(57)【要約】【課題】ピット密度の向上とピット長の均一化により、アルミニウム箔の静電容量を向上させ、高電圧に適した中高圧用アルミニウム陽極箔を提供することを目的とするものである。【解決手段】圧延痕を有するアルミニウム原箔１を連続的に走行させ、酸化物粒子と水を混合した溶液を前記アルミニウム原箔１の走行方向と逆方向からアルミニウム原箔に吹き付けて前記アルミニウム原箔１の圧延痕１ａを取り除き、かつ前記アルミニウム原箔１の表面に多数の窪みを形成して表面積を拡大するようにした中高圧用アルミニウム箔の製造方法とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧延痕を有するアルミニウム原箔を連続的に走行させ、酸化物粒子と水を混合した溶液を前記アルミニウム原箔の走行方向と逆方向からアルミニウム原箔に吹き付けて前記アルミニウム原箔の圧延痕を取り除き、かつ前記アルミニウム原箔の表面に多数の窪みを形成して表面積を拡大するようにしたことを特徴とする中高圧用アルミニウム箔の製造方法。
【請求項２】
前記酸化物粒子は、鋭角を有する略多角状の粒子で、アルミニウム原箔の表面に対して斜めに吹き付けるようにした請求項１に記載の中高圧用アルミニウム箔の製造方法。
【請求項３】
前記窪みは、先端が鋭角を有する多角錐の窪みを多数形成させるようにした請求項２に記載の中高圧用アルミニウム箔の製造方法。
【請求項４】
前記窪みは、原箔表面から深さ１５μｍまでに形成されるようにした請求項３に記載の中高圧用アルミニウム箔の製造方法。
【請求項５】
前記酸化物粒子と水を混合した溶液の吹き付けは、アルミニウム原箔を走行させる走行ローラと接する所に吹き付けるようにした請求項１または２に記載の中高圧用アルミニウム箔の製造方法。
【請求項６】
前記アルミニウム原箔を走行させる途中に、アルミニウム原箔に張力が加わるようにテンションローラを配設するようにした請求項５に記載の中高圧用アルミニウム箔の製造方法。
【請求項７】
前記酸化物粒子と水を混合した溶液の吹き付けノズルは、走行ローラの垂直中心線よりも走行の川上側に配置して、真下に吹き付けるようにした請求項６に記載の中高圧用アルミニウム箔の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はアルミ電解コンデンサに用いられる陽極箔に関するもので、特に２００Ｖ以上の中高圧用アルミ電解コンデンサの陽極箔に用いられるアルミニウム箔に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器の小型化、高信頼性化に伴い、アルミ電解コンデンサに対するユーザーからのニーズも小型化が強く要望されている。そのため、アルミ電解コンデンサに用いられる電極箔も従来以上に単位面積当たりの静電容量を高める必要が生じている。
【０００３】
一般的なアルミ電解コンデンサは、アルミニウム箔をエッチング処理によって実効表面積を拡大させ、その表面に陽極酸化により誘電体酸化皮膜を形成した陽極箔と、アルミニウム箔をエッチング処理によって実効表面積を拡大させた陰極箔と、前記陽極箔と陰極箔をセパレータを介して巻回することによりコンデンサ素子を形成し、このコンデンサ素子に駆動用電解液を含浸させるとともに、このコンデンサ素子を金属ケ−ス内に封止することにより構成されている。
【０００４】
前記アルミ電解コンデンサにおいて、その静電容量を高める或いは小型化を図るには、陽極箔の実効表面積を拡大し単位面積当たりの静電容量を高めることが必要不可欠になっており、陽極箔の実効表面積を拡大させるエッチング技術と化成処理技術の開発が盛んに行われている。
【０００５】
一般的に陽極箔に用いられるアルミニウム箔のエッチング処理方法は、硫酸、硝酸、燐酸、蓚酸などの皮膜を形成する酸を添加した塩酸水溶液中で化学的あるいは電気化学的に行われている。特に中高圧用アルミニウム箔のエッチング処理方法は、基本的にはトンネル状のピット（以下、単にピットと称す）を生成させる前段エッチング工程と、このピットをアルミ電解コンデンサの使用電圧に適した径まで拡大する後段エッチング工程とからなる方法で、いかに数多くのピットを生成させて、そのピットを効率よく拡大させるかが重要なポイントとなっている。
【０００６】
前記中高圧用アルミニウム箔のエッチング処理方法において、ピットを効率よく生成させる技術として、アルミニウム箔の表面改質技術とエッチング処理技術に大別される。
【０００７】
前記アルミニウム箔の表面改質技術として、アルミニウム箔のミラー指数（１００）面結晶占有率を８０％以上とすることは一般的に知られている。
【０００８】
また、特許文献１には、電解コンデンサのアルミニウム箔において、Ｐｂ、Ｉｎ、Ｓｎの１種または２種以上が、表面から深さ０．１μｍまでの表層部に合計で１００〜５０００ｐｐｍ存在するとともに、前記表層部を除く内部に合計で１〜５ｐｐｍ含有されてなるアルミニウム箔を用いることにより、表面溶解を抑えつつエッチングをアルミニウム箔の内部まで進行させることができ、多数のエッチングピットを効果的に形成することができ、その結果、拡面率が増大し、ひいては静電容量の増大化を図ることができるとされている。
【０００９】
また、特許文献２には、アルミニウム箔上に蒸着等によりカーボンを均一に付与した後、エネルギーを与えてアルミニウムとカーボンを反応させ、Ａｌ4Ｃ3粒子を形成させることにより、導入したＡｌ4Ｃ3が初期ピットの開始点とし、その開始点がエッチング中に欠落することがなく、エッチングピットを適当数均一に分散分布させ得ることから、静電容量の高い電解コンデンサを得ることができるとされている。
【００１０】
また、特許文献３には、アルミニウム箔の表面上に、複数のクレーター状の窪みを有し、かつその表面にＣｕ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｍｎ、Ｍｇ、Ｚｎ、Ｐｂ、Ｂｉ、Ｉｎ、Ｓｎ及びＳｂからなる群から選択される少なくとも１種の金属層を形成し、前記複数のクレーター状の窪みは、開口部の大きさの平均が０．０５μｍ〜５μｍの範囲内であるアルミニウム箔とすることにより、エッチング処理した場合に高い静電容量を発揮することができるとされている。
【００１１】
なお、本発明において、アルミニウム材を圧延した箔状のものをアルミニウム原箔とし、このアルミニウム原箔に酸化物粒子を衝突させたものをアルミニウム箔とし、このアルミニウム箔をエッチング処理して実効表面積を拡大されたものをエッチング箔とし、そのエッチング箔に化成処理されたものを化成箔とする。この化成箔をアルミ電解コンデンサに使用されるものを陽極箔とし、陽極箔と陰極箔を総称して電極箔とする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開平６−１２４８５５号公報
【特許文献２】特開２００３−２２９３３４号公報
【特許文献３】特開２００８−２３１５１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、前記アルミニウム箔の表面改質技術において、Ｐｂ、Ａｌ4Ｃ3等を付着させたものは、思いのほか静電容量が高くならない。これは、ＰｂやＡｌ4Ｃ3等が付着したところからピットが発生するが、アルミニウム箔表面にはアルミニウム材を圧延したときに生じた圧延傷の凹凸が残存し、その凹凸部分からもピットが発生してしまい、ピットの食い潰しがあるからである。
【００１４】
また、Ｐｂ等は表面近傍（特に圧延痕）に濃縮して存在し、濃縮したＰｂの位置からピットが発生し易いため、狭い範囲でピットが重複して発生してしまい、ピットの食い潰しが生じる。
【００１５】
一方、アルミニウム箔の表面に複数のクレーター状の窪みを形成したものは、クレーターの形成が、陽極酸化処理して多孔質酸化皮膜を形成し、その多孔質酸化皮膜を除去することにより形成され、このアルミニウム箔に蒸着等により金属層を形成することから、工程が煩雑でコストアップとなり、実用的でない。
【００１６】
本発明は前記従来の課題を解決するもので、エッチング処理によるピット密度及びピット分散性の向上に適した中高圧用アルミニウム箔を提供し、このアルミニウム箔をエッチング処理により静電容量の高いアルミ電解コンデンサの陽極箔を得ることを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
前記目的を達成するために本発明は、圧延痕を有するアルミニウム原箔を連続的に走行させ、酸化物粒子と水を混合した溶液を前記アルミニウム原箔の走行方向と逆方向からアルミニウム原箔に吹き付けて前記アルミニウム原箔の圧延痕を取り除き、かつ前記アルミニウム原箔の表面に多数の窪みを形成して表面積を拡大するようにしたことを特徴とする中高圧用アルミニウム箔の製造方法である。
【００１８】
前記酸化物粒子は、鋭角を有する略多角状の粒子であり、アルミニウム原箔の表面に対して斜めに吹き付けるようにする。
【００１９】
前記酸化物粒子と水を混合した溶液の吹き付けは、アルミニウム原箔を走行させる走行ローラと接する所に吹き付けるようにする。
【００２０】
また、前記アルミニウム原箔を走行させる途中に、原箔に張力が掛かるようにテンションローラを配設し、さらに、前記酸化物粒子と水を混合した溶液の吹き付けノズルは、走行ローラの垂直中心線よりも走行の川上側に配置して、真下に吹き付けるようにした製造方法である。
【発明の効果】
【００２１】
本発明は、圧延痕を有するアルミニウム原箔を連続的に走行させ、酸化物粒子と水を混合した溶液を前記アルミニウム原箔の走行方向と逆方向からアルミニウム原箔に吹き付けることにより、アルミニウム原箔の走行速度に対して酸化物粒子の衝突衝撃が大きくなり、アルミニウム原箔の圧延痕を効率的に取り除くことができる。
【００２２】
また、酸化物粒子を斜めから吹き付けることにより、酸化物粒子がアルミニウム原箔にめり込むことがなく、酸化物粒子の一部がアルミニウム原箔の表面に衝突してアルミニウム原箔の表面の圧延痕を取り除くとともに、アルミニウム原箔の表面層に深さ１０μｍまでの先端が鋭角を有する多角錐の窪みを多数形成することができる。
【００２３】
また、酸化物粒子と水を混合した溶液を吹き付けるので、衝突後の酸化物粒子を速やかにアルミニウム原箔の表面から除去することができ、酸化物粒子が飛散して他の吹き付け場所に与える影響が少なく、アルミニウム原箔の表面に多数の均一な略多角錐の窪みを形成して表面積を拡大したアルミニウム箔を得ることができる。
【００２４】
そして、その後の直流エッチング処理により、前記多数の窪みを起点としてピットが発生し、かつ発生するピットの分散性が均一で、食い潰しがなく、効率的にエッチングを行うことが可能となり、静電容量を高くすることができる。
【００２５】
前記酸化物粒子は、鋭角を有する略多角状の粒子であり、アルミニウム原箔の表面に対して斜めに吹き付けることにより、酸化物粒子がアルミニウム原箔にめり込むことがなく酸化物粒子の先端部だけが衝突して、アルミニウム原箔の表面に先端が鋭角を有する多角錐の窪みを多数形成させることができる。
【００２６】
その多角錐の窪みは、アルミニウム原箔の表面から深さ１０μｍまでに形成される。その結果、その後の直流エッチング処理によるピットの分散性が向上し、均一にピットを形成することができる。
【００２７】
また、前記酸化物粒子と水を混合した溶液の吹き付けは、アルミニウム原箔を走行させる走行ローラと接する所にする、また、前記アルミニウム原箔を走行させる途中に、アルミニウム原箔に張力が加わるようにテンションローラを配設し、アルミニウム原箔が走行ローラを走行している場所に酸化物粒子と水を混合した溶液を吹き付けることにより、アルミニウム原箔に張力が加わるので、アルミニウム原箔のうねり及びしわを抑制し、吹き付け効率を向上させることができる。
【００２８】
また、前記酸化物粒子と水を混合した溶液の吹き付けノズルは、走行ローラの垂直中心線よりも走行の川上側に配置して、真下に吹き付けるようにすることにより、先端が鋭角を有する多角錐の窪みが多数形成させることができ、アルミニウム原箔の表面から深さ１０μｍまでに形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の実施の形態１におけるアルミニウム原箔に酸化物粒子と水を混合した溶液を噴射する様子を表した概念図
【図２】同実施の形態１における具体的なアルミニウム原箔の走行を表した断面図
【図３】同実施の形態１によるアルミニウム箔の表面ＳＥＭ写真
【図４】同実施の形態１によるアルミニウム箔の直流エッチング処理の装置を表す断面図
【図５】同実施の形態２によるアルミニウム原箔の走行を表した断面図
【発明を実施するための形態】
【００３０】
本発明は、アルミニウム原箔の圧延油と圧延傷を同時に取り除くとともに、アルミニウム原箔の表面に多数の窪みを形成して表面積を拡大することにより、食い潰しなく（ピットの重複形成がなく）効率的に直流エッチング処理を行うことが可能となり、静電容量を高くする製造方法であり、前記アルミニウム原箔の圧延痕を取り除き、表面積を拡大させるには、酸化物粒子を衝突させることにより達成できる。
【００３１】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。
【００３２】
（実施の形態１）
図１は本実施の形態１によるアルミニウム原箔に酸化物粒子と水を混合した溶液を噴射する様子を表した概念図である。図１において、１はアルミニウム原箔であり、このアルミニウム原箔１はアルミニウム材を圧延して熱処理によりミラー指数（１００）面結晶占有率が８０％以上のもので、一般に中高圧用アルミニウム箔に用いられており、圧延痕１ａと圧延油（図示せず）が存在する。
【００３３】
前記アルミニウム原箔１の圧延痕１ａを取り除くために、アルミニウム原箔１の幅方向に噴射孔を複数有するノズル２から酸化物粒子と水とを混合した溶液をアルミニウム原箔の走行方向（矢印Ａ）に対して逆方向から吹き付けることにより、圧延痕１ａを取り除くことができる。
【００３４】
前記酸化物粒子は、鋭角を有する略多角状の粒子を用い、アルミニウム原箔の表面に対して斜めに吹き付けることにより、酸化物粒子がアルミニウム原箔にめり込むことがなく、酸化物粒子の先端部がアルミニウム原箔の表面に衝突してアルミニウム原箔の表面の圧延痕を取り除くとともに、アルミニウム原箔の表面層に深さ１０μｍまでの先端が鋭角を有する多角錐の窪みが多数形成される。
【００３５】
アルミニウム原箔１に逆方向から斜めに吹き付けることは、ノズル２がアルミニウム原箔１の表面に対して角度（Ｒ）を有することで、ノズル２の角度（Ｒ）は、アルミニウム原箔１の表面に対して４５度以上９０度未満が好ましい。角度（Ｒ）が４５度未満ではアルミニウム原箔１に対する酸化物粒子の衝撃が弱くなり、圧延痕１ａを効率的に取り除くことができない。また、角度（Ｒ）が９０度以上になると、アルミニウム原箔１の走行方向と同じ方向から吹き付けるようになるので、酸化物粒子がアルミニウム原箔１の表面を追うようになるので圧延痕１ａの除去にむらが生じ、その後の直流エッチング処理によるピットの発生が不均一になり好ましくない。
【００３６】
前記ノズル２から吹き付けられる酸化物粒子はある程度の幅に広がるので、アルミニウム原箔１からノズル２までの距離（Ｌ）は、吹き付けの酸化物粒子が全体の７０％をアルミニウム原箔１の走行方向に対して逆方向になるような距離に調整する。
【００３７】
より具体的には図２を用いて説明する。図２において、４はアルミニウム原箔１の巻き出し部であり、アルミニウム原箔１は巻き出し部４から走行ローラ３を通過して巻き取り部５で巻き取られる。また、巻き出し部４と巻き取り部５の間にアルミニウム原箔１を走行させる走行ローラ３が配置されている。この走行ローラ３はアルミニウム原箔１の表裏面にそれぞれ配置され、アルミニウム原箔１に張力が加わるようにそれぞれの走行ローラの取り付け位置を決定する。
【００３８】
そして、アルミニウム原箔１が走行ローラ３と接する所に、酸化物粒子と水を混合した溶液をノズル２から噴射する。このとき、ノズル２からの吹き付けはアルミニウム原箔１の走行方向（矢印Ａ）と逆方向から吹き付ける。
【００３９】
前記酸化物粒子と水を混合した溶液の吹き付けを、アルミニウム原箔を走行させる走行ローラと接する所にすることにより、アルミニウム原箔１のうねり及びしわを抑制し、吹き付け効率を向上させることができる。
【００４０】
前記ノズル２の角度（Ｒ）は、アルミニウム原箔１の走行速度に対応して調整する。走行速度が遅い場合には、角度（Ｒ）を９０度により近づけてもかまわないが、走行速度が速い場合には、角度（Ｒ）を４５度に近づけた方が好ましい。また、酸化物粒子と水との混合比、吹き付ける圧力、吹き付け距離Ｌは、走行速度に対応して適宜設定する。
【００４１】
前記酸化物粒子は、平均粒径が５〜１５μｍの範囲のものを使用する。前記酸化物粒子は、鋭い角と適度の靭性を有する略多角状の粒子のものを用い、高圧力で吹き付けることにより、圧延油と圧延傷が取り除かれ、アルミニウム箔表面に少なくとも先端が鋭角を有する多角錐の窪みを多数形成することができる。
【００４２】
本実施の形態１における中高圧用アルミニウム箔の表面ＳＥＭ写真を図３に示す。図３において、６は鋭角を有する多角錐の窪みである。この鋭角を有する多角錐の窪み６は、大きさが長さ０．５〜１５μｍ、深さ１５μｍ以下のものが５００〜２０００個／ｍｍ2存在するのが好ましい。この範囲にすることにより、静電容量を高くすることができる。
【００４３】
前記アルミニウム原箔１は、通常は何ら物理的な処理を行っておらず、静電容量を測定するとＥＩＡＪ検査で約３．６μＦ／ｃｍ2である。
【００４４】
このアルミニウム原箔１を酸化物粒子と水を混合した溶液を吹き付けて表面積が拡大されたアルミニウム箔の静電容量は高くなる。アルミニウム箔の静電容量が、アルミニウム原箔の静電容量の１．１９倍以上（アルミニウム箔の静電容量として４．２８μＦ／ｃｍ2以上）とすることにより、その後の直流エッチング処理後の静電容量を高くすることができる。
【００４５】
なお、静電容量はＥＩＡＪ規格（ＲＣ−２３６４Ａ）のアルミニウム電解コンデンサ用電極はくの試験方法における、中高圧用陽極化成はくの静電容量試験方法に準拠して測定した。
【００４６】
このように、圧延痕１ａを有するアルミニウム原箔１を連続的に走行させて、酸化物粒子と水を混合した溶液を前記アルミニウム原箔１の走行方向とは逆方向からアルミニウム原箔１に吹き付けることにより、アルミニウム原箔１の走行速度に対して酸化物粒子の衝突衝撃が大きくなり、アルミニウム原箔１の圧延痕を効率的に取り除くことができ、かつアルミニウム原箔１の不純物の濃縮が緩和される。
【００４７】
さらに、酸化物粒子と水を混合した溶液を吹き付けるので、酸化物粒子が飛散して他の吹き付け場所に与える影響が少ないので、アルミニウム原箔１の表面に多数の先端が鋭角を有する多角錐の窪みをアルミニウム原箔１の表面から深さ１５μｍまでに形成させて表面積を拡大した中高圧用アルミニウム箔を得ることができる。
【００４８】
また、アルミニウム原箔１に張力が加わるので、アルミニウム原箔１のうねり及びしわを抑制し、吹き付け効率をさらに向上させることができる。
【００４９】
そして、その後の直流エッチング処理により、前記多数の先端が鋭角を有する多角錐の窪みよりピットが発生し、ピットの重複形成が緩和されて分散性が向上して、ピットの食い潰しがなく、効率的に直流エッチングを行うことが可能となり、結果としてアルミニウム陽極箔の静電容量を向上させることができる。
【００５０】
なお、アルミニウム原箔１の表面から１５μｍを超える深さの窪みを形成しても、深い位置からのピットの発生は却って困難になっていき、分散性向上の効果が小さくなるので好ましくない。
【００５１】
なお、酸化物粒子を衝突させることによりアルミニウム原箔１の圧延痕を取り除くことができるが、この圧延痕が目視的に薄く見える場合もあるが、エッチング処理のピット発生には影響はない。
【００５２】
前記直流エッチング処理は、図４に示すように前処理１６、前段エッチング１７、後段エッチング１８とからなり、複数のローラを介して連続的にエッチング処理を行う。
【００５３】
ここで、直流エッチング処理を行う最初のローラの直径を３０ｍｍ以上とするということは、前処理１６の最初のローラ１１を表す。なお、中高圧用アルミニウム箔１０を連続的に走行させる複数のローラは、全て直径３０ｍｍ以上が好ましいが、少なくとも直流エッチング処理の各槽に走行させる最初のローラは直径３０ｍｍ以上のローラを使用するのが好ましい。すなわち、前段エッチング１７の最初のローラであるローラ１４、後段エッチング１８の最初のローラであるローラ１５は直径３０ｍｍ以上のものを用いる。
【００５４】
前記直流エッチング処理は、複数のローラを介して連続的にエッチング処理を行うが、曲率の小さいローラを使用すると、酸化物粒子を吹き付けることにより生成させた窪みが、変形してピットの分散性の効果が小さくなるため、最初のローラは直径３０ｍｍ以上のローラを使用することにより、アルミニウム原箔に形成した窪みと窪みの間に発生するクラックを最小限度に抑制することができことから、ピットの分散性を一層高めることができる。
【００５５】
なお、図４では、酸化物粒子を吹き付けた中高圧用アルミニウム箔１０を巻き取ったものを配置しているが、アルミニウム原箔に酸化物粒子を吹き付ける工程と直流エッチング工程とを連続した工程で行うこともできる。
【００５６】
前記前段エッチングする前に、酸性の溶液で前処理１６を行うことにより、水と酸化物粒子を衝突させる過程で生成する微少な酸化皮膜を除去し、残存した少量の圧延痕を溶解するので、ピットの分散性の効果を一層高めることができる。
【００５７】
以下、本実施の形態１による具体的な実施例について説明する。
【００５８】
（実施例１）
アルミニウム原箔として、昭和電工（株）製のアルミニウム電解コンデンサ用陽極箔（高圧用）（品名ＣＨ９９（厚み１１５μｍ））を用いた。
【００５９】
アルミニウム原箔を図２に示す装置を用いて、走行速度５．２ｍ／分で走行させて、ノズルの角度をＲ＝４５、６０、７５、９０、１０５度の５水準で前記酸化物粒子を衝突させた。また、それぞれの角度においてアルミニウム原箔の走行速度を２．８、５．２、７．２ｍ／分の３水準で前記酸化物粒子を衝突させた。
【００６０】
なお、前記酸化物粒子は（株）不二製作所製のセラミック系研磨材（品名ホワイトアランダム  サイズ＃２０００）を用い、酸化物粒子と水の混合（１４／８６）したものを衝突させた。なお、吹き付ける圧力を０．１ＭＰａ、アルミニウム原箔と吹き付け口との距離を２０ｍｍとした。
【００６１】
前記それぞれの中高圧用アルミニウム箔を図４に示す装置で、ローラ１１の直径３０ｍｍを用いて直流エッチング処理を行った。
【００６２】
（実施例２）
ノズルの角度をＲ＝６０度、アルミニウム原箔の走行速度＝５．２ｍ／分、酸化物粒子と水の混合（１４／８６）したものを衝突させた。なお、吹き付ける圧力を０．１ＭＰａ、アルミニウム原箔と吹き付け口との距離を２０ｍｍで、アルミニウム原箔に酸化物粒子を衝突させたアルミニウム箔を作成して、図４に示す装置を用いて１０、１５、２０、３０、４０、９０、１１０、１３０、２５０ｍｍの直径のローラ１１を介してアルミニウム箔を走行させた後に直流エッチング処理を行った。
【００６３】
（比較例１）
前記実施例１で用いたアルミニウム原箔を直接直流エッチング処理したものを比較例とした。
【００６４】
前記実施例１、２及び比較例の直流エッチング処理は次のように行った。
【００６５】
まず、８０℃の塩酸３０ｇ／ｌの水溶液中で９０秒間浸漬させて前処理を行った。
【００６６】
次に、前段エッチングは、エッチング液として塩酸３０ｇ／ｌ、硫酸３００ｇ／ｌ、リン酸０．５ｇ／ｌ、アルミニウム１２ｇ／ｌの水溶液（液温度７５℃）を用い、このエッチング液中で対向する陰極板を配置させ、中高圧用アルミニウム箔を直流エッチング処理して水洗を行った。なお、直流エッチング処理の条件は、電流密度１．０Ａ／ｃｍ2で３０秒間印加した。
【００６７】
続いて、後段エッチングは、５％硝酸溶液に０．５％硼酸を添加した７０℃のエッチング液で電流密度を０．１Ａ／ｃｍ2にして直流エッチング処理を行い、その後水洗をして、最後に脱Ｃｌ処理してエッチング箔を作製した。
【００６８】
続いて、前記エッチング箔を通常用いられている化成処理（５００Ｖ）により、化成箔を得た。
【００６９】
前記実施例１及び比較例１の化成箔について静電容量と折曲げ強度（φ１．０ｍｍ、２５０ｇ荷重、折曲げ角度９０度の条件下で１往復を１回とする）を測定した。その結果を（表１）に示す。
【００７０】
【表１】
2011161609.tif 000003
【００７１】
（表１）から明らかなように、ノズルの角度がＲ＝４５〜８５度の範囲では、エッチング箔の静電容量を向上させることができた。なお、アルミニウム原箔の進行方向とは逆の方向から、すなわちＲ＜９０度で酸化物粒子を衝突させる方がより静電容量を高めることができた。
【００７２】
また、走行速度は２．８ｍ／分以上が好ましいが、７．２ｍ／分以上に上げた場合には、静電容量向上の効果を更に高めることができないが、生産性を高めることができる。
【００７３】
【表２】
2011161609.tif 000004
【００７４】
また、（表２）から明らかなように、アルミニウム箔を直流エッチング処理の中を走行させるローラ径が１０ｍｍ以上において静電容量を高めることができる。ローラ径が２００ｍｍ以上でもかまわないが、２５０ｍｍ以上にした場合には容量アップ効果に変化はない。ローラ径が３０ｍｍより小さいと、容量アップ効果はあるが、走行中にシワ、蛇行、陰極板とのショート等の別の課題が発生する。また、ローラ径が大きいと、エッチング設備が大きくなり、設備コストが高くなる。従って、工業的には３０ｍｍ〜２５０ｍｍが好ましい。
【００７５】
（実施の形態２）
前記実施の形態１において、アルミニウム原箔１を巻き出し部４から走行ローラ３を通過して巻き取り部５で巻き取られる際、図５に示すように走行ローラ３の前後にテンションローラ７を配置して、アルミニウム原箔１に張力を加えることにより、アルミニウム原箔に張力が加わるので、アルミニウム原箔のうねり及びしわを抑制し、吹き付け効率を向上させることができ、生産効率を高めることができる。
【００７６】
図５において、ノズル２は走行ローラ３の垂直中心線よりも川上側に配置し、ノズル２の吹き出し部を真下に向け、かつアルミニウム原箔１が走行ローラ３と接する所に吹き付けるようにしてある。
【００７７】
このような配置にすることにより、ノズル２の角度の調整が不要になり、アルミニウム原箔１の走行速度とテンションローラ７の取り付け位置をコントロールするだけで最適な吹き付け条件を容易に設定することができる。
【００７８】
本実施の形態２における中高圧アルミニウム箔を作製したものは、前記実施の形態１の実施例１と同等の特性を有することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７９】
本発明は、ピット密度の向上、ピット分散性の向上に適した中高圧用アルミニウム箔を提供し、中高電圧用の電極箔の静電容量を向上させ、さらに電極箔の機械的強度の高いアルミ電解コンデンサ用電極箔を製造することにより、その電極箔を用いたアルミ電解コンデンサの定格容量・電圧を高めることができ、電子機器の小型化、高信頼性化、高電圧化を図ることができる。
【符号の説明】
【００８０】
１  アルミニウム原箔
１ａ  圧延痕
２  ノズル
３  走行ローラ
４  巻き出し部
５  巻き取り部
【図１】
2011161609.tif 000005
【図２】
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【図４】
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【図５】
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【図３】
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