(57)【要約】【課題】ノズル吐出面の撥水膜上の異物また撥水膜の残渣を除去し、かつ、この除去物がノズル内または流路内に侵入することを防止することができる撥水膜形成方法、形成された撥水膜を備えるノズルプレート、インクジェットヘッド、電子機器を提供することを目的とする。【解決手段】ノズルが形成された基板表面に撥水膜２１０を形成する撥水膜形成工程と、撥水膜２１０が形成された面の反対側からノズルを通過して流体を噴出させながら、撥水膜２１０が形成された基板表面を処理剤２２８に浸漬する浸漬工程と、を有することを特徴とする撥水膜形成方法、および形成された撥水膜を備えるノズルプレート、インクジェットヘッド、電子機器である。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルが形成された基板表面に撥水膜を形成する撥水膜形成工程と、
前記撥水膜が形成された面の反対側から前記ノズルを通過して流体を噴出させながら、前記撥水膜が形成された基板表面を処理剤に浸漬する浸漬工程と、を有することを特徴とする撥水膜形成方法。
【請求項２】
前記撥水膜が、フッ素系シランカップリング剤で形成されていることを特徴とする請求項１に記載の撥水膜形成方法。
【請求項３】
前記流体が、前記処理剤と同じ溶剤であることを特徴とする請求項１または２に記載の撥水膜形成方法。
【請求項４】
前記流体が、空気、不活性ガス、酸化性ガス、または、その混合ガスであることを特徴とする請求項１または２に記載の撥水膜形成方法。
【請求項５】
前記不活性ガスは窒素、希ガスであり、前記酸化性ガスは酸素、またはオゾンであることを特徴とする請求項４に記載の撥水膜形成方法。
【請求項６】
前記処理剤がフッ素系有機溶剤であることを特徴とする請求項１から５いずれか１項に記載の撥水膜形成方法。
【請求項７】
前記浸漬工程は、前記撥水膜が形成された基板表面に対向する位置に基材を設置し、前記基板表面と前記基材の間に前記処理剤を充填することで行われ、
前記基板表面と前記基材の距離が１ｃｍ以下であることを特徴とする請求項１から６いずれか１項に記載の撥水膜形成方法。
【請求項８】
請求項１から７いずれか１項に記載の撥水膜形成方法により形成された撥水膜を備えることを特徴とするノズルプレート。
【請求項９】
前記撥水膜の表面粗さＲａは、前記ノズル端から１００μｍ以内の領域の表面粗さＲａが、該領域より更に外の領域の表面粗さＲａより低いことを特徴とする請求項８に記載のノズルプレート。
【請求項１０】
請求項８または９に記載のノズルプレートを備えたことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１１】
請求項１０に記載のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撥水膜形成方法、ノズルプレート、およびこれを備えたインクジェットヘッド、電子機器に係り、特に、ノズルプレートの吐出面に撥水膜を形成する方法、形成された撥水膜を備えるノズルプレート、インクジェットヘッド、電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置で用いられるインクジェットヘッドでは、ノズルプレートの表面にインクが付着していると、ノズルから吐出されるインク液滴が影響を受けて、インク液滴の吐出方向にばらつきが生じることがある。インクが付着すると、記録媒体上の所定位置にインク液滴を着弾させることが困難となり、画像品質が劣化する要因となる。そこで、ノズルプレート表面にインクが付着することを防止するために、ノズルプレートの表面に撥水膜を形成する方法が提案されている。また、インクジェットヘッドの内部は、水性インクが充填・吐出されるため、新水性を有する必要がある。そのため、インクジェットヘッドの表面は撥水性、内部は親水性を有するインクジェットヘッドを製造するため、各種の製造方法が提案されている。
【０００３】
例えば、下記の特許文献１には、基材表面にフッ素系シランカップリング剤を塗布し、成膜後に常温で成膜面を溶剤で洗浄した後、エキシマレーザーでノズルを形成することで、撥液層およびノズルプレートを形成する方法が記載されている。また、特許文献２では、撥水膜形成時に、ノズル内壁への撥水材料の周り込みを防ぐために、撥水原料にノズルプレートを浸漬させる際に、気体をノズルから噴出させながら、撥水膜形成液に浸漬させながら撥水膜をノズル面に成膜する方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−６６７９８号公報
【特許文献２】特開昭６３−１２２５５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載されている方法は、基材に撥水膜を形成した後に、ノズルを形成する方法であり、ノズル形成工程で発生するエネルギー（熱や光等）で撥水膜が劣化する可能性があった。特に、ノズル形成部に最も近い（ノズル近傍）撥水膜の撥水性が劣化してしまい、吐出安定性に大きな障害が出ていた。特許文献１では、ノズルの形成にエキシマレーザーを使用しているので、基材と膜に熱がかかり、また、その他の熱・光エネルギー等でノズル形成を行う場合も撥水膜が劣化する可能性があった。さらに、ウェットエッチング等でノズルを形成する場合、シランカップリング剤で形成した撥水膜において、水溶液、特に、アルカリ溶液で加水分解が起こり、撥水膜が消失してしまうという問題があった。
【０００６】
また、上記問題を考慮して、ノズルを形成したノズルプレートに撥水膜を形成し、溶剤処理を行うプロセスが考えられるが、溶剤処理によって除去した異物や膜の残渣がノズル内、流路内に侵入・付着することで、ノズル内へのインクの充填性・吐出性に影響が見られた。特に、撥水膜の残渣が、ノズルまたは流路内に侵入し、流路や圧力室に付着した場合、インク自体に元々含まれていた気泡やインク供給時等にインク中に取り込まれた気泡がその残渣に吸着し、安定吐出ができていなかった。
【０００７】
さらに、シランカップリング剤による膜形成では、膜表面に溶剤で除去可能な生成物が生成しやすい問題があり、これを抑制するには、成膜条件を制御するか、原料濃度調整を行う必要があるが、その制御、再現性は困難である。また、先の生成物を除去せずに、ゴムブレード等で吐出面をメンテナンスすると、生成物がノズル周りに付着、または内部に侵入し、充填性・吐出性に影響を与えていた。
【０００８】
特許文献２に記載されている処理方法は、撥水膜形成時に吐出面反対面からガスを流す処理を行い、流路内に撥水膜が形成されないようにする方法である。しかしながら、ノズルから放出された気泡がノズルプレートから脱離する際に、ノズル近傍部の気泡がノズルプレート表面に付着した部分と、ノズルから離れ気泡が付着していない部分とで、撥水膜の膜厚や膜質が不均一となり、吐出性やメンテナンス性に影響が出るという問題があった。また、撥水膜形成後の表面の異物についての検討はされていなかった。
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、ノズル吐出面の撥水膜上の異物また撥水膜の残渣を除去し、かつ、この除去物がノズル内または流路内に侵入することを防止することができる撥水膜形成方法、形成された撥水膜を備えるノズルプレート、インクジェットヘッド、電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の請求項１は、前記目的を達成するために、ノズルが形成された基板表面に撥水膜を形成する撥水膜形成工程と、前記撥水膜が形成された面の反対側から前記ノズルを通過して流体を噴出させながら、前記撥水膜が形成された基板表面を処理剤に浸漬する浸漬工程と、を有することを特徴とする撥水膜形成方法を提供する。
【００１１】
基板表面に撥水膜の形成を行うと、撥水膜上に未反応の撥水膜材料、または、基材と結合しない撥水膜材料の重合物が膜上に積層して形成され、島状の突起物が形成される場合がある。請求項１によれば、撥水膜を形成した後、処理剤に浸漬することで、この島状の突起物を除去することができる。さらに、撥水膜が形成された面の反対側からノズルを通過させて流体を噴出させているので、処理剤によって除去された島状の突起物（撥水膜形成材料）がノズル内部に入るのを防ぐことができるので、ノズル内部は親水性を保つことができる。したがって、ノズルの吐出面は撥水性を有し、吐出時にインクが付着することを防止することができ、ノズル内部は親水性を有し、インクの充填性・吐出安定性を維持することができる。
【００１２】
請求項２は請求項１において、前記撥水膜が、フッ素系シランカップリング剤で形成されていることを特徴とする。
【００１３】
撥水膜の材料としてフッ素系シランカップリングを用いた場合において、特に、撥水膜上に島状の突起物が形成されやすいので、本発明においては、特に、フッ素系シランカップリング剤により撥水膜が形成されている場合に効果的である。
【００１４】
請求項３は請求項１または２において、前記流体が、前記処理剤と同じ溶剤であることを特徴とする。
【００１５】
請求項３によれば、流体として処理剤と同じ溶剤を流体として流すことにより、ノズル内に除去物が混入することを防止することができる。また、処理剤と同じ溶剤を用いているので、浸漬処理に影響を与えることなく処理を行うことができる。
【００１６】
請求項４は請求項１または２において、前記流体が、空気、不活性ガス、酸化性ガス、または、その混合ガスであることを特徴とする。
【００１７】
請求項５は請求項４において、前記不活性ガスは窒素、希ガスであり、前記酸化性ガスは酸素、またはオゾンであることを特徴とする。
【００１８】
請求項４または５によれば、流体として気体を用いることで、除去物がノズル内部に混入することを防止することができる。また、上記気体を用いることで、浸漬処理に影響を与えることなく処理を行うことができる。酸素、またはオゾンを用いた場合、ノズル内を親水化することができる。
【００１９】
請求項６は請求項１から５いずれか１項において、前記処理剤がフッ素系有機溶剤であることを特徴とする。
【００２０】
請求項６によれば、処理剤としてフッ素系有機溶剤を用いることで、撥水膜上に形成された突起物を効率よく除去することができる。
【００２１】
請求項７は請求項１から６いずれか１項において、前記浸漬工程は、前記撥水膜が形成された基板表面に対向する位置に基材を設置し、前記基板表面と前記基材の間に前記処理剤を充填することで行われ、前記基板表面と前記基材の距離が１ｃｍ以下であることを特徴とする。
【００２２】
請求項７によれば、撥水膜が形成された基板表面と対向する位置に基材を設置し、基材と基板表面の距離を１ｃｍ以下とすることにより、バブリングの効果によりノズルから噴出した流体が撥水膜付近から移動しやすくなり、ムラなく突起物の除去を行うことができる。
【００２３】
本発明の請求項８は、前記目的を達成するために、請求項１から７いずれか１項に記載の撥水膜形成方法により形成された撥水膜を備えることを特徴とするノズルプレートを提供する。
【００２４】
請求項８は請求項１から７に記載の撥水膜形成方法により形成された撥水膜を備えるノズルプレートであり、基板表面は撥水性、ノズル内部は親水性とすることができるので、インクの充填性・吐出安定性に優れたノズルプレートを提供することができる。
【００２５】
請求項９は請求項８において、前記撥水膜の表面粗さＲａは、前記ノズル端から１００μｍ以内の領域の表面粗さＲａが、該領域より更に外の領域の表面粗さＲａより低いことを特徴とする。
【００２６】
請求項９によれば、特に、撥水膜のノズル端から１００μｍ以内の領域の表面粗さを他の領域の表面粗さより低くすることで、インクの吐出時の吐出曲がりを抑制することができる。
【００２７】
本発明の請求項１０は、前記目的を達成するために、請求項８または９に記載のノズルプレートを備えたことを特徴とするインクジェットヘッドを提供する。
【００２８】
本発明の請求項１１は、前記目的を達成するために、請求項１０に記載のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とする電子機器を提供する。
【００２９】
請求項１０および１１は、請求項８または９に記載のノズルプレートを備えたインクジェットヘッド、電子機器であり、請求項８または９に記載のノズルプレートは、基板表面は撥水性、ノズル内部は親水性とすることができるので、インクジェットヘッド、電子機器に対して好適に用いることができる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明の撥水膜形成方法によれば、撥水膜形成時に生成した撥水膜上の突起物を浸漬により除去する際に、この除去物がノズル内部に混入することを防止することができるの。したがって、ノズル表面は撥水性、ノズル内部は親水性とすることができるので、吐出後のインクがノズル表面に付着することを防止することができるとともに、ノズル内部の充填性・吐出性を向上させることができる。また、形成された撥水膜はノズルプレート、インクジェットヘッド、電子機器に好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】撥水膜形成工程を説明するための工程図である。
【図２】浸漬工程における流体の噴出方法を説明する図である。
【図３】浸漬工程における浸漬方法を説明する図である。
【図４】撥水膜表面の光学顕微鏡写真である。
【図５】ノズル近傍の表面粗さの範囲の領域を説明する図である。
【図６】表面こすり試験後の撥水膜表面の光学顕微鏡写真である。
【図７】耐インク性試験の結果を示すグラフ図である。
【図８】インクジェット記録装置の概略を示す全体構成図である。
【図９】インクジェットヘッドの構造例を示す平面透視図である。
【図１０】図９中IV−IV線に沿う断面図である。
【図１１】他の例を示すインクジェットヘッドの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について説明する。
【００３３】
＜撥水膜形成方法＞
まず、ノズルが形成されたノズルプレート、または、このノズルプレートを含んだインク供給部を備えるインクジェットヘッドに撥水膜を形成する方法の一例について説明する。インクジェットヘッドは、例えば、特開２００９−２１８３６０号公報明細書に記載の方法により製造することができる。
【００３４】
図１は、撥水膜形成方法を説明するための工程図である。撥水膜形成方法は、（１）ノズル形成基板２００の表面にプラズマ重合膜で構成される中間層２０８を形成する中間層形成工程と、（２）ノズル形成基板２００の表面に形成された中間層（プラズマ重合膜）２０８に酸化処理を施す酸化処理工程と、（３）酸化処理が施された中間層２０８の表面に撥水膜２１０を形成する撥水膜形成工程と、で構成される。
【００３５】
（１）中間層形成工程
まず、図１（ａ）に示すように、ノズル形成基板２００の表面にプラズマ重合膜で構成される中間層２０８を成膜する。
【００３６】
中間層（プラズマ重合膜）２０８の構成材料や形成方法（成膜方法）については、特開２００８−１０５２３１号公報明細書に記載されている材料、方法を好ましく用いることができる。
【００３７】
即ち、中間層２０８の構成材料としては、例えば、オルガノポリシロキサン等のシリコーン材料、アルコキシシラン等のシラン化合物が挙げられる。このうち、シリコーン材料が好ましく、オルガノポリシロキサンが特に好ましい。中間層２０８にオルガノポリシロキサンを用いることにより、シロキサン結合（Ｓｉ−Ｏ）を骨格とした構造を有するので、ノズル形成基板２００の構成材料（シリコン系材料など）と結合しやすく、容易にプラズマ重合膜を形成することができる。
【００３８】
オルガノポリシロキサンの中でも、アルキルポリシロキサンを用いることが好ましい。アルキルポリシロキサンは高分子化合物であるため、ノズル形成基板２００上に高分子膜を形成することができる。また、高分子中にアルキル基を有するため、高分子構造に立体障害が少なく、分子が規則正しく配列した膜を形成することができる。また、アルキルポリシロキサンの中でも、特にジメチルポリシロキサンが好ましい。ジメチルポリシロキサンは、製造が容易なため、容易に入手することができる。また、反応性が高いため、後述するような酸化処理を中間層２０８に施したときに、メチル基を簡単に切断することができる。
【００３９】
また、中間層（プラズマ重合膜）２０８の形成方法としては、プラズマ重合法、蒸着法、シランカップリング剤による処理、ポリオルガノシロキサンを含有する液状材料による処理等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００４０】
これらの方法の中でも、プラズマ重合法を用いるのが好適である。プラズマ重合法を用いることにより、オルガノポリシロキサンのプラズマが発生するため、均質かつ均一な膜厚の中間層（プラズマ重合膜）２０８を形成することができる。
【００４１】
（２）酸化処理工程
次に、露点が−４０〜２０℃（好ましくは−４０〜−２０℃）の処理ガス雰囲気下で、中間層（プラズマ重合膜）２０８の表面に酸化処理を施し、水酸基及び／又は吸着水を導入する。
【００４２】
処理ガスに対する条件や酸化処理の方法などについては、特開２００８−１０５２３１号公報明細書に記載されている条件、方法などを好ましく用いることができる。
【００４３】
即ち、酸化処理の方法として、紫外線、プラズマなどのエネルギー線を照射する方法を適用することができる。この方法によれば、エネルギー線が照射される領域にのみ酸化処理を施すことができるので、ＳｉＯ２化を効率的に行うことができる。
【００４４】
特に本実施形態においては、エネルギー線を照射する方法の中でも、プラズマ照射を用いて酸化処理を行う方法が好適である。酸化処理としてプラズマ照射を用いる場合、プラズマを発生させるガス種としては、例えば、酸素ガス、窒素ガス、水素、不活性ガス（アルゴンガス、ヘリウムガス等）等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００４５】
プラズマ照射を行う雰囲気は、大気中または減圧状態のいずれであってもよいが、大気中とするのが好ましい。これにより、アルキル基とＳｉとの結合が切断されるのとほぼ同時に、大気中に存在する酸素分子から酸素原子が効率よく導入されるため、ポリオルガノシロキサンをより迅速にＳｉＯ２に変化させることができる。
【００４６】
特に、プラズマ照射には、プラズマを発生するガス種として、酸素ガスを含むガスを用いる酸素プラズマ照射を用いるのが好適である。酸素プラズマ照射によれば、酸素プラズマがアルキル基とＳｉとの結合を切断するとともに、Ｓｉと酸素原子との結合に利用されるため、ポリオルガノシロキサンをより確実にＳｉＯ２に変化させることができる。
【００４７】
また、プラズマ照射は、密閉条件（例えば、チャンバ内）または開放条件のいずれの条件で行ってもよいが、密閉条件とするのが好ましい。これにより、中間層（プラズマ重合膜）２０８が、プラズマ密度のより高い状態で酸化処理されるため、より多くの水酸基を中間層（プラズマ重合膜）２０８に導入することができる。
【００４８】
（３）撥水膜形成工程
次に、図１（ｂ）に示すように、酸化処理が施された中間層（プラズマ重合膜）２０８の表面に撥水膜２１０を形成する。撥水膜を形成する材料としては、シランカップリング剤（塩素型、メトキシ型、エトキシ型、イソシアナト型など）により形成することが好ましい。酸化層２０８の表面に、シランカップリング剤の反応サイトとなる水酸基：ＯＨ基を多数形成しているため、撥水膜形成工程において、シランカップリング剤が酸化層２０８と高密度に結合し、高密度な有機膜を形成することができる。
【００４９】
撥水膜として、例えば、物理的気相成長法（蒸着法、スパッタリング法など）や化学気相成長法（ＣＶＤ法、ＡＬＤ法など）などのドライプロセス法や、ゾルゲル法、塗布法などのウェットプロセス法などによって形成される金属アルコキシド系撥液膜、シリコーン系撥液膜、フッ素含有系撥液膜（フッ素含有系撥液膜の市販品として、Ｓｉ基材上に優れた密着性を有する旭硝子社製のサイトップやＴ＆Ｋ社製のＮＡＮＯＳなどがあり、また、Ｇｅｌｅｓｔの販売しているシランカップリング剤など、シロキサン結合可能で膜表面にＣＦ系の基がくる膜であれば良い）などを用いることができる。特に、有機膜中にフッ素原子を含ませることにより、有機膜に撥水性を持たせることができるので、フッ素系シランカップリング剤を用いることが好ましい。したがって、シロキサン結合はアルカリ性に対する耐久性が低いが、アルカリ性の溶液をはじくことができるので、アルカリ性の液に対しても耐久性を持たせることができる。
【００５０】
シランカップリング剤は、ＹｎＳｉＸ４−ｎ（ｎ＝１、２、３）で表されるケイ素化合物である。Ｙはアルキル基などの比較的不活性な基、または、ビニル基、アミノ基、あるいはエポキシ基などの反応性基を含むものである。Ｘは、ハロゲン、メトキシ基、エトキシ基、またはアセトキシ基などの基質表面の水酸基あるいは吸着水との縮合により結合可能な基からなる。シランカップリング剤は、ガラス繊維強化プラスチックなどの有機質と無機質からなる複合材料を製造する際に、これらの結合を仲介するものとして幅広く用いられており、Ｙがアルキル基などの不活性な基の場合は、改質表面上に、付着や摩擦の防止、つや保持、撥水、潤滑などの性質を付与する。また、反応性基を含む場合は、主として接着性の向上に用いられる。さらに、Ｙに直鎖状のフッ化炭素鎖を導入したフッ素系シランカップリング剤を用いて改質した表面は、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）表面のように低表面自由エネルギーを持ち、撥水、潤滑、離型などの性質が向上し、さらに撥油性も発現する。
【００５１】
また、フッ素含有プラズマ重合膜、シリコーン系プラズマ重合撥液膜などを適用することができる。プラズマ重合膜で構成される撥水膜の形成方法としては、特開２００４−１０６２０３号公報明細書に記載される方法を好ましく用いることができる。即ち、プラズマ重合膜（撥水膜）の形成は、従来公知のプラズマ処理装置を用いて行うことができる。原料としては、液状シロキサンの如き低分子量のシロキサンを気化させたものを原料ガスとして用いる。必要に応じて、この原料ガスにアルゴンやヘリウム等の希ガス、酸素や二酸化炭素等の酸化力を有するガスなどを混合させる。これにより、原料を重合させた状態でノズル形成基板２００に積層することができる。
【００５２】
プラズマ重合膜で構成される撥水膜は、低分子量のシロキサン（シロキサン結合を有する化合物）を原料とし、これをプラズマ重合させることにより形成されるもので、金属塩に対する耐性に優れており、該金属塩をインク凝集剤として含有する水性前処理液（金属塩溶液）用のノズルプレートの撥水層として最適である。
【００５３】
また、金属アルコキシド系撥液膜の形成方法としては、特開２００８−１０５２３１号公報明細書に記載される方法を好ましく用いることができる。即ち、液相プロセスや気相プロセスのような各種プロセスを用いて行うことができ、その中でも液相プロセスを用いることが好ましく、比較的簡単な工程により、金属アルコキシドで構成される撥液膜を形成することができる。
【００５４】
こうして、図１（ｂ）に示すように、ノズル形成基板２００の表面側（インク吐出面側）に撥水膜２１０を形成することができる。
【００５５】
＜撥水膜表面処理（浸漬処理）＞
次に、形成された撥水膜の表面処理を行う。上記で形成された撥水膜は、撥水膜上に未反応のシランカップリング剤、または、基材と結合していないシランカップリング剤の重合物が撥水膜上に島状の突起物として形成されているので、表面処理を行うことで平滑化を行う。
【００５６】
浸漬処理は、処理剤中に撥水膜形成面を浸漬することで行う。処理剤への浸漬は、撥水膜形成直後から２４時間以内に実施することが好ましい。撥水膜の材料特性（経時変化）に依存するからである。
【００５７】
処理剤の種類としては、撥水膜上に形成された異物を除去することができれば、特に限定されず使用することができるが、フッ素系有機溶剤を用いることが好ましく、具体的には、アサヒクリン（旭硝子）、ゼオローラ（日本ゼオン）、バートレル（三井・デュポンフロロケミカル）などを挙げることができる。
【００５８】
本発明においては、ノズルプレートの浸漬を行う際に、ノズルプレートの撥水膜の形成された面の反対側からノズルを通過して流体を噴出させながら表面処理を行う。ノズルプレート内部に、表面処理により除去された異物がノズル内部入り、ノズル内部、圧力室などの壁面に付着し、撥水性を有することを抑制することができる。
【００５９】
流す流体としては、空気、または、窒素、Ａｒなどの不活性ガス、酸素、またはオゾン等の酸化性ガス、または、浸漬溶剤と同種のフッ素系有機溶剤などを用いることができる。酸化性のガスを用いることで、流路内部の親水化を行うことができる。
【００６０】
図２に、流体を流路に流す場合の概念図を示す。なお、図２においては、流体の流れを説明するために、図を簡略化し、共通流路、供給口、圧力室などは省略する。
【００６１】
図２（ａ）は、撥水膜２１０が形成されたノズルプレート２００にインク供給口２２１が形成された流路基板２２０を備えるインクジェットヘッドである（後述する図１０に記載のインクジェットヘッド）。インク供給口２２１から流体を流すことで表面処理により除去された異物がノズル内部に混入することを防ぐことができる。
【００６２】
また、図２（ｂ）、（ｃ）は、撥水膜２１０が形成されたノズルプレート２００に、インク供給口２２１およびインク回収口２２２を有する循環構造を備える流路基板２３０を備えるインクジェットヘッドである（後述する図１１に記載のインクジェットヘッド）。インク供給口２２１およびインク回収口２２２の二箇所の開口部を備える場合は、図２（ｂ）に示すように、一方の開口部を封止部材２２３で封止し、他方の開口部から流体を供給することができる。図２（ｂ）においては、インク回収口２２２を封止し、インク供給口２２１から流体を注入しているが、これに限定されない。また、図２（ｃ）に示すように、インク供給口２２１およびインク回収口２２２の両方から流体を供給することもできる。図２（ａ）または（ｂ）に示す方法では、流体を供給する供給口から最も近いノズルと離れたノズルとで圧力に差が生じ、流体の噴出量に差が生じる場合がある。図２（ｃ）に示すように、２つの開口部から流体を供給し、ノズルまでの距離、流体の流量を調節することで、ノズル間で生じる流体の噴出量の差を低減することができ、均一にノズルからの流体噴出を行うことができる。
【００６３】
また、流路基板を備えず、撥水膜２１０が形成されたノズルプレート２００のみの場合は、図２（ｄ）に示すように、ノズルプレートの吐出面の反対側に流体が漏れないように治具２２４を設け、流体を注入することで行うことができる。
【００６４】
流体の注入方法としては、特開平５−２５４１２８号公報記載の方法により行うことができる。
【００６５】
次に、ノズルプレートを浸漬する方法について、図３を用いて説明する。処理剤２２８を入れた容器２２６内にノズルプレートを浸漬することで行う。ノズルプレートは、少なくとも撥水膜形成面が浸るように設置する。また、注入する流体が気体の場合は、撥水膜形成面と、処理剤２２８を入れた容器２２６の底面（基材）との距離Ｄを狭めることが好ましい。バブリングの効果を得て、ノズルから噴出した気泡が撥水面から移動しやすくなるので、ムラ無く撥水膜２１０上に生成した異物を除去することができる。距離Ｄが離れていると、気泡が撥水面に付着したままの状態となり、異物の除去においてムラが発生するので好ましくない。距離Ｄは１ｃｍ以下が好ましく、より好ましくは０．５ｃｍ以下である。また、距離Ｄの最小長さはノズルプレートのノズルサイズとすることが好ましい。
【００６６】
流体として処理剤と同じ溶剤を注入する場合は、距離Ｄを制御する必要がなく、異物の除去が可能である。表面処理に用いられる溶剤と同じであり、異物がノズル内に入ることが防げれば充分だからである。また、溶剤を注入する場合、流路基板２２０にピエゾなどの駆動部が形成されている場合は、ピエゾによって噴出することも可能である。また、攪拌を行うことで、短時間で処理することも可能である。例えば、容器２２６にスターラーや超音波発振器などの攪拌装置を設けることができる。
【００６７】
ノズルプレートの浸漬条件は、特に限定されないが、例えば、温度は、使用する処理剤が蒸発しない温度で行うことが好ましい。
【００６８】
図４に浸漬処理を行う前後の撥水膜の光学顕微鏡写真を示す。（ａ）浸漬処理前の撥水膜、（ｂ）浸漬処理後の撥水膜、である。
【００６９】
図４に示すように、本発明の浸漬処理を行うことにより、撥水膜上の異物の除去効果が確認できる。また、撥水膜の表面粗さＲａを測定したところ、図４（ａ）の撥水膜の表面粗さＲａ＝０．０２１μｍ、図４（ｂ）の撥水膜の表面粗さＲａ＝０．００３μｍであり、撥水膜の平滑化が確認できる。
【００７０】
また、このノズルプレートを用いてインクジェットヘッドを作製した際のインクジェットヘッドの充填性は、本発明の浸漬処理を行った図４（ｂ）のノズルプレートを用いたインクジェットの方が、早く充填を行うことができ、充填性も良好であった。
【００７１】
ノズルの形状は、図４に示すように四角型に限定されず、丸型や他の形状でも製造することができる。また、ノズルの大きさは、直径１μｍ〜１０００μｍの範囲内に入るように形成されることが好ましい。さらに、図５に示すように、ノズル孔２０２の端部から半径１００μｍ以内の領域Ａ、より好ましくは５０μｍ以内の領域の表面粗さＲａが、さらにその外の領域Ｂの表面粗さＲａよりも小さくすることが好ましい。ノズル孔２０２近傍の表面粗さＲａを低くし、その周囲よりも平滑にする（凹凸を除去する）ことで、吐出安定性を向上させることができる。ノズル孔２０２近傍部に撥水材料の凹凸がある場合は、突出曲がりが発生する場合があり、また、撥水材料の凹凸が剥れてノズルに異物が詰まる恐れがあるので、好ましくない。
【００７２】
次に撥水膜のメンテナンス時の機械的耐久性を確認するため、水分を含んだ布により表面こすり試験を行った。表面こすり試験後の光学顕微鏡写真を図６に示す。図６（ａ）は、浸漬処理を行わない撥水膜（図３（ａ）の膜）に表面こすり試験を行った後、図６（ｂ）は、本発明の浸漬処理を行った撥水膜（図３（ｂ）の膜）に表面こすり試験を行った後の撥水膜である。
【００７３】
図６（ａ）に示すように、浸漬処理を行わなかった表面は、撥水膜の生成物（島状の突起物）の詰まりが確認されたが、浸漬処理を行った表面（図６（ｂ））は、詰まりは確認されなかった。
【００７４】
さらに、表面こすり試験後のインクジェットヘッドのインクの充填性を確認したところ、図６（ａ）のインクジェットヘッドでは充填に時間がかかったが、図６（ｂ）のインクジェットヘッドでは表面こすり試験後の充填性に変化は見られなかった。
【００７５】
表面粗さＲａの低い領域は、図５に示すようにノズル近傍部のみを低くするのではなく、ノズルプレートの吐出面全面で、同等の表面粗さＲａとすることもできる。島状の突起物のような容易に除去可能な未反応生成物を除去することができれば、上記範囲に限定されず、吐出面全域を平滑化することもできる。吐出面全域の未反応生成物を除去することで、メンテナンスにより撥水材料がノズル近傍またはノズル内部へ付着することを防止することができるので、吐出性が低下することを防止することができる。
【００７６】
また、耐インク性の評価を行うため、浸漬処理を行わなかった撥水膜（図３（ａ））と本発明の浸漬処理を行った撥水膜（図３（ｂ））とで、静的接触角を測定した。
【００７７】
耐インク性評価は、それぞれのノズルプレートを、ｐＨ＝９．０のアルカリ性の水性顔料インクに６０℃で計２００ｈｒ浸漬させた。ノズルプレートは所定の時間で取り出し、浸漬に使用した水性顔料インクでその静的接触角を測定した。結果を図７に示す。
【００７８】
図７に示すように、本発明の浸漬処理を行った撥水膜を有するノズルプレートは、浸漬処理を行わなかったノズルプレートと同等の耐インク性を示しており、撥水膜上の未反応生成物を除去しても、膜質への影響が小さいことが確認できる。
【００７９】
［インクジェット記録装置の全体構成］
次に、本発明の撥水膜形成方法により形成された撥水膜を適用した例として、インクジェット記録装置、および、ノズルプレートについて説明する。
【００８０】
図８は、本発明の実施形態に係るインクジェット記録装置の構成図である。このインクジェット記録装置１００は、描画部１１６の圧胴（描画ドラム１７０）に保持された記録媒体１２４（便宜上「用紙」と呼ぶ場合がある。）にインクジェットヘッド１７２Ｍ，１７２Ｋ，１７２Ｃ，１７２Ｙから複数色のインクを打滴して所望のカラー画像を形成する圧胴直描方式のインクジェット記録装置であり、インクの打滴前に記録媒体１２４上に処理液（ここでは凝集処理液）を付与し、処理液とインク液を反応させて記録媒体１２４上に画像形成を行う２液反応（凝集）方式が適用されたオンデマンドタイプの画像形成装置である。
【００８１】
図示のように、インクジェット記録装置１００は、主として、給紙部１１２、処理液付与部１１４、描画部１１６、乾燥部１１８、定着部１２０、及び排出部１２２を備えて構成される。
【００８２】
（給紙部）
給紙部１１２は、記録媒体１２４を処理液付与部１１４に供給する機構であり、当該給紙部１１２には、枚葉紙である記録媒体１２４が積層されている。給紙部１１２には、給紙トレイ１５０が設けられ、この給紙トレイ１５０から記録媒体１２４が一枚ずつ処理液付与部１１４に給紙される。
【００８３】
本例のインクジェット記録装置１００では、記録媒体１２４として、紙種や大きさ（用紙サイズ）の異なる複数種類の記録媒体１２４を使用することができる。給紙部１１２において各種の記録媒体をそれぞれ区別して集積する複数の用紙トレイ（不図示）を備え、これら複数の用紙トレイの中から給紙トレイ１５０に送る用紙を自動で切り換える態様も可能であるし、必要に応じてオペレータが用紙トレイを選択し、若しくは交換する態様も可能である。なお、本例では、記録媒体１２４として、枚葉紙（カット紙）を用いるが、連続用紙（ロール紙）から必要なサイズに切断して給紙する構成も可能である。
【００８４】
（処理液付与部）
処理液付与部１１４は、記録媒体１２４の記録面に処理液を付与する機構である。処理液は、描画部１１６で付与されるインク中の色材（本例では顔料）を凝集させる色材凝集剤を含んでおり、この処理液とインクとが接触することによって、インクは色材と溶媒との分離が促進される。
【００８５】
図８に示すように、処理液付与部１１４は、給紙胴１５２、処理液ドラム１５４、及び処理液塗布装置１５６を備えている。処理液ドラム１５４は、記録媒体１２４を保持し、回転搬送させるドラムである。処理液ドラム１５４は、その外周面に爪形状の保持手段（グリッパー）１５５を備え、この保持手段１５５の爪と処理液ドラム１５４の周面の間に記録媒体１２４を挟み込むことによって記録媒体１２４の先端を保持できるようになっている。処理液ドラム１５４は、その外周面に吸着穴を設けるとともに、吸着穴から吸引を行う吸引手段を接続してもよい。これにより記録媒体１２４を処理液ドラム１５４の周面に密着保持することができる。
【００８６】
処理液ドラム１５４の外側には、その周面に対向して処理液塗布装置１５６が設けられる。処理液塗布装置１５６は、処理液が貯留された処理液容器と、この処理液容器の処理液に一部が浸漬されたアニックスローラと、アニックスローラと処理液ドラム１５４上の記録媒体１２４に圧接されて計量後の処理液を記録媒体１２４に転移するゴムローラとで構成される。この処理液塗布装置１５６によれば、処理液を計量しながら記録媒体１２４に塗布することができる。
【００８７】
本実施形態では、ローラによる塗布方式を適用した構成を例示したが、これに限定されず、例えば、スプレー方式、インクジェット方式などの各種方式を適用することも可能である。
【００８８】
処理液付与部１１４で処理液が付与された記録媒体１２４は、処理液ドラム１５４から中間搬送部１２６を介して描画部１１６の描画ドラム１７０へ受け渡される。
【００８９】
（描画部）
描画部１１６は、描画ドラム（第２の搬送体）１７０、用紙抑えローラ１７４、及びインクジェットヘッド１７２Ｍ，１７２Ｋ，１７２Ｃ，１７２Ｙを備えている。描画ドラム１７０は、処理液ドラム１５４と同様に、その外周面に爪形状の保持手段（グリッパー）１７１を備える。描画ドラム１７０に固定された記録媒体１２４は、記録面が外側を向くようにして搬送され、この記録面にインクジェットヘッド１７２Ｍ，１７２Ｋ，１７２Ｃ，１７２Ｙからインクが付与される。
【００９０】
インクジェットヘッド１７２Ｍ，１７２Ｋ，１７２Ｃ，１７２Ｙはそれぞれ、記録媒体１２４における画像形成領域の最大幅に対応する長さを有するフルライン型のインクジェット方式の記録ヘッド（インクジェットヘッド）とすることが好ましい。インク吐出面には、画像形成領域の全幅にわたってインク吐出用のノズルが複数配列されたノズル列が形成されている。各インクジェットヘッド１７２Ｍ，１７２Ｋ，１７２Ｃ，１７２Ｙは、記録媒体１２４の搬送方向（描画ドラム１７０の回転方向）と直交する方向に延在するように設置される。
【００９１】
描画ドラム１７０上に密着保持された記録媒体１２４の記録面に向かって各インクジェットヘッド１７２Ｍ，１７２Ｋ，１７２Ｃ，１７２Ｙから、対応する色インクの液滴が吐出されることにより、処理液付与部１１４で予め記録面に付与された処理液にインクが接触し、インク中に分散する色材（顔料）が凝集され、色材凝集体が形成される。これにより、記録媒体１２４上での色材流れなどが防止され、記録媒体１２４の記録面に画像が形成される。
【００９２】
なお、本例では、ＣＭＹＫの標準色（４色）の構成を例示したが、インク色や色数の組合せについては本実施形態に限定されず、必要に応じて淡インク、濃インク、特別色インクを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタなどのライト系インクを吐出するインクジェットヘッドを追加する構成も可能であり、各色ヘッドの配置順序も特に限定はない。
【００９３】
描画部１１６で画像が形成された記録媒体１２４は、描画ドラム１７０から中間搬送部１２８を介して乾燥部１１８の乾燥ドラム１７６へ受け渡される。
【００９４】
（乾燥部）
乾燥部１１８は、色材凝集作用により分離された溶媒に含まれる水分を乾燥させる機構であり、図８に示すように、乾燥ドラム１７６、及び溶媒乾燥装置１７８を備えている。
【００９５】
乾燥ドラム１７６は、処理液ドラム１５４と同様に、その外周面に爪形状の保持手段（グリッパー）１７７を備え、この保持手段１７７によって記録媒体１２４の先端を保持できるようになっている。
【００９６】
溶媒乾燥装置１７８は、乾燥ドラム１７６の外周面に対向する位置に配置され、複数のハロゲンヒータ１８０と、各ハロゲンヒータ１８０の間にそれぞれ配置された温風噴出しノズル１８２とで構成される。
【００９７】
各温風噴出しノズル１８２から記録媒体１２４に向けて吹き付けられる温風の温度と風量、各ハロゲンヒータ１８０の温度を適宜調節することにより、様々な乾燥条件を実現することができる。
【００９８】
また、乾燥ドラム１７６の表面温度は５０℃以上に設定されている。記録媒体１２４の裏面から加熱を行うことによって乾燥が促進され、定着時における画像破壊を防止することができる。なお、乾燥ドラム１７６の表面温度の上限については、特に限定されるものではないが、乾燥ドラム１７６の表面に付着したインクをクリーニングするなどのメンテナンス作業の安全性（高温による火傷防止）の観点から７５度以下（より好ましくは６０℃以下）に設定されることが好ましい。
【００９９】
乾燥ドラム１７６の外周面に、記録媒体１２４の記録面が外側を向くように（即ち、記録媒体１２４の記録面が凸側となるように湾曲させた状態で）保持し、回転搬送しながら乾燥することで、記録媒体１２４のシワや浮きの発生を防止でき、これらに起因する乾燥ムラを確実に防止することができる。
【０１００】
乾燥部１１８で乾燥処理が行われた記録媒体１２４は、乾燥ドラム１７６から中間搬送部１３０を介して定着部１２０の定着ドラム１８４へ受け渡される。
【０１０１】
（定着部）
定着部１２０は、定着ドラム１８４、ハロゲンヒータ１８６、定着ローラ１８８、及びインラインセンサ１９０で構成される。定着ドラム１８４は、処理液ドラム１５４と同様に、その外周面に爪形状の保持手段（グリッパー）１８５を備え、この保持手段１８５によって記録媒体１２４の先端を保持できるようになっている。
【０１０２】
定着ドラム１８４の回転により、記録媒体１２４は記録面が外側を向くようにして搬送され、この記録面に対して、ハロゲンヒータ１８６による予備加熱と、定着ローラ１８８による定着処理と、インラインセンサ１９０による検査が行われる。
【０１０３】
ハロゲンヒータ１８６は、所定の温度（例えば、１８０℃）に制御される。これにより、記録媒体１２４の予備加熱が行われる。
【０１０４】
定着ローラ１８８は、乾燥させたインクを加熱加圧することによってインク中の自己分散性熱可塑性樹脂微粒子を溶着し、インクを皮膜化させるためのローラ部材であり、記録媒体１２４を加熱加圧するように構成される。具体的には、定着ローラ１８８は、定着ドラム１８４に対して圧接するように配置されており、定着ドラム１８４との間でニップローラを構成するようになっている。これにより、記録媒体１２４は、定着ローラ１８８と定着ドラム１８４との間に挟まれ、所定のニップ圧（例えば、０．１５ＭＰａ）でニップされ、定着処理が行われる。
【０１０５】
また、定着ローラ１８８は、熱伝導性の良いアルミなどの金属パイプ内にハロゲンランプを組み込んだ加熱ローラによって構成され、所定の温度（たとえば６０〜８０℃）に制御される。この加熱ローラで記録媒体１２４を加熱することによって、インクに含まれる熱可塑性樹脂微粒子のＴｇ温度（ガラス転移点温度）以上の熱エネルギーが付与され、熱可塑性樹脂微粒子が溶融される。これにより、記録媒体１２４の凹凸に押し込み定着が行われるとともに、画像表面の凹凸がレベリングされ、光沢性が得られる。
【０１０６】
なお、図８の実施形態では、定着ローラ１８８を１つだけ設けた構成となっているが、画像層厚みや熱可塑性樹脂微粒子のＴｇ特性に応じて、複数段設けた構成でもよい。
【０１０７】
一方、インラインセンサ１９０は、記録媒体１２４に定着された画像について、チェックパターンや水分量、表面温度、光沢度などを計測するための計測手段であり、ＣＣＤラインセンサなどが適用される。
【０１０８】
上記の如く構成された定着部１２０によれば、乾燥部１１８で形成された薄層の画像層内の熱可塑性樹脂微粒子が定着ローラ１８８によって加熱加圧されて溶融されるので、記録媒体１２４に固定定着させることができる。また、定着ドラム１８４の表面温度を５０℃以上に設定することで、定着ドラム１８４の外周面に保持された記録媒体１２４を裏面から加熱することによって乾燥が促進され、定着時における画像破壊を防止することができるとともに、画像温度の昇温効果によって画像強度を高めることができる。
【０１０９】
また、インク中にＵＶ硬化性モノマーを含有させた場合は、乾燥部で水分を充分に揮発させた後に、ＵＶ照射ランプを備えた定着部で、画像にＵＶを照射することで、ＵＶ硬化性モノマーを硬化重合させ、画像強度を向上させることができる。
【０１１０】
（排出部）
図８に示すように、定着部１２０に続いて排出部１２２が設けられている。排出部１２２は、排出トレイ１９２を備えており、この排出トレイ１９２と定着部１２０の定着ドラム１８４との間に、これらに対接するように渡し胴１９４、搬送ベルト１９６、張架ローラ１９８が設けられている。記録媒体１２４は、渡し胴１９４により搬送ベルト１９６に送られ、排出トレイ１９２に排出される。
【０１１１】
また、図には示されていないが、本例のインクジェット記録装置１００には、上記構成の他、各インクジェットヘッド１７２Ｍ，１７２Ｋ，１７２Ｃ，１７２Ｙにインクを供給するインク貯蔵／装填部、処理液付与部１１４に対して処理液を供給する手段を備えるとともに、各インクジェットヘッド１７２Ｍ，１７２Ｋ，１７２Ｃ，１７２Ｙのクリーニング（ノズル面のワイピング、パージ、ノズル吸引等）を行うヘッドメンテナンス部や、用紙搬送路上における記録媒体１２４の位置を検出する位置検出センサ、装置各部の温度を検出する温度センサなどを備えている。
【０１１２】
なお、図８においてはドラム搬送方式のインクジェット記録装置について説明したが、本発明はこれに限定されず、ベルト搬送方式のインクジェット記録装置などにおいても用いることができる。
【０１１３】
〔インクジェットヘッドの構造〕
次に、インクジェットヘッド１７２Ｍ、１７２Ｋ、１７２Ｃ、１７２Ｙの構造について説明する。なお、各インクジェットヘッド１７２Ｍ、１７２Ｋ、１７２Ｃ、１７２Ｙの構造は共通しているので、以下では、これらを代表して符号２５０によってヘッドを示すものとする。
【０１１４】
図９（ａ）は、インクジェットヘッド２５０の構造例を示す平面透視図であり、図９（ｂ）は、インクジェットヘッド２５０の他の構造例を示す平面透視図である。図１０は、インク室ユニットの立体的構成を示す断面図（図９（ａ）中、IV−IV線に沿う断面図）である。
【０１１５】
記録紙面上に形成されるドットピッチを高密度化するためには、インクジェットヘッド２５０におけるノズルピッチを高密度化する必要がある。本例のインクジェットヘッド２５０は、図９（ａ）に示すように、インク滴の吐出孔であるノズル２５１と、各ノズル２５１に対応する圧力室２５２などからなる複数のインク室ユニット２５３を千鳥でマトリクス状に（２次元的に）配置させた構造を有し、これにより、ヘッド長手方向（紙搬送方向と直交する主走査方向）に沿って並ぶように投影される実質的なノズル間隔（投影ノズルピッチ）の高密度化を達成している。
【０１１６】
紙搬送方向と略直交する方向に記録媒体１２４の全幅に対応する長さにわたり１列以上のノズル列を構成する形態は本例に限定されない。例えば、図９（ａ）の構成に代えて、図９（ｂ）に示すように、複数のノズル２５１が２次元に配列された短尺のヘッドブロック（ヘッドチップ）２５０’を千鳥状に配列して繋ぎ合わせることで記録媒体１２４の全幅に対応する長さのノズル列を有するラインヘッドを構成してもよい。また、図示は省略するが、短尺のヘッドを一列に並べてラインヘッドを構成してもよい。
【０１１７】
図１０に示すように、各ノズル２５１は、インクジェットヘッド２５０のインク吐出面２５０ａを構成するノズルプレート２６０に形成されている。ノズルプレート２６０は、例えば、Ｓｉ、ＳｉＯ２、ＳｉＮ、石英ガラスのようなシリコン系材料、Ａｌ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｕまたはこれらを含む合金のような金属系材料、アルミナ、酸化鉄のような酸化物材料、カーボンブラック、グラファイトのような炭素系材料、ポリイミドのような樹脂系材料で構成されている。
【０１１８】
ノズルプレート２６０の表面（インク吐出側の面）には、上述したようにインクに対して撥液性を有する撥水膜２６２が形成されており、インクの付着防止が図られている。
【０１１９】
各ノズル２５１に対応して設けられている圧力室２５２は、その平面形状が概略正方形となっており、対角線上の両隅部にノズル２５１と供給口２５４が設けられている。各圧力室２５２は供給口２５４を介して共通流路２５５と連通されている。共通流路２５５はインク供給源たるインク供給タンク（不図示）と連通しており、該インク供給タンクから供給されるインクは共通流路２５５を介して各圧力室２５２に分配供給される。
【０１２０】
圧力室２５２の天面を構成し共通電極と兼用される振動板２５６には個別電極２５７を備えた圧電素子２５８が接合されており、個別電極２５７に駆動電圧を印加することによって圧電素子２５８が変形してノズル２５１からインクが吐出される。インクが吐出されると、共通流路２５５から供給口２５４を通って新しいインクが圧力室２５２に供給される。
【０１２１】
なお、本発明の実施に際してノズルの配置構造は図示の例に限定されず、副走査方向に１列のノズル列を有する配置構造など、様々なノズル配置構造を適用できる。
【０１２２】
また、本発明の適用範囲はライン型ヘッドによる印字方式に限定されず、記録紙１６の幅方向（主走査方向）の長さに満たない短尺のヘッドを記録紙１６の幅方向に走査させて当該幅方向の印字を行い、１回の幅方向の印字が終わると記録紙１６を幅方向と直交する方向（副走査方向）に所定量だけ移動させて、次の印字領域の記録紙１６の幅方向の印字を行い、この動作を繰り返して記録紙１６の印字領域の全面にわたって印字を行うシリアル方式を適用してもよい。
【０１２３】
また、他のインクジェットヘッドの実施形態として、図１１にインク供給流路３３６およびインク回収流路３３８を備えたインクジェットヘッドの断面図を示す。
【０１２４】
図１１に示すように、下部流路構造体３２０には、インクを吐出するための圧力を発生する圧力室３２２が形成されており、圧力室３２２の天面には振動板３２４が形成されている。また、振動板３２４の上には、圧電体３２８が接合されている。
【０１２５】
また、下部流路構造体３２０の下側にはノズルプレート３３０が接合され、ノズルプレート３３０にはインクを液滴として吐出するノズル３３２が形成されている。ノズルプレート３３０の表面（インク吐出側の面）には、上述したようにインクに対して撥液性を有する撥水膜３４０が形成されており、インクの付着防止が図られている。ノズル３３２は、ノズル流路３３４を介して圧力室３２２と連通している。また、下部流路構造体３２０には、インク供給流路３３６及びインク回収流路３３８が形成されている。
【０１２６】
インク供給流路３３６の上部には開口（インク供給口）３３６ａが設けられ、上部流路構造体３１４に形成されたインク供給口３１６と連通している。また、インク供給流路３３６にはもう一つの開口（インク供給口）３３６ｂが設けられ、圧力室３２２と連通している。インク回収流路３３８の上部には開口（インク回収口）３３８ａが設けられ、上部流路構造体３１４に形成されたインク回収口３１８と連通している。また、インク回収流路３３８にはもう一つの開口（インク回収口）３３８ｂが設けられ、ノズル流路３３４と連通している。このような構成とすることで、インク供給流路３３６から供給された余剰のインクをインク回収流路３３８から回収することができ、インクが循環する構成とすることができる。
【符号の説明】
【０１２７】
１００…インクジェット記録装置、１１２…給紙部、１１４…処理液付与部、１１６…描画部、１１８…乾燥部、１２０…定着部、１２２…排出部、１２４…記録媒体、１５４…処理液ドラム、１５６…処理液塗布装置、１７０…描画ドラム、１７２Ｍ、１７２Ｋ、１７２Ｃ、１７２Ｙ…インクジェットヘッド、１７６…乾燥ドラム、１８０…温風噴出しノズル、１８２…ＩＲヒータ、１８４…定着ドラム、１８６…ハロゲンヒータ、１８８…定着ローラ、１９２…排出トレイ、１９６…搬送ベルト、２００…ノズル形成基板、２０２…ノズル孔、２０８…中間層、２１０…撥水膜、２２０、２３０…流路基板、２２１…インク供給口、２２２…インク回収口、２２３…封止部材、２２４…冶具、２２６…容器、２２８…処理剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図５】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図４】
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【図６】
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