(57)【要約】【課題】大口径のウェーハ等の薄板であっても、自重の影響を受けることなく、ロボット装置等によって支障なく薄板収納容器から取り出すことができるようにする。【解決手段】薄板収納容器において、薄板を収容する空間Ｓに向けて突出するように設けられて薄板を支持する薄板支持部１２を複数個備える。さらに、その複数個の薄板支持部１２を、水平方向に並べて設けるとともに、垂直方向からその並び方向に向かって所定の角度αだけ傾斜するように設けて、垂直方向に対して傾斜させた状態で薄板を支持する。【選択図】図１
2011035329.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板を収容する空間に向けて突出するように設けられて前記薄板を支持する薄板支持部を複数個備え、
前記複数個の薄板支持部は水平方向に並んで設けられているとともに、垂直方向から所定の角度だけ傾斜するように設けられ、前記薄板を垂直方向に対して傾斜させた状態で前記薄板を支持する
ことを特徴とする、薄板収納容器。
【請求項２】
内側面に前記薄板支持部が複数個設けられた薄板保持具と、
前記薄板保持具を内部に収納する箱状の容器本体と、
前記容器本体に設けられ、前記薄板保持具の前記容器本体内への収納及び前記容器本体からの取り出しを行なうための開口部と、
前記開口部を塞ぐ蓋体とを備えた
ことを特徴とする、請求項１記載の薄板収納容器。
【請求項３】
内側面に前記薄板支持部が複数個設けられた箱状の容器本体と、
前記容器本体に設けられ、前記薄板の前記容器本体内への収納及び前記容器本体からの取り出しを行なうための開口部と、
前記開口部を塞ぐ蓋体とを備えた
ことを特徴とする、請求項１記載の薄板収納容器。
【請求項４】
前記開口部は前記容器本体の上面に設けられている
ことを特徴とする、請求項２又は３に記載の薄板収納容器。
【請求項５】
前記開口部は前記容器本体の側面に設けられている
ことを特徴とする、請求項２又は３に記載の薄板収納容器。
【請求項６】
前記所定の角度は、０．５°以上５°以下の範囲内で設定されている
ことを特徴とする、請求項１〜５の何れか１項に記載の薄板収納容器。
【請求項７】
前記薄板は、半導体ウェーハである
ことを特徴とする、請求項１〜６の何れか１項に記載の薄板収納容器。
【請求項８】
薄板収納容器内で薄板を保持するための薄板保持具であって、
前記薄板を収容する空間に向けて突出するように設けられて前記薄板を支持する薄板支持部を複数個備え、
前記複数個の薄板支持部は、前記薄板を垂直方向に対して傾斜させた状態で支持する
ことを特徴とする、薄板保持具。
【請求項９】
前記複数個の薄板支持部は、水平方向に並んで設けられているとともに垂直方向から所定の角度だけ傾斜するように設けられている
ことを特徴とする、請求項８記載の薄板保持具。
【請求項１０】
前記複数個の薄板支持部が設けられる内壁と、
前記内壁の底部が水平方向に対して所定の角度だけ傾斜した状態で前記内壁を支持する傾斜支持部とを備え、
前記複数個の薄板支持部は、前記内壁の底部に対して垂直方向に設けられている
ことを特徴とする、請求項８記載の薄板保持具。
【請求項１１】
前記所定の角度は、０．５°以上５°以下の範囲内で設定されている
ことを特徴とする、請求項９又は１０に記載の薄板保持具。
【請求項１２】
前記薄板は、半導体ウェーハである
ことを特徴とする、請求項８〜１１の何れか１項に記載の薄板保持具。
【請求項１３】
薄板収納容器内に垂直方向に延びるように設けられた薄板支持部によって保持された薄板を、前記薄板収納容器から取り出す薄板取出方法であって、
前記薄板収納容器を垂直方向から前記薄板の厚み方向に向かって所定の角度だけ傾斜させ、前記薄板を自重で前記薄板支持部に支持させる傾斜工程と、
前記傾斜工程で前記薄板支持部に支持された前記薄板を取り出す取出工程とを備えた
ことを特徴とする、薄板取出方法。
【請求項１４】
前記傾斜工程において、前記所定の角度を０．５°以上５°以下の範囲内で設定する
ことを特徴とする、請求項１３記載の薄板取出方法。
【請求項１５】
前記薄板は、半導体ウェーハである
ことを特徴とする、請求項１３又は１４に記載の薄板取出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等の薄板の収容に好適な薄板収納容器、薄板保持具及び薄板取出方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハは、製造工程間での移動時やデバイスメーカへの出荷時には、ウェーハ収納容器内に収納されて搬送される。
ウェーハ収納容器は、一般的に、前面が開口した箱状の容器本体と、容器本体に着脱自在に収納されるウェーハ保持具と、容器本体の開口を塞ぐ蓋体とを備えている。そして、図１０に示すように、ウェーハ保持具１０１の内側面には、ウェーハＷを１枚ずつ水平に保持するためのリブ１０２が等間隔に設けられている。
【０００３】
ウェーハＷは、一対の対向するリブ１０２によって１枚ずつ水平に保持されて複数枚がウェーハ保持具１０１に挿入され、続いてそのウェーハ保持具１０１が容器本体内に収納されて、ウェーハＷがウェーハ収納容器内に収納されるようになっている。このようなウェーハ収納容器は、特許文献１や特許文献２に開示されている。
ウェーハ収納容器内に収納されたウェーハＷは、ロボット装置等によって取り出されるようになっている。このときのウェーハ収納容器の載置位置は、ロボット装置がウェーハＷを適切にハンドリングできるように、ロボット装置の位置との相対関係で決められている。そして、ロボット装置は、図１１（ａ）に示すようにウェーハＷのエッジ（周縁部）をアーム１１１に設けられた弾性パッド付き爪１１２により挟持したり、図１１（ｂ）に示すようにウェーハＷの表面を真空吸着治具１１３により真空吸着したりして、ウェーハＷを取り出すようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−１０７１３５号公報
【特許文献２】ＷＯ９９／３９９９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、現在は、直径３００ｍｍのウェーハが主流となっているが、将来は、直径４５０ｍｍのウェーハの量産が予定されている。
このような大口径のウェーハを前述のウェーハ収納容器内に水平状態で保持する場合、ウェーハが自重でたわみ、ウェーハに割れや欠け等の物理的損傷が発生するおそれがある。そこで、ウェーハを直立状態（縦置き状態）で保持するようにウェーハ収納容器を利用することが考えられる。
【０００６】
しかしながら、ウェーハを直立状態で保持する場合に、ウェーハを水平状態で保持する従来のウェーハ収納容器を単純に利用しただけでは、ウェーハはリブ間で自由に動くためにウェーハそれぞれの位置が相違して定まらないので、ロボット装置のアームに設けられた弾性パッド付き爪や真空吸着治具等がウェーハを正確に把持することができず、この結果、ロボット装置等によって容易にハンドリングできないという課題が生じる。
【０００７】
本発明はこのような課題に鑑み案出されたもので、大口径のウェーハ等の薄板であってもロボット装置等によって支障なく薄板収納容器から取り出すことができるようにした薄板収納容器、薄板保持具及び薄板取出方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
［薄板収納容器］
上記目的を達成するため、請求項１記載の本発明の薄板収納容器は、薄板を収容する空間に向けて突出するように設けられて前記薄板を支持する薄板支持部を複数個備え、前記複数個の薄板支持部は水平方向に並んで設けられているとともに、垂直方向から所定の角度だけ傾斜するように設けられ、前記薄板を垂直方向に対して傾斜させた状態で前記薄板を支持することを特徴とする。
【０００９】
請求項２記載の本発明の薄板収納容器は、請求項１記載の本発明の薄板収納容器において、内側面に前記薄板支持部が複数個設けられた薄板保持具と、前記薄板保持具を内部に収納する箱状の容器本体と、前記容器本体に設けられ、前記薄板保持具の前記容器本体内への収納及び前記容器本体からの取り出しを行なうための開口部と、前記開口部を塞ぐ蓋体とを備えたことを特徴とする。
【００１０】
請求項３記載の本発明の薄板収納容器は、請求項１記載の本発明の薄板収納容器において、内側面に前記薄板支持部が複数個設けられた箱状の容器本体と、前記容器本体に設けられ、前記薄板の前記容器本体内への収納及び前記容器本体からの取り出しを行なうための開口部と、前記開口部を塞ぐ蓋体とを備えたことを特徴とする。
請求項４記載の本発明の薄板収納容器は、請求項２又は３に記載の本発明の薄板収納容器において、前記開口部は前記容器本体の上面に設けられていることを特徴とする。
【００１１】
請求項５記載の本発明の薄板収納容器は、請求項２又は３に記載の本発明の薄板収納容器において、前記開口部は前記容器本体の側面に設けられていることを特徴とする。
請求項６記載の本発明の薄板収納容器は、請求項１〜５の何れか１項に記載の本発明の薄板収納容器において、前記所定の角度は０．５°以上５°以下の範囲内で設定されていることを特徴とする。
【００１２】
請求項７記載の本発明の薄板収納容器は、請求項１〜６の何れか１項に記載の本発明の薄板収納容器において、前記薄板は半導体ウェーハであることを特徴とする。
［薄板保持具］
請求項８記載の本発明の薄板保持具は、薄板収納容器内で薄板を保持するための薄板保持具であって、前記薄板を収容する空間に向けて突出するように設けられて前記薄板を支持する薄板支持部を複数個備え、前記複数個の薄板支持部は、前記薄板を垂直方向に対して傾斜させた状態で支持することを特徴とする。
【００１３】
請求項９記載の本発明の薄板保持具は、請求項８記載の本発明の薄板保持具において、前記複数個の薄板支持部は水平方向に並んで設けられているとともに垂直方向から所定の角度だけ傾斜するように設けられていることを特徴とする。
請求項１０記載の本発明の薄板保持具は、請求項８記載の本発明の薄板保持具において、前記複数個の薄板支持部が設けられる内壁と、前記内壁の底部が水平方向に対して所定の角度だけ傾斜した状態で前記内壁を支持する傾斜支持部とを備え、前記複数個の薄板支持部は前記内壁の底部に対して垂直方向に設けられていることを特徴とする。
【００１４】
請求項１１記載の本発明の薄板保持具は、請求項９又は１０に記載の本発明の薄板保持具において、前記所定の角度は０．５°以上５°以下の範囲内で設定されていることを特徴とする。
請求項１２記載の本発明の薄板保持具は、請求項８〜１１の何れか１項に記載の本発明の薄板保持具において、前記薄板は半導体ウェーハであることを特徴とする。
［薄板取出方法］
請求項１３記載の本発明の薄板取出方法は、薄板収納容器内に垂直方向に延びるように設けられた薄板支持部によって保持された薄板を前記薄板収納容器から取り出す薄板取出方法であって、前記薄板収納容器を垂直方向から前記薄板の厚み方向に向かって所定の角度だけ傾斜させ、前記薄板を自重で前記薄板支持部に支持させる傾斜工程と、前記傾斜工程で前記薄板支持部に支持された前記薄板を取り出す取出工程とを備えたことを特徴とする。
【００１５】
請求項１４記載の本発明の薄板取出方法は、請求項１３記載の本発明の薄板取出方法において、前記傾斜工程において前記所定の角度を０．５°以上５°以下の範囲内で設定することを特徴とする。
請求項１５記載の本発明の薄板取出方法は、請求項１３又は１４に記載の本発明の薄板取出方法において、前記薄板は半導体ウェーハであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
［薄板収納容器］
請求項１記載の本発明の薄板収納容器によれば、薄板は薄板支持部に略垂直状態で保持されるので、水平状態で保持される場合と異なり、大口径の薄板であっても自重によって受ける影響を抑制することができる。また、薄板支持部の傾斜によって薄板は自重で薄板支持部に安定して支持された状態となるので、その位置が固定され、薄板収納容器内に収納された薄板をロボット装置等によって支障なく取り出すことができる。
【００１７】
また、請求項２記載の本発明の薄板収納容器によれば、内側面に薄板支持部が設けられた薄板保持具を備えているので、従来の薄板収納容器のうちの薄板保持具のみを本発明のものに交換すれば、既存の薄板収納容器を利用してコスト増を抑制することができる。
また、請求項３記載の本発明の薄板収納容器によれば、容器本体の内側面に薄板支持部が直接設けられているので、容器全体の構成を簡素且つコンパクトにすることができる。
【００１８】
また、請求項４記載の本発明の薄板収納容器によれば、既存の薄板収納容器を利用してコスト増を抑制することができる。
また、請求項５記載の本発明の薄板収納容器によれば、既存の薄板収納容器を利用してコスト増を抑制することができる。
また、請求項６記載の本発明の薄板収納容器によれば、傾斜角度が０．５°以上５°以下の範囲内で設定されているので、薄板が自重によって受ける影響をより抑制することができる。
【００１９】
また、請求項７記載の本発明の薄板収納容器によれば、搬送時、例えば、製造工程間での移動時やデバイスメーカへの出荷時の取り出しが特に問題になる半導体ウェーハに好適に対処することができる。
［薄板保持具］
請求項８記載の本発明の薄板保持具によれば、薄板は薄板支持部に略垂直状態で保持されるので、大口径の薄板であっても自重によって受ける影響を抑制することができる。また、薄板は自重によって薄板支持部に安定して支持された状態となるので、その位置が固定され、薄板収納容器内に収納された薄板をロボット装置等によって支障なく取り出すことができる。
【００２０】
また、請求項９記載の本発明の薄板保持具によれば、薄板保持具の構成をコンパクトにすることができる。
また、請求項１０記載の本発明の薄板保持具によれば、既存の薄板保持具に傾斜支持部を備えることで、既存の薄板保持具を利用してコスト増を抑制することができる。
また、請求項１１記載の本発明の薄板保持具によれば、傾斜角度が０．５°以上５°以下の範囲内で設定されているので、薄板が自重によって受ける影響をより抑制することができる。
【００２１】
また、請求項１２記載の本発明の薄板保持具によれば、搬送時の取り出しが特に問題になる半導体ウェーハに好適に対処することができる。
［薄板取出方法］
請求項１３記載の本発明の薄板取出方法によれば、従来の薄板収納容器を使用することができるので、コスト増を抑制することができる。また、薄板は薄板支持部によって取り出し時以外は垂直状態で支持されるので、自重によって受ける影響を防止することができる。また、取り出し時には自重で薄板支持部に安定して支持された状態となるので、その位置が固定され、薄板収納容器内に収納された薄板をロボット装置等によって支障なく取り出すことができる。
【００２２】
また、請求項１４記載の本発明の薄板取出方法によれば、傾斜角度が０．５°以上５°以下の範囲内で設定されているので、薄板が自重によって受ける影響をより抑制することができる。
また、請求項１５記載の本発明の薄板取出方法によれば、搬送時の取り出しが特に問題になる半導体ウェーハに好適に対処することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る薄板収納容器を示す模式図であって、（ａ）は蓋体を取り付けたときの斜視図、（ｂ）は蓋体を取り外したときの斜視図、（ｃ）は薄板を収納した状態を示す縦断面図、（ｄ）は（ｃ）のＡ−Ａ矢視での薄板保持具の図である。
【図２】本発明の第１実施形態の変更例１に係る薄板収納容器の薄板保持具を示す模式的な縦断面図である。
【図３】本発明の第１実施形態の変更例４に係る薄板収納容器を示す模式図であって、（ａ）は蓋体を取り付けたときの斜視図、（ｂ）は蓋体を取り外したときの斜視図、（ｃ）は薄板を収納した状態の一例を示す縦断面図、（ｄ）は（ｃ）のＢ−Ｂ矢視での薄板保持具の図である。
【図４】本発明の第１実施形態の変更例５に係る薄板収納容器の薄板保持具を示す模式図である。
【図５】本発明の第１実施形態の変更例５′に係る薄板収納容器の薄板保持具を示す模式図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る薄板収納容器の模式的な縦断面図である。
【図７】本発明の第２実施形態の変更例２に係る薄板収納容器の、薄板を収納した状態の一例を示す縦断面図である。
【図８】本発明の実施形態に係る薄板取出方法を説明するための模式図である。
【図９】本発明の実施形態に係る薄板取出方法を示すフローチャートである。
【図１０】従来技術に係る薄板収納容器内で薄板が保持される様子を示す模式図である。
【図１１】薄板収納容器内に収納された薄板をロボット装置が取り出す様子を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面により、本発明の実施の形態について説明する。以下の実施の形態においては、薄板が半導体ウェーハである場合の薄板収納容器、薄板保持具及び薄板取出方法について説明する。ただし、本発明は、半導体ウェーハ以外の薄板にも適用可能なものである。
［薄板収納容器の第１実施形態］
図１（ａ）〜（ｄ）を参照して、本発明の第１実施形態の薄板収納容器及びその薄板保持具について説明する。
【００２５】
＜構成＞
図１（ａ）〜（ｄ）に示すように、第１実施形態の薄板収納容器としてのウェーハ収納容器１は、上面に開口部２ａを有する箱状の容器本体２と、容器本体２内に収納されて半導体ウェーハ（薄板）Ｗを１枚ずつ離隔して保持するウェーハ保持具（薄板保持具）１０と、容器本体２の上面の開口部２ａを塞ぐ蓋体３と、蓋体３の内側に設けられた押さえ部材４と、容器本体２の開口部２ａを蓋体３で塞いだときのウェーハ収納容器１の内圧を調整する圧力調整部材としてのフィルタ５とを備えている。
【００２６】
図１（ｃ）に示すように、容器本体２は、水平面上に載置すると、底面２ｂが水平方向に向くように構成されている。
押さえ部材４は、弾性体で形成された押さえ片４ａを有している。そして、ウェーハ収納容器１内に収納されたウェーハＷの上側のエッジを押さえ片４ａで押さえ付けて、搬送時にウェーハＷが動かないように固定する構成となっている。
【００２７】
フィルタ５は、図１（ａ）に示すように、蓋体３の適宜の位置に取り付けられて、ウェーハ収納容器１の内外間で気体（通常は空気）の通過を許容する一方、塵埃等の通過を制限するように構成されている。そして、これにより、ウェーハ収納容器１内の清浄状態を保ったままウェーハ収納容器１の内圧を最適状態に調整して、蓋体３が外れにくくなるのを防止することができるようになっている。なお、フィルタ５は、蓋体３ではなく、容器本体２の適宜の位置に取り付けられても良い。
【００２８】
ウェーハ保持具１０は、容器本体２に対して着脱自在に構成されるとともに、図１（ｂ）に示すように、その内側に複数枚のウェーハＷを収容可能な空間（収容空間）Ｓが形成されている。また、容器本体２内に収納されるときには、容器本体２に設けられた固定手段（図示略）及びウェーハ保持具１０に設けられた被固定手段（図示略）によって、容器本体２内の適宜の位置に固定されるようになっている。
【００２９】
また、ウェーハ保持具１０は、図１（ｃ）に示すように、対向して設けられた一対の側壁１１と、各側壁１１の内側面に設けられた複数のリブ（薄板支持部）１２とを有している。また、その底部１０ｂは、容器本体２の底面２ｂと同様に水平方向に向いている。ここで、底部１０ｂとは、一対の側壁１１の底部（底面）を含んで広がる見かけ上の底面（仮想底面）のことをいう。また、ここでは側壁１１はその底部でつながっていないが、側壁１１がその底部でつながって底壁が存在する場合には、底部１０ｂとは底壁がなす面（実際の底面）のことをいう。
【００３０】
各側壁１１は、水平方向に延在する３つの側壁部１１ａ〜１１ｃと、これら側壁部１１ａ〜１１ｃを連結する連結部１１ｄとを有して構成されている。
側壁部１１ａ〜１１ｃは、上から、上段側壁部１１ａ，中段側壁部１１ｂ及び下段側壁部１１ｃの順に配置されている。上段側壁部１１ａ及び中段側壁部１１ｂは、扁平な矩形状に形成されている。一方、下段側壁部１１ｃは、ウェーハＷのエッジ形状（周縁形状）に沿うように、側面視で円弧状に形成された円弧部を有するように形成されている。
【００３１】
リブ１２は、ウェーハＷを１枚ずつ離隔して保持できるように、前記空間Ｓを複数のウェーハ挿入空間に区切る薄板状の部材として形成されている。また、リブ１２は、図１（ｄ）に示すように、各側壁１１において水平方向に等間隔に並んで設けられているとともに、水平方向に広がるウェーハ保持具１０の底部１０ｂに対して、垂直方向からその並び方向に向かって所定の角度αだけ傾斜するように形成されている。上記のリブ１２の並び方向は、リブ１２がウェーハＷを保持したときのウェーハＷの厚み方向に一致している。さらに、リブ１２は、図１（ｃ）に示すように、その内側の外形線がウェーハＷのエッジ形状に沿う円弧状に形成されている。一方の側壁１１のリブ１２の位置は他方の側壁１１のリブ１２の位置に一致して互いに対向するように設けられており、一方の側壁１１の隣接するリブ１２，１２と、このリブ１２，１２に対向する他方の側壁１１の隣接するリブ１２，１２との計４つのリブ１２，１２，１２，１２に囲まれて、ウェーハＷの挿入されるウェーハ挿入空間が形成されている。
【００３２】
傾斜角度αは、０．５°≦α≦５°の範囲内に設定されていることが好ましいが、０．５°≦α＜４５°の範囲内に設定されていれば良い。この傾斜角度αの設定理由について説明すると、傾斜角度αが０．５°未満であればウェーハＷをリブ１２に安定して支持させるのに十分ではなく、一方、傾斜角度αが５°あれば十分に安定して支持することができるためである。また、傾斜角度αが４５°以上になると、ウェーハＷが自重により受ける影響が過大になるためである。
【００３３】
また、リブ１２は、側壁１１とは別の部材で形成されて側壁１１に溶着や粘着等の適宜の固定手段で取り付けられていても良いし、側壁１１と一体成形されていても良い。
さらに、図１（ｄ）に示すように、各ウェーハ挿入空間に面する下段側壁部１１ｃの円弧部には、Ｖ字溝部１１ｅが形成されている。このＶ字溝部１１ｅにより、ウェーハ挿入空間に挿入されたウェーハＷの下側のエッジはＶ字溝部１１ｅに嵌り込み、ウェーハ挿入空間においてウェーハＷの位置がより確実に固定されるようになっている。
【００３４】
＜作用・効果＞
本発明の第１実施形態に係る薄板収納容器及びその薄板保持具は上述のように構成されているので、以下のような作用及び効果を奏する。
ウェーハＷは搬送時、リブ１２で区切られたウェーハ挿入空間に１枚ずつ互いに干渉することなく挿入され、複数枚のウェーハＷが挿入されたウェーハ保持具１０が容器本体１１内に収納されて、ウェーハＷがウェーハ収納容器１内に収納される。
【００３５】
このとき、ウェーハＷは傾斜角度α（０．５°≦α≦５°）で傾斜して設けられたリブ１２に支持されているので、大口径であっても自重により影響を受けることを抑制することができる。また、ウェーハＷは自重によってリブ１２に安定して支持された状態となるので、その位置が固定され、ロボット装置によって支障なくウェーハＷを取り出すことができる。
【００３６】
なお、上記第１実施形態の構成はこれに限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々変更することが可能であり、例えば次のように変更することができる。
［変更例１−側壁に関して−］
上記第１実施形態では、側壁１１は各部１１ａ〜１１ｄを組み合わせて形成されているが、このような構成に限らず、図２に示すように、各部に分離されずに一連に形成された側壁１１′であっても良い。ただし、側壁１１が各部１１ａ〜１１ｄに分離された構成であれば、ウェーハ保持具に収納されたウェーハＷをそのままの状態で洗浄工程で洗浄することが容易であったり、あるいは、ウェーハ収納容器にウェーハＷが収納されている状態では空気の流通がスムーズに行なわれたりして管理上好ましい。
［変更例２−Ｖ字溝に関して−］
また、上記第1実施形態では、Ｖ字溝部１１ｅが形成されているが、Ｖ字溝部１１ｅは形成されていなくても良い。この場合でも、ウェーハＷはリブ１２に支持されてその位置が固定される。しかしながら、Ｖ字溝部１１ｅが形成されていれば、ウェーハＷはガタツキが防止され、その位置がより安定して好ましい。
［変更例３−リブの形状に関して−］
また、上記第１実施形態では、リブ１２は、一方の側壁のリブ１２と他方の側壁のリブ１２とで分離されているが、一方の側壁のリブ１２と他方の側壁のリブ１２とがウェーハ保持具１０の下部で連なった一連のリブ１２として形成されていても良い。
［変更例４−開口部の位置に関して−］
また、上記第１実施形態では、容器本体２は、開口部２ａが容器本体２の上面に設けられているが、開口部の設けられる位置はこれに限定されず、図３に示すように、開口部が容器本体の側面に設けられていても良い。
【００３７】
この場合、図３（ｂ）及び（ｃ）に示すように、容器本体２１の側面のうち、ウェーハＷの厚み方向に対して平行方向に位置する側面に開口部２１ａが設けられていることが好ましい。これによれば、ウェーハＷ間にロボット装置のアーム１１１を横方向から挿入することで、ウェーハ収納容器１′からウェーハＷを支障なく取り出すことができる。なお、図３中の蓋体２３、押さえ部材２４及びフィルタ２５はそれぞれ、第１実施形態の蓋体３、押さえ部材４及びフィルタ５と同様の構成のものであるので、説明を省略する。
【００３８】
ウェーハ保持具２２は、図３（ｃ）に示すように、容器本体２１の底面２１ｂ及び開口部２１ａの反対側の側面２１ｃに対面し、且つ、ウェーハＷを囲むように容器本体２１内に配置される内壁２２ａと、ウェーハＷを収容する空間Ｓに向けて突出するように設けられてウェーハＷを支持する複数個のリブ２２ｂとを備えて構成されている。ここで、リブ２２ｂに、例えばＶ字溝部を設けることにより、ウェーハＷのエッジがＶ字溝部に嵌り込み、ウェーハ挿入空間においてウェーハＷの位置がより確実に固定されることになる。
【００３９】
複数個のリブ２２ｂは、図３（ｄ）に示すように、水平方向に等間隔に並んで設けられているとともに、水平方向に広がるウェーハ保持具２２の底面、即ち底側の内壁２２ａに対して、垂直方向からその並び方向に向かって所定の角度α（０．５°≦α≦５°）だけ傾斜するように形成されて、ウェーハＷを垂直方向に対して傾斜した状態で支持するようになっている。
［変更例５−リブの傾斜に関して−］
また、上記第１実施形態及びその変更例４では、ウェーハ保持具１０，２２としては、リブ１２，２２ｂが、水平方向に等間隔に並んで設けられているとともに、水平方向に広がるウェーハ保持具１０の底部１０ｂ，ウェーハ保持具２２の内壁２２ａの底面に対して垂直方向から所定の角度αだけ傾斜するように形成されているものを用いたが、次のように変更することができる。
【００４０】
例えば、図１に示す第１実施形態において、ウェーハ保持具１０を、図４に示すウェーハ保持具１０″に替えても良い。
ウェーハ保持具１０″は、複数個のリブ１２″が、対向して設けられた一対の側壁１１″のそれぞれにおいてウェーハ保持具１０″の底部１０ｂ″に対して垂直方向に且つ等間隔に並んで設けられているとともに、ウェーハ保持具１０″の底部１０ｂ″が水平方向に対して所定の角度αだけ傾斜した状態でウェーハ保持具１０″を支持する傾斜支持部１３をさらに備えて構成されている。
【００４１】
ウェーハ保持具１０″によってウェーハ収納容器１内に安定して収納されたウェーハＷは、ロボット装置により取り出される。このとき、図１に示す第１実施形態と同様に、ウェーハ収納容器１はロボット装置に対向して載置され、図１１（ａ）及び（ｂ）に示すように、ウェーハＷ間にロボット装置のアーム１１１を上方から挿入し、ウェーハＷのエッジをアーム１１１に設けられた弾性パッド付き爪１１２により挟持したり、ウェーハＷの表面を真空吸着具１１３により真空吸着したりする等の方法で、ウェーハＷをウェーハ収納容器１から取り出すことができる。
【００４２】
同様に、図３に示す第１実施形態の変更例４において、ウェーハ保持具２２を、図５に示すウェーハ保持具３２に替えても良い。
ウェーハ保持具３２は、複数個のリブ３２ｂが、底側の内壁３２ａ、即ちウェーハ保持具３２の底面に対して垂直方向に且つ等間隔に並んで設けられているとともに、内壁３２ａが水平方向に対して所定の角度α（０．５°≦α≦５°）だけ傾斜した状態で内壁３２ａを支持する傾斜支持部３３をさらに備えて、ウェーハＷを垂直方向に対して傾斜した状態で支持するように構成されている。
［変更例６−その他−］
また、上記の図３に示す変更例４及び図５に示す変更例５′において、内壁２２ａ，３２ａは、図３（ｃ）に示すような一連に形成された構成に限らず、各部（底壁部と側壁部）に分離し、分離した各部を連結部で連結する構成であっても良い。
【００４３】
また、内壁２２ａ，３２ａの、容器本体２１の底面２１ｂに相当する位置及び開口部２１ａとは反対側の側面２１ｃに相当する位置に設けられたリブ２２ｂ，３２ｂは、各位置で互いに独立して設けられても良いし、一連に形成されても良い。
また、複数個のリブ２２ｂ，３２ｂは、図３（ｃ）に示す例では、内壁２２ａ，３２ａの、容器本体２１の底面２１ｂ及び開口部２１ａとは反対側の側面２１ｃに相当する位置からウェーハＷを収容する空間Ｓに向けて突出するように設けられているが、これに限らず、内壁２２ａ，３２ａの、容器本体２１の底面２１ｂ、上面及び開口部２１ａとは反対側の側面２１ｃに相当する位置の何れかの位置から突出するように設けられていれば良い。要するに、ウェーハＷを安定して支持できる方法であれば、複数個のリブ２２ｂ，３２ｂが設けられる位置は問わない。
【００４４】
また、上記第１実施形態及びその各変更例では、薄板状のリブ１２，２２ｂ，３２ｂを設けて薄板支持部を形成しているが、薄板支持部の構成はこれに限定されない。少なくとも、空間Ｓに向けて突出し、且つ、垂直方向からウェーハＷの厚み方向に向かって所定の角度αだけ傾斜するように設けられて、ウェーハＷを垂直方向から傾斜させて安定して支持することができる突出部が、薄板支持部として設けられていれば良い。例えば、薄板支持部は、櫛歯状に構成されていても良い。
［薄板収納容器の第２実施形態］
次に、図６を参照して、本発明の第２実施形態の薄板収納容器について説明する。
【００４５】
第１実施形態及びその各変更例が容器本体とは別にウェーハ保持具を備えてウェーハ保持具にリブを設けていたのに対して、本実施形態は、ウェーハ保持具を備えることなく容器本体に直接リブを設けている点で第１実施形態と異なる。
第２実施形態の薄板収納容器としてのウェーハ収納容器５０は、上面に開口部５１ａを有する箱状の容器本体５１と、容器本体５１の上面の開口部５１ａを塞ぐ蓋体５３と、蓋体５３の内側に設けられた押さえ部材５４と、容器本体５１の開口部を蓋体５３で塞いだときのウェーハ収納容器５０の内圧を調整するフィルタ（図示略）とを備えている。蓋体５３，押さえ部材５４及びフィルタはそれぞれ、第１実施形態の蓋体３，押さえ部材４及びフィルタ５と同様の構成のものであるので、説明を省略する。
【００４６】
容器本体５１の対向する内側面には、容器本体５１の内側に形成された空間を複数のウェーハ挿入空間に区切り、ウェーハＷを１枚ずつ離隔して保持する薄板状のリブ５２が設けられている。
リブ５２は、第１実施形態のリブ１２と同様に、対向する一対の内側面それぞれにおいて水平方向に等間隔に並んで設けられているとともに、垂直方向からその並び方向に向かって所定の角度α（０．５°≦α≦５°）だけ傾斜するように形成されている。また、リブ５２は、その内側の外形線がウェーハＷのエッジ形状に沿う円弧状に形成されている。さらに、一方の内側面のリブ５２の位置は他方の内側面のリブ５２の位置に一致して互いに対向するように設けられており、一方の内側面の隣接するリブ５２，５２と、このリブ５２，５２に対向する他方の内側面の隣接するリブ５２，５２との計４つのリブ５２，５２，５２，５２に囲まれて、ウェーハ挿入空間が形成されている。
【００４７】
本発明の第２実施形態に係る薄板収納容器は上述のように構成されているので、第１実施形態と同様の作用及び効果を奏する。また、容器本体５１に直接リブ５２が設けられているので、第１実施形態に比べて構造を簡単にすることができるという利点がある。
なお、上記第２実施形態の構成はこれに限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々変更することが可能であり、例えば次のように変更することができる。
［変更例１−リブの形状に関して−］
上記第２実施形態では、リブ５２は、一方の内側面のリブ５２と他方の内側面のリブ５２とで分離されているが、一方の内側面のリブ５２と他方の内側面のリブ５２とが容器本体５１の下部で連なった一連のリブ５２として形成されていても良い。
［変更例２−開口部の位置に関して−］
また、図７に示すように、開口部６１ａが、容器本体６１の側面に設けられていても良い。この場合、ロボット装置によってウェーハＷを支障なく取り出すことができるように、容器本体６１の側面のうち、ウェーハＷの厚み方向に対して平行方向に位置する側面に開口部６１ａが設けられていることが好ましい。
【００４８】
リブ６２は、内側面のうちの、容器本体６１の底面及び開口部６１ａとは反対側の側面に相当する位置に設けられる。また、リブ６２は、各内側面において水平方向に等間隔に並んで設けられているとともに、垂直方向からその並び方向に向かって所定の角度α（０．５°≦α≦５°）だけ傾斜するように形成されている。なお、内側面の、容器本体６１の底面に相当する位置及び開口部６１ａとは反対側の側面に相当する位置に設けられたリブ６２は、互いに独立して設けられても良いし、あるいは、一連に形成されても良い。
【００４９】
さらに、リブ６２は、内側面のうちの、容器本体６１の底面および開口部６１ａとは反対側の側面に相当する位置からウェーハＷを収容する空間Ｓに向けて突出するように設けられる構成に限らず、内側面のうちの、容器本体６１の底面、上面及び開口部６１ａとは反対側の側面に相当する位置の何れかの位置から突出するように設けられていれば良い。要するに、ウェーハＷを安定して支持できる位置であれば、リブ６２が設けられる位置は問わない。
［変更例３−リブの形状に関して、その２−］
また、上記第２実施形態及びその各変更例では、薄板状のリブ５２，６２を設けて薄板支持部を形成していたが、薄板支持部の構成はこれに限定されない。少なくとも、空間Ｓに向けて突出し、且つ、垂直方向から所定の角度αだけ傾斜するように設けられて、ウェーハＷを垂直方向から傾斜させて安定して支持することができる突出部が、薄板支持部として設けられていれば良い。
［薄板取出方法］
次に、図８及び図９を参照して、本発明の薄板取出方法について説明する。この薄板取出方法は、従来のウェーハ収納容器からウェーハＷを取り出す方法である。
【００５０】
従来のウェーハ収納容器とは、図８に示すように、ウェーハ収納容器７０内に、リブ７２がウェーハ収納容器７０の底面７１に対して垂直方向に延びるように設けられたものをいう。ウェーハ収納容器７０の開口部及び開口部を塞ぐ蓋体は、容器本体の側面又は上面に設けられている。
本薄板取出方法は、図９に示すように、従来のウェーハ収納容器７０を垂直方向からリブ７２の並列方向（換言すれば、ウェーハＷの厚み方向）に向かって所定の角度αだけ傾斜させ、ウェーハＷを自重でリブ７２に支持させる傾斜工程Ｓ１０と、傾斜工程Ｓ１０でリブ７２に支持されたウェーハＷをロボット装置により取り出す取出工程Ｓ２０とを備えている。
【００５１】
傾斜工程Ｓ２０での角度αは、前述のように、０．５°≦α≦５°の範囲内に設定されていることが好ましいが、０．５°≦α＜４５°の範囲内に設定されていれば良い。また、傾斜工程Ｓ２０での傾斜動作には、図８に示すように、角度αだけ傾斜して形成された傾斜台８０を利用することが好ましい。もしくは、容器底面７１の片側に脚部（傾斜支持部）を取り付けて、容器底面７１を水平方向に対して角度αだけ傾斜させても良い。このときの脚部は取り外し自由とするが、例えば、常時固着させた場合には、第１実施形態や第２実施形態のウェーハ収納容器１，５０と同様の取出方法で取り扱うことができる。
【００５２】
図９に示すような薄板取出方法によれば、従来のウェーハ収納容器を用いながら、ウェーハ収納容器からウェーハＷを取り出す際に、ロボット装置がウェーハＷを支障なくハンドリングすることができる。
また、図１に示す第１実施形態，図２に示すその変更例及び図３に示すその変更例、並びに、図６に示す第２実施形態及び図７に示すその変更例では、ウェーハＷを傾斜状態で支持するために、リブを水平方向に広がる容器底面に対して傾斜させて設けたウェーハ収納容器を使用していたが、本薄板取出方法によれば、従来のウェーハ収納容器をそのまま使用することができる。
【００５３】
すなわち、ウェーハを直立状態（縦置き状態）で保持する従来のウェーハ収納容器７０を使用し、ロボット装置でウェーハＷを取り出す際にはウェーハ収納容器７０を角度αだけ傾斜させてウェーハＷをリブ７２に安定して支持させてウェーハＷの位置が固定された状態で、ウェーハ収納容器７０内からウェーハＷを取り出すことができる。
【符号の説明】
【００５４】
１，１′  ウェーハ収納容器（薄板収納容器）
２  容器本体
２ａ  開口部
２ｂ  底面
３  蓋体
４  押さえ部材
４ａ  押さえ片
５  フィルタ
１０  ウェーハ保持具（薄板保持具）
１０ｂ  ウェーハ保持具の底部
１１，１１′，１１″  側壁
１１ｅ  Ｖ字溝部
１２，１２″  リブ（薄板支持部）
１３  傾斜支持部
２１  容器本体
２１ａ  開口部
２１ｂ  底面
２１ｃ  側面
２２，３２  ウェーハ保持具（薄板保持具）
２２ａ，３２ａ  内壁
２２ｂ，３２ｂ  リブ（薄板支持部）
２３  蓋体
２４  押さえ部材
２５  フィルタ
３３  傾斜支持部
５０，６０，７０  ウェーハ収納容器（薄板収納容器）
５１，６１  容器本体
５１ａ，６１ａ  開口部
５２，６２，７２  リブ（薄板支持部）
５３，６３  蓋体
５４，６４  押さえ部材
８０  傾斜台
Ｓ  空間
Ｗ  半導体ウェーハ
α  傾斜角度
【図１】
2011035329.tif 000003
【図２】
2011035329.tif 000004
【図３】
2011035329.tif 000005
【図４】
2011035329.tif 000006
【図５】
2011035329.tif 000007
【図６】
2011035329.tif 000008
【図７】
2011035329.tif 000009
【図８】
2011035329.tif 000010
【図９】
2011035329.tif 000011
【図１０】
2011035329.tif 000012
【図１１】
2011035329.tif 000013