(57)【要約】      （修正有）【課題】大量生産の場合等でも対応可能な簡易な方法で、強誘電性有機薄膜に施された分極処理による分極状態を検査することができる分極検査方法等を提供する。【解決手段】分極処理した強誘電性薄膜３０に電界を印加する工程であって、その印加電界値を、所定の原点から所定の正値又は負値まで変化させた後、その変化方向とは逆向きに前記負値又は正値まで変化させる電界印加工程と、分極処理後の最初の前記電界印加工程において、薄膜にピーク電流が流れた場合、そのときの印加電界の極性と、ピーク電流値又はピーク電流総量とを観測する観測工程とを行うようにした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
分極処理した強誘電性薄膜に所定方向の電界を印加する工程であって、その印加電界値を、所定の原点から所定の正値又は負値まで、断続的若しくは連続的に又は一挙に変化させた後、その変化方向とは逆向きに前記負値又は正値まで、断続的若しくは連続的に又は一挙に変化させる電界印加工程と、
分極処理後の最初の前記電界印加工程において、薄膜にピーク電流が流れた場合、そのときの印加電界の極性と、ピーク電流値又はピーク電流総量とを観測する観測工程とを備えたことを特徴とする強誘電性薄膜の分極検査方法。
【請求項２】
前記正値又は負値の絶対値は、抗電界の絶対値を超えて設定してあることを特徴とする請求項１記載の強誘電性薄膜の分極検査方法。
【請求項３】
基板上に形成した強誘電性薄膜の一部の領域を検査領域として設定する検査領域設定工程をさらに備え、
前記検査領域に対して前記電界印加工程及び前記観測工程を適用するようにしていることを特徴とする請求項１又は２記載の強誘電性薄膜の分極検査方法。
【請求項４】
前記強誘電性薄膜にコロナ放電による分極処理を施すコロナポーリング工程をさらに備えていることを特徴とする請求項１、２又は３記載の強誘電性薄膜の分極検査方法。
【請求項５】
分極処理した強誘電性薄膜に所定方向の電界を印加する電界印加手段と、
前記強誘電性薄膜を流れる電流を測定する電流測定手段と、
前記電界印加手段を制御して、その印加電界値を、所定の原点から所定の正値又は負値まで、断続的若しくは連続的に又は一挙に変化させた後、その変化方向とは逆向きに前記負値又は正値まで、断続的若しくは連続的に又は一挙に変化させる処理を行う電界制御手段と、
分極処理後の最初の前記処理中に前記強誘電性薄膜にピーク電流が流れたときの印加電界の極性と、ピーク電流値又はピーク電流総量とを前記電流測定手段から取得し、記憶する情報処理手段とを備えたことを特徴とする強誘電性薄膜の分極検査装置。
【請求項６】
分極処理した強誘電性薄膜に所定方向の電界を印加する工程であって、その印加電界値を所定の原点から所定の正値又は負値まで、断続的若しくは連続的に又は一挙に変化させる電界印加工程と、
分極処理後の最初の前記電界印加工程において、薄膜にピーク電流が流れた場合、そのときのピーク電流値又はピーク電流総量を観測する観測工程とを備えたことを特徴とする強誘電性薄膜の分極検査方法。
【請求項７】
分極処理した強誘電性薄膜に所定方向の電界を印加する電界印加手段と、
前記強誘電性薄膜を流れる電流を測定する電流測定手段と、
前記電界印加手段を制御して、その印加電界値を所定の原点から所定の正値又は負値まで、断続的若しくは連続的に又は一挙に変化させる処理を行う電界制御手段と、
分極処理後の最初の前記処理中に前記強誘電性薄膜にピーク電流が流れたときのピーク電流値又はピーク電流総量を前記電流測定手段から取得し、記憶する情報処理手段とを備えたことを特徴とする強誘電性薄膜の分極検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分極処理が施された強誘電性薄膜の分極状態を検査する方法及びそのための検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
強誘電性有機薄膜などに代表される強誘電性薄膜は、例えば、基板上に蒸着された後分極処理が施されるが、その分極処理法としては、例えば、特許文献１に示すような高電圧を１乃至複数回印加する方法や、特許文献２に示すようなコロナ放電による分極処理方法などが知られている。
【０００３】
ところで、このような分極処理が適切に施されたかどうかを検査すること、すなわち、分極処理を施した時点での分極量や分極の向き等に係る定量的な状態を検査し把握しておくことは、強誘電性薄膜の品質を担保するとともに、その後のデバイス化工程での歩留まりや性能向上を図るうえで非常に重要であると考えられる。
【０００４】
しかしながら、現在のところ、かかる検査をするための実用的で効果の高い手法は見あたらず、このような検査が重要であるという課題すら認識されていないのが実情である。例えば、強誘電体の音響インピーダンスを調べるなど、その使用目的に応じたより具体的で直接的な試験は知られているが、このような試験は、分極処理の適否を調べるものではないため、薄膜の分極量や分極の向き等を定量的に知ることは難しい。
【０００５】
一方、分極特性を調べるという観点で言えば、特許文献３に示されているように、誘電体に三角波を印加してそのＩＶ特性（誘電体に流れる電流Ｉと印加電圧Ｖとの相関関係）を調べ、そこからＱＶ特性（電荷Ｑと印加電圧Ｖとの相関関係）を導いて、強誘電特性を示す明瞭なＤＥヒステリシス（Ｄ：電束密度Ｄ、Ｅ：印加電界）が発現しているかどうかを確認した例がある。しかしながら、この方法では、誘電体に正負の抗電界を繰り返し与えることから、最初の分極処理で揃い得なかった双極子もこの測定によって揃ってしまう。したがって、この方法では、誘電体そのものの有し得る究極的な分極特性（抗電界や残留分極）を評価することはできるが、分極処理の適否や分極処理後の分極状態を判定することはやはりできない。前述した課題が認識されていないからである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】再表２００６−１０９５０１号公報
【特許文献２】特開２００９−０３２９８３号公報
【特許文献３】特開２００８−２４００２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は上述した課題を鑑みてなされたものであって、大量生産の場合等でも対応可能な簡易な方法で、強誘電性薄膜に施された分極処理による分極状態を検査することができる分極検査方法等を提供することをその主たる課題としたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る分極検査方法は、分極処理した強誘電性薄膜に所定方向、すなわち厚み方向や面方向などの電界を印加する工程であって、その印加電界値を、所定の原点から所定の正値又は負値まで、断続的若しくは連続的に又は一挙に、変化させた後、その変化方向とは逆向きに前記負値又は正値まで、断続的若しくは連続的に又は一挙に、変化させる処理を１回だけ行う電界印加工程と、前記電界印加工程において薄膜にピーク電流が流れた場合、そのときの印加電界の極性と、ピーク電流値又はピーク電流総量とを観測する観測工程とを有することを特徴とする。
【０００９】
このようなものであれば、薄膜にピーク電流が流れたときの印加電界の極性から、薄膜の分極向きを知ることができる。このときのピーク電流は、分極反転電流に起因して生じるものだからである。また、このピーク電流値又はピーク電流総量（ピーク電流の積分値）から分極量を直接的に算出することができる。
【００１０】
さらに、電流観測の場合、電荷測定に比べ、分極反転挙動がピーク電流として観測できるため、容量成分、リーク成分との切り分けが容易であるという優位性もある。
分極反転電流を確実に観測できるようにするためには、前記正値又は負値の絶対値は、抗電界又は推定抗電界の絶対値を超えて設定する必要がある。
前記観測工程において、ピーク電流が流れたときの印加電界の値をも観測し、記憶しておけばなお好ましい。
【００１１】
大面積基板など、大量生産の場合に好適な検査方法としては、基板上に形成した強誘電性薄膜の一部の領域を検査領域として設定する検査領域設定工程をさらに備え、前記検査領域に対して前記電界印加工程及び前記観測工程を適用するようにしたものを挙げることができる。
【００１２】
前記強誘電性薄膜にコロナ放電による分極処理を施すコロナポーリング工程をさらに備えていれば、大量生産と低コスト化を狙った本発明の効果は特に顕著となる。その他、分極処理には、シリコンオイル中などでの大面積一括電界印加処理やエネルギ線照射による処理（電子ビーム照射、X線照射、γ線照射、UV光照射など）を用いることも可能である。
【００１３】
本発明に係る検査方法を実現するための検査装置としては、分極処理した強誘電性薄膜に所定方向の電界を印加する電界印加手段と、前記強誘電性薄膜を流れる電流を測定する電流測定手段と、前記電界印加手段を制御して、その印加電界値を、所定の原点から所定の正値又は負値まで、断続的若しくは連続的に又は一挙に変化させた後、その変化方向とは逆向きに前記負値又は正値まで、断続的若しくは連続的に又は一挙に変化させる処理を行う電界制御手段と、分極処理後の最初の前記処理中に前記強誘電性薄膜にピーク電流が流れたときの印加電界の極性と、ピーク電流値又はピーク電流総量とを前記電流測定手段から取得し、記憶する情報処理手段とを備えたものを挙げることができる。
【００１４】
分極処理段階ですでに分極の向きが既知であり、分極量のみを検査したい場合は、電界印加工程において、印加電界値を所定の原点から所定の正値又は負値まで、断続的若しくは連続的に又は一挙に変化させる処理を１回行えばよく、観測工程では、ピーク電流値又はピーク電流総量を観測すればよい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、大量生産の場合等でも対応可能な簡易な方法で、強誘電性薄膜に施された分極処理による分極量や分極の向き等の分極状態を検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１実施形態における分極検査装置の構成図。
【図２】同実施形態における基板上に形成した強誘電性有機薄膜の平面図。
【図３】同実施形態における印加電界の変化を示す波形図。
【図４】同実施形態で観測されるＩＶカーブを示す波形図。
【図５】同実施形態で観測されるＩＶカーブとバックグラウンド電流を示す波形図。
【図６】同実施形態におけるＩＶ特性を示す模式的グラフ。
【図７】本発明の第２実施形態におけるＩＶ特性を示す模式的グラフ。
【図８】本発明の第３実施形態におけるＩＶ特性を示す模式的グラフ。
【図９】本発明の他の実施形態における印加電界の変化を示す波形図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に、本発明を実施するための実施形態について図面を参照して説明する。
＜第１実施形態＞
本実施形態に係る強誘電性有機薄膜３０の分極検査装置１０は、強誘電性有機薄膜３０に施された分極処理による分極状態を検査するものである。強誘電性有機薄膜３０は、図２に示すように、基板３１に設けられた電極３３上に蒸着源を蒸着させて形成されており、ここではドットマトリクス状に形成されているが、例えば格子状等に分離して形成されていてもよい。そして、具体的にこの分極検査装置１０は、図１に示すように、電界印加手段２０と、電流測定手段２１と、演算制御装置２４とを具備している。
【００１８】
各部を詳述する。電界印加手段２０は、例えば、出力電圧値を正負の所望の値に変化させることができる直流電源である。そして、その出力端子が、電極３３に接続してあり、分極処理した強誘電性有機薄膜３０の厚み方向に電圧を印加する。この電極３３間の離間距離は不変であるため、この印加電圧値を前記離間距離で除算した値が印加電界値となる。
電流測定手段２１は、例えば電極３３に接続された電流計であり、強誘電性有機薄膜３０を流れる電流を測定するものである。
【００１９】
演算制御装置２４は、例えば、汎用乃至専用のコンピュータであり、メモリに所定のプログラムを格納し、当該プログラムに従ってＣＰＵやその周辺機器を協働動作させることによって、電界制御手段２２および情報処理手段２３としての機能を発揮する。なお、電界制御手段２２および情報処理手段２３は一体である必要はなく、別々に設けるようにしてもよい。次に各手段２２、２３について説明する。
【００２０】
電界制御手段２２は、電界印加手段２０に所定の指令信号を出力して該電界印加手段２０を制御するものである。より具体的にこのものは、電荷印加手段２０の印加電界値を、図３の三角波で示すように、原点である０Ｖ／ｍから所定の正値又は負値まで連続的に変化させた後、その変化方向とは逆向きに前記負値又は正値まで連続的に変化させる処理を行う。
【００２１】
情報処理手段２３は、分極処理後の最初の前記処理中に前記強誘電性有機薄膜３０にピーク電流が流れたときの印加電界の極性と、その時の印加電界値と、ピーク電流総量とを前記電流測定手段２１から取得し、記憶するものである。具体的に説明すると、情報処理手段２３は、電界制御手段２２から出力される指令信号の値から印加電界値を一定時間毎にサンプリングし、そのサンプリングしたタイミングでの電流値を電流測定手段２１から都度取得し、メモリに記憶する。このことによって、図４に示すように、印加電圧値と電流値との相関関係であるＩＶ特性を示すＩＶ線（以下、ＩＶカーブとも言う）を得る。このＩＶカーブからピーク電流が流れたときの印加電界の極性と、その時の印加電界値とを前記電流測定手段２１から取得し、記憶する。
【００２２】
また、ピーク電流総量、すなわち、電流が急激に立ち上がって元に戻るまでの電流総量に関して言えば、このピーク電流総量が残留分極量（Pr）に対応した値になることから、該情報処理手段２３は、前記ＩＶカーブから残留分極量を算出し、これをメモリに記憶する。詳述すれば、このピーク電流のピークの片側を時間積分するとその積分値が残留分極量Prの２倍に一致する。ところで、Prを見積る前に、図４でも観察されているバックグラウンド電流を除去する必要がある。ここで、図４を拡大したグラフを図５に示す。この図５で（ａ）は測定当初におけるＩＶカーブ、（ｂ）はバックグラウンド電流、（ｃ）はバックグラウンド電流を除去したＩＶカーブである。本発明者らの鋭意検討により、ピーク電流の背景に流れるバックグラウンド電流Ibは次式（数１）で正確にフィッティングできることが確認されているので、該情報処理手段２３は、このバックグラウンド電流による影響を差し引いてピーク電流総量を求める。
【数１】
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【００２３】
ここで、εは蒸着簿膜３０の比誘電率、ε0は真空の誘電率、Sは上部電極の面積、lは蒸着簿膜３０の膜厚、m1及びm2は正のフィッティングパラメータである。式（数１）の右辺第一項は膜の誘電性による変位電流を表しており、この右辺第一項からこの薄膜３０の容量成分を算出できる。右辺第二項はイオン伝導の式であり、非線形な電気伝導の主な要因が蒸着簿膜３０中に存在するイオン性不純物であると考えて、導入された項である。この右辺第二項からリーク成分を算出できる。
【００２４】
次に、このような構成の分極検査装置１０を用いて、強誘電性有機薄膜３０を検査する方法について説明する。
まず、強誘電性有機薄膜３０に、コロナ放電による分極処理を施す。分極処理はこれに限られず、加熱、延伸、電界処理等によるものであってもよい。
【００２５】
次に、図２の斜線で示すように、基板３１上に形成された強誘電性有機薄膜３０の連続する一部の領域（ここでは１つの円及びその境界領域）を検査領域３２として設定し、検査領域３２の強誘電性有機薄膜３０を基板３１ごと切り取る。そして、強誘電性有機薄膜３０の上に電極３３を貼り付け、新たに設けた電極３３と、既に基板３１上に設けられていた電極３３とで強誘電性有機薄膜３０を挟みこむ。なお、基板３１ごと切り取るのではなく、検査領域３２にのみ電極３３を設けるようにしてもよい。
【００２６】
次に、電界制御手段２２からの指令により電界印加手段２０が、強誘電性有機薄膜３０の厚み方向に電界を印加しはじめる。ここでは、電荷印加手段の印加電界値を０Ｖ／ｍ（原点、図６の点Ａ）から正の抗電界値+Ｖｃと予想される値よりも大きい所定の正値まで直線的に変化させる（点Ｂ）。このとき、ピーク電流は観測されないことから、電界印加前（点Ａ）の有機薄膜３０の分極状態を図６（ａ）で、電界印加後（点Ｂ）を図６（ｂ）で示すように、電界印加前後で分極状態は変化しておらず、つまり、分極処理を施した時点での強誘電性有機薄膜３０の分極の向きと、電界の方向とが同じであることが分かる。
【００２７】
続いて、印加電界値を、負の抗電界値−Ｖｃと予想される値よりも小さい所定の負値まで変化させていくと（点Ｃ）、図６（ｃ）で示すように、分極反転現象が起こり、すなわちピーク電流（分極反転電流）が発生する。情報処理手段２３はこれを検知して、その時の印加電界の極性と、その時の印加電界値と、電界測定手段が測定したピーク電流総量Ｓ０とを記憶し、ディスプレイ（図示しない）や外部装置等に出力する。その後、印加電界値は０Ｖ／ｍまで戻される。
【００２８】
測定結果から、検査領域３２における強誘電性有機薄膜３０に施された分極処理による分極状態が、正側の分極量はＳ０、負側の分極量は０であり、正側に揃って分極処理されていることがわかる。言い換えると、はじめの印加電界値の変化方向（ここでは正）において、ピーク電流が観測されなかった場合、その変化方向に対応する向きの分極量（ここでは負の分極量）は０であり、もう一方の向きの分極量（ここでは正の分極量）はその変化方向とは逆向きでのピーク電流総量（Ｓ０）であること、および、分極量の向きがはじめの変化方向に対応する向きではない向き（ここでは正）に揃っていることがわかる。さらに、ピーク電流が流れた時の印加電界値から抗電界の値がわかる。
【００２９】
ここで、仮に大面積の強誘電性有機薄膜３０全体を検査しようとすると、全体に電極３３を取り付ける必要があり、非常に手間がかかる。それに対して、本実施形態によれば、基板３１上に形成した強誘電性有機薄膜３０の一部の領域のみを検査領域３２として設定しているので、検査領域３２に対応した大きさの電極３３を取り付けるだけで検査ができる。そして、同一ロットで生産された強誘電性有機薄膜３０は同様の分極状態にあると推測されるため、一部の領域を検査することで全体の分極状態が検査でき、大面積の強誘電性有機薄膜３０であっても分極状態を容易に検査できる。従って、大量生産の場合等でも強誘電性有機薄膜３０に施された分極処理による分極状態を検査することができる。
【００３０】
さらに、本実施形態では、電流観測、すなわち、ＩＶカーブで分極量を評価するようにしているので、分極の向きを判断できるだけでなく、簡単な計算で容量成分とリーク成分を抽出できる。特に、図４、図５に示したように、リーク成分の大小をバックグラウンド電流から判別できるので、膜の絶縁性を評価する上で極めて重要な指標を得ることができる。加えて言えば、本実施形態では、除々に電圧を印加するようにしているので、耐圧の低い検査対象に急激に抗電界値以上の電界をかけて、絶縁破壊を起こしてしまう可能性を低減できる。
【００３１】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２の実施形態について図７を参照しつつ説明する。なお、本実施形態において、前述の第１実施形態と同様の構成を示す要素については同じ符号を付して説明を省略する。
【００３２】
分極処理及び検査領域３２の設定が完了した強誘電性有機薄膜３０に対して、電界印加手段２０が電界を印加しはじめ（図７の点Ｄ：原点、このときの分極状態は（ｄ））、印加電界値を所定の正値まで増加させる（点Ｅ、このときの分極状態は（ｅ））。そして情報処理手段２３は流れたピーク電流総量Ｓ１と、その時の印加電界の極性が正であることを記憶する。この時点で、強誘電性有機薄膜３０の負側の分極量がＳ１であることが分かる。
【００３３】
続いて、印加電界値を所定の負値まで減少させていき（点Ｆ、このときの分極状態は（ｆ））、ピーク電流総量Ｓ２と、その時の印加電界の極性が負であることを記憶する。その後印加電界値は０Ｖ／ｍに戻される。
【００３４】
測定結果から、検査領域３２における強誘電性有機薄膜３０に施された分極処理による分極状態が、はじめの印加電界値の変化方向（ここでは正）に対応する向きの分極量（ここでは負の分極量）が、その変化方向におけるピーク電流総量（Ｓ１）であり、もう一方の向きの分極量（ここでは正の分極量）が２つのピーク電流総量の差（Ｓ２−Ｓ１）であること、および、分極の向きがより大きい分極量の向き（ここでは負）であることがわかる。さらに、ピーク電流が流れた時の印加電界値から抗電界の値がわかる。
このようなものであれば、強誘電性有機薄膜３０の分極の向きにばらつきがあるものであっても、分極処理による分極状態を検査できる。
【００３５】
＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３の実施形態について図８を参照しつつ説明する。なお、本実施形態において、前述の第１実施形態と同様の構成を示す要素については同じ符号を付して説明を省略する。
【００３６】
分極処理及び検査領域３２の設定が完了した強誘電性有機薄膜３０に対して、電界印加手段２０が電界を印加しはじめ（図８の点Ｇ：原点、このときの分極状態は（ｇ））、印加電界値を所定の負値まで減少させる（点Ｈ、このときの分極状態は（ｈ））。そして情報処理手段２３は流れたピーク電流総量Ｓ３と、その時の印加電界の極性が負であることを記憶する。この時点で、強誘電性有機薄膜３０の正側の分極量がＳ３であることが分かる。
【００３７】
続いて、印加電界値を所定の正値まで増加させていき（点Ｉ、このときの分極状態は（ｉ））、ピーク電流総量Ｓ４と、その時の印加電界の極性が正であることを記憶する。その後印加電界値は０Ｖ／ｍに戻される。
【００３８】
測定結果から、検査領域３２における強誘電性有機薄膜３０に施された分極処理による分極状態が、はじめの印加電界値の変化方向（ここでは負）に対応する向きの分極量（ここでは正の分極量）が、その変化方向におけるピーク電流総量（Ｓ３）であり、もう一方の向きの分極量（ここでは負の分極量）が２つのピーク電流総量の差（Ｓ４−Ｓ３）であること、および、分極の向きがより大きい分極量の向き（ここでは負）であることがわかる。さらに、ピーク電流が流れた時の印加電界値から抗電界の値がわかる。
このようなものであれば、印加電界値の変化方向が正負のいずれからであっても、分極処理による分極状態を検査できる。
【００３９】
なお、本発明はこれらの実施形態に限られるものではない。
例えば、本実施形態においては、所定の原点から所定の正値及び負値のそれぞれに変化させることとしたのに対し、分極の向きが既知であれば、所定の原点から所定の正値又は負値のいずれか一方にのみ変化させるようにしてもよい。このようなものであれば、分極量を迅速に検査することができる。
【００４０】
また、電界は、例えば、図９（ａ）に示すように、断続的にパルス電圧を、徐々にその電圧値を変化させて印加してもよい。また正弦波等であってもよいし図９（ｂ）に示すように、０から一挙に所定電界である正負の抗電界を与えるような電圧をパルス的に付与してもよい。
【００４１】
さらに、情報処理手段に評価機能を設けておいても良い。すなわち、情報処理手段が、測定し算出した分極量と、予め記憶させておいた所定の検査値とを比較し、その比較結果からこの強誘電性有機薄膜の良否又は品質グレードを自動判定する機能であり、例えば、分極量が前記検査値よりも低ければ、強誘電性有機薄膜が不良であるといった評価や、検査値を複数設けておいて測定分極量が前記検査値のどの範囲に属するかによって品質グレードを判別する機能のことである。
【００４２】
加えて言えば、連続する一部の領域（ここでは１つの円及びその境界領域）を検査領域として切り分けることとしたが、境界領域を含まないようにしてもよいし、不連続な一部の領域を検査領域（例えば複数の円及びその境界領域）として設定してもよいし、強誘電性有機薄膜の全部の領域を検査領域としてもよい。
また、本実施形態ではピーク電流総量を測定するものとしたが、ピーク電流を測定するものとしてもよい。
【００４３】
さらに、前記実施形態では、基板上に強誘電性有機薄膜を形成していたが、有機薄膜に限らないし、強誘電性薄膜が単独で形成された自立膜（フィルムやセラミックなど）や、あるいはSAW（Surface Acoustic Wave;表面弾性波）フィルタのように、薄膜の面方向に沿って分極した強電体にも本発明を適用して同様の効果を奏し得る。また、強誘電性薄膜は、前記実施形態のように基板上に複数が分かれて形成されたものではなく、連続する１枚の大きな薄膜であっても構わない。さらに、本発明に係る検査方法や検査装置は、薄膜のみならず、強誘電体一般にも適用可能である。
その他、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【符号の説明】
【００４４】
１０・・・分極検査装置
２０・・・電界印加手段
２１・・・電流測定手段
２２・・・電界制御手段
２３・・・情報処理手段
２４・・・演算制御装置
３０・・・強誘電性有機薄膜
３１・・・基板
３２・・・検査領域
３３・・・電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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