(57)【要約】【課題】磁場を検出する検出部によってモータの１回転内の角度検出を行うことができるエンコーダを提供する。【解決手段】磁気パターンが形成され回転軸（Ｒ）を中心として回転し、内周側と外周側との間で径方向の磁場（Ｍ）を形成し、回転方向の一周に亘って少なくとも一回は磁場の方向を変化させるように設けられた磁石部（６）と、磁石部による磁場を検出する検出部（４）とを備え、磁石部は、磁場の方向が変化する境界（６ｄ）における検出部との間の検出距離（ｇ）を相対的に増加させる検出距離調整凹部（６Ｌ）を有することを特徴とする。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気パターンが形成され回転軸を中心として回転し、内周側と外周側との間で径方向の磁場を形成し、回転方向の一周に亘って少なくとも一回は前記磁場の方向を変化させるように設けられた磁石部と、前記磁石部による磁場を検出する検出部とを備え、
前記磁石部は、前記磁場の方向が変化する境界における前記検出部との間の検出距離を相対的に増加させる検出距離調整凹部を有すること
を特徴とするエンコーダ。
【請求項２】
請求項１に記載のエンコーダにおいて、
前記検出距離調整凹部は、前記境界において前記検出距離が最大となり、前記境界から遠ざかるにつれて前記検出距離が漸減するように設けられていること
を特徴とするエンコーダ。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のエンコーダにおいて、
前記磁石部は、前記磁場の方向が変化しない定常部において前記検出距離を減少させる検出距離調整凸部を有すること
を特徴とするエンコーダ。
【請求項４】
請求項３に記載のエンコーダにおいて、
前記検出距離調整凸部は、前記境界から最も離れた位置において前記検出距離が最小となり、前記境界に近づくにつれて前記検出距離が漸増するように設けられていること
を特徴とするエンコーダ。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載のエンコーダにおいて、
前記磁石部は、前記内周側の磁極と前記外周側の磁極とが異なり、周方向の１８０°で前記内周側の磁極と前記外周側の磁極とが入れ替わるように設けられていること
を特徴とするエンコーダ。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載のエンコーダにおいて、
前記検出部は、前記磁石部の回転面と平行な方向の前記磁場を検出する平行磁場検出素子を備えていること
を特徴とするエンコーダ。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれかに記載のエンコーダにおいて、
前記検出部は、前記磁石部の回転面と垂直な方向の前記磁場を検出する垂直磁場検出素子を備えていること
を特徴とするエンコーダ。
【請求項８】
磁気パターンが形成され回転軸を中心として回転し、内周側と外周側との間で径方向の磁場を形成し、回転方向の一周に亘って少なくとも一回は前記磁場の方向を変化させるように設けられた磁石部と、
前記磁石部による磁場を検出する検出部と、
前記検出部により検出される前記磁場を変化させる磁場変化手段と、を備えること
を特徴とするエンコーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エンコーダに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
モータの回転軸など回転体の回転数や回転速度を検出する装置として、エンコーダが知られている（特許文献１）。例えば、ロータリーエンコーダは、モータ等の回転軸に取り付けられて用いられる。また、エンコーダの具体的構成として、例えば磁気を用いて回転数などを検出する構成が知られている。
【０００３】
このような構成のエンコーダは、磁気パターンが形成された磁石部を回転軸と一体的に回転させ、磁石部の磁気パターンの変化を磁気センサによって読み取ることで、モータの回転軸の回転数などを検出できるようになっている。具体的な構成としては、例えば回転軸と一体的に回転する回転部が当該回転軸に固定され、磁石部が回転部に保持された状態で用いられる構成が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平３−２８７０１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、一般的なエンコーダでは、磁石部の回転による磁場が磁気センサ等の検出部によって矩形波状の信号として検出される。そのため、磁気センサではモータの回転軸の１回転内の角度検出ができない場合があるという課題がある。
【０００６】
そこで、本発明は、磁場を検出する検出部によってモータの１回転内の角度検出を行うことができるエンコーダを提供すること目的する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するために、本発明の態様は実施形態に示す図１〜図５に対応付けした以下の構成を採用している。なお、本発明を分かり易く説明するために、一実施形態を示す図面の符号に対応付けて説明するが、本発明は実施形態に限定されるものではない。
【０００８】
本発明の態様のエンコーダ（ＥＣ）は、磁気パターンが形成され回転軸（Ｒ）を中心として回転し、内周側と外周側との間で径方向の磁場（Ｍ）を形成し、回転方向の一周に亘って少なくとも一回は前記磁場の方向を変化させるように設けられた磁石部（６）と、前記磁石部による磁場を検出する検出部（Ｄ）とを備え、前記磁石部は、前記磁場の方向が変化する境界（６ｄ）における前記検出部との間の検出距離（ｇ）を相対的に増加させる検出距離調整凹部（６Ｌ）を有することを特徴とする。
【０００９】
本発明の別態様のエンコーダ（ＥＣ）は、磁気パターンが形成され回転軸（Ｒ）を中心として回転し、内周側と外周側との間で径方向の磁場（Ｍ）を形成し、回転方向の一周に亘って少なくとも一回は前記磁場の方向を変化させるように設けられた磁石部（６）と、前記磁石部による磁場を検出する検出部（Ｄ）と、前記検出部により検出される前記磁場を変化させる磁場変化手段（６Ｌ、６Ｈ）と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のエンコーダによれば、検出部によって検出された磁力により、モータ等の１回転内の角度を算出することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施形態に係るエンコーダの概略構成を示す断面図である。
【図２】図１に示すエンコーダの磁石部の平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ’線に沿う断面図である。
【図４】図２のＢ−Ｂ’線に沿う断面図である。
【図５】図１に示すエンコーダの回転角度と磁場との関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。
図１は、本実施形態に係るエンコーダＥＣの構成を示す断面図である。
図１に示すエンコーダＥＣは、モータＭＲなどの回転体の回転数や回転速度を検出する装置である。エンコーダＥＣは、検出部Ｄ、磁石部６、及び回転部３を備え、磁石部６を保持した回転部３が検出部Ｄに収容された状態で用いられる。
【００１３】
回転部３は、例えばボルト８等によって回転体であるモータＭＲの駆動軸７に固定され、駆動軸７と一体的に回転する部分である。回転部３は、磁石部６の上面６ａを検出部Ｄの磁気センサ４に対向させて保持している。回転部３が駆動軸７に固定された状態においては円盤面３１ｂ，３１ｃが駆動軸７に垂直となり、回転部３の回転軸Ｒ方向は駆動軸７の延在方向と同一方向となる。回転部３は、円盤部３１、保持部３２、ハブ３３、及び嵌入部３４を有している。
【００１４】
円盤部３１は円板状に形成され、回転部３の本体をなす部分である。円盤部３１は、中央に貫通孔３１ａが設けられ、貫通孔３１ａに挿通されたボルト８によって駆動軸７に固定される。
保持部３２は、円盤部３１の図中上側の円盤面３１ｂに凹状に設けられ、回転部３の回転方向に沿って貫通孔３１ａの周囲に円環溝状に設けられている。
【００１５】
ハブ３３は、円盤部３１の図中下側の円盤面３１ｃから略垂直に突出するように設けられ、上記モータＭＲの駆動軸７に接続される部分である。ハブ３３は、平面視中央部に凹状の嵌入部３４を有している。
嵌入部３４は有底円筒状に形成され、モータＭＲの駆動軸７の端部が嵌入されて固定されるようになっている。
【００１６】
図２は、図１に示す磁石部６の平面図である。図２中、破線は磁石部６の底面６ｂから上面６ａまでの高さが等しいことを示す等高線である。
図１及び図２に示すように、磁石部６は、回転部３の回転方向に沿って円環状に形成された永久磁石である。磁石部６としては、例えばネオジ鉄系の焼結磁石などが用いられている。磁石部６には、所定の磁気パターンが形成されている。図２に示すように、磁石部６の磁気パターンとして、例えば、内周側の磁極Ｎ，Ｓと外周側の磁極Ｎ，Ｓとが異なり、周方向の１８０°毎の境界６ｄで内周側の磁極Ｎ，Ｓと外周側の磁極Ｎ，Ｓとが入れ替わるように着磁された磁気パターンなどが挙げられる。勿論、他の磁気パターンが形成されていても構わない。
【００１７】
磁石部６は、回転部３に固定され、回転部３の回転と連動して回転軸Ｒを中心として回転するようになっている。このような構成により、磁石部６は、内周側の磁極Ｎ，Ｓと外周側の磁極Ｎ，Ｓとの間で径方向の磁場を形成し、回転方向の一周に亘って磁場の方向を一回変化させるようになっている。
【００１８】
検出部Ｄは、磁石部６による磁場を検出する部分である。検出部Ｄは、筐体１と、筐体１を封止する基板５と、基板５を筐体１に固定するボルト２と、基板５に設けられた磁気センサ４とを有している。筐体１は、ほぼ円筒状に形成され、モータＭＲに固定されている。筐体１及び基板５は、回転部３及び駆動軸７とは独立して設けられ、駆動軸７が回転しても、筐体１及び基板５とモータＭＲとの相対位置が変化しないようになっている。回転部３及び磁石部６は、駆動軸７の軸方向に見たときに、それぞれの中心が筐体１の中心に一致するように位置合わせされた状態で収容されている。
【００１９】
磁気センサ４は、駆動軸７の軸方向に見て、磁石部６に重なる位置に一対配置されている。各磁気センサ４は、基板５が備える不図示の配線などを介して電源部及び制御部に接続されている。制御部は、磁気センサ４，４からの出力に基づいて駆動軸７の回転角度位置、回転数及び回転速度を求める処理を行う。各磁気センサ４は、バイアス磁石（不図示）及び磁気抵抗素子４ａ，４ｂ（図３参照）を有している。
【００２０】
バイアス磁石は、磁石部６の磁場との間で合成磁場を形成する磁石である。バイアス磁石を構成する材料として、例えばサマリウム・コバルトなどの磁力の大きい希土類磁石などが挙げられる。バイアス磁石は、磁気抵抗素子４ａ，４ｂに接触したり、隣接したりしない位置に配置されている。
【００２１】
磁気抵抗素子４ａ，４ｂは、例えば金属配線などによって形成された直交する２つの繰り返しパターンを有している。磁気抵抗素子４ａ，４ｂは、磁場の方向が当該繰り返しパターンに流れる電流の方向の垂直方向に近くなると電気抵抗が低下するようになっている。磁気抵抗素子４ａ，４ｂは、この電気抵抗の低下を利用して磁場の方向を電気信号に変換するようになっている。磁気抵抗素子４ａ，４ｂは、磁石部６の磁場及びバイアス磁石の磁場による合成磁場を検出するようになっており、検出結果は電気信号として上記の制御部（不図示）に送信されるようになっている。
【００２２】
図３は、図２のＡ−Ａ’線に沿う断面図である。図４は、図２のＢ−Ｂ’線に沿う断面図である。
図３及び図４に示すように、磁気センサ４は、磁石部６の上面（回転面）６ａと平行な方向の磁場Ｍを検出する磁気抵抗素子（平行磁場検出素子）４ａと、磁石部６の上面６ａと垂直な回転軸Ｒ方向の磁場Ｍを検出する磁気抵抗素子（垂直磁場検出素子）４ｂとの２種類の磁気抵抗素子を備えている。
磁石部６の上面６ａには、磁石部６の内周側の磁極Ｎ，Ｓと外周側の磁極Ｎ，Ｓとが入れ替わる境界６ｄの近傍に設けられた凹部（検出距離調整凹部）６Ｌと、磁場の方向が変化しない定常部６ｃに設けられた凸部（検出距離調整凸部）６Ｈとが設けられている。
【００２３】
凹部６Ｌは、回転軸Ｒと平行な方向の底面６ｂから上面６ａまでの高さが、磁石部６の高さの基準となる基準部６Ｎの高さＨｎよりも小さくなっている部分である。すなわち、凹部６Ｌは、磁気センサ４の磁気抵抗素子４ａ，４ｂと磁石部６の上面６ａとの間の検出距離ｇ１，ｇ２を、基準部６Ｎと比較して相対的に増加させるように設けられている。
【００２４】
また、凹部６Ｌの高さは、境界６ｄにおいて最小の高さＨｌになっており、境界６ｄから周方向に遠ざかるにつれて徐々に増加している。すなわち、凹部６Ｌは、境界６ｄにおいて検出距離ｇ１，ｇ２が最大となり、境界６ｄから周方向に遠ざかるにつれて検出距離ｇ１，ｇ２が漸減するように設けられている。
【００２５】
凸部６Ｈは、回転軸Ｒと平行な方向の底面６ｂから上面６ａまでの高さが、磁石部６の高さの基準となる基準部６Ｎの高さＨｎよりも大きくなっている部分である。すなわち、凸部６Ｈは、磁気センサ４の磁気抵抗素子４ａ，４ｂと磁石部６の上面６ａとの間の検出距離ｇ１，ｇ２を、相対的に減少させるように設けられている。
【００２６】
また、凸部６Ｈの高さは、磁石部６の境界６ｄから周方向に約９０°離れた境界６ｄ，６ｄの中間において、最大の高さＨｈになっており、境界６ｄに近づくにつれて徐々に減少している。すなわち、凸部６Ｈは、境界６ｄから周方向に最も離れた位置において検出距離ｇ１，ｇ２が最小となり、境界６ｄに周方向に近づくにつれて検出距離ｇ１，ｇ２が漸増するように設けられている。
【００２７】
また、図２に等高線で示すように、凹部６Ｌ及び凸部６Ｈは、磁石部６の径方向において底面６ｂから上面６ａまでの高さが等しくなっている。また、図３及び図４に示すように、磁石部６の上面６ａは磁石部６の周方向に連続する滑らかな曲面になっている。
【００２８】
図５は、横軸を磁石部６の回転角度、縦軸を磁石部６の磁力として、磁石部６を１回転させたときに磁気センサ４によって測定される磁力の変化を示すグラフである。
本実施形態の凹部６Ｌ及び凸部６Ｈは、例えば以下の方法により、磁石部６による１回転内における磁場を正弦波状に変化させるように形成されている。
【００２９】
まず、磁石部６に凹部６Ｌ及び凸部６Ｈを設けない状態で、磁石部６を回転軸Ｒを中心として１回転させ、磁気センサ４によって磁石部６が一回転する際の磁力の変化を測定する。ここで、磁石部６は、図２に示すように、内周側の磁極Ｎ，Ｓと外周側の磁極Ｎ，Ｓとが異なり、周方向の１８０°で内周側の磁極Ｎ，Ｓと外周側の磁極Ｎ，Ｓとが入れ替わるように設けられている。
【００３０】
したがって、図３及び図４に示すように、磁石部６には内周側の磁極Ｎ，Ｓと外周側の磁極Ｎ，Ｓとの間で径方向の磁場Ｍが発生し、磁石部６を一回転させると内周側の磁極Ｎ，Ｓと外周側の磁極Ｎ，Ｓとが入れ替わる境界６ｄにおいて磁場Ｍの方向が逆転する。すると、磁石部６の磁場Ｍとバイアス磁石の磁場との合成磁場がほぼ９０°変化する。そのため、磁石部６の境界６ｄを磁気センサ４の下方に配置し、その状態を０°として回転を開始すると、図５に二点鎖線で示すように、磁気センサ４によって、１８０°毎に磁力の正負が逆転する矩形波状の信号Ｓ０が検出される。
【００３１】
次に、上面６ａに凹部６Ｌ及び凸部６Ｈを形成した磁石部６を用意し、凹部６Ｌ及び凸部６Ｈの形状を変化させ、変化させた形状ごとに検出距離ｇ１，ｇ２と磁気センサ４の磁気抵抗素子４ａ，４ｂによって検出される磁力を測定する。検出距離ｇ１，ｇ２が相対的に増加することで、磁気センサ４の磁気抵抗素子４ａ，４ｂによって検出される磁力は相対的に減少する。また、検出距離ｇ１，ｇ２が相対的に減少することで、磁気センサ４の磁気抵抗素子４ａ，４ｂによって検出される磁力は相対的に増加する。
【００３２】
これにより、検出距離ｇ１，ｇ２を変化させた場合の検出距離ｇ１，ｇ２と磁気センサ４の磁気抵抗素子４ａ，４ｂによって検出される磁力との関係式が得られる。このようにして得られた関係式に基づいて、図５に示すように、矩形波状の信号Ｓ０が実線で示す正弦波状の信号Ｓ１に変化するように、凹部６Ｌ及び凸部６Ｈの形状を調整する。以上により、磁石部６による１回転内における磁場を正弦波状に変化させる凹部６Ｌ及び凸部６Ｈを形成することができる。
【００３３】
次に、上記のように構成されたエンコーダＥＣの動作を説明する。
モータＭＲの駆動軸７が回転すると、当該駆動軸７に一体的に取り付けられた回転部３及び磁石部６が駆動軸７と一体的に回転する。モータＭＲに固定された検出部Ｄについては、駆動軸７には接続されていないため、回転せずに静止した状態となる。
【００３４】
回転部３の回転と共に磁石部６が回転すると、磁石部６の磁気パターンによって形成される磁場Ｍとバイアス磁石の磁場との合成磁場が周期的に変化する。各磁気センサ４の磁気抵抗素子４ａは、磁石部６の上面６ａに平行な方向の磁場Ｍとバイアス磁石の磁場との合成磁場を検出する。また、各磁気センサ４の磁気抵抗素子４ｂは、磁石部６の回転軸Ｒに平行な方向の磁場Ｍとバイアス磁石の磁場との合成磁場を検出する。
【００３５】
磁気センサ４によって検出された合成磁場は、電気信号として制御部に送信され、図５に実線で示す正弦波状の信号Ｓ１が得られる。制御部は、得られた正弦波状の信号Ｓ１に基づいてモータの１回転内の角度、回転数及び回転速度を算出する。
【００３６】
このように、本実施形態のエンコーダＥＣは、磁石部６が磁場Ｍの方向が変化する境界６ｄにおける検出距離ｇ１，ｇ２を相対的に増加させる凹部６Ｌを有している。そのため、磁気センサ４によって検出される境界６ｄの近傍の磁力を相対的に減少させることができる。これにより、従来はステップ状に変化していた境界６ｄの近傍の磁場の変化が緩やかになり、モータＭＲの１回転内で磁気センサ４によって検出される磁力が正弦波状に変化する。したがって、磁気センサ４によって検出される信号Ｓ１の波形を正弦波状に変化させ、制御部によってモータＭＲの１回転内の角度を算出することが可能になる。
【００３７】
また、凹部６Ｌは、境界６ｄにおいて検出距離ｇ１，ｇ２が最大となり、境界６ｄから遠ざかるにつれて検出距離ｇ１，ｇ２が漸減するように設けられている。そのため、図５に示す信号Ｓ１のように、１回転内で回転角度が約０°〜約４５°、約１３５°〜約２２５°、約３１５°〜約３６０°の範囲の磁力の変化を滑らかな曲線状にすることができる。これにより、信号Ｓ１をより正弦波に近づけることができる。
【００３８】
また、本実施形態のエンコーダＥＣは、磁場の方向が変化しない定常部６ｃにおいて検出距離ｇ１，ｇ２を減少させる凸部６Ｈを有している。そのため、境界６ｄ，６ｄの中間の近傍の磁気センサ４によって検出される磁力を増加させることができる。これにより、磁石部６が回転して凸部６Ｈが磁気センサ４の下方に近づくにつれて磁気センサ４によって検出される磁力が増加し、凸部６Ｈが磁気センサ４の下方から遠ざかるにつれて磁気センサ４によって検出される磁力が減少する。したがって、従来は図５に示す信号Ｓ０のように、磁場の方向が切り替わる部分以外は略一定値であった磁力を、信号Ｓ１のように正弦波状に変化させ、制御部によってモータＭＲの１回転内の角度を算出することが可能になる。
【００３９】
また、凸部６Ｈは、磁石部６の境界６ｄから最も離れた位置において検出距離ｇ１，ｇ２が最小となり、境界６ｄに近づくにつれて検出距離ｇ１，ｇ２が漸増するように設けられている。そのため、図５に示す信号Ｓ１のように、１回転内で回転角度が約９０°のときに磁力が最大となり、約２７０°のときに磁力が最小になる。また、回転角度が約４５°〜約１３５°、約２２５°〜約３１５°のときの磁力の変化を滑らかな曲線状にすることができる。これにより、信号Ｓ１をより正弦波に近づけることができる。
【００４０】
また、本実施形態の磁石部６は、内周側の磁極Ｎ，Ｓと外周側の磁極Ｎ，Ｓとが異なり、周方向の１８０°で内周側の磁極Ｎ，Ｓと外周側の磁極Ｎ，Ｓとが入れ替わるように設けられている。そのため、凹部６Ｌ及び凸部６Ｈが設けられていない場合には、磁気センサ４によって図５に示す矩形波状の信号Ｓ０が得られる。しかし、上記の凹部６Ｌ及び凸部６Ｈと組み合わせることで、磁気センサ４により正弦波状の信号Ｓ１を得ることが可能になる。
【００４１】
また、本実施形態の磁気センサ４は、磁石部６の上面６ａと平行な方向の磁場を検出する磁気抵抗素子４ａと、磁石部６の上面６ａと垂直な回転軸Ｒ方向の磁場を検出する磁気抵抗素子４ｂとを備えている。これにより、磁気センサ４により上面６ａと平行な方向の磁場と回転軸Ｒ方向の磁場の双方を検出して、それぞれの方向の磁場からそれぞれ正弦波状の信号Ｓ１を得ることが可能になる。したがって、本実施形態の磁気センサ４はセンサの２重化が可能となるので、エンコーダＥＣの信頼性を向上させることができる。
【００４２】
加えて、磁気抵抗素子４ａ，４ｂのいずれか一方が故障した場合であっても、他方により正弦波状の信号Ｓ１が得ることができ、制御部によってモータＭＲの１回転内の角度を算出することが可能になる。これにより、エンコーダＥＣの信頼性及び安全性を向上させることが可能になる。
また、磁気センサ４を磁石部６の周方向に一対備えているので、それぞれの磁気センサ４によりＡ相、Ｂ相が得られ、制御部によって磁石部６の回転方向を算出することができる。したがって、モータＭＲの駆動軸７の回転方向及び多回転量を検出することが可能になる。
【００４３】
以上説明したように、本実施形態のエンコーダＥＣによれば、モータＭＲの１回転内の角度検出を行うことができるだけでなく、二方向の磁場の併用が可能になる。これにより、エンコーダＥＣの分解能、信頼性、及び安全性を向上させることができる。
【００４４】
また、本実施形態における磁気センサ４は、モータＭＲの１回転内の角度を検出しているが、モータＭＲの回転数を検出するようにしてもよい。この場合、例えば、モータＭＲの１回転内の角度は、回転部３に設ける光学パターン（光学式の回転符号板）と該光学パターンを読み取る光学センサとによって検出する。
【００４５】
また、上述のように、磁気センサ４は、磁場変化手段である検出距離調整凹部と検出距離調整凸部とを用いることによって、正弦波状の信号を検出することができる。
【００４６】
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。例えば、上記実施形態において、磁気センサは一対ではなく、一つであってもよい。また、磁気抵抗素子は、一方向の磁場のみに対応して配置されていてもよい。また磁気センサはホール素子であってもよい。
【符号の説明】
【００４７】
４ａ  磁気抵抗素子（平行磁場検出素子）、４ｂ  磁気抵抗素子（垂直磁場検出素子）、６  磁石部、６ａ  上面（回転面）、６ｃ  定常部、６ｄ  境界、６Ｌ  凹部（検出距離調整凹部）、６Ｈ  凸部（検出距離調整凸部）、Ｄ  検出部、ＥＣ  エンコーダ、ｇ１，ｇ２  検出距離、Ｍ  磁場、Ｎ，Ｓ  磁極、Ｒ  回転軸
【図１】
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【図２】
2011112439.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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