(57)【要約】【課題】帯状ワークを十分に平坦化することができ、上流側の表面処理装置の振動の影響を受けることのない外観検査装置を提供する。【解決手段】外観検査装置３０において、帯状ワーク１に送出方向と直交する方向へ張力を加える第１張力印加部３２と、帯状ワーク１に送出方向へ張力を加える第２張力印加部３３と、第１張力印加部３２及び第２張力印加部３３により張力が加えられた帯状ワーク１を平坦化する平坦化部３４と、平坦化部３４にて平坦化された帯状ワーク１の所定区間の画像を取得して表面処理状態を検査する表面状態検査部３５と、表面処理装置２０による振動が発生した際に、表面状態検査部３５により画像の取得を禁止する画像取得禁止部とを備える。【選択図】図２
2011038927.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状ワークの表面に処理を施す表面処理装置の下流側に設置され、前記表面処理装置から連続的に送出される前記帯状ワークの表面処理状態を検査する帯状ワークの外観検査装置であって、
前記帯状ワークに送出方向と直交する方向へ張力を加える第１張力印加部と、
前記帯状ワークに送出方向へ張力を加える第２張力印加部と、
前記第１張力印加部及び前記第２張力印加部により張力が加えられた前記帯状ワークを平坦化する平坦化部と、
前記平坦化部にて平坦化された前記帯状ワークの所定区間の画像を取得して前記表面処理状態を検査する表面状態検査部と、
前記表面処理装置による振動が発生した際に、前記表面状態検査部により画像の取得を禁止する画像取得禁止部と
を備える外観検査装置。
【請求項２】
前記表面状態検査部により取得された画像に基づき、前記帯状ワークの前記表面処理状態が予め設定された基準を満たすか否かを判別する基準判別部と、
前記基準判別部にて前記基準を満たしていないと判別した場合に、前記帯状ワークが前記基準を満たしていないことを示す欠陥マークを施すマーク形成部と
を更に備える請求項１に記載の外観検査装置。
【請求項３】
前記帯状ワークは、製品区間と、非製品区間とを有し、
前記表面状態検査部は、前記帯状ワークが前記製品区間であるか前記非製品区間であるかを判別する区間判別部を有し、
前記区間判別部にて前記非製品区間であると判別した場合に、前記帯状ワークを下流側へ送出する送出部
を更に備える請求項２に記載の外観検査装置。
【請求項４】
前記基準判別部は、前記帯状ワークの前記表面処理状態が予め設定された第１基準及び第２基準を満たすか否かを判別し、
前記マーク形成部は、前記基準判別部にて前記第１基準を満たしていないと判別した場合に、前記欠陥マークを施し、
前記基準判別部にて前記第２基準を満たしていないと判別した場合に、前記外観検査装置を停止し、及び／又は、使用者に対して警告を発する欠陥報知部
を更に備える請求項３に記載の外観検査装置。
【請求項５】
前記平坦化部は、前記帯状ワークの外観検査時に空気を吸入して前記帯状ワークを吸着する多孔質材からなる吸着板を有し、前記帯状ワークの搬送時に前記吸着板から空気を吐出する請求項４に記載の外観検査装置。
【請求項６】
前記平坦化部は、前記吸着板における前記帯状ワークの幅方向両端を塞ぎ、前記吸着板と共に前記帯状ワークを挟持するマスクを有する請求項５に記載の外観検査装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外観検査装置に関する。特に、本発明は、所定の表面処理が施された帯状ワークの表面状態を検査する外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、有機化合物からなるフィルム、又は薄膜金属等の長尺状の連続ワークである帯状ワークの所定の領域に接着剤等を貼付又は印刷して、電子部品実装用のフィルムキャリアテープが製造されている。この種のフィルムキャリアテープとして、ＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）テープ、ＣＯＦ（Ｃｈｉｐ  ｏｎ  Ｆｉｌｍ）テープ、ＢＧＡ（Ｔａｐｅ  Ｂａｌｌ  Ｇｒｉｄ  Ａｒｒａｙ）テープ、ＣＳＰ（Ｃｈｉｐ  Ｓｉｚｅ  Ｐａｃｋａｇｅ）テープ、ＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  Ｓｐｅｃｉｆｉｃ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）テープ、２メタル（両面配線）テープ、多層配線用テープ等が知られている。フィルムキャリアテープは、典型的な長さは５０ｍ〜３００ｍであり、表面に各種素子パターン、位置決め用孔、実装用孔等が形成される。
【０００３】
この種の帯状ワークは、表面処理装置により接着剤等によるパターンが形成された後にリールに巻回された後、外観が検査される。外観検査を人的作業で実施する場合、接着剤加工装置の加工サイクル中の静止時間に、作業者は帯状ワークの表面状態を顕微鏡により一瞬で判別しなければならず、表面状態を的確に判別することが困難である。表面状態の判別の確実性を増すため、接着剤加工装置を停止して時間をかけて外観検査することも考えられるが、この場合、帯状ワークを送出する時間をロスすることになり、帯状ワークを用いた加工のメリットである連続稼働ができなくなり、スループットが低下する。
【０００４】
外観検査を自動的に実行するインライン式の外観検査装置として、特許文献１及び特許文献２に記載の装置が知られている。表面処理後の帯状ワークは、加工後のワークにおける材料の性状の違い、吸湿の有無等により反りや曲がりが生じる場合がある。また、工程間の往来時にリールに巻回されるので巻き癖がついて変形する場合がある。したがって、特許文献１及び特許文献２に記載の装置は、帯状ワークを吸着部材に吸着させて検査領域の平坦化を図った上で、検査領域を撮像して画像処理を実行している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２７９４９８号公報
【特許文献２】特開２００６−１７９５３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、吸着部材に吸着させるだけでは、帯状ワークに対して厚さ方向の吸引力が作用するだけであり面内方向に張力が作用しないので、帯状ワークを十分に平坦化できない場合がある。また、インライン式の外観検査装置として構成すると、上流側の表面処理装置の振動中に検査を実行した場合に、画像センサ等が振動して的確な撮像が困難な場合がある。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、帯状ワークを十分に平坦化することができ、上流側の表面処理装置の振動の影響を受けることのない外観検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記目的を達成するため、帯状ワークの表面に処理を施す表面処理装置の下流側に設置され、表面処理装置から連続的に送出される帯状ワークの表面処理状態を検査する帯状ワークの外観検査装置であって、帯状ワークに送出方向と直交する方向へ張力を加える第１張力印加部と、帯状ワークに送出方向へ張力を加える第２張力印加部と、第１張力印加部及び第２張力印加部により張力が加えられた帯状ワークを平坦化する平坦化部と、平坦化部にて平坦化された帯状ワークの所定区間の画像を取得して表面処理状態を検査する表面状態検査部と、表面処理装置による振動が発生した際に、表面状態検査部により画像の取得を禁止する画像取得禁止部とを備える外観検査装置が提供される。
【０００９】
また、上記外観検査装置は、表面状態検査部により取得された画像に基づき、帯状ワークの表面処理状態が予め設定された基準を満たすか否かを判別する基準判別部と、基準判別部にて基準を満たしていないと判別した場合に、帯状ワークが基準を満たしていないことを示す欠陥マークを施すマーク形成部を更に備えることが好ましい。
【００１０】
また、上記外観検査装置は、帯状ワークは、製品区間と、非製品区間とを有し、表面状態検査部は、帯状ワークが製品区間であるか非製品区間であるかを判別する区間判別部を有し、区間判別部にて非製品区間であると判別した場合に、帯状ワークを下流側へ送出する送出部を更に備えることが好ましい。
【００１１】
また、上記外観検査装置は、基準判別部は、帯状ワークの表面処理状態が予め設定された第１基準及び第２基準を満たすか否かを判別し、マーク形成部は、基準判別部にて第１基準を満たしていないと判別した場合に、欠陥マークを施し、基準判別部にて第２基準を満たしていないと判別した場合に、外観検査装置を停止し、及び／又は、使用者に対して警告を発する欠陥報知部を備えることが好ましい。
【００１２】
また、上記外観検査装置は、平坦化部は、帯状ワークの外観検査時に空気を吸入して帯状ワークを吸着する多孔質材からなる吸着板を有し、帯状ワークの搬送時に吸着板から空気を吐出することが好ましい。
【００１３】
また、上記外観検査装置は、平坦化部は、吸着板における帯状ワークの幅方向両端を塞ぎ、吸着板と共に帯状ワークを挟持するマスクを有することが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る外観検査装置によれば、帯状ワークを十分に平坦化することができ、上流側の表面処理装置の振動の影響を受けることがない外観検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態を示す帯状ワーク加工システムの概略図である。
【図２】外観検査装置の模式図である。
【図３】外観検査装置の概略ブロック図である。
【図４】外観検査装置の動作を示すフローチャートである。
【図５】帯状ワークの位置決め工程のフローチャートである。
【図６】帯状ワークの拘束が解除された状態を示す送出部の説明図である。
【図７】検査領域の側面断面の説明図であり、（ａ）は帯状ワークが吸着板に載置された状態を示す図であり、（ｂ）は帯状ワークの搬送孔にテーパピンが挿通された状態を示す図であり、（ｃ）は帯状ワークの幅方向外側がマスクと吸着板により挟持されると共に帯状ワークが吸着板に吸着されている状態を示す図である。
【図８】テーパピンが搬送孔に挿通されていく様子を示した説明図であり、（ａ）は挿通直前の状態を示す図であり、（ｂ）は挿通初期の状態を示す図であり、（ｃ）は挿通中期の状態を示す図であり、（ｄ）は挿通が完了した状態を示す図である。
【図９】押さえロールが帯状ワークと当接した状態を示す送出部の説明図である。
【図１０】エアシリンダを駆動して帯状ワークに張力を印加した状態を示す送出部の説明図である。
【図１１】帯状ワークの幅方向外側がマスクと吸着板により挟持されると共に帯状ワークが吸着板に吸着されている状態を示す検査領域の平面視の説明図である。
【図１２】帯状ワークの位置決め解除工程のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
［実施の形態の要約］
帯状ワークの表面に処理を施す表面処理装置の下流側に設置され、表面処理装置から連続的に送出される帯状ワークの表面処理状態を検査する帯状ワークの外観検査装置において、帯状ワークに送出方向と直交する方向へ張力を加える第１張力印加部と、帯状ワークに送出方向へ張力を加える第２張力印加部と、第１張力印加部及び第２張力印加部により張力が加えられた帯状ワークを平坦化する平坦化部と、平坦化部にて平坦化された帯状ワークの所定区間の画像を取得して表面処理状態を検査する表面状態検査部と、表面処理装置による振動が発生した際に、表面状態検査部により画像の取得を禁止する画像取得禁止部とを備える。
【００１７】
［実施の形態］
（帯状ワーク加工システムの概要）
図１は、本発明の実施の形態に係る帯状ワーク加工システムの概略図である。
【００１８】
図１に示すように、帯状ワーク加工システム１００は、帯状ワーク１に表面処理物２を貼付又は印刷するシステムである。そして、本実施の形態において帯状ワーク１は、例えば、ＴＡＢテープであり、表面加工物２は、例えば、接着剤及び／又はメッキである。帯状ワーク加工システム１００は、未処理の帯状ワーク１を繰り出すワーク繰り出し装置１０と、帯状ワーク１の表面を処理する表面処理装置２０と、表面に所定の処理が施された帯状ワーク１の外観検査を実行する外観検査装置３０と、外観検査後の帯状ワーク１を巻き取るワーク巻き取り装置４０とを備える。
【００１９】
（表面処理装置）
表面処理装置２０は、帯状ワーク１の表面に表面処理物２によりパターンを形成する。本実施の形態において表面処理装置２０は、加熱プレスにより帯状ワーク１の表面上に表面処理物２を貼付する。具体的には、プラスチック等から形成される帯状ワーク１に、接着剤フィルムを加熱しながら貼り合わせる。なお、表面処理装置２０は、表面処理物２を印刷して乾燥することもできる。ここで、表面処理装置２０においては、帯状ワーク１に表面処理を施す時に振動が発生する。表面処理装置２０は外観検査装置３０に帯状ワーク１を供給する。
【００２０】
（外観検査装置）
図２は、外観検査装置の模式図である。
【００２１】
外観検査装置３０は、表面処理装置２０の下流側に隣接して設置され、表面処理装置２０から連続的に送出される帯状ワーク１の表面処理状態を検査する。図２に示すように、外観検査装置３０は、帯状ワーク１を送出する送出部３１と、帯状ワーク１に送出方向と直交する方向へ張力を加える第１張力印加部３２と、帯状ワーク１に送出方向へ張力を加える第２張力印加部３３と、第１張力印加部３２及び第２張力印加部３３により張力が加えられた帯状ワーク１を平坦化する平坦化部３４と、平坦化部３４にて平坦化された帯状ワーク１の所定区間の画像を取得して帯状ワーク１の表面処理状態を検査する表面状態検査部３５と、表面状態検査部３５の検査結果に基づいて帯状ワーク１にパンチングを施すパンチング部３６と、送出部３１、第１張力印可部３２、第２張力印可部３３、平坦化部３４、表面状態検査部３５、パンチング部３６のそれぞれの動作を制御する制御部３７とを備えている。
【００２２】
送出部３１は、上流側及び下流側にそれぞれ配置される平ロール３１ａ、平ロール３１ｂ、及び押さえロール３１ｃ、押さえロール３１ｄを有する。帯状ワーク１は上流側及び下流側にて平ロール３１ａ、平ロール３１ｂ、及び押さえロール３１ｃ、押さえロール３１ｄにより挟み込まれる。平ロール３１ａ、平ロール３１ｂは、帯状ワーク１の裏面に接触して、帯状ワーク１を下側から保持する。送出部３１は、制御部３７の制御に基づいて平ロール３１ａ、平ロール３１ｂを駆動させることにより、帯状ワーク１を送出する。
【００２３】
第１張力印加部３２は、帯状ワーク１の搬送孔３に挿通可能な上方へ延びるテーパピン３２ａと、テーパピン３２ａを上下動させる上下動部３２ｂとを有する。本実施の形態においては、４つのテーパピン３２ａが、検査領域の四隅に配置されるように、幅方向一対に設けられると共に長手方向一対に設けられる。テーパピン３２ａは、上方へ向かって細くなるよう形成されている。上下動部３２ｂは、例えば、油圧制御方式により駆動され、テーパピン３２ａを上下させて搬送孔３に対して挿抜させる。
【００２４】
第２張力印加部３３は、押さえロール３１ｃ、押さえロール３１ｄを平ロール３１ａ、平ロール３１ｂに対して接近及び離隔するアクチュエータ３３ａと、押さえロール３１ｃ、押さえロール３１ｄを帯状ワーク１が引っ張られる方向へ回転させるエアシリンダ３３ｂとを有する。第２張力印加部３３は、アクチュエータ３３ａを駆動して押さえロール３１ｃ、押さえロール３１ｄを帯状ワーク１から離隔することにより、送出部３１による帯状ワーク１の拘束を解除することができる。また、第２張力印加部３３は、押さえロール３１ｃ、押さえロール３１ｄを帯状ワーク１に接触させた状態で、エアシリンダ３３ｂを駆動することにより、帯状ワーク１に搬送方向の張力を印加することができる。
【００２５】
平坦化部３４は、帯状ワーク１の裏面側に配置される吸着板３４ａと、帯状ワーク１を挟んで吸着板３４ａと対向配置されるマスク３４ｂとを備える。本実施の形態においては、吸着板３４ａは、外縁が気密材により包囲された多孔質材からなり、吸着板３４ａの表面から空気を吐出又は吸入する吸入機構が裏面側に接続して設けられている。吸入機構は、吸着板３４ａの裏面側にエア回路により接続される圧力源と、エア回路中の吸着板３４ａと圧力源の間に介在するソレノイド３４ｃ（図２においては図示しない）とを有する。吸入機構は、ソレノイド３４ｃを制御することにより、吸着板３４ａから空気を吐出すること、又は吸入することができる。
【００２６】
マスク３４ｂは、吸着板３４ａの幅方向外側を覆うように幅方向一対に設けられる。マスク３４ｂは、例えば油圧制御方式の第２上下動部３４ｄにより上下動されて吸着板３４ａに接近及び離隔するよう構成され、吸着板３４ａと接近して帯状ワーク１の幅方向外側を吸着板３４ａと共に挟み込む。なお、マスク３４ｂは、検査領域の外側に配置されており、表面状態検査部３５の検査に支障をきたすことはない。
【００２７】
表面状態検査部３５は、帯状ワーク１の検査領域に光を照射する光照射部３５ａと、帯状ワーク１の検査領域の実画像を取得する画像センサとしての撮像部３５ｂとを有している。画像センサは、例えば、ＣＣＤカメラを用いることができる。これらは、制御部３７のインターフェース部３８（図２においては図示しない）に接続されており、制御部３７の制御に基づいて検査領域の撮像を実行する。
【００２８】
図３は、外観検査装置の概略ブロック図である。
【００２９】
図３に示すように、制御部３７は、表面状態検査部３５にて取得された実画像の情報に所定の処理を施す画像処理部３７ａと、処理が施された実画像の情報と帯状ワーク１の基準画像の情報とを比較する画像比較部３７ｂと、当該基準画像、表面状態の判別基準、過去の検査履歴等の情報を格納する記憶部３７ｃとを有する。更に、制御部３７は、画像比較部３７ｂの比較結果に基づいて実画像の表面状態を判別する画像判別部３７ｄと、画像判別部３７ｄの判別結果に基づいて各部３１〜３５を動作させる処理決定部３７ｅとを有する。制御部３７のインターフェース部３８は、表面処理装置２０、送出部３１の平ロール３１ａ、平ロール３１ｂ、第１張力印加部３２の第１上下動部３２ｂ、第２張力印加部３３のアクチュエータ３３ａ及びエアシリンダ３３ｂ、平坦化部３４のソレノイド３４ｃ及び第２上下動部３４ｄ、表面状態検査部３５の光照射部３５ａ及び画像センサ３５ｂ、パンチング部３６にそれぞれ接続可能に設けられる。マーク形成部としてのパンチング部３６は、帯状ワーク１が所定の基準を満たしていないことを示す欠陥マークを帯状ワーク１の所定の位置に施す。
【００３０】
画像比較部３７ｂは、実画像の情報と基準画像の情報とを比較することにより、帯状ワーク１の表面上における接着剤、メッキ等の表面処理物２の形成領域、凹凸状態、異物付着領域、搬送孔３の形成領域、帯状ワーク１の性状等を示す情報を取得する。画像判別部３７ｄは、記憶部３７ｃに格納されている判別基準とこれらの情報とに基づいて、接着剤、メッキ等の表面処理物２の有無、表面処理物２の位置ずれ、表面処理物２の欠け、帯状ワーク１の表面の凹凸状態、表面への異物付着、搬送孔３の変形有無、帯状ワーク１の種類等を判別する。基準判別部としての制御部３７は、表面状態検査部３５により取得された画像に基づき、帯状ワーク１の表面処理状態が予め設定された基準を満たすか否かを判別する。本実施の形態においては、例えば、接着剤、メッキ等の表面処理物２の有無、表面処理物２の位置ずれ、表面処理物２の欠け、搬送孔３の変形有無等を比較的重い欠陥の第１基準と設定して、帯状ワーク１の表面の凹凸状態、表面への異物付着等を比較的軽い欠陥の第２基準と設定する。そして、制御部３７は、第１基準を満たしていないと判別した場合にパンチング部３６を作動させる。一方、制御部３７は、第２基準を満たしてないと判別した場合は、外観検査装置３０を停止させると共に、制御部３７自体は欠陥報知部として機能する。なお、外観検査装置３０の停止に加え又は代えて、使用者に対して警告を発するようにすることもできる。この場合、外観検査装置３０は、使用者に対して音声、画像等の警告を発する警告部を更に備えることができる。警告部は、例えば、使用者に対して警告音を発する警告音発生部、及び／又は使用者に対して警告メッセージを表示する表示部を有することができる。警告部は、制御部３７の制御に応じて使用者に対して警告を発する。
【００３１】
また、制御部３７は、帯状ワーク１の種類を判別することにより、帯状ワーク１が製品区間であるか非製品区間であるかを判別する区間判別部を有する。なお、帯状ワーク１は、製品として出荷される複数の領域と、複数の領域間に位置する製品には不要な領域とを有する。そして、前者が製品区間であり、後者が非製品区間である。処理決定部３７ｅは、表面処理装置２０が振動中である場合は、表面状態検査部３５における撮像を禁止する。すなわち、処理決定部３７ｅは、表面処理装置２０による振動が発生した場合に、表面状態検査部３５により画像の取得を禁止する画像取得禁止部を含む。なお、表面処理装置２０は、表面処理装置２０において振動が発生しているか否かを感知する振動センサを更に備えており、振動センサは、外観検査装置３０に対して表面処理装置２０が振動しているか否かを示す情報を供給する。そして、表面処理装置２０の制御部３７は、振動センサから当該情報を取得した場合に、画像所得部禁止部を動作させ、撮像部３５ｂに対して画像の取得を禁止させるように処理決定部３７ｅを制御する。
【００３２】
（外観検査装置の動作）
図４は、本実施形態の外観検査装置の動作を示すフローチャートである。
【００３３】
図４に示すように、制御部３７は、表面処理装置２０から受信する信号に基づいて、表面処理装置２０が振動中か否かを判別する（ステップ１。以下、ステップを「Ｓ」とする）。制御部３７がＳ１にて表面処理装置２０が振動中であると判別した場合、Ｓ１へ戻り、外観検査装置３０は待機状態になる。一方、Ｓ１にて表面処理装置２０が振動中でないと制御部３７が判別した場合、制御部３７は帯状ワーク１の検査領域の実画像を撮像部３５ｂに取得させ、画像処理部３７ａにおいて画像処理を実施させる（Ｓ２）。
【００３４】
例えば、制御部３７は、表面処理装置２０の振動センサから表面処理装置２０が振動している旨の情報を受け取った場合、処理決定部３７ｅに働きかけて撮像部３５ｂにおける撮像を禁止させる。一方、制御部３７が表面処理装置２０が振動していない旨の情報を受け取った場合（或いは、振動している旨の情報を受け取っていない場合）、処理決定部３７ｅに働きかけて撮像部３５ｂに撮像を実行させる。撮像部３５ｂは撮像した画像（実画像）の情報をインターフェース部３８を介して画像処理部３７ａに供給する。
【００３５】
画像処理部３７ａは、受け取った画像の情報に所定の画像処理を施す。画像処理は、例えば、色相、彩度、明度等を変更する処理、ノイズ除去等により、後述する比較結果と判別基準との比較に資する処理であってよい。画像処理部３７ａは、画像処理を施した画像情報を、画像比較部３７ｂに供給する。画像比較部３７ｂは、記憶部３７ｃに予め格納されている基準画像の情報と、画像比較部３７ｂから受け取った画像処理が施された画像情報とを比較する。画像比較部３７ｂは、例えば、画素ごと、複数の画素ごと、又は予め定められた領域の画素ごとにマッチングすることにより画像処理が施された画像情報と基準画像の情報との相違を取得する。そして、画像比較部３７ｂは、取得した相違に関する情報を比較結果として画像判別部３７ｄに供給する。画像判別部３７ｄは、画像比較部３７ｂから受け取った比較結果と記憶部３７ｃに予め格納されている判別基準とを比較することにより、以下に詳細に説明するように、接着剤、メッキ等の表面処理物２の有無、表面処理物２の位置ずれ、表面処理物２の欠け、帯状ワーク１の表面の凹凸状態、表面への異物付着、搬送孔３の変形有無、帯状ワーク１の種類等を判別する。
【００３６】
すなわち、Ｓ２の後、画像判別部３７ｄは、帯状ワーク１の状態について判別する。具体的に画像判別部３７ｄは、帯状ワーク１の表面に接着剤が存在するか否かを判別する（Ｓ３）。画像判別部３７ｄが、当該表面に接着剤が存在すると判別した場合は、次に、帯状ワーク１の表面にメッキが存在するか否かを判別する（Ｓ４）。そして、画像判別部３７ｄは、メッキが存在すると判別した場合は搬送孔３０が変形しているか否かを次に判別する（Ｓ５）。一方、搬送孔３０が変形していないと判別した場合は、画像判別部３７ｄは、接着剤のパターン位置が基準範囲内に収まっているか否かを判別する（Ｓ６）。
【００３７】
ここでＳ３にて、画像判別部３７ｄが、帯状ワーク１に接着剤が存在しないと判別した場合は、画像判別部３７ｄは、帯状ワーク１が非製品区間であるか否かを判別する（Ｓ７）。ここで、非製品区間の例としては、帯状ワーク１の端末部分や、製品ロット間の搬送専用部分（例えば、リーダーテープ）が挙げられる。画像判別部３７ｄは、帯状ワーク１が非製品区間であると判別した場合は、非製品区間である旨の情報を処理決定部３７ｅに供給する。処理決定部３７ｅは当該情報を受け取った場合、インターフェース部３８を介して表面処理装置２０に、帯状ワーク１の位置決めを解除する処理（Ｓ８）、帯状ワーク１を送出させる処理（Ｓ９）、帯状ワーク１を送出させた後に次回検査のために帯状ワーク１の位置決めをする処理（Ｓ１０）を実行させる。Ｓ８及びＳ１０については、後ほど詳述する。
【００３８】
Ｓ７にて帯状ワーク１が製品区間であると画像判別部３７ｄが判別した場合は、画像判別部３７ｄは、製品区間である旨の情報を処理決定部３７ｅに供給する。 処理決定部３７ｅは、当該情報を受け取った場合に、インターフェース部３８を介してパンチング部３６の動作を制御する。具体的に、処理決定部３７ｅは、パンチング部３８を制御して、帯状ワーク１にパンチングを施させる（Ｓ１１）。そして、パンチングが実行された後、処理決定部３７ｅは、制御部３７に処理済みである旨の情報を供給する。制御部３７は、当該情報を受け取った場合に、外観検査装置３０を停止させる（Ｓ１２）。ここで、パンチングは、不具合が生じている箇所に施すことが好ましい。パンチングは、帯状ワーク１を貫通するものであっても、貫通せずに圧痕を形成するものであってもよい。
【００３９】
なお、Ｓ１２にて外観検査装置３０を停止せずに、使用者に対して帯状ワーク１の不具合を報知すべく警告を発するようにすることもでき、また、停止と警告との双方を実行することもできる。この場合、制御部３７は、処理済みである旨の情報を処理決定部３７ｅから受け取った場合、外観検査装置３０を停止させると共に、或いは停止させずに、警告部を制御して警告音発生部及び／又は表示部から使用者に対して警告を発せさせる。また、画像判別部３７ｄがＳ４にてメッキが存在していないと判別した場合と、画像判別部３７ｄがＳ５にて搬送孔３０が変形していると判別した場合においても、処理決定部３７ｅは、パンチング部３６を制御して帯状ワーク１にパンチングを施させた後（Ｓ１１）、制御部３７に処理済みである旨の情報を供給して外観検査装置３０を停止させる（Ｓ１２）。
【００４０】
また、画像判別部３７ｄは、Ｓ６にてパターン位置が基準範囲内に収まっていないと判別した場合、帯状ワーク１のアライメント調整によりパターン位置を基準範囲内へ収めることができるか否かを判別する（Ｓ１３）。そして、画像判別部３７ｄは、基準範囲内へ収めることができると判別した場合は、表面処理装置２０にアライメント調整を実行させる（Ｓ１４）。一方、画像判別部３７ｄは、Ｓ１３にて基準範囲内へ収めることができないと判別した場合、処理決定部３７ｅに基準範囲内へ収めることができない旨の情報を供給する。処理決定部３７ｅは、当該情報を受け取った場合に、パンチング部３６を制御して帯状ワーク１にパンチングを施させたる（Ｓ１１）。そして、パンチング後、制御部３７は外観検査装置３０を停止する（Ｓ１２）。
【００４１】
画像判別部３７ｄは、Ｓ６にてパターン位置が基準範囲内に収まっていると判別するか、Ｓ１３にてアライメント調整が実行された後、帯状ワーク１の表面に凹凸、異物等の軽微な欠陥があるか否かを判別する（Ｓ１５）。画像判別部３７ｄが、軽微な欠陥があると判別した場合、画像判別部３７ｄは、記憶部３７ｃに予め格納されている以前の検査領域の履歴を参照して、同一箇所に欠陥が生じていたか否かを判別する（Ｓ１６）。Ｓ１６にて、同一箇所に欠陥が生じていたと画像判別部３７ｄが判別した場合、画像判別部３７ｄは、欠陥が生じていた旨を示す情報を処理決定部３７ｅに供給する。処理決定部３７ｅは、当該情報を受け取った場合、外観検査装置３０を停止させる（Ｓ１２）。画像判別部３７ｄは、Ｓ１６にて同一箇所に欠陥が生じていないと判別した場合、検査領域内の欠陥の数が設定許容数を超えたか否かを判別する（Ｓ１７）。画像判別部３７ｄがＳ１７にて設定許容数を超えたと判別した場合、画像判別部３７ｄは、設定許容数を超えた旨を示す情報を処理決定部３７ｅに供給する。処理決定部３７ｅは、当該情報を受け取った場合、外観検査装置３０を停止させる（Ｓ１２）。
【００４２】
画像判別部３７ｄにおいて、Ｓ１５にて軽微な欠陥がないと判別された場合及びＳ１７にて設定許容数を超えていないと判別された場合、画像判別部３７ｄは、欠陥がない旨を示す情報及び設定許容数を超えていないことを示す情報を処理決定部３７ｅに供給する。処理決定部３７ｅは、欠陥がない旨を示す情報及び設定許容数を超えていないことを示す情報を受け取った場合、表面処理装置２０に、帯状ワーク１の位置決めを解除する処理（Ｓ８）、帯状ワーク１を送出する処理（Ｓ９）、帯状ワーク１を創出した後に次回検査のために帯状ワーク１の位置決めをする処理（Ｓ１０）を実行させる。
【００４３】
（位置決め工程）
図５は、帯状ワークの位置決め工程のフローチャートである。図５を参照して帯状ワークの位置決め工程について説明する。
【００４４】
まず、図６に示すようにアクチュエータ３３ａを駆動して押さえロール３１ｃ、押さえロール３１ｄを帯状ワーク１から離隔させて、帯状ワーク１の拘束を解除する（Ｓ１０１）。ここで、図６は、押さえロールが帯状ワークから離隔した状態を示す送出部の説明図である。
【００４５】
次いで、図７（ａ）及び（ｂ）に示すように、第１上下動部３２ｂを駆動してテーパピン３２ａを搬送孔３に挿通して、帯状ワーク１に幅方向へ張力を印加する（Ｓ１０２）。ここで、図７は、検査領域の側面断面の説明図であり、（ａ）は帯状ワークが吸着板に載置された状態を示し、（ｂ）は帯状ワークの搬送孔にテーパピンが挿通された状態を示し、（ｃ）は帯状ワークの幅方向外側がマスクと吸着板により挟持されると共に帯状ワークが吸着板に吸着されている状態を示す。図７（ａ）に示すように表面処理装置２０から送出されてくる帯状ワーク１は平坦でなく、図７（ｂ）に示すように幅方向に張力を印加することにより平坦な方向へ変形する。ここで、帯状ワーク１は、搬送孔３以外にストレスリリース用、ボンディングウィンドウ用等の孔が空いている場合、熱硬化型の接着剤が用いられ熱履歴を受けている場合には平坦度低下が著しくなる。
【００４６】
図８は、テーパピンが搬送孔に挿通されていく様子を示した説明図であり、（ａ）は挿通直前の状態を示し、（ｂ）は挿通初期の状態を示し、（ｃ）は挿通中期の状態を示し、（ｄ）は挿通が完了した状態を示している。
【００４７】
本実施の形態においては、テーパピン３２ａは、張力が加わらない状態での帯状ワーク１の搬送孔３の位置よりも、幅方向外側に配置されている。図８（ａ）に示すようにテーパピン３２ａの上端が先細りに形成されているので、図８（ｂ）に示すようにテーパピン３２ａの上端が搬送孔３の幅方向外側に進入する。そして、図８（ｃ）に示すようにテーパピン３２ａにより帯状ワーク１が幅方向に拡げられ、図８（ｄ）に示すように帯状ワーク１の本来の寸法よりも幅方向外側に弾性変形した状態となる。なお、図８（ｄ）中において、帯状ワーク１の本来の位置は２点鎖線で示した。これにより、帯状ワーク１を確実に平坦にすることができる。
【００４８】
テーパピン３２ａを搬送孔３に挿通させた後、図９に示すようにアクチュエータ３３ａを駆動して押さえロール３１ｃ、押さえロール３１ｄを帯状ワーク１に接触させ、図１０に示すようにエアシリンダ３３ｂを駆動して帯状ワーク１に長手方向へ張力を印加する（Ｓ１０３）。ここで、図９は、押さえロールが帯状ワークに接触した状態を示す送出部の説明図であり、図１０はエアシリンダを駆動して帯状ワークに張力を印加した状態を示す送出部の説明図である。
【００４９】
この後、第２上下動部３４ｃを駆動してマスク３４ｂにより、帯状ワーク１の幅方向両端を吸着板３４ａと共に挟み込む（Ｓ１０４）。そして、図７（ｃ）に示すように、ソレノイド３４ｃを駆動して、吸着板３４ａの表面から空気を吸い込んで帯状ワーク１を吸着板３４ａに吸着させる（Ｓ１０５）。このとき、図１１に示すように、吸着板３４ａの幅方向外側がマスク３４ｂにより覆われていることから、負圧リークが発生することなく、的確に帯状ワーク１を吸着板３４ａに吸着させることができる。ここで、図１１は、帯状ワークの幅方向外側がマスクと吸着板により挟持されると共に帯状ワークが吸着板に吸着されている状態を示す検査領域の平面視の説明図である。以上により、位置決めが終了して、Ｓ２の撮像が可能な状態になる。
【００５０】
（位置決め解除工程）
図１２は、帯状ワークの位置決め解除工程のフローチャートである。図１２を参照して帯状ワークの位置決め解除工程について説明する。
【００５１】
まず、ソレノイド３４ｃを駆動して、吸着板３４ａの表面から空気を吐出して帯状ワーク１の吸着を解除する（Ｓ８１）。この後、第２上下動部３４ｃを駆動してマスク３４ｂと吸着板３４ａによる帯状ワーク１の挟持とを解除する（Ｓ８２）。そして、エアシリンダ３３ｂを駆動して帯状ワーク１に対する長手方向への張力印加を解除する（Ｓ８３）。次いで、第１上下動部３２ｂを駆動してテーパピン３２ａを搬送孔３から抜脱させ、帯状ワーク１に対する幅方向への張力印加を解除する（Ｓ８４）。これにより、Ｓ９の帯状ワーク１の送出が可能な状態となる。
【００５２】
（実施の形態の効果）
このように、本発明の実施の形態によれば、表面処理装置２０の振動時間を避けて実画像を取得するようにしたので、振動により不適切な実画像を取得するようなことはなく、誤判定を抑制して検査の信頼性を向上させることができる。また、過度の防振対策を講じる必要がないことから、例えば、防振ゴムの設置、防振構造用アジャスタパッドの採用等の比較的簡単な防振対策により、外観検査装置３０の検査精度を比較的高くすることができる。
【００５３】
また、撮像時に帯状ワーク１に送出方向及びこれと直交する方向に張力を印加するようにしたので、帯状ワーク１を面内方向に伸ばすことができ、帯状ワーク１を確実に平坦化できる。更に、マスク３４ｂと吸着板３４ａとにより帯状ワーク１を挟むようにしたので、帯状ワーク１をより平坦化することができる。 更に、吸着板３４ａにより帯状ワーク１が吸着されるので、これにより、帯状ワーク１の平坦化が促進される。したがって、本実施の形態に係る外観検査装置によれば、帯状ワーク１の検査領域の面内平坦度を担保できると共に、画像センサ３５ｂの焦点深度が外れて画像がぼけることを防止できる。
【００５４】
また、マスク３４ｂにより吸着板３４ａの幅方向両端を塞ぐようにしたので、負圧リークを抑制することができ、帯状ワーク１の幅方向寸法が吸着板３４ａの幅方向寸法よりも小さい場合であっても、吸着板３４ａの吸着性能が損なわれることはない。これにより、幅方向寸法の異なる帯状ワーク１を用いたとしても、全ての帯状ワーク１について的確に吸着板３４ａに吸着させることができる。なお、吸着板３４ａの幅方向寸法は、製造される複数の帯状ワーク１のうち、幅方向寸法が最大のものが収まるよう設定されており、部品交換なしで全製品を製造可能となっている。
【００５５】
また、吸着板３４ａからは、帯状ワーク１の吸着時を除いて空気が吐出されるようにしたので、送出時に帯状ワーク１と吸着板３４ａとを離隔させることができ、これにより帯状ワーク１の裏面を多孔質材の吸着板３４ａにより擦ることが防止される。また、長期の使用に際しても、吸着板３４ａの孔に帯状ワーク１に付着した異物や塵埃が侵入して目詰まりを起こすようなこともない。なお、エア回路の圧力を監視するようにし、圧力が所定の閾値を上回る場合には、警告が発せられるようにすることが好ましい。
【００５６】
また、製品基準を満たしていない帯状ワーク１には、パンチングを施すようにしたので、次工程で製品規格外であることを的確に認識することができる。また、比較的軽い欠陥については、同一箇所で発生しているか、欠陥が設定許容数を超えているかの判断を加えることにより、誤判定を抑制することができる。
【００５７】
また、外観検査装置３０がインライン方式であるので、帯状ワーク１の全区間について検査が可能であり、省人化を図りつつ信頼性を向上させることができる。更に、帯状ワーク１が非製品区間である場合、帯状ワーク１が自動的に送出されるようにしたので、検査不要箇所をスキップさせることができ、無駄な検査を省くことができる。
【００５８】
（本実施の形態の変形例）
なお、実施の形態においては、制御部３７が表面処理装置２０から信号を直接受信する形態を説明したが、表面処理装置２０が処理を実行するタイムスケジュールを記憶部３７ｃに予め格納させておき、当該タイムスケジュールに応じて振動中か否かを判断するようにすることもできる。
【００５９】
また、実施の形態における張力印加構造、画像取得方法等を外観検査装置の使用目的に応じて変更することができ、その他、具体的な細部構造等についても適宜に変更することができる。
【００６０】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、上記に記載した実施の形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。また、実施の形態の中で説明した特徴の組合せの全てが発明の課題を解決するための手段に必須であるとは限らない点に留意すべきである。
【符号の説明】
【００６１】
１  帯状ワーク
２  表面処理物
３  搬送孔
１０  ワーク繰り出し装置
２０  表面処理装置
３０  外観検査装置
３１  送出部
３１ａ  平ロール
３１ｂ  平ロール
３１ｃ  押さえロール
３１ｄ  押さえロール
３２  第１張力印加部
３２ａ  テーパピン
３２ｂ  第１上下動部
３３  第２張力印加部
３３ａ  アクチュエータ
３３ｂ  エアシリンダ
３４  平坦化部
３４ａ  吸着板
３４ｂ  マスク
３４ｃ  ソレノイド
３４ｄ  第２上下動部
３５  表面状態検査部
３５ａ  光照射部
３５ｂ  撮像部
３６  パンチング部
３７  制御部
３７ａ  画像処理部
３７ｂ  画像比較部
３７ｃ  記憶部
３７ｄ  画像判別部
３７ｅ  処理決定部
３８  インターフェース部
４０  ワーク巻き取り装置
１００  帯状ワーク加工システム 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
2011038927.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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