(57)【要約】【課題】この発明は基板に貼着された粘着テープから離型テープを円滑に剥離することができる粘着テープの貼着装置を提供することにある。【解決手段】基板が載置されたテーブル５を水平方向に駆動する第１の駆動手段４と、基板の上面の側辺部に沿って粘着テープが貼着された離型テープを搬送する送りチャック２７と、カッタ２６によって所定長さに切断されて基板の側辺部の上方に位置決めされた粘着テープを基板に加圧して貼着する加圧ツール７と、基板の側辺部の長手方向に沿って相対的に駆動されることで加圧ツールによって基板に貼着された粘着テープの一端部から他端部に向かって離型テープを剥離する剥離ユニット１６と、離型ローラによって粘着テープの一端部から他端部に向かって離型テープを剥離するとき、離型テープの粘着テープの一端部に位置する部分が粘着テープの一端部に対して位置がずれるよう第１の駆動手段４によってテーブルを駆動して基板を変位させる制御装置３１を具備する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
離型テープに貼着されて所定長さに切断された粘着テープを基板の上面に貼着する粘着テープの貼着装置であって、
上記基板が載置されたテーブルと、
このテーブルを水平方向に駆動する駆動手段と、
上記基板の側辺部の上面に沿って上記離型テープをこの離型テープに貼着された上記粘着テープを下に向けて所定長さずつ搬送する搬送手段と、
この搬送手段によって上記離型テープとともに搬送される上記粘着テープを所定長さに切断するカッタと、
このカッタによって所定の長さに切断されて上記基板の側辺部の上方に位置決めされた上記粘着テープを上記離型テープとともに上記基板に加圧して貼着する加圧ツールと、
上記離型テープに係合した離型ローラを有し、この離型ローラが上記基板の側辺部の長手方向に沿って相対的に駆動されることで上記加圧ツールによって上記基板に貼着された上記粘着テープの一端部から他端部に向かって上記離型テープを剥離する剥離ユニットと、
上記離型ローラによって上記粘着テープの一端部から他端部に向かって上記離型テープを剥離するとき、上記離型テープの上記粘着テープの一端部に位置する部分が上記粘着テープの一端部に対して位置がずれるよう上記駆動手段によって上記テーブルを駆動して上記基板を変位させる制御手段と
を具備したことを特徴とする粘着テープの貼着装置。
【請求項２】
上記制御手段は、上記テーブルを上記基板に貼着された粘着テープの長手方向と交差する幅方向に対して駆動することを特徴とする請求項１記載の粘着テープの貼着装置。
【請求項３】
上記制御手段は、上記テーブルを上記基板の板面と直交する軸線を中心にして回転方向に駆動することを特徴とする請求項１記載の粘着テープの貼着装置。
【請求項４】
離型テープに貼着されて所定長さに切断された粘着テープを基板の上面に貼着する粘着テープの貼着方法であって、
水平方向に駆動されるテーブルに上記基板を載置する工程と、
上記テーブルによって位置決めされた上記基板の側辺部の上面に沿って上記離型テープをこの離型テープに貼着された上記粘着テープを下に向けて所定長さずつ搬送する工程と、
上記離型テープとともに搬送される上記粘着テープを所定長さに切断する工程と、
所定の長さに切断されて上記基板の側辺部の上方に位置決めされた上記粘着テープを上記離型テープとともに上記基板に加圧して貼着する工程と、
上記離型テープに係合した離型ローラを上記基板の側辺部の長手方向に沿って相対的に駆動して上記基板に貼着された上記粘着テープの一端部から他端部に向かって上記離型テープを剥離する工程と、
上記離型ローラによって上記離型テープを上記粘着テープの一端部から剥離するとき、上記離型テープの上記粘着テープの一端部に位置する部分が上記粘着テープの一端部に対して位置がずれるよう上記テーブルを駆動して上記基板を水平方向に変位させる工程と
を具備したことを特徴とする粘着テープの貼着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は基板の側辺部に電子部品を実装するための粘着テープを貼着する貼着装置及び貼着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネルに代表されるフラットパネルディスプレイなどの製造工程においては、ガラス製の基板の側部上面に、ＴＣＰ（Tape Carrier Package）などの電子部品を異方性導電性部材からなる粘着テープを介して貼着する工程がある。
【０００３】
上記電子部品を上記基板の側部上面に貼着する前に、基板の側部上面に所定の長さに切断された上記粘着テープを貼着する工程がある。粘着テープは離型テープに貼着されていて、これらは供給リールに巻装されている。
【０００４】
基板の側部上面に電子部品を粘着テープによって貼着する場合、まず、離型テープとともに供給リールから繰り出された粘着テープを所定長さに切断する。このときの粘着テープの切断長さは、たとえば上記基板の側部上面に設けられた複数の端子からなる端子部の長さに対応する長さに設定される。
【０００５】
ついで、所定長さに切断された粘着テープを、たとえばチャックなどによって上記離型テープとともに引き出して、テーブルに載置された基板の側部上面の上記端子部に対向するよう位置決めした後、切断された粘着テープを加圧ツールによって基板に加圧して貼着する。
【０００６】
そして、粘着テープを基板に貼着したならば、その粘着テープから離型テープを離型ローラなどによって剥離する。
【０００７】
特許文献１には、離型テープに一側面が貼着された粘着テープの他側面を基板の一側の長手方向全長にわたって貼着してから、ローラユニットを基板に貼着された粘着テープに沿って駆動することで、上記離型テープを上記粘着テープから剥離することが示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００１−２９４３６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
所定長さに切断された粘着テープは、加圧ツールによって離型テープとともに基板に押圧されて貼着されるため、離型テープも基板に貼着された粘着テープに比較的強く貼着された状態にある。
【００１０】
しかも、上記ローラユニットを構成するローラは、軸線を上記離型テープと粘着テープの長手方向に対して直交させて配置されている。そのため、離型テープを上記ローラによって上方に引張りながら、基板に貼着された粘着テープから剥離する際、上記ローラによる引張り力が離型テープの幅方向全長に対して同時に加わることになる。
【００１１】
上記ローラによる引張り力が離型テープの幅方向全長に対して同時に加わると、上記離型テープに貼着した粘着テープの端部の幅方向全長が上記離型テープによって引張られることになるから、離型テープが粘着テープから剥離し難いということがあるばかりか、粘着テープが離型テープに強く引張られることで、粘着テープが離型テープによって基板から剥がされてしまうということがある。
【００１２】
この発明は、粘着テープから離型テープを剥離する際、粘着テープの端部に対して離型テープの位置をずらすことで、離型テープの引張り力が粘着テープの幅方向全長に加わらず、幅方向の一端部に加わるようにすることで、離型テープの剥離が円滑に行われるようにした粘着テープの貼着装置及び貼着方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明は、離型テープに貼着されて所定長さに切断された粘着テープを基板の上面に貼着する粘着テープの貼着装置であって、
上記基板が載置されたテーブルと、
このテーブルを水平方向に駆動する駆動手段と、
上記基板の側辺部の上面に沿って上記離型テープをこの離型テープに貼着された上記粘着テープを下に向けて所定長さずつ搬送する搬送手段と、
この搬送手段によって上記離型テープとともに搬送される上記粘着テープを所定長さに切断するカッタと、
このカッタによって所定の長さに切断されて上記基板の側辺部の上方に位置決めされた上記粘着テープを上記離型テープとともに上記基板に加圧して貼着する加圧ツールと、
上記離型テープに係合した離型ローラを有し、この離型ローラが上記基板の側辺部の長手方向に沿って相対的に駆動されることで上記加圧ツールによって上記基板に貼着された上記粘着テープの一端部から他端部に向かって上記離型テープを剥離する剥離ユニットと、
上記離型ローラによって上記粘着テープの一端部から他端部に向かって上記離型テープを剥離するとき、上記離型テープの上記粘着テープの一端部に位置する部分が上記粘着テープの一端部に対して位置がずれるよう上記駆動手段によって上記テーブルを駆動して上記基板を水平方向に変位させる制御手段と
を具備したことを特徴とする粘着テープの貼着装置にある。
【００１４】
上記制御手段は、上記テーブルを上記基板に貼着された粘着テープの長手方向と交差する幅方向に対して駆動することが好ましい。
【００１５】
上記制御手段は、上記テーブルを上記基板の板面と直交する軸線を中心にして回転方向に駆動することが好ましい。
【００１６】
この発明は、離型テープに貼着されて所定長さに切断された粘着テープを基板の上面に貼着する粘着テープの貼着方法であって、
水平方向に駆動されるテーブルに上記基板を載置する工程と、
上記テーブルによって位置決めされた上記基板の側辺部の上面に沿って上記離型テープをこの離型テープに貼着された上記粘着テープを下に向けて所定長さずつ搬送する工程と、
上記離型テープとともに搬送される上記粘着テープを所定長さに切断する工程と、
所定の長さに切断されて上記基板の側辺部の上方に位置決めされた上記粘着テープを上記離型テープとともに上記基板に加圧して貼着する工程と、
上記離型テープに係合した離型ローラを上記基板の側辺部の長手方向に沿って相対的に駆動して上記基板に貼着された上記粘着テープの一端部から他端部に向かって上記離型テープを剥離する工程と、
上記離型ローラによって上記離型テープを上記粘着テープの一端部から剥離するとき、上記離型テープの上記粘着テープの一端部に位置する部分が上記粘着テープの一端部に対して位置がずれるよう上記テーブルを駆動して上記基板を水平方向に変位させる工程と
を具備したことを特徴とする粘着テープの貼着方法にある。
【発明の効果】
【００１７】
この発明によれば、粘着テープから離型テープを剥離する際、粘着テープの端部に対して離型テープの位置をずらすようにした。その状態で離型テープが離型ローラによって引張られると、離型テープの引張り力が粘着テープの幅方向の一端部に集中して加わるから、離型テープの剥離を粘着テープの幅方向一端部から円滑に開始することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】この発明の貼着装置を示す概略的構成図。
【図２】テーブルに載置された基板の側辺部の下面をバックアップツールによって支持した状態を示す側面図。
【図３】側辺部の上面に粘着テープが貼着された基板を示す平面図。
【図４】（ａ），（ｂ）は粘着テープを分断する手順を示す説明図。
【図５】基板に粘着テープが貼着された後、離型テープの剥離を開始する前に基板を変位させて離型テープの粘着テープの末端に貼着された部分を変形させた状態を示す平面図。
【図６】基板に貼着された粘着テープから剥離ユニットによって離型テープを剥離している状態を示す正面図。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照して説明する。  
図１は離型テープ１付きの粘着テープ２の貼着装置を示す概略的構成図であって、この貼着装置は第１の駆動手段４によってＸ，Ｙ，Ｚ及びθ方向に駆動されるテーブル５を有する。このテーブル５の上面には図２に示すように液晶表示パネルからなる基板Ｗが一側部を上記テーブル５の一側端から外方へ突出させて供給載置される。
【００２０】
テーブル５の上面に供給載置された基板Ｗは、テーブル５がＸ，Ｙ及びＺ方向に駆動されることで、その一側部の下面がバックアップツール６の上端面によって支持されるようになっている。バックアップツール６は上記基板Ｗの一側部の長さ寸法と同等以上の幅寸法を有し、少なくとも上端部は基板Ｗの一側部の長手方向に沿う扁平板状となっている。
【００２１】
上記バックアップツール６の上方には加圧手段としての加圧ツール７が第２の駆動手段８によってＺ方向に駆動可能に設けられている。この加圧ツール７は上記バックアップツール６とほぼ同じ幅寸法に形成されていて、少なくとも下端部は上記バックアップツール６の上端部と対応する扁平板状となっている。
【００２２】
上記離型テープ１付きの粘着テープ２は供給リール１１に巻装されている。供給リール１１から繰り出された離型テープ１付きの粘着テープ２は上記基板Ｗの上記バックアップツール６によって下面が支持された一側部の上面に上記加圧ツール７によって後述するように貼着される。そして、上記離型テープ１だけが巻き取りリール１２に巻き取られるようになっている。
【００２３】
上記供給リール１１は第３の駆動手段９によって回転駆動され、上記巻き取りリール１２は第４の駆動手段１０によって回転駆動されるようになっている。
【００２４】
なお、この実施の形態では、図３に示すように上記基板Ｗの一側部の上面には粘着テープ２が一側部のほぼ全長にわたる長さで貼着される。
【００２５】
上記テーブル５の幅方向一端側には剥離手段を構成する剥離ユニット１６が設けられている。この剥離ユニット１６は取り付け板２１を有し、この取り付け板２１には剥離ローラである下ローラ２２と、この下ローラ２２よりも高い位置に同じく剥離ローラでる上ローラ２３がそれぞれ回転可能に設けられている。
【００２６】
上記下ローラ２２と上ローラ２３の外周面には、離型テープ１の基板Ｗに貼着された上記粘着テープ２よりも下流側に位置する部分が順次係合している。上記剥離ユニット１６は第５の駆動手段２０によって図１に矢印で示すＸ方向に沿って駆動されるようになっている。
【００２７】
上記剥離ユニット１６が図１に実線で示す位置から鎖線で示すように−Ｘ方向に駆動されれば、上記基板Ｗに上記加圧ツール７によって加圧貼着された粘着テープ２から上記離型テープ１が後述するように剥離される。
【００２８】
そして、上ローラ２３から導出された離型テープ１は上記テーブル５の幅方向一端側に位置する一方のガイドローラ１３を経て上記巻き取りリール１２に巻き取られるようになっている。
【００２９】
上記テーブル５の幅方向他端側で、他方のガイドローラ１３の近くには切断機構２４が設けられている。この切断機構２４は下端面を離型テープ１に接触させて配置された保持部材２５と、この保持部材２５の下方に対向して設けられたカッタ２６を有し、このカッタ２６は図示しないシリンダによって上下方向に駆動される。
【００３０】
上記保持部材２５とカッタ２６との間には上記供給リール１１から繰り出された離型テープ１付きの粘着テープ２がその粘着テープ２を下に向けて走行する。そして、切断機構２４のカッタ２６が上昇方向に駆動されると、離型テープ１と粘着テープ２が上記保持部材２５の下面に押圧されながら、上記粘着テープ２だけが切断されるようになっている。
【００３１】
上記切断機構２４は、上記粘着テープ２に図４（ａ）に示すように所定の幅寸法で２箇所に切断線ｃを形成し、これら２箇所の切断線ｃの間の部分ｒが図示しない剥離テープによって除去される。それによって、粘着テープ２には図４（ｂ）に示すように所定長さに分断されて上記剥離テープによって除去された除去部分ｍが形成される。
【００３２】
上記剥離ユニット１６と一方のガイドローラ１３との間には送りチャック２７が配設されている。この送りチャック２７は第６の駆動手段２８よって図１に矢印Ｘで示す水平方向に往復駆動される。
【００３３】
上記送りチャック２７が剥離ユニット１６から導出された離型テープ１を挟持した状態で、＋Ｘ方向に駆動されれば、離型テープ１付きの粘着テープ２が上記供給リール１１から繰り出される。
【００３４】
送りチャック２７が第６の駆動手段２８よって＋Ｘ方向に駆動されるとき、上記供給リール１１を回転駆動する第３の駆動手段９と、上記巻き取りリール１２を回転駆動する第４の駆動手段１０が同期して作動する。それによって、供給リール１１から離型テープ１付きの粘着テープ２が繰り出されるとき、基板Ｗに粘着テープ２が貼着されることで除去された離型テープ１が巻き取りリール１２に巻き取られる。
【００３５】
上記送りチャック２７は、離型テープ１付きの粘着テープ２を上記供給リール１１から上記基板Ｗの一側部に対応する長さ寸法で引き出すことができる距離だけ＋Ｘ方向に駆動される。
【００３６】
そして、離型テープ１付きの粘着テープ２が所定長さ引き出されたときに、図４（ａ），（ｂ）に示すように上記切断機構２４のカッタ２６が駆動されて粘着テープ２に１つ目の切断線ｃを形成したのち、さらに上記離型テープ１付きの粘着テープ２がわずかに送られて２つ目の切断線ｃが形成され、一対の切断線ｃの間の部分ｒが除去されて除去部分ｍが設けられる。
【００３７】
除去部分ｍを形成した後、粘着テープ２は上記基板Ｗの一側部の長さ寸法に対応する長さで引き出され、その位置に再び除去部分ｍが設けられる。それによって、粘着テープ２は基板Ｗの一側部と対応する長さで分断されることになる。
【００３８】
巻き取りリール１２による離型テープ１の巻き取りは、上述したように上記送りチャック２７によって離型テープ１付きの粘着テープ２が供給リール１１から引き出されるときに同期して行なわれる。つまり、所定長さに分断された粘着テープ２が上記加圧ツール７によって加圧されて基板Ｗに貼着され、その粘着テープ２から後述するように離型テープ１だけが剥離されると、その離型テープ１の粘着テープ２から剥離された長さに対応する部分が上記巻き取りリール１２に巻き取られるようになっている。
【００３９】
なお、上記第１乃至第６の駆動手段４，８，９，１０，２０，２８は図１に示す制御手段としての制御装置３１によって駆動が制御されるようになっている。  
上記第１の駆動手段４は、所定長さに分断された粘着テープ２が上記基板Ｗに貼着された後、その粘着テープ２から離型テープ１を剥離する際、上記制御装置３１からの制御信号によって基板Ｗが載置固定された上記テーブル５を駆動して上記基板Ｗを変位させる。この実施の形態では、上記テーブル５は基板Ｗに貼着された粘着テープ２の幅方向、つまり図５に矢印Ｘで示す方向と水平方向において直交する−Ｙ方向に対してわずかに駆動する。
【００４０】
それによって、離型テープ１の基板Ｗに貼着された粘着テープ２に貼着した部分１ａがそれ以外の部分１ｂに対して−Ｙ方向に変位する。この変位量を図５にｅで示す。
【００４１】
つぎに、上記構成の貼着装置によって基板Ｗの一側部の上面に粘着テープ２を２つに分断して貼着するときの動作を図６参照しながら説明する。
【００４２】
まず、第６の駆動手段２８によって送りチャック２７を＋Ｘ方向に駆動し、供給リール１１から離型テープ１付きの粘着テープ２を基板Ｗの一側部とほぼ同じ長さだけ引き出す。粘着テープ２を引き出したならば、カッタ２６を作動させて上記粘着テープ２に一対の切断線ｃを入れ、その間の部分ｒを除去して除去部分ｍを設ける。
【００４３】
除去部分ｍを設けたならば、離型テープ１付きの粘着テープ２をさらに基板Ｗの側辺部と対応する長さで引き出し、その時点で再びカッタ２６によって粘着テープ２に除去部分ｍを形成する。それによって、粘着テープ２は基板Ｗの一側部の長さとほぼ同じ長さで分断される。
【００４４】
つぎに、テーブル５を第１の駆動手段４によってＸ，Ｙ方向（水平方向）に駆動し、テーブル５の上面に保持された基板Ｗの、テーブル５の上面から突出させた一側部の長手方向の一端部をバックアップツール６の上方に位置決めする。ついで、テーブル５をＺ方向下方に駆動し、図２に示すように基板Ｗの一側部の一端部側の下面を上記バックアップツール６の上端面によって支持する。
【００４５】
それによって、図１に示すように粘着テープ２の分断された部分が基板Ｗのバックアップツール６によって支持された長手方向一端部の上面に対向するよう位置決めされる。
【００４６】
基板Ｗを粘着テープ２に対して位置決めしたならば、第２の駆動手段８によって加圧ツール７を下降方向に駆動する。それによって、図６に示すように粘着テープ２の分断された部分が基板Ｗの一側部の上面に加圧貼着される。
【００４７】
加圧ツール７によって粘着テープ２の分断された部分が基板Ｗに貼着され、この加圧ツール７が上昇したならば、基板Ｗが載置されたテーブル５を、図５に矢印で示すＹ方向のうちの、−Ｙ方向に対してわずかに駆動する。つまり、制御装置３１によって第１の駆動手段４の駆動を制御する。それによって、図５にｅで示すように、離型テープ１の基板Ｗに貼着された粘着テープ２に貼着した部分１ａが他の部分１ｂに対して−Ｙ方向に変位する。
【００４８】
このように、基板Ｗを−Ｙ方向に駆動したならば、図６に矢印で示すように剥離ユニット１６を−Ｘ方向に駆動する。それによって、離型テープ１は上記剥離ユニット１６の下ローラ２２と上ローラ２３によって基板Ｗに貼着された粘着テープ２から剥離される方向である、上方向に引張られる。
【００４９】
上記離型テープ１の粘着テープ２に貼着した部分１ａは他の部分１ｂに対して−Ｙ方向に変位量ｅで変位している。それによって、離型テープ１の粘着テープ２の末端に対応する部分は図５に示すように斜め方向に変形している。つまり、粘着テープ２の末端において、離型テープ１は斜めに傾斜している。
【００５０】
そのため、剥離ユニット１６によって離型テープ１の剥離が開始される際、この離型テープ１の粘着テープ２の長手方向末端に貼着された部分は、上記剥離ユニット１６の下ローラ２２と上ローラ２３によって粘着テープ２の幅方向に対して斜め方向に引張られることになる。
【００５１】
それによって、離型テープ１は図５にＳで示す粘着テープ２の末端の幅方向の一端に剥離する力が集中し、その点Ｓから剥離が開始されることになるから、幅方向と直交する方向に引張る場合に比べて剥離する力が分散せず、上記離型テープ１の剥離が容易に、しかも円滑に開始される。
【００５２】
このように、上記離型テープ１の剥離を容易に、しかも円滑に開始することができれば、基板Ｗに貼着された粘着テープ２が離型テープ１によって必要以上に強く引張られるのが防止されるから、上記粘着テープ２が基板Ｗから剥がれるのを防止することができる。
【００５３】
さらに、粘着テープ２から離型テープ１の剥離を開始する際、テーブル５を−Ｙ方向に駆動して基板を変位させることで、離型テープ１を斜めに引張ることができるようにした。
【００５４】
つまり、上記テーブル５が第１の駆動手段４によってＸ，Ｙ，Ｚ及びθ方向に駆動されるという、もともと有する機能を利用して離型テープ１の剥離を確実に行えるようにしたので、構成の複雑化などを招くことなく、離型テープ１の剥離を確実に行なうことができる。
【００５５】
基板Ｗに貼着された粘着テープ２から離型テープ１を剥離したならば、第６の駆動手段２８により送りチャック２７を＋Ｘ方向に駆動する。それと同期して第３、第４の駆動手段９，１０によって供給リール１１及び巻き取りリール１２を回転駆動し、離型テープ１の基板Ｗの粘着テープ２から剥離された部分を巻き取りリール１２に巻き取り、新たな粘着テープ２を供給リール１１から繰り出す。
【００５６】
さらに、第５の駆動手段２０によって剥離ユニット１６を初期位置に戻し、第６の駆動手段２８によって送りチャック２７を初期位置に戻す。その後、上述した動作が繰り返して行われることになる。
【００５７】
上記一実施の形態では、離型テープ１を剥離するとき、テーブル５を−Ｙ方向に駆動して基板Ｗとともに離型テープ１の粘着テープ２に貼着した部分１ａを他の部分１ｂに対して変位させるようにしたが、テーブル５を＋Ｙ方向に駆動して基板Ｗとともに離型テープ１の粘着テープ２に貼着された部分１ａを＋Ｙ方向に変位させるようにしてもよい。
【００５８】
また、テーブル５をＹ方向に変位させる代わりにθ方向、つまり基板Ｗの板面に対して垂直な軸線を中心にして水平方向にわずかな角度で回転させることで、離型テープ１の粘着テープ２に貼着された部分を他の部分に対して回転方向に変位させることで、離型テープ１の剥離を幅方向に対して傾斜した状態で開始するようにしてもよい。
【００５９】
また、上記一実施の形態では離型テープを剥離するとき、剥離ユニット１６を−Ｘ方向に駆動したが、それに代わってテーブル５を＋Ｘ方向に駆動してもよい。つまり、離型テープを剥離する際、テーブル５と剥離ユニット１６の少なくともどちらか一方をＸ方向に駆動すればよい。言い換えれば、テーブル５と剥離ユニット１６をＸ方向に対して相対的に駆動すればよい。
【符号の説明】
【００６０】
１…離型テープ、２…粘着テープ、４…第１の駆動手段、５…テーブル、７…加圧ツール、１６…剥離ユニット、２２…下ローラ、２３…上ローラ、２６…カッタ、３１…制御装置（制御手段）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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