(57)【要約】      （修正有）【課題】絶縁材料からなるノズルプレートを有する液体噴射ヘッドを具備していても静電気の悪影響を抑制することができる液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】圧力発生手段により圧力変動を生じさせてノズルから液滴を噴射する液体噴射ヘッド本体２１と、液体噴射ヘッド本体２１上に固定される絶縁材料からなるヘッドケース２２とで構成される液体噴射ヘッド２０を備える液体噴射ヘッドユニット１であって、液体噴射ヘッド本体２１が、絶縁材料からなるノズルプレート３１と、絶縁材料からなる流路形成基板２４〜２６と、液体流路の一部を構成する導電材料からなるシート板４３と、を有し、ヘッドケース２２が、シート板４３と電気的に接続すると共にヘッドケース２２の側面で外部に露出される露出部１０１を有する導電材料からなる導電プレート１００を有し、導電プレート１００が接地部材１１０を介して接地されている。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力発生手段により圧力発生室内に圧力変動を生じさせてノズルから液滴を噴射する液体噴射ヘッド本体と、該液体噴射ヘッド本体上に固定される絶縁材料からなるヘッドケースとで構成される液体噴射ヘッドを備える液体噴射ヘッドユニットであって、
前記液体噴射ヘッド本体が、複数の前記ノズルが穿設された絶縁材料からなるノズルプレートと、前記圧力発生室を含む液体流路が形成された絶縁材料からなる流路形成基板と、前記液体流路の一部を構成する導電材料からなるシート板と、を有し、
前記ヘッドケースが、前記シート板と電気的に接続すると共に当該ヘッドケースの側面で外部に露出される露出部を有する導電材料からなる導電プレートを有し、
該導電プレートが接地部材を介して接地されていることを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
【請求項２】
並設された複数の前記液体噴射ヘッドを具備し、各液体噴射ヘッド本体を構成する前記導電プレートの露出部が、前記液体噴射ヘッド本体の並設方向に沿った前記ヘッドケースの側面にそれぞれ設けられており、
前記接地部材が、各液体噴射ヘッド本体の露出部に先端部がそれぞれ当接する複数の当接部と、これらの当接部の基端部側を繋ぐ基体部とで構成される櫛歯状の接地プレートであることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項３】
前記液体噴射ヘッド本体を構成する前記ノズルプレートが、導電材料からなる固定板に固定されており、前記接地部材が前記導電プレートと共に前記固定板に当接されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記露出部は、前記ヘッドケースの側面よりも外側に突出して設けられており、且つ前記シート板側から離れる程その突出量は大きく当該露出部の端面が傾斜面となっていることを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項５】
前記シート板には前記液体流路内に液体を供給するための液体導入口が形成されており、前記導電プレートが前記シート板の前記液体導入口近傍に接触していることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項６】
前記導電プレートの露出部が、前記ノズルの列方向に沿った前記ヘッドケースの側面に設けられていることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニット。
【請求項７】
請求項１〜６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルプレートに穿設されたノズルから液滴を吐出する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置に関し、特に、ノズルと連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板上に設けられた圧電素子の変位によりノズルからインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドユニット及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、圧電素子や発熱素子等の圧力発生手段によって液体に圧力を付与することで、ノズルから液滴を吐出する液体噴射ヘッドが知られており、その代表例としては、ノズルからインク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。このようなインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、圧力発生室が形成された流路形成基板に、ノズル開口が穿設されたノズルプレート等が接合されたものがある（例えば、特許文献１参照）。また、このようなインクジェット式記録ヘッドは、ヘッドケースに固定されると共に、固定板に位置決め固定されてインクジェット式記録ヘッドユニットが構成される（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ここで、特許文献１にも記載されているように、インクジェット式記録ヘッドにおいては、一般的に、流路形成基板はシリコン単結晶基板で形成され、ノズルプレートは、例えば、ステンレス鋼等の金属材料で形成されている。そして、このように流路形成基板とノズルプレートとは、その材料が異なると、製造過程における加熱等によって線膨張係数の違いに起因する反りが生じてしまう虞がある。この反りが大きくなると流路形成基板に割れが生じてしまう虞もある。このような問題を防止するために、ノズルプレートを流路形成基板と同じようにシリコン単結晶基板で形成することも考えられている。
【０００４】
ところで、印刷時には、紙等の記録媒体に帯電した静電気によって液体噴射ヘッドが破損してしまう虞がある。例えば、静電気がインクを介して圧電素子等の圧力発生手段を駆動するための駆動ＩＣに伝わって悪影響を及ぼしたり、静電気によってノズルプレートの表面に形成された撥水膜に亀裂が生じてしまうといった問題が生じる虞がある。
【０００５】
特許文献１に記載されているようにノズルプレートがステンレス鋼等の金属材料で形成されている場合には、このような問題を解決するために、例えば、この固定板を金属材料等の導電材料で形成して固定板を介してノズルプレートを接地させていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−０９６４１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、流路形成基板の反り防止等のためにノズルプレートをシリコン単結晶基板で形成すると、上述のように固定板を介してノズルプレートを接地することができないという問題がある。すなわち、シリコン単結晶基板からなるノズルプレートは、その表面に酸化膜が形成されてしまうため導電性が確保されず、固定板を介して接地することができず上述した印刷時に生じる静電気の悪影響を防止できないという問題がある。
【０００８】
なお、このような問題は、インクを噴射するインクジェット式記録ヘッドユニットだけではなく、絶縁材料からなるノズルプレートを具備する他の液体噴射ヘッドユニットにおいても同様に存在する。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、絶縁材料からなるノズルプレートを有する液体噴射ヘッドを具備していても静電気の悪影響を抑制することができる液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決する本発明は、圧力発生手段により圧力発生室内に圧力変動を生じさせてノズルから液滴を噴射する液体噴射ヘッド本体と、該液体噴射ヘッド本体上に固定される絶縁材料からなるヘッドケースとで構成される液体噴射ヘッドを備える液体噴射ヘッドユニットであって、前記液体噴射ヘッド本体が、複数の前記ノズルが穿設された絶縁材料からなるノズルプレートと、前記圧力発生室を含む液体流路が形成された絶縁材料からなる流路形成基板と、前記液体流路の一部を構成する導電材料からなるシート板と、を有し、前記ヘッドケースが、前記シート板と電気的に接続すると共に当該ヘッドケースの側面で外部に露出される露出部を有する導電材料からなる導電プレートを有し、該導電プレートが接地部材を介して接地されていることを特徴とする液体噴射ヘッドユニットにある。
かかる本発明では、液体流路内の液体がシート板、導電プレート及び接地部材を介して接地される。したがって、ノズルプレートが絶縁材料で形成されている場合でも、静電気による駆動ＩＣへの悪影響や、撥水膜に亀裂が入るといった問題を抑制することができる。
【００１１】
ここで、並設された複数の前記液体噴射ヘッドを具備し、各液体噴射ヘッド本体を構成する前記導電プレートの露出部が、前記液体噴射ヘッド本体の並設方向に沿った前記ヘッドケースの側面にそれぞれ設けられており、前記接地部材が、各液体噴射ヘッド本体の露出部に先端部がそれぞれ当接する複数の当接部と、これらの当接部の基端部側を繋ぐ基体部とで構成される櫛歯状の接地プレートであることが好ましい。これにより、各液体噴射ヘッドを構成する導電プレートに接地部材をより容易且つ確実に接触させることができる。
【００１２】
また前記液体噴射ヘッド本体を構成する前記ノズルプレートが、導電材料からなる固定板に固定されており、前記接地部材が前記導電プレートと共に前記固定板に当接されていることが好ましい。これにより、固定板も接地部材を介して接地されるため、上述した静電気の悪影響等をより確実に抑制することができる。
【００１３】
また、前記露出部は、前記ヘッドケースの側面よりも外側に突出して設けられており、且つ前記シート板側から離れる程その突出量は大きく当該露出部の端面が傾斜面となっていることが好ましい。これにより、接地部材（接地プレート）を、導電プレートと固定板とのそれぞれに容易且つ良好に接触させることができる。
【００１４】
また前記シート板には前記液体流路内に液体を供給するための液体導入口が形成されており、前記導電プレートが前記シート板の前記液体導入口近傍に接触していることが好ましい。これにより、液体流路内の液体をより確実に接地させることができる。
【００１５】
さらに、前記導電プレートの露出部が、前記ノズルの列方向に沿った前記ヘッドケースの側面に設けられていることが好ましい。これにより、他部材との干渉を考慮することなく接地部材を介して導電プレートを接地させることができる。
【００１６】
また本発明は、このような液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる本発明では、ノズルプレートが絶縁材料で形成されている場合でも、静電気による駆動ＩＣへの悪影響や、撥水膜に亀裂が入るといった問題を抑制することができ、信頼性を向上した液体噴射装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】一実施形態に係る記録装置の概略斜視図である。
【図２】一実施形態に係る記録ヘッドユニットの分解斜視図である。
【図３】一実施形態に係る記録ヘッドユニットの組立斜視図である。
【図４】一実施形態に係る記録ヘッドユニットの要部断面図である。
【図５】一実施形態に係る記録ヘッド本体の平面図である。
【図６】一実施形態に係る記録ヘッドユニットの側面図である。
【図７】一実施形態に係るシート板の要部を示す断面図である。
【図８】接地部材の一例を示す斜視図である。
【図９】導電プレートの形状の他の例を示す記録ヘッドユニットの側面図である。
【図１０】導電プレートの固定基板との接触位置の一例を示す平面図である。
【図１１】導電プレートの固定基板との接触位置の一例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の一実施形態に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の概略斜視図である。
【００１９】
本実施形態の液体噴射装置は、例えば、インクジェット式記録装置であり、図１に示すように、インクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッドという）を有するインクジェット式記録ヘッドユニット（以下、記録ヘッドユニットという）１は、インク供給手段を構成するインクカートリッジ２が着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１が搭載されたキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８上を搬送されるようになっている。
【００２０】
また、キャリッジ３のホームポジションに対応する位置、すなわち、キャリッジ軸５の一方の端部近傍には、記録ヘッドユニット１のノズルが開口するノズル面を封止するキャップ部材９が設けられている。このキャップ部材９は、記録ヘッドユニット１のノズル面を封止することにより、記録ヘッドユニット１のノズル近傍のインクの乾燥を防止すると共に、例えば、ノズルからインク滴を噴射させるフラッシング動作、あるいは、所定のタイミングで吸引手段によってキャップ部材９の内部を吸引してノズルからインク等を強制的に排出させる吸引動作時等のインク受けとして機能するものである。
【００２１】
次に、液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニットの構成について説明する。図２は、記録ヘッドユニットの一例を示す分解斜視図であり、図３は、その組立斜視図である。
【００２２】
図２及び図３に示すように、記録ヘッドユニット１は、カートリッジケース１０と、液体噴射ヘッドの一例である記録ヘッド２０と、記録ヘッド２０のノズル面に接合されて記録ヘッド２０が位置決め固定される固定板５０とを有する。
【００２３】
カートリッジケース１０は、例えば、樹脂材料で形成され、インクカートリッジ（図示なし）がそれぞれ装着されるカートリッジ装着部１１を有する。またカートリッジ装着部１１には、インクカートリッジに挿入されるインク供給針１２が固定されている。なお、図示しないが、これらのインク供給針には、各記録ヘッド２０にインクを供給するためのインク連通路が設けられている。
【００２４】
カートリッジケース１０の底面には、所定間隔で位置決めされた複数（本実施形態では、４個）の記録ヘッド２０が固定されて記録ヘッドユニット１が構成されている。各記録ヘッド２０は各色のインクに対応してそれぞれ設けられている。また、各記録ヘッド２０は、固定板５０に接着固定されることにより互いに位置決めされた状態で、カートリッジケース１０の底面に固定されている。
【００２５】
図４は、記録ヘッドユニットの要部を示す断面図であり、図５は記録ヘッド本体の平面図である。また図６が記録ヘッドユニットの側面図（図４のＡ−Ａ′矢視図）である。
【００２６】
図４に示すように、本実施形態に係る記録ヘッドユニット１を構成する各記録ヘッド２０は、インクジェット式記録ヘッド本体（以下、記録ヘッド本体）２１と、この記録ヘッド本体２１上に接合されるヘッドケース２２とを備える。記録ヘッド本体２１は、圧力発生室２３を含むインク流路が形成された絶縁材料からなる第１〜第３の流路形成基板２４〜２６を有する。
【００２７】
第１の流路形成基板２４には、インク流路の一部を構成する複数の圧力発生室２３が形成されている。例えば、本実施形態では、第１の流路形成基板２４には、図５に示すように、圧力発生室２３がその幅方向（短手方向）に並設された列が２列形成されている。また第１の流路形成基板２４には、各列の圧力発生室２３の長手方向外側に、各圧力発生室２３の共通のインク室となるリザーバー２７を構成する第１のリザーバー部２８と、この第１のリザーバー部２８と各圧力発生室２３とをそれぞれ繋ぐインク供給路２９とが形成されている。
【００２８】
第１の流路形成基板２４の一方面側には各圧力発生室２３に対応する複数のノズル３０が穿設されたノズルプレート３１が接着剤や熱溶着フィルム等によって固着されている。このノズルプレート３１は、第１〜第３の流路形成基板２４〜２６と同様に絶縁材料で形成されている。なお、図示しないがノズルプレート３１のノズル３０が開口する面には撥水膜が形成されており、これによりインクの付着が抑制されている。
【００２９】
第１の流路形成基板２４の他方面側には、例えば、酸化膜からなる弾性膜３２が形成されている。そして、この弾性膜３２上には、下電極膜３３と、圧電体層３４と、上電極膜３５とからなる圧電素子３６が各圧力発生室２３に対応して形成されている。また、各圧電素子３６の下電極膜３３及び上電極膜３５には、リード電極３７が接続されており、このリード電極３７を介して圧電素子３６に選択的に電圧が印加されるようなっている。
【００３０】
第２の流路形成基板２５は、このような圧電素子３６が形成された第１の流路形成基板２４の弾性膜３２側の面に接合されている。第２の流路形成基板２５には、各圧電素子３６の列に対向する領域にそれぞれ圧電素子保持部３８が形成されており、各圧電素子３６は、この圧電素子保持部３８内に収容されている。また第２の流路形成基板２５には、上述したように第１の流路形成基板２４の各第１のリザーバー部２８のそれぞれに連通する２つの第２のリザーバー部３９が形成されている。
【００３１】
さらに本実施形態では、この第２の流路形成基板２５上に、第３の流路形成基板２６が接合されている。第３の流路形成基板２６には、各第２のリザーバー部３９のそれぞれに連通する２つの第３のリザーバー部４０が形成されている。これらの第３のリザーバー部４０は、本実施形態では、第２の流路形成基板２５に設けられた圧電素子保持部３８に対向する部分まで連続的に形成されており、比較的大容量のインクを貯留可能に形成されている。各リザーバー２７は、これら第１〜第３のリザーバー部２８、３９，４０によって構成されており、各圧力発生室２３に供給する十分なインクを貯留する容積が確保されている。
【００３２】
ここで、上述のように第１〜第３の流路形成基板２４〜２６は、絶縁材料からなる。例えば、本実施形態では、第１〜第３の流路形成基板２４〜２６は、シリコン単結晶基板からなり、圧力発生室２３や、第１〜第３のリザーバー部２８，３９，４０等は、これら第１〜第３の流路形成基板２４〜２６を異方性エッチングすることによって形成されている。さらにノズルプレート３１も絶縁材料からなる。ノズルプレート３１は、第１〜第３の流路形成基板２４〜２６とは線膨張が近似する材料で形成されていることが好ましく、本実施形態では第１〜第３の流路形成基板２４〜２６と同一材料であるシリコン単結晶基板によって形成されている。
【００３３】
なお、「第１〜第３の流路形成基板やノズルプレートが絶縁材料で形成されている」とは、第１〜第３の流路形成基板やノズルプレートが絶縁性を有していることをいい、第１〜第３の流路形成基板及びノズルプレートの全体が絶縁材料で形成されている場合だけでなく、その表面のみが絶縁材料で形成されている構成も含まれる。例えば、本実施形態のようにシリコン単結晶基板からなる第１〜第３の流路形成基板やノズルプレートは、その表面に自然酸化膜が形成されるため絶縁性を有している。
【００３４】
第３の流路形成基板２６上には、封止膜４１及び固定基板４２からなるシート板４３が接合されている。封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料、例えば、ＰＰＳフィルム等からなり、この封止膜４１によって第３のリザーバー部４０の一方面が封止されている。固定基板４２は、導電性を有し比較的硬質の材料、例えば、ＳＵＳ等で形成されている。この固定基板４２の第３のリザーバー部４０に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４４となっているため、第３のリザーバー部４０の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。さらにシート板４３には、各リザーバー２７に連通するインク導入口４５が形成されている。これらのインク導入口４５は、本実施形態では、第３のリザーバー部４０の中央部側の端面近傍に配されている。
【００３５】
また第２及び第３の流路形成基板２５，２６及びシート板４３の中央部、すなわち、リザーバー２７間に対応する部分には、これら第２及び第３の流路形成基板２５，２６及びシート板４３を厚さ方向に貫通する貫通部４６が設けられている。本実施形態では、上述したリード電極３７が、圧電素子３６の下電極膜３３及び上電極膜３５からこの貫通部４６内まで延設されており、図示しないが、これらリード電極３７にＦＰＣ等からなる外部配線が接続されている。この外部配線には駆動ＩＣが実装されており、各圧電素子３６はこの駆動ＩＣからの信号に基づいて駆動される。
【００３６】
そして、このような記録ヘッド本体２１が、複数個、本実施形態では４個、所定間隔で互いに位置決めされた状態で固定板５０に固定されている。なお固定板５０には、ノズル３０を露出する開口部５１が、例えば、各記録ヘッド本体２１に対応して設けられている。また固定板５０の周縁部には、記録ヘッド本体２１の高さと同程度の側壁部５２が設けられている。すなわち、本実施形態に係る固定板５０は、一方面側が開口する略箱形に形成され、側壁部５２によって画成される凹部５３を有する（図２参照）。そして、各記録ヘッド本体２１のノズルプレート３１は、固定板５０の凹部５３の底面に固定されている。
【００３７】
また、このような記録ヘッド本体２１を構成するシート板４３上には、例えば、樹脂材料等の絶縁材料からなるヘッドケース２２が接合されている。ヘッドケース２２には、インク導入口４５に連通してインクカートリッジ等のインク貯留手段からのインクをリザーバー２７に供給するインク導入路４７が設けられている。またヘッドケース２２には、第２及び第３の流路形成基板２５，２６及びシート板４３に設けられた貫通部４６に連通する配線保持孔４８が設けられており、上述した外部配線は、この配線保持孔４８内に挿通された状態でリード電極３７と接続されている。
【００３８】
ここで、ヘッドケース２２には、導電プレート１００が一体的に設けられている。この導電プレート１００は、ヘッドケース２２のシート板４３との接合面で、シート板４３を構成する固定基板４２と電気的に接続されると共にヘッドケース２２の側面で外部に露出される露出部１０１を有する。本実施形態では、平板状の導電プレート１００が、圧力発生室２３の並設方向に沿って配されており、露出部１０１がノズルの列方向とは交差するヘッドケースの側面に設けられると共に、圧力発生室２３の長手方向における固定基板４２の端部近傍に接触している。
【００３９】
そして、図６に示すように、この導電プレート１００が、接地部材１１０を介して接地されている。すなわち、接地部材１１０は、キャリッジ軸５や装置本体４等に接触して電気的に接続されると共に、導電プレート１００に接触して電気的に接続されている。接地部材１１０の構成は、特に限定されないが、例えば、本実施形態に係る接地部材１１０は、板バネ状の接地プレートであり、その先端部が導電プレート１００の露出部１０１に押し付けられた状態で保持されている。
【００４０】
このように導電プレート１００が接地部材１１０を介して接地されていることで、ノズルプレート３１が絶縁材料で形成されていても、圧力発生室２３内等のインクが接地されることになる。すなわち、導電プレート１００が接触している固定基板４２は、インク導入口４５でインクに接触しているため、導電プレート１００が接地されていることで、圧力発生室２３内等のインクも接地されることになる。
【００４１】
なお、シート板４３のインク導入口４５は、例えば、ポンチ等によって固定基板４２側から形成されている。このため、インク導入口４５を形成する際に固定基板４２が封止膜４１側に押し込まれ、図７に示すように、インク導入口４５の内面は、実質的に固定基板４２のみで構成される。これにより、固定基板４２はこのインク導入口４５でインクと比較的広い面積で接触する。
【００４２】
そしてこのような構成では、ノズルプレート３１が絶縁材料で形成されていても、記録用紙等に帯電した静電気がインクを介して圧電素子３６を駆動するための駆動ＩＣに伝わって悪影響を及ぼしたり、静電気によってノズルプレート３１の表面に形成された撥水膜に亀裂が生じてしまうといった問題の発生を抑制することができる。したがって、信頼性を向上したインクジェット式記録装置を実現することができる。
【００４３】
また本実施形態では、導電プレート１００と共に固定板５０が、接地部材１１０を介して接地されるようにしている。すなわち、図６に示すように、接地部材１１０の先端部が、導電プレート１００の露出部１０１及び固定板５０の二つの部材に接触するように構成されている。これにより、固定板５０の帯電も防止できるため、上述のような静電気の悪影響をより確実に抑制することができる。
【００４４】
さらに本実施形態では、導電プレート１００の露出部１０１の突出量が、記録ヘッド本体２１のシート板４３から離れるほど大きくなるようにしている。つまり、露出部１０１の端面がヘッドケース２２の側面に対して傾斜する傾斜面となるようにしている。これにより、接地部材１１０を導電プレート１００の露出部１０１及び固定板５０の２つの部材に、より容易且つ確実に接触させることができるようになる。
【００４５】
なお、導電プレート１００及び固定板５０の両方を接地させるために、例えば、接地部材１１０を導電プレート１００のみに接触させ、導電プレート１００と固定板５０とを接触させることも考えられる。ただし、導電プレート１００と固定板５０とを良好且つ確実に接触させることは、寸法上極めて難しい。これに対し、上述の本実施形態の構成によれば、導電プレート１００と固定板５０とを、接地部材１１０によって容易且つ確実に接地させることができる。
【００４６】
ところで、この接地部材１１０は、複数の各記録ヘッド２０に対応して個別に設けられていてもよいが、一つの接地部材１１０が各記録ヘッド２０の導電プレート１００の露出部１０１に接触する構成とするのが好ましい。例えば、図８に示すように、接地部材１１０は、各記録ヘッド２０に設けられた導電プレート１００の露出部１０１に先端部がそれぞれ当接する複数の当接部１１１と、これらの当接部１１１の基端部側を繋ぐ基体部１１２とで構成される櫛歯状の接地プレートであることが好ましい。これにより、複数の記録ヘッド２０の各導電プレート１００に接地部材１１０を比較的容易且つ確実に接触させることができる。
【００４７】
また、本実施形態では、ヘッドケース２２に平板状の導電プレート１００を一体的に設けるようにしたが、導電プレート１００は、露出部１０１を有し且つシート板４３の固定基板４２に接触する構成であればよい。例えば、図９に示すように、導電プレート１００は、ヘッドケース２２のシート板４３側の面及び側面に連続するＬ字状の部材であり、ヘッドケース２２の表面部分のみに設けられていてもよい。
【００４８】
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、接地部材１１０としてプレート状の部材を例示したが、接地部材は、導電プレート１００の露出部１０１とキャリッジ軸５或いは装置本体４とを電気的に接続できるものであれば、その構成は特に限定されるものではない。
【００４９】
また、上述の実施形態では、固定基板４２のリザーバー２７よりも外側の部分に導電プレート１００を接触させるようにしたが、導電プレート１００と固定基板４２との接触位置は、特に限定されるものではない。例えば、図１０に示すように、導電プレート１００を固定基板４２の開口部４４と貫通部４６との間の部分に接触させるようにしてもよい。これにより、導電プレート１００の固定基板４２との接触位置がインク導入口４５近傍となり、また導電プレート１００と固定基板４２との接触面積を比較的大きく確保することができる。これにより、導電プレート１００と固定基板４２とを電気的に良好に接続することができる。
【００５０】
さらに上述した実施形態では、記録ヘッドユニット１が４つの記録ヘッド２０を具備しているため、各記録ヘッド２０を構成する導電プレート１００の露出部１０１を、ノズル３０の列方向とは交差するヘッドケース２２の側面に設けるようにした。しかしながら、１つ又は２つの記録ヘッド２０を具備する記録ヘッドユニット１の場合、例えば、図１１に示すように、導電プレート１００の露出部１０１を、ノズル３０の列方向に沿ったヘッドケース２２の側面側に設けるようにしてもよい。これにより、例えば、キャップ部材９等の他部材との干渉を考慮することなく接地部材１１０を介して導電プレート１００を良好に接地させることができる。
【００５１】
また上述の実施形態では、封止膜４１及び固定基板４２からなるシート板４３を例示したが、シート板４３は、導電材料からなる固定基板４２のみで構成され、第３のリザーバー部３９に対向する領域に他の部分よりも厚さの薄い薄肉部を形成するようにしてもよい。
【００５２】
また上述した実施形態では、圧力発生室内の液体に圧力を付与する圧力発生手段として、撓み振動型の圧電素子を例示したが、圧力発生手段は、特に限定されず、例えば、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子であってもよいし、発熱素子等であってもよい。
【００５３】
また上述の実施形態では、インク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置を例示して本発明を説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及びそれを具備する液体噴射装置全般を対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。
【符号の説明】
【００５４】
２０  記録ヘッド、  ２１  記録ヘッド本体、  ２２  ヘッドケース、  ２３  圧力発生室、  ２４  第１の流路形成基板、  ２５  第２の流路形成基板、  ２６  第３の流路形成基板、  ２７  リザーバー、  ２８  第１のリザーバー部、  ２９  インク供給路、  ３０  ノズル、  ３１  ノズルプレート、  ３２  弾性膜、  ３３  下電極膜、  ３４  圧電体層、  ３５  上電極膜、  ３６  圧電素子、  ３７  リード電極、  ３８  圧電素子保持部、  ３９  第２のリザーバー部、  ４０  第３のリザーバー部、  ４１  封止膜、  ４２  固定基板、  ４３  シート板、  ４４  開口部、  ４５  インク導入口、  ４６  貫通部、  ４７  インク導入路、  ４８  配線保持孔、  ５０  固定板、  ５１  開口部、  ５２  側壁部、  ５３  凹部、  １００  導電プレート、  １０１  露出部、  １１０  接地部材、  １１１  当接部、  １１２  基体部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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