(57)【要約】【課題】ピンの挿抜に伴う破壊を抑止できる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供する。【解決手段】ノズルプレート２０７、コンプライアンス基板２１５及びアクチュエーター部材２５０は位置決め穴Ａ１〜Ａ４が設けられ、アクチュエーター部材２５０とヘッドケース２１８は位置決め穴Ｂ１〜Ｂ３が設けられ、ノズルプレート２０７及びコンプライアンス基板２１５は、位置決め穴Ｂ１〜Ｂ３に連通し、且つ位置決め穴Ｂ１〜Ｂ３よりも大きな外径の逃げ穴Ｃ１〜Ｃ２が設けられ、位置決め穴Ａ１〜Ａ４に位置決めピン５００を嵌合させることでアクチュエーター部材２５０とノズルプレート２０７とを位置合わせして接合し、位置決め穴Ｂ１〜Ｂ３に位置決めピン５００を嵌合させることでノズルプレート２０７が接合されたアクチュエーター部材２５０とヘッドケース２１８とを位置合わせして接合する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル開口が設けられたノズルプレートと、前記ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板及び該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段を含む第１の部材と、前記流路形成基板に位置決めされた第２の部材とを備え、前記ノズルプレートと前記第１の部材とには第１の位置決め穴が設けられ、前記第１の部材と前記第２の部材とには第２の位置決め穴が設けられ、前記ノズルプレートには、前記第２の位置決め穴に連通し、且つ該第２の位置決め穴の位置決めピンが接触する領域よりも外側に位置する側面を有する逃げ部が設けられた液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記第１の位置決め穴に前記位置決めピンを嵌合させることで前記第１の部材と前記ノズルプレートとを位置合わせして接合し、
前記第２の位置決め穴に前記位置決めピンを嵌合させることで前記ノズルプレートが接合された前記第１の部材と前記第２の部材とを位置合わせして接合する
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載する液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記逃げ部は、前記第２の位置決め穴の内径よりも大きく形成された逃げ穴であり、
前記第２の位置決め穴は、前記逃げ穴の内側に位置している
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記ノズルプレートは、脆性材料から形成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記ノズルプレートの厚さは、前記第１の部材の厚さよりも薄い
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項５】
請求項１〜請求項４の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記第１の部材と前記第２の部材との間に配置されて前記第１の位置決め穴及び前記逃げ部が形成された第３の部材を、前記第１の位置決め穴に前記位置決めピンを嵌合させることで前記第１の部材及び前記第３の部材とを位置合わせして接合する
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項６】
請求項１〜請求項５の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記第２の部材の位置合わせをした後、前記第１の位置決め穴、前記第２の位置決め穴、又は前記逃げ穴に接着剤を導入する
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項７】
ノズル開口が設けられたノズルプレートと、
前記ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板及び該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段を含む第１の部材と、
前記流路形成基板に位置決めされた第２の部材とを備え、
前記ノズルプレートと前記第１の部材とには第１の位置決め穴が設けられ、
前記第１の部材と前記第２の部材とには第２の位置決め穴が設けられ、
前記ノズルプレートには、前記第２の位置決め穴に連通し、且つ該第２の位置決め穴の位置決めピンが接触した領域よりも外側に位置する側面を有する逃げ部が設けられた
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項８】
請求項７に記載する液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクなどの液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴を噴射する液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、ノズル開口が設けられたノズルプレートと、ノズル開口に連通する圧力発生室が形成された流路形成基板と、流路形成基板の一方面側に設けられた圧力発生手段と、流路形成基板を保持するヘッドケースとを具備し、この圧力発生手段によって圧力発生室内に圧力を付与することで、ノズルからインク滴を噴射するものがある。
【０００３】
これらのノズルプレート、流路形成基板及びヘッドケースの各部材には、組立時に各部材を位置決めするためのピンが挿入される位置決め穴が設けられている。このような液体噴射ヘッドの製造は、例えば、ノズルプレートと流路形成基板とをピンを介して位置決めして接合した後、他の工程を実施するためにピンを外し、さらに後の工程で、ピンを用いてノズルプレートが接合された流路形成基板とヘッドケースとを接合することにより、液体噴射ヘッドが一体的に組み合わせられる（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−２５４６８１号公報（段落００１８、図１等）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記各部材を接合する際には、ピンの挿抜時の衝撃や摩擦により、または挿入されたピンが傾斜して位置決め穴の側面を押圧することにより位置決め穴が損傷してしまうという問題がある。そして位置決め穴が損傷すると、正確な位置決めを行うことができなくなったり、部材自体を交換しなければならないという問題がある。特に、シリコンで形成されたノズルプレートは、厚さが薄く、また脆いためピンの複数回の挿抜で位置決め穴やノズルプレート自体が破壊されてしまう虞がある。
【０００６】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑み、ピンの挿抜に伴う破壊を抑止できる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する本発明の態様は、ノズル開口が設けられたノズルプレートと、前記ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板及び該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段を含む第１の部材と、前記流路形成基板に位置決めされた第２の部材とを備え、前記ノズルプレートと前記第１の部材とには第１の位置決め穴が設けられ、前記第１の部材と前記第２の部材とには第２の位置決め穴が設けられ、前記ノズルプレートには、前記第２の位置決め穴に連通し、且つ該第２の位置決め穴の位置決めピンが接触する領域よりも外側に位置する側面を有する逃げ部が設けられた液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記第１の位置決め穴に前記位置決めピンを嵌合させることで前記第１の部材と前記ノズルプレートとを位置合わせして接合し、前記第２の位置決め穴に前記位置決めピンを嵌合させることで前記ノズルプレートが接合された前記第１の部材と前記第２の部材とを位置合わせして接合することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる態様では、ノズルプレートについては、第１の位置決め穴を用いた位置合わせは一度行われるだけであるので、ノズルプレートへの位置決めピンによる損傷を最小限に抑えることができる。また、それ以降に必要となる第１の部材と第２の部材の位置合わせの際には、位置決めピンを、第２の位置決め穴に嵌合させて位置合わせすると共に、逃げ部によりノズルプレートには接触させないので、ノズルプレートが位置決めピンの挿抜により損傷することを防止することができる。
【０００９】
ここで、前記逃げ部は、前記第２の位置決め穴の内径よりも大きく形成された逃げ穴であり、前記第２の位置決め穴は、前記逃げ穴の内側に位置していることが好ましい。これによれば、位置決めピンがノズルプレートに接触しないように第２の位置決め穴に嵌合させることができ、ノズルプレートの損傷を防止できる。
【００１０】
また、前記ノズルプレートは、脆性材料から形成されていることが好ましい。これによれば、シリコン等の脆性材料からなるノズルプレートを用いることによって、位置決めピンを用いた位置合わせの際に該ノズルプレートに損傷が生じることを防止できる。
【００１１】
また、前記ノズルプレートの厚さは、前記第１の部材の厚さよりも薄いことが好ましい。これによれば、薄いノズルプレートが位置決めピンによる押圧で変形したり損傷したりすることを防止できる。
【００１２】
また、前記第１の部材と前記第２の部材との間に配置されて前記第１の位置決め穴及び前記逃げ部が形成された第３の部材を、前記第１の位置決め穴に前記位置決めピンを嵌合させることで前記第１の部材及び前記第３の部材とを位置合わせして接合することが好ましい。これによれば、第１の部材と第２の部材との間に介在する第３の部材についても、ノズルプレートと同様に、位置決めピンの挿抜による損傷が生じることを防止できる。
【００１３】
また、前記第２の部材の位置合わせをした後、前記第１の位置決め穴、前記第２の位置決め穴、又は前記逃げ穴に接着剤を導入することが好ましい。これによれば、第１の部材、第２の部材、ノズルプレートをより一層強固に固定することができる。
【００１４】
さらに、本発明の他の態様は、ノズル開口が設けられたノズルプレートと、前記ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板及び該圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段を含む第１の部材と、前記流路形成基板に位置決めされた第２の部材とを備え、前記ノズルプレートと前記第１の部材とには第１の位置決め穴が設けられ、前記第１の部材と前記第２の部材とには第２の位置決め穴が設けられ、前記ノズルプレートには、前記第２の位置決め穴に連通し、且つ該第２の位置決め穴の位置決めピンが接触した領域よりも外側に位置する側面を有する逃げ部が設けられたことを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、逃げ部を形成することで、位置決めピンを第２の位置決め穴に嵌合する際に、位置決めピンをノズルプレートに接触させないことができる。これにより、位置決めピンの押圧力がノズルプレートに作用し、ノズルプレートに損傷が生じることが防止される。
【００１５】
さらに本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを備える液体噴射装置にある。
かかる態様では、液体噴射ヘッドの位置合わせ精度の低下や耐久性の低下が防止された信頼性のある液体噴射装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施形態１に係るヘッドユニットの分解斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの断面図及び平面図である。
【図５】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。
【図６】本発明の他の実施形態に係る記録ヘッドの断面図及び平面図である。
【図７】本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録装置の概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
〈実施形態１〉
図１は、本発明の一実施形態に係るヘッドユニットを示す分解斜視図である。
本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドユニット１は、カートリッジケース１００と、液体噴射ヘッドの一例である記録ヘッド２００と、記録ヘッド２００が固定される固定板３００と、カバーヘッド４００とで構成されている。
【００１８】
カートリッジケース１００は、インク供給手段（液体供給手段）であるインクカートリッジ（図示なし）がそれぞれ装着される板状のカートリッジ装着部１０１を有する。また、カートリッジケース１００には、一端が各カートリッジ装着部１０１に開口し、他端が記録ヘッド２００側に開口する複数のインク連通路（図示なし）が設けられている。さらに、インク連通路のカートリッジ装着部１０１側の開口部分には、インクカートリッジに挿入されるインク供給針１０２が設けられている。
【００１９】
カートリッジケース１００の底面側には、所定間隔で位置決めされた複数（本実施形態では、各色のインクに対応して４つ）の記録ヘッド２００が固定されている。具体的には、記録ヘッド２００は、各記録ヘッド２００に対応する４つの開口部３０１を有する固定板３００に、各記録ヘッド２００の後述するノズル開口が開口部３０１から露出する状態で、それぞれ位置決め固定されている。また、記録ヘッド２００は、各記録ヘッド２００に対応する４つの開口部４０１を有し固定板３００の外側に設けられたカバーヘッド４００によって、同様にノズル開口が開口部４０１から露出する状態で、カートリッジケース１００に固定されている。
【００２０】
以下、インクジェット式記録ヘッドユニット１の記録ヘッド２００について、図２〜図４を参照して説明する。図２は、本実施形態の記録ヘッド本体の分解斜視図であり、図３及び図４は、記録ヘッド本体の断面図及び平面図である。
【００２１】
図示するように記録ヘッド２００を構成する流路形成基板２０１は、例えばシリコン単結晶基板からなり、その一方面には二酸化シリコンからなる弾性膜２０２が形成されている。この流路形成基板２０１には、その他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の圧力発生室２０３が並設されている。例えば、本実施形態では、幅方向に並設された圧力発生室２０３の列が２列、流路形成基板２０１に形成されている。各圧力発生室２０３の列の外側には、後述するリザーバー形成基板に設けられるリザーバー部と連通し、各圧力発生室２０３の共通のインク室となるリザーバーを構成する連通部２０４が形成されている。また、連通部２０４は、インク供給路２０５を介して各圧力発生室２０３の長手方向一端部とそれぞれ連通されている。
【００２２】
この流路形成基板２０１の開口面側には、圧力発生室２０３に連通するノズル開口２０６が穿設されたノズルプレート２０７が接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。
【００２３】
一方、流路形成基板２０１の開口面とは反対側の弾性膜２０２上には、例えば、金属からなる下電極膜と、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電体層と、金属からなる上電極膜とを順次積層することで形成された圧電素子２０８（圧力発生手段）が形成されている。
【００２４】
このような圧電素子２０８が形成された流路形成基板２０１上には、リザーバー部２０９を有するリザーバー形成基板２１０が接合されている。リザーバー部２０９は、本実施形態では、リザーバー形成基板２１０を厚さ方向に貫通して圧力発生室２０３の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板２０１の連通部２０４と連通されて各圧力発生室２０３の共通のインク室となるリザーバー２１１を構成している。なお、リザーバー形成基板２１０は、本実施形態では、シリコン単結晶基板で形成されている。また、リザーバー形成基板２１０の圧電素子２０８に対向する領域には、圧電素子２０８の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部２１２が設けられている。
【００２５】
本実施形態では、第１の部材の一例であるアクチュエーター部材２５０は、上記した圧力発生室２０３及び圧電素子２０８等が設けられた流路形成基板２０１と、リザーバー形成基板２１０とから構成されている。
【００２６】
リザーバー形成基板２１０上には、各圧電素子２０８を駆動するための駆動ＩＣ２１３が設けられている。この駆動ＩＣ２１３の各端子は、図示しないが、ボンディングワイヤー等を介して各圧電素子２０８の個別電極から引き出されたリード電極と接続されている。そして、駆動ＩＣ２１３の各端子には、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）等の外部配線２１４が接続され、この外部配線２１４を介して印刷信号等の各種信号が駆動ＩＣ２１３に送られるようになっている。
【００２７】
このようなリザーバー形成基板２１０上には、第３の部材の一例であるコンプライアンス基板２１５が接合されている。コンプライアンス基板２１５のリザーバー２１１に対向する領域には、リザーバー２１１にインクを供給するためのインク導入口２１６が形成されている。また、コンプライアンス基板２１５のリザーバー２１１に対向する領域のインク導入口２１６以外の領域は、厚さ方向に薄く形成され撓み変形可能に構成された可撓部２１７となっており、リザーバー２１１は、この可撓部２１７によって封止されている。
【００２８】
さらに、コンプライアンス基板２１５上には、第２の部材の一例であるヘッドケース２１８が接合されている。ヘッドケース２１８は、コンプライアンス基板２１５に設けられたインク導入口２１６に連通すると共にカートリッジケース１００のインク連通路に連通するインク供給連通路２１９が設けられている。インク導入口２１６は、各リザーバー２１１に対応して設けられているため、インク供給連通路２１９も、各ヘッドケース２１８にそれぞれ二つ形成されている。またヘッドケース２１８のコンプライアンス基板２１５の接合面におけるリザーバー２１１の開口面に対応する領域（可撓部２１７に対応する領域）には、可撓部保持部２２０が厚さ方向に凹設されている。可撓部保持部２２０は、圧力発生室２０３を含むインクが流れる流路内の圧力変動に伴う可撓部２１７の撓み変形を許容可能な程度の大きさに設けられている。また、ヘッドケース２１８には、リザーバー形成基板２１０上に設けられた駆動ＩＣ２１３に対向する領域に厚さ方向に貫通した駆動ＩＣ保持部２２１が設けられており、外部配線２１４は、駆動ＩＣ保持部２２１を挿通して駆動ＩＣ２１３と接続されている。
【００２９】
このように構成された記録ヘッド２００は、リザーバー２１１からノズル開口２０６に至るまで内部をインクで満たした後、駆動ＩＣ２１３からの記録信号に従い、圧力発生室２０３に対応するそれぞれの圧電素子２０８に電圧を印加し、弾性膜２０２および圧電素子２０８を撓み変形させて各圧力発生室２０３内のインクに圧力を付与することにより、ノズル開口２０６からインク滴を吐出させる。
【００３０】
図２及び図４（ａ）に示すように、ノズルプレート２０７と、アクチュエーター部材２５０（流路形成基板２０１及びリザーバー形成基板２１０）、及びコンプライアンス基板２１５には、第１の位置決め穴Ａ１〜Ａ４が形成されている。具体的には、ノズルプレート２０７には、長尺方向の両端部にそれぞれ一つずつ第１の位置決め穴Ａ１が設けられている。同様に、流路形成基板２０１、リザーバー形成基板２１０及びコンプライアンス基板２１５には、長尺方向の両端部にそれぞれ一つずつ第１の位置決め穴Ａ２、Ａ３、Ａ４が設けられている。
【００３１】
第１の位置決め穴Ａ１〜Ａ４の開口形状は、ノズルプレート２０７、アクチュエーター部材２５０及びコンプライアンス基板２１５を位置合わせするための位置決めピン５００（詳細は後述）が嵌合するように形成されている。第１の位置決め穴Ａ１〜Ａ４は、後述する位置決めピン５００がこれらに嵌合した際に、ノズルプレート２０７、アクチュエーター部材２５０及びコンプライアンス基板２１５とが所定の位置関係になるようにフォトリソグラフィー法により形成されている。以降、第１の位置決め穴Ａ１〜Ａ４を単に「位置決め穴Ａ１〜Ａ４」と称し、また、これらが連通した一連の穴を「位置決め穴Ａ」と総称する。
【００３２】
また、アクチュエーター部材２５０及びヘッドケース２１８には、第２の位置決め穴Ｂ１〜Ｂ３が形成されている。具体的には、ヘッドケース２１８には、長尺方向の両端部にそれぞれ一つずつ第２の位置決め穴Ｂ１が設けられている。同様に、流路形成基板２０１及びリザーバー形成基板２１０には、長尺方向の両端部にそれぞれ一つずつ第２の位置決め穴Ｂ２、Ｂ３が設けられている。
【００３３】
一方、ノズルプレート２０７及びコンプライアンス基板２１５には、逃げ部の一例である逃げ穴Ｃ１、Ｃ２が形成されている。具体的には、ノズルプレート２０７には、長尺方向の両端部にそれぞれ一つずつ逃げ穴Ｃ１が形成され、コンプライアンス基板２１５には、長尺方向の両端部にそれぞれ一つずつ逃げ穴Ｃ２が形成されている。  
【００３４】
第２の位置決め穴Ｂ２、Ｂ３とは直接に連通しており、第２の位置決め穴Ｂ１は、逃げ穴Ｃ２を介して第２の位置決め穴Ｂ２と連通して一連の穴を形成している。また、逃げ穴Ｃ１は、第２の位置決め穴Ｂ２に連通している。
【００３５】
第２の位置決め穴Ｂ１〜Ｂ３の開口形状は、アクチュエーター部材２５０及びヘッドケース２１８を位置合わせするための位置決めピン５００（詳細は後述）が嵌合するように形成されている。第２の位置決め穴Ｂ１〜Ｂ３は、後述する位置決めピン５００がこれらに嵌合した際に、アクチュエーター部材２５０及びヘッドケース２１８とが所定の位置関係になるようにフォトリソグラフィー法により形成されている。以降、第２の位置決め穴Ｂ１〜Ｂ３を単に「位置決め穴Ｂ１〜Ｂ３」と称し、また、これらが連通した一連の穴を「位置決め穴Ｂ」と総称する。
【００３６】
ここで、位置決め穴Ｂと逃げ穴Ｃ１、Ｃ２との関係について、図４（ｂ）を用いて説明する。図４（ｂ）は、位置決め穴Ｂ近傍のノズルプレート２０７の平面図である。
【００３７】
図示するように、逃げ穴Ｃ１及びＣ２の内径は、位置決め穴Ｂの内径よりも大きく形成されており、且つ、逃げ穴Ｃ１及びＣ２の内側に位置決め穴Ｂが位置している。すなわち、逃げ穴Ｃ１、Ｃ２の側面は、位置決め穴Ｂの側面（後述する位置決めピン５００が接触する領域）よりも外側に位置している。このような逃げ穴Ｃ１及びＣ２を形成することで、後述するように、位置決めピン５００を位置決め穴Ｂに嵌合する際に、該位置決めピン５００をノズルプレート２０７及びコンプライアンス基板２１５に接触させないことができる。すなわち、ノズルプレート２０７やコンプライアンス基板２１５には位置決めピンの挿抜に伴う衝撃や摩擦の影響が及ばず、また、挿入された位置決めピン５００が傾斜しても、位置決め穴Ｂが押圧されることがないため、ノズルプレート２０７及びコンプライアンス基板２１５に損傷等が生じることを防止することができる。
【００３８】
なお、ノズルプレート２０７は脆性材料の一例であるシリコンからなり、アクチュエーター部材２５０よりも薄く形成されている。また、コンプライアンス基板２１５はＳＵＳから形成され、アクチュエーター部材２５０よりも薄く形成されている。ここでいう、脆性材料とは、シリコンに限らず、ガラス、セラミックスなどの材料が該当する。
【００３９】
次に、図５を用いて、記録ヘッド２００の製造方法について説明する。図５は、記録ヘッド２００の長尺方向に直交する方向の断面図である。本実施形態では、複数の記録ヘッド２００を形成する場合について説明する。
【００４０】
まず、図５（ａ）に示すように、複数の流路形成基板２０１等の流路や圧電素子２０８（共に図示なし）が形成された流路形成基板用ウェハー４０１と、複数のリザーバー形成基板２１０が形成されたリザーバー形成基板用ウェハー４１０とが接合されてアクチュエーター部材２５０が複数一体化されている。また、流路形成基板用ウェハー４０１には、予め、流路形成基板２０１ごとに位置決め穴Ａ２及びＢ２が形成され、リザーバー形成基板用ウェハー４１０には、予め、リザーバー形成基板２１０ごとに位置決め穴Ａ３及びＢ３が形成されている。なお、流路形成基板用ウェハー４０１とリザーバー形成基板用ウェハー４１０とは、アクチュエーター部材２５０が形成されるように位置合わせされて接合されている。この位置合わせの際には、位置決め穴Ａ、Ｂを用いてもよい。
【００４１】
流路形成基板用ウェハー４０１に圧力発生室２０３等の流路を形成する方法としては、例えばウェットエッチングを用いることができる。
【００４２】
また、流路形成基板用ウェハー４０１に圧電素子２０８を形成する方法としては、流路形成基板用ウェハー４０１上に、絶縁体膜を形成し、その絶縁体膜上に、白金（Ｐｔ）とイリジウム（Ｉｒ）とを絶縁体膜上に積層することにより第１電極を形成した後、この第１電極を所定形状にパターニングする。その後、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電体層と、例えば、白金（Ｐｔ）又はイリジウム（Ｉｒ）等からなる第２電極とを流路形成基板用ウェハー４０１の全面に形成後、各圧力発生室２０３に対向する領域にパターニングして圧電素子２０８を形成する。圧電体層の材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の強誘電性圧電性材料や、これにニオブ、ニッケル、マグネシウム、ビスマス又はイットリウム等の金属を添加したリラクサ強誘電体等が用いられる。また、圧電体層の形成方法は、特に限定されないが、例えば、金属有機物を溶媒に溶解・分散したいわゆるゾルを塗布乾燥してゲル化し、さらに高温で焼成することで金属酸化物からなる圧電体層を得る、いわゆるゾル−ゲル法を用いることができる。
【００４３】
次に、図５（ｂ）に示すように、立設した位置決めピン５００に、ノズルプレート２０７に設けられた位置決め穴Ａ１を嵌合させ、アクチュエーター部材２５０の位置決め穴Ａ２及びＡ３を嵌合させ、コンプライアンス基板２１５の位置決め穴Ａ４を嵌合させることで、これらの部材の位置合わせを行い、接着剤で接合する。これにより、ノズルプレート２０７及びコンプライアンス基板２１５がアクチュエーター部材２５０の所定位置に固定され、例えば、圧力発生室２０３とノズル開口２０６とが連通し、また、リザーバー２１１の開口がコンプライアンス基板２１５に封止される。なお、位置決めピン５００に嵌合させる部材の順序は逆でも良い。すなわち、位置決めピン５００に、コンプライアンス基板２１５の位置決め穴Ａ４を嵌合させ、次に、リザーバー形成基板用ウェハー４１０及び流路形成基板用ウェハー４０１の位置決め穴Ａ３、Ａ２を嵌合させ、その後、ノズルプレート２０７の位置決め穴Ａ１を嵌合させても良い。
【００４４】
このとき、逃げ穴Ｃ１、Ｃ２の開口内には、位置決め穴Ｂ２、Ｂ３が位置している（図４（ｂ）参照）。
【００４５】
その後、特に図示しないが、ノズルプレート２０７及びコンプライアンス基板２１５が接合された流路形成基板用ウェハー４０１及びリザーバー形成基板用ウェハー４１０とを位置決めピン５００から外し、アクチュエーター部材２５０ごとに分割する。
【００４６】
次に、図５（ｃ）に示すように、立設した位置決めピン５００に、アクチュエーター部材２５０の位置決め穴Ｂ２、Ｂ３及びヘッドケース２１８の位置決め穴Ｂ１を嵌合させることにより、これらの部材を位置合わせする。このとき、逃げ穴Ｃ１、Ｃ２は、位置決め穴Ｂよりも大きな内径を有し、且つ位置決め穴Ｂが内側になっているので、逃げ穴Ｃ１、Ｃ２に位置決めピン５００が接触しない。すなわち、ノズルプレート２０７及びコンプライアンス基板２１５には、位置決めピン５００の挿抜に伴う衝撃や摩擦の影響が及ばず、また、挿入された位置決めピン５００が傾斜しても、位置決め穴Ｂが押圧されることがないため、ノズルプレート２０７及びコンプライアンス基板２１５に損傷等が生じることを防止できる。
【００４７】
なお、位置決めピン５００に嵌合させる部材の順序は逆でも良い。すなわち、位置決めピン５００に、ヘッドケース２１８の位置決め穴Ｂ１を嵌合させ、次に、アクチュエーター部材２５０の位置決め穴Ｂを嵌合させても良い。
【００４８】
このような位置合わせを行い、ヘッドケース２１８とアクチュエーター部材２５０とを接着剤で接合することで、ヘッドケース２１８がアクチュエーター部材２５０の所定位置に固定され、リザーバー２１１とインク供給連通路２１９とが連通し、記録ヘッド２００が形成される。
【００４９】
なお、特に図示しないが、位置決め穴Ａ、Ｂに接着剤を導入してもよい。これにより、ノズルプレート２０７、アクチュエーター部材２５０、コンプライアンス基板２１５及びヘッドケース２１８をより一層強固に固定することができる。
【００５０】
以上に説明したように、本実施形態に係る記録ヘッド２００の製造方法によれば、ノズルプレート２０７及びコンプライアンス基板２１５には逃げ穴Ｃ１、Ｃ２が設けられているので、位置決め穴Ｂへの位置決めピン５００の挿抜や傾斜により、ノズルプレート２０７及びコンプライアンス基板２１５が損傷することが防止される。
【００５１】
つまり、アクチュエーター部材２５０に比べて損傷しやすいノズルプレート２０７及びコンプライアンス基板２１５については、位置決め穴Ａを用いた位置合わせは一度行われるだけであるので、位置決め穴Ａへの位置決めピン５００による損傷を最小限に抑えることができる。また、それ以降に必要となる位置合わせ（本実施形態の場合は、アクチュエーター部材２５０とヘッドケース２１８との位置合わせ）の際には、位置決めピン５００を、位置決め穴Ｂに嵌合させて位置合わせすると共に、逃げ穴Ｃ１、Ｃ２によりノズルプレート２０７及びコンプライアンス基板２１５には接触させないので、これらの部材が位置決めピン５００より損傷することが防止される。
【００５２】
特に、本実施形態では、ノズルプレート２０７は脆性材料の一例であるシリコンから形成されており、かつ、アクチュエーター部材２５０よりも薄く形成されているが、このようなノズルプレート２０７を用いた場合においても、位置決めピン５００による損傷を防止することができる。
【００５３】
また、コンプライアンス基板２１５はＳＵＳからなるが、逃げ穴Ｃ２が形成されているので、位置決めピン５００に押圧されて変形してしまうことが防止されている。このように、脆性材料ではないが、薄く形成されているために変形しやすいコンプライアンス基板２１５についても、位置決めピン５００の挿抜により変形することを防止できる。
【００５４】
なお、ノズルプレート２０７は、ＳＵＳから形成されていてもよく、またコンプライアンス基板２１５はシリコンから形成されていてもよい。この場合でも、逃げ穴が設けられていることで、ノズルプレート２０７及びコンプライアンス基板２１５に位置決めピン５００の挿抜や傾斜による損傷等が生じることを防止できる。
【００５５】
このように、位置決めピン５００の挿抜や傾斜に伴う損傷や変形が防止できるため、不良の発生を抑え、記録ヘッドの歩留まりを向上することができ、またそれらの損傷や変形に伴う位置合わせ精度の低下や耐久性の低下を防止して信頼性の高い記録ヘッドを提供することができる。
【００５６】
〈他の実施形態〉
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の構成は上述したものに限定されるものではない。
【００５７】
例えば、実施形態１では、逃げ部として逃げ穴Ｃ１、Ｃ２が形成されていたが、これに限定されない。図６（ａ）及び（ｂ）に、逃げ部の他の態様を例示する。なお、実施形態１と同一のものには同一の符号を付し重複する説明は省略する。
【００５８】
図示するように、ノズルプレート２０７Ａには、その角部を切り欠いた逃げ部Ｃ３が形成されている。逃げ部Ｃ３の側面Ｐは、位置決め穴Ｂを挿通した位置決めピン５００の外周から離れた位置に位置している。このため、アクチュエーター部材２５０にノズルプレート２０７Ａを位置合わせする際に、位置決め穴Ｂに嵌合する位置決めピン５００はノズルプレート２０７Ａに接触しないため、ノズルプレート２０７Ａに位置決めピン５００の挿抜による損傷が生じることを防止することができる。
【００５９】
また、実施形態１では、位置決め穴Ｂ、逃げ穴Ｃ１、Ｃ２は、位置決めピン５００が嵌合しうる円形の貫通孔であったが、これに限定されない。図６（ｃ）に、位置決め穴及び逃げ穴の他の態様を示す。同図は、逃げ穴近傍におけるノズルプレート側の記録ヘッドの平面図である。
【００６０】
図示するように、アクチュエーター部材２５０に形成された位置決め穴Ｂは、位置決めピン５００に内接する平行四辺形状に形成されており、位置決めピン５００とは各辺の領域Ｘにおいて接触している。一方、逃げ穴Ｃ１の内周面は、位置決め穴Ｂの位置決めピン５００が接触された領域Ｘより外側に位置している。すなわち、逃げ穴Ｃ１の内周面は、位置決め穴Ｂに嵌合した位置決めピン５００の外周面から離れた位置に位置している。このため、アクチュエーター部材２５０にノズルプレート２０７を位置合わせして位置決めする際に、位置決め穴Ｂに嵌合する位置決めピン５００はノズルプレート２０７に接触しないので、ノズルプレート２０７に位置決めピン５００による損傷が生じることを防止することができる。
【００６１】
なお、実施形態１における領域Ｘに該当する部分は、位置決めピン５００に嵌合する位置決め穴Ｂの内周面全体であるが、その内周面よりも外側に逃げ穴Ｃ１、Ｃ２を構成する内周面が位置している（図４（ｂ）参照）。図６（ｂ）に示した逃げ部Ｃ３においては、領域Ｘに該当する部分は、位置決め穴Ｂの内周面であり、その内周面よりも外側に逃げ部Ｃ３を構成する側面Ｐが位置している（図６（ｂ）参照）。
【００６２】
また、上記実施形態では、圧力発生手段は、圧力発生室に圧力変化を生じさせる薄膜型のアクチュエーター（圧電素子２０８）であるが、これに限らず、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型アクチュエーターや、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型のアクチュエーターでもよい。さらに、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出させるいわゆるバブル式アクチュエーターや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを用いることもできる。
【００６３】
また、上述した各実施形態のインクジェット式記録ヘッドユニット１は、インクジェット式記録装置に搭載される。図７は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００６４】
図７は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録装置の概略斜視図である。図７に示すように、本実施形態では、インクジェット式記録装置Ｉにおいて、インクジェット式記録ヘッド２００（図１参照）を有する記録ヘッドユニット１は、インク供給手段を構成するインクカートリッジ２が着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１は、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００６５】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の被記録媒体（被噴射媒体）である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００６６】
このようなインクジェット式記録装置Ｉでは、キャリッジ３がキャリッジ軸５に沿って移動されると共にインクジェット式記録ヘッドユニット１の記録ヘッド２００によってインクが吐出されて記録シートＳに印刷される。
【００６７】
さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００６８】
Ｉ  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  Ａ１〜Ａ４  第１の位置決め穴、  Ｂ１〜Ｂ３  第２の位置決め穴、  Ｃ１〜Ｃ２  逃げ穴、  Ｃ３  逃げ部、  １  インクジェット式記録ヘッドユニット、  ２００  記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ２０１  流路形成基板、  ２０３  圧力発生室、  ２０６  ノズル、  ２０７、２０７Ａ  ノズルプレート、  ２０８  圧電素子（圧力発生手段）、  ２１０  リザーバー形成基板、  ２１５  コンプライアンス基板、  ２１８  ヘッドケース、  ２５０  アクチュエーター部材、  ５００  位置決めピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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