(57)【要約】【課題】複数の基板に対する処理時間を短縮することが可能な液体塗布装置を提供する。【解決手段】本発明に係る液体塗布装置１は、基板２に液体を塗布する液体塗布ユニット３、１つの移動軸に沿って液体塗布ユニット３を移動するガイド部材６、上記移動軸に沿って一列に配置される複数の載置台５Ａ、５Ｂ、載置台５Ａと載置台５Ｂとの間に配置されたメンテナンスユニット４を備える。液体塗布ユニット３が載置台５Ａと載置台５Ｂとの間を移動する間に、液体塗布ユニット３が液体塗布処理を行い、メンテナンスユニット４が液体塗布ユニット３のメンテナンスを行うため、これらにかかる時間を短縮することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布対象物に液体を塗布する液体塗布手段と、
１つの移動軸に沿って上記液体塗布手段を移動する移動手段と、
上記塗布対象物がそれぞれ載置され、かつ、上記移動軸に沿って一列に配置される複数の載置台と、
上記複数の載置台のうち、隣接する任意の第１載置台と第２載置台との間に配置された、上記液体塗布手段をメンテナンスするメンテナンス手段とを備えることを特徴とする液体塗布装置。
【請求項２】
上記移動手段が上記液体塗布手段を上記移動軸における一端から他の一端まで移動させる間に、上記液体塗布手段は上記載置台に載置された塗布対象物に対して液体を塗布し、かつ、上記メンテナンス手段は上記液体塗布手段をメンテナンスすることを特徴とする請求項１に記載の液体塗布装置。
【請求項３】
上記複数の載置台の各々に対応して、上記塗布対象物をアライメントするアライメント手段が設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の液体塗布装置。
【請求項４】
上記液体塗布手段は、複数の吐出部を有するインクジェットヘッドであることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の液体塗布装置。
【請求項５】
上記複数の吐出部は、上記移動軸に対して任意の角度を有する列を形成していることを特徴とする請求項４に記載の液体塗布装置。
【請求項６】
塗布対象物に液体を塗布する液体塗布手段と、
１つの移動軸に沿って上記液体塗布手段を移動する移動手段と、
上記塗布対象物がそれぞれ載置され、かつ、上記移動軸に沿って一列に配置される複数の載置台と、
上記複数の載置台のうち、隣接する任意の第１載置台と第２載置台との間に配置された、上記液体塗布手段をメンテナンスするメンテナンス手段とを備える液体塗布装置の液体塗布方法であって、
上記複数の載置台は、上記メンテナンス手段を境にして、上記第１載置台を含む第１処理系と、上記第２載置台を含む第２処理系とに分けられており、
上記移動手段によって上記液体塗布手段を上記移動軸に平行な任意の方向に沿って移動させながら、当該液体塗布手段によって、第１処理系の上記載置台に載置された塗布対象物に対して液体を塗布する第１塗布工程と、
上記第１塗布工程との後、上記液体塗布手段を上記任意の方向に沿って移動させながら、当該液体塗布手段によって、第２処理系の上記載置台に載置された塗布対象物に対して液体を塗布する第２塗布工程と、
上記第１塗布工程と上記第２塗布工程との間に、上記メンテナンス手段によって上記液体塗布手段をメンテナンスするメンテナンス工程と、を含むことを特徴とする液体塗布方法。
【請求項７】
上記複数の載置台には、各載置台に載置された塗布対象物をアライメントするアライメント手段がそれぞれ設けられており、
少なくとも上記第１塗布工程が行われている間に、上記第２処理系の上記載置台に載置される上記塗布対象物を、上記アライメント手段によってアライメントする第１アライメント工程をさらに含むことを特徴とする請求項６に記載の液体塗布方法。
【請求項８】
少なくとも上記メンテナンス工程および上記第２塗布工程が行われている間に、上記第１処理系の上記載置台上から処理済の塗布対象物を搬出する搬出工程と、当該載置台に載置される新たな塗布対象物を上記アライメント手段によってアライメントする第２アライメント工程とをさらに含むことを特徴とする請求項７に記載の液体塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布対象物に液体を塗布する液体塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、インクジェット技術は紙媒体上に画像を形成するプリンター装置としてだけではなく、製造装置としての用途が期待されている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、基板に液滴を吐出する液滴吐出装置が開示されている。
【０００４】
以下に、特許文献１に開示されているような従来の液滴吐出装置について、図８を参照して簡単に説明する。図８は従来の液滴吐出装置２００を示す上面図である。
【０００５】
図８に示すように、液滴吐出装置２００は、移動レール２３１に沿ってＸ方向に移動するステージ２０３と、Ｙ方向に架橋されたガイド部材２０６と、液滴噴射ヘッド２２１を備えた液滴噴射ユニット２０３が支持されている。さらに、液滴吐出装置２００は、ステージ２０５のＹ方向側に、液滴噴射ヘッド２２１の性能を保持するためのメンテナンス機構２０４を備えている。
【０００６】
図８に示す液滴吐出装置２００では、装置内に搬入された基板２０２は、ステージ２０５に載置され、移動レール２３１に沿って移動し、ガイド部２０６下の液滴塗布位置まで移動する。液滴噴射ユニット２０３は、液体塗布位置に配置された基板２０２に対して液滴を吐出する。また、液滴噴射ユニット２０３は、ガイド部材２０６に沿って、基板２０２の液滴塗布位置と、メンテナンス機構２１０との間を移動することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００８‐３０２２９０（２００８年１２月１８日）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上述した従来の液滴吐出装置２００では、複数の基板を処理しようとする場合、以下のような問題点が発生する。
【０００９】
まず、液滴吐出装置２００では、通常、基板１０２が装置に搬入された後、基板の姿勢調整が必要になる。このため、姿勢調整を行った後に液滴吐出を始めるというシリアルな動作を行わなければならず、複数の基板を処理する際のタクトタイムが長くなってしまう。
【００１０】
また、液滴吐出装置２００では、通常、液滴噴射ヘッド２２１の吐出精度を常時保つために、液滴を噴射する前に液滴噴射ヘッド２２１のメンテナンスを行うことが望ましい。ここで、複数の基板を処理する場合には、各基板のセッティングのための時間を要し、その間におけるインクの乾燥を防ぐため、各基板を処理する毎にメンテナンスを行うことが必要になる。このため、基板２０２の液滴塗布位置とメンテナンス機構２１０との間を往復するための時間がかかってしまう。
【００１１】
本発明は、上記の問題を鑑みてなされたものであり、その目的は、複数の基板に対する処理時間を短縮可能な液体塗布装置を実現させることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係る液体塗布装置は、上記課題を解決するために、塗布対象物に液体を塗布する液体塗布手段と、１つの移動軸に沿って上記液体塗布手段を移動する移動手段と、上記塗布対象物がそれぞれ載置され、かつ、上記移動軸に沿って一列に配置される複数の載置台と、上記複数の載置台のうち、隣接する任意の第１載置台と第２載置台との間に配置された、上記液体塗布手段をメンテナンスするメンテナンス手段とを備えることを特徴としている。
【００１３】
上記構成では、塗布対象物を載置するための載置台が複数個設けられており、液体塗布手段は、移動手段によって、上記複数の載置台に対して順に移動することができる。また、上記構成では、一列に配置された複数の載置台の間に、メンテナンス手段が配置されている。なお、以下の説明において、複数の載置台は、メンテナンス手段を境にして、第１載置台を含む第１処理系と、第２載置台を含む第２処理系とに分けられるとする。
【００１４】
上記構成によれば、例えば、第１処理系の載置台上の塗布対象物に液体を塗布している間に、第２処理系の載置台上に塗布対象物を載置することができる。よって、複数の処理系との間において並列処理が可能となるため、複数の基板に対する処理時間を短縮することができる。
【００１５】
また、上記構成によれば、液体塗布手段が上記移動軸の一端から他の一端まで移動することによって、複数の基板への液体塗布処理と、その間における液体塗布手段のメンテナンスとの両方を行うことができる。すなわち、液体塗布位置とメンテナンス位置との間を往復せずに、載置台間を移動することによって、複数の基板に対する液体塗布処理と液体塗布手段のメンテナンスとを実行できるため、これらにかかる時間を短縮することができる。
【００１６】
さらに、頻繁にメンテナンスを行い易い位置にメンテナンス手段が配置されているため、メンテナンスを確実に実施することができ、吐出安定性を確保することができる。
【００１７】
また、本発明に係る液体塗布装置において上記移動手段が上記液体塗布手段を上記移動軸における一端から他の一端まで移動させる間に、上記液体塗布手段は上記載置台に載置された塗布対象物に対して液体を塗布し、かつ、上記メンテナンス手段は上記液体塗布手段をメンテナンスすることが好ましい。
【００１８】
上記構成によれば、塗布対象物への液体塗布と液体塗布手段のメンテナンスとを効率よく行うことができる。
【００１９】
また、本発明に係る液体塗布装置において、上記複数の載置台の各々に対応して、上記塗布対象物をアライメントするアライメント手段が設けられていることが好ましい。
【００２０】
上記構成によれば、各アライメント手段は、複数の載置台の各々に載置されるべき塗布対象物を、それぞれ個別にアライメントすることができる。これによって、複数の塗布対象物に対するアライメントの時間を短縮し、また、各塗布対象物に対して精度良く液体塗布することができる。
【００２１】
また、本発明に係る液体塗布装置において、上記液体塗布手段は、複数の吐出部を有するインクジェットヘッドであってもよい。
【００２２】
上記構成によれば、塗布対象物に対して液体を好適に塗布することができる。
【００２３】
さらに、本発明に係る液体塗布装置において、上記複数の吐出部は、上記移動軸に対して任意の角度を有する列を成していることが好ましい。
【００２４】
上記構成によれば、塗布対象物に対して液体を塗布する際、望ましい太さで描画することができる。
【００２５】
本発明に係る液体塗布方法は、塗布対象物に液体を塗布する液体塗布手段と、１つの移動軸に沿って上記液体塗布ユニットを移動する移動手段と、上記塗布対象物がそれぞれ載置され、かつ、上記移動軸に沿って一列に配置される複数の載置台と、上記複数の載置台のうち、隣接する任意の第１載置台と第２載置台との間に配置された、上記液体塗布手段をメンテナンスするメンテナンス手段とを備える液体塗布装置の液体塗布方法であって、上記複数の載置台は、上記メンテナンス手段を境にして、上記第１処理台を含む第１処理系と、上記第２載置台を含む第２処理系とに分けられており、上記移動手段によって上記液体塗布手段を上記移動軸に平行な任意の方向に沿って移動させながら、当該液体塗布手段によって、第１処理系の上記載置台に載置された塗布対象物に対して液体を塗布する第１塗布工程と、上記第１塗布工程との後、上記液体塗布手段を上記任意の方向に沿って移動させながら、当該液体塗布手段によって、第２処理系の上記載置台に載置された塗布対象物に対して液体を塗布する第２塗布工程と、上記第１塗布工程と上記第２塗布工程との間に、上記メンテナンス手段によって上記液体塗布手段をメンテナンスするメンテナンス工程とを含むことを特徴としている。
【００２６】
上記方法によれば、液体塗布手段が上記移動軸を任意の方向に移動することによって、複数の処理系に分かれた複数の塗布対象物に対し、それぞれ液体塗布処理を行うことができる。さらに、各処理系における液体塗布工程の合間に、液体塗布手段のメンテナンスを行うことことによって、複数の基板に対する液体塗布処理と液体塗布手段のメンテナンスとに係る時間を短縮することができる。
【００２７】
また、本発明に係る液体塗布方法は、上記複数の載置台には、各載置台に載置された塗布対象物をアライメントするアライメント手段がそれぞれ設けられており、少なくとも上記第１塗布工程が行われている間に、上記第２処理系の上記載置台に載置される上記塗布対象物を、上記アライメント手段によってアライメントする第１アライメント工程をさらに含むことが好ましい。
【００２８】
さらに、本発明に係る液体塗布方法は、少なくとも上記メンテナンス工程および上記第２塗布工程が行われている間に、上記第１処理系の上記載置台上から処理済の塗布対象物を搬出する搬出工程と、当該載置台に載置される新たな塗布対象物を上記アライメント手段によってアライメントする第２アライメント工程とをさらに含むことが好ましい。
【００２９】
上記方法によれば、各処理系における塗布工程とアライメント工程とを並列的に処理することができるため、複数の基板に対する処理時間を短縮することができる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明に係る液体塗布装置は、塗布対象物に液体を塗布する液体塗布手段と、１つの移動軸に沿って上記液体塗布手段を移動する移動手段と、上記塗布対象物がそれぞれ載置され、かつ、上記移動軸に沿って一列に配置される複数の載置台と、上記複数の載置台のうち、隣接する任意の第１載置台と第２載置台との間に配置された、上記液体塗布手段をメンテナンスするメンテナンス手段とを備えるため、複数の基板に対する処理時間を短縮することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の一実施形態に係る液体塗布装置の構成を概略的に示す上面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る液体塗布装置の構成を概略的に示す側面図である。
【図３】上記液体塗布装置における載置台を示す上面図である。
【図４】上記液体塗布装置におけるメカアライメント機構を示す上面図である。
【図５】基板におけるアライメントマークを示す図である。
【図６】本発明の他の実施形態に係る液体塗布装置の構成を概略的に示す上面図である。
【図７】上記液体塗布装置の変形例を概略的に示す上面図である。
【図８】従来の液体吐出装置の構成を概略的に示す上面図である。
【図９】比較例に係る液体塗布装置の構成を概略的に示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
〔第１の実施形態〕
本発明の一実施形態に係る液体塗布装置１について、図１〜図７に基づいて以下に説明する。図１は、本実施形態に係る液体塗布装置１を概略的に示す上面図である。
【００３３】
図１に示すように、本実施形態に係る液体塗布装置１は、基板２に液体塗布する液体塗布ユニット３（液体塗布手段）、液体塗布ユニット３をメンテナンスするメンテナンスユニット４（メンテナンス手段）、基板２を載置する２つの載置台５Ａ、５Ｂ（第１載置台、第２載置台）、液体塗布ユニット３を移動するガイド部材６（移動手段）、ならびにその周辺部材を備えている。
【００３４】
本実施形態に係る液体塗布装置１では、液体塗布ユニット３が、各載置台５Ａ、５Ｂに載置された基板２に対して液体を塗布する。塗布後、メンテナンスユニット４が、液体塗布ユニット３の塗布性能の劣化を防止するために、液体塗布ユニット３のメンテナンスを行う。また、液体塗布ユニット３は、ガイド部材６によって、各載置台５Ａ、５Ｂに対する液体塗布位置とメンテナンスユニット４に対するメンテナンス位置との間を移動することができる。
【００３５】
なお、以下の説明では、ガイド部材６による液体塗布ユニット３の移動方向をＹ軸方向とし、図１に示す平面図においてＹ軸方向と直交する方向をＸ軸方向とし、Ｘ軸方向およびＹ軸方向のいずれにも直交する方向をＺ軸方向とする。
【００３６】
また、以下の説明では、液体塗布装置１の塗布対象物として基板２を用いているが、本発明はこれに特に限定されず、例えば、液体を塗布して製造される被記録媒体等が挙げられる。
【００３７】
以下に、液体塗布装置１の詳細な構成について図１および図２を参照して説明する。
【００３８】
まず、液体塗布装置１は、各載置台５Ａ、５Ｂに対して基板２を搬送するために、第１搬送機構３１および第２搬送機構３２を備えている。第１搬送機構３１および第２搬送機構３２の各々は、基板搬送スライダー１１、アーム１９、メカアライメント機構１０（アライメント手段）および基板搬出機構１４を含んでいる。また、液体塗布装置１は、基板カセット１２から各搬送機構に基板２を搬入するための基板搬入機構１３をさらに備えている。基板搬入機構１３および基板搬出機構１４は、例えばロボットアーム等である。
【００３９】
基板搬入機構１３は、基板カセット１２等から基板２を第１搬送機構３１および第２搬送機構３２の各々におけるアーム１９に受け渡す。各搬送機構において、基板搬送スライダー１１は、基板２を載せたアーム１９を各載置台５Ａ、５Ｂにまで搬送する。この搬送中、メカアライメント機構１０は、アーム１９上の基板２の傾きを粗調整する。基板搬出機構１４は、Ｘ方向に動いて載置台５Ａ、５Ｂから処理済の基板２を搬出する。
【００４０】
各載置台５Ａ、５Ｂの上部には、基板２を昇降するための４本の昇降ピン１６（図３参照）と、基板を吸着する基板吸着穴（図示しない）とが設けられている。一方、載置台５の下部には、図示していないが、搬送されてきた基板２の傾きを微調整するためのＸ軸ステージ、Ｙ軸ステージ、およびθ軸ステージ（アライメント手段）とが設けられている。
【００４１】
液体塗布装置１は、載置台５Ａ、５Ｂの上方に配置された、ガイド部材６、液体塗布ユニット３、およびアライメントカメラユニット８Ａ、８Ｂをさらに備えている。ガイド部材６の側面にはＹ方向に沿ってガイドレール７が設置されており、ガイドレール７には液体塗布ユニット３およびアライメントカメラユニット８Ａ、８Ｂが移動可能に係合されている。ここで、アライメントカメラユニット８Ａおよび８Ｂは、液体塗布ユニット３を間に挟むように配置されている。
【００４２】
なお、以下の説明において、第１搬送機構３１および載置台５Ａを経由する基板２の処理系統を第１処理系４１とし、第２搬送機構３２および載置台５Ｂを経由する基板２の処理系統を第２処理系４２とする。
【００４３】
液体塗布ユニット３は、ガイドレール７に沿って移動することによって、載置台５Ａ、５Ｂおよびメンテナンスユニット４の上方を移動可能である。言い換えると、液体塗布ユニット３に搭載されている液体塗布ヘッド２１の真下の位置には、載置台５Ａ、５Ｂおよびメンテナンスユニット４が設置されている。
【００４４】
また、液体塗布ユニット３は、載置台５Ａおよび５Ｂの各々に載置された基板２に対して液体を塗布する。液体塗布ユニット３は、その先端に、液体をノズル２２（吐出部）から塗布する液体塗布ヘッド２１を有している。
【００４５】
なお、液体塗布ヘッド２１の角度を調節することにより、液体塗布ヘッド２１における複数のノズル２２による列と、液体塗布ヘッド２１の移動方向（Ｙ軸方向）とが形成する角度を調節してもよい。例えば、基板２上に塗布する描画パターンの幅に基づいて調節してもよい。また、液体塗布ヘッド２１のノズル２２数およびノズル２２の列幅については、処理する基板２のサイズに応じて調節してもよい。また、液体塗布ヘッド２１は、一つの長尺ヘッドを搭載するか、または、複数の長尺ヘッドを搭載してもよい。
【００４６】
また、液体塗布ユニット３の有する液体塗布ヘッド２１としては、例えばインクジェットヘッドを用いることができる。
【００４７】
アライメントカメラユニット８Ａは、載置台５Ａ上の基板２のアライメントを行うためのアライメントカメラ９ａおよび９ｂを備えており、アライメントカメラユニット８Ｂは、載置台５Ｂ上の基板２のアライメントを行うためのアライメントカメラ９ａおよび９ｂを備えている。アライメントについては後述にて詳細に説明する。
【００４８】
また、液体塗布装置１は、上述したようにメンテナンスを行うメンテナンスユニット４を備えている。メンテナンスユニット４は、載置台５Ａおよび５Ｂの間に配置されている。また、メンテナンスユニット４は、図示していないが、液体塗布ヘッド２１のノズル２２面を清掃するためのワイピングステーション、および、液体塗布ヘッド２１のノズル２２面を湿潤状態に保持するためのキャッピングステーション等から構成されている。
【００４９】
次に、液体塗布ユニット３ならびにアライメントカメラユニット８Ａおよび８Ｂの移動範囲について図２を参照して説明する。図２は、液体塗布ユニット３、アライメントカメラユニット８Ａ、８Ｂ、メンテナンスユニット、載置台５Ａ、５ＢをＸ方向から見た側面図である。
【００５０】
図２に示すように、液体塗布ユニット３の移動範囲は、液体塗布ユニット３が載置台５Ａ上に設置された基板２の端部から載置台５Ｂ上に設置された基板２の端部まで移動できる範囲であることが望ましい。
【００５１】
また、液体塗布ユニット３に搭載された液体塗布ヘッド２１の先端と、載置台５Ａ、５Ｂ上に設置した基板２面とのギャップが０．５〜１．０ｍｍになるように、液体塗布ユニット３の高さを調整することが好ましい。このギャップが狭すぎると、基板２面と液体塗布ヘッド２１とが接触する可能性が発生し、また、広すぎると、液体塗布ヘッド２１から着弾精度が著しく低下する恐れがある。
【００５２】
アライメントカメラユニット８Ａ、８Ｂについては、液体塗布ユニット３が載置台５Ａ、５Ｂ上の基板２端部まで移動した時に、液体塗布ユニット３とアライメントカメラユニット８Ａ、８Ｂとが接触しない位置まで逃がす必要がある。そのため、アライメントカメラユニット８Ａ、８Ｂの移動範囲は、塗布中の液体塗布ユニット３とａが接触しない位置（アライメントカメラユニット待機位置）から、アライメントカメラユニット８Ａ、８Ｂに搭載されたアライメントカメラ９ａ、９ｂが基板２上のアライメントマークを観察することができる位置（アライメント位置）まで移動できる範囲であることが好ましい。
【００５３】
なお、ガイドレール７の長さは、液体塗布ユニット３の移動範囲と、アライメントカメラユニット８Ａ、８Ｂの移動範囲との両方を考慮した上で設定することが好ましい。
【００５４】
（アライメント）
第１処理系４１および第２処理系４２の各々では、メカアライメント機構１０が基板２を粗調節した後、アライメントカメラユニット８Ａ、８Ｂのアライメントカメラ９ａ、９ｂを用いて、載置台５Ａ、５Ｂが基板２を微調整している。
【００５５】
図４は、メカアライメント機構１０を概略的に示す上面図である。メカアライメント機構１０は、図４に示すように、基板２に対して複数の押し当てピン１５を当てて、基板２の傾きを調整する。メカアライメント機構１０が基板２を粗調整すれば、アライメントカメラ９ａ、９ｂが基板２を観察する時に、アライメントカメラ９ａ、９ｂの視野内にアライメントマーク１７が入るようにすることができる。
【００５６】
図５は、基板２上のアライメントマーク１７の一例を示す面図である。図５に示すように、基板２上には、アライメントマーク１７ａとアライメントマーク１７ｂとが、基板２の中心に対して点対象の位置に印刷されている。アライメントカメラユニット８Ａ、８Ｂの各々では、アライメントカメラ９ａがアライメントマーク１７ａを観察し、アライメントカメラ９ｂがアライメントマーク１７ｂを観察する。その後、図示しない制御機構が、２台のアライメントカメラ９ａ、９ｂが撮像した画像から、アライメントマーク１７ａおよび１７ｂの中心位置を求め、これらの中心位置から載置台上５Ａの基板２の傾きを計測する。この計測に基づいて、載置台５下のθ軸ステージ（図示しない）が回転することによって、基板２の傾き調整が行われる。さらに、必要に応じて、載置台５下のＸ軸ステージとＹ軸ステージ（図示しない）が移動することによって、基板２の位置が微調整される。
【００５７】
（動作）
次に、液体塗布装置１において行われる動作について、図１を参照して説明する。なお、以下の説明では、説明のために例として第１処理系４１を用いているが、同様の説明は第２処理系４２に対して適用可能である。
【００５８】
以下では、第１搬送機構３１に基板２を搬入する動作から、基板２に液体を塗布して搬出する動作までについて説明する。
【００５９】
まず、基板カセット１２から、基板搬入機構１３が基板２を取り出し、第１搬送機構３１に搬入する。第１搬送機構３１に搬入された基板２は、基板搬送スライダー１１によって図中に示す＋Ｘ方向に移動し、メカアライメント機構１０が設置されたメカアライメント位置まで移動する。メカアライメント機構１０は、複数の押し当てピン１５を基板２に当てることによって基板２の傾きを粗調整する。粗調整後、基板２は、再度、基板搬送スライダー１１によって載置台５Ａまで移動する。
【００６０】
載置台５Ａ上に基板２が搬送されると、載置台５Ａ上面から上昇していた昇降ピン１６が基板２を受け取って下降する。その後、載置台５Ａ上の基板吸着穴（図示しない）が基板２を吸着することによって、基板２が載置台５Ａに固定される。
【００６１】
次に基板２の傾きの微調整を行う。そのために、アライメントカメラユニット８Ａが、アライメントカメラユニット待機位置からアライメント位置まで移動する。その後、アライメントカメラユニット８Ａに搭載された２台のアライメントカメラ９ａ、９ｂが、基板２上の２点のアライメントマーク１７ａ、１７ｂを観察する。その後、上述したような方法によって基板２のアライメント微調整が完了する。
【００６２】
ここで、第１搬送機構３１への基板２の搬入からアライメント調整までを「動作１」とする。
【００６３】
次に、液体塗布ユニット３が載置台５Ａ上の基板２に対する液体塗布位置に向かって移動する。このとき液体塗布ユニット３は、まずメンテナンス位置を通過する。メンテナンス位置では、メンテナンスユニット４が液体塗布ヘッド２１のメンテナンスを行う。
【００６４】
メンテナンス後、液体塗布ユニット３は、図中の−Ｙ方向に移動し、載置台５Ａに対する液体塗布開始位置に移動する。なお、液体塗布開始位置とは、液体塗布ヘッド２１が基板２の＋Ｙ方向側の端部に対向する位置とする。次いで、液体塗布ユニット３が図中の−Ｙ方向に移動しながら、液体塗布ヘッド２１が液体の塗布を開始する。液体塗布ユニット３が液体塗布終了位置まで移動すると液体塗布ヘッド２１は塗布を終了する。なお、液体塗布終了位置とは、液体塗布ヘッド２１が基板２の−Ｙ方向側の端部に対向する位置とする。
【００６５】
液体塗布終了後、液体塗布ユニット３は図中の＋Ｙ方向に移動し、再びメンテナンス位置まで移動する。
【００６６】
なお、液体塗布ユニット３が再びメンテナンス位置まで移動する際、液体塗布ヘッド２１は、再び液体の塗布を行うことが好ましい。すなわち、液体塗布ユニット３が−Ｙ方向へ向かう往路だけでなく、＋Ｙ方向へ向かう復路においても、液体塗布ヘッド２１は液体塗布を行うことが好ましい。仮に＋Ｙ方向へ向かう復路において液体塗布を行った場合であっても、液体塗布ユニット３の全体的な移動距離はほぼ変わらない。また、液体塗布ヘッド２１が往復移動中に液体塗布を行うことによって、塗布すべき液体量を往路復路にそれぞれ分けることができるため、液体塗布ユニット３の移動速度を上げることができる。したがって、液体塗布のための処理時間を短くし、タクトタイムを短縮することが可能になる。
【００６７】
ここで、液体塗布ユニット３がメンテナンス位置から移動し、基板２に対して液体塗布するまでの動作を「動作２」とする。また、メンテナンスユニット４が液体塗布ヘッド２１をメンテナンスする動作を「動作３」とする。
【００６８】
また、液体塗布終了後、載置台５Ａの昇降ピン１６が処理済みの基板２を持ち上げ、基板搬出機構１４が処理済の基板２を搬出する。ここで、基板２を搬出する動作を「動作４」とする。
【００６９】
（並列動作）
液体塗布装置１は、上述の動作１〜動作４を並列に行うことが可能である。以下に液体塗布装置１における並列処理について簡単に説明する。
【００７０】
例えば、第１処理系４１において、液体塗布ヘッド２１が載置台５Ａ上の基板２に対して液体塗布処理（動作２）を行っている間に、第２処理系４２では、基板２の搬入から載置台５Ｂ上におけるアライメント調整まで（動作１）が行われる。
【００７１】
第１処理系４１における動作２が完了すると、基板搬出機構１４が処理済の基板２を搬出する（動作４）。この動作４と同時に、メンテナンスユニット４が液体塗布ヘッド２１のメンテナンス（動作３）を開始する。
【００７２】
この動作３が完了するまでの間に、第２処理系４２における動作１が完了していることが望ましい。第２処理系４２における動作１が完了した後には、動作３を終えた液体塗布ユニット３が載置台５Ｂ側に移動し、液体塗布ヘッド２１が載置台５Ｂ上の基板２に対する液体塗布処理（動作２）を行う。
【００７３】
また、第１処理系４１では、動作４が完了すると、新たな基板２に対する動作１が開始される。
【００７４】
その後は、処理系統を入れ替えて上述した動作を同様に行う。
【００７５】
以上のような並列動作を行うことによって、多数の基板２に対して、搬送、アライメント、および液体塗布処理にかかる全体的な時間を短縮することができ、タクトタイムを短縮することが可能になる。
【００７６】
また、上述の動作によれば、載置台５Ａと載置台５Ｂとの間を移動する時に、容易に、液体塗布ヘッド２１のメンテナンス処理を行うことができる。また、上述の動作によれば、載置台５Ａと載置台５Ｂとの間を移動する毎に液体塗布ヘッド２１のメンテナンスを行うため、液体塗布ヘッド２１の吐出安定性が高くなり、液体塗布ヘッド２１を安定可動させることが可能になる。
【００７７】
また、２台の載置台５Ａ、５Ｂの間にメンテナンス位置が設けられていることによって、わざわざ離れたメンテナンス位置に移動することなくメンテナンス処理を行うことができるため、移動時間を含めた処理時間を短縮することができ、タクトタイムの短縮が可能になる。
【００７８】
また、液体塗布に必要な液体塗布ヘッド２１の移動軸が一つで済むため、周囲の環境温度による影響を軽減することができる。
【００７９】
（比較例）
ここで、従来例として上述した液滴吐出装置２００が単に基板２に対する液体塗布位置を２箇所有する構成を、比較例として図９を参照して説明する。図９は、比較例に係る液体塗布装置３００を概略的に示す上面図である。
【００８０】
図９に示すように、液体塗布装置３００では、２つの液体塗布位置の外側にメンテナンス機構３０４が配置されている。このため、第１の移動レール３３１における第１の液体塗布位置とメンテナンス機構３０４との間の距離は、第２の移動レール３３２における第２の液体塗布とメンテナンス機構３０４との間の距離よりも長くなる。このため、液滴噴射ユニット３０３が、第１の移動レール３３１における第１の液体塗布位置とメンテナンス機構３０４との間を移動には時間がかかる。
【００８１】
なお、本実施形態に係る液体塗布装置１が使用する液体としては、例えばインクが挙げられる。インクの中には、インクの乾燥速度が早いものがあり、例えばインク吐出を行った後に数十秒間大気中で放置するだけでも、ノズル内の空気と触れているインクが乾燥してノズル周辺に固化してしまうものがある。
【００８２】
仮に、液体塗布装置３００が、乾燥速度の早いインクを用いていれば、インクが固化して、インクの着弾位置の乱れが発生したり、場合によってはインクが吐出不可能な状態になってしまったりする。
【００８３】
これに対し、本実施形態に係る液体塗布装置１では、メンテナンスユニット４が載置台５Ａと載置台５Ｂとの間にあり、さらに、載置台５Ａと載置台５Ｂとメンテナンスユニット４とが同一直線上に配置されている。このため、液体塗布ユニット３が、載置台５Ａとメンテナンスユニット４との間、および載置台５Ｂとメンテナンスユニット４との間を、無駄がなく移動することができる。よって、液体塗布処理後に液体塗布ヘッド２１を素早くメンテナンスすることができ、また、メンテナンス後に素早く液体塗布処理を開始することができる。このため、液体塗布装置１では、乾燥が早いインクを使用する場合であってもインク吐出精度の低下を極力抑えることができる。
【００８４】
〔実施形態２〕
本発明に係る他の実施形態について、図６に基づいて説明すれば以下の通りである。尚、本形態では、上記実施の形態１との相違点について説明するため、説明の便宜上、実施形態１で説明した部材と同一の機能を有する部材には同一の部材番号を付し、その説明を省略する場合がある。
【００８５】
図６は、本実施形態に係る液体塗布装置１００を概略的に示す上面図である。液体塗布装置１００は、上記実施の形態１と同様、基板２に液体を塗布する装置である。本実施形態に係る液体塗布装置１００は、実施形態１よりも多くの載置台５を備えている。載置台５の数は特に限定されないが、第１搬送機構３１側には３台の載置台５Ａ−１〜５Ａ−３が配置されており、第２搬送機構３２側には３台の載置台５Ｂ−１〜５Ｂ−３が配置されている。各載置台５の構成は、上記実施の形態１と同様である。
【００８６】
また、本実施形態では、各搬送機構において、載置台５の数に対応して、３つ基板２に対応するアーム１９と３つの基板搬出機構１４とが配置されている。
【００８７】
また、アライメントカメラユニット８Ａ、８Ｂは、上記実施の形態１と同様、第１搬送機構３１および第２搬送機構３２の各々に対して、１台ずつ設置されている。
【００８８】
次に、液体塗布装置１００において行われる動作について、図６を参照して説明する。以下の説明では、説明のために例として第１搬送機構３１を用いているが、同様の説明は第２搬送機構に対して適用可能である。以下では、第１搬送機構３１に基板２を搬入する動作から、基板２に液体を塗布して搬出する動作までについて説明する。
【００８９】
まず、基板カセット１２から、基板搬入機構１３が基板２を取り出し、第１搬送機構３１に搬入する。これにより３枚の基板２を第１搬送機構３１に搬入する。第１搬送機構３１に搬入された３枚の基板２は、メカアライメント機構１０が設置されたメカアライメント位置まで移動し、メカアライメント機構１０は、３枚の基板２を同時に粗調整する。粗調整後、３枚の基板２は載置台５Ａ−１〜５Ａ−３まで移動する。
【００９０】
各載置台５Ａ−１〜５Ａ−３上に基板２が搬送されると、上昇していた昇降ピン１６が基板２を受け取って下降する。その後、各載置台５Ａ−１〜５Ａ−３上の基板吸着穴（図示しない）が基板２を吸着することによって、基板２が載置台５Ａに固定される。
【００９１】
次に基板２の傾きの微調整を行う。本実施形態では、第１搬送機構３１に３台の載置台５Ａ−１〜５Ａ−３が配置されているため、各載置台５Ａ−１〜５Ａ−３上の基板２に対してアライメント調整を行う必要がある。このため、まず、アライメントカメラユニット８Ａが、アライメントカメラユニット待機位置から載置台５Ａ−１上のアライメント位置まで移動し、アライメントカメラ９ａ、９ｂが、載置台５Ａ−１上の基板２のアライメントマーク１７ａ、１７ｂを観察する。次に、アライメントカメラユニット８Ａは、載置台５Ａ−２上のアライメント位置にまで移動し、アライメントカメラ９ａ、９ｂが、載置台５Ａ−２上の基板２のアライメントマーク１７ａ、１７ｂを観察する。次に、載置台５Ａ−３上の基板２に対しても、上述と同様にアライメントマーク１７ａ、１７ｂの観察を行う。以上のように、３台の載置台５上の基板２について順番に基板２の傾きを測定する。
【００９２】
各基板２の傾きを測定した後、各載置台５Ａ−１〜５Ａ−３下のθ軸調整機構が独立して回転することによって、３枚の基板２の傾きを共通にすることができる。また、Ｘ軸調整機構が３枚の基板２のＸ軸方向位置を微調整することによって、３枚の基板２の位置を共通にするこができる。以上のアライメント動作によれば、液体塗布ヘッド２１が一直線に移動することにより３枚の基板２に同様のパターンを形成することが可能になる。
【００９３】
次に、液体塗布ユニット３が載置台５Ａ−１上の基板２に対する液体塗布位置に向かって移動する。このとき液体塗布ユニット３は、まずメンテナンス位置を通過する。メンテナンス位置では、メンテナンスユニット４が液体塗布ヘッド２１のメンテナンスを行う。
【００９４】
メンテナンス後、液体塗布ユニット３が、載置台５Ａ−１上から、載置台５Ａ−２上、載置台５Ａ−３上へと、順次図６中の−Ｙ方向に移動するのに伴い、液体塗布ヘッド２１は各載置台５Ａ−１〜５Ａ−３上の基板２対し、順次、液体を塗布して所定のパターンを形成する。
【００９５】
実施形態１にて説明したのと同様に、基板２に対して往復で塗布を行う場合には、液体塗布ユニット３が載置台５Ａ−３上から、載置台５Ａ−２上、載置台５Ａ−１上へ順次、図６中の＋Ｙ方向に移動するのに伴い、液体塗布ヘッド２１は各載置台５Ａ−１〜５Ａ３上の基板２対し、順次、液体を塗布して所定のパターンを形成する。
【００９６】
このように、液体塗布ヘッド２１を往復方向に移動させることによって、３枚の基板２に同様のパターンを形成することができる。
【００９７】
なお、本実施形態によれば、図１の装置構成に比べて３倍の枚数を処理できるため、多量の基板２を処理するための時間を短縮し、タクトタイムを短縮することが可能になる。
【００９８】
また、本実施形態における「動作１」〜「動作４」は実施形態１と同様とする。すなわち、動作１は、第１搬送機構３１への基板２の搬入からアライメント調整までの動作である。動作２は、液体塗布ユニット３の移動から、基板２に対する液体塗布までの動作である。動作３は、液体塗布ヘッド２１をメンテナンスする動作である。また、動作４は、基板２を搬出する動作である。
【００９９】
（並列動作）
実施形態１と同様に、本実施形態においても、上述の動作１〜動作４を並列に行うことが可能である。
【０１００】
まず、第１搬送機構３１側では、各載置台５Ａ−１〜５Ａ−３上の基板２に対して液体塗布処理を行い（動作２）、その後、処理済の基板２を搬出する（動作４）。動作４と同時に、液体塗布ユニット３を移動して液体塗布ヘッド２１のメンテナンスを行う（動作３）。これらの動作２〜４を行っている間に、第２搬送機構３２では、他の基板２の搬入からアライメント処理まで（動作１）を行う。
【０１０１】
メンテナンス（動作３）が完了した後、液体塗布ユニット３を第２搬送機構３２側に移動し、第２搬送機構３２側において、各載置台５Ｂ−１〜５Ｂ−３上の基板２に対して液体塗布処理（動作２）を開始する。また、第１処理系４１では、基板２の搬出（動作４）が完了した後、新たな基板２の搬入およびアライメント（動作１）を開始する。
【０１０２】
その後は、系統を入れ替えて上述の動作を同様に行う。すなわち、第２搬送機構３２側において、液体塗布処理（動作２）を行い、その後、処理済の基板２の搬出（動作４）と液体塗布ヘッド２１のメンテナンス（動作３）とを同時に行う。これらの動作２〜４を行っている間に、第１搬送機構３１では、新たな基板２の搬入からアライメントまで（動作１）を行う。
【０１０３】
以上のような並列動作を行うことによって、実施形態１よりも多数の基板２に対して、搬送、アライメント、および液体塗布処理にかかる全体的な時間を短縮することができ、タクトタイムを短縮することが可能になる。
【０１０４】
（その他構成）
なお、本実施形態では、１つの処理系に３台の載置台５が配置されているが、本発明はこれに限定されない。例えば１つの処理系に対して、さらに多くの載置台５が配置されていてもよい。
【０１０５】
また、本実施形態では、メンテナンスユニット４は、一列に配置された複数の載置台５を等分に分ける位置に配置されているが、本発明はこれに限定されず、一列に配置された複数の載置台５のうち、任意の２つの間に配置されていればよい。
【０１０６】
また、本実施形態では、１つの液体塗布装置１００に対して、１つのメンテナンスユニット４が設けられており、これにより２つの処理系が設定されているが、本発明はこれに限定されない。例えば１つの液体塗布装置１００に対して、複数のメンテナンスユニット４が設けられることにより、３つ以上の処理系が設定されていてもよい。３つ以上の処理系が設定されている場合、液体塗布装置は、各処理系間の動作をずらして行うことが好ましい。
【０１０７】
例えば、２つのメンテナンスユニット４を備える液体塗布装置１１０を図７に示す。図７に示す液体塗布装置１１０では、３つの処理系４１〜４３が設定されており、メンテナンスユニット４は隣接する載置台５Ａ〜５Ｃの間にそれぞれ設置されている。このような液体塗布装置１１０の処理動作としては、例えば、載置台５Ａで基板２上に描画を行い、載置台５Ｂで基板２のアライメントを行っている間、載置台５Ｃにおいても何らかの処理を行うことが好ましい。例えば、図７に示すように複数の液滴塗布ユニット３を搭載したり、またはアライメントカメラの数を増やしたりすることによって、どの載置台５Ａ〜５Ｃにおいても何らかの処理を行うことが容易になる。
【０１０８】
本発明は、上述した各実施形態に限定されたものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【０１０９】
本発明は、例えば複数の基板に液体を塗布する液体塗布装置として好適に利用することができる。
【符号の説明】
【０１１０】
１  液体塗布装置
２  基板
３  液体塗布ユニット（液体塗布手段）
４  メンテナンスユニット（メンテナンス手段）
５Ａ〜５Ｃ  載置台
６  ガイド部材（移動手段）
７  ガイドレール
８  アライメントカメラユニット
９ａおよび９ｂ  アライメントカメラ
１０  メカアライメント機構
【図１】
2011156482.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2011156482.tif 000006
【図５】
2011156482.tif 000007
【図６】
2011156482.tif 000008
【図７】
2011156482.tif 000009
【図８】
2011156482.tif 000010
【図９】
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