(57)【要約】【課題】接着によらずに振動部材を保持部材に固定して、振動型リニアアクチュエータの出力を安定させる。【解決手段】光学機器は、電気−機械エネルギー変換により振動が励起される振動部材１９と該振動部材に接触する接触部材１８との間に発生する駆動力を用いて光学部材２を移動させる。該光学機器は、振動部材を保持する保持部材２１と、該保持部材との間に振動部材を挟み、保持部材にねじによって結合される押さえ部材５４，５５とを有する。押さえ部材および振動部材のうち一方の部材は、他方の部材に対して駆動力の発生方向における２箇所にて当接する２つの突起部５４ｂ，５５ｂを有する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気−機械エネルギー変換により振動が励起される振動部材と該振動部材に接触する接触部材との間に発生する駆動力を用いて光学部材を移動させる光学機器であって、
前記振動部材を保持する保持部材と、
該保持部材との間に前記振動部材を挟み、前記保持部材にねじによって結合される押さえ部材とを有し、
前記押さえ部材および前記振動部材のうち一方の部材は、他方の部材に対して前記駆動力の発生方向における２箇所にて当接する２つの突起部を有することを特徴とする光学機器。
【請求項２】
前記押さえ部材は、前記保持部材に対する回転が阻止されるように該保持部材に係合する係合部を有することを特徴とする請求項１に記載の光学機器。
【請求項３】
前記保持部材を弾性的に支持する弾性部材を有し、
該弾性部材は、前記ねじによって前記保持部材に結合されることを特徴とする請求項１又は２に記載の光学機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動型リニアアクチュエータを用いてレンズ等の光学部材を移動させる光学機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
振動型リニアアクチュエータは、電気−機械エネルギー変換によって振動が励起される振動部材と該振動部材に接触する接触部材とを、直線的に相対移動させるアクチュエータである。
このような振動型リニアアクチュエータを用いて光学部材を移動させる光学機器が特許文献１にて開示されている。特許文献１にて開示された光学機器では、振動部材がこれを保持するスペーサ（保持部材）に固定され、スペーサは板ばねに固定されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−３０１４５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、振動部材、スペーサおよび板ばねの相互間の固定が不十分である場合には、振動部材に励起される振動が不安定になり、振動型リニアアクチュエータの出力が安定しないという問題がある。
また、接着により振動部材とスペーサとを固定すると、組立てが煩雑となり、接着状態の違いによる個体差が大きくなる。
【０００５】
本発明は、接着によらずに振動部材を保持部材に固定でき、振動型リニアアクチュエータの出力を安定させることができるようにした光学機器を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一側面としての光学機器は、電気−機械エネルギー変換により振動が励起される振動部材と該振動部材に接触する接触部材との間に発生する駆動力を用いて光学部材を移動させる。該光学機器は、振動部材を保持する保持部材と、該保持部材との間に振動部材を挟み、保持部材にねじによって結合される押さえ部材とを有する。そして、押さえ部材および振動部材のうち一方の部材は、他方の部材に対して駆動力の発生方向における２箇所にて当接する２つの突起部を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、ねじ結合によって振動部材を保持部材に固定でき、振動型リニアアクチュエータの出力を安定させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施例１である撮像装置のレンズ鏡筒部の構成を４方向から見て示す図。
【図２】実施例１におけるレンズ鏡筒部の構成を示す分解斜視図。
【図３】実施例１における第１の振動型リニアアクチュエータとその周辺の構成を示す断面図。
【図４】実施例１における第２の振動型リニアアクチュエータとその周辺の構成を示す断面図。
【図５】実施例１の撮像装置の電気的構成を示す図。
【図６】実施例１における第１の振動型リニアアクチュエータの振動子ユニットを押さえ部材側から見て示す分解斜視図。
【図７】実施例１における第１の振動型リニアアクチュエータの振動子ユニットをビス側から見て示す分解斜視図。
【図８】本発明の実施例２における第１の振動型リニアアクチュエータの振動子ユニットを押さえ部材側から見て示す分解斜視図。
【図９】実施例２における第１の振動型リニアアクチュエータの振動子ユニットをビス側から見て示す分解斜視図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
【実施例１】
【００１０】
図１には、本発明の実施例１である撮像装置（光学機器）のレンズ鏡筒部の構成を、外装を取り除いて前方（物体側）、右側方、後方および左側方の４方向から見て示している。また、図２には、該レンズ鏡筒部の構成を分解して示している。
これらの図において、物体側から順に、１は固定された第１レンズユニット、２は変倍のために光軸方向に移動する第２レンズユニット（光学部材）である。１５は光量調節ユニット、３は固定された第３レンズユニット、４は変倍に伴う像面変動の補正および焦点調節のために光軸方向に移動する第４レンズユニット（光学部材）である。
５は後述する撮像素子やローパスフィルタ（ＬＰＦ）を保持し、不図示のカメラ本体に固定される後部鏡筒である。６は第１レンズユニット１を保持し、ビス７，８，９により後部鏡筒５に固定された第１レンズ保持部材である。
１０，１１は後部鏡筒５と第１レンズ保持部材６により光軸方向に延びるように保持されたガイドバー（ガイド部材）である。
１２は第２レンズユニット２を保持する第２レンズ保持部材であり、不要光をカットするマスク３２が固定されている。第２レンズ保持部材１２は、係合部１２ａにおいてガイドバー１０に係合して光軸方向にガイドされ、係合部１２ｂにおいてガイドバー１１に係合してガイドバー１０回りでの回転が阻止される。
１３は第３レンズユニット３を保持し、ビス１６により後部鏡筒５に固定された第３レンズ保持部材である。１４は第４レンズユニット４を保持する第４レンズ保持部材であり、係合部１４ａにおいてガイドバー１１に係合して光軸方向にガイドされ、係合部１４ｂにおいてガイドバー１０に係合してガイドバー１１回りでの回転が阻止される。
光量調節ユニット１５は、光軸方向から見て左右方向よりも上下方向に長い外形形状を有する。光量調節ユニット１５は、ビス１７により後部鏡筒５に固定されている。
１８は磁石と摩擦材とを接合して構成されたスライダ（接触部材）である。スライダ１８は、ブチルゴム等により形成された振動吸収部材２６，２７を介して後群鏡筒５の内側面に固定される。
１９は電気−機械エネルギー変換素子と該電気−機械エネルギー変換素子により振動が励起される板状の弾性部材とにより構成される振動子（振動部材）である。振動子１９の弾性部材は強磁性体であり、該強磁性体がスライダ１８の磁石と引き合うことにより、スライダ１８の摩擦材の圧接面１８ａと振動子１９の弾性部材において光軸方向の２箇所に形成された圧接面１９ａ，１９ｂとが圧接される。スライダ１８および振動子１９によって第１の振動型リニアアクチュエータが構成される。図３には、第１の振動型リニアアクチュエータおよびその周辺の構成を示している。
第１の振動型リニアアクチュエータでは、フレキシブル配線板２０を介して２つの位相が異なる周波信号（パルス信号又は交番信号）が電気−機械エネルギー変換素子に入力される。これにより、振動子１９の圧接面１９ａ，１９ｂに楕円運動が発生し、スライダ１８の圧接面１８ａに光軸方向の駆動力が発生する。
２１は振動子１９が固定されるスペーサ（保持部材）である。スペーサ２１は振動子１９を保持する。２２はスペーサ２１を弾性的に支持する板ばね（弾性部材）である。
板ばね２２は、その板面の面内方向には変形しにくく、板面に垂直な方向には変形しやすい形状を有する。また、板ばね２２は、その面内に含まれる任意の軸を中心とした回転方向の変形が容易であり、該変形により振動子１９の圧接面１９ａ，１９ｂをスライダ１８の圧接面１８ａに対して平行に維持する。板ばね２２が面内方向に変形しにくいことにより、振動子１９の光軸方向（すなわち、駆動方向）への変位は制限される。
製造誤差によっていずれかの圧接面の光軸に平行な軸に対する位置や該軸回りでの傾きが変化した場合でも、板ばね２２が変形して振動子１９の位置や傾き(向き)が変化することによって、圧接面１９ａ，１９ｂと圧接面１８ａとが平行に維持される。これにより、圧接面１９ａ，１９ｂと圧接面１９ａの適正な面接触状態が常に確保される。また、板ばね２２は、圧接面１９ａ，１９ｂと圧接面１８ａとの間に作用する圧接力よりも小さな力で変形するようにばね定数が設定されている。このため、圧接面の位置や傾きが変わった場合でも圧接力は大きく変わらない。したがって、第１の振動型リニアアクチュエータが本来持つ性能に応じた出力を安定的に引き出すことができる。
５４，５５は押さえ部材であり、５２，５３はビス（ねじ）である。ビス５２，５３によって、板ばね２２とスペーサ２１と振動子１９と押さえ部材５４，５５とが共締めされ、振動子ユニットが構成される。板ばね２２は、ビス２４，２５によって第２レンズ保持部材１２の側面に固定される。
振動子ユニットについて、図６および図７を用いて詳細に説明する。図６は振動子ユニットを押さえ部材５４，５５側から見て分解して示している。図７は振動子ユニットをビス５２，５３側から見て分解して示している。
板ばね２２には、ビス５２，５３を通す２つの穴２２ａが形成されている。２２ｂは位置決め穴であり、この位置決め穴２２ｂにスペーサ２１に形成された位置決めピン２１ｂが挿入されることで、板ばね２２とスペーサ２１との相対位置が決められる。
スペーサ２１には、ビス５２，５３を通す２つの穴２１ａが形成されている。２１ｃは位置決めピンであり、この位置決めピン２１ｃが押さえ部材５４，５５のそれぞれに設けられた位置決め穴５４ｃ，５５ｃに挿入されることで、スペーサ２１と押さえ部材５４，５５との相対位置が決められる。
振動子１９には、ビス５２，５３を通す２つの穴１９ｃが形成されている。押さえ部材５４，５５は、駆動力の発生方向（以下、駆動方向という）を長手方向とする形状を有する。押さえ部材５４，５５の長手方向中央には、ねじ穴５４ａ，５５ａがそれぞれ形成されている。
ビス５２は、穴２２ａ，２１ｃ，１９ｃを通されてねじ穴５４ａに締め込まれる。同様に、ビス５３は、穴２２ａ，２１ｃ，１９ｃを通されてねじ穴５５ａに締め込まれる。このようにして、押さえ部材５４，５５は、スペーサ２１との間に振動子１９を挟み、ビス５２，５３によってスペーサ２１に結合される。また、ビス５２，５３によって板ばね２２がスペーサ２１に結合される。前述したように、押さえ部材５４，５５とスペーサ２１と板ばね２１は位置決めピン２１ｂ，２１ｃによって相互に位置決めされる。また、振動子１９とスペーサ２１は、治具によって位置決めされてビス結合される。これにより、振動子１９、スペーサ２１、板ばね２２および押さえ部材５４，５５が高精度に位置決めされた状態で一体化される。
押さえ部材５４，５５における振動子１９側の面には、凸形状を有する２つの接触部（突起部：図７中に斜線部で示す）５４ｂ，５５ｂが形成されている。これら接触部５４ｂ，５５ｂは、振動子１９における駆動方向（光軸方向）の２箇所の接触部（図６中に斜線部で示す）１９ｄに当接する。
２８は第２レンズ保持部材１２の移動量（位置）を検出するためのスケールであり、第２レンズ保持部材１２に形成された溝部１２ｄ内に接着により固定されている。２９はスケール２８に対して投光し、スケール２８からの反射光を受光して第２レンズ保持部材１２の移動量を検出するための投受光素子である。これら投受光素子２９およびスケール２８により位置検出器としての第２レンズエンコーダが構成されている。３０は投受光素子２９に対して信号を入出力するためのフレキシブル配線板であり、ビス３１により第１レンズ保持部材６に固定されている。
３４は磁石と摩擦材とが接合されて構成されたスライダ（接触部材）である。スライダ１８は、ブチルゴム等により形成された振動吸収部材４０，４１および板金部材４４を介して第４レンズ保持部材１４の側面に固定される。
３５は電気−機械エネルギー変換素子と該電気−機械エネルギー変換素子により振動が励起される板状の弾性部材とにより構成される振動子（振動部材）である。振動子３５の弾性部材は強磁性体であり、該強磁性体がスライダ３４の磁石と引き合うことにより、スライダ３４の摩擦材の圧接面３４ａと振動子３５の弾性部材において光軸方向の２箇所に形成された圧接面３５ａ，３５ｂとが圧接される。スライダ３４および振動子３５によって第２の振動型リニアアクチュエータが構成される。図４には、第２の振動型リニアアクチュエータおよびその周辺の構成を示している。
第２の振動型リニアアクチュエータでは、フレキシブル配線板３６を介して２つの位相が異なる周波信号（パルス信号又は交番信号）が電気−機械エネルギー変換素子に入力される。これにより、振動子３５の圧接面３５ａ，３５ｂに楕円運動が発生し、スライダ３４の圧接面３４ａに光軸方向の駆動力が発生する。
３７は振動子３５が固定されるスペーサ（保持部材）である。スペーサ３７は振動子３５を保持する。３８はスペーサ３７を弾性的に支持する板ばね（弾性部材）である。
板ばね３８は、その板面の面内方向には変形しにくく、板面に垂直な方向には変形しやすい形状を有する。また、板ばね３８は、その面内に含まれる任意の軸を中心とした回転方向の変形が容易であり、該変形により振動子３５の圧接面３５ａ，３５ｂをスライダ３４の圧接面３４ａに対して平行に維持する。板ばね３８が面内方向に変形しにくいことにより、振動子３５の光軸方向（すなわち、駆動方向）への変位は制限される。
製造誤差によっていずれかの圧接面の光軸に平行な軸に対する位置や該軸回りでの傾きが変化した場合でも、板ばね３８が変形して振動子３５の位置や傾き(向き)が変化することによって、圧接面３５ａ，３５ｂと圧接面３４ａとが平行に維持される。これにより、圧接面３５ａ，３５ｂと圧接面３４ａの適正な面接触状態が常に確保される。また、板ばね３８は、圧接面３５ａ，３５ｂと圧接面３４ａとの間に作用する圧接力よりも小さな力で変形するようにばね定数が設定されている。このため、圧接面の位置や傾きが変わった場合でも圧接力は大きく変わらない。したがって、第２の振動型リニアアクチュエータが本来持つ性能に応じた出力を安定的に引き出すことができる。
５８，５９は押さえ部材であり、５６，５７はビス（ねじ）である。ビス５６，５７によって、板ばね３８とスペーサ３７と振動子３５と押さえ部材５８，５９とが共締めされ、振動子ユニットが構成される。板ばね３８は、ビス４６，４７によって振動子保持部材３９に固定される。振動子保持部材３９は、ビス４２，４３によって後部鏡筒５に固定される。
【００１１】
この第２の振動型リニアアクチュエータの振動子ユニットの詳細な構成は、前述した第１の振動型リニアアクチュエータの振動子ユニットの構成と同様である。特に、押さえ部材５８，５９には、凸形状を有する２つの接触部が形成され、これら接触部が振動子３５における駆動方向（光軸方向）の２箇所の接触部に当接する。
４８は第４レンズ保持部材１４の移動量（位置）を検出するためのスケールであり、第４レンズ保持部材１４に形成された溝部１４ｄ内に接着により固定されている。４９はスケール４８に対して投光し、スケール４８からの反射光を受光して第４レンズ保持部材１４の移動量を検出するための投受光素子である。これら投受光素子４９およびスケール４８により位置検出器としての第４レンズエンコーダが構成されている。５０は投受光素子４９に対して信号を入出力するためのフレキシブル配線板であり、ビス５１により後部鏡筒５に固定されている。
図５には、本実施例の撮像装置の電気的構成を示している。１０１はＣＣＤセンサ又はＣＭＯＳセンサ等により構成される撮像素子である。１０２は第２レンズユニット２（第２レンズ保持部材１２）の駆動源であり、スライダ１８および振動子１９を含む第１の振動型リニアアクチュエータである。１０３は第４レンズユニット４（第４レンズ保持部材１４）の駆動源であり、スライダ３４および振動子３５を含む第２の振動型リニアアクチュエータである。
１０４は光量調節ユニット１５の駆動源としての絞りモータ（メータ）である。１０５はスケール２８および投受光素子２９を含む第２レンズエンコーダ、１０６はスケール４８および投受光素子４９を含む第４レンズエンコーダである。これらのエンコーダ１０５，１０６はそれぞれ、第２レンズユニット２および第４レンズユニット４の光軸方向での相対位置（基準位置からの移動量）を検出する。
１０７は絞りエンコーダであり、例えば、絞りモータ１０４の内部に設けられたホール素子によって、該絞りモータ１０４のロータとステータの回転位置関係を検出する方式のものが用いられる。
１１７は該撮像装置の動作の制御を司るコントローラとしてのＣＰＵである。１０８はカメラ信号処理回路であり、撮像素子１０１の出力に対して増幅やガンマ補正などを施す。これらの所定の処理を受けた映像信号のコントラスト信号は、ＡＥゲート１０９およびＡＦゲート１１０を通過する。これらのゲート１０９，１１０により、露出決定およびピント合わせのために最適な信号の取り出し範囲が全画面内から設定される。
１１４はオートフォーカス（ＡＦ）のためのＡＦ信号処理回路であり、映像信号の高周波成分を抽出してＡＦ評価値信号を生成する。１１５はズーム操作を行うためのズームスイッチである。１１６はズームトラッキングメモリであり、変倍に際して合焦状態を維持するために、被写体距離と第２レンズユニット２の位置とに応じた、第４レンズユニット４を駆動すべき目標位置情報を記憶する。なお、ズームトラッキングメモリとしては、ＣＰＵ１１７内のメモリを使用してもよい。
上記構成において、撮影者によりズームスイッチ１１５が操作されると、ＣＰＵ１１７は第２レンズユニット２を駆動するために第１の振動型リニアアクチュエータ１０２を制御する。同時に、第１のズームトラッキングメモリ１１６の情報と第２レンズユニットエンコーダ１０５の検出結果から求めた現在の第２レンズユニット２の位置とに基づいて第４レンズユニット４の目標駆動位置を算出する。該目標駆動位置に第４レンズユニット４を駆動するよう第２の振動型リニアアクチュエータ１０３を制御する。第４レンズユニット４が目標駆動位置に達したか否かは、第４レンズユニットエンコーダ１０６の検出結果から求められた現在の第４レンズユニット４の位置と目標駆動位置とが一致したか否かによって判別される。
また、オートフォーカスにおいては、ＣＰＵ１１７は、ＡＦ信号処理回路１１４で得られたＡＦ評価値がピークを示す位置を探索するように第４レンズユニット４を駆動するため、第２の振動型リニアアクチュエータ１０３を制御する。
適正露出を得るために、ＣＰＵ１１７は、ＡＥゲート１０９を通過した輝度信号の平均値が所定値となるように、つまりは絞りエンコーダ１０７の出力が該所定値に対応した値となるように、光量調節ユニット１５のメータ１０４を制御して開口径をコントロールする。
以上のように構成された撮像装置において、第１の振動型リニアアクチュエータが安定的に十分な性能を発揮するためには、振動子ユニットにおいて、振動子の保持安定性を増すことが必要である。
図６に示すように、振動子１９における圧接面１９ａ，１９ｂが設けられた部分と穴１９ｃおよび接触部１９ｄが設けられた部分との間は、細い腕部１９ｅによって連結されている。この腕部１９ｅは、振動子１９に励起される振動の節に対応する位置に設けられており、振動子１９に励起される振動が妨げられないように振動子１９のスペーサ２１と押さえ部材５４，５５とによる保持を可能とする役割を有する。
また、接触部１９ｄは、駆動力を確実に伝達するために押さえ部材５４，５５によってガタなく押さえられる必要がある。接触部１９ｄの押さえが不十分であると、出力の低下や、不要な振動の伝達による騒音の発生を招く。
本実施例では、各押さえ部材に２つの凸状の接触部５４ｃ，５５ｃを設け、これら接触部５４ｃ，５５ｃを振動子１９における駆動方向の２箇所の接触部１９ｄに確実に当接させている。しかも、振動子１９を、押さえ部材５４，５５とスペーサ２１とによって挟み込んでいるため、振動子を接着によってスペーサに固定する場合に比べて、振動子１９の保持安定性を増すことができる。
さらに、押さえ部材５４，５５は、その位置決め穴５４ｃ，５５ｃにスペーサ２１の位置決めピン２１ｃを挿入することでスペーサ２１に対して位置決めされる。このため、組立て作業性が良く、衝撃等によって押さえ部材５４，５５がスペーサ２１に対して回転してビス５２，５３が緩むことを防ぐことができる。また、押さえ部材５４，５５は、スライダ１８に対してクリアランスを持って配置される。このため、振動子１９が衝撃等を受けた際にガイドの役割をして、振動子１９が傾くことを防止できる。
【実施例２】
【００１２】
図８および図９には、本発明の実施例２である撮像装置における第１の振動型リニアアクチュエータの振動子ユニットの詳細な構成を示している。
本実施例における振動子ユニット以外の部分の構成は、実施例１と同じである。また、図８および図９において、実施例１（図６および図７）に示した構成部品と共通する部品や同様の機能を有する部品については、実施例１にて使用した符号の先頭に１を加えた符号を付している（例えば、実施例１の振動子１９→実施例２の振動子１１９）。本実施例では、実施例１と異なる部分についてのみ説明する。
図８は振動子ユニットを押さえ部材１５４，１５５側から見て分解して示している。図９は振動子ユニットをビス１５３，１５２側から見て分解して示している。
【００１３】
実施例１では、押さえ部材５４，５５に２つの凸状の接触部５４ｃ，５５ｃを設け、これら接触部５４ｃ，５５ｃを振動子１９における駆動方向の２箇所の接触部１９ｄに当接させる場合について説明した。これに対し本実施例では、振動子１１９における押さえ部材１５４，１５５によって押さえられる部分のそれぞれに２つの凸状の接触部１１９ｄを設けている。そして、これら接触部１１９ｄを、押さえ部材１５４，１５５のそれぞれにおける駆動方向の２箇所の接触部１５４ｂ，１５５ｂに当接させる。
このように、本発明では、凸状の接触部（突起部）を押さえ部材および振動子のうちいずれか一方の部材に設け、他方の部材における駆動方向の２箇所に当接させるようにすればよい。
本実施例でも、振動子１１９に設けられた凸状の接触部１１９ｄを、各押さえ部材における駆動方向の２箇所の接触部１５４ｂ，１５５ｂに確実に当接させることができる。しかも、振動子１１９を、押さえ部材１５４，１５５とスペーサ１２１とによって挟み込んでいるため、振動子を接着によってスペーサに固定する場合に比べて、振動子１１９の保持安定性を増すことができる。この結果、第１の振動型リニアアクチュエータに安定的に十分な性能を発揮させることができる。
また、実施例１と同様に、押さえ部材１５４，１５５は、その位置決め穴１５４ｃ，１５５ｃにスペーサ１２１の位置決めピン１２１ｃを挿入することでスペーサ１２１に対して位置決めされる。このため、組立て作業性が良く、衝撃等によって押さえ部材１５４，１５５がスペーサ１２１に対して回転してビス１５２，１５３が緩むことを防ぐことができる。
以上説明した各実施例は代表的な例にすぎず、本発明の実施に際しては、各実施例に対して種々の変形や変更が可能である。
例えば、上記各実施例では、振動型リニアアクチュエータにおける振動子とスライダとの圧接に磁気力を用いた場合について説明したが、該圧接にばね等の弾性部材による付勢力を用いてもよい。
また、上記各実施例では、レンズ一体型の撮像装置について説明したが、本発明は、交換レンズ（光学機器）にも適用することができる。また、撮像装置に限らず、レンズ等の光学部材を振動型リニアアクチュエータによって移動させる各種光学機器にも本発明を適用することができる
【産業上の利用可能性】
【００１４】
接着によらずに振動部材を保持部材に固定でき、振動型リニアアクチュエータの出力を安定させた光学機器を実現できる。
【符号の説明】
【００１５】
１  第１レンズユニット
２  第２レンズユニット
３  第３レンズユニット
４，２０４  第４レンズユニット
５  後部鏡筒
１２  第２レンズ保持部材
１４  第４レンズ保持部材
１８，３４  スライダ
１９，３５，１１９  振動子
２２，３８，１２２  板ばね
５２，５３，５６，５７，１５２，１５３  ビス
５４，５５，５８，５９，１５４，１５５  押さえ部材
５４ｂ，５５ｂ，１１９ｄ  凸状の接触部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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