(57)【要約】【課題】エンコーダ個体間における検出精度のブレを少なくすること。【解決手段】パターンを有し、測定対象の回転軸部材に固定される回転部と、パターンを検出する検出部を有し、測定対象の非回転部分に固定される本体部と、本体部に設けられ、非回転部分に係止させることで本体部を位置決めする複数の係止部とを備える。【選択図】図１
2011117759.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターンを有し、測定対象の回転軸部材に固定される回転部と、
前記パターンを検出する検出部を有し、前記測定対象の非回転部分に固定される本体部と、
前記本体部に設けられ、前記非回転部分に係止させることで前記本体部を位置決めする複数の係止部と
を備えるエンコーダ。
【請求項２】
前記本体部は、前記回転部を囲う壁部を有し、
前記係止部は、前記壁部に設けられる
請求項１に記載のエンコーダ。
【請求項３】
前記壁部は、前記非回転部分に接触する接触面を有し、
前記係止部は、前記接触面に設けられる
請求項２に記載のエンコーダ。
【請求項４】
前記係止部は、前記本体部と前記非回転部分との間に設けられる介挿部材を介して係止される
請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。
【請求項５】
前記係止部は、第１凹部を有し、
前記非回転部分は、第２凹部を有し、
前記介挿部材は、前記第１凹部と前記第２凹部とに挿入される
請求項４に記載のエンコーダ。
【請求項６】
前記係止部の前記第１凹部は、前記非回転部分の前記第２凹部の配置に応じて形成される
請求項５に記載のエンコーダ。
【請求項７】
駆動機構によって回転駆動される回転軸部材と、
少なくとも前記回転軸部材を支持する支持部材と、
前記回転軸部材及び前記支持部材に取り付けられた、請求項１から請求項６のうちいずれか一項に記載のエンコーダと
を備え、
前記エンコーダのうち、前記回転部は前記回転軸部材に固定され、前記本体部は前記支持部材に固定されている
モータ装置。
【請求項８】
前記本体部に設けられる前記係止部は、第１凹部を有し、
前記支持部材は、前記係止部に対応する第２凹部を有し、
前記第１凹部及び前記第２凹部の両方に亘って挿入され、前記係止部と前記支持部材とを係止させる介挿部材を更に備える
請求項７に記載のモータ装置。
【請求項９】
前記第１凹部及び前記第２凹部は、前記係止部と前記支持部材とが係止された状態において前記検出部による検出位置が前記パターン上に重なるように配置されている
請求項８に記載のモータ装置。
【請求項１０】
パターンを有する回転部を測定対象の回転軸部材に固定する第１固定工程と、
前記パターンを検出する検出部を有する本体部を前記測定対象の非回転部分に固定する第２固定工程と、
前記第２固定工程に先立って、前記本体部に設けられる係止部を前記非回転部分に係止させることで前記本体部の位置決めを行う位置決め工程と
を含むエンコーダの取り付け方法。
【請求項１１】
前記位置決め工程は、前記係止部に設けられる凹部及び前記非回転部分に設けられる第２凹部の両方に亘って介挿部材を挿入することで前記係止部と前記回転軸部材とを係止することを含む
請求項１０に記載のエンコーダの取り付け方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エンコーダ、モータ装置及びエンコーダの取り付け方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
モータの回転軸などを含む回転体の回転数、回転角度、回転位置といった回転情報を検出する装置として、エンコーダが知られている（特許文献１）。エンコーダは、例えばモータの回転軸などに取り付けられて用いられる。エンコーダの具体的構成として、例えば所定の光反射パターン及び磁気パターンが形成された回転部を回転軸と一体的に回転させ、例えば光反射パターンに光を照射して反射光を読み取ると共に、例えば磁気パターンの変化を検出することで、モータの回転軸の回転情報を検出できるようになっている。
【０００３】
上記のような構成のエンコーダにおいては、上記回転部と、例えば反射光や磁気パターンの変化を検出する検出部などを有する本体部とが別々に形成される。このため、エンコーダをモータの回転軸などに取り付ける際には、回転部と本体部とを別々に取り付けるようにしている。この場合、例えば取り付け位置にずれなどが生じると、検出精度が低下してしまう可能性があるため、所定の検出精度が得られるように例えば各部を取り付けた後に回転部と検出部との間で位置調整などを行っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２０５４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記の回転部と検出部との間の位置調整は、作業者のスキルに左右される場合があるため、エンコーダ個体間において検出精度のブレが生じる可能性がある。
【０００６】
上記のような事情に鑑み、本発明は、個体間における検出精度のブレを少なくすることができるエンコーダ、モータ装置及びエンコーダの取り付け方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の態様に従えば、パターンを有し、測定対象の回転軸部材に固定される回転部と、パターンを検出する検出部を有し、測定対象の非回転部分に固定される本体部と、本体部に設けられ、非回転部分に係止させることで本体部を位置決めする複数の係止部とを備えるエンコーダが提供される。
【０００８】
本発明の第２の態様に従えば、駆動機構によって回転駆動される回転軸部材と、少なくとも回転軸部材を支持する支持部材と、回転軸部材及び支持部材に取り付けられた、本発明のエンコーダとを備え、当該エンコーダのうち、回転部は回転軸部材に固定され、本体部は支持部材に固定されているモータ装置が提供される。
【０００９】
本発明の第３の態様に従えば、パターンを有する回転部を測定対象の回転軸部材に固定する第１固定工程と、パターンを検出する検出部を有する本体部を測定対象の非回転部分に固定する第２固定工程と、第２固定工程に先立って、本体部に設けられる係止部を回転軸部材に係止させることで本体部の位置決めを行う位置決め工程とを備えるエンコーダの取り付け方法が提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、エンコーダ個体間における検出精度のブレを少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施の形態に係るエンコーダの構成を示す断面図。
【図２】本実施形態に係るエンコーダの一部の構成を示す平面図。
【図３】本実施形態に係るエンコーダの取り付け工程を示す図。
【図４】本実施形態に係るエンコーダの取り付け工程を示す図。
【図５】本実施形態に係るエンコーダの取り付け工程を示す図。
【図６】本実施形態に係るエンコーダの取り付け工程を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。  
図１は、本実施形態に係るエンコーダＥＣを有するモータ装置ＭＴＲの構成を示す断面図である。  
図１に示すように、エンコーダＥＣは、例えばモータ装置ＭＴＲ（測定対象）の回転軸４０などの回転体の回転数や回転角度、回転位置などの回転情報を検出する装置である。このモータ装置ＭＴＲは、駆動機構４３によって回転駆動される回転軸４０と、当該回転軸４０を支持する非回転部分としての筐体４１と、エンコーダＥＣと筐体４１との間に配置される介挿部材５０とを有している。
【００１３】
本実施形態に係るエンコーダＥＣは、光反射パターンに光を照射して反射光を検出すると共に、磁気パターンによって発生する磁気の変化を検出することで、回転軸４０の回転情報を検出できるようになっている。エンコーダＥＣは、回転部Ｒ及び本体部Ｄを有している。図２は、回転部Ｒ、本体部Ｄ及びモータ装置ＭＴＲの平面視での構成を示す図である。以下、図１及び図２を参照して、エンコーダＥＣの構成を説明する。
【００１４】
なお、以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。具体的には、モータ装置ＭＴＲの回転軸４０の軸方向をＺ軸方向、回転軸４０の軸方向に直交する平面上の所定方向をＸ軸方向、当該平面上においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向とする。また、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸まわりの回転（傾斜）方向をそれぞれ、θＸ、θＹ、及びθＺ方向とする。例えば、回転軸４０の回転方向はθＺ方向である。
【００１５】
回転部Ｒは、モータ装置ＭＴＲの回転軸４０に固定されており、回転軸４０と一体的に回転させる部分である。回転部Ｒは、円盤部材１０及び磁石部材２０を有している。回転部Ｒは、ネジなどの不図示の固定機構によって回転軸４０に一体的に固定されている。
【００１６】
円盤部材１０は、回転軸４０に直接取り付けられる部分である。円盤部材１０は、Ｚ方向視での中心が回転軸４０のＺ方向視での中心に一致するように回転軸４０に取り付けられている。円盤部材１０は、回転軸４０の回転に伴ってθＺ方向に回転するようになっている。円盤部材１０は、例えばＳＵＳなどの剛性の高い材料で構成されており、耐変形性などに優れている。円盤部材１０の構成材料として、他の材料を用いても構わない。
【００１７】
円盤部材１０は、取付部１１及びパターン形成部１２を有している。取付部１１は、例えば円盤部材１０の下面１０ｂ側に突出して設けられている。取付部１１には、平面視中央部に挿入穴１１ａが形成されている。挿入穴１１ａには、上記モータ装置ＭＴＲの回転軸４０が挿入されている。モータ装置ＭＴＲの回転軸４０は、挿入穴１１ａに挿入された状態で、上記の不図示の固定機構などによって固定されている。
【００１８】
パターン形成部１２は、取付部１１の周囲に設けられる円板状の部分である。パターン形成部１２には、光反射パターン１２ａが形成されている。光反射パターン１２ａは、円盤部材１０の上面１０ａのうち、円盤部材１０の外周に沿った円環状の領域に形成されている。光反射パターン１２ａは、例えば所定の波長の光を反射する光反射部材を用いて形成されている。
【００１９】
磁石部材２０は、円環状に形成された永久磁石である。磁石部材２０は、円盤部材１０の上面１０ａに例えば不図示の接着剤などを介して固定されている。磁石部材２０のＺ方向視での中心位置は、回転軸４０及び円盤部材１０のＺ方向視での中心位置に一致している。磁石部材２０には、所定の磁気パターン２０ａが形成されている。
【００２０】
磁石部材２０の磁気パターン２０ａとして、例えば図２に示すように、Ｚ方向視で磁石部材２０の半分の領域（例えば図２の−Ｘ側）について、外周側の領域はＮ極に着磁され、内周側の領域はＳ極に着磁されていると共に、磁石部材２０の他の半分の領域（例えば図２の＋Ｘ側）については、外周側の領域はＳ極に着磁され、内周側の領域はＮ極に着磁されているような構成が挙げられる。勿論、磁気パターン２０ａとして他の形態を採用しても構わない。
【００２１】
本体部Ｄは、モータ装置ＭＴＲの非回転部分である筐体４１に固定されている。本体部Ｄは、検出基板３０、光センサ３１、磁気センサ３２、円筒部材３３及び制御部ＣＯＮＴを有している。
【００２２】
検出基板３０は、例えば平面視円形に形成された板状部材である。検出基板３０は、例えば３つの固定部材５１によって円筒部材３３及びモータ装置ＭＴＲに固定されている。検出基板３０がモータ装置ＭＴＲに固定されているため、回転軸４０が回転しても、検出基板３０とモータ装置ＭＴＲとの間の相対位置は変化しないようになっている。固定部材５１としては、例えばネジなどが用いられる。固定部材５１は、検出基板３０及び円筒部材３３を貫通してモータ装置ＭＴＲの＋Ｚ側の面にくい込むように取り付けられている。
【００２３】
光センサ３１は、例えばＺ方向視で光反射パターン１２ａ（光学パターン）に重なる位置に配置されている。光センサ３１は、不図示の発光部及び受光部を有している。光センサ３１は、検出基板３０の光反射パターン１２ａへ向けて発光部から光を射出し、受光部において反射光を読み取ることで光反射パターン１２ａを検出する部分である。検出結果は、電気信号として制御部ＣＯＮＴに送信されるようになっている。
【００２４】
磁気センサ３２は、例えばＺ方向視で検出基板３０の中央部に２つ設けられている。２つの磁気センサ３２は、それぞれバイアス磁石（不図示）及び磁気抵抗素子（不図示）を有している。磁気センサ３２は、例えばθＺ方向に９０°ずれる位置に配置されている。
【００２５】
バイアス磁石は、磁石部材２０の磁場との間で合成磁場を形成する。バイアス磁石を構成する材料として、例えばサマリウム・コバルトなどの磁力の大きい希土類磁石などが挙げられる。バイアス磁石は、磁気抵抗素子に接触せず、また、当該磁気抵抗素子に隣接しない位置に配置されている。
【００２６】
磁気抵抗素子は、例えば金属配線などによって形成された直交する２つの繰り返しパターンを有している。磁気抵抗素子は、磁場の方向が当該繰り返しパターンに流れる電流の方向の垂直方向に近くなると電気抵抗が低下するようになっている。磁気抵抗素子は、この電気抵抗の低下を利用して磁場の方向を電気信号に変換するようになっている。磁気抵抗素子は、磁石部材２０の磁場及びバイアス磁石の磁場による合成磁場を検出するようになっている。検出結果は、電気信号として制御部ＣＯＮＴに送信されるようになっている。
【００２７】
制御部ＣＯＮＴは、光センサ３１からの出力に基づいて回転軸４０の回転情報を求めると共に、磁気センサ３２からの出力に基づいて回転軸４０の回転情報を求める処理を行う。この回転情報としては、例えば回転軸４０の回転数、回転方向、回転角度、や回転位置などの情報が含まれる。
【００２８】
円筒部材３３は、検出基板３０を支持する支持部材である。円筒部材３３は、回転部Ｒを囲うように形成されている。円筒部材３３の内壁は、少なくとも、エンコーダＥＣをモータ装置ＭＴＲの回転軸４０に取り付けた状態においては、回転部Ｒには接触しないように形成されている。
【００２９】
円筒部材３３の−Ｚ側の面３３ａは、筐体４１の＋Ｚ側の面４１ａに接触している。円筒部材３３側の接触面３３ａには、例えば図１及び図２におけるＸ方向の２箇所に凹部（第１凹部）３３ｂが形成されている。一方、モータ装置ＭＴＲ側の接触面４１ａには、例えば図１及び図２におけるＸ方向の２箇所に凹部（第２凹部）４１ｂが形成されている。
【００３０】
第１凹部３３ｂと第２凹部４１ｂとは、図１及び図２に示すように、Ｚ方向視で重なる位置に形成されている。このように、第１凹部３３ｂと第２凹部４１ｂとは、対応する位置に形成されている。第１凹部３３ｂ及び第２凹部４１ｂの形成位置については、介挿部材５０を挿入して円筒部材３３と筐体４１とを係止させたときに回転部Ｒの光反射パターン１２ａ及び磁気パターン２０ａと本体部Ｄの光センサ３１及び磁気センサ３２とがそれぞれ対応する位置に配置されるように設定されている。
【００３１】
第１凹部３３ｂ及び第２凹部４１ｂは、例えば図２に示すように、共に円筒型に刳り貫かれた形状に形成され、かつ、内径が等しく形成されている。２つの第１凹部３３ｂ同士は、Ｚ方向の寸法が等しくなるように形成されている。また、２つの第２凹部４１ｂ同士についても、Ｚ方向の寸法が等しくなるように形成されている。
【００３２】
第１凹部３３ｂ及び第２凹部４１ｂには、それぞれ共通の介挿部材５０が挿入されている。ここでは、例えば図１及び図２の＋Ｘ側の第１凹部３３ｂ及び第２凹部４１ｂについては１つの介挿部材５０が挿入されていると共に、−Ｘ側の第１凹部３３ｂ及び第２凹部４１ｂについてはもう１つの介挿部材５０が挿入されている。２つの介挿部材５０は、それぞれ第１凹部３３ｂ及び第２凹部４１ｂの形状に対応して形成されている。本実施形態では、介挿部材５０として、例えば円柱状に形成されたピン部材を用いている。勿論、介挿部材５０の態様として他の態様を採用しても構わない。
【００３３】
このように、円筒部材３３と筐体４１との間は、介挿部材５０によって係止された状態になっている。したがって、第１凹部３３ｂは、円筒部材３３を筐体４１に係止させる係止部となっている。
【００３４】
なお、図１及び図２においては、第１凹部３３ｂ、第２凹部４１ｂ、介挿部材５０の位置関係を示すため、介挿部材５０と第１凹部３３ｂ及び第２凹部４１ｂとの間に若干隙間があるように示されているが、実際には、例えばそれぞれ隙間無く配置されていることが好ましい。隙間無く配置することにより、円筒部材３３と筐体４１とが介挿部材５０によって高精度に位置決めされることになる。
【００３５】
次に、上記のように構成されたエンコーダＥＣをモータ装置ＭＴＲに取り付ける工程を説明する。  
まず、図３に示すように、回転軸４０に対して回転部Ｒを固定させる（第１固定工程）。この工程では、回転部Ｒの挿入穴１１ａに回転軸４０を挿入させた後、不図示の固定機構によって回転部Ｒを回転軸４０に固定させる。次に、図４に示すように、筐体４１の２つの第２凹部４１ｂ内にそれぞれ介挿部材５０を挿入する。介挿部材５０は、少なくとも一部が接触面４１ａから＋Ｚ側に突出した状態で第２凹部４１ｂに挿入される。
【００３６】
次に、図５に示すように、本体部Ｄを筐体４１側の接触面４１ａ上に設置する。このとき、接触面４１ａの＋Ｚ側に突出した介挿部材５０の一部が円筒部材３３の第１凹部３３ｂに挿入されるようにする（位置決め工程）。この工程では、介挿部材５０が第１凹部３３ｂ及び第２凹部４１ｂの両方に亘って挿入される。また、円筒部材３３側の接触面３３ａと筐体４１側の接触面４１ａとが互いに接触し、円筒部材３３と筐体４１とが介挿部材５０によって係止された状態となる。この工程により、本体部Ｄの光センサ３１及び磁気センサ３２が、回転部Ｒの光反射パターン１２ａ及び磁気パターン２０ａにそれぞれ対応する位置に配置されるように本体部Ｄが位置決めされる。
【００３７】
次に、図６に示すように、本体部Ｄが位置決めされた状態で、固定部材５１によって本体部Ｄを筐体４１に固定する（第２固定工程）。固定部材５１としては、例えば本体部ＤのＺ方向の寸法よりも大きい寸法を有するものを用いる。また、この工程では、Ｚ方向視において介挿部材５０とは異なる位置に固定部材５１を取り付ける。固定部材５１は、検出基板３０、円筒部材３３を貫通し、筐体４１に食い込むように取り付けるようにする。以上の各工程を経て、図１及び図２に示すエンコーダＥＣがモータ装置ＭＴＲに取り付けられる。
【００３８】
次に、モータ装置ＭＴＲに取り付けられたエンコーダＥＣの動作を説明する。  
モータ装置ＭＴＲの回転軸４０が回転すると、当該回転軸４０に固定された回転部Ｒが回転軸４０と一体的に回転する。本体部Ｄについては、回転軸４０には接続ないしは接触されていないため、回転せずに静止した状態を維持する。
【００３９】
回転部Ｒが回転すると、当該回転部Ｒに形成された光反射パターン１２ａが回転方向に移動する。光センサ３１は、移動する光反射パターン１２ａへ光を射出し、反射光を読み取ることで光反射パターン１２ａに基づく回転情報（例、回転角度）を検出する。
【００４０】
また、回転部Ｒが回転すると、当該回転部Ｒに接着された磁石部材２０も回転する。磁石部材２０が回転すると、当該磁石部材２０の磁気パターン２０ａによって形成される磁場とバイアス磁石によって形成される磁場との合成磁場が周期的に変化する。磁気センサ３２は、当該合成磁場の変化を検出することにより、磁石部材２０（回転軸）に基づく回転情報（例、多回転情報）を検出する。
【００４１】
以上のように、本実施形態によれば、エンコーダＥＣが、光反射パターン１２ａ及び磁気パターン２０ａを有しモータ装置ＭＴＲの回転軸４０に固定される回転部Ｒと、当該光反射パターン１２ａ及び磁気パターン２０ａを検出する光センサ３１及び磁気センサ３２を有しモータ装置ＭＴＲの筐体４１に固定される本体部Ｄと、当該本体部Ｄに設けられ筐体４１に係止させることで本体部Ｄを位置決めする複数の第１凹部３３ｂとを備えるため、光反射パターン１２ａ及び磁気パターン２０ａと光センサ３１及び磁気センサ３２との間の位置調整のブレが低減される。これにより、個体間における検出精度のブレの少ないエンコーダＥＣを得ることができる。
【００４２】
また、本実施形態によれば、当該回転部Ｒをモータ装置ＭＴＲの回転軸４０に固定する第１固定工程と、当該本体部Ｄをモータ装置ＭＴＲの筐体４１に固定する第２固定工程と、第２固定工程に先立って、本体部Ｄに設けられる第１凹部３３ｂを筐体４１に係止させることで本体部Ｄの位置決めを行う位置決め工程とを含むため、係止と位置決めとを一動作で行うことができる。光反射パターン１２ａ及び磁気パターン２０ａと光センサ３１及び磁気センサ３２との間の位置調整を行わずに済むため、作業者のスキルに左右されること無く、エンコーダＥＣをモータ装置ＭＴＲに取り付けることができる。これにより、エンコーダＥＣ個体間における検出精度のブレを少なくすることができる。また、位置調整を行わずに済むため、エンコーダの取り付け作業を簡略化することができる、または、作業時間を短縮することができるという利点もある。
【００４３】
また、本実施形態によれば、モータ装置ＭＴＲが、駆動機構４３によって回転駆動される回転軸４０と、少なくとも回転軸４０を支持する筐体４１と、回転軸４０及び筐体４１に取り付けられた、本発明のエンコーダＥＣとを備え、当該エンコーダＥＣのうち、回転部Ｒは回転軸４０に固定され、本体部Ｄは筐体４１に固定されているため、高い検出精度で回転情報を検出可能なモータ装置ＭＴＲが得られることになる。
【００４４】
本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。  
上記実施形態では、第１凹部３３ｂの径がＺ方向で等しくなっている形状に形成された構成としたが、これに限られることは無く、例えば第１凹部３３ｂの開口部（−Ｚ側の端部）が一部拡径された構成であっても構わない。これにより、本体部Ｄを筐体４１に取り付ける際に、第１凹部３３ｂに介挿部材５０を挿入しやすくすることができる。
【００４５】
また、上記実施形態では、係止部としての第１凹部３３ｂを円筒部材３３の接触面３３ａに設けた構成としたが、これに限られることは無く、例えば円筒部材３３の内面や外面に係合部を設ける構成としても構わない。この場合、筐体４１には、係合部の配置や形状に応じた凹部若しくは凸部を設けるようにする。
【００４６】
また、上記実施形態では、介挿部材５０を介して本体部Ｄと筐体４１とを係止させる構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無く、例えば円筒部材３３と筐体４１とを直接係止させる構成であっても構わない。この場合、本体部Ｄに設けられる係止部は、例えば筐体４１の形状に対応した形状に形成されるようにしても良い。例えば筐体４１に凹凸が形成されている場合、本体部Ｄの係止部として、当該筐体４１の凹凸に対応した凹凸部などが円筒部材３３の接触面３３ａなどに形成された構成であっても構わない。
【００４７】
また、上記実施形態の構成に加えて、例えば円筒部材３３の接触面３３ａなどに、介挿部材５０を第１凹部３３ｂに案内する案内用溝が設けられた構成としても構わない。案内用溝の形態としては、例えば第１凹部３３ｂよりもＺ方向の寸法の小さい凹部が接触面３３ａの湾曲方向に沿って第１凹部３３ｂを含む領域に形成された構成などが挙げられる。これにより、エンコーダＥＣの取り付け作業を一層簡略化することができる。
【符号の説明】
【００４８】
ＥＣ…エンコーダ  ＭＴＲ…モータ装置  Ｒ…回転部  Ｄ…本体部  ＣＯＮＴ…制御部  １２ａ…光反射パターン  ２０ａ…磁気パターン  ３１…光センサ  ３２…磁気センサ  ３３…円筒部材  ３３ａ…接触面  ４０…回転軸  ４１…筐体  ４１ａ…接触面  ５０…介挿部材
【図１】
2011117759.tif 000003
【図２】
2011117759.tif 000004
【図３】
2011117759.tif 000005
【図４】
2011117759.tif 000006
【図５】
2011117759.tif 000007
【図６】
2011117759.tif 000008