(57)【要約】【課題】荷重によってたわみを生じる方向を制御することができ、ユニット化する際の組立を容易に行うことができ、ユニット化した後のメインテナンスを効率よく行うことができるコンタクトプローブおよびプローブユニットを提供する。【解決手段】荷重によって弾性座屈する弾性座屈部２２の所定方向における幅を弾性座屈部２２の長手方向に沿って変化させ、弾性座屈部２２の長手方向に沿って第１接触部２１の荷重作用点Ｔを通過する平面が弾性座屈部２２の所定方向における幅の変化が大きい箇所における幅の中点Ｍを通過しないようにオフセットするとともに、弾性座屈部２２を含む柱状部分と直交する方向へ板状に延びた腕部２４を設ける。【選択図】図３
2011133354.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
両端で異なる２つの回路構造とそれぞれ接触し、該２つの回路構造を電気的に接続する導電性のコンタクトプローブにおいて、
一端が先鋭化した柱状をなす第１接触部と、
前記第１接触部の他端から前記第１接触部の長手方向に沿って略柱状をなして延び、この延びる方向と直交する方向のうち少なくとも一つの方向の幅は前記延びる方向に沿って変化する一方、前記一つの方向と直交する方向の幅は前記延びる方向に沿って一定であり、荷重によって弾性座屈を生じる弾性座屈部と、
前記弾性座屈部が延びる方向の端部であって前記第１接触部に連なる端部とは異なる端部から前記延びる方向に沿って柱状をなして延びる接続部と、
前記接続部から前記一つの方向に沿って板状をなして延びる腕部と、
前記腕部の端面のうち前記第１接触部の先鋭化した一端に対して最も遠くに位置する端面から該端面と直交する方向へ突出し、先端が先鋭化した第２接触部と、
前記腕部の端面のうち前記第１接触部の先鋭化した一端に対して最も近くに位置する端面から該端面と直交する方向へ柱状をなして突出する柱状部と、
を備え、
前記第１接触部の先鋭化した一端を通過して前記延びる方向に平行な平面と、前記一つの方向における前記弾性座屈部の幅のうち当該方向における前記第１接触部の最大幅との差が最も大きい幅の中点を通過して前記延びる方向に平行な平面とは異なることを特徴とするコンタクトプローブ。
【請求項２】
前記弾性座屈部は、
前記一つの方向の幅を含む断面が、前記腕部が延びている側でくぼんだ形状をなしていることを特徴とする請求項１記載のコンタクトプローブ。
【請求項３】
前記弾性座屈部は、
前記一つの方向の幅を含む断面が、前記腕部が延びている側と反対側でくぼんだ形状をなしていることを特徴とする請求項１記載のコンタクトプローブ。
【請求項４】
前記柱状部は、
前記腕部における前記接続部との境界を始端とするときの前記腕部の終端付近に設けられたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載のコンタクトプローブ。
【請求項５】
前記柱状部の先端を通過し、前記腕部が延びる方向と平行な平面は、前記弾性座屈部を通過することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項記載のコンタクトプローブ。
【請求項６】
前記柱状部の先端を通過し、前記腕部が延びる方向と平行な平面は、前記接続部を通過することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項記載のコンタクトプローブ。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項記載の複数のコンタクトプローブと、
各々が前記接続部を挿通する複数の第１挿通孔と、各々が前記柱状部を挿通する複数の保持部とを有し、少なくとも表面が絶縁性材料からなる平板状の第１ホルダと、
各々が前記第１接触部を挿通する複数の保持部を有し、少なくとも表面が絶縁性材料からなる平板状の第２ホルダと、
を備えたことを特徴とするプローブユニット。
【請求項８】
前記第１ホルダ表面のうち前記腕部が載置される表面と、前記第２ホルダの表面のうち前記第１ホルダと対向する表面との距離は、前記第１接触部の先端を通過し、前記腕部が延びる方向に平行な平面と、前記柱状部の先端を通過し、前記腕部が延びる方向に平行な平面との間の距離よりも大きいことを特徴とする請求項７記載のプローブユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路や液晶パネルなどの電子部品における導通状態検査や動作特性検査を行う際に、その電子部品の電極や端子に接触して電気信号の送受信を行うコンタクトプローブおよびプローブユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体集積回路や液晶パネルなどの検査対象の導通状態検査や動作特性検査を行う際には、検査対象と検査用信号を出力する信号処理装置との間の電気的な接続を図るために、導電性のコンタクトプローブを複数収容するプローブユニットが用いられる。プローブユニットにおいては、近年の半導体集積回路や液晶パネルの高集積化、微細化の進展に伴い、コンタクトプローブ間のピッチを狭小化することにより、高集積化、微細化された検査対象にも適用可能な技術が進歩してきている。
【０００３】
コンタクトプローブ間のピッチを狭小化する技術として、例えばコンタクトプローブの外部からの荷重に応じて屈曲可能な弾性を備えたワイヤー型のコンタクトプローブに関する技術が知られている。ワイヤー型のコンタクトプローブは、バネを用いたピン型のコンタクトプローブと比較して細径化が容易であるが、荷重が加わった時に撓む方向が揃っていないと、隣接するコンタクトプローブ同士が接触したり被接触体との接触にバラツキが生じたりしてしまう恐れがある。このため、ワイヤー型のコンタクトプローブにおいては、荷重によって撓む方向を一様に揃えるための様々な工夫が施されている（例えば、特許文献１〜４を参照）。
【０００４】
このうち、特許文献１、２では、プローブの形状を湾曲した形状とする技術が開示されている。また、特許文献３では、プローブの形状をくの字状に屈曲した形状とする技術が開示されている。また、特許文献４では、直線状のコンタクトプローブの両端部を異なる２つのプレートの貫通孔へそれぞれ挿通した後、一方のプレートをコンタクトプローブの延在方向と直交する方向にシフトし、コンタクトプローブに対して初期たわみを強制的に加えることによってコンタクトプローブのたわみ方向を揃える技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭５２−１５５３８８号公報
【特許文献２】特開２００７−１１３９７２号公報
【特許文献３】特開平８−３０４４６０号公報
【特許文献４】特開２００１−５０９８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した特許文献１〜３に記載の従来技術では、コンタクトプローブが初めから湾曲または屈曲しているため、コンタクトプローブをプローブホルダへ取り付けるのに手間がかかるという問題があった。加えて、コンタクトプローブを交換するリペア作業を行うのも容易ではなく、メインテナンスを効率よく行うことができなかった。
【０００７】
また、上述した特許文献４に記載の従来技術では、コンタクトプローブに初期たわみを加える際にシフトするプレートの位置合わせを高い精度で行わなければならず、プローブユニットの組立に時間がかかるという問題があった。さらに、リペア作業を行う場合にはプローブユニットを分解しなければならないため、メインテナンスの効率が悪かった。
【０００８】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、荷重によってたわみを生じる方向を制御することができ、ユニット化する際の組立を容易に行うことができ、ユニット化した後のメインテナンスを効率よく行うことができるコンタクトプローブおよびプローブユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るコンタクトプローブは、両端で異なる２つの回路構造とそれぞれ接触し、該２つの回路構造を電気的に接続する導電性のコンタクトプローブにおいて、一端が先鋭化した柱状をなす第１接触部と、前記第１接触部の他端から前記第１接触部の長手方向に沿って略柱状をなして延び、この延びる方向と直交する方向のうち少なくとも一つの方向の幅は前記延びる方向に沿って変化する一方、前記一つの方向と直交する方向の幅は前記延びる方向に沿って一定であり、荷重によって弾性座屈を生じる弾性座屈部と、前記弾性座屈部が延びる方向の端部であって前記第１接触部に連なる端部とは異なる端部から前記延びる方向に沿って柱状をなして延びる接続部と、前記接続部から前記一つの方向に沿って板状をなして延びる腕部と、前記腕部の端面のうち前記第１接触部の先鋭化した一端に対して最も遠くに位置する端面から該端面と直交する方向へ突出し、先端が先鋭化した第２接触部と、前記腕部の端面のうち前記第１接触部の先鋭化した一端に対して最も近くに位置する端面から該端面と直交する方向へ柱状をなして突出する柱状部と、を備え、前記第１接触部の先鋭化した一端を通過して前記延びる方向に平行な平面と、前記一つの方向における前記弾性座屈部の幅のうち当該方向における前記第１接触部の最大幅との差が最も大きい幅の中点を通過して前記延びる方向に平行な平面とは異なることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係るコンタクトプローブは、上記発明において、前記弾性座屈部は、前記一つの方向の幅を含む断面が、前記腕部が延びている側でくぼんだ形状をなしていることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係るコンタクトプローブは、上記発明において、前記弾性座屈部は、前記一つの方向の幅を含む断面が、前記腕部が延びている側と反対側でくぼんだ形状をなしていることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明に係るコンタクトプローブは、上記発明において、前記柱状部は、前記腕部における前記接続部との境界を始端とするときの前記腕部の終端付近に設けられたことを特徴とする。
【００１３】
また、本発明に係るコンタクトプローブは、上記発明において、前記柱状部の先端を通過し、前記腕部が延びる方向と平行な平面は、前記弾性座屈部を通過することを特徴とする。
【００１４】
また、本発明に係るコンタクトプローブは、上記発明において、前記柱状部の先端を通過し、前記腕部が延びる方向と平行な平面は、前記接続部を通過することを特徴とする。
【００１５】
また、本発明に係るプローブユニットは、上記発明に記載の複数のコンタクトプローブと、各々が前記接続部を挿通する複数の第１挿通孔と、各々が前記柱状部を挿通する複数の保持部とを有し、少なくとも表面が絶縁性材料からなる平板状の第１ホルダと、各々が前記第１接触部を挿通する複数の保持部を有し、少なくとも表面が絶縁性材料からなる平板状の第２ホルダと、を備えたことを特徴とする。
【００１６】
また、本発明に係るプローブユニットは、上記発明において、前記第１ホルダ表面のうち前記腕部が載置される表面と、前記第２ホルダの表面のうち前記第１ホルダと対向する表面との距離は、前記第１接触部の先端を通過し、前記腕部が延びる方向に平行な平面と、前記柱状部の先端を通過し、前記腕部が延びる方向に平行な平面との間の距離よりも大きいことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、荷重によって弾性座屈する弾性座屈部の所定方向における幅を弾性座屈部の長手方向に沿って変化させ、弾性座屈部の長手方向に沿って第１接触部の荷重作用点を通過する平面が弾性座屈部の所定方向における幅の変化が大きい箇所における幅の中点を通過しないようにオフセットしているため、荷重が加わった時、幅が変化する方向に沿って撓ませることができる。また、弾性座屈部が延びる方向と直交する方向に延びた腕部を設け、この腕部の端部から突出する柱状部を第１ホルダに挿通する構成としているため、コンタクトプローブの位置決めを容易に行うことができ、プローブホルダへの取り付けも簡単である。加えて、コンタクトプローブを取り外す際にプローブホルダを分解する必要がないため、取り外しも容易である。したがって、荷重によってたわみを生じる方向を制御することができ、ユニット化する際の組立を容易に行うことができ、ユニット化した後のメインテナンスを効率よく行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、本発明の一実施の形態に係るプローブユニットの構成を示す斜視図である。
【図２】図２は、本発明の一実施の形態に係るコンタクトプローブの構成を示す斜視図である。
【図３】図３は、本発明の一実施の形態に係るプローブユニットの要部の構成を示す部分断面図である。
【図４】図４は、プローブホルダの上面の構成を示す平面図である。
【図５】図５は、本発明の一実施の形態に係るプローブユニットの要部の検査時の状態を示す図である。
【図６】図６は、本発明の一実施の形態の第１変形例に係るコンタクトプローブの構成を示す図である。
【図７】図７は、本発明の一実施の形態の第２変形例に係るコンタクトプローブの構成を示す図である。
【図８】図８は、本発明の一実施の形態の第３変形例に係るコンタクトプローブの構成を示す図である。
【図９】図９は、本発明の一実施の形態の第４変形例に係るコンタクトプローブの構成を示す図である。
【図１０】図１０は、本発明の一実施の形態の第５変形例に係るコンタクトプローブの構成を示す図である。
【図１１】図１１は、本発明の一実施の形態の第６変形例に係るコンタクトプローブの構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、添付図面を参照して本発明を実施するための形態（以下、「実施の形態」という）を説明する。なお、図面は模式的なものであって、各部分の厚みと幅との関係、それぞれの部分の厚みの比率などは現実のものとは異なる場合もあることに留意すべきであり、図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれる場合があることは勿論である。
【００２０】
図１は、本発明の一実施の形態に係るプローブユニットの構成を示す斜視図である。同図に示すプローブユニット１は、半導体集積回路や液晶パネル等の検査対象の配線パターンにおける短絡や断線の有無を検査する導通検査や検査対象に信号を入力したときの動作特性検査を行う際、検査対象と検査用の信号を生成出力する信号処理装置との電気的な接続を図る装置である。具体的には、プローブユニット１は、検査対象側および信号処理装置側にそれぞれ設けられた電極または端子と両端で接触する複数の導電性のコンタクトプローブ２と、複数のコンタクトプローブ２を収容して保持するプローブホルダ３とを備える。
【００２１】
図２は、コンタクトプローブ２の構成を示す斜視図である。図３は、コンタクトプローブ２およびプローブホルダ３の要部の構成を示す部分断面図である。コンタクトプローブ２は、一端が先鋭化した角柱状をなす第１接触部２１と、第１接触部２１の他端から第１接触部２１の長手方向であるｚ軸方向に沿って略角柱状をなして延び、この延びる方向であるｚ軸方向と直交する方向のうち少なくとも一つの方向であるｘ軸方向の幅はｚ軸方向に沿って変化する一方、ｘ軸方向と直交するｙ軸方向の幅は延びる方向に沿って一定であり、コンタクトプローブ２の外部からの荷重によって弾性座屈を生じる弾性座屈部２２と、弾性座屈部２２が延びるｚ軸方向の端部であって第１接触部２１に連なる端部とは異なる端部からｚ軸方向に沿って角柱状をなして延びる接続部２３と、接続部２３からｘ軸方向に沿って板状をなして延びる腕部２４と、腕部２４の端面のうち第１接触部２１の先鋭化した一端に対して最も遠くに位置する端面から該端面と直交する方向（ｚ軸正の方向）へ突出し、先端が先鋭化した第２接触部２５と、腕部２４の端面のうち第１接触部２１の先鋭化した一端に対して最も近くに位置する端面から該端面と直交する方向（ｚ軸負の方向）へ柱状をなして突出する柱状部２６と、を備える。
【００２２】
弾性座屈部２２は、ｘ軸方向の幅を含む断面が、腕部２４が延びている側で円弧状にくぼんだ形状をなしている。また、図３に示すように、弾性座屈部２２のｘ軸方向の幅のうち最も小さい幅（第１接触部２１の柱状部分のｘ軸方向における最大幅Ｒとの差が最も大きい幅）の中点Ｍ1を通過してｚ軸と平行な平面Ｐ1は、第１接触部２１の先鋭化した先端Ｔ-1を通過してｚ軸と平行な平面Ｐ2と異なっている。また、平面Ｐ1は平面Ｐ2よりも腕部２４から遠くに位置している。
【００２３】
柱状部２６は、腕部２４における接続部２３との境界を始端とするときの腕部２４の終端付近に設けられる。柱状部２６の先端を通過し、腕部２４が延びる方向と平行な平面Ｈ1は、弾性座屈部２２を通過する。
【００２４】
以上の構成を有するコンタクトプローブ２は、ニッケル合金の電気鋳造によって形成されている。なお、コンタクトプローブ２を形成する際には、エッチング、プレス加工およびそれらの組み合わせによって形成しても構わない。また、コンタクトプローブ２の材質として、銅、鉄（ステンレス）、タングステン、ベリリウム系の合金などを用いて形成してもよい。
【００２５】
プローブホルダ３は、コンタクトプローブ２の接続部２３を挿通するとともに腕部２４を保持する平板状の第１ホルダ３１と、第１ホルダ３１と離間して設けられ、コンタクトプローブ２の第１接触部２１を保持する平板状の第２ホルダ３２と、第１ホルダ３１および第２ホルダ３２をそれぞれ挟持して固定する二つのホルダ固定部材３３、３４とを有する。第１ホルダ３１の表面と第２ホルダ３２の表面とは互いに平行である。
【００２６】
図４は、プローブホルダ３を第１ホルダ３１の上方から見た平面図である。第１ホルダ３１は、各々が厚さ方向に貫通され、接続部２３を挿通する中空円柱状の複数の第１挿通孔３１１と、各々が厚さ方向に貫通され、柱状部２６を保持する中空円柱状の複数の保持部３１２とを有する。複数の第１挿通孔３１１の開口は一列に並んでいる。また、複数の保持部３１２の開口も一列に並んでいる。図４に示すように、複数の第１挿通孔３１１の開口がなす列と、複数の保持部３１２の開口がなす列とは平行である。
【００２７】
第２ホルダ３２は、各々が厚さ方向に貫通され、第１接触部２１を挿通する中空円柱状の複数の第２挿通孔３２１を有する。第２挿通孔３２１の径は第１挿通孔３１１の径と等しい。第２挿通孔３２１は、第１挿通孔３１１と軸線が一致している。
【００２８】
ホルダ固定部材３３、３４は、第１挿通孔３１１および保持部３２１が列をなして並んでいる方向と直交する方向の第１ホルダ３１および第２ホルダ３２の端面を挟持し、この挟持した端面を固定して支持する。
【００２９】
以上の構成を有するプローブホルダ３は、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）や窒化珪素（Ｓｉ3Ｎ4）等のセラミックス、プラスチック樹脂等の絶縁性材料を用いて形成される。なお、プローブホルダ３の原材料として、金属等の導電性材料の表面を絶縁被膜によってコーティングしてもよい。
【００３０】
図３に示すように、第１ホルダ３１の上面と第２ホルダ３２の上面との距離ａ（第１ホルダ３１の表面のうち腕部２４が載置される表面と、第２ホルダ３２の表面のうち第１ホルダ３１と対向する表面との距離ａ）は、第１接触部２１の先端Ｔ1を通過し、腕部２４が延びる方向（ｘ軸方向）に平行な平面Ｈ1と、柱状部２６の先端を通過し、腕部２４が延びる方向に平行な平面Ｈ2との距離ｂよりも大きい（ａ＞ｂ）。このため、プローブホルダ３にコンタクトプローブ２を取り付ける際には、第１接触部２１を第１挿通孔３１１に挿通し、その先端を第２ホルダ３２へ近づけていくと、第１接触部２１の先端が第２ホルダ３２に達する前に、柱状部２６の先端が保持部３１２に達することとなる。したがって、柱状部２６の先端を保持部３１２に位置合わせして挿入していくと、第１接触部２１の先端を第２ホルダ３２へ近づけていけば、第１接触部２１の先端を第２挿通孔３２１へほぼ自動的に挿入させることができ、取り付けが容易となる。
【００３１】
なお、図１や図４に示すコンタクトプローブ２の配置パターンはあくまでも一例に過ぎない。すなわち、プローブホルダ３の配線パターンは検査対象の電極または端子の配線パターンに応じて定められるものであり、適宜設計変更を施すことが可能である。
【００３２】
図５は、以上の構成を有するプローブユニット１を用いた検査時の状態を示す図である。図５に示すように、第１接触部２１は半導体集積回路１００の電極１０１と接触する一方、第２接触部２５は信号処理回路との電気的な接続を確立する配線基板２００の電極２０１と接触する。配線基板２００は、ポリイミドなどからなるシート状の基材の一方の表面に、ニッケル等からなる多数の配線および接続用の電極が形成されている。配線基板２００は、第２接触部２５と接触するように位置決めされた後、プローブホルダ３と同様の材料からなる固定部材３００および第１ホルダ３１によって挟持され、ネジ止め等によって固定されている。なお、配線基板２００と第１ホルダ３１との間に適宜スペーサを設けるようにしてもよい。
【００３３】
弾性座屈部２２は、ｚ軸方向に平行でありかつｘ軸方向の最小幅の中点Ｍ1を通過する平面Ｐ1が第１接触部２１の先端（荷重作用点）Ｔ1のｘ軸方向の中心を通過する平面Ｐ2よりも腕部２４から遠くに位置しているため、第１接触部２１が受ける荷重によって弾性座屈を生じ、ｘ軸負の方向にさらにくぼんだ形状に変形している。このように、コンタクトプローブ２は一方向（図５のｘ軸方向）にのみ撓む性質を有しているため、複数のコンタクトプローブ２のたわみ方向を揃えるのが容易である。
【００３４】
図５において、弾性座屈部２２が外部からの荷重に応じて変形するのに伴い、第１接触部２１は半導体集積回路１００の電極１０１をｘ軸方向に摺動する。したがって、電極１０１が酸化膜で覆われていたり、電極１０１の表面に汚れが付着したりしている場合には、これらの酸化膜または汚れを削り取ることができる。
【００３５】
コンタクトプローブ２は、たわみが大きくなるにつれて荷重の変化が少なくなるという荷重−たわみ特性を有している。本実施の形態では、たわみによらず荷重が大きく変化しないような状態で検査を行うことができるようにコンタクトプローブ２の形状等を調整する。
【００３６】
以上説明した本発明の一実施の形態によれば、荷重によって弾性座屈する弾性座屈部２２の所定方向における幅を弾性座屈部２２の長手方向に沿って変化させ、弾性座屈部２２の長手方向に沿って第１接触部２１の荷重作用点Ｔを通過する平面が弾性座屈部２２の所定方向における幅の変化が大きい箇所における幅の中点Ｍを通過しないようにオフセットしているため、荷重が加わった時、幅が変化する方向に沿って撓ませることができる。また、弾性座屈部２２が延びる方向と直交する方向に延びた腕部２４を設け、この腕部２４の端部から突出する柱状部２６を第１ホルダ３１に挿通する構成としているため、コンタクトプローブ２の位置決めを容易に行うことができ、プローブホルダ３への取り付けも簡単である。加えて、コンタクトプローブ２を取り外す際にプローブホルダ３を分解する必要がないため、取り外しも容易である。したがって、荷重によってたわみを生じる方向を制御することができ、ユニット化する際の組立を容易に行うことができ、ユニット化した後のメインテナンスを効率よく行うことができる。
【００３７】
（変形例）
図６は、本実施の形態の第１変形例に係るコンタクトプローブの構成を示す図である。同図に示すコンタクトプローブ４は、第１接触部４１、弾性座屈部４２、接続部４３、腕部４４、第２接触部４５、および柱状部４６を備える。このうち、第１接触部４１、弾性座屈部４２、接続部４３、腕部４４、第２接触部４５は、コンタクトプローブ２の第１接触部２１、弾性座屈部２２、接続部２３、腕部２４、第２接触部２５とそれぞれ同じ形状を有する。これに対し、柱状部４６は、腕部４４の端面のうち第１接触部４１の先鋭化した一端に対して最も近くに位置する端面から該端面と直交する方向（ｚ軸負の方向）へ柱状をなして突出しているが、その突出位置は、腕部４４が延びる方向の中間部である。
【００３８】
弾性座屈部４２のｘ軸方向の幅のうちもっとも小さい幅の中点Ｍ2を通過してｚ軸と平行な平面Ｐ3は、第１接触部４１の先鋭化した先端Ｔ2を通過してｚ軸と平行な平面Ｐ4と異なっている。また、平面Ｐ3は平面Ｐ4よりも腕部４４から遠くに位置している。
【００３９】
図６において、コンタクトプローブ４の接続部４３を挿通するとともに腕部４４を保持する平板状の第１ホルダ３５は、接続部４３を挿通する複数の第１挿通孔３５１と、第１挿通孔３５１と平行に貫通され、柱状部４６を保持する複数の保持部３５２とを有する。
【００４０】
図７は、本実施の形態の第２変形例に係るコンタクトプローブの構成を示す図である。同図に示すコンタクトプローブ５は、第１接触部５１、弾性座屈部５２、接続部５３、腕部５４、第２接触部５５、および柱状部５６を備える。このうち、第１接触部５１、弾性座屈部５２、接続部５３、腕部５４、第２接触部５５は、コンタクトプローブ２の第１接触部２１、弾性座屈部２２、接続部２３、腕部２４、第２接触部２５とそれぞれ同じ形状を有する。これに対し、柱状部５６は、腕部５４の端面のうち第１接触部５１の先鋭化した一端に対して最も近くに位置する端面から該端面と直交する方向（ｚ軸負の方向）へ柱状をなして突出しているが、その先端を通過し、腕部５４が延びる方向と平行な平面Ｈ3が弾性座屈部５２を通過する。
【００４１】
弾性座屈部５２のｘ軸方向の幅のうちもっとも小さい幅の中点Ｍ3を通過してｚ軸と平行な平面Ｐ5は、第１接触部５１の先鋭化した先端Ｔ3を通過してｚ軸と平行な平面Ｐ6と異なっている。また、平面Ｐ5は平面Ｐ6よりも腕部５４から遠くに位置している。
【００４２】
図７において、コンタクトプローブ５の接続部５３を挿通するとともに腕部５４を保持する板状の第１ホルダ３６は、接続部５３を挿通する複数の第１挿通孔３６１と、第１挿通孔３６１と平行に穿設され、柱状部５６を保持する保持部３６２とを有する。
【００４３】
この第２変形例においても、柱状部の先端を通過し、腕部が延びる方向と平行な平面と、第１接触部の先端を通過し、腕部が延びる方向と平行な平面との距離を、第１ホルダの表面のうち腕部が載置される表面と、第２ホルダの表面のうち第１ホルダと対向する表面との距離よりも大きくすることができる。
【００４４】
図８は、本実施の形態の第３変形例に係るコンタクトプローブの構成を示す図である。同図に示すコンタクトプローブ６は、第１接触部６１、弾性座屈部６２、接続部６３、腕部６４、第２接触部６５、および柱状部６６を備える。このうち、第１接触部６１、弾性座屈部６２、接続部６３、腕部６４、柱状部６６は、コンタクトプローブ２の第１接触部２１、弾性座屈部２２、接続部２３、腕部２４、柱状部２６とそれぞれ同じ形状を有する。これに対し、第２接触部６５は、腕部６４の端面のうち第１接触部６１の先鋭化した一端に対して最も近くに位置する端面から該端面と直交する方向（ｚ軸正の方向）へ柱状をなして突出しているが、その突出位置は、腕部６４が延びる方向の中間部である。
【００４５】
弾性座屈部６２のｘ軸方向の幅のうちもっとも小さい幅の中点Ｍ4を通過してｚ軸と平行な平面Ｐ7は、第１接触部６１の先鋭化した先端Ｔ4を通過してｚ軸と平行な平面Ｐ8と異なっている。また、平面Ｐ7は平面Ｐ8よりも腕部６４から遠くに位置している。
【００４６】
図９は、本実施の形態の第４変形例に係るコンタクトプローブの構成を示す図である。同図に示すコンタクトプローブ７は、第１接触部７１、弾性座屈部７２、接続部７３、腕部７４、第２接触部７５、および柱状部７６を備える。このうち、第１接触部７１、接続部７３、腕部７４、第２接触部７５および柱状部７６は、コンタクトプローブ２の第１接触部２１、接続部２３、腕部２４、第２接触部２５および柱状部２６とそれぞれ同じ形状を有する。これに対して、弾性座屈部７２は、ｘ軸方向において腕部７４が延びている側と反対側が円弧状にくぼんでいる。したがって、コンタクトプローブ７の場合、外部から荷重が加わると、弾性座屈部７２の長手方向の中心部が図９でｘ軸正の方向へ撓むこととなる。
【００４７】
弾性座屈部７２のｘ軸方向の幅のうちもっとも小さい幅の中点Ｍ5を通過してｚ軸と平行な平面Ｐ9は、第１接触部７１の先鋭化した先端Ｔ5を通過してｚ軸と平行な平面Ｐ10と異なっている。また、平面Ｐ9は平面Ｐ10よりも腕部７４から近くに位置している。
【００４８】
図１０は、本実施の形態の第５変形例に係るコンタクトプローブの構成を示す図である。同図に示すコンタクトプローブ８は、第１接触部８１、弾性座屈部８２、接続部８３、腕部８４、第２接触部８５、および柱状部８６を備える。このうち、第１接触部８１、接続部８３、腕部８４、第２接触部８５および柱状部８６は、コンタクトプローブ２の第１接触部２１、接続部２３、腕部２４、第２接触部２５および柱状部２６とそれぞれ同じ形状を有する。これに対して、弾性座屈部８２は、ｘ軸方向において腕部８４が延びている側がくぼんでおり、このｘ軸方向で幅が小さくなった中央部付近は均一な幅を有している。
【００４９】
弾性座屈部８２のｘ軸方向の幅のうちもっとも小さい幅の中点Ｍ7を通過してｚ軸と平行な平面Ｐ11は、第１接触部８１の先鋭化した先端Ｔ7を通過してｚ軸と平行な平面Ｐ12と異なっている。また、平面Ｐ11は平面Ｐ12よりも腕部８４から遠くに位置している。
【００５０】
図１１は、本実施の形態の第６変形例に係るコンタクトプローブの構成を示す図である。同図に示すコンタクトプローブ９は、第１接触部９１、弾性座屈部９２、接続部９３、腕部９４、第２接触部９５、および柱状部９６を備える。このうち、第１接触部９１、接続部９３、腕部９４、第２接触部９５および柱状部９６は、コンタクトプローブ２の第１接触部２１、接続部２３、腕部２４、第２接触部２５および柱状部２６とそれぞれ同じ形状を有する。これに対して、弾性座屈部９２は、ｘ軸方向において腕部９４が延びている側と反対側がくぼんでおり、このｘ軸方向で幅が小さくなった中央部付近は均一な幅を有している。
【００５１】
弾性座屈部９２のｘ軸方向の幅のうちもっとも小さい幅の中点Ｍ8を通過してｚ軸と平行な平面Ｐ13は、第１接触部９１の先鋭化した先端Ｔ9を通過してｚ軸と平行な平面Ｐ14と異なっている。また、平面Ｐ13は平面Ｐ14よりも腕部９４から近くに位置している。
【００５２】
以上説明した本実施の形態の第１〜第６変形例によれば、上述した実施の形態と同様、コンタクトプローブの外部から加わる荷重によってたわみを生じる方向を制御することができ、ユニット化する際の組立を容易に行うことができ、ユニット化した後のメインテナンスを効率よく行うことができる。
【００５３】
ここまで、本発明を実施するための形態を説明してきたが、本発明は上述した一実施の形態によって限定されるべきものではない。すなわち、本発明は、ここでは記載していない様々な実施の形態等を含みうるものであり、特許請求の範囲により特定される技術的思想を逸脱しない範囲内において種々の設計変更等を施すことが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明は、半導体集積回路や液晶パネルなどの電子部品における導通状態検査や動作特性検査を行う際に有用である。
【符号の説明】
【００５５】
１  プローブユニット
２、４、５、６、７  コンタクトプローブ
３  プローブホルダ
２１、４１、５１、６１、７１、８１、９１  第１接触部
２２、４２、５２、６２、７２、８２、９２  弾性座屈部
２３、４３、５３、６３、７３、８３、９３  接続部
２４、４４、５４、６４、７４、８４、９４  腕部
２５、４５、５５、６５、７５、８５、９５  第２接触部
２６、４６、５６、６６、７６、８６、９６  柱状部
３１、３５、３６  第１ホルダ
３２  第２ホルダ
３３、３４  ホルダ固定部材
１００  半導体集積回路
１０１、２０１  電極
２００  配線基板
３００  固定部材
３１１、３５１、３６１  第１挿通孔
３１２、３５２、３６２  保持部
３２１  第２挿通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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