(57)【要約】【課題】ガラス板上に形成された電極パターンの形状欠陥部を少ない測定回数で精度よく検出できる検査装置、検査方法およびこれらを用いた画像表示用パネルの製造方法を提供することを目的としている。【解決手段】電極パターンを有するガラス板（被検査物１０６）の裏面に光を照射する第１投光装置１０１と、ガラス板の表面に斜め方向から光を照射する第２投光装置１０９と、ガラス板の表面を撮像する撮像装置１０２と、ガラス板の表面を撮像装置１０２に結像させるレンズ系１０３と、撮像装置１０２で撮像したガラス板の表面の画像を画像処理して、電極パターンの形状欠陥部を検出する処理装置とを備え、第１、第２投光装置１０１、１０９による照明条件が、ガラス板の内部に形成された内部気泡の画像、ガラス板の画像、電極パターンの画像の順に輝度が高くなるように設定されている。【選択図】図１
2011257258.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極パターンを有するガラス板の裏面に光を照射する第１投光装置と、前記ガラス板の表面に斜め方向から光を照射する第２投光装置と、前記ガラス板の表面を撮像する撮像装置と、前記ガラス板の表面を前記撮像装置に結像させるレンズ系と、前記撮像装置で撮像した前記ガラス板の表面の画像を画像処理して、前記電極パターンの形状欠陥部を検出する処理装置とを備え、前記第１、第２投光装置による照明条件が、前記ガラス板の内部に形成された内部気泡の画像または前記ガラス板の裏面に付着した異物の画像、前記ガラス板の画像、前記電極パターンの画像の順に輝度が高くなるように設定されている検査装置。
【請求項２】
前記照明条件は、前記ガラス板の内部に形成された内部気泡の画像または前記ガラス板の裏面に付着した異物の画像、前記ガラス板の画像、前記電極パターンの画像の各々の画像の輝度差が５０階調以上になるように設定されている請求項１に記載の検出装置。
【請求項３】
前記レンズ系は、前記ガラス板の反りや撓みに対して許容範囲に入る焦点深度を有している請求項１に記載の検査装置。
【請求項４】
電極パターンを有するガラス板の裏面に光を照射する第１投光装置と、前記ガラス板の表面に斜め方向から光を照射する第２投光装置で、前記ガラス板に光を照射するとともに、前記ガラス板の表面の上方に配置した撮像装置で、前記ガラス板の表面を撮像する工程と、前記撮像装置で撮像した画像の輝度情報から前記電極パターンの形状欠陥部を検出する工程を含む検査方法であって、前記ガラス板の内部に形成された内部気泡の画像または前記ガラス板の裏面に付着した異物の画像、前記ガラス板の画像、前記電極パターンの画像の順に輝度が高くなるように、前記第１、第２投光装置で前記ガラス板に光を照射することによって、前記内部気泡または前記異物と、前記電極パターンの形状欠陥部とを分別し、前記電極パターンの形状欠陥部のみを検出する検査方法。
【請求項５】
前記内部気泡の画像または前記異物の画像、前記ガラス板の画像、前記電極パターンの画像の各々の画像の輝度差が５０階調以上になるように前記ガラス板に光を照射する請求項４に記載の検出方法。
【請求項６】
請求項１に記載の検査装置または請求項４に記載の検査方法を用いて画像表示用パネルを製造する画像表示用パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス板上に形成されたパターンの形状欠陥部を検出する検査装置、検査方法およびこれらを用いた画像表示用パネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと言う）は、大画面、かつ薄型、軽量であることを特徴とする視認性に優れた表示デバイスである。ＰＤＰの放電方式としてはＡＣ型とＤＣ型とがあり、ＰＤＰの電極構造としては３電極面放電型と対向放電型とがある。現在は、高精細化に適し、しかも製造の容易なことから、ＡＣ型かつ３電極面放電型であるＡＣ面放電型パネルが主流となっている。
【０００３】
一般的なＡＣ面放電型パネルは、対向配置された前面ガラス板と背面ガラス板との間に多数の放電セルが形成された構成をしている。
【０００４】
前面ガラス板上には、走査電極と維持電極とが互いに平行に複数対形成されてなる表示電極と、この表示電極を覆うように形成されたガラスからなる誘電体層と、誘電体層を覆うように形成された酸化マグネシウム（ＭｇＯ）などからなる保護層とが配置されている。
【０００５】
背面ガラス板上には、互いに平行に複数形成されてなるアドレス電極と、このアドレス電極を覆うように形成された電極保護層とが配置されている。この電極保護層上にはアドレス電極と平行に隔壁が複数形成され、電極保護層の表面および隔壁の側面に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）に発光する蛍光体層が配置されている。
【０００６】
そして、前面ガラス板と背面ガラス板とを、表示電極とアドレス電極とが立体交差するように対向させて密封し、その内部の空間に放電ガスが封入されている。
【０００７】
以上に説明したＰＤＰを製造する際、電極パターンをガラス板上に形成した後に電極パターンの形状欠陥部を検出して、製造工程における歩留まりの向上を図っている。電極パターンの形状欠陥部を検出する際に重要なことは、ガラス板の表面に形成された電極パターンの形状欠陥部と、ガラス板の内部に内包されている気泡（以下、内部気泡と言う）やガラス板の裏面に付着した異物との分別である。その理由は、電極パターンの形状欠陥部を有するＰＤＰは不良品になるが、内部気泡やガラス板の裏面に付着した異物を有するＰＤＰは不良品にならないからである。
【０００８】
そこで、従来の検査では、内部気泡やガラス板の裏面に付着した異物と、電極パターンの形状欠陥部とを分別するために、検査装置の光学系の焦点をガラス板の表面、内部および裏面の３箇所に変更しながら複数回検査していた。そして、表面検査で受光した散乱光と、内部検査で受光した散乱光と、裏面検査で受光した散乱光との光強度の違いを検出して、内部気泡やガラス板の裏面に付着した異物と、電極パターンの形状欠陥部とを分別していた（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００５−２０１８８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、従来の検査方法では、例えば１５０インチ以上の大型プラズマディスプレイパネルのように面積の大きなガラス板上に形成されている電極パターンの形状欠陥部を検査する場合、光学系の焦点位置を検査する位置毎に変更しながら複数回検査しなければならないため、工程スループットが増大し、生産性が低下する問題があった。また、ガラス板の検査面積が大きくなると、ガラス板の反りや撓みも大きくなるため、被検査物の全面を狭焦点深度で検査することが難しくなり、しかも検査する位置毎に焦点位置を合わせることが困難になると言う問題があった。
【００１１】
本発明は上記問題を解決し、ガラス板上に形成された電極パターンの形状欠陥部を少ない測定回数で精度よく検出できる検査装置、検査方法およびこれらを用いた画像表示用パネルの製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために本発明の検査装置は、電極パターンを有するガラス板の裏面に光を照射する第１投光装置と、前記ガラス板の表面に斜め方向から光を照射する第２投光装置と、前記ガラス板の表面を撮像する撮像装置と、前記ガラス板の表面を前記撮像装置に結像させるレンズ系と、前記撮像装置で撮像した前記ガラス板の表面の画像を画像処理して、前記電極パターンの形状欠陥部を検出する処理装置とを備え、前記第１、第２投光装置による照明条件が、前記ガラス板の内部に形成された内部気泡の画像または前記ガラス板の裏面に付着した異物の画像、前記ガラス板の画像、前記電極パターンの画像の順に輝度が高くなるように設定されていることを特徴とする。
【００１３】
また、上記目的を達成するために本発明の検査方法は、極パターンを有するガラス板の裏面に光を照射する第１投光装置と、前記ガラス板の表面に斜め方向から光を照射する第２投光装置で、前記ガラス板に光を照射するとともに、前記ガラス板の表面の上方に配置した撮像装置で、前記ガラス板の表面を撮像する工程と、前記撮像装置で撮像した画像の輝度情報から前記電極パターンの形状欠陥部を検出する工程を含む検査方法であって、前記ガラス板の内部に形成された内部気泡の画像または前記ガラス板の裏面に付着した異物の画像、前記ガラス板の画像、前記電極パターンの画像の順に輝度が高くなるように、前記第１、第２投光装置で前記ガラス板に光を照射することによって、前記内部気泡または前記異物と、前記電極パターンの形状欠陥部とを分別し、前記電極パターンの形状欠陥部のみを検出することを特徴とする。
【００１４】
また、上記目的を達成するために本発明の画像表示用パネルの製造方法は、上記検査装置または検査方法を用いて画像表示用パネルを製造することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
上記構成により本発明は、ガラス板の内部に形成された内部気泡の画像またはガラス板の裏面に付着した異物の画像、ガラス板の画像、電極パターンの画像の順に輝度が高くなるように、第１、第２投光装置でガラス板に光を照射するので、電極パターンの形状欠陥部と、内部気泡またはガラス板の裏面に付着した異物とが的確に分別される。
【００１６】
したがって、電極パターンの形状欠陥部を少ない測定回数で精度よく検出することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施の形態における検査装置の概略図
【図２】本発明の一実施の形態における検査装置で用いた被検査物であるＰＤＰの要部の分解斜視図
【図３】本発明の一実施の形態における検査装置で撮像した被検査物の画像を示す図
【図４】本発明の一実施の形態における検査装置の照明条件を示すグラフ
【図５】本発明の一実施の形態における検査方法のフローチャート
【図６】本発明の一実施の形態における他の検査方法のフローチャート
【図７】本発明の一実施の形態における差画像の生成方法を説明するための説明図
【図８】本発明の一実施の形態におけるエリア判定方法を説明するための説明図
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に、本発明の一実施の形態における検査装置、検査方法およびこれらを用いた画像表示用パネルの製造方法について図面を参照しながら説明する。
【００１９】
図１において、本発明の検査装置１００は、被検査物１０６の裏面から垂直方向に光を照射するための第１投光装置１０１と、被検査物１０６に対して斜め方向から光を照射する第２投光装置１０９と、被検査物１０６を撮像する撮像装置１０２と、被検査物１０６を撮像装置１０２に結像させるレンズ系１０３と、被検査物１０６を載置してＸＹ方向に移動させる搬送ローラ１０５と、搬送ローラ１０５を駆動させる駆動装置１０４を備えている。また、被検査物１０６の測定エリア、第１投光装置１０１と第２投光装置１０９による照明条件、被検査物１０６の移動量などの測定条件に合わせて、第１投光装置１０１や第２投光装置１０９や駆動装置１０４に制御指令を与えるとともに、撮像装置１０２で撮像した被検査物１０６の画像を基にして画像処理を行う処理装置１０７と、撮像装置１０２で撮像した画像を処理装置１０７で処理した処理結果を表示する表示装置１０８を備えている。この表示装置１０８は、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）あるいはモニターなどで構成され、被検査物１０６の測定ポイントなどの測定条件を入力するためのインターフェイス機能も有する。
【００２０】
検査装置１００は、ＰＤＰ、液晶パネル、有機ＥＬパネルなど表面に数μｍ以上の凹凸パターンがある被検査物１０６の形状欠陥部検出に適している。本実施形態では、被検査物１０６として、図２に示すＰＤＰ２０１を用いた場合を例にして、背面ガラス板２１２に形成されたアドレス電極２１４の形状欠陥部を検査する方法について以下に詳しく説明する。尚、背面ガラス板２１２の厚さは１．８ｍｍである。
【００２１】
図２に示すＰＤＰは、一般的なＡＣ面放電型パネルである。対向配置された前面ガラス板２１１と背面ガラス板２１２との間に多数の放電セルが形成された構成をしている。  
【００２２】
前面ガラス板２１１上には、走査電極２１９ａと維持電極２１９ｂとが互いに平行に複数対形成されてなる表示電極２１９と、表示電極２１９を覆うように形成されたガラスからなる誘電体層２１７と、誘電体層２１７を覆うように形成された酸化マグネシウム（ＭｇＯ）などからなる保護層２１８とが配置されている。
【００２３】
背面ガラス板２１２上には、互いに平行に複数形成されてなるアドレス電極２１４と、アドレス電極２１４を覆うように形成された絶縁体層２１３とが配置されている。この絶縁体層２１３は、電極保護層として機能している。そして、絶縁体層２１３上にアドレス電極２１４と平行に隔壁２１５とが複数形成され、絶縁体層２１３の表面および隔壁２１５の側面に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）に発光する蛍光体層２１６Ｒ、２１６Ｇ、２１６Ｂが形成されている。
【００２４】
そして、前面ガラス板２１１と背面ガラス板２１２とを、表示電極２１９とアドレス電極２１４とが立体交差するように対向させて密封し、その内部の空間に放電ガスが封入されている。
【００２５】
図１、図２において、検査をする際は、アドレス電極２１４を形成した背面ガラス板２１２を被検査物１０６として搬送ローラ１０５上に載置する。このとき、背面ガラス板２１２の全域は、搬送ローラ１０５によって水平に保持された状態で固定される。但し、搬送ローラ１０５は、第１投光装置１０１の開口部が搬送ローラ１０５で遮光されないような構成になっている。
【００２６】
第１投光装置１０１は、レンズ系１０３および撮像装置１０２の光軸と同軸となるように、背面ガラス板２１２の裏面に垂直方向に光を照射する。本実施形態では、第１投光装置１０１の光源としてＬＥＤ光源を使用し、第１投光装置１０１から被検査物１０６までの距離を１００ｍｍとした。尚、光源としては、撮像装置１０２の感度に応じてハロゲン光源、メタルハライド光源などの他の光源を使用することができる。
【００２７】
図１において、第２投光装置１０９は、背面ガラス板２１２に照射角度αを６０度にして斜め方向に光を照射するように配置されている。この照射角度αは２０〜７０度の範囲で設定するとよい。また、第２投光装置１０９の光源としてはＬＥＤ光源を２個使用し、第１投光装置１０１から被検査物１０６までの距離を１００ｍｍとした。
【００２８】
撮像装置１０２としては、例えば１５０インチ以上の大きな背面ガラス板２１２の全面を検査することが可能な、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）ラインセンサカメラが適している。ＣＣＤラインセンサカメラは、被検査物１０６の大きさおよび測定精度に合わせて選定すればよい。尚、本実施形態ではＣＣＤラインセンサカメラとして、画素数７４５０Ｐｉｘ（ピクセル）、画素サイズ４．７μｍ×４．７μｍ、分解能１０μｍのモノクロＣＣＤラインセンサカメラを使用した。
【００２９】
レンズ系１０３は、第１投光装置１０１および第２投光装置１０９から被検査物１０６に光を照射した際、被検査物１０６からの反射光や散乱光を撮像装置１０２に結像させるものである。また、このレンズ系１０３としては、背面ガラス板２１２の全面が検査できるような焦点深度を有するものを用いる。本実施形態では、焦点深度±３００μｍ、倍率２．１３倍のレンズ系１０３を用い、レンズ系１０３と被検査物１０６までの距離を２１６ｍｍとした。
【００３０】
尚、大面積の被検査物を短時間で測定するには、第１投光装置１０１、撮像装置１０２、レンズ系１０３、第２投光装置１０９からなる光学測定系を複数配置して、同時に駆動させて検査すればよい。
【００３１】
駆動装置１０４は、処理装置１０７の制御により搬送ローラ１０５を回転させ、被検査物１０６を送り方向へ移動させる。被検査物１０６を送り方向へ移動させることにより、第１投光装置１０１と第２投光装置１０９とから照射された光が被検査物１０６の表面と裏面とを走査するので、被検査物１０６の全体を検査することができる。
【００３２】
ここで、撮像装置１０２の焦点深度内に被検査物１０６が収まる場合は、搬送ローラ１０５を移動させる代わりに、投光装置１０１、撮像装置１０２、レンズ系１０３、第２投光装置１０９からなる光学測定系を移動させてもよい。尚、本実施形態では、モーターとエンコーダとからなる駆動装置１０４を用いたが、被検査物１０６をＸＹ方向に移動させる駆動装置であればこれに限らず、どうような駆動装置でも用いることができる。
【００３３】
第１投光装置１０１により背面ガラス板２１２の裏面方向に照射された光（以下、検査光と言う）は、背面ガラス板２１２を透過し、一部は背面ガラス板２１２の裏面で反射する。また、背面ガラス板２１２を透過した検査光の一部は、背面ガラス板２１２上のアドレス電極２１４の裏面で散乱し、アドレス電極２１４のない部分は透過する。背面ガラス板２１２に内部気泡がある場合、背面ガラス板２１２を透過した検査光の一部は内部気泡によって散乱し、一部は透過する。また、背面ガラス板２１２の裏面に異物が付着している場合は、背面ガラス板２１２を透過した検査光の一部は異物によって散乱し、一部は透過する。
【００３４】
このとき、各部位について、背面ガラス板２１２の画像輝度を階調度で１００とした場合、アドレス電極２１４の画像輝度の階調度は１４、内部気泡および異物の画像輝度の階調度は１７であった。
【００３５】
第２投光装置１０９により斜め方向に照射された検査光の一部は、背面ガラス板２１２の表面で反射し、一部は背面ガラス板２１２を透過する。背面ガラス板２１２上のアドレス電極２１４に照射された検査光の一部はアドレス電極２１４の表面で散乱する。背面ガラス板２１２の内部気泡に照射された検査光の一部は、この内部気泡によって散乱される。また、背面ガラス板２１２裏面の異物部に照射された検査光の一部は異物によって散乱される。
【００３６】
このとき、各部位について、アドレス電極２１４の画像輝度を階調度で１００とした場合、背面ガラス板２１２の階調度は１１、内部気泡及び異物部の階調度は１７であった。
【００３７】
背面ガラス板２１２におけるアドレス電極２１４の形状欠陥部のエリア判定あるいは白黒判定の精度を向上するためには、内部気泡、背面ガラス板２１２、アドレス電極２１４の画像輝度をこの順に高くなるように第１投光装置１０１および第２投光装置１０９の照射条件を設定することにより達成できる。さらに精度を上げるためには、内部気泡と背面ガラス板２１２との輝度差、および背面ガラス板２１２とアドレス電極２１４との輝度差が５０階調以上になるように第１投光装置１０１および第２投光装置１０９の照射条件を設定するとよい。このような照射条件で撮像した画像（原画像）の一例を図３（ａ）に示す。図３（ａ）より、アドレス電極２１４の画像３０１と、背面ガラス板２１２の画像３０２と、内部気泡の画像３０３とを分別することが可能となる。次に、第１投光装置１０１および第２投光装置１０９の照明条件の設定方法について説明する。
【００３８】
第１投光装置１０１および第２投光装置１０９の照明条件は、アドレス電極２１４の画像３０１と、背面ガラス板２１２の画像３０２と、内部気泡の画像３０３の各々の輝度から決定する。但し、輝度の最大値（飽和光量）は階調度で２５５とする。
【００３９】
本実施形態では、図４に示すように、アドレス電極２１４の画像３０１の輝度が階調度２４０、背面ガラス板２１２の画像３０２の輝度が階調度１１９、内部気泡の画像３０３の輝度が階調度５５となるように第１投光装置１０１および第２投光装置１０９の照明条件を設定した。
【００４０】
尚、背面ガラス板２１２、アドレス電極２１４の材質および厚みなどが変更になった場合は、事前に照明条件の確認を行って設定する。また、検査時毎に背面ガラス板２１２の画像輝度、アドレス電極２１４部の画像輝度の平均値を算出し、その変化に応じて照明条件を設定してもよい。
【００４１】
次に、検査装置１００を用いてアドレス電極２１４の形状欠陥部を検出する検出方法の一例について図１、図５を用いて説明する。
【００４２】
はじめに、被検査物１０６であるアドレス電極２１４を有する背面ガラス板２１２を搬送ローラ１０５に載置する。次に、搬送ローラ１０５を駆動させて背面ガラス板２１２を事前に処理装置１０７に登録した検査開始位置（１）に移動させる（ステップＳ１）。
【００４３】
次に、エンコーダパルスに基づいてＣＣＤラインセンサカメラで背面ガラス板２１２の画像を取込む（ステップＳ２）。ここで、カメラクロックによる時間管理に基づいて画像を取込んでもよい。
【００４４】
次に、ステップＳ２で取り込んだ画像に対して比較処理を行い（ステップ３）、差画像を生成する（ステップ４）。
【００４５】
比較処理の方法としては、図７に示すように、注目画素４０１と、アドレス電極２１４のパターンピッチに合わせた周囲８点の内の１点以上の比較画素４０２と比較し、その差の最大値または最小値、あるいは平均値を算出し、算出した階調差を基に差画像を生成する。差が無い場合は、基準階調度として１２８とする。また、差がある場合は、階調差の１／２に基準階調度１２８を加えたものを差画像の階調度とする。
【００４６】
ここで、アドレス電極２１４の電極パターンの向きは、Ｈ方向、Ｖ方向のどちらでもよく、Ｘ、Ｙの数値を変更して対応する。尚、図中のＨ方向はＸμｍ、Ｖ方向はＹμｍを示す。このような比較処理方法によって、図３（ａ）に示す画像（原画像）から得られた差画像の一例を図３（ｂ）に示す。
【００４７】
次に、ステップＳ４で生成した差画像を２値化するための閾値処理を行う（ステップＳ５）。閾値処理方法としては、白形状欠陥部を検出するための閾値処理方法と、黒形状欠陥部を検出するための閾値処理方法との２つがある。白形状欠陥部はアドレス電極２１４の電極パターンのショートや、アドレス電極２１４の電極パターンの形成工程における現像残りなどである。また、黒形状欠陥部はアドレス電極２１４の電極パターンの断線・欠け・薄抜けなどである。他の閾値処理方法としては、アドレス電極２１４の電極パターンの面積、高さ、あるいは幅などを閾値のパラメータとして２値化する方法でもよい。
【００４８】
次に、検出した形状欠陥部がアドレス電極２１４もしくは背面ガラス板２１２のいずれに存在するかを判定するエリア判定を行う（ステップＳ６）。エリア判定の方法としては、図７およびステップＳ３で説明した比較処理方法によって行う。すなわち、検出した形状欠陥部の面積重心あるいは矩形中心を注目画素４０１とし、アドレス電極２１４のパターンピッチに合わせた周囲８点を比較画素４０２として、周囲８点の輝度のメディアン値あるいは平均値からアドレス電極２１４であるか背面ガラス板２１２であるかを判定する。尚、周囲８点に形状欠陥部が存在する場合は、その部分の輝度を除外してメディアン値あるいは平均値を算出する。
【００４９】
エリア判定により、図８に示すように、アドレス電極２１４の形状欠陥部と、背面ガラス板２１２の内部気泡または背面ガラス板２１２の裏面に付着した異物とを分別することができる（ステップＳ７）。本実施形態では、アドレス電極２１４の画像３０１の輝度を階調度２５５付近に設定しているため、図３（ｂ）に示すように、差画像にはアドレス電極２１４の画像３０１は白形状欠陥部として検出されず、内部気泡の画像３０３は黒形状欠陥部として検出される。したがって、エリア判定処理により、背面ガラス板２１２上の黒形状欠陥部は内部気泡の画像３０１であると判別することができる。
【００５０】
次に、ステップＳ１からＳ７までの工程をＮ回分繰返し、背面ガラス板２１２の全域を検査する（ステップ８）。
【００５１】
また、図６に示すように、ステップＳ１からＳ２までの画像取込と、ステップＳ３からＳ７までの画像処理とを並列して行ってもよい。この検査方法によれば、画像取込み時に他のラインの画像処理を行うことができるため、検査時間の短縮が図れる。
【００５２】
以上にように本発明によれば、ガラス板の内部に形成された内部気泡の画像３０３またはガラス板の裏面に付着した異物の画像、ガラス板の画像３０２、電極パターンの画像３０１の順に輝度が高くなるように、第１、第２投光装置でガラス板に光を照射するので、電極パターンの形状欠陥部と、内部気泡またはガラス板の裏面に付着した異物とが的確に分別される。したがって、電極パターンの形状欠陥部を少ない測定回数で精度よく検出することが可能となる。これによって、検査工程のスループットを短縮できる。また、焦点深度の調整機能のない安価なレンズ系を用いることができるため、検査装置のコストダウンが図れる。さらに、ガラス板の大型化による反りや撓み量の増大に対してもパターン形状の形状欠陥部を精度よく検出することが可能となる。
【００５３】
なお、上記の検査装置または検査方法を用いて画像表示用パネルを製造することもできる。この画像表示用パネルの製造方法によれば、上記と同様の効果を得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明による検査装置および検査方法は、プラズマディスプレイパネル・液晶デバイスパネル・エレクトロルミネッセンスパネルなどの製造工程におけるパターン形状の検査に有用である。
【符号の説明】
【００５５】
１００    検査装置
１０１    第１投光装置
１０２    撮像装置
１０３    レンズ系
１０４    駆動装置
１０５    搬送ローラ
１０６    被検査物
１０７    処理装置
１０８    表示装置
１０９    第２投光装置
２０１    ＰＤＰ
２１１    前面ガラス板
２１２    背面ガラス板
２１３    絶縁体層
２１４    アドレス電極
２１５    隔壁
２１６Ｒ、２１６Ｇ、２１６Ｂ    蛍光体層
２１７    誘電体層
２１８    保護層
２１９    表示電極
２１９ａ    走査電極
２１９ｂ    維持電極
３０１、３０２、３０３    画像
４０１    注目画素
４０２    比較画素
【図１】
2011257258.tif 000003
【図２】
2011257258.tif 000004
【図３】
2011257258.tif 000005
【図４】
2011257258.tif 000006
【図５】
2011257258.tif 000007
【図６】
2011257258.tif 000008
【図７】
2011257258.tif 000009
【図８】
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