(57)【要約】【課題】信頼性を向上させることができる電気光学装置、及び電子機器を提供する。【解決手段】液晶パネル１０１と、液晶パネル１０１と電気的に接続される第１フレキシブル基板１１１及び第２フレキシブル基板１１２と、を有し、液晶パネル１０１には、第１パネル接続端子部４１の両端側に設けられた第１パネルアライメントマーク７１ａ，７１ｂと、第２パネル接続端子部４２の両端側に設けられた第２パネルアライメントマーク７２ａ，７２ｂと、が設けられており、第１フレキシブル基板１１１には、平面的に第１パネルアライメントマーク７１ａ，７１ｂの形状に沿うように形成された第１ＦＰＣアライメントマーク７１ｃ，７１ｄが設けられており、第２フレキシブル基板１１２には、平面的に第２パネルアライメントマーク７２ａ，７２ｂの形状に沿うように形成された第２ＦＰＣアライメントマーク７２ｃ，７２ｄが設けられている。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の端子が所定の方向に配列した少なくとも第１端子部及び第２端子部が設けられた電気光学パネルと、
前記第１端子部と電気的に接続される第１接続端子部が設けられた第１回路基板と、前記第２端子部と電気的に接続される第２接続端子部が設けられた第２回路基板と、
を有し、
前記電気光学パネルには、前記第１端子部の前記所定の方向における両端側に設けられた第１形状を有する一対の第１パネルアライメントマークと、前記第２端子部の前記所定の方向における両端側に設けられた前記第１形状と特徴部分の方向が異なる、又は、前記第１形状と形状が異なる第２形状を有する一対の第２パネルアライメントマークと、が設けられており、
前記第１回路基板には、平面的に前記第１形状に沿うと共に、前記第１パネルアライメントマークと基準の位置で重ね合わせたときに互いが重なり合わず、かつ合体したときの形状が所定の形状となる第１回路基板アライメントマークが設けられており、
前記第２回路基板には、平面的に前記第２形状に沿うと共に、前記第２パネルアライメントマークと基準の位置で重ね合わせたときに互いが重なり合わず、かつ合体したときの形状が前記所定の形状となる第２回路基板アライメントマークが設けられていることを特徴とする電気光学装置。
【請求項２】
請求項１に記載の電気光学装置であって、
前記特徴部分の方向は、前記電気光学パネルに対する前記第１端子部と前記第２端子部との相対的な配置関係を示す方向であることを特徴とする電気光学装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の電気光学装置であって、
前記特徴部分の形状は、凸形状又は凹形状となっていることを特徴とする電気光学装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の電気光学装置であって、
前記一対の第１パネルアライメントマーク間の距離と、前記一対の第２パネルアライメントマーク間の距離とが略等しいことを特徴とする電気光学装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の電気光学装置であって、
前記第１回路基板アライメントマークは、平面的に前記第１形状に沿うと共に前記第１形状を囲むように形成されており、
前記第２回路基板アライメントマークは、平面的に前記第２形状に沿うと共に前記第２形状を囲むように形成されていることを特徴とする電気光学装置。
【請求項６】
請求項５に記載の電気光学装置であって、
前記第１パネルアライメントマークと前記第１回路基板アライメントマーク、及び、前記第２パネルアライメントマークと前記第２回路基板アライメントマークを合致させた際、前記第１形状及び前記第２形状の全周に亘って均一な隙間を有することを特徴とする電気光学装置。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載の電気光学装置であって、
前記第１形状及び前記第２形状の一部に円弧形状が含まれることを特徴とする電気光学装置。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の電気光学装置を備えたことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学装置、及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気光学装置の一つである液晶装置は、表示領域を有する液晶パネルと、外部駆動回路との間で液晶パネルに信号を伝達するための中継基板とを有して構成されている。液晶パネルと中継基板との電気的な接続方法の代表的な例として特許文献１には、液晶パネル及び中継基板としてのフレキシブル基板（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuits）の双方に接続端子が設けられており、異方性導電フィルム（ＡＣＦ：Anisotoropic Conductive Film）を介して互いが圧着されることにより、異方性導電フィルムを構成する導電粒子と接続端子が接して電気的に接続する方法が開示されている。また、特許文献１には、１つの液晶パネルに対して複数のフレキシブル基板を電気的に接続する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第３５４９７６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、複数のフレキシブル基板の配線等がそれぞれにおいて異なる場合、液晶パネルに対してフレキシブル基板毎の接続位置を間違えて実装すると液晶装置が動作しなくなるという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例に係る電気光学装置は、複数の端子が所定の方向に配列した少なくとも第１端子部及び第２端子部が設けられた電気光学パネルと、前記第１端子部と電気的に接続される第１接続端子部が設けられた第１回路基板と、前記第２端子部と電気的に接続される第２接続端子部が設けられた第２回路基板と、を有し、前記電気光学パネルには、前記第１端子部の前記所定の方向における両端側に設けられた第１形状を有する一対の第１パネルアライメントマークと、前記第２端子部の前記所定の方向における両端側に設けられた前記第１形状と特徴部分の方向が異なる、又は、前記第１形状と形状が異なる第２形状を有する一対の第２パネルアライメントマークと、が設けられており、前記第１回路基板には、平面的に前記第１形状に沿うと共に、前記第１パネルアライメントマークと基準の位置で重ね合わせたときに互いが重なり合わず、かつ合体したときの形状が所定の形状となる第１回路基板アライメントマークが設けられており、前記第２回路基板には、平面的に前記第２形状に沿うと共に、前記第２パネルアライメントマークと基準の位置で重ね合わせたときに互いが重なり合わず、かつ合体したときの形状が前記所定の形状となる第２回路基板アライメントマークが設けられていることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、第１回路基板アライメントマークが、第１パネルアライメントマークの第１形状に沿って形成されているので、互いのアライメントマークの形状を合致させることができる。一方、第２回路基板アライメントマークが、第２パネルアライメントマークの第２形状に沿って形成されているので、互いのアライメントマークの形状を合致させることができる。言い換えれば、第１形状の第１パネルアライメントマークと、第２形状に沿って形成された第２回路基板アライメントマークとは、互いの形状が合致しない。よって、第１端子部と第１接続端子部、及び、第２端子部と第２接続端子部を互いの位置を合わせて接続することができる。その結果、複数の回路基板の位置を間違えることなく、電気光学パネルに電気的に接続させることができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例に係る電気光学装置において、前記特徴部分の方向は、前記電気光学パネルに対する前記第１端子部と前記第２端子部との相対的な配置関係を示す方向であることが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、第１端子部及び第２端子部が配置された位置、つまり、電気光学パネルに対してフレキシブル基板が貼り付けられる位置に対応する方向に特徴部分が設けられているので、複数のフレキシブル基板を貼り付ける際に、貼り付け位置の間違いを防ぐことができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例に係る電気光学装置において、前記特徴部分の形状は、凸形状又は凹形状となっていることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、特徴部分の形状が凸形状又は凹形状となっているので、電気光学パネルに対して複数のフレキシブル基板を貼り付ける際に、視認しやすくすることができ、貼り付け位置の間違いを防ぐこができる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例に係る電気光学装置において、前記一対の第１パネルアライメントマーク間の距離と、前記一対の第２パネルアライメントマーク間の距離とが略等しいことが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、各アライメントマーク間の距離が略等しいので、電気光学パネルに複数のフレキシブル基板を貼り付ける場合でも、一対のアライメントマークを認識する２つの光学系（例えば、カメラ等）の距離を、フレキシブル基板毎に調整しなくてもよい。つまり、光学系を調整することなく、複数のフレキシブル基板のアライメントマークの形状を認識させることが可能となり、検出精度を向上させることができる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例に係る電気光学装置において、前記第１回路基板アライメントマークは、平面的に前記第１形状に沿うと共に前記第１形状を囲むように形成されており、前記第２回路基板アライメントマークは、平面的に前記第２形状に沿うと共に前記第２形状を囲むように形成されていることが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、各形状を囲むように第１回路基板アライメントマーク及び第２回路基板アライメントマークが形成されているので、第１形状や第２形状と合致するか否かの確認がしやすい。
【００１６】
［適用例６］上記適用例に係る電気光学装置において、前記第１パネルアライメントマークと前記第１回路基板アライメントマーク、及び、前記第２パネルアライメントマークと前記第２回路基板アライメントマークを合致させた際、前記第１形状及び前記第２形状の全周に亘って均一な隙間を有することが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、電気光学パネルにフレキシブル基板を貼り合わせる際、互いのアライメントマークを合致させたときに形状の全周に亘って均一な隙間が生じる関係にしておくことにより、互いの形状の位置関係を明確にすることが可能となり、例えば、第１パネルアライメントマークと第１回路基板アライメントマークとの位置合わせ精度を向上させることができる。
【００１８】
［適用例７］上記適用例に係る電気光学装置において、前記第１形状及び前記第２形状の一部に円弧形状が含まれることが好ましい。
【００１９】
この構成によれば、円弧形状を含む形状なので、第１形状及び第２形状の図心を求めやすくすることが可能となり、画像処理による位置合わせ精度を向上させることができる。
［適用例８］本適用例に係る電子機器は、上記に記載の電気光学装置を備えたことを特徴とする。
【００２０】
この構成によれば、電気的特性において高い接続信頼性を有する電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】電気光学装置としての液晶装置の構成を模式的に示す斜視図。
【図２】液晶パネルの電気的な構成を示す等価回路図。
【図３】液晶装置の構造を示す模式断面図。
【図４】第１実施形態の液晶パネルと回路基板との接続状態を示す模式平面図。
【図５】図４に示す液晶装置のＡ−Ａ'線に沿う模式断面図。
【図６】液晶パネルと回路基板との接合部を分解して示す模式分解図。
【図７】図６に示す液晶装置の構造を示す模式側面図。
【図８】第２実施形態の液晶パネルと回路基板との接続状態を示す模式平面図。
【図９】図８に示す液晶装置のＢ−Ｂ'線に沿う模式断面図。
【図１０】液晶パネルと回路基板との接合部を分解して示す模式分解図。
【図１１】電子機器の一例として液晶プロジェクターの構成を示す模式図。
【図１２】変形例のアライメントマークの構成を示す模式平面図。
【図１３】変形例のアライメントマークの構成を示す模式平面図。
【図１４】変形例のアライメントマークの構成を示す模式平面図。
【図１５】変形例のアライメントマークの構成を示す模式平面図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大または縮小して表示している。本実施形態では、電気光学装置の一例として、投射型映像装置である液晶プロジェクターにおいてライトバルブとして用いられるＴＦＴ（Thin Film Transistor）アクティブマトリクス駆動方式の液晶装置を例に挙げて説明する。
【００２３】
（第１実施形態）
＜液晶装置の構成＞
図１は、電気光学装置としての液晶装置の構成を模式的に示す斜視図である。以下、液晶装置の構成を、図１を参照しながら説明する。
【００２４】
図１に示すように、液晶装置１００は、電気光学パネルとしての液晶パネル１０１と、回路基板としてのフレキシブル基板１１１，１１２とを備えて構成されている。
【００２５】
液晶パネル１０１は、例えば、薄膜トランジスター（以下、「ＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子」と称する。）を画素のスイッチング素子として用いたＴＦＴアクティブマトリクス方式の液晶パネルである。液晶パネル１０１は、一対の基板を構成する素子基板１２と対向基板１３とが、平面視略矩形枠状のシール材（図示せず）を介して貼り合わされている。
【００２６】
素子基板１２及び対向基板１３は、例えば、石英などの透光性材料によって構成されている。液晶パネル１０１は、シール材に囲まれた領域内に液晶層１５（図３参照）が封入された構成になっている。なお、シール材には液晶を注入するための液晶注入口が設けられ、液晶注入口は封止材（共に図示せず）により封止されている。
【００２７】
液晶パネル１０１は、シール材の内周近傍に沿って遮光性材料からなる平面視矩形枠状の額縁遮光膜（図示せず）が対向基板１３に形成されており、この額縁遮光膜の内側の領域が表示領域１９となっている。
【００２８】
表示領域１９内には、画素領域２１がマトリクス状に設けられている。画素領域２１は、表示領域１９の最小表示単位となる１画素を構成している。素子基板１２が露出した領域である外部接続端子形成領域１４には、外部と接続するための第１フレキシブル基板１１１（第１回路基板）と第２フレキシブル基板１１２（第２回路基板）とが貼り付けられている。液晶パネル１０１とフレキシブル基板１１１，１１２との接続部の詳細については後述する。
【００２９】
液晶パネル１０１は透過型であって、素子基板１２及び対向基板１３における光の入射側と出射側とにそれぞれ偏光板（図示せず）等が配置されて用いられる。なお、液晶パネル１０１の構成は、これに限定されず、反射型や半透過型の構成であってもよい。
【００３０】
液晶パネル１０１の表裏面には、防塵ガラス（図示せず）が貼着される。詳述すると、防塵ガラスは、液晶パネル１０１の少なくとも表示領域に塵埃等が付着することを防止するために設けられる。これらの部材は、フレームとフック（共に図示せず）とによって液晶パネルと固定されている。
【００３１】
また、第１フレキシブル基板１１１及び第２フレキシブル基板１１２には、例えば、駆動用ＩＣチップ１０２が搭載されている。駆動用ＩＣチップ１０２は、例えば、図示しないデータ線駆動回路の一部を含んで構成されている。また、駆動用ＩＣチップ１０２は、ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）技術を用いて、電気的及び機械的に配線基板に実装されている。配線基板は、例えば、ポリイミド等の絶縁性を有する基材と、基材上においてパターニング形成された配線とを有している。
【００３２】
図２は、液晶パネルの電気的な構成を示す等価回路図である。以下、液晶パネルの電気的な構成を、図２を参照しながら説明する。
【００３３】
図２に示すように、液晶パネル１０１は、表示領域１９を構成する複数の画素領域２１を有している。各画素領域２１には、それぞれ画素電極２７が配置されている。また、画素領域２１には、ＴＦＴ素子３３が形成されている。
【００３４】
ＴＦＴ素子３３は、画素電極２７へ通電制御を行うスイッチング素子である。ＴＦＴ素子３３のソース側には、データ線３４が電気的に接続されている。各データ線３４には、例えば、データ線駆動回路（図示せず）から画像信号Ｓ１，Ｓ２，…，Ｓｎが供給されるようになっている。
【００３５】
また、ＴＦＴ素子３３のゲート側には、走査線３５が電気的に接続されている。走査線３５には、例えば、走査線駆動回路（図示せず）から所定のタイミングでパルス的に走査信号Ｇ１，Ｇ２，…，Ｇｍが供給されるようになっている。また、ＴＦＴ素子３３のドレイン側には、画素電極２７が電気的に接続されている。
【００３６】
走査線３５から供給された走査信号Ｇ１，Ｇ２，…，Ｇｍにより、スイッチング素子であるＴＦＴ素子３３が一定期間だけオン状態となることで、データ線３４から供給された画像信号Ｓ１，Ｓ２，…，Ｓｎが、画素電極２７を介して画素領域２１に所定のタイミングで書き込まれるようになっている。
【００３７】
画素領域２１に書き込まれた所定レベルの画像信号Ｓ１，Ｓ２，…，Ｓｎは、画素電極２７と共通電極３１（図３参照）との間で形成される液晶容量で一定期間保持される。なお、保持された画像信号Ｓ１，Ｓ２，…，Ｓｎがリークするのを防止するために、画素電極２７に電気的に接続された画素電位側容量電極と容量線の一例であるシールド層５７（図３参照）に電気的に接続された容量電極３６との間に蓄積容量３７が形成されている。
【００３８】
このように、液晶層１５（図３参照）に電圧信号が印加されると、印加された電圧レベルにより、液晶分子の配向状態が変化する。これにより、液晶層１５に入射した光が変調されて、画像光が生成されるようになっている。
【００３９】
＜液晶パネルの構造＞
図３は、液晶装置の構造を示す模式断面図である。以下、液晶装置の構造を、図３を参照しながら説明する。なお、図３は、各構成要素の断面的な位置関係を示すものであり、明示可能な尺度で表されている。
【００４０】
図３に示すように、液晶パネル１０１は、素子基板１２と、これに対向配置される対向基板１３とを備えている。素子基板１２及び対向基板１３は、上記したように、例えば、石英基板等によって構成されている。
【００４１】
素子基板１２上には、Ｔｉ（チタン）やＣｒ（クロム）等からなる下側遮光膜５１が形成されている。下側遮光膜５１は、平面的に格子状にパターニングされており、各画素の開口領域を規定している。素子基板１２及び下側遮光膜５１上には、シリコン酸化膜等からなる下地絶縁膜５２が形成されている。
【００４２】
下地絶縁膜５２上には、ＴＦＴ素子３３及び走査線３５等が形成されている。ＴＦＴ素子３３は、例えば、ＬＤＤ（Lightly Doped Drain）構造を有しており、ポリシリコン等からなる半導体層３８と、半導体層３８上に形成されたゲート絶縁膜５３と、ゲート絶縁膜５３上に形成されたポリシリコン膜等からなる走査線３５とを有する。上記したように、走査線３５は、ゲート電極として機能する。
【００４３】
半導体層３８は、チャネル領域３８ａと、低濃度ソース領域３８ｂと、低濃度ドレイン領域３８ｃと、高濃度ソース領域３８ｄと、高濃度ドレイン領域３８ｅとを備えている。チャネル領域３８ａは、走査線３５からの電界によりチャネルが形成される。下地絶縁膜５２上には、シリコン酸化膜等からなる第１層間絶縁膜５４が形成されている。
【００４４】
第１層間絶縁膜５４上には、蓄積容量３７及びデータ線３４等が設けられている。蓄積容量３７は、ＴＦＴ素子３３の高濃度ドレイン領域３８ｅ及び画素電極２７に接続された画素電位側容量電極としての中継層５５と、固定電位側容量電極としての容量電極３６とが、誘電体膜５６を介して対向配置されている。
【００４５】
容量電極３６及びデータ線３４は、下層に導電性ポリシリコン膜Ａ１、上層にアルミニウム膜Ａ２の二層構造を有する膜として形成されている。
【００４６】
容量電極３６及びデータ線３４は、光反射性能に比較的優れたアルミニウムを含み、かつ、光吸収性能に比較的優れたポリシリコンを含むことから、遮光層として機能し得る。よって、ＴＦＴ素子３３の半導体層３８に対する入射光の進行を、その上側で遮ることが可能である。
【００４７】
このような容量電極３６は、蓄積容量３７の固定電位側容量電極として機能する。容量電極３６を固定電位とするためには、上述のように、画素領域２１外の定電位源に接続されることで固定電位とされたシールド層５７と、コンタクトホール５８を介して電気的に接続されることによってなされている。
【００４８】
第１層間絶縁膜５４には、ＴＦＴ素子３３の高濃度ソース領域３８ｄとデータ線３４とを電気的に接続するコンタクトホール６１が開孔されている。言い換えれば、データ線３４は、誘電体膜５６及び第１層間絶縁膜５４を貫通するコンタクトホール６１を介して、ＴＦＴ素子３３の半導体層３８と電気的に接続されている。具体的には、データ線３４が上述のような二層構造をとっており、中継層５５が導電性のポリシリコン膜からなることにより、データ線３４及び半導体層３８間の電気的接続は、導電性のポリシリコン膜によって実現されている。すなわち、下から順に、半導体層３８、中継層５５のポリシリコン膜、データ線３４の下層のポリシリコン膜Ａ１、その上層のアルミニウム膜Ａ２となる。
【００４９】
また、第１層間絶縁膜５４には、ＴＦＴ素子３３の高濃度ドレイン領域３８ｅと蓄積容量３７を構成する中継層５５とを電気的に接続するコンタクトホール６２が開孔されている。第１層間絶縁膜５４上には、シリコン酸化膜等からなる第２層間絶縁膜６３が形成されている。
【００５０】
第２層間絶縁膜６３上には、例えば、アルミニウム等からなるシールド層５７が形成されている。また、第２層間絶縁膜６３には、上記したように、シールド層５７と容量電極３６とを電気的に接続するためのコンタクトホール５８が形成されている。第２層間絶縁膜６３上には、シリコン酸化膜等からなる第３層間絶縁膜６４が形成されている。
【００５１】
第２層間絶縁膜６３及び第３層間絶縁膜６４には、画素電極２７と中継層５５とを電気的に接続するためのコンタクトホール６５，６６が開孔されている。具体的には、第２層間絶縁膜６３上に形成された第２中継層６７を介してコンタクトホール６５とコンタクトホール６６とが電気的に接続されている。第２中継層６７は、シールド層５７と同一の膜構成となっており、下層にアルミニウム膜、上層に窒化チタン膜という二層構造を備えている。
【００５２】
つまり、高濃度ドレイン領域３８ｅと画素電極２７とは、コンタクトホール６２、中継層５５、コンタクトホール６５、第２中継層６７、コンタクトホール６６を介して、電気的に接続されている。第３層間絶縁膜６４上には、上記した画素電極２７及び第１配向膜２８が形成されている。
【００５３】
画素電極２７は、平面的にマトリクス状に形成されており、例えば、ＩＴＯ膜等の透明導電性膜からなる。また、画素電極２７上には、ラビング等により所定の方向に配向処理が施された第１配向膜２８が形成されている。第１配向膜２８は、例えば、ポリイミド膜等の透明な有機膜からなる。
【００５４】
第１配向膜２８上には、シール材により囲まれた空間に液晶等の電気光学物質が封入された液晶層１５が設けられている。対向基板１３の液晶層１５に面する側には、透明な共通電極３１を覆ってラビングにより所定の方向に配向処理が施された第２配向膜３２が形成されている。第２配向膜３２は、例えば、ポリイミド膜等の透明な有機膜からなる。
【００５５】
液晶層１５は、画素電極２７からの電界が印加されていない状態で第１配向膜２８及び第２配向膜３２によって所定の配向状態をとる。シール材は、素子基板１２及び対向基板１３をそれらの周辺で貼り合わせるための、例えば光硬化性樹脂や熱硬化性樹脂からなる接着剤であり、両基板間の距離を所定値とするためのグラスファイバー或いはガラスビーズ等のスペーサーが混入されている。
【００５６】
図４は、第１実施形態の液晶装置における液晶パネルとフレキシブル基板との接続状態を示す模式平面図である。図５は、図４に示す液晶装置のＡ−Ａ'線に沿う模式断面図である。以下、液晶装置の構造を、図４及び図５を参照しながら説明する。
【００５７】
図４及び図５に示すように、液晶装置１００は、複数の端子を有する第１パネル接続端子部４１（第１端子部）及び第２パネル接続端子部４２（第２端子部）が設けられた液晶パネル１０１と、第１パネル接続端子部４１と接続される複数の端子を有する第１ＦＰＣ接続端子部４５（第１接続端子部）が設けられた第１フレキシブル基板１１１と、第２パネル接続端子部４２と接続される複数の端子を有する第２ＦＰＣ接続端子部４６（第２接続端子部）が設けられた第２フレキシブル基板１１２とを有する。
【００５８】
第１パネル接続端子部４１と第１ＦＰＣ接続端子部４５、及び、第２パネル接続端子部４２と第２ＦＰＣ接続端子部４６は、異方性導電膜としての異方性導電フィルム（ＡＣＦ）６８を介して電気的に接続される。
【００５９】
異方性導電フィルム６８は、これらを熱圧着することによって互いを導通させることができる。異方性導電フィルム６８は、絶縁性接着材料と、絶縁性接着材料の中に拡散された、例えば、ニッケルや金、銀、銅、アルミニウム、スズ、パラジウム、ＩＴＯ、カーボン等の金属粒子とを含んで構成されている。なお、金属粒子に代えて、プラスチックなどの材料に金属材料をメッキした導電粒子を用いるようにしてもよい。なお、本実施形態では、異方性導電フィルム６８を用いたが金属粒子や導電粒子を含む絶縁性接着材料を塗布して得られる塗布膜を用いるようにしてもよい。
【００６０】
第１パネル接続端子部４１と第１ＦＰＣ接続端子部４５、及び、第２パネル接続端子部４２と第２ＦＰＣ接続端子部４６は、液晶パネル１０１、第１フレキシブル基板１１１、及び第２フレキシブル基板１１２に形成されたアライメントマーク７１，７２を用いて互いの位置合わせを行っている。
【００６１】
具体的には、液晶パネル１０１と第１フレキシブル基板１１１とは、２つのアライメントマーク７１を、例えば、２台のＣＣＤカメラを用いて液晶パネル１０１と第１フレキシブル基板１１１とを透過して、アライメントマーク７１の形状が合致するように位置調整される。第２フレキシブル基板１１２も同様に位置調整される。
【００６２】
なお、２つのアライメントマーク７１間の距離と、２つのアライメントマーク７２間の距離とは、略等しく形成されている。これにより、液晶パネル１０１に複数のフレキシブル基板（１１１，１１２）を貼り付ける場合でも、２つのアライメントマーク７１，７１（７２，７２）を認識する２つのＣＣＤカメラの距離を、フレキシブル基板１１１，１１２毎に調整しなくてもよい。つまり、光学系（ＣＣＤカメラ）を調整することなく、複数のフレキシブル基板１１１，１１２のアライメントマーク７１，７２の形状を認識させることが可能となり、検出精度を向上させることができる。また、言い換えれば、光学系を調整することによる位置合わせ精度が低下することを抑えることができる。更に、光学系の位置調整の工数を低減させることができる。以下、アライメントマーク７１，７２について具体的に説明する。
【００６３】
図６は、液晶装置における液晶パネルとフレキシブル基板との接合部を分解して示す模式分解図である。図７は、図６に示す液晶装置の構造を示す模式側面図である。以下、液晶装置の構造を、図６及び図７を参照しながら説明する。
【００６４】
図６及び図７に示すように、液晶パネル１０１を構成する素子基板１２の第１辺１２ａ側には、第１パネル接続端子部４１と、第２パネル接続端子部４２とが、並べて設けられている。第１パネル接続端子部４１の両端側には、第１パネルアライメントマーク７１ａ，７１ｂが設けられている。また、第２パネル接続端子部４２の両端側には、第２パネルアライメントマーク７２ａ，７２ｂが設けられている。
【００６５】
第１パネルアライメントマーク７１ａ，７１ｂ及び第２パネルアライメントマーク７２ａ，７２ｂは、例えば、第１パネル接続端子部４１や第２パネル接続端子部４２を構成する複数の端子と同一工程において同時に形成される。
【００６６】
２つの第１パネルアライメントマーク７１ａ，７１ｂは、例えば、第１形状としての略扇形状（又は、水滴形状、凸形状）に形成されている。更に、第１パネル接続端子部４１が素子基板１２における第２辺１２ｂ側に設けられているので、例えば、略扇形状の頂点７１ａ’，７１ｂ’が第２辺１２ｂの方向（相対的な配置関係を示す方向）を向くように形成されている。
【００６７】
また、２つの第２パネルアライメントマーク７２ａ，７２ｂも同様に、例えば、第２形状としての略扇形状に形成されている。そして、第２パネル接続端子部４２が素子基板１２における第３辺１２ｃ側に設けられているので、例えば、略扇形状の頂点７２ａ’，７２ｂ’が第３辺１２ｃの方向（相対的な配置関係を示す方向）を向くように形成されている。
【００６８】
一方、第１フレキシブル基板１１１の一端１１１ａ側には、第１パネル接続端子部４１と接続される第１ＦＰＣ接続端子部４５が設けられている。第１ＦＰＣ接続端子部４５の両側には、第１回路基板アライメントマークとしての第１ＦＰＣアライメントマーク７１ｃ，７１ｄが設けられている。第１ＦＰＣアライメントマーク７１ｃ，７１ｄは、例えば、第１ＦＰＣ接続端子部４５を構成する複数の端子と同一工程において同時に形成される。
【００６９】
２つの第１ＦＰＣアライメントマーク７１ｃ，７１ｄは、丸形状の中に、素子基板１２側に形成した第１パネルアライメントマーク７１ａ，７１ｂの形状に沿った形状が開口している。つまり、第１パネルアライメントマーク７１ａ，７１ｂの扇形状と、第１ＦＰＣアライメントマーク７１ｃ，７１ｄの開口する扇形状とは合致する。この際、形状の全周に亘って均一な隙間が生ずる関係であることが望ましい。これにより、互いの形状の位置関係を明確にすることが可能となり、例えば、第１パネルアライメントマーク７１ａ，７１ｂと第１ＦＰＣアライメントマーク７１ｃ，７１ｄとの位置合わせ精度を向上させることができる。
【００７０】
また、第２フレキシブル基板１１２の一端１１２ａ側には、第２パネル接続端子部４２と接続される第２ＦＰＣ接続端子部４６が設けられている。第２ＦＰＣ接続端子部４６の両側には、第２回路基板アライメントマークとしての第２ＦＰＣアライメントマーク７２ｃ，７２ｄが設けられている。第２ＦＰＣアライメントマーク７２ｃ，７２ｄは、例えば、第２ＦＰＣ接続端子部４６を構成する複数の端子と同一工程において同時に形成される。
【００７１】
２つの第２ＦＰＣアライメントマーク７２ｃ，７２ｄは、丸形状の中に、素子基板１２側に形成した第２パネルアライメントマーク７２ａ，７２ｂの形状に沿った形状が開口している。つまり、第２パネルアライメントマーク７２ａ，７２ｂの扇形状と、第２ＦＰＣアライメントマーク７２ｃ，７２ｄの開口する扇形状とは合致する。
【００７２】
このように、第１フレキシブル基板１１１側と第２フレキシブル基板１１２側のアライメントマーク７１，７２の特徴部分の方向を異ならせることにより、液晶パネル１０１に複数のフレキシブル基板１１１，１１２を貼り付ける場合でも、フレキシブル基板１１１，１１２の接続位置を間違えずに貼り合わせることができる。
【００７３】
以上詳述したように、第１実施形態によれば、以下に示す効果が得られる。
【００７４】
（１）第１実施形態によれば、第１ＦＰＣアライメントマーク７１ｃ，７１ｄが、第１パネルアライメントマーク７１ａ，７１ｂの形状（略扇形状）に沿って形成されているので、互いのアライメントマーク７１ａと７１ｃ（７１ｂと７１ｄ）の形状を合致させることができる。一方、第２ＦＰＣアライメントマーク７２ｃ，７２ｄが、第２パネルアライメントマーク７２ａ，７２ｂの形状に沿って形成されているので、互いのアライメントマーク７２ａと７２ｃ（７２ｂと７２ｄ）の形状を合致させることができる。言い換えれば、第１パネルアライメントマーク７１ａ，７１ｂと、第２ＦＰＣアライメントマーク７２ｃ，７２ｄとの形状を合致させることができない。よって、第１パネル接続端子部４１（４２）と第１ＦＰＣ接続端子部４５（４６）とを間違えることなく接続することができる。その結果、複数のフレキシブル基板１１１，１１２を、液晶パネル１０１の正規の位置に接続させることができる。
【００７５】
（２）第１実施形態によれば、複数のフレキシブル基板１１１，１１２において、２つのアライメントマーク７１，７１（７２，７２）の距離を略等しく形成しているので、液晶パネル１０１に複数のフレキシブル基板１１１，１１２を貼り付ける場合でも、２つのアライメントマーク７１，７１（７２，７２）を認識する２つのＣＣＤカメラの距離を、フレキシブル基板１１１，１１２毎に調整しなくてもよい。つまり、光学系（ＣＣＤカメラ）を調整することなく、複数のフレキシブル基板１１１，１１２に形成されたアライメントマーク７１，７２の形状を認識させることが可能となり、検出精度を向上させることができる。
【００７６】
（第２実施形態）
＜液晶装置の構成＞
図８は、第２実施形態の液晶装置における液晶パネルとフレキシブル基板との接続状態を示す模式平面図である。図９は、図８に示す液晶装置のＢ−Ｂ'線に沿う模式断面図である。以下、液晶装置の構成を、図８及び図９を参照しながら説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、パネル接続端子部、ＦＰＣ接続端子部、フレキシブル基板の大きさを異ならせて図示している。
【００７７】
第２実施形態の液晶装置２００は、液晶パネル２０１の一端側において、横方向に２つのフレキシブル基板が上下２段に亘って設けられている部分が、第１実施形態と異なっている。以下、第１実施形態と同じ構成部材には同一符号を付し、ここではそれらの説明を省略又は簡略化する。
【００７８】
図８及び図９に示すように、第２実施形態の液晶装置２００は、液晶パネル２０１の第１辺１２ａ側における表示領域１９の近傍に、第１フレキシブル基板２１１及び第２フレキシブル基板２１２が横方向に並んで設けられている。更に、第１辺１２ａ側における表示領域１９から離れた方向に、第３フレキシブル基板２１３及び第４フレキシブル基板２１４が横方向に並んで設けられている。
【００７９】
具体的には、素子基板１２上の表示領域１９側に第１パネル接続端子部１４１及び第２パネル接続端子部１４２が並んで設けられている。また、表示領域１９から離れた方向に、第３パネル接続端子部１４３及び第４パネル接続端子部１４４が並んで設けられている。
【００８０】
第１パネル接続端子部１４１には、第１ＦＰＣ接続端子部１４５が設けられた第１フレキシブル基板２１１が、異方性導電フィルム６８を介して電気的に接続されている。第２パネル接続端子部１４２には、第２ＦＰＣ接続端子部１４６が設けられた第２フレキシブル基板２１２が、異方性導電フィルム６８を介して電気的に接続されている。第３パネル接続端子部１４３には、第３ＦＰＣ接続端子部１４７が設けられた第３フレキシブル基板２１３が、異方性導電フィルム６８を介して電気的に接続されている。第４パネル接続端子部１４４には、第４ＦＰＣ接続端子部１４８が設けられた第４フレキシブル基板２１４が、異方性導電フィルム６８を介して電気的に接続されている。
【００８１】
液晶パネル２０１と、第１フレキシブル基板２１１〜第４フレキシブル基板２１４とは、それぞれに設けられたアライメントマーク１７１〜１７４を用いて互いの位置合わせを行っている。なお、それぞれ２つのアライメントマーク１７１，１７１（１７２〜１７４）間の距離は、略等しく形成されている（なお、図示は異なっている）。
【００８２】
これにより、液晶パネル２０１に複数のフレキシブル基板（２１１〜２１４）を貼り付ける場合でも、２つのアライメントマーク１７１，１７１（１７２〜１７４）を認識する２つのＣＣＤカメラの距離を、フレキシブル基板２１１〜２１４毎に調整しなくてもよい。つまり、光学系（ＣＣＤカメラ）を調整することなく、複数のフレキシブル基板２１１〜２１４のアライメントマーク１７１〜１７４の形状を認識させることが可能となり、検出精度を向上させることができる。以下、アライメントマーク１７１〜１７４について具体的に説明する。
【００８３】
図１０は、液晶装置における液晶パネルとフレキシブル基板との接合部を分解して示す模式分解図である。以下、液晶装置の構造を、図１０を参照しながら説明する。
【００８４】
図１０に示すように、液晶パネル２０１を構成する素子基板１２の第１辺１２ａ側の表示領域１９側には、第１パネル接続端子部１４１と第２パネル接続端子部１４２とが、並べられて設けられている。更に、第１辺１２ａ側の表示領域１９と離れた方向には、第３パネル接続端子部１４３と第４パネル接続端子部１４４とが、並べられて設けられている。
【００８５】
第１パネル接続端子部１４１の両側には、第１パネルアライメントマーク１７１ａ，１７１ｂが設けられている。第２パネル接続端子部１４２の両側には、第２パネルアライメントマーク１７２ａ，１７２ｂが設けられている。第３パネル接続端子部１４３の両側には、第３パネルアライメントマーク１７３ａ，１７３ｂが設けられている。第４パネル接続端子部１４４の両側には、第４パネルアライメントマーク１７４ａ，１７４ｂが設けられている。これらアライメントマーク１７１ａ，１７１ｂ〜１７４ａ，１７４ｂは、例えば、パネル接続端子部１４１〜１４４を構成する複数の端子と同一工程において同時に形成される。
【００８６】
２つの第１パネルアライメントマーク１７１ａ，１７１ｂは、例えば、丸形状の一部分が欠けた形状（凹形状）に形成されている。具体的には、第１パネル接続端子部１４１の配置位置が、表示領域１９と第２辺１２ｂとに近いことから、左上の方向が欠けた丸形状となっている。
【００８７】
２つの第２パネルアライメントマーク１７２ａ，１７２ｂは、例えば、第２パネル接続端子部１４２の配置位置が表示領域１９と第３辺１２ｃとに近いことから、右上の方向が欠けた丸形状となっている。また、２つの第３パネルアライメントマーク１７３ａ，１７３ｂは、例えば、第３パネル接続端子部１４３の配置が第１辺１２ａと第２辺１２ｂとに近いことから、左下の方向が欠けた丸形状となっている。また、２つの第４パネルアライメントマーク１７４ａ，１７４ｂは、例えば、第４パネル接続端子部１４４の配置が第１辺１２ａと第３辺１２ｃとに近いことから、右下の方向が欠けた丸形状となっている。
【００８８】
一方、第１フレキシブル基板２１１の一端２１１ａ側には、第１パネル接続端子部１４１と接続される第１ＦＰＣ接続端子部１４５と、その両側に第１ＦＰＣアライメントマーク１７１ｃ，１７１ｄとが設けられている。また、第２フレキシブル基板２１２の一端２１２ａ側には、第２パネル接続端子部１４２と接続される第２ＦＰＣ接続端子部１４６と、その両側に第２ＦＰＣアライメントマーク１７２ｃ，１７２ｄとが設けられている。また、第３フレキシブル基板２１３の一端２１３ａ側には、第３パネル接続端子部１４３と接続される第３ＦＰＣ接続端子部１４７と、その両側に第３ＦＰＣアライメントマーク１７３ｃ，１７３ｄとが設けられている。また、第４フレキシブル基板２１４の一端２１４ａ側には、第４パネル接続端子部１４４と接続される第４ＦＰＣ接続端子部１４８と、その両側に第４ＦＰＣアライメントマーク１７４ｃ，１７４ｄとが設けられている。
【００８９】
これらアライメントマーク１７１ｃ，１７１ｄ〜１７４ｃ，１７４ｄは、例えば、ＦＰＣ接続端子部１４５〜１４８を構成する複数の端子と同一工程において同時に形成される。
【００９０】
第１ＦＰＣアライメントマーク１７１ｃ，１７１ｄは、丸形状の中に、素子基板１２側に形成した第１パネルアライメントマーク１７１ａ，１７１ｂの外形形状に沿った形状が開口している。第２ＦＰＣアライメントマーク１７２ｃ，１７２ｄは、丸形状の中に、第２パネルアライメントマーク１７２ａ，１７２ｂの外形形状に沿った形状が開口している。第３ＦＰＣアライメントマーク１７３ｃ，１７３ｄは、丸形状の中に、第３パネルアライメントマーク１７３ａ，１７３ｂの外形形状に沿った形状が開口している。第４ＦＰＣアライメントマーク１７４ｃ、１７４ｄは、丸形状の中に、第４パネルアライメントマーク１７４ａ，１７４ｂの外形形状に沿った形状が開口している。
【００９１】
つまり、第１ＦＰＣアライメントマーク１７１ｃ，１７１ｄの開口形状を、第１パネルアライメントマーク１７１ａ，１７１ｂの外形形状に重ね合わせると、形状が合致する。同様に、第２ＦＰＣアライメントマーク１７２ｃ，１７２ｄと第２パネルアライメントマーク１７２ａ，１７２ｂ、第３ＦＰＣアライメントマーク１７３ｃ，１７３ｄと第３パネルアライメントマーク１７３ａ，１７３ｂ、及び第４ＦＰＣアライメントマーク１７４ｃ，１７４ｄと第４パネルアライメントマーク１７４ａ，１７４ｂの形状が合致する。
【００９２】
このように、第１フレキシブル基板２１１〜第４フレキシブル基板２１４のアライメントマーク１７１〜１７４の形状を異ならせることにより、液晶パネル２０１に複数のフレキシブル基板２１１〜２１４を貼り付ける場合でも、フレキシブル基板２１１〜２１４の接続位置を間違えずに貼り合わせることができる。
【００９３】
また、各アライメントマーク１７１〜１７４の形状が円弧形状を含む形状なので、各アライメントマーク１７１〜１７４の形状の図心を求めやすくすることが可能となり、位置合わせ精度を向上させることができる。
【００９４】
以上詳述したように、第２実施形態によれば、上記した第１実施形態の（１）、（２）の効果に加えて、以下に示す効果が得られる。
【００９５】
（３）第２実施形態によれば、液晶パネル２０１の外部接続端子形成領域１４（図１参照）におけるパネル接続端子部１４１〜１４４が配置された位置、つまり、フレキシブル基板１４５〜１４８が貼り付けられる位置に対応して、例えば、その配置方向の部分が欠けたアライメントマーク１７１〜１７４の形状にするので、液晶パネル２０１に複数のフレキシブル基板２１１〜２１４を貼り合わせる際に、貼り合わせ位置の間違いを防ぐことができる。また、アライメントマーク１７１〜１７４の形状が、円弧形状を含む形状なので、その形状の図心を求めやすくすることが可能となり、位置合わせ精度を向上させることができる。
【００９６】
（第３実施形態）
＜電子機器の構成＞
図１１は、上記した液晶装置を備えた電子機器の一例として液晶プロジェクターの構成を示す模式図である。以下、液晶装置を備えた液晶プロジェクターの構成を、図１１を参照しながら説明する。
【００９７】
図１１に示すように、液晶プロジェクター９０１は、上記した液晶装置１００，２００のいずれかが採用された液晶モジュールを３つ配置し、それぞれＲＧＢ用のライトバルブ９１１Ｒ，９１１Ｇ，９１１Ｂとして用いた構造となっている。
【００９８】
詳しくは、メタルハイドロランプ等の白色光源のランプユニット９１２から投射光が発せられると、３枚のミラー９１３及び２枚のダイクロイックミラー９１４によって、ＲＧＢの三原色に対応する光成分Ｒ，Ｇ，Ｂに分けられ、各色に対応するライトバルブ９１１Ｒ，９１１Ｇ，９１１Ｂにそれぞれ導かれる。特に光成分Ｂは、長い光路による光損失を防ぐために、入射レンズ９１５、リレーレンズ９１６、出射レンズ９１７からなるリレーレンズ系９１８を介して導かれる。
【００９９】
ライトバルブ９１１Ｒ，９１１Ｇ，９１１Ｂによりそれぞれ変調された三原色に対応する光成分Ｒ，Ｇ，Ｂは、ダイクロイックプリズム９１９により再度合成された後、投射レンズ９２０を介して、スクリーン９２１にカラー画像として投射される。
【０１００】
このような構成の液晶プロジェクター９０１は、上記した液晶装置１００，２００のいずれかが採用された液晶モジュールを介すことによって、高品位な表示を行うことができる。なお、上記した液晶装置１００，２００は、上記した液晶プロジェクター９０１の他、高精細ＥＶＦ（Electric View Finder）、携帯電話機、モバイルコンピューター、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、テレビ、車載機器、オーディオ機器などの各種電子機器に用いることができる。
【０１０１】
以上詳述したように、第３実施形態によれば、以下に示す効果が得られる。
【０１０２】
（４）第３実施形態によれば、上記した第１実施形態及び第２実施形態の液晶装置を備えているので、電気的特性において信頼性の高い電子機器を提供することができる。
【０１０３】
なお、実施形態は上記に限定されず、以下のような形態で実施することもできる。
【０１０４】
（変形例１）
上記したように、アライメントマーク７１，７２，１７１〜１７４の形状を、第１実施形態のような扇形状や、第２実施形態のような切り欠き円形状にすることに限定されず、例えば、図１２〜図１５に示すような形状にしてもよい。図１２〜図１５は、例えば、液晶パネルに４つのフレキシブル基板を貼り付ける場合における、液晶パネルと第１フレキシブル基板〜第４フレキシブル基板との接続部を模式的に示す拡大平面図である。
【０１０５】
図１２に示す液晶装置３００のアライメントマーク２７１〜２７４は、四角形状の一部が欠けた形状（凹形状）となっている。例えば、第１フレキシブル基板２１１のアライメントマーク２７１は、四角形状の４つの角のうち左上の角が欠けた形状となっている。第２フレキシブル基板２１２のアライメントマーク２７２は、右上の角が欠けた形状となっている。第３フレキシブル基板２１３のアライメントマーク２７３は、左下の角が欠けた形状となっている。第４フレキシブル基板２１４のアライメントマーク２７４は、右下の角が欠けた形状となっている。このようにアライメントマーク２７１〜２７４の形状を異ならせることによって、４つのフレキシブル基板２１１〜２１４の貼り間違いを防止することができる。
【０１０６】
また、図１３に示す液晶装置４００のアライメントマーク３７１〜３７４は、丸形状における一部の方向に突起（凸形状）がついた形状になっている。この突起の位置を４つの接続部毎に変えることによって、４つのフレキシブル基板２１１〜２１４の貼り間違いを防止することができる。
【０１０７】
また、図１４に示す液晶装置５００のアライメントマーク４７１〜４７４は、フレキシブル基板２１１〜２１４の貼り付け位置によって切り欠き位置などの対称性のある形状で区別するのではなく、まったく異なる形状で区別している。第１フレキシブル基板２１１のアライメントマーク４７１は、丸形状である。第２フレキシブル基板２１２のアライメントマーク４７２は、四角形状である。第３フレキシブル基板２１３のアライメントマーク４７３は、三角形状である。第４フレキシブル基板２１４のアライメントマーク４７４は、星形状である。このようにそれぞれの形状を異ならせることによって、４つのフレキシブル基板２１１〜２１４の貼り間違いを防止することができる。
【０１０８】
また、図１５に示す液晶装置６００のアライメントマーク５７１〜５７４は、パネルアライメントマークの形状とＦＰＣアライメントマークの形状とを合致（合体）させると所定の形状としての円形状となるように設定されている。なお、パネルアライメントマークの形状は、第２実施形態と同様である。このようなアライメントマークにすることによっても、フレキシブル基板の貼り付け位置を間違えることなく液晶パネル１０１に接続させることができる。
【０１０９】
（変形例２）
上記したように、１つのフレキシブル基板に対して２つのアライメントマークを設けて位置合わせを行うことに限定されず、例えば、２つ以上のアライメントマークを設けて位置合わせを行うようにしてもよい。
【０１１０】
（変形例３）
上記したように、フレキシブル基板１１１，１１２，２１１〜２１４に駆動用ＩＣチップ１０２を搭載しているが（ＣＯＦ：Chip On Film）、駆動用ＩＣチップ１０２を搭載していないフレキシブル基板を用いるようにしてもよい。
【０１１１】
（変形例４）
上記したように、電子機器の一例として液晶プロジェクター９０１を例に説明したが、これに限定されず、高精細ＥＶＦ（Electric View Finder）、携帯電話機、モバイルコンピューター、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、テレビ、車載機器、オーディオ機器などの各種電子機器に用いることができる。また、液晶装置１００，２００に限定されず、例えば、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ等に適用するようにしてもよい。
【符号の説明】
【０１１２】
１２…素子基板、１２ａ…第１辺、１２ｂ…第２辺、１２ｃ…第３辺、１３…対向基板、１４…外部接続端子形成領域、１５…液晶層、１９…表示領域、２１…画素領域、２７…画素電極、２８…第１配向膜、３１…共通電極、３２…第２配向膜、３３…ＴＦＴ素子、３４…データ線、３５…走査線、３６…容量電極、３７…蓄積容量、３８…半導体層、３８ａ…チャネル領域、３８ｂ…低濃度ソース領域、３８ｃ…低濃度ドレイン領域、３８ｄ…高濃度ソース領域、３８ｅ…高濃度ドレイン領域、４１，４２，１４１〜１４４…端子部としてのパネル接続端子部、４５，４６，１４５〜１４８…接続端子部としてのＦＰＣ接続端子部、５１…下側遮光膜、５２…下地絶縁膜、５３…ゲート絶縁膜、５４…第１層間絶縁膜、５５…中継層、５６…誘電体膜、５７…シールド層、５８，６１，６２，６５，６６…コンタクトホール、６３…第２層間絶縁膜、６４…第３層間絶縁膜、６７…第２中継層、６８…異方性導電膜としての異方性導電フィルム、７１，７２，１７１〜１７４，２７１〜２７４，３７１〜３７４，４７１〜４７４…アライメントマーク、１００〜６００…液晶装置、１０１，２０１…電気光学パネルとしての液晶パネル、１０２…駆動用ＩＣチップ、１１１，１１２，２１１〜２１４…回路基板としてのフレキシブル基板、９０１…液晶プロジェクター、９１１Ｒ，９１１Ｇ，９１１Ｂ…ライトバルブ、９１２…ランプユニット、９１３…ミラー、９１４…ダイクロイックミラー、９１５…入射レンズ、９１６…リレーレンズ、９１７…出射レンズ、９１８…リレーレンズ系、９１９…ダイクロイックプリズム、９２０…投射レンズ、９２１…スクリーン。
【図１】
2011112666.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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