(57)【要約】【課題】圧力検出が高感度、高精度、高確度で信頼性が高く、ウォッチに実装可能な小型、低背型の絶対圧力感知ユニットを得る。【解決手段】圧力感知ユニットは、振動部１１ａ、１１ｂ、及び振動部１１ａ、１１ｂの両端に夫々接続される被支持部（基部）１２ａ、１２ｂを有する圧電振動片１０と、各被支持部１２ａ、１２ｂを夫々支持する一対の突出部８ａ、８ｂを一面に備えたダイアフラムとしての薄肉部７ａを有した基板６と、圧電振動片１０を含む薄肉部７ａの一面を気密的に包囲するために基板６に固定された蓋部材２０と、を備えたことを特徴とする圧力感知ユニットである。【選択図】図１
2011133391.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動部、及び振動部の両端に夫々接続される被支持部を有する圧電振動片と、
各被支持部を夫々支持する一対の突出部を一面に備え、ダイアフラムとしての薄肉部を
有した基板と、
前記圧電振動片を含む薄肉部の一面を気密的に包囲するために前記基板に固定された蓋
部材と、を備えたことを特徴とする圧力感知ユニット。
【請求項２】
前記圧電振動片は、一対の平行な振動腕、及び一対の振動腕の両端部間を連設する一対
の基部を有する双音叉型圧電振動素子であることを特徴とする請求項１に記載の圧力感知
ユニット。
【請求項３】
前記基板は、水晶で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力感知ユニッ
ト。
【請求項４】
前記基板は、サファイアで形成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力感知
ユニット。
【請求項５】
前記基板は、金属で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力感知ユニッ
ト。
【請求項６】
請求項１乃至５の何れかに記載の圧力感知ユニットと、
発振回路、カウンター回路、及び演算機能を有するＩＣと、を備えたことを特徴とする
圧力センサー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力感知ユニット、及び圧力センサーに関し、特に水深、高度測定機能付き
時計や、気圧に基づいて高度を測定する小型装置に好適なものである。
【背景技術】
【０００２】
圧力センサーを内蔵して気圧や水深を測定する時計、小型装置等が開発され、製造され
ている。特許文献１には、圧力センサー付電子時計の圧力検出部構造が開示されている。
図７（ａ）は水圧検出用のシリコンダイアフラム型圧力センサーの断面図であり、（ｂ）
はその平面図である。シリコンダイアフラム型圧力センサーは、シリコン単結晶板７１の
片面を円形凹状に彫りこんで形成したダイアフラム７２の他面に、半導体抵抗７３を拡散
形成したものである。半導体抵抗７３はダイアフラムの周辺部の４カ所に９０度間隔で形
成されている。図７のダイアフラム７２の左右の面に圧力差が生じると、ダイアフラム７
２に歪が生じ、半導体抵抗７３の抵抗値が変化する。
４カ所の半導体抵抗７３は、図８に示す回路図のようにブリッジ接続されており、ダイ
アフラム７２の圧力差により出力電圧Ｖｏｕｔが得られる。
【０００３】
図９は、圧力検出部の断面図であり、図中上側は時計外装の外側面を表し、下側は時計
外装の内側面を表す。風防ガラス７５の外側面には網目状の小孔を有するカバー板７６が
固着されている。カバー板７６の下の部分の風防ガラス７５には貫通孔７５ａが設けられ
、風防ガラス７５の内側の開口部にシリコンダイアフラム型圧力センサー７８（センサー
７８）が密閉固着されている。センサー７８の抵抗ブリッジの４個の端子は、導線７９に
より端子基板８０の４個のパターン配線８０ａに接続され、４個の圧接バネ８１を介して
信号処理回路（図示せず）に電気的に接続されている。端子基板８０のパターン配線面上
にはセンサー７８と導線７９を保護するため、保護カバー８２が固定されている。
風防ガラス７５に設けられた小孔７５ａは、外部の圧力をセンサー７８のダイアフラム
へ導入するための圧力導入孔であり、該圧力導入孔にはヤング率が非常に小さい固形物質
、例えばゴム状弾性物質が風防ガラス７５の外側開口部まで充填されている。
ゴム状弾性物質はヤング率が非常に小さく、しかも変形の小さい領域に閉じ込められて
いるため、圧力導入孔に印加された圧力は、センサー７８のダイアフラムまで殆ど減衰す
ることなく伝達されると開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平２−２３６１９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示された圧力検出部構造では、ゴム状弾性物質を用いて
外部圧力を伝達するため、温度変化による前記ゴム状弾性物質の膨張が圧力変化として検
出されることになり、圧力の検出精度に誤差が生じるという問題があった。また、風防ガ
ラスに小孔を開けた構造であるため、水中で使用する圧力センサーとしては信頼性が低い
という問題があった。
本発明は上記問題を解決するためになされたもので、温度変化による検出精度への影響
を抑え、信頼性を高めた圧力感知ユニット、及び圧力センサーを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の
形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本発明の圧力感知ユニットは、振動部、及び該振動部の両端に夫々接続さ
れる被支持部を有する圧電振動片と、前記各被支持部を夫々支持する一対の突出部を一面
に備え、ダイアフラムとしての薄肉部を有した基板と、前記圧電振動片を含む前記薄肉部
の一面を気密的に包囲するために前記基板に固定された蓋部材と、を備えたことを特徴と
する圧力感知ユニットである。
【０００８】
前記蓋部材と前記基板の薄肉部との間で前記圧電振動片を気密的に包囲し、内部空間を
真空とすることにより、前記薄肉部をダイアフラムとし、前記圧電振動片を応力感応素子
とした絶対圧力感知ユニットが構成される。
【０００９】
［適用例２］また、圧力感知ユニットは、前記圧電振動片が、一対の平行な振動腕、及
び該一対の振動腕の両端部間を連設する一対の基部を有する双音叉型圧電振動素子である
ことを特徴とする適用例１に記載の圧力感知ユニットである。
【００１０】
前記圧電振動片として、双音叉型圧電振動子、例えば双音叉型水晶振動素子を用いれば
、圧力の検出の感度、精度、確度が大幅に改善されるという効果がある。また、双音叉型
水晶振動素子の周波数温度特性は良好な特性であるので、圧力の検出精度が優れた圧力感
知ユニットが得られるという効果がある。
【００１１】
［適用例３］また、圧力感知ユニットは、前記基板が、水晶で形成されていることを特
徴とする適用例１に記載の圧力感知ユニットである。
【００１２】
前記基板に水晶板を用いることにより、圧力感知ユニットを時計の風防として使用すれ
ば、水深、高度等を測定可能な絶対圧力センサーを内蔵した時計（ウォッチ）が構成でき
るという効果がある。また、携帯電話等に組み込めば、登山の際の高度計として機能する
という効果がある。即ち、前記基板に水晶板を用いれば、水晶基板のエッチング加工技術
は確立されており、凹部の形状、寸法も所望のものが可能であり、前記薄肉部の厚み、突
出部の大きさも均一もものが得られ、圧力検出の精度が優れた圧力感知ユニットが得られ
るという効果がある。また、前記圧電振動片が水晶を用いて形成されれば、両者の線膨張
係数が同一となり、温度変化によって生じる圧力検出精度の誤差を最小にすることができ
るという効果がある。
【００１３】
［適用例４］また、圧力感知ユニットは、前記基板が、サファイアで形成されているこ
とを特徴とする適用例１に記載の圧力感知ユニットである。
【００１４】
前記基板にサファイア板を用いることにより、圧力感知ユニットを時計の風防として使
用すれば、水深、高度等を測定可能な絶対圧力センサーを内蔵した時計（ウォッチ）が構
成できるという効果がある。また、携帯電話等に組み込めば、登山の際の高度計として機
能するという効果がある。即ち、前記基板にサファイア板を用いることにより、化学的安
定性、高い透明性、高い硬度、機械的強度に優れているので、本圧力感知ユニットを時計
の風防ガラスとして使用すれば、水深を測定する絶対圧力センサーを内蔵した時計（ウォ
ッチ）としての信頼性が高まるという効果ある。
【００１５】
［適用例５］また、圧力感知ユニットは、前記基板が金属で形成されていることを特徴
とする適用例１に記載の圧力感知ユニットである。
【００１６】
時計（ウォッチ）の金属製の裏蓋に凹部加工を施し、その薄肉部をダイアフラムとして
用いることにより、時計に内蔵した強度が強い圧力感知ユニットを構成できるという効果
がある。
【００１７】
［適用例６］本発明の圧力センサーは、適用例１乃至５の何れかに記載の圧力感知ユニ
ットと、発振回路、カウンター回路、及び演算機能を有するＩＣと、を備えたことを特徴
とする圧力センサーである。
【００１８】
圧力センサーは、適用例１乃至５に記載の圧力感知ユニットと、発振回路、カウンター
回路、及び演算機能を有するＩＣと、前記圧力感知ユニット、前記ＩＣ、及び電源等を接
続する透明リード電極と、を備えた圧力センサーである。前記基板に水晶、ガラス、サフ
ァイア等を用いた圧力センサーを時計の風防ガラスに使用すれば、高感度、高精度で水深
、高度等が測定可能であり、信頼性の高い時計（ウォッチ）が構成できるという効果があ
る。また、携帯電話等に組み込めば登山の際の高感度、高精度の高度計として機能すると
いう効果がある。
また、時計（ウォッチ）の金属製の裏蓋を基板として用い、これに凹部の加工を施した
基板を用いれば、水深、高度等を測定できる時計（ウォッチ）が構成できるという効果が
ある。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明に係る圧力感知ユニットの要部を示す図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は底板を除いた底面図。
【図２】（ａ）は基板に凹部を設けた断面図、（ｂ）は突出部を付加した断面図。
【図３】（ａ）は蓋部材の平面図、（ｂ）は蓋部材の断面図。
【図４】双音叉型圧電振動素子を説明する図であり、（ａ）は振動モードの平面図、（ｂ）は振動腕に形成した励振電極と、ある瞬間に発生する電荷の符号を示す図、（ｃ）は励振電極の結線図。
【図５】圧力センサー２の要部を示す断面図。
【図６】圧力センサー３の要部を示す断面図。
【図７】（ａ）はシリコンダイアフラム型圧力センサーの断面図、（ｂ）はその平面図。
【図８】ブリッジ接続回路図。
【図９】従来の圧力検出部の断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１（ａ）は本発明の一
実施形態に係る圧力感知ユニットの構成を示す要部の概略断面図であり、同図（ｂ）は要
部の平面図、同図（ｃ）は蓋部材の底板を除去した要部の裏面図である。
圧力感知ユニット１は、振動部、及び該振動部の両端に夫々接続される被支持部（基部
）を有する圧電振動片１０と、各被支持部（基部）を夫々支持する一対の突出部８ａ、８
ｂを一面に備えたダイアフラムとしての薄肉部７ａを有した基板６と、圧電振動片１０を
含む薄肉部７の一面を気密的に包囲するために基板６に固定された蓋部材２０と、を備え
ている。
【００２１】
基板６は、一方の面の一部に凹部７が形成され、凹部７の底面は一様な厚さの薄肉部７
ａであり、他方の面で薄肉部７ａと対向する領域に同じ高さでその端面が平面の一対の突
出部８ａ、８ｂが形成されている。
基板６は、平板状の水晶板、ガラス板、サファイア板、金属板等から構成し、フォトリ
ソグラフィ技法とエッチング手法を用いて、ダイアフラムとして機能する薄肉部７ａを有
する凹部７と、一対の突出部８ａ、８ｂとを同時に形成したものである。
また、基板６は、図２（ａ）の断面図に示すように平板状の水晶板、ガラス板、サファ
イア板、金属板等の一方の面を、フォトリソグラフィ技法とエッチング手法を用いて、ダ
イアフラムとして機能する薄肉部７ａを有する凹部７を形成した後、図２（ｂ）の断面図
に示すように、薄肉部７ａと対向する所定の位置に一対の突出部８ａ、８ｂを付加しても
よい。また、基板６は、機械加工で形成することもできる。
【００２２】
圧電振動片１０は、例えば、互いに平行に延在する一対の振動腕１１ａ、１１ｂ、及び
各振動腕１１ａ、１１ｂの両端部間を夫々一体的に連結する基部（被支持部）１２ａ、１
２ｂを有する双音叉型圧電振動素子を用いる。
蓋部材２０は、例えば図３（ａ）の平面図、同図（ｂ）の断面図に示すように、矩形状
の底板２１と、底板２１の各辺に沿って夫々直角に立設された４個の同じ高さの側板２２
ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄとから構成される。側板２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄの
端部は夫々同一平面上にある。蓋部材２０の形状は、矩形状に限定するものではなく、円
形、楕円形であってもよい。
蓋部材２０は、水晶板、ガラス板、サファイア板、金属板、セラミック等をエッチング
加工、機械加工、成形加工等することにより形成される。
【００２３】
圧力感知ユニット１は、基板６の一対の突出部８ａ、８ｂの端面に接着剤を塗布し、接
着剤に双音叉型圧電振動素子１０の一対の基部１２ａ、１２ｂを載置し、接着剤を乾燥さ
せた後、蓋部材２０の側板２２ａ〜２２ｄの端面に接着剤を塗布し、双音叉型圧電振動素
子１０の周囲を覆うように基板６の所定の位置に接着、固定した構成を有する。この際、
真空容器の中で蓋部材２０を接着、固定することにより、蓋部材２０で覆われた内部空間
２４が真空となる。内部空間２４を真空とすることにより、絶対圧力感知ユニットを構成
することができる。
また、蓋部材２０の一部に小孔を開けておき、蓋部材２０を基板６に接着固定し、小孔
を介して内部空間２４を真空とした後、小孔を封止する手法を用いて構成してもよい。
接着剤としては、真空が維持でき、且つ接着による歪の発生が少ないもの、例えば低融
点ガラス等がよい。
【００２４】
図４を用いて双音叉型圧電振動素子１０について簡単に説明する。双音叉型圧電振動素
子１０は、図４（ａ）に示すような一対の基部１２ａ、１２ｂ、及び基部１２ａ、１２ｂ
間を連設する一対の振動腕１１ａ、１１ｂを備えた圧電基板からなる応力感応部と、圧電
基板の振動領域上に形成した励振電極と、を備えている。図４（ａ）の破線は双音叉型圧
電振動素子１０の振動姿態を示す平面図である。双音叉型圧電振動素子１０の振動モード
が、一対の振動腕１１ａ、１１ｂの長手方向の中心軸に対して、互いに対称な振動モード
で振動するように励振電極を配置する。図４（ｂ）は振動腕１１ａ、１１ｂに形成した励
振電極と、ある瞬間に励起される励振電極上の電荷の符号を示した平面図である。また、
図４（ｃ）は励振電極の結線を示す模式断面図である。
【００２５】
双音叉型圧電振動素子１０、例えば双音叉型水晶振動素子は伸張・圧縮応力に対する感
度が良好であり、高度計用、或いは深度計用の応力感応素子として使用した場合には、分
解能力が優れているために僅かな気圧差から高度差、深度差を知ることができる。
双音叉型水晶振動素子の周波数温度特性は、上に凸の二次曲線であり、その頂点温度は
水晶結晶のＸ軸（電気軸）の回りの回転角度に依存する。一般的には頂点温度が常温（２
５℃）になるように各パラメータを設定する。
双音叉型水晶振動素子の一対の振動腕に外力Ｆを加えたときの共振周波数ｆFは式（１
）のように表わされる。
ｆF＝ｆ0（１−（ＫＬ2Ｆ）／（２ＥＩ））1/2    （１）
ここで、ｆ0は外力がないときの双音叉型水晶振動素子の共振周波数、Ｋは基本波モー
ドによる定数（＝０．０４５８）、Ｌは振動ビームの長さ、Ｅは縦弾性定数、Ｉは断面２
次モーメントである。断面２次モーメントＩはＩ＝ｄｗ3／１２より、式（１）は式（２
）のように変形することができる。ここで、ｄは振動ビームの厚さ、ｗは幅である。
ｆF＝ｆ0（１−ＳFσ）1/2                      （２）
但し、応力感度ＳFと、応力σとはそれぞれ次式で表される。
ＳF＝１２（Ｋ／Ｅ）（Ｌ／ｗ）2                （３）
σ＝Ｆ／（２Ａ）                              （４）
ここで、Ａは振動ビームの断面積（＝ｗ・ｄ）である。
以上の式から双音叉型水晶振動子に作用する力Ｆを圧縮方向のとき負、伸張方向（引張
り方向）を正としたとき、力Ｆと共振周波数ｆFの関係は、力Ｆが圧縮力で共振周波数ｆF
が減少し、伸張（引張り）力では増加する。また応力感度ＳFは振動ビームのＬ／ｗの２
乗に比例する。
図１に示した応力感応素子としての圧電振動片１０は、双音叉型水晶振動子に限らず、
伸張・圧縮応力によって周波数が変化する圧電振動素子であればどのようなものも用いる
ことが可能である。
【００２６】
図１に示した本発明に係る圧力感知ユニット１の動作について説明する。圧力感知ユニ
ット１の密閉空間２４の圧力をＰ０とし、ダイアフラム（薄肉部）７ａにかかる圧力をＰ
１とする。圧力Ｐ０、Ｐ１が共に等圧力の場合は、ダイアフラム７ａには撓みは生じない
。このときの双音叉型水晶振動子１０の周波数をｆ０とする。
例えば、水深を測定すべく圧力感知ユニット１を水中に沈め、水深を測定する位置の水
圧Ｐ１とする。圧力感知ユニット１の密閉空間２４内は真空にしてあるので、Ｐ１＞Ｐ０
となる。
図１（ａ）のダイアフラム７ａには、（Ｐ１−Ｐ０）の圧力が図中上方から加わるので
、ダイアフラム７ａは下方へ撓む。ダイアフラム７ａが下方に撓むことにより、一対の突
出部８ａ、８ｂはダイアフラム７ａの重心に対して夫々外側方向（図中左右に）拡がる。
一対の突出部８ａ、８ｂが夫々外側方向に拡がる結果、双音叉型水晶振動素子１０には伸
長応力（引張り応力）が働き、双音叉型水晶振動素子１０の周波数は、ｆ０から増加しｆ
１＝ｆ０＋Δｆ１となる。周波数の変化量Δｆ１から圧力（Ｐ１−Ｐ０）を求めることが
できる。Ｐ０は内部空間２４を真空としてあるので零であり、ダイアフラムにかかる圧力
Ｐ１を求めることができる。
【００２７】
圧力感知ユニット１は、基板６と蓋部材２０とにより、圧電振動片１０を気密的に包囲
し、内部空間２４を真空とすることにより、薄肉部７ａをダイアフラムとし、圧電振動片
１０を応力感応素子とした絶対圧力感知ユニットが構成される。基板６に水晶板、ガラス
板、サファイア板等を用いることにより、圧力感知ユニット１を時計の風防ガラスとして
使用すれば、水深、高度等を測定可能な絶対圧力センサーを内蔵した時計（ウォッチ）が
構成できるという効果がある。また、携帯電話等に組み込めば、登山の際の高度計として
機能するという効果がある。
また、圧電振動片１０に双音叉型圧電振動子、例えば双音叉型水晶振動素子を用いれば
、圧力の検出の感度、精度、確度が大幅に改善されるという効果がある。
そのうえ、双音叉型水晶振動素子の周波数温度特性は良好な特性であるので、圧力の検
出精度が優れた圧力感知ユニットが得られるという効果がある。
【００２８】
圧力感知ユニット１の基板６に水晶板を用いれば、水晶基板のエッチング加工技術は確
立されており、凹部７の形状、寸法も所望のものが可能であり、薄肉部７ａの厚み、突出
部８ａ、８ｂの寸法も均一のものが得られ、精度の優れた圧力感知ユニット得られるとい
う効果がある。また、圧電振動片１０が水晶を用いて形成されれば、両者の線膨張係数が
同一となり、温度変化によって生じる圧力検出精度の誤差を最小にすることができるとい
う効果がある。
基板６にサファイア板を用いることにより、化学的安定性、高い透明性、高い硬度、機
械的強度に優れているので、本圧力感知ユニットを時計の風防ガラスとして使用すれば、
水深を測定する絶対圧力センサーを内蔵した時計（ウォッチ）としての信頼性が高まると
いう効果ある。
また、時計（ウォッチ）の金属製の裏蓋に凹部加工を施し、その薄肉部をダイアフラム
として用いることにより、時計に内蔵した強度が強い圧力感知ユニットを構成できるとい
う効果がある。
【００２９】
図５は、圧力センサー２の構成を示す断面図であり、圧力センサー２は、振動部、及び
振動部の両端に夫々接続される被支持部（基部）を有する圧電振動片１０と、各被支持部
を夫々支持する一対の突出部８ａ、８ｂを一面に備えたダイアフラムとしての薄肉部７ａ
を有した基板６と、圧電振動片１０を含む薄肉部７の一面を気密的に包囲するために基板
６に固定された蓋部材２０と、蓋部材２０に接着されたＩＣ３０と、圧電振動片１０の端
部、基板６の一方の面、及び突出部の側面に形成されたリード電極１６と、導線３１と、
を備えている。
蓋部材２０のサイズを、図１に示した蓋部材２０よりも小さくしたのは、圧電振動片１
０の端部に設けた電極パッドが蓋部材２０の外側に位置するようにし、電極パッドとＩＣ
３０の端子、リード電極１６との導通を図るためである。
【００３０】
ＩＣ３０は、圧電振動片１０を励振する発振回路と、発振回路の周波数をカウントする
カウンター回路と、カウンター回路の出力信号を演算する演算回路と、を備えている。
ＩＣ３０の各端子は導線（ボンディングワイヤー）により圧電振動片１０の端部に形成
された電極パッドに接続されている。また電極パッドはリード電極１６により、本体（図
示せず）の電源、表示回路等に接続されている。
また、図５のように別個のＩＣ３０を設けないで、本体（図示せず）のＣＰＵに発振、
カウント、演算処理の機能をもたせてもよい。
図５に示す圧力センサー２の例は、図中上側のＩ側が装置の外面側で、図中下側のＩＩ
側が装置の内部側となる。
【００３１】
図６は、圧力センサー３の構成を示す断面図であり、図５に示す圧力センサー２の上下
を反転させた構造を有している。圧力センサー２の基板６の材料として水晶基板、ガラス
基板、サファイア基板等の絶縁基板を想定しているのに対し、圧力センサー３の基板６は
金属を想定している。そのため、基板６の凹部７を形成した面の対向面（図中上面）には
二酸化ケイ素（ＳｉＯ2）等の絶縁膜９を成膜し、絶縁膜９の上にリード電極１６、突部
８ａ、８ｂを形成している。また、ＩＣ３０は基板６上に設けている。
圧力センサーは、上記の圧力感知ユニットと、発振回路、カウンター回路、及び演算機
能を有するＩＣと、圧力感知ユニット、ＩＣ、及び電源等を接続する透明のリード電極と
、を備えた圧力センサーである。基板６に水晶板、ガラス板、サファイア板等を用いた圧
力センサーを時計の風防ガラスに使用すれば、高感度、高精度で水深、高度等が測定可能
であり、信頼性の高い時計（ウォッチ）が構成できるという効果がある。また、携帯電話
等に組み込めば登山の際の高感度、高精度の高度計として機能するという効果がある。
また、時計（ウォッチ）の金属製の裏蓋を基板として用い、これに凹部の加工を施した
基板を用いれば、水深、高度等を測定できる強度の強い時計（ウォッチ）が構成できると
いう効果がある。
【符号の説明】
【００３２】
１…圧力感知ユニット、２、３…圧力センサー、６…基板、７…凹部、７ａ…薄肉部、８
ａ、８ｂ…突出部、１０…圧電振動片、１１ａ、１１ｂ振動腕、１２ａ、１２ｂ基部、１
６…リード電極、２０…蓋部材、２１…底板、２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄ…側板、
２４…内部空間、３０…ＩＣ、３１…導線
【図１】
2011133391.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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