(57)【要約】【課題】製造コストが低く、低発塵性に優れ、油膜強度の高いグリース組成物と、該グリース組成物で潤滑された運動案内装置を提供する。【解決手段】基油と増ちょう剤とを含有するグリース組成物であって、前記基油としてエステル油またはフッ素を含まないエーテル油を含有し、前記増ちょう剤が自己潤滑性を有する増ちょう剤を含むグリース組成物。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基油と増ちょう剤とを含有するグリース組成物であって、
前記基油としてエステル油またはフッ素を含まないエーテル油を含有し、
前記増ちょう剤が自己潤滑性を有する増ちょう剤を含むグリース組成物。
【請求項２】
前記増ちょう剤がポリテトラフルオロエチレンを含む請求項１に記載のグリース組成物。
【請求項３】
前記増ちょう剤の含有量が、グリース組成物全量に対して２０〜６０重量％である請求項１または２に記載のグリース組成物。
【請求項４】
前記増ちょう剤の平均一次粒径が０．５μｍ以下である請求項１〜３のいずれか一項に記載のグリース組成物。
【請求項５】
前記基油として前記フッ素を含まないエーテル油を含有し、該フッ素を含まないエーテル油が下記式（１）で示されるアルキル置換ジフェニルエーテルを含む、請求項１〜４のいずれか一項に記載のグリース組成物。
【化１】
2011046873.tif 000006
（式中、Ｒ１及びＲ２は、炭素数１０〜２０の炭化水素基であり、Ｒ１及びＲ２は互いに同一であっても異なるものであってもよい。また、ｍ及びｎは１≦ｍ＋ｎ≦４の関係を満たし、０以上の整数を示す。）
【請求項６】
前記基油として前記エステル油を含有し、該エステル油が次の一般式の中から選ばれる少なくとも１種類を含む、請求項１〜４のいずれか一項に記載のグリース組成物。
(1) Ｒ３ＯＣＯ（ＣＨ2）nＣＯＯＲ４で表されるジエステル系合成油、
（式中、Ｒ３及びＲ４は同一でも異なっていてもよく、炭素数３〜１８の脂肪族炭化水素基を示し、ｎは３〜１２を示す）
(2) Ｃ2Ｈ5Ｃ（ＣＨ2ＯＣＯＲ５）3で表されるトリエステル系合成油、
（式中、３つのＲ５は同一でも異なっていてもよく、炭素数３〜１０の脂肪族炭化水素基を示す）
(3) Ｃ（ＣＨ2ＯＣＯＲ６）4で表されるテトラエステル系合成油、
（式中、４つのＲ６は同一でも異なっていてもよく、炭素数３〜１０の脂肪族炭化水素基を示す）
(4) Ｃ（ＣＨ2ＯＣＯＲ７）3ＣＨ2ＯＣＨ2Ｃ（ＣＨ2ＯＣＯＲ７）3で表されるジペンタエリスリトール系合成油、及び
（式中、６つのＲ７は同一でも異なっていてもよく、炭素数３〜１０の脂肪族炭化水素基を示す）
(5)他のネオペンチルポリオールエステル系合成油。
（アシル基の炭化水素基は炭素数３〜１０の脂肪族炭化水素基を示す）
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載のグリース組成物で潤滑されている運動案内装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はグリース組成物および該グリース組成物で潤滑されている運動案内装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置、液晶製造装置、電子計算機、プリント基板製造装置など清浄な環境が要求される装置に組み込まれる運動案内装置（リニアガイド、ボールねじまたは転がり軸受等）では、潤滑剤として封入されるグリースとして、潤滑部分での油飛散が低減された、すなわち発塵性が低減されたグリースが好ましく用いられている。
【０００３】
そのようなグリースとして、基油としてパーフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）を用い、増ちょう剤として特定の粒径を有するポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）を用いたグリースが用いられている（特許文献１）。ＰＦＰＥは蒸気圧が低いので、一般的には真空下で用いられてきた。しかし、ＰＦＰＥは高粘度であるため、転がり抵抗が高く、且つ、油膜強度も低いため、潤滑部材の発熱や耐摩耗性に関して改善の余地があった。また、基油として用いるＰＦＰＥは高価であり、グリースの製造にＰＦＰＥを用いると製造コストが高くなる。
一方で、低発塵性に優れたグリースとして、基油はエステル油、増ちょう剤は脂肪族ジウレア化合物を用いたグリースや、基油はエーテル系油、増ちょう剤は金属リチウム石けんを用いたグリースも知られている（特許文献２）。
また、発塵による不具合を抑える技術として、従来から、運動案内装置が備えるボールねじのナットのシール性を向上させたり、該ナットにチューブを付けて発生する微粒子を吸引除去するものが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−３７８９２号公報
【特許文献２】特開２００５−２７２７６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
製造コストが低く、従来から市販されている低発塵グリースと比べ低発塵性に優れ、油膜強度の高いグリース組成物と、該グリース組成物で潤滑された運動案内装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は以下に示すグリース組成物に関する。
基油と増ちょう剤とを含有するグリース組成物であって、前記基油としてエステル油またはフッ素を含まないエーテル油を含有し、前記増ちょう剤が自己潤滑性を有する増ちょう剤を含むグリース組成物。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、製造コストが低く、従来から市販されている低発塵グリースと比べ低発塵性に優れ、油膜強度の高いグリース組成物と、該グリース組成物で潤滑された運動案内装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明のグリースを適用できる運動案内装置の第一の形態を示す図である。
【図２】本発明のグリースを適用できる運動案内装置の第二の形態を示す図である。
【図３】発塵量測定１の結果を示す第一の図である。
【図４】発塵量測定１の結果を示す第二の図である。
【図５】発塵量測定２の結果を示す第一の図である。
【図６】発塵量測定２の結果を示す第二の図である。
【図７】グリース１の蒸気圧曲線を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に本発明を具体的に実施形態として説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００１０】
＜本実施形態で用いられる基油＞
本実施形態のグリース組成物は、基油として下記で示されるエステル油またはフッ素を含まないエーテル油を含有する。本実施形態のグリース組成物は、基油としてエステル油またはフッ素を含まないエーテル油以外の基油を含んでもよい。基油としてエステル油またはフッ素を含まないエーテル油以外の基油を含む場合には、油飛散の低減及び潤滑性能の観点から、その基油の含有量は基油全体の量に対して１０重量％以下であることが好ましく、５重量％以下であることがより好ましい。
本実施形態のグリース組成物に使用する基油の４０℃における動粘度は、６０〜１２０ｍｍ2／ｓであることが潤滑性能や油飛散の低減を良好にする観点から好ましく、好まし
くは９０〜１１０ｍｍ2／ｓである。また、基油の１００℃における動粘度は１０〜５０
ｍｍ２／ｓであることが潤滑性能や油飛散の低減を良好にする観点から好ましく、１０〜２０ｍｍ２／ｓであることが特に好ましい。
この動粘度はＪＩＳ Ｋ ２２２０で定められた方法を用いることにより測定できる。
（１）エステル油
エステル油としては、例えば脂肪族炭化水素系のエステル油が挙げられる。より具体的にはエステル油は、下記一般式(1)〜(5)の中から選ばれる少なくとも１種類である。これらのエステル油は、エステル油全体に対し、６０重量％以上であることが好ましく、９０重量％以上であることが特に好ましい。
(1) Ｒ３ＯＣＯ（ＣＨ2）nＣＯＯＲ４で表されるジエステル系合成油、
（式中、Ｒ３及びＲ４は同一でも異なっていてもよく、炭素数３〜１８の脂肪族炭化水素基を示し、ｎは３〜１２を示す）
(2) Ｃ2Ｈ5Ｃ（ＣＨ2ＯＣＯＲ５）3で表されるトリエステル系合成油、
（式中、３つのＲ５は同一でも異なっていてもよく、炭素数３〜１０の脂肪族炭化水素基を示す）
(3) Ｃ（ＣＨ2ＯＣＯＲ６）4で表されるテトラエステル系合成油、
（式中、４つのＲ６は同一でも異なっていてもよく、炭素数３〜１０の脂肪族炭化水素基を示す）
(4) Ｃ（ＣＨ2ＯＣＯＲ７）3ＣＨ2ＯＣＨ2Ｃ（ＣＨ2ＯＣＯＲ７）3で表されるジペンタエリスリトール系合成油、及び
（式中、６つのＲ７は同一でも異なっていてもよく、炭素数３〜１０の脂肪族炭化水素基を示す）
(5)他のネオペンチルポリオールエステル系合成油。
（アシル基の炭化水素基は炭素数３〜１０の脂肪族炭化水素基を示す）
【００１１】
一般式(1)で表されるジエステル系合成油としては、ジ−２−エチルヘキシルセバケー
ト、ジ−２−エチルヘキシルアゼレート、ジ−２−エチルヘキシルアジペート等が、一般式(2)で表されるトリエステル系合成油としては、トリメチロールプロパンカルボン酸エ
ステル等が、一般式(3)で表されるテトラエステル系合成油としては、ペンタエリスリト
ールカルボン酸エステル等が、一般式(4)で表されるジペンタエリスリトール系合成油と
しては、ジペンタエリスリトールカルボン酸エステル等が、一般式(5)で表される他のネ
オペンチルポリオールエステル系合成油としては、ネオペンチルポリオールカルボン酸エステル等が挙げられる。
【００１２】
（２）フッ素を含まないエーテル油
本発明で用いられるフッ素を含まないエーテル油としては、フッ素元素を含まず、エーテル基を有する化合物であれば特段の限定なく用いることができる。
このようなエーテル油としては、市販されている芳香族環の数が２〜５のものでエーテル基を有するものがいずれも使用可能であるが、環数が増えるとそれだけ高価になる。このため、芳香族環の数が２〜４であるアルキル置換されたジフェニルエーテル、トリフェニルエーテル、テトラフェニルエーテルであって、アルキル基の炭素数が１０〜２０のものが好ましく用いられ、下記式（１）で示されるアルキル置換ジフェニルエーテルが特に好ましい。アルキル置換ジフェニルエーテルは、エーテル油全体に対し、６０重量％以上であることが好ましく、９０重量％以上であることが特に好ましい。
【００１３】
【化１】
2011046873.tif 000003
（式中、Ｒ１及びＲ２は、炭素数１０〜２０の炭化水素基であり、Ｒ１及びＲ２は互いに同一であっても異なるものであってもよい。また、ｍ及びｎは１≦ｍ＋ｎ≦４の関係を満たし、０以上の整数を示す。）
【００１４】
上記Ｒ１及びＲ２としては、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基、トリデシル基、テトラデシル基、ンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデシル基、オクタデシル基、ノナデシル基、エイコシル基などを挙げることができ、具体的には炭素数１０〜１８のアルキル基が好ましく、炭素数１２〜１６のアルキル基が特に好ましい。
また、上記ｍ＋ｎの範囲については、２〜４を挙げることができる。
【００１５】
本実施形態のグリース組成物は、基油として、上記エステル油またはフッ素を含まないエーテル油を４０〜８０重量％含有することが好ましく、４０〜６０重量％含有することがさらに好ましい。上記基油の含有量が上記範囲内にあることで、高い潤滑性を確保しつつ、油飛散の少ないグリースが得られる。
【００１６】
＜本実施形態で用いられる増ちょう剤＞
本発明で用いられる増ちょう剤は、増ちょう作用と自己潤滑性を有するものを含む。増ちょう作用と自己潤滑性を有する増ちょう剤は特段の限定なく用いることができる。全増ちょう剤に含有される増ちょう作用と自己潤滑性を有するものの割合は９５重量％以上であることが好ましく、１００重量％であることが特に好ましい。本実施形態に用いることのできる増ちょう作用と自己潤滑性を有する増ちょう剤以外の増ちょう剤としては、従来から用いられているものを特段の限定なく使用できる。なお、本実施形態でいう自己潤滑作用とは、有機高分子化合物である増ちょう剤自身が機械的せん断を受けると、結晶面間の結合が容易に切れ、潤滑機能を発揮することを意味する。増ちょう剤として増ちょう作用と自己潤滑性を有するものを用い、上記特定の基油とを組み合わせることは、これまで全く知られておらず、このような構成とすることで、下記で詳述する優れた効果を奏する。
【００１７】
増ちょう作用と自己潤滑性を有する増ちょう剤として、具体的には、ポリテトラフルオロエチレン（以下、ＰＴＦＥともいう）が挙げられる。
上記ポリテトラフルオロエチレンは、平均一次粒径が油膜厚さを確保する観点から０．５μｍ以下であることが好ましく、０．１〜０．５μｍであることがより好ましく、０．１〜０．２μｍであることが特に好ましい。０．１μｍ未満だと一次粒子が凝集して油膜厚さが不均一になる場合があり、０．５μｍを超えると粒子の充填が不十分となり油膜厚さが不均一になる場合がある。このようなポリテトラフルオロエチレンは、市販品の例としてダイキン工業（株）製 ルブロン Ｌ２，三井デュポンフロロケミカル（株）製 ＴＬ
Ｐ１０Ｆ−１ ＤｕＰｏｎｔ社製 Ｚｏｎｙｌ ＭＰ １６００Ｎ 等が挙げられる。
なお、増ちょう剤の平均一次粒径はＩＳＯ １３３２０−１に準拠する「レーザー回折
法による粒子測定法」により求めることができる。
【００１８】
本実施形態のグリース組成物は、増ちょう剤を２０〜６０重量％含有することが好ましく、３０〜６０重量％含有することがさらに好ましく、４０〜５０重量％含有することが特に好ましい。
増ちょう剤の含有量が６０重量％以下であることで、後述する本実施形態のグリース組成物のちょう度が好適なものとなることにより潤滑性が向上し、２０重量％以上であることで、低発塵性に優れたグリースが得られる。
また、本実施形態のグリース組成物では、上記基油と増ちょう剤の含有量の比が重量比で基油を１としたときに０．６７〜１となるように各含有量を調節することが高い潤滑性を確保しつつ、油飛散の少ないグリース組成物を得る観点から好ましい。
【００１９】
＜本実施形態のグリース組成物＞
本実施形態のグリース組成物は、２５℃におけるちょう度が、２００〜２６０であることが油飛散を抑制する観点から好ましく、２１０〜２４０であることが特に好ましい。
このちょう度はＪＩＳ  Ｋ  ２２２０で定められた方法を用いることにより測定できる。
グリース組成物のちょう度は、下記で説明する増ちょう剤の含有量を調節することにより調整することができる。
【００２０】
本実施形態のグリース組成物には、下記で示す添加剤を必要に応じて種々の添加剤を添加することが出来る。
このような添加剤としては、例えば、酸化防止剤（例えば、アミン系酸化防止剤）、防錆剤（例えば、コハク酸系防錆剤）、金属腐食防止剤、油性剤、耐摩耗剤、極圧剤等が挙げられるが、金属成分を含まないものが好ましい。
本実施形態のグリース組成物は、上記各成分及びその他の添加剤を所望の配合割合で混合することにより容易に製造することができる。
【００２１】
本実施形態では、上記のような基油と増ちょう剤とを組み合わせたグリース組成物とすることで、製造コストを抑え、発塵量を減らせるばかりでなく、高い油膜強度も得られることがわかった。
【００２２】
本実施形態のグリース組成物は、特に制限されるものではないが、例えば運動案内装置において潤滑性を付与するために用いられる。より具体的には、転動体（ボール又はローラ）と、転動体を転走させる転走面を有す軌道軸（軌道レールやねじ軸等）と、上記転走面に相対する転動体の負荷転走面を有し、上記転動体を介して上記軸に設けられると共にこの軸に沿って相対的に往復移動する移動部材（軌道レールやナット部材等）とを備え、例えば、リニアガイド、ボールねじ、ボールスプライン等の運動案内装置に用いられる。
【００２３】
そして、本実施形態のグリース組成物の使用に際しては、運動案内装置の軌道軸の転走
面と移動部材の負荷転走面を潤滑させる。本実施形態のグリース組成物を用いて運動案内装置を潤滑させる方法及び手段については、特に制限されるものではない。
【００２４】
例えば直線案内装置であるリニアガイドを例にして説明すると、以下の通りである。
すなわち、図１に示されているように、リニアガイドは軸として設置される軌道レール（１）と、軌道レールに多数の転動体として設置されるボール（３）を介して往復運動自在に取り付けられた移動部材としての移動ブロック（２）と、を備えて構成されている。
軌道レールは、その長手方向と直行する断面が概略矩形状であり、その表面（上面両端及び両側面上部の近傍)には、ボールが転走する際の軌道となる転動体転走溝（１ａ、１
ｂ）が軌道レールの長手方向全長に渡って形成されている。
一方、移動ブロックは金属材料からなる移動ブロック本体部と移動ブロック本端部における移動方向の両端面に対して設置される樹脂材料からなる一対のエンドプレート（５）から構成されている。
移動ブロック本体部には軌道レールの転動体転走溝とそれぞれ対応する位置に負荷転動体転走溝(４ａ、４ｂ)が設けられている。軌道レールの転動体転走溝と移動ブロック本体部に形成された負荷転動体転走溝とによって負荷転動体転走路が形成され、この通路に導入された複数のボールは負荷を受けながら転走することになる。また、移動ブロック本体部は負荷転動体転走溝と平行に延びる無負荷転動体転走路を備えている。さらに、一対のエンドプレートのそれぞれには各無負荷転動体転走路と各負荷転動体転走路とを結ぶ方向転換路が設けられている。１つの負荷転動体転走路および無負荷転動体転走路とそれらを結ぶ一対の方向転換路との組み合わせによって、１つの無限循環路が構成されることとなる。
そして、複数のボールが負荷転動体転走路と無負荷転動体転走路と一対の方向転換路とから構成される無限循環路に無限循環可能に設置されることにより、移動ブロックの軌道レールに対する相対的な往復運動が可能となっている。
【００２５】
そして、上記各エンドプレート５の外側面にはそれぞれ先端が軌道レール（１）に摺接するエンドシール（６）が設けられており、また、上記移動ブロック（２）には先端が軌道レール（１）の上面に当接するインナーシール（７）と先端が軌道レール（１）の側面に当接するサイドシール（８）とが設けられており、これらエンドシール（６）、インナーシール（７）及びサイドシール（８）により軌道レール（１）の左右両肩部とこれに対応する摺動台（２）の左右両隅部との間にグリース組成物を封入する密閉空間が形成されており、更に、いずれか一方のエンドプレート（５）にはこのエンドプレート（５）に形成されたボール方向転換路から上記各密閉空間内にグリース組成物を分配して充填するグリースニップル（９）が設けられている。
【００２６】
このリニアガイドへのグリース組成物の付与は、例えば、グリースガンに当該グリース組成物を装填し、リニアガイドのグリースニップル（９）から軌道レール（１）の左右両肩部と移動ブロック（２）の左右両隅部との間に形成された密閉空間内に充填することにより行われる。
【００２７】
本実施形態のグリース組成物は、国際公開第２００９／０３４８０４Ａ１号パンフレット及び国際公開第２００９／０２００７５Ａ１号パンフレットなどに記載される防塵機構付きリニアアクチュエータにも適用できる。一方、図２のリニアアクチュエータ（１００）は、ボールねじと、前記ボールねじに係合するボールねじナットを有し、前記ボールねじの回転運動にともなって該ボールねじの軸方向に往復直線運動自在とされる移動ステージ（１０）と、少なくとも前記ボールねじを覆って設置されるハウジング部材（１１）と、前記移動ステージの移動軌跡に沿って前記ハウジング部材に形成される開口部（１２，１３）と、前記開口部を封鎖するために前記ハウジング部材の内側に配置される防塵ベルト（１４，１５）と、を備え、前記防塵ベルトによる前記開口部の封鎖を維持しながら前
記移動ステージの前記開口部に沿った移動を実現するために、前記移動ステージと重畳する位置にある前記防塵ベルトを迂回させるための迂回手段を前記移動ステージに設けてなるものであり、本実施形態のグリース組成物はこのリニアアクチュエータの直動ガイド、ボールねじおよび転がり軸受（不図示）にグリースガン等を用いることにより封入できる。
国際公開第２００９／０２００７５Ａ１号パンフレットに記載されている上記防塵機構付きリニアアクチュエータに吸引口がさらに設置されているリニアアクチュエータに本実施形態のグリース組成物を適用した場合には、従来と同様のクリーン度を維持しながら、従来の吸引量を大幅に削減できる。
【００２８】
以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、これらは本発明をなんら限定するものではない。
【実施例】
【００２９】
＜グリース組成物の製造＞
表１−１、１−２に示される処方によりグリース組成物を作製した。各グリース組成物の物性値もあわせて表１に記載した。
【００３０】
【表１−１】
2011046873.tif 000004
＊表中、ＡＤＥはアルキル置換ジフェニルエーテル油（(株)松村石油研究所製モレスコハイルーブ ＬＢ−１００）を示し、ポリオールエステルはネオペンチルポリオールカルボ
ン酸エステル油を示し、脂肪族系エステルはジペンタエリスリトールカルボン酸エステルを示し、ＰＦＰＥは直鎖型パーフルオロポリエーテルを示し、ＰＴＦＥはポリテトラフルオロエチレンを示し、実施例ではＤｕＰｏｎｔ社製 Ｚｏｎｙｌ ＭＰ１６００Ｎ を使用
している。
【００３１】
【表１−２】
2011046873.tif 000005
【００３２】
＜実験１＞（発塵量測定１）
発塵試験はボールねじを備えるリニアガイド（ＴＨＫ社製）が設置されている発塵試験装置を用いて行った。
ボールねじの軸径は２５ｍｍ、リード径は５ｍｍ、精度 Ｃ０のものを使用した。グリー
ス組成物の封入量は６ｃｃ／ナットとした。
発塵試験装置：測定機器としてパーティクルカウンター（ＫＣ−０１Ｄ；リオン株式会社製）とレコーダ（ＧＬ−２００；グラフテック株式会社製）を備えるダウンフロー式発塵試験装置を用いた。
上記発塵試験装置内にクリーンエアー（温度２３±１℃、清浄度：ＪＩＳクラス２）を０．３Ｌ／ｍｉｎにてダウンフロー方式により供給する。
＜発塵試験装置の運転条件＞
クリーンエアーを、ボールねじより飛散した油分等（発塵）を巻き込みながら上記パーティクルカウンターへ流速０．２５ｍＬ／ｓで流入させた。このときのボールねじの動作条件は、最高速度３００ｍｍ／ｓ（３６００ｍｉｎ-1）、加速度２．９４ｍ／ｓ２（０．３Ｇ）、ストローク２００ｍｍとした。動作パターンは１５秒駆動、１８０秒停止の繰り返し動作とした。
＜パーティクルの測定条件＞
サンプリング時間を７５秒とし、吸引量１Ｌとし、１２０秒停止を繰り返し、２４時間測定した。また、このとき、ナット側面部に熱電対をつけ、発熱量も同時に測定した。
【００３３】
＜結果＞
得られた発塵量に関する結果を図３及び４に示す。発熱量の結果については表１−２に示すとおりであった。
【００３４】
グリース１を用いたときの発塵量は、従来より用いられてきた基油としてエステル油を用い、増ちょう剤としてポリウレアやジウレアを用いたグリース組成物に比べて極めて少なく、また基油としてパーフルオロポリエーテルを用い、増ちょう剤としてＰＴＦＥを用いたグリース組成物に比べても同等以下であった。これは、ＰＴＦＥの平均一次粒径が０．２μｍ以下と小さいため、表面積が大きく油保持が高いこと、且つ均一に分散しているためと推察される。
【００３５】
＜実験２＞（発塵量測定２）
グリース組成物を吸引型アクチュエータに封入した場合の発塵量を測定した。
吸引型アクチュエータが設置されているダウンフロー式発塵試験装置を使用し、発塵量の測定に供した。
ダウンフロー式発塵試験装置は、パーティクルカウンター（ＫＣ−１８；リオン株式会社製）、流量計（センサ）を備えたものを使用した。
吸引型アクチュエータが備えるボールねじの軸径を１５ｍｍ、リード径を３０ｍｍ、グリース組成物の封入量を０．９ｃｍ３とし、リニアガイドへのグリース組成物の封入量を０．５ｃｍ３とした。
上記ダウンフロー装置の運転条件は、クリーンエアー（温度２３±１℃）を０．３Ｌ／ｍｉｎとしてダウンフロー方式により供給した。
アクチュエータ駆動時には、両端部より４０Ｌ／ｍｉｎずつエアーを吸引し、アクチュエータ内部からの発塵量を低減させた。
アクチュエータの動作条件は、速度１．５ｍ／ｓ（３０００ｍｉｎ−１）、加速度９．８ｍ／ｓ２（１Ｇ）、ストローク５２０ｍｍ、停止時間０．５／ｓ、測定部空気流速０．２５ｍ／ｓ、サンプリング空気量１Ｌとした。
この測定で用いたグリース組成物はグリース１、４及び７とした。５０時間連続運転における発塵測定を、粒子径が０．１、０．１５、０．２、０．３、０．５μｍ以上ごとに行った。
得られた結果を図５及び６に示す。
グリース１については、特に０．３μｍ以上の粒子径を有する粒子の発塵量が極端に少なく、ＩＳＯ１４６４４−１規格によるクラス３を実現した。グリース４については、特に粒子径が大きいものについての発塵量がグリース７に比べて少ない結果が得られた。
【００３６】
＜実験３＞（油膜強度の測定）
ＡＳＴＭ  Ｄ５７０６に準じ、ステップロード試験により、グリース組成物の油膜強度（耐摩耗性）の評価を行った。使用したボールオンディスク式試験機は、Ｏｐｔｉｍｏｌ社製ＳＲＶ（登録商標）４摩擦計を用いた。
実験条件：
ボール径    １０ｍｍ（点接触）材質５２１００スチール
テスト温度  ７５℃，１２５℃
振動周波数  ５０Ｈｚ      ストローク  １ｍｍ
実験操作：２分ごとに１００Ｎずつ負荷を増加させていき、摩擦係数が０．３以上になった時点で、油膜破損したとして実験を中止した。実験を中止したときの荷重を油膜強度を表す数値として記録した。この実験に用いたグリース組成物とその結果については以下のとおりである。
【００３７】
以下の結果から明らかなように、本実施形態のグリース１は油膜強度に関して優れた性質を有する。特に熱変化に対する油膜強度の低下が少なかった。これに対し、以下に示されるフッ素系グリース（いずれも基油としてＰＦＰＥを含有し、増ちょう剤としてＰＴＦＥを含有する）はいずれも荷重が１００Ｎ前後で実験中止となった。
【００３８】
（７５℃のとき）
Ｆｏｍｂｌｉｎ （ＳｏｌｖａｙＳｏｌｅｘｉｓ社製）     ＜１００Ｎ
Ｄａｉｋｉｎ Ｌ−６５ （ダイキン工業（株）製）   １００Ｎ
Ｋｒｙｔｏｘ ２４０ＡＤ （ＤｕＰｏｎｔ社製）     ＜１００Ｎ
ＮｙｅＴｏｒｒ ５３００(Ｎｙｅ Ｌｕｂｒｉｃａｎｔｓ社製)     １００Ｎ
上記グリース１       ７００Ｎ
上記グリース８       １００Ｎ
ＮｙｅＴｏｒｒ ５２００(Ｎｙｅ Ｌｕｂｒｉｃａｎｔｓ社製)     ６００Ｎ
【００３９】
（１２５℃のとき）
上記グリース１       ８００Ｎ
上記グリース８       １００Ｎ
ＮｙｅＴｏｒｒ ５２００(Ｎｙｅ Ｌｕｂｒｉｃａｎｔｓ社製)     １００Ｎ
【００４０】
以上の結果より、本発明の、基油と増ちょう剤とを含有するグリース組成物であって、前記基油としてエステル油またはフッ素を含まないエーテル油を含有し、前記増ちょう剤が自己潤滑性を有する増ちょう剤を含むグリース組成物を用いた場合、従来から市販されている低発塵グリースやフッ素グリースの性能を超える低発塵性能を実現できる。同時に市販されているフッ素グリースの弱点である耐摩耗性も油膜強度が高いため改善されている。このことは、特に基油としてアルキル置換ジフェニルエーテル油を用い、増ちょう剤として自己潤滑性を持ち、且つ平均一次粒径が０．１〜０．２μｍ以下のＰＴＦＥを４０〜５０重量％添加した場合、より顕著になる。また、基油としてアルキル置換ジフェニルエーテル油を用いたものは、中低真空（図７：グリース１の蒸気圧曲線）、低発塵、耐摩耗性等が要求されるソーラーパネル製造装置等の真空搬送部に使用される直動案内部品の潤滑グリースに好適である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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