(57)【要約】【課題】直動方向の位置および回転方向の角度を精度良く検出すること。【解決手段】モータ部の界磁部へ取り付けられた出力軸と、出力軸について直動方向の位置および回転方向の角度をそれぞれ検出する検出器部と、出力軸を直動方向および回転方向にそれぞれ支持する軸受部とを備えるように直動回転アクチュエータを構成する。そして、モータ部は、出力軸の反負荷側に、検出器部は、出力軸の負荷側に、それぞれ配置されるように直動回転アクチュエータを構成する。【選択図】        図１
2011239661.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
永久磁石または鉄心歯を有する界磁部、回転方向に回転磁界を発生する第１の電機子巻線および直動方向に進行磁界を発生する第２の電機子巻線を含むモータ部と、
前記モータ部の前記界磁部へ取り付けられた出力軸と、
前記出力軸について直動方向の位置および回転方向の角度をそれぞれ検出する直動検出器および回転検出器を含む検出器部と、
前記出力軸を直動方向および回転方向にそれぞれ支持する直動軸受および回転軸受を含む軸受部と
を備え、
前記モータ部は、前記出力軸の反負荷側に、前記検出器部は、前記出力軸の負荷側に、それぞれ配置されること
を特徴とする直動回転アクチュエータ。
【請求項２】
前記検出器部の両側に前記軸受部が配置されることを特徴とする請求項１に記載の直動回転アクチュエータ。
【請求項３】
前記モータ部と前記検出器部との間に空隙が設けられることを特徴とする請求項１または２に記載の直動回転アクチュエータ。
【請求項４】
前記出力軸は、
前記検出器部と前記界磁部とで分割して構成されることを特徴とする請求項１、２また３に記載の直動回転アクチュエータ。
【請求項５】
前記出力軸は、
非磁性材料で構成されることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の直動回転アクチュエータ。
【請求項６】
前記出力軸は、
中空穴が設けられることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の直動回転アクチュエータ。
【請求項７】
前記界磁部は、
回転方向にＮ極とＳ極とを交互に多極着磁した第１のリング磁石と、
直動方向にＮ極とＳ極とを交互に多極着磁した第２のリング磁石と
を備えることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載の直動回転アクチュエータ。
【請求項８】
前記第１のリング磁石および前記第２のリング磁石が同軸上に配置されることを特徴とする請求項７に記載の直動回転アクチュエータ。
【請求項９】
前記第１のリング磁石および前記第２のリング磁石が同心円上に配置されることを特徴とする請求項７に記載の直動回転アクチュエータ。
【請求項１０】
前記第１のリング磁石および前記第２のリング磁石は、一体として形成されることを特徴とする請求項７、８または９に記載の直動回転アクチュエータ。
【請求項１１】
前記界磁部は、
回転方向におけるＮ極の幅がＳ極の幅よりも広いように該Ｎ極と該Ｓ極とを交互に多極着磁した第３のリング磁石と、
回転方向におけるＮ極の幅がＳ極の幅よりも狭いように該Ｎ極と該Ｓ極とを交互に多極着磁した第４のリング磁石と
を備えることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載の直動回転アクチュエータ。
【請求項１２】
前記界磁部は、
前記第３のリング磁石と前記第４のリング磁石とが直動方向に交互に配置されることを特徴とする請求項１１に記載の直動回転アクチュエータ。
【請求項１３】
前記第３のリング磁石および前記第４のリング磁石は、一体として形成されることを特徴とする請求項１１または１２に記載の直動回転アクチュエータ。
【請求項１４】
前記界磁部と前記直動軸受との間に設けられ、前記界磁部の回転に合わせて回転する弾性バネ
を備えることを特徴とする請求項１〜１３のいずれか一つに記載の直動回転アクチュエータ。
【請求項１５】
前記界磁部は、
直動方向の両端にリング状の補極ヨークを備えることを特徴とする請求項１〜１４のいずれか一つに記載の直動回転アクチュエータ。
【請求項１６】
前記モータ部の反負荷側に前記軸受部が配置されることを特徴とする請求項２〜１５のいずれか一つに記載の直動回転アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転動作および直動動作を兼ねる直動回転アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、回転動作および直動動作を兼ねるアクチュエータである直動回転アクチュエータが知られている。
【０００３】
たとえば、かかる直動回転アクチュエータは、回転モータ用およびリニアモータ用の電機子巻線を同心円上に重ね合わせた固定子と、永久磁石などの界磁部を出力軸まわりに取り付けた可動子とを備えており、可動子に対して直接、トルクおよび推力を発生させる。なお、このように、トルクおよび推力を発生する部位は、「モータ部」と呼ばれる。
【０００４】
また、上記した直動回転アクチュエータは、固定子に設けられた直動回転検出器と、可動子の出力軸まわりに設けられた直動回転スケールとで、可動子の回転や移動を検出する「検出器部」を備える。
【０００５】
そして、上記した「モータ部」を負荷側に、上記した「検出器部」を反負荷側に設けた直動回転アクチュエータが提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−１４３３８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記した直動回転アクチュエータには、直動方向の位置や回転方向の角度の検出精度に向上の余地があるという問題があった。
【０００８】
たとえば、上記した直動回転アクチュエータは、「検出器部」と負荷との間に「モータ部」が配置されているので、「検出器部」と負荷との距離が長くなる傾向にある。このため、「モータ部」から発生する熱による出力軸の歪みの影響が、「検出器部」の検出誤差として生じやすくなる。
【０００９】
開示の技術は、上記に鑑みてなされたものであって、直動方向の位置および回転方向の角度を精度良く検出することができる直動回転アクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本願の開示する直動回転アクチュエータは、永久磁石または鉄心歯を有する界磁部、回転方向に回転磁界を発生する第１の電機子巻線および直動方向に進行磁界を発生する第２の電機子巻線を含むモータ部と、前記モータ部の前記界磁部へ取り付けられた出力軸と、前記出力軸について直動方向の位置および回転方向の角度をそれぞれ検出する直動検出器および回転検出器を含む検出器部と、前記出力軸を直動方向および回転方向にそれぞれ支持する直動軸受および回転軸受を含む軸受部とを備え、前記モータ部は、前記出力軸の反負荷側に、前記検出器部は、前記出力軸の負荷側に、それぞれ配置される。
【発明の効果】
【００１１】
本願の開示する直動回転アクチュエータの一つの態様によれば、直動方向の位置および回転方向の角度を精度良く検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、実施例１に係る直動回転アクチュエータを側面から見た断面図である。
【図２Ａ】図２Ａは、実施例１に係る界磁部の断面図（その１）である。
【図２Ｂ】図２Ｂは、実施例１に係る界磁部の断面図（その２）である。
【図２Ｃ】図２Ｃは、実施例１に係る界磁部の断面図（その３）である。
【図３】図３は、実施例１に係る電機子巻線および永久磁石の配置関係を示す展開図である。
【図４】図４は、実施例２に係る直動回転アクチュエータを側面から見た断面図である。
【図５】図５は、実施例２に係るモータ部を側面から見た断面図である。
【図６Ａ】図６Ａは、実施例３に係る界磁部の断面図（その１）である。
【図６Ｂ】図６Ｂは、実施例３に係る界磁部の断面図（その２）である。
【図６Ｃ】図６Ｃは、実施例３に係る界磁部の断面図（その３）である。
【図６Ｄ】図６Ｄは、実施例３に係る界磁部の展開図である。
【図７Ａ】図７Ａは、実施例４に係る界磁部の断面図（その１）である。
【図７Ｂ】図７Ｂは、実施例４に係る界磁部の断面図（その２）である。
【図７Ｃ】図７Ｃは、実施例４に係る界磁部の断面図（その３）である。
【図７Ｄ】図７Ｄは、実施例４に係る界磁部の展開図である。
【図８Ａ】図８Ａは、実施例５に係る界磁部の断面図（その１）である。
【図８Ｂ】図８Ｂは、実施例５に係る界磁部の断面図（その２）である。
【図８Ｃ】図８Ｃは、実施例５に係る界磁部の断面図（その３）である。
【図８Ｄ】図８Ｄは、実施例５に係る界磁部の展開図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、添付図面を参照して、本願の開示する直動回転アクチュエータの実施例を詳細に説明する。なお、以下に示す実施例における例示で本発明が限定されるものではない。
【実施例１】
【００１４】
まず、実施例１に係る直動回転アクチュエータについて説明する。図１は、実施例１に係る直動回転アクチュエータ１０を側面から見た断面図である。なお、直動回転アクチュエータ１０は、図１に示すＸ軸の正側が鉛直方向の下向きとなるように設置される。以下では、まず、固定子１００の構成について説明する。
【００１５】
図１に示すように、固定子１００のモータ部１００ａは反負荷側に、固定子１００の検出器部１００ｂは負荷側に、それぞれ配置される。なお、図１に示した場合、負荷側は、図１に示すＸ方向（図１の直線矢印参照）の正方向であり、反負荷側は、Ｘ方向の負方向である。なお、以下、単に「Ｘ方向」と記載する場合には、正方向および負方向を含むものとする。また、「Ｘ方向」は、直動回転アクチュエータ１０の「直動方向」に対応する。
【００１６】
反負荷側に設けられるモータ部１００ａは、電機子コアを兼ねた円筒状のモータフレーム１０１と、θ電機子巻線１０３と、Ｘ電機子巻線１０４とを同心円上に備える。また、モータフレーム１０１は、θ電機子巻線１０３およびＸ電機子巻線１０４に対して外部から電力を供給するモータ端子１０５を備える。
【００１７】
モータフレーム１０１は、反負荷側にエンドブラケット１０９を備える。そして、エンドブラケット１０９は、すべり軸受であるエンドブッシュ１１３を備える。
【００１８】
負荷側に設けられる検出器部１００ｂは、検出器フレーム１３３と、直動回転検出器１３０とを備える。そして、直動回転検出器１３０は、回転検出器１３１と、直動検出器１３２とを備える。また、検出器フレーム１３３は、直動回転検出器１３０に対して外部から電力を供給するとともに、角度θおよび位置Ｘに関する検出信号を出力する検出器端子１３４を備える。
【００１９】
検出器フレーム１３３は、負荷側に負荷側ブラケット１０７を、反負荷側に反負荷側ブラケット１０８を備える。また、負荷側ブラケット１０７および反負荷側ブラケット１０８は、１個のボールスプライン１０６ａと２個のベアリング１０６ｂとを含んだθＸ軸受部１０６を、それぞれ備える。
【００２０】
なお、モータ部１００ａと、検出器部１００ｂの反負荷側ブラケット１０８との間には、空隙１１０が設けられており、モータ部１００ａおよび反負荷側ブラケット１０８は、固定ベース（図示せず）にそれぞれ支持される。
【００２１】
次に、可動子２００の構成について説明する。可動子２００は、出力軸２０１と、界磁部２０２と、反負荷側軸２０６とを備える。出力軸２０１は、非磁性体（たとえば、ステンレス鋼製）で構成される。
【００２２】
ここで、出力軸２０１は、負荷側および反負荷側の２箇所に設けられたボールスプライン１０６ａによって、Ｘ方向に移動可能に支持される。また、出力軸２０１およびボールスプライン１０６ａは、ベアリング１０６ｂによって、θ方向（図１の弧状矢印参照）の正方向および負方向に回転可能に支持される。なお、以下、単に「θ方向」と記載する場合には、正方向および負方向を含むものとする。そして、「θ方向」は、直動回転アクチュエータ１０の「回転方向」に対応する。
【００２３】
このように、出力軸２０１は、固定子１００に対し、θ方向およびＸ方向へ移動可能である。ここで、出力軸２０１の先端には負荷（図示せず）が存在するので、出力軸２０１は、かかる負荷をθ方向およびＸ方向に自在に移動させることができる。そして、出力軸２０１は、円筒状に形成された直動回転スケール２３０を備える。
【００２４】
ここで、出力軸２０１、界磁部２０２および反負荷側軸２０６には、負荷側から反負荷側まで貫通した中空穴２０５が設けられる。なお、出力軸２０１と界磁部２０２との密着面、界磁部２０２と反負荷側軸２０６との密着面には、それぞれ、密封部品であるＯリング（図示せず）が、設けられる。
【００２５】
また、可動子２００の反負荷側には、継ぎ手２０７が可動子２００と回転自在に設けられる。そして、反負荷側ブラケット１０８のボールスプライン１０６ａにはプレート１１１が設けられ、このプレート１１１は、可動子２００とともに回転動作を行う。
【００２６】
なお、プレート１１１と界磁部２０２との間には、可動子２００の質量および負荷の質量の和と釣り合うバネ張力を有する弾性バネ１１２が設けられる。
【００２７】
次に、界磁部２０２の構成について図２Ａ、図２Ｂおよび図２Ｃを用いて説明する。図２Ａ〜Ｃは、それぞれ、実施例１に係る界磁部２０２の断面図（その１〜その３）である。なお、図２Ａには界磁部２０２を側面から見た断面図を、図２Ｂには図２Ａに示したＡ−Ａ線における断面図を、図２Ｃには図２Ａに示したＢ−Ｂ線における断面図を、それぞれ示す。
【００２８】
また、図２Ｂ〜図２Ｃに示す矢印（→）は、永久磁石の磁化方向をあらわしており、極性は、「Ｓ→Ｎ」である。
【００２９】
図２Ａに示すように、界磁部２０２は、円筒状の界磁ヨーク２０３の外周に、複数のブロック状の永久磁石（以下、「ブロック磁石」と記載する）である、ブロック磁石２０４ａおよびブロック磁石２０４ｂを備える。
【００３０】
また、図２Ｂに示すように、ブロック磁石２０４ａは、外周側がＮ極に、内周側がＳ極に、それぞれ磁化される。また、図２Ｃに示すように、ブロック磁石２０４ｂは、ブロック磁石２０４ａとは逆向きに磁化される。
【００３１】
そして、ブロック磁石２０４ａと、ブロック磁石２０４ｂとは、外周部の凸部が互い違いになるように（図２Ｂ〜図２Ｃに示した場合には、出力軸２０１（図１参照）まわりに３０度ずらした状態）で配置される。なお、ブロック磁石２０４ａおよびブロック磁石２０４ｂは、所定の空隙を介してＸ電機子１０４（図１参照）と対向する。
【００３２】
次に、Ｘ電機子巻線１０４および永久磁石（ブロック磁石２０４ａおよびブロック磁石２０４ｂ）の配置関係について、図３を用いて説明する。図３は、実施例１に係るＸ電機子巻線１０４および永久磁石の配置関係を示す展開図である。
【００３３】
ブロック磁石２０４ａおよびブロック磁石２０４ｂは、それぞれ６個で１つのグループをなす。ブロック磁石２０４ａは、θ方向に２λ（λはθ方向極ピッチ＝電気角１８０度）ごとに配置され、同じくブロック磁石２０４ｂもθ方向に２λごとに配置される。
【００３４】
さらに、ブロック磁石２０４ａおよびブロック磁石２０４ｂは、θ方向にλ、Ｘ方向にγ（γはＸ方向極ピッチ＝電気角１８０度）ずらして配置される。したがって、界磁の磁極数は、θ方向が１２極、Ｘ方向が２極となる。
【００３５】
θ電機子巻線１０３およびＸ電機子巻線１０４は、ブロック磁石２０４ａおよびブロック磁石２０４ｂと所定の空隙を介して、図３に模式的に示した配置をとる。θ電機子巻線１０３は、コイルエンド部が円弧状の形をした集中巻きのコイル（以下、「俵形コイル１０３ａ」と記載する）を、Ｕ相、Ｖ相およびＷ相についてそれぞれ３個ずつ、計１２個含む。
【００３６】
ここで、俵形コイル１０３ａがθ方向に配置される間隔は、λ×４／３（電気角２４０度）である。そして、同相同士の俵形コイル１０３ａの間隔は、電気角７２０度であるので、３個の同相の俵形コイル１０３ａは、電流の向きが３個とも同じ向きとなるように結線される。
【００３７】
一方、Ｘ電機子巻線１０４は、円筒状に集中巻きされたリング形コイル１０４ａを、Ｕ相、Ｖ相およびＷ相についてそれぞれ４個ずつ、計１２個含む。リング形コイル１０４ａがＸ方向に配置される間隔は、γ／３（電気角６０度）であり、Ｘ電機子巻線１０４のＸ方向全体の長さは４γ（＝γ／３×１２個）である。
【００３８】
同相同士のリング形コイル１０４ａの間隔はγ（電気角１８０度）であるので、４個の同相のリング形コイル１０４ａは、電流の向きが、正、逆、正、逆となるように結線される。
【００３９】
このように構成された直動回転アクチュエータ１０は、θ電機子巻線１０３へ電流を流すことによって、ブロック磁石２０４ａおよびブロック磁石２０４ｂが作る磁界との作用で可動子２００にトルクを発生させる。また、Ｘ電機子巻線１０４へ電流を流すことによって、ブロック磁石２０４ａおよびブロック磁石２０４ｂが作る磁界との作用で可動子２００に推力を発生させる。
【００４０】
なお、図３には、θ電機子巻線１０３およびＸ電機子巻線１０４にそれぞれＵ相が最大となる位相で電流を流した場合を示しており、この場合、図示した矢印方向に電流が流れることによってローレンツ力が発生する。そして、可動子２００には、θ＋方向（θ方向の正方向）にトルクが、Ｘ＋方向（Ｘ方向の正方向）に推力が、それぞれ発生する。
【００４１】
このように、直動回転アクチュエータ１０は、直接、可動子２００に対してトルクおよび推力を発生させ、回転動作および直動動作を行う。
【００４２】
ところで、検出器部１００ｂ（図１参照）は、直動方向に凸凹形状を有する磁性体と、回転方向に凸凹形状を有する磁性体とを含んだ直動回転スケール２３０を、可動子２００側に備える。また、検出器部１００ｂは、直動方向および回転方向それぞれの励磁巻線および検出巻線が対向するように含んだ直動回転検出器１３０を、固定子１００側に備える。
【００４３】
すなわち、検出器部１００ｂは、上記した直動回転スケール２３０および直動回転検出器１３０の組み合わせからなる直動回転レゾルバによって、直動方向の位置および回転方向の角度を検出する。
【００４４】
なお、複数個の検出用磁石を可動子２００に設けるとともに、３個のホール素子を可動子２００と対向する側の固定子１００に設けた検出機部１００ｂを構成し、直動方向の位置および回転方向の角度を検出することとしてもよい。
【００４５】
このように、実施例１に係る直動回転アクチュエータ１０は、負荷側に検出器部１００ｂを配置し、反負荷側にモータ部１００ａを配置するとともに、モータ部１００ａの反負荷側にエンドブッシュ１１３を配置する。
【００４６】
すなわち、負荷側に検出器部１００ｂを設けたので、負荷と検出器部１００ｂとの距離を短くすることができる。したがって、負荷に関する直動方向の位置および回転方向の位置を、負荷の近くで検出することができる。
【００４７】
ここで、θ電機子巻線１０３やＸ電機子巻線１０４にそれぞれ電流を流すと、モータ部１００ａには熱が発生し、発生した熱によって出力軸２０１は熱膨張する。しかしながら、上記したように、負荷と検出器部１００ｂとの距離を短くすると、検出器部１００ｂは、出力軸２０１における直動方向および回転方向の熱変形の影響を受けにくい。
【００４８】
したがって、出力軸２０１における直動方向の位置誤差および回転方向の位置誤差を低減することができるので、検出器部１００ｂは、直動方向の位置および回転方向の位置を、精密に検出することが可能となる。
【００４９】
また、実施例１に係る直動回転アクチュエータ１０は、θＸ軸受部１０６を各１個のボールスプライン１０６ａと、各２個のベアリング１０６ｂとで構成するとともに、θＸ軸受部１０６を検出器部１００ｂの両側に配置する。
【００５０】
このように、θＸ軸受部１０６を検出器部１００ｂの両側に配置すると、検出器部１００ｂにおける、出力軸２０１のがたや偏心を低減することができ、出力軸２０１の真直度と回転振れの精度を向上することができる。
【００５１】
そして、出力軸２０１の真直度と回転振れの精度の向上によって、出力軸２０１に配置された直動回転スケール２３０の真直度と回転振れの精度を向上することができるので、検出器部１００ｂは、直動方向の位置と回転方向の角度を精度良く検出することができる。
【００５２】
また、直動回転アクチュエータ１０は、モータ部１００ａの反負荷側にエンドブッシュ１１３を配置したので、界磁部２０２のがたや偏心を低減することができ、ひいては、出力軸２０１のがたや偏心を低減することができる。したがって、出力軸２０１の真直度および回転振れの精度を向上することができる。
【００５３】
また、直動回転アクチュエータ１０は、モータ部１００ａと検出器部１００ｂとの間に空隙１１０を設ける。このように、モータ部１００ａと、反負荷側ブラケット１０８が配置された検出器部１００ｂとの間に空隙１１０を設けると、モータ部１００ａから発生した熱を、検出器部１００ｂへ伝導しにくくすることができる。したがって、温度上昇による検出器部１００ｂの検出誤差を低減することができる。
【００５４】
また、直動回転アクチュエータ１０は、直動回転スケール２３０が配置された出力軸２０１と界磁部２０２とを分割した可動子２００を備える。このようにすることで、出力軸２０１の長さを短くすることができ、出力軸２０１の真直度と回転振れの精度を向上することができる。ここで、出力軸２０１は精密に加工されたボールスプライン軸にて構成されるので、出力軸２０１の長さを短くすると、出力軸２０１を安価にすることができる。
【００５５】
また、界磁部２０２の組立では、ブロック磁石２０４ａ、２０４ｂは磁化されているので取り扱いに注意を要し、出力軸２０１の組立では、直動回転の検出精度に影響するので直動回転スケール２３０の取り付けには注意を要する。そこで、上記したように出力軸２０１と界磁部２０２とを分割すると、界磁部２０２の組立と出力軸２０１の組立とを別工程にて行うことができ、組立作業が容易になる。
【００５６】
また、直動回転アクチュエータ１０は、非磁性体（たとえば、ステンレス鋼製）の出力軸２０１を備える。このように、出力軸２０１を非磁性体で構成すると、出力軸２０１は磁束を通さない。ここで、仮に、出力軸２０１を磁性体で構成すると、界磁部２０２の漏れ磁束による磁力線のなかには、出力軸２０１を通って検出器部１００ｂへ続く磁力線が存在してしまう。
【００５７】
そこで、上記したように、出力軸２０１を非磁性体で構成すると、出力軸２０１は磁束を通さないので、検出器部１００ｂへの漏れ磁束を低減することができる。これにより、界磁部２０２の漏れ磁束に起因する検出器部１００ｂの検出誤差を低減することができる。
【００５８】
また、直動回転アクチュエータ１０は、中空穴２０５が設けられた出力軸２０１を備える。このように、出力軸２０１に中空穴２０５を設けると、継ぎ手２０７を介して中空穴２０５へ空気（冷媒）を通すことができ、出力軸２０１を冷却することができる。
【００５９】
上記したように、出力軸２０１は、モータ部１００ａから発生した熱によって熱膨張するので、このように出力軸２０１を冷却すると、出力軸２０１の直動方向の熱変形を減少することができ、特に、出力軸２０１の直動方向の位置誤差を低減することができる。
【００６０】
そして、継ぎ手２０７を介して中空穴２０５を真空にすることができるので、出力軸２０１の負荷側の先端に部品を吸着することができる。また、継ぎ手２０７を介して中空穴２０５を圧空にすることもできるので、出力軸２０１の負荷側の先端から部品を脱着することもできる。
【００６１】
また、直動回転アクチュエータ１０は、プレート１１１と界磁部２０２との間に弾性バネ１１２を備える。このようにすることで、θ電機子巻線１０３およびＸ電機子巻線１０４に通電していない期間や停電時には、可動子２００を、可動子２００および負荷の質量と弾性バネ１１２のバネ張力が釣り合った位置にて停止させることができる。
【００６２】
また、可動子２００の落下を防ぐことができるので、負荷やその他の外部の物体との衝突による出力軸２０１の部品精度あるいは位置決め精度の悪化を防ぐことができる。
【００６３】
また、ボールスプライン１０６ａにプレート１１１を配置したことで、界磁部２０２に合わせてプレート１１１も回転することができ、界磁部２０２に合わせて弾性バネ１１２も回転することができる。
【００６４】
ここで、仮に、弾性バネ１１２が界磁部２０２に合わせて回転できない構成をとった場合、弾性バネ１１２がねじられ、ねじれによるトルクがプレート１１１と界磁部２０２の間に発生して出力軸２０１へ伝わるので、回転動作を精密に行うことが容易ではない。
【００６５】
そこで、界磁部２０２に合わせて弾性バネ１１２も回転するようにすれば、弾性バネ１１２のねじれによるトルクを出力軸２０１に伝えないようにすることができる。また、プレート１１１と界磁部２０２との間に弾性バネ１１２を配置したことで、固定子１００の内部の空間を利用することができ、アクチュエータを小型化することができる。
【００６６】
上述したように、実施例１に係る直動回転アクチュエータは、モータ部を出力軸の反負荷側に、検出器部を出力軸の負荷側に、それぞれ備える。このように、負荷と検出器部との距離を短くすると、出力軸における直動方向および回転方向の熱変形を減少することができ、出力軸における直動方向および回転方向の位置誤差を低減することが可能となる。したがって、直動方向の位置および回転方向の角度を精度良く検出することができる。
【実施例２】
【００６７】
次に、実施例２に係る直動回転アクチュエータについて説明する。図４は、実施例２に係る直動回転アクチュエータ２０を側面から見た断面図である。なお、直動回転アクチュエータ２０は、図４に示すＸ軸の正側が鉛直方向の下向きとなるように設置される。以下では、まず、固定子１４０の構成について説明する。
【００６８】
ここで、固定子１４０のモータ部１４０ａは反負荷側に、固定子１４０の検出器部１４０ｂは負荷側に、それぞれ配置される。なお、図４に示した場合、負荷側は、図４に示すＸ方向（図４の直線矢印参照）の正方向であり、反負荷側は、Ｘ方向の負方向である。また、以下、単に「Ｘ方向」と記載する場合には、正方向および負方向を含むものとする。
【００６９】
反負荷側に設けられるモータ部１４０ａは、電機子コアを兼ねた円筒状のモータフレーム１４１と、θ電機子巻線１４３と、Ｘ電機子巻線１４４とを同心円上に備える。また、モータフレーム１４１は、θ電機子巻線１４３およびＸ電機子巻線１４４に対して外部から電力を供給するモータ端子１４５を備える。さらに、モータフレーム１４１は、反負荷側にエンドブラケット１４９を備える。
【００７０】
負荷側に設けられる検出器部１４０ｂは、検出器フレーム１６３と、直動回転検出器１６０とを備える。そして、直動回転検出器１６０は、回転検出器１６１と、直動検出器１６２とを備える。また、検出器フレーム１６３は、直動回転検出器１６０に対して外部から電力を供給するとともに、角度θおよび位置Ｘに関する検出信号を出力する検出器端子１６４を備える。
【００７１】
検出器フレーム１６３は、負荷側に負荷側ブラケット１４７を、反負荷側に反負荷側ブラケット１４８を備える。また、負荷側ブラケット１４７、反負荷側ブラケット１４８およびエンドブラケット１４９は、１個のボールスプライン１４６ａと２個のベアリング１４６ｂとを含んだθＸ軸受部１４６を、それぞれ備える。
【００７２】
なお、モータフレーム１４１は、モータ部１４０ａと検出器部１４０ｂとが一体となるように、反負荷側ブラケット１４８によって支持される。
【００７３】
次に、可動子２４０の構成について説明する。可動子２４０は、出力軸２４１と、界磁部２４２とを備える。また、界磁部２４２と、出力軸２４１とは一体化される。
【００７４】
ここで、出力軸２４１は、３箇所に設けられたボールスプライン１４６ａによってＸ方向に支持される。また、出力軸２４１およびボールスプライン１４６ａは、ベアリング１４６ｂによって、θ方向（図４の弧状矢印参照）の正方向および負方向に回転可能に支持される。なお、以下、単に「θ方向」と記載する場合には、正方向および負方向を含むものとする。
【００７５】
このように、出力軸２４１は、固定子１４０に対し、θ方向およびＸ方向へ移動可能である。ここで、出力軸２４１の先端には負荷（図示せず）が存在するので、出力軸２４１は、かかる負荷をθ方向およびＸ方向に自在に移動させることができる。なお、出力軸２４１は、円筒状に形成された直動回転スケール２５０を備える。
【００７６】
ここで、出力軸２４１には、負荷側から反負荷側まで貫通した中空穴２４５が設けられる。また、可動子２４０の反負荷側には、継ぎ手２４７が可動子２４０と回転自在に設けられる。そして、界磁部２４２の両側には、リング状の磁性体で構成された補極ヨーク２４８が設けられる。
【００７７】
次に、モータ部１４０ａについて図５を用いてさらに詳細に説明する。図５は、実施例２に係るモータ部１４０ａを側面から見た断面図である。ここで、上記したように、モータ部１４０ａは、電機子コアを兼ねた円筒状のモータフレーム１４１と、θ電機子巻線１４３と、Ｘ電機子巻線１４４とを同心円上に備える。なお、図５に示す矢印（→）は、磁力線の方向をあらわしており、極性は、「Ｓ→Ｎ」である。
【００７８】
図５に示すように、界磁部２４２は、円筒状の界磁ヨーク２４３の外周にブロック磁石２４４ａおよびブロック磁石２４４ｂを備える。なお、ブロック磁石２４４ａは、外周側がＮ極に、内周側がＳ極に、それぞれ磁化されており、ブロック磁石２０４ｂは、ブロック磁石２０４ａとは逆向きに磁化される。また、界磁部２４２の両側には、リング状の磁性体で構成された補極ヨーク２４８が設けられる。
【００７９】
このように、実施例２に係る直動回転アクチュエータ２０は、モータ部１４０ａの反負荷側にθＸ軸受部１４６を備える点、および、補極ヨーク２４８を備える点で、実施例１に係る直動回転アクチュエータ１０とは異なる。
【００８０】
すなわち、実施例２に係る直動回転アクチュエータ２０は、モータ部１４０ａの反負荷側にθＸ軸受部１４６を備えるので、実施例１に係る直動回転アクチュエータ１０よりも、さらに、界磁部２４２のがたや偏心を低減することができ、ひいては、出力軸２４１のがたや偏心をさらに低減することができる。したがって、出力軸２４１の真直度と回転振れの精度をさらに向上することができる。
【００８１】
ここで、仮に、補極ヨーク２４８を設けない場合、界磁部２０２の漏れ磁束による磁力線のなかには、モータフレーム１４１を通って検出器部１４０ｂへ続く磁力線や、出力軸２０１を通って検出器部１４０ｂへ続く磁力線が存在してしまう。
【００８２】
そこで、上記したように、界磁部２４２の両側にリング状の補極ヨーク２４８を設けると、界磁部２４２の漏れ磁束による磁力線は、モータフレーム１４１を通り、さらに補極ヨーク２４８を通って出力軸２４１を通る磁力線となる。したがって、検出器部１４０ｂへの漏れ磁束を低減することができ、界磁部２４２の漏れ磁束に起因する検出器部１４０ｂの検出誤差を低減することができる。
【００８３】
なお、補極ヨーク２４８を、回転方向に凸凹形状を有する花びら状の構成（図示せず）としてもよい。また、補極ヨーク２４８を、界磁部２４２の両側に設けるのは、界磁部２４２の両側の漏れ磁束を負荷側と反負荷側で同じとするためであるが、補極ヨーク２４８を、界磁部２４２の片側、たとえば、負荷側のみに設けることとしてもよい。
【００８４】
ところで、上述した実施例１および実施例２では、モータ部の可動子側に設けられる界磁部の構成を例示したが（たとえば、図２Ａあるいは図５参照）、界磁部の構成は、かかる例示に限られない。そこで、以下では、界磁部の他の構成例である実施例３、実施例４および実施例５について、それぞれ説明する。なお、以下では、実施例１と同様に、界磁部を界磁部２０２と記載する。
【実施例３】
【００８５】
実施例３に係る界磁部２０２の構成について図６Ａ、図６Ｂ、図６Ｃおよび図６Ｄを用いて説明する。図６Ａ〜Ｃは、それぞれ、実施例３に係る界磁部２０２の断面図（その１〜その３）であり、図６Ｄは、実施例３に係る界磁部２０２の展開図である。なお、図６Ｄには、外周側から見た展開図を示す。
【００８６】
また、図６Ａには界磁部２０２を側面から見た断面図を、図６Ｂには図６Ａに示したＡ−Ａ線における断面図を、図６Ｃには図６Ａに示したＢ−Ｂ線における断面図を、それぞれ示す。
【００８７】
図６Ａおよび図６Ｂに示すように、実施例３に係る界磁部２０２は、回転方向（θ方向）の外周側について、Ｎ極とＳ極とを交互に繰り返すリング状の永久磁石であるリング磁石３０１ａを備える。また、図６Ａおよび図６Ｃに示すように、実施例３に係る界磁部２０２は、直動方向（Ｘ方向）の外周側について、Ｎ極とＳ極とを交互に繰り返すリング磁石３０１ｂを備える。
【００８８】
そして、図６Ａに示すように、リング磁石３０１ａおよびリング磁石３０１ｂは、出力軸２０１に沿って、同軸上に設けられる。なお、リング磁石３０１ａおよびリング磁石３０１ｂは、接着などによってお互いに固定される。
【００８９】
なお、リング磁石３０１ａおよびリング磁石３０１ｂを、１つの部材として形成し、形成後に着磁することとしてもよい。このように、リング磁石３０１ａおよびリング磁石３０１ｂを一体化すれば、組み立て工数の削減や、部品精度の向上をさらに図ることができる。
【００９０】
図６Ｂに示すように、リング磁石３０１ａは、図６Ａに示したＡ−Ａ線における断面（Ａ−Ａ断面）において、外周側がＮ極に磁化された部位と、外周側がＳ極に磁化された部位とを、θ方向（回転方向）について等間隔で交互に備える。
【００９１】
なお、図６Ｂには、Ｎ極数とＳ極数との合計が８つの場合を例示したが、他の個数としてもよい。また、外周側がＮ極に磁化された部位と、外周側がＳ極に磁化された部位とをθ方向（回転方向）について不等間隔としてもよい。
【００９２】
このように、リング磁石３０１ａは、回転方向にＮ極とＳ極とを交互に繰り返す。したがって、θ電機子巻線１０３（図１参照）へ電流を流すと、リング磁石３０１ａが作る磁界との作用で可動子２００（図１参照）にトルクが発生する。
【００９３】
また、図６Ｃに示すように、リング磁石３０１ｂは、図６Ａに示したＢ−Ｂ線における断面（Ｂ−Ｂ断面）において、外周側がＮ極に磁化される。そして、図６Ｄに示すように、リング磁石３０１ｂは、外周側がＮ極に磁化された部位と、外周側がＳ極に磁化された部位とを、Ｘ方向（直動方向）について等間隔で交互に繰り返す。
【００９４】
したがって、Ｘ電機子巻線１０４（図１参照）へ電流を流すと、リング磁石３０１ｂが作る磁界との作用で可動子２００（図１参照）に推力が発生する。
【００９５】
なお、図６Ｄには、リング磁石３０１ｂにおけるＮ極およびＳ極の繰り返し数が４つの場合を例示したが、他の数としてもよい。また、外周側がＮ極に磁化された部位と、外周側がＳ極に磁化された部位とが、Ｘ方向（直動方向）について不等間隔となるようにリング磁石３０１ｂを構成してもよい。
【００９６】
このように、実施例３に係る界磁部２０２によれば、リング磁石３０１ａと、リング磁石３０１ｂとを同軸上に配置することで、界磁部２０２の構造を簡略化することができるとともに、界磁部２０２の精度を向上させることができる。
【実施例４】
【００９７】
実施例４に係る界磁部２０２の構成について図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃおよび図７Ｄを用いて説明する。図７Ａ〜Ｃは、それぞれ、実施例４に係る界磁部２０２の断面図（その１〜その３）であり、図７Ｄは、実施例４に係る界磁部２０２の展開図である。なお、図７Ｄには、外周側から見た展開図を示す。
【００９８】
また、図７Ａには界磁部２０２を側面から見た断面図を、図７Ｂには図７Ａに示したＡ−Ａ線における断面図を、図７Ｃには図７Ａに示したＢ−Ｂ線における断面図を、それぞれ示す。
【００９９】
図７Ａおよび図７Ｂに示すように、実施例４に係る界磁部２０２は、回転方向（θ方向）の外周側について、Ｎ極とＳ極とを交互に繰り返すリング磁石４０１ａを備える。また、図７Ａおよび図７Ｃに示すように、実施例４に係る界磁部２０２は、直動方向（Ｘ方向）の外周側について、Ｎ極とＳ極とを交互に繰り返すリング磁石４０１ｂを備える。
【０１００】
そして、図７Ａ〜図７Ｃに示すように、リング磁石４０１ａおよびリング磁石４０１ｂは、出力軸２０１に沿って、同心円上に設けられる。なお、リング磁石４０１ａおよびリング磁石４０１ｂは、接着などによってお互いに固定される。また、図７Ａ〜図７Ｃでは、リング磁石４０１ａを内側に、リング磁石４０１ｂを外側に設けた場合を例示したが、両者の位置関係を逆にしてもよい。
【０１０１】
なお、リング磁石４０１ａおよびリング磁石４０１ｂを、１つの部材として形成し、形成後に着磁することとしてもよい。このように、リング磁石４０１ａおよびリング磁石４０１ｂを一体化すれば、組み立て工数の削減や、部品精度の向上をさらに図ることができる。
【０１０２】
図７Ｂに示すように、リング磁石４０１ａは、図７Ａに示したＡ−Ａ線における断面（Ａ−Ａ断面）において、外周側がＮ極に磁化された部位と、外周側がＳ極に磁化された部位とを、θ方向（回転方向）について等間隔で交互に備える。
【０１０３】
また、図７Ｃに示すように、リング磁石４０１ａのＢ−Ｂ断面は、Ａ−Ａ断面と同様である。すなわち、リング磁石４０１ａは、Ｘ方向（直動方向）にわたって、Ａ−Ａ断面と同様に着磁される。
【０１０４】
なお、図７Ｂおよび図７Ｃには、リング磁石４０１ａにおけるＮ極数とＳ極数との合計が８つの場合を例示したが、他の個数としてもよい。また、外周側がＮ極に磁化された部位と、外周側がＳ極に磁化された部位とをθ方向（回転方向）について不等間隔としてもよい。
【０１０５】
このように、リング磁石４０１ａは、回転方向にＮ極とＳ極とを交互に繰り返す。したがって、θ電機子巻線１０３（図１参照）へ電流を流すと、リング磁石４０１ａが作る磁界との作用で可動子２００（図１参照）にトルクが発生する。なお、リング磁石４０１ａが作る磁界は、リング磁石４０１ｂが作る磁界と合成されるが、この点については、図７Ｄを用いて後述する。
【０１０６】
また、図７Ｂに示すように、リング磁石４０１ｂは、図７Ａに示したＡ−Ａ線における断面（Ａ−Ａ断面）において、外周側がＮ極に磁化される。また、図７Ｃに示すように、リング磁石４０１ｂは、図７Ａに示したＢ−Ｂ線における断面（Ｂ−Ｂ断面）において、外周側がＳ極に磁化される。
【０１０７】
そして、図７Ａ〜図７Ｃに示すように、リング磁石４０１ｂは、外周側がＮ極に磁化された部位と、外周側がＳ極に磁化された部位とを、Ｘ方向（直動方向）について等間隔で交互に繰り返す。
【０１０８】
したがって、Ｘ電機子巻線１０４へ（図１参照）電流を流すと、リング磁石４０１ｂが作る磁界との作用で可動子２００（図１参照）に推力が発生する。なお、リング磁石４０１ｂが作る磁界は、リング磁石４０１ａが作る磁界と合成されるが、この点については、図７Ｄを用いて後述する。
【０１０９】
図７Ｄに示すように、リング磁石４０１ａが作る磁界と、リング磁石４０１ｂが作る磁界とは、ハニカム状に合成される。たとえば、リング磁石４０１ａの外周側がＮ極、リング磁石４０１ｂの外周側がＮ極の部位は、Ｎ極となる。また、リング磁石４０１ａの外周側がＳ極、リング磁石４０１ｂの外周側がＳ極の部位は、Ｓ極となる。
【０１１０】
そして、リング磁石４０１ａの外周側あるいはリング磁石４０１ｂの外周側の一方がＮ極で他方がＳ極の部位は、お互いの磁束が弱め合うことで極性が弱くなる（図７Ｄに示す破線参照）。
【０１１１】
なお、図７Ａおよび図７Ｄには、リング磁石４０１ｂにおけるＮ極およびＳ極の繰り返し数が４つの場合を例示したが、他の数としてもよい。また、外周側がＮ極に磁化された部位と、外周側がＳ極に磁化された部位とが、Ｘ方向（直動方向）について不等間隔となるようにリング磁石４０１ｂを構成してもよい。
【０１１２】
このように、実施例４に係る界磁部２０２によれば、リング磁石４０１ａと、リング磁石４０１ｂとを同心円上に配置することで、界磁部２０２の構造を簡略化することができるとともに、界磁部２０２の精度を向上させることができる。
【実施例５】
【０１１３】
実施例５に係る界磁部２０２の構成について図８Ａ、図８Ｂ、図８Ｃおよび図８Ｄを用いて説明する。図８Ａ〜Ｃは、それぞれ、実施例５に係る界磁部２０２の断面図（その１〜その３）であり、図８Ｄは、実施例５に係る界磁部２０２の展開図である。なお、図８Ｄには、外周側から見た展開図を示す。
【０１１４】
なお、図８Ａには界磁部２０２を側面から見た断面図を、図８Ｂには図８Ａに示したＡ−Ａ線における断面図を、図８Ｃには図８Ａに示したＢ−Ｂ線における断面図を、それぞれ示す。
【０１１５】
図８Ａおよび図８Ｂに示すように、実施例５に係る界磁部２０２は、回転方向（θ方向）の外周側について、Ｎ極とＳ極とを不等間隔で交互に繰り返すリング磁石５０１ａを備える。また、図８Ａおよび図８Ｃに示すように、実施例５に係る界磁部２０２は、回転方向（θ方向）の外周側について、Ｎ極とＳ極とを不等間隔で交互に繰り返すリング磁石５０１ｂを備える。
【０１１６】
そして、回転方向（θ方向）の外周側においてリング磁石５０１ａのＮ極の中央部と、リング磁石５０１ｂのＮ極の中央部とが一致するように、リング磁石５０１ａおよびリング磁石５０１ｂは、出力軸２０１に沿って、同軸上に設けられる。なお、図８Ａには、界磁部２０２が、それぞれ同数のリング磁石５０１ａおよびリング磁石５０１ｂを備える場合を例示したが、両者を異なる個数としてもよい。
【０１１７】
また、図８Ａには、リング磁石５０１ａのＸ方向（直動方向）の幅と、リング磁石５０１ｂのＸ方向（直動方向）の幅とが等しい場合を例示したが、両者を異なる幅としてもよい。なお、リング磁石５０１ａおよびリング磁石５０１ｂは、接着などによってお互いに固定される。
【０１１８】
なお、リング磁石５０１ａおよびリング磁石５０１ｂを、１つの部材として形成し、形成後に着磁することとしてもよい。このように、リング磁石５０１ａおよびリング磁石５０１ｂを一体化すれば、組み立て工数の削減や、部品精度の向上をさらに図ることができる。
【０１１９】
図８Ｂに示すように、リング磁石５０１ａは、図８Ａに示したＡ−Ａ線における断面（Ａ−Ａ断面）において、外周側がＮ極に磁化された部位と、外周側がＳ極に磁化された部位とを、θ方向（回転方向）について不等間隔で交互に備える。なお、θ方向（回転方向）におけるＮ極の幅は、Ｓ極の幅よりも広い。
【０１２０】
このように、リング磁石５０１ａは、回転方向にＮ極とＳ極とを交互に繰り返す。したがって、θ電機子巻線１０３（図１参照）へ電流を流すと、リング磁石５０１ａが作る磁界との作用で可動子２００（図１参照）にトルクが発生する。
【０１２１】
また、図８Ｃに示すように、リング磁石５０１ｂは、図８Ａに示したＢ−Ｂ線における断面（Ｂ−Ｂ断面）において、外周側がＮ極に磁化された部位と、外周側がＳ極に磁化された部位とを、θ方向（回転方向）について不等間隔で交互に備える。なお、θ方向（回転方向）におけるＳ極の幅は、Ｎ極の幅よりも広い。
【０１２２】
このように、リング磁石５０１ｂは、回転方向にＮ極とＳ極とを交互に繰り返す。したがって、θ電機子巻線１０３（図１参照）へ電流を流すと、リング磁石５０１ａおよびリング磁石５０１ｂが作る磁界との作用で可動子２００（図１参照）にトルクが発生する。
【０１２３】
なお、図８Ｂおよび図８Ｃには、リング磁石５０１ａにおけるＮ極の幅とＳ極の幅との比が、リング磁石５０１ｂにおけるＳ極の幅とＮ極の幅との比と等しい場合を例示したが、両者の比を異ならせてもよい。
【０１２４】
また、図８Ｄに示すように、リング磁石５０１ａおよびリング磁石５０１ｂは、Ｘ方向（直動方向）に沿ってＮ極およびＳ極を繰り返す部位を有する。したがって、Ｘ電機子巻線１０４（図１参照）へ電流を流すと、リング磁石５０１ａおよびリング磁石５０１ｂが作る磁界との作用で可動子２００（図１参照）に推力が発生する。
【０１２５】
なお、可動子２００（図１参照）に発生する推力とトルクとの配分は、リング磁石５０１ａおよびリング磁石５０１ｂにおけるＮ極の幅とＳ極の幅との比を調整することで変更することができる。
【０１２６】
また、リング磁石５０１ａおよびリング磁石５０１ｂにおける各極の幅の比や、θ方向（回転方向）についての相対角は、Ｘ方向（直動方向）に沿ってＮ極およびＳ極を繰り返す部位を有するものであれば足りる。
【０１２７】
このように、実施例５に係る界磁部２０２によれば、リング磁石５０１ａと、リング磁石５０１ｂとを同軸上に配置することで、界磁部２０２の構造を簡略化することができるとともに、界磁部２０２の精度を向上させることができる。
【０１２８】
さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施例に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。
【符号の説明】
【０１２９】
１０、２０          直動回転アクチュエータ
１００、１４０        固定子
１００ａ、１４０ａ    モータ部
１００ｂ、１４０ｂ    検出器部
１０１、１４１        モータフレーム
１０３、１４３        θ電機子巻線
１０３ａ              俵形コイル
１０４、１４４        Ｘ電機子巻線
１０４ａ              リング形コイル
１０５、１４５        モータ端子
１０６、１４６        θＸ軸受部
１０６ａ、１４６ａ    ボールスプライン
１０６ｂ、１４６ｂ    ベアリング
１０７、１４７        負荷側ブラケット
１０８、１４８        反負荷側ブラケット
１０９、１４９        エンドブラケット
１１０                空隙
１１１                プレート
１１２                弾性バネ
１１３                エンドブッシュ
１３０、１６０        直動回転検出器
１３１、１６１        回転検出器
１３２、１６２        直動検出器
１３３、１６３        検出器フレーム
１３４、１６４        検出器端子
２００、２４０        可動子
２０１、２４１        出力軸
２０２、２４２        界磁部
２０３、２４３        界磁ヨーク
２０４ａ、２０４ｂ、２４４ａ、２４４ｂ  ブロック磁石
２０５、２４５        中空穴
２０６                反負荷側軸
２０７、２４７        継ぎ手
２３０、２５０        直動回転スケール
２４８                補極ヨーク
３０１ａ、３０１ｂ、４０１ａ、４０１ｂ、５０１ａ、５０１ｂ  リング磁石
【図１】
2011239661.tif 000003
【図２Ａ】
2011239661.tif 000004
【図２Ｂ】
2011239661.tif 000005
【図２Ｃ】
2011239661.tif 000006
【図３】
2011239661.tif 000007
【図４】
2011239661.tif 000008
【図５】
2011239661.tif 000009
【図６Ａ】
2011239661.tif 000010
【図６Ｂ】
2011239661.tif 000011
【図６Ｃ】
2011239661.tif 000012
【図６Ｄ】
2011239661.tif 000013
【図７Ａ】
2011239661.tif 000014
【図７Ｂ】
2011239661.tif 000015
【図７Ｃ】
2011239661.tif 000016
【図７Ｄ】
2011239661.tif 000017
【図８Ａ】
2011239661.tif 000018
【図８Ｂ】
2011239661.tif 000019
【図８Ｃ】
2011239661.tif 000020
【図８Ｄ】
2011239661.tif 000021