(57)【要約】【課題】簡単な構成でインクジェットヘッドをヘッドプレートに位置決めするための取付片を精度良く組み付けるインクジェットヘッドのアライメント治具を提供する。【解決手段】取付片２１が仮装着されたインクジェットヘッド１がセットされるベースプレート８１と、第１方向の中間部で取付片２１を係止する調整バー８３と、微小間隙を存して調整バー８３を係止すると共に、ベースプレート８１上で第１方向にスライド自在に支持された第１押引き部材９４を介して調整バー８３を第１方向に往復微小移動させる第１マイクロメーターヘッド９１と、微小間隙を存して調整バー８３を係止すると共に、ベースプレート８１上で第２方向にスライド自在に支持された第２押引き部材９５および第３押引き部材９６を介して調整バー８３を第２方向に往復微小移動させる第２マイクロメーターヘッド９２および第３マイクロメーターヘッド９３と、を備えた。【選択図】図７
2011194773.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェットヘッドをヘッドプレートに位置決めするために、インクジェットヘッドのフランジ部に、前記フランジ部上の平面内において、任意の１の方向である第１方向、これに直交する第２方向および回転方向に位置決めして取付片を組み付けるインクジェットヘッドのアライメント治具であって、
前記取付片が仮装着された前記インクジェットヘッドがセットされるベースプレートと、
前記第１方向の中間部で前記取付片を係止する被アライメント部材と、
前記被アライメント部材の一方の端部に臨み、微小間隙を存して前記被アライメント部材を係止すると共に、前記ベースプレート上において前記第１方向にスライド自在に支持された第１押引き部材と、
前記第１押引き部材に連結されたスピンドルにより、前記第１押引き部材を介して前記被アライメント部材を前記第１方向に往復微小移動させる第１マイクロメーターヘッドと、
前記被アライメント部材の一方の端部に臨み、微小間隙を存して前記被アライメント部材を係止すると共に、前記ベースプレート上において前記第２方向にスライド自在に支持された第２押引き部材と、
前記第２押引き部材に連結されたスピンドルにより、前記第２押引き部材を介して前記被アライメント部材の一方の端部側を前記第２方向に往復微小移動させる第２マイクロメーターヘッドと、
前記被アライメント部材の他方の端部に臨み、微小間隙を存して前記被アライメント部材を係止すると共に、前記ベースプレート上において前記第２方向にスライド自在に支持された第３押引き部材と、
前記第３押引き部材に連結されたスピンドルにより、前記第３押引き部材を介して前記被アライメント部材の他方の端部側を前記第２方向に往復微小移動させる第３マイクロメーターヘッドと、を備えたことを特徴とするインクジェットヘッドのアライメント治具。
【請求項２】
前記被アライメント部材の一方の端部には、前記第１押引き部材が係止する係止開口が形成され、
前記第１マイクロメーターヘッドのスピンドルには、前記第１押引き部材に連結されるコマ部材が取り付けられ、
前記第１押引き部材は、
前記ベースプレート上において前記第１方向にスライド自在に支持されたスライドベースと、
前記スライドベースに立設され、前記係止開口に下側から遊嵌される係止ピンと、
前記スライドベースに立設され、前記コマ部材が上側から嵌合して連結される嵌合連結部と、を有していることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドのアライメント治具。
【請求項３】
前記第２マイクロメーターヘッドのスピンドルには、前記第２押引き部材に連結されるコマ部材が取り付けられ、
前記第２押引き部材は、
前記ベースプレート上において前記第２方向にスライド自在に支持されたスライドベースと、
前記スライドベースに立設され、前記第２方向において前記被アライメント部材が上側から遊嵌される係止部と、
前記スライドベースに立設され、前記コマ部材が上側から嵌合して連結される嵌合連結部と、を有していることを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェットヘッドのアライメント治具。
【請求項４】
前記第３マイクロメーターヘッドのスピンドルには、前記第３押引き部材に連結されるコマ部材が取り付けられ、
前記第３押引き部材は、
前記ベースプレート上において前記第２方向にスライド自在に支持されたスライドベースと、
前記スライドベースに立設され、前記第２方向において前記被アライメント部材が上側から遊嵌される係止部と、
前記スライドベースに立設され、前記コマ部材が上側から嵌合して連結される嵌合連結部と、を有していることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のインクジェットヘッドのアライメント治具。
【請求項５】
前記係止部には、遊嵌された前記被アライメント部材との前記微小間隙の大きさを調整する間隙調整機構が設けられていることを特徴とする請求項３または４に記載のインクジェットヘッドのアライメント治具。
【請求項６】
前記被アライメント部材を介して、前記取付片を前記インクジェットヘッドの前記フランジ部に押圧する押圧手段を、更に備えたことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のインクジェットヘッドのアライメント治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッドをヘッドプレートに位置決めするための取付片を、インクジェットヘッドのフランジ部に組み付けるインクジェットヘッドのアライメント治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に各々直線的に進退するＸ軸移動子およびＹ軸移動子と、Ｘ軸移動子およびＹ軸移動子の各々の反対側に設けられたＸ軸付勢機構およびＹ軸付勢機構と、両移動子の先端が当接する「Ｌ」字状のＬ字治具と、を備え、Ｌ字治具にセットしたインクジェットヘッドを両移動子により、キャリッジプレートに位置調整（位置決め）して固定するためのアライメント装置（治具）が知られている（特許文献１参照）。
このアライメント治具は、Ｌ字治具を介して、両移動子と両付勢機構とによりインクジェットヘッドを挟み込み、両移動子をＸ軸方向およびＹ軸方向に各々進退させることでヘッドプレートに対するインクジェットヘッドの位置を調整する。そして、インクジェットヘッドは、ヘッドプレートに対し、接着剤により仮固定され、接着剤硬化後にネジにより締結されて本固定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−２７９６９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記したアライメント治具では、インクジェットヘッドを確動的に微小移動させるために２つの付勢機構が必要となるだけでなく、高精度に位置決めを行うためには、付勢方向や付勢力等を考慮して各付勢機構を配設するため、アライメント治具自体の構造が複雑になる問題（大型化、コストアップ等）が生じていた。また、生産性向上のために接着剤が完全に硬化する前に、両移動子と両付勢機構とによる固定を解除することが多い。この場合、固定を解除した瞬間、インクジェットヘッドが両付勢機構の付勢力を受けて僅かに仮固定した位置からずれることがあった。また、一旦位置ずれしてしまうと、接着剤の除去等、再度のインクジェットヘッドの仮固定に手間がかかる問題もあった。
【０００５】
本発明は、簡単な構成でインクジェットヘッドをヘッドプレートに位置決めするための取付片を、インクジェットヘッドのフランジ部に精度良く組み付けるインクジェットヘッドのアライメント治具を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のインクジェットヘッドのアライメント治具は、インクジェットヘッドをヘッドプレートに位置決めするために、インクジェットヘッドのフランジ部に、フランジ部上の平面内において、任意の１の方向である第１方向、これに直交する第２方向および回転方向に位置決めして取付片を組み付けるインクジェットヘッドのアライメント治具であって、取付片が仮装着されたインクジェットヘッドがセットされるベースプレートと、第１方向の中間部で取付片を係止する被アライメント部材と、被アライメント部材の一方の端部に臨み、微小間隙を存して被アライメント部材を係止すると共に、ベースプレート上において第１方向にスライド自在に支持された第１押引き部材と、第１押引き部材に連結されたスピンドルにより、第１押引き部材を介して被アライメント部材を第１方向に往復微小移動させる第１マイクロメーターヘッドと、被アライメント部材の一方の端部に臨み、微小間隙を存して被アライメント部材を係止すると共に、ベースプレート上において第２方向にスライド自在に支持された第２押引き部材と、第２押引き部材に連結されたスピンドルにより、第２押引き部材を介して被アライメント部材の一方の端部側を第２方向に往復微小移動させる第２マイクロメーターヘッドと、被アライメント部材の他方の端部に臨み、微小間隙を存して被アライメント部材を係止すると共に、ベースプレート上において第２方向にスライド自在に支持された第３押引き部材と、第３押引き部材に連結されたスピンドルにより、第３押引き部材を介して被アライメント部材の他方の端部側を第２方向に往復微小移動させる第３マイクロメーターヘッドと、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、各マイクロメーターヘッドのスピンドルの往動および復動の際には、被アライメント部材と各押引き部材とが、それぞれ微小間隙を有して係止しているため、各押引き部材が被アライメント部材に対して片当たりした状態で、被アライメント部材が各方向（第１方向、第２回転、回転方向）に往復微小移動する。したがって、被アライメント部材は、各押引き部材によって固定されているわけではなく、被アライメント部材には何らの力も作用していない。すなわち、微小間隙は、第１方向への移動を許容した状態で、第２方向への微小移動（位置決め）を行うことを可能とする微小移動の調整代として利用される。このため、例えば、位置決め作業終了後に、仮固定のための接着剤が未硬化の状態で、被アライメント部材と各押引き部材との係止状態を解除しても、アライメント（位置決め）した位置からずれることがない。また、これにより、第１方向と第２方向とを同時に位置合せを行うことが可能である。なお、「微小間隙」とは、ミリメートルオーダーの間隙を指すものとする。「微小往復移動」とは、マイクロメートルオーダーの距離の移動を指すものとする。
また、各押引き部材は、各マイクロメーターヘッドのスピンドルに連結されているため、各スピンドルの進退（往復微小移動）に伴って往復微小移動する。したがって、被アライメント部材を介して取付片を任意の方向（第１方向、第２回転、回転方向）に往復微小移動させることができる。これにより、インクジェットヘッドの位置決めを、最短の移動量で行うことができる。なお、回転方向への往復微小移動は、第２マイクロメーターヘッドおよび第３マイクロメーターヘッドを、相反する方向に移動させることで行われる。
【０００８】
この場合、被アライメント部材の一方の端部には、第１押引き部材が係止する係止開口が形成され、第１マイクロメーターヘッドのスピンドルには、第１押引き部材に連結されるコマ部材が取り付けられ、第１押引き部材は、ベースプレート上において第１方向にスライド自在に支持されたスライドベースと、スライドベースに立設され、係止開口に下側から遊嵌される係止ピンと、スライドベースに立設され、コマ部材が上側から嵌合して連結される嵌合連結部と、を有していることが好ましい。
【０００９】
また、この場合、第２マイクロメーターヘッドのスピンドルには、第２押引き部材に連結されるコマ部材が取り付けられ、第２押引き部材は、ベースプレート上において第２方向にスライド自在に支持されたスライドベースと、スライドベースに立設され、第２方向において被アライメント部材が上側から遊嵌される係止部と、スライドベースに立設され、コマ部材が上側から嵌合して連結される嵌合連結部と、を有していることが好ましい。
【００１０】
さらに、この場合、第３マイクロメーターヘッドのスピンドルには、第３押引き部材に連結されるコマ部材が取り付けられ、第３押引き部材は、ベースプレート上において第２方向にスライド自在に支持されたスライドベースと、スライドベースに立設され、第２方向において被アライメント部材が上側から遊嵌される係止部と、スライドベースに立設され、コマ部材が上側から嵌合して連結される嵌合連結部と、を有していることが好ましい。
【００１１】
これらの構成によれば、各押引き部材（第１〜第３）と各マイクロメーターヘッド（第１〜第３）のスピンドルとは、嵌合連結部においてコマ部材が係合することで連結されているため、各スピンドルの往復微小移動を、確実にスライドベースに伝達することができる。これにより、被アライメント部材を拘束することなく各方向（第１方向、第２回転、回転方向）に精度良く微小移動させることができる。
【００１２】
この場合、係止部には、遊嵌された被アライメント部材との微小間隙の大きさを調整する間隙調整機構が設けられていることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、係止部と被アライメント部材との微小隙間（遊嵌状態）を任意に調整することで、往動から復動（またはその逆）に移る場合の応答時間を調整することができる。例えば、位置決め作業の効率を重視する場合には、微小隙間を小さく（狭く）し、被アライメント部材（取付片）を取り外す場合には、微小隙間を大きく（広く）する。これにより、オペレーターの取付片の位置決め作業やアライメント治具への取付片の給除材作業の作業性が向上する。
【００１４】
被アライメント部材を介して、取付片をインクジェットヘッドのフランジ部に押圧する押圧手段を、更に備えたことが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、押圧された状態の取付片は、微小移動しにくくなるため、オペレーターが誤って被アライメント部材に触れてしまった等、何らかの原因により被アライメント部材に力が加わったとしても、微小移動させた後の取付片の位置決め状態を的確に保持することができる。また、例えば、接着剤等で取付片の位置決め状態を仮固定する場合にも、接着剤が硬化するまでの間の位置ずれを防止することができる。なお、押圧手段による押圧は、取付片が、各マイクロメーターヘッドによる往復微小移動が可能な程度の力でなされていることが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】インクジェットヘッドの斜視図である。
【図２】アライメントマスクの斜視図である。
【図３】アライメントマスクの平面図（ａ）および側面図（ｂ）である。
【図４】インクジェットヘッドの組立装置の斜視図である。
【図５】インクジェットヘッドの組立装置の側面図である。
【図６】セットテーブルおよびアライメント治具の斜視図である。
【図７】アライメント治具の分解斜視図である。
【図８】アライメント治具の平面図（ａ）、側面図（ｂ）および第１マイクロメーターヘッドと第１押引き部材とを部分的に示した拡大断面図である。
【図９】インクジェットヘッドの組立て方法のフローチャートである。
【図１０】第２実施形態に係るアライメントマスクの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、添付した図面を参照して、本発明の一実施形態に係るアライメント治具を用いたインクジェットヘッドの組立方法およびインクジェットヘッドの組立装置（以下、単に「組立装置」という。）について説明する。この組立装置は、インクジェットヘッドをヘッドプレートに対して高精度に取り付けるための取付片を、アライメントマスクを位置決め基準としてインクジェットヘッドのフランジ部に精度良く組付けるものである。そこでまず、組み付け対象物となるインクジェットヘッドおよび取付片と、組み付け基準となるアライメントマスクについて説明する。
【００１８】
図１に示すように、インクジェットヘッド１は、２連のインク導入口（図示省略）を有するインク導入部２と、インク導入部２に連なるヘッド本体３と、ヘッド本体３の周側面に設けたフランジ部４と、を備えている。ヘッド本体３は、複数の吐出ノズル７が開口したノズル面８を有するノズルプレート５を有しており、ノズルプレート５には、相互に平行な複数の吐出ノズル７から成る２列のノズル列６が形成されている。この場合、２列のノズル列６は、ノズル列方向に１／２ノズルピッチ位置ズレして配設されている。なお、後述するインクジェットヘッド１の位置決め基準は、２列のノズル列６の最外端の２つの吐出ノズル７を用いるようになっている。もちろん、２つの吐出ノズル７に代えて、ノズル面８に画像認識用の２つのマークを形成してもよい（図示省略）。
【００１９】
フランジ部４は、インクジェットヘッド１をヘッドプレート（図示省略）に取り付けるための部材であり、その中央部には、ヘッド本体３が嵌合する嵌合口１１が広く形成されている。また、フランジ部４の長辺方向両端部には、取付片２１がそれぞれ組付けられる一対の取付部１２が延設され、さらに取付部１２の外側に段部を存して、ヘッドプレートにねじ止めするための固定部１３が延設されている。各取付部１２の幅方向両端部には、取付片２１をおおまかに位置規制する一対の位置規制突起１４がそれぞれ突設されている。
【００２０】
各取付片２１は、矩形のシリコンチップで形成されており、中央部には、ヘッドプレートに取付けられた位置決め突起（図示省略）が嵌合する位置決め孔２２が形成されている。また、各取付片２１の長辺方向両端部の表面には、上記の吐出ノズル７（ノズル列６）に対して位置決めするための一対の取付片マーク２３が形成されている。さらに、各取付片２１の長辺方向両端には、フランジ部４の一対の位置規制突起１４に対応する（係合する）一対の切欠溝２４が形成され、また一対の取付片マーク２３の内側には、後述する一対の係合突起（図示省略）が係合する一対の係合孔２５が形成されている。なお、位置決め孔２２、取付片マーク２３、切欠溝２４および係合孔２５は、シリコンチップをエッチング（異方性エッチング）することにより形成されている。
【００２１】
図２および図３に示すように、アライメントマスク３１は、上記した２つの吐出ノズル７に対応する第１位置決めマーク４１（ヘッド基準位置）が形成された第１マスクプレート３２と、第１マスクプレート３２を保持する第１マスクホルダー３３と、一対の取付片２１の各取付片マーク２３に対応する第２位置決めマーク５１（取付片基準位置）が形成された第２マスクプレート３４と、第２マスクプレート３４を保持する第２マスクホルダー３５と、これらを支持するマスクベースプレート３６と、から構成されている。
【００２２】
第１マスクプレート３２は、ノズル面８より大きいガラスの素材（石英ガラス）で長方形に形成されており、表面の長辺方向両端部には、２つのノズル用マーク４２，４２から成る第１位置決めマーク４１が形成されている。２つのノズル用マーク４２，４２は、一方のノズル列６における一端の吐出ノズル７と、他方のノズル列６における他端の吐出ノズル７と、に対応している。
【００２３】
第１マスクホルダー３３は、第２マスクプレート３４の中央部分を跨ぐように配設された第１プレート４３と、第１マスクプレート３２を第１プレート４３に押圧固定する４つの第１固定片４４と、で構成されている。第１プレート４３は、間隙を存して第２マスクプレート３４を跨ぐ凹溝部４５を有し、四隅で第２マスクホルダー３５にねじ止めされている。４つの第１固定片４４は、第１マスクプレート３２の各長辺に２箇所ずつ、計４箇所に配設されており、それぞれ第１プレート４３にねじ止めされている。各第１固定片４４は、第１プレート４３に固定される固定片部４６と、第１マスクプレート３２を押圧する押圧片部４７と、で断面「Ｌ」字状に形成されており、押圧片部４７と第１マスクプレート３２との間には、押圧片部４７と同一平面形状のクッションシート４８が介設されている。
【００２４】
第２マスクプレート３４は、第１マスクプレート３２と同様に、ガラスの素材（石英ガラス）で長方形に形成されており、表面の長辺方向両端部には、それぞれ前後各一対、計４つの装着用マーク５２から成る第２位置決めマーク５１が形成されている。各一対の装着用マーク５２は、各取付片２１に形成した一対の取付片マーク２３に対応している。すなわち、各一対、計４つの装着用マーク５２は、インクジェットヘッド１のフランジ部４に取り付けられる一対の取付片２１の、各一対、計４つの取付片マーク２３に対応している。
【００２５】
第２マスクホルダー３５は、第２マスクプレート３４より一回り大きく形成された第２プレート５３と、第２マスクプレート３４を第２プレート５３に押圧固定する４つの第２固定片５５と、で構成されている。第２プレート５３は、前後一対の固定脚部５４を有し、この固定脚部５４の部分（四隅）でマスクベースプレート３６にねじ止めされている。４つの第２固定片５５は、第１マスクホルダー３３から外れた位置において、第２マスクプレート３４の各長辺に２箇所ずつ、計４箇所に配設されており、それぞれ第２プレート５３にねじ止めされている。各第２固定片５５は、第１固定片４４と同一の形態を有しており、第２プレート５３に固定される固定片部４６と、第２マスクプレート３４を押圧する押圧片部４７と、で断面「Ｌ」字状に形成されている。また、押圧片部４７と第２マスクプレート３４との間には、押圧片部４７と同一平面形状のクッションシート４８が介設されている。
【００２６】
マスクベースプレート３６は、第１マスクホルダー３３および第２マスクホルダー３５を載置するために十分な大きさの矩形板状に形成されており、その両端部は、面取りされている。そして、この面取り部分には、マスクベースプレート３６をセットテーブル６４に掛け止めできるように、後述する一対の固定金具６９の受け金（図示省略）がそれぞれ取付けられている。
【００２７】
第１マスクプレート３２を保持した第１マスクホルダー３３は、第２マスクプレート３４を跨いで第２マスクホルダー３５に支持されており、第２マスクホルダー３５は、マスクベースプレート３６に支持されている。また、第１マスクプレート３２および第２マスクプレート３４は、それぞれの表面が平行になるように、第１マスクホルダー３３および第２マスクホルダー３５にそれぞれ保持されている。なお、第１マスクプレート３２の表面と第２マスクプレート３４との表面との離間距離は、上記した吐出ノズル７が形成されたインクジェットヘッド１のノズル面８の表面と、フランジ部４に取付けられ、取付片マーク２３が形成された取付片２１の表面と、に対応する距離となるように形成されている。すなわち、第１位置決めマーク４１（ノズル用マーク４２）および位置決め基準となる吐出ノズル７と、第２位置決めマーク５１（装着用マーク５２）および位置決め基準となる取付片マーク２３とは、平面方向および高さ方向のいずれにおいても合致しているため、取付片２１をインクジェットヘッド１のフランジ部４に対して、精度良く位置決めすることができる。
【００２８】
次に、図４ないし図８を参照して、各取付片２１をインクジェットヘッド１のフランジ部４に組付ける際に使用する組立装置６０について説明する。なお、以降の説明を簡単にするために、図４、図６ないし図８において、左右方向をＸ軸方向とし、前後方向をＹ軸方向として規定する。
図４および図５に示すように、組立装置６０は、２枚の方形プレート６７を格子状のリブ片６８で連結した機台６１と、機台６１の前部に搭載した移動テーブル６２（ヘッド位置調整手段）と、機台６１の後部に搭載したブラケットフレーム６３と、移動テーブル６２上に設けたセットテーブル６４と、セットテーブル６４に搭載され、取付片２１をフランジ部４に位置決め固定するためのアライメント治具６５（取付片位置調整手段）と、ブラケットフレーム６３に支持され、アライメント治具６５に上側から臨む画像認識ユニット６６（画像認識手段）と、画像認識ユニット６６に接続したディスプレイを含むコントローラー（共に図示省略）と、を備えている。
【００２９】
本実施形態のセットテーブル６４は、アライメントマスク３１とアライメント治具６５とを交換セット可能に構成されている。この組立装置６０では、画像認識ユニット６６よるアライメントマスク３１の画像認識が行われた後、アライメントマスク３１に代えて、アライメント治具６５をセットする。そして、オペレーターは、先ず移動テーブル６２を操作して、アライメント治具６５上のインクジェットヘッド１を位置決めする。次に、移動テーブル６２上のアライメント治具６５を操作し、一対の取付片２１をインクジェットヘッド１のフランジ部４に位置合わせする。最後に、各取付片２１とフランジ部４との間に接着剤を注入し、フランジ部４に一対の取付片２１を接着する。
【００３０】
移動テーブル６２は、セットテーブル６４をＸ軸方向（第２方向）に移動するＸ軸テーブル７１と、セットテーブル６４をＹ軸方向（第１方向）に移動するＹ軸テーブル７２と、セットテーブル６４をθ方向（回転方向）に移動するθテーブル７３と、から構成されている。本実施形態では、上記した方形プレート６７上に固定したテーブルベース７４上に、θテーブル７３、Ｙ軸テーブル７２およびＸ軸テーブル７１の順で搭載されている。また、Ｘ軸テーブル７１、Ｙ軸テーブル７２およびθテーブル７３は、それぞれＸ軸用マイクロメーターヘッド７５（第２移動用マイクロメーターヘッド）、Ｙ軸用マイクロメーターヘッド７６（第１移動用マイクロメーターヘッド）およびθ回転用マイクロメーターヘッド７７のマニュアル操作により、それぞれの方向に移動するようになっている。これにより、セットテーブル６４は、各方向に位置調整される。
【００３１】
移動テーブル６２は、主にアライメントマスク３１の画像認識時およびインクジェットヘッド１のアライメント時に用いられる。画像認識時においては、アライメントマスク３１の第１位置決めマーク４１および第２位置決めマーク５１が、画像認識ユニット６６を構成する後述の各カメラ１１１，１１２の視野範囲に収まるように、セットテーブル６４を介してアライメントマスク３１を移動させる。また、アライメント時においては、各ノズル用マーク４２（第１位置決めマーク４１）が、対応する各吐出ノズル７に合致するように、セットテーブル６４を介してインクジェットヘッド１を移動させる。
【００３２】
図６に示すように、セットテーブル６４は、略ブロック状の部材であり、その上面には、アライメントマスク３１またはアライメント治具６５を、手前側からスライドさせてセットするためにＸ軸方向に離間して形成された一対のガイド溝６４ａと、正常な位置にセットされた際にアライメントマスク３１またはアライメント治具６５を不動に係止するための一対の固定孔６４ｂと、が形成されている。また、一対のガイド溝６４ａの間には、アライメント治具６５をセットした際にアライメント治具６５に支持されたインクジェットヘッド１が臨むヘッド凹設部６４ｃが、手前側から大きくえぐられるように形成されている。更に、セットテーブル６４のＸ軸方向（左右）両端には、アライメントマスク３１およびアライメント治具６５を位置決めされた状態で、セットテーブル６４上に固定するための一対の固定金具６９が設けられている。このため、アライメントマスク３１のマスクベースプレート３６と、後述するアライメント治具６５のベースプレート８１とは、略同一の形態を有している。なお、各固定金具６９は、いわゆるパッチン錠で構成され、セットテーブル６４には、掛け金（図示省略）が固定されている。
【００３３】
一対のガイド溝６４ａは、手前側からＹ軸方向に延在しており、各ガイド溝６４ａには、アライメントマスク３１およびアライメント治具６５の底面に突設された一対のガイドピン６５ａが係合するようになっている（アライメントマスク３１のガイドピン６５ａは図示省略）。また、各ガイドピン６５ａを係合しやすくするために、各ガイド溝６４ａの手前側は、面取りされて溝幅が広くなっている。
【００３４】
各固定孔６４ｂは、手前側且つ各ガイド溝６４ａの外側に、それぞれ設けられており、各固定孔６４ｂには、アライメントマスク３１およびアライメント治具６５の底面に突設された一対の固定ピン６５ｂが係合するようになっている（アライメントマスク３１の固定ピン６５ｂは図示省略）。
【００３５】
ここで、図６を参照して、例としてアライメント治具６５をセットテーブル６４にセットする場合について説明する。オペレーターは、先ず、アライメント治具６５の一対のガイドピン６５ａを一対のガイド溝６４ａに係合させる。次に、各ガイド溝６４ａに沿って、アライメント治具６５を後方に押す。この時、アライメント治具６５の手前側を少し持ち上げた状態でスライドさせ、一対の固定ピン６５ｂがセットテーブル６４の前面に引掛かからないようにする。そして、各固定ピン６５ｂが各ガイド溝６４ａの後方端に当接したところで、アライメント治具６５の手前側を下げて、各固定ピン６５ｂを各固定孔６４ｂに係合させる。最後に、左右一対の固定金具６９により、アライメント治具６５をセットテーブル６４上に固定する。
【００３６】
図７および図８を参照して、アライメント治具６５について説明する。アライメント治具６５は、中央部にインクジェットヘッド１が挿通される挿通孔８８を形成したベースプレート８１と、上下反転したインクジェットヘッド１をフランジ部４の部分で保持すると共に、ベースプレート８１に固定されたヘッド保持プレート８２と、ヘッド保持プレート８２上をＹ軸方向に横断するように配設され、下面でフランジ部４に仮置きした取付片２１（の係合孔２５）に係合する左右一対の調整バー８３（被アライメント部材）と、各調整バー８３を介して一対の取付片２１を押圧する押圧ブロック８４（押圧手段）と、各調整バー８３を介して一対の取付片２１を位置調整する左右一対の調整ユニット８５（取付片調整機構）と、を備えている。
【００３７】
ヘッド保持プレート８２は、インクジェットヘッド１のフランジ部４より一回り大きくほぼ相似形に形成され、その中央部には、インクジェットヘッド１をセットするためのセット孔８７が形成されている。インクジェットヘッド１は、上下反転させた状態で、セット孔８７に上側から挿入することで、フランジ部４がヘッド保持プレート８２に着座する。この状態で、フランジ部４がヘッド保持プレート８２にネジ止めされることにより、インクジェットヘッド１がヘッド保持プレート８２に固定される。
【００３８】
ベースプレート８１は、矩形の板状に形成されており、上述したように中央部には、インクジェットヘッド１が挿通する横長の挿通孔８８が形成されている。また、挿通孔８８の周囲には、これに固定されたヘッド保持プレート８２を逃げるようにして、上記した一対の調整ユニット８５が固定されている。また、ベースプレート８１の左右の端部は、面取りされており、面取りされた面には、上記固定金具６９の受け金（図示省略）が取付けられている。
【００３９】
各調整バー８３は、Ｙ軸方向の中間部分の下面に逆「Ｕ」字状の浅溝１０１を有し、この浅溝１０１により、インクジェットヘッド１のフランジ部４（取付片２１）を跨ぐように配設されている。浅溝１０１には、Ｙ軸方向に離間して配設された一対の係合突起（図示省略）が設けられており、この一対の係合突起が、取付片２１の一対の係合孔２５に係合する。したがって、調整バー８３を適宜、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびθ方向に往復微小移動させることにより、取付片２１は、ＸＹ平面内において位置調整される。また、各調整バー８３に係止可能な形態（大きさ、形状）を有する取付片２１であればよいため、例えば、形態の異なる複数種類の取付片２１を組み付ける場合でも、調整ユニット８５に変更を加えることなく位置決め作業を行うことができる。なお、「微小往復移動」とは、マイクロメートルオーダー以下の距離の移動を指すものとする。
【００４０】
また、各浅溝１０１には、一対の係合突起の外側に位置して、取付片２１の取付片マーク２３を画像認識できるように、一対の覗き穴１０２，１０２が形成されている。さらに、各調整バー８３の手前側には、後述する第１押引き部材９４の係止ピン１３２を所定の微小間隙を有した状態で係合（遊嵌）するための係止開口１３３が上下方向に貫通開口している。各係止開口１３３は、略矩形の開口であり、係止ピン１３２のＸＹ平面内での往復微小移動を許容するように、係止ピン１３２の直径よりも十分に大きく開口している。なお、各調整バー８３は左右対称に形成されており、左右を入れ替えても使用できるように係止開口１３３は、各調整バー８３の後側（奥側）にも形成されている。また「微小間隙」とは、ミリメートルオーダーの間隙を指すものとする。
【００４１】
押圧ブロック８４は、インクジェットヘッド１のノズル面８および一対の調整バー８３を跨ぐように配設され、その両端に設けた一対の脚部１０３でヘッド保持プレート８２に固定されている。押圧ブロック８４における各調整バー８３に対応する部分には、バネを内蔵した押圧ヘッド１０４がそれぞれ組み込まれている。各押圧ヘッド１０４は、調整バー８３を押圧し、調整バー８３を介して取付片２１をフランジ部４に押し付ける。このように、各取付片２１は、押圧された状態で微小移動（位置決め）する。これにより、各取付片２１は、微小移動しにくくなるため、例えばオペレーターが誤って調整バー８３に触れてしまった等、何らかの原因により各調整バー８３に力が加わったとしても、微小移動させた後の各取付片２１の位置決め状態を的確に保持することができる。また、詳細は後述するが、位置決めされた各取付片２１は、フランジ部４に押し付けられた状態で接着される。なお、押圧ブロック８４による押圧は、取付片２１が、各調整ユニット８５により微小移動可能で、且つアライメント治具６５を取り外す際の振動や傾斜等により微小移動しない程度の力でなされていることが好ましい。
【００４２】
さらに、押圧ブロック８４における各押圧ヘッド１０４のＹ軸方向両側には、上記した一対の覗き穴１０２，１０２に連なる画像認識用の一対の窓開口１０５，１０５が形成されている。同様に、押圧ブロック８４のノズル面８に対応する部分には、２つの吐出ノズル７を画像認識するための２つの覗き開口１０６，１０６が形成されている。各取付片２１の取付片マーク２３は、覗き穴１０２および窓開口１０５を介して画像認識され、最外端に位置する２つの吐出ノズル７は、２つの覗き開口１０６，１０６から画像認識される。
【００４３】
各調整ユニット８５は、調整バー８３を介して取付片２１を、Ｙ軸方向に往復微小移動させる第１マイクロメーターヘッド９１と、Ｘ軸方向およびθ方向に往復微小移動させる前側の第２マイクロメーターヘッド９２および後側の第３マイクロメーターヘッド９３と、を備えている。また、左右一対の調整ユニット８５は、各調整バー８３の手前側の端部に臨み、微小間隙を存して各調整バー８３を係止すると共に、ベースプレート８１上において第１マイクロメーターヘッド９１による微小移動に連動してＹ軸方向にスライド自在に支持された左右一対の第１押引き部材９４と、各調整バー８３の手前側においてＸ軸方向外側（ベースプレート８１の各短辺側）からそれぞれ臨み、微小間隙を存して各調整バー８３を係止すると共に、ベースプレート８１上において第２マイクロメーターヘッド９２による微小移動に連動してＸ軸方向にスライド自在に支持された左右一対の第２押引き部材９５と、各調整バー８３の後側（奥側）においてＸ軸方向外側からそれぞれ臨み、微小間隙を存して各調整バー８３を係止すると共に、ベースプレート８１上において第３マイクロメーターヘッド９３による微小移動に連動してＸ軸方向にスライド自在に支持された左右一対の第３押引き部材９６と、を備えている。
【００４４】
左右一対の第１マイクロメーターヘッド９１は、ベースプレート８１の手前側の長辺部に離間して臨み、そのスピンドル９７（出力軸）を後方（内側）に向けて、Ｌ字型の支持部材９８の立面部分に支持固定されている。また、左右一対の第２マイクロメーターヘッド９２は、ベースプレート８１の手前側、左右両端の短辺部にそれぞれ臨み、同様に、左右一対の第３マイクロメーターヘッド９３は、ベースプレート８１の後側（奥側）、左右両端の短辺部にそれぞれ臨んでいる。各第２マイクロメーターヘッド９２および第３マイクロメーターヘッド９３は、その各スピンドル９７をベースプレート８１に対し内側に向けて、支持部材９８の立面部分に支持固定されている。なお、各支持部材９８は、その立面部分をベースプレート８１の外側に向け、平面部分をベースプレート８１の内側に向けるように、ベースプレート８１上に配設されている。
【００４５】
また、各マイクロメーターヘッド９１，９２，９３のスピンドル９７の先端部分には、後述する各押引き部材９４，９５，９６に嵌合するコマ部材９９が固定されている（図８（ａ），（ｃ）参照）。各コマ部材９９は、円板状の部材であり、その円の中心部分において各マイクロメーターヘッド９１，９２，９３のスピンドル９７と接続されている。すなわち、各コマ部材９９は、スピンドル９７の進退（往復微小移動）に連動して進退（往復微小移動）するようになっている。
【００４６】
なお、上記したスピンドル９７は、１回転当り０．５ｍｍ程度移動する粗動用のものであるが、本実施形態の各マイクロメーターヘッド９１，９２，９３では、上記したスピンドル９７の先端部分、同軸に、１回転当り２５μｍ程度移動する微動用の微調整用スピンドル９７ａが設けられている（図８（ａ），（ｃ）参照）。すなわち、上記のコマ部材９９は、粗動用となるスピンドル９７の先端外周部に固定されている。詳細な説明は省略するが、各マイクロメーターヘッド９１，９２，９３には、スピンドル９７と微調整用スピンドル９７ａとを別個独立に動かすことができるようになっている。この微調整用スピンドル９７ａにより、取付片２１に対して最終的な数マイクロメートルの位置調整を行う。
【００４７】
各第１押引き部材９４は、ベースプレート８１上においてＹ軸方向にスライド自在に支持されたＹ軸スライドベース１３１と、Ｙ軸スライドベース１３１に立設され、各調整バー８３に開口した係止開口１３３に下側から遊嵌される係止ピン１３２と、Ｙ軸スライドベース１３１に立設され、コマ部材９９が上側から嵌合して連結されるＹ軸嵌合連結部１３４と、で一体に形成されている。各第２押引き部材９５および各第３押引き部材９６は、ベースプレート８１上においてＸ軸方向にスライド自在に支持されたＸ軸スライドベース１３５と、Ｘ軸スライドベース１３５に立設され、Ｘ軸方向において調整バー８３が上側から遊嵌される係止部１３６と、Ｘ軸スライドベース１３５に立設され、コマ部材９９が上側から嵌合して連結されるＸ軸嵌合連結部１３７と、でそれぞれ一体に形成されている。
【００４８】
Ｙ軸スライドベース１３１（図８（ｃ）参照）および各Ｘ軸スライドベース１３５（図７参照）は、板状の部位であり、その下面には、上記した支持部材９８の平面部分に形成されたガイドレール（図示省略）に対し、スライド自在に係合するガイド係合部（図示省略）が設けられている。
【００４９】
各係止ピン１３２は、Ｙ軸スライドベース１３１の後側（奥側）に立設した円柱状の部位である（図８（ａ），（ｃ）参照）。各係止ピン１３２は、上記した係止開口１３３に遊嵌し、調整バー８３をＹ軸方向へ微小移動させる際には、係止開口１３３の進行方向側の内面に片当りする。したがって、各調整バー８３のＹ軸方向への往復微小移動は、調整バー８３を把持（固定）して行われるのではなく、係止ピン１３２が一方向からのみ調整バー８３に接触して行われる。
【００５０】
各Ｙ軸嵌合連結部１３４は、各Ｙ軸スライドベース１３１において、Ｙ軸方向略中央部とベースプレート８１の外側端部とに、Ｘ軸方向に沿って立設した２枚のＹ軸連結立設部位１３８で構成されている。２枚のＹ軸連結立設部位１３８の間には、コマ部材９９が嵌合して固定されている。これにより、コマ部材９９を介して第１マイクロメーターヘッド９１のスピンドル９７の進退移動（往復微小移動）を、第１押引き部材９４に確実に伝達することができる。
【００５１】
一方、各係止部１３６は、それぞれのＸ軸スライドベース１３５において、ベースプレート８１の内側端部とＸ軸方向略中央部とに、Ｙ軸方向に沿って立設した２枚の板状の係止立設部位１３９で構成されている。２枚の係止立設部位１３９は、Ｘ軸方向に離間して立設しており、２枚の係止立設部位１３９の間には、調整バー８３が所定の微小間隙を有した状態で係合（遊嵌）されている。詳細には、各調整バー８３の手前側端部（係止開口１３３の後側）は、各第２押引き部材９５の係止部１３６に遊嵌され、各調整バー８３の後側端部は、各第３押引き部材９６の係止部１３６に遊嵌される。調整バー８３をＸ軸方向へ微小移動させる際、調整バー８３には、各係止部１３６の進行方向の反対側の係止立設部位１３９が接触する。つまり、係止部１３６は、調整バー８３に片当りする。したがって、各調整バー８３のＸ軸方向への往復微小移動についても、Ｙ軸方向の往復微小移動と同様に、係止部１３６が一方向からのみ調整バー８３に接触して行われる。
【００５２】
また、各係止部１３６には、遊嵌された調整バー８３との微小間隙の大きさを調整する間隙調整機構１４０が設けられている。各間隙調整機構１４０は、ベースプレート８１の内側に位置する係止立設部位１３９に貫通形成された雌ネジ孔（図示省略）に螺合する雄ネジ部材１４１と、係止立設部位１３９の外側から雄ネジ部材１４１に螺合して、雄ネジ部材１４１の緩み止めとなるナット１４２と、を有している。各雄ネジ部材１４１は、雌ネジ孔に螺合して、その先端部分を係止部１３６に遊嵌された調整バー８３に接触するようになっている。この各雄ネジ部材１４１のねじ込み量を調整することで、係止部１３６と調整バー８３との微小間隙の大きさを調整することができる。これにより、往復微小移動において、往動から復動（またはその逆）に移る場合の応答時間を調整することができる。例えば、位置決め作業の効率を重視する場合には、微小隙間を小さく（狭く）し、調整バー８３（取付片２１）を取り外す場合には、微小隙間を大きく（広く）する。これにより、オペレーターの取付片２１の位置決め作業やアライメント治具６５への取付片２１の給除材作業の作業性が向上する。なお、この微小間隙は、各マイクロメーターヘッド９２，９３の微調整用スピンドル９７ａによる調整範囲ともなっている。
【００５３】
Ｘ軸嵌合連結部１３７は、各Ｘ軸スライドベース１３５において、上記したＸ軸方向略中央部に立設した係止立設部位１３９と、ベースプレート８１の外側端部にＹ軸方向に沿って立設したＸ軸連結立設部位１４３と、で構成されている。Ｙ軸嵌合連結部１３４と同様に、係止立設部位１３９とＸ軸連結立設部位１４３との間には、コマ部材９９が上側から嵌合して固定されている。これにより、コマ部材９９を介して各第２マイクロメーターヘッド９２および各第３マイクロメーターヘッド９３のスピンドル９７の進退移動（往復微小移動）を、各第２押引き部材９５および第３押引き部材９６に確実に伝達することができる。
【００５４】
このような各調整ユニット８５では、各第１マイクロメーターヘッド９１を正逆回転操作すると、コマ部材９９および第１押引き部材９４を介して調整バー８３がＹ軸方向（前後方向）に往復微小移動する。また、第２マイクロメーターヘッド９２を正逆回転操作すると、調整バー８３の前側が、コマ部材９９および第２押引き部材９５を介してＸ軸方向（左右方向）に往復微小移動する。同様に、第３マイクロメーターヘッド９３を正逆回転操作すると、調整バー８３の後側が、コマ部材９９および第１押引き部材９４を介して左右方向に往復微小移動する。したがって、第１マイクロメーターヘッド９１により、調整バー８３を介して取付片２１の前後方向の位置が調整され、第２・第３マイクロメーターヘッド９２，９３により、調整バー８３を介して取付片２１の左右方向の位置および平面内の傾き（θ方向）が調整される。これにより、Ｘ軸方向とＹ軸方向とを同時に、且つ最短の移動量で位置合せを行うことが可能である。また、各押引き部材９４，９５，９６と各調整バー８３とは、所定の微小間隙を有した状態で係合（遊嵌）しているため、Ｙ軸方向（Ｘ軸方向）への微小移動を許容した状態で、Ｘ軸方向（Ｙ軸方向）への微小移動（位置決め）を行うことが可能となる。つまり、微小間隙は、微小移動の調整代として利用されている。なお、回転方向への往復微小移動は、第２マイクロメーターヘッド９２および第３マイクロメーターヘッド９３を、相反する方向に移動させることで行われる。
【００５５】
図４および図５に示すように、画像認識ユニット６６は、ブラケットフレーム６３に片持ちで支持されたユニットベース１１０と、ユニットベース１１０に組み込まれ、主に２つのノズル用マーク４２をそれぞれ画像認識する照明付きの２つのノズル用カメラ１１１と、ユニットベース１１０に組み込まれ、主に４つの装着用マーク５２をそれぞれ画像認識する照明付きの４つの装着用カメラ１１２と、２つのノズル用カメラ１１１および４つの装着用カメラ１１２をそれぞれキャリブレーションするための複数のカメラ位置調整機構１１３と、を有している。
【００５６】
６台のカメラ１１１，１１２は、画像認識において、アライメントマスク３１の対応するマーク４１，５１を視野の中央にくるように、カメラ位置調整機構１１３によりキャリブレーションされており、キャリブレーション後は、固定のカメラとして機能する。２つのノズル用カメラ１１１は、アライメントマスク３１の２つのノズル用マーク４２およびインクジェットヘッド１の２つの吐出ノズル７を画像認識し、４つの装着用カメラ１１２は、アライメントマスク３１の４つの装着用マーク５２および一対の取付片２１の計４つの取付片マーク２３を画像認識する。
【００５７】
次に、図９を参照して、アライメントマスク３１を用いて、インクジェットヘッド１のフランジ部４に一対の取付片２１を、それぞれ位置決め状態に組付けるインクジェットヘッド１の組立方法について説明する。この組立方法では、先ず上記したアライメントマスク３１をセットテーブル６４に位置決め状態で載置し、一対の固定金具６９，６９で固定する（マスクセット工程Ｓ１）。次に、アライメントマスク３１の各マーク４１，５１を画像認識する（マスク認識工程Ｓ２）。具体的には、移動テーブル６２によりアライメントマスク３１と画像認識ユニット６６とを簡単に位置合わせした後、２つのノズル用カメラ１１１で２つのノズル用マーク４２を画像認識し、４つの装着用カメラ１１２で４つの装着用マーク５２を画像認識する。そして、この画像認識による認識結果は、コントローラーに記憶される。
【００５８】
次に、アライメントマスク３１に代えて、セットテーブル６４にアライメント治具６５を位置決め状態でセットする（ヘッドおよび取付片セット工程Ｓ３）。この場合、アライメント治具６５には、予め外工程において、インクジェットヘッド１および一対の取付片２１をセットすると共に、一対の調整バー８３および押圧ブロック８４をセットしておく。なお、一対の取付片２１，２１、一対の調整バー８３，８３および押圧ブロック８４は、インクジェットヘッド１を位置決めした後に、セットするようにしてもよい。
【００５９】
次に、コントローラー（ディスプレイ）の認識結果を参酌しつつ、移動テーブル６２を操作して、画像認識した２つのノズル用マーク４２に、位置決め基準となるインクジェットヘッド１の最外端の吐出ノズル７を合わせ込む（ヘッド位置決め工程Ｓ４）。続いて、同様に認識結果を参酌しつつ、今度は調整ユニット８５により、画像認識した４つの装着用マーク５２に、位置決め基準となる４つの取付片マーク２３をそれぞれ合わせ込んで一対の取付片２１を位置決めする（取付片位置決め工程Ｓ５）。
【００６０】
具体的には、一方の調整ユニット８５により、一方の２つの装着用マーク５２に、２つの取付片マーク２３を合わせ込んで、一方の取付片２１を位置決めし、その後、他方の調整ユニット８５により、他方の２つの装着用マーク５２に、２つの取付片マーク２３を合わせ込んで、他方の取付片２１を位置決めする。この場合、他方の取付片２１の位置決め動作において、一方の取付片２１が位置ズレした場合には、これを繰り返す。すなわち、装着用マーク５２に対する取付片マーク２３の位置ズレを少しずつ修正して、最終的には４つの装着用マーク５２に、４つの取付片マーク２３を合わせ込んで一対の取付片２１を位置決めする。本実施形態の各調整ユニット８５では、各調整バー８３は、各押引き部材によって固定されているわけではなく、位置決め後の各調整バー８３には何らの力も作用しないこととなる。このため、位置決め作業（ヘッド位置決め工程Ｓ４および取付片位置決め工程Ｓ５）終了後に、後述する接着工程Ｓ６において仮固定のための接着剤が未硬化の状態で、各調整バー８３と各押引き部材９４，９５，９６との係止状態を解除しても、アライメント（位置決め）した位置からずれることがない。
【００６１】
最後に、調整バー８３および押圧ブロック８４による押圧を維持したまま、フランジ部４および取付片２１の接触部分に瞬間接着剤を注入する（接着工程Ｓ６）。そして、接着剤の乾燥後または乾燥前に、組立装置６０からアライメント治具６５をセットテーブル６４から取り外す。そして、アライメント治具６５からインクジェットヘッド１を取り出す（接着剤の乾燥後に取り出す。）。以上の工程により、インクジェットヘッド１のフランジ部４に対する取付片２１の組付けを終了する。このように、位置決め作業が終了した後、所望の位置決め状態を保持したまま、アライメント治具６５を組立装置６０から取り外すことができるため、複数のアライメント治具６５を用意しておけば、一の位置決め作業の終了後、即座に次の位置決め作業を行うことができる。これにより、連続的に効率良く位置決め作業を行うことができる。また、取り外した状態のアライメント治具６５に対して各取付片２１をセットおよび接着剤による仮固定（接着工程Ｓ６）を行うことができるため、十分な作業スペースを確保できる場所で、当該作業を行うことができる。
【００６２】
以上の構成によれば、位置決め状態を保持したまま、アライメント治具６５を組立装置６０から取り外すことができ、各調整バー８３と各押引き部材９４，９５，９６との係止状態を解除しても、アライメント（位置決め）した位置からずれることがない。
【００６３】
次に、図１０を参照して、本発明の第２実施形態に係るアライメントマスク３１について説明する。このアライメントマスク３１は、第１位置決めマーク４１が形成された第１マスクプレート３２と、第２位置決めマーク５１が形成された第２マスクプレート３４と、第１マスクプレート３２および第２マスクプレート３４の間に介設したスペーサー１２１と、第２マスクプレート３４を介してこれらを保持するマスクホルダー１２２と、これらを支持するマスクベースプレート３６と、から構成されている。
【００６４】
第１マスクプレート３２、第２マスクプレート３４およびマスクベースプレート３６は、第１実施形態のものと同一のものであり、マスクホルダー１２２は、第１実施形態の第２マスクホルダー３５と同一のものである。この場合、スペーサー１２１は、第１マスクプレート３２および第２マスクプレート３４と同様に石英ガラス等で構成されており、第１マスクプレート３２は、スペーサー１２１に接着され、スペーサー１２１は、第２マスクプレート３４に接着されている。そして、第２マスクプレート３４は、４つの固定片１２３によってマスクホルダー１２２に固定されている。
【００６５】
この第２実施形態においても、アライメントマスク３１における第１位置決めマーク４１および第２位置決めマーク５１と、インクジェットヘッド１の吐出ノズル７および取付片２１の取付片マーク２３と、が平面方向および高さ方向において一致している。このため、精度良く取付片２１をフランジ部４に位置決めすることができる。
【００６６】
なお、上記した第１、第２実施形態においては、第１位置決めマーク４１を２つ形成しているが、第１位置決めマーク４１を３つ以上形成してもよい。また、第２位置決めマーク５１は１つの取付片２１を位置決めするために２つ形成されているが、第２位置決めマーク５１は３つ以上形成されていてもよい。さらに、インクジェットヘッド１のフランジ部４に一対の取付片２１を取付ける構成としているが、二対以上の取付片２１としてもよい。また、取付片２１は対であるほうが精度よく取付けられるためより好ましいが、対でなくても、３つ以上の取付片２１を取付ける構成としてもよい。
【符号の説明】
【００６７】
１：インクジェットヘッド、４：フランジ部、２１：取付片、６５：アライメント治具、８１：ベースプレート、８３：調整バー、８４：押圧ブロック、９１：第１マイクロメーターヘッド、９２：第２マイクロメーターヘッド、９３：第３マイクロメーターヘッド、９４：第１押引き部材、９５：第２押引き部材、９６：第３押引き部材、９９：コマ部材、１３１：Ｙ軸スライドベース、１３２：係止ピン、１３３：係止開口、１３４：Ｙ軸嵌合連結部、１３５：Ｘ軸スライドベース、１３６：係止部、１３７：Ｘ軸嵌合連結部、１４０：間隙調整機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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