(57)【要約】      （修正有）【課題】フォトセンサが内蔵された表示パネルの検査を行う際の工程を簡素化することができるとともに、表示パネルの検査に要する時間を短縮化することができる表示パネルの検査方法及び検査装置を提供。【解決手段】信号発生部５により、液晶表示パネル１０に対して第１画像データに対応する第１画像信号が入力される。バックライト１１により、液晶表示パネル１０に光を照射して、液晶表示パネル１０において第１画像データを表示させる。反射部材１３により、液晶表示パネル１０を透過した照射光４９を反射させて、反射光４３をフォトセンサに入射させる。画像データ生成部７により、フォトセンサにおいて生成された第２画像信号に基づいて、第２画像信号に対応する第２画像データを生成する。画像データ比較部８により、第１画像データと第２画像データに基づいて、液晶表示パネル１０の不良の有無を判定する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板と、前記第１基板に対向して配置された第２基板と、前記第１基板及び前記第２基板の間に設けられた表示媒体層とを備え、フォトセンサが内蔵された表示パネルの検査方法であって、
該表示パネルに対して、第１画像データに対応する第１画像信号を入力する工程と、
前記表示パネルに対して光を照射して、前記表示パネルにおいて前記第１画像データを表示させるとともに、前記表示パネルを透過した照射光を反射させて、反射光を前記フォトセンサに入射させることにより、該フォトセンサにおいて第２画像信号を生成する工程と、
前記第２画像信号に基づいて、該第２画像信号に対応する第２画像データを生成する工程と、
前記第１画像データと前記第２画像データに基づいて、前記表示パネルの不良があるか否かを判定する工程と
を少なくとも備えることを特徴とする表示パネルの検査方法。
【請求項２】
前記第１画像データと前記第２画像データとを比較し、前記比較の結果に基づいて、前記表示パネルの不良があるか否かを判定することを特徴とする請求項１に記載の表示パネルの検査方法。
【請求項３】
前記第１画像データと前記第２画像データが一致する場合は、前記表示パネルの不良がないと判定し、前記第１画像データと前記第２画像データが一致しない場合は、前記表示パネルの不良があると判定することを特徴とする請求項２に記載の表示パネルの検査方法。
【請求項４】
第１基板と、前記第１基板に対向して配置された第２基板と、前記第１基板及び前記第２基板の間に設けられた表示媒体層とを備え、フォトセンサが内蔵された表示パネルの検査装置であって、
前記表示パネルにおいて表示される第１画像データに対応する第１画像信号を生成する信号発生部と、
前記表示パネルの表面に対向するように配置され、前記第１画像信号が入力された前記表示パネルに対して照射光を照射する光源と、
前記表示パネルの表面に対向するように配置され、前記第１画像データが表示された前記表示パネルを透過した前記照射光を反射させ、該反射光を前記フォトセンサに入射させる反射部材と、
前記フォトセンサにより生成された第２画像信号が入力されるとともに、該第２画像信号に基づいて、第２画像データを生成する画像データ生成部と、
前記第１画像データ及び前記第２画像データが入力されるとともに、前記第１画像データと前記第２画像データに基づいて、前記表示パネルの不良があるか否かを判定する判定部と
を備えることを特徴とする表示パネルの検査装置。
【請求項５】
前記判定部は、前記第１画像データと前記第２画像データとを比較し、前記比較の結果に基づいて、前記表示パネルの不良があるか否かを判定することを特徴とする請求項４に記載の表示パネルの検査装置。
【請求項６】
前記判定部は、前記第１画像データと前記第２画像データが一致する場合は、前記表示パネルの不良がないと判定し、前記第１画像データと前記第２画像データが一致しない場合は、前記表示パネルの不良があると判定することを特徴とする請求項５に記載の表示パネルの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フォトセンサを備える液晶表示パネル等の表示パネルの検査方法及び検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話等のモバイル型端末やノート型パソコン等の各種電子機器の表示パネルとして、薄くて軽量であるとともに、低電圧で駆動でき、かつ消費電力が少ないという長所を有する液晶表示パネルが広く使用されている。
【０００３】
一般に、液晶表示パネルは、互いに対向して配置された一対の基板（即ち、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）基板とＣＦ（Color Filter）基板）と、一対の基板の間に設けられた液晶層と、一対の基板を互いに接着するとともに、両基板の間に液晶を封入するために枠状に設けられたシール材とを備えている。
【０００４】
また、近年、より高品位な画像表示が可能な液晶表示パネルが強く要望されている。しかしながら、現在の液晶表示パネルの製造技術では、表示欠陥の発生を防止することは困難である。このため、表示欠陥の低減された高品位の液晶表示パネルを提供するために、製造工程において、表示検査（画質検査）が行われている。例えば、輝点（異常点灯）不良、黒点（不点灯）不良といった表示パネルの表示欠陥の有無の検査が行われる。
【０００５】
また、近年、自動販売機、ＡＴＭ、携帯ゲーム機、カーナビゲーション等の電子機器においては、画面に触れることにより、電子機器の操作を行う装置であるタッチパネル機能を有する液晶表示パネルが提案されている。
【０００６】
このタッチパネル機能は、指やペンなどでタッチすることによって、電子機器に対して対話形式で情報を入力する機能である。
【０００７】
そして、このタッチパネル機能の方式としては、その動作原理によって、抵抗膜方式、静電容量結合方式、赤外線方式、超音波方式等が知られているが、近年、対象物（例えば、指、ペン、紙等）の有無や濃淡を検知するためのフォトセンサが内蔵されたセンサ方式のタッチパネル機能を有する液晶表示パネルが提案されている。
【０００８】
ここで、このような液晶表示パネルに内蔵されたフォトセンサの検査を行う方法として、ＴＦＴ基板にフォトセンサを設けた状態で行う方法が開示されている。より具体的には、複数のフォトセンサを備えるＴＦＴ基板を、フォトセンサ形成面が上向きとなるように検査ステージに載置させた後、フォトセンサ形成面の所定の領域に対して、光源による光の照射、非照射を行いながら、フォトセンサの電気特性を測定する方法が開示されている。そして、このような方法により、ＴＦＴ基板の状態でフォトセンサの検査が行え、ＴＦＴ基板、ＣＦ基板、液晶層等を組み立てたパネル状態でフォトセンサの検査を行う必要がなくなるため、フォトセンサの不良が判明した場合であっても、ＴＦＴ基板以外の他の部材（ＣＦ基板や液晶層等）の無駄を無くすことができると記載されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００８−３１０３７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、上記特許文献１に記載の液晶表示パネルの検査方法では、ＴＦＴ基板の状態でフォトセンサの検査を行い、別途、ＴＦＴ基板、ＣＦ基板、液晶層等を組み立てたパネル状態で、表示検査を行う必要があるため、液晶表示パネルの検査工程数が増大してしまうという問題があった。
【００１１】
そこで、本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、フォトセンサが内蔵された表示パネルの検査を行う際の工程を簡素化することができるとともに、表示パネルの検査に要する時間を短縮化することができる表示パネルの検査方法及び検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、第１基板と、第１基板に対向して配置された第２基板と、第１基板及び第２基板の間に設けられた表示媒体層とを備え、フォトセンサが内蔵された表示パネルの検査方法であって、表示パネルに対して、第１画像データに対応する第１画像信号を入力する工程と、表示パネルに対して光を照射して、表示パネルにおいて第１画像データを表示させるとともに、表示パネルを透過した照射光を反射させて、反射光をフォトセンサに入射させることにより、フォトセンサにおいて第２画像信号を生成する工程と、第２画像信号に基づいて、第２画像信号に対応する第２画像データを生成する工程と、第１画像データと第２画像データに基づいて、表示パネルの不良があるか否かを判定する工程とを少なくとも備えることを特徴とする。
【００１３】
同構成によれば、フォトセンサを備える表示パネルにおいて、表示不良の有無の検査とフォトセンサ不良の有無の検査を同時に行うことが可能になる。従って、表示不良の有無の検査とフォトセンサ不良の有無の検査を別個に行う必要がなくなるため、フォトセンサを備える表示パネルの検査工程数を減少させて、検査に要する時間を短縮化することが可能になる。また、表示不良の有無の検査とフォトセンサの不良の有無の検査を自動により行うことができる。
【００１４】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の表示パネルの検査方法であって、第１画像データと第２画像データとを比較し、比較の結果に基づいて、表示パネルの不良があるか否かを判定することを特徴とする。
【００１５】
同構成によれば、画像データの比較の結果に基づいて、表示パネルの不良があるか否かを判定するため、簡単な方法で表示パネルの検査を行うことができる。
【００１６】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の表示パネルの検査方法であって、第１画像データと第２画像データが一致する場合は、表示パネルの不良がないと判定し、第１画像データと第２画像データが一致しない場合は、表示パネルの不良があると判定することを特徴とする。
【００１７】
同構成によれば、第１画像データと第２画像データとの一致・不一致に基づいて、表示パネルの不良の有無を判定することができるため、簡単な方法で、かつ精度良く表示パネルの検査を行うことができる。
【００１８】
請求項４に記載の発明は、第１基板と、第１基板に対向して配置された第２基板と、第１基板及び第２基板の間に設けられた表示媒体層とを備え、フォトセンサが内蔵された表示パネルの検査装置であって、表示パネルにおいて表示される第１画像データに対応する第１画像信号を生成する信号発生部と、表示パネルの表面に対向するように配置され、第１画像信号が入力された表示パネルに対して照射光を照射する光源と、表示パネルの表面に対向するように配置され、第１画像データが表示された表示パネルを透過した照射光を反射させ、反射光をフォトセンサに入射させる反射部材と、フォトセンサにより生成された第２画像信号が入力されるとともに、第２画像信号に基づいて、第２画像データを生成する画像データ生成部と、第１画像データ及び第２画像データが入力されるとともに、第１画像データと第２画像データに基づいて、前記表示パネルの不良があるか否かを判定する判定部とを備えることを特徴とする。
【００１９】
同構成によれば、フォトセンサを備える表示パネルにおいて、表示不良の有無の検査とフォトセンサ不良の有無の検査を同時に行うことが可能になる。従って、表示不良の有無の検査とフォトセンサ不良の有無の検査を別個に行う必要がなくなるため、フォトセンサを備える表示パネルの検査工程数を減少させて、検査に要する時間を短縮化することが可能にな検査装置を提供することができる。また、表示不良の有無の検査とフォトセンサの不良の有無の検査を自動により行うことが可能な検査装置を提供することができる。
【００２０】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の表示パネルの検査装置であって、判定部は、第１画像データと第２画像データとを比較し、比較の結果に基づいて、表示パネルの不良があるか否かを判定することを特徴とする。
【００２１】
同構成によれば、判定部が、画像データの比較の結果に基づいて、表示パネルの不良があるか否かを判定するため、簡単な方法で表示パネルの検査を行うことができる検査装置を提供することができる。
【００２２】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の表示パネルの検査装置であって、判定部は、第１画像データと第２画像データが一致する場合は、表示パネルの不良がないと判定し、第１画像データと第２画像データが一致しない場合は、表示パネルの不良があると判定することを特徴とする。
【００２３】
同構成によれば、判定部が、第１画像データと第２画像データとの一致・不一致に基づいて、表示パネルの不良の有無を判定するため、簡単な方法で、かつ精度良く表示パネルの検査を行うことができる検査装置を提供することができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、フォトセンサを備える表示パネルの検査を行う際の工程を簡素化することができるとともに、表示パネルの検査に要する時間を短縮化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施形態に係る、液晶表示パネルの表示機能とフォトセンサ機能を検査するための自動検査装置の構成を示す概念図である。
【図２】本発明の実施形態に係る液晶表示パネルの検査方法により検査される液晶表示パネルの構成を説明するための断面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る液晶表示パネルの検査方法を説明するためのフローチャートである。
【図４】本発明の実施形態に係る液晶表示パネルの検査方法において使用される第１画像データを示す模式図である。
【図５】本発明の実施形態に係る液晶表示パネルの検査方法において使用される第２画像データを示す模式図である。
【図６】本発明の実施形態に係る液晶表示パネルの検査方法において使用される第２画像データを示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。尚、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。また、本明細書において、「自動検査」とは、検査員の目視検査によらず、検査装置を用いて行う検査のことである。
【００２７】
図１は、本発明の実施形態に係る、液晶表示パネルの表示機能とフォトセンサ機能を検査するための自動検査装置の構成を示す概念図である。また、図２は、本発明の実施形態に係る液晶表示パネルの検査方法により検査される液晶表示パネルの構成を説明するための断面図である。
【００２８】
この自動検査装置１は、図１に示すように、検査対象となる液晶表示パネル１０を設置する検査用テーブル１２と、検査用テーブル１２の背面に設けられ、液晶表示パネル１０の一方の表面（即ち、ウラ面１０ｂ）に対向するように配置された光源であるバックライト１１と、検査用テーブル１２の上方に設けられ、液晶表示パネル１０の他方の表面（即ち、オモテ面１０ａ）に対向するように配置された反射部材１３とを備えている。
【００２９】
また、検査用テーブル１２の背面に設けられたバックライト１１は検査対象である液晶表示パネル１０に対して照射光を照射する。そして、バックライト１１から供給され、液晶表示パネル１０を透過した光は、反射部材１３により、液晶表示パネル１０に向けて反射される構成となっている。
【００３０】
また自動検査装置１は、図１に示すように、パネル表示用のプローブ２と、フォトセンサ用のプローブ３と、これらのプローブ２，３に接続されたデータ処理部４とを備えている。
【００３１】
また、データ処理部４は、プローブ２に接続された信号発生部５と、信号発生部５に接続された記憶部６と、プローブ３に接続された画像データ生成部７と、記憶部６及び画像データ生成部７に接続され、液晶表示パネル１０の不良（即ち、液晶表示パネル１０の表示不良及びフォトセンサの不良）の有無を判定する判定部である画像データ比較部８とを備えている。
【００３２】
また、図２に示すように、液晶表示パネル１０は、第１基板であるＴＦＴ基板２０と、ＴＦＴ基板２０に対向して配置された第２基板であるＣＦ基板３５と、ＴＦＴ基板２０及びＣＦ基板３５の間に設けられた表示媒体層である液晶層４５とを備えている。また、図２に示すように、上述のバックライト１１は、光源本体４７と導光板４８とを備えている。そして、光源本体４７から照射された照射光４９は導光板４８の端面から導光板４８内に入射するように構成されており、光源本体４７から導光板４８に入射した照射光４９は、導光板４８内において導光され、導光板４８の主面から略均一な面状光として出射され、液晶表示パネル１０に入射する構成となっている。
【００３３】
ＣＦ基板３５には、図示省略のカラーフィルタ、共通電極及びブラックマトリクス等が形成されている。一方、ＴＦＴ基板２０は、いわゆるアクティブマトリクス基板に構成されている。ＴＦＴ基板２０には、表示に寄与する表示領域と、表示領域の周りに形成されて表示に寄与しない額縁領域とを有している。そして、表示領域には、複数の画素（図示省略）がマトリクス状に配置されている。各画素には、液晶層４５を駆動するための画素電極（図示省略）をスイッチング駆動するＴＦＴ２２と、光センサーであるフォトセンサ１５がそれぞれ設けられている。このように、本実施形態における液晶表示パネル１０には、フォトセンサ１５が内蔵される構成となっている。
【００３４】
また、例えば、ＴＦＴ基板２０及びＣＦ基板３５は、それぞれ矩形状に形成され、ＣＦ基板３５はＴＦＴ基板２０より一回り小さく形成されている。そして、ＴＦＴ基板１とＣＦ基板３５とが互いに重なっている領域に表示領域が矩形状に形成されている。なお、ＴＦＴ基板２０、ＣＦ基板３５、及び表示領域の形状は、矩形状に限定されず、他の形状であっても良い。
【００３５】
また、フォトセンサ１５は、各画素領域において、ＴＦＴ２２に隣接して設けられており、半導体膜により構成されている。より具体的には、フォトセンサ１５としては、例えば、Ｐ型半導体膜と、Ｎ型半導体膜と、Ｐ型半導体膜とＮ型半導体膜との間に配置された真性半導体で形成される高比抵抗領域であるＩ（Intrinsic）層の３層からなる横型構造を有するＰＩＮ型のフォトセンサを挙げることができる。
【００３６】
そして、このフォトセンサ１５は、上述のＣＦ基板３５上に載置された対象物（例えば、指、ペン、紙等）の有無や濃淡を検知するために使用される。より具体的には、図２に示すように、液晶表示パネル１０の背面側に設けられたバックライト１１の光源本体４７から照射された照射光４９が、上述の対象物４２により反射され、その反射光４３がフォトセンサ１５に入射すると、フォトセンサ１５において、入射した反射光４３の強度に対応した光リーク電流が流れ、この光リーク電流に基づいて、対象物４２の有無や濃淡が検知される構成となっている。
【００３７】
本実施形態における自動検査装置１においては、上述のごとく、反射部材１３が設けられており、バックライト１１の光源本体４７から照射された照射光４９が、反射部材１３により反射され、その反射光４３がフォトセンサ１５に入射する構成となっている。
【００３８】
なお、液晶表示パネル１０とバックライト１１との間、及び液晶表示パネル１０と反射部材１３との間に、偏光板（不図示）を配置する構成としても良い。
【００３９】
次に、本実施形態に係る液晶表示パネルの検査方法について説明する。図３は、本実施形態に係る液晶表示パネルの検査方法を説明するためのフローチャートである。
【００４０】
まず、液晶表示パネル１０に対して、所定の画像データ（以下、「第１画像データ」という。）に対応する画像信号（以下、「第１画像信号」という。）を入力する（ステップＳ１）。
【００４１】
より具体的には、まず、検査対象である液晶表示パネル１０を検査用テーブル１２に設置して、バックライト１１と反射部材１３との間に配置する。次いで、信号発生部５が、記憶部６に記憶された第１画像データ（例えば、図４に示す画像データ）２３を読み出し、液晶表示パネル１０において表示される第１画像データ２３に対応する第１画像信号を生成する。
【００４２】
次いで、生成された第１画像信号が、信号発生部５からパネル表示用のプローブ２に出力されるとともに、表示用の第１画像信号が、プローブ２に設けられるとともに、液晶表示パネル１０の電極に接触させたプローブ針２ａを介して、液晶表示パネル１０に入力される。
【００４３】
次いで、バックライト１１を点灯させて、第１画像信号が入力された液晶表示パネル１０に対して、バックライト１１により照射光４９を照射して、液晶表示パネル１０において第１画像データ２３を表示させるとともに、第１画像データ２３が表示された液晶表示パネル１０を透過した照射光４９を、反射部材１３により反射させ、反射光４３をフォトセンサ１５に入射させる（ステップＳ２）。そうすると、フォトセンサ１５において、入射した反射光４３の強度に対応した光リーク電流が流れ、この光リーク電流に基づいて、画像信号（以下、「第２画像信号」という。）が生成される（ステップＳ３）。
【００４４】
次いで、フォトセンサ１５により生成された第２画像信号が、フォトセンサ用のプローブ３に設けられ、液晶表示パネル１０の電極に接触させたプローブ針３ａを介して、プローブ３に出力される。次いで、第２画像信号が、プローブ３を介して、画像データ生成部７に入力される（ステップＳ４）。次いで、画像データ生成部７により、入力された第２画像信号に基づいて、第２画像信号に対応する画像データ（以下、「第２画像データ」という）が生成される（ステップＳ５）。図５に、画像データ処理部７により生成された第２画像データ２４の一例を示す。
【００４５】
次いで、第１画像データ２３と第２画像データ２４に基づいて、液晶表示パネル１０の不良（即ち、液晶表示パネル１０の表示不良及びフォトセンサ１５の不良）があるか否かを判定する。
【００４６】
より具体的には、まず、画像データ比較部８に、第１画像データ２３及び第２画像データ２４が入力される（ステップＳ６）。即ち、画像データ比較部８は、記憶部６に記憶された、上述の第１画像データ２３を読み出すとともに、画像データ処理部７により生成された第２画像データ２４が、画像データ処理部７から画像データ比較部８へと出力される。
【００４７】
そして、画像データ比較部８は、第１画像データ２３と第２画像データ２４に基づいて、液晶表示パネル１０の不良があるか否かを判定する。
【００４８】
即ち、画像データ比較部８は、第１画像データ２３と第２画像データ２４を比較し（ステップＳ７）、第１画像データ２３と第２画像データ２４が一致するか否かを判断し（ステップＳ８）、第１画像データ２３と第２画像データ２４が一致する場合は、液晶表示パネル１０の不良（液晶表示パネル１０の表示不良及びフォトセンサ１５の不良）がないと判定する（ステップＳ９）。
【００４９】
一方、第１画像データ２３と第２画像データ２４が一致しない場合は、液晶表示パネル１０の不良（液晶表示パネル１０の表示不良及びフォトセンサ１５の不良の少なくとも一方の不良）があると判断する（ステップＳ１０）。
【００５０】
より具体的には、画像データ処理部７により生成された第２画像データ２４が図６に示す画像データである場合、図４に示す第１画像データ２３と図６に示す第２画像データ２４は一致するため、画像データ比較部８は、第１画像データ２３と第２画像データ２４が一致し、液晶表示パネル１０の表示不良及びフォトセンサ１５の不良がないと判定する。
【００５１】
一方、画像データ処理部７により生成された第２画像データ２４が図５に示す画像データである場合、図５に示すように、第２画像データ２４には、欠陥部２５が存在するため、図４に示す第１画像データ２３と図５に示す第２画像データ２４は一致しない。従って、画像データ比較部８は、第１画像データ２３と第２画像データ２４が一致せず、液晶表示パネル１０の表示不良及びフォトセンサ１５の不良の少なくとも一方の不良があるものと判定する。
【００５２】
この様に、本実施形態においては、画像データ比較部８は、第１画像データ２３と第２画像データ２４とを比較し、比較の結果に基づいて、液晶表示パネル１０の不良があるか否かを判定する構成となっている。
【００５３】
なお、他の画像データにより、再度検査を行う場合は、上述のステップ１〜ステップＳ９の処理が繰り返し行われる。
【００５４】
このように、本実施形態においては、フォトセンサ１５を備える液晶表示パネル１０において、表示不良及びフォトセンサ１５の不良の少なくとも一方が存在する場合であっても、表示不良の有無の検査とフォトセンサ不良の有無の検査を同時に行うことができる。
【００５５】
以上に説明した本実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。
【００５６】
（１）本実施形態においては、液晶表示パネル１０に対して、第１画像データに対応する第１画像信号を入力し、液晶表示パネル１０に対して光を照射して、液晶表示パネル１０において第１画像データ２３を表示させる構成としている。また、液晶表示パネル１０を透過した照射光を反射させて、反射光をフォトセンサ１５に入射させることにより、フォトセンサ１５において第２画像信号を生成させ、第２画像信号に基づいて、第２画像信号に対応する第２画像データ２４を生成させる構成としている。更に、第１画像データ２３と第２画像データ２４に基づいて、液晶表示パネル１０の不良（即ち、液晶表示パネル１０の表示不良及びフォトセンサ１５の不良）があるか否かを判定する構成としている。従って、フォトセンサ１５を備える表示パネル１０において、表示不良の有無の検査とフォトセンサ１５の不良の有無の検査を同時に行うことが可能になる。その結果、表示不良の有無の検査とフォトセンサ１５の不良の有無の検査を別個に行う必要がなくなるため、液晶表示パネル１０の検査工程数を減少させて、検査に要する時間を短縮化することが可能になる。また、表示不良の有無の検査とフォトセンサ１５の不良の有無の検査を自動により行うことができる。
【００５７】
（２）本実施形態においては、第１画像データ２３と第２画像データ２４とを比較し、比較の結果に基づいて、液晶表示パネル１０の不良があるか否かを判定する構成としている。従って、簡単な方法で液晶表示パネル１０の検査を行うことができる。
【００５８】
（３）本実施形態においては、第１画像データ２３と第２画像データ２４が一致する場合は、液晶表示パネル１０の不良（即ち、液晶表示パネル１０の表示不良及びフォトセンサ１５の不良）がないと判定し、第１画像データ２３と第２画像データ２４が一致しない場合は、液晶表示パネル１０の不良（即ち、液晶表示パネル１０の表示不良及びフォトセンサ１５の不良の少なくとも一方）があると判定する構成としている。従って、簡単な方法で、かつ精度良く、液晶表示パネル１０の検査を行うことができる。
【００５９】
なお、上記実施形態は以下のように変更しても良い。
【００６０】
上記実施形態においては、１つの液晶表示パネル１０について検査を行う説明したが、自動検査装置１を使用して、複数の液晶表示パネル１０を同時に検査する構成としても良い。この様な構成により、液晶表示パネル１０の検査を効率よく行うことが可能になる。
【００６１】
上記実施形態においては、パネル表示用のプローブ２と、フォトセンサ用のプローブ３とを設ける構成としたが、１つのプローブを、パネル表示用のプローブ及びフォトセンサ用のプローブとして兼用させて使用する構成としても良い。
【００６２】
また、上記実施形態においては、液晶表示パネルに限定して説明したが、本発明は、エレクトロルミネセンス表示パネル、プラズマ表示パネル、フィールドエミッション表示パネル等の他の表示パネルにも適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明の活用例としては、フォトセンサを備える液晶表示パネル等の表示パネルの検査方法及び検査装置が挙げられる。
【符号の説明】
【００６４】
１    自動検査装置
２    パネル表示用プローブ
３    フォトセンサ用プローブ
４    データ処理部
５    信号発生部
６    記憶部
７    画像データ生成部
８    画像データ比較部（判定部）
１０    液晶表示パネル
１１    バックライト（光源）
１２    検査用テーブル
１３    反射部材
１５    フォトセンサ
２０    ＴＦＴ基板（第１基板）
２２    ＴＦＴ
２３    第１画像データ
２４    第２画像データ
３５    ＣＦ基板（第２基板）
４５    液晶層（表示媒体層）
４３    反射光
４９    照射光
【図１】
2011021949.tif 000003
【図２】
2011021949.tif 000004
【図３】
2011021949.tif 000005
【図４】
2011021949.tif 000006
【図５】
2011021949.tif 000007
【図６】
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