(57)【要約】【課題】保持部材にレーザ光を照射して保持部材を変形させて光学素子を保持部材に固定する光学素子のレーザ固定方法において、光学素子への塵の付着及び光学素子表面のガス焼けがなく、高精度に光学素子を保持部材に固定する方法を提供する。【解決手段】光を吸収する熱可塑性樹脂によって形成された保持部材２に光学素子Ｗを組込む工程と、光学素子Ｗの表面Ｗ２に表面保護治具３を接触させて光学素子Ｗの表面Ｗ２を覆う工程と、レーザ光Ｌ１により保持部材２ｅを加熱・変形させて光学素子Ｗを保持部材２に固定する工程と、を備える。【選択図】図１
2011013490.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を吸収する熱可塑性樹脂によって形成された保持部材に光学素子を組込む工程と、
該光学素子の表面に表面保護治具を接触させて前記光学素子の表面を覆う工程と、
レーザ光により前記保持部材を加熱・変形させて前記光学素子を前記保持部材に固定する工程と、
を備えることを特徴とする光学素子のレーザ固定方法。
【請求項２】
前記表面保護治具において、前記光学素子の表面に接触する部分の外周には、前記レーザ光により変形した前記保持部材の形状を規制する樹脂成型部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の光学素子のレーザ固定方法。
【請求項３】
前記表面保護治具の形状が円筒状であって、
前記光学素子を前記保持部材に固定する工程の前に、
検査光を前記表面保護治具の円筒内を通して前記光学素子に照射して該光学素子の位置を測定する工程と、
その測定結果に基づいて前記保持部材と前記光学素子とを互いに調心する工程と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光学素子のレーザ固定方法。
【請求項４】
前記表面保護治具は光を透過する材質で形成されていて、
前記光学素子を前記保持部材に固定する工程の前に、
検査光を、前記表面保護治具を透過させて前記光学素子に照射して該光学素子の位置を測定する工程と、
その測定結果に基づいて前記保持部材と前記光学素子とを互いに調心する工程と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光学素子のレーザ固定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズ等の光学素子をレーザ光により熱可塑性樹脂を用いた保持部材に固定する光学素子のレーザ固定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光学素子を、熱可塑性樹脂を用いた保持部材によって保持して形成される光学ユニットが広く用いられている。
このような光学ユニットの製造方法で、光学素子を保持部材に固定する方法として、接着が多く用いられているが、接着には塗布してから固化するまでに時間がかかるといった問題点がある。そこで、近年はレーザ光を用いて保持部材を加熱・変形させる光学素子のレーザ固定方法が着目されている。
【０００３】
ただし、熱可塑性樹脂にレーザ光を照射すると、熱可塑性樹脂から塵やガスが発生し、塵が光学素子表面に付着したり、光学素子の表面がガス焼けしたりするという問題がある。このため、特許文献１に示すように、凸レンズ（光学素子）を組み込んだ状態の円筒形状の保持部材の内壁及び凸レンズに窒素ガスを吹き付けながら保持部材にレーザ光を照射し、熱可塑性樹脂で形成された保持部材を変形させて凸レンズを保持部材に固定する光学素子のレーザ固定方法が知られている。
この方法によれば、吹き付けられる窒素ガスにより、変形した樹脂が保持部材の内壁の上方へ流動することを抑制するとともに、凸レンズ表面に分解した樹脂やゴミ等が付着することを防止できるという。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−３００６２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記の光学素子のレーザ固定方法には、吹き付けられる窒素ガスにより保持部材に対する凸レンズの位置がずれてしまう恐れがある。窒素ガスを吹き付ける速度を増加させるほど変形した樹脂の流動をより確実に抑制し、凸レンズ表面に分解した樹脂やゴミ等が付着することをより確実に防止できるものの、窒素ガスが吹き付ける圧力により保持部材に対する凸レンズの位置がずれ易くなってしまう。
【０００６】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであって、熱可塑性樹脂で形成された保持部材にレーザ光を照射して保持部材を変形させて光学素子を保持部材に固定する光学素子のレーザ固定方法において、光学素子への塵の付着及び光学素子表面のガス焼けがなく、高精度に光学素子を保持部材に固定する方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
本発明の光学素子のレーザ固定方法は、光を吸収する熱可塑性樹脂によって形成された保持部材に光学素子を組込む工程と、該光学素子の表面に表面保護治具を接触させて前記光学素子の表面を覆う工程と、レーザ光により前記保持部材を加熱・変形させて前記光学素子を前記保持部材に固定する工程と、を備えることを特徴としている。
【０００８】
この発明によれば、光学素子の表面を表面保護治具で覆うので、従来のようにレーザ光の照射中に窒素ガスの圧力により保持部材に対する光学素子の位置がずれてしまうことを防止して、光学素子への塵の付着及び光学素子の表面のガス焼けを無くし、光学素子を精度良く保持部材に固定することができる。
【０００９】
また、上記の光学素子のレーザ固定方法において、前記表面保護治具において、前記光学素子の表面に接触する部分の外周には、前記レーザ光により変形した前記保持部材の形状を規制する樹脂成型部が形成されていることがより好ましい。
この発明によれば、レーザ光により変形した保持部材の形状は、表面保護治具の樹脂成型部と光学素子の表面に囲まれた形状で形を規制されて固化する。このため、光学素子が保持部材から抜けなくなり、光学素子を保持部材に固定することができる。
【００１０】
また、上記の光学素子のレーザ固定方法において、前記表面保護治具の形状が円筒状であって、前記光学素子を前記保持部材に固定する工程の前に、検査光を前記表面保護治具の円筒内を通して前記光学素子に照射して該光学素子の位置を測定する工程と、その測定結果に基づいて前記保持部材と前記光学素子とを互いに調心する工程と、をさらに備えることがより好ましい。
この発明によれば、検査光を表面保護治具の円筒内を通して光学素子に照射して光学素子の位置を測定し、その測定結果に基づいて保持部材と光学素子とを互いに調心してから、光学素子を保持部材に固定する。従って、光学素子を保持部材に対して精度良く調心してから、光学素子を保持部材に固定することができる。
【００１１】
また、上記の光学素子のレーザ固定方法において、前記表面保護治具は光を透過する材質で形成されていて、前記光学素子を前記保持部材に固定する工程の前に、検査光を、前記表面保護治具を透過させて前記光学素子に照射して該光学素子の位置を測定する工程と、その測定結果に基づいて前記保持部材と前記光学素子とを互いに調心する工程と、をさらに備えることがより好ましい。
この発明によれば、検査光を、表面保護治具を通して光学素子に照射して光学素子の位置を測定し、その測定結果に基づいて保持部材と光学素子とを互いに調心してから、光学素子を保持部材に固定する。従って、光学素子を保持部材に対して精度良く調心してから、光学素子を保持部材に固定することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の光学素子のレーザ固定方法によれば、光学素子への塵の付着及び光学素子表面のガス焼けを無くし、光学素子を精度良く保持部材に固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態１のレーザ固定装置の一部断面図である。
【図２】同レーザ固定装置による光学素子の固定方法の手順を示す説明図である。
【図３】同レーザ固定装置による光学素子の固定方法の手順を示す説明図である。
【図４】同レーザ固定装置による光学素子の固定方法の手順を示す説明図である。
【図５】同レーザ固定装置による光学素子の固定方法の手順を示す説明図である。
【図６】同レーザ固定装置による光学素子の固定方法の手順を示す説明図である。
【図７】同レーザ固定装置による光学素子の固定方法の手順を示す説明図である。
【図８】本発明の実施形態１のレーザ固定装置の変形例１の断面を示す説明図である。
【図９】本発明の実施形態１のレーザ固定装置の変形例２の一部を切り欠いた斜視図である。
【図１０】本発明の実施形態２のレーザ固定装置の一部断面図である。
【図１１】同レーザ固定装置による光学素子の固定方法の手順を示す説明図である。
【図１２】同レーザ固定装置による光学素子の固定方法の手順を示す説明図である。
【図１３】同レーザ固定装置による光学素子の固定方法の手順を示す説明図である。
【図１４】同レーザ固定装置による光学素子の固定方法の手順を示す説明図である。
【図１５】同レーザ固定装置による光学素子の固定方法の手順を示す説明図である。
【図１６】同レーザ固定装置による光学素子の固定方法の手順を示す説明図である。
【図１７】同レーザ固定装置による光学素子の固定方法の手順を示す説明図である。
【図１８】本発明の実施形態３のレーザ固定装置の一部断面図である。
【図１９】同レーザ固定装置による光学素子の固定方法の手順を示す説明図である。
【図２０】同レーザ固定装置による光学素子の固定方法の手順を示す説明図である。
【図２１】同レーザ固定装置による光学素子の固定方法の手順を示す説明図である。
【図２２】同レーザ固定装置による光学素子の固定方法の手順を示す説明図である。
【図２３】同レーザ固定装置による光学素子の固定方法の手順を示す説明図である。
【図２４】同レーザ固定装置による光学素子の固定方法の手順を示す説明図である。
【図２５】同レーザ固定装置による光学素子の固定方法の手順を示す説明図である。
【図２６】同レーザ固定装置による光学素子の固定方法の手順を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
（実施形態１）
以下、本発明の具体的実施の形態を説明する。図１は本実施形態の光学素子のレーザ固定装置１の一部断面図である。このレーザ固定装置１は、レンズ等の光学素子Ｗを保持部材２に固定する装置である。
本実施形態のレーザ固定装置１は、保持部材２と、表面保護治具３と、レーザ照射機４と、を備えている。
そして、光学素子Ｗは、例えば略円板状に形成され、一端の表面Ｗ１は平面状に、他端の表面Ｗ２は半径Ｒ１の球面の一部の形状として凸形に形成されている。なお、半径Ｒ１の球面の中心は円板の中心軸上に位置するように、すなわち、光学素子Ｗは軸対称の形状となるように形成されている。
【００１５】
保持部材２は、外径の等しい２つの円筒部２ａ、２ｂがそれらの軸線方向に固定された形状に形成され、上方に配置される円筒部２ａの内径の方が下方に配置される円筒部２ｂの内径より大きくなるように構成されている。
保持部材２は、円筒部２ａ、２ｂが互いに固定されたことにより内側に光学素子受け面２ｃが形成され、円筒部２ａの内側にあたる位置に光学素子室２ｄを有している。保持部材２の円筒部２ａ側の端部全周縁には、光学素子室２ｄに光学素子Ｗを組込み光学素子Ｗの表面Ｗ１を光学素子受け面２ｃに当接させた時に光学素子Ｗの外周縁より高くなるように形成されたレーザ照射部２ｅを有している。そして、この保持部材２は、レーザ光等の光を吸収する熱可塑性樹脂で形成されている。
なお、本実施形態では光学素子Ｗは、ガラスで形成されたレンズであるが、プラスチックで形成されていても良い。
【００１６】
表面保護治具３は金属で形成され、光学素子Ｗの有効径より大きな径を有する円柱状に形成された保護治具本体３ａを備えている。そして、保護治具本体３ａにおいて、光学素子Ｗの表面Ｗ２に接触する底面には、光学素子Ｗの表面Ｗ２の曲率を転写した形の曲面を有する凹部３ｂが設けられている。すなわち、本実施形態のように表面Ｗ２が半径Ｒ１の球面の一部の形状として凸形に形成されている場合には、表面Ｗ２に接触する表面保護治具３の凹部３ｂは半径Ｒ１の球が嵌合するように半径Ｒ１の凹形に形成される。
本実施形態では、表面保護治具３は金属で形成されているが、樹脂材料で形成されても良い。ただし、その場合は、保持部材２を形成する材料より融点が高く、溶融状態の保持部材２が接触しても溶融しない樹脂材料を用いることが望ましい。
【００１７】
表面保護治具３の上部には、加圧装置７が備えられている。この加圧装置７は、表面保護治具３に荷重をかけるものであり、表面保護治具３を光学素子Ｗの表面Ｗ２に設置した際に、表面保護治具３を光学素子Ｗ側に押し付ける荷重、すなわち下向きの荷重をかける。
【００１８】
レーザ照射機４は、不図示のレーザ光源と、そのレーザ光源から発せられたレーザ光を保持部材２のレーザ照射部２ｅに集光する不図示の集光光学系と、から成り、光学系移動装置８に固定されている。
光学系移動装置８は、表面保護治具３の上方に設置され、レーザ照射機４から発せられたレーザ光Ｌ１が保持部材２のレーザ照射部２ｅの全周に照射されるように、レーザ照射部２ｅの周方向に沿って回転移動できるようになっている。
【００１９】
次に、図２〜図７を用いて、本実施形態のレーザ固定装置１による光学素子Ｗの固定方法（固定作業）の手順について説明する。なお、図２〜図７においては、説明の便宜のため保持部材２、表面保護治具３、及び光学素子Ｗ等の要部のみを示す。
【００２０】
まず、図２に示すように光学素子Ｗを保持部材２の光学素子室２ｄに組込み、図３に示すように光学素子Ｗの表面Ｗ１を光学素子受け面２ｃに当接させる。
次に、図４に示すように表面保護治具３を光学素子Ｗの上方から、表面保護治具３の凹部３ｂを光学素子Ｗの表面Ｗ２に接触させて表面保護治具３で表面Ｗ２を覆うように設置する。この時、表面保護治具３の底面３ｂで、光学素子Ｗの表面Ｗ２の有効径より大きな径を有する範囲を覆うように表面保護治具３を設置する。
そして、保持部材２に対する光学素子Ｗの位置がずれないように、加圧装置７により光学素子Ｗ及び保持部材２が変形しない程度の荷重を表面保護治具３にかける。
【００２１】
次に、図５に示すようにレーザ照射機４により、レーザ光Ｌ１を保持部材２のレーザ照射部２ｅに照射する。この時、光学系移動装置８によりレーザ照射機４を保持部材２のレーザ照射部２ｅの周方向に沿って回転移動させ、レーザ照射部２ｅの全周にレーザ光Ｌ１を照射する。
レーザ光Ｌ１を照射された保持部材２のレーザ照射部２ｅは、図６に示すようにレーザ光Ｌ１による熱で溶融して軟化し、溶融したレーザ照射部２ｅの一部が光学素子Ｗの表面Ｗ２上に流れ込み、その状態で溶融した樹脂が固化することで、図７に示すように光学素子Ｗが保持部材２から抜けなくなり、光学素子Ｗが保持部材２に固定される。
この際、レーザ光Ｌ１の照射でガス及び発塵が生じるが、表面保護治具３で光学素子Ｗの表面Ｗ２の有効径より大きな径を有する範囲を覆っているため、光学素子Ｗの表面Ｗ２の有効径内に、生じたガス及び塵が付着することがない。
【００２２】
こうして、本発明の実施形態１のレーザ固定装置１によれば、光学素子Ｗの表面Ｗ２を表面保護治具３で覆うので、従来のように窒素ガスの圧力により保持部材２に対する光学素子Ｗの位置がずれてしまうことを防止して、光学素子Ｗへの塵の付着及び光学素子Ｗの表面のガス焼けを無くし、光学素子Ｗを精度良く保持部材２に固定することができる。
また、加圧装置７が表面保護治具３を光学素子Ｗ側に押し付ける荷重をかけるので、固定作業中に光学素子Ｗが保持部材２から移動するのを防止することができる。
本実施形態では、光学素子Ｗを保持部材２に固定した後の光学素子Ｗと保持部材２との軸心間の水平方向のずれを５μｍ程度に抑えることができる。
【００２３】
なお、上記実施形態では、表面保護治具３の保護治具本体３ａの底面には、半径Ｒ１の球面の一部の形状として凹形に形成された凹部３ｂが設けられていた。
しかし、表面保護治具３の底面の円周縁が光学素子Ｗの表面Ｗ２に接し、その円周縁が光学素子Ｗの有効径より大きな径に形成されていれば、図８（ａ）〜（ｃ）のいずれの形状でも良い。
すなわち、図８（ａ）に示す表面保護治具３１は、略円柱状に形成された保護治具本体３ａの底面周縁に断面が三角形で下方に向けて突出する当接部３１ａが円周状に設けられている。そして、当接部３１ａの縁部３１ｂが光学素子Ｗの表面Ｗ２に接触する。
図８（ｂ）に示す表面保護治具３２は、保護治具本体３ａの底面中央部に、円周状の外周縁３２ａが光学素子Ｗの表面Ｗ２に接触する凹部３２ｂが形成されている。
また、図８（ｃ）に示す表面保護治具３３は、他端の表面Ｗ３が凹形に形成されている光学素子Ｗ４に用いられる。表面保護治具３３は、略円柱状に形成された保護治具本体３ａを備えている。そして、保護治具本体３ａの底面の円周状の縁部３３ａで光学素子Ｗ４の表面Ｗ３に接触する。
【００２４】
また、上記実施形態では１基のレーザ照射機４を備えた。しかし、図９に示すように、複数基のレーザ照射機４を用いて、光学素子Ｗのレーザ照射部２ｅの複数箇所にレーザ光Ｌ１を同時に照射する方法でも良い。図９に示すレーザ固定装置４１には３基のレーザ照射機４が備えられている。
【００２５】
（実施形態２）
次に、本発明に係る第２実施形態について説明するが、実施形態１と同一の部位には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる部分についてのみ説明を行う。
図１０に示すように、本実施形態のレーザ固定装置５１の表面保護治具５３において、光学素子Ｗの表面Ｗ２に接触する保護治具本体３ａの底面の凹部３ｂの外周にはリング状に切欠かれた樹脂成型部５３ａが形成されている。
【００２６】
また、レーザ照射部２ｅに対して一定の荷重を加圧するローラ部５４ａを有する加圧ローラ５４が備えられている。この加圧ローラ５４は、レーザ光Ｌ１が照射される保持部材２のレーザ照射部２ｅと対向する位置にあるレーザ照射部２ｅを加圧することができるように、レーザ照射機４が回転移動する軸線Ｃに対してレーザ照射機４とほぼ対称の位置に配置されるように光学系移動装置８に固定され、後述する固定作業中においてレーザ照射部２ｅの周方向に沿って回転移動できるように構成されている。
そして、ローラ部５４ａの表面には溶融・軟化した保持部材２のレーザ照射部２ｅが付着しないように表面処理が施されている。
【００２７】
次に、図１１〜図１７を用いて、本実施形態のレーザ固定装置５１による光学素子Ｗの固定方法（固定作業）の手順について説明する。なお、図１１〜図１７においては、説明の便宜のため保持部材２、表面保護治具５３、及び光学素子Ｗ等の要部のみを示す。
【００２８】
最初に行われる図１１及び図１２の手順は、実施形態１と同様なので説明を省略する。
次に、図１３に示すように、表面保護治具５３を光学素子Ｗの上方から、表面保護治具５３の凹部３ｂを光学素子Ｗの表面Ｗ２に接触させて表面保護治具５３で表面Ｗ２を覆うように設置する。
次に、光学系移動装置８によりレーザ照射機４を、軸線Ｃ（図１０参照）を中心に回転移動させながら、図１４に示すようにレーザ照射機４からレーザ光Ｌ１を保持部材２のレーザ照射部２ｅに照射して、レーザ照射部２ｅを加熱する。そして、溶融・軟化させたレーザ照射部２ｅに加圧ローラ５４を用いてレーザ照射部２ｅの外側からレーザ照射部２ｅの内側に向けて一定の荷重をかける。この時の荷重は、保持部材２や光学素子Ｗを変形させるほど大きな荷重ではなく溶融・軟化させたレーザ照射部２ｅを変形させることができるほどの荷重であり、レーザ照射部２ｅにかける荷重は小さいほど好ましい。
【００２９】
加圧ローラ５４を用いてレーザ照射部２ｅに荷重をかけて加圧すると、図１５及び図１６に示すように、溶融・軟化したレーザ照射部２ｅは、表面保護治具５３の樹脂成型部５３ａと、光学素子Ｗの表面Ｗ２に囲まれた箇所に流れ込む。図１６のように流れ込んだレーザ照射部２ｅは、表面保護治具５３の樹脂成型部５３ａと光学素子Ｗの表面Ｗ２に囲まれた形状で形を規制されて固化する。そして、図１７に示すように、光学素子Ｗが保持部材２から抜けなくなり、光学素子Ｗが保持部材２に固定される。
【００３０】
こうして、本発明の実施形態２のレーザ固定装置５１によれば、表面保護治具５３に樹脂成型部５３ａが形成されるとともに加圧ローラ５４が備えられているので、表面保護治具５３の樹脂成型部５３ａと光学素子Ｗの表面Ｗ２との間に流れ込むレーザ照射部２ｅの形状が規制され再現性良く光学素子Ｗを保持部材２に固定することができ、固定される光学素子Ｗの品質を安定させることができる。
【００３１】
（実施形態３）
次に、本発明に係る第３実施形態について説明するが、実施形態１と同一の部位には同一の符号を付してその説明は省略し、異なる部分についてのみ説明を行う。なお、保持部材２と光学素子Ｗとの径方向の隙間については、説明の便宜上、実際の隙間の寸法よりも大きく記載している。
図１８に示すように、表面保護治具６３は外径が光学素子Ｗの有効径より大きな径を有する円筒状に形成された保護治具本体６３ａを備えている。そして、保護治具本体６３ａにおいて、光学素子Ｗの表面Ｗ２に接触する底面には、光学素子Ｗの表面Ｗ２の曲率を転写した形の曲面を有する凹部６３ｂが設けられている。
【００３２】
調心光学系６４は、表面保護治具６３の上方に設置され、光学素子Ｗと保持部材２との軸心を合わせるのに必要な検査光Ｌ２を光学素子Ｗに向けて照射するものである。調心光学系６４には、その上方に調整装置６５が取付けられている。調整装置６５は、調心光学系６４から照射される検査光Ｌ２を用いて光学素子Ｗと保持部材２との軸心間のずれ量を測定し、後述する表示部に表示する。
表面保護治具６３の上部には、円筒状の表面保護治具６３に蓋をするように配置された略円板状の加圧装置６７が備えられている。この加圧装置６７は、表面保護治具６３に荷重をかけるとともに表面保護治具６３と一体となって光学素子Ｗの表面Ｗ２を覆うものであり、表面保護治具６３を光学素子Ｗの表面Ｗ２に設置した際に、表面保護治具６３を光学素子Ｗ側に押し付ける荷重、すなわち下向きの荷重をかける。
【００３３】
次に、図１９〜図２６を用いて、本実施形態のレーザ固定装置６１による光学素子Ｗの固定方法（固定作業）の手順について説明する。本実施形態の固定方法では、レーザ光Ｌ１を照射する前に、光学素子Ｗと保持部材２との軸心を合わせる調心作業を行う。
なお、図１９〜図２６においては、説明の便宜のため保持部材２、表面保護治具６３、及び光学素子Ｗ等の要部のみを示す。また、固定作業の前には、調心光学系６４から照射される検査光Ｌ２の軸心は保持部材２の軸心Ｃ１と一致するように設定されている。
【００３４】
最初に行われる図１９の手順は、実施形態１と同様なので説明を省略する。
次に、図２０に示すように、表面保護治具６３を光学素子Ｗの上方から、表面保護治具６３の凹部６３ｂを光学素子Ｗの表面Ｗ２に接触させて表面保護治具６３で表面Ｗ２を覆うように設置する。
次に、図２１に示すように、調心光学系６４により検査光Ｌ２を表面保護治具６３の円筒内を通して光学素子Ｗに照射する。すると、保持部材２の軸心Ｃ１に対して光学素子Ｗの軸心Ｃ２が方向Ｄ１にずれている場合には、図２２に示すように、調整装置６５の表示部６５ａにおいて、検査光Ｌ２の軸心でもある保持部材２の軸心Ｃ１に対応する点Ｐ１の方向Ｄ１側に、検査光Ｌ２の光学素子Ｗによる焦点Ｐ２が示される。このように、点Ｐ１に対する焦点Ｐ２の位置により光学素子Ｗと保持部材２との軸心間のずれが表示され、保持部材２に対する光学素子Ｗの位置を測定することができる。
【００３５】
この時、図２３に示すように、この軸心間のずれに応じて、表面保護治具６３ごと光学素子Ｗを方向Ｄ１の反対の方向Ｄ２に移動させて光学素子Ｗと保持部材２との軸心を合わせる。すると、図２４に示すように、調整装置６５の表示部６５ａにおいて、検査光Ｌ２の軸心でもある保持部材２の軸心Ｃ１に対応する点Ｐ１上に検査光Ｌ２の光学素子Ｗによる焦点Ｐ２が示されることとなる。
この状態で、図２５に示すように、加圧装置６７で表面保護治具６３を光学素子Ｗ側に押し付ける荷重をかけながら、レーザ照射機４からレーザ光Ｌ１を保持部材２のレーザ照射部２ｅに照射して、レーザ照射部２ｅを加熱する。レーザ光Ｌ１を照射された保持部材２のレーザ照射部２ｅは、図２６に示すようにレーザ光Ｌ１による熱で溶融して軟化し、溶融したレーザ照射部２ｅの一部が光学素子Ｗの表面Ｗ２上に流れ込み、その状態で溶融した樹脂が固化することで、光学素子Ｗが保持部材２から抜けなくなり、光学素子Ｗが保持部材２に固定される。
【００３６】
こうして、本発明の実施形態３のレーザ固定装置６１によれば、光学素子Ｗの表面Ｗ２を表面保護治具６３と加圧装置６７とで覆うので、光学素子Ｗへの塵の付着及び光学素子Ｗの表面Ｗ２のガス焼けを無くし、光学素子Ｗを精度良く保持部材２に固定することができる。
また、検査光Ｌ２を表面保護治具６３の円筒内を通して光学素子Ｗに照射して光学素子Ｗの位置を測定し、その測定結果に基づいて保持部材２と光学素子Ｗとを互いに調心してから、光学素子Ｗを保持部材２に固定する。従って、光学素子Ｗを保持部材２に対して精度良く調心してから、光学素子Ｗを保持部材２に固定することができる。
本実施形態では、光学素子Ｗを保持部材２に固定した後の光学素子Ｗと保持部材２との軸心間の水平方向のずれを１μｍ程度に抑えることができる。
【００３７】
なお、上記実施形態では、表面保護治具６３を円筒状に形成し、円筒内を通して光学素子Ｗに検査光Ｌ２を照射したが、実施形態１の円柱状の表面保護治具３を、光を透過する透明な材質で形成し、検査光Ｌ２を、表面保護治具３を透過させて光学素子Ｗに照射して光学素子Ｗの位置を測定し、その測定結果に基づいて保持部材２と光学素子Ｗとを互いに調心しても良い。このように構成することでも、上記実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００３８】
以上、本発明の実施形態１から実施形態３について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の構成の変更等も含まれる。
【符号の説明】
【００３９】
２    保持部材
３、３１、３２、３３、５３、６３  表面保護治具
５３a  樹脂成型部
Ｌ１  レーザ光
Ｌ２  検査光
Ｗ、Ｗ４  光学素子
Ｗ１、Ｗ２、Ｗ３  表面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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