(57)【要約】【課題】スリットノズルからインクを吐出させて基板上に被膜形成を行う塗布装置において、均一でかつ安定な塗布膜を実現することを目的とする。【解決手段】上記課題を解決するため、本発明の塗布装置は、スリットノズル先端に接触させるブレードと、ブレードを保持するホルダーと、ホルダーを被塗布基板上の塗布領域全域を可動な走行機構とを有し、走行機構によって、ブレードがスリットノズル先端に接触した状態で、可動することを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スリットノズルから塗布インクを吐出させて被塗布基板上に被膜形成を行う塗布装置において、
前記スリットノズル先端に接触させるブレードと、前記ブレードを保持するホルダーと、前記ホルダーを前記被塗布基板上の塗布領域全域を可動な走行機構とを有し、
前記走行機構によって、前記ブレードが前記スリットノズル先端に接触した状態で、可動することを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
前記ブレードが弾性機構によって、前記ホルダーもしくは前記走行機構に、間接的または直接的に保持されていることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記スリットノズル先端の蓋をする部材を有し、かつ前記塗布インクを充填するタンクと、前記スリットノズルに前記塗布インクを送るポンプと、前記ポンプは前記タンクおよび前記スリットノズルと、前記塗布インクを配送する配管によって接続されたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスなどの被塗布基板に対し均一に塗布膜を形成するための塗布装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネルや液晶パネルなどの製造プロセスにおいて、基板上に各種被膜や洗浄液などを形成するために塗布装置が使用される。
【０００３】
その際、技術的によく課題となるのが、塗布の開始時（以下、始端部）の出来栄えである。始端の出来栄えは、最初にインクが基板に接するときのスリットノズル先端の状態に大きく左右されるからである。例えば、ノズル先端に前回塗布したインクの残液が付着していた場合、その部分のビード量が過大となり、結果として膜厚異常や乾燥異常などのムラが発生する可能性がある。また先端に付着したインクが乾燥して固形分が先端付近に固着してしまった場合には、その部分でインクをはじいたり吸い寄せたりしてビード形成が不均一になり、塗布ムラを引き起こす可能性がある。
【０００４】
以上のような不具合を回避するため、スリットノズル先端をいかに清浄に保つかということが、近年のデバイスの微細化の影響でより注目されるようになってきている。
【０００５】
近年では、スリットノズル先端の余剰インクをかきとるための部材をノズル長尺方向に移動させて先端を洗浄する方法が一般的であり、例えば特許文献１や２に示されるように、洗浄液を供給しながら洗浄する方法や、エアを吹き付けて乾燥する方法などが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−２３７１２２号公報
【特許文献２】特開２００８−１４９２２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
一方で、塗布するインクにおいても、近年はデバイスの微細化や複雑化に伴い、より不純物の少ない、また低温で除去可能な材料が求められており、樹脂や分散剤を必要最低限もしくは全く用いない場合もある。そのようなインクを用いる場合、インクが乾燥しやすく、またインク中の固形分の沈降や凝集が激しいため、特にスリットノズル先端が汚れやすく、除去しにくい傾向がある。
【０００８】
また、スリットノズル洗浄ユニットとスリットノズル先端部の位置関係について、厳密な位置精度を確保しようとすると、設備コストの増大や処理タクトへの影響などが懸念されるため、通常は厳密な位置決め精度は要求されないが、上記のようなインクを用いる場合、ノズル先端部での回り込みや液ダレが起こりやすく、わずかな位置ずれでも洗浄不備になりやすい傾向がある。
【０００９】
さらに、スリットノズル先端に接触する部材については、先端部を傷つける可能性があるため通常やわらかい材質のものが使用されるが、その場合長期的に使用すると変形やへたりなどが起こり、徐々にノズル先端部に対する接触が不十分になっていくため、頻繁な部材交換が必要になりやすい。
【００１０】
そのような状況に対し、前述の特許文献１や２に記載の方法では、スリットノズル先端の余剰液や付着固形分を完全に除去できず、始端部の塗布ムラなどの不具合を起こしてしまう場合があった。
【００１１】
そこで、本発明では、上記課題に鑑み、均一な塗布膜、特に始端部の膜形成安定性を向上させることのできる塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の目的を達成するために、本発明の塗布装置は、スリットノズルから塗布インクを吐出させて被塗布基板上に被膜形成を行う塗布装置において、スリットノズル先端に接触させるブレードと、ブレードを保持するホルダーと、ホルダーを被塗布基板上の塗布領域全域を可動な走行機構とを有し、走行機構によって、ブレードがスリットノズル先端に接触した状態で、可動することを特徴とする。
【００１３】
また、ここでブレードが弾性機構によって、ホルダーもしくは走行機構に、間接的または直接的に保持されていることが望ましく、さらにスリットノズル先端の蓋をする部材を有し、かつ塗布インクを充填するタンクと、スリットノズルに塗布インクを送るポンプと、ポンプはタンクおよびスリットノズルと、塗布インクを配送する配管によって接続されることが望ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、スリットノズルからインクを吐出させて基板上に被膜形成を行う塗布装置において、スリットノズル先端の汚れを抑制し、安定した塗布始端部を形成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施の形態における塗布装置を示す概略図
【図２】本発明の実施の形態におけるスリットノズル洗浄装置の断面図
【図３】本発明の実施の形態における循環機構を有する塗布装置を示す概略図
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の一実施の形態について図面を用いて説明する。
【００１７】
図１は本発明の実施の形態における塗布装置のスリットノズル及びその洗浄装置のみを抽出して示した図である。図１において、スリットノズル１は、図には示していないが昇降機構によって上下に昇降することができる。そしてスリットノズル１の先端の洗浄装置は、以下のように構成される。
【００１８】
スリットノズル１の先端に接触して余剰インクや汚れなどをかきとるためのブレード２が、ホルダー３に固定されており、ホルダー３はガイドレール４を介して走行ベース５と接続されている。このため、ホルダー３は走行ベース５上で、矢印Ｂ方向に移動することができる。また、走行ベース５は、走行ガイド６により矢印Ｃ方向に移動することができる。このように走行機構であるガイドレール４、走行ベース５、走行ガイド６によってホルダー３は被塗布基板の塗布領域全域を可動する。
【００１９】
以上のような構成でスリットノズル１の先端部を洗浄する手順について、以下に説明する。まず、被塗布基板にインクを塗布する前に、スリットノズル１がブレード２の直上位置になるように、スリットノズル１もしくは洗浄ユニットを移動させる。続いて、スリットノズル１を、先端がブレード２に接する位置まで矢印Ａ方向に降下させる。
【００２０】
このとき、多少位置精度にずれがあっても、ガイドレール４によりホルダー３が可動なため、スリットノズル１の先端部の位置にあわせて移動し、ブレード２が適正な接触状態となるように制御される。
【００２１】
続いて、走行ベース５を走行ガイド６によりスリットノズル１の長尺方向に移動させ、ブレード２によりノズル先端の状態を整えることができる。
【００２２】
このとき、走行ガイド６の走行方向と、スリットノズル１の長尺方向に、多少のずれがあっても、ホルダー３がガイドレール４上を移動することで、そのずれを自動で補正しながら矢印Ｃ方向に移動できるため、ブレード２とノズル先端の適正な接触を維持したまま洗浄が可能となる。
【００２３】
以上のようにスリットノズル１の先端部を適正な状態に保つことで、塗布開始時の液ムラを抑制し、より均一な膜面を得ることができる。
【００２４】
また、図２はスリットノズル１とその先端部の洗浄装置を横からみた断面図であるが、ブレード２を保持したホルダー３が、走行ベース５とバネ機構７で接続されており、走行ベース５に対してホルダー３の水平方向の移動に対して負荷がかかるような構成になっている。このようなバネ機構７による接続以外にも、弾性機構であってブレード２がホルダー３または走行ベース５に対して、間接的または直接的に接続される機構であればよい。
【００２５】
図２のような構成にすることで、スリットノズル１が降下してブレード２に接触した際、バネ機構７によりブレード２をスリットノズル１先端部に押し付ける力が働き、より確実に先端部の洗浄を行うことができ効果的である。
【００２６】
また、図３は上記のような本発明の塗布装置において、スリットノズル１の先端の洗浄ユニットを有する塗布装置の一部を抽出して示している。このように本発明の塗布装置は、インクの充填されたタンク８、スリットノズル１からタンク８への戻り配管９、インクを循環させるためのポンプ１０、そしてスリットノズル１の先端を封止するための蓋部材（シール部材）１１を有している。
【００２７】
このような循環システムを有する場合、インクを循環するために、スリットノズル１はシール部材１１上に移動、降下してノズルを封止しなければならないため、循環動作後にスリットノズル１先端部は特にインクや固形分の付着による汚れが顕著となる。
【００２８】
この汚れを従来の洗浄装置構成で安定して除去することは極めて困難であり、本発明による効果が特に大きくなる。
【００２９】
なお、図１から図３において、ブレード２の形状をノズル先端にあわせたＶ字型としているがこの限りではなく、直線状、アーチ状などノズル先端に接触する形状であれば問題ない。またブレードの取り付け角度についても同様であり本図の限りではない。
【００３０】
また、図１のホルダー３の移動機構について、本図ではガイドレール４を用いて示しているがこの限りではなく、走行方向とは別の方向にホルダーが可動となるような機構であれば問題ない。また図１では水平方向のみの移動となっているが、ホルダー３が鉛直方向に可動する機構とし、ノズルの長尺方向と走行ガイド６の走行方向の鉛直方向のずれを補正できるような構成も可能である。
【００３１】
また、図２でホルダー３と走行ベース５を接続するバネ機構としてリング状のバネを用いているがこの限りではなく、板バネまたは磁気や圧縮気体を用いる方法などの弾性機構であれば本発明の効果は奏することが可能である。
【００３２】
また、図３で循環の配管経路をスリットノズル１中央からインクが流入して配管９方向に流出する構成としているがこの限りではなく、タンク８からスリットノズル１までのインクを循環できるような構成であれば問題ない。
【００３３】
また、本発明には直接関係がないので、図の複雑化を避けるため、一般に塗布装置としては必須であるが、スリットノズルの保持機構やステージ、配管など一部省略して記載している。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
以上のように本発明は、均一かつ安定な塗布始端部を実現する上で有用な発明である。
【符号の説明】
【００３５】
１  スリットノズル
２  ブレード
３  ホルダー
４  ガイドレール
５  走行ベース
６  走行ガイド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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