(57)【要約】  【課題】シート状のフィルタを用いた濾過器であって、フィルタ平面上において充分な濾過面積を確保し、フィルタの濾過精度を低下させることなく濾過流量を増やして送液に要する時間を短縮できる濾過器、およびこれを備えた塗布装置。  【解決手段】  流体の流入口およびこれに連通する流入室を有する流入ハウジング、流体の流出口およびこれに連通する流出室を有する流出ハウジング、ならびに、前記流入室と前記流出室を区画するよう配置されるシート状のフィルタを有する濾過器であって、前記フィルタの流出側に、フィルタ側の面から流出側の面まで通じる複数の貫通口を有するフィルタ支持手段を配置し、該フィルタ支持手段は、フィルタ側に配され、流体を前記フィルタに平行な方向に拡散するための拡散層、および流出側に配され、該拡散層を介してフィルタを支持するための支持層からなることを特徴とする濾過器。【選択図】  図１
2011173054.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体の流入口およびこれに連通する流入室を有する流入ハウジング、
流体の流出口およびこれに連通する流出室を有する流出ハウジング、
ならびに、前記流入室と前記流出室を区画するよう配置されるシート状のフィルタを有する濾過器であって、
前記フィルタの流出側に、フィルタ側の面から流出側の面まで通じる複数の貫通口を有するフィルタ支持手段を配置し、
該フィルタ支持手段は、フィルタ側に配され、流体を前記フィルタに平行な方向に拡散するための拡散層、および流出側に配され、該拡散層を介してフィルタを支持するための支持層からなることを特徴とする濾過器。
【請求項２】
前記拡散層は、少なくとも前記フィルタ支持手段のフィルタ側に複数の凹部を設け、前記凹部はフィルタに平行な方向において連通してなることを特徴とする請求項１に記載の濾過器。
【請求項３】
前記拡散層が、メッシュであることを特徴とする請求項１に記載の濾過器。
【請求項４】
前記フィルタが繊維状の濾材により構成され、前記メッシュを構成する繊維径が、前記フィルタを構成する繊維径より大きいことを特徴とする請求項３に記載の濾過器。
【請求項５】
前記フィルタおよびメッシュがいずれも金属製であることを特徴とする請求項３または４に記載の濾過器。
【請求項６】
塗液を貯蔵する塗液容器とこれに連通する塗布ヘッドを有する塗布装置であって、前記塗液容器と前記塗布ヘッドの間に請求項１〜５のいずれかに記載の濾過器を備えることを特徴とする塗布装置。
【請求項７】
前記塗布ヘッドは、少なくとも１つの吐出開口部を有し、該吐出開口部１つあたりの開口面積が０．０４ｍｍ２以下であることを特徴とする請求項６に記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗液の濾過に適した濾過器、およびこれを備えた塗布装置に関するものであり、特に、プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと略称することもある）、液晶ディスプレイ用カラーフィルター（以下、ＬＣＭと略称することもある）、光学フィルター、プリント基板、集積回路、半導体等の製造に使用されるものであり、また、これらの分野に用いられる塗布装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
様々な方式で多様化するディスプレイの中で注目されているものの一つに、大型で薄型軽量化が可能なプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰという）がある。ＰＤＰは、前面板と背面板の間に形成された放電空間内で放電を生じさせ、この放電によりキセノンガスから波長１４７ｎｍを中心とする紫外線が生じて、この紫外線が蛍光体を励起することによって表示が可能となる。赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）に発光する蛍光体を塗り分けた放電セルを駆動回路によって発光させることにより、フルカラー表示に対応できる。
【０００３】
このＰＤＰにおいて、最近活発に開発が進められている交流（ＡＣ）型プラズマディスプレイは、表示電極／誘電体層／保護層を形成した前面ガラス板と、アドレス電極／誘電体層／リブ層／蛍光体層を形成した背面ガラス板とを貼り合わせ、ストライプ状あるいは格子状の隔壁で仕切られた放電空間内にＨｅ−Ｘｅ、または、Ｎｅ−Ｘｅの混合ガスを封入した構造を有している。Ｒ、Ｇ、Ｂの各蛍光体層は、粉末状の蛍光体粒子を主成分とする蛍光体ペーストが、背面板に形成された色毎に一方向に延びる隔壁、またはこのような隔壁とこれに直交する補助隔壁により形成された凹部に充填されてなる。このような構造のものを高い生産性と高品質で製造するには、蛍光体を一定のパターン状に塗り分ける塗布技術が重要となる。
【０００４】
この蛍光体ペーストの塗布方法として、一般にスクリーン印刷法が用いられているが、近年は塗液の使用効率が高いことや安価で塗布が容易なことから、複数からなる微細な吐出開口部を有する塗布ヘッドを使用し、この塗布ヘッドを背面板と対向させ、相対的に移動させながら、塗液を凹部に充填する方法が提案、検討されている（特許文献１参照）。
【０００５】
この塗布方法が用いられる塗布装置では、濾過器で異物を除去した後のペーストを塗布ヘッドに送り、基板に塗布することが一般に行われる。ペーストにおける異物の具体例としては、ペーストの製造工程や、塗布ヘッドへの送液過程で混入するパーティクル、凝集した蛍光体粒子や、ゲル化したバインダー樹脂などがあげられる。
【０００６】
通常、蛍光体ペーストに限らず、塗液に混入した異物の除去に用いられるフィルタとしては、ポリプロピレン、ポリエチレン、四フッ化エチレン等の樹脂や、樹脂よりもヤング率が高いステンレス繊維を用いた焼結金属をシート状にした焼結フィルタ、またはそのシート状のものをさらにプリーツ状または巻き物状にしたもの、または、ステンレス繊維をシート状に織成したメッシュフィルタなどが挙げられる。
【０００７】
それらの中でも、シート状のフィルタを用いた濾過器は構造が比較的簡単であり、少量の液体であっても濾過することができることから、塗液の濾過に好ましく用いられている。
このような濾過器は、例えば特許文献２に示すような、２つのハウジング部材と、これに挟み込まれるようにフィルタとフィルタを支持するスクリーンを下流側、もしくは、上流側と下流側の両方にフィルタに隣接して配置する構成が一般的となっている。
【０００８】
近年、ＰＤＰをはじめＬＣＭなど激化するディスプレイ業界のシェア競争により、様々な部分でコストダウンが求められている。
【０００９】
コストダウンの手段としては、製造タクトの短縮が非常に有効である。しかし、製造タクトを短縮することは容易ではなく、例えば高粘度である蛍光体ペーストを塗布ヘッドに送液するだけでも非常に長い時間を要してしまい製造タクト短縮の大きな障害となっている。
【００１０】
また高品質な製品を得るためには、異物の除去性能が極めて重要である。また、特許文献１に記載した塗布ヘッドの場合、微細な吐出開口部であるため異物による吐出開口部の詰まりが発生する問題がある。
【００１１】
従って、目開きの大きいフィルタを用い、濾過精度を犠牲にして濾過流量を増やすことができない。よって、目開きの細かいフィルタを用いて濾過精度を維持したまま濾過流量を増やす必要があるが、この場合フィルタ自身の圧力損失が大きいので、濾過流量を増やすことが難しく、送液に要する時間を短縮することができない。よって、製造タクト短縮ができないという問題がある。さらには、高圧力で液送することで濾過流量を増やそうとすると、フィルタが高圧力により変形または破損するという問題がある。
【００１２】
濾過流量を増やすため手段として、例えば、特許文献３に示すように、フィルタを支持するスクリーンの貫通口を段付にする提案がなされている。具体的には、貫通口の供給口側が径大に開口し、他面側が径小に開孔する段付貫通口からなり、フィルタ本体は径大に開口する多孔支持板側に配置されるので、非接触領域が比較的大きく採られることで、フィルタ本体の有効濾過面積が向上し量産性が向上するという手段が開示されている。
【００１３】
しかしながら、特許文献３記載の方法では、フィルタ内部のペーストの流れに着目すると、依然として存在するフィルタと支持板との接触領域の範囲において、フィルタ内部ではペーストがしみこんで濡れてはいるもののペーストが流れていない滞留部を形成することになる。その結果、フィルタ平面上において充分な濾過面積を確保できず、極めて非効率であるため、濾過流量を増やすにも限界があった。
【００１４】
つまり、フィルタ平面上における流体の流れは、流出側に配置したフィルタ支持手段の貫通口にあたる限定された面積しか実質的に流れておらず、フィルタ平面全域の濾過面積を有効活用できていないため、濾過流量を増やせないという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１５】
【特許文献１】特開平１０−２７５４３号公報
【特許文献２】特開２００２−２３３７１０号公報
【特許文献３】特許第３１４４８９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、シート状のフィルタを用いた濾過器であって、フィルタ平面上において充分な濾過面積を確保し、フィルタの濾過精度を低下させることなく濾過流量を増やして送液に要する時間を短縮できる濾過器、およびこれを備えた塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記目的を達成するために、本発明は、
流体の流入口およびこれに連通する流入室を有する流入ハウジング、
流体の流出口およびこれに連通する流出室を有する流出ハウジング、
ならびに、前記流入室と前記流出室を区画するよう配置されるシート状のフィルタを有する濾過器であって、
前記フィルタの流出側に、フィルタ側の面から流出側の面まで通じる複数の貫通口を有するフィルタ支持手段を配置し、
該フィルタ支持手段は、フィルタ側に配され、流体を前記フィルタに平行な方向に拡散するための拡散層、
および流出側に配され、該拡散層を介してフィルタを支持するための支持層からなる
ことを特徴とする濾過器を提供する。
【００１８】
また、前記拡散層は、少なくとも前記フィルタ支持手段のフィルタ側に複数の凹部を設け、前記凹部はフィルタに平行な方向に連通してなることが好ましい。
【００１９】
また、前記拡散層が、メッシュであることが好ましい。
【００２０】
また、前記フィルタが繊維状の濾材により構成され、前記メッシュを構成する繊維径が、前記フィルタを構成する繊維径より大きいことが好ましい。
【００２１】
また、前記フィルタ部およびメッシュがいずれも金属製であることが好ましい。
【００２２】
また、本発明は、塗液を貯蔵する塗液容器とこれに連通する塗布ヘッドを有する塗布装置であって、前記塗液容器と前記塗布ヘッドの間に上述の濾過器を備えることを特徴とする塗布装置を提供する。
【００２３】
また、前記塗布ヘッドは、少なくとも１つの吐出開口部を有し、該吐出開口部１つあたりの開口面積が０．０４ｍｍ２以下であることが好ましい。
【発明の効果】
【００２４】
従来、フィルタ平面上における流体の流れは、流出側に配置したフィルタ支持手段の貫通口にあたる限定された面積しか実質的に流れておらず、フィルタ平面全域の濾過面積を有効活用できていなかった。
【００２５】
一方、本発明によれば、
流体の流入口およびこれに連通する流入室を有する流入ハウジング、流体の流出口およびこれに連通する流出室を有する流出ハウジング、ならびに、前記流入室と前記流出室を区画するよう配置されるシート状のフィルタを有する濾過器であって、前記フィルタの流出側に、複数の貫通口を有するフィルタ支持手段を配置し、該フィルタ支持手段は、フィルタ側に配され、流体を前記フィルタに平行な方向に拡散するための拡散層、および流出側に配され、該拡散層を介してフィルタを支持するための支持層からなるので、貫通口の流入側で流体をフィルタに平行な方向に充分拡散することができる。その結果、拡散層の流入側に配置するフィルタでは、流体がフィルタ平面の略全域を流れることが可能となる。つまり、フィルタの濾過面積を有効活用することが可能となり、フィルタの濾過精度を低下させることなく濾過流量を増やすことができる。
【００２６】
また、前記拡散層は、少なくとも前記フィルタ支持手段のフィルタ側に複数の凹部を設け、前記凹部はフィルタに平行な方向に連通してなることが好ましく、そうすることにより、フィルタに平行な方向に連通した拡散用の空間を形成し、貫通口の流入側で流体をフィルタに平行な方向に充分拡散することができる。その結果、拡散層の流入側に配置するフィルタでは、流体がフィルタ平面の略全域を流れることが可能となる。つまり、フィルタの濾過面積を有効活用することが可能となり、フィルタの濾過精度を低下させること無く濾過流量を増やすことができる。
【００２７】
また、凹部以外でフィルタと接触している部分を介してフィルタを支持層で支持することが可能となるため、高圧力によりフィルタが変形または破損して濾過精度が低下することを抑制できる。
【００２８】
また、前記拡散層はメッシュとすることも好ましい。メッシュとすることにより、フィルタに平行な方向に連通した拡散用の空間を容易に形成し、貫通口の流入側で流体をフィルタに平行な方向に充分することが拡散できる。その結果、拡散層の流入側に配置するフィルタでは、流体がフィルタ平面の略全域を流れることが可能となる。つまり、フィルタの濾過面積を有効活用することが可能となり、フィルタの濾過精度を低下させること無く濾過流量を増やすことができる。また、メッシュを構成する繊維の織り合わさる部分を介してフィルタを支持層で支持することが可能となるため、高圧力によりフィルタが変形または破損して濾過精度が低下することを抑制できる。また、前記メッシュを構成する繊維径が、前記フィルタを構成する繊維径より大きいことが好ましい。メッシュを構成する繊維径を、前記フィルタを構成する繊維径より大きくすることによって、拡散用の空間を適正に設定することができ、良好な拡散性を発現することができる。
【００２９】
また、前記フィルタおよびメッシュは金属製であることが好ましい。金属とすることで、高圧力がかかっても圧縮変形しないことから拡散用の空間が圧縮されず、良好な拡散性を維持することができる。
【００３０】
さらに、塗液を貯蔵する塗液容器とこれに連通する塗布ヘッドを有する塗布装置であって、前記塗液容器と前記塗布ヘッドの間に前記濾過器を備えることにより、濾過制度を維持しながら塗布ヘッドに塗液を供給する際、供給に要する時間を短縮できることから塗布装置の運転タクトタイムを短縮し、製造コストダウンを達成することができる。
【００３１】
また、前記塗布ヘッドは、少なくとも１つの吐出開口部を有し、該吐出開口部１つあたりの開口面積が０．０４ｍｍ２以下であり、前述の濾過器を備えることで異物による吐出開口部のつまりが無く良好な塗布を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の一実施態様に係る濾過器の断面図である。
【図２】本発明の一実施態様に係るフィルタ支持手段の、（ａ）拡大斜視図と、（ｂ）拡大断面図である。
【図３】本発明の他の実施態様に係る好ましいフィルタ支持手段の、（ａ）拡大斜視図と、（ｂ）拡大断面図である。
【図４】本発明のさらに他の一実施態様に係る好ましいフィルタ支持手段の、（ａ）拡大斜視図と、（ｂ）拡大断面図である。
【図５】本発明のさらに他の実施態様に係る他の好ましいフィルタ支持手段の、（ａ）拡大斜視図と、（ｂ）拡大断面図である。
【図６】（ａ）は拡散層を有していない従来のフィルタ支持手段を用いた場合の流れを示した模式図であり、（ｂ）は、本発明のフィルタ支持手段を用いた場合の流れを示した模式図である。
【図７】拡散層を有していない従来のフィルタ支持手段の、（ａ）拡大斜視図と、（ｂ）拡大断面図である。
【図８】本発明の濾過器を備えた塗布装置の概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照して説明する。
但し、本発明はこれに限定させるものではなく、流体を扱う様々な分野において適用することも可能である。
【００３４】
図１に、本発明の一実施態様に係る濾過器の断面図を示す。図１に示す濾過器１は、流入ハウジング６と流出ハウジング７にて、異物を捕捉するシート状のフィルタ８と、これに隣接して配置したプレート状のフィルタ支持手段９を挟み込んで流入室と流出室を区画するようにして構成している。また同時に、液漏れを防止するＯリング１０を、流入ハウジング６、流出ハウジング７、およびフィルタ８に接するよう装着している。流入ハウジング６は、流入口２と流入室４を有する。流入口２は、濾過前の被濾過流体が濾過器１内に流入するための入口であり、流入室４は略円筒形状であり、流入口２と連通し、フィルタ８と接触する。流出ハウジング７は、流出口３と流出室５を有する。流出口３は、濾過後の被濾過流体が濾過器１外に流出するための出口であり、流出室５は略円筒形状であり、流出口３と連通し、フィルタ８と接する。濾過器１の流入口２および流出口３の位置はフィルタ８中央の垂線上にあり、またそれらの向きはフィルタ８と垂直方向になっている。濾過器を設置する向きは、図１に示すように流入口２を下側、流出口を上側にすることで流入室や流出室、またはフィルタ内部やフィルタ支持手段の貫通口などに溜まった気泡が上側（流出側）に浮上しやすくなり、気泡が濾過器から排出されやすので好ましいが、扱う被濾過流体の特性などによってはこの限りではなく、逆向きに設置することも可能である。
【００３５】
流入ハウジング６と流出ハウジング７に挟み込まれるように配置するシート状のフィルタ８として使用可能なものは、ポリプロピレン、ポリエチレン、四フッ化エチレン、グラスファイバー等の樹脂の織布、不織布や、多孔質セラミック、ステンレス繊維を用いた焼結フィルタや線材を織成してなるメッシュフィルタ等があるが、被濾過流体の特性や、濾過器１の使用条件により選定すればよく、ここに示した以外のものを使用してもよい。
【００３６】
図２（ａ）に本発明の一実施態様に係るフィルタ支持手段の拡大斜視図、図２（ｂ）に図２（ａ）のフィルタ支持手段の拡大断面図を示す。フィルタ８は複数のフィルタを積層して使用することができ、被濾過流体の特性や、濾過器１の使用条件により選定すればよく、例えば図２のように焼結フィルタ１１とメッシュフィルタ１２の組み合わせや、異なる目開きのメッシュフィルタを複数積層してもよい。また、フィルタ８の濾過精度は、被濾過流体より除去したい異物の粒径により選定すればよく、特に制限はない。
【００３７】
図１に示す濾過器１において、被濾過流体が濾過器１に流入してから流出するまでのおおまかな流れを説明する。図８は、本発明の濾過器を備えた塗布装置の概略構成図である。図８において被濾過流体を貯蔵する容器６２は、その上部に空間部を有している。容器６２内における配管は、容器６２の底部近傍まで延長されており被濾過流体の液中に漬かっている。容器６２の被濾過流体は、容器６２の上部の空間部に圧力を加えることで送液され、図１に示す濾過器１の流入口２より流入した後、流入室４内に充満してフィルタ８と接触する。そして、フィルタ８を通過するときに、フィルタ８にて異物が除去される。異物除去後の被濾過流体は、フィルタ支持手段９の貫通口を通過し、流出室５内に充満した後に流出口３に流れ、流出口３を通じて濾過器１より流出する。
【００３８】
送液の圧力は、１ＭＰａ以下であることが好ましい。これを超えると、濾過器１や容器６２、開閉バルブ６９等付随する設備の耐圧を向上させるために大型化する必要が生じることがあり、高価なものとなる場合が多い。より好ましくは、０．５ＭＰａ以下であり、このようにすることで一般的な圧力設計で対応が可能となる。また、送液の際、流出側を負圧にすることで濾過器１内に溜まる気泡を効率よく排出できる場合もあり、その場合は流入側との圧力差が１ＭＰａ以下になるよう設定すればよい。
【００３９】
図１に示す濾過器１には、フィルタ８に隣接して、多数の貫通口を設けたプレート状のフィルタ支持手段９を配置している。これは送液の際、フィルタ８にかかる圧力でフィルタ８自身が変形するのを防ぐものである。よって、圧力に耐えうる強度を維持できるのであればその材質や形状は特に制限は無く、材質は樹脂、セラミックまたは、チタンやステンレス等の金属から選定してもよいし、形状としては多数の棒状部材により構成した支持部材であってもよいが、製作のしやすさやコストを考慮すると、ステンレスなどの金属からなるプレート状のフィルタ支持手段であることが好ましい。
【００４０】
フィルタ支持手段９の厚みや貫通口の大きさ、および貫通口の開口率は、付与する圧力やフィルタ支持手段９の許容できる変形量、濾過流量の兼ね合いにより適宜決定すればよい。なお、開口率は、開口面積／（開口面積＋非開口部面積）により求められる値である。一般的には、厚みを０．１〜１０ｍｍ、貫通口１３を直径０．１〜１０ｍｍ、開口率１０〜８０％の範囲からなるよう構成することが多く、このようにすることで濾過器１やフィルタ８の大きさ、取り回しの容易さ、コストの面で好ましい。
【００４１】
図２に示す例においてフィルタ支持手段９は、プレート状であり複数の丸穴形状の貫通口１３を有している。フィルタ支持手段９は、フィルタ側に配され、被濾過流体をフィルタに平行な方向に拡散するための拡散層１４と、流出側に配され、拡散層１４を介してフィルタ８を支持するための支持層１５からなる。
【００４２】
拡散層１４はフィルタ支持手段９のフィルタ側の面に位置し、複数の凹部１６が形成されており、それぞれの凹部１６がフィルタに平行な方向において互いに連通されているので、被濾過流体は凹部１６に沿ってフィルタに平行な方向に充分拡散し、その後、貫通口１３に到達し、流出室５へと流れる。
【００４３】
貫通口１３は、丸穴以外の形状であってもよく小判形や四角形など被濾過流体がスムーズに流れる形状であればいかなる形状であっても良い。また、濾過流量を増やすために、拡散層１４側における貫通口１３の合計開口面積は、大きいことが好ましい。
【００４４】
なお、フィルタ８は拡散層１４に形成される複数の接触領域１７と接触することで、流出側に位置する支持層１５からフィルタ８を支持し、送液による圧力を受けてフィルタ８が変形することを防止している。接触領域１７の数や形状は特に限定されるものではないが、接触領域１７が大きすぎると、フィルタ８内部ではペーストがしみこんで濡れてはいるもののペーストが流れていない滞留部を形成することにつながるので、小さい接触領域１７を多数設けることが好ましい。
【００４５】
凹部１６は、貫通口１３の中心を基準として任意の角度で放射線状に配置し、貫通口１３と連通した溝状として形成している。凹部１６の深さと幅は、被濾過流体がスムーズに流れるような大きさであれば特に制限はない。被濾過流体の特性などにより適宜決定すればよいが、フィルタ８の圧力損失よりも小さい圧力損失となるように設計することが好ましく、目安としては、例えば、拡散層１４に平行な方向における凹部１６の合計面積はフィルタ８の開口面積と少なくとも略同等、凹部１６の深さは、少なくともフィルタ８を構成する繊維径および／または、フィルタ８の厚みのいずれか一方より大きくすることが好ましい。
【００４６】
なお、フィルタ８が複数枚積層されたもので構成されている場合は、フィルタ８のうち最も拡散層１４側に位置するメッシュフィルタ１２を上記目安に当てはめて考えることが好ましい。なお、凹部１６の深さと幅の最大値はフィルタ支持手段９の強度を確保できる範囲であれば特に制限はない。
【００４７】
また、凹部１６を含めフィルタ支持手段９はエッチングで製作すると微細な形状を容易に形成できるので好ましい。また、拡散層１４と支持層１５を別々に製作し、拡散接合でそれぞれを接合して製作することも可能である。
【００４８】
図３（ａ）に、本発明の他の実施態様に係るフィルタ支持手段の拡大斜視図、図３（ｂ）に図３（ａ）のフィルタ支持手段の拡大断面図を示す。貫通口１３は図３に示すように流入側において貫通口１３の径を大きくしたすり鉢状としてもよい。このようにすることで、接触領域１７をさらに小さくすることができると同時に流れもスムーズとなる。貫通口１３は、丸穴以外の形状であってもよく小判形や四角形など被濾過流体がスムーズに流れる形状であればいかなる形状であっても良い。また、濾過流量を増やすために、拡散層１４に平行な方向における貫通口１３の合計開口面積は、大きいことが好ましい。
【００４９】
なお、フィルタ８は拡散層１４に形成される複数の接触領域１７と接触することで、流出側に位置する支持層１５からフィルタ８を支持し、送液による圧力を受けてフィルタ８が変形することを防止している。接触領域１７の数や形状は特に限定されるものではないが、接触領域１７が大きすぎると、フィルタ８内部ではペーストがしみこんで濡れてはいるもののペーストが流れていない滞留部を形成することにつながるので、小さい接触領域１７のものを多数設けることが好ましい。
【００５０】
凹部１６は、貫通口１３の中心を基準として任意の角度で放射線状に配置し、貫通口１３と連通した溝状として形成している。凹部１６の深さと幅は、被濾過流体がスムーズに流れるような大きさであれば特に制限はない。被濾過流体の特性などにより適宜決定すればよいが、フィルタ８の圧力損失よりも小さい圧力損失となるように設計することが好ましく、目安として、例えば、拡散層１４に平行な方向における凹部１６の合計面積はフィルタ８の開口面積と少なくとも略同等、凹部１６の深さは、少なくともフィルタ８を構成する繊維径および／または、フィルタの厚みのいずれか一方より大きくすることが好ましい。
【００５１】
なお、フィルタ８が複数枚積層されたもので構成されている場合は、フィルタ８のうち最も拡散層１４側に位置するメッシュフィルタ１２を上記目安に当てはめて考えることが好ましい。なお、凹部１６の深さと幅の最大値はフィルタ支持手段９の強度を確保できる範囲であれば特に制限はない。
【００５２】
また、凹部１６を含めフィルタ支持手段９はエッチングで製作すると微細な形状を容易に形成できるので好ましい。また、拡散層１４と支持層１５を別々に製作し、拡散接合でそれぞれを接合して製作することも可能である。
【００５３】
次に本発明の濾過器に配置するフィルタ支持手段のさらに他の好ましい形態について説明する。図４（ａ）に、本発明のさらに他の実施態様に係るフィルタ支持手段の拡大斜視図、図４（ｂ）に図４（ａ）のフィルタ支持手段の拡大断面図を示す。
【００５４】
図４においてフィルタ支持手段９は、プレート状であり複数の丸穴形状の貫通口１３を有している。貫通口１３は、丸穴以外の形状であってもよく小判形や四角形など被濾過流体がスムーズに流れる形状であればいかなる形状であっても良い。また、濾過流量を増やすために、拡散層１４に平行な方向における貫通口１３の合計開口面積は、より大きくすることが好ましい。
【００５５】
フィルタ支持手段は、被濾過流体をフィルタに平行な方向に拡散するための拡散層１４と拡散層１４を介してフィルタを支持するための支持層１５からなる。拡散層１４はフィルタ支持手段のフィルタ側の面に位置し、複数の凹部１６が形成されており、それぞれの凹部１６がフィルタに平行な方向において互いに連通されているので、被濾過流体は凹部１６に沿ってフィルタに平行な方向に充分拡散し、その後、貫通口１３に到達し、支持層１５の貫通口１３を通過して流出室へと流れる。
【００５６】
なお、フィルタは拡散層１４に形成される複数の接触領域１７と接触することで、流出側に位置する支持層１５からフィルタを支持し、送液による圧力を受けてフィルタが変形することを防止している。接触領域１７の数や形状は特に限定されるものではないが、フィルタ内部の流れや送液によるフィルタの変形を考慮すると、小さい接触領域１７のものを多数設けることが好ましい。
【００５７】
図４に示す例において、凹部１６は、複数の溝を格子状に配置したものであり、貫通口１３と連通している。凹部１６の深さと幅は、被濾過流体がスムーズに流れるような大きさであれば特に制限はない。被濾過流体の特性などにより適宜決定すればよいが、流入側のフィルタの圧力損失よりも小さい圧力損失となるように設計することが好ましく、目安として、例えば、拡散層１４に平行な方向における凹部１６の合計面積はフィルタの開口面積と少なくとも略同等、凹部１６の深さは、少なくともフィルタを構成する繊維径および／または、フィルタの厚みのいずれか一方より大きくすることが好ましい。なお、フィルタ８が複数枚積層されたもので構成されている場合は、フィルタ８のうち最も拡散層１４側に位置するメッシュフィルタ１２を上記目安に当てはめて考えることが好ましい。また、凹部１６の深さの最大値はフィルタ支持手段の強度を確保できる範囲であれば特に制限はない。
【００５８】
また、凹部１６を含めフィルタ支持手段はエッチングで製作すると微細な形状を容易に形成できるので好ましい。また、拡散層１４と支持層１５を別々に製作し、拡散接合でそれぞれを接合して製作することも可能である。
【００５９】
本発明の濾過器に配置するフィルタ支持手段のさらに他の好ましい形態について説明する。
【００６０】
図５（ａ）に、本発明のさらに他の実施態様に係るフィルタ支持手段の拡大斜視図、図５（ｂ）に図５（ａ）のフィルタ支持手段の拡大断面図を示す。
【００６１】
図５においてフィルタ支持手段は、プレート状であり複数の丸穴形状の貫通口１３を有した支持層１５と、被濾過流体をフィルタに平行な方向に拡散するためのメッシュ１９からなる拡散層１４で構成されており、メッシュ１９からなる拡散層１４はフィルタ支持手段９のフィルタ側に位置する。
【００６２】
メッシュ１９は、線材を織成して形成されるものであり、その構造から、線材が折り合わさる部分をフィルタとの接触領域１７とすることができ、目開き８１部分ならびに線材が折り合わさっていない空間部８２をフィルタに平行な方向に連通した空間として機能させることができる。
【００６３】
メッシュ１９の材質は、金属や樹脂などを用いることができ、特に限定されるものではないが送液の際、圧力によって空間が圧縮されないようにステンレスなどの金属を用いて剛性を高くすることが好ましい。
【００６４】
また、メッシュ１９の織成形態としては、フィルタに平行な方向に連通した空間を形成できるのであれば、平織、綾織、平畳織、綾畳織など様々な織成形態を選定することができる。
【００６５】
拡散層１４は、目開き部分８１および線材が折り合わさっていない空間部８２がフィルタに平行な方向に連通しているので被濾過流体はこの連通した空間部８２に沿ってフィルタに平行な方向に充分拡散し、その後、支持層１５の貫通口１３を通過して流出室５へと流れる。
【００６６】
貫通口１３は、丸穴以外の形状であってもよく小判型や四角など被濾過流体がスムーズに流れる形状であればいかなる形状であっても良い。
【００６７】
なお、フィルタ８はメッシュ１９の線材が折り合わさる部分である複数の接触領域１７と接触することで、流出側に位置する支持層１５からフィルタ８を支持し、送液による圧力を受けてフィルタ８が変形することを防止している。接触領域１７の数や形状は、メッシュ１９を構成する繊維径と適用する目開き、織成形態により一義的に決定される。
接触領域１７は、フィルタ内部の流れや送液によるフィルタ８の変形を考慮すると、小さい接触領域１７のものを多数設けることが好ましい。フィルタ８内部のペーストの流れに着目すると、例えば接触領域１７が大きい場合、接触領域１７の範囲において、フィルタ８内部ではペーストがしみこんで濡れてはいるもののペーストが流れていない滞留部を形成することになる。その結果、フィルタ平面上において充分な濾過面積を確保できず、極めて非効率であるため、濾過流量を増やすにも限界があるわけであるが、メッシュ１９のように線材を適用することで接触領域１７を略線接触とすることができ、極めて小さくできることでフィルタ平面全域の濾過面積を有効活用でき、その結果、滞留部はほとんど形成されない。よって、滞留部で発生しやすいペーストの凝集がなくなりフィルタの濾過能力低下やフィルタの寿命低下を防止できる。
【００６８】
また、メッシュ１９は、切削などの機械加工によって拡散層１４を得るものではなく、線材を織成するため、メッシュ１９を構成する線材の繊維径および目開きを適宜決定することで、容易に空間部８２を有する拡散層１４を得ることができる点で好ましい。以上の観点から、繊維径の小さいメッシュを適用すれば、接触領域１７を小さくできる。しかし、繊維径が小さすぎると拡散層１４の空間部も小さくなることで圧力損失が大きくなり、被濾過流体が空間部８２に沿って流れにくくなることで充分拡散しない場合がある。したがって、メッシュ１９は、フィルタ８の圧力損失よりも小さい圧力損失となるよう設計することが好ましく、目安としては、例えば、メッシュ１９の繊維径は、フィルタ８を構成する繊維径および／または、フィルタ８の厚みの少なくともいずれか一方より大きくすることが好ましい。例えばメッシュ１９の繊維径がメッシュフィルタ１２を構成する繊維径より大きいと、メッシュフィルタ１２より大きな空間部８２を得ることができることから圧力損失が小さくなり、被濾過流体がメッシュ１９の空間部８２を容易に流れて充分拡散することが可能となる。また、メッシュ１９の厚みがフィルタ８の厚みより大きいと、同様にメッシュフィルタ１２より大きな空間部８２を得ることができることから圧力損失が小さくなり、被濾過流体がメッシュ１９の空間部８２を容易に流れて充分拡散することが可能となる。メッシュ１９の目開き８1は、大きすぎると送液による圧力でフィルタ８が変形し、メッシュ１９の目開き８１部分にフィルタ８が落ち込み、その結果フィルタ８が局所的に伸ばされ、フィルタ８自身の目開きが開き濾過精度の悪化から異物がすり抜け製品上に塗布される欠点を招く場合がある。
【００６９】
また、図８に示す塗布ヘッド６５の吐出開口部６６が、例えば０．０４ｍｍ２と小さい場合は、すり抜けた異物が吐出開口部６６を塞ぐ可能性もある。よって、フィルタ８が送液による圧力で変形して落ち込まない範囲でメッシュ１９の目開き８１を決定することが好ましく、例えば目開き８１の一つ分について、目開き８１の距離でフィルタ８を両端支持すると仮定し、フィルタ８の厚みやヤング率、許容するフィルタ８の変形量（撓み量）、送液の圧力値などから撓み計算を行い、メッシュ１９の目開き８１のおよその値を決定することが可能である。
【００７０】
また、図５（ｂ）に示すとおり、メッシュ１９は支持層１５の貫通口１３の部分でフィルタ８を支持する役割も備えており、フィルタ８が貫通口１３へ落ち込むのを防いでいる。よって、メッシュ１９の目開き８１は、最大でも貫通口１３の大きさより小さくすることで貫通口１３の部分でもフィルタ８を支持できるようにすることが好ましく、フィルタ８の目開きを抑制できるので好ましい。また、メッシュ１９の開口面積は、被濾過流体がスムーズに流れるよう、フィルタの開口面積と少なくとも略同等であることが好ましい。なお、フィルタ８が複数枚積層されたもので構成されている場合は、フィルタ８のうち拡散層１４側に位置するメッシュフィルタ１２を上記目安に当てはめて考えることが好ましい。
【００７１】
また、メッシュ１９の織成形態について、平織もしくは綾織は、平畳織や綾畳織より、空間部が大きく取れる場合があるので好ましい。
【００７２】
また、被濾過流体の特性などによっては、メッシュ１９を複数枚積層した拡散層１４として、空間部を稼いで圧力損失を下げることが可能な場合もある。
【００７３】
なお、フィルタ８については、異物を除去する役割があることから焼結フィルタ１１または、メッシュフィルタ１２は基本的に目開きの細かいものを積層して用いる場合が多い。しかし、除去したい異物の大きさや、被濾過流体の特性などによっては、例えば前述した好ましい範囲でメッシュフィルタ１２を選定し、拡散層１４の役割を果せることも可能な場合がある。
【００７４】
なお、フィルタ支持層１５の厚みは送液による耐圧強度を確保できる範囲であれば特に制限はないが、一般的には厚くし過ぎると貫通口１３で圧力損失が大きくなることから、耐圧強度を確保できる範囲で薄くする方が良い場合が多い。また、支持層１５はエッチングで製作すると微細な形状を容易に形成できるので好ましい。
【００７５】
以上より、例えばフィルタ８として、繊維径直径０．０２５ｍｍ、目開き０．０２５８ｍｍ、開口率２５．６％の＃５００メッシュフィルタを用い、支持層１５の貫通口１３を直径３ｍｍの丸穴とした場合、メッシュ１９は直径０．１４ｍｍ、目開き０．２８３ｍｍ、開口率４４．８％の＃６０メッシュを用いることができる。
【００７６】
なお、メッシュ１９を構成する繊維の断面形状は、略円形状であったり略角形状や幾何学形状のいずれであってもよく、その場合、繊維径は断面形状に外接する円の直径で判断すれば良い。また、メッシュ１９は焼結されていてもよく、この場合、織り合わさった部分が強固に接合されるので、変形がおきにくい。
【００７７】
また、メッシュ１９と支持層１５を焼結させてもよい。同様に強固に接合されるし、取り扱いも容易となる場合がある。この場合、フィルタ８も一緒に焼結させておくことも可能である。また、例えばより高い洗浄度を求めるならば、メッシュ１９と支持層１５、フィルタ８は焼結等させずに個別に取り扱う方が好ましい場合がある。例えば、これらを焼結した場合、焼結の際、周囲の環境によっては異物が付着する危険がある。そのまま、焼結を行うと、各部材間で異物が挟み込まれてしまう。そして、いったい焼結構成されたものを使用前に洗浄したとしても異物が落ちにくいし、またそれが使用中に突発的に排出される恐れもある。よって、フィルタ８、メッシュ１９、支持層１５を個別に洗浄して付着異物を落とし、高いクリーン度の環境でハウジング内に組み合わせることで異物付着の無い良好なフィルタシステムを提供することが可能となる場合がある。また、メッシュ１９については使用後、洗浄を行い再利用しても良いし、使い捨てしてもよい。
【００７８】
次に、被濾過流体の流れについて説明する。図６（ａ）は、例えば拡散層を有していないフィルタ支持手段を用いた場合の流れを示した模式図である。図６（ｂ）は、本発明の濾過器に配置するフィルタ支持手段の他の好ましい形態である図５のフィルタ支持手段を用いた場合の流れを示した模式図である。
【００７９】
拡散層を有していない従来のフィルタ支持手段を用いた場合の流れを示した模式図である図６（ａ）においては、拡散層が無いため、フィルタ８に流入してくる被濾過流体は、流線８３に示すとおり、フィルタ平面全域の濾過面積を通過することができない。つまり、接触領域１７の範囲において、フィルタ８内部では被濾過流体がしみこんで濡れてはいるものの流れていない滞留部を形成することになる。その結果、フィルタ平面上において十分な濾過面積を確保できず、濾過流量を増やすことが困難であることがわかる。また、送液による圧力がフィルタ８にかかると、接触領域１７ではフィルタ８の変形が生じないが、例えば貫通口１３が極めて大きいと、フィルタ８が圧力により貫通口１３に落ち込み、フィルタ８の目開きが開くという欠点がある。
【００８０】
本発明のフィルタ支持手段を用いた場合の流れを示した模式図である図６（ｂ）においては、配置した拡散層１４があるので、被濾過流体が拡散層１４に平行な方向に拡散できるのでフィルタ８に流入してくる被濾過流体は、流線８３に示すとおり、フィルタ平面全域の濾過面積を通過することができるので、容易に濾過流量を増やすことができる。また、送液による圧力がフィルタ８にかかっても、メッシュ１９の接触領域１７を支持層１５で支持しているためフィルタ８の変形が生じない。また、貫通口１３においては、例えば貫通口１３が極めて大きい場合でも、メッシュ１９が存在するため、貫通口１３部分でもフィルタ８を支持でき、落ち込みが発生しない。
【００８１】
次に図１〜５に示した濾過器１の形状について説明する。濾過器１は、流入ハウジング６が有する流入室４内には第１の支持保持具２０を、流出ハウジング７が有する流出室５内には第２の支持保持具２５を具備していてもよい。
【００８２】
ここで、流入室４および流出室５がフィルタ８と接するフィルタの領域を有効濾過領域とする。流入室４は、図１に示す濾過器１においては略円筒形状であるが、流入口２から流入した被濾過流体が滞留することなく流れ、かつフィルタ８の有効濾過領域まで円滑に拡げられるような形状であれば良い。例えば、流入口２から濾過有効領域にむかって徐々に拡がるような略円錐台状であってもよく、図１に示すような限りではない。ここで、有効濾過領域とは、濾過器１内で、被濾過流体を濾過することのできる領域を指し、フィルタ８の流入ハウジング６と流出ハウジング７に挟み込まれている部分は含まない。そのため、流入室４と流出室５とで、フィルタ８と接するフィルタの領域が異なる場合、それらの接するフィルタ８の領域の小さいほうの領域が有効濾過領域となる。しかし、この場合、被濾過流体は流入室４内または流出室５内で滞留する可能性があるため、流入室４および流出室５がフィルタ８と接触するフィルタ８の領域は略同一であることが好ましい。なお、被濾過流体とは、濾過の対象となる流体のことであり、例えば、塗液や血液、汚泥等のことであるが、これに限られたものではない。
【００８３】
流出室５は、図１に示す濾過器１においては略円筒形状であるが、フィルタ８を通過した直後の有効濾過領域にある被濾過流体が滞留することなく流れ、かつ流出口３に向かって円滑に狭められるような形状であれば良い。例えば、濾過有効領域から流出口３にむかって徐々に狭まるような略円錐台状であってもよく、図１に示すような限りではない。
【００８４】
流入口２および流出口３の位置や向きは、濾過器１への他の機器や配管との接続によりいずれであっても構わないが、被濾過流体が滞留しないようにすることが良い。例えば、流入室４や流出室５が略円錐台状である場合、流入口２や流出口３は、流入室４や流出室５のフィルタ８と最も離れた位置に連通することが好ましいが、ここに示す限りではない。
【００８５】
濾過器１は、液漏れを防止するためにＯリング１０を使用している。このような液漏れ防止用のＯリングには、例えば、ニトリルゴム、フッ素ゴム、シリコンゴム、アクリルゴムなどの材質が使用されるが、被濾過流体の特性や、濾過器１の使用条件により選定すればよく、ここに示した以外のものを使用してもよい。また、濾過器１は、液漏れ防止用にＯリング１０を用いているが、漏れを防止することが可能であれば、他の液漏れ防止材や、封止材などを用いてもよく、特に制限はない。
【００８６】
次に、本発明に係る濾過器を備えた塗布装置について、図面を参照して説明する。図８は、本発明の濾過器を備えた塗布装置の概略構成図である。図８に示す塗布装置は、たとえば、プラズマディスプレイパネル用部材における蛍光体塗布工程に特に好ましく適用することができるものである。すなわち、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３種類のいずれかの色に発光する蛍光体粉末を含む蛍光体ペーストをプラズマディスプレイパネル用の凹凸基板に塗布する際に好適に用いることができる。
【００８７】
図８に示す塗布装置６０は、本発明に係る濾過器１と、蛍光体ペーストなどの塗液を貯蔵する塗液容器６２と、基板６３を固定するテーブル６４と、基板６３に塗液６１を塗布する塗布ヘッド６５と、テーブル６４と塗布ヘッド６５とを３次元的に相対移動させる移動手段（図示しない）とを備える。
【００８８】
塗布する基板がプラズマディスプレイの背面板の場合、塗布ヘッドは、基板上に形成された所望の全ての溝に対して１回、または複数回の塗布動作で塗布を完了するために、吐出開口部が略一直線状に配列して設けられていることが好ましい。プラズマディスプレイの背面板の場合、Ｒ、Ｇ、Ｂいずれか１色の蛍光体粉末を含んだ塗液を塗布することが好ましく、その場合、塗布ヘッドには塗布回数と、塗布する溝に対応した数、ピッチで吐出開口部６６が設けられる。
【００８９】
吐出開口部６６の形状は特に限定されるものではなく、凹凸基板に安定して塗布できるのであれば丸穴形状や長穴形状などであってもよい。なお、プラズマディスプレイパネル用の凹凸基板の場合、溝の寸法や溝に充填する蛍光体ペーストの量を考慮すると、吐出開口部６６の１つあたりの開口面積が０．０４ｍｍ２以下であることが好ましい。
【００９０】
塗布ヘッド６５は内部に塗液６１を溜めるマニホールド部６７を有し、塗液６１を供給するための配管６８が接続され、この配管６８の反対側先には、本発明に係る濾過器１、および塗液の供給をコントロールする開閉バルブ６９を介して塗液容器６２が接続される。また、塗布ヘッド６５には、吐出開口部６６から塗液６１を吐出させるための加圧気体を供給する配管７０が接続され、この配管７０の反対側先は加圧気体の切換バルブ７１を介して、一方は所望圧力の加圧気体源７３に接続され、他の一方は大気に開放されている。
【００９１】
塗液容器６２には、塗布ヘッド６５に塗液６１を供給するための加圧気体を供給する配管７０が接続され、この配管７０の反対側先は加圧気体の切換バルブ７２を介して、一方は所望圧力の加圧気体源７３に接続され、他の一方は大気に開放されている。
【００９２】
図８に示す塗布装置６０において、塗布ヘッド６５への塗液供給は、切換バルブ７１を大気開放にした状態で切換バルブ７２を加圧気体源７３に接続して塗液容器６２内を加圧し、開閉バルブ６９を開くことにより行われる。塗液容器６２より流れ出た塗液は、配管６８を通じて濾過器１内に流入し、捕捉したい異物の粒径に応じて選定されたフィルタ８により、異物が除去される。このとき、図２〜図５に示した本発明に係る濾過器内では、フィルタ平面全域にわたって流入した塗液が流出側に流れる。そして、拡散層１４では空間部がフィルタに平行な方向に連通しているので被濾過流体はこの連通した空間部に沿ってフィルタに平行な方向に充分拡散し、その後、貫通口１３に到達して流出室５へと流れる。したがって、フィルタ８内部は、塗液の滞留なくフィルタ平面全域の濾過面積を有効活用することが可能となる。
【００９３】
また、フィルタ８は複数の接触領域１７と接触することで、流出側に位置する支持層１５からフィルタを支持し、送液による圧力を受けてフィルタ８が変形することを防止できる。そして、濾過器１を流出した塗液は、塗布ヘッド６５内に、塗布ヘッド６５のマニホールド部６７上部に空間を残す形で所定量が貯えられる。
【００９４】
塗布装置６０において、塗液６１の塗布は、塗液容器６２から塗布ヘッド６５のマニホールド部６７内に塗液６１を所定の量に達するまで供給した後に、塗布ヘッド６５の下方で基板６３を積載したテーブル６４を所定の方向に移動、または基板６３の上方で、塗布ヘッド６５を所定の方向に移動させて、その間に、塗布ヘッド６５から塗液６１を吐出し、基板６３上に塗液６１を塗布する。
【００９５】
塗液６１の吐出および停止は、開閉バルブ６９を閉じた状態で切換バルブ７１を加圧気体源７３に切り換えて、マニホールド部６７上部の空間に加圧気体を供給することにより行われる。
【００９６】
なお通常、ＰＤＰ蛍光体塗布工程に用いられる蛍光体ペーストは、数千〜十数万ｍＰａ・ｓと、非常に高粘度であるが、そのような高粘度の塗液を使用しても問題はない。
【００９７】
以上のように、本発明に係る濾過器、およびこれを備えた塗布装置は、フィルタ平面上において充分な濾過面積を確保し、フィルタの濾過精度を低下させることなく容易に濾過流量を増やして送液に要する時間を短縮できる。
【実施例】
【００９８】
次に、本発明の実施の形態に従って、プラズマディスプレイ背面版に塗液を塗布した場合の実施例を示す。
【００９９】
実施例１
被塗布材は、サイズ９９０×６００ｍｍ、被塗布材面には高さ０．１２ｍｍで頂部の幅０．０５ｍｍのリブが、ピッチ０．３ｍｍ（溝幅０．２５ｍｍ）で３０９７本形成されたものを用いた。また、塗液は粘度５０Ｐａ・ｓの赤色の蛍光体粉末を含む蛍光体ペーストを使用した。
【０１００】
本発明の塗布装置として、図８に示す塗布装置６０、塗布ヘッド６５（ステンレス製のもの）を用いた。塗布ヘッド６５は、孔径０．１ｍｍ（開口面積０．００７８５ｍｍ２）の貫通口が１０３０個、略一直線上に配置された吐出開口部６６を有している。
【０１０１】
濾過器１は、図１に示す形状を有するものを用い、フィルタ８やフィルタ支持手段９は図２に示すものを用いた。流入室４は略円筒形状であって、内径１２２ｍｍ、高さ１３ｍｍであり、流出室５は略円筒形状であって、内径１２２ｍｍ、高さ８．５ｍｍであった。なお、流入室４および流出室５の内面は平滑であり、略円筒形状の端部は滑らかに湾曲している。流入口２および流出口３は、内径１５ｍｍである。また、流入ハウジング６および流出ハウジング７の材料は、ＳＵＳ３０４である。これに挟み込まれるフィルタ８は、積層構成とし、材料がＳＵＳ３１６の焼結フィルタ１１で、直径１４１ｍｍ、濾過精度０．０４ｍｍを流入側に、線径０．０２５ｍｍ、目開き０．０２５８ｍｍの＃５００メッシュフィルタ１２を流出側に配置し、焼結フィルタ１１の脱落繊維を補足するよう構成した。
また、フィルタ８はそれぞれを焼結せずに個別に超音波洗浄し、個々の洗浄度を上げたものをクリーンルーム内で組み付けた。
また、フィルタ８に隣接するフィルタ支持手段９は、厚さ０．５ｍｍ、孔径３ｍｍの孔が４ｍｍピッチ千鳥配置、多数開口し開口率約５０％となるようにし、その材料はＳＵＳ３０４である。さらに、Ｏリング１０は、ＪＩＳ  Ｂ２４０１（２００５年度）の呼び番号Ｐ１３２で、材料はシリコンである。
フィルタ支持手段９においては、拡散層１４として０．２５ｍｍの厚みを利用する。
つまり、凹部１６の深さが０．２５ｍｍとした。また凹部１６の幅は０．３ｍｍとし、貫通口１３を中心として４５°ピッチで８箇所形成した。結果として、拡散層１４では凹部１６と貫通口１３が連通した状態となる。製作はエッチングにて行った。
【０１０２】
塗液の塗布はまず、塗布ヘッド６５に塗液を供給する。塗液の供給は、０．４５ＭＰａの圧力をかけた塗液容器６２から送り出されて、開いた開閉バルブ６９を通過し、濾過器１で異物を除去した塗液が、塗布ヘッド６５のマニホールド部６７内に吐出開口部６６からの液面高さが２５ｍｍになるまで行う。それから、開閉バルブ６９を閉じ、塗布ヘッド６５内に０．７ＭＰａの圧力を付与することで、塗布ヘッド６５から塗液６１を吐出して、基板６３に塗布した。これを１０００回繰り返したときの塗液の供給時間を平均したものを表１に示す。塗液の供給時間は平均６．４ｓｅｃであった。吐出開口部６６は異物により１孔も詰まることなく、また、塗布後の基板６３に異物が混入することもなく塗布できた。
【０１０３】
この蛍光体ペーストを塗布した基板６３を乾燥すると、隔壁により形成された凹部に蛍光体層が形成され、プラズマディスプレイ背面板が完成した。
【０１０４】
この塗布工程で供給に許される時間は７．０ｓｅｃ以下であり、充分目標を達成できることを確認した。
【０１０５】
実施例２
フィルタ支持手段を図４に示す拡散層１４を有する形状とし、それ以外は実施例１と同様にした。
【０１０６】
凹部１６は、複数の溝を格子状に配置したものであり、貫通口１３と連通している。凹部１６の深さは０．２５ｍｍとした。また凹部１６の幅は０．３ｍｍとして、溝と溝のピッチは０．５ｍｍとした。結果として、拡散層１４では凹部１６と貫通口１３が連通した状態となる。製作はエッチングにて行った。
【０１０７】
結果は、表１に示すとおり６．１ｓｅｃであった。吐出開口部６６は異物により１孔も詰まることなく、また、塗布後の基板６３に異物が混入することもなく塗布することができた。
【０１０８】
この蛍光体ペーストを塗布した基板６３を乾燥すると、隔壁により形成された凹部に蛍光体層が形成され、プラズマディスプレイ背面板が完成した。
【０１０９】
この塗布工程で供給に許される時間は７．０ｓｅｃ以下であり、充分目標を達成できることを確認した。
【０１１０】
実施例３
フィルタ支持手段を図５に示す拡散層１４を有する形状とし、それ以外は実施例１と同様にした。
【０１１１】
拡散層１４として線径０．１４ｍｍ、目開き０．２８３ｍｍ、開口率４４．８％の平織りの＃６０メッシュ、用いた。
【０１１２】
支持層１５は０．５ｍｍの厚さ、孔径３ｍｍの孔が４ｍｍピッチ千鳥配置、多数開口し開口率約５０％となるようにし、その材料はＳＵＳ３０４である。
【０１１３】
線材が織り合わさった部分である接触領域１７を支持層１５が支持することでフィルタ８を支持した。
【０１１４】
結果は、表１に示すとおり６．０ｓｅｃであった。吐出開口部６６は異物により１孔も詰まることなく、また、塗布後の基板６３に異物が混入することもなく塗布することができた。
【０１１５】
この蛍光体ペーストを塗布した基板６３を乾燥すると、隔壁により形成された凹部に蛍光体層が形成され、プラズマディスプレイ背面板が完成した。この塗布工程で供給に許される時間は７．０ｓｅｃ以下であり、充分目標を達成できることを確認した。
【０１１６】
比較例１
従来の濾過器として、フィルタ支持手段９を図７に示す形状とし、それ以外は実施例１と同様にした。拡散層１４は設けず、フィルタ支持手段９のみである。
【０１１７】
フィルタ支持手段９は０．５ｍｍの厚さ、孔径３ｍｍの孔が４ｍｍピッチ千鳥配置、多数開口し開口率約５０％となるようにし、その材料はＳＵＳ３０４である。結果は、表１に示すとおり８．０ｓｅｃも要してしまった。しかし、吐出開口部６６は異物により１孔も詰まることなく、また、塗布後の基板６３に異物が混入することもなく塗布することができた。
【０１１８】
この蛍光体ペーストを塗布した基板６３を乾燥すると、隔壁により形成された凹部１６に蛍光体層が形成され、プラズマディスプレイ背面板が完成した。
【０１１９】
この塗布工程で供給に許される時間は７．０ｓｅｃ以下であり、供給時間が１．０ｓｅｃオーバーしたため、後工程にプラズマディスプレイ背面板を必要数供給することができず、目標未達となった。
【０１２０】
比較例２
従来の濾過器として、フィルタ支持手段９の貫通口１３を特許文献３に記載された段付形状とし、それ以外は実施例１と同様にした。拡散層１４は設けず、フィルタ支持手段９の貫通口１３が大径側の直径５ｍｍ、小径側の直径３ｍｍとした。フィルタ支持手段は０．５ｍｍの厚さ、貫通口１３を４ｍｍピッチ千鳥配置、多数開口し、小径側で開口率約５０％となるようにし、その材料はＳＵＳ３０４である。
果は、表１に示すとおり７．６ｓｅｃも要してしまった。また、塗布後の基板６３に異物が混入していた。
【０１２１】
この蛍光体ペーストを塗布した基板６３を乾燥すると、隔壁により形成された凹部に蛍光体層が形成され、プラズマディスプレイ背面板が完成した。
【０１２２】
この塗布工程で供給に許される時間は７．０ｓｅｃ以下であり、供給時間が０．６ｓｅｃオーバーしたため、後工程にプラズマディスプレイ背面板を必要数供給することができず、目標未達となった。
【０１２３】
大径側を設けて接触領域１７を小さくはしたものの、貫通口１３と貫通口１３の間で塗液が分断されフィルタ平面全域を有効濾過面積として活用できていないことが伺える結果となった。また、混入していた異物を分析すると焼結フィルタ１１の脱落繊維であることが判明した。大径部で脱落繊維補足用＃５００メッシュフィルタが落ち込み目開きしたため、脱落繊維が製品上に塗布されたことが原因であると推定される。
【０１２４】
比較例３
従来の濾過器として、フィルタ支持手段９を図７に示す形状で、貫通口１３を大きくし、それ以外は実施例１と同様にした。拡散層１４は設けず、フィルタ支持手段９のみを用いた。フィルタ支持手段９は０．５ｍｍの厚さ、孔径５ｍｍの孔が４ｍｍピッチ千鳥配置、多数開口し開口率約６２％となるようにし、その材料はＳＵＳ３０４である。
結果は、表１に示すとおり７．４ｓｅｃも要してしまった。また、塗布後の基板６３に異物が混入しており、かつ、吐出開口部６６が２孔詰まっていた。
【０１２５】
この蛍光体ペーストを塗布した基板６３を乾燥すると、隔壁により形成された凹部に蛍光体層が形成され、プラズマディスプレイ背面板が完成した。
【０１２６】
この塗布工程で供給に許される時間は７．０ｓｅｃ以下であり、供給時間が０．４ｓｅｃオーバーしたため、後工程にプラズマディスプレイ背面板を必要数供給することができず、目標未達となった。大径の貫通口１３を設けて接触領域１７を小さくはしたものの、貫通口１３と貫通口１３の間で塗液が分断されフィルタ平面全域を有効濾過面積として活用できていないことが伺える結果となった。
また、混入していた異物と吐出開口部６６を詰まらせていた異物を分析すると焼結フィルタ１１の脱落繊維であることが判明した。
大径部で脱落繊維補足用＃５００メッシュフィルタが落ち込み目開きしたため、脱落繊維が製品上に塗布されたことが原因であると推定される。
【０１２７】
【表１】
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【産業上の利用可能性】
【０１２８】
本発明は、プラズマディスプレイパネルの塗布装置に好適に用いられる他、液晶ディスプレイ用カラーフィルターの塗布装置など、高度な濾過精度が求められる分野に応用することができる。
【符号の説明】
【０１２９】
１    濾過器
２    流入口
３    流出口
４    流入室
５    流出室
６    流入ハウジング
７    流出ハウジング
８    フィルタ
９    フィルタ支持手段
１０    Ｏリング
１１    焼結フィルタ
１２    メッシュフィルタ
１３    貫通口
１４    拡散層
１５    支持層
１６    凹部
１７    接触領域
１９    メッシュ
２０    第１の支持保持具
２５    第２の支持保持具
６０    塗布装置
６１    塗液
６２    容器
６３    基板
６４    テーブル
６５    塗布ヘッド
６６    吐出開口部
６７    マニホールド部
６８    配管
６９    開閉バルブ
７０    配管
７１    切換バルブ
７２    切換バルブ
７３    加圧気体源
８１    目開き部分
８２    空間部
８３    流線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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