(57)【要約】      （修正有）【課題】これまでの構造よりも、過負荷の状況によって引き起こされる消耗に持ちこたえる、改善された、より耐久力のあるセンサー構造を提供する。【解決手段】容量型加速度センサーは、可動電極（４）および固定電極（５）からなる電極対を有し、また該電極対に関しては、ダイヤモンド状ＤＬＣコーティングを持ったアイソレーター突出部（６）を有している。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１対の電極を有する容量型加速度センサーであって、該電極対は、加速度に応答する可動電極（４）と、少なくとも１つの固定電極（５）と、少なくとも１つのアイソレーター突出部とを有し、
その特徴が、該アイソレーター突出部が、ダイヤモンド状ＤＬＣコーティングでコートされていることである、
前記容量型加速度センサー。
【請求項２】
アイソレーター突出部（６）が２層複合構造を有し、ここで、ベース層の材料は堆積し易いものであり、該ベース層が次にダイヤモンド状ＤＬＣコーティングのトップ層でコートされていることを特長とする、請求項１に記載の容量型加速度センサー。
【請求項３】
トップ層のダイヤモンド状ＤＬＣコーティングが、さらにアイソレーター突出部（６）の側面へ延びていることを特徴とする、請求項２に記載の容量型加速度センサー。
【請求項４】
トップ層のダイヤモンド状ＤＬＣコーティングが、さらにアイソレーター突出部（６）のエッジを越えて、固定電極（５）のエリア上へ延びていることを特徴とする、請求項３に記載の容量型加速度センサー。
【請求項５】
ベース層が、実質的にトップ層よりも厚いことを特徴とする、請求項２〜４のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項６】
ベース層が、酸化物からなることを特徴とする、請求項２〜５のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項７】
容量型加速度センサーの電極対が、複数のアイソレーター突出部（６）を有することを特徴とする、請求項１〜６のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項８】
アイソレーター突出部が、可動電極（４）の両面の側に位置していることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項９】
アイソレーター突出部（６）が、固定電極（５）上に位置していることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項１０】
アイソレーター突出部（６）が、可動電極（４）上に位置していることを特徴とする、請求項１〜８のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項１１】
アイソレーター突出部（６）のダイヤモンド状ＤＬＣコーティングが、イオンビーム堆積によって成長したものであることを特徴とする、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項１２】
アイソレーター突出部（６）のダイヤモンド状ＤＬＣコーティングが、プラズマ励起化学気相堆積によって成長したものであることを特徴とする、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項１３】
アイソレーター突出部（６）のダイヤモンド状ＤＬＣコーティングが、アーク放電堆積によって成長したものであることを特徴とする、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項１４】
アイソレーター突出部（６）のダイヤモンド状ＤＬＣコーティングフィルムの品質が、結合の比率ｓｐ３／ｓｐ２を高めることによって改善されたものであることを特徴とする、請求項１〜１３のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項１５】
アイソレーター突出部（６）のダイヤモンド状ＤＬＣコーティングフィルムの品質が、ダイヤモンド状ＤＬＣコーティングフィルムの水素含有量を減らすことによって改善されたものであることを特徴とする、請求項１〜１４のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
発明の分野
本発明は、加速度の測定において用いられる測定装置、より詳細には、容量型加速度センサーに関する。本発明は、過負荷の状況によって引き起こされる消耗に、より良く耐える、改善された、より耐久力のあるセンサー構造を提供する。
【背景技術】
【０００２】
発明の背景
容量型加速度センサーに基づく測定は、シンプルな原理を有し、加速度の測定のための信頼度の高い方法を提供することがわかっている。容量型の測定(capacitive measuring)は、センサーにおける電極対の、２つの表面間のギャップの変化に基づいている。表面間の容量、あるいは電荷を蓄えるための容量は、表面の面積および表面間の距離によって決まる。容量型の測定は、加速度のいくぶん低い測定範囲において用いることがすでに可能である。
【０００３】
以下に、同封した図１を参照に例示して、先行技術を説明する。図１は、先行技術による加速度センサーの電極対（一対の電極）の構造を示す側面図である。
【０００４】
図１は、先行技術による加速度センサーの、電極対の構造の側面図を示している。先行技術による加速度センサーの電極対は、可動電極１（これは、加速によって動く）と、固定電極２とを有する。可動電極１は、加速度センサーの部分１であり、これは加速に応答し、スプリングによって支持され、加速によって、固定電極２に対して移動する。可動電極１と固定電極２とは電極対を構成し、該電極対は、加速度を、電気的に測定しうる量（即ちキャパシタンス）へと変換する。一般的に、可動電極１の反対側には、先行技術の加速度センサーは、さらに第二の電極対を有するが、該電極対は、明瞭性のため図には示されていない。
【０００５】
加速度の測定では、センサーの電極対の、可動電極１と固定電極２との間のキャパシタンス（すなわち、電気量を保持するための能力）は、表面の面積および表面間の距離によって決まる。動作を通した加速度が測定すべきオブジェクトに加わるとき、固定電極２は測定すべき該オブジェクトの動きに追従する。可動電極１は、慣性力によってそのポジションに居続けようとし、そのために、固定電極２に対して移動する。可動電極１と固定電極２との間の距離が変化し、それによって測定可能なキャパシタンスもまた変化する。
【０００６】
先行技術の加速度センサーの電極対は、さらにアイソレーター突出部（isolator protrusion)３を有する。電極対は、さらに複数のアイソレーター突出部３を有していてもよい。アイソレーター突出部は、スプリングによって支持される可動電極１の動きを制限し、過負荷の場合における電極１、２間の接触を防ぐ。そしてそれにより、計器回路のショートも防ぐ。アイソレーター突出部の使用は、例えば、公開米国特許Ｎｏ．５，３６７，４２９に記載されている。
【０００７】
一般的に、誘電性の突出部が、アイソレーター突出部３として用いられる。高感度の加速度センサーにおいては、構造の復帰スプリング力が弱く、表面力(surface force)によ
って、可動電極１が固定電極２へ一時的または恒久的に膠着（sticking）し、センサーが機能するのを妨げることがある。
【０００８】
とりわけ、表面マイクロメカニカルな加速度センサーにおける膠着を防ぐための努力が
、様々な粗面化(roughening)またはコーティング処理によってなされてきた。例えば、脂質フィルムやフルオロポリマーからなる、表面力低減フィルムを構造に適用してきた。
【０００９】
本発明に関連するセンサー構造では、製造プロセス中にアイソレーター突出部の機械的消耗がさらに起こりえる。従って、磨り減った酸化物の突出部は変形し、そして、それら突起部が等しく摩耗したシリコン表面上へ機械的に連結することすらあり得る。
【発明の開示】
【００１０】
発明の要旨
本発明の目的は、電極間の膠着を防ぎ、過負荷の状況によって引き起こされる消耗に対してよりよく耐えるような、改善されたセンサー構造を提供することである。
【００１１】
本発明によれば、少なくとも１対の電極を有する容量型加速度センサーが提供され、該電極対は、加速度に応答する可動電極と、少なくとも１つの固定電極と、少なくとも１つのアイソレーター突出部とを有し、該アイソレーター突出部は、ダイヤモンド状ＤＬＣコーティングでコートされている。
【００１２】
好ましくは、アイソレーター突出部は、２層複合構造を有し、その中でベース層は容易に適用できる材料で構成されており、該ベース層はその次にダイヤモンド状ＤＬＣコーティングのトップ層でコートされている。
【００１３】
好ましくは、トップ層のダイヤモンド状ＤＬＣコーティングが、さらにアイソレーター突出部の側面まで延びている。さらに、好ましくは、トップ層のダイヤモンド状ＤＬＣコーティングが、さらにアイソレーター突出部の側面を越えて固定電極のエリア上へ延びている。
【００１４】
さらに、好ましくは、ベース層が、実質的にトップ層よりも厚い。好ましくは、ベース層が、酸化物からなる。
【００１５】
好ましくは、当該容量型加速度センサーの電極対が、複数のアイソレーター突出部を有している。該アイソレーター突出部は、好ましくは、可動電極の両面の側に置かれている。好ましくは、アイソレーター突出部は、固定電極上に位置している。あるいは、アイソレーター突出部は、可動電極上に位置している。
【００１６】
好ましくは、アイソレーター突出部のダイヤモンド状ＤＬＣコーティングは、イオンビーム堆積によって成長したものである。あるいは、アイソレーター突出部のダイヤモンド状ＤＬＣコーティングは、プラズマ励起化学気相堆積によって成長したものである。あるいは、アイソレーター突出部のダイヤモンド状ＤＬＣコーティングが、アーク放電堆積によって成長したものである。
【００１７】
好ましくは、アイソレーター突出部のためのダイヤモンド状ＤＬＣコーティングフィルムの品質が、ｓｐ３／ｓｐ２結合の比率を高めることによって改善されたものである。好ましくは、アイソレーター突出部のためのダイヤモンド状ＤＬＣコーティングフィルムの品質が、ダイヤモンド状ＤＬＣコーティングフィルムの水素含有量を減らすことによって改善されたものである。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、先行技術による加速度センサーの電極対の構造の側面図を示す。
【図２】図２は、本発明による加速度センサーの電極対の構造の側面図を示す。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明、およびその実装のための好ましい方法を、添付の図面を参照する例示を伴って、以下に詳細に説明する。
図１については上述されている。以下に、本発明およびその実施のための好ましい方法
を、図２を参照して記載する。
【００２０】
発明の詳細な説明
本発明による加速度センサーでは、電極対のアイソレーター突出部が、ダイヤモンド状のＤＬＣコーティング（ＤＬＣ、ダイヤモンドライクカーボン（Diamond Like Carbon）
）でコートされている。本発明による解決法によって、膠着力を低くすることができ、また電極の消耗を押さえることができる。
【００２１】
図２は、本発明による加速度センサーの電極対の構造の側面図を示す。本発明による加速度センサーの電極対は、可動電極４および固定電極５を有する。全体的には、本発明による加速度センサーは、さらに固定電極４の反対側に第二電極対を含むが、該電極対は、明瞭性のため図には示されていない。
【００２２】
本発明による加速度センサーの電極対は、さらにアイソレーター突出部６を有する。アイソレーター突出部６は、ダイヤモンド状のＤＬＣコーティング（ＤＬＣ、ダイヤモンドライクカーボン）でコートされている。
【００２３】
本発明によるアイソレーター突出部６は、２層の複合構造であり、より厚くかつ容易に堆積し得る材料（例えば、酸化物）からなるベース層を有しており、該ベース層は次にダイヤモンド状ＤＬＣコーティングからなる薄いトップ層でコートされている。トップ層のダイヤモンド状ＤＬＣコーティングは、さらにアイソレーター突出部６の側面上に延びていてもよく、あるいは、さらにアイソレーター突出部６のエッジを越えて、固定電極５のエリア上に延びていてもよい。本発明による加速度センサーの電極対は、複数のアイソレーター突出部６を有していてもよい。アイソレーター突出部は、可動電極４の両面の側に位置してもよい。通常、アイソレーター突出部６は、固定電極５上に設置されるが、代替的には、アイソレーター突出部は、可動電極４上に設置されてもよい。
【００２４】
本発明によれば、加速度センサーの電極対の、アイソレーター突出部６のためのダイヤモンド状ＤＬＣコーティングは、様々な方法で堆積させることができる。ＤＬＣコーティングは、イオンビーム堆積(Ion Beam Deposition)によって、あるいは、プラズマ励起化
学気相堆積(Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition, PECVD)によって、またある
いは、アーク放電堆積(ark discharge deposition)によって成長させることができる。
【００２５】
本発明によるアイソレーター突出部６上のダイヤモンド状ＤＬＣコーティングフィルムの品質は、結合の比率ｓｐ３／ｓｐ２を高めることによって、あるいは、ダイヤモンド状ＤＬＣコーティングフィルムの水素含有量を減らすことにより、改善することができる。
【００２６】
本発明による加速度センサーの電極対の、アイソレーター突出部６上のダイヤモンド状ＤＬＣコーティングは、消耗に抗し、電極の互いの膠着を引き起こす表面力を下げる。
【００２７】
本発明による２層の複合構造の表面力は、むき出しの酸化物突出部の場合よりも低い。よって、可動電極４と固定電極５との間の膠着(例えば過負荷の状況におけるもの）を、
回避することができる。
【００２８】
２層の複合構造の、低い摩擦係数と、消耗に対する改善された耐性のために、本発明の解決法によって、アイソレーター突出部の消耗を回避することができる。
【００２９】
本発明による解決法によって、製造プロセス中、アイソレーター突出部の機械的な消耗を防止できる。電極間の機械的な固着(locking)を防ぐことによって、本発明による、摩
擦を低減させる、耐消耗コーティングは、加速度センサーの電極対の動きを改善する。
【図１】
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【図２】
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【外国語明細書】
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