(57)【要約】【課題】適用可能な光学素子の形状等に制約を生じることなく、光硬化樹脂から高品質の光学素子を製造する。【解決手段】下型１１の成形凹面部１１ａと上型１２の成形凸面部１２ａとの間に紫外線硬化樹脂３０を挟んでレンズ３１に成形した後、下型１１および上型１２の背面側から紫外線１７ａを照射して硬化させる製造装置Ｍ１において、中心から周辺部に向かって漸減する光量分布を発生する光量分布制御領域２０ｂを有する光量分布制御フィルタ２０を通過した紫外線１７ａを照射し、レンズ３１の硬化が中心部から周辺部に向かって進行するように制御する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光硬化樹脂を成形する第１工程と、
前記光硬化樹脂の中心部から周辺部に至る方向に漸減する光量分布を有する光を前記光硬化樹脂に照射する第２工程と、
を含むことを特徴とする光学素子の製造方法。
【請求項２】
請求項１記載の光学素子の製造方法において、
光軸部から径方向に前記光の透過光量が漸減する光量分布制御手段を経由することにより前記光量分布を有する前記光を、前記光硬化樹脂に照射することを特徴とする光学素子の製造方法。
【請求項３】
請求項２記載の光学素子の製造方法において、
前記光量分布制御手段は、前記光の透過率の分布により、前記光軸部から径方向に前記透過光量が漸減するように構成される減衰フィルタからなることを特徴とする光学素子の製造方法。
【請求項４】
請求項２記載の光学素子の製造方法において、
前記光量分布制御手段は、前記光が通過する透孔の個数の分布密度、および互いに開口面積の異なる前記透孔の分布の少なくとも一方の設定により、前記光軸部から径方向に前記透過光量が漸減するように構成される穴開きフィルタからなることを特徴とする光学素子の製造方法。
【請求項５】
請求項３または請求項４記載の光学素子の製造方法において、
前記光学素子は、複数のレンズが一体に配列されたレンズアレイからなり、個々のレンズ毎に、前記光量分布制御手段を経由した前記光を照射することを特徴とする光学素子の製造方法。
【請求項６】
光硬化樹脂に相対的に接触して成形する成形手段と、
前記光硬化樹脂に照射される光の光路に介在し、前記光硬化樹脂の中心部から周辺部に至る方向に漸減するように前記光の光量分布を制御する光量分布制御手段と、
を具備したことを特徴とする光学素子の製造装置。
【請求項７】
請求項６記載の光学素子の製造装置において、
光量分布制御手段は、光軸部から径方向に前記光の透過光量が漸減する構成により前記光量分布を実現することを特徴とする光学素子の製造装置。
【請求項８】
請求項７記載の光学素子の製造装置において、
前記光量分布制御手段は、前記光の透過率の分布により、前記光軸部から径方向に前記透過光量が漸減するように構成される減衰フィルタからなることを特徴とする光学素子の製造装置。
【請求項９】
請求項７記載の光学素子の製造装置において、
前記光量分布制御手段は、前記光が通過する透孔の分布密度により、前記光軸部から径方向に前記透過光量が漸減するように構成される穴開きフィルタからなることを特徴とする光学素子の製造装置。
【請求項１０】
請求項８または請求項９記載の光学素子の製造装置において、
前記光学素子は、複数のレンズが一体に配列されたレンズアレイからなり、前記光量分布制御手段は個々のレンズ毎に設けられていることを特徴とする光学素子の製造装置。
【請求項１１】
請求項６から請求項１０のいずれか１項に記載の光学素子の製造方法において、
前記成形手段は、前記光に対して透明な成形型からなり、前記成形型を介して前記光が前記光硬化樹脂に照射されることを特徴とする光学素子の製造装置。
【請求項１２】
請求項６から請求項１０のいずれか１項に記載の光学素子の製造方法において、
前記成形手段は、成形型と、前記光硬化樹脂とともに複合レンズを構成するレンズ基材からなり、前記成形型と前記レンズ基材の間に挟まれた前記光硬化樹脂に、前記レンズ基材を介して前記光が照射されることを特徴とする光学素子の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学素子の製造方法および光学素子の製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、レンズ等の光学素子の製造技術の一つとして、紫外線硬化樹脂を用いた型成形技術が知られている。すなわち、成形型間や、成形型とレンズ基材等の間に紫外線硬化樹脂を挟んで所定の形状に成形した状態で紫外線を照射して硬化させることにより、所望のレンズや複合レンズ等の光学素子を得るものである。
【０００３】
ところで、このような紫外線硬化樹脂を用いる方法では、成形する樹脂の厚みに分布があり、硬化速度が異なる場合、時間的に遅れて硬化する部位の樹脂液が不足し、成形型からの剥離や収縮変形等によって形状精度が低下する懸念がある。
【０００４】
このため、特許文献１に開示される技術では、中央部の開口面積が段階的に増加するような形状の異なる複数のマスク部材を用意し、開口面積の小さなマスク部材からより大きなマスク部材へと順に交換し、紫外線の照射領域を樹脂液の中心部から外周部に向けて広がるように、段階的に分けて照射することにより、樹脂液の収縮による形状精度の低下を防ぐ方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平６−５９１０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、この特許文献１の方法では、段階的に変化する照射範囲の境界部分に物性が不連続に変化する継ぎ目領域が形成されること等に起因して光学素子の品質や精度が低下する懸念がある。
【０００７】
また、複数のレンズ要素を平面に配列した構成のレンズアレイのように、複数の光学素子を同時に成形する場合、個々の光学素子毎に照射範囲を可変に制御するための複数のマスク部材等の機構を設ける必要があるが、光学素子の形状が小さくなると、それぞれの光学素子毎に開口寸法を段階的に変化させる機構を設けることが難しくなる。
【０００８】
本発明の目的は、適用可能な光学素子の形状等に制約を生じることなく、光硬化樹脂から高品質の光学素子を製造することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の第１の観点は、光硬化樹脂を成形する第１工程と、
前記光硬化樹脂の中心部から周辺部に至る方向に漸減する光量分布を有する光を前記光硬化樹脂に照射する第２工程と、
を含む光学素子の製造方法を提供する。
本発明の第２の観点は、光硬化樹脂に相対的に接触して成形する成形手段と、
前記光硬化樹脂に照射される光の光路に介在し、前記光硬化樹脂の中心部から周辺部に至る方向に漸減するように前記光の光量分布を制御する光量分布制御手段と、
を具備した光学素子の製造装置を提供する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、適用可能な光学素子の形状等に制約を生じることなく、光硬化樹脂から高品質の光学素子を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施の形態である光学素子の製造方法を実施する光学素子の製造装置の構成および作用の一例を工程順に示す概念図である。
【図２】本発明の一実施の形態である光学素子の製造方法において用いられるフィルタの構成例を示す説明図である。
【図３】本発明の一実施の形態である光学素子の製造方法において用いられるフィルタの構成例を示す説明図である。
【図４】本発明の一実施の形態である光学素子の製造方法を実施する光学素子の製造装置において製造された光学素子の構成例を示す断面図である。
【図５】本発明の他の実施の形態である光学素子の製造方法を実施する光学素子の製造装置の構成例を示す部分断面図である。
【図６】図５の構成の斜視図である。
【図７】図５の構成の分解組み立て図である。
【図８】本発明の他の実施の形態である光学素子の製造方法を実施する光学素子の製造装置で製造されるレンズアレイの構成例を示す断面図である。
【図９】本発明のさらに他の実施の形態である光学素子の製造方法を実施する光学素子の製造装置の構成および作用の一例を工程順に示す概念図である。
【図１０】本発明のさらに他の実施の形態である光学素子の製造方法を実施する光学素子の製造装置において製造された光学素子の構成例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本実施の形態では、一態様として、光硬化樹脂を用いた光学素子の成形の際、光学素子の中心部に照射される光量が周辺部よりも相対的に大きくなる光量分布を有する光を照射することで、光学素子の中心部の硬化時間が周辺部よりも短くなる紫外線光制御部を使用する。
【００１３】
これにより、照射範囲を段階的に変化させるための複雑な機構を必要とすることなく、複数の光学素子を一括して成形する場合や、複数のレンズ要素が一体となったレンズアレイの成形の場合でも、同時に精度良く成形することが可能となる。
【００１４】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
なお、以下の本実施の形態の説明では、各図において、Ｘ、Ｙ、Ｚの各方向は図示の通りとし、一例として、Ｚ方向は鉛直方向、Ｘ−Ｙ平面は水平面とする。
【００１５】
（実施の形態１）
図１は、本発明の一実施の形態である光学素子の製造方法を実施する光学素子の製造装置の構成および作用の一例を工程順に示す概念図である。
図２および図３は、本発明の一実施の形態である光学素子の製造方法において用いられるフィルタの構成例を示す説明図である。
【００１６】
図４は、本発明の一実施の形態である光学素子の製造方法を実施する光学素子の製造装置において製造された光学素子の構成例を示す断面図である。
図１に例示されるように、本実施の形態の製造装置Ｍ１は、上下方向に対向するステージ１５および昇降ステージ１６を備えている。
【００１７】
ステージ１５および昇降ステージ１６の対向面には、それぞれ、下型保持具１３を介して下型１１（成形手段）が固定され、上型保持具１４を介して上型１２（成形手段）が固定されている。
下型１１および上型１２の各々には、対向面に成形凹面部１１ａおよび成形凸面部１２ａが、Ｚ軸方向の中心軸（光軸）が一致するように形成されている。
【００１８】
下型１１および上型１２の少なくとも一方（この場合、下型１１および上型１２の各々）は、透明材料で構成され、各々の背面側のステージ１５および昇降ステージ１６の内部には、当該下型１１および上型１２の各々に対して背面側から略平行な紫外線１７ａを照射する光源１７が設置されている。
【００１９】
さらに、本実施の形態の場合、下型１１と光源１７、および上型１２と光源１７における紫外線１７ａの照射経路上には、後述のような構成を有する光量分布制御フィルタ２０（光量分布制御手段）が配置されている。
【００２０】
この光量分布制御フィルタ２０は、後述の光量分布制御領域２０ｂの光軸２０ｋが、成形凹面部１１ａおよび成形凸面部１２ａの中心軸、すなわち、成形凹面部１１ａと成形凸面部１２ａの間で成形されるレンズ３１の光軸３１ｋに一致するように設置されている。
【００２１】
図２および図３を参照して、本実施の形態における光量分布制御フィルタ２０の構成例を説明する。
光量分布制御フィルタ２０は、基板２０ａの中央の光軸２０ｋを中心とする円形の領域に、フィルタ有効径ｄｆの大きさの光量分布制御領域２０ｂが形成されている。
【００２２】
このフィルタ有効径ｄｆは、後述のレンズ３１のレンズ外径ｄ０よりも大きく設定され、レンズ３１の全体に、同時に、後述の所定の光量分布を有する紫外線１７ａが照射される。
この光量分布制御領域２０ｂは、紫外線１７ａに対して、光軸２０ｋから周辺部に向かって透過光量が漸減するような透過特性を有する構成を備えている。
【００２３】
図２は、光量分布制御フィルタ２０の具体例として減衰フィルタ２１で構成する例が示されている。
なお、図２では、上から順に、減衰フィルタ２１の平面形状、断面形状、および特性線図が、光軸２０ｋを揃えて例示されている。
【００２４】
すなわち、この減衰フィルタ２１は、透明基板２１ａの中央部の光軸２０ｋを中心とする減衰膜形成領域２１ｂがフィルタ有効径ｄｆのサイズで形成されている。
この減衰膜形成領域２１ｂは、例えば、中心部（光軸２０ｋ）の濃度が薄く、周辺部に向かうに従い濃度が濃くなるようにクロムなどの金属化合物を蒸着した構成となっている。
【００２５】
あるいは、紫外線１７ａを減衰させる薄膜を、中心部から周辺部に向かって膜厚が漸増するように被着した構成としてもよい。
なお、減衰膜形成領域２１ｂは、例えば、フォトリソグラフィ技術によってフィルタ有効径ｄｆを任意の寸法に容易に形成できる。
【００２６】
これにより、減衰膜形成領域２１ｂにおける紫外線１７ａの透過率分布２１ｔ（すなわち光量分布）は、中心の光軸２０ｋの位置が最大で、径方向に漸減する分布特性を有している。
【００２７】
従って、減衰フィルタ２１を経由して後述の紫外線硬化樹脂３０（光硬化樹脂）に紫外線１７ａを照射する場合には、上述の透過率分布２１ｔ（すなわち光量分布）に対応して、光軸２０ｋに対応する紫外線硬化樹脂３０の中心部の硬化時間が最短となり、径方向に漸増する分布が実現される。
【００２８】
図３は、本実施の形態の光量分布制御フィルタ２０を、穴開きフィルタ２２で実現する例を示している。図示の態様は、上述の図２と同様である。
この穴開きフィルタ２２の場合には、基板２２ａに、光軸２０ｋを中心とする透孔形成領域２２ｂが設けられている。
【００２９】
この透孔形成領域２２ｂには、紫外線１７ａが通過する複数の微細な透孔２２ｃが貫通して開口され、当該透孔２２ｃの分布密度（単位面積当たりの透孔２２ｃの個数）が、中心部の光軸２０ｋで最も高く、周辺部に向かって径方向に漸減するように配置されている。
あるいは、透孔２２ｃの配列間隔を一定とし、個々の透孔２２ｃの大きさ（開口面積）の分布が、中心部の光軸２０ｋの付近に位置する透孔２２ｃの開口面積が最も大きく、周辺部に向かって径方向に個々の透孔２２ｃの開口面積が漸減する分布となるように配置される構成としてもよい。
さらには、この開口面積の大小分布の設定と、上述の単位面積当たりの透孔２２ｃの個数（分布密度）の設定とを組み合わせてもよい。
【００３０】
なお、透孔形成領域２２ｂは、例えば、フォトリソグラフィ技術によって、透孔２２ｃの口径や分布、さらにはフィルタ有効径ｄｆ等を任意の寸法に容易に形成できる。
【００３１】
これにより、図２に例示した減衰フィルタ２１の場合と同様に、透孔形成領域２２ｂでは、中心の光軸２０ｋで紫外線１７ａの透過量が最も高く、径方向に漸減する透過量分布２２ｔ（すなわち光量分布）の特性を実現している。
この穴開きフィルタ２２の基板２２ａは、透明基板、半透明基板、遮光基板のいずれでもよい。透明基板の場合でも、透孔２２ｃを通過する紫外線１７ａは、基板材料を透過する場合ように減衰しないので透孔２２ｃの配置によって光量分布を実現できる。
【００３２】
なお、本実施の形態の場合、光量分布制御領域２０ｂの大きさを示すフィルタ有効径ｄｆは、後述の紫外線硬化樹脂３０から成形されるレンズ３１のレンズ外径ｄ０よりも大きく設定されており、紫外線硬化樹脂３０の全体に対して上述の光量分布を有する紫外線１７ａが同時に照射される。
なお、以下では、必要な場合を除いて減衰フィルタ２１や穴開きフィルタ２２に個別に言及せず、光量分布制御フィルタ２０で総称して説明する。
【００３３】
以下、本実施の形態の作用について説明する。
まず、下型１１と上型１２が離間した状態で、下型１１の成形凹面部１１ａに所定量の紫外線硬化樹脂３０を供給する（工程ｋ１）。
【００３４】
次に、昇降ステージ１６によって上型１２を下降させて、所定の距離まで下型１１に接近させ、下型１１と上型１２の間に、中心部（光軸部）が所定の厚さになるように紫外線硬化樹脂３０を挟んでレンズ３１の形状に成形する。このとき、紫外線硬化樹脂３０は、成形凹面部１１ａおよび成形凸面部１２ａが光学機能面３１ａおよび光学機能面３１ｂとして転写された形状となっている（工程ｋ２（第１工程））。
【００３５】
この状態で、下型１１および上型１２の背面側に位置する光源１７から、紫外線硬化樹脂３０の全体に対して、光量分布制御フィルタ２０を経由して紫外線１７ａを照射して硬化を開始する（工程ｋ３（第２工程））。
【００３６】
このとき、本実施の形態では、上述のように、光量分布制御フィルタ２０の光量分布制御領域２０ｂは、通過する紫外線１７ａが、中央部の光軸２０ｋで最大で、径方向に漸減する光量分布を有するように制御するため、紫外線硬化樹脂３０（レンズ３１）では、中心部の光軸２０ｋに対応する位置から径方向に周辺部に波及するように連続的に硬化が進行し、最初に中央部の硬化が完了し、外縁部での硬化が最後に完了する。
【００３７】
このため、本実施の形態では、紫外線硬化樹脂３０の硬化が先に進行する中心部に対して周辺部から順次樹脂が供給され、下型１１や上型１２からの剥離や収縮変形の内部応力等に起因する変形等の精度悪化が確実に防止される。
【００３８】
また、本実施の形態の場合、レンズ３１の中心部から周辺部に硬化が進行するので、樹脂の供給不足による、いわゆる“引け”等の欠陥は、もしも発生したとしても、最後に硬化する外縁部、すなわちレンズ３１の有効径ｄ１の外側の外周部に集中するため、レンズ３１の品質に影響を与えることはない。
【００３９】
また、光量分布制御フィルタ２０の光量分布制御領域２０ｂでは、上述の減衰膜形成領域２１ｂや透孔形成領域２２ｂにて透過率分布２１ｔや透過量分布２２ｔを実現しているため、寸法の異なる多数のマスク等の複雑な交換部材や可動機構等を必要とせず、製造装置Ｍ１の構成を簡単化できる。
【００４０】
すなわち、レンズ３１のレンズ外径ｄ０が小さい場合でも、上述のように、フォトリソグラフィ技術によって対応するフィルタ有効径ｄｆの光量分布制御領域２０ｂを容易に形成できる。
従って、適用可能なレンズ３１等の光学素子の形状等に制約を生じることなく、紫外線硬化樹脂３０から高品質の光学素子を製造することができる。
【００４１】
また、上述のように、紫外線１７ａの照射光量の分布に応じてレンズ３１の径方向の各部で硬化速度は異なるものの、硬化現象自体はレンズ３１の全体で並行的に進行するので、同心円状に段階的に硬化させる場合のように領域間に不連続な継ぎ目等の欠陥が形成されることはない。
【００４２】
さらに、硬化現象自体はレンズ３１の全体で並行的に進行するので、レンズ３１の全体の硬化が完了するまでの所要時間は、例えば、レンズ３１を同心円状に部分的に硬化させる場合に比較して短縮することができる。従って、レンズ３１の製造工程の生産性も向上する。
【００４３】
紫外線１７ａを所定の時間照射して、レンズ３１の全体の硬化が完了したら、昇降ステージ１６により上型１２を上昇させ、図４に例示される形状で成形されたレンズ３１を取り出す（工程ｋ４）。
【００４４】
（実施の形態２）
図５は、本発明の他の実施の形態である光学素子の製造方法を実施する光学素子の製造装置の構成例を示す部分断面図である。
図６は、図５の構成の斜視図、図７は、図５の構成の分解組み立て図である。
図８は、本実施の形態２の製造装置Ｍ２で製造されるレンズアレイの構成例を示す断面図である。
【００４５】
本実施の形態２の製造装置Ｍ２では、複数のレンズ要素３２ａ（レンズ外径ｄ０、有効径ｄ１）を一体に連ねた構成のレンズアレイ３２を製造する工程に適用した場合を説明する。
【００４６】
なお、この製造装置Ｍ２では、下型１１の代わりに複数の成形凹面部４１ａが形成されたアレイ下型４１を用い、上型１２の代わりに、複数の成形凸面部４２ａが形成されたアレイ上型４２を用いる点が上述の実施の形態１の製造装置Ｍ１と異なり、他の構成は同様である。
【００４７】
アレイ下型４１の成形凹面部４１ａと、アレイ上型４２の成形凸面部４２ａは、各々が互いに対応する位置に等しいピッチで配列され、レンズアレイ３２の個々のレンズ要素３２ａの光軸３２ｋとなる中心軸が一致するように形成されている。
【００４８】
また、この実施の形態２の場合、アレイ下型４１およびアレイ上型４２の構成に対応したアレイフィルタ２３を用いる。
【００４９】
個々のアレイフィルタ２３は、複数の光量分布制御領域２０ｂを、光軸２０ｋが、個々の成形凹面部４１ａおよび成形凸面部４２ａの中心軸（すなわち、後述のレンズ要素３２ａの光軸３２ｋ）に一致するピッチで配列した構成となっている。
【００５０】
なお、アレイフィルタ２３において、複数の光量分布制御領域２０ｂの間の領域（個々のレンズ要素３２ａの間の連結部に対応する領域）は、光量分布制御領域２０ｂの外周部と等しいか、または低い透過光量に設定されている。従って、レンズ要素３２ａの間の連結部に対応する領域は、レンズ要素３２ａの領域よりも遅れて硬化が完了する。
【００５１】
そして、アレイフィルタ２３は、複数の光量分布制御領域２０ｂの位置が個々の成形凹面部４１ａ、成形凸面部４２ａの中心軸に一致した状態でアレイ下型４１およびアレイ上型４２の各々の背面側に一体に固定され、上述の下型保持具１３および上型保持具１４に装着される構造となっている。
【００５２】
そして、この製造装置Ｍ２の場合、例えば、図５のように、アレイ下型４１の個々の成形凹面部４１ａに所定量の紫外線硬化樹脂３０を供給した後（工程ｋ１）、アレイ下型４１にアレイ上型４２を接近させて、紫外線硬化樹脂３０を所定の厚さに挟み、成形凹面部４１ａおよび成形凸面部４２ａが光学機能面３２ｂおよび光学機能面３２ｃとして転写された複数のレンズ要素３２ａが一体に連なったレンズアレイ３２を形成する（工程ｋ２）。
【００５３】
なお、個々の成形凹面部４１ａに供給される紫外線硬化樹脂３０の量を調整して（減らして）、レンズ外径ｄ０の互いに孤立した複数のレンズ要素３２ａを同時に成形してもよい。
その状態で、アレイフィルタ２３の複数の光量分布制御領域２０ｂを経由した紫外線１７ａを一括してレンズアレイ３２に成形された紫外線硬化樹脂３０に照射する（工程ｋ３）。
【００５４】
このとき、レンズアレイ３２の個々のレンズ要素３２ａの領域では、対応して配置されたアレイフィルタ２３の光量分布制御領域２０ｂの作用により、中心部の光軸３２ｋから外周部に向かって漸減する光量分布を有する紫外線１７ａが照射される。
【００５５】
このため、個々のレンズ要素３２ａでは、上述のレンズ３１の場合と同様に、中心の光軸３２ｋから径方向に外周部に波及するように硬化が進行し、高品質のレンズ要素３２ａが形成される。
【００５６】
また、多数のレンズ要素３２ａを連ねた構成のレンズアレイ３２を成形する場合でも、アレイフィルタ２３において個々のレンズ要素３２ａに対応する位置に対応するフィルタ有効径ｄｆの光量分布制御領域２０ｂを形成するだけでよく、可動機構等の複雑な機構は全く必要ない。
【００５７】
すなわち、上述のように、アレイフィルタ２３における光量分布制御領域２０ｂは、例えば、フォトリソグラフィ技術によって任意の微小寸法に容易に形成できるため、レンズアレイ３２におけるレンズ要素３２ａの任意のレンズ外径ｄ０や配列ピッチに応じて容易に形成できる。
【００５８】
換言すれば、適用可能なレンズ要素３２ａ等の光学素子の形状等に制約を生じることなく、紫外線硬化樹脂３０から高品質のレンズアレイ３２等の光学素子を製造することができる。
【００５９】
（実施の形態３）
図９は、本発明のさらに他の実施の形態である光学素子の製造方法を実施する光学素子の製造装置の構成および作用の一例を工程順に示す概念図である。
図１０は、本発明のさらに他の実施の形態である光学素子の製造方法を実施する光学素子の製造装置において製造された光学素子の構成例を示す断面図である。
【００６０】
この実施の形態３では、ガラスレンズ基材６１（成形手段）の光学機能面６１ａに樹脂層３３を被着させた複合レンズ６０を製造する製造装置Ｍ３について説明する。なお、上述の実施の形態１と共通する構成要素については共通の参照符号を付して重複した説明は割愛する。
【００６１】
本実施の形態の製造装置Ｍ３の場合、ステージ１５には型保持具５２を介して型５１が固定されている。この型５１は、紫外線硬化樹脂３０から樹脂層３３を成形するための成形凹面部５１ａが上面に形成されている。
【００６２】
一方、ステージ１５に対向する昇降ステージ１６の側には、下方のステージ１５に位置する型５１に向けて紫外線１７ａを照射する光源１７と、この紫外線１７ａの光量分布を制御する上述のような構成の光量分布制御フィルタ２０が設置されている。
【００６３】
光量分布制御フィルタ２０は、その光量分布制御領域２０ｂの光軸２０ｋが、成形凹面部５１ａの中心、すなわち後述の複合レンズ６０（樹脂層３３）の光軸６０ｋに一致する位置に設定されている。
【００６４】
以下、本実施の形態の作用について説明する。
まず、型５１の成形凹面部５１ａに所定量の紫外線硬化樹脂３０を供給する（工程ｋ１）。
その後、型５１の上に、型５１の光軸と、透明なガラスレンズ基材６１の光軸とが一致するようにガラスレンズ基材６１を載置し、当該ガラスレンズ基材６１と成形凹面部５１ａとの間で紫外線硬化樹脂３０を挟むことにより、紫外線硬化樹脂３０を、ガラスレンズ基材６１の光学機能面６１ａに被着させ、成形凹面部５１ａの形状が光学機能面３３ａとして転写された樹脂層３３に成形する（工程ｋ２）。
【００６５】
次に、昇降ステージ１６を下降させて、光源１７を型５１に所定の照射距離まで接近させ、光量分布制御フィルタ２０を経由した紫外線１７ａを樹脂層３３の全体に照射して硬化させる（工程ｋ３）。
【００６６】
このとき、本実施の形態の場合には、上述のように、光量分布制御フィルタ２０の光量分布制御領域２０ｂは、中心部の光軸２０ｋで紫外線１７ａの照射強度が強く、外周部に向かうに従い照射強度が弱くなるような光量分布が設定されているため、樹脂層３３は、中心部の光軸６０ｋから径方向に外周部に向かって波及するように硬化か進行する。
【００６７】
このため、樹脂層３３の有効径ｄ１の内側に歪み等が生じることがなく、ガラスレンズ基材６１に被着される樹脂層３３の光学機能面３３ａを良好な寸法精度で形成することができる。
【００６８】
また、樹脂層３３に硬化歪みが生じないので、光学機能面６１ａからの剥離等の欠陥を生じることなく、ガラスレンズ基材６１に対する樹脂層３３の接着強度を高める効果も実現できる。
すなわち、高品質および高性能な複合レンズ６０を製造することができる。
【００６９】
なお、上述の図９の製造装置Ｍ３の構成例では、ガラスレンズ基材６１の側から紫外線１７ａを照射する構成を例示したが、型５１を透明材料で構成し、ステージ１５に光源１７および光量分布制御フィルタ２０を配置して昇降ステージ１６を省略した構成とすることもできる。
【００７０】
なお、本発明は、上述の実施の形態に例示した構成に限らず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
【００７１】
例えば、上述の各実施の形態では、光および光硬化樹脂の一例として、紫外線および紫外線硬化樹脂の場合を例示したが、本願の光は、可視光線や放射線等の一般のエネルギー線およびエネルギー硬化樹脂の組合せにも適用可能である。
【００７２】
（付記１）
紫外線硬化樹脂による光学素子の成形において、中心部の硬化時間が周辺部よりも短くなるような紫外線光制御部を有することを特徴とする光学素子の製造方法。
【００７３】
（付記２）
付記１記載の光学素子の製造方法における紫外線光制御部として、紫外線光の透過率をコントロールすることを特徴とする光学素子の製造方法。
【００７４】
（付記３）
付記１記載の光学素子の製造方法における紫外線光制御部として、紫外線光が通過する面積をコントロールすることを特徴とする光学素子の製造方法。
【００７５】
（付記４）
付記１記載の光学素子の製造方法において、光を透過する型により、樹脂レンズを成形することを特徴とする光学素子の製造方法。
【００７６】
（付記５）
付記１記載の光学素子の製造方法において、レンズ基材上に、樹脂レンズを成形することを特徴とする光学素子の製造方法。
【００７７】
（付記６）
付記１記載の光学素子の製造方法において、アレイ形状の樹脂レンズを成形することを特徴とする光学素子の製造方法。
【符号の説明】
【００７８】
１１  下型
１１ａ  成形凹面部
１２  上型
１２ａ  成形凸面部
１３  下型保持具
１４  上型保持具
１５  ステージ
１６  昇降ステージ
１７  光源
１７ａ  紫外線
２０  光量分布制御フィルタ
２０ａ  基板
２０ｂ  光量分布制御領域
２０ｋ  光軸
２１  減衰フィルタ
２１ａ  透明基板
２１ｂ  減衰膜形成領域
２１ｔ  透過率分布
２２  穴開きフィルタ
２２ａ  基板
２２ｂ  透孔形成領域
２２ｃ  透孔
２２ｔ  透過量分布
２３  アレイフィルタ
３０  紫外線硬化樹脂
３１  レンズ
３１ａ  光学機能面
３１ｂ  光学機能面
３１ｋ  光軸
３２  レンズアレイ
３２ａ  レンズ要素
３２ｂ  光学機能面
３２ｃ  光学機能面
３２ｋ  光軸
３３  樹脂層
３３ａ  光学機能面
４１  アレイ下型
４１ａ  成形凹面部
４２  アレイ上型
４２ａ  成形凸面部
５１  型
５１ａ  成形凹面部
５２  型保持具
６０  複合レンズ
６０ｋ  光軸
６１  ガラスレンズ基材
６１ａ  光学機能面
Ｍ１  製造装置
Ｍ２  製造装置
Ｍ３  製造装置
ｄ０  レンズ外径
ｄ１  有効径
ｄｆ  フィルタ有効径
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１】
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【図２】
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