(57)【要約】【課題】対象物の変位に対する検出コイルのインダクタンスの変化の直線性を向上させることのできるポジションセンサを提供する。【解決手段】各誘電体基板１，２の表面に印刷形成された検出コイルＣｏと、検出コイルＣｏと対向して配置されるとともに対象物の変位と連動して検出コイルＣｏに対して円周軌道上を変位する検出体３０ａ，３０ｂと、検出体３０ａ，３０ｂの変位に応じて変化する検出コイルＣｏのインダクタンスに基づいて対象物の変位を検出する検出部とを備え、検出コイルＣｏ又は検出体３０ａ，３０ｂのうち少なくとも何れか一方を、検出体３０ａ，３０ｂの変位に対する検出コイルＣｏのインダクタンスの変化率が一定となる形状に形成した。【選択図】図１
2011257308.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電体から成る基板の表面に印刷形成された検出コイルと、前記検出コイルと対向して配置されるとともに対象物の変位と連動して前記検出コイルに対して所定の軌道上を変位する検出体と、前記検出体の変位に応じて変化する前記検出コイルのインダクタンスに基づいて前記対象物の変位を検出する検出部とを備え、前記検出コイル又は前記検出体のうち少なくとも何れか一方は、前記検出体の変位に対する前記検出コイルのインダクタンスの変化率が一定となる形状に形成されたことを特徴とするポジションセンサ。
【請求項２】
前記検出体は、その径方向における幅寸法が自身の変位する方向に沿って変化する形状に形成されたことを特徴とする請求項１記載のポジションセンサ。
【請求項３】
前記検出コイルは、その径方向における幅寸法が前記検出体の変位する方向に沿って変化する形状に形成されたことを特徴とする請求項１記載のポジションセンサ。
【請求項４】
前記検出体は、自身と前記検出コイルとの間の距離が自身の変位する方向に沿って変化する形状に形成されたことを特徴とする請求項１記載のポジションセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、対象物の変位を検出するポジションセンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、対象物の変位（例えば、回転する対象物の回転量や回転角度、あるいは回転位置）を検出するポジションセンサが種々提供されており、例えば特許文献１に開示されているようなものがある。この特許文献１に記載の変位センサ（ポジションセンサ）は、非磁性体から成る筒状のコアに巻き回された検出コイルと、検出コイルの内側又は外側近傍に配置されて検出コイルの軸方向に変位可能な筒状の導電体とを備える。そして、検出コイルと導電体との間の距離に応じて変化する検出コイルのインダクタンスに対応した周波数の発振信号を発振回路から出力し、当該発振信号に基づいて導電体の変位を検出する。而して、対象物と連動する導電体の変位を検出コイルのインダクタンス変化として検出することで、対象物の変位を検出することができるようになっている。
【０００３】
しかしながら、特許文献１に記載のポジションセンサでは、導電体にコアを挿入しなければならないため、導電体とコアとを収納するケースの厚み寸法が大きくなってしまい、薄型化が困難であるという問題があった。そこで、上記の問題点を解決することのできるポジションセンサが近年、考えられている。以下、このポジションセンサについて図面を用いて説明する。尚、以下の説明では、図６における上下を上下方向と定めるものとする。
【０００４】
このポジションセンサは、図６に示すように、上面に１対の検出コイル１００ａが印刷形成された第１の絶縁基板１００と、下面に１対の検出コイル（図示せず）が印刷形成された第２の絶縁基板１０１とを備える。また、非磁性材料から扇形に形成された１対の検出体１０２ａと、各検出体１０２ａを保持する保持体１０３とを有するロータブロック１０４を備える。これら第１及び第２の絶縁基板１００，１０１とロータブロック１０４とは、一面を開口した箱体のボディ１０５ａの開口面をカバー１０５ｂで閉塞して成るケース１０５の内部に収納される。尚、検出体１０２ａの形状は厳密に言えば扇形ではなく、扇形から一回り小さい相似形の扇形を切り取った残りの図形に等しい形状である。したがって、以降の説明では、「扇形」は全て「扇形から一回り小さい相似形の扇形を切り取った残りの図形」を指すものとする。
【０００５】
以下、上記ポジションセンサの動作について簡単に説明する。対象物（図示せず）の変位に伴って、対象物と連動するロータブロック１０４の保持体１０３が回動すると、保持体１０３と連動して各検出体１０２ａが互いに１８０度ずれて円周軌道上を変位する。そして、特許文献１に記載されている従来例と同様に、各検出体１０２ａと２組の検出コイルとの相対位置に応じて変化する各検出コイルのインダクタンスに対応した周波数の発振信号を発振回路から出力する。この発振信号に基づいて各検出体１０２ａの変位を検出することで、各検出体１０２ａと検出コイルとの相対位置情報、即ち、ロータブロック１０４と連動する対象物の回転量を検出することができる。尚、具体的な検出方法については特許文献１に開示されているように従来周知であるので、ここでは詳細な説明は省略する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−２９２３７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、上記のようなポジションセンサでは、対象物の変位に対する検出コイルのインダクタンスの変化率が一定である、即ち、対象物の変位に対して検出コイルのインダクタンスが線形に変化することが好ましい。しかしながら、上記後者の従来例では、各検出体１０２ａを流れる渦電流の経路が各検出体１０２ａの変位に伴って変化し、その電流密度も場所によって異なることから、検出コイルのインダクタンスが各検出体１０２ａの変位に対して非線形に変化する。このため、対象物の変位に対しても検出コイルのインダクタンスが非線形に変化するため、十分な直線性を得ることができないという問題があった。
【０００８】
本発明は、上記の点に鑑みて為されたもので、対象物の変位に対する検出コイルのインダクタンスの変化の直線性を向上させることのできるポジションセンサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のポジションセンサは、誘電体から成る基板の表面に印刷形成された検出コイルと、前記検出コイルと対向して配置されるとともに対象物の変位と連動して前記検出コイルに対して所定の軌道上を変位する検出体と、前記検出体の変位に応じて変化する前記検出コイルのインダクタンスに基づいて前記対象物の変位を検出する検出部とを備え、前記検出コイル又は前記検出体のうち少なくとも何れか一方は、前記検出体の変位に対する前記検出コイルのインダクタンスの変化率が一定となる形状に形成されたことを特徴とする。
【００１０】
このポジションセンサにおいて、前記検出体は、その径方向における幅寸法が自身の変位する方向に沿って変化する形状に形成されることが好ましい。
【００１１】
このポジションセンサにおいて、前記検出コイルは、その径方向における幅寸法が前記検出体の変位する方向に沿って変化する形状に形成されることが好ましい。
【００１２】
このポジションセンサにおいて、前記検出体は、自身と前記検出コイルとの間の距離が自身の変位する方向に沿って変化する形状に形成されることが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は、検出コイル又は検出体のうち少なくとも何れか一方が、検出体の変位に対する検出コイルのインダクタンスの変化率が一定となる形状に形成されているので、検出体の変位に対して検出コイルのインダクタンスを線形に変化させることができる。したがって、検出体の変位と連動する対象物の変位に対しても検出コイルのインダクタンスの変化の直線性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係るポジションセンサの実施形態を示す図で、（ａ）は分解斜視図で、（ｂ）はロータブロックの上面図である。
【図２】同上の対象物の回転角度に対するインダクタンスの変化の特性を示す相関図である。
【図３】同上の検出コイルの他の構成を示す第１の誘電体基板の上面図である。
【図４】同上の検出体の他の構成を示す図で、（ａ）は検出体の一端部を折曲した場合の要部断面図で、（ｂ）は検出体の一端部の厚み寸法を変更した場合の要部断面図である。
【図５】同上の直動型のポジションセンサの構成を示す図で、（ａ）は概略図で、（ｂ）は検出体の変位方向に沿って一様に巻き回した検出コイルの平面図で、（ｃ）は検出体の変位方向に沿って非一様に巻き回した検出コイルの平面図である。
【図６】従来のポジションセンサを示す分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明に係るポジションセンサの実施形態について図面を用いて説明する。尚、以下の説明では、図１（ａ）において上下左右及び前後の向きを定義する。また、以下の説明では、「検出コイルＣｏ」と呼ぶ場合には、後述する第１の誘電体基板１の各検出コイル１０ａ，１０ｂ、及び第２の誘電体基板２の各検出コイルの全てを指すものとする。本実施形態は、図１（ａ）に示すように、上面に１対の検出コイル１０ａ，１０ｂが印刷形成された第１の誘電体基板１と、下面に１対の検出コイル（図示せず）が印刷形成された第２の誘電体基板２とを備える。また、非磁性材料（例えばアルミ板）から扇形に形成された１対の検出体３０ａ，３０ｂと、各検出体３０ａ，３０ｂを保持する保持体３１とを有するロータブロック３を備える。これら第１及び第２の誘電体基板１，２とロータブロック３とは、上面を開口した箱体のボディ４の開口面をカバー５で閉塞して成るケース６の内部に収納される。
【００１６】
第１の誘電体基板１は円盤状に形成され、その中央部には厚み方向に貫通する円形状の貫通孔１１が設けられている。そして、１対の検出コイル１０ａ，１０ｂは、第１の誘電体基板１の上面において貫通孔１１を挟んで対向する位置に印刷形成されている。尚、これら１対の検出コイル１０ａ，１０ｂは、その外形が扇形となるようにパターニングされている。また、第１の誘電体基板１の外周縁には、相対的に幅が狭い複数（図示では４つ）の切り欠き１２と、相対的に幅が太い複数（図示では３つ）の切り欠き１３とがそれぞれ等間隔且つ互い違いに設けられている。更に、第１の誘電体基板１の後端部には、４つのスルーホール１４が周方向に沿って並設されている。これらスルーホール１４の開口端には、第１の誘電体基板１の下面において、各検出コイル１０ａ，１０ｂのコイル端末と電気的に接続されたランド（図示せず）が印刷形成されている。
【００１７】
第２の誘電体基板２は、円盤状に形成され且つ中央部に厚み方向に貫通する円形状の貫通孔２１が設けられた主片２０と、主片２１後側の外周縁から突出する矩形状の端子片２２とが一体に形成されて成る。そして、第２の誘電体基板２の下面には、貫通孔２１を挟んで対向する位置に１対の検出コイルが印刷形成されている。尚、図示は省略しているが、これら１対の検出コイルは第１の誘電体基板１の検出コイル１０ａ，１０ｂと同形状及び同寸法に形成されている。また、第２の誘電体基板２の外周縁には、幅細の複数（図示では３つ）の切り欠き２３が等間隔に設けられている。更に、主片２０の後端部（端子片２２との連結部分）には、４つのスルーホール２４が周方向に沿って並設され、端子片２２にも４つのスルーホール２５が左右方向に沿って並設されている。第２の誘電体基板２の上面においては、下面の各検出コイルのコイル端末と電気的に接続されたランド（図示せず）が各スルーホール２４の開口端に印刷形成されている。そして、図示しない導電パターンによって当該４つのランドと各々電気的に接続された４つのランド（図示せず）が端子片２２の各スルーホール２５の開口端に印刷形成されている。
【００１８】
ここで、第１の誘電体基板１に形成されている一方の検出コイル１０ａと第２の誘電体基板２に形成されている一方（上下方向において検出コイル１０ａと対向する方）の検出コイルとは、端子ブロック７を介して電気的に接続されている。同様に、第１の誘電体基板１に形成されている他方の検出コイル１０ｂと第２の誘電体基板２に形成されている他方（上下方向において検出コイル１０ｂと対向する方）の検出コイルとは、端子ブロック７を介して電気的に接続されている。端子ブロック７は、４本の端子ピン７０と、各端子ピン７０を中央部分で保持する絶縁体７１とから成る。そして、第１の誘電体基板１の４つのスルーホール１４にそれぞれ端子ピン７０の下端部分が挿入されて第１の誘電体基板１の下面のランドに半田付けされている。また、第２の誘電体基板２の４つのスルーホール２４にそれぞれ端子ピン７０の上端部分が挿入されて第２の誘電体基板２の上面のランドに半田付けされている。つまり、４本の端子ピン７０を介して第１の誘電体基板１側の検出コイル１０ａ，１０ｂのコイル端末と、第２の誘電体基板２側の検出コイルのコイル端末とが電気的に接続されている。
【００１９】
また、第２の誘電体基板２には、各検出体３０ａ，３０ｂの変位に応じて変化する検出コイルＣｏのインダクタンスに基づいて対象物（図示せず）の変位を検出する検出部（図示せず）を構成する各回路が設けられている。検出部は、検出コイルＣｏのインダクタンスに対応した周波数の発振信号を出力する発振回路と、発振回路から出力された発振信号の周期に対応する信号を出力する発振周期計測回路とから構成される。また、検出部は、発振周期計測回路から出力される信号の二乗値を演算出力する二乗回路と、二乗回路で演算される二乗値の温度変動を補償する温度補償回路と、温度補償回路からの出力信号を基に各検出体３０ａ，３０ｂの変位を検出する信号処理回路とを備える。これらの回路は、特許文献１に開示されているように従来周知であるので、ここでは詳細な説明を省略する。
【００２０】
尚、本実施形態では、各誘電体基板１，２は１層基板で構成されているが、何れも多層基板（例えば、４層基板）で構成してもよい。この場合、各誘電体基板１，２の各層にそれぞれ１対の検出コイルを印刷形成することができる。
【００２１】
ロータブロック３の保持体３１は、合成樹脂材料によって上面が開口する有底円筒形状に形成されており、１対の検出体３０ａ，３０ｂを同時成形によって周面から左右方向に突出するように保持している。また、保持部３１の内側には、金属材料により円筒形状に形成されて保持体３１と一体に回動する中間体３２が圧入又は同時成形などの適宜の方法で固定されている。中間体３２は、対象物と連動する軸体（図示せず）に固定されるものであり、その外周面には固定用のＤカット加工が施されている。ここで、中間体３２の上端面には、その径方向に沿って目印３２ａが刻印されている。この目印３２ａと、後述するカバー５の主部５０上面に形成されている目印５０ａとによって円周軌道上における各検出体３０ａ，３０ｂの位置がカバー５の外から視認できるようになっている。
【００２２】
ボディ４は、合成樹脂成形品から成り、上面が開口する扁平な有底円筒形状に形成された収納部４０と、収納部４０周面の後端側より後方に突設された矩形筒状のコネクタハウジング部４１とを備える。また、収納部４０周面の前端側には、前方に突設された三角形状のフランジ部４２が設けられている。尚、収納部４０にはアルミ板等の非磁性材料から扁平な有底筒形状に形成された磁気シールド体４３が同時成形されており、収納部４０の内側に磁気シールド体４３が露出している。
【００２３】
収納部４０の内周面には、内底面からの高さ寸法が互いに異なる２種類のリブ４０ａ，４０ｂが突設されており、これら２種類のリブ４０ａ，４０ｂの上面にはそれぞれリブ４０ａ，４０ｂよりも小型のリブ４０ｃ，４０ｄが上向きに突設されている。高さ寸法の低いリブ４０ａ上面に突設されているリブ４０ｃは、第１の誘電体基板１の幅細の切り欠き１２に嵌め合わされる。一方、高さ寸法の高いリブ４０ｂは、同じく第１の誘電体基板１の幅広の切り欠き１３に嵌め合わされる。また、高さ寸法の高いリブ４０ｂ上面に突設されているリブ４０ｄは、第２の誘電体基板２の幅細の切り欠き２３に嵌め合わされる。而して、高さ寸法の低いリブ４０ａの上面に第１の誘電体基板１が固定され、高さ寸法の高いリブ４０ｂの上面に第２の誘電体基板２が固定される。
【００２４】
コネクタハウジング部４１は、有底角筒形状に形成されており、その内底部に４本のコンタクト４６が左右方向に沿って等間隔に並ぶように同時成形されている。また、コネクタハウジング部４１の前端部（収納部４０との連結部分）は上面が開口しており、当該前端部内に第２の誘電体基板２の端子片２２が収納される。各コンタクト４６は、棒状の金属材料を鈎形に折り曲げて成り、その上端部が第２の誘電体基板２の端子片２２に設けられている各スルーホール２５に挿入され、各スルーホール２５の開口端に印刷形成されたランドに半田付けされる。
【００２５】
カバー５は、円盤形状の主部５０と、主部５０の後端縁より後方に突出する矩形板状の端子カバー部５１とが合成樹脂成形品として一体に形成されて成る。カバー５は、ボディ４の収納部４０上面を主部５０で閉塞するとともに、コネクタハウジング４１の前端部上面を端子カバー部５１で閉塞するようにボディ４上面に取り付けられる。尚、主部５０には、アルミ板等の非磁性材料から円環状に形成された磁気シールド体（図示せず）が同時成形されており、主部５０の下面側に磁気シールド体が露出している。
【００２６】
ボディ４及びカバー５には、ロータブロック３のスラスト荷重を受けるためのスラスト軸受部４４，５２と、ロータブロック３のラジアル荷重を受けるためのラジアル軸受部４５，５３とがそれぞれ設けられている。
【００２７】
ボディ１側のスラスト軸受部４４は、収納部４０の底面中央から上向きに突出する円筒形状に形成され、その上端面においてロータブロック３の保持部３１下面を支持することでスラスト荷重を受けている。また、ボディ１側のラジアル軸受部４５は、ボディ１下面中央に開口する円形状の貫通孔の周縁部から成り、スラスト軸受部４４の内側に挿入される中間体３２の下端部外周面を支持することでラジアル荷重を受けている。
【００２８】
カバー５側のスラスト軸受部５２は、カバー５の下面中央から下向きに突出する円筒形状に形成され、その下端面においてロータブロック３の保持体３１上面を支持することでスラスト荷重を受けている。また、カバー５上面中央に開口する円形状の貫通孔の周縁部から成り、スラスト軸受部５２の内側に挿入される中間体３２の上端部外周面を支持することでラジアル加重を受けている。
【００２９】
而して、対象物と連動する軸体を中間体３２に挿入して両者を固定すれば、軸体と一体に中間体３２、即ち、ロータブロック３が回動するため、各検出体３０ａ，３０ｂが円周軌道上を回動することになる。
【００３０】
以下、本実施形態の動作について簡単に説明する。対象物の変位に伴って、対象物と連動するロータブロック３の中間体３２が回動すると、中間体３２と連動して各検出体３０ａ，３０ｂが互いに１８０度ずれて円周軌道上を変位する。そして、特許文献１に記載されている従来例と同様に、各検出体３０ａ，３０ｂと２組の検出コイルとの相対位置に応じて変化する検出コイルＣｏのインダクタンスに対応した周波数の発振信号を発振回路から出力する。この発振信号に基づいて各検出体３０ａ，３０ｂの変位を検出することで、各検出体３０ａ，３０ｂと検出コイルＣｏとの相対位置情報、即ち、中間体３２と連動する対象物の回転量（回転角度）を検出することができる。尚、具体的な検出方法については特許文献１に開示されているように従来周知であるので、ここでは詳細な説明は省略する。
【００３１】
ここで、本実施形態では、図１（ｂ）に示すように、各検出体３０ａ，３０ｂは、自身の変位する方向（円周軌道）に沿って径方向における幅寸法が非線形に変化するように形成されている。具体的には、各検出体３０ａ，３０ｂが反時計回りに回動する場合、各検出体３０ａ，３０ｂは、それぞれ検出コイルＣｏと上下方向において重なり合う面積（以下、「対向面積」と呼ぶ）が大きくなるほど径方向の幅寸法が小さくなるように形成されている。したがって、対向面積が小さい場合には、対象物の回転の単位角度当たりの検出コイルＣｏのインダクタンスの変化が大きくなり、対向面積が大きい場合には、対象物の回転の単位角度当たりの検出コイルＣｏのインダクタンスの変化が小さくなる。即ち、検出体３０ａ，３０ｂの変位に対する検出コイルＣｏのインダクタンスの変化率が一定となるような形状に各検出体３０ａ，３０ｂを形成している。
【００３２】
例えば、従来のように、各検出体３０ａ，３０ｂをその径方向の幅寸法が円周軌道に沿って一定となるように形成した場合には、図２の破線アに示すように、対象物の回転角度に対する検出コイルＣｏのインダクタンスの変化が非線形となる。尚、同図では、従来の形状の検出体３０ａ，３０ｂを採用した場合における対象物の回転角度が０°の状態（各検出体３０ａ，３０ｂと検出コイルＣｏとが上下方向において重なり合っていない状態）の検出コイルＣｏのインダクタンスを１００％としている。一方、本実施形態の形状の検出体３０ａ，３０ｂを採用した場合には、図２の実線イに示すように、対象物の回転角度に対する検出コイルＣｏのインダクタンスの変化がほぼ直線となる。
【００３３】
上述のように、本実施形態の各検出体３０ａ，３０ｂは、自身の変位に対する検出コイルＣｏのインダクタンスの変化率が一定となる形状に形成されている。このため、各検出体３０ａ，３０ｂの変位に対して検出コイルＣｏのインダクタンスを線形に変化させることができる。したがって、各検出体３０ａ，３０ｂの変位と連動する対象物の変位に対しても検出コイルＣｏのインダクタンスの変化の直線性を向上させることができる。また、図２に示す対象物の回転角度に対するインダクタンスの変化の特性では、対象物の回転角度９０度付近において非線形となっているが、当該部分について直線性を向上させる場合にも、上記と同様に各検出体３０ａ，３０ｂの形状を変更することが有効である。
【００３４】
尚、本実施形態では、各検出体３０ａ，３０ｂを非磁性材料で形成しているが、高い透磁率を有する磁性材料で形成してもよい。この場合には、対象物の回転角度に対するインダクタンスの変化の特性は、各検出体３０ａ，３０ｂを非磁性材料で形成した場合の逆の特性を示す。即ち、対象物の回転角度が大きくなるにつれて検出コイルＣｏのインダクタンスが増大する特性を示す。この場合でも、上記と同様に対象物の回転角度に対するインダクタンスの変化の特性の直線性を向上させることができる。
【００３５】
ところで、上記の説明では各検出体３０ａ，３０ｂの形状を非線形にしているが、図３に示すように、各誘電体基板１，２の各検出コイルの形状を非線形にしてもよい（同図では、第１の誘電体基板１のみを図示）。即ち、各検出体３０ａ，３０ｂの形状を非線形にした場合と同様に、各誘電体基板１，２の各検出コイルをそれぞれ対向面積が大きくなるほど径方向の幅寸法が小さくなるように形成する。このように各誘電体基板１，２の各検出コイルの形状を非線形にした場合でも、上記と同様の効果を奏することができる。
【００３６】
ここで、特許文献１に記載の従来例において、コアの軸方向に沿って検出コイルの巻数を変化させることで、上記と同様の効果を奏することも可能である。しかしながら、コアに検出コイルを巻き回す巻線加工では、加工時にばらつきが生じ易いという問題がある。一方、本実施形態のように検出コイルを誘電体基板に印刷形成する、所謂パターンコイルを加工する場合には、エッチングの露光パターンによって検出コイルの形状にばらつきが生じ難いため、好ましい。
【００３７】
また、各検出体３０ａ，３０ｂを、自身と各誘電体基板１，２の各検出コイルとの間の距離が自身の変位する方向に沿って変化する形状に形成してもよい。例えば、図４（ａ）に示すように、対向面積が大きくなるにつれて各検出体３０ａ，３０ｂが各検出コイル１０ａ，１０ｂに近付くように各検出体３０ａ，３０ｂを下向きに折り曲げる。また、図４（ｂ）に示すように、対向面積が大きくなるにつれて各検出体３０ａ，３０ｂが各検出コイル１０ａ，１０ｂに近付くように各検出体３０ａ，３０ｂの厚み寸法を大きくする。何れの場合においても、上記と同様の効果を奏することができる。尚、図４（ａ），（ｂ）では、第１の誘電体基板１の各検出コイル１０ａ，１０ｂとの間の距離を変更するように各検出体３０ａ，３０ｂの形状を変更しているが、第２の誘電体基板２の各検出コイルとの間の距離を変更するものであってもよい。
【００３８】
ここで、特許文献１に記載の従来例において、導電体と検出コイルとの間の距離を導電体の軸方向に沿って変化させることで、上記と同様の効果を奏することも可能である。しかしながら、導電体は筒状であって加工し難いため、加工時にばらつきが生じ易いという問題がある。一方、本実施形態のように各検出体３０ａ，３０ｂを加工する場合には、板金の抜き金型の形状によって形状のばらつきが生じ難いため、好ましい。
【００３９】
ところで、本実施形態では、各検出体３０ａ，３０ｂが円周軌道上を変位する回動型のポジションセンサについて説明しているが、検出体が直線軌道上を変位する直動型のポジションセンサであってもよい。以下、この直動型のポジションセンサの実施形態について図面を用いて説明する。この実施形態は、図５（ａ）に示すように、上面に矩形状の検出コイルＢが印刷形成された矩形板状の誘電体基板Ａと、非磁性材料（例えばアルミ板）から矩形状に形成された検出体Ｃとを備える。また、検出体Ｃは、自身を誘電体基板Ａの長手方向に沿って変位可能に保持する可動体Ｄに設けられている。この可動体Ｄは、対象物に連動して変位するように対象物に設けられている。また、図示しないが、誘電体基板Ａには検出体Ｃの変位に応じて変化する検出コイルＢのインダクタンスに基づいて対象物の変位を検出する検出部を構成する各回路が設けられている。
【００４０】
以下、この実施形態の動作について簡単に説明する。対象物の変位に伴って、対象物と連動する可動体Ｄが変位すると、可動体Ｄと連動して検出体Ｃが直線軌道上を変位する。そして、回動型のポジションセンサの実施形態と同様に、検出体Ｃと検出コイルＢとの相対位置に応じて変化する検出コイルＢのインダクタンスに対応した周波数の発振信号を発振回路から出力する。この発振信号に基づいて検出体Ｃの変位を検出することで、検出体Ｃと検出コイルＢとの相対位置情報、即ち、可動体Ｄと連動する対象物の変位量を検出することができる。
【００４１】
ここで、検出コイルＢは、図５（ｃ）に示すように、その短手方向に沿った幅寸法が検出体Ｃの変位方向に沿って変化するように形成されている。即ち、検出体Ｃと検出コイルＢとの対向面積が大きくなるほど幅寸法が小さくなるように検出コイルＢを形成している。而して、図５（ｂ）に示す幅寸法が一定の検出コイルＢを用いる場合と比較して、検出体Ｃの変位に対する検出コイルＢのインダクタンスを線形に変化させることができる。したがって、検出体Ｃの変位と連動する対象物の変位に対しても検出コイルＢのインダクタンスの変化の直線性を向上させることができる。
【００４２】
尚、上記の説明では検出コイルＢの幅寸法を検出体Ｃの変位方向に沿って変化させているが、検出体Ｃの幅寸法を変化させるようにしてもよい。即ち、検出体Ｃと検出コイルＢとの対向面積が大きくなるほど幅寸法が小さくなるように検出体Ｃを形成する。この場合でも、上記と同様の効果を奏することができる。また、検出体Ｃと検出コイルＢとの間の距離を検出体Ｃの変位方向に沿って変化させるように構成してもよい。例えば、図４（ａ）に示す場合と同様に、対向面積が大きくなるにつれて検出体Ｃが検出コイルＢに近付くように検出体Ｃを下向きに折り曲げる。また、図４（ｂ）に示す場合と同様に、対向面積が大きくなるにつれて検出体Ｃが検出コイルＢに近付くように検出体Ｃの厚み寸法を大きくする。何れの場合においても、上記と同様の効果を奏することができる。
【符号の説明】
【００４３】
１  第１の誘電体基板（基板）
１０ａ，１０ｂ  検出コイル
２  第２の誘電体基板（基板）
３０ａ，３０ｂ  検出体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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