(57)【要約】【課題】電気的、熱的および機械的に良好な接合を有する熱発電デバイスを作製する製造方法を提供すること。【解決手段】周期的にスリットを有する金属ブロックを形成する工程と、熱電材料からなる流動体を作製する工程と、前記流動体を前記金属ブロックのスリット部に充填する工程と、前記熱電材料が充填された金属ブロックを切削加工によって切り出す工程とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１電極と、前記第１電極に対向する第２電極と、前記第１電極および前記第２電極との間に挟まれ、かつ前記第１電極および前記第２電極のいずれにも電気的に接続された積層体とを具備し、前記積層体は複数の熱電材料層と複数の金属層とが交互に積層されてなり、前記複数の熱電材料層および前記複数の金属層が、前記第１電極と前記第２電極とが対向する方向に対して傾斜している、熱発電デバイスの製造方法であって、
スリット部を周期的に有する金属ブロックを形成する工程と、
熱電材料からなる流動体を前記金属ブロックのスリット部に充填する工程と、
前記スリット部に充填する熱電材料からなる流動体を固化する工程と、
前記熱電材料が充填された金属ブロックを切削加工によって、前記スリット部が前記第１電極と前記第２電極とが対向する方向に対して傾斜するように、切り出す工程と、
前記切り出された金属ブロックを前記第１電極および前記第２電極との間に挟む工程と、
を具備する、
前記熱発電デバイスの製造方法。
【請求項２】
前記スリットを有する金属ブロック形成する工程において、
開口部を有する金属板を複数枚重ねて接合して金属ブロックを形成することを特徴とする、
請求項１に記載の熱発電デバイスの製造方法。
【請求項３】
前記熱電材料からなる流動体が、
熱電材料を加熱して溶融させた融液であることを特徴とする、
請求項１および２に記載の熱発電デバイスの製造方法。
【請求項４】
前記熱電材料からなる流動体が、
熱電材料の粉体に溶媒を添加してスラリー状にしたものであることを特徴とする、
請求項１および２に記載の熱発電デバイスの製造方法。
【請求項５】
請求項３に記載の熱発電デバイスの製造方法であって、
熱電材料を加熱して溶融させ、融液を作製する工程において、
真空中、あるいは不活性ガス雰囲気中において行うことを特徴とする、
熱発電デバイスの製造方法。
【請求項６】
前記熱電材料からなる流動体を前記金属ブロックのスリット部に充填する工程において、
不活性ガスまたは還元性ガスを導入して加圧することを特徴とする、
請求項１から５に記載の熱発電デバイスの製造方法。
【請求項７】
前記熱電材料からなる流動体を前記金属ブロックのスリット部に充填する工程において、
不活性ガスまたは還元性ガスの圧力を１気圧以上とすることを特徴とする、
請求項６に記載の熱発電デバイスの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は熱エネルギーから電気エネルギーへの直接変換を行う熱発電デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
熱発電は、物質の両端に印加された温度差に比例して起電力が生じるゼーベック効果を利用し、熱エネルギーを直接電気エネルギーに変換する技術である。この技術は、僻地用電源、宇宙用電源、軍事用電源等で実用化されている。
【０００３】
従来の熱発電デバイスは、キャリアの符号が異なるｐ型半導体とｎ型半導体を組み合わせ、熱的に並列に、かつ電気的に直列につないだ、いわゆるπ型構造と呼ばれる構成となっている。
【０００４】
熱電変換デバイスに用いられる熱電変換材料の性能は性能指数Ｚまたは絶対温度をかけて無次元化された性能指数ＺＴで評価される事が多い。ＺＴは、物質のＳ＝ゼーベック係数、ρ＝電気抵抗率、κ＝熱伝導率、を用いて、ＺＴ＝Ｓ２Ｔ／ρκで記述される量である。また一方で、ゼーベック係数Ｓと電気抵抗率ρだけを考慮したＳ２／ρはパワーファクターと呼ばれ、温度差を一定とした場合の熱電材料の発電性能の良否を決定する基準となる。
【０００５】
現在、熱電変換材料として実用化されているＢｉ２Ｔｅ３は、ＺＴが１程度、パワーファクターが４０〜５０μＷ／ｃｍＫ２であり、現状では比較的高い特性を持つが、それでも通常のπ型のデバイス構成にした場合には発電性能はあまり高くなく、より多くの用途において実用化されていない。
【０００６】
一方、π型以外のデバイス構成として、自然あるいは人工的に作られた積層構造における熱電気特性の異方性を利用したものが古くから提案されている（非特許文献１を参照）。
【０００７】
しかし、非特許文献１によれば、このようなデバイスではＺＴの改善が見られないことから、熱発電用途ではなく、主に赤外線センサなど測定用途への応用が想定された開発が行われている。
【０００８】
そういった中、本発明者らは金属と熱電材料であるＢｉとからなる異種材料の積層構造における熱電気特性の異方性を利用したデバイスにおいて、積層体における各材料の厚さの比（以下、積層比と書く）と積層方向の傾斜角度を適切に選択することによってパワーファクターがＢｉ単独、あるいは優れた熱電材料とされるＢｉ２Ｔｅ３のパワーファクターを大きく上回ることを見いだし、これを利用した熱発電デバイスを発明した（特許文献１）。
【０００９】
異種材料からなる人工的な積層構造を有するデバイスの作製にあたっては、異種材料の接合界面において電気伝導および熱伝導が阻害されないだけでなく、デバイス全体の機械的強度を確保するために空隙の無い強固な接合を形成する必要がある。
【００１０】
従来の積層体の製造方法は、予め板状に成形された材料を交互に重ね、積層方向に１軸圧力を加えながら加熱する事によって積層体を形成し、後に切削によって素子を作製するのが一般的であった。
【００１１】
例えば非特許文献２によれば、ＰｂとＢｉ２Ｔｅ３の板材を交互に重ね、Ｂｉ２Ｔｅ３の融点以下である３２０℃のＡｒ雰囲気中において０．１ｂａｒで積層方向に１軸加圧して積層体をまず作製する。その後の工程の切削によって積層方向が傾斜したようなデバイスを作製する方法が開示されている。
【００１２】
しかし、上記のような方法では加える１軸圧力が低すぎた場合には空隙無く十分に密着した接合を有する積層体を得ることができない。一方、加える１軸圧力が高すぎた場合には少なくとも一方の板材が押しつぶされて変形してしまうので、積層比を制御することが困難となる。また、１軸加圧する際の雰囲気温度が低すぎた場合には十分に密着した接合を形成することができない。一方、雰囲気温度が高すぎた場合には少なくとも一方の板材が軟化または溶融してわずかな加圧によっても押しつぶされてしまうので積層比を維持することができない。
【００１３】
従って１軸加圧により積層体を作製するには、積層比を維持するために雰囲気温度を少なくとも構成材料の融点あるいは軟化点以下にしなければならない。
【００１４】
さらには接合界面に空隙の少ない良好な接合を形成するために板材の表面を研磨するなどして予めなめらかにしておく工程を別途設ける必要がある。
【特許文献１】特許第４０７８３９２号公報
【非特許文献１】ＴＨＥＲＭＯＥＬＥＣＴＲＩＣＳ  ＨＡＮＤＢＯＯＫ，Ｃｈａｐｔｅｒ  ４５，ＣＲＣ  Ｐｒｅｓｓ（２００６）
【非特許文献２】Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｐｈｙｓｉｃｓ  Ｌｅｔｔｅｒｓ，Ｖｏｌ．８９，Ｐａｇｅ．１９２１０３（２００６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
前述の通り、人工的な積層構造を有する熱発電デバイスの従来の製造方法では、電気伝導および熱伝導を阻害せず、かつ機械的強度の高い接合を、積層比を維持しながら安定して形成することは困難である。
【００１６】
そこで、本発明は、周期的にスリットを有する金属ブロックのスリット部に、熱電材料からなる流動体を充填し、固化させた後に切削加工を施すことによって、従来より高い雰囲気温度において積層体を形成することを可能とし、電気的、熱的および機械的に良好な接合を有する熱発電デバイスを精度良く作製する製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
前記従来の課題を解決するために、本発明の熱発電デバイスの製造方法は、第１電極と、前記第１電極に対向する第２電極と、前記第１電極および前記第２電極との間に挟まれ、かつ前記第１電極および前記第２電極のいずれにも電気的に接続された積層体とを具備し、前記積層体は複数の熱電材料層と複数の金属層とが交互に積層されてなり、前記複数の熱電材料層および前記複数の金属層が、前記第１電極と前記第２電極とが対向する方向に対して傾斜している、熱発電デバイスの製造方法であって、スリット部を周期的に有する金属ブロックを形成する工程と、熱電材料からなる流動体を前記金属ブロックのスリット部に充填する工程と、前記スリット部に充填する熱電材料からなる流動体を固化する工程と、前記熱電材料が充填された金属ブロックを切削加工によって、前記スリット部が前記第１電極と前記第２電極とが対向する方向に対して傾斜するように、切り出す工程と、前記切り出された金属ブロックを前記第１電極および前記第２電極との間に挟む工程と、を具備する。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の熱発電デバイスの製造方法によれば、電気伝導および熱伝導を阻害せず、かつ機械的強度の高い接合を、積層比を維持しながら安定して形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２０】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１における熱発電デバイスの製造工程を示した図である。本実施の形態における熱発電デバイスの製造工程は、金属ブロックに周期的にスリット部を形成する工程（S１）と、金属ブロックのスリット部に熱電材料を充填する工程（S2）と、熱電材料がスリット部に充填された金属ブロックを切削加工し、熱電材料と金属からなる積層体を切り出す工程（S3）と、積層体を挟むように第１電極と第２電極を作製工程（S4）と、からなる。
【００２１】
図２は、本発明の実施の形態１における熱発電デバイスの構成を示した図である。
【００２２】
図２において、平行に配置された第１電極２１と第２電極２２によって積層体２３を挟んだような構成で熱発電デバイスが形成されている。積層体２３は熱電材料２４と金属２５が交互に積層されて構成され、その層に平行な方向２６は電極の対向方向２７に対して角度θだけ傾斜している。角度θと積層比の好適な範囲は金属２４と熱電材料２３との組み合わせによって異なる。
【００２３】
例えば特許文献１に開示されているＣｕとＢｉの組み合わせであればθは２０°以上６０°以下の範囲が好ましく、ＣｕとＢｉの積層比は４０：１〜５：１の範囲であることが好ましい。
【００２４】
このように構成された熱発電デバイスを駆動する際に、電極の対向方向２７に対して直交する方向に温度差を印加する。そうすると、温度勾配が生じる方向２８は電極の対向方向２７に対して直交する方向である。発生した電力は第１電極２１と第２電極２２を介して取り出される。具体的には図３に示したように、熱発電デバイス３１の電極を配置しない一方の面に高温部３２を、他方の面に低温部３３を密着させて熱発電デバイスに対して温度差を印加する。この構成において、温度勾配が生じる方向３４は図３に示したように電極の対向方向に対して垂直となる。
【００２５】
本発明の熱発電デバイスにおける金属は、電気伝導および熱伝導の良い材料であれば特に限定されない。具体的にはＣｕ、Ａｇ、Ａｌ、Ａｕ等が良い。
【００２６】
本発明の熱発電デバイスにおける熱電材料は、温度を上昇させた際に昇華せずに溶融する材料、または溶媒やバインダーとの混合などによりスラリー状にできる材料であれば特に限定されない。具体的には、温度を上昇させた際に昇華せずに溶融する材料として、Ｂｉ、Ｂｉ２Ｔｅ３あるいはこれらにＳｂ、Ｓｅなどによるドーピングを行ったもの、ＹｂＡｌ３、ＰｂＴｅなどが良い。また、溶媒やバインダーとの混合などによりスラリー状にできる材料としてはＳｒ０．５ＣｏＯ２、Ｃａ０．５ＣｏＯ２、ＳｒＴｉＯ３にLaまたはNｂを添加したものなどが良い。
【００２７】
本発明の熱発電デバイスにおける第１電極２１および第２電極２２は電気伝導の良い材料であれば特に限定されない。具体的にはＣｕ、Ａｇ、Ｍｏ、Ｗ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｉｎ等の金属またはＴｉＮ、スズ添加酸化インジウム（ＩＴＯ）、ＳｎＯ２等の窒化物または酸化物が良い。また、はんだや導電性ペーストを用いることもできる。
【００２８】
実施の形態１の熱発電デバイスの製造工程について説明する。まず、図４のような周期的にスリット部を有する金属ブロックを作製する（図１のS１）。スリット部の形成にあたっては、金属ブロックにドリルおよびエンドミルなどの切削工具を用いた加工によって行うことができる。より狭いスリット幅が必要であれば、ワイヤーカットによってスリット部を形成することもできる。ワイヤーカットを用いる場合は、図５に示すように一部を一筆書き様に加工を行っても良い。また、金属板にエッチングあるいはレーザー加工などの方法で周期的に長穴状の貫通口を形成したものを複数枚重ねて接合することによってスリットのあいた金属ブロックを作製することもできる。さらに、鋳造によって金属ブロックを作製しても良い。金属ブロックへのスリット部の形成にあたっては、熱発電デバイスの最終的な形状を考慮して、直方体状の金属ブロックの外形線に対してスリット部を予め傾斜させて作製してもよい。また、初めに外形線に対して任意の方向に並んだにスリット部を作製し、後の切削加工において切り出す方向を調整することにより、外形線に対してスリット部が傾斜したような積層体を作製することもできる。
【００２９】
次に熱電材料からなる流動体を作製する工程について説明する。
【００３０】
熱電材料を加熱して溶融させ融液にする場合、容器に熱電材料を入れ、電気炉やホットプレートなどの加熱手段を用いて熱電材料を融点以上に加熱して溶融を行う。容器の材質は特に限定されないが、熱電材料が固化した後に固着しないような、溶融した熱電材料とのぬれ性が悪いセラミックあるいはカーボンなどからなる容器を用いることが好ましい。熱電材料の形状は粒状、粉末状、板状、塊状など様々な形態の物を用いることができる。熱電材料を加熱する際の雰囲気は特に限定されないが、熱電材料としてＢｉなどの単体、Ｂｉ２Ｔｅ３などの金属間化合物または合金を用いる場合、可能な限り熱電材料の酸化を防ぐために真空雰囲気、アルゴン、ヘリウム、窒素などの不活性ガス雰囲気、または水素、一酸化炭素、アンモニアなどを含む還元性ガス雰囲気中で熱電材料の溶融を行うことが好ましい。
【００３１】
熱電材料の粉末をスラリー状にする場合、溶媒は粉末を分散できるものであれば特に限定されない。分散を促進するための界面活性剤や、固化した際の強度を促進するためのバインダーを適宜添加しても良い。
【００３２】
次に熱電材料からなる流動体を金属ブロックのスリット部に充填する工程（図１のS２）について説明する。前述した方法で作製した周期的にスリットを有する金属ブロックを容器に入れ、この容器に前述した方法で作製した熱電材料からなる流動体を流し入れる。こうすることにより金属ブロックのスリット部に熱電材料の流動体が充填される。容器の材質は特に限定されないが、熱電材料が固化した後に固着しないような、熱電材料とのぬれ性が悪いセラミックあるいはカーボンなどからなる容器を用いることが好ましい。また、より確実に熱電材料の充填を行うためには、金属ブロックが熱電材料からなる流動体中に完全に埋没するように流動体で容器を満たすことが好ましい。流動体として熱電材料の融液を用いる場合は、充填途中で融液が固化しないよう、金属ブロックおよび容器を熱電材料の融点以上に加熱しておくことが好ましい。また、可能な限り金属の酸化を防ぐために真空雰囲気、アルゴン、ヘリウム、窒素などの不活性ガス雰囲気、または水素、一酸化炭素、アンモニアなどを含む還元性ガス雰囲気中で熱電材料の充填を行うことが好ましい。
【００３３】
さらに、熱電材料からなる流動体として熱電材料の融液を用いる場合、熱電材料の溶融と金属ブロックのスリット部への充填を同時に行うこともできる。この場合は固体状の熱電材料と金属ブロックを一つの容器に入れ、電気炉やホットプレートなどの加熱手段で加熱を行う。
【００３４】
金属ブロックのスリット幅が狭い、あるいは熱電材料の融液の粘性が高い場合は金属ブロックのスリット部に熱電材料からなる流動体が完全に入り込まず空隙ができてしまうことがある。これを避けるために、金属ブロックを熱電材料からなる流動体に埋没させた後、ガスを導入して加圧することで熱電材料を金属ブロックのスリット部に隙間無く充填することができる。この際用いるガスは特に限定されないが、可能な限り金属の酸化を防ぐためにアルゴン、ヘリウム、窒素などの不活性ガス、または水素、一酸化炭素、アンモニアなどを含む還元性ガスを用いることが好ましい。
【００３５】
熱電材料からなる流動体の充填が完了した後、熱電材料の固化を行う。熱電材料からなる流動体が熱電材料の融液の場合、熱電材料が充填された金属ブロック全体を室温まで冷却することによって熱電材料を固化することができる。この際、固化が均一に行われるように、電気炉中などで温度を制御しながら冷却を行うことが好ましい。また、熱電材料からなる流動体が熱電材料の粉末および溶媒等からなるスラリーである場合、熱電材料が充填された金属ブロック全体を電気炉などで加熱し、スラリー中の溶媒を気化させるとともに熱電材料からなる粉末を焼結させることによって熱電材料を固化することができる。スラリーの固化が完了した後、温度を制御しながら室温まで冷却を行う。
【００３６】
前述のような方法で作製した熱電材料が充填された金属ブロックを、切削加工によって切り出す際の方法（図１のS３）は特に限定されないが、ダイヤモンドカッターなどの刃物を用いる方法や、ワイヤーカットなど放電加工によって行うことができる。切削加工で生じるバリやワイヤーカットで生じるワイヤー材料の固着物等を除去するために、さらに研磨工程を設けても良い。この際機械的研磨、電解研磨、化学研磨など様々な方法を用いることができる。
【００３７】
第１電極１１および第２電極１２の作製方法（図１のS４）は、蒸着法、スパッタ法などの気相成長の他に、導電性ペーストの塗布、めっき、溶射、はんだによる接合など様々な方法を用いることができる。
【００３８】
また、金属ブロックの一部が第１電極１１および第２電極１２に供するように、金属部分を一部残した形で切削加工を行うことで熱発電デバイスを形成することもできる。
【００３９】
（実施の形態２）
図６は本発明の実施の形態２における熱発電デバイスの構成を示した図である。この熱発電デバイスは、隣り合う積層体の傾斜方向が互いに逆向きとなり、かつ電気的に直列接続されたものである。本実施の形態における熱発電デバイスは実施の形態１と同様の工程で作製されるが、具体的には以下に示すような金属ブロックを作製することで図６のようなデバイスの一括形成が可能となる。
【００４０】
本実施の形態における金属ブロックはエッチングなどの方法により予め周期的に開口部が設けられた薄板を重ねて加圧しながら加熱を行い、接合することにより作製される。この際図７に示したように開口部の位置が少しずつずれたようなパターンの薄板を重ねることによって薄板の積層方向に対して傾斜したようなスリットを有する金属ブロックを作製することができる。このようにして得られる金属ブロックに熱電材料を充填した後、隣り合う積層体が直列接続された形となるよう、切削加工を行うことで図６に示したような素子を得ることができる。
【００４１】
本実施の形態における熱発電デバイスを構成するにあたり、積層体を電気的に直列に接続する他に、図８に示すように電気的に並列に接続しても良い。積層体を直列に接続する利点は、電力を取り出す際の電圧を大きくすることにある。積層体を並列に接続すると、熱発電デバイス全体の内部抵抗を小さくすることの他に、電気的な接続が一部断線してもデバイス全体としての電気的な接続を保つことにも利点がある。すなわち、これら直列および並列接続を適切に組み合わせる（例えば、図８を参照）ことによって、高い発電能力を有する熱発電デバイスを構成することができる。また、図９に一例を示したように、電気的接続の仕方を工夫することにより、より適用面積の広いデバイスを構成することができる。
【実施例】
【００４２】
以下、本発明のより具体的な実施例を説明する。
【００４３】
（実施例１）
金属ブロックの材料としてＣｕを、熱電材料としてBi０．５Ｓｂ１．５Ｔｅ３を用いて熱発電デバイスを作製した。
【００４４】
まず３０ｍｍ×６０ｍｍ×５ｍｍのＣｕブロックにドリルおよびエンドミルを用いて、図３に示すような幅１ｍｍ、長辺に対する傾斜角度３０°のスリットを周期的に形成した。Ｃｕブロックの表面を清浄にするために、９６％硫酸と３０％過酸化水素水を３：１の比で混合し、さらに純水で１０倍に希釈した液中に１０分間浸漬し、洗浄を行った。
【００４５】
こうして得られたＣｕブロックを、３１ｍｍ×６１ｍｍ×１５ｍｍの開口部を有するカーボンからなる容器に入れ、さらにこの容器を直径約１ｍｍから５ｍｍの粒状のＢｉ０．５Ｓｂ１．５Ｔｅ３で満たし、電気炉の中に設置した。
【００４６】
次に電気炉内をロータリーポンプを用いて約５Ｐａに減圧した後、加熱を開始し、７００℃まで昇温し、Ｂｉ０．５Ｓｂ１．５Ｔｅ３の溶融を行った。
【００４７】
電気炉内を７００℃で３０分間保持した後、ロータリーポンプのバルブを閉めて減圧を停止し、１Ｌ／ｍｉｎの流量でＡｒガスを導入し、大気圧まで昇圧することによってＣｕブロックのスリット部へのＢｉ０．５Ｓｂ１．５Ｔｅ３の充填を行った。この状態で２時間保持した後、室温まで５時間かけて冷却し、Ｂｉ０．５Ｓｂ１．５Ｔｅ３の固化を行った。
【００４８】
このようにして得られたＢｉ０．５Ｓｂ１．５Ｔｅ３が充填されたＣｕブロックを、ワイヤーカットにより切削することで２０ｍｍ×５０ｍｍ×４ｍｍの外形を有するＣｕとＢｉ０．５Ｓｂ１．５Ｔｅ３の積層体を得た。
【００４９】
この積層体の両端にＡｕからなる第１電極および第２電極をスパッタ法により作製し、第１電極と第２電極の対向方向に対して積層構造が３０°傾斜しており、ＣｕとＢｉ０．５Ｓｂ１．５Ｔｅ３との積層比が１０：１である、図２のような熱発電デバイスを得た。
【００５０】
（実施例２）
金属ブロックの材料としてＡｌを、熱電材料としてＳｒ０．９Ｌａ０．１ＴｉＯ３を用いて熱発電デバイスを作製した。
【００５１】
まず２０ｍｍ×３０ｍｍ×０．１ｍｍのＡｌの板材に対し、レーザー加工によってＡｌ板材の長辺に対して３５°傾斜した１ｍｍ×２０ｍｍの長方形状の貫通穴を長辺方向に７ｍｍ周期で形成した。このように作製した開口部を有するＡｌ板を１００枚重ね、Ａｒ雰囲気中で６００℃、積層方向に１０ＭＰａの圧力をかけて接合を行い、図３のような周期的なスリットを有する、２０ｍｍ×３０ｍｍ×１０ｍｍＡｌブロックを作製した。
【００５２】
別途、平均粒径が約１μｍのＳｒ０．９Ｌａ０．１ＴｉＯ３粉末、水酸化ストロンチウム、硝酸チタンを純水中に加え、Ｓｒ０．９Ｌａ０．１ＴｉＯ３が約４６重量％、水酸化ストロンチウム、硝酸チタンがそれぞれ約２重量％となるようなスラリーを作製した。
【００５３】
こうして作製したＡｌブロックとＳｒ０．９Ｌａ０．１ＴｉＯ３スラリーを、オートクレーブの中に設置した。
【００５４】
次にオートクレーブ内をいったんロータリーポンプで真空引きして３時間保持した後、Ａｒガスを導入し２気圧まで圧力を上げ、温度を２００℃に昇温して１時間保持した。
【００５５】
次に室温まで冷却した後に試料を電気炉に移し、Ａｒ雰囲気中において５００℃で３時間保持してＳｒ０．９Ｌａ０．１ＴｉＯ３の固化を行った後、室温まで５時間かけて冷却を行った。
【００５６】
このようにして得られたＳｒ０．９Ｌａ０．１ＴｉＯ３が充填されたＡｌブロックを、ワイヤーカットにより切削することで１５ｍｍ×２５ｍｍ×９ｍｍの外形を有するＡｌとＳｒ０．９Ｌａ０．１ＴｉＯ３の積層体を得た。
【００５７】
この積層体の両端にＡｕからなる第１電極および第２電極をスパッタ法により作製し、第１電極と第２電極の対向方向に対して積層構造が３５°傾斜しており、ＡｌとＳｒ０．９Ｌａ０．１ＴｉＯ３との積層比が６：１である、図２のような熱発電デバイスを得た。
【００５８】
（実施例３）
金属ブロックの材料としてＣｕを、熱電材料としてＢｉを用いて熱発電デバイスを作製した。
【００５９】
まず６０ｍｍ×６０ｍｍ×０．１ｍｍのＣｕの板材に対し、エッチングによって縦０．６ｍｍ×横０．４ｍｍの長方形状の貫通穴が周期的に存在するようなパターンを作製した。同様に、貫通穴の位置が貫通穴の短辺方向に０．２ｍｍずれているようなパターンを有するＣｕ板を複数種類作製し、これらを適切な順序で合計３０枚重ね、Ａｒ雰囲気中で９００℃、積層方向に１０ＭＰａの圧力をかけて接合を行うことで、図６のような積層方向に傾斜したような周期的なスリットを有する、６０ｍｍ×６０ｍｍ×３ｍｍの平板状のＣｕプレートを作製した。
【００６０】
こうして得られたＣｕプレートを、カーボンからなる容器に入れ、さらにこの容器を直径約１ｍｍから５ｍｍの粒状のＢｉで満たし、電気炉の中に設置した。
【００６１】
次に電気炉内をロータリーポンプを用いて約５Ｐａに減圧した後、加熱を開始し、４００℃まで昇温し、Ｂｉの溶融を行った。
【００６２】
電気炉内を４００℃で３０分間保持した後、ロータリーポンプのバルブを閉めて減圧を停止し、１Ｌ／ｍｉｎの流量でＡｒガスを導入し、大気圧まで昇圧することによってＣｕプレートのスリット部へのＢｉの充填を行った。この状態で２時間保持した後、室温まで５時間かけて冷却し、Ｂｉの固化を行った。
【００６３】
このようにして得られたＢｉが充填されたＣｕプレートを、ワイヤーカットにより切削することで、プレート内の短冊状の積層体の長手方向に対して積層構造が２３°傾斜しており、ＣｕとＢｉとの積層比が５：１である、図５のような熱発電デバイスを得た。
【００６４】
以上のように、本願発明では、予め周期的にスリットを有する金属ブロックに熱電材料からなる流動体を充填し、その後に熱電材料を固化する工程を用いることで、積層比を維持しながら高い雰囲気温度での積層体の作製が可能となる。これにより金属と熱電材料との間に電気的、熱的、および機械的に良好な接合を有する積層体を形成することができる。金属と熱電材料の積層比は予め形成する金属ブロックのスリット幅によって制御することができ、かつ本発明の製造方法においては積層方向に１軸圧力を加える工程が必要ないので、金属と熱電材料の積層比を維持することが容易となり、高性能の熱発電デバイスを安定して作製することができる。すなわち熱と電気とのエネルギー変換の応用を促進させるものであり、本発明の工業的価値は高い。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明にかかる熱発電デバイスは、優れた発電特性を有しており、自動車や工場から排出される排ガスなどの熱を用いた発電機として利用可能である。
【００６６】
また、小型の携帯発電機などの用途にも応用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の実施の形態１における熱発電デバイスの製造工程を示した図
【図２】本発明の実施の形態１における熱発電デバイスの構成を示した図
【図３】本発明の実施の形態１における熱発電デバイスを駆動する際の構成を示した図
【図４】本発明の実施の形態１における金属ブロックの外観を示した図
【図５】本発明の実施の形態１における金属ブロックの外観を示した図
【図６】本発明の実施の形態２における熱発電デバイスの構成を示した図
【図７】本発明の実施の形態２における金属ブロックの外観および断面を示した図
【図８】本発明の実施の形態２における熱発電デバイスの構成を示した図
【図９】本発明の実施の形態２における熱発電デバイスの構成を示した図
【符号の説明】
【００６８】
２１    第１電極
２２    第２電極
２３    積層体
２４    熱電材料
２５    金属
２６    層に平行な方向
２７    電極の対向方向
２８    温度勾配が生じる方向
３１    熱発電デバイス
３２    高温部
３３    低温部
３４    温度勾配が生じる方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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