(57)【要約】【課題】  薄膜太陽電池の電気的処理を、安定的に短時間で行う。【解決手段】  本発明は水を吸着する性質がある材質を含む薄膜太陽電池の電気処理装置に関する。そして、本発明の電気的処理装置は、薄膜太陽電池の電気的処理に用いるプローブユニットと、上記プローブユニットを用いて上記薄膜太陽電池に電気的処理を行う際に、上記プローブユニットが上記薄膜太陽電池に接触して処理を行う処理対象領域を減圧させる吸引機構とを備えることを特徴とする。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄膜太陽電池の電気的処理に用いるプローブユニットと、
上記プローブユニットを用いて上記薄膜太陽電池に上記電気的処理を行う際に、上記プローブユニットが上記薄膜太陽電池に接触して処理を行う処理対象領域を減圧させる吸引機構と
を備えることを特徴とする電気処理装置。
【請求項２】
上記吸引機構は、
当該電気処理装置内で上記薄膜太陽電池全体を覆い、上記薄膜太陽電池の配置位置の近傍に外部の空気を吸気する吸気口が設けられた筐体と、
上記筐体内の空気を吸引する吸引源と
を有することを特徴とする請求項１に記載の電気処理装置。
【請求項３】
上記吸引機構は、
上記処理対象領域の一部を覆う吸引ノズルと、
上記吸引ノズル内の空気を吸引する吸引源と、
上記吸引ノズルにより、少なくとも上記処理対象領域を掃引させるように、上記吸引ノズル又は上記薄膜太陽電池を走査させる駆動機構とを有する
ことを特徴とする請求項１に記載の電気処理装置。
【請求項４】
上記処理対象領域のうち、上記吸引ノズルによる掃引が終了した領域から、上記プローブユニットによる上記電気的処理を開始することを特徴とする請求項３に記載の電気的処理装置。
【請求項５】
上記吸引機構は、
少なくとも上記プローブユニットを覆う吸引ノズルと、
上記吸引ノズル内の空気を吸引する吸引源とを有し、
上記プローブユニットは、
上記薄膜太陽電池と接触する１又は複数の端子と、
上記端子を支持する基板とを有し、
上記基板には、１又は複数の通気孔が設けられている
ことを特徴とする請求項１に記載の電気処理装置。
【請求項６】
当該電気処理装置が上記電気的処理を行う上記薄膜太陽電池は、酸化亜鉛を用いた電極を備えるものであることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の電気処理装置。
【請求項７】
薄膜太陽電池に電気的処理を行う電気処理方法であって、
プローブユニットを用いて上記薄膜太陽電池に上記電気的処理を行う際に、上記プローブユニットが上記薄膜太陽電池に接触して処理を行う処理対象領域を減圧させる
ことを特徴とする電気処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気処理装置及び方法に関し、例えば、薄膜太陽電池を構成する太陽電池セル間の短絡部の有無の検査や、短絡部の除去等の電気的処理に適用し得る。
【背景技術】
【０００２】
薄膜太陽電池は、縦横約１ｍほどの光透過性のガラスなどの基板上に光透過性の基板側電極と光電変換半導体層、および裏面電極とを積層させ、一定の間隔(通常数十μｍ〜百μｍ程度)で一定の幅(通常数ｍｍ〜十ｍｍ程度)に、薄膜太陽電池を構成する太陽電池セルを形成させる溝切り工程を経て製造される。この製造工程において、隣接する太陽電池セル間で短絡部が生じたり、同一太陽電池セルの基板側電極と裏面電極との間で短絡部が生じたりすることがある。また、製造工程中に光電変換半導体層にピンホールが形成されたり、あるいは、不純物の混入により、隣接する太陽電池セル間や、同一太陽電池セルの基板側電極と裏面電極との間で同様の短絡部が生じることも多い。
【０００３】
そのために、従来、薄膜太陽電池の製造工程には、前記短絡部の有無を検査し、検出された短絡部に逆バイアス電圧を印加することにより前記短絡部に電流を集中させ、生じたジュール熱によって該短絡部の導通部を飛散させたり、酸化して絶縁化することにより該短絡部を除去する工程を含む。
【０００４】
薄膜太陽電池の前記短絡部の検出処理や除去処理、特性測定などの方法は、特許文献１、２に開示されている。特許文献２は、太陽電池セルに電圧印加を行うことで、太陽電池セルの特性測定や特性改善を行っており、特許文献１ではこういった太陽電池セル表面に接触可能なプローブが開示されている。
【０００５】
薄膜太陽電池は、前述のように基板となるガラス板に酸化亜鉛や酸化インジウム錫、酸化錫等の透明導電薄膜を塗布して基板側電極とし、その上に多結晶の酸化珪素に特性を決定する僅かな量の物質を混合させ、それぞれＰ層、Ｉ層、Ｎ層として光電変換半導体層を積層形成している。そして、最上層には、銀薄層などが裏面電極として設けられる。太陽光等の励起光は、ガラス基板の側より基板側電極である透明導電薄膜を透して酸化珪素の各層に到達し、光励起されて上部の基板側電極と裏面電極間に電位差を生ずる。
【０００６】
近年では、光励起材料として酸化珪素皮膜以外にも例えば、銅・インジウム・ガリウム・セレン等を用いることなど、また、裏面電極は光の透過性が必要でないため、銀以外に多くの導電材料が用いられる。
【０００７】
一方、基板側電極としては、光透過性が必要なために使用できる導電材料は限られている。そういった中で、酸化亜鉛は、太陽電池電極の目的としての良好な抵抗率、光透過性を持つ以外にも禁制帯幅が３．３７ｅＶ程度のワイドギャップの半導体であり、アルミニウムやガリウム、塩素や弗素をドープすることで、低抵抗化する、また、酸化亜鉛は、還元雰囲気での耐性に優れる、さらに、酸化亜鉛は、原料が安価であるなどの特徴があり、その有用性は高い。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平０９−１８６２１２号公報
【特許文献２】米国特許第４１６６９１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、前述の酸化亜鉛を基板側電極に用いた時の薄膜太陽電池の電気的特性に、例えば、溝によりスクライブされた太陽電池セル間に電圧を印加した場合、漏れ電流値が一定の値に収束するまでの過渡時間が変動するなど、一連の不安定さが見出されることがある。この原因としては、従来より太陽電池セル内部の不純物準位や結晶粒界、その他薄膜の積層間の接合等によってこういった電気的特性の不安定さがもたらされたものと考えられてきた。
【００１０】
この薄膜太陽電池の電気的特性の不安定さにより、従来から、薄膜太陽電池の製造工程において、前述した前記短絡部の検査処理や除去処理で、処理のために長時間を要し、あるいは処理精度が悪くなる場合があった。
【００１１】
そのため、薄膜太陽電池等の電気的処理を、安定的に短時間で行うことができる電気的処理装置及び方法が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
第１の本発明の電気処理装置は、（１）薄膜太陽電池の電気的処理に用いるプローブユニットと、（２）上記プローブユニットを用いて上記薄膜太陽電池に上記電気的処理を行う際に、上記プローブユニットが上記薄膜太陽電池に接触して処理を行う処理対象領域を減圧させる吸引機構とを備えることを特徴とする。
【００１３】
第２の本発明の電気処理方法は、（１）薄膜太陽電池に電気的処理を行う電気処理方法であって、（２）プローブユニットを用いて上記薄膜太陽電池に上記電気的処理を行う際に、上記プローブユニットが上記薄膜太陽電池に接触して処理を行う処理対象領域を減圧させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、薄膜太陽電池の電気的処理を、安定的に短時間で行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】第１の実施形態に係る電気処理装置の概略側面図である。
【図２】酸化亜鉛の薄膜導電電極の電気的特性の実験試料の構成について示した説明図である。
【図３】酸化亜鉛の薄膜導電電極の電気的特性の実験結果について示したグラフである。
【図４】第１の実施形態に係る電気処理装置の概略断面図である。
【図５】第２の実施形態に係る電気処理装置の概略側面図である。
【図６】第２の実施形態に係る吸引ノズルにより薄膜太陽電池を減圧掃引する斜視図である。
【図７】第３の実施形態に係る電気処理装置の概略側面図である。
【図８】第３の実施形態に係るプローブユニットの斜視図である。
【図９】第３の実施形態に係るプローブユニット基板及び吸引カバーの概略上面図である。
【図１０】第１の実施形態に係る変形実施形態の電気処理装置の概略断面図である。
【図１１】第３の実施形態に係る変形実施形態のプローブユニット基板の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
（Ａ）第１の実施形態
以下、本発明による電気処理装置及び方法の第１の実施形態を、図面を参照しながら詳述する。
【００１７】
（Ａ−１）薄膜太陽電池の電気的特性について
まず、本発明の電気処理装置及び方法において処理対象となる、前述の酸化亜鉛を基板側電極に用いた薄膜太陽電池の電気的特性の実験結果について説明する。
【００１８】
これまで酸化亜鉛は、高い水接触角を示し、水に濡れにくい表面を有するとされてきたが、近年に至り酸化亜鉛と同様の物質である、酸化アルミニウムや酸化チタンなどが、フーリエ変換赤外分光分析や近赤外吸収測定の結果などからは、水分子との相互作用が強く水分子の吸着量が多いとする見解もみられる。
【００１９】
本発明者らは、薄膜太陽電池の特性測定等電気的処理において、前述のような酸化亜鉛を用いた基板側電極（酸化亜鉛微粒子の塗布膜からなる）に吸着した水分が影響しているとの予想の下に検討を進めた結果、該吸着水分が、あたかも静電容量を持ち、測定等のために印加された電圧が、該吸着水分に充電されてしまうために、吸着水分量により測定される特性が安定的に得られないのではないかと考えるに至った。
【００２０】
次に、前述の予想に基づき行った、酸化亜鉛の薄膜導電電極の電気的特性に関する実験結果について説明する。
【００２１】
図２は、酸化亜鉛の薄膜導電電極の電気的特性に関する実験試料の構成について示した説明図である。
【００２２】
図２に示すように、ガラス板２１０の上に、８０μｍの溝２３０により仕切られて絶縁分離された厚さがおよそ４００ｎｍの酸化亜鉛を塗布した２つの薄膜導電電極２２０−１、２２０−２が準備されている。
【００２３】
図２に示す実験装置は、図示しない電源により、薄膜導電電極２２０−１、２２０−２間に直流８０Ｖを印加する。また、図示しない検査装置により、電圧印加した際に薄膜導電電極２２０−１、２２０−２間の電流値（漏れ電流値）を測定する。これは薄膜太陽電池の実際の検査工程における漏れ電流測定や、それぞれのセルの間の絶縁抵抗を測定する検査と同様である。
【００２４】
図３は、図２に示す薄膜導電電極２２０−１、２２０−２の間に電圧を印加した実験での印加電圧波形と、電圧印加した際の漏れ電流波形について示す。
【００２５】
図３（ａ）は、第１の環境(２３℃、４０％ＲＨ)の状態で２４時間放置した後における薄膜導電電極２２０−１、２２０−２間の漏れ電流測定実験の結果である。また、図３（ｂ）は、第２の環境(２３℃、８０％ＲＨ)の状態で２４時間放置した後における薄膜導電電極２２０−１、２２０−２間の漏れ電流測定実験の結果である。
【００２６】
図３（ａ）、（ｂ）の図のそれぞれ中央に示された漏れ電流値を比較すると図３（ａ）の漏れ電流値は電圧印加後直ちに約数μＡの安定した漏れ電流値を示すが、図３（ｂ）では漏れ電流が長時間に亘って収束しないことが分かる。
【００２７】
図３に示す実験結果により、薄膜導電電極２２０−１、２２０−２は、その主成分である酸化亜鉛に吸着された水分があたかも静電容量を持っているように振る舞い、印加された電圧による電荷がその吸着水分に充電されてしまうとの予想を裏付けるものであり、したがってその吸着水分の吸着状態や吸着量などの因子が電気的特性の安定に影響を与え、漏れ電流が固有漏れ電流値に収束するまでの時間に差を生じた原因であることを示している。
【００２８】
すなわち以上の実験結果は、押し並べて考えると、酸化亜鉛を代表とするような水分吸着能の大きい材料を主成分とする薄膜層構成を用いた太陽電池セルにおいては、電気的特性が不安定となる要因の一つが、従来疎水性とされてきたにも拘らず酸化亜鉛などの水分吸着能が大きい材料を用いた薄膜層では吸着水分による電気的安定性を損なう可能性があることを強く窺わせるものである。
【００２９】
以上のことにより、酸化亜鉛の薄膜導電電極を用いた薄膜太陽電池について、電気的特性を安定させるには、薄膜太陽電池の吸着水分を除去する吸着水分除去処理が必要となる。
【００３０】
薄膜太陽電池の吸着水分を除去する方法としては、太陽電池基板を加熱する方法が考えられるが、太陽電池装置は一平米を超える大面積であることが一般的であり、加熱プロセスを、かかる太陽電池基板で適用するに、大面積基板に対する加熱源の配置やコスト、加熱に要するエネルギなど、さらには基板全体の昇温に時間がかかることのタクト低下、均一な加熱状態を得ることが難しいことなど問題が多い。
【００３１】
また、薄膜太陽電池の吸着水分を除去する別の方法として、空気流を薄膜太陽電池全面、もしくは電気的処理を行なおうとする領域へ吹き付けることも考えられるが、後述するような吸着水分除去の限界のほか、太陽電池基板上に存在する吸着水分以外の塵埃等が散乱し、例えば、スクライビング残渣が他のセル間に混入して不規則導通を惹起してセルの故障を発生させる恐れがあること、また、薄膜太陽電池に空気流を吹き付けることで、空気流により離脱した吸着水分が空気流の流出方向に送られて新たな吸着を生じる、あるいは吸着水分を含む空気流が基板全体に拡散し、それらが再吸着する際に基板に吸着水分が偏在する、それらが既に測定されたセルに及び、再吸着した場合太陽電池セルおよび電極が不均一に劣化した状態で出荷される恐れがある。さらに、近年、新材料開発による軟材料の使用や、より薄膜化されつつある太陽電池に対して、空気流の吹きつけを行うことは、物理的ダメージを与える可能性があり、将来性を期待し得ない。吸着水分や塵埃の拡散に対しては、空気流の流れ方向を一定に制御することも考えられるが、太陽電池基板のごとき大面積を有する基盤側測定装置では、巨力な吹きつけ空気流を内部に設けた整流板制御するので、装置が大型化、コストの増大は避けられない。
【００３２】
また後述するように、薄膜太陽電池の表面の吸着水分以外の、薄膜太陽電池各層内部に吸着されている吸着水分の除去は前記各方法によっても依然達成されない。
【００３３】
そのことから前述の薄膜太陽電池の特性測定、短絡部除去等に用いられる電気的処理装置の改善された方法は測定時、あるいは電気的処理時における処理方法、就中、プローブユニットの改良等により達成されるものであり、したがって本発明の目的である上記課題の解決は、薄膜太陽電池のかかる吸着水分の除去を効率的に行うことのできる吸引機構により達成されるものである。そして、その吸引機構で、前述の薄膜太陽電池の吸着水分や光電変換層の同様の吸着水分が減圧によって水蒸気圧を下落させることにより、環境温度での沸点下落がこういった吸着水分の脱離をもたらす。こういった効果は、例えば空気流等の吹き付けによっても多少の効果は期待できるものの、薄膜太陽電池の各層の表面に吸着された水分の脱離は相当程度に乾燥された気流と、各層を形成する材料粒子と吸着水分粒子との間に働く分子間凝集力(例えば、ｖａｎ  Ｄｅｒ  Ｗａａｌｓ吸着力など)を断ち切るだけの強い流速などが準備されればある程度の効果を期待し得る。このような薄膜太陽電池の表面の吸着水分の除去はある程度の効果が期待できるものの、前述のように薄膜太陽電池各層内部に存在する吸着水分はかかる気流によっては排除出来ない。特にそれら内部に存在する吸着水分は前述のような各層内部の浮遊電気容量形成に大きな部分を占めているためである。
【００３４】
（Ａ−２）第１の実施形態の構成と動作
図１は、第１の実施形態の電気処理装置１の概略側面図である。
【００３５】
電気処理装置１は、プローブユニット１０、処理対象電池搬送機構２０、及び吸引機構３０を有している。電気処理装置１は、プローブユニット１０を用いて、処理対象の薄膜太陽電池Ｂと電気的に接続し、所定の電気的処理（例えば、前述の短絡部の検査処理や除去処理）を行うものである。なお、薄膜太陽電池Ｂには、前述の酸化亜鉛の基板側薄膜電極が用いられている。
【００３６】
また、図１においては図示を省略しているが、電気処理装置１は、各部の動作を制御する制御部や、プローブユニット１０を動作させる駆動源など、薄膜太陽電池Ｂに電気的処理を行うために必要なその他の構成も有している。
【００３７】
処理対象電池搬送機構３０は、搬送モータや搬送コンベア等からなり、図示しない制御部の制御下で、薄膜太陽電池Ｂを電気的処理位置まで搬送してプローブユニット１０により電気的処理をさせ、電気的処理終了後に、薄膜太陽電池Ｂを次の工程へ搬送するものである。
【００３８】
プローブユニット１０は、複数のプローブピン（端子）１２が取り付けられたプローブユニット基板１１を有している。
【００３９】
プローブユニット１０は、図示しない制御部の制御下で、薄膜太陽電池Ｂに対し相対的に上下動可能である。プローブユニット１０は、処理対象電池搬送機構２０が所定の検査処理位置へ搬出入する際などにおいては、上方の待機位置にあり、薄膜太陽電池Ｂの搬送に支障ないようにされる。プローブユニット１０は、薄膜太陽電池Ｂへの電気的処理時に、プローブピン１２を薄膜太陽電池Ｂの電極に接触させ電気的に接続させる。
【００４０】
プローブユニット基板１１及びプローブピン１２の構成については、既存の薄膜太陽電池を電気的に処理するものと同様のものが設けられている。なお、プローブユニット基板１１に設けられるプローブピン１２の数や位置は接触して電気的に接続される薄膜太陽電池Ｂに設けられた電極に対応して、必要に応じて設けられている。
【００４１】
吸引機構３０は、薄膜太陽電池Ｂに対して、プローブユニット１０による処理が行われる前に、薄膜太陽電池Ｂの少なくとも電気的処理が行なわれる領域について減圧して吸着水分の除去処理を行う。
【００４２】
電気処理装置１では、薄膜太陽電池Ｂが搬入されると、まず吸引機構３０により前述の様な減圧処理を行い、その後、プローブユニット１０による電気的処理を行う。
【００４３】
吸引機構３０は、吸引源３１及び筐体３２を有している。
【００４４】
筐体３２は、処理対象電池搬送機構２０を覆うように取り付けられており、処理対象電池搬送機構２０上を搬送される薄膜太陽電池Ｂを略密閉状態にする。筐体３２の材質は気密性や剛性の高いものを用いることが望ましくここでは耐腐食性からＳＵＳを用いて構成されているが、その他、例えば、金属や樹脂性の材料（例えば、プラスチック、ゴム等）を用いても良い。
【００４５】
また、筐体３２に、処理対象電池搬送機構２０上の薄膜太陽電池Ｂを搬入するための搬入口や、搬出するための搬出口が設けられており、筐体３２内に搬入されてきた薄膜太陽電池Ｂを、略密閉状態に保つために、搬入口及び搬出口に開閉機構を備えている。減圧の制御如何、その他の構成によっては開閉機構を簡易化し、あるいは省略しても良い。
【００４６】
プローブユニット基板１１には、プローブユニット１０を上下動させる駆動機構１１２が備えられており、駆動機構１１２は、図１に示すように筐体３２の上側の内面に固定するようにしても良い。
【００４７】
電気処理装置１本体の図示しない制御部や電源等と、プローブユニット基板１１との間は、ケーブル１１１により接続されている。図１に示すように、ケーブル１１１は、筐体３２に設けられた孔３２３を通って、電気処理装置１本体側に接続されている。なお、孔３２３とケーブル１１１との隙間は、コーキング等により埋められているが、その他の方法で密閉性を確保しても良い。また、ケーブル１１１は、プローブユニット基板１１の上下動の妨げとならない程度の余裕のある長さとすることが望ましい。
【００４８】
図４は、電気処理装置１の概略断面図である。なお、図４においては、プローブユニット１０及び吸引源３１等の図示は省略している。
【００４９】
筐体３２の側面には、図１、図４に示すように、処理対象電池搬送機構２０の薄膜太陽電池Ｂが搬送される搬送路の近傍に、水平方向（搬送路に沿った方向）にスリット３２１が設けられている。また、筐体３２の上部分には開口部３２２があり、開口部３２２には吸引源３１が接続されている。なお、筐体３２において、開口部３２２の位置は限定されないが、薄膜太陽電池Ｂを減圧処理する位置の上方近傍（図１の例では、プローブユニット１０の上方近傍）であることが減圧処理を効率的に行なうことが出来る。
【００５０】
吸引源３１は、筐体３２の開口部３２２から、筐体３２内部を減圧吸引するものである。吸引源３１としては、この目的に適用し得る公知の減圧吸引を行う装置を用いることができる。
【００５１】
吸引源３１により筐体３２内の内部を減圧すると、スリット３２１など筐体３２と薄膜太陽電池Ｂとの間に設けられた間隙部より外部の空気が筐体３２内に導入することで気流が生じる。この気流によって薄膜導電電極と薄膜太陽電池Ｂの各面から脱離された吸着水分が排除され、吸着水分の筐体３２内からの排除が効率的に行われる。
【００５２】
吸引源１４の吸引圧力は調節可能でありその制御方法は公知の方法が適用できる。吸引源１４により減圧吸引圧力は工程等により適宜制御する。
【００５３】
また、吸引源１４による吸引の開始は工程等により適切なタイミングで行なわれ、たとえば薄膜太陽電池Ｂに対する電気的処理が開始される前に吸引を開始することなどが行なわれる。
【００５４】
（Ａ−３）第１の実施形態の効果
第１の実施形態によれば、以下のような効果を得る。
【００５５】
電気処理装置１では、吸引機構３０を設けることにより、薄膜太陽電池Ｂのうち、減圧している領域について吸着水分を除去し、薄膜太陽電池Ｂを電気的処理をする際の電気的安定を保つことができる。前述の図３に示すような特性を有する酸化亜鉛電極を用いた薄膜太陽電池において、薄膜太陽電池Ｂに対する電気的処理に要する時間を短縮し、かつ、処理精度を向上させることができる。
【００５６】
そしてこの電気処理装置１により検査処理を行った後に、密封処理をした製品についても、電気処理装置１により検査処理を行った時と同様の特性が維持され、薄膜太陽電池製品の品質精度を向上させることができる。
【００５７】
また、第１の実施形態では、主に薄膜太陽電池Ｂを減圧処理することを目的として吸引機構３０を設けているが、吸引により脱離した吸着水分だけでなく、薄膜太陽電池Ｂの表面に付着した塵埃も除去し、薄膜太陽電池Ｂの電気的特性をより安定させることができる。
【００５８】
（Ｂ）第２の実施形態
以下、本発明による電気処理装置及び方法の第２の実施形態を、図面を参照しながら詳述する。
【００５９】
（Ｂ−１）第２の実施形態の構成と動作
図５は、第２の実施形態の太陽電池セルを処理する電気処理装置１Ａの概略側面図である。
【００６０】
第２の実施形態の電気処理装置１Ａは、第１の実施形態の吸引機構３０が、吸引機構３０Ａに置き換わっているだけであるため、吸引機構３０Ａ以外の詳しい説明については省略する。
【００６１】
第２の実施形態の吸引機構３０Ａは、吸引源３１、吸引ノズル３４、及びチューブ３５を有している。
【００６２】
図５に示すように、吸引機構３０Ａは、処理対象電池搬送機構２０の搬送路上で、プローブユニット１０の搬送方向前方に配置されており、薄膜太陽電池Ｂは、電気処理装置１Ａに搬入されると、まず吸引機構３０Ａにより第１の実施形態と同様の減圧処理が行われる。その後、薄膜太陽電池Ｂは処理対象電池搬送機構２０によりプローブユニット１０の位置に搬送されプローブユニット１０による電気的処理が行われる。図５では、搬送路上で吸引機構３０Ａにより減圧処理を行う位置と、プローブユニット１０により電気的処理を行う位置とは異なる位置であるものとして説明しているが、減圧処理を行う位置は限定されないものであり、例えば、静止した薄膜太陽電池Ｂに対し吸引機構３０Ａによる減圧処理の後、同一位置にプローブユニット１０が移動して同じ位置で処理を行うようにしても良い。なお、薄膜太陽電池Ｂに対する減圧処理と電気的処理とを同じ位置で行う場合には、プローブユニット１０と吸引機構３０Ａとが互いの動作の妨げにならないようになされている必要がある。
【００６３】
吸引機構３０Ａは、吸引源３１と、薄膜太陽電池Ｂを減圧掃引するための吸引ノズル３４と、吸引源３１との間をつなぐチューブ３５を有している。
【００６４】
図６は、吸引ノズル３４により、薄膜太陽電池Ｂを減圧掃引する様子について示した斜視図である。
【００６５】
吸引ノズル３４の形状や大きさは限定されないが、図５、図６に示すように、四角形の薄膜太陽電池Ｂの１辺と略同じ長さの吸引口３４１（開口部）を設けた形状とすることが良好な結果を得る。
【００６６】
図５、図６において、吸引源３１は、吸引ノズル３４を介して、プローブピン１２が薄膜太陽電池Ｂに接触して処理を行う部分に対して減圧吸引する。なお、吸引源３１は、第１の実施形態と同様のものを適用することができる。
【００６７】
図５において、薄膜太陽電池Ｂの各面のうち、吸引ノズル３４の吸引口３４１の下方の領域は、略密閉状態となり、吸引源３１の減圧吸引により、吸着水分の脱離を促進し除去させる。
【００６８】
そして、吸引機構３０Ａでは、図示しない駆動機構により、吸引ノズル３４を、薄膜太陽電池Ｂの上面の上方に配置し、薄膜太陽電池Ｂを減圧掃引する。図６に示すように、吸引口３４１が薄膜太陽電池Ｂの１辺と略同じ長さである場合には、１方向に一度吸引ノズル３４を走査させれば、薄膜太陽電池Ｂの全ての領域を掃引することができる。
【００６９】
図６において吸引ノズル３４を走査させる方向は、薄膜太陽電池Ｂの全てを掃引することができれば、走査させる方向、吸引口の向き、走査させる回数などは限定されない。例えば、図６に示すように吸引ノズル３４を直線的に一度走査させるようにしても良いし、チューブ３５を軸に回転させても良い。また、図５、図６においては、薄膜太陽電池Ｂは、四角形の板形状であるものとして説明しているが、他の形状（例えば、三角形や丸形の場合）である場合には、吸引ノズル３４の一連の走査を組み合わせることで薄膜太陽電池Ｂの全てを掃引することが出来る。
【００７０】
なお、吸引ノズル３４の材質は限定されないが、気密性、剛性の高いものを用いることが望ましくここでは耐腐食性からＳＵＳを用いて構成されているが、その他、例えば、金属や樹脂性の材料（例えば、プラスチック、ゴム等）を用いても良い。チューブ３５についても、材質は限定されないが、気密性が高く、吸引ノズル３４の動作を妨げない可撓性のある材質を用いることが望ましく、例えば、ゴム等を用いることができる。
【００７１】
吸引源３１の吸引圧力は調節可能でありその制御方法は公知の方法が適用できる。吸引源３１による減圧吸引圧力は工程等により適宜制御する。
【００７２】
例えば、電気処理装置１Ａにおいて、薄膜太陽電池Ｂの減圧処理に要するタクト時間を予め実験等により知ることで、所定時間内で減圧処理が完了（薄膜太陽電池Ｂを電気的に安定状態にさせる処理を完了）するように、吸引源３１による吸引の圧力や、吸引ノズル３４の動作速度を調節するようにしても良い。吸引源３１による吸引の圧力や、吸引ノズル３４の走査については、例えば、図示しない制御部に予め一連の動作内容をプログラミングしたデータを保存しておき、そのプログラムに従って動作させることも出来る。
【００７３】
また、吸引機構３０Ａにより吸引を開始するタイミングは、対象とする薄膜太陽電池Ｂや工程により適宜選ばれる。
【００７４】
（Ｂ）第２の実施形態の効果
第２の実施形態では、第１の実施形態の効果に加えて以下のような効果がある。
【００７５】
第１の実施形態の吸引機構では、処理対象電池搬送機構２０を覆う筐体３２により薄膜太陽電池Ｂを略密閉状態においていたが、第２の実施形態では、吸引ノズル３４により、薄膜太陽電池Ｂを掃引しているので、吸引ノズル３４内のみ減圧をすればよい。
【００７６】
これにより、第２の実施形態では、第１の実施形態よりも吸引する圧力の小さい吸引源を用いることができるなど、吸引機構に用いる構成を小型化し、コストを低減することができる。
【００７７】
さらに、第１の実施形態では、太陽電池のように大面積の基板を減圧処理する場合には、乱流を避けるために装置の大きさなどによっては整流板等を配置して、気流を制御する必要も生じ得るが、第２の実施形態では、吸引ノズル３４内の気流のみを管理すれば良いため、吸引ノズル３４内の構造をより簡易に構成することができる。
【００７８】
（Ｃ）第３の実施形態
以下、本発明による電気処理装置及び方法の第３の実施形態を、図面を参照しながら詳述する。
【００７９】
（Ｃ−１）第３の実施形態の構成と動作
図７は、第３の実施形態の太陽電池セルを処理する電気処理装置１Ｂの概略側面図である。
【００８０】
電気処理装置１Ｂは、プローブユニット１０Ｂ、及び処理対象電池搬送機構２０を有している。なお、処理対象電池搬送機構２０は、第１の実施形態と同様のものであるので説明を省略する。
【００８１】
第１の実施形態では、電気処理装置１に吸引機構３０を設けて、薄膜太陽電池Ｂの乾燥処理を行っていたが、第３の実施形態の電気処理装置１Ｂでは、プローブユニット１０Ｂ自体に吸引機構を備えている。以下、第３の実施形態について、第１の実施形態との差異を中心に説明する。
【００８２】
プローブユニット１０Ｂは、プローブユニット基板１１、吸引ノズル１３、及び吸引源１４を有している。なお、プローブユニット基板１１は、第１の実施形態と略同様のものであるので詳しい説明を省略する。
【００８３】
図８は、プローブユニット１０Ｂの斜視図である。
【００８４】
吸引ノズル１３は、長方形のプローブユニット基板１１を上から覆う吸引カバー１３１と、吸引カバー１３１の上面に設けられた開口部に付けられた円筒形の吸引ダクト１３２とを有している。図８では、図示を省略しているが、図７に示すように吸引ダクト１３２は、吸引源１４と接続されている。
【００８５】
吸引源１４は、吸引ノズル１３を介して、プローブピン１２が薄膜太陽電池Ｂに接触する部分に対して減圧吸引するものである。吸引源１４としては、既存の減圧吸引を行う装置を適用することができる。
【００８６】
図７において、吸引ノズル１３により、薄膜太陽電池Ｂの表面のうち、プローブピン１２が接触し、電気的処理を行う部分を略密閉状態とし、吸引源１４により減圧吸引している。これにより、吸引カバー１３１と薄膜太陽電池Ｂとの間に設けられた間隙部より外部の空気が吸引カバー１３１内に導入することで気流が生じる。この気流によって薄膜導電電極と薄膜太陽電池Ｂの各面から脱離された吸着水分が排除され、吸着水分の排除が効率的に行われる。
【００８７】
吸引ノズル１３の各部の材質は限定されないものであるが、気密性、剛性の高いものを用いることが望ましくここでは耐腐食性からＳＵＳを用いて構成されているが、その他、例えば、金属や樹脂性の材料（例えば、プラスチック、ゴム等）を用いても良い。
【００８８】
プローブユニット基板１１の側面及び上面と、吸引カバー１３１の内面との間は、図８に示すように、吸引源１４の側へ空気流が得られる間隙が設けられている。また、吸引カバー１３１の下端は、プローブユニット１０Ｂが降下した際に、吸引源１４の側へ空気が流れる程度の隙間が設けられていることが望ましい。また、吸引カバー１３１の下端は、プローブユニット１０Ｂが降下し、薄膜太陽電池Ｂと接続する際に妨げとならない位置とする必要がある。
【００８９】
図９は、吸引カバー１３１及びプローブユニット基板１１の概略上面図である。なお、図９においては、吸引ダクト１３２等の図示は省略している。
【００９０】
前述の通り、吸引カバー１３１とプローブユニット基板１１との間は、吸引源１４の側へ空気流が得られる隙間をもって固定されている必要がある。その固定方法は限定されないが、第３の実施形態では、図９に示すようにプローブユニット基板１１の側面と吸引カバー１３１の内面との間を複数の留具１３３（例えば、ボルトやピン等）により固定している。留具１３３を配置することにより、吸引カバー１３１とプローブユニット基板１１との間を、固定しつつ吸引源１４の側への気流を妨げないようにすることができる。
【００９１】
電気処理装置Ｂ１本体の図示しない制御部や電源等と、プローブユニット基板１１との間は、ケーブル１１１により接続されている。そして、図８に示すように、ケーブル１１１は、吸引カバー１３１に設けられた孔１３４を通って、電気処理装置１Ｂ本体側に接続している。なお、孔１３４とケーブル１１１との隙間は、コーキング等により埋められている。また、ケーブル１１１は、プローブユニット１０Ｂの上下動の妨げとならない程度の余裕のある長さとしている。
【００９２】
吸引源１４の吸引圧力は調節可能でありその制御方法は公知の方法が適用できる。吸引源１４により減圧吸引圧力は工程等により適宜制御する。
【００９３】
また、吸引源１４による減圧処理に要するタクト時間を予め実験等により知ることで、所定時間内で減圧処理が完了（薄膜太陽電池Ｂを電気的に安定状態にさせる処理を完了）するように、吸引源１４による吸引の圧力を調節するようにしても良い。
【００９４】
（Ｃ−２）第３の実施形態の効果
第３の実施形態では、第１の実施形態の効果に加えて以下のような効果を得ることができる。
【００９５】
第３の実施形態の吸引機構では、第２の実施形態と同様に、吸引ノズル１３内にのみ減圧すればよい。これにより、第３の実施形態では、第２の実施形態と同様に、吸引する圧力のより小さい吸引源を用いることができるなど、吸引機構に用いる構成を小型化し、コストを低減することができる。また、第３の実施形態では、第２の実施形態と同様に、吸引ノズル１３内の気流だけを管理すれば良い。
【００９６】
また、第３の実施形態の吸引機構では、吸引ノズルとプローブユニットと一体のものとしているので、第２の実施形態のように独立した吸引ノズルを駆動する機構を設けなくても良いので、容易に構成することができる。
【００９７】
（Ｄ）他の実施形態
本発明は、上記の各実施形態に限定されるものではなく、以下に例示するような変形実施形態も挙げることができる。
【００９８】
（Ｄ−１）上記の各実施形態の電気処理装置において、薄膜太陽電池Ｂに減圧処理を施す際に、薄膜太陽電池Ｂを、超音波発生源などを用いて振動させることにより、塵埃の除去をより効率的に行うことができる。
【００９９】
（Ｄ−２）第１の実施形態において、薄膜太陽電池Ｂの全ての領域に気流をゆきわたらせることができるように、筐体３２内に整流板を設けて、吸引処理を行う際の気流を制御するようにしても良い。
【０１００】
図１０は、第１の実施形態の電気処理装置の筐体３２内に、整流板３２４を設けた場合の断面図である。
【０１０１】
図１０の例に示すように、それぞれのスリット３２１から入り込んだ気流が、薄膜太陽電池Ｂの方に指向するように、整流板３２４を配置するようにしても良い。なお、整流板３２４の大きさや形状、筐体３２内で整流板を配置する位置や向きは適宜最良の形態が選ばれる。また、図示しない制御部により制御部の向きを動作させることができる可動式の整流板を用いて、処理対象電池搬送機構２０の上で薄膜太陽電池Ｂが移動しても、常に気流を薄膜太陽電池Ｂの方向に指向させるようにしても良い。
【０１０２】
（Ｄ−３）第１の実施形態において、筐体３２に設けられたスリット３２１の幅や長さは限定されないものであり、スリットの形状ではなく他の形状の孔でも良い。具体的には、例えば、円形や四角形の孔を複数並べて配置するようにしても良い。
【０１０３】
また、スリット３２１（又はスリット３２１に相当する孔）から、外部の塵埃が入り込まないようにフィルタを配置するようにしても良い。
【０１０４】
（Ｄ−４）第２の実施形態においては、吸引ノズル１３が薄膜太陽電池Ｂの全ての領域を掃引するために、吸引ノズル１３が走査するものとして説明したが、薄膜太陽電池Ｂ側を処理対象電池搬送機構２０により走査させるようにしても良い。
【０１０５】
（Ｄ−５）第２の実施形態においては、吸引ノズル１３による掃引を行ってから、プローブユニット１０による電気的処理を行うようにしているが、同時期に並行して行うようにしても良い。例えば、処理対象電池搬送機構２０上を流れる薄膜太陽電池Ｂに対して、吸引ノズル１３が掃引を行い、掃引が完了した領域からプローブユニット１０による電気的処理を開始するようにしても良い。これにより、薄膜太陽電池Ｂに対する処理時間を短縮することができる。
【０１０６】
また、この場合、薄膜太陽電池Ｂが処理対象電池搬送機構２０上を流れると、吸引ノズル１３を動作させなくても、薄膜太陽電池Ｂ上の掃引が行われるような位置に、吸引ノズル１３を固定しておいても良い。なお、その際、吸引ノズル１３による掃引が完了した領域から、プローブユニット１０による電気的処理が開始できるように、吸引ノズル１３とプローブユニット１０の位置関係、及び、処理対象電池搬送機構２０による搬送スピードやタイミングを調節することが望ましい。これにより、吸引ノズル１３自体を動作させる駆動原を備える必要がないので、容易に吸引機構を構築することができる。（Ｄ−６）第３の実施形態で、プローブユニット基板１１は既存のものを適用できる旨説明したが、プローブユニット基板１１において、プローブピン１２が配置されていない領域に１又は複数の通気孔（透孔）を設けるようにしても良い。
【０１０７】
図１１は、プローブピン１２が配置されていない領域に通気孔が設けられたプローブユニット基板１１の斜視図である。
【０１０８】
図１１に示すように、プローブユニット基板１１に複数の通気孔１１３を設けることにより、吸引源３１により吸引する効率を向上させることができる。なお、通気孔１１３の形状、大きさ、数等は、適宜工程や、対象の太陽電池の形態、その他の諸条件に合致するよう最適化して決めることが出来る。
【０１０９】
（Ｄ−７）上記の各実施形態では、本発明の電気処理装置を、薄膜太陽電池に適用する例について説明したが、水を吸着する性質がある材質（例えば、酸化亜鉛）を有する他の回路に適用することが出来る。
【符号の説明】
【０１１０】
１…電気処理装置、１０…プローブユニット、１１…プローブユニット基板、１２…プローブピン、２０…処理対象電池搬送機構、３０…吸引機構、３１…吸引源、３２…筐体、３２１…スリット、３２２…開口部、Ｂ…薄膜太陽電池。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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