(57)【要約】【課題】インタレース読み出しにおけるノイズを低減することができる固体撮像装置を提供することを課題とする。【解決手段】光電変換により電荷を生成するｎ行目及びｎ＋１行目の光電変換素子（１）と、電荷を蓄積するｎ行目、ｎ＋１行目及びｎ＋２行目の浮遊拡散領域（４）と、ｎ行目の光電変換素子により生成された電荷をｎ行目の浮遊拡散領域に転送するｎ行目の第１の電荷転送素子（２）と、ｎ行目の光電変換素子により生成された電荷をｎ＋１行目の浮遊拡散領域に転送するｎ行目の第２の電荷転送素子（３）と、ｎ＋１行目の光電変換素子により生成された電荷をｎ＋１行目の浮遊拡散領域に転送するｎ＋１行目の第１の電荷転送素子（２）と、ｎ＋１行目の光電変換素子により生成された電荷をｎ＋２行目の浮遊拡散領域に転送するｎ＋１行目の第２の電荷転送素子（３）とを有する固体撮像装置が提供される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２次元行列の画素部を有する固体撮像装置であって、
光電変換により電荷を生成するｎ（ｎは自然数）行目の光電変換素子と、
光電変換により電荷を生成するｎ＋１行目の光電変換素子と、
電荷を蓄積するｎ行目の浮遊拡散領域と、
電荷を蓄積するｎ＋１行目の浮遊拡散領域と、
電荷を蓄積するｎ＋２行目の浮遊拡散領域と、
前記ｎ行目の光電変換素子により生成された電荷を前記ｎ行目の浮遊拡散領域に転送するｎ行目の第１の電荷転送素子と、
前記ｎ行目の光電変換素子により生成された電荷を前記ｎ＋１行目の浮遊拡散領域に転送するｎ行目の第２の電荷転送素子と、
前記ｎ＋１行目の光電変換素子により生成された電荷を前記ｎ＋１行目の浮遊拡散領域に転送するｎ＋１行目の第１の電荷転送素子と、
前記ｎ＋１行目の光電変換素子により生成された電荷を前記ｎ＋２行目の浮遊拡散領域に転送するｎ＋１行目の第２の電荷転送素子と
を有することを特徴とする固体撮像装置。
【請求項２】
前記ｎ行目の第２の電荷転送素子及び前記ｎ＋１行目の第１の電荷転送素子は、前記ｎ行目の光電変換素子により生成された電荷及び前記ｎ＋１行目の光電変換素子により生成された電荷を前記ｎ＋１行目の浮遊拡散領域に転送することにより加算することを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置。
【請求項３】
前記ｎ行目の第１の電荷転送素子は、前記ｎ行目の光電変換素子により生成された電荷を前記ｎ行目の浮遊拡散領域に転送し、その後、前記ｎ＋１行目の第１の電荷転送素子は、前記ｎ＋１行目の光電変換素子により生成された電荷を前記ｎ＋１行目の浮遊拡散領域に転送することを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置。
【請求項４】
第１のモードでは、前記ｎ行目の第１の電荷転送素子は、前記ｎ行目の光電変換素子により生成された電荷を前記ｎ行目の浮遊拡散領域に転送し、その後、前記ｎ＋１行目の第１の電荷転送素子は、前記ｎ＋１行目の光電変換素子により生成された電荷を前記ｎ＋１行目の浮遊拡散領域に転送し、
第２のモードでは、前記ｎ行目の第２の電荷転送素子及び前記ｎ＋１行目の第１の電荷転送素子は、前記ｎ行目の光電変換素子により生成された電荷及び前記ｎ＋１行目の光電変換素子により生成された電荷を前記ｎ＋１行目の浮遊拡散領域に転送することにより加算することを特徴とする請求項１記載の固体撮像装置。
【請求項５】
前記第１のモードではプログレッシブ読み出しが行われ、前記第２のモードではインタレース読み出しが行われることを特徴とする請求項４記載の固体撮像装置。
【請求項６】
前記ｎ行目の第１の電荷転送素子、前記ｎ行目の第２の電荷転送素子、前記ｎ＋１行目の第１の電荷転送素子及び前記ｎ＋１行目の第２の電荷転送素子のうちの少なくとも１つは、オーバーフロードレインとして、前記ｎ行目の光電変換素子及び前記ｎ＋１行目の光電変換素子からの過剰な電荷のオーバーフロー動作を行うことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、固体撮像装置を用いた業務用及び家庭用ビデオカメラが広く普及している。これらビデオカメラの映像出力には、２つのモードが存在する。一つは、テレビジョン方式例えば、ＮＴＳＣ方式やＰＡＬ方式といったテレビジョン方式に対応した、水平信号ラインを１ラインおきに走査するインタレースモードである。もう一つは、コンピュータ用ディスプレイへの出力や、映画等に適した、全ての水平信号ラインを順次走査するプログレッシブモードである。
【０００３】
ＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）イメージセンサに代表される、画素ごとに増幅手段を備えた増幅型固体撮像装置において、高速なインタレース読み出しを実現するための方法が特許文献１に記されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−３４８０４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の技術は、インタレースモードにおいて列アンプを用いて、奇数行の増幅素子からの出力と偶数行の増幅素子からの出力とを平均化するものである。この構成における、Ｓ／Ｎ比（信号振幅をノイズ振幅で除した値）について考える。この手法によれば、信号演算は、電荷加算ではなく電圧平均化である。そのため、信号振幅は増幅されず、１倍のままである。増幅素子で発生するノイズ振幅は、２つの増幅素子の出力が平均化されるため、減少する。増幅素子で発生するノイズは、２つ出力の平均を演算すれば、振幅が２の平方根の逆数倍（約０．７倍）になる。よって、Ｓ／Ｎ比は２の平方根倍（約１．４倍）となる。２つの画素からの信号を用いているにもかかわらず、Ｓ／Ｎ比は２倍とはならず１．４倍にとどまっている。
【０００６】
本発明の目的は、プログレッシブ読み出し及びインタレース読み出しが可能であり、インタレース読み出しにおけるノイズを低減することができる固体撮像装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の固体撮像装置は、２次元行列の画素部を有する固体撮像装置であって、光電変換により電荷を生成するｎ（ｎは自然数）行目の光電変換素子と、光電変換により電荷を生成するｎ＋１行目の光電変換素子と、電荷を蓄積するｎ行目の浮遊拡散領域と、電荷を蓄積するｎ＋１行目の浮遊拡散領域と、電荷を蓄積するｎ＋２行目の浮遊拡散領域と、前記ｎ行目の光電変換素子により生成された電荷を前記ｎ行目の浮遊拡散領域に転送するｎ行目の第１の電荷転送素子と、前記ｎ行目の光電変換素子により生成された電荷を前記ｎ＋１行目の浮遊拡散領域に転送するｎ行目の第２の電荷転送素子と、前記ｎ＋１行目の光電変換素子により生成された電荷を前記ｎ＋１行目の浮遊拡散領域に転送するｎ＋１行目の第１の電荷転送素子と、前記ｎ＋１行目の光電変換素子により生成された電荷を前記ｎ＋２行目の浮遊拡散領域に転送するｎ＋１行目の第２の電荷転送素子とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
ｎ行目の第２の電荷転送素子及びｎ＋１行目の第１の電荷転送素子を用いて、ｎ行目の光電変換素子により生成された電荷及びｎ＋１行目の光電変換素子により生成された電荷をｎ＋１行目の浮遊拡散領域上で加算し、インタレース読み出しを行うことができる。これにより、ｎ＋１行目の浮遊拡散領域に蓄積される電荷が２倍となり、ノイズは１倍であるので、Ｓ／Ｎ比は２倍に向上し、良好な画像を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１の実施形態の画素回路構成例を示す図である。
【図２】第１の実施形態によるインタレース読み出し駆動パタンを示す図である。
【図３】第１の実施形態によるプログレッシブ読み出し駆動パタンを示す図である。
【図４】第２の実施形態によるインタレース読み出し駆動パタンを示す図である。
【図５】第２の実施形態によるプログレッシブ読み出し駆動パタンを示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（第１の実施形態）
図１〜図３に、本発明の第１の実施形態による固体撮像装置を説明する図面を示す。図１は、固体撮像装置の画素部の回路例を示す図である。固体撮像装置は、２次元行列の画素部を有する。ｎ（ｎは自然数）行目の光電変換素子１は、例えば光電変換により電荷を生成及び蓄積するフォトダイオードであり、アノードがグランド電位ノードに接続され、カソードがトランジスタ２及び３のドレインに接続される。ｎ行目の第１の電荷転送トランジスタ（第１の電荷転送素子）２は、ゲートに信号φｔｘ１（ｎ）が供給され、ソースがｎ行目の光電変換素子１のカソードに接続され、ドレインがｎ行目の浮遊拡散領域４に接続される。ｎ行目の第１の電荷転送トランジスタ２は、ｎ行目の光電変換素子１により生成された電荷をｎ行目の浮遊拡散領域４に転送する。ｎ行目の第２の電荷転送トランジスタ（第２の電荷転送素子）３は、ゲートに信号φｔｘ２（ｎ）が供給され、ソースがｎ行目の光電変換素子１のカソードに接続され、ドレインがｎ＋１行目の浮遊拡散領域４に接続される。ｎ行目の第２の電荷転送トランジスタ３は、ｎ行目の光電変換素子１により生成された電荷をｎ＋１行目の浮遊拡散領域４に転送する。ｎ行目のリセットトランジスタ５は、ゲートに信号φｒｅｓ（ｎ）が供給され、ドレインが電源電位ノードに接続され、ソースがｎ行目の浮遊拡散領域４に接続される。ｎ行目の増幅トランジスタ６は、ゲートがｎ行目の浮遊拡散領域４に接続され、ドレインが電源電位ノードに接続される。ｎ行目の選択トランジスタ７は、ゲートに信号φｓｅｌ（ｎ）が供給され、ドレインがｎ行目の増幅トランジスタ６のソースに接続され、ソースが列共通の垂直出力線８に接続される。各行の浮遊拡散領域４は、電荷を蓄積する。
【００１１】
ｎ＋１行目の光電変換素子１は、例えば光電変換により電荷を生成及び蓄積するフォトダイオードであり、アノードがグランド電位ノードに接続され、カソードがトランジスタ２及び３のドレインに接続される。ｎ＋１行目の第１の電荷転送トランジスタ２は、ゲートに信号φｔｘ１（ｎ＋１）が供給され、ソースがｎ＋１行目の光電変換素子１のカソードに接続され、ドレインがｎ＋１行目の浮遊拡散領域４に接続される。ｎ＋１行目の第１の電荷転送トランジスタ２は、ｎ＋１行目の光電変換素子１により生成された電荷をｎ＋１行目の浮遊拡散領域４に転送する。ｎ＋１行目の第２の電荷転送トランジスタ３は、ゲートに信号φｔｘ２（ｎ＋１）が供給され、ソースがｎ＋１行目の光電変換素子１のカソードに接続され、ドレインがｎ＋２行目の浮遊拡散領域４に接続される。ｎ＋１行目の第２の電荷転送トランジスタ３は、ｎ＋１行目の光電変換素子１により生成された電荷をｎ＋２行目の浮遊拡散領域４に転送する。ｎ＋１行目のリセットトランジスタ５は、ゲートに信号φｒｅｓ（ｎ＋１）が供給され、ドレインが電源電位ノードに接続され、ソースがｎ＋１行目の浮遊拡散領域４に接続される。ｎ＋１行目の増幅トランジスタ６は、ゲートがｎ＋１行目の浮遊拡散領域４に接続され、ドレインが電源電位ノードに接続される。ｎ＋１行目の選択トランジスタ７は、ゲートに信号φｓｅｌ（ｎ＋１）が供給され、ドレインがｎ＋１行目の増幅トランジスタ６のソースに接続され、ソースが列共通の垂直出力線８に接続される。他の行も同様な構成を有する。
【００１２】
１画素に対応する１つの光電変換素子１には第１の電荷転送トランジスタ２と第２の電荷転送トランジスタ３とが接続されている。浮遊拡散領域４にはリセットトランジスタ５と増幅トランジスタ６とが接続され、増幅トランジスタ６は、選択トランジスタ７を介して垂直出力線８に接続されている。そして、ｎ行目の第１の電荷転送トランジスタ２はｎ行目の浮遊拡散領域４に接続され、ｎ行目の第２の電荷転送トランジスタ３はｎ＋１行目の浮遊拡散領域４に接続されている。固体撮像装置は、図３のプログレッシブ読み出しの第１のモードと、図２のインタレース読み出しの第２のモードとを有する。
【００１３】
図２は、インタレース読み出し時の駆動パタンを示す図である。ゲート信号のハイレベルはトランジスタのオンを示し、ゲート信号のローレベルはトランジスタのオフを示す。初めに、第１のフィールドでの動作を説明する。まず、時刻ｔ１０１において、ｎ行目の選択トランジスタ７がオンしてｎ行目が選択された状態になる。次に、時刻ｔ１０２において、ｎ行目のリセットトランジスタ５がオンして、ｎ行目の浮遊拡散領域４を所定の電位にリセットする。次に、時刻ｔ１０４において、加算を行う。すなわち、ｎ−１行目の第２の電荷転送トランジスタ３とｎ行目の第１の電荷転送トランジスタ２が同時にオンし、ｎ−１行目の光電変換素子１で発生した信号電荷と、ｎ行目の光電変換素子１で発生した信号電荷がｎ行目の浮遊拡散領域４上で加算される。その信号はｎ行目の増幅トランジスタ６によって垂直出力線８に出力される。続いて、時刻ｔ１０７において、ｎ＋２行目の選択トランジスタ７がオンしてｎ＋２行目が選択された状態になる。次に、時刻ｔ１０８において、ｎ＋２行目のリセットトランジスタ５がオンして、ｎ＋２行目の浮遊拡散領域４を所定の電位にリセットする。その次に、時刻ｔ１１０において、ｎ＋１行目の第２の電荷転送トランジスタ３とｎ＋２行目の第１の電荷転送トランジスタ２が同時にオンする。これにより、ｎ＋１行目の光電変換素子１で発生した信号電荷と、ｎ＋２行目の光電変換素子１で発生した信号電荷がｎ＋２行目の浮遊拡散領域４上で加算される。その信号はｎ＋２行目の増幅トランジスタ６によって垂直出力線８に出力される。このような動作を繰り返すことにより、ｎ−１行目とｎ行目を加算した信号、ｎ＋１行目とｎ＋２行目を加算した信号、・・・と順次１行おきの信号が出力される。第１のフィールドで１画面分の信号出力が終了すると、次に第２のフィールドに入る。
【００１４】
次に、第２のフィールドでの動作を説明する。まず、時刻ｔ２０１において、ｎ＋１行目の選択トランジスタ７がオンしてｎ＋１行目が選択された状態になる。次に、時刻ｔ２０２において、ｎ＋１行目のリセットトランジスタ５がオンして、ｎ＋１行目の浮遊拡散領域４を所定の電位にリセットする。その次に、時刻ｔ２０４において、ｎ行目の第２の電荷転送トランジスタ３とｎ＋１行目の第１の電荷転送トランジスタ２が同時にオンする。これにより、ｎ行目の光電変換素子１で発生した信号電荷と、ｎ＋１行目の光電変換素子１で発生した信号電荷がｎ＋１行目の浮遊拡散領域４上で加算される。その信号はｎ＋１行目の増幅トランジスタ６によって垂直出力線８に出力される。続いて、時刻ｔ２０７において、ｎ＋３行目の選択トランジスタ７がオンしてｎ＋３行目が選択された状態になる。次に、時刻ｔ２０８において、ｎ＋３行目のリセットトランジスタ５がオンして、ｎ＋３行目の浮遊拡散領域４を所定の電位にリセットする。その次に、時刻ｔ２１０において、ｎ＋２行目の第２の電荷転送トランジスタ３とｎ＋３行目の第１の電荷転送トランジスタ２が同時にオンする。これにより、ｎ＋２行目の光電変換素子１で発生した信号電荷と、ｎ＋３行目の光電変換素子１で発生した信号電荷がｎ＋３行目の浮遊拡散領域４上で加算される。その信号はｎ＋３行目の増幅トランジスタ６によって垂直出力線８に出力される。このような動作を繰り返すことにより、ｎ行目とｎ＋１行目を加算した信号、ｎ＋２行目とｎ＋３行目を加算した信号、・・・と順次１行おきの信号が出力される。この加算されるペアは、第１のフィールドの時に加算されるペアと交互に入れ替わっている。よって、第１のフィールドと第２のフィールドを繰り返して読み出すことにより、フィールドごとに加算されるペアが入れ替わった、１行おきの信号出力を得ることができる。つまり、インタレースの定義を満たす読み出しが可能となる。
【００１５】
図３は、プログレッシブ読み出し時の駆動パタンを示す図である。まず、時刻ｔ３０１において、ｎ行目の選択トランジスタ７がオンしてｎ行目が選択された状態になる。次に、時刻ｔ３０２において、ｎ行目のリセットトランジスタ５がオンして、ｎ行目の浮遊拡散領域４を所定の電位にリセットする。その次に、時刻ｔ３０４において、ｎ行目の第１の電荷転送トランジスタ２がオンし、ｎ行目の光電変換素子１で発生した信号電荷がｎ行目の浮遊拡散領域４に転送される。その信号はｎ行目の増幅トランジスタ６によって垂直出力線８に出力される。続いて、時刻ｔ３０８において、ｎ＋１行目の選択トランジスタ７がオンしてｎ＋１行目が選択された状態になる。次に、時刻ｔ３０９において、ｎ＋１行目のリセットトランジスタ５がオンして、ｎ＋１行目の浮遊拡散領域４を所定の電位にリセットする。その次に、時刻ｔ３１１において、ｎ＋１行目の第１の電荷転送トランジスタ２がオンし、ｎ＋１行目の光電変換素子１で発生した信号電荷がｎ＋１行目の浮遊拡散領域４に転送される。その信号はｎ＋１行目の増幅トランジスタ６によって垂直出力線８に出力される。このような動作を繰り返すことにより、全ての行の信号を順次読み出す、プログレッシブ読み出しができる。
【００１６】
以上のように、図３のプログレッシブ読み出しの第１のモードでは、ｎ行目の第１の電荷転送トランジスタ２は、ｎ行目の光電変換素子１により生成された電荷をｎ行目の浮遊拡散領域４に転送する。その後、ｎ＋１行目の第１の電荷転送トランジスタ２は、ｎ＋１行目の光電変換素子１により生成された電荷をｎ＋１行目の浮遊拡散領域４に転送する。
【００１７】
これに対し、図２のインタレース読み出しの第２のモードでは、以下の動作を行う。ｎ行目の第２の電荷転送トランジスタ３及びｎ＋１行目の第１の電荷転送トランジスタ２は、ｎ行目の光電変換素子１により生成された電荷及びｎ＋１行目の光電変換素子１により生成された電荷をｎ＋１行目の浮遊拡散領域４に転送することにより加算する。
【００１８】
（第２の実施形態）
図４〜５に、本発明の第２の実施形態による固体撮像装置を示す。固体撮像装置の画素部の回路は、第１の実施形態の図１と同じである。以下、本実施形態が第１の実施形態と異なる点を説明する。図４は、本実施形態によるインタレース読み出し時の駆動パタンを示す図である。インタレース読み出しを行うための基本的な動作は第１の実施形態と同様であり、トランジスタがオンする順序は同じである。時刻ｔ１０１から時刻ｔ１０６までの間、ｎ−１行目の第１の電荷転送トランジスタ２と、ｎ行目の第２の電荷転送トランジスタ３のゲートには、中間電位が印加されている。また、ｎ−１行目のリセットトランジスタ５と、ｎ＋１行目のリセットトランジスタ５はオンしている。これにより、ｎ−１行目の第１の電荷転送トランジスタ２は、ｎ−１行目の光電変換素子１に対して、オーバーフロードレインとして作用する。同様に、ｎ行目の第２の電荷転送トランジスタ３は、ｎ行目の光電変換素子１に対して、オーバーフロードレインとして作用する。よって、別途オーバーフロードレイン構造を設けることなく、オーバーフロー動作を実現できる。ここでいうオーバーフロー動作とは、強い光が入射したとき、光電変換素子１で生成される電荷が過剰となり蓄積しきれなくなった場合、その過剰電荷を排出する動作のことである。オーバーフロードレインとは、そのときの排出口を指す。これにより、過剰電荷があふれて隣接する光電変換素子１や浮遊拡散領域４に流れ込み、誤信号のもとになることを防止することができる。ｎ−１行目の光電変換素子１で発生した過剰電荷は、中間電位が印加されているためややオンしやすくなっているｎ−１行目の第１の電荷転送トランジスタ２を通り、ｎ−１行目のリセットトランジスタ５を通して電源端子に吸収される。また、ｎ行目の光電変換素子１で発生した過剰電荷は、中間電位が印加されているためややオンしやすくなっているｎ行目の第２の電荷転送トランジスタ３を通り、ｎ＋１行目のリセットトランジスタ５を通して電源端子に吸収される。同様に、時刻ｔ１０７から時刻ｔ１１２までの間、ｎ＋１行目の第１の電荷転送トランジスタ２と、ｎ＋２行目の第２の電荷転送トランジスタ３のゲートには、中間電位が印加されている。ｎ＋１行目のリセットトランジスタ５と、ｎ＋３行目のリセットトランジスタ５はオンしている。また、時刻ｔ２０１から時刻ｔ２０６までの間、ｎ行目の第１の電荷転送トランジスタ２と、ｎ＋１行目の第２の電荷転送トランジスタ３のゲートには、中間電位が印加されている。ｎ行目のリセットトランジスタ５と、ｎ＋２行目のリセットトランジスタ５はオンしている。また、時刻ｔ２０７から時刻ｔ２１２までの間、ｎ＋２行目の第１の電荷転送トランジスタ２と、ｎ＋３行目の第２の電荷転送トランジスタ３のゲートには、中間電位が印加されている。ｎ＋２行目のリセットトランジスタ５と、ｎ＋４行目のリセットトランジスタ５はオンしている。電荷転送トランジスタ２及び３は、オーバーフロードレインとして、光電変換素子１からの過剰な電荷のオーバーフロー動作を行うことができる。
【００１９】
図５は、本実施形態によるプログレッシブ読み出し時の駆動パタンを示す図である。プログレッシブ読み出しを行うための基本的な動作は第１の実施形態と同様であり、トランジスタがオンする順序は同じである。以下、本実施形態が第１の実施形態と異なる点を説明する。時刻ｔ３０１から時刻ｔ３０６までの間、ｎ行目の第２の電荷転送トランジスタ３のゲートには、中間電位が印加されており、ｎ＋１行目のリセットトランジスタ５はオンしている。これにより、ｎ行目の第２の電荷転送トランジスタ３は、ｎ行目の光電変換素子１に対して、オーバーフロードレインとして作用する。よって、別途オーバーフロードレイン構造を設けることなく、オーバーフロー動作を実現できる。同様に、時刻ｔ３０８から時刻ｔ３１３までの間、ｎ＋１行目の第２の電荷転送トランジスタ３のゲートには、中間電位が印加されており、ｎ＋２行目のリセットトランジスタ５はオンしている。
【００２０】
なお、図４及び図５には図示していないが、画素信号を読み出していない期間、すなわち蓄積期間はすべての電荷転送トランジスタ２及び３のゲートに中間電位を印加し、オーバーフロー動作させれば、より効果を高めることができる。
【００２１】
以上述べたように、第１及び第２の実施形態によれば、インタレースモードにおいても浮遊拡散領域４に蓄積される信号電荷が２倍となり信号振幅が２倍となる。光電変換素子１は完全空乏動作あるいは完全転送動作であるためノイズは小さい。増幅トランジスタ６以降の構成は従来と変わらないため、ノイズ振幅は１倍のままである。よって、インタレースモードでは、Ｓ／Ｎ比がプログレッシブモードの２倍となり、良好な画像を得ることができる。
【００２２】
なお、上記実施形態は、何れも本発明を実施するにあたっての具体化の例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されてはならないものである。すなわち、本発明はその技術思想、又はその主要な特徴から逸脱することなく、様々な形で実施することができる。
【符号の説明】
【００２３】
１  光電変換素子、２  第１の電荷転送トランジスタ、３  第２の電荷転送トランジスタ、４  浮遊拡散領域、５  リセットトランジスタ、６  増幅トランジスタ、７  選択トランジスタ、８  垂直出力線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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