(57)【要約】【課題】  フィルターを効率的に用いることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びに液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】  本発明の液体噴射ヘッドは、液体貯留手段から液体供給路を介して供給された液体を噴射するヘッド本体と、液体供給路の一部を構成する第１液体供給路が設けられた第１供給部材と、第１液体供給路と連通して液体供給路の一部を構成する第２液体供給路が設けられ、ヘッド本体２２０に液体を供給する第２供給部材と、第１液体供給路と第２液体供給路との間に狭持されたフィルター３３と、第１供給部材と第２供給部材とを一体成型接合する一体成型部とを備え、フィルターには、フィルターの液体供給路内における周縁部に亘って、フィルターを狭持する面よりも第１液体供給路側にフィルターが突出するように屈曲された屈曲部３９が設けられている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体貯留手段から液体供給路を介して供給された液体を噴射するヘッド本体と、
前記液体供給路の一部を構成する第１液体供給路が設けられた第１供給部材と、
前記第１液体供給路と連通して前記液体供給路の一部を構成する第２液体供給路が設けられ、前記ヘッド本体に前記液体を供給する第２供給部材と、
前記第１液体供給路と前記第２液体供給路との間に狭持されたフィルターと、
前記第１供給部材と前記第２供給部材とを一体成型接合する一体成型部とを備え、
前記フィルターには、該フィルターの液体供給路内における周縁部に亘って、該フィルターを狭持する面よりも第１液体供給路側に該フィルターが突出するように屈曲された屈曲部が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
【請求項３】
液体供給路の一部を構成する第１液体供給路が設けられた第１供給部材と、前記第１液体供給路と連通して前記液体供給路の一部を構成する第２液体供給路が設けられた第２供給部材との間に、フィルターを、第１供給部材側に突出させるように配置して前記第１供給部材と前記第２供給部材とで挟持する挟持工程と、
前記フィルターを前記第１供給部材と前記第２供給部材とで挟持した状態で保持し、樹脂を注入し冷却して樹脂を硬化させることにより、一体成型を行う一体成型工程と、
前記第２供給部材から前記液体供給路を介して液体が供給され、供給された液体を噴射する前記ヘッド本体を、第２液体供給部材に設ける設置工程とを備え、
前記挟持工程の前に、前記フィルターを、前記液体流路の周縁に対応する位置に亘って屈曲し屈曲部を形成して一方側に突出させる屈曲工程を備えることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記一体成型工程の硬化時の収縮により、前記フィルターがより第１供給部材側に突出することを特徴とする請求項３記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びに液体噴射ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドでは、一般的に、インクが充填された液体貯留手段であるインクカートリッジから、このインクカートリッジに着脱可能に挿入されるインク供給体となるインク供給針及びインクカートリッジが保持されるカートリッジケース等の供給部材に形成されたインク供給路を介してヘッド本体にインクが供給され、ヘッド本体に設けられた圧電素子等の圧力発生手段を駆動させることによりヘッド本体に供給されたインクがノズルから吐出される。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、気泡等によるドット抜け等の吐出不良を解決するために、インクカートリッジに挿入されるインク供給針とカートリッジケースとの間にインク内の気泡やゴミ等を除去するためのフィルターを設けたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。このフィルターとカートリッジケースとは熱溶着等により固定され、インク供給針とカートリッジケースとは超音波溶着等により固定されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２１１１３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１のような構成では、フィルターやカートリッジケースなどが溶着時の熱等のために変形する場合がある。この場合、フィルターがよれてカートリッジケースなどの内壁面に張り付いたり、よれたフィルターとカートリッジケースなどの内壁面との間に気泡が溜まったりしやすいという問題がある。
【０００６】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑み、フィルターを効率的に用いることができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びに液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液体噴射ヘッドは、液体貯留手段から液体供給路を介して供給された液体を噴射するヘッド本体と、前記液体供給路の一部を構成する第１液体供給路が設けられた第１供給部材と、前記第１液体供給路と連通して前記液体供給路の一部を構成する第２液体供給路が設けられ、前記ヘッド本体に前記液体を供給する第２供給部材と、前記第１液体供給路と前記第２液体供給路との間に狭持されたフィルターと、前記第１供給部材と前記第２供給部材とを一体成型接合する一体成型部とを備え、前記フィルターには、該フィルターの液体供給路内における周縁部に亘って、該フィルターを狭持する面よりも第１液体供給路側に該フィルターが突出するように屈曲された屈曲部が設けられていることを特徴とする。本発明においては、フィルターに屈曲部が設けられていることで、フィルターが第１液体供給部材側に突出するので、フィルターの周縁と第２供給部材との間の距離が広がり、気泡が溜まりにくくなると共に、フィルターと第２供給部材との張りつきを抑制することができる。従って、本発明では、フィルターを効率よく用いることができる。
【０００９】
本発明の液体噴射装置は、フィルターを効率よく用いるべく、前記液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする。
【００１０】
本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、液体供給路の一部を構成する第１液体供給路が設けられた第１供給部材と、前記第１液体供給路と連通して前記液体供給路の一部を構成する第２液体供給路が設けられた第２供給部材との間に、フィルターを、第１供給部材側に突出させるように配置して前記第１供給部材と前記第２供給部材とで挟持する挟持工程と、前記フィルターを前記第１供給部材と前記第２供給部材とで挟持した状態で保持し、樹脂を注入し冷却して樹脂を硬化させることにより、一体成型を行う一体成型工程と、前記第２供給部材から前記液体供給路を介して液体が供給され、供給された液体を噴射する前記ヘッド本体を、第２液体供給部材に設ける設置工程とを備え、前記挟持工程の前に、前記フィルターを、前記液体流路の周縁に対応する位置に亘って屈曲し屈曲部を形成して一方側に突出させる屈曲工程を備えることを特徴とする。
予め屈曲工程によりフィルターを屈曲して屈曲部を形成することで、フィルターと第２供給部材との張りつきを抑制できる液体噴射ヘッドを簡易に形成することができる。
【００１１】
ここで、本発明の好ましい実施形態としては、前記一体成型工程の硬化時の収縮により、前記フィルターがより第１供給部材側に突出させることが挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施形態１に係る記録装置の概略斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図３】実施形態１に係る供給部材の上面図である。
【図４】実施形態１に係る供給部材の断面図である。
【図５】フィルターの形状を説明するための模式図である。
【図６】実施形態１に係るヘッド本体を示す分解斜視図である。
【図７】実施形態１に係るヘッド本体を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の概略斜視図である。本発明のインクジェット式記録装置１０は、図１に示すように、インク滴を吐出する液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドとも言う）１１がキャリッジ１２に固定され、この記録ヘッド１１には、ブラック（Ｂ）、ライトブラック（ＬＢ）、シアン（Ｃ）、マゼンダ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）等の複数の異なる色のインクが貯留された液体貯留手段の一例であるインクカートリッジ１３がそれぞれ着脱可能に固定されている。
【００１４】
記録ヘッド１１が搭載されたキャリッジ１２は、装置本体１４に取り付けられたキャリッジ軸１５に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モーター１６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト１７を介してキャリッジ１２に伝達されることで、キャリッジ１２はキャリッジ軸１５に沿って移動される。一方、装置本体１４にはキャリッジ軸１５に沿ってプラテン１８が設けられており、図示しない給紙装置等により給紙された紙等の被記録媒体Ｓがプラテン１８上を搬送されるようになっている。
【００１５】
また、キャリッジ１２のホームポジションに対応する位置、すなわち、キャリッジ軸１５の一方の端部近傍には、記録ヘッド１１のノズル形成面を封止するキャップ部材１９を有するキャッピング装置２０が設けられている。このキャップ部材１９によってノズル開口が形成されたノズル形成面を封止することにより、インクの乾燥を防止している。また、このキャップ部材１９は、フラッシング動作時のインク受けとしても機能する。
【００１６】
図２に示すように、記録ヘッド１１は、液体貯留手段であるインクカートリッジ１３に挿入される複数のインク供給針３１（第１供給部材）や、インクカートリッジ１３が固定されるカートリッジケース３２（第２供給部材）等の供給部材３０と、供給部材３０のインクカートリッジ１３とは反対側の面に固定されたヘッド本体２２０と、ヘッド本体２２０の液体噴射面側に設けられたカバーヘッド２４０とを具備する。
【００１７】
まず、供給部材３０について詳細に説明する。供給部材３０の上面図である図３及び図３のＡ−Ａ′線断面図である図４に示すように、供給部材３０を構成するカートリッジケース３２は、インクカートリッジ１３がそれぞれ装着されるカートリッジ装着部３５を有する。また、カートリッジケース３２には、一端がカートリッジ装着部３５側に開口し、他端がヘッド本体２２０側に開口する第２インク供給路９２（第２液体供給路）が形成されている。そして、第２インク供給路９２は、図４に示すように、インク供給針３１側から内径が漸減するフィルター室９３と、該フィルター室９３のヘッド本体２２０側の開口部である開口９４（液体供給口）でフィルター室９３と連通すると共にヘッド本体２２０とも連通する連通供給路９９とで構成されている。
【００１８】
また、カートリッジケース３２のカートリッジ装着部３５の第２インク供給路９２の開口部分には、インク供給針３１がフィルター３３を介して固定されている。このインク供給針３１は、一端がカートリッジケース３２側に開口し、他端がインクカートリッジ１３側に開口する第１インク供給路９１（第１液体供給路）が形成されている。そして、第１インク供給路９１は、カートリッジケース３２側から内径が漸減する幅広部９５を有している。なお、この第１インク供給路９１と第２インク供給路９２は連通しており、インクカートリッジ１３とヘッド本体２２０とをつなぐインク供給路（液体供給路）の一部を構成している。
【００１９】
そして、カートリッジケース３２及びインク供給針３１は、フィルター３３を挟持する領域である挟持領域３８を有している。本実施形態では、挟持領域３８は、カートリッジケース３２の第２インク供給路９２のカートリッジ装着部３５側の開口縁部に設けられたフィルター挟持部３７と、インク供給針３１のカートリッジケース３２側の開口縁部に設けられフィルター挟持部３７に相対向する針側フィルター挟持部４２とからなる。このフィルター挟持部３７と針側フィルター挟持部４２とで後述するフィルターの挟持面が構成される。
【００２０】
また、フィルター３３は、金属を細かく編み込むことで複数の微細孔が形成されたシート状のものであり、フィルター挟持部３７と針側フィルター挟持部４２と構成される挟持領域３８で挟持されることにより、インク供給針３１に設けられた第１インク供給路９１とカートリッジケース３２に設けられた第２インク供給路９２との間に設けられている。このフィルター３３により、インク内の気泡や異物が除去される。また、本実施形態においては、このフィルター３３に詳しくは後述する屈曲部３９が設けられている。
【００２１】
そして、本発明においては、供給部材３０は、カートリッジケース３２とインク供給針３１とフィルター３３を一体化する一体成型部３４を備えている。この一体成型部３４は、フィルター３３を挟持したカートリッジケース３２とインク供給針３１とを一体成型接合している。ここで、一体成型接合とは、カートリッジケース３２とインク供給針３１との両方に接触するように一体成型部３４を成型することにより、超音波溶着等によらずカートリッジケース３２とインク供給針３１とを接合することをいう。なお、本実施形態においては、カートリッジケース３２のインク供給針３１が固定される側の面に突出する壁部４３が形成されており、該壁部４３の内側に、後述する製造工程で形成される一体成型部３４が設けられている。
【００２２】
このように、カートリッジケース３２とインク供給針３１とが一体成型接合されているため、記録ヘッド１１を小型化することができる。詳述すると、カートリッジケース３２とインク供給針３１とが一体型接合されていない場合、従来技術のように、カートリッジケース３２にフィルター３３を熱溶着等で溶着し、さらにインク供給針３１を超音波溶着等で溶着するという方法で製造される。この場合、カートリッジケース３２に、フィルター３３を溶着するための領域を設け、さらに、該領域の外側にインク供給針３１を溶着するための領域が必要となる。一方、本発明においては、一体成型部３４によりカートリッジケース３２とインク供給針３１とを固定しているため、このような溶着のための領域は不要となる。これにより、隣り合うインク供給針３１の間隔を短くすることができ、記録ヘッド１１を小型化することができる。また、本発明においては、このような小型化が可能であることから、フィルター３３の面積を小さくして記録ヘッド１１の小型化を図ることが不要となるため、フィルター３３の面積を過度に小さくする必要がなく、圧電素子３００や発熱素子等の圧力発生手段を駆動する駆動電圧を上げなくてもよい。
【００２３】
ところで、このような一体成型部３４によりカートリッジケース３２とインク供給針３１とを固定する場合、従来は一体成型接合後にフィルター３３が熱収縮によりたわみ、フィルター３３が、フィルター挟持部３７と針側フィルター挟持部４２とで挟持されたフィルター３３の縁部を含む平面（フィルター３３の挟持面）、即ちインク供給針３１とカートリッジケース３２との接合面Ｐ（以下、単に接合面Ｐという）よりも下側に落ち込んでしまい、その結果、フィルター３３が内壁面９６に張り付きやすく、また、フィルター３３と内壁面９６とが近すぎてこれらの間に気泡がたまりやすいという問題があった。
【００２４】
そこで、本実施形態においては、フィルター３３の中央部がインク供給針３１側に凸となるように、フィルター３３のインク供給路（第１インク供給路９１及び第２インク供給路９２）の周縁には屈曲部３９が設けられている。フィルター３３がこの屈曲部３９において屈曲されていることで、インク供給路において、フィルター３３はインク供給針３１側に凸となる。これにより、フィルター３３が内壁面９６に張り付くことを抑制すると共に、フィルター３３と内壁面９６との間に気泡を溜まりにくくすることができる。以下、フィルター３３の屈曲部３９について詳細に説明する。
【００２５】
屈曲部３９は、フィルター３３の、インク供給路（第１インク供給路９１及び第２インク供給路９２）の周縁に亘って設けられている。このインク供給路の周縁は気泡が溜まりやすいので、インク供給路の周縁に亘って屈曲部３９を設けてこの周縁におけるフィルター３３と内壁面９６との距離を広げることで、フィルター３３と内壁面９６との間に気泡を溜まりにくくしている。
【００２６】
即ち、フィルター３３は、図５に示すように、屈曲部３９により屈曲されて突出した突出部３３Ａと、平面からなる平面部３３Ｂとからなる。突出部３３Ａは、曲面から構成される。本実施形態では、突出部３３Ａは、断面視において略円弧状となるドーム状の曲面から構成されている。このように、曲面から構成されることで、インク供給針３１から流入するインクの流れによってフィルター３３が変形しにくく、フィルター３３と内壁面９６との張り付きを抑制することができる。平面部３３Ｂは、フィルター挟持部３７と針側フィルター挟持部４２とからなる挟持領域３８により挟持される部分である。また、屈曲部３９は、インク供給路の断面形状にあわせて、上面視において略円形状となっており、屈曲部３９の内径はインク供給路の内径と略同一である。なお、屈曲部３９の上面視における形状は略円形状となっているがこれに限定されず、インク供給路の断面形状にあわせてあればよい。例えばインク供給路の上面視における断面形状が略矩形状であればその形状に併せて略矩形状とすることが好ましい。
【００２７】
このように、本実施形態では屈曲部３９が形成されたフィルター３３を用いていることで、フィルター３３の内壁面９６への張り付きや、気泡が溜まることを抑制している。ここで、気泡の溜まりを抑制するために、フィルター３３と内壁面９６との距離を大きくするには、本実施形態のようにフィルター３３に屈曲部３９を設けることが好ましい。これは、例えばフィルターを平面状とすると共に接合面Ｐを図４に示す場合よりインク供給針３１側に設けることでフィルター３３と内壁面９６との距離を大きくすると、フィルター３３の位置がインク供給針３１側に寄りすぎることで流速が低下するおそれがある。また、接合面Ｐを図４に示す場合よりインク供給針３１側に設けるとすれば、カートリッジケース３２やインク供給針３１の構成を変更しなければならず、コストがかかってしまう。これに対し、本実施形態ではフィルター３３の構成を変えるのみで他の設計を変えることなく、フィルター３３と内壁面９６との距離を広くなるように設けることができ、コストがかからない。
【００２８】
また、屈曲部３９が形成されてフィルター３３がインク供給針３１側に突出していることで、フィルター３３の有効面積が大きく、より気泡等をトラップしやすい。
【００２９】
なお、一体成型接合では、フィルター３３が変形しているか否かは外観からは判別できず、フィルター３３の変形を把握するためにはフィルター３３が設けられた部材を破壊等して確認する必要があるが、本実施形態においては、後述するように予め屈曲部３９をフィルター３３に設けていることから、フィルター３３が設けられた部材を破壊等してフィルター３３が内壁面９６に張り付いたりしているか否かを確認する必要はない。
【００３０】
なお、上述したインクジェット式記録ヘッド１１、特に供給部材３０は、例えば次のように製造する。
【００３１】
まず、フィルター３３を屈曲部３９において屈曲させて、変形させる（屈曲工程）。本実施形態では、フィルター３３を金型により打ち抜いて作製する場合に、この屈曲部３９に対応した形状が設けられた金型を用いることにより、フィルター３３の形成時に同時に屈曲部３９を形成し屈曲させて、突出部３３Ａと平面部３３Ｂとを形成する。このようにフィルター３３の金型成型時に屈曲部３９を同時に作製することで、簡易に屈曲部３９を設けることができる。また、平面状のフィルター３３を打ち抜いて形成した後に、例えばプレス加工によりフィルター３３を屈曲部３９において屈曲させて突出させることももちろん可能である。
【００３２】
カートリッジケース３２のフィルター挟持部３７とインク供給針３１の針側フィルター挟持部４２の間に、屈曲部３９が設けられたフィルター３３をインク供給針３１側に突出するように配置し、カートリッジケース３２とインク供給針３１とでフィルター３３を挟持する（挟持工程）。なお、カートリッジケース３２を斜めにした状態などでフィルター３３を取り付ける場合には、吸引しながらカートリッジケース３２とインク供給針３１とでフィルター３３を挟持する。
【００３３】
次に、フィルター３３を挟持したカートリッジケース３２及びインク供給針３１を金型で保持すると共に、該金型とカートリッジケース３２の表面と壁部４３の内面とで空間を形成し、該空間に加熱した樹脂を注入した後冷却して樹脂を硬化させることにより、一体成型部３４を形成する（図４参照）（一体成形工程）。本実施形態では、一体成型部３４を形成する際に、カートリッジケース３２とインク供給針３１の線膨張率の差や、一体成型部３４を形成する樹脂の熱収縮等に起因して、フィルター３３に力がかかりフィルター３３がさらにインク供給針３１側に凸となることで、フィルター３３がカートリッジケース３２の内壁面９６に張り付いたり、たわんだフィルター３３とカートリッジケース３２の内壁面９６との間に気泡が溜まったりすることを抑制する。即ち、一体成型前に予めフィルター３３に屈曲部３９を設けてフィルター３３がインク供給針３１側に凸となるように屈曲させておくことで、フィルター３３に応力がかかってフィルター３３をさらにインク供給針３１側に突出させることができる。特に、フィルター３３に屈曲部３９を設けて屈曲させていることでフィルター３３には張力がかかった状態であるので、一体成型時にたわみにくく、名接合面Ｐよりも下側に落ち込みにくい。これにより、図４に示すようにカートリッジケース３２の内壁面９６とフィルター３３との距離が離れるので、カートリッジケース３２の内壁面９６に張り付いたり、たわんだフィルター３３とカートリッジケース３２の内壁面９６との間に気泡が溜まったりすることを抑制できる。
【００３４】
以降、この供給部材３０に、ヘッドケース２３０を介してヘッド本体２２０を設け（設置工程）、このヘッド本体２２０を覆うようにカバーヘッド２４０を取り付けることで記録ヘッド１１が形成される（図２参照）。
【００３５】
このような供給部材３０のインクカートリッジ１３とは反対側には、ヘッド本体２２０が設けられている。ここで、ヘッド本体２２０について図６及び図７を用いて説明する。なお、図６は、ヘッド本体の分解斜視図であり、図７は、ヘッド本体の断面図である。
【００３６】
図示するように、ヘッド本体２２０を構成する流路形成基板６０は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、その一方面には二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成されている。この流路形成基板６０には、その他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室６２が、幅方向に並設された列が２列形成されている。また、各列の圧力発生室６２の長手方向外側には、後述するリザーバー形成基板８０に設けられるリザーバー部８１と連通し、各圧力発生室６２の共通のインク室となるリザーバー１００を構成する連通部６３が形成されている。また、連通部６３は、供給路６４を介して各圧力発生室６２の長手方向一端部とそれぞれ連通されている。すなわち、本実施形態では、流路形成基板６０に形成された液体流路として、圧力発生室６２、連通部６３及び供給路６４が設けられている。
【００３７】
また、流路形成基板６０の開口面側には、ノズル開口７１が形成されたノズルプレート７０が接着剤４００を介して固着されている。具体的には、複数のヘッド本体２２０に対応するように複数のノズルプレート７０が設けられており、当該ノズルプレート７０は後で詳述するカバーヘッド２４０の露出開口部２４１よりも若干広い面積を有してカバーヘッド２４０と重畳する領域で接着剤等によって固定されている。なお、ノズルプレート７０のノズル開口７１は、各圧力発生室６２の供給路６４とは反対側で連通する位置に穿設されている。本実施形態では、流路形成基板６０に圧力発生室６２が並設された列を２列設けたため、１つのヘッド本体２２０にノズル開口７１の並設されたノズル列７１Ａが２列設けられている。そして、本実施形態では、このノズルプレート７０のノズル開口７１が開口する面が液体噴射面となっている。このようなノズルプレート７０としては、例えば、シリコン単結晶基板やステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属基板などが挙げられる。
【００３８】
一方、流路形成基板６０の開口面とは反対側には、弾性膜５０上に、金属からなる第１電極と、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電材料からなる圧電体層と、金属からなる第２電極とを順次積層することで形成された圧電素子３００が形成されている。
【００３９】
このような圧電素子３００が形成された流路形成基板６０上には、リザーバー１００の少なくとも一部を構成するリザーバー部８１を有するリザーバー形成基板８０が接合されている。このリザーバー部８１は、本実施形態では、リザーバー形成基板８０を厚さ方向に貫通して圧力発生室６２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板６０の連通部６３と連通されて各圧力発生室６２の共通のインク室となるリザーバー１００を構成している。
【００４０】
また、リザーバー形成基板８０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部８２が設けられている。
【００４１】
さらに、リザーバー形成基板８０上には、各圧電素子３００を駆動するための半導体集積回路（ＩＣ）等からなる駆動回路１１０が設けられている。この駆動回路１１０の各端子は、図示しないボンディングワイヤー等を介して各圧電素子３００の個別電極から引き出された引き出し配線と接続されている。そして、駆動回路１１０の各端子には、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）等の外部配線１１１を介して外部と接続され、外部から外部配線１１１を介して印刷信号等の各種信号を受け取るようになっている。
【００４２】
また、このようなリザーバー形成基板８０上には、コンプライアンス基板１４０が接合されている。コンプライアンス基板１４０のリザーバー１００に対向する領域には、リザーバー１００にインクを供給するためのインク導入口１４４が厚さ方向に貫通することで形成されている。また、コンプライアンス基板１４０のリザーバー１００に対向する領域のインク導入口１４４以外の領域は、厚さ方向に薄く形成された可撓部１４３となっており、リザーバー１００は、可撓部１４３により封止されている。この可撓部１４３により、リザーバー１００内にコンプライアンスを与えている。
また、コンプライアンス基板１４０上には、ヘッドケース２３０が固定されている。
【００４３】
ヘッドケース２３０は、インク導入口１４４に連通すると共に供給部材３０のインク供給路に連通して、供給部材３０からのインクをインク導入口１４４に供給するインク供給連通路２３１が設けられている。このヘッドケース２３０には、コンプライアンス基板１４０の可撓部１４３に対向する領域に溝部２３２が形成され、可撓部１４３の撓み変形が適宜行われるようになっている。また、ヘッドケース２３０には、リザーバー形成基板８０上に設けられた駆動回路１１０に対向する領域に厚さ方向に貫通した駆動回路保持部２３３が設けられており、外部配線１１１は、駆動回路保持部２３３を挿通して駆動回路１１０と接続されている。
【００４４】
ヘッド本体２２０を構成する各部材には、組立時に各部材を位置決めするためのピンが挿入されるピン挿入孔２３４が角部の２箇所に設けられている。そして、ピン挿入孔２３４にピンを挿入して各部材の相対的な位置決めを行いながら部材同士を接合することで、ヘッド本体２２０が一体的に組み合わせられる。
【００４５】
また、ヘッドケース２３０を介して供給部材３０に保持されたヘッド本体２２０は、図２に示すように、５つのヘッド本体２２０の液体噴射面側を覆うように箱形状を有するカバーヘッド２４０によって相対的に位置決めされて保持されている。カバーヘッド２４０は、ノズル開口７１を露出する露出開口部２４１と、露出開口部２４１を画成すると共にヘッド本体２２０の液体噴射面の少なくともノズル列７１Ａの並設されたノズル開口７１の両端部側に接合されるヘッド接合部２４２とを具備する。
【００４６】
また、カバーヘッド２４０には、ヘッド本体２２０の液体噴射面の側面側に、液体噴射面の外周縁部に亘って屈曲するように延設された側壁部２４５が設けられている。
【００４７】
このようにカバーヘッド２４０は、ヘッド接合部２４２をヘッド本体２２０の液体噴射面に接着するようにしたため、液体噴射面とカバーヘッド２４０との段差を減少させることができ、液体噴射面のワイピングや吸引動作などを行っても、液体噴射面にインクが残留するのを防止することができる。また、梁部２４４によって隣接するヘッド本体２２０の間が塞がれているため、隣接するヘッド本体２２０の間にインクが侵入することがなく、圧電素子３００や駆動回路１１０などのインクによる劣化及び破壊を防止することができる。また、ヘッド本体２２０の液体噴射面とカバーヘッド２４０との間は、接着剤によって隙間なく接着されているため、隙間に被記録媒体Ｓが入り込むのを防止してカバーヘッド２４０の変形及び紙ジャムを防止することができる。さらに、側壁部２４５が、複数のヘッド本体２２０の外周縁部を覆うことで、ヘッド本体２２０の側面へのインクの回り込みを確実に防止することができる。また、カバーヘッド２４０に、ヘッド本体２２０の液体噴射面と接合されるヘッド接合部２４２を設けるようにしたため、複数のヘッド本体２２０の各ノズル列７１Ａをカバーヘッド２４０に対して高精度に位置決めして接合することができる。
【００４８】
このようなカバーヘッド２４０としては、例えば、ステンレス鋼などの金属材料が挙げられ、金属板をプレス加工により形成してもよく、成型により形成するようにしてもよい。また、カバーヘッド２４０を導電性の金属材料とすることで、接地することができる。なお、カバーヘッド２４０とノズルプレート７０との接合は、特に限定されず、例えば、熱硬化性のエポキシ系接着剤や、紫外線硬化型の接着剤による接着などが挙げられる。
【００４９】
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１１は、インクカートリッジ１３からのインクを第１インク供給路９１及び第２インク供給路９２を介して取り込み、インク供給連通路２３１及びインク導入口１４４を介して、リザーバー１００からノズル開口７１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路１１０からの記録信号に従い、各圧力発生室６２に対応するそれぞれの圧電素子３００に電圧を印加し、弾性膜５０及び圧電素子３００をたわみ変形させることにより、各圧力発生室６２内の圧力が高まりノズル開口７１からインク滴が吐出する。
【００５０】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
【００５１】
上述した実施形態では、フィルター３３をインク供給針３１とカートリッジケース３２とで挟持した後、一体成型部３４により一体成型接合させたものとしたが、一体成型接合されていればこれに限定されない。例えば、屈曲部３９を形成したフィルター３３をカートリッジケース３２に溶着し、その後フィルター３３が溶着されたカートリッジケース３２とインク供給針３１とを一体成型部３４により一体成型接合させたものとしてもよい。フィルター３３をカートリッジケース３２に溶着する際にも、熱等によりフィルター３３が変形してよれてしまうおそれがあるが、本発明においては、フィルター３３に予め屈曲部３９を設けていることで、フィルター３３溶着の際にフィルター３３の変形が生じたとしても、フィルター３３が内壁面９６に張り付いたり気泡が溜まりやすくなってしまうことを抑制することができる。
【００５２】
さらに、上述した実施形態では、フィルター３３は、金属を編み込んだシート状のものとしたが、これに限定されない。例えば、金属板を打ち抜いて形成したものや、微細孔を有する樹脂からなるシート状のものであってもよいが、屈曲部３９を形成しやすいものが好ましい。
【００５３】
上述した実施形態では、液体貯留手段であるインクカートリッジ１３を供給部材３０に着脱自在となるように設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、液体貯留手段として、インクタンク等を記録ヘッド１１とは異なる位置に設け、液体貯留手段と記録ヘッド１１とをチューブなどの供給管を介して接続するようにしてもよい。すなわち、上述した実施形態では、第１供給部材として針状のインク供給針３１を例示したが、第１供給部材は、針状のものに限定されるものではない。
【００５４】
また、上述した実施形態では、２つの液体供給路に対して１つのヘッド本体２２０が設けられた構成を例示したが、インクの色毎に複数のヘッド本体を設けるようにしてもよい。このような場合には、各液体供給路が、各ヘッド本体に連通する。すなわち、各液体供給路が、各ヘッド本体に設けられたノズル開口が並設されたノズル列毎に連通するように設けられていてもよい。もちろん、液体供給路は、ノズル列毎に連通しなくてもよく、１つの液体供給路が複数のノズル列に連通していてもよく、また、１列のノズル列を２つに分け、それぞれに液体供給路が連通していてもよい。すなわち、液体供給路は、複数のノズル開口からなるノズル開口群に連通していればよい。
【００５５】
さらに、上述の実施形態では、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッド１１を例示して本発明を説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。
【符号の説明】
【００５６】
１０  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １１  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ３０  供給部材、  ３１  インク供給針、  ３２  カートリッジケース、  ３３  フィルター、  ３４  一体成型部、  ３９  屈曲部、  ９１  第１インク供給路、  ９２  第２インク供給路、  ９３  フィルター室、  ９４  開口、  ９６  内壁面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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