(57)【要約】【課題】弾性体を励振するのに必要な圧電体の圧電特性の低下やクラック又は剥離を抑制する。【解決手段】弾性体２０１は、一方の面２０１ａに複数の凸部２０１ｃが形成されている。弾性体２０１の他方の面２０１ｂであって、複数の凸部２０１ｃに対応する位置にエアロゾルデポジション法により圧電体２０２の原材料及び応力緩和体２０４を成膜する。応力緩和体２０４は、圧電体２０２と隙間Ｄ１をあけて設けられ、圧電体２０２を焼成する際に圧電体２０２にかかる応力を緩和する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面及び前記一方の面と反対側の他方の面からなる一対の面を有し、前記一方の面に複数の凸部が形成された弾性体と、前記弾性体の前記複数の凸部に相対する回転体と、を備え、前記弾性体の振動により前記回転体を回転させる振動波モータにおいて、
前記弾性体の前記他方の面であって、前記複数の凸部に対応する位置にエアロゾルデポジション法により成膜され、焼成して形成される圧電体と、
前記圧電体に配置され、交流電圧の印加により、前記弾性体を励振する複数の電極と、
前記弾性体の前記他方の面に、前記圧電体と隙間をあけて設けられ、焼成する際に前記圧電体にかかる応力を緩和する応力緩和体と、を備えたことを特徴とする振動波モータ。
【請求項２】
前記応力緩和体は、前記圧電体と同一の原材料をエアロゾルデポジション法により成膜して形成されることを特徴とする請求項１に記載の振動波モータ。
【請求項３】
前記複数の凸部は、環状に配置され、
前記圧電体は、前記複数の凸部に対応して環形状に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の振動波モータ。
【請求項４】
前記複数の電極は、環状に配置された第１の電極群と、前記第１の電極群の内側に環状に配置された第２の電極群とを有し、
前記圧電体は、前記第１の電極群に対応する部分と前記第２の電極群に対応する部分とに半径方向に分割して形成されていることを特徴とする請求項３に記載の振動波モータ。
【請求項５】
前記圧電体は、前記電極毎に分割して形成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の振動波モータ。
【請求項６】
一方の面及び前記一方の面と反対側の他方の面からなる一対の面を有し、前記一方の面に複数の凸部が形成された弾性体と、前記弾性体の前記複数の凸部に相対する回転体と、を備え、前記弾性体の振動により前記回転体を回転させる振動波モータの製造方法において、
前記弾性体の前記他方の面であって、前記複数の凸部に対応する位置にエアロゾルデポジション法により圧電体の原材料を成膜する第１の成膜工程と、
前記弾性体の前記他方の面に、前記圧電体の原材料膜と隙間をあけて、前記圧電体にかかる応力を緩和する応力緩和体を成膜する第２の成膜工程と、
前記第１の成膜工程で成膜された前記圧電体の原材料膜を、前記応力緩和体と共に焼成して前記圧電体を形成する焼成工程と、を備えたことを特徴とする振動波モータの製造方法。
【請求項７】
前記第１の成膜工程及び前記第２の成膜工程では、前記圧電体及び前記応力緩和体の形状に対応するマスクを用い、同一の原材料で成膜することを特徴とする請求項６に記載の振動波モータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エアロゾルデポジション法により原材料膜を成膜し、焼成して形成された圧電体を有する振動波モータ及び振動波モータの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に振動波モータは、円環状の振動体を有しており、この振動体は金属製の弾性体に圧電素子を接合して構成されている。圧電素子上に形成された２相の電極群に時間的に位相の異なる高周波電圧を印加すると、圧電素子の振動によって弾性体には二つの定在波振動が励起され、これら二つの定在波振動が合成されて進行波となり、弾性体の表面が楕円運動する。そして、この弾性体の表面に回転体を加圧接触させると、回転体を回転駆動することができる。
【０００３】
上述した圧電素子としては、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）のバルク材を、焼成後に寸法精度を得るべく切削又は研磨の機械加工を行い、その後上述した電極群を配置して分極を行う方法が実用化されている。そして、上述したバルク材と弾性体を、エポキシ系又はアクリル系の熱硬化タイプの接着剤を用いて接着接合して一体化し、それを振動体としていた。
【０００４】
近年、微小電気機械システム（ＭＥＭＳ：ｍｉｃｒｏ  ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ  ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  ｓｙｓｔｅｍ）の注目度が高まってきている。この分野では、圧電セラミックスを利用したセンサやアクチュエータ等を更に集積化し、実用に供するために成膜によってそれらの素子を作製することが検討されている。その一つとして、セラミックスや金属等の成膜技術として知られているエアロゾルデポジション法が注目されている（非特許文献１参照）。
【０００５】
エアロゾルデポジション法とは、原料の粉体からエアロゾルを生成し、そのエアロゾルを基板に噴射し、その際の衝突エネルギーにより粉体を堆積させて膜を形成する方法である。エアロゾルデポジション法を用いることにより、効率良く１０μｍ以上の圧電体を成膜することができる。
【０００６】
図６用いて、一般的な振動波モータの弾性体と、それにエアロゾルデポジション法によって圧電体を成膜し、さらに電極を成膜する工程を説明する。図６（ａ）には、振動波モータの振動体に使われる金属性の弾性体１０１を上方から見た斜視図を示している。弾性体１０１は円環形状に形成され、複数の凸部１０１ａを有している。複数の凸部１０１ａは環状に等間隔に配置されており、それらの間には複数の溝１０１ｂが形成されている。
【０００７】
この弾性体１０１には、図６（ｂ）に示すように、弾性体１０１の複数の凸部１０１ａが形成されている面とは反対側の面に、エアロゾルデポジション法により圧電体１０２が成膜される。その後、圧電体１０２を５００℃から７００℃以上で焼成し、図６（ｃ）に示すように、振動波モータの駆動に必要な振動を励起させるための適当な形状の複数の電極１０３を形成する。そして、各電極１０３に交流電圧を印加することにより、振動体１００に進行波を励起し、凸部１０１ａに接する回転体（図示せず）を回転させる。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００８】
【非特許文献１】明渡  純、「次世代の機械設計を探る第３回、超微粒子の衝突付着現象を利用した高速セラミックス・コーティング」、機械設計、日刊工業新聞社、第４５巻第６号（２００１年５月号）、ｐ．９２−９６
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、上述したように、エアロゾルデポジション法により弾性体に成膜した圧電体は、良好な圧電特性を得るために通常５００℃から７００℃で焼成する必要がある。この工程を焼成工程と呼ぶ。しかし、焼成工程において、圧電体と弾性体との熱膨張率の違い等により、圧電体に応力が発生し、圧電体の圧電特性の低下やクラックの発生、圧電体の弾性体からの剥離などにより、振動波モータの特性が低下するといった問題があった。
【００１０】
そこで、本発明は、弾性体を励振するのに必要な圧電体の圧電特性の低下やクラック又は剥離を抑制することができる振動波モータ及び振動波モータの製造方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、一方の面及び前記一方の面と反対側の他方の面からなる一対の面を有し、前記一方の面に複数の凸部が形成された弾性体と、前記弾性体の前記複数の凸部に相対する回転体と、を備え、前記弾性体の振動により前記回転体を回転させる振動波モータにおいて、前記弾性体の前記他方の面であって、前記複数の凸部に対応する位置にエアロゾルデポジション法により成膜され、焼成して形成される圧電体と、前記圧電体に配置され、交流電圧の印加により、前記弾性体を励振する複数の電極と、前記弾性体の前記他方の面に、前記圧電体と隙間をあけて設けられ、焼成する際に前記圧電体にかかる応力を緩和する応力緩和体と、を備えたことを特徴とするものである。
【００１２】
また、本発明は、一方の面及び前記一方の面と反対側の他方の面からなる一対の面を有し、前記一方の面に複数の凸部が形成された弾性体と、前記弾性体の前記複数の凸部に相対する回転体と、を備え、前記弾性体の振動により前記回転体を回転させる振動波モータの製造方法において、前記弾性体の前記他方の面であって、前記複数の凸部に対応する位置にエアロゾルデポジション法により圧電体の原材料を成膜する第１の成膜工程と、前記弾性体の前記他方の面に、前記圧電体の原材料膜と隙間をあけて、前記圧電体にかかる応力を緩和する応力緩和体を成膜する第２の成膜工程と、前記第１の成膜工程で成膜された前記圧電体の原材料膜を、前記応力緩和体と共に焼成して前記圧電体を形成する焼成工程と、を備えたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、圧電体を焼成により形成する際に、弾性体と圧電体との熱膨張率の違いにより圧電体にかかる応力が応力緩和体により緩和される。これにより、圧電体の圧電特性の低下やクラック、剥離を抑制することができる。また、応力緩和体にクラックや剥離が生じても、応力緩和体は圧電体と隙間をあけて設けられているので、応力緩和体のクラックや剥離が圧電体には影響しない。したがって、振動波モータの性能の低下を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】エアロゾルデポジション法によりセラミックスを基板に成膜する成膜装置の模式図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る振動波モータの説明図であり、（ａ）は振動波モータの断面図、（ｂ）は弾性体の斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る振動波モータの振動体の製造工程を説明する説明図であり、（ａ）は弾性体に圧電体及び応力緩和体を成膜した図、（ｂ）は圧電体上に電極を成膜した図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係る振動波モータの振動体の製造工程を説明する説明図であり、（ａ）は弾性体に圧電体及び応力緩和体を成膜した図、（ｂ）は圧電体上に電極を成膜した図である。
【図５】本発明の第３実施形態に係る振動波モータの振動体の製造工程を説明する説明図であり、（ａ）は弾性体に圧電体及び応力緩和体を成膜した図、（ｂ）は圧電体上に電極を成膜した図である。
【図６】従来の振動波モータの振動体の製造工程を説明する説明図であり、（ａ）は成膜前の弾性体の図、（ｂ）は弾性体に圧電体を成膜した図、（ｃ）は圧電体上に電極を成膜した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明を実施するための形態を図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１６】
［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態に係るエアロゾルデポジション法による成膜装置の概略構成を示す説明図である。図１に示す成膜装置１は、膜形成部２と、エアロゾル生成部３と、を備え、エアロゾルデポジション法により基板にセラミックスを皮膜形成する。エアロゾル生成部３は、エアロゾル生成器３０と、ガス搬送管３１によってエアロゾル生成器３０内にガス供給源３３から注入されるガスの量を調節するマスフローコントローラ３２と、を備えている。エアロゾル搬送管４の基端部はエアロゾル生成器３０の上部に挿入されている。このように構成されたエアロゾル生成部３は、セラミックス微粒子粉末をガス中に分散させてエアロゾル化し、エアロゾル搬送管４を介して膜形成部２にエアロゾルを搬送する。膜形成部２は、真空ポンプ２１で真空化（減圧）される真空チャンバー２０を有し、搬送管４の先端部に配置されたノズル５から、減圧下の雰囲気でエアロゾル６を基板７に噴射して皮膜を形成する。なお、基板７は、Ｘ−Ｙステージ８に固定されており、基板７をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させながら皮膜を形成する。
【００１７】
本第１実施形態では、セラミックスとして、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電体の原材料を使用し、また基板７として振動波モータの金属製の弾性体を設置する。エアロゾルデポジション法によって圧電体材料を成膜することで、１０〜１００μｍ程度で均一的な組成から成る圧電体膜を１回の成膜工程にて形成することができる。更に、ノズル５と基板７の間に、基板７上に成膜する圧電体の所望の形状に対応した形状のマスク９を設置することにより、基板７上に所望の形状の皮膜を成膜することができる。
【００１８】
振動波モータ５０は、図２（ａ）に示すように、回転体６０と、回転体６０を振動により回転させる振動体７０と、回転体６０を振動体７０に押圧する加圧機構８０と、を備えている。
【００１９】
振動体７０は、円環形状に形成された弾性体２０１を有している。この弾性体２０１は、一方の面２０１ａと、面２０１ａとは反対側の他方の面２０１ｂとからなる一対の面を有している。振動体７０は、弾性体２０１の一方の面２０１ａに接着固定され、回転体６０に接触する摺動材７１と、弾性体２０１の他方の面２０１ｂに成膜される圧電体２０２と、圧電体２０２上に形成される複数の電極２０３とを有している。
【００２０】
圧電体２０２は、電気−機械エネルギー変換素子であり、入力された電気エネルギーを振動エネルギーに変換する。摺動材７１には、回転体６０が接触し、回転体６０が加圧機構８０によって加圧される。加圧機構８０は加圧バネ８１とバネ受け８２とからなり、バネ受け８２は回転軸９０に固定され、回転体６０及び加圧バネ８１は、バネ受け８２を介して回転軸９０と一体に回転する。回転体６０、振動体７０及び加圧機構８０はハウジング９１で覆われている。ハウジング９１は、基部９２とケース部９４とで構成されている。ハウジング９１の基部９２には軸受け９３が装着され、ケース部９４には軸受け９５が装着される。軸受け９３，９５は、回転軸９０を回転自在に支持している。ハウジング９１の基部９２の中央には、回転軸９０が挿通される挿通孔９２ａが形成され、この挿通孔９２ａの周りにハウジング内側に突出して振動体７０（弾性体２０１）を支持する円環形状の支持部９２ｂが形成されている。
【００２１】
弾性体２０１の一方の面２０１ａには、図２（ｂ）に示すように、複数の凸部２０１ｃが形成されている。複数の凸部２０１ｃは、円環状に等間隔に配置されており、隣り合う凸部２０１ｃの間には、半径方向に延びる溝２０１ｄが形成されている。複数の凸部２０１ｃには、図２（ａ）に示すように、摺動材７１を介して回転体６０が相対して配置されている。
【００２２】
弾性体２０１の中央には、回転軸９０が挿通される孔２０１ｅが形成されており、孔２０１ｅの周囲には、凸部２０１ｃ及び溝２０１ｄよりも厚みが薄い薄肉部２０１ｆが形成されている。この薄肉部２０１ｆは、円環形状に形成されている。弾性体２０１は、円環形状の内周部２０１Ａと内周部２０１Ａの外側に形成された円環形状の外周部２０１Ｂとを有して構成される。内周部２０１Ａは、外周部２０１Ｂよりも薄肉に形成された薄肉部２０１ｆであり、外周部２０１Ｂには、その一方の面に周方向に沿って形成される複数の凸部２０１ｃ及び複数の溝２０１ｄが形成されている。この内周部２０１Ａは、外周部２０１Ｂがハウジング９１に接触しないように、ハウジング９１の基部９２に形成された支持部９２ｂに圧入又は接着等により固定される。内周部２０１Ａは薄肉に形成されているので、凸部２０１ｃ及び溝２０１ｄのある外周部２０１Ｂの振動の妨げとなるのを回避している。
【００２３】
弾性体２０１の他方の面２０１ｂには、圧電体２０２及び複数の電極２０３が形成されている。圧電体２０２は、複数の凸部２０１ｃ及び複数の溝２０１ｄに対応する位置に形成されており、半径方向の長さが、複数の凸部２０１ｃの半径方向の長さと同一に設定された円環形状に形成されている。つまり、圧電体２０２は、外周部２０１Ｂに形成されている。複数の電極２０３は、圧電体２０２上に形成されている。電極２０３には、交流電圧が印加され、弾性体２０１が励振される。このように電極２０３を凸部２０１ｃ及び溝２０１ｄに対応する個所に形成することで、振動の励起を容易にし、回転体６０の回転を発生しやすくしている。
【００２４】
ところで、この圧電体２０２は、エアロゾルデポジション法により形成されるセラミックスであるが、圧電体２０２の圧電特性向上のため、５００℃から７００℃の温度で焼成される。このとき、圧電体２０２には、圧電体２０２と弾性体２０１との熱膨張率の違いにより、応力が発生する。具体的には、弾性体２０１及び圧電体２０２は円環形状に形成されているので、焼成の際には弾性体２０１及び圧電体２０２が主に半径方向に膨張するが、熱膨張率の違いにより圧電体２０２には半径方向に応力が発生する。そこで、本第１実施形態では、弾性体２０１の他方の面２０１ｂに圧電体２０２と隙間をあけて応力緩和体２０４が形成されている。この応力緩和体２０４は、弾性体２０１の内周部２０１Ａに形成されている。
【００２５】
この応力緩和体２０４は、振動体７０を製造する製造工程のうち、焼成工程でその効果を発揮するので、図３を参照しながら、振動体７０の製造工程について詳細に説明する。この製造工程は、成膜工程と、焼成工程と、電極形成工程とを含んでいる。
【００２６】
まず、成膜工程から説明すると、図３（ａ）に示すように、弾性体２０１の他方の面２０１ｂには、圧電体２０２の原材料であるＰＺＴがエアロゾルデポジション法により成膜される。このとき、図１のマスク９を用いて成膜される。このマスク９には、圧電体２０２及び応力緩和体２０４の形状に対応する開口部が形成されており、このマスク９を用いて成膜することで、弾性体２０１の他方の面２０１ｂには、圧電体２０２の原材料膜と、応力緩和体２０４とが同時に成膜される。言い換えれば、圧電体２０２の原材料を成膜する工程（第１の成膜工程）と、応力緩和体２０４を成膜する工程（第２の成膜工程）とを同時に行っている。つまり、応力緩和体２０４は、圧電体２０２と同一の原材料をエアロゾルデポジション法により成膜して形成される。このように応力緩和体２０４として圧電体２０２と同一の原材料を用いることで、応力緩和体２０４を成膜するためだけの工程を別途設ける必要がなく、圧電体２０２となる原材料膜と同時に応力緩和体２０４を成膜することができる。したがって、振動体７０、ひいては振動波モータ５０の生産性が向上する。なお、圧電体２０２及び応力緩和体２０４は厚さ１０〜１００μｍ程度で弾性体２０１の他方の面２０１ｂに成膜される。圧電体２０２の原材料膜と応力緩和体２０４とは、隙間Ｄ１をあけて弾性体２０１の他方の面２０１ｂに非連結状態で形成されている。
【００２７】
次に、成膜された圧電体２０２となる原材料膜を、応力緩和体２０４と共に焼成して圧電体２０２を形成する（焼成工程）。この焼成工程では、圧電体２０２の圧電特性向上のため、５００℃から７００℃の温度で焼成される。
【００２８】
次に、図３（ｂ）に示す複数の電極（電極膜）２０３をスパッタ法又は印刷法等にて圧電体２０２上に形成する（電極形成工程）。この工程後、分極処理を行う。以上の工程により振動体７０が製造される。ここで、１つの電極２０３とこの電極２０３に対向する圧電体の２０２部分とで１つの圧電素子が形成され、図３（ｂ）に示す電極２０３の数だけ圧電素子が形成されている。
【００２９】
複数の電極２０３は、環状に配置された第１の電極群２０３ａと、第１の電極群２０３ａの内側に環状に配置された第２の電極群２０３ｂとに分割して構成される。つまり、複数の圧電素子が、環状に配置された第１の圧電素子群と、第１の圧電素子群の内側に環状に配置された第２の圧電素子群とに分割して構成される。各圧電素子群における各圧電素子は、素子毎に分極方向を反転させて形成されている。そして、各電極群２０３ａ，２０３ｂには、互いに位相の異なる交流電圧が印加される。これにより、２つの定在波振動が励起され、これら２つの定在波振動が合成されて進行波となり、弾性体２０１の表面２０１ａが楕円運動する。そして、弾性体２０１の凸部２０１ｃに摺動材７１を介して圧接する回転体６０には、弾性体２０１の撓み振動により回転運動が付与される。
【００３０】
ここで、上記焼成工程における焼成作業により圧電体２０２が形成されるが、この焼成の際に、セラミックス製の圧電体２０２と金属製の弾性体２０１との熱膨張率の違いにより圧電体２０２に発生する応力が、応力緩和体２０４により緩和される。つまり、圧電体２０２には、弾性体２０１の熱膨張により半径方向に応力が作用するが、応力緩和体２０４にも半径方向に応力が作用している。このように応力が圧電体２０２と応力緩和体２０４との両方に作用することで分散されるので、圧電体２０２に応力が集中するのを防いでいる。この応力緩和体２０４により、焼成の際に圧電体２０２に作用する応力が緩和されるので、圧電体２０２の圧電特性の低下を抑制することができる。また、圧電体２０２にクラックが発生するのを抑制することができ、圧電体２０２が剥離するのを抑制することができる。したがって、振動体７０、ひいては振動波モータ５０の製造の歩留まりを向上させることができる。
【００３１】
また、応力緩和体２０４を圧電体２０２と同一の原材料とすることで、応力緩和体２０４の熱膨張率と圧電体２０２の熱膨張率とを等しくすることができる。したがって、応力緩和体２０４に応力が集中するのを効果的に抑制することができる。また、応力緩和体２０４が圧電体２０２に及ぼす熱膨張率の違いによる影響を小さくすることができる。
【００３２】
なお、この焼成工程において、応力緩和体２０４はクラックの発生や剥離、圧電特性の低下が起きても特に問題はない。つまり、応力緩和体２０４は、圧電体２０２とは隙間Ｄ１を設けて形成されているので、圧電体２０２と連続して形成されているものではなく、応力緩和体２０４にクラックや剥離が発生しても、圧電体２０２には応力緩和体２０４のクラックや剥離が影響しない。つまり、応力緩和体２０４のクラックや剥離で圧電体２０２にクラックや剥離は生じない。したがって、振動波モータ５０の性能の低下を抑制することができる。
【００３３】
［第２実施形態］
次に、第２実施形態の振動波モータについて、図４に示す振動体７０Ａの製造工程を示す図を参照しながら説明する。なお、本第２実施形態において、上記第１実施形態と同一の構成については、同一符号を付して説明を省略する。
【００３４】
弾性体２０１は円環形状に形成されているので、焼成工程では弾性体２０１が半径方向に膨張する。したがって、圧電体２０２Ａには、半径方向に応力が作用する。そこで、成膜工程（第１の成膜工程）では、図４（ａ）に示すように、圧電体２０２Ａを、半径方向に分割して形成している。本第２実施形態では、図４（ｂ）に示すように、圧電体２０２Ａを第１の電極群２０３ａに対応する部分（分割片）２０２ａと第２の電極群２０３ｂに対応する部分（分割片）２０２ｂとに分割して形成している。ここで、分割片２０２ａ及び分割片２０２ｂは、マスク９（図１）により分割して成膜される。したがって、成膜後に分割する工程は必要ない。このように形成された分割片２０２ａと分割片２０２ｂとの間には、隙間Ｄ２が設けられている。そして、圧電体２０２Ａを分割片２０２ａ，２０２ｂに分割しても、弾性体２０１の振動の励起に与える影響は少ない。圧電体２０２Ａをエアロゾルデポジション法により成膜後に焼成工程が実施され、その後電極２０３が成膜される電極形成工程が実施される。
【００３５】
以上、本第２実施形態では、上記第１実施形態と同様に応力緩和体２０４を備えたことにより、圧電体２０２Ａの圧電特性の低減が抑制され、圧電体２０２Ａのクラックの発生や剥離が抑制されるという上記第１実施形態と同様の効果を奏する。更に、本第２実施形態では、圧電体２０２Ａを半径方向に分割したことにより、焼成工程で各分割片２０２ａ，２０２ｂに発生する応力を低減することができる。これにより圧電体２０２Ａのクラックの発生や剥離、圧電特性の低下をより効果的に抑制することができる。したがって、振動体７０Ａ、ひいては振動波モータの製造の歩留まりを向上させることができる。
【００３６】
また、圧電体２０２Ａを各電極群２０３ａ，２０３ｂに対応して分割片２０２ａ，２０２ｂに分割して形成したので、圧電体を一体に形成する場合よりも、圧電体２０２Ａによる弾性体２０１の振動の減衰作用を低減させることができる。したがって、より効果的に弾性体２０１を振動させることができる。
【００３７】
［第３実施形態］
次に、第３実施形態の振動波モータについて、図５に示す振動体７０Ｂの製造工程を示す図を参照しながら説明する。なお、本第３実施形態において、上記第１実施形態と同一の構成については、同一符号を付して説明を省略する。
【００３８】
圧電体２０２Ｂの成膜工程では、図５（ａ）に示すように、圧電体２０２Ｂを、半径方向に分割すると共に、周方向に分割して形成している。そして、焼成工程後、電極形成工程では、図５（ｂ）に示すように、各分割片２０２ｃにはそれぞれ１つの電極２０３が形成される。つまり、圧電体２０２Ｂは、電極毎に分割して形成されている。各分割片２０２ｃは、成膜工程でマスク９（図１）により分割して成膜される。したがって、成膜後に分割する工程は必要ない。このように形成された各分割片２０２ｃの間には、隙間Ｄ２，Ｄ３が設けられている。そして、圧電体２０２を電極２０３毎の分割片２０２ｃに分割しても、弾性体２０１の振動の励起に与える影響は少ない。
【００３９】
以上、本第３実施形態では、上記第１実施形態と同様に応力緩和体２０４を備えたことにより、圧電体２０２Ｂの圧電特性の低減が抑制され、圧電体２０２Ｂのクラックの発生や剥離が抑制されるという上記第１実施形態と同様の効果を奏する。更に、本第３実施形態では、圧電体２０２Ｂを電極２０３毎に分割して形成したことにより、上記第２実施形態よりも圧電体を更に細かく分割しているので、更に効果的に圧電体２０２Ｂのクラックの発生や剥離、圧電特性の低下を抑制することができる。したがって、振動体７０Ｂ、ひいては振動波モータの製造の歩留まりを向上させることができる。
【００４０】
また、本第３実施形態では、圧電体２０２Ｂを電極２０３毎に分割して形成したことにより、圧電体２０２Ｂを一体に形成する場合よりも、圧電体２０２Ｂによる弾性体２０１の振動の減衰作用を低減させることができる。したがって、より効果的に弾性体２０１を振動させることができる。
【００４１】
なお、上記実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。上記実施形態では、応力緩和体が、圧電体と同一の材料で成膜される場合について説明したが、これに限定するものではなく、応力を緩和できる材料であれば、別素材のセラミックス材料で成膜される場合であってもよい。この場合、エアロゾルデポジション法で応力緩和体を形成すればよい。また、応力を緩和できる材料であれば、セラミックス材料以外の材料で成膜される場合であってもよい。いずれの場合でも、圧電体と同一又は近傍の熱膨張率であると好適である。
【００４２】
また、上記実施形態では、圧電体の原材料を成膜する第１の成膜工程と、応力緩和体を成膜する第２の成膜工程とを同時に一つの成膜工程（一工程）で行う場合について説明したが、これに限定するものではなく、各工程を別々に行ってもよい。
【００４３】
また、上記実施形態では、応力緩和体を圧電体の内側に環形状に形成する場合について説明したが、これに限定するものではない。弾性体が凸部を有する内周部と、内周部の外側に形成される外周部とを有する場合には、外周部に応力緩和体を設ければよい。この場合、応力緩和体を環形状に形成するのが好ましい。
【００４４】
また、上記実施形態では、弾性体が円環形状の場合について説明したが、円形に限定するものではなく、多角形等のあらゆる環形状のものに適用することが可能である。また、上記実施形態では、圧電体と応力緩和体とが非連結状態で形成される場合について説明したが、応力の緩和に影響を及ぼさない程度の細さの連結部で圧電体と応力緩和体とが連結されていてもよい。
【符号の説明】
【００４５】
５０  振動波モータ
６０  回転体
２０１  弾性体
２０１ｃ  凸部
２０２，２０２Ａ，２０２Ｂ  圧電体
２０３  電極
２０４  応力緩和体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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