(57)【要約】【課題】薄板材料の吸着に際しての空気漏れをなくすとともに薄板材料の取り外しを容易にする。  【解決手段】重ね合わせた一方のプレート３及び他方のプレート２の各々が対向することで形成された吸気通路５３内の空気を吸気孔４３より吸引すると、薄板材料１０の外縁部１０ａが先端側に形成された吸引部５内の、案内部５１に案内されて、案内部５１に連続する吸着部５２に進入し、他方のプレート２の壁面２３１が薄板材料１０の外縁部１０ａに対向し、他方のプレート２の吸着面２２が薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１に当接し、他方のプレート２の通路面２４の終端にある第二段部（平面部）２６の縁部２６１を支点として、一方のプレート３が他方のプレート２側へ撓み、一方のプレート３の吸着面３２が薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１に当接することで薄板材料１０を吸着して保持する、薄板材料の吸着装置１を提供する。【選択図】図８
2011159736.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方のプレートと他方のプレートを重ね合わせることで薄板材料の外縁部を前記薄板材料の外縁部を吸着する、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側に形成された吸引部と、前記吸引部と連続し、重ね合わせた前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々が対向することで形成された吸気通路と、前記吸気通路内の空気を吸引する吸気孔と、を有する薄板材料の吸着装置において、
前記吸引部は、前記薄板材料の外縁部の進入を案内する、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側から前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって狭まる傾斜面が形成された案内部と、
前記案内部に連続して形成された、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側から前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって狭まる傾斜をした吸着面が形成された吸着部と、
前記他方のプレートの前記吸着面と連続し、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって、前記一方のプレート側に隆起した、前記吸気通路の通路面が形成された第一段部と、を備えることを特徴とする薄板材料の吸着装置。
【請求項２】
一方のプレートと他方のプレートを重ね合わせることで薄板材料の外縁部を前記薄板材料の外縁部を吸着する、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側に形成された吸引部と、前記吸引部と連続し、重ね合わせた前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々が対向することで形成された吸気通路と、前記吸気通路内の空気を吸引する吸気孔と、を有する薄板材料の吸着装置において、
前記吸引部は、前記薄板材料の外縁部の進入を案内する、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側から前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって狭まる傾斜面が形成された案内部と、
前記案内部に連続して形成された、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側から前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって狭まる傾斜をした吸着面が形成された吸着部と、
前記一方のプレートの前記吸着面と連続し、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって、前記他方のプレート側に隆起した、前記吸気通路の通路面が形成された段部と、を備えることを特徴とする薄板材料の吸着装置。
【請求項３】
一方のプレートと他方のプレートを重ね合わせることで薄板材料の外縁部を前記薄板材料の外縁部を吸着する、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側に形成された吸引部と、前記吸引部と連続し、重ね合わせた前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々が対向することで形成された吸気通路と、前記吸気通路内の空気を吸引する吸気孔と、を有する薄板材料の吸着装置において、
前記吸引部は、前記薄板材料の外縁部の進入を案内する、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側から前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって狭まる傾斜面が形成された案内部と、
前記案内部に連続して形成された、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側から前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって狭まる傾斜をした吸着面が形成された吸着部と、
前記他方のプレートの前記吸着面と連続し、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって、前記一方のプレート側に隆起した、前記吸気通路の通路面が形成された第一段部と、
前記一方のプレートの前記吸着面と連続し、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって、前記他方のプレート側に隆起した、前記吸気通路の通路面が形成された段部と、を備えることを特徴とする薄板材料の吸着装置。
【請求項４】
前記案内部を形成する前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々の前記傾斜面のなす角度と、前記吸着部を形成する前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々の前記吸着面のなす角度と、では、前記吸着部を形成する前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々の前記吸着面のなす角度が小さいことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の薄板材料の吸着装置。
【請求項５】
前記他方のプレート側へ撓む、前記一方のプレートの、前記他方のプレートと重ね合わされて前記吸気通路を形成する前記通路面では、第一凹部と第二凹部とからなる凹部が形成されており、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側の前記第一凹部に対応する前記一方のプレートの板厚より前記第一凹部に隣接する第二凹部に対応する前記一方のプレートの板厚が薄く形成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の薄板材料の吸着装置。
【請求項６】
前記吸気孔より前記吸気通路内の前記空気を吸引することで、前記吸着部内で前記薄板材料の外縁部が前記他方のプレートの前記第一段部に対向し、前記他方のプレートの前記吸着面が前記薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接し、前記他方のプレートの、前記一方のプレートと重ね合わされて前記吸気通路を形成する前記通路面の終端にある第二段部の縁部を支点として、前記一方のプレートの前記第二凹部が前記他方のプレート側へ撓み、前記一方のプレートの前記吸着面が前記薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接することで前記吸気通路と連続する前記吸着部で前記薄板材料の外縁部を吸着することを特徴とする請求項１、４又は５のいずれかに記載の薄板材料の吸着装置。
【請求項７】
前記吸気孔より前記吸気通路内の前記空気を吸引することで、前記吸着部内で前記薄板材料の外縁部が前記一方のプレートの前記段部に対向し、前記他方のプレートの前記吸着面が前記薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接し、前記他方のプレートの、前記一方のプレートと重ね合わされて前記吸気通路を形成する前記通路面の終端にある第二段部の縁部を支点として、前記一方のプレートの前記第二凹部が前記他方のプレート側へ撓み、前記一方のプレートの前記吸着面が前記薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接することで前記吸気通路と連続する前記吸着部で前記薄板材料の外縁部を吸着することを特徴とする請求項２、４又は５のいずれかに記載の薄板材料の吸着装置。
【請求項８】
前記吸気孔より前記吸気通路内の前記空気を吸引することで、前記吸着部内で前記薄板材料の外縁部が前記一方のプレートの前記段部及び前記他方のプレートの前記第一段部に対向し、前記他方のプレートの前記吸着面が前記薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接し、前記他方のプレートの、前記一方のプレートと重ね合わされて前記吸気通路を形成する前記通路面の終端にある第二段部の縁部を支点として、前記一方のプレートの前記第二凹部が前記他方のプレート側へ撓み、前記一方のプレートの前記吸着面が前記薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接することで前記吸気通路と連続する前記吸着部で前記薄板材料の外縁部を吸着することを特徴とする請求項３、４又は５のいずれかに記載の薄板材料の吸着装置。
【請求項９】
前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側の外径が前記薄板材料の外縁部の外径より小さい場合には、前記吸気孔より前記吸気通路内の前記空気を吸引することで、前記吸引部内における減圧部は、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側の中央から、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側の両端側に向かって狭まることを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の薄板材料の吸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ等の薄板材料の移送の際に薄板材料の外縁部を吸着して移送する薄板材料の吸着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図２７（ａ）では、従来の、薄板材料１１０（１１０Ａ、１１０Ｂ）を移送するための把持装置１０１の概略が示されている。図２７に示す把持装置１０１の動作としては、先ず、図示しない真空ポンプを駆動させ、ホース１０８および接続金具１０７を介して吸気口１０７ａから外部に空気が吸い出される。次に、薄板材料１１０Ａを装置に接近させると、吸気通路１０９内の空気が吸気口１０７ａを通じて外部に排気されているため、薄板材料１１０Ａの外縁部１１０ａが排気時の吸引力により把持装置１０１の、把持部１０２ａと把持部１０３ａとの間に吸い付けられる。このとき、図２７（ｂ）に示すように、薄板材料１１０Ａと把持部１０２ａ、１０３ａとの間には、外縁部１１０ａとテーパ面１０２ａ１、１０３ａ１とで囲まれる断面略Ｖ字形状の空間からなる負圧部（減圧部）１１１が形成される。同時に、幅方向の両側では薄板材料１１０の外縁部１１０ａの一部が、図示しないシール部材の当接部に押し付けられる。
【０００３】
よって、把持装置１０１の把持部１０２ａ、１０３ａは、薄板材料１１０Ａの外縁部１１０ａによって密閉された状態となるため、負圧部（減圧部）１１１内の気圧は吸気通路１０９内の気圧に近づき、しかも大気圧に比べて気圧の低い負圧状態（減圧状態）となる。このとき、吸気通路１０９と負圧部（減圧部）１１１に接する薄板材料１１０Ａの外縁部１１０ａには吸引力（吸着力）が発生する。この吸引力（吸着力）により、把持装置１０１の把持部１０２ａ、１０３ａにおいて薄板材料１１０Ａの外縁部１１０ａを真空吸着することができる。この際には、薄板材料１１０Ａの外縁部１１０ａのみが、把持部１０２ａ、１０３ａのテーパ面１０２ａ１、１０３ａ１に押し付けられる。よって、薄板材料１１０Ａの表面が把持装置１０１に当接することがなく、薄板材料１１０Ａの表面が傷付くことがない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１８４８４９（段落００２７から段落００３０、段落００３４  図２  図３）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この把持装置１０１で薄板材料１１０Ａが位置決めされるのは、薄板材料１１０Ａの外縁部１１０ａの特に両縁部分である。一般に、薄板材料１１０Ａの中には半導体ウエハ等の厚さの薄いものもあり、厚さの薄い薄板材料１１０Ａの場合には、テーパ面１０２ａ１、１０３ａ１と接触する薄板材料１１０Ａの外縁部１１０ａ（両縁部分）が吸気通路１０９側に入り込み過ぎ易くなる。つまり、図示しない真空ポンプによる空気の吸引により、薄板材料１１０Ａは、把持部１０２ａ、１０３ａのテーパ面１０２ａ１、１０３ａ１の吸気通路１０９に接近した位置に真空吸着されることになる。そして、例えば、薄板材料１１０Ａの外縁部１１０ａ側が吸気通路１０９内に入り込んでしまうような場合も生じる可能性もある。以上のような場合、薄板材料１１０Ａの外縁部１１０ａ側が吸気通路１０９を含んだ把持部１０２ａ、１０３ａの間に挟み込まれて機械的に挟持された状態になる。その結果、真空ポンプによる、大気圧に比べて気圧の低い負圧状態（減圧状態）にする駆動を停止して、真空ポンプによる、空気を導入する逆駆動を作動して薄板材料１１０Ａの真空吸着を解除しても把持装置１０１の把持部１０２ａ、１０３ａから薄板材料１１０Ａを容易に外すことが困難になる。
【０００６】
また、薄板材料１１０の外径寸法には許容差があり外径寸法が一定ではない。外径が正規寸法より大きい薄板材料１１０Ｂの場合には、図２７（ａ）に示すように、真空ポンプによる空気の吸引により、薄板材料１１０Ｂの外縁部１１０ａは把持部１０２、１０３の両側の端側（Ｖ点位置）に当接し、把持部１０２、１０３の中央側（Ｗ位置）では当接しないことになる。具体的には、Ｖ点位置では、薄板材料１１０Ｂの外縁部１１０ａは、図２８（ａ）に示すように、把持部１０２、１０３のテーパ面１０２ａ１、１０３ａ１に当接し、薄板材料１１０Ｂの外縁部１１０ａと把持部１０２、１０３のテーパ面１０２ａ１、１０３ａ１との間に隙間が形成されない。
【０００７】
これに対して、Ｖ点位置では、薄板材料１１０Ｂの外縁部１１０ａは、図２８（ｂ）に示すように、把持部１０２、１０３のテーパ面１０２ａ１、１０３ａ１に当接せず、薄板材料１１０Ｂの外縁部１１０ａと把持部１０２、１０３のテーパ面１０２ａ１、１０３ａ１との間に隙間が形成されることになる。そのため、薄板材料１１０Ｂの外縁部１１０ａと把持装置１００の把持部１０２ａ、１０３ａ（テーパ面１０２ａ１、１０３ａ１）との間の隙間から空気が漏れ、負圧部（減圧部）１１１が形成されない。その結果、把持装置１０１で薄板材料１１０Ｂを吸着することが難しくなり、また、この状態で吸着するとなると、吸引能力が優れた高容量の真空ポンプが必要になる。
【０００８】
本発明は、上記の事情に鑑みなされたものであり、薄板材料の取り外しを容易にし、薄板材料の吸着に際しての空気漏れをなくし、空気を吸引する真空ポンプの低容量化を可能にする薄板材料の吸着装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、一方のプレートと他方のプレートを重ね合わせることで薄板材料の外縁部を前記薄板材料の外縁部を吸着する、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側に形成された吸引部と、前記吸引部と連続し、重ね合わせた前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々が対向することで形成された吸気通路と、前記吸気通路内の空気を吸引する吸気孔と、を有する薄板材料の吸着装置において、前記吸引部は、前記薄板材料の外縁部の進入を案内する、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側から前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって狭まる傾斜面が形成された案内部と、前記案内部に連続して形成された、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側から前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって狭まる傾斜をした吸着面が形成された吸着部と、前記他方のプレートの前記吸着面と連続し、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって、前記一方のプレート側に隆起した、前記吸気通路の通路面が形成された第一段部と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
従って、請求項１に記載の発明によれば、一方のプレートと他方のプレートとを重ね合わせて、薄板材料の外縁部を前記薄板材料の板厚方向から吸着する吸引部と、一方のプレートと他方のプレートとが対向することで形成された隙間である吸気通路と、吸気通路内の空気を吸引する、一方のプレートと他方のプレートとを重ね合わせて載せた、吸気通路に通じる、基台の吸気孔と、を形成し、吸気孔からホース等の管を介して連結された真空ポンプにより、吸気通路内の空気を吸引し、吸引部へ薄板材料を進入させ、薄板材料の外縁部が案内部の傾斜面に案内されて吸着部内へ進入し、薄板材料の外縁部が他方のプレートの吸着面と連続する第一段部（壁面）と対向し、吸着部の傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の縁部に当接して吸着し、他方のプレートの吸着面と連続する第一段部と一方のプレートの通路面とで形成された吸気通路からの吸引により薄板材料の外縁部を吸着することで薄板材料を保持することが可能になる。
【００１１】
また、請求項２に記載の発明は、一方のプレートと他方のプレートを重ね合わせることで薄板材料の外縁部を前記薄板材料の外縁部を吸着する、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側に形成された吸引部と、前記吸引部と連続し、重ね合わせた前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々が対向することで形成された吸気通路と、前記吸気通路内の空気を吸引する吸気孔と、を有する薄板材料の吸着装置において、前記吸引部は、前記薄板材料の外縁部の進入を案内する、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側から前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって狭まる傾斜面が形成された案内部と、前記案内部に連続して形成された、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側から前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって狭まる傾斜をした吸着面が形成された吸着部と、前記一方のプレートの前記吸着面と連続し、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって、前記他方のプレート側に隆起した、前記吸気通路の通路面が形成された段部と、を備えることを特徴とする。
【００１２】
従って、請求項２に記載の発明によれば、一方のプレートと他方のプレートとを重ね合わせて、薄板材料の外縁部を前記薄板材料の板厚方向から吸着する吸引部と、一方のプレートと他方のプレートとが対向することで形成された隙間である吸気通路と、吸気通路内の空気を吸引する、一方のプレートと他方のプレートとを重ね合わせて載せた、吸気通路に通じる、基台の吸気孔と、を形成し、吸気孔からホース等の管を介して連結された真空ポンプにより、吸気通路内の空気を吸引し、吸引部へ薄板材料を進入させ、薄板材料の外縁部が案内部の傾斜面に案内されて吸着部内へ進入し、薄板材料の外縁部が一方のプレートの吸着面と連続する段部（壁面）と対向し、吸着部の傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の縁部に当接して吸着し、一方のプレートの吸着面と連続する段部と他方のプレートの通路面とで形成された吸気通路からの吸引により薄板材料の外縁部を吸着することで薄板材料を保持することが可能になる。
【００１３】
さらに、請求項３に記載の発明は、一方のプレートと他方のプレートを重ね合わせることで薄板材料の外縁部を前記薄板材料の外縁部を吸着する、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側に形成された吸引部と、前記吸引部と連続し、重ね合わせた前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々が対向することで形成された吸気通路と、前記吸気通路内の空気を吸引する吸気孔と、を有する薄板材料の吸着装置において、前記吸引部は、前記薄板材料の外縁部の進入を案内する、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側から前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって狭まる傾斜面が形成された案内部と、前記案内部に連続して形成された、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側から前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって狭まる傾斜をした吸着面が形成された吸着部と、前記他方のプレートの前記吸着面と連続し、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって、前記一方のプレート側に隆起した、前記吸気通路の通路面が形成された第一段部と、前記一方のプレートの前記吸着面と連続し、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって、前記他方のプレート側に隆起した、前記吸気通路の通路面が形成された段部と、を備えることを特徴とする。
【００１４】
従って、請求項３に記載の発明によれば、一方のプレートと他方のプレートとを重ね合わせて、薄板材料の外縁部を前記薄板材料の板厚方向から吸着する吸引部と、一方のプレートと他方のプレートとが対向することで形成された隙間である吸気通路と、吸気通路内の空気を吸引する、一方のプレートと他方のプレートとを重ね合わせて載せた、吸気通路に通じる、基台の吸気孔と、を形成し、吸気孔からホース等の管を介して連結された真空ポンプにより、吸気通路内の空気を吸引し、吸引部へ薄板材料を進入させ、薄板材料の外縁部が案内部の傾斜面に案内されて吸着部内へ進入し、薄板材料の外縁部が、一方のプレートの吸着面と連続する段部（壁面）と対向するとともに、他方のプレートの前記吸着面と連続する第一段部（壁面）と対向し、吸着部の傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の縁部に当接して吸着し、一方のプレートの吸着面と連続する段部と他方のプレートの前記吸着面と連続する第一段部とから形成された吸気通路からの吸引により薄板材料の外縁部を吸着することで薄板材料を保持することが可能になる。
【００１５】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の構成に加え、前記案内部を形成する前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々の前記傾斜面のなす角度と、前記吸着部を形成する前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々の前記吸着面のなす角度と、では、前記吸着部を形成する前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々の前記吸着面のなす角度が小さいことを特徴とする。
【００１６】
従って、請求項４に記載の発明によれば、案内部を形成する一方のプレート及び他方のプレートの各々の傾斜面のなす角度を大きくすることで、案内部に進入する、薄板材料を吸着部へ導き易くすることを可能し、吸着部を形成する一方のプレート及び他方のプレートの各々の吸着面が傾斜して角度を形成することで薄板材料の表裏面に接触することなく薄板材料の外縁部の縁部のみへの接触を可能する。
【００１７】
さらに、請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４のいずれかに記載の構成に加え、前記他方のプレート側へ撓む、前記一方のプレートの、前記他方のプレートと重ね合わされて前記吸気通路を形成する前記通路面では、第一凹部と第二凹部とからなる凹部が形成されており、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側の前記第一凹部に対応する前記一方のプレートの板厚より前記第一凹部に隣接する第二凹部に対応する前記一方のプレートの板厚が薄く形成されていることを特徴とする。
【００１８】
従って、請求項５に記載の発明によれば、一方のプレートの通路面には、第一凹部と第二凹部とからなる凹部が形成され、第一凹部と第二凹部とでは第二凹部の方が一方のプレートの通路面の板厚が薄く形成されており、吸気孔から吸気通路内の空気を吸引して、他方のプレートの支点の位置より一方のプレートが撓む際に、板厚の薄い第二凹部が撓むことで一方のプレートが撓むので一方のプレートの吸引部は撓みによる変形がない状態で薄板材料側（他方のプレート側）へ撓むことが可能になり、薄板材料の外縁部の縁部に一方のプレートの吸引部の吸着部（吸着面）が当接しても、当接した、薄板材料の外縁部の縁部と一方のプレートの吸引部の吸着部（吸着面）との間に隙間が形成され空気が漏れる（空気が外部から入り込む）ことを防止することが可能になる。
【００１９】
また、請求項６に記載の発明は、請求項１、４又は５のいずれかに記載の構成に加え、前記吸気孔より前記吸気通路内の前記空気を吸引することで、前記吸着部内で前記薄板材料の外縁部が前記他方のプレートの前記第一段部に対向し、前記他方のプレートの前記吸着面が前記薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接し、前記他方のプレートの、前記一方のプレートと重ね合わされて前記吸気通路を形成する前記通路面の終端にある第二段部の縁部を支点として、前記一方のプレートの前記第二凹部が前記他方のプレート側へ撓み、前記一方のプレートの前記吸着面が前記薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接することで前記吸気通路と連続する前記吸着部で前記薄板材料の外縁部を吸着することを特徴とする。
【００２０】
従って、請求項６に記載の発明によれば、吸気孔より吸気通路内の空気を吸引することにより、他方のプレートの第一段部は薄板材料の外縁部の厚み方向の長さよりも低く（短く）形成されているため、薄板材料が吸着部へ進入しても一方のプレートの通路面と他方のプレートの通路面との間に吸気通路を形成することが可能になり、吸気孔より吸気通路内の空気を吸引することで薄板材料の外縁部に吸引力を及ぼすことが可能になり、吸気孔よる吸気通路内の空気の吸引により、吸着部内で薄板材料の外縁部が他方のプレートの第一段部に対向し、他方のプレートの傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接して、他方のプレートの第二段部の縁部を支点として、一方のプレートの第二凹部が他方のプレート側へ撓み、一方のプレートの傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の他方の縁部に当接して、他方のプレートの傾斜した吸着面と薄板材料の外縁部の一方の縁部との間から空気の漏れを無くし、一方のプレートの傾斜した吸着面と薄板材料の外縁部の他方の縁部との間から空気の漏れを無くして、吸着部を含めた吸気通路内を負圧状態（減圧状態）にすることで薄板材料の外縁部を吸着することが可能になる。
【００２１】
さらに、請求項７に記載の発明は、請求項２、４又は５のいずれかに記載の構成に加え、前記吸気孔より前記吸気通路内の前記空気を吸引することで、前記吸着部内で前記薄板材料の外縁部が前記一方のプレートの前記段部に対向し、前記他方のプレートの前記吸着面が前記薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接し、前記他方のプレートの、前記一方のプレートと重ね合わされて前記吸気通路を形成する前記通路面の終端にある第二段部の縁部を支点として、前記一方のプレートの前記第二凹部が前記他方のプレート側へ撓み、前記一方のプレートの前記吸着面が前記薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接することで前記吸気通路と連続する前記吸着部で前記薄板材料の外縁部を吸着することを特徴とする。
【００２２】
従って、請求項７に記載の発明によれば、吸気孔より吸気通路内の空気を吸引することにより、一方のプレートの段部は薄板材料の外縁部の厚み方向の長さよりも低く（短く）形成されているため、薄板材料が吸着部へ進入しても一方のプレートの段部（通路面）と他方のプレートの通路面との間に吸気通路を形成することが可能になり、吸気孔より吸気通路内の空気を吸引することで薄板材料の外縁部に吸引力を及ぼすことが可能になり、吸気孔よる吸気通路内の空気の吸引により、吸着部内で薄板材料の外縁部が一方のプレートの段部に対向し、他方のプレートの傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接して、他方のプレートの第二段部の縁部を支点として、一方のプレートの第二凹部が他方のプレート側へ撓み、一方のプレートの傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の他方の縁部に当接して、他方のプレートの傾斜した吸着面と薄板材料の外縁部の一方の縁部との間から空気の漏れを無くし、一方のプレートの傾斜した吸着面と薄板材料の外縁部の他方の縁部との間から空気の漏れを無くして、吸着部を含めた吸気通路内を負圧状態（減圧状態）にすることで薄板材料の外縁部を吸着することが可能になる。
【００２３】
また、請求項８に記載の発明は、請求項３、４又は５のいずれかに記載の構成に加え、前記吸気孔より前記吸気通路内の前記空気を吸引することで、前記吸着部内で前記薄板材料の外縁部が前記一方のプレートの前記段部及び前記他方のプレートの前記第一段部に対向し、前記他方のプレートの前記吸着面が前記薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接し、前記他方のプレートの、前記一方のプレートと重ね合わされて前記吸気通路を形成する前記通路面の終端にある第二段部の縁部を支点として、前記一方のプレートの前記第二凹部が前記他方のプレート側へ撓み、前記一方のプレートの前記吸着面が前記薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接することで前記吸気通路と連続する前記吸着部で前記薄板材料の外縁部を吸着することを特徴とする。
【００２４】
従って、請求項８に記載の発明によれば、吸気孔より吸気通路内の空気を吸引することにより、一方のプレートの段部及び他方のプレートの第一段部の長さは薄板材料の外縁部の厚み方向の長さよりも低く（短く）形成されているため、薄板材料が吸着部へ進入しても一方のプレートの段部（通路面）と他方のプレートの第一段差（通路面）との間に吸気通路を形成することが可能になり、吸気孔より吸気通路内の空気を吸引することで薄板材料の外縁部に吸引力を及ぼすことが可能になり、吸気孔よる吸気通路内の空気の吸引により、吸着部内で薄板材料の外縁部が一方のプレートの段部及び他方のプレートの第一段部に対向し、他方のプレートの傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接して、他方のプレートの第二段部の縁部を支点として、一方のプレートの第二凹部が他方のプレート側へ撓み、一方のプレートの傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の他方の縁部に当接して、他方のプレートの傾斜した吸着面と薄板材料の外縁部の一方の縁部との間から空気の漏れを無くし、一方のプレートの傾斜した吸着面と薄板材料の外縁部の他方の縁部との間から空気の漏れを無くして、吸着部を含めた吸気通路内を負圧状態（減圧状態）にすることで薄板材料の外縁部を吸着することが可能になる。  
【００２５】
さらに、請求項９に記載の発明は、請求項１乃至８のいずれかに記載の構成に加え、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側の外径が前記薄板材料の外縁部の外径より小さい場合には、前記吸気孔より前記吸気通路内の前記空気を吸引することで、前記吸引部内における減圧部は、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側の中央から、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側の両端側に向かって狭まることを特徴とする。
【００２６】
従って、請求項９に記載の発明によれば、一方のプレート及び他方のプレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側の外径が薄板材料の外縁部の外径より小さい場合には、吸気孔より吸気通路内の空気を吸引すると、一方のプレート及び他方のプレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側の両端側では、吸着部内で、他方のプレートの第一段部が薄板材料の外縁部に対向して当接し、他方のプレートの傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接して、他方のプレートの傾斜した吸着面と薄板材料の外縁部の一方の縁部との間から空気の漏れを無くし、一方のプレート及び他方のプレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側の両端側では、他方のプレートの第二段部の縁部を支点として、一方のプレートの第二凹部が他方のプレート側へ撓み、一方のプレートの傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の他方の縁部に当接して、一方のプレートの傾斜した吸着面と薄板材料の外縁部の他方の縁部との間から空気の漏れを無くし、一方のプレート及び他方のプレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側の両端側以外では、吸着部内で、他方のプレートの第一段部が薄板材料の外縁部に対向して離れ（他方のプレートの第一段部と薄板材料の外縁部との間に隙間を形成し）、他方のプレートの傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接して、他方のプレートの傾斜した吸着面と薄板材料の外縁部の一方の縁部との間から空気の漏れを無くし、他方のプレートの第二段部の縁部を支点として、一方のプレートの第二凹部が他方のプレート側へ撓み、一方のプレートの傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の他方の縁部に当接して、一方のプレートの傾斜した吸着面と薄板材料の外縁部の他方の縁部との間から空気の漏れを無くし、吸引部内における負圧部（減圧部）が、薄板材料の外縁部と、第一段部の壁面との間で、一方のプレート及び他方のプレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側の中央から、一方のプレート及び他方のプレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側の両端側に向かって狭まって形成されて、薄板材料の外縁部を一方のプレート及び他方のプレートの、吸着部で吸着することが可能になる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、吸気孔からホース等の管を介して真空ポンプにより、吸気通路内の空気を吸引することで、薄板材料が吸引部に進入し、薄板材料の外縁部が吸引部内の案内部の傾斜面に案内されて吸引部内の吸着部内へ進入し、薄板材料の外縁部が他方のプレートの吸着面と連続する第一段部（壁面）と対向し、他方のプレートの傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の縁部に当接して（吸着して）空気の漏れを無くし、一方のプレートが撓むことで一方のプレートの傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の縁部に当接して（吸着して）空気の漏れを無くすことができ吸着部内を負圧状態（減圧状態）になり、傾斜した吸着部での吸着により薄板材料を保持することができる。
【００２８】
また、傾斜した吸着部（吸着面）が薄板材料の外縁部に当接する（吸着する）ため、薄板材料の表裏面を当接する（吸着する）ことによりキズ付けることなく薄板材料を吸着して保持することができる。さらに、一方のプレートが撓ませることが、機械的な薄板材料の外縁部の保持のためではなく、負圧部（減圧部）を形成するための薄板材料の外縁部への当接（吸着）であるため、薄板材料の外縁部を吸引部（吸着部）から外すことが、機械的な薄板材料の外縁部の保持に比べ容易である。また、薄板材料の吸着による保持に際し、一方のプレートの撓みのみを利用して、プレートを薄板材料に当接させて空気の漏れを無くしてるので負圧部（減圧部）を容易に形成することができる。
【００２９】
さらに、負圧部（減圧部）の形成が容易になることから吸引力についても必要以上大きくする必要がなくなり真空ポンプの低容量化が実現し易くなる。さらに、吸着装置からの薄板材料の取り外しに際しては、吸着の際にプレートの撓みを利用しているので、真空ポンプを逆に駆動することで空気を吸気通路に空気を吹き込むことでプレートの撓みを戻すことで容易に吸着装置から薄板材料を取り外すことができる。また、薄板材料の吸着はプレートのみで行い、スプリング等の弾性部材を必要とする複雑な機構を必要としないため、吸着装置の製造工程の簡素化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明である薄板材料の吸着装置が薄板材料の外縁部を吸着した状態を示す平面図である。
【図２】図１の下部プレートを断面方向から示す説明図である。（ａ）は図１のＡ−Ａ線に沿う下部プレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側を横断する方向の断面図である。（ｂ）は（ａ）の薄板材料の外縁部と対向する先端側の詳細を示す説明図である。（ｃ）は図１のＢ−Ｂ線に沿う下部プレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側を横断する方向の断面図である。
【図３】図１の上部プレートを断面方向から示す説明図である。（ａ）は図１のＡ−Ａ線に沿う上部プレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側を横断する方向の断面図である。（ｂ）は（ａ）の薄板材料の外縁部と対向する先端側の詳細を示す説明図である。（ｃ）は図１のＢ−Ｂ線に沿う上部プレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側を横断する方向の断面図である。
【図４】図１の基台を断面方向から示す説明図である。（ａ）は図１のＡ−Ａ線に沿う基台の、薄板材料の外縁部と対向する先端側を横断する方向の断面図である。（ｂ）は図１のＢ−Ｂ線に沿う基台の、薄板材料の外縁部と対向する先端側を横断する方向の断面図である。
【図５】組み立てられた、下部プレート、上部プレート及び基台の、薄板材料の外縁部と対向する先端側を横断する方向から示す断面図である。（ａ）は図１のＡ−Ａ線に沿う、下部プレート、上部プレート及び基台の、薄板材料の外縁部と対向する先端側を横断する方向から示す断面図である。（ｂ）は図１のＢ−Ｂ線に沿う、下部プレート、上部プレート及び基台の、薄板材料の外縁部と対向する先端側を横断する方向から示す断面図である。（ｃ）は図１のＣ−Ｃ線に沿う、下部プレート、上部プレート及び基台の、薄板材料の外縁部と対向する先端側を横断する方向から示す断面図である。
【図６】案内部を形成する下部プレート及び上部プレートの各々の傾斜面のなす角度と、吸着部を形成する下部プレート及び上部プレートの各々の吸着面のなす角度と、の関係を断面方向から示す説明図である。
【図７】薄板材料の外縁部を吸着した、下部プレート、上部プレート及び基台の吸引部近傍を断面方向から示す説明図である。        （ａ）は下部プレート及び上部プレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側の両端部側における、薄板材料の外縁部が下部プレートの壁面に当接して、薄板材料の外縁部の縁部が下部プレートの吸着面及び上部プレートの吸着面に吸着した状態を断面方向から示す説明図である。（ｂ）は下部プレート及び上部プレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側の中央における、薄板材料の外縁部が下部プレートの壁面に当接せず、薄板材料の外縁部の縁部が下部プレートの吸着面及び上部プレートの吸着面に吸着した状態を断面方向から示す説明図である。
【図８】薄板材料の外縁部を吸着する下部プレート及び上部プレートの、吸引部内における負圧部（減圧部）の状態を示す説明図である。
【図９】薄板材料の外縁部を吸着した、下部プレート、上部プレート及び基台の吸引部近傍を断面方向から示す説明図である。（ａ）は下部プレート及び上部プレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側の中央における、薄板材料の外縁部が下部プレートの壁面に当接して、薄板材料の外縁部の縁部が下部プレートの吸着面及び上部プレートの吸着面に吸着した状態を断面方向から示す説明図である。（ｂ）は下部プレート及び上部プレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側の両端部側における、薄板材料の外縁部が下部プレートの壁面に当接して、薄板材料の外縁部の縁部が下部プレートの吸着面及び上部プレートの吸着面に吸着した状態を断面方向から示す説明図である。
【図１０】薄板材料の外縁部を吸着する下部プレート及び上部プレートの、吸引部内における負圧部（減圧部）の状態を示す説明図である。
【図１１】例２における下部プレートを断面方向から示す説明図である。（ａ）は例２における、図２（ａ）に対応する、下部プレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側を横断する断面方向の説明図である。（ｂ）は（ａ）の薄板材料の外縁部と対向する先端側の詳細を示す説明図である。（ｃ）は例２における、図２（ｃ）に対応する、下部プレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側を横断する断面方向の説明図である。
【図１２】例２における上部プレートを断面方向から示す説明図である。（ａ）は例２における、図３（ａ）に対応する、上部プレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側を横断する断面方向の説明図である。（ｂ）は（ａ）の薄板材料の外縁部と対向する先端側の詳細を示す説明図である。（ｃ）は例２における、図３（ｃ）に対応する、上部プレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側を横断する断面方向の説明図である。
【図１３】例２における、組み立てられた、下部プレート、上部プレート及び基台の、薄板材料の外縁部と対向する先端側を横断する断面方向から示す説明図である。（ａ）は例２における、図５（ａ）に対応する、下部プレート、上部プレート及び基台の、薄板材料の外縁部と対向する先端側を横断する断面方向から示す説明図である。（ｂ）は例２における、図５（ｂ）に対応する、下部プレート、上部プレート及び基台の、薄板材料の外縁部と対向する先端側を横断する断面方向から示す説明図である。（ｃ）は例２における、図５（ｃ）に対応する、下部プレート、上部プレート及び基台の、薄板材料の外縁部と対向する先端側を横断する断面方向から示す説明図である。
【図１４】例２における、案内部を形成する下部プレート及び上部プレートの各々の傾斜面のなす角度と、吸着部を形成する下部プレート及び上部プレートの各々の吸着面のなす角度と、の関係を断面方向から示す説明図である。
【図１５】例２における、薄板材料の外縁部を吸着した、下部プレート、上部プレート及び基台の吸引部近傍を断面方向から示す説明図である。        （ａ）は下部プレート及び上部プレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側の両端部側における、薄板材料の外縁部が下部プレートの壁面に当接して、薄板材料の外縁部の縁部が下部プレートの吸着面及び上部プレートの吸着面に吸着した状態を断面方向から示す説明図である。（ｂ）は下部プレート及び上部プレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側の中央における、薄板材料の外縁部が下部プレートの壁面に当接せず、薄板材料の外縁部の縁部が下部プレートの吸着面及び上部プレートの吸着面に吸着した状態を断面方向から示す説明図である。
【図１６】例２における、薄板材料の外縁部を吸着する下部プレート及び上部プレートの、吸引部内における負圧部（減圧部）の状態を示す説明図である。
【図１７】例２における、薄板材料の外縁部を吸着した、下部プレート、上部プレート及び基台の吸引部近傍を断面方向から示す説明図である。（ａ）は下部プレート及び上部プレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側の中央における、薄板材料の外縁部が下部プレートの壁面に当接して、薄板材料の外縁部の縁部が下部プレートの吸着面及び上部プレートの吸着面に吸着した状態を断面方向から示す説明図である。（ｂ）は下部プレート及び上部プレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側の両端部側における、薄板材料の外縁部が下部プレートの壁面に当接して、薄板材料の外縁部の縁部が下部プレートの吸着面及び上部プレートの吸着面に吸着した状態を断面方向から示す説明図である。
【図１８】例２における、薄板材料の外縁部を吸着する下部プレート及び上部プレートの、吸引部内における負圧部（減圧部）の状態を示す説明図である。
【図１９】例３における下部プレートを断面方向から示す説明図である。（ａ）は例３における、図２（ａ）に対応する、下部プレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側を横断する断面方向の説明図である。（ｂ）は（ａ）の薄板材料の外縁部と対向する先端側の詳細を示す説明図である。（ｃ）は例３における、図２（ｃ）に対応する、下部プレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側を横断する断面方向の説明図である。
【図２０】例３における上部プレートを断面方向から示す説明図である。（ａ）は例３における、図３（ａ）に対応する、上部プレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側を横断する断面方向の説明図である。（ｂ）は（ａ）の薄板材料の外縁部と対向する先端側の詳細を示す説明図である。（ｃ）は例３における、図３（ｃ）に対応する、上部プレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側を横断する断面方向の説明図である。
【図２１】例３における、組み立てられた、下部プレート、上部プレート及び基台の、薄板材料の外縁部と対向する先端側を横断する断面方向から示す説明図である。（ａ）は例３における、図５（ａ）に対応する、下部プレート、上部プレート及び基台の、薄板材料の外縁部と対向する先端側を横断する断面方向から示す説明図である。（ｂ）は例３における、図５（ｂ）に対応する、下部プレート、上部プレート及び基台の、薄板材料の外縁部と対向する先端側を横断する断面方向から示す説明図である。（ｃ）は例３における、図５（ｃ）に対応する、下部プレート、上部プレート及び基台の、薄板材料の外縁部と対向する先端側を横断する断面方向から示す説明図である。
【図２２】例３における、案内部を形成する下部プレート及び上部プレートの各々の傾斜面のなす角度と、吸着部を形成する下部プレート及び上部プレートの各々の吸着面のなす角度と、の関係を断面方向から示す説明図である。
【図２３】例３における、薄板材料の外縁部を吸着した、下部プレート、上部プレート及び基台の吸引部近傍を断面方向から示す説明図である。        （ａ）は下部プレート及び上部プレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側の両端部側における、薄板材料の外縁部が下部プレートの壁面に当接して、薄板材料の外縁部の縁部が下部プレートの吸着面及び上部プレートの吸着面に吸着した状態を断面方向から示す説明図である。（ｂ）は下部プレート及び上部プレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側の中央における、薄板材料の外縁部が下部プレートの壁面に当接せず、薄板材料の外縁部の縁部が下部プレートの吸着面及び上部プレートの吸着面に吸着した状態を断面方向から示す説明図である。
【図２４】例３における、薄板材料の外縁部を吸着する下部プレート及び上部プレートの、吸引部内における負圧部（減圧部）の状態を示す説明図である。
【図２５】例３における、薄板材料の外縁部を吸着した、下部プレート、上部プレート及び基台の吸引部近傍を断面方向から示す説明図である。（ａ）は下部プレート及び上部プレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側の中央における、薄板材料の外縁部が下部プレートの壁面に当接して、薄板材料の外縁部の縁部が下部プレートの吸着面及び上部プレートの吸着面に吸着した状態を断面方向から示す説明図である。（ｂ）は下部プレート及び上部プレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側の両端部側における、薄板材料の外縁部が下部プレートの壁面に当接して、薄板材料の外縁部の縁部が下部プレートの吸着面及び上部プレートの吸着面に吸着した状態を断面方向から示す説明図である。
【図２６】例３における、薄板材料の外縁部を吸着する下部プレート及び上部プレートの、吸引部内における負圧部（減圧部）の状態を示す説明図である。
【図２７】従来の薄板材料の把持装置での薄板材料の外縁部を把持した状態を示す説明図である。（ａ）は従来の薄板材料の把持装置での薄板材料の外縁部を把持した状態を示す平面図である。（ｂ）は（ａ）のＺ−Ｚ線に沿う断面図である。
【図２８】従来の薄板材料の把持装置の把持部より大きい外径の薄板材料の外縁部を従来の薄板材料の把持装置で把持した状態を示す説明図である。（ａ）は図１１のＸ−Ｘ線に沿う、把持部に薄板材料の外縁部が当接して把持部が薄板材料の外縁部を把持した位置（Ｖ点）を示す断面図である。（ｂ）は図１１のＹ−Ｙ線に沿う、把持部と薄板材料の外縁部とが離れて把持部と薄板材料の外縁部との間に隙間が形成された位置（Ｗ点）を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。
【００３２】
（例１）
図１には、本発明である、円盤状の薄板材料１０の外縁部１０ａを吸着するための薄板材料の吸着装置１が示されている。薄板材料の吸着装置１では、薄板材料１０の外縁部１０ａを吸着する部分が上部プレート（一方のプレート）３と下部プレート（他方のプレート）２とからなり、上部プレート３と下部プレート２と重ね合わされて基台４に固定されており、基台４にはホース等の管が取り付けられ、下部プレート２、上部プレート３及び基台４内の空気を吸引する図示しない真空ポンプに連結されている。この吸着装置１により吸着される薄板材料１０としては、製造工程などにおいて表面の平坦度が極めて高い精度で要求されている、半導体ウエハ、ＣＤ（コンパクトディスク）、ＤＶＤ（ディジタルビデオディスク）等が該当する。
【００３３】
吸着装置１の、薄板材料１０を吸着する先端側（一方の端部側）は、図１に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と略同一の円弧形状をなし、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と接触（当接）できる形状となっている。吸着装置１は、本例では、全体として弓型の形状をなしているが、弓型の形状に限定されることなく、薄板材料１０を吸着する吸着装置１の先端側（一方の端部側）が、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と略同一の円弧形状をなしていれば吸着装置１の先端側と反対側（他方の端部側）は、先端側と同じような形状ではなく直線状の異なる形状（例えば、矩形形状に近い形状）をとることも可能である。そして、薄板材料１０を吸引する吸着装置１の下部プレート２の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側（一方の端部側）では、図２（ａ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａを吸引する吸引部５が形成されている。吸引部５は、案内部５１と吸着部５２とから構成されている。案内部５１では、薄板材料１０の外縁部１０ａの吸着を行う吸着部５２へ導き易くするために、傾斜面２１が形成されている。
【００３４】
傾斜面２１は、図２（ａ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａが組み込まれる先端側から吸着面２２側へ向かい立ち上がるように（先端側から吸着面２２側へ昇るように）形成されている。この傾斜面２１は、図２（ｂ）に示すように、水平方向に対して鋭角である角度αで形成されている。そのため、下部プレート２及び上部プレート３による薄板材料１０の外縁部１０ａの吸着に際し、薄板材料１０の外縁部１０ａが傾斜面２１に当接しても傾斜面２１に沿って薄板材料１０の外縁部１０ａが吸着面２２（吸着部５２）へ案内されることになる。吸着面２２も、図１に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と略同一の円弧形状をなし、傾斜面２１に連続し、傾斜面２１に沿って下部プレート２（吸着装置１）の先端側と反対側（他方の端部側）に伸びて形成されている。そして、傾斜面２１と連続する吸着面２２も傾斜面２１と同様に傾斜している。具体的には、傾斜面２１側から通路面２４側へ向かい立ち上がるように（傾斜面２１側から通路面２４側へ昇るように）形成されている。
【００３５】
そのため、吸着部５２に導かれた薄板材料１０の、表裏面と外縁部１０ａとで形成された縁部１０ａ１が吸着面２２と接触（当接）できる状態となっている。吸着面２２は、図２（ｂ）に示すように、水平方向に対して鋭角である角度βで形成されている。ただし、図２（ｂ）に示すように、吸着面２２の傾斜角度である角度βは傾斜面２１の傾斜角度である角度αより小さい角度である。吸着面２２の、一方の端部では傾斜面２１との連続しており、他方の端部では第一段部２３が連続して形成されている。第一段部２３は、重ね合わされる上部プレート３側に隆起して形成されており、第一段部２３の壁面２３１は薄板材料１０の外縁部１０ａに当接可能となるように薄板材料１０の外縁部１０ａと平行に形成されている。第一段部２３の高さ（壁面２３１の高さ）は、薄板材料１０の外縁部１０ａの厚さに対応できるように形成されている。基本的には、第一段部２３の高さは、薄板材料１０の外縁部１０ａの厚さより短い。そして、吸気通路５３内の空気の吸引が行われた際に、薄板材料１０の外縁部１０ａが第一段部２３の壁面２３１に当接する位置での負圧部（減圧部）の仕切りは、第一段部２３の壁面２３１より高い薄板材料１０の外縁部１０ａの部分で形成することになる。
【００３６】
第一段部２３の壁面２３１は、図１に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と略同一の円弧形状をなし、吸着面２２に連続し下部プレート２の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側）に伸びた吸着面２２の終端として形成され、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と接触（当接）可能になっている。第一段部２３の壁面２３１では、吸着部５２内での薄板材料１０の外縁部１０ａの位置決めを行うとともに、吸着部５内への薄板材料１０の外縁部１０ａの進入の規制を行うことになる。そして、第一段部２３が形成されることで、図２に示すように、下部プレート２には通路面２４が形成されることになり、第一段部２３の壁面２３１から下部プレート２の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側）に向かって吸気通路５３が形成されることになる。吸気通路５３を構成する通路面２４は、図１に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と略同一の円弧形状をなし、壁面２３１に連続し吸着面２２（壁面２３１）に沿って下部プレート２、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側）に伸びて形成されている。つまり、通路面２４は、図２に示すように、吸着面２２から段差（壁面２３１）を経て第一段部２３に形成されている。
【００３７】
そして、図１に示すように、弓形形状である下部プレート２の中央の、下部プレート２の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側）になる、通路面２４の領域の終端側の位置に吸気通路５３となる吸気孔２５が形成されている。吸気孔２５は、図２（ａ）に示すように、下部プレート２の厚み方向に沿って下部プレート２を貫通しており、本例では、下部プレート２に対して垂直に貫通した孔としているが、下部プレート２に対して傾斜した孔とすることも可能である。そして、通路面２４が下部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側）に伸びた後に、通路面２４の、下部プレート２の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側）では段差を経て第二段部（平面部）２６形成されて、通路面２４の終端となっている。通路面２４側と反対側（下部プレート２の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側））とでは、図２（ａ）に示すように、通路面２４側より反対側（下部プレート２の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側））の第二段部（平面部）２６の縁部２６１が高く形成されている。
【００３８】
この縁部２６１も、図１に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と略同一の円弧形状をなしている。縁部２６１と壁面２３１との間に形成された通路面２４は、下部プレート２の両端部２８、２８では、図１に示すように、両端部２８、２８に到達する前に円弧状の壁部２９、２９を形成して縁部２６１と壁面２３１と連結しており、吸気通路５３の空気の吸引により下部プレート２の両端部３８、３８から吸気装置１の外部の空気が吸引されることはない（空気の漏れを防ぐ状態になっている）。そして、縁部２６１は、下部プレート２に上部プレート３が載せられた際に上部プレート３の先端側を含めたリップ部が回動する支点となる。そして、図２（ａ）に示すように、縁部２６１から形成されている第二段部（平面部）２６は、図１及び図２に示すように、縁部２６１に沿って下部プレート２（吸着装置１）の先端側と反対側（他方の端部側）に形成されている。
【００３９】
第二段部（平面部）２６には、下部プレート２を上部プレート３及び基台４に固定するためのボルト６等の固定具を組み込むための取付孔２７が形成されている。取付孔２７は、図２（ｃ）に示すように、第二段部（平面部）２６の中央に形成されているが、第二段部（平面部）２６内であれば、下部プレート２の縁部２６１側寄り、或いは縁部２６１側の反対側寄りのいずれに形成することも可能である。そして、取付孔２７は、図１に示すように、下部プレート２の円弧形状に沿って複数形成されている。第二段部（平面部）２６の端部である下部プレート２の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側）は、第二段部（平面部）２６に対して垂直に端面２８１が形成され、端面２８１に対して垂直に平面部２０が形成され吸引部５に向かって伸びている。以上が薄板材料の吸着装置１の下部プレート２の構成である。
【００４０】
つぎに、下部プレート２上に載る、薄板材料の吸着装置１の上部プレート３の構成について説明する。
【００４１】
薄板材料１０を吸引する吸着装置１の上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側（一方の端部側）では、下部プレート２と同様に、図３（ａ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａを吸引する吸引部５が形成されている。吸引部５は、案内部５１と吸着部５２とから構成されている。案内部５１では、薄板材料１０の外縁部１０ａの吸着を行う吸着部５２へ導き易くするために、傾斜面３１が形成されている。傾斜面３１は、傾斜面２１と同様に、図３（ａ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａが組み込まれる先端側から吸着面３２側へ向かい下るように（先端側から吸着面３２側へ降りるように）形成されている。この傾斜面３１は、傾斜面２１と同様に、図３（ｂ）に示すように、水平方向に対して鋭角である角度αで形成されている。そのため、吸着装置１による薄板材料１０の外縁部１０ａの吸着に際し、薄板材料１０の外縁部１０ａが傾斜面３１に当接しても傾斜面３１に沿って薄板材料１０の外縁部１０ａが吸着面３２（吸着部５２）へ案内されることになる。
【００４２】
吸着面３２も、図１に示すように、吸着面２２と同様に、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と略同一の円弧形状をなし、傾斜面３１に連続し、傾斜面３１に沿って上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側）に伸びて形成されている。そして、傾斜面３１と連続する吸着面３２も傾斜面３１と同様に傾斜している。具体的には、傾斜面３１側から通路面３４側へ向かい下るように（傾斜面３１側から通路面３４側へ降りるように）形成されている。そのため、吸着面２２と同様に、吸着部５２に導かれた薄板材料１０の、表裏面と外縁部１０ａとで形成された縁部１０ａ１が吸着面３２と接触（当接）できる状態となっている。吸着面３２は、図３（ｂ）に示すように、吸着面２２と同様に、水平方向に対して鋭角である角度βで形成されている。ただし、図３（ｂ）に示すように、吸着面２２と同様に、吸着面３２の傾斜角度である角度βは傾斜面３１の傾斜角度である角度αより小さい角度である。
【００４３】
吸着面３２から上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側）に向かって吸気通路５３が形成されている。吸気通路５３を構成する通路面３４は、図１に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と略同一の円弧形状をなし、吸着面３２に連続し吸着面３２に沿って上部プレート３（吸着装置１）の先端側と反対側（他方の端部側）に伸びて形成されている。そして、下部プレート２に上部プレート３を載置すると、下部プレート２の壁面２３１（第一段部２３）が上部プレート３の、吸着面３２と通路面３４との境目に対向することになる。通路面３４は、図３（ａ）に示すように、上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側）に向かって水平方向へ伸びた後、上部プレート３に形成された凹部３３内に伸びている。凹部３３は、図１に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と略同一の円弧形状をなし、上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側）に伸びて形成されている。
【００４４】
具体的には、凹部３３は、図３に示すように、第一凹部３５と第二凹部３６とから構成されている。第一凹部３５は、通路面３４に隣接しており、通路面３４の終端３４１より、通路面３４に対して垂直に形成された壁面（通路面）３５１から伸びて形成されている（図３（ｂ）参照）。具体的には、第一凹部３５は、壁面（通路面）３５１より通路面３５２が通路面３４と平行に伸びることで形成されている。そして、図３に示すように、第一凹部３５に隣接して第二凹部３６が形成されている。第二凹部３６は、通路面３４の終端３５３より、通路面３４及び通路面３５２に対して垂直に形成された壁面（通路面）３６１から伸びて形成されている（図３（ｂ）参照）。
【００４５】
具体的には、第二凹部３６は、壁面３６１より通路面３６２が通路面３４及び通路面３５２と平行に伸びることで形成されている。そして、壁面（通路面）３６３が壁面（通路面）３５１、３６１と平行に形成され、通路面３４と同一平面となる位置である、壁面（通路面）３６３の終端（縁部）３６４まで伸びている。そして、上部プレート３に形成された通路面３４、３５２、３６２は、下部プレート２の両端部３８、３８では、図１に示すように、両端部３８、３８に到達する前に円弧状の壁部３９、３９を形成して通路面３４、３６２に連結しており、吸気通路５３の空気の吸引により下部プレート２の両端部３８、３８から吸気装置１の外部の空気が吸引されることはない（空気の漏れを防ぐ状態になっている）。
【００４６】
第一凹部３５と第二凹部３６とでは、図３（ａ）に示すように、第二凹部３６の通路面３６２の長さが第一凹部３５の通路面３５２の長さより長く、第二凹部３６の壁面（通路面）３６３の高さが第一凹部３５の壁面（通路面）３５１の高さより高い（上部プレートの板厚方向の長さが長い）。つまり、第一凹部３５と第二凹部３６とでは、第二凹部３６の方が大きく形成されており、上部プレート３の板厚ついても、第一凹部３５に対応する板厚より第二凹部３６に対応する板厚の方が薄くなっている。その結果、上部プレート３が下部プレート２に載せられると（配置されると）、凹部３３の終端である壁面（通路面）３６３の終端（縁部）３６４が下部プレート２の縁部２６１に当接した状態になる。そして、吸気通路５３の空気を吸引することで、上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側である吸引部５から凹部３３までのリップ部が凹部３３の終端である壁面（通路面）３６３の終端（縁部）３６４を中心に下部プレート２の縁部２６１を支点として下部プレート２側に撓むことになる。これは、上部プレート３の板厚の薄い第二凹部３６が空気の吸引により撓むことによるものである。
【００４７】
そして、通路面３４と同一平面となる位置である、壁面（通路面）３６３の終端３６４からは、上部プレート３が下部プレート２に載置された際に下部プレート２の第二段部（平面部）２６と対向することになる平面部３７が形成されている（図３（ａ）参照）。平面部３７は、図１に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と略同一の円弧形状をなし、凹部３３に連続し凹部３３に沿って上部プレート３（吸着装置１）の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側）に伸びて形成されている。この平面部３７には、下部プレート２の取付孔２７に対応する（重なり合う）、上部プレート３を下部プレート２及び基台４に固定するためのボルト６等の固定具を組み込むための取付孔３７１が形成されている。取付孔３７１は、図３（ｃ）に示すように、下部プレート２の取付孔２７に対応して平面部３７の中央に形成されているが、下部プレート２の取付孔２７に対応するために、平面部３７内であれば、下部プレート３の壁面（通路面）３６３の終端（縁部）３６４側寄り、或いは下部プレート３の壁面（通路面）３６３の終端（縁部）３６４側の反対側寄りのいずれに形成することも可能である。そして、取付孔３７１は、図１に示すように、下部プレート２の取付孔２７に対応して上部プレート３の円弧形状に沿って複数形成されている。平面部３７の端部である上部プレート３、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側）は、平面部３７に対して垂直に端面３８１が形成され、端面３８１に対して垂直に平面部３０が形成され吸引部５に向かって伸びている。以上が薄板材料の吸着装置１の下部プレート２の構成である。
【００４８】
つぎに、下部プレート２及び上部プレート３が取り付けられる基台４の構成について説明する。
【００４９】
基台４では、下部プレート２と上部プレート３とで薄板材料１０の外縁部１０ａを吸引する側が、図１に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と略同一の円弧形状をなしている。下部プレート２及び上部プレート３を配置する載置部４１では、図４に示すように、下部プレート２の平面部２０を載置することが可能な平面部４１１が形成されている。そして、載置部４１の終端では、平面部４１１に対して垂直に壁部４１２が形成されている。壁部４１２は、図１に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と略同一の円弧形状をなし、平面部４１１に連続し平面部４１１に沿って形成されている。壁部４１２からは壁部４１２に連続して平面部４２が形成されている。平面部４２は、図１に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と略同一の円弧形状をなし、壁部４１２に連続し平面部４１１方向に沿って下部プレート２と上部プレート３とで薄板材料１０の外縁部１０ａを吸引する側である先端側と反対側（他方の端部側）に伸びて形成されている。図１に示すように、基台４の中央の平面部４１１では、下部プレート２の吸気孔２５に対応して吸気通路５３である吸気孔４３が形成されている。
【００５０】
吸気孔４３は、図４（ａ）に示すように、平面部４１１より基台４の板厚方向に伸びて、具体的には壁部４３１、４３２及び通路面４３３を形成して、基台４の円弧形状を横断する方向に伸びて、具体的には通路面４３４、４３５を形成して、基台４の板厚方向へ伸びて、具体的には壁部４３６を形成して、最終的には平面部４２に到達している（平面部４２を貫通している）。つまり、基台４における吸気孔４３である吸気通路５３は、基台４の円弧方向の中央を横断する方向では、平面部４１１から平面部４２までをつなぐ略Ｕ字状の通路として形成されている。なお、本例では、平面部４１１には、図４（ｂ）に示すように、取付孔４１３が形成されており、取付孔４１３には下部プレート２と上部プレート３とを連結するとともに、下部プレート２と上部プレート３とをを基台４に取り付けるボルト６等の固定具が組み込まれる（螺合する）ことになる。従って、取付孔４１３は、下部プレート２の取付孔２７及び上部プレート３の取付孔３７１と一致する（重なり合う）ことなる。ただし、基台４への取り付けに際しては、ボルトを用いることに限定されず、例えば、下部プレート２の平面部２０と基台４の平面部４１１との間に接着剤等を塗布することで、基台４に下部プレート２を取り付けることも可能である。以上が下部プレート２及び上部プレート３が取り付けられる、薄板材料の吸着装置１の基台４の構成である。
【００５１】
以上説明した、下部プレート２、上部プレート３及び基台４を組み立てると、図５に示すように、上部プレート３が下部プレート２に載り（重なり合い）、下部プレート２の平面部２０が基台４の平面部４１１に載ることになる。そして、下部プレート２、上部プレート３及び基台４を固定するための複数のボルト６が、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の円弧形状に沿って複数形成された、取付孔２７、３７１、４１３に組み込まれることで、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の組立が完了することになる。また、図５（ｂ）に示すように、下部プレート２及び上部プレート３の複数の箇所でボルト６１を組み込むことで下部プレート２及び上部プレート３だけを固定している。このように、ボルト６１により下部プレート２及び上部プレート３だけを固定することで、ボルト６を外すことで下部プレート２及び上部プレート３を同時に外すことが可能になる。
【００５２】
そのため、例えば、吸引部５が摩耗等により変形した場合に、下部プレート２及び上部プレート３を同時に取り替えることを可能にする。本例では、ボルト６の組み込みにより、接触している、下部プレート２の平面部２６と上部プレート３の平面部３７との気密性を保つとともに、下部プレート２の端面２８１、上部プレート３の端面３８１と基台４の壁面４１２との気密性を保っている。また、下部プレート２及び上部プレート３の気密性をより向上させるため、下部プレート２及び上部プレート３の両端部２８、２８、３８、３８にはシール部材７、７が取り付けられている（図１参照）。つまり、下部プレート２及び上部プレート３の両端部２８、２８、３８、３８では、吸気通路５３の空気が吸引されてもシール部材７、７により空気の漏れを防ぐ密閉された状態が維持されている。
【００５３】
下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、円弧形状の中央を横断する方向では、図１及び図５（ａ）に示すように、空気を吸引するための機構が形成されている。具体的には、図５（ａ）に示すように、吸引部５の案内部５１は、下部プレート２の傾斜面２１と上部プレート３の傾斜面３１とで形成され、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側（一方の端部側）から他方の端部側に向かい狭まる形状をなしている。そして、案内部５１に連続して、吸引部５の吸着部５２は、下部プレート２の吸着面２２と上部プレート３の吸着面３２とで形成され、案内部５１と同様に、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側（一方の端部側）から他方の端部側に向かい狭まる形状をなしている。ただし、図５に示すように、吸着部５２の傾斜角度は、案内部５１の傾斜角度より小さく形成されている。
【００５４】
具体的には、図６に示すように、案内部５１を形成する下部プレート２及び上部プレート３の各々の傾斜面２１、３１のなす角度γと、吸着部５２を形成する下部プレート２及び上部プレート３の各々の吸着面２２、３２のなす角度δと、では、吸着部５２を形成する下部プレート２及び上部プレート３の各々の吸着面２２、３２のなす角度が小さい。これは、案内部５１を形成する下部プレート２及び上部プレート３の各々の傾斜面２１、３１のなす角度γを大きくすることで、案内部５１に進入する、薄板材料１０を吸着部５２へ導き易くすることを可能している。また、吸着部５２を形成する下部プレート２及び上部プレート３の各々の吸着面２２、３２を傾斜して角度δを形成することで薄板材料１０の表裏面に接触することなく薄板材料１０の外縁部１０ａの縁部１０ａ１のみへの接触を可能にする。つまり、吸着部５２では、薄板材料１０の表裏面に接触することなく薄板材料１０の外縁部１０ａの縁部１０ａ１のみへの接触を可能にするため、案内部５１の角度γより小さい角度でも薄板材料１０の外縁部１０ａの縁部１０ａ１のみへの接触が可能となるので、案内部５１の角度γより小さい角度δで形成している。
【００５５】
吸着部５２に連続して、下部プレート２の壁面２３１（段差）を経て、下部プレート２の通路面２４と上部プレート３の通路面３４とで吸気通路５３を形成し、下部プレート２の通路面２４と上部プレート３の通路面３５２、３６２とで形成される吸気通路５３に続き、下部プレート３の吸気孔２５である吸気通路５３に続いていく。下部プレート３の吸気孔２５から下部プレート３の吸気孔２５に連続して、基台４内の吸気通路５３である吸気孔４３に続いている。基台４内の吸気通路５３である吸気孔４３は、壁部４３１、４３２、通路面４３４、４３５及び壁部４３６で形成されている。そして、基台４の平面部４２吸気孔４３には図示しない、ホース等の管が接続され真空ポンプに接続されている。
【００５６】
また、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、円弧形状の中央以外を横断する方向では、図５（ｂ）及び図５（ｃ）に示すように、形成されている。具体的には、図５（ｂ）に示すように、吸引部５の案内部５１は、下部プレート２の傾斜面２１と上部プレート３の傾斜面３１とで形成され、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側（一方の端部側）から他方の端部側に向かい狭まる形状をなしている。そして、案内部５１に連続して、吸引部５の吸着部５２は、下部プレート２の吸着面２２と上部プレート３の吸着面３２とで形成され、案内部５１と同様に、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側（一方の端部側）から他方の端部側に向かい狭まる形状をなしている。ただし、図６に示すように、吸着部５２の角度δは、案内部５１の角度γより小さく形成されている。
【００５７】
吸着部５２に連続して、下部プレート２の壁面２３１（段差）を経て、下部プレート２の通路面２４と上部プレート３の通路面３４とで吸気通路５３を形成し、下部プレート２の通路面２４と上部プレート３の壁面（通路面）３５１、３６１、３６３を含んだ上部プレート３の通路面３５２、３６２とで形成される吸気通路５３に続いている（図２、図３及び図５（ａ）参照）。以上が下部プレート２、上部プレート３及び基台４の円弧形状の中央以外を横断する方向での、吸引部５（案内部５１、吸着部５２）及び吸気通路５３の構成である。そして、真空ポンプにより、下部プレート２、上部プレート３及び基台４内の空気が吸引されると、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の円弧形状の中央以外の空気も下部プレート２、上部プレート３及び基台４の円弧形状の中央から吸引されることになる。
【００５８】
つぎに、薄板材料の吸着装置１を用いて薄板材料１０を吸着する動作について説明する。
【００５９】
まず、図示しない真空ポンプを駆動することで、ホース等の管が接続された基台４の平面部４２に形成された吸気孔４３より下部プレート２、上部プレート３及び基台４で形成された吸気通路５３内の空気を吸引する。このとき、図５（ａ）に示す、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央では、矢印Ｃ方向に沿って、空気が吸引されることになり、図５（ｂ）に示す、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央以外では、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の両端部２８、２８、３８、３８側から、薄板材料の外縁部と対向する先端側の中央に向かって空気が吸引される。そして、上部プレート３及び下部プレート２の、薄板材料１０の外縁部１０ａ１と対向する先端側（一方の端部側）の吸引部５に薄板材料１０の外縁部１０ａを接近させると、薄板材料１０の外縁部１０ａが吸引部５の案内部５１内に入り込み吸着部５２内を移動し、下部プレート２の壁面２３１に向かって移動する（図７参照）。
【００６０】
そして、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の両端部２８、２８、３８、３８側では、吸着部５２内で、図８（ａ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａは下部プレート２の壁面２３１に当接し、薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１は下部プレート２の吸着面２２に当接する。下部プレート２の第一段部２３は薄板材料１０の外縁部１０ａ１の厚み方向の長さよりも低く（短く）形成されているため、薄板材料１０の外縁部１０ａ１が吸着部５２へ進入しても上部プレート３の通路面３４と下部プレート２の通路面２４との間に吸気通路５３を形成することが可能になり、吸気孔４３より吸気通路５３内の空気を吸引することで薄板材料１０の外縁部１０ａ１に吸引力を及ぼすことが可能になり、上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側である吸引部５から凹部３３までのリップ部が凹部３３の終端である壁面（通路面）３６３の終端（縁部）３６４を中心に下部プレート２の縁部２６１を支点として、矢印Ｅ方向に沿って下部プレート２側に撓み（第二凹部３６が撓むことで、図８（ａ）の点線で示す傾斜面２１及び吸着面２２から実線で示す傾斜面２１及び吸着面２２へ移動し）、上部プレート３の吸着面３２は、薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１に当接する。そして、吸気孔４３よる吸気通路５３内の空気の吸引により、下部プレート２の傾斜した吸着面２２と薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１との間から空気の漏れを無くし、上部プレート３の傾斜した吸着面３４と薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１との間から空気の漏れを無くす。
【００６１】
以上のように、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の両端部２８、２８、３８、３８側の吸引部５では、図８（ａ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａが下部プレート２の壁面２３１に当接するが、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央の吸引部５では、図８（ｂ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａが下部プレート２の壁面２３１に当接しない。つまり、図８（ｂ）に示すように、矢印Ｃ方向に沿う吸気通路５３内の空気の吸引により、薄板材料の外縁部１０ａが吸引部５の案内部５１から、吸着部５２内の下部プレート２の壁面２３１に向かって移動するが、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の吸引部５の外径より薄板材料１０の外縁部１０ａの外径が大きいため、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の両端（２８、２８、３８、３８）側に薄板材料１０の外縁部１０ａが当接すると、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央側には薄板材料１０の外縁部１０ａが到達しない。その結果、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央の吸引部５では、図８（ｂ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａと下部プレート２の壁面２３１とが離れた状態になる（薄板材料１０の外縁部１０ａと下部プレート２の壁面２３１との間に隙間が生じた状態になる）。
【００６２】
そして、矢印Ｃ方向に沿う吸気通路５３内の空気の吸引により、下部プレート２、他方のプレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の両端側以外では、吸着部５２内で、図８（ｂ）に示すように、下部プレート２の第一段部２３が薄板材料１０の外縁部１０ａに対向して離れ（下部プレート２の第一段部２３と薄板材料１０の外縁部１０ａとの間に隙間を形成し）、下部プレート２の傾斜した吸着面２２が薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１に当接する。下部プレート２の第一段部２３は薄板材料１０の外縁部１０ａ１の厚み方向の長さよりも低く（短く）形成されているため、薄板材料１０の外縁部１０ａ１が吸着部５２へ進入しても上部プレート３の通路面３４と下部プレート２の通路面２４との間に吸気通路５３を形成することが可能になり、吸気孔４３より吸気通路５３内の空気を吸引することで薄板材料１０の外縁部１０ａ１に吸引力を及ぼすことが可能になり、上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側である吸引部５から凹部３３までのリップ部が凹部３３の終端である壁面（通路面）３６３の終端（縁部）３６４を中心に下部プレート２の縁部２６１を支点として、矢印Ｅ方向に沿って下部プレート２側に撓み（第二凹部３６が撓むことで、図８（ｂ）の点線で示す傾斜面２１及び吸着面２２から実線で示す傾斜面２１及び吸着面２２へ移動し）、上部プレート３の吸着面３２は、薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１に当接する。そして、吸気孔４３よる吸気通路５３内の空気の吸引により、下部プレート２の傾斜した吸着面２２と薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１との間から空気の漏れを無くし、上部プレート３の傾斜した吸着面３４と薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１との間から空気の漏れを無くす。
【００６３】
その結果、図７に示すように、吸引部５内における負圧部（減圧部）８が、薄板材料１０の外縁部１０ａと、第一段部２３の壁面２３１との間で、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央から、下部２プレート及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の両端部２８、２８、３８、３８側に向かって広がって形成されて、薄板材料１０の外縁部１０ａを下部プレート２及び上部プレート３の、吸着部５２で吸着することになる。この吸引部５内における負圧部（減圧部）８は、薄板材料１０の外縁部１０ａから吸気通路５３に続いており、矢印Ｃ方向に沿う吸気通路５３内の空気の吸引により、大気圧に比べて気圧が低い負圧状態（減圧状態）となり、吸着部５２内における負圧部（減圧部）８の気圧は吸気通路５３内の気圧に近づき、最終的には、吸引部５内における負圧部（減圧部）８の気圧は吸気通路５３内の気圧と同じになる。
【００６４】
以上のようにして、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の外径が薄板材料１０の外縁部１０ａの外径より小さい場合の薄板材料１０の外縁部１０ａの吸着による保持が行われる。
【００６５】
つぎに、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の外径と薄板材料１０の外縁部１０ａの外径とが同じ大きさの場合の薄板材料１０の外縁部１０ａの吸着による保持について、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の外径が薄板材料１０の外縁部１０ａの外径より小さい場合の薄板材料１０の外縁部１０ａの吸着による保持と異なる点を中心に説明する。
【００６６】
下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の外径が薄板材料１０の外縁部１０ａの外径とが同じ大きさの場合でも、図示しない真空ポンプを駆動することで、ホース等の管が接続された基台４の平面部４２に形成された吸気孔４３より下部プレート２、上部プレート３及び基台４で形成された吸気通路５３内の空気を吸引する。このとき、図５（ａ）に示す、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央では、矢印Ｃ方向に沿って、空気が吸引されることになり、図５（ｂ）に示す、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央以外では、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の両端部２８、２８、３８、３８側から、薄板材料の外縁部と対向する先端側の中央に向かって空気が吸引される。そして、上部プレート３及び下部プレート２の、薄板材料１０の外縁部１０ａ１と対向する先端側（一方の端部側）の吸引部５に薄板材料１０の外縁部１０ａを接近させると、薄板材料１０の外縁部１０ａが吸引部５の案内部５１内に入り込み吸着部５２内を移動し、下部プレート２の壁面２３１に向かって移動する（図９参照）。
【００６７】
そして、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央側では、吸着部５２内で、図１０（ａ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａは下部プレート２の壁面２３１に当接し、薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１は下部プレート２の吸着面２２に当接する。下部プレート２の第一段部２３は薄板材料１０の外縁部１０ａ１の厚み方向の長さよりも低く（短く）形成されているため、薄板材料１０の外縁部１０ａ１が吸着部５２へ進入しても上部プレート３の通路面３４と下部プレート２の通路面２４との間に吸気通路５３を形成することが可能になり、吸気孔４３より吸気通路５３内の空気を矢印Ｃ方向に沿って吸引することで薄板材料１０の外縁部１０ａ１に吸引力を及ぼすことが可能になり、上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側である吸引部５から凹部３３までのリップ部が凹部３３の終端である壁面（通路面）３６３の終端（縁部）３６４を中心に下部プレート２の縁部２６１を支点として、矢印Ｅ方向に沿って下部プレート２側に撓み（第二凹部３６が撓むことで、図１０（ａ）の点線で示す傾斜面２１及び吸着面２２から実線で示す傾斜面２１及び吸着面２２へ移動し）、上部プレート３の吸着面３２は、薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１に当接する。そして、吸気孔４３よる吸気通路５３内の空気の吸引により、下部プレート２の傾斜した吸着面２２と薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１との間から空気の漏れを無くし、上部プレート３の傾斜した吸着面３４と薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１との間から空気の漏れを無くす。
【００６８】
以上のように、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央側の先端側の吸引部５では、図１０（ａ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａが下部プレート２の壁面２３１に当接する。そして、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の両端部２８、２８、３８、３８側の吸引部５でも、図１０（ｂ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａが下部プレート２の壁面２３１に当接し、薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１は下部プレート２の吸着面２２に当接する。そして、薄板材料１０の外縁部１０ａ１が吸着部５２へ進入し、上部プレート３の通路面３４と下部プレート２の通路面２４との間に形成された吸気通路５３内の空気を吸気孔４３より矢印Ｃ方向に沿って吸引することで薄板材料１０の外縁部１０ａ１に吸引力を及ぼし、上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側である吸引部５から凹部３３までのリップ部が凹部３３の終端である壁面（通路面）３６３の終端（縁部）３６４を中心に下部プレート２の縁部２６１を支点として、矢印Ｅ方向に沿って下部プレート２側に撓み（第二凹部３６が撓むことで、図１０（ｂ）の点線で示す傾斜面２１及び吸着面２２から実線で示す傾斜面２１及び吸着面２２へ移動し）、上部プレート３の吸着面３２は、薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１に当接する。そして、吸気孔４３よる吸気通路５３内の空気の吸引により、下部プレート２の傾斜した吸着面２２と薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１との間から空気の漏れを無くし、上部プレート３の傾斜した吸着面３４と薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１との間から空気の漏れを無くす。
【００６９】
その結果、図９に示すように、吸引部５内における負圧部（減圧部）８が、薄板材料１０の外縁部１０ａと、第一段部２３の壁面２３１との間で、第一段部２３の壁面２３１（第一段部２３の壁面２３１に当接した薄板材料１０の外縁部１０ａ）に沿って円弧の線状に形成されて、薄板材料１０の外縁部１０ａを下部プレート２及び上部プレート３の、吸着部５２で吸着することになる。この吸引部５内における負圧部（減圧部）８は、薄板材料１０の外縁部１０ａから吸気通路５３に続いており、矢印Ｃ方向に沿う吸気通路５３内の空気の吸引により、大気圧に比べて気圧が低い負圧状態（減圧状態）となる。以上のようにして、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の外径と薄板材料１０の外縁部１０ａの外径とが同じ大きさの場合の薄板材料１０の外縁部１０ａの吸着による保持が行われる。
【００７０】
（例２）
例１では、下部プレート２に第一段部２３（壁面２３１）を形成し、上部プレート３には下部プレート２の第一段部２３（壁面２３１）に対応する段部を形成しない構成について説明したが、例２では、上部プレート３に段部３４４（壁面３４５）を形成し、下部プレート２には上部プレート３の段部３４４（壁面３４５）に対応する段部を形成しない構成について説明する。以下では、例１で示した薄板材料の吸着装置１と異なる構成を中心に説明する。
【００７１】
下部プレート２の構成については、基本的に例１に示す下部プレート２と同じ構成である。つまり、図１１に示すように、下部プレート２の吸引部５の、案内部５１及び吸着部５２、及び吸気通路５３は、例１と同様に形成されており、傾斜面２１も、同様に、水平方向に対して鋭角である角度αで形成されており、吸着面２２も、同様に、水平方向に対して鋭角である角度βで形成されている。そして、図１１（ｂ）に示すように、吸着面２２の傾斜角度である角度βは傾斜面２１の傾斜角度である角度αより小さい角度である。そして、本例では、第一段部２３が形成されずに、通路面２４が、吸着面２２に連続して図１１に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と略同一の円弧形状をなし、下部プレート２、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側）に伸びて形成されている。そして、例１と同様に、下部プレート２の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側）になる、通路面２４の領域の終端側の位置に吸気通路５３となる吸気孔２５が形成されており、通路面２４が下部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側）に伸びた後に、通路面２４の、下部プレート２の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側）では段差を経て第二段部（平面部）２６形成されて、通路面２４の終端となっている。
【００７２】
例１と同様に、通路面２４側と反対側（下部プレート２の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側））とでは、図１１（ａ）に示すように、通路面２４側より反対側（下部プレート２の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側））の第二段部（平面部）２６の縁部２６１が高く形成されている。また、下部プレート２の両端部２８、２８の、縁部２６１と壁面２３１との間に形成された通路面２４も、例１と同様に、形成されており、吸気通路５３の空気の吸引により下部プレート２の両端部２８、２８から吸気装置１の外部の空気が吸引されることはない（空気の漏れを防ぐ状態になっている）。そして、例１と同様に、縁部２６１は、下部プレート２に上部プレート３が載せられた際に上部プレート３の先端側を含めたリップ部が回動する支点となる。また、例１と同様に、図１１（ｃ）に示すように、第二段部（平面部）２６には、下部プレート２を上部プレート３及び基台４に固定するためのボルト６等の固定具を組み込むための取付孔２７が下部プレート２の円弧形状に沿って複数形成されている。さらに、第二段部（平面部）２６に対して垂直に端面２８１が形成され、端面２８１に対して垂直に平面部２０が形成され吸引部５に向かって伸びている。以上が本例における下部プレート２の構成である。
【００７３】
また、上部プレート３の構成については、基本的に例１に示す上部プレート３と同じ構成である。つまり、図１２に示すように、上部プレート３の吸引部５の、案内部５１及び吸着部５２、及び吸気通路５３は、例１と同様に形成されており、傾斜面３１も、同様に、水平方向に対して鋭角である角度αで形成されており、吸着面３２も、同様に、水平方向に対して鋭角である角度βで形成されている。そして、図１２（ｂ）に示すように、吸着面３２の傾斜角度である角度βは傾斜面３１の傾斜角度である角度αより小さい角度である。本例では、図１２に示すように、吸着面３２に連続して段部３４４が形成されている。そして、段部３４４の壁面３４５は、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と略同一の円弧形状をなしており、下部プレート２の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側）に伸びた吸着面３２の終端として形成され、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と接触（当接）可能になっている。
【００７４】
また、段部３４４は、重ね合わされる下部プレート２側に隆起して形成されており、下部プレート２に上部プレート３を載置すると、上部プレート３の壁面３４５（段部３４４）が下部プレート２の、吸着面２２と通路面２４との境目に対向することになり、段部３４４の壁面３４５は薄板材料１０の外縁部１０ａに当接可能となるように薄板材料１０の外縁部１０ａと平行に形成されている。段部３４４の高さ（壁面３４５の高さ）は、薄板材料１０の外縁部１０ａの厚さに対応できるように形成されている。基本的には、段部３４４の高さは、薄板材料１０の外縁部１０ａの厚さより短い。つまり、下部プレート２に上部プレート３を載置して、上部プレート３の壁面３４５に薄板材料１０の外縁部１０ａが当接することを含め、対向した際には、下部プレート２の通路面２４と上部プレート３の段部３４４（通路面３４）との間に吸気通路５３（隙間）が形成されるように、上部プレート３の壁面３４５（段部３４４）が形成されている。
【００７５】
そして、吸気通路５３内の空気の吸引が行われた際に、薄板材料１０の外縁部１０ａが段部３４４の壁面３４５に当接する位置での負圧部（減圧部）の仕切りは、第一段部２３の壁面２３１より高い薄板材料１０の外縁部１０ａの部分で形成することになる。段部３４４の壁面３４５は、例１の上部プレート２の第一段部２３の壁面２３１と同様に、吸着部５２内での薄板材料１０の外縁部１０ａの位置決めを行うとともに、吸着部５内への薄板材料１０の外縁部１０ａの進入の規制を行うことになる。そして、段部３４４が形成されることで、例１と同様に、図１２に示すように、上部プレート３には通路面３４が形成されることになり、段部３４４の壁面３４５から下部プレート２の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側）に向かって終端３４１までの吸気通路５３が形成されることになる。
【００７６】
そして、例１と同様に、凹部３３が、図１２（ｂ）に示すように、通路面３４の終端３４１より、通路面３４に対して垂直に形成された壁面（通路面）３５１から伸びて形成され、凹部３３は第一凹部３５と第二凹部３６とから構成されている（図１２参照）。また、例１と同様に、上部プレート３に形成された通路面３４、３５２、３６２は、下部プレート２の両端部３８、３８では、両端部３８、３８に到達する前に円弧状の壁部３９、３９を形成して通路面３４、３６２に連結しており、吸気通路５３の空気の吸引により下部プレート２の両端部３８、３８から吸気装置１の外部の空気が吸引されることはない（空気の漏れを防ぐ状態になっている）（図１参照）。第一凹部３５及び第二凹部３６については、例１と同様に、図１２（ａ）及び図１２（ｃ）に示すように、上部プレート３の板厚は、第一凹部３５に対応する板厚より第二凹部３６に対応する板厚の方が薄くなっており、第一凹部３５と第二凹部３６とでは、第二凹部３６の方が大きく形成されている。
【００７７】
また、例１と同様に、上部プレート３と下部プレート２とが重ねられると（配置されると）、凹部３３の終端である壁面（通路面）３６３の終端（縁部）３６４が下部プレート２の縁部２６１に当接した状態になり、吸気通路５３の空気が吸引されることで、上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側である吸引部５から凹部３３までのリップ部が凹部３３の終端である壁面（通路面）３６３の終端（縁部）３６４を中心に下部プレート２の縁部２６１を支点として下部プレート２側に撓むことになる。これは、上部プレート３の板厚の薄い第二凹部３６が空気の吸引により撓むことによるものである。例１と同様に、上部プレート３の、壁面（通路面）３６３の終端３６４からは平面部３７が形成されている（図１２（ａ）及び図１２（ｃ）、図１参照）。以上が本例における上部プレート３の構成である。
【００７８】
基台４も、基本的に例１で示した基台４と同じ構成である。つまり、本例の基台４も、下部プレート２と上部プレート３とで薄板材料１０の外縁部１０ａを吸引する側が、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と略同一の円弧形状をなし、下部プレート２及び上部プレート３を配置する載置部４１では、下部プレート２の平面部２０を載置することが可能な平面部４１１が形成されている（図１及び図４参照）。そして、載置部４１の終端では、平面部４１１に対して垂直に壁部４１２が形成されており、壁部４１２は、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と略同一の円弧形状で形成されており、壁部４１２からは壁部４１２に連続して平面部４２が、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と略同一の円弧形状で、下部プレート２と上部プレート３とで薄板材料１０の外縁部１０ａを吸引する側である先端側と反対側（他方の端部側）に伸びて形成されている。例１と同様に、基台４の中央の平面部４１１では、下部プレート２の吸気孔２５に対応して吸気通路５３である吸気孔４３が形成されており、吸気孔４３である吸気通路５３は、基台４の円弧方向の中央を横断する方向では、平面部４１１から平面部４２までをつなぐ略Ｕ字状の通路として形成されている。
【００７９】
以上説明した、下部プレート２、上部プレート３及び基台４を組み立てると、例１と同様に、図１３に示すように、上部プレート３が下部プレート２に載り（重なり合い）、下部プレート２の平面部２０が基台４の平面部４１１に載ることになる（図１３（ｂ）及び図１３（ｃ）参照）。そして、例１と同様に、下部プレート２、上部プレート３及び基台４を固定するための複数のボルト６が、取付孔２７、３７１、４１３に組み込まれることで、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の組立が完了し、下部プレート２の端面２８１及び上部プレート３の端面３８１とが基台４の壁面４１２に対向し、接触している、下部プレート２の平面部２６と上部プレート３の平面部３７との気密性を保つことになる（図１３（ｂ）及び図１３（ｃ）参照）。また、例１と同様に、図１３（ｂ）に示すように、下部プレート２及び上部プレート３の複数の箇所でボルト６１を組み込むことで下部プレート２及び上部プレート３だけを固定して、ボルト６を外すことで下部プレート２及び上部プレート３を同時に外し、下部プレート２及び上部プレート３を同時に取り替えることを可能にしている。さらに、例１と同様に、下部プレート２及び上部プレート３の両端部２８、２８、３８、３８にはシール部材７、７を取り付けることで、下部プレート２及び上部プレート３の気密性をより向上させて、吸気通路５３の空気が吸引されてもシール部材７、７により空気の漏れを防ぐ密閉された状態を維持することになる。
【００８０】
下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、円弧形状の中央を横断する方向では、例１と同様に、図１３（ａ）に示すように、空気を吸引するための機構が形成されている。具体的には、吸引部５の、案内部５１及び吸着部５２は、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側（一方の端部側）から他方の端部側に向かい狭まる形状をなしている。そして、図１４に示すように、吸着部５２の傾斜角度は、案内部５１の傾斜角度より小さく形成されている。具体的には、例１と同様に、案内部５１を形成する下部プレート２及び上部プレート３の各々の傾斜面２１、３１のなす角度γと、吸着部５２を形成する下部プレート２及び上部プレート３の各々の吸着面２２、３２のなす角度δと、では、吸着部５２を形成する下部プレート２及び上部プレート３の各々の吸着面２２、３２のなす角度δが小さい。これは、吸着部５２では、薄板材料１０の表裏面に接触することなく薄板材料１０の外縁部１０ａの縁部１０ａ１のみへの接触を可能にするため、案内部５１の角度γより小さい角度でも薄板材料１０の外縁部１０ａの縁部１０ａ１のみへの接触が可能となるので、案内部５１の角度γより小さい角度δで形成している。
【００８１】
本例では、吸着部５２に連続して、下部プレート２の壁面（段差）２３３及び上部プレート３の壁面（段差）３４３を経て、下部プレート２の通路面２４と上部プレート３の通路面３４とで吸気通路５３を形成し、例１と同様に、下部プレート２の通路面２４と上部プレート３の通路面３５２、３６２とで形成される吸気通路５３に続き、下部プレート３の吸気孔２５である吸気通路５３に続いていく（図１１、図１２及び図１３（ａ）参照）。下部プレート３の吸気孔２５から下部プレート３の吸気孔２５に連続して、基台４内の吸気通路５３である吸気孔４３に続いている。基台４内の吸気通路５３である吸気孔４３は、壁部４３１、４３２、通路面４３４、４３５及び壁部４３６で形成されている（図１１、図１２及び図１３（ａ）参照）。そして、基台４の平面部４２吸気孔４３には図示しない、ホース等の管が接続され真空ポンプに接続されている。
【００８２】
また、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、円弧形状の中央以外を横断する方向では、図１３（ｂ）及び図１３（ｃ）に示すように、例１と同様に形成されている。具体的には、吸引部５の、案内部５１及び吸着部５２は、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側（一方の端部側）から他方の端部側に向かい狭まる形状をなしている。そして、案内部５１に連続して、吸引部５の吸着部５２は、下部プレート２の吸着面２２と上部プレート３の吸着面３２とで形成され、案内部５１と同様に、薄板材料の吸着装置１の先端側（一方の端部側）から他方の端部側に向かい狭まる形状をなしている。  そして、図１４に示すように、吸着部５２の傾斜角度（角度δ）は、案内部５１の傾斜角度（角度γ）より小さく形成されている。
【００８３】
そして、例１と同様に、吸着部５２に連続して、上部プレート３の壁面３４５（段差）を経て、下部プレート２の通路面２４と上部プレート３の通路面３４とで吸気通路５３を形成し、下部プレート２の通路面２４と上部プレート３の壁面（通路面）３５１、３６１、３６３を含んだ上部プレート３の通路面３５２、３６２とで形成される吸気通路５３に続いている（図１１、図１２及び図１３（ａ）参照）。以上が下部プレート２、上部プレート３及び基台４の円弧形状の中央以外を横断する方向での、吸引部５（案内部５１、吸着部５１）及び吸気通路５３の構成である。そして、真空ポンプにより、下部プレート２、上部プレート３及び基台４内の空気が吸引されると、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の円弧形状の中央以外の空気も下部プレート２、上部プレート３及び基台４の円弧形状の中央から吸引されることになる。
【００８４】
つぎに、薄板材料の吸着装置１を用いて薄板材料１０を吸着する動作について説明する。
【００８５】
まず、図示しない真空ポンプを駆動することで、ホース等の管が接続された基台４の平面部４２に形成された吸気孔４３より下部プレート２、上部プレート３及び基台４で形成された吸気通路５３内の空気を吸引する。このとき、図１３（ａ）に示す、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央では、矢印Ｃ方向に沿って、空気が吸引されることになり、図１３（ｂ）及び図１３（ｃ）に示す、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央以外では、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の両端部２８、２８、３８、３８側から、薄板材料の外縁部と対向する先端側の中央に向かって空気が吸引される。そして、上部プレート３及び下部プレート２の、薄板材料１０の外縁部１０ａ１と対向する先端側（一方の端部側）の吸引部５に薄板材料１０の外縁部１０ａを接近させると、薄板材料１０の外縁部１０ａが吸引部５の案内部５１内に入り込み吸着部５２内を移動し、上部プレート３の壁面３４５に向かって移動する（図１６参照）。
【００８６】
そして、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の両端部２８、２８、３８、３８側では、吸着部５２内で、図１５（ａ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａは上部プレート３の壁面３４５に当接し、薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１は下部プレート２の吸着面２２に当接する。上部プレート３の段部３４４は薄板材料１０の外縁部１０ａの厚み方向の長さよりも低く（短く）形成されているため、薄板材料１０の外縁部１０ａが吸着部５２へ進入しても下部プレート２の通路面２４と上部プレート３の通路面３４との間に吸気通路５３を形成することが可能になり、吸気孔４３より吸気通路５３内の空気を吸引することで薄板材料１０の外縁部１０ａ１に吸引力を及ぼすことが可能になり、上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側である吸引部５から凹部３３までのリップ部が凹部３３の終端である壁面（通路面）３６３の終端（縁部）３６４を中心に下部プレート２の縁部２６１を支点として、矢印Ｅ方向に沿って下部プレート２側に撓み（第二凹部３６が撓むことで、図１５（ａ）の点線で示す傾斜面３１及び吸着面３２から実線で示す傾斜面３１及び吸着面３２へ移動し）、上部プレート３の吸着面３２は、薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１に当接する。そして、吸気孔４３よる吸気通路５３内の空気の吸引により、下部プレート２の傾斜した吸着面２２と薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１との間から空気の漏れを無くし、上部プレート３の傾斜した吸着面３４と薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１との間から空気の漏れを無くす。
【００８７】
以上のように、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の両端部２８、２８、３８、３８側の吸引部５では、図１５（ａ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａが上部プレート３の壁面３４５に当接するが、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央側での吸引部５では、図１５（ｂ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａが上部プレート３の壁面３４５に当接しない。つまり、図１３（ａ）及び図１５（ｂ）に示すように、矢印Ｃ方向に沿う吸気通路５３内の空気の吸引により、薄板材料の外縁部１０ａが吸引部５の案内部５１から、吸着部５２内の上部プレート３の壁面３４５に向かって移動するが、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の吸引部５の外径より薄板材料１０の外縁部１０ａの外径が大きいため、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の両端（２８、２８、３８、３８）側に薄板材料１０の外縁部１０ａが当接すると、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央側には薄板材料１０の外縁部１０ａが到達しない（図１６参照）。その結果、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央の吸引部５では、図１５（ｂ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａと上部プレート３の壁面３４５とが離れた状態になる（薄板材料１０の外縁部１０ａと上部プレート３の壁面３４５との間に隙間が生じた状態になる）。
【００８８】
そして、矢印Ｃ方向に沿う吸気通路５３内の空気の吸引により、下部プレート２、他方のプレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の両端側以外では、吸着部５２内で、図１５（ｂ）に示すように、上部プレート２の段部３４４が薄板材料１０の外縁部１０ａに対向して離れ（上部プレート３の段部３４４と薄板材料１０の外縁部１０ａとの間に隙間を形成し）、下部プレート２の傾斜した吸着面２２が薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１に当接する。上部プレート３の段部３４４は薄板材料１０の外縁部１０ａ１の厚み方向の長さよりも低く（短く）形成されているため、薄板材料１０の外縁部１０ａ１が吸着部５２へ進入しても上部プレート３の通路面３４と下部プレート２の通路面２４との間に吸気通路５３を形成することが可能になり、吸気孔４３より吸気通路５３内の空気を吸引することで薄板材料１０の外縁部１０ａ１に吸引力を及ぼすことが可能になり、上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側である吸引部５から凹部３３までのリップ部が凹部３３の終端である壁面（通路面）３６３の終端（縁部）３６４を中心に下部プレート２の縁部２６１を支点として、矢印Ｅ方向に沿って下部プレート２側に撓み（第二凹部３６が撓むことで、図１５（ｂ）の点線で示す傾斜面３１及び吸着面３２から実線で示す傾斜面３１及び吸着面３２へ移動し）、上部プレート３の吸着面３２は、薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１に当接する。そして、吸気孔４３よる吸気通路５３内の空気の吸引により、下部プレート２の傾斜した吸着面２２と薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１との間から空気の漏れを無くし、上部プレート３の傾斜した吸着面３２と薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１との間から空気の漏れを無くす。
【００８９】
その結果、図１６に示すように、吸引部５内における負圧部（減圧部）８が、薄板材料１０の外縁部１０ａと、段部３４４の壁面３４５との間で、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央から、下部２プレート及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の両端部２８、２８、３８、３８側に向かって狭まって形成されて、薄板材料１０の外縁部１０ａを下部プレート２及び上部プレート３の、吸着部５２で吸着することになる。この吸引部５内における負圧部（減圧部）８は、薄板材料１０の外縁部１０ａから吸気通路５３に続いており、矢印Ｃ方向に沿う吸気通路５３内の空気の吸引により、大気圧に比べて気圧が低い負圧状態（減圧状態）となり、吸着部５２内における負圧部（減圧部）８の気圧は吸気通路５３内の気圧に近づき、最終的には、吸引部５内における負圧部（減圧部）８の気圧は吸気通路５３内の気圧と同じになる。
【００９０】
以上のようにして、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の外径が薄板材料１０の外縁部１０ａの外径より小さい場合の薄板材料１０の外縁部１０ａの吸着による保持が行われる。
【００９１】
つぎに、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の外径と薄板材料１０の外縁部１０ａの外径とが同じ大きさの場合の薄板材料１０の外縁部１０ａの吸着による保持について、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の外径が薄板材料１０の外縁部１０ａの外径より小さい場合の薄板材料１０の外縁部１０ａの吸着による保持と異なる点を中心に説明する。
【００９２】
下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の外径と薄板材料１０の外縁部１０ａの外径とが同じ大きさの場合でも、図示しない真空ポンプを駆動することで、ホース等の管が接続された基台４の平面部４２に形成された吸気孔４３より下部プレート２、上部プレート３及び基台４で形成された吸気通路５３内の空気を吸引する。このとき、図１３（ａ）に示す、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央では、矢印Ｃ方向に沿って、空気が吸引されることになり、図１３（ｂ）及び図１３（ｃ）に示す、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央以外では、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の両端部２８、２８、３８、３８側から、薄板材料の外縁部と対向する先端側の中央に向かって空気が吸引される。そして、上部プレート３及び下部プレート２の、薄板材料１０の外縁部１０ａ１と対向する先端側（一方の端部側）の吸引部５に薄板材料１０の外縁部１０ａを接近させると、薄板材料１０の外縁部１０ａが吸引部５の案内部５１内に入り込み吸着部５２内を移動し、上部プレート３の壁面３４５に向かって移動する（図１８参照）。
【００９３】
そして、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央側では、吸着部５２内で、図１７（ａ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａは上部プレート２の壁面３４５に当接し、薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１は下部プレート２の吸着面２２に当接する。上部プレート３の段部３４４は薄板材料１０の外縁部１０ａ１の厚み方向の長さよりも低く（短く）形成されているため、薄板材料１０の外縁部１０ａ１が吸着部５２へ進入しても上部プレート３の通路面３４と下部プレート２の通路面２４との間に吸気通路５３を形成することが可能になり、吸気孔４３より吸気通路５３内の空気を矢印Ｃ方向に沿って吸引することで薄板材料１０の外縁部１０ａ１に吸引力を及ぼすことが可能になり、上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側である吸引部５から凹部３３までのリップ部が凹部３３の終端である壁面（通路面）３６３の終端（縁部）３６４を中心に下部プレート２の縁部２６１を支点として、矢印Ｅ方向に沿って下部プレート２側に撓み（第二凹部３６が撓むことで、図１７（ａ）の点線で示す傾斜面３１及び吸着面３２から実線で示す傾斜面３１及び吸着面３２へ移動し）、上部プレート３の吸着面３２は、薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１に当接する。そして、吸気孔４３よる吸気通路５３内の空気の吸引により、下部プレート２の傾斜した吸着面２２と薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１との間から空気の漏れを無くし、上部プレート３の傾斜した吸着面３２と薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１との間から空気の漏れを無くす。
【００９４】
以上のように、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央側の先端側の吸引部５では、図１７（ａ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａが上部プレート３の壁面３４５に当接する。そして、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の両端部２８、２８、３８、３８側の吸引部５でも、図１７（ｂ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａが上部プレート３の壁面３４５に当接し、薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１は下部プレート２の吸着面２２に当接する。つまり、図１３（ａ）及び図１７（ｂ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａ１が吸着部５２へ進入し、上部プレート３の通路面３４と下部プレート２の通路面２４との間に形成された吸気通路５３内の空気を吸気孔４３より矢印Ｃ方向に沿って吸引することで薄板材料１０の外縁部１０ａ１に吸引力を及ぼし、上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側である吸引部５から凹部３３までのリップ部が凹部３３の終端である壁面（通路面）３６３の終端（縁部）３６４を中心に下部プレート２の縁部２６１を支点として、矢印Ｅ方向に沿って下部プレート２側に撓み（第二凹部３６が撓むことで、図１７（ｂ）の点線で示す傾斜面３１及び吸着面３２から実線で示す傾斜面３１及び吸着面３２へ移動し）、上部プレート３の吸着面３２は、薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１に当接する。そして、吸気孔４３よる吸気通路５３内の空気の吸引により、下部プレート２の傾斜した吸着面２２と薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１との間から空気の漏れを無くし、上部プレート３の傾斜した吸着面３４と薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１との間から空気の漏れを無くす。
【００９５】
その結果、図１８に示すように、吸引部５内における負圧部（減圧部）８が、薄板材料１０の外縁部１０ａと、段部３４４の壁面３４５との間で、段部３４４の壁面３４５（段部３４４の壁面３４５に当接した薄板材料１０の外縁部１０ａ）に沿って円弧の線状に形成されて、薄板材料１０の外縁部１０ａを下部プレート２及び上部プレート３の、吸着部５２で吸着することになる。この吸引部５内における負圧部（減圧部）８は、薄板材料１０の外縁部１０ａから吸気通路５３に続いており、矢印Ｃ方向に沿う吸気通路５３内の空気の吸引により、大気圧に比べて気圧が低い負圧状態（減圧状態）となる。以上のようにして、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の外径と薄板材料１０の外縁部１０ａの外径とが同じ大きさの場合の薄板材料１０の外縁部１０ａの吸着による保持が行われる。
【００９６】
（例３）
例１では、下部プレート２に第一段部２３（壁面２３１）を形成し、上部プレート３には下部プレート２の第一段部２３（壁面２３１）に対応する段部を形成しない構成について示し、例２では、上部プレート３に段部３４４（壁面３４５）を形成し、下部プレート２には上部プレート３の段部３４４（壁面３４５）に対応する段部を形成しない構成について示したが、以下では、下部プレート２に第一段部２３２（壁面２３３）を形成するとともに、上部プレート３にも下部プレート２の第一段部２３（壁面２１３）に対応する段部３４２（壁面３４３）を形成する構成について説明する。以下では、例１及び例２で示した薄板材料の吸着装置１と異なる構成を中心に説明する。
【００９７】
下部プレート２の構成については、基本的に例１及び例２で示した下部プレート２と同じ構成である。つまり、図１９に示すように、下部プレート２の吸引部５の、案内部５１及び吸着部５２、及び吸気通路５３は、例１及び例２で示した下部プレート２と同様に形成されており、傾斜面２１も、同様に、水平方向に対して鋭角である角度αで形成されており、吸着面２２も、同様に、水平方向に対して鋭角である角度βで形成されている。そして、図１９（ｂ）に示すように、吸着面２２の傾斜角度である角度βは傾斜面２１の傾斜角度である角度αより小さい角度である。そして、吸着面２２に連続した第一段部２３２の壁面２３３は、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と略同一の円弧形状をなし、吸着面２２に連続し下部プレート２の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側）に伸びた吸着面２２の終端として形成され、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と接触（当接）可能になっている（図１参照）。
【００９８】
また、図１９（ａ）及び図１９（ｃ）に示すように、第一段部２３２は、重ね合わされる上部プレート３側に隆起して形成されており、第一段部２３２の壁面２３３は薄板材料１０の外縁部１０ａに当接可能となるように薄板材料１０の外縁部１０ａと平行に形成されている。そして、第一段部２３の壁面２３３は、例１及び例２と同様に、吸着部５２内での薄板材料１０の外縁部１０ａの位置決めを行うとともに、吸着部５内への薄板材料１０の外縁部１０ａの進入の規制を行うことになる。また、第一段部２３２（壁面２３３）の高さは、薄板材料１０の外縁部１０ａの厚さより短く形成されている。本例では、第一段部２３２（壁面２３３）の高さが例１で示した下部プレート２の第一段部２３（壁面２３１）の高さより低く形成されている。そして、第一段部２３２が形成されることで、下部プレート２には通路面２４が形成されることになり、第一段部２３２の壁面２３３から下部プレート２の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側）に向かって吸気通路５３が形成されることになる。さらに、例１及び例２と同様に、通路面２４の、下部プレート２の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側）では段差を経て第二段部（平面部）２６形成されて、通路面２４の終端となっている。
【００９９】
通路面２４側と反対側（下部プレート２の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側））とでは、通路面２４側より反対側（下部プレート２の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側））の第二段部（平面部）２６の縁部２６１が高く形成されている（図１９（ａ）及び図１９（ｃ）参照）。また、下部プレート２の両端部２８、２８の、縁部２６１と壁面２３１との間に形成された通路面２４も、例１及び例２と同様に形成され、吸気通路５３の空気の吸引により、吸気装置１の外部の空気が吸引されることはない（空気の漏れを防ぐ状態になっている）。そして、例１と同様に、縁部２６１は、下部プレート２に上部プレート３が載せられた際に上部プレート３の先端側を含めたリップ部が回動する支点となる。また、例１及び例２と同様に、図１９（ｃ）に示すように、第二段部（平面部）２６には、下部プレート２を上部プレート３及び基台４に固定するためのボルト６等の固定具を組み込むための取付孔２７が下部プレート２の円弧形状に沿って複数形成されている。さらに、第二段部（平面部）２６に対して垂直に端面２８１が形成され、端面２８１に対して垂直に平面部２０が形成され吸引部５に向かって伸びている。以上が本例における下部プレート２の構成である。
【０１００】
また、上部プレート３も、基本的に例１及び例２で示した上部プレート３と同じ構成である。つまり、図２０に示すように、上部プレート３の吸引部５の、案内部５１及び吸着部５２、及び吸気通路５３は、例１及び例２と同様に形成されており、傾斜面３１も、同様に、水平方向に対して鋭角である角度αで形成されており、吸着面３２も、同様に、水平方向に対して鋭角である角度βで形成されている。そして、図２０（ｂ）に示すように、吸着面３２の傾斜角度である角度βは傾斜面３１の傾斜角度である角度αより小さい角度である。本例では、図２０に示すように、吸着面３２に連続して段部３４２が形成されている。そして、段部３４２の壁面３４３は、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と略同一の円弧形状をなしており、上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側）に伸びた吸着面３２の終端として形成され、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と接触（当接）可能になっている。
【０１０１】
また、段部３４２は、重ね合わされる下部プレート２側に隆起して形成されており、段部３４２の壁面３４３は薄板材料１０の外縁部１０ａに当接可能となるように薄板材料１０の外縁部１０ａと平行に形成されている。そして、段部３４２の壁面３４３は、下部プレート２と同様に、吸着部５２内での薄板材料１０の外縁部１０ａの位置決めを行うとともに、吸着部５内への薄板材料１０の外縁部１０ａの進入の規制を行うことになる。また、段部３４２（壁面３４３）の高さは、薄板材料１０の外縁部１０ａの厚さより短く形成されている。本例では、段部３４２（壁面３４３）の高さが下部プレート２の第一段部２３２（壁面２３３）の高さと同じに形成されているが、必ずしも上部プレート３の段部２３２（壁面２３３）の高さと下部プレート２の第一段部２３２（壁面２３３）の高さとが同じに形成される必要はない。つまり、上部プレート３の段部２３２と下部プレート２の第一段部２３２との間に隙間である吸気通路５３が形成されれば上部プレート３の段部２３２（壁面２３３）の高さと下部プレート２の第一段部２３２（壁面２３３）の高さとが同じでも異なってもよい。そして、段部３４２が形成されることで、下部プレート２と同様に、上部プレート３には通路面３４が形成されることになり、段部３４２の壁面３４３から下部プレート２の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側と反対側（他方の端部側）に向かって終端３４１までの吸気通路５３が形成されることになる。
【０１０２】
また、本例の上部プレート３でも、例１及び例２で示した上部プレート３と同様に、上部プレート３に第一凹部３５と第二凹部３６とから構成されている凹部３３が形成されている。そして、下部プレート２に上部プレート３を載置すると、下部プレート２の壁面２３３（第一段部２３２）が上部プレート３の壁面３４３（段部３４２）に対向することになり、下部プレート２の壁面２３３と上部プレート３の壁面３４３とが一直線上に載ることになり、薄板材料１０の外縁部１０ａと当接することが可能になる。また、下部プレート２に上部プレート３を載置して、下部プレート２の壁面２３３と上部プレート３の壁面３４３とに薄板材料１０の外縁部１０ａが当接することを含め、対向した際には、下部プレート２の第一段部２３２（通路面２４）と上部プレート３の段部３４２（通路面３４）との間に吸気通路５３（隙間）が形成されるように、下部プレート２の壁面２３３（第一段部２３２）及び上部プレート３の壁面３４３（段部３４２）が形成されている。さらに、例１及び例２と同様に、上部プレート３に形成された通路面３４、３５２、３６２は、上部プレート３の両端部３８、３８では、両端部３８、３８に到達する前に円弧状の壁部３９、３９を形成して通路面３４、３６２に連結しており、吸気通路５３の空気の吸引により下部プレート２の両端部３８、３８から吸気装置１の外部の空気が吸引されることはない（空気の漏れを防ぐ状態になっている）（図１参照）。
【０１０３】
第一凹部３５及び第二凹部３６については、例１及び例２で示した上部プレート３と同様に形成されており、図２０（ａ）及び図２０（ｃ）に示すように、上部プレート３の板厚は、第一凹部３５に対応する板厚より第二凹部３６に対応する板厚の方が薄くなっており、第一凹部３５と第二凹部３６とでは、第二凹部３６の方が大きく形成されている。また、例１及び例２と同様に、上部プレート３と下部プレート２とが重ねられると（配置されると）、凹部３３の終端である壁面（通路面）３６３の終端（縁部）３６４が下部プレート２の縁部２６１に当接した状態になり、吸気通路５３の空気が吸引されることで、上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側である吸引部５から凹部３３までのリップ部が凹部３３の終端である壁面（通路面）３６３の終端（縁部）３６４を中心に下部プレート２の縁部２６１を支点として下部プレート２側に撓むことになる。これは、上部プレート３の板厚の薄い第二凹部３６が空気の吸引により撓むことによるものである。例１及び例２と同様に、上部プレート３の、壁面（通路面）３６３の終端３６４からは平面部３７が形成されている（図２０（ａ）及び図２０（ｃ）、図１参照）。
【０１０４】
基台４も、基本的に例１及び例２で示した基台４と同じ構成である。つまり、本例の基台４も、下部プレート２と上部プレート３とで薄板材料１０の外縁部１０ａを吸引する側が、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と略同一の円弧形状をなし、下部プレート２及び上部プレート３を配置する載置部４１では、下部プレート２の平面部２０を載置することが可能な平面部４１１が形成されている（図１及び図４参照）。そして、載置部４１の終端では、平面部４１１に対して垂直に壁部４１２が形成されており、壁部４１２は、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と略同一の円弧形状で形成されており、壁部４１２からは壁部４１２に連続して平面部４２が、薄板材料１０の外縁部１０ａの一部と略同一の円弧形状で、下部プレート２と上部プレート３とで薄板材料１０の外縁部１０ａを吸引する側である先端側と反対側（他方の端部側）に伸びて形成されている。例１及び例２と同様に、基台４の中央の平面部４１１では、下部プレート２の吸気孔２５に対応して吸気通路５３である吸気孔４３が形成されており、吸気孔４３である吸気通路５３は、基台４の円弧方向の中央を横断する方向では、平面部４１１から平面部４２までをつなぐ略Ｕ字状の通路として形成されている。
【０１０５】
以上説明した、下部プレート２、上部プレート３及び基台４を組み立てると、例１及び例２と同様に、図２１に示すように、上部プレート３が下部プレート２に載り（重なり合い）、下部プレート２の平面部２０が基台４の平面部４１１に載ることになる（図２１（ｂ）参照）。そして、例１及び例２と同様に、下部プレート２、上部プレート３及び基台４を固定するための複数のボルト６が、取付孔２７、３７１、４１３に組み込まれることで、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の組立が完了し、下部プレート２の端面２８１及び上部プレート３の端面３８１とが基台４の壁面４１２に対向し、接触している、下部プレート２の平面部２６と上部プレート３の平面部３７との気密性を保つことになる（図２１（ｂ）及び図２１（ｃ）参照）。また、例１及び例２と同様に、図２１（ｂ）に示すように、下部プレート２及び上部プレート３の複数の箇所でボルト６１を組み込むことで下部プレート２及び上部プレート３だけを固定して、ボルト６を外すことで下部プレート２及び上部プレート３を同時に外し、下部プレート２及び上部プレート３を同時に取り替えることを可能にしている。さらに、例１及び例２と同様に、下部プレート２及び上部プレート３の両端部２８、２８、３８、３８にはシール部材７、７を取り付けることで、下部プレート２及び上部プレート３の気密性をより向上させて、吸気通路５３の空気が吸引されてもシール部材７、７により空気の漏れを防ぐ密閉された状態を維持することになる。
【０１０６】
下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、円弧形状の中央を横断する方向では、例１及び例２と同様に、図２１（ａ）に示すように、空気を吸引するための機構が形成されている。具体的には、吸引部５の、案内部５１及び吸着部５２は、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側（一方の端部側）から他方の端部側に向かい狭まる形状をなしている。そして、図２２に示すように、吸着部５２の傾斜角度は、案内部５１の傾斜角度より小さく形成されている。具体的には、例１及び例２と同様に、案内部５１を形成する下部プレート２及び上部プレート３の各々の傾斜面２１、３１のなす角度γと、吸着部５２を形成する下部プレート２及び上部プレート３の各々の吸着面２２、３２のなす角度δと、では、吸着部５２を形成する下部プレート２及び上部プレート３の各々の吸着面２２、３２のなす角度δが小さい。これは、吸着部５２では、薄板材料１０の表裏面に接触することなく薄板材料１０の外縁部１０ａの縁部１０ａ１のみへの接触を可能にするため、案内部５１の角度γより小さい角度δでも薄板材料１０の外縁部１０ａの縁部１０ａ１のみへの接触が可能となるので、案内部５１の角度γより小さい角度δで形成している。
【０１０７】
本例では、吸着部５２に連続して、下部プレート２の壁面（段差）２３３及び上部プレート３の壁面（段差）３４３を経て、下部プレート２の通路面２４と上部プレート３の通路面３４とで吸気通路５３を形成し、例１及び例２と同様に、下部プレート２の通路面２４と上部プレート３の通路面３５２、３６２とで形成される吸気通路５３に続き、下部プレート３の吸気孔２５である吸気通路５３に続いていく（図２１参照）。下部プレート３の吸気孔２５から下部プレート３の吸気孔２５に連続して、基台４内の吸気通路５３である吸気孔４３に続いている。基台４内の吸気通路５３である吸気孔４３は、壁部４３１、４３２、通路面４３４、４３５及び壁部４３６で形成されている。そして、基台４の平面部４２吸気孔４３には図示しない、ホース等の管が接続され真空ポンプに接続されている。
【０１０８】
また、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、円弧形状の中央以外を横断する方向では、図２１（ｂ）及び図２１（ｃ）に示すように、例１及び例２と同様に形成されている。具体的には、吸引部５の、案内部５１及び吸着部５２は、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側（一方の端部側）から他方の端部側に向かい狭まる形状をなしている。そして、案内部５１に連続して、吸引部５の吸着部５２は、下部プレート２の吸着面２２と上部プレート３の吸着面３２とで形成され、案内部５１と同様に、薄板材料の吸着装置１の先端側（一方の端部側）から他方の端部側に向かい狭まる形状をなしている。そして、図２２に示すように、吸着部５２の傾斜角度（角度δ）は、案内部５１の傾斜角度（角度γ）より小さく形成されている。
【０１０９】
そして、例１及び例２と同様に、吸着部５２に連続して、下部プレート２の壁面２３３（段差）及び上部プレート３の壁面３４３（段差）を経て、下部プレート２の通路面２４と上部プレート３の通路面３４とで吸気通路５３を形成し、下部プレート２の通路面２４と上部プレート３の壁面（通路面）３５１、３６１、３６３を含んだ上部プレート３の通路面３５２、３６２とで形成される吸気通路５３に続いている（図１９、図２０及び図２１（ａ）参照）。以上が下部プレート２、上部プレート３及び基台４の円弧形状の中央以外を横断する方向での、吸引部５（案内部５１、吸着部５１）及び吸気通路５３の構成である。そして、真空ポンプにより、下部プレート２、上部プレート３及び基台４内の空気が吸引されると、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の円弧形状の中央以外の空気も下部プレート２、上部プレート３及び基台４の円弧形状の中央から吸引されることになる。
【０１１０】
つぎに、薄板材料の吸着装置１を用いて薄板材料１０を吸着する動作について説明する。
【０１１１】
まず、図示しない真空ポンプを駆動することで、ホース等の管が接続された基台４の平面部４２に形成された吸気孔４３より下部プレート２、上部プレート３及び基台４で形成された吸気通路５３内の空気を吸引する。このとき、図２１（ａ）に示す、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央では、矢印Ｃ方向に沿って、空気が吸引されることになり、図２１（ｂ）及び図２１（ｃ）に示す、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央以外では、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の両端部２８、２８、３８、３８側から、薄板材料の外縁部と対向する先端側の中央に向かって空気が吸引される。そして、上部プレート３及び下部プレート２の、薄板材料１０の外縁部１０ａ１と対向する先端側（一方の端部側）の吸引部５に薄板材料１０の外縁部１０ａを接近させると、薄板材料１０の外縁部１０ａが吸引部５の案内部５１内に入り込み吸着部５２内を移動し、下部プレート２の壁面２３３及び上部プレート３の壁面３４３に向かって移動する（図２４参照）。
【０１１２】
そして、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の両端部２８、２８、３８、３８側では、吸着部５２内で、図２３（ａ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａは下部プレート２の壁面２３３及び上部プレート３の壁面３４３に当接し、薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１は下部プレート２の吸着面２２に当接する。上部プレート３の段部３４４及び下部プレート２の段部２３２の長さは薄板材料１０の外縁部１０ａの厚み方向の長さよりも低く（短く）形成されているため、薄板材料１０の外縁部１０ａが吸着部５２へ進入しても下部プレート２の通路面２４と上部プレート３の通路面３４との間に吸気通路５３を形成することが可能になり、吸気孔４３より吸気通路５３内の空気を矢印Ｃ方向に沿って吸引することで薄板材料１０の外縁部１０ａ１に吸引力を及ぼすことが可能になる。
【０１１３】
また、上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側である吸引部５から凹部３３までのリップ部が凹部３３の終端である壁面（通路面）３６３の終端（縁部）３６４を中心に下部プレート２の縁部２６１を支点として、矢印Ｅ方向に沿って下部プレート２側に撓み（第二凹部３６が撓むことで、図２３（ａ）の点線で示す傾斜面３１及び吸着面３２から実線で示す傾斜面３１及び吸着面３２へ移動し）、上部プレート３の吸着面３２は、薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１に当接する。そして、吸気孔４３よる吸気通路５３内の空気の吸引により、下部プレート２の傾斜した吸着面２２と薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１との間から空気の漏れを無くし、上部プレート３の傾斜した吸着面３４と薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１との間から空気の漏れを無くす。
【０１１４】
以上のように、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の両端部２８、２８、３８、３８側の吸引部５では、図２３（ａ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａが下部プレート２の壁面２３３及び上部プレート３の壁面３４３に当接するが、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央側での吸引部５では、図２３（ｂ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａが上部プレート３の壁面３４５に当接しない。つまり、図２１（ａ）及び図２３（ｂ）に示すように、矢印Ｃ方向に沿う吸気通路５３内の空気の吸引により、薄板材料の外縁部１０ａが吸引部５の案内部５１から、吸着部５２内の下部プレート２の壁面２３３及び上部プレート３の壁面３４３に向かって移動するが、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の吸引部５の外径より薄板材料１０の外縁部１０ａの外径が大きいため、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の両端（２８、２８、３８、３８）側に薄板材料１０の外縁部１０ａが当接すると、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央側には薄板材料１０の外縁部１０ａが到達しない（図２４参照）。その結果、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央の吸引部５では、図２３（ｂ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａと下部プレート２の壁面２３３及び上部プレート３の壁面３４３とが離れた状態になる（薄板材料１０の外縁部１０ａと下部プレート２の壁面２３３及び上部プレート３の壁面３４３との間に隙間が生じた状態になる）。
【０１１５】
そして、矢印Ｃ方向に沿う吸気通路５３内の空気の吸引により、下部プレート２、他方のプレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の両端側以外では、吸着部５２内で、図２３（ｂ）に示すように、下部プレート２の壁面２３３及び上部プレート３の壁面３４３とが薄板材料１０の外縁部１０ａに対向して離れ（下部プレート２の壁面２３３及び上部プレート３の壁面３４３と薄板材料１０の外縁部１０ａとの間に隙間を形成し）、下部プレート２の傾斜した吸着面２２が薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１に当接する。上部プレート３の段部３４４及び下部プレート２の段部２３２の長さは薄板材料１０の外縁部１０ａの厚み方向の長さよりも低く（短く）形成されているため、薄板材料１０の外縁部１０ａ１が吸着部５２へ進入しても上部プレート３の通路面３４と下部プレート２の通路面２４との間に吸気通路５３を形成することが可能になり、吸気孔４３より吸気通路５３内の空気を吸引することで薄板材料１０の外縁部１０ａ１に吸引力を及ぼすことが可能になる。
【０１１６】
また、上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側である吸引部５から凹部３３までのリップ部が凹部３３の終端である壁面（通路面）３６３の終端（縁部）３６４を中心に下部プレート２の縁部２６１を支点として、矢印Ｅ方向に沿って下部プレート２側に撓み（第二凹部３６が撓むことで、図２３（ｂ）の点線で示す傾斜面３１及び吸着面３２から実線で示す傾斜面３１及び吸着面３２へ移動し）、上部プレート３の吸着面３２は、薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１に当接する。そして、吸気孔４３よる吸気通路５３内の空気の吸引により、下部プレート２の傾斜した吸着面２２と薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１との間から空気の漏れを無くし、上部プレート３の傾斜した吸着面３２と薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１との間から空気の漏れを無くす。
【０１１７】
その結果、図２４に示すように、吸引部５内における負圧部（減圧部）８が、薄板材料１０の外縁部１０ａと、下部プレート２の壁面２３３及び上部プレート３の壁面３４３との間で、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央から、下部２プレート及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の両端部２８、２８、３８、３８側に向かって狭まって形成されて、薄板材料１０の外縁部１０ａを下部プレート２及び上部プレート３の、吸着部５２で吸着することになる。この吸引部５内における負圧部（減圧部）８は、薄板材料１０の外縁部１０ａから吸気通路５３に続いており、矢印Ｃ方向に沿う吸気通路５３内の空気の吸引により、大気圧に比べて気圧が低い負圧状態（減圧状態）となり、吸着部５２内における負圧部（減圧部）８の気圧は吸気通路５３内の気圧に近づき、最終的には、吸引部５内における負圧部（減圧部）８の気圧は吸気通路５３内の気圧と同じになる。
【０１１８】
以上のようにして、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の外径が薄板材料１０の外縁部１０ａの外径より小さい場合の薄板材料１０の外縁部１０ａの吸着による保持が行われる。
【０１１９】
つぎに、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の外径と薄板材料１０の外縁部１０ａの外径とが同じ大きさの場合の薄板材料１０の外縁部１０ａの吸着による保持について、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の外径が薄板材料１０の外縁部１０ａの外径より小さい場合の薄板材料１０の外縁部１０ａの吸着による保持と異なる点を中心に説明する。
【０１２０】
下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の外径と薄板材料１０の外縁部１０ａの外径とが同じ大きさの場合でも、図示しない真空ポンプを駆動することで、ホース等の管が接続された基台４の平面部４２に形成された吸気孔４３より下部プレート２、上部プレート３及び基台４で形成された吸気通路５３内の空気を吸引する。このとき、図２１（ａ）に示す、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央では、矢印Ｃ方向に沿って、空気が吸引されることになり、図２１（ｂ）及び図２１（ｃ）に示す、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央以外では、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の両端部２８、２８、３８、３８側から、薄板材料の外縁部と対向する先端側の中央に向かって空気が吸引される。そして、上部プレート３及び下部プレート２の、薄板材料１０の外縁部１０ａ１と対向する先端側（一方の端部側）の吸引部５に薄板材料１０の外縁部１０ａを接近させると、薄板材料１０の外縁部１０ａが吸引部５の案内部５１内に入り込み吸着部５２内を移動し、下部プレート２の壁面２３３及び上部プレート３の壁面３４３に向かって移動する（図２６参照）。
【０１２１】
そして、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央側では、吸着部５２内で、図２５（ａ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａは下部プレート２の壁面２３３及び上部プレート３の壁面３４３に当接し、薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１は下部プレート２の吸着面２２に当接する。上部プレート３の段部３４４及び下部プレート２の段部２３２の長さは薄板材料１０の外縁部１０ａの厚み方向の長さよりも低く（短く）形成されているため、薄板材料１０の外縁部１０ａが吸着部５２へ進入しても下部プレート２の通路面２４と上部プレート３の通路面３４との間に吸気通路５３を形成することが可能になり、吸気孔４３より吸気通路５３内の空気を矢印Ｃ方向に沿って吸引することで薄板材料１０の外縁部１０ａ１に吸引力を及ぼすことが可能になる。
【０１２２】
また、上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側である吸引部５から凹部３３までのリップ部が凹部３３の終端である壁面（通路面）３６３の終端（縁部）３６４を中心に下部プレート２の縁部２６１を支点として、矢印Ｅ方向に沿って下部プレート２側に撓み（第二凹部３６が撓むことで、図２５（ａ）の点線で示す傾斜面３１及び吸着面３２から実線で示す傾斜面３１及び吸着面３２へ移動し）、上部プレート３の吸着面３２は、薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１に当接する。そして、吸気孔４３よる吸気通路５３内の空気の吸引により、下部プレート２の傾斜した吸着面２２と薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１との間から空気の漏れを無くし、上部プレート３の傾斜した吸着面３２と薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１との間から空気の漏れを無くす。
【０１２３】
以上のように、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の中央側の先端側の吸引部５では、図２５（ａ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａが下部プレート２の壁面２３３及び上部プレート３の壁面３４３に当接する。そして、下部プレート２、上部プレート３及び基台４の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の両端部２８、２８、３８、３８側の吸引部５でも、図２５（ｂ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａが下部プレート２の壁面２３３及び上部プレート３の壁面３４３に当接し、薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１は下部プレート２の吸着面２２に当接する。つまり、図２１（ａ）及び図２５（ｂ）に示すように、薄板材料１０の外縁部１０ａ１が吸着部５２へ進入し、上部プレート３の通路面３４と下部プレート２の通路面２４との間に形成された吸気通路５３内の空気を吸気孔４３より矢印Ｃ方向に沿って吸引することで薄板材料１０の外縁部１０ａ１に吸引力を及ぼし、上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側である吸引部５から凹部３３までのリップ部が凹部３３の終端である壁面（通路面）３６３の終端（縁部）３６４を中心に下部プレート２の縁部２６１を支点として、矢印Ｅ方向に沿って下部プレート２側に撓み（第二凹部３６が撓むことで、図２５（ｂ）の点線で示す傾斜面３１及び吸着面３２から実線で示す傾斜面３１及び吸着面３２へ移動し）、上部プレート３の吸着面３２は、薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１に当接する。そして、吸気孔４３よる吸気通路５３内の空気の吸引により、下部プレート２の傾斜した吸着面２２と薄板材料１０の外縁部１０ａの一方の縁部１０ａ１との間から空気の漏れを無くし、上部プレート３の傾斜した吸着面３４と薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１との間から空気の漏れを無くす。
【０１２４】
その結果、図２６に示すように、吸引部５内における負圧部（減圧部）８が、薄板材料１０の外縁部１０ａと、下部プレート２の壁面２３３及び上部プレート３の壁面３４３との間で、下部プレート２の壁面２３３及び上部プレート３の壁面３４３（下部プレート２の壁面２３３及び上部プレート３の壁面３４３に当接した薄板材料１０の外縁部１０ａ）に沿って円弧の線状に形成されて、薄板材料１０の外縁部１０ａを下部プレート２及び上部プレート３の、吸着部５２で吸着することになる。この吸引部５内における負圧部（減圧部）８は、薄板材料１０の外縁部１０ａから吸気通路５３に続いており、矢印Ｃ方向に沿う吸気通路５３内の空気の吸引により、大気圧に比べて気圧が低い負圧状態（減圧状態）となる。以上のようにして、下部プレート２及び上部プレート３の、薄板材料１０の外縁部１０ａと対向する先端側の外径と薄板材料１０の外縁部１０ａの外径とが同じ大きさの場合の薄板材料１０の外縁部１０ａの吸着による保持が行われる。
【０１２５】
例１乃至例３では、吸気通路５３を含めた負圧部（減圧部）８に接する薄板材料１０の外縁部１０ａには以下の吸引力（吸着力）Ｆが［Ｎ］が発生する。
【０１２６】
【数１】
2011159736.tif 000003
【０１２７】
ここで、Ｐは吸気通路５３を含めた負圧部（減圧部）８内の真空度［Ｐａ］であり、Ｄは薄板材料１０の外径寸法［ｍ］であり、ｔは薄板材料１０の板厚寸法［ｍ］であり、θは薄板材料１０の外縁部１０ａに形成される負圧部（減圧部）８全体の角度［゜］である。
【０１２８】
そして、吸着装置１で吸着した薄板材料１０の移動等の処理が完了して吸着装置より薄板材料１０を外す場合には、図示しない真空ポンプによる吸気通路５３内の空気を吸引して大気圧に比べて気圧の低い負圧状態（減圧状態）にする駆動を停止して、真空ポンプによる、空気を導入する逆駆動を作動する。空気を導入することで負圧状態（減圧状態）が解除される。つまり、上部プレート３の先端側である吸引部５から凹部３３までのリップ部が凹部３３の終端である壁面（通路面）３６３の終端（縁部）３６４を中心に下部プレート２の縁部２６１を支点として、矢印Ｅ方向とは反対側に戻り（図８及び図１０の実線で示す傾斜面２１及び吸着面２２から点線で示す傾斜面２１及び吸着面２２へ戻り）、上部プレート３の吸着面２２は、薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１から離れ、上部プレート３の吸着面２２と薄板材料１０の外縁部１０ａの他方の縁部１０ａ１との間に隙間が生じ空気が入り込み、薄板材料１０を外せることになる。
【０１２９】
なお、本例では、下部プレート２及び上部プレート３は、樹脂製の平板状の部材で形成されているが、特に樹脂製の部材に限定されない。また、本例では、基台４は、金属製のの部材で形成されているが、特に金属製の部材に限定されない。
【０１３０】
なお、本実施の形態では、円盤形の薄板材料を用いて説明したが、吸着装置１の吸引部５の形状を、薄板材料の外縁部の形状に対応する形状にすることで、例えば矩形形状の薄板材料であっても吸着することが可能である。
【符号の説明】
【０１３１】
１…吸着装置
２…下部プレート、２０…平面部、２１…傾斜面、２２…吸着面、２２１…吸着縁、２３、２３２…第一段部、２３１、２３３…壁面、２４…通路面、２５…吸気孔、２６…第二段部（平面部）、２６１…縁部、２７…取付孔、２８…端部、２８１…端面、２９…円弧状の壁部
３…上部プレート、３０…平面部、３１…傾斜面、３２…吸着面、３４…通路面、３４１…終端、３４２…段部、３４３…壁面、３３…凹部、３５…第一凹部、３５１…壁面（通路面）、３５２…通路面、３５３、３６４…終端、３６…第二凹部、３６１、３６３…壁面（通路面）、３６２…通路面、３７…平面部、３７１…取付孔、３８…端部、３８１…端面、３９…円弧状の壁部
４…基台、４１…載置部、４１１…平面部、４１２…壁部、４１３…取付孔、４２…平面部、４３…吸気孔、４３１、４３２、４３５、４３６…壁部、４３３、４３４、４３５…通路面
５…吸引部、５１…案内部、５２…吸着部、５３…吸気通路
６、６１…ボルト、７…シール部材、８…吸引部内における負圧部（減圧部）
１０…薄板材料、１０ａ…外縁部、１０ａ１…縁部
【図１】
2011159736.tif 000004
【図２】
2011159736.tif 000005
【図３】
2011159736.tif 000006
【図４】
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【図５】
2011159736.tif 000008
【図６】
2011159736.tif 000009
【図７】
2011159736.tif 000010
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【手続補正書】
【提出日】平成22年10月14日(2010.10.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方のプレートと他方のプレートを重ね合わせることで薄板材料の外縁部を吸着する、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側に形成された吸引部と、前記吸引部と連続し、重ね合わせた前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々が対向することで形成された吸気通路と、前記吸気通路内の空気を吸引する吸気孔と、を有する薄板材料の吸着装置において、
前記吸引部では、前記薄板材料の外縁部の進入を案内する案内部が形成され、該案内部は、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する前記案内部の先端側から前記薄板材料の外縁部と対向する前記案内部の先端側と反対側に向かって狭まる傾斜面として形成され、
前記案内部に連続して吸着部が形成され、該吸着部は、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する前記吸着部の先端側から前記薄板材料の外縁部と対向する前記吸着部の先端側と反対側に向かって狭まる傾斜をした吸着面として形成され、
前記案内部を形成する前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々の前記傾斜面のなす角度と、前記吸着部を形成する前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々の前記吸着面のなす角度と、では、前記吸着部を形成する前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々の前記吸着面のなす角度が小さく形成され、
前記他方のプレートの前記吸着面と連続し、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって、前記一方のプレート側に隆起した、前記吸気通路の通路面が形成された、前記薄板材料の外縁部と当接することで前記薄板材料の外縁部を位置決めする第一段部と、を備え、
前記他方のプレート側へ撓む、前記一方のプレートの、前記他方のプレートと重ね合わされて、前記他方のプレートの通路面と前記吸気通路を形成する通路面では、第一凹部と第二凹部とからなる凹部が形成されており、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側の前記第一凹部に対応する前記一方のプレートの板厚より前記第一凹部に隣接する前記第二凹部に対応する前記一方のプレートの板厚が薄く形成され、
前記吸気孔より前記吸気通路内の前記空気を吸引することで、前記吸着部内で前記薄板材料の外縁部が前記他方のプレートの前記第一段部に対向し、前記他方のプレートの前記吸着面が前記薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接し、前記他方のプレートの、前記一方のプレートと重ね合わされて前記吸気通路を形成する前記通路面の終端にある第二段部の縁部を支点として、前記一方のプレートの前記第二凹部が前記他方のプレート側へ撓み、前記一方のプレートの前記吸着面が前記薄板材料の外縁部の他方の縁部に当接することで前記吸気通路と連続する前記吸着部で前記薄板材料の外縁部を吸着することを特徴とする薄板材料の吸着装置。
【請求項２】
一方のプレートと他方のプレートを重ね合わせることで薄板材料の外縁部を吸着する、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側に形成された吸引部と、前記吸引部と連続し、重ね合わせた前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々が対向することで形成された吸気通路と、前記吸気通路内の空気を吸引する吸気孔と、を有する薄板材料の吸着装置において、
前記吸引部では、前記薄板材料の外縁部の進入を案内する案内部が形成され、該案内部は、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する前記案内部の先端側から前記薄板材料の外縁部と対向する前記案内部の先端側と反対側に向かって狭まる傾斜面として形成され、
前記案内部に連続して吸着部が形成され、該吸着部は、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する前記吸着部の先端側から前記薄板材料の外縁部と対向する前記吸着部の先端側と反対側に向かって狭まる傾斜をした吸着面として形成され、
前記案内部を形成する前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々の前記傾斜面のなす角度と、前記吸着部を形成する前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々の前記吸着面のなす角度と、では、前記吸着部を形成する前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々の前記吸着面のなす角度が小さく形成され、
前記一方のプレートの前記吸着面と連続し、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって、前記他方のプレート側に隆起した、前記吸気通路の通路面が形成された、前記薄板材料の外縁部と当接することで前記薄板材料の外縁部を位置決めする段部と、を備え、
前記他方のプレート側へ撓む、前記一方のプレートの、前記他方のプレートと重ね合わされて、前記他方のプレートの通路面と前記吸気通路を形成する前記通路面では、第一凹部と第二凹部とからなる凹部が形成されており、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側の前記第一凹部に対応する前記一方のプレートの板厚より前記第一凹部に隣接する前記第二凹部に対応する前記一方のプレートの板厚が薄く形成され、
前記吸気孔より前記吸気通路内の前記空気を吸引することで、前記吸着部内で前記薄板材料の外縁部が前記一方のプレートの前記段部に対向し、前記他方のプレートの前記吸着面が前記薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接し、前記他方のプレートの、前記一方のプレートと重ね合わされて前記吸気通路を形成する前記通路面の終端にある第二段部の縁部を支点として、前記一方のプレートの前記第二凹部が前記他方のプレート側へ撓み、前記一方のプレートの前記吸着面が前記薄板材料の外縁部の他方の縁部に当接することで前記吸気通路と連続する前記吸着部で前記薄板材料の外縁部を吸着することを特徴とする薄板材料の吸着装置。
【請求項３】
一方のプレートと他方のプレートを重ね合わせることで薄板材料の外縁部を吸着する、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側に形成された吸引部と、前記吸引部と連続し、重ね合わせた前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々が対向することで形成された吸気通路と、前記吸気通路内の空気を吸引する吸気孔と、を有する薄板材料の吸着装置において、
前記吸引部では、前記薄板材料の外縁部の進入を案内する案内部が形成され、該案内部は、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する前記案内部の先端側から前記薄板材料の外縁部と対向する前記案内部の先端側と反対側に向かって狭まる傾斜面として形成され、
前記案内部に連続して吸着部が形成され、該吸着部は、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する前記吸着部の先端側から前記薄板材料の外縁部と対向する前記吸着部の先端側と反対側に向かって狭まる傾斜をした吸着面として形成され、
前記案内部を形成する前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々の前記傾斜面のなす角度と、前記吸着部を形成する前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々の前記吸着面のなす角度と、では、前記吸着部を形成する前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々の前記吸着面のなす角度が小さく形成され、
前記他方のプレートの前記吸着面と連続し、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって、前記一方のプレート側に隆起した、前記吸気通路の通路面が形成された、前記薄板材料の外縁部と当接することで前記薄板材料の外縁部を位置決めする第一段部と、  前記一方のプレートの前記吸着面と連続し、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって、前記他方のプレート側に隆起した、前記吸気通路の通路面が形成された、前記薄板材料の外縁部と当接することで前記薄板材料の外縁部を位置決めする段部と、を備え、
前記他方のプレート側へ撓む、前記一方のプレートの、前記他方のプレートと重ね合わされて、前記他方のプレートの通路面と前記吸気通路を形成する前記通路面では、第一凹部と第二凹部とからなる凹部が形成されており、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側の前記第一凹部に対応する前記一方のプレートの板厚より前記第一凹部に隣接する前記第二凹部に対応する前記一方のプレートの板厚が薄く形成され、
前記吸気孔より前記吸気通路内の前記空気を吸引することで、前記吸着部内で前記薄板材料の外縁部が前記一方のプレートの前記段部及び前記他方のプレートの前記第一段部に対向し、前記他方のプレートの前記吸着面が前記薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接し、前記他方のプレートの、前記一方のプレートと重ね合わされて前記吸気通路を形成する前記通路面の終端にある第二段部の縁部を支点として、前記一方のプレートの前記第二凹部が前記他方のプレート側へ撓み、前記一方のプレートの前記吸着面が前記薄板材料の外縁部の他方の縁部に当接することで前記吸気通路と連続する前記吸着部で前記薄板材料の外縁部を吸着することを特徴とする薄板材料の吸着装置。
【請求項４】
前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側の外径が前記薄板材料の外縁部の外径より小さい場合には、前記吸気孔より前記吸気通路内の前記空気を吸引することで、前記吸引部内における減圧部は、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側の中央から、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側の両端側に向かって狭まることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の薄板材料の吸着装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記の目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、一方のプレートと他方のプレートを重ね合わせることで薄板材料の外縁部を吸着する、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側に形成された吸引部と、前記吸引部と連続し、重ね合わせた前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々が対向することで形成された吸気通路と、前記吸気通路内の空気を吸引する吸気孔と、を有する薄板材料の吸着装置において、前記吸引部では、前記薄板材料の外縁部の進入を案内する案内部が形成され、該案内部は、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する前記案内部の先端側から前記薄板材料の外縁部と対向する前記案内部の先端側と反対側に向かって狭まる傾斜面として形成され、前記案内部に連続して吸着部が形成され、該吸着部は、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する前記吸着部の先端側から前記薄板材料の外縁部と対向する前記吸着部の先端側と反対側に向かって狭まる傾斜をした吸着面として形成され、前記案内部を形成する前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々の前記傾斜面のなす角度と、前記吸着部を形成する前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々の前記吸着面のなす角度と、では、前記吸着部を形成する前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々の前記吸着面のなす角度が小さく形成され、前記他方のプレートの前記吸着面と連続し、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって、前記一方のプレート側に隆起した、前記吸気通路の通路面が形成された、前記薄板材料の外縁部と当接することで前記薄板材料の外縁部を位置決めする第一段部と、を備え、前記他方のプレート側へ撓む、前記一方のプレートの、前記他方のプレートと重ね合わされて、前記他方のプレートの通路面と前記吸気通路を形成する通路面では、第一凹部と第二凹部とからなる凹部が形成されており、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側の前記第一凹部に対応する前記一方のプレートの板厚より前記第一凹部に隣接する前記第二凹部に対応する前記一方のプレートの板厚が薄く形成され、前記吸気孔より前記吸気通路内の前記空気を吸引することで、前記吸着部内で前記薄板材料の外縁部が前記他方のプレートの前記第一段部に対向し、前記他方のプレートの前記吸着面が前記薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接し、前記他方のプレートの、前記一方のプレートと重ね合わされて前記吸気通路を形成する前記通路面の終端にある第二段部の縁部を支点として、前記一方のプレートの前記第二凹部が前記他方のプレート側へ撓み、前記一方のプレートの前記吸着面が前記薄板材料の外縁部の他方の縁部に当接することで前記吸気通路と連続する前記吸着部で前記薄板材料の外縁部を吸着することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
従って、請求項１に記載の発明によれば、案内部を形成する一方のプレート及び他方のプレートの各々の傾斜面のなす角度を大きくすることで、案内部に進入する、薄板材料を吸着部へ導き易くすることを可能し、吸着部を形成する一方のプレート及び他方のプレートの各々の吸着面が傾斜して角度を形成することで薄板材料の表裏面に接触することなく薄板材料の外縁部の縁部のみへの接触を可能する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
従って、請求項１に記載の発明によれば、一方のプレートの通路面には、第一凹部と第二凹部とからなる凹部が形成され、第一凹部と第二凹部とでは第二凹部の方が一方のプレートの通路面の板厚が薄く形成されており、吸気孔から吸気通路内の空気を吸引して、他方のプレートの支点の位置より一方のプレートが撓む際に、板厚の薄い第二凹部が撓むことで一方のプレートが撓むので一方のプレートの吸引部は撓みによる変形がない状態で薄板材料側（他方のプレート側）へ撓むことが可能になり、薄板材料の外縁部の縁部に一方のプレートの吸引部の吸着部（吸着面）が当接しても、当接した、薄板材料の外縁部の縁部と一方のプレートの吸引部の吸着部（吸着面）との間に隙間が形成され空気が漏れる（空気が外部から入り込む）ことを防止することが可能になる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
従って、請求項１に記載の発明によれば、吸気孔より吸気通路内の空気を吸引することにより、他方のプレートの第一段部は薄板材料の外縁部の厚み方向の長さよりも低く（短く）形成されているため、薄板材料が吸着部へ進入しても一方のプレートの通路面と他方のプレートの通路面との間に吸気通路を形成することが可能になり、吸気孔より吸気通路内の空気を吸引することで薄板材料の外縁部に吸引力を及ぼすことが可能になり、吸気孔よる吸気通路内の空気の吸引により、吸着部内で薄板材料の外縁部が他方のプレートの第一段部に対向し、他方のプレートの傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接して、他方のプレートの第二段部の縁部を支点として、一方のプレートの第二凹部が他方のプレート側へ撓み、一方のプレートの傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の他方の縁部に当接して、他方のプレートの傾斜した吸着面と薄板材料の外縁部の一方の縁部との間から空気の漏れを無くし、一方のプレートの傾斜した吸着面と薄板材料の外縁部の他方の縁部との間から空気の漏れを無くして、吸着部を含めた吸気通路内を負圧状態（減圧状態）にすることで薄板材料の外縁部を吸着することが可能になる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
また、請求項２に記載の発明は、一方のプレートと他方のプレートを重ね合わせることで薄板材料の外縁部を吸着する、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側に形成された吸引部と、前記吸引部と連続し、重ね合わせた前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々が対向することで形成された吸気通路と、前記吸気通路内の空気を吸引する吸気孔と、を有する薄板材料の吸着装置において、前記吸引部では、前記薄板材料の外縁部の進入を案内する案内部が形成され、該案内部は、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する前記案内部の先端側から前記薄板材料の外縁部と対向する前記案内部の先端側と反対側に向かって狭まる傾斜面として形成され、前記案内部に連続して吸着部が形成され、該吸着部は、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する前記吸着部の先端側から前記薄板材料の外縁部と対向する前記吸着部の先端側と反対側に向かって狭まる傾斜をした吸着面として形成され、前記案内部を形成する前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々の前記傾斜面のなす角度と、前記吸着部を形成する前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々の前記吸着面のなす角度と、では、前記吸着部を形成する前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々の前記吸着面のなす角度が小さく形成され、前記一方のプレートの前記吸着面と連続し、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって、前記他方のプレート側に隆起した、前記吸気通路の通路面が形成された、前記薄板材料の外縁部と当接することで前記薄板材料の外縁部を位置決めする段部と、を備え、前記他方のプレート側へ撓む、前記一方のプレートの、前記他方のプレートと重ね合わされて、前記他方のプレートの通路面と前記吸気通路を形成する前記通路面では、第一凹部と第二凹部とからなる凹部が形成されており、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側の前記第一凹部に対応する前記一方のプレートの板厚より前記第一凹部に隣接する前記第二凹部に対応する前記一方のプレートの板厚が薄く形成され、前記吸気孔より前記吸気通路内の前記空気を吸引することで、前記吸着部内で前記薄板材料の外縁部が前記一方のプレートの前記段部に対向し、前記他方のプレートの前記吸着面が前記薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接し、前記他方のプレートの、前記一方のプレートと重ね合わされて前記吸気通路を形成する前記通路面の終端にある第二段部の縁部を支点として、前記一方のプレートの前記第二凹部が前記他方のプレート側へ撓み、前記一方のプレートの前記吸着面が前記薄板材料の外縁部の他方の縁部に当接することで前記吸気通路と連続する前記吸着部で前記薄板材料の外縁部を吸着することを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
従って、請求項２に記載の発明によれば、一方のプレートと他方のプレートとを重ね合わせて、薄板材料の外縁部を前記薄板材料の板厚方向から吸着する吸引部と、一方のプレートと他方のプレートとが対向することで形成された隙間である吸気通路と、吸気通路内の空気を吸引する、一方のプレートと他方のプレートとを重ね合わせて載せた、吸気通路に通じる、基台の吸気孔と、を形成し、吸気孔からホース等の管を介して連結された真空ポンプにより、吸気通路内の空気を吸引し、吸引部へ薄板材料を進入させ、薄板材料の外縁部が案内部の傾斜面に案内されて吸着部内へ進入し、薄板材料の外縁部が一方のプレートの吸着面と連続する段部（壁面）と対向し、吸着部の傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の縁部に当接して吸着し、一方のプレートの吸着面と連続する段部と他方のプレートの通路面とで形成された吸気通路からの吸引により薄板材料の外縁部を吸着することで薄板材料を保持することが可能になる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
従って、請求項２に記載の発明によれば、案内部を形成する一方のプレート及び他方のプレートの各々の傾斜面のなす角度を大きくすることで、案内部に進入する、薄板材料を吸着部へ導き易くすることを可能し、吸着部を形成する一方のプレート及び他方のプレートの各々の吸着面が傾斜して角度を形成することで薄板材料の表裏面に接触することなく薄板材料の外縁部の縁部のみへの接触を可能する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
従って、請求項２に記載の発明によれば、一方のプレートの通路面には、第一凹部と第二凹部とからなる凹部が形成され、第一凹部と第二凹部とでは第二凹部の方が一方のプレートの通路面の板厚が薄く形成されており、吸気孔から吸気通路内の空気を吸引して、他方のプレートの支点の位置より一方のプレートが撓む際に、板厚の薄い第二凹部が撓むことで一方のプレートが撓むので一方のプレートの吸引部は撓みによる変形がない状態で薄板材料側（他方のプレート側）へ撓むことが可能になり、薄板材料の外縁部の縁部に一方のプレートの吸引部の吸着部（吸着面）が当接しても、当接した、薄板材料の外縁部の縁部と一方のプレートの吸引部の吸着部（吸着面）との間に隙間が形成され空気が漏れる（空気が外部から入り込む）ことを防止することが可能になる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
従って、請求項２に記載の発明によれば、吸気孔より吸気通路内の空気を吸引することにより、一方のプレートの段部は薄板材料の外縁部の厚み方向の長さよりも低く（短く）形成されているため、薄板材料が吸着部へ進入しても一方のプレートの段部（通路面）と他方のプレートの通路面との間に吸気通路を形成することが可能になり、吸気孔より吸気通路内の空気を吸引することで薄板材料の外縁部に吸引力を及ぼすことが可能になり、吸気孔よる吸気通路内の空気の吸引により、吸着部内で薄板材料の外縁部が一方のプレートの段部に対向し、他方のプレートの傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接して、他方のプレートの第二段部の縁部を支点として、一方のプレートの第二凹部が他方のプレート側へ撓み、一方のプレートの傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の他方の縁部に当接して、他方のプレートの傾斜した吸着面と薄板材料の外縁部の一方の縁部との間から空気の漏れを無くし、一方のプレートの傾斜した吸着面と薄板材料の外縁部の他方の縁部との間から空気の漏れを無くして、吸着部を含めた吸気通路内を負圧状態（減圧状態）にすることで薄板材料の外縁部を吸着することが可能になる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
さらに、請求項３に記載の発明は、一方のプレートと他方のプレートを重ね合わせることで薄板材料の外縁部を吸着する、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側に形成された吸引部と、前記吸引部と連続し、重ね合わせた前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々が対向することで形成された吸気通路と、前記吸気通路内の空気を吸引する吸気孔と、を有する薄板材料の吸着装置において、前記吸引部では、前記薄板材料の外縁部の進入を案内する案内部が形成され、該案内部は、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する前記案内部の先端側から前記薄板材料の外縁部と対向する前記案内部の先端側と反対側に向かって狭まる傾斜面として形成され、前記案内部に連続して吸着部が形成され、該吸着部は、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する前記吸着部の先端側から前記薄板材料の外縁部と対向する前記吸着部の先端側と反対側に向かって狭まる傾斜をした吸着面として形成され、前記案内部を形成する前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々の前記傾斜面のなす角度と、前記吸着部を形成する前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々の前記吸着面のなす角度と、では、前記吸着部を形成する前記一方のプレート及び前記他方のプレートの各々の前記吸着面のなす角度が小さく形成され、前記他方のプレートの前記吸着面と連続し、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって、前記一方のプレート側に隆起した、前記吸気通路の通路面が形成された、前記薄板材料の外縁部と当接することで前記薄板材料の外縁部を位置決めする第一段部と、前記一方のプレートの前記吸着面と連続し、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側と反対側に向かって、前記他方のプレート側に隆起した、前記吸気通路の通路面が形成された、前記薄板材料の外縁部と当接することで前記薄板材料の外縁部を位置決めする段部と、を備え、前記他方のプレート側へ撓む、前記一方のプレートの、前記他方のプレートと重ね合わされて、前記他方のプレートの通路面と前記吸気通路を形成する前記通路面では、第一凹部と第二凹部とからなる凹部が形成されており、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側の前記第一凹部に対応する前記一方のプレートの板厚より前記第一凹部に隣接する前記第二凹部に対応する前記一方のプレートの板厚が薄く形成され、前記吸気孔より前記吸気通路内の前記空気を吸引することで、前記吸着部内で前記薄板材料の外縁部が前記一方のプレートの前記段部及び前記他方のプレートの前記第一段部に対向し、前記他方のプレートの前記吸着面が前記薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接し、前記他方のプレートの、前記一方のプレートと重ね合わされて前記吸気通路を形成する前記通路面の終端にある第二段部の縁部を支点として、前記一方のプレートの前記第二凹部が前記他方のプレート側へ撓み、前記一方のプレートの前記吸着面が前記薄板材料の外縁部の他方の縁部に当接することで前記吸気通路と連続する前記吸着部で前記薄板材料の外縁部を吸着することを特徴とする。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
従って、請求項３に記載の発明によれば、一方のプレートと他方のプレートとを重ね合わせて、薄板材料の外縁部を前記薄板材料の板厚方向から吸着する吸引部と、一方のプレートと他方のプレートとが対向することで形成された隙間である吸気通路と、吸気通路内の空気を吸引する、一方のプレートと他方のプレートとを重ね合わせて載せた、吸気通路に通じる、基台の吸気孔と、を形成し、吸気孔からホース等の管を介して連結された真空ポンプにより、吸気通路内の空気を吸引し、吸引部へ薄板材料を進入させ、薄板材料の外縁部が案内部の傾斜面に案内されて吸着部内へ進入し、薄板材料の外縁部が、一方のプレートの吸着面と連続する段部（壁面）と対向するとともに、他方のプレートの前記吸着面と連続する第一段部（壁面）と対向し、吸着部の傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の縁部に当接して吸着し、一方のプレートの吸着面と連続する段部と他方のプレートの前記吸着面と連続する第一段部とから形成された吸気通路からの吸引により薄板材料の外縁部を吸着することで薄板材料を保持することが可能になる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
従って、請求項３に記載の発明によれば、案内部を形成する一方のプレート及び他方のプレートの各々の傾斜面のなす角度を大きくすることで、案内部に進入する、薄板材料を吸着部へ導き易くすることを可能し、吸着部を形成する一方のプレート及び他方のプレートの各々の吸着面が傾斜して角度を形成することで薄板材料の表裏面に接触することなく薄板材料の外縁部の縁部のみへの接触を可能する。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
従って、請求項３に記載の発明によれば、一方のプレートの通路面には、第一凹部と第二凹部とからなる凹部が形成され、第一凹部と第二凹部とでは第二凹部の方が一方のプレートの通路面の板厚が薄く形成されており、吸気孔から吸気通路内の空気を吸引して、他方のプレートの支点の位置より一方のプレートが撓む際に、板厚の薄い第二凹部が撓むことで一方のプレートが撓むので一方のプレートの吸引部は撓みによる変形がない状態で薄板材料側（他方のプレート側）へ撓むことが可能になり、薄板材料の外縁部の縁部に一方のプレートの吸引部の吸着部（吸着面）が当接しても、当接した、薄板材料の外縁部の縁部と一方のプレートの吸引部の吸着部（吸着面）との間に隙間が形成され空気が漏れる（空気が外部から入り込む）ことを防止することが可能になる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
従って、請求項３に記載の発明によれば、吸気孔より吸気通路内の空気を吸引することにより、一方のプレートの段部及び他方のプレートの第一段部の長さは薄板材料の外縁部の厚み方向の長さよりも低く（短く）形成されているため、薄板材料が吸着部へ進入しても一方のプレートの段部（通路面）と他方のプレートの第一段差（通路面）との間に吸気通路を形成することが可能になり、吸気孔より吸気通路内の空気を吸引することで薄板材料の外縁部に吸引力を及ぼすことが可能になり、吸気孔よる吸気通路内の空気の吸引により、吸着部内で薄板材料の外縁部が一方のプレートの段部及び他方のプレートの第一段部に対向し、他方のプレートの傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接して、他方のプレートの第二段部の縁部を支点として、一方のプレートの第二凹部が他方のプレート側へ撓み、一方のプレートの傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の他方の縁部に当接して、他方のプレートの傾斜した吸着面と薄板材料の外縁部の一方の縁部との間から空気の漏れを無くし、一方のプレートの傾斜した吸着面と薄板材料の外縁部の他方の縁部との間から空気の漏れを無くして、吸着部を含めた吸気通路内を負圧状態（減圧状態）にすることで薄板材料の外縁部を吸着することが可能になる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の構成に加え、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側の外径が前記薄板材料の外縁部の外径より小さい場合には、前記吸気孔より前記吸気通路内の前記空気を吸引することで、前記吸引部内における減圧部は、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側の中央から、前記一方のプレート及び前記他方のプレートの、前記薄板材料の外縁部と対向する先端側の両端側に向かって狭まることを特徴とする。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
従って、請求項４に記載の発明によれば、一方のプレート及び他方のプレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側の外径が薄板材料の外縁部の外径より小さい場合には、吸気孔より吸気通路内の空気を吸引すると、一方のプレート及び他方のプレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側の両端側では、吸着部内で、他方のプレートの第一段部が薄板材料の外縁部に対向して当接し、他方のプレートの傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接して、他方のプレートの傾斜した吸着面と薄板材料の外縁部の一方の縁部との間から空気の漏れを無くし、一方のプレート及び他方のプレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側の両端側では、他方のプレートの第二段部の縁部を支点として、一方のプレートの第二凹部が他方のプレート側へ撓み、一方のプレートの傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の他方の縁部に当接して、一方のプレートの傾斜した吸着面と薄板材料の外縁部の他方の縁部との間から空気の漏れを無くし、一方のプレート及び他方のプレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側の両端側以外では、吸着部内で、他方のプレートの第一段部が薄板材料の外縁部に対向して離れ（他方のプレートの第一段部と薄板材料の外縁部との間に隙間を形成し）、他方のプレートの傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の一方の縁部に当接して、他方のプレートの傾斜した吸着面と薄板材料の外縁部の一方の縁部との間から空気の漏れを無くし、他方のプレートの第二段部の縁部を支点として、一方のプレートの第二凹部が他方のプレート側へ撓み、一方のプレートの傾斜した吸着面が薄板材料の外縁部の他方の縁部に当接して、一方のプレートの傾斜した吸着面と薄板材料の外縁部の他方の縁部との間から空気の漏れを無くす。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
そして、吸引部内における負圧部（減圧部）が、薄板材料の外縁部と、第一段部の壁面との間で、一方のプレート及び他方のプレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側の中央から、一方のプレート及び他方のプレートの、薄板材料の外縁部と対向する先端側の両端側に向かって狭まって形成されて、薄板材料の外縁部を一方のプレート及び他方のプレートの、吸着部で吸着することが可能になる。