(57)【要約】【課題】短時間でチップ成形体をセッター上に密に整列させることができるチップ成形体整列装置及びチップ成形体整列方法を提供する。【解決手段】チップ成形体整列装置１では、通気性を有するセッター４に向けてエア噴出口１２ａからエアを噴出する。これにより、セッター４に置かれた時点でチップ成形体Ｓ同士が重なり合っていたとしても、エアによってチップ成形体Ｓがセッター４の表面から浮き、その間にエアが入り込むことで、チップ成形体Ｓを互いに分離した状態とすることができる。また、エアを用いてチップ成形体Ｓの整列を行うことにより、従来のようなプレート状整列治具を用いる場合と比べて短時間でチップ成形体Ｓをセッター４上に密に整列させることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チップ成形体をセッター上に整列させるチップ成形体整列装置であって、
エアを噴出するエア噴出口が上方向きに設けられ、前記エア噴出口を塞ぐように通気性を有するセッターが載置されるエア噴出チャンバと、
前記エア噴出チャンバに向けてエアを供給するエア供給部と、
前記エア供給部のエア供給量を制御するエア制御部と、を備え、
前記エア制御部は、前記エア噴出口から噴出するエアが前記セッター上の前記チップ成形体の周囲を流れる状態となったときに前記エア供給部による前記エアの供給を停止することを特徴とするチップ成形体整列装置。
【請求項２】
前記エアが前記エア噴出チャンバに供給されているときに、前記セッターの姿勢を揺動させる揺動制御部を更に備えたことを特徴とする請求項１記載のチップ成形体整列装置。
【請求項３】
平面視において、前記セッターは矩形状をなしており、
前記揺動制御部は、前記セッターの隅部を順次昇降させることを特徴とする請求項２記載のチップ成形体整列装置。
【請求項４】
平面視において、前記セッターは矩形状をなしており、
前記揺動制御部は、前記セッターの一辺を順次昇降させることを特徴とする請求項２記載のチップ成形体整列装置。
【請求項５】
前記揺動制御部は、前記エア噴出チャンバへの前記エアの供給が開始されてから所定時間が経過した後に前記セッターの揺動を開始することを特徴とする請求項２〜４のいずれか一項記載のチップ成形体整列装置。
【請求項６】
前記セッターを前記エア噴出口の外周部分に対して押さえる押さえ枠を更に備えたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項記載のチップ成形体整列装置。
【請求項７】
前記セッターと前記押さえ枠との間を気密に封止する封止部を更に備えたことを特徴とする請求項６記載のチップ成形体整列装置。
【請求項８】
前記チップ成形体を供給口から一定量で供給するフィーダと、
前記フィーダの供給口に対して前記セッターを一定速度で相対移動させる駆動制御部と、を更に備えたことを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項記載のチップ成形体整列装置。
【請求項９】
チップ成形体をセッター上に整列させるチップ成形体整列方法であって、
エア噴出チャンバのエア噴出口を塞ぐように通気性を有するセッターを載置し、当該セッター上に複数のチップ成形体を供給するチップ供給工程と、
前記エア噴出チャンバに向けてエアを供給し、前記エア噴出口から噴出するエアが前記セッター上の前記チップ成形体の周囲を流れる状態となったときに前記エアの供給を停止するエア供給工程と、を備えたことを特徴とするチップ成形体整列方法。
【請求項１０】
前記エア供給工程において、前記エアが前記エア噴出チャンバに供給されているときに、前記セッターの姿勢を揺動させることを特徴とする請求項９記載のチップ成形体整列方法。
【請求項１１】
平面視において、前記セッターは矩形状をなしており、
前記エア供給工程において、前記セッターの隅部を順次昇降させることを特徴とする請求項１０記載のチップ成形体整列方法。
【請求項１２】
平面視において、前記セッターは矩形状をなしており、
前記エア供給工程において、前記セッターの一辺を順次昇降させることを特徴とする請求項１０記載のチップ成形体整列方法。
【請求項１３】
前記エア供給工程において、前記エア噴出チャンバへの前記エアの供給が開始されてから所定時間が経過した後に前記セッターの揺動を開始することを特徴とする請求項１０〜１２のいずれか一項記載のチップ成形体整列方法。
【請求項１４】
前記エア供給工程において、押さえ枠によって前記セッターを前記エア噴出口の外周部分に対して押さえることを特徴とする請求項９〜１３のいずれか一項記載のチップ成形体整列方法。
【請求項１５】
前記エア供給工程において、前記セッターと前記押さえ枠との間を気密に封止することを特徴とする請求項１４記載のチップ成形体整列方法。
【請求項１６】
前記チップ供給工程において、前記チップ成形体をフィーダの供給口から一定量で供給すると共に、前記フィーダの供給口に対して前記セッターを一定速度で相対移動させることを特徴とする請求項９〜１５のいずれか一項記載のチップ成形体整列方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップ成形体整列装置及びチップ成形体整列方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
積層セラミックコンデンサなどに代表されるチップ部品の製造工程では、グリーンシートの積層体をチップ化して得られるチップ成形体をセッターに供給し、セッターの表面でチップ成形体を整列させた状態で焼成炉による焼成を行っている。この工程では、焼成時のムラを抑制するため、セッター表面上でのチップ成形体同士の重なりや偏りを抑えることが重要となっている。
【０００３】
そこで、例えば特許文献１に記載の被熱処理物のさや詰め方法では、マトリクス状に貫通保持孔が設けられたプレート状整列治具を熱処理さや上にセットし、各貫通保持孔に被熱処理物を収容した後でプレート状整列治具を熱処理さやから引き上げることにより、熱処理さや上に被熱処理物を整列させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−１３２６７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した従来の方法では、マトリクス状の貫通保持孔のそれぞれに被熱処理物を収容するために時間がかかるという問題がある。この問題は、被熱処理物の寸法が小さくなるほど顕著になると考えられる。また、熱処理さや上での被熱処理物同士の間隔が貫通保持孔の間隔で決まるので、熱処理さや上に配列可能な被熱処理物の個数が制限されやすいという問題もある。
【０００６】
本発明は、上記課題の解決のためになされたものであり、短時間でチップ成形体をセッター上に密に整列させることができるチップ成形体整列装置及びチップ成形体整列方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題の解決のため、本発明に係るチップ成形体整列装置は、チップ成形体をセッター上に整列させるチップ成形体整列装置であって、エアを噴出するエア噴出口が上方向きに設けられ、エア噴出口を塞ぐように通気性を有するセッターが載置されるエア噴出チャンバと、エア噴出チャンバに向けてエアを供給するエア供給部と、エア供給部のエア供給量を制御するエア制御部と、を備え、エア制御部は、エア噴出口から噴出するエアがセッター上のチップ成形体の周囲を流れる状態となったときにエア供給部によるエアの供給を停止することを特徴としている。
【０００８】
このチップ成形体整列装置では、通気性を有するセッターに向けてエア噴出口からエアを噴出する。これにより、セッターに置かれた時点でチップ成形体同士が重なり合っていたとしても、エアによってチップ成形体がセッター表面から浮き、その間にエアが入り込むことで、チップ成形体を互いに分離した状態とすることができる。また、エアを用いてチップ成形体の整列を行うことにより、従来のようなプレート状整列治具を用いる場合と比べて短時間でチップ成形体をセッター上に密に整列させることができる。
【０００９】
また、エアがエア噴出チャンバに供給されているときに、セッターの姿勢を揺動させる揺動制御部を更に備えたことが好ましい。これにより、より短時間でチップ成形体をセッター上に整列させることが可能となる。
【００１０】
また、平面視において、セッターは矩形状をなしており、揺動制御部は、セッターの隅部を順次昇降させることが好ましい。このような揺動により、セッターの隅部に至るまでチップ成形体を分散できる。したがって、更に多くのチップ成形体をセッター上に整列させることができる。
【００１１】
また、平面視において、セッターは矩形状をなしており、揺動制御部は、セッターの一辺を順次昇降させることが好ましい。このような揺動により、セッターの隅部に至るまでチップ成形体を分散できる。したがって、更に多くのチップ成形体をセッター上に整列させることができる。
【００１２】
また、揺動制御部は、エア噴出チャンバへのエアの供給が開始されてから所定時間が経過した後にセッターの揺動を開始することが好ましい。この場合、セッターへのエア噴出が安定した後に揺動を行うので、チップ成形体の過剰な移動が抑制され、チップ成形体の分散の一層の均一化が図られる。
【００１３】
また、セッターをエア噴出口の外周部分に対して押さえる押さえ枠を更に備えたことが好ましい。この場合、押さえ枠によってエア噴出中にセッターが動いてしまうことを防止できる。また、エアによって浮いたチップ成形体がセッターの外側に飛び出てしまうことも防止できる。
【００１４】
また、セッターと押さえ枠との間を気密に封止する封止部を更に備えたことが好ましい。この場合、セッターの上面以外の方向にエアが流れることを防止できる。これにより、チップ成形体の分散速度を好適に確保できる。
【００１５】
また、チップ成形体を供給口から一定量で供給するフィーダと、フィーダの供給口に対してセッターを一定速度で相対移動させる駆動制御部と、を更に備えたことが好ましい。このような構成により、セッター上にある程度分散した状態でチップ成形体を置くことが可能となるので、より短時間でチップ成形体をセッター上に整列させることが可能となる。
【００１６】
また、本発明に係るチップ成形体整列方法は、チップ成形体をセッター上に整列させるチップ成形体整列方法であって、エア噴出チャンバのエア噴出口を塞ぐように通気性を有するセッターを載置し、当該セッター上に複数のチップ成形体を供給するチップ供給工程と、エア噴出チャンバに向けてエアを供給し、エア噴出口から噴出するエアがセッター上のチップ成形体の周囲を流れる状態となったときにエアの供給を停止するエア供給工程と、を備えたことを特徴としている。
【００１７】
このチップ成形体整列方法では、チップ供給工程において、通気性を有するセッターに複数のチップ成形体を供給し、エア供給工程において、セッター上のチップ成形体に向けてエア噴出口からエアを噴出する。これにより、セッターに置かれた時点でチップ成形体同士が重なり合っていたとしても、エアによってチップ成形体がセッター表面から浮き、その間にエアが入り込むことで、チップ成形体を互いに分離した状態とすることができる。また、エアを用いてチップ成形体の整列を行うことにより、従来のようなプレート状整列治具を用いる場合と比べて短時間でチップ成形体をセッター上に密に整列させることができる。
【００１８】
また、エア供給工程において、エアがエア噴出チャンバに供給されているときに、セッターの姿勢を揺動させることが好ましい。これにより、より短時間でチップ成形体をセッター上に整列させることが可能となる。
【００１９】
また、平面視において、セッターは矩形状をなしており、エア供給工程において、セッターの隅部を順次昇降させることが好ましい。このような揺動により、セッターの隅部に至るまでチップ成形体を分散できる。したがって、更に多くのチップ成形体をセッター上に整列させることができる。
【００２０】
平面視において、セッターは矩形状をなしており、エア供給工程において、セッターの一辺を順次昇降させることが好ましい。このような揺動により、セッターの隅部に至るまでチップ成形体を分散できる。したがって、更に多くのチップ成形体をセッター上に整列させることができる。
【００２１】
また、エア供給工程において、エア噴出チャンバへのエアの供給が開始されてから所定時間が経過した後にセッターの揺動を開始することが好ましい。この場合、セッターへのエア噴出が安定した後に揺動を行うので、チップ成形体の過剰な移動が抑制され、チップ成形体の分散の一層の均一化が図られる。
【００２２】
また、エア供給工程において、エア噴出口の外周部分を押さえ枠によって押さえることが好ましい。この場合、押さえ枠によってエア噴出中にセッターが動いてしまうことを防止できる。また、エアによって浮いたチップ成形体がセッターの外側に飛び出てしまうことも防止できる。
【００２３】
また、エア供給工程において、セッターと押さえ枠との間を気密に封止することが好ましい。この場合、セッターの上面以外の方向にエアが流れることを防止できる。これにより、チップ成形体の分散速度を好適に確保できる。
【００２４】
また、チップ供給工程において、チップ成形体をフィーダの供給口から一定量で供給すると共に、フィーダの供給口に対してセッターを一定速度で相対移動させることが好ましい。このような構成により、セッター上にある程度分散した状態でチップ成形体を置くことが可能となるので、より短時間でチップ成形体をセッター上に整列させることが可能となる。
【発明の効果】
【００２５】
本発明に係るチップ成形体整列装置及びチップ成形体整列方法によれば、短時間で多くのチップ成形体をセッター上に整列させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明に係るチップ成形体整列装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示したチップ成形体整列装置の制御機構を示すブロック図である。
【図３】チャンバ本体部の揺動の一例を示す図である。
【図４】チャンバ本体部の揺動の別の例を示す図である。
【図５】図１に示したチップ成形体整列装置を用いたチップ成形体整列方法を示す斜視図である。
【図６】図５の後続の工程を示す斜視図である。
【図７】図６の後続の工程を示す斜視図である。
【図８】セッター上のチップ成形体の初期状態を示す図である。
【図９】エア噴出中におけるセッター上のチップ成形体を示す図である。
【図１０】エア噴出終了後におけるセッター上のチップ成形体を示す図である。
【図１１】従来の方法におけるセッター上のチップ成形体の整列の様子を示す図である。
【図１２】実施例におけるセッター上のチップ成形体の整列の様子を示す図である。
【図１３】実施例に関する評価結果を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２７】
以下、図面を参照しながら、本発明に係るチップ成形体整列装置及びチップ成形体整列方法の好適な実施形態について詳細に説明する。
【００２８】
図１は、本発明に係るチップ成形体整列装置の一実施形態を示す斜視図である。また、図２は、図１に示したチップ成形体整列装置の制御機構を示すブロック図である。図１及び図２に示すように、チップ成形体整列装置１は、設置板２と、エア噴出チャンバ３と、セッター４と、リニアフィーダ５と、制御部６とを備え、焼成前のチップ成形体Ｓ（図６参照）をセッター４上に整列させる装置として構成されている。
【００２９】
チップ成形体Ｓは、セラミックシートの積層体をダイシング等によって個片化したものであり、焼成後のチップ部品における素子部に相当する部分である。本実施形態では、セッター４上に整列させるチップ成形体Ｓとして、例えば長さ０．４ｍｍ×幅０．２ｍ×奥行き０．２ｍｍ（０４０２タイプ）のチップ部品に用いられるものを想定している。
【００３０】
設置板２は、略長方形状をなしている。設置板２の上面には、エア噴出チャンバ３の幅に対応する２本のガイド１１，１１が設けられている。エア噴出チャンバ３は、チャンバ本体部１２と、脚部１３とを有している。チャンバ本体部１２は、例えば扁平な直方体形状をなしている。チャンバ本体部１２は、エア供給部１４に接続され、エアの供給を受けるようになっている。
【００３１】
また、チャンバ本体部１２の上面には、矩形のエア噴出口１２ａが形成されており、エア噴出口１２ａの外周部分１２ｂは、セッター４が載置される載置面となっている。したがって、エア供給部１４から供給されたエアは、エア噴出口１２ａから載置面に載置されているセッター４に向けて噴出される。
【００３２】
さらに、チャンバ本体部１２の上面には、セッター４をエア噴出口１２ａの外周部分１２ｂに対して押さえる略正方形状の押さえ枠１５が設けられている。押さえ枠１５は、その中央部分が略正方形状に開口すると共に、チップ成形体Ｓの高さに対して十分な高さを有し、例えばヒンジ等によってチャンバ本体部１２の上面に開閉可能に取り付けられている。
【００３３】
この押さえ枠１５における押さえ面は、チャンバ本体部１２の上面縁部を押さえる第１の押さえ面１５ａと、第１の押さえ面１５ａの内側でセッター４の上面縁部を押さえる第２の押さえ面１５ｂとを有している（図８参照）。第２の押さえ面１５ｂと、チャンバ本体部１２におけるエア噴出口１２ａの外周部分１２ｂとには、パッキン１６，１６がそれぞれ設けられている。したがって、押さえ枠１５の閉状態において、第２の押さえ面１５ｂとセッター４の上面との間の気密性、及びチャンバ本体部１２とセッター下面との間の気密性が保たれるようになっている。
【００３４】
一方、エア噴出チャンバ３の脚部１３は、略正方形の板状をなし、設置板２のガイド１１，１１間に配置されている。これにより、エア噴出チャンバ３は、リニアフィーダ５から離間した始点位置と、リニアフィーダ５の下側に入り込む終点位置との間で、ガイド１１，１１に沿って設置板２上を移動可能となっている。エア噴出チャンバ３の駆動機構には、例えばエアシリンダを用いることができる。また、より精密な移動を行う場合には、ボールネジとサーボモータとを用いてもよい。
【００３５】
ここで、上述したチャンバ本体部１２は、脚部１３の略中央に設けられた球面軸受１７と、脚部１３の四隅にそれぞれ設けられたエアシリンダ１８及びロッド１９とによって脚部１３から所定の高さで支持されている。より具体的には、チャンバ本体部１２は、球面軸受１７によってチャンバ本体部１２の下面中心を支点として揺動可能に支持され、チャンバ本体部１２の下面四隅が自在継手によってロッド１９の先端に取り付けられている。このような構成により、チャンバ本体部１２は、ロッド１９の昇降によって水平方向に対して揺動可能となっている。
【００３６】
セッター４は、例えば多孔質のアルミナやジルコニア、ムライトによって略正方形状に形成され、通気性を有している。セッター４の寸法は、チャンバ本体部１２のエア噴出口１２ａよりも一回り大きくなっており、セッター４をチャンバ本体部１２の上面に載置することで、エア噴出口１２ａを塞ぐことが可能となっている。
【００３７】
リニアフィーダ５は、ホッパー２０内に収容された多数のチップ成形体Ｓを供給する部分である。リニアフィーダ５は、設置板２において、ガイド１１，１１の終点側に立設された台２１上に設置され、制御部６による制御に基づいて、供給口２２から一定量のチップ成形体Ｓをセッター４に向けて供給する。
【００３８】
制御部６は、図２に示すように、機能的な構成要素として、エア制御部３１と、チャンバ駆動制御部３２と、チャンバ揺動制御部３３と、フィーダ制御部３４とを有している。
【００３９】
エア制御部３１は、エア供給部１４からチャンバ本体部１２に供給されるエアの供給量及び供給時間を制御する部分である。エアの供給量及び供給時間は予め設定されており、エア制御部３１は、エア噴出口１２ａから噴出するエアがセッター４上のチップ成形体Ｓの周囲を流れる状態となったときにエアの供給を停止する。
【００４０】
チャンバ駆動制御部３２は、ガイド１１，１１に沿うエア噴出チャンバ３の移動を制御する部分である。チャンバ駆動制御部３２は、始点位置と終点位置との間でエア噴出チャンバ３が一定の速度で移動するように、エア噴出チャンバ３の駆動機構を制御する。
【００４１】
チャンバ揺動制御部３３は、チャンバ本体部１２の揺動を制御する部分である。より具体的には、チャンバ揺動制御部３３は、エア供給部１４からチャンバ本体部１２にエアが供給されてから所定時間が経過した後、エアシリンダ１８によるロッド１９の昇降を開始する。
【００４２】
ロッド１９の昇降は、一のロッド１９から時計回り又は反時計回りで順次昇降させ、図３に示すように、セッター４の隅部が隅部Ａ，隅部Ｂ，隅部Ｃ，隅部Ｄの順で１箇所ずつ順次持ち上がるようにしてもよく、隣り合う２つのロッド１９を時計回り又は反時計回りで順次昇降させ、図４に示すように、セッター４の辺が辺Ｅ，辺Ｆ，辺Ｇ，辺Ｈの順で順次持ち上がるようにしてもよい。
【００４３】
なお、チャンバ本体部１２の揺動角度は、例えばセッター４の上面が水平状態から５°〜１５°の範囲で傾く程度であることが好ましい。また、揺動の開始は、エアの供給開始時を０とし、エアの供給終了時を１００とした場合に、例えば４０以降〜８０以降となるタイミングで行うことが好ましい。例えばエアの供給時間が５秒である場合、揺動の開始は２秒以降〜４秒以降とすることが好ましい。
【００４４】
フィーダ制御部３４は、リニアフィーダ５によるチップ成形体Ｓの供給を制御する部分である。フィーダ制御部３４は、チャンバ駆動制御部３２によるエア噴出チャンバ３の移動と協働し、供給口２２の下方を一定速度で通過していくセッター４に一定量のチップ成形体Ｓが供給されるようにリニアフィーダ５を制御する。
【００４５】
続いて、上述したチップ成形体整列装置１によるチップ成形体整列方法について説明する。
【００４６】
まず、図５に示すように、エア噴出チャンバ３が始点位置に位置している状態で、エア噴出口１２ａを塞ぐようにセッター４をセットする。次に、押さえ枠１５を閉じ、セッター４をエア噴出口１２ａの外周部分１２ｂに対して押さえる。押さえ枠１５を閉じた後、図６に示すように、エア噴出チャンバ３を始点位置から終点位置に向けて一定速度で移動させると共に、供給口２２の下方を一定速度で通過していくセッター４に向けてリニアフィーダ５から一定量のチップ成形体Ｓを供給する。
【００４７】
そして、図７に示すように、エア噴出チャンバ３が終点位置まで到達した後、エア噴出チャンバ３の移動及びチップ成形体Ｓの供給を停止する。これにより、図８に示すように、セッター４上には、ある程度分散した状態でチップ成形体Ｓが載置される。
【００４８】
チップ成形体Ｓの載置を終えた後、エア供給部１４からエア噴出チャンバ３に向けてエアの供給を開始する。これにより、チャンバ本体部１２のエア噴出口１２ａから噴出したエアが通気性のセッター４を通り、セッター４上のチップ成形体Ｓが浮き上がりながら周囲に分散することとなる。また、エアの供給を開始してから所定時間が経過した後、チャンバ本体部１２の揺動を開始する。
【００４９】
この後、チップ成形体Ｓの分散が進行し、図９に示すように、エア噴出口１２ａから噴出するエアがセッター４上のチップ成形体Ｓの周囲を流れる状態となったときにエア供給部１４によるエアの供給を停止する。これにより、図１０に示すように、セッター４上に均一な状態でチップ成形体Ｓが整列する。
【００５０】
以上説明したように、チップ成形体整列装置１では、通気性を有するセッター４に向けてエア噴出口１２ａからエアを噴出する。これにより、セッター４に置かれた時点でチップ成形体Ｓ同士が重なり合っていたとしても、エアによってチップ成形体Ｓがセッター４の表面から浮き、チップ成形体Ｓ同士の間にエアが入り込むことで、チップ成形体Ｓを互いに分離した状態とすることができる。また、エアを用いてチップ成形体Ｓの整列を行うことにより、従来のようなプレート状整列治具を用いる場合と比べて短時間でチップ成形体Ｓをセッター４上に密に整列させることができる。
【００５１】
また、チップ成形体整列装置１では、エア噴出チャンバ３へのエアの供給が開始されてから所定時間が経過した後に、チャンバ本体部１２の隅部又は一辺を揺動するようになっている。エア噴出中にチャンバ本体部１２を揺動することにより、チップ成形体Ｓの分散が促進され、より短時間でチップ成形体Ｓをセッター４上に整列させることが可能となる。また、揺動の開始をエア供給の開始時から遅らせることで、セッター４へのエア噴出が安定した後に揺動が行われることとなり、チップ成形体Ｓの過剰な移動が抑制される。これにより、チップ成形体Ｓの分散の一層の均一化が図られる。
【００５２】
また、チップ成形体整列装置１では、セッター４をエア噴出口１２ａの外周部分１２ｂに対して押さえる押さえ枠１５を備えている。この場合、押さえ枠１５によってエア噴出中にセッター４が動いてしまうことを防止できる。また、エアによって浮いたチップ成形体Ｓがセッター４の外側に飛び出てしまうことも防止できる。さらに、セッター４と押さえ枠１５との間にはパッキン１６が設けられている。このため、セッター４の上面以外の方向にエアが流れることを防止でき、チップ成形体Ｓの分散速度を好適に確保できる。
【００５３】
また、チップ成形体整列装置１では、チップ成形体Ｓを供給口２２から一定量で供給するリニアフィーダ５と、リニアフィーダ５の供給口２２に対してセッター４を一定速度で相対移動させるチャンバ駆動制御部３２とを更に備えている。このような構成により、セッター４上にある程度分散した状態でチップ成形体Ｓを置くことが可能となるので、より短時間でチップ成形体Ｓをセッター４上に整列させることが可能となる。
【００５４】
続いて、本実施例に関する評価実験について説明する。
【００５５】
この評価試験では、比較例として、まず、リニアフィーダ５を使わずにチップ成形体Ｓをセッター４の中央に山積みし、手動でセッター４を揺動させることによってチップ成形体Ｓの分散をおこなった。図１１は、その結果を示す図である。同図に示すように、比較例では、チップ成形体Ｓが均一に分散されておらず、セッター４の中央付近（山積みされていた部分）ではチップ成形体Ｓが重なり合っている一方で、セッター４の縁部に向かうほどチップ成形体Ｓがまばらになっていた。また、この比較例では、約３８０００個のチップ成形体Ｓを図１１の状態に分散させるまでの時間は、およそ１５０秒であった。
【００５６】
一方、実施例では、上記実施形態と同様に、リニアフィーダ５を用いてチップ成形体Ｓをセッター４にある程度分散させた状態とし、その後、エアによってチップ成形体Ｓの分散を行った。図１２は、その結果を示す図である。同図に示すように、実施例では、チップ成形体Ｓがセッター４全体に均一に分散されていた。また、この実施例では、比較例と同じ形状寸法のセッター４に対して約６００００個のチップ成形体Ｓを図１２の状態に分散させるまでの時間は、およそ５秒〜１０秒であった。
【００５７】
次に、実施例について、図１３に示すように、チップ成形体Ｓの載置態様、エア流量、揺動の有無といった条件を変えながら、チップ成形体Ｓの整列が完了するまでの時間を評価した。より具体的には、条件１では、リニアフィーダ５を用いずにセッター４上にチップ成形体Ｓを山積みにし、揺動は行わずにエア流量を初期時から整列完了まで３２５Ｌ／ｍｉｎで一定とした。
【００５８】
また、条件２では、リニアフィーダ５を用いてセッター４上にチップ成形体Ｓを載置し、揺動を行いながらエア流量を初期時から整列完了まで２５０Ｌ／ｍｉｎで一定とした。条件３では、リニアフィーダ５を用いてセッター４上にチップ成形体Ｓを載置し、エア流量を初期時に３００Ｌ／ｍｉｎとした後、揺動を行いながら一定の割合でエア流量を減少させた。条件４では、リニアフィーダ５を用いてセッター４上にチップ成形体Ｓを載置し、揺動を行いながらエア流量を開始時から３秒間２５０Ｌ／ｍｉｎで一定とし、その後一定の割合でエア流量を減少させた。
【００５９】
その結果、条件１ではチップ成形体Ｓの整列完了時間（エア噴出口１２ａから噴出するエアがセッター４上のチップ成形体Ｓの周囲を流れる状態になるまでの時間）は１０秒であったのに対し、条件２〜４ではチップ成形体Ｓの整列完了時間は５秒であった。また、整列完了までに要するエア供給量は、条件３が最も少ないという結果となった。
【符号の説明】
【００６０】
１…チップ成形体整列装置、３…エア噴出チャンバ、４…セッター、５…リニアフィーダ、１２ａ…エア噴出口、１２ｂ…外周部分、１４…エア供給部、１５…押さえ枠、１６…パッキン（封止部）、２２…封止部、３１…エア制御部、３２…チャンバ駆動制御部、３３…チャンバ揺動制御部、Ｓ…チップ成形体。
【図１】
2011179725.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１３】
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【図１１】
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【図１２】
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