(57)【要約】【課題】処理容器の外壁面などの被断熱領域から外部への放熱を抑える断熱性に優れた断熱材を提供すること。【解決手段】内部が真空雰囲気となるように構成された例えばアルミニウムからなる金属箔１３を設けると共に、前記金属箔１３を覆うように例えばポリイミドシートである樹脂シート１６を設けることによって、真空断熱を行うと共に前記金属箔１３からの放熱を抑える。また、断熱ブロック３０の内部にアルミニウム層３３と樹脂層３４とを処理容器１側からこの順番で積層することによって、アルミニウム層３３により処理容器１から伝熱される熱を当該処理容器１に向けて反射すると共に、処理容器１の熱を反射しきれずにアルミニウム層３３が昇温した場合には樹脂層３４により外部への放熱を抑えることができる。【選択図】図４
2011190925.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
周縁部の金属面同士が接合されて封止されると共に内部が真空雰囲気とされる金属箔からなる第１の封体と、
この第１の封体内に封入された断熱材と、
前記第１の封体を覆うように設けられた樹脂シートと、を備えたことを特徴とする断熱体。
【請求項２】
前記樹脂シートは、周縁部にて当該樹脂シート同士が封止されるかまたは周縁部が前記第１の封体の周縁部に接合されることにより、第２の封体を形成し、
この第２の封体と前記第１の封体との間に断熱材が充填されていることを特徴とする請求項１に記載の断熱体。
【請求項３】
前記第１の封体は、互いに対向する金属箔の一部同士を接合することにより内部が互いに気密な複数の領域に区画され、
前記複数の領域の各々は、断熱材が封入されていることを特徴とする請求項１または２に記載の断熱体。
【請求項４】
断熱ブロックと、この断熱ブロックの内部において被断熱領域に対向するように設けられた熱反射シートと、を備え、
前記熱反射シートは、樹脂シートとこの樹脂シートにおける前記被断熱領域側に積層された金属層と、からなることを特徴とする断熱体。
【請求項５】
前記断熱ブロックは、セラミック材を外皮層で覆うことにより構成されたことを特徴とする請求項４に記載の断熱体。
【請求項６】
前記樹脂シートは、ポリイミドからなることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一つに記載の断熱体。
【請求項７】
断熱材を包むように金属箔を配置して、この断熱材の周囲における前記金属箔の金属面同士を互いに圧接させる工程と、
これら断熱材及び金属箔が置かれる雰囲気を真空雰囲気に保ちながら、前記金属面同士の間で原子の拡散が起こるように、前記金属面同士の接触部を加熱することにより、金属面同士を互いに接合させて第１の封体を形成する工程と、
続いて、樹脂シートにより前記第１の封体を覆う工程と、を含むことを特徴とする断熱体の製造方法。
【請求項８】
前記第１の封体を形成する工程と前記樹脂シートにより前記第１の封体を覆う工程との間に、当該第１の封体の外側に断熱材を配置する工程を行い、
前記樹脂シートにより前記第１の封体を覆う工程は、前記第１の封体の外側において当該樹脂シートの周縁部同士を封止する工程または前記樹脂シートの周縁部を前記第１の封体の周縁部に接合する工程であり、この工程により前記第１の封体の外側の断熱材が前記樹脂シートからなる第２の封体と前記第１の封体との間に充填されることを特徴とする請求項７に記載の断熱体の製造方法。
【請求項９】
前記金属箔の金属面同士を互いに圧接させる工程は、複数の凹部が形成された一方の金型に一方の金属箔を装着する工程と、前記凹部内に各々前記一方の金属箔を介して断熱材を位置させる工程と、その後、前記一方の金型に他方の金型を、前記一方の金属箔上に積層された他方の金属箔を介して圧接する工程であり、
前記第１の封体を形成する工程は、前記凹部の各々の周縁部における金属面同士の接触部を加熱する工程であることを特徴とする請求項７または８に記載の断熱体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放熱を抑えるための断熱体及びこの断熱体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置を製造するための製造装置において、当該製造装置の内部が例えばヒーターにより加熱される場合がある。このような製造装置では、ヒーターの加熱効率を高くするために、またオペレータに対する安全を図るために、例えば装置の外壁面に沿って断熱体が配置される。この断熱体の配置部位としては、具体的には例えばプロセスチャンバ（処理容器）の外表面や、ヒーターにより加熱されるガス配管及び排気管の周囲などの例えば１８０℃〜２００℃程度に昇温する部位が挙げられる。
【０００３】
このような断熱体の一例としては、熱伝導率のなるべく小さい材料例えばシリカ（二酸化ケイ素）ガラスなどからなる繊維状のガラスウールまたは粉末状の充填物と、このシリカガラスを覆うように設けられた例えば布などの梱包材をなす外皮層と、を備えたマントル断熱体が挙げられる。しかし、このマントル断熱体では、熱の反射率が例えば金属などに比べて小さいので、例えば処理容器からマントル断熱体に向かって熱が放熱されると、マントル断熱体が吸熱して昇温し、当該マントル断熱体を介して処理容器の熱を外部に放熱してしまう。
【０００４】
一方、熱を反射する部材として、例えばアルミニウム（Ａｌ）などの金属膜が知られており、例えば処理容器の外壁面に沿うようにこのような金属膜をマントル断熱体内に設けることによって、例えば処理容器から放熱される輻射熱を当該処理容器側に反射することができると考えられる。しかし、金属膜の熱伝導率が例えばシリカガラスよりも高いので、処理容器側に反射しきれなかった輻射熱により金属膜が徐々に昇温し、当該金属膜を介して処理容器の熱を外部に放熱してしまうおそれがある。
【０００５】
また、既述のマントル断熱体よりも断熱性の高い断熱体として、真空領域を断熱体として用いる真空断熱体が知られている。この真空断熱体は、具体的には樹脂例えばポリエチレンなどからなるフィルムを２枚重ね合わせると共に、これらポリエチレンフィルムの間にシリカガラスからなる繊維や粉末を収納し、このシリカガラスの収納領域を真空に保ちながら、ポリエチレンフィルムの端面同士を周方向に亘って例えば数十℃程度に加熱して熱融着（ヒートシール）させることによって構成される。また、このポリエチレンフィルムのガスバリア性を補償するために、当該ポリエチレンフィルムを覆うように例えばアルミニウムなどの金属膜を形成して、真空領域への空気の透過（リーク）を抑えている。この真空断熱体は、例えば家庭用の電化製品などに用いられている。
【０００６】
しかし、ポリエチレンフィルムの耐熱温度が例えば１００℃程度であるため、この真空断熱体を既述の処理容器などに設けると、処理容器の熱により例えばポリエチレンフィルムが溶融して、真空領域が維持できなくなって断熱性が悪化してしまう。また、真空断熱体の外表面に金属膜を設けると、既述のように金属膜の熱伝導率が高いため、処理容器の熱が当該金属膜を介して真空断熱体を回り込んで外部に放熱されてしまう。特に、既述のように処理容器の温度が２００℃もの高温の場合には、このような熱の回り込みが大きくなってしまう。  
特許文献１、２及び非特許文献１には、真空断熱体などについて記載されているが、既述の課題については検討されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００８−２４０９２４
【特許文献２】特開２００１−２３１６８１
【非特許文献】
【０００８】
【非特許文献１】実開平５−１６２９３
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、断熱性に優れた断熱体及びこの断熱体の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の断熱体は、
周縁部の金属面同士が接合されて封止されると共に内部が真空雰囲気とされる金属箔からなる第１の封体と、
この第１の封体内に封入された断熱材と、
前記第１の封体を覆うように設けられた樹脂シートと、を備えたことを特徴とする。
前記樹脂シートは、周縁部にて当該樹脂シート同士が封止されるかまたは周縁部が前記封体の周縁部に接合されることにより、第２の封体を形成し、
この第２の封体と前記第１の封体との間に断熱材が充填されていることが好ましい。前記第１の封体は、互いに対向する金属箔の一部同士を接合することにより内部が互いに気密な複数の領域に区画され、
前記複数の領域の各々は、断熱材が封入されていても良い。
【００１１】
また、本発明の断熱体は、
断熱ブロックと、この断熱ブロックの内部において被断熱領域に対向するように設けられた熱反射シートと、を備え、
前記熱反射シートは、樹脂シートとこの樹脂シートにおける前記被断熱領域側に積層された金属層と、からなることを特徴とする。  
前記断熱ブロックは、セラミック材を外皮層で覆うことにより構成されたことが好ましい。  
前記樹脂シートは、ポリイミドからなることが好ましい。
本発明の断熱体の製造方法は、
断熱材を包むように金属箔を配置して、この断熱材の周囲における前記金属箔の金属面同士を互いに圧接させる工程と、
これら断熱材及び金属箔が置かれる雰囲気を真空雰囲気に保ちながら、前記金属面同士の間で原子の拡散が起こるように、前記金属面同士の接触部を加熱することにより、金属面同士を互いに接合させて第１の封体を形成する工程と、
続いて、樹脂シートにより前記第１の封体を覆う工程と、を含むことを特徴とする。
前記第１の封体を形成する工程と前記樹脂シートにより前記第１の封体を覆う工程との間に、当該第１の封体の外側に断熱材を配置する工程を行い、
前記樹脂シートにより前記第１の封体を覆う工程は、前記第１の封体の外側において当該樹脂シートの周縁部同士を封止する工程または前記樹脂シートの周縁部を前記第１の封体の周縁部に接合する工程であり、この工程により前記第１の封体の外側の断熱材が前記樹脂シートからなる第２の封体と前記第１の封体との間に充填されていても良い。
前記金属箔の金属面同士を互いに圧接させる工程は、複数の凹部が形成された一方の金型に一方の金属箔を装着する工程と、前記凹部内に各々前記一方の金属箔を介して断熱材を位置させる工程と、その後、前記一方の金型に他方の金型を、前記一方の金属箔上に積層された他方の金属箔を介して圧接する工程であり、
前記第１の封体を形成する工程は、前記凹部の各々の周縁部における金属面同士の接触部を加熱する工程であっても良い。
【発明の効果】
【００１２】
本発明は、内部が真空雰囲気となるように構成された金属箔からなる第１の封体を覆うように樹脂シートを設けているので、真空断熱を行うと共に前記第１の封体からの放熱を抑えることができ、従って断熱性に優れた断熱体を得ることができる。また、別の発明は、断熱ブロックの内部に、樹脂シートとこの樹脂シートにおける被断熱領域側に積層された金属層とからなる熱反射シートを当該被断熱領域に対向するように設けているので、被断熱領域からの放熱を当該被断熱領域に向かって金属層により反射すると共に金属層から外部への放熱を抑えることができ、そのため断熱性に優れた断熱体を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の断熱体を備えた加熱装置の一例を示す斜視図である。
【図２】前記断熱体の第１の実施の形態の一例を示す断面図である。
【図３】前記断熱体を示す拡大断面図である。
【図４】前記加熱装置における作用の一例を示す断面図である。
【図５】前記断熱体の他の例を示す断面図である。
【図６】前記断熱体の他の例を示す断面図である。
【図７】前記断熱体の他の例を示す断面図である。
【図８】前記断熱体の第２の実施の形態の一例を示す断面である。
【図９】前記断熱体における作用の一例を示す断面図である。
【図１０】前記断熱体における作用の一例を示す断面図である。
【図１１】前記第２の実施の形態における他の例を示す断面図である。
【図１２】前記第２の実施の形態における他の例を示す断面図である。
【図１３】前記加熱装置の他の例を示す断面図である。
【図１４】前記断熱体が適用される配管の一例を示す概略図である。
【図１５】本発明の他の実施の形態の断熱体を示す斜視図である。
【図１６】前記他の実施の形態の断熱体を示す平面図である。
【図１７】前記他の実施の形態の断熱体を示す側面図である。
【図１８】前記他の実施の形態の断熱体の示す断面図である。
【図１９】前記他の実施の形態の断熱体の製造方法の一例を示す断面図である。
【図２０】前記他の実施の形態の断熱体の製造方法の一例を示す斜視図である。
【図２１】前記他の実施の形態の断熱体の製造方法の一例を示す断面図である。
【図２２】前記他の実施の形態の断熱体の製造方法の一例を示す断面拡大図である。
【図２３】前記他の実施の形態の断熱体の製造方法の一例を示す断面図である。
【図２４】本発明の断熱体が設けられた排気管の一例を示す断面図である。
【図２５】本発明の断熱体が設けられた加熱装置の一部を示す断面拡大図である。
【図２６】前記他の実施の形態の断熱体の製造方法の一例を示す斜視図である。
【図２７】前記他の実施の形態の断熱体の製造方法の一例を示す断面拡大図である。
【図２８】前記他の実施の形態の断熱体の製造方法の一例を示す拡大平面図である。
【図２９】前記他の実施の形態の断熱体の製造方法の一例を示す断面図である。
【図３０】前記他の実施の形態の断熱体の製造方法の一例を示す断面図である。
【図３１】本発明の他の実施の形態の断熱体を示す平面図である。
【図３２】本発明の他の実施の形態の断熱体を示す斜視図である。
【図３３】本発明の他の実施の形態の断熱体を示す斜視図である。
【図３４】前記第１の実施の形態の断熱体の製造方法の一例を示す断面図である。
【図３５】本発明の他の実施の形態の断熱体を製造する時に用いられる金型を示す模式図である。
【図３６】本発明の他の実施の形態の断熱体を製造する時に用いられる金型を示す模式図である。
【図３７】前記他の実施の形態の断熱体を製造方法の一例を示す断面拡大図である。
【図３８】本発明の他の実施の形態の断熱体を製造方法の一例を示す側面図である。
【図３９】前記第２の実施の形態の断熱体の製造方法の一例を示す断面図である。
【図４０】前記第２の実施の形態の断熱体の製造方法の一例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
［第１の実施の形態］
本発明の断熱体の実施の形態の一例について、図１〜図３を参照して説明する。先ず、この断熱体を備えた加熱装置の全体構成について簡単に説明する。この装置は、図示しない基板例えば半導体ウエハ（以下「ウエハ」と言う）を内部に収納して、例えばＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法やＡＬＤ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｌａｙｅｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法により、図示しないヒーターなどを用いてウエハを例えば７００℃程度に加熱する加熱処理を行うための被断熱領域である処理容器１を備えている。処理容器１の例えばアルミニウム（Ａｌ）などの金属からなる外壁面には、図１に示すように、この処理容器１から外部への放熱を抑えるために、複数の断熱体２が側面側及び上面側から当該処理容器１を覆うように配置されている。図１中１ａは、処理容器１の内部の雰囲気を真空排気するための排気管であり、この排気管１ａの他端側はバタフライバルブなどの圧力調整部を介して真空ポンプ（いずれも図示せず）に接続されている。また、この処理容器１には、当該処理容器１内に処理ガス例えば成膜ガスを供給するための図示しない処理ガス供給路が接続されている。尚、この図１においては、処理容器１の右側の断熱体２については記載を省略している。
【００１５】
この断熱体２は、処理容器１の外壁面に臨む面が広くなるように概略板状型に形成されている。また、断熱体２の内部には、図２に示すように、処理容器１の壁面に沿うように配置された概略箱型の例えばシリカ（二酸化ケイ素）などのガラスウール（繊維）や粉体からなる充填材（断熱材）１１が設けられており、この充填材１１の周囲には、例えば厚さが０．０５ｍｍのアルミニウムなどからなる金属箔１３が第１の封体として当該充填材１１を覆うように設けられている。金属箔１３の内部領域である充填材１１の収納領域１４は、真空雰囲気に保たれている。即ち、この収納領域１４は、２枚の金属箔１３、１３を互いに重ね合わせるように積層すると共に、充填材１１をこれら金属箔１３、１３間に収納し、図示しない真空容器内において金属箔１３、１３の周縁部に対して周方向に亘って圧力を加えながら加熱する原子の拡散接合法により気密に形成される。従って、この収納領域１４の周囲におけるこれら金属箔１３、１３間の接合部１５は、図３に模式的に示すように、金属箔１３、１３同士の接合面である界面や境界がほとんど判別できない程度に気密に封止されている。これらの金属箔１３、１３は、収納領域１４が真空雰囲気となっているため、充填材１１に倣うように当該充填材１１側に吸着されている。
【００１６】
この金属箔１３、１３の外側には、処理容器１の熱が当該金属箔１３を介して伝熱してこの処理容器１から外部に放熱されることを抑えるために、例えば厚さが０．０５ｍｍのポリイミドなどの樹脂材からなる樹脂シート１６、１６がこれらの金属箔１３、１３を例えば上下両側から挟み込むように積層されている。この樹脂シート１６は、熱伝導率が例えば０．２８Ｗ／ｍＫ、耐熱温度が３００℃となっている。これらの樹脂シート１６、１６は、例えば金属箔１３、１３の接合部１５に近接する部位において、周方向に亘って気密に溶着または接着されて第２の封体をなしている。これらの金属箔１３と樹脂シート１６との間において気密に形成された気密領域１７には、断熱材１８例えばシリカからなる繊維や粉末が図示しない布などの収納部材に収納されて、または収納部材なしで配置されている。この気密領域１７は、例えば大気雰囲気となっている。尚、図３では金属箔１３の外側の断熱材１８や樹脂シート１６については描画を省略している。
【００１７】
続いて、この断熱体２を備えた加熱装置の作用について、図４を参照して説明する。既述の図１に示したように、複数の断熱体２により外壁面が覆われた処理容器１内にウエハを収納すると共に、排気管１ａを介して当該処理容器１内を真空引きして、例えば成膜処理を行う時の処理圧力となるように当該排気管１ａに設けられた図示しないバタフライバルブの開度を調整する。そして、処理容器１内の例えばヒーターによってウエハを例えば７００℃程度に加熱すると共に、このウエハに例えば成膜用の処理ガスを供給すると、ウエハの表面において例えば処理ガスがヒーターの熱により分解して薄膜が成膜されていく。
【００１８】
ここで、処理容器１の外壁面においては、処理容器１の内部の熱が伝熱して来るので、当該外壁面が例えば２００℃程度に昇温する。そして、この熱は、処理容器１の外壁面に沿って設けられた断熱体２を介して外部に放熱されようとするが、既述のように熱伝導率の低い樹脂シート１６が当該外壁面に沿って配置されているので、断熱体２内への伝熱が抑えられる。また、樹脂シート１６の内側に設けられた断熱材１８によって、同様に処理容器１から断熱体２の内部への伝熱が妨げられる。そのため、断熱体２の内部には、処理容器１の熱の一部が樹脂シート１６及び断熱材１８を介して金属箔１３に伝熱されていく。
【００１９】
そして、図４に示すように、処理容器１の熱が金属箔１３に到達すると、金属箔１３、１３の内部の収納領域１４を介して伝熱しようとするが、当該収納領域１４が熱伝導率の極めて低い真空雰囲気となっているため、当該収納領域１４にはほとんど伝熱されない。一方、金属箔１３が断熱材１８などよりも熱伝導率の高いアルミニウムから構成されているので、処理容器１内から伝熱された熱は、この金属箔１３を介して収納領域１４を回り込んで行く。処理容器１内の熱が金属箔１３を介して例えば当該処理容器１の反対側の面にまで回り込むと、この熱は金属箔１３から温度の低い外部に向かって伝熱しようとする。しかし、金属箔１３の外側には断熱材１８及び樹脂シート１６が配置されているので、樹脂シート１６から外部への伝熱が抑えられることになる。この時、樹脂シート１６、１６同士の接合部及び金属箔１３、１３同士の接合部１５は、夫々２００℃に近い温度に昇温することになるが、樹脂シート１６及び金属箔１３の耐熱性が高い（樹脂シート１６；３００℃、金属箔１３：６６０℃）ため、溶融や変質が起こらない。従って、収納領域１４については真空雰囲気が維持され、気密領域１７については大気雰囲気が保たれる。尚、処理容器１の外壁面には、既述の図１に示すように断熱体２が隙間無く配置されているが、図４においては１つの断熱体２を模式的に描画している。
【００２０】
上述の実施の形態によれば、被断熱領域である処理容器１から外部への放熱を抑えるために、内部が真空雰囲気となるように構成された金属箔１３を設けると共に、前記金属箔１３を覆うように樹脂シート１６を設けているので、真空断熱を行うと共に前記金属箔１３からの放熱を抑えることができ、従って断熱性に優れた断熱体２を得ることができる。
【００２１】
また、耐熱温度が３００℃の樹脂シート１６を金属箔１３の周囲を覆うように設けているので、既述のように１８０℃〜２００℃程度に昇温する処理容器１の外壁面に断熱体２を配置する場合であっても、樹脂シート１６の溶融や変質などの劣化を抑えることができ、金属箔１３を介して処理容器１の熱が外部に回り込むことを抑制できる。更に、気体の透過や前記処理容器１の温度における溶融が起こらないアルミニウムにより収納領域１４を形成しているので、当該収納領域１４における真空度の低下を抑えることができ、従って断熱性を長期間に亘って維持することができる。更にまた、金属箔１３と樹脂シート１６との間の気密領域１７に断熱材１８を設けているので、当該気密領域１７の内部の雰囲気及び断熱材１８によって、金属箔１３と樹脂シート１６との間における伝熱を抑制でき、従って処理容器１の放熱を抑えることができる。また、金属箔１３を屈曲性に富むアルミニウムにより構成しているので、当該金属箔１３を破断させることなく収納領域１４内を真空雰囲気にすることができると共に、処理容器１に沿って断熱体２を配置することができる。
【００２２】
既述の例では、気密領域１７を大気雰囲気としたが、例えば気密領域１７の内部領域を真空引きしながら、あるいは真空容器内にこの断熱体２を収納した状態で樹脂シート１６、１６同士の接合部を溶着（ヒートシール）することによって、当該気密領域１７を真空雰囲気にして更に断熱性を高めるようにしても良い。この場合には、樹脂シート１６を介して気密領域１７内に外部のガスが侵入することを抑えるために、図５に示すように、樹脂シート１６の外側に当該樹脂シート１６のガスバリア性を補償するための例えばアルミニウムからなる補助金属箔２１を気密に設けても良い。この補助金属箔２１についても、既述の金属箔１３と同様に、断熱体２を上下から挟み込むように２枚の補助金属箔２１、２１を積層し、これら補助金属箔２１、２１の周縁部を周方向に亘って接合して配置される。また、処理容器１内の熱がこの補助金属箔２１、２１を介して外部に回り込むことを抑えるために、ポリイミドからなる補助樹脂シート２２を補助金属箔２１の外側に設けても良い。これらの補助金属箔２１と補助樹脂シート２２との間に、例えばシリカガラスなどからなる断熱材を収納しても良い。
【００２３】
また、金属箔１３、１３同士の接合部１５について、原子の拡散接合法により接合したが、外部からのガスが侵入しない接合方法例えば電子ビームなどを用いた溶接法であっても良い。更に、金属箔１３と樹脂シート１６との間に断熱材１８を設けたが、断熱材１８を設けずに金属箔１３の外側に例えばポリイミドをコーティングして樹脂シート１６を構成しても良い。この場合には、例えば金属箔１３、１３同士を気密に接合した後、これらの金属箔１３、１３の外側に樹脂シート１６が積層される。更に、金属箔１３を覆うように樹脂シート１６を配置したが、図６に示すように、樹脂シート１６及び金属箔１３の周縁部同士を接合しても良い。このように樹脂シート１６、１６間を離間させる方法としては、具体的には例えば金属箔１３、１３同士を接合した後、接合部１５付近を周方向に亘って覆うようにマスキング材を塗布する。次いで、金属箔１３の表面に樹脂シート１６をコーティングし、続いてマスキング材を剥離する。このように、樹脂シート１６、１６同士を離間させることにより、これら樹脂シート１６、１６間の伝熱が抑制されるので、更に断熱性を高めることができる。
【００２４】
また、断熱体２について、金属箔１３により収納領域１４を気密に保持するようにしたが、図７に示すように、金属箔１３に代えて樹脂シート１６により真空雰囲気を保持するようにしても良い。この場合には、充填材１１の外側には樹脂シート１６、１６が設けられ、これら樹脂シート１６、１６は熱融着（ヒートシール）により既述の接合部１５が形成される。また、この樹脂シート１６を覆うように、当該樹脂シート１６のガスバリア性を補償するための金属箔１３と、この金属箔１３からの放熱を抑えるための補助樹脂シート２２と、が内側からこの順番で形成されることになる。
【００２５】
［第２の実施の形態］
続いて、本発明の断熱体の第２の実施の形態の一例について、図８を参照して説明する。この断熱体は、例えば繊維状あるいは粉体状の例えばシリカガラスなどからなるブロック本体３１が、例えばシリカ繊維からなる外皮層（梱包材）３２によって表面が覆われてマントル断熱体を構成している。これらのブロック本体３１及び外皮層３２により断熱ブロック３０（断熱体２）が構成されており、この断熱ブロック３０は、例えば概略箱型となるように構成されている。この断熱ブロック３０の内部には、例えばポリイミドシートからなる樹脂層３４と、この樹脂層３４に例えば蒸着により形成された金属層であるアルミニウム層３３と、からなる熱反射シート３５が収納されている。アルミニウム層３３は、処理容器１内の熱を当該処理容器１に向けて反射するためのものであり、樹脂層３４は、このアルミニウム層３３が処理容器１の熱を反射しきれずに昇温した場合に当該熱が外部へ放熱されることを抑えるためのものである。この熱反射シート３５は、断熱ブロック３０の厚さ方向において概略中央位置となるように、即ち厚さ方向両側からほぼ同じ厚さのブロック本体３１により挟まれるように、当該断熱ブロック３０内に配置されている。そして、この熱反射シート３５が処理容器１に対向するように、断熱ブロック３０が配置されている。これらのアルミニウム層３３及び樹脂層３４は、膜厚が例えば夫々０．０５ｍｍ、０．０５ｍｍとなっている。尚、熱反射シート３５の積層方法としては、アルミニウム層３３の表面に樹脂層３４をコーティングしても良いし、あるいはこれらのアルミニウム層３３及び樹脂層３４を個別にシート状に形成して互いに接着しても良い。
【００２６】
この第２の実施の形態では、既述のようにウエハに対して加熱処理を行うことによって処理容器１の外壁面が例えば２００℃程度に昇温すると、断熱ブロック３０内にこの処理容器１の熱が伝熱しようとするが、当該外壁面に隣接する外皮層３２及びブロック本体３１により断熱ブロック３０内への伝熱が抑えられる。そして、処理容器１の熱の一部が熱反射シート３５に到達すると、図９に示すように、アルミニウム層３３によりこの熱の大部分が処理容器１側に向けて反射される。そして、処理容器１側に反射しきれなかった熱によりアルミニウム層３３が次第に昇温すると、アルミニウム層３３の熱伝導率が高いため、この熱が処理容器１の外側のブロック本体３１に向かって伝熱しようとする。しかし、このアルミニウム層３３とブロック本体３１との間に当該アルミニウム層３３よりも熱伝導率の小さい樹脂層３４が設けられているので、図１０に示すように、当該樹脂層３４によってブロック本体３１への放熱が抑制される。このブロック本体３１に樹脂層３４を介して処理容器１から僅かに伝熱したとしても、このブロック本体３１が既述のようにシリカガラスにより構成されているので、外部への放熱が抑えられることになる。
【００２７】
この第２の実施の形態では、断熱ブロック３０の内部にアルミニウム層３３と樹脂層３４とを処理容器１側からこの順番で積層しているので、アルミニウム層３３により処理容器１から伝熱される熱を当該処理容器１に向けて反射することができ、また処理容器１の熱を反射しきれずにアルミニウム層３３が昇温した場合であっても、樹脂層３４により外部への放熱を抑えることができる。そのため、断熱性に優れた断熱体を得ることができる。従って、例えば従来のシリカウールなどだけで構成されていたマントル断熱体に比べて、断熱ブロック３０（ブロック本体３１）を薄くすることができる。
【００２８】
図１１及び図１２は、第２の実施の形態の変形例を示している。図１１は、断熱ブロック３０内において、処理容器１側の外皮層３２に近接する領域に熱反射シート３５を設けた例を示している。この熱反射シート３５において、処理容器１側にアルミニウム層３３が配置され、外側に樹脂層３４が設けられている。このように発熱源（処理容器１）に近接した部位に熱反射シート３５を設けることによって、外部への放熱を更に抑えることができる。また、図１２は、断熱ブロック３０内において、処理容器１から離れた側の外皮層３２に近接する位置に熱反射シート３５を配置した例を示している。この例においても、アルミニウム層３３及び樹脂層３４は、夫々処理容器１側及び外側に配置される。
【００２９】
以上の第１及び第２の実施の形態では、処理容器１の外壁面に断熱体を複数配置したが、図１３に示すように、処理容器１を上方側から覆うように下面が開口する概略箱型の断熱体を用いても良い。具体的には、例えば処理容器１の外壁面の５つの面（上面及び側面）の各面に沿って配置される断熱体の各々について、一つ（一枚）の断熱体（断熱体２または断熱ブロック３０）により各面を構成すると共に、これら５つの断熱体により下面が開口する箱型となるように各断熱体の周縁部同士を例えば接着する。このような断熱材であっても、既述の各実施の形態の作用及び効果が得られる。
【００３０】
また、既述の排気管１ａについて、処理容器１から排気されるガスが冷却されて生成する生成物の付着を抑えるために当該排気管１ａを図示しないヒーターを用いて加熱する場合には、被断熱領域である排気管１ａを覆うように断熱体を設けても良い。この場合には、図１４に示すように、例えば排気管１ａに沿って配置されるリング状の断熱体を周方向に複数例えば２つに分割して、各々の断熱体を既述の各実施の形態の断熱体２または断熱ブロック３０により構成しても良い。この場合の断熱材の分割数としては、３つ以上であっても良いし、あるいは例えば断熱体を概略短冊状に形成し、当該断熱体の一面側が排気管１ａの長さ方向に沿って外周面に倣うように排気管１ａの周方向に亘って断熱体２を複数並べても良い。この図１４中１ｂは、排気管１ａと断熱材との間に設けられた例えばアルミニウムからなるブロックであり、１ｃは断熱体同士を接続するための例えば粘着テープである。また、処理容器１内に例えば処理ガスを供給する処理ガス供給管を加熱する場合においても、この処理ガス供給管の周囲に本発明の断熱体を設けても良い。
【００３１】
既述の充填材１１及びブロック本体３１としては、シリカガラスを例に挙げて説明したが、例えばグラスウール、ウレタンフォームなどを用いても良い。また、金属箔１３及びアルミニウム層３３としては、アルミニウム以外にもステンレスやニッケルなどであっても良い。更に、樹脂シート１６及び樹脂層３４としては、ポリイミド以外にも耐熱性の高い樹脂であれば良く、耐熱温度（溶融温度）が例えば２００℃以上の例えばポリベンゾイミダゾール（ＰＢＩ）、ポリエーテル・エーテル・ケトン（ＰＥＥＫ）、ＰＡＩポリアミド・イミド、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）などであっても良い。
【００３２】
既述の第１の実施の形態の断熱体（真空断熱体）２は、既に詳述したように、概略板状をなしているので、外表面が平面である発熱部位（被断熱領域）に対しての施工（貼り付け）に適している。一方、発熱部位の外表面の形状は装置や断熱体２の設置部位に応じてまちまちであり、例えば既述の排気管１ａの外表面は曲面形状をなしているし、処理容器１の上下の四辺には角部（稜線）が形成されている。また、処理容器１に排気管１ａ用のフランジ（排気ポート）などといった突起物が設けられている場合には、この突起物を避けるように断熱体２を配置する必要がある。これらの場合には、既述のように、発熱部位の外表面の形状に応じて、断熱体２の大きさや形状あるいは配置方法を種々調整するようにしても良いが、１つの品種（形状及び大きさ）の断熱体２によって様々な形状の外表面に対応できるように汎用性を高くしておくと、コスト的に有利である。従って、既述の板状の断熱体２について、折り曲げたり湾曲させたりできるように、更には突起物を避けるために切り欠きや開口部を形成できるように構成することが好ましい。
【００３３】
しかし、この断熱体２は、真空雰囲気である収納領域１４に充填材１１が充填されているので、当該充填材１１が密に堅く締まった状態となっていて湾曲させにくい。また、収納領域１４を大気雰囲気にすると断熱体２の断熱性能が低下してしまうので、当該収納領域１４に対して切り込みや開口部を形成できない。そこで、容易に折り曲げたり屈曲させたりすることができ、更には収納領域１４を真空雰囲気に保ったまま断熱体２に切り欠きや開口部を形成できる断熱体２について、以下に説明する。
【００３４】
始めに、この断熱体２の概観について説明すると、断熱体２は、図１５〜図１８に示すように、平面的（図１５中Ｘ−Ｙ方向）に複数の円柱状の領域に気密に区画されている。即ち、概略矩形の積層シート５１上に、円柱状に突出した区画領域（分割領域）５０が縦横にマトリックス状に配置されており、各々の区画領域５０には、収納領域１４が形成されている。ここで、既述の第１の実施の形態の断熱体２では、金属箔１３と樹脂シート１６との間に断熱材１８を設けたが、この例では、これら金属箔１３と樹脂シート１６とが積層されている場合を例に挙げて説明する。従って、前記積層シート５１は、図１８に概略的に示すように、これら樹脂シート１６、金属箔１３、１３及び樹脂シート１６が上方側から（あるいは下方側から）積層された状態となっている。また、各区画領域５０は、図１７に示すように、積層シート５１から上方に向かって伸びる先端側の角部が周方向に亘ってなだらかにテーパー状に（Ｒ状に）なるように各々形成されている。この例では、各々の区画領域５０は、図１７に示すように、積層シート５１からの高さ寸法ｈが５ｍｍ、直径寸法Ｒが２０ｍｍとなっている。また、各々の区画領域５０、５０間の離間寸法Ｄは、例えば５ｍｍとなっている。尚、金属箔１３及び樹脂シート１６の寸法を誇張して厚く描画している。
【００３５】
積層シート５１は、膜厚が例えば０．２ｍｍ程度であり、可撓性があることから、隣接する区画領域５０同士を上下左右に各々動かすことができる。そして、この実施の形態における断熱体２は、各々の区画領域５０を互いに独立して動かす時であっても、あるいはこれらの区画領域５０のうち一つまたは複数を積層シート５１から切り離す時であっても、各々の収納領域１４における真空雰囲気が維持されるように構成されている。
【００３６】
続いて、この断熱体２の製造方法について、図１９〜図２３を参照して説明する。先ず、図１９（ａ）〜（ｃ）に示すように、厚み寸法が例えば０．５ｍｍ程度の薄板（平板）状あるいは薄膜状の例えばアルミニウムからなる金属板４１に対して、当該金属板４１の下方側及び上方側に夫々配置された第１の金型６１及び第２の金型６２を用いてプレス加工を行い、当該金属板４１を圧延して金属箔１３を形成する。
【００３７】
そして、金属箔１３を金型６１、６２から取り外すと、当該金属箔１３には、図２０に示すように、第１の金型６１における凹部５５の凹面及び第２の金型６２における凸部５６の凸面の形状に外面の形状及び内面の形状が夫々倣うように、金属箔１３から下方に向かって突出する突出部５７が複数箇所に成型される。各々の突出部５７は、下端面の内周面及び外周面の屈曲部が周方向に亘ってなだらか（Ｒ状）になっており、また厚み寸法が例えば０．０５ｍｍ程度となっている。また、この成形により、突出部５７、５７間の領域は、水平方向に亘って平坦となり、また金型６１、６２によって薄く引き延ばされて厚み寸法が例えば０．０５ｍｍ程度となる。尚、図２０では金属板４１を一部切り欠いて拡大して示している。
【００３８】
次いで、図１９（ｄ）及び図２０に示すように、各々の突出部５７の配列パターンに対応するように複数の開口部６３ａが格子状に形成された例えばステンレスからなる第３の金型６３上に、当該開口部６３ａ内に突出部５７が各々収納されるように金属箔１３を載置（装着）する。続いて、図１９（ｄ）に示すように、各々の突出部５７内に、シリカなどからなるガラスウールや粉末を充填材１１として充填する。そして、突出部５７における上面の開口領域（充填材１１の収納領域）を各々塞ぐように、厚み寸法が例えば０．０５ｍｍ程度の例えばアルミニウムからなる平板状の金属箔４２を載置する。これらの金属箔１３及び金属箔４２により、各々の充填材１１が包まれた状態となる。次いで、図２１に示すように、真空雰囲気において加熱処理を行うための真空チャンバ７１内に、これら第３の金型６３、金属箔１３、充填材１１及び金属箔４２を搬入して加熱台７２に載置する。図２１中７３はヒータ、７４は真空排気路である。
【００３９】
そして、真空チャンバ７１内を真空雰囲気に設定すると共に、金属箔４２の上方側から、下面が平坦な例えばステンレスなどからなる第４の金型６４を当該金属箔４２に向けて加圧して、金属箔１３、４２を互いに圧接させる。また、加熱台７２により、金属箔１３及び金属箔４２の接触部（突出部５７、５７間の領域）が例えば６００〜７００℃程度となるように加熱する。そして、この加熱処理及び加圧処理を例えば１２時間程度行うと、図２２に示すように、金属箔１３及び金属箔４２の接触部の間で原子の拡散が起こり、当該接触部において界面や境界がほとんど判別出来ない程度にこれら金属箔１３及び金属箔４２が拡散接合される。そのため、各々の突出部５７は、図２３に示すように、充填材１１の充填された内部の領域（収納領域１４）が真空雰囲気となった状態で、周方向に亘って各々気密に封止される。尚、図２１において、第４の金型６４を下方に向かって加圧するための加圧機構については図示を省略している。
【００４０】
そして、これらの一体化した金属箔１３及び金属箔４２を例えば樹脂からなる液体中に浸漬して、当該液体から取り出した後乾燥や加熱処理を行う。この処理により、図１８に示すように、金属箔１３及び金属箔４２の表面に夫々膜厚が例えば０．０５ｍｍ程度となるように樹脂シート１６、１６が形成されて、既述の図１５に示したように、区画領域５０の複数形成された断熱体２が得られる。従って、各々の区画領域５０には、既述の第１の実施の形態で説明した断熱体２と同様に、金属箔１３（金属箔１３、４２）により気密に封止された収納領域１４が形成される。この樹脂シート１６としては、樹脂からなる液体中への浸漬及び熱処理を行うことに代えて、例えばフィルム状の樹脂シート１６を貼り付けても良い。
【００４１】
図１８において、各々の区画領域５０の一端側（上方側）を接続する部位（金属箔１３、金属箔４２及び樹脂シート１６、１６）である既述の積層シート５１は、膜厚が例えば０．２ｍｍ程度であり、例えば平面（Ｘ−Ｙ面）で見た時の一辺の寸法が夫々例えば２０ｍｍの正方形に形成される。このように積層シート５１が薄膜状となっているので、各々の区画領域５０は、各々の収納領域１４の真空雰囲気を維持しながら、各々個別に独立して動くことができるように積層シート５１により支持される。
【００４２】
続いて、この断熱体２を既述の排気管１ａの外表面に沿って配置する場合について説明する。ここで、断熱体２を平面で見た時の区画領域５０の先端側が向く面を表面、積層シート５１側が向く面を裏面とすると、図２４に示すように、断熱体２の表面側が排気管１ａ側に臨むように、即ち各々の区画領域５０の先端部が排気管１ａに接触するように、排気管１ａの曲面（外周面）及び当該排気管１ａの長さ方向に沿って断熱体２を排気管１ａに巻き付ける。そして、例えば耐熱テープ６５などを用いて、断熱体２の端部同士を互いに接着する。
【００４３】
この時、既述のように各々の区画領域５０が互いに柔軟性を有して積層シート５１により支持されているので、これら区画領域５０における金属箔１３、１３は、排気管１ａの外周面に倣うように断熱体２が配置される時に、例えば引き延ばされたり圧縮されたりする応力の発生が抑えられる。従って、例えば金属箔１３におけるピンホールや亀裂の発生が抑えられて、収納領域１４の真空雰囲気（断熱性能）が維持される。また、各々の区画領域５０において個別に収納領域１４を形成しているので、これら収納領域１４のうち一つの金属箔１３に例えばピンホールが形成されて大気雰囲気に戻ってしまっても、他の収納領域１４には影響をほとんど及ぼさないので、断熱体２の全体としては断熱性能をほぼ維持できる。更に、各々の区画領域５０を概略円筒形状にしていることから、また区画領域５０の先端部の角部をなだらかにしていることから、金属箔１３には鋭利な（シャープな）面の形成が抑えられるので、当該金属箔１３の一部に対する応力の集中が抑制され、ピンホールや亀裂の発生がより一層抑えられる。更にまた、排気管１ａから見て積層シート５１が区画領域５０よりも外側に位置していることから、排気管１ａから外部への当該積層シート５１を介した放熱が抑えられる。尚、金属箔１３にピンホールなどが形成されたとしても、当該金属箔１３を覆うように樹脂シート１６が形成されているので、樹脂シート１６により収納領域１４の真空雰囲気が維持される場合もある。
【００４４】
この時、既述の第１の実施の形態の断熱体２（複数の区画領域５０を設けない場合）において、折り曲げたり湾曲させたりしても金属箔１３にピンホールなどが形成されないように当該金属箔１３を例えば１５ｍｍ程度まで厚くした時には、この金属箔１３の剛性が高くなって（強度が高くなって）曲げにくくなる場合がある。従って、断熱体２を複数の区画領域５０に気密に区画することによって、金属箔１３の膜厚を薄く保った状態でピンホールの発生を抑制できるので、断熱体２の断熱性能を保ったまま当該断熱体２を容易に曲げたり屈曲させたりすることができると言える。
【００４５】
ここで、排気管１ａの外周に断熱体２を巻き付ける時、断熱体２の長さ寸法が排気管１ａの円周寸法あるいは長さ寸法（排気管１ａの伸びる方向の寸法）よりも短い場合には、複数の断熱体２を排気管１ａの外面に貼り付けて、既述のように耐熱テープ６５を用いてこれら断熱体２、２同士を接着する。一方、断熱体２の長さ寸法が排気管１ａの各寸法よりも長い場合には、断熱体２において区画領域５０、５０間の領域、即ち例えば図１６に示すＡ−Ａ線における積層シート５１を切断する。このように断熱体２を途中部位で切断する場合でも、各々の収納領域１４を避けて断熱体２を切断することにより、各々の区画領域５０の真空雰囲気が保たれて、断熱性が維持される。この時、図１４に示したように、排気管１ａと断熱体２との間にブロック１ｂを配置しても良い。尚、図２４においては、区画領域５０、５０間の配置間隔や積層シート５１については模式的に示している。
【００４６】
既述の区画領域５０、５０間の離間寸法Ｄは、大きすぎる（離れすぎる）と真空雰囲気である収納領域１４、１４が互いに離間しすぎて断熱性能が低下することから、１０ｍｍ以下であることが好ましい。また、この離間寸法Ｄは、小さすぎる（近接しすぎる）と曲率の大きな曲面に対応しずらくなることから、即ち断熱体２を湾曲させにくくなることから、例えば５ｍｍ以上であることが好ましい。この離間寸法Ｄとしては、発熱部位毎にも異なるが、例えば既述の排気管１ａを例に挙げて説明すると、排気管１ａの外径寸法がΦ５０ｍｍの場合には５ｍｍ〜１０ｍｍ、Φ１００ｍｍの場合には１０ｍｍ〜１５ｍｍ程度であることが好ましい。更に、積層シート５１からの区画領域５０の高さ寸法ｈ及び区画領域５０の直径寸法Ｒについては、例えばｈは５ｍｍ〜１０ｍｍ、Ｒは２０ｍｍ〜４０ｍｍ程度にしておくことが好ましい。
また、図２５に示すように、処理容器１の上下の四辺における角部を覆うように断熱体２を配置しても良い。この場合であっても、各々の区画領域５０における収納領域１４の真空雰囲気が維持されたまま、即ち金属箔１３におけるピンホールなどの発生が抑えられた状態で、処理容器１の外面に沿って断熱体２が貼り付けられる。
【００４７】
更に、処理容器１の外面に突起物例えば既述の排気管１ａを接続するためのフランジ（排気ポート）７５が形成されている場合には、このフランジ７５の大きさ及び形状に対応するように、断熱体２の一部を切り離すようにしても良い。この場合であっても、例えば図２６に示すように、断熱体２における一つまたは複数の区画領域５０を切り離して開口部６６を形成することにより、当該開口部６６の周囲における収納領域１４の真空雰囲気を保つことができる。従って、図２７及び図２８に示すように、フランジ７５を避けて断熱体２を配置することができる。尚、図２７においてＹ方向の断熱体２については省略しており、また図２８において積層シート５１を省略している。
【００４８】
このように、様々な形状の発熱部位、具体的には曲面や屈曲部、更には突起物の形成された面に対して、１つの品種（大きさ及び形状）の断熱体２を適用できるので、当該発熱部位の種類に応じて断熱体２を製造しなくて済むため、断熱体２について高い汎用性が得られてコスト的に有利となる。尚、この例では開口部６６について説明したが、開口部６６に代えて、例えば断熱体２の側方側から一つまたは複数の区画領域５０を取り除くように切り欠きを入れても良い。
【００４９】
また、既述の例で説明したように、金属箔１３と樹脂シート１６との間に断熱材１８を設けても良い。この場合には、図２９に示すように、金属板４１及び金属箔４２の周囲に断熱材１８を配置すると共に、これら金属板４１、金属箔４２及び断熱材１８を覆うように、例えば薄膜状の樹脂シート１６、１６を配置して、当該樹脂シート１６、１６の周縁部同士を接着する。この場合には、断熱材１８は、各々の区画領域５０を跨ぐように配置される。
【００５０】
また、図３０に示すように、各々の区画領域５０、５０間で樹脂シート１６により断熱材１８を区画するようにしても良い。このように断熱材１８を区画する場合には、金属箔１３、１３同士を拡散接合した後、例えば既述の第３の金型６３の表面に樹脂液を塗布して、この第３の金型６３の開口部６３ａ（突出部５７が収納される領域）に、当該開口部６３ａの深さ寸法の例えば半分程度となるように、断熱材１８を各々収納する。そして、開口部６３ａ、６３ａ間における水平面によって突出部５７、５７間の領域を下方側から支持するように、第３の金型６３の各々の開口部６３ａに突出部５７を各々収納する。そして、これら断熱体２及び第３の金型６３を加熱することにより、第３の金型６３の表面の樹脂液が硬化して、各々の突出部５７の周囲において金属箔１３（金属箔４２）と樹脂膜（樹脂シート１６）とが接続されると共に、各々の突出部５７と樹脂シート１６との間には断熱材１８が収納される。従って、各々の区画領域５０毎に、断熱材１８が区画される。続いて、断熱体２の上方側についても、同様に図示しない金型を用いて樹脂液の塗布処理、断熱材１８の収納及び加熱処理を行うことにより、図３０の断熱体２が得られる。図３０の断熱体２において、既述のように一つまたは複数の区画領域５０を切り離す時は、例えば図３０中Ｂ−Ｂ線で切断することにより、各々の収納領域１４の真空雰囲気を維持しながら、断熱材１８の漏れ出しや飛散についても抑えることができる。
【００５１】
既述の例では、区画領域５０を格子状に配置したが、例えば図３１に示すように千鳥状などであっても良い。また、区画領域５０としては、概略円筒形状以外にも、例えば図３２に示すように概略箱型であっても良い。更に、図３３に示すように、底面及び上面が三角形である三角柱状の区画領域５０を設けると共に、２つの区画領域５０、５０の側面同士が互いに近接して相対向するように配置して、これら２つの区画領域５０、５０を一組として複数箇所に設けても良い。そして、これら一組の互いに近接する区画領域５０、５０同士において相対向する面が一列に並ぶように、積層シート５１上に複数の区画領域５０を並べることにより、当該列に直交する方向（図３３中矢印で示す方向）に対して、断熱体２が曲がりやすくなる。尚、図３２及び図３３では断熱体２を一部切り欠いて示している。  
【００５２】
また、断熱体２を複数の区画領域５０により構成するにあたって、第１の金型６１及び第２の金型６２を用いて突出部５７を形成したが、このような金型６１、６２を用いずに、概略平板上の金属板４１上に充填材１１を複数の領域に点在させても良い。この場合には、これら充填材１１の点在領域が気密に区画されるように、第３の金型６３の上面によって前記点在領域の周囲の金属板４１を下方側から支持して、当該金属板４１の上方に金属箔４２を積層する。そして、真空雰囲気において、これら金属板４１及び金属箔４２の上方側から、当該第３の金型６３の上下を入れ替えた状態の別の金型によって、前記点在領域の周囲の金属箔４２を下方側に加圧する。そして、既述の例と同様に、加圧処理及び加熱処理を行うことにより、これらの金属板４１及び金属箔４２の接触面が接合される。
【００５３】
ここで、既述の第１の実施の形態における断熱体２の製造方法について、図３４を参照して簡単に説明する。既述の金型６１、６２を用いない場合と同様に、概略平板上の金属板４１（金属箔１３）上に充填材１１を載置して、この充填材１１の上方に金属箔４２（金属箔１３）を積層する。そして、充填材１１が金属板４１及び金属箔４２により包まれるように、当該充填材１１の周囲における金属板４１及び金属箔４２の金属面同士を互いに接触させ、真空雰囲気中においてこの接触面に対して圧力を加えると共に、当該接触面を加熱する。こうして既述の例と同様に加圧処理及び加熱処理を行うことにより、前記接触面において原子の拡散が起こり、第１の実施の形態の断熱体２が得られる。図３４中、８１及び８２は、夫々前記接触面を断熱体２の周方向に亘って下方側から支持する金型及び金型８１による支持面を上方側から下方に向けて加圧する金型であり、８３は金型８１、８２により挟み込まれる領域を加熱するための加熱部である。
【００５４】
また、複数の区画領域５０を接続するにあたって、金属箔１３及び樹脂シート１６（詳しくは金属板４１、金属箔４２及び樹脂シート１６、１６）からなる積層シート５１を用いたが、樹脂材によりこれら複数の区画領域５０を接続するようにしても良い。具体的には、図３４において説明したように、区画領域５０の設けられていない断熱体２を複数作製する。そして、以下に説明するように、図３５及び図３６に示す接続用金型９０を２つ用いて、これら断熱体２を平面的に複数接続する。この接続用金型９０には、断熱体２を収納するための凹部９１が複数箇所に例えば格子状に配置されており、この凹部９１は、当該凹部９１に収納される断熱体２の端部が当該凹部９１の外縁から僅かに例えば２ｍｍ程度外側に向かって伸び出すように、即ち凹部９１、９１間の領域において断熱体２が側方側から支持されるように、幅寸法が設定されている。また、これらの凹部９１、９１間において水平に形成された部位である水平部９２には、接続用金型９０の上面を縦横に区切るように、ライン状の溝９３が形成されている。この溝９３は、各々連通すると共に、接続用金型９０の側面において当該接続用金型９０の外側に向かって開口している。
【００５５】
そして、凹部９１に断熱体２が収納されるように、接続用金型９０上に複数の断熱体２を並べると共に、図３７に示すように、これら断熱体２の端部を溝９３の上方位置に位置させる。次いで、接続用金型９０上に載置されたこれら断熱体２の上方側から、別の接続用金型９０を、下方側の接続用金型９０とは上下を入れ替えた状態で下降させる。そして、これらの接続用金型９０、９０における凹部９１、９１に断熱体２が上方側及び下方側から収納されるように接続用金型９０、９０を図示しない固定具により固定する。続いて、この接続用金型９０、９０を樹脂液中に浸漬すると、互いに隣接する断熱体２、２の端部間を接続するように、接続用金型９０の側面側から樹脂液が溝９３内を通流する。こうして樹脂液から接続用金型９０、９０を取り出して、溝９３から樹脂液が排出されないようにしながら（接続用金型９０の側面における溝９３の開口部を塞ぎながら）乾燥や加熱処理を行い、接続用金型９０、９０を取り外すと、樹脂材９５によって互いの端部同士が平面的に接続された複数の断熱体２が得られる。  
この時、樹脂材９５を用いて平面的に接続する断熱体２としては、図３８に示すように、既述の区画領域５０と同様の形状のものであっても良い。また、既述の金属箔１３、１３同士を接合する方法として、これら金属箔１３、１３の接触部を加熱しながら加圧する手法を例に説明したが、真空雰囲気において電子ビームなどを当該接触部に照射して接合する溶接法であっても良い。
【００５６】
ここで、収納領域１４が真空雰囲気である第１の実施の形態の断熱体２について複数の区画領域５０に区画したが、既述の第２の実施の形態のマントル断熱体についても同様に複数の区画領域５０に区画するようにしても良い。以下に、このようなマントル断熱体の製造方法の一例について説明する。先ず、図３９（ａ）に示すように、例えば第１の金型６１の表面（複数の凹部５５）に倣うように既述の外皮層３２を配置すると共に、この外皮層３２を介して各々の凹部５５内にブロック本体３１を収納する。次いで、同図（ｂ）に示すように、各々の凹部５５を塞ぐように、例えば薄膜状のアルミニウム層３３を配置して、当該アルミニウム層３３の下面と外皮層３２の上面（凹部５５、５５間の領域）とを接着する。
【００５７】
また、図３９（ｃ）に示すように、以上の図３９（ａ）と同様にして、第１の金型６１と同じ構成の金型７０を用いて、金型７０の凹部５５に沿うように配置した外皮層３２を介して各々の凹部５５内にブロック本体３１を収納すると共に、各々の凹部５５を覆うように、既述のアルミニウム層３３を配置する。そして、同様にアルミニウム層３３の下面と外皮層３２の上面とを接着する。
【００５８】
続いて、図４０に示すように、アルミニウム層３３、３３同士が互いに相対向するように、例えば第１の金型６１の上下を反転させると共に、これらアルミニウム層３３、３３間に樹脂層３４を配置する。そして、これらアルミニウム層３３、樹脂層３４及びアルミニウム層３３同士を互いに接着して、熱反射シート３５を形成する。次いで、マントル断熱体の周囲における外皮層３２、３２同士を接着すると共に、第１の金型６１及び金型７０を取り外すことにより、複数の区画領域５０に区画されたマントル断熱体が得られる。このマントル断熱体についても、既述の真空断熱体（断熱体２）と同様に屈曲自在及び区画領域５０、５０間において切り離し可能に構成される。尚、これら図３９及び図４０においても熱反射シート３５の厚み寸法については誇張して描画している。
【符号の説明】
【００５９】
１  処理容器
１ａ  排気管
２  断熱体
１１  充填材
１３  金属箔
１４  収納領域
１５  接合部
１６  樹脂シート
３３  アルミニウム層
３４  樹脂層
３５  熱反射シート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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