(57)【要約】【課題】本発明は、低コストで、飛躍的に発塵量を少なくした低発塵直動アクチュエータを提供することを目的とする。【解決手段】ハウジングの開口部に空気噴出部を配設してアクチュエータをシールすると共に、ハウジング内の空気を排気する排気手段が設けられていることにより、塵埃が外部に散出することを防止できるので、アクチュエータ内部の塵埃が外部に洩れ出てクリーンルームを汚染することがなく、クリーンルーム内の搬送手段として使用することが可能な低発塵直動アクチュエータを提供できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジング内に配設された軌道部に沿って往復移動する移動体と、
該移動体を往復移動及び所定の位置で停止させるための位置決め機構と、
該位置決め機構を駆動するための駆動装置とを備え、
前記ハウジングの一面に開口部を設けて、前記移動体の移動経路を成す直動アクチュエータにおいて、
前記ハウジングの開口部に空気噴出部を配設してアクチュエータをシールすると共に、ハウジング内の空気を排気する排気手段が設けられていることを特徴とする低発塵直動アクチュエータ。
【請求項２】
前記空気噴出部は多孔質体から構成されてなる、請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
前記空気噴出部の形状は円形であることを特徴とする請求項１又は２に記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルーム環境で用いられる直動アクチュエータの改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より直動アクチュエータは、ハウジング内に配設された軌道部に沿って往復移動する移動体と、該移動体を往復移動させるとともに所定の位置で停止させるための位置決め機構(ボールねじ機構など)を駆動するための駆動装置とを備えている。なお、軌道部としては、直動案内装置のガイドレールがその一例として挙げられ、この直動案内装置は、ハウジングに内設されたガイドレールと、該ガイドレールに沿って往復移動可能なスライダとを備えるものである。この場合、スライダは移動体に固定され、移動体の一部を構成している。ところで、ハウジングと移動体の間には開口部（隙間）が存在することにより、アクチュエータの内部が外部に対して常時開放状態となってしまい、アクチュエータ内部の位置決め機構、駆動装置、直動案内装置などが発生する塵埃がクリーンルーム内へ散出してしまうという課題があった。また、塵埃の発生そのものを抑制するためにエアスライドやリニアモータなどの低発塵である装置、機構を採用するとコストの増大を招くことになる。
【０００３】
この部分の改善の先行技術としては特許文献１に開示されたものがあり、これは、開口部を塞ぐ可動式のシールバンドによるシール機構を設けると共に、ハウジング内部を減圧することにより、直動アクチュエータ外部への塵埃の散出を低減することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平０８−２９０３８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１記載の構造では、シール機構を構成するシールバンドとシール用溝には摺接部が存在するために、この部分からの発塵は避けられない。さらに、ハウジングの内部を負圧に保った状態であっても、シールバンドは、移動体の移動に伴って移動するため、該シールバンドがアクチュエータの内部から外部へその内気を外表面(シールバンドがアクチュエータの外部に露出する面)に沿って押し出してしまい、それに伴って、該アクチュエータの内部からクリーンルーム内へ塵埃が散出してしまうという問題があった。
【０００６】
本発明は、低コストで、クリーンルーム内の搬送手段として使用するために発塵量を少なくした低発塵直動アクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記問題を解決するために、ハウジング内に配設された軌道部に沿って往復移動する移動体と、該移動体を往復移動及び所定の位置で停止させるための位置決め機構と、該位置決め機構を駆動するための駆動装置とを備え、前記ハウジングの一面に開口部を設けて、前記移動体の移動経路を成す直動アクチュエータにおいて、前記ハウジングの開口部に空気噴出部を配設してアクチュエータをシールすると共に、ハウジング内の空気を排気する排気手段が設けられていることにより、塵埃がクリーンルーム内に散出することを防止できるものとしたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、ボールねじ、リニアガイドなどの一般的な部品の組み合わせにより直動アクチュエータを構成することにより低コストとし、ハウジング開口部に微小すきまと空気噴出部を設置してシールすることにより外部空間と隔離されるので、直動アクチュエータ内部の塵埃が外部に洩れ出てクリーンルームを汚染することがなく、クリーンルーム内の搬送手段として使用することが可能な低発塵直動アクチュエータを提供できるという効果が有る。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第1実施形態を示す直動アクチュエータの全体図である。
【図２】図１のエアシール部の拡大図である。
【図３】本発明の第２実施形態を示すエアシール部の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
図１は、第１の実施形態を示す直動アクチュエータの全体図である。位置決め機構であるボールねじ６と軌道部を構成するリニアガイド７を組み合わせ、連結部５（カップリングとサポートベアリング）を介してモータ４により駆動する構成となっている。リニアガイド７は軌道部であるガイドレール１３とスライダ１４を有しており、該スライダは直動運動するナット１２と共に移動体１０に連結されている。ハウジング１は1面（図左側）に開口２３を有しており、移動体１０の一部は開口部を貫通してハウジング１の外部に突出している。ハウジング１はボールねじ６とリニアガイド７を密閉する構造になっており、開口部分にはエア噴出をするための多孔質体２１が配置されている。多孔質体２１と移動体１０の表面によりエアシールを構成している。
【００１１】
給気口２を経由して多孔質体２１に清浄な圧縮空気（ＣＤＡ：Clean Dry Air）を供給することにより、低消費流量で且つ均一に移動体表面にエアが噴出され、その部分の圧力を周囲より高くすることによって、外部との間をシールする事ができ、ボールねじ、リニアガイドからの発塵がアクチュエータ外部に漏れないようにできる。
【００１２】
なお、供給した圧縮空気は、排気口３を設けて（図示しない）排気装置を接続して排気する事により移動体の移動によって発生するハウジング内の圧力上昇を防止すると共に、アクチュエータ内で発生した塵埃を遠方に排出することができる。
【００１３】
図２は、図１のエアシール部の拡大図である。
前記多孔質体２１はＯリング２２のような弾性体を介してハウジング１に支持されている。この構成により、移動体の真直度誤差や、直線移動時の平行度誤差によりエアシールの隙間が変化しても、多孔質体２１が変化を吸収するように追従させることができるため、隙間の変化を最小にすることができる。したがって、移動体１０が移動中でもシール性能を安定させる事ができる。
【００１４】
なお、本実施形態では空気噴出部として多孔質体を使用している。多孔質体を使用することにより、高い面圧を得られるのでシール性を向上させることができる。
【００１５】
エアシール部の形状については円形が密閉性、加工性、組合性に優れており好適であるが、用途によって角形にしても良い。
【００１６】
図３は、第２の実施形態を示すエアシール部の拡大図である。本実施形態の直動アクチュエータは、前記第１実施形態の直動アクチュエータとほぼ同様であるが、前述した多孔質体２１の支持構造が、前記第1実施形態の図２のものと異なる。
【００１７】
多孔質体２１はハウジング１に対してリジットに取り付けられている。これにより、シール機能に加えて空気軸受としての機能が付加され、外部からの移動体への荷重を多孔質体が支持することにより、直動アクチュエータのモーメント力に対する負荷能力を向上させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００１８】
本発明は、クリーンルーム環境で用いることが可能な直動アクチュエータとして、クリーン環境における駆動装置として利用できる。
【符号の説明】
【００１９】
1    ハウジング
2    給気口
3    排気口
4    モータ（駆動装置）
5    連結部
6    ボールねじ（位置決め装置）
7    リニアガイド（直動案内装置）
10    移動体
11    ねじ軸
12    ナット
13    ガイドレール
14    スライダ
21    多孔質体
22    Oリング
23    開口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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