(57)【要約】【課題】レーザ光の応答性のバラツキを抑えた光源装置の製造装置を得ること。【解決手段】レーザーデバイスと、レーザーデバイスから出射されるレーザ光を波長が異なるレーザ光に変換する波長変換素子と、を接着して光源装置を製造する光源装置の製造装置において、波長変換素子１を把持する第１ステージ３と、レーザーデバイス２を把持する第２ステージ４と、波長変換素子１から出射されるレーザ光の光量を測定するパワーメータ７と、レーザ光の駆動波形を検知する受光素子６と、パワーメータ７が測定したレーザ光の光量が所定値以上であり、かつ受光素子６が検知した駆動波形の形状が所定の基準範囲内になるように、第１ステージ３と第２ステージ４の相対位置を変化させる制御部８と、を備える。【選択図】図１
2011112843.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザーデバイスと、当該レーザーデバイスから出射されるレーザ光を波長が異なるレーザ光に変換する波長変換素子と、を接着して光源装置を製造する光源装置の製造装置において、
前記波長変換素子を把持する第１ステージと、
前記レーザーデバイスを把持する第２ステージと、
前記波長変換素子から出射されるレーザ光の光量を測定する光量測定装置と、
前記レーザ光の駆動波形を検知する受光素子と、
前記光量測定装置が測定したレーザ光の光量が所定値以上であり、かつ前記受光素子が検知した駆動波形の形状が所定の基準範囲内になるように、前記第１ステージと前記第２ステージの相対位置を変化させる制御部と、
を備えた光源装置の製造装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記光量測定装置が所定値以上の光量を検出できるように前記第１ステージと前記第２ステージの相対位置を変化させた後に、前記駆動波形の形状に基づいて前記第１ステージと前記第２ステージの相対位置を変化させることを特徴とする請求項１に記載の光源装置の製造装置。
【請求項３】
前記所定の基準範囲は、前記駆動波形の最大電流値および前記駆動波形のうち立ち上がり波形の傾きに関する範囲であることを特徴とする請求項１または２に記載の光源装置の製造装置。
【請求項４】
レーザーデバイスと、当該レーザーデバイスから出射されるレーザ光波長が異なるレーザ光に変換する波長変換素子と、を接着して光源装置を製造する光源装置の製造方法において、
前記レーザーデバイスを前記波長変換素子に対して相対移動させながら、前記波長変換素子から出射されるレーザ光の光量を測定する光量測定工程と、
前記光量が所定値以上の値を示す位置に前記レーザーデバイスと前記波長変換素子との位置関係を調整する位置調整工程と、
前記レーザ光の駆動波形が所定の基準範囲内になるよう、前記レーザーデバイスと前記波長変換素子との位置関係を調整することによって、前記レーザーデバイスおよび前記波長変換素子の光軸調整を行なう光軸調整工程と、
前記光軸調整された位置で前記レーザーデバイスと前記波長変換素子とを接着する接着工程と、
を含むことを特徴とする光源装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、波長変換型レーザー光源装置の製造装置および光源装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
波長変換型レーザー光源装置は、ＬＤモジュールや固体レーザーあるいはそれら両方のデバイスで構成されるレーザーデバイスと波長変換素子とが所定の位置で位置合わせされて構成された光源（光源装置）である。この光源では、光源から高出力のグリーン光源およびブルー光源を発生させるために、レーザーデバイスから出射されたレーザ光を波長変換素子（ここでは、入射光の１／２の波長を有するレーザ光を出射する第二高調波発生素子、以下、ＳＨＧ素子という）の光導波路に入射させている。そして、光導波路内部で入射光を共振・増幅し、入射光の１／２の波長を有する第二高調波を生成させて出射している。
【０００３】
レーザーデバイスからの光をＳＨＧ素子の光導波路に集光（２つの光学素子の間の光軸位置を調整）させて光接続する方法として、パッシブアライメントやアクティブアライメントがある。パッシブアライメントは、光学素子の外形やターゲットマークを基準に画像処理を行って光学素子の位置を求めるか、または部材の嵌め合いによってメカニカルに調整位置を決める方法である。また、アクティブアライメントでは、レーザーデバイスに光接続された光導波路にレーザ光を入射させ、光導波路を伝搬して出射してきたレーザ光の出射光量をパワーメータ等で測定している。そして、レーザ光の出射光量を測定しながら、レーザ光の光量が最大となるよう、レーザーデバイスまたは光導波路の位置を３次元方向に移動させて最適位置を求めている。これらの光軸方向の調整方法では、光源を構成している光学素子の位置合わせ精度、求められる光出力等の条件に基づいて、各状況に応じた適正な方法が選択されている。そして、光軸方向の調整後は、接着剤等を用いて、調整後の位置でレーザーデバイスとＳＨＧ素子とが接着固定される。
【０００４】
例えば、特許文献１に記載の光軸調整方法では、光ファイバの透過光をセンサでモニタしながら光ファイバを光軸に直交する２方向、光軸を含み互いに直交する２平面、及び光軸方向に直角な２方向に移動させ、光量が最大となる位置に調整している。これにより、半導体モジュールと光ファイバとの間で高効率な光結合を行なわせている。
【０００５】
また、特許文献２に記載の光学素子調整方法では、光学素子の間隔を変化させることで得られる光軸方向の光量の周期的な変動の極大値を利用して、端面同士に反射がない状態で得られる光量最大点で光軸調整を行っている。これにより、光学素子間での反射光による干渉の影響を排除している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１−１８０５０７号公報
【特許文献２】特開２００４−１０９２５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記前者の従来技術のように光出力をモニタしながら光軸調芯した場合、接合されたレーザーデバイスに実際の駆動電流を流してレーザ光の波形を確認すると、波形形状にバラツキが発生する場合がある。これは、出力変動には現れないレーザーデバイスとＳＨＧ素子との間の微小な位置ズレに起因している。例えば、同じ程度のレーザ光出力であっても、異なる駆動波形でレーザ出力される場合がある。このように、レーザ光毎に駆動波形が異なる（波形形状のバラツキが大きい）と、レーザ光の応答性バラツキが発生するという問題があった。
【０００８】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、レーザ光の応答性を一定にする光源装置の製造装置および光源装置の製造方法を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、レーザーデバイスと、当該レーザーデバイスから出射されるレーザ光を波長が異なるレーザ光に変換する波長変換素子と、を接着して光源装置を製造する光源装置の製造装置において、前記波長変換素子を把持する第１ステージと、前記レーザーデバイスを把持する第２ステージと、前記波長変換素子から出射されるレーザ光の光量を測定する光量測定装置と、前記レーザ光の駆動波形を検知する受光素子と、前記光量測定装置が測定したレーザ光の光量が所定値以上であり、かつ前記受光素子が検知した駆動波形の形状が所定の基準範囲内になるように、前記第１ステージを前記第２ステージの相対位置を変化させる制御部と、を備える。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、レーザ光の駆動波形の形状が所定の基準範囲内になるよう、レーザーデバイスおよび波長変換素子の光軸調整を行なって光源装置を製造するので、レーザ光の応答性が同じとなる光源装置を製造することが可能になるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施の形態に係る光源製造装置の構成を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る光源製造装置の移動ステージの構成を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る光源製造装置で製造する光源装置におけるレーザーデバイスとＳＨＧ素子の入射光と出射光の関係を説明するための図である。
【図４】本発明の実施の形態に係る光源製造装置において光軸がよく調整できたかどうかの判定に使用する基準波形と初期傾斜値の関係を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態に係る光源製造装置において光軸がよく調整できたかどうかを判定する例を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、本発明の実施の形態に係る光源装置の製造装置および光源装置の製造方法を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１３】
実施の形態．
図１は、本発明の実施の形態に係る光源製造装置の構成を示す図である。図１では、光源製造装置（光軸調整装置）１００の側面図を示している。光源製造装置は、波長変換型レーザー光源装置（以下、光源Ｌという）を製造する装置である。光源Ｌは、投写型テレビなどで用いられる光源装置であり、レーザーデバイス２と波長変換素子であるＳＨＧ（Second  Harmonic  Generation）素子１とが所定の位置で接着されて製造される。本実施の形態の光源製造装置１００は、レーザーデバイス２の光軸方向とＳＨＧ素子１の光軸方向とを調整して光接続する。
【００１４】
光源製造装置１００は、固定ステージ３、移動ステージ４、受光素子６、パワーメータ７、制御部８、ディスペンサ１０を有している。固定ステージ３は、ＳＨＧ素子１を固定した状態で把持する。移動ステージ４は、３次元方向に移動可能なよう構成され、レーザーデバイス２を把持する。
【００１５】
固定ステージ３には、ＳＨＧ素子１の出射光端面（上部側）がパワーメータ７側を向き、ＳＨＧ素子１の入射面側である下部側（レーザーデバイス２との接着面側）が、移動ステージ４上のレーザーデバイス２側を向くようＳＨＧ素子１が設置される。また、移動ステージ４には、レーザーデバイス２の上部側（ＳＨＧ素子１との接着面側）が、固定ステージ３に設置されたＳＨＧ素子１側を向くようレーザーデバイス２が設置される。固定ステージ３がＳＨＧ素子１を把持する第１ステージであり、移動ステージ４がレーザーデバイス２を把持する第２ステージである。
【００１６】
パワーメータ７は、ＳＨＧ素子１の出射光端面の上部側に配置されており、ＳＨＧ素子１から出射されるレーザ光の光量（光出力量）を測定する光量測定装置である。パワーメータ７は、測定したレーザ光の光量を制御部８に送る。
【００１７】
受光素子６は、ＳＨＧ素子１の出射光端面の上部側に配置されており、ＳＨＧ素子１から出射されるレーザ光の駆動波形を検知する。駆動波形は、例えばＬＤ素子（レーザーデバイス２）をパルス幅制御(デューティ制御)で駆動させた際の１つの波形である。受光素子６は、光軸調整（光軸調芯）中にＳＨＧ素子１から出射（発光）されるレーザ光を受け、受けたレーザ光の光出力量を電流に換算することによって駆動波形を検知する。受光素子６は、検知した駆動波形を制御部８に送る。
【００１８】
制御部８は、固定ステージ３、移動ステージ４、受光素子６、パワーメータ７、ディスペンサ１０を制御する。制御部８は、光量処理部（駆動波形処理部）９と位置制御部５を備えている。光量処理部９は、パワーメータ７から送られてくる光量と受光素子６から送られてくる駆動波形を光量情報として受信する。光量処理部９は、受信した光量情報に基づいて、位置制御部５に指示する移動ステージ４の移動位置を算出する。移動ステージ４の移動位置は、レーザーデバイス２とＳＨＧ素子１との接着位置が適切な接着位置となる移動位置である。レーザーデバイス２とＳＨＧ素子１との間の適切な接着位置は、ＳＨＧ素子１からの駆動波形が所定範囲の形状となる接着位置である。本実施の形態では、ＳＨＧ素子１からの駆動波形が所定の形状となるよう、レーザーデバイス２とＳＨＧ素子１の光軸を調整してレーザーデバイス２とＳＨＧ素子１とを接着する。光量処理部９は、算出した移動ステージ４の移動位置を位置制御部５に送る。
【００１９】
位置制御部５は、光量処理部９から送られてくる移動ステージ４の移動位置に基づいて、移動ステージ４に移動指令を送る。移動ステージ４に送られる移動指令は、レーザーデバイス２とＳＨＧ素子１とを接着した場合に、ＳＨＧ素子１からの駆動波形が所定範囲の形状となる移動指令である。
【００２０】
また、制御部８は、固定ステージ３が把持するＳＨＧ素子１の温度と、移動ステージ４が把持するレーザーデバイス２の温度を制御する。固定ステージ３や移動ステージ４は、ヒータなどの温度調整機構（図示せず）を備えており制御部８は、この温度調整機構を制御することによってＳＨＧ素子１の温度とレーザーデバイス２の温度を制御する。
【００２１】
ディスペンサ１０は、レーザーデバイス２とＳＨＧ素子１との接合部分に接着剤などを塗布する。本実施の形態のディスペンサ１０は、ＳＨＧ素子１からの駆動波形が所定の形状となる位置でレーザーデバイス２とＳＨＧ素子１との接合部分に接着剤を塗布する。
【００２２】
図２は、本発明の実施の形態に係る光源製造装置の移動ステージの構成を示す図である。移動ステージ４は、Ｘ軸ステージ２１、Ｙ軸ステージ２２、θｚステージ２３、θｙステージ２４、θｘステージ２５、Ｚ軸ステージ２６、モータ２７，２８を備えている。
【００２３】
Ｘ軸ステージ２１は、移動ステージ４をＸ軸方向に移動させ、Ｙ軸ステージ２２は移動ステージ４をＹ軸方向に移動させ、Ｚ軸ステージ２６は移動ステージ４をＺ軸方向に移動させる。θｚステージ２３は、移動ステージ４をθｚ方向に回転させ、θｙステージ２４は、移動ステージ４をθｙ方向に回転させ、θｘステージ２５は、移動ステージ４をθｘ方向に回転させる。モータ２７は、移動ステージ４のＸ軸方向のモータであり、モータ２８は、移動ステージ４のＹ軸方向のモータである。
【００２４】
つぎに、光源製造装置１００による光源Ｌの製造手順について説明する。光源Ｌを製造する際には、人手または搬送機構（図示せず）を用いて、ＳＨＧ素子１を固定ステージ３に設置するとともに、レーザーデバイス２を移動ステージ４に設置する。
【００２５】
この後、制御部８は、レーザーデバイス２およびＳＨＧ素子１を適正温度に調節する。制御部８は、例えば、レーザーデバイス２が４０±１℃となるよう移動ステージ４の温度調整機構を制御する。これにより、レーザーデバイス２からのレーザ光の出力比が９５％以上となる。ここでの出力比は、設計上見込まれる光出力（理論値）に対する、実際の光出力の比である。また、制御部８は、例えば、ＳＨＧ素子１が９０±１℃となるよう固定ステージ３の温度調整機構を制御する。これにより、ＳＨＧ素子１からのレーザ光の出力比が９５％以上となる。
【００２６】
なお、レーザーデバイス２の温度は４０±１℃に限らない。また、ＳＨＧ素子１の温度は９０±１℃に限らない。例えば、ＳＨＧ素子１の特性によっては、ＳＨＧ素子１を１００℃や１１０℃などに設定する場合がある。レーザーデバイス２やＳＨＧ素子１の温度の幅は、レーザ光の出力比を何れの値まで許容するかに基づいて決定される。
【００２７】
図３は、本発明の実施の形態に係る光源製造装置で製造する光源装置におけるＳＨＧ素子の入射光と出射光の関係を説明するための図である。レーザーデバイス２は、励起光を出射するＬＤモジュール２０１と、ＬＤモジュール２０１からの励起光を受け特定波長の基本波を発生させ、発生させた基本波を共振および増幅させ出射する固体レーザー２０２とから構成される。レーザーデバイス２およびＳＨＧ素子１を適正温度に調節した状態で、ＳＨＧ素子１をレーザーデバイス２に近づけ、図３に示すようにレーザーデバイス２の出射光（波長λ、光量Ｐ１）をＳＨＧ素子１の光導波路１ａに入射させる。これにより、光導波路１ａへの入射光の１／２の波長を有する第二高調波（波長λ／２、光量Ｐ２）がＳＨＧ素子１の光導波路１ａの出射面側から出射する。そして、光導波路１ａからの出射光の光量をパワーメータ７で測定する。このとき、駆動波形の形状については光出力が十分出た状態で確認する必要があるので、レーザーデバイス２の位置制御が行われていない状態（レーザーデバイス２の光軸とＳＨＧ素子１の光軸が合っていない状態）では受光素子６での測定は行わない。換言すると、ＳＨＧ素子１から出射される光の出力が小さい状態では受光素子６での測定は行わない。
【００２８】
この後、移動ステージ４を固定ステージ３に対して相対移動させながら、パワーメータ７からの光量と受光素子６からの駆動波形が光量情報として制御部８の光量処理部９に送られる。これにより、光量処理部９は、パワーメータ７からの光量情報に基づいて、移動ステージ４を、位置制御部５を介して移動させる。
【００２９】
具体的には、光量処理部９は、光量情報に基づいて、移動ステージ４の移動位置を位置制御部５に送る。位置制御部５は、光量処理部９から指示された移動位置に移動ステージ４が移動するよう移動ステージ４に移動指令を送ることによって移動ステージ４の位置を制御する。これにより、制御部８は、レーザーデバイス２を把持している移動ステージ４を、ＳＨＧ素子１を把持している固定ステージ３に対して相対移動させる。制御部８は、ＳＨＧ素子１からの駆動波形が所定の形状となる位置までレーザーデバイス２を移動させることによって、光源Ｌの光軸を調整する。
【００３０】
光源Ｌの光軸を調整する際、制御部８は、図２に示したように、レーザーデバイス２をＸＹＺ方向、θｘθｙθｚ方向の６軸方向に微小移動させる。光軸の調整手順は、ＳＨＧ素子１の光導波路１ａにレーザーデバイス２からの出射光が十分入るよう、まず移動ステージ４をＹ方向やθｚ方向（光導波路１ａの厚み方向）に調整する。
【００３１】
さらに、この状態で、レーザ光をＳＨＧ素子１の光導波路１ａ内部で効率良く共振させるために、移動ステージ４をＺ方向やθｘ方向に調整し、最後に移動ステージ４をＸ方向やθｙ方向に調整する。
【００３２】
パワーメータ７で検出する光量が所定値以上となった際のレーザーデバイス２とＳＨＧ素子１との相対位置で、受光素子６は駆動波形を測定する。制御部８には予め基準となる駆動波形データ（基準波形）を格納しておく。光量処理部９は、測定した駆動波形の電流値Ｉｗ（最大電流値）と立ち上がりの傾き（以下、初期傾斜値Ａｗという）が、基準値（波形形状規格）を満たしているか否かを判定する。ここでの基準値は、基準波形に基づいて設定された値である。
【００３３】
図４は、本発明の実施の形態に係る光源製造装置において光軸がよく調整できたかどうかの判定に使用する基準波形と初期傾斜値の関係を示す図である。図４のグラフはパルス幅制御（デューティ制御  ３０％Ｄｕｔｙ）で駆動させた際の１つの基準波形Ｖ１を示している。１つの基準波形は、１パルス分のレーザーデバイス２への電流投入の開始から終了までの時間における受光素子６が検出するレーザ光の光量に比例するような電流波形であり、パルスのＯＮ／ＯＦＦに対応している。基準波形では、ゼロから電流が初期傾斜値Ａで立ち上がり、所定期間の間、最大電流値Ｉvで流れ、その後ゼロに立ち下がる。初期傾斜値Ａvは、最大電流値Ｉvよりも少し小さい（例えば、９８％程度）電流値Ｉtを、Ｉtになるまでの発光開始からの経過時間Ｔ１で割った値である。すなわち、Ａv＝Ｉｔ／Ｔ１である。受光素子６が検出する駆動波形Ｉが基準波形から基準範囲内にあるかどうかを判断するために、駆動波形Ｉの最大電流値Ｉwに対する下限値Ｉwminと、立ち上がりの傾きすなわち初期傾斜値Ａwの上限値Ａwmaxと下限値Ａwminとを、基準波形ごとに定義する。ここで、例えば、Ｉwmin＝0.95×Ｉv、Ａwmax＝1.1×Ａv、Ａwmin＝0.9×Ａvとする。
【００３４】
光量処理部９は、測定した駆動波形の電流値Ｉの最大電流値Ｉｗが最小電流値Ｉwmin以上であるか否かを判定する。また、光量処理部９は、測定した駆動波形の初期傾斜値Ａｗが下限値Ａwmin〜上限値Ａwmaxの範囲内であるか否かを判定する。初期傾斜値Ａｗは、ＩwminまたはＩwminよりも少し小さい（例えば、９８％）値Ｉt2と、Ｉt2になるまでの発光開始からの経過時間Ｔwから、Ａｗ＝It2／Ｔwという式により求める。なお、初期傾斜値Ａｗの替わりに、経過時間Ｔに対する条件を使用してもよい。
【００３５】
図５に、本発明の実施の形態に係る光源製造装置において光軸がよく調整できたかどうかを判定する例を説明する図を示す。図において、ハッチング部分は駆動波形が基準範囲内であると判断される部分である。基準範囲内である駆動波形は実線で表示し、基準範囲外である駆動波形は点線で表示する。駆動波形Ｗ１は、Ｉw＞＝IwminかつＡwmax＞＝Ａw（＝It2／Ｔw1）＞＝Ａwminを満足しており、基準範囲内である場合である。駆動波形Ｗ２は、Ａw（＝It2／Ｔw2）＞Ａwmaxであるために、基準範囲外である場合である。駆動波形Ｗ３は、Ａw（＝It2／Ｔw3）＜Ａwminであるために、基準範囲外である場合である。駆動波形Ｗ４は、Ｉw＜Iwminであるために、基準範囲外である場合である。
【００３６】
測定した駆動波形の形状が基準値を満たしていない場合、レーザーデバイス２をＸＹＺ方向、θｘθｙθｚ方向の６軸方向に再度微小移動させる。光軸を再調整する際には、移動ステージ４を光導波路１ａ内部で効率良く共振させる軸であるＺ方向、θｘ方向、Ｘ方向、θｙ方向を調整する。このとき、駆動波形の形状とともにパワーメータ７で光量を測定し、駆動波形の波形形状と光量の両方を満たす位置（レーザーデバイス２とＳＨＧ素子１の相対位置）となるよう光軸が調整される。
【００３７】
光軸調整後、光源製造装置１００は、ディスペンサ１０などを用いてレーザーデバイス２とＳＨＧ素子１との接合部分に接着剤などを適量塗布する。これにより、レーザーデバイス２とＳＨＧ素子１とが接着固定される。ディスペンサ１０と固定ステージ３は、ともに位置切替え機構（図示せず）上に設置されている。光軸調整工程時には、固定ステージ３がレーザーデバイス２上に移動して光軸調整処理を実施する。また、レーザーデバイス２とＳＨＧ素子１との接着工程時には、ディスペンサ１０がレーザーデバイス２上に移動して接着処理を実施する。
【００３８】
測定した駆動波形の形状が基準値を満たしている場合、光軸の再調整を行うことなくディスペンサ１０などを用いてレーザーデバイス２とＳＨＧ素子１との接合部分に接着剤などを塗布し、レーザーデバイス２とＳＨＧ素子１とを接着固定する。
【００３９】
なお、本実施の形態では、光軸調整する際のＳＨＧ素子１からのレーザ光の出射方向（光軸方向）が鉛直方向である場合について説明したが、ＳＨＧ素子１からのレーザ光の出射方向は、鉛直方向以外の方向（例えば水平方向）としてもよい。また、本実施の形態では、レーザーデバイス２を移動ステージ４に搭載して光軸調整したが、ＳＨＧ素子１を移動させて光軸調整してもよい。このような構成であっても、他の構成や動作は、図１に示した光源製造装置１００と同じであり、同じ効果を得ることができる。
【００４０】
また、光軸調整は、光軸調整した際の駆動波形が所定の基準範囲内に入っていればよく、光量をさらに高くなる位置に光軸調整できる場合であっても光軸調整を終えてもよい。
【００４１】
なお、本実施の形態では、波長変換素子としてＳＨＧ素子１を用いたが、波長変換素子は第二高調波を発生させるものに限られず、３次や４次の高調波を発生させるものであってもよい。
【００４２】
このように、実施の形態によれば、光軸調整の際に、光量の大きさおよび駆動波形の形状に基づいて光軸調整（アクティブアライメント）するので、レーザー光の応答性のバラツキの少ないグリーン光源あるいはブルー光源などを得ることができる。
【００４３】
また、パワーメータ７が所定値以上の光量を検出できるよう光軸調整を行った後に、駆動波形の形状に基づいて光軸調整を行うので、短時間で光軸調整を行うことが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
以上のように、本発明に係る光源装置の製造装置および光源装置の製造方法は、波長変換型レーザー光源装置の製造に適している。
【符号の説明】
【００４５】
１  ＳＨＧ素子
１ａ  光導波路
２  レーザーデバイス
３  固定ステージ（第１ステージ）
４  移動ステージ（第２ステージ）
５  位置制御部
６  受光素子
７  パワーメータ
８  制御部
９  光量処理部
１０  ディスペンサ
２１  Ｘ軸ステージ、
２２  Ｙ軸ステージ、
２３  θｚステージ、
２４  θｙステージ、
２５  θｘステージ、
２６  Ｚ軸ステージ
１００  光源製造装置
２０１  ＬＤモジュール
２０２  固体レーザー
【図１】
2011112843.tif 000003
【図２】
2011112843.tif 000004
【図３】
2011112843.tif 000005
【図４】
2011112843.tif 000006
【図５】
2011112843.tif 000007