(57)【要約】【課題】照明の光源として直接照明及び透過照明の２種類の照明光源を設けることを必要とせずに、直接照明及び透過照明の２種類の照明を使用した検査を実施することができる、検査装置、及び検査方法を提供する。【解決手段】検査装置は、検査対象物の少なくとも輪郭形状の検査を含む検査を実施する検査装置であって、検査対象物を保持する対象物保持手段と、対象物保持手段に保持された状態の検査対象物に臨む位置に配設された撮像手段と、対象物保持手段に保持された状態の検査対象物に対して撮像手段と同じ側の第一の方向から照明光を照射可能に配設された照明手段と、対象物保持手段に保持された状態の検査対象物に対して、第一の方向と反対側に配設されており、対象物保持手段に保持された状態の検査対象物を外れた位置又は検査対象物に形成された照明光が透過可能な部分を透過した照明光を、検査対象物の方向に反射する反射手段と、を備える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物の少なくとも輪郭形状の検査を含む検査を実施する検査装置であって、
前記検査対象物を保持する対象物保持手段と、
前記対象物保持手段に保持された状態の前記検査対象物に臨む位置に配設された撮像手段と、
前記対象物保持手段に保持された状態の前記検査対象物に対して前記撮像手段と同じ側の第一の方向から照明光を照射可能に配設された照明手段と、
前記対象物保持手段に保持された状態の前記検査対象物に対して、前記第一の方向と反対側に配設されており、前記対象物保持手段に保持された状態の前記検査対象物を外れた位置又は前記検査対象物に形成された前記照明光が透過可能な部分を透過した前記照明光を、前記検査対象物の方向に反射する反射手段と、を備えることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記照明光は白色光であり、前記反射手段は、前記照明光における一部の波長の光を反射することを特徴とする、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記反射手段は、前記反射手段によって反射された光の色が前記検査対象物の色と異なる色になる波長の光を反射することを特徴とする、請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記反射手段と前記対象物保持手段によって保持される前記検査対象物との距離は、前記撮像手段の光軸方向において、前記撮像手段の被写界深度より長いことを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項５】
前記照明手段及び前記反射手段の少なくとも一方は、前記撮像手段の光軸方向において、移動可能に支持されていることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項６】
前記対象物保持手段は、前記照明光が透過可能である載置部を備え、前記載置部の平面形状が前記検査対象物の全体を支持可能な平面形状より大きいことを特徴とする、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項７】
前記照明光は白色光であり、前記載置部は、前記照明光における一部の波長の光を透過させることを特徴とする、請求項６に記載の検査装置。
【請求項８】
前記載置部は、前記載置部を透過した光の色が前記検査対象物の色と異なる色になる波長の光を透過させることを特徴とする、請求項７に記載の検査装置。
【請求項９】
前記載置部の厚さは、前記撮像手段の光軸方向において、前記撮像手段の被写界深度より厚いことを特徴とする、請求項６乃至８のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項１０】
検査対象物の少なくとも輪郭形状を検査する検査方法であって、
前記検査対象物及び前記検査対象物を包含する範囲に、照明光を照射する照明光照射工程と、
前記照明光における前記検査対象物から外れた位置又は前記検査対象物に形成された前記照明光が透過可能な部分を透過した部分である透過光を反射する反射工程と、
反射された前記透過光における再び前記検査対象物から外れた位置又は前記検査対象物に形成された前記照明光が透過可能な部分を透過した透過反射光と、前記照明光が前記検査対象物に反射された照明反射光と、を検知することによって、前記検査対象物を撮影する撮影工程と、を有することを特徴とする検査方法。
【請求項１１】
前記照明光照射工程において照射する前記照明光は白色光であり、前記反射工程においては、前記照明光における一部の波長の光を反射することを特徴とする、請求項１０に記載の検査方法。
【請求項１２】
前記反射工程においては、前記透過反射光の色が前記検査対象物の色と異なる色になる波長の光を反射することを特徴とする、請求項１０又は１１に記載の検査方法。
【請求項１３】
前記照明光が透過可能である載置部を備えており、前記載置部の平面形状が前記検査対象物の全体を支持可能な平面形状より大きい対象物保持手段の、前記載置部に前記検査対象物を載置して保持させる検査対象物保持工程をさらに有し、
前記照明光照射工程では、前記対象物保持手段に対して前記検査対象物が保持された側から、前記検査対象物及び前記載置部に前記照明光を照射し、
前記反射工程では、前記載置部を透過した前記透過光を反射し、
前記撮影工程では、反射された前記透過光における、再び前記載置部及び前記検査対象物から外れた位置又は前記検査対象物に形成された前記照明光が透過可能な部分を透過した前記透過反射光と、前記照明反射光と、を検知することによって前記検査対象物を撮影することを特徴とする、請求項１０乃至１２のいずれか一項に記載の検査方法。
【請求項１４】
前記照明光照射工程において照射する前記照明光は白色光であり、前記載置部は、前記照明光における一部の波長の光を透過させることを特徴とする、請求項１３に記載の検査方法。
【請求項１５】
前記載置部は、前記載置部を透過した光の色が前記検査対象物の色と異なる色になる波長の光を透過させることを特徴とする、請求項１４に記載の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の少なくとも平面形状を検査する検査装置、及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、回路基板の回路パターンのような微細で複雑な平面形状を有する検査対象を検査する方法として、検査対象の画像を取得し、画像を解析することによって検査対象の平面形状の検証や付着物（異物）の有無の検出をする検査方法が実施されている。検査対象の外形形状や貫通孔などの光が透過する部分の平面形状は、検査対象の一方の側から照射された照明光の一部が検査対象によって遮られ、検査対象によって遮られることなく周囲を透過してきた透過光を撮影した画像によって好適に検査できる。検査対象の表面状態や表面上の異物は、照明光が検査対象の表面や表面上の異物に反射された反射光を撮影した画像によって好適に検査することができる。
【０００３】
特許文献１には、直接照明及び透過照明の２種類の照明を使用し、直接照明の照明光が検査対象のテープ部材に反射された反射光と、透過照明の照明光がテープ部材を透過した透過光とを撮影して、貫通穴の形状を含む外形形状及び観察面の形状、並びに異物の有無を検査できるテープ部材の検査装置が開示されている。特許文献１によれば、２種類の照明を備え、同時に使用することで、検査時間を短縮することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２１２１５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示されたような装置では、照明の光源として直接照明及び透過照明の２種類が必要であり、検査装置が大きくなるという課題があった。また、透過照明の色が検査対象物の色と似ていると、透過光と検査対象物からの反射光との分別が困難になり良好な検査が実施できないために、照明の色、特に透過照明の色を変える必要があり、検査対象物に対応して照明の光源を交換する必要があるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかる検査装置は、検査対象物の少なくとも輪郭形状の検査を含む検査を実施する検査装置であって、前記検査対象物を保持する対象物保持手段と、前記対象物保持手段に保持された状態の前記検査対象物に臨む位置に配設された撮像手段と、前記対象物保持手段に保持された状態の前記検査対象物に対して前記撮像手段と同じ側の第一の方向から照明光を照射可能に配設された照明手段と、前記対象物保持手段に保持された状態の前記検査対象物に対して、前記第一の方向と反対側に配設されており、前記対象物保持手段に保持された状態の前記検査対象物を外れた位置又は前記検査対象物に形成された前記照明光が透過可能な部分を透過した前記照明光を、前記検査対象物の方向に反射する反射手段と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
本適用例にかかる検査装置によれば、検査対象物に対して撮像手段と同じ側の第一の方向から照明光を照射可能に配設された照明手段によって検査対象物に照明光を照射することで、撮像手段を用いて、検査対象物における照明光によって照明された面の像を撮影することができる。
検査対象物に対して、第一の方向と反対側に配設された反射手段によって、検査対象物を外れた部分又は検査対象物に形成された照明光が透過可能な部分を透過した照明光を検査対象物の方向に反射することで、反射光が検査対象物を外れた部分又は検査対象物に形成された照明光が透過可能な部分を再度透過した透過光（「透過反射光」と表記する。）を、形成することができる。当該透過反射光を、撮像手段を用いて撮影することで、検査対象物の光を透過させない部分の輪郭形状を撮影することができる。
撮像手段と同じ側に照明手段を設け、撮像手段及び照明手段と反対側に反射手段を設けることによって、単一の照明手段を用いて、反射光による撮影と、透過光による撮影とを同時に実施して、撮影した画像を用いて検査対象物の検査を実施することができる。
一般的に、検査対象の外形形状や貫通孔などの光が透過する部分の平面形状は、検査対象の一方の側から照射された照明光の一部が検査対象によって遮られ、検査対象によって遮られることなく周囲を透過してきた透過光を撮影した画像によって好適に検査できる。検査対象の表面状態や表面上の異物は、照明光が検査対象の表面や表面上の異物に反射された反射光を撮影した画像によって好適に検査することができる。
【０００９】
［適用例２］上記適用例にかかる検査装置は、前記照明光が白色光であり、前記反射手段が、前記照明光における一部の波長の光を反射することが好ましい。
【００１０】
この検査装置によれば、照明光は白色光であるため、照明光が検査対象物に反射された反射光は、検査対象物の色になる。このため、当該反射光による撮影で、照明光によって照明された検査対象物の色の像を撮影することができる。反射手段は、照明光における一部の波長の光を反射するため、反射手段による反射光を、反射手段が反射する波長によって定まる色の光にすることができる。これにより、反射手段が反射した反射光が検査対象物を外れた部分又は検査対象物に形成された照明光が透過可能な部分を再度透過した透過光を、反射手段が反射する波長によって定まる色の光にすることができる。
【００１１】
［適用例３］上記適用例にかかる検査装置は、前記反射手段が、前記反射手段によって反射された光の色が前記検査対象物の色と異なる色になる波長の光を反射することが好ましい。
【００１２】
この検査装置によれば、反射手段による反射光の色が検査対象物の色とは異なっている。これにより、反射光が検査対象物を外れた部分又は検査対象物に形成された照明光が透過可能な部分を透過した透過光を撮影した画像の色を、検査対象物の色とは異なる色にすることができる。透過光による画像における影の部分は、検査対象物が存在する部分であって、照明光を反射する部分である。当該部分は照明光によって照明されており、白色の照明光が反射された反射光の色は検査対象物の色であって、検査対象物の色の像が形成される。反射手段による反射光の色を検査対象物の色と異ならせることによって、透過光による画像における、透過光の像と影の部分の像との色を異ならせて、画像における透過光の像と影の部分の像との境界を分かり易くすることができる。
【００１３】
［適用例４］上記適用例にかかる検査装置は、前記反射手段と前記対象物保持手段によって保持される前記検査対象物との距離が、前記撮像手段の光軸方向において、前記撮像手段の被写界深度より長いことが好ましい。
【００１４】
この検査装置によれば、検査対象物と反射手段との距離が撮像手段の被写界深度より長い。このため、検査対象物を撮影するために検査対象物に焦点距離を合わせた撮像手段によって撮影される画像において、反射手段の面の像は、焦点が合わない像となる。反射手段の面に埃などの付着物が存在しても、埃の像は、検査対象物を撮影した画像においては明確な像とはならない。これにより、反射手段の面の付着物などに起因して検査対象物の検査用の画像が損なわれることを抑制することができる。
【００１５】
［適用例５］上記適用例にかかる検査装置は、前記照明手段及び前記反射手段の少なくとも一方が、前記撮像手段の光軸方向において、移動可能に支持されていることが好ましい。
【００１６】
この検査装置によれば、照明手段及び反射手段の少なくとも一方は、撮像手段の光軸方向において移動可能である。したがって、照明手段又は反射手段と、検査対象物との距離を変えることができる。照明手段又は反射手段と、検査対象物との距離が変化すると、照明手段から射出された照明光又は反射手段に反射された反射光が照射される範囲が変化するため、単位面積あたりの光量、すなわち照度が変化する。照明手段又は反射手段と、検査対象物との距離を調整することで、検査対象物の照度を調整することができる。
【００１７】
［適用例６］上記適用例にかかる検査装置は、前記対象物保持手段が、前記照明光が透過可能である載置部を備え、前記載置部の平面形状が前記検査対象物の全体を支持可能な平面形状より大きいことが好ましい。
【００１８】
この検査装置によれば、対象物保持手段は、照明光が透過可能であるため、照射された照明光は対象物保持手段を透過して、反射手段に至ることができる。載置部の平面形状が検査対象物の全体を支持可能な平面形状より大きいため、透過光が透過させられる領域で、検査対象物の全体を囲むことができる。これにより、検査用に撮影される画像において、透過光の像で検査対象物の像を囲んで、検査対象物の全外周において、輪郭形状を明確にすることができる。
【００１９】
［適用例７］上記適用例にかかる検査装置は、前記照明光が白色光であり、前記載置部が、前記照明光における一部の波長の光を透過させることが好ましい。
【００２０】
この検査装置によれば、対象物保持手段は、白色光である照明光における一部の波長の光を透過させるため、対象物保持手段が照明光を透過させた透過光を、対象物保持手段が透過させる波長によって定まる色の光にすることができる。これにより、対象物保持手段が透過させて、反射手段が反射し、再び対象物保持手段が透過させた光が検査対象物を外れた部分又は検査対象物に形成された照明光が透過可能な部分を再度透過した透過光を、対象物保持手段が透過させる波長によって定まる色の光にすることができる。
【００２１】
［適用例８］上記適用例にかかる検査装置は、前記載置部が、前記載置部を透過した光の色が前記検査対象物の色と異なる色になる波長の光を透過させることが好ましい。
【００２２】
この検査装置によれば、対象物保持手段が透過させる光の色が検査対象物の色とは異なっている。これにより、反射手段が反射して、対象物保持手段が透過させた光が検査対象物を外れた部分又は検査対象物に形成された照明光が透過可能な部分を透過した透過光を撮影した画像の色を、検査対象物の色とは異なる色にすることができる。透過光による画像における影の部分は、検査対象物が存在する部分であって、照明光を反射する部分である。当該部分は照明光によって照明されており、白色の照明光による検査対象物の色の像が形成されている。対象物保持手段が透過させる光の色が検査対象物の色とは異なることによって、画像における、透過光の像と影の部分の像との色を異ならせて、画像における透過光の像と影の部分の像との境界を分かり易くすることができる。
【００２３】
［適用例９］上記適用例にかかる検査装置は、前記載置部の厚さが、前記撮像手段の光軸方向において、前記撮像手段の被写界深度より厚いことが好ましい。
【００２４】
この検査装置によれば、載置部の厚さは、撮像手段の被写界深度より厚い。このため、検査対象物を撮影するために検査対象物に焦点距離を合わせた撮像手段によって撮影される画像において、載置部における検査対象物を載置する面と反対側の面の像は、焦点が合わない像となる。当該反対側の面に埃などの付着物が存在しても、埃の像は、検査対象物を撮影した画像においては明確な像とはならない。これにより、載置部の付着物などに起因して検査対象物の検査用の画像が損なわれることを抑制することができる。
【００２５】
［適用例１０］本適用例にかかる検査方法は、検査対象物の少なくとも輪郭形状を検査する検査方法であって、前記検査対象物及び前記検査対象物を包含する範囲に、照明光を照射する照明光照射工程と、前記照明光における前記検査対象物から外れた位置又は前記検査対象物に形成された前記照明光が透過可能な部分を透過した部分である透過光を反射する反射工程と、反射された前記透過光における再び前記検査対象物から外れた位置又は前記検査対象物に形成された前記照明光が透過可能な部分を透過した透過反射光と、前記照明光が前記検査対象物に反射された照明反射光と、を検知することによって、前記検査対象物を撮影する撮影工程と、を有することを特徴とする。
【００２６】
本適用例にかかる検査方法によれば、照明光照射工程において検査対象物に照明光を照射し、撮影工程において照明反射光を検知することによって検査対象物を撮影することで、反射光による撮影を実施することができる。
照明光照射工程において検査対象物を包含する範囲に照明光を照射することで、検査対象物から外れた位置又は検査対象物に形成された照明光が透過可能な部分を透過した透過光を形成することができる。反射工程において透過光を反射することで、反射された透過光を再び検査対象物に照射することができる。反射された透過光を再び検査対象物に照射することで、反射光が検査対象物を外れた部分又は検査対象物に形成された照明光が透過可能な部分を再度透過した透過反射光を、形成することができる。撮影工程において、透過反射光を検知して検査対象物を撮影することで、検査対象物の光を透過させない部分の輪郭形状を撮影することができる。
これにより、単一の照明光照射工程を実施することで、撮影工程において、反射光による撮影と、透過光による撮影とを同時に実施して、撮影した画像を用いて検査対象物の検査を実施することができる。
【００２７】
［適用例１１］上記適用例にかかる検査方法は、前記照明光照射工程において照射する前記照明光が白色光であり、前記反射工程においては、前記照明光における一部の波長の光を反射することが好ましい。
【００２８】
この検査方法によれば、照明光は白色光であるため、照明光が検査対象物に反射された照明反射光は、検査対象物の色になる。このため、照明反射光による撮影で、照明光によって照明された検査対象物の色の像を撮影することができる。反射工程では、照明光における一部の波長の光を反射するため、反射工程による反射光を、反射工程において反射する波長によって定まる色の光にすることができる。これにより、反射工程において反射された反射光が検査対象物を外れた部分又は検査対象物に形成された照明光が透過可能な部分を再度透過した透過反射光を、反射工程において反射する波長によって定まる色の光にすることができる。
【００２９】
［適用例１２］上記適用例にかかる検査方法は、前記反射工程においては、前記透過反射光の色が前記検査対象物の色と異なる色になる波長の光を反射することが好ましい。
【００３０】
この検査方法によれば、透過反射光の色が検査対象物の色とは異なっている。これにより、透過反射光を撮影した画像の色を、検査対象物の色とは異なる色にすることができる。すなわち、検査対象物を外れた部分又は検査対象物に形成された照明光が透過可能な部分の像の色を、検査対象物の色とは異なる色にすることができる。透過反射光による画像における影の部分は、検査対象物が存在する部分であって、照明光を反射する部分である。当該部分は照明光によって照明されており、白色の照明光が反射された照明反射光の色は検査対象物の色であって、検査対象物の色の像が形成される。反射工程における反射光の色を検査対象物の色と異ならせることによって、画像における、透過反射光の像と照明反射光の像との色を異ならせて、画像における透過光の像と照明反射光の像との境界を分かり易くすることができる。
【００３１】
［適用例１３］上記適用例にかかる検査方法は、前記照明光が透過可能である載置部を備えており、前記載置部の平面形状が前記検査対象物の全体を支持可能な平面形状より大きい対象物保持手段の、前記載置部に前記検査対象物を載置して保持させる検査対象物保持工程をさらに有し、前記照明光照射工程では、前記対象物保持手段に対して前記検査対象物が保持された側から、前記検査対象物及び前記載置部に前記照明光を照射し、前記反射工程では、前記載置部を透過した前記透過光を反射し、前記撮影工程では、反射された前記透過光における、再び前記載置部及び前記検査対象物から外れた位置又は前記検査対象物に形成された前記照明光が透過可能な部分を透過した前記透過反射光と、前記照明反射光と、を検知することによって前記検査対象物を撮影することが好ましい。
【００３２】
この検査方法によれば、対象物保持手段は、照明光が透過可能であるため、照射された照明光の中で検査対象物から外れた位置又は検査対象物に形成された照明光が透過可能な部分を透過した透過光を透過させることができる。載置部の平面形状が検査対象物の全体を支持可能な平面形状より大きいため、透過光が透過させられる領域で、検査対象物の全体を囲むことができる。これにより、検査用に撮影される画像において、透過反射光の像で検査対象物の像を囲んで、検査対象物の全外周において、輪郭形状を明確にすることができる。
【００３３】
［適用例１４］上記適用例にかかる検査方法は、前記照明光照射工程において照射する前記照明光が白色光であり、前記載置部が、前記照明光における一部の波長の光を透過させることが好ましい。
【００３４】
この検査方法によれば、対象物保持手段は、照明光における一部の波長の光を透過させるため、対象物保持手段が照明光を透過させた透過光を、対象物保持手段が透過させる波長によって定まる色の光にすることができる。これにより、対象物保持手段が透過させて、反射工程において反射し、再び対象物保持手段が透過させた光が検査対象物を外れた部分又は検査対象物に形成された照明光が透過可能な部分を再度透過した透過反射光を、対象物保持手段が透過させる波長によって定まる色の光にすることができる。
【００３５】
［適用例１５］上記適用例にかかる検査方法は、前記載置部が、前記載置部を透過した光の色が前記検査対象物の色と異なる色になる波長の光を透過させることが好ましい。
【００３６】
この検査方法によれば、対象物保持手段が透過させる光の色が検査対象物の色とは異なっている。これにより、反射工程において反射されて、対象物保持手段が透過させた光が検査対象物を外れた部分又は検査対象物に形成された照明光が透過可能な部分を透過した透過光を撮影した画像の色を、検査対象物の色とは異なる色にすることができる。透過光による画像における影の部分は、検査対象物が存在する部分であって、照明光を反射する部分である。当該部分は照明光によって照明されており、白色の照明光による検査対象物の色の像が形成されている。対象物保持手段が透過させる光の色が検査対象物の色とは異なることによって、画像における、透過光の像と影の部分の像との色を異ならせて、画像における透過光の像と影の部分の像との境界を分かり易くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】（ａ）は、液滴吐出装置全体の概略構成を示す外観斜視図。（ｂ）は、液滴吐出装置が備える液滴吐出ヘッドの概略構成を示す外観斜視図。（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視断面図。（ｄ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの部分の構造を示す断面図。
【図２】（ａ）はマザー振動板の概略平面図。（ｂ）はマザー振動板に区画形成された振動板区画を拡大した平面図。（ｃ）は、（ｂ）にＡ−Ａで示した断面における断面形状を示す概略断面図。
【図３】外観検査装置の概要を示す説明図。
【図４】（ａ）は、マザー振動板における不良の例を示す説明図。（ｂ）は、外観検査装置における、検査対象物の周囲の主要構成及び照明光の概要を示す説明図。
【図５】（ａ）は、マザー基板治具を用いる外観検査装置における、検査対象物の周囲の主要構成及び照明光の概要を示す説明図。（ｂ）は、マザー基板治具を用いる外観検査装置における、検査対象物の周囲の主要構成及び照明光の概要を示す説明図。（ｃ）は、リール装置を備えている外観検査装置における、検査対象物の周囲の主要構成及び照明光の概要を示す説明図。
【発明を実施するための形態】
【００３８】
以下、検査装置、及び検査方法について、図面を参照して説明する。本実施形態は、液滴吐出ヘッドを構成する振動板が区画形成されたマザー振動板の外観検査を実施するための外観検査装置、及び外観検査工程を例にして説明する。なお、以下の説明において参照する図面では、図示の便宜上、部材又は部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。
【００３９】
＜液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッド＞
最初に、検査対象である振動板１０を有する液滴吐出ヘッド２０を備える液滴吐出装置１について、図１を参照して説明する。図１は、液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッドの概略構成を示す図である。図１（ａ）は、液滴吐出装置全体の概略構成を示す外観斜視図であり、図１（ｂ）は、液滴吐出装置が備える液滴吐出ヘッドの概略構成を示す外観斜視図であり、図１（ｃ）は、液滴吐出ヘッドの構造を示す斜視断面図であり、図１（ｄ）は、液滴吐出ヘッドの吐出ノズルの部分の構造を示す断面図である。
【００４０】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッド２０を有するヘッド機構部２と、液滴吐出ヘッド２０から吐出された液滴の吐出対象であるワークＷを載置するワーク載置台７を有するワーク機構部３と、液滴吐出ヘッド２０への液状体の供給を行う液状体供給部４と、液滴吐出ヘッド２０の保守を行うメンテナンス装置部５と、を備えている。また、これら各機構部等を総括的に制御する吐出装置制御部６を備えている。
【００４１】
定盤９の上面には、ワーク機構部３が配設されている。ワーク機構部３は、定盤９の長手方向（Ｘ軸方向）に延在している。ワーク機構部３の上方には、定盤９に固定された２本の支持柱で支持されているヘッド機構部２が配設されている。ヘッド機構部２は、ワーク機構部３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在している。定盤９の傍らには、ヘッド機構部２の液滴吐出ヘッド２０に連通する供給管を有する液状体供給部４の液状体タンクなどが配置されている。ヘッド機構部２の一方の支持柱の近傍には、メンテナンス装置部５がワーク機構部３と並んでＸ軸方向に延在して配設されている。さらに、定盤９の下側に、吐出装置制御部６が収容されている。
【００４２】
ヘッド機構部２は、液滴吐出ヘッド２０を有するヘッドユニット２１と、ヘッドユニット２１を支持するヘッドキャリッジ２２とを有し、ヘッドキャリッジ２２をＹ軸方向に移動させることで、液滴吐出ヘッド２０をＹ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。ワーク機構部３は、ワーク載置台７をＸ軸方向に移動させることで、ワーク載置台７に載置されたワークＷをＸ軸方向に自在に移動させる。また、移動した位置に保持する。
【００４３】
液滴吐出ヘッド２０を、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動させて停止させ、下方にあるワークＷのＸ軸方向の移動に同調させて、液状体を液滴として吐出させる。Ｘ軸方向に移動させるワークＷと、Ｙ軸方向に移動させる液滴吐出ヘッド２０とを相対的に制御することにより、ワークＷ上の任意の位置に液滴を着弾させることで、所望する描画などを行うことが可能である。
【００４４】
図１（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、ノズル基板２３を備えている。ノズル基板２３には、多数の吐出ノズル２４が略一直線状に並んだノズル列２４Ａが２列形成されている。吐出ノズル２４から液状体を液滴として吐出し、対向する位置にあるワークＷなどに着弾させることで、当該位置に液状体を配置する。ノズル列２４Ａは、液滴吐出ヘッド２０が液滴吐出装置１に装着された状態で、図１（ａ）に示したＹ軸方向に延在している。ノズル列２４Ａにおいて吐出ノズル２４は等間隔のノズルピッチで並んでおり、２列のノズル列２４Ａ間で、吐出ノズル２４の位置がＹ軸方向に半ノズルピッチずれている。したがって、液滴吐出ヘッド２０としては、Ｙ軸方向に半ノズルピッチ間隔で液状体の液滴を配置することができる。
【００４５】
図１（ｃ）及び（ｄ）に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、振動板１０を備えている。振動板１０と、ノズル基板２３との間には、液状体供給部４の液状体タンクから供給孔１５を介して供給される材料液が常に充填される液たまり２５が位置している。また、振動板１０と、ノズル基板２３との間には、複数のヘッド隔壁２７が位置している。そして、振動板１０と、ノズル基板２３と、１対のヘッド隔壁２７とによって囲まれた空間がキャビティー２８である。キャビティー２８は吐出ノズル２４に対応して設けられているため、キャビティー２８の数と吐出ノズル２４の数とは同じである。キャビティー２８には、１対のヘッド隔壁２７間に位置する供給口２６を介して、液たまり２５から材料液が供給される。ヘッド隔壁２７とキャビティー２８と吐出ノズル２４と供給口２６との組は、液たまり２５に沿って１列に並んでおり、１列に並んだ吐出ノズル２４がノズル列２４Ａを形成している。図１（ｃ）では図示省略したが、図示した吐出ノズル２４を含むノズル列に対して液たまり２５に関して略対称位置に、１列に並んだ吐出ノズル２４がもうひとつのノズル列２４Ａを形成しており、対応するヘッド隔壁２７とキャビティー２８と供給口２６との組が、１列に並んでいる。
【００４６】
振動板１０は、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ：Poly  Phenylene  Sulfide）から成るフィルム１１と、ステンレス鋼板から成る金属板１２とが貼り合わされて形成されている。フィルム１１は、無色透明なシートである。金属板１２をエッチングなどによって処理することで、枠板１２ａと、それぞれのキャビティー２８に対応するアイランド板１２ｂとが形成されている。それぞれのアイランド板１２ｂには、圧電素子１７の一端が固定されている。圧電素子１７の他端は、固定板（図示省略）を介して液滴吐出ヘッド２０全体を支持する基台（図示省略）に固定されている。
【００４７】
アイランド板１２ｂは、その面積がキャビティー２８のフィルム１１への投影面積より小さい大きさであり、形成されている位置が、フィルム１１上でキャビティー２８と対向し、フィルム１１の厚み方向においてヘッド隔壁２７と重ならないような位置であるように、形成されている。即ち、フィルム１１のキャビティー２８に臨んで当該キャビティー２８を形成している部分には、アイランド板１２ｂと重なる部分と、当該アイランド板１２ｂと重なる部分を囲む部分であってアイランド板１２ｂともヘッド隔壁２７とも重ならない部分とがある。当該アイランド板１２ｂともヘッド隔壁２７とも重ならない、略方形環形状の部分を、以降、フィルム変形部１１ａと表記する。
【００４８】
圧電素子１７は電極層と圧電材料とを積層した活性部を有し、電極層に駆動電圧を印加することで、活性部が長手方向（図１（ｄ）ではフィルム１１の厚さ方向）に縮む。活性部が縮むことで、圧電素子１７に固定されたアイランド板１２ｂがキャビティー２８と反対側に引張られる力を受ける。アイランド板１２ｂがキャビティー２８と反対側に引張られることで、アイランド板１２ｂが貼り付けられたフィルム１１がキャビティー２８の反対側に撓む。これにより、キャビティー２８の容積が増加することから、液状材料が液たまり２５から供給口２６を経てキャビティー２８に供給される。次に、電極層に印加されていた駆動電圧が解除されると、活性部が元の長さに戻ることで、圧電素子１７がアイランド板１２ｂを押圧する。アイランド板１２ｂが押圧されることで、アイランド板１２ｂが貼り付けられたフィルム１１がキャビティー２８側に戻る。これにより、キャビティー２８の容積が急激に元に戻る、即ち増加していた容積が減少することから、キャビティー２８内に充填されていた液状材料に圧力が加わり、当該キャビティー２８に連通して形成された吐出ノズル２４から液状材料が液滴となって吐出される。
【００４９】
圧電素子１７が、アイランド板１２ｂに押圧力又は引張り力を加えると、ステンレス鋼板で構成された剛性の高いアイランド板１２ｂは、殆ど変形することなく、フィルム１１に押圧力又は引張り力を加える。フィルム１１は、アイランド板１２ｂが貼り付けられた部分に比べて剛性が小さいフィルム変形部１１ａが変形して撓むため、キャビティー２８の容積は略アイランド板１２ｂの面積の壁が移動することで増減する。
【００５０】
＜マザー振動板＞
次に、振動板１０が区画形成されたマザー振動板１０Ａについて、図２を参照して説明する。振動板１０は、マザー振動板１０Ａの形態で製造されて、個別の振動板１０に分割される。アイランド板１２ｂなどの形状や傷の有無などの外観検査も、マザー振動板１０Ａの形態で実施される。図２は、振動板が区画形成されたマザー振動板を示す概略図である。図２（ａ）はマザー振動板の概略平面図であり、図２（ｂ）はマザー振動板に区画形成された振動板区画を拡大した平面図であり、図２（ｃ）は、図２（ｂ）にＡ−Ａで示した断面における断面形状を示す概略断面図である。
【００５１】
図２（ａ）に示すように、マザー振動板１０Ａには、１枚の振動板１０に相当する振動板区画１０ａが１８面区画形成されている。上述したように、マザー振動板１０Ａはポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）から成るフィルム１１と、ステンレス鋼板から成る金属板１２とが貼り合わされて形成されており、金属板１２をエッチングすることで溝３４が形成されている。図２（ｃ）に示すように、フィルム１１と金属板１２とは、接着層１４によって、互いに貼り合わされている。図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように、溝３４で囲まれた１区画の金属板１２と、当該金属板１２と貼り合わされたフィルム１１とが、１枚の振動板１０となる振動板区画１０ａに相当する。溝３４の底にあたる部分のフィルム１１を図２に示した切断予定線３８の位置で切断することで、マザー振動板１０Ａから個々の振動板１０を切離す。マザー振動板１０Ａの周囲の周辺板１２ｃには、４隅のうち２個所に調整マーク３１が、他の２個所に加工基準孔３２が形成されている。調整マーク３１は、マザー振動板１０Ａを切断予定線３８で切断する際の位置合わせ用のマークである。加工基準孔３２は、金属板１２をエッチングする際の位置決め用の孔である。
【００５２】
図２（ｂ）及び図２（ｃ）に示すように、振動板区画１０ａには、２個所の組立基準孔１８と、上述した供給孔１５が形成されている。組立基準孔１８は、振動板１０を液滴吐出ヘッド２０に組み込む際の位置決め用の孔である。組立基準孔１８及び供給孔１５は、加工基準孔３２と一緒に、プレス加工などによって形成される。
振動板区画１０ａには、また、上述した枠板１２ａ、及びキャビティー２８に対応するアイランド板１２ｂが形成されている。枠板１２ａ及びアイランド板１２ｂは、金属板１２をエッチングして空間部３３、及び溝３４の部分の金属板を除去することで形成される。枠板１２ａ及びアイランド板１２ｂを形成する際に、調整マーク３１も同時にエッチング形成される。エッチングの際に加工基準孔３２を基準としてエッチングを行い、振動板１０を液滴吐出ヘッド２０に組み込む際に、加工基準孔３２と同時に加工された組立基準孔１８を位置決め孔とすることで、アイランド板１２ｂとキャビティー２８との位置誤差を最小限の誤差にすることができる。アイランド板１２ｂの形状精度やキャビティー２８に対する位置精度は、吐出ノズル２４からの液状材料の吐出特性を決定する重要な要因の一つである。
【００５３】
なお、図２ではアイランド板１２ｂの形状及び配列を分かり易く示すために、それらの幅及び間隔を実際よりも大幅に広く描いている。よって、アイランド板１２ｂの本数が少なく描かれているが、実際には、アイランド板１２ｂは図２に書かれた本数より多数のアイランド板１２ｂが振動板区画１０ａ上に形成されている。
【００５４】
＜外観検査装置＞
次に、本実施形態で用いる外観検査装置４０について、図３を参照して説明する。図３は、外観検査装置の概要を示す説明図である。外観検査装置４０が、検査装置に相当する。
図３に示すように、外観検査装置４０は、撮像装置４１と、照明装置４３と、撮像装置昇降機構６１と、基板移動機構５１と、制御ユニット７１と、を備えている。
【００５５】
基板移動機構５１は、Ｘ軸スライド機構５２と、Ｙ軸スライド機構５３と、回動機構５４と、ステージ５５と、を備えている。
ステージ５５は、ステージ枠５５ｂとステージパネル５５ａと、図示省略したワーク固定機構とを備えている。ステージパネル５５ａは、無色透明なガラスで形成されている。ステージ枠５５ｂは、中央にステージ開口５５ｃが形成された枠体である。ステージ枠５５ｂの上にステージパネル５５ａが、着脱可能に固定されている。
【００５６】
マザー振動板１０Ａを、ステージパネル５５ａに載置して、ワーク固定機構を用いて固定することによって、マザー振動板１０Ａを外観検査装置４０に固定する。ステージ開口５５ｃの開口の大きさは、マザー振動板１０Ａの全体を包含可能な大きさであり、ステージパネル５５ａにおけるステージ開口５５ｃが臨む部分だけで、ステージパネル５５ａに載置されたマザー振動板１０Ａの全体を支持することができる。言い換えると、ステージ開口５５ｃを透過する光によって、ステージパネル５５ａに載置されたマザー振動板１０Ａの全体及び周囲を照射することが可能である。ステージパネル５５ａにおけるステージ開口５５ｃが臨む部分が、載置部に相当する。基板移動機構５１、ステージ５５、又はステージパネル５５ａが対象物保持手段に相当する。
【００５７】
回動機構５４は、固定回動枠５４ａと回動枠５４ｂとを備えており、固定回動枠５４ａは、ステージ５５の面に垂直な方向のＺ軸回りに回動自在かつ任意の位置に保持可能に、回動枠５４ｂを支持している。ステージ５５は、ステージ枠５５ｂが回動枠５４ｂに固定されており、回動機構５４によってＺ軸回りに回動自在かつ任意の位置に保持可能である。ステージ５５上に固定されたマザー振動板１０Ａは、回動機構５４によって、Ｚ軸回りに回動自在かつ任意の方向に保持可能である。
回動機構５４は、固定回動枠５４ａがＹ軸スライド機構５３に固定されており、Ｙ軸スライド機構５３によってＹ軸方向に移動自在かつ任意の位置に保持可能である。Ｙ軸方向は、図３に矢印Ｙで示した方向である。ステージ５５上に固定されたマザー振動板１０Ａは、Ｙ軸スライド機構５３によって、Ｙ軸方向に移動自在かつ任意の位置に保持可能である。
Ｙ軸スライド機構５３は、Ｘ軸スライド機構５２に固定されており、Ｘ軸スライド機構５２によってＸ軸方向に移動自在かつ任意の位置に保持可能である。Ｘ軸方向は、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に直交する方向である。ステージ５５上に固定されたマザー振動板１０Ａは、Ｘ軸スライド機構５２によって、Ｘ軸方向に移動自在かつ任意の位置に保持可能である。
【００５８】
回動枠５４ｂの中央には、回動枠開口５４ｃが形成されている。回動枠５４ｂが支持されている固定回動枠５４ａにおける回動枠開口５４ｃに臨む部分には、照明装置４３が備える反射パネル支持機構４７が配設されている。反射パネル支持機構４７には反射パネル４６が固定されており、反射パネル４６は、反射パネル支持機構４７によって、Ｚ軸方向に移動自在かつ任意の位置に保持可能に支持されている。
回動枠開口５４ｃは、回動枠５４ｂに固定されたステージ枠５５ｂのステージ開口５５ｃに連通している。反射パネル支持機構４７に支持されている反射パネル４６は、ステージ開口５５ｃの中に位置している。反射パネル４６とステージ開口５５ｃの内壁との間には、ステージ枠５５ｂが回動しても反射パネル４６とステージ開口５５ｃの内壁とが干渉しない大きさの隙間が形成されている。
【００５９】
反射パネル４６は、平板形状を有し、ステージ開口５５ｃの一端を塞ぐ状態でステージ枠５５ｂに固定されているステージパネル５５ａに臨む面に反射面４６ａが形成されている。反射面４６ａは、図示省略した色フィルターで覆われており、当該色フィルターが選択的に透過させる波長の光が反射面４６ａに入射して反射される。すなわち、白色光が反射パネル４６によって反射された反射光は、当該色フィルターの色によって定まる色（波長）の光となる。
カメラ４２によって撮影される画像において、空間部３３や溝３４の部分の像の色は、ほとんど反射光の色によって定まるため、反射パネル４６が選択的に反射する光の波長は、反射光の色が、枠板１２ａやアイランド板１２ｂなどの色と異なる色となる光の波長を選択することが好ましい。
【００６０】
反射パネル４６は、反射面４６ａがステージパネル５５ａのマザー振動板１０Ａを載置する面に略平行となるように設けられている。ステージパネル５５ａのマザー振動板１０Ａを載置する面に上側（ステージ枠５５ｂと反対側）から入射した光は、ステージパネル５５ａを透過して、反射面４６ａによって反射される。反射面４６ａによって反射された反射光は、ステージパネル５５ａの下面（ステージ枠５５ｂの側の面）からステージパネル５５ａに入射し、透過して、ステージパネル５５ａのマザー振動板１０Ａを載置する面から射出される。反射パネル４６が、反射手段に相当する。
【００６１】
外観検査装置４０の撮像装置４１は、カメラ４２と、撮像レンズ４２ａと、を備えている。カメラ４２は、ステージパネル５５ａのマザー振動板１０Ａを載置する面に臨んでおり、撮像レンズ４２ａを介して、ステージ５５のステージパネル５５ａに固定されたマザー振動板１０Ａを撮影することができる。撮像装置４１又はカメラ４２が、撮像手段に相当する。
【００６２】
照明装置４３は、リング照明４４とリング照明支持機構４５と、上述した反射パネル４６及び反射パネル支持機構４７と、を備えている。
リング照明４４は、照明用の光を射出する複数の照明素子４４ａと、照明素子４４ａが固定されたリング枠４４ｂとを備えている。リング枠４４ｂは環形状であり、リング枠４４ｂに固定された照明素子４４ａは環状に配列している。照明素子４４ａが射出する照明光は、白色光である。リング照明４４又は照明素子４４ａが、照明手段に相当する。
【００６３】
リング照明４４は、リング枠４４ｂがリング照明支持機構４５に固定されており、リング照明支持機構４５を介してカメラ４２の枠体に取り付けられている。環形状のリング枠４４ｂが、カメラ４２又は撮像レンズ４２ａに遊嵌しており、リング枠４４ｂに環状に配列して固定されている照明素子４４ａが、カメラ４２及び撮像レンズ４２ａを取り囲む位置に配置されている。照明素子４４ａから射出された照明光は、カメラ４２の撮像領域を照明することができる。
リング照明支持機構４５は、カメラ４２に対して、カメラ４２の光軸方向に移動自在かつ任意の位置に保持可能に、リング照明４４を支持している。リング照明４４がリング照明支持機構４５によって、カメラ４２に対して移動させられることで、カメラ４２の撮影面におけるリング照明４４の照明光で照明されている領域の大きさを調整することができる。言い換えると、カメラ４２の撮影面における単位面積当たりの照明光量を調整して、撮影面の明るさを調整することができる。
【００６４】
撮像装置昇降機構６１は、固定部６２と、昇降部６３と、昇降センサー６６とを備えている。昇降部６３は、固定部６２に保持されており、昇降モーター（図示省略）によって、Ｚ軸方向に移動自在かつ任意の位置に保持可能である。カメラ４２は、昇降部６３に固定されており、撮像装置昇降機構６１によってカメラ４２をＺ軸方向に昇降させることで、Ｚ軸方向におけるカメラ４２の焦点位置を調整可能である。昇降センサー６６は、固定部６２に固定された本体に対する昇降部６３の位置を測定することによって、固定部６２に対する昇降部６３の位置を測定する。昇降センサー６６によって、ステージ５５の面などを基準位置として、当該基準位置に対するカメラ４２の焦点位置を測定することができる。
【００６５】
上記各構成を制御する制御部としての制御ユニット７１は、メインコンピューター７２を備えており、メインコンピューター７２は、外観検査装置４０を統括制御する制御装置７６を備えている。また、メインコンピューター７２には、吐出ノズル２４の測定の際に用いられる各種データを入力する入力装置７４と、測定結果や良否判定などの各種情報を表示する表示装置７３が接続されている。
【００６６】
外観検査対象のマザー振動板１０Ａは、ステージ５５のステージパネル５５ａの上に固定される。検査は、振動板区画１０ａの単位で実施され、検査対象の振動板区画１０ａは、基板移動機構５１によってＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させられて、撮像装置４１の撮像位置に位置する。撮像装置４１が撮像装置昇降機構６１によってＺ方向に移動させられて、カメラ４２の焦点位置が、検査対象のマザー振動板１０Ａの位置にあわされて、当該位置の画像が取得されることで、当該マザー振動板１０Ａの外観検査が実施される。
【００６７】
＜外観検査工程＞
次に、外観検査装置４０を用いてマザー振動板１０Ａの外観検査を実施する際の照明光について、図４を参照して説明する。図４は、マザー振動板の外観検査における検査対象及び外観検査装置の概要を示す説明図である。図４（ａ）は、マザー振動板における不良の例を示す説明図であり、図４（ｂ）は、外観検査装置における、検査対象物の周囲の主要構成及び照明光の概要を示す説明図である。
【００６８】
振動板１０の製造工程において実施される外観検査工程では、上述したアイランド板１２ｂなどの各部分の形状精度及び位置精度が検査される。外観検査工程では、さらに、傷や打痕や付着物などの有無の検査や、アイランド板１２ｂの剥がれなどの有無の検査も実施される。図４（ａ）に示した、傷１１１や傷１１４は、金属板１２やフィルム１１が擦られるなどして形成された、溝状の凹みである。打痕１１２や打痕１１５は、金属板１２やフィルム１１に異物が衝突するなどして形成された、凹みである。付着物１１８や付着物１１７は、金属板１２やフィルム１１の面に異物が付着したものである。図４（ａ）に矢印ａで示した部分が、アイランド板１２ｂの剥がれが発生した部分である。マザー振動板１０Ａ、又は振動板１０が、検査対象物に相当する。
【００６９】
上述したように、外観検査装置４０を用いてマザー振動板１０Ａの外観検査を実施する際には、図４（ｂ）に示すように、マザー振動板１０Ａは、ステージ５５のステージパネル５５ａの載置面に載置されている。ステージパネル５５ａの下方（載置面と反対側）には、反射パネル４６が配設されている。カメラ４２は、ステージパネル５５ａの上方（載置面側）から、ステージパネル５５ａに載置されたマザー振動板１０Ａを撮影可能に、ステージパネル５５ａに臨んでいる。カメラ４２の周囲に配設された照明素子４４ａは、照明光を射出して、マザー振動板１０Ａ及びステージパネル５５ａにおけるマザー振動板１０Ａの周囲の部分に照射する。マザー振動板１０Ａにおける枠板１２ａやアイランド板１２ｂのように光を透過させない部分に照射される照明光を照明光Ｌ１１と表記する。ステージパネル５５ａや、マザー振動板１０Ａにおける空間部３３の位置のフィルム１１のように光を透過させる部分に照射される照明光を照明光Ｌ２１と表記する。
【００７０】
照明光Ｌ１１は、枠板１２ａやアイランド板１２ｂの面で反射される。反射された反射光Ｌ１２がカメラ４２に検知されることで、枠板１２ａやアイランド板１２ｂの面の画像が、カメラ４２によって撮影される。当該画像には、枠板１２ａやアイランド板１２ｂの面の状態や、当該面に形成されている傷１１１や打痕１１２や、付着物１１８などの画像が含まれる。上述したように、照明光Ｌ１１は白色光であり、反射光Ｌ１２の色は、照明光Ｌ１１を反射して反射光Ｌ１２に変えたアイランド板１２ｂの面などの色である。傷１１１や打痕１１２や、付着物１１８などは、それら自体の画像が撮影されることで存在が検出される。アイランド板１２ｂの剥がれが発生した部分などは、アイランド板１２ｂなどの面が傾いた画像が撮影されることで、存在が検出される。
【００７１】
照明光Ｌ２１は、空間部３３などの位置のフィルム１１やステージパネル５５ａを透過して反射パネル４６の反射面４６ａで反射される。反射された反射光Ｌ２２の一部は、空間部３３などの位置のフィルム１１やステージパネル５５ａに、照明光Ｌ２１と反対側から入射して透過する。反射光Ｌ２２がフィルム１１やステージパネル５５ａを透過した光を透過光Ｌ２３と表記する。透過光Ｌ２３がカメラ４２に検知されることで、枠板１２ａやアイランド板１２ｂの部分が影となった画像が、カメラ４２によって撮影される。当該画像の影以外の部分は、透過光Ｌ２３の色になる。
【００７２】
上述したように、フィルム１１は、無色透明なシートであり、ステージパネル５５ａは、無色透明なガラスで形成されている。したがって、フィルム１１やステージパネル５５ａを透過しても、照明光Ｌ２１は白色光である。反射光Ｌ２２がフィルム１１やステージパネル５５ａを透過した透過光Ｌ２３の色は、反射光Ｌ２２の色と同じ色である。反射パネル４６の反射面４６ａは色フィルターで覆われているため、反射光Ｌ２２及び透過光Ｌ２３の色は、当該色フィルターの色となる。
【００７３】
枠板１２ａやアイランド板１２ｂなどの部分が影であり、影の周囲が透過光Ｌ２３の色である画像における影の形状によって、枠板１２ａやアイランド板１２ｂなどの、反射光Ｌ２２が透過できない部分の輪郭形状を取得して、形状の検査を実施することができる。フィルム１１の打痕１１５や傷１１４などは、透過光Ｌ２３の色の部分の色のかすれなどとして検出される。付着物１１７のように、フィルム１１における枠板１２ａやアイランド板１２ｂなどと重ならない部分に付着した異物は、付着物１１７などによって透過光Ｌ２３（反射光Ｌ２２）が遮光された影として検出される。
照明光Ｌ１１及び照明光Ｌ２１が、照明光に相当する。空間部３３などの位置のフィルム１１やステージパネル５５ａを透過して反射パネル４６の反射面４６ａで反射される照明光Ｌ２１が、透過光に相当する。透過光Ｌ２３が、透過反射光に相当する。反射光Ｌ１２が、照明反射光に相当する。
【００７４】
なお、反射パネル４６の表面や、ステージパネル５５ａの裏面に付着物などが存在すると、それらがカメラ４２によって撮影される可能性がある。反射パネル４６の表面や、ステージパネル５５ａの裏面に付着した付着物の像は、マザー振動板１０Ａの正確な検査の妨げとなる。
ステージパネル５５ａの裏面の付着物の像が明瞭な像になることで検査の妨げとなることを抑制するために、ステージパネル５５ａの厚さは、カメラ４２の被写界深度より厚いことが好ましい。ステージパネル５５ａの厚さを、カメラ４２の被写界深度より厚くすることで、ステージパネル５５ａに載置されたマザー振動板１０Ａに焦点をあわせて撮影された画像においては、ステージパネル５５ａの裏面の付着物には焦点が合わないため付着物の像が不鮮明になり、検査の妨げとなることを抑制することができる。
同様に、ステージパネル５５ａの厚さは、カメラ４２の被写界深度より薄い場合であっても、反射パネル４６の表面の付着物の像が明瞭な像になることで検査の妨げとなることを抑制するために、反射パネル４６の表面の位置は、ステージパネル５５ａのマザー振動板１０Ａを載置する面に対して、カメラ４２の被写界深度より離れた位置に位置させることが好ましい。
【００７５】
＜外観検査装置の他の構成＞
次に、上述した外観検査装置４０とは、備えている構成が一部異なる外観検査装置１４０について、図５を参照して説明する。図５は、外観検査装置における、検査対象物の周囲の主要構成及び照明光の概要を示す説明図である。外観検査装置１４０が、検査装置に相当する。
【００７６】
図５（ａ）は、マザー基板治具を用いる外観検査装置における、検査対象物の周囲の主要構成及び照明光の概要を示す説明図である。図５（ａ）に示した外観検査装置１４０は、外観検査装置４０のステージ５５とは異なる構成のステージ１５５を備えており、反射パネル４６とは異なる反射パネル１４６を備えている。外観検査装置１４０は、マザー振動板１０Ａを、保持治具１５０を用いて検査可能に保持する。
ステージ１５５は、中央にステージ開口１５５ａが形成されており、保持治具１５０を固定するための固定装置（図示省略）を備えている。ステージ１５５は、外観検査装置４０のステージ５５と同様に、回動機構５４に固定されている。
【００７７】
保持治具１５０は、上治具枠１５０ａと、下治具枠１５０ｂと、を備えている。上治具枠１５０ａは、例えばガラスのような無色透明な材料で形成されている。下治具枠１５０ｂは、例えば色ガラスのような有色透明な材料で形成されている。上治具枠１５０ａと下治具枠１５０ｂとの間にマザー振動板１０Ａを挟み、図示省略した固定機構によって上治具枠１５０ａと下治具枠１５０ｂとを固定することによって、保持治具１５０にマザー振動板１０Ａを保持させる。
【００７８】
マザー振動板１０Ａが保持された保持治具１５０を、固定装置を用いてステージ１５５に固定することによって、マザー振動板１０Ａをステージ１５５上の検査位置にセットする。当該位置は、保持治具１５０がステージ開口１５５ａの全面を覆っており、ステージ１５５の保持治具１５０を載置する面に平行な方向において、マザー振動板１０Ａがステージ開口１５５ａから外れない位置である。
保持治具１５０、又は保持治具１５０及びステージ１５５が、対象物保持手段に相当する。下治具枠１５０ｂのステージ開口１５５ａに臨む部分が載置部に相当する。
【００７９】
反射パネル１４６は、反射面１４６ａを備え、照明素子４４ａから射出される照明光が含む略全ての波長の光を反射する。照明素子４４ａが射出する照明光は白色光であるため、当該照明光が反射パネル１４６によって反射された反射光も白色光である。反射パネル１４６が、反射手段に相当する。
【００８０】
上述した外観検査装置４０と同様に、照明素子４４ａは、照明光を射出して、マザー振動板１０Ａ、及びマザー振動板１０Ａを保持する保持治具１５０の下治具枠１５０ｂにおける保持されたマザー振動板１０Ａの周囲の部分に照射する。
マザー振動板１０Ａにおける枠板１２ａやアイランド板１２ｂのように光を透過させない部分に照射される照明光を照明光Ｌ１１と表記する。下治具枠１５０ｂや、マザー振動板１０Ａにおける空間部３３の位置のフィルム１１のように光を透過させる部分に照射される照明光を照明光Ｌ２１と表記する。
【００８１】
照明光Ｌ１１は、枠板１２ａやアイランド板１２ｂの面で反射される。反射された反射光Ｌ１２がカメラ４２に検知されることで、枠板１２ａやアイランド板１２ｂの面の画像が、カメラ４２によって撮影される。当該画像には、枠板１２ａやアイランド板１２ｂの面の状態や、当該面に形成されている傷１１１や打痕１１２や、付着物１１８などの画像が含まれる。上述したように、照明光Ｌ１１は白色光であり、反射光Ｌ１２の色は、照明光Ｌ１１を反射して反射光Ｌ１２に変えたアイランド板１２ｂの面などの色である。傷１１１や打痕１１２や、付着物１１８などは、それら自体の画像が撮影されることで存在が検出される。アイランド板１２ｂの剥がれが発生した部分などは、アイランド板１２ｂなどの面が傾いた画像が撮影されることで、存在が検出される。
【００８２】
照明光Ｌ２１が空間部３３などの位置のフィルム１１やマザー振動板１０Ａの周囲を透過して、さらに下治具枠１５０ｂを透過した一次透過光Ｌ２１１は、反射パネル１４６の反射面１４６ａで反射される。反射された反射光Ｌ２２は下治具枠１５０ｂを透過し、その一部は、空間部３３などの位置のフィルム１１やマザー振動板１０Ａの周囲を透過する。反射光Ｌ２２が下治具枠１５０ｂ及びフィルム１１やマザー振動板１０Ａの周囲を透過した光を二次透過光Ｌ２２１と表記する。二次透過光Ｌ２２１がカメラ４２に検知されることで、枠板１２ａやアイランド板１２ｂの部分が影となった画像が、カメラ４２によって撮影される。当該画像の影以外の部分は、二次透過光Ｌ２２１の色になる。
【００８３】
上述したように、フィルム１１は、無色透明なシートであり、上治具枠１５０ａは、無色透明な材料で形成されており、下治具枠１５０ｂは、有色透明な材料で形成されている。また、反射パネル１４６によって反射された反射光は入射光略同じ波長成分を有している。したがって、１回又は２回、下治具枠１５０ｂ、又は下治具枠１５０ｂ及びフィルム１１を透過した一次透過光Ｌ２１１及び二次透過光Ｌ２２１は、有色透明な材料で形成されている下治具枠１５０ｂが選択的に透過させる波長の光の色となる。
【００８４】
枠板１２ａやアイランド板１２ｂなどの部分が影であり、影の周囲が二次透過光Ｌ２２１の色である画像における影の形状によって、枠板１２ａやアイランド板１２ｂなどの、反射光Ｌ２２が透過できない部分の輪郭形状を取得して、当該輪郭形状の検査を実施することができる。フィルム１１の打痕１１５や傷１１４などは、二次透過光Ｌ２２１の色の部分の色のかすれなどとして検出される。付着物１１７のように、フィルム１１における枠板１２ａやアイランド板１２ｂなどと重ならない部分に付着した異物は、例えば、付着物１１７などによって二次透過光Ｌ２２１（反射光Ｌ２２）が遮光された影として検出される。
枠板１２ａやアイランド板１２ｂなどの部分が影であり、影の周囲が二次透過光Ｌ２２１の色である画像における影の形状を分別し易くするために、下治具枠１５０ｂが選択的に透過させる波長は、二次透過光Ｌ２２１の色が枠板１２ａやアイランド板１２ｂなどの色と異なる色になる波長であることが好ましい。
照明光Ｌ１１及び照明光Ｌ２１が、照明光に相当する。一次透過光Ｌ２１１が、透過光に相当する。二次透過光Ｌ２２１が、透過反射光に相当する。
【００８５】
＜外観検査装置の他の構成−２＞
図５（ｂ）は、マザー基板治具を用いる外観検査装置における、検査対象物の周囲の主要構成及び照明光の概要を示す説明図である。図５（ｂ）に示した外観検査装置２４０は、外観検査装置１４０と同様にステージ１５５を備えており、外観検査装置４０と同様に反射パネル４６を備えている。外観検査装置２４０は、マザー振動板１０Ａを、保持治具２５０を用いて検査可能に保持する。
【００８６】
保持治具２５０は、上治具枠２５０ａと、下治具枠２５０ｂと、を備えている。上治具枠２５０ａ及び下治具枠２５０ｂは、額縁状の形状を有し、それぞれ治具開口２５１ａ又は治具開口２５１ｂが形成されている。上治具枠２５０ａ及び下治具枠２５０ｂは、例えば色ガラスのような有色透明な材料で形成されている。
上治具枠２５０ａと下治具枠２５０ｂとの間にマザー振動板１０Ａを挟み、図示省略した固定機構によって上治具枠２５０ａと下治具枠２５０ｂとを固定することによって、保持治具２５０にマザー振動板１０Ａを保持させる。保持治具２５０に保持されたマザー振動板１０Ａにおける全ての振動板区画１０ａが、治具開口２５１ａ及び治具開口２５１ｂに臨んでいる。
【００８７】
マザー振動板１０Ａが保持された保持治具２５０を、固定装置を用いてステージ１５５に固定することによって、マザー振動板１０Ａをステージ１５５上の検査位置にセットする。当該位置は、保持治具２５０がステージ開口１５５ａの全面を覆っており、ステージ１５５の保持治具２５０を載置する面に平行な方向において、マザー振動板１０Ａがステージ開口１５５ａから外れない位置である。
保持治具２５０、又は保持治具２５０及びステージ１５５が、対象物保持手段に相当する。下治具枠２５０ｂのステージ開口１５５ａに臨む部分が載置部に相当する。
【００８８】
上述したように、反射パネル４６は特定の波長の光を選択的に反射する。有色透明な材料で形成されている上治具枠２５０ａ及び下治具枠２５０ｂも、材料の色で定まる波長の光を選択的に透過させる。このため、反射パネル４６が反射する光の波長と、上治具枠２５０ａ及び下治具枠２５０ｂが透過させる光の波長とを、略一致させておくことが好ましい。
【００８９】
これらの構成を備える外観検査装置２４０を用いて、上述した外観検査装置４０や外観検査装置１４０と同様に、外観検査を実施する際の照明光を形成し、検査用画像を撮影して、外観検査を実施することができる。詳細は、上述した外観検査装置４０又は外観検査装置１４０の場合と実質的に同様であるため、省略する。
【００９０】
＜外観検査装置の他の構成−３＞
図５（ｃ）は、リール装置を備えている外観検査装置における、検査対象物の周囲の主要構成及び照明光の概要を示す説明図である。図５（ｃ）に示した外観検査装置３４０は、外観検査装置４０の基板移動機構５１に代えて、リール装置３５０を備えている。外観検査装置３４０が、検査装置に相当する。
リール装置３５０は、テープ回路基板３１０Ａを、外観検査装置３４０の検査位置に供給し、当該位置に保持する。テープ回路基板３１０Ａは、フレキシブル回路基板３１０を構成する回路パターンが、フレキシブル回路基板３１０を構成する基板フィルムの長尺テープ面に、繰り返して形成された長尺テープである。テープ回路基板３１０Ａを形成し、完成したテープ回路基板３１０Ａを個別のフレキシブル回路基板３１０に分離することで、フレキシブル回路基板３１０を形成する。
【００９１】
リール装置３５０は、供給リール３５０ａと、巻取リール３５０ｂと、を備えている。供給リール３５０ａと、巻取リール３５０ｂとは、図示省略した駆動装置によって駆動され、任意の状態で保持される。供給リール３５０ａに巻かれたテープ回路基板３１０Ａを、巻取リール３５０ｂで巻き取ることで、テープ回路基板３１０Ａに形成されたフレキシブル回路基板３１０を、順次、撮像装置４１に臨む位置に位置させる。
リール装置３５０が、対象物保持手段に相当する。テープ回路基板３１０Ａ、又はフレキシブル回路基板３１０が検査対象物に相当する。
【００９２】
これらの構成を備える外観検査装置３４０を用いて、上述した外観検査装置４０と同様に、外観検査を実施する際の照明光を形成し、検査用画像を撮影して、テープ回路基板３１０Ａ（フレキシブル回路基板３１０）の外観検査を実施することができる。詳細は、上述した外観検査装置４０の場合と実質的に同様であるため、省略する。
【００９３】
以下、実施形態による効果を記載する。本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）外観検査装置４０は、反射パネル４６を備え、ステージパネル５５ａ上側から入射した照明光は、ステージパネル５５ａを透過して、反射面４６ａによって反射され、ステージパネル５５ａの下面からステージパネル５５ａに入射し、透過して、ステージパネル５５ａに載置されたマザー振動板１０Ａに照射される。これにより、マザー振動板１０Ａにおける枠板１２ａやアイランド板１２ｂの面は、照明光が当該面によって反射された光を検出することによって、枠板１２ａやアイランド板１２ｂの外形は、反射パネル４６による反射光が枠板１２ａやアイランド板１２ｂによって部分的に遮られた光を検出することによって、検査することができる。
【００９４】
（２）反射パネル４６は白色光における特定の波長の光を選択的に反射して、マザー振動板１０Ａに照射する。これにより、反射パネル４６に反射されてマザー振動板１０Ａに照射され、マザー振動板１０Ａの空間部３３などの位置のフィルム１１やマザー振動板１０Ａの周囲を透過する反射光の色を、反射パネル４６が反射する波長によって定まる色の光にすることができる。
【００９５】
（３）外観検査装置１４０が備える保持治具１５０の下治具枠１５０ｂは、有色透明な材料で形成されている。すなわち、下治具枠１５０ｂは、照明光における特定の波長の光を選択的に透過させる。これにより、反射パネル１４６に反射されて下治具枠１５０ｂを透過してマザー振動板１０Ａに照射され、マザー振動板１０Ａの空間部３３などの位置のフィルム１１やマザー振動板１０Ａの周囲を透過する反射光の色を、下治具枠１５０ｂが透過させる波長によって定まる色の光にすることができる。
【００９６】
（４）外観検査装置２４０が備える保持治具２５０の上治具枠２５０ａ及び下治具枠２５０ｂは、有色透明な材料で形成されている。すなわち、下治具枠２５０ｂは、照明光における特定の波長の光を選択的に透過させる。外観検査装置２４０は、また、特定の波長の光を選択的に反射する反射パネル４６を備えている。これにより、上治具枠２５０ａ及び下治具枠２５０ｂを透過して、反射パネル４６に反射されてマザー振動板１０Ａに照射され、マザー振動板１０Ａの空間部３３などの位置のフィルム１１やマザー振動板１０Ａの周囲を透過する光の色を、上治具枠２５０ａ及び下治具枠２５０ｂが透過させると共に、反射パネル４６が反射する波長によって定まる色の光にすることができる。
【００９７】
（５）反射パネル４６の反射面４６ａは色フィルターで覆われているため、反射光Ｌ２２及び透過光Ｌ２３の色を、当該色フィルターの色にすることができる。また、当該色フィルターを変えるだけで、反射光Ｌ２２（透過光Ｌ２３）の色を変えることができる。色フィルターを変えることで、反射光Ｌ２２（透過光Ｌ２３）の色を、検査対象物の色に対応して、変えることができる。
【００９８】
（６）保持治具１５０の下治具枠１５０ｂ、及び保持治具２５０の上治具枠２５０ａ及び下治具枠２５０ｂは、有色透明な材料で形成されている。これにより、保持治具１５０又は保持治具２５０を透過して反射され、再び保持治具１５０又は保持治具２５０を透過する光を、保持治具１５０又は保持治具２５０が透過させる色の光にすることができる。保持治具１５０又は保持治具２５０の色を変えることで、一次透過光Ｌ２１１や二次透過光Ｌ２２１の色を、検査対象物の色に対応して、容易に変えることができる。
【００９９】
（７）反射パネル４６は、反射パネル支持機構４７によって、Ｚ軸方向に移動自在かつ任意の位置に保持可能に支持されている。これにより、反射パネル４６とステージパネル５５ａとの距離を変えることができる。反射パネル４６とステージパネル５５ａとの距離が変わることで、反射パネル４６に反射された光が照射されるステージパネル５５ａの面先が変わる。すなわち、反射パネル４６に反射された光がステージパネル５５ａを照射する照度を変えることができる。したがって、反射パネル４６のＺ軸方向の位置を反射パネル支持機構４７によって移動させて調整することで、ステージパネル５５ａに載置されたマザー振動板１０Ａの照度を調整することができる。
【０１００】
（８）リング照明４４は、リング照明支持機構４５によって、カメラ４２に対して、カメラ４２の光軸方向に移動自在かつ任意の位置に保持可能に支持されている。これにより、リング照明４４と、ステージパネル５５ａに載置されたマザー振動板１０Ａの表面などのカメラ４２の撮影面と、の距離を変えることができる。リング照明４４とカメラ４２の撮影面との距離を変えることで、カメラ４２の撮影面におけるリング照明４４による照明光で照明されている領域の大きさを変えることができる。すなわち、カメラ４２の撮影面におけるリング照明４４による単位面積当たりの照明光量を変えて、撮影面の明るさを変えることができる。リング照明支持機構４５によって、カメラ４２に対するリング照明４４の位置を調整することで、カメラ４２の撮影面の明るさを調整することができる。
【０１０１】
以上、添付図面を参照しながら好適な実施形態について説明したが、好適な実施形態は、前記実施形態に限らない。実施形態は、要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【０１０２】
（変形例１）前記実施形態においては、照明素子４４ａが射出する照明光は白色光であったが、照明光が白色光であることは必須ではない。照明光の色は、検査対象物や予想される付着物などの色を考慮するなどして、検査対象物や付着物などの像が識別しやすくなる色を選択してもよい。
【０１０３】
（変形例２）前記実施形態においては、反射パネル４６は白色光における特定の波長の光を選択的に反射して、マザー振動板１０Ａに照射していた。また、照明素子４４ａから射出される照明光が含む略全ての波長の光を反射する反射パネル１４６を備える外観検査装置１４０は、色ガラスのような有色透明な材料で形成されている下治具枠１５０ｂを備えており、反射パネル１４６に反射された反射光の特定の波長の光のみを透過させて、マザー振動板１０Ａに照射していた。しかし、反射手段に反射されて検査対象物に照射される光の波長を特定の波長のみに制限することは必須ではない。検査対象物の色などによって、反射光が白色（無色）などの照明光と略同じ色であっても明確に検査対象物からの反射光と反射手段による反射光とを分別可能であれば、照明光が反射手段に反射させられてマザー振動板１０Ａに照射される反射光は、照明光に含まれる大部分の波長の光を含む光であってもよい。
【０１０４】
（変形例３）前記実施形態においては、ステージパネル５５ａは、無色透明なガラスで形成されていたが、ステージパネル５５ａのように検査対象物を載置する部材が無色透明であることも、ガラスで形成されていることも必須ではない。検査対象物を載置する部材は、下治具枠１５０ｂのように有色透明であってもよいし、下治具枠２５０ｂのように検査対象における検査対照部分に臨む位置が開口になっている構成であってもよい。形成する材料は、照明手段から照射された照明光、及び当該照明光が反射手段によって反射された反射光を、それ自体又は形成された開口を透過させて、透過させることが可能であれば、どのような材料であってもよい。
【０１０５】
（変形例４）前記実施形態においては、反射パネル４６や反射パネル１４６の反射特性について、反射する波長についてのみ説明した。反射手段によって反射された反射光は、検査対象の全面に略均等に照射されることが好ましい。このため、反射手段は、照明光を鏡面反射するよりも、乱反射することが好ましい。
【０１０６】
（変形例５）前記実施形態においては、振動板１０を構成するフィルム１１は、無色透明なシートであったが、検査対象物における照明光が透過可能な部分が無色透明な物であることは必須ではない。照明光が透過可能な部分は、貫通孔のような空間であってもよいし、有色透明な物であってもよい。
【０１０７】
（変形例６）前記実施形態においては、液滴吐出ヘッド２０を構成する振動板１０が区画形成されたマザー振動板１０Ａや、フレキシブル回路基板３１０が連続して形成されたテープ回路基板３１０Ａを、検査対象物として説明したが、検査対象物はこれらの物に限らない。透過光を用いて検査が実施できるような検査対象物であれば、上述した外観検査装置や検査方法を用いて好適に検査を実施することができる。特に、透過光及び照明光の反射光を用いて検査が実施できるような検査対象物であれば、上述した外観検査装置や検査方法を用いて好適に検査を実施することができる。
【０１０８】
（変形例７）前記実施形態においては、色フィルターは反射パネル４６に固定されていた。反射パネル４６は、反射パネル支持機構４７を介して昇降自在に固定回動枠５４ａに固定されていた。しかし、色フィルターや反射パネル４６は、色フィルターを反射パネル４６に対して着脱自在に構成したり、反射パネル４６を固定回動枠５４ａ又は反射パネル支持機構４７に対して着脱自在に構成したりしてもよい。色フィルターを反射手段に対して着脱自在に構成したり、反射手段を検査装置に対して着脱自在に構成したりすることで、反射光（透過反射光）の色を容易に変更できるようにすることができる。
【０１０９】
（変形例８）前記実施形態においては、リング照明４４は、リング照明支持機構４５によって、カメラ４２に対して、カメラ４２の光軸方向に移動自在かつ任意の位置に保持可能に支持されていた。しかし照明手段が、撮像手段に対して移動可能であることは必須ではない。照明手段と撮像手段との位置関係に関わりなく、照明手段と検査対象物との距離を調整することによって、検査対象物の照度を調整することができる。
【０１１０】
（変形例９）前記実施形態においては、反射パネル４６は、反射パネル支持機構４７によって、Ｚ軸方向に移動自在かつ任意の位置に保持可能に支持されていた。リング照明４４は、リング照明支持機構４５によって、カメラ４２に対して、カメラ４２の光軸方向に移動自在かつ任意の位置に保持可能に支持されていた。しかし、照明手段や反射手段を移動可能に支持することは、必須ではない。照明手段や反射手段は、固定されていてもよい。固定にすることで、照明手段や反射手段を移動可能な支持手段を設ける場合に比べて、検査装置を簡単にすることができる。
【符号の説明】
【０１１１】
１０…振動板、１０Ａ…マザー振動板、１０ａ…振動板区画、１１…フィルム、１２ａ…枠板、１２ｂ…アイランド板、１２ｃ…周辺板、２０…液滴吐出ヘッド、Ｌ２１…照明光、Ｌ２２…反射光、Ｌ２３…透過光、３３…空間部、４０…外観検査装置、４１…撮像装置、４２…カメラ、４３…照明装置、４４…リング照明、４４ａ…照明素子、４４ｂ…リング枠、４５…リング照明支持機構、４６…反射パネル、４６ａ…反射面、４７…反射パネル支持機構、５１…基板移動機構、５５…ステージ、５５ａ…ステージパネル、５５ｃ…ステージ開口、６１…撮像装置昇降機構、７１…制御ユニット、１１１，１１４…傷、１１２，１１５…打痕、１１７，１１８…付着物、１４０…外観検査装置、１４６…反射パネル、１４６ａ…反射面、１５０…保持治具、１５０ａ…上治具枠、１５０ｂ…下治具枠、１５５…ステージ、１５５ａ…ステージ開口、Ｌ２１１…一次透過光、Ｌ２２１…二次透過光、２４０…外観検査装置、２５０…保持治具、２５０ａ…上治具枠、２５０ｂ…下治具枠、２５１ａ…治具開口、２５１ｂ…治具開口、３１０…フレキシブル回路基板、３１０Ａ…テープ回路基板、３４０…外観検査装置、３５０…リール装置、３５０ａ…供給リール、３５０ｂ…巻取リール。
【図１】
2011179993.tif 000003
【図２】
2011179993.tif 000004
【図３】
2011179993.tif 000005
【図４】
2011179993.tif 000006
【図５】
2011179993.tif 000007