(57)【要約】      （修正有）【課題】透過型液晶表示装置の第一電極基板の画素電極面と反対面側を研磨する際に、画素電極面に研磨用の保護テープを貼付して研磨を実施し、さらに研磨後に研磨用保護テープを剥離させる際、研磨用の保護テープの粘着残渣が画素電極表面に残渣として残ってしまわず、確実に除去できる方法を提供する。【解決手段】複数の画像電極領域を表面に形成し、画素電極面とは反対面側が梨地状態の透過型液晶表示装置の第一電極基板１において、画素電極面にレジストコート処理７を行い、レジストコート処理面７上に更に研磨用保護テープ６を貼付し、画素電極領域とは反対面を研磨する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の画素電極領域を表面に形成し、画素電極面とは反対面側が梨地状態の透過型液晶表示装置の第一電極基板を鏡面研磨する透過型液晶表示装置の製造方法において、画素電極面にレジストコート処理を行い、レジストコート処理面上に更に研磨用保護テープを粘着材を介して貼付し、画素電極領域とは反対面を研磨する事を特徴とする透過型液晶表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は透過型液晶表示装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に透過型液晶表示装置は、表面に画素電極が形成された第一電極基板と、それに相対し表面に対向電極が形成された第二電極基板を所定の位置関係で貼り合わせ、前記基板間に液晶を注入した液晶パネルを回路基板上に実装し、画素電極と対向電極間に電位差を与え、液晶を動作させ表示をさせている。
【０００３】
透過型液晶表示装置の為、この第一電極基板は透明である必要があり、現状では石英基板やガラス基板が一般的には使用されている。
【０００４】
図２は背景技術を説明するための透過型液晶表示装置用の第一電極基板の側面図である。第一電極基板１の製造プロセス、いわゆる透明基板２に画素電極３を形成する製造プロセスにおいて、通常画素電極３を形成する面は画素電極３の形成前から研磨が施され、フラットな鏡面状態である、その状態の上に画素電極３が形成される。対して画素電極３構成面と反対面４は、初期の段階で梨地状態で製造プロセスを物流する事になる。
【０００５】
画素電極３の反対面４を梨地状態にして製造プロセスを物流させる理由としては、透明基板２に画素電極３を形成するプロセスは半導体製造プロセスであり、一般的には自動機で製造をしている。自動機には透明基板２を検出する光センサーがあるが、透明基板２の場合、光が透過してしまうため、透明基板２の検出が出来なくなってしまう。これを避けるために、反対面４を梨地状態で物流している。また、透過型液晶表示装置用の第一電極基板１には半導体素子が形成され、その上に複数の画素電極３を形成するため静電気に非常に弱いという欠点がある。透明基板２に画素電極３を構成するプロセスでは自動機で搬送をしているので、自動機で搬送する際に透明基板２を例えば吸着テーブルなどから取り出す際に、透明基板２が両面とも研磨（鏡面）状態の場合、吸着テーブルからの剥離がしにくくなり、また剥離できたとしても剥離帯電による静電気が膨大に発生してしまい、半導体素子部分が静電気によりダメージを負ってしまい、結果的に不良となってしまう。これを回避するために反対面４を梨地状態にしておき、吸着テーブルなどから剥離する際に、剥離帯電を極力抑え、静電気を発生させないように製造プロセス内では物流されている。
【０００６】
さらにこの状態から透過型液晶表示装置用の第一電極基板１に使用してゆくためには反対面４の梨地面を研磨して透明の第一電極基板１にしなければならない。
【０００７】
図３は従来技術による研磨直前の第一電極基板１の側面図である。画素電極３が透明基板２に形成された第一電極基板１の反対面４の梨地面を研磨する際に、まず画素電極３上に画素電極３を保護するための研磨用保護テープ６を粘着材６を介して貼付する。これにより研磨用保護テープ６面上を研磨時の装置でチャッキングし、画素電極３に研磨時のチャッキングなどによる損傷を与えないようにしている。
【発明の概要】
【０００８】
本発明は表面に複数の画素電極を形成し、画素電極とは反対面側が梨地状態の透過型液晶表示装置の第一電極基板において、画素電極面にレジストコート処理を行い、レジストコート処理面上に更に研磨用保護テープを貼付し、研磨時に研磨用保護テープ面上を研磨装置にてチャッキングする。これにより画素電極面とは反対面を研磨する際に、第一電極基板の電極面が研磨時のチャッキングなどにより傷などの損傷をつけずに、第一電極基板を鏡面研磨が出来る。
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
前記従来技術のように画素電極３面上を直接研磨用保護テープ６を粘着材５を介して貼付すると、研磨中に研磨用保護テープ６の粘着材５が画素電極３面上に馴染んできてしまい、研磨終了後に研磨用保護テープ６を画素電極３面上から剥離する際に剥離にくくなる事と、研磨用保護テープ６の粘着材５が画素電極３上にこびりついてしまい、超音波洗浄などでも取れず、結果的に不良箇所となってしまう課題があった。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
複数の画素電極領域を表面に形成し、画素電極面とは反対面側が梨地状態の透過型液晶表示装置の第一電極基板を鏡面研磨する透過型液晶表示装置の製造方法において、画素電極面にレジストコート処理を行い、レジストコート処理面上に粘着材を介して研磨用保護テープを貼付し、画素電極領域とは反対面を研磨する透過型液晶表示装置の製造方法とする。研磨終了後、研磨用保護テープを剥離し、レジスト剥離液等の溶剤でレジストを除去する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によると、透過型液晶表示装置の第一電極基板の製造プロセスにおいて、画素電極形成後の画素電極部をレジストにより保護して反対面側の面を研磨し、研磨用保護テープを剥離後、レジストを溶剤で除去するので、画素電極側に損傷及び研磨時の研磨用保護テープによる粘着残りを発生させずに、研磨する事が出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明による実施形態１を説明するための第一電極基板の側面図
【図２】背景技術を説明するための透過型液晶表示装置用の第一電極基板側面図
【図３】従来技術による研磨直前の第一電極基板１の側面図
【発明を実施するための形態】
【００１３】
複数の画素電極領域を表面に形成し、画素電極面とは反対面側が梨地状態の透過型液晶表示装置の第一電極基板を鏡面研磨する透過型液晶表示装置の製造方法において、画素電極面にレジストコート処理を行い、レジストコート処理面上に粘着材を介して研磨用保護テープを貼付し、画素電極領域とは反対面を研磨する透過型液晶表示装置の製造方法とする。
【実施例１】
【００１４】
図１は本発明による実施形態１を説明するための第一電極基板の側面図である。透明基板２へ画素電極３を形成するまでは従来の製造方法と違いは無い。画素電極３形成後、画素電極３面上へレジスト膜７を形成する。レジストコート膜７はスピンナー装置などで約２０００Å程度に成膜できれば良い。特に厚み関して指定は無いが、一般的にスピンナーなどでレジストコート膜７を塗布した場合は大体１０００Å〜３０００Åの膜厚でレジストコート膜７が形成される。その後加熱によりキュアを行う。レジスト材料には、熱硬化型や熱＋光硬化型などの種類がある。この場合は熱キュアタイプのレジストが好ましい。
【００１５】
この状態からレジストコート膜７の上面に粘着材５を介して研磨用保護テープ６を貼付し、最後に研磨用保護テープ６面上を研磨装置にてチャッキングして研磨を実施する。
【００１６】
研磨終了後、研磨用保護テープ６を剥離し、さらにレジストコート膜７をレジスト剥離液やアセトンにて洗浄を行い、完全にレジストコート膜７を除去する。研磨用保護テープ６と画素電極３の間にレジストコート膜７が形成されているため、従来の技術課題であった研磨用保護テープ６を剥離する際に粘着材５が画素電極３に残る心配が無くなる。又レジストコート膜７は専用のレジスト剥離液やアセトンで確実に除去できるため、画素電極３に残渣として残る心配は無い。
【符号の説明】
【００１７】
１    第一電極基板
２    透明基板
３    画素電極
４    反対面
５    粘着材
６    研磨用保護テープ
７    レジストコート膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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