(57)【要約】【課題】被処理体の処理に用いられる液の温度変動を抑制することができる液処理装置を提供する。【解決手段】液処理装置１０は、循環ライン２０と、循環ラインから分岐した複数の供給ライン３０と、各供給ラインに対応して設けられた複数の処理ユニット５０と、循環ラインから各供給ラインに流れ込んだ液を循環ラインへ戻す複数の戻しライン３５と、を有する。処理ユニットは、各供給ラインから吐出される温度調節された液を用いて被処理体を処理するように構成されている。戻しラインは、複数の供給ラインのうちの最下流側の供給ラインとの接続位置よりも下流側の位置において循環ラインに接続している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
温度調節された液を用いて被処理体を処理する液処理装置であって、
温度調節された液を供給する液供給源と、前記液供給源からの液が循環し得る循環路と、を有する循環ラインと、
前記循環ラインの前記循環路から分岐した複数の供給ラインと、
各供給ラインに対応して設けられた複数の処理ユニットであって、各供給ラインから吐出される温度調節された液を用いて前記被処理体を処理し得るように構成された、複数の処理ユニットと、
前記循環ラインから各供給ラインに流れ込んだ液を前記循環ラインへ戻す複数の戻しラインと、を有し、
各戻しラインは、前記複数の供給ラインのうちの最下流側の供給ラインと前記循環ラインとの接続位置よりも下流側の位置において前記循環ラインに接続している、液処理装置。
【請求項２】
前記複数の戻しラインは、互いに合流して、前記循環ラインに接続している、請求項１に記載の液処理装置。
【請求項３】
前記戻しラインは、前記循環ラインの前記循環路に接続している、請求項１または２に記載の液処理装置。
【請求項４】
前記液供給源は、前記循環路に接続され液を貯留する貯留装置を有し、
前記戻しラインは、前記循環ラインの前記貯留装置内に液を戻す、請求項１または２に記載の液処理装置。
【請求項５】
前記戻しライン上における、前記最下流側の供給ラインとの接続位置と、前記戻しラインとの接続位置と、の間の位置に、第１リリーフ弁が設けられ、
前記戻しライン上に、前記第１リリーフ弁の設定圧力よりも低い圧力に設定された第２リリーフ弁が設けられている、請求項１〜３のいずれか一項に記載の液処理装置。
【請求項６】
前記複数の供給ラインのそれぞれに設けられた複数の液供給切り替え弁であって、各々が各処理ユニットでの被処理体の処理に用いられる液の供給および供給停止を切り替える、複数の液供給切り替え弁と、  
前記複数の戻しラインのそれぞれに設けられた複数の開閉弁と、をさらに有し、
前記液供給切り替え弁は、前記供給ライン上に設けられ且つ前記戻しラインの一端とも接続された三方弁として、構成されている、請求項１〜５のいずれか一項に記載の液処理装置。
【請求項７】
前記複数の供給ラインのそれぞれに設けられた複数の液供給切り替え弁であって、各々が各処理ユニットでの被処理体の処理に用いられる液の供給および供給停止を切り替える、複数の液供給切り替え弁と、  
前記複数の戻しラインのそれぞれに設けられ、各々が各戻しラインを通過し得る液の流量を調節し得る、複数の流量制御弁と、をさらに有し、
前記液供給切り替え弁は、前記供給ライン上に設けられ且つ前記戻しラインの一端とも接続された三方弁として、構成されている、請求項１〜５のいずれか一項に記載の液処理装置。
【請求項８】
前記複数の供給ラインのそれぞれに設けられた複数の液供給切り替え弁であって、各々が各処理ユニットでの被処理体の処理に用いられる液の供給および供給停止を切り替える、複数の液供給切り替え弁を、さらに有し、
各処理ユニットは、被処理体を保持する保持機構と、前記供給ラインを支持する支持部材と、を有し、
前記供給ラインの吐出開口が、前記保持機構に保持された被処理体に液を供給し得る処理位置と、前記処理位置からずれた非処理位置と、の間を移動し得るように、前記支持部材は構成され、
各戻しラインは、前記非処理位置にある前記吐出開口と接続され得るように、構成されている、請求項１〜５のいずれか一項に記載の液処理装置。
【請求項９】
前記処理ユニット内で前記被処理体の処理が行われていない場合に前記戻しライン内を流れている液の単位時間あたりの量が、前記処理ユニット内で前記被処理体の処理が行われている場合に前記供給ラインの吐出開口から吐出されている液の単位時間あたりの量よりも多くなるように、液の流量を制御する制御装置を、さらに有する、請求項１〜８のいずれか一項に記載の液処理装置。
【請求項１０】
前記供給ラインは、前記戻しラインとの接続位置よりも上流側における少なくとも一区間において、複数の管路に分かれて延び、
前記制御装置は、前記処理ユニット内で前記被処理体の処理が行われていない場合に、液が二以上の管路を通過して流れ、前記処理ユニット内で前記被処理体の処理が行われている場合に、液が前記二以上の管路に含まれる一部の管路のみを通過して流れるよう、前記複数の管路の開閉を制御する、請求項９に記載の液処理装置。
【請求項１１】
温度調節された液を用いて被処理体を処理する方法であって、
別個の処理ユニットへそれぞれ通じている複数の供給ラインが延び出している循環路と、前記循環路に温度調節された液を供給する液供給源と、を有する循環ライン内に液を充填する工程と、
温度調節された液が前記循環ライン内を循環している状態で、前記循環ラインから前記供給ラインのそれぞれへ前記温度調節された液が流れ込こむようにする工程と、を有し、
前記供給ラインへ前記温度調節された液が流れ込むようにしている間、前記複数の処理ユニットの各々において、
前記循環ラインから前記供給ラインに流れ込んでくる温度調節された液を、戻しラインを介し、前記複数の供給ラインのうちの最下流側の供給ラインと前記循環ラインとの接続位置よりも下流側の位置において前記循環ライン内へ戻すことにより、温度調節された液が前記供給ラインおよび前記戻しラインを含む経路を循環するようにして、前記供給ラインを温度調節し、
その後、前記循環ラインから前記供給ラインに流れ込んでくる温度調節された液を、前記供給ラインの吐出開口から吐出し、前記被処理体を処理する、液処理方法。
【請求項１２】
前記供給ラインを温度調節している間、合流して前記循環ラインに接続した前記複数の戻しラインを介し、前記液を前記循環ラインに戻す、請求項１１に記載の液処理方法。
【請求項１３】
前記供給ラインを温度調節している間、前記液を前記循環ラインの前記循環路に戻す、請求項１１または１２に記載の液処理方法。
【請求項１４】
前記液供給源は、前記液を貯留する貯留装置を有し、
前記供給ラインを温度調節している間、前記液を前記循環ラインの前記貯留装置に戻す、請求項１１または１２に記載の液処理方法。
【請求項１５】
前記供給ラインを温度調節している間、各戻しライン内の圧力を、前記循環ライン内の圧力よりも低く保つことにより、前記循環ラインから前記供給ラインのそれぞれへ前記温度調節された液が流れ込むようにしている、請求項１１〜１３のいずれか一項に記載の液処理方法。
【請求項１６】
前記供給ラインを温度調節している際に、前記処理ユニットでの被処理体の処理に用いられる液の供給および供給停止を切り替える液供給切り替え弁であって前記供給ライン上に設けられ且つ前記供給ラインおよび前記戻しラインを含む経路上に位置している液供給切り替え弁も、温度調節される、請求項１１〜１５に記載の液処理方法。
【請求項１７】
前記戻しラインは、三方弁からなる前記液供給切り替え弁を介して、前記供給ラインの途中から分岐し、且つ、前記戻しライン上に開閉弁が設けられており、
前記供給ラインを温度調節している際に、前記供給ラインを流れてきた液は、前記液供給切り替え弁をなす前記三方弁を介して前記戻しラインに流れ込み、前記開閉弁を通過して流れ、
前記被処理体を処理している際に、前記供給ラインを流れてきた液は、前記液供給切り替え弁をなす前記三方弁を通過して前記供給ラインをさらに流れ、前記吐出開口から吐出される、請求項１６に記載の液処理方法。
【請求項１８】
前記戻しラインは、三方弁からなる前記液供給切り替え弁を介して、前記供給ラインの途中から分岐し、且つ、前記戻しライン上に、前記戻しラインを通過し得る液の流量を調節し得る流量制御弁が、設けられており、
前記供給ラインを温度調節している際に、前記供給ラインを流れてきた液は、前記液供給切り替え弁をなす前記三方弁を介して前記戻しラインに流れ込み、前記流量制御弁を通過して流れ、
前記被処理体を処理している際に、前記供給ラインを流れてきた液は、前記液供給切り替え弁をなす前記三方弁を通過して前記供給ラインをさらに流れ、前記吐出開口から吐出され、
前記流量制御弁の開度は、前記供給ラインを温度調節している間よりも、前記被処理体を処理している間の方が、小さくなる、請求項１６に記載の液処理方法。
【請求項１９】
前記供給ラインの前記吐出開口は、前記被処理体を処理している際に被処理体に液を供給し得る処理位置に配置され、前記供給ラインを温度調節している際に前記処理位置からずれた非処理位置に配置され、
前記供給ラインを温度調節している際、前記戻しラインは前記非処理位置にある前記吐出開口と接続され、前記供給ライン上に設けられた開閉弁からなる前記液供給切り替え弁が温度調節される、請求項１６に記載の液処理方法。
【請求項２０】
前記供給ラインを温度調節している際に前記戻しライン内を流れている液の単位時間あたりの量が、前記被処理体を処理している際に前記吐出開口から吐出されている液の単位時間あたりの量よりも多い、請求項１１〜１９のいずれか一項に記載の液処理方法。
【請求項２１】
前記供給ラインは、少なくとも一区間において、複数の管路に分かれて延びており、
前記供給ラインを温度調節している際に、液は二以上の管路を通過して流れ、
前記被処理体を処理している際に、液は、前記二以上の管路に含まれる一部の管路のみを通過して流れる、請求項１１〜２０のいずれか一項に記載の液処理方法。
【請求項２２】
温度調節された液を用いて被処理体を処理する液処理装置を制御する制御装置によって実行されるプログラムであって、
前記制御装置によって実行されることにより、請求項１１〜２１のいずれか一項に記載された液処理方法を、液処理装置に実施させる、プログラム。
【請求項２３】
温度調節された液を用いて被処理体を処理する液処理装置を制御する制御装置によって実行されるプログラムが記録された記録媒体であって、
前記プログラムが前記制御装置によって実行されることにより、請求項１１〜２１のいずれか一項に記載された液処理方法を、液処理装置に実施させる、記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、温度調節された液を用いて被処理体を処理する液処理装置および液処理方法に関する。また、本発明は、温度調節された液を用いて被処理体を処理する液処理方法を実行するためのプログラム、並びに、このプログラムを記録した記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハ（以下において、単にウエハと呼ぶ）やディスプレイ用ガラス基板に対するエッチング処理等、温度調節された液体を被処理体に供給しながら被処理体を処理する技術が広く用いられている（例えば、特許文献１）。一般的には、処理に用いられる液の温度が高いと、当該液による反応が活性化され、処理が進行しやすくなる。したがって、処理に用いられる液を加熱することによって、処理時間を短時間化させるといった利点を期待することができる。
【０００３】
さらに、本件発明者は、今般、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）等に代表される乾燥用液を加熱して、ウエハ等からなる被処理体の乾燥処理に用いることの利点も見出した。具体的には、被処理体の乾燥処理に加熱した乾燥用液を用いると、乾燥用液の蒸発時における被処理体からの吸熱量が減少し、乾燥処理中における被処理体の温度低下を抑制することができる。これにより、被処理体への結露が抑制され、被処理体へのウォーターマークの発生を効果的に防止することができる。
【０００４】
ところで、被処理体の処理に用いられる液を温度調節する場合、上述したように、液の温度によって、処理の進行が大きく変化してしまう。したがって、処理に用いられる液の温度を一定に保つことが、被処理体間における処理の均一化を確保する上で重要となる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１２３３９３
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１では、薬液を貯留したタンクと、一端をタンクに接続された主配管（薬液処理用供給管１６３）と、主配管の他端から分岐した多数の供給管（薬液処理用供給管６４，８３）と、供給管に接続した多数の処理ユニットと、を有する基板処理装置が開示されている。この基板処理装置では、主配管上に薬液の温度を調節するための温度調節機構が介設され、各供給管には弁が介設されている。そして、弁を開閉することにより、温度調節された薬液が各処理ユニットへ供給されるようになっている。
【０００７】
この従来の基板処理装置においては、弁を閉鎖した場合、供給管内を温度調節された薬液が流れなくなる。例えば、温度調節により液を加熱する場合、処理ユニットでの処理が停止すると、すなわち、処理ユニットへの加熱した液の供給が停止すると、供給管の温度が低下していく。このため、当該処理ユニットへの加熱された液の供給再開時には、加熱された液の熱が温度低下した供給管に吸収され、処理に用いられる液の温度が低下してしまう。そして、このような液の温度変動にともない、被処理体に対する処理の進行具合も安定しなくなる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様による液処理装置は、加熱された液を用いて被処理体を処理する液処理装置であって、
温度調節された液を供給する液供給源と、前記液供給源からの液が循環し得る循環路と、を有する循環ラインと、
前記循環ラインの前記循環路から分岐した複数の供給ラインと、
各供給ラインに対応して設けられた複数の処理ユニットであって、各供給ラインから吐出される温度調節された液を用いて前記被処理体を処理し得るように構成された、複数の処理ユニットと、
前記循環ラインから各供給ラインに流れ込んだ液を前記循環ラインへ戻す複数の戻しラインと、を有し、
各戻しラインは、前記複数の供給ラインのうちの最下流側の供給ラインと前記循環ラインとの接続位置よりも下流側の位置において前記循環ラインに接続している。
【０００９】
本発明の一態様による液処理方法は、加熱された液を用いて被処理体を処理する方法であって、
別個の処理ユニットへそれぞれ通じている複数の供給ラインが延び出している循環路と、前記循環路に温度調節された液を供給する液供給源と、を有する循環ライン内に液を充填する工程と、
温度調節された液が前記循環ライン内を循環している状態で、前記循環ラインから前記供給ラインのそれぞれへ前記温度調節された液が流れ込こむようにする工程と、を有し、
前記供給ラインへ前記温度調節された液が流れ込むようにしている間、前記複数の処理ユニットの各々において、
前記循環ラインから前記供給ラインに流れ込んでくる温度調節された液を、戻しラインを介し、前記複数の供給ラインのうちの最下流側の供給ラインと前記循環ラインとの接続位置よりも下流側の位置において前記循環ライン内へ戻すことにより、温度調節された液が前記供給ラインおよび前記戻しラインを含む経路を循環するようにして、前記供給ラインを温度調節し、
その後、前記循環ラインから前記供給ラインに流れ込んでくる温度調節された液を、前記供給ラインの吐出開口から吐出し、前記被処理体を処理する。
【００１０】
本発明の一態様によるプログラムは、加熱された液を用いて被処理体を処理する液処理装置を制御する制御装置によって実行されるプログラムであって、前記制御装置によって実行されることにより、上述した本発明の一態様による液処理方法を、液処理装置に実施させる。
【００１１】
本発明の一態様による記録媒体は、加熱された液を用いて被処理体を処理する液処理装置を制御する制御装置によって実行されるプログラムが記録された記録媒体であって、前記プログラムが前記制御装置によって実行されることにより、上述した本発明の一態様による液処理方法を、液処理装置に実施させる。
【００１２】
本発明によれば、循環ラインから供給ラインに流れ込んだ液を循環ラインに戻す戻しラインが設けられている。このため、供給ラインおよび戻しラインを含んで構成される循環経路内で温度調節された液を循環させることにより、被処理体の処理が行われていない間にも、供給ラインを温度調節することができる。とりわけ、戻しラインは、複数の供給ラインのうちの最下流側の供給ラインと循環ラインとの接続位置よりも下流側の位置において循環ラインに接続している。したがって、一つの供給ラインの温度調節に用いられて当該供給ラインに対応する戻しラインを介して循環ラインに戻された液が、他の供給ラインの温度調節に影響を及ぼすことを効果的に抑制することができる。以上のことから、本発明によれば、被処理体への処理に用いられる液の温度変動を抑制し、これにより、被処理体を安定して処理することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】図１は、本発明の一実施の形態による液処理装置の全体構成を概略的に示す図である。
【図２】図２は、図１の液処理装置の処理ユニット近傍における配管類を示す図である。
【図３】図３は、図１の液処理装置の処理ユニットを示す縦断面図である。
【図４】図４は、図１の処理ユニットの支持部材を上方から示す図である。
【図５】図５は、図１の液処理装置を用いて実施され得る液処理方法の一例を説明するためのフローチャートである。
【図６】図６は、被処理体の液処理を実施している際における図１の液処理装置の動作を説明するためのフローチャートである。
【図７】図７は、図２に対応する図であって、液処理装置の一変形例を示す図である。
【図８】図８は、図２に対応する図であって、液処理装置の他の変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。なお、本件明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。
【００１５】
図１〜図６は、本発明の一実施の形態を説明するための図であり、さらに図７および図８は、図１〜図６に示された実施の形態に対する変形例を説明するための図である。このうち図１は、液処理装置の全体構成を概略的に示す図である。図２は、図１の点線で囲まれた領域を拡大してより詳細に示す図である。図３および図４は、それぞれ、液処理装置に組み込まれた処理ユニットの一つを示す縦断面図および上面図である。
【００１６】
なお、以下の実施の形態においては、本発明を、半導体ウエハ（被処理体の一例）の洗浄処理に適用した例を示している。そして、洗浄処理として、薬液を用いた処理、純水を用いた処理および乾燥用液を用いた処理が、被処理体である円板状のウエハに施されていく。このうち、乾燥用液が、薬液および純水よりも高温となるように加熱されて用いられる。しかしながら、当然に、本発明は、ウエハの洗浄への適用に限定されるものではない。
【００１７】
図１〜図４に示すように、液処理装置１０は、第１の液を供給する第１の液供給機構１５と、第２の液を供給する第２の液供給機構４０と、その一端が第１の液供給機構１５に接続された第１の供給ライン３０と、その一端が第２の液供給機構４０に接続された第２の供給ライン４５と、第１の液および第２の液を用いてウエハＷを処理するように構成された処理ユニット５０と、を有している。また、液処理装置１０は、一端を循環ライン２０に接続され、第１の供給ライン３０に供給された第１の液を第１の液供給機構１５へ戻す戻しライン３５を、有している。さらに、液処理装置１０は、液処理装置１０の各構成要素の動作や液の流路を制御する制御装置１２も有している。図示する例において、液処理装置１０には、多数（例えば８機）の処理ユニット５０が設けられ、各処理ユニット５０内に、第１供給ライン３０および第２供給ライン４５が延び入っている。
【００１８】
このうちまず、第１液を処理ユニット５０に対して供給する供給系統について説明する。なお、以下の例では、乾燥用液、より具体的にはＩＰＡ（イソプロピルアルコール）が、第１液として、供給される。
【００１９】
図１に示すように、第１液供給機構１５は、環状に形成された循環ライン２０と、循環ライン２０上に設けられた送出機構（例えば、ポンプ）２６と、を有している。このうち循環ライン２０は、温度調節された第１液を供給する第１液供給源２２と、第１液供給源２２から供給された温度調節された第１液が循環し得る循環路２４と、を有している。
【００２０】
第１液供給源２２は、第１液を貯留し得る、例えばタンクからなる、貯留装置２２ａと、貯留装置２２ａに温度調節された第１液を補給する補給機構（図示せず）と、を有している。循環路２４は、第１液供給源２２から供給された第１液が循環し得るように、貯留装置２２ａに管路の両端を接続することによって、構成されている。
【００２１】
なお、第１液供給機構１５は、第１供給ライン３０を介し、多数の処理ユニット５０の各々へ第１液を供給するようになる。そして、第１液供給源２２の補給機構は、第１液供給機構１５の循環ライン２０からの第１液の消費にともなって、循環ライン２０に第１液を補給するようになる。一例として、補給機構は、貯留装置２２ａ内の液量に応じて、貯留装置２２内へ第１液を自動的に補給するように構成され得る。
【００２２】
図示する例において、第１液供給源２２は、貯留装置２２ａ内の第１液を温度調節する温度調節機構２２ｂを、さらに有している。すなわち、第１液供給源２２は、温度調節した第１液を循環ライン２０に補給するだけでなく、循環路２４を循環中の第１液を必要に応じて温度調節して再び循環路２４に供給するように構成されている。なお、上述したように、本実施の形態においては、温度調節機構２２ｂは、加熱機構として構成され、第１液の温度調節として、第１液を加熱するようになっている。したがって、以下に説明する本実施の形態においては、温度調節機構２２ｂを加熱機構２２ｂとも呼ぶ。
【００２３】
送出機構２６は、例えばポンプからなり、循環路２４上に取り付けられている。送出機構２６は、第１液供給源２２から循環路２４に供給された加熱された第１液が循環路２４内を循環するように、第１液を駆動する。したがって、送出機構２６によって送り出された第１液は、循環ライン２０内を周回して、再び送出機構２６まで戻ってくることができる。
【００２４】
次に、第１供給ライン３０および戻しライン３５について説明する。図１に示すように、多数の第１供給ライン３０が、循環ライン２０から分岐して、対応する処理ユニット５０まで延びている。戻しライン３５は、各第１供給ライン３０に対応して複数設けられている。各戻しライン３５は、循環ライン２０から対応する第１供給ライン３０に流れ込んだ第１液を循環ライン２０に戻し得るように構成されている。
【００２５】
図２および図３に示されているように、第１供給ライン３０は、第１液を吐出する吐出開口３０ａを有している。吐出開口３０ａは、処理ユニット５０のアーム６２に支持されたノズルとして構成されており、後述するように、加熱された第１液が被処理体であるウエハＷに向けて吐出開口３０ａから吐出され得る。
【００２６】
図２に示すように、第１供給ライン３０は、戻しライン３５との接続位置よりも上流側における少なくとも一区間において、複数の管路に分かれて延びている。制御装置１２は、複数の管路の開閉を操作することによって、循環ライン２０から第１供給ライン３０に流れ込む第１液の量を制御するように、構成されている。
【００２７】
図２に示す例では、第１供給ライン３０は、第１管路３１ａと、第１管路３１ａと並行して延びる第２管路３１ｂと、の二つの管路に分けられている。第１管路３１ａには、開度を手動で予め調節することができる流量調節弁（例えば、ニードル弁）３２が、設けられている。また、第１供給ライン３０上における、複数の管路３１ａ，３１ｂに分割される区間外の位置であって、戻しライン３５との接続位置よりも上流側の位置にも、開度を手動で予め調節することができる流量調節弁３７が、設けられている。さらに、図２に示すように、流量調節弁３７の近傍における第１供給ライン３０上に、第１供給ライン内３０内を流れる第１液の量を測定する流量計３６が、設けられている。
【００２８】
一方、第２管路３１ｂには、流体圧駆動により開閉動作を駆動され得る開閉弁３３が設けられている。開閉弁３３は、例えば空気圧で開閉動作を駆動されるエアオペバルブから構成されている。この開閉弁３３の開閉動作は、制御装置１２によって、制御されるようになっている。
【００２９】
このような構成によれば、開閉弁３３を開閉させることのみによって、二つの異なる流量で第１液が第１供給ライン３０を流れるようにすることができる。具体的には、流量調節弁３２によって第１管路３１ａの最大流量がＡ（ｌ／ｍｉｎ）に設定され、流量調節弁３７によって第１供給ライン３０の最大流量がＢ（ｌ／ｍｉｎ）に設定されているとする。また、第２管路３１ｂが、（Ｂ−Ａ）（ｌ／ｍｉｎ）以上の流量で液を流し得るように設計されているとする。この例においては、開閉弁３３が開いている間、第１供給ライン３０をＢ（ｌ／ｍｉｎ）の第１液が流れるようにすることができる。また、開閉弁３３が閉じている間、第１液が第１供給ライン３０をＡ（ｌ／ｍｉｎ）の流量で流れるようにすることができる。
【００３０】
一方、図２および図３に示すように、各戻しライン３５の上流側の端部は、流路制御機構３８を介して、対応する供給ライン３０の途中に接続している。つまり、各戻しライン３５は、対応する供給ライン３０の循環ライン２０との接続する側の端部と、対応する供給ライン３０の吐出開口３０ａと、の間のある位置において、対応する供給ライン３０に接続している。制御装置１２は、流路制御機構３８（より詳細には、後述する流路制御機構３８の液供給切り替え弁３８ａ）を制御することにより、第１供給ライン３０の吐出開口３０ａから第１液を吐出するか否かを制御するように構成されている。
【００３１】
図示する例では、流路制御機構３８は、循環ライン２０から第１供給ライン３０に流れ込んできた液が、第１供給ライン３０をさらに流れて吐出開口３０ａへ向かう状態と、吐出開口３０ａに向かうことなく戻しライン３５へ向かう状態と、のいずれかの状態を選択的に維持するように構成されている。このような流路制御機構の一具体例として、図示する流路制御機構３８は、第１供給ライン３０上に設けられ且つ戻しライン３５の一端とも接続された三方弁３８ａと、戻しライン３５上に設けられた開閉弁３８ｂと、を有している。三方弁３８ａおよび開閉弁３８ｂは、共に、流体圧駆動により開閉動作を駆動され得る弁として、例えば空気圧で開閉動作を駆動されるエアオペバルブから構成されている。
【００３２】
三方弁３８ａは、上流側（循環ライン２０の側）の第１供給ライン３０と、戻しライン３５と、を連通させる状態、並びに、上流側の第１供給ライン３０と、戻しライン３５および下流側（処理ユニット５０の側）の第１供給ライン３０の両方と、を連通させる状態のいずれかに、維持されるようになっている。すなわち、図示する例において、三方弁３８ａは、処理ユニット内での被処理体の処理に用いられる液の供給および供給停止を切り替える液供給切り替え弁として、機能する。したがって、流路制御機構３８を構成する三方弁３８ａを、液供給切り替え弁３８ａとも呼ぶ。
【００３３】
制御装置１２は、液供給切り替え弁（三方弁）３８ａの二つの状態の切り替え動作と、開閉弁３８ｂの開閉動作と、を制御する。具体的には、以下のように、液供給切り替え弁３８ａおよび開閉弁３８ｂの動作は制御される。循環ライン２０から第１供給ライン３０に流れ込んできた液が第１供給ライン３０をさらに流れて吐出開口３０ａへ向かう状態に流路制御機構３８を維持する場合には、液供給切り替え弁３８ａは三方を開いた状態に保持されるとともに、開閉弁３８ｂは閉鎖した状態に保持される。すなわち、液供給切り替え弁３８ａが三方を開いた状態に保持されることによって、液供給切り替え弁３８ａよりも上流側の第１供給ライン３０と液供給切り替え弁３８ａよりも下流側の第１供給ライン３０とを結ぶ流路が確保され、被処理体Ｗの処理に用いられる第１液が処理ユニット５０へ供給され得る状態となる。
【００３４】
なお、開閉弁３８ｂは、液供給切り替え弁３８ａと近接して配置されていることが好ましい。液供給切り替え弁３８ａは三方を開いた状態に保持されるとともに、開閉弁３８ｂは閉鎖した状態において、三方弁３８ａと開閉弁３８ｂとの間に、第１液が停滞してしまうことがないからである。
【００３５】
一方、循環ライン２０から第１供給ライン３０に流れ込んできた液が戻しライン３５へ向かう状態に流路制御機構３８を維持する場合には、液供給切り替え弁３８ａは二方のみを開いた状態に保持されるとともに、開閉弁３８ｂは開放された状態に保持される。すなわち、液供給切り替え弁３８ａが、液供給切り替え弁３８ａよりも上流側の第１供給ライン３０を戻しライン３５のみに接続する状態に維持されることによって、液供給切り替え弁３８ａよりも上流側の第１供給ライン３０と液供給切り替え弁３８ａよりも下流側の第１供給ライン３０とを結ぶ流路が閉鎖され、被処理体Ｗの処理に用いられる第１液が処理ユニット５０へ供給され得ない状態となる。
【００３６】
また、図１に示す例では、複数の戻しライン３５は、互いに合流して、第１液供給機構１５の循環ライン２０に接続している。より具体的には、戻しライン３５の端部は、循環ライン２０の循環路２４に接続している。このように複数の戻しライン３５は、互いに合流して、循環ライン２０に接続している場合、複数の戻しライン３５を設置するために必要となるスペースを効果的に節約することが可能となる。ただし、このような例に限られず、複数の戻しライン３５が、別個に、第１液供給機構１５に接続するようにしてもよいし、また、戻しライン３５が、循環路２４以外において、例えば貯留装置２２において第１液供給機構１５に接続し、貯留装置２２に第１液を戻すようにしてもよい。
【００３７】
図１に示すように、戻しライン３５と循環ライン２０との接続位置は、複数の第１供給ライン３０のうちの循環ライン２０の最下流側の第１供給ライン３０と、循環ライン２０と、の接続位置よりも、下流側に位置している。戻しライン３５と循環ライン２０との接続位置と、循環ライン２０と最下流側の第１供給ライン３０との接続位置と、の間における循環ライン２０上に、第１リリーフ弁３９ａが設けられている。また、戻しライン３５上、好ましくは、循環ライン２０との接続位置近傍における戻しライン３５上に、第２リリーフ弁３９ｂが設けられている。そして、第１リリーフ弁３９ａの設定圧力は、第２リリーフ弁３９ｂの設定圧力よりも高くなっている。すなわち、戻しライン３５内の第１液の圧力は、第１供給ライン３０と接続している領域における循環ライン２０内の第１液の圧力よりも低くなるように、設定される。
【００３８】
なお、循環ライン２０における上流側および下流側とは、加熱された第１液の循環ライン２０内における液流を基準として、判断される。すなわち、第１液供給源２２から循環路２４に供給された第１液の循環ライン２０内での液流を基準とし、貯留装置２２と循環路２４をなす管路との接続位置が、循環ライン２０における最上流側となり、当該接続位置（最上流側位置）から第１液の液流に沿った向きが、下流に向かう向きとなる。
【００３９】
次に、第２の液を処理ユニット５０に対して供給する供給系統について説明する。上述したように、第２液は、第２液供給機構４０から供給される。第２液供給機構４０と各処理ユニット５０の間には、第２供給ライン４５がそれぞれ設けられている。図３および図４に示されているように、第２供給ライン４５は、第２液を吐出する吐出開口４５ａを有している。吐出開口４５ａは、処理ユニット５０のアーム６２に支持されたノズルとして構成されている。
【００４０】
ウエハＷの洗浄装置として構成された本実施の形態において、第２液供給機構４０は、例えば、ウエハＷの薬液処理に用いられる薬液（希フッ酸、アンモニア過水(ＳＣ１)、塩酸過水(ＳＣ２)）、並びに、ウエハＷのリンス処理に用いられる水、とりわけ純水（ＤＩＷ）を、第２液として供給し得るようになっている。
【００４１】
なお、第２液を処理ユニット５０に対して供給する供給系統については、既知の供給系統を用いることができ、ここでは、これ以上の詳細な説明を省略する。
【００４２】
次に、第１液および第２液を用いてウエハＷを処理する処理ユニット５０について説明する。図３および図４に示すように、各処理ユニット５０は、ウエハＷを保持する保持機構５２と、第１供給ライン３０の吐出開口３０ａおよび第２供給ライン４５の吐出開口４５ａを支持する支持部材６０と、被処理体に対する処理を行うための処理チャンバーを画定する隔壁５４と、有している。
【００４３】
図３に示すように、保持機構５２は、ウエハＷの表面が略水平方向に沿うようにしてウエハＷを保持し、円板状の形状からなるウエハＷの中心を軸として保持したウエハＷを回転させることができるように、構成されている。
【００４４】
図３および図４に示すように、支持部材６０は、支持した吐出開口３０ａ，４５ａが、保持機構５２に保持されたウエハＷに液を供給し得る処理位置（図４において実線で示す位置）と、処理位置からずれた非処理位置（図４において二点鎖線で示す位置）と、の間を移動し得るように、構成されている。
【００４５】
図示した例において、支持部材６０は、回転可能な筒状の軸部材６４と、筒状軸部材６４に接続され筒状軸部材６４の回転にともなって揺動することができるアーム６２と、を有している。第１供給ライン３０の吐出開口３０ａおよび第２供給ライン４５の吐出開口４５ａは、アーム６２の一方の端部の領域（先端部の領域）６２ａに支持されている。アーム６２は、他方の端部の領域（基端部の領域）６２ｂにおいて、隔壁５４を貫通して延びる筒状軸部材６４の一端と接続されている。筒状軸部材６４は、円筒状に形成され、その中心軸線を中心として回転可能に保持されている。このような構成によれば、図４に示すように、支持部材６０に支持された吐出開口３０ａ，４５ａは、処理位置として、ウエハＷの中心に上方から対面する位置に配置され得る。また、吐出開口３０ａ，４５ａは、非処理位置として、ウエハＷの上方領域から横方向にずれた位置に配置され得る。
【００４６】
供給ライン３０，４５の吐出開口３０ａ，４５ａが、処理中にウエハＷの上方に配置されるようになるアーム６２の先端部領域６２ａに支持されている。このため、図３および図４に示すように、供給ライン３０，４５の、少なくとも吐出開口３０ａ，４５ａ近傍の一部分は、支持部材６０をつたって延びるようになる。本実施の形態において、第１供給ライン３０および第２供給ライン４５は、概ね並行して、アーム６２に沿って延びている。ただし、図３に示すように、第１供給ライン３０はアーム６２の一側を延び、第２供給ライン４５はアーム６２の他側を延びている。すなわち、支持部材６０のアーム６２は、第１供給ライン３０および第２供給ライン４５の間を延びる仕切り部材６３として構成され、第１供給ライン３０の経路および第２供給ライン４５の通過経路を仕切っている。具体的には、第１供給ライン３０は仕切り部材６３に支持されながら仕切り部材６３の上側を延び、第２供給ライン４５は仕切り部材６３に支持されながら仕切り部材６３の下側を延びている。
【００４７】
さらに、図３および図４に示すように、支持部材６０は、その一部分を、筒状に形成された筒状部６６として構成されている。そして、第１供給ライン３０および第２供給ライン４５の一方が、支持部材６０の筒状部６６の内部を通過して対応する液供給機構１５，４０まで延び、第１供給ライン３０および第２供給ライン４５の他方が、支持部材６０の筒状部６６の外部を通って対応する液供給機構１５，４０まで延びている。
【００４８】
具体的には、支持部材６０の筒状軸部材６４が、筒状部６６の部位として形成されている。加えて、筒状軸部材６４と接続されたアーム６２の基端部領域６２ｂが、すなわち、仕切り部材６３の一部分が、筒状部６６の部位として形成されている。そして、この筒状部６６内を、第２供給ライン４５が通過している。詳細には、図３に示すように、第２供給ライン４５は、その吐出開口４５ａが支持されたアーム６２の先端部領域６２ａから基端部領域６２ｂまで、アーム６２に形成された筒状部６６の内部を通過して延びている。そして、図３に示すように、アーム６２の一部分からなる筒状部６６の内部と、筒状軸部材６４からなる筒状部６６内部と、は連通しており、第２供給ライン４５は、アーム６２の一部分からなる筒状部６６の内部から、筒状軸部材６４からなる筒状部６６の内部に延び入る。その後、図３に示すように、第２供給ライン４５は、筒状軸部材６４からなる筒状部６６の内部を通過して、処理ユニット５０の隔壁５４を横切っている。
【００４９】
一方、図３および図４に示すように、第１供給ライン３０は、アーム６２の一部分からなる筒状部６６の外部を通って、アーム６２の先端部領域６２ａから基端部領域６２ｂまで延びている。第１供給ライン３０は、アーム６２の基端部領域６２ｂにおいて支持部材６０から離間し、隔壁５４を貫通している。なお、アーム６２（仕切り部材６３）の筒状部６６として構成されていない部分は、板状に形成されている。上述したように、アーム６２（仕切り部材６３）の板状に形成されている領域においても、第１供給ライン３０および第２供給ライン４５は、アーム６２（仕切り部材６３）を間に挟んで、離間して配置されている。
【００５０】
なお、制御装置１２には、工程管理者等が液処理装置１０を管理するためにコマンドの入力操作等を行うキーボードや、液処理装置１０の稼働状況を可視化して表示するディスプレイ等からなる入出力装置が接続されている。また、制御装置１２は、液処理装置１０で実行される処理を実現するためのプログラム等が記録された記録媒体１３にアクセス可能となっている。記録媒体１３は、ＲＯＭおよびＲＡＭ等のメモリ、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭおよびフレキシブルディスク等のディスク状記録媒体等、既知のプログラム記録媒体から構成され得る。
【００５１】
次に、以上のような構成からなる液処理装置１０を用いて実行され得る液処理方法の一例について、説明する。以下に説明する液処理方法においては、図５に示すようにして、被処理体としてのウエハＷが、一つの処理ユニット５０内において、洗浄処理を施される。そして、図５に示す一連の液処理方法のうちの第１液を用いた処理工程Ｓ３において、ウエハＷは、上述した液処理装置１０の第１液供給機構１５から供給される加熱された第１液を用いて、処理される。以下においては、まず、図５に示すフローチャートを参照しながら、一つの処理ユニット５０内においてウエハＷに対して施される液処理方法の概略を説明し、その後に、第１液を用いた処理工程Ｓ３を行うことに関連した液処理装置１０の動作について説明する。
【００５２】
なお、以下に説明する液処理方法を実行するための各構成要素の動作は、予めプログラム記録媒体１３に格納されたプログラムに従った制御装置１２からの制御信号によって、制御される。
【００５３】
図５に示すように、まず、洗浄処理を施されるウエハＷが、液処理装置１０の各処理ユニット５０内へ持ち込まれ、各処理ユニット５０内で保持機構５２によって保持される（工程Ｓ１）。
【００５４】
次に、第２液を用いて、ウエハＷを処理する工程Ｓ２が実施される。第２液を用いた処理の具体例として、以下の処理が行われる。まず、希フッ酸（ＤＨＦ）が第２液供給機構４０から第２液として供給され、ウエハＷがエッチング処理される。次に、純水（ＤＩＷ）が第２液供給機構４０から第２液として供給され、ウエハＷがリンス処理される。このようにして、二種類の第２液を用いたウエハＷの処理が実施される。なお、本例では、第２液供給機構４５から供給される第２液は、加熱されることなく処理ユニット５０内でのウエハＷの処理に用いられる。
【００５５】
その後、加熱された第１液用いて、ウエハＷを処理する工程Ｓ３が実施される（工程Ｓ３）。第３液を用いた処理の具体例として、希フッ酸（ＤＨＦ）によるエッチング処理および純水によるリンス処理がなされたウエハＷに対し、４５〜６０℃程度に加熱されたＩＰＡが供給される。これにより、ウエハＷ上に残留していた純水がＩＰＡによって置換され、さらに、ウエハＷ上からＩＰＡが蒸発する。すなわち、加熱されたＩＰＡを用いて、ウエハＷの乾燥処理が実施される。ＩＰＡを加熱して用いることによって、ＩＰＡがウエハＷ上から蒸発する際に、ウエハＷから吸収される熱量を低減することができる。したがって、ウエハＷの温度低下を抑制し、ウォーターマークの原因となるウエハＷ上への結露を生じにくくさせることができる。
【００５６】
以上のようにして、一つの処理ユニット５０内におけるウエハＷの洗浄処理が終了し、処理が終了したウエハＷが処理ユニット５０から搬出される（工程Ｓ４）。
【００５７】
次に、加熱された第１液を用いてウエハＷを処理する工程Ｓ３に関連した液処理装置１０の動作について説明する。
【００５８】
まず、図６に示すように、加熱された第１液を用いて、処理ユニット内でウエハＷを処理する上述の工程Ｓ３に先立ち、第１液を準備する工程Ｓｐ１および加熱された第１液を用いて予熱する工程Ｓｐ２の二つの準備的な工程が、実施される。
【００５９】
なお、後述の説明から明らかとなるように、第１液を準備する工程Ｓｐ１および加熱された第１液を用いて予熱する工程Ｓｐ２の二つの工程は、上述した第２液を用いたウエハＷの処理工程Ｓ２やウエハＷの搬入工程Ｓ１に影響を与えるものではない。その一方で、二つの準備工程Ｓｐ１，Ｓｐ２は、処理ユニット５０内で第１液を用いてウエハＷを処理する工程Ｓ３の前に完了していなければならない。したがって、第１液を準備する工程Ｓｐ１および加熱された第１液を用いて予熱する工程Ｓｐ２の二つの工程は、上述したウエハＷを搬入する工程Ｓ１や第２液を用いてウエハＷを処理する工程Ｓ２に先だって行われてもよいし、これらの工程Ｓ１，Ｓ２と並行して行われてもよい。
【００６０】
まず、第１液を準備する工程Ｓｐ１について説明する。この工程Ｓｐ１では、別個の処理ユニット５０へそれぞれ通じている第１供給ライン３０が複数延び出している循環ライン２０に、第１液が充填される。具体的には、第１液供給源２２の図示しない補給機構から貯留装置２２ａ内に第１液が供給される。貯留装置２２ａに補給機構から供給される第１液は、好ましくは予め所定の温度に加熱されている。さらに、加熱機構２２ｂが貯留装置２２ａ内に供給された第１液を加熱する。このようにして、循環ライン２０の貯留装置２２および循環路２４に加熱された第１液が充填される。さらに、本例では、第１液の充填の後に又は第１液の充填と並行して、送出機構２６が作動し、第１液が循環ライン２０内を循環するようになる。
【００６１】
なお、以降の工程においては、加熱された第１液が送出機構２６の駆動によって第１液供給機構１５の循環ライン２０内を循環している状態で、第１液供給機構１５の循環ライン２０から複数の第１供給ライン３０のそれぞれへ加熱された第１液が流れ込むようになる。そして、第１液が、第１供給ライン３０の吐出開口３０ａから吐出されて、消費されていく。この間、第１液供給機構１５に組み込まれた第１液供給源２２の図示しない補給機構が循環ライン２０に第１液を補給するとともに、加熱機構２２ｂが循環ライン２０内の第１液を加熱して、第１液の温度を所望の温度域内の温度となるように調節し続ける。
【００６２】
次に、加熱された第１液を用いて、第１液の処理ユニット５０への供給系統が加熱される（工程Ｓｐ２）。具体的には、加熱された第１液が第１液供給機構１５の循環ライン２０内を循環している状態で、第１液を循環ライン２０から第１供給ライン３０に流し込む。そして、加熱された第１液によって、第１液の流路が、第１液の温度と同じ温度になるまで予熱されるようになる。
【００６３】
上述したように、液処理装置１０は、第１供給ライン３０に流れ込んだ第１液を循環ライン２０に戻す戻しライン３５を有している。そして、この工程Ｓｐ２および上述した直前の工程Ｓｐ１の間、第１供給ライン３０と戻しライン３５との間に設けられた流路制御機構３８は、第１供給ライン３０の上流側を戻しライン３５と連通させている。さらに、第１リリーフ弁３９ａおよび第２リリーフ弁３９ｂによって、戻しライン３５内の第１液の圧力は、循環ライン２０内の圧力よりも低くなるように調節されている。この結果、循環ライン２０から第１供給ライン３０に流れ込んだ第１液は、戻しライン３５を介し、再び循環ライン２０へ戻される。すなわち、循環ライン２０によって構成される第１液の循環経路とは別途に、循環ライン２０の一部、第１供給ライン３０の一部および戻しライン３５を含んで加熱用（本実施の形態では、予熱用）の第２の循環経路が形成され、加熱された第１液がこの第２の循環経路を安定して循環するようになる。
【００６４】
加熱された第１液が予熱用循環路を循環することにより、第１液の処理ユニット５０への供給系統のうち予熱用の循環経路を構成する部分が、加熱された第１の液の温度と同一の温度まで加熱されるようになる。すなわち、第１供給ライン３０の一部および戻しライン３５が、加熱された第１の液の温度と同一の温度まで加熱されるようになる。また、流路制御機構３８の液供給切り替え弁（三方弁）３８ａおよび開閉弁３８ｂも、予熱用循環経路上に設けられている。すなわち、この工程Ｓｐ２において、熱容量が大きい弁類を予熱することができる。
【００６５】
また、この予熱工程Ｓｐ２中、第１供給ライン３０の第２管路３１ｂに設けられた開閉弁３３は開いている。したがって、第１液は、第１管路３１ａおよび第２管路３１ｂの両方を通過して流れる。循環ライン２０から第１供給ライン３０に流れ込む第１液の流量は、手動式の流量調節弁３７を予め調節しておくことにより、設定され、流量計３６で監視される。
【００６６】
ところで、本例では、上述した充填工程Ｓｐ１においても、液供給切り替え弁（三方弁）３８ａは、処理ユニット５０への第１液の供給を停止するため、第１供給ライン３０の上流側を戻しライン３５と連通させている。したがって、充填工程Ｓｐ１においても、第１供給ライン３０の一部および弁３８ａ，３８ｂは、充填されつつある加熱された第１液によって、加熱されることになる。この点において、第１液を準備する工程Ｓｐ１と、第１液を用いて第１供給ライン３０を予熱する工程Ｓｐ２と、は並行して実施されてもよい。
【００６７】
予熱工程Ｓｐ２の次に、弁３８ａ，３８ｂを切り替えて、第１供給ライン３０の吐出開口３０ａから加熱された第１液を吐出し、上述したウエハＷを処理する工程Ｓ３が実施される。具体的には、流路制御機構３８の液供給切り替え弁３８ａが、第１供給ライン３０の上流側を、戻しライン３５とではなく、第１供給ライン３０の下流側と連通させるようになる。このとき、処理ユニット５０内のウエハＷは、保持機構５２に保持されるとともに、保持機構５２の駆動により回転している。そして、回転中のウエハＷに対面する処理位置に支持部材６０によって支持された吐出開口３０ａから、加熱された第１液がウエハＷに向けて吐出される。
【００６８】
なお、吐出開口３０ａから第１液が吐出されている間、吐出開口３０ａがウエハＷの中心部に対面する位置からウエハＷの周縁部に対面する位置へ走査するように、支持部材６０を揺動させてもよい。また、吐出開口３０ａの近傍に不活性ガス（例えば、窒素）を吐出するための吐出口が設けられ、第１液の吐出とともに不活性ガスが吐出され、さらに、第１液の乾燥が促進されるようにしてもよい。
【００６９】
上述したように、第１供給ライン３０および液供給切り替え弁３８ａは、事前に行われた予熱工程Ｓｐ２において、加熱された第１液と略同一の温度にまで予熱されている。そして、図３に示すように、予熱用循環路を形成する戻しライン３５は、吐出開口３０ａの近傍において、第１供給ライン３０に接続している。
【００７０】
なお、この処理工程Ｓ３中、第１供給ライン３０の第２管路３１ｂに設けられた開閉弁３３は閉じている。したがって、第１液は、第１管路３１ａおよび第２管路３１ｂのうちの第１管路３１ａのみを通過して流れる。そして、循環ライン２０から第１供給ライン３０に流れ込む第１液の流量は、手動式の流量調節弁３２を予め調節することにより設定され、流量計３６で監視される。
【００７１】
すなわち、処理ユニット５０内においてウエハＷの処理が行われていない場合に、第１液は、第１供給ライン３０の一区間を構成して並行に延びる複数の管路のうちの、二以上の管路３１ａ，３１ｂを通過して流れる。その一方で、処理ユニット５０内においてウエハＷの処理が行われている場合には、第１液が、第１供給ライン３０の一区間を構成して並行に延びる複数の管路のうちの、前記二以上の管路３１ａ，３１ｂに含まれる一部の管路３１ａのみを通過して流れる。この結果、第１供給ライン３０を予熱している際に各戻しライン３５内を流れている第１液の単位時間あたりの量が、ウエハＷを処理している際に対応する第１供給ライン３０の吐出開口３０ａから吐出されている第１液の単位時間あたりの量よりも多くなる。
【００７２】
このような方法によれば、適切な量の第１液でウエハＷを処理することができる。また、予熱時には、第１供給ライン３０および戻しライン３５を含んで構成される予熱用循環経路に、加熱された第１液を大流量で流し込むことができ、これにより、予熱用循環経路を、第１液の温度と同一の温度まで、短時間で加熱することができる。
【００７３】
加えて、第１液を用いてウエハＷを処理する際に第１液が通過するようになる管路３１ａは、予熱時に予熱用循環路を構成する管路であり、処理を開始する際には、第１液と同一の温度まで加熱されている。したがって、第１液を用いたウエハＷの処理時における第１液の温度変動を抑制することができ、これにより、ウエハＷの処理の程度にバラツキが生じてしまうことを効果的に抑制することができる。
【００７４】
ところで、各処理ユニット５０には、加熱された第１液が流れる第１供給ライン３０と、第１液とは異なる温度の第２供給ライン４５と、が延び入っている。そして、第１供給ライン３０および第２供給ライン４５は、ともに支持部材６０によって支持され、概ね並行して延びている。ただし、本実施の形態では、第２供給ライン４５が支持部材６０の筒状部６６の内部を通過して延び、第１供給ライン３０が支持部材６０の筒状部６６の外部を通って延びている。とりわけ、第２供給ライン４５は、筒状部６６の内部を通過して処理チャンバーを画定する隔壁５４を横切り、供給ライン３０，４５についての経路設定の自由度が処理チャンバー内と比較して格段に高くなる処理チャンバー外へ延び出している。またそもそも、第１供給ライン３０および第２供給ライン４５の間には、アーム６２によって構成された仕切り部材６３が延びており、第１供給ライン３０の経路と第２供給ライン４５の経路とが仕切り部材６３によって仕切られている。すなわち、支持部材６０のうちの筒状部６６が形成されていないアーム６２の先端部領域６２ａにおいて、第１供給ライン３０および第２供給ライン４５は、アーム６２からなる仕切り部材６３を挟んで、仕切り部材６３の互いに異なる側を延びている。これらのことから、第１供給ライン３０内の第１液と、第２供給ライン４５内の第２液と、の間での熱移動を極めて効果的に抑制することができる。したがって、第１供給ライン３０の吐出開口３０ａから第１液を期待した温度で吐出することができるとともに、第２供給ライン４５の吐出開口４５ａから第２液を期待した温度で吐出することができる。
【００７５】
以上のような第１液を用いたウエハＷの処理工程Ｓ３は、第１供給ライン３０上に設けられた液供給切り替え弁３８ａが、上流側の第１供給ライン３０を戻しライン３５に接続し、処理ユニット５０への加熱された第１液の供給を停止することによって、終了する。この際、液供給切り替え弁３８ａの動作に伴い、戻しライン３５上の開閉弁３８ｂが閉じる。この結果、第１供給ライン３０および戻しライン３５を含んだ温度調節用の循環経路（加熱用の循環経路）が再び形成され、循環ライン２０から第１供給ライン３０に流れ込んだ第１液は、この加熱用の循環経路を流れるようになる。
【００７６】
すなわち、図６に示すように、再び、温度調節工程（加熱工程）Ｓｐ２が開始される。この加熱工程Ｓｐ２は、次に処理されるべきウエハが処理ユニット５０へ搬送されるとともに、このウエハＷに対する第２液を用いた処理が終了して、次に処理されるべきウエハＷに対する第１液を用いて処理（工程Ｓ３）が開始されるまで、実施され得る。このように、加熱工程Ｓｐ２および第１液を用いた処理工程Ｓ３を繰り返すことにより、第１液を用いた処理工程Ｓ３間に、第１供給ライン３０および液供給切り替え弁３８ａの温度を維持することができ、この結果、第１液を用いた処理工程Ｓ３において、ウエハＷに対して供給される第１液の温度変動は効果的に抑制されるようになる。
【００７７】
以上のような本実施の形態によれば、循環ライン２０から第１供給ライン３０に流れ込んだ第１液を循環ライン２０に戻す戻しライン３５が設けられている。このため、加熱された第１液は、循環ライン２０内を循環するだけでなく、第１供給ライン３０および戻しライン３５を含んで構成される循環経路内も循環することができる。したがって、処理ユニット５０で第１液を用いた処理が開始される前に、加熱された第１液を用いて、第１供給ライン３０の少なくとも一部を加熱された第１液と同じ温度まで予熱することができる。とりわけ、戻しライン３５は、各処理ユニットに通じる第１供給ライン３０に対応させて、循環ライン２０とは別途に設けられているため、対応する第１供給ライン３０の吐出開口３０ａ近傍において当該第１供給ライン３０に接続させることができる。これにより、当該処理ユニット５０での処理開始時における、第１液の温度低下を効果的に抑制することができる。また、加熱に用いられる液は、第１供給ライン３０および戻しライン３５を含んで構成される循環経路を循環しているため、第１液の消費量を増加させてしまうことはない。
【００７８】
またとりわけ、戻しライン３５は、複数の分岐管３０のうちの、液供給源２２から循環路に供給された液の循環ライン２０内での液流を基準とした最下流側の分岐管３０と循環ライン２０との接続位置よりも下流側の位置において循環ライン２０に接続している。したがって、予熱工程Ｓｐ２中、温度が低下している可能性がある予熱に用いられた第１液は、直接他の処理ユニット５０へ送り込まれて当該処理ユニット５０内でのウエハＷの処理に用いられることはない。予熱に用いられた第１液は、加熱された液が補給され且つ加熱機構２２ｂが設けられている液供給源２２を経由して、再び、循環ライン２０からいずれかの第１供給ライン３０に流れ込むようになる。このため、液処理装置５０には多数の処理ユニット５０が設けられ、各処理ユニット５０内でウエハＷの処理が別々のタイミングで進行していくが、循環ライン２０から各第１供給ライン３０に供給される第１液の温度を安定させることができる。すなわち、一つの処理ユニット５０でのウエハＷに対する処理が、他の処理ユニット５０で実施されているウエハＷの処理に影響を及ぼしてしまうことを抑制することができる。これにより、各処理ユニット５０において、加熱された第１液を用いて安定した処理を行うことができ、加熱された第１液を用いたウエハＷの処理の程度の変動を、処理ユニット５０間で、効果的に抑制することができる。
【００７９】
さらに加えて、処理ユニット５０でのウエハＷの処理に用いられる第１液の供給および供給停止を切り替える液供給切り替え弁３８ａが、第１供給ライン３０から戻しライン３５を介して第１液供給機構１５へ戻る第１液の予熱用の循環経路上に位置している。処理ユニット５０内へ延びていく第１供給ライン３０の液供給切り替え弁３８ａよりも下流側には、通常、弁類をさらに設ける必要はない。したがって、本実施の形態のように、液供給切り替え弁３８ａは、処理ユニット５０への第１供給ライン３０上において、最下流側に設けられた弁類となる。このため、処理ユニット５０でウエハＷの処理が開始する前、および、処理ユニット５０でウエハＷが処理される合間に、処理ユニット５０へ加熱された第１液を供給する第１供給ライン３０上のすべての弁類を加熱（予熱）しておくことができる。一般的に弁類は、第１供給ライン３０をなす管類と比較して、格段に大きい熱容量を有する。したがって、このような弁類の温度を安定させることができる本実施の形態によれば、従来の装置および方法と比較して、処理ユニット５０内での処理に用いられる加熱第１液の温度変動を極めて効果的に抑制することができる。
【００８０】
以上のことから、本実施の形態によれば、一つのウエハＷを処理している間における加熱された第１液の温度変動を抑制することができるとともに、同一の処理ユニット５０内または異なる処理ユニット５０内において異なるウエハＷを処理する際に用いられる第１液の温度バラツキを抑制することもできる。この結果、ウエハＷに対して程度ばらつきの少ない処理を安定して施すことができる。
【００８１】
また、本実施の形態によれば、処理ユニット５０内でウエハＷの処理が行われていない場合に、戻しライン３５内を流れる第１液の単位時間あたりの量が、処理ユニット５０内でウエハＷの処理が行われている場合に第１供給ライン３０の吐出開口３０ａから吐出される第１液の単位時間あたりの量よりも多くなる。したがって、第１供給ライン３０および戻しライン３５を含んで構成される循環路の予熱を短時間で実施することができる。すなわち、処理ユニット５０内において処理が短時間で間欠的に行われるような場合であっても、第１供給ライン３０および戻しライン３５を含んで構成される循環路を十分に予熱することができ、処理開始時における、第１液の温度低下を効果的に抑制することができる。
【００８２】
さらに、本実施の形態によれば、第１供給ライン３０および第２供給ライン４５の一方が、支持部材６０の仕切り部材６３の一側を通過して対応する液供給機構１５，４０まで延び、第１供給ライン３０および第２供給ライン４５の他方が、支持部材６０の仕切り部材６３の他側を通過して対応する液供給機構１５，４０まで延びている。したがって、第１供給ライン３０内の第１液と、第２供給ライン４５内の第２液と、の間で熱の移動が生じてしまうことを効果的に抑制することができる。この結果、所望の温度で第１液を供給することができるとともに、所望の温度で第２液を供給することができる。
【００８３】
なお、上述した実施の形態に対して様々な変更を加えることが可能である。以下、変形の一例について説明する。
【００８４】
例えば、上述した実施の形態において、手動で開度を調節し得る流量調節弁３７が、第１管路３１ａと第２管路３１ｂとに分岐する前の第１供給ライン３０上に設けられている例を示したが、これに限られず、一例として、図２に二点鎖線で示すように、第２管路３１ｂ上に設けてもよい。このような変形例においては、第１管路３１ａに設けられた流量調節弁３２によって、第１管路３１ａを通過しうる液量が決定され、第２管路３１ｂに設けられた流量調節弁によって、第２管路３１ｂを通過し得る液量が決定される。
【００８５】
また、上述した実施の形態において、第１供給ライン３０の一区間が二つの管路３１ａ，３１ｂに分けられている例を示したが、これに限られない。例えば、第１供給ライン３０の一区間が三以上の管路に分けられていてもよい。また同様に、第１供給ライン３０の二以上の区間が複数の管路に分かれて延びるようにしてもよい。これらの変形例によれば、閉鎖する又は開放する管路の組み合わせを適宜変更することにより、循環ライン２０から第１供給ライン３０に流れ込み得る第１液の流量を種々の値に変更することが可能となる。
【００８６】
さらに、上述した実施の形態において、戻しライン３５が、第１供給ライン３０の途中に接続する例、すなわち、吐出開口３０ａおよび循環ライン２０の間の位置において第１供給ライン３０に接続する例を示したが、これに限られない。例えば、図７に示すように、戻しライン３５が、第１供給ライン３０の吐出開口３０ａに接続するようにしてもよい。なお、ここでいう「接続」には、戻しライン３５と第１供給ライン３０の吐出開口３０ａとが接触した状態での接続だけでなく、第１供給ライン３０の吐出開口３０ａから戻しライン３５に液が流れ込む流路が形成されるといった意味での接続も、含まれる。
【００８７】
図７に示す例においては、戻しライン３５のカップ状に形成された端部３５ａが、非処理位置にある第１供給ライン３０の吐出開口３０ａと接続可能に構成されている。とりわけ、戻しライン３５のカップ状端部３５ａは非処理位置にある吐出開口３０ａに対して相対移動可能に構成され、吐出開口３０ａに接近すること及び吐出開口３０ａから離間することが可能にしてもよい。さらには、戻しライン３５のカップ状端部３５ａは、非処理位置にある第１供給ライン３０の吐出開口３０ａと、密閉状態で接続可能としてもよい。そして、加熱工程Ｓｐ２時に、戻しライン３５は第１供給ライン３０の吐出開口３０ａから吐出される第１液を回収するようになっている。また、この例では、第１供給ライン３０上に流体圧駆動の開閉弁３４が設けられている。この開閉弁３４が、処理ユニット５０での被処理体の処理に用いられる液の供給および供給停止を切り替える液供給切り替え弁として機能する。そして、この例によれば、第１供給ライン３０が、その全長にわたって、加熱用の循環経路に含まれて加熱され得るようになる。すなわち、液供給切り替え弁（開閉弁）３４をはじめとする、第１供給ライン３０上に介設されたすべての弁類が、加熱用の循環経路上に位置し、加熱され得るようになっている。
【００８８】
なお、図７に示す変形例において、戻しライン３５の一部分３５ｂは、カップ状端部３５ａの移動を可能とするように、柔軟性や伸縮性を有するように構成されている。また、図７に示す変形例におけるその他の構成は、上述した実施の形態と同一に構成され得り、ここでは重複する説明を省略する。
【００８９】
さらに、上述した実施の形態において、第１供給ライン３０内を流路制御機構３８まで流れてきた第１液が、第１供給ライン３０内をさらに流れて吐出開口３０ａのみへ向かう状態と、戻しライン３５のみへ向かう状態と、のいずれかの状態を選択的に維持するように、流路制御機構３８が構成されている例を示したが、これに限られない。例えば、図８に示すように、第１供給ライン３０内を流路制御機構３８まで流れてきた第１液が、吐出開口３０ａおよび戻しライン３５の両方へ向かう状態と、戻しライン３５のみへ向かう状態と、のいずれかの状態を選択的に維持するように、流路制御機構３８が構成されてもよい。図８に示す例において、流路制御機構３８は、第１供給ライン３０上に設けられ且つ戻しライン３５の一端とも接続された流体圧駆動の三方弁３８ａと、戻しライン３８ａ上に設けられた流量制御弁３８ｃと、を有している。流量制御弁３８ｃは、制御装置１２からの制御信号に基づいて、その開度を調節し得る駆動機が内蔵された弁（例えば、マスフローコントローラー）から構成されている。なお、この変形例においても上述した実施の形態と同様に、三方弁３８ａが、処理ユニット５０での被処理体の処理に用いられる液の供給および供給停止を切り替える液供給切り替え弁として機能する。
【００９０】
このような変形例においては、流量調節弁３７により、循環ライン２０から第１供給ライン３０に流れ込む第１液の流量が一定量（例えば、Ａ（ｌ／ｍｉｎ））に保たれる。そして、流量制御弁３８ｃは、三方弁３８ａが、第１供給ライン３０の上流側を戻しライン３５のみへ接続している場合に、流量調節弁３７が流し得る一定量（例えば、Ａ（ｌ／ｍｉｎ））以上の第１液を流し得るように、開度を設定される。一方、三方弁３８ａが三方を開放している場合、流量制御弁３８ｃは、流量調節弁３７が流し得る一定量（例えば、Ａ（ｌ／ｍｉｎ））よりも少ない流量（例えば、Ｂ（ｌ／ｍｉｎ））だけ第１液を流し得るように、開度を設定される。この場合、吐出開口３０ａから吐出される第１液の流量を、第１供給ライン３０に流れ込み得る第１液の流量（例えば、Ａ（ｌ／ｍｉｎ））と、戻しライン３５を流れ得る第１液の流量（例えば、Ｂ（ｌ／ｍｉｎ））と、の差（例えば、（Ａ−Ｂ）（ｌ／ｍｉｎ））とすることができる。
【００９１】
この変形例においては、第１液を用いてウエハＷを処理している間にも、戻しライン３５と第１供給ライン３０とを含む加熱用循環路を、加熱された第１液が循環している。したがって、各処理ユニット５０において、加熱工程Ｓｐ２と処理工程Ｓ３とが繰り返されても、戻しライン３５および第１供給ライン３０を含んで構成された加熱用循環路内を循環する第１液の温度、および、循環ライン２０を循環する第１液の温度が変動することを実質的に防止することができる。これにより、処理に用いられる加熱された第１液の温度変動をさらに効果的に抑制することができる。
【００９２】
なお、図８に示す変形例におけるその他の構成は、上述した実施の形態と同一に構成され得り、ここでは重複する説明は省略する。
【００９３】
さらに、上述した実施の形態において、第２液が加熱されない例を示したが、これに限られない。第２液が加熱されるようにしても上述した有用な作用効果を期待することができる。
【００９４】
さらに、上述した実施の形態において、加熱機構２２ｂが、第１液供給機構１５に組み込まれ、貯留装置２２内の第１液を加熱する例を示したが、これに限られない。例えば、循環ライン２０の循環路２４を加熱する、加熱機構がさらに設けられてもよい。また、第１供給ライン３０や戻しライン３５を加熱する加熱装置がさらに設けられてもよい。
【００９５】
さらに、上述した実施の形態において、第２液による処理が最初に行われ、加熱された第１液による処理がその後に行われる例を示したが、これに限られず、加熱された第１液による処理が第２液による処理の前に実施されるようにしてもよい。
【００９６】
なお、以上において上述した実施の形態に対するいくつかの変形例を説明してきたが、当然に、複数の変形例を適宜組み合わせて適用することも可能である。
【００９７】
さらに、冒頭にも述べたように、本発明を、ウエハの洗浄処理以外の処理にも適用することができ、また、加熱されるべき第１液は乾燥用液以外の液とすることもできる。
【符号の説明】
【００９８】
１０  液処理装置
１２  制御装置
１３  記録媒体
１５  液供給機構（第１液供給機構）
２０  循環ライン
２２  液供給機構
２２ａ  貯留装置
２２ｂ  温度調節機構（加熱機構）
２４  循環路
２６  送出機構
３０  供給ライン（第１供給ライン）
３０ａ  吐出開口
３１ａ，３１ｂ  管路
３５  戻しライン
３４  開閉弁（液供給切り替え弁）
３５ａ  端部
３８  流路制御機構
３８ａ  三方弁（液供給切り替え弁）
３８ｂ  開閉弁
３８ｃ  流量制御弁
３９ａ  第１リリーフ弁
３９ｂ  第２リリーフ弁
４０  液供給機構（第２液供給機構）
４５  供給ライン（第２供給ライン）
４５ａ  吐出開口
５０  処理ユニット
５２  保持機構
５４  隔壁
６０  支持部材
６２  アーム
６２ａ  先端部流域
６２ｂ  基端部流域
６３  仕切り部材
６４  軸部材
６６  筒状部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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