(57)【要約】【課題】蒸着装置及びこれを利用した有機発光素子の製造方法を提供する。【解決手段】蒸着特性及び蒸着膜均一性を向上させることができるように、ベースと、該ベース上に形成された熱遮断層、熱遮断層上にストライプ状に形成され、蒸着する蒸着材料を加熱するための発熱層と、及び熱遮断層上に形成され、発熱層上に蒸着材料を配することができる空間を画定するようにパターニングされた隔壁と、を備えた蒸着装置、及びこれを利用した有機発光素子の製造方法である。【選択図】図２
2011119226.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースと、
前記ベース上に形成された熱遮断層と、
前記熱遮断層上にストライプ状に形成され、蒸着する蒸着材料を加熱するための発熱層と、
前記熱遮断層上に形成され、前記発熱層上に蒸着材料を配する空間を画定するようにパターニングされた隔壁と、を備えた蒸着装置。
【請求項２】
前記熱遮断層は、ＺｒＯ２、ＳｉＯ２及びＡｌ２Ｏ３からなる群から選択された少なくともいずれか一つを含むことを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項３】
前記熱遮断層は、前記ベースの面のうち、前記発熱層に面する面の全体に形成されることを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項４】
前記発熱層は、複数のストライプ・パターンを有することを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項５】
前記複数のストライプ・パターンをなす各ストライプ・パターンは、一端から他端まで均一な幅を有していることを特徴とする請求項４に記載の蒸着装置。
【請求項６】
前記複数のストライプ・パターンは、同幅を有することを特徴とする請求項４に記載の蒸着装置。
【請求項７】
前記隔壁は、前記複数のストライプ・パターン間に配されるように、ストライプ状に形成されたことを特徴とする請求項４に記載の蒸着装置。
【請求項８】
前記発熱層は、１つの共通電源に連結されることを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項９】
前記発熱層は、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｃｕ及びＡｌからなる群から選択された少なくともいずれか一つを含むことを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項１０】
前記発熱層は、異なる蒸着材料を配するように、第１発熱層、第２発熱層及び第３発熱層を備えていることを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項１１】
前記第１発熱層、第２発熱層及び第３発熱層は、それぞれ独立した電源に連結されていることを特徴とする請求項１０に記載の蒸着装置。
【請求項１２】
前記第１発熱層、第２発熱層及び第３発熱層は、それぞれ複数のストライプ・パターンに形成されていることを特徴とする請求項１０に記載の蒸着装置。
【請求項１３】
前記複数のストライプ・パターンをなす各ストライプ・パターンは、一端から他端まで均一な幅を有していることを特徴とする請求項１２に記載の蒸着装置。
【請求項１４】
前記第１発熱層の複数のストライプ・パターンは、同幅を有し、前記第２発熱層の複数のストライプ・パターンは、同幅を有し、前記第３発熱層の複数のストライプ・パターンは、同幅を有していることを特徴とする請求項１２に記載の蒸着装置。
【請求項１５】
前記隔壁は、前記複数のストライプ・パターン間に配されるように、ストライプ状に形成されたことを特徴とする請求項１２に記載の蒸着装置。
【請求項１６】
前記隔壁は、第１隔壁と、前記第１隔壁と交差する第２隔壁と、を具備することを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項１７】
前記第２隔壁は、前記発熱層上に配されることを特徴とする請求項１６に記載の蒸着装置。
【請求項１８】
前記発熱層は、全体領域で同じ厚みを有していることを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項１９】
ベースと、前記ベース上に形成された熱遮断層と、前記熱遮断層上にストライプ状に形成され、蒸着する蒸着材料を加熱するための発熱層と、及び前記熱遮断層上に形成され、前記発熱層上に蒸着材料を配する空間を画定するようにパターニングされた隔壁と、を備えた蒸着装置を利用した有機発光素子の製造方法に係り、
第１電極と、前記第１電極上に配され、前記第１電極の所定の領域を露出するように形成された画素定義膜と、が形成された基板を準備する段階と、
前記蒸着装置を利用し、前記第１電極と電気的に連結される有機発光層を形成する段階と、
前記有機発光層上に第２電極を形成する段階と、を含む有機発光素子の製造方法。
【請求項２０】
前記蒸着装置を利用し、前記有機発光層を形成する段階は、前記画素定義膜と前記隔壁とが接触するように、前記基板と前記蒸着装置とを配する段階を備えていることを特徴とする請求項１９に記載の有機発光素子の製造方法。
【請求項２１】
前記有機発光層を形成する前に、前記第１電極上に、正孔輸送／注入層を形成する段階をさらに備えていることを特徴とする請求項１９に記載の有機発光素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着装置及びこれを利用した有機発光素子の製造方法に係り、さらに詳細には、蒸着特性及び蒸着膜均一性を向上させることができる蒸着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子機器は、微細な薄膜を含み、微細な薄膜を形成するために、多様な方法を利用する。特に、平板表示装置は、複数の薄膜を形成して製造されるので、平板表示装置の特性を向上させるために、薄膜の特性向上が重要である。
【０００３】
平板表示装置のうち有機発光素子は、他の平板表示装置に比べ、視野角が広く、かつコントラストにすぐれて応答速度が速く、次世代表示装置として注目されている。
【０００４】
有機発光素子で、可視光線を発光する有機発光層及び有機発光層の周囲に配される有機層は、多様な方法を利用して形成するが、工程が単純である真空蒸着法が頻繁に使われる。真空蒸着法は、蒸着を行うための粉末、固体形態の蒸着材料を加熱し、所望の部分に蒸着膜を形成するのである。
【０００５】
かような真空蒸着法は、点状の蒸着ソース、線状の蒸着ソース及び面状の蒸着ソースを利用する。ところで、点状の蒸着ソースを利用すれば、点状の蒸着ソースから広い基板に蒸着物が広がっていくので、蒸着膜の均一度を確保し難い。
【０００６】
また、線状蒸着ソースを利用した蒸着方法は、一方向に長く延びたルツボに粉末を入れ、ルツボを加熱して蒸着膜を形成するが、蒸着ソースまたは基板を移動しつつ蒸着するので、均一な蒸着特性確保が困難である。
【０００７】
面状の蒸着ソースは、被蒸着材に対応するサイズに形成すれば、別途の移動なしに蒸着工程を進められる。ところで、被蒸着材の全体領域に対して均一な温度を維持し難く、これにより、均一な蒸着特性を確保し難い。特に、被蒸着材の大きさが大きくなるほど、蒸着特性を向上させるのに限界が生じる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、蒸着特性及び蒸着膜均一性を向上させることができる蒸着装置及び有機発光素子の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、ベースと、前記ベース上に形成された熱遮断層と、前記熱遮断層上にストライプ状に形成され、蒸着する蒸着材料を加熱するための発熱層と、及び前記熱遮断層上に形成され、前記発熱層上に蒸着材料を配することができる空間を画定するようにパターニングされた隔壁と、を備えた蒸着装置を開示する。
【００１０】
本発明において、前記熱遮断層は、ＺｒＯ２、ＳｉＯ２及びＡｌ２Ｏ３からなる群から選択された少なくともいずれか一つを含むことができる。
【００１１】
本発明において、前記熱遮断層は、前記ベースの面のうち、前記発熱層に面する面の全体に形成されうる。
【００１２】
本発明において、前記発熱層は、複数のストライプ・パターンを有することができる。
【００１３】
本発明において、前記複数のストライプ・パターンをなす各ストライプ・パターンは、一端から他端まで均一な幅を有することができる。
【００１４】
本発明において、前記複数のストライプ・パターンは、同じ幅を有することができる。
【００１５】
本発明において、前記隔壁は、前記複数のストライプ・パターン間に配されるように、ストライプ状に形成されうる。
【００１６】
本発明において、前記発熱層は、１つの共通電源に連結されうる。
【００１７】
本発明において、前記発熱層は、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｃｕ及びＡｌからなる群から選択された少なくともいずれか一つを含むことができる。
【００１８】
本発明において、前記発熱層は、異なる蒸着材料を配することができるように、第１発熱層、第２発熱層及び第３発熱層を備えることができる。
【００１９】
本発明において、前記第１発熱層、第２発熱層及び第３発熱層は、それぞれ独立した電源に連結されうる。
【００２０】
本発明において、前記第１発熱層、第２発熱層及び第３発熱層は、それぞれ複数のストライプ・パターンに形成されうる。
【００２１】
本発明において、前記複数のストライプ・パターンをなす各ストライプ・パターンは、一端から他端まで均一な幅を有することができる。
【００２２】
本発明において、前記第１発熱層の複数のストライプ・パターンは、同幅を有し、前記第２発熱層の複数のストライプ・パターンは、同幅を有し、前記第３発熱層の複数のストライプ・パターンは、同幅を有することができる。
【００２３】
本発明において、前記隔壁は、前記複数のストライプ・パターン間に配されるように、ストライプ状に形成されうる。
【００２４】
本発明において、前記隔壁は、第１隔壁と、前記第１隔壁と交差する第２隔壁とを具備することができる。
【００２５】
本発明において、前記第２隔壁は、前記発熱層上に配されうる。
【００２６】
本発明において、前記発熱層は、全体領域で同じ厚みを有することができる。
【００２７】
本発明の他の側面によれば、ベースと、前記ベース上に形成された熱遮断層と、前記熱遮断層上にストライプ状に形成され、蒸着する蒸着材料を加熱するための発熱層と、及び前記熱遮断層上に形成され、前記発熱層上に蒸着材料を配することができる空間を画定するようにパターニングされた隔壁と、を備えた蒸着装置を利用した有機発光素子の製造方法に係り、第１電極と、前記第１電極上に配され、前記第１電極の所定の領域を露出するように形成された画素定義膜とが形成された基板を準備する段階、前記蒸着装置を利用し、前記第１電極と電気的に連結される有機発光層を形成する段階、及び前記有機発光層上に第２電極を形成する段階を備えている有機発光素子の製造方法を開示する。
【００２８】
本発明において、前記蒸着装置を利用し、前記有機発光層を形成する段階は、前記画素定義膜と前記隔壁とが接触するように、前記基板と前記蒸着装置とを配する段階を含むことができる。
【００２９】
本発明において、前記有機発光層を形成する前に、前記第１電極上に、正孔輸送／注入層を形成する段階をさらに備えることができる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明に係わる蒸着装置及びこれを利用した有機発光素子の製造方法は、蒸着特性及び蒸着膜均一性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の一実施形態に係わる蒸着装置を概略的に図示した平面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿って切り取った断面図である。
【図３】本発明の他の実施形態に係わる蒸着装置を概略的に図示した平面図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線に沿って切り取った断面図である。
【図５】本発明のさらに他の実施形態に係わる蒸着装置を概略的に図示した平面図である。
【図６】図５のＶＩ−ＶＩ線に沿って切り取った断面図である。
【図７】図５のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿って切り取った断面図である。
【図８Ａ】本発明の一実施形態に係わる有機発光素子の製造方法を、順次に図示した断面図である。
【図８Ｂ】本発明の一実施形態に係わる有機発光素子の製造方法を、順次に図示した断面図である。
【図８Ｃ】本発明の一実施形態に係わる有機発光素子の製造方法を、順次に図示した断面図である。
【図８Ｄ】本発明の一実施形態に係わる有機発光素子の製造方法を、順次に図示した断面図である。
【図８Ｅ】本発明の一実施形態に係わる有機発光素子の製造方法を、順次に図示した断面図である。
【図８Ｆ】本発明の一実施形態に係わる有機発光素子の製造方法を、順次に図示した断面図である。
【図９Ａ】本発明の他の実施形態に係わる有機発光素子の製造方法を、順次に図示した断面図である。
【図９Ｂ】本発明の他の実施形態に係わる有機発光素子の製造方法を、順次に図示した断面図である。
【図９Ｃ】本発明の他の実施形態に係わる有機発光素子の製造方法を、順次に図示した断面図である。
【図９Ｄ】本発明の他の実施形態に係わる有機発光素子の製造方法を、順次に図示した断面図である。
【図９Ｅ】本発明の他の実施形態に係わる有機発光素子の製造方法を、順次に図示した断面図である。
【図１０Ａ】本発明のさらに他の実施形態に係わる有機発光素子の製造方法を、順次に図示した断面図である。
【図１０Ｂ】本発明のさらに他の実施形態に係わる有機発光素子の製造方法を、順次に図示した断面図である。
【図１０Ｃ】本発明のさらに他の実施形態に係わる有機発光素子の製造方法を、順次に図示した断面図である。
【図１０Ｄ】本発明のさらに他の実施形態に係わる有機発光素子の製造方法を、順次に図示した断面図である。
【図１０Ｅ】本発明のさらに他の実施形態に係わる有機発光素子の製造方法を、順次に図示した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、添付された図面に図示された本発明に係わる実施形態を参照しつつ、本発明の構成及び作用について詳細に説明する。
【００３３】
図１は、本発明の一実施形態に係わる蒸着装置を概略的に図示した平面図であり、図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線に沿って切り取った断面図である。
【００３４】
図１及び図２を参照すれば、蒸着装置１００は、ベース１０１、熱遮断層１０２、発熱層１０３及び隔壁１０４を含む。
【００３５】
蒸着装置１００は、被蒸着材（図示せず）と対向するように配され、蒸着工程を真空雰囲気で進められるように、真空ポンプが連結された構造物に連結されうる。また、蒸着装置１００及び被蒸着材が真空雰囲気のチャンバ内に配されもする。
【００３６】
蒸着装置１００は、被蒸着材の一部面または全体面に蒸着材料を蒸着することができる面状に形成される。
【００３７】
蒸着材料が気化されて被蒸着材に蒸着膜が形成されるが、蒸着材料を加熱するように、ベース１０１上に発熱層１０３が配される。
【００３８】
ベース１０１は、蒸着装置１００を全体的に支持するので、耐久性にすぐれ、発熱層１０３で発生した熱による変形が小さくなければならない。また、ベース１０１は、表面欠陥が少なく、かつ熱膨張率が低い材料を利用して形成する。このために、ベース１０１は、石英を利用できる。本発明は、これに限定されるものではなく、ガラスプレート及びセラミックプレートに、セラミック・コーティングを行い、ベース１０１を形成することもできる。
【００３９】
ベース１０１上に、熱遮断層１０２が形成される。熱遮断層１０２は、発熱層１０３と接し、発熱層１０３で発生した熱がベース１０１に伝えられることを防止する。これを介して、発熱層１０３の効率を向上させ、複数の発熱層１０３間の熱的干渉を防止する。このために、熱遮断層１０２は、表面に欠陥がなく、かつ熱伝逹率が低い絶縁物質を含む。具体的には、熱遮断層１０２は、セラミック材料であるＺｒＯ２、ＳｉＯ２及びＡｌ２Ｏ３からなる群から選択された少なくともいずれか一つを含むことができる。
【００４０】
また、熱遮断層１０２は、発熱層１０３で発生した熱を効果的に遮断するように、ベース１０１の上面全体に形成されることが望ましい。
【００４１】
熱遮断層１０２は、かようなセラミック材料を塗布、乾燥及び高温熱処理の工程を順次に進めたり、電解コーティング方法によって形成される。
【００４２】
熱遮断層１０２の上部に、発熱層１０３が形成される。発熱層１０３は、所定間隔を有して離隔された複数のストライプ・パターンを有する。発熱層１０３は、蒸着材料を加熱する部分であり、導電性物質から形成され、別途の電源（図示せず）に連結される。電源で印加された電圧を印加し、発明層１０３で発生したジュール熱（Ｊｏｕｌｅ’ｓ  ｈｅａｔ）を介して蒸着材料を加熱する。
【００４３】
発熱層１０３は、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｃｕ及びＡｌからなる群から選択された少なくともいずれか一つを含む。発熱層１０３は、ストライプ・パターンを有するが、均一な幅を有する。すなわち、発熱層１０３の１つのストライプ・パターンの一端の幅Ｘ１は、他端の幅Ｘ３と同一である。また、発熱層１０３の一端と他端との間の中間部分の幅Ｘ２も、幅Ｘ１と同一である。これを介して、発熱層１０３の１つのストライプ・パターンの一端から他端まで全体領域にわたって同じ発熱特性を確保することができる。また、発熱層１０３に備わった複数のストライプ・パターンが異なる幅を有することができるが、同幅を有することが望ましい。すなわち、発熱層１０３に備わった複数のストライプ・パターンは、いずれも同幅Ｘ１を有することが望ましい。
【００４４】
特に、本実施形態の蒸着装置１００を利用し、有機発光素子を形成するとき、同じ可視光線を発光する有機発光層を形成する場合、発熱層１０３は、いずれも同幅を有する複数のストライプ・パターンに形成されることが望ましい。
【００４５】
また、発熱層１０３に備わった複数のストライプ・パターンは、同じ厚みｄを有することが望ましい。
【００４６】
発熱層１０３は、フォトリソグラフィ法を利用し、ストライプ・パターンに形成できる。また、本発明は、これに限定されるものではなく、金属ホイルをレーザで切断した後にベース１０１に接合し、発熱層１０３を形成することもできる。
【００４７】
発熱層１０３は、別途の電源に連結されるが、１つの共通電源に連結されることが望ましい。蒸着材料を利用して蒸着膜を形成する場合、蒸着材料を加熱する速度、時間及び温度によって蒸着膜の特性が変わる。有機発光素子の同じ色を発光する有機発光層は、同じ特性を有することが望ましい。従って、本実施形態の蒸着装置１００を利用し、有機発光素子を形成するとき、同じ可視光線を発光する有機発光層を形成する場合、発熱層１０３は、いずれも同幅を有する複数のストライプ・パターンに形成されることが望ましい。
【００４８】
熱遮断層１０２上に、隔壁１０４が形成される。隔壁１０４は、発熱層１０３の周辺に形成される。隔壁１０４は、発熱層１０３のストライプ・パターン間に配される。すなわち、隔壁１０４は、複数のストライプ・パターンを有するように形成される。
【００４９】
隔壁１０４で限定された空間に蒸着材料が配されるので、所望の蒸着材料の量を考慮し、隔壁１０４の高さが決定される。隔壁１０４は、熱伝導度が低い材料を利用して形成するが、セラミック材料を含むことができる。また、隔壁１０４は、感光性材料を利用して形成でき、感光性材料とガラスフリットとを混合して形成することもできる。
【００５０】
本実施形態の蒸着装置１００は、所望のパターンに形成された隔壁１０４を含む。隔壁１０４で限定された空間に配された発熱層１０３上に、蒸着材料を配して蒸着工程を進めれば、所望のパターンの蒸着膜が形成される。すなわち、別途のマスクなしにも、蒸着膜パターンを具現できる。
【００５１】
また、本実施形態の蒸着装置１００は、発熱層１０３とベース１０１との間に、熱遮断層１０２が配され、発熱層１０３で発生した熱が、ベース１０１に伝えられることが防止される。蒸着膜の特性は、蒸着材料を加熱する時間、速度及び温度などによって異なる。発熱層１０３で発生した熱が、ベース１０１に伝えられれば、かような熱は、蒸着材料を不均一に加熱し、結果として、不均一な蒸着膜が形成される。しかし、本実施形態では、熱遮断層１０２によって、発熱層１０３で発生した熱が、ベース１０１に伝えられることを防止し、均一な蒸着膜を容易に形成する。
【００５２】
また、本実施形態の蒸着装置１００の発熱層１０３は、複数のストライプ・パターンを有するように形成されるが、発熱層１０３は、電源に連結されて電圧が印加されれば、発熱層１０３が有する抵抗によって熱を発生させる。このとき、発熱層１０３の幅、厚みによって発生する熱量が変わる。そして、かような熱量差は、蒸着材料を不均一に加熱させ、結果として蒸着膜の特性が、領域によって不均一になる。しかし、本実施形態の発熱層１０３の１つのストライプ・パターンは、均一な幅及び厚みに形成される。これを介して、発熱層１０３の１つのストライプの一端から他端まで同じ熱を発生させる。すなわち、発熱層１０３の１つのストライプ・パターン上に配された蒸着材料を均一に加熱できる。また、本実施形態の発熱層１０３は、いずれも同幅の複数のストライプ・パターンを有する。従って、発熱層１０３の全体領域で同じ熱を発生させ、蒸着材料を均一に加熱する。結果として、均一な特性の蒸着膜を容易に形成できる。
【００５３】
図３は、本発明の他の実施形態に係わる蒸着装置を概略的に図示した平面図であり、図４は、図３のＩＶ−ＩＶ線に沿って切り取った断面図である。説明の便宜のために、前述の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００５４】
図３及び図４を参照すれば、蒸着装置２００は、ベース２０１、熱遮断層２０２、発熱層２０３及び隔壁２０４を含む。
【００５５】
前述の図１に図示した蒸着装置１００は、１つの蒸着材料を利用した蒸着工程を進めることができる。すなわち、有機発光素子は、３種の色を具現する有機発光層を具備するが、図１の蒸着装置１００は、１回の蒸着工程を進め、有機発光素子の有機発光層のうち、１つの色を具現する有機発光層を形成できる。有機発光層を最終的に完成しようとするならば、図１の蒸着装置１００で３回の蒸着工程を進める。
【００５６】
本実施形態の蒸着装置２００は、異なる蒸着材料を利用した蒸着工程を進められ、１回の蒸着工程を進めて有機発光素子の有機発光層を形成できる。
【００５７】
ベース２０１上に、熱遮断層２０２が形成されるが、ベース２０１の上面全体に形成されることが望ましい。
【００５８】
熱遮断層２０２の上部に、発熱層２０３が形成される。発熱層２０３は、第１発熱層２０３ａ、第２発熱層２０３ｂ及び第３発熱層２０３ｃを含む。第１発熱層２０３ａ、第２発熱層２０３ｂ及び第３発熱層２０３ｃは、それぞれ所定間隔を有し、ストライプ状に形成される。また、第１発熱層２０３ａ、第２発熱層２０３ｂ及び第３発熱層２０３ｃは、それぞれ複数のストライプ・パターンを含むが、第１発熱層２０３ａ、第２発熱層２０３ｂ及び第３発熱層２０３ｃが順次に反復されつつ配されうる。
【００５９】
第１発熱層２０３ａは、ストライプ・パターンを有するが、均一な幅を有する。すなわち、第１発熱層２０３ａの１つのストライプ・パターンの一端の幅Ｘ１は、他端の幅Ｘ３と同一である。また、第１発熱層２０３ａの一端と他端との間の中間部分の幅Ｘ２も、幅Ｘ１と同一である。これを介して、第１発熱層２０３ａの１つのストライプ・パターンの一端から他端まで全体領域にわたって、同じ発熱特性を確保することができる。また、第１発熱層２０３ａに備わった複数のストライプ・パターンは、同幅を有する。すなわち、第１発熱層２０３ａに備わった複数のストライプ・パターンは、いずれも幅Ｘ１を有するように形成されうる。
【００６０】
第２発熱層２０３ｂは、ストライプ・パターンを有するが、均一な幅を有する。すなわち、第２発熱層２０３ｂの１つのストライプ・パターンの一端の幅Ｙ１は、他端の幅Ｙ３と同一である。また、第２発熱層２０３ｂの一端と他端との間の中間部分の幅Ｙ２も、幅Ｙ１と同一である。これを介して、第２発熱層２０３ｂの１つのストライプ・パターンの一端から他端まで全体領域にわたって、同じ発熱特性を確保することができる。また、第２発熱層２０３ｂに備わった複数のストライプ・パターンは、同幅を有する。すなわち、第２発熱層２０３ｂに備わった複数のストライプ・パターンは、いずれも幅Ｙ１を有するように形成されうる。
【００６１】
同様に、第３発熱層２０３ｃは、ストライプ・パターンを有するが、均一な幅を有する。すなわち、第３発熱層２０３ｃの１つのストライプ・パターンの一端の幅Ｚ１は、他端の幅Ｚ３と同一である。また、第３発熱層２０３ｃの一端と他端との間の中間部分の幅Ｚ２も、幅Ｚ１と同一である。これを介して、第３発熱層２０３ｃの１つのストライプ・パターンの一端から他端まで全体領域にわたって、同じ発熱特性を確保することができる。また、第３発熱層２０３ｃに備わった複数のストライプ・パターンは、同幅を有する。すなわち、第３発熱層２０３ｃに備わった複数のストライプ・パターンは、いずれも幅Ｚ１を有するように形成されうる。
【００６２】
そして、第１発熱層２０３ａの幅Ｘ１、第２発熱層２０３ｂの幅Ｘ２及び第３発熱層２０３ｃの幅Ｘ３は、いずれも同一でありえる。しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、互いに異なる値を有することもある。
【００６３】
第１発熱層２０３ａは、１つの共通電源に連結される。また、第２発熱層２０３ｂは、１つの共通電源に連結され、第３発熱層２０３ｃも、１つの共通電源に連結される。そして、第１発熱層２０３ａ、第２発熱層２０３ｂ及び第３発熱層２０３ｃに連結された電源は、異なる電源である。すなわち、本実施形態の発熱層２０３は、３つの電源に連結される。
【００６４】
蒸着材料を利用して蒸着膜を形成する場合、蒸着材料を加熱する速度、時間及び温度によって、蒸着膜の特性が異なる。有機発光素子は、一般的に、３種の色を発光する有機発光層を具備するが、例えば、赤色有機発光層、緑色有機発光層及び青色有機発光層を具備する。
【００６５】
そして、かような３種の有機発光層は、発光特性が異なるので、それぞれ異なる厚みに形成されうる。また、３種の有機発光層を形成するために、異なる蒸着材料を利用するが、それぞれの蒸着材料は、異なる材料であるので、熱を加えたとき、気化または昇華する速度が異なる。従って、３種の有機発光層を１回で形成するために、それぞれの蒸着材料をいずれも配した後に蒸着工程を進める場合、所望の蒸着膜特性を具現するのに限界がある。
【００６６】
しかし、本実施形態の蒸着装置２００は、それぞれ異なる電源に連結される第１発熱層２０３ａ、第２発熱層２０３ｂ及び第３発熱層２０３ｃを具備する。これを介して、第１発熱層２０３ａ、第２発熱層２０３ｂ及び第３発熱層２０３ｃに印加される電圧の大きさ及び印加時間を制御できる。第１発熱層２０３ａ、第２発熱層２０３ｂ及び第３発熱層２０３ｃの上に異種の蒸着材料を配してから、１回の蒸着工程を進めることで、蒸着膜全体にわたって所望の特性を有する蒸着膜を具現できる。
【００６７】
特に、本実施形態の蒸着装置２００を利用し、有機発光素子を形成するとき、３種の色を発光する有機発光層を同時に形成する場合、第１発熱層２０３ａ、第２発熱層２０３ｂ及び第３発熱層２０３ｃに印加される電圧を別途に制御し、１回の蒸着工程を介して、所望の特性を有する有機発光層を容易に形成できる。
【００６８】
熱遮断層２０２上に、隔壁２０４が形成される。隔壁２０４は、発熱層２０３の周辺に形成される。隔壁２０４は、発熱層２０３のストライプ・パターン間に配される。すなわち、隔壁２０４は、複数のストライプ・パターンを有するように形成される。
【００６９】
ベース２０１、熱遮断層２０２、発熱層２０３及び隔壁２０４の材料及び製法は、前述の実施形態と同一であるので、具体的な説明は省略する。
【００７０】
本実施形態の蒸着装置２００は、前述の実施形態と同様に、別途のマスクなしに、所望の蒸着膜パターンを具現できる。また、発熱層２０３とベース２０１との間に熱遮断層２０２を配し、発熱層２０３で発生した熱がベース２０１に伝えられることを防止し、これを介して、発熱層２０３に備わった各発熱層２０３ａ，２０３ｂ，２０３ｃ間での熱干渉を防止する。すなわち、第１発熱層２０３ａで発生した熱が、隣接した第２発熱層２０３ｂまたは第３発熱層２０３ｃに伝えられることを防止する。これを介して、均一な蒸着膜を容易に形成する。
【００７１】
また、本実施形態の発熱層２０３は、複数のストライプ・パターンを有するように形成される第１発熱層２０３ａ、第２発熱層２０３ｂ及び第３発熱層２０３ｃを具備するが、第１発熱層２０３ａの１つのストライプ・パターンは、均一な幅及び厚みに形成される。これを介して、第１発熱層２０３ａの１つのストライプの一端から他端まで、同じ熱を発生させる。すなわち、第１発熱層２０３ａの１つのストライプ・パターン上に配された蒸着材料を均一に加熱できる。また、第１発熱層２０３ａに備わったストライプ・パターンがいずれも同幅を有するようにし、第１発熱層２０３ａの全体領域で同じ熱を発生させ、第１発熱層２０３ａ上に配される蒸着材料を均一に加熱する。
【００７２】
これと同様に、第２発熱層２０３ｂ及び第３発熱層２０３ｃも、それぞれ全体領域で同じ熱を発生させる。
【００７３】
また、本実施形態の蒸着装置２００は、それぞれ異なる電源に連結された第１発熱層２０３ａ、第２発熱層２０３ｂ及び第３発熱層２０３ｃを具備し、１回の蒸着工程を進めることで、蒸着膜全体にわたって所望の特性を有する蒸着膜を具現できる。
【００７４】
図５は、本発明のさらに他の実施形態に係わる蒸着装置を概略的に図示した平面図であり、図６は、図５のＶＩ−ＶＩ線に沿って切り取った断面図であり、図７は、図５のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿って切り取った断面図である。説明の便宜のために、前述の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【００７５】
図５ないし図７を参照すれば、蒸着装置３００は、ベース３０１、熱遮断層３０２、発熱層３０３及び隔壁３０４を含む。
【００７６】
本実施形態の蒸着装置３００は、図３に図示した実施形態と同様に、異なる蒸着材料を利用した蒸着工程を進められるので、１回の蒸着工程を経て有機発光素子の有機発光層を形成できる。
【００７７】
ベース３０１上に熱遮断層３０２が形成されるが、ベース３０１の上面全体に形成されることが望ましい。
【００７８】
熱遮断層３０２の上部に、発熱層３０３が形成される。発熱層３０３は、第１発熱層３０３ａ、第２発熱層３０３ｂ及び第３発熱層３０３ｃを含む。第１発熱層３０３ａ、第２発熱層３０３ｂ及び第３発熱層３０３ｃは、それぞれ所定間隔を有し、ストライプ状に形成される。また、第１発熱層３０３ａ、第２発熱層３０３ｂ及び第３発熱層３０３ｃは、それぞれ複数のストライプ・パターンを含み、第１発熱層３０３ａ、第２発熱層３０３ｂ及び第３発熱層３０３ｃが、順次に反復されつつ配されうる。
【００７９】
第１発熱層３０３ａは、複数のストライプ・パターンを有するが、それぞれは均一な幅を有する。また、第１発熱層３０３ａに備わった複数のストライプ・パターンは、同幅を有する。
【００８０】
第２発熱層３０３ｂは、複数のストライプ・パターンを有するが、それぞれは均一な幅を有する。また、第２発熱層３０３ｂに備わった複数のストライプ・パターンは、同幅を有する。
【００８１】
同様に、第３発熱層３０３ｃは、複数のストライプ・パターンを有するが、それぞれは均一な幅を有する。また、第３発熱層３０３ｃに備わった複数のストライプ・パターンは、同幅を有する。
【００８２】
そして、第１発熱層３０３ａの幅、第２発熱層３０３ｂの幅及び第３発熱層３０３ｃの幅は、いずれも同一でありえる。
【００８３】
熱遮断層３０２上に、隔壁３０４が形成される。隔壁３０４は、第１隔壁３０４ａ及び第２隔壁３０４ｂを具備する。第１隔壁３０４ａは、発熱層３０３の周辺に形成される。すなわち、第１隔壁３０４ａは、複数のストライプ・パターンを有するように形成される。
【００８４】
第２隔壁３０４ｂは、第１隔壁３０４ａと交差するように形成される。すなわち、第２隔壁３０４ｂは、発熱層３０３上に発熱層３０３と交差するように形成される。
【００８５】
これによって、本実施形態の蒸着装置３００では、蒸着材料が配される空間が、ストライプ状ではなく格子状となる。すなわち、図１ないし図４に図示した蒸着装置１００，２００は、ストライプ・パターンの発熱層１０３，２０３及びその周辺の隔壁１０４，２０４によって、蒸着材料を配する空間は、ストライプ状である。しかし、本実施形態では、ストライプ・パターンの発熱層３０３の周辺に、第１隔壁３０４ａが形成されるだけではなく、発熱層３０３と交差する方向に、第２隔壁３０４ｂが形成される。これを介して、蒸着材料を配する空間は、格子状と類似することになる。
【００８６】
隔壁３０４の構造によって、本実施形態の蒸着装置３００は、多様な方法で蒸着材料を配することができる。前述の図３の蒸着装置２００の第１発熱層２０３ａの１つのストライプ・パターン上には、１つの蒸着材料が一括的にストライプ・パターンに配される。しかし、本実施形態の蒸着装置３００の第１発熱層３０３ａの１つのストライプ・パターン上には、さまざまな蒸着材料が配されうる。すなわち、第１発熱層３０３ａの１つのストライプ・パターン上の空間を第２隔壁３０４ｂが区画するので、かような区画された空間に、所望の種類の蒸着材料を配することができる。
【００８７】
また、蒸着材料を配する各空間が狭くなるので、蒸着材料を均一に配することが容易である。
【００８８】
本実施形態の蒸着装置３００の発熱層３０３は、電圧を印加されうるように外部の電源に連結されるが、第１発熱層３０３ａは、１つの共通電源に連結され、第２発熱層３０３ｂは、他の別途の共通電源に連結され、第３発熱層３０３ｃは、さらに他の別途の共通電源に連結されうる。特に、第１発熱層３０３ａに備わったあらゆるストライプ・パターン上に同じ蒸着材料を配する場合、第１発熱層３０３ａは、１つの共通電源に連結されることが望ましい。これと同様に、第２発熱層３０３ｂに備わったあらゆるストライプ・パターン上に同じ蒸着材料を配する場合、第２発熱層３０３ｂは、第１発熱層３０３ａに連結された電源と異なる１つの電源に連結されることが望ましい。また、第３発熱層３０３ｃに備わったあらゆるストライプ・パターン上に同じ蒸着材料を配する場合、第３発熱層３０３ｃは、第１発熱層３０３ａに連結された電源及び第２発熱層３０３ｂに連結された電源と異なる１つの電源に連結されることが望ましい。
【００８９】
ベース３０１、熱遮断層３０２、発熱層３０３及び隔壁３０４の材料及び製法は、前述の実施形態と類似しているので、具体的な説明は省略する。
【００９０】
本実施形態の蒸着装置３００は、前述の実施形態と同様に、別途のマスクなしに、所望の蒸着膜パターンを具現できる。また、発熱層３０３とベース３０１との間に熱遮断層３０２を配しているので、均一な蒸着膜を容易に形成することができる。
【００９１】
また、本実施形態の発熱層３０３は、複数のストライプ・パターンを有するように形成される第１発熱層３０３ａ、第２発熱層３０３ｂ及び第３発熱層３０３ｃを具備するが、各発熱層３０３ａ，３０３ｂ，３０３ｃの１つのストライプ・パターンは、均一な幅及び厚みに形成されるので、１つのストライプ・パターンで発生する熱が均一となるようにすることができる。
【００９２】
また、第１発熱層３０３ａに備わったストライプ・パターンがいずれも同幅を有するようにして、第１発熱層３０３ａのあらゆるストライプ・パターンで発生する熱が、同じになるようにし、第２発熱層３０３ｂに備わったストライプ・パターンがいずれも同幅を有するようにして、第２発熱層３０３ｂのあらゆるストライプ・パターンで発生する熱が、同じになるようにし、第３発熱層３０３ｃに備わったストライプ・パターンがいずれも同幅を有するようにして、第３発熱層３０３ｃのあらゆるストライプ・パターンで発生する熱が、同じになるようにすることができる。
【００９３】
また、本実施形態の蒸着装置３００は、第１隔壁３０４ａ、及び該第１隔壁３０４ａと交差する第２隔壁３０４ｂを含み、発熱層３０３に備わった１つのストライプ・パターン上の蒸着材料が配される空間を区画する。これを介して、蒸着材料を多様な方法で配することができ、蒸着材料の均一な配置が可能である。
【００９４】
また、多様な蒸着材料を発熱層３０３の所望の位置に選択的に配することができる。
【００９５】
本実施形態の薄膜蒸着装置１００，２００，３００は、多様な用途の薄膜を蒸着するのに使用できるが、その具体的な例として、有機発光素子を形成するのに使用できる。
【００９６】
図８Ａないし図８Ｆは、本発明の一実施形態に係わる有機発光素子の製造方法を、順次に図示した断面図である。各図面を参照しつつ、本実施形態の製造方法について説明する。
【００９７】
図８Ａを参照すれば、蒸着装置１００上に、基板１５０を配する。蒸着装置１００は、図１及び図２に図示した蒸着装置１００と同一であるので、具体的な構成についての説明は省略する。蒸着装置１００及び基板１５０は、真空雰囲気に配されるが、特に、真空雰囲気のチャンバに配されることが望ましい。
【００９８】
図８Ｂは、図８ＡのＶＩＩＩＢ−ＶＩＩＩＢ線に沿って切り取った断面図である。図８Ｂを参照すれば、基板１５０には、第１電極１５１、画素定義膜１５２及び正孔輸送／注入層１５３が形成されている。
【００９９】
蒸着装置１００の隔壁１０４間に配された発熱層１０３には、蒸着材料１１０Ｒが配されている。発熱層１０３は、画素定義膜１５２間に形成された正孔輸送／注入層１５３と対応するように配される。また、画素定義膜１５２は、隔壁１０４と接している。
【０１００】
具体的に説明すれば、基板１５０は、ＳｉＯ２を主成分とする透明なガラス材質からなりうる。基板１５０は、必ずしもこれに限定されるものではなく、透明なプラスチック材で形成することもできる。プラスチック基板は、絶縁性有機物で形成できるが、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、ポリアクリレート（ＰＡＲ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、ポリアリレート（ｐｏｌｙａｌｌｙｌａｔｅ）、ポリイミド（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、三酢酸セルローストリ（ＴＡＣ）、セルロースアセテートプロピオネート（ＣＡＰ）からなる群から選択される有機物からなりうる。
【０１０１】
また、基板１５０は、金属によっても形成できるが、金属で基板１５０を形成する場合、基板１５０は、鉄、クロム、マンガン、ニッケル、チタン、モリブデン、ステンレススチール（ＳＵＳ）、インバール（Ｉｎｖａｒ）合金、インコネル（Ｉｎｃｏｎｅｌ）合金及びコバール（Ｋｏｖａｒ）合金からなる群から選択された一つ以上を含むことができるが、これらに限定されるものではない。このとき、基板１５０は、ホイル状でありうる。
【０１０２】
基板１５０の上面に、基板１５０の平滑性と不純元素の浸透遮断とのために、バッファ層（図示せず）を形成できる。バッファ層（図示せず）は、ＳｉＯ２及び／またはＳｉＮｘなどによって形成できる。
【０１０３】
基板１５０上に、第１電極１５１が形成されている。第１電極１５１は、フォトリソグラフィ法によって所定のパターンに形成できる。第１電極１５１のパターンは、受動駆動型（ＰＭ：ｐａｓｓｉｖｅ  ｍａｔｒｉｘ  ｔｙｐｅ）の有機発光素子の場合には、互いに所定間隔離れたストライプ上のラインに形成され、能動駆動型（ＡＭ：ａｃｔｉｖｅ  ｍａｔｒｉｘ  ｔｙｐｅ）の有機発光素子の場合には、画素に対応する形態に形成されうる。
【０１０４】
第１電極１５１は、反射型電極または透過型電極でありうる。第１電極１５１が反射型電極である場合、Ａｇ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｎｄ、Ｉｒ、Ｃｒ、Ｌｉ、Ｃａ及びそれらの化合物で反射膜を形成した後、その上に仕事関数が高い酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）、酸化インジウム亜鉛（ＩＺＯ）、ＺｎＯまたはＩｎ２Ｏ３などを配し、第１電極１５１を形成する。
【０１０５】
第１電極１５１が透過型電極である場合、第１電極１５１は、仕事関数が高いＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯ、またはＩｎ２Ｏ３などから形成される。
【０１０６】
第１電極１５１上に、画素定義膜１５２が形成される。画素定義膜１５２に開口を形成し、第１電極１５１を露出させる。画素定義膜１５２は、多様な絶縁物質を利用して形成する。
【０１０７】
露出された第１電極１５１上に、正孔輸送／注入層１５３が形成される。正孔輸送／注入層１５３は、正孔注入層及び正孔輸送層の積層構造であるが、これに限定されるものではなく、正孔輸送層または正孔注入層のうち、いずれか１層のみで形成されうる。また、正孔輸送／注入層１５３が形成されないこともある。
【０１０８】
正孔輸送／注入層１５３に対応するように配された蒸着材料１１０Ｒは、有機発光層を形成するための蒸着材料である。有機発光層は、一般的に、赤色可視光線を発光する赤色有機発光層、緑色可視光線を発光する緑色有機発光層、及び青色可視光線を発光する青色有機発光層を含む。具体的には、蒸着材料１１０Ｒは、赤色可視光線を発光する赤色有機発光層を形成するための蒸着材料である。
【０１０９】
すなわち、本実施形態の発熱層１０３は、赤色副画素に対応する幅を有している。また、かような発熱層１０３の周辺には、隔壁１０４が形成される。隔壁１０４の位置は、緑色及び青色の副画素に対応する位置である。
【０１１０】
蒸着材料１１０Ｒは、多様な方法で発熱層１０３上に配されうる。パウダ状の蒸着材料１１０Ｒを発熱層１０３の上部に吹き付けられ、蒸着材料１１０Ｒを自然に隔壁１０４間の発熱層１０３上に載置される。その後、隔壁１０４の上部についた蒸着材料１１０Ｒは、ブラシのようなもので除去される。また、液状の蒸着材料１１０Ｒを塗布した後で乾燥させ、発熱層１０３上に載置させることができる。
【０１１１】
その後に蒸着工程を進めれば、蒸着材料１１０Ｒが加熱され、図８Ｃに図示したように赤色有機発光層が形成される。すなわち、１回の蒸着工程を経て、赤色有機発光層が形成される。
【０１１２】
そして、同じ方法で、緑色有機発光層及び青色有機発光層も形成できる。具体的には、本実施形態の蒸着装置１００を微細移動させ、発熱層１０３を、緑色有機発光層が形成される部分に対応させ、発熱層１０３上に、緑色有機発光層を形成する蒸着材料を配した後で蒸着工程を進め、緑色有機発光層を形成する。その後、蒸着装置１００を微細移動させ、発熱層１０３を、青色有機発光層が形成される部分に対応させ、発熱層１０３上に青色有機発光層を形成する蒸着材料を配した後で蒸着工程を進め、青色有機発光層を形成する。
【０１１３】
しかし、本発明はこれに限定されるものではない。赤色有機発光層を形成するが、利用した蒸着装置１００と別途に、緑色有機発光層を形成する蒸着装置と青色有機発光層を形成する蒸着装置とを利用できる。
【０１１４】
図８Ｄを参照すれば、前述のような方法で、赤色可視光線を発光する有機発光層１５４Ｒ、緑色可視光線を発光する有機発光層１５４Ｇ、青色可視光線を発光する有機発光層１５４Ｂが形成された構成が図示されている。
【０１１５】
その後に図８Ｅを参照すれば、有機発光層１５４上に、第２電極１５５を形成し、最終的に有機発光素子１６０を製造する。図８Ｆは、図８ＥのＶＩＩＩＦ−ＶＩＩＩＦ線に沿って切り取った断面図である。
【０１１６】
図示していないが、有機発光層１５４と第２電極１５５との間に、電子輸送層また電子注入層をさらに形成できる。
【０１１７】
第２電極１５５は、受動駆動型の場合には、第１電極１５１のパターンに直交するストライプ形であり、能動駆動型の場合には、画像が具現されるアクティブ領域全体にわたって形成されうる。
【０１１８】
第２電極１５５は、透過型電極または反射型電極でありうる。第２電極１５５が透過型電極である場合、第２電極１５５は、仕事関数が小さい金属、すなわち、Ａｇ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｎｄ、Ｉｒ、Ｃｒ、Ｌｉ、Ｃａ及びそれらの化合物を蒸着した後、その上に、ＩＴＯ、ＩＺＯ、ＺｎＯ、またはＩｎ２Ｏ３などの透明導電物質で、補助電極層やバス電極ラインを形成できる。
【０１１９】
第２電極１５５が反射型電極である場合、第２電極１５５は、仕事関数が小さい金属、すなわち、Ａｇ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｎｄ、Ｉｒ、Ｃｒ、Ｌｉ、Ｃａなどから形成されうる。以上で説明したことは、第１電極１５１をアノード電極、第２電極１５５をカソード電極であると仮定したものであるが、電極の極性が反対になりうることは、言うまでもない。
【０１２０】
図８Ｅ及び図８Ｆに図示されているように、本実施形態による方法によって、ストライプ・パターンの副画素を有する有機発光素子１００が製造される。すなわち、赤色有機発光層１５４Ｒを有する副画素が一列に配され、これと隣接するように、緑色有機発光層１５４Ｇを有する副画素が一列に配され、緑色有機発光層１５４Ｇと隣接するように、青色有機発光層１５４Ｂを有する副画素が一列に配される。
【０１２１】
図示していないが、基板１５０の一面に対向するように、密封部材（図示せず）が配されうる。密封部材（図示せず）は、外部の水分や酸素などから有機発光層１５４を保護するために形成するものであり、密封部材（図示せず）は、透明な材質によって形成される。このために、ガラス、プラスチック、または有機物と無機物との複数の重畳された構造でもありうる。
【０１２２】
図９Ａないし図９Ｅは、本発明の一実施形態に係わる有機発光素子の製造方法を、順次に図示した断面図である。各図面を参照しつつ、本実施形態の製造方法について説明する。
【０１２３】
図９Ａを参照すれば、蒸着装置２００上に、基板２５０を配する。蒸着装置２００は、図３及び図４に図示した蒸着装置２００と同一であるので、具体的な構成についての説明は省略する。蒸着装置２００及び基板２５０は、真空雰囲気に配されるが、特に、真空雰囲気のチャンバに配されることが望ましい。
【０１２４】
図９Ｂは、図９ＡのＩＸＢ−ＩＸＢ線に沿って切り取った断面図である。図９Ｂを参照すれば、基板２５０には、第１電極２５１、画素定義膜２５２及び正孔輸送／注入層２５３が形成されている。
【０１２５】
蒸着装置２００の隔壁２０４間に配された発熱層２０３は、第１発熱層２０３ａ、第２発熱層２０３ｂ、第３発熱層２０３ｃを含む。第１発熱層２０３ａ上には蒸着材料２１０Ｒ、第２発熱層２０３ｂ上には蒸着材料２１０Ｇ、第３発熱層２０３ｃ上には蒸着材料２１０Ｂが配される。
【０１２６】
各発熱層２０３ａ，２０３ｂ，２０３ｃは、画素定義膜２５２間に形成された正孔輸送／注入層２５３と対応するように配される。また、画素定義膜２５２は、隔壁２０４と接している。
【０１２７】
蒸着材料２１０は、有機発光層を形成するための蒸着材料であるが、具体的には、蒸着材料２１０Ｒは、赤色可視光線を発光する有機発光層、蒸着材料２１０Ｇは、緑色可視光線を発光する有機発光層、及び蒸着材料２１０Ｂは、青色可視光線を発光する有機発光層を形成するための有機物を含む。
【０１２８】
本実施形態の第１発熱層２０３ａは、赤色副画素に対応する幅を有しており、第２発熱層２０３ｂは、緑色副画素に対応する幅を有しており、第３発熱層２０３ｃは、青色副画素に対応する幅を有している。また、隔壁２０４は、各発熱層２０３ａ，２０３ｂ，２０３ｃ間に配される。
【０１２９】
その後、蒸着工程を進めれば、蒸着材料２１０Ｒが加熱されて赤色有機発光層が形成され、蒸着材料２１０Ｇが加熱されて緑色有機発光層が形成され、蒸着材料２１０Ｂが加熱されて青色有機発光層が形成される。すなわち、１回の蒸着工程を経て、赤色、緑色及び青色の有機発光層を形成する。
【０１３０】
図９Ｃを参照すれば、前述のような方法で、赤色可視光線を発光する有機発光層２５４Ｒ、緑色可視光線を発光する有機発光層２５４Ｇ、青色可視光線を発光する有機発光層２５４Ｂを具備する有機発光層２５４が形成された構成が図示されている。
【０１３１】
その後、図９Ｄを参照すれば、有機発光層２５４上に、第２電極２５５を形成し、最終的に、有機発光素子２６０を製造する。図９Ｅは、図９ｄのＩＸＥ−ＩＸＥ線に沿って切り取った断面図である。
【０１３２】
図示していないが、有機発光層２５４と第２電極２５５との間に、電子輸送層また電子注入層をさらに形成できる。
【０１３３】
図示していないが、基板２５０の一面に対向するように、密封部材（図示せず）が配されうる。密封部材（図示せず）は、外部の水分や酸素などから有機発光層１５４を保護するために形成するものであり、密封部材（図示せず）は、透明な材質によって形成される。このために、ガラス、プラスチック、または有機物と無機物との複数の重畳された構造でもありうる。
【０１３４】
図１０Ａないし図１０Ｅは、本発明の一実施形態に係わる有機発光素子の製造方法を、順次に図示した断面図である。各図面を参照しつつ、本実施形態の製造方法について説明する。
【０１３５】
図１０Ａを参照すれば、蒸着装置３００上に、基板３５０を配する。蒸着装置３００は、図５ないし図７に図示した蒸着装置３００と同一であるので、具体的な構成についての説明は省略する。
【０１３６】
図１０Ｂは、図１０ＡのＸＢ−ＸＢ線に沿って切り取った断面図である。図１０Ｂを参照すれば、基板３５０には、第１電極３５１、画素定義膜３５２及び正孔輸送／注入層３５３が形成されている。
【０１３７】
発熱層３０３は、第１発熱層３０３ａ、第２発熱層３０３ｂ、第３発熱層３０３ｃを含む。前述の通り、図５ないし図７に図示した蒸着装置３００の隔壁３０４は、第１隔壁３０４ａ及び第２隔壁３０４ｂを具備している。
【０１３８】
第１発熱層３０３ａには蒸着材料３１０Ｒ、第２発熱層３０３ｂには蒸着材料３１０Ｇ、第３発熱層３０３ｃには蒸着材料３１０Ｂが配される。
【０１３９】
各発熱層３０３ａ，３０３ｂ，３０３ｃは、画素定義膜３５２間に形成された正孔輸送／注入層３５３と対応するように配される。また、画素定義膜３５２は、隔壁３０４と接している。
【０１４０】
蒸着材料３１０は、有機発光層を形成するための蒸着材料であるが、具体的には、蒸着材料３１０Ｒは、赤色可視光線を発光する有機発光層、蒸着材料３１０Ｇは、緑色可視光線を発光する有機発光層、及び蒸着材料３１０Ｂは、青色可視光線を発光する有機発光層を形成するための有機物を含む。
【０１４１】
本実施形態の第１発熱層３０３ａは、赤色副画素に対応する幅を有しており、第２発熱層３０３ｂは、緑色副画素に対応する幅を有しており、第３発熱層３０３ｃは、青色副画素に対応する幅を有している。また、隔壁３０４は、各発熱層３０３ａ，３０３ｂ，３０３ｃ間に配される。具体的には、図１０Ｂに図示された隔壁３０４は、第１隔壁である。
【０１４２】
その後、蒸着工程を進めれば、蒸着材料３１０Ｒが加熱されて赤色有機発光層が形成され、蒸着材料３１０Ｇが加熱されて緑色有機発光層が形成され、蒸着材料３１０Ｂが加熱されて青色有機発光層が形成される。すなわち、１回の蒸着工程を経て、赤色、緑色及び青色の有機発光層が形成される。
【０１４３】
図１０Ｃを参照すれば、前述のような方法で、赤色有機発光層３５４Ｒ、緑色有機発光層３５４Ｇ、青色有機発光層３５４Ｂを具備した有機発光層３５４が形成された構成が図示されている。
【０１４４】
その後、図１０Ｄを参照すれば、有機発光層３５４上に、第２電極３５５を形成し、最終的に、有機発光素子３６０を製造する。図１０Ｅは、図１０ｄのＸＥ−ＸＥ線に沿って切り取った断面図である。
【０１４５】
図示していないが、有機発光層３５４と第２電極３５５との間に、電子輸送層また電子注入層をさらに形成できる。
【０１４６】
図示していないが、基板３５０の一面に対向するように、密封部材（図示せず）が配されうる。密封部材（図示せず）は、外部の水分や酸素などから有機発光層１５４を保護するために形成するものであり、密封部材（図示せず）は、透明な材質によって形成される。このために、ガラス、プラスチック、または有機物と無機物との複数の重畳された構造でもありうる。
【０１４７】
図面に図示された実施形態を参考に説明したが、それらは例示的なものに過ぎず、本技術分野の当業者であるならば、それらから多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるという点を理解するであろう。従って、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想によって決まるものである。
【符号の説明】
【０１４８】
１００，２００，３００  蒸着装置
１０１，２０１  ベース
１０２，２０２，３０２  熱遮断層
１０３，２０３，３０３  発熱層
１０４，２０４，３０４  隔壁
１５０，２５０，３５０  基板
１５１，２５１，３５１  第１電極
１５２，２５２，３５２  画素定義膜
１５３，２５３，３５３  正孔輸送／注入層
１５４，２５４，３５４  有機発光層
１５５，２５５，３５５  第２電極
１６０，２６０，３６０  有機発光素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図８Ｄ】
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【図８Ｅ】
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【図８Ｆ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図９Ｃ】
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【図９Ｄ】
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【図９Ｅ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１０Ｃ】
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【図１０Ｄ】
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【図１０Ｅ】
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