(57)【要約】【課題】  アライメントステージ機構なしにＸＹθの３軸の補正を可能にする。【解決手段】  架台１上に設定したアライメントエリア９に、Ｙ軸方向に沿って対向する微調押し機構１３を、Ｘ軸方向に所要間隔で２組設け、更に、版５及び印刷対象６に設けたアライメントマーク１１を撮影するためのカメラ１０を備える。版５を載置した版テーブル３や印刷対象６を載置した印刷対象テーブル４をアライメントエリア９に配置させた状態で、カメラ１０により撮影されたアライメントマーク１１を基に、版５や印刷対象６の正しい位置からのＸＹθの３軸に関するずれを求める。版５や印刷対象６の側面を、対応するテーブル３，４の外部より各微調押し機構１３により適宜押して、版５や印刷対象６のテーブル３，４上でのＹ軸方向の位置と角度姿勢を補正する。次いで、テーブル３，４のＸ軸方向の移動に伴い、版５と印刷対象６のＸ軸方向の位置を補正させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
版を載置した版テーブルを、架台上のガイドレールに沿って走行させてアライメントエリアへ配置し、次に、該アライメントエリアに配置させた版テーブル上に載置してある版の側面を、版テーブルの外部に配置された微調押し機構で押して、該版の版テーブル上における位置と水平面内での角度姿勢を補正し、次いで、該位置と角度姿勢が補正された版を上記版テーブル上に相対変位を防止した状態で保持させるようにし、印刷対象を載置した印刷対象テーブルを、架台上のガイドレールに沿って走行させてアライメントエリアへ配置し、次に、該アライメントエリアに配置させた印刷対象テーブル上に載置してある印刷対象の側面を、印刷対象テーブルの外部に配置された微調押し機構で押して、該印刷対象の印刷対象テーブル上における位置と水平面内での角度姿勢を補正し、次いで、該位置と角度姿勢が補正された印刷対象を上記印刷対象テーブル上に相対変位を防止した状態で保持させるようにすることを特徴とする印刷装置のアライメント方法。
【請求項２】
アライメントエリアに配置させた版テーブル上に載置してある版、又は、印刷対象テーブル上の印刷対象のガイドレールの長手方向に直交する方向に位置する側面を、上記アライメントエリアにおけるガイドレールの長手方向に直交する方向の両側に配置した微調押し機構により押して、該版又は印刷対象の対応するテーブル上におけるガイドレールの長手方向に直交する方向の位置と水平面内での角度姿勢を補正し、更に、上記版テーブル又は印刷対象テーブルのガイドレールに沿う移動に伴い、上記版又は印刷対象のガイドレールの長手方向の位置を補正するようにする請求項１記載の印刷装置のアライメント方法。
【請求項３】
アライメントエリアに配置させた版テーブル上に載置してある版、又は、印刷対象テーブル上の印刷対象のガイドレールの長手方向に直交する方向に位置する側面と、ガイドレールの長手方向に位置する側面を、上記アライメントエリアにおけるガイドレールと直交する方向の両側に配置した微調押し機構と、上記アライメントエリアにおけるガイドレールの長手方向の両側に配置した微調押し機構によりそれぞれ押して、該版又は印刷対象の対応するテーブル上におけるガイドレールの長手方向に直交する方向の位置と、ガイドレールの長手方向の位置、及び、水平面内での角度姿勢を補正するようにする請求項１記載の印刷装置のアライメント方法。
【請求項４】
版を保持する版テーブル及び印刷対象を保持する印刷対象テーブルを架台上に設けたガイドレールに沿って走行可能に備えた印刷装置における上記架台上に、上記ガイドレールの長手方向における版テーブル又は印刷対象テーブルを配置可能な或る個所と対応させてアライメントエリアを設定し、且つ上記アライメントエリアに、微調押し機構を備えて、該アライメントエリアに配置させる版テーブル上に載置された版、又は、印刷対象テーブル上に載置された印刷対象の側面を、該各テーブルの外部より押して上記版又は印刷対象の位置と水平面内の角度姿勢を補正できるようにしてなる構成を有することを特徴とする印刷装置のアライメント装置。
【請求項５】
版テーブル又は印刷対象テーブルの上面に、位置と水平面内の角度姿勢を補正した後の版又は印刷対象を、相対変位を防止した状態で保持するための吸着チャックを備えてなる構成とした請求項４記載の印刷装置のアライメント装置。
【請求項６】
版テーブル又は印刷対象テーブルの上面に設けて位置と水平面内の角度姿勢を補正した後の版又は印刷対象を相対変位を防止した状態で保持するための吸着チャックを、真空吸着チャックとした請求項５記載の印刷装置のアライメント装置。
【請求項７】
アライメントエリアにおける版テーブル又は印刷対象テーブルの配置個所を挟んだガイドレールの長手方向の直交する方向の両側に、２基ずつの微調押し機構を対向させて配置するか、又は、ガイドレールの長手方向に沿って３基の微調押し機構を千鳥状に配置するようにした請求項４、５又は６記載の印刷装置のアライメント装置。
【請求項８】
アライメントエリアにおける版テーブル又は印刷対象テーブルの配置個所を挟んでガイドレールの長手方向の両側に、微調押し機構を、ガイドレールの長手方向に沿ってアライメントエリアの内側に向けてそれぞれ配置するようにした請求項７記載の印刷装置のアライメント装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、印刷精度の低下を防ぐべく印刷装置で使用する平板状の版や印刷対象について初期アライメントを取るための印刷装置のアライメント方法及び装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
印刷技術の１つとしてオフセット印刷があり、このうち、凹版を用いたオフセット印刷は、インキングされた凹版より転動するブランケットロールへインクを一旦転写（受理）した後、該ブランケットロールより印刷対象へインクの再転写（印刷）を行うことで、該印刷対象の表面に、上記凹版の印刷パターンを再現性よく印刷することができる手法として知られている。
【０００３】
又、近年、液晶ディスプレイ等の電子回路をガラス基板や樹脂製の基板等の所要の基板上に形成するための手法の一つとして、金属蒸着膜のエッチング等による微細加工に代えて、導電性ペーストを印刷インクとして用いた印刷技術、たとえば、凹版オフセット印刷技術を用いて基板上に電子回路を印刷して形成する手法が提案されてきている。
【０００４】
上記液晶ディスプレイ等の電子回路を基板に形成する場合は、電極となる線幅として、たとえば、１０μｍ程度と微細なものが要求されることがある。更に、基板上に複数の電子回路を重ね合わせて形成することがあり、この場合は版を代えて電子回路の重ね刷りを行うことになるが、印刷位置がずれると電子回路の全体構成が崩れてしまうことから、精度は対象によって多少異なるが、上記線幅を１０μｍ程度とするような精密な電子回路の場合には、重ね合わせる印刷位置の位置ずれを数μｍからサブμｍオーダーに抑えることが必要とされることもある。
【０００５】
そのため、上記基板上に電子回路を印刷により形成する場合は、紙等に文字や画像を印刷する通常のオフセット印刷に比して高い印刷精度が要求される。
【０００６】
なお、版と印刷対象は同じ形状としたほうが、オフセット印刷による転写（受理）と再転写（印刷）による印刷パターンの再現性が高いため、前述した電子回路のような精密な印刷パターンを、上記基板のような平板状の印刷対象に印刷する場合は、平板状の版を用いることが有利に働くとされている。
【０００７】
従来、平板状の版を用いる形式のオフセット印刷の印刷精度を高めるための手法の１つとしては、たとえば、平板状の版が載置される版定盤（図示せず）を支持する版テーブル（版台車）と、印刷対象（被印刷物）となるガラス基板が載置される印刷定盤（図示せず）を支持する印刷対象テーブル（印刷台車）を、それぞれ同一寸法、同一配置で設けたガイドブロックを介してベース上に一軸方向に延びるよう設けた同一のガイドレール（レール）に沿って走行（往復動）するようにさせ、更に、上記ガイドレールを跨ぐようにブランケットロール（ブランケット胴）を設置した構成とすることが提案されている。
【０００８】
かかる構成によれば、上記ブランケットロールの直下で上記ガイドレールの真直度が多少低下していても、当該位置で上記ガイドレールによってガイドされる版テーブル及び印刷対象テーブルの姿勢が同一となることで、上記版とガラス基板との姿勢誤差が抑制され、上記版からブランケットロールへのインクの転写処理（樹脂転移）と、該ブランケットロールからガラス基板へのインクの再転写処理（絵柄転写）が同一位置で行われることで、印刷精度を高めることができるとされている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００９】
ところで、印刷対象を順次新たなものに取り替えて印刷作業を行う際に、印刷対象ごとに設置位置の位置ずれが生じると、印刷位置の再現性が低下するという問題が生じる。
【００１０】
又、版は、印刷に用いることで徐々に摩耗（消耗）するため、所要の印刷回数や印刷時間ごとに交換する必要が生じる。又、重ね刷りを行う際には版の交換が必要とされる。このような版の交換に伴い、交換後の版の設置位置が交換前の版の設置位置に対して位置ずれを生じると、印刷位置の再現性が低下してしまう。
【００１１】
上記したような印刷対象や版の設置位置の位置ずれに起因する印刷位置の再現性の低下が生じると、電極パターンのような精細な印刷パターンをオフセット印刷する場合に必要とされる高い印刷精度を満足させることができなくなる虞が懸念される。
【００１２】
ところで、一般に、ワークの位置と姿勢をその設置面内で微調整してアライメントを取るための装置としては、ＸＹθの３軸のアライメントステージ機構が広く用いられている。
【００１３】
この種のアライメントステージ機構は、たとえば、固定側のベース上に、ワークを保持、固定するためのトップテーブルの四隅、あるいは、所要の複数個所を、ＸＹθの３自由度を備えた小さい支持機構を介して支持し、更に、該各支持機構のうちの３つについて、Ｘ軸とＹ軸の片方に沿って押し引き駆動できるようにした構成として、上記トップテーブル上に保持されるワークを、該トップテーブルごとＸＹθの３軸方向に位置補正できるようにしてある（たとえば、特許文献２、非特許文献１参照）。
【００１４】
又、固定側のベース上に、トップテーブルを、所要の支持機構によりＸＹθの３軸方向に変位自在に支持し、該トップテーブルを３本の直動アクチュエータで押し引きする構成として、これにより、上記トップテーブル上に保持されるワークを、該トップテーブルごとＸＹθの３軸方向に位置補正できるようにしたものも知られている（たとえば、非特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１５】
【特許文献１】特開２００８−１２９３６２号公報
【特許文献２】特開２００８−２１０９８号公報
【非特許文献】
【００１６】
【非特許文献１】ＴＨＫ株式会社、カタログ「アライメントステージ  ＣＭＸ」、２００７年８月３日、カタログ番号２３８−４
【非特許文献２】ＮＴＮ株式会社、カタログ「精密位置決めユニット」、ＣＡＴ．Ｎｏ．６１０４−ＩＸ／Ｊ、［online］、ＮＴＮ株式会社、ｐ４８−５６、［２００９年１２月３日検索］、インターネット〈ＵＲＬ：http://www.ntn.co.jp/japan/products/catalog/pdf/seimitu/pdf/seimitu.pdf〉
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
ところが、特許文献１に示されたものでは、版や印刷対象を取り替える際に生じる個々の版や印刷対象の製作精度に起因する形状の誤差には対応することができない。
【００１８】
そこで、オフセット印刷装置で使用する版や印刷対象を、アライメントステージ機構に支持させて、版や印刷対象を取り替えた場合は印刷処理の開始前に該版や印刷対象の初期アライメントを取ることが考えられるが、上記特許文献２、非特許文献１、非特許文献２に示された如き従来のアライメントステージ機構は、一般に、荷重を負荷することがあまり考慮されていないというのが実状である。
【００１９】
すなわち、前記した平板状の版や印刷対象を用いたオフセット印刷では、ブランケットロールを版や印刷対象に所要の印圧（接触圧力）で押し当てるようにしてあるため、上記版や印刷対象を保持したアライメントステージには、上記ブランケットロールより版や印刷対象に作用させる垂直方向の荷重が、該版や印刷対象とブランケットロールとの相対移動に伴って移動荷重として作用するようになる。
【００２０】
そのため、このような垂直方向の印圧の荷重に耐えられるだけの耐荷重を、アライメントステージ機構における固定側のベースとトップテーブルとの間の支持機構に持たせる必要が生じるため、該支持機構を強固なものとすることに伴い、アライメントステージ機構自体の重量が増加してしまうという問題が生じる。
【００２１】
又、上記アライメントステージ機構では、固定側のベース上における支持機構を介したトップテーブルの支持点が、該トップテーブルの全面に亘り均一に分布してないため、上記印圧の荷重が移動荷重として作用すると、上記トップテーブルに撓みによる剛性の低下が生じるため、この版や印刷対象を保持する部分の剛性の低下に起因して、印刷精度が低下する虞も懸念される。
【００２２】
そこで、本発明は、印刷装置で用いる平板状の版や印刷対象を保持するテーブルにアライメントステージ機構を装備することなく該テーブル上に保持する上記版や印刷対象のＸＹθの３軸方向に関する初期アライメントを取ることができるようにし、これにより、高剛性とする場合に重量が大きくなってしまうアライメントステージ機構を不要にできるようにして、版や印刷対象を保持するテーブルの装置構成をシンプルなものとすることができ、且つ装置重量の軽量化を図ることができ、更に、印圧に対する剛性を確保できて、印刷精度を高めることが可能な印刷装置のアライメント方法及び装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明は、上記課題を解決するために、請求項１に対応して、版を載置した版テーブルを、架台上のガイドレールに沿って走行させてアライメントエリアへ配置し、次に、該アライメントエリアに配置させた版テーブル上に載置してある版の側面を、版テーブルの外部に配置された微調押し機構で押して、該版の版テーブル上における位置と水平面内での角度姿勢を補正し、次いで、該位置と角度姿勢が補正された版を上記版テーブル上に相対変位を防止した状態で保持させるようにし、印刷対象を載置した印刷対象テーブルを、架台上のガイドレールに沿って走行させてアライメントエリアへ配置し、次に、該アライメントエリアに配置させた印刷対象テーブル上に載置してある印刷対象の側面を、印刷対象テーブルの外部に配置された微調押し機構で押して、該印刷対象の印刷対象テーブル上における位置と水平面内での角度姿勢を補正し、次いで、該位置と角度姿勢が補正された印刷対象を上記印刷対象テーブル上に相対変位を防止した状態で保持させるようにする印刷装置のアライメント方法とする。
【００２４】
又、上記構成において、アライメントエリアに配置させた版テーブル上に載置してある版、又は、印刷対象テーブル上の印刷対象のガイドレールの長手方向に直交する方向に位置する側面を、上記アライメントエリアにおけるガイドレールの長手方向に直交する方向の両側に配置した微調押し機構により押して、該版又は印刷対象の対応するテーブル上におけるガイドレールの長手方向に直交する方向の位置と水平面内での角度姿勢を補正し、更に、上記版テーブル又は印刷対象テーブルのガイドレールに沿う移動に伴い、上記版又は印刷対象のガイドレールの長手方向の位置を補正するようにする。
【００２５】
同様に、上記構成において、アライメントエリアに配置させた版テーブル上に載置してある版、又は、印刷対象テーブル上の印刷対象のガイドレールの長手方向に直交する方向に位置する側面と、ガイドレールの長手方向に位置する側面を、上記アライメントエリアにおけるガイドレールと直交する方向の両側に配置した微調押し機構と、上記アライメントエリアにおけるガイドレールの長手方向の両側に配置した微調押し機構によりそれぞれ押して、該版又は印刷対象の対応するテーブル上におけるガイドレールの長手方向に直交する方向の位置と、ガイドレールの長手方向の位置、及び、水平面内での角度姿勢を補正するようにする。
【００２６】
又、請求項４に対応して、版を保持する版テーブル及び印刷対象を保持する印刷対象テーブルを架台上に設けたガイドレールに沿って走行可能に備えた印刷装置における上記架台上に、上記ガイドレールの長手方向における版テーブル又は印刷対象テーブルを配置可能な或る個所と対応させてアライメントエリアを設定し、且つ上記アライメントエリアに、微調押し機構を備えて、該アライメントエリアに配置させる版テーブル上に載置された版、又は、印刷対象テーブル上に載置された印刷対象の側面を、該各テーブルの外部より押して上記版又は印刷対象の位置と水平面内の角度姿勢を補正できるようにしてなる構成を有する印刷装置のアライメント装置とする。
【００２７】
更に、上記構成において、版テーブル又は印刷対象テーブルの上面に、位置と水平面内の角度姿勢を補正した後の版又は印刷対象を、相対変位を防止した状態で保持するための吸着チャックを備えてなる構成とする。
【００２８】
更に又、上記構成において、版テーブル又は印刷対象テーブルの上面に設けて位置と水平面内の角度姿勢を補正した後の版又は印刷対象を相対変位を防止した状態で保持するための吸着チャックを、真空吸着チャックとした構成とする。
【００２９】
上述の各構成において、アライメントエリアにおける版テーブル又は印刷対象テーブルの配置個所を挟んだガイドレールの長手方向の直交する方向の両側に、２基ずつの微調押し機構を対向させて配置するか、又は、ガイドレールの長手方向に沿って３基の微調押し機構を千鳥状に配置するようにした構成とする。
【００３０】
更に、上記構成において、アライメントエリアにおける版テーブル又は印刷対象テーブルの配置個所を挟んでガイドレールの長手方向の両側に、微調押し機構を、ガイドレールの長手方向に沿ってアライメントエリアの内側に向けてそれぞれ配置するようにした構成とする。
【発明の効果】
【００３１】
本発明によれば、以下のような優れた効果を発揮する。 
（１）版を載置した版テーブルを、架台上のガイドレールに沿って走行させてアライメントエリアへ配置し、次に、該アライメントエリアに配置させた版テーブル上に載置してある版の側面を、版テーブルの外部に配置された微調押し機構で押して、該版の版テーブル上における位置と水平面内での角度姿勢を補正し、次いで、該位置と角度姿勢が補正された版を上記版テーブル上に相対変位を防止した状態で保持させるようにし、印刷対象を載置した印刷対象テーブルを、架台上のガイドレールに沿って走行させてアライメントエリアへ配置し、次に、該アライメントエリアに配置させた印刷対象テーブル上に載置してある印刷対象の側面を、印刷対象テーブルの外部に配置された微調押し機構で押して、該印刷対象の印刷対象テーブル上における位置と水平面内での角度姿勢を補正し、次いで、該位置と角度姿勢が補正された印刷対象を上記印刷対象テーブル上に相対変位を防止した状態で保持させるようにする印刷装置のアライメント方法、及び、版を保持する版テーブル及び印刷対象を保持する印刷対象テーブルを架台上に設けたガイドレールに沿って走行可能に備えた印刷装置における上記架台上に、上記ガイドレールの長手方向における版テーブル又は印刷対象テーブルを配置可能な或る個所と対応させてアライメントエリアを設定し、且つ上記アライメントエリアに、微調押し機構を備えて、該アライメントエリアに配置させる版テーブル上に載置された版、又は、印刷対象テーブル上に載置された印刷対象の側面を、該各テーブルの外部より押して上記版又は印刷対象の位置と水平面内の角度姿勢を補正できるようにしてなる構成を有する印刷装置のアライメント装置としてあるので、版テーブル上に載置した版、又は、印刷対象テーブル上に載置した印刷対象について、アライメントステージ機構を用いることなく、初期アライメントを取ることができる。 
（２）したがって、上記版テーブル又は印刷対象テーブルでは、オフセット印刷時にブランケットロールより版又は印刷対象を介して作用することとなる垂直方向下向きの大きな印圧に耐える耐荷重を持たせた状態でも、高剛性とする場合に重量が大きくなるアライメントステージ機構が不要なため、該版テーブル又は印刷対象テーブルの構成をシンプルなものとすることができて、装置重量の軽量化を図ることができる。 
（３）更に、上記版テーブル又は印刷対象テーブルでは、アライメントステージ機構のような支持点の偏在を解消できるため、部分的な剛性の低下に起因する印刷精度の低下を抑えることが可能になる。よって、印圧に対する剛性を確保できて、印刷精度を高めることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の印刷装置のアライメント方法及び装置の実施の一形態を示す概略平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ方向矢視図である。
【図３】図２のＢ−Ｂ方向矢視図である。
【図４】本発明の実施の他の形態を示す概略平面図である。
【図５】本発明の実施の更に他の形態を示す概略平面図である。
【図６】図５のＣ−Ｃ方向矢視図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
以下、本発明を実施するための形態を図面を参照して説明する。
【００３４】
図１乃至図３は本発明の印刷装置のアライメント方法及び装置の実施の一形態として、水平な架台（印刷装置ベース）１の上側に一軸方向に延びるガイドレール２を設け、該ガイドレール２に沿って図示しない駆動装置により往復動可能（走行可能）な移動テーブルとしての版テーブル３及び印刷対象テーブル４を備えて、該各テーブル３及び４上に、平板状の版５及び印刷対象６をそれぞれ個別に保持できるようにし、更に、上記ガイドレール２の長手方向所要個所、たとえば、長手方向中間部に、該ガイドレール２の上方を跨ぐように配置した上記ガイドレール２の長手方向と直交する水平な方向に延びるブランケットロール８と、該ブランケットロール８を回転駆動するための図示しない回転駆動機構と、上記ブランケットロール８を昇降させるための図示しない昇降駆動機構とを備えてなる転写機構部７を有する形式のオフセット印刷装置に適用する場合の例を示すもので、以下のようにしてある。なお、説明の便宜上、以下においては、上記ガイドレール２の長手方向をＸ軸方向、該ガイドレール２の長手方向と直交する水平な方向をＹ軸方向と云うものとする。
【００３５】
すなわち、本発明の印刷装置のアライメント装置は、上記版テーブル３及び印刷対象テーブル４が共に走行可能で、且つ上記転写機構部７と干渉しない上記ガイドレール２の長手方向の別の途中位置と対応する上記架台１上の所要個所に、上記版テーブル３上に載置された版５、及び、印刷対象テーブル４上に載置された印刷対象６の初期アライメントを取る際に、該版テーブル３及び印刷対象テーブル４をそれぞれ配置させるための共通のアライメントエリア９を設ける。
【００３６】
上記アライメントエリア９には、上記ガイドレール２上を走行する上記版テーブル３上に載置される版５の上面、及び、上記印刷対象テーブル４上に載置される印刷対象６の上面よりも所要寸法上方となる位置に、上記版５及び印刷対象６の対角位置に刻設や印刷等により予め設けてあるアライメントマーク１１をそれぞれ撮影するためのカメラ１０を設ける。なお、上記カメラ１０は、上記ガイドレール２上における版５を載置した版テーブル３や、印刷対象６を載置した印刷対象テーブル４の走行と干渉しない図示しない固定部に適宜支持させてあるものとする。
【００３７】
上記アライメントエリア９における上記ガイドレール２の外側位置には、上記アライメントエリア９に配置させた版テーブル３上に載置された版５や印刷対象テーブル４上に載置された印刷対象６のＹ軸方向の両側面の或る個所を微調押し機構１３によりＹ軸方向に沿って内向きに押して、上記版テーブル３上の版５、及び、印刷対象テーブル４上の印刷対象６のＹ軸方向の位置と、水平面内での角度姿勢θを変更できるようにした版・印刷対象押し機構１２を設ける。
【００３８】
上記版テーブル３の上面の中央部には、該版テーブル３上に載置して保持すべき版５の平面形状よりもやや小さい領域に、吸着チャックとしての真空吸着チャック１４を設ける。
【００３９】
同様に、印刷対象テーブル４の上面の中央部には、該印刷対象テーブル４上に載置して保持すべき印刷対象６の平面形状よりもやや小さい領域に、吸着チャックとしての真空吸着チャック１４を設ける。
【００４０】
更に、上記版テーブル３及び印刷対象テーブル４の真空吸着チャック１４を操作する機能と、上記アライメントエリア９に配置された版テーブル３上の版５や、印刷対象テーブル４上の印刷対象６について上記カメラ１０により撮影されたアライメントマーク１１の位置情報を基に、上記版・印刷対象押し機構１２の微調押し機構１３と、上記版テーブル３及び印刷対象テーブル４の図示しない駆動装置に指令を与える機能を有する制御器１５を備えた構成とする。
【００４１】
詳述すると、上記版・印刷対象押し機構１２は、ボールねじ機構又は圧電素子等の図示しない駆動装置により作動ロッド１６の突出量を変更できるようにしてある微調押し機構１３を、上記ガイドレール２の両側における上記版テーブル３及び印刷対象テーブル４の上面と対応する高さ位置に、Ｘ軸方向に沿って上記版５や印刷対象６のＸ軸方向に沿う寸法よりも小さい間隔を隔てて２基ずつ対向させて配置する。更に、上記各微調押し機構１３は、その直下となる上記架台１上の対応する個所に、Ｙ軸方向に沿うリニアガイド機構１７を介して設置した構成としてある。１８は上記各微調押し機構１３における作動ロッド１６の先端部に設けたパッドである。
【００４２】
以上の構成としてある上記版・印刷対象押し機構１２によれば、上記アライメントエリア９に版５を載置した版テーブル３を停止させ、この状態で、上記各微調押し機構１３を、それぞれ対応するリニアガイド機構１７により上記アライメントエリア９の版テーブル３に近接配置させて、そのＹ軸方向位置を保持させ、次いで、該各微調押し機構１３の図示しない駆動装置により作動ロッド１６を伸長させることで、該各作動ロッド１６の先端部を、上記版テーブル３上の版５のＹ軸方向の両側面におけるＸ軸方向に所要間隔を隔てた２個所ずつに、パッド１８を介して押し当てることができるようにしてある。
【００４３】
更に、この状態から、Ｙ軸方向一側の２基の各微調押し機構１３による同期した作動ロッド１６の伸長作動と、それ応じたＹ軸方向他側の２基の微調押し機構１３の作動ロッド１６の収縮作動とを行わせることで、上記版テーブル３上で版５をＹ軸方向の他側へ平行に変位させる位置修正を行うことができるようにしてある。
【００４４】
又、上記各微調押し機構１３の各作動ロッド１６の先端側を、上記版テーブル３上の版５のＹ軸方向の両側面にパッド１８を介して押し当てた状態から、上記版５のＸ軸方向の一端寄り個所と他端寄り個所に対向配置された微調押し機構１３を、それぞれＹ軸に沿う逆方向へ変位させることで、上記版テーブル３上で版５を回転させることができるようにしてある。
【００４５】
これにより、上記版テーブル３上における版５のＹ軸方向への平行移動と、回転とを適宜組み合わせて行わせることで、該版テーブル３上の版５について、Ｙθの２軸に関する調整を行うことができるようにしてある。
【００４６】
同様に、上記アライメントエリア９に印刷対象６を載置した印刷対象テーブル４を停止させた状態では、上記各微調押し機構１３の作動ロッド１６の伸縮作動を制御することで、上記印刷対象テーブル４上における印刷対象６のＹ軸方向への平行移動と、回転とを適宜組み合わせて、該印刷対象テーブル４上の印刷対象６について、Ｙθの２軸に関する調整を行うことができるようにしてある。
【００４７】
上記のようにしてアライメントエリア９に配置された版テーブル３上の版５や、印刷対象テーブル４上の印刷対象６についてのＹθの２軸に関する調整が終了した後は、上記各微調押し機構１３の作動ロッド１６を収縮作動させると共に、該各微調押し機構１３を、対応するリニアガイド機構１７によりＹ軸方向に沿って上記アライメントを実施したアライメント作業位置から、ガイドレール２より離反する方向へ移動させることで、該各微調押し機構１３を、上記ガイドレール２に沿う版テーブル３及び印刷対象テーブル４の走行や、該走行する版テーブル３上の版５及び走行する印刷対象テーブル４上の印刷対象６に干渉する虞が生じない退避位置まで退避させることができるようにしてある。
【００４８】
次に、本発明の印刷装置のアライメント方法の手順と共に上記制御器１５の機能について説明する。なお、以下においては、印刷対象６の初期アライメントをとる場合について示す。
【００４９】
本発明の印刷装置のアライメント方法を実施する場合は、予め、基板等の平板状の印刷対象６を、印刷対象テーブル４上に大体の位置で載置する。この載置操作は、厳密な位置決めを必要としないため、人手、又は、ロボット等、任意の手段により行うようにすればよい。
【００５０】
次に、上記版・印刷対象押し機構１２の微調押し機構１３を、それぞれ退避位置に配置させた状態の下で、上記印刷対象６が載置された印刷対象テーブル４を、図示しない駆動装置により、ガイドレール２に沿ってアライメントエリア９に予め定めてある所定のアライメント作業開始位置まで移動させる。
【００５１】
上記のようにしてアライメントエリア９に印刷対象テーブル４を配置させ、該印刷対象テーブル４上の印刷対象６の対角部分に設けてあるアライメントマーク１１が、上記アライメントエリア９のカメラ１０により撮影されて、その画像情報が上記制御器１５へ入力されるようになると、該制御器１５では、上記カメラ１０によって撮影されたアライメントマーク１１の正しい（重ね合わせ）位置からのずれを検出し、該ずれをゼロにするために必要なＸＹθの３軸についての補正量を求める。
【００５２】
又、上記制御器１５は、上記各微調押し機構１３を、アライメント作業位置にそれぞれ配置させる。
【００５３】
次いで、上記制御器１５は、上記のようにして求めたＸＹθの３軸の補正量のうち、Ｙθの２軸に関する補正量が得られるようにするための補正動作指令を、上記版・印刷対象押し機構１２の各微調押し機構１３へ与える。これにより、上記補正動作指令にしたがって版・印刷対象押し機構１２の各微調押し機構１３にて作動ロッド１６の伸縮作動を適宜行わせて、上記印刷対象テーブル４上に載置された印刷対象６のＹθの２軸に関する位置補正を行う。
【００５４】
なお、この印刷対象テーブル４上で印刷対象６の位置を補正する際に、上記印刷対象テーブル４の上面に設けてある真空吸着チャック１４において、通常の真空吸着作動時とは逆に、空気をわずかに噴出させるようにしてもよい。このようにすれば、上記印刷対象テーブル４上で、上記真空吸着チャック１４より噴出させる空気により印刷対象６をわずかに浮上させて、印刷対象６と印刷対象テーブル４の上面との摩擦を低減させることができるようになることから、上記印刷対象６の位置補正を行う際に上記印刷対象６を滑らかに移動させることができると共に、印刷対象６の移動のために上記各微調押し機構１３に必要とされる推力を小さくすることが可能になる。
【００５５】
上記のようにして版・印刷対象押し機構１２の各微調押し機構１３により印刷対象テーブル４上の印刷対象６についてのＹθの２軸に関する位置補正が完了すると、上記制御器１５は、上記版・印刷対象押し機構１２の各微調押し機構１３に指令を与えて、該各微調押し機構１３を、それぞれ対応するリニアガイド機構１７により退避位置まで退避させた後、上記印刷対象テーブル４の図示しない駆動装置へ、上記求めたＸＹθの３軸の補正量のうち、Ｘ軸に関する補正量が得られるようにするための補正動作指令を与える。これにより、上記印刷対象テーブル４のガイドレール２に沿うＸ軸方向への移動により、該印刷対象テーブル４上に載置された印刷対象６のＸ軸方向に関する位置補正を行う。
【００５６】
以上により、上記印刷対象テーブル４上に載置されている印刷対象６については、その対角位置に設けてあるアライメントマーク１１が、正しい位置に配置されるようになるため、該印刷対象６の初期アライメントが完了する。
【００５７】
その後、上記制御器１５は、上記印刷対象テーブル４の上面に設けてある真空吸着チャック１４を作動させて、上記初期アライメントが取られた印刷対象６を、上記印刷対象テーブル４上に吸着して相対位置を固定した状態で保持させるようにする。
【００５８】
又、上記制御器１５は、上記各微調押し機構１３を退避位置へ退避させるようにする。
【００５９】
よって、その後、オフセット印刷処理を行うときには、上記印刷対象６の初期アライメントを取った時点での印刷対象テーブル４の位置を基準として印刷対象６の位置を把握して印刷処理を行わせるようにすればよい。
【００６０】
なお、本実施の形態では、上記したように、印刷対象６の初期アライメントを取る際のＸ軸方向に関する位置補正は、印刷対象テーブル４のＸ軸方向への移動に伴って行わせるようにしてあることから、上記印刷対象テーブル４の上面の真空吸着チャック１４の作動による印刷対象６の吸着、相対位置固定は、上記版・印刷対象押し機構１２による印刷対象テーブル４上における印刷対象６のＹθの２軸に関する位置補正を完了した時点で行うようにしてもよい。
【００６１】
又、版テーブル３上に載置した版５についても、同様の手順で初期アライメントを取るようにすればよい。
【００６２】
このように、本発明の印刷装置のアライメント方法及び装置によれば、版テーブル３上に載置した版５、及び、印刷対象テーブル４上に載置した印刷対象６について、アライメントステージ機構を用いることなく、ＸＹθの３軸に関する初期アライメントを取ることができる。
【００６３】
したがって、上記版テーブル３や印刷対象テーブル４では、オフセット印刷時にブランケットロール８より版５や印刷対象６を介して作用することとなる垂直方向下向きの大きな印圧に耐える耐荷重を持たせた状態でも、高剛性とする場合に重量が大きくなるアライメントステージ機構が不要なため、該版テーブル３や印刷対象テーブル４の構成をシンプルなものとすることができて、装置重量の軽量化を図ることができる。
【００６４】
しかも、上記版テーブル３及び印刷対象テーブル４では、アライメントステージ機構のような支持点の偏在を解消できるため、部分的な剛性の低下に起因する印刷精度の低下を抑えることが可能になる。よって、印圧に対する剛性を確保できて、印刷精度を高めることが可能になる。
【００６５】
次に、図４は本発明の実施の他の形態として、版・印刷対象押し機構の別の例を示すもので、以下のようにしてある。
【００６６】
すなわち、本実施の形態における版・印刷対象押し機構１２Ａは、アライメントエリア９における、Ｙ軸方向の両側に、図１に示した微調押し機構１３と同様の微調押し機構１３を、Ｘ軸方向に沿って３基、千鳥状に配置した構成としてある。
【００６７】
具体的には、アライメントエリア９におけるガイドレール２の一側に、図１に示した微調押し機構１３と同様の微調押し機構１３を、該アライメントエリア９のＸ軸方向の中間部と対応する１個所にのみ設ける一方、アライメントエリア９におけるガイドレール２の他側には、上記と同様の微調押し機構１３を、上記ガイドレール２の一側に設けた微調押し機構１３のＸ軸方向位置を中心としてＸ軸方向の両側に所要寸法ずつ離れた２個所に配置してなる構成としてある。
【００６８】
なお、上記ガイドレール２の他側に設ける微調押し機構１３同士のＸ軸方向の間隔は、オフセット印刷処理で用いる版５や印刷対象６のＸ軸方向に沿う寸法よりも小さい間隔となるようにしてある。
【００６９】
その他の構成は図１乃至図３に示したものと同様であり、同一のものには同一の符号が付してある。
【００７０】
本実施の形態によれば、アライメントエリア９に配置した版テーブル３上の版５や、印刷対象テーブル４上の印刷対象６のＹ軸方向の両側面に対して上記版・印刷対象押し機構１２Ａの各微調押し機構１３の作動ロッド１６の先端側を接触させた状態から、該各微調押し機構１３の作動ロッド１６の先端側が上記版５や印刷対象６の側面より離反しないよう調整しながら該各微調押し機構１３の各作動ロッド１６を伸縮作動させる際に、上記ガイドレール２の他側に設けた２基の微調押し機構１３の伸縮作動を同期させて行うことで、上記版５及び印刷対象６を、対応するテーブル３及び４上でＹ軸方向へ平行に変位させることができる。又、上記ガイドレール２の他側に設けた２基の微調押し機構１３同士で伸縮作動量を変化させることにより、上記、版５及び印刷対象６を、対応するテーブル３及び４上で回転させることができる。
【００７１】
よって、上記版・印刷対象押し機構１２Ａによっても、上記版テーブル３上における版５、及び、印刷対象テーブル４上の印刷対象６について、Ｙ軸方向へ平行移動と、回転とを適宜組み合わせて行わせることで、該版テーブル３上の版５及び印刷対象テーブル４上の印刷対象６について、Ｙθの２軸に関する調整を行うことができる。
【００７２】
これにより、上記版・印刷対象押し機構１２Ａを用いることで、図１乃至図３の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００７３】
次いで、図５及び図６は本発明の実施の更に他の形態を示すもので、本実施の形態における印刷装置のアライメント装置は、版・印刷対象押し機構として、アライメントエリア９に配置させた版テーブル３上に載置された版５や印刷対象テーブル４上に載置された印刷対象６のＹ軸方向の両側面の或る個所を微調押し機構１３によりＹ軸方向に沿って内向きに押すと共に、Ｘ軸方向の両測面の或る個所を微調押し機構１３ａによりＸ軸方向に沿って内向きに押して、上記版テーブル３上の版５、及び、印刷対象テーブル４上の印刷対象６のＹ軸方向の位置と、水平面内での角度姿勢θと、Ｘ軸方向の位置を変更できる、すなわち、上記版５や印刷対象６のＸＹθの３軸の調整を実施できるようにした版・印刷対象押し機構１２Ｂを備えた構成とする。
【００７４】
具体的には、上記版・印刷対象押し機構１２Ｂは、図１乃至図３に示した版・印刷対象押し機構１２と同様の構成を備え、更に、アライメントエリア９に配置させた版テーブル３や印刷対象テーブル４をＸ軸方向の両側から挟む位置で、且つ該各テーブル３，４のＹ軸方向の中央部と対応する上記アライメントエリア９におけるＹ軸方向の中間部となる位置に、図１乃至図３に示した微調押し機構１３と同様の構成としてある微調押し機構１３ａを、上記Ｘ軸方向に沿ってアライメントエリア９の内側に向けてそれぞれ配置する。
【００７５】
更に、上記Ｘ軸方向に沿う各微調押し機構１３ａは、ガイドレール２に沿う版テーブル３及び印刷対象テーブル４の走行時には、その走行の支障とならないようにするために、たとえば、上記ガイドレール２の外側となる架台１のＹ軸方向の一端縁部に設けたＹ軸方向の一軸スライダ１９に沿い、上記アライメントエリア９におけるＹ軸方向の中間部となるアライメント作業位置から、上記ガイドレール２の外側におけるガイドレール２に沿って走行する版テーブル３や印刷対象テーブル４の走行位置と干渉しない退避位置までスライド可能に支持させてなる構成とする。
【００７６】
なお、上記したように、本実施の形態では、版・印刷対象押し機構１２Ｂにより、アライメントエリア９に配置させた版テーブル３上の版５、及び、印刷対象テーブル４上の印刷対象６についてＸＹθの３軸の調整ができるようにしてあることに鑑みて、制御器１５Ａを、上記版テーブル３及び印刷対象テーブル４の真空吸着チャック１４を操作する機能と、上記アライメントエリア９に配置された版テーブル３上の版５や、印刷対象テーブル４上の印刷対象６について上記カメラ１０により撮影されたアライメントマーク１１の位置情報を基に、上記版・印刷対象押し機構１２Ｂの微調押し機構１３，１３ａに指令を与える機能を有してなるものとする。
【００７７】
詳述すると、上記制御器１５Ａは、図１乃至図３に示したと同様の手順により印刷対象６を載置した印刷対象テーブル４が、アライメントエリア９の所定のアライメント作業位置に配置されて、該印刷対象テーブル４上の印刷対象６の対角部分に設けてあるアライメントマーク１１が、上記アライメントエリア９のカメラ１０により撮影されて、その画像情報が該制御器１５Ａへ入力されると、該制御器１５Ａでは、上記カメラ１０によって撮影されたアライメントマーク１１の正しい（重ね合わせ）位置からのずれを検出し、該ずれをゼロにするために必要なＸＹθの３軸についての補正量を求める。
【００７８】
又、上記制御器１５Ａは、上記各微調押し機構１３及び１３ａを、アライメント作業位置にそれぞれ配置させる。
【００７９】
次いで、上記のようにして求めたＸＹθの３軸の補正量が得られるようにするための補正動作指令を、上記版・印刷対象押し機構１２Ｂの各微調押し機構１３，１３ａへ与えるようにしてある。これにより、上記補正動作指令にしたがって版・印刷対象押し機構１２Ｂにおけるアライメントエリア９のＹ軸方向の両側に配置してある各微調押し機構１３による作動ロッド１６の伸縮作動を適宜行わせて、上記印刷対象テーブル４上に載置された印刷対象６のＹθの２軸に関する位置補正を行うと共に、上記アライメントエリア９のＸ軸方向の両側に配置してある各微調押し機構１３ａによる作動ロッド１６の伸縮を適宜行わせて、上記印刷対象テーブル４上にて上記印刷対象６のＸ軸に関する位置補正を行うようにしてある。
【００８０】
以上により、上記印刷対象テーブル４上に載置されている印刷対象６については、その対角位置に設けてあるアライメントマーク１１が、正しい位置に配置されるようになるため、該印刷対象６の初期アライメントが完了する。
【００８１】
その後は、上記制御器１５Ａは、上記印刷対象テーブル４の上面に設けてある真空吸着チャック１４を作動させて、上記初期アライメントが取られた印刷対象６を、上記印刷対象テーブル４上に吸着して相対位置を固定した状態で保持させるようにする。
【００８２】
又、上記制御器１５Ａは、上記各微調押し機構１３，１３ａをそれぞれ退避位置へ退避させるようにする。
【００８３】
版テーブル３上に載置した版５についても、同様の手順で初期アライメントを取るようにすればよい。
【００８４】
このように、本実施の形態によっても、図１乃至図３の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００８５】
しかも、版テーブル３上の版５、及び、印刷対象テーブル４上の印刷対象６のＸＹθの３軸方向のアライメントを取る際に、アライメントエリア９での版テーブル３や印刷対象テーブル４の位置を動かさなくてよいため、その後、印刷処理を実施する際に上記各テーブル３，４の位置の補正を行うことなく、該各テーブル３，４上に保持された版５や印刷対象６の位置を把握できるため、印刷処理時における上記各テーブル３，４の移動の制御がより容易になる効果が期待できる。
【００８６】
なお、本発明は上記実施の形態のみに限定されるものではなく、微調押し機構１３，１３ａは、版テーブル３上に載置した版５、及び、印刷対象テーブル４上に載置した印刷対象６の対応する側面にそれぞれ伸長作動させる作動ロッド１６により押すことができるようにしてあれば、作動ロッド１６の駆動装置は任意のものを採用してよく、又、作動ロッド１６のストロークや、装置の形状は自在に変更してもよい。
【００８７】
アライメントエリア９にＸ軸方向に配列される微調押し機構１３同士の間隔は、押す対象となる版５や印刷対象６のＸ軸方向の寸法に応じて適宜変更してよい。
【００８８】
図４の実施の形態において、アライメントエリア９におけるＹ軸方向の両側にそれぞれ配設してある１基と２基の微調押し機構１３の配置を、互いに入れ替えてもよい。
【００８９】
図５及び図６の実施の形態において、アライメントエリア９におけるＹ軸方向の両側に配設する微調押し機構１３は、図４の実施の形態と同様に、Ｙ軸方向の一側に１基、他側に２基配置してなる構成としてもよい。
【００９０】
更に、図５及び図６の実施の形態におけるアライメントエリア９のＸ軸方向の両側に設ける微調押し機構１３ａは、ガイドレール２に沿う版テーブル３や印刷対象テーブル４の走行位置と干渉しないように退避位置が設定してあれば、アライメント作業位置に対してＹ軸方向のいずれの方向及び上下いずれの方向へ退避させるようにしてもよく、よって退避用の装置構成は適宜変更してよい。
【００９１】
版テーブル３及び印刷対象テーブル４の上面部に設ける吸着チャックは、空気を吹き出させることにより版テーブル３や印刷対象テーブル４上で版５や印刷対象６をわずかに浮上させ、これにより、該各テーブル３，４上で版５や印刷対象６の位置補正を行う際に微調押し機構１３，１３ａで必要とされる推力を低減させるという観点からすると、真空吸着チャック１４を用いることが好ましいが、印刷処理時に版５や印刷対象６を保持できるようにしてあれば、使用する版５や印刷対象６に応じて、真空吸着チャック１４以外のいかなる形式の吸着チャックを採用してもよい。更に、初期アライメントに伴って位置を補正した後の状態で版５や印刷対象６を相対変位しないように対応するテーブル３，４上に保持できるようにしてあれば、吸着チャック以外のいかなる形式の保持手段で版５や印刷対象６を保持するようにしてもよい。
【００９２】
版５及び印刷対象６に設けるアライメントマーク１１は、該アライメントマーク１１をカメラ１０で撮影した画像を基に、上記版５や印刷対象６の正しい位置からのＸＹθの３軸方向に関するずれを検出できるようにしてあれば、版５や印刷対象６におけるアライメントマーク１１を設ける位置、数は適宜変更してよい。又、上記版５や印刷対象６に設けられるアライメントマーク１１の位置、数に応じて、アライメントエリア９に装備するカメラ１０の位置や数は適宜変更してもよい。
【００９３】
本発明の印刷装置のアライメント装置は、平板状の版５と平板状の印刷対象６をそれぞれ対応するテーブル３，４上に保持させる形式のオフセット印刷装置であれば、いかなる形式のオフセット印刷装置に適用してもよい。
【００９４】
その他本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更を加え得ることは勿論である。
【符号の説明】
【００９５】
１  架台
２  ガイドレール
３  版テーブル
４  印刷対象テーブル
５  版
６  印刷対象
９  アライメントエリア
１３，１３ａ  微調押し機構
１４  真空吸着チャック（吸着チャック）
【図１】
2011161810.tif 000003
【図２】
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【図３】
2011161810.tif 000005
【図４】
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【図５】
2011161810.tif 000007
【図６】
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