(57)【要約】【課題】当て板にセラミックグリーンシートをずれないように積層して固定できるセラミックグリーンシートの積層装置及びその積層方法を提供する。【解決手段】キャリアテーブルに順次送り込まれる当て板またはセラミックグリーンシートの上側を積層ヘッドで吸引し、吸引された当て板またはセラミックグリーンシートの下側に積層ベッドを当接させて、積層ベッドに積層するセラミックグリーンシートの積層装置において、当て板に複数の係止孔が設けられると共に、積層ベッドに既に積層した当て板の上に積層ヘッドに吸引した最初のセラミックグリーンシートを位置決めして積層する時、セラミックグリーンシートを係止孔に押し込んで固定する押圧ロッドが備えられる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリアテーブルで順次送り込まれる当て板またはセラミックグリーンシートの上側を積層ヘッドで吸引し、吸引された前記当て板または前記セラミックグリーンシートの下側に積層ベッドを当接させて、前記積層ベッドに積層するセラミックグリーンシートの積層装置において、
前記当て板に複数の係止孔が設けられると共に、前記積層ベッドに既に積層した前記当て板の上に前記積層ヘッドに吸引した最初の前記セラミックグリーンシートを位置決めして積層する時、前記セラミックグリーンシートを前記係止孔に押し込んで固定する押圧ロッドが備えられることを特徴とするセラミックグリーンシートの積層装置。
【請求項２】
前記当て板を前記キャリアテーブルに搬送する際、前記係止孔の底部に接着テープを貼り付ける接着テープ貼り付け部が備えられることを特徴とする請求項１に記載のセラミックグリーンシートの積層装置。
【請求項３】
キャリアテーブルで順次送り込まれる当て板またはセラミックグリーンシートの上側を積層ヘッドで吸引し、吸引された前記当て板または前記セラミックグリーンシートの下側に積層ベッドを当接させて、前記積層ベッドに積層するセラミックグリーンシートの積層方法において、
前記積層ベッドに既に積層した前記当て板の上に前記積層ヘッドに吸引した最初の前記セラミックグリーンシートを位置決めして積層する時、押圧ロッドで前記セラミックグリーンシートを前記当て板に設けられた複数の係止孔に押し込んで固定する工程が備えられることを特徴とするセラミックグリーンシートの積層方法。
【請求項４】
前記当て板を前記キャリアテーブルに搬送する際、前記係止孔の底部に接着テープを貼り付ける工程が、備えられることを特徴とする請求項３に記載のセラミックグリーンシートの積層方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はセラミックグリーンシートの積層装置及びその積層方法に係り、より詳細には、グリーンシートを当て板の上に積層するとともに、当て板とセラミックグリーンシートがずれないように積層して固定できるセラミックグリーンシートの積層装置及びその積層方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
セラミックグリーンシートは、電極パターンが印刷されたシートである。複数のセラミックグリーンシートを積層装置で位置決めピンのある載置板の上に仮積層して、セラミックグリーンシート仮積層体を形成する。
【０００３】
図１０は、従来のセラミックグリーンシート仮積層体１６を真空パックする時の説明図である。セラミックグリーンシート１２は、位置決めピン２８が設けられた載置板３１の上に積層される。電子部品搭載用のキャビティ２０が積層体の上部に形成される。頂部には当て板１０が取り付けられる。セラミックグリーンシート仮積層体１６は、当て板１０の上部がゴムシート２６で覆われ、ビニール袋２７に包まれ、真空パックされる。ゴムシート２６は真空パックの際、ビニール袋２７が位置決めピン２８の隙間に吸い込まれて破れることを防止する。真空パック後は、温水中で等方圧プレスを行ない、その後、焼成される。位置決めピンを使った方法は特許文献１に詳しく記載されている。
【０００４】
図１０に示すように、等方圧プレスではキャビティ２０にも均等に圧力をかけるので、当て板１０のキャビティ孔２９の位置にも精度が求められる。当て板１０に設けられたキャビティ孔２９の位置は、載置板３１に設けられた位置決めピン２８とセラミックグリーンシート１２の位置決めピン用の孔３３の精度により決まる。セラミックグリーンシート１２は位置決めピン２８にガイドされて積層されるので、セラミックグリーンシート１２の位置決めピン用の孔３３は、位置決めピン２８に対してある程度の余裕を必要とする。この余裕があるため、セラミックグリーンシート１２と当て板１０にずれが生じる。そのため、セラミックグリーンシート１２のキャビティ２０と当て板１０に設けられたキャビティ孔２９の位置関係は、精度の低いものとなる。このように、位置決めピン２８を使用する方法では、キャビティ孔２９の位置精度に優れたセラミックグリーンシート仮積層体１６を得ることが困難であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平９−１０４０１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、当て板にセラミックグリーンシートをずれないように積層して固定できるセラミックグリーンシートの積層装置及びその積層方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によるセラミックグリーンシートの積層装置は、キャリアテーブルで順次送り込まれる当て板またはセラミックグリーンシートの上側を積層ヘッドで吸引し、吸引された前記当て板または前記セラミックグリーンシートの下側に積層ベッドを当接させて、前記積層ベッドに積層するセラミックグリーンシートの積層装置において、前記当て板に複数の係止孔が設けられると共に、前記積層ベッドに既に積層した前記当て板の上に前記積層ヘッドに吸引した最初の前記セラミックグリーンシートを位置決めして積層する時、前記セラミックグリーンシートを前記係止孔に押し込んで固定する押圧ロッドが備えられることを特徴とする。
【０００８】
前記当て板を前記キャリアテーブルに搬送する際、前記係止孔の底部に接着テープを貼り付ける接着テープ貼り付け部が備えられることを特徴とする。
【０００９】
本発明によるセラミックグリーンシートの積層方法は、キャリアテーブルで順次送り込まれる当て板またはセラミックグリーンシートの上側を積層ヘッドで吸引し、吸引された前記当て板または前記セラミックグリーンシートの下側に積層ベッドを当接させて、前記積層ベッドに積層するセラミックグリーンシートの積層方法において、前記積層ベッドに既に積層した前記当て板の上に前記積層ヘッドに吸引した最初の前記セラミックグリーンシートを位置決めして積層する時、押圧ロッドで前記セラミックグリーンシートを前記当て板に設けられた複数の係止孔に押し込んで固定する工程が備えられることを特徴とする。
【００１０】
前記当て板を前記キャリアテーブルに搬送する際、前記係止孔の底部に接着テープを貼り付ける工程が、備えられることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によるセラミックグリーンシートの積層装置またはセラミックグリーンシートの積層方法によれば、押圧ロッドでセラミックグリーンシートを当て板の係止孔に押し込むようにしたので、当て板とセラミックグリーンシートがずれないように固定できる。これにより、セラミックグリーンシートに設けられたキャビティと当て板のキャビティ孔との位置関係を精度のよいものにできる。さらに、位置決めピンを有する載置板は使用しないで済む。セラミックグリーンシートには位置決めピン用の孔が必要ない。
【００１２】
請求項２、４によれば、当て板の係止孔の底部に接着テープを貼り付ける接着テープ貼り付け部を備えたので、接着テープとセラミックグリーンシートを係止孔の底部で接着することができる。係止孔による固定と合わせて強固な固定ができる。接着テープは係止孔の底部の小さな領域に貼り付けるので、接着テープ貼り付け部による装置規模の増大はほとんどない。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明によるセラミックグリーンシートの積層装置の平面図である。
【図２】図１に示すセラミックグリーンシートの積層装置の正面図である。
【図３】図１に示すセラミックグリーンシートの積層装置の左側面図である。
【図４】図１の積層部の部分縦断面図である。
【図５】本発明によるセラミックグリーンシート仮積層体を示す図である。
【図６】本発明による当て板の平面図である。
【図７】本発明による積層工程を示す図である。
【図８】本発明による積層工程を示す図である。
【図９】本発明によるセラミックグリーンシート仮積層体を真空パックする時の説明図である。
【図１０】従来のセラミックグリーンシート仮積層体を真空パックする時の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照にして、本発明によるセラミックグリーンシートの積層装置とその積層方法について説明する。
【実施例】
【００１５】
図１は、本発明によるセラミックグリーンシートの積層装置の平面図である。セラミックグリーンシートの積層装置１００は、装置右側面の当て板供給部５と装置左側面のセラミックグリーンシート供給部１１を有し、積層部６で当て板１０の上に複数のセラミックグリーンシート１２を積層して、セラミックグリーンシート仮積層体１６となる。セラミックグリーンシート仮積層体１６は装置右側面から取り出せる。
【００１６】
セラミックグリーンシート供給部１１は、第１マガジン１１ａ、第２マガジン１１ｂ、第３マガジン１１ｃ、第４マガジン１１ｄ、第５マガジン１１ｅで構成される。セラミックグリーンシート１２は、トレー１５に搭載されており、第１マガジン〜第５マガジンから順次取り出される。そしてセラミックグリーンシート１２はシート取出し部１３に分離され、トレー１５はトレー排出部９に排出される。セラミックグリーンシート１２は、シート搬送クレーン１８でキャリアテーブル８に送り込まれる。
【００１７】
当て板供給部５から取り出された当て板は、接着テープ貼付け部４にて、底部の所定の箇所に接着テープ３が貼られ、当て板搬送クレーン１９でキャリアテーブル８に送り込まれる。接着テープ貼付け部４は、一点鎖線で示すように、オプションであり、本装置に組み込まれない場合もある。ずれ認識部７は、キャリアテーブル８に載置された当て板１０またはセラミックグリーンシート１２のずれを表面に印刷されたマークで検知する。このようにして当て板１０またはセラミックグリーンシート１２が、キャリアテーブル８で積層部６に送り込まれる。符号１は操作パネル、符号２は制御部である。
【００１８】
図２は、セラミックグリーンシートの積層装置の正面図である。シート搬送クレーン１８によってセラミックグリーンシート１２がキャリアテーブル８に搬送される。積層部６は積層ヘッド６ａと積層ベッド６ｂからなる。
【００１９】
図３は、セラミックグリーンシートの積層装置の左側面図である。トレー搬送クレーン１７によってマガジンから取り出されたトレー１５に搭載のセラミックグリーンシート１２が、取り出しテーブル３２に搬送される。トレー排出部９に、空となったトレー１５が排出される。
【００２０】
図４は、積層部の部分縦断面図である。図４は、当て板１０の上に５層のセラミックグリーンシート１２が積層され、積層ベッド６ｂが下降する場合を示している。積層ヘッド６ａには押圧ロッド１４が取り付けられる。押圧ロッド１４は、当て板１０にセラミックグリーンシート１２が積層される時、下方に突き出て、セラミックグリーンシート１２を押圧する。これにより当て板１０に最初のセラミックグリーンシート１２が積層される時は、セラミックグリーンシート１２を当て板１０の係止孔３０に押し込む。積層ベッド６ｂの積層済みのセラミックグリーンシート１２に、積層ヘッド６ａのセラミックグリーンシート１２を積層する場合にも押圧ロッド１４で押圧することができる。
【００２１】
図４に示すように、積層ベッド６ｂには、当て板１０の下側の周囲の複数箇所を吸引する吸引ダクト２１が設けられる。これによりセラミックグリーンシート仮積層体１６が積層ベッド１６に保持される。図示しないが、積層ヘッド６ａには、セラミックグリーンシート１２の上側の周囲の複数箇所を吸引して、これを保持する吸引ダクトが設けられる。
【００２２】
図４に示すように、押圧ロッド１４は、セラミックグリーンシート１２とセラミックグリーンシート１２を積層する際にも動作させることができる。なお、押圧ロッド１４は、固定に適した形状の係止孔３０として、セラミックグリーンシート１２を押し込むだけに使用することもできる。なお、セラミックグリーンシート１２を当て板１０の係止孔３０に容易に押し込めるようにするため、加熱した押圧ロッド１４あるいは加熱した当て板１０を使用し、セラミックグリーンシート１２を変形しやすくしてもよい。押圧ロッド１４と係止孔３０の形状は、円形としたが、これに限られるものではない。
【００２３】
図５は、本発明によるセラミックグリーンシート仮積層体を示す図である。セラミックグリーンシート１２は５層からなる。第１セラミックグリーンシート１２ａ、第２セラミックグリーンシート１２ｂ、第３セラミックグリーンシート１２ｃ、第４セラミックグリーンシート１２ｄおよび第５セラミックグリーンシート１２ｅは、それぞれ第１マガジン１１ａ、第２マガジン１１ｂ、第３マガジン１１ｃ、第４マガジン１１ｄおよび第５マガジン１１ｅから供給される。なお、本実施例では、５層としたが、これに限られるものではない。
【００２４】
セラミックグリーンシート１２は、電極パターン２２が印刷された印刷面を下向きにして積層される。電子部品を埋め込むキャビティ２０は、当て板１０にはキャビティ孔２９が設けられる。従って、図１０に示すような従来例とは異なり、キャビティ２０は下向きに形成される。図５に示すように、当て板１０の上側のセラミックグリーンシート１２が係止孔３０に押し込まれている。これにより、当て板１０の上のセラミックグリーンシート１２は上下左右に動かないようにできる。係止孔３０の底部にあらかじめ接着テープ３を貼っておくことにより、係止孔３０に押し込まれたセラミックグリーンシート１２に接着して、セラミックグリーンシート１２の固定を強化できる。
【００２５】
図６は、本発明による当て板の平面図である。当て板１０には、周囲に係止孔３０が設けられ、中央部にはキャビティ孔２９が設けられる。なお、当て板１０の厚さは、０．２ｍｍステンレス板を使用した。縦×横の寸法は約１８０ｍｍである。係止孔３０の個数は８つとしたが、これに限られるものではない。
【００２６】
図７と図８は、本発明による積層工程を示す図である。図７と図８の（Ａ）〜（Ｈ）は、セラミックグリーンシート１２が、当て板１０に積層される工程を示すもので、当て板１０を積層ベッド６ｂに保持するまでの工程、セラミックグリーンシート１２が既に積層されたセラミックグリーンシート１２に積層される工程は省略した。当て板１０を積層ベッド６ｂに保持することは、（Ａ）〜（Ｇ）と同様の工程により実現できる。
【００２７】
図７の（Ａ）は、キャリアテーブル８に第１セラミックグリーンシート１２ａを載置する工程を示す。第１セラミックグリーンシート１２ａの下側が吸引され、第１セラミックグリーンシート１２ａがキャリアテーブル８に保持される。この時、ずれ認識部７が第１セラミックグリーンシート１２ａのずれ量を表面に印刷されたマークで検知する。なお、積層ベッド６ｂには、すでに当て板１０が搬送されているものとする。当て板１０は、下側が吸引されて積層ベッド６ｂに保持されている。
【００２８】
図７の（Ｂ）は、キャリアテーブル８で第１セラミックグリーンシート１２ａを積層部６に送り込む工程を示す。図７の（Ｃ）は、第１セラミックグリーンシート１２ａの上側が吸引されて、積層ヘッド６ａに保持される工程を示す。キャリアテーブル８は元の位置に戻される。図７の（Ｄ）は、積層ヘッド６ａがずれ認識部７で検知された位置補正量に基づき位置補正される工程を示す。積層ヘッド６ａが前後左右に微小移動され水平面上で微小回転される。これにより第１セラミックグリーンシート１２ａは、当て板１０との積層に最も適した位置に移動される。
【００２９】
図８の（Ｅ）は、積層ベッド６ｂが積層ヘッド６ａに向って上昇し、当て板１０が第１セラミックグリーンシート１２ａに当接する工程を示す。当て板１０と第１セラミックグリーンシート１２ａは密着される。図８の（Ｆ）は、押圧ロッド１４が積層ヘッド６ａの底部から突き出て、第１セラミックグリーンシート１２ａを当て板１０の係止孔３０に押し込む工程を示す。図８の（Ｇ）は、積層ベッド６ｂを下降し、積層ヘッド６ａも元の位置に戻す工程を示す。積層ベッド６ｂは、当て板１０の下側を吸引して当て板１０と第１セラミックグリーンシート１２ａを積層した状態で保持している。図８の（Ｈ）は、キャリアテーブル８に第１セラミックグリーンシート１２ａを載置する工程を示す。これは図７の（Ａ）と同じ工程であり、以下繰り返して、第２〜第５セラミックグリーンシート１２ｂ〜１２ｅが積層される。
【００３０】
図９は、本発明によるセラミックグリーンシート仮積層体を真空パックする時の説明図である。キャビティ２０が開口するセラミックグリーンシート仮積層体１６の下側にゴムシート２６を敷く。セラミックグリーンシート仮積層体１６の上側にはフリーの押え板２５を載せる。これにより等方圧プレスする時のセラミックグリーンシート１２の変形を防ぐ。セラミックグリーンシート１２は、当て板１０の係止孔３０で固定されているので、このような取り扱いをする場合にもずれない。このような固定は解除が容易であり、当て板１０をセラミックグリーンシート１２から分離する場合に有利である。
【産業上の利用可能性】
【００３１】
本発明は、セラミックグリーンシートを当て板の上にずれないように固定できる積層装置及ぶ積層方法として好適である。
【符号の説明】
【００３２】
１    操作パネル
２    制御部
３    接着テープ
４    接着テープ貼付け部
５    当て板供給部
６    積層部
６ａ    積層ヘッド
６ｂ    積層ベッド
７    ずれ認識部
８    キャリアテーブル
９    トレー排出部
１０    当て板
１１    セラミックグリーンシート供給部
１１ａ    第１マガジン
１１ｂ    第２マガジン
１１ｃ    第３マガジン
１１ｄ    第４マガジン
１１ｅ    第５マガジン
１２    セラミックグリーンシート
１２ａ    第１セラミックグリーンシート
１２ｂ    第２セラミックグリーンシート
１２ｃ    第３セラミックグリーンシート
１２ｄ    第４セラミックグリーンシート
１２ｅ    第５セラミックグリーンシート
１３    シート取出し部
１４    押圧ロッド
１５    トレー
１６    セラミックグリーンシート仮積層体
１７    トレー搬送クレーン
１８    シート搬送クレーン
１９    当て板搬送クレーン
２０    キャビティ
２１    吸引ダクト
２２    電極パターン
２３    裏面
２４    印刷面
２５    押え板
２６    ゴムシート
２７    ビニール袋
２８    位置決めピン
２９    キャビティ孔
３０    係止孔
３１    載置板
３２    取り出しテーブル
３３    位置決めピン用の孔
１００    セラミックグリーンシートの積層装置
【図１】
2011161846.tif 000003
【図２】
2011161846.tif 000004
【図３】
2011161846.tif 000005
【図４】
2011161846.tif 000006
【図５】
2011161846.tif 000007
【図６】
2011161846.tif 000008
【図７】
2011161846.tif 000009
【図８】
2011161846.tif 000010
【図９】
2011161846.tif 000011
【図１０】
2011161846.tif 000012