(57)【要約】【課題】極低温装置の冷媒槽内の部材上に付着、積層した固体状の不純物を、比較的簡単な専用の治具を用いて、短時間にしかも確実に冷媒槽外へ除去することが可能な極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法を提供すること。【解決手段】極低温装置の冷媒槽１内の部材上に積層した固体状の不純物Ｄを除去する方法において、外管１１と、この外管の内部にあって先端に掘削刃を有する回転可能な内管１２とからなる治具を用い、この治具を前記冷媒槽内に挿入してその先端部を前記不純物上に当接させて固定した後、前記内管１２を回転させて不純物を掘削、粉砕すると共に粉化した前記不純物Ｄを前記外管１１より吸引して冷媒槽１から除去する方法。【選択図】図６
2011035151.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
極低温装置の冷媒槽内の部材上に積層した固体状の不純物を除去する方法において、外管と、この外管の内部にあって先端に掘削刃を有する回転可能な内管とを備えた治具を用い、この治具を前記冷媒槽内に挿入してその先端部を前記不純物上に当接させて固定した後、前記内管を回転させて不純物を掘削、粉砕すると共に粉化した前記不純物を前記外管より吸引して冷媒槽から除去することを特徴とする極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法。
【請求項２】
極低温装置の冷媒槽内の部材上に積層した固体状の不純物を除去する方法において、外管と、この外管の内部にあって先端に掘削刃を有する回転可能な内管とを備えた治具を用い、この治具を前記冷媒槽内に挿入してその先端部を前記不純物上に当接させて固定した後、前記内管を回転させて不純物を掘削、粉砕すると共に粉化した前記不純物を前記外管より吸引して冷媒槽から除去し、さらに残留した未粉化の不純物を前記治具の先端部の前記内管及び外管内に捕縛し、同治具を抜き取って冷媒槽から除去することを特徴とする極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法。
【請求項３】
極低温装置の冷媒槽内の部材上に積層した固体状の不純物を除去する方法において、外管と、この外管の内部にあって先端に掘削刃を有する回転可能な内管とを備えた治具を用い、この治具を前記冷媒槽内に挿入してその先端部を前記不純物上に当接させて固定した後、前記内管を回転させて不純物を掘削、粉砕する一方、前記内管を介して溶解用ガスを前記不純物に供給して溶解、蒸発させ、前記外管より粉化及び／または蒸発した不純物を吸引して冷媒槽から除去することを特徴とする極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法。
【請求項４】
前記治具を冷媒槽内に挿入するに先立ち、前記外管の基端部を前記冷媒槽外に設置された排気装置に接続することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法。
【請求項５】
前記治具を冷媒槽内に挿入するに先立ち、前記冷媒槽の内圧を大気圧よりも高く保持することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法。
【請求項６】
前記治具を冷媒槽内に挿入するに先立ち、前記治具の内部を冷媒槽の冷媒と同種のガスで置換しておくことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法。
【請求項７】
前記粉化した不純物あるいは蒸発した不純物を前記治具の前記外管より吸引して冷媒槽から除去する際に、前記冷媒槽の内圧を大気圧よりも高く保持することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法。
【請求項８】
前記冷媒槽に設けたガス供給部より冷媒槽の冷媒と同種のガスを冷媒槽に供給して前記冷媒槽の内圧を大気圧よりも高く保持することを特徴とする請求項５または７に記載の極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法。
【請求項９】
前記治具の前記外管による吸引を掘削、粉砕中に行なうことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法。
【請求項１０】
前記治具の前記内管の先端位置が前記不純物の厚み方向に一定寸法以上に進入した時点で、前記外管による吸引を停止し、前記内管の回転による掘削を継続しながら未粉化の不純物を前記治具の先端部の前記内管及び外管内に捕縛することを特徴とする請求項３に記載の極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法。
【請求項１１】
前記治具の前記内管の掘削刃が内管自身の先端部を加工して形成されたこと特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法。
【請求項１２】
前記掘削刃が鋸刃形状を有することを特徴とする請求項１１に記載の極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法。
【請求項１３】
前記治具の前記外管が回転可能でその先端に掘削刃を有し、前記不純物を掘削、粉砕する際に、前記外管を併せて回転させることを特徴とする請求項１、２、３、１１または１２のいずれかに記載の極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法。
【請求項１４】
前記治具の前記外管と内管の接続部がウイルソンシールでシールされていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法。
【請求項１５】
極低温装置の冷媒槽内の部材上に積層した固体状の不純物を除去する方法において、先端に掘削刃を有する回転可能な外管と、この外管の内部の内管とを備えた治具を用い、この治具を前記冷媒槽内に挿入してその先端部を前記不純物上に当接させて固定した後、前記外管を回転させて不純物を掘削、粉砕すると共に粉化した前記不純物を前記内管より吸引して冷媒槽から除去することを特徴とする極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法。
【請求項１６】
極低温装置の冷媒槽内の部材上に積層した固体状の不純物を除去する方法において、外管と、この外管の内部にあって先端に掘削刃を有する回転可能な内管とを備えた治具を用い、この治具を前記冷媒槽内に挿入してその先端部を前記不純物上に当接させて固定した後、前記内管を回転させて不純物を掘削、粉砕すると共に粉化した前記不純物を前記内管より吸引して冷媒槽から除去することを特徴とする極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法。
【請求項１７】
極低温装置の冷媒槽内の部材上に積層した固体状の不純物を除去する方法において、外管と、この外管の内部にあって先端に掘削刃を有する回転可能な内管とを備えた治具を用い、この治具を前記冷媒槽内に挿入してその先端部を前記不純物上に当接させて固定した後、前記内管を回転させて不純物を掘削、粉砕すると共に粉化した前記不純物を前記内管より吸引して冷媒槽から除去し、さらに残留した未粉化の不純物を前記治具の先端部の前記内管及び外管内に捕縛し、同治具を抜き取って冷媒槽から除去することを特徴とする極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法。
【請求項１８】
極低温装置の冷媒槽内の部材上に積層した固体状の不純物を除去する方法において、外管と、この外管の内部にあって先端に掘削刃を有する回転可能な内管とを備えた治具を用い、この治具を前記冷媒槽内に挿入してその先端部を前記不純物上に当接させて固定した後、前記内管を回転させて不純物を掘削、粉砕する一方、前記外管を介して溶解用ガスを前記不純物に供給して溶解、蒸発させ、前記内管より粉化及び／または蒸発した不純物を吸引して冷媒槽から除去することを特徴とする極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、極低温装置の冷媒槽内の部材上に蓄積、積層した固体状不純物の除去方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、極低温領域に特有の超伝導現象などを利用した高感度、高分解能検査機器、検出器などの極低温装置の応用が基礎科学分野だけでなく医療、先端的工業分野などで進んでいる。例えば、ＭＲＩ装置、ＮＭＲ装置、非破壊探傷装置、高感度Ｘ線検出器などは、その超伝導現象を巧みに利用し、きわめて高感度かつ高分解能で信号を検出できるようになってきている。
【０００３】
しかしながら、これらの極低温装置における極低温環境の実現には、液体ヘリウムなどの冷媒の充填が定期的に必要な場合が多く、この冷媒充填時に水分や空気などの不純物が冷媒槽内に侵入する可能性がある。そして、それが極低温環境を利用する際の利便性や操作性向上の大きな障壁になっていた。このため、冷媒充填時のこうした不純物の侵入を防止する方法も提案されている(特許文献1参照)。
【０００４】
ところが、かかる不純物の侵入防止手段を講じた場合であっても、作業者による人為的なミスやＯリング等シール材の劣化等機械的な不具合が原因で、冷媒充填時に冷媒槽内に不純物が侵入してしまうこともあり、冷媒充填時の冷媒槽内への不純物の侵入を完全に防止するのは非常に困難な状況にある。
【０００５】
このようにして、不可避的に冷媒槽に侵入した不純物は氷結して固体となる。例えば、液体ヘリウム槽内では、水、空気（主に窒素、酸素）が固体となる場合が多い。これらの固体状の不純物が、冷媒槽内に浸漬された超電導マグネット等に給電するために必要な電極、コネクタ、配線などを固定、支持する板状の固定部材等槽内の各種部材上に付着、積層すると、円滑な装置操業を維持することが困難となる。
【０００６】
冷媒槽内の部材上にこうした不純物が蓄積して積層した場合には、通常この不純物に冷媒と同種のＨｅなどの高価な常温ガス（ホットガス）を当て、溶解して除去することが行なわれている。しかし、この方法では積層した箇所では一旦不純物は溶解、揮発して除去されるが他の箇所において再び凝固、形成して冷媒槽内に残ってしまう可能性が高く、十分に冷媒槽から除去できない問題があった。
【０００７】
従って、これら冷媒槽内の各所に残存した不純物を一掃するために、定期的に冷媒槽の運転操業を停止し、冷媒槽を昇温、排気し、再び冷却する必要があり、運転操業面、コスト面において不利を伴う状況にあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平２−２０３５７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は上述した背景並びに事情を勘案し、従来の極低温装置の冷媒槽内の不純物除去技術の問題を解消し、冷媒槽内の部材上に付着、積層した固体状の不純物を、比較的簡単な専用の治具を用いて、短時間にしかも確実に冷媒槽外へ除去することが可能な極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法を提供することをその課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
このような課題を解決するために完成された本発明は以下の通りである。
【００１１】
すなわち、請求項１に係る本発明は、極低温装置の冷媒槽内の部材上に積層した固体状の不純物を除去する方法において、外管と、この外管の内部にあって先端に掘削刃を有する回転可能な内管とを備えた治具を用い、この治具を前記冷媒槽内に挿入してその先端部を前記不純物上に当接させて固定した後、前記内管を回転させて不純物を掘削、粉砕すると共に粉化した前記不純物を前記外管より吸引して冷媒槽から除去することを特徴とする極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法である。
【００１２】
また、請求項２に係る本発明は、極低温装置の冷媒槽内の部材上に積層した固体状の不純物を除去する方法において、外管と、この外管の内部にあって先端に掘削刃を有する回転可能な内管とを備えた治具を用い、この治具を前記冷媒槽内に挿入してその先端部を前記不純物上に当接させて固定した後、前記内管を回転させて不純物を掘削、粉砕すると共に粉化した前記不純物を前記外管より吸引して冷媒槽から除去し、さらに残留した未粉化の不純物を前記治具の先端部の前記内管及び外管内に捕縛し、同治具を抜き取って冷媒槽から除去することを特徴とする極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法である。
【００１３】
また、請求項３に係る本発明は、極低温装置の冷媒槽内の部材上に積層した固体状の不純物を除去する方法において、外管と、この外管の内部にあって先端に掘削刃を有する回転可能な内管とを備えた治具を用い、この治具を前記冷媒槽内に挿入してその先端部を前記不純物上に当接させて固定した後、前記内管を回転させて不純物を掘削、粉砕する一方、前記内管を介して溶解用ガスを前記不純物に供給して溶解、蒸発させ、前記外管より粉化及び／または蒸発した不純物を吸引して冷媒槽から除去することを特徴とする極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法である。
【００１４】
また、請求項４に係る本発明は、前記治具を冷媒槽内に挿入するに先立ち、前記外管の基端部を前記冷媒槽外に設置された排気装置に接続することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法。
【００１５】
また、請求項５に係る本発明は、前記治具を冷媒槽内に挿入するに先立ち、前記冷媒槽の内圧を大気圧よりも高く保持することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法である。
【００１６】
また、請求項６に係る本発明は、前記治具を冷媒槽内に挿入するに先立ち、前記治具の内部を冷媒槽の冷媒と同種のガスで置換しておくことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法である。
【００１７】
また、請求項７に係る本発明は、前記粉化した不純物あるいは蒸発した不純物を前記治具の前記外管より吸引して冷媒槽から除去する際に、前記冷媒槽の内圧を大気圧よりも高く保持することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法である。
【００１８】
また、請求項８に係る本発明は前記冷媒槽に設けたガス供給部より冷媒槽の冷媒と同種のガスを冷媒槽に供給して前記冷媒槽の内圧を大気圧よりも高く保持することを特徴とする請求項５または７に記載の極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法である。
【００１９】
また、請求項９に係る本発明は、前記治具の前記外管よる吸引を定期的に行なうことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法である。
【００２０】
また、請求項１０に係る本発明は、前記治具の前記内管の先端位置が前記不純物の厚み方向に一定寸法以上に進入した時点で、前記外管による吸引を停止し、前記内管の回転による掘削を継続しながら未粉化の不純物を前記治具の先端部の前記内管及び外管内に捕縛することを特徴とする請求項３に記載の極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法である。
【００２１】
また、請求項１１に係る本発明は、前記治具の前記内管の掘削刃が内管自身の先端部を加工して形成されたこと特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法である。
【００２２】
また、請求項１２に係る本発明は、前記掘削刃が鋸刃形状を有することを特徴とする請求項１１に記載の極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法である。
【００２３】
また、請求項１３に係る本発明は、前記治具の前記外管が回転可能でその先端に掘削刃を有し、前記不純物を掘削、粉砕する際に、前記外管を併せて回転させることを特徴とする請求項１、２、３、１１または１２のいずれかに記載の極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法である。
【００２４】
また、請求項１４に係る本発明は、前記治具の前記外管と内管の接続部がウイルソンシールでシールされていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法である。
【００２５】
また、請求項１５に係る本発明は、先端に掘削刃を有する回転可能な外管と、この外管の内部の内管とからなる治具を用い、この治具を前記冷媒槽内に挿入してその先端部を前記不純物上に当接させて固定した後、前記外管を回転させて不純物を掘削、粉砕すると共に粉化した前記不純物を前記内管より吸引して冷媒槽から除去することを特徴とする極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法である。
【００２６】
また、請求項１６係る本発明は、極低温装置の冷媒槽内の部材上に積層した固体状の不純物を除去する方法において、外管と、この外管の内部にあって先端に掘削刃を有する回転可能な内管とを備えた治具を用い、この治具を前記冷媒槽内に挿入してその先端部を前記不純物上に当接させて固定した後、前記内管を回転させて不純物を掘削、粉砕すると共に粉化した前記不純物を前記内管より吸引して冷媒槽から除去することを特徴とする極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法である。
【００２７】
また、請求項１７に係る本発明は、極低温装置の冷媒槽内の部材上に積層した固体状の不純物を除去する方法において、外管と、この外管の内部にあって先端に掘削刃を有する回転可能な内管とを備えた治具を用い、この治具を前記冷媒槽内に挿入してその先端部を前記不純物上に当接させて固定した後、前記内管を回転させて不純物を掘削、粉砕すると共に粉化した前記不純物を前記内管より吸引して冷媒槽から除去し、さらに残留した未粉化の不純物を前記治具の先端部の前記内管及び外管内に捕縛し、同治具を抜き取って冷媒槽から除去することを特徴とする極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法である。
【００２８】
さらに、請求項１８に係る本発明は、極低温装置の冷媒槽内の部材上に積層した固体状の不純物を除去する方法において、外管と、この外管の内部にあって先端に掘削刃を有する回転可能な内管とを備えた治具を用い、この治具を前記冷媒槽内に挿入してその先端部を前記不純物上に当接させて固定した後、前記内管を回転させて不純物を掘削、粉砕する一方、前記外管を介して溶解用ガスを前記不純物に供給して溶解、蒸発させ、前記内管より粉化及び／または蒸発した不純物を吸引して冷媒槽から除去することを特徴とする極低温装置の冷媒槽内の不純物除去方法である。
【００２９】
すなわち、本発明は、不純物を除去する方法において、外管内を冷媒ガスで置換可能な構造を有し、なおかつ回転可能であり先端に掘削刃を有する内管とからなる治具を用いて前記不純物上に固定し、基端を真空装置に接続し、掘削・粉砕した前記不純物を吸引して、冷媒槽から除去する不純物除去方法である。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、極低温装置の冷媒槽内の部材上に付着、積層した固体状の不純物を、比較的簡単な専用の治具を用いて、短時間に冷媒槽外へ除去することができる。
【００３１】
また、本発明によれば、極低温装置の冷媒槽内に侵入した不純物を槽外に除去することで、従来の昇温、再冷却などの必要もなくなり、冷媒槽の正常な運転操業を確保、継続することが可能となり、極低温装置の分野における操業面、コスト面において優れた効果を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】極低温装置の冷媒槽と不純物の積層箇所を示す冷媒槽の縦断面概要図である。
【図２】本発明の不純物除去方法の実施形態１または実施形態２を示す冷媒槽の縦断面概要図である。
【図３】本発明の不純物除去方法の実施形態１に用いられる除去治具の内管の掘削部の具体例を示す外管と内管の一部縦断面である。
【図４】本発明の同実施形態１に用いられる除去治具の内管の掘削部の具体例を示す内管の一部側面図である。
【図５】本発明の同実施形態１に用いられる除去治具の内管の掘削部の具体例を示す内管の下面図である。
【図６】本発明の不純物除去方法の実施形態３を示す冷媒槽の縦断面概要図である。
【図７】本発明の不純物除去方法の実施形態４を示す冷媒槽の縦断面概要図である。
【図８】本発明の不純物除去方法の実施形態５を示す冷媒槽の縦断面概要図である。
【図９】本発明の不純物除去方法の実施形態６を示す冷媒槽の縦断面概要図である。
【図１０】本発明の除去治具の外管に掘削刃を設けた具体例を示す外管の一部側面図である。
【図１１】本発明の除去治具の外管に掘削刃を設けた具体例を示す外管の下面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
まず、本発明の実施の形態を説明するに当たって、極低温装置の冷媒槽と、冷媒槽内の固体状不純物の蓄積、積層する箇所の例について簡単に説明する。図１は極低温装置の冷媒槽の縦断面概要図であるが、ここにおいて１は冷媒槽であってこの冷媒槽１には液体Ｈｅなどの冷媒２が充填され、この冷媒中に超電導マグネット（図示しない）が浸漬されており、超電導マグネットは冷媒２により、極低温の状態に冷却、保持される。槽上部には内圧を開放するための配管４がバルブ５を備えて配設されている。冷媒槽１内で蒸発した冷媒ガスは図示しないが逆止弁を有する冷媒ガス排出管を介して槽外に排出される。また、槽上部の中央には注液ポート６が設けられ、通常はフタ7で閉止されているが、槽内に定期的に冷媒２を充填、補充する場合にフタ７を解放し、注液ポート６から冷媒供給管（図示しない）を介して冷媒２が注液される。
【００３４】
冷媒槽１内の液面上方の中央部には超電導マグネットに給電するための電極、コネクタ、配線などを固定するためのプラスチック製の板状の固定部材８が設置されている。そして、前述のように槽内への冷媒２の充填、補充に伴って侵入した水分、空気などが槽内で氷結し、この固定部材８上に固体状の不純物Ｄとして蓄積、積層する。不純物Ｄは放置すると数１０ｍｍ以上の厚みに積層し、超電導マグネットによる極低温状態を維持するための各種操作が困難となる。
【００３５】
（実施形態１）
本発明の実施形態１について上記冷媒槽１の固定部材８上に積層した固体状の不純物Ｄを槽外に除去する場合を説明する。図２は本実施形態を示す極低温装置の冷媒槽の縦断面概要図である。
【００３６】
図２において、Ａは本発明において不純物Ｄを除去するために用いられる専用の除去治具であり、冷媒槽１の注液ポート６より槽内に挿入し、その下端が固定部材８に積層した不純物Ｄ上にセット（当接）した状態を示している。その外径は注液ポート６の内径と同じ若しくはそれより小さく、不純物Ｄの積層面積の径と略同一のものが予め選択される。なお、治具Ａの径が注液ポート６の内径より小さくなる場合には、環状のスペーサーなどを介在させ注液ポート６と治具Ａの間に余分な隙間ができないようにする。
【００３７】
この治具Ａはステンレス製の外管１１とその内部のステンレス製の内管１２の二重管で構成され、且つこの外管１１と内管１２の間には吸引流路１３が形成されている。内管１２は正逆何れの向きにも回転可能となっており、外管１１との上部の接続部にはウイルソンシールやOリングシールなどの真空シール１５Ａが施された軸受部１５を有しており、内管１２の回転時においても外気が外管１１内に漏れこまないよう気密に維持されている。また、外管１１の上部（基端部）は冷媒槽１外に設けられた排気装置１７と、バルブ１８を有する排気管１９を介して接続可能に構成されている。排気管１９の外管１１との接続部分はベローズ構造１９Ａを有し、治具Ａのある程度の上下移動や回転に対してこれを無理なく、吸収できるものである。なお、図２の２１は冷媒２と同種の冷媒ガス源であり、冷媒ガス供給管２０により配管４に接続され、冷媒槽１内に冷媒ガスを供給することが可能である。
【００３８】
また、前記内管の回転駆動は勿論、自動的に行なうことでも良いが、電動モーターによる場合は超電導マグネットなどの磁場の状態に悪影響をもたらす恐れがあるためその使用には注意を要する。内管の回転は遅くても十分な掘削、粉砕が容易であるため、むしろ、内管の上部に回転ハンドルなどを取り付け、手動で回転させる方式のほうが掘削、粉砕の状況に速やかに対応でき効率で好ましいといえる。
【００３９】
そして、治具Ａの内管１２の下端部（先端部）には掘削部１２Ａが設けられ、その下端は掘削刃１４を有した構造で、この内管１２の下端と前記外管１１の下端は共にほぼ一致している。
【００４０】
図３〜図５は、この内管１２の掘削部１２Ａの具体的な例であり、外管と内管の、固定板８上の不純物Ｄの表面に当接した状態を示す一部縦断面、内管１２の一部側面図及び下面図である。
【００４１】
これらの図のように、内管１２の掘削部１２Ａは内管本体の端に内管本体より径の大きい管体が溶接により固着されたもので、この管体の先端にはその円周に沿ってノコギリ刃形状の掘削刃１４（刃数はこの場合４個）が加工、形成されている。また、掘削部１２Ａの上部には対面する２個の吸引穴Ｅが穿設されている。
【００４２】
後述するが、固定部材８上に積層した固体状の不純物Ｄを掘削、粉砕する際は、図３のようにこの内管１２の先端のこの掘削刃１４を外管１１の先端と共に不純物Ｄの表面に垂直に当接させたのち内管１２を回転させで掘削、粉砕を行ない、これにより粉化した微粒の不純物Ｄは掘削刃１４と不純物Ｄの表面との隙間Ｆ（この場合、刃数に相当する四箇所）を気体の主たる吸込口として、掘削部１２Ａの上記吸引穴Ｅから外管１１内の吸引流路１３を介して冷媒槽１外に吸引、除去される。なお、粉化した不純物の一部は外管１１下端部と内管１２の掘削部１２Ａ間に形成された間隙Ｇからも吸引流路１３に向けて吸引される。
【００４３】
そこで、かかる専用の除去治具Ａを用いた本発明による不純物Ｄの除去方法について以下のその手順、要領を説明する。
【００４４】
１）まず、除去治具Ａの挿入時に冷媒槽１の注入ポート６を開放する際、不純物となる空気が侵入しないようにするため、予め冷媒ガス源2１より冷媒２と同種のガスを、固定管４のバルブ５を開とし冷媒ガス供給管２０を介しての冷媒槽２に供給し、槽内の圧力（内圧）を槽外の圧力（外圧）すなわち大気圧よりも高くしておく。また、治具内（外管１１及び内管１２内）の空気も不純物の原因となることから、やはり冷媒と同種の冷媒ガスによって事前に置換しておく。
【００４５】
２）次に、治具の外管１１を排気管１９に接続し、バルブ１８が閉状態であることを確認後、排気装置１７の真空ポンプを作動させる。そして、冷媒槽１の注液ポート６を解放し、ここより治具を冷媒槽へ挿入し、ゆっくりと降下させ、治具の先端部すなわち外管１１及び内管１２の先端が冷媒槽内の固定部材８の不純物Ｄの上に到達した時点で、その先端部を当接させた状態で支持、固定する。この、当接状態を確認、判断する具体的な好ましい方法について説明すると、治具を冷媒槽１へ挿入、降下させる前に、予め、対象となる冷媒槽の設計図などにより、冷媒槽１の注液ポート６のフタ７を開放した状態での上面の位置と、固定部材８の上面との間の寸法を把握しておき、挿入する治具の先端（下端）から前記寸法に一致する位置の外管１１の周囲表面に筆記具やテープなどにより線状の印を付ける。そして、治具を注液ポート６に挿入、降下させて行き、この線状の印が注液ポート６の上面の位置に達したときにこれを当接状態と判断し、その降下を速やかに停止する。これは治具がステンレスなどの金属製の重量物であるため、固定部材８の不純物Ｄの上に到達した際の抵抗によりその当接状態を判断することが困難であるからであり、抵抗によりこれを判断した場合には、時としてその慣性力により必要以上に降下してしまい、その結果、固定部材８を変形、破損させる恐れがあるからである。このように、線状の印を目印として当接状態を目視判断することにより、常に治具の先端が固定部材８の表面よりも下に降下しない一定の位置で停止することができるから、固定部材８を変形、破損させることなく不純物の除去作業を開始することが可能となる。
【００４６】
３）次いで、この状態で、治具の内管１２を回転（一方向の回転若しくは正逆交互の回転）させ、その先端の掘削刃１４により固定部材８に積層した不純物の掘削、粉砕を開始する。
【００４７】
４）また、同時に排気管１９のバルブ１８を開けて、この掘削、粉砕により数１０μｍ以下の微粒なサイズに粉化した不純物（掘削粉）を内管１２の掘削部１２Ａに設けた吸引穴Ｅ及び間隙Ｇから外管１１内の吸引流路１３を通じて上方に吸引し、排気管１９を介して冷媒槽１外の排気装置１７に排出、除去する。この排気装置１７による吸引は内管１２による掘削、粉砕の開始から終了まで連続して行っても良いし、その動力を軽減するためある程度の量の掘削粉が発生した時点で一定時間吸引を実施するようにしても良い。
【００４８】
５）この治具による不純物Ｄの掘削、粉砕及び吸引、除去作業中においても冷媒ガス源２１より冷媒２と同種のガスの冷媒槽１への供給を継続して行い、その内圧を常に大気圧よりも少し高く維持し、空気の槽内への混入を防止するようにする。
【００４９】
６）こうして治具による掘削、粉砕及び吸引、除去作業の進行に従って、不純物Ｄの厚みは減少し、これに伴い治具の内管１２の下端は下がって行き、固定部材８に積層したすべて不純物Ｄの掘削、粉砕がなされると内管１２の掘削刃１４が固定部材８の表面に当接することになり、回転の抵抗が上昇することから、この時点で内管１２の回転を停止して掘削、粉砕作業を停止するとともに、排気管１９のバルブ１８を閉め、排気装置１７の真空ポンプを止めて吸引除去作業を終了する。
【００５０】
７）そしてこの後、治具Ａを上昇させ、注液ポート６から冷媒槽１の外に引き上げた後、注液ポート６のフタ７を閉める。
【００５１】
８）最後に、固定管４のバルブを閉めて、冷媒ガス源２１からの冷媒ガスの冷媒槽１への供給を停止してこれにより全作業を完了する。
【００５２】
このように、この実施形態おいては、除去治具Ａの内管１２が不純物Ｄの掘削、粉砕機能、外管１１が不純物Ｄの吸引機能及び内管１２の支持、固定機能を有するものである。
【００５３】
上記実施形態１では、治具Ａの内管１２に掘削刃１４を設けたものについて説明したが、内管１２に加え、図１０及び図１１に示すような外管１１の下端にも同様な掘削刃１４を設けた治具を用いても良い。この場合、排気管１９のベローズ構造１９Ａの許容する範囲内において外管１１も交互に正逆回転させ、特に内管１２の外側に位置する不純物Ｄを補助的に掘削、粉砕を行うことができる。
【００５４】
（実施形態２）
本実施形態は前記の実施形態１による方法では固定部材８上に積層した固体状の不純物Ｄを必ずしも確実に除去できない場合、特に不純物Ｄの厚みが例えば約２０ｍｍを超える場合に有効に適用できる方法である。すなわち、掘削の厚みが２０ｍｍまでは不純物Ｄが吸引可能な微粒サイズの掘削粉に粉砕されるが、掘削の厚みが２０ｍｍを超えると不純物が強固な層となっており、掘削、粉砕によっても十分に全ての不純物Ｄを微粒サイズに粉化できず、粗粒が増え、排気装置による吸引除去が困難となるからである。以下、厚みが２０ｍｍを超える不純物Ｄを対象とした場合を前提としてこの実施形態を説明する。
【００５５】
本実施形態による不純物Ｄを除去する方法については、前記実施形態１と同一の除去治具Ａを用いて行なうもので、その手順、要領ついても実施形態１で説明した１）〜５）及び７）〜８）は同じであるのでこれを割愛し、異なる６）について図２を参照して下記に説明する。
【００５６】
６−１）このようにして治具による掘削、粉砕及び吸引、除去作業の進行に従って、不純物Ｄの厚みは減少して行くが、内管の降下寸法により掘削の厚みが２０ｍｍに達した時点で、排気管１９のバルブ１８を閉め、排気装置１７の真空ポンプを止めて吸引除去作業を終了する。
【００５７】
６−２）その後も、内管１２の回転による掘削、粉砕を継続し、主として粗粒からなる未粉化の不純物を内管１２の掘削部１２Ａの内部及び外管１１との隙間に充填、固化させて捕縛する。すべて不純物Ｄの掘削、粉砕及びこれによる不純物の捕縛がなされると、内管１２の掘削刃１４が固定部材８の表面に当接することになり、回転の抵抗が上昇することから、この時点で内管１２の回転を停止して掘削、粉砕作業を終了する。治具に捕縛された不純物は治具を冷媒槽外に引き上げた後に除去、処理を行なう。
【００５８】
このように、この実施形態おいては、除去治具Ａの内管１２が不純物Ｄの掘削、粉砕及び捕縛機能、外管１１が不純物Ｄの吸引機能及び内管１２の支持、固定機能を有するものである。
なお、上記実施形態２おいても、内管１２と同様に図１０及び図１１に示す外管１１の下端に同様な掘削刃１４を設けた治具を用いても良い。
【００５９】
（実施形態３）
本実施形態も前記の実施形態２と同様に、特に不純物Ｄの厚みが例えば２０ｍｍを超えて固定部材８上に積層している場合に有効に適用できる方法であり、実施形態１を示した図２に対応する図６に基づき説明する。なお、使用する治具Ａ自体に関しては実施形態１で述べた図２及び図３〜図５とほぼ同じである。但し、内管１２の掘削部１２Ａの吸引穴Ｅは存在しない。
【００６０】
先ず、本実施形態では図２により説明した実施形態１の方法に加えて、同図６の如く、冷媒ガス源２１がバルブ２４を有する溶解ガス供給管２２を介して治具Ａの回転可能な内管１２の上端部（基端部）に接続した構成により不純物Ｄの除去を実施する。ここで、治具Ａの内管１２の上端部（基端部）と溶解ガス供給管２２の接続部、及び同内管１２の上部と外管１１の上端部の接続部にはそれぞれにはウイルソンシールなどの真空シール１５Ａが施された軸受部１５が設けられていて、内管１２の回転によっても気密に維持されるようになっている。なお、２２Ａは溶解ガス供給管２２の内管１２との接続部分に設けられたベローズ構造であり、治具Ａのある程度の上下移動等に対してこれを無理なく、吸収できるように構成されている。
【００６１】
つまり、この実施形態は、先の実施形態１の内管１２による掘削、粉砕と外管１１による吸引除去に合わせて、さらに内管１２による溶解、蒸発除去を行なうものである。
【００６２】
以下、その手順、要領ついて説明するが、この実施形態においても前半については前記実施形態１の１）〜５）と共通するため、これと異なる後半の６）以降について述べる。
【００６３】
６）次いで、溶解ガス供給管２２のバルブ２１を開き、冷媒ガス源２１から同供給管２２により溶解ガスを治具Ａの内管１２に供給し、同溶解ガスを掘削、粉砕された不純物Ｄの表面に向けて吹き付ける。このように溶解ガスを吹き付けると、掘削による粉化を促進すると共に未粉化の粗粒の不純物が溶解、蒸発し、生成した不純物を含むガスは、掘削、粉化した微粒の不純物と一緒になって、掘削部１２Ａに設けた吸引穴Ｆ及び間隙Ｇから外管１１内の吸引流路１３を通じて上方に吸引され、排気管１９を介して排気装置１７に吸引除去される。
【００６４】
７）その後も、不純物のこの内管１２への溶解ガスの供給による溶解、蒸発と内管１２の回転による掘削、粉砕及び外管１１による吸引除去を継続し、すべて不純物Ｄの掘削、粉砕がなされると、内管１２の掘削刃１４が固定部材８の表面に当接することになり、回転の抵抗が上昇することから、この時点で内管１２の回転を停止して掘削、粉砕作業を終了する。
【００６５】
８）そしてこの後、治具Ａを上昇させ、注液ポート６から冷媒槽１の外に引き上げた後、注液ポート６のフタ７を閉める。
【００６６】
９）次いで、排気管１９のバルブ１８を閉めて排気装置１７のポンプを止めた後、吸引除去作業を終了する。そして、溶解ガス供給管２２のバルブ２４を閉め、溶解ガスの内管１２への供給を停止する。
【００６７】
このように、この実施形態おいては、除去治具Ａの内管１２が不純物Ｄの掘削、粉砕及び溶解機能、外管１１が不純物Ｄの吸引機能及び内管１２の支持、固定機能を有するものである。
【００６８】
なお、この実施形態においては、Ｈｅなどの溶解ガスの使用量削減のため、溶解ガスを治具Ａの内管１２への供給を不純物Ｄの掘削、粉砕によってもその粉化が困難な途中の時点から開始するようにしたが、掘削、粉砕の開始と同時に開始するようにしても良い。
【００６９】
（実施形態４）
本実施形態は前記の実施形態１で用いた除去治具Ａとは外管１１と内管１２の機能が逆の異なった除去治具Ａ２を使用して、不純物Ｄを冷媒槽１外に除去するものである。
【００７０】
すなわち、この実施形態を示した図７において、除去治具Ａ２は同様に外管１１とその内部の内管１２の二重管で構成されており、外管１１と内管１２とは流路となるような大きな隙間がない状態で嵌合されている。外管１１は回転可能となっており、内管１２との上部の接続部にはウイルソンシールなどの真空シール１５Ａが施された軸受部１５を有しており、外管１１の回転時においても外気が内管１２内に漏れこまないよう気密に維持されている。
【００７１】
また、内管１２の上部（基端部）は冷媒槽１外に設けられた排気装置１７と、バルブ１８を有する排気管１９を介して接続可能に構成されている。排気管１９の外管１１との接続部分はベローズ構造１９Ａを有し、外管１１のある程度の上下移動等に対してこれを無理なく、吸収できるものである。さらに、内管１２の先端（下端）には矩形状に開口した複数の気体の吸込口Ｈが形成されている。そして、外管１１先端には図１０、図１１に示すようなノコギリ刃形状の掘削刃１４（刃数はこの場合４個）が加工、形成されている。
【００７２】
そこで、本実施形態によるこの治具Ａ２を用いて不純物Ｄを除去する方法の手順、要領について図２を参照して説明する。なお、最初の１）については前記実施形態１と同じであるのでこれを割愛し、２）以降について述べる。
【００７３】
２）次に、治具の内管１２を排気管１９に接続し、冷媒槽１の注液ポート６を解放し、ここより治具を冷媒槽へ挿入し、降下させ、治具の先端部すなわち外管１１及び内管１２の先端が冷媒槽内の固定部材８の不純物Ｄの上に到達した時点で、その先端部を当接させた状態で支持、固定する。
【００７４】
３）次いで、この状態で、治具の外管１１を回転させ、その先端の掘削刃１４により固定部材８に積層した不純物の掘削、粉砕を開始する。
【００７５】
４）また、同時に、排気装置１７の真空ポンプを作動させた後、排気管１９のバルブ１８を開けて、この掘削、粉砕により数１０μｍ以下の微粒なサイズに粉化した不純物（掘削粉）を内管１２を通して上方に吸引し、排気管１９を介して冷媒槽１外の排気装置１７に排出、除去する。この排気装置１７による吸引は外管１１による掘削、粉砕の開始から終了まで連続して行っても良いし、その動力を軽減するためある程度の量の掘削粉が発生した時点で一定時間吸引を実施するようにしても良い。
【００７６】
５）この治具による不純物Ｄの掘削、粉砕及び吸引、除去作業中においても冷媒ガス源２１より冷媒２と同種のガスの冷媒槽１への供給を継続して行い、その内圧を常に大気圧よりも少し高く維持し、空気の槽内への混入を防止するようにする。
【００７７】
６）こうして治具による掘削、粉砕及び吸引、除去作業の進行に従って、不純物Ｄの厚みは減少し、これに伴い治具の（外管１１及び内管１２）の下端は下がって行き、固定部材８に積層したすべて不純物Ｄの掘削、粉砕がなされると外管１１の掘削刃１４が固定部材８の表面に当接することになり、回転の抵抗が上昇することから、この時点で内管１２の回転を停止して掘削、粉砕作業を停止するとともに、排気管１９のバルブ１８を閉め、排気装置１７の真空ポンプを止めて吸引除去作業を終了する。
【００７８】
７）そしてこの後、治具Ａ２を上昇させ、注液ポート６から冷媒槽１の外に引き上げた後、注液ポート６のフタ７を閉める。
【００７９】
８）最後に、固定管４のバルブ５を閉めて、冷媒ガス源２１からの冷媒ガスの冷媒槽１への供給を停止してこれにより全作業を完了する。
【００８０】
このように、この実施形態おいては、除去治具Ａ２の外管１１が不純物Ｄの掘削、粉砕機能、内管１２が不純物Ｄの吸引機能及び外管１１の支持、固定機能を有するものである。
【００８１】
（実施形態５）
本実施形態は先の実施形態で用いた除去治具Ａ、Ａ２とは外管１１と内管１２の機能が異なった除去治具Ａ３を使用して、不純物Ｄを冷媒槽１外に除去するものである。
【００８２】
すなわち、この実施形態を示した図８において、除去治具Ａ３は同様に外管１１とその内部の内管１２の二重管で構成されており、すなわち、この実施形態を示した図７において、除去治具Ａ２は同様に外管１１とその内部の内管１２の二重管で構成されており、外管１１と内管１２とは流路となるような大きな隙間がない状態で嵌合されている。内管１２は回転可能となっており、外管１１との上部の接続部、及び排気装置１７の排気管１９との接続部にはウイルソンシールなどの真空シール１５Ａが施された軸受部１５を有しており、内管１２の回転時においても外気が内管１２内に漏れこまないよう気密に維持されている。排気管１９の内管１２との接続部分はベローズ構造１９Ａを有し、外管１１のある程度の上下移動等に対してこれを無理なく、吸収できるものである。そして、内管１２の先端には図３に示すようなノコギリ刃形状の掘削刃１４（刃数はこの場合４個）が加工、形成されている。
【００８３】
そこで、本実施形態によるこの治具Ａ２を用いて不純物Ｄを除去する方法の手順、要領について図２を参照して説明する。なお、最初の１）については前記実施形態１と同じであるのでこれを割愛し、２）以降について述べる。
【００８４】
２）次に、治具の内管１２を排気管１９に接続し、冷媒槽１の注液ポート６を解放し、ここより治具を冷媒槽へ挿入し、降下させ、治具の先端部すなわち外管１１及び内管１２の先端が冷媒槽内の固定部材８の不純物Ｄの上に到達した時点で、その先端部を当接させた状態で支持、固定する。
【００８５】
３）次いで、この状態で、治具の内管１２を回転させ、その先端の掘削刃１４により固定部材８に積層した不純物の掘削、粉砕を開始する。
【００８６】
４）また、同時に、排気装置１７の真空ポンプを作動させた後、排気管１９のバルブ１８を開けて、この掘削、粉砕により数１０μｍ以下の微粒なサイズに粉化した不純物（掘削粉）を内管１２を通して上方に吸引し、排気管１９を介して冷媒槽１外の排気装置１７に排出、除去する。この排気装置１７による吸引は内管１２による掘削、粉砕の開始から終了まで連続して行っても良いし、その動力を軽減するためある程度の量の掘削粉が発生した時点で一定時間吸引を実施するようにしても良い。
【００８７】
５）この治具による不純物Ｄの掘削、粉砕及び吸引、除去作業中においても冷媒ガス源１９より冷媒２と同種のガスの冷媒槽１への供給を継続して行い、その内圧を常に大気圧よりも少し高く維持し、空気の槽内への混入を防止するようにする。
【００８８】
６）こうして治具による掘削、粉砕及び吸引、除去作業の進行に従って、不純物Ｄの厚みは減少し、これに伴い治具の（外管１１及び内管１２）の下端は下がって行き、固定部材８に積層したすべて不純物Ｄの掘削、粉砕がなされると内管１２の掘削刃１４が固定部材８の表面に当接することになり、回転の抵抗が上昇することから、この時点で内管１２の回転を停止して掘削、粉砕作業を停止するとともに、排気管１９のバルブ１８を閉め、排気装置１７の真空ポンプを止めて吸引除去作業を終了する。
【００８９】
７）そしてこの後、治具Ａ３を上昇させ、注液ポート７から冷媒槽１の外に引き上げた後、注液ポート６のフタ７を閉める。
【００９０】
８）最後に、固定管４のバルブを閉めて、冷媒ガス源２１からの冷媒ガスの冷媒槽１への供給を停止してこれにより全作業を完了する。
【００９１】
このように、この実施形態おいては、除去治具Ａ３の内管１２が不純物Ｄの掘削、粉砕及び吸引機能、外管１１が不内管１２の支持、固定機能を有するものである。
【００９２】
なお、上記実施形態２おいても、内管１２と同様に図１０及び図１１に示す外管１１の下端に同様な掘削刃１４を設けた治具を用いても良い。
【００９３】
また、本実施形態の変形例として、特に対象となる不純物Ｄの厚みが２０ｍｍを超えるような場合は、実施形態３で説明したように上記掘削、粉砕並びに吸引除去を行う一方で、残留する未粉化の不純物については内管１２及び外管１１による捕縛を組み合わせて実施することも有効である。
【００９４】
（実施形態６）
本実施形態はこれまでの実施形態で用いた除去治具Ａ、Ａ２及びＡ３とは外管１１と内管１２の機能が異なった除去治具Ａ３を使用して、不純物Ｄを冷媒槽１外に除去するものであり、また、特に不純物Ｄの厚みが２０ｍｍを超える場合に有効に適用できる方法である。
【００９５】
すなわち、この実施形態を示した図９において、除去治具Ａ４は同様に外管１１とその内部の内管１２の二重管で構成されており、且つこの外管１１と内管１２の間には溶解ガス供給流路２３が形成されている。内管１２は回転可能となっており、外管１１との上部の接続部、及び排気装置１７の排気管１９との接続部にはウイルソンシールなどの真空シール１５Ａが施された軸受部１５を有しており、内管１２の回転時においても外気が内管１２内に漏れこまないよう気密に維持されている。排気管１９の内管１２との接続部分はベローズ構造１９Ａを有し、治具Ａ４のある程度の上下移動に対してこれを無理なく、吸収できるものである。
【００９６】
そして、内管１２の先端には図３に示すようなノコギリ刃形状の掘削刃１４（刃数はこの場合４個）が加工、形成されている。また、外管１１はバルブ２４を有する溶解ガス供給管２２を介して冷媒２と同種の溶解ガス源２１に接続されており、溶解ガス源２１から外管１１の前記溶解ガス供給流路２３を通して溶解ガスを不純物Ｄに吹き付けることが可能である。この溶解ガス供給管２２の外管１１との接続部分もベローズ構造２２Ａを有し、治具Ａ４の上下移動等を吸収できる。
【００９７】
そこで、本実施形態によるこの治具Ａ４を用いて不純物Ｄを除去する方法の手順、要領について図９を参照して説明する。なお、最初の１）については前記実施形態１と同じであるのでこれを割愛し、同様に２）以降について述べる。
【００９８】
２）次に、治具の外管１１を排気管１９に接続し、冷媒槽１の注液ポート７を解放し、ここより治具を冷媒槽へ挿入し、降下させ、治具の先端部すなわち外管１１及び内管１２の先端が冷媒槽内の固定部材８の不純物Ｄの上に到達した時点で、その先端部を当接させた状態で支持、固定する。
【００９９】
３）次いで、この状態で、治具の内管１２を回転させ、その先端の掘削刃１４により固定部材８に積層した不純物の掘削、粉砕を開始する。
【０１００】
４）また、同時に、排気装置１７の真空ポンプを作動させた後、排気管１９のバルブ１８を開けて、この掘削、粉砕により数１０μｍ以下の微粒なサイズに粉化した不純物（掘削粉）を内管１２を通して上方に吸引し、排気管１９を介して冷媒槽１外の排気装置１７に排出、除去する。この排気装置１７による吸引は内管１２による掘削、粉砕の開始から終了まで連続して行っても良いし、その動力を軽減するためある程度の量の掘削粉が発生した時点で一定時間吸引を実施するようにしても良い。
【０１０１】
５）この治具による不純物Ｄの掘削、粉砕及び吸引、除去作業中においても冷媒ガス源２１より冷媒２と同種のガスの冷媒槽１への供給を継続して行い、その内圧を常に大気圧よりも少し高く維持し、空気の槽内への混入を防止するようにする。
【０１０２】
６）このようにして治具による掘削、粉砕及び吸引、除去作業の進行に従って、不純物Ｄの厚みは減少して行くが、内管の降下寸法により掘削の厚みが２０ｍｍに達した時点で、溶解ガス供給管２２のバルブ２４を開き、冷媒ガス源２１から同供給管２２により溶解ガスを治具Ａ４の外管１１の溶解ガス供給流路２３に供給し、同溶解ガスを掘削、粉砕された不純物Ｄの表面に向けて吹き付ける。このように溶解ガスを吹き付けると、掘削による粉化を促進すると共に未粉化の粗粒の不純物が溶解、蒸発し、生成した不純物を含むガスは内管１２、排気管１９を介して粉化した不純物と一緒に排気装置１７に吸引除去される。
【０１０３】
７）その後も、不純物のこの外管１１（溶解ガス供給流路２３）への溶解ガスの供給による溶解、蒸発と内管１２の回転による掘削、粉砕と内管による吸引除去を継続し、すべて不純物Ｄの掘削、粉砕がなされると、内管１２の掘削刃１４が固定部材８の表面に当接することになり、回転の抵抗が上昇することから、この時点で内管１２の回転を停止して掘削、粉砕作業を終了する。
【０１０４】
８）そしてこの後、治具Ａ４を上昇させ、注液ポート６から冷媒槽１の外に引き上げた後、注液ポート６のフタ７を閉める。
【０１０５】
９）次いで、溶解ガス供給管２２のバルブ２１を閉め、溶解ガスの外管１１への供給を停止するとともに、排気管１９のバルブ１８を閉め、排気装置１７の真空ポンプを止めて吸引除去作業を終了する。
【０１０６】
１０）最後に、固定管４のバルブを閉めて、冷媒ガス源２１からの冷媒ガスの冷媒槽１への供給を停止してこれにより全作業を完了する。
【０１０７】
このように、この実施形態おいては、除去治具Ａ４の内管１２が不純物Ｄの掘削、粉砕及び吸引機能、外管１１が不純物Ｄの溶解機能及び内管１２の支持、固定機能を有するものである。
【０１０８】
なお、この実施形態おいては、Ｈｅなどの溶解ガスの使用量削減のため、溶解ガスを治具Ａ４の内管１２への供給を不純物Ｄの掘削、粉砕によってもその粉化が困難な途中の時点から開始するようにしたが、掘削、粉砕の開始と同時に開始するようにしても良い。
【符号の説明】
【０１０９】
１：冷媒槽  
２：冷媒  
４：冷媒ガス供給口(固定管)
５：冷媒ガス供給口バルブ
６：注液ポート
７：注液ポートフタ
８:固定部材
１１:外管
１２：内管
１２Ａ：掘削部
１３：吸引経路
１４：掘削刃
１５：軸受部
１５Ａ：真空シール
１７：排気装置
１８：排気バルブ
１９：排気管
１９Ａ：ベローズ構造
２０:冷媒ガス供給管
２１：冷媒ガス源
２２：溶解ガス供給路
２２Ａ：ベローズ構造
２３：溶解ガス供給路
２４：溶解ガス供給バルブ
Ａ：治具
Ｄ：不純物
Ｅ：吸引穴
Ｆ：隙間
Ｇ：間隙  
【図１】
2011035151.tif 000003
【図２】
2011035151.tif 000004
【図３】
2011035151.tif 000005
【図４】
2011035151.tif 000006
【図５】
2011035151.tif 000007
【図６】
2011035151.tif 000008
【図７】
2011035151.tif 000009
【図８】
2011035151.tif 000010
【図９】
2011035151.tif 000011
【図１０】
2011035151.tif 000012
【図１１】
2011035151.tif 000013