(57)【要約】【課題】スラリー塗布手段と乾燥手段の間に配置された乾燥防止チャンバを含んで、無欠点の薄型セラミックグリーンシートを製造できるセラミックグリーンシート製造装置を提供する。【解決手段】本発明はセラミックグリーンシート製造装置を開示している。セラミックグリーンシート製造装置は、フィルム上にスラリーを塗布する塗布手段１１０；フィルム上に塗布されたスラリーを乾燥する乾燥手段１２０；及び塗布手段１１０と乾燥手段１２０の間に配置されたスラリーの乾燥を防止するための乾燥防止チャンバ１３０を含むことができる。【選択図】図１
2011194880.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルム上にスラリーを塗布する塗布手段；
前記フィルム上に塗布されたスラリーを乾燥する乾燥手段；及び
前記塗布手段と前記乾燥手段の間に配置された前記スラリーの乾燥を防止するための乾燥防止チャンバを含むセラミックグリーンシート製造装置。
【請求項２】
前記乾燥防止チャンバの内部は、蒸気圧を大気圧より高く維持される請求項１に記載のセラミックグリーンシート製造装置。
【請求項３】
前記乾燥防止チャンバの内部は、前記スラリーから揮発した溶剤濃度が前記溶剤の燃焼下限値または爆発下限値を維持する請求項１に記載のセラミックグリーンシート製造装置。
【請求項４】
前記乾燥手段は、前記フィルムの移動方向にしたがって配置された排気部と吸気部を含む請求項１に記載のセラミックグリーンシート製造装置。
【請求項５】
前記乾燥防止チャンバの内部に配置された真空ロ−ルをさらに含む請求項１に記載のセラミックグリーンシート製造装置。
【請求項６】
フィルム上にスラリーを塗布する塗布手段；
前記フィルム上に塗布されたスラリーを乾燥する乾燥手段；及び
前記塗布手段と前記乾燥手段の間に配置され、内部に外部気体を提供する吸入口と外部に内部気体を排出する排気口を含む乾燥防止チャンバ；
を含むセラミックグリーンシート製造装置。
【請求項７】
前記吸入口と前記排気口の開閉を夫々調節することができるバルブをさらに含む請求項６に記載のセラミックグリーンシート製造装置。
【請求項８】
前記排気口と前記吸入口の配置順序は、前記スラリーが塗布されたフィルムの移動方向に、順次、前記乾燥防止チャンバの上端に配置される請求項６に記載のセラミックグリーンシート製造装置。
【請求項９】
前記外部気体は不活性気体を用いる請求項６に記載のセラミックグリーンシート製造装置。
【請求項１０】
前記乾燥防止チャンバの内部で、前記スラリーから揮発した溶剤濃度が前記溶剤の燃焼下限値または爆発下限値を維持する請求項６に記載のセラミックグリーンシート製造装置。
【請求項１１】
フィルム上にスラリーを塗布する塗布手段；
前記フィルム上に塗布されたスラリーを乾燥する乾燥手段；
前記塗布手段と前記乾燥手段の間に配置され、少なくとも一面に開口部を備え、前記スラリーの乾燥を防止する乾燥防止チャンバ；及び
前記開口部の開閉を調節して、前記乾燥防止チャンバの内部の蒸気圧を大気圧より高く維持するための蒸気圧調節制御手段；
を含むセラミックグリーンシート製造装置。
【請求項１２】
前記蒸気圧調節制御手段は楕円形のロール形態を有し、多数のスリットを備えるスリット部と前記スリット部と連結された遮断部を含む請求項１１に記載のセラミックグリーンシート製造装置。
【請求項１３】
前記蒸気圧調節制御手段の両側内部に配置され、前記蒸気圧調節制御手段の回転を通じて前記開口部の開閉を調節する駆動ローラーをさらに含む請求項１１に記載のセラミックグリーンシート製造装置。
【請求項１４】
前記蒸気圧調節制御手段は、
多数の第１スリットを備える第１スリット部；及び
前記第１スリットと対応された第２スリットを備え、前記第１スリット部上で左右に移動して前記第１スリットをカバーしたりオープンすることができる第２スリット部；
を含む請求項１１に記載のセラミックグリーンシート製造装置。
【請求項１５】
前記乾燥防止チャンバの内部で、前記スラリーから揮発した溶剤濃度が前記溶剤の燃焼下限値または爆発下限値を維持する請求項１１に記載のセラミックグリーンシート製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はセラミックグリーンシート製造装置に関し、スラリー塗布手段と乾燥手段の間に配置された乾燥防止チャンバを含むセラミックグリーンシート製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
超高容量の積層型セラミックコンデンサーを開発するためには、セラミックグリーンシートの薄膜化及び高積層化が求められる。しかし、セラミックグリーンシートの厚さの減少とセラミックグリーンシートの積層数の増加は、チップの電気的ショート率を増加させる要因となる。これは、セラミックグリーンシートが薄膜化されるほど、セラミックグリーンシート上の小さい欠陥にも電気的ショートが発生しやすいためである。
【０００３】
これにより、超高容量の積層型セラミックコンデンサーを製造するために、薄膜の無欠点セラミックグリーンシートを製造することが必須の要素となる。
【０００４】
一方、セラミックグリーンシートの製造のための製造装置は、セラミック粉末、バインダー樹脂及び溶剤を含むスラリーをフィルム上に塗布する塗布手段及び塗布されたスラリーを乾燥するための乾燥手段を含むことができる。
【０００５】
ここで、薄型、即ち1um以下のセラミックグリーンシートを製造する場合、フィルム上に塗布されたスラリーに含まれた溶剤の量も少なくなるため、塗布装置でスラリーが塗布された時点から乾燥装置まで移動する間にスラリーを急激に乾燥されせことができる。ここで、スラリーの急激な乾燥はセラミックグリーンシートの内部に多くの欠点を発生させる可能性がある。
【０００６】
なお、塗布手段から乾燥手段までの距離が長いため、スラリーの急激な乾燥がさらに深刻になり、薄型のセラミックグリーンシートの欠点発生はさらに深刻化する可能性がある。
【０００７】
また、スラリーが塗布されたフィルムが塗布手段から乾燥手段まで移動する間に外部の異物によって汚染されるだけでなく、外部からの風によって塗布されたスラリーの表面物性が悪くなる可能性がある。
【０００８】
また、スラリーから揮発した溶剤が作業室内に残存し、作業環境を低下させる要因となる可能性がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開2004-090466号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
従って、本発明はセラミックグリーンシート製造装置で発生する問題点を解決するために導き出されたものであり、具体的には、スラリー塗布手段で乾燥手段の間に配置された乾燥防止チャンバを含んで、無欠点の薄型セラミックグリーンシートを製造することができるセラミックグリーンシート製造装置を提供することをその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の目的はセラミックグリーンシート製造装置を提供することである。前記セラミックグリーンシート製造装置は、フィルム上にスラリーを塗布する塗布手段；前記フィルム上に塗布されたスラリーを乾燥する乾燥手段；及び前記塗布手段と前記乾燥手段の間に配置された前記スラリーの乾燥を防止するための乾燥防止チャンバを含むことができる。
【００１２】
ここで、前記乾燥防止チャンバの内部は、蒸気圧を大気圧より高く維持することができる。
【００１３】
また、前記乾燥防止チャンバの内部は、前記スラリーから揮発した溶剤濃度を前記溶剤の燃焼下限値または爆発下限値以下に維持することができる。
【００１４】
また、前記乾燥手段は前記フィルムの移動方向によって配置された排気部と吸気部を含むことができる。
【００１５】
また、前記乾燥防止チャンバの内部に配置された真空ロ−ルをさらに含むことができる。
【００１６】
本発明の他の目的はセラミックグリーンシート製造装置を提供することである。前記セラミックグリーンシート製造装置は、フィルム上にスラリーを塗布する塗布手段；前記フィルム上に塗布されたスラリーを乾燥する乾燥手段；及び前記塗布手段と前記乾燥手段の間に配置され、内部に外部気体を提供する吸入口と外部に内部気体を排出する排気口を含む乾燥防止チャンバ；を含むことができる。
【００１７】
ここで、前記吸入口と前記排気口の開閉を夫々調節することができるバルブをさらに含むことができる。
【００１８】
また、前記排気口と前記吸入口の配置順序は、前記スラリーが塗布されたフィルムの移動方向に順次的に、前記乾燥防止チャンバの上端に配置されることができる。
【００１９】
また、前記外部気体は不活性気体を用いることができる。
【００２０】
また、前記乾燥防止チャンバの内部で、前記スラリーから揮発された溶剤濃度が前記溶剤の燃焼下限値または爆発下限値を維持することができる。
【００２１】
本発明のまた他の目的はセラミックグリーンシート製造装置を提供することである。前記セラミックグリーンシート製造装置は、フィルム上にスラリーを塗布する塗布手段；前記フィルム上に塗布されたスラリーを乾燥する乾燥手段；前記塗布手段と前記乾燥手段の間に配置され、少なくとも一面に開口部を備え、前記スラリーの乾燥を防止する乾燥防止チャンバ；及び前記開口部の開閉を調節して、前記乾燥防止チャンバの内部の蒸気圧を大気圧より高く維持させるための蒸気圧調節制御手段；を含むことができる。
【００２２】
ここで、前記蒸気圧調節制御手段は楕円形のロール形態を有し、多数のスリットを備えるスリット部と前記スリット部と連結された遮断部を含むことができる。
【００２３】
また、前記蒸気圧調節制御手段の両側内部に配置され、前記蒸気圧調節制御手段の回転を通じて前記開口部の開閉を調節する駆動ローラーを含むことができる。
【００２４】
また、前記蒸気圧調節制御手段は多数の第１スリットを備える第１スリット部；及び前記第１スリットと対応された第２スリットを備え、前記第１スリット部上で左右に移動して前記第１スリットをカバーしたりオープンすることができる第２スリット部；を含むことができる。
【００２５】
また、前記乾燥防止チャンバの内部で前記スラリーから揮発した溶剤濃度が前記溶剤の燃焼下限値または爆発下限値を維持することができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明のセラミックグリーンシート製造装置は、塗布手段と乾燥手段の間にスラリーの乾燥を防止するための乾燥防止チャンバを備えることにより、無欠点の薄型グリーンシートの製造を可能にすることができる。
【００２７】
また、セラミックグリーンシート製造装置は乾燥防止チャンバを備えることにより、スラリーが外部異物から汚染されることを防止することができる。
【００２８】
また、セラミックグリーンシート製造装置は乾燥防止チャンバを備えることにより、スラリーから揮発された溶剤によって作業室の内部が汚染されることを防止することができる。
【００２９】
また、乾燥防止チャンバは蒸気圧調節制御手段を備えることにより、溶剤からの燃焼または爆発を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の第１実施例によるセラミックグリーンシート製造装置の一部概略図である。
【図２】本発明の第２実施例によるセラミックグリーンシート製造装置に備えられた乾燥防止チャンバの概略図である。
【図３】本発明の第３実施例によるセラミックグリーンシート製造装置に備えられた乾燥防止チャンバの概略図である。
【図４】本発明の第４実施例によるセラミックグリーンシート製造装置に備えられた乾燥防止チャンバの概略図である。
【図５】乾燥防止チャンバを備えていないセラミックグリーンシート製造装置から製造された比較例のセラミックグリーンシートの写真である。
【図６】乾燥防止チャンバを備えたセラミックグリーンシート製造装置から製造された本発明のセラミックグリーンシートの写真である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、本発明の実施例をセラミックグリーンシート製造装置の図面を参照して詳細に説明する。次に紹介される実施例は、当業者に本発明の思想が十分に伝達されるための例として提供されるものである。従って、本発明は以下で説明される実施例に限定されず、他の形態で具体化することもできる。そして、図面において、装置の大きさ及び厚さなどは便宜のために誇張されて表現することもある。明細書の全体における同一の参照番号は同一の構成要素を示す。
【００３２】
図１は本発明の第１実施例によるセラミックグリーンシート製造装置の一部概略図である。
【００３３】
図１を参照すると、本発明の第１実施例によるセラミックグリーンシート製造装置は、塗布手段１１０、乾燥手段１２０、及び塗布手段１１０と乾燥手段１２０の間に配置された乾燥防止チャンバ１３０を含むことができる。
【００３４】
塗布手段１１０はフィルムＦ上にセラミック粉末、バインダー樹脂及び溶剤を含むスラリーＳを塗布する役割をすることができる。ここで、セラミック粉末、バインダー樹脂及び溶剤は、通常的にグリーンシートを形成する材質であれば何れも用いられることができる。また、フィルムＦの材質は、例えば、ＰＥＴとすることができるが、本発明の実施例はこれに限定されない。
【００３５】
塗布手段１１０はフィルムＦ上にスラリーＳを噴射して塗布することができる。しかし、本発明の実施例はこれに限定されず、例えば塗布手段１１０は、ドクターブレード装置、ロールコーティング装置、リバースコーティング装置、スリットダイコーティング装置等とすることができる。
【００３６】
ここで、フィルムＦ上に塗布されたスラリーＳは薄型、例えば１um以下の厚さに形成することができる。
【００３７】
スラリーＳの塗布は、地面に対して垂直のフィルムＦ上に遂行することができる。しかし、本発明の実施例はこれに限定されない。
【００３８】
スラリーＳが塗布されたフィルムＦは、真空ロール１４０によって乾燥手段１２０に移動させることができる。ここで、真空ロール１４０は多数の真空ホールを備えることができる。この際、真空ホールを通じて真空を印加した後、真空ロール１４０の回転により、真空ロール１４０に対し、スラリーＳが塗布されたフィルムＦを、垂直または傾斜した状態から水平の状態にして乾燥手段１２０に移動させることができる。
【００３９】
乾燥手段１２０は、フィルムＦ上に塗布されたスラリーＳを乾燥してセラミックグリーンシートＧを形成することができる。この際、乾燥手段１２０はスラリーを乾燥するための加熱手段を備えることができる。
【００４０】
また、乾燥手段１２０は、フィルムＦの移動方向に順次、配置された排気部１２１と吸気部１２２を備えることができる。即ち、排気部１２１はフィルムＦの投入のための投入口１２３の近くに配置し、吸気部１２２はフィルムＦの排出のための排出口１２４の近くに配置することができる。これにより、乾燥手段１２０の内部では、フィルムの移動方向と反対方向の気流を発生させることができ、乾燥手段１２０の内部の溶剤濃度を、領域別に一定にすることができる。これは、スラリーＳから揮発した溶剤濃度は、乾燥手段１２０の排出口１２４よりも投入口１２３でもっと高くなる可能性があるため、グリーンシートに欠陥が発生する可能性があるためである。
【００４１】
ここで、乾燥手段１２０は一つの乾燥室からなっていると図示したが、本発明の実施例はこれに限定されず、例えば、乾燥手段は二つ以上の乾燥室を備えることができる。
【００４２】
乾燥防止チャンバ１３０は、塗布手段１１０と乾燥手段１２０の間に配置させることができる。乾燥防止チャンバ１３０はスラリーＳの不安定な乾燥を防止するために、その内部は、大気圧より高い蒸気圧を有することができる。その際、蒸気圧はスラリーＳから揮発した溶剤濃度の調節を通じて高めることができる。即ち、蒸気圧は溶剤濃度の増加によって上昇させることができる。
【００４３】
これにより、フィルムＦ上に塗布されたスラリーＳの厚さが小さいため発生するスラリーＳの急激な乾燥を防止することができる。即ち、フィルムＦ上に塗布されたスラリーＳは、乾燥手段１２０でのみ乾燥がなされるようにすることができ、スラリーＳの乾燥制御が可能になり、無欠点の薄型セラミックグリーンシートを製造することができる。
【００４４】
これに加えて、乾燥防止チャンバ１３０の内部でスラリーＳから揮発した溶剤濃度が継続的に増加する場合、燃焼及び爆発が発生しやすくなる可能性がある。これにより、燃焼及び爆発を防止するために、乾燥防止チャンバの内部の溶剤濃度を、溶剤の燃焼下限値または爆発下限値以下に維持することができる。この際、溶剤の種類によって、溶剤濃度の燃焼下限値または爆発下限値が異なるようにすることができる。例えば、溶剤のトルエンの重量比とエタノールの重量比が１：１である場合、溶剤の爆発下限値を２．２５ｖｏｌ％とすることができるため、乾燥防止チャンバ１３０の内部を２．２５ｖｏｌ％以下に維持することができる。この際、爆発を安定的に防止するために、乾燥防止チャンバ１３０の内部の溶剤濃度を溶剤の爆発下限値の５０％以下、即ち１．１３ｖｏｌ％以下に維持することができる。
【００４５】
従って、本発明の第１実施例のように、スラリー塗布手段とスラリー乾燥手段の間に配置され、スラリーの乾燥を防止するための乾燥防止チャンバを備えることにより、塗布手段と乾燥手段の間での外部からの異物と風による初期乾燥の不安定性を抑制することができる。即ち、本発明の第１実施例によるセラミックグリーンシート製造装置を通じて、無欠点の薄型グリーンシートの製造が可能になる。
【００４６】
以下、図２を参照して、本発明の第２実施例によるセラミックグリーンシート製造装置に対して説明する。ここで、排気口と吸気口を備えた乾燥防止チャンバを除いては、上述した第１実施例と同一の構成を有するため、重複する説明は省略し、図２では乾燥防止チャンバのみを図示する。
【００４７】
図２は本発明の第２実施例によるセラミックグリーンシート製造装置に備えられた乾燥防止チャンバの概略図である。
【００４８】
図２を参照すると、本発明の第２実施例によるセラミックグリーンシート製造装置は、スラリーＳを塗布する塗布手段１１０とスラリーＳを乾燥する乾燥手段１２０の間でスラリーＳの乾燥を防止するための乾燥防止チャンバ２３０を含むことができる。
【００４９】
前記乾燥防止チャンバ２３０は、内部の蒸気圧を大気圧より高く維持することにより、乾燥防止チャンバ２３０内でスラリーＳの乾燥を防止することができる。
【００５０】
蒸気圧の調節は、スラリーＳから揮発した溶剤濃度を通じて調節することができる。しかし、蒸気圧は溶剤濃度を通じてのみ調節する場合、乾燥防止チャンバの内部の蒸気圧の制御が容易でないだけでなく、蒸気圧を高めるために多くの時間がかかる可能性がある。
【００５１】
これを解決するために、乾燥防止チャンバ２３０は吸入口２３１を備えることができる。吸入口２３１は乾燥防止チャンバ２３０の内部に、蒸気圧を高めるための気体を投入し、乾燥防止チャンバ２３０の内部の蒸気圧を容易に大気圧より高めることができる。ここで、気体はスラリーに化学的に影響を与えない不活性気体、例えば窒素、アルゴン、ヘリウム、及びネオン等を用いることができる。
【００５２】
これに加えて、乾燥防止チャンバ２３０の内部の溶剤濃度が一定濃度以上である場合、燃焼または爆発が発生する可能性がある。この場合、乾燥防止チャンバ２３０の内部の溶剤濃度は、さらに安定的な管理のために、燃焼下限値または爆発下限値に対して５０％以下に維持することができる。
【００５３】
これにより、乾燥防止チャンバ２３０の内部の溶剤濃度が一定濃度以上に増加した時、内部の気体を外部に排出するための排気口２３２を備えることができる。これに加えて、吸入口２３１から投入された気体を通じて溶剤濃度を希薄することにより、大気圧より高い蒸気圧を維持することができる。
【００５４】
ここで、吸入口２３１と排気口２３２には、その開閉を調節可能なバルブ２３３を夫々備えることができる。これにより、バルブ２３３の操作によって、乾燥防止チャンバ２３０の内部の溶剤濃度を一定に維持することができる。
【００５５】
また、排気口２３２と吸入口２３１は、スラリーＳが塗布されたフィルムＦの移動方向に順次。乾燥防止チャンバ２３０の上端に配置することができる。ここで、排気口２３２と吸入口２３１を通じた気体の流れ方向は、スラリーＳが塗布されたフィルムＦの移動方向と反対方向とすることができる。これにより、乾燥防止チャンバ２３０の内部で、領域別に発生する溶剤濃度の勾配を減らすことができ、初期塗布されたスラリーＳの安定性を確保することができる。これは、乾燥防止チャンバ２３０の内部の溶剤濃度は、フィルムＦの投入口２３４の付近が排出口２３５の付近より高い可能性があるためである。確認要  
【００５６】
従って、本発明の第２実施例のように、乾燥防止チャンバは不活性気体の投入のための吸入口及び排気口を備えて、乾燥防止チャンバの内部の蒸気圧を容易に制御できるだけでなく、揮発した溶剤による燃焼または爆発を効果的に防止することが可能である。
【００５７】
以下、図３を参照して、本発明の第３実施例によるセラミックグリーンシート製造装置に対して説明する。ここで、排気口と吸気口を備えた乾燥防止チャンバを除いては、上述した第２実施例と同一の構成を有するため、重複する説明は省略し、図３では乾燥防止チャンバのみを図示する。
【００５８】
図３は、本発明の第３実施例によるセラミックグリーンシート製造装置に備えられた乾燥防止チャンバの概略図である。
【００５９】
図３を参照すると、本発明の第３実施例によるセラミックグリーンシート製造装置は、塗布手段１１０、乾燥手段１２０及び塗布手段１１０と乾燥手段１２０の間に配置された乾燥防止チャンバ３３０を含むことができる。
【００６０】
乾燥防止チャンバ３３０は上面に開口された開口部３３１を備えることができる。
【００６１】
開口部３３１に蒸気圧調節制御手段３３５が設けることができる。
【００６２】
蒸気圧調節制御手段３３５は、開口部３３１の開閉を調節することができる。ここで、蒸気圧調節制御手段３３５は、楕円形のロール形態を有することができる。この場合、蒸気圧調節制御手段３３５は、多数のスリット３３３を備えるスリット部３３２と、スリット部３３２から延長されて配置された遮断部３３４とを含むことができる。
【００６３】
また、ロールの両側内部に、蒸気圧調節制御手段３３５の回転駆動のための駆動ローラー３３６を配置することができる。
【００６４】
ここで、蒸気圧調節制御手段３３５は回転して、開口部３３１に配置されるスリット部３３２の面積を調節することができる。即ち、蒸気圧調節制御手段３３５は回転によって開口部３３１の開閉を調節し、内部の蒸気圧を制御することができる。例えば、乾燥防止チャンバ３３０の内部で蒸気圧が大気圧より低い場合、蒸気圧調節制御手段３３５は回転して、遮断部３３４を開口部３３１に配置するようにすることができる。これにより、スラリーＳから揮発された溶剤によって、乾燥防止チャンバ３３０の内部の蒸気圧を上昇させることができる。一方、乾燥防止チャンバ３３０の内部で、スラリーＳから揮発しれた溶剤濃度が一定以上である場合、蒸気圧調節制御手段３３５が回転して、スリット部３３２を開口部３３１に配置するようにすることができる。これにより、乾燥防止チャンバ３３０の内部で溶剤が外部に放出され、燃焼または爆発の発生を防止することができる。この場合、溶剤を外部に排出する時、開口部３３１に配置されたスリット部３３２の面積を調節して、溶剤の排出速度を調節することができる。
【００６５】
これにより、蒸気圧調節制御手段３３５は、乾燥防止チャンバ３３０の内部の蒸気圧を大気圧より高く維持するように調節し、乾燥防止チャンバ３３０の内部でスラリーＳの乾燥を防止する役割をすることができる。また、蒸気圧調節制御手段３３５は、乾燥防止チャンバ３３０の内部でスラリーＳから揮発された溶剤によって燃焼または爆発が発生することを防止するために、乾燥防止チャンバ３３０の内部でスラリーＳから揮発した溶剤濃度を燃焼下限値または爆発下限値以下に維持する役割をすることができる。
【００６６】
従って、本発明の実施例のように、乾燥防止チャンバが蒸気圧調節制御手段を備えることにより、スラリーの不安定な初期乾燥を防止し、良質のグリーンシートを製造できるだけでなく、乾燥防止チャンバ内で発生する可能性がある燃焼または爆発を防止することができる。
【００６７】
以下、図４を参照して、本発明の第４実施例によるセラミックグリーンシート製造装置を説明する。ここで、蒸気圧調節制御手段を除いては、上述した第３実施例と同一の構成を有するため、重複する説明は省略し、図４では乾燥防止チャンバのみを図示する。
【００６８】
図４は、本発明の第４実施例によるセラミックグリーンシート製造装置に備えられた乾燥防止チャンバの概略図である。
【００６９】
図４を参照すると、本発明の第４実施例によるセラミックグリーンシート製造装置は、塗布手段１１０、乾燥手段１２０及び塗布手段１１０と乾燥手段１２０の間に配置された乾燥防止チャンバ４３０を含むことができる。
【００７０】
乾燥防止チャンバ４３０の開口部４３１に、内部の蒸気圧を調節する蒸気圧調節制御手段４３６を配置することができる。
【００７１】
蒸気圧調節制御手段４３６は、多数の第１スリット４３３を備える第１スリット部４３２と、第１スリット４３３に対応した多数の第２スリット４３５を備える第２スリット部４３４とを備えることができる。第１スリット部４３２と第２スリット部４３４は、平らな基板の形態を有することができる。第１スリット部４３２と第２スリット部４３４は、互いに重畳されるように配置することができる。ここで、第２スリット部４３４は、第１スリット部４３２上を左右に移動することができる。このとき、第１スリット部４３２の第１スリット４３３は、第２スリット部４３４の移動によりカバーされたり、オープンされることができる。
【００７２】
ここで、蒸気圧調節制御手段４３６は、第１スリット４３３の開閉を調節して、乾燥防止チャンバ４３０内部の蒸気圧を制御することができる。例えば、乾燥防止チャンバ４３０の内部で蒸気圧が大気圧より低い場合、第２スリット部４３４は移動して第１スリット４３３をカバーすることができる。これにより、乾燥防止チャンバ４３０の開口部は外部から遮断され、スラリーＳから揮発された溶剤によって、乾燥防止チャンバ４３０の内部の蒸気圧は上昇することができる。一方、乾燥防止チャンバ４３０の内部で、スラリーＳから揮発した溶剤濃度が一定以上である場合、第２スリット部４３４が移動して、第１スリット４３３と第２スリット４３５が互いに重畳するようにして、第１スリット４３３をオープンすることができる。これにより、乾燥防止チャンバ４３０の内部の溶剤は、第１及び第２スリット４３３、４３５を通じて外部に排出されて、溶剤による燃焼または爆発を防止することができる。この際、溶剤を外部に排出する時、第１スリット４３３の開閉程度を調節し、溶剤の排出速度を制御することができる。
【００７３】
これにより、蒸気圧調節制御手段４３６は、乾燥防止チャンバ４３０の内部の蒸気圧を大気圧より高く維持するように調節し、乾燥防止チャンバ４３０の内部でのスラリーの乾燥を防止する役割をすることができる。また、蒸気圧調節制御手段４３６は、乾燥防止チャンバ４３０の内部でスラリーから揮発した溶剤濃度を燃焼下限値または爆発下限値以下に維持して、溶剤による燃焼または爆発を防止する役割をすることができる。
【００７４】
本発明の実施例で、第２スリット部４３４が移動して第１スリット４３３の開閉を調節すると説明したが、これに限定されない。例えば、第２スリット部４３４を固定して第１スリット部４３２を移動させ、又は、第１及び第２スリット部４３２、４３４を全て移動させることができる。
【００７５】
従って、本発明の実施例のように、乾燥防止チャンバが蒸気圧調節制御手段を備えることにより、スラリーの不安定な初期乾燥を防止し、良質のグリーンシートを製造することができるだけでなく、乾燥防止チャンバ内で発生する可能性がある燃焼または爆発を防止することができる。
【００７６】
以下、図５及び図６を参照して、乾燥防止チャンバの有無によるセラミックグリーンシートの表面を観察する。
【００７７】
図５は、乾燥防止チャンバを備えていないセラミックグリーンシート製造装置から製造された比較例のセラミックグリーンシートの写真である。
【００７８】
図６は、乾燥防止チャンバを備えたセラミックグリーンシート製造装置から製造された本発明のセラミックグリーンシートの写真である。
【００７９】
ここで、乾燥防止チャンバ内部の溶剤濃度は０．２３ｖｏｌ％を維持した。
【００８０】
図５及び図６のように、比較例のセラミックグリーンシートの表面には、本発明によるセラミックグリーンシートに比べて多くの欠陥が表れることを確認することができた。
【００８１】
本発明のセラミックグリーンシート製造装置では、塗布手段と乾燥手段の間に配置されてスラリーの乾燥を防止するための乾燥防止チャンバを備えることにより、無欠点の薄型グリーンシートを製造することができた。
【符号の説明】
【００８２】
１１０  塗布手段
１２０  乾燥手段
１３０、２３０、３３０、４３０  乾燥防止チャンバ
２３１  吸入口
２３２  排気口
３３５、４３６  蒸気圧調節制御手段
３３２  スリット部
３３４  遮断部
４３２  第１スリット部
４３４  第２スリット部
【図１】
2011194880.tif 000003
【図２】
2011194880.tif 000004
【図３】
2011194880.tif 000005
【図４】
2011194880.tif 000006
【図５】
2011194880.tif 000007
【図６】
2011194880.tif 000008