(57)【要約】【課題】  セラミックグリーンシートの焼成毎にセッター表面に粉末の散布と除去を行う等の工程を含まずに、割れや歪み、反りが生じたり、特性に劣化が生じることなく焼成でき、安価なセラミックグリーンシート焼成用セッターを提供すること。【解決手段】  セッター１の中心線平均粗さ（Ｒａ）が２μｍ以上１０μｍ以下の表面粗さを有するフェライトシート載置面２に、厚さ１０μｍ以上５０μｍ以下のＮｉＺｎ系スピネルフェライト層３を形成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心線平均粗さが２μｍ以上１０μｍ以下の表面粗さを有する表面に、厚さ１０μｍ以上５０μｍ以下のＮｉＺｎ系スピネルフェライト層を設けたことを特徴とするセラミックグリーンシート焼成用セッター。
【請求項２】
前記ＮｉＺｎ系スピネルフェライト層には、０．０２質量％以上１．５質量％以下のＢｉ２Ｏ３が含有されていることを特徴とする請求項１に記載のセラミックグリーンシート焼成用セッター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品の製造に使用されるセラミックグリーンシート、特に、フェライトグリーンシートの焼成時に用いられるセッターに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、インダクター、キャパシタ、インピーダンス素子等の電子部品の小型化、軽量化、低コスト化に対する要求はますます高まっており、特にセラミック材料を用いた素子を得る際には、素子の薄型化に適合する手法として、種々のセラミックグリーンシートを焼成する方法が用いられている。
【０００３】
セラミックグリーンシートは、有機バインダーと、セラミック原料粉末と、揮発性の分散媒を均一に攪拌混合したスラリーを、ポリエチレンテレフタレートに代表されるキャリアシート上に所望の厚さとなるよう塗布した後、乾燥により、揮発性の分散媒を除去して得られる。
【０００４】
この製造工程において、分散媒がスラリー中に占める体積が乾燥とともに徐々に減じる結果、乾燥の末期においては、バインダーとセラミック原料粉末が互いに結合して、均一でかつ緻密なセラミックグリーンシートが得られる。
【０００５】
このセラミックグリーンシートを所望の形状に切断もしくは分割し、焼成時にセラミックグリーンシートを載せる台であるセッターに載置して、焼成しセラミックシートが得られる。セラミックグリーンシートは、スラリーの均一性を反映した均質さと緻密さを有しているので、焼成して得られるセラミックシートも均質な組織が得られる。
【０００６】
セラミックグリーンシートを焼成して得られるセラミックシートは、その用途に応じて薄膜状のもの、厚膜状のもの等様々あり、いずれも、ひび割れや亀裂、反り、内部空孔等の欠陥のない高品質なものが要求されている。
【０００７】
ところが、セラミックグリーンシートの厚さは、数μｍから５００μｍと薄いため、セラミックグリーンシートの成分がセッター表面に拡散して失われてしまう、もしくは、セッターの成分がセラミックグリーンシートへ侵入してしまうことにより、焼成後セラミックシートに割れや歪み、反りが生じたり、特性に劣化が生じることがある。
【０００８】
特に、セラミックグリーンシートが含有する成分のうち例えばＺｎは、焼結温度に対して大きな影響を有している。Ｚｎのセッターへの拡散により、セラミックグリーンシートの各部で焼結収縮率の差異が生ずる結果となり、割れや歪み、反りの発生がより顕著となることがある。
【０００９】
また、セッター含有成分のうち例えばＳｉＯ２は、セラミックグリーンシートの焼結温度に対して大きな影響を有している。ＳｉＯ２のセラミックグリーンシートへの拡散により、同様に割れや歪み、反りの発生が顕著となることがある。
【００１０】
そこで、セラミックシートの品質を安定させるため、表面にセラミックグリーンシートに含有される成分の敷き粉からなる敷き粉層を形成したセッターや、表面にジルコニアコーティング層を形成したセッターを用いてセラミックグリーンシートを焼成することにより、セッターとセラミックグリーンシートとの反応を防止する技術が開示されている。
【００１１】
特許文献１では、セッター表面に設けた溝に、被焼成物とほぼ同一組成を有する敷き粉を押し固めて配置したセッターを用いて、セッターとセラミックグリーンシートの反応を防止する方法が開示されている。
【００１２】
特許文献２では、敷き粉成分を含むスラリーをキャリアシート上に成膜してセラミックグリーンシートを成形して乾燥させ、キャリアシートから剥離したセラミックグリーンシートをセッター上に載置して焼成を行うことにより、セッター表面に敷き粉層を形成したセッターを用いてセッターとセラミックグリーンシートの反応を防止する方法が開示されている。
【００１３】
特許文献３においては、セッター表面にジルコニアを噴霧した後、焼成することにより、所定の中心線平均粗さ（Ｒａ）と所定の空孔率を有するジルコニアコーティング層が形成されたセッターを用いて、セッターとセラミックグリーンシートの反応を防止する方法が開示されている。
【００１４】
また、特許文献４においては、セッター表面にジルコニアを溶射することにより、所定の中心線平均粗さ（Ｒａ）と所定の厚さを有するジルコニアコーティング層が形成されたセッターを用いて、セッターとセラミックグリーンシートの反応を低減する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１５】
【特許文献１】特開平４−３３１７７４号公報
【特許文献２】特開平４−４２８６５号公報
【特許文献３】特開２００２−６０２７７号公報
【特許文献４】特許第４０２４５４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
特許文献１に開示された方法のように、表面にセラミックグリーンシートとほぼ同一組成を有する敷き粉を押し固めたセッター上で焼成を行うと、押し固めた敷き粉の焼成が進行するので、セッターから敷き粉が脱落する現象が発生する。従って、定期的に敷き粉層の除去と再形成を行う必要がある。セラミックシートの品質を安定させるためには、セラミッセラミックグリーンシートの焼成ごとにセッター上に敷き粉を散布する工程と除去する工程が必要となり、作業工程が複雑化するという問題があった。
【００１７】
次に、特許文献２に開示された方法においては、敷き粉を含むセラミックグリーンシートを成膜した後、セッター上に載置して焼成しても、敷き粉層をなすセラミックグリーンシートとセッターの結合力が十分に得られずに、焼成後のセッター表面に敷き粉がむらなく塗布された敷き粉層は形成できないことがあるという問題があった。また、このセッターを用いて繰り返し焼成することによっても、敷き粉が脱落する現象が発生するという問題があった。したがって、安定した品質のセラミックシートが製造できないという問題があった。
【００１８】
また、特許文献３に開示されたセッター表面にジルコニアを噴霧後に焼成することにより、セッター表面にジルコニアコーティング層を形成する方法においても、セッター表面の平均粗さによっては、セッター表面に安定したジルコニアコーティング層が得られないという問題があった。したがってこのセッターを用いて繰り返し焼成することによっても、ジルコニアの剥離や脱落が生ずるという問題があった。
【００１９】
また、特許文献４に開示されたセッター表面に溶射によりジルコニアコーティング層を形成する方法においては、ジルコニアの剥離や脱落を防いで耐久性を向上させることができるが、溶射を行うことにより製造コストが高くなるという問題があった。
【００２０】
本発明は、上記の課題を解決しセラミックグリーンシートの焼成毎にセッター表面に敷き粉の散布と除去を行う等の工程を含まずに、割れや歪み、反りが生じたり、特性に劣化が生じることなく焼成でき、繰り返し焼成を行っても品質の安定したセラミックシートが製造できる、安価なセラミックグリーンシート焼成用セッターを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明は、中心線平均粗さ（Ｒａ）が２μｍ以上１０μｍ以下の表面粗さを有する表面に、厚さ１０μｍ以上５０μｍ以下のＮｉＺｎ系スピネルフェライト層を設けたことを特徴とするセラミックグリーンシート焼成用セッターである。
【００２２】
また、本発明は、前記ＮｉＺｎ系スピネルフェライト層には、０．０２質量％以上１．５質量％以下のＢｉ２Ｏ３が含有されていることを特徴とする上記のセラミックグリーンシート焼成用セッターである。
【発明の効果】
【００２３】
セラミックグリーンシート、特に、フェライトグリーンシートを焼成する場合には、フェライトグリーンシートとセッターの反応、もしくは両者間での成分元素の相互拡散を防止するために、セッター表面にフェライト層を形成した後、セッター上にアルミナやジルコニアの粉末を均一に散布し、この上にフェライトグリーンシートを載置して焼成していたが、本発明によれば、焼成ごとにセッター上にアルミナやジルコニアの粉末を散布する工程と除去する工程が不要となるので、作業工程が複雑化するという問題が解決される。
【００２４】
本発明のセラミックグリーンシート焼成用セッターの表面にフェライト層を設けることにより、セッターとフェライトグリーンシートの反応を抑制することができるので、各部の成分の変動により収縮率に差が生じることが無くなり、焼成によるフェライトシートに割れや歪み、反りが生じたり、特性劣化の発生を抑制することができる。
【００２５】
本発明のセラミックグリーンシート焼成用セッターのフェライト層の厚さを１０μｍ以上５０μｍ以下とすることにより、セッターと、セラミックグリーンシート間の成分の相互拡散を十分小さくすることができるとともに、フェライト層が厚すぎる場合に生ずる、フェライト層のセッターからの剥離もしくは脱落を防止することができる。
【００２６】
本発明のセラミックグリーンシート焼成用セッターのように、表面粗さを中心線平均粗さ（Ｒａ）が２μｍ以上１０μｍ以下とすることにより、セッター表面とフェライト層の固着力が高まり、フェライト層のセッターからの剥離もしくは脱落を防止することができるとともに、焼成後の表面は十分に平滑となり、表面の反りの小さなフェライトシートを得ることができる。
【００２７】
また、セッター表面にジルコニアコーティング層を形成する場合のようにコストの高い溶射による技術を用いることなく安価な方法で製造することが可能である。
【００２８】
セッター表面にＢｉ２Ｏ３の含有量が０．２質量％以上１．５質量％以下のフェライト層を設けることによって、Ｂｉ２Ｏ３による焼結促進効果が生じ、グリーンシート表裏における焼成時の収縮率の差が解消される効果が得られる。すなわち、グリーンシート焼成時に、セッター表面からＢｉ２Ｏ３成分がフェライトシート側に適正量拡散されることにより、焼成フェライトシートの表面の反りを戻し、反りが小さく優れた焼成フェライトシートが得られる。
【００２９】
本発明のセラミックグリーンシート焼成用セッターを用いてフェライトグリーンシートを焼成することにより、フェライトグリーンシートとセッター表面の反応、もしくは両者間での成分元素の相互拡散を防止することが可能となり、割れや歪み、反りの発生が少なく平坦度が高く、かつ、特性ばらつきの少ないフェライトシートが得られる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明によるセラミックグリーンシート焼成用セッターの説明図であり、図１（ａ）はセッター表面の説明図である。図１（ｂ）はフェライト層の説明図である。
【図２】本発明によるセラミックグリーンシート焼成用セッターにフェライトグリーンシートを載置した形態の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
本発明を実施するための形態について図を参照して説明する。図１は本発明によるセラミックグリーンシート焼成用セッターの説明図であり、図１（ａ）は、セッター表面の説明図である。図１（ｂ）はフェライト層の説明図である。
【００３２】
図１（ａ）に示したように、本発明のセラミックグリーンシート焼成用セッターのセッター１は、純度９６％アルミナを金型成形して製造されている。セラミックグリーンシート載置面２は、表面粗さを中心線平均粗さ（Ｒａ）で２μｍ以上１０μｍ以下を満足するように加工されている。サンドブラスト加工が施された金型を用いて成形することにより、微細な表面粗さを有している。
【００３３】
図１（ｂ）に示したように、本発明のセラミックグリーンシート焼成用セッターは、セッター１のセラミックグリーンシート載置面２にフェライト層３が形成されている。フェライト層３と焼成されるフェライトグリーンシートは、成分や組成が同一であることが望ましいが、必ずしも同一である必要は無い。
【００３４】
フェライト層３は、フェライト粉末と、バインダーと、揮発性の分散媒を均一に攪拌混合したスラリーを、フェライトグリーンシート載置面２に塗布して形成される。スラリー塗布後に８００℃以上の温度で熱処理することにより、フェライト層３が形成される。フェライト層３の厚さは焼成後に１０μｍ以上５０μｍ以下になるように印刷、乾燥、熱処理が施される。フェライト層の塗布方法としては、スクリーン印刷に限らず、ディップや吹きつけ等、厚さ１０μｍ以上５０μｍ以下を満足できる方法であれば良い。
【００３５】
図２は、本発明によるセラミックグリーンシート焼成用セッターにフェライトグリーンシートを載置させた形態の説明図である。フェライト層３の上にフェライトグリーンシート４が載置されている。この形態でフェライトグリーンシート４を焼成してフェライトシートが得られる。
【００３６】
ここでフェライトグリーンシート４は、グリーンシート製造装置を用いて製造される。スラリーは主原料であるフェライト原料粉末の重量を決定した後、バインダーと揮発性分散と媒添加物を混合機で、混合、攪拌することにより得られる。
【００３７】
フェライトグリーンシートは、グリーンシート製造装置のスラリー吐出口の開口部高さを、所望の塗布膜厚が得られるように調整して、キャリーシート上に塗布して作製する。このようなスラリー塗布方法は、ダイスロット方式といわれている。
【００３８】
次にフェライトグリーンシートは、６０℃、相対湿度８０％に保持されたグリーンシート製造装置の乾燥ゾーン内を、一定速度で搬送して乾燥される。乾燥されたフェライトグリーンシートをキャリーシートから剥離して、切断する。乾燥し切断されたフェライトグリーンシートを、先に作製したセラミックグリーンシート焼成用アルミナセッターに載置して焼成して、フェライトシートが得られる。
【実施例】
【００３９】
サンドブラスト加工が施された金型を用いて成形により表面粗さが異なるアルミナセッターにフェライト層を設けてフェライトグリーンシート焼成用セッターを製作し、フェライトグリーンシートを焼成することにより、フェライト層の剥離もしくは脱落と、焼成上がりのフェライトシートの反りを測定した。
【００４０】
始めにフェライトスラリーを作製した。化学式で２７．５（Ｎｉ０．９Ｃｕ０．１）Ｏ−２３．０ＺｎＯ−４９．５Ｆｅ２Ｏ３の組成を有するＮｉ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライトの粉末に、有機バインダーとしてポリビニルブチラールを５重量部、揮発性分散剤としてエタノールを３５重量部、他に少量の可塑剤、増粘剤を添加し、ボールミルにより２０時間の混合を行った。
【００４１】
次にセッターは、表面にサンドブラスト加工が施された成形金型を用いて、純度９６％のアルミナを用いて、厚さ４ｍｍ、一辺２００ｍｍの正方形のものを成形した。平均表面粗さは、Ｒａ＝０．５、２、６、１０、２０μｍの５種類とした。
【００４２】
各セッターに図１（ａ）に示したようにフェライトグリーンシート載置面２にスクリーン印刷によりフェライトスラリーを塗布し、大気中で９００℃、保持時間３時間の熱処理を行い、図１（ｂ）に示したようなフェライト層３が形成されたフェライトグリーンシート焼成用のセッターを製造した。焼成後のフェライト層の平均厚さは、５、１０、３０、５０、６０、１００μｍの６種類とした。
【００４３】
次に、これらのフェライトグリーンシート焼成用のアルミナセッターに載置して焼成するための、フェライトグリーンシートを作製した。前述したフェライトスラリーを、ダイスロット方式によるグリーンシート製造装置の開口部幅２００ｍｍ、開口部高さ０．８ｍｍのスラリー吐出口から、ポリエチレンテレフタレートフィルム（以下ＰＥＴフィルム）上に吐出させて、６０℃、相対湿度８０％に保持された乾燥ゾーン内を、一定速度で搬送して乾燥させてフェライトグリーンシートを作製した。
【００４４】
次に図２に示しように各種セッター上のフェライトグリーンシート載置面２に４０ｍｍ角に切断されたフェライトグリーンシート４を載置して焼成した。焼成条件は、箱型電気炉を用い、大気中雰囲気において  上昇速度１００℃／時間、保持温度１０００℃の温度とし、保持時間４時間、降温速度１５０℃／時間とした。焼成上がりのフェライトシートの厚さは０．４ｍｍであった。
【００４５】
フェライトシートは、各種セッターごとに計４０枚のフェライトグリーンシートの焼成を行い、割れ、並びに平坦性を評価した。平坦性評価は、フェライトシートを定盤上に静置した際の最高高さを、レーザー変位計（キーエンス社  ＫＳ−１１００）により検知することにより評価した。
【００４６】
フェライト層形成前のセッターの表面粗さは、レーザー変位計により測定した。セッター上に形成されたフェライト層の厚さは、フェライト層形成前のセッター厚さと、セッター表面にフェライト層形成後、フェライト層形成面をバーチカル研磨機で研磨した上でのセッター厚さの差分とした。
【００４７】
実施例１として、中心線平均表面粗さ（Ｒａ）２μｍのセッターに厚さ３０μｍのフェライト層を設けたセッターで焼成したフェライトシートとした。実施例２として、中心線平均表面粗さ（Ｒａ）１０μｍのセッターに厚さ３０μｍのフェライト層を設けたセッターで焼成したフェライトシートとした。実施例３としては、中心線平均表面粗さ（Ｒａ）６μｍのセッターに厚さ１０μｍのフェライト層を設けたセッターで焼成したフェライトシートとした。実施例４としては、中心線平均表面粗さ（Ｒａ）６μｍのセッターに厚さ５０μｍのフェライト層を設けたセッターで焼成したフェライトシートとした。
【００４８】
次に、比較例について説明する。比較例１として、中心線平均表面粗さ（Ｒａ）０．５μｍのセッターにフェライト層を設けなかったセッターで焼成したフェライトシートとした。比較例２として、中心線平均表面粗さ（Ｒａ）６μｍのセッターにフェライト層を設けなかったセッターで焼成したフェライトシートとした。比較例３として、中心線平均表面粗さ（Ｒａ）０．５μｍのセッターに厚さ３０μｍのフェライト層を設けたセッターで焼成したフェライトシートとした。
【００４９】
比較例４として、中心線平均表面粗さ（Ｒａ）２０μｍのセッターに厚さ３０μｍのフェライト層を設けたセッターで焼成したフェライトシートとした。比較例５として、中心線平均表面粗さ（Ｒａ）６μｍのセッターに厚さ５μｍのフェライト層を設けたセッターで焼成したフェライトシートとした。比較例６として、平均表面粗さ（Ｒａ）６μｍのセッターに厚さ６０μｍのセッターで焼成したフェライトシートとした。比較例７として、中心線平均表面粗さ（Ｒａ）６μｍのアルミナセッターに厚さ１００μｍのフェライト層を設けたセッターで焼成したフェライトシートとした。
【００５０】
各種セッターのフェライト層の剥離もしくは脱落発生件数と、各種セッターに載置して焼成上がりのフェライトシートにおける最高高さの平均値の測定結果を表１に示した。各種セッターのフェライト層の剥離もしくは脱落発生件数は、１０枚のセッターを１０回焼成に用いた後にフェライト層に剥離もしくは脱落が発生した枚数である。フェライトシートにおける最高高さの平均値の測定結果は、フェライトシート４０枚の最高高さの平均値であり、フェライトシートの反りの大きさを表している。
【００５１】
【表１】
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【００５２】
実施例１、２では、セッターのフェライト層に剥離脱落は発生しなかった。最高高さは、０．６ｍｍ以下となりフェライトシートの反りの小さな優れたフェライトシートが得られた。セッターの中心線平均表面粗さ（Ｒａ）を２、１０μｍとして、フェライト層を３０μｍとすることで、セッターにフェライト層が安定して形成され、反りの小さなフェライトシートが製造できた。
【００５３】
実施例３、４では、セッターのフェライト層に剥離脱落は発生しなかった。フェライトシートの最高高さは、０．６ｍｍ以下となりフェライトシートの反りの小さな優れたフェライトシートが得られた。セッターの中心線平均表面粗さ（Ｒａ）を６μｍとして、フェライト層を１０、５０μｍとすることで、セッターにフェライト層が安定して形成され、反りの小さなフェライトシートが製造できた。
【００５４】
比較例１、２では、セッターにフェライト層を設けていないので、フェライト層の剥離は無いが、フェライトシートの最高高さが１．２ｍｍとなっており、作製したフェライトシートの中で最も反りが大きくなった。
【００５５】
比較例３では、中心線平均表面粗さ（Ｒａ）が０．５μｍのセッターにフェライト層３０μｍを形成したが、１０枚のセッター全てのフェライト層に剥離脱落が発生した。中心線平均表面粗さ（Ｒａ）が０．５μｍのアルミナセッターでは、表面が平滑すぎるため、フェライト層が安定して形成されなかったためと考えられる。
【００５６】
比較例４では、中心線平均表面粗さ（Ｒａ）が２０μｍのセッターにフェライト層３０μｍを形成した。ところが、セッターの表面粗さが大きすぎるため、セッター表面に均一な厚さのフェライト層が形成できず、フェライトグリーンシート焼成用セッターとしては、不適当と判断し、フェライトグリーンシートの記載置焼成実験は行わなかった。
【００５７】
比較例５では、中心線平均表面粗さ（Ｒａ）が６μｍのセッターにフェライト層５μｍを形成した。フェライト層の剥離は発生しなかったが、フェライトシートの最高高さが１．１ｍｍとなり、フェライトシートの反りが大きくなった。セッター表面のフェライト層の厚さが薄すぎるため、フェライト層を設けた効果がなく、セッターとフェライトグリーンシート間で成分の相互拡散が生じてしまいフェライトシートの反りが大きくなったと考えられる。
【００５８】
比較例６、７では、中心線平均表面粗さ（Ｒａ）が６μｍのセッターにフェライト層６０、１００μｍを形成した。セッター上のフェライト層の平均厚さが厚すぎるため、フェライト層にひびが生じ、比較例６では１０枚中１枚、比較例７では１０枚中８枚フェライト層が脱落した。
【００５９】
以上、本発明の中心線平均表面粗さ（Ｒａ）の範囲を有するセッターに、本発明の厚さ範囲のフェライト層を備えたセッターによれば、優れたフェライトシートが得られた。
【００６０】
次に、Ｂｉ２Ｏ３含有量が異なるフェライトスラリーを塗布したセッターを用いて、フェライトシートを作製した。セッター表面の中心線平均表面粗さ（Ｒａ）は、６μｍとして、フェライト層の厚みは、３０μｍとした。実施例５として、Ｂｉ２Ｏ３含有量が０．２質量％のフェライトスラリーにてフェライト層を形成したセッターを作製した。実施例６として、Ｂｉ２Ｏ３含有量が０．５質量％のフェライトスラリーにてフェライト層を形成したセッターを作製した。実施例７として、Ｂｉ２Ｏ３含有量が１．０質量％のフェライトスラリーにてフェライト層を形成したセッターを作製した。実施例８として、Ｂｉ２Ｏ３含有量が１．５質量％のフェライトスラリーにてフェライト層を形成したセッターを作製した。比較例８として、Ｂｉ２Ｏ３含有量が０質量％のフェライトスラリーにてフェライト層を形成したセッターを作製した。比較例９として、Ｂｉ２Ｏ３含有量を１．５質量％のフェライトスラリーにてフェライト層を形成したセッターを作製した。
【００６１】
各種セッターのフェライト層の剥離もしくは脱落発生件数と、各種セッターに載置して焼成上がりのフェライトシートにおける最高高さの平均値の測定結果を表２に示した。各種セッターのフェライト層の剥離もしくは脱落発生件数と、フェライトシートにおける最高高さの平均値の測定方法は、前述と同様である。
【００６２】
【表２】
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【００６３】
表２に示した評価結果より、実施例５、６、７、比較例８、９全てのセッターにてフェライト層の剥離もしくは脱落は発生しなかった。これは、セッター上のフェライト層の平均厚みが、３０μｍで、セッター表面の平均表面粗さＲａが６μｍの時最適化されているためである。
【００６４】
しかし、焼成されたフェライトシートにおける最高高さの平均値の測定結果に着目すると、実施例５、６、７では、０．１ｍｍ以下となり、反りが小さい優れた焼成フェライトシートが得られた。実施例８においても、０．６ｍｍとなった。比較例８については、０．５ｍｍとなったが、比較例９については、０．９ｍｍとなった。これらの結果から、セッター表面に形成するフェライト層のＢｉ２Ｏ３の含有量が０．２質量％以上１．５質量％以下の場合に、反りが小さい優れた焼成フェライトシートが得られた。
【符号の説明】
【００６５】
１  セッター
２  セラミックグリーンシート載置面
３  フェライト層
４  フェライトグリーンシート
【図１】
2011046562.tif 000005
【図２】
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