(57)【要約】【課題】気密封止したハウジングのシール部の温度変化による応力の集中を改善する力検出器及び力検出器用ハウジングを提供する。【解決手段】本発明の力検出器は、少なくとも何れか一方は受圧手段を支持する端板状の第１及び第２のケースと、前記第１及び第２のケースを互いに対向させると共に、前記第１及び第２のケースとの間の領域を内部空間とするように前記領域を取り囲む側面部材を形成する第３のケースと、を備えたハウジングと、前記受圧手段に立設する力伝達手段と、感圧部と、該感圧部の両端に接続された一対の基部とを有すると共に、一方の前記基部を前記力伝達手段に、他方の前記基部を前記ハウジング内面部に固定した感圧素子２８と、を有し、前記第３のケースに周状に緩衝手段を設けたことを特徴としている。【選択図】図５
2011013190.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも何れか一方は受圧手段を支持する端板状の第１及び第２のケースと、
前記第１及び第２のケースを互いに対向させると共に、前記第１及び第２のケースとの間の領域を内部空間とするように前記領域を取り囲む側面部材を形成する第３のケースと、
を備えたハウジングと、
前記受圧手段に立設する力伝達手段と、
感圧部と、該感圧部の両端に接続された一対の基部とを有すると共に、一方の前記基部を前記力伝達手段に、他方の前記基部を前記ハウジング内面部に固定した感圧素子と、
を有し、
前記第３のケースに周状に緩衝手段を設けたことを特徴とする力検出器。
【請求項２】
前記緩衝手段は、凹凸形状を有していることを特徴とする請求項１に記載の力検出器。
【請求項３】
前記緩衝手段は、可撓性を有していることを特徴とする請求項１に記載の力検出器。
【請求項４】
前記緩衝手段は、薄肉部であることを特徴とする請求項１に記載の力検出器。
【請求項５】
前記緩衝手段は、ベローズであることを特徴とする請求項１に記載の力検出器。
【請求項６】
前記第１及び第２のケースのうち前記受圧手段が支持されているケースと前記第３のケースとの接続部には当該接続部に沿ってリングが配置されていることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の力検出器。
【請求項７】
少なくとも何れか一方は受圧手段を支持する端板状の第１及び第２のケースと、
前記第１及び第２のケースを互いに対向させると共に、前記第１及び第２のケースとの間の領域を内部空間とするように前記領域を取り囲む側面部材を形成する第３のケースと、
を備えた力検出器用ハウジングであって、
前記第３のケースに周状に緩衝手段を設けたことを特徴とする力検出器用ハウジング。
【請求項８】
前記緩衝手段は、凹凸形状を有していることを特徴とする請求項７に記載の力検出器用ハウジング。
【請求項９】
前記緩衝手段は、薄肉形状、ベローズ形状、或いは可撓性を有していることを特徴とする請求項７に記載の力検出器用ハウジング。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特に圧力センサーなどのハウジング構造において、シール部の温度変化による応力の集中を改善する力検出器及び力検出器用ハウジングに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、水圧計、気圧計、差圧計などとして圧電振動子を感圧素子として使用した圧力センサーが知られている。前記圧電振動子は、例えば、板状の圧電基板上に電極パターンが形成され、力の検出方向を検出軸と設定しており、当該検出軸の方向に圧力が作用すると、前記圧電振動子は共振周波数が変化し、当該共振周波数の変化から圧力を検出する。特許文献１〜３には、感圧素子として圧電振動子を用いた圧力センサーが開示されている。圧力導入口よりベローズに圧力が加わると当該ベローズの有効面積に応じた力がピボット（撓みヒンジ）を支点とした力伝達手段を介して圧電振動素子に圧縮力或いは引張り力として力Ｆが加わる。前記圧電振動子には、当該力Ｆに応じた応力が生じることとなり、当該応力により共振周波数が変化する。当該圧力センサーは圧電振動子に生じる共振周波数の変化を検出することにより圧力を測定するものである。
【０００３】
以下に、従来の圧力センサーを特許文献１などに開示されている例を用いて説明する。図１６は従来の圧力センサーの構造を示した模式図である。
図１６に示す従来の圧力センサー１０１は、対向して配置された第１及び第２の圧力入力口１０２，１０３を有する筐体１０４と、筐体１０４の内部に力伝達部材１０５とを備え、力伝達部材１０５の一端を挟むように第１のベローズ１０６の他端を第１の圧力入力口１０２に接続し、第２のベローズ１０７の他端を第２の圧力入力口１０３に接続している。さらに、力伝達部材１０５の他端と基板１０８のピボット（支点）ではない方の端部との間に、感圧素子として双音叉型振動子１０９を配置している。
【０００４】
ここで、圧力センサーにおいて、高精度に圧力を検出する場合に、ベローズの内部には、液体が充填されている。当該液体としては、ベローズの内部や内部の蛇腹部分に気泡が入り込んだり、溜まらないようにするために、一般的に粘性の高いシリコンオイルなどのオイルが用いられている。
【０００５】
このように、第１のベローズ１０６の内部には、粘性のあるオイル１１０が充填されており、圧力測定の対象が液体の場合は、第１の圧力入力口１０２に開けられた開口部１１１により液体とオイル１１０とが接触して相対する構造となっている。なお、開口部１１１はオイル１１０が外部に漏れないような開口径が設定されている。
【０００６】
このような構成の圧力センサー１０１においては、圧力測定の対象となる液体より圧力Ｆが第１のベローズ１０６の内部に充填されているオイル１１０に加わると、第１のベローズ１０６を経て圧力Ｆが、力伝達部材１０５（ピボット支持された揺動レバー）の一端に加わる。一方、第２のベローズ１０７には、大気圧が加わっており、大気圧に相当する力が力伝達部材１０５の一端に加わっている。
【０００７】
この結果、力伝達部材１０５の他端を介して、圧力測定の対象となる液体より加わった圧力Ｆと大気圧による圧力の差圧に相当する力が基板１０８のピボットを支点にして、双音叉型振動子１０９に圧縮力、あるいは引張り力として加わると、双音叉型振動子１０９には応力が生じ、当該応力の大きさに応じて共振周波数が変化するので、その共振周波数を測定することにより、圧力Ｆの大きさを検出することができる。
【０００８】
一方、特許文献４には、前述の圧力センサーで用いるような高価なピボット（撓みヒンジ）を支点とした力伝達手段（カンチレバー）を用いずに、図１７（Ａ）に示すように第１のベローズ２１０の一端２１０ａと第２のベローズ２１１の一端２１１ａとの間に振動子接着用台座２１５を挟み、当該台座２１５と第２のベローズ２１１の他端側のハウジング壁面とに感圧素子２２０の両端の各々を固定すると共に、第２のベローズ２１１の間を挟むように、当該感圧素子２２０に対向する位置に、補強板２２１を配置し、当該補強板２２１の両端の各々を前記台座２１５と前記ハウジング壁面とに固定してなる圧力センサー２０１が開示されている。
【０００９】
更に図１７（Ｂ）に示す特許文献５においては、特許文献４に開示された前記圧力センサーに関し、ベローズの圧力検出軸方向と直交する方向に前記台座２１５とハウジングとを補強用弾性部材２５０ａ、２５０ｂを用いて連結してなる圧力センサーが提案されている。
【００１０】
次に図１８に示す特許文献６，７には、エンジン内部の油圧を検出するためにエンジンブロックに固定して使用する圧力センサー３００が開示されている。この圧力センサー３００は印加された圧力に応じた電気信号を出力するセンシング部３５０、圧力を受圧する受圧用ダイアフラム部、ダイアフラムからセンシング部へ圧力を伝達するための圧力伝達部材３６０とからなり、具体的には、中空金属ステム３３０の一方の端面に受圧用の第１ダイアフラム３１０を設け、他方の端面に検出用の第２ダイアフラム３２２を設け、ステム内で第１、第２ダイアフラム３１０，３２２間に力伝達部材３６０を介在させている。力伝達部材３６０は金属あるいはセラミックからなるシャフトであり、これを一体のダイアフラム間にプレストレスを与えた状態で介在させるようにしている。そして、第２ダイアフラム３２２の外端面に圧力検出素子としての歪ゲージ機能をもつチップ３５１を貼り付け、第１ダイアフラム３１０で受けた圧力を力伝達部材３６０で第２ダイアフラム３２２に伝達し、第２ダイアフラム３２２の変形を歪ゲージチップにより電気信号を変換することでエンジン油圧を検出するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開昭５６−１１９５１９号公報
【特許文献２】特開昭６４−９３３１号公報
【特許文献３】特開平２−２２８５３４号公報
【特許文献４】特開２００５−１２１６２８号公報
【特許文献５】特開２００７−５７３９５号公報
【特許文献６】特開２００６−１９４７３６号公報
【特許文献７】特開２００７−１３２６９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、特許文献１〜３の発明においては、図１６に示す如き圧力センサーのように、第１のベローズ１０６に充填されているオイル１１０は、圧力センサー１０１を構成する他の要素、例えば、力伝達部材１０５や双音叉型振動子１０９などに比べて熱膨張係数が大きいので、圧力センサー１０１を構成する各部材に温度変化による熱歪みが生じることとなる。このような熱歪みが不要な応力として双音叉型振動子１０９に作用するので、測定した圧力値に誤差を生じることとなり圧力センサー１０１の特性を悪化させるという問題があった。
【００１３】
また第１のベローズ１０６に充填されているオイル１１０は、圧力測定の対象となる液体と接触して相対しているが、圧力センサー１０１の設置方法によりオイル１１０が圧力測定の対象となる液体側に流出したり、液体が第１のベローズ１０６側に流入することもあるので、第１のベローズ１０６に充填されているオイル１１０内に気泡が発生する場合がある。オイル１１０内に気泡が発生すると、圧力の伝達媒体とし機能しているオイル１１０は、力を力伝達部材１０５を経由して双音叉型振動子１０９に安定して伝達することができないので、圧力測定に誤差を生じる可能性がある。
【００１４】
さらに、上述したように、オイル１１０は、圧力測定の対象となる液体と接触して相対しているため、圧力センサー１０１の設置方法によりオイル１１０が圧力測定の対象となる液体側に流出する可能性があり、異物の混入を嫌う清浄な液体の圧力測定を行う場合の用途には、オイル１１０を使用した従来の如き圧力センサー１０１を使用することができないという問題があった。
【００１５】
さらにまた、従来の如き圧力センサー１０１は、力伝達部材１０５が、複雑な構造をしており、圧力センサー１０１を小型化する際に、障害となっている。また、力伝達部材１０５はくびれ部の細い撓みヒンジを必要とする構造をしているので高コストな部品となるため圧力センサー１０１の製造コストを上昇させるという問題があった。
【００１６】
特許文献４，５が提案している圧力センサーは、姿勢が傾くと、ベローズに垂れが生じてしまうので、感圧素子（双音叉型振動子）に加わる力に変化が生じてしまい、それによって共振周波数も変動してしまうという問題があった。
【００１７】
更に、図１９のように圧力センサー４００の圧力導入口に内部にオイルが充填されたパイプ４０２を接続し、当該パイプ４０２の他端を被測定液体に接触させる構造のため、特許文献１〜３で掲げたようにベローズやパイプに充填されているオイルが、圧力測定の対象となる液体と接触して相対しているので、圧力センサー４００の設置方法によりオイルが圧力測定の対象となる液体側に流出したり、液体がベローズ側に流入することもあるので、ベローズに充填されているオイル内に気泡が発生する場合があり、オイル内に気泡が発生すると、圧力の伝達媒体として機能しているオイルが、台座２１５を経由して双音叉型振動子に安定して伝達することができないので、圧力測定に誤差を生じる問題があった。
【００１８】
特許文献５については、設置された補強用弾性部材２５０の硬さを硬くしてしまうと、ベローズの動きを抑止してしまうことになり、圧力検出感度を劣化させてしまうという問題があった。
【００１９】
更に、特許文献４，５では補強板２２１が感圧素子２２０に対向配置されているので、ベローズの動きを抑止してしまうことになり、圧力検出感度を劣化させてしまうという問題があった。
【００２０】
特許文献６，７において、ダイアフラム３１０，３２２と圧力伝達部材３６０とは荷重を与えた状態で接触しているが、圧力センサー３００が高温高圧化で使用されるので、リジッドに固定してしまうと各部材の熱膨張の違いにより、機構が破棄されてしまう虞があるため、当該熱膨張を考慮して、ダイアフラム３１０，３２２と力伝達部材３６０とは点で接触しているに過ぎず、接着剤等の接着手段を用いて接着はされていない。従って圧力変動によりダイアフラム３１０，３２２と力伝達部材３６０が稼働する際、点接触部がずれてしまう可能性が非常に高く、接触点がずれる過程で、ダイアフラム３１０，３２２と力伝達部材３６０の双方に作用している力が漏洩してしまうため、精度の高い圧力検出を行うことができないという問題があった。
【００２１】
そこで本発明は、前述の如き様々な問題点に鑑みてなされたものであって、即ち、内部に受圧媒体としてのオイルを使用せず、力伝達部材の構造を簡素化することにより小型化し、高精度で温度衝撃に強い力検出器及び力検出器用ハウジングを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
［適用例１］少なくとも何れか一方は受圧手段を支持する端板状の第１及び第２のケースと、前記第１及び第２のケースを互いに対向させると共に、前記第１及び第２のケースとの間の領域を内部空間とするように前記領域を取り囲む側面部材を形成する第３のケースと、を備えたハウジングと、前記受圧手段に立設する力伝達手段と、感圧部と、該感圧部の両端に接続された一対の基部とを有すると共に、一方の前記基部を前記力伝達手段に、他方の前記基部を前記ハウジング内面部に固定した感圧素子と、を有し、前記第３のケースに周状に緩衝手段を設けたことを特徴とする力検出器。
【００２３】
このような力検出器によれば、受圧手段となるダイアフラム、力伝達手段となるセンターシャフト、ケースに熱膨張率の異なる材料を用いても、第３のケースの緩衝手段で、熱膨張の伸縮を吸収することができる。従ってケースの接着部分に熱膨張の伸縮による応力がかかることがないため、ハウジングの気密信頼性を維持することができる。またセンターシャフトに作用するケースの応力も吸収することができるため、圧力検出値に熱膨張の誤差が生じることがない。またオイルを用いずに、検出精度の高い簡易構造の力検出器を製造することができる。
【００２４】
［適用例２］前記緩衝手段は、凹凸形状を有していることを特徴とする適用例１に記載の力検出器。
このように構成することで、第３のケースの熱膨張の伸縮による応力を吸収することができる。また第３のケースの製作過程でプレス成形によって形成することができ低コスト化を図ることができる。
【００２５】
［適用例３］前記緩衝手段は、可撓性を有していることを特徴とする適用例１に記載の力検出器。
このように構成することで第３のケースの熱膨張の伸縮による応力を吸収することができる。
【００２６】
［適用例４］前記緩衝手段は、薄肉部であることを特徴とする適用例１に記載の力検出器。
このように構成することで、第３のケースの熱膨張の伸縮による応力を吸収することができる。また第３のケースの製作過程で形成することができ低コスト化を図ることができる。  
【００２７】
［適用例５］前記緩衝手段は、ベローズであることを特徴とする適用例１に記載の力検出器。
このように構成することで第３のケースの熱膨張の伸縮による応力を吸収することができる。
【００２８】
［適用例６］前記第１及び第２のケースのうち前記受圧手段が支持されているケースと前記第３のケースとの接続部には当該接続部に沿ってリングが配置されていることを特徴とする適用例１から適用例５のいずれか１に記載の力検出器。
このように構成することで、第２及び第３のケースの接着面積が増大し、気密の信頼性を維持することができる。
【００２９】
［適用例７］少なくとも何れか一方は受圧手段を支持する端板状の第１及び第２のケースと、前記第１及び第２のケースを互いに対向させると共に、前記第１及び第２のケースとの間の領域を内部空間とするように前記領域を取り囲む側面部材を形成する第３のケースと、を備えた力検出器用ハウジングであって、前記第３のケースに周状に緩衝手段を設けたことを特徴とする力検出器用ハウジング。
【００３０】
このように構成することで、ダイアフラム、シャフト、ケースに熱膨張率の異なる材料を用いても、第３のケースの緩衝手段で、熱膨張の伸縮を吸収することができる。従ってケースの接着部分に熱膨張の伸縮による応力がかかることがないため、ハウジングの気密信頼性を維持することができる。またセンターシャフトに作用するケースの応力も吸収することができるため、圧力検出値に熱膨張の誤差が生じることがない。
【００３１】
［適用例８］前記緩衝手段は、凹凸形状を有していることを特徴とする適用例７に記載の力検出器用ハウジング。
このように構成することで、第３のケースの熱膨張の伸縮による応力を吸収することができる。また第３のケースの製作過程でプレス成形によって形成することができ低コスト化を図ることができる。
【００３２】
［適用例９］前記緩衝手段は、薄肉形状、ベローズ形状、或いは可撓性を有していることを特徴とする適用例７に記載の力検出器用ハウジング。
このように構成することで、第３のケースの熱膨張の伸縮による応力を吸収することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の基本構成となる力検出器の模式断面図である。
【図２】基本構成となる力検出器の主要部分の斜視図である。
【図３】基本構成となる力検出器の部分破断斜視図である。
【図４】力検出器の熱膨張による歪みの説明図である。
【図５】本発明の力検出器の模式断面図である。
【図６】本発明の力検出器の主要部分の斜視図である。
【図７】本発明の力検出器の部分破断斜視図である。
【図８】力検出器の製造方法の説明図である。
【図９】第１及び第２の固定台座の位置合わせの説明図である。
【図１０】本発明の変形例１の力検出器の主要部分の斜視図である。
【図１１】本発明の変形例２の力検出器の主要部分の斜視図である。
【図１２】本発明の変形例３の力検出器の主要部分の斜視図である。
【図１３】本発明の変形例４の力検出器の主要部分の斜視図である。
【図１４】本発明の絶対圧検出のための圧力センサーの断面図１である。
【図１５】本発明の絶対圧検出のための圧力センサーの断面図２である。
【図１６】従来の圧力センサーの構造を示した模式図である。
【図１７】従来の台座を用いた圧力センサーの説明図である。
【図１８】エンジンブロックに使用する圧力センサーの説明図である。
【図１９】パイプを接続させた圧力センサーの説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
本発明の力検出器及び力検出器用ハウジングの実施形態を添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
図１は本発明の基本構成となる力検出器の構成概略図である。図２、図３に本発明の基本構成となる力検出器の主要部分の斜視図、部分破断斜視図を示している。本発明の基本構成となる力検出器は一例として圧力センサーを用いて以下説明する。
【００３５】
圧力センサー１０は、中空円筒体からなる力検出器用のハウジング１２を有している。このハウジング１２は第１のケース（下端板）を構成する端板をフランジ端板１４とするとともに、第２のケース（上端板）をハーメ端子台１６とし、第３のケースである円筒側壁１８によって離隔配置した端板の周囲を取り囲んで中空密閉容器として構成したものである。フランジ端板１４とハーメ端子台１６には、内部空間と連通する第１圧力入力口１７、第２圧力入力口１９がハウジング１２の軸芯と同芯に貫通されて、外部に開口されている。この開口部はそれぞれ力検知部となる第１ダイアフラム２０、第２ダイアフラム２２によって内外を遮蔽するようにされ、かつこれらをフランジ端板１４とハーメ端子台１６に一体的に結合している。フランジ端板１４側の第１ダイアフラム２０は受圧用であり、ハーメ端子台１６側の第２ダイアフラム２２は大気圧設定用としている。ハウジング１２は内外が遮断された状態となっているとともに、図示しない空気抜き手段により内部を真空状態に保持できるようにしている。
【００３６】
前記ハウジング１２の内部には、前記第１、第２のダイアフラム２０，２２の内面の中央領域を相互に接続するセンターシャフト（力伝達手段）２４がハウジング１２の軸芯に沿って配置され、両者を接着連結している。そして、このセンターシャフト２４の途中には感圧素子受け台としての可動部２６が設けられており、この可動部２６に後述する検出軸を前記ダイアフラム２０，２２の受圧面と垂直な軸と平行に設定した双音叉振動子からなる感圧素子２８の一端部を取り付けるようにしている。感圧素子２８の他端部は前記ハウジング１２のハーメ端子台１６に設けられている内側に突出した感圧素子受け台としてのボス部３０に接続するようにしている。これにより、受圧用第１ダイアフラム２０と大気圧用第２ダイアフラム２２の差圧によりセンターシャフト２４が軸方向移動すると、これに追随して可動部２６が位置を変動し、この力が感圧素子２８の検出軸方向への作用力を発生させるようにしている。
【００３７】
感圧素子２８は、感圧部４０と感圧部の両端に接続された一対の基部４２とを有し、感圧素子２８の前記一対の基部４２の並ぶ方向を力の検出方向とし、該力の検出方向を検出軸として設定している。感圧素子２８を双音叉型圧電振動子とした場合は、感圧部４０が２本の柱状ビーム（梁）により構成され、前記一対の基部４２の並ぶ方向と前記柱状ビームの延びる方向と前記検出軸とが平行関係になっている。
【００３８】
双音叉型振動素子は、感圧部４０の両端部に接続される固定端となる一対の基部４２（第１基部４２ａ、第２基部４２ｂ）を有し、この２つの基部４２の間に２つの振動ビーム（振動部）が形成されている。双音叉型振動素子は、その感圧部４０（振動部）である前記２つの振動ビームに引張り応力（伸長応力）あるいは圧縮応力が印加されると、その共振周波数が前記印加される応力にほぼ比例して変化するという特性を有している。感圧素子２８は、前記一対の基部４２の並ぶ方向をダイアフラムが撓み変位する変位方向と平行となるように配置され、その変位方向は前記検出軸と平行となるように構成されている。感圧素子２８の第１基部４２ａは可動部２６に固定され、第２基部４２ｂはボス部３０に固定されている。
【００３９】
感圧素子２８は発振回路（不図示）を電気的に接続され、発振回路（不図示）から供給される交流電流により、固有の共振周波数で振動するものである。そして感圧素子２８は、前記検出軸の方向から伸長応力または圧縮応力を受けることにより共振周波数が変動する。特に、双音叉型振動片は、厚みすべり振動子などに比べて、伸長・圧縮応力に対する共振周波数の変化が極めて大きく共振周波数の可変幅が大きいので、わずかな圧力差を検出するような分解能力に優れる圧力センサーにおいては好適である。双音叉型圧電振動子は、伸長応力を受けると振動腕（振動部）の振動幅が小さくなるので共振周波数が高くなり、圧縮応力を受けると振動腕（振動部）の振動幅が大きくなるので共振周波数は低くなる。
【００４０】
ところで、双音叉型の圧電振動子は、振動腕を２本有するが、シングルビーム型の圧電振動子は振動腕が１本である。よって、シングルビーム型の圧電振動子は、検出軸の方向から双音叉型の圧電振動子の場合と同等の応力を受けたとき、その変位が２倍になるため、双音叉の場合よりさらに高感度な圧力センサーとすることができる。なお双音叉型またはシングルビーム型の圧電振動子の圧電基板としては温度特性の優れた水晶が望ましい。
【００４１】
上記ハウジング１２の内部には、前記センターシャフト２４と平行であって、その周囲に複数のガイドシャフトである支持棒３２ａ、３２ｂが配置されている。これらは第１ケースであるフランジ端板１４と第２ケースであるハーメ端子台１６との間隔を一定に保持し、外力によるハウジング１２の変形や任意の姿勢によって検出精度が低下しないようにしている。
【００４２】
本実施形態では、特に、上部端板をハーメ端子台１６とし、これにはハーメ端子３４を端子台１６に貫通させ、感圧素子２８の信号を外部に取り出すようにしている。
【００４３】
このような構成の圧力センサー１０によれば、一対のダイアフラム２０，２２同士はセンターシャフト２４に連結され、センターシャフト２４の途中に設けた可動部２６がダイアフラム２０，２２の挙動に応じて一体的にシャフト軸方向に移動し（これが一対のダイアフラム２０，２２が受ける圧力差に起因する動きとなる。）、双音叉振動子である感圧素子２８の検出軸方向に作用する力に応じた動きとなる。したがって、オイルを用いることなく、検出精度の高い圧力センサーを構成でき、かつ小型で組み立てが容易な構造となる。また、フランジ端板１４、ハーメ端子台１６、並びに円筒側壁１８が真空容器としてのハウジング１２を形成し、フランジ端板１４と第１ダイアフラム２０とが一体とされ、かつハーメ端子台１６と第２ダイアフラム２２が一体とされ、組み立てが簡便に行えるようにしている。この圧力センサー１０を測定対象液体へ沈める（浸す）容器に取り付けるには、フランジ端板１４を測定対象液体容器に第１ダイアフラム２０の周囲を囲むように配置されたＯリングを介して接合してボルト締めにより取り付ける。なお、センターシャフト２４と感圧素子固定用受け台としての可動部２６は、一つの部材から切削加工された一体のものであっても良い。そうすることにより可動部２６がシャフトの固定部でブレたり、ずれることがなくなる。
【００４４】
しかしながら上記圧力センサーを構成する各物品は、一例としてダイアフラム、シャフト、ケースに金属組成の異なるステンレスを用いているため、組成間で熱膨張率に相違がある。
【００４５】
図４は力検出器の熱膨張による歪みの説明図である。円筒側壁１８の両端は、それぞれフランジ端板１４、ハーメ端子台１６に接着剤２９を介して接着して、内部を気密に封止している。
【００４６】
使用環境の温度変化が生じ、例えば温度が上昇した場合、圧力センサーの外側から内側へと熱が伝わる過程で温度差が発生する。即ち外側のケースから先に温度が上昇し始め、ついで内側のシャフトへと熱が伝わっていく。このとき、熱膨張により円筒側壁１８の長さＬが伸長し、内側の支持棒３２は熱膨張による伸長が生じないか、あるいは、ケースの熱膨張による伸長Ｌよりも小さい伸長Ｍが生じる。この場合、図４に示すようにハーメ端子台１６及び円筒側壁１８の接着箇所のシール部（接着剤２９）に、円筒側壁１８側の熱膨張による伸長ｌと、ハーメ端子台１６側の熱膨張による伸長ｍとの間に伸長の差が生じることになり、各部品間の伸長のバランスが崩れることによって応力が集中しクラック等が生じるなどして、ハウジング内の気密信頼性が失われてしまうという問題がある。熱膨張による伸長の差による応力はフランジ端子１４及び円筒側壁１８の接着剤２９にも同様に作用することになる。
【００４７】
また、感圧素子の一端を支持するセンターシャフト２４についても、温度変化による熱膨張の影響を受ける。このため圧力測定時に熱膨張によるセンターシャフト２４の伸縮が生じた場合には、予め熱膨張による伸縮分に相当する補正を圧力の測定値に対して行っている。しかし、前述の第１〜第３のケースは、接着剤２９により互いに固定されているため、ハーメ端子台１６のボス部３０に他端を支持している感圧素子２８に円筒側壁１８の熱膨張の伸縮による応力が作用する。そうするとセンターシャフト２４自身の熱膨張以外にも円筒側壁１８の熱膨張に起因した応力が感圧素子２８に掛かることになり、圧力の検出値に誤差が生じるという問題がある。
【００４８】
図５は力検出器の模式断面図である。同図（Ａ）は感圧素子を側面の側から見た力検出器の断面図であり、（Ｂ）は感圧素子の平面側から見た力検出器の断面図である。図６、図７に本発明の基本構成となる力検出器の主要部品斜視図、部分破断斜視図を示している。なお、本発明に係る力検出器について、その一例として圧力センサーを用いて以下説明する。
本実施形態の力検出器となる圧力センサー１００は感圧素子２８を第１及び第２の固定台座７０，８０により両端部を固定している。
【００４９】
第１の固定台座７０は、中心にセンターシャフト２４を挿通させる第１貫通孔７２を穿孔してある。第１貫通孔７２はセンターシャフト２４のシャフト径と略同一の孔径に設定し、センターシャフト２４を通すことにより、センターシャフト２４と第１の固定台座７０の第１貫通孔中心を同一軸心上に位置決めすることができる。また感圧素子２８の固定面に仮固定用のネジ穴７４を穿孔してあり、さらにネジ穴７４と交差する方向の一対の側面に接着剤導入用の第２貫通孔７６を穿孔している。
【００５０】
第２の固定台座８０は、ハーメ端子台１６と分離した台座であり、感圧素子２８を固定する固定部８２とハーメ端子台１６に固定する取り付け部８４から構成されている。固定部８２は前記第１の固定台座７０と略同一形状に形成してあり、その中心にセンターシャフト２４を挿通させる第１の貫通孔８３を穿孔してある。第１の貫通孔８３の孔径は、シャフト径よりも径大とし、シャフトと接触しないように形成している。取り付け部８４はハーメ端子台１６に取り付け位置を調整可能に形成している。本実施形態ではハーメ端子台１６と第２の固定台座８０の固定手段に一例としてボルト８５を用い、取り付け部８４の第２貫通孔８６をハーメ端子台１６のネジ穴１６ａに螺合させて取り付けている。このとき第２貫通孔８６の孔径はボルト８５のシャフト径よりも大きく穿孔しているため、第２の固定台座８０をハーメ端子台１６に取り付ける位置を第２貫通孔の孔径の範囲内で微調整することができる。また第２の固定台座８０の感圧素子２８の取り付け面にはネジ穴８７を穿孔してある。
【００５１】
本発明の力検出器用パッケージは、第３のケースとなる円筒側壁１８に緩衝手段としてのダンパー９４を形成している。ダンパー９４は、第１及び第２のケースと第３のケースが接着剤を介して接着する面以外の部分に、センサー内側から外側に向けて凸状にプレス成形加工によって形成することができる。本発明のダンパー９４は両端を第１及び第２のケースに固定した円筒側壁１８が熱膨張によって伸縮する際に、上下の接着部分に応力が係る前にダンパー９４で伸縮を吸収する強度に設定し、支持棒３２と干渉しないように形成している。
【００５２】
また本発明の力検出用パッケージは、ハーメ端子台１６（第２のケース）と円筒側壁１８の接続部分をリング９６で覆うように形成している。リング９６は、第１及び第２のケースのうち受圧手段が支持されているケース、本実施形態ではハーメ端子台１６の外形と略同一の環状部材であり、ハーメ端子台１６または円筒側壁１８と同質の材料で形成することができる。リング９６は、側面を円筒側壁１８と接着させて、下面をハーメ端子台１６に接着させている。
【００５３】
次に、上記構成による本発明の力検出器の製造方法について以下説明する。図８は本発明の力検出器の製造方法の説明図を示している。
まず、ハーメ端子台１６の圧力入力口１９に第２ダイアフラム２２を溶接により接合する。またハーメ端子台１６の圧力入力口１９と反対の面に第２の固定台座８０をボルト８５で仮止めする。このときセンターシャフトを貫通させるハーメ端子台１６及び第２の固定台座８０の貫通孔が略一致するようにしている（図８（１））。
【００５４】
一方、フランジ端子板１４は治具Ａを用いて保持し、その圧力入力口１７に第１ダイアフラム２０を溶接する（図８（２））。
またフランジ端子板１４に対しては、当該フランジ端子板１４を治具Ｂとともにセンターシャフト２４及びガイドシャフトである支持棒３２（３２ａ、３２ｂ）の挿入貫通孔を有する治具Ｃとにより挟んで保持する。挿入貫通孔は第１ダイアフラム２０に取り付けるセンターシャフト２４の取り付け位置と、フランジ端子板１４に取り付ける支持棒３２ａ，３２ｂの取り付け位置となる箇所に予め形成してある。この状態で、センターシャフト２４及び支持棒３２ａ，３２ｂを差し込む。このときセンターシャフト２４は、先端に接着剤を塗布してあり、先端部が第１ダイアフラム２０の中央部に垂直に立設するように建て付けている。また支持棒３２ａ，３２ｂはフランジ端子板１４に先端を埋設した状態で取り付けている（図８（３））。
【００５５】
次に、フランジ端子板１４から治具Ｂ、治具Ｃを取り外してセンターシャフト２４を第１の固定台座７０の第１貫通孔７２に通す。センターシャフト２４及び支持棒３２ａ，３２ｂの先端には接着剤を塗布しておく。そしてフランジ端子台１４に円筒側壁１８を嵌め合わせる。円筒側壁１８の開口からハーメ端子台１６をフランジ端子板１４と対向するように嵌め合わせ、ガイドシャフト（支持棒）３２の先端をハーメ端子台１６の取り付け箇所に埋め込み接着させるとともに、センターシャフト２４の他端部をハーメ端子台１６の第２ダイアフラム２２の中央部に接着させる（図８（４））。
【００５６】
一体化したフランジ端子台１４とハーメ端子台１６に対し、円筒側壁１８を取り外して、第１及び第２の固定台座７０，８０の位置合わせを行なう。図９は第１及び第２の固定台座の位置合わせの説明図である。図９（１）に示すように第１の固定台座７０は、第１貫通孔７２にセンターシャフト２４に挿通することにより同一軸心上に位置合わせすることができる。一方、第２の固定台座８０は、第１貫通孔８３がセンターシャフト２４のシャフト径よりも大きく、取り付け部８４の第２貫通孔８６がボルト８５径よりも大きいため、第２貫通孔８３のクリアランスの相当する範囲、即ちセンターシャフト２４の外周から所定間隔を開けた放射状の範囲で位置ずれしている場合がある。
【００５７】
そこで本発明では感圧素子２８の外形に沿って略同一となるように形成、換言すれば感圧素子２８の両端の基部４２の外形と略同一形状の端部を有する平板９０を用いて第１及び第２の固定台座７０，８０の支持面７０Ａ，８０Ａが同一平面上となるように位置調整を行っている。平板９０は、感圧素子２８の外形に沿って略同一となるように形成し、第１及び第２の固定台座７０，８０のネジ穴と対向する箇所にネジ穴を形成している。
【００５８】
このような平板９０を第１及び第２の固定台座７０，８０の支持面にネジ９２で仮止めする（図９（２））。平板９０を仮止めすることにより、第１及び第２の固定台座７０，８０の支持面は同一平面上（連続する平面を形成）に位置合わせすることができる。
【００５９】
その後、第１の固定台座７０の第２貫通孔７６に接着剤を導入し、第１の固定台座７０をセンターシャフト２４に接着して固定させる。またハーメ端子台１６に第２の固定台座８０を仮止めしているボルト８５を本締めして、ハーメ端子台１６に第２の固定台座８０を固定させる。（図９（３））。
【００６０】
固定後、平板９０を取り外して感圧素子２８の一対の基部４２を夫々ハーメ端子台１６の第２の固定台座８０と、センターシャフト２４の第１の固定台座７０とに接着剤等の接着手段を用いて接着して固定することにより、前記検出軸がセンターシャフト２４の軸芯と平行になるように感圧素子２８を取り付けることができる。（図９（４）、図８（５））。
【００６１】
最後に、配線処理を行った後、円筒側壁１８を取り付けて内部を密閉し、ハーメ端子台１６に設けた貫通孔から前記内部を真空引きして前記内部を外部から遮断する。そしてハーメ端子台１６の外端面部分にＩＣ等から構成される感圧素子を駆動させるための発振回路が形成された回路基板を実装し、リッド９８を取り付けて完成する（図８（６））。ここで、前記リッド９８には、ダイアフラム２２に圧力を導入するための圧力導入口が形成されると共に、前記ＩＣからの電気信号を外部へ導出するための導出線を通す貫通孔が形成される。なお、前記圧力導入口を前記貫通孔と併用させても良い。
【００６２】
上記構成による力検出器となる圧力センサー１００は、円筒側壁１８に周状のダンパー９４を形成しているため、ダイアフラム、シャフト、ケースに熱膨張率の異なる材料を用いても、ダンパーで、熱膨張の伸縮を吸収することができる。従ってケースの接着部分に熱膨張の伸縮による応力がかかることがないため、ハウジングの気密信頼性を維持することができる。またセンターシャフトに作用するケースの応力も吸収することができるため、圧力検出値に誤差が生じることがない。
【００６３】
例えば第３のケースが熱膨張により伸長した場合、ダンパーが縮小することにより、又は第３のケースが縮小した場合、ダンパーが伸長することにより、互いに打ち消すことで温度変化による熱膨張の伸縮を吸収して、接着部分に作用する応力を回避することができる。
【００６４】
またリング９６でハーメ端子台１６と円筒側壁１８の接着部分を覆うように密閉しているため、第１及び第２のケースと第３のケースの間の接着面積に、リング９６と第３のケースとの接着面積が加わるので接触面積を広く取ることができる。このため、気密の信頼性を向上させることができる。
【００６５】
さらに感圧素子２８の両端を支持する固定台座を容易に同一平面上に位置合わせすることができ、固定の不具合によって感圧素子２８に作用する歪み応力を回避することができる。またオイルを用いずに、検出精度の高い簡易構造の力検出器を製造することができる。
【００６６】
次に変形例１の力検出器について以下説明する。図１０は変形例１の力検出器の部分破断斜視図を示している。図示のように変形例１の力検出器は、ダンパー９４ｂを凹状に形成している。その他の構成は、図５〜７に示す圧力センサー１００と同一である。ダンパー９４ｂは、第１及び第２のケースと第３のケースが接着剤を介して接着する面以外の部分に、円筒側壁１８の外側から内側に向けて凹状にプレス成形加工によって形成することができる。
【００６７】
このような変形例１の力検出器によれば、ダイアフラム、シャフト、ケースに熱膨張率の異なる材料を用いても、ダンパーで、熱膨張の伸縮を吸収することができる。従ってケースの接着部分に熱膨張の伸縮による応力がかかることがないため、ハウジングの気密信頼性を維持することができる。また第３のケースの製作過程でプレス成形によって形成することができ低コスト化を図ることができる。
【００６８】
次に変形例２の力検出器について以下説明する。図１１は変形例２の力検出器の部分破断斜視図を示している。図示のように実施例１に係るダンパー９４に相当する変形例２に係る力検出器における緩衝手段としてのダンパーは、所謂可撓性を有しており、可撓部９４ｃ（図１１（Ａ））、９４ｄ（図１１（Ｂ））をダンパー９４としている。その他の構成は、図５〜７に示す圧力センサー１００と同一である。可撓部９４ｃ、９４ｄは、第３のケースを上下に分割してなる２つの分割ケースの間に挟まれるように配置している。円筒側壁１８は第１及び第２のケースにそれぞれ個別に接着する上下のケース（第４のケース、第５のケース）１８ａ，１８ｂ（ツーピース構造）に分割している。そして可撓部９４ｃ、９４ｄは、円筒側壁１８の硬度よりも硬度の低い部材により形成されていると共に、前記部材は気密性を確保できる材質を採用しており、一例として、円筒側壁１８よりも硬度の低い金属組成のステンレスとなるニッケル系合金や、真鍮、などを用いることができる。図１１（Ａ）に示す可撓部９４ｃは円筒側壁１８よりも厚みの薄い円筒状の部材であって、円筒部材１８を分割した上下のケース１８ａ，１８ｂの端面には可撓部９４ｃが嵌まり込む溝をエッチング又は切削加工などにより形成している。第３のケースの組立ては第１のケースと接続する下側のケース１８ｂの溝に可撓部９４ｃの下端を接着剤又は溶接等により嵌め込み、さらに可撓部９４ｃの上端に上側のケース１８ａの溝を接着剤又は溶接等により嵌め込み形成することができる。
【００６９】
図１１（Ｂ）に示す可撓部９４ｄは、（Ａ）に示す円筒側壁１８と可撓部９４ｃの厚みの関係を逆転させた構成とし、円筒側壁１８よりも厚みの厚い円筒状の部材であって、円筒部材１８を分割した上下のケース１８ａ，１８ｂの端面が嵌まり込む溝を上下端部にエッチング又は切削加工などにより形成している。第３のケースの組立ては第１のケースと接続する下側のケース１８ｂに可撓部９４ｄの下端溝を接着剤又は溶接等により嵌め込み、さらに可撓部の上端溝に上側のケース１８ａを接着剤又は溶接等により嵌め込み形成することができる。
【００７０】
このような変形例２の力検出器によれば、ダイアフラム、シャフト、ケースに熱膨張率の異なる材料を用いても、ダンパーで、熱膨張の伸縮を吸収することができる。従ってケースの接着部分に熱膨張の伸縮による応力がかかることがないため、ハウジングの気密信頼性を維持することができる。
【００７１】
次に変形例３の力検出器について以下説明する。図１２（Ａ）（Ｂ）は変形例３の力検出器の部分破断斜視図を示している。図示のように変形例３の力検出器では、薄肉部９４ｅ（図１２（Ａ）），９４ｆ（図１２（Ｂ））をダンパーとして機能させている。その他の構成は、図５〜７に示す圧力センサー１００と同一である。薄肉部９４ｅ，９４ｆは、第１及び第２のケースと第３のケースが接着剤を介して接着する面以外の部分に、円筒側壁１８の内側又は外側を周状となる薄肉に切削加工又はエッチング加工によって形成することができる。
【００７２】
このような変形例３の力検出器によれば、ダイアフラム、シャフト、ケースに熱膨張率の異なる材料を用いても、ダンパーで、熱膨張の伸縮を吸収することができる。従ってケースの接着部分に熱膨張の伸縮による応力がかかることがないため、ハウジングの気密信頼性を維持することができる。また第３のケースの製作過程で形成することができ低コスト化を図ることができる。
【００７３】
次に変形例４の力検出器について以下説明する。図１３は変形例４の力検出器の部分破断斜視図を示している。図示のように変形例４の力検出器は、ベローズ９４ｇをダンパーとして機能させている。その他の構成は、図５〜７に示す圧力センサー１００と同一である。
【００７４】
ダンパーとして機能させるベローズ９４ｇの構成は、第３のケースとなる円筒側壁１８の上下の第１及び第２のケースとの接続箇所を除く中間部分にベローズ構造を有するように一体的に形成することができる。
【００７５】
この他にもベローズ９４ｇは、図１３に示すように第３のケースを上下に分割してなる２つの分割ケースの間に挟まれるように配置する構成とすることもできる。円筒側壁１８は第１及び第２のケースにそれぞれ個別に接着する上下のケース（第４のケース、第５のケース）１８ａ，１８ｂ（ツーピース構造）に分割されている。そしてベローズ９４ｇは、円筒側壁１８の硬度よりも硬度の低い部材により形成されていると共に、前記部材は気密性を確保できる材質を採用しており、一例として、円筒側壁１８よりも硬度の低い金属組成のステンレスとなるニッケル系合金や、真鍮、などを用いることができる。ベローズ９４ｇは円筒部材１８を分割した上下のケース１８ａ，１８ｂの端面に接着又は溶接などにより形成している。第３のケースの組立ては第１のケースと接続する下側のケース１８ｂにベローズ９４ｇの下端を接着剤又は溶接等により接着し、さらにベローズ９４ｇの上端に上側のケース１８ａを接着剤又は溶接等により接着して形成することができる。
【００７６】
このような変形例４の力検出器によれば、ダイアフラム、シャフト、ケースに熱膨張率の異なる材料を用いても、ダンパーで、熱膨張の伸縮を吸収することができる。従ってケースの接着部分に熱膨張の伸縮による応力がかかることがないため、ハウジングの気密信頼性を維持することができる。
なお上記構成によるダンパー９４は、図１に示すような圧力センサー用ハウジングに適用することもできる。
【００７７】
次に絶対圧検出のための圧力センサーについて以下説明する。図１４、１５は絶対圧検出のための圧力センサー５００の断面図である。絶対圧検出のための圧力センサー５００は特にセンターシャフトと感圧素子を同芯配置し、これらを受圧用ダイアフラムの中央領域を通る軸線上に配置した点が先の実施形態と異なる。
【００７８】
この圧力センサー５００は、中空円筒体からなる力検出器用のハウジング１２を有している。このハウジング１２は第１のケース（下端板）を構成する端板をフランジ端板１４とするとともに、第２のケース（上端板）をハーメ端子台１６ａとし、第３のケースである円筒側壁１８によって離隔配置した端板の周囲を取り囲んで中空密閉容器として構成したものである。フランジ端板１４には、内部空間と連通する圧力入力口１７がハウジング１２の軸芯と同芯に貫通されて、外部に開口されている。この開口部は第１ダイアフラム３０によって内外を遮蔽するようにされ、フランジ端板１４と一体的に結合している。ダイアフラム３０は測定対象液体の受圧用である。ハーメ端子台１６ａには圧力流入口もダイアフラムも省略された端板として構成されている。このようなハウジング１２も、内外が遮断された状態となっているとともに、図示しない空気抜き手段により内部を真空状態に保持できるようにしているのは他の実施形態と同様である。
【００７９】
円筒側壁１８は、周状の緩衝手段となるダンパー９４を形成している。ダンパー９４は前述の図７、１０−１３と同様のダンパーを適用することができ、図１４（Ａ）、（Ｂ）に示すように凹凸状に形成した凹凸部９４ａ，９４ｂを用いたり、図１４（Ｃ）、（Ｄ）に示すように可撓部９４ｃ、９４ｄを用いたり、図１５（Ｅ）、（Ｆ）に示すように薄肉部９４ｅ，９４ｆを用いたり、図１５（Ｇ）に示すようにベローズ９４ｇを用いることができる。
【００８０】
前記ハウジング１２の内部には、前記ダイアフラム３０の内面の中央領域にセンターシャフト（力伝達手段）２４が垂直に立設されており、これはハウジング４２の軸芯に沿って配置されている。そして、このセンターシャフト２４の先端部には感圧素子受け台としての可動部２６が一体的に設けられており、この可動部２６に検出軸をセンターシャフト２４と同軸となるように設定した双音叉振動子からなる感圧素子２８の一端部を取り付けるようにしている。感圧素子２８の他端部は前記ハウジング１２のハーメ端子台１６ａの中央領域に設けられている内側に突出した台座３０に接続するようにしている。これにより、受圧用ダイアフラム２０が測定対象液体の圧力を受けることにより撓むと、センターシャフト２４が軸方向に移動し、これに追随して可動部２６に連結された感圧素子２８の検出軸方向への作用力を発生させるようにしている。
【００８１】
また、上記ハウジング１２の内部には、前記センターシャフト２４と平行であって、その周囲に複数のガイドシャフトである支持棒３２ａ、３２ｂが配置されている。これらは第１のケースであるフランジ端板１４と第２のケースであるハーメ端子台１６ａとの間隔を一定に保持し、外力によるハウジング１２の変形や任意の姿勢によって検出精度が低下しないようにしているのは他の実施形態と同様である。上部端板をハーメ端子台１６ａとし、これには図示しないハーメ端子を端子台１６ａに貫通させ、感圧素子２８の信号を外部に取り出すようにしている。
【００８２】
このような絶対圧検出用の圧力センサー５００によれば、ダイアフラム、シャフト、ケースに熱膨張率の異なる材料を用いても、ダンパーで、熱膨張の伸縮を吸収することができる。従ってケースの接着部分に熱膨張の伸縮による応力がかかることがないため、ハウジングの気密信頼性を維持することができる。またオイルを必要としない圧力センサーとすることができ、絶対圧測定用の圧力センサーとした簡易構造とすることができ、コストを低減することができる。
【００８３】
またフランジ端板１４、ハーメ端子台１６ａ、並びに円筒側壁１８が真空容器としてのハウジング１２を形成し、フランジ端板１４とダイアフラム２０とが一体とされ、組み立てが簡便に行えるようにしている。受圧用のダイアフラム２０とセンターシャフト２４とは同心的に一直線上に連結され、センターシャフト２４の先端に設けた可動部２６がダイアフラム２０の挙動に応じてシャフト軸方向に移動し、双音叉振動子である感圧素子２８の検出軸方向に作用する力を生じさせる。したがって、オイルを用いることなく、検出精度の高い圧力センサーを構成でき、かつ小型で組み立てが容易な構造となる。
【００８４】
なおセンターシャフト２４と感圧素子固定用受け台としての可動部２６は、一つの部材から切削加工された一体のものであっても良い。そうすることにより可動部２６がシャフトの固定部でぶれたり、ずれることがなくなる。
【符号の説明】
【００８５】
１０，１００，５００………圧力センサー、１２………ハウジング、１４………フランジ端板（第１ケース）、１６………ハーメ端子台、１７………第１圧力入力口、１８………円筒側壁、１９………第２圧力入力口、２０………第１ダイアフラム、２２………第２ダイアフラム、２４………センターシャフト、２６………可動部、２８………感圧素子、２９………接着剤、３０………ボス部、３２ａ、３２ｂ………支持棒（ガイドシャフト）、３４………ハーメ端子、７０………第１の固定台座、７２………第１貫通孔、７４………ネジ穴、７６………第２貫通孔、８０………第２の固定台座、８２………固定部、８３………第１貫通孔、８４………取り付け部、８５………ボルト、８６………第２貫通孔、８７………ネジ穴、９０………平板、９２………ネジ、９４………ダンパー、９６………リング、９８………リッド、１０１………圧力センサー、１０２………第１の圧力入口、１０３………第２の圧力入口、１０４………筐体、１０５………力伝達部材、１０６………第１のベローズ、１０７………第２のベローズ、１０８………基板、１０９………双音叉型振動子、１１０………オイル、１１１………開口部、２０１………圧力センサー、２１０………第１のベローズ２１０、２１１………第２のベローズ、２１５………振動子接着用台座、２２０………感圧素子、２２１………補強板、２５０………補強用弾性部材、３００………圧力センサー、３１０………第１ダイアフラム、３３０………中空金属ステム、３２２………第２ダイアフラム、３５０………センシング部、３５１………チップ、３６０………力伝達部材、４００………圧力センサー、４０２………パイプ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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