(57)【要約】【課題】不良ノズルが生じた場合に液滴吐出ヘッドを交換せずに、文字等の印字を続行する。【解決手段】標準ノズル列２０と、標準ノズル列２０の第１の端部３１に連なるＴ１個の予備ノズルからなる第１の予備ノズル列２１と、標準ノズル列２０の第２の端部３２に連なるＴ２個の予備ノズルからなる第２の予備ノズル列２２と、を備える液滴吐出ヘッド４７を用いる液滴吐出方法であって、第１の端部３１から（Ｓ１≦Ｔ２）を満たすＳ１個以内の標準ノズルで不良ノズルが検出された場合に、第１の端部３１からＳ１個目までの標準ノズルを使用停止とすると共に、第２の予備ノズル列２２において、第２の端部３２からＳ１個目までの第２の予備ノズルを使用して液滴を吐出することを特徴とする液滴吐出方法。【選択図】図６
2011161394.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴吐出ヘッドが備える複数のノズルから吐出される液滴を該ノズル毎に測定して、該液滴の吐出量又は着弾位置が規格外と判明した前記ノズルを不良ノズルと判断する不良ノズル判定工程と、
前記液滴吐出ヘッドを被吐出物に対して相対的に移動させつつ該ノズルから前記被吐出物に液滴を吐出する液滴吐出工程と、
を繰り返して行う液滴吐出方法であって、
前記液滴吐出ヘッドは、所定の間隔で形成された標準ノズルからなる標準ノズル列と、該標準ノズル列の第１の端部に前記所定の間隔と同一の間隔で連なるＴ１個の予備ノズルからなる第１の予備ノズル列と、該標準ノズル列の第２の端部に前記所定の間隔と同一の間隔で連なるＴ２個の予備ノズルからなる第２の予備ノズル列と、を備えるヘッドであり、
前記液滴吐出工程は、前記不良ノズル判定工程で、前記第１の端部から（Ｓ１≦Ｔ２）を満たすＳ１個以内の標準ノズルで不良ノズルが検出され、かつ、該Ｓ１個目の標準ノズルと第２の予備ノズル列における前記第２の端部からＳ１個目までの予備ノズルとの間では不良ノズルが検出されない場合に、該第１の端部からＳ１個目までの標準ノズルを使用停止とすると共に、第２の予備ノズル列において、前記第２の端部からＳ１個目までの第２の予備ノズルを使用して液滴を吐出する工程であり、
かつ、
前記不良ノズル判定工程で、前記第２の端部から（Ｓ２≦Ｔ１）を満たすＳ２個以内の標準ノズルで不良ノズルが検出され、かつ、該Ｓ２個目の標準ノズルと第１の予備ノズル列における前記第１の端部からＳ２個目までの予備ノズルとの間では不良ノズルが検出されない場合に、該第２の端部からＳ２個目までの標準ノズルを使用停止とすると共に、第１の予備ノズル列において、前記第１の端部からＳ２個目までの第１の予備ノズルを使用して液滴を吐出する工程である、ことを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出方法であって、前記液滴吐出ヘッドは、前記標準ノズル及び前記予備ノズルが千鳥状に配置された液滴吐出ヘッドであることを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項３】
ヘッドモジュールが備える複数のノズルから吐出される液滴を該ノズル毎に測定して、該液滴の吐出量又は着弾位置が規格外と判明した前記ノズルを不良ノズルと判断する不良ノズル判定工程と、
前記ヘッドモジュールを被吐出物に対して相対的に移動させつつ該ノズルから前記被吐出物に液滴を吐出する液滴吐出工程と、
を繰り返して行う液滴吐出方法であって、
前記ヘッドモジュールは、各々が、吐出面に所定の間隔で形成された標準ノズルからなる標準ノズル列と該標準ノズル列の第１の端部に前記所定の間隔と同一の間隔で連なるＴ１個の予備ノズルからなる第１の予備ノズル列とを備える第１の液滴吐出ヘッドと第２の液滴吐出ヘッドとの２本の液滴吐出ヘッドを、双方の前記吐出面が同一平面に位置し、かつ、双方の該液滴吐出ヘッドの前記第１の端部側において、最端部の標準ノズル同士が、前記標準ノズル列に直交する方向からみて前記所定の間隔を有するように組み合せてなるヘッドモジュールであり、
前記液滴吐出工程は、前記不良ノズル判定工程でどちらか一方の前記液滴吐出ヘッドにおいて前記第１の端部側からＴ１個以内の標準ノズルで不良ノズルが検出された場合、該第１の端部から該不良ノズルまでの標準ノズルを使用停止とすると共に、
他方の前記液滴吐出ヘッドの第１の予備ノズル列において、前記第１の端部から該使用停止された標準ノズルと同数の第１の予備ノズルを新たな前記標準ノズルとして使用して行う工程である、
ことを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項４】
請求項３に記載の液滴吐出方法であって、
前記第１の液滴吐出ヘッドと前記第２の液滴吐出ヘッドとの双方の液滴吐出ヘッドは、前記第１の端部の反対側の第２の端部に前記所定の間隔と同一の間隔で連なるＴ２個の予備ノズルからなる第２の予備ノズル列をさらに備える液滴吐出ヘッドであり、
前記液滴吐出工程は、前記不良ノズル判定工程でどちらか一方の前記液滴吐出ヘッドにおいて前記第２の端部側からＴ２個以内の標準ノズルで不良ノズルが検出された場合、該第２の端部から該不良ノズルまでの標準ノズルを使用停止とすると共に、
他方の前記液滴吐出ヘッドの第２の予備ノズル列において、前記第２の端部から該使用停止された標準ノズルと同数の第２の予備ノズルを新たな前記標準ノズルとして使用して行う工程である、
ことを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項５】
請求項３又は４に記載の液滴吐出方法であって、前記第１の液滴吐出ヘッドと前記第２の液滴吐出ヘッドとの双方の液滴吐出ヘッドは、前記標準ノズル及び前記予備ノズルが千鳥状に配置された液滴吐出ヘッドであることを特徴とする液滴吐出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
媒体の表面にパターンを形成する方法のひとつとして、液滴吐出ヘッドのノズルから、顔料等の機能性材料を含有する機能液（インク）の液滴を吐出して、被吐出物上の任意の位置に該機能液に含有されていた該機能性材料からなるパターンを形成する液滴吐出（インクジェット）法がある。近年では、ＩＣパッケージ等の表面に文字等を印字するような用途にも用いられている。このような液滴吐出方法によって、液滴吐出ヘッドの長さ以上の横幅を持つ領域に機能液を吐出する場合には複数の液滴吐出ヘッドを直列に配置することによって、単一の液滴吐出ヘッドの長さ以上の横幅を持つ領域に機能液を吐出する方法が提案されている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−０５４７０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
かかる用途における問題のひとつに、不良ノズルがある。ここで不良ノズルとは、機能液の吐出量が規格範囲外となったノズルや、機能液の着弾位置が規格範囲外となったノズルのことを言う。かかる不良ノズルが発生した場合該不良ノズルが生じた液滴吐出ヘッドを交換するか、あるいは他の正常ノズルで補完することが一般的である。しかし、液滴吐出ヘッドの交換はコストアップの要因となり、正常ノズルでの補完は上述の文字等の印字にかかる時間を増加させるという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかる液滴吐出方法は、液滴吐出ヘッドが備える複数のノズルから吐出される液滴を該ノズル毎に測定して、該液滴の吐出量又は着弾位置が規格外と判明した上記ノズルを不良ノズルと判断する不良ノズル判定工程と、上記液滴吐出ヘッドを被吐出物に対して相対的に移動させつつ該ノズルから上記被吐出物に液滴を吐出する液滴吐出工程と、を繰り返して行う液滴吐出方法であって、上記液滴吐出ヘッドは、所定の間隔で形成された標準ノズルからなる標準ノズル列と、該標準ノズル列の第１の端部に上記所定の間隔と同一の間隔で連なるＴ１個の予備ノズルからなる第１の予備ノズル列と、該標準ノズル列の第２の端部に上記所定の間隔と同一の間隔で連なるＴ２個の予備ノズルからなる第２の予備ノズル列と、を備えるヘッドであり、上記液滴吐出工程は、上記不良ノズル判定工程で、上記第１の端部から（Ｓ１≦Ｔ２）を満たすＳ１個以内の標準ノズルで不良ノズルが検出され、かつ、該Ｓ１個目の標準ノズルと第２の予備ノズル列における上記第２の端部からＳ１個目までの予備ノズルとの間では不良ノズルが検出されない場合に、該第１の端部からＳ１個目までの標準ノズルを使用停止とすると共に、第２の予備ノズル列において、上記第２の端部からＳ１個目までの第２の予備ノズルを使用して液滴を吐出する工程であり、かつ、上記不良ノズル判定工程で、上記第２の端部から（Ｓ２≦Ｔ１）を満たすＳ２個以内の標準ノズルで不良ノズルが検出され、かつ、該Ｓ２個目の標準ノズルと第１の予備ノズル列における上記第１の端部からＳ２個目までの予備ノズルとの間では不良ノズルが検出されない場合に、該第２の端部からＳ２個目までの標準ノズルを使用停止とすると共に、第１の予備ノズル列において、上記第１の端部からＳ２個目までの第１の予備ノズルを使用して液滴を吐出する工程である、ことを特徴とする。
【０００７】
このような液滴吐出方法であれば、不良ノズル判定工程で若干の不良ノズルが検出された場合においても、液滴吐出ヘッドを交換等することなく、また、正常ノズルで補完する場合の処理時間の増加なく液滴吐出工程を継続して実施できる。したがって、文字等印字するような用途において、コストを低減できる。
【０００８】
［適用例２］上述の液滴吐出方法であって、上記液滴吐出ヘッドは、上記標準ノズル及び上記予備ノズルが千鳥状に配置された液滴吐出ヘッドであることを特徴とする液滴吐出方法。
【０００９】
このような液滴吐出方法であれば、液滴吐出工程における吐出の密度を向上できる。したがって、文字等印字するような用途において、液滴吐出ヘッドの維持コストと共に印字時間も低減でき、全体的なコストをより一層低減できる。
【００１０】
［適用例３］本適用例にかかる液滴吐出方法は、ヘッドモジュールが備える複数のノズルから吐出される液滴を該ノズル毎に測定して、該液滴の吐出量又は着弾位置が規格外と判明した上記ノズルを不良ノズルと判断する不良ノズル判定工程と、上記ヘッドモジュールを被吐出物に対して相対的に移動させつつ該ノズルから上記被吐出物に液滴を吐出する液滴吐出工程と、を繰り返して行う液滴吐出方法であって、上記ヘッドモジュールは、各々が、吐出面に所定の間隔で形成された標準ノズルからなる標準ノズル列と該標準ノズル列の第１の端部に上記所定の間隔と同一の間隔で連なるＴ１個の予備ノズルからなる第１の予備ノズル列とを備える第１の液滴吐出ヘッドと第２の液滴吐出ヘッドとの２本の液滴吐出ヘッドを、双方の上記吐出面が同一平面に位置し、かつ、双方の該液滴吐出ヘッドの上記第１の端部側において、最端部の標準ノズル同士が、上記標準ノズル列に直交する方向からみて上記所定の間隔を有するように組み合せてなるヘッドモジュールであり、上記液滴吐出工程は、上記不良ノズル判定工程でどちらか一方の上記液滴吐出ヘッドにおいて上記第１の端部側からＴ１個以内の標準ノズルで不良ノズルが検出された場合、該第１の端部から該不良ノズルまでの標準ノズルを使用停止とすると共に、他方の上記液滴吐出ヘッドの第１の予備ノズル列において、上記第１の端部から該使用停止された標準ノズルと同数の第１の予備ノズルを新たな上記標準ノズルとして使用して行う工程である、ことを特徴とする。
【００１１】
上述したように第１の液滴吐出ヘッドと第２の液滴吐出ヘッドとの２本の液滴吐出ヘッドを組み合せることで、長尺のヘッドを構成でき、広い範囲の印字を効率的に実施できる。そして、一方の液滴吐出ヘッドで不良ノズルが検出された場合においても、他方の液滴吐出ヘッドの予備ノズルを使用することで、液滴吐出ヘッドを交換等することなく液滴の吐出を継続して実施できる。したがって、文字等印字するような用途においてコストを低減できる。
【００１２】
［適用例４］上述の液滴吐出方法であって、上記第１の液滴吐出ヘッドと上記第２の液滴吐出ヘッドとの双方の液滴吐出ヘッドは、上記第１の端部の反対側の第２の端部に上記所定の間隔と同一の間隔で連なるＴ２個の予備ノズルからなる第２の予備ノズル列をさらに備える液滴吐出ヘッドであり、上記液滴吐出工程は、上記不良ノズル判定工程でどちらか一方の上記液滴吐出ヘッドにおいて上記第２の端部側からＴ２個以内の標準ノズルで不良ノズルが検出された場合、該第２の端部から該不良ノズルまでの標準ノズルを使用停止とすると共に、他方の上記液滴吐出ヘッドの第２の予備ノズル列において、上記第２の端部から該使用停止された標準ノズルと同数の第２の予備ノズルを新たな上記標準ノズルとして使用して行う工程である、ことを特徴とする液滴吐出方法。
【００１３】
このような液滴吐出方法であれば、一方の液滴吐出ヘッドの双方の端部側に不良ノズルが検出された場合であっても液滴吐出ヘッドを交換等することなく液滴吐出工程を継続して実施できる。したがって、文字等印字するような用途において、コストをより一層低減できる。
【００１４】
［適用例５］上述の液滴吐出方法であって、上記第１の液滴吐出ヘッドと上記第２の液滴吐出ヘッドとの双方の液滴吐出ヘッドは、上記標準ノズル及び上記予備ノズルが千鳥状に配置された液滴吐出ヘッドであることを特徴とする液滴吐出方法。
【００１５】
このような液滴吐出方法であれば、液滴吐出工程における吐出の密度を向上できる。したがって、２本の液滴吐出ヘッドを組み合せて文字等印字するような用途において、液滴吐出ヘッドの維持コストと共に印字時間も低減でき、全体的なコストをより一層低減できる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】被吐出物としてのＩＣパッケージが実装されたＩＣ基板の概略を示す図。
【図２】液滴吐出装置の概略を示す模式平面図。
【図３】（ａ）は、吐出部の構成を示す概略斜視図、（ｂ）はヘッドユニットの模式側面図、（ｃ）は液滴吐出ヘッドの構造を説明する模式断面図。
【図４】第１の実施形態における、ヘッドユニットのノズル側（の面）の概略を示す模式平面図。
【図５】不良ノズル判定工程における側定結果の一例を示す図。
【図６】第１の実施形態における、初期状態におけるノズルの配置と吐出量測定結果に基づくノズルの入れ替えを示す図。
【図７】第１の実施形態における、初期状態におけるノズルの配置と吐出量測定結果に基づくノズルの入れ替えを示す図。
【図８】第２の実施形態における、ヘッドユニットのノズル側（の面）の概略を示す模式平面図。
【図９】第２の実施形態における、初期状態におけるノズルの配置と吐出量測定結果に基づくノズルの入れ替えを示す図。
【図１０】第３の実施形態における、ヘッドユニットのノズル側（の面）の概略を示す模式平面図。
【図１１】第３の実施形態における、初期状態におけるノズルの配置と吐出量測定結果に基づくノズルの入れ替えを示す図。
【図１２】第４の実施形態における、ヘッドユニットのノズル側（の面）の概略を示す模式平面図。
【図１３】第４の実施形態における、初期状態におけるノズルの配置と吐出量測定結果に基づくノズルの入れ替えを示す図。
【図１４】第５の実施形態における、初期状態におけるノズルの配置と吐出量測定結果に基づくノズルの入れ替えを示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態にかかる液滴吐出方法について、図面を参照しつつ述べる。上述したように、本発明はＩＣチップ等の表面に文字等を印字するような用途において、不良ノズルが発生した場合に他のノズルを使用することで液滴吐出ヘッド等の交換にかかる工数を節減するものである。そこで、以下に記載する第１の実施形態においては、液滴吐出方法について述べる前に、本実施形態及び後述する各実施形態において用いられる液滴吐出装置（の本体）、及び被吐出物であるＩＣパッケージ等について説明する。なお、以下の各図においては、各層や各部位を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部位の縮尺を実際とは異ならせてある。
【００１８】
（第１の実施形態）
【００１９】
（ＩＣパッケージ）
図１は、被吐出物としてのＩＣパッケージ３が実装されたＩＣ基板１の概略を示す図である。ＩＣ基板１は、ＩＣパッケージ３と該ＩＣパッケージが複数個実装された基板２とを含んでいる。ＩＣパッケージ３は、パターン形成時においては、このように基板２上に複数個が規則的に実装された状態で一括して処理される。そして、ＩＣパッケージ３上には会社名４、機種コード５、製造番号６等の文字が印字されている。上述したように、かかる文字はいわゆる画像ではなく文字情報であるため、若干の濃淡は許容される。
【００２０】
（液滴吐出装置）
図２は、本実施形態にかかる液滴吐出方法において液滴５５（図３（ｃ）参照）を吐出するために用いる液滴吐出装置７の概略を示す模式平面図である。図示するように、液滴吐出装置７は主に供給部８、前処理部９、吐出部１０、後処理部１１、収納部１２、搬送部１３及び制御部１４から構成されている。液滴吐出装置７は、平面視で供給部８、前処理部９、吐出部１０、後処理部１１、収納部１２、及び制御部１４が、搬送部１３を中心にして時計回りの順に形成されて構成されている。供給部８、制御部１４、収納部１２が並ぶ方向をＸ方向とする。そして、鉛直方向をＺ方向とする。Ｘ方向と直交する方向をＹ方向とし、Ｙ方向には吐出部１０と搬送部１３とが並んで形成されている。
【００２１】
供給部８は、複数のＩＣ基板１を収納可能な収納容器を備えている。そして、供給部８は中継場所８ａを備え、収納容器から中継場所８ａへＩＣ基板１を供給する。前処理部９はＩＣパッケージ３の表面を改質する機能を有する。ここで改質とは、該表面の撥液性を緩和して、若干の親液性を付与することである。ただし、該表面が非吸収性であること自体は変わりない。かかる改質により、該表面に吐出された液滴５５は、安定した付着状態を保つようになる。前処理部９は中継場所９ａを備え、処理前のＩＣ基板１を中継場所９ａから取り込んで表面の改質を行う。その後、前処理部９は処理後のＩＣ基板１を中継場所９ａに移動して、ＩＣ基板１を待機させる。
【００２２】
吐出部１０は、ＩＣパッケージ３に液滴５５を吐出する機能を有する。吐出部１０は中継場所１０ａを備え、ＩＣ基板１を中継場所１０ａから移動して液滴５５を吐出する。その後、吐出部１０はＩＣ基板１を中継場所１０ａに移動させて、該中継場所で待機させる。
【００２３】
後処理部１１は、ＩＣパッケージ３の表面に吐出された機能液の液滴５５を固化及び硬化して、該機能液に含有されている顔料からなる文字等のパターンを形成する機能を有する。後処理部１１は、中継場所１１ａを備え、固化等の処理前のＩＣ基板１を中継場所１１ａから取り込んで固化及び硬化処理を行う。その後、後処理部１１は処理後のＩＣ基板１を中継場所１１ａに移動して、ＩＣ基板１を待機させる。
【００２４】
収納部１２は、複数のＩＣ基板１を収納可能な収納容器を備えている。そして、収納部１２は中継場所１２ａを備え、中継場所１２ａから収納容器へＩＣ基板１を収納する。操作者はＩＣ基板１が収納された収納容器を液滴吐出装置７から搬出する。
【００２５】
液滴吐出装置７の中央の場所には搬送部１３が形成されている。搬送部１３は２つの腕部を備えたスカラー型ロボットが用いられている。そして、腕部の先端にはＩＣ基板１を保持する保持部１３ａが設置されている。中継場所８ａ，９ａ，１０ａ，１１ａ，１２ａは保持部１３ａの移動範囲１３ｂ内に位置している。従って、保持部１３ａは中継場所８ａ，９ａ，１０ａ，１１ａ，１２ａ間でＩＣ基板１を移動させることができる。
【００２６】
制御部１４は液滴吐出装置７の全体の動作を制御する装置であり、該液滴吐出装置における上述の各部間の搬送等、及び吐出部１０の動作状況等を管理している。すなわち、搬送部１３に指示を与えて、被吐出物であるＩＣ基板１を、上述の供給部８、前処理部９、吐出部１０、後処理部１１、及び収納部１２までの各部間で移動させている。また、吐出部１０においては、ヘッドユニット４５（図３（ａ）参照）に指示を与えて、被吐出物であるＩＣ基板１上に実装されたＩＣパッケージ３に対して液滴５５を吐出すると共に、後述するノズル５０（図３（ｃ）参照）毎の液滴吐出量の測定と、該測定結果に基づいて使用ノズルの組み換え等を行っている。
【００２７】
（吐出部）
次に、ＩＣ基板１に機能液の液滴５５を吐出してマークを形成する吐出部１０について図３に従って説明する。
図３（ａ）は、吐出部１０の構成を示す概略斜視図である。図示するように、吐出部１０は、平面視でＹ方向に延在する長方形の部分と、該長方形の部分の横に−Ｘ方向に突き出た張り出し部分とからなる基台３５を備えている。長方形の部分はＩＣ基板１が移動する部分（領域）である。すなわち、吐出部１０は、該ＩＣ基板を移動させつつヘッドユニット４５から機能液の液滴５５を吐出して、ＩＣパッケージ３上に上述の会社名４等の文字を印字する。液滴５５（図３（ｃ）参照）を吐出するときに、ヘッドユニット４５と被吐出物すなわちＩＣ基板１とが相対移動する方向を主走査方向とする。そして、主走査方向と直交する方向を副走査方向とする。本実施形態ではＹ方向を主走査方向とし、Ｘ方向を副走査方向としている。そして、張り出し部分には吐出量測定ユニット４２が形成されている。
【００２８】
基台３５の上述の長方形の部分における上面３５ａには、Ｙ方向に延在する一対の案内レール３６がＹ方向の全幅にわたり形成されている。その基台３５の上側には、一対の案内レール３６に対応する図示しない直動機構を備えたステージ３７が取付けられている。該直動機構には、リニアモーターあるいはネジ式直動機構等が用いられ、Ｙ方向に沿って所定の速度で往動又は復動が可能である。さらに、該上面には、案内レール３６と平行に主走査位置検出装置３８が形成され、主走査位置検出装置３８によりステージ３７の位置が検出される。
【００２９】
ステージ３７の上面には載置面３９が形成され、その載置面３９には図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。ＩＣ基板１は基板チャック機構により載置面３９に固定される。ステージ３７が−Ｙ方向に位置するときの載置面３９の場所が中継場所１０ａとなっている。この載置面３９は保持部１３ａの動作範囲内に露出するように設置されている。従って、搬送部１３（図２参照）は容易にＩＣ基板１を載置面３９に載置することができる。ＩＣ基板１に液滴５５の吐出が行われた後、ＩＣ基板１は中継場所１０ａである載置面３９上にて待機する。従って、搬送部１３の保持部１３ａ（図２参照）は容易にＩＣ基板１を保持して移動できる。
【００３０】
基台３５のＸ方向の両側には一対の支持台４０が立設され、該一対の支持台にはＸ方向に上述の張り出し部と平面視で重なる部分まで延在する、キャリッジ４３を移動させるための案内部材４１が形成されている。キャリッジ４３は直動機構を備えており、案内部材４１に沿って走査移動が可能である。案内部材４１とキャリッジ４３との間には副走査位置検出装置４４が形成され、キャリッジ４３の位置が計測される。キャリッジ４３の下側にはヘッドユニット４５が設置され、ヘッドユニット４５のステージ３７側の面には後述する液滴吐出ヘッド４７が形成されている。キャリッジ４３は、ＩＣパッケージ３に印字する際には上述の長方形の部分内を移動し、吐出量の測定時には吐出量測定ユニット４２上まで移動する。
【００３１】
図３（ｂ）は、ヘッドユニット４５をキャリッジ４３等と共に示す模式側面図である。図３（ｂ）に示すようにキャリッジ４３のＩＣ基板１側にはヘッドユニット４５と一対の紫外光照射ユニット４６が形成されている。ヘッドユニット４５のＩＣ基板１側には液滴５５を吐出する３個の液滴吐出ヘッド４７が形成されている。液滴吐出ヘッド４７の個数は特に限定されず、機能液５２（図３（ｃ）を参照）の種類、及び被吐出物であるＩＣパッケージ３の個数等に合わせて設定できる。
【００３２】
紫外光照射ユニット４６は、吐出された液滴５５、すなわち吐出された機能液５２を硬化させる紫外光を照射するための発光ユニットと放熱板等から構成されている。発光ユニットには、紫外光を発光するＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｄｉｏｄｅ）素子が多数形成されている。キャリッジ４３の上方には機能液５２を収容する収容タンク４８が形成されている。液滴吐出ヘッド４７と収容タンク４８とは図示しないチューブにより接続され、収容タンク４８内の機能液５２がチューブを介して液滴吐出ヘッド４７に供給される。
【００３３】
ここで機能液５２は、樹脂材料と、硬化剤としての光重合開始剤と、溶媒又は分散媒と、を主材料としている。かかる主材料に、機能性材料としての顔料等の色素が加えられて機能液５２となる。顔料に代えて染料を用いてもよい。機能液５２の樹脂材料は、樹脂膜を形成する材料である。樹脂材料の種類は、常温で液状であり重合させることによりポリマーとなる材料であれば特に限定されない。特に、粘性の小さい樹脂材料が好ましい。具体的には、オリゴマーの形態であるのが好ましく、モノマーの形態であればさらに好ましい。光重合開始剤はポリマーの架橋性基に作用して架橋反応を進行させる添加剤であり、例えば、光重合開始剤としてベンジルジメチルケタール等を用いることができる。溶媒又は分散媒は樹脂材料の粘度を調整するものである。機能液５２を液滴吐出ヘッド４７から吐出し易い粘度にすることにより、液滴吐出ヘッド４７は安定して機能液５２を吐出することができるようになる。
【００３４】
紫外光照射ユニット４６の下面には、照射口４６ａ（図４参照）が形成されている。かかる照射口４６ａから、ＩＣ基板１に向けて紫外光が照射される。ＩＣパッケージ３上に吐出された液滴５５は、該紫外光によって半硬化される。ここで、「半硬化」とは、機能液５２の流動性が失われて、液滴５５が吐出された箇所から動かないような状態にすることを意味している。上述したように機能液５２は光重合開始剤を含有しており、紫外光により、吐出された液滴５５は表面から硬化が開始される。その結果、液滴５５は流動性が失われて半硬化状態となる。そして、かかる半硬化状態の液滴５５は、後処理部１１において再度紫外光の照射等の硬化処理が施され、上述の溶媒又は分散媒が除去されて、略完全な硬化（固化）状態となる。すなわち機能性材料としての顔料等を含有する樹脂材料となる。かかる顔料等を含有する樹脂材料のドットが規則的に形成されて、上述の文字が形成される。
【００３５】
図３（ｃ）は、液滴吐出ヘッド４７の構造を説明するための模式断面図である。図示するように、液滴吐出ヘッド４７はノズルプレート４９を備え、ノズルプレート４９にはノズル５０が列状に形成されている。ノズルプレート４９の上側であってノズル５０と相対する位置にはノズル５０と連通するキャビティ５１が形成されている。そして、該キャビティ内には機能液５２が供給されている。
【００３６】
キャビティ５１の上側には上下方向に振動してキャビティ５１内の容積を拡大縮小する振動板５３が形成されている。振動板５３の上側でキャビティ５１と対向する場所には振動板５３を振動させる圧電素子５４が形成されている。圧電素子５４が振動板５３を振動させると振動板５３がキャビティ５１内の容積を拡大縮小してキャビティ５１を加圧する。その結果、キャビティ５１内の圧力が変動し、キャビティ５１内に供給された機能液５２はノズル５０を通って吐出される。
【００３７】
液滴吐出ヘッド４７が制御部１４（図２参照）から圧電素子５４を駆動するためのノズル駆動信号を受けると、該圧電素子が伸張して、振動板５３がキャビティ５１内の容積を縮小する。その結果、液滴吐出ヘッド４７のノズル５０から縮小した容積分の機能液５２が、液滴５５となって吐出される。制御部１４は、任意の液滴吐出ヘッド４７のさらに任意の圧電素子５４に駆動信号を印加できる。また、１つの圧電素子５４のみに連続して駆動信号を印加することができる。ただし、駆動信号を圧電素子５４毎に変化させて、ノズル５０毎に液滴５５の体積を調整することはできない。なお、ノズル５０のそれぞれから吐出される液滴５５の体積は、ｐｌ（ピコリットル）レベルである。
【００３８】
制御部１４は、液滴吐出ヘッド４７がステージ３７上に位置しているときと、吐出量測定ユニット４２上に位置しているときの双方の時点で、液滴５５を吐出させることができる。液滴吐出ヘッド４７がステージ３７上に位置しているときに、ＩＣ基板１に対して液滴５５を吐出させる工程が液滴吐出工程であり、液滴吐出ヘッド４７が吐出量測定ユニット４２上に位置しているときに該吐出量測定ユニットに対して液滴５５を吐出させる工程が不良ノズル判定工程である。
【００３９】
不良ノズル判定工程では、吐出量すなわち吐出される液滴５５の体積とともに、吐出される液滴５５の着弾位置（着弾位置精度）もチェックする。着弾位置は、上述の吐出量測定ユニット４２とは別個の測定装置を使用する。具体的には、ノズルチェックシートに所定のノズルチェックパターンを印字し、カメラ等の画像認識手段により各ノズル５０から吐出された液滴の着弾位置のズレを計測する。そして、ノズル５０毎の計測値を所定の基準値と照合し、不良ノズルか否か判定する。不良ノズル判定工程は、液滴５５の吐出量（体積）と着弾位置との双方を測定する工程である。どちらか一方が規格外であれば不良ノズルと判定される。
【００４０】
本実施形態の液滴吐出方法では、上述の２つの工程を繰り返して実施する。そして、不良ノズル判定工程ではノズル５０毎に液滴吐出量を測定する。そして、本実施形態（及び後述する各実施形態）の液滴吐出方法は、不良ノズルが検出された場合でも、該不良ノズルがノズル５０の列の端の方に位置している場合には液滴吐出ヘッド４７を交換せずに済ませる点に特徴がある。
【００４１】
吐出量測定ユニット４２は、液滴受容器と電子天秤とを備えており（双方とも不図示）、各液滴吐出ヘッド４７の液滴吐出量を、個々のノズル５０毎に測定できる。すなわち、各々のノズル５０毎に制御部１４から駆動信号を印加して、数万〜数十万滴の液滴５５を液滴受容器内に吐出させることができる。液滴受容器は、電子天秤の上に載置されており、電子天秤は液滴受容器の重量を測定することで、液滴受容器内に着弾した液滴５５の総重量を測定する。そして一滴あたりの重量を算出する。
【００４２】
図４は、ヘッドユニット４５の、ノズル５０側の面の概略を示す模式平面図である。図示するように、ヘッドユニット４５には、表面にノズルプレート４９を備える液滴吐出ヘッド４７が形成されている。また、ヘッドユニット４５の両側には、上述したように紫外光照射ユニット４６が配置されている。該紫外光照射ユニットの下面の照射口４６ａからは、上述したようにＩＣ基板１に向けて紫外光が照射される。
【００４３】
なお、ヘッドユニット４５をノズル５０側の面から平面視した場合において、ノズルプレート４９と液滴吐出ヘッド４７とは略一致している。そこで、以下の記載において、「液滴吐出ヘッド４７のノズルプレート４９にはノズル５０が形成されている。」と表記するところを、単に「液滴吐出ヘッド４７にはノズル５０が形成されている。」とも表記する。
【００４４】
液滴吐出ヘッド４７には複数のノズル５０がＹ方向に均等な間隔で列状に配置（形成）されている。本実施形態においては、１つの液滴吐出ヘッド４７に複数のノズル５０が１列に配置されているが、後述するように２列以上の配置も可能である。該一列のノズル５０は、Ｙ方向において中央部分を占める標準ノズル列２０と、その両側の予備ノズル列（２１，２２）と、に分かれている。標準ノズル列２０の第１の端部３１側に連なる予備ノズル列が第１の予備ノズル列２１であり、第２の端部３２側に連なる予備ノズル列が第２の予備ノズル列２２である。各ノズル列には、夫々複数のノズルが所属している。標準ノズル列２０に所属するノズル５０が、液滴吐出工程で使用されるノズル５０である。
【００４５】
そして、本実施形態（及び後述する各実施形態）の液滴吐出方法は、不良ノズル判定工程において、標準ノズル列２０に所属するノズル５０のうちで不良ノズルが検出された場合、夫々のノズル列（２０，２１，２２）に所属するノズル５０を入れ替えて対処する点に特徴がある。
【００４６】
図５は、不良ノズル判定工程における側定結果の一例、すなわちノズル５０毎の液滴５５の吐出量の一例を示す図である。そして図６は、初期状態におけるノズル５０の配置と吐出量測定結果に基づくノズル５０の入れ替えを示す図である。そして図７は、図６に示す例とは反対の側に不良ノズルが発生した場合における、ノズル５０の入れ替えを示す図である。
【００４７】
なお、上述の各図（図５、図６、図７）においては、ノズル５０毎に個別の符号を付与している。そこで、以下の説明において、一般的なノズル（ノズル全体）を示す場合はノズル５０ではなく単に「ノズル」と表記する。また、第２の実施形態以降の説明においても、本実施形態における図４に相当する図（図８、図１０、図１２）においてはノズルに「５０」付与し、それ以外の図においてはノズル毎に個別の符号を付与している。そこで、図４に相当する図（図８、図１０、図１２）以外の図についての説明では、本実施形態の説明と同様に一般的なノズル（ノズル全体）を示す場合はノズル５０ではなく単に「ノズル」と表記する。
【００４８】
本実施形態の液滴吐出ヘッド４７は、計１１０個のノズルを有している。標準ノズル列２０が１００個のノズルで構成され、その両側に夫々５個のノズル列を有する予備ノズル列（２１，２２が）規定されている。すなわち被吐出物であるＩＣパッケージ３に液滴５５を吐出する場合、計１００個のノズルを使用する。なお、各ノズルは全て等間隔に形成されている。そして、直径等の寸法（数値）も所属するノズル列（２０，２１，２２）による差異はない。
【００４９】
図５〜図７に示すように、各々のノズルには、便宜的に下記のように符号が付与されている。標準ノズル列２０に所属するノズルには、第１の端部３１側から順にｍ1〜ｍ100までの符号が付与されている。ただし、標準ノズル列２０に所属するノズルの一部は、符号の表記を省略している。第１の予備ノズル列２１に所属するノズルには、第１の端部３１側から順にｎ11〜ｎ15までの符号が付与されている。第２の予備ノズル列２２に所属するノズルには、第２の端部３２側から順にｎ21〜ｎ25までの符号が付与されている。ｍ1のノズルとｎ11のノズルとの境界が第１の端部３１であり、ｍ100のノズルとｎ21のノズルとの境界が第２の端部３２である。なお、便宜的に、以下の記載（後述する第２〜５の実施形態を含む）において、標準ノズル列２０に所属するノズルを「標準ノズル」、予備ノズル列（２１，２２）に所属するノズルを「予備ノズル」と称する。
【００５０】
不良ノズル判定工程では、各ノズル列（２０，２１，２２）に所属する全てのノズルについて、個々に吐出量の測定が行われる。そして、該吐出量が基準（規格）内であるか否かを判定する。吐出量は、一般的に、平均値を中心とする値で管理され、平均値からの差が基準を外れたノズルが不良ノズルとなる。
図５（ａ）は、正常時の一般的な吐出量を示す図であり、いわゆるなべ底形の分布となっている。基準線２５は、基準の上限を示す線である。図示するように、ノズル毎の吐出量は外側にいくにつれて、すなわち中央から端部（３１，３２）側にいくにつれて増加する。そして、最端部の予備ノズル、すなわちｎ15のノズルとｎ25のノズルの吐出量が最大となっている。そして、該最端部の予備ノズル（ｎ15のノズル、ｎ25のノズル）の吐出量は上限を示す基準線２５を超えている。吐出量の分布特性は図示したような傾向があることを前提とし、そのために標準ノズル列２０の両側に予備ノズル列（２１，２２）を配置しており、ヘッド間の吐出量バラツキを考慮して複数本（図５では５本ずつ）としている。
【００５１】
図５（ｂ）は、標準ノズル列２０に所属するノズルに不良ノズルが検出された場合を示している。図示するように、標準ノズル列２０の所属するノズルのうち、第１の端部３１から３個目のノズル、すなわちｍ3のノズルの吐出量が基準線２５を超えており、不良ノズルとなっている。ここで、「３個目」という個数は、第２の予備ノズル列２２に所属する予備ノズル数（５個）よりも小さな個数である。すなわち、発生した不良ノズルの第１の端部３１からの個数を「Ｓ１」として、第２の予備ノズル列２２に所属する予備ノズル数をＴ２とすると、（Ｓ１≦Ｔ２）である。これが第１の要件である。
【００５２】
そして、該ｍ3のノズルを除くと、新たに吐出量が基準線２５を超えたノズルは無い。したがって、ｍ4のノズル〜第２の予備ノズル列２２の第２の端部３２から３個目のノズルであるｎ23のノズルまでの間に不良ノズルは発生していない。これが第２の要件である。本実施形態の液滴吐出方法は、かかる２要件が満たされた場合にノズルを入れ替えて液滴吐出工程を実施するものである。
【００５３】
図６（ａ）は、通常時（初期状態時）、すなわち標準ノズル列２０に不良ノズルが生じていないときの、各ノズル列（２０，２１，２２）に所属するノズルのＮｏを示している。そして、ｍ3のノズル（二重丸で図示）が不良となり、ｍ4のノズル〜第２の予備ノズル列２２に所属するｎ23のノズルまでの間に不良ノズルは発生していないときに、図６（ｂ）に示すように、ｍ1〜ｍ3の３個のノズルを新たに第１の予備ノズル列２１に所属させる。一方で、それまで第２の予備ノズル列２２に所属していたｎ21〜ｎ23の３個のノズルを、新たに標準ノズル列２０に所属させる。かかるノズルの入れ替えにより、通常時（初期状態時）と同様の等間隔で並ぶ１００個のノズルが確保される。
【００５４】
上述したように、制御部１４（図２参照）は、個々のノズルについて、液滴５５を吐出させるか否かを設定できる。したがって、かかる吐出量測定結果に基づき、標準ノズル列２０に所属するノズル、すなわち液滴吐出工程において使用するノズルを任意に設定できる。ただし、単に不良ノズルの使用を停止するだけでは、ＩＣパッケージ３上に、主走査方向に延在する液滴が吐出されていない線が発生してしまう。かかる線を別のノズルからの液滴吐出で補わせると、主走査の回数が増加してしまい、コスト増加の要因となる。一方で、不良ノズルが発生する度に液滴吐出ヘッド４７あるいはヘッドユニット４５を交換することも、コスト増加の要因となる。
【００５５】
本実施形態の液滴吐出方法であれば、不良ノズルが発生した場合でも、予備ノズル列（２１，２２）に所属するノズルを新たに標準ノズル列２０に加えて１００個のノズルが並んだ状態とするので、不良ノズルが発生した場合でも液滴吐出ヘッド４７等を交換せず、かつ主走査の回数も変更せずに、被吐出物であるＩＣパッケージ３等に上述の製造番号６等の文字を印字できる。したがって、コストの増加を抑制しつつ、ＩＣパッケージ３等に対して液滴吐出方法により文字を印字できる。
【００５６】
本実施形態は、標準ノズル列２０の第１の端部３１側に不良ノズルが発生した場合について述べているが、第２の端部３２側に不良ノズルが発生した場合も、同様にノズルを入れ替えて対処できる。
【００５７】
図７はかかる場合、すなわち第２の端部３２側に不良ノズルが発生した場合におけるノズルの入れ替えを示す図である。図７（ａ）は、初期の通常時（初期状態時）の各ノズル列（２０，２１，２２）に所属するノズルのＮｏと、不良ノズルと判定されたノズルの位置を示している。図示するように、標準ノズル列２０の所属する、第２の端部３２から４個目のｍ97の標準ノズル（二重丸で図示）が、不良ノズル判定工程で不良ノズルと判定されている。
【００５８】
ここで、「４個目」という個数は、第１の予備ノズル列２１に所属する予備ノズル数（５個）よりも小さな個数である。すなわち、（不良ノズルの）第２の端部３２からの個数を「Ｓ２」として、第１の予備ノズル列２１に所属する予備ノズル数をＴ１とすると、（Ｓ２≦Ｔ１）である。したがって、上述の第１の実施形態における第１の要件を満たしている。そして、ｍ97のノズル以外に不良ノズルは発生していないため、上述の第２の要件でも満たしている。
【００５９】
図７（ｂ）は、ノズルの入れ替え後を示すものである。図示するように、不良ノズルと判定されたｍ97を含む４個のノズル、すなわちｍ100〜ｍ97を新たに第２の予備ノズル列２２に所属させている。一方で、それまで第１の予備ノズル列２１に所属していたｎ11〜ｎ14の４個のノズルを、新たに標準ノズル列２０に所属させている。したがって、標準ノズル列２０には、初期時と同様に連続してすなわち不良ノズルを挟まずに並ぶ１００個のノズルが所属している。
【００６０】
上述したように制御部１４は、液滴吐出工程において使用するノズルを任意に設定できるため、かかる１００個のノズルを新たな標準ノズル列２０として使用できる。したがって、不良ノズルの発生にもかかわらず、ヘッドユニット４５を交換せずに、かつ主走査の回数を増加させることなく媒体上に文字等を印字でき、印字コストを低減できる。
【００６１】
なお、本実施形態及び後述する各実施形態において、第１の予備ノズル列２１の所属するノズルの個数と第２の予備ノズル列２２の所属するノズルの個数とは同一であるが、かかる態様に限定する必要は無い。双方の予備ノズル列（２１，２２）に所属するノズルの個数が異なっていても実施可能である。
【００６２】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態にかかる液滴吐出方法について説明する。本実施形態、及び後続する第３の実施形態〜第５の実施形態も、上述の第１の実施形態と同様に、ＩＣパッケージ３（図１参照）上に文字等を印字する方法についてのものである。すなわち、液滴５５の吐出対象は、図１に示すＩＣ基板１、すなわち基板２上に実装されたＩＣパッケージ３である。また、液滴吐出方法の実施に用いる装置も、吐出部１０（図３参照）を含む液滴吐出装置７（図２参照）である。また、吐出部１０が備えるヘッドユニット４５の構成も類似している。ただし、液滴吐出ヘッド４７におけるノズルの配置の態様が異なっている。そこで、本実施形態、及び後続する第３の実施形態と第４の実施形態の説明は、上述の図１〜図３に相当する図及び不良ノズル判定工程の結果を示す図５に相当する図は省略して、図４に相当する図と図６に相当する図のみを用いて行う。また、後述する第５の実施形態の説明は、図６に相当する図のみを用いて行う。
【００６３】
図８は、第１の実施形態の説明における図４に相当する図であり、本実施形態にかかる液滴吐出方法で用いられるヘッドユニット４５の、ノズル側（の面）の概略を示す模式平面図である。ヘッドユニット４５は、第１の実施形態で用いられるヘッドユニット４５と同様に、複数（本図では３個）の液滴吐出ヘッド４７を有している。ヘッドユニット４５の両側には、照射口４６ａを有する紫外光照射ユニット４６が配置されている点も同様である。
【００６４】
図示するように、液滴吐出ヘッド４７には、複数のノズルが千鳥状に２列に形成されている。そして、列の両端部に形成された一群のノズルが予備ノズル列（２１，２２）に所属しており、該予備ノズル列に挟まれた部分が標準ノズル列２０である。
【００６５】
図９は、初期状態におけるノズルの配置と吐出量測定結果に基づくノズルの入れ替えを示す図である。初期状態においては、図９（ａ）に示すように、第１の予備ノズル列２１はｎ11〜ｎ18の計８個のノズルで構成され、第２の予備ノズル列２２はｎ21〜ｎ28の計８個のノズルで構成され、標準ノズル列２０はｍ1〜ｍ160の計１６０個のノズルで構成されている。ただし、上記第１の実施形態と同様に、標準ノズル列２０に所属するノズルの一部は、符号の表記を省略している。第１の予備ノズル列２１と標準ノズル列２０との境界が第１の端部３１であり、第２の予備ノズル列２２と標準ノズル列２０との境界が第２の端部３２である。かかる場合において、標準ノズル列２０に所属するｍ158のノズル（二重丸で図示）が不良ノズルと判定された場合、図９（ｂ）に示すように各々のノズル列（２０，２１，２２）に所属するノズルを入れ替えて対処する。
【００６６】
図９（ｂ）は、ノズルの入れ替え後を示すものである。図示するように、不良と判定されたｍ158を含む３個のノズル、すなわちｍ158〜ｍ160を新たに第２の予備ノズル列２２に所属させている。一方で、それまで第１の予備ノズル列２１に所属していたｎ11〜ｎ13の３個のノズルを、新たに標準ノズル列２０に所属させている。したがって、標準ノズル列２０には、初期時と同様に、連続してすなわち不良ノズルを挟まず（含まず）に、１６０個の（不良ではない）ノズルが千鳥状に並んでいる。したがって、制御部１４はかかる１６０個のノズルを新たな標準ノズル列２０として使用できる。したがって、本実施形態の液滴吐出方法であれば、不良ノズルの発生にもかかわらず、ヘッドユニット４５を交換せずに、かつ主走査の回数を増加させることなく媒体上に文字等を印字でき、印字コストを低減できる。
【００６７】
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態にかかる液滴吐出方法について説明する。本実施形態の液滴吐出方法は、２つのヘッド（後述する第１ヘッド２７と第２ヘッド２８）を組み合わせて印字すなわち液滴５５の吐出を行う場合において、一方のヘッドで不良ノズルが発生した場合に、他方のヘッドのノズルで補うことを特徴としている。以下、図を参照しつつ説明する。
【００６８】
図１０は、第１の実施形態の説明における図４に相当する図であり、本実施形態にかかる液滴吐出方法で用いられるヘッドユニット４５の、ノズル側（の面）の概略を示す模式平面図である。本実施形態で用いられるヘッドユニット４５は、照射口４６ａを有する紫外光照射ユニット４６に挟まれた領域に、規則的に形成されたノズル５０を備えるノズルプレート４９を備えている点では上述の第１及び第２の実施形態で用いられるものと共通している。そして液滴吐出ヘッド４７が、２つのノズルプレート４９を組み合せたものである点に特徴がある。
【００６９】
図示するように、本実施形態で用いられる液滴吐出ヘッド４７は、夫々が上述のノズルプレート４９を備える第１ヘッド２７と第２ヘッド２８とを、段違いに組み合せて形成されている。複数のノズルプレート４９を組み合せて一つの液滴吐出ヘッド４７とすることで、個々のノズルプレート４９をあまり長く形成できない場合においても、長尺の液滴吐出ヘッド４７を形成できるという利点がある。
【００７０】
各々のヘッド（２７，２８）は第１の実施形態で用いられた液滴吐出ヘッド４７と類似の構成を有しており、標準ノズル列２０とその両側の予備ノズル列（２１，２２）とを有している。そして、双方のヘッド（２７，２８）は、第１の予備ノズル列２１が形成されている側が向かい合うように組み合わされている。
【００７１】
図１１は、初期状態におけるノズルの配置と吐出量測定結果に基づくノズルの入れ替えを示す図である。図１１（ａ）は初期状態におけるノズルの配置を示す図であり、図１１（ｂ）は吐出量測定結果に基づくノズルの入れ替えを示す図である。
【００７２】
図示するように、第１ヘッド２７の標準ノズル列２０に所属するノズルには、第２の端部３２側から順にｍ1〜ｍ100までの符号が付与されている。
第１ヘッド２７の第１の予備ノズル列２１に所属するノズルには、第１の端部３１側から順にｎ11〜ｎ15までの符号が付与されている。
第１ヘッド２７の第２の予備ノズル列２２に所属するノズルには、第２の端部３２側から順にｎ21〜ｎ25までの符号が付与されている。
【００７３】
そして、第２ヘッド２８の標準ノズル列２０に所属するノズルには、第１の端部３１側から順にｍ101〜ｍ200までの符号が付与されている。
第２ヘッド２８の第１の予備ノズル列２１に所属するノズルには、第１の端部３１側から順にｎ31〜ｎ35までの符号が付与されている。
第２ヘッド２８の第２の予備ノズル列２２に所属するノズルには、第２の端部３２側から順にｎ41〜ｎ45までの符号が付与されている。
【００７４】
そして初期状態においては、第１ヘッド２７のｍ1〜ｍ100までの標準ノズルと、第２ヘッド２８のｍ101〜ｍ200までの標準ノズルと、を合せた計２００個のノズルを用いて液滴５５の吐出を行っている。なお、第１ヘッド２７の第１の端部３１と第２ヘッド２８の第１の端部３１とは、双方のヘッド（２７，２８）の長軸方向において共通する位置にある。かかる場合において、第２ヘッド２８の標準ノズル列２０に所属するノズルのうち、第１の端部３１から３個目のノズルであるｍ103のノズル（二重丸で図示）が不良ノズルと判定された場合、図１１（ｂ）に示すようにノズルを入れ替えて対処する。
【００７５】
ここで、「３個目」という個数は、第１ヘッド２７の第１の予備ノズル列２１に所属する予備ノズル数（５個）よりも小さな個数である。すなわち、第２ヘッド２８で発生した不良ノズルの第１の端部３１からの個数をＳ２１として、第１ヘッド２７が備える第１の予備ノズル列２１に所属する予備ノズル数をＴ１１とすると、（Ｓ２１≦Ｔ１１）である。そして、該ｍ103のノズル以外に不良ノズルは発生していない。本実施形態の液滴吐出方法は、かかる要件が満たされた場合にノズルを入れ替えて液滴吐出工程を実施するものである。
【００７６】
図１１（ｂ）に示すように、それまで第１ヘッド２７の第１の予備ノズル列２１に所属していたｎ11〜ｎ13の３個の予備ノズルを、標準ノズル列２０に所属させる。一方で、不良と判定されたｍ103を含む３個のノズル、すなわちｍ101〜ｍ103のノズルを、第２ヘッド２８の第１の予備ノズル列２１に所属させている。
【００７７】
ここで、双方のヘッド（２７，２８）において、各ノズルは所属するノズル列（２０，２１，２２）にかかわらず等間隔に配置されている。したがって、ノズル列（２０，２１，２２）に直交する方向から見た場合のｎ13のノズルとｍ104のノズルとの間隔は、他のノズル間の間隔と同一である。したがって、第１ヘッド２７に形成されているｍ1〜ｎ13までのノズルと第２ヘッド２８に形成されているｍ104〜ｍ200までのノズルとを合せた２００個のノズルを持って液滴５５の吐出を行うことができる。したがって、本実施形態の液滴吐出方法であれば、不良ノズルの発生にもかかわらず、ヘッドユニット４５を交換せずに、かつ主走査の回数を増加させることなく媒体上に文字等を印字でき、印字コストを低減できる。
【００７８】
（第４の実施形態）
次に、本発明の第４の実施形態にかかる液滴吐出方法について説明する。本実施形態の液滴吐出方法は、第３の実施形態と同様に、２つのヘッド（２７，２８）を組み合わせて印字等を行う場合において、一方のヘッドで不良ノズルが発生した場合に、他方のヘッドのノズルで補うことが特徴である。そして、双方のヘッドにおいて、ノズルが２列に形成されている点に特徴がある。
【００７９】
図１２は、第１の実施形態の説明における図４に相当する図である。上述の各実施形態のヘッドユニット４５と同様に、本実施形態で用いられるヘッドユニット４５は、照射口４６ａを有する紫外光照射ユニット４６に挟まれた領域に、規則的に形成されたノズル５０を備えるノズルプレート４９を備えている。そして液滴吐出ヘッド４７は、上述の第３の実施形態で用いられた液滴吐出ヘッド４７と同様に、夫々が上述のノズルプレート４９を備える第１ヘッド２７と第２ヘッド２８とを、段違いに組み合せて形成されている。
【００８０】
各々のヘッド（２７，２８）は、標準ノズル列２０とその両側の予備ノズル列（２１，２２）とを有している。各ノズル列（２０，２１，２２）には、複数のノズルが千鳥状に２列に形成されている。そして、双方のヘッド（２７，２８）は、第１の予備ノズル列２１が形成されている側が向かい合うように組み合わされている。
【００８１】
図１３は、初期状態におけるノズルの配置と吐出量測定結果に基づくノズルの入れ替えを示す図である。図１３（ａ）に示すように、第１ヘッド２７において、第１の予備ノズル列２１はｎ11〜ｎ18の計８個のノズルで構成され、第２の予備ノズル列２２はｎ21〜ｎ28の計８個のノズルで構成され、標準ノズル列２０はｍ1〜ｍ160の計１６０個のノズルで構成されている。そして、第２ヘッド２８において、第１の予備ノズル列２１はｎ31〜ｎ38の計８個のノズルで構成され、第２の予備ノズル列２２はｎ41〜ｎ48の計８個のノズルで構成され、標準ノズル列２０はｍ201〜ｍ360の計１６０個のノズルで構成されている。
【００８２】
なお、各ノズル列（２０，２１，２２）は２点鎖線で区画するように図示している。また、標準ノズル列２０に所属するノズルの一部は、符号の表記を省略している。
【００８３】
ノズル列（２０，２１，２２）に直交する方向から見た場合のｍ160のノズルとｍ201のノズルとの間隔は、他のノズル間の間隔と同一である。液滴吐出工程では、第１ヘッド２７の標準ノズル列２０のｍ1〜ｍ160の計１６０個の標準ノズルと、第２ヘッド２８の標準ノズル列２０のｍ201〜ｍ360の計１６０個の標準ノズルと、を合せた計３２０個の標準ノズルで液滴５５が吐出されている。
【００８４】
図１３（ｂ）は、第１ヘッド２７の標準ノズル列２０に所属するｍ158のノズル（二重丸で図示）が不良ノズルと判定された場合のノズルの入れ替えを示している。第１ヘッド２７においては、該ｍ158のノズルを含むｍ158〜ｍ160の３個のノズルを第１の予備ノズル列２１に所属させる一方で、第２ヘッド２８において、初期状態では第１の予備ノズル列２１に所属していたｎ31〜ｎ33の３個のノズルを標準ノズル列２０に所属させている。
【００８５】
かかるノズルの入れ替えにより不良ノズルが発生したにもかかわらず、初期時と同様に計３２０個のノズルを用いて液滴５５の吐出を行うことができる。したがって、本実施形態の液滴吐出方法であれば、不良ノズルの発生にもかかわらず、ヘッドユニット４５を交換せずに、かつ主走査の回数を増加させることなく媒体上に文字等を印字でき、印字コストを低減できる。
【００８６】
（第５の実施形態）
次に、本発明の第５の実施形態にかかる液滴吐出方法について説明する。本実施形態の液滴吐出方法は、上述の第３の実施形態の液滴吐出方法と類似しており、２つのヘッドを組み合わせて印字を行う場合において、一方のヘッドで不良ノズルが発生した場合に、他方のヘッドのノズルで補うことを特徴としている。したがって、液滴５５の吐出に用いるヘッド等の態様も、第３の実施形態で用いるヘッド等と共通している部分が多い。そこで、第３の実施形態で用いた図も参照しつつ説明する。
【００８７】
本実施形態にかかる液滴吐出方法で用いられるヘッドユニット４５は、図１０に示す、第３の実施形態の液滴吐出方法で用いたヘッドユニット４５と同一である。すなわち、ヘッドユニット４５が備える液滴吐出ヘッド４７は、第１ヘッド２７と第２ヘッド２８とを段違いに組み合せて形成されている。各々のヘッド（２７，２８）は、標準ノズル列２０とその両側の予備ノズル列（２１，２２）とを有している。そして、各々のノズル列（２０，２１，２２）に所属するノズル数も、上述の第３の実施形態と同一である。
【００８８】
図１４は、本実施形態における初期状態におけるノズルの配置と吐出量測定結果に基づくノズルの入れ替えを示す図である。図１４（ａ）は初期状態におけるノズルの配置を示す図であり、図１４（ｂ）は吐出量測定結果に基づくノズルの入れ替えを示す図である。図１４（ａ）は、図１１（ａ）と略同一の図である。したがって、第１ヘッド２７の標準ノズル列２０に所属するノズルには、第２の端部３２側から順にｍ1〜ｍ100までの符号が付与されている。第１ヘッド２７の第１の予備ノズル列２１に所属するノズルには、第１の端部３１側から順にｎ11〜ｎ15までの符号が付与されている。第１ヘッド２７の第２の予備ノズル列２２に所属するノズルには、第２の端部３２側から順にｎ21〜ｎ25までの符号が付与されている。
【００８９】
同様に、第２ヘッド２８の標準ノズル列２０に所属するノズルには、第１の端部３１側から順にｍ101〜ｍ200までの符号が付与されている。第２ヘッド２８の第１の予備ノズル列２１に所属するノズルには、第１の端部３１側から順にｎ31〜ｎ35までの符号が付与されている。第２ヘッド２８の第２の予備ノズル列２２に所属するノズルには、第２の端部３２側から順にｎ41〜ｎ45までの符号が付与されている。
【００９０】
第１ヘッド２７の第１の端部３１と第２ヘッド２８の第１の端部３１とは、双方のヘッド（２７，２８）の長軸方向において共通する位置にある。そして、初期状態においては、第１ヘッド２７のｍ1〜ｍ100までの標準ノズルと、第２ヘッド２８のｍ101〜ｍ200までの標準ノズルと、を合せた計２００個のノズルを用いて液滴５５の吐出を行っている。
【００９１】
かかる場合において、第２ヘッド２８の標準ノズル列２０に所属するノズルのうち、第１の端部３１から３個目のノズルであるｍ103のノズル（二重丸で図示）と、第２ヘッド２８の標準ノズル列２０に所属するノズルのうち、第２の端部３２から２個目のノズルであるｍ199のノズル（二重丸で図示）と、の２つの標準ノズルが不良ノズルと判定された場合、図１４（ｂ）に示すようにノズルを入れ替えて対処する。
【００９２】
ここで、「第１の端部３１から３個目」という個数は、第１ヘッド２７の第１の予備ノズル列２１に所属する予備ノズル数（５個）よりも小さな個数である。すなわち、第２ヘッド２８で発生した不良ノズルの第１の端部３１からの個数をＳ２１として、第１ヘッド２７が備える第１の予備ノズル列２１に所属する予備ノズル数をＴ１１とすると、（Ｓ２１≦Ｔ１１）である。これが第１の要件である。
【００９３】
さらに、「第２の端部３２から２個目」という個数は、第１ヘッド２７の第２の予備ノズル列２２に所属する予備ノズル数（５個）よりも小さな個数である。すなわち、第２ヘッド２８で発生した不良ノズルの第２の端部３２からの個数をＳ２２として、第１ヘッド２７が備える第２の予備ノズル列２２に所属する予備ノズル数をＴ１２とすると、（Ｓ２２≦Ｔ１２）である。これが第２の要件である。本実施形態の液滴吐出方法は、かかる２つ要件が満たされた場合に、ノズルを入れ替えて液滴吐出工程を実施するものである。
【００９４】
図１４（ｂ）に示すように、それまで第１ヘッド２７の第１の予備ノズル列２１に所属していたｎ11〜ｎ13の３個の予備ノズルを、標準ノズル列２０に所属させる。一方で、不良と判定されたｍ103を含む３個のノズル、すなわちｍ101〜ｍ103のノズルを、第２ヘッド２８の第１の予備ノズル列２１に所属させている。同時に、それまで第１ヘッド２７の第２の予備ノズル列２２に所属していたｎ21〜ｎ22の２個の予備ノズルを、標準ノズル列２０に所属させる。その結果、第１ヘッド２７の標準ノズル列２０は、ｎ22〜ｍ1〜ｍ100〜ｎ13の計１０５個のノズルで構成される。そして、第２ヘッド２８の標準ノズル列２０は、ｍ104〜ｍ198の計９５個のノズルで構成される。
【００９５】
上述したように、双方のヘッド（２７，２８）において、各ノズルは、所属するノズル列にかかわらず等間隔に配置されている。したがって、上述したようなノズルの構成であれば、液滴吐出ヘッド４７としては初期状態（不良ノズルが発生していない状態）と同様に、等間隔に配置された計２００個のノズルを有することとなる。したがって、本実施形態の液滴吐出方法であれば、一方のヘッド（２７，２８）の両側に不良ノズルが発生した場合においても、ヘッドユニット４５を交換せずに、かつ主走査の回数を増加させることなく媒体上に文字等を印字でき、印字コストを低減できる。
【００９６】
また、ヘッドユニット４５のバラツキによっては、予備ノズルの液滴吐出量が基準値を外れるものを使用する可能性がある。しかし、上述したように本実施形態の液滴吐出方法は液滴５５の着弾位置も測定している。着弾位置精度が基準値以内であれば、ＩＣパッケージ３上の文字の品質には大きな影響を与えない。したがって、かかる場合においてもヘッドユニット４５を交換せずに文字等を印字でき、印字コストを低減できる。
【符号の説明】
【００９７】
１…ＩＣ基板、２…基板、３…ＩＣパッケージ、７…液滴吐出装置、８…供給部、９…前処理部、１０…吐出部、１１…後処理部、１２…収納部、１３…搬送部、１４…制御部、２０…標準ノズル列、２１…第１の予備ノズル列、２２…第２の予備ノズル列、２５…基準線、２７…第１の液滴吐出ヘッドとしての第１ヘッド、２８…第２の液滴吐出ヘッドとしての第２ヘッド、３１…第１の端部、３２…第２の端部、３５…基台、３６…案内レール、３７…ステージ、３８…主走査位置検出装置、３９…載置面、４０…支持台、４１…案内部材、４２…吐出量測定ユニット、４３…キャリッジ、４４…副走査位置検出装置、４５…ヘッドユニット、４６…紫外光照射ユニット、４７…液滴吐出ヘッド、４８…収容タンク、４９…ノズルプレート、５０…ノズル、５１…キャビティ、５２…機能液、５３…振動板、５４…圧電素子、５５…液滴。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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