(57)【要約】【課題】保護シートを容易に交換することが可能なテープ貼付装置を提供する。【解決手段】導電テープ３６を基板４０上に貼り付けるテープ貼付装置１０において、導電テープ３６を基板４０に押圧する貼付ヘッド４８と、セパレータ３４が積層された導電テープ３６を供給する供給リール２８と、供給リール２８から供給される導電テープ３６を案内して、貼付ヘッド４８と基板４０との間において導電テープ３６を第１方向ｂ１へ送る複数のローラ３２ａ〜３２ｇと、供給リール２８と同軸に設けられており、導電テープ３６が基板４０に貼り付けられた後のセパレータ３４が巻き取られる巻取リール３０と、貼付ヘッド４８を保護するための保護シートを第１方向ｂ１と交差する方向である第２方向ｄ１へ送る保護シートユニット２２と、保護シートユニット２２が着脱可能なベース部１６とを備える。【選択図】図１
2011176212.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電テープを基板上に貼り付けるテープ貼付装置において、
導電テープを基板に押圧する貼付ヘッドと、
セパレータが積層された導電テープを供給する供給リールと、
前記供給リールから供給される導電テープを案内して、前記貼付ヘッドと前記基板との間において導電テープを第１方向へ送るテープ案内部と、
前記供給リールと同軸に設けられており、導電テープが基板に貼り付けられた後のセパレータが巻き取られる巻取リールと、
前記貼付ヘッドを保護するための保護シートを前記第１方向と交差する方向である第２方向へ送る保護シートユニットと、
前記保護シートユニットが着脱可能なベース部とを備える
ことを特徴とするテープ貼付装置。
【請求項２】
前記ベース部は、
保護シートを移動させるための駆動力を提供する保護シート駆動部を有し、
前記保護シートユニットは、
回収方向に回転することによって、使用された保護シートを回収する回収部材と、
前記保護シート駆動部の駆動力を受けて、前記回収部材を前記回収方向にのみ回転させるラッチ機構部と、
前記回収部材に回収される保護シートの移動に応じて送出方向に回転することによって、未使用の保護シートを送り出す送出部材と、
前記送出方向の前記送出部材の回転を許容するとともに、保護シートに送出方向とは逆の方向へ力が掛かるように前記送出部材を付勢するバックテンション機構部とを備える
ことを特徴とする請求項１に記載のテープ貼付装置。
【請求項３】
前記バックテンション機構部は、
前記送出部材の回転軸と同軸に固定されており、前記送出方向に向かう鋸歯状の歯を有するバックテンション歯車と、
前記バックテンション歯車の歯と係合し、前記送出方向の逆方向に回転させるように付勢されたバックテンション付勢部とを有する
ことを特徴とする請求項２に記載のテープ貼付装置。
【請求項４】
前記保護シート駆動部は、一定の範囲内を往復移動する部材であり、
前記ラッチ機構部は、
前記回収部材の回転軸を中心に回転するように前記回収部材に固定された規正歯車と、
前記規正歯車の歯と係合しており、回収方向の逆方向に回転しようとする前記回収部材を係止するとともに、前記回収部材の回収方向の回転を許容する逆回転防止部とを有する
ことを特徴とする請求項２又は請求項３に記載のテープ貼付装置。
【請求項５】
前記バックテンション歯車の送り角が、前記規正歯車の送り角より大きい
ことを特徴とする請求項４に記載のテープ貼付装置。
【請求項６】
テープ貼付装置は、前記供給リールと前記テープ案内部と前記巻取リールとを有し、前記ベース部に着脱可能なテープ保持ユニットを備え、
前記ベース部は、前記供給リール及び前記巻取リールを駆動するリール駆動部を有し、
前記テープ保持ユニットと前記保護シートユニットとは別体である
ことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のテープ貼付装置。
【請求項７】
前記保護シートユニットがベース部に取り付けられた場合に、前記保護シートが前記貼付ヘッドに常に接触している
ことを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載のテープ貼付装置。
【請求項８】
貼付ヘッドにより導電テープを基板上に貼り付けるテープ貼付装置に用いられ、当該貼付ヘッドを保護する保護シートを保持する保護シートユニットであって、
保護シートを移動させる駆動力を提供する保持シート駆動部を有するベース部に着脱可能な保護シートユニット基部を備え、
前記保護シートユニット基部は、
前記保護シートユニット基部に設けられており、回収方向に回転することによって、使用された保護シートを回収する回収部材と、
保護シート駆動部の駆動力を受けて、前記回収部材を回収方向にのみ回転させるラッチ機構部と、
未使用の保護シートを保持し、保護シートを介して前記回収部材の回転に連動して送出方向に回転して、未使用の保護シートを送り出す送出部材と、
前記送出部材の送出方向の回転を許容するとともに、送出方向とは逆の方向へ力が掛かるように前記送出部材を付勢するバックテンション機構部とを有する
ことを特徴とする保護シートユニット。
【請求項９】
貼付ヘッドにより導電テープを基板上に貼り付けるテープ貼付装置に用いられ、当該貼付ヘッドを保護する保護シートを保持する保護シートユニットにおいて保護シートを送るための保護シート送り方法であって、
前記保護シートユニットを前記テープ貼付装置に取り付け、
前記テープ貼付装置に取り付けられた前記保護シートユニットに保護シートを移動させる駆動力を提供し、
前記駆動力によって、使用された保護シートを回収するために前記保護シートユニットに備えられた回収部材が回転し、
導電テープの送り方向である第１方向と交差する第２方向に並べて前記保護シートユニットに設けられた送出部材が、前記回収部材の回転に連動して送出方向に回転し、
前記保護シートユニットに備えられたバックテンション機構部が、前記送出方向とは逆の方向へ力が掛かるように前記送出部材を付勢する
ことを特徴とする保護シート送り方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電テープを基板上に貼り付けるテープ貼付装置に関し、特に、導電テープを貼り付ける貼付ヘッドを保護する保護シートを使用するテープ貼付装置に関する。また、本発明は、保護シートを保持する保護シートユニット、及び保護シートを送るための保護シート送り方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示ディスプレイ、プラズマ表示ディスプレイ等は、表示パネル（以下、基板と称す。）と、ＩＣチップ、ＴＣＰ、ＣＯＦ、ＦＰＣ等のドライバ用の部品とを備える。部品は、異方性導電テープ（以下、導電テープと称す。）を介して、基板の周縁部近傍に設けられた電極に導電性を確保した状態で接合される。このような表示ディスプレイは、基板の電極上に導電テープを貼り付けるテープ貼付装置と、貼り付けた導電テープ上に部品を載置して仮圧着する装置と、本圧着する装置と、これらの装置を通じて基板を搬送するとともに各装置内で基板を所定位置に配置する基板搬送装置とを備える生産システムにおいて生産される。
【０００３】
テープ貼付装置は、導電テープを基板の電極上に貼り付けるために、導電テープを加熱しながら基板に押圧する貼付ヘッドを備える。導電テープには、導電テープ同士の粘着を防ぐためにセパレータが積層されており、貼付ヘッドは、そのセパレータを介して導電テープを押圧する。そのため、導電テープが貼付ヘッドに接触することは少ない。しかし、稀にセパレータからはみ出した導電テープが貼付ヘッドに付着することがある。付着した導電テープが貼付ヘッドで固化すると、導電テープの貼り付け不良の原因となる。
【０００４】
従来、導電テープが貼付ヘッドに付着することを防ぐために、導電テープと貼付ヘッドとの間に保護シートを介在させる技術が開示されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１には、貼付ヘッドと、貼付ヘッドの下方で基板の下面を支持するバックアップステージと、接合シート（導電テープ）を第１方向に送る接合シート供給部（導電テープ供給部）と、導電テープと貼付ヘッドとの間に保護シートを介在させて第２方向に送る保護シート供給部とを備える接合膜貼付装置（テープ貼付装置）が記載されており、テープ貼付装置の第１方向の寸法を小さくするために、第１方向と第２方向とが交差するように設けられる。
【０００５】
保護シート供給部は、未使用の保護シートを保持する保護シート供給リール（送出部材）と、使用された保護シートを巻き取る保護シート巻取リール（回収部材）とを備える。送出部材は、貼付ヘッド及びバックアップステージより奥側に、回収部材はそれらより手前側に設けられる。
【０００６】
保護シートを備えるテープ貼付装置では、送出部材が保持する保護シートを使い切った場合等に保護シートの交換が必要になる。保護シートの交換では、操作者は、使用された保護シートを回収部材から取り外した後に、未使用の保護シートを送出部材に取り付け、その送出部材を貼付ヘッドの奥側に取り付ける。次に操作者は、送出部材が保持する保護シートの端部を持って、貼付ヘッドと導電テープと間を通過させながら保護シートの一端を貼付ヘッドの手前側へ引き出し、その端部を回収部材に固定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−１６５２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
未使用の保護シートを保持する送出部材を貼付ヘッドの奥側に取り付ける時、また保護シートの一端を手前に引き出す時には、貼付ヘッドとバックアップステージ又は導電テープとの間の比較的狭い空間を通じた作業となり、非常に手間が掛かる。
【０００９】
導電テープが取り付けられている場合には、操作者は導電テープに接触しないように気を配らなければならない。また、貼付ヘッドは、テープ貼付装置の稼働時には通常８０〜１５０℃程度に加熱されるため、操作者は、貼付ヘッドが冷めるまで待つか、あるいは貼付ヘッドに接触しないように気を配りながら作業をしなければならない。
【００１０】
このように、従来のテープ貼付装置では、保護シートの交換作業に非常に煩雑なため、作業者の負担が大きいという問題がある。また、保護シートを交換する間はテープ貼付装置を停止させるため、保護シートの交換に長時間要すると、生産効率が低下するという問題もある。
【００１１】
近時、表示ディスプレイの大型化が進んでおり、大型の表示ディスプレイを生産するテープ貼付装置には、複数の貼付ヘッドを備えるものがある。このような装置では、貼付ヘッドの数に応じて保護テープの交換に関する操作者への負担が増し、上述の問題はさらに大きくなる。
【００１２】
本発明は上述の問題を解決するため、保護シートを容易に交換することが可能なテープ貼付装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上述の課題を解決するため、本発明に係るテープ貼付装置の第１の形態は、導電テープを基板上に貼り付けるテープ貼付装置において、導電テープを基板に押圧する貼付ヘッドと、セパレータが積層された導電テープを供給する供給リールと、前記供給リールから供給される導電テープを案内して、前記貼付ヘッドと前記基板との間において導電テープを第１方向へ送るテープ案内部と、前記供給リールと同軸に設けられており、導電テープが基板に貼り付けられた後のセパレータが巻き取られる巻取リールと、前記貼付ヘッドを保護するための保護シートを前記第１方向と交差する方向である第２方向へ送る保護シートユニットと、前記保護シートユニットが着脱可能なベース部とを備える。
【００１４】
本発明に係るテープ貼付装置の第２の形態は、第１の形態に係るテープ貼付装置であって、前記ベース部は、保護シートを移動させるための駆動力を提供する保護シート駆動部を有し、前記保護シートユニットは、回収方向に回転することによって、使用された保護シートを回収する回収部材と、前記保護シート駆動部の駆動力を受けて、前記回収部材を前記回収方向にのみ回転させるラッチ機構部と、前記回収部材に回収される保護シートの移動に応じて送出方向に回転することによって、未使用の保護シートを送り出す送出部材と、前記送出方向の前記送出部材の回転を許容するとともに、保護シートに送出方向とは逆の方向へ力が掛かるように前記送出部材を付勢するバックテンション機構部とを備える。
【００１５】
本発明に係るテープ貼付装置の第３の形態は、第２の形態に係るテープ貼付装置であって、前記バックテンション機構部は、前記送出部材の回転軸と同軸に固定されており、前記送出方向に向かう鋸歯状の歯を有するバックテンション歯車と、前記バックテンション歯車の歯と係合し、前記送出方向の逆方向に回転させるように付勢されたバックテンション付勢部とを有する。
【００１６】
本発明に係るテープ貼付装置の第４の形態は、第２又第３の形態に係るテープ貼付装置であって、前記保護シート駆動部は、一定の範囲内を往復移動する部材であり、前記ラッチ機構部は、前記回収部材の回転軸を中心に回転するように前記回収部材に固定された規正歯車と、前記規正歯車の歯と係合しており、回収方向の逆方向に回転しようとする前記回収部材を係止するとともに、前記回収部材の回収方向の回転を許容する逆回転防止部とを有する。
【００１７】
本発明に係るテープ貼付装置の第５の形態は、第４の形態に係るテープ貼付装置であって、前記バックテンション歯車の送り角が、前記規正歯車の送り角より大きい。
【００１８】
本発明に係るテープ貼付装置の第６の形態は、第１から第５の形態のいずれかに係るテープ貼付装置であって、テープ貼付装置は、前記供給リールと前記テープ案内部と前記巻取リールとを有し、前記ベース部に着脱可能なテープ保持ユニットを備え、前記ベース部は、前記供給リール及び前記巻取リールを駆動するリール駆動部を有し、前記テープ保持ユニットと前記保護シートユニットとは別体である。
【００１９】
本発明に係るテープ貼付装置の第７の形態は、第１から第６の形態のいずれかに係るテープ貼付装置であって、前記保護シートユニットがベース部に取り付けられた場合に、前記保護シートが前記貼付ヘッドに常に接触している。
【００２０】
上述の課題を解決するため、本発明に係る保護シートユニットの第１の形態は、貼付ヘッドにより導電テープを基板上に貼り付けるテープ貼付装置に用いられ、当該貼付ヘッドを保護する保護シートを保持する保護シートユニットであって、保護シートを移動させる駆動力を提供する保持シート駆動部を有するベース部に着脱可能な保護シートユニット基部を備え、前記保護シートユニット基部は、前記保護シートユニット基部に設けられており、回収方向に回転することによって、使用された保護シートを回収する回収部材と、保護シート駆動部の駆動力を受けて、前記回収部材を回収方向にのみ回転させるラッチ機構部と、未使用の保護シートを保持し、保護シートを介して前記回収部材の回転に連動して送出方向に回転して、未使用の保護シートを送り出す送出部材と、前記送出部材の送出方向の回転を許容するとともに、送出方向とは逆の方向へ力が掛かるように前記送出部材を付勢するバックテンション機構部とを有する。
【００２１】
上述の課題を解決するため、本発明に係る保護シート送り方法の第１の形態は、貼付ヘッドにより導電テープを基板上に貼り付けるテープ貼付装置に用いられ、当該貼付ヘッドを保護する保護シートを保持する保護シートユニットにおいて保護シートを送るための保護シート送り方法であって、前記保護シート保持ユニットを前記テープ貼付装置に取り付け、前記テープ貼付装置に取り付けられた前記保護シート保持ユニットに保護シートを移動させる駆動力を提供し、前記駆動力によって、使用された保護シートを回収するために前記保護シートユニットに備えられた回収部材が回転し、導電テープの送り方向である第１方向と交差する第２方向に並べて前記保護シートユニットに設けられた送出部材が、前記回収部材の回転に連動して送出方向に回転し、前記保護シートユニットに備えられたバックテンション機構部が、前記送出方向とは逆の方向へ力が掛かるように前記送出部材を付勢する。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によると、テープ貼付装置は、ベース部に着脱可能な保護シートユニットを備える。そのため、保護シートユニットをベース部から取り外して、保護シートを交換することができる。これにより、保護シートの交換作業を容易にすることが可能になるとともに、保護シートの交換に要する時間を短縮して、生産効率を向上させることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施の形態に係るテープ貼付装置の概要を示す斜視図である。
【図２】保護シート駆動部及び保護シートユニットを拡大して示す斜視図である。
【図３】保護シート駆動部及び保護シートユニットを左方から見た側面図である。
【図４】保護シートユニット基部の一部を切り欠いて示す、保護シート駆動部及び保護シートユニットの正面図である。
【図５】保護シートユニットの平面図である。
【図６】回収部材、規正歯車及び逆回転防止部の関係を説明するための図である。
【図７】第１の保護シート送り処理において保護シート駆動部が降下した状態を示す図である。
【図８】第１の保護シート送り処理において保護シート駆動部が上昇した状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
本発明に係るテープ貼付装置は、基板上にテープ状の異方性導電フィルム（導電テープ）を貼り付ける装置である。テープ貼付装置は通常、テープ貼付装置により貼り付けられた導電テープを仮圧着する仮圧着装置と、仮圧着された導電テープを本圧着する本圧着装置と、これらの装置を通じて基板を搬送するとともに各装置内で基板を所定位置に配置する基板搬送装置とを備える生産システムに備えられる。
【００２５】
基板は、例えば、液晶表示パネル、プラズマディスプレイパネル等の表示パネル等である。基板の周縁近傍には挟ピッチで複数の電極が並べ設けられており、テープ貼付装置は複数の電極を覆うように予め決められた貼付位置に導電テープを貼り付ける。
【００２６】
図１は、本発明の実施の形態に係るテープ貼付装置１０の概要を示す斜視図である。本明細書では、図１に示すように、操作者（ＯＰ）を手前とした前後方向（Ｙ方向）、前方から見た左右方向（Ｘ方向）、及び鉛直上下方向（Ｚ方向）を用いて説明する。これらの方向は、相対的な位置関係、移動方向等を説明するために用いるだけであり、これによって本発明を限定する趣旨ではない。
【００２７】
図１に示すテープ貼付装置１０は、装置本体（図示せず）に固定されて左右方向に伸びるベース支持部材１２と、ベース支持部材１２の下方で装置本体（図示せず）に固定されて左右方向に伸びる下受け支持部材１４とを備える。
【００２８】
ベース支持部材１２には、ベース部１６が左右方向（矢印ｘ１が示す方向）及び上下方向（矢印ｚ１が示す方向）に移動可能に設けられる。ベース部１６の前面には、テープ保持ユニット１８が着脱可能に取り付けられる。また、ベース部１６は、その中央近傍から下方に、少なくとも下端が昇降可能な貼付ユニット２０を有する。貼付ユニット２０には、その下部に保護シートユニット２２が着脱可能に取り付けられる。貼付ユニット２０は、その下部近傍に保護シートユニット２２に駆動力を提供する保護シート駆動部２４を有する。保護シート駆動部２４の詳細は図２を参照して後に説明する。
【００２９】
テープ保持ユニット１８は、セパレータ３４が積層された導電テープ３６を供給し、セパレータ３４を回収するユニットであり、後面がベース部１６に対向して取り付けられるテープ保持ユニット基部２６を有する。テープ保持ユニット基部２６の前面には、供給リール２８と、巻取リール３０と、複数のローラ（３２ａ〜３２ｇ等）とが設けられる。
【００３０】
供給リール２８は、ベース部１６に取り付けられたモータ３８を駆動源とし、駆動機構を介して伝達される駆動力により回転して、導電テープ３６及びセパレータ３４を供給する。
【００３１】
巻取リール３０は、ベース部１６に取り付けられたモータ４２を駆動源とし、駆動機構を介して伝達される駆動力により回転して、導電テープ３６が基板４０に貼り付けられた後のセパレータ３４を巻き取る。
【００３２】
供給リール２８と巻取リール３０とは、テープ保持ユニット１８の上部に同軸に設けられており、いずれもその軸を中心に同一方向に、本実施の形態では右回り（矢印ａ１及びａ２が示す方向）に回転する。
【００３３】
複数のローラ（テープ案内部）は、導電テープ３６及びセパレータ３４を案内する。テープ保持ユニット基部２６の左部分に設けられたローラ（３２ａ、３２ｃ等）は、供給リール２８から貼付ユニット２０の下方までセパレータ３４が積層された導電テープ３６を案内する。テープ保持ユニット基部２６の右部分に設けられたローラ（３２ｂ、３２ｄ〜３２ｇ等）は、導電テープ３６が貼り付けられた後のセパレータ３４を巻取リール３０まで案内する。
【００３４】
複数のローラは、貼付ユニット２０の下方を挟んで対向する第１案内ローラ３２ａと第２案内ローラ３２ｂとを含む。第１案内ローラ３２ａと第２案内ローラ３２ｂとは、それぞれ、下端が左右方向に並ぶように貼付ユニット２０の左下方及び右下方に配置される。第１及び第２案内ローラ３２ａ，３２ｂの下端にセパレータ３４を接触させて案内することによって、導電テープ３６及びセパレータ３４は、貼付ユニット２０と基板４０との間で、導電テープ３６を下面にして、第１方向としての左方から右方へ向かう方向（矢印ｂ１が示す方向）に送られる。
【００３５】
また、複数のローラは適宜、導電テープ３６及びセパレータ３４を案内する機能以外の機能を備えたローラを含む。例えば、第１調整ローラ３２ｃは、導電テープ３６及びセパレータ３４の張力を調整する。第２案内ローラ３２ｂは、その右上に狭い間隔で設けられたローラ３２ｄと対をなして左右に移動し、導電テープ３６からのセパレータ３４の剥離を容易にする剥離ローラとして機能する。駆動ローラ３２ｅは、ピンチローラ３２ｆによりセパレータ３４が押しつけられて、セパレータ３４を安定的に駆動する。第２調整ローラ３２ｇはセパレータ３４の張力を調整する。
【００３６】
次に、貼付ユニット２０は、貼付ユニット基部４４と、ロッド４６と、貼付ヘッド４８とを有する。
【００３７】
貼付ユニット基部４４は、ロッド４６と貼付ヘッド４８とを支持して昇降する（矢印ｃ１参照）。貼付ユニット基部４４は、ロッド４６に固定されたピストン（図示せず）とそれが上下方向に摺動するシリンダ（図示せず）とを内蔵する。ロッド４６は、下端に貼付ヘッド４８が固定されており、ピストンに加えられる気体又は液体を媒介とした圧力によって昇降する。貼付ヘッド４８は、貼付ユニット基部４４又はロッド４６の昇降に伴って昇降する（矢印ｃ２が示す方向）。また、貼付ヘッド４８は、ヒータ（図示せず）を備える。これによって、貼付ヘッド４８の下端が、導電テープ３６を基板４０に加熱しながら押圧して、導電テープ３６を基板４０に貼り付ける。
【００３８】
保護シートユニット２２は、導電テープ３６が貼付ヘッド４８に付着することを防ぐ保護シート５０を貼付ヘッド４８の下端の下方に保持するユニットである。保護シートユニット２２は、テープ保持ユニット１８とは別体に設けられ、図２に拡大して示すように、保護シートユニット基部５２が貼付ヘッド４８に着脱可能に取り付けられる。
【００３９】
保護シートユニット基部５２には、図２、図４及び図５に示すように、貼付ヘッド４８の下端部よりも前方に配置される筒状の部材である回収部材５４と、貼付ヘッド４８の下端部よりも後方に配置される筒状又は円柱状の部材である送出部材５６とが、それぞれの軸を左右方向に向けて平行に設けられる。
【００４０】
回収部材５４及び送出部材５６には、保護シート５０が掛け渡され、これによって、保護シート５０は、第２方向としての後方の送出部材５６から前方の回収部材５４へ向かう方向（矢印ｄ１が示す方向）に適宜送られるとともに、それとは逆の方向の力、すなわち前方から後方へ向かう力（矢印ＢＴが示す方向の力。以下、バックテンションと称す。）を掛けて保持される。
【００４１】
このように、貼付ユニット２０の下方における導電テープ３６の送り方向ｂ１（第１方向）と保護シート５０の送り方向ｄ１（第２方向）とが直交しているため、テープ保持ユニット１８及びベース部１６の第１方向の寸法を小さくすることができる。保護シートユニット２２の詳細な構成について、後にさらに説明する。
【００４２】
図１を参照すると、下受け支持部材１４には、下受け部５８が左右方向（矢印ｘ２が示す方向）に移動可能に設けられる。下受け部５８は、装置本体から提供される駆動力によって左右に移動し、基板４０の貼付位置６２に対向する下面を下支えする。
【００４３】
なお、供給リール２８、巻取リール３０、ローラの一部（３２ｂ及び３２ｄ、３２ｅ等）、貼付ユニット基部４４、ロッド４６等を駆動するための駆動源及びその駆動源により生成される駆動力を伝達する駆動機構は、これまで説明した以外にも適宜、ベース部１６等に備えられる。また、ベース部１６及び下受け部５８のそれぞれを駆動するための駆動源及びそれぞれの駆動源により生成される駆動力を伝達する駆動機構は適宜、装置本体（図示せず）等に備えられる。
【００４４】
また、ベース部１６、貼付ユニット２０、保護シートユニット２２、保護シート駆動部２４、ローラの一部（３２ｂ及び３２ｄ、３２ｅ等）、下受け部５８等の動作、貼付ヘッド４８の温度等については、制御部６０が予め決められた設定に従って制御する。
【００４５】
このような、テープ貼付装置１０では、基板搬送装置（図示せず）により基板４０がテープ貼付装置１０内の所定位置に配置されると、ベース部１６と下受け部５８とが左右に移動する。これによって、貼付ヘッド４８と下受け部５８とが、貼付位置６２の上下に配置される。その後、基板４０の貼付位置６２に対向する下面が下受け部５８に支持されるとともに、貼付ヘッド４８が降下する。貼付ヘッド４８の下端が、保護シート５０及びセパレータ３４を介して導電テープ３６を加熱及び押圧して、導電テープ３６が基板４０の貼付位置６２に貼り付けられる。
【００４６】
次に、図２〜図６を参照して、保護シート駆動部２４及び保護シートユニット２２の構成の詳細を説明する。保護シートユニット２２は、保護シート５０にバックテンションＢＴを掛けながら、導電テープ３６と貼付ヘッド４８との間で保護シート５０を保持する。また、保護シートユニット２２は、保護シート駆動部２４が提供する駆動力によって手前方向（矢印ｄ１が示す方向）に保護シート５０を送ることができる。
【００４７】
まず、保護シート駆動部２４は、保護シートユニット２２に駆動力を提供できるように貼付ヘッド４８に固定されており、本実施の形態では嵌着部６４を介して貼付ヘッド４８の左方に固定される。嵌着部６４は本実施の形態では、貼付ヘッド４８の左及び前後の三方側部を囲んで貼付ヘッド４８に嵌着し、適宜カシメ、ネジ留め等により貼付ヘッド４８に固定される。
【００４８】
保護シート駆動部２４は間欠的に、例えば導電テープ３６を所定回数貼り付ける度に昇降する（矢印ｅ１参照）昇降部材６６を有する。昇降部材６６は、例えば保護シート駆動部２４が有するモータの駆動力（図示せず）によって、所定の範囲内で昇降するロッドである。
【００４９】
次に、保護シートユニット２２は、貼付ヘッド４８の下方を覆う保護シートユニット基部５２と、保護シート５０が掛け渡される回収部材５４及び送出部材５６とを有する。
【００５０】
保護シートユニット基部５２は、前方壁部から上方へ伸びるピン止め部７２の孔を介して嵌着部６４の穴に嵌合するピン７４によって、嵌着部６４を介して貼付ヘッド４８の所定位置に固定される。また、ピン７４を外すことによって、保護シートユニット基部５２を貼付ヘッド４８から分離することができる。
【００５１】
保護シートユニット基部５２が固定されると、貼付ヘッド４８の下端が、保護シート５０に接触して、保護シートユニット基部５２の開口部７０を通過する（図３及び図４参照）。保護シート５０は、貼付ヘッド４８に常時接触することになり、貼付ヘッド４８と同じ温度で維持される。そのため、貼付ヘッド４８が導電テープ３６を貼り付ける前に、保護シート５０を貼付ヘッド４８と同じ温度にまで昇温させる時間を省くことが可能になり、生産効率が上がる。
【００５２】
回収部材５４は、回収部材５４の長軸方向に伸びる回転軸８０を有し（図５参照）、回転軸８０の両端が保護シートユニット基部５２の対向する左右側壁８２，８４に回転可能に支持される筒状の部材である。保護シートユニット基部５２が貼付ヘッド４８に取り付けられた場合に、回収部材５４の回転軸８０は、貼付ヘッド４８の下端部よりも前方で左右方向に配置される。
【００５３】
回収部材５４は、保護シート駆動部２４から提供される駆動力によって、回収方向に、本実施の形態では左方から見て左回り（図２の矢印ｆ１が示す方向）に、回転軸８０を中心として回転する。これによって、回収部材５４は使用済みの保護シート５０を回収する。
【００５４】
送出部材５６は、送出部材５６の長軸方向に伸びる回転軸８１を有し（図５参照）、回転軸８１の両端が保護シートユニット基部５２の対向する左右側壁８２，８４に回転可能に支持される。また、保護シートユニット基部５２が貼付ヘッド４８に取り付けられた場合に、送出部材５６の回転軸８１は、貼付ヘッド４８の下端部よりも後方に配置される。
【００５５】
送出部材５６は、回収部材５４に回収される保護シート５０を介して加えられる回転力によって、送出方向に、本実施の形態では左方から見て左回り（図２の矢印ｇ１が示す方向）に、回転軸８１を中心として回転する。これによって、送出部材５６が未使用の保護シート５０を送り出す。このように、送出部材５６が、保護シート駆動部２４による回収部材５４の回転に保護シート５０を介して連動する結果、保護シート５０は後方から前方（第２方向）へ移動する。
【００５６】
また、送出部材５６の回転軸８１は、保護シートユニット基部５２の左右側壁８２，８４に設けられた切り欠き部８６を通じて、保護シートユニット基部５２から取り外すことができる。これによって、送出部材５６に未使用の保護シート５０を取り付けることが容易になる。
【００５７】
保護シートユニット２２は、さらに、ラッチ機構部７６と、バックテンション機構部７８とを有する。ラッチ機構部７６は、保護シート駆動部２４の駆動力を受けて、回収部材５４を回収方向にのみ回転させる機構を構成する。バックテンション機構部７８は、送出部材５６の送出方向の回転を許容するとともに、保護シート５０にバックテンションを掛けて維持する機構を構成する。以下に、ラッチ機構部７６及びバックテンション機構部７８の詳細について説明する。
【００５８】
まず、ラッチ機構部７６は、押下部材８８と、回転駆動部材９０と、規正歯車９２と、逆回転防止部９４とを有する。押下部材８８、回転駆動部材９０、規正歯車９２、及び逆回転防止部９４はいずれも、回収部材５４の回転軸８０を中心に回転可能である。
【００５９】
押下部材８８は、２つの細長い第１及び第２板部材９６，９８の一端部がほぼ直交して結合するＬ字状の部材であり、保護シートユニット基部５２の左側壁８２の外側に設けられる。押下部材８８は、その結合部分を中心に回転できるように（矢印ｆ３参照）、保護シートユニット基部５２に軸支される。
【００６０】
第１板部材９６の他端部は、押下部材８８の中心より後方に配置され、第１板部材９６の他端部には、保護シートユニット基部５２が貼付ヘッド４８に取り付けられた場合に昇降部材６６により押下される押下部６８が設けられる。すなわち、押下部６８は、昇降部材６６の下方であって、その降下範囲内に配置され、昇降部材６６が降下することによって所定量だけ押し下げられる。
【００６１】
また、第１板部材９６の中程には、一端が保護シートユニット基部５２に固定された第１付勢部材１００の他端が取り付けられる。第２板部材９８の端部には、一端が保護シートユニット基部５２に固定された第２付勢部材１０２の他端が取り付けられる。第１及び第２付勢部材１００，１０２によって、押下部材８８は、押下部６８が昇降部材６６の下方に位置する基準位置に維持される。
【００６２】
従って、昇降部材６６が降下して押下部６８が押し下げられると、押下部材８８は、回収方向に回転し、その後、昇降部材６６が上昇すると、押下部材８８は、第１及び第２付勢部材１００，１０２の付勢力によって、基準位置に戻る。
【００６３】
回転駆動部材９０は、図６に示すように、回収部材５４の内部に設けられるシャフトである。回転駆動部材９０は、押下部材８８の回転軸と同軸で、かつ、押下部材８８とともに回転（揺動）するように（矢印ｆ５参照）、設けられる。回転駆動部材９０は、回収部材５４とともにラッチ機構を構成する。このラッチ機構は、回転駆動部材９０が回収方向に回転する場合には、回収部材５４を回収方向に回転させ、回転駆動部材９０が回収方向の逆方向に回転する場合には、回収部材５４を回転させない。
【００６４】
ラッチ機構には、従来の技術が適宜採用されてよいが、その一例を図６に示す。同図に示すように、回収部材５４の内面には、回収方向（矢印ｆ１が示す方向）の逆方向に向かう歯が設けられる。また、回転駆動部材９０の表面には、先端部が半径方向に突出しており、基端部を中心に一定の範囲で回転可能な（矢印ｆ６参照）係合爪１０４が設けられる。係合爪１０４は、先端部が半径方向に突出するように付勢されている。係合爪１０４は、回転駆動部材９０が回収方向（矢印ｆ１が示す方向）に回転する場合、回収部材５４の内面の歯と係合する。これに対して、回転駆動部材９０が逆回転する場合、係合爪１０４は、回収部材５４の内面の歯に押されることにより、付勢力に抗して回転駆動部材９０の表面に設けられた凹部１０６に収容される。そのため、回転駆動部材９０が逆回転する場合、係合爪１０４は回収部材５４の内面の歯と係合しない。そのため、回収部材５４が回転駆動部材９０によって回収方向の逆方向に駆動されることはない。なお、回転駆動部材９０は、回収部材５４とともにラッチ機構を構成するとしたが、ラッチ機構を構成せずに、回収部材５４と一体的に構成されてもよい。
【００６５】
規正歯車９２は、回収部材５４に固定された歯車である。押下部６８が昇降部材６６によって押し下げられると、規正歯車９２は送出方向（矢印ｆ２が示す方向）に回転する。押下部６８が上昇する際に保護シート５０がバックテンションＢＴによって前方から後方へ戻らないようにするため、規正歯車９２は、昇降部材６６が１度押下すると少なくとも１ピッチ回転する。好ましくは、規正歯車９２は、昇降部材６６が１度押下すると５ピッチ程度回転する。
【００６６】
逆回転防止部９４は、規正歯車９２から所定距離離れた基端部を中心に回転可能な部材である（矢印ｆ４参照）。逆回転防止部９４は、その先端部が規正歯車９２の歯に係合するように、バネ等の付勢部材１０８により付勢されている。
【００６７】
逆回転防止部９４の先端は、規正歯車９２が送出方向に回転する場合に、規正歯車９２の歯の送出方向に向く前面に押されて、付勢力に抗して僅かに回転する。そのため、逆回転防止部９４が規正歯車９２の送出方向の回転を規制することがなく、規正歯車９２は送出方向に回転できる。
【００６８】
これに対して、規正歯車９２が送出方向の逆方向に回転する場合には、逆回転防止部９４の先端は、規正歯車９２の歯の背面と互いに押し合う。そのため、規正歯車９２は、逆回転防止部９４によって係止され、その逆回転が規制される。
【００６９】
ここで、規正歯車９２の歯の前面とは、各歯が有する２つの面のうち、規正歯車９２の送出方向に前を向く面をいい、その反対の面を歯の背面という。歯車の歯の前面及び背面という用語は、以下に同様の意味で用いる。
【００７０】
次に、図３を参照して、バックテンション機構部７８の詳細について説明する。バックテンション機構部７８は、上述のように、送出部材５６の送出方向の回転を許容するとともに、保護シート５０にバックテンションを掛ける機構を構成し、バックテンション歯車１１０と、バックテンション付勢部１１２とを有する。
【００７１】
バックテンション歯車１１０は、送出部材５６と同軸で、かつ、送出部材５６とともに送出方向（矢印ｇ２が示す方向）に回転するように設けられる。バックテンション歯車１１０は、送出方向に向かう鋸歯状の歯を有する。バックテンション歯車１１０の送り角は、規正歯車９２の送り角より大きい。
【００７２】
ここで、送り角とは、歯車の中心から見た、隣接する歯車間の角度をいう。また、送出方向に向かう鋸歯状の歯とは、各歯の有する全ての面が、バックテンション歯車１１０の中心軸から見て送出方向に向かう、すなわち、半径方向に伸びるか又は半径方向に対して回転方向に９０°未満の角度で傾斜する歯車をいう。
【００７３】
バックテンション付勢部１１２は、バックテンション歯車１１０の中心より前方に所定距離離れた基端部を中心として回転可能な部材である（矢印ｇ３参照）。バックテンション付勢部１１２は、先端がバックテンション歯車１１０の歯の前面に当接しており、また、左方から見て左回りにバネ等の付勢部材１１４によって付勢されている。これによって、バックテンション歯車１１０は、左方から見て右回り（送出方向の逆方向）に回転するように付勢される。
【００７４】
以上の構成を備えることによって、保護シート５０が保護シートユニット基部５２に取り付けられると、バックテンション付勢部１１２がバックテンション歯車１１０を送出方向の逆方向へ回転させるように付勢する。これによって、保護シート５０にはバックテンションＢＴが掛かる。また、この時、逆回転防止部９４が規正歯車９２に係合することによって、回収部材５４が回収方向とは逆方向に回転することは規制される。そのため、保護シート５０が保護シートユニット基部５２に取り付けられると、保護シート５０はバックテンションＢＴが掛かったまま維持される。
【００７５】
これによって、保護シート５０にシワ又はたるみが生じることを防ぐことができる。そのため、保護シート５０のシワ又はたるみによって、導電テープ３６に伝えられる力又は熱量が不均一になる不具合を防止することが可能になる。また、本実施の形態によれば、コンパクトな保護シートユニット基部５２によって、保護シート５０にバックテンションを掛けた状態を維持することが可能である。
【００７６】
ここから、本実施の形態に係るテープ貼付装置１０に関する動作について説明する。
【００７７】
（貼り付け処理）
基板搬送装置が、テープ貼付装置１０の所定位置に基板４０を配置する。貼付ヘッド４８及び下受け部５８が、左右に移動することによって、基板４０の貼付位置６２の上下に配置される。下受け部５８が基板４０の下面を支えるとともに、貼付ヘッド４８が降下して導電テープ３６を加熱しながら基板４０に押圧することによって、導電テープ３６が基板４０に貼り付けられる。この時、保護シート５０が、セパレータ３４と貼付ヘッド４８との間に介在し、導電テープ３６がセパレータ３４からはみ出して貼付ヘッド４８に付着することを防ぐ。
【００７８】
テープ貼付装置１０は、順次搬送される基板４０の各貼付位置６２に対して、導電テープ３６の貼り付け処理を順次実行する。
【００７９】
（第１の保護シート送り処理：保護シート駆動部２４の降下）
貼り付け処理が所定回数、例えば１００回実行されると、図７に示すように、保護シート駆動部２４が降下する（矢印ｅ２参照）。これによって、押下部６８が押し下げられ、押下部材８８と回転駆動部材９０とが一体的に、押下部材８８の基準位置から回収方向に回転する（矢印ｆ７参照）。この回転量は、押下部６８が押し下げられる距離に応じた所定の角度である。この時、図６を参照して説明したように、回転駆動部材９０の係合爪１０４が回収部材５４の内面の歯と係合するため、回収部材５４が回収方向に回転する。これによって、保護シート５０には後方から前方へ向かう力が加わり、保護シート５０が後方から前方へ移動する。
【００８０】
なおこの時、規正歯車９２は、逆回転防止部９４によって規制されることなく、回収部材５４と一体的に回転する（矢印ｆ２参照）。
【００８１】
保護シート５０に後方から前方へ向かう力が加わることによって、送出部材５６及びバックテンション歯車１１０には送出方向に回転させ力が働く。バックテンション付勢部１１２は、バックテンション歯車１１０の歯の前面に押されて、付勢部材１１４の付勢力に抗して、本実施の形態では左方から見て右回り（矢印ｇ４が示す方向）に回転する。そのため、送出部材５６及びバックテンション歯車１１０が送出方向に回転し、保護シート５０は、後方から前方へ移動する。
【００８２】
ただし、保護シート駆動部２４の第１の降下処理では、バックテンション付勢部１１２は、バックテンション歯車１１０の同一の歯に係合したままである。そのため、保護シート５０が送出される間、保護シート５０にはほぼ一定のバックテンションが掛かる。
【００８３】
（第１の保護シート送り処理：保護シート駆動部２４の上昇）
保護シート駆動部２４は、所定の移動範囲の最下端まで移動した後、図８に示すように、矢印ｅ３が示すように上昇して元の位置に戻る。押下部６８に掛かる力がなくなるため、押下部材８８に取り付けられた付勢部材１００，１０２の付勢力によって、押下部材８８と回転駆動部材９０とは一体的に回収方向の逆方向に回転し（矢印ｆ６が示す方向）、押下部材８８は基準位置に戻る。この時、回転駆動部材９０の係合爪１０４は回収部材５４の内面の歯に押されて凹部１０６に収容される（図６参照）。そのため、回収方向の逆方向に向けた回転駆動部材９０の回転に伴って、回収部材５４が回転することはない。
【００８４】
また、バックテンション歯車１１０は、バックテンション付勢部１１２により送出方向の逆方向に回転させる力（図８の矢印ＢＦ２が示す方向の力）により付勢される。そのため、バックテンションＢＴが掛かる。この力は保護シート５０を介して回収部材５４に伝達され、回収部材５４及び回収部材５４に固定された規正歯車９２には回収方向の逆方向に回転させる力が働く。しかし、規正歯車９２が回収方向の逆方向に回転することは、上述のように逆回転防止部９４によって規制される。そのため、回収部材５４が回収方向の逆方向に回転することも規制される。従って、保護シート５０にバックテンションＢＴが掛かっても、それによって、回収部材５４が回転することはない。その結果、保護シート５０は、一定のバックテンションＢＴが掛かった状態で維持され、保護シート５０にシワ又はたるみが生じることが防止できる。
【００８５】
（第２の保護シート送り処理：保護シート駆動部２４の降下）
貼り付け処理が所定回数、例えば１００回実行されると、保護シート駆動部２４が降下する。この時の保護シートユニット２２の動作は、第１の保護シート送り処理の保護シート駆動部２４の降下時における保護シートユニット２２の上述した動作と概ね同じである。異なるのは、バックテンション付勢部１１２が係合するバックテンション歯車１１０の歯が、隣接する歯に移行することである。バックテンション付勢部１１２が係合する歯が移行する時、保護シート５０に掛かるバックテンションＢＴが僅かに変動する。
【００８６】
（第２の保護シート送り処理：保護シート駆動部２４の上昇）
保護シート駆動部２４は、所定の移動範囲の最下端まで移動すると、上昇して元の位置に戻る。この時の保護シートユニット２２の動作は、第１の保護シート送り処理の保護シート駆動部２４の上昇時における保護シートユニット２２の上述した動作と同じである。これによって、保護シートユニット２２は、図３に示す状態と概ね同じ状態になり、保護シート５０は、一定のバックテンションＢＴが掛かった状態で維持される。この状態で貼り付け処理が実行される。貼り付け処理が所定回数実行されると、上述の第１の保護シート送り処理以降の処理が繰り返される。
【００８７】
これまで説明した動作から分かるように、保護シート５０が２回送られると、バックテンション付勢部１１２が係合するバックテンション歯車の歯が１つ移行する。これは、上述の保護シートユニット２２の構成で説明したように、バックテンション歯車の送り角が、規正歯車の送り角より大きい範囲で、両送り角を調整することによって実現される。これによって、保護シート５０に掛かるバックテンションの変化を小さくすることができる。そのため、保護シート５０の送り量を正確に制御することができ、保護シート５０を余分に送ることによる無駄を減らすことが可能になる。
【００８８】
第１及び第２の保護シート５０の送り処理を繰り返すと、送出部材５６に保持された保護シート５０はやがて全て消費される。送出部材５６に保持された未使用の保護シート５０を使い切ると、テープ貼付装置１０の稼働を一時停止して、保護シート５０の交換作業が適宜実行される。本実施の形態の保護シートユニット２２における保護シート５０の交換作業の具体例について説明する。
【００８９】
（保護シート５０の交換）
操作者は、ピン７４を外し、保護シートユニット２２を貼付ヘッド４８から取り外す。この時、操作者は、保護シートユニット基部５２の前方を基点に後方を貼付ヘッド４８から離間させることによって、前方から後方へ向けて下を向くように保護シートユニット基部５２を傾斜させた後に手前に引き出す。これによって、貼付ヘッド４８の干渉を回避して保護シートユニット基部５２を取り外すことができる。
【００９０】
回収部材５４から使用済みの保護シート５０を取り外し、送出部材５６に未使用の保護シート５０を取り付ける。この時、操作者は、切り欠き部８６を通じて送出部材５６を適宜取り外して、保護シート５０を送出部材５６に容易に取り付けることができる。
【００９１】
操作者は、保護シート５０の一端を回収部材５４に取り付ける。具体的には、例えば、回収部材５４の表面の長手方向に設けられた溝に保護シート５０の一端を挿入した後に、回収部材５４を回収方向に数回回転させることによって、保護シート５０は回収部材５４に取り付けられる。
【００９２】
操作者は、貼付ヘッド４８との干渉を回避するために、前方より後方が下になるように傾斜させて保護シートユニット基部５２を前方から貼付ヘッド４８に近づけた後、前方を基点として後方を上に回転させることによって、保護シートユニット基部５２を貼付ヘッド４８に取り付ける。操作者は、ピン止め部７２の孔にピン７４を挿入して、保護シートユニット２２を貼付ヘッド４８に固定する。
【００９３】
このように、操作者は保護シートユニット２２を貼付ヘッド４８から取り外して、使用済みの保護シート５０の取り外し及び未使用の保護シート５０の取り付けを行うことができる。また、保護シートユニット２２の取り付け及び取り外しも、ピン７４の付け外しによって容易に行うことができる。そのため、保護シート５０の交換を容易に効率よく行うことが可能になる。また、貼付ヘッド４８が加熱されていたとしても、操作者が一連の動作において貼付ヘッド４８に接触する危険も極めて低く、操作者は交換作業をより安全に行うことが可能になる。
【００９４】
また、貼り付け処理によって導電テープ３６は消費されるため、導電テープ３６の交換も必要になる。導電テープ３６の交換は、具体的には、巻取リール３０からセパレータ３４３４を取り外し、セパレータ３４が積層された導電テープ３６を供給リール２８に取り付けて、所定の経路に巻き回すことによって行われる。本実施の形態では、テープ保持ユニット１８をベース部１６から取り外すことができるため、導電テープ３６の交換も容易に行うことができる。
【００９５】
さらに、本実施の形態では、テープ保持ユニット１８と保護シートユニット２２とは別体に構成される。導電テープ３６の交換時期と保護シート５０の交換時期は異なることが多いが、本実施の形態ではそれぞれを個別に取り外して各交換作業を行うことができる。そのため、導電テープ３６及び保護シート５０の交換作業をぞれぞれ適切な時期に容易に実行することが可能になる。
【００９６】
以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明はこの実施の形態に限られない。
【００９７】
例えば、実施の形態では、貼付ヘッド４８の下方における導電テープ３６の送り方向である第１方向は左方から右方へ向かう方向であり、保護シート５０の送り方向である第２方向は後方から前方へ向かう方向であるとした。しかし、これらの送り方向は、実施の形態で説明した具体的な送り方向に限定されず、第１方向と第２方向とは互いに交差する方向であればよい。第１及び第２案内ローラ３２ａ，３２ｂは少なくとも保護シートユニット２２の第１方向の寸法より大きく離間して配置する必要があるため、第２方向が第１方向と同一である場合、テープ保持ユニット１８及びベース部１６の第１方向の寸法が大きくなる。第１及び第２方向を交差する方向とすることによって、テープ保持ユニット１８及びベース部１６の第１方向の寸法を小さくすることができる。
【００９８】
例えば、実施の形態では、保護シートユニット２２及び保護シート駆動部２４が、ベース部１６の一部である貼付ヘッド４８に取り付けられるとしたが、保護シートユニット２２及び保護シート駆動部２４が取り付けられるベース部１６の具体的な場所はこれに限られない。保護シートユニット２２及び保護シート駆動部２４は、導電テープ５０の貼り付け時に保護シート５０が貼付ヘッド４８と導電テープ３６との間に介在し、また保護シート駆動部２４が保護シートユニット２２に駆動力を提供できるように、ベース部１６に取り付けられればよい。また、保護シート５０は、貼付ヘッド４８に常時接触していなくてもよい。
【００９９】
例えば、実施の形態では、昇降部材６６を昇降させる駆動源がモータであるとしたが、ソレノイドのような電磁力又は空圧シリンダ等であってもよい。また、昇降部材６６は、適宜設けられた駆動源の駆動力によって所定の範囲内を移動する部材の一例であり、押下部６８は、移動する部材と係合して、所定方向へ移動する部材の一例である。
【０１００】
例えば、実施の形態では、保護シートユニット基部５２は、ピン７４によって嵌着部６４に分離可能に固定されるとしたが、保護シートユニット基部５２はピンに限らず、例えばネジ止め等によってベース部１６に分離可能に固定されればよい。
【０１０１】
例えば、実施の形態では、保護シート５０が２回送られると、バックテンション付勢部１１２が係合するバックテンション歯車の歯が１つ移行するとしたが、これに限られない。バックテンション付勢部１１２が係合する歯が１つ移行するまでに、保護シート５０が複数回送られればよい。このことは、バックテンション歯車の送り角が、規正歯車の送り角より大きい範囲で両送り角を適宜調整することによって実現できる。これによって、実施の形態で説明しように、保護シート５０を送る間のバックテンションＢＴの変化が小さくなり、保護シート５０の送り量を正確に制御することができる。そのため、保護シート５０を余分に送ることによる無駄を減らすことが可能になる。
【産業上の利用可能性】
【０１０２】
本発明に係るテープ貼付装置は、導電テープによる貼付ヘッドの汚れを防止する保護シートを有して、導電テープを基板に貼り付ける装置に適用できる。
【符号の説明】
【０１０３】
１０  テープ貼付装置、１２  ベース支持部材、１４  下受け支持部材、１６  ベース部、１８  テープ保持ユニット、２０  貼付ユニット、２２  保護シートユニット、２４  保護シート駆動部、２６  テープ保持ユニット基部、２８  供給リール、３２ａ  第１案内ローラ、３２ｂ  第２案内ローラ、３４  セパレータ、３６  導電テープ、４０  基板、４２  モータ、４４  貼付ユニット基部、４８  貼付ヘッド、５０  保護シート、５２  保護シートユニット基部、５４  回収部材、５６  送出部材、６６  昇降部材、６８  押下部、７６  ラッチ機構部、７８  バックテンション機構部、８８  押下部材、９０  回転駆動部材、９２  規正歯車、９４  逆回転防止部、１１０  バックテンション歯車、１１２  バックテンション付勢部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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