(57)【要約】【課題】密封された被検査物の内部に同梱が可能な圧力センサーの提供。【解決手段】厚み方向に変位可能に形成された可動部１１を備え、光透過性を有する第１の基板１０と、第１の基板１０との間で可動部１１の変位を許容する内部空間３０を形成し、第１の基板１０に気密に接合された光透過性を有する第２の基板２０と、可動部１１の第２の基板２０側の面１６に設けられた第１の反射膜１７と、第２の基板２０に第１の反射膜１７に対向するように設けられた第２の反射膜２３とを備え、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせることにより、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間の距離Ｇに応じた波長の光Ｌ１を外部へ出射可能に構成され、内部空間３０が、所定の圧力に保持され、内部空間３０と外部との圧力差により可動部１１が変位し、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間の距離Ｇが、圧力差に応じて変化する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚み方向に変位可能に形成された可動部を備え、光透過性を有する第１の基板と、
前記第１の基板との間で前記可動部の変位を許容する内部空間を形成し、前記第１の基板に気密に接合された光透過性を有する第２の基板と、
前記可動部の前記第２の基板側の面に設けられた第１の反射膜と、
前記第２の基板に前記第１の反射膜に対向するように設けられた第２の反射膜とを備え、
前記第１の反射膜と前記第２の反射膜との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせることにより、前記第１の反射膜と前記第２の反射膜との間の距離に応じた波長の光を外部へ出射可能に構成され、
前記内部空間が、所定の圧力に保持され、前記内部空間と前記外部との圧力差により前記可動部が変位し、前記第１の反射膜と前記第２の反射膜との間の前記距離が、前記圧力差に応じて変化することを特徴とする圧力センサー。
【請求項２】
請求項１に記載の圧力センサーにおいて、前記可動部を囲むように前記第１の基板の前記外部側の面から前記厚み方向に、前記可動部より高い突出部を設けたことを特徴とする圧力センサー。
【請求項３】
請求項２に記載の圧力センサーにおいて、前記突出部に囲まれた開口部を有し、前記開口部が塞がれた際に、前記開口部と前記外部とを連通する切り欠きまたは貫通孔を前記突出部に設けたことを特徴とする圧力センサー。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の圧力センサーにおいて、前記可動部の変位範囲を規制する規制部を設けたことを特徴とする圧力センサー。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の圧力センサーにおいて、前記可動部の前記第１の反射膜が設けられた面の反対側の面に、第１の反射防止膜を設けたことを特徴とする圧力センサー。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の圧力センサーにおいて、前記第２の基板の前記第２の反射膜が設けられた面の反対側の面に、第２の反射防止膜を設けたことを特徴とする圧力センサー。
【請求項７】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の圧力センサーにおいて、前記第２の基板の前記第２の反射膜が設けられた面の反対側の面に、複数の斜面からなる反射プリズム構造部を設け、
前記第１の基板側から入射する光が、前記反射プリズム構造部で反射されて、前記第２の基板側から前記第２の反射膜を介して前記内部空間に入射され、前記第１の反射膜に到達することを特徴とする圧力センサー。
【請求項８】
請求項７に記載の圧力センサーにおいて、前記各斜面に第３の反射膜を設けたことを特徴とする圧力センサー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学的手段を備えた圧力センサーに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、真空パックなどの密封包装された被検査物の密封封止検査に関して、上部にガラス窓を設けたチャンバー内に被検査物を入れ、上部にフィゾー干渉計を設置し、被検査物表面のレーザー光反射面の干渉縞画像を得、さらにチャンバー内を増圧または減圧させて、被検査物表面の面変化を測定することにより判定する方法が開示されている。
また、特許文献２には、被測定流体管路に直交する密封管路内に、一方の面に反射膜を蒸着形成し、他方の面に反射防止膜を形成した膜付フィルムと膜付基板とを、互いに反射膜側が向かい合うように対向配置してファブリ・ペローエタロン構造を作り、さらに膜付基板と受光素子との間にハイパスフィルターを傾斜配置し、被測定流体の圧力変化による膜付フィルムと膜付基板との間の距離の変化に応じて光源より照射された光の波長を選択透過する構成の圧力センサーが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１０４６８号公報
【特許文献２】特開２００１−３３３３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１による真空パックなどの密封包装された被検査物の密封封止検査方法においては、次のような問題点がある。
（１）被検査物自体の変形や張力により被検査物内部とチャンバー内の圧力とが必ずしも一致しない。
（２）被検査物の面変化が一定となった瞬間を判断するのが困難であり、測定者によって異なった判定結果となる。
（３）チャンバー内を増圧または減圧する時間が必要なことから、検査のサイクルタイムが長くなる。
【０００５】
これらの問題点を改善する一方策としては、特許文献２に開示された圧力センサーを被検査物の内部に同梱し、直接被検査物の内部の圧力を測定する方法が考えられる。
しかしながら、この場合には、圧力センサーの構成に起因する次のような問題点がある。
＜１＞圧力センサーの光源や受光素子に電力を供給するワイヤーや、圧力センサーからの信号を読み取るためのワイヤーなどを外部へ引き出さなければならないことから、被検査物の密封封止部（シール部）のエアリークなどの不具合を誘発しやすい。
＜２＞＜１＞の対策として、圧力センサーと一緒に電力源（電源）としての電池や表示部などの周辺部材を被検査物の内部に納めたとしても、電池の消耗により長期保存時の測定が困難となる。
＜３＞＜２＞では、周辺部材の同梱によって被検査物の容積が、本来の容積より大きく変化してしまうことから、通常の被検査物とは異なった状態で測定することになり、測定の信頼性が低下する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］本適用例にかかる圧力センサーは、厚み方向に変位可能に形成された可動部を備え、光透過性を有する第１の基板と、前記第１の基板との間で前記可動部の変位を許容する内部空間を形成し、前記第１の基板に気密に接合された光透過性を有する第２の基板と、前記可動部の前記第２の基板側の面に設けられた第１の反射膜と、前記第２の基板に前記第１の反射膜に対向するように設けられた第２の反射膜とを備え、前記第１の反射膜と前記第２の反射膜との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせることにより、前記第１の反射膜と前記第２の反射膜との間の距離に応じた波長の光を外部へ出射可能に構成され、前記内部空間が、所定の圧力に保持され、前記内部空間と前記外部との圧力差により前記可動部が変位し、前記第１の反射膜と前記第２の反射膜との間の前記距離が、前記圧力差に応じて変化することを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、圧力センサーは、第１の反射膜と第２の反射膜との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせることにより、第１の反射膜と第２の反射膜との間の距離に応じた波長の光を外部へ出射可能に構成されている（光学的手段）。
そして、圧力センサーは、内部空間が所定の圧力に保持され、内部空間と外部との圧力差により可動部が変位し、第１の反射膜と第２の反射膜との間の距離が、圧力差に応じて変化する。
【０００９】
これらのことから、圧力センサーは、従来の圧力センサーのような電源などが不要で、簡易な構成であることによって、小型薄型化が可能であり、例えば、透明な真空パックなどの密封包装された被検査物の内部に同梱が可能である。そして、被検査物の内部に同梱された圧力センサーは、内部空間の圧力と外部（被検査物の内部）の圧力との圧力差により可動部が変位し、第１の反射膜と第２の反射膜との間の距離が、圧力差に応じて変化する。
これにより、圧力センサーは、外部から入射した光（例えば、可視光）のうち第１の反射膜と第２の反射膜との間の距離に応じた波長の光を外部へ出射することから、このときの出射された光の波長を測定または光の色調を測色し、予め測定しておいた圧力差と光の波長（色調）との対応表（カラーチャート）などと照合することで、被検査物の内部の圧力を把握（測定）することができる。
【００１０】
［適用例２］上記適用例にかかる圧力センサーにおいて、前記可動部を囲むように前記第１の基板の前記外部側の面から前記厚み方向に、前記可動部より高い突出部を設けたことが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、圧力センサーは、可動部を囲むように第１の基板の外部側の面から厚み方向に、可動部より高い突出部を設けたことから、例えば、真空パックされた被検査物の内部に同梱された場合に、真空パックの袋を介して被検査物の外部の圧力（例えば、大気圧）が可動部に加わることを回避できる。
この結果、圧力センサーは、内部空間の圧力と被検査物の内部の圧力との圧力差を正確に把握できる。
【００１２】
［適用例３］上記適用例２にかかる圧力センサーにおいて、前記突出部に囲まれた開口部を有し、前記開口部が塞がれた際に、前記開口部と前記外部とを連通する切り欠きまたは貫通孔を前記突出部に設けたことが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、圧力センサーは、突出部に囲まれた開口部を有し、開口部が塞がれた際に、開口部と外部とを連通する切り欠きまたは貫通孔を突出部に設けている。
これにより、圧力センサーは、例えば、被検査物の真空パックの袋によって開口部が塞がれた際に、開口部と外部（被検査物の内部）とが連通していることから、開口部と外部との圧力差が生じない。
この結果、圧力センサーは、内部空間の圧力と被検査物の内部の圧力との圧力差を正確に把握できる。
【００１４】
［適用例４］上記適用例にかかる圧力センサーにおいて、前記可動部の変位範囲を規制する規制部を設けたことが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、圧力センサーは、可動部の変位範囲を規制する規制部を設けたことから、第１の反射膜と第２の反射膜とが接触することを回避できる。
これにより、圧力センサーは、第１の反射膜及び第２の反射膜の損傷を回避できる。
【００１６】
［適用例５］上記適用例にかかる圧力センサーにおいて、前記可動部の前記第１の反射膜が設けられた面の反対側の面に、第１の反射防止膜を設けたことが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、圧力センサーは、可動部の第１の反射膜が設けられた面の反対側の面に、第１の反射防止膜を設けたことから、例えば、第２の基板側から透過してきた第１の反射膜と第２の反射膜との間の距離に応じた波長の光を、第１の反射膜が設けられた面の反対側の面における第１の反射膜側への反射を抑制させて、効率的に第１の基板から外部へ出射できる。
【００１８】
［適用例６］上記適用例にかかる圧力センサーにおいて、前記第２の基板の前記第２の反射膜が設けられた面の反対側の面に、第２の反射防止膜を設けたことが好ましい。
【００１９】
この構成によれば、圧力センサーは、第２の基板の第２の反射膜が設けられた面の反対側の面に、第２の反射防止膜を設けたことから、第２の反射膜が設けられた面の反対側の面における光の反射を抑制させて、例えば、外部から第２の基板へ入射する光を第２の反射膜に効率的に入射させることができる。
【００２０】
［適用例７］上記適用例にかかる圧力センサーにおいて、前記第２の基板の前記第２の反射膜が設けられた面の反対側の面に、複数の斜面からなる反射プリズム構造部を設け、前記第１の基板側から入射する光が、前記反射プリズム構造部で反射されて、前記第２の基板側から前記第２の反射膜を介して前記内部空間に入射され、前記第１の反射膜に到達することが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、圧力センサーは、第１の基板側から入射する光が、反射プリズム構造部で反射されて、第２の基板側から第２の反射膜を介して内部空間に入射され、第１の反射膜に到達することから、例えば、第２の基板側が遮光されていても、第１の反射膜と第２の反射膜との間の距離に応じた波長の光が第１の基板から外部へ出射する。
この結果、圧力センサーは、第２の基板側が遮光されていても、正常に機能することができる。
【００２２】
［適用例８］上記適用例７にかかる圧力センサーにおいて、前記各斜面に第３の反射膜を設けたことが好ましい。
【００２３】
この構成によれば、圧力センサーは、各斜面に第３の反射膜を設けたことから、各斜面における光の透過を抑制し、光の反射を効率的に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本実施形態の圧力センサーの概略構成を示す模式図。
【図２】圧力センサーの使用状態を示す模式図。
【図３】図２のＣ−Ｃ線での模式断面図。
【図４】変形例の圧力センサーの概略構成を示す模式断面図。
【図５】変形例の圧力センサーの使用状態を示す模式図。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。
（実施形態）
図１は、本実施形態の圧力センサーの概略構成を示す模式図である。図１（ａ）は、第１の基板側から俯瞰した平面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。
【００２６】
圧力センサー１は、光を受け、干渉作用によりその光の波長のうち特定の波長に対応する光（干渉光）だけを出射させるものである。圧力センサー１は、この出射された光の波長または色調を調べて、対応表などとの照合により、そのときの圧力を把握（測定）するものである。
図１に示すように、圧力センサー１は、平面形状が円形に形成され、光透過性を有する第１の基板１０と、同じく平面形状が円形に形成され、光透過性を有する第２の基板２０とを備えている。
圧力センサー１は、第１の基板１０と第２の基板２０とが厚み方向に接合された積層構造をなしている。
【００２７】
第１の基板１０は、平面形状が円形に形成され厚み方向（延在方向と直交する方向）である矢印Ｂ方向に変位可能に形成された可動部１１を備えている。
可動部１１は、周囲が第２の基板２０側に凹んだ薄肉状の支持部１１ａで支持された円柱状（円板状）であり、矢印Ｂ方向への変位が容易な構造となっている。
また、第１の基板１０は、外周部に可動部１１を囲むように外部側の面から厚み方向に、可動部１１より高い突出部１２が設けられている。
【００２８】
また、第１の基板１０は、突出部１２に囲まれた開口部１３を有し、外部の部材によって開口部１３が塞がれた際に、開口部１３と外部とを連通する切り欠き１４が突出部１２の先端部に設けられている。なお、本実施形態では、突出部１２の先端部の４箇所に切り欠き１４が設けられている。
また、第１の基板１０は、第２の基板２０側に凹部１５が形成されている。
【００２９】
第２の基板２０は、第１の基板１０の可動部１１と対向するように第１の基板１０側に凹部２１が形成されている。
第２の基板２０は、第１の基板１０との間で可動部１１の変位を許容する内部空間３０を、凹部２１と第１の基板１０の凹部１５とにより形成し、第１の基板１０に気密に接合されている。
なお、第２の基板２０は、変形を抑制するために第１の基板１０より剛性が高くなるように形成されている。
【００３０】
第１の基板１０及び第２の基板２０の材料としては、用いる光の波長に関し光透過性を有していれば特に限定されないが、例えば、ソーダガラス、結晶性ガラス、石英ガラス、鉛ガラス、カリウムガラス、ホウケイ酸ガラス、ホウケイ酸ナトリウムガラス、無アルカリガラスなどの各種ガラスや、水晶などが挙げられる。
なお、各基板には、可視光領域での光学特性、寸法精度や機械的特性、熱応力の抑制などの観点から同一材料のガラスを用いるのが好ましい。
【００３１】
なお、第１の基板１０と第２の基板２０との接合には、例えば、（１）低融点ガラスによる接合方法、（２）互いの接合面をプラズマ照射などにより親水化処理して表面を活性化させ、接合面同士を貼り合わせることで水素結合させるなどの直接接合方法、（３）アルコキシド、オルガノシロキシ基などを含む接合部材を用い、紫外線やプラズマ照射により接合する接合方法、（４）金錫合金被膜などの金属被膜を接合部材に用いた共晶接合方法などを用いる。
【００３２】
第１の基板１０には、可動部１１の第２の基板２０側の面１６に、平面形状が円形に形成された第１の反射膜１７が設けられている。
また、第１の基板１０には、可動部１１の第１の反射膜１７が設けられた面１６の反対側の面１８（以下、単に面１８ともいう）に、平面形状が円形に形成された第１の反射防止膜１９が設けられている。
【００３３】
第２の基板２０には、凹部２１の第１の基板１０側の面２２に、可動部１１の第１の反射膜１７に対向するように、平面形状が円形に形成された第２の反射膜２３が設けられている。
また、第２の基板２０には、第２の反射膜２３が設けられた面２２の反対側の面２４（以下、単に面２４ともいう）に、平面形状が円形に形成された第２の反射防止膜２５が設けられている。
【００３４】
第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間の距離Ｇは、用いられる光の波長などに応じて適宜設定されるが、通常、数百ｎｍ〜数μｍである。
圧力センサー１は、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間の距離Ｇが、内部空間３０と外部との圧力差により、可動部１１が変位することによって変化する構成となっている（詳細後述）。
【００３５】
第１の反射膜１７及び第２の反射膜２３は、光を比較的高い反射率で反射させ、第１の反射防止膜１９及び第２の反射防止膜２５は、光の反射を抑制する機能を有している。
第１の反射膜１７及び第２の反射膜２３と、第１の反射防止膜１９及び第２の反射防止膜２５とは、誘電体多層膜で構成されているものが好ましい。
詳述すれば、各反射膜及び各反射防止膜は、高屈折率層と低屈折率層とが交互に複数積層されてなるものが好ましい。これにより、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間での光の干渉時における光の損失を低減して光学特性を向上させることができる。
【００３６】
高屈折率層の材料としては、可視光領域や赤外光領域で用いる場合には、例えば、Ｔｉ2Ｏ，Ｔａ2Ｏ5、酸化ニオブなどが挙げられ、紫外光領域で用いる場合には、例えば、Ａｌ2Ｏ3，ＨｆＯ2，ＺｒＯ2，ＴｈＯ2などが挙げられる。
低屈折率層の材料としては、例えば、ＭｇＦ2，ＳｉＯ2などが挙げられる。
各反射膜及び各反射防止膜を構成する高屈折率層及び低屈折率層の層数、厚さは、所望の光学特性に応じて適宜設定される。一般的に、多層膜により反射膜を構成する場合、通常の光学特性を得るために必要な層数は、１２層以上であり、多層膜により反射防止膜を構成する場合、通常の光学特性を得るために必要な層数は、４層程度である。
【００３７】
圧力センサー１は、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせることにより、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間の距離Ｇに応じた波長の光を外部へ出射可能に構成されている。
圧力センサー１は、内部空間３０が、所定の圧力に保持され、内部空間３０と外部との圧力差により可動部１１が変位し、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間の距離Ｇが、圧力差に応じて変化する。
【００３８】
このような構成の圧力センサー１の動作（作用）について説明する。
図１（ｂ）に示すように、圧力センサー１は、可視光などの光Ｌが、第２の基板２０側から第２の反射防止膜２５、第２の反射膜２３を透過して、内部空間３０に入射すると、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせること（干渉作用）により、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間の距離Ｇに応じた波長の光Ｌ１だけが、第１の反射膜１７、第１の反射防止膜１９を透過して外部へ出射する（他の波長の光は、干渉作用により減衰し、外部へ出射されない）。
【００３９】
このとき、圧力センサー１は、第２の反射防止膜２５によって、光Ｌの外部側への反射が抑制され、光Ｌが殆ど損失せずに内部空間３０に入射する。また、圧力センサー１は、第１の反射防止膜１９によって、光Ｌ１の第１の基板１０の面１８における内部空間３０側への反射が抑制され、光Ｌ１が殆ど損失せずに外部へ出射する。
なお、図１（ｂ）は、圧力センサー１の内部空間３０の圧力と外部の圧力との圧力差がない状態を示す。
【００４０】
図２は、圧力センサーの使用状態を示す模式図である。図３は、図２のＣ−Ｃ線での模式断面図である。図３（ａ）は、内部空間３０の圧力が外部より高い場合を示す断面図であり、図３（ｂ）は、内部空間３０の圧力が外部より低い場合を示す断面図である。
【００４１】
図２に示すように、圧力センサー１は、例えば、光透過性を有する透明な袋４０を用いて真空パックなどの密封包装された被検査物５０の内部に被梱包物５１と同梱され、被検査物５０の密封封止検査に用いられる。
なお、ここでは、被検査物５０は、可視光が照射される大気中に置かれているものとする。
【００４２】
また、圧力センサー１の内部空間３０は、密封封止検査の基準となる所定の圧力Ｐｉとして、真空に近い圧力（例えば、１００ｐａ程度）に保持されているものとする。
また、真空パックされた被検査物５０の内部（袋４０の内部、圧力センサー１の外部に相当）の圧力Ｐｐは、正常状態（良品）であれば、圧力センサー１の内部空間３０の圧力Ｐｉより低い（Ｐｐ＜Ｐｉ）ものとし、異常状態（不良品）であれば、圧力センサー１の内部空間３０の圧力Ｐｉより高い（Ｐｐ＞Ｐｉ）ものとする。
異常状態は、例えば、シール部４１のエアリークなどの不具合により大気が被検査物５０の内部に侵入し、被検査物５０の内部の圧力Ｐｐが高まることによって発生する。
【００４３】
図３（ａ）に示すように、被検査物５０の内部の圧力Ｐｐが、圧力センサー１の内部空間３０の圧力Ｐｉより低い（Ｐｐ＜Ｐｉ）正常状態の場合には、その圧力差により支持部１１ａが開口部１３側へ撓むことによって、可動部１１が厚み方向の矢印Ｃ方向に変位し、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間の距離Ｇ１が距離Ｇより長くなる。
一方、図３（ｂ）に示すように、被検査物５０の内部の圧力Ｐｐが、圧力センサー１の内部空間３０の圧力Ｐｉより高い（Ｐｐ＞Ｐｉ）異常状態の場合には、その圧力差により支持部１１ａが内部空間３０側へ撓むことによって、可動部１１が厚み方向の矢印Ｄ方向に変位し、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間の距離Ｇ２が距離Ｇより短くなる。
【００４４】
このとき、圧力センサー１は、外部から入射した光Ｌのうち第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間の距離Ｇ１，Ｇ２に応じた波長の光Ｌ２，Ｌ３を外部へ出射する。
このことから、圧力センサー１は、出射された光Ｌ２，Ｌ３を図示しない受光素子で検出して波長を測定し、予め測定しておいた圧力差と光の波長との対応表と照合する、または出射された光Ｌ２，Ｌ３の色調を測色し、予め測定しておいた圧力差と光の色調との対応カラーチャートと照合することで、被検査物５０の内部の圧力Ｐｐを把握（測定）することができる。
色調について詳述すると、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間が距離Ｇ１の場合、光Ｌ２は、距離Ｇの場合の光Ｌ１より波長が長く、赤外光に近い色調となる。
一方、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間が距離Ｇ２の場合、光Ｌ３は、距離Ｇの場合の光Ｌ１より波長が短く、紫外光に近い色調となる。
【００４５】
これにより、圧力センサー１は、被検査物５０の密封封止が、正常状態であるか異常状態であるかの判定をすることができる。また、圧力センサー１は、被検査物５０の内部に被梱包物５１と同梱されていることから、被検査物５０の内部の圧力Ｐｐの長期間に亘る経時的変化を把握することもできる。
【００４６】
なお、図３（ａ）に示すように、圧力センサー１は、被検査物５０の内部の圧力Ｐｐが、圧力センサー１の内部空間３０の圧力Ｐｉより低い（Ｐｐ＜Ｐｉ）場合、その圧力差により支持部１１ａが開口部１３側へ撓むことによって可動部１１が矢印Ｃ方向に変位する。
このとき、圧力センサー１は、突出部１２が可動部１１より矢印Ｃ方向に高く設けられていることから、可動部１１が袋４０と接触する虞がない。これにより、圧力センサー１は、袋４０を介して被検査物５０の外部の大気圧が可動部１１に加わることを回避できる。
【００４７】
また、圧力センサー１は、大気圧により袋４０が押圧されて開口部１３が塞がれることがある。この際、圧力センサー１は、開口部１３と外部（被検査物５０の内部）とを連通する切り欠き１４によって、開口部１３内の圧力が被検査物５０の内部の圧力Ｐｐと同じに保持される。
【００４８】
一方、図３（ｂ）に示すように、圧力センサー１は、被検査物５０の内部の圧力Ｐｐが、圧力センサー１の内部空間３０の圧力Ｐｉより高い（Ｐｐ＞Ｐｉ）場合、その圧力差により支持部１１ａが内部空間３０側へ撓むことによって可動部１１が矢印Ｄ方向に変位する。
このとき、圧力センサー１は、第２の基板２０の凹部２１が可動部１１の変位範囲を規制する規制部となる。つまり、圧力センサー１は、圧力差がさらに大きくなり可動部１１が矢印Ｄ方向にさらに変位しようとしたときに、支持部１１ａが凹部２１の角部２１ａに接触し、可動部１１の矢印Ｄ方向へのさらなる変位を規制する。
これにより、圧力センサー１は、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との接触を回避できる。
【００４９】
上述したように、本実施形態の圧力センサー１は、可視光などの光Ｌを用いて第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせることにより、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間の距離Ｇ，Ｇ１，Ｇ２に応じた波長の光Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３を外部へ出射可能に構成されている。
そして、圧力センサー１は、内部空間３０が所定の圧力に保持され、内部空間３０と外部との圧力差により可動部１１が変位し、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間の距離Ｇ，Ｇ１，Ｇ２が、圧力差に応じて変化する。
【００５０】
これらのことから、圧力センサー１は、従来の圧力センサーのような電源や外部に引き出すワイヤーなどが不要で、且つ簡易な構成であることによって、小型薄型化が可能である。
これにより、圧力センサー１は、例えば、透明な真空パックなどの密封包装された被検査物５０の内部に、被検査物５０の容積を殆ど増やすことなく、またシール部４１のエアリークなどの不具合を誘発する虞もなく同梱が可能である。
そして、被検査物５０の内部に同梱された圧力センサー１は、内部空間３０の圧力Ｐｉと被検査物５０の内部の圧力Ｐｐとの圧力差により可動部１１が変位し、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間の距離Ｇが、この圧力差に応じて距離Ｇ１、距離Ｇ２などに変化する。
【００５１】
これにより、圧力センサー１は、外部から入射した可視光である光Ｌのうち第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間の距離Ｇ１，Ｇ２に応じた波長の光Ｌ２，Ｌ３を外部へ出射する。
したがって、圧力センサー１は、このときの出射された光Ｌ２，Ｌ３の波長を測定または光Ｌ２，Ｌ３の色調を測色し、予め測定しておいた圧力差と光の波長（色調）との対応表（カラーチャート）などと照合することで、被検査物５０の内部の圧力Ｐｐを把握（測定）することができる。
【００５２】
また、圧力センサー１は、電源が不要で長期間使用可能であることから、被検査物５０の内部の圧力Ｐｐを、初期状態だけではなく長期間に亘って把握することができる。
換言すれば、圧力センサー１は、被検査物５０の密封封止の経時的変化を把握することができる。
【００５３】
また、圧力センサー１は、可動部１１を囲むように第１の基板１０の外部側の面から厚み方向に、可動部１１より高い突出部１２を設けたことから、真空パックされた被検査物５０の内部に同梱された際に、可動部１１が袋４０と接触する虞がない。
これにより、圧力センサー１は、袋４０を介して被検査物５０の外部の大気圧が可動部１１に加わることを回避できる。
この結果、圧力センサー１は、内部空間３０の圧力Ｐｉと被検査物５０の内部の圧力Ｐｐとの圧力差を正確に把握できる。
【００５４】
また、圧力センサー１は、開口部１３と外部（被検査物５０の内部）とを連通する切り欠き１４が突出部１２に設けられていることから、袋４０によって開口部１３が塞がれた際に、開口部１３と被検査物５０の内部とが連通し、開口部１３と被検査物５０の内部との圧力差が生じない。
この結果、圧力センサー１は、内部空間３０の圧力Ｐｉと被検査物５０の内部の圧力Ｐｐとの圧力差を正確に把握できる。
なお、圧力センサー１は、切り欠き１４に代えて突出部１２を貫通する貫通孔を設けてもよい。これによれば、圧力センサー１は、切り欠き１４を設けた場合と同様の効果を得ることかできる。
【００５５】
また、圧力センサー１は、可動部１１の変位範囲を規制する規制部として、第２の基板２０に凹部２１を設けたことから、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３とが接触することを回避できる。
これにより、圧力センサー１は、第１の反射膜１７及び第２の反射膜２３の損傷を回避できる。
なお、圧力センサー１は、第２の基板２０の凹部２１に代えて、可動部１１の第２の基板２０側に凹部を設けて、その凹部の底面に第１の反射膜１７を設けることで、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３とが接触することを回避する構成としてもよい。
【００５６】
また、圧力センサー１は、可動部１１の第１の反射膜１７が設けられた面１６の反対側の面１８に、第１の反射防止膜１９を設けたことから、第２の基板２０側から透過してきた第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間の距離Ｇ，Ｇ１，Ｇ２に応じた波長の光Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３を、面１８における第１の反射膜１７側への反射を抑制させて、殆ど損失させることなく効率的に第１の基板１０から外部へ出射できる。
【００５７】
また、圧力センサー１は、第２の基板２０の第２の反射膜２３が設けられた面２２の反対側の面２４に、第２の反射防止膜２５を設けたことから、外部から第２の基板２０へ入射する光Ｌを、面２４における外部側への反射を抑制させて、殆ど損失させることなく効率的に第２の反射膜２３に入射させることができる。
なお、圧力センサー１は、第１の反射防止膜１９及び第２の反射防止膜２５を設けなくてもよい。これによれば、圧力センサー１は、製造工程を簡略化できることから、製造工数を低減できる。
【００５８】
また、圧力センサー１は、外部から入射する光Ｌを図１（ｂ）、図３に示す方向とは反対方向の、第１の基板１０側から入射させてもよい。これによれば、圧力センサー１は、光Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３を、図１（ｂ）、図３に示す方向とは反対方向の、第２の基板２０側から外部へ出射させることができる。
これによれば、圧力センサー１は、第１の基板１０側及び第２の基板２０側の両側から被検査物５０の内部の圧力Ｐｐを把握することができる。
【００５９】
（変形例）
ここで、上記実施形態の変形例について説明する。
図４は、変形例の圧力センサーの概略構成を示す模式断面図である。なお、断面位置は、図１のＡ−Ａ線に相当する。また、上記実施形態との共通部分については、同一符号を付して説明を省略し、上記実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００６０】
図４に示すように、変形例の圧力センサー１０１は、第２の基板１２０の第２の反射膜２３が設けられた面２２の反対側の面１２４に、複数の斜面１２６〜１２９からなる反射プリズム構造部１６０が設けられている。
斜面１２６は、支持部１１ａの紙面下方に位置し、面１２４から反時計回りで４５°の角度で形成されている。斜面１２７は、第２の反射膜２３の紙面下方に位置し、面１２４から時計回りで４５°の角度で形成されている。
斜面１２８は、斜面１２７と向かい合うように、面１２４から反時計回りで４５°の角度で形成され、一端が斜面１２７の一端と繋がっている。斜面１２９は、斜面１２７，１２８を挟んで斜面１２６と向かい合うように、支持部１１ａの紙面下方に位置し、面１２４から時計回りで４５°の角度で形成されている。
【００６１】
そして、圧力センサー１０１は、第１の基板１０側から入射する光Ｌが、反射プリズム構造部１６０で反射されて、第２の基板１２０側から第２の反射膜２３を介して内部空間３０に入射され、第１の反射膜１７に到達する。
詳述すると、紙面右側から入射した光Ｌは、斜面１２６で斜面１２７に向かって反射され、さらに斜面１２７で第２の反射膜２３に向かって反射されて、第２の反射膜２３を介して内部空間３０に入射され、第１の反射膜１７に到達する。
一方、紙面左側から入射した光Ｌは、斜面１２９で斜面１２８に向かって反射され、さらに斜面１２８で第２の反射膜２３に向かって反射されて、第２の反射膜２３を介して内部空間３０に入射され、第１の反射膜１７に到達する。
【００６２】
これにより、圧力センサー１０１は、上記実施形態と同様に、外部から入射した可視光である光Ｌのうち、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間の距離Ｇに応じた波長の光Ｌ１を外部へ出射する。
また、圧力センサー１０１は、各斜面に第３の反射膜１６１〜１６４が設けられている。第３の反射膜１６１〜１６４は、各斜面における光Ｌの透過を抑制し、光Ｌを効率的に反射させる。なお、第３の反射膜１６１〜１６４の構成は、第１の反射膜１７または第２の反射膜２３と同様である。
【００６３】
図５は、変形例の圧力センサーの使用状態を示す模式図である。
図５に示すように、圧力センサー１０１は、上記の構成としたことにより、例えば、真空パックされた被検査物５０の内部へ被梱包物５１と同梱される際に、第２の基板１２０側を被梱包物５１に向けた状態で、被梱包物５１と重ねて同梱することができる。
これは、上述したように、圧力センサー１０１において、第２の基板１２０側が遮光されていても、第１の基板１０側から入射する光Ｌが、反射プリズム構造部１６０で反射されて、第２の基板１２０側から第２の反射膜２３を介して内部空間３０に入射され、第１の反射膜１７と第２の反射膜２３との間の距離Ｇに応じた波長の光Ｌ１が、第１の基板１０から外部へ出射するからである。
【００６４】
この結果、圧力センサー１０１は、第２の基板１２０側が遮光されていても、上記実施形態の圧力センサー１と同様に機能し、同様の効果を奏することができる。
また、圧力センサー１０１は、被梱包物５１と重ねられることにより被検査物５０の内部に安定した状態で同梱され得ることから、上記実施形態の圧力センサー１と比較して、真空パックに起因する損傷などを回避できる。
また、圧力センサー１０１は、各斜面に第３の反射膜１６１〜１６４を設けたことから、各斜面における光Ｌの透過が抑制され、光Ｌの反射を効率的に行うことができる。
なお、圧力センサー１０１は、各斜面に第３の反射膜１６１〜１６４を設けなくてもよい。これによれば、圧力センサー１０１は、製造工程を簡略化できることから、製造工数を低減できる。
【００６５】
なお、圧力センサー１，１０１は、内部空間３０の圧力Ｐｉを真空に近い圧力に限定するものではなく、大気圧より高い圧力など用途に応じて適宜設定してもよい。また、圧力センサー１，１０１は、用途を真空パックなどの密封封止検査に限定するものではなく、例えば、密封管路内におけるガスなどの圧力測定などにも適用できる。
また、圧力センサー１，１０１は、平面形状を円形に限定するものではなく、矩形、多角形、楕円形など用途に応じて適宜設定してもよい。
【符号の説明】
【００６６】
１…圧力センサー、１０…第１の基板、１１…可動部、１１ａ…支持部、１２…突出部、１３…開口部、１４…切り欠き、１５…凹部、１６…可動部の第２の基板側の面、１７…第１の反射膜、１８…第１の反射膜が設けられた面の反対側の面、１９…第１の反射防止膜、２０…第２の基板、２１…凹部、２１ａ…凹部の角部、２２…凹部の第１の基板側の面、２３…第２の反射膜、２４…第２の反射膜が設けられた面の反対側の面、２５…第２の反射防止膜、３０…内部空間、４０…袋、４１…シール部、５０…被検査物、５１…被梱包物、１０１…圧力センサー、１２０…第２の基板、１２４…第２の反射膜が設けられた面の反対側の面、１２６，１２７，１２８，１２９…斜面、１６０…反射プリズム構造部、１６１，１６２，１６３，１６４…第３の反射膜、Ｇ，Ｇ１，Ｇ２…第１の反射膜と第２の反射膜との間の距離、Ｌ…外部から入射する光、Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３…第１の反射膜と第２の反射膜との間の距離に応じた波長の光。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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