(57)【要約】【課題】ウェハ検査の精度を向上させること。【解決手段】ウェハを載置して当該ウェハを搬送する第１搬送ユニットと、前記第１搬送ユニットに隣接し、前記第１搬送ユニットにより搬送されたウェハを受け取り、当該ウェハを載置して当該ウェハを搬送する第２搬送ユニットと、前記第２搬送ユニットの上のウェハを検査する検査ユニットと、前記検査ユニットに連結されて、前記検査ユニットを前記第２搬送ユニットの上で移動させる駆動装置と、を備え、前記第２搬送ユニットがウェハの搬送を一時的に停止したとき、前記駆動装置が前記検査ユニットを移動させつつ前記検査ユニットが前記第２搬送ユニットの上のウェハを検査する。【選択図】図２
2011119636.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハを載置して当該ウェハを搬送する第１搬送ユニットと、
前記第１搬送ユニットに隣接し、前記第１搬送ユニットにより搬送されたウェハを受け取り、当該ウェハを載置して当該ウェハを搬送する第２搬送ユニットと、
前記第２搬送ユニットの上のウェハを検査する検査ユニットと、
前記検査ユニットに連結されて、前記検査ユニットを前記第２搬送ユニットの上で移動させる駆動装置と、を備え、
前記第２搬送ユニットがウェハの搬送を一時的に停止したとき、前記駆動装置が前記検査ユニットを移動させつつ前記検査ユニットが前記第２搬送ユニットの上のウェハを検査する、ことを特徴とするウェハ搬送検査機台。
【請求項２】
請求項１に記載のウェハ搬送検査機台であって、
前記第２搬送ユニットに隣接し、前記第２搬送ユニットにより搬送されたウェハを載置して当該ウェハを搬送する第３搬送ユニットを更に備え、
前記第３搬送ユニットは、ウェハを前記搬送方向と反対の方向に搬送することによって当該ウェハを前記第２搬送ユニットへ回送し、
前記検査ユニットは、再度、前記第２搬送ユニットの上のウェハを検査する、ことを特徴とするウェハ搬送検査機台。
【請求項３】
ウェハを搬送する第１搬送ユニットと、ウェハを搬送する第２搬送ユニットと、ウェハを検査する検査ユニットと、前記検査ユニットを移動させる駆動装置とを備えたウェハ搬送検査機台のウェハ搬送検査方法であって、
ウェハを前記第１搬送ユニットから前記第２搬送ユニットへ受け渡すステップと、
前記第２搬送ユニットが受け渡されたウェハの搬送を一時的に停止するステップと、
第２搬送ユニットの搬送動作の停止中に、前記駆動装置が前記検査ユニットを移動させつつ前記検査ユニットが前記第２搬送ユニットの上のウェハを検査するステップと、を備えたことを特徴とするウェハ搬送検査方法。
【請求項４】
請求項３に記載のウェハ搬送検査方法であって、
前記第２搬送ユニットが、ウェハを搬送する第３搬送ユニットへ、検査されたウェハを搬送するステップと、
前記第３搬送ユニットが、検査されたウェハを前記搬送方向と反対の方向に搬送することによって当該ウェハを前記第２搬送ユニットへ回送するステップと、
前記駆動装置が前記検査ユニットを移動させて、前記検査ユニットが前記第２搬送ユニットの上の検査されたウェハを再度検査するステップと、を更に備えたことを特徴とするウェハ搬送検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハ搬送検査機台及びウェハ搬送検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェハの製造過程ではしばしばウェハの検査が行われる。例えば、ウェハの構造、ワイヤ線の連結、印刷等が検査される。ウェハの検査の効率を向上させるため、通常は、ウェハの搬送過程でウェハの検査が行われる。
【０００３】
図１は、周知のウェハ搬送検査機台１０の斜視図である。同図に示されるように、ウェハ搬送検査機台１０は、一つの搬送帯１１及び一つの検査ユニット１３を備えている。そのうち、検査ユニット１３は、面形状をなし、搬送帯１１の上方に設置されている。この検査ユニット１３は、例えば一つの固定架１５を介して搬送帯１１に連結される。
【０００４】
搬送帯１１は、ウェハ１２を搬送する。検査ユニット１３は、ウェハ１２の搬送経路上に設置されているため、搬送帯１１の上で搬送されているウェハ１２を検査できる。検査ユニット１３は、主として、搬送帯１１の上でウェハ１２を搬送しつつ当該ウェハ１２の検査を進めるため、これは検査時間の短縮に有利である。
【０００５】
前述するウェハ搬送検査機台１０を使用することにより、短時間でウェハ１２の検査を完了できる。検査ユニット１３は、面形状をなすため、ウェハ１２に対し広範囲の検査（撮像）ができる。例えば検査ユニット１３が一つの撮像装置である場合、その検査面積Ａ１がウェハ１２の面積より大きければ、当該検査ユニット１３は、ウェハ１２ごとに、ただ一度の撮像動作によってウェハ１２を検査（撮像）できる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、検査ユニット１３が迅速にウェハ１２の検査を進める場合、ウェハ１２の画像がしばしば変形したり、解像度が低下したりする問題がある。例えば、ウェハ１２の画像中で、輪郭の部分が歪曲すしたりすることがあり、これは検査の精度の低下につながる。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前述の課題を解決するために、本発明は、以下を備えるウェハ搬送検査機台を提供するものである。即ち、本発明のウェハ搬送検査機台はウェハを載置して当該ウェハを搬送する一の第１搬送ユニット、第１搬送ユニットに隣接し、第１搬送ユニットにより搬送されたウェハを受け取り、当該ウェハを載置して当該ウェハを搬送する一の第２搬送ユニット、第２搬送ユニットの上のウェハを検査する検査ユニット、及び検査ユニットに連結されて、検査ユニットを第２搬送ユニットの上で移動させる駆動装置を具備する。ここで、第２搬送ユニットがウェハの搬送を一時的に停止するとき、駆動装置が検査ユニットを移動させつつ検査ユニットが第２搬送ユニットの上のウェハを検査する。
【０００８】
本発明のウェハ搬送検査機台によれば、駆動装置に連結された検査ユニットを移動させて、静置されたウェハに対して走査を行なうことによって、ウェハ検査の精度又はウェハ画像の明瞭度の向上に有利となる。
【０００９】
また、本発明のウェハ搬送検査機台によれば、検査ユニットによるウェハの検査時に、ウェハを載置して当該ウェハを搬送する第２搬送ユニットが当該ウェハの搬送を一時的に停止することよって、第２搬送ユニットの搬送動作中に発生する振動に起因するウェハ検査の精度低下を抑制できる。
【００１０】
また、本発明のウェハ搬送検査機台によれば、駆動装置の駆動動作の安定度は、第２搬送ユニットの搬送動作の安定度より高いため、第２搬送ユニットが一時的に停止した状態で駆動装置が検査ユニットを移動させることによって、ウェハに対する走査の安定度が向上する。
【００１１】
本発明のウェハ搬送検査機台では、検査ユニットは、第２搬送ユニットの幅方向に沿って略線形状をなし且つ搬送方向に沿って幅狭の検査ユニットであり、駆動装置が当該検査ユニットを第２搬送ユニットの搬送方向に移動させることによって、ウェハに対し走査できる。よって、搬送方向に沿って幅広の面形状をなす検査ユニットと比較した場合、ウェハの画像における変形又は歪曲が発生し難い。
【００１２】
本発明のウェハ搬送検査機台では、第３搬送ユニットがウェハを第２搬送ユニットへ回送することによって、検査ユニットにより既に検査されたウェハに対して、再度検査を行いことができる。これにより、検査の精度のみならずその便利性も向上する。
【００１３】
本発明のウェハ搬送検査機台のウェハ搬送検査方法では、ウェハ搬送検査機台は、ウェハを搬送する第１搬送ユニットと、ウェハを搬送する第２搬送ユニットと、ウェハを検査する検査ユニットと、前記検査ユニットを移動させる駆動装置とを備え、ウェハ搬送検査方法は、ウェハを前記第１搬送ユニットから前記第２搬送ユニットへ受け渡すステップと、前記第２搬送ユニットがウェハの搬送を一時的に停止するステップと、前記駆動装置が前記検査ユニットを移動させて、前記検査ユニットが前記第２搬送ユニットの上のウェハを検査するステップとを備えている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、駆動装置に連結された検査ユニットを移動させて、静置されたウェハに対して走査を行なうことによって、ウェハ検査の精度が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】周知のウェハ搬送検査機台の斜視図である。
【図２】本発明のウェハ搬送検査機台一実施例の斜視図である。
【図３】本発明のウェハ搬送検査機台一実施例の側面図である。
【図４Ａ】本発明ウェハ搬送検査機台の一実施例の模式図である。
【図４Ｂ】本発明ウェハ搬送検査機台の一実施例の模式図である。
【図４Ｃ】本発明ウェハ搬送検査機台の一実施例の模式図である。
【図４Ｄ】本発明ウェハ搬送検査機台の一実施例の模式図である。
【図４Ｅ】本発明ウェハ搬送検査機台の一実施例の模式図である。
【図４Ｆ】本発明ウェハ搬送検査機台の一実施例の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図２は、本発明のウェハ搬送検査機台の一実施例の斜視図である。
同図に示されるように、ウェハ搬送検査機台２０は、一つの第１搬送ユニット２１、一つの第２搬送ユニット２３、一つの駆動装置２５、及び一つの検査ユニット２７を備えている。
【００１７】
ここで、第１搬送ユニット２１がウェハ２２を第２搬送ユニット２３に受け渡し、駆動装置２５が検査ユニット２７を移動させて第２搬送ユニット２３の上に載置されたウェハ２２の検査を行う。
【００１８】
第１搬送ユニット２１及び第２搬送ユニット２３の双方は、例えば、無端ベルト（例えば後述する搬送帯２３１）が一対のプーリに巻回されて構成されるコンベヤである。一対のプーリのうちの一方の駆動プーリ（例えば後述する駆動プーリ２３３）が回動することによって、無端ベルトはウェハ２２を搬送方向に搬送できる。
【００１９】
第２搬送ユニット２３が第１搬送ユニット２１に隣接することにより、第１搬送ユニット２１の上のウェハ２２を第２搬送ユニット２３に受け渡すことができる。検査ユニット２７と駆動装置２５とは相互に連結され、駆動装置２５が所定の駆動機構（例えば後述するレール２５１や駆動ユニット２５３等）によって検査ユニット２７の位置を移動させるようになっている。
【００２０】
例えば、駆動装置２５は、第２搬送ユニット２３の搬送方向に沿った側辺又は上方に設置され、検査ユニット２７を第２搬送ユニット２３の上で搬送方向に移動させる。これにより、検査ユニット２７は、第２搬送ユニット２３の上に載置されたウェハ２２の検査を行うことができる。
【００２１】
ウェハ搬送検査機台２０は、ウェハ２２を搬送しつつ検査する場合、先ず、ウェハ２２を第１搬送ユニット２１から第２搬送ユニット２３へ受け渡す。第２搬送ユニット２３は、ウェハ２２を受け取った後に、一時的にウェハ２２の搬送を停止し、当該ウェハ２２を載置したままで静止させる。
【００２２】
このとき、駆動装置２５は、検査ユニット２７の位置を移動させるため、検査ユニット２７は、第２搬送ユニット２３の上に載置されたウェハ２２に対して走査によって測定又は撮像を行うことができる。
【００２３】
検査ユニット２７は、ウェハ２２の検査を行う装置である。本発明の一実施例では、  検査ユニット２７は、少なくとも一つのレンズ及び一つのセンサユニット（例えばＣＣＤやＣＭＯＳ等）を備えている。
【００２４】
ウェハ２２からの反射光又は乱射光がレンズを通過してセンサユニットに入射することによって、検査ユニット２７はウェハ２２の画像を取得する。
【００２５】
また、検査ユニット２７は、取得したウェハ２２の画像と、所定のメモリ（不図示）に格納された参照画像とを比較することによって、当該ウェハ２２の検査を行う。
例えば、検査ユニット２７は、一つのコンピュータシステムに接続されていてもよい（不図示）。
【００２６】
検査ユニット２７は、取得したウェハ２２の画像データを、コンピュータシステムに伝送し、コンピュータシステムは、検査ユニット２７から伝送されたウェハ２２の画像データと、予め設定されて所定のメモリ（不図示）に格納された参照画像データとを比較することによって、当該ウェハ２２が良品であるか又は不良品であるかを識別する。
【００２７】
検査ユニット２７は、第２搬送ユニット２３の幅方向に沿って略線形状をなし且つ搬送方向に沿って幅狭の検査ユニットとしてもよい。
【００２８】
一般に、検査ユニット２７の検査区域２７１の面積Ａ２は、しばしばウェハ２２の面積より小さい。このため、検査の際、検査ユニット２７とウェハ２２との間に例えば搬送方向に沿った相対運動が必要となる。
【００２９】
例えば、検査ユニット２２がウェハ２２に対して走査することによって、ウェハ２２の測定又は撮像を行う（図２参照）。
【００３０】
一方、前述したウェハ搬送検査機台１０の場合、検査ユニット１３は不可動であったため、搬送帯１１がウェハ１２の搬送しつつ、検査ユニット１３はその検査区域を通過するウェハ２２を検査していた（図１参照）。
【００３１】
第２搬送ユニット２３は、その主たる機能がウェハ２２の搬送にあるため、一般にその構造は比較的単純なものである。
【００３２】
例えば第２搬送ユニット２３は、一つの搬送帯２３１及び少なくとも一つの駆動プーリ２３３を備え、当該駆動プーリ２３３で搬送帯２３１を搬送方向に移動させることによって、ウェハ２２を搬送方向に搬送する。
【００３３】
しかし、これが故に、第２搬送ユニット２３がウェハ２２を搬送するとき、第２搬送ユニット２３によるウェハ２２の搬送経路はしばしば搬送方向に沿った直線とはならず、しかも搬送中に、振動が発生したり、搬送速度が変化したりする。
【００３４】
このようにウェハ２２の搬送は不安定であるため、もし前述したような従来の固定式の検査ユニット１３を使用した場合（図１参照）、ウェハ２２の測定又は撮像の結果には誤差が発生し易い。
【００３５】
そこで、駆動装置２５は、第１搬送ユニット２１や第２搬送ユニット２３等と比較して高い安定度を有するため、当該駆動装置２５で検査ユニット２７を移動させることによって、検査ユニット２７は安定して移動する。
【００３６】
例えば、駆動装置２５は検査ユニット２７を等速移動できる上に、当該検査ユニット２７の移動中に振動や揺動等が生じ難い。これにより、検査ユニット２７がウェハ２２の測定又は撮像する際にその精度が向上する。
【００３７】
本発明の一実施例では、駆動装置２５は、少なくとも一つのレール２５１及び一つの駆動ユニット２５３を備え、検査ユニット２７をレール２５１の上に可動に固定するとともに、駆動ユニット２５３で当該検査ユニット２７を駆動することによって当該検査ユニット２７の位置を移動させる。
【００３８】
例えば、検査ユニット２７は、一つの連結ユニット２６及びレール２５１を介して駆動ユニット２３５に連結されている。そして、駆動ユニット２５３が検査ユニット２７を駆動することによって、検査ユニット２７はレール２５１の方向に沿って安定に移動する。
【００３９】
第２搬送ユニット２３の上に載置可能なウェハ２２の数量は少なくとも１つである。
【００４０】
もし第２搬送ユニット２３の上に載置するウェハ２２の数量が複数の場合、ウェハ２２の検査に際して駆動装置２５の静止・起動の回数を低減できるため、ウェハ２２の検査効率が向上する。
【００４１】
第１搬送ユニット２１が例えば２つのウェハ２２を第２搬送ユニット２３へ受け渡し、その２つのウェハ２２が全て第２搬送ユニット２３の上の検査区域に落ちたとき、第２搬送ユニット２３は一時的に搬送動作を停止し、駆動装置２５は検査ユニット２７を移動させて、第２搬送ユニット２３の上に載置された２つのウェハ２２を検査する。
【００４２】
但し、これに限定されるものではなく、第２搬送ユニット２３の上に載置するウェハ２２の数量は２より大きくてもよい。
【００４３】
本実施例では、更に、第２搬送ユニット２３における第１搬送ユニット２１とは反対側の一端に第３搬送ユニット２９が増設されている（図３参照）。
【００４４】
検査ユニット２７がウェハ２２の検査を完了した後、検査済のウェハ２２を第２搬送ユニット２３から第３搬送ユニット２９へ受け渡す（図３参照）。
【００４５】
尚、本発明の実施例で述べるウェハ２２は例えば太陽電池用シリコンウェハである。つまり、第１搬送ユニット２１、第２搬送ユニット２３、及び・又は第３搬送ユニット２９は、例えば太陽電池用シリコンウェハを搬送するユニットであり、検査ユニット２７は、例えば太陽電池用シリコンウェハを検査するユニットである。
【００４６】
図４Ａ〜図４Ｆは、本発明の一実施例に係るウェハ搬送検査機台２０のウェハ搬送検査方法の手順を説明するための模式図である。
【００４７】
同図に示されるように、ウェハ搬送検査機台２０は、一つの第１搬送ユニット２１、一つの第２搬送ユニット２３、一つの駆動装置２５、及び一つの検査ユニット２７を備える。第１搬送ユニット２１及び第２搬送ユニット２３はウェハ２２を搬送し、駆動装置２５は検査ユニット２７移動させつつ検査ユニット２７はウェハ２２を検査する。
【００４８】
第１搬送ユニット２１及び第２搬送ユニット２３は互いに隣接するように設置され、少なくとも一つのウェハ２２が第１搬送ユニット２１から第２搬送ユニット２３へ受け渡される（図４Ａ参照）。
【００４９】
第２搬送ユニット２３は、第１搬送ユニット２１によって搬送されたウェハ２２を受け取ると、当該ウェハ２２を載置して搬送する。
【００５０】
本発明の実施例では、第２搬送ユニット２３は、１つのウェハ２２又は同時に２つ以上のウェハ２２を載置できる。
尚、第２搬送ユニット２３は、より多くの（例えば３つ以上の）ウェハ２２を載置できる。
【００５１】
第２搬送ユニット２３は、ウェハ２２を第１搬送ユニット２１から受け取った後、一時的にその搬送を停止して当該ウェハ２２を静止させる（図４Ｂ参照）。
【００５２】
第２搬送ユニット２３がウェハ２２の搬送を一時的に停止したとき、駆動装置２５は検査ユニット２７を移動させつつ当該検査ユニット２７はウェハ２２を走査する。
【００５３】
これにより、第２搬送ユニット２３の上のウェハ２２の検査又は撮像が完了する。
具体的には、駆動装置２５は、検査ユニット２７を、第１搬送ユニット２１から第３搬送ユニット２９へ向かう方向へ移動させる（図４Ｃ〜図４Ｄ参照）。
【００５４】
本発明の一実施例であるウェハ搬送検査機台２０は、第２搬送ユニット２３の上に載置され静止した状態のウェハ２２に対し駆動装置２５を介して検査ユニット２７が相対移動することによって当該ウェハ２２の走査を行う。
移動に関しては、駆動装置２５は、第２搬送ユニット２３と比較してより高い安定性を有している。よって、検査ユニット２７によるウェハ２２の検査精度が向上する。
【００５５】
検査ユニット２７が第１搬送ユニット２１から第３搬送ユニット２９へ向かう方向に第２搬送ユニット２３の上のウェハ２２を走査することによって当該ウェハ２２の検査を完了した後、駆動装置２５は検査ユニット２７の移動を停止させて停止位置で固定する。
【００５６】
第２搬送ユニット２３は再度搬送動作を開始して、検査済のウェハ２２を第３搬送ユニット２９へ受け渡す（図４Ｅ参照）。第２搬送ユニット２３がウェハ２２を第３搬送ユニット２９へ受け渡した後、第１搬送ユニット２１は継続的にウェハ２２を第２搬送ユニット２３へ受け渡し、その後、検査ユニット２７は第２搬送ユニット２３の上のウェハ２２を検査する。
【００５７】
この場合、例えば、駆動装置２５は、検査ユニット２７を駆動して当該検査ユニット２７を第３搬送ユニット２９から第１搬送ユニット２１へ向かう方向に移動させつつ当該検査ユニット２７はウェハ２２に対し検査又は撮像を行う（図４Ｆ参照）。
【００５８】
前述のステップにより、ウェハ２２の搬送及び検査ができる。但し、以上に限定されるものではなく、第２搬送ユニット２３が検査済のウェハ２２を第３搬送ユニット２９へ受け渡す過程で、同時に第１搬送ユニット２１が新たな検査対象であるウェハ２２を第２搬送ユニット２３へ受け渡してもよい。
【００５９】
本発明の一実施例では、第３搬送ユニット２９は、ウェハ２２を第２搬送ユニット２３へ回送できる。
【００６０】
そして、検査ユニット２７は検査済のウェハ２２を再度検査できる。
このとき、第１搬送ユニット２１は、ウェハ２２を第２搬送ユニット２３へ受け渡す動作を一時的に停止する。
【００６１】
ウェハ２２が第１搬送ユニット２１から第２搬送ユニット２３に受け渡されたときに駆動装置２５によって移動された検査ユニット２７が第２搬送ユニット２３の上のウェハ２２を検査する場合、例えばウェハ２２どうしの重畳やその他の原因等のためにウェハ２２の検査が完了しない事態が起こり得る。
【００６２】
この場合、第１搬送ユニット２１の搬送動作を一時的に停止し、第３搬送ユニット２９及び・又は第２搬送ユニット２３の搬送方向を以上述べた搬送方向と反対の方向に反転させ、ウェハ２２を第３搬送ユニット２９から第２搬送ユニット２３へ受け渡す。
これにより、検査ユニット２７は、検査が不完全であったウェハ２２に対し再度検査できる。
【００６３】
以上は、単に本発明の好ましい実施例を述べたにすぎず、本発明の実施の範囲を限定するものではない。即ち、本願の特許請求の範囲で述べた発明の形状、構造、特徴、及びその精神と均等な変化や修飾等は、全て本願の特許請求の範囲内に包含すべきものである。
【符号の説明】
【００６４】
１０、２０  ウェハ搬送検査機台            
１１、２３１  搬送帯
１２、２２  ウェハ
１３、２７  検査ユニット
１５  固定架
２１  第１搬送ユニット
２３  第２搬送ユニット
２３３  駆動プーリ
２５  駆動装置
２５１  レール
２５３  駆動ユニット    
２６  連結ユニット
２７１  検査区域      
２９  第３搬送ユニット
【図１】
2011119636.tif 000003
【図２】
2011119636.tif 000004
【図３】
2011119636.tif 000005
【図４Ａ】
2011119636.tif 000006
【図４Ｂ】
2011119636.tif 000007
【図４Ｃ】
2011119636.tif 000008
【図４Ｄ】
2011119636.tif 000009
【図４Ｅ】
2011119636.tif 000010
【図４Ｆ】
2011119636.tif 000011