(57)【要約】【課題】本発明は、環境での温度変化に対応した試料表面の誘電特性を測定できる方法と装置を提供することを目的とする。【解決手段】上記課題を解決するために、誘電特性の温度依存性測定方法は、  検出用電極と試料表面との間に間隙を配し、その間隙に充填される誘電性液体を所望の温度に調整し、当該調整温度の前記誘電性液体の接する試料表面の誘電特性を測定することを特徴とする手段を採用した。【選択図】図４
2011112467.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料表面の誘電特性が温度変化によりどのような変化を示すのかを測定できる誘電特性の温度依存性測定方法であって、検出用電極と試料表面との間に間隙を配し、その間隙に充填される誘電性液体を所望の温度に調整し、当該調整温度の前記誘電性液体の接する試料表面の誘電特性を測定することを特徴とする誘電特性の温度依存性測定方法。
【請求項２】
請求項１に記載の誘電特性の温度依存性測定方法において、前記誘電性液体の既知の温度依存性特性に基づき、前記試料の表面温度を測定することを特徴とする温度依存性測定方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の温度依存性測定方法において、測定した誘電率から前記誘電性液体の誘電率の既知の温度依存性特性を差引く校正手段を追加することを特徴とする温度依存性測定方法。
【請求項４】
請求項１に記載の誘電特性測定方法において、前記誘電性液体は水であることを特徴とする試料表面の誘電特性測定方法。
【請求項５】
請求項１に記載の誘電特性測定方法において、前記誘電性液体はアルコールであることを特徴とする試料表面の誘電特性測定方法。
【請求項６】
請求項１から３のいずれかに記載の測定方法に用いる誘電特性の温度依存性測定装置であって、前記試料の測定箇所表面とは間隙を有して、その非測定箇所の表面にて閉環状に密着して保持する密着手段を有する試料保持部材と、前記間隙内に暴露されて前記試料保持部材に保持された電極と、前記間隙内に液体誘電体を充填する液注入機構と、当該液注入機構中に設けた液体誘電体の温度調整手段とにより構成してあることを特徴とする誘電特性の温度依存性測定装置。
【請求項７】
請求項４に記載の温度依存性測定装置において、前記液注入機構は、前記保持部材に形成した液注入口と液排出口を繋ぐ循環経路により構成され、この循環経路中に前記温度調整手段が設けてあることを特徴とする誘電特性の温度依存性測定装置。
【請求項８】
請求項４又は５に記載の温度依存性測定装置において、前記密着手段は、保持部材の試料対向面に突出して配置された弾性パッキンであることを特徴とする試料表面の誘電特性測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料表面の誘電特性が温度変化によりどのような変化を示すのかを測定できる誘電特性の温度依存性測定方法と、それに用いる測定装置に関し、具体的には、試料を保持する保持部材と、これに取り付けられた測定用電極とからなる試料表面の誘電特性方法と測定装置の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来は、特許文献１、２に示され図１に示すように、検出用の電極を試料に密着させて測定していた。
具体的には、電磁遮蔽体（２）に覆われた電極（Ｅ）を、同軸ケーブル（４）を介して誘電特性計測装置に接続するもので、前記電極（Ｅ）を試料（Ｓ）に密着させて表面での均一な電位をつくりだしている。ここで試料表面に凹凸などの構造がある場合や、電極が傾いている場合は表面の電位が不均一になり、試料内部の誘電特性を測定する上では測定誤差の原因になる。
多くの場合、表面の影響を無くすために、導電性の金属を試料表面に蒸着している。
これは誘電特性の測定が材料内部全体の誘電特性を測定することを目的として、開発された技術であり、表面の影響を可能な限り小さくするという技術の流れを踏襲していることによるものであり、電極を密着させる事は表面を敢えて破壊していたし、表面構造に起因する隙間は誤差の原因でしかなかった。つまり、これまでの手法では凹凸のある表面構造体の誘電特性を的確の測定することは不可能であった。
また、従来公知のものでは、温度変化による誘電特性の変化は、その観測対象を試料内部に限っていたため、試料そのものに熱だめを接触させて加熱または冷却していた。こうした接触を伴う試料の直接的な加熱または冷却は、試料表面の変質や変形を招くため結果的には、表面の誘電特性を測ったことにはならない。むしろ、従来は、表面の誘電特性を計測すること自体が不可能とされていたのであり、それ故に成立つ温度依存性測定方法であったという他はない。  
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、このような実情に鑑み、環境での温度変化に対応した試料表面の誘電特性を測定できる方法と装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、電極と試料とが非接触でも誘電特性が測定できるとの知見に基づくものであり、以下のように構成した点に特徴を有する。
【０００５】
発明１の誘電特性の温度依存性測定方法は、検出用電極と試料表面との間に間隙を配し、その間隙に充填される誘電性液体を所望の温度に調整し、当該調整温度の前記誘電性液体の接する試料表面の誘電特性を測定することを特徴とする。
発明２は、発明１の誘電特性測定方法において、前記誘電性液体は水であることを特徴とする。
発明３は、発明１の誘電特性測定方法において、前記誘電性液体はアルコールであることを特徴とする。
【０００６】
発明４は、発明１から３のいずれかの方法に用いる誘電特性の温度依存性測定装置であって、前記試料の測定箇所表面とは間隙を有して、その非測定箇所の表面にて閉環状に密着して保持する密着手段を有する試料保持部材と、前記間隙内に暴露されて前記試料保持部材に保持された電極と、前記間隙内に液体誘電体を充填する液注入機構と、当該液注入機構中に設けた液体誘電体の温度調整手段とにより構成してあることを特徴とする。
発明５は、発明４の温度依存性測定装置において、前記液注入機構は、前記保持部材に形成した液注入口と液排出口を繋ぐ循環経路により構成され、この循環経路中に前記温度調整手段が設けてあることを特徴とする。
発明６は、発明４又は５の温度依存性測定装置において、前記密着手段は、保持部材の試料対向面に突出して配置された弾性パッキンであることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
発明者たちは、検出用電極と試料表面との間に間隙を配し、その間隙を誘電性液体で充填して、前記誘電性液体の接する試料表面の誘電特性を測定する方法と、その為の装置を既に提案している。
当該発明は、試料表面を電極の密着により損傷する恐れが無く、試料をそのままの状態、つまり、製造や使用上必然とされた表面状態のままで、その誘電特性を測定することができる効果を有していた。
このことは、さらに、表面に凹凸のある試料に対しても同様であり、従来は、測定不可能とされた各種構造を表面に有し、それがでこぼこしているような試料であっても、それを全く損壊することなく、それらの構造による誘電特性の影響をも測定できるようにしたものである。
本発明は、この発明をさらに改良し、試料を直接加熱することなく、誘電特性の温度依存性を測定する技術を提供したものである。
これにより、環境条件としての温度依存性を非破壊で測定することができるようになった。
さらに、発明５に示すように、液体誘電体の循環系を構成し、その途中に温度調整手段を設けることで、温度を連続的に変化させながら、その影響を測定することも可能になった。
なお、物質の性質改良に表面構造を利用する事例は、高分子材料における接着性改善などの機能化、柱状構造による光フィルター、多孔質構造による発光素子や触媒材料、ドット構造による光電子デバイス、ワイヤー構造による電子の伝導路など、広範囲にわたっており、これらの誘電特性の入手は、これら技術を促進するのである。
また、表面の変性層、布などの規則構造物、多孔質体などの誘電特性をも測定ができるようになったものであり、これらの技術をも促進するのである。
さらに、従来の手法では、誘電特性を求めるのに、表面と裏面の間の均一かつ等距離の電荷の移動のみを用いていた。本発明では表面構造に依存する電荷の動きを含めて測定する点で、誘電測定および誘電率を普遍化したといえる。物質内部に限られていた従来の手法の測定対象を、表面を含めた物質全体に拡張し得るものである。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】従来法の誘電特性測定装置の概念図。
【図２】誘電緩和の等価回路。
【図３】エタノールの誘電緩和スペクトル。インピータンス絶対値―周波数プロットの例。
【図４】実施例１の表面構造体の誘電特性測定装置断面図。
【図５】超純水の誘電緩和スペクトル。インピータンス絶対値―周波数プロットの温度依存性の例。
【図６】超純水の誘電緩和スペクトル。損失角―周波数プロットの温度依存性の例。
【図７】液体温度調整部（Ｃ）の（Ｃ７ａ）（Ｃ７ｂ）で実測した水温に対して、実験および理論計算から求まるＣをプロットした結果。
【図８】実施例３のガラス試料の形状。
【図９】実施例３のガラス表面層の誘電緩和スペクトル（インピータンス絶対値―周波数プロット）の例。
【図１０】従来法によるガラス表面に金属を密着させた場合の誘電緩和スペクトルの例。
【図１１】実施例４のゴムシート試料の形状。
【図１２】実施例４のゴムの誘電緩和スペクトル。インピータンス絶対値―周波数プロットの例。
【図１３】実施例５の織布試料の表面拡大図。
【図１４】実施例５の織布の誘電緩和スペクトル（インピータンス絶対値―周波数プロット）の例。
【図１５】実施例５の織布を透過する電荷から見た等価回路。
【図１６】実施例５の織布の誘電緩和スペクトル（損失角―周波数プロット）の例。
【図１７】実施例６の多孔質試料の拡大図。
【図１８】実施例６の多孔質の誘電緩和スペクトル（インピータンス絶対値―周波数プロット）の例。
【図１９】実施例７の天然ゴム（ＮＲ）の誘電緩和スペクトル（損失角―周波数特性）の温度依存性の例。
【図２０】試料表面と裏面に金属（ここでは金）を真空蒸着により密着させた場合の天然ゴム（ＮＲ）の誘電緩和スペクトル（損失角―周波数特性）の例。
【図２１】実施例７のＺ２のアレニウスプロット。（Ｚ２の自然対数−温度の逆数の関係）
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明は、試料と電極との間に導電性液体を充填することを主とするものである。
これは、試料表面は露出されて初めて、その存在状態が明らかになるものとの考えに基づきなされたものである。従来法における電極の密着は、表面を無くすことに相当する。これを液体に置き換えて表面を残して測定することが、本発明の思想的本質の一つである。実際、これまで見ることができなかった表面層を観測できるようになった。（図９と図１２）
【００１０】
本発明で表面構造の電荷の動きを測定できるようになった要因は、従来法では金属電極を密着させることで等電位にしていた表面を、液体を接触させることで不均一にし、構造に対応した電荷の移動を許容した点にある。
従来の誘電緩和の理論は、図２の等価回路およびその直列接続で表現されてきた。これに対し本発明は、繊維の実施例で示した、プラス・マイナスの電荷を感じることによる等価的な接地、多孔質で示した、電荷の素通りによる抵抗の増大（静電容量の減少）など、構造に由来する新たな因子を付け加えて明らかにすることができた。
この構造由来の因子を含んだ等価回路の抵抗値、静電容量値は、従来の表面を等電位としたモデルからは導くことができない。電子が試料の表面構造の奥深くまで入り込むこと、または通過して戻ってくることによる表面の不均一な電位を許容することで初めて導かれる。
【００１１】
ここで、電極を密着させる代わりに導入した液体の種類について述べておく。
液体は腐食性により電極や試料表面を劣化させるものは使えない。
真空との誘電率の比である比誘電率の大きな液体は、静電容量が大きくなり測定に有利である。例えば水（比誘電率８０）、グリセリン（４７）、グリコール（４０）、メチルアルコール（３２）、エタノール（２４）、アセトン（１９．５）などがある。
比誘電率としては、直径１０ｍｍ、電極間隔１５ｍｍの装置を用いた場合、液体単独の静電容量が０．５ｐＦを超える１１以上、好ましくは液体単独の静電容量が１ｐＦを超える２２以上とするのが望ましい。
液体に微粒子などを加えて比誘電率を増す事が考えられるが、混合された微粒子の誘電特性により、試料の正しい測定を妨げる虞があるので好ましくない。ただし、このような問題を生じない微粒子の混合は許される。
比誘電率の上限は、混合物の無い純粋な液体の比誘電率で決まり、液体の中でも特に大きな比誘電率を持つ水（８０）が、安定性、安全性の高さと相俟って、現状では実用上の最も好ましい上限といえる。
なお、原理的には、２，５  ジクロ‐フェニル‐フェニル‐スルフォンのように１３０という高い比誘電率を持つ液体の利用も可能である。一方、比誘電率が小さいと静電容量が小さくなるために測定は困難になるが、装置の電極間距離を短くすること、電極面積を大きくすることで、適用可能な比誘電率の最小値を下記実施例よりも小さくすることは可能である。
比誘電率以外の液体種の選択法として、例えば、試料が水溶性の場合、上述の水以外の溶液を使うことができる。
図３はエタノールを用いた場合の誘電緩和スペクトルである。これは後述の超純水の場合（図５）に対応するものである。
【００１２】
試料表面の誘電特性の温度依存性を測定することを特長とする本発明の装置の一例の全体図を図４に示す。本装置は、誘電特性測定部（Ａ）、液体循環部（Ｂ）、液体温度調整部（Ｃ）の三つからなる。本手法では、試料表面に温度調節された液体を接触させて誘電特性を測定する。
本装置よって達成できることは、
・表面を壊さずに誘電特性を測定できること
・表面に固有の誘電特性を測定できること
・温度を制御しながら表面固有の誘電特性測定ができること
・液体の誘電特性から試料表面温度をモニターしながら上記の測定ができること、
である。
【００１３】
従来の誘電特性は、試料表面に電極を密着させて測定するため、表面に起因する誘電特性を測定することができなかった。
例えば高分子を硫黄などで架橋させることで弾性を得るゴムについて考えると、表面では少なくとも半面は外部に曝されて架橋がない分、周りをすべて架橋に囲まれた内部と異なる高分子の運動が起こり得る。この表面固有の高分子の運動は表面固有の誘電特性の要因となるが、従来法の手順に従い電極を密着・蒸着させた途端に、この高分子の運動は阻害され、表面固有の誘電特性として観測できなくなる。
一方で機能性高分子材料では、材料内部の特性は活かしつつ、材料表面を改質・修飾して新たな機能を持たせる。表面のモニターや定量化が高分子材料の高機能化では必須であるにもかかわらず、明らかに従来の誘電特性測定方法は、これに対応できるものではなかった。
【００１４】
これに対して本手法では、電極を密着させる代わりに液体を試料に接触させ、表面を破壊することなく誘電特性を測定できるようにした。これにより、内部の誘電特性ばかりではなく、表面固有の誘電特性が同時に観測できるようになった。
さて、高分子の表面での運動は加熱することで活性化するため、一般的に電荷の整列は速くなる。逆に冷却することで不活性化して、電荷の配列は遅くなる。このことは、誘電特性の印加電圧の周波数依存性に直接的に反映される。従って、誘電特性の周波数特性について温度依存性を測定すれば、表面高分子の運動を活性化するのに必要なエネルギー（活性化エネルギー）などを見積もることができる。
【００１５】
本手法では、試料表面に接触する液体の温度を制御することにより、表面の温度を制御する方法を確立した。これによって、表面固有の誘電特性の温度依存性が測定できるようになった。
以下に、本発明を構成する各部について説明する。
【００１６】
誘電特性測定部（Ａ）
誘電性液体（ＬＱ）を試料表面（Ｓ）と電極（Ｅ）（Ｅ’）間に介在させることで、試料表面を損傷せずにその誘電特性を測定する部分である。
下記実施例に示すような構造により構成されるが、測定すべき試料表面に損傷を与えずに試料と電極との相対位置決めを行えることが第一の機能であり、また、試料表面と電極間に液体誘電体（ＬＱ）以外のものが介在しないようにして、測定の外乱を無くすることが第二の必須事項である。
これらを満たすために、電極が固定された試料保持部材（１０）（１０’）による試料保持時には、被測定表面とそれ以外の外部との間を液密状態で隔絶する構造を用いて、被測定表面に液体誘電体（ＬＱ）を充満させ得る構成を用いた。
実施例では、環状のゴムシール（３）（３’）を用いてこれを達成したが、その他にも、前記試料保持部材（１０）（１０’）の非測定面に対向する箇所に樹脂製のパッキン等を敷設したり、前記試料表面の非測定面を、測定面の凹凸以上の厚さをもった軟質樹脂シートで予め覆っておくなどすれば上記のような機能を達成し得るものであり、当該機能を達成する為に、その他の従来周知の密閉構造を利用することに何らの困難はない。
【００１７】
第二の機能である外乱要素の除去は、構造的には実施例に示すように、空間（Ｍ）（Ｍ１）（Ｍ’）（Ｍ１’）に空気だまりが生じない形状にしたことによる。
実施例では、試料保持部材（１０）（１０’）を図示のように垂直に配置することを前提に空間の形状を決定してあるが、傾斜を許す形状とする場合は、試料（Ｓ）に近づくほど上壁面が上方に向かうような傾斜した面とすることで、試料保持部材（１０）（１０’）が図示されている状態より傾斜した状態で使用しても空気だまりを無くすることが可能である。
また、前記保持部材（１０）（１０’）に、前記液体循環系とは別に真空脱気構造を付加し、空間（Ｍ）（Ｍ１）（Ｍ’）（Ｍ１’）の空気の残存を除くようにすることも可能である。
【００１８】
液体循環部（Ｂ）
試料表面と電極の間に満たす液体（ＬＱ）を、誘電特性測定部（Ａ）と前記液体温度調整部（Ｃ）との間を循環させる液体循環系により構成されている。
当該循環系において、液体誘電体（ＬＱ）の流速を安定したものとするのみならず、その材質変化を生じさせないことが重要である。
これらの両機能を満たすものとして、ポンプ（Ｂ１）は、ここで送液ライン（Ｂ２）を軟質のチューブとし、それを外部から圧縮・緩和を繰り返すチュービングポンプを使うことで、液体の汚染を防ぐことができる。チュービングポンプ（Ｂ１）の駆動にステップモータを使うことで、送液の安定性と再現性が良くなる。
このような構成に限らず、液体流通箇所を清潔に保ち得るポンプであれば、他の形式のポンプを用いることも可能である。
なお、以上の循環系において、自然放熱を避けて液体の温度をできるだけ設定温度に保つように維持する手段をとるのは当然のことであり、具体的には各ラインを断熱手段で覆ったりするのは当然取られるべき処置である。  
【００１９】
液体温度調整部（Ｃ）
前記液体循環部（Ｂ）内を循環する液体（ＬＱ）の温度を所望の温度に加熱冷却するものであり、実施例では、前記循環系の一部をなす液体タンク（Ｃ１）内に貯留された液体の温度を検知し、その検知温度と設定温度の差に基づき、設定温度になるように加熱・冷却するものである。
前記液体タンク（Ｃ１）は図示のように密閉型とするのが、ゴミやほこりによる液体（ＬＱ）の変質を防止するのに有効であるが、使用環境が清浄なものであるなら、開放型であっても使用可能である。
また、加熱・冷却に当たり液体誘電体が変質しないようにするため、全体ができるだけ均等に加熱・冷却することがのぞまれる。
実施例では、液体タンク（Ｃ１）を保温槽（Ｃ２）内の保温液中に浸漬して、これを達成したが、液体タンク（Ｃ１）のできるだけ広い面積にチラー（Ｃ６）を接触させることでも達成可能であり、その他、従来公知の均等加熱冷却構造を採用するのに何らの困難はない。
また、液体タンク（Ｃ１）の戻ってきた液体と供給直前の液体との温度差により生じる問題をさけるために、実施例では隔壁（Ｃ１１）が液体タンク（Ｃ１）内に設けてある。
この隔壁（Ｃ１１）により、液体タンク（Ｃ１）に戻ってきた液体は、予備的に加熱・冷却されて、供給される液体の温度に近づけられてからこれに混合されることとなる。
このような隔壁によらず、戻ってきた液体を液体タンク内で散布するようにしても、戻り液体と貯留中の液体との温度差を緩和することが可能である。
実施例では、前記チラー（Ｃ６）に送る熱量を二本の温度計（Ｃ７ａ）（Ｃ７ｂ）による測定温度と設定温度に基づき自動調整する手段を示した。
しかし、このような自動調整ではなく、手動にて温度調整することを排除するものではない。
また、参考例に示すようにして得られた誘電緩和を利用した誘電性液体（ＬＱ）の温度特性に基づき、液体温度調整部（Ｃ）における誘電性液体（ＬＱ）の温度を検出し、それによって、温度調整された液体が試料（Ｓ）に供給されることにより、試料表面の温度を一定に保つことも可能である。
また、この検出温度と前記温度計による検出温度とを加味して、誘電性液体（ＬＱ）の温度を制御することも可能である。
送液速度は、前記測定部（Ａ）の液体充填箇所の容量にも依存するが、例えば、Ｍが約１ｃｍ３の容量を持つ場合、３０−５０ｍｌ／ｍｉｎ程度で一定温度は確保できる。
【実施例１】
【００２０】
試料表面の誘電特性を測定することを特長とする本発明の装置の概要を図４に示す。
前記試料測定部（Ａ）は、以下のように構成した。
誘電特性を測定する装置を接続する二片の並行する金属電極（Ｅ）（Ｅ’）（直径１０ｍｍ、電極間隔１５ｍｍ）の間に試料（Ｓ）を挿入する。さらに金属電極（Ｅ）（Ｅ’）と試料（Ｓ）との空間（Ｍ）（Ｍ’）に液体を満たすように一対の第一試料保持部材（１０）と、第二試料保持部材（１０’）が設けてある。
前記金属電極（Ｅ）（Ｅ’）は、電磁遮蔽体（２）（２’）によって覆われており、同軸ケーブル（４）（４’）を介して誘電特性計測装置（図外）に接続してある。
前記空間（Ｍ）（Ｍ’）は、試料（Ｓ）と前記電磁遮蔽体（２）（２’）との間に位置して、試料（Ｓ）を保持する前記第一、第二保持部材（１０）（１０’）に形成した電極保持用の貫通口の一部である。その外側（試料に向かう側とは反対側）端に前記電極（Ｅ）（Ｅ’）を水密状態で設置してある。
前記保持部材（１０）（１０’）は、薬品に対する耐性が高い物質、例えばテフロン（弗素樹脂のポリ四弗化エチレンの商標名）などで作られ、前記空間（Ｍ）（Ｍ’）に通じる下側の注液口（５）（５’）と、上側の排液口（１）（１’）を有している。
さらに、前記試料（Ｓ）の測定範囲とは外れた箇所にて密接して保持する為に、試料面に対向する面には、リング状の弾性シール材（３）（３’）が突出状態で設けてある。このシール材（３）（３’）によって、前記保持部材（１０）（１０’）と試料（Ｓ）の測定面との間に、前記空間（Ｍ）（Ｍ’）に続く、高さの低い間隙（Ｍ１）（Ｍ１’）を形成しながら試料を保持することができた。このようにして、この間隙（Ｍ１）（Ｍ１’）を含む試料と電極間に存在する一連の空間（Ｍ）は、前記注液口（５）（５’）から注入された誘電性液体により充填することができるようになっている。
以上のようにすることで、試料（Ｓ）の測定表面を損傷することなく、その表面の凹凸をそのままにして、表面の誘電特性を測定できるようになった。
液体は空間（Ｍ）（Ｍ’）に気泡が入らないように注ぎ込む必要がある。これは測定値に気泡の誘電特性が入ることを防ぐためである。従って装置下部に設けた注液口（５）（５’）から、気泡を追い出すように液体を注ぎ込み、装置上部に設けた排液口（１）（１’）から気泡とともに液体を排出する必要がある。
【００２１】
前記液体循環部（Ｂ）は前記測定部（Ａ）に対して、誘電性液体（ＬＱ）を循環させるためのパイプラインであって、以下のように構成してある。
（Ｂ２）は送液ラインであって、その一端の吸入口を液体タンク（Ｃ１）内に開口配置し、他端の吐出口を前記第一保持部材（１０）の注液口（５）に接続してある。そして、中間部には液体ポンプ（Ｂ１）が設けてあり、当該ポンプ（Ｂ１）の制御により、前記液体タンク（Ｃ１）から、前記第一保持部材（１０）内に送液する。
（Ｂ３）は、中継ラインであって、前記第一保持部材（１０）の排液口（１）から第二保持部材（１０’）の注液口（５’）に液体を案内するラインである。
前記第一保持部材（１０）内の空隙（Ｍ）から溢れた液体（ＬＱ）は、この中継ライン（Ｂ３）を通って、前記第二保持部材（１０’）内の空隙（Ｍ’）に供給されることとなる。
（Ｂ４）は、戻しラインであって、前記前記第二保持部材（１０’）の排液口（１’）から溢れた液体を前記液体タンク（Ｃ１）に戻すものである。
このようにして、前記ポンプ（Ｂ１）が駆動されると、設定された送給量に応じた速度で、前記液体タンク（Ｃ１）に貯留されている液体を、送液ライン（Ｂ２）を通り、第一保持部材（１０）の空隙（Ｍ）を満たし、この空隙から溢れた液を第二保持部材（１０’）の空隙（Ｍ’）に至り、これを満たすと、戻しライン（Ｂ４）を通って、液体タンク（Ｃ１）戻すようにしてある。
また、送液ライン（Ｂ２）のポンプ（Ｂ１）の下手側には、ポンプ（Ｂ１）の停止、あるいは作業終了時に、ライン中の液体を前記液体タンク（Ｃ１）に戻すドレン弁（Ｂ５）が設けてあり、ドレン弁（Ｂ５）を閉じた状態では、ポンプ（Ｂ１）から送られた液体は、全て試料測定部（Ａ）に送られるが、  これを開くと、前記試料測定部（Ａ）並びにライン（Ｂ２）（Ｂ３）中にある液体は、ポンプ（Ｂ１）を通らずに、液体タンク（Ｃ１）にもどすことができるようにしてある。
なお、当該液体循環部（Ｂ）は、温度調整部（Ｃ）で設定した液体温度に狂いが生じないように、その長さをできるだけ短くし、かつ、断熱構造を用いて途中での放熱を極力避けるようにするのが望ましい。
【００２２】
前記温度調整部（Ｃ）は、前記液体タンク（Ｃ１）内の液体の温度を調整し、維持する機構であって、貫通口を有した隔壁（Ｃ１１）により、戻り側と、突出側に区画された前記液体タンク（Ｃ１）と、それを保温する保温槽（Ｃ２）と、この保温槽（Ｃ２）内に設置したチラー（Ｃ６）と、このチラー（Ｃ６）に熱源循環ライン（Ｃ５）を介して熱源液体を送る加熱冷却装置（Ｃ３）と、前記液体タンク（Ｃ１）内の液体（ＬＱ）の温度を測定する温度計（Ｃ７ａ）（Ｃ７ｂ）と、その測定データを加熱冷却装置（Ｃ３）に送る信号ライン（Ｃ４ａ）（Ｃ４ｂ）により構成してある。
前記チラー（Ｃ６）は、保温槽（Ｃ２）内に貯留した保温液体（水）を介して、前記液体タンク（Ｃ１）を加熱・冷却するようにして、急速な加熱・冷却を避けるとともに、液体タンク（Ｃ１）の全体ができるだけ均一に加熱。冷却され、局部的な異常加熱もしくは冷却による誘電性液体の変質を防止してある。
このようにして、前記液体タンク（Ｃ１）中の誘電性液体液体（ＬＱ）の温度を温度計（Ｃ７）にて計測したデータが前記加熱冷却装置（Ｃ３）に送られると、当該装置内に設置した温度制御機構（Ｃ３１）（具体的には、温度制御用プログラムをインストールしたコンピュータ）により、予め設定された設定温度と前記計測温度との差異を判定し、加熱が必要な場合と、冷却が必要な場合に判別する。そして、その判別信号に基づき、加熱冷却装置内の加熱構造（Ｃ３２）又は冷却構造（Ｃ３３）を作動し、液媒（通常は水）を加熱若しくは冷却して、前記熱源循環ライン（Ｃ５）を介して前記チラー（Ｃ６）に送り込むようにしてある。
前記温度制御プログラムは、温度設定、温度の変化速度等を設定可能としたもので、一般に使用されているプログラムと同様なものである。
前記液体タンク（Ｃ１）に設けた隔壁（Ｃ１１）は、戻しライン（Ｂ４）により戻された液体が、送り出し側の液体と混合し、これに急速な温度変化をもたらすのを避けるために、戻された直後の液体を予備的に温度調整した後に、送り側に流入するようにするものである。
また、送り側の温度計（Ｃ７ｂ）とそのライン（Ｃ４ｂ）とは別に、戻し側の温度計（Ｃ７ａ）とそのライン（Ｃ４ａ）を設けることで、保温槽（Ｃ２）による温度調整効果を把握して、その効果に見合った加熱、冷却操作が行えるようにしたものである。
なお、このような隔壁や戻し側の温度計を設けずとも、本発明を実施可能なことは、本発明の趣旨から明らかである。
【００２３】
前記誘電性液体のような、中間的な電気電導性のある液体の接触は、微細構造を持つ表面上で電荷の不均一な分布を実現できる。この不均一な分布は、後述の具体例に示すとおり、構造を反映した独自の誘電特性を示す。
これを解析することにより、表面構造の物理的な変形を伴うことなく、表面構造に固有な誘電特性を測定できる。  
本発明における表面の誘電特性の測定法として、以下の参考例で詳述する誘電緩和法が有効である。この手法は、電荷の動きを分析することができる。試料表面に電極を密着させない状態で誘電緩和測定することにより、表面内の電荷の動き（水平方向）、表面と誘電性液体の間の電荷の動き（垂直方向）を観測することができる。
【参考例】
【００２４】
液体のみの測定例
先に述べた、印加電圧の周波数に対する試料表面の電荷の追随特性を見るのは、誘電緩和が有効である。ここでは誘電緩和の説明と、それを使った液体温度のモニターの方法について記述する。
前記実施例１の装置を用いて、試料（Ｓ）を挿入しない誘電性液体（ＬＱ）のみの誘電緩和スペクトルの温度依存性の測定を行い、その結果を図５と図６に示す。ここで誘電性液体（ＬＱ）の一例として超純水を用いている。電極は直径１ｃｍの円形の形状を有する。両方の図とも横軸は誘電緩和測定のために電極に印加する交流電源の周波数（Ｈｚ）、縦軸は図５ではインピーダンスの絶対値（Ω）、図６では損失角（度）としている。図中１、２，３はそれぞれ２４℃、４０℃、６０℃の特性である。
【００２５】
ここで、誘電緩和スペクトルに現れる、インピーダンスの絶対値と損失角について説明しておく。
インピーダンスＺは印加する交流電圧Ｖと交流電流Ｉの間の振幅の比および位相の違いを表し、直流回路のオームの法則と同じように
Ｖ  ＝  Ｉ  ×  Ｚ
とあらわされる。インピーダンスＺは振幅と位相の情報を含むため、数学的には複素数で表される。ここでインピーダンスの実数値をＺ１、虚数値をＺ２とすると
Ｚ  ＝  Ｚ１  ＋  ｊＺ２
となる。
インピーダンスの絶対値は、（Ｚ１）２＋（Ｚ２）２の平方根であらわされる。インピーダンスの絶対値は、振幅情報を与える。
損失角は、ｔａｎ−１（Ｚ２／Ｚ１）で定義される。この定義式は、実数値を横軸、虚数値を縦軸とする複素平面において、インピーダンスが横軸となす角度を示す。この角度は位相情報に相当する。
【００２６】
図５と図６の誘電緩和スペクトルは以下のように説明できる。
周波数が低い場合には、電荷が十分に電極間を移動する時間があるために、超純水の高抵抗の電導特性を示し、かつ電圧と電流の方向（位相）が等しいために損失角は小さい。周波数が高くなると、電荷は電極間を移動する時間がなくなり、限られた領域での往復運動になる。しかし、この往復運動は電荷のバケツリレーと見なせるために、インピーダンスの絶対値は小さくなる。しかし電荷はやがて激しい往復運動に追随できなくなり、電圧と電流に位相差が現れてくる。最終的に高周波で損失角は最大の−９０度（容量性）になる。
【００２７】
この誘電緩和過程は、図２に示す抵抗Ｒと静電容量Ｃの並列等価回路で表すことができる。静電容量は電圧と電流の間に位相差を作り出す。この等価回路のインピーダンスＺは
Ｚ  ＝  Ｒ／（１  ＋  ｊ２πｆＲＣ）
ここで、ｆは印加する交流電源の周波数であり、図５や図６に示した誘電緩和スペクトルの横軸に相当する。よってこの式に従ってｆからＺが導かれ、上述のようにＺからインピーダンスの絶対値（図５の縦軸）と損失角（図６の縦軸）が求まる。結果的に、誘電緩和スペクトルはＲとＣが決まれば一意に求まる。逆に、実験で得られた誘電緩和特性からＲとＣを求めることが可能である。
【００２８】
この基本式に基づき、誘電緩和特性から液体温度を見積もる方法について述べておく。これは液体の特性を使って試料表面温度をモニターするのに有効な手段である。
図５に示すとおり、液体のインピーダンスの絶対値は、加えた電界の周波数に電荷の動きが追随できなくなる高周波で減少してくる。この減少部分のみに注目すると、その特性は
｜Ｚ｜  ＝  １／（２πｆＣ）
であらわされる。この式からわかるように、ｆに対するインピーダンスの絶対値｜Ｚ｜（具体的には図５）の高周波部分の傾きからＣが求まる。Ｃは液体の誘電率εに比例することから、εの温度依存性が分かっていれば、Ｃから液体温度、すなわち試料表面温度が求まる。
たとえば、液が水の場合、水の誘電率の温度依存性は、三次の多項式近似で
ε＝８７．７４０−０．４０００８Ｔ＋９．３９８×１０−４Ｔ２−１．４１０×１０−６Ｔ３
であらわされることが知られている。ここで温度をＴとしている。
【００２９】
図５の実験から求まるＣを液体温度調整部（Ｃ）の（Ｃ７ａ）（Ｃ７ｂ）で実測した水温に対してプロットした結果が図７である。ここでは、同様の手順で求めたほかの温度の分もプロットしてある。これに対して、この水温と誘電率の近似式から求めたＣを点線で示す。この結果を表１にまとめる。両者はよく一致して、温度計の設定どおりに誘電特性測定部（Ａ）中の水温が上昇していることがわかる。
こうして、一旦液体の温度に対するＣの値が分かれば、これが校正曲線になる。
以下に述べる試料を挿入した場合の誘電緩和特性であっても、液体の誘電緩和は同時に測定可能であり、そこから液体のＣを求め、校正曲線を使って温度を逆算することが可能である。
これは、液体温度調整部（Ｃ）における設定温度がそのまま試料温度に等しくならない場合、すなわち液体の熱容量が小さく送液途中での降温や昇温が起こる場合に、実際の表面温度を求める上で有効である。
なお、以下の実施例３から７に示す誘電性液体の温度は、（Ｃ７ａ）（Ｃ７ｂ）により測定した結果である。
【実施例２】
【００３０】
前記実施例１に示す保持部材を電磁波遮蔽体材料により構成し、当該保持部材（１０）の空間（Ｍ）の電極（Ｅ）を取りつけて、保持部材（１０）に電極（Ｅ）の機能を有さしめることも可能である。
また、保持部材（１０）の試料に対向する面全体に弾性遮液材を張り付け、前記空間（Ｍ）の範囲を試料の測定範囲とすることも可能である。
【実施例３】
【００３１】
ガラスへの適用例
前記実施例１で示す装置を用い、参考例に示す誘電緩和法を利用してガラスの誘電率を測定した。
超純水を誘電性液体としてガラスである二酸化珪素板を試料（Ｓ）とした場合の測定結果を以下に示す。二酸化珪素板の厚さは０．１５ｍｍであり、直径２５ｍｍの大きさを有する。試料は、本装置内で直径２４ｍｍのゴムリングで保持され、測定は電極の直径である１０ｍｍの部分に対して行っている。表面は光学的に研磨してある。試料の形状を図８に示す。
当該測定による誘電緩和スペクトル（インピーダンスの絶対値―周波数特性）を図９に示し、主要な測定データを表１に示す。この図に示すとおり、三つの傾斜（Ｔ１−Ｔ３）が現れる。
【表１】
2011112467.tif 000003
【００３２】
この三つの傾斜は試料が三つの層から構成されることを示しており、それぞれの層の中で、前記参考例で述べた誘電緩和過程が起きている。すなわち、図２の等価回路が三つ直列接続されていると考えてよい。最も高い周波数に現れるＴ３は図５と一致することからわかるように、水の層のスペクトルである。一方で、最も低い周波数に現れるＴ１は二酸化珪素板のスペクトルである。そしてＴ２が本発明で得られる表面層のスペクトルとなる。  
図中の破線は、表面層がない場合を仮定したスペクトルのシミュレーションである。挿入図は、Ｔ２の部分を拡大している。
【００３３】
従来法と同様に試料表面に金属（ここでは金）を真空蒸着により密着させた場合の誘電緩和スペクトル（インピーダンスの絶対値―周波数特性）を図１０に示し、主要な測定データを表２に示す。誘電緩和の傾斜は二つ、すなわち図９のＴ２に対応する二酸化珪素板と、図９のＴ３に対応する水の層になり、表面層はなくなる。
【表２】
2011112467.tif 000004
【００３４】
これらの結果の意味するところは以下のとおりである。
表面層は、材料内部と異なり化学結合をもたない表面原子に付随する動きづらい電子（捕獲電子）によるものである。これが金属を密着させることによって捕獲電子は自由に動けるようになり、物質内部と同じ状態になる。従って図１０では表面層の特性がなくなる。
金属を密着しない場合（図９）の解析から、表面層（Ｔ２）の電気定数は抵抗７４０ｋΩ、静電容量８０ｐＦと決定された。
以上のように本発明の手法における、完全導体でもなく絶縁でもない中間的な電気電導性をもつ液体を介した接触によって表面の誘電特性が観測できるようになった。
【実施例４】
【００３５】
高分子への適用例
前記実施例１で示す装置を用い、参考例に示す誘電緩和法を利用して高分子材料の誘電率を測定した。
超純水を誘電性液体として高分子材料を試料（Ｓ）とした例を以下に示す。
試料は、厚さ０．５ｍｍ、大きさ３０ｍｍ角のゴムシートであり、本装置内で直径２４ｍｍのゴムリングで保持され、測定は電極の直径である１０ｍｍの部分に対して行っている。シート状に加工した後、架橋処理を施した表面を観測している。試料の形状を図１１に示す。
【００３６】
高分子の誘電特性は、表３のように力学特性と対応づけられる。この対応づけは、電界が局所的に高分子材料の変位させることを示している。
【表３】
2011112467.tif 000005
【００３７】
従来の誘電特性の測定では、例えばゴムに金属を蒸着（密着）させ、試料全体の誘電特性と力学特性を評価していた。
これに対し本発明では、表面の誘電特性を測定できるために、表面固有の力学特性を明らかにすることができる。
【００３８】
図１２は本発明によるゴムシートの誘電緩和（インピーダンスの絶対値―周波数特性）特性である。表４はその主要測定データを示す。
ガラスの例と同様に、スペクトルは表４に示すように三成分に分けることができ、低周波数から、ゴムシートの誘電緩和、表面の緩和、水の誘電緩和を示している。それぞれの成分を分離した結果を１−３で示す。これらの和は、測定結果とよく一致する。ここで表面の緩和特性２に注目し、温度依存などを分析することで、表面の高分子の力学的な特性が分かる。
この結果例では、表面層の抵抗（弾性）１．５  ＭΩ、静電容量（粘性）１５  ｐＦと見積もられた。
高分子材料の表面は露出されているため、摩擦や耐侯性などを決める要素である。本発明では、高分子材料の表面を選択的に特性評価できる特長がある。
【表４】
2011112467.tif 000006
【実施例５】
【００３９】
織布への適用例
前記実施例１で示す装置を用い、参考例に示す誘電緩和法を利用して織布の誘電率を測定した。
超純水を誘電性液体として織布を試料（Ｓ）とした例を以下に示す。
試料には、アセテート１００％のサテン織りを使用した。表面の拡大図を図１３に示す。試料の厚さは０．１８ｍｍ、大きさは３０ｍｍであるが、本装置内で直径２４ｍｍのゴムリングで保持され、測定は電極の直径である１０ｍｍの部分に対して行っている。
【００４０】
織布は糸の束を規則的に組み合わせた構造をもっている。このような構造体は、物質内部を見る従来法の観測対象とは考えられていなかったし、観測不可能である。しかし本発明は、このような複雑な構造体の誘電特性を測定できる。
図１４に化学繊維であるアセテート製の織布を試料として挿入した場合の誘電緩和スペクトル（インピーダンス絶対値―周波数特性）を示す。表５は、その主要な測定データを示す。
【表５】
2011112467.tif 000007
【００４１】
本発明による織布誘電特性の特徴は、抵抗値が超純水のみの抵抗値Ｒ０（図５参照）の１／２（破線）に近づき、容量が超純水のみの容量Ｃ０の２倍に（点線）に近づくことである。これは、本発明の場合、電荷が織布を透過することができ、その際に表面と裏面のプラスとマイナスの電荷を感じて総電荷量が０になるため、接地状態と同等となるためである。
これを等価回路で表すと図１５のようになる。等価回路は表面側Ａと裏面側Ｂの半分に分かれ、そのため観測される抵抗値が１／２に、容量が２倍になる。
【００４２】
電荷の通過特性は織布に使用している繊維の抵抗に依存する。たとえば、無機繊維であるガラス繊維を使った織布のように抵抗値が高い場合には、電荷は織布を透過せず、図１５の接地部分がない従来の測定と同じ等価回路で表される。
織布の誘電特性は、図１４の点線および破線からのずれに含まれている。このずれを特徴的にみるには、図１６に示すように、損失角―周波数特性で誘電緩和過程を観測するのが有効である。
図１６で一点鎖線が超純水の誘電特性である。測定値（●）は高周波側でピークＤＡが現れるが、これがアセテート織布の誘電特性に対応する。
図１４および図１６の実線は、織布の誘電緩和スペクトルのシミュレーションの結果である。ここから、織布の物性値、抵抗５４ｋΩおよび静電容量５．６ｐＦが得られた。
【実施例６】
【００４３】
多孔質への適用例
前記実施例１で示す装置を用い、参考例に示す誘電緩和法を利用して多孔質材料の誘電率を測定した。
超純水を誘電性液体として多孔質材料を試料（Ｓ）とした例を以下に示す。
使用した試料は厚さ０．５ｍｍ、大きさは３０ｍｍのテフロンのパンチングシートであるが、本装置内で直径２４ｍｍのゴムリングで保持され、測定は電極の直径である１０ｍｍの部分に対して行っている。試料表面の顕微鏡図を図１７に示す。
従来法では孔に電極を付けることはできなかったし、孔のある物質は測定対象外であった。
図１８は、テフロンに規則的な孔があいている板を試料として挿入した場合の、本発明による誘電緩和スペクトル（インピーダンス絶対値―周波数特性）を示す。
測定値（●）は、超純水の誘電特性とテフロンの誘電緩和特性の和によって表すことができる。シミュレーションによって求めた超純水とテフロンの誘電緩和特性をそれぞれ１と２に示す。１と２の和である３は測定値とよく一致する。
図１８から、試料挿入後では挿入前よりも、超純水の抵抗値は増加し、容量は減少する。これを示すために、試料挿入前の超純水のみ抵抗成分と容量成分をそれぞれ４と５に示す（図５から導出）。超純水の誘電緩和特性１は、低周波で４より高く抵抗値が増えたことを示し、高周波では５よりも大きく容量が減ったことを示す。
これは電荷の一部が孔を通過し、試料に当たるまでの移動距離が長くなったためと等価的に考えられる。
この振る舞いを数式化すると次のようになる。孔が規則的でかつ開口率Ｘ（０＜Ｘ＜１）が小さい間は、超純水の抵抗は１／（１−Ｘ）倍大きくなり、容量は（１−Ｘ）の割合で小さくなる。すなわち、これらの値から開口率Ｘを算出することが可能である。またテフロンの容量は、上述のように孔を通過した後にテフロン表面に当たる電荷の分が加算され、大きくなる。
【００４４】
一方、孔の開口率Ｘが大きくなると、表６に示すように、超純水の抵抗は急激に減少し図５の特性に戻る。これは、テフロンは開口率の増大とともに抵抗が増大し、Ｘが０．４４７以上では超純水の本来の抵抗値（２．０±０．１５ＭΩ）を越え、その結果として電荷はテフロンにとどまらず、抵抗の小さな超純水が満たされた孔を通るようになるためである。このように電荷が孔を通り抜けるようになると、テフロンの静電容量は減少する。
従来の手法で求まる孔が全くない場合の材料固有の容量特性は、本発明における開口率Ｘが０の場合の外挿値に一致する。
このように誘電特性は、試料の材質とともに孔の分布や密度などの構造に依存する。従来法によって観測していた開口率Ｘが０の場合を含め、本発明は構造由来の誘電特性を評価できることが特長である。
【表６】
2011112467.tif 000008
【実施例７】
【００４５】
天然ゴムへの適用例
前記実施例１で示す装置を用い、参考例に示す誘電緩和法を利用して天然ゴムの誘電率を測定した。
天然ゴム（ＮＲ）について、本手法を使って表面の誘電緩和スペクトル（損失角―周波数特性）を測定した例を図１９に示す。温度は１が４０℃、２が６０℃、３が６５℃である。試料の大きさは３０ｍｍ角であるが、このうち電極サイズに相当する直径１０ｍｍを観測している。
このスペクトルの見方は、低周波の減少がＮＲ内部の誘電緩和、中央部の窪みがＮＲ表面の誘電緩和、高周波の減少が水の誘電緩和を示す。それぞれの周波数領域をＦ１〜Ｆ３で示し、対応する周波数と損失角を表７にまとめる。
温度を変化させると、中央部の窪みが著しくなり、表面の特性が強調されてくることがわかる。これは表面における高分子の動きが活性化していることに対応する。
【表７】
2011112467.tif 000009
【００４６】
これに対して、従来法と同様に試料表面と裏面に金属（ここでは金）を真空蒸着により密着させた場合の誘電緩和スペクトル（損失角―周波数特性）を図２０に示す。温度は１が４０℃、２が５０℃、３が６６℃である。金の蒸着厚さは１０ｎｍである。試料の大きさは３０ｍｍ角であるが、このうち電極サイズに相当する直径１０ｍｍを観測している。
中央部の窪みがなくなり、ＮＲ内部と水の誘電緩和のみが観測される。したがって、誘電緩和の周波数領域はＦ１とＦ２二つに分けられる。この領域を表８にまとめる。
このように表面が金に覆われることによって表面はなくなることがわかる。明らかに、電極の密着・蒸着を行う従来法では表面の誘電緩和が排除されていることがわかる。
【表８】
2011112467.tif 000010
【００４７】
一方で、このスペクトルにおいてもＮＲ内部の誘電緩和特性の温度依存性は現れる。これにより本システムでは、表面を含めた試料全体の温度が制御できていることがわかる。これは、接触媒体である液体に測定部が均一に浸っているためである。
図１９の特性から、ＮＲ表面の誘電緩和周波数におけるＺ２成分を抽出し、そのアレニウスプロット（Ｚ２の自然対数−温度の逆数の関係）が、図２１と表９である。アレニウスプロットにおいて図の傾きが、表面での高分子の運動の活性化エネルギーに相当する。
このように、アレニウスプロットは二つの傾き１と２が存在し、表面の高分子では、この温度範囲で少なくとも二つの運動成分を有していることがわかる。
【表９】
2011112467.tif 000011
【００４８】
以上のように、本システムによって、非破壊的に表面に固有の誘電特性の温度依存性が測定することができた。
更に、試料に接する液体の誘電特性から試料表面温度をモニターできた。
【符号の説明】
【００４９】
（Ａ）試料測定部
（Ｂ）誘電性液体の循環系
（Ｃ）誘電性液体の温度調整機構
（１０）  第一保持部材
（１） 同上排液口
（２） 同上電磁遮蔽体
（３） 同上リング状の弾性シール材（密着支持部）
（４） 同上同軸ケーブル
（５） 同上注液口
（Ｅ） 同上電極
（Ｍ）    同上空間
（Ｍ１）  同上空間
（１０’）  第二保持部材
（１’）      同上排液口
（２’）      同上電磁遮蔽体
（３’）      同上リング状の弾性シール材（密着支持部）
（４’）      同上同軸ケーブル
（５’）      同上注液口
（Ｅ’）      同上電極
（Ｍ’）    同上空間
（Ｍ１’）  同上空間
（Ｓ） 試料
（Ｂ１）液体ポンプ
（Ｂ２）送液ライン
（Ｂ３）中継ライン
（Ｂ４）戻しライン
（Ｂ５）ドレン弁
（Ｃ）温度調整機構
（Ｃ１）液体タンク
（Ｃ１１）隔壁
（Ｃ２）保温槽
（Ｃ３）加熱冷却装置
（Ｃ３１）温度制御機構
（Ｃ３２）加熱構造
（Ｃ３３）冷却構造
（Ｃ４ａ）（Ｃ４ｂ） 信号ライン
（Ｃ５）熱源循環ライン
（Ｃ６）チラー
（Ｃ７）温度計
（Ｃ７ａ）戻し側の温度計
（Ｃ７ｂ）送り側の温度計
（ＬＱ）誘電性液体
【先行技術文献】
【特許文献】
【００５０】
【特許文献１】特開平１０−１４２１７０
【特許文献２】特開平１０−１４２１６９
【非特許文献】
【００５１】
【非特許文献１】インピーダンス測定  アクセサリガイド（アジレントテクノロジ社製  ＬＣＲメータ、キャパシタンスメータ、レジスタンスメータ、インピーダンス・アナライザ、コンビネーション・アナライザ用  アクセサリ一覧）
【図１】
2011112467.tif 000012
【図２】
2011112467.tif 000013
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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