(57)【要約】【課題】プリアライメント装置での基板の交換を効率的に行うことができる露光装置ユニット及びその基板交換方法を提供する。【解決手段】搬送用ロボット１５が、プリアライメント装置１２でプリアライメントされた基板Ｗ１を第１のハンド３１で受け取る動作と、第２のハンド３２に支持されたプリアライメントされる基板Ｗ２をプリアライメント装置１２に受け渡す動作と、を同時に行う。【選択図】図４
2011176040.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
露光装置本体と、
該露光装置本体に搬送される基板をプリアライメントするためのプリアライメント装置と、
該プリアライメント装置に前記基板を搬送する搬送用ロボットと、
を備える露光装置ユニットであって、
前記搬送用ロボットは、前記基板をそれぞれ支持すると共に、水平方向及び上下方向に駆動可能な、上下方向に並んだ第１及び第２のハンドを有し、
前記搬送用ロボットは、前記プリアライメント装置でプリアライメントされた前記基板を前記第１及び第２のハンドの一方のハンドで受け取る動作と、他方のハンドに支持されたプリアライメントされる前記基板を前記プリアライメント装置に受け渡す動作と、を同時に行うことを特徴とする露光装置ユニット。
【請求項２】
前記第１及び第２のハンドは、所定の水平方向に独立に駆動可能、上下方向に同時に駆動可能、且つ、同時に回転可能であり、
前記第１のハンドは、前記第２のハンドよりも上方に配置されており、
前記搬送用ロボットは、前記第１のハンドで前記プリアライメントされた基板を受け取った後、前記第１及び第２のハンドを同時に上方に移動させ、前記第２のハンドに支持された前記プリアライメントされる基板を前記プリアライメント装置に受け渡すことを特徴とする請求項１に記載の露光装置ユニット。
【請求項３】
露光装置本体と、該露光装置本体に搬送される基板をプリアライメントするためのプリアライメント装置と、該プリアライメント装置に前記基板を搬送する搬送用ロボットと、を備え、前記搬送用ロボットは、前記基板をそれぞれ支持すると共に、水平方向及び上下方向に駆動可能な、上下方向に並んだ第１及び第２のハンドを有する露光装置ユニットの基板交換方法であって、
前記搬送用ロボットが、前記プリアライメント装置でプリアライメントされた前記基板を前記第１及び第２のハンドの一方のハンドで受け取る動作と、他方のハンドに支持されたプリアライメントされる前記基板を前記プリアライメント装置に受け渡す動作と、を同時に行うことを特徴とする露光装置ユニットの基板交換方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置ユニット及びその基板交換方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、露光装置ユニットでは、露光装置本体に基板を搬送する前に、基板のプリアライメントが行われている。露光装置本体とプリアライメント装置との間での基板の受け渡しには、搬送用ロボットが用いられている。
【０００３】
また、露光処理装置と、レジスト塗布現像処理装置との間で基板を受け渡す搬送用ロボットをいずれかの装置に設け、装置全体の小型化を図ったものが考案されている（例えば、特許文献１参照。）。さらに、基板が収容されるカセットが配設される棚を備えたストッカーと、基板を受け取って工程を実行する工程進行部との間に、基板を受けて工程進行部に配設する二つ以上のハンドを有するローダーを備え、ストッカーに取り出し部を設けることで、ストッカーからローダーに搬送するためのステージ部を削除したものが考案されている（例えば、特許文献２参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−１１５９８３号公報
【特許文献２】特開２００７−１８２３２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、従来の搬送用ロボットでは、プリアライメント装置へのプリアライメント前の基板の受け渡しと、プリアライメント装置からプリアライメント後の基板の受け取りは、独立に行っていたためタクトが長くなってしまうという課題があった。また、特許文献１及び２に記載の搬送用ロボットやローダーは、２つの装置間での基板の交換に必要なスペースの効率化を図っているが、単一の装置における効率的な基板の交換については考慮されていなかった。
【０００６】
本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、プリアライメント装置での基板の交換を効率的に行うことができる露光装置ユニット及びその基板交換方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の上記目的は、下記の構成により達成される。
（１）  露光装置本体と、
該露光装置本体に搬送される基板をプリアライメントするためのプリアライメント装置と、
該プリアライメント装置に前記基板を搬送する搬送用ロボットと、
を備える露光装置ユニットであって、
前記搬送用ロボットは、前記基板をそれぞれ支持すると共に、水平方向及び上下方向に駆動可能な、上下方向に並んだ第１及び第２のハンドを有し、
前記搬送用ロボットは、前記プリアライメント装置でプリアライメントされた前記基板を前記第１及び第２のハンドの一方のハンドで受け取る動作と、他方のハンドに支持されたプリアライメントされる前記基板を前記プリアライメント装置に受け渡す動作と、を同時に行うことを特徴とする露光装置ユニット。
（２）  前記第１及び第２のハンドは、所定の水平方向に独立に駆動可能、上下方向に同時に駆動可能、且つ、同時に回転可能であり、
前記第１のハンドは、前記第２のハンドよりも上方に配置されており、
前記搬送用ロボットは、前記第１のハンドで前記プリアライメントされた基板を受け取った後、前記第１及び第２のハンドを同時に上方に移動させ、前記第２のハンドに支持された前記プリアライメントされる基板を前記プリアライメント装置に受け渡すことを特徴とする（１）に記載の露光装置ユニット。
（３）  露光装置本体と、該露光装置本体に搬送される基板をプリアライメントするためのプリアライメント装置と、該プリアライメント装置に前記基板を搬送する搬送用ロボットと、を備え、前記搬送用ロボットは、前記基板をそれぞれ支持すると共に、水平方向及び上下方向に駆動可能な、上下方向に並んだ第１及び第２のハンドを有する露光装置ユニットの基板交換方法であって、
前記搬送用ロボットが、前記プリアライメント装置でプリアライメントされた前記基板を前記第１及び第２のハンドの一方のハンドで受け取る動作と、他方のハンドに支持されたプリアライメントされる前記基板を前記プリアライメント装置に受け渡す動作と、を同時に行うことを特徴とする露光装置ユニットの基板交換方法。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の露光装置ユニット及びその基板交換方法によれば、搬送用ロボットが、プリアライメント装置でプリアライメントされた基板を第１及び第２のハンドの一方のハンドで受け取る動作と、他方のハンドに支持されたプリアライメントされる基板をプリアライメント装置に受け渡す動作と、を同時に行うようにしたので、プリアライメント装置での基板の交換を効率的に行うことができ、タクトタイムの短縮を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態の露光装置ユニットを説明するための概略図である。
【図２】本発明のプリアライメント装置を示す側面図である。
【図３】（ａ）は、本発明の搬送用ロボットを示す上面図であり、（ｂ）は、（ａ）の２本のハンドが退避した状態を示す側面図であり、（ｃ）は、（ａ）の後側面図である。
【図４】（ａ）は、一方のハンドがプリアライメント後の基板を持ち上げた状態を示す図であり、（ｂ）は、２本のハンドが上昇した状態を示す図であり、（ｃ）は、他方のハンドがプリアライメント前の基板を受け渡す状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の一実施形態に係る露光装置ユニット及びその基板交換方法について図面を参照して詳細に説明する。
【００１１】
（第１実施形態）
図１に示す一実施形態の露光装置ユニット１０は、前処理工程からの基板を搬送する上流側コンベア１１と、プリアライメント装置１２と、露光装置本体１３と、露光済み基板を後処理工程へ搬送する下流側コンベア１４と、これら装置１１、・・・、１４間で基板の受け渡しを行う搬送用ロボット１５と、を有する。
【００１２】
プリアライメント装置１２は、図２に示すように、基台２１と、基板Ｗを保持する基板保持部２２と、基板保持部２２を支持する支持部材２３を、基台２１に対してＸ方向、Ｘ方向と直交するＹ方向、及びＸ、Ｙ方向に垂直な軸周りのθ方向に回転駆動する基板駆動機構２４と、支持部材２３に対して、複数のピン２５を上下方向に駆動して、基板保持部２２に形成された複数のピン孔２２ａから進退させるピン駆動機構２６と、基台２１に取り付けられ、Ｘ方向とＹ方向の一方に２箇所、他方に１箇所設けられた複数のアライメントカメラ（エッジセンサ）２７と、を備える。
【００１３】
また、図３に示すように、搬送用ロボット１５は、基板をそれぞれ支持する上下方向に並んだ第１及び第２のハンド３１，３２を備える。第１及び第２のハンド３１，３２の軸部３１ａ，３２ａは、図示しない駆動機構によって、回転ステージ３３に対して所定の水平方向に独立に駆動可能である。第２のハンド３２の上方に位置する第１のハンド３１の軸部３１ａは、第２のハンド３２と干渉しないように第２のハンド３２の側方を通って回転ステージ３３に駆動可能に支持されている。第１及び第２のハンド３１，３２の上面には、基板が接触するパッド３１ｂ，３２ｂが取り付けられている。
【００１４】
また、回転ステージ３３は、回転支持台３４に対して回転可能であり、また、回転支持台３４は、基台３５に対して上下方向に駆動可能である。このため、第１及び第２のハンド３１，３２は、所定の水平方向に独立に駆動可能、上下方向に同時に駆動可能、且つ、同時に回転可能である。
なお、露光機本体１３、上流側及び下流側コンベア１１、１４は、公知のものが適用される。
【００１５】
従って、本実施形態の露光装置ユニット１０では、上流側コンベア１１から搬送されたプリアライメント前の基板Ｗ２を第２のハンド３２に支持した搬送用ロボット１５は、第１及び第２のハンド３１，３２がプリアライメント装置１２に向けて水平方向に移動可能となるように回転する。この状態で、図４（ａ）〜図４（ｃ）に示すように、搬送用ロボット１５は、プリアライメント装置１２でプリアライメントされた基板Ｗ１を第１のハンド３１で受け取る動作と、第２のハンド３２に支持されたプリアライメントされる基板Ｗ２をプリアライメント装置１２に受け渡す動作と、を同時に行う。
【００１６】
具体的に、まず、プリアライメント装置１２の複数のピン２５が上昇して、プリアライメント済み基板Ｗ１を基板保持部２２から上昇させる。この状態で、搬送用ロボット１５の第１のハンド３１がプリアライメント済み基板Ｗ１と基板保持部２２との間に挿入される。そして、図４（ａ）に示すように、搬送用ロボット１５は、回転ステージ３３ごと上方に移動して、プリアライメント済み基板Ｗ１を持ち上げる。
【００１７】
また、図４（ｂ）に示すように、搬送用ロボット１５は、第２のハンド３２に支持されたプリアライメント前の基板Ｗ２がプリアライメント装置１２のピン２５よりも高くなる位置まで上方に移動を続ける。この上昇動作と同時に、第１のハンド３１に支持されたプリアライメント済み基板Ｗ１をプリアライメント装置１２の上方から退避させると共に、第２のハンド３２に支持されたプリアライメントされる基板Ｗ２をプリアライメント装置１２の上方へ進出させる。
【００１８】
そして、図４（ｃ）に示すように、第２のハンド３２に支持されたプリアライメントされる基板Ｗ２は、複数のピン２５を上昇することで、プリアライメント装置１２に受け渡され、その後、第２のハンド３２がプリアライメント装置１２の上方から退避する。その後、プリアライメント装置１２は、基板Ｗ２を基板保持部２２上に載置して、プリアライメント処理を行う。
【００１９】
また、図１に戻って、第１のハンド３１がプリアライメント済み基板Ｗ１を支持した搬送用ロボット１５は、第１及び第２のハンド３１，３２が露光装置本体１３に向けて水平方向に移動可能となるように回転する。そして、搬送用ロボット１５は、第１のハンド３１に支持されたプリアライメントされた基板Ｗ１を露光装置本体１３に受け渡す動作と、露光装置本体１３で露光された露光済み基板（図示せず）を第２のハンド３２で受け取る動作と、を行う。この際、プリアライメント済み基板Ｗ１は、上方に位置する第１のハンド３１によって支持さえた状態で露光装置本体１３に受け渡されるので、これから露光されるプリアライメント済み基板Ｗ１にごみが付着するのを防止することができる。そして、露光装置本体１３では、プリアライメントされた基板Ｗ１を基板ステージに載置した状態で、マスクＭを介して露光光を照射して、マスクＭに形成されたパターンを基板Ｗ１に露光転写する。
【００２０】
さらに、露光済み基板を受け取った搬送用ロボット１５は、下流側コンベア１４を向くように回転して、露光済み基板を下流側コンベア１４に受け渡す。
【００２１】
以上説明したように、本実施形態の露光装置ユニット及びその基板交換方法によれば、搬送用ロボット１５が、プリアライメント装置１２でプリアライメントされた基板Ｗ１を第１のハンド３１で受け取る動作と、第２のハンド３２に支持されたプリアライメントされる基板Ｗ２をプリアライメント装置１２に受け渡す動作と、を同時に行うようにしたので、プリアライメント装置１２での基板Ｗ１，Ｗ２の交換を効率的に行うことができ、タクトタイムの短縮を図ることができる。
【００２２】
また、第１及び第２のハンド３１，３２は、所定の水平方向に独立に駆動可能、上下方向に同時に駆動可能、且つ、同時に回転可能であり、第１のハンド３１は、第２のハンド３２よりも上方に配置されており、搬送用ロボット１５は、第１のハンド３１で前記プリアライメントされた基板を受け取った後、第１及び第２のハンド３１，３２を同時に上方に移動させ、第２のハンド３２に支持されたプリアライメントされる基板Ｗ２をプリアライメント装置１２に受け渡すので、搬送用ロボット１５の動作を最小限とすることができ、プリアライメント装置１２での基板Ｗ１，Ｗ２の交換時間を短縮することができる。
【００２３】
尚、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良等が可能である。
【符号の説明】
【００２４】
１０  露光装置ユニット
１１  上流側コンベア
１２  プリアライメント装置
１３  露光装置本体
１４  下流側コンベア
１５  搬送用ロボット
３１  第１のハンド
３２  第２のハンド
【図１】
2011176040.tif 000003
【図２】
2011176040.tif 000004
【図３】
2011176040.tif 000005
【図４】
2011176040.tif 000006