(57)【要約】      （修正有）【課題】フィルターの位置ズレや変形を抑制して吐出不良を抑制することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】第１液体供給路９１を有する第１供給部材３１と、第２液体供給路９２が設けられた第２供給部材３２と、第１供給部材３１と第２供給部材３２との間に液体供給路９０を横断して設けられたフィルター３３と、第１供給部材３１と第２供給部材３２とを樹脂により固定している一体成型部３４と、を備え、第１供給部材３１及び第２供給部材３２の少なくとも一方の内壁面９６ａには、フィルター３３に向かって突出して当該フィルター３３を支持する支持突起４１が設けられており、第１供給部材３１と第２供給部材３２との間でフィルター３３を挟持し、フィルター３３の両側の第１液体供給路３１と第２液体供給路３２との間に支持突起４１側が低い圧力となるように圧力差を生じさせた状態で、一体成型部を形成する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体供給路を介して供給された液体を噴射するノズルを有するヘッド本体と、
前記液体供給路の一部を構成する第１液体供給路を有する第１供給部材と、
前記第１供給部材の下流側に配置され、前記第１液体供給路と連通して前記液体供給路の一部を構成する第２液体供給路が設けられた第２供給部材と、
前記第１供給部材と前記第２供給部材との間に前記液体供給路を横断して設けられたフィルターと、
前記第１供給部材と前記第２供給部材との間で前記フィルターを挟持した状態で前記第１供給部材と前記第２供給部材とを樹脂により固定している一体成型部と、を備える液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記第１供給部材及び前記第２供給部材の少なくとも一方の内壁面には、前記フィルターに向かって突出して当該フィルターを支持する支持突起が設けられており、
前記第１供給部材と前記第２供給部材との間で前記フィルターを挟持し、前記フィルターの両側の前記第１液体供給路と前記第２液体供給路との間に前記支持突起側が低い圧力となるように圧力差を生じさせた状態で、前記一体成型部を形成することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記第１供給部材及び前記第２供給部材の前記支持突起が設けられた一方側の前記液体供給路からの吸引または他方側の前記液体供給路からの送風によって、前記第１液体供給路と前記第２液体供給路との間で圧力差を生じさせることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記支持突起は、前記フィルターを支持する先端面が長方形状を有し、前記第１供給部材及び前記第２供給部材の少なくとも一方には複数の前記支持突起が、先端面の長辺が１８０度以下の角度となるように配置されていることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記支持突起が、前記第１供給部材側に設けられていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドでは、一般的に、インクが充填された液体貯留手段であるインクカートリッジから、このインクカートリッジに着脱可能に挿入されるインク供給針及びインクカートリッジが保持されるカートリッジケース等の供給部材に形成されたインク流路（液体供給路）を介してヘッド本体にインクが供給される。インクが供給されたヘッド本体には、圧電素子等の圧力発生手段が設けられ、圧力発生手段を駆動させることにより、ノズルからインクが吐出される。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、インクカートリッジ内のインクに含まれる気泡、あるいはインクカートリッジを着脱する際にインク内に混入した気泡がヘッド本体に供給されてしまうと、この気泡によるドット抜け等の吐出不良が発生するという問題がある。このため、インクカートリッジに挿入されるインク供給針と供給部材との間にインク内の気泡やゴミ等を除去するためのフィルターを設けたものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、インク供給針と供給部材とを一体成型により形成した一体成型部（アウター部）によって一体化したものが提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−２１１１３０号公報
【特許文献２】特開２００９−１３２１３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、インク供給針と供給部材とでフィルターを挟持している最中に、所定位置からフィルターがずれてしまうことや、フィルター自体に皺が寄るように変形してしまう虞があるという問題がある。そして、フィルターの位置ズレや変形の発生によって、インク中の気泡等がフィルターに捕捉されずにノズルに達し、インク滴が吐出されないドット抜けや吐出方向がずれるといった吐出不良が発生してしまうという問題がある。特に、特許文献２のように一体成型部を成形する際には、樹脂を充填する際の圧力や、樹脂を硬化させる際の収縮による応力などによってフィルターの位置ズレや変形が生じてしまう可能性が高い。
【０００７】
なお、このような問題は、インクジェット式記録ヘッドの製造方法だけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法においても同様に存在する。
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑み、フィルターの位置ズレや変形を抑制して吐出不良を抑制することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体供給路を介して供給された液体を噴射するノズルを有するヘッド本体と、前記液体供給路の一部を構成する第１液体供給路を有する第１供給部材と、前記第１供給部材の下流側に配置され、前記第１液体供給路と連通して前記液体供給路の一部を構成する第２液体供給路が設けられた第２供給部材と、前記第１供給部材と前記第２供給部材との間に前記液体供給路を横断して設けられたフィルターと、前記第１供給部材と前記第２供給部材との間で前記フィルターを挟持した状態で前記第１供給部材と前記第２供給部材とを樹脂により固定している一体成型部と、を備える液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記第１供給部材及び前記第２供給部材の少なくとも一方の内壁面には、前記フィルターに向かって突出して当該フィルターを支持する支持突起が設けられており、前記第１供給部材と前記第２供給部材との間で前記フィルターを挟持し、前記フィルターの両側の前記第１液体供給路と前記第２液体供給路との間に前記支持突起側が低い圧力となるように圧力差を生じさせた状態で、前記一体成型部を形成することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
【００１０】
かかる態様では、一体成型部を形成する際に、フィルターを圧力差によって第１供給部材又は第２供給部材側に吸着保持させることができるため、一体成型部の形成時の圧力等によってフィルターの位置ズレや変形を抑制することができる。
【００１１】
また、前記第１供給部材及び前記第２供給部材の前記支持突起が設けられた一方側の前記液体供給路からの吸引または他方側の前記液体供給路からの送風によって、前記第１液体供給路と前記第２液体供給路との間で圧力差を生じさせることが好ましい。これによれば、フィルターの両側で容易に圧力差を生じさせることができる。
【００１２】
また、前記支持突起は、前記フィルターを支持する先端面が長方形状を有し、前記第１供給部材及び前記第２供給部材の少なくとも一方には複数の前記支持突起が、先端面の長辺が１８０度以下の角度となるように配置されていることが好ましい。これによれば、支持突起によってフィルターを確実に支持することができ、フィルターの変形をさらに低減することができる。
【００１３】
また、前記支持突起が、前記第１供給部材側に設けられていることが好ましい。これによれば、上流側の第１供給部材へのフィルターの変形を確実に抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施形態１に係る記録装置の概略斜視図である。
【図２】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図３】本発明の実施形態１に係る供給部材の上面図である。
【図４】本発明の実施形態１に係る供給部材の断面図である。
【図５】本発明の実施形態１に係る供給針の斜視図である。
【図６】本発明の実施形態１に係るヘッド本体の分解斜視図である。
【図７】本発明の実施形態１に係るヘッド本体の断面図である。
【図８】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。
【図９】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。
【図１０】本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。
【図１１】本発明の実施形態２に係る供給部材の断面図である。
【図１２】本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。
【図１３】本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。
【図１４】本発明の実施形態３に係る供給部材の断面図である。
【図１５】本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の概略斜視図である。
【００１６】
図１に示すように、インクジェット式記録装置１０を構成するインクを吐出する液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドとも言う）１１がキャリッジ１２に固定され、この記録ヘッド１１には、ブラック（Ｂ）、ライトブラック（ＬＢ）、シアン（Ｃ）、マゼンダ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）等の複数の異なる色のインクが貯留された液体貯留手段であるインクカートリッジ１３がそれぞれ着脱可能に固定されている。
【００１７】
記録ヘッド１１が搭載されたキャリッジ１２は、装置本体１４に取り付けられたキャリッジ軸１５に軸方向に移動自在に設けられている。そして駆動モーター１６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト１７を介してキャリッジ１２に伝達されることで、キャリッジ１２はキャリッジ軸１５に沿って移動される。一方、装置本体１４には、キャリッジ軸１５に沿ってプラテン１８が設けられており、図示しない給紙装置等により給紙された紙等の被記録媒体Ｓがプラテン１８上を搬送されるようになっている。
【００１８】
また、キャリッジ１２のホームポジションに対応する位置、すなわち、キャリッジ軸１５の一方の端部近傍には、記録ヘッド１１のノズル形成面を風刺するキャップ部材１９を有するキャッピング装置２０が設けられている。このキャップ部材１９によってノズル開口が形成されたノズル形成面を封止することにより、インクの乾燥を防止している。また、キャップ部材１９は、クリーニング動作時のインク受けとしても機能する。
【００１９】
ここで、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１１について説明する。なお、図２は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図である。
【００２０】
図２に示すように、記録ヘッド１１は、液体貯留手段であるインクカートリッジ１３が固定されるカートリッジケース等の供給部材３０と、供給部材３０のインクカートリッジ１３とは反対側の面に固定されたヘッド本体２２０と、ヘッド本体２２０の液体噴射面側に設けられたカバーヘッド２４０とを具備する。
【００２１】
まず、供給部材３０について詳細に説明する。なお、図３は、供給部材の上面図であり、図４は、図３のＡ−Ａ′断面図であり、図５は、供給針の斜視図である。
【００２２】
図３及び図４に示すように、供給部材３０は、第１供給部材である供給針３１と、複数の供給針３１が一方面側に設けられた第２供給部材である供給部材本体３２と、供給針３１と供給部材本体３２との間に挟持されたフィルター３３と、これらの供給針３１、供給部材本体３２及びフィルター３３を一体化する一体成型部３４とを備えている。
【００２３】
供給部材３０は、その一方面に上述したインクカートリッジ１３がそれぞれ装着される供給体装着部３５を有する。勿論、この供給体装着部３５に直接インクカートリッジ１３を装着せずに、インクを貯留する液体貯留手段からチューブ等を介して供給体装着部３５にインクを供給するようにしてもよい。
【００２４】
また、供給部材３０は、供給体装着部３５とは反対側の他方面にヘッド本体２２０が接合される。そして、供給部材３０には、一方面に設けられたインクカートリッジ１３からのインクを他方面に設けられたヘッド本体２２０に供給する液体供給路９０が設けられている。そして、供給部材３０の内部には、フィルター３３がこの液体供給路９０を横断して設けられている。
【００２５】
ここで、供給部材３０を構成する各部材について詳細に説明する。
供給部材本体３２には、後述するフィルター３３よりも下流側にあって、一端が供給部材本体３２の供給針３１が設けられる面（供給部材本体３２の一方面）に開口し、他端がヘッド本体２２０側に開口する第２液体供給路９２が設けられている。この第２液体供給路９２が液体供給路９０の一部を構成している。なお、供給部材３０には、複数のヘッド本体２２０、本実施形態では、５つのヘッド本体２２０が設けられており、液体供給路９０は、１つのヘッド本体２２０につき２つ設けられ、この２つの液体供給路９０には、１つのインクカートリッジ１３からのインクがそれぞれ独立して導入される。また、第２液体供給路９２の供給体装着部３５側には、供給針３１側から下流に向けて内径が漸減する第２フィルター室９３が設けられている。このように、本実施形態の第２液体供給路９２は、第２フィルター室９３と、第２フィルター室９３のヘッド本体２２０側の開口部であるインク供給口９４で連通する内径が略同一の供給路とで構成されている。
【００２６】
また、供給部材本体３２の表面には、突出した土手部３６が形成されている。土手部３６は、供給針３１の外周（裾部４０の外周）を取り囲んでおり、供給針３１の位置決めが行われる。さらに、供給部材本体３２の供給針３１が固定される一方面には、突出する壁部３７が形成されている。壁部３７の内側には、後述する製造工程で形成される一体成型部３４が設けられている。
【００２７】
供給針３１は、供給部材本体３２の一方面に固定されるものであり、先端部３９から底面側に向けて拡幅する裾部４０を有する。供給針３１は、先端部３９に設けられたインク導入口９５に連通して液体供給路９０の一部を構成する第１液体供給路９１を有しており、第１液体供給路９１は、フィルター３３を介して供給部材本体３２の第２液体供給路９２に連通している。すなわち、供給部材３０の液体供給路９０は、供給針３１の第１液体供給路９１と供給部材本体３２の第２液体供給路９２とで構成されている。また、第１液体供給路９１は、第２液体供給路９２側に向けて内径が拡幅した空間、すなわち、幅広部である第１フィルター室９６を有する。
【００２８】
また、図５に示すように、供給針３１の第１液体供給路９１内には、フィルター３３側に向かって突出した第１支持突起４１が設けられている。第１支持突起４１は、供給針３１のフィルター３３に相対向して第１フィルター室９６を画成する内壁面９６ａに、フィルター３３側に向かって突出して設けられている。言い換えると、第１支持突起４１は、フィルター３３の周縁部側から中央部に向かって突出して設けられており、第１支持突起４１のフィルター３３側の端面は、裾部４０の端面と面一となるように設けられている。このため、第１支持突起４１は、裾部４０の端面と同一端面でフィルター３３を支持するものである。
【００２９】
また、第１支持突起４１は、フィルター３３を支持する先端面が長方形状を有し、２つの第１支持突起４１が、その先端面の長辺が１８０度以下の角度となるように配置されているのが好ましい。このように、２つの第１支持突起４１を先端面の長辺が１８０度以下となるように配置することで、第１支持突起４１によってフィルター３３の変形を確実に低減することができる。本実施形態では、第１支持突起４１として、フィルター３３（第１液体供給路９１）の中央部側に向かって突出する２つの第１支持突起４１を約９０度の角度で配置するようにした。この２つの第１支持突起４１の端部は、第１液体供給路９１の中央部側で接触することなく、隙間が生じるように設けられている。これにより、２つの第１支持突起４１によって第１液体供給路９１内のインクの流れが阻害されるのを抑制することができる。
【００３０】
さらに、供給針３１の裾部４０には、厚さ方向に貫通する貫通孔９７が、周方向に沿って所定の間隔で複数設けられている。本実施形態では、裾部４０に貫通孔９７を８個設けるようにした。
【００３１】
この供給針３１に設けられた貫通孔９７は、詳しくは後述するが、記録ヘッド１１の製造時にフィルター３３を吸引する吸引孔の一部として機能するものであるが、製造後には、後述する一体成型部３４の一部で埋められるものである。
【００３２】
また、供給針３１及び供給部材本体３２は、フィルター３３を挟持する領域である挟持領域４２を有する。本実施形態では、挟持領域４２は、供給部材本体３２の一方面における第２液体供給路９２の開口縁部であるフィルター挟持部４３と、供給針３１の供給部材本体３２側の開口縁部である針側フィルター挟持部４４とが互いに相対向する領域である。
【００３３】
さらに、供給針３１の針側フィルター挟持部４４の外側には、供給部材本体３２側に突出するフィルターガイド４６が設けられている。フィルターガイド４６は、針側フィルター挟持部４４の周囲に亘って設けられており、供給針３１にフィルター３３を吸引吸着させた際に、フィルター３３の供給針３１への位置決めを行うためのものである。フィルターガイド４６の突出量をフィルター３３の厚さよりも低くすることで、フィルター挟持部４３と針側フィルター挟持部４４との間でフィルター３３を確実に挟持させることができる。
【００３４】
フィルター３３は、液体供給路９０を横断するように供給針３１と供給部材本体３２との間、すなわち、フィルター挟持部４３と針側フィルター挟持部４４との間で挟持されている。
【００３５】
このようなフィルター３３は、金属を細かく編み込むことで複数の微細孔が形成されたシート状のものである。また、フィルター３３は、第２液体供給路９２の開口形状よりも大きく、且つフィルターガイド４６よりも小さい大きさで設けられている。なお、フィルター３３は、金属を細かく編み込んだものに限定されず、例えば、複数の貫通孔が形成された１枚の金属板や樹脂板等であってもよく、また、不織布等であってもよい。このフィルター３３により、液体供給路９０を流れるインク内の気泡や異物が除去される。
【００３６】
一体成型部３４は、フィルター３３を挟持した供給針３１と供給部材本体３２とを接合している。この接合とは、供給針３１と供給部材本体３２との両方に接触するように一体成型部３４を成型することにより供給針３１と供給部材本体３２とを接合して、供給針３１と供給部材本体３２とフィルター３３とを一体化することをいう。
【００３７】
また、一体成型部３４は、挟持領域４２の外側に供給針３１の周方向に亘って設けられている。本実施形態では、一体成型部３４は、挟持領域４２の外側、すなわち、土手部３６から裾部４０を覆い、壁部３７の内側全体に亘って連続して設けられている。このように、一体成型部３４が挟持領域４２の外側を覆うことで、挟持領域４２からインクが外部に流出するのを抑制する役割を有する。なお、本実施形態では、一体成型部３４は、全ての供給針３１に共通して連続するように設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、供給針３１毎や、２つ以上の供給針３１で構成される供給針３１群毎に独立して設けるようにしてもよい。
【００３８】
ちなみに、供給部材本体にフィルターを熱溶着等で固定し、さらに供給針を供給部材本体に超音波溶着等で固定する場合、供給部材本体にフィルターを溶着する領域を設け、さらにフィルターの溶着する領域の外側に供給針を溶着する領域が必要となり、供給部材本体が大型化してしまい、供給部材３０が大型化してしまう。これに対して、本発明では、一体成型部３４によって供給部材本体３２と供給針３１とを固定しているため、溶着のための領域が不要となって、隣り合う供給針３１の間隔を短くすることができ、記録ヘッド１１を小型化することができる。また、本発明では、記録ヘッド１１の小型化が可能なことから、フィルターの面積を小さくしてヘッドの小型化を図ることが不要となる。なお、フィルターの面積を過度に小さくすると、動圧が上がるため、圧電素子や発熱素子等の圧力発生手段を駆動する駆動電圧を上げなくてはならないが、本発明では、フィルターの面積を小さくして記録ヘッドを小型化する必要がないので、動圧は上昇せず、駆動電圧を上げる必要がない。
【００３９】
また、供給針と供給部材本体とを溶着により固定すると、隙間が発生する虞があり、隙間からインクが漏出してしまうが、本発明では、供給針３１と供給部材本体３２とが一体成型部３４によって固定されているため、これらの間に隙間が生じることがなく、隙間からインクが漏出するのを抑制することができる。また、仮に隙間ができたとしても、その隙間は一体成型部３４によって覆われるので、インクの漏出を確実に抑制できる。
【００４０】
このような供給部材３０の液体供給路９０のインクカートリッジ１３とは反対側にはヘッド本体２２０が設けられている。ここで、ヘッド本体２２０について説明する。なお、図６はヘッド本体の分解斜視図であり、図７はヘッド本体の断面図である。
【００４１】
図示するように、ヘッド本体２２０を構成する流路形成基板６０は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、その一方面には二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成されている。この流路形成基板６０には、その他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室６２が、幅方向に並設された列が２列形成されている。また、各列の圧力発生室６２の長手方向外側には、後述する保護基板８０に設けられるマニホールド部８１と連通し、各圧力発生室６２の共通のインク室となるマニホールド１００を構成する連通部６３が形成されている。また、連通部６３は、供給路６４を介して各圧力発生室６２の長手方向一端部とそれぞれ連通されている。すなわち、本実施形態では、流路形成基板６０に形成された液体流路として、圧力発生室６２、連通部６３及び供給路６４が設けられている。
【００４２】
また、流路形成基板６０の開口面側には、ノズル開口７１が形成されたノズルプレート７０が接着剤４００を介して固着されている。具体的には、複数のヘッド本体２２０に対応するように複数のノズルプレート７０が設けられており、当該ノズルプレート７０は後で詳述するカバーヘッド２４０の露出開口部２４１よりも若干広い面積を有してカバーヘッド２４０と重畳する領域で接着剤等によって固定されている。なお、ノズルプレート７０のノズル開口７１は、各圧力発生室６２の供給路６４とは反対側で連通する位置に穿設されている。本実施形態では、流路形成基板６０に圧力発生室６２が並設された列を２列設けたため、１つのヘッド本体２２０にノズル開口７１の並設されたノズル列７１Ａが２列設けられている。そして、本実施形態では、このノズルプレート７０のノズル開口７１が開口する面が液体噴射面となっている。このようなノズルプレート７０としては、例えば、シリコン単結晶基板やステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属基板などが挙げられる。
【００４３】
一方、流路形成基板６０の開口面とは反対側には、弾性膜５０上に、金属からなる下電極膜と、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電材料からなる圧電体層と、金属からなる上電極膜とを順次積層することで形成された圧電素子３００が形成されている。
【００４４】
このような圧電素子３００が形成された流路形成基板６０上には、マニホールド１００の少なくとも一部を構成するマニホールド部８１を有する保護基板８０が接合されている。このマニホールド部８１は、本実施形態では、保護基板８０を厚さ方向に貫通して圧力発生室６２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板６０の連通部６３と連通されて各圧力発生室６２の共通のインク室となるマニホールド１００を構成している。
【００４５】
また、保護基板８０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部８２が設けられている。
【００４６】
さらに、保護基板８０上には、各圧電素子３００を駆動するための半導体集積回路（ＩＣ）等からなる駆動回路１１０が設けられている。この駆動回路１１０の各端子は、図示しないボンディングワイヤー等を介して各圧電素子３００の個別電極から引き出された引き出し配線と接続されている。そして、駆動回路１１０の各端子には、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）等の外部配線１１１を介して外部と接続され、外部から外部配線１１１を介して印刷信号等の各種信号を受け取るようになっている。
【００４７】
また、このような保護基板８０上には、コンプライアンス基板１４０が接合されている。コンプライアンス基板１４０のマニホールド１００に対向する領域には、マニホールド１００にインクを供給するためのインク導入口１４４が厚さ方向に貫通することで形成されている。また、コンプライアンス基板１４０のマニホールド１００に対向する領域のインク導入口１４４以外の領域は、厚さ方向に薄く形成された可撓部１４３となっており、マニホールド１００は、可撓部１４３により封止されている。この可撓部１４３により、マニホールド１００内にコンプライアンスを与えている。
【００４８】
また、コンプライアンス基板１４０上には、ヘッドケース２３０が固定されている。
ヘッドケース２３０は、インク導入口１４４に連通すると共に供給部材３０の液体供給路９０に連通して、供給部材３０からのインクをインク導入口１４４に供給するインク供給連通路２３１が設けられている。このヘッドケース２３０には、コンプライアンス基板１４０の可撓部１４３に対向する領域に溝部２３２が形成され、可撓部１４３の撓み変形が適宜行われるようになっている。また、ヘッドケース２３０には、保護基板８０上に設けられた駆動回路１１０に対向する領域に厚さ方向に貫通した駆動回路保持部２３３が設けられており、外部配線１１１は、駆動回路保持部２３３を挿通して駆動回路１１０と接続されている。
【００４９】
ヘッド本体２２０を構成する各部材には、組立時に各部材を位置決めするためのピンが挿入されるピン挿入孔２３４が角部の２箇所に設けられている。そして、ピン挿入孔２３４にピンを挿入して各部材の相対的な位置決めを行いながら部材同士を接合することで、ヘッド本体２２０が一体的に組み合わせられる。
【００５０】
また、ヘッドケース２３０を介して供給部材３０に保持されたヘッド本体２２０は、図２に示すように、５つのヘッド本体２２０の液体噴射面側を覆うように箱形状を有するカバーヘッド２４０によって相対的に位置決めされて保持されている。カバーヘッド２４０は、ノズル開口７１を露出する露出開口部２４１と、露出開口部２４１を画成すると共にヘッド本体２２０の液体噴射面の少なくともノズル列７１Ａの並設されたノズル開口７１の両端部側に接合されるヘッド接合部２４２とを具備する。
【００５１】
ヘッド接合部２４２は、本実施形態では、複数のヘッド本体２２０に亘って液体噴射面の外周に沿って設けられた枠部２４３と、隣接するヘッド本体２２０の間に延設されて露出開口部２４１を分割する梁部２４４とで構成されており、枠部２４３及び梁部２４４がヘッド本体２２０の液体噴射面、すなわちノズルプレート７０の表面に接合されている。
【００５２】
また、カバーヘッド２４０には、ヘッド本体２２０の液体噴射面の側面側に、液体噴射面の外周縁部に亘って屈曲するように延設された側壁部２４５が設けられている。
【００５３】
このようにカバーヘッド２４０は、ヘッド接合部２４２をヘッド本体２２０の液体噴射面に接着するようにしたため、液体噴射面とカバーヘッド２４０との段差を減少させることができ、液体噴射面のワイピングや吸引動作などを行っても、液体噴射面にインクが残留するのを防止することができる。また、梁部２４４によって隣接するヘッド本体２２０の間が塞がれているため、隣接するヘッド本体２２０の間にインクが侵入することがなく、圧電素子３００や駆動回路１１０などのインクによる劣化及び破壊を防止することができる。また、ヘッド本体２２０の液体噴射面とカバーヘッド２４０との間は、接着剤によって隙間なく接着されているため、隙間に被記録媒体Ｓが入り込むのを防止してカバーヘッド２４０の変形及び紙ジャムを防止することができる。さらに、側壁部２４５が、複数のヘッド本体２２０の外周縁部を覆うことで、ヘッド本体２２０の側面へのインクの回り込みを確実に防止することができる。また、カバーヘッド２４０に、ヘッド本体２２０の液体噴射面と接合されるヘッド接合部２４２を設けるようにしたため、複数のヘッド本体２２０の各ノズル列７１Ａをカバーヘッド２４０に対して高精度に位置決めして接合することができる。
【００５４】
このようなカバーヘッド２４０としては、例えば、ステンレス鋼などの金属材料が挙げられ、金属板をプレス加工により形成してもよく、成型により形成するようにしてもよい。また、カバーヘッド２４０を導電性の金属材料とすることで、接地することができる。なお、カバーヘッド２４０とノズルプレート７０との接合は、特に限定されず、例えば、熱硬化性のエポキシ系接着剤や、紫外線硬化型の接着剤による接着などが挙げられる。
【００５５】
このような本実施形態の記録ヘッド１１は、インクカートリッジ１３からのインクを液体供給路９０（第１液体供給路９１及び第２液体供給路９２）を介して取り込み、インク供給連通路２３１及びインク導入口１４４を介して、マニホールド１００からノズル開口７１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路１１０からの記録信号に従い、各圧力発生室６２に対応するそれぞれの圧電素子３００に電圧を印加し、弾性膜５０及び圧電素子３００をたわみ変形させることにより、各圧力発生室６２内の圧力が高まりノズル開口７１からインク滴が吐出する。
【００５６】
ここで、このような記録ヘッド１１、特に供給部材３０に係る製造方法について詳細に説明する。なお、図８〜図１０は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。
【００５７】
まず、図８（ａ）に示すように、供給針３１の供給部材本体３２側の端面である針側フィルター挟持部４４にフィルター３３を吸引吸着させて位置決めする（配置工程を含む）。このフィルター３３の吸引は、供給針３１の第１液体供給路９１と貫通孔９７とを利用する。すなわち、本実施形態では、供給針３１の第１液体供給路９１と貫通孔９７とが吸引孔となっている。ちなみに、第１液体供給路９１と貫通孔９７とを吸引孔として利用するには、図８（ａ）に示す保持治具１２０を用いる。
【００５８】
ここで保持治具１２０は、供給針３１の外形形状と略同一形状を有する凹部１２１が設けられている。また、保持治具１２０には、供給針３１のインク導入口９５と貫通孔９７とに連通する吸引連通孔１２２が設けられている。吸引連通孔１２２の供給針３１とは反対側には、真空ポンプ等の吸引ポンプ（図示なし）が設けられており、吸引ポンプによって吸引連通孔１２２、インク導入口９５（第１液体供給路９１）及び貫通孔９７を介してフィルター３３を吸引することで、フィルター３３を供給針３１に吸着させる。
【００５９】
このとき、第１液体供給路９１だけではなく、貫通孔９７からも吸引することで、フィルター３３の中央部のみが第１液体供給路９１側に向かって凸状に変形するのを抑制することができる。すなわち、図９に示すように、第１液体供給路９１（インク導入口９５）のみを吸引すると、フィルター３３の周縁部は針側フィルター挟持部４４によって規制されているため、フィルター３３の中央部のみが第１液体供給路９１内に突出するように凸状に変形してしまう。これに対して、本実施形態のようにフィルター３３の周縁部を貫通孔９７によって同時に吸引してフィルター３３を針側フィルター挟持部４４に吸着させることで、フィルター３３が針側フィルター挟持部４４に所定の張力で張られて、フィルター３３の中央部が吸引されてもフィルター３３の中央部がインク導入口９５側に突出するように変形するのを抑制することができる。
【００６０】
また、供給針３１には、第１支持突起４１が設けられている。この第１支持突起４１によっても、フィルター３３の変形が規制される。すなわち、第１支持突起４１があれば、フィルター３３の中央部がインク導入口９５側に突出して凸状に変形するのを抑制することができるため、フィルター３３の周縁部を吸引する貫通孔９７を設けなくてもよい。勿論、貫通孔９７で吸引すると共に、第１支持突起４１を設けることで、フィルター３３の変形をより確実に抑制することができる。
【００６１】
なお、本実施形態では、吸引孔として第１液体供給路９１及び貫通孔９７を用いるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、貫通孔９７のみを吸引孔として利用するようにしてもよい。すなわち、貫通孔９７のみでフィルター３３の周縁部のみを供給針３１に吸引吸着するようにしてもよい。
【００６２】
次に、図８（ｂ）に示すように、フィルター３３を吸引吸着した供給針３１と供給部材本体３２とでフィルター３３を挟持する（位置決め工程）。このとき、フィルター３３が供給針３１に吸引吸着されて保持されているため、供給針３１と供給部材本体３２とをフィルター３３を介して当接させた際の衝撃や摩擦によってフィルター３３の位置ずれや、変形が生じるのを抑制することができる。また、フィルター３３を供給針３１に吸引吸着しているため、供給針３１と供給部材本体３２とをフィルター３３の面が鉛直方向となる向きで当接させてもフィルター３３が落下するのを抑制することができる。したがって、後の工程で型枠の向きに制限が無くなり、製造効率を向上することができる。
【００６３】
次に、図１０に示すように、型枠の一例である第１の金型５１０と第２の金型５２０とでフィルター３３を挟持した供給針３１及び供給部材本体３２を保持する。
【００６４】
第１の金型５１０及び第２の金型５２０は、フィルター３３を挟持した供給針３１と供給部材本体３２とを挟持すると共に、樹脂の注入により一体成型部３４（図４参照）が形成される空間部６００を有する。具体的には、第１の金型５１０には、供給部材本体３２が嵌合される第１の凹部５１１が形成されている。また、第２の金型５２０には、空間部６００の一部を構成する第２の凹部５２１が形成され、供給針３１の先端部３９が嵌合される針保持孔５２２が形成されている。さらに、第２の金型５２０には、樹脂注入孔５２３が設けられている。樹脂注入孔５２３は、一端側が第２の凹部５２１に連通し、他端側から樹脂が注入される。
【００６５】
また、第２の金型５２０には、供給針３１の第１液体供給路９１に連通する金型吸引孔５２４が設けられている。この金型吸引孔５２４は、空間部６００に樹脂を注入して一体成型部３４を成型する際に、金型吸引孔５２４及び第１液体供給路９１を介してフィルター３３を吸引することで、フィルター３３を供給針３１側に吸引吸着させるものである。
【００６６】
そして、フィルター３３を金型吸引孔５２４及び第１液体供給路９１を介して供給針３１側に吸引吸着させながら、空間部６００内に加熱した樹脂を注入し、冷却して樹脂を硬化させることにより一体成型部３４を形成する（図４参照）。これにより、供給針３１、供給部材本体３２及びフィルター３３が一体成型部３４で一体化された供給部材３０を形成することができる。
【００６７】
ここで、本実施形態では、第１支持突起４１が設けられた供給針３１の第１液体供給路９１から吸引することで、フィルター３３の両側の第１フィルター室９６（第１液体供給路９１）と、第２フィルター室９３（第２液体供給路９２）との間に、第１フィルター室９６側が第２フィルター室９３に比べて低い圧力となるように圧力差を生じさせている。このため、フィルター３３は、第１フィルター室９６側に、すなわち、供給針３１側に押しつけられた状態（吸引吸着された状態）で、一体成型部３４が形成される。
【００６８】
この一体成型部３４を形成する際に、空間部６００内の気体は、第１液体供給路９１及び金型吸引孔５２４を介して吸引されて外部に排出されているため、加熱された樹脂を空間部６００内の隅々に至るまで十分に充填することができる。
【００６９】
また、一体成型部３４を形成する際に、フィルター３３は、供給針３１側に吸引吸着されているため、樹脂が空間部６００に充填された際の充填圧力や、樹脂が硬化する際の収縮による圧力が印加されても、フィルター３３の変形を抑制することができる。具体的には、本実施形態では、第１液体供給路９１側から吸引しているため、フィルター３３が供給部材本体３２側に凸状となるように変形するのを抑制することができる。ちなみに、フィルター３３が供給部材本体３２側に凸状に変形すると、フィルター３３と第２液体供給路９２の第２フィルター室９３の内壁との間に十分な空間を画成することができず、このフィルター３３の突出した領域と内壁との間に気泡が溜まってしまい、フィルター３３の有効面積が減少するという問題がある。
【００７０】
また、本実施形態では、供給針３１側に第１支持突起４１を設け、供給針３１の第１液体供給路９１側から吸引するようにしたため、供給針３１側に吸引吸着されたフィルター３３は、第１支持突起４１によって供給針３１側への変形が規制される。したがって、フィルター３３は、供給針３１側にも凸状に変形するのが抑制されて、供給針３１と供給部材本体３２との間に表面が平坦となるように保持される。
【００７１】
なお、本実施形態では、供給針３１側に第１支持突起４１を設け、一体成型部３４を形成する際に、供給針３１の第１液体供給路９１側から吸引するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、供給部材本体３２の第２液体供給路９２側から吸引するようにしてもよい。この場合には、空間部６００内に加熱された樹脂を十分に充填することができると共に、フィルター３３が供給針３１側に凸状に変形するのを抑制することができるという効果を奏する。
【００７２】
このように形成した供給部材３０に、複数のヘッド本体２２０を固定し、この複数のヘッド本体２２０を覆うようにカバーヘッド２４０を取り付けることで、図２に示す本実施形態の記録ヘッド１１が形成される。
【００７３】
（実施形態２）
図１１は、本発明の実施形態２に係る供給部材の断面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００７４】
図示するように、実施形態２に係る供給部材３０Ａは、第１の供給部材である供給針３１Ａと、供給針３１Ａが一方面側に複数配置された第２の供給部材である供給部材本体３２Ａと、フィルター３３と、一体成型部３４とを備えている。
【００７５】
本実施形態の供給針３１Ａには、第１液体供給路９１内に第１支持突起４１が設けられていない。また、供給針３１Ａには、フィルターガイド４６が設けられておらず、針側フィルター挟持部４４が、供給部材本体３２Ａ側に面一となるように設けられている。
【００７６】
また、供給部材本体３２Ａには、フィルター３３に向かって突出した第２支持突起４５が設けられている。
【００７７】
第２支持突起４５は、供給部材本体３２Ａの第２液体供給路９２の第２フィルター室９３の内壁面に設けられた円柱形状を有する。本実施形態では、インク供給口９４の周りに
３つの第２支持突起４５を設けるようにした。この第２支持突起４５は、基端部が第２フィルター室９３の内壁面に固定され、先端部がフィルター３３に向かって突出して設けられており、その先端面でフィルター３３を支持する。
【００７８】
さらに、第２支持突起４５は、供給部材本体３２Ａのフィルター３３に対向する内壁面とフィルター３３との間隔が、インク供給口９４からフィルター３３までの距離の半分以下となる領域に設けられている。なお、本明細書において距離とは最短距離のことをいう。また、第２支持突起４５は、フィルター３３を挟持する挟持領域４２とは接しておらず、間に空間が画成されることで、インクが停滞せずに通過するようになっている。
【００７９】
このように第２支持突起４５を設けることで、フィルター３３が供給部材本体３２Ａ側に凸状に変形するのを抑制することができる。
【００８０】
このような実施形態２に係る供給部材３０Ａを有する記録ヘッド１１の製造方法について説明する。なお、図１２及び図１３は、本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。
【００８１】
まず、図１２（ａ）に示すように、供給部材本体３２Ａの供給針３１Ａ側の端面であるフィルター挟持部４３にフィルター３３を吸引吸着させて位置決めする（配置工程を含む）。このフィルター３３の吸引は、第２液体供給路９２を利用する。すなわち、本実施形態では、供給部材本体３２Ａの第２液体供給路９２が吸引孔となっている。
【００８２】
このフィルター３３の吸引では、供給部材本体３２Ａに第２支持突起４５が設けられているため、フィルター３３が第２液体供給路９２を介して吸引されても、フィルター３３の中央部が供給部材本体３２Ａ側に凸状に変形するのを第２支持突起４５によって規制して、フィルター３３の変形を抑制することができる。ちなみに、本実施形態では、第２液体供給路９２のみを吸引孔として利用するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、上述した実施形態１と同様に、供給部材本体３２Ａに、フィルター３３の周縁部に開口する貫通孔を設け、この貫通孔を吸引孔としてもよく、また、貫通孔及び第２液体供給路９２を吸引孔としてもよい。
【００８３】
次に、図１２（ｂ）に示すように、フィルター３３を吸引吸着した供給部材本体３２Ａと供給針３１Ａとでフィルター３３を挟持する（位置決め工程）。このとき、フィルター３３が供給部材本体３２Ａに吸引吸着されて保持されているため、供給針３１Ａと供給部材本体３２Ａとをフィルター３３を介して当接させた際の衝撃や摩擦によってフィルター３３の位置ずれや、変形が生じるのを抑制することができる。また、フィルター３３を供給針３１Ａに吸引吸着しているため、供給針３１Ａと供給部材本体３２Ａとをフィルター３３の面が鉛直方向となる向きで当接させてもフィルター３３が落下するのを抑制することができる。したがって、後の工程で型枠の向きに制限が無くなり、製造効率を向上することができる。
【００８４】
次に、図１３に示すように、型枠の一例である第１の金型５１０と第２の金型５２０とでフィルター３３を挟持した供給針３１Ａ及び供給部材本体３２Ａを保持する。
【００８５】
その後は、フィルター３３を第２液体供給路９２を介して供給部材本体３２Ａ側に吸引吸着させながら、第１の金型５１０と第２の金型５２０と間に画成された空間部６００内に加熱した樹脂を注入し、樹脂を冷却して硬化させることにより一体成型部３４を形成する（図１１参照）。これにより、供給針３１Ａ、供給部材本体３２Ａ及びフィルター３３が一体成型部３４で一体化された供給部材３０Ａを形成することができる。
【００８６】
ここで、本実施形態では、第２支持突起４５が設けられた供給部材本体３２Ａの第２液体供給路９２から吸引することで、フィルター３３の両側の第１フィルター室９６（第１液体供給路９１）と、第２フィルター室９３（第２液体供給路９２）との間に、第２フィルター室９３側が第１フィルター室９６に比べて低い圧力となるように圧力差を生じさせている。このため、フィルター３３は、第２フィルター室９３側に、すなわち、供給部材本体３２Ａ側に押しつけられた状態（吸引吸着された状態）で、一体成型部３４が形成される。
【００８７】
この一体成型部３４を形成する際に、空間部６００内の気体は、第２液体供給路９２を介して吸引されて外部に排出されているため、加熱された樹脂を空間部６００内の隅々に至るまで十分に充填することができる。
【００８８】
また、一体成型部３４を形成する際に、フィルター３３は、供給部材本体３２Ａ側に吸引吸着されているため、樹脂が空間部６００に充填された際の充填圧力や、樹脂が硬化する際の収縮による圧力が印加されても、フィルター３３の変形を抑制することができる。具体的には、本実施形態では、第２液体供給路９２側から吸引しているため、フィルター３３が供給針３１Ａ側に凸状となるように変形するのを抑制することができる。ちなみに、フィルター３３が供給針３１Ａ側に凸状に変形すると、フィルター３３と第１液体供給路９１の第１フィルター室９６の内壁との間に十分な空間を画成することができず、このフィルター３３の突出した領域と内壁との間に気泡が溜まってしまい、フィルター３３の有効面積が減少するという問題がある。
【００８９】
また、本実施形態では、供給部材本体３２Ａ側に第２支持突起４５を設け、供給部材本体３２Ａの第２液体供給路９２側から吸引するようにしたため、供給部材本体３２Ａ側に吸引吸着されたフィルター３３は、第２支持突起４５によって供給部材本体３２Ａ側への変形が規制される。したがって、フィルター３３は、供給部材本体３２Ａ側にも凸状に変形するのが抑制されて、供給針３１Ａと供給部材本体３２Ａとの間に表面が平坦となるように保持される。
【００９０】
（実施形態３）
図１４は、本発明の実施形態３に係る供給部材の断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００９１】
図１４に示すように、実施形態３の供給部材３０Ｂは、第１の供給部材である供給針３１と、第２の供給部材である供給部材本体３２Ａと、フィルター３３と、一体成型部３４とを備えている。
【００９２】
供給針３１は、上述した実施形態１と同様の部材、すなわち、第１支持突起４１が設けられたものである。
【００９３】
供給部材本体３２Ａは、上述した実施形態２と同様の部材、すなわち、第２支持突起４５が設けられたものである。
【００９４】
そして、フィルター３３は、供給針３１の第１支持突起４１と、供給部材本体３２Ａの第２支持突起４５との間で挟持されている。なお、本実施形態では、供給針３１の第１支持突起４１と供給部材本体３２Ａの第２支持突起４５とは、先端面でフィルター３３を挟持可能な位置に配置されている。もちろん、第１支持突起４１と第２支持突起４５とは相対向しない異なる位置となるように配置してもよい。
【００９５】
このような構成の場合、型枠に設置する前に、フィルター３３を供給針３１側に吸引吸着させてもよく、また、フィルター３３を供給部材本体３２Ａ側に吸引吸着させてもよい。
【００９６】
また、一体成型部３４を形成する際の吸引も、上述した実施形態１と同様に供給針３１側（第１液体供給路９１）から行ってもよく、また実施形態２と同様に供給部材本体３２Ａ側（第２液体供給路９２）から行ってもよい。ちなみに、一体成型部３４を形成する際に、図１５に示すように、供給針３１側（第１液体供給路９１）と供給部材本体３２Ａ（第２液体供給路９２）との両方から吸引してもよいが、両方から吸引することで、フィルター３３の両側に圧力差が生じない場合であっても、第１支持突起４１及び第２支持突起４５によってフィルター３３の変形は抑制される。
【００９７】
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１〜３では、第１液体供給路９１又は第２液体供給路９２から吸引することで、フィルター３３の両側の第１フィルター室９６と第２フィルター室９３との間に圧力差を生じさせるようにしたが、特にこれに限定されず、第１液体供給路９１又は第２液体供給路９２から気体を送風することで、フィルター３３の両側の第１フィルター室９６と第２フィルター室９３との間に圧力差を生じさせるようにしてもよい。具体的には、実施形態１においては、第１支持突起４１が設けられていない供給部材本体３２の第２液体供給路９２から気体を送風するようにすればよく、同様に、実施形態２においては、第２支持突起４５が設けられていない供給針３１Ａの第
１液体供給路９１から気体を送風するようにすればよい。勿論、気体の送風と吸引とを同時に行うようにしてもよい。
【００９８】
また、上述した実施形態１〜３では、供給部材本体３２、３２Ａのインク供給口９４を、第２フィルター室９３の中央部に設けるようにしたが、特にこれに限定されず、インク供給口９４は、第２フィルター室９３の一方向に偏心した位置に開口してもよい。
【００９９】
さらに、上述した実施形態１〜３では、第１供給部材を供給針３１、３１Ａとし、第２供給部材を供給部材本体３２、３２Ａとしたが、その他の部材であってもよいことは言うまでもない。
【０１００】
また、上述した実施形態１〜３では、２つの液体供給路９０に対して１つのヘッド本体２２０が設けられた構成を例示したが、インクの色毎に複数のヘッド本体を設けるようにしてもよい。このような場合には、各液体供給路が、各ヘッド本体に連通する。すなわち、各液体供給路が、各ヘッド本体に設けられたノズル開口が並設されたノズル列毎に連通するように設けられていてもよい。もちろん、液体供給路は、ノズル列毎に連通しなくてもよく、１つの液体供給路が複数のノズル列に連通していてもよく、また、１列のノズル列を２つに分け、それぞれに液体供給路が連通していてもよい。すなわち、液体供給路は、複数のノズル開口からなるノズル開口群に連通していればよい。
【０１０１】
さらに、上述の実施形態では、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッド１１を例示して本発明を説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。
【符号の説明】
【０１０２】
１０  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １１  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ３０、３０Ａ、３０Ｂ  供給部材、  ３１、３１Ａ  供給針（第１供給部材）、  ３２、３２Ａ  供給部材本体（第２供給部材）、  ３３  フィルター、  ３４  一体成型部、  ４１  第１支持突起、  ４５  第２支持突起、  ９０  液体供給路、  ９１  第１液体供給路（吸引孔）、  ９２  第２液体供給路（吸引孔）、  ９７  貫通孔（吸引孔）、  ２２０  ヘッド本体、  ２３０  ヘッドケース、  ２４０  カバーヘッド、  ５１０  第１の金型、  ５２０  第２の金型、  ６００  空間部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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