(57)【要約】【課題】この発明は液晶セルにＴＣＰを実装したときに、これら端子の接続状態とずれを連続して検査できる検査装置を提供することにある。【解決手段】液晶セルＷの下面側に上下駆動源によって上下方向に駆動可能に設けられ異方性導電膜１２を介して上下方向に重合して接続された液晶セルの第１の端子１１とＴＣＰの第２の端子１３の部分を撮像する撮像カメラ１５と、上下駆動源によって撮像カメラを下降位置から上昇方向或いは上昇位置から下降方向に駆動したときにこの撮像カメラの焦点位置の変化に応じて出力される複数の撮像信号を画像処理する画像処理部１６と、画像処理部で画像処理された撮像信号によって第１の端子と第２の端子の接続状態及び上記第１の端子と第２の端子のずれ状態を判定する判定部２１を具備する。【選択図】      図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の上面に異方性導電膜を介して圧着された電子部品の実装状態を検査する検査装置であって、
上記基板の下面側に駆動手段によって上下方向に駆動可能に設けられ上記異方性導電膜を介して上下方向に重合して接続された上記基板の第１の端子と上記電子部品の第２の端子の部分を撮像する撮像手段と、
上記駆動手段によって上記撮像手段を下降位置から上昇方向或いは上昇位置から下降方向に駆動したときにこの撮像手段の焦点位置の移動に応じて出力される複数の撮像信号を画像処理する画像処理部と、
この画像処理部で画像処理された撮像信号によって上記第１の端子と第２の端子の接続状態及び上記第１の端子と第２の端子のずれ状態を判定する判定手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装状態の検査装置。
【請求項２】
上記判定手段による上記第１の端子と第２の端子の接続状態の判定は、上記第１の端子に形成された圧痕の数或いは上記第１の端子と第２の端子の間に介在する上記異方性導電膜に含まれる導電粒子の数に基いて行うことを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装状態の検査装置。
【請求項３】
上記判定手段による上記第１の端子と第２の端子のずれ状態の判定は、上記撮像手段が撮像する上記第１の端子の幅寸法と、上記撮像手段が撮像する重なり合った状態にある上記第１の端子と第２の端子とがなす幅寸法との比較に基いて行うことを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装状態の検査装置。
【請求項４】
基板の上面に異方性導電膜を介して圧着された電子部品の実装状態を撮像手段で撮像して検査する検査方法であって、
上記基板の下面側から上記異方性導電膜を介して上下方向に重合して接続された上記基板の第１の端子と上記電子部品の第２の端子の部分を、上記撮像手段を下降位置から上昇方向或いは上昇位置から下降方向へ駆動して撮像する工程と、
上記撮像手段の撮像信号を画像処理する工程と、
画像処理された撮像信号のうちの、上記第１の端子或いは上記異方性導電膜を撮像した撮像信号によって上記第１の端子と第２の端子の接続状態及び上記第１の端子と第２の端子のずれ状態を判定する工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装状態の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は基板に異方性導電膜を介して圧着される電子部品の実装状態を検査する検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、基板としての液晶セルは外面に偏向板が貼り付けられた２枚のガラス板の内面を対向させてシール剤によって所定の間隔で貼り合わせ、これらガラス板間に液晶を封入して形成される。
【０００３】
上記液晶セルの側辺部には駆動用の電子部品としてのＴＣＰ（Tape Carrier Package）が実装される。液晶セルの側辺部にＴＣＰを実装する場合、その側辺部にテープ状の異方性導電膜を貼着し、そこに上記ＴＣＰを仮圧着した後、このＴＣＰを圧着ツールで加熱加圧することで、上記異方性導電膜を溶融硬化させて本圧着するようにしている。
【０００４】
ＴＣＰを液晶セルに本圧着したならば、その実装が確実に行なわれているか否かが検査される。液晶セルに対するＴＣＰの実装状態の検査は、上記ＴＣＰと液晶セルの端子の電気的に確実に接続されているか否かによる接続状態の判定と、液晶セルの端子とＴＣＰの端子が幅方向にずれが生じることなく接続されているか否かによるずれ状態の判定が行われる。
【０００５】
すなわち、液晶セルの側辺部の上面にＴＣＰを実装したならば、その実装部分を液晶セルの下面側から撮像カメラによって撮像する。液晶セルは透明なガラス板によって形成されているから、ガラス板を通して液晶セルの端子に金属製の導電粒子によって形成された圧痕を観察することができる。  
したがって、上記液晶セルの端子に形成された圧痕の数を観察し、ＴＣＰと基板との間に異方性導電膜に含まれた導電粒子が十分な数で確実に介在して押し潰されているか否かを判別することで、上記ＴＣＰの液晶セルに対する接続状態の良否を判定することができる。
【０００６】
上記ＴＣＰの実装部分を上記液晶セルの下面側から撮像カメラによって撮像する場合、その撮像カメラの焦点位置を液晶セルとＴＣＰの間の異方性導電部材に一致するよう、上記撮像カメラを位置決め駆動する。
【０００７】
上記撮像カメラは、上記異方性導電膜に含まれる金属粒子が微細であるため、その金属粒子によって端子に形成される圧痕も微細となる。そのため、撮像カメラは金属粒子によって端子に形成される微細な圧痕を確実に観察できるよう倍率の高いものが用いられる。倍率の高い撮像カメラは焦点深度が浅く、視野が狭くなるから、その焦点位置を液晶セルの端子の面に合わせるのに多くの手間が掛かるということがある。  
液晶セルと、ＴＣＰとの端子の接続状態を観察する従来技術は特許文献１に示されている。
【０００８】
このようにして、液晶セルに対するＴＣＰの接続状態を観察したならば、その液晶セルを次の検査工程に搬送し、そこで液晶セルの端子に対してＴＣＰの端子が幅方向にずれなく接続されているか否か、つまりずれ状態の検査が行われる。
【０００９】
液晶セルの端子とＴＣＰの端子のずれ状態の検査は、液晶セルに設けられた一対の第１の位置合わせマークを、液晶セルの下方に配置された２台のカメラによってそれぞれ撮像する。液晶セルに実装されるＴＣＰには一対の第１の位置合わせマークと同じ間隔で一対の第２の位置合わせマークが設けられている。
【００１０】
したがって、液晶セルにＴＣＰが位置ずれなく実装されていると、一対の第１の位置合わせマークに対して一対の第２の位置合わせマークが一致するから、液晶セルの下方に配置された２台のカメラによってそれぞれの位置合わせマークを撮像すれば、これら位置合わせマークの一致度合に応じてＴＣＰが液晶セルに対して位置ずれなく実装されているか否かを判定することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００３−２８００２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
従来は、上述したように液晶セルに対するＴＣＰの接続状態の良否の判定は、１つの撮像カメラによって液晶セルの端子を撮像し、この端子に異方性導電膜に含まれる導電粒子によって形成された圧痕の数によって行うようにしていた。
【００１３】
また、液晶セルの端子に対するＴＣＰの端子のずれ状態の判定は、２台の撮像カメラによって液晶セルとＴＣＰに設けられたそれぞれ一対の位置合わせマークを撮像し、各一対の位置合わせマークの一致状態によって行っていた。
【００１４】
すなわち、液晶セルに対するＴＣＰの接続状態の判定と、液晶セルの端子に対するＴＣＰの端子のずれ状態の判定は液晶セルの異なる部位を撮像することで行うようにしているので、これら２つの判定を別々の工程で行わなければならなかった。
【００１５】
その結果、これらの検査を行うために要するタクトタイムが長くなるということがあったり、使用するカメラの台数が多くなるなどのことがあった。
【００１６】
この発明は、接続状態の判定とずれ状態の判定を１台の撮像手段からの撮像信号によって連続的に行なうことができるようにすることで、２つの判定を行うために要するタクトタイムを短縮することができるようにした電子部品の実装状態の検査装置及び検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
この発明は、基板の上面に異方性導電膜を介して圧着された電子部品の実装状態を検査する検査装置であって、
上記基板の下面側に駆動手段によって上下方向に駆動可能に設けられ上記異方性導電膜を介して上下方向に重合して接続された上記基板の第１の端子と上記電子部品の第２の端子の部分を撮像する撮像手段と、
上記駆動手段によって上記撮像手段を下降位置から上昇方向に駆動したときにこの撮像手段の焦点位置の移動に応じて出力される複数の撮像信号を画像処理する画像処理部と、
この画像処理部で画像処理された撮像信号によって上記第１の端子と第２の端子の接続状態及び上記第１の端子と第２の端子のずれ状態を判定する判定手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装状態の検査装置にある。
【００１８】
上記判定手段による上記第１の端子と第２の端子の接続状態の判定は、上記第１の端子に形成された圧痕の数或いは上記第１の端子と第２の端子の間に介在する上記異方性導電膜に含まれる導電粒子の数に基いて行うことが好ましい。
【００１９】
上記判定手段による上記第１の端子と第２の端子のずれ状態の判定は、上記撮像手段が撮像する上記第１の端子の幅寸法と、上記撮像手段が撮像する重なり合った状態にある上記第１の端子と第２の端子とがなす幅寸法との比較に基いて行うことが好ましい。
【００２０】
この発明は、基板の上面に異方性導電膜を介して圧着された電子部品の実装状態を撮像手段で撮像して検査する検査方法であって、
上記基板の下面側から上記異方性導電膜を介して上下方向に重合して接続された上記基板の第１の端子と上記電子部品の第２の端子の部分を、上記撮像手段を下降位置から上昇方向へ駆動して撮像する工程と、
上記撮像手段の撮像信号を画像処理する工程と、
画像処理された撮像信号のうちの、上記異方性導電膜を撮像した撮像信号によって上記第１の端子と第２の端子の接続状態及び上記第１の端子と第２の端子のずれ状態を判定する工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装状態の検査方法にある。
【発明の効果】
【００２１】
この発明によれば、撮像手段によって上下方向に重合して接続された第１の端子と第２の端子の部分を、上記撮像手段を下降位置から上昇方向或いは上昇位置から下降方向へ駆動しながら撮像することで、その撮像信号によって第１の端子と第２の端子の接続状態及びずれ状態を判定することができる。
【００２２】
つまり、第１の端子と第２の端子の接続状態及びずれ状態の判定を連続して行えるから、それらの判定作業の能率向上を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】この発明の検査装置の概略的構成を示す正面図。
【図２】液晶パネルのＴＣＰが実装された一側部を示す平面図。
【図３】液晶パネルのＴＣＰが実装された部分を拡大した側面図。
【図４】撮像カメラからの撮像信号を処理する処理系統のブロック図。
【図５】第１の端子と第２の端子の接続部分の拡大断面図。
【図６】（ａ）は撮像カメラの焦点が図５のＦ１位置にあるときの第１の端子の下面に形成された圧痕の状態及び第１の端子がなす第１の幅寸法を示す図、（ｂ）は撮像カメラの焦点が図５のＦ２の位置にあるときの第１の端子と第２の端子がなす第２の幅寸法を示す図。
【図７】撮像カメラの焦点が図５のＦ１Ａの位置にあるときの隣り合う一対の第１の端子間にある導電粒子を示す図。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照しながら説明する。  
図１に示すこの発明の検査装置は基板としての液晶セルＷを水平方向に駆動位置決めする駆動機構１を備えている。この駆動機構１はベース部材２を有し、このベース部材２には同図に矢印で示すＸ方向に移動可能なＸテーブル３が設けられている。このＸテーブル３は上記ベース部材２の一端に設けられたＸ駆動源４によって図１に矢印で示すＸ方向に駆動されるようになっている。
【００２５】
上記Ｘテーブル３には、上記Ｘ方向と水平方向において直交するＹ方向に沿って移動可能なＹテーブル５が設けられている。このＹテーブル５は上記Ｘテーブル３の一端に設けられたＹ駆動源６によって上記Ｘ方向と直交するＹ方向に駆動されるようになっている。
【００２６】
図２と図３に示すように上記液晶セルＷの４つの側辺のうち、たとえば１つの側辺にはμｍ単位の幅寸法で複数の透明な金属製の第１の端子１１が所定間隔で設けられている。上記第１の端子１１には電子部品としての複数のＴＣＰ８、たとえば図２に示すように８つのＴＣＰ８がテープ状の異方性導電膜１２を介して所定間隔で本圧着されている。すなわち、上記液晶セルＷの第１の端子１１と、上記ＴＣＰ８に設けられた銅箔からなる第２の端子１３は上記異方性導電膜１２に含まれた微細な金属製の導電粒子１４（図５に示す）によって電気的に接続されている。
【００２７】
異方性導電膜１２に単位面積当たりに所定の数の導電粒子１４が均一に分布していれば、液晶セルＷの側辺部にＴＣＰ８を本圧着すると、液晶セルＷの第１の端子１１に導電粒子１４の分布状態に応じた数で導電粒子１４の圧痕ｐ（図６（ａ）に示す）が形成されるとともに、第１の端子１１と第２の端子１３の間には分布状態に応じた数で導電粒子１４が存在することになる。
【００２８】
したがって、上記第１の端子１１に形成される圧痕ｐの数或いは第１の端子１１と第２の端子１３の間に存在する導電粒子１４の数をカウントすれば、その数によって液晶セルＷの第１の端子１１にＴＣＰ８の第２の端子１３が上記導電粒子１４によって電気的に確実に接続されているか否かを判定することができる。つまり、液晶セルＷに対するＴＣＰ８の本圧着状態である、接続状態を判定することができる。
【００２９】
図１に示すように、上記ベース部材２の検査位置Ｅには撮像手段としての撮像カメラ１５が配置されている。この撮像カメラ１５は、後述するように下降位置から上昇方向に駆動されながら、上面にＴＣＰ８が接続された液晶セルＷを下面側から撮像する。上昇方向に駆動される撮像カメラ１５からの撮像信号、つまり撮像カメラ１５の連続的に上昇する焦点位置からの撮像信号は図４に示す画像処理部１６に出力される。  
なお、撮像カメラ１５を上昇位置から下降方向に駆動しながら、液晶セルＷを下面側から撮像するようにしてもよい。
【００３０】
上記画像処理部１６は撮像カメラ１５から連続して取り込んだ撮像信号を二値化処理して制御装置１７に出力する。この制御装置１７は、上記画像処理部１６は測定部１８に出力される。この測定部１８では後述するように上記第１の端子１１に形成された圧痕ｐの数を測定する。
【００３１】
上記測定部１８で測定された圧痕ｐの数、つまり測定信号は記憶部１９に記憶されてから、比較部２０に出力される。比較部２０では、後述するように上記第１の端子１１に形成された圧痕ｐの数を設定値Ｓ１と比較する。比較部２０では、測定信号と設定値Ｓ１との比較に基いて上記第１の端子１１と第２の端子１３の接続状態を判定する判定信号を判定部２１に出力する。判定信号が入力された判定部２１は、その判定に基く上記第１の端子１１と第２の端子１３の接続状態をモニタ２２に表示するようになっている。
【００３２】
さらに、上記測定部１８では、図５に示すように第１の端子１１の幅寸法がＤ１で、第２の端子１３の幅寸法がＤ２とすると、上記撮像カメラ１５からの撮像信号によって上記第１の端子１１の幅寸法（第１の幅寸法とする）Ｄ１、及びこの第１の端子１１と第１の端子１１の上方に重なった第２の端子１３がなす幅寸法（第２の幅寸法とする）Ｄ３を測定する。
【００３３】
上記測定部１８で測定された第１の端子１１の第１の幅寸法Ｄ１と、第１の端子１１と第２の端子１３がなす第２の幅寸法Ｄ３は上記比較部２０で比較される。そして、Ｄ３−Ｄ１＝０であれば、液晶セルＷの第１の端子１１とＴＣＰ８の第２の端子１３にずれがない、つまり液晶セルＷに対してＴＣＰ８がずれなく接続されていることになり、Ｄ３−Ｄ１＝Ｆであれば、液晶セルＷにＴＣＰ８が寸法Ｆだけずれて接続されていることになる。
【００３４】
第２の幅寸法Ｄ３と第１の幅寸法Ｄ１の差は上記比較部２０で設定値Ｓ２と比較され、その差が所定以上となったときに上記判定部２１では上記液晶セルＷに対して上記ＴＣＰ８の実装位置がずれていると判定し、その判定結果は上記モニタ２２に表示されることになる。
【００３５】
図１に示すように、上記撮像カメラ１５は上下可動体２５の上面に撮像窓１５ａを上に向けて垂直に設けられている。上下可動体２５はリニアガイド２６にガイドされて上下動可能となっている。この上下可動体２５には上記リニアガイド２６に回転可能に支持された送りねじ２８が螺合されている。この送りねじ２８は駆動手段としての上下駆動源２９によって回転駆動される。それによって、上記撮像カメラ１５が設けられた上記上下可動体２５が上下方向に駆動される。
【００３６】
上記撮像カメラ１５は下降位置から上昇方向に駆動されながら、上記液晶セルＷを下面側から連続して撮像する。したがって、下降位置から上昇方向に移動する撮像カメラ１５の焦点位置に応じた撮像信号が上記画像処理部１６に連続して出力される。
【００３７】
上記撮像カメラ１５の焦点が図５にＦ１で示す液晶セルＷの第１の端子１１の下面に一致したときの上記撮像カメラ１５からの撮像信号によって、上記第１の端子１１に形成された圧痕ｐの数及び上記第１の端子１１の第１の幅寸法Ｄ１が上記測定部１８で測定される。
【００３８】
上記第１の端子１１は透明な金属で形成されている。したがって、第１の端子１１を撮像カメラ１５によって観察するためには、液晶セルＷの下方から図示しない照明手段によって上記第１の端子１１を角度を付けて照明したり、照明手段による照明光を着色光とすれば、上記第１の端子１１で反射する反射光によって圧痕Ｐや第１の端子１１の第１の幅寸法Ｄ１を測定することが可能である。なお、圧痕ｐでは光が乱反射するから、単に撮像カメラ１５によって撮像するだけで、観察することができる。
【００３９】
上記撮像カメラ１５の焦点が図５にＦ２で示すＴＣＰ８の第２の端子１３の下面に一致したときの上記撮像カメラ１５からの撮像信号によって、第２の端子１３と、この第２の端子１３の下方に位置する第１の端子１１とがなす上記第２の幅寸法Ｄ３が上記測定部１８で測定される。
【００４０】
このとき、上記撮像カメラ１５の焦点位置は第２の端子１３の下面に一致Ｆ２であって、第１の端子１１からずれている。そのため、焦点Ｆ１で測定した第１の端子１１の画像と、  第１の幅寸法Ｄ１と、焦点位置Ｆ２で測定される第２の端子１３の画像を合成することで、第１の端子１１と第２の端子１３がなす上記第２の幅寸法Ｄ３を測定することが可能となる。
【００４１】
上記構成の検査装置によれば、ＴＣＰ８が本圧着された液晶セルＷを駆動機構１のＹテーブル５上に供給し、上記液晶セルＷのＴＣＰ８が本圧着された一側辺の長手方向一端部を検査位置Ｅが設けられた撮像カメラ１５の上方に位置決めする。つまり、上記撮像カメラ１５の撮像窓１５ａが上記液晶セルＷの下面から第１の端子１１の部分を撮像できるよう位置決めする。
【００４２】
ついで、上記撮像カメラ１５を上下駆動源２９によって下降位置から上昇方向へ駆動する。上昇する上記撮像カメラ１５からは撮像信号が画像処理部１６に連続して出力される。
【００４３】
そして、撮像カメラ１５の焦点位置が図５にＦ１で示すように液晶セルＷの第１の端子１１の下面に一致したとき、上記画像処理部１６に出力されて画像処理された撮像信号から、上記第１の端子１１に異方性導電膜１２に含まれた導電粒子１４によって形成された圧痕ｐを観察することができる。このときの画像Ｇ１を図６（ａ）に示す。
【００４４】
上記画像処理部１６で処理された第１の端子１１の下面を撮像した撮像信号は制御装置１７の測定部１８に出力され、ここで上記第１の端子１１に形成された圧痕ｐの数が測定される。測定された圧痕ｐの数、つまり測定部１８からの測定信号は比較部２０に出力され、ここで設定値Ｓ１と比較される。
【００４５】
圧痕ｐの数が設定値Ｓ１と同等以上であれば、液晶セルＷの第１の端子１１とＴＣＰ８の第２の端子１３との間に所定以上の導電粒子１４が介在して押し潰されていることになるから、上記第１の端子１１と第２の端子１３とが電気的に確実に導通した状態で接続されているとことになり、そのことが判定部２１で判定され、その判定結果がモニタ２２に表示される。
【００４６】
なお、撮像カメラ１５は上昇方向に駆動されながら撮像信号を出力する。したがって、測定部１８に入力される画像が順次変化するが、測定部１８で測定される圧痕ｐの数が最大となったときの第１の端子１１の下面の画像Ｇ１、つまり撮像カメラ１５の焦点が第１の端子１１の下面に一致したときの画像Ｇ１を第１の端子１１と第２の端子１３の接続状態の判定に用いることで、その判定を確実に行なうことができる。
【００４７】
さらに、撮像カメラ１５の焦点位置が図５にＦ１で示すように第１の端子１１の下面に一致したときの撮像信号の画像Ｇ１から、上記測定部１８は上記第１の端子１１の幅寸法、つまり第１の幅寸法Ｄ１を算出し、その値は記憶部１９に格納される。
【００４８】
上記撮像カメラ１５が焦点位置をＦ１で示す第１の端子１１の下面に一致させた状態からさらに上昇方向に駆動され、その焦点位置がＦ２で示すようにＴＣＰ８の第２の端子１３の下面と同じ高さになると、そのときの第２の端子１３の画像信号と、焦点位置Ｆ１での第１の端子１１の画像信号とが合成されて得られる画像Ｇ２（図６（ｂ）に示す）から上記第１の端子１１と、この第１の端子１１の上方に位置する上記第２の端子１３とがなす幅寸法、つまり第２に幅寸法Ｄ３が上記測定部１８によって測定されて記憶部１９に格納される。
【００４９】
測定部１８で測定されて記憶部１９に格納された上記第１の幅寸法Ｄ１と第２の幅寸法Ｄ３は比較部２０に出力されて比較される。つまり、（Ｄ３−Ｄ１）の値が０であるか否かが比較され、０であるならば判定部２１では液晶セルＷの第１の端子１１とＴＣＰ８の第２の端子１３にずれがないと判定し、０でなければ液晶セルＷにＴＣＰ８がずれて接続されていると判定する。
【００５０】
液晶セルＷに対してＴＣＰ８がずれて接続されている場合、図５にＦで示すずれ量が算出され、そのずれ量Ｆが比較部２０に設定された設定値Ｓ２と比較される。そして、ずれ量Ｆが設定値Ｓ２以下であれば、液晶セルＷに対するＴＣＰ８のずれが許容範囲内であるとし、ずれ量Ｆが設定値Ｓ２以上であれば接続不良と判定し、そのことをモニタ２２に表示する。
【００５１】
このように、液晶セルＷの下面側に配置された撮像カメラ１５を下降位置から上昇方向に駆動させながら、上記液晶セルＷの第１の端子１１と、この第１の端子１１に接続されたＴＣＰ８の第２の端子１３の部分を撮像するようにした。
【００５２】
そして、第１の端子１１の下面を撮像した撮像信号によって上記第１の端子１１に形成された打痕ｐの数を算出し、その数から第１の端子１１と第２の端子１３との接続状態を判定するようにした。
【００５３】
さらに、第１の端子１１と第２の端子１３との接続状態の判定と連続して第１の端子１１の第１の幅寸法Ｄ１と、第１の端子１１と第２の端子１３がなす第２の幅寸法Ｄ３を測定し、これらの幅寸法を比較することで、第１の端子１１が設けられた液晶セルＷと、ここの液晶セルＷに異方性導電膜１２を介して電気的に接続された第２の端子１３のずれ状態を判定するようにした。
【００５４】
すなわち、撮像カメラ１５を上下駆動源２９によって下降位置から上昇方向へ駆動することで、第１の端子１１と第２の端子１３の接続状態及び第１の端子１１と第２の端子１３の幅方向に対するずれ状態を連続的に判定することができる。
【００５５】
したがって、第１の端子１１と第２の端子１３の接続状態とずれ状態の判定を短時間で確実に行なうことが可能となる。
【００５６】
上記第１の端子１１と第２の端子１３の接続状態の判定は、撮像カメラ１５の焦点位置が図５にＦ１で示す第１の端子１１の下面に一致したときに、上記撮像カメラ１５が撮像した上記第１の端子１１の下面の画像Ｇ１から、上記第１の端子１１に形成される圧痕ｐの数を測定して行うようにした。
【００５７】
しかしながら、第１の端子１１は透明な金属によって形成され、しかも異方性導電膜１２も透光性を有するから、撮像カメラ１５の焦点位置が図５にＦ１Ａで示す第１の端子１１と第２の端子１３の間に介在する上記異方性導電膜１２と同じ高さになったときに、上記撮像カメラ１５によって得られる、図７にＧ３で示す画像から、隣り合う一対の第１の端子１１間にある導電粒子１４の数を計測する。
【００５８】
そして、計測された導電粒子１４の数によって第１の端子１１と第２の端子１３の接続状態の判定するようにしてもよい。つまり、隣り合う一対の第１の端子１１間に介在する導電粒子１４の数が所定以上あれば、上記第１の端子１１と第２の端子１３が所定以上の数の導電粒子１４によって電気的に確実に接続されていると予測することができるから、その予測に基いて上記第１の端子１１と第２の端子１３の接続状態を判定することができる。
【００５９】
上記実施の形態では液晶セルＷに設けられた第１の端子１１と、ＴＣＰ８に設けられた第２の端子１３が同じ幅寸法である場合に、これら端子１１，１３がずれているか否かを判定する場合を例に挙げて説明したが、第１の端子１１の幅寸法Ｄ１を第２の端子１３の幅寸法Ｄ２よりも大きくし、液晶セルＷに対してＴＣＰ８のずれの許容範囲を大きくすることがある。
【００６０】
そのような場合、第１の幅寸法Ｄ１と第２の幅寸法Ｄ３とのずれ量Ｆは、  
Ｆ＝（Ｄ１−Ｄ２）／２  
で求めればよい。
【符号の説明】
【００６１】
Ｗ…液晶セル（基板）、８…ＴＣＰ（電子部品）、１１…第１の端子、１２…異方性導電膜、１３…第２の端子、１４…導電粒子、１５…撮像カメラ（撮像手段）、１６…画像処理部、１７…制御装置、１８…測定部、１９…比較部、２１…判定部。
【図１】
2011013556.tif 000003
【図２】
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【図３】
2011013556.tif 000005
【図４】
2011013556.tif 000006
【図５】
2011013556.tif 000007
【図６】
2011013556.tif 000008
【図７】
2011013556.tif 000009