(57)【要約】【目的】ノズルプレートとヘッドチップとの間の平行度の乱れに影響されず、貼着時にダメージを与えることなく、高精度に位置決めして貼着することのできるインクジェットヘッドの製造方法の提供。【構成】ノズルプレート１を、その長さ方向の少なくとも２箇所をヘッドチップ２に対して突き出すように撓ませて突き出し部１１を形成した状態に保持する工程と、前記保持されたノズルプレート１と前記ヘッドチップ２との相対位置を位置合わせする工程と、前記位置合わせされたノズルプレート１と前記ヘッドチップ２とを相対的に移動させることにより、前記ノズルプレート１における前記突き出し部１１を前記ヘッドチップ２に対してそれぞれ接触させ、前記ノズルプレート１と前記ヘッドチップ２との相対位置を前記突き出し部１１で位置決めする工程とを有することを特徴とする。【選択図】        図１
2011042130.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数のノズルが配列されたノズルプレートを、前記ノズルに対応する多数のチャネルが配列されたヘッドチップに対して位置合わせして貼着するインクジェットヘッドの製造方法において、
前記ノズルプレートを、その長さ方向の少なくとも２箇所を前記ヘッドチップに対して突き出すように撓ませて突き出し部を形成した状態に保持する工程と、
前記保持されたノズルプレートと前記ヘッドチップとの相対位置を位置合わせする工程と、
前記位置合わせされたノズルプレートと前記ヘッドチップとを相対的に移動させることにより、前記ノズルプレートにおける前記突き出し部を前記ヘッドチップに対してそれぞれ接触させ、前記ノズルプレートと前記ヘッドチップとの相対位置を前記突き出し部で位置決めする工程とを有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記ノズルプレートの両端側に位置する２つの前記突き出し部は、前記ノズルプレートの前記突き出し部の最大突き出し量をＡ、前記突き出し部の頂部間の距離をＢ、前記ノズルプレートの端部から前記各突き出し部の頂部までの距離をそれぞれＣ、Ｄとしたとき、
Ａ≧（Ｂ＋Ｃ）＊ｔａｎθ
且つ
Ａ≧（Ｂ＋Ｄ）＊ｔａｎθ
（但し、θ＝±０．０１°）
を満たすように形成することを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３】
Ａ／Ｂ≦０．００３３３３であることを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記ノズルプレートを吸引力によって保持する保持装置によって保持し、
前記保持装置に、前記ノズルプレートを吸引しない非吸引部を形成することによって、前記突き出し部を形成することを特徴とする請求項１、２又は３記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記吸引力を調整することによって、前記突き出し部の突き出し量を調整することを特徴とする請求項４記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記非吸引部において、少なくとも前記突き出し部がそれぞれ前記ヘッドチップと接触するまで、前記ノズルプレートが前記保持装置から剥離しない程度に気体を噴射することにより、前記突き出し部を形成することを特徴とする請求項４記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記気体の噴射量を調整することによって、前記突き出し部の突き出し量を調整することを特徴とする請求項６記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はインクジェットヘッドの製造方法に関し、詳しくは、ヘッドチップにノズルプレートを貼着するに際し、高い位置合わせ精度で貼着することができるインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体をノズルから液滴状に吐出させることにより画像を記録するインクジェットヘッドには、多数のノズルをノズルプレートに形成し、このノズルプレートを多数のチャネルや各チャネル内の液体を吐出させる吐出手段、液体の供給流路等を有するヘッドチップに接着剤を用いて貼着するものがある。
【０００３】
この場合、ノズルプレートをヘッドチップに貼り合わせる方法としては、図５に示すように、
（ａ）ノズルプレート１００を吸引力、磁力等により保持装置２００に固定する。
（ｂ）ノズルプレート１００のハンドリングを行い、各ノズル１０１と各チャネル３０１とが合致するようにヘッドチップ３００に対して位置合わせを行う。
（ｃ）ノズルプレート１００をヘッドチップ３００に押し付ける。
（ｄ）保持装置２００の保持をやめ、ノズルプレート１００から分離する。
という手順を採るものが一般的である。
【０００４】
なお、図中、４００は接着剤層である。接着剤層４００はノズルプレート１００側に設けられている場合もある。
【０００５】
ノズルプレートとヘッドチップとが貼り合わされると、チャネル内に接着剤のフィレットが形成されるが、両者の位置合わせ精度が悪いと、ノズルに対して接着剤フィレットが均一でなくなり、液滴の吐出に悪影響を及ぼしたり、ノズルが詰まってしまう問題があるため、貼着時の位置合わせ精度を保つことは極めて重要である。
【０００６】
また、近年、インクジェットヘッドはノズルが高密度化してきている。このため、ヘッドチップに形成されるチャネルは、その配列方向（Ｘ方向）の幅が、配列方向と直交する方向（Ｙ方向）の幅に対して狭くなってきており、チャネルの配列方向に沿う位置精度が特に重要となってきている。
【０００７】
一般に、ノズルプレートは薄い方が液滴吐出の際のエネルギー損失が小さいために有利である反面、剛性が低くなり、変形を生じ易くなるという問題がある。この変形の問題は、ノズルプレートが長くなるほど、すなわち、一列に配列されるノズル数が多くなるほど顕著となる。よって、上記（ｂ）においてノズルプレート１００とヘッドチップ３００との位置精度が保たれていたとしても、図６に示すように、ノズルプレート１００の長さ方向（Ｘ方向）の一方の端部１００ａだけがヘッドチップ３００に接している状態で保持装置２００の吸引をオフにしてしまうと、ノズルプレート１００の剛性は極めて低いために、他方の端部１００ｂが保持装置２００から剥離し、何らの支持もなく不確定な位置に落下してしまうことにより、この端部１００ｂ側の位置決め精度は保障されなくなってしまう。
【０００８】
このため、位置決めされた最適な状態のままノズルプレートとヘッドチップとを貼着するには、ノズルプレートは両端側の少なくとも２箇所でヘッドチップに接していることが必要となるが、図６のようにノズルプレート１００とヘッドチップ３００との平行度が乱れた状態で、両端が共に接するようにするために更に加圧すると、ノズルプレート、ヘッドチップ共にダメージを受けるだけでなく、ノズルプレートに余計な力が掛かるために、逆に位置決め精度を保つことが困難となってしまう問題がある。
【０００９】
なお、本発明における平行度とは、ノズルプレート１００の表面とヘッドチップ３００のノズルプレート貼着面との間におけるノズルプレート１００の長さ方向の平行度をいう。
【００１０】
また、ノズルプレートの長さ方向とは、多数のノズルが配列されることにより構成されるノズル列の長さ方向に沿う方向のことである。ノズル列は１列に限らず複数列配列される場合もある。
【００１１】
以上のような問題を解決するためには、ノズルプレートに余計な外力を掛けることなく、ノズルプレートとヘッドチップにおける両端もしくは両端近傍が接することが必要であり、このため、ノズルプレートの保持装置とヘッドチップとの平行度をある一定の範囲に保たなくてはならない。しかし、この平行度を常に一定の範囲に保つことは難しく、特に、ノズルプレートが長尺化する程、一層困難となってくる。
【００１２】
従来、ヘッドチップにノズルプレートを貼着する技術として、ヘッドチップのインク流路から気体を噴射させつつ、ノズルプレートを貼り合わせることにより、接着剤がノズルからインク流路等に入り込むことを防止する技術（特許文献１）や、ヘッドチップとの接着面に接着剤層を形成したノズルプレートを熱剥離テープで保持し、ヘッドチップとの位置合わせの後、加熱圧接着して、ノズルプレートを熱剥離テープから剥離させることにより、ノズルプレートを高い精度で貼着できるようにする技術（特許文献２）がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特開平１１−１６５４１９号公報
【特許文献２】特開平１１−１２９４８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
特許文献１は、ノズルやインク流路内への接着剤の流れ込みを防止するものであり、長尺なノズルプレートをヘッドチップに対して貼着する際の両者間の平行度が乱れることによる上記問題を解決するものではない。
【００１５】
また、特許文献２は、熱剥離テープによって保持されたノズルプレートをヘッドチップに対して位置決めして貼着した後の熱剥離テープとノズルプレートとの剥離を容易化して製造効率を向上させることを目的としたものであり、ノズルプレートとヘッドチップとを位置決めしてから両者を貼り合わせるまでの工程において、長尺なノズルプレートとヘッドチップとの間の平行度が乱れることによる上記問題を解決するものではない。
【００１６】
そこで、本発明は、ノズルプレートとヘッドチップとの間の平行度の乱れに影響されず、また、貼着時にノズルプレートやヘッドチップにダメージを与えることなく、両者を高精度に位置決めして貼着することのできるインクジェットヘッドの製造方法を提供することを課題とする。
【００１７】
本発明の他の課題は、以下の記載により明らかとなる。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記課題は、以下の各発明によって解決される。
【００１９】
請求項１記載の発明は、多数のノズルが配列されたノズルプレートを、前記ノズルに対応する多数のチャネルが配列されたヘッドチップに対して位置合わせして貼着するインクジェットヘッドの製造方法において、
前記ノズルプレートを、その長さ方向の少なくとも２箇所を前記ヘッドチップに対して突き出すように撓ませて突き出し部を形成した状態に保持する工程と、
前記保持されたノズルプレートと前記ヘッドチップとの相対位置を位置合わせする工程と、
前記位置合わせされたノズルプレートと前記ヘッドチップとを相対的に移動させることにより、前記ノズルプレートにおける前記突き出し部を前記ヘッドチップに対してそれぞれ接触させ、前記ノズルプレートと前記ヘッドチップとの相対位置を前記突き出し部で位置決めする工程とを有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
【００２０】
請求項２記載の発明は、前記ノズルプレートの両端側に位置する２つの前記突き出し部は、前記ノズルプレートの前記突き出し部の最大突き出し量をＡ、前記突き出し部の頂部間の距離をＢ、前記ノズルプレートの端部から前記各突き出し部の頂部までの距離をそれぞれＣ、Ｄとしたとき、
Ａ≧（Ｂ＋Ｃ）＊ｔａｎθ
且つ
Ａ≧（Ｂ＋Ｄ）＊ｔａｎθ
（但し、θ＝±０．０１°）
を満たすように形成することを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
【００２１】
請求項３記載の発明は、Ａ／Ｂ≦０．００３３３３であることを特徴とする請求項２記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
【００２２】
請求項４記載の発明は、前記ノズルプレートを吸引力によって保持する保持装置によって保持し、
前記保持装置に、前記ノズルプレートを吸引しない非吸引部を形成することによって、前記突き出し部を形成することを特徴とする請求項１、２又は３記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
【００２３】
請求項５記載の発明は、前記吸引力を調整することによって、前記突き出し部の突き出し量を調整することを特徴とする請求項４記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
【００２４】
請求項６記載の発明は、前記非吸引部において、少なくとも前記突き出し部がそれぞれ前記ヘッドチップと接触するまで、前記ノズルプレートが前記保持装置から剥離しない程度に気体を噴射することにより、前記突き出し部を形成することを特徴とする請求項４記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
【００２５】
請求項７記載の発明は、前記気体の噴射量を調整することによって、前記突き出し部の突き出し量を調整することを特徴とする請求項６記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれは、ノズルプレートとヘッドチップとの間の平行度の乱れに影響されず、また、貼着時にノズルプレートやヘッドチップにダメージを与えることなく、両者を高精度に位置決めして貼着することのできるインクジェットヘッドの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】保持装置に保持されたノズルプレートをヘッドチップに対して位置合わせする様子を示す側面図
【図２】保持装置に保持された状態のノズルプレートの表面を示す図
【図３】保持装置に保持されたノズルプレートをヘッドチップに対して貼着する様子を示す側面図
【図４】（ａ）はノズルプレートの各部の寸法を説明する図、（ｂ）はノズルプレートをヘッドチップに対して貼着する様子を模式的に示す図
【図５】ノズルプレートとヘッドチップとを貼着する従来方法を示す工程図
【図６】ノズルプレートとヘッドチップとの間の平行度が乱れた状態を示す説明図
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
【００２９】
本発明において、インクジェットヘッドは、多数のノズルが配列されたノズルプレートを、ノズルに対応する多数のチャネルが配列されたヘッドチップに対し、ノズルの位置とチャネルの位置とが合致するように位置合わせして貼着することによって製造される。
【００３０】
ヘッドチップは、ノズルから液滴を吐出させるための液滴吐出手段を備えたアクチュエータとして機能する。液滴吐出手段としては、液体流路となるチャネルの壁面の少なくとも一部をＰＺＴ等の圧電素子によって形成し、その壁面が変形することによってチャネル内の液体をノズルから液滴として吐出させるもの、チャネル内に臨んで振動板を備え、振動板を圧電素子によって振動させることによってチャネル内の液体をノズルから液滴として吐出させるもの、チャネル内に熱源を備え、チャネル内の液体を加熱して気泡を生成させ、その気泡の破裂作用によって液体をノズルから液滴として吐出させるもの等があるが、本発明において液滴吐出手段は特に問わず、いずれの手段でもよい。
【００３１】
ノズルプレートには、ヘッドチップの各チャネルに対応するように、該ヘッドチップに貼着される前に予め多数のノズルが開口形成される。ノズルプレートの材質としては、樹脂製、金属製等があり、本発明においていずれを用いることもできるが、特に樹脂製のノズルプレートは変形を生じ易いため、本発明において顕著な効果が得られる。樹脂としては、例えば、ポリアルキレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルスルホン、ポリカーボネート、酢酸セルロース、ポリフェニレンスルフィド等が挙げられる。
【００３２】
ノズルプレートの厚みは、一般に２０μｍ〜３００μｍとされる。特に、本発明においては１００μｍ以下の薄いノズルプレートを用いる場合に顕著な効果を発揮する。
【００３３】
本発明において、ノズルプレートをヘッドチップに対して貼着するに際し、ノズルプレートの長さ方向の少なくとも２箇所をヘッドチップに対して突き出すように撓ませて突き出し部を形成した状態に保持する。
【００３４】
この状態を図１に示す。図１は保持装置に保持されたノズルプレートをヘッドチップに対して位置合わせする様子を示す側面図である。図中、１はノズルプレート、２はヘッドチップである。
【００３５】
ノズルプレート１は、保持装置３に保持されている。本発明において、保持装置３としては、ノズルプレート１を適宜の保持手段によって保持し、そのヘッドチップ２との貼着面をヘッドチップ２に対して対面させ、該ヘッドチップ２に対して相対的に移動させることにより、位置決め及び貼着を行うことができるものである。
【００３６】
保持手段としては、空気を吸引した時の吸引力によってノズルプレート１を吸引保持するものが好ましい。吸引手段のオン、オフによってノズルプレート１の吸引、解除が容易であり、また、後述するように、ノズルプレート１を部分的に撓ませて突き出し部１１を形成することが容易に行えるためである。図１に示す保持装置３はこのような吸引保持を行うものを例示している。
【００３７】
保持装置３は、不図示の吸引手段の駆動によって、保持装置３におけるノズルプレート保持面３１にノズルプレート１を吸引保持するようになっている。
【００３８】
ノズルプレート保持面３１には、吸引手段の駆動によって吸引動作を行う吸引部３１ａと、吸引手段の駆動時でも吸引を行わない所定幅の非吸引部３１ｂを有している。
【００３９】
吸引部３１ａには、吸引手段の駆動によって空気を吸引してノズルプレート１を吸引力によって保持するための多数の吸引口（図示せず）が配列されている。
【００４０】
一方、非吸引部３１ｂは、ノズルプレート保持面３１におけるノズルプレート１の長さ方向（Ｘ方向）の両端近傍の２箇所に対応する部位に設けられている。非吸引部３１ｂは、ノズルプレート１の長さ方向（Ｘ方向）と直交する幅方向（Ｙ方向、図示面に対して垂直方向）の全長に亘って設けられている。この非吸引部３１ｂは、吸引口が形成されていない部位であり、ノズルプレート１を吸引力によって保持することはない。
【００４１】
この非吸引部３１ｂは、吸引部３１ａにおける吸引口の配列ピッチをＰとした場合、Ｘ方向に隣接する吸引口の間隔を２Ｐ以上開けることによって形成される。
【００４２】
これにより、吸引手段を駆動させてノズルプレート保持面３１にノズルプレート１を吸引保持すると、２箇所の非吸引部３１ｂにおいてノズルプレート１には吸引力は作用しないため、図示するように、これら非吸引部３１ｂの部位においては、その他のノズルプレート保持面３１に吸引保持されている部位に対し、吸引力が作用しない分、その下方のヘッドチップ２側に僅かながらも突き出すように撓み、それぞれ突き出し部１１が形成された状態で保持される。この突き出し部１１は、図２に示されるように、ノズルプレート１の幅方向（Ｙ方向）に亘って形成される。
【００４３】
なお、実際の突き出し部１１の突き出し量は極めて微小であるが、図１では説明の便宜のため誇張して示している。また、図２において符号１３はノズルである。
【００４４】
この突き出し部１１の形成箇所は、少なくとも２箇所あればよいが、数が多くなると、保持装置３によるノズルプレート１の保持力が弱くなり、また、本発明の効果も得られにくくなるため、図示するように２箇所とすることが好ましい。
【００４５】
また、各非吸引部３１ｂのＸ方向の幅（各突き出し部１１のＸ方向の幅）Ｗは同一であることが好ましい。この幅Ｗは、それぞれノズルプレート１のＸ方向に沿う全長の５〜１５％とすることが好ましい。
【００４６】
この後、保持装置３の保持されたノズルプレート１とヘッドチップ２とは、各ノズルと各チャネルとの相対位置が、適宜の位置合わせ手段によって互いに適正に位置合わせされる。ここで、ノズルプレート１とヘッドチップ２との間の平行度が乱れており、各突き出し部１１の頂部１１ａの高さ位置（各突き出し部１１の頂部１１ａの突出高さは同一であるとする。）の間に、距離ｈだけの差が生じているものとする。
【００４７】
この状態で、ノズルプレート１をヘッドチップ２に貼着するため、例えば保持装置３側をヘッドチップ２側に向けて下動させると、図１における左側の突き出し部１１の頂部１１ａだけが先にヘッドチップ２のノズルプレート貼着面２１に接触し、ノズルプレート１の表面又はノズルプレート貼着面２１のいずれかに設けられた不図示の接着剤層の粘着力によって先に粘着保持されることになる。
【００４８】
しかし、この突き出し部１１は下方に突き出ているために撓むことが可能であるため、更に保持手段３を下動させることによって先にヘッドチップ２のノズルプレート貼着面２１と接触した突き出し部１１を撓ませることができる。これにより、ノズルプレート１やヘッドチップ２に大きな外力を掛けることはなく、これらにダメージを与えることなく、また、ノズルプレート１も、ずれを生じるような外力を受けることなく、ノズルプレート１を保持した保持装置３をヘッドチップ２に向けて下動させることができる。
【００４９】
保持装置３を更に下動させると、図３に示すように、右側の突き出し部１１の頂部１１ａもヘッドチップ２のノズルプレート貼着面２１に接触するため、ノズルプレート１は、両端側の２箇所においてヘッドチップ２と接触し、それぞれ不図示の接着剤層の粘着力によって粘着保持される。従って、この後、吸引手段をオフにして吸引保持を解除しても、ノズルプレート１は両端側の２箇所でヘッドチップ２と接触して粘着保持されることでヘッドチップ２との間の位置決め状態が保たれる。この後、ノズルプレート１の全面をヘッドチップ２に貼着する。
【００５０】
これにより、貼着前における保持装置３に保持されたノズルプレート１とヘッドチップ２との間の平行度の許容範囲は大きくなり、その平行度の乱れに影響されず、また、貼着時にノズルプレート１やヘッドチップ２にダメージを与えることなく、両者の位置合わせ精度を容易に確保することができるようになる。
【００５１】
ノズルプレート１における突き出し部１１の位置は、ノズルプレート１の長さ方向の両端に近いことが望まれるが、ノズルプレート１の両端は保持装置３によって保持された状態としておく。ノズルプレート１の両端における位置決め精度を確保するためである。このため、保持装置３に保持された状態のノズルプレート１は、突き出し部１１よりも端部側に、保持装置３のノズルプレート保持面３１に保持される保持領域１２を有する。
【００５２】
ノズルプレート１とヘッドチップ２との間の平行度が乱れていると、ノズルプレート１のいずれか一方の端部側が他方の端部側よりもヘッドチップ２のノズルプレート貼着面２１に近接する。このとき、保持領域１２のＸ方向の長さが長すぎると、あるいは、突き出し部１１の突き出し量が小さすぎると、各突き出し部１１がヘッドチップ２のノズルプレート貼着面２１と接するより先に、ノズルプレート１のいずれか一方の端部が接触してしまうおそれがある。従って、本発明においては、貼着時にノズルプレート１とヘッドチップ２とを相対的に移動させた場合、ノズルプレート１の端部よりも先に両端側の２箇所の突き出し部１１がそれぞれノズルプレート貼着面２１と接するように、突き出し部１１の位置及びその突出高さを規定することが好ましい。
【００５３】
ここで、本発明者の知見によると、ノズルプレート１とヘッドチップ２とを貼着する際に、両者間の平行度のロバスト性が±０．０１°程度あれば、安定した貼着作業を行うことができることがわかっている。よって、ノズルプレート１の表面（突き出し部１１を除く表面）とノズルプレート貼着面２１との間におけるノズルプレート１の長さ方向のなす角θが０．０１°のときに、ノズルプレート１のいずれかの端部よりも先に両端側の２箇所の突き出し部１１がノズルプレート貼着面２１に接すればよいことになる。
【００５４】
従って、図４（ａ）に示すとおり、ノズルプレート１の突き出し部１１の最大突き出し量（頂部１１ａの突出高さ）をＡ、最も両端側に位置する２つの突き出し部１１間の距離（頂部１１ａ間の距離）をＢ、ノズルプレート１の端部から最も両端側に位置する各突き出し部１１までの距離（頂部１１ａまでの距離）をそれぞれＣ、Ｄとしたとき、図４（ｂ）に模式的に示すように、Ａ≧（Ｂ＋Ｃ）＊ｔａｎθ、且つ、Ａ≧（Ｂ＋Ｄ）＊ｔａｎθの条件を満たしていればよい。
【００５５】
この条件を満たすことにより、ノズルプレート１の端部よりも先に両端側の２箇所の突き出し部１１を接触させることができ、ノズルプレート１とヘッドチップ２との位置合わせ精度を保ったままノズルプレート１をヘッドチップ２に貼着することができる。
【００５６】
このとき、Ａ／Ｂ≦０．００３３３３であることが好ましい。ノズルプレート１の突き出し部１１の突き出し量Ａが大きくなると、ノズルプレート１の厚み方向のうねりが大きくなり、このうねりがノズルプレート１のＹ方向の撓みとなって、ノズルプレート１が変形した状態のままヘッドチップ２に対して貼着されてしまうおそれがある。ノズルプレート１が変形された状態で貼着されてしまうと、各ノズル１３とヘッドチップ２の各チャネルとの位置関係が乱れ、場合によっては吐出曲がりを引き起こすおそれがある。Ａ／Ｂが上記条件を満たすようにすることで、吐出曲がりのない適正な吐出が可能なインクジェットヘッドとすることができる。
【００５７】
本発明において、保持装置３として、本実施形態に示すようにノズルプレート１を吸引力によって保持するものである場合、その吸引力は調整可能であることが好ましく、吸引力を調整することによって、突き出し部１１の突き出し量（突出高さ）を調整することが好ましい。これにより突き出し部１１の突き出し量を簡単に調整することができる。
【００５８】
また、保持装置３における非吸引部３１ｂには、例えば空気等の気体を噴射可能な噴射口を有する構成とし、少なくとも突き出し部１１がそれぞれヘッドチップ２のノズルプレート貼着面２１と接触するまで、ノズルプレート１がノズルプレート保持面３１に吸引力によって吸引保持された状態で、ノズルプレート１がノズルプレート保持面３１から剥離しない程度に噴射口から気体を噴射することにより、ノズルプレート１に各突き出し部１１を形成するようにすることも好ましい。これにより、ノズルプレート１に確実に突き出し部１１を形成することができる。
【００５９】
この場合、気体の噴射量を調整することによって、突き出し部１１の突き出し量を調整することも好ましい。
【実施例】
【００６０】
（実施例１）
ノズルプレートをヘッドチップに貼着する際の２つの突き出し部の位置及び突き出し量による位置合わせ精度の確認を行った。
保持装置は、吸引型の保持装置とし、そのノズルプレート保持面の２箇所に非吸引部（Ｘ方向幅８ｍｍ）を設けることによってノズルプレートの突き出し部を形成するようにした。
【００６１】
＜ノズルプレート仕様＞
ノズルプレート長さ（Ｘ方向）：８０ｍｍ
ノズルプレート幅（Ｙ方向）：３ｍｍ
ノズル径：３０μｍ
ノズルピッチ：１４１μｍ
ノズル列：２列
厚さ：０．１ｍｍ
樹脂：ポリイミド
【００６２】
＜ヘッドチップ仕様＞
チャネル幅（Ｘ方向）：８０μｍ
チャネル幅（Ｙ方向）：３００μｍ
チャネルピッチ：１４１μｍ
チップ長さ（Ｘ方向）：８０ｍｍ
チップ幅（Ｙ方向）：３ｍｍ
【００６３】
ノズルプレートの突き出し部の位置及び突き出し量について、表１に示すとおりにパラメータをふり、ノズルプレートの長さ方向（Ｘ方向）の位置精度を確認した。なお、Ａ〜Ｄ（単位：ｍｍ）及びθ（単位：°）は図４に示した部位の値を示す。
【００６４】
位置合わせ精度の評価は、ノズルプレートとヘッドチップとを位置合わせした貼着前の状態と両者を貼着して押し付けた後の状態とで、ノズルプレートとヘッドチップとの間の相対位置に変化がないことを理想状態とし、この理想状態に対して１０μｍ以上相対位置が変化したか否かで行い、変化量が１０μｍ以上である場合を×、１０μｍ未満である場合を○とした。
【００６５】
【表１】
2011042130.tif 000003
【００６６】
Ａ≧（Ｂ＋Ｃ）＊ｔａｎθ、且つ、Ａ≧（Ｂ＋Ｄ）＊ｔａｎθの条件を満たす場合は、ノズルプレートとヘッドチップとの位置精度が理想状態で貼着されることがわかる。
【００６７】
（実施例２）
以下に示す仕様のノズルプレート及びヘッドチップを用い、表２に示すとおりにパラメータをふり、Ａ／Ｂの値と吐出曲がりの発生状況を確認した。なお、Ａ〜Ｄ（単位：ｍｍ）は図４に示した部位の値を示す。
【００６８】
保持装置は、吸引型の保持装置とし、そのノズルプレート保持面の２箇所に非吸引部を設けることによってノズルプレートの突き出し部を形成するようにした。
【００６９】
＜ノズルプレート仕様＞
ノズルプレート長さ（Ｘ方向）：８０ｍｍ
ノズルプレート幅（Ｙ方向）：３ｍｍ
ノズル径：３０μｍ
ノズルピッチ：１４１μｍ
ノズル列：２列
厚さ：表２に示す。
樹脂：ポリイミド
【００７０】
＜ヘッドチップ仕様＞
チャネル幅（Ｘ方向）：８０μｍ
チャネル幅（Ｙ方向）：３００μｍ
チャネルピッチ：１４１μｍ
チップ長さ（Ｘ方向）：８０ｍｍ
チップ幅（Ｙ方向）：３ｍｍ
【００７１】
吐出曲がり状況の評価は、吐出された液滴を撮像装置によって撮像し、ノズルからの吐出曲がりの角度を確認することによって行い、その吐出曲がり角度が１°以上ある場合を×、１°未満である場合を○とした。
【００７２】
【表２】
2011042130.tif 000004
【００７３】
Ａ／Ｂ≦０．００３３３３の条件を満たす場合、吐出曲がりのない正常な吐出を実現できていることがわかる。
【符号の説明】
【００７４】
１：ノズルプレート
１１：突き出し部
１１ａ：頂部
１２：保持領域
１３：ノズル
２：ヘッドチップ
２１：ノズルプレート貼着面
３：保持装置
３１：ノズルプレート保持面
３１ａ：吸引部
３１ｂ：非吸引部
【図１】
2011042130.tif 000005
【図２】
2011042130.tif 000006
【図３】
2011042130.tif 000007
【図４】
2011042130.tif 000008
【図５】
2011042130.tif 000009
【図６】
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