(57)【要約】【課題】複数の液体を混合してなる混合液を用いる液処理装置における混合液の濃度について、大きなコストをかけることなく、よりワイドレンジな調整を実現すること。【解決手段】液処理装置１０は、主配管２０と、主配管に接続された液供給機構４０と、主配管から分岐する複数の分岐管２５と、各分岐管に接続された複数の処理ユニット５０と、を有する。液供給機構４０は、主配管上に設けられた混合器４３と、第１液源からの第１液を前記混合器へ供給する第１液供給管４１ｂと、第２液源からの第２液を前記混合器へ供給する第２液供給管４２ｂと、を有する。第２液供給管４２ｂに、流量調整バルブ４２ｄが設けられており、更に、当該流量調整バルブ４２ｄに対して直列的に、補助流量調整機構４２ｅが設けられている。混合液の混合比調整のために、流量調整バルブ４２ｄと補助流量調整機構４２ｅとが連動して制御される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
主配管と、
前記主配管上に設けられた混合器と、第１液源からの第１液を前記混合器へ供給する第１液供給管と、第２液源からの第２液を前記混合器へ供給する第２液供給管と、を有し、前記第１液と前記第２液とを前記混合器で混合してなる混合液を、前記主配管に一側から供給する液供給機構と、
前記主配管からそれぞれ分岐するように設けられた複数の分岐管と、
各分岐管にそれぞれ対応して設けられた複数の処理ユニットであって、対応する分岐管を通じて供給される混合液を用いて被処理体を処理するように構成された、複数の処理ユニットと、
を備え、
前記第２液供給管には、所定の範囲で流量を調整できる流量調整バルブが設けられており、更に、当該流量調整バルブに対して直列的に、補助流量調整機構が設けられており、
所望の第２液の流量に基づいて、前記流量調整バルブと前記補助流量調整機構とを連動して制御する制御部が設けられている
ことを特徴とする液処理装置。
【請求項２】
前記補助流量調整機構は、オリフィスを含む経路を切換可能に含んでいる
ことを特徴とする請求項１に記載の液処理装置。
【請求項３】
前記オリフィスは、前記流量調整バルブの調整可能な通過流量の１／２〜１／２０の範囲内の所定比で通過液体の流量を絞るように構成されている
ことを特徴とする請求項２に記載の液処理装置。
【請求項４】
前記補助流量調整機構は、ニードルバルブを含む経路を切換可能に含んでいる
ことを特徴とする請求項１に記載の液処理装置。
【請求項５】
前記ニードルバルブは、前記流量調整バルブの調整可能な通過流量の１／２〜１／２０の範囲内の設定変更可能な所定比で通過液体の流量を絞るように構成されている
ことを特徴とする請求項４に記載の液処理装置。
【請求項６】
前記補助流量調整機構は、互いに並列に設けられて選択的に切換利用される複数の流量調整要素を含んでいる
ことを特徴とする請求項１に記載の液処理装置。
【請求項７】
各流量調整要素は、ニードルバルブまたはオリフィスを含んで構成されている
ことを特徴とする請求項６に記載の液処理装置。
【請求項８】
前記第２液供給管には、前記第２液源が予め接続されている
ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の液処理装置。
【請求項９】
前記液供給機構は、前記第１液と前記第２液とを混合してなる前記混合液を、前記複数の処理ユニットのすべてへ同時に供給し得る圧力で、前記主配管の一側から供給できるように構成されている
ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれかに記載の液処理装置。
【請求項１０】
前記液供給機構は、少なくとも被処理体を処理している処理ユニットへ前記第１液を同時に供給し得る圧力で、前記主配管に前記第１液を供給するように構成されると共に、被処理体を処理している処理ユニットの数に応じた量の前記第２液を、前記主配管に供給するように構成されている、
ことを特徴とする請求項１乃至９のいずれかに記載の液処理装置。
【請求項１１】
前記処理ユニットにおいて被処理体の処理が開始される前に、前記混合液が前記主配管および前記分岐管に充填されるようになっている
ことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれかに記載の液処理装置。
【請求項１２】
別個の処理ユニットへそれぞれ通じている複数の分岐管が延び出している主配管内に、第１液供給管から供給される第１液と第２液供給管から流量調整バルブと当該流量調整バルブに対して直列的に接続された補助流量調整機構とを介して供給される第２液とを混合してなる混合液を、前記主配管の一側から充填する混合充填工程と、
前記主配管内の混合液が各分岐管を通じて各処理ユニットへ供給され、当該混合液を用いて各処理ユニット内で被処理体の処理が実施される処理工程と、
を備え、
前記混合充填工程において、前記混合液における所望の混合比を得るために、前記流量調整バルブに加えて前記補助流量調整機構をも連動して制御される
ことを特徴とする液処理方法。
【請求項１３】
前記補助流量調整機構は、互いに並列に設けられて選択的に切換利用される複数の流量調整要素を含んでおり、
前記混合充填工程において、前記混合液における所望の混合比を得るために、前記補助流量調整機構の複数の流量調整要素のうちのいずれを利用するかが切換制御される
ことを特徴とする請求項１２に記載の液処理方法。
【請求項１４】
前記主配管から供給される混合液を用いて各処理ユニット内で処理が行われている間、
少なくとも被処理体を処理している処理ユニットへ前記第１液を同時に供給し得る圧力で、前記主配管に前記第１液が供給され、
被処理体を処理している処理ユニットの数に応じた量の前記第２液が、前記主配管に供給される
ことを特徴とする請求項１２及び１３のいずれかに記載の液処理方法。
【請求項１５】
前記主配管に混合液を充填する際に、前記分岐管にも混合液が充填される
ことを特徴とする請求項１２乃至１４のいずれかに記載の液処理方法。
【請求項１６】
液処理装置を制御する制御装置によって実行されるプログラムであって、
前記制御装置によって実行されることにより、請求項１２乃至１５のいずれか一項に記載された液処理方法を、液処理装置に実施させる、プログラム。
【請求項１７】
液処理装置を制御する制御装置によって実行されるプログラムが記録された記録媒体であって、
前記プログラムが前記制御装置によって実行されることにより、請求項１２乃至１５のいずれか一項に記載された液処理方法を、液処理装置に実施させる、記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液を用いて被処理体を処理する液処理装置および液処理方法に関する。また、本発明は、液を用いて被処理体を処理する液処理方法を実行するためのプログラム、並びに、このプログラムを記録した記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、異なる複数の液体を混合してなる混合液を用いた被処理体の処理、例えば、半導体ウエハ（以下において、単にウエハと呼ぶ）や硝子基板に対する洗浄処理が、実施されてきた。ウエハや硝子基板等の被処理体に対して液体を用いて処理を行う液処理装置には、通常、処理チャンバーを形成する処理ユニットが複数設けられ、各処理ユニット内で被処理体が順次処理されていくようになっている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平６−２０４２０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、特許文献１に開示された液処理装置では、異なる液を混合して供給する液供給機構が、各処理ユニットに対して別個に割り当てられている。この種の液処理装置においては、各処理ユニットでの液体の消費に合わせて、液が対応する液供給機構から当該処理ユニットへ供給されるようになっている。しかしながら、このような液処理装置においては、複数の液供給機構から供給される混合液の濃度がばらつき、異なる処理ユニットで処理された被処理体間で処理の程度がばらついてしまう。また、液処理装置の構成および液処理装置の制御が複雑化してしまう。
【０００５】
また、液体、とりわけ薬液を用いて被処理体を処理する液処理においては、処理コストの低減の観点および環境維持の観点から、省液を実現することも大きな課題となっている。
【０００６】
さらに、混合液の濃度について、大きなコストをかけることなく、よりワイドレンジな調整を実現することが求められている。従来の液供給機構では、流量制御可能な範囲にとうしても制限がある。具体的には、制御可能な範囲を外れた流量では精度が著しく落ちてしまったり、制御自体ができなかったりする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、主配管と、前記主配管上に設けられた混合器と、第１液源からの第１液を前記混合器へ供給する第１液供給管と、第２液源からの第２液を前記混合器へ供給する第２液供給管と、を有し、前記第１液と前記第２液とを前記混合器で混合してなる混合液を、前記主配管に一側から供給する液供給機構と、前記主配管からそれぞれ分岐するように設けられた複数の分岐管と、各分岐管にそれぞれ対応して設けられた複数の処理ユニットであって、対応する分岐管を通じて供給される混合液を用いて被処理体を処理するように構成された、複数の処理ユニットと、を備え、前記第２液供給管には、所定の範囲で流量を調整できる流量調整バルブが設けられており、更に、当該流量調整バルブに対して直列的に、補助流量調整機構が設けられており、所望の第２液の流量に基づいて、前記流量調整バルブと前記補助流量調整機構とを連動して制御する制御部が設けられていることを特徴とする液処理装置である。
【０００８】
本発明によれば、一つの液供給機構から主配管に供給される混合液が、複数の処理ユニットでの被処理体の処理に用いられる。したがって、異なる処理ユニットで処理された被処理体間での処理のばらつきを低減することができる。また、各処理ユニットの稼働状況に応じて必要となる量の混合液が、液供給機構から主配管に供給される。したがって、省薬液の観点からも好ましい。さらに、流量調整バルブに対して直列的に補助流量調整機構が設けられ、流量調整バルブと連動して補助流量調整機構が制御されることによって、よりワイドレンジの混合比を実現することが可能である。
【０００９】
好ましくは、前記補助流量調整機構は、オリフィスを含む経路を切換可能に含んでいる。オリフィスは、安価な構成要素部材であるため、ワイドレンジの混合比を極めて低コストに実現することができる。
【００１０】
具体的には、例えば、当該オリフィスは、前記流量調整バルブの調整可能な通過流量の１／２〜１／２０の範囲内の所定比で通過液体の流量を絞るように構成されている。この所定比の逆数に応じた倍数分、実現できる混合比がワイドになる。
【００１１】
あるいは、好ましくは、前記補助流量調整機構は、ニードルバルブを含む経路を切換可能に含んでいる。ニードルバルブは、オリフィスよりは高価であるが、それでも、ワイドレンジの混合比を比較的低コストに実現することができる。
【００１２】
具体的には、例えば、当該ニードルバルブは、前記流量調整バルブの調整可能な通過流量の１／２〜１／２０の範囲内の設定変更可能な所定比で通過液体の流量を絞るように構成されている。この所定比の逆数に応じた倍数分、実現できる混合比がワイドになる。
【００１３】
あるいは、前記補助流量調整機構は、互いに並列に設けられて選択的に切換利用される複数の流量調整要素を含んでいることが好ましい。この場合、複数の流量調整要素を切換利用することによって、さらにワイドな混合比を実現可能である。すなわち、当該補助流量調整機構の複数の流量調整要素のうちのいずれを利用するかが制御されることにより、混合液における混合比をよりワイドレンジに得ることができる。この場合においても、各流量調整要素は、ニードルバルブまたはオリフィスを含んで構成されることが、コスト面で有利である。
【００１４】
なお、前記第２液供給管には、前記第２液源が予め接続されていてよい（接続された状態で、液処理装置が出荷・販売され得る）。例えば、第２液源は、高濃度薬液である。一方、前記第１液供給管には、例えば、第１液としての水が供給され得るが、この接続（第１液源への接続）は通常、液処理装置を工場に設置する際になされる。
【００１５】
また、本発明は、別個の処理ユニットへそれぞれ通じている複数の分岐管が延び出している主配管内に、第１液供給管から供給される第１液と第２液供給管から流量調整バルブと当該流量調整バルブに対して直列的に接続された補助流量調整機構とを介して供給される第２液とを混合してなる混合液を、前記主配管の一側から充填する混合充填工程と、前記主配管内の混合液が各分岐管を通じて各処理ユニットへ供給され、当該混合液を用いて各処理ユニット内で被処理体の処理が実施される処理工程と、を備え、前記混合充填工程において、前記混合液における所望の混合比を得るために、前記流量調整バルブに加えて前記補助流量調整機構をも連動して制御されることを特徴とする液処理方法である。
【００１６】
本発明によれば、一つの液供給機構から主配管に供給される混合液が、複数の処理ユニットでの被処理体の処理に用いられる。したがって、異なる処理ユニットで処理された被処理体間での処理のばらつきを低減することができる。また、各処理ユニットの稼働状況に応じて必要となる量の混合液が、液供給機構から主配管に供給される。したがって、省薬液の観点からも好ましい。さらに、流量調整バルブに対して直列的に接続された補助流量調整機構が流量調整バルブに加えて制御されることにより、よりワイドレンジの混合比を実現することが可能である。
【００１７】
ここで、前記補助流量調整機構は、互いに並列に設けられて選択的に切換利用される複数の流量調整要素を含んでおり、前記混合充填工程において、前記混合液における所望の混合比を得るために、前記補助流量調整機構の複数の流量調整要素のうちのいずれを利用するかが切換制御されることが好ましい。この場合、複数の流量調整要素を切換利用することによって、さらにワイドな混合比を実現可能である。
【００１８】
本発明の一態様によるプログラムは、液処理装置を制御する制御装置によって実行されるプログラムであって、前記制御装置によって実行されることにより、上述した本発明の一態様による液処理方法のいずれかを、液処理装置に実施させる。
【００１９】
本発明の一態様による記録媒体は、液処理装置を制御する制御装置によって実行されるプログラムが記録された記録媒体であって、前記プログラムが前記制御装置によって実行されることにより、上述した本発明の一態様による液処理方法のいずれかを、液処理装置に実施させる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、本発明の一実施の形態による液処理装置の全体構成を概略的に示す図である。
【図２】図２は、図１の液処理装置を用いて実施され得る被処理体への液処理方法の一例を説明するためのフローチャートである。
【図３】図３は、液供給機構の一変形例を示す概略図である。
【図４】図４は、液供給機構の一変形例を示す概略図である。
【図５】図５は、液供給機構の更なる変形例を示す概略図である。
【図６】図６は、液供給機構の更なる変形例を示す概略図である。
【図７】図７は、液処理装置の一変形例を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。なお、本件明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。
【００２２】
なお、以下の実施の形態においては、本発明を、半導体ウエハ（被処理体の一例）の洗浄処理、とりわけ薬液を用いた処理（薬液処理）に適用した例を示している。しかしながら、本発明は、少なくとも本願出願の時点では、ウエハの洗浄処理への適用に限定されるものではない。
【００２３】
図１に示すように、液処理装置１０は、主配管２０と、主配管２０の一側に接続され主配管２０に混合液を供給する液供給機構４０と、主配管２０の他側に設けられた主開閉弁２２と、主配管２０から分岐した複数の分岐管２５と、を有している。複数の分岐管２５のそれぞれに対応して処理ユニット５０が設けられている。各分岐管２５には、分岐管２５を開閉する分岐管用開閉弁２７が設けられている。また、液処理装置１０は、液処理装置１０の各構成要素の動作等を制御する制御装置１２を有している。以下、各構成要素について、順に、説明していく。
【００２４】
まず、液供給機構４０について説明する。液供給機構４０は、主配管２０および分岐管２５を介し、多数の処理ユニット５０の各々へ、ウエハ（被処理体）Ｗの処理に用いられる混合液を供給する。本実施の形態において、液供給機構４０は、ウエハ（被処理体）Ｗの薬液処理に用いられる薬液を主配管２０内に供給するように構成されている。
【００２５】
図１に示すように、本実施の形態において、液供給機構４０は、主配管２０の一側に設けられた混合器４３（本例では、混合バルブ）と、第１液を供給する第１液供給管４１ｂと、第１液とは異なる第２液を供給するための第２液源４２ａと、を有している。第１液供給管４１ｂは、混合器４３と第１液源４１ａとの間を延びている。第２液源４２ａと混合器４３との間に第２液供給管４２ｂが設けられ、第２液供給管４２ｂを介して第２液源４２ａから混合器４３に第２液が供給されるようになっている。混合器４３は、第１液供給管４１ｂと、第２液供給管４２ｂと、の合流部をなす部材である。第１液源４１ａからの第１液および第２液源４２ａからの第２液は、混合器４３において、合流して混ざり合い、これにより、第１液と第２液とを混合してなる混合液が得られるようになる。なお、混合器４３は、第１液と第２液とを積極的に混合する機能を有する部材から構成され得る。ただし、これに限られず、混合器４３は、専ら第１液および第２液の合流前の各液流に起因して第１液および第２液が混合されるようになる部材（例えば、Ｔ字状の継ぎ手であるチーズ）から構成されてもよい。
【００２６】
本実施の形態においては、水、とりわけ純水が、第１液源４１ａから第１液として供給され、高濃度薬液が、第２液源４２ａから第２液として供給される。液供給機構４０は、第１液供給管４１ｂからの水と第２液源４２ａからの高濃度薬液とを混合して、所望の濃度に調節した薬液としての混合液を主配管２０内に供給することができるようになっている。なお、第２液源４２ａから供給される高濃度薬液（第２液）として、ウエハＷを洗浄処理するために用いられ得る種々の薬液を採用することができる。例えば、第２液源４２ａから、希フッ酸、アンモニア過水（ＳＣ１）、または、塩酸過水（ＳＣ２）が供給されるようにしてもよい。また、第２液は、複数の薬液原液が混合されるものであってもよい。例えば、アンモニア過水（ＳＣ１）の場合、ＮＨ４  ＯＨとＨ２  Ｏ２  が薬液原液として用いられ得るし、塩酸過水（ＳＣ２）の場合、ＨＣｌとＨ２  Ｏ２  が薬液原液として用いられ得る。また、第１液源４１ａは、処理装置１０が設置される場所に設備された水源、例えば工場の用力であってもよい。
【００２７】
ところで、液供給機構４０は、主配管２０に接続された複数の処理ユニット５０のすべてへ同時に供給し得る圧力で、混合比を調節された混合液を、主配管２０内へ供給するように、構成されている。
【００２８】
図示する例では、液供給機構４０の第１液供給管４１ｂ上に定圧弁４１ｃが介設されている。定圧弁４１ｃには、加圧用の圧縮空気源４１ｄとレギュレータ４１ｅ（例えば、製品名：ＨＬレギュレータ９４２Ｎ）が接続されていて、定圧弁４１ｃを所望に作動させるようになっている。また、定圧弁４１ｃを適切に作動させるべく、レギュレータ４１ｅに圧力センサ４１ｆが設けられていて、その検出圧力をレギュレータ４１ｅの制御のために制御装置１２にフィードバックするようになっている。すなわち、レギュレータ４１ｅの制御（定圧弁４１ｃの制御）についても、制御装置１２が担うようになっている。このような構成により、第１液源から提供される第１液は、主配管２０に接続された複数の処理ユニット５０のすべて（正確には、処理中（混合液消費中）の処理ユニット５０のすべて）へ同時に供給され得る圧力で、第１液供給管４１ｂを介して主配管２０へと供給され得るようになっている。なお、図１中、４１ｍは流量計であり、４１ｇは開閉弁である。開閉弁４１ｇは、流体圧駆動により開閉動作を駆動され得る弁、例えば空気圧で開閉動作を駆動されるエアオペバルブから、構成されている。レギュレータ４１ｅは、他の圧力制御機構によって置換されてもよい。
【００２９】
一方、第２液供給管４２ｂには、流量計４２ｍおよび流量調整バルブ４２ｄが介設されている。そして更に、本発明の特徴として、流量調整バルブ４２ｄに対して直列的に、補助流量調整機構４２ｅが設けられている。補助流量調整機構４２ｅは、本実施の形態では、開閉弁４２ｇのみを有する単なる配管経路と開閉弁４２ｈ及びオリフィス４２ｉを含む経路とが、開閉弁４２ｇ及び開閉弁４２ｈの制御によって切換可能に構成されている。開閉弁４２ｇ及び開閉弁４２ｈは、それぞれ、流体圧駆動により開閉動作を駆動され得る弁、例えば空気圧で開閉動作を駆動されるエアオペバルブから、構成されている。一方、オリフィス４２ｉは、１／２〜１／２０の範囲内の所定比で通過液体の流量を絞るように構成されている。
【００３０】
開閉弁４２ｇ及び開閉弁４２ｈの各々の開閉制御は、制御装置１２が担うようになっている。これによって、オリフィス４２ｉの通過の有無を切り換えることができ、結果として２レンジの混合比を実現できるようになっている（各レンジ毎に流量調整バルブ４２ｄによる混合比調整が利用可能である）。これにより、従来技術と比較して、極めてワイドレンジな混合比を実現することができる。
【００３１】
また、流量調整バルブ４２ｄの制御自体も、制御装置１２が担うようになっている。具体的には、流量計４１ｍによる第１液の通過流量の測定値と流量計４２ｍによる第２液の通過流量の測定値とをフィードバック情報として利用しながら、制御装置１２が、所望の混合比を実現するように、流量調整バルブ４２ｄを制御するようになっている。
【００３２】
第２液源４２ａは、ウエハＷを処理している（混合液を消費している）処理ユニット５０の数に応じた量の第２液を、混合器４３を介して主配管２０に供給するように構成されている。具体的には、第２液源４２ａは、通常タンクとして構成されて、例えば加圧用の窒素ガス源４２ｋからの加圧を受けて、第２液を混合器４３に向けて送り込むようになっている。一例として、第２液の液量は、主配管２０に接続された処理ユニット５０のうちの主配管２０内の液を消費してウエハＷを処理している処理ユニット５０の数に応じて、所望の混合比に基づいて決定される。当該液量の第２液が主配管２０に供給されるように、制御装置１２によって、開閉弁４２ｇ及び開閉弁４２ｈの開閉と、流量調整バルブ４２ｄの通流量とが、連動して制御される。このような制御により、液供給機構４０は、主配管２０内を、所定の濃度の混合液によって、所定の圧力に維持することができる。また、実現できる混合比が、従来技術と比較して、極めてワイドレンジである。
【００３３】
次に、主配管２０および主開閉弁２２について説明する。主配管２０は一側において、上述したように、液供給機構４０に接続されている。そして、主配管２０は、液供給機構４０が接続された一側とは反対側にあたる他側において、廃棄ラインに通じている。主開閉弁２２は、主配管２０の液供給機構４０に対して他側に取り付けられている。主開閉弁２２は、流体圧駆動により開閉動作を駆動され得る弁、例えば空気圧で開閉動作を駆動されるエアオペバルブから、構成されている。そして、主開閉弁２２の開閉動作は、制御装置１２によって、制御されるようになっている。この結果、主開閉弁２２は、制御装置１２からの制御信号に基づいて、主配管２０を廃棄ラインから閉鎖した状態と、主配管２０を廃棄ラインに連通させた状態と、のいずれかの状態を選択的に維持するようになる。
【００３４】
次に、分岐管２５、分岐管用開閉弁２７および処理ユニット５０について説明する。図１に示すように、複数の分岐管２５は、液供給機構４０と主開閉弁２２との間の区間において主配管２０から延び出ている。図１に示すように、各分岐管２５は、主配管２０に接続している側とは反対側において、対応する処理ユニット５０内へ延び入っている。各分岐管２５は、主配管２０に接続している側とは反対側の端部として、液を吐出する吐出開口２６ａを有しており、吐出開口２６ａは処理ユニット５０内で支持部材５４に支持されている。
【００３５】
分岐管用開閉弁２７は、上述した主開閉弁２２と同様に、流体圧駆動により開閉動作を駆動され得る弁、例えば空気圧で開閉動作を駆動されるエアオペバルブから、構成されている。そして、分岐管用開閉弁２７の開閉動作は、制御装置１２によって、制御されるようになっている。
【００３６】
処理ユニット５０は、ウエハＷを保持する保持機構５２と、ウエハＷを処理するための処理チャンバーを画定する隔壁（図示せず）と、を有している。保持機構５２は、ウエハＷの表面が略水平方向に沿うようにしてウエハＷを保持する。保持機構５２は、円板状の形状からなるウエハＷの中心を軸として、保持したウエハＷを回転させることができるように、構成されている。分岐管２５は隔壁の内部に延び入り、分岐管２５の吐出開口２６ａは処理チャンバー内に配置されている。
【００３７】
支持部材５４は、ウエハＷに対して移動可能（例えば揺動可能）に構成されている。支持部材５４が移動することにより、分岐管２５の吐出開口２６ａは、保持機構５２に保持されたウエハＷの略中心に上方から対面する処理位置と、ウエハＷの上方の領域から横方向にずれた待機位置と、の間を移動することができる。吐出開口２６ａが処理位置にある場合、吐出開口２６ａから吐出される液体はウエハＷに供給され、ウエハＷは供給された液体によって処理されるようになる。一方、吐出開口２６ａが待機位置にある場合、吐出開口２６ａから吐出される液体はウエハＷに供給されることはなく、例えば、廃棄されるようになる。
【００３８】
また、図１に示すように、処理ユニット５０は、吐出開口２６ａからウエハＷに向けて吐出された液を回収するカップ５６をさらに有している。カップ５６は、処理チャンバー内に設けられ、吐出開口２６ａから吐出された液が処理チャンバー内で飛散することを防止する。
【００３９】
ところで、上述してきたように、本実施の形態における液供給機構４０は、主配管２０および分岐管２５を介し、処理ユニット５０内のウエハＷに濃度調節された薬液を混合液として供給するようになっている。そして、本実施の形態において、液処理装置１０は、ウエハＷの洗浄処理に必要となるその他の液、例えばリンス液を、ウエハＷに供給することができるようにも構成されている。
【００４０】
具体的な構成としては、図１に示すように、上述した分岐管用開閉弁２７に並べられるようにして、分岐管２０上にリンス液用開閉弁２８が設けられている。このリンス液用開閉弁２８に、図示しないリンス液源に通じるリンス液供給管３１が接続されている。すなわち、図示する例では、液処理装置１０の分岐管２５の下流側の一部分が、リンス液の供給管としても機能する。
【００４１】
さらに、分岐管用開閉弁２７およびリンス液用開閉弁２８に並べられるようにして、廃液用開閉弁２９が設けられている。廃液用開閉弁２９は廃液管３２に通じている。例えば廃液用開閉弁２９を開閉することによって、分岐管２５の分岐管用開閉弁２７よりも下流側内の液体を廃棄することができる。
【００４２】
次に、制御装置１２について説明する。制御装置１２には、工程管理者等が液処理装置１０を管理するためにコマンドの入力操作等を行うキーボードや、液処理装置１０の稼働状況を可視化して表示するディスプレイ等からなる入出力装置が接続されている。また、制御装置１２は、液処理装置１０で実行される処理を実現するためのプログラム等が記録された記録媒体１３にアクセス可能となっている。記録媒体１３は、ＲＯＭおよびＲＡＭ等のメモリ、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭおよびフレキシブルディスク等のディスク状記録媒体等、既知のプログラム記録媒体から構成され得る。
【００４３】
次に、以上のような構成からなる液処理装置１０を用いて実行され得る液処理方法の一例について、説明する。以下に説明する液処理方法においては、図２に示すようにして、被処理体としてのウエハＷが、一つの処理ユニット５０内において、洗浄処理を施される。そして、図２に示す一連の液処理方法のうちの薬液処理工程Ｓ２において、ウエハＷは、上述した液処理装置１０の液供給機構４０から供給される混合液を用いて、処理される。以下においては、まず、図２に示すフローチャートを参照しながら、一つの処理ユニット５０内においてウエハＷに対して施される液処理方法の概略を説明し、その後に、薬液処理工程Ｓ２を行うことに関連した液処理装置１０の動作について説明する。
【００４４】
なお、以下に説明する液処理方法を実行するための各構成要素の動作は、予めプログラム記録媒体１３に格納されたプログラムに従った制御装置１２からの制御信号によって、制御される。
【００４５】
図２に示すように、まず、洗浄処理を施されるウエハＷが、液処理装置１０の各処理ユニット５０内へ持ち込まれ、各処理ユニット５０内で保持機構５２によって保持される（図２の工程Ｓ１）。
【００４６】
次に、第１液供給管４１ｂからの水（第１液）と、第２液源４２ａからの高濃度薬液（第２液）と、の混合液が、液供給機構４０から処理ユニット５０内へ供給される。そして、この混合液が、各処理ユニット５０へ持ち込まれたウエハＷに向けて吐出され、ウエハＷへの処理が施される（工程Ｓ２）。ウエハＷの洗浄処理においては、例えば、希フッ酸、アンモニア過水（ＳＣ１）、塩酸過水（ＳＣ２）等の濃度調節された薬液が、液供給機構４０から混合液として供給され得る。
【００４７】
ここで、混合液における濃度調整は、制御装置１２（制御部）からの制御信号によって流量調整バルブ４２ｄと補助流量調整機構４２ｅとが連動制御されることによって、所望に実現される。本実施の形態では、補助流量調整機構４２ｅが、開閉弁４２ｇのみを有する配管経路と開閉弁４２ｈ及びオリフィス４２ｉを含む配管経路とを切換可能に構成されており、それらの切換制御によって２レンジの混合比を実現できるようになっている（各レンジ毎に流量調整バルブ４２ｄによる混合比調整が利用可能である）。これにより、従来技術と比較して、極めてワイドレンジな混合比を実現することができる。
【００４８】
混合液(薬液)を用いたウエハＷの処理が終了すると、次に、水、とりわけ純水をリンス液として用いるリンス処理がウエハＷに施される（工程Ｓ３）。具体的には、リンス液供給管３１およびリンス液用開閉弁２８を介して、リンス液が、処理ユニット５０内へ供給される。そして、リンス液が、各処理ユニット５０において、混合液が残っているウエハＷに向けて吐出され、ウエハＷ上に残留する混合液がリンス液によって置換される。
【００４９】
リンス処理が終了すると、保持機構５２によってウエハＷを高速回転させることにより、ウエハＷの乾燥処理が実施される（工程Ｓ４）。以上のようにして、一つの処理ユニット５０内におけるウエハＷの洗浄処理が終了し、処理が終了したウエハＷが処理ユニット５０から搬出される（工程Ｓ５）。
【００５０】
次に、薬液処理を行うことに関連した液処理装置１０の動作について説明する。
【００５１】
まず、混合液（薬液）を用いてウエハＷを処理する薬液処理工程Ｓ２に先立って、混合液が主配管２０に充填される。主配管２０への混合液の充填は、上述したウエハＷを各処理ユニット５０内へ搬入する工程Ｓ１の前に開始される。また、主配管２０への混合液の充填は、ウエハＷを各処理ユニット５０内へ搬入する工程Ｓ１と並行して実施されるようにしてもよい。
【００５２】
具体的には、第１液源４１ａから水が混合器４３に供給されるとともに、第２液源４２ａから高濃度薬液が混合器４３に供給される。これにより、主配管２０上に設けられた混合器４３において、水と高濃度薬液との混合液としての薬液が調合され、この薬液が主配管２０に一側から供給されるようになる。この際、主開閉弁２２によって主配管２０は他側から閉鎖され、これにより、主配管２０が混合液によって満たされるようになる。なお、主配管２０に混合液を充填している期間中、分岐管用開閉弁２７は開いていてもよいし閉じていてもよい。
【００５３】
ところで、液供給機構４０から混合液を主配管２０に供給し始める際に、主開閉弁２２を開放しておいてもよい。主配管２０への混合液の供給開始後の僅かな期間、主開閉弁２２を開放しておくことにより、背圧によって、混合液が主配管２０内に流れ込み難くなることを防止することができる。このため、主配管２０内に混合液を迅速且つ安定して行き渡らせることができる。
【００５４】
次に、主配管２０内に供給された混合液を、分岐管２５に流れ込ませ、分岐管２５にも濃度調節された混合液を充填する。具体的には、分岐管用開閉弁２７を開放することにより、主配管２０から分岐管２５に混合液が流れ込むようになる。また、各処理ユニット５０の支持部材５４を揺動させ、分岐管２５の吐出開口２６ａを待機位置に配置しておく。これにより、主配管２０から分岐管２５に流れ込んだ混合液は、待機位置に配置された吐出開口２６ａから吐出されるようになる。
【００５５】
この状態で、分岐管用開閉弁２７及び主開閉弁２２が閉鎖すると、主配管２０は密閉された状態となり、第１液の供給工程が終了する。すなわち、準備工程としての、主配管２０に混合液を充填する工程、及び、分岐管２５に混合液を充填する工程、が終了する。
【００５６】
なお、ここで説明した主配管２０内および分岐管２５内に混合液を充填する方法の具体例は、例示に過ぎず、種々の変更が可能である。例えば、主開閉弁２２および分岐管用開閉弁２７を開放ないし閉鎖するタイミングは、上述の例に限られない。例えば、主配管２０内および分岐管２５内に混合液を並行して充填するようにしてもよい。
【００５７】
以上のようにして混合液が主配管２０内および分岐管２５内に充填され、且つ、上述したように処理ユニット５０内にウエハＷが搬入されると、当該処理ユニット５０内においてウエハＷが順次処理されていく（上述した工程Ｓ２）。
【００５８】
この工程Ｓ２中、処理ユニット５０内に搬入されたウエハＷは、保持機構５２によって保持されるとともに、保持機構５２によって回転させられる。また、支持部材５４は、吐出開口２６ａがウエハＷに上方から対面する処理位置に位置するように、配置される。この状態において、分岐管用開閉弁２７が開き、十分な圧力に保持された主配管２０から分岐管２５へ混合液が流れ込む。そして、混合液が、分岐管２５の吐出開口２６ａを介してウエハＷの上面（表側の面）に吐出される。混合液は回転中のウエハＷの表面上に広がり、ウエハＷの表面が混合液によって処理される。
【００５９】
なお、ウエハＷを処理ユニット５０へ搬入する際（工程Ｓ１）、ウエハＷは、通常、複数の処理ユニット５０のそれぞれに順に搬送されていく。したがって、各処理ユニット５０へウエハＷが持ち込まれるタイミングは互いに異なり、このため、処理ユニット５０内での混合液を用いたウエハＷの処理は、通常、液処理装置１０に含まれる複数の処理ユニット５０間で、一斉に開始されるものではない。ウエハＷを処理する準備が整った処理ユニット５０に対応する分岐管用開閉弁２７から順次開いていき、対応する各処理ユニット５０での混合液を用いたウエハＷの処理が順次開始されていく。
【００６０】
ところで、混合液が主配管２０から分岐管２５を介して各処理ユニット５０へ供給されると、主配管２０内の圧力が低下するおそれがある。しかし、主配管２０から供給される混合液を用いて各処理ユニット５０内で処理が行われている間、上述したように、液供給機構４０は、複数の処理ユニット５０のすべてへ同時に供給し得る圧力で、濃度調節された混合液を主配管２０内へ送り込んでいる。すなわち、主配管２０に充填されていた混合液が処理ユニット５０での処理に使用されると、液供給機構４０が濃度調節された混合液を主配管２０へと新たに送り込み続ける。この結果、主配管２０内における混合液の液圧は、一定の圧力に維持される。これにより、単一の液供給機構４０を用いて、多数の処理ユニット５０に対して、ウエハＷの処理に用いられる混合液を安定した流量で供給することができる。
【００６１】
以上のようにして処理ユニット５０内でウエハＷに対して適当量の混合液が供給されると、当該処理ユニット５０に対応する分岐管２５が、分岐管用開閉弁２７によって、閉鎖される。このようにして、各処理ユニット５０での混合液を用いたウエハＷの処理（薬液処理）が順次終了していく。
【００６２】
なお、ウエハＷに対する薬液処理（工程Ｓ２）が終了すると、上述したように当該ウエハＷに対してリンス処理（工程Ｓ３）が施される。このリンス処理において、ウエハＷに供給されるリンス液は、リンス液用開閉弁２８を介して分岐管２５に流れ込み、分岐管２５の吐出開口２６ａから吐出される。このため、リンス処理開始時には、分岐管２５の下流側の部分内に残留した混合液が水によって押し出されるようになる。このような方法によれば、薬液処理（工程Ｓ２）からリンス処理（工程Ｓ３）へと、ウエハＷに対して連続的に液体を供給することにより、ウエハＷの表面を乾燥させることなく、当該ウエハＷへの処理内容を変更することができる。これにより、ウォータマークの発生等の不具合を回避することができる。
【００６３】
なお、このようにしてリンス処理工程が終了した時点では、分岐管２５のリンス液用開閉弁２８（分岐管用開閉弁２７）よりも下流側の部分内に、リンス液が残留するようになる。そして、次のウエハＷへの処理を開始する際には、次のウエハＷの搬入工程に先立って又は次のウエハＷの搬入工程に並行して、廃液用開閉弁２９および廃液管３２を介して、分岐管２５内に残留するリンス液を分岐管２５から廃液しておくことが好ましい。このような処置を行っておくことにより、次のウエハＷへの薬液処理工程Ｓ２中、ウエハＷに対して一定の混合比の混合液を供給することができる。
【００６４】
処理済みのウエハＷが各処理ユニット５０から搬出されると、次に処理されるべきウエハＷが各処理ユニット５０に持ち込まれる。次に処理されるべきウエハＷに対し、同一の処理ユニット５０内で直前に処理されたウエハＷに対する処理と同一の処理が、施される場合には、すなわち、液供給機構４０から供給される混合液の混合比（濃度）を変化させる必要が無い場合には、主配管２０内および分岐管２５内の混合液を、そのまま残留させておけばよい。
【００６５】
一方、次に処理されるべきウエハＷと、同一の処理ユニット５０内で直前に処理されたウエハＷと、の間で処理内容が異なり、ウエハＷの処理に用いられる混合液の濃度を変更する必要がある場合には、次に処理されるべきウエハＷの薬液処理が開始される前に、次に用いられる混合液を主配管２０内に充填する。この場合、まず、第１液源４１ａからの水（とりわけ、純水）のみを液供給機構４０から主配管２０内に供給し、主配管２０内および分岐管２５内に残留する薬液を水によって置換する。具体例として、まず、主開閉弁２２を開いて主配管２０内を水で置換する。次に、主開閉弁２２を閉じるとともに分岐管用開閉弁２７を開き、分岐管２５内を水で置換する。この際、待機位置に位置する分岐管２５の吐出開口２６ａから水を吐出し、分岐管２５を全長にわたって水で洗い流す。このようにして、主配管２０内および分岐管２５内を水で洗い流した後、上述した方法と同様にして、所望の濃度に調節された混合液を液供給機構４０から主配管２０に充填するとともに、所望の濃度に調節された混合液を分岐管２５に充填する。以上のような準備工程が終了した後、異なる濃度の混合液を用いたウエハＷの処理が実施される。
【００６６】
なお、ここで説明した、主配管２０内および分岐管２５内を異なる混合液で置換する方法の具体例は、例示に過ぎず、種々の変更が可能である。例えば、主開閉弁２２および分岐管用開閉弁２７を開放および閉鎖するタイミングは、上述の例に限られない。したがって、主配管２０内に残留する混合液と、分岐管２５内に残留する混合液と、を並行して水で置換するようにしてもよい。また、主配管２０内および分岐管２５内に残留する混合液をまず水で置換し、その後、主配管２０内および分岐管２５内に次に用いられるべき混合液を充填することにより、主配管２０内および分岐管２５内を異なる混合液で置換するようにした例を示したが、これに限られない。主配管２０内および分岐管２５内に残留する混合液を、直接、次に用いられるべき混合液で置換するようにしてもよい。
【００６７】
以上のような本実施の形態によれば、液供給機構４０は、調節された混合比で第１液と第２液とを混合してなる混合液を、多数の処理ユニット５０に対して同時に供給することができる圧力で、主開閉弁２２により他側から閉鎖された主配管２０内に一側から送り込むようになっている。したがって、多数の処理ユニット５０に対して、単一の液供給機構４０を用い、混合液を安定して供給することができる。また、処理ユニット５０内でウエハＷを処理している間、各処理ユニット５０の稼働状況に応じて必要となる量の混合液のみが、液供給機構４０から主配管２０に供給されるようになる。したがって、混合液を大量に無駄にすることはなく混合液を節約することができ、これにより、被処理体（ウエハＷ）の処理コストを低減することができる。また、液供給機構４０から供給される混合液が薬液である場合には、薬液処理時における薬液の廃棄量を低減させることができるので、環境上の観点からも好ましい。さらに、同時に処理が行われている異なる処理ユニット５０において、主配管２０から供給される同一（例えば同一の濃度）の混合液を用いて異なるウエハＷを処理することができる。これにより、ウエハＷ間で処理の度合いを均一化させることができる。
【００６８】
また、本実施の形態によれば、流量調整バルブ４２ｄに対して直列的に補助流量調整機構４２ｅが設けられ、流量調整バルブ４２ｄと連動して補助流量調整機構４２ｅが制御されることによって、よりワイドレンジの混合比を実現することが可能である。より具体的には、本実施の形態によれば、補助流量調整機構４２ｅとして、開閉弁４２ｇのみを有する配管経路と開閉弁４２ｈ及びオリフィス４２ｉを含む配管経路とが、開閉弁４２ｇ及び開閉弁４２ｈの制御によって切換可能に構成されている。そして、開閉弁４２ｇ及び開閉弁４２ｈの各々の開閉制御によって、オリフィス４２ｉの通過の有無を切り換えることができ、結果として２レンジの混合比を実現できる（各レンジ毎に流量調整バルブ４２ｄによる混合比調整が利用可能である）。これにより、従来技術と比較して、極めてワイドレンジな混合比を実現することができる。
【００６９】
また、オリフィス４２ｉは、安価な構成要素部材であるため、ワイドレンジの混合比を極めて低コストに実現することができる。具体的には、オリフィス４２ｉは、１／１０の所定比で通過液体の流量を絞ることができる。この所定比の逆数に応じた倍数分だけ、実現できる混合比がワイドになる（例えば１〜１０ｃｃ／ｍｉｎという混合比を得ることができる）。もっとも、オリフィス４２ｉが通過液体の流量を絞る比率は、１／２〜１／２０程度の範囲内から適宜に選択可能である。
【００７０】
ここで、流量調整バルブ４２ｄと補助流量調整機構４２ｅとの連動制御について更に説明する。具体的には、設定された濃度、流量、処理時間といった情報に基づいて、処理ユニット５０の稼働状況に応じて、制御装置（制御部）１２が流量調整バルブ４２ｄと補助流量調整機構４２ｅとを連動するように制御するが、以下、数値例について説明する。
【００７１】
まず、処理ユニット５０の全数が２０個である基板処理装置において、薬液と純水との混合比を１：２００（薬液：純水）とし、純水の供給量を１Ｌ／ｍｉｎとする。
【００７２】
処理が重なる（同時に処理を行う）処理ユニットの数が１個である場合、薬液（第２液）の流量は、５ｃｃ／ｍｉｎに制御される必要がある。処理が重なる処理ユニットの数が２個である場合、薬液の流量は、１０ｃｃ／ｍｉｎに制御される必要がある。処理が重なる処理ユニットの数が２０個である場合、薬液の流量は、１００ｃｃ／ｍｉｎに制御される必要がある。すなわち、必要とされる流量制御の範囲は、５〜１００ｃｃ／ｍｉｎである。
【００７３】
補助流量調整機構４２ｅ（オリフィス４２ｉ）によって得られる混合比が、１〜１０ｃｃ／ｍｉｎである場合、５〜１０ｃｃ／ｍｉｎの流量制御範囲については、当該補助流量調整機構４２ｅ（オリフィス４２ｉ）によって制御される。そして、残りの１０〜１００ｃｃ／ｍｉｎの流量制御範囲については、流量調整バルブ４２ｄによって制御される。すなわち、処理が重なる処理ユニットの数が２個以下か３個以上かで、開閉弁４２ｇ及び開閉弁４２ｈの各々の開閉制御が切り換えられる。
【００７４】
ここで更に、基板の膜種に応じて、Ｌｏｔ毎に、薬液と純水との混合比が変更されることがあり得る。例えば、薬液と純水との混合比が１：４００（薬液：純水）に変更される場合について説明する。
【００７５】
この場合、処理が重なる処理ユニットの数が１個である場合、薬液の流量は、２．５ｃｃ／ｍｉｎに制御される必要がある。処理が重なる処理ユニットの数が２個である場合、薬液の流量は、５ｃｃ／ｍｉｎに制御される必要がある。処理が重なる処理ユニットの数が２０個である場合、薬液の流量は、５０ｃｃ／ｍｉｎに制御される必要がある。すなわち、必要とされる流量制御の範囲は、２．５〜５０ｃｃ／ｍｉｎである。
【００７６】
補助流量調整機構４２ｅ（オリフィス４２ｉ）によって得られる混合比は、１〜１０ｃｃ／ｍｉｎであるので、２．５〜１０ｃｃ／ｍｉｎの流量制御範囲について、当該補助流量調整機構４２ｅ（オリフィス４２ｉ）によって制御される。そして、残りの１０〜５０ｃｃ／ｍｉｎの流量制御範囲について、流量調整バルブ４２ｄによって制御される。すなわち、処理が重なる処理ユニットの数が４個以下か５個以上かで、開閉弁４２ｇ及び開閉弁４２ｈの各々の開閉制御が切り換えられる。
【００７７】
あるいは、基板の膜種に応じて、Ｌｏｔ毎に、純水の供給量が変更されることがあり得る。例えば、純水の供給量が０．５Ｌ／ｍｉｎに変更される場合について説明する。
【００７８】
この場合も、処理が重なる処理ユニットの数が１個である場合、薬液の流量は、２．５ｃｃ／ｍｉｎに制御される必要がある。処理が重なる処理ユニットの数が２個である場合、薬液の流量は、５ｃｃ／ｍｉｎに制御される必要がある。処理が重なる処理ユニットの数が２０個である場合、薬液の流量は、５０ｃｃ／ｍｉｎに制御される必要がある。すなわち、必要とされる流量制御の範囲は、２．５〜５０ｃｃ／ｍｉｎである。
【００７９】
補助流量調整機構４２ｅ（オリフィス４２ｉ）によって得られる混合比は、１〜１０ｃｃ／ｍｉｎであるので、２．５〜１０ｃｃ／ｍｉｎの流量制御範囲について、当該補助流量調整機構４２ｅ（オリフィス４２ｉ）によって制御される。そして、残りの１０〜５０ｃｃ／ｍｉｎの流量制御範囲について、流量調整バルブ４２ｄによって制御される。すなわち、処理が重なる処理ユニットの数が４個以下か５個以上かで、開閉弁４２ｇ及び開閉弁４２ｈの各々の開閉制御が切り換えられる。
【００８０】
あるいは、基板の膜種に応じて、Ｌｏｔ毎に、処理時間が変更されることがあり得る。例えば、処理が重なる処理ユニットの数が最大で１０個に抑えられる場合について説明する。この場合、必要とされる流量制御の範囲は、５〜５０ｃｃ／ｍｉｎとなる。
【００８１】
補助流量調整機構４２ｅ（オリフィス４２ｉ）によって得られる混合比は、１〜１０ｃｃ／ｍｉｎであるので、５〜１０ｃｃ／ｍｉｎの流量制御範囲については、当該補助流量調整機構４２ｅ（オリフィス４２ｉ）によって制御される。そして、残りの１０〜５０ｃｃ／ｍｉｎの流量制御範囲について、流量調整バルブ４２ｄによって制御される。すなわち、処理が重なる処理ユニットの数が２個以下か３個以上かで、開閉弁４２ｇ及び開閉弁４２ｈの各々の開閉制御が切り換えられる。
【００８２】
以上の説明は、混合比（濃度）、純水の供給流量、処理時間、のそれぞれが単独で変更される場合についてなされたが、それらが２つ以上組み合わさって変更されたとしても、好適な流量調整バルブ４２ｄと補助流量調整機構４２ｅとの連動制御を実現することができる。
【００８３】
なお、上述した実施の形態において、液供給機構４０の構成の具体例を示したが、これに限られない。上述した構成とは異なる構成によって、液供給機構４０が、第１液と第２液とを混合してなる混合液を、複数の処理ユニット５０のすべてへ同時に供給し得る圧力で、主開閉弁２２によって閉鎖された主配管２０へ供給するように構成されてもよい。
【００８４】
例えば、補助流量調整機構４２ｅの切り換え時に、混合器４３に送り込む第２液の圧力変動が生じ、第２液の流量が変動して第１液との混合比が変動する可能性があるため、図３に示すように、混合液の濃度精度が落ちないように、混合器４３に送り込む第２液の流量変動を抑えるために圧力センサ４２ｕ及びレギュレータ４２ｔを設けて、圧力センサ４２ｕの検出圧力を用いてレギュレータ４２ｔを制御するようにしてもよい。
【００８５】
あるいは、図４に示すように、オリフィス４２ｉは、ニードルバルブ４２ｐによって置換され得る。この場合、ニードルバルブ４２ｐは、１／２〜１／２０の範囲内の設定変更可能な所定比で通過液体の流量を絞るように構成されている。この場合、ニードルバルブ４２ｐの開度（通過流量）をも制御装置１２による連動制御の対象とすることにより、さらに円滑に所望の混合比を実現することができる。もっとも、ニードルバルブ４２ｐはオリフィス４２ｉよりは高価であるため、コスト面では図１の実施の形態の方が優れているとも言える。
【００８６】
あるいは、図５に示すように、図１における補助流量調整機構４２ｅに、さらに開閉弁４２ｑ及び第２オリフィス４２ｒを含む配管経路が追加導入されてもよい。この場合、開閉弁４２ｇ、開閉弁４２ｈ及び開閉弁４２ｑの各々の開閉制御によって、オリフィス４２ｉ及び第２オリフィス４２ｒの通過の有無を切り換えることができ、結果として３レンジの混合比を実現できる（各レンジ毎に流量調整バルブ４２ｄによる混合比調整が利用可能である）。これにより、さらにワイドレンジな混合比を実現することができる。
【００８７】
同様に、図６に示すように、図４における補助流量調整機構４２ｅに、さらに開閉弁４２ｑ及び第２ニードルバルブ４２ｓを含む配管経路が追加導入されてもよい。この場合、開閉弁４２ｇ、開閉弁４２ｈ及び開閉弁４２ｑの各々の開閉制御によって、ニードルバルブ４２ｐ及び第２ニードルバルブ４２ｓの通過の有無を切り換えることができ、結果として３レンジの混合比を実現できる（各レンジ毎に流量調整バルブ４２ｄによる混合比調整が利用可能である）。これにより、さらにワイドレンジな混合比を実現することができる。
【００８８】
さらに、上述した実施の形態に対して様々な変更を加えることが可能である。以下、変形の一例について説明する。
【００８９】
例えば、上述した実施の形態において、主配管２０が一本の線状に形成されている例を示したが、これに限られない。例えば図７に示すように、主配管２０が、液供給機構４０から離間した他側において、複数の管路２１ａ，２１ｂに分かれていてもよい。図７に示す例において、各管路２１ａ，２１ｂに、主配管２０を液供給機構４０に対して他側から閉鎖し得る主開閉弁２２が、設けられている。そして、液供給機構４０と各主開閉弁２２との間の区間において、各管路２１ａ，２１ｂから複数の分岐管２５が延び出している。なお、図７においては、図示および理解のしやすさの便宜上、上述したリンス液用開閉弁２８、リンス液供給管３１、廃液用開閉弁２９および廃液管３２が、省略されている。また、図７に示す変形例におけるその他の構成は、上述した実施の形態と同一に構成され得るので、ここでは重複する説明は省略する。
【００９０】
さらに、上述した実施の形態において、液供給機構４０が、水を供給する第１液供給管４１ｂと、高濃度薬液を供給する第２液源と、を有する例を示したが、これに限られない。例えば、液供給機構４０が、二種類以上の薬液源を有するようにしてもよい。
【００９１】
なお、以上において上述した実施の形態に対するいくつかの変形例を説明してきたが、当然に、複数の変形例を適宜組み合わせて適用することも可能である。
【００９２】
さらに、冒頭にも述べたように、本発明を、ウエハの洗浄処理以外の処理にも適用することができる。
【符号の説明】
【００９３】
１０  液処理装置
１２  制御装置
１３  記録媒体
２０  主配管
２１ａ，２１ｂ  管路
２２  主開閉弁
２５  分岐管
２６ａ  吐出開口
２７  分岐管用開閉弁
４０  液供給機構
４１ａ  第１液源
４１ｂ  第１液供給管
４１ｃ  定圧弁
４１ｄ  圧縮空気源
４１ｅ  レギュレータ
４１ｆ  圧力センサ
４１ｇ  開閉弁
４１ｍ  流量計
４２ａ  第２液源
４２ｂ  第２液供給管
４２ｄ  流量調整バルブ
４２ｅ  補助流量調整機構
４２ｋ  窒素ガス源
４２ｈ  開閉弁
４２ｉ  オリフィス
４２ｍ  流量計
４２ｐ  ニードルバルブ
４２ｑ  開閉弁
４２ｒ  第２オリフィス
４２ｓ  第２ニードルバルブ
４２ｔ  レギュレータ
４２ｔ  圧力センサ
４３  混合器
５０  処理ユニット
５２  保持機構
５４  支持部材
【図１】
2011176118.tif 000003
【図２】
2011176118.tif 000004
【図３】
2011176118.tif 000005
【図４】
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【図５】
2011176118.tif 000007
【図６】
2011176118.tif 000008
【図７】
2011176118.tif 000009