(57)【要約】【課題】誘導プラズマを安定化させ、有機ハロゲン化合物の安定した分解が可能な有機ハロゲン化合物の分解装置を提供する。【解決手段】放電管１３内に供給した有機ハロゲン化合物を誘導プラズマを用いて分解する分解装置１０は、有機ハロゲン化合物と水蒸気の混合ガスを内周面に沿って旋回流にして噴出する第１の噴出孔１８が内周面に形成された第１のガス吹込みリング１９と、第１のガス吹込みリング１９の上方に配置され、有機ハロゲン化合物と水蒸気の混合ガスを内周面に沿って旋回流にして噴出する第２の噴出孔２０が内周面に形成された第２のガス吹込みリング２１と、第２のガス吹込みリング２１の上方に配置され第２のガス吹込みリング２１の上端をシールすると共に、第２のガス吹込みリング２１内を貫通し、先端部が第１のガス吹込みリング１９の内孔の上部位置まで達する断面円形の円柱部２２を備えたシール部材２３とを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上、下フランジで支持された放電管の外側に巻回された高周波コイルに励磁電流を流して該放電管内に発生させた誘導プラズマを熱源として、前記上フランジに取付けられた被処理物供給手段を介して前記放電管内に供給された有機ハロゲン化合物を分解し、生成した分解物を前記下フランジに接続する処理手段に供給する有機ハロゲン化合物の分解装置において、
前記被処理物供給手段は、前記上フランジの上部に取付けられ、有機ハロゲン化合物と水蒸気の混合ガスを内周面に沿って旋回流にして噴出する第１の噴出孔が該内周面の中間高さ位置に、該内周面の周方向に等間隔に形成されている第１のガス吹込みリングと、
前記第１のガス吹込みリングの上方に配置され、該第１のガス吹込みリングと同一の内径を備え、有機ハロゲン化合物と水蒸気の混合ガスを内周面に沿って旋回流にして噴出する第２の噴出孔が該内周面に上下２段にわたって、それそれ該内周面の周方向に等間隔に形成されている第２のガス吹込みリングと、
前記第２のガス吹込みリングの上方に配置されて該第２のガス吹込みリングの上側をシールすると共に、該第２のガス吹込みリングの内周面との間に隙間を設けて該第２のガス吹込みリングを貫通し、先端部が前記第１のガス吹込みリングの内孔の上部位置まで達する断面円形の円柱部を備えたシール部材とを有することを特徴とする有機ハロゲン化合物の分解装置。
【請求項２】
請求項１記載の有機ハロゲン化合物の分解装置において、前記第１、第２の噴出孔の口径は等しく、更に該第１、第２の噴出孔の個数は等しいことを特徴とする有機ハロゲン化合物の分解装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の有機ハロゲン化合物の分解装置において、前記第１、第２のガス吹込みリングはリングホルダーに保持され、該リングホルダーは前記上フランジ及び前記シール部材で挟持されていることを特徴とする有機ハロゲン化合物の分解装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の有機ハロゲン化合物の分解装置において、前記第１、第２のガス吹込みリングの内径は、前記放電管の内径と同一であることを特徴とする有機ハロゲン化合物の分解装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の有機ハロゲン化合物の分解装置において、前記第１及び第２の噴出孔の口径範囲は１〜１．３ｍｍであり、有機ハロゲン化合物の単位時間当たりの分解量の増大に伴って前記第１及び第２の噴出孔の口径を増大することを特徴とする有機ハロゲン化合物の分解装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、誘導プラズマによる有機ハロゲン化合物の分解を安定して行うための有機ハロゲン化合物の分解装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
フロンガス、トリクロロエチレン等の有機ハロゲン化合物は、溶剤、冷媒等の幅広い分野で大量に使用されており、使用後に有機ハロゲン化合物が大気中、水、土壌中に放出されると、環境に深刻な影響（例えば、オゾン層の破壊、発ガン性物質の生成）を与えることが指摘されている。そこで、近年、使用後の有機ハロゲン化合物を誘導プラズマを熱源として分解し無害化することが提案されている（例えば、特許文献１〜３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−２３２１８０号公報
【特許文献２】特開２００４−２１６２３１号公報
【特許文献３】特開２００４−２１６２４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の分解装置では、放電管の上部を覆う上部フランジは、放電管の内径よりもやや小さな径の小径部が延出され、この小径部と放電管の内壁面との間に形成された間隙部に、処理対象物（有機ハロゲン化合物）と補助剤（水蒸気）をそれぞれ個別の供給ラインから供給している。このため、放電管に流入する処理対象物の整流化が図れても、大量の処理対象物を放電管内に供給する場合、処理対象物と補助剤が十分に混合された状態で放電管内に流入することが困難になって、プラズマの安定化が困難になるという問題が生じる。
【０００５】
特許文献２の分解装置では、プラズマ生成ガスであるアルゴンガスをプラズマトーチ内に供給しながら、更に水蒸気とフロン（有機ハロゲン化合物）との混合ガスをプラズマトーチ内に供給することで、アルゴンガスの供給量を加減調整してプラズマの安定化を図っている。しかし、混合ガス供給量や混合ガスの組成に応じてアルゴンガスの供給量を調整しなければならず、分解装置の操作が煩雑になるという問題がある。
【０００６】
特許文献３の分解装置では、放電管の上端部に取付けられた上部フランジ上に環状の支持体を介してヘッドを取付けて支持体とヘッドの間に隙間を形成し、支持体の内周面に設けられたガス噴出孔から処理対象ガス（有機ハロゲン化合物）及び反応補助ガス（アルゴン）が支持体の内周面に沿う旋回流となって隙間内に放出されて放電管内に流入するように構成されている。しかし、処理対象ガスと反応補助ガスの混合と旋回流化は処理対象ガスと反応補助ガスが隙間を通過する間に行われるだけなので、処理対象ガスと反応補助ガスが十分に混合された旋回流の状態で放電管内に流入することは困難で、プラズマの安定化が困難になる問題が生じる。
【０００７】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたもので、誘導プラズマの安定化を図って、有機ハロゲン化合物の分解を安定して行うことが可能な有機ハロゲン化合物の分解装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的に沿う本発明に係る有機ハロゲン化合物の分解装置は、上、下フランジで支持された放電管の外側に巻回された高周波コイルに励磁電流を流して該放電管内に発生させた誘導プラズマを熱源として、前記上フランジに取付けられた被処理物供給手段を介して前記放電管内に供給された有機ハロゲン化合物を分解し、生成した分解物を前記下フランジに接続する処理手段に供給する有機ハロゲン化合物の分解装置において、
前記被処理物供給手段は、前記上フランジの上部に取付けられ、有機ハロゲン化合物と水蒸気の混合ガスを内周面に沿って旋回流にして噴出する第１の噴出孔が該内周面の中間高さ位置に、該内周面の周方向に等間隔に形成されている第１のガス吹込みリングと、
前記第１のガス吹込みリングの上方に配置され、該第１のガス吹込みリングと同一の内径を備え、有機ハロゲン化合物と水蒸気の混合ガスを内周面に沿って旋回流にして噴出する第２の噴出孔が該内周面に上下２段にわたって、それそれ該内周面の周方向に等間隔に形成されている第２のガス吹込みリングと、
前記第２のガス吹込みリングの上方に配置されて該第２のガス吹込みリングの上側をシールすると共に、該第２のガス吹込みリングの内周面との間に隙間を設けて該第２のガス吹込みリングを貫通し、先端部が前記第１のガス吹込みリングの内孔の上部位置まで達する断面円形の円柱部を備えたシール部材とを有する。
【０００９】
本発明に係る有機ハロゲン化合物の分解装置において、前記第１及び第２の噴出孔の口径は等しく、更に該第１、第２の噴出孔の個数は等しいことが好ましい。
【００１０】
本発明に係る有機ハロゲン化合物の分解装置において、前記第１、第２のガス吹込みリングはリングホルダーに保持され、該リングホルダーは前記上フランジ及び前記シール部材で挟持されていることが好ましい。
【００１１】
本発明に係る有機ハロゲン化合物の分解装置において、前記第１、第２のガス吹込みリングの内径は、前記放電管の内径と同一であることが好ましい。
【００１２】
本発明に係る有機ハロゲン化合物の分解装置において、前記第１及び第２の噴出孔の口径範囲は１〜１．３ｍｍであり、有機ハロゲン化合物の単位時間当たりの分解量の増大に伴って前記第１及び第２の噴出孔の口径を増大することが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係る有機ハロゲン化合物の分解装置においては、第２のガス吹込みリングの内周面と円柱部の外周面との間に形成される隙間に、第２の噴出孔から有機ハロゲン化合物と水蒸気の混合ガスを、第２のガス吹込みリングの内周面に沿った旋回流として噴出するので、混合ガスを第１のガス吹込みリング内に、その内周面に沿った旋回流として流入させることができる。そして、第１のガス吹込みリング内に流入した混合ガスの旋回流に対して、第１の噴出孔から有機ハロゲン化合物と水蒸気の混合ガスを、第１のガス吹込みリングの内周面に沿って旋回流として噴出するので、有機ハロゲン化合物と水蒸気との混合状態が向上すると共に、第１のガス吹込みリング内で混合ガスの旋回流を更に安定化して放電管内に流入させることができ、放電管内に発生する誘導プラズマが安定化する。
【００１４】
本発明に係る有機ハロゲン化合物の分解装置において、第１及び第２の噴出孔の口径が等しく、更に第１、第２の噴出孔の個数が等しい場合、第１、第２のガス吹込みリングからそれぞれ噴出させる混合ガスの流量を等しくすることができ、隙間内で形成された旋回流を第１のガス吹込みリング内で維持しながら、放電管内に旋回流として流入させる混合ガスの流量を増加させることができる。
【００１５】
本発明に係る有機ハロゲン化合物の分解装置において、第１、第２のガス吹込みリングはリングホルダーに保持され、リングホルダーは上フランジ及びシール部材で挟持されている場合、第１、第２のガス吹込みリングの取付けが容易になる。
【００１６】
本発明に係る有機ハロゲン化合物の分解装置において、第１、第２のガス吹込みリングの内径が、放電管の内径と同一である場合、放電管内に放電管の内壁に沿った混合ガスの旋回流を容易に形成することができ、放電管内での誘導プラズマが安定する。
【００１７】
本発明に係る有機ハロゲン化合物の分解装置において、第１及び第２の噴出孔の口径範囲が１〜１．３ｍｍであり、有機ハロゲン化合物の単位時間当たりの分解量の増大に伴って第１及び第２の噴出孔の口径を増大する場合、有機ハロゲン化合物の単位時間当たりの分解量を変化させても、有機ハロゲン化合物と水蒸気の混合ガスを予め設定された噴出圧力範囲で第１及び第２の噴出孔からそれぞれ噴出させることができ、放電管内に水滴が発生するのを防止して、誘導プラズマの安定化を図ると共に、水滴による放電管内壁の腐食を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の一実施の形態に係る有機ハロゲン化合物の分解装置の断面図である。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）は同有機ハロゲン化合物の分解装置に設けられた第１のガス吹込みリングの平断面図、側断面図である。
【図３】（Ａ）、（Ｂ）は同有機ハロゲン化合物の分解装置に設けられた第２のガス吹込みリングの平断面図、側断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態につき説明し、本発明の理解に供する。
図１〜図3に示すように、本発明の一実施の形態に係る有機ハロゲン化合物の分解装置１０は、上、下フランジ１１、１２で支持された放電管１３の外側に巻回された高周波コイル１４に励磁電流を流して放電管１３内に発生させた誘導プラズマを熱源として、上フランジ１１に取付けられた被処理物供給手段１５を介して放電管１３内に、水蒸気と共に供給された有機ハロゲン化合物（例えばフロン）を加水分解し、生成した分解物を下フランジ１２に接続する図示しない処理手段に供給するものである。以下、詳細に説明する。
【００２０】
放電管１３は、例えば、石英ガラスやセラミックス等の耐熱性の絶縁性物質で形成された円筒体である。そして、放電管１３の上端部には、図示しないＯリングを介して、例えば、ステンレス鋼で形成された環状の上フランジ１１が取付けられ、放電管１３の下端部には、図示しないＯリングを介して放電管１３を支持する基台を兼ねる、例えば、ステンレス鋼で形成された環状の下フランジ１２が取付けられている。また、放電管１３の外側に巻回された高周波コイル１４は、例えば、銅パイプで形成され、図示しない高周波電源に接続されている。
【００２１】
ここで、図示しない処理手段は、下フランジ１２に取付けフランジ１６を備えた連結管１７を介して接続されて、有機ハロゲン化合物の加水分解で生成した可燃性分解物を燃焼させて無害化する燃焼処理部と、燃焼処理部で生成した燃焼ガスを冷却して大気中に排出する排ガス処理部と、有機ハロゲン化合物の加水分解で生成した酸性分解物をアルカリ性溶液で中和処理し中和生成物を回収し残液を排出する中和処理部とを有している。なお、燃焼処理部、排ガス処理部、及び中和処理部には、従来の有機ハロゲン化合物の分解装置で使用されているものをそれぞれ使用することができる。
【００２２】
被処理物供給手段１５は、上フランジ１１の上部に取付けられ、有機ハロゲン化合物と水蒸気の混合ガスを内周面に沿って旋回流にして噴出する第１の噴出孔１８が内周面の中間高さ位置に、内周面の周方向に等間隔に形成されている第１のガス吹込みリング１９と、第１のガス吹込みリング１９の上方に配置され、第１のガス吹込みリング１９と同一の内径を備え、有機ハロゲン化合物と水蒸気の混合ガスを内周面に沿って旋回流にして噴出する第２の噴出孔２０が内周面に上下２段にわたって、それそれ内周面の周方向に等間隔に形成されている第２のガス吹込みリング２１とを有している。更に、被処理物供給手段１５は、第２のガス吹込みリング２１の上方に配置されて、第２のガス吹込みリング２１の上側をシールすると共に、第２のガス吹込みリング２１の内周面との間に隙間を設けて第２のガス吹込みリング２１の内孔を貫通し、先端部が第１のガス吹込みリング１９の内孔内の上部位置まで達する断面円形の円柱部２２を備えたシール部材２３とを有している。
【００２３】
図２（Ａ）、（Ｂ）に示すように、第１のガス吹込みリング１９は、混合ガスを内周面に沿って旋回流にして噴出する第１の噴出孔１８が形成されたリング本体２４と、リング本体２４の上、下端部にそれぞれ設けられた環状の上、下つば部２５、２６とを有している。そして、第１の噴出孔１８の軸心方向と、リング本体２４の半径方向とのなす角度θは、４０〜５０度、例えば４５度に調整されている。また、図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、第２のガス吹込みリング２１は、第２の噴出孔２０が形成されたリング本体２７と、リング本体２７の上、下端部にそれぞれ設けられた環状の上、下つば部２８、２９とを有している。そして、第２の噴出孔２０の軸心方向と、リング本体２７の半径方向とのなす角度φは、４０〜５０度、例えば４５度に調整されている。
【００２４】
第１、第２のガス吹込みリング１９、２１の内径は、放電管１３の内径と同一であり、第１及び第２の噴出孔１８、２０の口径は等しく、第１、第２の噴出孔１８、２０の個数は等しい。また、第１及び第２の噴出孔１８、２０の口径範囲は１〜１．３ｍｍである。そして、第１及び第２の噴出孔１８、２０の口径は、有機ハロゲン化合物の単位時間当たりの分解量の増大に伴って増大させる。これにより、有機ハロゲン化合物の単位時間当たりの分解量を変化させても、有機ハロゲン化合物と水蒸気の混合ガスを予め設定された噴出圧力範囲で第１及び第２の噴出孔１８、２０からそれぞれ噴出させることができる。
【００２５】
リングホルダー３０は、上フランジ１１及びシール部材２３で挟持され、中央部に放電管１３の内径と同一径の内孔が形成された環状の部材である。また、リングホルダー３０には、リングホルダー３０の内周面には内孔に向けて開口し、図示しないＯリングを介して第１、第２のガス吹込みリング１９、２１がそれぞれ取付けられる第１、第２のリング収容溝３１、３２が、リングホルダー３０の軸方向に並べて形成されている。そして、第１、第２のリング収容溝３１、３２の溝底部には、有機ハロゲン化合物と水蒸気との混合ガスを製造する図示しない混合器に接続されたガス供給管３３、３４がそれそれ接続されている。これにより、第１、第２のガス吹込みリング１９、２１が取付けられたリングホルダー３０内に、第１のリング収容溝３１の溝底部、リング本体２４の外周面、及び上、下つば部２５、２６で囲まれた空間部３５と、第２のリング収容溝３２の溝底部、リング本体２７の外周面、及び上、下つば部２８、２９で囲まれた空間部３６をそれぞれ形成することができ、ガス供給管３３、３４を介して混合ガスを空間部３５、３６内に供給することができ、第１及び第２の噴出孔１８、２０から混合ガスを噴出させることができる。
【００２６】
シール部材２３は、第２のガス吹込みリング２１の内周面との間に隙間（幅Δ）を設けて第２のガス吹込みリング２１の内孔を貫通し、先端部が第１のガス吹込みリング１９の上部位置まで達する断面円形の円柱部２２と、円柱部２２に取付けられ、図示しないＯリングを介してリングホルダー３０の上端面に当接するフランジ部３７とを有している。このような構成とすることにより、リングホルダー３０の内周面と円柱部２２の外周面との隙間の上端がフランジ部３７で塞がれるので、リングホルダー３０の上側がシールされる。なお、円柱部は中空であってもよい。
【００２７】
ここで、隙間の幅Δは、例えば、１〜５ｍｍの範囲である。隙間の幅Δが狭いほど隙間内に旋回流を形成することが容易となり、放電管１３内に、放電管１３の内周面に沿った旋回流を形成しやすく、放電管１３内に形成する誘導プラズマを安定化させることができる。しかし、隙間の幅Δが狭すぎると、シール部材２３及び第１、第２のガス吹込みリング１９、２１の製作コストが上昇すると共に、第１、第２のガス吹込みリング１９、２１の内孔に均等の隙間を有してシール部材２３の円柱部２２を位置させるのが困難になる。更に、第２のガス吹込みリング２１から混合ガスを噴出させる際の抵抗が大きくなって、混合ガス量を増加させることができない。このため、隙間の幅Δの下限を１ｍｍとした。また、隙間の幅Δが大きいと隙間内に旋回流を形成することが難しくなり、放電管１３内に放電管１３の内周面に沿った旋回流を形成することが困難となって、放電管１３内に形成する誘導プラズマを安定化させるには高周波コイル１４に供給する電力を大きくする必要があり、経済性が低下する。このため、隙間の幅Δの上限を５ｍｍとした。
【００２８】
続いて、本発明の一実施の形態に係る有機ハロゲン化合物の分解装置１０の作用について説明する。
有機ハロゲン化合物と水蒸気を混合器に供給して混合ガスを製造し、ガス供給管３３、３４を介して、リングホルダー３０内に形成された空間部３５、３６に供給する。そして、空間部３６内に供給された混合ガスは、第２のガス吹込みリング２１の第２の噴出孔２０から、第２のガス吹込みリング２１の内周面と円柱部２２の外周面との間に形成された隙間内に、第２のガス吹込みリング２１の内周面に沿って噴出する。その結果、隙間内には第２のガス吹込みリング２１の内周面に沿った旋回流が形成される。ここで、第２の噴出孔２０は、第２のガス吹込みリング２１の内周面に上下２段にわたって形成されているので、混合ガスを隙間内に分散して供給することができ、隙間内に混合ガスを噴出させる際の抵抗が大きくなるのを防止すると共に、隙間内での旋回流の形成が容易になる。
【００２９】
第１、第２のガス吹込みリング１９、２１、及びリングホルダー３０の内径は同一なので、隙間内で形成された混合ガスの旋回流は、第１のガス吹込みリング１９内に、第１のガス吹込みリング１９の内周面に沿った旋回流として流入する。また、空間部３５内に供給された混合ガスは、第１のガス吹込みリング１９の第１の噴出孔１８から、第１のガス吹込みリング１９の内周面に沿って噴出する。ここで、第１、第２の噴出孔１８、２０の口径は等しく、第１、第２の噴出孔１８、２０の個数は等しいので、第１、第２のガス吹込みリング１９、２１からそれぞれ噴出する混合ガスの流量が等しくなって、第１のガス吹込みリング１９の内に流入した旋回流（第２の噴出孔２０から噴出した混合ガスにより形成されたもの）を第１のガス吹込みリング１９内で維持しながら、第１の噴出孔１８から噴出した混合ガスを混合して、第１のガス吹込みリング１９内に、大きな流量を有する混合ガスの旋回流を形成することができる。
【００３０】
また、第１の噴出孔１８は、第１のガス吹込みリング１９の内周面の同一高さ位置に形成されており、第１のガス吹込みリング１９内に流入した旋回流に対して、同一高さ位置から混合ガスを噴出させて混合させるので、有機ハロゲン化合物と水蒸気の混合状態が向上すると共に、第１のガス吹込みリング１９内における混合ガスの旋回流を安定化させることができる。そして、第１のガス吹込みリング１９の内径が、放電管１３の内径と同一であるので、第１のガス吹込みリング１９内から放電管１３内に流入した混合ガスの旋回流は、放電管１３の内壁に沿った混合ガスの旋回流となる。このため、放電管１３内に発生する誘導プラズマを安定化させることができる。
【００３１】
また、第１及び第２の噴出孔１８、２０の口径範囲が１〜１．３ｍｍであり、有機ハロゲン化合物の単位時間当たりの分解量の増大に伴って第１、第２の噴出孔１８、２０の口径を増大する。例えば、有機ハロゲン化合物の単位時間当たりの分解量が３０ｋｇ／時の場合、第１及び第２の噴出孔１８、２０の口径は１．１ｍｍであり、有機ハロゲン化合物の単位時間当たりの分解量が４０ｋｇ／時の場合、第１及び第２の噴出孔１８、２０の口径は１．２ｍｍである。なお、有機ハロゲン化合物の単位時間当たりの分解量を増加させた場合、混合する水蒸気量も増加させる。そして、混合する水蒸気の最適量は、実験により、有機ハロゲン化合物の単位時間当たりの分解量に対して予め設定されている。
【００３２】
有機ハロゲン化合物の単位時間当たりの分解量の増大に伴って第１及び第２の噴出孔１８、２０の口径を増大させることにより、有機ハロゲン化合物の単位時間当たりの分解量が変化しても、有機ハロゲン化合物と水蒸気の混合ガスを予め設定された噴出圧力範囲で第１及び第２の噴出孔１８、２０からそれぞれ噴出させることができる。その結果、放電管１３内に水滴が発生するのが防止され、水滴による放電管１３内壁の腐食を防止することができる。また、混合ガス中に水滴が存在しないことから、高周波コイル１４に供給する電力を増大させずに誘導プラズマの安定化を図ることができ、経済的となる。
【００３３】
有機ハロゲン化合物と水蒸気の混合ガスが、放電管１３の内周面に沿った旋回流となって放電管１３内に放出されると、放電管１３内に発生している誘導プラズマを熱源として、有機ハロゲン化合物が加水分解される。そして、分解物は、処理手段に供給されて処理される。ここで、有機ハロゲン化合物がフロンＲ−２２の場合、フロンＲ−２２は可燃性分解物である一酸化炭素及び水素と、酸性分解物である塩化水素及びフッ化水素に分解され、可燃性分解物は燃焼処理部で燃焼して二酸化炭素及び水となり大気中に放出される。また、酸性分解物は、中和処理部で、例えば水酸化カルシウムと反応させて塩化カルシウム及びフッ化カルシウムを生成させ、それぞれ回収される。
【００３４】
有機ハロゲン化合物がフロンＲ−１２の場合、二酸化炭素と、酸性分解物である塩化水素及びフッ化水素が生成し、二酸化炭素は大気中に放出され、塩化水素及びフッ化水素は、中和処理部で、例えば水酸化カルシウムと反応させて塩化カルシウム及びフッ化カルシウムを生成させ、それぞれ回収される。更に、有機ハロゲン化合物がフロンＲ−１３４ａの場合、可燃性分解物である一酸化炭素及び水素と、酸性分解物であるフッ化水素が生成し、一酸化炭素及び水素は燃焼処理部で燃焼して二酸化炭素及び水となり大気中に放出され、フッ化水素は、中和処理部で、例えば水酸化カルシウムと反応させてフッ化カルシウムを生成させ回収される。
【００３５】
以上、本発明を、実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は何ら上記した実施の形態に記載した構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載されている事項の範囲内で考えられるその他の実施の形態や変形例も含むものである。
例えば、第１、第２のガス吹込みリングに混合ガスの受入部をそれぞれ設けると、リングホルダーを使用せずに、上フランジの上面にＯリングを介して第１のガス吹込みリングを取付け、第１のガス吹込みリングの上面にＯリングを介して第２のガス吹込みリングを取付け、更に、第２のガス吹込みリングの上面にＯリングを介してシール部材を取付けることができる。
【符号の説明】
【００３６】
１０：有機ハロゲン化合物の分解装置、１１：上フランジ、１２：下フランジ、１３：放電管、１４：高周波コイル、１５：被処理物供給手段、１６：取付けフランジ、１７：連結管、１８：第１の噴出孔、１９：第１のガス吹込みリング、２０：第２の噴出孔、２１：第２のガス吹込みリング、２２：円柱部、２３：シール部材、２４：リング本体、２５：上つば部、２６：下つば部、２７：リング本体、２８：上つば部、２９：下つば部、３０：リングホルダー、３１：第１のリング収容溝、３２：第２のリング収容溝、３３、３４：ガス供給管、３５、３６：空間部、３７：フランジ部
【図１】
2011147902.tif 000003
【図２】
2011147902.tif 000004
【図３】
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