(57)【要約】      （修正有）【課題】貼り付け工程及び引き剥がし工程に要する時間を短縮した場合においても、接着フィルムのずれを発生させることがない貼付方法を提供する。【解決手段】離型紙５ｃを有する接着フィルム５ａを基板１の表裏にそれぞれ熱転写して接着後、この接着フィルム５ａから離型紙５ｃを剥離し、基板１の表裏に接着フィルム５ａを粘着させる接着フィルムの貼付方法において、基板１を冷却した支持ステージ７０に支持した後、離型紙５ｃを有する接着フィルム５ａを基板１の表裏にそれぞれ配置し、離型紙５ｃ側から基板１に熱圧着に必要とされる温度に加熱されたヘッド部６１、６２で、基板１表裏から加熱圧着した後、ヘッド６１、６２を離型フィルム５ｃから離間させ、基板１を冷却した支持ステージ７０で急速に冷却させる。【選択図】図２
2011132295.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
離型紙を有する接着フィルムを基板の表裏にそれぞれ熱転写して接着後、この接着フィルムから離型紙を剥離し、基板の表裏に接着フィルムを粘着させる接着フィルムの貼付方法において、前記基板を冷却したステージに支持した後、離型紙を有する接着フィルムを基板の表裏にそれぞれ配置し、前記離型紙側から前記基板に熱圧着に必要とされる温度に加熱された加熱圧着装置で、基板表裏から加熱圧着した後、加熱圧着装置を離型フィルムから離間させ、前記基板を冷却したステージで冷却させることを特徴とする接着フィルムの貼付方法。
【請求項２】
前記接着フィルムの温度が所定温度以下になったときに、前記離型紙を接着フィルムから引き剥がすことを特徴とする請求項１に記載の接着フィルムの貼付方法。
【請求項３】
前記基板の表面側を冷却する冷却部材を更に備え、前記基板表面側の加熱圧着装置の離間に対応して前記冷却部材で基板表面を冷却することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の接着フィルムの貼付方法。
【請求項４】
太陽電池を冷却したステージに支持した後、離型紙を有する接着フィルムを太陽電池の表裏にそれぞれ配置し、前記離型紙側から前記太陽電池に熱圧着に必要とされる温度に加熱された加熱圧着装置で、太陽電池表裏から加熱圧着した後、加熱圧着装置を離型フィルムから離間させ、前記太陽電池を冷却したステージで冷却させた後、前記接着フィルムから離型紙を剥離し、前記基板の表裏に接着フィルムを粘着させ、それぞれ配線材を前記接着フィルム上に載せ、接着フィルムを加熱して熱硬化させて太陽電池の電極と前記配線材を固定することを特徴とする太陽電池モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、離型紙を有する接着フィルムを用いて電気的な接続を図る際の基板に対する接着フィルムの貼付方法およびこの接着フィルムの貼付方法を用いた太陽電池モジュールの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池モジュールは、複数の太陽電池がその表裏面の電極に電気的に接続された配線部材により電気的に接続された構造を有している。この太陽電池モジュールを作製する際に、太陽電池の電極と配線部材との接続には、従来、半田が用いられている。半田は、導通性、固着強度等の接続信頼性に優れ、安価で汎用性があることから広く用いられている。
【０００３】
一方、環境保護の観点等から、太陽電池において半田を使用しない配線の接続方法も用いられている。例えば、接着フィルムを用いて太陽電池と配線材とを接続する方法が知られている。
【０００４】
接着フィルムを用いた配線の接続は、まず、接着フィルムを太陽電池の電極上に貼り着ける必要がある。通常、接着フィルムは離型紙とともに接着フィルムシートとしてリールに巻回されている。そして、リールから接着フィルムシートを送り出し、この送り出された接着フィルムシートが貼付装置を用いて太陽電池に加熱圧着され、その後、離型紙を引き剥がして太陽電池の電極上に接着フィルムが貼り着けられる。
【０００５】
しかしながら、この離型紙を引き剥がす際に、接着フィルムの温度が高いと接着フィルムが離型紙側に残り、接着フィルムの貼り付け不良となる場合がある。
【０００６】
貼り付け不良となる原因としては以下のことが考えられる。貼り付け工程及び引き剥がし工程に長い間時間をかけた場合には、接着フィルムと基板との界面が自然冷却でも十分に冷えてこの界面での接着強度が十分であり、貼り付け不良の発生は抑制される。
【０００７】
これに対して、貼り付け工程及び引き剥がし工程に要する時間を短縮した場合には、自然冷却では、接着フィルムと基板との界面が十分に冷えず、接着フィルムと基板との界面での接着力が離型紙を引き剥がす際の力にまけて、離型紙側に接着フィルムが残って貼り付け不良が発生する。
【０００８】
そこで、離型紙の剥ぎ取り時に、被接合物の表面に粘着されている接着フィルムを確実に被接合物側に残せるようにし、剥がれミスを防止した方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００２−１５５２４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上記した特許文献１には、離型紙の剥ぎ取り前に、接着フィルムの離型紙側から送風機により冷却して、所定温度以下になったときに、離型紙を引き剥がしている。
【００１１】
しかしながら、太陽電池に貼付される接着フィルムは１ｍｍから２ｍｍ程度と細く、送風機による風により、接着フィルムがずれるという問題が生じる。
【００１２】
この発明は、貼り付け工程及び引き剥がし工程に要する時間を短縮した場合においても、接着フィルムのずれを発生させることなく、貼り付け不良を無くすことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明は、離型紙を有する接着フィルムを基板の表裏にそれぞれ熱転写して接着後、この接着フィルムから離型紙を剥離し、基板の表裏に接着フィルムを粘着させる接着フィルムの貼付方法において、前記基板を冷却したステージに支持した後、離型紙を有する接着フィルムを基板の表裏にそれぞれ配置し、前記離型紙側から前記基板に熱圧着に必要とされる温度に加熱された加熱圧着装置で、基板表裏から加熱圧着した後、加熱圧着装置を離型フィルムから離間させ、前記基板を冷却したステージで冷却させることを特徴とする。
【００１４】
前記接着フィルムの温度が所定温度以下になったときに、前記離型紙を接着フィルムから引き剥がせばよい。
【００１５】
また、前記基板の表面側を冷却する冷却部材を更に備え、前記基板表面側の加熱圧着装置の離間に対応して前記冷却部材で基板表面を冷却するように構成することができる。
【００１６】
また、この発明は、太陽電池を冷却したステージに支持した後、離型紙を有する接着フィルムを太陽電池の表裏にそれぞれ配置し、前記離型紙側から前記太陽電池に熱圧着に必要とされる温度に加熱された加熱圧着装置で、太陽電池表裏から加熱圧着した後、加熱圧着装置を離型フィルムから離間させ、前記太陽電池を冷却したステージで冷却させた後、前記接着フィルムから離型紙を剥離し、前記基板の表裏に接着フィルムを粘着させ、それぞれ配線材を前記接着フィルム上に載せ、接着フィルムを加熱して熱硬化させて太陽電池の電極と前記配線材を固定することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
上記のように、基板は冷却された支持ステージに支持されているため、接着フィルムの貼り付けられた温度上昇を抑制できるため、貼り付け不良が低減できる。
また、支持ステージでの冷却機構のため、タクトタイムを落とすことなく接着フィルムの貼り付けが行える。また、ブローなどの冷風による冷却でないため、接着フィルムのずれなどの発生も防げる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】この発明の実施形態に用いられる接着フィルムの貼付装置の一例を示す模式図である。
【図２】この発明の実施形態に用いられる接着フィルムの貼付装置の一例を示しシートの送り方向と直交する方向から見た模式図である。
【図３】この発明に用いられる接着フィルムシートを示す模式的断面図である。
【図４】この発明により接着フィルムを貼り着けた太陽電池を示す平面図である。
【図５】この発明により製造された太陽電池モジュールの要部を示す平面図である。
【図６】この発明により製造された太陽電池モジュールの要部を示す概略断面図である。
【図７】太陽電池の電極と配線材とを接着フィルムを用いて接続するこの発明の太陽電池モジュールの製造方法を工程別に示す模式図である。
【図８】太陽電池の電極と配線材とを接着フィルムを用いて接続するこの発明の太陽電池モジュールの製造方法を工程別に示す模式図である。
【図９】太陽電池の電極と配線材とを導電性接着フィルムを用いて接続した太陽電池モジュールを示す模式図である。
【図１０】この発明により製造された太陽電池モジュールの概略を示す断面図である。
【図１１】この発明の他の実施形態に用いられる接着フィルムの貼付装置の一例を示す模式図である。
【図１２】この発明の他の実施形態に用いられる接着フィルムの貼付装置の一例を示しシートの送り方向と直交する方向から見た模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
この発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付し、説明の重複を避けるためにその説明は繰返さない。
【００２０】
図１及び図２は、この発明の実施形態に用いられる接着フィルムの貼付装置の一例を示す模式図である。
【００２１】
被貼付部材である太陽電池１は、複数枚、図示しない収納トレイに収納されていて、その太陽電池１が図示しない吸着機構を有する繰り出し装置により、一枚ずつ取り出され、支持ステージ７０に位置決めされて接着フィルム貼付部６０に設置される。
【００２２】
接着フィルム５ａと離型紙５ｃとで構成される接着フィルムシート５を巻回した接着フィルムシート供給リール５１と離型紙巻き取りリール５２を備え、案内ロール５５、５６、５７により、供給リール５１から送り出された接着フィルムシート５が太陽電池１への接着フィルム貼付部６０を経て離型紙巻き取りリール５２に送られる。尚、案内ロール５５、５５は、後述する接着フィルム５ａとの接触面積ができるだけ小さくなるように構成されている。
【００２３】
この実施形態では、このような接着フィルムシートの供給機構を図１に示すように、太陽電池１の表裏側にそれぞれ配置することで、太陽電池１を裏返すことなく太陽電池１の表裏に接着フィルムを貼り着けるように構成している。
【００２４】
接着フィルムシート５は、図３に示すように、テープ状の離型紙５ｃに接着フィルム５ａが保持されている。この実施形態の接着フィルムシート５は、例えば、導電性接着フィルムを用いることができる。導電性接着フィルムシート５としては、図３の模式的断面図に示すように、樹脂接着成分５ｂとその中に分散した導電性粒子５ｄとを少なくとも含んで接着フィルム５ａが構成されている。導電性粒子５ｄが分散された樹脂接着成分５ｂがポリイミドなどからなる離型紙５ｃ上に設けられている。樹脂接着成分５ｂは熱硬化性樹脂を含有する組成物からなり、例えば、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリカーボネート樹脂を用いることができる。これらの熱硬化性樹脂は、１種を単独で用いるか２種以上を組み合わせて用いられ、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂及びアクリル樹脂からなる群より選ばれる１種以上の熱硬化性樹脂が好ましい。
【００２５】
導電性粒子５ｄとしては、例えば、金粒子、銀粒子、銅粒子及びニッケル粒子などの金属粒子、或いは、金メッキ粒子、銅メッキ粒子及びニッケルメッキ粒子などの導電性又は絶縁性の核粒子の表面を金属層などの導電層で被覆してなる導電性粒子が用いられる。
【００２６】
接着フィルムシート５は、供給リール５１より繰り出され、接着フィルム５ａのみ切断機構５４により予め定められた所定寸法に切断される。切断機構５４は、カッター５４ａとローラ５４ｂとで構成される。接着フィルム５ａのみ予め所定寸法に切断された接着フィルムシート５は、押圧機構である接着フィルム貼付部６０に供給される。
【００２７】
接着テープ貼付部６０は、切断機構５４で所定の長さに切断された接着フィルムシート５が太陽電池１の表裏の電極の所定位置にそれぞれ位置決めされ、接着テープ貼付部６０の上下の押圧機構のヘッド部６１、６２により押圧される。ヘッド部６１、６２は、接着フィルム５ａを仮圧着する温度、例えば、８０℃程度に内蔵するヒータにより加熱されている。離型紙５ｃを介した接着フィルム５ａがヘッド部６１、６２により太陽電池１の方向へ押圧され、太陽電池１の電極に接着フィルム５ａが貼付される。
【００２８】
太陽電池１は、支持ステージ７０に支持されており、表面側に供給された接着性フィルムシート５は上部に位置する押圧機構のヘッド部６２により、離型紙５ｃを介して太陽電池１の方向に接着フィルム５ａが押圧される。
【００２９】
又、支持ステージ７０の裏面側から押圧機構のヘッド部６１が通過する部分には、開口部７２が設けられており、この開口部７２からヘッド部６１が太陽電池１の方向に進み、離型紙５ｃを介して太陽電池１の方向に接着フィルム５ａが押圧される。すなわち、太陽電池１は、上下の押圧機構により、所定の押圧力が加えられる。
【００３０】
そして、ヘッド部６１、６２には、ヒータが内蔵されており、接着フィルム５ａを仮固定する高温状態に維持する。この高温状態の時には、離型紙５ｃと接着フィルム５ａとの間の接着力が強く、離型紙５ｃを引き剥がすとき、太陽電池１から接着フィルム５ａを引き離してしまう虞がある。
【００３１】
そこで、この実施形態においては、支持ステージ７０自体を冷却して、太陽電池１の全体を冷却して、ヘッド部６１、６２が離間したときに、接着フィルム５ａの温度が所定温度以下、例えば、４０℃〜５０℃に急激に低下させるように構成している。
【００３２】
このため、支持ステージ７０は、例えば、熱伝導の良好なアルミニウム等で構成され、冷却装置７１により、例えば、１０℃の温度に冷却される。そして、この支持ステージ７０により、熱圧着される部分以外の太陽電池１の温度を下げている。冷却装置７１としては、ペルチェ素子や冷却用パイプなどを支持ステージ７０内部に配設し、支持ステージ７０を１０℃の温度に冷却している。
【００３３】
支持ステージ７０が冷却されているので、ヘッド部６１、６２を離型紙５ｃから離すと、太陽電池１は冷却された支持ステージ７０により、急激に冷やされ、離型紙５ｃを引き剥がしても良い温度以下に接着フィルム５ａの温度が低下する。このため、低下時までの時間が大幅に短縮できる。そして、その温度以下になると剥離ローラ６３、６３が移動し、離型紙５ｃを接着フィルム５ａの端部で引き剥がし、そのまま供給ローラ５１の方向に剥離ローラ６３、６３が移動し、太陽電池１上における離型紙５ｃは接着シート５ａから引き剥がされ、太陽電池１上に接着シート５ａが貼り付けられる。
【００３４】
上記のように、太陽電池１は冷却された支持ステージ７０に支持されているため、接着フィルム５ａの貼り付けられた温度上昇を抑制できるため、貼り付け不良が低減できる。支持ステージ７０での冷却機構のため、タクトタイムを落とすことなく接着フィルムの貼り付けが行える。また、ブローなどの冷風による冷却でないため、接着フィルム５ａのずれなどの発生も防げる。
【００３５】
表裏に接着シート５ａが貼り付けられた太陽電池１は、次の配線材を接続するための工程に送られる。
【００３６】
続いて、接着フィルム５ａを貼り着けた太陽電池１に配線材１２０を接着する方法に付き説明する。
【００３７】
太陽電池モジュールは、複数の板状の太陽電池１を備えている。この太陽電池１は、例えば、厚みが０．１５ｍｍ程度の単結晶シリコンや多結晶シリコンなどで構成される結晶系半導体からなり、１辺が１０４ｍｍ〜１２５ｍｍ程度の略正方形を有するが、これに限るものではなく、他の太陽電池を用いても良い。この太陽電池１は、図４、図５に示すように、太陽電池１の表裏の所定領域には集電極１１５、１１９が形成されている。
【００３８】
この太陽電池１内には、例えば、ｎ型領域とｐ型領域が形成され、ｎ型領域とｐ型領域との界面部分でキャリア分離用の電界を形成するための接合部が形成されている。このｎ型領域とｐ型領域は、単結晶シリコンや多結晶シリコン等の結晶半導体、ＧａＡｓやＩｎＰ等の化合物半導体、非晶質状態或いは微結晶状態を有する薄膜ＳｉやＣｕＩｎＳｅ等の薄膜半導体等の太陽電池用に用いられる半導体を単独、或いは組み合わせて形成することができる。一例として互いに逆導電型を有する単結晶シリコンと非晶質シリコン層との間に真性な非晶質シリコン層を介挿し、その界面での欠陥を低減し、ヘテロ接合界面の特性を改善したいわゆるＨＩＴ型太陽電池が用いられる。
【００３９】
上記した集電極１１５、１１９は、光の入射により太陽電池１内の光電変換部で生成されたキャリアを収集するための電極である。集電極１１５、１１９は、例えば、銀ペーストをスクリーン印刷して、百数十度の温度で硬化させて形成される。尚、集電極１１５、１１９はバスバー電極を備えていても良い。
【００４０】
集電極１１５、１１９に配線材１２０を電気的に接続する。この配線材１２０を集電極１１５、１１９に接続するために接着フィルム５ａを用いる。配線材１２０を接着する位置に、上記したように、接着フィルム５ａが貼付される。接着フィルム５ａは、接続する配線材１２０の幅と同一若しくは少し幅の細いものが用いられる。例えば、配線材１２０の幅は、０．５ｍｍ〜３ｍｍであれば、接着フィルム５ａの幅も配線材１２０の幅に対応して０．５ｍｍ〜３ｍｍにする。この実施形態においては、図５に示すように、３本の配線材１２０を用いている。このため、図４に示すように、配線材１２０が接着される位置に配線材１２０の幅に対応した幅の３本の接着フィルム５ａが太陽電池１の表裏に貼り着けられている。
【００４１】
接着フィルム５ａに配線材１２０を押圧し、押圧しながら加熱処理を施して接着フィルム５ａの接着層を熱硬化して配線材１２０を集電極１１５、１１９に接続する。
【００４２】
図６に示すように、この複数の太陽電池１の各々は、互いに隣接する他の太陽電池と扁平形状の銅箔などで構成された配線材１２０によって電気的に接続されている。即ち、配線材１２０の一方端側が所定の太陽電池１の上面側の集電極１１５に接続されるとともに、他方端側がその所定の太陽電池１に隣接する別の太陽電池１の下面側の集電極１１９に接続される。これら太陽電池１は、配線材１２０で直列に接続され、太陽電池モジュール１０から渡り配線や取り出し線を介して所定の出力、例えば、２００Ｗの出力が発生するように構成される。
【００４３】
図７に示すように、この複数の太陽電池１の各々を互いに隣接する他の太陽電池１と配線材１２０によって電気的に接続する。即ち、配線材１２０の一方端側が所定の太陽電池１の上面側の集電極１１５に接続されるとともに、他方端側がその所定の太陽電池１に隣接する別の太陽電池の下面側の集電極１１９に接続するように、太陽電池１の表裏に貼り着けた接着フィルム５ａにそれぞれ配線材１２０を置く。そして、低温、低圧力で配線材１２０を仮圧着させて仮固定する。この配線材を仮固定する工程は、太陽電池１を低圧力、例えば、０．２ＭＰａ程度の圧力でヒータブロック８１、８１を用いて押圧し、配線材１２０を太陽電池１側にそれぞれ押し付ける。そして、ヒータブロック８１、８１の温度を樹脂接着成分が熱硬化しない温度での低温加熱、例えば９０℃程度の温度で１秒程度加熱して配線材１２０を仮圧着固定させ、配線材１２０を仮固定した太陽電池１は、搬送ステージ８２に送られ、搬送ステージ８２を移動し、仮固定した状態の太陽電池ストリングを形成する。
【００４４】
ここで、導電性粒子５ｄを含む導電性樹脂フィルム５ａを用いる場合には、導電性粒子５ｄを集電極１１５（１１９）の表面及び配線材１２０の表面の両方を接触させることにより、集電極１１５（１１９）と配線材１２０との電気的接続を行うように、ヒータブロック８１、８１で配線材１２０を集電極１１５（１１９）に圧着する。
【００４５】
この圧着と加熱は、ヒータを内蔵する金属ブロックを押し当て所定の圧力並びに温度に加熱する方法と、押圧ピンなどの押圧部材と熱風を吹き当てることにより、所定の圧力並びに温度に加熱する方法とから適宜最適な方法を用いればよい。
【００４６】
続いて、配線材１２０を本圧着固定する。この工程は、図８に示すように、ヒータブロック９１を高圧力、例えば、３ＭＰａ程度の圧力でヒータブロック８１上に載置された太陽電池１側に配線材１２０を押し付ける。そして、ヒータブロック９１、９１の温度を樹脂接着成分が熱硬化する温度での高温加熱、例えば、１２０℃以上２００℃以下の温度に加熱して配線材１２０を本圧着固定させ、配線材１２０を固定して太陽電池１を電気的に接続して配列する。尚、ヒータブロック９１、９１と仮固定状態の太陽電池ストリングとの間には離型作用のあるポリテトラフルオロエチレン製のシート９２を配置している。
【００４７】
加熱温度としては、例えば、スループット等を考慮して２００℃の温度とし、１０秒の加熱により、樹脂接着成分を熱硬化して太陽電池の集電極と配線材とを電気的、機械的に接続する。
【００４８】
この高温、高圧力による圧着と加熱は、ヒータを内蔵する金属ブロックを押し当て所定の圧力並びに温度に加熱する方法と、押圧ピンなどの押圧部材と熱風を吹き当てることにより、所定の圧力並びに温度に加熱する方法とから適宜最適な方法を用いればよい。
【００４９】
なお、上記した実施形態では、接着フィルムとして導電性接着フィルムを用いているが、樹脂フィルムとしては導電性粒子を含まないものも用いることができる。導電性粒子を含まない樹脂接着剤を用いる場合には、集電極１１５（１１９）の表面の一部を配線材１２０の表面に直接接触させることによって、電気的な接続を行う。この場合、配線材１２０として銅箔版等の導電体の表面に、錫（Ｓｎ）や半田等の集電極１１５（１１９）より柔らかい導電膜を形成したものを用い、集電極１１５（１１９）の一部を導電膜中にめり込ませるようにして接続することが好ましい。
【００５０】
このようにして、配線材１２０により複数の太陽電池１を接続したものを、ガラスからなる表面部材４１と耐侯性フィルム又はガラス、透光性プラスチックのような透光性を有する部材からなる裏面部材４２との間に、ＥＶＡ（ｅｔｈｙｌｅｎｅ  ｖｉｎｙｌａｃｅｔａｔｅ、エチレン酢酸ビニル）等の透光性を有する封止材４３で挟んで重ね合わせる。そして、ラミネート装置により、太陽電池１を表面部材４１と裏面部材４２との間に封止材シート４３により封止する。その後、炉入れて、１５０℃程度の温度で１０分ほどキュアし、架橋反応を進ませ封止材４３と表面部材４１及び裏面部材４２との接着性を上げて、図９、図１０に示す太陽電池モジュールが製造される。
【００５１】
上記太陽電池モジュール１０は、必要に応じて外周にシール材を用いてアルミニウムなどからなる外枠２０に嵌め込まれる。この外枠２０は、アルミニウム、ステンレス又は鋼板ロールフォーミング材等で形成されている。必要に応じて端子ボックス（図示せず）が、例えば裏面部材４２の表面に設けられる。
【００５２】
尚、上記した実施形態においては、太陽電池１上に３本の配線部材１２０を用いて接続する例について説明したが、配線部材１２０は３本に限らず、２本以上の配線材１２０を用いる場合には、この発明を適用することができる。
【００５３】
次に、この発明の他の実施形態につき、図１１及び図１２を参照して説明する。図１及び図２に示した実施形態においては、支持ステージ７０を冷却装置７１で冷却している。これに対して、この第２の実施形態は、太陽電池１の表面側を冷却する冷却板７５を更に備え、太陽電池１を表裏から冷却するものである。その他の構成は、図１及び図２に示すものと同じ構成であり、ここでは説明の重複を避けるために、同一符号を付し、説明を割愛する。
【００５４】
冷却板７５には、表面側から押圧機構のヘッド部６２が通過する部分には、開口部７７が設けられている。この開口部７７からヘッド部６２が上下動可能に構成されている。
【００５５】
この冷却板７５は、ペルチェ素子や冷却用パイプなどで構成される冷却装置７６で１０℃程度に冷却され、太陽電池１に対して、図中矢印で示すように、上下動可能に構成されている。この冷却板７５は、表面側のヘッド部６２の離間に対応して冷却板７５が下降し、太陽電池１の表面と当接する。
【００５６】
そして、裏面側の支持ステージ７０の冷却と表面側の冷却板７５により、太陽電池１を急速に冷却し、接着フィルム５ａの温度を所定温度以下に低下して、引き剥がしに要する時間を短縮する。冷却工程が終了すると、冷却板７５は、上に移動し退避する。
【００５７】
このように太陽電池１の表裏から冷却することで、さらにタクトタイムを短縮できる。
【００５８】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。この発明の範囲は、上記した実施の形態の説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【００５９】
１  太陽電池
１１５、１１９  集電極
１２０  配線材
５  接着フィルムシート
５ａ  接着フィルム
５ｃ  離型紙
６０  接着テープ貼付部
６１，６２  ヘッド部
７０  支持ステージ
７１  冷却装置
【図１】
2011132295.tif 000003
【図２】
2011132295.tif 000004
【図３】
2011132295.tif 000005
【図４】
2011132295.tif 000006
【図５】
2011132295.tif 000007
【図６】
2011132295.tif 000008
【図７】
2011132295.tif 000009
【図８】
2011132295.tif 000010
【図９】
2011132295.tif 000011
【図１０】
2011132295.tif 000012
【図１１】
2011132295.tif 000013
【図１２】
2011132295.tif 000014