(57)【要約】【課題】材料起因によるパーティクル汚染をほぼ完全に防止することができるワーク保持装置及びそのエンボス形成方法を提供する。【解決手段】真空チャック１は、ベース２上に吸着部３を設けた構成である。ベース２は、アルミニュウム製の本体部２１と軸部２２とを備える。吸着部３は、エンボス２３と外周壁部２４とを樹脂フィルム４で覆った構造である。具体的には、樹脂フィルム４によって、本体部２１の表面２１ａに突出したエンボス２３と外周壁部２４とを覆い、樹脂フィルム４を、エンボス２３と外周壁部２４との形状に沿って密着させ、接着樹脂シート５を介してこれらに接着した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定高さで突出した複数のエンボスを表面に有する金属製のベースと、
上記複数のエンボスの形状に沿ってこれらエンボスと上記ベースの表面とを覆うように接着された樹脂フィルムと
を具備することを特徴とするワーク保持装置。
【請求項２】
請求項１に記載のワーク保持装置において、
上記樹脂フィルムは、ポリイミドフィルム，ポリアミドフィルム，及びシリコン樹脂フィルムのいずれかである、
ことを特徴とするワーク保持装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のワーク保持装置において、
上記樹脂フィルムを、接着樹脂シート，熱可塑性ポリイミド又は接着剤のいずれかを用いて接着した、
ことを特徴とするワーク保持装置。
【請求項４】
ワーク保持装置の金属製のベースの表面に、機械加工により、複数のエンボスを形成する第１の工程と、
裏面に接着樹脂シートが貼られた樹脂フィルムを、上記ベースの外周形状に対応させて裁断する第２の工程と、
裁断した上記樹脂フィルムを、上記複数のエンボスの形状に沿ってこれらエンボスと上記ベースの表面とに圧着させる第３の工程と
を具備することを特徴とするワーク保持装置のエンボス形成方法。
【請求項５】
請求項４に記載のワーク保持装置のエンボス形成方法において、
上記樹脂フィルムは、ポリイミドフィルム，ポリアミドフィルム，及びシリコン樹脂フィルムのいずれかである、
ことを特徴とするワーク保持装置のエンボス形成方法。
【請求項６】
請求項４又は請求項５に記載のワーク保持装置のエンボス形成方法において、
上記第２の工程における樹脂フィルムの圧着を、接着樹脂シート，熱可塑性ポリイミド又は接着剤のいずれかを介して行った、
ことを特徴とするワーク保持装置のエンボス形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、エンボスをワークの吸着部に有したワーク保持装置及びそのエンボス形成方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、エンボスをワークの吸着部に有したワーク保持装置を製造する際には、板状の金属板やセラミックをベース上に設け、これらの金属やセラミックス等をプラズマでエッチングすることで、ベース上に凹凸パターンのエンボスを形成していた（例えば、特許文献１参照）。
かかる構成により、ワーク加工処理時に、パーティクルを多数のエンボスの間に収納するようにして、パーティクルがワークに付着することを防止していた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平０９−３２７１８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記した従来の技術では、次のような問題がある。
金属やセラミックスで形成されたエンボスの場合は、ワークを吸着する際、エンボス面と接触することにより、エンボスの面から発塵し易く、エンボス自身がワークを汚染するおそれがある。
これに対して、樹脂によってエンボスを形成する場合には、発塵しない場合が多いが、エッチングがし難い樹脂の場合には、エンボス自体を所望の精度で形成することが困難であり、無理にエッチングすると、発塵し易くなる樹脂もある。
【０００５】
この発明は、上述した課題を解決するためになされたもので、材料起因によるパーティクル汚染をほぼ完全に防止することができるワーク保持装置及びそのエンボス形成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、請求項１の発明に係るワーク保持装置は、所定高さで突出した複数のエンボスを表面に有する金属製のベースと、複数のエンボスの形状に沿ってこれらエンボスとベースの表面とを覆うように接着された樹脂フィルムとを具備する構成とした。
かかる構成により、ウエハ等のワークを樹脂フィルム上に載置すると、ワークが複数のエンボスで支えられた状態になり、作業時に発生したパーティクルは、複数のエンボスの間に収納される。このため、パーティクルがワークに付着することはない。
また、エンボスを覆う樹脂フィルムに、エッチング等の加工が施されていないので、パーティクルが樹脂フィルム自身から発生することはない。  
【０００７】
また、請求項２の発明は、請求項１に記載のワーク保持装置において、樹脂フィルムは、ポリイミドフィルム，ポリアミドフィルム，及びシリコン樹脂フィルムのいずれかである構成とした。
【０００８】
さらに、請求項３の発明は、請求項１又は請求項２に記載のワーク保持装置において、樹脂フィルムを、接着樹脂シート，熱可塑性ポリイミド又は接着剤のいずれかを用いて接着した構成とする。
【０００９】
また、請求項４の発明に係るワーク保持装置のエンボス形成方法は、ワーク保持装置の金属製のベースの表面に、機械加工により、複数のエンボスを形成する第１の工程と、裏面に接着樹脂シートが貼られた樹脂フィルムを、ベースの外周形状に対応させて裁断する第２の工程と、裁断した樹脂フィルムを、複数のエンボスの形状に沿ってこれらエンボスとベースの表面とに圧着させる第３の工程とを具備する構成とした。
かかる構成により、第１の工程を実行することで、複数のエンボスが、ワーク保持装置の金属製のベースの表面に、機械加工によって形成され、第２の工程を実行することで、裏面に接着樹脂シートが貼られた樹脂フィルムが、ベースの外周形状に対応して裁断される。そして、第３の工程を実行することで、裁断した樹脂フィルムが、複数のエンボスの形状に沿ってこれらエンボスとベースの表面とに圧着される。
【００１０】
また、請求項５の発明は、請求項４に記載のワーク保持装置のエンボス形成方法において、樹脂フィルムは、ポリイミドフィルム，ポリアミドフィルム，及びシリコン樹脂フィルムのいずれかである構成とした。
【００１１】
さらに、請求項６の発明は、請求項４又は請求項５に記載のワーク保持装置のエンボス形成方法において、第２の工程における樹脂フィルムの圧着を、接着樹脂シート，熱可塑性ポリイミド又は接着剤のいずれかを介して行った構成とする。
【発明の効果】
【００１２】
以上、詳しく説明したように、この発明のワーク保持装置によれば、装置外部から発生したパーティクルのワークへの付着を防止することができるだけでなく、エンボス自身からのパーティクル発生を防止することができるので、ワークへのパーティクル汚染をほぼ完全に防止することができるという優れた効果がある。
また、この発明のワーク保持装置のエンボス形成方法によれば、ワークへのパーティクル汚染をほぼ完全に防止することができるワーク保持装置を製造することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】この発明の一実施例に係る真空チャックを一部破断して示す斜視図である。
【図２】真空チャックの概略断面図である。
【図３】吸着部を説明するための部分拡大断面図である。
【図４】真空チャックのエンボス形成方法を示す工程図である。
【図５】真空チャックの作用及び効果を説明するための概略断面図である。
【図６】ワーク保持装置の他の例を示す部分拡大断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、この発明の最良の形態について図面を参照して説明する。
【実施例１】
【００１５】
図１は、この発明の一実施例に係る真空チャックを一部破断して示す斜視図であり、図２は、真空チャックの概略断面図である。
この実施例のワーク保持装置は、真空チャックであり、この真空チャック１は、図１に示すように、ベース２上に吸着部３を形成した構成になっている。
【００１６】
ベース２は、アルミニュウムを素材としており、図２に示すように、本体部２１と軸部２２とを備えている。
本体部２１は、肉厚の円板状を成し、その中心に、表面２１ａに開口する空気通路２０を有している。
一方、軸部２２は、本体部２１と一体をなし、その軸方向に、本体部２１からの空気通路２０が通っている。また、この軸部２２は、モータ１０に機械的に連結しており、モータ１０によって回転する。
【００１７】
図３は、吸着部３を説明するための部分拡大断面図である。
吸着部３は、図１に示すように、本体部２１のエンボス２３と外周壁部２４とを樹脂フィルム４で覆うことによって、形成されている。
具体的には、図３に示すように、複数のエンボス２３を、本体部２１の表面２１ａに突設すると共に、リング状の外周壁部２４を、表面２１ａの外周縁部に形成した。そして、樹脂フィルム４によって、本体部２１の表面２１ａとエンボス２３と外周壁部２４とを覆う。しかる後、この樹脂フィルム４を、複数のエンボス２３と外周壁部２４との形状に沿って密着させ、樹脂フィルム４を、これらエンボス２３と外周壁部２４と表面２１ａとに接着樹脂シート５を介して接着した。
このような樹脂フィルム４として、ポリイミドフィルム，ポリアミドフィルム，及びシリコン樹脂フィルムを用いることができるが、この実施例では、ポリイミドフィルムを採用した。また、接着樹脂シート５として、エポキシ系樹脂のシートを採用した。
吸着部３のエンボス２３の高さは、外周壁部２４の高さと等しく設定されており、後述するウエハＷを、複数のエンボス２３と外周壁部２４上に、撓みなく平坦に載せることができるようになっている。
そして、吸着部３の樹脂フィルム４と接着樹脂シート５との中心には、図２に示すように、吸気及び排気用の孔２６と孔２５とが穿設され、これら孔２５，２６が、ベース２の空気通路２０の開口に連通している。
【００１８】
以上の構成から明らかなように、この実施例の真空チャック１は、ウエハＷを空気通路２０及び孔２５，２６を通じて吸引保持し、且つモータ１０で回転するスピンチャックである。
【００１９】
次に、この実施例の真空チャック１のエンボス形成方法について説明する。
図４は、真空チャック１のエンボス形成方法を示す工程図である。なお、この方法は、この発明のワーク保持装置のエンボス形成方法を具体的に実行するものである。
まず、第１の工程を実行する。
すなわち、図４の（ａ）に示すように、加工前本体部を図示しない加工機械にセットし、この加工機械で機械加工する。これにより、図４の（ｂ）に示すように、複数のエンボス２３と外周壁部２４とを表面２１ａに有した本体部２１を形成する。
次に、第２の工程を実行する。
すなわち、図４の（ｃ）に示すように、裏面に接着樹脂シート５が貼られた樹脂フィルム４を、本体部２１の外周形状に合わせて裁断し、この樹脂フィルム４を本体部２１の本体部２１の真上に配する。
しかる後、第３工程を実行する。
すなわち、本体部２１の表面２１ａ全体を樹脂フィルム４で覆い、図示しないプレス機によって、接着樹脂シート５付の樹脂フィルム４を本体部２１の上から押圧する。すると、図４の（ｄ）に示すように、樹脂フィルム４が、エンボス２３と外周壁部２４との形状に沿って、エンボス２３と外周壁部２４とに密着する。
これにより、樹脂フィルム４と接着樹脂シート５とに被覆されたエンボス２３と外周壁部２４とを得ることができる。
【００２０】
アルミニュウムは高精度の加工が可能であり、また、樹脂フィルム４の素材であるポリイミドフィルムは、厚みが均一である。したがって、上記のように、アルミニュウムの本体部２１を機械加工加工すると共に、樹脂フィルム４でエンボス２３を覆うことにより、寸法精度の高いエンボスを形成することができる。
【００２１】
次に、この実施例の真空チャックが示す作用及び効果について説明する。
図５は、真空チャック１の作用及び効果を説明するための概略断面図である。
図５に示すように、ワークとしてのウエハＷを吸着部３上に載置すると、ウエハＷが樹脂フィルム４で被覆されたエンボス２３と外周壁部２４上に載る。
かかる状態で、図示しない真空ポンプにより、矢印で示すように、ベース２の空気通路２０内の空気Ａを引くと、ウエハＷ下側及び孔２５，２６内が負圧になる。これにより、ウエハＷの裏面が、複数のエンボス２３と外周壁部２４とを覆う樹脂フィルム４に気密に吸着され、ウエハＷがエンボス２３と外周壁部２４とによって支えられた状態になる。
この状態で、モータ１０を駆動して真空チャック１全体を回転させ、回転するウエハＷに対して所望の加工を行うことができる。
【００２２】
加工作業を行うと、パーティクルＰが発生するが、このパーティクルは、エンボス２３の間に収納される。このため、パーティクルＰがウエハＷに付着することはない。
また、エンボスを覆う樹脂フィルム４に、エッチング等の加工が施されていないので、パーティクルが樹脂フィルム４自身から発生することはない。  
【００２３】
加工が終了したときには、図示しない真空ポンプにより、ベース２の空気通路２０内に空気を入れる。すると、ウエハＷ下側及び孔２５，２６内が正圧になり、ウエハＷが複数のエンボス２３や外周壁部２４から解放された状態になる。
【００２４】
なお、この発明は、上記実施例に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内において種々の変形や変更が可能である。
上記実施例では、この発明のワーク保持装置の一例して、真空チャック１を例示したが、これに限るものではなく、この発明のワーク保持装置を静電チャックにも適用することができる。例えば、双極型の静電チャックの場合には、図６に示すように、本体部２１の中央部で分割された１対の電極６，７を、エンボス２３を除く、樹脂フィルム４と接着樹脂シート５との間に配置し、電源８をこれら電極６，７に接続することで、実現することができる。
また、上記実施例では、ベース２をアルミニュウムで形成したが、これに限るものではなく、ベース２は、金属セラミックスや樹脂で形成したものであっても良い。
さらに、上記実施例では、樹脂フィルム４を接着樹脂シート５で接着した例を示したが、樹脂フィルム４を熱可塑性ポリイミドや接着剤を用いて接着しても良い。
【符号の説明】
【００２５】
１…真空チャック、  ２…ベース、  ３…吸着部、  ４…樹脂フィルム、  ５…接着樹脂シート、  ６，７…電極、  ８…電源、  １０…モータ、  １１，１１′…レジスト、  ２０…空気通路、  ２１…本体部、  ２１ａ…表面、  ２２…軸部、  ２３…エンボス、  ２４…外周壁部、  ２５，２６…孔、  Ｐ…パーティクル、  Ｗ…ウエハ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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