(57)【要約】【課題】吐出確認に使用する吐出液の量を減らすことができ、安価な機構を実現する吐出装置及び吐出装置の着弾位置形成方法、着弾位置撮像方法、吐出確認方法を提供する。【解決手段】  吐出装置は吐出液に含有される溶剤に可溶な樹脂膜１９が成膜されたフィルム１６を有している。複数のインクヘッド１１をフィルム１６の真上に移動して静止させた状態で各吐出口１８から吐出液を吐出させると、樹脂膜１９上に着弾し、樹脂膜１９は吐出液に部分的に溶解して、着弾位置に段差痕が形成される。フィルム１６を巻き取りながら、撮像装置１２で樹脂膜１９の着弾位置を撮像し、撮像結果から各吐出口１８毎に吐出の有無を判別することができる。【選択図】図１
2011161367.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
台座と、
前記台座上に配置され、上方を向いた面には基板を載置可能に構成された基板ステージと、
底面に吐出口が設けられ、前記基板ステージ上を水平に相対移動可能に構成されたインクヘッドと、
を有する吐出装置であって、
一面に吐出液に含有される溶剤に可溶な樹脂膜が成膜されたフィルムと、
前記樹脂膜を撮像可能に構成された撮像装置と、
を有し、
前記フィルムは前記台座上の前記基板ステージとは別の位置に、前記樹脂膜を上方に向けて配置され、
前記インクヘッドは前記基板ステージ上と前記フィルム上との間を相対移動可能に構成された吐出装置。
【請求項２】
前記吐出口は前記樹脂膜の互いに異なる複数の部分と対面可能に構成された請求項１記載の吐出装置。
【請求項３】
前記フィルムはロール状に巻かれて形成され、
前記ロールの上方には２本の補助軸が水平で互いに平行に対向して配置され、
前記ロールの外周から端部が引き出され、引き出されたフィルムは各補助軸に掛け渡され、２本の補助軸の間で水平な平面状に張られて前記吐出口と対面するように構成された請求項２記載の吐出装置。
【請求項４】
前記樹脂膜は、ジアリルフタレート樹脂と、不飽和ポリエステル樹脂と、エポキシ樹脂と、キシレン樹脂と、フラン樹脂と、メラミン樹脂と、ユリア樹脂と、フェノール樹脂と、ポリカーボネートと、塩素化ポリエーテルと、酢酸セルロースと、アクリル樹脂と、アセタール樹脂と、ナイロンと、ポリイソブチレンと、ポリプロピレンと、ポリエチレンと、アクリロニトリルブタジェンスチレンと、ポリスチレンと、酢酸ビニル樹脂と、塩化ビニリデン樹脂と、塩化ビニル樹脂とからなる群より選択される樹脂を１種類以上使用して形成された請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の吐出装置。
【請求項５】
前記フィルムは前記吐出液に含有される溶剤に不溶な材料で形成された請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載の吐出装置。
【請求項６】
インクヘッドを基板上で水平に相対移動させながら、前記インクヘッドの底面に設けられた吐出口から吐出液を吐出し、前記基板上に着弾させる吐出装置の着弾位置形成方法であって、
前記インクヘッドを前記吐出液に可溶な樹脂膜が成膜されたフィルム上に位置させるフィルム配置工程と、
前記吐出口から前記吐出液を吐出し、前記樹脂膜上に着弾させ、前記樹脂膜を前記吐出液に部分的に溶解させて、着弾位置に段差痕を形成する着弾位置形成工程と、
を有する吐出装置の着弾位置形成方法。
【請求項７】
インクヘッドを基板上で水平に相対移動させながら、前記インクヘッドの底面に設けられた吐出口から吐出液を吐出し、前記基板上に着弾させる吐出装置の着弾位置撮像方法であって、
前記インクヘッドを前記吐出液に可溶な樹脂膜が成膜されたフィルム上に位置させるフィルム配置工程と、
前記吐出口から前記吐出液を吐出し、前記樹脂膜上に着弾させ、前記樹脂膜を前記吐出液に部分的に溶解させて、着弾位置に段差痕を形成する着弾位置形成工程と、
前記樹脂膜の前記着弾位置を撮像する着弾位置撮像工程と、
を有する吐出装置の着弾位置撮像方法。
【請求項８】
インクヘッドを基板上で水平に相対移動させながら、前記インクヘッドの底面に設けられた吐出口から吐出液を吐出し、前記基板上に着弾させる吐出装置の吐出確認方法であって、
前記インクヘッドを前記吐出液に可溶な樹脂膜が成膜されたフィルム上に位置させるフィルム配置工程と、
前記吐出口から前記吐出液を吐出し、前記樹脂膜上に着弾させ、前記樹脂膜を前記吐出液に部分的に溶解させて、着弾位置に段差痕を形成する着弾位置形成工程と、
前記樹脂膜の前記着弾位置を撮像する着弾位置撮像工程と、
前記着弾位置の撮像結果から各吐出口毎に吐出の有無を判別する吐出確認工程と、
を有する吐出装置の吐出確認方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吐出装置及び吐出装置の着弾位置形成方法、着弾位置撮像方法、吐出確認方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、インクヘッドを搭載したインクジェット吐出装置が、産業分野、特に半導体やフラットパネルディスプレイ等の製造分野に適用されつつある。このような分野では微細加工技術が必須となっており、インクジェット吐出装置に対しても同様の技術が要求されている。ノズルの微細化・高密度化が進むにつれ、使用するノズルが１つでも欠けることによるデバイス不良が生じやすくなっている。
【０００３】
従来の吐出確認方法には、例えば特許文献１記載のように、インクヘッドから液滴を連続的に吐出させながら、ストロボ発光を吐出に同期させ、吐出された液滴を直接カメラで撮像する方法があった。
しかしながら、インクヘッドから液滴を連続的に吐出させながら、その飛翔する液滴を直接検出する方法では、各吐出口からの吐出を検出する時間分だけ吐出液を吐出し続けるため、大量のインクを消費することになり、高コストであった。
【０００４】
また、液滴の飛翔方向が曲がっていたり、液滴がサテライトを含んでいる場合には、隣り合う一方の吐出口の液滴検出範囲に他方の吐出口からの液滴が写り込み、誤検出が生じる虞があった。
さらに、液滴を直接確認するためにインクヘッド側または検出機構側のどちらかを走査する必要があるため、複数台配列されたインクヘッドを短時間に確認するには大がかりな機構が必要であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−２２７１７２号公報
【特許文献２】特開２００８−１０２３１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、吐出確認に使用する吐出液の量を減らすことができ、安価な機構を実現する吐出装置及び吐出装置の着弾位置形成方法、着弾位置撮像方法、吐出確認方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために本発明は、台座と、前記台座上に配置され、上方を向いた面には基板を載置可能に構成された基板ステージと、底面に吐出口が設けられ、前記基板ステージ上を水平に相対移動可能に構成されたインクヘッドと、を有する吐出装置であって、一面に吐出液に含有される溶剤に可溶な樹脂膜が成膜されたフィルムと、前記樹脂膜を撮像可能に構成された撮像装置と、を有し、前記フィルムは前記台座上の前記基板ステージとは別の位置に、前記樹脂膜を上方に向けて配置され、前記インクヘッドは前記基板ステージ上と前記フィルム上との間を相対移動可能に構成された吐出装置である。
本発明は吐出装置であって、前記吐出口は前記樹脂膜の互いに異なる複数の部分と対面可能に構成された吐出装置である。
本発明は吐出装置であって、前記フィルムはロール状に巻かれて形成され、前記ロールの上方には２本の補助軸が水平で互いに平行に対向して配置され、前記ロールの外周から端部が引き出され、引き出されたフィルムは各補助軸に掛け渡され、２本の補助軸の間で水平な平面状に張られて前記吐出口と対面するように構成された吐出装置である。
本発明は吐出装置であって、前記樹脂膜は、ジアリルフタレート樹脂と、不飽和ポリエステル樹脂と、エポキシ樹脂と、キシレン樹脂と、フラン樹脂と、メラミン樹脂と、ユリア樹脂と、フェノール樹脂と、ポリカーボネートと、塩素化ポリエーテルと、酢酸セルロースと、アクリル樹脂と、アセタール樹脂と、ナイロンと、ポリイソブチレンと、ポリプロピレンと、ポリエチレンと、アクリロニトリルブタジェンスチレンと、ポリスチレンと、酢酸ビニル樹脂と、塩化ビニリデン樹脂と、塩化ビニル樹脂とからなる群より選択される樹脂を１種類以上使用して形成された吐出装置である。
本発明は吐出装置であって、前記フィルムは前記吐出液に含有される溶剤に不溶な材料で形成された吐出装置である。
本発明は、インクヘッドを基板上で水平に相対移動させながら、前記インクヘッドの底面に設けられた吐出口から吐出液を吐出し、前記基板上に着弾させる吐出装置の着弾位置形成方法であって、前記インクヘッドを前記吐出液に可溶な樹脂膜が成膜されたフィルム上に位置させるフィルム配置工程と、前記吐出口から前記吐出液を吐出し、前記樹脂膜上に着弾させ、前記樹脂膜を前記吐出液に部分的に溶解させて、着弾位置に段差痕を形成する着弾位置形成工程と、を有する吐出装置の着弾位置形成方法である。
本発明は、インクヘッドを基板上で水平に相対移動させながら、前記インクヘッドの底面に設けられた吐出口から吐出液を吐出し、前記基板上に着弾させる吐出装置の着弾位置撮像方法であって、前記インクヘッドを前記吐出液に可溶な樹脂膜が成膜されたフィルム上に位置させるフィルム配置工程と、前記吐出口から前記吐出液を吐出し、前記樹脂膜上に着弾させ、前記樹脂膜を前記吐出液に部分的に溶解させて、着弾位置に段差痕を形成する着弾位置形成工程と、前記樹脂膜の前記着弾位置を撮像する着弾位置撮像工程と、を有する吐出装置の着弾位置撮像方法である。
本発明は、インクヘッドを基板上で水平に相対移動させながら、前記インクヘッドの底面に設けられた吐出口から吐出液を吐出し、前記基板上に着弾させる吐出装置の吐出確認方法であって、前記インクヘッドを前記吐出液に可溶な樹脂膜が成膜されたフィルム上に位置させるフィルム配置工程と、前記吐出口から前記吐出液を吐出し、前記樹脂膜上に着弾させ、前記樹脂膜を前記吐出液に部分的に溶解させて、着弾位置に段差痕を形成する着弾位置形成工程と、前記樹脂膜の前記着弾位置を撮像する着弾位置撮像工程と、前記着弾位置の撮像結果から各吐出口毎に吐出の有無を判別する吐出確認工程と、を有する吐出装置の吐出確認方法である。
【０００８】
各段差痕の大きさを、あらかじめ測定しておいた各吐出口毎の設定値と比較して、面積比が±２０％以内であれば吐出良好であり、その範囲外であれば吐出不良であると設定しておけば、着弾位置の撮像結果から各吐出口毎に良好と不良とを判別できる。
【発明の効果】
【０００９】
吐出確認に使用する吐出液の量を最小限に抑えることができる。安価な機構で短時間での吐出口毎の吐出確認ができる。特にインクヘッドが多数搭載された吐出装置で吐出確認に要するコストと時間を削減できる。
吐出液が無色の場合にも樹脂膜に段差痕が形成されるので吐出確認ができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】吐出検査時の吐出装置の概略正面図
【図２】吐出開始前の吐出装置の立体図
【図３】吐出検査時の吐出装置の立体図
【図４】基板上への吐出開始時の吐出装置の立体図
【図５】（ａ）吐出前のフィルムとインクヘッド下部の拡大正面図  （ｂ）吐出後の同拡大正面図
【図６】実施例として樹脂膜上の着弾位置を撮像した写真
【発明を実施するための形態】
【００１１】
＜吐出装置の構造＞
本発明である吐出装置の構造を説明する。
図２は吐出開始前の吐出装置の立体図、図３は吐出検査時の同立体図、図４は基板上への吐出開始時の同立体図を示している。また図１は吐出検査時の吐出装置の概略正面図を示している。
【００１２】
吐出装置２０は、台座２１と基板ステージ２４と複数のインクヘッド１１とフィルムモジュール４０とヘッド待機モジュール２５とを有している。
基板ステージ２４とフィルムモジュール４０とヘッド待機モジュール２５とはこの順で台座２１上に一列に並んで配置されている。
【００１３】
台座２１上の基板ステージ２４とフィルムモジュール４０とヘッド待機モジュール２５との側方には、直線状の２本のレール２３ａ、２３ｂが、それぞれ基板ステージ２４とフィルムモジュール４０とヘッド待機モジュール２５のいずれにもかかり、基板ステージ２４とフィルムモジュール４０とヘッド待機モジュール２５とを間に挟むように互いに平行に設けられている。
以後、レール２３ａ、２３ｂの長手方向をＹ方向、Ｙ方向と垂直で水平な方向をＸ方向と呼ぶ。
【００１４】
各レール２３ａ、２３ｂ上にはそれぞれ棒形状の支柱２７ａ、２７ｂが鉛直に設けられている。各支柱２７ａ、２７ｂは、それぞれの上端が基板ステージ２４とフィルムモジュール４０とヘッド待機モジュール２５のいずれよりも高く形成されている。
２つの支柱２７ａ、２７ｂにかかるように棒形状のブリッジ２２が配置され、ブリッジ２２の両端は各支柱２７ａ、２７ｂの上端にそれぞれ固定されている。
【００１５】
各支柱２７ａ、２７ｂの下端のレール２３ａ、２３ｂと向かい合う部分には不図示のＹ方向移動機構がそれぞれ設けられている。Ｙ方向移動機構にはモーターが備えられ、不図示の制御装置から制御信号を受けると、各支柱２７ａ、２７ｂとブリッジ２２とをレール２３ａ、２３ｂに沿ってＹ方向に往復移動可能に構成されている。
【００１６】
複数のインクヘッド１１は、基板ステージ２４とフィルムモジュール４０とヘッド待機モジュール２５のいずれよりも高い位置でブリッジ２２の側面にそれぞれ固定されている。
従って、Ｙ方向移動機構が制御装置から制御信号を受けて各支柱２７ａ、２７ｂとブリッジ２２とをＹ方向に往復移動することにより、複数のインクヘッド１１は基板ステージ２４上とフィルムモジュール４０上とヘッド待機モジュール２５上との間を往復移動可能に構成されている（図２〜４参照）。
【００１７】
本発明の移動機構は上記の構成に限定されず、複数のインクヘッド１１が基板ステージ２４上とフィルムモジュール４０上とヘッド待機モジュール２５上との間を相対移動可能であれば、台座２１に対して静止した複数のインクヘッド１１の下方を基板ステージ２４とフィルムモジュール４０とヘッド待機モジュール２５とが水平移動可能に構成されてもよいし、複数のインクヘッド１１と基板ステージ２４とフィルムモジュール４０とヘッド待機モジュール２５とがそれぞれ台座２１に対して水平移動可能に構成されてもよい。
【００１８】
図１を参照し、各インクヘッド１１の内部には複数のノズル１７が設けられている。各ノズル１７の端部に設けられた吐出口１８は、それぞれインクヘッド１１の底面に露出して、ブリッジ２２の長手方向に対して等間隔に並ぶように配置されている。
各ノズル１７には吐出液が蓄液された不図示のインクタンクが接続されており、インクタンクは各ノズル１７内にそれぞれ吐出液を供給可能に構成されている。
本発明の吐出液は、吐出液に含有される溶剤が後述するように吐出確認用の樹脂膜材料を可溶であるならば、有色でもよいし、無色でもよい。
【００１９】
各ノズル１７にはそれぞれ圧電素子等の圧力発生機構が設けられ、不図示の制御装置から制御信号を受けると、ノズル１７内の吐出液に所定の押圧力を印加して、ノズル１７の端部の吐出口１８から下方に所定の液量の吐出液を吐出可能に構成されている。
【００２０】
図４を参照し、基板ステージ２４の上方を向いた面は真空吸着等により基板２９を保持可能に構成されている。
基板ステージ２４上に基板２９を保持した状態で、インクヘッド１１を基板２９上でＹ方向に往復移動させながら、所定のインクヘッド１１の所定の吐出口１８から吐出液を吐出させることにより、基板２９上の所定の位置に吐出液を着弾させることができる。
【００２１】
ブリッジ２２の長手方向をＸ方向に対して所定の角度傾けた状態で、インクヘッド１１を基板２９上でＹ方向に往復移動させることにより、ブリッジ２２の長手方向がＸ方向と平行な場合よりも狭い間隔で基板２９上に吐出液を着弾できる。
図２を参照し、ヘッド待機モジュール２５の上部にはウェットワイプ等のクリーニング手段が設けられている。
【００２２】
インクヘッド１１をヘッド待機モジュール２５の真上位置に移動して静止させた状態で、ヘッド待機モジュール２５は制御装置から制御信号を受けると、例えばウェットワイプ等をインクヘッド１１の底面に押し当て、各吐出口１８に付着していた付着物を拭い取ることができるように構成されている。こうして、各吐出口１８から吐出できない場合や吐出方向が曲がる場合等に各吐出口１８を修復できる。
【００２３】
図１を参照し、フィルムモジュール４０は、駆動軸１４と、従動軸１５と、ロール４５とを有している。
駆動軸１４と従動軸１５は互いに平行に対向して配置されている。
ロール４５はフィルム１６が巻き回されて構成されており、中心には従動軸１５が挿入されている。
駆動軸１４の上方位置と従動軸１５の上方位置には、それぞれ補助軸１３ａ、１３ｂが水平で互いに平行に対向して配置されている。
【００２４】
ロール４５の外周からフィルム１６の端部が引き出され、引き出されたフィルム１６は、従動軸１５の上方位置の補助軸１３ｂと駆動軸１４の上方位置の補助軸１３ａに裏面が接触するように掛け渡されて、端部は駆動軸１４に巻装されている。
駆動軸１４が中心軸線の周りに回転すると、補助軸１３ａ、１３ｂに掛け渡されたフィルム１６が引っ張られ、その力によって従動軸１５が回転してフィルム１６がロールから繰り出される。
このとき従動軸１５には、ロール４５に加えられる引っ張りの力による回転力とは逆向きの力が発生しており、その二力によって、補助軸１３ａ、１３ｂの間のフィルムは水平な平面状に張られる。
【００２５】
図５（ａ）はインクヘッド１１をフィルムモジュール４０の真上位置に移動して静止させた状態の吐出前のフィルム１６とインクヘッド１１下部の拡大正面図、図５（ｂ）は吐出後の同拡大正面図を示している。
フィルム１６は吐出液に含有される溶剤に不要な材料で形成されており、吐出口１８と対面する側の一面であって、補助軸１３ａ、１３ｂ間で上方を向く面には吐出液に含有される溶剤に可溶な樹脂膜１９が成膜されている。
【００２６】
樹脂膜１９はここでは、ジアリルフタレート樹脂と、不飽和ポリエステル樹脂と、エポキシ樹脂と、キシレン樹脂と、フラン樹脂と、メラミン樹脂と、ユリア樹脂と、フェノール樹脂と、ポリカーボネートと、塩素化ポリエーテルと、酢酸セルロースと、アクリル樹脂と、アセタール樹脂と、ナイロンと、ポリイソブチレンと、ポリプロピレンと、ポリエチレンと、アクリロニトリルブタジェンスチレンと、ポリスチレンと、酢酸ビニル樹脂と、塩化ビニリデン樹脂と、塩化ビニル樹脂とからなる群より選択される樹脂を１種類以上使用して形成されている。
【００２７】
図５（ｂ）に示すように、吐出口１８から吐出液を吐出させ、樹脂膜１９上に着弾させると、樹脂膜１９が吐出液に部分的に溶解し、着弾位置にクレーター状の段差痕が形成される。
駆動軸１４とインクヘッド１１との間には撮像装置１２が、レンズをフィルム１６のインクヘッド１１より下流の部分であって、樹脂膜１９が成膜された面に向けて設置されている。撮像装置１２は不図示の制御装置から制御信号を受けると、樹脂膜１９表面を撮像可能に構成されている。
【００２８】
本発明の撮像装置１２の設置位置は上記の構成に限定されず、フィルム１６が透明の場合には、撮像装置１２のレンズがフィルム１６のインクヘッド１１より下流の部分であって、樹脂膜１９とは逆の面と対面するように設置され、透明なフィルム１６を介して樹脂膜１９を撮像可能に構成されてもよい。
撮像装置１２には記憶装置４１が接続されている。記憶装置４１にはメモリが備えられ、撮像装置１２の撮像結果を１枚又は複数枚記憶できるように構成されている。
【００２９】
記憶装置４１には計算機４２が接続されている。計算機４２にはあらかじめ良好なインクヘッドを使用して測定された各段差痕の中心間の距離と大きさの値（設定値）が記憶されている。計算機４２は記憶装置４１に記憶された撮像結果から各段差痕の中心間の距離と大きさを計測し、それらを設定値と比較することにより、各吐出口１８毎に吐出の有無や、後述するように吐出の良好と不良とを判別可能に構成されている。
【００３０】
本発明の計算機４２は上記の構成に限定されず、あらかじめ設定値は記憶されておらず、記憶装置４１に記憶された撮像結果から各段差痕の中心間の距離を計測し、各吐出口１８毎に吐出の有無を判別可能に構成されていてもよい。
【００３１】
＜吐出装置の検査方法＞
次に、本発明である吐出装置２０の検査方法を説明する。
図２は吐出装置２０の吐出開始前の状態を示している。インクヘッド１１はヘッド待機モジュール２５の真上に静止され、各吐出口１８に付着した付着物はウェットワイプ等により拭い取られている。
【００３２】
まずフィルム配置工程として、図３に示すように、インクヘッド１１をフィルムモジュール４０の上方に移動して静止させる。このとき図５（ａ）に示すように、各吐出口１８は樹脂膜１９の段差痕が形成されていない未使用の部分と対面する。
【００３３】
次いで着弾位置形成工程として、各吐出口１８から吐出液を吐出させ、樹脂膜１９上に着弾させると、図５（ｂ）に示すように、樹脂膜１９が吐出液に部分的に溶解し、着弾位置にクレーター状の段差痕が形成される。
【００３４】
次いで、着弾位置撮像工程として、図１に示すように、駆動軸１４を回転させてフィルム１６を所定の長さだけ巻き取らせると、撮像装置１２のレンズは樹脂膜１９の段差痕が形成された部分と対面する。フィルム１１を巻き取りながら撮像装置１２に１回又は複数回撮像させることにより、全ての吐出口１８からの着弾位置が撮像される。撮像装置１２は撮像結果を記憶装置４１に記憶する。
【００３５】
図６は実施例として樹脂膜上の着弾位置を撮像した写真を示している。
本発明の段差痕の確認方法は撮像装置１２で撮像する方法に限定されず、測定者の目視等の他の光学的手段で確認してもよい。
【００３６】
全ての吐出口１８からの着弾位置を撮像したあとは、樹脂膜１９の使用部分は撮像装置１２より下流に巻き取られているので、各吐出口１８は樹脂膜１９の段差痕が形成された部分とは異なる未使用の部分と対面することになる。
【００３７】
次いで、吐出確認工程として、計算機４２は記憶装置４１に記憶された撮像結果から各段差痕の中心間の距離と大きさを測定し、それらを設定値と比較して、各吐出口１８毎に吐出の有無を判別する。各吐出口１８毎の設定値に対して、面積比が±２０％以内の範囲にあれば吐出良好であり、その範囲外であれば吐出不良であると判別してもよい。
本発明の吐出確認方法は上記の方法に限定されず、記憶装置４１に記憶された撮像結果から各段差痕の中心間の距離を計測し、各吐出口１８毎に吐出の有無を判別してもよい。
【００３８】
吐出確認工程の結果、全ての吐出口１８から吐出液が吐出されていた場合には、図４に示すように、インクヘッド１１を基板ステージ２４上に移動し、基板２９上への吐出液の塗布を行う。次いで、所定の枚数の基板２９を塗布する毎に、図３に示すように、インクヘッド１１をフィルムモジュール４０上に移動させ、吐出検査を行う。このとき、前回の着弾位置撮像工程において樹脂膜１９の使用部分は既に巻き取られ、各吐出口１８は樹脂膜１９の未使用の部分と対面するようにされているので、樹脂膜１９の使用部分を新たに巻き取る必要はなく、着弾位置形成工程を開始できる。
【００３９】
吐出確認工程の結果、一つでも吐出液が吐出されない吐出口１８があった場合には、図２に示すように、インクヘッド１１をヘッド待機モジュール２５上に移動して静止させ、各吐出口１８に付着した付着物を除去させる。次いで、図３に示すように、インクヘッド１１をフィルムモジュール４０上に移動させ、吐出検査を行う。
【００４０】
本発明では、吐出検査に必要な段差痕の形成には１ノズルにつき１滴の吐出液があれば良いので、吐出検査のために各ノズルから吐出液を連続的に吐出させる必要はない。
本発明では樹脂膜１９に形成された段差痕を光学的に検出して吐出確認を行うので、吐出液が無色の場合でも吐出確認ができる。
【符号の説明】
【００４１】
１１……インクヘッド
１２……撮像装置
１３ａ、１３ｂ……補助軸
１６……フィルム
１８……吐出口
１９……樹脂膜
２０……吐出装置
２１……台座
２４……基板ステージ
２９……基板
【図１】
2011161367.tif 000003
【図２】
2011161367.tif 000004
【図３】
2011161367.tif 000005
【図４】
2011161367.tif 000006
【図５】
2011161367.tif 000007
【図６】
2011161367.tif 000008