(57)【要約】【課題】外部接続端子と絶縁基板の配線パターンとの超音波接合部分の接合強度を高くして半導体装置の長期信頼性を得る。【解決手段】超音波接合ツールによって絶縁基板１４の配線パターンに接合される外部接続端子１８，２０の接合端部１８ｃ，２０ａをビッカース硬度で９０以上の硬度にする。複数の接合端部１８ｃがバー１８ａに一体に設けられた外部接続端子１８については、バー１８ａの長さ方向の略中央に位置する接合端部１８ｃを最初に接合し、その後は、両端に向かって交互に接合していく。接合端部１８ｃ，２０ａを硬くしたことにより、超音波接合部の強度が増し、また、複数の接合端部１８ｃを有する外部接続端子１８は、その中央のものから接合していくことで両端側における接合端部１８ｃの正規位置からのずれを小さく抑えることができるので、接合強度を高く維持できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁基板にパワー半導体チップが搭載され、外部接続端子を前記絶縁基板に形成された配線パターンに超音波接合にて接合することにより構成される半導体装置において、
前記外部接続端子は、前記配線パターンに接合される少なくとも接合端部の硬度を、ビッカース硬度で少なくとも９０にした銅であることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
前記外部接続端子は、帯状のバーと、前記バーの幅方向の一方より延出された少なくとも１つの端子部と、前記バーの幅方向の他方より延出され前記バーの長さ方向に複数設けられた前記接合端部とが一体に形成され、前記外部接続端子の全体または前記接合端部を含む一部が硬化処理されている請求項１記載の半導体装置。
【請求項３】
絶縁基板にパワー半導体チップが搭載され、外部接続端子を前記絶縁基板に形成された配線パターンに超音波接合にて接合することにより構成される半導体装置の製造方法において、
ビッカース硬度で少なくとも９０の硬度を有する接合端部が同一方向に複数配置された銅の前記外部接続端子を前記絶縁基板上の前記配線パターンに接合するとき、複数の前記接合端部のうち、略中央に配置されている１つを最初に接合し、その後は、両端に向かって交互に１つずつ接合していくことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記超音波接合は、厚さが１．０ミリメートルの前記接合端部に対し、接合界面に垂直な約５００ニュートンの荷重を加えながら、１９．１５キロヘルツの周波数、約５０マイクロメートルの振幅の超音波振動を、水平方向に５００ミリ秒間加えることにより行われることを特徴とする請求項３記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体装置およびその製造方法に関し、特に絶縁基板上の配線パターンと外部接続端子との接合部に関して信頼性を向上させた大型で大容量の半導体装置およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電力変換に用いられる半導体装置は、たとえばセラミックからなる板状の絶縁部材の上面に銅等からなる配線パターンが形成された絶縁基板を有し、その配線パターンに半導体素子の裏面電極がはんだ接合されている。このような半導体装置では、絶縁基板から離れた位置に外部接続端子が設置され、その外部接続端子と配線パターンとは、ワイヤボンディングにより接続した構成を有している。また、絶縁基板は、その裏面に形成された銅箔と銅製のベースプレートとをはんだ接合することによってそのベースプレートに固定されている。
【０００３】
大規模な電力変換システムでは、省スペース化が求められている。このためには、半導体装置を大型化および大容量化して電力当たりの半導体装置の使用個数を削減する必要がある。大容量の半導体装置は、外部接続端子と配線パターンとをワイヤボンディングにより接続する構成では必要な電流容量を確保するには多数のワイヤを使用する必要があるので、外部接続端子を配線パターンに直接接合する方法が採られている。
【０００４】
この外部接続端子と配線パターンとの接合は、はんだ接合による場合が多い。しかし、はんだによる接合は、半導体装置の大型化および大容量化によってその接合部の信頼性を確保することが難しくなってきている。すなわち、半導体装置は、その使用時に発生する熱によりベースプレートが変形するが、大型になるほど変形により外部接続端子の接合部にかかる応力が非常に高くなってくる。また、はんだ接合をするときには、はんだを溶融するために加熱する必要があるが、その加熱によりベースプレートが変形し、複数の接合部が一体に形成された外部接続端子の場合、接合位置によっては、外部接続端子と配線パターンとの距離が変化してしまうことがある。また、はんだは、外部接続端子および配線パターンよりも電気抵抗が約１桁程度高いため、大容量化するほどはんだで発生するジュール熱の発生熱量が多くなり、電力変換システムにおける動作時の損失が大きくなってしまう。
【０００５】
このはんだ接合に対し、外部接続端子と配線パターンとの接合を超音波で行うようにした大型で大容量の半導体装置の事例が知られている（たとえば、特許文献１参照）。超音波接合は、外部接続端子の接合端部に、外部接続端子と配線パターンとの接合界面に対して垂直な荷重を加えながら水平方向に超音波振動を加えることにより行われる。超音波接合は、常温で短時間に大気中で行うことが可能であり、同一材質の金属による固相接合であることから、接合部の信頼性が高いという特徴がある。
【０００６】
大容量の半導体装置の場合、外部接続端子は、その断面積を増やすために厚さを厚くする必要がある。たとえば、厚さ０．８ミリメートルの銅板を用いた外部接続端子の場合、そのビッカース硬度を８０以下にしないと、超音波接合部の信頼性が確保できないことが知られている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】米国特許公開公報第２００８／０２１１０９１号
【特許文献２】特許第３５２４３６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、硬度の低い外部接続端子を用いると、外部接続端子を含む全体の強度が得られなくなり、特に、さらなる大容量化のために外部接続端子の板厚をさらに厚くしようとした場合には、強度不足となって、半導体装置の長期信頼性が低下してしまうという問題点があった。
【０００９】
また、半導体装置が大型化することによって、長いバーに突設するように複数の接合端部が一体に形成された外部接続端子を絶縁基板上の所定位置に形成された配線パターンに超音波接合するとき、外部接続端子の加工精度や接合時の組み立て精度により、接合位置の位置合わせが難しく、接合位置のずれによる接合強度が低下し、半導体装置の長期信頼性が低下してしまうという問題点があった。
【００１０】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、超音波接合部に長期信頼性を有する半導体装置およびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明では上記の課題を解決するために、絶縁基板にパワー半導体チップが搭載され、外部接続端子を前記絶縁基板に形成された配線パターンに超音波接合にて接合することにより構成される半導体装置において、前記外部接続端子は、前記配線パターンに接合される少なくとも接合端部の硬度を、ビッカース硬度で少なくとも９０にした銅であることを特徴とする半導体装置が提供される。
【００１２】
また、本発明では、絶縁基板にパワー半導体チップが搭載され、外部接続端子を前記絶縁基板に形成された配線パターンに超音波接合にて接合することにより構成される半導体装置の製造方法において、ビッカース硬度で少なくとも９０の硬度を有する接合端部が同一方向に複数配置された銅の前記外部接続端子を前記絶縁基板上の前記配線パターンに接合するとき、複数の前記接合端部のうち、略中央に配置されている１つを最初に接合し、その後は、両端に向かって交互に１つずつ接合していくことを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
【００１３】
このような半導体装置およびその製造方法によれば、接合端部の硬度をビッカース硬度で少なくとも９０にしたことにより、配線パターンに外部接続端子を接合したときの強度を高くすることができる。また、接合端部が複数ある外部接続端子の接合において、略中央に配置の接合端部から接合することによって、接合端部が直線状に正確に並んでいない場合に、両端の接合端部は略中央の接合位置からのずれを小さくできるので、接合面における接合強度を高くすることができる。
【発明の効果】
【００１４】
上記構成の半導体装置およびその製造方法は、硬度をビッカース硬度で少なくとも９０程度にまで高めたことにより、外部接続端子を含む全体の強度を高くすることができたので、半導体装置の長期信頼性が向上するという利点がある。また、接合端部が直線状に並んでいる外部接続端子は、並び方向の略中央に配置されている接合端部から接合していくことによって、両端の接合端部の接合位置は、正規位置からのずれが小さく、接合面積の低減も少なくなって、接合面における接合強度を高く維持できたので、長期信頼性を有する半導体装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施の形態に係る半導体装置の内部を示す斜視図である。
【図２】外部接続端子の超音波接合動作を示す説明図である。
【図３】水平方向に曲がっている外部接続端子と配線パターンとの接合状態を示す平面図であって、（Ａ）は従来の製造方法による接合状態を示し、（Ｂ）は本発明の製造方法による接合状態を示している。
【図４】外部接続端子と配線パターンとの接合状態を示す側面図であって、（Ａ）は従来の製造方法による接合状態を示し、（Ｂ）は本発明の製造方法による接合状態を示している。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
図１は本発明の実施の形態に係る半導体装置の内部を示す斜視図、図２は外部接続端子の超音波接合動作を示す説明図である。
【００１７】
半導体装置１０は、ベースプレート１２と、その上面に搭載された絶縁基板１４と、その上に搭載されるパワー半導体チップ１６および外部接続端子１８，２０と、これらを覆うカバー（図示しない）とを備えている。
【００１８】
ベースプレート１２は、熱伝導率の高い、たとえば銅製の厚い板によって形成されている。絶縁基板１４は、その構成が図２に示されるように、セラミックからなる板状の絶縁部材１４ａを有し、その上面に銅等からなる配線パターン１４ｂが形成され、下面には銅箔１４ｃが形成されている。その銅箔１４ｃは、はんだ２２によってベースプレート１２に接合されている。なお、図１では、配線を形成するような詳細な配線パターン１４ｂは省略し、さらに、絶縁基板１４間のボンディングワイヤによる電気的な接続等も省略してある。
【００１９】
パワー半導体チップ１６は、たとえばＩＧＢＴ（Insulated Gate Bipolar Transistor）およびフリーホイーリングダイオードのようなパワー半導体素子とすることができ、それらの裏面電極が絶縁基板１４の配線パターン１４ｂにはんだ接合されている。なお、図１は、ＩＧＢＴおよびフリーホイーリングダイオードが１２個ずつ搭載されている例を示している。
【００２０】
外部接続端子１８，２０は、その一端がカバーより外部に突出され、他端は、絶縁基板１４の配線パターン１４ｂに超音波接合される。外部接続端子１８は、主回路用のものであり、外部接続端子２０は、制御回路用のものである。主回路用の外部接続端子１８は、パワー半導体チップ１６同士の内部配線も兼ねている。そのため、外部接続端子１８は、帯状に細長いバー１８ａと、これより上方に延出されてカバーの外部に突出される端子部１８ｂと、バー１８ａより下方に延出されて配線パターン１４ｂに接合される複数の接合端部１８ｃとが一体に形成されている。
【００２１】
ここで、外部接続端子１８，２０は、大容量化のためにたとえば１．０ミリメートルの厚さを有する銅の板を所定の形状にプレスで打ち抜き、所定の形状に折り曲げ加工することによって形成されている。なお、配線パターン１４ｂに接合される外部接続端子１８，２０の接合端部１８ｃ，２０ａについては、その硬度をビッカース硬度で少なくとも９０程度、好ましくは、１１０程度まで高める硬化処理を施している。この硬化処理例としては、たとえば焼き入れによる熱処理にて行われるが、接合端部１８ｃ，２０ａの硬度を高くすることができれば、焼き入れに限定されることなく、素材も含めどのような硬化処理でもよい。また、この硬化処理は、外部接続端子１８，２０の接合端部１８ｃ，２０ａだけに対して部分的に実施するのでなく、外部接続端子１８，２０の全体に対して実施してもよい。
【００２２】
また、外部接続端子１８，２０に硬化処理を施すことによって端子素材自体の引張強度を高くすることができる。たとえばビッカース硬度が５５の接合端部１８ｃ，２０ａを接合したとき、引張強度は４８１ニュートン程度であるのに対し、ビッカース硬度が１００の接合端部１８ｃ，２０ａの場合は、引張強度が５２５ニュートンとなり、端子の破断強度が高くなる効果がある。
【００２３】
なお、この発明において、「銅」は、不可避的に微量の不純物を含む銅または銅合金のいずれでもよく、特に、銅合金のうち無酸素銅が好ましい。
硬度が高められた外部接続端子１８，２０の接合端部１８ｃ，２０ａは、図２に示したように、絶縁基板１４の配線パターン１４ｂに超音波接合される。すなわち、外部接続端子１８，２０は、治具により保持された状態で接合端部１８ｃ，２０ａが絶縁基板１４の配線パターン１４ｂに当接するまで降下され、接合端部１８ｃ，２０ａの上に超音波接合ツール２４が配置される。超音波接合ツール２４は、接合端部１８ｃ，２０ａと配線パターン１４ｂとの接合界面に対して約５００ニュートンの垂直な荷重を加えながら、１９．１５キロヘルツの周波数、約５０マイクロメートルの振幅の超音波振動を、水平方向に５００ミリ秒間加えることにより超音波接合が行われる。
【００２４】
硬度の高い外部接続端子１８，２０の接合端部１８ｃ，２０ａを相対的にビッカース硬度の小さい（たとえば３０から５０程度）絶縁基板１４の配線パターン１４ｂに超音波接合することにより、外部接続端子１８，２０の配線パターン１４ｂに対する強度を、端子硬度がビッカース硬度で８０以下とした場合に比較して、５〜２０％高くすることができる。
【００２５】
また、上記接合条件によると、接合界面の接合強度が母材の破断強度より高くなっている。すなわち、接合された外部接続端子１８，２０の引張試験を行った結果、外部接続端子１８，２０の破断は、接合界面ではなく母材破断となっており、接合界面破断と比較し強度を高くすることができる。
【００２６】
半導体装置１０が大型化したことによって、その内部に用いられる主回路用の外部接続端子１８も大型化している。図１に示すように、たとえば１０００アンペアの電流容量を有する１２個のパワー半導体チップ１６が内蔵されているような半導体装置１０の場合、外部接続端子１８は、バー１８ａの長さが２０数センチメートルにもなることがある。このため、外部接続端子１８の加工精度や超音波接合時の組み立て精度に問題があると、外部接続端子１８を超音波接合するときの接合位置にずれが生じてしまう。次に、このような接合位置のずれを小さくする方法について説明する。
【００２７】
図３は水平方向に曲がっている外部接続端子と配線パターンとの接合状態を示す平面図であって、（Ａ）は従来の製造方法による接合状態を示し、（Ｂ）は本発明の製造方法による接合状態を示している。図４は外部接続端子と配線パターンとの接合状態を示す側面図であって、（Ａ）は従来の製造方法による接合状態を示し、（Ｂ）は本発明の製造方法による接合状態を示している。
【００２８】
半導体装置１０の従来の製造方法によれば、バー１８ａと複数の接合端部１８ｃとが一体に形成された外部接続端子１８を絶縁基板１４の配線パターン１４ｂに超音波接合するときには、端に位置する接合端部１８ｃから順次接合している。
【００２９】
ここで、５つの配線パターン１４ｂ１〜１４ｂ５に５つの接合端部１８ｃ１〜１８ｃ５がそれぞれ接合される場合について説明する。バー１８ａが湾曲している場合は、図３の（Ａ）に示したように、最初は、一番端の接合端部１８ｃ１を正確に位置決めして接合が行われる。このとき、２番目以降の接合端部１８ｃ２〜１８ｃ５は、正規位置から少しずつずれているので、最後の接合端部１８ｃ５は、それぞれのずれの積算値の分だけ正規位置から大きくずれてしまう。このずれは、バー１８ａの長さが長くなるほど顕著になる。
【００３０】
また、外部接続端子１８の加工精度がよく、バー１８ａが湾曲していない場合であっても、外部接続端子１８を絶縁基板１４に接合する際の組み立て精度や絶縁基板１４の平坦性に問題があると、最初に一番端の接合端部１８ｃ１を配線パターン１４ｂ１に接合すると、図４の（Ａ）に示したように、その反対側の端部が浮いてしまうことがある。その結果、次に接合を行うために、超音波接合ツール２４は、配線パターン１４ｂ２から浮いている接合端部１８ｃ２に対して超音波接合の準備をしなければならない。これは、接合端部１８ｃ２の配線パターン１４ｂ２への位置決めが不安定な状態で行われるので、接合端部１８ｃ２の位置が正規位置から大きくずれてしまう原因となる。
【００３１】
これに対し、本発明の製造方法によれば、バー１８ａの長さ方向の中央近傍に位置する接合端部、図３および図４に示す例では、最初に３番目の接合端部１８ｃ３を正確に位置決めして接合する。次は、それに隣接する左右の接合端部１８ｃ２，１８ｃ４を１箇所ずつ接合し、さらに、その外側に位置する接合端部１８ｃ１，１８ｃ５を１箇所ずつ接合する。このようにして、バー１８ａの長さ方向の中央の接合端部を最初に接合し、その後は、両端に向かって、１つずつ交互に接合していく。図３および図４に示す例では、たとえば、接合は、接合端部１８ｃ３，１８ｃ２，１８ｃ４，１８ｃ５，１８ｃ１の順番で実施している。
【００３２】
上記の例では５つの配線パターン１４ｂ１〜１４ｂ５に５つの接合端部１８ｃ１〜１８ｃ５が接合される場合について説明したが、配線パターンと接合端部との数が、たとえば６つの場合でも、中央の接合端部から順次接合すればよい。すなわち、接合端部の数が奇数（２ｎ＋１）であるときは端からｎ＋１番目の接合端部から順次ｎ番目、ｎ＋２番目の接合端部を交互に接合すればよく、偶数（２ｍ）であるときは端からｍ番目の接合端部から順次ｍ＋１番目、ｍ−１番目の接合端部を交互に接合すればよい（ｎ，ｍは正の整数である。）。
【００３３】
最初の接合をバー１８ａの長さ方向の中央の接合端部から開始することにより、位置合わせの矯正をすることなくても、バー１８ａの両端における接合位置のずれを半分にすることができる。接合部分の正規位置からのずれを低減して接合精度を高めたことにより、接合強度の低下が抑制され、半導体装置１０の長期信頼性を保持することができる。
【符号の説明】
【００３４】
１０  半導体装置
１２  ベースプレート
１４  絶縁基板
１４ａ  絶縁部材
１４ｂ，１４ｂ１〜１４ｂ５  配線パターン
１４ｃ  銅箔
１６  パワー半導体チップ
１８  外部接続端子
１８ａ  バー
１８ｂ  端子部
１８ｃ，１８ｃ１〜１８ｃ５  接合端部
２０  外部接続端子
２０ａ  接合端部
２２  はんだ
２４  超音波接合ツール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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