(57)【要約】【課題】  そこで、本発明の目的は、モリブデン箔がガリウムと合金を形成することを抑制したロングアーク型メタルハライドランプを提供することにある。【解決手段】  第１の発明に係るロングアーク型メタルハライドランプは、ガリウムが封入された直管状の発光部と、この発光部の両端に設けられ封止部と、この封止部に埋設されたモリブデン箔と、他端がこのモリブデン箔に接続されると共に一端に電極が設けられた電極軸と、を備えたロングアーク型メタルハライドランプにおいて、前記電極軸にＭｏ，Ｔｉ，Ｎｂ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｎｉ，Ｖ，Ｚｒ，Ｃｕ，Ｐｔ，Ａｇ，Ｃａ，Ｃｄ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｚｎのいずれかを設けたことを特徴とする。【選択図】図３
2011048944.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガリウムが封入された直管状の発光部と、この発光部の両端に設けられ封止部と、この封止部に埋設されたモリブデン箔と、他端がこのモリブデン箔に接続されると共に一端に電極が設けられた電極軸と、を備えたロングアーク型メタルハライドランプにおいて、
前記電極軸にＭｏ，Ｔｉ，Ｎｂ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｎｉ，Ｖ，Ｚｒ，Ｃｕ，Ｐｔ，Ａｇ，Ｃａ，Ｃｄ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｚｎのいずれかを設けた
ことを特徴とするロングアーク型メタルハライドランプ。
【請求項２】
前記Ｍｏ，Ｔｉ，Ｎｂ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｎｉ，Ｖ，Ｚｒ，Ｃｕ，Ｐｔ，Ａｇ，Ｃａ，Ｃｄ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｚｎの周囲に隙間を設けた
ことを特徴とする請求項１に記載のロングアーク型メタルハライドランプ。
【請求項３】
ガリウムが封入された直管状の発光部と、この発光部の両端に設けられ封止部と、この封止部に埋設されたモリブデン箔と、他端がこのモリブデン箔に接続されると共に一端に電極が設けられた電極軸と、を備えたロングアーク型メタルハライドランプと、
該電極に高入力と低入力とを繰り返し入力する給電装置と、
を備えたランプ装置において、
前記電極軸にＭｏ，Ｔｉ，Ｎｂ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｎｉ，Ｖ，Ｚｒ，Ｃｕ，Ｐｔ，Ａｇ，Ｃａ，Ｃｄ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｚｎのいずれかを設けた
ことを特徴とするランプ装置。
【請求項４】
前記Ｍｏ，Ｔｉ，Ｎｂ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｎｉ，Ｖ，Ｚｒ，Ｃｕ，Ｐｔ，Ａｇ，Ｃａ，Ｃｄ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｚｎの周囲に隙間を設けた
ことを特徴とする請求項３に記載のランプ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガリウムが封入されたメタルハライドランプに関し、特に電極間距離が長いロングアーク型のメタルハライドランプに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光化学反応や塗料の乾燥用に用いられる光源として、メタルハライドランプが知られていた。このようなメタルハライドランプとしては、特許文献１があり、これらの文献によれば、塗料の乾燥に必要な波長域があって、この波長域の発光スペクトルを有する金属元素として、ガリウムなどが知られていた。
【０００３】
従来のメタルハライドランプについて、図８を用いて説明する。
メタルハライドランプ９は、直管状の発光部９１１とこの発光部９１１の両端に設けられた封止部９１２とからなる放電容器９１と、この発光部９１１の内部で対向配置された一対の電極９２と、この電極９２に電気的に接続された電極軸９３と、この電極軸９３に電気的に接続されると共に封止部９１２に埋設されるモリブデン箔９４と、このモリブデン箔９４に電気的に接続されると共に封止部９１２から突出する外部リード９５と、を備える。
このメタルハライドランプ９は、一対の電極９２間距離が長く、いわゆるロングアーク型である。
放電容器９１の内部には、気密に封止された放電空間９１３を有し、この放電空間９１３には発光金属としてガリウム（Ｇａ）が封入される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−１６２７７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
最近、このようなロングアーク型のメタルハライドランプを、液晶基板を貼り合せる工程において、基板の貼り合せに接着剤が用いられ、この接着剤を硬化させる用途があり、この用途に用いられることが検討されている。このような用途においては、ランプと被照射物との間にシャッタが設けられ、被照射物の入替など、被照射物に光を照射したくないときにシャッタが閉じられる。このように、ランプからの光が利用されないときには、近時の省エネの観点から、ランプに入力されている電力を極力抑えたいという要望がある。メタルハライドランプは、給電を停止して、一旦不点灯にしてしまうと、再点灯させるのに時間が掛かってしまうことが知られている。このため、上記用途においては、ロングアーク型のメタルハライドランプは、被照射物に光を照射するときには、定格電力（高入力）で給電され、被照射物に光を照射しないときには、定格電力の例えば５０％の電力（低入力）で給電されることが考えられる。
【０００６】
このような給電方法をとると、ロングアーク型のメタルハライドランプは、低入力で給電されるときに、定格電力が給電されるときよりもランプが冷えてしまう。特に、ロングアーク型の場合、封止部周辺が電極間での放電熱を受けにくいので、よく冷えてしまう。ロングアーク型は封止部周辺が冷えるので、封入されたガリウムが封止部に移動してしまい、ガリウムとモリブデン箔が接触することがある。そうなると、ガリウムとモリブデン箔とは、合金を形成してしまって膨張し、封止部にクラックを発生してしまう問題が起きる。
【０００７】
そこで、本発明の目的は、モリブデン箔がガリウムと合金を形成することを抑制したロングアーク型メタルハライドランプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の発明に係るロングアーク型メタルハライドランプは、ガリウムが封入された直管状の発光部と、この発光部の両端に設けられ封止部と、この封止部に埋設されたモリブデン箔と、他端がこのモリブデン箔に接続されると共に一端に電極が設けられた電極軸と、を備えたロングアーク型メタルハライドランプにおいて、前記電極軸にＭｏ，Ｔｉ，Ｎｂ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｎｉ，Ｖ，Ｚｒ，Ｃｕ，Ｐｔ，Ａｇ，Ｃａ，Ｃｄ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｚｎのいずれかを設けたことを特徴とする。
第２の発明に係るロングアーク型メタルハライドランプは、第１の発明において、前記Ｍｏ，Ｔｉ，Ｎｂ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｎｉ，Ｖ，Ｚｒ，Ｃｕ，Ｐｔ，Ａｇ，Ｃａ，Ｃｄ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｚｎの周囲に隙間を設けたことを特徴とする。
第３の発明に係るランプ装置は、ガリウムが封入された直管状の発光部と、この発光部の両端に設けられ封止部と、この封止部に埋設されたモリブデン箔と、他端がこのモリブデン箔に接続されると共に一端に電極が設けられた電極軸と、を備えたロングアーク型メタルハライドランプと、該電極に高入力と低入力とを繰り返し入力する給電装置と、を備えたランプ装置において、前記電極軸にＭｏ，Ｔｉ，Ｎｂ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｎｉ，Ｖ，Ｚｒ，Ｃｕ，Ｐｔ，Ａｇ，Ｃａ，Ｃｄ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｚｎのいずれかを設けたことを特徴とする。
第４の発明に係るランプ装置は、前記Ｍｏ，Ｔｉ，Ｎｂ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｎｉ，Ｖ，Ｚｒ，Ｃｕ，Ｐｔ，Ａｇ，Ｃａ，Ｃｄ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｚｎの周囲に隙間を設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
第１の発明に係るロングアーク型メタルハライドランプ及び第３の発明に係るランプ装置は、上記特徴により、封止部に侵入したガリウムが、Ｍｏ，Ｔｉ，Ｎｂ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｎｉ，Ｖ，Ｚｒ，Ｃｕ，Ｐｔ，Ａｇ，Ｃａ，Ｃｄ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｚｎと合金を形成することで、モリブデン箔にガリウムが接触することが抑制され、モリブデン箔がガリウムと合金を形成することを抑制できる。
第２の発明に係るロングアーク型メタルハライドランプ及び第４の発明に係るランプ装置は、上記特徴により、Ｍｏ，Ｔｉ，Ｎｂ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｎｉ，Ｖ，Ｚｒ，Ｃｕ，Ｐｔ，Ａｇ，Ｃａ，Ｃｄ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｚｎとガリウムが合金を形成すると膨張するが、隙間がその膨張を許容するので、Ｍｏ，Ｔｉ，Ｎｂ，Ｃｒ，Ｍｎ，Ｎｉ，Ｖ，Ｚｒ，Ｃｕ，Ｐｔ，Ａｇ，Ｃａ，Ｃｄ，Ｇｅ，Ｓｎ，Ｚｎの外方に位置する封止部に、膨張による圧力をかけることを抑制でき、封止部が破損することを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】第１の実施例に係るランプ装置の説明図である。
【図２】第１の実施例に係るロングアーク型メタルハライドランプの説明図である。
【図３】第１の実施例に係るロングアーク型メタルハライドランプの説明図である。
【図４】第１の実施例に係るランプ装置のタイミングチャートの説明図である。
【図５】第２の実施例に係るロングアーク型メタルハライドランプの説明図である。
【図６】第３の実施例に係るロングアーク型メタルハライドランプの説明図である。
【図７】実験結果を示す図である。
【図８】従来に係るロングアーク型メタルハライドランプの説明図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１〜４を用いて、本発明に係る第１の実施例を説明する。
図１は、ランプ装置１の概略を示す図である。
ランプ装置１は、ロングアーク型メタルハライドランプ２と、このランプ２の一対の電極４１，５１に給電する給電装置Ｆと、ランプ２からの光を開閉するシャッタＳと、被照射物Ｗを載置する載置台ＷＳと、被照射物Ｗを入れ替える搬送機Ｃと、を備える。
【００１２】
ロングアーク型メタルハライドランプ２について、図２を用いて説明する。
図２は、ランプ２を長手方向に沿った断面図である。なお、図２には、図１で示したものと同じものに、同一の符号が付されている。
【００１３】
ロングアーク型メタルハライドランプ２は、直管状の発光部３１とこの発光部３１の両端に設けられた封止部３２，３３とからなる放電容器３と、この発光部３１の内部で対向配置された一対の電極４１，５１と、この電極４１，５１に電気的に接続された電極軸４２，５２と、この電極軸４２，５２に電気的に接続されると共に封止部３２，３３に埋設されるモリブデン箔４３，５３と、このモリブデン箔４３，５３に電気的に接続されると共に封止部３２，３３から突出する外部リード４４，５４と、を備える。
このランプ２は、一対の電極４１，５１間距離が長く、いわゆるロングアーク型である。
【００１４】
放電容器３の内部には、気密に封止された放電空間３４を有し、この放電空間３４には、発光金属として、ガリウム（Ｇａ）に加え、例えば水銀（Ｈｇ）やヨウ化水銀（ＨｇＩ２）が封入され、希ガスとしては、キセノンが封入される。
放電容器３を構成する部材としては、封入される発光金属との反応性が低いものが用いられ、例えば石英ガラスのようなガラス部材が用いられる。
【００１５】
電極４１，５１や電極軸４２，５２を構成する部材としては、放電空間３４に封入される金属に反応しない、高融点材料が用いられ、例えばタングステンが用いられる。
【００１６】
図２において、一方の電極４１側の拡大図として、図３を示す。なお、図３には、図２で示したものと同じものに、同一の符号が付されている。
【００１７】
一方の電極軸４２には、その径を縮径する凹部６１が設けられる。この凹部６１には、ランプ点灯時の温度環境（例えば１０００℃以下）において、ガリウムに反応する部材（以下、ガリウム反応部材７と記載する）が設けられる。このガリウム反応部材７としては、箔状の例えばモリブデン（Ｍｏ），チタン（Ｔｉ），ニオブ（Ｎｂ），クロム（Ｃｒ），マンガン（Ｍｎ），ニッケル（Ｎｉ），バナジウム（Ｖ），ジルコニウム（Ｚｒ），銅（Ｃｕ），白金（Ｐｔ），銀（Ａｇ），カルシウム（Ｃａ），カドミウム（Ｃｄ），ゲルマニウム（Ｇｅ），錫（Ｓｎ），亜鉛（Ｚｎ）のいずれかの金属や合金が用いられる。この箔状のガリウム反応部材７が、電極軸４２の凹部６１に巻き回される。
【００１８】
ガリウム反応部材７の外方には、封止部３２の部材が位置し、この部材とガリウム反応部材７との間に隙間８が設けられる。
【００１９】
なお、上述では、一方の電極軸４２側にガリウム反応部材７を設ける説明をしたが、他方の電極軸５２側も同様にガリウム反応部材７が設けられる。
【００２０】
本発明に係るランプ装置１において、ランプ点灯時における動作を図１〜図４を用いて説明する。
ランプ点灯時、給電装置Ｆから、一対の電極４１，５１に電流が供給される。このとき、一対の電極４１，５１間では、放電が開始され、封入された発光金属が蒸発し、放電による励起光が放射される。発光金属であるガリウムからは、２８７ｎｍ、２９４ｎｍ、４０３ｎｍ、４１７ｎｍの波長域のスペクトルが得られ、さらに同じく封入された水銀からは、３６５ｎｍ、４３５ｎｍの波長域のスペクトルが得られ、結果的にランプ２からは２８７ｎｍ、２９４ｎｍ、３６５ｎｍ、４０３ｎｍ、４１７ｎｍ、４３５ｎｍの波長域の光が放射される。
【００２１】
ランプ装置１は、図４のＡの領域のように、ランプ入力電力が定格電力まで達したとき、図１のシャッタＳを開いて、ランプ２からの光を被照射物Ｗに照射させる。被照射物Ｗが処理に所期の光量が照射されると、シャッタＳは図１のように閉じられる。このあと処理された被照射物Ｗと、未処理の被照射物Ｗとが、搬送機Ｃによって交換される。この交換の間は、ランプ２の入力電力が所期の電力（高入力）である必要が無いので、図４のＢの領域のように、定格電力の５０％程度まで低下される。
【００２２】
このように、定格電力（高入力）より低い電力（低入力）で、ランプ２を点灯させると、封止部３２，３３周辺が冷却されてしまう。このため、放電容器３に封入されたガリウムは、封止部３２，３３に向かってしまう。換言すれば、発光部３１の内方に位置したガリウムは、封止部３２，３３に埋設されたモリブデン箔４３，５３に向かってしまう。
本発明に係るロングアーク型メタルハライドランプ２は、ガリウム反応部材７が、一端に電極４１，５１が設けられると共に他端にモリブデン箔４３，５３が設けられた電極軸４２，５２に配置されたことで、発光管の内方からモリブデン箔４３，５３に向かう途中で、ガリウムがガリウム反応部材７に接することになり、このときガリウムとガリウム反応部材７が反応することで、モリブデン箔４３，５３に至るガリウム量を抑制することができる。従って、本発明は、電極軸４２，５２にガリウム反応部材７を設けたことで、モリブデン箔４３，５３がガリウムと合金を形成することが抑制できる。これにより、モリブデン箔４３，５３が膨張することが抑制され、放電容器３にクラックが生じることを抑制できる。
【００２３】
ガリウム反応部材７は、ガリウムと合金を形成することで膨張するが、本発明のように、ガリウム反応部材７と封止部３２，３３との間に隙間８を設けたことで、その膨張量をその隙間８で許容することができる。これにより、ガリウム反応部材７が膨張しても、ガリウム反応部材７の外方に位置する封止部３２，３３を押圧することを抑制でき、封止部３２，３３にクラックが生じることを抑制できる。
【００２４】
上述のように、ガリウム反応部材７は、発光部３１内方のガリウムがモリブデン箔４３，５３に至るまで配置する必要があるが、発光部３１の内方に露出してガリウム反応部材７を配置してしまうと、放電に寄与するガリウムと反応してしまう。これにより、ランプ２から放射される光の波長域において、ガリウムが寄与するスペクトルが低下してしまい、被照射物Ｗが処理できないことがある。また一方で、ガリウム反応部材７をモリブデン箔４３，５３の接触させてしまうと、ガリウム反応部材７に反応したガリウムがモリブデン箔に到達してモリブデン箔４３，５３をも侵食してしまうことがある。
このため、ガリウム反応部材７は、発光部３１の内方に露出しない部分に、且つ、モリブデン箔４３，５３に接触しない部分に、設けられることが好ましい。さらに、ガリウム反応部材７は、電極軸４２，５２において、その一端に設けられた電極４１，５１の端部と、その他端に設けられたモリブデン箔４３，５３の端部との中央近傍に配置することが好ましい。
【００２５】
本発明における数値例を、以下に示す。
放電容器３は、その外径が２６．１ｍｍであり、その内径が２２．５ｍｍであり、その長手方向の長さが６７０ｍｍである。放電容器３の封入物の量は、水銀が２３０ｍｇであり、ヨウ化水銀が３０ｍｇであり、ガリウムが１５ｍｇであり、キセノンが５０Ｔｏｒｒである。電極４１，５１間距離は、６００ｍｍである。ガリウム反応部材の外方に設けた、封止部との間の隙間は２００μｍである。
ランプ２に給電される電力は、定格電力（高入力）が１６０Ｗ／ｃｍであり、低電力が８０Ｗ／ｃｍである。給電装置Ｆから一対の電極４１，５１に給電される電流は、１７．８Ａ、５０Ｈｚである。
【００２６】
第１の実施例では、ガリウム反応部材７と封止部３２，３３との間の隙間８を、電極軸４２，５２に凹部６１を設けることで実現した。次に、封止部３２，３３に凹部６２を設けて隙間８を形成した例として、第２の実施例を説明する。
【００２７】
第２の実施例は、図５を用いて説明する。
図５は、一方の電極４１側を拡大した断面図である。なお、図５には、図２で示したものと同じものに、同一の符号が付されている。
【００２８】
図５の第２の実施例は、電極軸４２に凹部を設けない点、封止部３２に凹部６２を設けた点で、図２〜図３の第１の実施例と相違する。
図５の第２の実施例の説明として、図２〜図３と共通する部分は省略し、相違する部分について述べる。
【００２９】
一方の電極軸４２には、その外面にガリウム反応部材７が設けられる。このガリウム反応部材７としては、箔状の例えばモリブデン（Ｍｏ），チタン（Ｔｉ），ニオブ（Ｎｂ），クロム（Ｃｒ），マンガン（Ｍｎ），ニッケル（Ｎｉ），バナジウム（Ｖ），ジルコニウム（Ｚｒ），銅（Ｃｕ），白金（Ｐｔ），銀（Ａｇ），カルシウム（Ｃａ），カドミウム（Ｃｄ），ゲルマニウム（Ｇｅ），錫（Ｓｎ），亜鉛（Ｚｎ）のいずれかの金属や合金が用いられる。この箔状のガリウム反応部材７が、電極軸４２に巻き回される。
【００３０】
ガリウム反応部材７の外方には、封止部３２の部材が位置する。この封止部３２には、ガリウム反応部材７が対向する部分に凹部６２が設けられる。これにより、凹部６２が設けられた部分は、封止部３２の内径が拡径される。
【００３１】
ガリウム反応部材７の外方に、封止部３２の凹部６２が設けられることで、ガリウム反応部材７と封止部３２との間に隙間８が設けられる。
【００３２】
なお、上述では、一方の電極軸４２側にガリウム反応部材７を設ける説明をしたが、他方の電極軸側も同様にガリウム反応部材７が設けられる。また、上述では、一方の封止部３２に凹部６２を設ける説明をしたが、他方の封止部がわも同様に凹部６２が設けられる。
【００３３】
このように、第２の実施例でも、電極軸４２にガリウム反応部材７を設けたことで、第１の実施例と同様に、モリブデン箔４３がガリウムと合金を形成することが抑制できる。
さらに、第２の実施例では、封止部３２に凹部６２を設けることで、ガリウム反応部材７と封止部３２との間に隙間８を設けたが、第１の実施例と同様に、ガリウム反応部材７の膨張量をその隙間８で許容することができる。
【００３４】
なお、第１及び第２の実施例では、ガリウム反応部材７を箔状に構成したが、図６に示すように、コイル状であっても構わない。
【００３５】
本発明における効果を示すため、以下のような実験を行なった。
実験には、図８に示す従来に係るランプ９と、図２に示す本発明に係るランプ２とを準備した。
各ランプ２，９に共通する部材としては、電極４１，５１，９２及び電極軸４２，５２，９３にタングステンを用いて、モリブデン箔４３，５３，９４に電気的に接続させた。また放電容器３，９１としては、石英ガラスを採用した。放電容器３，９１の内部には、水銀を２３０ｍｇ、ヨウ化水銀を３０ｍｇ、ガリウムを１５ｍｇ、キセノンを５０Ｔｏｒｒ封入した。
各ランプ２，９の数値を示すと、放電容器３，９１は、その直径が２６．１ｍｍで、その内径が２２．５ｍｍで、長さが６７０ｍｍであった。また、放電容器３，９１において、発光部３１，９１１を構成する端部からモリブデン箔４３，５３，９４に至るまでの距離（図３におけるＬ１）を５ｍｍとした。なお、電極４１，５１，９２間距離は６００ｍｍである。
本発明のランプ２には、ガリウム反応部材７が設けられ、その部材としてはモリブデンを採用した。
【００３６】
上記の各ランプ２，９は、以下の点灯条件でランプ２，９を点灯させた。
１６０Ｗ／ｃｍ入力で、電圧５４０Ｖ、電流１７．８Ａ、周波数５０Ｈｚ、３０秒点灯し、８０Ｗ／ｃｍでは、１６０Ｗ／ｃｍ入力時より電圧、電流を任意量下げて、３０秒点灯した。点灯中は、放電管が６００℃〜９００℃の範囲で冷却されるように、ファンで強制空冷下を行った。
【００３７】
本実験では、上記点灯条件で点灯させ、放電容器３，９１が破損した時点か、照度が点灯初期に比べ７０％に低下した時点で、実験を終了し、点灯可能時間（寿命時間）を測定した。
その実験結果を図７に示す。
【００３８】
従来に係るランプ９は、３１１時間の時点で、封止部９１２にクラックが生じた。これは、封入したガリウムがモリブデン箔９４と合金を形成してしまい、この合金による膨張によって封止部９１２が破損してしまったものと推測される。
【００３９】
一方、本発明に係るランプ２は、４８６５時間経過しても、封止部３２，３３にクラックに生じることなく、継続してランプ点灯が可能であったが、点灯初期の照度に比べて７０％になったので点灯を終了した。実験終了後、本発明に設けたガリウム反応部材７（モリブデン）は、取り外され、ガリウムを検出したところ、１．９ｍｇのガリウムが検出された。このように、本発明では、電極軸４２，５２にガリウム反応部材７を設けたことで、モリブデン箔４３，５３の代わりにガリウム反応部材７がガリウムと合金を形成し、モリブデン箔４３，５３がガリウムと合金を形成することを抑制できた。また、ガリウム反応部材７の外方に隙間８を設けたことで、ガリウムと反応したガリウム反応部材７の膨張量を許容でき、この膨張によって封止部３２，３３が破損することを抑制できた。
【００４０】
以上のように、本発明は、電極軸４２，５２にガリウム反応部材７を設けることで、モリブデン箔４３，５３とガリウムとで合金が形成されることを抑制でき、且つ、ガリウム反応部材７の外方に隙間を設けたことで、封止部が破損することを抑制でき、これにより、従来に比べて寿命時間を１５倍以上も伸ばす、優れた効果を得られるものである。
【符号の説明】
【００４１】
１      ランプ装置
２      メタルハライドランプ
３      放電容器
３１    発光部
３２    一方の封止部
３３    他方の封止部
３４    放電空間
４１    一方の電極
４２    一方の電極軸
４３    一方のモリブデン箔
４４    一方の外部リード
５１    他方の電極
５２    他方の電極軸
５３    他方のモリブデン箔
５４    他方の外部リード
６１    電極の凹部
６２    封止部の凹部
７      ガリウム反応部材
８      隙間
Ｆ      給電装置
Ｃ      搬送機
Ｓ      シャッタ
Ｗ      被照射物
ＷＳ    載置台
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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