(57)【要約】【課題】着色剤を含有し、且つ隔壁の最小幅と最大幅の差の小さい隔壁を有するマイクロアレイ用基板の形成方法を提供すること。【解決手段】  基板と、前記基板の表面を区画する隔壁と、前記基板と前記隔壁により区画された基板上の領域とを有するマイクロアレイ用基板の形成方法において、  基板上に、（Ａ）着色剤を含有する感光性組成物（第１組成物）から得られる塗膜（第１塗膜）を形成する工程（１）、  前記隔壁に対応するよう、前記第１塗膜を露光する工程（２）、  前記工程（２）で得られた露光後の第１塗膜上に、（Ａ）着色剤を含有する感光性組成物（第２組成物）から得られる塗膜（第２塗膜）を形成する工程（３）、  前記隔壁に対応するよう第２塗膜を露光する工程（４）、  露光後の第１塗膜及び露光後の第２塗膜を現像する工程（５）を有するマイクロアレイ用基板の形成方法。【選択図】図３
2011257284.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、前記基板の表面を区画する隔壁と、前記基板と前記隔壁により区画された基板上の領域とを有するマイクロアレイ用基板の形成方法において、
基板上に、（Ａ）着色剤を含有する感光性組成物（第１組成物）から得られる塗膜（第１塗膜）を形成する工程（１）、
前記隔壁に対応するよう、前記第１塗膜を露光する工程（２）、
前記工程（２）で得られた露光後の第１塗膜上に、（Ａ）着色剤を含有する感光性組成物（第２組成物）から得られる塗膜（第２塗膜）を形成する工程（３）、
前記隔壁に対応するよう第２塗膜を露光する工程（４）、
露光後の第１塗膜及び露光後の第２塗膜を現像する工程（５）
を有し、且つ前記工程（２）の露光光の波長に対して前記第１塗膜は吸収帯を有し、前記工程（４）の露光光の波長に対して前記第２塗膜は吸収帯を有することを特徴とするマイクロアレイ用基板の形成方法。
【請求項２】
前記第１塗膜の膜厚に対して、前記第２塗膜の膜厚が１倍〜３倍である請求項１のマイクロアレイ用基板の形成方法。
【請求項３】
前記第１組成物が、前記第２組成物と同じ組成物である請求項１又は請求項２のマイクロアレイ用基板の形成方法。
【請求項４】
前記、第１組成物及び第２組成物から選ばれる少なくとも１つの組成物は、（Ａ）着色剤、（Ｂ）重合体、（Ｃ）多官能性単量体、（Ｄ）感光性重合開始剤及び（Ｅ）溶剤を含有する組成物である請求項１〜請求項３の何れかのマイクロアレイ用基板の形成方法。
【請求項５】
請求項１のマイクロアレイ用基板の形成方法に用いられる感光性組成物であって、（Ａ）着色剤、（Ｂ）重合体、（Ｃ）多官能性単量体、（Ｄ）感光性重合開始剤及び（Ｅ）溶剤を含有する感光性組成物。
【請求項６】
請求項１〜請求項４の何れかのマイクロアレイ用基板の形成方法により得られるマイクロアレイ用基板。
【請求項７】
基板と、前記基板の表面を区画する隔壁と、前記基板と前記隔壁により区画された基板上の領域とを有するマイクロアレイ用基板であって、
前記隔壁は着色剤を含有する隔壁であって、且つ前記隔壁の最小幅に対して、前記隔壁の最大幅は２倍以下であることを特徴とするマイクロアレイ用基板。
【請求項８】
請求項６又は請求項７の何れかのマイクロアレイ用基板と、前記区画された基板上の領域に固定化されたプローブ分子とを有するマイクロアレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロアレイ用基板の形成方法、感光性組成物、マイクロアレイ用基板及びマイクロアレイに関する。更に詳しくは、生体関連物質との相互作用を計測したり、反応を利用したりするためのデバイス等に用いられるマイクロアレイ用基板の形成方法、感光性組成物、マイクロアレイ用基板及びマイクロアレイに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
マイクロアレイとは、例えば、基体上に、核酸、タンパク質、ペプチド、糖鎖、低分子化合物、細胞、組織などの物質をプローブ分子として搭載し、ターゲット分子である生体関連物質との相互作用を計測したり、反応を利用したりするためのデバイスである。また、マイクロアレイでは、プローブ分子を固定化するための区画された複数の反応領域（キャビティ）を有する基板（マイクロアレイ用基板）を用いる。
【０００３】
プローブ分子とターゲット分子との相互作用や反応を検出する方法として、通常、プローブ分子とターゲット分子との相互作用や反応の際に放出される蛍光を、必要に応じ蛍光標識剤等を用いて、検出する技術がある。例えば、蛍光標識を用いた反応では、マイクロアレイ全体に誘起光照射を行い、個々のキャビティから発せられる蛍光を測定器により受光して反応の有無や状態を検知する（特許文献１〜特許文献５）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−２１４８８９号公報
【特許文献２】ＷＯ０６／１０１２２９号公報
【特許文献３】特開２００１−３４３３８５号公報
【特許文献４】特開２００６−３２０３０７号公報
【特許文献５】ＷＯ０７／０４８０３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年マイクロアレイは、一括した処理でより多くの情報を得るために、集積量を上げる試みがなされている。集積量を上げるにつれて、各キャビティ間の距離がより近くなるため、各キャビティから発せられる蛍光の混色がより顕著になり検知が困難になってきている。即ち、集積量を上げるにつれてより隔壁が狭化してキャビティ間の光を十分に分離できなくなるという問題がある。該問題に対して、測定光領域に吸収帯を有する成分（吸光剤や着色剤等）を含有させた感光性組成物をリソグラフィー法により隔壁を形成することにより、光学的にキャビティ間を分離する方法が考えられる。
【０００６】
前記着色剤等を含有させた感光性組成物から得られる塗膜は、測定光領域の波長だけでなく、リソグラフィー法で用いられる露光光の波長に対して、少なからず吸収する。このように露光光の波長に塗膜が吸収帯を有すると、塗膜の基板近辺まで十分に露光光が届かず、前記感光性組成物がネガ型なら逆テーパー状の隔壁が、前記感光性組成物がポジ型なら順テーパー状の隔壁が形成される。
【０００７】
逆テーパー状の隔壁では、隔壁の底部の幅が狭いため隔壁の強度が弱くなり、例えば、プローブ分子とターゲット分子との相互作用や反応を行う際の熱水などの熱に耐えられない。一方、順テーパー状の隔壁では以下の（１）〜（３）の問題がある。（１）マイクロアレイの集積量を上げることができない。（２）十分な大きさのキャビィティが得られないためプローブ分子を固定化が困難である。（３）隔壁により基板を被覆するため、基板側に蛍光の測定器を形成できない。
【０００８】
本発明は上述の問題を解決するためになされたものであり、つまり、着色剤を含有し且つ隔壁の最小幅と最大幅の差の小さい隔壁を有するマイクロアレイ用基板の形成方法の提供、該マイクロアレイ用基板の形成方法に用いられる感光性組成物の提供、着色剤を含有し且つ隔壁の最大幅と最小幅との差が小さい隔壁を有するマイクロアレイ用基板の提供および該マイクロアレイ用基板を有するマイクロアレイの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は以下のとおりである。
＜１＞基板と、前記基板の表面を区画する隔壁と、前記基板と前記隔壁により区画された基板上の領域とを有するマイクロアレイ用基板の形成方法において、
基板上に、（Ａ）着色剤を含有する感光性組成物（第１組成物）から得られる塗膜（第１塗膜）を形成する工程（１）、
前記隔壁に対応するよう、前記第１塗膜を露光する工程（２）、
前記工程（２）で得られた露光後の第１塗膜上に、（Ａ）着色剤を含有する感光性組成物（第２組成物）から得られる塗膜（第２塗膜）を形成する工程（３）、
前記隔壁に対応するよう第２塗膜を露光する工程（４）、
露光後の第１塗膜及び露光後の第２塗膜を現像する工程（５）
を有し、且つ前記工程（２）の露光光の波長に対して前記第１塗膜は吸収帯を有し、前記工程（４）の露光光の波長に対して前記第２塗膜は吸収帯を有することを特徴とするマイクロアレイ用基板の形成方法。
＜２＞前記第１塗膜の膜厚に対して、前記第２塗膜の膜厚が１倍〜３倍である前記＜１＞のマイクロアレイ用基板の形成方法。
＜３＞前記第１組成物が、前記第２組成物と同じ組成物である前記＜１＞又は前記＜２＞のマイクロアレイ用基板の形成方法。
＜４＞前記、第１組成物及び第２組成物から選ばれる少なくとも１つの組成物は、（Ａ）着色剤、（Ｂ）重合体、（Ｃ）多官能性単量体、（Ｄ）感光性重合開始剤及び（Ｅ）溶剤を含有する組成物である前記＜１＞〜前記＜３＞の何れかのマイクロアレイ用基板の形成方法。
＜５＞前記＜１＞のマイクロアレイ用基板の形成方法に用いられる感光性組成物であって、（Ａ）着色剤、（Ｂ）重合体、（Ｃ）多官能性単量体、（Ｄ）感光性重合開始剤及び（Ｅ）溶剤を含有する感光性組成物。
＜６＞前記＜１＞〜前記＜４＞の何れかのマイクロアレイ用基板の形成方法により得られるマイクロアレイ用基板。
＜７＞基板と、前記基板の表面を区画する隔壁と、前記基板と前記隔壁により区画された基板上の領域とを有するマイクロアレイ用基板であって、
前記隔壁は着色剤を含有する隔壁であって、且つ前記隔壁の最小幅に対して、前記隔壁の最大幅は２倍以下であることを特徴とするマイクロアレイ用基板。
＜８＞前記＜６＞又は前記＜７＞の何れかのマイクロアレイ用基板と、前記区画された基板上の領域に固定化されたプローブ分子とを有するマイクロアレイ。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のマイクロアレイ用基板の形成方法によれば、着色剤を含有し且つ隔壁の上部の幅と底部の幅に大きな差のない隔壁を有するマイクロアレイ用基板を得ることができる。さらに、本発明のマイクロアレイは前記マイクロアレイ用基板を有していることから、プローブ分子とターゲット分子との相互作用や反応を良好に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】第１組成物及び第２組成物が共にネガ型の場合における、本発明の「マイクロアレイ用基板の形成方法」を模式的に示した図。
【図２】マイクロアレイ用基板を模式的に示した図。
【図３】実施例１のマイクロアレイ用基板の隔壁の断面の写真。
【図４】比較例１のマイクロアレイ用基板の隔壁の断面の写真。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明に係るマイクロアレイ用基板の形成方法、感光性組成物、マイクロアレイ用基板及びマイクロアレイについて、詳細に説明する。
【００１３】
［１］マイクロアレイ用基板の形成方法
本発明のマイクロアレイ用基板の形成方法は、基板と、前記基板の表面を区画する隔壁と、前記基板と前記隔壁により区画された基板上の領域とを有するマイクロアレイ用基板の形成方法において、
基板上に、（Ａ）着色剤を含有する感光性組成物（第１組成物）から得られる塗膜（第１塗膜）を形成する工程（１）、
前記隔壁に対応するよう、前記第１塗膜を露光する工程（２）、
前記工程（２）で得られた露光後の第１塗膜上に、（Ａ）着色剤を含有する感光性組成物（第２組成物）から得られる塗膜（第２塗膜）を形成する工程（３）、
前記隔壁に対応するよう第２塗膜を露光する工程（４）、
露光後の第１塗膜及び露光後の第２塗膜を現像する工程（５）
を有し、且つ前記工程（２）の露光光の波長に対して前記第１塗膜は吸収帯を有し、前記工程（４）の露光光の波長に対して前記第２塗膜は吸収帯を有することを特徴とする。
【００１４】
露光光の波長に対して塗膜が吸収帯を有すると、該塗膜から得られる隔壁は順テーパー状や逆テーパー状となる。特にマイクロアレイ用基板で用いられる隔壁は高いため、厚い塗膜が必要となる。この厚い塗膜を露光すると、薄い塗膜より露光光は塗膜の基板近辺まで十分に露光光が届かなくなるため、隔壁の最小幅と最大幅の差がより大きな隔壁が形成されることとなる。
【００１５】
上記問題に対して、本発明のマイクロアレイ用基板の形成方法では、厚い塗膜を一度の露光で隔壁を形成するのに代えて、薄い塗膜を積み重ね、結果として厚い塗膜から得られる隔壁と同じ高さの隔壁を形成することにより、隔壁の最小幅と最大幅の差を小さくすることができる。
【００１６】
また、工程（２）の露光光の波長に対して第１塗膜は吸収帯を有しており、さらに工程（４）の露光光の波長に対して第２塗膜は吸収帯を有しているのは、本発明は、露光光の波長に対して、着色剤を含有する感光性組成物から得られる塗膜が吸収帯を有しているために、得られる隔壁の最大幅と最小幅との差が大きくなるという課題を解決するためのものであるからである。
なお本発明において、露光光の波長に対して吸収帯を有しているとは、膜厚４５μｍの塗膜の光線透過率が９０％Ｔ以下であることを示す。
【００１７】
［１−１］工程（１）
工程（１）では、図１（ａ）に示すように、基板０１上に、着色剤（Ａ）を含有する感光性組成物（第１組成物）を塗布して、必要に応じて加熱処理（プレベーク）を行い、塗膜（第１塗膜）１１を形成する工程である。
【００１８】
基板０１としては、無機材料でも有機材料でもよく、これらの複合材料であってもよい。また、基板０１は、その表面側と他面側とが異なる材料からなってもよい。基板を構成する材料としては、シリコン、二酸化ケイ素及びガラス（ホウケイ酸ガラス、表面改質ガラス、石英ガラス等を含む）等のケイ素を主成分とする無機材料が挙げられる。また、ポリプロピレン及びポリアクリルアミド（アクリルアミドによって表面が活性化されたポリアクリルアミドを含む）等の有機材料が挙げられる。また、第１塗膜との密着性を更に向上させるのに適した反応性部位（例えば、活性なアミノ基など）を有する基板を用いることができる。更に、前記基板としては、固体撮像素子（ＣＭＯＳイメージセンサーなど）などの受光素子を有する基板を用いることができる。受光素子を有する基板を用いた場合には、プローブ分子とターゲット分子との相互作用や反応の際に放出される蛍光を基板自体に受光させることができる。
【００１９】
前記第１組成物としては、着色剤（Ａ）を含有している感光性組成物であれば、特に限定無く用いることができる。つまり、第１組成物は、ネガ型感光性組成物（以下、単に「ネガ型」ともいう）でもよく、ポジ型感光性組成物（以下、単に「ポジ型」ともいう）でもよい。ネガ型とは、感光性組成物から得られる塗膜において、露光光の照射部分が、現像後パターンとして残る感光性組成物のことである。一方、ポジ型とは、感光性組成物から得られる塗膜において、露光光の非照射部分が、現像後パターンとして残る感光性組成物のことである。
【００２０】
本発明のマイクロアレイ用基板の形成方法における第１組成物としては、第１組成物由来の成分が隔壁に含有するため、熱水に対する安定性に優れた隔壁が得られるネガ型が好ましい。
【００２１】
ポジ型としては、例えば、特開２００９−１３３９２４号公報、特開２００１−２８１８６２号公報、特開平１１−１０６６０６号公報、特開２００８−１９２７７４号公報、特開２００４−３０９７７６号公報、特開２００４−１２５８１５号公報、特開２００７−２７９０７３号公報及び２００７−１８２５５５号公報等に記載の感光性組成物を用いることができる。
より具体的には、（１）着色剤、酸の作用により現像液に対する溶解性が変化する重合体、感光性酸発生剤及び溶剤を含有する組成物、（２）着色剤、アルカリ可溶性重合体、ナフトキノンジアジド化合物及び溶剤を含有する組成物、等がある。
【００２２】
ネガ型としては、例えば、特開２００７−２９３３０６号公報、特開２００３−２１５８０２号公報、特開２００４−１０６６０号公報、特開２００３−２５８４２２号公報、特開２００４−１７１０２６号公報、特開２００４−２１２９８３号公報、ＷＯ０４／１１１７３４号公報、ＷＯ０５／０３６２６９号公報、特開２００４−１９８９０６号公報及び特開２００５−２６６４７４号公報等に記載の感光性組成物が挙げられる。
より具体的には、（３）着色剤、重合体、多官能性単量体、感光性重合開始剤及び溶剤を含有する組成物（４）着色剤、重合体、エポキシ化合物やメラミン化合物などの架橋剤、感光性酸発生剤及び溶剤を含有する組成物、等がある。
【００２３】
ネガ型のなかでも、前記（３）に記載の組成物が熱水に対する安定性に優れた隔壁が得られることから好ましい。なお、着色剤（Ａ）及び前記（３）に記載の組成物の詳細について、後述の『［２］感光性組成物』にて述べる。
【００２４】
前記第１組成物の塗布方法としては、均一に塗布できる方法であればどのような方法であってもよく、例えば、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法（スピンコート法）、スリットダイ塗布法、バー塗布法、インクジェット法等の適宜の方法を採用することができる。特にスピンコート法またはスリットダイ塗布法は、均一な膜厚の塗膜を得ることができるため好ましい。
また、プレベークの条件は、第１組成物中に含まれる成分の種類によって適宜選択可能であるが、通常、６０℃〜１６０℃で３０秒間〜１５分間である。
【００２５】
このようにして得られた塗膜（第１塗膜）１１の膜厚は、目的とする隔壁の高さにより適宜選択されるが、通常、１０μｍ〜１００μｍ、好ましくは１０μｍ〜７０μｍである。
【００２６】
［１−２］工程（２）
工程（２）は、図１（ｂ）に示すように、前記工程（１）で得られた第１塗膜１１を、目的とする隔壁の形状に対応するよう、必要に応じパターン化マスク２０を介して、露光光３０を露光し、潜像１２を有する塗膜を形成する工程である。
【００２７】
前記露光光としては、半導体レーザー、メタルハライドランプ、高圧水銀灯（ｇ線、ｈ線、ｉ線等）、エキシマレーザー、極端紫外線及び電子線等が挙げられる。これらの中でも、高解像度でパターンを形成できる点からｇ線又はｉ線が好ましい。
また、前記露光光の露光量は、露光光の種類、塗膜の膜厚及び種類並びに目的とする隔壁の形状により適宜選択されるが、高圧水銀灯の場合、通常、１００〜１５００ｍＪ／ｃｍ２である。
【００２８】
前記工程（１）で用いる第１組成物がネガ型の場合、前記第１塗膜１１はネガ型となるため、第１塗膜１１は露光した箇所がパターン化する。このため、目的とする隔壁に対応する箇所がそれ以外の箇所よりも露光光に対する透過率が大きくなるよう設計したパターン化マスク２０を介して、前記第１塗膜に露光する。
一方、前記工程（１）で用いる第１組成物がポジ型の場合、前記第１塗膜はポジ型となるため、第１塗膜は露光しない箇所がパターン化する。このため、目的とする隔壁に対応する箇所がそれ以外の箇所よりも露光光に対する透過率が小さくなるよう設計されたパターン化マスクを介して、前記第１塗膜に露光する。
また、目的とする隔壁の大きさによって露光方法は適宜選択可能であり、微細な隔壁を形成する際は、通常、縮小投影法により露光する。
【００２９】
露光後、必要に応じて、加熱処理（以下、「ＰＥＢ」ともいう）することも可能である。特に第１組成物中に感光性酸発生剤が含まれている場合、ＰＥＢを行うのが好ましい。ＰＥＢ条件は、各成分の種類及び使用量等によって適宜選択可能であるが、通常、３０〜３００℃で１分間〜５時間である。
【００３０】
［１−３］工程（３）
工程（３）は、図１（ｃ）に示すように、前記工程（２）で得られた露光後の塗膜上に、着色剤（Ａ）を含有する感光性組成物（第２組成物）を塗布して、必要に応じて加熱処理（プレベーク）を行い、塗膜（第２塗膜）１３を形成する工程である。
【００３１】
前記第２組成物としては、着色剤（Ａ）を含有している感光性組成物であれば、前記第１組成物と同様に、ネガ型でもポジ型でもよい。第１組成物と第２組成物との組み合わせとしては、（ａ）第１組成物／第２組成物＝ネガ型／ネガ型、（ｂ）第１組成物／第２組成物＝ネガ型／ポジ型、（ｃ）第１組成物／第２組成物＝ポジ型／ネガ型及び（ｄ）第１組成物／第２組成物＝ポジ型／ポジ型の４種類がある。これら組み合わせの中でも、第１組成物が第２組成物と同じ型である、前記（ａ）及び前記（ｄ）が、以下の理由で好ましい。
【００３２】
露光する際必要に応じて用いるパターン化マスクは、露光する塗膜がポジ型かネガ型によってそれぞれ、目的とする隔壁に対応する箇所の露光光への透過率を下げる場合と上げる場合に分かれる。第１組成物と第２組成物が同じ型であれば、同じパターン化マスクにて、本発明のマイクロアレイ用基板の形成方法を行うことができるため、前記（ａ）及び前記（ｄ）が好ましい。
【００３３】
また、前述の通り第１組成物はネガ型が好ましいことから、（ａ）第１組成物／第２組成物＝ネガ型／ネガ型は、熱水に対する安定性に優れた隔壁が得られることからより好ましい。
【００３４】
さらに、前記第１組成物が前記第２組成物と同じ組成物、つまり、前記第２組成物が、前記第１組成物と同じ組成物である方が好ましい。同じ組成物で隔壁を形成することで、形成される隔壁が局所的に弱い箇所が形成されることを防げるからである。
【００３５】
前記第２組成物の塗布方法は、第１組成物の塗布方法と同様に、均一に塗布できる方法であればどのような方法であってもよく、例えば、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法（スピンコート法）、スリットダイ塗布法、バー塗布法、インクジェット法等の適宜の方法を採用することができる。特にスピンコート法またはスリットダイ塗布法は、均一な膜厚の塗膜を得ることができるため好ましい。
また、プレベークの条件は、第２組成物中に含まれる成分の種類によって適宜選択可能であるが、通常、６０〜１６０℃で３０秒間〜１５分間である。
【００３６】
このようにして得られた塗膜（第２塗膜）１３の膜厚は、目的とする隔壁の高さにより適宜選択されるが、通常、１０〜３００μｍ、好ましくは１０〜２１０μｍである。
【００３７】
また、第１塗膜の膜厚に対して、前記第２塗膜の膜厚が１倍〜３倍である方が好ましい。第１塗膜は隔壁の底部となるため、第１塗膜は第２塗膜よりもより良好な形状を形成する方が、熱水に対して耐性の強い隔壁を形成できるからである。
【００３８】
［１−４］工程（４）
工程（４）は、図１（ｄ）に示すように、前記工程（３）で得られた第２塗膜１３を、目的とする隔壁の形状に対応するよう、必要に応じパターン化マスク２１を介して、露光光３１を露光し、潜像１４を有する塗膜を形成する工程である。
【００３９】
工程（４）で用いる露光光は、前記工程（２）と同じく、半導体レーザー、メタルハライドランプ、高圧水銀灯（ｇ線、ｈ線、ｉ線等）、エキシマレーザー、極端紫外線及び電子線等が挙げられる。これらの中でも、高解像度でパターンを形成できる点からｇ線又はｉ線が好ましい。
また、工程（４）で用いる露光光３１の露光量は、露光光の種類、塗膜の膜厚及び種類並びに目的とする隔壁の形状により適宜選択されるが、高圧水銀灯の場合、通常、１００〜１５００ｍＪ／ｃｍ２である。
【００４０】
工程（４）で用いるパターン化マスクは、前記工程（２）と同じく、第２塗膜がネガ型かポジ型かにより適宜選択される。また、前記工程（２）と同じく、工程（４）の露光方法は、目的とする隔壁の大きさによって適宜選択可能であり、微細な隔壁を形成する際は、通常、縮小投影法により露光する。
【００４１】
露光後、必要に応じて、加熱処理（以下、「ＰＥＢ」ともいう）することも可能である。特に第２組成物中に感光性酸発生剤が含まれている場合、ＰＥＢを行うのが好ましい。ＰＥＢ条件は、各成分の種類及び使用量等によって適宜選択可能であるが、通常、３０〜３００℃で１分間〜５時間である。
【００４２】
［１−５］工程（５）
工程（５）は、図１（ｅ）に示すように、前記工程（２）で得られた露光後の第１塗膜及び前記工程（４）で得られた露光後の第２塗膜に、現像液を接触させることにより、相対的に現像液への溶解性の高い箇所を除去、つまり、潜像１２及び潜像１４を現像し、パターニングされた塗膜１５（パターン化塗膜）を形成する工程である。
【００４３】
前記現像液としては、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア、エチルアミン、ｎ−プロピルアミン、ジエチルアミン、ジエチルアミノエタノール、ジ−ｎ−プロピルアミン、トリエチルアミン、メチルジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ［５．４．０］−７−ウンデセン、１，５−ジアザビシクロ［４．３．０］−５−ノナンなどの塩基性化合物の水溶液を用いることができる。また、前記塩基性化合物の水溶液にメタノール、エタノール等の水溶性有機溶剤や界面活性剤を適当量添加した水溶液を現像液として使用することもできる。現像液を接触する方法としては、例えば液盛り法、ディッピング法、揺動浸漬法、シャワー法等の適宜の方法を利用することができる。このようにして潜像１２及び潜像１４を現像しパターン化塗膜１５を形成する。
【００４４】
その後、パターン化塗膜１５は、通常、水により洗浄処理する。またパターン化塗膜を十分に硬化させることを目的に、光を全面に照射（後露光）することもできる。前記後露光における露光量は、通常、１〜１５００ｍＪ／ｃｍ２である。さらに、パターン化塗膜を十分に硬化させることを目的に、加熱処理（後ベーク）をすることも可能である。後ベークの条件は、通常、３０〜３００℃で１分〜５時間である。
【００４５】
このようにして得られたパターン化塗膜を隔壁として用いることにより、基板と、前記基板の表面を区画する隔壁と、前記基板と前記隔壁により区画された基板上の領域（以下、「キャビティ」ともいう）とを有するマイクロアレイ用基板を形成する。
【００４６】
［２］感光性組成物
本発明の感光性組成物は、前記『［１］マイクロアレイ用基板の形成方法』に用いられる感光性組成物であって、着色剤（Ａ）と、（Ｂ）重合体、（Ｃ）多官能性単量体、（Ｄ）感光性重合開始剤及び（Ｅ）溶剤を含有することを特徴とする。なお、前述の「マイクロアレイ用基板の形成方法」において、本発明の感光性組成物は、第１組成物及び第２組成物として用いることができる。
【００４７】
［２−１］着色剤（Ａ）
着色剤（Ａ）は、隔壁によって区画された領域同士の間の光学的分離をするために配合する成分である。着色剤（Ａ）の種類は、プローブ分子とターゲット分子との相互作用や反応により放出する光の波長領域に吸光領域を有するものであれば特に限定されない。通常、有機顔料及び無機顔料などの顔料並びに染料などがある。有機顔料としては、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．；Ｔｈｅ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｄｙｅｒｓ ａｎｄ Ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ 社発行）においてピグメントに分類されている化合物、無機顔料としては、酸化チタン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら（赤色酸化鉄（ＩＩＩ））、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラック等がある。
【００４８】
ピグメント化合物としては、下記カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）番号が付されているものが挙げられる。即ち、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２６２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２７２；
【００４９】
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２１１；
【００５０】
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４０、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４９、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７０、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７２、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７４；
【００５１】
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３２、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３８；Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー６０、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー８０；Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８；Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２５；Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック７などが挙げられる。これらの各種ピグメント化合物は、１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【００５２】
着色剤（Ａ）の含有量は、着色剤（Ａ）の種類や着色剤（Ａ）以外の成分の種類により適宜選択される。本発明の感光性組成物の場合、着色剤（Ａ）の含有量は、重合体（Ｂ）１００質量部に対して、通常、０．０１〜３００質量部、好ましくは０．１〜１００質量部、より好ましくは１〜１００質量部である。
【００５３】
着色剤（Ａ）は、通常、分散媒に分散させた着色剤分散液として用いる。分散媒としては、着色剤（Ａ）を安定的に分散できるものであれば特に制限無く用いることが可能であるが、好ましくは後述の溶剤（Ｅ）である。分散媒の使用量は、着色剤（Ａ）の種類や着色剤（Ａ）以外の成分の種類により適宜選択される。本発明の感光性組成物の場合、分散媒の使用量は、着色剤（Ａ）１００質量部に対して、通常、２００〜１２００質量部である。
【００５４】
着色剤分散液とするために、着色剤（Ａ）は、必要に応じて、その表面を改質して用いることができる。表面を改質する方法としては、特開平８−２５９８７６号公報に記載された方法や、分散剤及び分散助剤等を用いることで行う。
前記分散剤は、通常ポリマー系分散剤が用いる。具体的には、変性アクリル系共重合体、アクリル系共重合体、ポリウレタン、ポリエステル、高分子共重合体のアルキルアンモニウム塩又はリン酸エステル塩、カチオン性櫛型グラフトポリマー等が挙げられる。前記カチオン性櫛型グラフトポリマーとは、複数の塩基性基（カチオン性の官能基）を有する幹ポリマー１分子に、２分子以上の枝ポリマーがグラフト結合した構造のポリマーをいい、例えば、幹ポリマー部がポリエチレンイミン、枝ポリマー部がε−カプロラクトンの開環重合体で構成されるポリマーが挙げられる。これら分散剤の中でも、変性アクリル系共重合体、ポリウレタン、カチオン性櫛型グラフトポリマーが好ましい。
【００５５】
市販の分散剤として、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−２０００、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−２００１｛以上、変性アクリル系共重合体分散剤、ビックケミー（ＢＹＫ）社製｝、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６２、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６５、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６７、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１７０、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１８２｛以上、ポリウレタン系分散剤、ビックケミー（ＢＹＫ）社製｝、ソルスパース２４０００、ソルスパース３７０００、ソルスパース５６０００、ソルスパース７６５００｛以上、カチオン性櫛型グラフトポリマー分散剤、ルーブリゾール株式会社製｝、アジスパーＰＢ８２１、アジスパーＰＢ８２２、アジスパーＰＢ８２３、アジスパーＰＢ８２４、アジスパーＰＢ８２７、アジスパーＰＢ８８０、アジスパーＰＢ８８１｛以上、カチオン性櫛型グラフトポリマー分散剤、味の素ファインテクノ株式会社製｝等が挙げられる。
【００５６】
分散剤の使用量は、着色剤（Ａ）の種類や着色剤（Ａ）以外の成分の種類により適宜選択される。本発明の感光性組成物の場合、分散剤の使用量は、通常、着色剤（Ａ）１００質量部に対して、０．５〜１００質量部である。
【００５７】
着色剤分散液の調製方法は、通常、前記着色剤（Ａ）を分散媒中、分散剤等の添加剤の存在下で、ディゾルバー、ロッドミル、ビーズミル、ロールミル等を用いて、粉砕混合しつつ着色剤分散液を調製できる。着色剤分散液中の着色剤（Ａ）の光散乱法による重量平均粒径は、通常、１０〜４００ｎｍである。
【００５８】
［２−２］重合体（Ｂ）
本発明の感光性組成物に含まれる重合体（Ｂ）は、隔壁として存在させるために含有するものである。また、前記重合体（Ｂ）は前記工程（５）の現像の際、現像液とともに除去される必要がある。このため、前記重合体（Ｂ）のゲルパーミエーションクロマトグラフィーによるポリスチレン換算重量平均分子量（以下、単に「Ｍｗ」ともいう）は、通常、３，０００〜３００，０００、好ましくは５，０００〜１００，０００である。
【００５９】
前記重合体（Ｂ）としては、上記の条件を満たすものであればどのような重合体を用いても良いが、熱水に対する耐熱性や微細な隔壁を得ることができる点から、前記重合体（Ｂ）は、カルボキシル基と重合性の不飽和結合基を有する単量体（以下、「単量体（ｂ１）」という）と、他の基と重合性の不飽和結合を有する単量体（以下、「単量体（ｂ２）」という）とを用いて得られた重合体であることが好ましい。
【００６０】
単量体（ｂ１）としては、下記（１）〜（５）が挙げられる。これらの単量体（ｂ１）は、１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
（１）（メタ）アクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸等の不飽和モノカルボン酸類；
（２）マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、メサコン酸等の不飽和ジカルボン酸又はその無水物類；
（３）３価以上の不飽和多価カルボン酸又はその無水物類；
（４）こはく酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕、フタル酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕等の２価以上の多価カルボン酸のモノ〔（メタ）アクリロイロキシアルキル〕エステル類；
（５）ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレート等の両末端にカルボキシ基と水酸基とを有する化合物のモノ（メタ）アクリレート類；
【００６１】
単量体（ｂ２）としては、下記（１）〜（１２）が挙げられる。これらの単量体（ｂ２）は、１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
（１）スチレン、α−メチルスチレン、ｏ−ビニルトルエン、ｍ−ビニルトルエン、ｐ−ビニルトルエン、ｐ−クロルスチレン、ｏ−メトキシスチレン、ｍ−メトキシスチレン、ｐ−メトキシスチレン、ｏ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｍ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｐ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル等の芳香族ビニル化合物類；
（２）ｐ−イソプロペニルフェノール、インデン、１−メチルインデン、アセナフチレン等の重合性芳香族化合物類；
【００６２】
（３）メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、ｉ−プロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｉ−ブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、２−メトキシエチル（メタ）アクリレート、２−フェノキシエチル（メタ）アクリレート、メトキシジエチレングルコール（メタ）アクリレート、メトキシトリエチレングルコール（メタ）アクリレート、メトキシプロピレングルコール（メタ）アクリレート、メトキシジプロピレングルコール（メタ）アクリレート、トリシクロ〔５．２．１．０２，６〕デカジエニル（メタ）アクリレート、トリシクロ〔５．２．１．０２，６〕デカニル（メタ）アクリレート、トリシクロ〔５．２．１．０２，６〕デセニル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタジエニル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピル（メタ）アクリレート、グリセロールモノ（メタ）アクリレート等の不飽和カルボン酸エステル類；
【００６３】
（４）２−アミノエチル（メタ）アクリレート、２−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、２−アミノプロピル（メタ）アクリレート、２−ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリレート、３−アミノプロピル（メタ）アクリレート、３−ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリレート等の不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類；
（５）グリシジル（メタ）アクリレート等の不飽和カルボン酸グリシジルエステル類；
（６）酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニル等のカルボン酸ビニルエステル類；
（７）ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテル等の不飽和エーテル類；
【００６４】
（８）（メタ）アクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン等のシアン化ビニル化合物類；
（９）（メタ）アクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、Ｎ−２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリルアミド等の不飽和アミド類；
（１０）マレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド等の不飽和イミド類；
（１１）１，３−ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等の脂肪族共役ジエン類；
（１２）ポリスチレン、ポリメチル（メタ）アクリレート、ポリ−ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ポリシロキサン等の重合体分子鎖の末端にモノ（メタ）アクリロイル基を有するマクロモノマー類；
【００６５】
前記重合体（Ｂ）を構成する全構成単位を１００質量％とした場合に、前記単量体（ｂ１）に由来する構成単位の含有割合は、５質量％以上含まれることが好ましく、５〜３０質量％がより好ましく、１０〜２５質量％が特に好ましい。塩基性化合物の水溶液を現像液として用いる場合、この範囲では、隔壁形成に適した現像特性を得ることができる。
【００６６】
前記重合体（Ｂ）は、１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。また、前記重合体（Ｂ）の含有割合は、形成される隔壁の高さや塗布方法により適宜選択するが、通常、感光性組成物に含まれる全成分を１００質量％とするとき、５〜３０質量％である。
【００６７】
［２−３］多官能性単量体（Ｃ）
多官能性単量体（Ｃ）とは、少なくとも２個以上の重合性の不飽和結合基を有する単量体のことである。多官能性単量体（Ｃ）は、光の作用により感光性重合開始剤（Ｄ）から発生した活性種と作用して重合を開始し、３次元的に架橋構造を形成しうる成分である。これにより感光性組成物から得られる塗膜において、光を当てた箇所は、現像液に対して溶けにくくなる。
【００６８】
本発明の感光性組成物に含まれる多官能性単量体（Ｃ）の含有量は、感光性組成物から得られる塗膜の露光光に対する透過率等により適宜選らばれるが、前記重合体（Ｂ）を１００質量部とするとき、多官能性単量体（Ｃ）の含有量は、通常、１〜１００質量部の範囲内で用いられる。
【００６９】
多官能性単量体（Ｃ）としては、特開２００６−２８５０３５号公報及び特開２００９−１９２６１３号公報に記載の多官能性単量体等を挙げられる。具体的には、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルキレングリコールのジ（メタ）アクリレート類；ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等のポリアルキレングリコールのジ（メタ）アクリレート類；グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等の３価以上の多価アルコールのポリ（メタ）アクリレート類やそれらのジカルボン酸変性物；ポリエステル、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、スピラン樹脂等のオリゴ（メタ）アクリレート類；両末端ヒドロキシポリ−１，３−ブタジエン、両末端ヒドロキシポリイソプレン、両末端ヒドロキシポリカプロラクトン等の両末端ヒドロキシル化重合体のジ（メタ）アクリレート類；トリス〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕フォスフェート類等を挙げることができる。
【００７０】
これらの多官能性単量体（Ｃ）のうち、３価以上の多価アルコールのポリ（メタ）アクリレート類やこれらのジカルボン酸変性物、具体的には、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等が好ましく、特に、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート及びジペンタエリスリトールヘキサアクリレートが熱水に対する耐性に優れた隔壁を形成することが可能であるため好ましい。
【００７１】
［２−４］感光性重合開始剤（Ｄ）
本発明の感光性組成物に含まれる感光性重合開始剤（Ｄ）とは、半導体レーザー、メタルハライドランプ、高圧水銀灯（ｇ線、ｈ線、ｉ線等）、エキシマレーザー、極端紫外線及び電子線等の露光光により、前記多官能性単量体（Ｃ）が重合を開始しうる活性種を発生することができる化合物のことである。
【００７２】
前記感光性重合開始剤（Ｄ）としては、特開２００６−２８５０３５号公報及び特開２００９−１９２６１３号公報に記載の感光性重合開始剤等を挙げられる。具体的には、アシルホスフィンオキサイド系化合物、ビイミダゾール系化合物、ベンゾイン系化合物、アセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、トリアジン系化合物、Ｏ−アシルオキシム型化合物等が挙げられる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。特に本発明における感光性重合開始剤（Ｄ）としては、露光光としてｇ線やｉ線を用いる場合、基板との密着性やの熱水に対する安定性に優れた隔壁を形成することが可能であることから、アシルホスフィンオキサイド系化合物及びアセトフェノン系化合物が好ましい。
【００７３】
アシルホスフィンオキサイド系化合物としては、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−フェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−２，５−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−４−エトキシフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−４−プロピルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−２−ナフチルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−１−ナフチルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−４−クロルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−２，４−ジメトキシフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−デシルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロルベンゾイル）−４−オクチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−２，５−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロル−３，４，５−トリメトキシベンゾイル）−２，５−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジクロル−３，４，５−トリメトキシベンゾイル）−４−エトキシフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２−メチル−１−ナフトイル）−２，５−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２−メチル−１−ナフトイル）−４−エトキシフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２−メチル−１−ナフトイル）−２−ナフチルホスフィンオキサイド、ビス（２−メチル−１−ナフトイル）−４−プロピルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２−メチル−１−ナフトイル）−２，５−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２−メトキシ−１−ナフトイル）−４−エトキシフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２−クロル−１−ナフトイル）−２，５−ジメチルフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチルペンチルホスフィンオキサイド等が挙げられる。
【００７４】
アセトフェノン系化合物としては、２，２−ジメトキシアセトフェノン、２，２−ジエトキシアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）−２−モルフォリノプロパン−１−オン、４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル−（２−ヒドロキシ−２−プロピル）ケトン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）ブタン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン等が挙げられる。
【００７５】
ビイミダゾール系化合物としては、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラキス（４−エトキシカルボニルフェニル）−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−ブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラキス（４−エトキシカルボニルフェニル）−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４，６−トリクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−ブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４−ジブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４，６−トリブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール等が挙げられる。
【００７６】
ベンゾイン系化合物としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、２−ベンゾイル安息香酸メチル等が挙げられる。
【００７７】
ベンゾフェノン系化合物としては、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン等が挙げられる。
α−ジケトン系化合物としては、ジアセチル、ジベンゾイル、メチルベンゾイルホルメート等が挙げられる。
多核キノン系化合物としては、アントラキノン、２−エチルアントラキノン、２−ｔｅｒｔ−ブチルアントラキノン、１，４−ナフトキノン等が挙げられる。
キサントン系化合物としては、キサントン、チオキサントン、２−クロロチオキサントン等が挙げられる。
【００７８】
トリアジン系化合物としては、２，４，６−トリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−メチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔２−（フラン−２−イル）エテニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−ｎ−ブトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン等が挙げられる。
【００７９】
Ｏ−アシルオキシム型化合物としては、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−２−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−２−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−２−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−２−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−３−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−３−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−３−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−３−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−２−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−２−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−２−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−２−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−３−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−３−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−３−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−３−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−４−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロフラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロピラニルオキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロフラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチル−５−テトラヒドロピラニルメトキシベンゾイル）−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−ベンゾイルアセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−［２−メチル−４−（２，２−ジメチル−１，３−ジオキソラニル）メトキシベンゾイル］−９．Ｈ．−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）等が挙げられる。
【００８０】
前記感光性重合開始剤（Ｄ）の含有量は、本発明の感光性組成物から得られる塗膜の露光光に対する透過率等により適宜選らばれるが、前記重合体（Ｂ）を１００質量部とするとき、感光性重合開始剤（Ｄ）の含有量は、通常、１〜１５０質量部、好ましくは２０〜６０質量部の範囲内で用いられる。
【００８１】
［２−５］溶剤（Ｅ）
本発明の感光性組成物に含まれる溶剤（Ｅ）は、本発明の感光性組成物中に含まれる溶剤（Ｅ）以外の他の成分を均一に溶解させることができ、且つこれら他の成分と反応しない化合物であれば限定されない。
【００８２】
前記溶剤（Ｅ）としては、エチレングリコール等のアルコール類；テトラヒドロフラン等の環状エーテル類；エチレングリコールモノメチルエーテル等の多価アルコールのアルキルエーテル類；プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等の多価アルコールのアルキルエーテルアセテート類；トルエン等の芳香族炭化水素類；メチルエチルケトン等のケトン類；酢酸エチル等のエステル類などが挙げられる。これらの溶剤は１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
【００８３】
また、Ｎ−メチルホルムアミド、Ｎ、Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ−メチルホルムアニリド、Ｎ−メチルアセトアミド、Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、ベンジルエチルエーテル、ジヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、１−オクタノール、１−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、シュウ酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、フェニルセロソルブアセテートなどの高沸点の溶剤も用いることができる。
【００８４】
本発明の感光性組成物中に含まれる溶剤（Ｅ）の含有量は、塗布方法や隔壁の高さなどに応じて適宜決めることができる。
【００８５】
［２−６］その他成分
本発明の感光性組成物には、必要に応じて、熱重合禁止剤、界面活性剤、接着助剤、溶解性調整剤、着色剤、導電性粒子、粘度調整剤などを用いることができる。
【００８６】
前記熱重合禁止剤は、本発明の感光性組成物を保管中に、前記感光性重合開始剤（Ｄ）が熱により活性種を発生させ、前記多官能性単量体（Ｃ）へ作用することを防止するために用いる成分である。熱重合禁止剤としては、例えば、ピロガロール、ベンゾキノン、ヒドロキノン、モノベンジルエーテル、メチルヒドロキノン、アミルキノン、アミロキシヒドロキノン等がある。
【００８７】
界面活性剤は、本発明の感光性組成物の基板に塗布する際の塗布性、消泡性、レベリング性を向上させるために用いる成分である。界面活性剤として、例えば、市販されているものとして、ＦＴＸ−２０４Ｄ、ＦＴＸ−２０８Ｄ、ＦＴＸ−２１２Ｄ、ＦＴＸ−２１６Ｄ，ＦＴＸ−２１８、ＦＴＸ−２２０Ｄ、ＦＴＸ−２２２Ｄ（以上（株）ネオス製）、ＢＭ−１０００、ＢＭ−１１００（以上、ＢＭケミー社製）、メガファックＦ１４２Ｄ、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１８３（以上、大日本インキ化学工業（株）製）、フロラードＦＣ−１３５、同ＦＣ−１７０Ｃ、同ＦＣ−４３０、同ＦＣ−４３１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ−１１２、同Ｓ−１１３、同Ｓ−１３１、同Ｓ−１４１、同Ｓ−１４５（以上、旭硝子（株）製）、ＳＨ−２８ＰＡ、同−１９０、同−１９３、ＳＺ−６０３２、ＳＦ−８４２８（以上、東レダウコーニングシリコーン（株）製）等がある。
【００８８】
接着助剤は、隔壁と基板との密着性を向上させるために用いる成分である。接着助剤としては、官能性シランカップリング剤が好ましい。なお、官能性シランカップリング剤とは、カルボキシル基、メタクリロイル基、イソシアネート基、エポキシ基などの反応性置換基を有するシランカップリング剤を意味する。上記官能性シランカップリング剤としては、トリメトキシシリル安息香酸、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ−イソシアナートプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン等がある。
【００８９】
溶解性調整剤は、本発明の感光性組成物から得られる塗膜の現像液に対する溶解性を調整するために用いる成分である。溶解性調整剤としては、低分子カルボン酸が好ましい。低分子カルボン酸としては、酢酸、プロピオン酸、ｎ−酪酸、ｉｓｏ−酪酸、ｎ−吉草酸、ｉｓｏ−吉草酸、安息香酸、ケイ皮酸などのモノカルボン酸；乳酸、２−ヒドロキシ酪酸、３−ヒドロキシ酪酸、サリチル酸、ｍ−ヒドロキシ安息香酸、ｐ−ヒドロキシ安息香酸、２−ヒドロキシケイ皮酸、３−ヒドロキシケイ皮酸、４−ヒドロキシケイ皮酸、５−ヒドロキシイソフタル酸、シリンギン酸などのヒドロキシモノカルボン酸；シュウ酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、マレイン酸、イタコン酸、ヘキサヒドロフタル酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、１，２−シクロヘキサンジカルボン酸、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、ブタンテトラカルボン酸、１，２，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸などの多価カルボン酸；無水イタコン酸、無水コハク酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバニル酸、無水マレイン酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルテトラヒドロフタル酸、無水ハイミック酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、無水ベンゾフェノンテトラカルボン酸、エチレングリコールビス無水トリメリテート、グリセリントリス無水トリメリテート等の酸無水物等がある。
【００９０】
粘度調整剤は、本発明の感光性組成物の粘度を調整することにより、その塗布性を改良する目的で用いる。粘度調整剤としては、ベンナイト及びシリカゲル等がある。
【００９１】
［３］マイクロアレイ用基板
本発明のマイクロアレイ用基板は（１）前記『［１］マイクロアレイ用基板の形成方法』により得られるもの、及び（２）基板と、前記基板の表面を区画する隔壁と、前記基板と前記隔壁により区画された基板上の領域とを有するマイクロアレイ用基板であって、前記隔壁は着色剤を含有する隔壁であって、且つ前記隔壁の最小幅に対して、前記隔壁の最大幅は２倍以下であるもの、を特徴とする。
【００９２】
前記（２）における隔壁の幅は、基板と垂直方向且つ隔壁の断面積が最小となる面における幅のことである。この面における隔壁の最小幅に対して、最大幅が２倍以下である場合、熱水に対する耐性の強い隔壁となる。
【００９３】
基板と垂直方向且つ前記隔壁の断面積が最小となる面の隔壁の断面形状における最大幅と最小幅の差は小さいほど強度に優れた隔壁となる。また前記隔壁の最小幅に対して、前記隔壁の最大幅は２倍以下である方が隔壁の強度の点から好ましい。
【００９４】
前記隔壁の高さは、通常、１０〜１００μｍである。また、幅５μｍにおける波長５５０ｎｍの光に対する隔壁の透過率は、通常、５０％Ｔ以下、好ましくは３０％Ｔ以下である。
【００９５】
本発明のマイクロアレイ用基板において、隔壁により区画された複数の領域（キャビティ）において、マイクロアレイ用基板の上面から見た形状は、どのような形状であってもよいが、マイクロアレイ用基板の集積度の点から、三〜八角形又は円形が好ましい。また、隣り合うキャビティ間の距離は、隔壁の透過率により適宜決定されるが、通常、１〜１００μｍである。
【００９６】
［４］マイクロアレイ
本発明のマイクロアレイは、前記『［３］マイクロアレイ用基板』と、隔壁により区画された複数の領域（キャビティ）に固定化されたプローブ分子とを有することを特徴とする。
【００９７】
前記プローブ分子としては、ターゲット分子である生体関連物質の種類により適宜選択されるものである。例えば、ポリリシン、コラーゲン、ラミニン、含シアル酸オリゴ糖、マンノース結合性レクチン、インテグリンファミリーリガンド、ペプチド、抗原、抗体又は核酸、タンパク質、糖鎖、低分子化合物、細胞、組織等が挙げられる。これらは１種のみを用いてもよく２種以上を併用してもよい。
プローブ分子を固定する方法は特に限定されず、化学結合を用いた固定であってもよく、物理吸着を用いた固定であってもよく、更にその他の方法による固定であってもよい。
【００９８】
前記プローブ分子を固定化するために、予め前記キャビティ内の表面（基板の表面及び隔壁の表面を含む）に対して、プローブ分子の配置を助けるための表面処理を施すことができる。
【実施例】
【００９９】
以下、実施例を挙げて、本発明の実施の形態を更に具体的に説明する。但し、本発明は、これらの実施例に何ら制約されるものではない。なお、「部」及び「％」は、特記しない限り質量基準である。
【０１００】
［１］感光性組成物の調製
［調製例１］着色剤分散液（ａ１）の調製
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレッド２３を２質量部、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−２００１（ビックケミージャパン社製、分散剤）０．５質量部（固形分換算）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（溶媒）を、ビーズミルにより１２時間混合・分散して、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレッド２３が分散された固形分濃度２０質量％の分散液（ａ１）を得た。
【０１０１】
［合成例１］重合体（Ｂ１）の合成
冷却管及び攪拌機を備えたフラスコに、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル３質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２００質量部を仕込んだ。引き続いて、単量体として、メタクリル酸を１１質量部、トリシクロ［５．２．１．０２．６］デカニルメタクリレートを１５質量部、イソボロニルアクリレートを３９質量部、フェノキシジエチレングリコールアクリレートを２０質量部、ｐ−イソプロペニルフェノールを１５質量部、分子量調節剤として１−メチル−４−イソプロピリデン−１−シクロヘキセン５質量部を仕込んで、窒素置換した。その後ゆるやかに撹拌して、反応溶液の温度を８０℃に上昇させ、この温度を５時間保持して重合することにより、重合体（Ｂ１）の溶液を得た。なお、重合体のゲルバーミエーションカラムクロマトグラフィーによるポリスチレン換算の重量平均分子量は１０，０００であった。
【０１０２】
［調製例２］感光性組成物の調製
前記分散液（ａ１）を１２．５質量部、前記重合体（Ｂ１）を１００質量部、多官能性単量体としてペンタエリスリトールトリ及びテトラアクリレート（商品名「アロニックスＭ−４５０」、東亜合成（株）製）を６０質量部、感光性重合開始剤として２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン（商品名「イルガキュア６５１」、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製）を２０質量部及び２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド（商品名「Ｌｕｃｉｒｉｎ  ＬＲ８９５３Ｘ」、ＢＡＳＦ社製）を２０質量部、接着助剤としてトリス−（３−トリメトキシシリルプロピル）イソシアヌレート（商品名「Ｙ−１１５９７」、モメンティブ社製）を３質量部並びに界面活性剤としてフッ素系界面活性剤（商品名「ＦＴＸ−２１８Ｆ」、ネオス社製）を０．１質量部と、をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートにて固形分濃度が５５質量％となるように混合して、感光性組成物を得た。
【０１０３】
［２］マイクロアレイ用基板の形成
［実施例１］実施例１のマイクロアレイ用基板の形成
シリコンウエハ上にスピンコート法にて、調製例２で得た感光性組成物を塗布し、次いで、ホットプレートにて１３０℃で５分間加熱して、膜厚２５μｍの塗膜を得た。
続いて、得られた塗膜に、パターン化マスクを介して、超高圧水銀灯（ＯＳＲＡＭ社製、ＨＢＯ、出力１、０００Ｗ）を用いて、５００ｍＪ／ｃｍ２の露光光を露光した。
続いて、露光後の塗膜上にスピンコート法にて、調製例２で得た感光性組成物を塗布し、次いで、ホットプレートにて１３０℃で５分間加熱して、膜厚２５μｍの塗膜を得た。
続いて、得られた塗膜に、パターン化マスクを介して、超高圧水銀灯（ＯＳＲＡＭ社製、ＨＢＯ、出力１、０００Ｗ）を用いて、１５００ｍＪ／ｃｍ２の露光光を露光した。
続いて、露光後の塗膜を、２．３８重量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を現像液として、室温で現像を行った後、流水洗浄し、更に窒素ブローした。次いで、オーブンを用いて２２０℃で１時間加熱して、図２に示すように、隔壁と、縦２５μｍ、横２５μｍ、深さ３５μｍのキャビティを有する実施例１のマイクロアレイ用基板を得た。実施例１のマイクロアレイ用基板の隔壁の断面（基板と垂直方向且つ隔壁の断面積が最小となる面）の写真を図３に示す。
【０１０４】
［比較例１］比較例１のマイクロアレイ用基板の形成
シリコンウエハ上にスピンコート法にて、調製例２で得た感光性組成物を塗布し、次いで、ホットプレートにて１３０℃で５分間加熱して、膜厚５０μｍの塗膜を得た。
続いて、得られた塗膜に、パターン化マスクを介して、超高圧水銀灯（ＯＳＲＡＭ社製、ＨＢＯ、出力１、０００Ｗ）を用いて、５００ｍＪ／ｃｍ２の露光光を露光した。
続いて、露光後の塗膜を、２．３８重量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を現像液として、室温で現像を行った後、流水洗浄し、更に窒素ブローした。次いで、オーブンを用いて２２０℃で１時間加熱して、図２に示すように、隔壁と、縦２５μｍ、横２５μｍ、深さ３５μｍのキャビティを有する比較例１のマイクロアレイ用基板を得た。比較例１のマイクロアレイ用基板の隔壁の断面（基板と垂直方向且つ隔壁の断面積が最小となる面）の写真を図４に示す。
【０１０５】
［３］マイクロアレイ用基板の評価
（１）隔壁大きさ
前記『［２］マイクロアレイ用基板の形成』で得たマイクロアレイ用基板の隔壁の断面を、走査型電子顕微鏡（日立社製、型式「Ｓ−４２００」）にて観察した。隔壁の最大幅Ａと最小幅Ｂを測定し、最小幅と最大幅の差（Ａ−Ｂ）を算出した。結果を下記表１に示す。
【０１０６】
（２）耐水性
前記『［２］マイクロアレイ用基板の形成』で得たマイクロアレイ用基板を、水に浸漬し、９０℃で２４時間保温した。その後、窒素ブローにて水を除去した。次いで、浸漬後の隔壁を走査型電子顕微鏡（日立社製、型式「Ｓ−４２００」）にて観察した。隔壁の耐水性評価は、下記基準にて行った。結果を下記表１に示す。
「○」：１０個の各キャビティ内を観察した際に隔壁と基板と剥がれを確認できない。
「×」：１０個の各キャビティ内を観察した際に隔壁と基板と剥がれを１つ以上確認で
きた。
【０１０７】
（３）透過率
ガラス基板上にスピンコート法にて、感光性組成物を塗布し、次いで、ホットプレートにて１３０℃で５分間加熱して厚さ５μｍの第１膜を得た。得られた第１膜について、分光光度計（日立社製、型式「Ｕー２０１０形」）を用いて、隔壁に対する波長５００〜６００ｎｍでの透過率の測定を行った。結果を表１に示す。
【０１０８】
【表１】
2011257284.tif 000003
【符号の説明】
【０１０９】
０１；基板
１１；第１塗膜、１３；第２塗膜
１２、１４；潜像
１５；パターン化塗膜
２０、２１；パターン化マスク
３０、３１；露光光
１０１；キャビティの縦
１０２；キャビティの横
１０３；キャビティの深さ
２００；隔壁
３００；基板
Ａ：最大幅
Ｂ：最小幅
【図１】
2011257284.tif 000004
【図２】
2011257284.tif 000005
【図３】
2011257284.tif 000006
【図４】
2011257284.tif 000007