(57)【要約】【課題】より簡易な構成でありながら、部品を把持する把持部とその位置を補償するためのカメラとの相対位置を補償、校正することのできるキャリブレーション装置及びキャリブレーション方法、及びこうしたキャリブレーションに用いられる位置検出用治具、及び部品検査装置を提供する。【解決手段】キャリブレーション装置は、部品検査装置に設けられ、ＩＣチップを搬送するロボットハンドユニットが備えるＩＣチップを撮像するカメラの視野中心と、認識されたＩＣチップを吸着するノズルの軸中心との間の相対位置関係を検出する。部品検査装置には、この相対位置関係を検出するためにノズルの平行移動範囲内に設けられたフォトセンサー４１と、該フォトセンサー４１と所定の位置関係でかつカメラの撮像範囲内に設けられた認識マーク４５とが設けられている。【選択図】図４
2011179885.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品を搬送する搬送装置に設けられるキャリブレーション装置であって、
前記搬送装置の基台であるベースに対して平行に移動可能な搬送ハンドと、前記搬送ハンドに設けられて電子部品を撮像するカメラと、前記搬送ハンドに設けられて前記電子部品を把持する把持部と、前記把持部の平行移動範囲内に設けられたフォトセンサーと、前記フォトセンサーと所定の位置関係で前記カメラの撮像範囲内に設けられた認識マークと、前記把持部が前記フォトセンサーの検出領域に入ったことに基づいて前記搬送ハンドの位置を前記把持部の位置として検出する把持部位置検出部と、前記カメラの撮像画像に含まれる前記認識マークの認識に基づいて前記カメラの位置を検出するカメラ位置検出部と、前記検出される前記把持部の位置と前記カメラの位置とに基づいて前記搬送ハンドにおける前記把持部の位置と前記カメラの視野中心との相対位置関係を求める相対位置算出部とを備える
ことを特徴とするキャリブレーション装置。
【請求項２】
前記フォトセンサー及び前記認識マークはともに前記ベースに対して設けられている
請求項１に記載のキャリブレーション装置。
【請求項３】
前記ベースには、前記把持部の平行移動範囲内でかつ前記カメラの撮像範囲内に位置検出用の治具が設けられており、
前記フォトセンサー及び前記認識マークはともに前記治具に対して設けられている
請求項１に記載のキャリブレーション装置。
【請求項４】
前記フォトセンサーの検出領域の中心と前記認識マークの中心とが一致している
請求項１〜３のいずれか一項に記載のキャリブレーション装置。
【請求項５】
前記フォトセンサーは２つのフォトセンサーを有し、前記２つのフォトセンサーの検出方向は非平行に設定され、
前記認識マークは、前記２つのフォトセンサーに対して所定の位置関係であるマークとして設けられている
請求項１〜４のいずれか一項に記載のキャリブレーション装置。
【請求項６】
前記２つのフォトセンサーは、それらの検出領域が互いに重なるように配置されている
請求項５に記載のキャリブレーション装置。
【請求項７】
前記把持部位置検出部は、前記把持部を前記２つのフォトセンサーのいずれか一方の検出領域を横切るように移動させる場合、他方のフォトセンサーの検出領域に侵入しないように移動させる
請求項５または６に記載のキャリブレーション装置。
【請求項８】
前記把持部位置検出部は、前記把持部を前記フォトセンサーの検出領域を横切るように往復移動させて、往動と復動のそれぞれにて検出された前記把持部のそれぞれの位置に基づいて前記把持部の位置を検出する
請求項１〜７のいずれか一項に記載のキャリブレーション装置。
【請求項９】
前記カメラ位置検出部は、前記認識マークに対して前記カメラを往復移動させて、往動と復動のそれぞれにて撮像された前記認識マークのそれぞれの画像に基づいて前記カメラの位置を検出する
請求項１〜８のいずれか一項に記載のキャリブレーション装置。
【請求項１０】
前記フォトセンサーの検出領域の幅は前記把持部の幅よりも狭く、
前記把持部位置検出部は、前記把持部を前記検出領域を横切るように移動させることにより該把持部の位置を検出する
請求項１〜９のいずれか一項に記載のキャリブレーション装置。
【請求項１１】
前記フォトセンサーの検出領域の幅は前記把持部の幅よりも広く、
前記把持部位置検出部は、前記検出領域の中に移動された前記把持部により遮られた検出光の幅に基づいて当該把持部の位置を検出する
請求項１〜９のいずれか一項に記載のキャリブレーション装置。
【請求項１２】
前記フォトセンサーは、検出光を出射する発光部と前記出射された検出光を受光する受光部とを備える
請求項１〜１１のいずれか一項に記載のキャリブレーション装置。
【請求項１３】
前記フォトセンサーにはスリットが設けられている
請求項１２に記載のキャリブレーション装置。
【請求項１４】
前記搬送ハンドには、前記把持部が前記搬送ハンドに対して平行に移動可能に設けられており、
前記把持部位置検出部は、前記カメラと前記搬送ハンドの所定の位置に移動された前記把持部との前記相対位置関係を検出するとともに、前記カメラと前記所定の位置に対して移動された前記把持部との相対位置関係を前記所定の位置に対する移動量と前記検出された相対位置関係とに基づいて求める
請求項１〜１３のいずれか一項に記載のキャリブレーション装置。
【請求項１５】
電子部品を搬送する搬送装置の基台であるベースに対して平行移動する搬送ハンドに取り付けられて前記電子部品を把持する把持部を該把持部の平行移動範囲内に設けられたフォトセンサーにより検出したときの前記搬送ハンドの位置を前記把持部の位置として検出する把持部位置検出工程と、
前記搬送ハンドに取り付けられたカメラの撮像画像に含まれる前記フォトセンサーと所定の位置関係であるマークとして設けられた認識マークの認識に基づいて前記搬送ハンドの位置を前記カメラの位置として検出するカメラ位置検出工程と、
前記検出される前記把持部の位置と前記カメラの位置とに基づいて前記搬送ハンドにおける前記把持部の位置と前記カメラの視野中心との相対位置関係を求める相対位置算出工程とを備える
ことを特徴とするキャリブレーション方法。
【請求項１６】
前記フォトセンサー及び前記認識マークとして、前記ベースにおける前記把持部の平行移動範囲内でかつ前記カメラの撮像範囲内に設置された位置検出用の治具に一体に設けられたものを用いる
請求項１５に記載のキャリブレーション方法。
【請求項１７】
前記フォトセンサーとして検出方向が非平行に設定された２つのフォトセンサーを用い、前記認識マークとして、前記２つのフォトセンサーに対して所定の位置関係のものを用い、
前記把持部位置検出工程では、各フォトセンサー毎に検出した前記把持部のそれぞれの位置に基づいて前記搬送ハンドに対する前記把持部の位置を検出する
請求項１５または１６に記載のキャリブレーション方法。
【請求項１８】
前記把持部位置検出工程では、前記把持部を前記フォトセンサーの検出領域を横切るよ
うに往復移動させて、往動と復動のそれぞれにて検出された前記把持部のそれぞれの位置に基づいて前記把持部の位置を検出する
請求項１５〜１７のいずれか一項に記載のキャリブレーション方法。
【請求項１９】
前記カメラ位置検出工程では、前記認識マークに対して前記カメラを往復移動させて、往動と復動のそれぞれにて撮像された前記認識マークのそれぞれの画像に基づいて前記カメラの位置を検出する
請求項１５〜１８のいずれか一項に記載のキャリブレーション方法。
【請求項２０】
前記把持部が前記搬送ハンドに対して平行移動可能に設けられている場合、
前記把持部位置検出工程では、前記搬送ハンドの所定の位置に対する前記把持部の位置を検出するとともに、前記所定の位置に対して移動された前記把持部の位置を前記所定の位置に対する移動量と前記検出された把持部の位置とに基づいて求める
請求項１５〜１９のいずれか一項に記載のキャリブレーション方法。
【請求項２１】
光の受光量に基づいて検出対象の位置を検出するフォトセンサーと、
前記フォトセンサーと所定の位置関係である撮像可能な認識マークとが一体に設けられている
ことを特徴とする位置検出用治具。
【請求項２２】
前記フォトセンサーは、２つのフォトセンサーを有し、前記２つのフォトセンサーの検出方向は非平行に設定され、
前記認識マークは、前記２つのフォトセンサーに対して所定の位置関係であるマークとして設けられている
請求項２１に記載の位置検出用治具。
【請求項２３】
前記フォトセンサーは、検出光を出射する発光部と前記出射された検出光を受光する受光部とを備える
請求項２１または２２に記載の位置検出用治具。
【請求項２４】
前記フォトセンサーにはスリットが設けられている
請求項２３に記載の位置検出用治具。
【請求項２５】
電子部品の電気的検査を行なう検査部に電子部品を配置するとともに、前記配置された電子部品の電気的検査を行なう検査ユニットを備える部品検査装置であって、
前記部品検査装置の基台であるベースに対して平行に移動して前記検査ユニットに電子部品を搬送する搬送ハンドと、前記搬送ハンドに設けられて電子部品を撮像するカメラと、前記搬送ハンドに設けられて前記電子部品を把持する把持部と、前記把持部の平行移動範囲内に設けられたフォトセンサーと、前記フォトセンサーと所定の位置関係で前記カメラの撮像範囲内に設けられた認識マークと、前記把持部が前記フォトセンサーの検出領域に入ったことに基づいて前記搬送ハンドの位置を前記把持部の位置として検出する把持部位置検出部と、前記カメラの撮像画像に含まれる前記認識マークの認識に基づいて前記カメラの位置を検出するカメラ位置検出部と、前記検出される前記把持部の位置と前記カメラの位置とに基づいて前記搬送ハンドにおける前記把持部の位置と前記カメラの視野中心との相対位置関係を求める相対位置算出部とを備える
ことを特徴とする部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば電子部品検査装置などにあって、電子部品を搬送する機構を有する装置による電子部品の搬送精度を維持するキャリブレーション装置及びキャリブレーション方法、及び特にこうしたキャリブレーションに用いる位置調整用治具、及び部品検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記電子部品検査装置としては、トレイに載せられて装置外部から供給される検査前の電子部品の電気的特性を検査ユニットにより検査するとともに、検査済みの電子部品を検査ユニットによる検査結果の良否の別に各対応するトレイに配置しつつ、それらトレイと共々装置外部に排出するものが知られている。このような電子部品検査装置には、供給された電子部品をトレイから取得するとともに、検査ユニットに電子部品を供給するための供給装置にこの取得した電子部品を配置する把持装置が設けられていることが多い。また、検査ユニットによる検査済み電子部品を排出する排出装置から同検査済み電子部品を回収するとともに、検査結果の良否の別に各対応するトレイに分配する把持装置が設けられていることも多い。
【０００３】
ところで、このような把持装置は、トレイからの電子部品の取得や供給装置への電子部品の配置、あるいは排出装置からの電子部品の回収やトレイへの電子部品の分配等の動作を所定の位置精度にて行なう必要があるため、把持の対象となる電子部品の位置を画像認識により認識することが一般に行なわれている。ただし、このような画像認識を採用する場合、電子部品の画像を撮像するカメラと、同電子部品を把持する把持部とがそもそも各別の装置からなるために、それらの間の相対的な位置関係を考慮しなければ電子部品の搬送精度を維持することはできない。
【０００４】
そこで従来より、電子部品を撮像するカメラと同電子部品を把持する把持部との間のこうした相対位置関係を補償する技術が提案されており、その一つに特許文献１に記載の技術がある。この特許文献１の装置（方法）では、電子部品を搬送する搬送部（実装ヘッド）と、搬送部への取り付けカメラとしての基板認識用カメラと、搬送部の外部に設けられた部品認識用カメラとをそれぞれ設けるようにしている。また、搬送部には、基板認識用カメラの該搬送部に対する取り付け位置を測定するための測定治具を取り付けている。この測定治具には、その下側に、搬送部の真下を示す第１のマークと、基板認識用カメラの下方を示す第２のマークとが設けられるとともに、その上側の第２のマークに対応する位置に第３のマークが設けられている。これにより、測定治具の第１のマークと第２のマークとを部品認識用カメラを通じて認識することによって、第１のマークに対する第２のマークの相対位置を求めることができるようになる。また、基板認識用カメラにより第３のマークを認識することによって、基板認識用カメラの撮像画像と第３のマークとの間の誤差を求めることができるようになる。そして、これら求めた第１のマークに対する第２のマークの相対位置、及び基板認識用カメラの撮像画像と第３のマークとの間の誤差から搬送部の位置と基板認識用カメラとの間の相対位置情報を算出することで、それら搬送部と基板認識用カメラとの間の相対位置関係を補償するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平７−１９８１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記特許文献１に記載の装置では、搬送部（把持部）と基板認識用カメラとの相対位置情報の算出のため、すなわち相対位置関係の補償のために、上述した基板認識用カメラ及び部品認識用カメラといった２台のカメラが必要となる。しかし近年、装置の小型化促進に伴い、それらカメラの設置スペースの確保が困難になりつつある。こうした実情から、該カメラと把持部との相対的な位置関係をより簡易に補償することのできる装置の開発が求められている。
【０００７】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、より簡易な構成でありながら、部品を把持する把持部とその位置を補償するためのカメラとの相対位置を補償、校正することのできるキャリブレーション装置及びキャリブレーション方法、及びこうしたキャリブレーションに用いる位置検出用治具、及び部品検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のキャリブレーション装置は、電子部品を搬送する搬送装置に設けられるキャリブレーション装置であって、前記搬送装置の基台であるベースに対して平行に移動可能な搬送ハンドと、前記搬送ハンドに設けられて電子部品を撮像するカメラと、前記搬送ハンドに設けられて前記電子部品を把持する把持部と、前記把持部の平行移動範囲内に設けられたフォトセンサーと、前記フォトセンサーと所定の位置関係で前記カメラの撮像範囲内に設けられた認識マークと、前記把持部が前記フォトセンサーの検出領域に入ったことに基づいて前記搬送ハンドの位置を前記把持部の位置として検出する把持部位置検出部と、前記カメラの撮像画像に含まれる前記認識マークの認識に基づいて前記カメラの位置を検出するカメラ位置検出部と、前記検出される前記把持部の位置と前記カメラの位置とに基づいて前記搬送ハンドにおける前記把持部の位置と前記カメラの視野中心との相対位置関係を求める相対位置算出部とを備えることを要旨とする。
【０００９】
従来、電子部品を上から撮像するカメラと同電子部品を把持する把持部との間の相対位置情報の設定は、それらカメラと把持部とをそれぞれ、もしくは一時に撮像可能な位置情報取得用のカメラの撮像画像を認識することにより行なわれている。このように位置情報取得の設定にカメラを用いた場合、高さ方向には、カメラの長さと、レンズの長さと、焦点距離などとを加算した高さを要し、横方向には、少なくともカメラ筐体の幅を要する。
【００１０】
本発明のような構成によれば、カメラと把持部との間の相対位置関係の検出がフォトセンサーと認識マークとを組み合わせた小型な構成により行えるようになる。すなわちこの構成は、高さ方向にはフォトセンサー程度の高さを、横方向には把持部の幅（径）の数倍程度の幅をそれぞれ確保すればよいため小型になる。また小型な構成となるためそれを設置する設置位置はもとより把持部の位置を検出する際に要する空間も小さく済むようになる。
【００１１】
また、この装置は、高さ方向の高さが低くいことから搬送される電子部品等に干渉するおそれがないため、その設置位置の自由度も高い。さらに、フォトセンサーによる検出には、画像認識の場合に要する光度やコントラストの調整が不要であり、電子部品に応じて交換されることの多い把持部の別に各種の調整を要しない。また、フォトセンサーとして汎用的かつ安価な部品を使用することにより、この装置のメンテナンス性の向上及び低価格化を図ることもできる。さらに、フォトセンサーを把持部が電子部品を把持するときと同様の高さに配置するようにすることで、電子部品を取得するときと同等な姿勢とされた把持部の位置を検出することもできるようになり、把持部が電子部品を取得する態様により近い態様における相対位置情報を設定することもできるようになる。
【００１２】
このキャリブレーション装置は、前記フォトセンサー及び前記認識マークはともに前記ベースに対して設けられていることを要旨とする。
このような構成によれば、フォトセンサーと認識マークとの位置関係を所定の精度で予め設定することが容易となる。
【００１３】
このキャリブレーション装置は、前記ベースには、前記把持部の平行移動範囲内でかつ前記カメラの撮像範囲内に位置検出用の治具が設けられており、前記フォトセンサー及び前記認識マークはともに前記治具に対して設けられていることを要旨とする。
【００１４】
このような構成によれば、キャリブレーションに必要とされるフォトセンサーと認識マークとを一つの治具として管理することができるとともに、フォトセンサーと認識マークとの位置関係を所定の精度で予め設定することが容易になる。
【００１５】
このキャリブレーション装置は、前記フォトセンサーの検出領域の中心と前記認識マークの中心とが一致していることを要旨とする。
このような構成によれば、フォトセンサーにより検出された把持部の位置と、カメラの撮像画像から検出された認識マークの中心とが自ずと一致することとなり、把持部とカメラとの間の相対位置情報のキャリブレーションが容易になる。
【００１６】
このキャリブレーション装置は、前記フォトセンサーは２つのフォトセンサーを有し、前記２つのフォトセンサーの検出方向は非平行に設定され、前記認識マークは、前記２つのフォトセンサーに対して所定の位置関係であるマークとして設けられていることを要旨とする。
【００１７】
このような構成によれば、把持部とカメラとの間の相対位置関係を２次元位置として取得することができるようになる。このことから、把持部とカメラとの間の相対位置情報を２次元情報として設定することができるようになる。
【００１８】
このキャリブレーション装置は、前記２つのフォトセンサーは、それらの検出領域が互いに重なるように配置されていることを要旨とする。
このような構成によれば、２つのフォトセンサーによる検出領域を重ねることができるので、フォトセンサーを配置するための領域を小さくすることができるようにもなる。
【００１９】
このキャリブレーション装置は、前記把持部位置検出部は、前記把持部を前記２つのフォトセンサーのいずれか一方の検出領域を横切るように移動させる場合、他方のフォトセンサーの検出領域に侵入しないように移動させることを要旨とする。
【００２０】
このような構成によれば、一方のフォトセンサーの検出領域を横切るように移動される把持部の移動方向の前後には他方のフォトセンサーが配置されていないこととなるので、把持部の検出の際に当該把持部がフォトセンサーに接触するおそれが軽減される。
【００２１】
また、把持部が他のフォトセンサーの検出領域に侵入しないことから、一方のフォトセンサーによる同把持部の検出に、同把持部に干渉した他のフォトセンサーの光が影響を及ぼすおそれがない。
【００２２】
このキャリブレーション装置は、前記把持部位置検出部は、前記把持部を前記フォトセンサーの検出領域を横切るように往復移動させて、往動と復動のそれぞれにて検出された前記把持部のそれぞれの位置に基づいて前記把持部の位置を検出することを要旨とする。
【００２３】
このような構成によれば、往路と復路とで把持部の検出される位置に搬送ハンドのバックラッシュなどによる多少のずれが生じるような場合であれ、往路の際に生じるずれと、復路の際に生じるずれとを考慮して、それら往復の各ずれの中間的な位置に基づいて把持部の位置を求めることができるようにもなる。これにより、電子部品等に対して位置決めされる把持部のずれを該把持部の移動方向によらず一定範囲に収めることができるようにもなる。
【００２４】
このキャリブレーション装置は、前記カメラ位置検出部は、前記認識マークに対して前記カメラを往復移動させて、往動と復動のそれぞれにて撮像された前記認識マークのそれぞれの画像に基づいて前記カメラの位置を検出することを要旨とする。
【００２５】
このような構成によれば、往路と復路とで検出されるカメラの位置に搬送ハンドのバックラッシュなどによる多少のずれが生じるような場合であれ、往路の際に生じるずれと、復路の際に生じるずれとを考慮して、それら往復の各ずれの中間的な位置に基づいてカメラの位置を求めることができるようにもなる。これにより、電子部品等に対して位置決めされたカメラのずれを該カメラの移動方向によらず一定範囲に収めることができるようにもなる。
【００２６】
このキャリブレーション装置は、前記フォトセンサーの検出領域の幅は前記把持部の幅よりも狭く、前記把持部位置検出部は、前記把持部を前記検出領域を横切るように移動させることにより該把持部の位置を検出することを要旨とする。
【００２７】
このような構成によれば、検出光の幅が狭いことから、検出領域を小さくすることができるようになる。
このキャリブレーション装置は、前記フォトセンサーの検出領域の幅は前記把持部の幅よりも広く、前記把持部位置検出部は、前記検出領域の中に移動された前記把持部により遮られた検出光の幅に基づいて当該把持部の位置を検出することを要旨とする。
【００２８】
このような構成によれば、把持部を検出領域内に配置するだけで把持部の位置を検出することができるようになり、該把持部とカメラとの間の相対位置情報の設定を容易に行なうことができるようにもなる。
【００２９】
このキャリブレーション装置は、前記フォトセンサーは、検出光を出射する発光部と前記出射された検出光を受光する受光部とを備えることを要旨とする。
このような構成によれば、把持部が発光部と受光部との間に配置されることにより把持部を検出することができるようになり、この検出に基づいて把持部の位置が検出できるようになる。
【００３０】
このキャリブレーション装置は、前記フォトセンサーにはスリットが設けられていることを要旨とする。
このような構成によれば、フォトセンサーの検出光の幅や向きがスリットにより規制されるので、フォトセンサーによる把持部の検出性能が良好になる。例えば、規制されず拡散した光を誤検出してしまうおそれなどを低減させることができる。すなわち、スリットを発光部側に設けた場合、検出光からなる検出領域を所定の断面形状に規制して当該検出領域を通る把持部によって検出光が回折されて受光部に受光されるようなおそれが抑制される。また例えば、スリットを受光部側に設けた場合、当該受光部に発光部から直進してくる経路以外からの光の侵入を抑制することができるようになる。さらに例えば、スリットを発光部側と受光部側とにそれぞれ設ければ、受光部に受光される光の精度を、上記のような理由などにより、より向上させることができるようにもなる。
【００３１】
また、スリットの位置精度を維持すれば、フォトセンサーの取り付け精度が検出精度に影響することが軽減されて、装置としての組み立ての容易性やメンテナンス性が向上するようになる。
【００３２】
このキャリブレーション装置は、前記搬送ハンドには、前記把持部が前記搬送ハンドに対して平行に移動可能に設けられており、前記把持部位置検出部は、前記カメラと前記搬送ハンドの所定の位置に移動された前記把持部との前記相対位置関係を検出するとともに、前記カメラと前記所定の位置に対して移動された前記把持部との相対位置関係を前記所定の位置に対する移動量と前記検出された相対位置関係とに基づいて求めることを要旨とする。
【００３３】
このような構成によれば、把持部が搬送ハンドに対して水平移動するような場合であれ、搬送ハンドに対して水平移動した把持部とカメラとの間の相対位置関係を、把持部の水平移動位置に対応した情報として設定することができる。
【００３４】
本発明のキャリブレーション方法は、電子部品を搬送する搬送装置の基台であるベースに対して平行移動する搬送ハンドに取り付けられて前記電子部品を把持する把持部を該把持部の平行移動範囲内に設けられたフォトセンサーにより検出したときの前記搬送ハンドの位置を前記把持部の位置として検出する把持部位置検出工程と、前記搬送ハンドに取り付けられたカメラの撮像画像に含まれる前記フォトセンサーと所定の位置関係であるマークとして設けられた認識マークの認識に基づいて前記搬送ハンドの位置を前記カメラの位置として検出するカメラ位置検出工程と、前記検出される前記把持部の位置と前記カメラの位置とに基づいて前記搬送ハンドにおける前記把持部の位置と前記カメラの視野中心との相対位置関係を求める相対位置算出工程とを備えることを要旨とする。
【００３５】
従来、電子部品を上から撮像するカメラと同電子部品を把持する把持部との間の相対位置情報の設定は、それらカメラと把持部とをそれぞれ、もしくは一時に撮像可能な位置情報取得用のカメラの撮像画像を認識することにより行なわれている。このように位置情報取得の設定にカメラを用いた場合、高さ方向には、カメラの長さと、レンズの長さと、焦点距離などとを加算した高さを要し、横方向には、少なくともカメラ筐体の幅を要する。
【００３６】
本発明のような方法によれば、カメラと把持部との間の相対位置情報の検出及び設定がフォトセンサーと認識マークとを組み合わせた小型な構成により行えるようになる。すなわちこの方法は、高さ方向にはフォトセンサー程度の高さを、横方向にも把持部の幅（径）の数倍程度の幅をそれぞれ確保すれば実施することができようになるため、装置を小型化させることができる。またこの方法に用いる構成が小型であるためそれを設置する設置位置はもとより把持部の位置を検出する際に要する空間も小さく済むようになる。
【００３７】
また、この方法に用いられる構成は、高さ方向の高さが低くいことから搬送される電子部品等に干渉するおそれがないため、その設置位置の自由度も高い。さらに、フォトセンサーによる検出には、画像認識の場合に要する光度やコントラストの調整が不要であり、電子部品に応じて交換されることの多い把持部の別に各種の調整を要しない。また、フォトセンサーとして汎用的かつ安価な部品を使用することにより、この方法を用いる装置のメンテナンス性の向上及び低価格化を図ることもできる。さらに、フォトセンサーを把持部が電子部品を把持するときと同様の高さに配置することで、電子部品を取得するのと同等な姿勢とされた把持部の位置を検出することができるようになり、把持部が電子部品を取得する態様により近い態様における相対位置情報を設定することもできるようになる。
【００３８】
このキャリブレーション方法は、前記フォトセンサー及び前記認識マークとして、前記ベースにおける前記把持部の平行移動範囲内でかつ前記カメラの撮像範囲内に設置された
位置検出用の治具に一体に設けられたものを用いることを要旨とする。
【００３９】
このような方法によれば、フォトセンサーと認識マークとの位置関係を所定の精度で予め設定することが容易となる。
このキャリブレーション方法は、前記フォトセンサーとして検出方向が非平行に設定された２つのフォトセンサーを用い、前記認識マークとして、前記２つのフォトセンサーに対して所定の位置関係のものを用い、前記把持部位置検出工程では、各フォトセンサー毎に検出した前記把持部のそれぞれの位置に基づいて前記搬送ハンドに対する前記把持部の位置を検出することを要旨とする。
【００４０】
このような方法によれば、把持部とカメラとの間の相対位置関係を２次元位置として取得することができるようになる。このことから、把持部とカメラとの間の相対位置情報を２次元情報として設定することができるようになる。
【００４１】
このキャリブレーション方法は、前記把持部位置検出工程では、前記把持部を前記フォトセンサーの検出領域を横切るように往復移動させて、往動と復動のそれぞれにて検出された前記把持部のそれぞれの位置に基づいて前記把持部の位置を検出することを要旨とする。
【００４２】
このような方法によれば、往路と復路とで把持部の検出される位置に搬送ハンドのバックラッシュなどによる多少のずれが生じるような場合であれ、往路の際に生じるずれと、復路の際に生じるずれとを考慮して、それら往復の各ずれの中間的な位置に基づいて把持部の位置を求めることができるようにもなる。これにより、電子部品等に対して位置決めされる把持部のずれを該把持部の移動方向によらず一定範囲に収めることができるようにもなる。
【００４３】
このキャリブレーション方法は、前記カメラ位置検出工程では、前記認識マークに対して前記カメラを往復移動させて、往動と復動のそれぞれにて撮像された前記認識マークのそれぞれの画像に基づいて前記カメラの位置を検出することを要旨とする。
【００４４】
このような方法によれば、往路と復路とで検出されるカメラの位置に搬送ハンドのバックラッシュなどによる多少のずれが生じるような場合であれ、往路の際に生じるずれと、復路の際に生じるずれとを考慮して、それら往復の各ずれの中間的な位置に基づいてカメラの位置を求めることができるようにもなる。これにより、電子部品等に対して位置決めされたカメラのずれを該カメラの移動方向によらず一定範囲に収めることができるようにもなる。
【００４５】
このキャリブレーション方法は、前記把持部が前記搬送ハンドに対して平行移動可能に設けられている場合、前記把持部位置検出工程では、前記搬送ハンドの所定の位置に対する前記把持部の位置を検出するとともに、前記所定の位置に対して移動された前記把持部の位置を前記所定の位置に対する移動量と前記検出された把持部の位置とに基づいて求めることを要旨とする。
【００４６】
このような方法によれば、把持部が搬送ハンドに対して水平移動するような場合であれ、搬送ハンドに対して水平移動した把持部とカメラとの間の相対位置情報を、その水平移動位置に対応した情報として設定することができる。
【００４７】
本発明の位置検出用治具は、光の受光量に基づいて検出対象の位置を検出するフォトセンサーと、前記フォトセンサーと所定の位置関係である撮像可能な認識マークとが一体に設けられていることを要旨とする。
【００４８】
このような構成によれば、検出対象を検出するとともに、撮像される認識マークとが一体とされる位置検出用治具が小型化されるようになる。すなわち、このような位置検出用治具は、高さ方向にはフォトセンサー程度の高さがあれば構成可能であるため、その大きさが小型化されてそれを設置する設置位置はもとよりそれを用いる検出対象の検出に要する空間も小さく済むようになる。
【００４９】
例えば、このような位置検出用治具を、電子部品を搬送するような装置に設けるようにすれば、高さ方向の高さが低いことから搬送される電子部品等に干渉するおそれがないため、その設置位置の自由度が高い。また、フォトセンサーによる検出には、画像認識の場合に要する光度やコントラストの調整が不要であり、把持する電子部品に応じて交換されることの多い把持部等の別に各種調整をする必要も生じない。また、治具として汎用的かつ安価な部品の使用により、当該治具のメンテナンス性の向上及び低価格化を図ることもできる。さらに、この治具を把持部が電子部品が把持されるときと同様の高さに配置させることで、電子部品を取得するのと同等な姿勢の把持部などの位置を検出できるようにもなる。
【００５０】
この位置検出用治具は、前記フォトセンサーは、２つのフォトセンサーを有し、前記２つのフォトセンサーの検出方向は非平行に設定され、前記認識マークは、前記２つのフォトセンサーに対して所定の位置関係であるマークとして設けられていることを要旨とする。
【００５１】
このような構成によれば、２次元の位置関係を取得させることができるようになる。
この位置検出用治具は、前記フォトセンサーは、検出光を出射する発光部と前記出射された検出光を受光する受光部とを備えることを要旨とする。
【００５２】
このような構成によれば、把持部が発光部と受光部との間に配置される検出対象を検出することができるようになり、この検出に基づいて検出対象の位置が検出できるようになる。
【００５３】
この位置検出用治具は、前記フォトセンサーにはスリットが設けられていることを要旨とする。
このような構成によれば、フォトセンサーの検出光の幅や向きがスリットにより規制されるので、フォトセンサーによる検出性能が良好になる。例えば、規制されず拡散した光を誤検出してしまうおそれなどを低減させることができる。すなわち、スリットを発光部側に設けた場合、検出光からなる検出領域を所定の断面形状に規制して当該検出領域を通る検出対象によって検出光が回折されて受光部に受光されるようなおそれが抑制される。また例えば、スリットを受光部側に設けた場合、当該受光部に発光部から直進してくる経路以外からの光の侵入を抑制することができるようになる。さらに例えば、スリットを発光部側と受光部側とにそれぞれ設ければ、受光部に受光される光の精度を、上記のような理由などにより、より向上させることができるようにもなる。
【００５４】
また、スリットの位置精度を維持すれば、フォトセンサーの取り付け精度が検出精度に影響することが軽減されて、治具としての組み立ての容易性やメンテナンス性が向上するようになる。
【００５５】
本発明の部品検査装置は、電子部品の電気的検査を行なう検査部に電子部品を配置するとともに、前記配置された電子部品の電気的検査を行なう検査ユニットを備える部品検査装置であって、前記部品検査装置の基台であるベースに対して平行に移動して前記検査ユニットに電子部品を搬送する搬送ハンドと、前記搬送ハンドに設けられて電子部品を撮像
するカメラと、前記搬送ハンドに設けられて前記電子部品を把持する把持部と、前記把持部の平行移動範囲内に設けられたフォトセンサーと、前記フォトセンサーと所定の位置関係で前記カメラの撮像範囲内に設けられた認識マークと、前記把持部が前記フォトセンサーの検出領域に入ったことに基づいて前記搬送ハンドの位置を前記把持部の位置として検出する把持部位置検出部と、前記カメラの撮像画像に含まれる前記認識マークの認識に基づいて前記カメラの位置を検出するカメラ位置検出部と、前記検出される前記把持部の位置と前記カメラの位置とに基づいて前記搬送ハンドにおける前記把持部の位置と前記カメラの視野中心との相対位置関係を求める相対位置算出部とを備えることを要旨とする。
【００５６】
従来、部品検査装置では、電子部品を上から撮像するカメラと同電子部品を把持する把持部との間の相対位置情報の設定は、それらカメラと把持部とをそれぞれ、もしくは一時に撮像可能な位置情報取得用のカメラの撮像画像を認識することにより行なわれている。このように位置情報取得の設定にカメラを用いた場合、高さ方向には、カメラの長さと、レンズの長さと、焦点距離などとを加算した高さを要し、横方向には、少なくともカメラ筐体の幅を要する。
【００５７】
本発明のような構成によれば、カメラと把持部との間の相対位置関係の検出がフォトセンサーと認識マークとを組み合わせた小型な構成により行えるようになる。すなわちこの構成は、高さ方向にはフォトセンサー程度の高さを、横方向には把持部の幅（径）の数倍程度の幅をそれぞれ確保すればよいため小型になる。また小型な構成となるためそれを設置する設置位置はもとより把持部の位置を検出する際に要する空間も小さく済むようになる。このことにより、部品検査装置としての小型化が図られるようになる。
【００５８】
また、相対位置関係の検出が、高さ方向の高さの低くいために搬送する電子部品等に干渉するおそれの少ない構成により行えることから部品検査装置としての構成の自由度が向上する。さらに、フォトセンサーによる検出には、画像認識の場合に要する光度やコントラストの調整が不要であり、電子部品に応じて交換されることの多い把持部の別に各種の調整を要しない。また、フォトセンサーとして汎用的かつ安価な部品を使用することから、部品検査装置のメンテナンス性の向上及び低価格化を図ることができるようにもする。さらに、フォトセンサーを把持部が電子部品を把持するときと同様の高さに配置するようにすることで、電子部品を取得するときと同等な姿勢とされた把持部の位置を検出することもできるようになり、把持部が電子部品を取得する態様により近い態様における相対位置情報を設定することもできるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明にかかるキャリブレーション装置を有する部品検査装置を具体化した第１の実施形態についてその全体構造を示す平面図。
【図２】同実施形態の部品検査装置に設けられて電子部品を把持して搬送するロボットハンドユニットの側面構造を示す側面図。
【図３】図２に示されるロボットハンドユニットの下面構造を示す下面図。
【図４】同実施形態の部品検査装置に設けられる位置検出用治具の全体構成を示す平面図。
【図５】図４に示される位置検出用治具の側面構造を示す側面図。
【図６】同実施形態においてノズルの位置を検出する態様を説明するための模式図。
【図７】同実施形態においてカメラの位置を検出する態様を説明するための模式図。
【図８】同実施形態の部品検査装置の電気的構成を示すブロック図。
【図９】同実施形態におけるキャリブレーションの手順を示すフローチャート。
【図１０】（ａ）（ｂ）本発明にかかるキャリブレーション装置を有する部品検査装置を具体化した第２の実施形態についてその電子部品を搬送装置であるロボットハンドユニットの下面構造を示す下面図。
【図１１】本発明にかかるキャリブレーション装置を有する部品検査装置を具体化した第３の実施形態についてその位置検出用治具の全体構成を示す平面図。
【図１２】同実施形態におけるキャリブレーションの手順を示すフローチャート。
【図１３】本発明にかかるキャリブレーション装置を有する部品検査装置を具体化した第４の実施形態についてその位置検出用治具の全体構成を示す平面図。
【図１４】同実施形態においてノズルの位置を検出する態様を説明する模式図。
【図１５】本発明にかかるキャリブレーション装置を有する部品検査装置を具体化したその他の例における位置検出用治具の全体構成を示す平面図。
【図１６】（ａ）（ｂ）本発明にかかるキャリブレーション装置を有する部品検査装置を具体化したまた他の例におけるノズルの位置を検出する態様を示す状態図。
【発明を実施するための形態】
【００６０】
（第１の実施形態）
以下、本発明にかかるキャリブレーション装置を有する部品検査装置を具体化した第１の実施形態を図面に従って説明する。図１はキャリブレーション装置を有する部品検査装置１０についてその平面構造の概略を示した図である。図２は、部品検査装置１０にて電子部品を搬送するロボットハンドユニットの側面構造を示す図である。図３は、図２に示すロボットハンドユニットの下面構造を示す図である。
【００６１】
部品検査装置１０は、ベース１１、安全カバー１２、高温チャンバ１３、供給ロボット１４、回収ロボット１５、第１シャトル１６、第２シャトル１７、位置検出用治具１９、複数のコンベヤーＣ１〜Ｃ６を備えている。
【００６２】
ベース１１は、その上面に前記各要素を搭載している。安全カバー１２は、ベース１１の大きな領域を囲っていて、この内部には、供給ロボット１４、回収ロボット１５、第１シャトル１６、第２シャトル１７及び位置検出用治具１９が収容されている。
【００６３】
複数のコンベヤーＣ１〜Ｃ６は、その一端部側が、安全カバー１２の外側に位置し、他端部が安全カバー１２の内側に位置するように、ベース１１に設けられている。各コンベヤーＣ１〜Ｃ６は、電子部品などのＩＣチップＴを複数収容した搬送用トレイとしてのトレイ１８を、安全カバー１２の外側から安全カバー１２の内側へ搬送したり、反対に、トレイ１８を、安全カバー１２の内側から安全カバー１２の外側へ搬送したりする。
【００６４】
なお、ＩＣチップＴとしては、その種類に特別の制限はなく、シリコンチップや樹脂モジュールされたものなどが扱えるようになっている。また、ＩＣチップＴのサイズにも特別な制限はなく、近年の小型化に伴う、例えば一辺が２ｍｍのチップや、厚みが０．３（ｍｍ）のチップでも、それより大きい又は厚い形状のチップでも、反対にそれより小さいまたは薄い形状のチップでもよい。例えば、小型、薄型のＩＣチップとしてＷＬＣＳＰ（Ｗａｆｅｒ  Ｌｅｖｅｌ  Ｃｈｉｐ  Ｓｉｚｅ  Ｐａｃｋａｇｅ）などがあげられる。このように小型化されたチップは、トレイ１８などに単位面積あたりに配置される数が増えたり、チップそのものの剛性が低下したりすることなどから、それらの把持や搬送などには高い精度が要求されるようにもなる。
【００６５】
供給ロボット１４は、Ｘ軸フレームＦＸ、第１のＹ軸フレームＦＹ１及び供給側ロボットハンドユニット２０により構成されている。回収ロボット１５は、前記Ｘ軸フレームＦＸ、第２のＹ軸フレームＦＹ２及び回収側ロボットハンドユニット２１により構成されている。Ｘ軸フレームＦＸは、Ｘ方向に配置されている。第１のＹ軸フレームＦＹ１及び第２のＹ軸フレームＦＹ２は、Ｙ方向に沿って互いに平行となるように配置され、前記Ｘ軸フレームＦＸに対して、Ｘ方向に移動可能に支持されている。そして、第１のＹ軸フレームＦＹ１はＸ軸フレームＦＸに設けられた供給Ｘ軸モーターＭＸ１によって該Ｘ軸フレー
ムＦＸに沿ってＸ方向に往復移動するとともに、第２のＹ軸フレームＦＹ２はＸ軸フレームＦＸに設けられた回収Ｘ軸モーターＭＸ２によって該Ｘ軸フレームＦＸに沿ってＸ方向に往復移動する。
【００６６】
第１のＹ軸フレームＦＹ１の下側には、供給側ロボットハンドユニット２０がＹ方向に移動可能に支持されているとともに、該供給側ロボットハンドユニット２０は、第１のＹ軸フレームＦＹ１に設けられた供給Ｙ軸モーターＭＹ１によって該第１のＹ軸フレームＦＹ１に沿ってＹ方向に往復移動される。なお、供給側ロボットハンドユニット２０は、ベース１１の上面に対してＸ方向またはＹ方向に移動されることにより同ベース１１に対して水平移動される。すなわち、供給側ロボットハンドユニット２０は、ベース１１の上面に対して平行に移動されて、同上面に対する距離が所定の距離に維持される。
【００６７】
詳述すると、図２に示すように、供給側ロボットハンドユニット２０には、Ｙ方向に移動可能に第１のＹ軸フレームＦＹ１に連結された支持フレーム２５が設けられるとともに、この支持フレーム２５が第１のＹ軸フレームＦＹ１に沿ってＹ方向に往復移動される。支持フレーム２５には、供給Ｚ軸モーターＭＺ１と、支持フレーム２５の下部に先端が突出された把持装置３０とが設けられている。
【００６８】
把持装置３０は、供給Ｚ軸モーターＭＺ１の駆動により支持フレーム２５に対してＺ方向（上下方向）へ移動可能であるとともに、ＩＣチップＴ等を把持するようになっている。把持装置３０には、支持フレーム２５の下部に突出された部分に、当該把持装置３０とともに上下動されるノズル支持部３１と、当該ノズル支持部３１の下部から下方に突出されるノズル３２とが設けられている。ノズル３２は、その先端（吸着面）に負圧または大気圧が供給されるとともに、その先端（吸着面）に当接した部品が負圧（真空吸引）により吸着保持されるようになっている。これにより、ノズル３２は、吸着面に供給された負圧によりＩＣチップＴが吸着把持されるとともに、吸着面に供給された大気圧により吸着面に把持したＩＣチップＴが離脱されるようになっている。
【００６９】
供給側ロボットハンドユニット２０の支持フレーム２５には、その下部にあって把持装置３０と異なる位置に、撮像装置３４とミラー３８とがそれぞれ設けられている。撮像装置３４は、ＣＣＤカメラなどからなるカメラ３６と、当該カメラ３６に撮像画像を結像させるレンズ３７とを備えている。カメラ３６は、その視野としてレンズ３７を介して形成される撮像領域Ｃａを有するとともに、その撮像領域（視野）Ｃａの中心に撮像中心（視野中心）Ｃｓを有している。
【００７０】
撮像装置３４は、カメラ３６の視野に沿う方向には長さＬｃｈの側面を有しているとともに、視野に沿う方向に直交する方向には先の長さＬｃｈよりも短い長さＬｃｗの側面を有している。なお、本実施形態では、支持フレーム２５の下部からＺ方向に突出する撮像装置３４の長さを短くするなどのため、撮像装置３４は、支持フレーム２５の下面に長い側面（長さＬｃｈの側面）が取り付けられており、支持フレーム２５の下部から下方に長さＬｃｗだけ突出するようになっている。これにより、支持フレーム２５においてＺ方向に突出する撮像装置３４の長さを短くしている。このことにより、カメラ３６の視野方向が、支持フレーム２５の下方ではなく、水平方向であるＹ方向となる。また、カメラ３６の視野方向は、図３にも示すように、把持装置３０の方向に設定されている。
【００７１】
ミラー３８は、カメラ３６の視野方向を支持フレーム２５の下方に屈折させるためのものであって、支持フレーム２５の下部に支持体３８Ａを介して固定されることにより撮像装置３４との相対位置が固定されている。このことからカメラ３６は、レンズ３７からＹ方向に進行する撮像領域Ｃａがミラー３８の鏡面３８ｍにて略９０度の角度で下方に屈折されて支持フレーム２５の下方にあるベース１１の上面に配置される。これにより、カメ
ラ３６は、支持フレーム２５とともにベース１１上を水平移動されることにより、ベース１１の上面に配置されている各要素、例えばトレイ１８、各シャトル１６，１７、位置検出用治具１９などの上方に移動されて、それら要素の上面を撮像することができるようになる。
【００７２】
なお、支持フレーム２５の下部において把持装置３０と同じ位置にミラー３８を配置することができないため、ベース１１の上面において、当該ミラー３８により屈折されたカメラ３６の撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓが配置される水平位置（ＸＹ座標）と、ノズル３２の軸中心Ｃｎが配置される水平位置（ＸＹ座標）とが一致しない。このため、ベース１１の上面におけるノズル３２の軸中心Ｃｎの水平位置（ＸＹ座標）と撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓの水平位置（ＸＹ座標）との間には、それら各水平位置（各ＸＹ座標）の相違に基づく相対位置関係、具体的には、Ｘ方向のずれ量とＹ方向のずれ量とからなる位置ずれ量Ｌｄが生じる。なお、この位置ずれ量Ｌｄは、装置温度や動作状態などにより多少変化する特性を有している。
【００７３】
ところでこのとき、カメラ３６の視野を傾けることで、ノズル３２の軸中心Ｃｎの水平位置（ＸＹ座標）と撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓの水平位置（ＸＹ座標）とを一致させるようなこともできるが、一致するのは特定の高さ（距離）の場合のみに限られる。また、斜め上方から撮像するようにすると、撮像された画像に歪みが生じるためにＩＣチップＴを認識するときに画像を補正する必要などが生じる。このようなことから、本実施形態では、カメラ３６にＩＣチップＴを撮像させる場合、その撮像領域Ｃａの撮像中心ＣｓがＩＣチップＴの略直上になるように支持フレーム２５が移動される。これにより、カメラ３６は、ＩＣチップＴをその略直上から撮像して、同ＩＣチップＴの歪みの少ない画像を得ることができるようになる。
【００７４】
このようなことから、供給側ロボットハンドユニット２０は、例えば、トレイ１８上に画像認識されたＩＣチップＴの上方に移動されてから把持装置３０を所定の位置まで下降させてコンベヤーＣ１のトレイ１８に収容されている検査前のＩＣチップＴをノズル３２に吸着把持させるとともに同把持装置３０を上昇させる。また、ＩＣチップＴを吸着把持しつつ第１シャトル１６上に画像認識されたポケットの上方に移動してから把持装置３０を所定の位置まで下降させるとともにノズル３２からＩＣチップＴを離脱させることにより把持していたＩＣチップＴを第１シャトル１６に供給する。
【００７５】
回収ロボット１５の第２のＹ軸フレームＦＹ２の下側には、回収側ロボットハンドユニット２１がＹ方向に移動可能に支持されているとともに、該回収側ロボットハンドユニット２１は、第２のＹ軸フレームＦＹ２に設けられた回収Ｙ軸モーターＭＹ２によって該第２のＹ軸フレームＦＹ２に沿ってＹ方向に往復移動される。なお、回収側ロボットハンドユニット２１は、ベース１１の上面に対してＸ方向またはＹ方向に移動されることにより同ベース１１に対して水平移動される。すなわち、回収側ロボットハンドユニット２１は、ベース１１の上面に対して平行に移動されて、同上面に対する距離が所定の距離に維持される。
【００７６】
回収側ロボットハンドユニット２１は、把持装置（図示略）を備え、その把持装置を通じて各チェンジキット１６Ｃ，１７Ｃの４つのポケットＰＳからＩＣチップＴを把持することができるとともに、回収トレイとしてのトレイ１８上のポケットに把持しているＩＣチップＴを載置することができるようになっている。なお、回収側ロボットハンドユニット２１は、上述した供給側ロボットハンドユニット２０と同様の構造を有していることから、説明の便宜上、その詳細な説明については割愛する。
【００７７】
また、本実施形態では、回収側ロボットハンドユニット２１のフレーム（図示略）には
、その下方を撮像可能なカメラ（図示略）等が設けられているが、このカメラ等も供給側ロボットハンドユニット２０に設けられているものと同様な構成であることから、説明の便宜上、その説明も割愛する。
【００７８】
これにより、回収側ロボットハンドユニット２１は、例えば、第１シャトル１６上に画像認識された検査済みのＩＣチップＴの上方に移動されてから把持装置（３０）を所定の位置（回収高さ）まで下降させて第１シャトル１６に収容されている同ＩＣチップＴをノズル（３２）に吸着把持させるとともに同ノズル（３２）を上昇させる。また、ＩＣチップＴを吸着把持しつつコンベヤーＣ６のトレイ１８上に画像認識されたポケットの上方に移動してから同把持装置（３０）を所定の位置（載置高さ）まで下降させるとともにノズル（３２）からＩＣチップＴを離脱させることにより把持していたＩＣチップＴをコンベヤーＣ６のトレイ１８に載置する。
【００７９】
ベース１１の上面であって、供給ロボット１４と回収ロボット１５との間には、第１のレール２４Ａ及び第２のレール２４ＢがそれぞれＸ方向に平行して配設されている。第１のレール２４Ａには、第１シャトル１６がＸ方向に往復動可能に備えられている。また、第２のレール２４Ｂには、第２シャトル１７がＸ方向に往復動可能に備えられている。
【００８０】
第１シャトル１６は、Ｘ方向に長い略板状のベース部材１６Ａを備えていて、その底面の図示しないレール受けによって第１のレール２４Ａに摺接されている。そして、第１シャトル１６に設けた図示しないモーターによって、第１のレール２４Ａに沿って往復動される。ベース部材１６Ａの上面の両端には、それぞれチェンジキット１６Ｂ，１６Ｃがネジなどで交換可能に固着されている。また、第２シャトル１７は、Ｘ方向に長い略板状のベース部材１７Ａを備えていて、その底面の図示しないレール受けによって第２のレール２４Ｂに摺接されている。そして、第２シャトル１７に設けた図示しないモーターによって、第２のレール２４Ｂに沿って往復動される。ベース部材１７Ａの上面の両端には、それぞれチェンジキット１７Ｂ，１７Ｃがネジなどで交換可能に固着されている。
【００８１】
各チェンジキット１６Ｂ，１７Ｂにはそれぞれ未検査の検査対象のＩＣチップＴが収容されるポケットＰＳが複数設けられており、各チェンジキット１６Ｃ，１７Ｃにはそれぞれ検査済みの検査対象のＩＣチップＴが収容されるポケットＰＳが複数設けられており、それらの各ポケットＰＳにＩＣチップＴが保持されるようになっている。これにより、各チェンジキット１６Ｂ，１７Ｂの各ポケットＰＳには供給ロボット１４の供給側ロボットハンドユニット２０からＩＣチップＴが搬送され、各チェンジキット１６Ｃ，１７ＣのポケットＰＳからはＩＣチップＴが回収ロボット１５の回収側ロボットハンドユニット２１により搬出される。
【００８２】
ベース１１の上面であって、第１及び第２シャトル１６，１７との間には検査部２３が設けられている。検査部２３には、検査対象のＩＣチップＴが配置される配置位置としての検査用ソケット２４が複数設けられている。すなわち検査用ソケット２４には、上記各シャトル１６，１７の各ポケットＰＳに収容された各ＩＣチップＴがそれぞれ配置される。
【００８３】
高温チャンバ１３内側には、第１及び第２シャトル１６，１７及び検査用ソケット２４の上方を跨ぐように、Ｙ方向に配設された図示しないレールが備えられている。
レールの下部には、Ｙ方向に往復移動可能に検査用ヘッド２２が支持されているとともに、レールに備えられたＹ軸モーター（図示略）によって、Ｙ方向に往復動させられる。すなわち、検査用ヘッド２２は、レールに沿って移動して各シャトル１６，１７と検査用ソケット２４との間でＩＣチップＴを相互に搬送するようになっている。
【００８４】
詳述すると、検査用ヘッド２２は、各シャトル１６，１７のチェンジキット１６Ｂ，１７Ｂにより供給されたＩＣチップＴを取得し、ＩＣチップＴを検査用ソケット２４の直上位置に配置する。そして、検査用ヘッド２２は、ＩＣチップＴを下方に移動させ、ＩＣチップＴの各接続端子を上方から検査用ソケット２４の接触端子と当接させてスプリングピンを下方に押し下げることによって、該検査用ソケット２４に装着させる。さらに、検査用ソケット２４に装着されたＩＣチップＴの電気的検査が終了すると、検査用ヘッド２２は、各検査用ソケット２４に装着されたＩＣチップＴを抜き取って、対応するチェンジキット１６Ｃ，１７Ｃの直上位置に配置する。そして検査用ヘッド２２は、対応するチェンジキット１６Ｃ，１７Ｃの直上位置にてＩＣチップＴを下方に移動させ、同対応するチェンジキット１６Ｃ，１７Ｃの所定のポケットＰＳに収容させるようになっている。
【００８５】
また、ベース１１の上面であって、供給ロボット１４の可動範囲、詳しくはノズル３２の水平移動範囲内かつカメラ３６の撮像領域Ｃａ内には、位置検出用治具１９が設けられている。位置検出用治具１９は、供給ロボット１４におけるノズル３２の軸中心Ｃｎの水平位置（ＸＹ座標）と撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓの水平位置（ＸＹ座標）との間の位置ずれ量Ｌｄ、すなわち相対位置関係を検出するために用いられる。
【００８６】
次に、この位置検出用治具１９について図４及び図５にしたがって説明する。図４は、位置検出用治具１９の平面構造の概略を示す図である。図５は、位置検出用治具１９の側面構造の概略を示す図である。
【００８７】
図４に示すように、位置検出用治具１９は、ベース１１の所定の位置に設置されるとともに上面にセンサー等の配置される治具ベース４０を備えている。治具ベース４０には、ノズル３２の軸中心ＣｎのＸ方向座標を検出する第１のフォトセンサー４１と、同ノズル３２の軸中心ＣｎのＹ方向の座標を検出する第２のフォトセンサー４３と、カメラ３６に撮像させるための認識マーク４５とが設けられている。
【００８８】
第１のフォトセンサー４１は、Ｙ方向に所定の間隔の長さＬｐｎを空けて対向配置される一対の発光部４１Ａと受光部４１Ｂを備えている。発光部４１Ａは、可視光線や非可視光線などの検出光ＬＰｘを出射する一方、受光部４１Ｂは、発光部４１Ａの出射した検出光ＬＰｘを受光するとともに受光された検出光ＬＰｘの受光量を検出する。これにより第１のフォトセンサー４１は、発光部４１Ａから発光された検出光ＬＰｘを受光する受光部４１Ｂの受光量に基づいて、発光部４１Ａと受光部４１Ｂとの間における被検出対象としてのノズル３２の有無を検出することができるようになっている。また、発光部４１Ａと受光部４１Ｂとの間には、Ｙ方向に所定の間隔の長さＬｓｎを有する２つのスリット板４２Ａ，４２Ｂが設けられている。これにより、スリット板４２Ａは検出光ＬＰｘの経路上にあって発光部４１Ａの近傍の所定の位置に設けられる一方、スリット板４２Ｂは検出光ＬＰｘの経路上にあって受光部４１Ｂの近傍の所定の位置に設けられる。各スリット板４２Ａ，４２Ｂそれぞれは、Ｘ方向に幅Ｌｓｗを、Ｚ方向に高さＬｓｈを有しているとともに、透過した光を所定の形状等にするスリットが一つ設けられている。すなわち各スリット板４２Ａ，４２Ｂは、そのスリットを透過した検出光ＬＰｘの進行方向を所定の方向に規制したり、同検出光ＬＰｘの断面形状を所定の形状に規制したりするようになっている。このことから、検出光ＬＰｘの拡散等が抑制されて、Ｙ方向の位置（Ｙ座標）にかかわらず検出光ＬＰｘの形状が所定の検出領域としての形状に維持されるようになることによって、検出光ＬＰｘを遮るノズル３２のＹ方向の位置（Ｙ座標）によって第１のフォトセンサー４１による当該ノズル３２の有無の検出精度が変化することがないようにされている。
【００８９】
第２のフォトセンサー４３は、先の第１のフォトセンサー４１と同様の光センサーであって、Ｘ方向に所定の間隔の長さＬｐｎを空けて対向配置される一対の発光部４３Ａと受
光部４３Ｂを備える。一対の発光部４３Ａと受光部４３Ｂも、先の一対の発光部４１Ａと受光部４１Ｂとそれぞれ同様の機能を有しており、第２のフォトセンサー４３は、発光部４３Ａの発光した検出光ＬＰｙが受光部４３Ｂにより受光されることに基づいて発光部４３Ａと受光部４３Ｂとの間のノズル３２の有無を検出することができるようになっている。また、発光部４３Ａと受光部４３Ｂとの間には、Ｘ方向に所定の間隔の長さＬｓｎを有する２つのスリット板４４Ａ，４４Ｂが設けられている。スリット板４４Ａは発光部４３Ａの近傍の所定の位置に設けられる一方、スリット板４４Ｂは受光部４３Ｂの近傍の所定の位置に設けられる。各スリット板４４Ａ，４４Ｂは、先の各スリット板４２Ａ，４２Ｂと同様の構造と機能を有するスリット板であり、Ｙ方向に幅Ｌｓｗを、Ｚ方向には高さＬｓｈをそれぞれ有している。そして、そのスリットを透過した検出光ＬＰｙの進行方向や断面形状が規制されることによりＸ方向の位置（Ｘ座標）にかかわらず検出光ＬＰｙの形状が所定の検出領域としての形状に維持される。これによって検出光ＬＰｙを遮るノズル３２のＸ方向の位置（Ｘ座標）が第２のフォトセンサー４３による同ノズル３２の有無の検出精度を変化させることがないようになっている。
【００９０】
また、本実施形態では、第１のフォトセンサー４１の検出光ＬＰｘと第２のフォトセンサー４３の検出光ＬＰｙとはそれぞれ、それらの長さＬｐｎの中央付近で直交される（Ｚ方向に重なる）とともに、それらが直交される水平位置に交点Ｃｐを形成している。すなわち治具ベース４０には交点Ｃｐが形成されるように、一対としての発光部４１Ａと受光部４１Ｂと、一対としての発光部４３Ａと受光部４３Ｂと、それらのそれぞれに対応する複数のスリット板４２Ａ，４２Ｂ，４４Ａ，４４Ｂとが配置されている。
【００９１】
認識マーク４５は、治具ベース４０の上方に配置されたカメラ３６から撮像できるように同治具ベース４０の上面に設けられた丸形状のマークであり、カメラ３６により撮像された画像が好適に認識されるような色彩や光沢を有することが好ましい。なお、本実施形態では、認識マーク４５は、その中心位置Ｃｍが第１のフォトセンサー４１の検出光ＬＰｘと第２のフォトセンサー４３の検出光ＬＰｙとの交点Ｃｐの水平位置（ＸＹ座標）と水平方向において一致するように治具ベース４０上に配置されている。すなわち、認識マーク４５と交点Ｃｐ（検出光ＬＰｘ及び検出光ＬＰｙ）との位置関係は既知の関係となっている。
【００９２】
位置検出用治具１９は、図６に示すように用いられることにより、ノズル３２の軸中心Ｃｎの水平位置（ＸＹ座標）を検出させることができるようになっている。図６は、位置検出用治具１９を用いてノズル３２の水平位置（ＸＹ座標）を検出する態様を模式的に示す図である。
【００９３】
図６に示すように、検出光ＬＰｘよりも低い位置に下降されたノズル３２の先端部を検出光ＬＰｘの検出範囲外からＸ方向に移動させて、位置検出用治具１９の第１のフォトセンサー４１の検出光ＬＰｘを横切らせる。このとき、第１のフォトセンサー４１は、供給側ロボットハンドユニット２０がＸ方向の第１の位置Ｐｘ１に移動すると検出光ＬＰｘの遮断（オフ）が開始され、その後、第２の位置Ｐｘ２に移動すると検出光ＬＰｘの受光（オン）が開始されることを検出する。これにより、検出光ＬＰｘが遮断されている期間ＳＰＮＸに供給側ロボットハンドユニット２０がＸ方向に移動した距離ＳＰｘｗ（＝Ｐｘ２−Ｐｘ１）の中央の距離に対応する中心位置Ｎｘｃを第１のフォトセンサー４１により検出されたノズル３２の軸中心ＣｎのＸ方向の位置（Ｘ座標）とする。これにより、軸中心ＣｎのＸ方向の位置が交点ＣｐのＸ方向の位置（Ｘ座標）と同じ位置になるときの供給側ロボットハンドユニット２０のＸ方向の位置（Ｘ座標）が取得できる。
【００９４】
なお、ノズル３２の幅や検出光ＬＰｘの幅Ｌｐｗは検出される距離ＳＰｘｗの値に影響を及ぼすものの、距離ＳＰｘｗの中央の距離に対応する中心位置Ｎｘｃは、それらノズル
３２の幅や検出光ＬＰｘの幅Ｌｐｗに依存しない値として算出される。このため、ノズル３２の幅と検出光ＬＰｘの幅Ｌｐｗとの間の関係が、ノズル３２が検出光ＬＰｘを遮断するような関係であれば、ノズル３２の幅及び検出光ＬＰｘの幅Ｌｐｗに関わらず、ノズル３２の軸中心ＣｎのＸ方向の位置（Ｘ座標）が供給側ロボットハンドユニット２０のＸ方向の位置（Ｘ座標）として検出される。
【００９５】
第２のフォトセンサー４３によるノズル３２の軸中心ＣｎのＹ方向の位置（Ｙ座標）の検出も、先の第１のフォトセンサー４１がノズル３２の軸中心ＣｎのＸ方向の位置を検出する場合と同様に検出されることから、説明の便宜上、その詳細な説明は割愛する。すなわち、第２のフォトセンサー４３の検出光ＬＰｙを横切らせるようにノズル３２を移動させることにより、ノズル３２の軸中心ＣｎのＹ方向の位置（Ｙ座標）が供給側ロボットハンドユニット２０のＹ方向の位置（Ｙ座標）として検出される。
【００９６】
このようにして検出されたノズル３２の軸中心ＣｎのＸ方向の位置（Ｘ座標）と、同ノズル３２の軸中心ＣｎのＹ方向の位置（Ｙ座標）とから、検出光ＬＰｘと検出光ＬＰｙとの交点Ｃｐにノズル３２の軸中心Ｃｎを対応させたときの供給側ロボットハンドユニット２０の位置に基づく水平座標（ＸＹ座標）が検出される。
【００９７】
また、位置検出用治具１９は、図７に示すように用いられることにより、カメラ３６の撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓの水平位置（ＸＹ座標）を検出させることができるようになっている。図７は、位置検出用治具１９を用いて撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓの水平位置（ＸＹ座標）を検出する態様を模式的に示す図である。
【００９８】
図７に示すように、ノズル３２の軸中心Ｃｎの水平位置（ＸＹ座標）を検出した後など、撮像画像Ｇにおいて撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓと認識マーク４５の中心位置Ｃｍとがずれているとき、認識マーク４５の中心位置Ｃｍと撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓとの水平位置（ＸＹ座標）が一致するように供給側ロボットハンドユニット２０を移動させる。そして、認識マーク４５の中心位置Ｃｍと撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓとが一致したときの供給側ロボットハンドユニット２０の座標を撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓの水平位置（ＸＹ座標）とすることができるようになる。
【００９９】
先に述べたように、位置検出用治具１９は、検出光ＬＰｘ及び検出光ＬＰｙの交点Ｃｐと、認識マーク４５の中心位置Ｃｍとは水平位置（ＸＹ座標）が一致するように設定されている。これにより、同じ位置に配置されたノズル３２の軸中心Ｃｎと撮像領域Ｃａの撮像中心ＣｓとのそれぞれのＸＹ座標がそれぞれ供給側ロボットハンドユニット２０の水平位置（ＸＹ座標）に基づいて求められるようになる。このことから、同じ水平位置（ＸＹ座標）に、ノズル３２の軸中心Ｃｎを配置する場合と、撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓを配置する場合とにおける供給側ロボットハンドユニット２０のそれぞれの位置の相違がノズル３２の軸中心Ｃｎと撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓとの間の水平位置の相違（位置ずれ量Ｌｄ）として求められることとなる。すなわち、供給側ロボットハンドユニット２０の支持フレーム２５に取り付けられたノズル３２の軸中心Ｃｎと、同じく支持フレーム２５に取り付けられたカメラ３６の撮像中心Ｃｓとの相対位置関係が同供給側ロボットハンドユニット２０の移動位置から求められるようになる。
【０１００】
本実施形態では、相対位置関係を、供給側ロボットハンドユニット２０の水平位置に基づく、軸中心Ｃｎの水平位置（ＸＹ座標）と、撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓの水平位置（ＸＹ座標）との間の差として求める。そして、このように求められた相対位置関係を相対位置情報として設定することにより、ＩＣチップＴの中心位置に撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓを一致させたとき、相対位置情報に基づいて供給側ロボットハンドユニット２０を位置ずれ量Ｌｄだけ移動させることで同ＩＣチップＴの中心位置にノズル３２の軸中心Ｃｎ
を移動させることができるようになる。このようにして、把持装置３０によるＩＣチップＴの把持が好適に実施されるようになる。
【０１０１】
次に、部品検査装置１０が供給ロボット１４によりＩＣチップＴを搬送するための電気的構成について図８を参照して説明する。
部品検査装置１０には、制御装置５０が備えられている。制御装置５０は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）、記憶装置（不揮発性メモリーＲＯＭ、揮発性メモリーＲＡＭなど）を有するマイクロコンピュータを中心に構成されており、メモリーに格納されている各種データ及びプログラムに基づいて、ＩＣチップＴなどのデバイスを搬送する処理などのため各種制御を実行する。本実施形態では、制御装置５０にて、ノズル３２の軸中心Ｃｎと撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓとの間の相対位置情報の設定処理や、カメラ３６にて撮像されたＩＣチップＴの位置へノズル３２を移動させる移動制御などが行なわれる。また、不揮発性メモリーＲＯＭには、相対位置情報の設定処理や把持装置３０の移動制御などに必要な各種のパラメータなどが予め保存されている。なお本実施形態では、上記の相対位置情報の設定のため、制御装置５０は、ノズル３２の軸中心Ｃｎを検出するための処理や、カメラ３６の視野中心（撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓ）を検出するための処理も行なう。そして、検出されたノズル３２の軸中心Ｃｎの水平位置（ＸＹ座標）と、検出された撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓの水平位置（ＸＹ座標）との間の差を相対位置関係として算出して、算出された装置対置関係を相対位置情報として設定する。
【０１０２】
制御装置５０には、カメラ３６により撮像された画像を画像処理して、例えばＩＣチップＴの中心位置や、認識マーク４５の中心位置Ｃｍなどを算出する画像処理部５１が設けられている。画像処理部５１は、上述した各中心位置などを算出するためのプログラムを記憶しているとともに、当該プログラム等の実行に基づいてカメラ３６から入力される撮像画像を画像処理して認識されるＩＣチップＴや認識マーク４５などの中心位置を算出して制御装置５０の所定のメモリーなどに記憶させる。
【０１０３】
制御装置５０には、その記憶装置に相対位置情報記憶部５２が設けられている。相対位置情報記憶部５２には、上述のように算出された相対位置関係（位置ずれ量Ｌｄ）が設定されることにより相対位置情報として記憶されるとともに、記憶（設定）された相対位置情報が中央演算処理装置などに読み出し可能になっている。
【０１０４】
制御装置５０は、入出力装置５５と電気的に接続されている。入出力装置５５は、各種スイッチと状態表示機を有しており、前記各処理の実行を開始する指令信号や、各処理を実行するための初期値データ等を制御装置５０に出力する。また本実施形態では、入出力装置５５には、部品検査装置１０の各種要素、各種ＩＣチップＴ及びトレイ１８等の寸法に関する情報や、それらＩＣチップＴの種類に応じて設定されている供給ロボット１４、回収ロボット１５の移動に関する情報なども設定されており、それら情報が制御装置５０に出力される。
【０１０５】
制御装置５０は、供給Ｘ軸モーター駆動回路ＭＸＤ１、供給Ｙ軸モーター駆動回路ＭＹＤ１及び供給Ｚ軸モーター駆動回路ＭＺＤ１にそれぞれ電気的に接続されている。
供給Ｘ軸モーター駆動回路ＭＸＤ１は、制御装置５０から受けた駆動信号に応答して、同駆動信号に基づく駆動量を演算し、演算された駆動量に基づいて供給Ｘ軸モーターＭＸ１を駆動制御するようになっている。また制御装置５０には、供給Ｘ軸モーター駆動回路ＭＸＤ１を介して供給Ｘ軸モーターエンコーダーＥＭＸ１によって検出された供給Ｘ軸モーターＭＸ１の回転速度が入力される。これにより制御装置５０は、供給側ロボットハンドユニット２０のＸ方向の位置（Ｘ座標）を把握する。そして、その把握したＸ方向の位置（Ｘ座標）とコンベヤーＣ１〜Ｃ６の位置や第１又は第２シャトル１６，１７の位置などの目標位置とのＸ方向のずれを求めて、供給Ｘ軸モーターＭＸ１を駆動制御して供給側
ロボットハンドユニット２０を目標位置に移動させるようになっている。なお、本実施形態では、検出光ＬＰｘと検出光ＬＰｙとの交点Ｃｐや、認識マーク４５の中心位置ＣｍなどのＸ方向の位置（Ｘ座標）を目標位置として設定することもできるようになっている。また、第１のフォトセンサー４１の検出光ＬＰｘの遮られたときや受光されたときに対応するＸ方向の位置を検出することもできる。
【０１０６】
供給Ｙ軸モーター駆動回路ＭＹＤ１は、制御装置５０から受けた駆動信号に応答して、同駆動信号に基づく駆動量を演算し、演算された駆動量に基づいて供給Ｙ軸モーターＭＹ１を駆動制御するようになっている。また制御装置５０には、供給Ｙ軸モーター駆動回路ＭＹＤ１を介して供給Ｙ軸モーターエンコーダーＥＭＹ１によって検出された供給Ｙ軸モーターＭＹ１の回転速度が入力される。これにより制御装置５０は、供給側ロボットハンドユニット２０のＹ方向の位置（Ｙ座標）を把握する。そして、その把握したＹ方向の位置（Ｙ座標）とコンベヤーＣ１〜Ｃ６の位置や第１又は第２シャトル１６，１７の位置などの目標位置とのＹ方向のずれを求めて、供給Ｙ軸モーターＭＹ１を駆動制御して供給側ロボットハンドユニット２０を目標位置に移動させるようになっている。なお、本実施形態では、検出光ＬＰｘと検出光ＬＰｙとの交点Ｃｐや、認識マーク４５の中心位置ＣｍなどのＹ方向の位置（Ｙ座標）を目標位置として設定することもできるようになっている。また、第２のフォトセンサー４３の検出光ＬＰｙの遮られたときや受光されたときに対応する位置を検出することもできる。
【０１０７】
このように、供給側ロボットハンドユニット２０の水平位置（ＸＹ座標）は供給Ｘ軸モーターエンコーダーＥＭＸ１からの信号及び供給Ｙ軸モーターエンコーダーＥＭＹ１からの信号から算出することができる。
【０１０８】
供給Ｚ軸モーター駆動回路ＭＺＤ１は、制御装置５０から受けた駆動信号に応答して、同駆動信号に基づく駆動量を演算し、演算された駆動量に基づいて供給Ｚ軸モーターＭＺ１を駆動制御するようになっている。また供給Ｚ軸モーター駆動回路ＭＺＤ１は、供給Ｚ軸モーターＭＺ１の駆動制御に同期して、供給Ｚ軸モーターブレーキＢＭＺ１の開放・締結を行うようになっている。さらに、制御装置５０には、供給Ｚ軸モーター駆動回路ＭＺＤ１を介して供給Ｚ軸モーターエンコーダーＥＭＺ１によって検出された供給Ｚ軸モーターＭＺ１の回転速度が入力される。これにより制御装置５０は、供給側ロボットハンドユニット２０の把持装置３０の上下方向（Ｚ方向）の位置（高さ）を把握するとともに、その高さ位置と目標の高さ位置（上下方向の位置）とのずれを求めて、供給Ｚ軸モーターＭＺ１を駆動制御して当該把持装置３０を目標の高さ位置に移動させるようになっている。これにより、例えば、ノズル３２を検出光ＬＰｘや検出光ＬＰｙを横切ることのできる高さに移動させることができる。
【０１０９】
制御装置５０は、バルブ駆動回路３２Ｄと電気的に接続されている。バルブ駆動回路３２Ｄは、制御装置５０から受けた制御信号に応答してバルブ３２Ｂを駆動制御するようになっている。また制御装置５０により駆動制御されるバルブ３２Ｂは、ノズル３２に供給する気体を負圧の気体、又は、大気圧の気体のいずれか一方に切換える。ノズル３２は、負圧の気体が供給されたときＩＣチップＴが吸着されるとともに、大気圧の気体が供給されて真空が破壊されたときＩＣチップＴが離脱されるようになる。
【０１１０】
制御装置５０は、カメラ３６と電気的に接続されている。カメラ３６は、制御装置５０から受けた撮像信号に応答して、ミラー３８に映し出される供給側ロボットハンドユニット２０の下方の画像を撮像するようになっている。また制御装置５０には、カメラ３６によって撮像された供給側ロボットハンドユニット２０の下方の画像が入力される。これにより制御装置５０は、入力された画像を画像処理部５１にて画像処理してＩＣチップＴの中心位置や、認識マーク４５の中心位置Ｃｍなどを算出する。そして、制御装置５０は、
画像処理により算出されたＩＣチップＴの中心位置にノズル３２の軸中心Ｃｎを移動させるようにしたり、認識マーク４５の中心位置Ｃｍに撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓを移動させるようにしたりすることができる。
【０１１１】
これにより、制御装置５０は、供給側ロボットハンドユニット２０の水平移動に基づいてノズル３２の軸中心Ｃｎと撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓとをそれぞれ同一の水平位置（ＸＹ座標）に配置させるとともに、同一の水平位置（ＸＹ座標）に配置させたときの供給側ロボットハンドユニット２０の水平位置（ＸＹ座標）をそれぞれ把握することができる。そして、これら把握されたそれぞれの水平位置（ＸＹ座標）に基づいて撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓとノズル３２の軸中心Ｃｎとの現在の相対位置関係を検出する。また制御装置５０は、検出された相対位置関係をノズル３２の軸中心Ｃｎと撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓとの間の現在の相対位置情報として設定する。なお、本実施形態では、現在の相対位置関係を検出するとともに、その検出された現在の相対位置関係を現在の相対位置情報として設定することで同相対位置関係を補正・構成するキャリブレーションが行なわれることとなる。
【０１１２】
次に、この部品検査装置１０に供給ロボット１４のノズル３２の軸中心Ｃｎと撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓとの間の現在の相対位置情報を設定する手順について図９に従って説明する。図９は、上記相対位置情報を設定するための手順を示すフローチャートである。なお、この相対位置情報の設定は、所定の条件に基づいて、例えば供給ロボット１４の使用開始時や、熱膨張などを考慮してＩＣチップＴの搬送作業中の適時などに実行される。例えばＩＣチップＴの搬送作業中にあっては、ＩＣチップＴを把持していないタイミングなどでこの処理が実行される。
【０１１３】
図９に示すように、所定の条件に基づいて、制御装置５０では、ノズル３２の軸中心Ｃｎと撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓとの間の現在の相対位置情報の設定処理が開始される。
相対位置情報の設定処理が開始されると、制御装置５０は、供給側ロボットハンドユニット２０を移動させてノズル３２を位置検出用治具１９の上方にあって交点Ｃｐに略一致する水平位置（ＸＹ座標）に移動させるとともに検出光ＬＰｘや検出光ＬＰｙを遮ることのできる高さまで下降させる（図９のステップＳ１０）。次に制御装置５０は、検出光ＬＰｘを横切るようにノズル３２をＸ方向に移動させる。そして制御装置５０は、検出光ＬＰｘが遮断されたＸ方向の位置と、その遮断後に検出光ＬＰｘが検出されたＸ方向の位置とに対応するそれぞれの供給側ロボットハンドユニット２０のＸ方向の位置（Ｘ座標）からノズル３２の軸中心ＣｎのＸ方向の位置（Ｘ座標）を検出する（図９のステップＳ１１）。
【０１１４】
次に、制御装置５０は、検出光ＬＰｙを横切るようにノズル３２をＹ方向に移動させる。そして制御装置５０は、検出光ＬＰｙが遮断されたＹ方向の位置と、その遮断後に検出光ＬＰｙが検出されたＹ方向の位置とに対応するそれぞれの供給側ロボットハンドユニット２０のＹ方向の位置（Ｙ座標）からノズル３２の軸中心ＣｎのＹ方向の位置（Ｙ座標）を検出する（図９のステップＳ１２）。このように別々に求められたＸ方向の位置（Ｘ座標）とＹ方向の位置（Ｙ座標）とから、ノズル３２の軸中心Ｃｎの水平位置（ＸＹ座標）が算出されるようになる（把持部位置検出工程）。
【０１１５】
また、制御装置５０は、撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓが認識マーク４５の中心位置Ｃｍに一致するように供給側ロボットハンドユニット２０を移動させる（図９のステップＳ１３）。そして、制御装置５０は、撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓと認識マーク４５の中心位置Ｃｍとが一致したときの供給側ロボットハンドユニット２０の水平位置（ＸＹ座標）を撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓの水平位置（ＸＹ座標）として取得する（図９のステップＳ１４）（カメラ位置検出工程）。そして、制御装置５０は、ノズル３２の軸中心Ｃｎの水
平位置（ＸＹ座標）と撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓの水平位置（ＸＹ座標）との現在の相対位置関係を算出する（図９のステップＳ１５）（相対位置算出工程）とともに、この算出された現在の相対位置関係に基づく現在の相対位置情報を相対位置情報記憶部５２に記憶させる。このような手順により、部品検査装置１０（制御装置５０）に相対位置情報が設定される。すなわち、ノズル３２の軸中心Ｃｎと撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓとの相対位置関係（位置ずれ量Ｌｄ）がキャリブレーションされるようになる。
【０１１６】
以上説明したように、本実施形態のキャリブレーション装置を有する部品検査装置１０によれば、以下に列記するような効果が得られるようになる。
（１）従来、電子部品を上から撮像するカメラと同電子部品を把持する把持部との間の相対位置情報の設定は、それらカメラと把持部とをそれぞれ、もしくは一時に撮像可能な位置情報取得用のカメラの撮像画像を認識することにより行なわれている。このように位置情報取得の設定にカメラを用いた場合、高さ方向には、カメラの長さと、レンズの長さと、焦点距離などとを加算した高さを要し、横方向には、少なくともカメラ筐体の幅を要する。
【０１１７】
そこで、カメラ３６の視野中心（撮像中心Ｃｓ）と把持部としてのノズル３２との間の相対位置関係の検出が第１及び第２のフォトセンサー４１，４３と認識マーク４５とを組み合わせた小型な構成により行えるようにした。すなわちこの構成は、高さ方向にはフォトセンサー程度の高さＬｓｈを、横方向にはノズル３２の幅（径）の数倍程度の幅をそれぞれ確保すればよいため小型になる。また小型な構成となるためそれを設置する設置位置はもとよりノズル３２の位置を検出する際に要する空間も小さく済むようになる。
【０１１８】
（２）位置検出用治具１９は、高さ方向の高さが低くいことから搬送されるＩＣチップＴ等に干渉するおそれがないため、その設置位置の自由度も高い。さらに、第１及び第２のフォトセンサー４１，４３による検出には、画像認識の場合に要する光度やコントラストの調整が不要であり、ＩＣチップＴに応じて交換されることの多いノズル３２の別に各種の調整を要しない。また、フォトセンサーとして汎用的かつ安価な部品を使用することにより、この装置としてのメンテナンス性の向上及び低価格化を図ることもできる。
【０１１９】
（３）さらに、位置検出用治具１９をベース１１上に設置することで、フォトセンサーはノズル３２がＩＣチップＴを把持するときと同様の高さに配置される。これにより、ＩＣチップＴを取得するときと同等な姿勢とされたノズル３２の位置を検出することもできるようになり、ノズル３２がＩＣチップＴを取得する態様により近い態様における相対位置情報を設定することもできるようになる。
【０１２０】
（４）第１及び第２のフォトセンサー４１，４３と認識マーク４５とを位置検出用治具１９に一括して設置した。これにより、キャリブレーションに必要とされる第１及び第２のフォトセンサー４１，４３と認識マーク４５とを一つの治具として管理することができるとともに、第１及び第２のフォトセンサー４１，４３と認識マーク４５との位置関係を所定の精度で予め設定することが容易になる。
【０１２１】
（５）検出光ＬＰｘと検出光ＬＰｙの交点Ｃｐと認識マーク４５の中心位置Ｃｍとの水平位置を一致させた。これにより第１及び第２のフォトセンサー４１，４３により検出されたノズル３２の軸中心Ｃｎと、カメラ３６の撮像画像から検出された認識マーク４５の中心位置Ｃｍとが自ずと一致することとなり、ノズル３２とカメラ３６の視野中心（撮像中心Ｃｓ）との間の相対位置関係（位置ずれ量Ｌｄ）のキャリブレーションが容易になる。
【０１２２】
（６）第１及び第２のフォトセンサー４１，４３を非平行に設けたことから、ノズル３
２とカメラ３６の視野中心（撮像中心Ｃｓ）との間の相対位置関係を２次元位置（水平位置、ＸＹ座標）として取得することができるようになる。このことから、ノズル３２とカメラ３６の視野中心（撮像中心Ｃｓ）との間の相対位置情報を２次元情報として設定することができるようになる。
【０１２３】
（７）第１及び第２のフォトセンサー４１，４３による各検出領域（検出光ＬＰｘと検出光ＬＰｙ）を重ねることができるので、フォトセンサーを配置するための領域を小さくすることができるようにもなる。
【０１２４】
（８）第１及び第２のフォトセンサー４１，４３を、発光部と受光部とからなる一般的なセンサーより構成することができるので、構成の自由度が高く、小型かつ簡易な構成によりノズル３２を検出することができるようになる。
【０１２５】
（９）各検出光ＬＰｘ，ＬＰｙの幅Ｌｓｗが狭いことから、検出領域を小さくすることができる。
（１０）各検出光ＬＰｘ，ＬＰｙの幅や向きがスリットにより規制されるので、各フォトセンサーによるノズル３２の検出性能が良好になる。例えば、規制されず拡散した光を誤検出してしまうおそれなどを低減させることができる。すなわち、発光部側に設けたスリットは、検出光からなる検出領域を所定の断面形状に規制して当該検出領域を通るノズル３２によって検出光が回折されて受光部に受光されるようなおそれを抑制させる。また受光部側に設けたスリットは、当該受光部に発光部から直進してくる経路以外からの光の侵入を抑制するようになる。これにより、発光部側と受光部側とにそれぞれ設けられたスリットにより、受光部に受光される光の精度を向上させることができるようにもなる。
【０１２６】
（１１）また、スリットの位置精度を維持すれば、第１又は第２のフォトセンサー４１，４３の取り付け精度がノズル３２の検出精度に影響を与えるおそれが軽減されて、装置としての組み立ての容易性やメンテナンス性が向上するようになる。
【０１２７】
（第２の実施形態）
次に、本発明にかかるキャリブレーション装置を有する部品検査装置を具体化した第２の実施形態について図１０を参照して説明する。図１０（ａ）（ｂ）は、部品検査装置１０においてＩＣチップＴ等の電子部品を搬送するロボットハンドユニットの下面構造を示す図である。なお、本実施形態は、供給側ロボットハンドユニット２０に把持装置３０が４つ設けられる構成が、上述した先の第１の実施形態の構成と相違するものの、他の構成については先の第１の実施形態の構成と同様である。そこで、以下では主に、先の第１の実施形態と相違する構成を中心に説明するものとし、説明の便宜上、先の第１の実施形態と同様の構成には同一の符号を付すことにより重複する説明を割愛する。
【０１２８】
図１０に示すように、供給側ロボットハンドユニット２０の支持フレーム２５には、４つの把持装置３０が設けられている。４つの把持装置３０は、支持フレーム２５の下面に四角形状を形成するような位置にそれぞれ配置されているとともに、それらの中のＸ方向に平行に並ぶ２つの把持装置３０がそれぞれ一組とされる。把持装置３０と支持フレーム２５との間には、支持フレーム２５に対して把持装置３０をＸ方向に水平移動させる移動部３５が設けられているとともに、一組の把持装置３０は、それぞれの移動部３５を互いに逆方向に移動するようになっている。すなわち一組の把持装置３０は、その間の中心位置に対してそれぞれ逆方向に移動することでその間の間隔が、図１０（ａ）に示すように、広がったり（開いたり）、図１０（ｂ）に示すように、狭まったり（閉じたり）する。
【０１２９】
また、支持フレーム２５の下面には、４つの把持装置３０に干渉しない位置に撮像装置３４とミラー３８とが設置されている。ミラー３８は、支持フレーム２５の略中央の下方
に撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓを配置することができるように支持フレーム２５の略中央に設置されている。
【０１３０】
これにより、本実施形態では、一組の把持装置３０の間隔を開いた場合と、閉じた場合との２つの場合について、４つの把持装置３０のそれぞれのノズル３２と撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓとの相対位置関係をそれぞれ検出する。そして、検出されたそれぞれの（８つの）相対位置関係をそれぞれ相対位置情報として相対位置情報記憶部５２に記憶させる。
【０１３１】
これにより、一組の把持装置３０の間隔が開閉した場合であれ、カメラ３６に撮像されたＩＣチップＴに対して、対応させたい把持装置３０を適切に位置決めさせて、ＩＣチップを好適に把持することができるようになる。
【０１３２】
以上説明したように、本実施形態のキャリブレーション装置を有する部品検査装置１０によっても先の第１の実施形態の前記（１）〜（１１）の効果と同等もしくはそれに準じた効果が得られるとともに、次のような効果が得られるようになる。
【０１３３】
（１２）ノズル３２が供給側ロボットハンドユニット２０に対して水平移動するような場合であれ、同供給側ロボットハンドユニット２０に対して水平移動したノズル３２とカメラ３６の視野中心（撮像中心Ｃｓ）との間の相対位置関係を、ノズル３２の水平移動位置に対応した情報として設定することができる。
【０１３４】
（第３の実施形態）
次に、本発明にかかるキャリブレーション装置を有する部品検査装置を具体化した第３の実施形態について図１１及び図１２を参照して説明する。図１１は、部品検査装置１０に設けられている位置検出用治具１９Ａの平面構造を模式的に示す図である。図１２は、当該位置検出用治具１９Ａを用いて相対位置情報を設定するための手順を示すフローチャートである。なお、本実施形態は、位置検出用治具１９Ａの構成が、上述した先の第１の実施形態の位置検出用治具１９の構成と相違するものの、その他の構成については先の第１の実施形態の構成と同様である。そこで、以下では主に、先の第１の実施形態と相違する点を中心に説明するものとし、説明の便宜上、先の第１の実施形態と同様の構成には同一の符号を付すことにより重複する説明を割愛する。
【０１３５】
本実施形態では、ベース１１の上面の所定の位置に、上述した先の第１の実施形態の位置検出用治具１９に代わり、図１１に示すような、位置検出用治具１９Ａが設けられている。なお、位置検出用治具１９Ａは、第１及び第２の認識マーク４５Ｘ，４５Ｙが設けられていることと、第１の認識マーク４５Ｘの中心位置Ｃｍｘは検出光ＬＰｘの中心にのみ一致する一方、第２の認識マーク４５Ｙの中心位置Ｃｍｙは検出光ＬＰｙの中心にのみ一致することが先の第１の実施形態の位置検出用治具１９と相違している。
【０１３６】
また、第１の認識マーク４５Ｘは、Ｘ方向に第２のフォトセンサー４３や該第２のフォトセンサー４３用のスリット板４４Ａ，４４Ｂと重ならない位置に設けられている。すなわち、第１の認識マーク４５Ｘの配置されるＹ方向の位置は、第１のフォトセンサー４１のスリット板４２Ａ，４２Ｂの間のＹ方向の長さＬｓｎの間において、第２のフォトセンサー４３のスリット板４４Ａ，４４ＢのＹ方向の幅Ｌｓｗに重ならない位置とされている。さらに、第２の認識マーク４５Ｙは、Ｙ方向に第１のフォトセンサー４１や該第１のフォトセンサー４１用のスリット板４２Ａ，４２Ｂと重ならない位置に設けられている。すなわち、第２の認識マーク４５Ｙの配置されるＸ方向の位置は、第２のフォトセンサー４３のスリット板４４Ａ，４４Ｂの間のＸ方向の長さＬｓｎの間において、第２のフォトセンサー４３のスリット板４４Ａ，４４ＢのＸ方向の幅Ｌｓｗに重ならない位置とされてい
る。
【０１３７】
次に、この部品検査装置１０に供給ロボット１４のノズル３２の軸中心Ｃｎと同じく撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓとの間の現在の相対位置情報を設定する手順について図１２に従って説明する。図１２は、上記相対位置情報を設定するための手順を示すフローチャートである。なお、この相対位置情報の設定は、第１の実施形態と同様に、所定の条件に基づいて適時実行される。
【０１３８】
図１２に示すように、所定の条件に基づいて、制御装置５０では、現在の相対位置情報の設定処理が開始される。相対位置情報の設定処理が開始されると、制御装置５０は、供給側ロボットハンドユニット２０を移動させてノズル３２を位置検出用治具１９の上方にあって第１の認識マーク４５Ｘと略同じＹ軸位置に移動させるとともに、検出光ＬＰｘを遮ることのできる高さまで下降させる（図１２のステップＳ２０）。次に制御装置５０は、検出光ＬＰｘを横切るようにノズル３２をＸ方向に移動させる。そして制御装置５０は、検出光ＬＰｘが遮断されたＸ方向の位置と、その遮断後に検出光ＬＰｘが検出されたＸ方向の位置とに対応するそれぞれの供給側ロボットハンドユニット２０のＸ方向の位置（Ｘ座標）からノズル３２の軸中心ＣｎのＸ方向の位置（Ｘ座標）を検出する（図１２のステップＳ２１）。
【０１３９】
次に、制御装置５０は、第２の認識マーク４５Ｙと略同じＸ方向の位置にノズル３２を移動させる（図１２のステップＳ２２）。そして、検出光ＬＰｙを横切るようにノズル３２を移動させることにより、検出光ＬＰｙが遮断されたＹ方向の位置と、その遮断後に検出光ＬＰｙが検出されたＹ方向の位置とに対応するそれぞれの供給側ロボットハンドユニット２０のＹ方向の位置（Ｙ座標）からノズル３２の軸中心ＣｎのＹ方向の位置（Ｙ座標）を検出する（図１２のステップＳ２３）。
【０１４０】
このように別々に求められたＸ方向の位置（Ｘ座標）とＹ方向の位置（Ｙ座標）とから、ノズル３２の軸中心Ｃｎの水平位置（ＸＹ座標）が算出されるようになる（把持部位置検出工程）。
【０１４１】
また、制御装置５０は、撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓが第１の認識マーク４５Ｘの中心位置Ｃｍｘに一致するように供給側ロボットハンドユニット２０を移動させる（図１２のステップＳ２４）。そして、制御装置５０は、撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓと第１の認識マーク４５Ｘの中心位置Ｃｍｘとが一致したときの供給側ロボットハンドユニット２０のＸ方向の位置（Ｘ座標）を撮像領域Ｃａの撮像中心ＣｓのＸ方向の位置（Ｘ座標）として取得する（図１２のステップＳ２５）。
【０１４２】
さらに、制御装置５０は、撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓが第２の認識マーク４５Ｙの中心位置Ｃｍｙに一致するように供給側ロボットハンドユニット２０を移動させる（図１２のステップＳ２６）。そして、制御装置５０は、撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓと第２の認識マーク４５Ｙの中心位置Ｃｍｙとが一致したときの供給側ロボットハンドユニット２０のＹ方向の位置（Ｙ座標）を撮像領域Ｃａの撮像中心ＣｓのＹ方向の位置（Ｙ座標）として取得する（図１２のステップＳ２７）。
【０１４３】
このように別々に求められたＸ方向の位置（Ｘ座標）とＹ方向の位置（Ｙ座標）ことから、撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓの水平位置（ＸＹ座標）が算出されるようになる（カメラ位置検出工程）。
【０１４４】
そして、制御装置５０は、ノズル３２の軸中心Ｃｎの水平位置（ＸＹ座標）と撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓの水平位置（ＸＹ座標）との間の現在の相対位置関係を算出する（図
１２のステップＳ２８）（相対位置算出工程）とともに、この算出された現在の相対位置関係に基づく現在の相対位置情報を相対位置情報記憶部５２に記憶させる。このような手順により、部品検査装置１０（制御装置５０）に相対位置情報が設定される。
【０１４５】
以上説明したように、本実施形態のキャリブレーション装置を有する部品検査装置１０によっても先の第１の実施形態の前記（１）〜（１１）の効果と同等もしくはそれに準じた効果が得られるとともに、次のような効果が得られるようになる。
【０１４６】
（１３）第１のフォトセンサー４１の検出領域（検出光ＬＰｘ）を横切るように移動されるノズル３２の移動方向のＸ方向の前後には第２のフォトセンサー４３やそのスリット板４４Ａ，４４Ｂが配置されていないようにした。また、第２のフォトセンサー４３の検出領域（検出光ＬＰｙ）を横切るように移動されるノズル３２の移動方向のＹ方向の前後には第１のフォトセンサー４１やそのスリット板４２Ａ，４２Ｂが配置されていないようにした。これにより、ノズル３２位置の検出の際、当該ノズル３２がフォトセンサーやスリット板に接触するおそれが軽減される。
【０１４７】
（１４）また、ノズル３２が一方のフォトセンサーによる位置検出中に、他方のフォトセンサーの検出領域に侵入しないことから、一方のフォトセンサーによるノズル３２の検出に、同ノズル３２に干渉した他のフォトセンサーの光が影響を及ぼすおそれがない。
【０１４８】
（第４の実施形態）
次に、本発明にかかるキャリブレーション装置を有する部品検査装置を具体化した第４の実施形態について図１３及び図１４を参照して説明する。図１３は、部品検査装置１０に設けられている位置検出用治具１９Ｂの平面構造を模式的に示す図である。図１４は、当該位置検出用治具１９Ｂを用いて相対位置関係を検出する態様を示す模式図である。なお、本実施形態は、位置検出用治具１９Ｂの構成が、上述した先の第１の実施形態の位置検出用治具１９の構成と相違するものの、その他の構成については先の第１の実施形態の構成と同様である。そこで、以下では主に、先の第１の実施形態と相違する点を中心に説明するものとし、説明の便宜上、先の第１の実施形態と同様の構成には同一の符号を付すことにより重複する説明を割愛する。
【０１４９】
本実施形態では、ベース１１の上面の所定の位置に、上述した先の第１の実施形態の位置検出用治具１９に代わり、図１３に示すような、位置検出用治具１９Ｂが設けられている。
【０１５０】
位置検出用治具１９Ｂは、ベース１１に固定される治具ベース６０を有している。治具ベース６０には、第１のフォトセンサー６１と第２のフォトセンサー６２とがそれぞれの検出光ＬＬｘ，ＬＬｙを直交させる態様で配置されているとともに、該治具ベース６０の略中央に認識マーク４５が設けられている。第１のフォトセンサー６１は、いわゆるラインセンサーであって、所定の幅を有する検出光ＬＬｘを出射する発光部６１Ａと、当該所定の幅を有する検出光ＬＬｘを幅状に検出する受光部６１Ｂとを備えている。また、第２のフォトセンサー６２も、いわゆるラインセンサーであって、所定の幅を有する検出光ＬＬｙを出射する発光部６２Ａと、当該所定の幅を有する検出光ＬＬｙを幅状に検出する受光部６２Ｂとを備えている。これにより、検出光ＬＬｘと検出光ＬＬｙのＺ方向に重なる（交差する）検出領域ｚが形成される。なお、本実施形態では、検出光ＬＬｘや検出光ＬＬｙは、ノズル３２の幅よりも広い幅を有している。また、認識マーク４５の中心位置Ｃｍは、そのＸ方向の位置（Ｘ座標）が第１のフォトセンサー６１の検出範囲の所定の位置（Ｘ座標）に対応しているとともに、そのＹ方向の位置（Ｙ座標）が第２のフォトセンサー６２の検出範囲の所定の位置（Ｙ座標）に対応している。
【０１５１】
これにより、図１４に示すように、第１のフォトセンサー６１により検出光ＬＬｘの幅の中から遮られた位置ＰＮｘ１と位置ＰＮｘ２との間の区間ＳＬＮＸが検出されて、同区間ＳＬＮＸの幅Ｗｎｘの中心位置Ｎｘｃがノズル３２の軸中心ＣｎのＸ方向の位置（Ｘ座標）として検出される。また、このときの供給側ロボットハンドユニット２０のＸ方向の位置（Ｘ座標）も検出される。また、第２のフォトセンサー６２により検出光ＬＬｙの幅の中から遮られた位置ＰＮｙ１と位置ＰＮｙ２との間の区間ＳＬＮＹが検出されて、同区間ＳＬＮＹの幅Ｗｎｙの中心位置Ｎｙｃが治具ベース６０に対するノズル３２の軸中心ＣｎのＹ方向の位置（Ｙ座標）として検出される。また、このときの供給側ロボットハンドユニット２０のＹ方向の位置（Ｙ座標）も検出される。
【０１５２】
このように、治具ベース６０に固定された第１のフォトセンサー６１と第２のフォトセンサー４３の検出からノズル３２の軸中心Ｃｎの治具ベース６０に対する水平位置（ＸＹ座標）が検出される。またこのときの供給側ロボットハンドユニット２０の水平位置から、ノズル３２の軸中心Ｃｎの供給側ロボットハンドユニット２０に基づく水平位置（ＸＹ座標）が検出される。
【０１５３】
また、認識マーク４５の中心位置Ｃｍに撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓを移動させたときの供給側ロボットハンドユニット２０の水平位置から撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓの水平位置（ＸＹ座標）を検出する。
【０１５４】
これにより、供給側ロボットハンドユニット２０の移動位置である、ノズル３２の軸中心Ｃｎの水平位置（ＸＹ座標）と、認識マーク４５の中心位置Ｃｍの水平位置（ＸＹ座標）に一致した撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓの水平位置（ＸＹ座標）とから供給側ロボットハンドユニット２０の移動に基づく第１の差が求められる。また、ノズル３２の軸中心Ｃｎの治具ベース６０に対する水平位置（ＸＹ座標）と、認識マーク４５の中心位置Ｃｍの治具ベース６０に対する水平位置（ＸＹ座標）とから治具ベース６０に対する第２の差が求められる。このとき、第１及び第２の差に含まれる認識マーク４５の中心位置Ｃｍは同一の水平位置（ＸＹ座標）であることから第１及び第２の差に基づいて供給側ロボットハンドユニット２０の支持フレーム２５におけるノズル３２の軸中心Ｃｎと撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓとの間の相対位置関係が求められる。
【０１５５】
以上説明したように、本実施形態のキャリブレーション装置を有する部品検査装置１０によっても先の第１の実施形態の前記（１）〜（８）の効果と同等もしくはそれに準じた効果が得られるとともに、次のような効果が得られるようになる。
【０１５６】
（１５）ノズル３２を検出領域ｚ内に配置するだけでノズル３２の水平位置を検出することができるようになり、該ノズル３２とカメラ３６の視野中心（撮像中心Ｃｓ）との間の相対位置情報の設定を容易に行なうことができるようにもなる。
【０１５７】
なお、上記各実施形態は、例えば以下のような態様にて実施することもできる。
・上記第１，２及び４の実施形態では、認識マーク４５の中心位置Ｃｍは検出光ＬＰｘと検出光ＬＰｙとの交点Ｃｐと一致する一方、上記第３の実施形態では、第１の認識マーク４５Ｘの中心位置Ｃｍｘは検出光ＬＰｘの中心に一致するとともに、第２の認識マーク４５Ｙの中心位置Ｃｍｙは検出光ＬＰｙの中心に一致する場合について例示した。しかしこれに限らず、認識マークの中心位置は、Ｘ方向の検出光及びＹ方向の検出光に一致しなくてもよい。例えば、図１５に示すように、位置検出用治具１９Ｃにおいて、検出光ＬＰｘや検出光ＬＰｙに一致しない位置に認識マーク４５ＸＹが設けられていてもよい。このような場合であれ、位置検出用治具において予め定められている認識マーク４５ＸＹの中心位置Ｃｍｘｙと、検出光ＬＰｘと検出光ＬＰｘとの交点Ｃｐとの間に既知である関係（距離の差など）を考慮することで撮像領域の撮像中心とノズルの軸中心との間の相対位置
関係を求めることができるようになる。
【０１５８】
・上記各実施形態では、一方向に移動させたノズル３２が検出光ＬＰｘや検出光ＬＰｙを横切る場合について例示した。しかしこれに限らず、ノズルを左右に移動、すなわち往復移動させてもよい。例えば、図１６（ａ）に示すように、ノズル３２をＸ方向の一方（右側）に移動させて検出光ＬＰｘの遮断位置もしくはその後の受光位置を検出するとともに、ノズル３２をＸ方向の一方とは逆向きの他方（左側）に移動させて検出光ＬＰｘの遮断位置もしくはその後の受光位置を検出するようにしてもよい。これにより、右移動したときと左移動したときの２つの遮断位置の間隔、又は２つの受光位置の間隔の中心位置をノズル３２の軸中心として求めることができる。この場合には、ノズル３２の軸中心を、右移動や左移動によりそれぞれの移動方向に応じて生じるバックラッシュが平均化された位置（座標）として求められる。
【０１５９】
これにより、往路と復路とで把持部の検出される位置に供給側ロボットハンドユニット２０のバックラッシュなどによる多少のずれが生じるような場合であれ、往路の際に生じるずれと、復路の際に生じるずれとを考慮して、それら往復の各ずれの中間的な位置に基づいてノズル３２の水平位置を求めることができるようにもなる。そして、ＩＣチップＴ等に対して位置決めされるノズル３２のずれを該ノズル３２の移動方向によらず一定範囲に収めることができるようにもなる。
【０１６０】
・また、ノズルの位置検出の場合に限らず、撮像領域の撮像中心を認識マークの中心位置に合わせるとき、撮像領域を往復移動させて、往動と復動のそれぞれのときの水平位置を検出するようにしてもよい。これにより、往路と復路とで検出されるカメラ（撮像領域）の位置にロボットハンドユニットのバックラッシュなどによる多少のずれが生じるような場合であれ、往路の際に生じるずれと、復路の際に生じるずれとを考慮して、それら往復の各ずれの中間的な位置に基づいてカメラの位置を求めることができるようにもなる。これにより、電子部品等に対して位置決めされたカメラ（撮像領域）のずれを該カメラの移動方向によらず一定範囲に収めることができるようにもなる。
【０１６１】
・上記各実施形態では、位置検出用治具１９を供給側ロボットハンドユニット２０が用いる場合について例示したが、これに限らず、回収側ロボットハンドユニットが位置検出用治具を用いてもよい。また、回収側ロボットハンドユニット用などに位置検出用治具が別途設けられてもよい。
【０１６２】
・上記各実施形態では、位置検出用治具１９を第２シャトル１７とコンベヤーＣ１との間に設ける場合について例示したが、これに限らず、供給側ロボットハンドユニットの可動範囲内（ノズルの可動範囲内、かつ視野中心の範囲内）であれば位置検出用治具はどこに設置されてもよい。
【０１６３】
・上記各実施形態では、相対位置関係をノズル３２の軸中心Ｃｎと撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓとにより検出する場合について例示したが、これに限らず、支持フレームに対するノズルと撮像領域との関係を示すことができるのであれば、ノズルの軸中心以外の位置と撮像領域の撮像中心以外の位置との間の相対位置関係であってもよい。
【０１６４】
・上記第２の実施形態では、一組の把持装置３０の間隔を開いた場合と、閉じた場合とのそれぞれの場合についてノズル３２と撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓとの相対位置関係を検出する場合について例示した。しかしこれに限らず、間隔が開かれたときの一組の把持装置におけるノズルと撮像領域の撮像中心との相対位置関係を検出する一方、間隔が閉じられたときの相対位置関係は、検出された開かれたときの相対位置関係と、間隔を閉じるための移動量とに基づいて算出するようにしてもよい。逆に、間隔が閉じられたときの一
組の把持装置におけるノズルと撮像領域の撮像中心との相対位置関係を検出する一方、間隔が開かれたときの相対位置関係は、検出された閉じられたときの相対位置関係と、間隔を開くための移動量とに基づいて算出するようにしてもよい。
【０１６５】
・上記第２の実施形態では、一組の把持装置３０の間隔を各把持装置３０を相互に逆方向に移動させて変更する場合について例示した。しかしこれに限らず、一組の把持装置の間隔はいずれか一つの把持装置を移動させて変更するようにしてもよい。
【０１６６】
・上記第２の実施形態では、一組の把持装置３０は２つの把持装置３０から構成される場合について例示した。しかしこれに限らず、一組の把持装置３０は３つ以上の把持装置から構成されてもよい。これにより一度に搬送できる電子部品の数を増やすことができるようになる。
【０１６７】
・上記各実施形態では、カメラ３６はその視野がＹ方向に向くように支持フレーム２５に取り付けられる場合について例示したが、これに限らず、支持フレームの下方が撮像可能に構成されるのであれば、カメラの取り付け位置や向きは特に限定されない。例えば、視野が下方を向くようにカメラを取り付けることも可能である。
【０１６８】
・上記各実施形態では、認識マーク４５は丸形状である場合について例示したが、これに限らず、認識マークは、画像認識可能であれば、その形状には制限はなく、例えば、三角形や四角形などの多角形状であっても、突出もしくは凹設された立体的な形状であってもよい。
【０１６９】
・上記各実施形態では、スリット板４２Ａ，４２Ｂ，４４Ａ，４４Ｂが設けられる場合について例示したが、これに限らず、スリット板は設けられなくてもよい。
・上記各実施形態では、位置検出用治具１９（１９Ａ，１９Ｂ，１９Ｃ）はベース１１に設けられる場合について例示したが、これに限らず、相対位置関係を検出させることができるのであれば、位置検出用治具は、ベース上の他の要素、例えば、コンベヤーやトレイなどに設置されてもよい。すなわち、固定されていても移動可能であってもよい。
【０１７０】
・上記各実施形態では、第１のフォトセンサー４１や第２のフォトセンサー４３は治具ベース４０（６０）に設けられる場合について例示したが、これに限らず、第１のフォトセンサーや第２のフォトセンサーは、部品検査装置のベースに直接設置されてもよい。
【０１７１】
これによってもフォトセンサーと認識マークとの位置関係を所定の精度で予め設定することが容易となる。
・上記各実施形態では、検出光ＬＰｘ（ＬＬｘ）と検出光ＬＰｙ（ＬＬｙ）とが直交する場合について例示したが、これに限らず、２つの検出光は非直交であってもよい。２つの検出光に角度差があればこれら２つの検出光からＸ座標とＹ座標とを演算により取得することもできる。これにより、フォトセンサーの設置にかかる自由度を高くすることができる。
【０１７２】
・上記第１〜３の実施形態では、検出光ＬＰｘの長さ方向の中心と検出光ＬＰｙの長さ方向の中心とに交点Ｃｐが形成される場合について例示したが、これに限らず、交点は２つの検出光のどの位置に形成されてもよい。
【０１７３】
・上記第１〜３の実施形態では、検出光ＬＰｘと検出光ＬＰｙとが交点Ｃｐを形成する場合について例示したが、これに限らず、２つの検出光は、上下方向にずれて交点を形成しなくてもよい。
【０１７４】
・上記第２及び３の実施形態では、第１のフォトセンサー４１の検出光ＬＰｘと第２のフォトセンサー４３の検出光ＬＰｙとがＺ方向に重なる（交差する）場合について例示したが、これに限らず、第１のフォトセンサーと第２のフォトセンサーとはそれらの検出光がＺ方向に重ならない（交差しない）位置にそれぞれ設けられてもよい。これにより、第１のフォトセンサーや第２のフォトセンサーの配置の自由度が高められるようになる。
【０１７５】
また、配置の位置に制限がなければ、部品検査装置上に設けられている既存のセンサー、例えばシャトル検出センサーやトレイ検出センサーなどと共用することもできるようになる。これにより、キャリブレーション装置を設ける場合、新たなセンサーを追加する必要がなくなるとともに、その設置の自由度も高められる。
【０１７６】
・上記各実施形態では、Ｘ方向及びＹ方向の座標を得るために第１及び第２のフォトセンサー４１，４３（６１，６２）が設けられる場合について例示した。しかしこれに限らず、一方向の座標のみを必要とするような場合、フォトセンサーは一つでもよい。例えば、図３に示すような把持装置３０とカメラ３６の構成の場合、把持装置３０とカメラ３６のＸ方向の相対位置の変化の量は、Ｙ方向の相対位置の変化に比べて小さくなることもある。このような場合、Ｘ方向の相対位置の変化の量が把持精度に大きな影響を及ぼさないのであれば、Ｙ方向の相対位置の変化のみ検出できればよくなるため、フォトセンサーを一つにすることができる。また、各方向の相対位置の変化の量に関わらず、把持精度が特に必要とされる方向のみを検出するような場合にもフォトセンサーを一つにすることができる。これにより、キャリブレーション装置や位置検出用治具が小型化や簡易化されるようになる。
【０１７７】
・上記第１〜３の実施形態では、ノズル３２は、検出光をＸ方向またはＹ方向への移動により横切る場合について例示したが、これに限らず、検出光を横切るのであればノズルの移動方向はＸ方向またはＹ方向への移動に制限されるものではない。また、横切るための移動経路をどちらの向きに移動して検出光を横切ってもよい。
【０１７８】
・上記各実施形態では、Ｘ方向の位置を求めてからＹ方向の位置を求める場合について例示したが、これに限らず、Ｙ方向の位置を求めてからＸ方向の位置を求めてもよい。
・上記各実施形態では、ノズル３２の軸中心Ｃｎの位置を求めてから撮像領域Ｃａの撮像中心Ｃｓを求める場合について例示したが、これに限らず、撮像中心を求めてから軸中心を求めてもよい。
【０１７９】
・上記各実施形態では、所定の条件の下でキャリブレーションが実施される場合について例示したが、これに限らず、毎回キャリブレーションが行なわれてもよい。
・上記各実施形態では、ノズル３２の検出を認識マーク４５（４５Ｘ，４５Ｙ）と同じか近い位置にて行なう場合について例示したが、これに限らず、ノズルの検出を認識マークと離れた位置にて行なってもよい。
【符号の説明】
【０１８０】
１０…部品検査装置、１１…ベース、１２…安全カバー、１３…高温チャンバ、１４…供給ロボット、１５…回収ロボット、１６…検査ユニットを構成する第１シャトル、１６Ａ…ベース部材、１６Ｂ，１６Ｃ…チェンジキット、１７…検査ユニットを構成する第２シャトル、１７Ａ…ベース部材、１７Ｂ，１７Ｃ…チェンジキット、１８…トレイ、１９，１９Ａ，１９Ｂ，１９Ｃ…位置検出用治具、２０…搬送ハンドとしての供給側ロボットハンドユニット、２１…回収側ロボットハンドユニット、２２…検査ユニットを構成する検査用ヘッド、２３…検査ユニットを構成する検査部、２４…検査用ソケット、２４Ａ…第１のレール、２４Ｂ…第２のレール、２５…支持フレーム、３０…把持装置、３１…ノズル支持部、３２…ノズル、３２Ｂ…バルブ、３２Ｄ…バルブ駆動回路、３４…撮像装置
、３５…移動部、３６…カメラ、３７…レンズ、３８…ミラー、３８Ａ…支持体、４０…治具ベース、４１…第１のフォトセンサー、４１Ａ，４３Ａ…発光部、４１Ｂ，４３Ｂ…受光部、４２Ａ，４２Ｂ，４４Ａ，４４Ｂ…スリット板、４３…第２のフォトセンサー、４５，４５ＸＹ…認識マーク、４５Ｘ…第１の認識マーク、４５Ｙ…第２の認識マーク、５０…把持部位置検出部及びカメラ位置検出部及び相対位置算出部としての制御装置、５１…画像処理部、５２…相対位置情報記憶部、５５…入出力装置、６０…治具ベース、６１…第１のフォトセンサー、６１Ａ，６２Ａ…発光部、６１Ｂ，６２Ｂ…受光部、６２…第２のフォトセンサー、Ｔ…ＩＣチップ、Ｃ１〜Ｃ６…コンベヤー、ＦＸ…Ｘ軸フレーム、ＰＳ…ポケット、ＦＹ１…第１のＹ軸フレーム、ＦＹ２…第２のＹ軸フレーム、ＬＬｘ，ＬＬｙ，ＬＰｘ，ＬＰｙ…検出光、ＭＸ１…供給Ｘ軸モーター、ＭＸ２…回収Ｘ軸モーター、ＭＹ１…供給Ｙ軸モーター、ＭＹ２…回収Ｙ軸モーター、ＭＺ１…供給Ｚ軸モーター、ＲＯＭ…不揮発性メモリー、ＢＭＺ１…供給Ｚ軸モーターブレーキ、ＥＭＸ１…供給Ｘ軸モーターエンコーダー、ＥＭＹ１…供給Ｙ軸モーターエンコーダー、ＥＭＺ１…供給Ｚ軸モーターエンコーダー、ＭＸＤ１…供給Ｘ軸モーター駆動回路、ＭＹＤ１…供給Ｙ軸モーター駆動回路、ＭＺＤ１…供給Ｚ軸モーター駆動回路。
【図１】
2011179885.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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