(57)【要約】【課題】異常発生時の搬送機構の状態を容易に把握でき、異常要因を容易に判断出来るようにする。【解決手段】基板を搬送する搬送機構に備えられた少なくとも一つ以上のセンサと、該センサが検知した検知データを受信する搬送制御モジュールと、該搬送制御モジュールを制御する搬送系コントローラと、前記検知データに基づいて前記搬送機構の状態を表示する表示部を少なくとも備えた操作部と、で少なくとも構成された基板処理装置であって、異常発生時に、少なくとも前記センサが検知した前記検知データを前記表示部に表示するよう構成される。【選択図】  図１
2011155244.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送する搬送機構に備えられた少なくとも一つ以上のセンサと、
該センサが検知した検知データを受信する搬送制御モジュールと、
該搬送制御モジュールを制御する搬送系コントローラと、
前記検知データに基づいて前記搬送機構の状態を表示する表示部を少なくとも備えた操作部と、
で少なくとも構成された基板処理装置であって、
異常発生時に、少なくとも前記センサが検知した前記検知データを前記表示部に表示するよう構成される基板処理装置。
【請求項２】
前記搬送制御モジュールは、前記搬送機構の各軸に備えられた前記センサが検知した検知データを格納する格納手段を有し、前記各軸を動作させると共に前記格納手段に前記検知データを格納し、前記動作ＯＫであれば、前記格納手段内の前記検知データを削除し、前記動作ＮＧであれば、前記格納手段内の前記検知データを保存するよう構成される請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記動作ＮＧにより異常が発生した際、前記搬送制御モジュールは、少なくとも前記格納手段内の前記検知データを含むデータを前記搬送系コントローラを介して前記操作部に報告するよう構成される請求項２に記載の基板処理装置。
【請求項４】
基板を搬送する搬送機構に備えられた少なくとも一つ以上のセンサと、
該センサが検知した検知データを受信する搬送制御モジュールと、
該搬送制御モジュールを制御する搬送系コントローラと、
前記検知データに基づいて前記搬送機構の状態をモニタする表示部を少なくとも備えた操作部と、
で少なくとも構成された基板処理装置の異常表示方法であって、
異常発生時に、少なくとも前記センサが検知した前記検知データを前記表示部に表示するよう構成される基板処理装置の異常表示方法。
【請求項５】
少なくとも搬送機構の状態をモニタするための画面を表示する表示工程と、
前記搬送機構を制御する搬送制御モジュールに制御指示データを送信して前記搬送機構に基板を搬送させるよう制御する制御工程と、
少なくとも前記搬送機構の各軸に備えられたセンサが検知した検知データを格納手段に格納する格納工程と、
を有する搬送制御方法であって、
前記表示工程では、異常が発生した際に、前記搬送制御モジュールは、少なくとも前記格納手段内の前記検知データを含むデータを前記画面に表示させるよう構成される搬送制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送機構の異常停止機能を改善した基板処理装置、基板処理装置の異常表示方法、及び搬送制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板処理装置には、基板を搬送するための搬送機構が備えられている。各種の搬送機構は、搬送制御モジュールによる制御を通して動作するようになっている。しかしながら、搬送機構は、突然、異常停止することがある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来の基板処理装置では、搬送機構が異常停止した場合、異常停止した時の状態を把握することが困難で、異常停止した要因も判断することが困難であった。
よって、本発明の目的は、上記問題点を解決して、異常発生時の搬送機構の状態の把握を容易とし、異常要因の判断を容易とする基板処理装置、基板処理装置の異常表示方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の一態様によれば、
基板を搬送する搬送機構に備えられた少なくとも一つ以上のセンサと、
該センサが検知した検知データを受信する搬送制御モジュールと、
該搬送制御モジュールを制御する搬送系コントローラと、
前記検知データに基づいて前記搬送機構の状態をモニタする表示部を少なくとも備えた操作部と、
で少なくとも構成された基板処理装置であって、
異常発生時に、少なくとも前記センサが検知した前記検知データを前記表示部に表示するよう構成される基板処理装置が提供される。
【０００５】
本発明の他の態様によれば、
基板を搬送する搬送機構に備えられた少なくとも一つ以上のセンサと、
該センサが検知した検知データを受信する搬送制御モジュールと、
該搬送制御モジュールを制御する搬送系コントローラと、
前記検知データに基づいて前記搬送機構の状態をモニタする表示部を少なくとも備えた操作部と、
で少なくとも構成された基板処理装置の異常表示方法であって、
異常発生時に、少なくとも前記センサが検知した前記検知データを前記表示部に表示するよう構成される基板処理装置の異常表示方法が提供される。
【０００６】
本発明の他の態様によれば、
少なくとも搬送機構の状態をモニタするための画面を表示する表示工程と、
前記搬送機構を制御する搬送制御モジュールに制御指示データを送信して前記搬送機様に基板を搬送させるよう制御する制御工程と、
少なくとも前記搬送機構に備えられたセンサが検知した検知データを格納手段に格納する格納工程と、
を有する搬送制御方法であって、
異常が発生した際に、前記搬送制御モジュールは、少なくとも前記格納手段内の前記検知データを含むデータを前記画面に表示させるよう構成される搬送制御方法が提供される
。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、異常発生時の搬送機構の状態を容易に把握でき、異常要因を容易に判断できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施の形態に係る基板処理装置の制御装置の概略構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の前提となる比較例に係る基板処理装置の制御装置の概略構成を示すブロック図である。
【図３】本発明の一実施の形態に係る基板処理装置の制御装置の詳細構成を示すブロック図である。
【図４】本発明の一実施の形態に係る基板処理装置の搬送制御系の概略構成を示すブロック図である。
【図５】本発明の一実施の形態に係る基板処理装置の搬送制御系の信号フロー制御図である。
【図６】本発明の一実施の形態に係る基板処理装置のモーション制御処理の流れを示すフローチャートである。
【図７】本発明の一実施の形態に係る基板処理装置のアラーム情報表示処理の流れを示すフローチャートである。
【図８】本発明の一実施の形態に係る基板処理装置の表示部に表示されるアラーム時の操作画面の推移を示す説明図である。
【図９】本発明の一実施の形態に係る基板処理装置のアラーム時のモーション制御状態を表示する操作画面の説明図である。
【図１０】本発明の一実施の形態に係る基板処理装置の終了要因１におけるアラームランプを示す説明図である。
【図１１】本発明の一実施の形態に係る基板処理装置のアラーム情報の一例を示す操作画面の説明図である。
【図１２】本発明の一実施の形態に係る基板処理装置を示す透視斜視図である。
【図１３】本発明の一実施の形態に係る基板処理装置を示す透視側面図である。
【図１４】本発明の一実施の形態に係る基板処理装置の終了要因１におけるアラームランプを示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照しつつ本発明の一実施の形態を説明する。
【００１０】
［概要］
本発明の実施の形態によれば、操作部に異常停止状態及び異常停止要因を表示させる表示部が設けられており、少なくとも搬送機構に備えられるセンサが検知した検知データを、この搬送機構を制御する搬送制御モジュールを介して操作部に通知し、その表示部に、検知データに基づく異常停止状態、異常停止要因を表示させる。このように、異常停止状態、異常停止要因を表示部に表示させることで、異常停止状態及び異常停止要因を正確に把握することが可能となる。
【００１１】
［定義］
ここで、本願明細書における語句について定義する。ファイルとは、統括プログラム、設定プログラム、レシピ、通信プログラム、アラーム情報表示プログラム、パラメータ編集プログラム等の各種プログラム（ファイルとして格納されたもの）である。又、本発明において、動作パラメータとは、後述するモーション制御を実施する際の項目である指令
位置、フィードバック位置、指令速度、フィードバック速度、指令トルク、位置偏差、アラームコード、目標位置（座標系）等に設定される設定値のことである。
【００１２】
又、基板処理機構とは、基板を処理するための機構をいい、例えば、ヒータ駆動部、ガス供給機構、ガス排気機構、炉口開閉機構３１、ウェーハ移載機構（基板移載機構）２４、ポッド搬送装置１５、開閉機構２２、ボートエレベータ３２、基板搬送容器蓋開閉機構（ポッドオープナ）１４、バブル開閉機構、流量制御器、圧力制御器等である。
【００１３】
又、搬送機構とは、ポッド搬送装置１５、ウェーハ移載機構２４、ボートエレベータ３２、ボート２６等をいう。又、プロセス系コントローラとは、加熱制御部、バルブ開閉・流量制御器、圧力制御器などを用いて基板を処理するよう制御するプロセス制御部３８のことをいう。
【００１４】
又、搬送制御モジュール３０２とは、各搬送機構を制御するモーション制御部のことをいう。ここで、モーション制御とは、制御指示データとしての動作パラメータに応じて各モータを制御して、モータの各軸の位置制御を行うことをいう。さらに、モーション制御情報とは、モーション制御を実行するための条件等を各軸に対して設定するための項目のことである。
【００１５】
又、検知データとは、各センサ６５、６６…、７１より検知されるデータのことである。
【００１６】
又、異常要因とは、プラスリミット信号、マイナスリミット信号、非常停止信号、ブレーキ作動信号、プラスソフトリミット信号、マイナスソフトリミット信号、トルク制限実施信号、速度制限実施信号、速度一致信号、ゼロ速度検出信号等のことである。
【００１７】
［基板処理装置の全体構成］
先ず、図１２、図１３に於いて、本発明が実施される基板処理装置について説明する。
【００１８】
図１２、図１３は基板処理装置の一例として縦型の基板処理装置を示している。尚、該基枝処理装置に於いて処理される基板は、一例としてシリコン等からなるウェーハが示されている。
【００１９】
基板処理装置１は筐体２を備え、該筐体２の正面壁３の下部にはメンテナンス可能な様に設けられた開口部としての正面メンテナンス口４が開設され、該正面メンテナンス口４は正面メンテナンス扉５によって開閉される。
【００２０】
前記筐体２の前記正面壁３にはポッド搬入搬出口６が前記筐体２の内外を連通する様に開設されており、前記ポッド搬入搬出口６はフロントシャッタ（搬入搬出口開閉機構）７によって開閉され、前記ポッド搬入搬出口６の正面前方側にはロードポート（基板搬送容器受渡し台）８が設置されており、該ロードポート８は載置されたポッド９を位置合せする様に構成されている。
【００２１】
該ポッド９は密閉式の基板搬送容器であり、図示しない工程内搬送装置によって前記ロードポート８上に搬入され、又、該ロードポート８上から搬出される様になっている。
【００２２】
前記筐体２内の前後方向の略中央部に於ける上部には、回転式ポッド棚（基板搬送容器格納棚）１１が設置されており、該回転式ポッド棚１１は複数個のポッド９を格納する様に構成されている。
【００２３】
前記回転式ポッド棚１１は垂直に立設されて間欠回転される支柱１２と、該支柱１２に中下段の各位置に於いて放射状に支持された複数段の棚板（基板搬送容器載置棚）１３とを備えており、該棚板１３は前記ポッド９を複数個宛載置した状態で格納する様に構成されている。
【００２４】
前記回転式ポッド棚１１の下方には、ポッドオープナ（基板搬送容器蓋体開閉機構）１４が設けられ、該ポッドオープナ１４は前記ポッド９を載置し、又該ポッド９の蓋を開閉可能な構成を有している。
【００２５】
前記ロードポート８と前記回転式ポッド棚１１、前記ポッドオープナ１４との間には、ポッド搬送装置（容器搬送装置）１５が設置されており、該ポッド搬送装置１５は、前記ポッド９を保持してＣＺ軸方向に昇降可能、ＣＸ軸方向に進退可能となっており、前記ロードポート８、前記回転式ポッド棚１１、前記ポッドオープナ１４との間で前記ポッド９を搬送する様に構成されている。
【００２６】
前記筐体２内の前後方向の略中央部に於ける下部には、サブ筐体１６が後端に亘って設けられている。該サブ筐体１６の正面壁１７にはウェーハ（基板）１８を前記サブ筐体１６内に対して搬入搬出する為のウェーハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１９が一対、垂直方向に上下２段に並べられて開設されており、上下段のウェーハ搬入搬出口１９、１９に対して前記ポッドオープナ１４がそれぞれ設けられている。
【００２７】
該ポッドオープナ１４は前記ポッド９を載置する載置台２１と、前記ポッド９の蓋を開閉する開閉機構２２とを備えている。前記ポッドオープナ１４は前記載置台２１に載置された前記ポッド９の蓋を前記開閉機構２２によって開閉することにより、前記ポッド９のウェーハ出入口を開閉する様に構成されている。
【００２８】
前記サブ筐体１６は前記ポッド搬送装置１５や前記回転式ポッド棚１１が配設されている空間（ポッド搬送空間）から気密となっている移載室２３を構成している。該移載室２３の前側領域にはウェーハ移載機構（基板移載機構）２４が設置されており、該ウェーハ移載機構２４は、ウェーハ１８を載置する所要枚数（図示では５枚）のウェーハ載置プレート２５を具備し、該ウェーハ載置プレート２５は水平方向に直動可能、水平方向に回転可能、又昇降可能となっている。前記ウェーハ移載機構２４はボート（基板保持具）２６に対してウェーハ１８を装填及び払出しする様に構成されている。
【００２９】
又、前記ウェーハ移載機構２４には、ウェーハ１８を保持する前記ウェーハ載置プレート２５がウェーハ１８を所定の場所から取り、所定の場所に置く際に、前記ウェーハ載置プレート２５の動作を調整する軸であるＸ軸と、前記ウェーハ載置プレート２５がウェーハ１８を前記ボート２６に移載する際の進入角度を調整する軸であるＹ軸と、前記ウェーハ載置プレート２５がウェーハ１８を前記ボート２６に移載する際の進入の高さを調整する軸であるＺ軸、及びＺ軸の微調整を行ってウェーハ１８の前記ボート２６に対する挿入間隔を調整するＶ軸という４つのパラメータが設定されている。
【００３０】
前記移載室２３の後側領域には、前記ボート２６を収容して待機させる待機部２７が構成され、該待機部２７の上方には縦型の処理炉２８が設けられている。該処理炉２８は内部に処理室２９を形成し、該処理室２９の下端部は炉口部となっており、該炉口部は炉口シャッタ（炉口開閉機構）３１により開閉される様になっている。
【００３１】
前記筐体２の右側端部と前記サブ筐体１６の前記待機部２７の右側端部との間には前記ボート２６を昇降させる為のボートエレベータ（基板保持具昇降装置）３２が設置されている。該ボートエレベータ３２の昇降台に連結されたアーム３３には蓋体としてのシール
キャップ３４が水平に取付けられており、該シールキャップ３４は前記ボート２６を垂直に支持し、該ボート２６を前記処理室２９に装入した状態で前記炉口部を気密に閉塞可能となっている。
【００３２】
前記ボート２６は、複数枚（例えば、５０枚〜１２５枚程度）のウェーハ１８をその中心に揃えて水平姿勢で多段に保持する様に構成されている。
【００３３】
前記ボートエレベータ３２側と対向した位置にはクリーンユニット３５が配設され、該クリーンユニット３５は、清浄化した雰囲気若しくは不活性ガスであるクリーンエア３６を供給する様供給フアン及び防塵フィルタで構成されている。前記ウェーハ移載機構２４と前記クリーンユニット３５との間には、ウェーハ１８の円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合せ装置（図示せず）が設置されている。
【００３４】
前記クリーンユニット３５から吹出された前記クリーンエア３６は、前記ノッチ合せ装置（図示せず）及び前記ウェーハ移載機構２４、前記ボート２６に流通された後に、図示しないダクトにより吸込まれて、前記筐体２の外部に排気がなされるか、若しくは前記クリーンユニット３５によって前記移載室２３内に吹出される様に構成されている。
【００３５】
［基板処理装置の動作］
次に、前記基板処理装置１の動作について説明する。
【００３６】
前記ポッド９が前記ロードポート８に供給されると、前記ポッド搬入搬出口６が前記フロントシャッタ７によって開放される。前記ロードポート８上の前記ポッド９は前記ポッド搬送装置１５によって前記筐体２の内部へ前記ポッド搬入搬出口６を通して搬入され、前記回転式ポッド棚１１の指定された前記棚板１３へ載置される。前記ポッド９は前記回転式ポッド棚１１で一時的に保管された後、前記ポッド搬送装置１５により前記棚板１３からいずれか一方のポッドオープナ１４に搬送されて前記載置台２１に移載されるか、若しくは前記ロードポート８から直接前記載置台２１に移載される。
【００３７】
この際、前記ウェーハ搬入搬出口１９は前記開閉機構２２によって閉じられており、前記移載室２３には前記クリーンエア３６が流通され、充満している。例えば、前記移載室２３には前記クリーンエア３６として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、前記筐体２の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。
【００３８】
前記載置台２１に載置された前記ポッド９はその開口側場面が前記サブ筐体１６の前記正面壁１７に於ける前記ウェーハ搬入搬出口１９の開口縁辺部に押付けられると共に、蓋が前記開閉機構２２によって取外され、ウェーハ出入口が開放される。
【００３９】
前記ポッド９が前記ポッドオープナ１４によって開放されると、ウェーハ１８は前記ポッド９から前記ウェーハ移載機構２４によって取出され、前記ノッチ合せ装置（図示せず）に移送され、該ノッチ合せ装置にてウェーハ１８を整合した後、前記ウェーハ移載機構２４はウェーハ１８を前記移載室２３の後方にある前記待機部２７へ搬入し、前記ボート２６に装填（チャージング）する。
【００４０】
該ボート２６にウェーハ１８を受渡した前記ウェーハ移載機構２４は前記ポッド９に戻り、次のウェーハ１８を前記ボート２６に装填する。
【００４１】
一方（上段又は下段）のポッドオープナ１４に於ける前記ウェーハ移載機構２４によるウェーハ１８の前記ボート２６への装填作業中に、他方（下段又は上段）のポッドオープ
ナ１４には前記回転式ポッド棚１１から別のポッド９が前記ポッド搬送装置１５によって搬送されて移載され、前記他方のポッドオープナ１４によるポッド９の開放作業が同時進行される。
【００４２】
予め指定された枚数のウェーハ１８が前記ボート２６に装填されると前記炉口シャッタ３１によって閉じられていた前記処理炉２８の炉口部が前記炉口シャッタ３１によって開放される。続いて、前記ボート２６は前記ポートエレベータ３２によって上昇され、前記処理室２９に搬入（ローディング）される。
【００４３】
ローディング後は、前記シールキャップ３４によって炉口部が気密に閉塞される。
【００４４】
前記処理室２９が所望の圧力（真空度）となる様にガス排気機構（図示せず）によって真空排気される。又、前記処理室２９が所望の温度分布となる様にヒータ駆動部（図示せず）によって所定温度迄加熱される。
【００４５】
又、ガス供給機構（図示せず）により、所定の流量に制御された処理ガスが供給され、該処理ガスが前記処理室２９を流通する過程で、ウェーハ１８の表面と接触し、この際に熱ＣＶＤ反応によってウェーハ１８の表面上に薄膜が成膜される。更に、反応彼の処理ガスは、前記ガス排気機構により前記処理室２９から排気される。
【００４６】
予め設定された処理時間が経過すると、前記ガス供給機構により不活性ガス供給源（図示せず）から不活性ガスが供給され、前記処理室２９が前記不活性ガスに置換されると共に、前記処理室２９の圧力が常圧に復帰される。
【００４７】
前記ボートエレベータ３２により前記シールキャップ３４を介して前記ボート２６が降下される。
【００４８】
処理後のウェーハ１８の搬出については、上記説明と逆の手順で、ウェーハ１８及びポッド９は前記筐体２の外部へ払出される。未処理のウェーハ１８が、更に前記ボート２６に装填され、ウェーハ１８のバッチ処理が繰返される。
【００４９】
［制御部］
まず、図１を参照して、操作部２０１と、プロセス系コントローラ２０２及び搬送系コントローラ２０５を有する制御部２００とについて説明する。前記制御部２００のプロセス系コントローラ２０２は、前記処理炉２８に処理ガス等を供給するガス供給機構、前記処理炉２８内を排気するガス排気機構、前記処理炉２８を所定温度に加熱するヒータ駆動部からなる各種プロセス制御機構をそれぞれ制御する。又、前記制御部２００の搬送系コントローラ２０５は、前記処理炉２８にウェーハ１８を搬送する各搬送機構２０８をそれぞれ制御する。
【００５０】
［制御装置の概要］
次に、図１及び図２を用いて、発明の一実施の形態の制御装置の概要を比較例とともに説明する。
【００５１】
図１に示す一実施の形態の制御装置は、少なくとも所定のファイルを作成又は編集するための画面又は、各基板処理機構の状態をモニタするための画面を表示する表示部２１０を設けた操作部２０１を備える。さらに、表示部２１０等からの指示に従い、各プロセス制御機構２０４を制御するサブコントローラ２０３に指示を与え、基板を処理するよう制御するプロセス系コントローラ２０２と、各搬送機構２０８を制御する搬送制御モジュール（モーション制御部）２０６に指示を与え、基板を搬送するよう制御する搬送系コント
ローラ２０５とを有する制御部２００を備える。上記プロセス系コントローラ２０２、サブコントローラ２０３、搬送系コントローラ２０５及び搬送制御モジュール２０６から制御部２００が構成される。
【００５２】
表示部２１０の画面（操作画面）を用いてレシピを含むファイルが作成又は編集される。ファイルは操作部２０１から搬送系コントローラ２０５にダウンロードされる。操作部２０１からダウンロードされたファイルの内容に基づいて、搬送系コントローラ２０５が、搬送制御モジュール２０６に所定の指示を行い、各搬送機構２０８を制御する。搬送機構２０８が異常停止した場合、操作部２０１は、少なくとも各搬送機構２０８に備えられた各センサ２０９から搬送制御モジュール２０６を介して通知された検知データを表示部２１０に表示するように構成される。このような構成によって、表示部２１０の操作画面には少なくとも検知データが表示されるため、各搬送機構の異常停止状態、異常要因が容易に把握できるようになる。
【００５３】
さらに、少なくとも各センサ２０９からの検知データを格納する検知データ格納手段２０７が設けられる。この検知データ格納手段２０７に少なくとも検知データを蓄積しておくことで、各搬送機構２０８が異常停止した場合、各搬送機構２０８のモーション制御の動作開始から動作終了停止するまでの検知データをデータ格納手段２０７から搬送制御モジュール２０６を介して操作部２０１に通知できるようになっている。この通知によって、各搬送機構の異常停止状態、異常要因が容易に把握できるようになる。上記検知データは、異常停止要因をより確実に把握できるようにするために、モーション制御動作開始から異常停止するまでの全データであることが好ましい。
【００５４】
［比較例の制御装置］
図２に比較例の制御装置を示す。なお、図２において、図１と同一機能を有する部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略する。この比較例の制御装置では、各搬送機構２０８のモーション制御状態が、操作部２１１の表示部２２０に表示されない。また、各搬送機構２０８が異常停止した時の異常要因も表示されない。さらに、搬送制御モジュール２１６にはモーション制御動作開始から動作終了までの異常停止要因となる情報を蓄積するデータ格納手段も設けられていない。つまり、各センサ２１９からの検知データは、搬送系コントローラ２１５を経由して操作部２１１へ通知されるようになっていない。
【００５５】
このように本発明の一実施態様の制御装置によれば、操作部は、搬送機構に備えられた各センサから搬送制御モジュール介して通知された検知データを、表示部に表示するようにしたので、各搬送機構の異常停止要因、及び異常検知時のモーション制御状態の把握が可能になる。又、搬送制御モジュールにモーション制御動作開始から動作終了までの検知データを蓄積できるデータ格納手段を設けて、この蓄積された検知データを表示部に表示するようにすると、異常停止要因となる履歴情報が分かるので、各搬送機構の異常停止要因、異常検知時のモーション制御状態の詳細を正確に把握することが可能になる。
【００５６】
［制御装置の詳細］
次に、図３を用いて、本発明の一実施例の制御装置の詳細を説明する。
【００５７】
［制御部］
図３中、３８はプロセス系コントローラとしてのプロセス制御部、３９は搬送系コントローラとしての搬送制御部、４１は主制御部を示している。前記プロセス制御部３８及び前記搬送制御部３９は主制御部４１に接続されている。前記プロセス制御部３８は記憶部４２を具備し、該記憶部４２にはプロセスを実行する為に必要なプロセス実行プログラムが格納される。前記搬送制御部３９は記憶部４３を具備し、該記憶部４３にはウェーハ１８の搬送処理を実行する為の搬送プログラムと、前記ポッド搬送装置１５、前記ウェーハ
移載機構２４、前記ボートエレベータ３２等の搬送機構の動作を制御する動作制御プログラムと、搬送制御部３９と後述する搬送制御モジュールとしてのモーション制御部３０２との間でデータの入出力を行うデータ収集プログラムとが格納される。前記主制御部４１はデータ格納手段４４を具備し、該データ格納手段４４は、例えばＨＤＤ等の外部記憶装置からなる。尚、前記プロセス実行プログラム、前記搬送プログラム、前記動作制御プログラムは前記データ格納手段４４に格納されていてもよい。
【００５８】
（サブコントローラ）
又、４５、４６、４７はサブコントローラ３０１を例示している。例えば４５は前記処理炉２８の加熱制御を行う第１サブコントローラ、４６はバルブの開閉・流量制御器等の作動を制御して前記処理炉２８への処理ガスの供給流量を制御する第２サブコントローラ、４７は前記処理炉２８からのガスの排気を制御し、或は前記処理炉２８の圧力を制御する第３サブコントローラを示している。
（アクチュエータ）
又、４８、４９、５１はそれぞれアクチュエータを例示している。例えば４８は前記第１サブコントローラ４５によって制御されるヒ一タ（以下第１プロセスアクチュエ一タ）であり、４９は前記第２サブコントローラ４６によって制御される流量制御器（以下第２プロセスアクチュエータ）であり、５１は前記第３サブコントローラ４７によって制御される圧力制御バルブ（以下第３プロセスアクチュエータ）である。
【００５９】
（プロセス制御機構のセンサ）
又、５２、５３、５４は前記アクチュエータの状態を検出し、検出結果を前記第１サブコントローラ４５、前記第２サブコントローラ４６、前記第３サブコントローラ４７にフィードバックするセンサを例示している。例えば５２は温度検出器（温度センサ）、５３は流量検出器（流量センサ）、５４は圧力検出器（圧力センサ）である。尚、各サブコントローラ４５、４６、４７には、それぞれ１つのアクチュエータが設けられているが、この形態に限定されず、例えば、１つのサブコントローラに複数のアクチュエータを設けてもよい。又、同様に、各アクチュエータ４８、４９、５１には、それぞれ１つの検出器（センサ）が設けられているが、１つのアクチュエータに複数のセンサを設けても構わない。
【００６０】
（搬送制御部及びモーション制御部）
又、前記搬送制御部３９はモーション制御部３０２を制御する。該モーション制御部３０２は後述するアクチュエータ５８、５９…を制御する第１動作制御部５５、第２動作制御部５６、第３動作制御部５７からなっている。又、モーション制御部３０２は、少なくとも後述するアクチュエータ５８、５９…の状態を検出するセンサ６５、６６、…によって検出される検知データを格納する検知データ格納手段３０５を備えている。該検知データ格納手段３０５は、例えばＨＤＤ等の外部記憶装置としてもよい。又、モーション制御部３０２は、前記搬送制御部３９から送信される制御指示データ（動作パラメータ）を検知データ格納手段３０５に格納するように構成してもよい。
【００６１】
（アクチュエータ）
又、５８は前記ポッド搬送装置１５をＣＸ軸方向に駆動するモータ（以下第１動作アクチュエ一タ）を示し、５９は前記ポッド搬送装置１５をＣＺ軸方向に駆動するモータ（以下第１動作アクチュエータ）を示す。又、６１は前記ウェーハ移載機構２４をＸ軸方向に駆動するモータ（以下第２動作アクチュエータ）を示し、６２は前記ウェーハ移載機構２４をＹ軸方向に駆動するモータ（以下第２アクチュエータ）を示し、６３は前記ウェーハ移載機構２４をＺ軸方向に駆動するモータ（以下第２アクチュエータ）を示す。又、６４は前記ボートエレベータ３２を駆動するモータ（以下第３アクチュエータ）を示している。
【００６２】
（各搬送機構のセンサ）
又、各アクチュエータには、各軸に状態を検出する複数の状態検出センサ６５、６６、６７、６８、６９、７１が設けられている。複数の状態センサ６５、６６…は、振動や速度、限界点にいるかどうか等の状態を検出する。又、該状態検出センサ６５、６６、６７、６８、６９、７１は、各アクチュエータの状態を検出し、検出した結果（検知データ）を第１、第２、第３アクチュエータ５８、５９、６１、６２、６３、６４からモーションネット３０３を介してモーション制御部３０２の前記第１動作制御部５５、前記第２動作制御部５６、前記第３動作制御部５７にフィードバックする。ここで、図３では、各アクチュエータに１つの状態検出センサが設けられているが、この形態によらず、１つのアクチュエータに複数の状態検出センサを設けても構わない。例えば、１つのアクチュエータにＸ軸方向の位置を検知するセンサ、Ｙ軸方向の位置を検知するセンサ、Ｚ軸方向の位置を検知するセンサが設けられ、各軸の位置を検知するセンサがさらに複数（２つ以上）設けられてもよい。尚、本実施の形態において、便宜上、アクチュエータと状態検出センサを１：１にしている。
【００６３】
（モーション制御部の機能）
又、前記第１動作制御部５５は、前記ポッド９を前記ロードポート８から前記載置台２１に移載する前記ポッド搬送装置１５を駆動制御し、前記第２動作制御部５６は前記ポッド９からウェーハ１８を取出し、前記ボート２６に装填する前記ウェーハ移載機構２４を駆動制御し、前記第３動作制御部５７はウェーハ１８が装填された前記ボート２６を前記処理炉２８に搬入する前記ボートエレベータ３２を駆動制御する。尚、駆動制御中は、その駆動制御している間中、各軸の検知データを前記検知データ格納手段３０５に一時的に格納する。駆動制御後、例えば駆動対象が所望の位置に搬送されていた場合において、検知データが動作（モーション）ＯＫを示す検出結果データであれば、検知データ格納手段３０５に一時的に格納されていた検知データは削除される。検知データが動作（モーション）ＮＧを出す検出結果データであれば、駆動制御中に格納された各軸に対する検知データは保存される。ある軸の検出結果データが動作ＮＧであれば、他の軸の検出結果データが動作ＯＫであっても、動作ＮＧと検出された軸の検知データと共に他の軸の検知データも保存されるよう構成される。データ保存先は、主制御部４１のデータ格納手段４４が望ましい。又、検知データは、検出結果データが動作（モーション）ＯＫであっても検知データ格納手段３０５に保存しておき、ウェーハ１８が処理炉２８内で処理される工程（つまり搬送工程が終了後の所定のタイミング）に至った段階で、主制御部４１のデータ格納手段４４に保存するようにしてもよい。又、例えば、後述するように、検知データ格納手段３０５に保存された検知データのうち所定の検知データに絞ってデータ格納手段４４に保存されるよう構成してもよい。このように、検出結果データが動作ＯＫ又は動作ＮＧを示すかどうかによらず検知データを所定のデータ格納手段４４又は検知データ格納手段３０５で保存するのが好ましい。
【００６４】
上述した主制御部４１、プロセス制御部３８、サブコントローラ３０１、搬送制御部３９、及びモーション制御部３０２から制御部３７が構成される。
【００６５】
［操作部］
７２はキーボード、マウス、操作パネル等の入力デバイスを示し、７３は操作画面を表示する表示部を示し、７０は表示部７３から前記入力デバイス７２を用いて各種指示を入力する操作部を示している。表示部７３に表示される操作画面として、少なくとも所定のファイルを作成又は編集するための画面、各搬送機構の状態をモニタするための画面や発生した異常についての情報を表示する画面等を挙げることができる。操作部７０はＬＡＮ３００を介して制御部３７の主制御部４１に接続されている。なお、操作部７０は主制御部４１にダイレクトに接続されていてもよいし、一体型でもよい。
【００６６】
（プロセス制御系の機能）
前記第１サブコントローラ４５、前記第２サブコントローラ４６、前記第３サブコントローラ４７には前記プロセス制御部３８から設定値の指示、或は処理シーケンスに従った指令信号が入力され、前記プロセス制御部３８は前記第１プロセスセンサ５２、前記第２プロセスセンサ５３、前記第３プロセスセンサ５４が検出した検出結果を基に、前記第１サブコントローラ４５、前記第２サブコントローラ４６、前記第３サブコントローラ４７を統括して制御する。
【００６７】
又、前記プロセス制御部３８は、前記主制御部４１を介した前記操作部７０からの指令により、基板処理を実行する。基板処理は、前記プロセス制御部３８が前記記憶部４２に格納されたプログラムに従って、他の制御系とは独立して実行される。従って、前記搬送制御部３９、前記主制御部４１に問題が発生しても、基板処理は中断されることなく完遂される。
【００６８】
（アクチュエータの機能）
各アクチュエータ５８、５９、６１、６２、６３、６４には、それぞれトルク制御を行うか行わないかが予め設定されている。それに加えて、前記搬送制御部３９を介して前記換作部７０から目標位置、速度、加速度、減速度、トルク制限値等の動作パラメータが予め設定されている。又、前記主制御部４１から前記搬送制御部３９に処理シーケンスに従った指令信号として動作パラメータが入力される。
【００６９】
（モーション制御部のフィードバック制御機能）
モーション制御部３０２を構成する前記第１動作制御部５５は、前記状態検出センサ６５、６６が検出した検出結果データを基に前記第１アクチュエータ５８、５９を制御する。又前記第２動作制御部５６は前記状態検出センサ６７、６８、６９が検出した検出結果データを基に前記第２アクチュエータ６１、６２、６３を制御する。又前記第３動作制御部５７は前記状態検出センサ７１が検出した検出結果データを基に前記第３アクチュエータ６４を制御する。このように、各動作制御部５５、５６、５７が各状態検出センサ６５、６６…に対応する各アクチュエータ５８、５９…を個別に制御するので、搬送異常が発生しても、すべての搬送機構を停止させることなく、異常が発生していない搬送機構については、搬送動作を継続することが可能となる。
【００７０】
ここで、モーション制御部３０２は、指定のパルス数や周波数でパルス列を、モータドライバに出力する機能を搭載した制御部である。具体的には、目的位置、速度、加減速レートなどの動作パラメータに応じた制御パルスを自動的にモータドライバに出力する。又、モータドライバは、位置決め制御に必要な各種リミット入力機能も備える。アクチュエータとしてのモータ本体の制御は、モータドライバが行う。モーション制御は、このモータドライバに対してパルス信号を出力し、モータを間接的に制御する。
【００７１】
又、モータドライバは、ステッピングモータおよびサーボモータを駆動するための駆動部である。この駆動部に対して制御信号の設定／取得を行うことにより、モータ制御を行う。
【００７２】
又、各動作制御部５５〜５７は、搬送制御部３９の記憶部４３に格納されたデータ収集プログラムに基づいて各アクチュエータ５８〜６４に設けられた状態センサ６５〜７１で検出された前記検出結果データを含む検知データをモーション制御部３０２の検知データ格納手段３０５に蓄積する。
【００７３】
又、各動作制御部５５〜５７は、前記データ収集プログラムに基づいて検知データ格納
手段３０５に蓄積した前記検知データを搬送制御部３９に送る。
【００７４】
又、モーション制御部３０２は、制御対象である搬送機構に備えられた各センサ６５、６６、６７、６８、６９、７１からの検知データを、操作部２０１に直接通知するか、または搬送制御部３０２に通知してから操作部に２０１に報告する。更に、各軸の検知データをモーション制御部３０２に通知するようにすると、（１）モーション制御を終了させるトリガをモーション制御部３０２に通知できること、（２）モータに内蔵されているエンコーダの値の推移と、入力される検知データ（センサ情報）との相関関係を参照できること、（３）モーション制御が異常停止したときの検知データから異常停止の要因を識別すること、（４）モータドライバの現在の状態を正しく把握することが可能となる。又、モーション制御部３０２は、正常に搬送機構の動作が終了した場合、前記検知データ格納手段３０５に蓄積された検知データのうち最後に蓄積された検知データのみを搬送制御部３９に送信し、他の検知データを削除するよう構成しても構わない。
【００７５】
（搬送制御部の機能）
又、前記搬送制御部３９は、前記操作部７０からの指示によって搬送処理を実行し、又前記ポッド９やウェーハ１８は、前記搬送制御部３９が前記記憶部４３に格納された搬送プログラム、及び動作制御プログラムに従って他の制御系とは独立して搬送される。従って、前記プロセス制御部３８、前記主制御部４１に問題が発生しても、ウェーハ１８の搬・BR>翌ヘ中断されることなく完遂される。
【００７６】
又、前記搬送制御部３９は、モーション制御部３０２から通知された検知データを主制御部４１に渡し、主制御部４１はこの検知データをデータ格納手段４４に格納する。この格納された検知データは主制御部４１が操作部７０に報告する。
【００７７】
（データ格納手段の機能）
前記主制御部４１のデータ格納手段４４には、基板処理進行を統括するプログラム、処理内容、処理条件を設定する為の設定プログラム、前記処理炉２８の加熱や処理ガスの供給及び排気等の設定情報が格納された基板処理の為のレシピ、通信プログラム、アラーム情報表示プログラム、パラメータ編集プログラム等の各種プログラムがファイルとして格納されている。
【００７８】
（各種プログラム）
前記通信プログラムは前記プロセス制御部３８、前記搬送制御部３９とＬＡＮ３００等の通信手段を介してデータの送受信を行うものである。又、前記通信プログラムは、搬送制御モジュール３０２と各アクチュエータ５８、５９…はモーションネット３０３等の通信手段を介してデータの送受信を行うものである。又、前記アラーム情報表示プログラムは前記状態検出センサ６５、６６、６７、６８、６９、７１によって異常が検出された場合に、前記アクチュエータ５８、５９、６１、６２、６３、６４の異常原因、例えば停止した原因のアラーム情報を前記表示部７３に表示するものであり、前記パラメータ編集プログラムは前記アクチュエータ５８、５９、６１、６２、６３、６４について駆動制御し、或はトルク制限値による前記搬送機構の停止条件等を設定する為に必要なパラメータの編集を行うものである。
【００７９】
又、前記データ格納手段４４はデータ格納領域を有し、該データ格納領域にはウェーハ１８の搬送に必要とされるパラメータが格納され、更に前記搬送機構に予め設定されている設定情報、及び処理状態等の情報が格納される。又、前記状態検出センサ６５、６６、６７、６８、６９、７１によって検出された検出データが格納されるように構成してもよい。
【００８０】
（アクチュエータ）
前記アクチュエータ５８、５９、６１、６２、６３、６４には、該アクチュエータ５８、５９、６１、６２、６３、６４自体が保有しているトルク制御の有無が予め設定情報として入力されている。
【００８１】
［基板処理装置の搬送制御系の概略構成］
次に図４を用いて本発明の一実施の形態に係る基板処理装置の搬送制御系の概略構成を説明する。
【００８２】
表示部に操作画面７３ａを設けた操作部７０は、ＬＡＮ３００を介して搬送制御部３９に接続されている。この搬送制御部３９にはモーション制御部３０２が設けられている。モーション制御部３０２はモーションネット３０３を介して各搬送機構のモータドライバＤｒｖ＃１、Ｄｒｖ＃２・・・に接続されている。モーションネット３０３を介して接続するのは、各搬送機構の制御対象軸を同一周期で制御可能とするためである。モーション制御部３０２は、モーション制御中、異常停止要因となる情報を履歴として格納する検知データ格納手段３０５を備える。
【００８３】
モータドライバＤｒｖ＃１、Ｄｒｖ＃２…には、各種Ｉ／Ｏ入力が入力されるようになっている。各種Ｉ／Ｏ入力は、例えば、各搬送機構に設けられたセンサからの検知データ等である。モーション制御部３０２は、各モータドライバＤｒｖ＃１、Ｄｒｖ＃２…に対してパルス信号を出力し、各搬送機構のモータを制御する。搬送制御部３９は例えばパーソナルコンピュータで構成することができる。モーション制御部３０２は、パーソナルコンピュータに装着されるモーションコントロールボードで構成することができる。
【００８４】
［信号フロー］
次に、図５を用いて、上述した図４に示す基板処理装置の搬送制御系の信号フローを説明する。
操作部７０からの命令Ｃに基づいて、搬送制御部３９はモーション制御部３０２に搬送処理の動作指示要求ＭＤＣを送信する。この動作指示要求ＭＤＣを受信したモーション制御部３０２はモータドライブ５８ａ、５９ａ…に動作指令（制御コマンド）ＭＣを伝達する。動作命令ＭＣを受けたモータドライブ５８ａ、５９ａ…は受信確認信号ＲＡＳをモーション制御部３０２に返信する。受信確認信号ＲＡＳを受けたモーション制御部３０２は動作指示応答ＭＤＲを搬送制御部３９に送る。
【００８５】
モーション制御部３０２は、搬送機構の動作完了を監視するために、モータの動作完了信号を監視する。また、モーション制御部３０２は、軸モニタ収集要求ＭＣＣを各モータドライバ５８ａ、５９ａ…に送信する。この軸モニタ収集要求ＭＣＣは各モータドライバ５８ａ、５９ａ…に対して同一周期で要求する。同一周期で軸モニタ収集要求ＭＣＣを送信することにより時間軸を合わせる。軸モニタ収集要求ＭＣＣを送信してからチャタリング情報を収集可能とする周期間隔Ｔ３、すなわちチャタリング除去を行う時間を開けた後、モーション制御部３０２は各モータドライバ５８ａ、５９ａ…から軸モニタデータＭＤを収集する。この収集された軸モニタデータＭＤは、モーション制御部３０２に設けた検知データ格納手段３０５に蓄積される。
【００８６】
各アクチュエータ５８、５９、６１、６２、６３、６４の少なくとも１つが異常停止すると、対応するモータドライブ５８ａ、５９ａ…からモーション制御部３０２にアラーム信号が送信される。アラーム信号を受信したモーション制御部３０２は、各センサ６５、６６…からの検知データを含むデータであるモニタデータＭＤのデータ格納手段３０５への収集を停止する。モーション制御部３０２は、対応するアクチュエータの異常発生時アラーム信号ＥＡＮを搬送制御部３９に通知する。この通知には、アクチュエータ５８、５
９、６１、６２、６３、６４が停止するまでに蓄積した全軸のモニタデータＭＤが含まれる。また、モーション制御部３０２は搬送系機構の動作完了通知ＭＦＮを搬送制御部３９に通知する。
【００８７】
［タイミング］
図５に示す信号フローにおける、モーション制御部３０２とモータドライブ５８ａ、５９ａ…間の制御周期Ｔ３、モーション制御部３０２と搬送制御部３９との制御周期Ｔ２、及び搬送制御部３９と操作部７０との制御周期Ｔ１は、例えば、それぞれ百μｓｅｃ〜数ｍｍｓｅｃ、数百ｍｍｓｅｃ、及び数ｓｅｃとしている。特に、モーション制御部３０２とモータドライブ５８ａ、５９ａ…間のチャタリング情報を収集可能とする周期間隔Ｔ３を、数百μｓｅｃ〜数ｍｍｓｅｃとすることにより、センサ６５、６６…のＯＮ／ＯＦＦが認識できる細かい周期でのデータ収集を実施している。これにより、センサ６５、６６…のＯＮ／ＯＦＦ取り、すなわち検知データの取りこぼしを防ぐことを可能としている。例えば、この周期間隔Ｔ３は２ｍｍｓｅｃ以下である。なお、これらの周期間隔は、例示であって、装置性能の向上とともにより短くすることが好ましい。
【００８８】
［搬送制御］
次に、図６を用いてウェーハ搬送処理のフローについて説明する。
（ウェーハ搬送処理）
ウェーハ１８の搬送処理を行う際には、予め設定されているトルク制御の有無に加えて、前記操作部７０から目標位置、速度、加速度、減速度、トルク制御が行われる方向、トルク制御を行う場合のトルク制限値等の設定値を入力し（ステップ６０２）、搬送処理の実行指示を入力する（ステップ６０３）。モーション制御部３０２に設けた検知データ格納手段３０５の検知データをクリアした後（ステップ６０４）、前記記憶部４３に格納されている搬送プログラム、及び搬送プログラムからの指示に従って動作制御プログラムが実行される（ステップ６０５）。又、データ収集プログラムに基づいて各センサ６５、６６…７１からの検知データの収集が開始される（ステップ６０６）。
【００８９】
（搬送プログラムの実行）
前記搬送プログラムが実行されると、前記搬送制御部３９がモーション制御部３０２（前記第１動作制御部５５、前記第２動作制御部５６、前記第３動作制御部５７）を介して前記ポッド搬送装置１５、前記ウェーハ移載機構２４、前記ボートエレベータ３２の各搬送機構を駆動制御する（ステップ６０７）。
【００９０】
（トルク制御）
又、予め前記アクチュエータ５８、５９、６１、６２、６３、６４に設定されているトルク制御が行われる場合には、前記操作部７０から入力された設定値を制限値とし、前記アクチュエータ５８、５９、６１、６２、６３、６４にそれぞれ設けられたモータドライバ５８ａ、５９ａ、６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａの少なくとも１つが前記制限値を越えた値を検出した際には、対応する前記搬送機構を駆動する前記アクチュエータ５８、５９、６１、６２、６３、６４が停止するとともにアラーム信号を前記モーション制御部３０２に送信される。
【００９１】
（ウェーハ搬送処理についての判断）
モーション制御部３０２は、前記搬送機構が停止した際の検知データに基づいて、前記アクチュエータ５８、５９、６１、６２、６３、６４が搬送処理途中で停止したか否かを判断する（ステップ６０８）。
【００９２】
（ウェーハ搬送処理正常終了）
前記アクチュエータ５８、５９、６１、６２、６３、６４のいずれもが搬送処理途中で
停止しない場合、ウェーハ１８の搬送処理が正常に終了したと判断する（ステップ６０９）。この場合、検知データ格納手段３０５には、当該搬送処理の最終検知データ（検出結果データ）のみが保持され（ステップ６１０）、処理が終了する。ここで、正常終了の時に、検知データ格納手段３０５に当該搬送処理の最終検知データのみを保持するのは、データ格納手段３０５の有効利用のためである。尚、この最終検知データを前記搬送制御部３９の記憶部４３へ送信するようにしてもよい。
【００９３】
（アクチュエータ停止）
前記アクチュエータ５８、５９、６１、６２、６３、６４の少なくとも１つが停止すると、前記状態検出センサ６５、６６、６７、６８、６９、７１で検出される検知データの収集が終了される（ステップ６１１）。そして、モーション制御部３０２より検知データ格納手段３０５内に蓄積された検知データは、アラーム信号と共に搬送制御部３９へ通知され、前記搬送制御部３９を介して対応するアクチュエータの停止原因を示す前記検知データがアラーム信号と共に前記主制御部４１に通知され（ステップ６１２）、該アラーム信号の通知によってアラーム情報表示プログラムが立ち上がり（ステップ６１３）、前記モニタ７３にアラーム情報が表示される（ステップ６１４）。
【００９４】
（搬送処理異常終了）
又、前記アクチュエータ５８、５９、６１、６２、６３、６４の少なくとも１つが停止し、前記アラーム信号が前記主制御部４１に通知されると、前記搬送制御部３９に対してウェーハ１８の搬送処理中断の命令が出され（ステップ６１５）、アクチュエータが全て停止することで（ステップ６１６）、ウェーハ１８の搬送処理が中断され（ステップ６１７）、処理が終了する。
【００９５】
（ステップ６１４の詳細説明）
図７を用いて、前述したアラーム情報表示ステップ６１４の詳細を説明する。
最初に、後述するシステムメイン画面上にアラーム情報が表示され（ステップ７０１）、所定の操作に応じて操作画面７３ａに障害情報一覧が表示される（ステップ７０２）。障害情報一覧から所定の情報を選択すると（ステップ７０３）、異常停止時のシステムメイン画面をキャプチャしたキャプチャ画面が表示される（ステップ７０４）。キャプチャ画面の各搬送機構のアイコンを表示した搬送メイン画面から各搬送機構の各軸を表示した軸モニタ画面が表示される（ステップ７０５）。異常停止した搬送機構、例えばウェーハ移載機が表示される（ステップ７０６）。このウェーハ移載機画面表示領域をクリックすると、ウェーハ移載機の拡大図に画面が切り替わり、異常軸、例えばＹ軸が表示される（ステップ７０７）。表示されたＹ軸表示領域をクリックすると、最後に異常停止を把握するモーション制御状態画面が表示される（ステップ７０８）。
【００９６】
［異常停止時の検知データ表示操作］
次に、図８を用いて、前述した図６、図７のフローに対応する表示部の操作画面を説明する。図８は、搬送機構が異常停止した時（アラームが発生したとき）の検知データを操作画面に表示させるまでの表示部の画面の推移を示す。推移は矢印で示す。
図８における（ａ）は現在のシステム状態を監視しているシステムメイン画面、（ｂ）は半導体製造装置で発生しているアラーム又は発生したアラームを確認するためのアラームメニュー画面、（ｃ）は今までに半導体製造装置で発生したアラームの一覧を表示する障害情報一覧画面、（ｄ）はアラームが発生したときのシステムの状態を表示する画面であってシステムメイン画面をキャプチャしたキャプチャ画面、（ｅ）はアラームが発生したときの搬送機構の状態を表示する搬送メイン画面、（ｆ）はアラームが発生したときの搬送機構の各軸の状態を参照するためのメニューをアイコン表示する軸モニタ画面、（ｇ）はアラームが発生したときの装置が具備している移載機の軸モニタ情報を拡大表示する軸モニタ情報表示画面、そして（ｈ）は本実施の形態の要部となる異常停止時のモーショ
ン制御状態アラーム情報を把握する表示画面（操作画面）である。
【００９７】
前記操作部７０より各搬送機構のパラメータ編集を実行することで、前記主制御部４１のデータ格納手段４４に格納されているパラメータ編集プログラムが立ち上がり、前記表示部７３に図示しないパラメータ編集画面が表示される。編集されたパラメータに基づいて、搬送処理が開始される。
【００９８】
搬送処理が開始された後、画面はシステム状態を監視するシステム画面に切り替わる（図８（ａ））。このシステム画面で、所定のアラーム情報が表示された（アラームが発生した）場合において、システムメイン画面の「アラームボタン」が押されると、アラームメニュー画面に切り替わり（図８（ｂ））、「発生履歴ボタン」が表示される。発生履歴ボタンが押されると、将来履歴一覧画面に切り替わり、障害履歴一覧が表示されるので（図８（ｃ））、この障害履歴一覧から特定障害を選択して「開く」ボタンを押す。「開く」ボタンが押されると異常停止時のシステムメイン画面をキャプチャしたキャプチャ画面に切り替わる（図８（ｄ））。
ここで、キャプチャ画面中の搬送メイン領域がクリックされると、搬送メイン画面に切り替わり、「軸モニタ」ボタンが表示される（図８（ｅ））。「軸モニタ」ボタンが押されると、軸モニタ画面に切り替わり、各搬送機構のアイコンが現れるとともに、異常停止している特定の搬送機構が強調して表示される。図示例の場合、ウェーハ移載機である（図８（ｆ））。特定されたウェーハ移載機のアイコンをクリックすると、ウェーハ移載機画面に切り替わり、特定の障害発生軸（本実施の形態によればＹ軸ボタン）が強調して表示される（図８（ｇ））。表示された障害発生軸を選択すると、アラーム情報画面に切り替わり、異常発生時のモーション制御状態及び異常終了要因が表示される（図８（ｈ））。尚、障害が発生していない他の軸ボタン（Ｘ軸・Ｚ軸など）を押下すると異常発生時の他の軸（Ｘ軸・Ｚ軸など）のモーション制御状態が表示される。尚、この場合、図８（ｈ）に示す画面と画面構成が同じであるのは言うまでもない。
このように、本実施の形態では、システムメイン画面から所定の操作を繰り返してアラーム情報画面に切り替えるように構成されているが、前述のアラーム情報表示プログラムが起動すると、操作画面が自動的にアラーム情報画面に切り替わるようにしてもよい。同様に、操作画面が自動的に障害の発生した搬送機構を拡大表示する画面に切り替わるようにしてもよい。
【００９９】
［アラーム情報画面］
次に、前述した図８（ｈ）のアラーム情報画面を、図９に拡大して詳細に説明する。
【０１００】
（アラーム情報）
図９は、前記表示部の操作画面７３ａに表示されたアラーム情報の一例であり、前記操作画面７３ａには前記第２アクチュエータ６２の異常停止時のモーション制御情報、及び前記状態検出センサ６８によって検出された停止原因が表示されている。つまり、図９は、ウェーハ移載機のＹ軸で異常発生した際の検知データを示すアラーム情報画面を示す。
【０１０１】
（ウィンドウの説明）
図９中、７４ａはモーション制御を実行していたコマンド種別を表示するコマンド表示ウィンドウを示しており、７４は異常終了要因発生時のモーション制御情報の現在値を表示する制御情報表示ウィンドウを示しており、７５は異常終了要因を表示するアラーム情報表示ウィンドウを示している。
【０１０２】
（アラーム情報表示プログラム立ち上がり）
前記第２アクチュエータ６２が停止した際には、前記状態検出センサ６８が検出した停止原因を含む検知データをアラーム信号と共に出力し、前記搬送制御部３９を介して前記
主制御部４１が前記アラーム信号を受信することで、前記アラーム情報表示プログラムが立ち上がる。
【０１０３】
（コマンド表示ウィンドウ）
前記コマンド表示ウィンドウ７４ａには、動作コマンド９１と動作ステータス９２が表示されており、動作コマンド９１は例えば移動コマンド１、２、…というように、また動作ステータス９２は実行中、停止中…というように表示され、実行コマンドの状態が分かるようになっている。
【０１０４】
（制御情報表示ウィンドウ）
制御情報表示ウィンドウ７４には、制御対象である搬送機構の各軸に応じて予め設定された８項目の現在値が表示されている。図示例では、異常終了要因発生時のモーション制御情報が表示されている。例えば図９では、制御対象である搬送機構の各軸に対して設定された項目の現在値と、搬送機構に備えられた各センサからの検知データとを表示する。この各センサからの検知データは、データ格納手段３０５に蓄積していたデータである。尚、ここで表示されているのはウェーハ移載プレート２５のＹ軸に係るモーション制御情報である。
【０１０５】
９３は、ウェーハ移載プレート２５のＹ軸の指令位置（パラメータ）を示している。９４は、この指令位置に対応するセンサからの実際の検知データ（フィードバック位置）を示している。
【０１０６】
９５は、ウェーハ移載プレート２５のＹ軸の指令速度（パラメータ）を示している。９６は、この指令速度に対応する実際の算出データ（フィードバック速度）を示している。
【０１０７】
９７は、ウェーハ移載プレート２５のＹ軸の指令トルク（制限値）を示している。９８は、ウェーハ移載プレート２５のＹ軸の設定値（パラメータ）と現在値との位置偏差を示している。
【０１０８】
９９は、ウェーハ移載プレート２５のＹ軸の最新発生のアラームコードを示している。１００は、ウェーハ移載プレート２５のＹ軸の目標位置（座標系）を示している。
【０１０９】
図９に示す図示例の制御情報表示ウィンドウ７４では、ウェーハ移載プレート２５のＹ軸の検知データが未だ設定値（パラメータ）に達することなく、異常停止したことを示している。その要因として、マイナスリミット信号（−ＬＩＭＩＴ）７７の点灯（例えば異常をイメージさせる黄色に点灯）により、ウェーハ載置プレート２５がＹ軸のポッド９方向の限界地点にいたことが分かる。更に、実際に−ＬＩＭＩＴセンサのＩ／Ｏ入力を受信していたことがわかる。したがって、異常検知時の基板搬送機構の動作状態を正確に把握することができ、異常停止要因を即座に突き止めることができる。
【０１１０】
（アラーム情報表示ウィンドウ）
アラーム情報表示ウィンドウ７５には、異常終了要因種別を切り換えるために終了要因１、及び終了要因２のボタンが表示されている。終了要因１は要因情報として収集するステータスであり、終了要因２はＩ／Ｏ情報として収集するＩ／Ｏ要因である。なお、図示例では終了要因は２種類しか用意していないが、将来、上記の他に要因情報を収集する必要性が出てきた場合、終了要因３、終了要因４…というように、終了要因ボタンを追加することも可能である。
【０１１１】
終了要因１または終了要因２のボタンのいずれかを押すかで停止要因の表示内容が切り替わるが、終了要因１ボタンが押されている図９の場合、前記アラーム情報表示ウィンド
ウ７５には、前述した−ＬＩＭＩＴ７７をはじめとして１１項目の停止要因が表示されており、前記状態検出センサ６７が検出した停止要因に応じて、１１項目のうち該当する箇所を点灯させることができる。詳細は後述する。
【０１１２】
［アラーム情報の一例］
図１０（Ａ）〜図１０（Ｃ）は、「終了要因１」に切り換えられたときの、コマンドＩ／Ｏ、コマンドステータス２、コマンドステータス１における前記状態検出センサ６７によって検出されて表示される各種の停止原因をそれぞれ示す。
【０１１３】
図１０（Ａ）は、前述したようにコマンドＩ／Ｏにおける１１項目の停止要因を示す。この１１項目の停止要因を以下に示す。
【０１１４】
（停止要因）
７６は、前記ウェーハ載置プレート２５がＸ軸の前記ボート２６方向の限界地点にいるかどうかを示すプラスリミット信号（＋ＬＩＭＩＴ）を示している。
【０１１５】
７７は、前記ウェーハ載置プレート２５がＸ軸の前記ポッド９方向の限界地点にいるかどうかを示すマイナスリミット信号（−ＬＩＭＩＴ）を示している。
【０１１６】
７８は振動検知センサによる振動の検知を示す振動センサ信号（ＶＩＢ．ＳＮＳ）を示しており、７９は非常停止信号入力の有無を示す非常停止信号（ＥＳＴＰ）を示している。
【０１１７】
８１はブレーキが作動中か解除中であるかを示すブレーキ作動信号（ＢＲＫ＿ＯＮ）を示している。
【０１１８】
８２はブラスリミットの手前側に設定した論理的な位置にいるかどうかを示すプラスソフトリミット信号（＋Ｓ．ＬＩＭＩＴ）を示している。
【０１１９】
８３はマイナスリミットの手前側に設定した論理的な位置にいるかどうかを示すマイナスソフトリミット信号（−Ｓ．ＬＩＭＩＴ）を示している。
【０１２０】
８４は前記操作部７０より入力したトルク制限値以内で動作しているかどうかを示すトルク制限実施信号（Ｔ＿ＬＩＭ）を示している。
【０１２１】
８５は前記操作部７０より入力した指定速度以内で動作しているかどうかを示す速度制限実施信号（Ｖ＿ＬＩＭ）を示している。
【０１２２】
８６は前記操作部７０より入力した指定速度と一致しているかどうかを示す速度一致信号（Ｖ＿ＣＭＰ）を示している。
【０１２３】
又、８７はゼロ速度検出状態を示すゼロ速度検出信号（ＺＳＰＤ）を示している。
【０１２４】
図１０（Ｂ）は、コマンドステータス２における２２項目の停止要因を示す。この２２項目の停止要因を以下に示す。
【０１２５】
１１０はモーションコマンドである一次停止状態信号（ＰＡＵＳＥ）を示している。１１１は、上記コンピュータからの停止要求情報信号（ＣＡＮＣＥＬ）を示している。
【０１２６】
１１２は実行しているモーションコマンドの位置指令フィルタ信号（ＡＣＣＦＩＬ）を
示しており、２ビット表現になっている。１１３はラッチ位置１のラッチ完了状態信号（Ｌ＿ＣＭＰ１）を示している。
【０１２７】
１１４はラッチ位置２のラッチ完了状態信号（Ｌ＿ＣＭＰ２）を示している。１１５は位置情報有効状態信号（ＰＯＳ＿ＲＤＹ）を示している。
【０１２８】
１１６はモータ電源ＯＮ情報（ＰＯＮ）を示している。１１７はモータ通電準備完了状態信号（Ｍ＿ＤＲＹ）を示している。
【０１２９】
１１８はサーボモータＯＮ情報（ＳＶ＿ＯＮ）を示している。１１９はモータから取得するモニタ種別信号（ＳＥＬ＿ＭＯＮ１）を表示しており、４ビット表現になっている。
【０１３０】
１２０はモータから取得するモニタ種別信号（ＳＥＬ＿ＭＯＮ２）を表示しており、４ビット表現になっている。１２１はモータから取得するモニタ種別信号（ＳＥＬ＿ＭＯＮ３）を示しており、４ビット表現になっている。
【０１３１】
図１０（Ｃ）は、コマンドステータス１における１４項目の停止要因を示す。この１４項目の停止要因を以下に示す。
【０１３２】
１５０はドライバのアラーム発生状態信号（Ｄ＿ＡＬＭ）を示している。１５１はドライバのワーニング発生状態信号（Ｄ＿ＷＡＲ）を示している。
【０１３３】
１５２はドライバがコマンドを受け付けられる状態であるか否かを示すコマンドレディイ信号（ＣＭＤＲＤＹ）を示している。１５３はアラームを解除するアラームクリア信号（ＡＬＭ＿ＣＬＲ）を示している。
【０１３４】
１５４はドライバへ送信したコマンドのＩＤ信号（ＲＣＭＤ＿ＩＤ）を示しており、２ビット表現になっている。１５５はドライバへ送信したコマンドの応答結果信号（ＣＭＤ＿ＡＬＭ）を示しており、４ビット表現になっている。
【０１３５】
１５６はドライバとの通信状態信号（ＣＯＭＭ＿ＡＬＭ）を示しており、４ビット表現になっている。
【０１３６】
［アラーム情報の一例］
ここでは、前述した図１０（Ａ）〜図１０（Ｃ）のうちの図１０（Ａ）についてさらに詳細に説明する。
【０１３７】
図１１（Ａ）〜図１１（Ｃ）は、図１０（Ａ）に対応する前記モニタ７３に表示された終了要因１のコマンドＩ／Ｏアラーム情報の一例であり、前記モニタ７３には前記状態検出センサ６７によって検出された停止原因が表示されている。なお、前記モニタ７３には前記第２アクチュエータ６１のモーション制御情報の表示は省略してある。
【０１３８】
（オーバーラン）
図１１（Ａ）の前記アラーム情報表示ウィンドウ７５では、前記＋ＬＩＭＩＴ７６のみが点灯しており、これは前記ウェーハ載置プレート２５が前記ボート２６方向にオーバーランしたことによる停止を示している。
【０１３９】
（振動）
図１１（Ｂ）の前記アラーム情報表示ウィンドウ７５では、前記十ＬＩＭＩＴ７６と前記ＶＩＢ．ＳＮＳ７８が点灯しており、これはウェーハ１８の搬送速度が達すぎることに
よる振動、或は前記ウェーハ載置プレート２５が何処かに衝突したことによる振動が振動検知センサによって検知されたことによる停止を示している。
【０１４０】
（トルク制限値超え）
図１１（Ｃ）の前記アラーム情報表示ウィンドウ７５では、前記十ＬＩＭＩＴ７６と前記Ｔ＿ＬＩＭ８４が点灯しており、これは前記ウェーハ移載機構２４が前記操作部７０より入力したトルク制限値を越えた範囲で動作したことによる停止を示している。
【０１４１】
（＋ＬＩＭＩＴ点灯理由）
尚、図１１（Ｂ）、図１１（Ｃ）に於いても、前記＋ＬＩＭＩＴ７６が点灯しているのは、前記状態検出センサ６７が異常を検出した際に、前記ウェーハ移載機構２４を最速で停止させた為である。
【０１４２】
（電源系）
ここでは、図１４を用いてさらにウェーハ移載機構２４の電源系アラーム情報を説明する。図１４の前記アラーム情報表示ウィンドウ７５では、前記ＰＯＮ１１６と前記ＳＶ＿ＯＮ１１８が点灯しており、これはモータ電源もサーボモータも共にＯＮになっているにもかかわらずウェーハ移載プレート２５のＹ軸が停止していることを示している。
【０１４３】
［実施の形態の効果］
基板処理装置にて、モーション制御が異常停止したとき、表示部にて異常停止のアラームが表示される。しかし、比較例のものは、アラーム発生していない他の軸との関連性がわからなかった。このため、停止要因分析や復旧作業にも影響を与えてしまうという問題があった。
【０１４４】
本発明の一実施の形態によれば、上述した問題を解消して、以下に挙げる一つ又はそれ以上の効果を有する。
【０１４５】
（１）本実施の形態の基板処理装置によれば、搬送機構に備えられたセンサ、搬送制御モジュール、搬送系コントローラ、操作部を備え、異常発生時に、センサが検知した検知データを表示部に表示するよう構成されるので、異常発生時の搬送機構の状態を容易に把握でき、異常要因を容易に判断できる。
【０１４６】
（２）半導体製造装置の表示部にモーション制御状態を表示できる画面（図９）を設けたことにより、半導体製造装置におけるモーション制御の異常停止要因を把握できる。
基板処理装置としての実施の形態の半導体製造装置は、所定のファイルを作成又は編集するための画面や各種基板処理機構の状態をモニタするための画面を表示する表示部を設けた操作部と、前記表示部からの指示に従い基板を処理するよう制御するプロセス系コントローラ、及び前記各搬送機構を制御する搬送制御モジュールに指示を与え前記基板を搬送するよう制御する搬送系コントローラを有する制御部と、を備え、前記搬送系コントローラが、前記操作部からダウンロードされた前記ファイルの内容に基づいて、前記搬送制御モジュールに所定の指示を行い、前記搬送機構を制御する際に、前記搬送機構が異常停止した場合、前記操作部は、制御対象である前記搬送機構に備えられた各種センサから前記搬送制御モジュールを介して通知された検知データを前記表示部に表示するようにしたものである。
これにより、搬送機構が異常停止した場合、搬送機構に備えられた各種センサからの検知データが表示部に表示されるので、異常停止対象の搬送機構の異常停止状態を容易に把握できる。検知データは、各搬送機構を制御する搬送制御モジュールを介して通知されるので、表示部に異常停止対象の搬送機構の異常停止要因を容易に把握できる。異常停止要因特定の信頼性を向上できる。
【０１４７】
（３）前記表示部は、制御対象である前記搬送機構の各軸に応じてパラメータを設定する設定画面を有する。このように表示部が、搬送機構の各軸に応じてパラメータを設定する設定画面を有することにより、搬送機構の各軸を制御する設定パラメータを表示部に表示できるので、異常停止時に、搬送機構の各軸の異常停止状態をパラメータレベルでさらに容易に把握できる。
【０１４８】
（４）前記表示部は、制御対象である前記搬送機構の各軸に対して設定されたパラメータの現在値と、前記搬送機構に備えられた各種センサからの検知データとを表示するモニタ画面を有する。このように表示部が、制御対象である前記搬送機構の各軸に対して設定された項目の現在値と、搬送機構に備えられた各種センサからの検知データとを表示するモニタ画面を有することにより、設定値と検出値との対応を取ることができるので、異常停止時に、搬送機構の各軸の異常停止状態をさらに容易に把握できる。
【０１４９】
（５）前記各種センサからの検知データが該各種センサによって検出された異常要因を示すものであり、前記モニタ画面は、前記異常要因を表示させる手段を有する。このように表示部が、制御対象である前記搬送機構の各軸に対して設定された項目の現在値と、搬送機構に備えられた各種センサからの異常要因とを表示するモニタ画面を有することにより、現在値と異常要因との対応を取ることができるので、異常停止時に、搬送機構の各軸の異常停止状態、異常要因をさらに容易に把握できる。
【０１５０】
（６）前記搬送制御モジュールは、前記基板搬送機構が動作している際に、制御対象である前記搬送機構に備えられた各種センサからの検知データを蓄積する機能を有する。このように搬送制御モジュールが、基板搬送機構が動作している際に、制御対象である搬送機構に備えられた各種センサからの検知データを蓄積する機能を有することにより、検知データの取りこぼしを防ぐことができる。
また、蓄積された検知データに基づいて搬送機構が異常停止するまでの履歴を知ることができるから、搬送機構の異常停止状態をさらに容易に把握できる。特に、蓄積される検知データが、搬送機構の動作が開始されてから終了するまでのデータであると、異常停止状態、異常要因を一層容易に把握できる。又、異常停止要因を記録として残せるため、異常停止要因の統計を取ることができ、寿命管理・再発防止に役立てることができる。
【０１５１】
又、制御対象軸を同一周期で制御するしかけを設け、制御中は、異常停止要因となる情報を履歴として格納しておく機能を有することにより、センサ等のＯＮ／ＯＦＦ取りこぼしを防ぐことができる。特に、前記センサと前記搬送制御モジュール間のデータ処理周期は、前記搬送制御モジュールと前記搬送系コントローラ間のデータ処理周期より短い。このためセンサＯＮ／ＯＦＦを認識できる細かい周期でのデータ収集が実施されるので、センサなどのＯＮ／ＯＦＦ取りこぼしを確実に防ぐことができる。前記センサと前記搬送制御モジュール間のデータ処理周期は、数μｓ〜数ｍｓである。従って、センサのＯＮ／ＯＦＦを数μｓ〜数ｍｓの周期でデータ収集を実施することで、センサなどのＯＮ／ＯＦＦ取りこぼしをより確実に防ぐことができる。
【０１５２】
又、上記のように同一周期でデータ処理周期を短くすることにより、チャタリング情報を収集可能にし、異常発生時アラーム通知、異常停止要因特定の信頼性を向上できる。
【０１５３】
（７）前記搬送制御モジュールは、制御対象である前記搬送機構に備えられた各種センサからの検知データを、それぞれ時系列に複数蓄積する機能を有する。このように搬送制御モジュールが、制御対象である搬送機構に備えられた各種センサからの検知データを、それぞれ時系列に複数蓄積する機能を有することにより、同一時間軸上の搬送機構内又は搬送機構間の検知データを比較することができるので、搬送機構の異常停止状態、停止要因
をさらに容易に把握できる。
【０１５４】
（８）前記搬送制御モジュールは、異常が発生した際に少なくとも制御対象である前記搬送機構に備えられた各種センサからの検知データを前記搬送系コントローラに報告することにより、モーション制御を終了させるトリガ通知、エンコーダなどの値の移り変わりと入力されるセンサ情報との相関関係の参照、モーション制御が異常停止したときの入力センサ情報から異常停止の要因の識別、モータドライバの現在の状態の把握などの効果を奏する。
【０１５５】
又、搬送制御モジュールが、異常が発生した際に制御対象である搬送機構の各軸に備えられた各種センサからの検知データを、異常が発生した軸に備えられたセンサだけでなく、異常が発生していない軸に備えられたセンサからの検知データも含めて、搬送系コントローラに報告することにより、搬送系コントローラは報告された検知データから異常停止状況、例えば搬送機構が並列動作する複数の軸をもっているような場合には、複数軸の干渉による異常停止であるか否かを判断ができる。
【０１５６】
（９）本実施の形態によれば、モーション制御異常停止時に次のような情報の把握ができる。異常停止対象軸の異常停止状態の把握、異常停止していない軸の同一時間軸の状態把握、異常停止対象軸の異常停止要因の把握、異常停止状態・要因の把握である。これらの情報の把握により復旧作業を円滑にできる。又、異常停止要因を記録として残せるため、異常停止要因の統計を取ることができ、寿命管理・再発防止に役立てることができる
【０１５７】
（１０）又、前記搬送制御モジュールは、前記搬送機構の各軸に備えられた前記センサが検知した検知データを格納する格納手段を有し、前記各軸を動作させると共に前記格納手段に前記検知データを格納し、前記動作ＯＫであれば、前記格納手段内の前記検知データを削除し、前記動作ＮＧであれば、前記格納手段内の前記検知データを保存するよう構成されることによって、動作ＮＧを把握しその要因を突き止めるのに必要なデータのみを格納手段に残すことができるので、格納手段資源の有効利用が図れる。
【０１５８】
（１１）搬送制御モジュールは、格納手段内に格納されたデータであって、異常が発生した軸または異常が発生していない軸にそれぞれ備えられたセンサによる検知データを搬送系コントローラを介して操作部に報告するよう構成されることによって、搬送系コントローラは報告された検知データから異常停止状況、例えば搬送機構が並列動作する複数の軸をもっているような場合には、複数軸の干渉による異常停止であるか否かを判断できる。
【０１５９】
（１２）表示部は、搬送機構の各軸に応じて設定された項目の現在値と、搬送機構の各軸に備えられたセンサからの検知データとを少なくとも表示するアラーム情報画面を有し、搬送機構が異常停止した場合、異常発生した軸に備えられたセンサが検知した検知データを、操作部によりアラーム情報画面に表示することにより、異常発生時の搬送機構の状態を一層容易に把握でき、異常要因を一層容易に判断できる。
【０１６０】
（１３）センサと搬送制御モジュールとの間のデータ処理周期と、搬送系コントローラと搬送制御モジュールとの間のデータ処理周期とを異なるよう構成することによって、センサのＯＮ／ＯＦＦを認識できる細かい周期での検知データの収集を実施することにより、センサのＯＮ／ＯＦＦ取りこぼしを防ぐことができる。したがって、搬送機構の状態をより正確に把握できる。また、搬送機構の各軸を動作させると共に格納手段に検知データを格納し、動作ＯＫであれば、格納手段内の検知データを削除し、動作ＮＧであれば、格納手段内の検知データを保存するよう構成されることによって、動作ＮＧを把握しその要因を突き止めるのに必要なデータのみを格納手段に残すことができるので、格納手段資源の有効利用が図れる。
【０１６１】
なお、本発明の基板処理装置は、半導体製造装置だけでなくＬＣＤ装置のようなガラス基板を処理する装置に適用できる。また、本実施の形態では、縦型装置について記載したが枚葉装置、横型装置についてだけでなく、他の基板処理装置、例えば露光装置、リソグラフィ装置、塗布装置などにも同様に適用できる。
【０１６２】
［付記］
以下に本発明の好ましい態様を付記する。
【０１６３】
（付記１）
基板を搬送する搬送機構に備えられた少なくとも一つ以上のセンサと、
該センサが検知した検知データを受信する搬送制御モジュールと、
該搬送制御モジュールを制御する搬送系コントローラと、
前記検知データに基づいて前記搬送機構の状態をモニタする表示部を少なくとも備えた操作部と、
で少なくとも構成された基板処理装置であって、
異常発生時に、少なくとも前記センサが検知した前記検知データを前記表示部に表示するよう構成される基板処理装置。
【０１６４】
（付記２）
前記表示部は、制御対象である前記搬送機構の各軸に応じて設定する設定画面を有することが好ましい。
【０１６５】
（付記３）
前記表示部は、制御対象である前記搬送機構の各軸に対して設定された項目の現在値と、前記搬送機構に備えられた各種センサからの検知データとを表示するモニタ画面を有することが好ましい。
【０１６６】
（付記４）
前記各種センサからの検知データが該各種センサによって検出された異常要因を示すものであり、前記モニタ画面は、前記異常要因を表示させる手段を有することが好ましい。
【０１６７】
（付記５）
前記搬送制御モジュールは、前記基板搬送機構が動作している際に、制御対象である前記搬送機構に備えられた各種センサからの検知データを蓄積する機能を有することが好ましい。
【０１６８】
（付記６）
前記搬送制御モジュールは、制御対象である前記搬送機構に備えられた各種センサからの検知データを、それぞれ時系列に複数蓄積する機能を有することが好ましい。
【０１６９】
（付記７）
前記搬送制御モジュールは、前記搬送機構の各軸に備えられた前記センサが検知した検知データを格納する格納手段を有し、前記各軸を動作させると共に前記格納手段に前記検知データを格納し、前記動作ＯＫであれば、前記格納手段内の前記検知データを削除し、前記動作ＮＧであれば、前記格納手段内の前記検知データを保存するよう構成されることが好ましい。
【０１７０】
（付記８）
前記格納手段は、少なくとも前記搬送機構の動作が開始されてから終了するまでに前記
各軸に備えられたセンサが検知した検知データが格納されることが好ましい。
【０１７１】
（付記９）
前記動作ＮＧにより異常が発生した際、前記搬送制御モジュールは、少なくとも前記格納手段内の前記検知データを含むデータを前記搬送系コントローラを介して前記操作部に報告するよう構成されることが好ましい。
【０１７２】
（付記１０）
前記搬送制御モジュールは、少なくとも前記格納手段内に格納されたデータであって、異常が発生した軸または異常が発生していない軸にそれぞれ備えられたセンサによる前記検知データを前記搬送系コントローラを介して前記操作部に報告するよう構成されることが好ましい。
【０１７３】
（付記１１）
前記格納手段内に格納されるデータは、前記検知データと共に前記搬送機構を制御するための少なくとも一つ以上の制御指示データが含まれることが好ましい。
【０１７４】
（付記１２）
基板を搬送する搬送機構に備えられた少なくとも一つ以上のセンサと、
該センサが検知した検知データを受信する搬送制御モジュールと、
該搬送制御モジュールを制御する搬送系コントローラと、
前記検知データに基づいて前記搬送機構の状態をモニタする表示部を少なくとも備えた操作部と、
で少なくとも構成された基板処理装置の異常表示方法であって、
異常発生時に、少なくとも前記センサが検知した前記検知データを前記表示部に表示するよう構成される基板処理装置の異常表示方法。
【０１７５】
（付記１３）
前記表示部は、前記搬送機構の各軸に応じて設定された項目の現在値と、前記搬送機構の各軸に備えられたセンサからの検知データとを少なくとも表示するアラーム情報画面を有し、
前記搬送機構が異常停止した場合、前記異常発生した軸に備えられたセンサが検知した検知データを、前記操作部により前記アラーム情報画面に表示することが好ましい。
【０１７６】
（付記１４）
基板を搬送する搬送機構に備えられたセンサと、
該センサが検知した検知データを受信する搬送制御モジュールと、
該搬送制御モジュールを制御する搬送系コントローラと、を少なくとも備え、
前記センサと前記搬送制御モジュールとの間のデータ処理周期と、前記搬送系コントローラと前記搬送制御モジュールとの間のデータ処理周期とが異なるよう構成された基板処理装置であって、
前記搬送制御モジュールは、前記搬送機構の各軸に備えられたセンサが検知した検知データを格納する格納手段を有し、前記各軸を動作させると共に前記格納手段に前記検知データを格納し、前記動作ＯＫであれば、前記格納手段内の前記検知データを削除し、前記動作ＮＧであれば、前記格納手段内の前記検知データを保存するよう構成される基板処理装置。
【０１７７】
（付記１５）
少なくとも搬送機構の状態をモニタするための画面を表示する工程と、
前記搬送機棟を制御する搬送制御モジュールに制御指示データを送信して前記搬送機構
に基板を搬送させるよう制御する工程と、
前記搬送機横の各軸に備えられたセンサが検知した検知データを格納する工程と、
前記各軸を動作させると共に前記格納手段に前記検知データを格納し、前記動作ＯＫであれば、前記格納手段内の前記検知データを削除し、前記動作ＮＧであれば、前記格納手段内の前記検知データを保存する工程と、
を有する基板搬送制御方法。
【０１７８】
（付記１６）
基板を搬送する搬送機構に備えられたセンサと、
該センサが検知した検知データを受信する搬送制御モジュールと、
該搬送制御モジュールを制御する搬送系コントローラと、
該搬送系コントローラと前記検知データを含むデータを送受信する操作部とで少なくとも構成され、
前記センサと前記搬送制御モジュールとの間のデータ処理周期と、前記搬送制御モジュールと前記搬送系コントローラとの間のデータ処理周期と、前記搬送系コントローラと前記操作部との間のデータ処理周期とが異なる基板処理装置。
【符号の説明】
【０１７９】
３８    プロセス制御部（プロセス系コントローラ）
３９    搬送制御部（搬送系コントローラ）
２００    制御部
２０１    操作部
２０２    プロセス系コントローラ
２０３    サブコントローラ
２０４    プロセス制御機構
２０５    搬送系コントローラ
２０６    搬送制御モジュール（モーション制御部）
２０８    搬送機構
２０９    センサ
２１０    表示部
３０１    サブコントローラ
３０２    搬送制御モジュール（モーション制御部）
【図１】
2011155244.tif 000003
【図２】
2011155244.tif 000004
【図３】
2011155244.tif 000005
【図４】
2011155244.tif 000006
【図５】
2011155244.tif 000007
【図６】
2011155244.tif 000008
【図７】
2011155244.tif 000009
【図１１】
2011155244.tif 000010
【図１２】
2011155244.tif 000011
【図１３】
2011155244.tif 000012
【図８】
2011155244.tif 000013
【図９】
2011155244.tif 000014
【図１０】
2011155244.tif 000015
【図１４】
2011155244.tif 000016