(57)【要約】      （修正有）【課題】安価で、メンテナンス性に優れ、シール性も良いゲートバルブのシール構造を提供する。【解決手段】シート状部材Ｗを挟み込んでシールするゲートバルブＧＶは、押付け面１の傾斜した平面１Ｂに環状の第一シール材６を設け、受け面３の平行な平面３Ａに第二シール材７を設ける。押付け面１を受け面３に押し付けた時に、ゲート５に通されたシート状部材Ｗの部材面Ｗ１、Ｗ２に対して傾斜している第一シール材６の上部が、同シート状部材Ｗの一方の部材面Ｗ１に当接することで、該部材面Ｗ１付近の隙間がシールされ、かつ、ゲート５に通されたシート状部材Ｗの部材面Ｗ１、Ｗ２に対して平行になっている第二シール材７が、同シート状部材の他方の部材面Ｗ２に当接することで、該部材面Ｗ２付近の隙間がシールされる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状部材を挟み込んでシールするゲートバルブのシール構造であって、
押付け面を有する押付け部材と、
前記押付け面に対向する受け面を有する受け部材と、
前記受け面に一端を開口したゲートと、
前記押付け面と受け面との間に介在し、前記ゲートの開口端周囲をシールする環状の第一シール材と、
前記押付け面と受け面の間に介在する第二シール材とを備え、
前記押付け面と受け面は、ゲートに通されたシート状部材の部材面と平行な平面、及びそのシート状部材の部材面に対して傾斜した平面を有し、かつ、それぞれの平行な平面どうしが対向し、それぞれの傾斜した平面どうしが対向するように設けられ、
前記押付け面と受け面のうち、いずれか一方の傾斜した平面に、前記第一シール材が設けられ、他方の平行な平面に、前記第二シール材が設けられており、
前記押付け面を受け面に押し付けた時に、ゲートに通されたシート状部材の部材面に対して傾斜している前記第一シール材の上部が同シート状部材の一方の部材面に当接することで該部材面付近の隙間をシールし、かつ、ゲートに通されたシート状部材の部材面に対して平行になっている前記第二シール材が同シート状部材の他方の部材面に当接することで該部材面付近の隙間をシールすること
を特徴とするゲートバルブのシール構造。
【請求項２】
第一シール材は、Ｏリングからなること
を特徴とする請求項１に記載のゲートバルブのシール構造。
【請求項３】
第一シール材は、その先端が曲面になっていて、
受け面の平行な平面と傾斜した平面の境界部は、第一シール材先端の曲面と同等の曲率半径又はそれより大きい曲率半径の曲面になっていること
を特徴とする請求項１に記載のゲートバルブのシール構造。
【請求項４】
シート状部材の部材面が当接する第二シール材の表面に、凹凸が設けられていること
を特徴とする請求項１に記載のゲートバルブのシール構造。
【請求項５】
第二シール材の硬度は、第一シール材の硬度より高いこと
を特徴とする請求項１に記載のゲートバルブのシール構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子ペーパ、有機ＥＬ、薄膜太陽電池、液晶表示装置のカラーフィルタ等のベース基材、その他のシート状部材を挟み込んでシールするゲートバルブのシール構造に関し、特に、ゲートバルブのコストダウン、メンテナンス性及びシール性の向上を図れるようにしたものである。
【背景技術】
【０００２】
図１６は、前述したシート状部材を真空チャンバや密閉チャンバ（以下どちらも「チャンバ」という）内へ間欠的に移送し、同チャンバ内で停止したシート状部材の部材面にＰＶＤやＣＶＤ等の加工を施す例えば真空加工装置の概念図である。
【０００３】
図１６の真空加工装置は、真空ポンプにより真空引きされるチャンバの出入口にゲートバルブを設置している。このゲートバルブは、シート状部材を挟み込んで該部材面をシールすることにより、チャンバ内とその外部とを仕切り、チャンバ内を真空に保てるようにしている。このような機能・構成を備えたゲートバルブについては、例えば特許文献１（同文献１の図２及び図３を参照）に開示されている。
【０００４】
同文献１に開示のゲートバルブ（以下「従来のゲートバルブ」という）は、シート状部材を挿通させる弾性筒体（３５）と、弾性筒体（３５）を径方向に弾性変形させる上下のピストン（７１Ａ、７１Ｂ）とを備えている（同文献の図２及び図３を参照）。そして、このゲートバルブでは、上下のピストン（７１Ａ、７１Ｂ）で弾性筒体（３５）を内向きに撓ませ、撓んだ弾性筒体（３５）でシート状部材（１０）を挟み込み、挟み込んだシート状部材（１０）の部材両面を弾性筒体（３５）の内面でシールするようにしている。
【０００５】
しかしながら、従来のゲートバルブによると、弾性筒体（３５）が内向きに撓む構成になっているため、そのような弾性筒体（３５）として市販の安価なＯリングを採用することはできず、そのようなＯリングの採用によるゲートバルブ全体のコストダウンは図れない。
【０００６】
また、従来のゲートバルブでは、保持部材（４３、４４）とボルト（４７、５１）を使用して弾性筒体（３５）の両端をネジ止め固定している。このため、弾性筒体（３５）を取り外して点検したり交換する等のメンテナンスを行う場合は、弾性筒体（３５）の一端とこれより遠く離れた弾性筒体の他端について、ボルト（４７、５１）を緩めたり締め付ける作業等が必要となり、メンテナンス性が良くない。
【０００７】
さらに、従来のゲートバルブにあっては、弾性筒体（３５）でシート状部材（１０）を挟み込んだ際、弾性筒体（３５）の上下に硬度差が無くシート状部材が変形することがあり、また、弾性筒体（３５）でシート状部材（１０）を挟み込んだ際に弾性筒体（３５）とシート状部材（１０）の両端には必ず微小隙間が出来、チャンバ両脇のゲートバルブ２台でチャンバ内部を高真空にすることは難しい。
【０００８】
尚、前記カッコ内の符号は特許文献１で用いられている符号である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００９−３０７５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、前記問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、安価で、メンテナンス性に優れ、シール性能も良いゲートバルブを得るのに好適なゲートバルブのシール構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記目的を達成するために、本発明は、シート状部材を挟み込んでシールするゲートバルブのシール構造であって、押付け面を有する押付け部材と、前記押付け面に対向する受け面を有する受け部材と、前記受け面に一端を開口したゲートと、前記押付け面と受け面との間に介在し、前記ゲートの開口端周囲をシールする環状の第一シール材と、前記押付け面と受け面の間に介在する第二シール材とを備え、前記押付け面と受け面は、ゲートに通されたシート状部材の部材面と平行な平面、及びそのシート状部材の部材面に対して傾斜した平面を有し、かつ、それぞれの平行な平面どうしが対向し、それぞれの傾斜した平面どうしが対向するように設けられ、前記押付け面と受け面のうち、いずれか一方の傾斜した平面に、前記第一シール材が設けられ、他方の平行な平面に、前記第二シール材が設けられており、前記押付け面を受け面に押し付けた時に、ゲートに通されたシート状部材の部材面に対して傾斜している前記第一シール材の上部が同シート状部材の一方の部材面に当接することで該部材面付近の隙間をシールし、かつ、ゲートに通されたシート状部材の部材面に対して平行になっている前記第二シール材が同シート状部材の他方の部材面に当接することで該部材面付近の隙間をシールすることを特徴とする。
【００１２】
本発明において、第一シール材としては例えば市販の安価なＯリングを採用することができ、これによりゲートバルブ全体のコスト低減を図ることができる。
【００１３】
本発明において、第一シール材は、その先端が曲面になっていて、受け面の平行な平面と傾斜した平面の境界部は、第一シール材先端の曲面と同等の曲率半径又はそれより大きい曲率半径の曲面とすることができる。これにより、境界部が角面でなくなるから、第一シール材の破損を防止することができる。
【００１４】
本発明において、シート状部材の部材面が当接する第二シール材の表面に、凹凸が設けられる構成を採用することもでき、これにより、第二シール材へのシート状部材の貼り付き現象を効果的に抑制することができる。
【００１５】
本発明において、第二シール材の硬度を第一シール材の硬度より高くする構成の採用により、第一シール材が第二シール材側にめり込んでシート状部材が折れ曲がったり、シート状部材に圧痕が付いたりする等の不具合を防止するようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によると、前記構成の採用により、以下の作用効果を奏する。
【００１７】
（１）平面に環状の第一シール材が設けられる構成の採用により、第一シール材として安価な市販のＯリングを使用できること、及び、平面に第一シール材を取り付ける手段としてアリ溝のようなシール溝を利用するなら、シール溝は平面に加工すればよいので、簡単かつ安価にシール溝を形成できること等から、ゲートバルブ全体のコストダウンを図れる。
【００１８】
（２）第一シール材は平面に設けられるので、第一シール材を取り外して点検したり交換したりする等のメンテナンス作業がし易く、ゲートバルブのメンテナンス性の向上も図れる。
【００１９】
（３）ゲートに通されたシート状部材の部材面と平行な平面に第二シール材が設けられる構成の採用により、シート状部材と第二シール材が平行になるから、シート状部材の長さ方向にシール長を長く設けることができ、ゲートバルブのシール性能の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明を適用したゲートバルブ（開状態）の断面図。
【図２】図１のゲートバルブが閉の状態であるときの断面図。
【図３】図１のゲートバルブにおいて、受け面の平行な平面と傾斜した平面との境界部の説明図。
【図４】図１のゲートバルブを構成する押付け部材の平面図。
【図５】図１のゲートバルブを構成する受け部材の平面図。
【図６】図１のゲートバルブにおける第一及び第二シール材、シート状部材の位置関係図。
【図７】図１のゲートバルブに差動排気シールを追加したゲートバルブ（開状態）の断面図。
【図８】図７のゲートバルブが閉の状態であるときの断面図。
【図９】図７のゲートバルブにおいて、差動排気シールの差圧室となる空間、及び受け面の平行な平面と傾斜した平面との境界部の説明図。
【図１０】図７のゲートバルブを構成する押付け部材の平面図。
【図１１】図７のゲートバルブを構成する受け部材の平面図。
【図１２】図７のゲートバルブを構成する第一から第三シール材、差動排気通路、シート状部材の位置関係の説明図。
【図１３】図３又は図９のＡ−Ａ矢視断面拡大図。
【図１４】第二シール材の他の実施形態の説明図。
【図１５】第三シール材の他の実施形態の説明図。
【図１６】ゲートバルブ付き真空チャンバを有する真空加工装置の概念図。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。
【００２２】
図１は本発明を適用したゲートバルブ（開状態）の断面図、図２は図１のゲートバルブが閉の状態であるときの断面図、図３は図１のゲートバルブにおいて、受け面の平行な平面と傾斜した平面との境界部の説明図、図４は図１のゲートバルブを構成する押付け部材の平面図、図５は図１のゲートバルブを構成する受け部材の平面図、図６は図１のゲートバルブにおける第一及び第二シール材、シート状部材の位置関係図である。
【００２３】
＜図１のゲートバルブＧＶの概略＞
図１の本ゲートバルブＧＶは、シート状部材Ｗを挟み込んでシールするゲートバルブであって、押付け面１を有する押付け部材２と、押付け面１に対向する受け面３を有する受け部材４と、受け面３に一端を開口したゲート５と、押付け面１と受け面３との間に介在し、ゲート５の開口端周囲をシールする環状の第一シール材６と、押付け面１と受け面３との間に介在する第二シール材７と、を備えている。
【００２４】
＜押付け部材２、受け部材４の詳細＞
押付け部材２の押付け面１と受け部材４の受け面３は、いずれも、図１のように、シート状部材Ｗの部材面Ｗ１又はＷ２と平行な平面１Ａ、３Ａ、及びそのシート状部材Ｗの部材面Ｗ１又はＷ２に対して傾斜した平面１Ｂ、３Ｂを有し、かつ、それぞれの平行な平面１Ａ、３Ａどうしが互いに対向し、それぞれの傾斜した平面１Ｂ、３Ｂどうしが互いに対向するようになっている。
【００２５】
図３に示したように、受け面３の平行な平面３Ａと傾斜した平面３Ｂとの境界部３Ｃには第一シール材６の一部の先端が当接する。このため、境界部３Ｃが角面になっていると第一シール材６が破損し易いので、本ゲートバルブＧＶでは、かかる境界部３Ｃを第一シール材６先端の曲面より大きい曲率半径の曲面になるように形成している。尚、かかる境界部３Ｃは第一シール材６先端の曲面と同等の曲率半径の曲面となるように形成してもよい。
【００２６】
押付け面１の傾斜した平面１Ｂには、第一シール材６の取付け手段の一例として、アリ溝からなるシール溝１０（図３参照）を環状に形成してある。このような環状のシール溝１０の形成加工は平面１Ｂに対して行われるので容易かつ安価であり、ゲートバルブＧＶ全体のコストダウンに大きく寄与する。
【００２７】
押付け部材２は昇降軸１２の先端に取り付けられており、昇降軸１２の上昇動作によって、押付け部材２の押付け面１は受け部材４の受け面３に押し付けられる。また、その昇降軸１２の下降動作によって、押付け部材２の押付け面１は受け部材４の受け面３から離れるようになっている。
【００２８】
＜ゲート５の詳細＞
ゲート５は、受け部材４の後面から受け面３の傾斜した平面３Ｂに向かって水平に穿設した孔からなり、低圧室（例えば高真空室）と高圧室（例えば大気圧室）等のように圧力差のある二つの室を結ぶ通路として機能する。一方の室に位置するシート状部材Ｗは、このゲート５を通過することにより他方の室へ進むことができる。他方の室から一方の室へ進む場合も同様である。また、受け面３に開口しているゲート５の一端は、受け面３の平行な平面３Ａに対して段差無くフラットに連続するように形成してある。
【００２９】
本ゲートバルブＧＶでは、図１のように、受け面３に開口しているゲート５の一端側が高真空室に連通し、同ゲート５の他端側が大気圧室に連通することにより、高真空室と大気圧室とがゲート５を通じて結ばれる構成、及び、大気圧室からゲート５を通じて高真空室へシート状部材Ｗが移送される構成を採用しているが、これらの構成に限定されることはない。例えばゲート５の一端側が高真空室に連通し、同ゲート５の他端側が大気圧室に連通する構成も採用できる。
【００３０】
＜第一シール材６の詳細＞
第一シール材６は、先端が曲面になっている市販のＯリング（図４参照）からなり、先に説明したシール溝１０に嵌め込むことで、押付け面１の傾斜した平面１Ｂに取り付けてある。これにより、第一シール材６はゲート５に通されたシート状部材Ｗの部材面Ｗ１又はＷ２に対して傾斜するように設けている。そして、本ゲートバルブＧＶでは、図２のように押付け面１を受け面３に押し付けた時、そのように傾斜している第一シール材６の上部がシート状部材Ｗの一方の部材面Ｗ１に当接するように構成してある。
【００３１】
尚、市販のＯリング以外のシール材でも、環状のシール材であるなら、第一シール材６として採用することができる。
【００３２】
＜第二シール材７の詳細＞
第二シール材７は、ゴム等の弾性部材からなり、受け面３の平行な平面３Ａに配置されることで（図５参照）、ゲート５に通されたシート状部材Ｗの部材面Ｗ１又はＷ２に対して平行になるように設けている。そして、本ゲートバルブＧＶにおいては、図２のように押付け面１を受け面３に押し付けた時、そのように平行になっている第二シール材７がシート状部材Ｗの他方の部材面Ｗ２に当接するように構成してある。
【００３３】
また、この第二シール材７は、図６のようにシート状部材Ｗの幅方向両側から十分はみ出すように形成してある。
【００３４】
第二シール材７を受け面３に設ける方法については、例えば、図３のように受け面３の平行な平面３Ａにシール溝１１を形成し、そのシール溝１１に第二シール材７を嵌め込む方式や、受け面３の平行な平面３Ａにシール材を塗布する方式等、各種の方式を採用することができる。
【００３５】
押付け面１を受け面３に押し付ける力により第一シール材６が第二シール材７側にめり込んでシート状部材Ｗが折れ曲がったり、シート状部材Ｗに圧痕が付いたりする等の不具合を防止するために、第二シール材７の硬度は第一シール材６の硬度より高くなるように設けている。
【００３６】
＜図１に示すゲートバルブＧＶの動作説明＞
図１に示すゲートバルブＧＶのゲート５は開放されている。この開放されているゲート５を閉鎖する場合は、図示しないバルブ動作スイッチをＯＮにする。そうすると、昇降軸１２の上昇動作により押付け部材２が受け部材４に接近し、図２のように押付け面１が受け面３に所定の圧力で押し付けられる。
【００３７】
これにより、押付け面１がゲート５の開口端を塞ぎ、当該ゲート５は閉鎖される。このとき、第一シール材６によってゲート５の開口端周囲の隙間がシールされる。また、第一シール材６の上部がシート状部材Ｗの一方の部材面Ｗ１に当接することで、該部材面Ｗ１付近の隙間がシールされる。さらに、第二シール材７がシート状部材Ｗの他方の部材面Ｗ２に当接することで、該部材面Ｗ２付近の隙間がシールされる。
【００３８】
以上説明したように、図１のゲートバルブＧＶによると、平面１Ｂに環状の第一シール材６が設けられる構成の採用により、第一シール材６として安価な市販のＯリングを使用できたこと、及び、平面１Ｂに第一シール材６を取り付ける手段としてアリ溝のようなシール溝１０を利用する場合に、シール溝１０は平面１Ｂに加工すればよいので、簡単かつ安価にシール溝１０を形成できること等から、ゲートバルブＧＶ全体のコストダウンが図られている。
【００３９】
さらに、図１のゲートバルブＧＶにあっては、第一シール材６は平面１Ｂに設けられるので、第一シール材６を取り外して点検したり交換したりする等のメンテナンス作業がし易く、メンテナンス性の向上も図れる。
【００４０】
また、図１のゲートバルブＧＶにあっては、ゲート５に通されたシート状部材Ｗの部材面Ｗ１又はＷ２と平行な平面３Ａに第二シール材７が設けられる構成の採用により、シート状部材Ｗと第二シール材７とが平行になるから、シート状部材Ｗの長さ方向にシール長を長く設けることができ、ゲートバルブＧＶのシール性能の向上を図ることができる。
【００４１】
＜他の実施形態＞
図７は、図１のゲートバルブに差動排気シールを追加したゲートバルブ（開状態）の断面図、図８は図７のゲートバルブが閉の状態であるときの断面図、図９は図７のゲートバルブにおいて、差動排気シールの差圧室となる空間、及び受け面の平行な平面と傾斜した平面との境界部の説明図、図１０は図７のゲートバルブを構成する押付け部材の平面図、図１１は図７のゲートバルブを構成する受け部材の平面図、図１２は図７のゲートバルブを構成する第一から第三シール材、差動排気通路、シート状部材の位置関係の説明図である。
【００４２】
図７のゲートバルブＧＶは、押付け面１を受け面３に押し付けた状態（図８参照）で見て第一シール材６に隣接する第三シール材１４と、押付け面１を受け面３に押し付けた時に、押付け面１、受け面３、第一から第三シール材６、７、１４、並びにゲート５に通されたシート状部材Ｗによって囲まれる空間８（図８及び図９参照）と、この空間８に連通する差動排気通路９と、を有し、かかる空間８は、差動排気通路９を通じて排気されることにより、シート状部材Ｗ周囲の微小隙間Ｇ（図１３参照）を差動排気でシールする差動排気シールの差圧室になる。尚、これら以外の構成については図１のゲートバルブＧＶと同様であるため、同一部材には同一符号を付し、その詳細説明は省略する。
【００４３】
＜第三シール材１４の詳細＞
押付け面１の平行な平面１Ａには、第三シール材１４の取付け手段の一例として、図９のようにシール溝１５を形成してある。このシール溝１５の形成加工も平面１Ａに対して行われるので容易かつ安価である。
【００４４】
第三シール材１４は、ゴム等のような弾性部材からなり、先に説明したシール溝１５に嵌め込むことで、第一シール材６に隣接して同じ押付け面１の平行な平面１Ａに取り付けてある。これにより、第三シール材１４はシート状部材Ｗの部材面Ｗ１又はＷ２に対して平行になるように設けている。そして、本ゲートバルブＧＶでは、押付け面１を受け面３に押し付けた時、そのように平行になっている第三シール材１４もシート状部材Ｗの一方の部材面Ｗ１に当接するように構成してある。
【００４５】
また、この第三シール材１４は、図１２のようにゲート５に通されたシート状部材Ｗの幅方向両側から十分はみ出す長さを有している。さらに、第三シール材１４は、図１０のように、その両端１４Ａ、１４Ｂが屈曲して第一シール材６の側面に連結されることにより、第一シール材６との間で細長の間隙（以下「シール材間隙１３」という）を形成するようになっている。
【００４６】
本ゲートバルブＧＶでは、ゲート５にシート状部材Ｗを通して、押付け面１を受け面３に押し付けた時、前記シール材間隙１３の上面が受け面３と第二シール材７とシート状部材Ｗの部材面とで閉じられることにより、前記空間８が形成されるように構成してある。
【００４７】
＜差動排気通路の詳細＞
差動排気通路９は受け部材４に設けられている。同通路９の一端９Ａは、図１１及び図１２のように第二シール材７の両側に位置し、その位置で先に説明したシール材間隙１３と対向しており、かつ、押付け面１を受け面３に押し付けた時に、図１２のようにシール材隙間１３に連通するように構成してある。また、同通路９の他端９Ｂは図示しない排気ポンプに接続してある。
【００４８】
＜図７のゲートバルブＧＶの動作説明＞
次に、上記の如く構成された図７のゲートバルブＧＶの動作について説明する。
【００４９】
図７に示すゲートバルブＧＶのゲート５は開放されている。この開放されているゲート５を閉鎖する場合も、図１に示すゲートバルブＧＶと同じく、図示しないバルブ動作スイッチをＯＮにする。そうすると、昇降軸１２の昇降動作により押付け部材２が受け部材４に接近し、図２のように押付け面１が受け面３に所定の圧力で押し付けられる。
【００５０】
これにより、押付け面１がゲート５の開口端を塞ぎ、当該ゲート５は閉鎖される。このとき、第一シール材６によってゲート５の開口端周囲の隙間がシールされる。
【００５１】
また、ゲート５に通されたシート状部材Ｗの部材面Ｗ１又はＷ２に対して傾斜している第一シール材６の上部、及び、同部材面Ｗ１又はＷ２に対して平行になっている第三シール材１４が、シート状部材Ｗの一方の部材面Ｗ１に当接することで、該部材面Ｗ１付近の隙間が２重にシールされる。
【００５２】
さらに、シート状部材Ｗの部材面Ｗ１又はＷ２に対して平行になっている第二シール材７が、シート状部材Ｗの他方の部材面Ｗ２に当接することで、該部材面Ｗ２付近の隙間がシールされる。
【００５３】
従って、シート状部材Ｗの部材面Ｗ１及びＷ２付近を抜けて高真空室側へリークしようとする気体ＧＡＳ２（図１２参照）のリーク量は大幅に低減される。
【００５４】
ところで、図１３に示したように、シート状部材Ｗには所定の厚さｔがあるため、シート状部材Ｗの幅方向両側に第一シール材６や第三シール材１４ではシールできない微小隙間Ｇが生じることは避けられない。
【００５５】
しかしながら、図７のゲートバルブＧＶでは、前記のようなシート状部材Ｗ両側の微小隙間Ｇは後述の差動排気によりシールされるため、微小隙間Ｇを通り抜ける気体のリーク量は大幅に低減される。
【００５６】
＜差動排気によるシール＞
図８のようにゲート５にシート状部材Ｗを通した状態で押付け面１を受け面３に押し付けると、押付け面１と受け面３と第一から第三シール材６、７、１４とシート状部材Ｗとにより囲まれる図９の空間８ができ、この空間８に差動排気通路９が連通し、図示しない排気ポンプが作動する。
【００５７】
そうすると、前記空間８は差動排気通路９を通じて排気されることにより、ゲート５の開口端付近の圧力（大気圧室の圧力と略同じ）よりも低圧になる。
【００５８】
従って、図１２のようにゲート５の開口端からシート状部材Ｗ両側の微小隙間Ｇを通り抜けて高真空室側へリークしようとする気体ＧＡＳ１は、排気により減圧され低圧になっている前記空間８に流れ込み、差動排気通路９を通じて外部に差動排気される。
【００５９】
以上説明した図７のゲートバルブＧＶでは、第一シール材６によりゲート５の開口端周囲の隙間をシールすると同時に、第一シール材６の上部と第三シール材１４でシート状部材Ｗの一方の部材面Ｗ１付近の隙間をシールし、第二シール材７で同シート状部材Ｗの他方の部材面Ｗ２をシールし、これに加えてさらに、同シート状部材Ｗの幅方向両側の微小隙間Ｇを差動排気によってシールするため、ゲートバルブＧＶとは別に差動排気装置を設けることなく、コンパクトな機器構成でシール性能の向上が図られている。
【００６０】
図１４は第二シール材の他の実施形態の説明図である。図１や図７のゲートバルブＧＶでは、表面がフラットな第二シール材７を採用したが、第二シール材７にシート状部材Ｗの部材面Ｗ２が貼り付く現象を防止するために、第二シール材７の表面に例えば図１４のようにシート状部材Ｗの幅方向に延びている凹凸７Ａを設けてもよい。
【００６１】
図１５は第三シール材の他の実施形態の説明図である。同図の第三シール材１４は第一シール材６より少し大径の市販のＯリングを第一シール材６の外側に配置した構造になっている。この構造の第三シール材１４でも図９の空間８と同様の空間を形成することができ、かかる空間が差動排気通路９によって排気されることにより差動排気シールの差圧室として機能するので、図７のゲートバルブＧＶと同様にコンパクトな機器構成でシール性能が向上する。尚、図示は省略するが、第一シール材６より少し小径の市販のＯリングを第三シール材として第一シール材６の内側に配置する構成でも、図９の空間８と同様の空間を形成することができる。
【００６２】
図１、図７のゲートバルブＧＶでは、押付け面１の傾斜した平面１Ｂに第一シール材６を設け、受け面３の平行な平面３Ａに第二シール材７を設けたが、第一シール材６を受け面３の傾斜した平面３Ｂに設け、第二シール材７を押付け面１の平行な平面１Ａに設けてもよい。
【００６３】
図７のゲートバルブＧＶでは、押付け面１の平行な平面１Ａに第三シール材１４を設けたが、これに代えて、受け面３の平行な平面３Ａに第三シール材１４を設けてもよく、このような構成でも図９の空間８と同様の空間を形成することができ、かかる空間が差動排気通路９によって排気されることにより差動排気シールの差圧室として機能するので、図７のゲートバルブＧＶと同様にコンパクトな機器構成でシール性が向上する。
【００６４】
また、図７のゲートバルブＧＶでは、受け部材４に差動排気通路９を設けたが、これに代えて、押付け部材２に差動排気通路９を設けてもよい。また、受け部材４と押付け部材２の双方に差動排気通路９を設ける構成も採用し得る。
【符号の説明】
【００６５】
１  押付け面
１Ａ  押付け面の平行な平面
１Ｂ  押付け面の傾斜した平面
２  押付け部材
３  受け面
３Ａ  受け面の平行な平面
３Ｂ  受け面の傾斜した平面
３Ｃ  境界部
４  受け部材
５  ゲート
６  第一シール材
７  第二シール材
８  空間（差圧室）
９  差動排気通路
１０、１１  シール溝
１２  昇降軸
１３  シール材間隙
１４  第三シール材
１５  シール溝
ＧＶ  ゲートバルブ
Ｇ  微小隙間
Ｗ  シート状部材
Ｗ１  シート状部材の一方の部材面
Ｗ２  シート状部材の他方の部材面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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