(57)【要約】      （修正有）【課題】焼成後の銀膜の微細化及び作業性の向上。【解決手段】ヘッド１から吐出された液滴状のインク２２が飛翔中、または基板３に着弾した直後にレーザー光４を液滴状のインクに照射して液滴状のインク中の金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子と隣接する粒子同士を結合させ、液滴状のインク２３は、形状の異なる金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子を含み、その一部の金属ナノ粒子又は金属酸化物ナノ粒子を肥大化させることで、基板上に印刷されたインクは元々含まれていた微小径の金属ナノ粒子２２１及び／又は金属酸化物ナノ粒子と肥大化した金属ナノ粒子２２２又は金属酸化物ナノ粒子とが混在した状態にする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェットヘッドから吐出され、形状の異なる金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子を含む液滴状のインクが飛翔中、または基板に着弾した直後にレーザー光を液滴状のインクに照射し、その際レーザー光の波長を液滴状のインク内の前記金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子の表面プラズモンに起因する吸収帯に含まれる波長に選択して、液滴状のインク中の一部の前記金属ナノ粒子又は金属酸化物ナノ粒子を肥大化させ、基板上に印刷されたインクを微小径の前記金属ナノ粒子又は金属酸化物ナノ粒子と肥大化した前記金属ナノ粒子又は金属酸化物ナノ粒子とが混在した状態にすることを特徴とするインクジェット法。
【請求項２】
前記インクは、前記金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子が含まれ、前記金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子には少なくとも球状ナノ粒子とロッド状ナノ粒子及びプレート状ナノ粒子の３種類のうち少なくとも２種類の粒子が含まれていることを特徴とする請求項１記載のインクジェット法。
【請求項３】
前記球状ナノ粒子は粒径が100nm以下であり、前記ロッド状ナノ粒子は短軸方向が100nm以下であり、前記プレート状ナノ粒子は厚み方向が100nm以下であることを特徴とする請求項２記載のインクジェット法。
【請求項４】
前記レーザー光の波長が、前記インク内に含まれる前記ロッド状金属ナノ粒子又は前記プレート状ナノ粒子の吸収帯のうち長波長側のピーク付近であることを特徴とする請求項２又は３のいずれか１項に記載のインクジェット法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに１項に記載の方法で回路を設けた基板。
【請求項６】
請求項５記載の基板を用いた電子部品又は電子装置。
【請求項７】
基板に液滴インクを着弾させるインクジェットヘッドを有し、前記インクジェットヘッドから吐出された前記液滴状のインクが飛翔中、または基板に着弾した直後にレーザー光を液滴状のインクに照射するレーザーを有し、前記インクには、金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子が含まれ、前記金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子には少なくとも球状ナノ粒子とロッド状ナノ粒子及びプレート状ナノ粒子の３種類の少なくとも２種類の粒子が含まれていることを特徴とするインクジェット装置。
【請求項８】
前記レーザー光の波長は、前記インク中の金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子の表面プラズモンに起因する吸収帯に含まれる波長であることを特徴とする請求項７記載のインクジェット装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッドから微小な液滴状のインクを吐出し、デバイスのパターンに応じて基板上の必要な場所に液滴を着弾させて描画する回路基板の製造方法等に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ノートPCやスマートフォンに代表される電子機器の小型・薄型、軽量、高機能化にともなって電子部品は軽薄短小化が要求されている。特に低炭素社会を実現するために、産業界における製造プロセスも環境負荷の少ない形態に転換することも望まれている。この視点から、印刷技術をエレクトロニクスの製造に応用する技術が注目を集めており、プリンテッド・エレクトロニクスという新分野が隆盛している。プリンテッド・エレクトロニクスは従来のフォトリソグラフィ技術をベースとした成膜やエッチングを繰り返すプロセスとは異なり、必要な場所に必要な量の材料を塗布するプロセスで構成される。このため材料の無駄が少なく、エネルギー消費も少ない。
【０００３】
印刷技術にはフレキソ印刷法やグラビア印刷法、スクリーン印刷法などさまざまな手法があるが、なかでもインクジェット法はオンデマンドで回路の設計と製造が可能であり、かつ材料を除去することなくパターンを形成できることから、環境にやさしい技術として特に期待されている。
【０００４】
インクジェット法は、インクジェットヘッドから微小な液滴状のインクを吐出し、デバイスのパターンに応じて基板上の必要な場所に液滴を着弾させて描画する。インクは機能性材料を含む液体であり、導体の配線を形成する場合には銀錯体インク（銀を錯体化して溶媒に溶かしこんだインク）や銀ナノ粒子インク（銀を数nm〜数十nmの微粒子にして溶媒中に分散させたインク）が一般的に用いられる。ヘッドのノズルから吐出された液滴状のインクは、ヘッドとそれに対向する基板との間の空間を飛翔して基板に着弾する。着弾した液滴は基板とインクの界面エネルギーに従って基板上を流動し濡れ拡がる。インクの溶媒を蒸発させることで機能性材料からなる膜状のパターンが得られる。銀をはじめとする金属ナノ粒子インクの場合、さらに加熱処理することで銀粒子が焼結し、バルクに近い導電性を有する配線パターンを形成することができる。
【０００５】
銀ナノ粒子インクに数〜数十ｎｍの極めて小さい粒子を用いる理由として、次の二つが挙げられる。一つはインク中での粒子の分散安定性を得るためである。金属は溶媒に比べて密度が数〜十数倍と大きいため重力により沈降し沈殿物を生成しやすい。そこで粒径を小さくすることで溶媒の粘性抵抗とブラウン運動の効果により安定した分散状態を実現できる。もう一つは、焼成温度を低温化するためである。金属粒子は微小化するにつれて融点が低下し、特に粒径が10nm程度から急激に降下することが知られている。例えば銀の融点はバルクの状態で961℃だが、十数nmでは百数十度程度まで降下すると考えられており、樹脂基板などにも容易に銀の回路を形成できる。なお、金属ナノ粒子を用いたインクでは、インク中で金属ナノ粒子同士が焼結しないよう、有機膜でコーティングされている。
【０００６】
従来のインクジェット法では、図６で模式的に示すように基板３に着弾した液滴２１が大きく濡れ広がってしまうため微細なパターンを描画できないという問題があった。この対策として基板表面に撥液処理を施すことでインクの濡れ広がりを抑制するという手法がとられてきたが、バルジ効果と呼ばれる液滴の不均一な濡れ広がりやコーヒーステイン現象と呼ばれる膜厚の不均一性が生じやすくなることから、配線幅は30〜50μm程度が微細化の限界であった。
【０００７】
また、銀ナノ粒子インクには溶剤や分散剤をはじめとする多量の有機物が含まれるため、焼成後の銀膜にボイド（気泡空洞）が多数発生してしまい、バルクに比べて電気抵抗が桁違いに高くなるという問題が起きやすかった。
【０００８】
さらに、作業効率が低いという問題がある。実用的な低い抵抗の配線を得るためには配線の厚みをある程度とる必要があるが、金属ナノ粒子インクではインク中の金属含有量はせいぜい10体積%程度しかなく、また、このインクは基板上で大きく濡れ広がってしまうため、１つの液滴を着弾させただけではサブミクロン程度の厚さしか得られない。このため、厚い配線を得るためには何度も重ね塗りをしなければならなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】国際公開第２００９／０７２６０３号
【特許文献２】特開２００６−２３９８９９号公報
【特許文献３】特開２００４−２８８５１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、インクジェット法による基板への配線パターン形成において、金属または金属酸化膜の微細化及び作業性の向上を図ることができるインクジェット法及びインクジェット装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一態様によれば、インクジェットヘッドから吐出され、形状の異なる金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子を含む液滴状のインクが飛翔中、または基板に着弾した直後にレーザー光を液滴状のインクに照射し、その際レーザー光の波長を液滴状のインク内の前記金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子の表面プラズモンに起因する吸収帯に含まれる波長に選択して、液滴状のインク中の一部の前記金属ナノ粒子又は金属酸化物ナノ粒子を肥大化させ、基板上に印刷されたインクを微小径の前記金属ナノ粒子又は金属酸化物ナノ粒子と肥大化した前記金属ナノ粒子又は金属酸化物ナノ粒子とが混在した状態にすることを特徴とするインクジェット法が提供される。
【００１２】
本発明の他の一態様によれば、インクジェットヘッドから吐出され、形状の異なる金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子を含む液滴状のインクが飛翔中、または基板に着弾した直後にレーザー光を液滴状のインクに照射し、その際レーザー光の波長を液滴状のインク内の前記金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子の表面プラズモンに起因する吸収帯に含まれる波長に選択して、液滴状のインク中の一部の前記金属ナノ粒子又は金属酸化物ナノ粒子を肥大化させ、基板上に印刷されたインクを微小径の前記金属ナノ粒子又は金属酸化物ナノ粒子と肥大化した前記金属ナノ粒子又は金属酸化物ナノ粒子とが混在した状態にすることを特徴とするインクジェット法であって、前記インクは、前記金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子が含まれ、前記金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子には少なくとも球状粒子とロッド状粒子及びプレート状粒子の３種類のうち少なくとも２種類の粒子が含まれ、前記レーザー光の波長を、前記ロッド状またはプレート状粒子の長軸方向における前記表面プラズモンに起因する吸収帯に含まれる波長に選択することをさらに特徴とするインクジェット法が提供される。
【００１３】
本発明のさらに他の一態様によれば、インクジェットヘッドから吐出され、形状の異なる金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子を含む液滴状のインクが飛翔中、または基板に着弾した直後にレーザー光を液滴状のインクに照射し、その際レーザー光の波長を液滴状のインク内の前記金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子の表面プラズモンに起因する吸収帯に含まれる波長に選択して、液滴状のインク中の一部の前記金属ナノ粒子又は金属酸化物ナノ粒子を肥大化させ、基板上に印刷されたインクを微小径の前記金属ナノ粒子又は金属酸化物ナノ粒子と肥大化した前記金属ナノ粒子又は金属酸化物ナノ粒子とが混在した状態にすることを特徴とするインクジェット法であって、前記球状粒子は粒径が100nm以下であり、前記ロッド状粒子は短軸方向が100nm以下であり、前記プレート状の粒子は厚み方向が100nm以下であることをさらに特徴とするインクジェット法が提供される。
【００１４】
また、本発明の他の一態様によれば、インクジェットヘッドから吐出され、形状の異なる金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子を含む液滴状のインクが飛翔中、または基板に着弾した直後にレーザー光を液滴状のインクに照射し、その際レーザー光の波長を液滴状のインク内の前記金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子の表面プラズモンに起因する吸収帯に含まれる波長に選択して、液滴状のインク中の一部の前記金属ナノ粒子又は金属酸化物ナノ粒子を肥大化させ、基板上に印刷されたインクを微小径の前記金属ナノ粒子又は金属酸化物ナノ粒子と肥大化した前記金属ナノ粒子又は金属酸化物ナノ粒子とが混在した状態にすることを特徴とするインクジェット法であって、前記レーザー光の波長が、前記インク内に含まれる前記ロッド状金属ナノ粒子又はプレート状金属ナノ粒子の吸収帯のうち長波長側のピーク付近であることをさらに特徴とするインクジェット法が提供される。
【００１５】
また、本発明の他の一態様によれば、インクジェットヘッドから吐出され、形状の異なる金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子を含む液滴状のインクが飛翔中、または基板に着弾した直後にレーザー光を液滴状のインクに照射し、その際レーザー光の波長を液滴状のインク内の前記金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子の表面プラズモンに起因する吸収帯に含まれる波長に選択して、液滴状のインク中の一部の前記金属ナノ粒子又は金属酸化物ナノ粒子を肥大化させ、基板上に印刷されたインクを微小径の前記金属ナノ粒子又は金属酸化物ナノ粒子と肥大化した前記金属ナノ粒子又は金属酸化物ナノ粒子とが混在した状態にすることを特徴とするインクジェット法で回路を設けた基板が提供される。
【００１６】
また、本発明の他の一態様によれば、インクジェットヘッドから吐出され、形状の異なる金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子を含む液滴状のインクが飛翔中、または基板に着弾した直後にレーザー光を液滴状のインクに照射し、その際レーザー光の波長を液滴状のインク内の前記金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子の表面プラズモンに起因する吸収帯に含まれる波長に選択して、液滴状のインク中の一部の前記金属ナノ粒子又は金属酸化物ナノ粒子を肥大化させ、基板上に印刷されたインクを微小径の前記金属ナノ粒子又は金属酸化物ナノ粒子と肥大化した前記金属ナノ粒子又は金属酸化物ナノ粒子とが混在した状態にすることを特徴とするインクジェット法で回路を設けた基板を用いた電子部品または電子装置が提供される。
【００１７】
また、本発明の他の一態様によれば、基板に液滴状のインクを着弾させるインクジェットヘッドを有し、前記インクジェットヘッドから吐出された前記液滴状のインクが飛翔中、または基板に着弾した直後にレーザー光を液滴状のインクに照射するレーザーを有し、前記インクには、前記金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子が含まれ、前記金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子には少なくとも球状粒子とロッド状粒子及びプレート状粒子の３種類のうち少なくとも２種類が含まれていることを特徴とするインクジェット装置が提供される。
【００１８】
また、本発明の他の一態様によれば、基板に液滴状のインクを着弾させるインクジェットヘッドを有し、前記インクジェットヘッドから吐出された前記液滴状のインクが飛翔中、または基板に着弾した直後にレーザー光を液滴状のインクに照射するレーザーを有することを特徴とするインクジェット装置において、前記レーザー光の波長は、前記液滴状のインク中の金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子の表面プラズモンに起因する吸収帯に含まれる波長であることを特徴とするインクジェット装置が提供される。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、低抵抗かつ微細な配線パターンを得ることができ、さらに、容易に厚膜の配線を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１（ａ）は本発明の概念図である。図１（ｂ）は液滴の拡大図である。
【図２】金ナノ粒子の光吸収スペクトルである。
【図３】ロッド状金ナノ粒子のＴＥＭ写真である。
【図４】ロッド状金ナノ粒子の長軸、短軸方向の光吸収スペクトルである。
【図５】金ナノ粒子の光吸収スペクトルである。
【図６】従来技術の概念図
【発明を実施するための形態】
【００２１】
次に、図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。液滴状のインクに照射する光はレーザー光に限定されないが、ここではレーザー光を用いた説明を行う。
【００２２】
図１は本発明の実施形態を模式的に図示する。本実施形態では、図１（ａ）に示すように、インクジェットヘッド１は、配線が形成される基板３に対し液滴状のインク２２が基板に着弾するように、配置される。インクジェットヘッド１から吐出された前記金属ナノ粒子又は金属酸化物ナノ粒子を含有する前記液滴状のインク２２が、飛翔中、または前記基板に着弾した直後にレーザー光４を照射するレーザー５が配置される。図１（ｂ）は、前記インク２２の概念図であり、同図中２２１は、球状金属ナノ粒子を示し、同図中２２２は、ロッド状金属ナノ粒子を示す。なお、以下ではレーザー５を光源としたが、光源はレーザー５に限定されない。
【００２３】
また、金属ナノ粒子を、導電性を有する金属酸化物ナノ粒子とすることも当然可能であるが、以下の記載では、煩雑さを避けるため、金属ナノ粒子又は金属酸化物ナノ粒子を単に金属ナノ粒子と呼称することがある。さらに、形状の異なる金属ナノ粒子及び／又は金属酸化物ナノ粒子の組み合わせとして、互いに形状の異なる金属ナノ粒子、金属ナノ粒子と該金属ナノ粒子とは形状が異なる金属酸化物ナノ粒子、互いに形状の異なる金属酸化物ナノ粒子が含まれる。
【００２４】
本発明の一態様によれば、概念図である図１（ａ）に示すように、インクジェットヘッド１から吐出された液滴状のインク２２が飛翔中、または基板３に着弾した直後にレーザー光４を照射する。その際レーザー光４の波長を金属ナノ粒子の表面プラズモンに起因する吸収帯に含まれる波長に選択して液滴状のインク２２中の金属ナノ粒子を、隣接する粒子と結合させる。これによりインク中の一部の金属ナノ粒子を肥大化させることで、基板上に印刷されたインクを微小径の金属ナノ粒子と肥大化した金属ナノ粒子とが混在した状態にすることを特徴とする。
【００２５】
また、上述の記載において、「混在」とは、肥大化した金属ナノ粒子と肥大化していない金属ナノ粒子の他、金属ナノ粒子が結合した粒子が含まれていても良い。
【００２６】
その意義を次に述べる。
【００２７】
金属の内部では自由電子が集団的に振動しており、これをプラズモンという。一般的にプラズモンは光と相互作用しないが、金属の表面には光と相互作用する特殊なプラズモンが存在し、これを表面プラズモンと呼んでいる。相互作用するとはすなわち光を吸収するということであり、特定の波長帯で顕著になる現象である。この様子を図２に示す。図２、５には、Ａｕナノ粒子のサイズ（粒径）によって、該Ａｕナノ粒子が吸収する光の波長のピークが変化する様子が示されている。図５では、Ａｕナノ粒子のサイズがそれぞれ２ｎｍ、１２ｎｍ、５０ｎｍであるときの光吸収率の波長依存性がそれぞれ、一点鎖線、実線、点線で示されている。図２で、吸収ピークの光の波長は、対応するＡｕナノ粒子の表面プラズモンの波長である。また、図２中のＲは、Ａｕナノ粒子の縦横比である。図３は、Ａｕロッド状ナノ粒子のＴＥＭ写真である。図４は、前記Ａｕロッド状ナノ粒子の光吸収スペクトルを示しており、前記Ａｕロッド状ナノ粒子の短軸方向の吸収ピーク（５２０ｎｍ）と長軸方向の吸収ピーク（７４０ｎｍ）が確認できる。
【００２８】
そこで、金属ナノ粒子の表面プラズモンと相互作用する光をインクの液滴に照射すると、インク内の特定サイズの金属ナノ粒子だけを選択的に加熱することができ、前記特定サイズの金属ナノ粒子のみ、肥大化を容易に進行させることができる。
【００２９】
また表面プラズモンの振動周波数が、粒径によっても異なるため、粒子が肥大化するにつれてレーザー光との相互作用が弱くなり、加熱されにくくなる。これにより、レーザー光を過剰に照射したとしても金属ナノ粒子が過度に肥大化することはない。
【００３０】
なお表面プラズモンの振動周波数は、金属の種類によっても異なるものである。
【００３１】
本発明の実施態様として好ましくは、インクの溶媒に吸収されない光の波長を選択する。これにより、溶媒の急激な蒸発を防ぐことが出来る。そのため溶媒の蒸発に起因する液滴状のインクの飛翔軌道の変動を低く抑えることができ、着弾位置の精度を低下させないですむことになる。
【００３２】
本発明の実施態様として好ましくは、レーザー光の照射をインクが吐出するタイミングと同調させて、特定の液滴を選択的に照射することである。この意義は以下の通りである。
【００３３】
レーザー光を液滴状のインクに確実に照射するためにはビーム径を液滴よりも大きくすることが好ましい。しかしこの場合、光の強度が大きいと一つの液滴に含まれる金属ナノ粒子は全て肥大化してしまう可能性がある。そこで例えば１番目の液滴には照射し、2番目の液滴には照射しない、といったように液滴ごと照射する又は照射しないを制御する。
【００３４】
基板に着弾したインクはその流動性により隣接する（すなわち直前に着弾した）インクと混じりあうため、結果的に粒径の異なる金属ナノ粒子が混在した状態にできる。
【００３５】
なお上記手段は、組み合わせて用いることができる。
【００３６】
本実施形態によれば、基板に着弾したインク及び基板を加熱して焼成すると、肥大化した金属ナノ粒子が存在することで低抵抗の配線を得やすい。また、レーザー光が照射されていない微小径の金属ナノ粒子も存在することで“低温で焼成できる”という特性が損なわれない。また、肥大化した粒子の隙間に微小径の粒子が入って堆積するため、有機物の割合が少なくボイドは出来にくくなる。この効果によっても低抵抗な配線を得やすくなる。
【００３７】
さらに、金属ナノ粒子の肥大化はインクジェットヘッド内では起こらないため、インク中の金属ナノ粒子の分散性が悪いということが起きない。したがって、インクジェットヘッド内でインクが目詰まりすることがない。
【００３８】
さらに、光を照射することで溶媒がある程度蒸発するためインクの流動性は低下する。これにより基板に着弾した後の濡れ広がりは小さくなるので、微細な配線を得ることができ、また液滴状のインクを重ね打ちしてもコーヒーステイン現象が起こりにくくなるので容易に厚膜で均一な配線を形成することができる。
【００３９】
本発明で適用される「インク」を以下に例示する。
【００４０】
（１）ナノ粒子が溶媒中に分散したインクで、球状のナノ粒子とロッド状のナノ粒子、又は球状のナノ粒子とプレート状のナノ粒子、又はロッド状のナノ粒子とプレート状のナノ粒子、又は球状のナノ粒子とロッド状のナノ粒子とプレート状のナノ粒子が混在しているものが好ましい。
【００４１】
（２）球状ナノ粒子は平均粒径が100nm以下のものが好ましい。それより大きいとナノ粒子がインク内で沈降してしまい、インクヘッド内で目詰まりを起こしてしまうためである。また、融点が高いため焼結温度を高温にしなければならず、基板に熱ダメージを及ぼすので適さない。
【００４２】
（３）ロッド状ナノ粒子は短軸の平均サイズが100nm以下で、縦横比が1.2〜20のものが好ましい。縦横比が1.2未満で小さいと長軸と短軸の吸収帯が近いため形状変形の制御が難しく、20以上ではロッドが湾曲するなど形状が不均一になりやすいため吸収帯が広がってしまううえ、吸収効率が低くなってしまうことから適当でない。
【００４３】
（４）ロッド状ナノ粒子の体積は、球状ナノ粒子の0.2〜50倍であるものが好ましい。この範囲外では均一に分散させるのが容易でない。
【００４４】
（５）プレート状ナノ粒子は厚さの平均サイズが100nm以下で、プレートの面方向と寸法と厚さ比が1.2〜20のものが好ましい。縦横比が1．2(1.2)未満で小さいと長軸と短軸の吸収帯が近いため形状変形の制御が難しく、20以上ではロッドが湾曲するなど形状が不均一になりやすいため吸収帯が広がってしまううえ、吸収効率が低くなってしまうことから適当でない。プレートの面方向の形状は限定しないが、円形や楕円形、あるいは多角形（三角形や六角形など）でもよい。
【００４５】
（６）プレート状ナノ粒子の体積は、球状ナノ粒子の0.５〜７００倍であるものが好ましい。ロッド状ナノ粒子よりも範囲が大きい理由は、プレート状ナノ粒子のほうが同じ体積でも表面積が大きいため、インク中に分散されやすいからである。
【００４６】
（７）ナノ粒子は金、銀、銅、パラジウム、白金、錫、 ビスマス、コバルト、クロム、鉄、ニッケル、インジウム、チタン、亜鉛のうち少なくとも１つを含む金属及び／又はその合金、又は金属酸化物を含むものが好ましい。
【００４７】
（８）ナノ粒子は個々に有機皮膜でコーティングされていることが好ましい。
【００４８】
（９）溶媒はヘキサン、トルエン、デカン、テトラデカンなどの炭化水素系溶剤、またはオレイルアルコールなどの不飽和脂肪族アルコール、または２−オクチルドデカノール、イソセチルアルコール、イソトリデシルアルコールなどの分鎖状脂肪族アルコール、またはミリスチン酸イソプロピル、パルミチン酸イソステアリル、オレイン酸エチルなどのエステル系溶媒を含むものが好ましい。
【実施例１】
【００４９】
ポリイミド樹脂基板上に、Auナノ粒子インクをインクジェット法で印刷した。インク内の球状粒子は平均径が5nmで、ロッド状粒子は長軸の平均サイズが25nm、短軸の平均サイズが5nmのものを使用した。インクジェットヘッドは静電吸引型を用い、約1plの液滴状のインクを500Hzの周期で吐出させた。インクジェットヘッドは基板表面から約1mm離してあり、レーザー光はその中間付近に向かってほぼ横方向から照射させている。レーザーは、GaInAsP系の半導体レーザー（波長650nm、0.5W、連続発振）を使用した。基板加熱は行なわなかった。
【００５０】
基板に着弾したインクをTEMで観察したところ、数十nmの大きな粒子が見つかった。調査した結果、これは多数の微粒子が凝集したものと、溶解して一つの粒子となったものとに分類できた。一方で、レーザー光を照射せずにインクジェット法で印刷したインクからはこのような粒子が見つからなかった。このことから、レーザー照射することでインク中の金属ナノ粒子の凝集と融合（肥大化）が進行していることが確認できた。しかし、インク内にはロッド状粒子が残っていたことから、照射量は十分ではなかったとみられる。さらにレーザー強度をあげるよりも、溶媒の急激な蒸発をさけるため、レーザー光が液滴の飛翔経路に追従するよう移動させることで照射時間を長くするのがより好ましい。
【００５１】
インクジェット法で基板にAuナノ粒子インクを印刷し、大気中で250℃、60分の加熱を行なって焼結処理をしたところ金色の光沢をもつ回路パターンが得られた。この電気抵抗率はおよそ8.5μΩ・cmで、バルクの2.21Ω・cmの4倍程度の良質な薄膜を得ることができた。
【実施例２】
【００５２】
エポキシ基板上にAgナノ粒子インクをインクジェット法で印刷した。インク内の球状粒子は平均径が4nmで、ロッド状粒子は長軸の平均サイズが30nm、短軸の平均サイズが4nmのものを使用した。ただし、それ以外に正四面体や十面体双晶などさまざまな形状の粒子も含まれていた。ピエゾ駆動型のヘッドを用いて約4plの液滴状のインクを100Hzの周期で吐出させた。レーザーはNd-YAGレーザーの第二高調波（波長532nm、25mJ/pulse）を使用した。レーザーの発振周波数は液滴状のインクの吐出と同じ100Hzで、全ての液滴にレーザー光が照射されるようにした。また、基板は45℃に加熱した。
【００５３】
Agナノ粒子インクを印刷した基板に大気中で220℃、20分の加熱をして焼結処理を行なったところ、銀色の光沢をもつ回路パターンが得られた。この電気抵抗率はおよそ9μΩ・cmで、バルクの1.59μΩ・cmの６倍程度の良質な薄膜を得ることができた。
【実施例３】
【００５４】
液晶ポリマー基板上にAgナノ粒子インクをインクジェット法で印刷した。インク内の球状粒子は平均径が4nmで、ロッド状粒子は長軸の平均サイズが50nm、短軸の平均サイズが8nmのものを使用した。ピエゾ駆動型のヘッドを用いて約4plの液滴状のインクを1ｋHzの周期で吐出させた。レーザーはアルゴンイオンレーザーの波長（488nm、１Ｗ、連続発振）を使用し、着弾直後に全ての液滴にレーザー光が照射されるようにした。また、基板は50℃に加熱した。
【００５５】
Agナノ粒子インクを印刷した基板に250℃、60分大気中で加熱をして焼結処理を行なったところ、銀色の光沢をもつ回路パターンが得られた。この電気抵抗率はおよそ6μΩ・cmで、バルクの1.59μΩ・cmの4倍程度の良質な薄膜を得ることができた。
【実施例４】
【００５６】
ガラス基板上にAｕナノ粒子インクをインクジェット法で印刷した。インク内の球状粒子は平均径が6nmで、プレート状粒子は長さが50×50×8nmのものを使用した。ピエゾ駆動型のヘッドを用いて約6plの液滴状のインクを200Hzの周期で吐出させた。レーザーは色素レーザー（波長560nm、30ｍＪ/pulse）を使用し、着弾直後に全ての液滴にレーザー光が照射されるようにした。また、基板は50℃に加熱した。
【００５７】
Aｕナノ粒子インクを印刷した基板に250℃、60分大気中で加熱をして焼結処理を行なったところ、銀色の光沢をもつ回路パターンが得られた。この電気抵抗率はおよそ6μΩ・cmで、バルクの2.21μΩ・cmの３倍程度の良質な薄膜を得ることができた。
【００５８】
なお、ロッド状ナノ粒子と球状ナノ粒子の関係を補足する。
【００５９】
ロッド状ナノ粒子の長軸方向の表面プラズモンと相互作用する光をインクに照射することで、インクのロッド状ナノ粒子だけを選択的に加熱することができる。ロッド状ナノ粒子は、形状的には熱力学的に不安定であるため、加熱すると容易に球状ナノ粒子へと変形する。こうして球状ナノ粒子になると表面プラズモンと相互作用する波長が照射するレーザー光の波長と異なるため加熱されにくくなる。このとき球状ナノ粒子は熱によりある程度の肥大化するが，過度に成長することはない。
【００６０】
この関係はプレート状ナノ粒子と球状ナノ粒子についても同様である。
【００６１】
なお、実施態様として、基板にレーザー光を照射して、間接的に金属ナノ粒子を加熱しても良い。
【００６２】
さらに、基板を加熱しておくことは必須ではない。
【００６３】
なお、レーザー光の照射位置とその効果について述べる。
【００６４】
液滴状のインクが飛翔中（すなわち、インクジェットノズルから吐出されてから基板に着弾する直前）までにレーザー光を照射する場合、基板の表面状態に影響されることなく、同一条件で照射できるという利点がある。また、液滴状のインクが基板に着弾した直後にレーザー光を照射する場合、インクを透過した光は基板表面で反射し、再度インクに照射するので、効率が良いという利点がある。
【符号の説明】
【００６５】
１    インクジェットヘッド
２，２２    飛翔中のインク液滴
２１  従来技術における基板に着弾した液滴状のインク
２３  本発明における基板に着弾した液滴状のインク
２２１  球状金属ナノ粒子
２２２  ロッド状金属ナノ粒子
３    基板
４    レーザー光
５    レーザー
【図１】
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【図２】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図３】
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