(57)【要約】【課題】照明光学系のミラーに直接触れることなくミラーが交換可能なミラー着脱装置を提供する。【解決手段】平面ミラー４に取り付けられた複数の支持部６を支持機構７を介して筐体９に固定し、支持機構７によりそのミラー曲率を調整するミラー曲率調整機構５の平面ミラー４を着脱するミラー着脱装置１であって、平面ミラー４の表面部を覆う表部材２と、平面ミラー４の裏面部を覆う裏部材３とで形成され、表面部材２及び裏部材３により平面ミラー４を覆った状態で支持機構７に対して着脱可能に形成されている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面ミラーに取り付けられた複数の支持部を支持機構を介して筐体に固定し、前記支持機構によりそのミラー曲率を調整するミラー曲率調整機構の前記平面ミラーを着脱するミラー着脱装置であって、
前記平面ミラーの表面部を覆う表部材と、
前記平面ミラーの裏面部を覆う裏部材とで形成され、
前記表面部材及び裏部材により前記平面ミラーを覆った状態で前記支持機構に対して着脱可能に形成したことを特徴とするミラー着脱装置。
【請求項２】
前記裏部材が２つ以上に分割され、前記支持機構の間隔より分割された前記裏部材の幅が小さいことを特徴とする請求項１記載のミラー着脱装置。
【請求項３】
前記表部材及び前記裏部材の前記平面ミラーと対応する周面に、弾性を有する固定部材が設けられていることを特徴とする請求項１または２記載のミラー着脱装置。
【請求項４】
前記表部材側の前記固定部材及び前記裏部材側の前記固定部材の何れか一方の断面が略Ｌ字状で、他方の断面が矩形状であることを特徴とする請求項３に記載のミラー着脱装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶露光装置用の照明光学系のミラーの着脱を行うミラー着脱装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の液晶露光装置用の照明光学系としては、鏡自体のひずみ曲収差の補正や、マスクの伸縮やワークのうねりに対応するため、コリメーションミラー（凹面鏡）や平面鏡のような反射鏡の曲率を手動（送りねじ等）又は自動（圧電素子等）で局部的に変化させる機構が提案されている（例えば特許文献１参照）。また、コリメーションミラーのミラー裏面の中央部分を固定支持すると共に、各辺部分をブラケットにより移動自在に支持し、アライメント用カメラを用いてアライメントマークを観測し、該ブラケットをモータによって雄ねじを介して変位させることで、コリメーションミラーを変位させ、デクリネーション角を露光のたびに変化さるものも知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−３０４９４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記のように使用される照明光学系のミラーは、厚さ１５〜２５ｍｍのガラス上面にアルミを蒸着し、さらにその上面に汚れ防止の為にＳｉｏ皮膜をスパッタ処理により蒸着させたものである。このミラーの曲率を変えるために、過剰な曲げ応力が作用した場合にはミラー自体がひび割れてしまう場合があり、その場合にはミラー交換が必要となる。また、ミラー表面が汚れた場合に、多少の汚れであれば拭取ることも可能であるが、汚れが酷い場合にはミラー毎交換する必要がある。これらのように発生するミラー交換を、ミラーに直接触れながら行うと、汚れや傷の原因ともなりうるし、ひびや割れの原因ともなる。また、ミラーの取り付けられている筐体ごと取り外して交換することも考えられるが、かなり大掛かりな作業となる。
【０００５】
本発明は、前述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、照明光学系のミラーに直接触れることなくミラーが交換可能なミラー着脱装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の上記目的は、下記構成により達成される。
（１）  平面ミラーに取り付けられた複数の支持部を支持機構を介して筐体に固定し、前記支持機構によりそのミラー曲率を調整するミラー曲率調整機構の前記平面ミラーを着脱するミラー着脱装置であって、
前記平面ミラーの表面部を覆う表部材と、
前記平面ミラーの裏面部を覆う裏部材とで形成され、
前記表面部材及び裏部材により前記平面ミラーを覆った状態で前記支持機構に対して着脱可能に形成したことを特徴とするミラー着脱装置。
（２）  前記裏部材が２つ以上に分割され、前記支持機構の間隔より分割された前記裏部材の幅が小さいことを特徴とする請求項１記載のミラー着脱装置。
（３）  前記表部材及び前記裏部材の前記平面ミラーと対応する周面に、弾性を有する固定部材が設けられていることを特徴とする請求項１または２記載のミラー着脱装置。
（４）  前記表部材側の前記固定部材及び前記裏部材側の前記固定部材の何れか一方の断面が略Ｌ字状で、他方の断面が矩形状であることを特徴とする請求項３に記載のミラー着脱装置。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のミラー着脱装置によれば、ミラーを直接触れることなくミラー交換が可能な為、ミラー交換時のミラーの汚れやひび割れを無くすことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の照明光学系を示す図である。
【図２】（Ａ）は本発明の平面ミラーを示す図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＣ−Ｃ断面を示す図である。
【図３】本発明の平面ミラー支持構造の支持機構を示す図である。
【図４】（Ａ）は本発明のミラー着脱装置を組み立てた状態での裏部材側から見た状態を示す図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＤ−Ｄ断面を示す図である。
【図５】（Ａ）は本発明のミラー着脱装置の表部材を示す図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＥ−Ｅ断面を示す図である。
【図６】（Ａ）は本発明のミラー着脱装置の裏部材を示す図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＦ−Ｆ断面を示す図である
【図７】本発明のミラー着脱装置毎筐体に取り付けた状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態に係るミラー着脱装置について図面を参照して詳細に説明する。
【００１０】
まず、図１に示すように、本実施形態に係るミラー着脱装置１が用いられる照明光学系４０は、紫外線照射用の光源である例えば高圧水銀ランプ４１と、この高圧水銀ランプ４１から照射された光を集光するリフレクタ４２と、光路ＥＬの向きを変えるための平面ミラー４３と、光路ＥＬを開閉制御する露光制御用シャッターユニット４４と、この露光制御用シャッターユニット４４の下流側に配置され、リフレクタ４２で集光された光を照射領域においてできるだけ均一な照度分布となるようにして出射するオプティカルインテグレータ４５と、高圧水銀ランプ４１からの光を平行光として照射するコリメーションミラー４６と、該平行光をマスクＭに向けて照射する平面ミラー４と、を備える。なお、オプティカルインテグレータ４５と露光面との間には、ＤＵＶカットフィルタ、偏光フィルタ、バンドパスフィルタが配置されてもよい（図示省略）。また、光源３１の高圧水銀ランプは、複数のランプを用いたマルチランプによって構成されてもよく、或いは、ＬＥＤによって構成されてもよい。
【００１１】
そして、露光時にその露光制御用シャッターユニット４４が開制御されると、高圧水銀ランプ４１から照射された光が、オプティカルインテグレータ４５、コリメーションミラー４６、平面ミラー４を介して、マスク支持機構に保持されるマスクＭ、ひいては基板（図示省略）の表面にパターン露光用の光として照射され、マスクＭの露光パターンが基板上に露光転写される。
【００１２】
図２示すように、平面ミラー４は、正面視矩形状に形成されたガラス素材からなる。その厚さは従来より薄い、３〜１５ｍｍのものが使用される。
そして、平面ミラー４の裏面の中央付近１箇所、及び周縁部８箇所には、支持部６が設けられている。この中央付近の支持部６は平面ミラー４の裏面に接着剤で固定され、周縁部の支持部６は平面ミラー４の表裏面を挟むようにして接着剤で固定されている。
この支持部６は、図３に示すように、複数の支持機構７により支持機構保持枠８に支持され、支持機構保持枠８は筐体９に支持され、筐体９は照明光学系の収められた箱体内部の上部に天吊りされている。
【００１３】
また、支持部６には、雌ねじ部が設けられており、支持機構７の先端に設けられた雄ねじ部と結合される。支持部６と支持機構７の結合長さを変えることにより、平面ミラー４の曲率を変化させるが、±０・５ｄｅｇ以上の屈曲を許容するように形成されている。このように、支持部６と支持機構７により、ミラー曲率調整機構５が構成される。
支持部６と支持機構７の結合長さの調整は、駆動手段であるモータ（図示省略）を取り付けて行うことも可能であるし、手動で行うことも可能である。
【００１４】
さらに、平面ミラー４の裏面には、複数の接触式センサが取り付けられている（図示省略）。この接触式センサによって平面ミラー４の変位量をセンシングしながら、支持機構保持枠８に設けられた各支持機構７のモータを駆動することにより、各支持機構７がその長さを変えて支持部６を直線的に移動させる。この移動により平面ミラー４は、その曲率を局部的に補正し、平面ミラー４のデクリネーション角を補正することにより、平面ミラー４自体のひずみ曲収差の補正や、マスクＭの伸縮やワークのうねり等に起因する焼付けパターンの歪に対応するができる。
【００１５】
図４に示すように、ミラー曲率調整機構５の平面ミラー４を着脱するミラー着脱装置１は、平面ミラー４のミラー面（反射面）である表面部を覆う表部材２と、平面ミラー４の裏面部を覆う裏部材３とで形成されている。
表部材２は、図５に示すように、平面ミラー４より大きく、中心部が開口する略正方形状の枠体２１とされている。各々の辺の略中間位置には補強部材２６が設けられている。
また、表部材２の平面ミラー４との当接面周囲には、平面ミラー４の位置決めを行う断面略Ｌ字状の固定部材２２、２３が設けられている。この固定部材２２，２３は弾性材が使用され、例えば樹脂材料であるＰＥＥＫやシリコン等が使用される。この固定部材２２、２３は、平面ミラー４の支持部６を避けるように設けられている。
さらに、表面部材２の固定部材２２、２３より外側面には、裏部材３に固定するためのボルト穴２５が設けられている。
【００１６】
裏部材３は、図６に示すように、２つに分割された本体３１で形成されている。この本体３１は、長方形状部３１ａに２つの羽部３１ｂを取り付けた形状とされている。そして、この本体３１の幅ａが支持機構７の間隔ｂより小さくなるように形成されている。こうすることで、支持機構７が取り付けられた状態でも、支持機構７の間から裏部材３１を取り出すことが可能となる。これは、裏部材３の本体３１を中心側にスライドさせ、ガラスに取り付けられた支持機構７を避けながら平面ミラー４と支持機構保持枠８間の上下左右から引き出すことにより行われる。
【００１７】
また、裏面部材３の平面ミラー４との当接面周囲には、断面矩形状の固定部材３２、３３が設けられている。この固定部材３２、３３は、表部材２の固定部材２２、２３と対応する位置に設けられており、この表面部材２の固定部材２２、２３に当接することにより平面ミラー４の位置決めが行われる。
固定部材３２、３３の材質等は、表部材２と同様とされる。
さらに、裏面部材３の固定部材３２、３３より外側面には表面部材２に固定する為のボルト穴３５が設けられている。
【００１８】
ミラー着脱装置１による平面ミラー４の着脱について説明する。
まず、表部材２上に平面ミラー４を載置する。この時に固定部材２２、２３により位置決めが行われる。又、弾性部材により形成されているため、ミラー面に傷が付くことは無い。
【００１９】
そして、裏部材３を表部材２に位置決めし、取り付けねじ１０により表部材２のボルト穴２５と裏部材３のボルト穴３５を螺合することにより表部材２と裏部材３を固定する。これにより平面ミラー４は表部材２の固定部材２２、３３と裏部材３の固定部材３２，３３に挟まれた状態でガタ無く固定される。
【００２０】
その後、図７に示すように、平面ミラー４の支持部６に設けられた雌ねじ部に、支持機構７の先端に設けられた雄ねじ部を螺着することにより、平面ミラー４が支持機構７に固定される。
【００２１】
この後、ミラー着脱装置１を取り外すが、取り付けねじ１０を外し、表部材２を外し、裏部材３をスライドさせて外すことにより取り外しが行われる。こうすることで、ミラー面に触れることなく、平面ミラー４の着脱が可能となる。
【００２２】
尚、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良等が可能である。
【００２３】
本発明のミラー着脱装置１は、図１で示す所のコリメーションミラー４６や平面ミラー４３等にも適用可能である。
【符号の説明】
【００２４】
１  ミラー着脱装置
２  表部材（第１部材）
３  裏部材（第２部材）
４  平面ミラー
５  ミラー曲率調整機構
６  支持部
７  支持機構
８  支持機構保持枠
９  筐体
１０  取り付けねじ
Ｍ  マスク
ＥＬ  光路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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