(57)【要約】【課題】作業を効率よく行えるとともに、装置をコンパクトに構成できるアクチュエータユニットを提供する。【解決手段】複数の第１アクチュエータ４０が、互いに並列に近接配置されて第１階層を形成し、複数の第２アクチュエータ５０が、互いに並列に近接配置されて第２階層を形成し、前記第１、第２階層は前記第１アクチュエータ４０の軸方向Ｙ及び第２アクチュエータ５０の軸方向Ｘに直交する厚さ方向Ｚに積層するように配置され、前記第１アクチュエータ４０の軸方向Ｙと前記第２アクチュエータ５０の軸方向Ｘとは、前記厚さ方向Ｚから見て互いに交差して延びており、前記第１アクチュエータ４０のロッド４１と前記第２アクチュエータ５０の支持体５２とが１対１で連結されていることを特徴とする。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロッドと前記ロッドをその軸方向に沿って相対移動可能に支持する支持体とを有するアクチュエータを複数備えたアクチュエータユニットであって、
これらアクチュエータのうち複数の第１アクチュエータが、互いに並列に近接配置されて第１階層を形成し、複数の第２アクチュエータが、互いに並列に近接配置されて第２階層を形成し、前記第１、第２階層は前記第１アクチュエータの軸方向及び第２アクチュエータの軸方向に直交する厚さ方向に積層するように配置され、
前記第１アクチュエータの軸方向と前記第２アクチュエータの軸方向とは、前記厚さ方向から見て互いに交差して延びており、
前記第１アクチュエータのロッドと前記第２アクチュエータの支持体とが１対１で連結されていることを特徴とするアクチュエータユニット。
【請求項２】
請求項１に記載のアクチュエータユニットであって、
前記第１、第２アクチュエータは、その前記ロッドがマグネットを有し、前記支持体が該ロッドを囲むコイルを有し、前記マグネットの磁界と前記コイルに流れる電流とによって前記ロッドを前記支持体に対して往復移動させるリニアモータを用いていることを特徴とするアクチュエータユニット。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のアクチュエータユニットであって、
前記第１、第２アクチュエータのロッドは、互いに直交して水平方向に沿うように延びていることを特徴とするアクチュエータユニット。
【請求項４】
請求項１又は２に記載のアクチュエータユニットであって、
前記第１アクチュエータのロッドは水平方向に沿うように延び、前記第２アクチュエータのロッドは鉛直方向に沿うように延びていることを特徴とするアクチュエータユニット。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載のアクチュエータユニットであって、
前記第２アクチュエータのロッドの先端部には、外部機器取付部が設けられていることを特徴とするアクチュエータユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータを複数備えたアクチュエータユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器等の小型化や高機能化に伴って、これら電子機器に搭載される基板等の小型化・高集積化が求められている。この種の電子機器の製造には、例えば、特許文献１に示されるような部品移載装置が用いられている。部品移載装置は、複数の単軸リニアモータ（アクチュエータ）を一体に組み合わせてなる多軸リニアモータ（アクチュエータユニット）を有しており、この多軸リニアモータは、基板搬送機構に支持されて基台上を水平方向に移動する。そして、多軸リニアモータの各単軸リニアモータは、可動部（ロッド）を鉛直方向に往復移動させて、電子部品をハンドリングする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１７１６６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来のアクチュエータユニットでは、次のような課題があった。
前述した部品移載装置の多軸リニアモータは、複数の単軸リニアモータが一体に組み合わされた構成であり、これら単軸リニアモータ同士の軸間ピッチは固定されている。従って、各単軸リニアモータにおける電子部品のピックアップ時やリリース時のそれぞれの作業位置に対応して、多軸リニアモータを順次移動させる必要があった。すなわち、一の単軸リニアモータの作業の完了を待って、他の単軸リニアモータの作業を行う必要が生じて、作業が効率的ではなかった。
また、この種の部品移載装置には、さらなる小型化が要求されていた。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、作業を効率よく行えるとともに、装置をコンパクトに構成できるアクチュエータユニットを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提案している。
すなわち本発明は、ロッドと前記ロッドをその軸方向に沿って相対移動可能に支持する支持体とを有するアクチュエータを複数備えたアクチュエータユニットであって、これらアクチュエータのうち複数の第１アクチュエータが、互いに並列に近接配置されて第１階層を形成し、複数の第２アクチュエータが、互いに並列に近接配置されて第２階層を形成し、前記第１、第２階層は前記第１アクチュエータの軸方向及び第２アクチュエータの軸方向に直交する厚さ方向に積層するように配置され、前記第１アクチュエータの軸方向と前記第２アクチュエータの軸方向とは、前記厚さ方向から見て互いに交差して延びており、前記第１アクチュエータのロッドと前記第２アクチュエータの支持体とが１対１で連結されていることを特徴とする。
【０００７】
本発明に係るアクチュエータユニットによれば、複数の第１アクチュエータを第１階層に互いに近接して並列に配列し、複数の第２アクチュエータを第２階層に互いに近接して並列に配列し、これら第１、第２アクチュエータの軸方向同士を互いに異なる方向に延在させている。すなわち、第１、第２階層が積層する厚さ方向から見て、第１アクチュエータと第２アクチュエータとは互いにオーバーラップして、例えば格子状に配置されている。
【０００８】
そして、第１アクチュエータのロッドと第２アクチュエータの支持体とが１対１で連結されていることから、各第１アクチュエータのロッドが移動（伸長又は収縮）することによって、各第２アクチュエータは前記ロッドの軸方向に沿って独立して移動可能とされている。これにより、第２アクチュエータ同士は互いの軸間ピッチを可変とされているので、例えば、一の第２アクチュエータが他の第２アクチュエータの作業の完了を待つことなくロッドを伸長・収縮させて、独立して作業を行える。
【０００９】
よって、従来のように、各アクチュエータにおけるそれぞれの作業状況に対応して、アクチュエータユニット全体を順次移動させるような必要が生じない。従って、作業が効率よく行えるとともに生産性が向上する。
また、本発明の構成によれば、第１アクチュエータ同士、及び、第２アクチュエータ同士を確実に近接配置できる。従って、装置をコンパクトに構成できる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係るアクチュエータユニットによれば、作業を効率よく行えるとともに、装置をコンパクトに構成できる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係るアクチュエータユニットの概略構成を示す平断面図である。
【図２】図１のＡ部を拡大して示す図である。
【図３】本発明の一実施形態に係るアクチュエータユニットの概略構成を示す正断面図である。
【図４】本発明の一実施形態に係るアクチュエータユニットの概略構成を示す側断面図である。
【図５】本発明の一実施形態における位置検出システムの構成図。
【図６】リニアモータの斜視図（一部断面図を示す）。
【図７】コイルホルダに保持されたコイルユニットを示す斜視図。
【図８】リニアモータのマグネットとコイルの位置関係を示す図。
【図９】磁気センサの原理を示す斜視図。
【図１０】エンドケースに取り付けられる磁気センサを示す側面図。
【図１１】エンドケースに取り付けられるブッシュを示す側面図。
【図１２】位置検出回路の構成図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本実施形態のアクチュエータユニット１００は、例えば、半導体製造の最終工程において性能検査用のテスタにＩＣからなる電子部品を搬送するＩＣハンドラや、基板上に電子部品を実装する表面実装機などの電子部品搬送装置として用いられる。
【００１３】
図１〜図４に示すように、アクチュエータユニット１００は、複数のアクチュエータ４０、５０を備えている。アクチュエータ４０、５０は、ロッドと該ロッドをその軸方向に沿って相対移動可能に支持するフォーサ（支持体）とを有している。詳細には、アクチュエータ４０、５０のロッドがマグネットを有し、フォーサが該ロッドを囲むコイルを有し、マグネットの磁界とコイルに流れる電流とによって推力を得てロッドをフォーサに対して往復移動させるリニアモータ１１を用いて構成されており、このリニアモータ１１は、所謂ロッドタイプのリニアモータである。リニアモータ１１の構成については後述する。
【００１４】
アクチュエータユニット１００は、矩形平板状の基材６０を有しており、この基材６０は、図１〜図４において符号Ｘ、Ｙで示される水平方向に拡がっているとともに、Ｙ方向に延在して形成されている。また、基材６０は、不図示の搬送機構によって支持されているとともに、該搬送機構によりＸ−Ｙ方向に移動可能とされている。
【００１５】
基材６０の厚さ方向（Ｚ方向）を向く一面には、Ｙ方向に沿って延びる第１アクチュエータ４０が複数配設されている。詳しくは、第１アクチュエータ４０は、そのロッド４１の軸方向をＹ方向に沿って延ばしており、該ロッド４１は、基材６０に固定されたフォーサ４２に支持されているとともに該フォーサ４２に対してＹ方向に往復移動する。これら第１アクチュエータ４０同士は同長とされており、Ｘ方向に互いに並列に近接配置されて、図３及び図４に符号Ｆ１で示す第１階層を形成している。
【００１６】
図１及び図２に示すように、第１アクチュエータ４０は、基材６０のＹ方向の中央を通りＸ方向に沿って延びる仮想線Ｖを挟んで両側にそれぞれ配設されている。詳しくは、基材６０における仮想線Ｖの一方側（図１における下側）に、第１アクチュエータ４０Ａ〜４０Ｄが並列に配列され、仮想線Ｖの他方側（図１における上側）に、第１アクチュエータ４０Ｅ〜４０Ｈが並列に配列されている。
【００１７】
基材６０の前記一方側において、第１アクチュエータ４０Ａは、仮想線Ｖから最も離間してＸ方向の一端（図１における右端）に配置されている。また、前記一方側におけるＸ方向の他端（図１における左端）には、仮想線Ｖに最も近接して第１アクチュエータ４０Ｄが配置されている。また、第１アクチュエータ４０Ａと第１アクチュエータ４０Ｄとの間には、第１アクチュエータ４０Ｂと第１アクチュエータ４０Ｃとがこの順に等間隔に並べられているとともに、第１アクチュエータ４０Ａから第１アクチュエータ４０Ｄへ向かうに従い段階的に仮想線Ｖへ向かうように配置されている。
【００１８】
また、基材６０の前記他方側において、第１アクチュエータ４０Ｅ〜４０Ｈは、前述の第１アクチュエータ４０Ａ〜４０Ｄに対してこの順に、仮想線Ｖに関して線対称に配置されている。
【００１９】
また、基材６０の一面におけるＸ方向の両端には、該一面から突出する略直方体状の第１支持台６１がＹ方向に延びて一対形成されている。第１支持台６１の一面（基材６０側とは反対側を向く面）には、Ｙ方向に延在する一対のレール（軌道体）６２Ａ、６２ＢがＸ方向に間隔を開けて並列に近接配置されている。これらレール６２Ａ、６２Ｂは同長とされており、Ｙ方向に互いにずらされるように配置されている。詳しくは、第１支持台６１における前記一端のレール６２ＡにおけるＹ方向の中央は、仮想線Ｖよりも前記一方側に位置しており、前記他端のレール６２Ｂの前記中央は、仮想線Ｖよりも前記他方側に位置している。
【００２０】
また、これらレール６２Ａ、６２Ｂには、複数のスライダ（移動体）６３Ａ、６３Ｂが該レール６２Ａ、６２Ｂに対してＹ方向に相対移動可能に配設されて、直動ガイドを構成している。本実施形態では、レール６２Ａに４つのスライダ６３Ａが設けられ、レール６２Ｂに４つのスライダ６３Ｂが設けられている。詳しくは、第１支持台６１においてスライダ６３Ａとスライダ６３Ｂとは、平面視で略千鳥状に配置されている。
【００２１】
また、第１アクチュエータ４０のＺ方向に沿う基材６０側とは反対側には、Ｘ方向に沿って延びる第２アクチュエータ５０が複数配設されている。詳しくは、第２アクチュエータ５０は、そのロッド５１の軸方向をＸ方向に沿って延ばしており、該ロッド５１はフォーサ５２に支持されているとともに該フォーサ５２に対してＸ方向に往復移動する。
【００２２】
本実施形態では、第２アクチュエータ５０として、前述の第１アクチュエータ４０Ａ〜４０Ｈに対応してこの順に１対１で連結される第２アクチュエータ５０Ａ〜５０Ｈが設けられている。これら第２アクチュエータ５０同士は同長とされており、Ｘ方向に沿う互いの位置が略同一に設定されている。第２アクチュエータ５０は、Ｙ方向に互いに並列に近接配置されて、図３及び図４に符号Ｆ２で示す第２階層を形成している。
【００２３】
図１において、これら第２アクチュエータ５０のうち、第２アクチュエータ５０Ａ〜５０Ｄは仮想線Ｖの前記一方側に配置され、第２アクチュエータ５０Ｅ〜５０Ｈは仮想線Ｖの前記他方側に配置されている。詳しくは、前記一方側においては、第２アクチュエータ５０Ａが仮想線Ｖから最も離間して配置され、第２アクチュエータ５０Ｄが仮想線Ｖに最も近接して配置され、これら第２アクチュエータ５０Ａ、５０Ｄ同士の間に、第２アクチュエータ５０Ｂ、５０Ｃがこの順に配置されている。
【００２４】
また、前記他方側においては、第２アクチュエータ５０Ｅが仮想線Ｖから最も離間して配置され、第２アクチュエータ５０Ｈが仮想線Ｖに最も近接して配置され、これら第２アクチュエータ５０Ｅ、５０Ｈ同士の間に、第２アクチュエータ５０Ｆ、５０Ｇがこの順に配置されている。
【００２５】
第１アクチュエータ４０が構成する第１階層Ｆ１と第２アクチュエータ５０が構成する第２階層Ｆ２とは、基材６０上において、第１アクチュエータ４０のロッド４１の軸方向（Ｙ方向）及び第２アクチュエータ５０のロッド５１の軸方向（Ｘ方向）に直交する厚さ方向（Ｚ方向）に積層するように配置されている。本実施形態では、第１アクチュエータ４０の軸方向と第２アクチュエータ５０の軸方向とが水平方向に沿ってそれぞれ延びているとともに、この厚さ方向から見て互いに直交して配置されている。
【００２６】
また、第２アクチュエータ５０のフォーサ５２は、その下面（基材６０側を向く面）が矩形板状の第２支持台６４に固定支持されている。第２支持台６４は、水平方向に拡がるとともにＸ方向に沿って延在しており、その全長が基材６０のＸ方向に沿う幅よりも長く設定されている。また、第２支持台６４のＹ方向に沿う幅は、フォーサ５２の前記幅と略同一又は僅かに大きく設定されている。
【００２７】
また、第２アクチュエータ５０Ａ、５０Ｃ、５０Ｆ、５０Ｈにおける第２支持台６４の下面（基材６０側を向く面）には、一対のスライダ６３Ａ、６３ＡがＸ方向に互いに離間して連結されている。また、第２アクチュエータ５０Ｂ、５０Ｄ、５０Ｅ、５０Ｇにおける第２支持台６４の前記下面には、一対のスライダ６３Ｂ、６３ＢがＸ方向に互いに離間して連結されている。そして、第２アクチュエータ５０Ａ〜５０Ｈのフォーサ５２に一体とされた第２支持台６４には、第１アクチュエータ４０Ａ〜４０Ｈのロッド４１の先端部がこの順に１対１で連結されているのである。
【００２８】
詳しくは、図２において、例えば、互いに隣り合う第１アクチュエータ４０Ａ、４０Ｂ、及び、第２アクチュエータ５０Ａ、５０Ｂに着目すると、第１アクチュエータ４０Ｂは、その隣り合う第１アクチュエータ４０Ａが連結された第２アクチュエータ５０ＡのＺ方向に沿う基材６０側に重なり合うように配置されている。
【００２９】
また、第２アクチュエータ５０のロッド５１の先端部には、外部機器取付部６５が連結されている。本実施形態では、ロッド５１のＸ方向に沿う前記他端に外部機器取付部６５が設けられている。この外部機器取付部６５としては、例えば電子部品等をハンドリングする吸着ノズルやレーザー加工用のプローブ等を用いることができる。本実施形態では、外部機器取付部６５が、Ｚ方向に作業を施すように設定されている。
【００３０】
また、本実施形態のアクチュエータユニット１００では、リニアモータ１１を用いた位置検出システムを構成している。
図５は本発明の一実施形態におけるリニアモータの位置検出システムを示す。この位置検出システムは、リニアモータ１１と、リニアモータ１１のロッド１（図１〜図４においてはロッド４１、５１）の位置を検出する磁気センサ１２と、磁気センサ１２が出力する信号を内挿処理する位置検出回路１３と、を備える。位置検出回路１３が出力する位置の信号は、リニアモータ１１のドライバ１４に出力される。ドライバ１４には、リニアモータ１１を制御するのに適した形態をした電力を供給するＰＷＭインバータ(PWM:Pulse Width Modulation)などの電力変換器、並びに位置検出回路１３からの信号及び上位コンピュータからの指令によって電力変換器を制御する制御器が組み込まれる。磁気センサ１２と位置検出回路１３とは、エンコーダケーブル１５によって接続される。リニアモータ１１のコイルとドライバの電力変換器とは、動力ケーブル１６によって接続される。
【００３１】
図６は、リニアモータ１１の斜視図（一部断面図）を示す。このリニアモータ１１は、フォーサ２（図１〜図４においてはフォーサ４２、５２）に対してロッド１が軸線方向に移動するロッドタイプリニアモータである。例えば、ロッド１の先端にチップ状の電子部品などを取り付け、電子部品を基板上の所定の位置にマウントするのに用いられる。
【００３２】
フォーサ２内には、複数のコイル４が積層される。フォーサ２の両端面それぞれには、エンドケース９が取り付けられる。エンドケース９には、ロッド１の直線運動を案内するための軸受であるブッシュ８が取り付けられる。尚、これらのエンドケース９のうち１つが、位置検出ヘッドとされている。
【００３３】
ロッド１は、例えばステンレス等の非磁性材からなり、パイプのように中空の空間を有する。ロッド１の中空空間には、円柱状の複数のマグネット３（セグメント磁石）が互いに同極が対向するように積層される。すなわちＮ極とＮ極が、Ｓ極とＳ極とが対向するように積層される。マグネット３の間には、例えば鉄等の磁性体からなるポールシュー７（磁極ブロック）が介在される。ロッド１は、積層されたコイル４内を貫通すると共に、フォーサ２に軸線方向に移動可能に支持されている。
【００３４】
図７に示されるように、コイル４は銅線を螺旋状に巻いたもので、コイルホルダ５に保持されている。隣接するコイル４を絶縁させる必要があるので、コイル４間にはリング状の樹脂製スペーサ５ａが介在される。コイルホルダ５上にはプリント基板６が設けられる。コイル４の巻線の端部４ａは、プリント基板６に結線される。
【００３５】
この実施形態では、コイル４及びコイルホルダ５を金型にセットし、溶融した樹脂又は特殊セラミックスを金型内に注入するインサート成形によって、フォーサ２をコイル４と一体に成形する。図６に示されるように、フォーサ２には、コイル４の放熱性を高めるためにフィン２ａが複数形成される。なお、コイルホルダ５に保持されたコイル４をアルミ製のフォーサ２に収納し、コイル４とフォーサ２との間のすきまを接着剤で埋めて、コイル４及びコイルホルダ５をフォーサ２に固定してもよい。
【００３６】
図８は、リニアモータのマグネット３とコイル４の位置関係を示す。コイル４は３つでＵ・Ｖ・Ｗ相からなる一組の三相コイルとなる。一組の三相コイルを複数組み合わせて、コイルユニットが構成される。Ｕ・Ｖ・Ｗ相の三相に分けた複数のコイルに１２０°ずつ位相が異なる三相電流を流すと、コイル４の軸線方向に移動する移動磁界が発生する。ロッド１は、移動磁界により推力を得て、移動磁界の速さに同期してコイル４に対して相対的に直線運動を行う。
【００３７】
図６に示されるように、磁気センサ収容ケースであるエンドケース９の一方には、ロッド１の位置を検出するための磁気センサ１２が取り付けられる。磁気センサ１２は、ロッド１から所定のすきまを開けて配置され、ロッド１の直線運動によって生ずるロッド１の磁界の方向（磁気ベクトルの方向）の変化を検出する。
【００３８】
図９に示されるように、磁気センサ１２は、Ｓｉ若しくはガラス基板２１と、その上に形成されたＮｉ，Ｆｅなどの強磁性金属を主成分とする合金の強磁性薄膜金属で構成される磁気抵抗素子２２を有する。磁気センサ１２は、特定の磁界方向で抵抗値が変化するためにＡＭＲ(Anisotropic-Magnetro-Resistance)センサ（異方性磁気抵抗素子）と呼ばれる。
【００３９】
図１０は、エンドケース９に取り付けられる磁気センサ１２を示す。エンドケース９には、磁気センサ１２を収容するための空間からなる磁気センサ収容部２６が設けられる。磁気センサ収容部２６内に磁気センサ１２を配置した後、磁気センサ１２の周囲を充填材２７で埋める。これにより、磁気センサ１２がエンドケース９に固定される。磁気センサ１２は温度特性を持ち、温度の変化によって出力が変化する。コイル４から受ける熱の影響を低減するため、エンドケース９及び充填材２７には、フォーサ２よりも熱伝導率の低い材料が使用される。例えば、フォーサ２にはエポキシ系の樹脂が使用され、エンドケース９及び充填材２７には、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）が使用される。
【００４０】
図１１は、エンドケース９に取り付けられた軸受であるブッシュ８を示す。エンドケース９に軸受機能を持たせることで、ロッド１と磁気センサ１２との間のギャップが変動するのを防止することができる。
【００４１】
図１２は、位置検出回路１３の構成図を示す。磁気センサ１２が出力する正弦波状信号及び余弦波状信号は、位置検出回路１３に取り込まれる。内挿回路（インターポレータ）である位置検出回路１３は、９０°位相が異なる正弦波状信号及び余弦波状信号にディジタル的な内挿処理を加えて高分解能の位相角データを出力する。ロッド１の磁極間のピッチは例えば数十ｍｍのオーダーであり、磁気式のエンコーダの数百μｍのオーダーに比べてはるかに大きい。ロッド１を磁気スケールとして流用するときには、磁気センサ１２が出力する正弦波状信号及び余弦波状信号を細分化し、分解能を上げる必要がある。磁気センサ１２が出力する正弦波状信号及び余弦波状信号の変化は、分解能を上げた位置検出回路に大きな影響を及ぼす。このため、磁気センサ１２が出力する正弦波状信号及び余弦波状信号の変化は小さいことが望まれる。
【００４２】
９０°位相が異なる正弦波状信号及び余弦波状信号それぞれは、Ａ／Ｄ変換器３０に入力される。Ａ／Ｄ変換器３０は、正弦波状信号及び余弦波状信号それぞれを所定の周期でディジタルデータＤＡ，ＤＢにサンプリングする。
【００４３】
以上説明したように、本実施形態に係るアクチュエータユニット１００によれば、複数の第１アクチュエータ４０を第１階層Ｆ１に互いに近接して並列に配列し、複数の第２アクチュエータ５０を第２階層Ｆ２に互いに近接して並列に配列し、これら第１、第２アクチュエータ４０、５０の軸方向同士を互いに異なる方向に延在させている。すなわち、第１、第２階層Ｆ１、Ｆ２が積層する厚さ方向から見て、第１アクチュエータ４０と第２アクチュエータ５０とは互いにオーバーラップして、略格子状に配置されている。
【００４４】
そして、第１アクチュエータ４０のロッド４１と第２アクチュエータ５０のフォーサ５２とが１対１で連結されていることから、各第１アクチュエータ４０のロッド４１が往復移動（すなわちフォーサ４２に対して伸長又は収縮）することによって、各第２アクチュエータ５０はロッド４１の軸方向に沿って独立して移動可能とされている。これにより、第２アクチュエータ５０同士は互いの軸間ピッチを可変とされているので、一の第２アクチュエータ５０が他の第２アクチュエータ５０の作業の完了を待つことなくロッド５１を伸長・収縮させて、独立して作業を行える。
【００４５】
よって、従来のように、各アクチュエータにおけるそれぞれの作業状況に対応して、アクチュエータユニット全体を順次移動させるような必要が生じない。従って、作業が効率よく行えるとともに生産性が向上する。
また、本実施形態の構成によれば、第１アクチュエータ４０同士、及び、第２アクチュエータ５０同士を確実に近接配置できる。従って、アクチュエータユニット１００をコンパクトに構成できる。
【００４６】
また、第１、第２アクチュエータ４０、５０がリニアモータ１１を用いて構成されているので、アクチュエータユニット１００全体を確実に小型化できる。また、リニアモータ１１を用いることにより、ロッド４１、５１のフォーサ４２、５２に対する往復移動が高精度に行われることから、作業の精度が充分に確保される。
【００４７】
また、第１アクチュエータ４０のロッド４１の移動により、該ロッド４１に連結された第２アクチュエータ５０が水平方向のうちＹ方向に移動される。そして、この第２アクチュエータ５０のロッド５１が水平方向のうちＹ方向と直交するＸ方向に移動することにより外部機器取付部６５が電子部品等に対して作業を行う。これにより、第２アクチュエータ５０のロッド５１の先端部に配置された外部機器取付部６５が作業を行う作業範囲が、水平面内において比較的自在に設定できるとともに、該作業範囲が充分に確保される。
【００４８】
また、第２アクチュエータ５０のフォーサ５２が、基材６０上においてＸ方向に離間する一対の第１支持台６１、６１に支持されていることから、該第２アクチュエータ５０がＹ方向に沿って振れにくく安定して移動する。従って、第２アクチュエータ５０の外部機器取付部６５の作業の精度が充分に確保される。
【００４９】
また、第１支持台６１上においてレール６２Ａ、６２Ｂが互いに並列に近接配置され、スライダ６３Ａ、６３Ｂ同士が互いに千鳥状に配置されていることによって、第２アクチュエータ５０同士を近接配置することができる。これにより、第２アクチュエータ５０同士の軸間ピッチをより縮小できるとともに、これら第２アクチュエータ５０のＹ方向への移動範囲が拡大される。また、アクチュエータユニット１００をさらに小型化することができる。
【００５０】
尚、本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００５１】
例えば、前述の実施形態では、第１、第２アクチュエータ４０、５０がリニアモータ１１を用いて構成されていることとしたが、これに限定されるものではない。すなわち、第１、第２アクチュエータ４０、５０のうち、いずれかがリニアモータ１１を用いて構成されていてもよい。或いは、第１、第２アクチュエータ４０、５０にリニアモータ１１を用いる代わりに、駆動モータの回転運動を直線運動に変換して出力するリニアアクチュエータや、エアシリンダ等を用いても構わない。
【００５２】
また、第１アクチュエータ４０の軸方向と第２アクチュエータ５０の軸方向とが水平方向に沿ってそれぞれ延びているとともに、厚さ方向から見て互いに直交して配置されていることとしたが、これに限定されるものではない。すなわち、第１アクチュエータ４０の軸方向と第２アクチュエータ５０の軸方向とは、互いに交差して配置されていればよく、直交に限定されるものではない。ただし、動作の精度を充分に確保するためには、第１アクチュエータ４０の軸方向と第２アクチュエータ５０の軸方向とのなす角度が、前記厚さ方向から見て８０°〜１００°の範囲内に設定されることが好ましい。
【００５３】
また、前述の実施形態では、第２アクチュエータ５０の前記他端に外部機器取付部６５が設けられていることとしたが、これに限定されるものではなく、外部機器取付部６５が前記一端に設けられていてもよい。
【００５４】
また、前述の実施形態では、外部機器取付部６５として例えば電子部品等をハンドリングする吸着ノズルやレーザー加工用のプローブ等を用い、この外部機器取付部６５がＺ方向に作業を施すように設定されることとしたが、これに限定されるものではない。すなわち、外部機器取付部６５として、例えば、ロッドの軸方向を前記厚さ方向に沿って延ばす他のアクチュエータをさらに配設してもよい。また、外部機器取付部６５が、Ｚ方向以外のＸ方向等に作業を施すように構成されていてもよい。このように、種々様々な要求に対応可能である。
【００５５】
また、前述の実施形態では、基材６０上に、第１アクチュエータ４０Ａ〜４０Ｄと第１アクチュエータ４０Ｅ〜４０Ｈとが仮想線Ｖを挟んで線対称に配置されていることとしたが、これに限定されるものではなく、仮想線Ｖに関して非対称に配置されていても構わない。
【００５６】
また、第１アクチュエータ４０Ａ〜４０Ｄ（４０Ｅ〜４０Ｈ）は、第１アクチュエータ４０Ａ（４０Ｅ）から第１アクチュエータ４０Ｄ（４０Ｈ）へ向かうに従い段階的に仮想線Ｖに近づくように配置されていることとしたが、これに限定されるものではない。すなわち、例えば、第１アクチュエータ４０Ｂ（４０Ｆ）と第１アクチュエータ４０Ｃ（４０Ｇ）とを互いに入れ替えて配置してもよく、またそれ以外の配置としても構わない。また、これら第１アクチュエータ４０Ａ〜４０Ｈに連結される第２アクチュエータ５０Ａ〜５０Ｈの配置を互いに入れ替えても構わない。
【００５７】
また、アクチュエータユニット１００の基材６０は、矩形平板状をなしていることしたが、これに限定されるものではない。すなわち、基材６０は前記一面に凹凸を有して形成されていてもよい。またこの場合、第１アクチュエータ４０が前記一面における凹部又は凸部のいずれに配置されていても構わない。
【００５８】
また、前述の実施形態では、第１、第２アクチュエータ４０、５０のロッド４１、５１は、互いに直交して水平方向に沿うように延びていることとしたが、これに限定されるものではない。すなわち、例えば、第１アクチュエータ４０のロッド４１が水平方向（Ｙ方向）に沿うように延び、第２アクチュエータ５０のロッド５１が鉛直方向（Ｘ方向）に沿うように延びていることとしてもよい。この場合、第１アクチュエータ４０のロッド４１の移動により、該ロッド４１に連結された第２アクチュエータ５０が水平方向に移動される。そして、この第２アクチュエータ５０のロッド５１が鉛直方向に移動することにより、該ロッド５１の先端部に設けられた外部機器取付部６５が、そのＸ方向に配置された電子部品等に対して加工、測定、ハンドリング等の作業を行うことが可能である。尚、この場合、前記厚さ方向（Ｚ方向）が水平方向に設定されることになる。
【符号の説明】
【００５９】
１、４１、５１…ロッド、  ２、４２、５２…フォーサ（支持体）、  ３…マグネット、  ４…コイル、  １１…リニアモータ、  ４０…第１アクチュエータ（アクチュエータ）、  ５０…第２アクチュエータ（アクチュエータ）、  ６５…外部機器取付部、  １００…アクチュエータユニット、  Ｆ１…第１階層、  Ｆ２…第２階層、  Ｘ…第２アクチュエータの軸方向、  Ｙ…第１アクチュエータの軸方向、  Ｚ…厚さ方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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