(57)【要約】【課題】圧力発生室の長手方向で小型化し、かつ、液体流路の浸食を抑制した液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】  流路形成基板１０、保護基板３０及び封止部材１００を接合した状態で、個別流路１５、連通部１６及びマニホールド部３３を有する液体流路内に、保護膜を形成するための処理剤を流通させ液体流路の内壁に連続的な保護膜２００を成膜する成膜工程を備えている。液体噴射ヘッドは、液体流路内に保護膜２００を備える。液体噴射装置は、液体流路内に保護膜２００を備えた液体噴射ヘッドを備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路形成基板の一方面側に圧力発生室に相対向する領域に圧力発生手段を設ける工程と、前記流路形成基板に液体を噴射するノズル開口に連通する前記圧力発生室を有する個別流路を形成する工程と、該流路形成基板に保護基板を設ける工程と、
前記圧力発生室に液体を供給するマニホールド部及び当該マニホールド部と前記個別流路とを連通する連通部の一部を封止する封止部材を設ける工程とを備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記流路形成基板、前記保護基板及び前記封止部材が接合されて画成され、前記個別流路、前記連通部及び前記マニホールド部を有する液体流路内に、保護膜を形成するための処理剤を流通させ該液体流路の内壁に連続的な保護膜を成膜する成膜工程を備えたことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記保護膜が、ポリイミド、ポリアミド及びフッ素系樹脂から選ばれた少なくとも１種の樹脂からなることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記処理剤が、ポリイミド前駆体、ポリアミド酸溶液、フッ素系樹脂溶液のいずれかであることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項４】
液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室を有する個別流路が設けられた流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側の前記圧力発生室に相対向する領域に設けられた圧力発生手段とを具備すると共に、前記圧力発生手段を保護する圧電素子保持部を有する保護基板と、前記圧力発生室に液体を供給するマニホールド部及び当該マニホールド部と前記個別流路とを連通する連通部の一部を封止する封止部材とを具備し、
前記流路形成基板、前記保護基板及び前記封止部材により画成され、前記個別流路、前記マニホールド部及び前記連通部からなる液体流路の内壁に連続的に保護膜が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
請求項３又は４に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドであるインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、ノズル開口に連通する圧力発生室とこの圧力発生室の長手方向一端部側に圧力発生室の短手方向に亘って設けられて各圧力発生室に連通する連通部とが形成される流路形成基板と、この流路形成基板の一方面側に形成される圧電素子と、流路形成基板の圧電素子側の面に接着剤を介して接合されて、連通部と共にマニホールドの一部を構成するマニホールド部を有するマニホールド形成基板とを具備するものがある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２１９２４３号公報（第３〜５図、第６〜８頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような特許文献１の構成では、マニホールドとして、圧力発生室の長手方向一端部側にマニホールドの一部を構成する連通部が設けられているため、インクジェット式記録ヘッドが圧力発生室の長手方向で大型化してしまうという問題がある。
【０００５】
そこで、個別流路の長手方向の一端部にマニホールド部とこれに連通する連通部の一部を流路形成基板とは別部材で封止することにより、小型化することが考えられるが、この場合には以下のような問題が生じる可能性がある。
【０００６】
通常、インクジェット式記録ヘッドの製造においては、微細構造である液体流路を形成するためにシリコン基板を用いている。そして、シリコン基板をエッチングし液体流路を形成して複数のインクジェット式記録ヘッド用チップを作製し、チップ毎にレーザー等で分割してインクジェット式記録ヘッドとしている。上記のようにマニホールド部とこれに連通する連通部の一部を別部材で封止する場合には、マニホールド部及び連通部を構成する壁面のうち、別部材で構成される壁面以外の壁面はレーザーにより分割されたシリコン基板からなる。この耐インク性の低いシリコンからなる壁面は、インクにより浸食されやすいという問題がある。
【０００７】
本発明はこのような事情に鑑み、圧力発生室の長手方向で小型化し、かつ、液体流路の浸食を抑制した液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、流路形成基板の一方面側に圧力発生室に相対向する領域に圧力発生手段を設ける工程と、前記流路形成基板に液体を噴射するノズル開口に連通する前記圧力発生室を有する個別流路を形成する工程と、該流路形成基板に保護基板を設ける工程と、前記圧力発生室に液体を供給するマニホールド部及び当該マニホールド部と前記個別流路とを連通する連通部の一部を封止する封止部材を設ける工程とを備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記流路形成基板、前記保護基板及び前記封止部材が接合されて画成され、前記個別流路、前記連通部及び前記マニホールド部を有する液体流路内に、保護膜を形成するための処理剤を流通させ該液体流路の内壁に連続的な保護膜を成膜する成膜工程を備えたことを特徴とする。本発明では、液体流路の内壁に連続的な保護膜を形成していることで、液体流路の内壁が液体により浸食されてしまうことを抑制することができる。かつ、処理剤を流通させることにより保護膜を成膜すれば、簡易に、かつ均一な厚さの膜を成膜することが可能である。
【０００９】
ここで、前記保護膜が、ポリイミド、ポリアミド及びフッ素系樹脂から選ばれた少なくとも１種の樹脂からなることが好ましい。これらの保護膜を形成することで、液体流路の浸食をより抑制することが可能である。
【００１０】
また、前記処理剤が、ポリイミド前駆体、ポリアミド酸溶液、フッ素系樹脂溶液のいずれかであることが好ましい。これらのいずれかを用いることで、簡易に、かつ均一な所望の保護膜を形成することが可能である。
【００１１】
本発明の液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室を有する個別流路が設けられた流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側の前記圧力発生室に相対向する領域に設けられた圧力発生手段とを具備すると共に、前記圧力発生手段を保護する圧電素子保持部を有する保護基板と、前記圧力発生室に液体を供給するマニホールド部及び当該マニホールド部と前記個別流路とを連通する連通部の一部を封止する封止部材とを具備し、前記流路形成基板、前記保護基板及び前記封止部材により画成され、前記個別流路、前記マニホールド部及び前記連通部からなる液体流路の内壁に連続的に保護膜が設けられていることを特徴とする。本発明では、液体流路の内壁に連続的な保護膜を形成していることで、液体流路の内壁が液体により浸食されてしまうことを抑制することができる。
【００１２】
さらに、本発明の他の態様は、上述した何れかの態様に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。かかる態様によれば、小型化及び液体噴射特性を向上した液体噴射装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの平面図及び断面図である。
【図３】実施形態１に係る記録ヘッドの製造工程を示す断面図である。
【図４】実施形態１に係る記録ヘッドの製造工程を示す断面図である。
【図５】実施形態１に係る記録ヘッドの製造工程を示す断面図である。
【図６】実施形態１に係る記録ヘッドの製造工程を示す断面図である。
【図７】実施形態１に係る記録ヘッドの製造工程を示す断面図である。
【図８】記録ヘッドの一部拡大図である。
【図９】一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例を示す分解斜視図であり、図２は、図１の平面図及び断面図である。図示するように、流路形成基板１０は、本実施形態では面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成されている。流路形成基板１０には、複数の圧力発生室１２がその幅方向に並設されている。また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向外側の領域には、インク供給路１４と連通路１３とが隔壁によって区画されている。これらの圧力発生室１２、連通路１３及びインク供給路１４から個別流路１５が構成されている。
【００１５】
このような流路形成基板１０は、シリコンウェハーである流路形成基板用ウェハーに複数個が一体的に形成され、詳しくは後述するが、この流路形成基板用ウェハーに圧力発生室１２等を形成した後、この流路形成基板用ウェハーを分割することによって形成される。
【００１６】
また、流路形成基板１０の開口面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接着剤や熱溶着フィルム等を介して（図中では例えば接着剤５３を介して）固着されている。
【００１７】
一方、このような流路形成基板１０の開口面とは反対側には、上述したように弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には、例えば、酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５５が形成されている。さらに、この絶縁体膜５５上には、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とが積層形成されて、圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。本実施形態では、第１電極６０は圧電素子３００の共通電極とし、第２電極８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。また、ここでは、圧電素子３００と当該圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板とを合わせて圧電アクチュエーターと称する。なお、このような各圧電素子３００の第２電極８０には、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０がそれぞれ接続され、このリード電極９０を介して各圧電素子３００に選択的に電圧が印加される。
【００１８】
また、流路形成基板１０上の圧電素子３００側の面には、圧電素子３００に対向する領域にその運動を阻害しない程度の空間を確保可能な圧電素子保持部３１を有する保護基板３０が接合されている。圧電素子３００は、この圧電素子保持部３１内に形成されているため、外部環境の影響を殆ど受けない状態で保護されている。各圧電素子３００から引き出されたリード電極９０は、この保護基板３０の外側まで延設されており、ワイヤーボンディング等により圧電素子３００を駆動するための駆動ＩＣ等と接続される。なお、保護基板３０の材料としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料で形成されていることがより好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
【００１９】
流路形成基板１０及び保護基板３０の連通路１３側には、これらとは別部材の封止部材１００が設けられており、封止部材１００と流路形成基板１０及び保護基板３０との間に、連通路１３に連通する連通部１６とマニホールド部３３が画成されている。具体的には、封止部材１００は、保護基板３０上に接着剤５３を介して設置される第１設置部１０１とノズルプレート２０上に接着剤５３を介して設置される第２設置部１０２とを備えている。これらの第１設置部１０１及び第２設置部１０２の内壁面と流路形成基板１０、弾性膜５０、保護基板３０のノズル開口２１とは逆側（図２（ｂ）中右側）の端面とによって連通部１６とマニホールド部３３とが画成されている。このマニホールド部３３は、本実施形態では、保護基板３０の側方に厚さ方向に亘って延設され、上述したように流路形成基板１０の連通部１６と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるマニホールド１０５を構成している。このマニホールド部３３と個別流路１５と連通部１６とから、即ち保護基板３０と流路形成基板１０と封止部材１００によって画成されて液体流路が構成される。
【００２０】
さらに、保護基板３０及び封止部材１００の上側には、これらを跨ぐように、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料からなり、この封止膜４１によってマニホールド部３３の一方面が封止されている。また、固定板４２は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定板４２のマニホールド１０５に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、マニホールド１０５の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
【００２１】
このように本実施形態においては、マニホールド部３３を別部材である封止部材１００により構成していることで、従来のインクジェット式記録ヘッドよりもインクジェット式記録ヘッドをコンパクトにすることができる。
【００２２】
ところで、液体流路においてシリコンからなる端面が露出しているとインクによりエッチングされてしまうことがあるので、これを防止する必要がある。
【００２３】
そこで、本実施形態では、マニホールド部３３と個別流路１５と連通部１６とからなる液体流路の内面には、連続的な保護膜２００を設けている。このように保護膜２００を設けていることで、液体流路を流通する液体により液体流路がエッチングされてしまうことを防止することが可能である。特に、保護膜２００は液体流路に連続的に設けられており、ウェハー同士の接着面、例えばノズルプレート２０と流路形成基板１０との接合面には保護膜２００が設けられていない。接合面に保護膜が形成されていると、接着剤がつきにくい場合や、また、接着力を保持しにくい場合がある。従って、本実施形態では保護膜２００は液体流路に連続的に設けられているので、接着強度を保持することが可能である。
【００２４】
保護膜２００としては、耐液体性があるものが好ましく、好ましくはポリイミド、ポリアミド及びフッ素系樹脂から選ばれた少なくとも１種の樹脂からなるものが挙げられる。特に好ましくはアモルファス系フッ素系樹脂を用いることであり、例えば、旭硝子社製の商品名サイトップ（登録商標）等が挙げられる。
【００２５】
なお、このようなインクジェット式記録ヘッドは、図示しない外部インク供給手段からインクを取り込み、マニホールド１０５からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、図示しない駆動回路からの記録信号に従い、外部配線を介して圧力発生室１２に対応するそれぞれの第１電極６０と第２電極８０との間に電圧を印加し、弾性膜５０、絶縁体膜５５、第１電極６０及び圧電体層７０をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。
【００２６】
以下、このような本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの製造方法について説明する。なお、図３〜図７は、インクジェット式記録ヘッドの製造工程を説明する図であり、圧力発生室の長手方向の断面図である。
【００２７】
まず、図３（ａ）に示すように、シリコンウェハーである流路形成基板用ウェハー１１０を約１１００℃の拡散炉で熱酸化し、その表面に弾性膜５０を構成する二酸化シリコン膜を形成する。
【００２８】
次いで、図３（ｂ）に示すように、弾性膜５０上に、ジルコニウム（Ｚｒ）層を形成後、熱酸化して酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）からなる絶縁体膜５５を形成する。次いで、図３（ｃ）に示すように、例えば、白金とイリジウムとを絶縁体膜５５上に積層することにより第１電極６０を形成後、この第１電極６０を所定形状にパターニングする。
【００２９】
次に、図３（ｄ）に示すように、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電体層７０と、例えば、イリジウム（Ｉｒ）からなる第２電極８０とを流路形成基板用ウェハー１１０の全面に形成する。次いで、図４（ａ）に示すように、圧電体層７０及び第２電極８０をパターニングして、各圧力発生室１２となる領域に圧電素子３００を形成する。次いで、図４（ｂ）に示すように、リード電極９０を流路形成基板１０の全面に亘って形成すると共に圧電素子３００毎にパターニングする。
【００３０】
次に、図４（ｃ）に示すように、流路形成基板用ウェハー１１０の圧電素子３００側に、シリコンウェハーであり複数の保護基板３０となる保護基板用ウェハー１３０を接着剤３５を介して接合する。なお、この保護基板用ウェハー１３０を接合することによって流路形成基板用ウェハー１１０の剛性は著しく向上することになる。
【００３１】
次に、図５（ａ）に示すように、流路形成基板用ウェハー１１０を所定の厚さにする。次いで、図５（ｂ）に示すように、流路形成基板用ウェハー１１０上に、例えば、窒化シリコン（ＳｉＮ）からなるマスク膜５１を新たに形成し、所定形状にパターニングする。そして、マスク膜５１を介して流路形成基板用ウェハー１１０をアルカリ性のエッチング溶液により異方性エッチングすることにより、図６（ａ）に示すように、流路形成基板用ウェハー１１０に圧力発生室１２、連通路１３、インク供給路１４等を形成する。
【００３２】
次に、図６（ｂ）に示すように、流路形成基板用ウェハー１１０及び保護基板用ウェハー１３０を図１に示すような一つのヘッドチップのサイズに分割する。このとき、連通部１６及びマニホールド部３３を画成する隔壁の一方側は、レーザーにより切断される。この分割方法は、レーザーに限定されず、例えば、エッチングにより切断部分に溝を形成し、その後流路形成基板用ウェハー１１０及び保護基板用ウェハー１３０を左右方向に治具により引っ張ることにより溝を基準として分割してもよい。
【００３３】
次いで、図６（ｃ）に示すように、各ヘッドチップに対応する流路形成基板１０及び保護基板３０にノズルプレート２０及び封止部材１００を接着して固定し、さらに、保護基板３０と封止部材１００とを跨ぐようにコンプライアンス基板４０を接合してマニホールド部３３の上側を封止することにより、上述した連通部１６及びマニホールド部３３を封止する。これにより、液体流路が完成する。
【００３４】
その後、図７（ａ）に示すように、完成した液体流路に対して処理剤２０１を流通させる。即ち、完成した液体流路の図示しないインク導入口から処理剤２０１を導入し、流通させてノズル開口２１から排出させる。この処理剤２０１は、液体流路に保護膜２００を形成するためのものである。このような処理剤としては、ポリイミド前駆体、ポリアミド酸溶液、フッ素系樹脂溶液が挙げられる。なお、ポリイミド前駆体は、溶媒に添加してポリイミド前駆体溶液として用いることも可能である。また、処理剤は、適宜希釈して液体流路に流通させることができる。このようにして処理剤２０１を流通させ、ノズル開口２１から排出することで、図７（ｂ）に示すように液体流路の内壁に連続的な保護膜２００を形成することができる。従って、本実施形態によれば、非常に簡易に連続的な保護膜２００を液体流路に形成することができる。
【００３５】
保護膜２００を形成する方法としては、例えば他にＣＶＤ法や蒸着法等により形成することも考えられるが、液体流路完成後は、かかる液体流路の形状が複雑であるので液体流路全体に均一な膜を形成しにくい場合があり、インクによる基板の浸食を抑制しきれない可能性がある。また、液体流路完成前、例えばチップサイズへの分割後に、流路形成基板１０に対してノズルプレートの接合面側からＣＶＤ法等により保護膜を形成するとすれば、圧力発生室１２及び個別流路１５には保護膜２００を均一に形成することができるが、封止部材１００に対しても別途保護膜を形成することが必要であり、工程数が多くなり煩雑となる。さらに、流路形成基板１０とノズルプレート２０との接合面などにも保護膜が付着してしまうことが考えられ、この場合所望のインクジェット式記録ヘッドを形成できない可能性がある。さらにまた、液体流路完成後にディッピング法により保護膜を形成するとすれば、他の部分（例えば配線部分など）も保護しなければならず、この場合も工程が煩雑になる虞がある。従って、本実施形態のように液体流路に処理剤２０１を流通させて液体流路の内壁に保護膜２００を形成することが、簡易に、かつ必要な部分に均一な膜を構成することができ、好ましい。
【００３６】
さらにまた、例えば保護基板３０のマニホールド部３３側の端面は上述のようにレーザーなどで分割されていることから、その表面に図８（ａ）に示すように剥がれ１３１などが形成されやすい。この場合に例えばＣＶＤ法により保護膜を形成すると、剥がれ１３１がインクを流通させた時に剥がれてしまい、この部分から保護基板３０が浸食されてしまうおそれがある。そこで、本実施形態のように、液体流路に処理剤２０１を流通させれば、図８（ａ）（ｂ）に示すように処理剤２０１が流通することにより剥がれ１３１が取れたとしてもその部分に保護膜２００を形成することができるので、液体流路を浸食から保護することができる。このように保護膜２００を形成して、本実施形態のインクジェット式記録ヘッドとする。
【００３７】
本実施形態では、液体流路に処理剤２０１を流通させて保護膜２００を形成したが、液体流路に処理剤２０１を流通させた後に加熱して（例えば加熱炉等）処理剤２０１を乾燥させて保護膜２００を形成してもよい。このように加熱することで、より迅速に保護膜２００を形成することが可能である。
【００３８】
本実施形態では、連通部１６及びマニホールド部３３の一部を封止する封止部材１００をウェハーから形成する流路形成基板１０及び保護基板３０とは別部材として、ヘッドチップ毎に分割した後、接着するようにしたので、ウェハーでの取り数が増大し、低コスト化を図ることができる。
【００３９】
また、封止部材１００は、連通部１６及びマニホールド部３３を封止するための部材としてもよいが、ヘッドチップを固定するケースヘッドに一体的に設けられたものとするのが好ましい。これによれば、ヘッドチップをケースヘッドに固定する工程で、連通部１６及びマニホールド部３３を封止することができ、工程数を省くことができる。
【００４０】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
【００４１】
また、実施形態１のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図９は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００４２】
図９に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００４３】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００４４】
上述した実施形態においては、成膜及びリソグラフィー法を応用して製造される薄膜型のインクジェット式記録ヘッドを例にしたが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型のインクジェット式記録ヘッドや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型のインクジェット式記録ヘッドにも本発明を採用することができる。また、圧力発生素子として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することもできる。
【００４５】
また、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００４６】
１０  流路形成基板、  １２  圧力発生室、  １３  連通路、  １４  インク供給路、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル開口、  ３０  保護基板、  ５０  弾性膜、  ６０  第１電極、  ７０  圧電体層、  ８０  第２電極、  １００  封止部材、  １０５  マニホールド、  １１０  流路形成基板用ウェハー、  １３０  保護基板用ウェハー、  ２００  保護膜、  ３００  圧電素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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