(57)【要約】【課題】簡便に、高精度の調整を行うことができるようにする。【解決手段】顕微鏡１が観察状態から傾倒状態になると、照明支柱１２が傾倒して、ターゲット板２２が落射照明光の光軸上に入って、レーザ光源２４を有する落射照明装置１４から出射された落射照明光が、そのターゲット板２２上に投影され、落射照明光のスポットＳが、半透明のターゲット板２２の投影面を通して観察可能となる。これにより、使用者は、ターゲット板２２を上方から覗き込んで、調整機器２６の微動ねじ２６ａ，２６ｂの回転操作を行って、光ファイバ２５の出力端の位置を微調整して、落射照明光のスポットＳを、Ｘ，Ｙ方向に移動させて、パターン２２ａの同心円の中心にくるようにすることで、簡便に、高精度の調整を行うことができる。本発明は、倒立型の顕微鏡に適用することができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を光源とする照明光学系と、
前記照明光学系を収容する本体部に対して傾倒自在に支持される保持部材に保持され、その表面上に前記レーザ光の光軸の調整に用いられるパターンが形成された拡散板と
を備え、
前記拡散板は、前記照明光学系により導かれる前記レーザ光の光軸を調整する場合、前記保持部材が傾倒することによって、前記レーザ光の光軸上に配置される
ことを特徴とする顕微鏡。
【請求項２】
前記拡散板に形成された前記パターンの中心は、前記照明光学系の対物レンズを固定する固定部材の中心と一致するように、あらかじめ調整されており、
前記パターンの中心に対する前記レーザ光の光軸のずれを所定の許容範囲内に抑えるために、前記照明光学系に配置された光学部材を調整する調整機器をさらに備える
ことを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡。
【請求項３】
前記パターンの中心に対する前記レーザ光の光軸のずれ量を検出する検出手段と、
検出された前記ずれ量に基づいて、前記調整機器による前記光学部材の調整を制御して、前記レーザ光の光軸を前記パターンの中心と一致させる制御手段と
をさらに備えることを特徴とする請求項２に記載の顕微鏡。
【請求項４】
前記顕微鏡は、傾倒可能な倒立顕微鏡である
ことを特徴とする請求項１から３の何れか一項に記載の顕微鏡。
【請求項５】
レーザ光を光源とする照明光学系と、
前記照明光学系により導かれる前記レーザ光の光軸に対して挿脱可能であって、その表面上に前記レーザ光の光軸の調整に用いられるパターンが形成された拡散板と、
前記拡散板に投影された前記レーザ光の像を撮像する撮像手段と
を備え、
前記拡散板は、前記照明光学系により導かれる前記レーザ光の光軸を調整する場合、前記レーザ光の光軸上に配置される
ことを特徴とする顕微鏡。
【請求項６】
前記拡散板に形成された前記パターンの中心は、前記照明光学系の対物レンズを固定する固定部材の中心と一致するように、あらかじめ調整されており、
前記パターンの中心に対する前記レーザ光の光軸のずれを所定の許容範囲内に抑えるために、前記照明光学系に配置された光学部材を調整する調整機器をさらに備える
ことを特徴とする請求項５に記載の顕微鏡。
【請求項７】
前記撮像手段により撮像された画像データに基づいて、前記パターンの中心に対する前記レーザ光の光軸のずれ量を検出する画像処理手段と、
検出された前記ずれ量に基づいて、前記調整機器による前記光学部材の調整を制御して、前記レーザ光の光軸を前記パターンの中心と一致させる制御手段と
をさらに備えることを特徴とする請求項６に記載の顕微鏡。
【請求項８】
前記拡散板に投影された前記レーザ光の像を前記撮像手段に導く撮像光学系をさらに備え、
前記撮像光学系は、前記レーザ光が外部に漏れないようにするための保護部材により覆われている
ことを特徴とする請求項５から７の何れか一項に記載の顕微鏡。
【請求項９】
前記拡散板は、前記照明光学系を収容する本体部に対して傾倒自在に支持される保持部材に保持されており、
前記保持部材が傾倒した場合、前記レーザ光の射出を停止させる制御手段をさらに備える
ことを特徴とする請求項５から８の何れか一項に記載の顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
顕微鏡における照明光の光軸を調整する方法としては、一般的に、芯出し工具を用いる方法が知られている。
【０００３】
また、対物レンズの代わりにレボルバに対して取り付けられ、対物レンズの瞳面上に形成される光源投影像を観察することにより、照明を調整する照明用調整器具がある（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−３２３１７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の技術であると、照明光の光軸の微小な角度のずれを検出することが困難であるため、調整の精度が高いとは言えず、その精度を向上させたいという要求があった。
【０００６】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、照明光の光軸を調整する作業を行うに際し、簡便に、高精度の調整を行うことができるようにするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の顕微鏡は、レーザ光を光源とする照明光学系と、前記照明光学系を収容する本体部に対して傾倒自在に支持される保持部材に保持され、その表面上に前記レーザ光の光軸の調整に用いられるパターンが形成された拡散板とを備え、前記拡散板は、前記照明光学系により導かれる前記レーザ光の光軸を調整する場合、前記保持部材が傾倒することによって、前記レーザ光の光軸上に配置されることを特徴とする。
【０００８】
本発明の第２の顕微鏡は、レーザ光を光源とする照明光学系と、前記照明光学系により導かれる前記レーザ光の光軸に対して挿脱可能であって、その表面上に前記レーザ光の光軸の調整に用いられるパターンが形成された拡散板と、前記拡散板に投影された前記レーザ光の像を撮像する撮像手段とを備え、前記拡散板は、前記照明光学系により導かれる前記レーザ光の光軸を調整する場合、前記レーザ光の光軸上に配置されることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、簡便に、高精度の調整を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明を適用した顕微鏡の一実施の形態の構成（第１の構成）を示す図である。
【図２】図１の顕微鏡を傾倒させたときの構成を示す図である。
【図３】図２の顕微鏡の上面図である。
【図４】本発明を適用した顕微鏡の一実施の形態の構成（第２の構成）を示す図である。
【図５】本発明を適用した顕微鏡の一実施の形態の構成（第３の構成）を示す図である。
【図６】図５の顕微鏡の左側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。
【００１２】
図１は、本発明を適用した顕微鏡の一実施の形態の構成（第１の構成）を示す図である。
【００１３】
図１に示すように、倒立型の顕微鏡１は、本体部１１と、この本体部１１の背面側に設けられた照明支柱１２に支持された透過照明装置１３と、背面に設けられた落射照明装置１４と、前面側に設けられた接眼レンズ６６を固定する双眼鏡筒１５と、標本を収容したペトリディッシュ等の容器（不図示）を載置するステージ１６とを備える。
【００１４】
ステージ１６の下面には、焦準部１７が設けられている。焦準部１７は、複数の対物レンズ（図１では対物レンズ１８のみを図示している）が装着されているレボルバを支持する焦準可動機構を、上下方向に駆動可能に支持している。
【００１５】
また、焦準部１７の下方には、２種類のフィルタとダイクロイックミラーとの組み合わせからなるフィルタブロック２０を複数備えたフィルタターレット１９が設けられている（図１では、フィルタブロック２０Ａ及び２０Ｂが図示されている）。
【００１６】
顕微鏡１において透過照明を用いて標本の観察を行う場合、図１に示すように、透過照明装置１３の光源３１から発せられた透過照明光は、コレクタレンズ３２を透過した後、反射鏡３３によりコンデンサレンズ３４の方向に反射され、容器内の標本に照射される。そして、標本を透過した透過照明光は、対物レンズ１８、フィルタブロック２０、及び第２対物レンズ６１を透過した後、ハーフミラー６２により反射され、撮像装置（図３のCCDカメラ２３）に導かれる。これにより、撮像装置により透過照明光による標本の像が撮像される。一方、ハーフミラー６２を通過した光は、光路変換プリズム６３によりプリズム６４の方向に反射され、プリズム６４及び反射鏡６５により、接眼レンズ６６の方向に反射される。これにより、使用者は、接眼レンズ６６を覗き込んで、透過照明光による標本の像を観察する。
【００１７】
また、顕微鏡１により落射照明を用いて標本の観察を行う場合、落射照明装置１４の光源（後述する図３のレーザ光源２４）から発せられた落射照明光（レーザ光）は、所定の照明光学系を介して、ミラー４３により反射され、フィールドレンズ４４及び４５を透過した後、フィルタブロック２０に到達する。フィルタブロック２０では、落射照明光のうちの所定の波長のみが透過されて、対物レンズ１８の方向に反射され、対物レンズ１８を介して容器内の標本に落射照明光が照射される。そして、落射照明光を照射することにより標本から発せられた蛍光は、対物レンズ１８を透過した後、フィルタブロック２０により所定の波長のみが抽出され、第２対物レンズ６１及びハーフミラー６２によって撮像装置（図３のCCDカメラ２３）に導かれ、標本から発せられた蛍光の像が撮像される。一方、ハーフミラー６２の反射面を透過した光は、光路変換プリズム６３によりプリズム６４の方向に反射され、プリズム６４及び反射鏡６５により、接眼レンズ６６の方向に反射され、標本から発せられた蛍光の像が観察可能となる。
【００１８】
以上のようにして、顕微鏡１では、透過照明又は落射照明による観察が行われる。
【００１９】
また、顕微鏡１においては、図１に示すように、照明支柱１２は、本体部１１に対して回転軸２１を軸にして傾倒自在に支持されており、照明支柱１２に対して矢印Ａ方向の所定の力を与えることで、照明支柱１２が本体部１１に対して所定の角度で傾倒し、顕微鏡１を図１の状態（以下、観察状態という）から、図２の状態（以下、傾倒状態という）にすることが可能となる。なお、顕微鏡１を傾倒状態にして照明支柱１２を傾けると、ステージ１６上方に作業空間が確保できるので、例えば、顕微鏡１のメンテナンス時や、容器をステージ１６上に載置するに際して傾倒状態にする場合があるため、このような照明支柱１２を傾倒自在とする機能は、一般的な倒立型の顕微鏡が備えている機能である。
【００２０】
図１に戻り、照明支柱１２に固定された筐体（反射鏡３３を収納する筐体）の下面には、ターゲット板２２が保持されており、このターゲット板２２は、照明支柱１２が所定の角度に傾倒した場合、その傾倒に応じて移動することになる。ターゲット板２２は、例えば、アクリル板などの半透明な部材により形成される拡散板であって、照射された光を拡散させる。また、ターゲット板２２には、反射鏡３３により反射されコンデンサレンズ３４に導かれる照明光を遮らないように、その光路に対応する位置に開口部が設けられており、顕微鏡１が図１の観察状態である場合には、その観察に何ら影響を及ぼさないことになる。
【００２１】
一方、図２に示すように、顕微鏡１が傾倒状態になると、照明支柱１２が傾倒して、コンデンサレンズ３４の代わりに、ターゲット板２２が落射照明光（対物レンズ１８）の光軸Ｌ１上（光路）に入って、落射照明装置１４から照射される落射照明光が、そのターゲット板２２上に投影されることになる。このとき、落射照明光のスポットＳが、半透明のターゲット板２２の投影面を通して観察可能となるので、使用者は、ターゲット板２２を上方から覗き込んで、その透過光を確認することが可能となる。
【００２２】
ここで、図２の矢印Ｂの方向から顕微鏡１を見た場合の矢視図（上面図）を図示すると、図３のようになる。すなわち、図３に示すように、ターゲット板２２には、落射照明光の光軸Ｌ１の調整用のパターン２２ａが形成されており、その円の中心が、対物レンズ１８のマウントの中心（対物レンズ１８を固定する部材（金物）の中心）と一致するようにあらかじめ調整されている。この調整方法としては、例えば、直線状の金属棒などを用いて、その棒の一方の先端に対物レンズ１８のマウントの中心をあてて、他方の端にパターン２２ａの円の中心がくるように合わせておくことにより、パターン２２ａの同心円の中心位置が、落射照明光の光軸Ｌ１の基準位置（設計上の最適位置）に調整される。
【００２３】
これにより、例えば、図３の光ファイバ２５や照明光学系の各種のレンズを交換すると、照明光学系の偏芯などに起因して、落射照明光の光軸Ｌ１がずれてしまうことがあるが、本実施の形態では、そのずれを、ターゲット板２３上に投影された落射照明光のスポットＳと、基準位置となるパターン２２ａの同心円の中心とのずれとして、確認することが可能となる。そして、パターン２２ａの同心円の中心に対する落射照明光の光軸Ｌ１のずれを所定の許容範囲内に抑えるために、使用者は、照明光学系に配置された光学部材を調整する調整機器（例えば図３の調整機器２６）を操作して、落射照明光のスポットＳをパターン２２ａの同心円の中心に近づける調整を行う。
【００２４】
ここで、図３を参照しながら、落射照明装置１４から照射される落射照明光の調整方法の詳細について説明する。
【００２５】
図３に示すように、落射照明装置１４は、その光源として、レーザ光源２４を有しており、レーザ光源２４から出射されたレーザ光（落射照明光）は、光を転送するための光ファイバ２５の一方の端である入射端に入射した後、他端である出射端まで導かれる。落射照明装置１４は、上述したミラー４３及びフィールドレンズ４４の他に、コレクタレンズ４１、投影レンズ４２等から構成される照明光学系を鏡筒内に収納している。落射照明装置１４において、光ファイバ２５の出射端には、コレクタレンズ４１が配置されており、コレクタレンズ４１により光軸に対し略平行光束となった落射照明光は、投影レンズ４２を介してミラー４３によって、フィールドレンズ４４側に反射され、上記の通り、フィールドレンズ４５、フィルタブロック２０、及び対物レンズ１８を介して、不図示の容器内の標本に照射される。
【００２６】
この落射照明装置１４には、光ファイバ２５の出力端側に、調整機器２６が配設される。調整機器２６は、光ファイバ２５が通過するための貫通孔を有しており、その貫通孔内の光ファイバ２５の一部を挟み込んでいる。調整機器２６には、図中のＹ方向に移動可能な移動部材が設けられており、その移動部材のＹ方向の移動を調整する微動ねじ２６ａを回転させると、貫通孔内の光ファイバ２５に対して、Ｙ方向の所定の力が加えられ、光ファイバ２５の出力端のＹ方向の位置を調整することが可能となる。同様にして、微動ねじ２６ｂを回転させて、図中のＺ方向に移動可能な移動部材のＺ方向の移動を調整することにより、光ファイバ２５の出力端のＺ方向の位置を調整することが可能となる。
【００２７】
すなわち、使用者は、調整機器２６に設けられた微動ねじ２６ａ，２６ｂの回転操作を行って、光ファイバ２５の出力端のＹ，Ｚ方向の２軸方向の位置を微調整することにより、落射照明光のスポットＳ（落射照明光の光軸Ｌ１）を、図中のＸ，Ｙ方向に移動させて、パターン２２ａの同心円の中心にくるように調整を行うことになる。
【００２８】
以上のように、本実施の形態では、落射照明光の光軸Ｌ１を調整する作業を行うに際し、照明支柱１２を傾倒させて、基準位置となるパターン２２ａが形成されたターゲット板２２を落射照明光の光軸Ｌ１上に入れ、そのターゲット板２２上に投影された落射照明光のスポットＳを、パターン２２ａの同心円の中心に近づける調整を行うことにより、照明光の光軸のずれを所定の許容範囲内に抑えることが可能となる。
【００２９】
このとき、図２に示すように、対物レンズ１８とターゲット板２２に形成されたパターン２２ａとは、十分な距離（スパン）を有しているので、落射照明光の光軸Ｌ１の角度のずれが微小であっても、パターン２２ａの同心円の中心に対するスポットＳのずれとして十分現われるため、高精度な照明光の光軸調整を行うことが可能となる。
【００３０】
また、本実施の形態では、照明光の光軸調整を行うに際し、専用の器具を取り付けることなく、単に、照明支柱１２を傾倒させるだけで、簡便に、その調整を行うことができる。
【００３１】
図４は、本発明を適用した顕微鏡の一実施の形態の構成（第２の構成）を示す図である。
【００３２】
図４において、図３と同一の箇所には同一の符号が付してあり、その説明は省略する。すなわち、図４の顕微鏡１は、図３の顕微鏡１に対して、ターゲット板２２に形成されたパターン２２ａ上に配設される位置検出センサ１０１と、その位置検出センサ１０１を制御する制御部１０２がさらに設けられている。
【００３３】
位置検出センサ１０１は、ターゲット板２２に投影される落射照明光のスポットＳの位置を検出することにより、パターン２２ａの同心円の中心と、落射照明光の光軸Ｌ１とのずれ量を検出し、制御部１０２に供給する。
【００３４】
制御部１０２は、位置検出センサ１０１と、光ファイバ２５から出射される落射照明光（レーザ光）の方向を調整する調整機器２６と接続されている。制御部１０２は、位置検出センサ１０１により検出されたずれ量に応じた制御信号を、調整機器２６に供給する。
【００３５】
調整機器２６は、図３の調整機器２６と同様の機能を有する他に、微動ねじ２６ａ，２６ｂを回転駆動させる機構（不図示）を有しており、この回転駆動機構が、制御部１０２から供給される制御信号に応じて、微動ねじ２６ａ，２６ｂを回転駆動させることにより、落射照明光のスポットＳのＸ，Ｙ方向の調整が行われる。
【００３６】
すなわち、調整機器２６の回転駆動機構には、パターン２２ａの同心円の中心と、落射照明光の光軸Ｌ１とのずれ量に応じた制御信号が供給されるので、そのずれ量に対応する分だけ、微動ねじ２６ａ，２６ｂを回転駆動して落射照明光をＸ，Ｙ方向に移動させることにより、パターン２２ａの同心円の中心と、落射照明光の光軸Ｌ１とが一致することになる。これにより、使用者の操作を介さずに、落射照明光の光軸Ｌ１が補正され、設計上の最適位置に合わせ込まれることになる。
【００３７】
以上のように、位置検出センサ１０１により検出されたずれ量に応じて、調整機器２６がパターン２２ａの同心円の中心と、落射照明光の光軸Ｌ１とを一致させるので、手間をかけずに、正確な照明光の光軸調整を行うことが可能となる。
【００３８】
図５及び図６は、本発明を適用した顕微鏡の一実施の形態の構成（第３の構成）を示す図である。
【００３９】
図５及び図６において、図１と同一の箇所には同一の符号が付してあり、その説明は省略する。すなわち、図５及び図６の顕微鏡１は、図１の顕微鏡１と比べて、照明支柱１２の上部に固定された筐体に保持されていたターゲット板２２の代わりに、その筐体の下面に拡散板ユニット２１１が取り付けられている。この拡散板ユニット２１１には、基準位置となる同心円のパターンが形成された拡散板であるターゲット板２１３が、光軸Ｌ１に対して挿脱が可能となるように配置されており、レーザ光（落射照明光）の光軸Ｌ１を調整する場合、その光軸Ｌ１上に配置される。
【００４０】
このターゲット板２１３に投影された落射照明光の像は、プリズム２１２により撮像装置２１６の方向に反射され、レンズ２１４を介して、撮像装置２１６に設けられた撮像素子２１６Ａの撮像面に結像される。なお、このような、ターゲット板２１３に投影された落射照明光の像を撮像装置２１６に導くための撮像光学系は、照明支柱１２の上部の筐体に固定される保持部材２１５によって、照明支柱１２に固定されている。
【００４１】
ここで、観察状態においては、光軸Ｌ１上に配置されるコンデンサレンズ３４であるが、図６に示すように、コンデンサレンズ３４を保持する保持部材２２１が、光軸Ｌ１に対して垂直となる矢印Ｃの方向（図中のＹ軸方向）にスライドするので、落射照明光の光軸Ｌ１に対して挿脱可能となる。従って、落射照明光の光軸Ｌ１を調整する場合には、保持部材２２１がスライドされることで、コンデンサレンズ３４が光軸Ｌ１上から外される。
【００４２】
これにより、落射照明光の光軸Ｌ１を調整する場合において、落射照明光がターゲット板２１３に投影されると、その像が撮像素子２１６Ａの撮像面に結像され、撮像装置２１６により撮像される。そして、撮像装置２１６は、所定のケーブルを介してパーソナルコンピュータ２０１Ａに接続されているので、パーソナルコンピュータ２０１Ａのモニタ２０１Ｂには、ターゲット板２１３上に投影された落射照明光の像に対応する画像が表示されることになる。使用者は、モニタ２０１Ｂに表示された画像により、照明光の光軸のずれを確認することができる。つまり、ターゲット板２１３に形成されたパターンの中心は、上述したターゲット板２２と同様に、照明光学系の対物レンズ１８を固定する固定部材の中心と一致するように、あらかじめ調整されているため、例えば、使用者は、モニタ２０１Ｂを確認しながら、調整機器２６を操作して、パターンの中心に対する落射照明光の光軸Ｌ１のずれが所定の許容範囲内になるようにする。
【００４３】
なお、顕微鏡１又はパーソナルコンピュータ２０１Ａの備える画像処理部（不図示）が、撮像装置２１６からの画像データに対して所定の画像処理を施すことにより、ターゲット板２１３上に形成されたパターンの同心円の中心と、落射照明光の光軸Ｌ１とのずれ量を検出して、パターンの同心円の中心と落射照明光の光軸Ｌ１とが一致するために必要となる光ファイバ２５の移動量をモニタ２０１Ｂに表示してもよい。これにより、使用者は、モニタ２０１Ｂに表示された移動量を確認しながら、移動量に対応する分だけ、微動ねじ２６ａ，２６ｂを回転駆動して落射照明光をＸ，Ｙ方向に移動させることができるので、高精度の調整を行うことができる。
【００４４】
また、顕微鏡１の制御部１０２又はパーソナルコンピュータ２０１Ａの備える制御部（不図示）は、図４で説明した制御部１０２と同様に、検出したずれ量に応じた制御信号を調整機器２６に供給して、落射照明光を図中のＸ，Ｙ方向に移動させることにより、パターンの同心円の中心と、落射照明光の光軸Ｌ１とを一致させるようにしてもよい。
【００４５】
なお、透過照明装置１３を用いて、透過照明による観察を行う場合には、プリズム２１２等の調整光学系を有する拡散板ユニット２１１を、例えば図中のＹ軸方向に移動させることにより、拡散板ユニット２１１が光軸Ｌ１（光路）から外れるようにする。これにより、光源３１から発せられた透過照明光が、対物レンズ１８の方向に反射され、透過照明による観察を行うことが可能となる。
【００４６】
また、上述した撮像光学系が、透過照明光（レーザ光）が外部に漏れないようにするための保護筐体等の保護部材により覆われるようにすることで、透過照明光が外部に漏れることを防止できる。さらに、傾倒可能な照明支柱１２が傾倒した場合に、顕微鏡１の制御部１０２又はパーソナルコンピュータ２０１Ａの制御部（不図示）が、いわゆるインターロックを作動させて、透過照明光（レーザ光）の射出を停止させることで、使用者の目にレーザ光が入ることを防止できる。これらの機能を備えることにより、使用者の安全を確保することができる。
【００４７】
このように、モニタ２０１Ｂの画像を確認しながら、照明光の光軸を調整する作業を行うことができるので、簡便に高精度の調整を行うことができるとともに、使用者は安全に作業を行うことができる。
【００４８】
なお、本発明では、図２に示すように、対物レンズ１８とターゲット板２２に形成されたパターン２２ａとの距離（スパン）を十分に確保したいため、倒立顕微鏡に用いるのが好適である。また、ターゲット板２２上に照明光のスポットＳを投影させるためには、その光源として、レーザ光源を用いるのが好適である。
【００４９】
また、本実施の形態では、ターゲット板２２は半透明の部材により形成されるとして説明したが、ターゲット板２２は不透明の部材であってもよく、その場合には、落射照明光のスポットＳを乱反射するように、塗装又はその表面が処理されている部材で構成され、そのスポットＳの投影面には同心円パターンが形成される。
【００５０】
さらに、本実施の形態では、落射照明光のスポットＳのずれを調整するに際し、調整機器２６により光ファイバ２５を調整する例について説明したが、例えば、コレクタレンズ４１や投影レンズ４２などの照明光学系に配置された他の光学部材を調整して、パターン２２ａの同心円の中心に対する落射照明光のスポットＳのずれを所定の許容範囲内に抑えるようにしてもよい。
【００５１】
なお、本発明の実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
【符号の説明】
【００５２】
１  顕微鏡，  １１  本体部，  １２  照明支柱，  １３  透過照明装置，  １４  落射照明装置，  １８  対物レンズ，  ２１  回転軸，  ２２  ターゲット板，  ２２ａ  パターン，  ２４  レーザ光源，  ２５  光ファイバ，  ２６  調整機器，  ２６ａ，２６ｂ  微動ねじ，  ４１  コレクタレンズ，  ４２  投影レンズ，  １０１  位置検出センサ，  １０２  制御部，  ２０１Ａ  パーソナルコンピュータ，  ２０１Ｂ  モニタ，  ２１１  拡散板ユニット，  ２１２  プリズム，  ２１３  ターゲット板，  ２１４  レンズ，  ２１５  保持部材，  ２１６  撮像装置，  ２１６Ａ  撮像素子，  ２２１  保持部材，  Ｌ１  光軸，  Ｓ  スポット
【図１】
2011112880.tif 000003
【図２】
2011112880.tif 000004
【図３】
2011112880.tif 000005
【図４】
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【図５】
2011112880.tif 000007
【図６】
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