(57)【要約】【課題】クリーンルーム内の露光装置の前まで行かずにレシピを作成することにより、効率良く容易にしかもミスも無く作成されたレシピを使用することができる露光装置の制御方法を提供する。【解決手段】露光装置１から離れた場所にあるコンピュータ１００に予め露光装置の装置情報１１０を格納しておき、当該コンピュータに、使用する予定のマスクおよび基板の情報１３０を入力することで、当該コンピュータ上で、装置情報を参照しながら露光作業を行うためのレシピ１２０を作成し、そのレシピを、可搬式の記憶媒体２００を介して、あるいはデータ転送路を介して、露光装置の制御装置５内部の記憶部６に格納する。【選択図】図２
2011022309.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御装置内部の記憶部に格納されたレシピに基づいて制御を行うことで、照明光学系からの光束を、マスクステージによって位置決めされたマスクに照射し、該マスクに形成されたマスクパターンを、基板ステージによって位置決めされた基板に転写する露光装置の制御方法において、
前記露光装置から離れた場所にあるコンピュータに予め前記露光装置の装置情報を格納する工程と、
前記コンピュータに、使用される前記基板の情報を少なくとも入力することで、前記装置情報、及び入力或いは予め格納された前記マスクの情報に基づいて、露光作業を行うための前記レシピを前記コンピュータ上で作成する工程と、
を備え、
前記コンピュータで作成された前記レシピは、可搬式の記憶媒体を介して、あるいはデータ転送路を介して、前記制御装置の前記記憶部に格納されることを特徴とする露光装置の制御方法。
【請求項２】
前記制御装置の記憶部に格納されているレシピは、可搬式の記憶媒体を介して、あるいはデータ転送路を介して、前記コンピュータに取り込み可能であり、
該レシピは、該コンピュータ上で、前記装置情報、及び前記マスクの情報に基づいて編集され、
前記コンピュータで編集されたレシピは、前記可搬式の記憶媒体を介して、あるいは前記データ転送路を介して、前記制御装置の前記記憶部に格納されることを特徴とする請求項１に記載の露光装置の制御方法。
【請求項３】
前記露光装置の制御装置内部の記憶部に格納されているレシピを、可搬式の記憶媒体を介して、あるいはデータ転送路を介して、同一の仕様を有する別の露光装置の制御装置内部の記憶部にコピー可能であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の露光装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レシピ（パラメータファイル）を用いて露光を行う露光装置の制御方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶カラーフィルタを作成するための露光装置は、照明光学系、マスクを保持して位置決めするマスクステージ、基板を保持して位置決めする基板ステージ、マスクのアライメントマークと基板のアライメントマークとの相対位置を検出するアライメント検出系、露光作業の全般を制御するための制御装置などを備えており、制御装置がその内部の記憶部に格納したレシピに基づいて各要素を制御することで、照明光学系からの光束を、マスクステージによって位置決めされたマスクに照射し、マスクに形成されたマスクパターンを、基板ステージによって位置決めされた基板の感光剤に投影し転写させる。
【０００３】
この場合のレシピは、露光工程を制御するための一群のパラメータ（レイアウト情報、アライメント情報、露光量やショット中心座標等の露光情報）を含むパラメータファイルであり、基板やマスクの種類ごとに露光装置に入力する必要がある。このようなレシピは、異機種の露光装置の間では当然に異なり、該当する露光装置の機能や諸元に適合するように作成する必要がある。
【０００４】
従来、レシピの入力は、設計者が予め設定情報を記載した用紙を、図５に示すように、作業者Ｐがクリーンルーム内にある露光装置１まで持って行き、その場所で露光装置に備わっている入力装置２によりレシピを作成し、露光装置１の制御装置内部の記憶部（図示略）に格納している。また、同じレシピでも、露光装置１ごとに作成して入力している。
【０００５】
また、他の露光装置からレシピを取得して、パラメータの増減により、そのレシピ内のパラメータの構成を自己（露光装置）に適合したパターン構成に変更し、コンフィグレーションファイルに基づいてそのパラメータの値を変更して、自己のメモリに格納する方法も開示されている（例えば、特許文献１参照）。また、ネットワークを構成している複数の露光装置と、サーバとを備えて、サーバが、ソフトウェアのバージョンアップがなされる露光装置で設定すべきパラメータの初期値を、他の露光装置における同一種類のパラメータのパラメータ値に基づいて求めることが開示されている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−３７０５１号公報
【特許文献２】特開２０００−３０６８２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、従来のように作業者が露光装置の前まで行ってレシピを作成し入力する方法は、非常に効率が悪かった。また、同じレシピを使用する場合であっても、露光装置ごとに入力作業を行わなければならないため、非常に面倒で手間がかかっていた。また、露光装置まで行っての人手による入力作業は、入力ミスが起きやすいという問題もあった。この点は、特許文献１に記載の技術においても同様であった。また、特許文献２に記載の技術では、ソフトウェアのバージョンアップ時のパラメータ設定に伴う生産停止や装置停止の時間短縮を目的としたものであり、レシピ作成時のものではない。
【０００８】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、クリーンルーム内の露光装置の前まで行かずにレシピを作成することにより、効率良く容易にしかもミスも無く作成されたレシピを使用することができる露光装置の制御方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の上記目的は、以下の構成によって達成される。
（１）  制御装置内部の記憶部に格納されたレシピに基づいて制御を行うことで、照明光学系からの光束を、マスクステージによって位置決めされたマスクに照射し、該マスクに形成されたマスクパターンを、基板ステージによって位置決めされた基板に転写する露光装置の制御方法において、
前記露光装置から離れた場所にあるコンピュータに予め前記露光装置の装置情報を格納する工程と、
前記コンピュータに、使用される前記基板の情報を少なくとも入力することで、前記装置情報、及び入力或いは予め格納された前記マスクの情報に基づいて、露光作業を行うための前記レシピを前記コンピュータ上で作成する工程と、
を備え、
前記コンピュータで作成された前記レシピは、可搬式の記憶媒体を介して、あるいはデータ転送路を介して、前記制御装置の前記記憶部に格納されることを特徴とする露光装置の制御方法。
（２）  前記制御装置の記憶部に格納されているレシピは、可搬式の記憶媒体を介して、あるいはデータ転送路を介して、前記コンピュータに取り込み可能であり、
該レシピは、該コンピュータ上で、前記装置情報、及び前記マスクの情報に基づいて編集され、
前記コンピュータで編集されたレシピは、前記可搬式の記憶媒体を介して、あるいは前記データ転送路を介して、前記制御装置の前記記憶部に格納されることを特徴とする（１）に記載の露光装置の制御方法。
（３）  前記露光装置の制御装置内部の記憶部に格納されているレシピを、可搬式の記憶媒体を介して、あるいはデータ転送路を介して、同一の仕様を有する別の露光装置の制御装置内部の記憶部にコピー可能であることを特徴とする（１）または（２）に記載の露光装置の制御方法。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、露光装置から離れた場所にあるコンピュータによってレシピを作成するので、効率良く容易にしかもミス無くレシピを作成することができる。また作成したレシピは、可搬式の記憶媒体を介してあるいはデータ転送路を介して、露光装置の記憶部に格納されるので、クリーンルーム内の面倒な入力作業をほとんど省略することができて、露光作業の時間短縮を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の制御方法の概略説明図である。
【図２】同方法の概略を示すブロック図である。
【図３】同方法で使用するパーソナルコンピュータのディスプレイの表示画像の一例を示す図である。
【図４】同ディスプレイの表示画像の別の例を示す図である。
【図５】従来の制御方法の概略説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態に係る露光装置の制御方法について図面を参照して説明する。
【００１３】
図１及び図２に示すように、クリーンルーム１０内に装備された複数台Ａ〜Ｃの露光装置１は、照明光学系、マスクステージ、基板ステージ、アライメント検出系（いずれも図示せず）、制御装置５などを備えている。制御装置５には、各種のプログラムや情報を記憶する記憶部６が備わっており、入力装置２を介して、記憶部６に外部データを取り込んだり、内部データを外部に取り出したりできるようになっている。
【００１４】
この露光装置１は、制御装置５内部の記憶部６に格納されたレシピに基づいて制御を行うことで、照明光学系からの光束を、マスクステージによって位置決めされたマスクに照射し、マスクに形成されたマスクパターンを、基板ステージによって位置決めされた基板の感光剤に投影し転写するものである。
【００１５】
この場合のレシピ１２０は、露光装置１から離れた場所（クリーンルーム外）にあるパーソナルコンピュータ１００において作成される。パーソナルコンピュータ１００には、予め各露光装置（Ａ〜Ｃ）１の装置情報１１０を格納してあり、作業者Ｐが、これから使用する予定のマスクおよび基板の情報１３０をキーボード等の入力手段１０３を介してパーソナルコンピュータ１００に入力することにより、内蔵された演算手段１０１が当該パーソナルコンピュータ１００上で、装置情報１１０に基づいて、露光作業を行うための各露光装置（Ａ〜Ｃ）１ごとのレシピ（Ａ〜Ｃ）１２０を作成する。
【００１６】
そこで、この作成したレシピ１２０をいったん可搬式の記憶媒体であるＵＳＢメモリ２００に格納した後、作業者ＰがＵＳＢメモリ２００をクリーンルーム内に持ち込んで、各露光装置１の入力装置２に設けてあるＵＳＢジャックに差し込み、格納してある各レシピ１２０を該当する各露光装置（Ａ〜Ｃ）１の制御装置５内部の記憶部６に格納する。これにより、レシピ１２０の入力を完了する。なお、ＵＳＢメモリ２００には、インターロック機能が備えられており、コンピュータ１００或いは露光装置１でのみデータを取り出すように設定することができる。
【００１７】
この場合の装置情報１１０には、アライメント検出系の情報、基板ステージの可動能力等の情報、マスクステージの可動能力等の情報、アパーチャの動き等に関する情報、マスクと基板のギャップ制御に関する情報、照明光学系の能力等の関する情報が含まれている。また、マスク情報には、マスクのサイズ、厚さ、アライメントマークの位置等に関する情報が含まれている。基板情報には、基板のサイズ、厚さ、アライメントマークの位置、露光する位置、感光剤等に関する情報が含まれている。なお、各露光装置に複数のマスクが準備されており、該マスクを選択的に使用する場合には、マスク情報もパーソナルコンピュータ１００内に格納するようにしてもよい。さらに、レシピ１２０には、レイアウト情報、アライメント情報、露光位置情報、露光量の情報などが含まれている。
【００１８】
従って、パーソナルコンピュータ１００は、装置情報１１０及び使用されるマスク情報に基づいて、基板に所定の露光を行う際に各要素を駆動するためのパラメータをレシピ１２０として作成している。例えば、ステップ露光を行う露光装置１のレシピ１２０を作成する際、基板ステージの可動能力の情報、マスクステージの可動能力の情報が予めコンピュータ１００に格納されていることで、演算手段１０１は、所望のステップ動作を確実に行うことができるようにレシピ１２０を作成できる。また、アライメント検出系の情報やマスクのアライメントマークの位置情報も予めコンピュータ１００に格納されるので、演算手段１０１は、ステップ動作した際に、アライメント作業が確実に行えるようにレシピ１２０を作成できる。
【００１９】
また、パーソナルコンピュータ１００は、レシピエディタ機能を有しており、図３に示すような画面をディスプレイ１０２上に表示することで、設定パラメータを確認することができる。例えば、ショットサイズ、露光順番、アライメントカメラの位置、ギャップセンサの指定座標、アパーチャの有無などを視覚的に分かりやすく示すことができる。また、図４に示すようなシミュレーション画像を入力項目ごとに切り替えて表示することにより、その画像を見ながら設定内容が適正であるかどうかの確認ができるようになっている。例えば、図４はアパーチャの位置などを示しており、３１〜３４はアパーチャ、Ｍはマスク、３０はアパーチャにより形成される照射領域を示している。このような画像を表示することによって、照射領域が適切に設定されているかを視覚的に確認することができる。また、基板ステージとマスクステージを相対的に移動させながら露光を行う場合には、このようなシミュレーション画像を表示することで、方向間違いといったケアレスミスを防ぐことができる。
【００２０】
以上説明したように、本実施形態の露光装置の制御方法によれば、露光装置１から離れた場所にあるパーソナルコンピュータ１００に予め露光装置１の装置情報１１０を格納する工程と、パーソナルコンピュータ１００に、使用される基板の情報を入力することで、コンピュータ上で、装置情報、及び入力或いは予め格納されたマスクの情報に基づく露光作業を行うためのレシピを作成する工程と、を備えるので、効率良く容易にしかもミス無くレシピを作成することができる。また、制御装置５には、パーソナルコンピュータ１００で作成されたレシピ１２０が、ＵＳＢメモリ２００を介して、記憶部に格納されるので、クリーンルーム内の面倒な入力作業をほとんど省略することができて、露光作業の時間短縮を図ることができる。
【００２１】
なお、上記においては、ＵＳＢメモリ２００を用いて、パーソナルコンピュータ１００で作成したレシピ１２０を露光装置１の記憶部６に入力する場合を示したが、ＬＡＮなどのデータ転送路を介して、レシピ１２０を露光装置１に転送することもできる。
【００２２】
また、上記においては、パーソナルコンピュータ１００上で全く新しいレシピ１２０を装置情報１１０を参照して作成する場合を想定して説明したが、露光装置１の制御装置５内部の記憶部６に格納されているレシピを、ＵＳＢメモリ２００を介して、あるいはデータ転送路を介して、パーソナルコンピュータ１００に取り込み、そのレシピを、当該コンピュータ１００上で、装置情報１１０などに基づいて再編集することにより、新規のレシピ１２０として再生させて、そのレシピ１２０を再びＵＳＢメモリ２００等を介して、露光装置１の制御装置５内部の記憶部６に格納するようにしてもよい。このようにすれば、はじめからレシピ１２０を作成する手間が省ける。
【００２３】
また、照明光学系の照度等、使用によって変化する露光装置１の装置情報１１０は、ＵＳＢメモリ２００を介して、あるいはデータ転送路を介して、パーソナルコンピュータ１００に取り込み、パーソナルコンピュータ１００上の装置情報１１０を編集するようにしてもよい。これにより、現状の露光装置の装置情報１１０に基づいてレシピ１２０を作成することができる。
【００２４】
また、露光装置１の制御装置５内部の記憶部６に格納されているレシピを、ＵＳＢメモリ２００等を介して、同一の使用を有する別の露光装置１の制御装置５内部の記憶部６にコピーするようにしてもよい。このようにすれば、露光装置１毎にレシピ１２０を作成する手間が省ける。
【００２５】
尚、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良等が可能である。
【符号の説明】
【００２６】
１  露光装置
５  制御装置
６  記憶部
１００  パーソナルコンピュータ
１１０  装置情報
１２０  レシピ
２００  ＵＳＢメモリ（可搬式の記憶装置）
【図１】
2011022309.tif 000003
【図２】
2011022309.tif 000004
【図３】
2011022309.tif 000005
【図４】
2011022309.tif 000006
【図５】
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