(57)【要約】【課題】高い精度でウェハスケールレンズが重ね合わされた積層型ウェハレンズを提供する。【解決手段】本発明に係る積層型ウェハレンズ２０は、２枚のウェハスケールレンズ２０１，２０２が重ね合わされたものである。ウェハスケールレンズ２０１，２０２は、それぞれ、他方のウェハスケールレンズ２０１または２０２との対向面に、その対向面の両端を結ぶ溝２０１ｂ，２０２ｂが形成されている。溝２０１ｂ，２０２ｂが形成された部分を除いて、ウェハスケールレンズ２０１，２０２は、互いに接しており、溝２０１ｂ，２０２ｂに充填された接着剤２０３によって接着されている。【選択図】図１
2011013576.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のレンズ光学部を有するウェハスケールレンズが、複数枚重ね合わされた積層型ウェハレンズであって、
互いに隣接する２つのウェハスケールレンズのうち少なくとも一方は、他方との対向面に、その対向面の両端を結ぶ溝が、レンズ光学部を避けて形成されており、
上記溝が形成された部分を除いて、上記互いに隣接する２つのウェハスケールレンズの各対向面が、互いに接しており、
上記溝に、接着剤が充填されていることを特徴とする積層型ウェハレンズ。
【請求項２】
上記溝は、上記互いに隣接する２つのウェハスケールレンズのいずれの対向面にも形成されていることを特徴とする請求項１に記載の積層型ウェハレンズ。
【請求項３】
上記互いに隣接する２つのウェハスケールレンズの各々に形成された溝が、互いに重なっていることを特徴とする請求項２に記載の積層型ウェハレンズ。
【請求項４】
上記溝は、上記ウェハスケールレンズのレンズ光学部を包囲するように形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の積層型ウェハレンズ。
【請求項５】
上記溝は、積層型ウェハレンズを個々の多層レンズに分割するための切断領域を含むように形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の積層型ウェハレンズ。
【請求項６】
上記溝は、互いに隣接する多層レンズ間で、共用されるように形成されていることを特徴とする請求項５に記載の積層型ウェハレンズ。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の積層型ウェハレンズが個片化された多層レンズ。
【請求項８】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の積層型ウェハレンズの製造方法であって、
複数のウェハスケールレンズを重ね合わせる積層工程と、
積層された複数のウェハスケールレンズの位置を調整する位置調整工程と、
上記溝に接着剤を充填し、位置調整されたウェハスケールレンズを接着する接着工程とを含むことを特徴とする積層型ウェハレンズの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハスケールレンズの構造およびウェハスケールレンズを複数重ねた積層型ウェハレンズの接着構造に関し、特に、複数のウェハスケールレンズを重ね合わせた積層型ウェハレンズおよびそれを個々に分割した多層レンズの構造、並びに積層型ウェハレンズの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
カメラ付き携帯電話やディジタルスチルカメラ、監視カメラなどへの普及に伴い、それらに仕様される固体撮像装置の需要も増大し且つ、適用の必要性から小型化への要求が高まっている。この小型化を図る一つの手法として、半導体チップにレンズを搭載した半導体チップとレンズとを一体型にするウェハスケールカメラモジュールの形成する手法が提案されている。上記ウェハスケールカメラモジュールは、複数枚のウェハスケールレンズを貼り合わせた、積層型ウェハレンズを形成することで製造コストの削減が可能となる。
【０００３】
しかしながら、積層型ウェハレンズを製造する場合、ウェハスケールレンズの重ね合わせが容易でないため、ウェハスケールレンズ間に、位置ズレまたは傾きが発生する。この位置ズレまたは傾きは、積層型ウェハレンズのレンズ特性を劣化させる最大の原因となる。言い換えれば、複数枚のウェハスケールで形成されている積層型ウェハレンズは、各ウェハスケールレンズの中心位置のズレ（光軸のズレ）、および、各ウェハスケールレンズ間の距離（高さ）のズレが、レンズ特性の悪化を招く。従って、積層型ウェハレンズは、非常に高い精度でウェハスケールレンズを重ね合わせることが必要不可欠である。
【０００４】
そこで、例えば、特許文献１には、ウェハスケールレンズ貼り合わせ方法が開示されている。特許文献１では、ウェハスケールレンズ（光学素子基板）の位置合わせの精度を高めるために、ウェハスケールレンズ光学部周辺に塗布された接着剤によって、ウェハスケールレンズが接着される。図７（ａ）および図７（ｂ）は、特許文献１の積層型ウェハレンズの概略構成を示す断面図である。
【０００５】
具体的には、図７（ａ）に記載の方法は、まず、ウェハスケールレンズ１０１の光学部周辺に、紫外線硬化型接着剤１０３を塗布する。次に、ウェハスケールレンズ１０１，１０２に形成されたアライメントマーク（図示せず）が重なるように位置合わせする。そして、ウェハスケールレンズ１０１とウェハスケールレンズ１０２とを重ね合わせて圧着するとき、紫外線照射によって、紫外線硬化型接着剤１０３を硬化させる。これにより、ウェハスケールレンズ１０１とウェハスケールレンズ１０２とが相互に固定される。
【０００６】
一方、図７（ｂ）に記載の方法は、図７（ａ）における紫外線硬化型接着剤１０３の代わりに、スペーサ粒子１０５ａを含んだ接着剤１０５を使用する点が、図７（ａ）の方法と異なる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平１１−２４８９８９号公報（１９９９年９月１７日公開）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、特許文献１の方法は、ウェハスケールレンズ間の距離が一定にならなかったり、ウェハスケールレンズ間に位置ズレまたは傾きが生じたりする。このため、高い精度でウェハスケールレンズが重ね合わされた積層型ウェハレンズを製造することができないという問題がある。
【０００９】
具体的には、図７（ａ）に記載の方法では、ウェハスケールレンズ１０１，１０２間に、接着剤１０３が存在する。このため、紫外線硬化型接着剤１０３の塗布量、粘度、濃度のバラツキが、紫外線硬化型接着剤１０３の厚さにバラツキを生じさせる。その結果、ウェハスケールレンズ１０１，１０２間の距離（高さ）を一定にすることができない。さらに、ウェハスケールレンズ１０１，１０２を平行に貼り合わせることもできない。このため、ウェハスケールレンズ１０１，１０２間に位置ズレや傾きも生じ、光軸のズレにつながる。
【００１０】
一方、図７（ｂ）に記載の方法では、スペーサ粒子１０５ａによって、ウェハスケールレンズ１０１，１０２間の距離（高さ）を一定にすることが意図されている。しかし、この距離は、スペーサ粒子１０５ａの重なり等によって、大きく変化する。積層型ウェハレンズにおいては、この距離の精度（バラツキ）がわずか５０μｍ程度であっても、レンズ特性の劣化に大きく影響する。スペーサ粒子１０５ａは、通常、５０μｍ程度である。従って、図７（ｂ）に記載の方法でも、レンズ特性に影響を及ぼさない程度にまで、ウェハスケールレンズ１０１，１０２間の距離（高さ）を一定にすることはできない。
【００１１】
さらに、図７（ａ）に記載の方法の場合、ウェハスケールレンズ１０１，１０２を重ね合わせた時点で、ウェハスケールレンズ１０１，１０２が、仮接着される。また、図７（ｂ）に記載の方法でも、スペーサ粒子１０５ａに全く接着性が無いことはありえない。このため、ウェハスケールレンズ１０１，１０２を重ね合わせた時点で、ウェハスケールレンズ１０１，１０２が、仮接着される。つまり、いずれの方法でも、いったんウェハスケールレンズ１０１，１０２を重ね合わせた後は、ウェハスケールレンズ１０１，１０２の位置を変更することができない。従って、それぞれのウェハスケールレンズ１０１，１０２の中心（光軸）がずれたまま接着されたり、ウェハスケールレンズ１０１，１０２間の距離がずれたまま接着されたりしても、そのずれを修正できない。従って、積層型ウェハレンズのレンズ特性を満たすことができず、不良品となる。
【００１２】
なお、特許文献１の方法は、各ウェハスケールレンズ１０１，１０２を重ね合わせると同時に、ウェハスケールレンズ１０１，１０２が接着される。このため、確実に接着させるためには、重ね合わせるときに、ウェハスケールレンズ１０１，１０２に対し、接着剤１０３，１０５に応じた加重を一定時間かける必要がある。しかし、紫外線硬化型接着剤１０３，接着剤１０５によっては、過度の加重が必要になる。このため、その加重時にも、ウェハスケールレンズ１０１，１０２間に位置ズレまたは傾きが生じる場合もある。
【００１３】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、高い精度でウェハスケールレンズが重ね合わされた積層型ウェハレンズおよびその製造方法、並びに、積層型ウェハレンズを個々に分割した多層レンズを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明に係る積層型ウェハレンズは、上記課題を解決するために、複数のレンズ光学部を有するウェハスケールレンズが、複数枚重ね合わされた積層型ウェハレンズであって、互いに隣接する２つのウェハスケールレンズのうち少なくとも一方は、他方との対向面に、その対向面の両端を結ぶ溝が、レンズ光学部を避けて形成されており、上記溝が形成された部分を除いて、上記互いに隣接する２つのウェハスケールレンズの各対向面が、互いに接しており、上記溝に、接着剤が充填されていることを特徴としている。
【００１５】
上記構成によれば、隣接するウェハスケールレンズの少なくとも一方の、他方との対向面（接着面）に、溝が形成されている。そして、その溝に充填された接着剤によって、隣接するウェハスケールレンズが接着されている。さらに、その溝が形成されていない部分については、隣接するウェハスケールレンズの対向面どうしが、互いに直に接している。このため、対向面間に接着剤が存在しない。つまり、接着剤の厚さは、ウェハスケールレンズ間の距離に、関与しない。従って、ウェハスケールレンズ間の距離を一定にすることができる。
【００１６】
しかも、隣接するウェハスケールレンズの対向面間には接着剤が存在しないため、接着前であれば、重ね合わせたウェハスケールレンズの位置を変更することができる。つまり、積層型ウェハレンズの特性を満たすように位置を修正した上で、ウェハスケールレンズを重ね合わせた後、ウェハスケールレンズを接着することができる。従って、ウェハスケールレンズ間の位置ズレや傾きが生じない。
【００１７】
このように、上記構成によれば、ウェハスケールレンズ間の距離を一定にしつつ、ウェハスケールレンズ間に位置ズレまたは傾きも生じない。従って、高い精度でウェハスケールレンズが重ね合わされた積層型ウェハレンズを実現することができる。
【００１８】
また、上記積層型ウェハレンズにおいて、上記溝は、上記互いに隣接する２つのウェハスケールレンズのいずれの対向面にも形成されていることが好ましい。
【００１９】
上記構成によれば、隣接するウェハスケールレンズのいずれの対向面にも、溝が形成されている。これにより、一方のウェハスケールレンズに溝が形成されている場合よりも、接着領域が広くなる。従って、接着強度を高めることができる。
【００２０】
また、上記積層型ウェハレンズにおいて、上記互いに隣接する２つのウェハスケールレンズの各々に形成された溝が、互いに重なっていることが好ましい。
【００２１】
上記構成によれば、隣接するウェハスケールレンズのいずれの対向面にも、溝が形成されている。さらに、各対向面に形成された溝が、互いに重なっており、各溝がつながっている。これにより、重なった溝に、同時に接着剤を充填することができる。従って、接着領域を広くして接着強度を高めつつ、接着剤の充填処理（充填時間）を短縮することができる。
【００２２】
また、上記積層型ウェハレンズにおいて、上記溝は、上記ウェハスケールレンズのレンズ光学部を包囲するように形成されていることが好ましい。
【００２３】
上記構成によれば、溝に充填された接着剤によって、各ウェハスケールレンズのレンズ光学部が密封される。これにより、その接着剤によって、外部からレンズ光学部へのゴミの侵入を防ぐことができる。
【００２４】
また、上記積層型ウェハレンズにおいて、上記溝は、積層型ウェハレンズを個々の多層レンズに分割するための切断領域を含むように形成されていることが好ましい。
【００２５】
上記構成によれば、溝が、個々の多層レンズに分割する切断領域を含むように形成されている。これにより、その切断領域に沿って積層型ウェハレンズを切断して多層レンズを形成すると、切断後の多層レンズの側面に、接着剤が残る。このため、切断後の多層レンズにも、積層型ウェハレンズの接着状態が維持される。従って、高い精度でレンズ光学部が重ね合わされた多層レンズを製造することができる。
【００２６】
また、上記積層型ウェハレンズにおいて、上記溝は、互いに隣接する多層レンズ間で、共用されるように形成されていることが好ましい。
【００２７】
上記構成によれば、切断領域を含むように形成された溝が、隣接する多層レンズ間で共用される。これにより、溝の数を少なくしつつ、良好な接着を実現することができる。
【００２８】
本発明の多層レンズは、前記いずれかの積層型ウェハレンズが個片化されたものである。つまり、本発明の多層レンズは、高い精度でウェハスケールレンズが重ね合わされた積層型ウェハレンズが、個片に分割されたものである。従って、高い精度でレンズ光学部が積層された多層レンズを実現することができる。
【００２９】
本発明の積層型ウェハレンズの製造方法は、前記いずれかの積層型ウェハレンズの製造方法であって、複数のウェハスケールレンズを重ね合わせる積層工程と、積層された複数のウェハスケールレンズの位置を調整する位置調整工程と、重ね合わされたウェハスケールレンズを、上記溝に充填した接着剤によって接着する接着工程とを含むことを特徴としている。
【００３０】
上記の方法によれば、位置調整工程を行った後、接着工程を行う。このため、積層工程で重ね合わせたウェハスケールレンズ間に位置ズレまたは傾きが生じていたとしても、位置調整工程で、その位置ズレまたは傾きを修正することができる。これにより、積層型ウェハレンズの特性を満たすように位置を修正した上で、ウェハスケールレンズを接着することができる。従って、高い精度でウェハスケールレンズが重ね合わされた積層型ウェハレンズを製造することができる。
【発明の効果】
【００３１】
本発明の積層型ウェハレンズは、互いに隣接する２つのウェハスケールレンズのうち、少なくとも一方のウェハスケールレンズの対向面に、溝が形成されており、その溝に接着剤が充填されており、かつ、その溝が形成された部分を除いて、隣接する２つのウェハスケールレンズの対向面が、互いに接している構成である。それゆえ、高い精度でウェハスケールレンズが重ね合わされた積層型ウェハレンズを実現することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の積層型ウェハレンズの概略構成を示す斜視図である。
【図２】図１の積層型ウェハレンズを分解した断面図である。
【図３】図１の積層型ウェハレンズを構成するウェハスケールレンズを示す平面図である。
【図４】図１の積層型ウェハレンズの製造工程を示す断面図である。
【図５】（ａ）および（ｂ）は、本発明の別の積層型ウェハレンズを分解した断面図である。
【図６】（ａ）および（ｂ）は、本発明のさらに別の積層型ウェハレンズを分解した断面図である。
【図７】（ａ）および（ｂ）は、特許文献１の積層型ウェハレンズの概略構成を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
以下、本発明の実施の形態について、図１〜図６に基づいて、詳細に説明する。まず、本発明の実施の一形態に係る積層型ウェハレンズについて、図１，２を参照しながら説明する。
【００３４】
図１は、本実施形態の積層型ウェハレンズ２０の概略構造を示す斜視図である。同図に示すように、積層型ウェハレンズ２０は、互いに隣接する２枚の円盤状のウェハスケールレンズ２０１，２０２が重ね合わさったものである。ウェハスケールレンズ２０１，２０２は、複数のレンズ光学部を有している。具体的には、ウェハスケールレンズ２０１には、複数のレンズ光学部２０１ａがマトリクス状に配列されている。図示しないが、ウェハスケールレンズ２０２も同様に、各レンズ光学部２０１ａに対応する複数のレンズ光学部が形成されている。なお、ウェハスケールレンズ２０１，２０２は、ガラスまたは樹脂などの材料により形成される。
【００３５】
ウェハスケールレンズ２０１，２０２は、ぞれぞれ、互いの対向面に、凹溝（溝）２０１ｂ，２０２ｂが形成されている。各凹溝２０１ｂ，２０２ｂには、接着剤２０３が充填されており、この接着剤２０３によって、ウェハスケールレンズ２０１，２０２が接着されている。凹溝２０１ｂ，２０２ｂの詳細は、後述する。
【００３６】
ウェハスケールレンズ２０１，２０２の互いの対向面は、凹溝２０１ｂ，２０２ｂが形成された部分を除いて、互いに直に接している。このため、凹溝２０１ｂ，２０２ｂが形成された部分以外は、ウェハスケールレンズ２０１のウェハスケールレンズ２０２との接触部２０１ｃと、ウェハスケールレンズ２０２のウェハスケールレンズ２０１との接触部２０２ｃとが、互いに面接触している。従って、接触部２０１ｃ，２０２ｃ間には、接着剤２０３が存在しない。
【００３７】
次に、図２〜図４に基づいて、積層型ウェハレンズ２０について、詳細に説明する。図２は、積層型ウェハレンズ２０を分解した断面図であり、ウェハスケールレンズ２０１，２０２の概略構成を示している。図３は、ウェハスケールレンズ２０２の平面図である。図４は、積層型ウェハレンズ２０の断面図である。
【００３８】
図２に示すように、ウェハスケールレンズ２０１の裏面（ウェハスケールレンズ２０２との対向面）に、凹溝２０１ｂが形成されている。凹溝２０１ｂは、各レンズ光学部２０１ａを避けて形成されている。さらに、凹溝２０１ｂは、ウェハスケールレンズ２０１の裏面の端から端に渡って、複数列形成されている。
【００３９】
ウェハスケールレンズ２０２のおもて面（ウェハスケールレンズ２０１との対向面）にも、凹溝２０１ｂと同様の凹溝２０２ｂが形成されている。すなわち、ウェハスケールレンズ２０２のおもて面に、ウェハスケールレンズ２０１のレンズ光学部２０１ａと対応する位置に、レンズ光学部２０２ａが形成されている。凹溝２０２ｂは、このレンズ光学部２０２ａを避けて形成されている。さらに、凹溝２０２ｂは、ウェハスケールレンズ２０２のおもて面の端から端に渡って、複数列形成されている。
【００４０】
凹溝２０１ｂ，２０２ｂは、レンズ光学部２０１ａ，２０２ａを避けて形成されていれば、特に限定されるものではない。本実施形態の積層型ウェハレンズ２０では、凹溝２０１ｂ，２０２ｂが、以下の特徴的構成を有している。
【００４１】
具体的には、図３は、積層型ウェハレンズ２０を構成するウェハスケールレンズ２０２を示す平面図（上面図）である。積層型ウェハレンズ２０では、凹溝２０２ｂは、ウェハスケールレンズ２０２のおもて面（ウェハスケールレンズ２０１との対向面）に、格子状に形成されている。すなわち、同図のように、縦方向および横方向に直交する複数の凹溝２０２ｂが形成されている。このため、図３のウェハスケールレンズ２０２では、レンズ光学部２０２ａが、凹溝２０２ｂが包囲される。一方、ウェハスケールレンズ２０１の裏面にも、同様に、格子状の凹溝２０１ｂが形成されている。これにより、ウェハスケールレンズ２０１の接触部２０１ｃと、ウェハスケールレンズ２０２の接触部２０２ｃとを重ね合わせると、凹溝２０１ｂ，２０２ｂによって、両端が開放された空間が形成される。具体的には、ウェハスケールレンズ２０１，２０２の各対向面に対し平行方向に横断または縦断する空間が形成される。
【００４２】
さらに、積層型ウェハレンズ２０では、接触部２０１ｃと、接触部２０２ｃとを重ね合わせたときに、凹溝２０１ｂと凹溝２０２ｂとが、互いに重なるようになっている（図２の破線部参照）。つまり、凹溝２０１ｂと凹溝２０２ｂとがつながった単一の（共通の）凹溝が形成されることになる。より詳細には、本実施形態では、図２のように、凹溝２０１ｂおよび凹溝２０２ｂは、いずれも、光軸方向の断面が半円である。そして、ウェハスケールレンズ２０１，２０２を重ねると、図４のように、光軸方向の断面が半円の凹溝２０１ｂおよび凹溝２０１ｂが重なり、同断面が円（または楕円）となる。従って、重なった凹溝２０１ｂ，２０２ｂによって、ウェハスケールレンズ２０１，２０２の各対向面に対し平行方向に横断する、無底円筒状の中空空間が形成されることになる。そして、この空間に充填された接着剤２０３によって、ウェハスケールレンズ２０１，２０２が接着されている。
【００４３】
さらに、後述のように、図４のように、積層型ウェハレンズ２０は、最終的に、ダイシング刃１０等によって切断され、個々の多層レンズＢに分割される。多層レンズＢは、積層されたレンズ光学部２０１ａおよびレンズ光学部２０２ａによってレンズ機能を発揮する。積層型ウェハレンズ２０では、凹溝２０１ｂおよび凹溝２０１ｂが、ダイシング刃１０による切断ライン（切断領域）を含むように形成されている。しかも、凹溝２０１ｂおよび凹溝２０１ｂは、互いに隣接する多層レンズＢ間で、共用されるようになっている。
【００４４】
このように、積層型ウェハレンズ２０は、ウェハスケールレンズ２０１，２０２の互いの対向面（接着面）に、それぞれ、凹溝２０１ｂ，２０２ｂが形成されている。そして、その溝に充填された接着剤２０３によって、隣接するウェハスケールレンズ２０１，２０２が接着されている。さらに、凹溝２０１ｂ，２０２ｂが形成されていない部分については、ウェハスケールレンズ２０１，２０２の対向面どうし（接触部２０１ｃ，２０２ｃ）が、互いに直に接しているため、接触部２０１ｃ，２０２ｃ間に接着剤２０３が存在しない。このため、接着剤２０３の厚さは、ウェハスケールレンズ２０１，２０２間の距離（高さ）に、関与しない。さらに、ウェハスケールレンズ２０１の接触部２０１ｃと、ウェハスケールレンズ２０２の接触部２０２ｃとが、互いに面接触しているため、ウェハスケールレンズ２０１，２０２は、互いに平行である。従って、ウェハスケールレンズ２０１，２０２間の距離は、どの部分でも一定である。
【００４５】
しかも、接触部２０１ｃ，２０２ｃ間に接着剤２０３が存在しないため、凹溝２０１ｂ，２０２ｂに接着剤２０３が充填されていない状態または接着剤２０３が充填され仮接着の状態であれば、重ね合わせたウェハスケールレンズ２０１，２０２の位置を変更することができる。つまり、積層型ウェハレンズ２０の特性を満たすように位置を修正した上で、ウェハスケールレンズ２０１，２０２を重ね合わせた後、ウェハスケールレンズ２０１，２０２を接着することができる。従って、ウェハスケールレンズ２０１，２０２間の位置ズレや傾きが生じない。
【００４６】
それゆえ、積層型ウェハレンズ２０によれば、高い精度でウェハスケールレンズが重ね合わされた積層型ウェハレンズ２０を実現することができる。
【００４７】
また、積層型ウェハレンズ２０では、ウェハスケールレンズ２０１，２０２のいずれの対向面にも、凹溝２０１ｂ，２０２ｂが形成されている。これにより、一方のウェハスケールレンズに溝が形成されている場合よりも、接着領域が広くなる。従って、接着強度を高めることができる。
【００４８】
次に、図２および図４に基づいて、積層型ウェハレンズ２０の製造方法について説明する。積層型ウェハレンズ２０は、ウェハスケールレンズ２０１，２０２を重ね合わせる積層工程と、積層されたウェハスケールレンズ２０１，２０２の位置を調整する位置調整工程と、凹溝２０１ｂ，２０２ｂに充填した接着剤によって位置調整されたウェハスケールレンズ２０１，２０２を接着する接着工程とによって製造することができる。
【００４９】
具体的には、まず、積層工程では、図２のように、ウェハスケールレンズ２０１と、ウェハスケールレンズ２０２とを重ね合わせる。すなわち、ウェハスケールレンズ２０２の接触部２０２ｃ上に、ウェハスケールレンズ２０１の接触部２０１ｃを配置する。これにより、凹溝２０１ｂと凹溝２０２ｂとが重なる。
【００５０】
次に、位置調整工程では、重ね合わせたウェハスケールレンズ２０１，２０２を接着する前に、積層型ウェハレンズ２０としての特性を測定する。例えば、ウェハスケールレンズ２０１，２０２の光軸のズレ（レンズ光学部２０１ａ，２０２ａの中止のズレ）または傾きが生じていないかどうかを測定によって確認する。そして、光軸のズレまたは傾き等によって必要な特性が得られていない場合、必要な特性を満足するように、ウェハスケールレンズ２０１，２０２の相対的な位置を調整する。例えば、再度積層工程を行い、ウェハスケールレンズ２０１，２０２を重ね合わせ直す。
【００５１】
なお、積層型ウェハレンズ２０では、ウェハスケールレンズ２０２の接触部２０２ｃ上に、直にウェハスケールレンズ２０１の接触部２０１ｃが配置されるため、ウェハスケールレンズ２０１，２０２間の距離は、基本的に一定である。しかし、接触部２０１ｃまたは接触部２０２ｃ上にゴミなどが存在していて、その距離がずれている可能性もある。このため、積層型ウェハレンズ２０としての特性を測定する際には、その距離も測定することが好ましい。
【００５２】
最後に、図４のように、接着工程では、位置調整工程で位置調整されたウェハスケールレンズ２０１，２０２の凹溝２０１ｂ，２０２ｂに接着剤２０３を充填する。前述のように、凹溝２０１ｂ，２０２ｂによって、ウェハスケールレンズ２０１，２０２の各対向面に対し平行方向に、両端が開放された空間が形成される。このため、例えば、積層型ウェハレンズ２０の側方から、その空間に接着剤２０３を注入することができる。なお、前述のように、凹溝２０１ｂ，２０２ｂは、レンズ光学部２０１ａ，２０２ａを避けて形成されており、接触部２０１ｃと接触部２０１ｃとは、互いに直に接している。このため、凹溝２０１ｂ，２０２ｂに接着剤２０３を充填しても、レンズ光学部２０１ａ，２０２ａに接着剤２０３が流れ込むことはない。
【００５３】
このようにして、積層型ウェハレンズ２０の製造が完了する。なお、積層型ウェハレンズ２０は、図４のように、ダイシング刃１０によって、隣接する多層レンズＢ間が切断され、個々の多層レンズＢに分割される。
【００５４】
以上のように、位置調整工程を行った後、接着工程を行うため、積層工程で重ね合わせたウェハスケールレンズ２０１，２０２間に位置ズレまたは傾きが生じていたとしても、位置調整工程で、その位置ズレまたは傾きを修正することができる。これにより、積層型ウェハレンズ２０の特性を満たすように位置を修正した上で、ウェハスケールレンズ２０１，２０２を接着することができる。ウェハスケールレンズ２０１，２０２を特性の一番良い条件で重ね合わせて、積層型ウェハレンズ２０を製造することができる。従って、高い精度でウェハスケールレンズ２０１，２０２が重ね合わされた積層型ウェハレンズ２０を製造することができる。また、積層型ウェハレンズ２０を、個片の多層レンズＢに分割することによって、高い精度でレンズ光学部２０１ａ，２０２ａが積層された多層レンズＢを実現することができる。
【００５５】
また、積層型ウェハレンズ２０では、積層工程で、ウェハスケールレンズ２０１と、ウェハスケールレンズ２０２とを重ね合わせると、凹溝２０１ｂ，２０２ｂが互いに重なり、凹溝２０１ｂ，２０２ｂがつながった単一の（共通の）凹溝が形成される。このため、凹溝２０１ｂ，２０２ｂに、同時に接着剤２０３を充填することができる。従って、接着領域を広くして接着強度を高めつつ、接着剤２０３の充填処理（充填時間）を短縮することができる。
【００５６】
また、図３のように、積層型ウェハレンズ２０では、凹溝２０１ｂ，２０２ｂは、ウェハスケールレンズ２０１，２０２のレンズ光学部２０１ａ，２０２ａを包囲するように形成されている。このため、凹溝２０１ｂ，２０２ｂに接着剤２０３を充填すると、充填された接着剤２０３によって、レンズ光学部２０１ａ，２０２ａが密封される。従って、充填された接着剤２０３によって、外部からレンズ光学部２０１ａ，２０２ａへのゴミの侵入を防ぐことができる。
【００５７】
また、図４のように、凹溝２０１ｂ，２０２ｂは、個々の多層レンズＢに分割する切断ライン（切断領域）を含むように形成されている。すなわち、凹溝２０１ｂ，２０２ｂの幅は、ダイシング刃１０の幅よりも大きい。これにより、ダイシング刃１０によりその切断領域に沿って積層型ウェハレンズ２０を切断して多層レンズＢを形成すると、切断後の多層レンズＢの側面に、接着剤２０３が残る。このため、切断後の多層レンズＢにも、積層型ウェハレンズ２０の接着状態が維持される。従って、高い精度でレンズ光学部２０１ａ，２０２ａを重ね合わせた多層レンズＢを製造することができる。
【００５８】
さらに、図４のように、凹溝２０１ｂ，２０２ｂは、互いに隣接する多層レンズＢ間で、共用される。これにより、凹溝２０１ｂ，２０２ｂの数を少なくしつつ、良好な接着を実現することができる。
【００５９】
また、図４のように、積層型ウェハレンズ２０では、凹溝２０１ｂ，２０２ｂが重なると、光軸方向の断面が円（または楕円）となる。このため、接着剤２０３を均一に充填できる。また、この断面が円（または楕円）であると、応力に対して強くなる。
【００６０】
また、接着工程で接着剤２０３を充填した直後であれば、ウェハスケールレンズ２０１，２０２の位置を修正することができる。つまり、再度、位置調整工程を行うことができる。これにより、より高い精度でウェハスケールレンズ２０１，２０２が重ね合わされた積層型ウェハレンズ２０を製造することができる。
【００６１】
また、位置調整工程と接着工程とを、同時に行うこともできる。すなわち、積層工程によって２つのウェハスケールレンズ２０１，２０２を重ね合わせた後、凹溝２０１ｂ，２０２ｂに接着剤２０３を充填すると共に、ウェハスケールレンズ２０１，２０２の位置修正などの調整を行うこともできる。
【００６２】
なお、積層型ウェハレンズ２０の凹溝２０１ｂ，２０２ｂは、以下の構成とすることも可能である。図５（ａ），図５（ｂ），図６（ａ），および図６（ｂ）は、それぞれ、別の積層型ウェハレンズ３０，３０’，４０，４０’を分解した構成を示す断面図である。以下の構成であっても、積層型ウェハレンズ２０と同様に、高い精度でウェハスケールレンズが重ね合わされた積層型ウェハレンズ３０，３０’，４０，４０’を実現することができる。以下、積層型ウェハレンズ２０との相違点を中心に説明する。
【００６３】
積層型ウェハレンズ２０では、ウェハスケールレンズ２０１とウェハスケールレンズ２０２とを重ね合わせたとき、凹溝２０１ｂと、凹溝２０２ｂとが互いに重なっていた。
【００６４】
これに対し、図５（ａ）の積層型ウェハレンズ３０では、ウェハスケールレンズ３０１とウェハスケールレンズ３０２とを重ね合わせたとき、凹溝３０１ｂの一部と凹溝３０２ｂの一部とが重なる。この積層型ウェハレンズ３０でも、凹溝３０１ｂと凹溝３０２ｂとによって、凹溝３０１ｂと凹溝３０２ｂとがつながった単一の（共通の）凹溝が形成されることになる。このため、凹溝３０１ｂ，３０２ｂに、同時に接着剤（図示せず）を充填することができる。従って、接着領域を広くして接着強度を高めつつ、接着剤の充填処理（充填時間）を短縮することができる。
【００６５】
一方、図５（ｂ）のように、積層型ウェハレンズ３０では、ウェハスケールレンズ３０１とウェハスケールレンズ３０２とを重ね合わせたとき、凹溝３０１ｂと凹溝３０２ｂとが、全く重ならない。この場合、凹溝３０１ｂと、ウェハスケールレンズ３０２のおもて面とによって形成される空間、および、凹溝３０２ｂと、ウェハスケールレンズ３０１の裏面とによって形成される空間に、接着剤（図示せず）を充填することによって、高い精度でウェハスケールレンズ３０１，３０２が重ね合わされた積層型ウェハレンズ３０’を実現することができる。
【００６６】
また、積層型ウェハレンズ２０では、ウェハスケールレンズ２０１には凹溝２０１ｂが形成され、ウェハスケールレンズ２０２には凹溝２０２ｂが形成されていた。しかし、凹溝２０１ｂ，２０２ｂは、ウェハスケールレンズ２０１，２０２の少なくとも一方に形成されていればよい。
【００６７】
すなわち、図６（ａ）の積層型ウェハレンズ４０では、ウェハスケールレンズ２０１の裏面に凹溝２０１ｂが形成されているのに対し、ウェハスケールレンズ４０１のおもて面（ウェハスケールレンズ２０１との対向面）には、凹溝は形成されていない。この場合も、積層型ウェハレンズ３０’と同様に、凹溝２０１ｂと、ウェハスケールレンズ４０１のおもて面とによって形成される空間に、接着剤（図示せず）を充填することによって、高い精度でウェハスケールレンズ２０１，４０１が重ね合わされた積層型ウェハレンズ４０’を実現することができる。
【００６８】
一方、図６（ｂ）の積層型ウェハレンズ４０’では、逆に、ウェハスケールレンズ４０２の裏面には凹溝は形成されていないのに対し、ウェハスケールレンズ２０２のおもて面（ウェハスケールレンズ４０２との対向面）には、凹溝２０２ｂが形成されている。この場合も、積層型ウェハレンズ３０’と同様に、凹溝２０２ｂと、ウェハスケールレンズ４０２の裏面とによって形成される空間に、接着剤（図示せず）を充填することによって、高い精度でウェハスケールレンズ２０１，４０１が重ね合わされた積層型ウェハレンズ４０’を実現することができる。
【００６９】
本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。すなわち、請求項に示した範囲で適宜変更した技術的手段を組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【００７０】
例えば、上述の例では、ウェハスケールレンズの形状または材料、凹溝の形状、凹溝の配列形状、およびウェハスケールレンズの積層個数などに対して一例を挙げて説明したが、この一例に限定されるものではない。
【産業上の利用可能性】
【００７１】
本発明は、特に、カメラ付き携帯電話、ディジタルスチルカメラ、防犯カメラ，または、携帯電話用・車両搭載用・インタホン用のカメラ等、種々の電子機器に好適に利用できる。
【符号の説明】
【００７２】
２０              積層型ウェハレンズ
２０１，２０２      ウェハスケールレンズ
２０１ａ，２０２ａ  レンズ光学部
２０１ｂ，２０２ｂ  凹溝（溝）
２０３              接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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