(57)【要約】【課題】本発明は、歪みが生じにくい蒸着マスクを提供することを目的とする。【解決手段】複数の開孔部４２は、第１方向Ｄ１１に延びて第２方向Ｄ２２に並ぶ複数の第１帯状領域５２の両側辺に一対の第１辺４４を一致させて、それぞれの第１帯状領域５２で隣同士の開孔部４２の間隔Ｉ１がそれぞれの開孔部４２の第１方向Ｄ１１の幅Ｗ１と等しくなるように配列される。複数の開孔部４２は、第２方向Ｄ２２に延びて第１方向Ｄ１１に並ぶ複数の第２帯状領域５６の両側辺に一対の第２辺４６を一致させて、それぞれの第２帯状領域５６で隣同士の開孔部４２の間隔Ｉ２がそれぞれの開孔部４２の第２方向Ｄ２２の長さＬの２倍になるように配列される。第２方向Ｄ２２に隣同士の一対の第１帯状領域５２の間には、開孔部４２の第２方向Ｄ２の長さＬの０．５倍の幅Ｗ２を有して第１方向Ｄ１１の長さを有するリブ部５４が形成される。【選択図】図６
2011058066.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれが同じ形状で相互に直交する第１方向及び第２方向に配列された複数の開孔部が形成された基材を有し、
前記複数の開孔部は、それぞれ、前記第１方向に延びる対向する一対の第１辺と、前記第２方向に延びる対向する一対の第２辺と、を含み、
前記複数の開孔部は、前記第１方向に延びて前記第２方向に並ぶ複数の第１帯状領域の両側辺に前記一対の第１辺を一致させて、それぞれの前記第１帯状領域で隣同士の前記開孔部の間隔がそれぞれの前記開孔部の前記第１方向の幅と等しくなるように配列され、
前記複数の開孔部は、前記第２方向に延びて前記第１方向に並ぶ複数の第２帯状領域の両側辺に前記一対の第２辺を一致させて、それぞれの前記第２帯状領域で隣同士の前記開孔部の間隔がそれぞれの前記開孔部の前記第２方向の長さの２倍になるように配列され、
前記複数の第２帯状領域は、前記第１方向に間隔をあけずに隣接し、
前記第１方向に隣同士の一対の前記第２帯状領域に配列された前記開孔部の配列パターンは、それぞれの前記開孔部の前記第２方向の前記長さの１．５倍の長さを以て、前記第２方向にずれており、
前記第２方向に隣同士の一対の前記第１帯状領域の間には、前記開孔部の前記第２方向の前記長さの０．５倍の幅を有して前記第１方向の長さを有するリブ部が形成されていることを特徴とする蒸着マスク。
【請求項２】
請求項１に記載された蒸着マスクにおいて、
前記基材は、複数の作業領域と、前記複数の作業領域を囲むとともに隣同士の前記作業領域を連結する枠部と、を含み、
前記枠部は、前記第１方向及び前記第２方向に延び、
それぞれの前記作業領域に、前記複数の開孔部が形成されていることを特徴とする蒸着マスク。
【請求項３】
発光色が第１色、第２色及び第３色の３色それぞれの色の複数の発光層を、蒸着マスクを使用した蒸着によって形成する工程を含み、
前記蒸着マスクは、
それぞれが同じ形状で相互に直交する第１方向及び第２方向に配列された複数の開孔部が形成された基材を有し、
前記複数の開孔部は、それぞれ、前記第１方向に延びる対向する一対の第１辺と、前記第２方向に延びる対向する一対の第２辺と、を含み、
前記複数の開孔部は、前記第１方向に延びて前記第２方向に並ぶ複数の第１帯状領域の両側辺に前記一対の第１辺を一致させて、それぞれの前記第１帯状領域で隣同士の前記開孔部の間隔がそれぞれの前記開孔部の前記第１方向の幅と等しくなるように配列され、
前記複数の開孔部は、前記第２方向に延びて前記第１方向に並ぶ複数の第２帯状領域の両側辺に前記一対の第２辺を一致させて、それぞれの前記第２帯状領域で隣同士の前記開孔部の間隔がそれぞれの前記開孔部の前記第２方向の長さの２倍になるように配列され、
前記複数の第２帯状領域は、前記第１方向に間隔をあけずに隣接し、
前記第１方向に隣同士の一対の前記第２帯状領域に配列された前記開孔部の配列パターンは、それぞれの前記開孔部の前記第２方向の前記長さの１．５倍の長さを以て、前記第２方向にずれており、
前記第２方向に隣同士の一対の前記第１帯状領域の間には、前記開孔部の前記第２方向の前記長さの０．５倍の幅を有して前記第１方向の長さを有するリブ部が形成されており、
前記蒸着は、前記蒸着マスクにテンションを加えて行い、
前記テンションは、前記第１方向の成分が最も大きくなるように加えることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法において、
それぞれの前記発光層は、電界によるエネルギーによってそれぞれ発光する複数のサブピクセルを構成するように形成され、
前記工程は、第１色の前記発光層を形成する第１工程と、第２色の前記発光層を形成する第２工程と、第３色の前記発光層を形成する第３工程と、を含み、
それぞれの前記開孔部の前記第２方向の前記長さは３つの前記サブピクセルを形成するための長さであり、それぞれの前記第２帯状領域で隣同士の前記開孔部の間の部分は６つの前記サブピクセルを形成するための領域を遮蔽する遮蔽部であり、
前記第１工程後に前記第２工程を行い、
前記第２工程では、前記第１工程で配置された前記蒸着マスクを、前記第１工程で配置された前記複数の開孔部の位置に隣接して前記複数の開孔部が位置するように、前記第２方向に移動させて前記蒸着を行い、
前記第２工程後に前記第３工程を行い、
前記第３工程では、前記第２工程で配置された前記蒸着マスクを、前記第１工程で配置された前記複数の開孔部の位置と前記第２工程で配置された前記複数の開孔部の位置の間に隣接して前記複数の開孔部が位置するように、さらに前記第２方向に移動して前記蒸着を行うことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着マスク及び有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法で、マスク蒸着法によって発光層を形成することが知られている（特許文献１）。マスク蒸着法では、１色ごとに蒸着を行い、３色の発光層を形成するのに３回の蒸着を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−４７５６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、有機エレクトロルミネッセンス表示装置の高精細化のために発光層を微小に形成することが要求されている。発光層の幅を狭くするために蒸着マスクの開孔部の幅を狭くすると、これに対応して開孔部と開孔部の間のリブの幅が狭くなり、蒸着マスクの強度が弱くなる。一方、開孔部の幅を狭くしつつ、リブの幅を広くすると、１色の発光層を一度に形成することができず、３色の蒸着を行うのに４回又はそれ以上の回数の蒸着プロセスが必要になる。
【０００５】
そこで、発明者は、開孔部の幅を大きくして、蒸着回数を増やすことなく微小な発光層を形成する方法を開発したところ、これを実現するための蒸着マスクは歪みが生じやすいことが分かった。蒸着を行うときには蒸着マスクに対してＸＹ方向にテンションを加えるが、開孔部間のリブがＸＹ方向で強度に大きな差があるときに蒸着マスクに歪みが生じる。
【０００６】
本発明は、歪みが生じにくい蒸着マスク及びこれを用いた有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本発明に係る蒸着マスクは、それぞれが同じ形状で相互に直交する第１方向及び第２方向に配列された複数の開孔部が形成された基材を有し、前記複数の開孔部は、それぞれ、前記第１方向に延びる対向する一対の第１辺と、前記第２方向に延びる対向する一対の第２辺と、を含み、前記複数の開孔部は、前記第１方向に延びて前記第２方向に並ぶ複数の第１帯状領域の両側辺に前記一対の第１辺を一致させて、それぞれの前記第１帯状領域で隣同士の前記開孔部の間隔がそれぞれの前記開孔部の前記第１方向の幅と等しくなるように配列され、前記複数の開孔部は、前記第２方向に延びて前記第１方向に並ぶ複数の第２帯状領域の両側辺に前記一対の第２辺を一致させて、それぞれの前記第２帯状領域で隣同士の前記開孔部の間隔がそれぞれの前記開孔部の前記第２方向の長さの２倍になるように配列され、前記複数の第２帯状領域は、前記第１方向に間隔をあけずに隣接し、前記第１方向に隣同士の一対の前記第２帯状領域に配列された前記開孔部の配列パターンは、それぞれの前記開孔部の前記第２方向の前記長さの１．５倍の長さを以て、前記第２方向にずれており、前記第２方向に隣同士の一対の前記第１帯状領域の間には、前記開孔部の前記第２方向の前記長さの０．５倍の幅を有して前記第１方向の長さを有するリブ部が形成されていることを特徴とする。本発明によれば、間隔をあけずに隣接する複数の第２帯状領域のそれぞれに開孔部が形成されているので、第２方向には一直線に延びるリブ部が形成されない。したがって、蒸着マスクに対して、第２方向にテンションを加えても、第２方向には力が伝わらないようになっているため、開孔部と開孔部の間では、第２方向に応力が生じない。したがって、第１方向及び第２方向の両方に交差する斜めの応力が生じないので、蒸着マスクの歪みを防止することができる。
【０００８】
（２）（１）に記載された蒸着マスクにおいて、前記基材は、複数の作業領域と、前記複数の作業領域を囲むとともに隣同士の前記作業領域を連結する枠部と、を含み、前記枠部は、前記第１方向及び前記第２方向に延び、それぞれの前記作業領域に、前記複数の開孔部が形成されていることを特徴としてもよい。
【０００９】
（３）本発明に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法は、発光色が第１色、第２色及び第３色の３色それぞれの色の複数の発光層を、蒸着マスクを使用した蒸着によって形成する工程を含み、前記蒸着マスクは、それぞれが同じ形状で相互に直交する第１方向及び第２方向に配列された複数の開孔部が形成された基材を有し、前記複数の開孔部は、それぞれ、前記第１方向に延びる対向する一対の第１辺と、前記第２方向に延びる対向する一対の第２辺と、を含み、前記複数の開孔部は、前記第１方向に延びて前記第２方向に並ぶ複数の第１帯状領域の両側辺に前記一対の第１辺を一致させて、それぞれの前記第１帯状領域で隣同士の前記開孔部の間隔がそれぞれの前記開孔部の前記第１方向の幅と等しくなるように配列され、前記複数の開孔部は、前記第２方向に延びて前記第１方向に並ぶ複数の第２帯状領域の両側辺に前記一対の第２辺を一致させて、それぞれの前記第２帯状領域で隣同士の前記開孔部の間隔がそれぞれの前記開孔部の前記第２方向の長さの２倍になるように配列され、前記複数の第２帯状領域は、前記第１方向に間隔をあけずに隣接し、前記第１方向に隣同士の一対の前記第２帯状領域に配列された前記開孔部の配列パターンは、それぞれの前記開孔部の前記第２方向の前記長さの１．５倍の長さを以て、前記第２方向にずれており、前記第２方向に隣同士の一対の前記第１帯状領域の間には、前記開孔部の前記第２方向の前記長さの０．５倍の幅を有して前記第１方向の長さを有するリブ部が形成されており、前記蒸着は、前記蒸着マスクにテンションを加えて行い、前記テンションは、前記第１方向の成分が最も大きくなるように加えることを特徴とする。本発明によれば、間隔をあけずに隣接する複数の第２帯状領域のそれぞれに開孔部が形成されているので、第２方向には一直線に延びるリブ部が形成されない。したがって、蒸着マスクに対して、第２方向にテンションを加えても、第２方向には力が伝わらないようになっているため、開孔部と開孔部の間では、第２方向に応力が生じない。したがって、第１方向及び第２方向の両方に交差する斜めの応力が生じないので、蒸着マスクの歪みを防止することができる。
【００１０】
（４）（３）に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法において、それぞれの前記発光層は、電界によるエネルギーによってそれぞれ発光する複数のサブピクセルを構成するように形成され、前記工程は、第１色の前記発光層を形成する第１工程と、第２色の前記発光層を形成する第２工程と、第３色の前記発光層を形成する第３工程と、を含み、それぞれの前記開孔部の前記第２方向の前記長さは３つの前記サブピクセルを形成するための長さであり、それぞれの前記第２帯状領域で隣同士の前記開孔部の間の部分は６つの前記サブピクセルを形成するための領域を遮蔽する遮蔽部であり、前記第１工程後に前記第２工程を行い、前記第２工程では、前記第１工程で配置された前記蒸着マスクを、前記第１工程で配置された前記複数の開孔部の位置に隣接して前記複数の開孔部が位置するように、前記第２方向に移動させて前記蒸着を行い、前記第２工程後に前記第３工程を行い、前記第３工程では、前記第２工程で配置された前記蒸着マスクを、前記第１工程で配置された前記複数の開孔部の位置と前記第２工程で配置された前記複数の開孔部の位置の間に隣接して前記複数の開孔部が位置するように、さらに前記第２方向に移動して前記蒸着を行うことを特徴としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施の形態に係る方法によって製造された有機エレクトロルミネッセンス表示装置の概要を示す斜視図である。
【図２】図１に示す有機エレクトロルミネッセンス表示装置のII-II線断面の一部を示す図である。
【図３】図２に示す発光層の配列を説明する図である。
【図４】本発明の実施の形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置のサブピクセルの配列を説明する図である。
【図５】本実施の形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法で使用する蒸着マスクを示す図である。
【図６】複数の開孔部の配列を説明する図である。
【図７】複数の開孔部の配列を説明する図である。
【図８】図６に示す開孔部のVIII-VIII線断面図である。
【図９】本発明の実施の形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法を説明する図である。
【図１０】本発明の実施の形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法を説明する図である。
【図１１】本発明の実施の形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００１３】
図１は、本発明の実施の形態に係る方法によって製造された有機エレクトロルミネッセンス表示装置の概要を示す斜視図である。図２は、図１に示す有機エレクトロルミネッセンス表示装置のII-II線断面の一部を示す図である。
【００１４】
有機エレクトロルミネッセンス表示装置は、基板１０を有する。ボトムエミッション型であれば、基板１０はガラスなどの光透過性を有する材料からなるが、トップエミッション型であれば、基板１０の光透過性の有無は問わない。
【００１５】
図２に示す有機エレクトロルミネッセンス表示装置はトップエミッション型であり、基板１０には、金属などからなる複数の反射層１２が形成されている。反射層１２にて光が反射されて上面に表示がなされる。ボトムエミッション型であれば反射層１２は不要である。
【００１６】
基板１０には、複数の画素電極１４（下部電極）が形成されている。画素電極１４は、光透過の必要性にかかわらず、ITO (Indium Tin Oxide)などの光透過性材料から構成されることが多い。なお、基板１０には、複数の画素電極１４のスイッチとなる複数の薄膜トランジスタ（図示せず）が形成され、複数の薄膜トランジスタ（図示せず）を駆動するための駆動回路（図示せず）が形成され、薄膜トランジスタ（図示せず）、画素電極１４及び駆動回路（図示せず）に電気的に接続された配線（図示せず）が形成されている。
【００１７】
基板１０には、バンク１６が形成されている。バンク１６は、無機材料から形成してもよいし、有機材料から形成してもよいし、無機材料層及びその上に設けられた有機材料層から構成してもよい。バンク１６は、それぞれの画素電極１４の少なくとも一部を囲む。バンク１６は、それぞれの画素電極１４の端部の上に載っている。すなわち、画素電極１４の一部（中央部）がバンク１６から露出している。
【００１８】
画素電極１４の上方には、例えば高分子有機材料からなる発光層１８が形成されている。発光層１８は、電界又は電流によるエネルギーを受けて発光する。隣同士の発光層１８は、その発光色が異なる。
【００１９】
画素電極１４と発光層１８の間にはホール輸送層２０が設けられている。ホール輸送層２０は、複数の画素電極１４を連続的に覆い、バンク１６を覆うように形成されている。また、発光層１８の色によっては、膜厚調整用に、ホール輸送層２０に重ねて第２のホール輸送層２２を設けてある。
【００２０】
複数列の発光層１８の上には電子輸送層２４が形成されている。電子輸送層２４の上には電子注入層２６が形成されている。発光層１８の上方には対向電極２８（上部電極）が形成されている。対向電極２８は、Indium Zinc Oxideなどの光透過性材料から構成される。
【００２１】
対向電極２８上には補助配線３０が形成されている。補助配線３０は、バンク１６の上方に形成されており、表示を妨げないようになっている。
【００２２】
有機エレクトロルミネッセンス表示装置は、封止部材３２を有する。封止部材３２は、例えばガラスからなる。封止部材３２は、複数列の発光層１８が配列された領域（表示領域）を封止するためのもので、表示領域の外側の周辺領域に取り付けられる。取り付けのシール材３４（図１参照）には接着剤を使用してもよい。なお、封止部材３２の封止空間側の面には図示しない乾燥剤が取り付けられている。
【００２３】
図３は、図２に示す発光層の配列を説明する図である。有機エレクトロルミネッセンス表示装置は、発光色が第１色、第２色及び第３色の３色（Ｒ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青））の色からなる複数の発光層１８を含む。
【００２４】
ｎ列目に並ぶ複数色の発光層１８と、ｎ＋１列目に並ぶ複数色の発光層１８とは、列に沿った方向に１つの発光層１８の幅の１／２ずれて配置されている。
【００２５】
各列において、同じ色の発光層１８が隣接しないよう配列されている。つまり、第１色の発光層１８の両隣は、第２色及び第３色の発光層１８である。また、ｎ列目とｎ＋１列目においても、同じ色の発光層１８が隣接しないように配列されている。図３では、第１色の発光層１８の斜め下隣には第２色の発光層１８が配置され、斜め上隣には第３色の発光層１８が形成されている。ｎ列目とｎ＋２列目の発光層１８の配列順序は同じであり、同様に、ｎ＋１列目とｎ＋３列目の発光層１８の配列順序も同じである。
【００２６】
図４は、本発明の実施の形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置のサブピクセルの配列を説明する図である。
【００２７】
それぞれの発光層１８は、電界又は電流によるエネルギーによってそれぞれ発光する３つのサブピクセルＳＰを含む。図４では、発光層１８の、隣同士のサブピクセルＳＰを接続する部分を省略してあり、各サブピクセルＳＰが分離されているように表されているが、実際には、これらが一体化するように接続された構成になっている。
【００２８】
個々のサブピクセルＳＰは、発光層１８の、電界がかけられて発光する部分であって、例えばバンクによって区画された領域である。第１色、第２色及び第３色（Ｒ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青））の３つのサブピクセルＳＰがデルタ配列の１つのピクセルＰＸを構成している。
【００２９】
ｎ列目及びｎ＋１列目の発光層１８には、三角形の各頂点に１つのサブピクセルＳＰが配置されてなる正デルタ配列の正ピクセルＲＰＸと、逆三角形の各頂点に１つのサブピクセルＳＰが配置されてなる逆デルタ配列の逆ピクセルＩＰＸと、が交互に配列されている。つまり、列方向（図３で縦方向）において、正ピクセルＲＰＸの隣に逆ピクセルＩＰＸが配置されている。一方、行方向（図３で横方向）には、正ピクセルＲＰＸの隣には正ピクセルＲＰＸが配置され、逆ピクセルＩＰＸの隣には逆ピクセルＩＰＸが配置されている。
【００３０】
正デルタ配列の第１正ピクセルＲＰＸ１、第２正ピクセルＲＰＸ２及び第３正ピクセルＲＰＸ３と、逆デルタ配列の第１逆ピクセルＩＰＸ１、第２逆ピクセルＩＰＸ２及び第３逆ピクセルＩＰＸ３と、からなる６つのピクセルＰＸがピクセルグループＰＸＧを構成する。ピクセルグループＰＸＧが繰り返して並んでいる。
【００３１】
１つのピクセルグループＰＸＧにおいて、正ピクセルＲＰＸでの３色のサブピクセルＳＰの配列順序が異なっている。第１正ピクセルＲＰＸ１で第１正頂点ＲＶ１に位置した第１色は、第２正ピクセルＲＰＸ２で第１正頂点ＲＶ１の左回り及び右回りのうち第１方向Ｄ１回りに隣の第２正頂点ＲＶ２に位置し、第３正ピクセルＲＰＸ３で第２正頂点ＲＶ２の第１方向Ｄ１回りに隣の第３正頂点ＲＶ３に位置している。第１正ピクセルＲＰＸ１で第２正頂点ＲＶ２に位置した第２色は、第２正ピクセルＲＰＸ２で第３正頂点ＲＶ３に位置し、第３正ピクセルＲＰＸ３で第１正頂点ＲＶ１に位置している。第１正ピクセルＲＰＸ１で第３正頂点ＲＶ３に位置した第３色は、第２正ピクセルＲＰＸ２で第１正頂点ＲＶ１に位置し、第３正ピクセルＲＰＸ３で第２正頂点ＲＶ２に位置している。
【００３２】
１つのピクセルグループＰＸＧにおいて、逆ピクセルＩＰＸでの３色のサブピクセルＳＰの配列順序が異なっている。第１逆ピクセルＩＰＸ１で第１逆頂点ＩＶ１に位置した第１色は、第２逆ピクセルＩＰＸ２で第１逆頂点ＩＶ１の第１方向Ｄ１とは反対の第２方向Ｄ２回りに隣の第２逆頂点ＩＶ２に位置し、第３逆ピクセルＩＰＸ３で第２逆頂点ＩＶ２の第２方向Ｄ２回りに隣の第３逆頂点ＩＶ３に位置している。第１逆ピクセルＩＰＸ１で第２逆頂点ＩＶ２に位置した第２色は、第２逆ピクセルＩＰＸ２で第３逆頂点ＩＶ３に位置し、第３逆ピクセルＩＰＸ３で第１逆頂点ＩＶ１に位置している。第１逆ピクセルＩＰＸ１で第３逆頂点ＩＶ３に位置した第３色は、第２逆ピクセルＩＰＸ２で第１逆頂点ＩＶ１に位置し、第３逆ピクセルＩＰＸ３で第２逆頂点ＩＶ２に位置する。
【００３３】
１つのピクセルグループＰＸＧにおいて、隣同士の正ピクセルＲＰＸ及び逆ピクセルＩＰＸの、隣り合うサブピクセルＳＰの色が同じである。同じ色の３つのサブピクセルＳＰが列方向に並んでいる。
【００３４】
本実施の形態によれば、１つの発光層１８が３つのサブピクセルＳＰが一体化された構成であるから、これを形成する蒸着マスクの開孔部４２の幅が大きくなるため、開孔部４２間の部分の幅を広くすることができる。逆に言うと、開孔部４２の狭い高精細の蒸着マスクであっても、強度上必要な幅を確保することができる。したがって、蒸着回数を増やすことなく、蒸着マスクの強度も低下させずに、マスク蒸着法によって発光層１８を形成することができる。
【００３５】
図５は、本実施の形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法で使用する蒸着マスクを示す図である。
【００３６】
蒸着マスクは、基材３６を有する。基材３６は、複数の作業領域３８を含む。基材３６は、複数の作業領域３８を囲むとともに隣同士の作業領域３８を連結する枠部４０を含む。枠部４０は、第１方向Ｄ１１及び第２方向Ｄ２２に延びている。それぞれの作業領域３８に、複数の開孔部４２が形成されている。それぞれの開孔部４２は、マスク蒸着法によって発光層１８を形成するためのものである。
【００３７】
図６及び図７は、複数の開孔部４２の配列を説明する図である。図８は、図６に示す開孔部４２のVIII-VIII線断面図である。基材３６には、それぞれが同じ形状で相互に直交する第１方向Ｄ１１及び第２方向Ｄ２２に配列された複数の開孔部４２が形成されている。複数の開孔部４２は、それぞれ、第１方向Ｄ１１に延びる対向する一対の第１辺４４と、第２方向Ｄ２２に延びる対向する一対の第２辺４６と、を含む。
【００３８】
図８に示すように、開孔部４２は、基材３６の一方の面に形成される第１開孔端４８と、他方の面に形成される第２開孔端５０と、を含み、第１開孔端４８及び第２開孔端５０の大きさが異なる。また、開孔部４２の内壁面は、基材３６の表面に対して直角になっておらず、凹曲面を描いている。この形状の開孔部４２は、ウエットエッチングによって形成することができる。第１開孔端４８からの曲面と、第２開孔端５０からの曲面との接続部において、開孔部４２の幅が定義される。
【００３９】
図６に示すように、複数の開孔部４２は、第１方向Ｄ１１に延びて第２方向Ｄ２２に並ぶ複数の第１帯状領域５２（図６でハッチングした部分）の両側辺に一対の第１辺４４が一致するように配列されている。また、複数の開孔部４２は、それぞれの第１帯状領域５２で隣同士の開孔部４２の間隔Ｉ１がそれぞれの開孔部４２の第１方向Ｄ１１の幅Ｗ１と等しくなるように配列されている。
【００４０】
第２方向Ｄ２２に隣同士の一対の第１帯状領域５２の間には、開孔部４２の第２方向Ｄ２２の長さＬの０．５倍の幅Ｗ２を有して第１方向Ｄ１１の長さを有するリブ部５４がある。
【００４１】
図７に示すように、複数の開孔部４２は、第２方向Ｄ２２に延びて第１方向Ｄ１１に並ぶ複数の第２帯状領域５６（図７でハッチングした部分）の両側辺に一対の第２辺４６が一致するように配列されている。複数の第２帯状領域５６は、第１方向Ｄ１１に間隔をあけずに隣接している。また、複数の開孔部４２は、それぞれの第２帯状領域５６で隣同士の開孔部４２の間隔Ｉ２がそれぞれの開孔部４２の第２方向Ｄ２２の長さＬの２倍になるように配列されている。
【００４２】
第１方向Ｄ１１に隣同士の一対の第２帯状領域５６に配列された開孔部４２の配列パターンは、それぞれの開孔部４２の第２方向Ｄ２２の長さＬの１．５倍の長さを以て、第２方向Ｄ２２にずれている。
【００４３】
図９〜図１１は、本発明の実施の形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法を説明する図である。
【００４４】
本実施の形態では、上述した蒸着マスクを使用して、マスク蒸着法によって、複数の発光層１８を形成する。それぞれの発光層１８は、電界によるエネルギーによってそれぞれ発光する複数のサブピクセルＳＰを含むように形成する。複数の発光層１８は、発光色が第１色、第２色及び第３色の３色からなる。それぞれの色の複数の発光層１８を、蒸着マスクを使用した蒸着によって形成する。蒸着は、蒸着マスクにテンションを加えて行う。テンションは、第１方向Ｄ１１の成分が最も大きくなるように加える（図６及び図７参照）。例えば、第１方向Ｄ１１の成分が、第２方向Ｄ２２の成分の１０倍程度であってもよい。
【００４５】
図９に示すように、第１色の発光層１８を形成する第１工程を行う。それぞれの開孔部４２の第２方向Ｄ２２の長さＬ（図６及び図７参照）は３つのサブピクセルＳＰ（図４参照）を形成するための長さである。それぞれの第２帯状領域５６で隣同士の開孔部４２の間の部分は６つのサブピクセルＳＰを形成するための領域を遮蔽する遮蔽部である。
【００４６】
第１色の発光層１８を形成する第１工程後に、図１０に示すように、第２色の発光層１８を形成する第２工程を行う。第２工程では、第１工程で配置された蒸着マスクを、第１工程で配置された複数の開孔部４２の位置に隣接して複数の開孔部４２が位置するように、第２方向Ｄ２２に移動させて蒸着を行う。
【００４７】
第２色の発光層１８を形成する第２工程後に、図１１に示すように、第３色の発光層１８を形成する第３工程を行う。第３工程では、第２工程で配置された蒸着マスクを、第１工程で配置された複数の開孔部４２の位置と第２工程で配置された複数の開孔部４２の位置の間に隣接して複数の開孔部４２が位置するように、さらに第２方向Ｄ２２に移動して蒸着を行う。
【００４８】
本実施の形態によれば、間隔をあけずに隣接する複数の第２帯状領域５６のそれぞれに開孔部４２が形成されているので、第２方向Ｄ２２には一直線に延びるリブ部が形成されない（図６及び図７参照）。したがって、蒸着マスクに対して、第２方向Ｄ２２にテンションを加えても、第２方向Ｄ２２には力が伝わらないようになっているため、開孔部４２と開孔部４２の間では、第２方向Ｄ２２に応力が生じない。したがって、第１方向Ｄ１１及び第２方向Ｄ２２の両方に交差する斜めの応力が生じないので、蒸着マスクの歪みを防止することができる。
【００４９】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく種々の変形が可能である。例えば、実施の形態で説明した構成は、実質的に同一の構成、同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成で置き換えることができる。
【符号の説明】
【００５０】
１０  基板、１２  反射層、１４  画素電極、１６  バンク、１８  発光層、２０  ホール輸送層、２４  電子輸送層、２６  電子注入層、２８  対向電極、３０  補助配線、３２  封止部材、３４  シール材、３６  基材、３８  作業領域、４０  枠部、４２  開孔部、４４  第１辺、４６  第２辺、４８  第１開孔端、５０  第２開孔端、５２  第１帯状領域、５４  リブ部、５６  第２帯状領域。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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