（プロセスフロー情報）を比較ロジックとして用いて、製造工程や製造条件など（以下、製造情報と称する）の適否を解析していた（例えば、特許文献１を参照）。  
この様に、従来の技術においては、格納されているマスタデータ（プロセスフロー情報）の通りに製造が行われていくことが前提であり、格納されているマスタデータ（プロセスフロー情報）が基準とされていた。
【０００３】
ここで、新製品や試作品などを製造したり、既製品の製造情報（製造工程や製造条件など）の改善を図ったりする場合には、格納されているマスタデータ（プロセスフロー情報）にはないプロセスフロー情報に基づいて製造を行う必要が生じる。この様な場合、新しい製造情報（製造工程や製造条件など）を含んだプロセスフロー情報を作成し、これを所定の格納部などに格納した後でなければ新たなプロセスフロー情報に基づいた解析をすることができない。  
この場合、新たに作成されるプロセスフロー情報がマスタデータとして格納されるまでの間は、製品の製造を中断するか、作業者などが製造状況を逐次チェックするようにしていた。  
しかしながら、製品の製造を中断したり、作業者などが製造状況を逐次チェックしたりするようにすれば、製造工数が増加したり、チェックミスの発生にともなう装置稼働率の低下や不良品の発生などが生じたりするおそれがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭６３−２４９３２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、製造情報が変更された場合であっても、従来よりも迅速な対応を図ることができる生産システムおよび電子デバイスの製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様によれば、プロセスフロー情報を作成する生産支援システムと、前記プロセスフロー情報に基づいて製品の製造を行う製造装置と、を備えた生産システムであって、生産支援システムは、前記製品の製造に関する履歴情報を格納する履歴情報格納部と、前記プロセスフロー情報を格納するマスタデータ格納部と、前記履歴情報格納部に格納された製造情報が変更された時までの間における前記履歴情報に基づいて過去フロー情報を作成する過去フロー情報作成部と、前記マスタデータ格納部に格納された前記製造情報が変更された時以降に行われる予定の製造工程に関する情報に基づいて予定フロー情報を作成する予定フロー情報作成部と、前記過去フロー情報と、前記予定フロー情報と、に基づいて前記製造情報が変更されたプロセスフロー情報を作成するプロセスフロー情報作成部と、前記作成されたプロセスフロー情報の適否を解析する解析部と、を有することを特徴とする生産システムが提供される。
【０００７】
また、本発明の他の一態様によれば、製造情報が変更された時までの間における履歴情報に基づいて過去フロー情報を作成する工程と、プロセスフロー情報に含まれている前記製造情報が変更された時以降に行われる予定の製造工程に関する情報に基づいて予定フロー情報を作成する工程と、前記過去フロー情報と、前記予定フロー情報と、に基づいて前記製造情報が変更されたプロセスフロー情報を作成する工程と、前記作成されたプロセスフロー情報の適否を解析する工程と、前記適正と判断された前記製造情報が変更されたプロセスフロー情報に基づいて製品の製造を行う工程と、を備えたことを特徴とする電子デバイスの製造方法が提供される。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、製造情報が変更された場合であっても、従来よりも迅速な対応を図ることができる生産システムおよび電子デバイスの製造方法が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本実施の形態に係る生産システムの概略構成を例示するためのブロック図である。
【図２】プロセスフロー情報作成部においてプロセスフロー情報が作成される様子を例示するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。  
また、本明細書において「製品」というときは、製造装置において所定の製造（例えば、処理、加工、組み付けなど）がなされた後のものをいい、いわゆる完成品の他に中間製品をも含むものとする。例えば、半導体装置、フラットパネルディスプレイなどの電子デバイスの製造においては、薄膜が形成されたシリコンウェーハやガラス基板なども「製品」に含まれる。
【００１１】
図１は、本実施の形態に係る生産システムの概略構成を例示するためのブロック図である。  
図１に示すように、生産システム１００には、「製造情報が変更されたプロセスフロー情報」を作成する生産支援システム１、管理システム５０、製造装置６０が設けられている。  
また、生産支援システム１、管理システム５０、製造装置６０は、ＭＥＳ（Manufacturing Execution System：製造実行システム）系ＬＡＮ（Local Area Network：構内通信網）２０を介して電気的に接続されている。
【００１２】
そして、生産支援システム１には、フロー条件入力部２、履歴情報格納部３、過去フロー情報作成部４、過去フロー情報格納部５、マスタデータ格納部６、予定フロー情報作成部７、プロセスフロー情報作成部８、入力部９、解析部１０、予定情報格納部１１が設けられている。
【００１３】
フロー条件入力部２は、必要に応じて、マスタデータ格納部６からマスターデータとしてのプロセスフロー情報を抽出し、予定情報格納部１１から予定情報を抽出する。そして、抽出された予定情報を予定フロー情報作成部７に入力する。  
マスターデータとしてのプロセスフロー情報としては、例えば、新製品や試作品などのプロセスフロー情報、既存のプロセスフロー情報を修正するための情報などを例示することができる。  
予定情報としては、予定されているプロセスフロー情報を修正するための情報、予定されている製造工程の名称やその製造工程における製造条件（例えば、温度、圧力、流量、供給量などの条件）などに関する情報、ロットの操作情報（例えば、ロットの指示や予約など）などを例示することができる。  
履歴情報格納部３には、第１の履歴情報格納部３ａ、第２の履歴情報格納部３ｂが設けられている。  
履歴情報格納部３は、製品の製造に関する履歴情報を格納する。  
第１の履歴情報格納部３ａは、一連のプロセスフローにおいてすでに行われた製造工程に係る製造条件などの履歴情報を各製品毎に格納する。例えば、一連のプロセスフローにおいて製造情報が変更された時までの間に行われた製造工程の名称やその製造工程における製造条件（例えば、温度、圧力、流量、供給量などの条件）などの情報を各製品毎に履歴情報として格納する。  
また、過去に実際に製造した製品のプロセスフローに関する情報、例えば、過去に実際に製造した製品のプロセスフローにおける製造工程の名称やその製造工程における製造条件（例えば、温度、圧力、流量、供給量などの条件）などの情報を各製品毎に履歴情報として格納する。
【００１４】
第２の履歴情報格納部３ｂは、「分割製造」や「一部の製造工程を省いた製造」などに係る履歴情報を格納する。  
例えば、新製品や試作品などの製造においては、製造条件などを一意的に決定することが難しい場合がある。その様な場合、あらかじめ複数の製造条件などを設定し、それぞれの条件毎に分割して製造を行う「分割製造」が行われる場合がある。  
また、類似品の製造や製造工程の改善などが行われる場合には、「一部の製造工程を省いた製造」が行われる場合がある。  
そのため、「分割製造」や「一部の製造工程を省いた製造」などが行われた場合には、これらに係る情報を各製品毎に履歴情報として格納する。  
なお、第２の履歴情報格納部３ｂは必ずしも必要ではなく、必要に応じて適宜設けるようにすることができる。また、第１の履歴情報格納部３ａと第２の履歴情報格納部３ｂとを一体化することもできる。
【００１５】
過去フロー情報作成部４は、プロセスフロー情報作成部８を介して、入力部９から入力された情報に基づいて各製品毎に過去フロー情報を作成する。例えば、過去フロー情報作成部４は、プロセスフロー情報作成部８を介して、入力部９から入力された情報に基づいて、製造情報が変更された時までの間に行われた製造工程の名称やその製造工程における製造条件などの履歴情報を履歴情報格納部３（第１の履歴情報格納部３ａ、第２の履歴情報格納部３ｂ）から抽出し、抽出された履歴情報を用いて各製品毎に過去フロー情報を作成する。  
すなわち、過去フロー情報作成部４は、履歴情報格納部３に格納された製造情報が変更された時までの間における履歴情報に基づいて過去フロー情報を作成する。  
なお、作成される過去フロー情報が過去フロー情報格納部５にすでに格納されている場合には、これを抽出するようにすることもできる。  
作成された過去フロー情報は、過去フロー情報格納部５に格納される。また、作成された過去フロー情報、あるいは過去フロー情報格納部５から抽出された過去フロー情報は、プロセスフロー情報作成部８に提供される。  
過去フロー情報格納部５は、過去フロー情報作成部４において作成された過去フロー情報を格納する。また、格納された過去フロー情報は、必要に応じて過去フロー情報作成部４に提供される。
【００１６】
マスタデータ格納部６は、プロセスフロー情報をマスタデータとして格納する。この場合、マスタデータとして格納されているプロセスフロー情報には、過去において製造に用いられたプロセスフロー情報のみならず、現在用いられているまたは用いられる予定のプロセスフロー情報をも含んでいる。  
また、後述する解析部１０において適正と判断された「製造情報が変更されたプロセスフロー情報」をもマスタデータとして格納する。  
予定情報格納部１１は、予定情報を格納する。この場合、予定情報としては、予定されているプロセスフロー情報を修正するための情報、予定されている製造工程の名称やその製造工程における製造条件（例えば、温度、圧力、流量、供給量などの条件）などに関する情報、ロットの操作情報（例えば、ロットの指示や予約など）などを例示することができる。  
【００１７】
予定フロー情報作成部７は、フロー条件入力部２から入力された情報に基づいて各製品毎に予定フロー情報を作成する。例えば、予定フロー情報作成部７は、フロー条件入力部２から入力された情報に基づいて、製造情報が変更された時以降に行われる予定の製造工程の名称やその製造工程における製造条件などの情報をマスタデータ格納部６から抽出し、抽出された情報を用いて各製品毎に予定フロー情報を作成する。  
すなわち、予定フロー情報作成部７は、マスタデータ格納部６に格納された製造情報が変更された時以降に行われる予定の製造工程に関する情報に基づいて予定フロー情報を作成する。  
作成された予定フロー情報は、プロセスフロー情報作成部８に提供される。
【００１８】
プロセスフロー情報作成部８は、過去フロー情報作成部４から提供された過去フロー情報と、予定フロー情報作成部７から提供された予定フロー情報と、に基づいて各製品毎に「製造情報が変更されたプロセスフロー情報」を作成する。例えば、過去フロー情報作成部４から提供された過去フロー情報と、予定フロー情報作成部７から提供された予定フロー情報と、を連結することで各製品毎に「製造情報が変更されたプロセスフロー情報」を作成するようにすることができる。
【００１９】
図２は、プロセスフロー情報作成部８においてプロセスフロー情報が作成される様子を例示するための模式図である。  
図２に例示をしたものは、当初の製造工程が「Ｌ１→Ｌ２→Ｌ３→Ｌ４→Ｌ５→Ｌ６→Ｌ７」であって、「Ｌ３」が終了した時点で以降の製造工程が「Ｐ３→Ｐ４→ｐ５→ｐ６」に変更される場合を例示するものである。  
「Ｌ３」が終了した時点で、それ以降の製造工程が変更されるという情報が、プロセスフロー情報作成部８を介して、入力部９から入力されると、過去フロー情報作成部４において過去フロー情報（「Ｌ１→Ｌ２→Ｌ３」）が作成される。例えば、すでに行われた「Ｌ１」、「Ｌ２」、「Ｌ３」に係る履歴情報が履歴情報格納部３（第１の履歴情報格納部３ａ、第２の履歴情報格納部３ｂ）から抽出され、抽出された履歴情報を用いてその製品における過去フロー情報（「Ｌ１→Ｌ２→Ｌ３」）が作成される。なお、作成される過去フロー情報（「Ｌ１→Ｌ２→Ｌ３」）が過去フロー情報格納部５にすでに格納されている場合には、これを抽出するようにすることもできる。
【００２０】
一方、プロセスフロー情報作成部８を介して、入力部９から予定フロー情報作成部７に情報が入力されると、「Ｌ３」以降の製造工程が「Ｐ３→Ｐ４→ｐ５→ｐ６」に変更され、予定フロー情報（「Ｐ３→Ｐ４→ｐ５→ｐ６」）が作成される。例えば、「Ｌ３」以降に行われる予定の製造工程（Ｐ３、Ｐ４、ｐ５、ｐ６）に係る情報がマスタデータ格納部６から抽出され、抽出された情報を用いてその製品における予定フロー情報（「Ｐ３→Ｐ４→ｐ５→ｐ６」）が作成される。この際、マスタデータ格納部６にマスタデータとして格納されている複数のプロセスフロー情報から、「Ｐ３」、「Ｐ４」、「ｐ５」、「ｐ６」に係る情報が適宜抽出されるようにすることができる。
【００２１】
次に、プロセスフロー情報作成部８において、過去フロー情報作成部４から提供された過去フロー情報（「Ｌ１→Ｌ２→Ｌ３」）と、予定フロー情報作成部７から提供された予定フロー情報（「Ｐ３→Ｐ４→ｐ５→ｐ６」）と、に基づいてその製品における「製造情報が変更されたプロセスフロー情報」（「Ｌ１→Ｌ２→Ｌ３→Ｐ３→Ｐ４→ｐ５→ｐ６」）が作成される。例えば、過去フロー情報作成部４から提供された過去フロー情報と、予定フロー情報作成部７から提供された予定フロー情報と、を連結することでその製品における「製造情報が変更されたプロセスフロー情報」が作成されるようにすることができる。  
なお、生産システム１００に複数の製造装置６０が設けられる場合には、複数の製品毎にプロセスフロー情報が作成されるようにすることができる。
【００２２】
入力部９からは、対象となる製品を特定するための情報が入力される。例えば、製品番号、ロット番号など製品が特定されるような情報が入力される。  
前述したように、解析部１０において適正と判断された「製造情報が変更されたプロセスフロー情報」がマスタデータとしてマスタデータ格納部６に格納されている場合がある。そのため、入力部９から対象となる製品の情報を入力することで対象となる「製造情報が変更されたプロセスフロー情報」がマスタデータ格納部６から抽出できるようになっている。また、抽出された「製造情報が変更されたプロセスフロー情報」は解析部１０を介して管理システム５０や製造装置６０に提供できるようになっている。
【００２３】
解析部１０は、プロセスフロー情報作成部８から提供された「製造情報が変更されたプロセスフロー情報」を解析して変更された製造条件の妥当性などを解析する。すなわち、解析部１０は、プロセスフロー情報作成部８において作成されたプロセスフロー情報（「製造情報が変更されたプロセスフロー情報」）の適否を解析する。例えば、プロセスフロー情報作成部８から提供された「製造情報が変更されたプロセスフロー情報」に基づいて、各製造工程における製品の製造状況、寸法、形状などをシミュレーションにより求め、変更された製造条件が妥当であるかを解析するようにすることができる。  
解析部１０において適正と判断されたプロセスフロー情報は、ＭＥＳ系ＬＡＮ２０を介して管理システム５０に提供される。
【００２４】
管理システム５０は、解析部１０から提供されたプロセスフロー情報（解析部１０において適正と判断されたプロセスフロー情報）を格納するとともに必要に応じて該当する製造装置６０にＭＥＳ系ＬＡＮ２０を介して提供する。  
なお、管理システム５０は必ずしも必要ではなく、必要に応じて適宜設けるようにすることができる。管理システム５０が設けられない場合には、解析部１０から提供されたプロセスフロー情報をＭＥＳ系ＬＡＮ２０を介して該当する製造装置６０に直接提供するようにすればよい。
【００２５】
製造装置６０は、プロセスフロー情報に基づいて製品の製造（例えば、処理、加工、組み付けなど）を行う。また、製造装置６０は、解析部１０において適正と判断された「製造情報が変更されたプロセスフロー情報」に基づいて製品の製造を行うこともできる。例えば、半導体装置、フラットパネルディスプレイなどの電子デバイスの製造においては、シリコンウェーハ上やガラス基板上に薄膜を形成するプラズマＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition：化学気相成長）装置、シリコンウェーハ上やガラス基板上に形成された薄膜の全面または所定の部分を食刻するプラズマエッチング装置、不要となったレジスト膜を除去するプラズマアッシング装置などとすることができる。  
ただし、例示をした装置に限定されるわけではなく、対象となる製品の製造に適用される装置を適宜選択するようにすることができる。また、複数の製造装置６０が設けられる場合、同種類の製造装置６０が複数設けられるようにすることもできるし、異なる種類の製造装置６０が設けられるようにすることもできる。
【００２６】
次に、生産システム１００の作用について例示をする。  
新製品や試作品などの製造においては、製造条件などを一意的に決定することが難しい場合があり、一連のプロセスフローにおける製造情報の変更が必要となる場合がある。また、過去に製造したことのある製品などの場合においても製造工程の改善などにより、一連のプロセスフローにおける製造情報の変更が必要となる場合がある。  
この様な場合、変更される製造情報に関する情報が入力部９、フロー条件入力部２から入力される。  
この場合、プロセスフロー情報作成部８を介して、入力部９から前述した所定の情報が過去フロー情報作成部４に入力される。また、例えば、フロー条件入力部２から前述した所定の情報が予定フロー情報作成部７に入力される。  
過去フロー情報作成部４においては、プロセスフロー情報作成部８を介して、入力部９から入力された情報に基づいて各製品毎に過去フロー情報が作成される。例えば、入力部９から入力された情報に基づいて、製造情報が変更された時までの間に行われた製造工程の名称やその製造工程における製造条件などの履歴情報が履歴情報格納部３（第１の履歴情報格納部３ａ、第２の履歴情報格納部３ｂ）から抽出され、抽出された、その履歴情報を用いて各製品毎に過去フロー情報が作成される。なお、作成される過去フロー情報が過去フロー情報格納部５にすでに格納されている場合には、これを抽出する。  
また、予定フロー情報作成部７においては、フロー条件入力部２から入力された情報に基づいて各製品毎に予定フロー情報が作成される。例えば、フロー条件入力部２から入力された情報に基づいて、製造情報が変更された時以降に行われる予定の製造工程の名称やその製造工程における製造条件などの情報がマスタデータ格納部６から抽出され、抽出された情報を用いて各製品毎に予定フロー情報が作成される。  
作成または抽出された過去フロー情報と、作成された予定フロー情報と、はプロセスフロー情報作成部８に提供される。また、作成された過去フロー情報は、過去フロー情報格納部５に格納される。
【００２７】
プロセスフロー情報作成部８においては、過去フロー情報作成部４から提供された過去フロー情報と、予定フロー情報作成部７から提供された予定フロー情報と、に基づいて各製品毎に「製造情報が変更されたプロセスフロー情報」が作成される。例えば、過去フロー情報作成部４から提供された過去フロー情報と、予定フロー情報作成部７から提供された予定フロー情報と、が連結されて各製品毎に「製造情報が変更されたプロセスフロー情報」が作成される。  
また、生産システム１００に複数の製造装置６０が設けられる場合には、複数の製品毎に「製造情報が変更されたプロセスフロー情報」が作成される。  
作成された「製造情報が変更されたプロセスフロー情報」は、解析部１０に提供される。
【００２８】
解析部１０においては、プロセスフロー情報作成部８から提供された「製造情報が変更されたプロセスフロー情報」が解析され、変更された製造条件の妥当性などが解析される。例えば、提供された「製造情報が変更されたプロセスフロー情報」に基づいて、各製造工程における製品の製造状況、寸法、形状などがシミュレーションにより求められ、変更された製造条件が妥当であるかが解析される。  
解析部１０において適正と判断されたプロセスフロー情報は、ＭＥＳ系ＬＡＮ２０を介して管理システム５０に提供される。
【００２９】
また、解析部１０において適正と判断された「製造情報が変更されたプロセスフロー情報」がマスタデータとしてマスタデータ格納部６に格納されている場合がある。その様な場合には、入力部９から対象となる製品の情報を入力することで対象となる「製造情報が変更されたプロセスフロー情報」がマスタデータ格納部６から抽出される。例えば、入力部９から、製品番号、ロット番号など対象となる製品が特定できるような情報を入力することで対象となる「製造情報が変更されたプロセスフロー情報」が抽出される。この場合、抽出された「製造情報が変更されたプロセスフロー情報」は解析部１０を介して管理システム５０や製造装置６０に提供される。
【００３０】
管理システム５０は、解析部１０から提供されたプロセスフロー情報を格納するとともに必要に応じて該当する製造装置６０にＭＥＳ系ＬＡＮ２０を介して提供する。  
なお、管理システム５０が設けられていない場合には、解析部１０から提供されたプロセスフロー情報がＭＥＳ系ＬＡＮ２０を介して該当する製造装置６０に直接提供される。
【００３１】
製造装置６０においては、解析部１０から提供されたプロセスフロー情報に基づいて製品の製造が行われる。すなわち、解析部１０から提供されたプロセスフロー情報に含まれる製造情報（例えば、製造工程の名称、温度、圧力、流量、供給量などの製造条件）などに基づいて製品の製造が行われる。例えば、半導体装置、フラットパネルディスプレイなどの電子デバイスの製造においては、成膜工程において所定の製造条件のもとで、シリコンウェーハ上やガラス基板上に薄膜が形成される。また、エッチング工程において所定の製造条件のもとで、シリコンウェーハ上やガラス基板上に形成された薄膜の全面または所定の部分が食刻される。また、アッシング工程において所定の製造条件のもとで、不要となったレジスト膜が除去される。
【００３２】
また、製品の製造を行う工程における製品の製造に関する情報（製品の製造に関する履歴情報）、例えば、製造工程の名称や、温度、圧力、流量、供給量などの製造条件などに関する情報がＭＥＳ系ＬＡＮ２０を介して履歴情報格納部３（第１の履歴情報格納部３ａ、第２の履歴情報格納部３ｂ）に提供される。そして、履歴情報格納部３（第１の履歴情報格納部３ａ、第２の履歴情報格納部３ｂ）に提供された情報は、各製品毎に履歴情報として格納される。なお、管理システム５０を介して履歴情報格納部３（第１の履歴情報格納部３ａ、第２の履歴情報格納部３ｂ）に履歴情報が提供されるようにすることもできる。
【００３３】
前述した実施の形態においては、生産支援システム１がＭＥＳ系ＬＡＮ２０を介して生産システム１００に組み込まれている場合を例示したが、これに限定されるわけではない。生産支援システム１、管理システム５０、製造装置６０の間における情報の授受を記録媒体などを介して行うこともできる。  
また、本実施の形態に係る生産支援システム１を単独で用いることもできる。  
例えば、新製品や試作品などの製造において新規の製造情報（製造工程や製造条件など）を含むプロセスフロー情報を事前に評価したり、改善を行うために変更された製造情報（製造工程や製造条件など）を含むプロセスフロー情報を事前に評価したりする際のツールとして用いることもできる。
【００３４】
本実施の形態によれば、過去フロー情報と予定フロー情報とに基づいて各製品毎にプロセスフロー情報を作成することができる。  
そのため、格納されているマスタデータ（プロセスフロー情報）にはないプロセスフロー情報に基づいて製造を行う必要が生じた場合であっても迅速な対応を図ることができる。この場合、製造の途中で製造情報の変更が必要となった場合であっても迅速な対応を図ることができる。
【００３５】
また、過去フロー情報には、製造情報が変更された時までの間に行われた製造工程の名称やその製造工程における製造条件などの履歴情報が含まれている。すなわち、過去フロー情報には、対象となる製品に対する実績情報が含まれている。そのため、過去フロー情報の信頼性や精度などを向上させることができるので、この様な過去フロー情報を含む「製造情報が変更されたプロセスフロー情報」の信頼性や精度なども向上させることができる。
【００３６】
また、予定フロー情報は格納されているマスタデータ（プロセスフロー情報）に基づいて適宜作成される。すなわち、予定フロー情報は、格納されているマスタデータ（プロセスフロー情報）に含まれている製造情報を適宜抽出して予定フロー情報を作成することができる。そのため、製造情報の変更に対して柔軟かつ迅速な対応を図ることができる。
【００３７】
また、製造情報の変更がおよぼす影響を事前に解析することができるので、製造装置６０の稼働率や歩留まりなどを向上させることができる。例えば、製造装置の停止、没ロット発生、リワーク後の再製造などの不具合発生を未然に防ぐことが可能となる。そのため、装置稼働率の向上、製品製造におけるＴＡＴ（Turn Around Time）の短縮、開発ＴＡＴ（Turn Around Time）の短縮、歩留まりの向上などを図ることができる。
【００３８】
次に、本実施の形態に係る電子デバイスの製造方法を例示する。  
電子デバイスの製造方法としては、例えば、半導体装置の製造方法を例示することができる。ここで、半導体装置の製造工程には、いわゆる前工程における成膜・レジスト塗布・露光・現像・エッチング・レジスト除去などにより基板（ウェーハ）表面にパターンを形成する工程、検査工程、洗浄工程、熱処理工程、不純物導入工程、拡散工程、平坦化工程などがある。また、いわゆる後工程においては、ダイシング、マウンティング、ボンディング、封入などの組立工程、機能や信頼性の検査工程などがある。
【００３９】
ここで、前述した本実施の形態に係る生産システム１００、生産支援システム１などは各工程に適用させることができる。なお、前述した本実施の形態に係る生産システム１００、生産支援システム１に関するもの以外は、既知の各工程における技術を適用することができるので、それらの例示は省略する。  
また、一例として、本実施の形態に係る電子デバイスの製造方法を半導体装置の製造方法を例に挙げて説明したが、これに限定されるわけではない。例えば、フラットパネルディスプレイ、太陽電池などの製造にも適用させることができる。
【００４０】
すなわち、本実施の形態に係る電子デバイスの製造方法は、製造情報が変更された時までの間における履歴情報に基づいて過去フロー情報を作成する工程と、プロセスフロー情報に含まれている製造情報が変更された時以降に行われる予定の製造工程に関する情報に基づいて予定フロー情報を作成する工程と、過去フロー情報と、予定フロー情報と、に基づいて「製造情報が変更されたプロセスフロー情報」を作成する工程と、作成されたプロセスフロー情報の適否を解析する工程と、適正と判断された「製造情報が変更されたプロセスフロー情報」に基づいて製品の製造を行う工程と、を備えたものとすることができる。またさらに、製品の製造を行う工程における製品の製造に関する情報を履歴情報として格納する工程を備えるものとすることができる。
【００４１】
本実施の形態に係る電子デバイスの製造方法によれば、製造情報の変更に対して柔軟かつ迅速な対応を図ることができる。また、製造情報の変更がおよぼす影響を事前に解析することができる。そのため、装置稼働率の向上、製品製造におけるＴＡＴ（Turn Around Time）の短縮、開発ＴＡＴ（Turn Around Time）の短縮、歩留まりの向上などを図ることができる。
【００４２】
以上、本実施の形態について例示をした。しかし、本発明はこれらの記述に限定されるものではない。  
前述の実施の形態に関して、当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。  
例えば、生産システム１００や生産支援システム１などが備える要素の数、配置などは、例示をしたものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。  
また、前述した各実施の形態が備える各要素は、可能な限りにおいて組み合わせることができ、これらを組み合わせたものも本発明の特徴を含む限り本発明の範囲に包含される。
【符号の説明】
【００４３】
１  生産支援システム、２  フロー条件入力部、３  履歴情報格納部、３ａ  第１の履歴情報格納部、３ｂ  第２の履歴情報格納部、４  過去フロー情報作成部、５  過去フロー情報格納部、６  マスタデータ格納部、７  予定フロー情報作成部、８  プロセスフロー情報作成部、９  入力部、１０  解析部、１１  予定情報格納部、２０  ＭＥＳ系ＬＡＮ、５０  管理システム、６０  製造装置、１００  生産システム
【図１】
2011204805.tif 000003
【図２】
2011204805.tif 000004