(57)【要約】【課題】鋼製ベースワイヤの表面に有機皮膜が被覆されており、砥粒を吹き付けて切断するときに用いる被覆ソーワイヤであって、有機皮膜が鋼製ベースワイヤの表面から剥離し難い被覆ソーワイヤを提供する。【解決手段】鋼製ベースワイヤの表面に、厚さ０．０５〜１５μｍの有機皮膜を被覆したソーワイヤであり、ナノインデンテーション法で皮膜表面の硬さとヤング率を測定したときに、前記硬さ（ＧＰａ）とその変動係数（標準偏差／平均値）が、それぞれ０．１〜１ＧＰａ、０．０５以下であり、且つ前記ヤング率（ＧＰａ）とその変動係数（標準偏差／平均値）が、それぞれ０．６〜２５ＧＰａ、０．１０以下の被覆ソーワイヤである。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
鋼製ベースワイヤの表面に、厚さ０．０５〜１５μｍの有機皮膜を被覆したソーワイヤであり、ナノインデンテーション法で皮膜表面の硬さとヤング率を測定したときに、
前記硬さ（ＧＰａ）とその変動係数（標準偏差／平均値）が、それぞれ、０．１〜１ＧＰａ、０．０５以下であり、且つ
前記ヤング率（ＧＰａ）とその変動係数（標準偏差／平均値）が、それぞれ、０．６〜２５ＧＰａ、０．１０以下であることを特徴とする被覆ソーワイヤ。
【請求項２】
請求項１に記載の被覆ソーワイヤに砥粒を吹き付け、ワークを前記被覆ソーワイヤで切断する切断体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ソーマシンで用いられるソーワイヤに関するものであり、詳細には、金属やセラミックスなどのワークを切断する際に、ソーワイヤに砥粒を吹きつけて使用するソーワイヤに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
金属やセラミックスなどのワークは、ソーワイヤが取り付けられたソーマシンで切断される。ソーワイヤは、一方向または双方向（往復方向）に走行しており、このソーワイヤにワークを接触させることでワークを任意の幅でスライスできる。
【０００３】
ワークの切断時には、ソーワイヤに砥粒（以下、遊離砥粒と呼ぶことがある。）を含む溶液を吹き付け、ワークを切断する。吹き付けた溶液に含まれる遊離砥粒が、ワークとソーワイヤの間に引き込まれ、ワークの摩耗が促進されることでワークを切断できる。
【０００４】
遊離砥粒を含む溶液を吹き付けながらワークを切断する際に用いるソーワイヤとしては、特許文献１に、高炭素鋼や超高強度合金線の外周面を砥粒キャリア樹脂皮膜で被覆したワイヤが開示されている。このワイヤを使用すれば、遊離砥粒が砥粒キャリア樹脂皮膜に食い込むため、安定して遊離砥粒をワイヤとワークが接触している部分に引き込むことができるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１７９６７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記特許文献１に開示されているソーワイヤは、高炭素鋼や超高強度合金線等のベースワイヤの外周面に砥粒キャリア樹脂皮膜を被覆しているため、砥粒キャリア樹脂皮膜がベースワイヤから剥離するとベースワイヤが露出し、ワーク切断時に供給される遊離砥粒によってベースワイヤの摩耗が急激に進み、断線することがある。また、砥粒キャリア樹脂皮膜が剥離したベースワイヤでワークを切断すると、切断されたワークの表面精度が悪くなり、ワークの品質が低下する。
【０００７】
本発明は、このような状況に鑑みて成されたものであり、その目的は、鋼製ベースワイヤの表面に有機皮膜が被覆されており、砥粒を吹き付けて切断するときに用いる被覆ソーワイヤであって、有機皮膜が鋼製ベースワイヤの表面から剥離し難い被覆ソーワイヤを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を達成することのできた本発明に係る被覆ソーワイヤは、鋼製ベースワイヤの表面に、厚さ０．０５〜１５μｍの有機皮膜を被覆されており、ナノインデンテーション法で皮膜表面の硬さとヤング率を測定したときに、前記硬さ（ＧＰａ）とその変動係数（標準偏差／平均値）が、それぞれ、０．１〜１ＧＰａ、０．０５以下であり、且つ前記ヤング率（ＧＰａ）とその変動係数（標準偏差／平均値）が、それぞれ、０．６〜２５ＧＰａ、０．１０以下である点に要旨を有している。
【０００９】
本発明には、上記被覆ソーワイヤに砥粒を吹き付け、ワークを前記被覆ソーワイヤで切断する切断体の製造方法も含まれる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、鋼製ベースワイヤの表面に有機皮膜を被覆したソーワイヤの表面における硬さとヤング率に着目し、硬さとその変動係数（標準偏差／平均値）およびヤング率とその変動係数（標準偏差／平均値）を所定の範囲に制御しているため、鋼製ベースワイヤの表面から有機皮膜が剥離し難くなり、被覆ソーワイヤの寿命を長くすることができる。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明に係る被覆ソーワイヤは、鋼製ベースワイヤの表面に有機皮膜が被覆されており、ナノインデンテーション法で皮膜表面の硬さとヤング率を測定したときに、硬さ（ＧＰａ）を０．１〜１ＧＰａ、硬さの変動係数（標準偏差／平均値）を０．０５以下、ヤング率（ＧＰａ）を０．６〜２５ＧＰａ、ヤング率の変動係数（標準偏差／平均値）を０．１０以下に制御しているところに特徴があり、こうした構成を採用することによって、鋼製ベースワイヤの表面から有機皮膜が剥離し難くなり、被覆ソーワイヤを長期に亘って使用できるようになる。
【００１２】
即ち、砥粒を吹き付けてワークを切断するときに用いる被覆ソーワイヤは、耐摩耗性が良好であることが求められる。耐摩耗性を改善するには、被覆ソーワイヤの表面を硬くすることが有効と考えられる。しかし、被覆ソーワイヤの表面を硬くし過ぎると、皮膜表面に欠けが生じ、ベースワイヤから有機皮膜が剥離し易くなる。そこで本発明者らは、被覆ソーワイヤの表面材質に注目し、皮膜表面の硬さに加えてヤング率を併せて制御すれば、有機皮膜の剥離を抑制できることを見出した。
【００１３】
皮膜表面のヤング率を小さくすることによって、荷重が加わったときに皮膜が弾性変形するようになり、エネルギーを吸収するため、皮膜が摩耗し難く、また鋼線表面から剥離し難くなる。しかし、このように皮膜表面のヤング率のみを制御しても有機皮膜の剥離は防止できない。有機皮膜の塑性変形能は、皮膜の硬さに大きく影響を受けるからである。
【００１４】
そこで本発明では、皮膜表面の硬さとヤング率の両方を制御する必要がある。硬さとヤング率の両方を適切に制御することによって、ベースワイヤからの有機皮膜の剥離を抑制できる。また、皮膜の硬さとヤング率を最適化することによって、切断時に砥粒が有機皮膜に巻き込まれ易くなり、ワークの切断効率を高めることができる。皮膜表面の硬さとヤング率は、具体的には、それぞれ、０．１〜１ＧＰａ、０．６〜２５ＧＰａに制御する必要がある。こうした範囲を規定した理由については後述する。
【００１５】
このように皮膜表面の硬さとヤング率の両方を制御することによって有機皮膜の剥離をある程度防止できたのであるが、有機皮膜が一部剥離することがあり、被覆ソーワイヤの寿命を充分に延ばすことはできなかった。
【００１６】
そこで本発明者らが更に検討したところ、皮膜表面の硬さとヤング率の他、皮膜表面の硬さの変動係数とヤング率の変動係数が、有機皮膜の剥離に大きく影響を及ぼしていることが明らかとなった。即ち、皮膜表面の硬さとヤング率を複数回測定したときに、その平均値が上記範囲を満足していても、測定値にバラツキがあるときには有機皮膜の剥離が発生することが判明した。硬さとヤング率の測定値にバラツキが生じている場合は、有機皮膜中に欠陥が発生していたり、有機皮膜の成分にムラが存在していると考えられ、こうした欠陥や成分ムラの部分に切断時の応力が集中し、有機皮膜が剥離する起点となると考えられる。そこで本発明では、硬さとヤング率の測定値のバラツキを変動係数で整理し、これらの変動係数を、それぞれ、０．０５以下、０．１０以下とする。なお、変動係数とは、測定結果から求められる標準偏差を測定結果の平均値で割った値（標準偏差／平均値）である。
【００１７】
上記皮膜表面の硬さは、０．１〜１ＧＰａである。皮膜表面が硬過ぎると、鋼製ベースワイヤの表面から有機皮膜が剥離し易くなる。また、皮膜表面が硬過ぎると、切断時に砥粒が皮膜に巻き込まれ難くなり、ワークの切断効率が低下する。従って皮膜表面の硬さは、１ＧＰａ以下、好ましくは０．７ＧＰａ以下、より好ましくは０．５ＧＰａ以下とする。ワークの切断面精度を改善する観点からすると、皮膜表面の硬さはできるだけ低いことが推奨される。しかし、皮膜表面が軟らかくなり過ぎると、鋼線の表面から皮膜が剥離し易くなり、被覆ソーワイヤの耐摩耗性が劣化する傾向がある。また、砥粒が皮膜に埋め込まれてしまい、砥粒を有効に活用できず、ワークの切断効率が低下する。また、被覆ソーワイヤが摩耗すると被覆ソーワイヤの表面性状が悪くなり、表面に凹凸が形成される結果、ワークの切断面にも凹凸が形成され、ワークの表面精度が悪くなる。更に、被覆ソーワイヤの皮膜表面が柔らか過ぎると、ワイヤ強度も低下するため、切断時のワイヤ線速を大きくできず、生産性が低下する。従って皮膜表面の硬さは、例えば、０．１ＧＰａ以上、好ましくは０．１５ＧＰａ以上、より好ましくは０．２ＧＰａ以上とする。
【００１８】
上記皮膜表面の硬さは、その変動係数が０．０５以下である。硬さの変動係数が０．０５を超えると、皮膜表面の硬さにバラツキが生じ、切断時に応力が集中して有機皮膜が剥離し易くなる。従って硬さの変動係数は０．０５以下、好ましくは０．０４０以下、より好ましくは０．０２５以下である。
【００１９】
上記皮膜表面のヤング率は、０．６〜２５ＧＰａとする。皮膜表面のヤング率が大き過ぎると、切断時に荷重を受けても皮膜は弾性変形しないため、エネルギーを吸収できず、摩耗や剥離を発生する。従って皮膜表面のヤング率は、２５ＧＰａ以下、好ましくは１０ＧＰａ以下、より好ましくは８ＧＰａ以下とする。しかし皮膜表面のヤング率が小さ過ぎると、切断時に砥粒が有機皮膜に巻き込まれ難くなるため、切断効率が悪くなる。従って皮膜表面のヤング率は、０．６ＧＰａ以上、好ましくは１ＧＰａ以上、より好ましくは２ＧＰａ以上とする。
【００２０】
上記皮膜表面のヤング率は、その変動係数が０．１０以下である。ヤング率の変動係数が０．１０を超えると、皮膜表面のヤング率にバラツキが生じ、切断時に応力が集中して有機皮膜が剥離し易くなる。従ってヤング率の変動係数は０．１０以下、好ましくは０．０８以下、より好ましくは０．０５以下である。
【００２１】
上記皮膜表面の硬さとヤング率は、ナノインデンテーション法で測定する。ナノインデンテーション（微小部硬さ試験）によれば、超低荷重の押し込みによって少ない押込み量で対象材の硬さとヤング率を測定できるため、表層より下側の材質の影響を受け難く、表面の特性や性能を正確に評価できる。
【００２２】
上記皮膜表面の硬さとヤング率は、皮膜の表層部（具体的には、皮膜最表面から深さが０．０５〜５．０μｍの領域（特に、０．０５〜１．５μｍの領域））において硬さプロファイルとヤング率プロファイルを測定し、押込深さ４００〜４５０ｎｍの範囲で測定された硬さを「被覆ソーワイヤの皮膜表面硬さ」とし、押込深さ４００〜４５０ｎｍの範囲で測定されたヤング率を「被覆ソーワイヤの皮膜表面ヤング率」とすればよい。皮膜の最表面に近いほど測定結果にバラツキが生じやすいため、被覆ソーワイヤの中心軸側で測定した結果を代表値として用いればよい。
【００２３】
上記皮膜表面におけるヤング率と硬さは、少なくとも１５箇所で測定し、測定結果で異常値（例えば、平均値に対して３倍以上または１／３以下の値）があった場合はこれを除外し、新たに測定を行って少なくとも１５箇所の測定結果を平均して算出する。ナノインデンテーションでは、非常に微小な領域における硬さとヤング率を測定しているため、測定誤差が生じやすいためである。測定結果から標準偏差を求め、この標準偏差を測定結果の平均値で割って変動係数を算出する。
【００２４】
上記有機皮膜を形成する鋼製ベースワイヤとしては、例えば、ステンレス鋼線や鋼線などを用いることができる。ステンレス鋼線としては、ＳＵＳ３０１、ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１０、ＳＵＳ３１６、ＳＵＳ３２１、ＳＵＳ３４７などのオーステナイト系ステンレス鋼線、ＳＵＳ４０５、ＳＵＳ４３０などのフェライト系ステンレス鋼線、ＳＵＳ４０３、ＳＵＳ４１０などのマルテンサイト系ステンレス鋼線、ＳＵＳ３２９Ｊ１などの２相ステンレス鋼線（オーステナイト・フェライト系ステンレス鋼線）、ＳＵＳ６３０などの析出硬化系ステンレス鋼線、などを用いることができる。鋼線としては、例えば、Ｃを０．５〜１．２％含有する高炭素鋼線を用いることができる。高炭素鋼線としては、例えば、ＪＩＳ  Ｇ３５０２に規定されるピアノ線材を用いることができる。
【００２５】
上記鋼製ベースワイヤの表面に被覆する有機皮膜としては、熱硬化性樹脂および熱可塑性樹脂のうち、硬さとヤング率およびこれらの変動係数が本発明で規定する範囲を満足するように調整された合成樹脂を用いることができる。こうした合成樹脂のなかでもフェノール樹脂、アミド系樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン、ホルマール、ＡＢＳ樹脂、塩化ビニル、イミド系樹脂、ポリエステル、などを好適に用いることができる。
【００２６】
硬さとヤング率およびこれらの変動係数は、熱可塑性樹脂の場合は重合度、熱硬化性樹脂の場合は架橋密度を制御することで調整できる。また、異なる２種以上のモノマーを共重合させたり、添加剤（例えば、リン酸エステルなどの可塑剤、金属石鹸などの熱安定剤など）を配合することによっても上記パラメータを調整できる。特に、硬さおよびヤング率の変動係数は、鋼線の表面粗さにも影響を受けるため、鋼線の表面はできるだけ平滑であることが推奨される。
【００２７】
上記有機皮膜は、上記鋼製ベースワイヤの表面に、市販されているワニスを塗布し、これを加熱することによっても形成できる。このとき有機皮膜の硬さを適宜調整することで、ヤング率を制御できる。有機皮膜の硬さは、用いるワニスの種類、加熱温度、および加熱時間を制御することによって調節できる。例えば、加熱時間を長くすると、有機皮膜の硬さはある程度の時間経過すると一定になるが、ヤング率は加熱時間が長くなるに従って低下する傾向があるため、加熱温度と加熱時間を制御すれば、表面皮膜の硬さとヤング率を調節できる。また、加熱時間を長くすると、加熱ムラが生じて硬さとヤング率の変動係数が大きくなる傾向がある。
【００２８】
上記ワニスとしては、東特塗料株式会社から市販されているエナメル線用ワニスや京セラケミカル株式会社から市販されている電線用ワニスなどを使用できる。
【００２９】
上記エナメル線用ワニスとしては、例えば次のものを使用できる。
ポリウレタンワニス（「ＴＰＵ  Ｆ１」、「ＴＰＵ  Ｆ２−ＮＣ」、「ＴＰＵ  Ｆ２−ＮＣＡ」、「ＴＰＵ  ６２００」、「ＴＰＵ  ５１００」、「ＴＰＵ  ５２００」、「ＴＰＵ  ５７００」、「ＴＰＵ  Ｋ５  １３２」、「ＴＰＵ  ３０００Ｋ」、「ＴＰＵ  ３０００ＥＡ」など；東特塗料株式会社製の商品。）
ポリエステルワニス（「ＬＩＴＯＮ  ２１００Ｓ」、「ＬＩＴＯＮ  ２１００Ｐ」、「ＬＩＴＯＮ  ３１００Ｆ」、「ＬＩＴＯＮ  ３２００ＢＦ」、「ＬＩＴＯＮ  ３３００」、「ＬＩＴＯＮ  ３３００ＫＦ」、「ＬＩＴＯＮ  ３５００ＳＬＤ」、「Ｎｅｏｈｅａｔ  ８２００Ｋ２」など；東特塗料株式会社製の商品。）
ポリアミドイミドワニス（「Ｎｅｏｈｅａｔ  ＡＩ−００Ｃ」など；東特塗料株式会社製の商品。）
ポリエステルイミドワニス（「Ｎｅｏｈｅａｔ  ８６００Ａ」、「Ｎｅｏｈｅａｔ  ８６００ＡＹ」、「Ｎｅｏｈｅａｔ  ８６００」、「Ｎｅａｈｅａｔ  ８６００Ｈ３」、「Ｎｅｏｈｅａｔ  ８６２５」、「Ｎｅｏｈｅａｔ  ８６００Ｅ２」など；東特塗料株式会社製の商品。）
【００３０】
上記電線用ワニスとしては、例えば、耐熱ウレタン銅線用ワニス（「ＴＶＥ５１６０−２７」など、エポキシ変性ホルマール樹脂）、ホルマール銅線用ワニス（「ＴＶＥ５２２５Ａ」など、ポリビニルホルマール樹脂）、耐熱ホルマール銅線用ワニス（「ＴＶＥ５２３０−２７」など、エポキシ変性ホルマール樹脂）、ポリエステル銅線用ワニス（「ＴＶＥ５３５０シリーズ」、ポリエステル樹脂）など（いずれも京セラケミカル株式会社製の商品。）を使用できる。
【００３１】
上記有機皮膜の膜厚は、０．０５〜１５μｍとする。有機皮膜が薄過ぎると、切断初期の段階で有機皮膜が摩耗して消失するか、あるいは鋼製ベースワイヤから剥離して鋼製ベースワイヤ自体が露出してしまい、有機皮膜を設けることによる耐摩耗性向上効果が充分に発揮されない。従って有機皮膜の膜厚は、０．０５μｍ以上、好ましくは０．５μｍ以上、より好ましくは２μｍ以上とする。しかし有機皮膜が厚過ぎると、鋼製ベースワイヤから有機皮膜が剥離し易くなる。また、被覆ソーワイヤ全体に占める有機皮膜の割合が大きくなり過ぎるため、被覆ソーワイヤ全体の強度が低下する。そのため、生産性を上げようとワイヤの線速を大きくすると断線し易くなる傾向がある。従って有機皮膜の膜厚は１５μｍ以下、好ましくは１３μｍ以下、より好ましくは１０μｍ以下とする。
【００３２】
被覆ソーワイヤ全体の線径は特に限定されないが、通常、１００〜３００μｍ程度（好ましくは１００〜１５０μｍ）である。
【００３３】
本発明の被覆ソーワイヤは、例えば、金属やセラミックス、シリコン、水晶、半導体部材、磁性体材料等のワークを切断（スライシング加工）して切断体を製造するときに用いられる。
【００３４】
ソーマシンで切断を行なう際は、被覆ソーワイヤに砥粒を含む溶液を吹き付けて行う。吹き付けられた溶液に含まれる遊離砥粒が、被覆ソーワイヤとワークの間に引き込まれ、ワークを摩耗させながら切断するのに寄与するからである。
【００３５】
砥粒を含む溶液は、公知のものを用いればよい。砥粒としては、例えば、炭化珪素砥粒（ＳｉＣ砥粒）やダイヤモンド砥粒などが用いられる。
【００３６】
以下、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明は下記実施例によって制限を受けるものではなく、前・後記の趣旨に適合し得る範囲で適当に変更を加えて実施することも勿論可能であり、それらはいずれも本発明の技術的範囲に包含される。
【実施例】
【００３７】
鋼製ベースワイヤの表面に有機皮膜を被覆したソーワイヤを用い、該ソーワイヤに砥粒を吹き付けて単結晶シリコンを切断したときに、鋼製ベースワイヤの表面から有機皮膜が剥離するまでの時間を測定し、被覆ソーワイヤの寿命を評価した。
【００３８】
被覆ソーワイヤとして、下記表１に示す素材の鋼製ベースワイヤに、下記表１に示す素材の有機皮膜を下記表１に示す厚みで被覆し、線径（皮膜を含む）が１４０μｍの被覆ソーワイヤを作製した。
【００３９】
《鋼製ベースワイヤ》
Ｎｏ．１〜４、６〜１０では、ＪＩＳ  Ｇ３５０２に規定されるＣ：０．８２質量％、Ｓｉ：０．１９質量％、Ｍｎ：０．４９質量％を含有し、残部が鉄および不可避不純物からなるピアノ線（Ａ種）を所定の線径まで線引きしたものをベースワイヤとして用いた。
【００４０】
Ｎｏ．５では、ＪＩＳ  Ｇ３５０２に規定されるＣ：０．７２質量％、Ｓｉ：０．２１質量％、Ｍｎ：０．５２質量％を含有し、残部が鉄および不可避不純物からなるピアノ線（Ａ種）を所定の線径まで線引きしたものをベースワイヤとして用いた。
【００４１】
《有機皮膜》
有機皮膜の形成手順は次の通りである。
【００４２】
Ｎｏ．１〜５では、ＪＩＳ  Ｃ２３５１に規定されるポリウレタン線用ワニス「Ｗ１４３」（東特塗料株式会社製、エナメル線用ワニス「ＴＰＵ  Ｆ１（商品名）」、焼付け後の塗膜組成はポリウレタン）を用いた。
【００４３】
Ｎｏ．６、７では、ＪＩＳ  Ｃ２３５１に規定されるポリエステル線用ワニス「Ｗ１４１」（東特塗料株式会社製、エナメル線用ワニス「ＬＩＴＯＮ  ２１００Ｓ（商品名）」、焼付け後の塗膜組成はテレフタル酸系ポリエステル）を用いた。
【００４４】
Ｎｏ．８では、ＪＩＳ  Ｃ２３５１に規定されるホルマール線用ワニス「Ｗ１４２」（京セラケミカル株式会社製、電線用ワニス「ＴＶＥ５２２５Ａ（商品名）」、焼付け後の塗膜組成はポリビニルホルマール）を用いた。
【００４５】
Ｎｏ．９、１０では、ポリアミドイミド線用ワニス（東特塗料株式会社製、エナメル線用ワニス「Ｎｅｏｈｅａｔ  ＡＩ−００Ｃ（商品名）」、焼付け後の塗膜組成はポリアミドイミド）を用いた。
【００４６】
上記ベースワイヤの表面に上記ワニスを塗布し、加熱温度（炉温）を適宜制御して皮膜表面の硬さとヤング率およびこれらの変動係数を調整した。具体的には、皮膜形成に先立って、ベースワイヤに脱脂処理を行った後、塗布回数を４〜１０回に分けてワニスをコーティングし、下記表１に示す加熱温度（炉温）で加熱して硬化させて被覆ソーワイヤを作製した。
【００４７】
作製した被覆ソーワイヤについて、ナノインデンテーション法で、皮膜表面の硬さとヤング率を測定した。具体的な測定条件は次の通りである。
【００４８】
《測定条件》
測定装置      ：Agilent Technologies製「Nano Indenter XP/DCM」
解析ソフト    ：Agilent Technologies製「Test Works 4」
Ｔｉｐ        ：ＸＰ
測定モード    ：ＣＳＭ（連続剛性測定）
励起振動周波数：４５Ｈｚ
励起振動振幅  ：２ｎｍ
歪速度        ：０．０５／秒
押込深さ      ：５００ｎｍまで
測定点        ：１５点
測定点間隔    ：３０μｍ
測定環境      ：空調装置内で室温２３度
標準試料      ：フューズドシリカ
【００４９】
なお、皮膜表面の硬さとヤング率は、皮膜の最表面から深さが５０〜５００ｎｍの領域において硬さプロファイルとヤング率プロファイルを測定し、皮膜の最表面からの押込深さが４００〜４５０ｎｍの範囲における結果を採用した。測定点は１５点とし、１５回の測定結果に異常値があった場合にはこれを除外し、新たに測定を行なって１５点分の結果を平均して皮膜表面の硬さとヤング率を求めた。皮膜表面の硬さとヤング率を下記表１に示す。また、硬さとヤング率の夫々について標準偏差を求め、これを平均値で割って変動係数（標準偏差／平均値）を算出した。下記表１に硬さまたはヤング率の変動係数を併せて示す。なお、下記表１のＮｏ．３は、有機皮膜が薄過ぎるため、硬さとヤング率を測定できなかった。
【００５０】
次に、作製した被覆ソーワイヤを用いて、単結晶シリコンを切断（スライシング加工）した。スライシング加工は、被覆ソーワイヤと単結晶シリコンの間に、平均粒径が５．６μｍのダイヤモンド砥粒をエチレングリコール系水溶液に懸濁させたスラリーを吹き付けて行なった。砥粒（ダイヤモンド砥粒）の濃度は５質量％とした。被覆ソーワイヤの線速は５００ｍ/分、新線供給速度は２０ｍ/分、被覆ソーワイヤの張力は２５Ｎに設定した。
【００５１】
上記条件でスライシング加工を行い、有機皮膜が鋼製ベースワイヤから剥離するまでの時間（分）を測定し、被覆ソーワイヤの寿命を評価した。剥離寿命（分）を下記表１に示す。
【００５２】
表１から次のように考察できる。Ｎｏ．１、２、５、６、８、９の被覆ソーワイヤは、本発明で規定する要件を満足している例である。皮膜表面の硬さとヤング率およびこれらの変動係数が適正に調整されているため、鋼製ベースワイヤの表面から有機皮膜が剥離し難く、被覆ソーワイヤの長寿命化を実現できている。
【００５３】
一方、Ｎｏ．３、４、７、１０は、本発明で規定する要件を満足しない例である。これらのうちＮｏ．３のソーワイヤは、鋼製ベースワイヤの表面に被覆した有機皮膜が薄すぎる例であり、短時間のうちに有機皮膜が摩耗してしまい、鋼製ベースワイヤが露出した。Ｎｏ．４と１０は、皮膜表面における硬さの変動係数が本発明で規定している範囲から外れているため、鋼製ベースワイヤの表面から有機皮膜が剥離し易くなっている。特に、Ｎｏ．４は、有機皮膜の膜厚も大きいため、剥離し易くなっている。Ｎｏ．７は、皮膜表面におけるヤング率の変動係数が本発明で規定している範囲から外れているため、鋼製ベースワイヤの表面から有機皮膜が剥離し易くなっている。
【００５４】
【表１】
2011173193.tif 000002