(57)【要約】【課題】製造時における光電変換部に対する金属線の接着不良が発生するのを抑制することが可能な光起電力装置の製造方法および製造装置を提供する。【解決手段】この光起電力装置の製造方法は、切欠部２３ａを有するローラ２３の表面に接着材を塗布する工程と、フィンガー電極部２を構成する銅線２ａの所定の部分毎に導電性ペースト３ａを接触させるとともに、ローラ２３から銅線２ａを順次引き離すことにより、銅線２ａに導電性ペースト３ａを転写する工程と、ローラ２３から引き離されたフィンガー電極部２を構成する銅線２ａを、導電性ペースト３ａを介して光電変換部１の主表面に固定する工程とを備える。【選択図】図５
2011155309.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円柱形状または円筒形状の基材の表面に接着材を塗布する工程と、
前記基材の表面に塗布された前記接着材に複数本の金属線を接触させ、次いで引き離すことにより、複数本の前記金属線の表面に前記接着材を転写する工程と、
前記基材から引き離された前記金属線を、前記接着材を用いて光電変換部の透明導電膜上に固定する工程とを備え、
前記透明導電膜は、４つの角部を切り欠いてなる概略四角形状を有し、
前記基材は、前記透明導電膜の形状に対応する切欠部を有し、  
前記基材の表面に塗布された前記接着材に複数本の前記金属線を接触させた状態で前記基材を回転させることにより、前記切欠部に対応する位置を除き、複数本の前記金属線の前記透明導電膜に対応する領域のみに前記接着材を転写する、光起電力装置の製造方法。
【請求項２】
前記機材の表面に塗布された前記接着材に前記複数本の金属線を、２５ｍｍ以下の長さで接触させる、請求項１に記載の光起電力装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光起電力装置の製造方法および製造装置に関し、特に、光電変換部の主表面に金属線が固定される光起電力装置の製造方法および製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光電変換部の主表面に金属線が固定される光起電力装置の製造方法および製造装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記特許文献１には、平板状の導電性樹脂塗布台（基材）のうちの、光発電素子（光起電力装置）の電極形成面の全面に対応する領域に、導電性接着剤（接着材）を塗布した後、銅線（金属線）を導電性接着剤に一度に接触させて、銅線に導電性接着剤を一度に転写させるとともに、銅線を導電性接着剤を介して電極形成面に固定する光発電素子の製造方法および製造装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平３−６８６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１に開示された光発電素子の製造方法および製造装置では、平板状の導電性樹脂塗布台（基材）の光発電素子（光起電力装置）の電極形成面の全面に対応する領域に導電性接着剤を塗布してその導電性接着剤を一度に銅線に転写しているので、転写時の銅線と導電性接着剤との接触部分の長さが大きくなる。このため、銅線に導電性接着剤を転写した後、銅線を導電性樹脂塗布台から引き離すときに、導電性接着剤の粘着力により銅線に加わる応力によって、銅線が変形しやすくなる。特に、光発電素子の受光面積を大きくするために銅線を細線化すると、銅線がより変形しやすくなる。このように銅線の変形した部分は、光発電素子に接着されにくくなるので、光発電素子（光起電力装置）の製造時における銅線（金属線）の接着不良が発生しやすくなるという問題点がある。
【０００６】
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、製造時における光電変換部に対する金属線の接着不良が発生するのを抑制することが可能な光起電力装置の製造方法および製造装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、この発明の第１の局面における光起電力装置の製造方法は、基材の表面に接着材を塗布する工程と、集電極を構成する金属線の所定の部分毎に接着材を接触させるとともに、基材から金属線を順次引き離すことにより、金属線に接着材を転写する工程と、基材から引き離された集電極を構成する金属線を、接着材を介して光電変換部の主表面に固定する工程とを備える。
【０００８】
この第１の局面による光起電力装置の製造方法では、上記のように、集電極を構成する金属線の所定の部分毎に接着材を接触させるとともに、基材から金属線を順次引き離すことにより、金属線に接着材を転写する工程を備えることによって、転写時に、基材の表面に塗布された接着材の金属線に対する接触部分の長さが大きくなるのを抑制することができるので、基材から金属線を引き離す際に、接着材の粘着力により金属線に加わる応力が大きくなるのを抑制することができる。これにより、基材から金属線を引き離す際に、金属線が変形するのを抑制することができるので、製造時に、光電変換部の主表面に対する金属線の接着不良が発生するのを抑制することができる。
【０００９】
上記第１の局面による光起電力装置の製造方法において、好ましくは、金属線に接着材を転写する工程は、金属線の所定の部分毎の転写位置において、集電極を構成する金属線に対する基材の表面に塗布された接着材の接触部分の長さが２５ｍｍ以下になるようにした状態で、基材から金属線を引き離すことにより、金属線に接着材を転写する工程を含む。このように構成すれば、製造時に、光電変換部の主表面に対する金属線の接着不良が発生するのをより抑制することができる。なお、この点は、後述する実験により確認済みである。
【００１０】
上記第１の局面による光起電力装置の製造方法において、好ましくは、基材は、円柱形状および円筒形状のいずれか一方を有する基材を含む。このように構成すれば、基材から金属線を引き離す際に、円柱形状または円筒形状の基材の表面に塗布された接着材は、金属線に対する接触部分の端側から順に基材に対して引き離されるので、平板状の基材を用いて金属線に接着材を転写する場合のように接触部分の全面が平板状の基材から一度に引き離される場合に比べて、基材から金属線を引き離す際に金属線に加わる応力を小さくすることができる。これにより、金属線が変形するのをより抑制することができる。
【００１１】
上記基材が円柱形状および円筒形状のいずれか一方を有する基材を含む光起電力装置の製造方法において、好ましくは、金属線に接着材を転写する工程は、金属線に接着材を接触させるとともに、円柱形状および円筒形状のいずれか一方を有する基材を回転させながら、金属線の所定の部分毎に連続的に、金属線に接着材を塗布し、かつ、順次金属線を基材から引き離す工程を含む。このように構成すれば、基材から金属線を引き離す際に金属線に加わる応力を小さくしながら、円柱形状または円筒形状の基材の表面に塗布された接着材を、容易に金属線に転写することができる。
【００１２】
上記基材が円柱形状および円筒形状のいずれか一方を有する基材を含む光起電力装置の製造方法において、好ましくは、円柱形状および円筒形状のいずれか一方を有する基材の表面には、光電変換部の主表面上の所定の領域に形成された透明導電膜の形状に対応するように切欠部が形成されており、基材の表面に接着材を塗布する工程は、透明導電膜の形状に対応するように基材の切欠部以外の表面に接着材を塗布する工程を含む。このように構成すれば、光電変換部の透明導電膜が形成された領域のみに接着材を塗布することができるので、透明導電膜が形成された領域のみに金属線を配置することができる。
【００１３】
上記第１の局面による光起電力装置の製造方法において、好ましくは、基材は、平坦面状の表面を有する基材を含む。このように構成すれば、基材の表面に塗布された接着材を、へらなどを用いて容易に均一の厚みにすることができるので、接着材を金属線に容易に均一の厚みで転写することができる。
【００１４】
上記基材が平坦面状の表面を有する基材を含む光起電力装置の製造方法において、好ましくは、平坦面状の表面を有する基材の表面の接着材が塗布される部分は、金属線の長さ方向において、２５ｍｍ以下の長さを有する。このように構成すれば、基材の表面に塗布された接着材の金属線に対する接触部分の長さを、十分に小さくすることができる。これにより、基材から金属線を引き離す際に、接着材の粘着力により金属線に加わる応力を十分に小さくすることができる。
【００１５】
上記基材が平坦面状の表面を有する基材を含む光起電力装置の製造方法において、好ましくは、平坦面状の表面を有する基材は、複数の基材を含み、基材の表面に接着材を塗布する工程は、複数の基材の表面に接着材を塗布する工程を含み、金属線に接着材を転写する工程は、金属線の所定の部分毎に、複数回に分けて、複数の基材に塗布された接着材を塗布し、かつ、順次金属線を基材から引き離す工程を含む。このように構成すれば、金属線に対する基材の表面に塗布された接着材の接触部分の長さを、容易に、小さくすることができるので、基材の表面に塗布された接着材の金属線に対する接触部分の長さを、容易に、小さくすることができる。これにより、基材から金属線を引き離す際に、接着材の粘着力により金属線に加わる応力を、容易に、小さくすることができる。
【００１６】
上記基材が平坦面状の表面を有する基材を含む光起電力装置の製造方法において、好ましくは、平坦面状の表面を有する基材は、複数の基材を含み、基材の表面に接着材を塗布する工程は、複数の基材の表面を実質的に同一平面上に配置するとともに、複数の基材の表面に接着材を塗布する工程を含む。このように構成すれば、複数の基材の表面に一度に接着材を塗布することができるので、接着材の塗布工程を簡略化することができる。
【００１７】
この発明の第２の局面における光起電力装置の製造装置は、集電極を構成する金属線を接着材を介して光電変換部の主表面に固定する光起電力装置の製造方法に用いる製造装置であって、表面に接着材が塗布される基材と、集電極を構成する金属線の所定の部分毎に接着材を接触させるとともに、基材から金属線を順次引き離すことにより、金属線に接着材を転写する転写手段とを備える。
【００１８】
この第２の局面による光起電力装置の製造装置では、上記のように、集電極を構成する金属線の所定の部分毎に接着材を接触させるとともに、基材から金属線を順次引き離すことにより、金属線に接着材を転写する転写手段とを備えることによって、転写時に、基材の表面に塗布された接着材の金属線に対する接触部分の長さが大きくなるのを抑制することができるので、基材から金属線を引き離す際に、接着材の粘着力により金属線に加わる応力が大きくなるのを抑制することができる。これにより、基材から金属線を引き離す際に、金属線が変形するのを抑制することができるので、製造時に、光電変換部の主表面に対する金属線の接着不良が発生するのを抑制することができる。
【００１９】
上記第２の局面による光起電力装置の製造装置において、好ましくは、転写手段は、金属線の所定の部分毎の転写位置において、集電極を構成する金属線に対する基材の表面に塗布された接着材の接触部分の長さが２５ｍｍ以下になるようにした状態で、基材から金属線を引き離すことにより、金属線に接着材を転写する。このように構成すれば、基材から金属線を引き離す際に、金属線が変形するのをより抑制することができるので、製造時に、光電変換部の主表面に対する金属線の接着不良が発生するのをより抑制することができる。なお、この点は、後述する実験により確認済みである。
【００２０】
上記第２の局面による光起電力装置の製造装置において、好ましくは、基材は、円柱形状および円筒形状のいずれか一方を有する基材を含み、転写手段は、金属線に接着材を接触させるとともに、円柱形状および円筒形状のいずれか一方を有する基材を回転させながら、金属線の所定の部分毎に連続的に、金属線に接着材を塗布し、かつ、順次金属線を基材から引き離す。このように構成すれば、基材から金属線を引き離す際に金属線に加わる応力を小さくしながら、円柱形状または円筒形状の基材の表面に塗布された接着材を、容易に金属線に転写することができる。また、円柱形状および円筒形状のいずれか一方を有する基材を設けることによって、基材から金属線を引き離す際に、円柱形状または円筒形状の基材の表面に塗布された接着材は、金属線に対する接触部分の端側から順に基材に対して引き離されるので、平板状の基材を用いて金属線に接着材を転写する場合のように接触部分の全面が平板状の基材から一度に引き離される場合に比べて、基材から金属線を引き離す際に金属線に加わる応力を小さくすることができる。これにより、金属線が変形するのを容易に抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１実施形態による光起電力装置の製造装置により作製される光起電力装置の構成を示した上面図である。
【図２】図１の１００−１００線に沿った断面図である。
【図３】図１の２００−２００線に沿った断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態による光起電力装置の製造装置を説明するための斜視図である。
【図５】本発明の第１実施形態による光起電力装置の製造装置を説明するための断面図である。
【図６】本発明の第１実施形態による光起電力装置の製造装置を説明するための斜視図である。
【図７】本発明の第１実施形態による光起電力装置の製造装置を説明するための断面図である。
【図８】本発明の第１実施形態による光起電力装置の製造装置を説明するための側面図である。
【図９】本発明の第１実施形態による光起電力装置の製造装置を説明するための側面図である。
【図１０】本発明の第１実施形態による光起電力装置の製造装置を用いた銅線への導電性ペーストの転写工程を説明するための断面図である。
【図１１】本発明の第１実施形態による光起電力装置の製造装置を用いた銅線への導電性ペーストの転写工程を説明するための断面図である。
【図１２】本発明の第１実施形態による光起電力装置の製造装置を用いた銅線への導電性ペーストの転写工程を説明するための断面図である。
【図１３】本発明の第２実施形態による光起電力装置の製造装置の構造を説明するための側面図である。
【図１４】本発明の第２実施形態による光起電力装置の製造装置の構造を説明するための斜視図である。
【図１５】本発明の第２実施形態による光起電力装置の製造装置を用いた銅線への導電性ペーストの転写工程を説明するための側面図である。
【図１６】本発明の第２実施形態による光起電力装置の製造装置を用いた銅線への導電性ペーストの転写工程を説明するための側面図である。
【図１７】本発明の第１および第２実施形態による効果を確認するために行った実験を説明するための側面図である。
【図１８】本発明の第１および第２実施形態による効果を確認するために行った実験を説明するための側面図である。
【図１９】本発明の第１実施形態の第１変形例による光起電力装置の製造装置を説明するための斜視図である。
【図２０】本発明の第１実施形態の第２変形例による光起電力装置の製造装置を説明するための断面図である。
【図２１】本発明の第１実施形態の第２変形例による光起電力装置の製造装置を説明するための側面図である。
【図２２】本発明の第１実施形態の第３変形例による光起電力装置の製造装置を用いた銅線への導電性ペーストの転写工程を説明するための側面図である。
【図２３】本発明の第１および第２実施形態の第４変形例による光起電力装置の製造装置により作製される光起電力装置を説明するための図である。
【図２４】本発明の第１および第２実施形態の第５変形例による光起電力装置の製造装置を説明するための斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態による光起電力装置の製造装置により作製される光起電力装置の構成を示した上面図である。図２は、図１の１００−１００線に沿った断面図である。図３は、図１の２００−２００線に沿った断面図である。まず、図１〜図３を参照して、本発明の第１実施形態による光起電力装置の製造装置により作製される光起電力装置の構成について説明する。
【００２３】
本発明の第１実施形態による光起電力装置の製造装置により作製される光起電力装置では、図１に示すように、光電変換部１の上面（主表面）上に、銅線（金属線）からなるとともに、約１００ｍｍの長さと約５０μｍの直径とを有する銅線２ａからなるフィンガー電極部２が、エポキシ系の熱硬化型の導電性ペースト（銀（Ａｇ）ペースト）からなる導電性の接着層３により接着されている。なお、フィンガー電極部２は、本発明の「集電極」の一例である。このフィンガー電極部２および接着層３は、光電変換部１の上面上に、図１のＡ方向に約２ｍｍのピッチ（中心間間隔）で配置されるとともに、図１のＢ方向に互いに平行に延びるように複数設けられている。
【００２４】
また、光電変換部１上の接着層３の両端部から約２５ｍｍ内側の位置に、フィンガー電極部２の延びる方向に対して直交する方向（Ａ方向）に延びるように、２つのバスバー電極部４が形成されている。このバスバー電極部４は、エポキシ系の熱硬化型の導電性ペースト（銀（Ａｇ）ペースト）からなるとともに、約１．５ｍｍの幅を有している。また、フィンガー電極部２および接着層３と、バスバー電極部４とが交差する領域では、図３に示すように、フィンガー電極部２と接着層３とを覆うように、バスバー電極部４が形成されている。このバスバー電極部４により、複数のフィンガー電極部２が互いに電気的に接続されている。
【００２５】
また、光電変換部１では、図２に示すように、約１Ω・ｃｍの抵抗率と、約１０４ｍｍ（縦）×約１０４ｍｍ（横）の平面的な大きさと、約３００μｍの厚みとを有するｎ型単結晶シリコン基板５の上面および下面に、テクスチャ構造（凹凸形状）が形成されている。そして、ｎ型単結晶シリコン基板５の上面上に、約５ｎｍの厚みを有する実質的に真性のｉ型非晶質シリコン層６が形成されている。また、ｉ型非晶質シリコン層６の上面上には、約５ｎｍの厚みを有するｐ型非晶質シリコン層７が形成されている。このｐ型非晶質シリコン層７の上面上の４つの角部には、図１に示すように、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）膜非形成領域７ａが形成されている。また、ｐ型非晶質シリコン層７の上面上の所定の領域には、図１および図２に示すように、約８０ｎｍ〜約１００ｎｍの厚みを有する透明導電膜８が形成されている。この透明導電膜８は、約５質量％のＳｎＯ２を含有するＩｎＯ２からなるＩＴＯ膜によって構成されている。そして、透明導電膜８の上面上には、接着層３を介してフィンガー電極部２が固定されている。
【００２６】
また、ｎ型単結晶シリコン基板５の下面上には、図２に示すように、約５ｎｍの厚みを有する実質的に真性のｉ型非晶質シリコン層９と、約５ｎｍの厚みを有するｎ型非晶質シリコン層１０と、約８０ｎｍ〜約１００ｎｍの厚みを有する透明導電膜１１とが順次形成されている。また、透明導電膜１１の下面上には、所定の間隔を隔てて互いに平行な方向に延びるように形成された複数のフィンガー電極部１２ａと、フィンガー電極部１２ａにより収集された電流を集合させるバスバー電極部（図示せず）とからなる裏面電極１２が形成されている。この裏面電極１２は、エポキシ系の熱硬化型の導電性ペースト（銀（Ａｇ）ペースト）により形成されている。
【００２７】
図４〜図９は、本発明の第１実施形態による光起電力装置のフィンガー電極部の形成工程に用いる製造装置の構造を説明するための図である。次に、図１および図４〜図９を参照して、本発明の第１実施形態による光起電力装置のフィンガー電極部２の形成工程に用いる製造装置の構造について説明する。
【００２８】
本発明の第１実施形態による光起電力装置のフィンガー電極部２の形成工程に用いる製造装置では、まず、フィンガー電極部２を構成する銅線２ａを巻き取る機構として、図４に示すように、ボビン２１と、平行に配置された４本の円柱部２２ａを有する巻取り部材２２とが設けられている。ボビン２１には、光起電力装置の光電変換部１（図１参照）に取り付けられる銅線２ａが巻きつけられている。なお、銅線２ａは、本発明の「金属線」の一例である。また、巻取り部材２２は、回転中心Ｏ１を中心として、等速で回転するとともに、銅線２ａに所定の張力（約０．２Ｎ）を付与しながら、銅線２ａを巻取り部材２２の円柱部２２ａに約２ｍｍのピッチで平行に配置されるように巻き取るように構成されている。
【００２９】
また、本発明の第１実施形態による光起電力装置の製造装置では、銅線２ａに対する導電性ペースト３ａの転写機構として、図５に示すように、円筒状のローラ２３と、円筒状のローラ２３から所定の距離を隔てて配置される厚み調節ローラ２４と、ローラ２３を駆動するためのギア２５、ラック２６および図示しない駆動源を含むローラ駆動部２７とが設けられている。なお、ローラ２３は、本発明の「基材」の一例であり、ローラ駆動部２７は、本発明の「転写手段」の一例である。ローラ２３は、約３１．８ｍｍの直径（円周：約１００ｍｍ）を有するとともに、中心軸の延びる方向に沿って約１１０ｍｍの長さを有する。また、ローラ２３は、回転することにより、ローラ２３の表面に約５０μｍの厚みを有する導電性ペースト３ａが塗布されるように構成されている。なお、導電性ペースト３ａは、本発明の「接着材」の一例である。
【００３０】
ここで、第１実施形態では、図６に示すように、ローラ２３には、光電変換部１（図１参照）のＩＴＯ膜非形成領域７ａ（図１参照）に対応するように切欠部２３ａが形成されている。すなわち、ローラ２３は、銅線２ａの透明導電膜８（図１参照）に対応する領域のみに導電性ペースト３ａが転写されるように形成されている。
【００３１】
また、ローラ２３の軸部２３ｂには、図７に示すように、ギア２５が取り付けられている。また、ギア２５の上側には、ギア２５に係合するギア部２６ａを有するラック２６が、銅線２ａと平行に配置されている。そして、図示しない駆動源により、図８に示すように、ギア２５がラック２６のギア部２６ａに係合しながら回転されることにより、ローラ２３（図７参照）およびギア２５の中心がラック２６および銅線２ａに沿って平行に移動可能に構成されている。これにより、導電性ペースト３ａを、連続的に、銅線２ａに均一の厚みに塗布することが可能となる。
【００３２】
また、本発明の第１実施形態による光起電力装置の製造方法では、図９に示すように、導電性ペースト３ａが転写された銅線２ａを光起電力装置の光電変換部１に貼り付ける際に光電変換部１を固定するための固定台２８が設けられている。
【００３３】
次に、図１〜図５および図９〜図１２を参照して、本発明の第１実施形態による光起電力装置の製造装置を用いた光起電力装置の製造プロセスについて説明する。
【００３４】
まず、図１、図２、図４、図５および図９〜図１２を参照して、フィンガー電極部２の形成工程について説明する。
【００３５】
まず、図４に示すように、フィンガー電極部２を構成する約５０μｍの直径を有する銅線２ａをボビン２１に巻き取る。そして、ボビン２１から引き出した銅線２ａが破断や撓みを生じないように、平行に配置された４本の円柱部２２ａを有する巻取り部材２２を等速で回転するとともに、銅線２ａに所定の張力（約０．２Ｎ）を付与しながら、銅線２ａを巻取り部材２２の円柱部２２ａに約２ｍｍのピッチで平行に配置されるように巻き取る。
【００３６】
そして、図５に示すように、円筒状のローラ２３を回転させることにより、厚み調節ローラ２４の機能により、ローラ２３の表面に約５０μｍの均一な厚みを有する導電性ペースト３ａを塗布する。その後、銅線２ａに所定の張力（約０．２Ｎ）を付与しながら、ローラ２３の導電性ペースト（銀（Ａｇ）ペースト）３ａを銅線２ａに接触させた状態で、図８に示したギア２５およびラック２６からなるローラ駆動部２７を用いて、ローラ２３を回転することにより、導電性ペースト３ａを銅線２ａに連続的に転写する。このとき、導電性ペースト３ａの転写速度と同じ速度でローラ２３を平行移動させる。具体的には、ローラ２３の角速度をω（ｒａｄ／ｓ）、ローラ２３の半径をｒ（ｍｍ）、銅線２ａおよびラック２６に対するローラ２３の移動速度をｖ（ｍｍ／ｓ）とした場合に、以下に示す式（１）を満たすようにする。なお、第１実施形態では、ｒ＝３１．８／２（ｍｍ）である。
【００３７】
ｖ（ｍｍ／ｓ）＝ｒ（ｍｍ）×ω（ｒａｄ／ｓ）・・・（１）
これにより、銅線２ａとローラ２３の表面との間で滑りが生じるのを抑制することが可能となる。
【００３８】
また、第１実施形態では、図１０に示すように、ローラ２３は、表面に塗布された導電性ペースト３ａの銅線２ａに対する接触部分の長さ（Ｌ）が約２．５ｍｍになるように、銅線２ａに接触されている。そして、ローラ２３が１回転することにより、約１００ｍｍの長さを有する銅線２ａに導電性ペースト３ａが塗布されると、ローラ２３は、図１１に示すように、銅線２ａから引き離される方向に移動される。このとき、第１実施形態では、ローラ２３は円筒状に形成されているので、銅線２ａと接触している導電性ペースト３ａは、接触部分の端側から順にローラ２３から引き離されて、徐々に接触部分の長さ（Ｌ）が小さくなる。これにより、平板状の基材を用いて銅線２ａに導電性ペースト３ａを転写する場合のように接触部分の全面が平板状の基材から一度に引き離される場合に比べて、ローラ２３から銅線２ａを引き離す際に銅線２ａに加わる応力を小さくすることが可能となるので、銅線２ａが変形するのを抑制することが可能となる。そして、ローラ２３は、図１２に示すように、銅線２ａから引き離される。なお、第１実施形態では、ローラ２３の切欠部２３ａには、導電性ペースト３ａが塗布されていないので、銅線２ａのローラ２３の切欠部２３ａに対応する領域には、導電性ペースト３ａが塗布されない。
【００３９】
次に、透明導電膜８および１１（図２参照）までが形成された光電変換部１を準備する。そして、図９に示すように、光電変換部１を固定台２８に固定する。その後、約２ｍｍのピッチで平行に配置されるとともに、導電性ペースト３ａが塗布された銅線２ａを光電変換部１の所定の領域に配置する。このとき、銅線２ａのローラ２３の切欠部２３ａに対応する領域には、導電性ペースト３ａが塗布されていない。すなわち、銅線２ａのＩＴＯ膜非形成領域７ａ（図１参照）に対応する領域には、導電性ペースト３ａが塗布されていないので、銅線２ａは、透明導電膜８の上面上のみに導電性ペースト３ａを介して配置される。
【００４０】
そして、熱硬化型の導電性ペースト３ａを透明導電膜８の上面に接触させた状態で、ランプヒータ（図示せず）により約２００℃の温度で約３０分間熱処理を行うことにより、導電性ペースト３ａを硬化させて接着層３を形成する。その後、銅線２ａを所定の位置で切断することにより、透明導電膜８の上面上に、銅線２ａからなるフィンガー電極部２を形成する。
【００４１】
次に、図１および図３を参照して、バスバー電極部４および裏面電極１２の製造プロセスについて説明する。
【００４２】
まず、図１に示したように、スクリーン印刷法を用いて、光電変換部１上の接着層３の両端部から約２５ｍｍ内側の位置に、フィンガー電極部２および接着層３の延びる方向に対して直交する方向（Ａ方向）に延びるように、導電性ペーストを転写する。なお、この導電性ペーストとしては、エポキシ系の熱硬化型の導電性ペースト（銀（Ａｇ）ペースト）を用いる。この後、加熱炉内で約２００℃で約１時間加熱することにより導電性ペーストを硬化させる。これにより、光電変換部１上の所定の領域に、複数のフィンガー電極部２を互いに接続するバスバー電極部４が形成される。このとき、このバスバー電極部４がフィンガー電極部２および接着層３と交差する位置では、図３に示すように、フィンガー電極部２および接着層３を覆うようにバスバー電極部４が形成される。
【００４３】
その後、スクリーン印刷法を用いて、エポキシ系の熱硬化型の導電性ペースト（銀（Ａｇ）ペースト）を裏面側の透明導電膜１１の所定の領域上に転写した後、加熱炉内で約２００℃で約１時間加熱することにより導電性ペーストを硬化させて裏面電極１２を形成する。これにより、透明導電膜１１の下面上に所定の間隔を隔てて互いに平行に延びるように形成された複数のフィンガー電極部１２ａと、フィンガー電極部１２ａにより収集された電流を集合させるバスバー電極部（図示せず）とからなる裏面電極１２が形成される。このようにして、図１に示した本発明の第１実施形態による光起電力装置の製造装置を用いた光起電力装置が作製される。
【００４４】
第１実施形態では、上記のように、導電性ペースト３ａに銅線２ａを接触させるとともに、円筒状のローラ２３を回転させながら、銅線２ａに導電性ペースト３ａを連続的に転写することによって、銅線２ａの所定の部分毎に導電性ペースト３ａを接触させるとともに、ローラ２３から銅線２ａを順次引き離すことができるので、転写時に、ローラ２３の表面に塗布された導電性ペースト３ａの銅線２ａに対する接触部分の長さ（Ｌ）が大きくなるのを抑制することができる。これにより、ローラ２３から銅線２ａを引き離す際に、導電性ペースト３ａの粘着力により銅線２ａに加わる応力が大きくなるのを抑制することができるので、ローラ２３から銅線２ａを引き離す際に、銅線２ａが変形するのを抑制することができる。その結果、製造時に、光電変換部１の主表面に対する銅線２ａの接着不良が発生するのを抑制することができる。
【００４５】
また、第１実施形態では、銅線２ａに対するローラ２３の表面に塗布された導電性ペースト３ａの接触部分の長さを２．５ｍｍにした状態で、ローラ２３から銅線２ａを引き離すことによって、ローラ２３の表面に塗布された導電性ペースト３ａの銅線２ａに対する接触部分の長さを小さくすることができるので、ローラ２３から銅線２ａを引き離す際に、導電性ペースト３ａの粘着力により銅線２ａに加わる応力が大きくなるのをより抑制することができる。これにより、ローラ２３から銅線２ａを引き離す際に、銅線２ａが変形するのをより抑制することができるので、製造時に、光電変換部１の主表面に対する銅線２ａの接着不良が発生するのをより抑制することができる。なお、この点は、後述する実験により確認済みである。
【００４６】
また、第１実施形態では、円筒状のローラ２３を用いることによって、ローラ２３から銅線２ａを引き離す際に、円筒状のローラ２３の表面に塗布された導電性ペースト３ａを、銅線２ａに対する接触部分の端側から順にローラ２３に対して引き離すことができるので、平板状の基材を用いて銅線２ａに導電性ペースト３ａを転写する場合のように接触部分の全面が平板状の基材から一度に引き離される場合に比べて、ローラ２３から銅線２ａを引き離す際に銅線２ａに加わる応力を小さくすることができる。これにより、銅線２ａが変形するのをより抑制することができる。
【００４７】
（第２実施形態）
図１３および図１４は、本発明の第２実施形態による光起電力装置の製造装置の構造を説明するための図である。図１３および図１４を参照して、この第２実施形態では、上記第１実施形態と異なり、銅線に導電性ペーストを塗布するための基材として、平板状の基台を用いる場合について説明する。なお、この第２実施形態による光起電力装置の製造装置により作製される光起電力装置の構造は、上記第１実施形態と同様である。
【００４８】
本発明の第２実施形態による光起電力装置の製造装置では、導電性ペースト３ａの塗布機構として、図１３に示すように、複数のＳＵＳ製の平板状の基台３１と、導電性ペースト３ａを平板状の基台３１に均一に塗布するためのへら３２とが設けられている。なお、基台３１は、本発明の「基材」の一例である。
【００４９】
ここで、第２実施形態では、図１４に示すように、平板状の基台３１は、銅線２ａの長さ方向（Ｃ方向）において、所定の長さを有するように形成されている。
【００５０】
なお、第２実施形態による光起電力装置の製造装置のその他の構成は、上記第１実施形態と同様である。
【００５１】
次に、図４および図１３〜図１６を参照して、本発明の第２実施形態による光起電力装置の製造装置を用いた光起電力装置の製造プロセスについて説明する。
【００５２】
まず、図４および図１３〜図１６を参照して、フィンガー電極部２を構成する銅線２ａの光電変換部１への取付工程について説明する。
【００５３】
まず、上記第１実施形態と同様にして、図４に示すように、フィンガー電極部２を構成する約５０μｍの直径を有する銅線２ａをボビン２１に巻き取る。そして、ボビン２１から引き出した銅線２ａが破断や撓みを生じないように、平行に配置された４本の円柱部２２ａを有する巻取り部材２２を等速で回転するとともに、銅線２ａに所定の張力（約０．２Ｎ）を付与しながら、銅線２ａを巻取り部材２２の円柱部２２ａに約２ｍｍのピッチで平行に配置されるように巻き取る。
【００５４】
そして、第２実施形態では、図１３に示すように、複数の平板状の基台３１の表面を実質的に同一平面状になるように隣接して配置する。その後、図１３および図１５に示すように、へら３２（図１３参照）により、導電性ペースト３ａを平板状の基台３１に均一の厚みに塗布する。その後、図１４に示すように、銅線２ａに所定の張力（約０．２Ｎ）を付与しながら、基台３１の導電性ペースト（銀（Ａｇ）ペースト）３ａを銅線２ａに転写する。
【００５５】
このとき、第２実施形態では、図１４および図１６に示すように、複数の平板状の基台３１のうちの１つの基台３１を銅線２ａに接触させた後、その基台３１を銅線２ａから引き離すことにより、導電性ペースト３ａを銅線２ａに転写する。そして、複数の平板状の基台３１のうちの残りの基台３１についても、同様に、基台３１を１つずつ銅線２ａに接触させて引き離すことにより導電性ペースト３ａを転写する。そして、銅線２ａの所定の領域全てに導電性ペースト３ａが転写されるまで、順次、銅線２ａへの導電性ペースト３ａの転写が行われる。
【００５６】
なお、第２実施形態による光起電力装置の製造装置を用いた光起電力装置のその他の製造プロセスは、上記第１実施形態と同様である。
【００５７】
第２実施形態では、上記のように、複数の平板状の基台３１を用いて、複数回に分けて、銅線２ａに導電性ペースト３ａを順次転写することによって、銅線２ａに対する基台３１の表面に塗布された導電性ペースト３ａの接触部分の長さが大きくなるのを抑制することができるので、基台３１から銅線２ａを引き離す際に、導電性ペースト３ａの粘着力により銅線２ａに加わる応力が大きくなるのを抑制することができる。これにより、ローラ２３から銅線２ａを引き離す際に、銅線２ａが変形するのを抑制することができるので、製造時に、光電変換部１の主表面に対する銅線２ａの接着不良が発生するのを抑制することができる。
【００５８】
第２実施形態では、上記のように、銅線２ａに導電性ペースト３ａを塗布するために平板状の基台３１を用いることによって、基台３１の表面に塗布された導電性ペースト３ａを、へら３２などを用いて容易に均一の厚みにすることができるので、銅線２ａに導電性ペースト３ａを容易に均一の厚みで転写することができる。
【００５９】
また、第２実施形態では、複数の基台３１の表面を実質的に同一平面上に配置するとともに、複数の基台３１の表面に導電性ペースト３ａを塗布することによって、複数の基台３１の表面に一度に導電性ペースト３ａを塗布することができるので、導電性ペースト３ａの塗布工程を簡略化することができる。
【００６０】
なお、第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。
【００６１】
図１７および図１８は、本発明の第１および第２実施形態による効果を確認するために行った実験を説明するための図である。次に、上記した本発明の第１および第２実施形態による効果を確認するために行った実験について説明する。この実験では、第１実施形態による光起電力装置の製造装置を用いて実施例１による光起電力装置を作製するとともに、第２実施形態による光起電力装置の製造装置を用いて実施例２〜５による光起電力装置を作製し、かつ、第２実施形態による光起電力装置の製造装置の基台よりも大きいサイズの１つの基台を用いて比較例１による光起電力装置を作製した。そして、その作製した光起電力装置について、光電変換部１への銅線２ａの接着不良の発生率を比較した。
【００６２】
（実施例１）
この実施例１では、ローラ２３を用いて、銅線２ａに導電性ペースト３ａを転写した。具体的には、ローラ２３の表面に塗布された約５０μｍの厚みを有する導電性ペースト３ａに、２．５ｍｍの長さで銅線２ａを接触させて銅線２ａに導電性ペースト３ａを転写した。これ以外は、上記第１実施形態と同様にして、実施例１による光起電力装置を１００個作製した。
【００６３】
（実施例２）
この実施例２では、ＳＵＳ製の平板状からなるとともに、銅線２ａの長さ方向に沿って２．５ｍｍの長さを有する４０個の基台３１を用いて、銅線２ａに導電性ペースト３ａを塗布した。具体的には、１つの基台３１の表面に塗布された約５０μｍの厚みを有する導電性ペースト３ａに、２．５ｍｍの長さで銅線２ａを接触させた後、その基台３１を銅線２ａから引き離すことにより、銅線２ａに導電性ペースト３ａを転写した。そして、残りの３９個の基台３１についても、同様に、順次、銅線２ａに導電性ペースト３ａを転写した。これ以外は、上記第２実施形態と同様にして、実施例２による光起電力装置を１００個作製した。
【００６４】
（実施例３）
この実施例３では、ＳＵＳ製の平板状からなるとともに、銅線２ａの長さ方向に沿って１０ｍｍの長さを有する１０個の基台３１を用いて、銅線２ａに導電性ペースト３ａを塗布した。具体的には、１つの基台３１の表面に塗布された約５０μｍの厚みを有する導電性ペースト３ａに、１０ｍｍの長さで銅線２ａを接触させた後、その基台３１を銅線２ａから引き離すことにより、銅線２ａに導電性ペースト３ａを転写した。そして、残りの９個の基台３１についても、同様に、順次、銅線２ａに導電性ペースト３ａを転写した。これ以外は、上記第２実施形態と同様にして、実施例２による光起電力装置を１００個作製した。
【００６５】
（実施例４）
この実施例４では、ＳＵＳ製の平板状からなるとともに、銅線２ａの長さ方向に沿って２５ｍｍの長さを有する４個の基台３１を用いて、銅線２ａに導電性ペースト３ａを塗布した。具体的には、１つの基台３１の表面に塗布された約５０μｍの厚みを有する導電性ペースト３ａに、２５ｍｍの長さで銅線２ａを接触させた後、その基台３１を銅線２ａから引き離すことにより、銅線２ａに導電性ペースト３ａを転写した。そして、残りの３個の基台３１についても、同様に、順次、銅線２ａに導電性ペースト３ａを転写した。これ以外は、上記第２実施形態と同様にして、実施例２による光起電力装置を１００個作製した。
【００６６】
（実施例５）
この実施例５では、ＳＵＳ製の平板状からなるとともに、銅線２ａの長さ方向に沿って５０ｍｍの長さを有する２個の基台３１を用いて、銅線２ａに導電性ペースト３ａを塗布した。具体的には、一方の基台３１の表面に塗布された約５０μｍの厚みを有する導電性ペースト３ａに、５０ｍｍの長さで銅線２ａを接触させた後、その基台３１を銅線２ａから引き離すことにより、銅線２ａに導電性ペースト３ａを転写した。そして、他方の基台３１についても、同様に、銅線２ａに導電性ペースト３ａを転写した。これ以外は、上記第２実施形態と同様にして、実施例５による光起電力装置を１００個作製した。
【００６７】
（比較例１）
この比較例１では、ＳＵＳ製の平板状からなるとともに、銅線２ａの長さ方向に沿って１００ｍｍの長さを有する１つの基台を用いて、銅線２ａに導電性ペースト３ａを塗布した。具体的には、基台の表面に塗布された約５０μｍの厚みを有する導電性ペースト３ａに、１００ｍｍの長さで銅線２ａを接触させた後、基台を銅線２ａから引き離すことにより、銅線２ａに導電性ペースト３ａを転写した。これ以外は、上記第２実施形態と同様にして、比較例１による光起電力装置を１００個作製した。
【００６８】
次に、上記のようにして作製した実施例１〜実施例５および比較例１による光起電力装置について、光電変換部１への銅線２ａの接着不良の発生率を比較した。具体的には、図１７および図１８に示すように、銅線２ａが変形して曲がることにより、銅線２ａが光電変換部１に１０ｍｍ以上にわたって接着していない部分がある場合を接着不良とした。以下の表１に、光電変換部１への銅線２ａの接着不良の発生率を示す。
【００６９】
【表１】
2011155309.tif 000003
【００７０】
上記表１の結果から、基材（ローラ２３および基台３１）に塗布された導電性ペースト３ａの銅線２ａに対する接触部分の長さが小さくなるにしたがって、光電変換部１への銅線２ａの接着不良の発生率が小さくなることが判明した。具体的には、基材（ローラ２３および基台３１）に塗布された導電性ペースト３ａの銅線２ａに対する接触部分の長さが２．５ｍｍである実施例１および２の接着不良率は、それぞれ、５％および７％であるとともに、接触部分の長さが１０ｍｍである実施例３の接着不良率は９％であり、接触部分の長さが２５ｍｍである実施例４の接着不良率は１１％であった。また、接触部分の長さが５０ｍｍである実施例５の接着不良率は２１％であり、接触部分の長さが１００ｍｍである比較例１の接着不良率は２５％であった。これは、基材（ローラ２３および基台３１）に塗布された導電性ペースト３ａの銅線２ａに対する接触部分の長さを小さくするにしたがって、銅線２ａを、基材（ローラ２３および基台３１）から引き離すときに銅線２ａに加わる応力を小さくすることができたので、銅線２ａが変形するのを抑制することができたことによると考えられる。これにより、銅線２ａが変形することによる光電変換部１への銅線２ａの接着不良率を低減するためには、銅線２ａに導電性ペースト３ａを転写する際に、基材（ローラ２３および基台３１）に塗布された導電性ペースト３ａの銅線２ａに対する接触部分の長さを小さくすることが好ましいことが判明した。
【００７１】
また、上記表１の結果から、基材（ローラ２３および基台３１）に塗布された導電性ペースト３ａの銅線２ａに対する接触部分の長さが２５ｍｍ以下の場合に、光電変換部１への銅線２ａの接着不良の発生率が十分に小さくなることが判明した。
【００７２】
また、上記表１の結果から、２．５ｍｍの接触部分の長さでローラ２３を用いて銅線２ａに導電性ペースト３ａが転写されて作製された実施例１による光起電力装置の銅線２ａの接着不良率（５％）が、同じ接触部分の長さ（２．５ｍｍ）で平板状の基台３１を用いて銅線２ａに導電性ペースト３ａが転写されて作製された実施例２による光起電力装置の銅線２ａの接着不良率（７％）に比べて小さくなったことが分かる。これは以下の理由によると考えられる。すなわち、ローラ２３を用いて銅線２ａに導電性ペースト３ａが転写されて作製された実施例１では、銅線２ａをローラ２３から引き離す際に、ローラ２３の表面に塗布された導電性ペースト３ａを接触部分の端側から順にローラ２３から引き離すことができるので、平板状の基台３１を用いて銅線２ａに導電性ペースト３ａを転写する実施例２のように接触部分の全面が平板状の基台３１から一度に引き離される場合に比べて、ローラ２３から銅線２ａを引き離す際に銅線２ａに加わる応力を小さくすることができる。これにより、銅線２ａが変形するのを抑制することができたと考えられる。
【００７３】
なお、今回開示された実施形態および実施例は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態および実施例の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００７４】
たとえば、上記実施形態では、ｎ型単結晶シリコン基板上にｉ型非晶質シリコン層を介してｐ型非晶質シリコン層を形成した光起電力装置を例にとって説明したが、本発明はこれに限らず、光電変換部の主表面に集電極を構成する金属線が固定される光起電力装置であれば、単結晶シリコン系、多結晶シリコン系、薄膜シリコン系、化合物半導体系、色素増感系、有機系などの種々の光起電力装置について本発明を適用することができる。
【００７５】
また、上記第１実施形態では、銅線に導電性ペーストを塗布するために円筒状のローラを用いた例について示したが、本発明はこれに限らず、図１９に示した第１実施形態の第１変形例のように、銅線に導電性ペーストを塗布するために、円柱状のローラ２３ｃを用いてもよい。また、多角形の断面形状を有する基材を用いてもよい。この場合も、円筒状のローラを用い場合と同様、導電性ペーストの銅線に対する接触部分の長さを小さくすることが可能である。
【００７６】
また、上記第１実施形態では、円筒状のローラに導電性ペーストを均一に塗布するために、ローラから所定の距離を隔てて配置される厚み調節ローラを用いた例について示したが、本発明はこれに限らず、円筒状のローラに導電性ペーストを均一に塗布するために、ローラから所定の距離を隔てて配置されるへらなどを用いてもよい。
【００７７】
また、上記第１実施形態では、ローラの軸部に取り付けられたギアの上側に、ギアに係合するギア部を有するラックを配置した例について示したが、本発明はこれに限らず、図２０および図２１に示した第１実施形態の第２変形例のように、ローラ２３の軸部２３ｂに取り付けられたギア２５の下側にラック２６ｂを配置してもよいし、ギア２５とラック２６ｂのギア部２６ｃとの間に中間ギア２９を配置してもよい。この場合、中間ギア２９は、１つであってもよいし、複数であってもよい。
【００７８】
また、上記実施形態では、導電性ペーストを約５０μｍの厚みでローラおよび基台に塗布した例について示したが、本発明はこれに限らず、導電性ペーストの材質、金属線の材質および光電変換部の表面の材質などにより、導電性ペーストを最適な厚みでローラおよび基台に塗布すればよい。
【００７９】
また、上記実施形態では、円筒状のローラの円周の長さを、透明導電膜に対する銅線の接着長さと実質的に同じ長さになるように構成した例について示したが、本発明はこれに限らず、円筒状のローラの円周の長さを、透明導電膜に対する銅線の接着長さと異なる長さにしてもよい。
【００８０】
また、上記第１実施形態では、導電性ペーストの銅線への塗布量を均一にするために、ローラの中心を銅線に沿って平行に移動させた例について示したが、本発明はこれに限らず、導電性ペーストの銅線への塗布量を部分的に変えるために、ローラの中心を銅線に対して平行以外の方向に移動させてもよい。たとえば、銅線の端部の接着強度を大きくするために、銅線の端部の導電性ペーストの塗布量を多くする場合には、図２２に示した第１実施形態の第３変形例のように、銅線２ａの両端部においてローラ２３の中心が銅線２ａに対して近づくように移動させればよい。
【００８１】
また、上記実施形態では、１つの光電変換部を用いて光起電力装置を作製した例について説明したが、本発明はこれに限らず、２つ以上の光電変換部を用いて光起電力装置を作製してもよい。この場合、図２３に示した第４変形例のように、銅線からなるフィンガー電極部３３を隣接する光電変換部１の裏面電極として用いてもよい。また、複数のフィンガー電極部３３を互いに接続するためにバスバー電極部（図示せず）を設けてもよい。
【００８２】
また、上記実施形態では、接着層、バスバー電極部および裏面電極の材料として、エポキシ系の熱硬化型の導電性ペーストを用いたが、本発明はこれに限らず、接着層、バスバー電極部および裏面電極の材料として、エポキシ系以外の樹脂材料を含む導電性ペーストを用いてもよい。たとえば、ポリエステル系、アクリル系、ポリビニル系、ポリウレタン系およびフェノール系などの樹脂材料を含む導電性ペーストを用いてもよい。ただし、この場合には、各樹脂に適応した硬化条件を用いることによって導電性ペーストを硬化させる必要がある。
【００８３】
また、上記実施形態では、接着層、バスバー電極部および裏面電極の材料として、１種類の導電性ペーストを用いたが、本発明はこれに限らず、接着層、バスバー電極部および裏面電極の材料として、複数種類の導電性ペーストを用いてもよい。たとえば、フィンガー電極部、バスバー電極部および裏面電極の端部の接着強度を向上させるために、端部のみに接着強度の大きい導電性ペーストを用いてもよい。また、フィンガー電極部、バスバー電極部および裏面電極の材料として、それぞれ、別の種類の導電性ペーストを用いてもよい。この場合、たとえば、フィンガー電極部に用いる導電性ペーストとしては、透明導電膜と接着強度の大きい導電性ペーストを用いるのが好ましい。
【００８４】
また、上記実施形態では、ボビンから引き出した銅線を、巻取り部材の４本の円柱部に平行に巻き取り光電変換部に接着した例を示したが、本発明はこれに限らず、巻取り部材の円柱部を２本以上設けるとともに、ボビンから引き出した銅線を、巻取り部材の２本以上の円柱部に平行に巻き取り光電変換部に接着してもよいし、図２４に示した本発明の第１および第２実施形態の第５実施例のように、巻取り部材２２ｂに１つの柱部２２ｃを設けるとともに、ボビンから引き出した銅線を、巻取り部材２２ｂの１つの柱部２２ｃに平行に巻き取り光電変換部に接着してもよい。
【００８５】
また、上記実施形態では、導電性ペーストの金属粒子として銀を用いた例を示したが、本発明はこれに限らず、導電性を有するものであれば特に限定されるものではなく、導電性ペーストの金属粒子として、たとえば、金、銅、ニッケル、アルミニウムなどの金属を用いてもよいし、これらの合金を用いてもよい。また、２種類以上の金属を混合して用いることも可能である。
【００８６】
また、上記実施形態では、ｎ型単結晶シリコン基板の上面および下面にテクスチャ構造を形成した例について示したが、本発明はこれに限らず、ｎ型単結晶シリコン基板の上面および下面にテクスチャ構造（凹凸形状）を形成しなくてもよい。
【００８７】
また、上記実施形態では、フィンガー電極部として約５０μｍの直径を有する円形の断面の銅線を用いたが、本発明はこれに限らず、フィンガー電極部として種々の構成の金属線を用いることができる。たとえば、約５０μｍ以外の直径を有する金属線や、矩形状などの円形状以外の断面形状を有する金属線や、銅線以外の金属や合金などからなる金属線や、表面の一部または全部に金属または合金のメッキを施した金属線などをフィンガー電極部として用いることができる。また、フィンガー電極部を配置する数および間隔についても、種々の構成を適用することができる。
【００８８】
また、上記実施形態では、約１．５ｍｍの幅を有する２本のバスバー電極部をそれぞれ光電変換部の両側の端部から約２５ｍｍの位置に互いに平行な方向に延びるように形成したが、本発明はこれに限らず、バスバー電極部の数、幅および形成位置として上記以外の種々の構成を適用することができる。
【００８９】
また、上記実施形態では、バスバー電極部とフィンガー電極部とが交差する領域において、バスバー電極部がフィンガー電極部上を覆うように構成したが、本発明はこれに限らず、バスバー電極部とフィンガー電極部とが電気的に接続されていれば、バスバー電極部とフィンガー電極部とが交差する領域において、フィンガー電極部の上面上の全ての領域を覆うようにバスバー電極部が形成されている必要はなく、フィンガー電極部の上面の一部のみを覆うように、バスバー電極部を設けてもよい。
【００９０】
また、上記実施形態では、裏面電極を光電変換部の表面側の接着層を形成した後に形成したが、本発明はこれに限らず、透明導電膜を形成した後、接着層を形成する前に裏面電極を形成してもよい。また、接着層にフィンガー電極部を接触させた後に裏面電極を形成してもよい。
【００９１】
また、上記実施形態では、導電性ペースト（銀（Ａｇ）ペースト）を加熱して硬化させることにより裏面電極を形成しているが、本発明はこれに限らず、上記以外の方法により
裏面電極を形成してもよい。たとえば、Ａｌなどを蒸着することにより裏面電極を形成したり、表面側のフィンガー電極部と同様に、金属線を接着層により接着することによって裏面電極を形成してもよい。
【００９２】
また、上記実施形態では、裏面側の透明導電膜の下面上にバスバー電極部とフィンガー電極部とからなる裏面電極を形成したが、本発明はこれに限らず、裏面側の透明導電膜の下面上の全体を覆うように裏面電極を形成してもよい。
【符号の説明】
【００９３】
１  光電変換部
２  フィンガー電極部（集電極）
２ａ  銅線（金属線）
３ａ  導電性ペースト（接着材）
８  透明導電膜
２１  ボビン（転写手段）
２３  ローラ（基材）
２３ａ  切欠部
３１  基台（基材）
【図１】
2011155309.tif 000004
【図２】
2011155309.tif 000005
【図３】
2011155309.tif 000006
【図４】
2011155309.tif 000007
【図５】
2011155309.tif 000008
【図６】
2011155309.tif 000009
【図７】
2011155309.tif 000010
【図８】
2011155309.tif 000011
【図９】
2011155309.tif 000012
【図１０】
2011155309.tif 000013
【図１１】
2011155309.tif 000014
【図１２】
2011155309.tif 000015
【図１３】
2011155309.tif 000016
【図１４】
2011155309.tif 000017
【図１５】
2011155309.tif 000018
【図１６】
2011155309.tif 000019
【図１７】
2011155309.tif 000020
【図１８】
2011155309.tif 000021
【図１９】
2011155309.tif 000022
【図２０】
2011155309.tif 000023
【図２１】
2011155309.tif 000024
【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
2011155309.tif 000027
【手続補正書】
【提出日】平成23年5月17日(2011.5.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項２】
前記基材の表面に塗布された前記接着材に前記複数本の金属線を、２５ｍｍ以下の長さで接触させる、請求項１に記載の光起電力装置の製造方法。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するために、この発明に係る光起電力装置の製造方法は、円柱形状または円筒形状の基材の表面に接着材を塗布する工程と、基材の表面に塗布された接着材に複数本の金属線を接触させ、次いで引き離すことにより、複数本の金属線の表面に接着材を転写する工程と、基材から引き離された金属線を、接着材を用いて光電変換部の透明導電膜上に固定する工程とを備え、透明導電膜は、４つの角部を切り欠いてなる概略四角形状を有し、基材は、透明導電膜の形状に対応する切欠部を有し、基材の表面に塗布された接着材に複数本の金属線を接触させた状態で基材を回転させることにより、切欠部に対応する位置を除き、複数本の金属線の透明導電膜に対応する領域のみに前記接着材を転写する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明に係る光起電力装置の製造方法では、上記の構成を備えることによって、転写時に、基材の表面に塗布された接着材の金属線に対する接触部分の長さが大きくなるのを抑制することができるので、基材から金属線を引き離す際に、接着材の粘着力により金属線に加わる応力が大きくなるのを抑制することができる。これにより、基材から金属線を引き離す際に、金属線が変形するのを抑制することができるので、製造時に、光電変換部の主表面に対する金属線の接着不良が発生するのを抑制することができる。また、光電変換部の透明導電膜が形成された領域のみに接着材を塗布することができるので、透明導電膜が形成された領域のみに金属線を配置することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】