(57)【要約】【課題】装置の構造が簡単化できかつ小型化できるとともに、貼付不良を防止して確実にシートを貼付することができるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。【解決手段】接着シートＳを吸着保持する吸着盤４の吸引孔４３から吸引した気体を吹付管７に供給することで、吹付管７に気体を供給するコンプレッサを別途設置しなくてよくなることから、シート貼付装置１の構造を簡単化できるとともに、シート貼付装置１の小型化を図ることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材シートの一方の面側に接着剤層を有する接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置であって、
帯状の剥離シートに仮着された前記接着シートを前記剥離シートとともに繰り出す繰出手段と、
前記剥離シートから前記接着シートを剥離しつつ当該接着シートを送り出す剥離手段と、
前記剥離手段から送り出される前記接着シートに対して前記基材シートの他方の面側から吸引孔を介して吸着保持する保持手段と、
前記吸引孔から気体を吸引することで当該吸引孔に吸引力を付与する吸引手段と、
前記剥離手段から送り出される前記接着シートに対して前記接着材層の側に気体を吹き付ける吹付手段と、
前記保持手段で吸着保持した接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段と、
前記吸引手段が前記吸引孔から吸引した気体を前記吹付手段に循環させる循環手段とを備えることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記保持手段から前記吸引手段への経路途中には、前記保持手段で前記接着シートを吸引した負圧状態を解除する負圧解除手段が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記負圧解除手段には、前記保持手段で保持した前記接着シートを気体で押圧することで前記押圧手段として機能する加圧手段が接続されていることを特徴とする請求項２に記載のシート貼付装置。
【請求項４】
前記循環手段の途中には、前記吹付手段の圧力を調整する圧力調整手段が設けられていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のシート貼付装置。
【請求項５】
基材シートの一方の面側に接着剤層を有する接着シートを被着体に貼付するシート貼付方法であって、
帯状の剥離シートに仮着された前記接着シートを前記剥離シートとともに繰り出す工程と、
前記剥離シートから前記接着シートを剥離しつつ当該接着シートを送り出す工程と、
送り出される前記接着シートに対して前記基材シートの他方の面側から吸引孔を介して保持手段を介して吸着保持する工程と、
前記吸引孔から気体を吸引することで当該吸引孔に吸引力を付与する工程と、
前記吸引孔から吸引した気体を循環させ、送り出される前記接着シートに対して前記接着材層の側に気体を吹き付ける工程と、
前記保持手段で吸着保持した接着シートを前記被着体に押圧して貼付する工程とを有することを特徴とするシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置および貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、シート貼付装置の一例として、コンベアなどで搬送される製品に品名やバーコードなどのラベルを貼付するラベル貼付装置が利用されている（例えば、特許文献１参照）。この貼付装置は、帯状台紙に仮着されたラベルを剥離する剥離板と、剥離されたラベルを吸着保持する吸着盤と、吸着盤に吸引力を付与する負圧発生器と、吸着盤に取り付けられることで吸着盤の移動に追従しつつラベルにエアを吹き付けてラベルの吸着保持を補完するエア吹出管と、エア吹出管のエア供給源としてのコンプレッサとを備えて構成されている。この貼付装置では、ラベルを帯状台紙から剥離しつつ吸着盤に吸着保持する際に、帯状台紙から剥離されるにつれて自重で撓むラベルにエアを吹き付けることで、吸着盤に受け渡すまでのラベルの撓みや落下を防止し、ラベルが撓んで吸着保持されることで当該ラベルが折り曲がって被着体に貼付されたり、ラベルが落下することでラベルが未貼付になったりといったラベル貼付不良を防止するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】実開平６−３７１１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、従来のラベル貼付装置では、吸着盤に吸引力を付与する負圧発生器と、エア吹出管のエア供給源としてのコンプレッサとが別々に必要であるため、装置の構造が複雑になったり、大型化したりなどの不都合が生じる。また、複数台のラベル貼付装置を駆動すべく大型のコンプレッサを共通で利用する場合があるが、エアの吹き付けには多くのエアを消費するため、複数台のラベル貼付装置が同時に駆動されているときに、エアの容量不足が発生し、エアシリンダ等のエア駆動機器が正常のタイミングで駆動されなかったり、所定の出力が得られなかったりして、ラベルの貼付不良が多発してしまうという不都合が生じる。
【０００５】
本発明の目的は、装置の構造が簡単化かつ小型化できるとともに、貼付不良を防止して確実にシートを貼付することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明のシート貼付装置は、基材シートの一方の面側に接着剤層を有する接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置であって、帯状の剥離シートに仮着された前記接着シートを前記剥離シートとともに繰り出す繰出手段と、前記剥離シートから前記接着シートを剥離しつつ当該接着シートを送り出す剥離手段と、前記剥離手段から送り出される前記接着シートに対して前記基材シートの他方の面側から吸引孔を介して吸着保持する保持手段と、前記吸引孔から気体を吸引することで当該吸引孔に吸引力を付与する吸引手段と、前記剥離手段から送り出される前記接着シートに対して前記接着材層の側に気体を吹き付ける吹付手段と、前記保持手段で吸着保持した接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段と、前記吸引手段が前記吸引孔から吸引した気体を前記吹付手段に循環させる循環手段とを備える、という構成を採用している。
【０００７】
この際、本発明のシート貼付装置では、前記保持手段から前記吸引手段への経路途中には、前記保持手段で前記接着シートを吸引した負圧状態を解除する負圧解除手段が設けられていることが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置では、前記負圧解除手段には、前記保持手段で保持した前記接着シートを気体で押圧することで前記押圧手段として機能する加圧手段が接続されていることが好ましい。
さらに、本発明のシート貼付装置では、前記循環手段の途中には、前記吹付手段の圧力を調整する圧力調整手段が設けられていることが好ましい。
【０００８】
一方、本発明のシート貼付方法は、基材シートの一方の面側に接着剤層を有する接着シートを被着体に貼付するシート貼付方法であって、帯状の剥離シートに仮着された前記接着シートを前記剥離シートとともに繰り出す工程と、前記剥離シートから前記接着シートを剥離しつつ当該接着シートを送り出す工程と、送り出される前記接着シートに対して前記基材シートの他方の面側から吸引孔を介して保持手段を介して吸着保持する工程と、前記吸引孔から気体を吸引することで当該吸引孔に吸引力を付与する工程と、前記吸引孔から吸引した気体を循環させ、送り出される前記接着シートに対して前記接着材層の側に気体を吹き付ける工程と、前記保持手段で吸着保持した接着シートを前記被着体に押圧して貼付する工程とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
以上のような本発明によれば、吸引手段で吸引した気体が循環手段を介して吹付手段に供給されるため、吹付手段に気体を供給するコンプレッサ等を別途設置しなくてよく、シート貼付装置の構造を簡単化できるとともに、装置の小型化を図ることができる上、他のエア駆動機器がエア容量不足となることがなくなるので、ラベルの貼付不良を防止することができる。
また、吸引手段で吸引した気体を吹付手段で使用するため、従来では捨てられていたエネルギーを再利用することができ、省エネ型のシート貼付装置を提供することができる。
また、負圧解除手段を有することで、保持手段で吸着保持した接着シートを被着体に押圧した後、保持手段の吸引力を解除して容易に保持手段が接着シートから離れることができる。
さらに、加圧手段によって保持手段を加圧して負圧状態から正圧状態とし、吸引孔から気体を吐出させることで、保持手段に保持されている接着シートを気体で押圧して被着体に貼付することができ、押圧手段が被着体に接触することなしに接着シートを被着体に貼付することができる。
また、吸引手段に吸引された気体の一部または全部が圧力調整手段を介して吹付手段に供給されることで、吹付手段から吹き付ける気体を所定の圧力に保つことができるとともに、吸引手段の吸引力に影響を与えないようにできることから、吸引力不足などを回避してシートの貼付不良を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１実施形態に係るシート貼付装置の概略構成図。
【図２】図１のシート貼付装置における吹付動作を示す斜視図。
【図３】(Ａ)〜(Ｃ)は、図１のシート貼付装置の動作説明図。
【図４】第２実施形態に係るシート貼付装置の図。
【図５】第３実施形態に係るシート貼付装置の図。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、第２実施形態以降において、次の第１実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材、および同様な機能を有する構成部材には、第１実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。
【００１２】
〔第１実施形態〕
図１において、シート貼付装置１は、接着シートＳを被着体Ｗに貼付するものであって、帯状の剥離シートＲＬに仮着された接着シートＳを剥離シートＲＬとともに繰り出す繰出手段としての繰出ユニット２と、剥離シートＲＬから接着シートＳを剥離しつつこの接着シートＳを送り出す剥離手段としてのピールプレート３と、接着シートＳを吸着保持する保持手段としての吸着盤４と、吸着盤４で吸着保持した接着シートＳを被着体Ｗに押圧して貼付する押圧手段としてのエアシリンダ５とを備えて構成されている。ここで、接着シートＳは、基材シートの一方の面に接着剤層が設けられ、この接着剤層が表出した面が接着面Ｓ１とされ、基材シートの他方の面（接着剤層が設けられていない面）が非接着面Ｓ２とされ、接着面Ｓ１を介して剥離シートＲＬに仮着されている。
【００１３】
さらに、シート貼付装置１は、吸着盤４の吸引孔４３に吸引力を付与する吸引手段としての遠心ファン６と、ピールプレート３から吸着盤４に受け渡される途中の接着シートＳに対して接着面Ｓ１の側に気体を吹き付ける吹付手段としての吹付管７と、遠心ファン６が吸着盤４から吸引した気体を吹付管７に循環させる循環手段（循環経路）としての配管８とを備えて構成されている。また、吸着盤４から遠心ファン６への経路である配管９の途中には、吸着盤４で接着シートＳを吸引した負圧状態を解除する負圧解除手段としての三方弁１０が設けられるとともに、遠心ファン６と配管８との間には、吹付管７の気体吹付け圧力を調整する圧力調整手段としての圧力調整器１１が設けられている。
【００１４】
繰出ユニット２は、図示しないフレームに支持され、このフレームには、剥離シートＲＬに仮着された接着シートＳをロール状に巻回して支持する支持ローラ２１と、剥離シートＲＬおよび接着シートＳを案内する２個のガイドローラ２２，２３と、モータ２４によって駆動する駆動ローラ２５と、駆動ローラ２５との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２６と、図示しない駆動手段によって剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２７とが設けられている。
【００１５】
ピールプレート３は、繰出ユニット２のモータ２４で駆動ローラ２５を駆動して剥離シートＲＬを引っ張ることで、駆動ローラ２５側に折り返した剥離シートＲＬから接着シートＳを剥離するとともに、剥離した接着シートＳを面方向に押し出して片持ち状に突出させ、この接着シートＳを吸着盤４側に送り出すようになっている。
【００１６】
吸着盤４は、図３に示すように、複数の吸引孔４３によって非接着面Ｓ２の側から接着シートＳを吸着保持する保持面４１と、この保持面４１の反対側（上側）に設けられる上面部４２と、吸着盤４内部に設けられるチャンバー部４４とを有して形成されている。また、エアシリンダ５は、図示しないフレームに支持されるとともに、その出力軸５１が吸着盤４の上面部４２に固定され、エアシリンダ５を上下方向（押圧方向）に進退駆動することによって、吸着盤４が上下移動可能になっている。
【００１７】
吸着盤４には、上面部４２の孔を介して配管９Ａが接続され、この配管９Ａが三方弁１０に接続されている。三方弁１０には、配管９Ｂを介して遠心ファン６の吸入口が接続され、遠心ファン６を作動させることによって、吸着盤４の複数の吸引孔４３から気体が吸引されるようになっている。また、三方弁１０の３つの開口のうち、配管９Ａ，９Ｂが接続された２つ以外の１つの開口には、大気に開放した配管１２が接続されている。この三方弁１０は、図示しない内部の弁を作動させることで、配管９Ａと配管９Ｂとを連通させる吸引状態と、配管９Ａと配管１２とを連通させる負圧解除状態とが切り替え可能に構成されている。
【００１８】
遠心ファン６の排気口には、圧力調整器１１が接続され、圧力調整器１１の２つの排出口のうちの一方には、配管８を介して吹付管７が接続されている。
吹付管７は、図２に示すように、一方の端が閉じた管状に形成されるとともに、他方の端には、圧力調整器１１からの配管８が接続されている。この吹付管７は、配管８から供給された気体を吹き出す複数の吹付孔７１を有して形成され、遠心ファン６で吸引した気体が圧力調整器１１および配管８を介して複数の吹付孔７１から図１中斜め上方に吹き出し、この気体が接着シートＳに吹き付けられるようになっている。また、圧力調整器１１の他方の排出口には、配管１３が接続され、圧力調整器１１のリリーフ弁を作動させることで、遠心ファン６で吸引した気体の一部が配管１３を介して大気に開放され、吹付管７から吹き付ける気体を所定の圧力に保つようになっている。
【００１９】
以下、被着体Ｗへの接着シートＳの貼付方法として、シート貼付装置１の動作手順を図３も参照して説明する。
先ず、図２に示すように、コンベア等の搬送手段ＣＶによって、図中Ａ１で示す方向に被着体Ｗが搬送されて来ると、図示しないセンサによって検出されて吸着盤４の下方の所定位置で当該被着体Ｗの搬送が停止される。被着体Ｗの搬送停止が確認されると、図３(Ａ)に示すように、繰出ユニット２によって剥離シートＲＬと接着シートＳとを繰り出し、繰り出した剥離シートＲＬをピールプレート３で折り返し、接着シートＳを剥離シートＲＬから剥離して吸着盤４の保持面４１に沿って送り出す。一方、遠心ファン６は、吸着盤４の複数の吸引孔４３から気体を吸引し、吸引した気体を圧力調整器１１に送ることで、圧力調整器１１、配管８を介して吹付管７に気体が送られ、複数の吹付孔７１から接着シートＳの送り出し方向斜め上方に向かって気体が吹き付けられる。このように接着シートＳを送り出しつつ、その接着面Ｓ１側に下方から気体を吹き付けることで、接着シートＳが自重で撓んだり、落下したりすることを防止することができる。
【００２０】
すなわち、接着シートＳがピールプレート３から吸着盤４に向かって送り出される途中において、当該接着シートＳが複数の吸引孔４３の全てを塞いで吸着保持されるまでの間は、塞がれていない吸引孔４３から気体が吸引されることとなり、吸着盤４による吸引力が十分でないため、接着シートＳが自重によって下方に垂れ下がったり、落下したりする可能性がある。このため、吸着盤４の全ての吸引孔４３を塞いで接着シートＳが吸着保持されるまで、吹付管７から接着シートＳに気体を吹き付け、接着シートＳの保持を下方から補助することによって、接着シートＳの撓みや落下を防止して、適正な状態で吸着盤４に吸着保持させるようになっている。
【００２１】
次に、図３(Ｂ)に示すように、接着シートＳの非接着面Ｓ２全面が吸着盤４の保持面４１に重なり、複数の吸引孔４３の全てを塞ぐ所定の保持位置まで接着シートＳが送り出されると、吸着盤４は、そのチャンバー部４４内が負圧となって接着シートＳを吸着保持する。この際、全ての吸引孔４３が接着シートＳで塞がれることで、吸引孔４３からの気体の吸引が止まり、配管９の内部が負圧になるとともに、吹付管７にも気体が送られなくなることから、吹付管７からの気体の吹き付けも停止されることとなる。
【００２２】
次に、図３(Ｃ)に示すように、シート貼付装置１は、エアシリンダ５を駆動して出力軸５１を下方に移動させることで吸着盤４を下降させ、被着体Ｗに接着シートＳを押圧する。このようにして被着体Ｗに接着シートＳを貼付したら、三方弁１０を作動させて配管１２、配管９Ａを介してチャンバー部４４内に気体を導入し（チャンバー部４４内を大気圧とし）、チャンバー部４４内の負圧を解除する。そして、エアシリンダ５を駆動して吸着盤４を接着シートＳから離隔させると、接着シートＳが被着体Ｗに貼付される。
以上のように被着体Ｗに対する接着シートＳの貼付が完了したら、接着シートＳが貼付された被着体Ｗは、搬送手段ＣＶによって搬送されるとともに、次の被着体Ｗが搬送されてくることで上記同様の動作が繰り返される。
【００２３】
以上のような本実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、吸着盤４の吸引孔４３から遠心ファン６で吸引した気体が配管８を介して吹付管７に供給されるため、吹付管７に気体を供給するコンプレッサを別途設置しなくてよく、シート貼付装置１の構造を簡単化できるとともに、シート貼付装置１の小型化を図ることができる。また、エアシリンダ５に気体を供給するコンプレッサ等のエア供給源と吹付管７に気体を供給するエア供給源とを区別することができるため、エアの吹き付けによる大量のエア消費が原因で、エアシリンダ５が正常のタイミングで駆動されなかったり、所定の出力が得られなかったりして、接着シートＳの貼付不良が発生してしまうという不都合は解消される。
【００２４】
〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態を図４に基づいて説明する。
本実施形態のシート貼付装置１Ａは、押圧手段の構成が第１実施形態のシート貼付装置１と相違しており、吸着盤４が被着体Ｗに接触することなく、非接触で接着シートＳを被着体Ｗに貼付することができるものの、その他の構成は、第１実施形態と同様である。
すなわち、図４(Ａ)に示すように、三方弁１０からの配管１２に加圧手段としての遠心ファン１５を備えて構成され、遠心ファン１５からの加圧気体によって押圧手段が構成されている。
そして、第１実施形態と同様に、被着体Ｗが所定位置に停止されると、図４(Ｂ)に示すように、シート貼付装置１Ａは、エアシリンダ５を駆動して吸着盤４を下降させ、被着体Ｗの上方に所定間隔を隔てて停止される。なお、このときエアシリンダ５は中間停止が可能なものを採用する方が好ましい。次いで、三方弁１０の作動によって、遠心ファン１５からの加圧気体が配管１２、９Ａを介してチャンバー部４４内に導入され、吸着盤４によって吸着保持された接着シートＳを被着体Ｗに向けて吹き飛ばして押圧し、被着体Ｗに貼付するようになっている。
【００２５】
〔第３実施形態〕
次に、本発明の第３実施形態を図５に基づいて説明する。
本実施形態のシート貼付装置１Ｂは、第２実施形態で用いた加圧手段としての遠心ファン１５の代わりに、遠心ファン６からの加圧気体によって押圧手段として機能する加圧手段が構成され、三方弁１０に代えて設けられた四方弁１７と、配管８の途中に設けられた三方弁１８と、四方弁１７と三方弁１８とを接続する配管１９とを備えて構成されている。四方弁１７は、図５(Ａ)に示すように、配管９Ａと配管９Ｂとを連通させる吸引状態と、図５(Ｂ)に示すように、大気に開放した配管２０と配管９Ｂとを連通させかつ配管９Ａと配管１９とを連通させる加圧状態とが切り替え可能に構成されている。一方、三方弁１８は、図５(Ａ)に示すように、圧力調整器１１からの配管８を吹付管７側に連通させる吹付状態と、圧力調整器１１からの配管８を配管１９側に連通させる加圧状態とが切り替え可能に構成されている。
【００２６】
以上のシート貼付装置１Ｂでは、図５(Ａ)に示すように、四方弁１７を吸引状態とし、三方弁１８を吹付状態とした上で、遠心ファン６を作動させることで、シート貼付装置１Ａと同様に、吸着盤４で接着シートＳを吸着保持する。
そして、第２実施形態と同様に、吸着盤４が停止中の被着体Ｗの上方に所定間隔を隔てて停止されると、図５(Ｂ)に示すように、四方弁１７および三方弁１８がそれぞれ加圧状態に切り替えられ、遠心ファン６からの加圧気体が配管８，１９，９Ａを介してチャンバー部４４内に導入され、吸着盤４によって吸着保持された接着シートＳを被着体Ｗに向けて吹き飛ばして押圧し、被着体Ｗに貼付するようになっている。
【００２７】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００２８】
例えば、前記実施形態では、吸着盤４の下面に設けた保持面４１に沿って接着シートＳを送り出し、送り出す途中の接着シートＳの下面側（接着剤層側）に斜め下方から気体を吹き付けるように構成したが、接着シートの送り出し方向や、吹付手段による気体の吹き付け方向などは、前記実施形態に限られない。すなわち、接着シートを上下方向や適宜な斜め方向に送り出してもよく、あるいは、接着シートの面方向が水平ではなく、垂直または適宜に傾斜した状態の接着シートを任意の方向に送り出すようにしてもよい。また、吹付手段による気体の吹き付け方向としても、接着シートの送り出し方向に応じて適宜に設定すればよく、上下方向や適宜な斜め方向に気体が吹き出されるように構成してもよい。
また、前記実施形態では、吸着盤４の下方に被着体Ｗを位置させ、この被着体Ｗに向かって吸着盤４を下降させて接着シートを押圧したり、加圧手段による気体で接着シートを下方に押し出して押圧したりなど、接着シートの押圧方向が下向きの例を説明したが、押圧方向としては、下向きに限らず、上向きや横向き、あるいは適宜な斜め方向であってもよい。
【００２９】
また、前記実施形態では、被着体Ｗおよび接着シートＳを具体的に例示していないが、本発明のシート貼付装置（貼付方法）では、被着体および接着シートの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、被着体が適宜な物品（例えば、段ボールケースや樹脂容器等）であって、接着シートがラベルであってもよく、被着体が半導体ウェハであって、接着シートが保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムなどであってもよい。この際、半導体ウェハは、シリコンウェハや化合物ウェハ等が例示でき、このようなウェハに貼付する接着シートは、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルム、テープ等、任意の用途、形状の接着シート等が適用できる。さらに、被着体が光ディスクの基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、被着体としては、ガラス板、鋼板、樹脂板等や、その他の板状部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
さらに、吸引手段はシロッコファンやブロワ等が例示でき、負圧を発生させるにあたって正圧が発生するものであれば、当該吸引手段に採用することができる。
また、剥離手段は、ピールプレート３以外にローラを利用したものであってもよい。
【符号の説明】
【００３０】
１，１Ａ，１Ｂ  シート貼付装置
２              繰出ユニット（繰出手段）
３              ピールプレート（剥離手段）
４              吸着盤（保持手段）
５              エアシリンダ（押圧手段）
６              遠心ファン（吸引手段、加圧手段）
７              吹付管（吹付手段）
８              配管（循環手段）
９              配管（経路）
１０            三方弁（負圧解除手段）
１１            圧力調整器（圧力調整手段）
１５            遠心ファン（加圧手段）
Ｓ              接着シート
Ｗ              被着体
ＲＬ            剥離シート
【図１】
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【図２】
2011031898.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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