(57)【要約】      （修正有）【課題】圧電素子を支持部材に押圧して取り付ける際に、従来に比べて応力集中を緩和できる圧電素子及び振動型アクチュエータ、並びに圧電素子の製造方法、圧電素子の接合方法を提供する。【解決手段】圧電層２と、圧電層の両面に配置された複数の導電層３とを有する本体部４と、本体部４の上面（第１の面）４ｂに形成され、各導電層と電気的に接続される複数の表面電極層７，８と、を有して構成され、本体部４の上面４ｂには表面電極層７，８の非形成領域に補助層１０が設けられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電層と、前記圧電層の両面に配置された複数の導電層とを有する本体部と、前記本体部の第１の面に形成され、各導電層と電気的に接続される複数の表面電極層と、を有して構成され、
前記本体部の前記第１の面には前記表面電極層の非形成領域に補助層が設けられていることを特徴とする圧電素子。
【請求項２】
前記補助層は前記表面電極層と同一高さで形成されている請求項１記載の圧電素子。
【請求項３】
前記補助層は、前記表面電極層と電気的に分断されたダミー電極パターンである請求項１又は２に記載の圧電素子。
【請求項４】
前記補助層は、各表面電極層の間、あるいは、各表面電極層の外側領域に、又は、各表面電極層の間及び各表面電極層の外側領域に設けられる請求項１ないし３のいずれか１項に記載の圧電素子。
【請求項５】
前記本体部は、複数の圧電層と複数の導電層とが交互に積層された構成である請求項１ないし４のいずれか１項に記載の圧電素子。
【請求項６】
筒体と、前記筒体の内部に進退自在に設けられた移動体と、前記筒体の外周面に設けられて前記筒体に屈曲運動を与える請求項１ないし５のいずれかに記載された複数の圧電素子とを有し、
各圧電素子の前記第１の面に対向する第２の面が前記筒体への接合面であり、前記表面電極層及び前記補助層が形成された前記圧電素子の第１の面側より押圧されて、各圧電素子が前記筒体に接着層を介して接合されていることを特徴とする振動型アクチュエータ。
【請求項７】
前記接着層は熱硬化性樹脂である請求項６記載の振動型アクチュエータ。
【請求項８】
圧電層と、前記圧電層の両面に配置された複数の導電層とを有する本体部と、前記本体部の第１の面に形成され、各導電層と電気的に接続される複数の表面電極層と、を有して構成される圧電素子の製造方法において、
前記圧電素子を支持部材に接合する際に、前記圧電素子に対して押圧力を加える前記第１の面に前記表面電極層とともに補助層を形成することを特徴とする圧電素子の製造方法。
【請求項９】
前記補助層を前記表面電極層と同一高さで形成する請求項８記載の圧電素子の製造方法。
【請求項１０】
前記補助層を、ダミー電極パターンとして、前記表面電極層から離れた位置に前記表面電極層と同時に形成する請求項８又は９に記載の圧電素子の製造方法。
【請求項１１】
請求項８ないし１０のいずれか１項に記載された圧電素子を前記支持部材に接合する際、前記圧電素子の前記第１の面と対向する第２の面と前記支持部材との間に接着剤を介在させた状態で、前記圧電素子を、前記表面電極層及び前記補助層が形成された前記第１の面側から押圧して、前記圧電素子を前記支持部材に接合することを特徴とする圧電素子の接合方法。
【請求項１２】
前記接着剤は熱硬化性樹脂であり、前記圧電素子を、前記接着層を介して前記第１の面側から押圧した状態にて、熱処理を施して前記熱硬化性樹脂を硬化させる請求項１１記載の圧電素子の接合方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電層と導電層とを有する本体部の第１の面に複数の表面電極層を備える圧電素子及び前記圧電素子を用いた振動型アクチュエータ、並びに前記圧電素子の製造方法、前記圧電素子の接合方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
下記の特許文献に記載されているように圧電素子（圧電アクチュエータ）は圧電層と、その両面に形成された導電層（電極層）とを有して構成される。圧電素子によっては、前記導電層と接続される一対の表面電極層を圧電素子の一方の面側に引き出して形成した構成のものがある。
【０００３】
このような構成では圧電素子の表面と一対の表面電極層との間に段差が生じている。このため、圧電素子を支持部材に接合するため、前記圧電素子を一対の表面電極層が設けられた一方の面側を押圧部材との押圧面として押圧したとき不要な応力集中が生じやすく、圧電素子が割れたりする不具合が生じた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１８７２８１号公報
【特許文献２】特開平１１−２８９７８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、特に圧電素子を支持部材に押圧して取り付ける際に従来に比べて応力集中を緩和できる圧電素子及び振動型アクチュエータ、並びに前記圧電素子の製造方法、前記圧電素子の接合方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明における圧電素子は、
圧電層と、前記圧電層の両面に配置された複数の導電層とを有する本体部と、前記本体部の第１の面に形成され、各導電層と電気的に接続される複数の表面電極層と、を有して構成され、
前記本体部の前記第１の面には前記表面電極層の非形成領域に補助層が設けられていることを特徴とするものである。
【０００７】
これにより、前記第１の面を外側に向けた押圧面側として、圧電素子を支持部材に押圧して取り付けるときに、圧力を受ける支持点が増えて圧力を分散でき、不要な圧力集中を緩和できることで、圧電素子に割れ等の不具合が生じるのを抑制できる。
【０００８】
本発明では、前記補助層は前記表面電極層と同一高さで形成されていることが好ましい。
【０００９】
また本発明では、前記補助層は、前記表面電極層と電気的に分断されたダミー電極パターンであることが好ましい。補助層を表面電極層と同一高さにて適切且つ容易に形成することができる。
【００１０】
また本発明では、前記補助層は、各表面電極層の間、あるいは、各表面電極層の外側領域に、又は、各表面電極層の間及び各表面電極層の外側領域に設けられることが好ましい。不要な応力集中を適切に緩和でき、本体部に割れ等の不具合が生じるのを効果的に抑制できる。
【００１１】
また本発明では、前記本体部は、複数の圧電層と複数の導電層とが交互に積層された構成であることが好ましい。低電圧駆動化を図ることが出来る。
【００１２】
また本発明における振動型アクチュエータは、
筒体と、前記筒体の内部に進退自在に設けられた移動体と、前記筒体の外周面に設けられて前記筒体に屈曲運動を与える上記のいずれかに記載された複数の圧電素子とを有し、
各圧電素子の前記第１の面に対向する第２の面が前記筒体への接合面であり、前記表面電極層及び前記補助層が形成された前記圧電素子の第１の面側より押圧されて、各圧電素子が前記筒体に接着層を介して接合されていることを特徴とするものである。
【００１３】
筒体に各圧電素子をばらつきが小さく強固に密着させることができ、高精度に共振点での駆動が可能となる。
【００１４】
また本発明では、前記接着層は熱硬化性樹脂であることが好ましい。これにより熱硬化性樹脂を硬化させて各圧電素子と筒体間をばらつきが小さく強固に接合することができる。
【００１５】
また本発明は、圧電層と、前記圧電層の両面に配置された複数の導電層とを有する本体部と、前記本体部の第１の面に形成され、各導電層と電気的に接続される複数の表面電極層と、を有して構成される圧電素子の製造方法において、
前記圧電素子を支持部材に接合する際に、前記圧電素子に対して押圧力を加える前記第１の面側に前記表面電極層とともに補助層を形成することを特徴とするものである。
本発明では、前記補助層を前記表面電極層と同一高さで形成することが好ましい。
【００１６】
また本発明では、前記補助層を、ダミー電極パターンとして、前記表面電極層から離れた位置に前記表面電極層と同時に形成することが好ましい。これにより、簡単且つ適切に表面電極層と同一高さの補助層を形成することができる。
【００１７】
また本発明における圧電素子の接合方法は、上記にて形成された圧電素子を前記支持部材に接合する際、前記圧電素子の前記第１の面と対向する第２の面と前記支持部材との間に接着剤を介在させた状態で、前記圧電素子を、前記表面電極層及び前記補助層が形成された前記第１の面側から押圧して、前記圧電素子を前記支持部材に接合することを特徴とするものである。
【００１８】
本発明では、圧電素子を支持部材に押圧するとき、押圧面側に補助層を設けたことで圧力を受ける支持点が増えて圧力を分散でき、したがって不要な圧力集中を緩和でき、本体部に割れ等の不具合が生じることなく圧電素子を支持部材に接合することが可能になる。
【００１９】
また本発明では、前記接着剤は熱硬化性樹脂であり、前記圧電素子を、前記接着層を介して前記第１の面側から押圧した状態にて、熱処理を施して前記熱硬化性樹脂を硬化させることが好ましい。圧電素子を支持部材に強固に接合することが可能になる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明における圧電素子によれば、圧電素子を支持部材に押圧した際に従来に比べて不要な応力集中を緩和でき、圧電素子に割れ等が生じる不具合を抑制できる。
【００２１】
また本発明における圧電素子の製造方法によれば、表面電極層と同一高さの補助層を適切かつ簡単に形成することができる。
【００２２】
また本発明における振動型アクチュエータによれば、筒体に各圧電素子をばらつきが小さく強固に密着させることができ、高精度に共振点で駆動させることが可能になり、低消費エネルギーで大きく駆動させることができる。
【００２３】
また本発明における圧電素子の接合方法では、圧電素子を支持部材に押圧した際に従来に比べて不要な応力集中を緩和でき、圧電素子に割れ等が生じる不具合を抑制できる。このため圧電素子を支持部材に強く接合することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本実施形態における圧電素子の斜視図、
【図２】（ａ）は、図１に示す圧電素子の縦断面図を示し、前記圧電素子を支持部材に押圧する状態を示す説明図であり、（ｂ）は、（ａ）と異なる場所に補助層を設けた圧電素子の縦断面図を示し、（ｃ）は（ａ）（ｂ）と異なる実施形態における圧電素子の平面図、
【図３】本実施形態における圧電素子の本体部の構造を示す斜視図、
【図４】振動型アクチュエータを構成する筒体に本実施形態の圧電素子を取り付けた斜視図、
【図５】本実施の形態としての振動型アクチュエータを示す斜視図、
【図６】本実施の形態の振動型アクチュエータを取付部材により支持した状態を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
図１は、本実施形態における圧電素子の斜視図、図２（ａ）は、図１に示す圧電素子をＡ−Ａ線に沿って切断し矢印方向から見た縦断面図を示し、前記圧電素子を支持部材に押圧する状態を示す説明図であり、（ｂ）は、（ａ）と異なる場所に補助層を設けた圧電素子の縦断面図を示し、（ｃ）は（ａ）（ｂ）と異なる実施形態における圧電素子の平面図であり、図３は本実施形態における圧電素子の本体部の構造を示す斜視図である。なお、図２、図３に示す各図は図１に示す圧電素子の寸法比等を異ならせて誇張した図面としたものであり、図１、図２、図３に示す圧電素子が別のものであることを意味しない。
【００２６】
図１，図２（ａ）に示す圧電素子１は、圧電層２と導電層３と絶縁性の保護層５，６とを有する本体部４と、一対の表面電極層７，８とを有して構成される。
【００２７】
図３に示す複数枚の圧電層２は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電セラミックス材料で形成される。各圧電層２は厚み方向（Ｚ）に分極処理が成されている。なお上下方向にて隣り合う圧電層２の分極方向は逆である。
【００２８】
図３に示すように各圧電層２の上下面に導電層３，３が形成される。導電層３は、ニッケル、銅、銀、金、パラジウム、チタン、クロム、亜鉛、白金等から選択される１つの金属、あるいは２つ以上の合金であるが特に材料を限定するものではない。
【００２９】
図３に示すように、圧電層２と導電層３とが上下方向（Ｚ）に交互に積層され、図３に示す最上部の導電層３の上面側に絶縁性の上部保護層５が形成され、図３に示す最下部の導電層３の下面側に絶縁性の下部保護層６が形成されている。図１，図２に示すように各保護層５，６の表面は平坦化面で形成されている。保護層５，６の材質は特に限定されない。
【００３０】
図１に示すように本体部４はＸ方向に延出して形成されている。図１に示すように、一対の表面電極層７，８が本体部４の側面４ａから上面４ｂ（上部保護層５の上面）にかけて形成される。一方の表面電極層７は、前記側面４ａにて高さ方向（Ｚ）に配列された複数の導電層３に対し、一つ置きの前記導電層３と電気的に接続されており、他方の表面電極層８は、表面電極層７と電気的に接続されていない残りの導電層３と電気的に接続されている。このため図３では、全ての導電層３が側面にて露出した状態になっているが、実際には、表面電極層７及び表面電極層８の形成領域にて、各表面電極層７，８と接続されない導電層３は前記側面に露出しないように構成されている。
【００３１】
図１，図２（ａ）に示すように、本体部４の上面（第１の面）４ｂには表面電極層７，８とともに表面電極層７，８と電気的に分離されたダミー電極パターンからなる補助層１０が形成されている。補助層１０は表面電極層７，８と高低差があるよりも同一高さで形成されることが好適である。ここで「同一高さ」とは、高さ位置が完全に一致している場合のほか製造上のばらつき等を考慮して±１０％程度の高低差を含むものである。
【００３２】
図１，図２（ａ）に示す実施形態では、一対の表面電極層７，８が本体部４の上面４ｂのＸ方向に間隔を空けて形成されており、ダミー電極パターンからなる補助層１０が、一対の表面電極層７，８の間の領域（表面電極層７，８の非形成領域）に形成されている。あるいは、図２（ｂ）に示すように、一対の表面電極層７，８のＸ方向の外側領域（表面電極層７，８の非形成領域）に、補助層１１，１２を設けることも出来るし、更に好ましくは、図２（ｃ）に示すように補助層１０，１１，１２を、一対の表面電極層７，８の間の領域、及び各表面電極層７，８の外側の領域に設けることも出来る。
【００３３】
図２（ｂ）（ｃ）に示す補助層１１，１２も表面電極層７，８と電気的に分離されたダミー電極パターンであることが好適である。
【００３４】
ダミー電極パターンである各補助層１０，１１，１２は、表面電極層７，８と同じ材質で形成され、表面電極層７，８と同じ工程で形成されたものであることが好適である。これにより、ダミー電極パターンである各補助層１０，１１，１２を適切且つ簡単に表面電極層７，８と同一高さで形成できる。表面電極層７，８は、ニッケル、銅、銀、金、パラジウム、チタン、クロム、亜鉛、白金等から選択される１つの金属、あるいは２つ以上の合金であるが特に材料を限定するものではない。
【００３５】
例えば表面電極層７，８はニッケル（Ｎｉ）で形成される。よって、表面電極層７，８と同一工程にて、各補助層１０，１１，１２もニッケルで形成されることが好適である。
【００３６】
表面電極層７，８及び補助層１０，１１，１２の製造方法について説明すると、図１，図２に示す本体部４の上面４ｂに表面電極層７，８とともに各補助層１０，１１，１２をスパッタ法等で成膜することが出来る。このとき、予めレジスト等でマスク層を本体部４の上面４ｂに形成しておき、マスク層に覆われていない領域に各表面電極層７，８及び各補助層１０，１１，１２を成膜し、その後、前記マスク層を除去すればよい。あるいはエッチング法を用いて形成することも可能である。フォトリソグラフィー技術及び蒸着法等を用いることで、各表面電極層７，８及び各補助層１０，１１，１２を電気的に分離した状態で成膜できるとともに、各表面電極層７，８及び各補助層１０，１１，１２を同一高さに合わせることが可能である。
【００３７】
本実施形態における圧電素子１を図２（ａ）（ｂ）に示すように支持部材１５上に接着層１６を介して所定場所に載置する。図２（ａ）（ｂ）に示すように、圧電素子１の本体部４の下面４ｃ（第２の面；下部保護層６の表面）が支持部材１５との接合面を構成する平坦化面である。
【００３８】
接着層１６は熱硬化性樹脂であることが効果的である。なお接着層１６は極めて薄い膜厚である。
【００３９】
図２（ａ）（ｂ）に示すように、圧電素子１の表面電極層７，８及び補助層１０，１１，１２が形成された上面側（第１の面側）が押圧部材１７からの押圧力を受ける押圧面である。押圧部材１７の表面１７ａは平坦化面である。この押圧部材１７が下方向に移動し、各表面電極層７，８の上面及び各補助層１０，１１，１２の上面に当接しながら圧電素子１を下方向に押圧する。
【００４０】
そして押圧した状態を保ちながら熱処理を施し、未硬化状態にある熱硬化性樹脂の接着層１６を熱硬化させる。このように熱処理を施すことで、押圧部材１７には耐熱性に優れた材質が好ましく選択される。
【００４１】
本実施形態では表面電極層７，８のみならず、本体部４の上面４ｂにおける表面電極層７，８の非形成領域に、補助層１０，１１，１２を設けたことで、押圧部材１７から圧力を受ける支持点が増えて圧力を分散でき、従来に比べて不要な圧力集中を緩和できる。したがって、圧電素子１を支持部材１５に密着させるべく熱硬化性樹脂からなる接着層１６を介在させ、前記圧電素子１を強く押圧し熱処理を施して熱硬化により強固に固めた構成であっても、圧電素子１に割れ等が生じる不具合を抑制できる。より効果的に圧力集中を緩和するには、表面電極層７，８を補助層１０，１１、１２と同一高さにあわせると好適である。
【００４２】
また補助層１０，１１，１２は、圧電素子１の長さ方向（Ｘ）の中心を対称中心として、点対称位置に設けることが好ましい。
【００４３】
また、補助層１０，１１，１２の個数や形状は限定されない。例えば、図２（ｃ）に示す各補助層１０，１１，１２の形成領域に多数のドット状の補助層が形成される構成でもよい。
【００４４】
また、補助層１０，１１、１２は、上記のようにダミー電極パターンであることが望ましいが、絶縁層としてもよい。かかる場合、絶縁性の補助層は表面電極層７，８と接していてもよい。
【００４５】
また本実施形態における圧電素子１は図３に示すように複数枚の薄い圧電層２と複数の導電層３とが交互に重ねられた積層構造とされているため、低電圧駆動化を図ることが可能である。
【００４６】
本実施形態における圧電素子１は次に説明する振動型アクチュエータに使用できる。
図４は、振動型アクチュエータを構成する筒体に本実施形態の圧電素子１を取り付けた斜視図であり、図５は、本実施の形態としての振動型アクチュエータを示す斜視図、図６は、本実施の形態の振動型アクチュエータを取付部材により支持した状態を示す斜視図を示す。
【００４７】
図４に示すように、振動筒体２０は４つの側面を有している。振動筒体２０の中心には軸方向に貫通する貫通穴２０ｅが形成されており、この貫通穴２０ｅの内周面には雌ねじ部が形成されている。なお、振動筒体２０は一対のノード（振動節）をそれぞれ有している。一方のノードは長尺状の振動筒体２０の一端側に設けられ、他方のノードは長尺状の振動筒体２０の他端側に設けられている。
【００４８】
また振動筒体２０は圧電素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄに対する支持部材であり、振動筒体２０の４つの側面には、本実施形態における駆動素子として機能する４つの圧電素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄがそれぞれ取り付けられている。各圧電素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄは、図１に示す圧電素子１である。圧電素子１ａ，１ｃは、振動筒体２０の対向する側面２０ａ，２０ｃにそれぞれ設けられ、圧電素子１ｂ，１ｄはこれと直交する他の側面２０ｂ，２０ｄにそれぞれに設けられている。それぞれの圧電素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄの誘電分極の向きは厚み方向である。各圧電素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄは図２（ａ）（ｂ）で説明した通り、振動筒体２０と各圧電素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄとの間に熱硬化性樹脂の接着層を介在させた状態で接合されることが好適である。このとき、各圧電素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄの押圧面には表面電極層７，８とともに補助層１０が形成されるので、押圧部材から圧力を受ける支持点が増えて圧力を分散でき、従来に比べて不要な圧力集中を緩和できる。したがって、各圧電素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄに割れ等が生じる不具合を抑制できる。
【００４９】
本実施形態では、各圧電素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄをばらつきが小さく強固に振動筒体２０に密着させることが出来る。
【００５０】
図５及び図６に示すように、振動型アクチュエータには、振動筒体２０の貫通孔２０ｅに挿入される移動体２１が設けられる。
【００５１】
各圧電素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄの周囲には、フレキシブルケーブル５０が巻き付けられている。フレキシブルケーブル５０は、絶縁性及び可撓性を備えたポリイミドなどからなるフィルムで形成され、フィルムの内部には複数の導電パターンが配線されている。
【００５２】
フレキシブルケーブル５０には各圧電素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄの表面電極層７，８と対向する接続電極が設けられ、図５に示すように、フレキシブルケーブル５０を取り付け、例えば図５に示す穴５５に半田を流し込んで各表面電極層７，８と接続電極とを電気的に接続することが出来る。
【００５３】
移動体２１は棒状であり、その軸中心は直線状である。
図５に示すように、移動体２１の外周面には、軸方向に向けて周回する雄ねじ部２１ａが形成されている。
【００５４】
各圧電素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄには、所定の駆動信号が図示しない駆動回路からフレキシブルケーブル５０を介して与えられる。すなわち、圧電素子１ａに伸び力を発生させる駆動振動が与えられるときには、これと対向する位置に設けられた圧電素子１ｃに縮み力を発生させる駆動信号が与えられる。次に、圧電素子１ａに隣接する圧電素子１ｂに伸び力を発生させる駆動信号が与えられるときには、これと対向する位置に設けられた圧電素子１ｄに縮み力を発生させる駆動信号が与えられる。
【００５５】
以下同様に、互いに対向する一方の圧電素子に伸び力を与えると同時に他方の圧電素子に縮み力を与えるようにし、これを一定の周期で時計回り方向、または反時計回り方向に切り換えると、すなわち９０°位相の異なる駆動信号を各圧電素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄに与えると、振動筒体２０に屈曲運動を繰り返して発生させることができる。このため、振動筒体２０を屈曲運動が可能な状態で支持しておくことにより、貫通穴２０ｅ内に設けられた移動体２１を軸方向にねじ送りすることができる。すなわち、移動体２１は振動筒体２０の内部に移動方向に沿って進退自在に設けられている。
【００５６】
このような振動型アクチュエータは、移動体２１をねじ送りして進退方向に移動させることにより、大きな駆動力を発生することができる。このため、例えばカメラ装置においてレンズを移動させるフォーカス機構などへの応用が見込まれる。
【００５７】
本実施形態では、各圧電素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄが振動筒体２０の各側面２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄにばらつきが小さく強固に密着している。このため、高精度に共振点で駆動させることができる。また図３で説明したように圧電素子１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄを複数の圧電層２と複数の導電層３との積層構造としたことで低電圧駆動化を図ることができ、低消費エネルギーで大きく駆動させることができる。
【００５８】
図６に示すように、取付部材６０は、一組のホルダ６１とカバー６２とからなる枠状である。そして、本実施形態の振動型アクチュエータが、前記取付部材６０からなる枠体の内部に支持されている。
【００５９】
ホルダ６１及びカバー６２は、例えば、金属板を板金加工することにより形成されている。
【００６０】
ホルダ６１とカバー６２は、その側面に設けられた掛止部６３にて掛止されて固定されている。
【００６１】
なお、振動型アクチュエータの上下左右が取付部材６０の内部で、接着剤（図示しない）を介して支持された状態となっている。これにより、外力に対して振動型アクチュエータを安定して支持することが出来る。なお接着剤は、例えばシリコーンゴムが好適である。
【符号の説明】
【００６２】
１、１ａ〜１ｄ  圧電素子
２  圧電層
３  導電層
４  本体部
５、６  保護層
７、８  表面電極層
１０、１１、１２  補助層
１５  支持部材
１６  接着層
１７  押圧部材
２０  振動筒体
２０ｅ  貫通孔
２１  移動体
５０  フレキシブルケーブル
６０  取付部材
６１  ホルダ
６２  カバー
６３  掛止部
【図１】
2011146473.tif 000003
【図２】
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【図３】
2011146473.tif 000005
【図４】
2011146473.tif 000006
【図５】
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【図６】
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