(57)【要約】【課題】  吐出口部材に設けられる吐出口の開口の面積や吐出口の形状が、液滴の量に影響を与えるため、吐出口の開口の面積や形状を詳細に確認することが必要である。【解決手段】  エネルギー発生素子２によるエネルギーにより液体を吐出するために用いられる吐出口３と、吐出口３と同じ形状であり、液体の吐出に用いられないダミー吐出口６とを備えた液体吐出ヘッドにおいて、ダミー吐出口６と対向する位置は、検査用部材１が設けられている。【選択図】  図４
2011148294.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備えた面を有する液体吐出ヘッド用基板と、
前記面と対向する対向部を有し、該対向部を貫通する複数の貫通孔が設けられた吐出口部材と、
を備え、
前記複数の貫通孔は、前記エネルギー発生素子に対応した液体の吐出口を含み、前記面の、前記複数の貫通孔のうちの一部の貫通孔に対向する部分には、対向する前記貫通孔の状態を検査するために用いられる検査用部材が設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記検査用部材は、複数の凸部で設けられていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記検査用部材は、中心を一致させた複数の径の円、中心を一致させた複数の大きさの正方形、及びこれらの組み合わせ、の少なくとも一部となるように設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記検査用部材は、中心点を有していることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記検査用部材は、前記貫通孔の設計値より小さい径の第１の検査用部材と、前記貫通孔の設計値より大きい径の第２の検査用部材と、を少なくとも有して設けられていることを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記面を前記吐出口部材の上側から見たときに、前記貫通孔を介して前記検査用部材が確認できるかどうかで、請求項３乃至請求項５のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを評価する方法。
【請求項７】
前記検査用部材は、検査機器の焦点を合わせるために用いられるアライメントマークと、第１の方向と該第１の方向と直交する第２の方向とに並んで設けられた複数のセルと、を含んで設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記複数のセルは、前記第１の方向と前記第２の方向とに沿って、一定の間隔を有して規則的に設けられていることを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記複数のセルが設けられている領域の面積は、前記貫通孔の開口面積よりも大きいことを特徴とする請求項７又は請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記アライメントマークは、前記基板を前記吐出口部材が設けられた側から見たときに、前記吐出口部材の下側に位置するように設けられていることを特徴とする請求項７乃至請求項９のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記複数のセルの一部は、前記基板を前記吐出口部材が設けられた側から見たときに、前記貫通孔の下側に設けられていることを特徴とする請求項７乃至請求項１０のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
前記検査用部材は、ＱＲコード形状に設けられていることを特徴とする請求項７乃至請求項１１のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
前記吐出口部材は、エポキシ樹脂の硬化物で設けられていることを特徴とする請求項７乃至請求項１２のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１４】
請求項７乃至請求項１３のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの前記アライメントマークに液体吐出ヘッドを検査する検査機器の焦点を合わせた時に、前記複数のセルのうちの焦点の合うセルの数を確認することで、前記検査用部材に対向する前記貫通孔の開口面積を見積もることを特徴とする液体吐出ヘッドを評価する方法。
【請求項１５】
請求項６または請求項１４に記載の評価を行った液体吐出ヘッドを搭載する液体吐出装置であって、
前記液体吐出ヘッドの評価の結果をもとに吐出制御を行う手段を有することを特徴とする液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出することで記録動作を行う液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの評価方法、及び液体吐出ヘッドを搭載する液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録ヘッドに代表される液体吐出ヘッドは、液体を吐出口から吐出することで記録動作を行うことができる。吐出口は、液体を吐出するために用いられるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備えた液体吐出ヘッド用基板の上に設けられた吐出口部材に設けられる。吐出される液滴の大きさは、吐出口の開口面積に大きく依存するため、開口面積がばらつくと液滴の大きさが異なり、被記録物にムラが生じてしまうことになる。
【０００３】
実際に液滴を吐出することなく、吐出口の開口面積を確認する手法が、特許文献１及び特許文献２に開示されている。特許文献１に開示される液体吐出ヘッドは、液体を吐出する吐出口のほかに、ダミー吐出口を備えており、ダミー吐出口の画像の画素をカウントすることで吐出口の開口面積を見積もることができる。
【０００４】
特許文献２に開示される図を図１５に示す。吐出口２１と流路２２を有する吐出口部材２０が、発熱素子１１を有する液体吐出ヘッド用基板１４の上に設けられている。吐出口部材２０の吐出口２１を形成するために用いられる露光マスクには、吐出口２１の近傍に幅の異なる複数のスリット形状のマスクが設けられている。このような露光マスクを用いて露光・現像を行うと吐出口部材２０に、吐出口２１と複数のスリット２３が設けられる。この吐出口部材２０に設けられたスリットの数やスリットの変形量を評価することで、吐出口２１の径を見積もることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１５４２０２号公報
【特許文献２】特開２００７−０９８７０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に開示される方法では、顕微鏡にて液体吐出ヘッドの画像取り込み、画像処理にて画素を２値化してカウントするとことが必要であり、開口径を見積もるのに時間がかかり、大量生産に不向きであるという懸念があった。
【０００７】
また、特許文献２に開示される方法は、吐出口の開口形状をスリットの形状に置き換えて確認するという間接的な測定法である。吐出口の開口形状に影響を与える要因が、常に同程度にスリットの形状にも影響を与えるかというところには疑問の余地がある。
【０００８】
本発明は、このような課題を鑑みて発明されたものであり、液滴を吐出することなく、吐出口の開口の状態をより正確に確認することができる液体吐出ヘッドを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の液体吐出ヘッドは、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備えた面を有する液体吐出ヘッド用基板と、前記面と対向する対向部を有し、該対向部を貫通する複数の貫通孔が設けられた吐出口部材と、を備え、前記複数の貫通孔は、前記エネルギー発生素子に対応した液体の吐出口を含み、前記面の、前記複数の貫通孔のうちの一部の貫通孔に対向する部分には、対向する前記貫通孔の状態を検査するために用いられる検査用部材が設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
このように、貫通孔と対向する位置に、開口の状態を検査するための部材を設けることにより、液滴を吐出することなく、吐出口の開口状態を確認することができる液体吐出ヘッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明を用いることができる液体吐出装置及びヘッドユニットの斜視図である。
【図２】本発明を用いることができる液体吐出ヘッドの斜視図の一例である。
【図３】本発明のダミー吐出口の一部透かしの斜視図の一例である。
【図４】第１の実施形態のダミー吐出口の上面模式図及び切断面図である。
【図５】第１の実施形態の検査用部材の形状を示す上面模式図である。
【図６】第１の実施形態の検査用部材の製造方法を示す切断面図である。
【図７】第２の実施形態のダミー吐出口の断面図である。
【図８】第２の実施形態の検査用部材の製造方法を示す切断面図である。
【図９】第３の実施形態の検査用部材の製造方法を示す切断面図である。
【図１０】本発明に係るダミー吐出口の一部透かしの斜視図及び上面図の一例である。
【図１１】本発明に係る検査用部材の模式図の一例である。
【図１２】第４の実施形態のダミー吐出口の上面模式図及び切断面図である。
【図１３】第４の実施形態の検査用部材を用いて吐出口のランクを付ける方法を説明する図である。
【図１４】第５の実施形態のダミー吐出口の断面図である。
【図１５】従来の液体吐出ヘッドの一部透かしの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
液体吐出ヘッドは、プリンタ、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワードプロセッサなどの装置、さらには各種処理装置と複合的に組み合わせた産業記録装置に搭載可能である。そして、この液体吐出ヘッドを用いることによって、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど種々の被記録媒体に記録を行うことができる。
【００１３】
本明細書内で用いられる「記録」とは、文字や図形などの意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与することだけでなく、パターンなどの意味を持たない画像を付与することも意味することとする。
【００１４】
さらに「インク」とは広く解釈されるべきものであり、被記録媒体上に付与されることによって、画像、模様、パターン等の形成、被記録媒体の加工、或いはインクまたは被記録媒体の処理に供される液体を言うものとする。ここで、インクまたは被記録媒体の処理としては、例えば、被記録媒体に付与されるインク中の色材の凝固または不溶化による定着性の向上や、記録品位ないし発色性の向上、画像耐久性の向上などのことを言う。
【００１５】
図１（ａ）は、本発明に係る液体吐出ヘッドを搭載可能な液体吐出装置を示す概略図である。図１（ａ）に示すように、リードスクリュー５００４は、駆動モータ５０１３の正逆回転に連動して駆動力伝達ギア５０１１，５００９を介して回転する。キャリッジＨＣはヘッドユニットを載置可能であり、リードスクリュー５００４の螺旋溝５００５に係合するピン（不図示）を有しており、リードスクリュー５００４が回転することによって矢印ａ，ｂ方向に往復移動される。このキャリッジＨＣには、ヘッドユニット４０が搭載されている。
【００１６】
紙押え板５００２は、キャリッジＨＣの移動方向に亘って記録紙Ｐをプラテン５０００に対して押圧する。フォトセンサ５００７，５００８は、キャリッジＨＣのレバー５００６を検知領域で検知することによって、モータ５０１３の回転方向切り換え等を行うためのホームポジション検知素子である。ヘッドユニット４０の前面を気密に覆うキャップ５０２２は、支持部材５０１６に支持されている。また、このキャップ５０２２内を吸引する吸引部材５０１５は、キャップ内開口５０２３を介してヘッドユニット４０の吸引回復を行う。クリーニングブレード５０１７及びこのクリーニングブレード５０１７を前後方向に移動可能にする部材５０１９は、本体支持板５０１８に支持されている。クリーニングブレード５０１７は、この構成に限定されるものではなく、周知の他のクリーニングブレードが本実施形態に適用することもできる。また、吸引回復動作の吸引を開始するためのレバー５０２１は、キャリッジＨＣと係合するカム５０２０の移動に伴って移動し、駆動モータからの駆動力がクラッチ切り換え等の伝達機構で移動制御される。
【００１７】
これらのキャッピング、クリーニング、吸引回復の各動作は、キャリッジＨＣがホームポジション側の領域に移動したときにリードスクリュー５００４の作用によってそれらの対応位置で所望の処理が行えるように構成されている。
【００１８】
図１（ｂ）は、図１（ａ）のような液体記録装置に搭載可能なヘッドユニット４０の斜視図である。液体吐出ヘッド４１（以下、ヘッドとも称する）は、接続端子７と接続するフレキシブルフィルム配線基板４３により、液体記録装置と接続するコンタクトパッド４４に導通している。また、ヘッド４１は、支持基板に接合されることでヘッドユニット４０に支持されている。ここでヘッドユニット４０は、インクタンクと一体化したヘッド４１の一例を示しているが、インクタンクを分離できる分離型とすることも出来る。
【００１９】
図２（ａ）と（ｂ）は、本発明の特徴部である液体吐出ヘッド４１を示した斜視図である。本発明の液体吐出ヘッド４１は、エネルギー発生素子２を備えた液体吐出ヘッド用基板と、液体吐出ヘッド用基板の上に設けられた吐出口部材４とを有している。吐出口部材４は、エネルギー発生素子２が設けられた液体吐出ヘッド用基板５の面と対向する対向部を貫通して設けられた複数の貫通孔を有している。このような吐出口部材は、樹脂材料で設けられおり、複数の貫通孔はフォトリソグラフィー技術やエッチング技術を用いて一括して設けられている。ここで、吐出口部材４に設けられた貫通孔は、エネルギー発生素子２が設けられた液体吐出ヘッド用基板５の面と対向する位置に開口する第１の開口部と、液体を吐出する側に設けられた第２の開口部と、を連通することで設けられている。
【００２０】
複数の貫通孔の一部の貫通孔（第１の貫通孔）は、エネルギー発生素子２により発生されるエネルギーを利用して液体を吐出する吐出口３として用いられ、これらが所定のピッチで一列に配列し、吐出口列を構成されている。
【００２１】
さらに、複数の貫通孔の他の一部の貫通孔（第２の貫通孔）は、記録動作には用いられないダミー吐出口６（第２の開口）として用いられる。第２の貫通孔は、第１の貫通孔と実質的に互いに同じ寸法及び形状で設けることで、さらに信頼性高く用いることができる。
【００２２】
図２（ａ）に示すように、吐出口列に沿って連続してダミー吐出口６設けることで、吐出口３の状態とほぼ同じ状態にすることができる。また図２（ｂ）のように、液体吐出ヘッドに複数のダミー吐出口６を吐出口３吐出口列の近傍に複数設けることで、液体吐出ヘッド全体の状態を確認することができる。これにより、さらに細かく液体吐出ヘッド全体の吐出口３の状態を見積もることができる。ここで、”近傍”とは、隣り合う吐出口３の距離程度のことをいう。
【００２３】
液体吐出ヘッド用基板に設けられるエネルギー発生素子２としては、電気熱変換素子（ヒーター）または、圧電素子（ピエゾ素子）等を用いることができる。吐出口列に対向する位置には、複数のエネルギー発生素子２が設けられており、複数配列することで素子列となっている。素子列の間の位置には、基体５を貫通して設けられ、エネルギー発生素子２に液体を供給する供給口４５が設けられている。ここでは、供給口４５が一つ設けられた液体吐出ヘッドを用いて説明するが、複数の供給口４５を有する液体吐出ヘッドでも同様に本発明を適用することができる。さらに吐出口部材４には、吐出口３やダミー吐出口６と連通する流路４６の凹部４６ａが設けられており、吐出口部材４と液体吐出ヘッド用基板とが接することで流路４６が、設けられている。
【００２４】
（第１の実施形態）
図３は、このような液体吐出ヘッド４１に設けられている１つのダミー吐出口６の一部透かしの断面斜視図である。ダミー吐出口と対向する位置には、吐出口の形状を評価するための基準部材として、複数の凸部を有する検査用部材１が設けられている。それ以外のダミー吐出口６と対向する位置に設けられている構成は、吐出口３と同じ寸法及び形状に設けられている。
【００２５】
検査用部材１は、ダミー吐出口６と対向する位置に、中心を一致させた複数の径の円からなる同心円、中心を一致させた複数の大きさの正方形を配置した同心角、及びこれらの組み合わせの、少なくとも一部となっていることが好ましい。この凸部の厚さは、ダミー吐出口６から検査用部材１を確認した時に判別できる程度の凹凸となっていれば良い。なお、ダミー吐出口６はエネルギー発生素子２と対向するように図示されているが、エネルギー発生素子２がこのように対向することは必ずしも必要ではなく、異なる位置に設けることもできる。
【００２６】
ダミー吐出口６と、ダミー吐出口６の開口（径）を介して検査用部材１を確認できるか判断することで、ダミー吐出口６の大きさ、すなわち吐出口３の大きさを分類（ランク付け）することができる。さらに、ダミー吐出口６と、検査用部材１との位置ずれ量を確認することで、吐出口部材４と、液体吐出ヘッド用基板との位置ずれ量を見積もることができる。ダミー吐出口６は、吐出口３と同じ工程かつ同じ条件で設けられているため、ダミー吐出口６のランク付けを行うことにより、吐出口３のランク付けを行うことができる。なお、このような検査用部材１は、吐出口３に対向する位置には設けられていない。吐出口３にこのような部材が設けられていると、記録動作時に液体の吐出方向がずれるなどの影響が考えられるためである。
【００２７】
ダミー吐出口６の開口を介して検査用部材１を確認する方法としては、光学顕微鏡などで確認する方法のみならず、自動測定装置を用いて確認するという方法を用いることもできる。
【００２８】
この結果をもとに、液体吐出ヘッドの状態（ランク）を液体吐出装置の情報記録媒体（不図示）に書き込み、液体吐出ヘッド毎に吐出制御を行うことで、液体吐出ヘッドに固体差が生じていたとしても、記録物の記録品位を一定に保つことができる。
【００２９】
液体吐出ヘッドは、１枚のウエハーに複数の液体吐出ヘッドを半導体プロセスを用いて一括して作成し、ウエハーから切り出して用いられる。このような液体吐出ヘッドの検査用部材１の凸部は、吐出口部材４と膜厚と比較すると、十分に薄くなるように設けられている。検査用部材１は、凸部の厚さを小さくすることにより、複数の液体吐出ヘッドにおいてもばらつきのない状態を保つことができる。一方膜厚の厚い吐出口部材４は、ウエハー面内で製造時にばらつきが生じやすく、液体吐出ヘッドごとに吐出口３又はダミー吐出口６の大きさがばらつきやすいという状態にある。ばらつきの小さい検査用部材１を基準として、複数の液体吐出ヘッドのダミー吐出口６との大きさを判断することで、吐出口３の大きさを確実に評価することができる。これにより信頼性の高い、液体吐出ヘッドのランク付けを行うことができる。
【００３０】
以下、エネルギー発生素子２として電気熱変換素子（発熱素子）を用いた例を用いて説明する。このような液体吐出ヘッドにおいて液体は、発熱素子２で発生する熱エネルギーで膜沸騰を起こし、この圧力により吐出口から吐出され記録動作が行われる。
【００３１】
図４（ａ）は、ダミー吐出口６の上面模式図を示したものである。以下ダミー吐出口６の断面をもとに説明するが、検査用部材１以外は、吐出口３も同じ構成となっている。
図４（ｂ）は、図４（ａ）のＡ−Ａ’切断面図である。吐出口部材４には、吐出口３と同じ形状のダミー吐出口６が設けられている。基体５の上には、発熱素子２が設けられており、その上に発熱素子２を液体から保護するために設けられた絶縁保護層４８が設けられている。絶縁保護層４８は、窒化シリコンや窒化酸素などの絶縁材料を用いて、約１．０μｍ程度で設けることで発熱素子２の絶縁性も確保することができる。さらに、絶縁保護層４８の上には、液体を吐出する時に発生する衝撃（キャビテーション）から発熱素子２を保護するために用いられる耐久保護層４９が設けられている。耐久保護層４９としては、Ｔａ等のようなインク耐久性を有しかつ耐衝撃性に優れる材料を用いることができる。耐久保護層４９の厚さとしては、０．２μｍ以上１．０μｍ以下程度設けられていることが好ましい。耐久保護層４９の表面には、複数の凸部を有する検査用部材１が設けられており、これにより発熱素子２を備えた面を有する液体吐出ヘッド用基板５０が設けられている。この凸部の厚さは、ダミー吐出口６から検査用部材１を確認した時に判別できる程度の凹凸となっていれば良く、０．１μｍ以上０．５μｍ以下程度とすることが好ましい。
【００３２】
液体吐出ヘッド用基板５０の面の上側には、ダミー吐出口６と連通する流路４６の凹部４６ａが設けられており、吐出口部材４と液体吐出ヘッド用基板とが接することで流路４６が設けられている。吐出口部材４は、エポキシ樹脂などの熱可塑性樹脂の硬化物等で設けることができ、液体吐出ヘッド用基板の上に２０．０μｍ以上１００．０μｍ以下程度の厚さとで設けられている。
【００３３】
吐出口３は、発熱素子２と対向する位置に設けられており（不図示）、これと同様にダミー吐出口６も発熱素子２と対向するように設けられている。さらに、ダミー吐出口６と対向する位置であり、かつ発熱素子２の上側には、検査用部材１が位置するように設けられている。
【００３４】
液体吐出ヘッド用基板の面をダミー吐出口６の側から見たときに、ダミー吐出口６の開口を介して検査用部材１がどの程度確認できるかで、ダミー吐出口６の大きさ、すなわち吐出口３の大きさを分類し、液体吐出ヘッドのランク付けすることができる。
【００３５】
この結果を液体吐出ヘッドの状態を液体吐出装置の情報記録媒体（不図示）に書き込み、液体吐出ヘッド毎に制御を行うことで、液体吐出ヘッドに固体差が生じていたとしても、記録物の記録品位を一定に保つことができる。
【００３６】
図５に、このような検査用部材１として用いられる形状の例を示す。図５（ａ）に示す検査用部材１は、同心円状に設けられた第１の検査用部材８と第２の検査用部材９とで設けられている。
【００３７】
次に、このような検査用部材１を有する液体吐出ヘッドのランク付けの方法の一例を示す。
第１の検査用部材８は、吐出口３（ダミー吐出口６）の設計値より小さい円形となるように設け、第２の検査用部材９は、吐出口３（ダミー吐出口６）の設計値より大きい円形となるように設ける。また吐出口３の径に対する、吐出口３から吐出される液滴の量とを予め対応しておくことで、ダミー吐出口６と検査用部材１を重ね合わせた時の位置によって吐出口３の径を見積もり、吐出量ランクを判別する事が出来る。
【００３８】
図５（ａ）のように、２つの部材で検査用部材１を設けた場合には、三段階のランク付けを行うことができる。第２の検査用部材９の径より大きいものを“ランク大”第１の検査用部材８の径より大きく、第２の検査用部材９の径より小さいものを“ランク中”、第１の検査用部材８の径より小さいものを“ランク小”とする。どのランクとなっているかどうかは、ダミー吐出口６の上側から目視又は測定装置などで、ダミー吐出口６の開口を介して検査することによって、判定することができる。
【００３９】
また、図５（ｂ）に示すように、図５（ａ）に示す構成にさらに、中心点１０を設けることもできる。中心点１０を設けることにより、吐出口３の中心位置と、検査用部材１の中心位置とのずれ量を確認することができる。
【００４０】
さらに、中心点１０を設計時に予定しているダミー吐出口６の中心位置とすることで、ダミー吐出口６の設計位置からの位置ずれ量を知る事ができ、同様に吐出口３も同じ量ずれていることを見積もり、吐出される液滴の着弾位置のずれを見積もることができる。この情報を液体吐出装置の情報記録媒体に記録して制御する事で、着弾位置の補正を行うこともできる。
【００４１】
また、検査用部材１を複数の径を有する部材で設けることで細かいランク付けを行うことができ、Ｎ段階のランク付けを行いたい場合は検査用部材１をＮ−１本とればよい。ダミー吐出口６の開口面積を詳細に求めたい場合には、図５（ｃ）に示すように、検査用部材１を同心円目盛のように設けることもできる。
【００４２】
また図５（ｄ）に示すように検査用部材１を同心円の一部としたり、図５（ｅ）や図５（ｆ）のように同心角の一部としても同様にランク付けを行うことができる。同心角にも、図５（ｇ）や図５（ｈ）に示すように検査用部材１を同心角目盛を設けることもできる。さらに円の一部と正方形の一部とを組み合わせて検査用部材１を設けることもできる。
【００４３】
次に、本実施形態の検査用部材１の製造方法の一例について説明する。
図６に本実施形態に係る液体吐出ヘッド用基板の製造方法を示す。図６は、図４（ｂ）の液体吐出ヘッド用基板の一部を拡大して示している。図６（ａ）に示すように、最初に絶縁保護層４８の上に、スパッタリング法などを用いて約０．５μｍのＴａによる耐久保護層４９を設けた基体５を用意する。次に、図６（ｂ）に示すように耐久保護層４９の上に、フォトリソグラフィー法等を用いて、検査用部材１を設ける位置にレジストによるマスク材１５を設ける。次に、図６（ｃ）に示すようにドライエッチング法等のエッチング技術を用いてマスク材１５が設けられていない耐久保護層４９を約０．１μｍ除去する。次に、図６（ｄ）に示すように、マスク材１５を除去する。以上の工程により、検査用部材１を備えた液体吐出ヘッド用基板５０を完成させることができる。
【００４４】
さらに、このように設けられた液体吐出ヘッド用基板５０の上に、フォトリソグラフィー技術やエッチング技術を用いて一括して設けた吐出口３とダミー吐出口６とを有し、エポキシ樹脂の硬化物からなる吐出口部材４を設ける。これにより図４（ｂ）の液体吐出ヘッド４１が完成する。
【００４５】
（第２の実施形態）
第１の実施形態においては、耐久保護層４９の一部を検査用部材１とする構成を示したが、本実施形態においては、耐久保護層４９と検査用部材１を異なる材料で設ける構成を示す。検査用部材１の形状及びランク付けについては第１の実施形態と同様である。
【００４６】
図７は、図４（ａ）のＡ−Ａ’切断面図である。耐久保護層４９の上に、金属材料などで検査用部材１が設けられている（図７（ａ））。また、検査用部材１の一部を絶縁保護層４８の上に設けることもできる（図７（ｂ））。このように検査用部材１の一部を絶縁保護層４８の上に設けることで、検査用部材１よりも小さく耐久保護層４９を設けたとしても、同様に評価を行うことができる。
【００４７】
検査用部材１に用いることのできる金属としては、検査時に判別が行いやすく、製造時に加工の行いやすい材料であることが好ましく、具体的にはアルミ、銅、銀及び金等を主成分とする材料を用いることができる。
【００４８】
次に、本実施形態の検査用部材１の製造方法の一例について説明する。
図８に本実施形態に係る液体吐出ヘッド用基板の製造方法を示す。図８は、図７（ａ）の液体吐出ヘッド用基板の一部を拡大して示している。図８（ａ）に示すように、最初に絶縁保護層４８の上に、スパッタリング法などを用いて膜厚約０．５μｍのＴａ等による耐久保護層４９を設けた基体５を用意する。次に、図８（ｂ）に示すように耐久保護層４９の上に、スパッタ法等を用いてＡｌなどの金属層１６を設ける。次に、図８（ｃ）に示すように、金属層１６の上にフォトリソグラフィー法等を用いて、検査用部材１を設ける位置にレジストによるマスク材１５を設ける。次に、図８（ｄ）に示すようにドライエッチング法等のエッチング技術を用いてマスク材１５が設けられていない部分の金属層１６を除去する。次に、図８（ｅ）に示すように、マスク材１５を除去する。以上の工程により、検査用部材１を備えた液体吐出ヘッド用基板５０を完成させることができる。
【００４９】
さらに、このように設けられた液体吐出ヘッド用基板５０の上に、吐出口３とダミー吐出口６とを有し、エポキシ樹脂の硬化物からなる吐出口部材４を設けることで図４（ｂ）の液体吐出ヘッド４１が設けられる。
【００５０】
以上のように設けた検査用部材１であっても、第１の実施形態と同様にダミー吐出口６の開口を介して検査用部材１を確認できるか判断することで、ダミー吐出口６の大きさ、すなわち吐出口３の大きさを分類することができる。さらに、ダミー吐出口６と、検査用部材１との位置ずれ量を確認することで、吐出口部材４と、液体吐出ヘッド用基板との位置ずれ量を見積もることができる。
【００５１】
（第３の実施形態）
本実施形態は、第２の実施形態に示した液体吐出ヘッド用基板の別の製造方法を図９に示す。図９は、図７（ａ）の液体吐出ヘッド用基板の一部を拡大して示している。図９（ａ）に示すように、最初に絶縁保護層４８の上に、スパッタリング法などを用いて約０．５μｍのＴａによる耐久保護層４９を設けた基体５を用意する。次に、図９（ｂ）に示すように耐久保護層４９の上に、フォトリソグラフィー法等を用いて、検査用部材１を設ける領域以外の部分にレジストによるマスク材１７を設ける。次に、図９（ｃ）に示すように、マスク材１７と耐久保護層４９との上に、スパッタリング法などを用いてＡｌなどの金属層１６を設ける。次に、図９（ｄ）に示すように、マスク材１７と、マスク材１７の上に設けられた金属層１６の一部を除去する。以上の工程により、検査用部材１を備えた液体吐出ヘッド用基板５０を完成させることができる。
【００５２】
さらに、このように設けられた液体吐出ヘッド用基板５０の上に、吐出口３とダミー吐出口６を有し、エポキシ樹脂の硬化物からなる吐出口部材４を設けることで図４（ｂ）の液体吐出ヘッド４１が設けられる。
【００５３】
（第４の実施形態）
第１の実施形態乃至第３の実施形態においては、対向する位置に検査用部材との大きさ及び位置を比較することでランク付けを行う形態を示したが、本実施形態においては検査装置で検査用部材との焦点が合うかを評価することでランク付けを行う形態を示す。検査用部材の形状以外は、第１の実施形態と同様である。
【００５４】
図１０（ａ）は、このような液体吐出ヘッド４１に設けられている１つのダミー吐出口６の一部透かしの断面斜視図である。図１０（ｂ）に、ダミー吐出口６の上面図を示す。検査用部材１は、第１の方向（Ｘ方向）と第１の方向と直交する第２の方向（Ｙ方向）の２方向にわたって一定の間隔で規則的に設けられた複数のセル１ａと、少なくとも１つの検査装置の焦点を合わせるために用いられるアライメントマーク１ｂとを有している。アライメントマークは、液体吐出ヘッド用基板をダミー吐出口６が設けられた側から見たときに、吐出口部材４の下側に位置するように設けられている。製造時のばらつきにより、ダミー吐出口６の開口の大きさは変化する可能性があるため、アライメントマーク１ｂは、ダミー吐出口６の下側から十分離れた位置に設けてあることが好ましい。
【００５５】
図１１に、このような検査用部材１の一例を示す。検査用部材１は、図１１（ａ）のように、縦と横に規則的に一定の間隔を設けて複数の正方形のセルを配列したり、図１１（ｂ）のように半ピッチずらして設けることができる。また、１つのセル形状を小さくするなどして、単位面積あたりのセルの数を増やすことによって、ダミー吐出口６の開口の面積を詳細に確認することができる。各セルの形状は、図１１に示すように正方形のみならず、矩形・円形・楕円形等で設けることもできる。また、複数のセルが設けられている領域の面積は、ダミー吐出口６の開口の面積より大きくなるように設けられている。
【００５６】
検査用部材１のアライメントマーク１ｂの形状は、図１１（ａ）や（ｂ）のように正方形を組み合わせた形状や、図１１（ｃ）のような円形状を採用することができる。また、図１１（ｄ）のように、複数のアライメントマークを設け、２次元バーコード（ＱＲコード）のようにすることもできる。複数のアライメントマークを設けることにより、焦点を容易に合わせることができる。
【００５７】
このようなダミー吐出口６の評価は、デジタルカメラやバーコードリーダーなどの検査機器を用いて行うことができる。検査機器は、吐出口部材４を介して検査用部材１のアライメントマークで焦点を合わせる。吐出口部材４は、材料特有の屈折率（光学定数）を有している。一方、ダミー吐出口６の開口は大気状態であり屈折率が１となっている。そのためダミー吐出口６の開口の下側に位置するように設けられているセルと検査機器との間の光路長は、アライメントマークと検査機器との間の光路長と異なるため、検査機器の焦点が合わない。そのためダミー吐出口６の開口の下側に位置するセルは、著しく画像情報が劣化して検査機器で確認することができない。この検査機器で確認することのできないセルの数で、ダミー吐出口６の開口の面積を計測することができる。吐出口部材４は、エポキシ樹脂等の、熱硬化性樹脂の硬化物を用いることができ、波長５５０ｎｍで透過率８０％以上９０％以下となり屈折率が１．５となるように設けられている。
【００５８】
ダミー吐出口６は、吐出口３と同じ工程かつ同じ条件で設けられているため、ダミー吐出口６の開口の面積に応じてランク付けを行うことにより、吐出口３のランク付けを行うことができる。なお、このような検査用部材１は、吐出口３に対向する位置には設けられていない。吐出口３にこのような部材が設けられていると、記録動作時に液体の吐出方向がずれるなどの影響が考えられるためである。
【００５９】
この結果をもとに、液体吐出ヘッドの状態（ランク）を液体吐出装置の情報記録媒体（不図示）に書き込み、これに則して液体吐出ヘッド毎に吐出制御を行うことで、液体吐出ヘッドに固体差が生じていたとしても、記録物の記録品位を一定に保つことができる。さらに認識できないセルの領域の中心位置を算出して、ダミー吐出口６の設計中心位置と比較することで、ダミー吐出口６の設計位置からの位置ずれ量を知る事ができ、吐出口３から吐出される液滴の着弾位置のずれを見積もることもできる。この情報も同様に液体吐出装置の情報記録媒体に記録して制御する事で、着弾位置の補正を行うこともできる。
【００６０】
図１２（ａ）は、本実施形態に係る１つのダミー吐出口６の上面模式図を示したものである。以下、ダミー吐出口６の断面をもとに説明するが、吐出口３も検査用部材１以外は、同じ構成で設けられている。
【００６１】
図１２（ｂ）は、図１２（ａ）のＢ−Ｂ’切断面図である。吐出口部材４には、吐出口３と同じ形状のダミー吐出口６が設けられている。基体５の上には、発熱素子２が設けられており、その上に発熱素子２を液体から保護するために設けられた絶縁保護層４８が設けられている。絶縁保護層４８は、窒化シリコンや窒化酸素などの絶縁材料を用いて、約１．０μｍ程度で設けることで発熱素子２の絶縁性も確保することができる。さらに、絶縁保護層４８の上には、液体を吐出する時に発生する衝撃（キャビテーション）から発熱素子２を保護するために用いられる耐久保護層４９が設けられている。耐久保護層４９としては、Ｔａ等のようなインク耐久性を有しかつ耐衝撃性に優れる材料を用いることができる。耐久保護層４９の厚さとしては、０．２μｍ以上１．０μｍ以下程度設けられていることが好ましい。耐久保護層４９の表面には検査用部材１が設けられており、これにより発熱素子２を備えた面を有する液体吐出ヘッド用基板５０が設けられている。本実施形態においては、検査用部材１は耐久保護層４９の表面に凸を設けており、検査機器で検査した時に、判別できる程度に凸となっていれば良く、０．１μｍ以上０．５μｍ以下程度とすることが好ましい。
【００６２】
液体吐出ヘッド用基板５０の面の上側には、ダミー吐出口６と連通する流路４６の凹部４６ａが設けられており、吐出口部材４と液体吐出ヘッド用基板とが接することで流路４６が設けられている。吐出口部材４は、エポキシ樹脂の硬化物で設けており、液体吐出ヘッド用基板の上に２０．０μｍ以上１００．０μｍ以下程度の厚さとで設けられている。エポキシ樹脂の硬化物は、波長５５０ｎｍで透過率８０％以上９０％以下となり屈折率が１．５である。
【００６３】
吐出口３は、発熱素子２と対向する位置に設けられており（不図示）、これと同様にダミー吐出口６も発熱素子２と対向するように設けられている。さらに、ダミー吐出口６と対向する位置であり、かつ発熱素子２の上側には、ＱＲコード形状の検査用部材１が位置するように設けられている。
【００６４】
図１２（ｃ）は、検査用部材１を抜き出したものである。本実施形態においては、２４．０μｍ角の形状となっており、３点のアライメントマークと複数のセルから設けられている。検査用部材１のアライメントマーク３点は、液体吐出ヘッド用基板をダミー吐出口６が設けられた側から見たときに、吐出口部材４の下側に位置するように設けられている。３点でアライメントを行うことにより、確実に検査用部材１が設けられている位置に検査機器の焦点を合わせることができる。
【００６５】
さらに、液体吐出ヘッド用基板をダミー吐出口６が設けられた側から見たときに、ダミー吐出口６の開口と対向する位置に、１．０μｍ角の複数の正方形のセルを、規則的に配列した列を、半ピッチずらしてマトリックス状に複数配置して設けている。検査機器は、吐出口部材４を介して検査用部材１のアライメントマークで焦点を合わせる。このとき吐出口部材４は、屈折率が１．５であるのに対し、開口（大気）の屈折率は１である。そのためダミー吐出口６の開口の下側に位置するように設けられている一部のセルと検査機器との間の光路長と、アライメントマークと検査機器との間の光路長は異なり、検査機器の焦点が合わない。この焦点の合わないセルの数で、このダミー吐出口６の開口の面積を確認することで、液体を吐出したり吐出口３の径を測定することなく、吐出口３の開口の面積を見積もることができる。この結果をもとに液体吐出ヘッドのランク付けすることができる。
【００６６】
次に、このような検査用部材１を用いて吐出口のランクをつける方法を図１３（ａ）のフロー図を用いて説明する。まず、ダミー吐出口６の側から液体吐出ヘッド用基板５０を見たときに、バーコードリーダー（検査機器）で検査用部材１のアライメントマーク１ｂに吐出口部材４を介して焦点を合わせる（Ｓ−１）。次に、全体のセルの数から焦点があったセルの数を差し引くことで、ダミー吐出口６の開口の下側に位置し、認識できないセルの数を数値化する（Ｓ−２）。次に、認識できないセルの数によって、液体吐出ヘッドのランク付けを行う（Ｓ−３）。このときのランクの一例を図１３（ｂ）に示す。認識できないセルの数が８３未満のときをＡランク、８３以上９４未満のときをＢランク、９４以上１０７未満のときをＣランク、１０７以上１２０未満をＤランク、１２０以上をＥランクとしている。このランク分けの数を多くすればするほど、高精度に液体吐出ヘッドのランク付けを行うことができる。次に、液体吐出装置に液体吐出ヘッドを搭載する際に、ランクを液体吐出装置の情報記録媒体（不図示）に書き込む（Ｓ−４）。
【００６７】
以上のようなランクをもとに液体吐出ヘッド毎に制御を行うことで、液体吐出ヘッドに固体差が生じていたとしても、吐出量をほぼ一定に保つことができ、記録物の記録品位を保つことができる。また、複数の液体吐出ヘッドを１つのヘッドユニットに設ける場合には、液体吐出ヘッドのランクをそろえることで更に記録物の記録品位を向上させることができる。
【００６８】
さらに認識できないセルの領域の中心位置を算出して、ダミー吐出口６の設計中心位置と比較することで、ダミー吐出口６の設計位置からの位置ずれ量を知る事ができ、吐出口３から吐出される液滴の着弾位置のずれを見積もることもできる。この情報も同様に液体吐出装置の情報記録媒体に記録して制御する事で、着弾位置の補正を行うこともできる。
なお本実施形態に示す検査用部材１は、第１の実施形態に示す製造方法を用いて設けることができる。
【００６９】
（第５の実施形態）
第４の実施形態においては、耐久保護層４９の一部を検査用部材１とする構成を示したが、本実施形態においては、耐久保護層４９と検査用部材１を異なる材料で設ける構成を示す。検査用部材１によるアライメント方法及びランク付けについては第４の実施形態と同様である。本実施形態に示す検査用部材１は、第２の実施形態または第３の実施形態に示す製造方法を用いて設けることができる。
【００７０】
図１４は、図１２（ａ）のＢ−Ｂ’切断面図である。耐久保護層４９の上に、金属材料などで検査用部材１が設けられている（図１４（ａ））。また、検査用部材１の一部を絶縁保護層４８の上に設けることもできる（図１４（ｂ））。このように検査用部材１の一部を絶縁保護層４８の上に設けることで、検査用部材１よりも小さく耐久保護層４９を設けたとしても、同様に評価を行うことができる。
【００７１】
検査用部材１に用いることのできる金属としては、検査時に判別が行いやすく、製造時に加工の行いやすい金属材料であることが好ましく、具体的にはアルミ、銅、銀及び金等を主成分とする材料を用いることができる。
【００７２】
以上のような第４の実施形態または第５の実施形態に示す液体吐出ヘッドを用いて記録動作を長期間行うと、エポキシ樹脂の硬化物からなる吐出口部材４はインクに長期間浸漬されることで膨潤し、これに伴い吐出口３の形状も変化していく。そのため、バーコードなどの検査機器を液体吐出装置に設け、使用中の液体吐出ヘッドの検査用部材１の認識できないセル数を確認し、再度数値化することで、ダミー吐出口６の開口の面積を確認し、再度ランク付けを行うことができる。このランク付けを定期的に行い、吐出条件を調整することで、液体吐出ヘッドを常に同一の吐出量となるように調整することもできる。
【符号の説明】
【００７３】
１  部材
２  エネルギー発生素子
３  吐出口
４  吐出口部材
５  基体
６  ダミー吐出口
４６  流路
４１  液体吐出ヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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