(57)【要約】 【課題】モータコイル部が発熱しても運動案内装置にテーブルの熱膨張による力が働くのを抑制でき、ひいては長寿命化を図ることができるリニアモータアクチュエータを提供する。【解決手段】リニアモータアクチュエータのテーブル４を、モータコイル部８が吊り下げられるコイル吊下げ部４ａと、ワークが取り付けられる取付け面を含むワーク取付け部４ｃと、に分ける。テーブル４のコイル吊下げ部４ａの材料とワーク取付け部４ｃの材料とを互いに異ならせ、テーブル４のコイル吊下げ部４ａの線膨張係数をテーブル４のワーク取付け部４ｃの線膨張係数よりも小さくする。モータコイル部８が発熱し、モータコイル部８の熱がテーブル４に伝わっても、テーブル４の幅方向の熱膨張量を小さくすることができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｎ極及びＳ極が一軸方向に交互に形成される固定子を有するベースと、
前記固定子にすきまを介して対向する複数のコイルを有するモータコイル部と、
前記モータコイル部が吊り下げられるテーブルと、
前記一軸方向からみて前記モータコイル部を挟むように配置され、前記テーブルが前記ベースに対して前記一軸方向に直線運動するのを案内する一対の運動案内装置と、を備え、
前記テーブルが、前記モータコイル部が吊り下げられるコイル吊下げ部と、ワークが取り付けられる取付け面を含むワーク取付け部と、を有し、
前記テーブルの前記コイル吊下げ部の材料と前記ワーク取付け部の材料とが互いに異なり、
前記テーブルの前記コイル吊下げ部の線膨張係数が、前記テーブルの前記ワーク取付け部の線膨張係数よりも小さいリニアモータアクチュエータ。
【請求項２】
前記テーブルは、前記一軸方向からみて前記コイル吊下げ部の幅方向の両側に設けられると共に、前記一対の運動案内装置が取り付けられる一対の運動案内装置取付け部を有し、
前記テーブルの前記一対の運動案内装置取付け部が、前記コイル吊下げ部と一体に形成されることを特徴とする請求項１に記載のリニアモータアクチュエータ。
【請求項３】
前記テーブルは、前記一軸方向からみて前記コイル吊下げ部の幅方向の両側に設けられると共に、前記一対の運動案内装置が取り付けられる一対の運動案内装置取付け部を有し、
前記テーブルの前記一対の運動案内装置取付け部が、前記テーブルの前記ワーク取付け部と一体に形成されることを特徴とする請求項１に記載のリニアモータアクチュエータ。
【請求項４】
前記テーブルの前記コイル吊下げ部と前記モータコイル部との間には、前記モータコイル部と前記固定子との間のすきまを調整するためのスペーサが介在されることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のリニアモータアクチュエータ。
【請求項５】
前記テーブルの前記コイル吊下げ部の材料が、ＣＦＲＰ（Carbon Fiber Reinforced Plastics）、セラミックス、インバー材、鉄のいずれかであることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載のリニアモータアクチュエータ。
【請求項６】
Ｎ極及びＳ極が一軸方向に交互に形成される固定子を有するベースと、
前記固定子にすきまを介して対向する複数のコイルを有するモータコイル部と、
前記モータコイル部が吊り下げられるテーブルと、
前記一軸方向からみて前記モータコイル部を挟むように配置され、前記テーブルが前記ベースに対して前記一軸方向に直線運動するのを案内する一対の運動案内装置と、を備え、
前記テーブルが、前記モータコイル部が吊り下げられるコイル吊下げ部と、前記一軸方向からみて前記コイル吊下げ部の幅方向の両側に設けられると共に、前記一対の運動案内装置が取り付けられる一対の運動案内装置取付け部と、を有し、
前記テーブルの前記コイル吊下げ部と前記一対の運動案内装置取付け部との間には、前記モータコイル部に発生する熱によって前記コイル吊下げ部が幅方向へ伸びるのを許容する熱膨張吸収部が設けられるリニアモータアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークが取り付けられるテーブルを一軸方向に直線運動させるリニアモータアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のリニアモータアクチュエータは、Ｎ極及びＳ極が一軸方向に交互に形成される固定子が取り付けられるベースと、固定子に対向するモータコイル部が吊り下げられるテーブルと、ベースに対するテーブルの直線運動を案内する一対の運動案内装置と、を備える（例えば特許文献１参照）。一対の運動案内装置はモータコイル部を挟むように配置される。
【０００３】
ベースには、一対の運動案内装置の軌道レールが取り付けられる。一対の軌道レールは互いに平行である。軌道レールには、転がり運動可能な転動体を介して移動ブロックがスライド可能に組み付けられる。移動ブロックの上面にはテーブルが取り付けられる。運動案内装置を介在させることによって、テーブルの直線運動を案内することができると共に、ベースに対してテーブルが直線運動するときの抵抗を低減することができる。
【０００４】
モータコイル部は、例えばＵ，Ｖ，Ｗ相の三相コイルを有する。三相コイルに１２０度の位相差をもつ三相交流を流すと、固定子に発生する磁界と三相コイルに流れる電流によってモータコイル部に推力が発生する。モータコイル部と固定子との間にはわずかな磁気的なすきまが空けられる。モータコイル部は固定子との間のすきまを一定に保ったまま固定子に対して直線運動する。一対の運動案内装置は、モータコイル部と固定子との間のすきまを一定に保つ役目も持つ。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−７５６６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
モータコイル部に三相交流を流すと、ジュール熱によりモータコイル部が発熱する。モータコイル部に発生する熱はテーブルに伝わる。テーブルに熱が伝わるとテーブルが幅方向及び移動方向に熱膨張する。特にテーブルの材料に線膨張係数の大きいアルミニウムを使用すると、テーブルの熱膨張量が大きくなる。テーブルの幅方向の両端部には、一対の運動案内装置が取り付けられる。テーブルが幅方向に熱膨張すると、一対の運動案内装置も互いに離間するようになる。
【０００７】
その一方、モータコイル部が発熱してもベースはテーブルほど熱膨張することはない。モータコイル部とベースの固定子との間にはすきまが介在しているので、モータコイル部の熱が固定子に伝わりにくくなるからである。
【０００８】
上述のように、モータコイル部が発熱すると、テーブルが幅方向に熱膨張するのに対してベースは幅方向にテーブルほどは熱膨張しない。このため、一対の運動案内装置にはテーブルの幅方向の力が作用する。運動案内装置にかけられる力には許容値がある。運動案内装置にかかる力が許容値を超えると、運動案内装置の寿命が短くなる。
【０００９】
そこで本発明は、モータコイル部が発熱しても、テーブルの熱膨張に起因した力が運動案内装置に働くのを抑制でき、ひいては長寿命化を図ることができるリニアモータアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明の一態様は、Ｎ極及びＳ極が一軸方向に交互に形成される固定子を有するベースと、前記固定子にすきまを介して対向する複数のコイルを有するモータコイル部と、前記モータコイル部が吊り下げられるテーブルと、前記一軸方向からみて前記モータコイル部を挟むように配置され、前記テーブルが前記ベースに対して前記一軸方向に直線運動するのを案内する一対の運動案内装置と、を備え、前記テーブルが、前記モータコイル部が吊り下げられるコイル吊下げ部と、ワークが取り付けられる取付け面を含むワーク取付け部と、を有し、前記テーブルの前記コイル吊下げ部の材料と前記ワーク取付け部の材料とが互いに異なり、前記テーブルの前記コイル吊下げ部の線膨張係数が、前記テーブルの前記ワーク取付け部の線膨張係数よりも小さいリニアモータアクチュエータである。
【００１１】
本発明の他の態様は、Ｎ極及びＳ極が一軸方向に交互に形成される固定子を有するベースと、前記固定子にすきまを介して対向する複数のコイルを有するモータコイル部と、前記モータコイル部が吊り下げられるテーブルと、前記一軸方向からみて前記モータコイル部を挟むように配置され、前記テーブルが前記ベースに対して前記一軸方向に直線運動するのを案内する一対の運動案内装置と、を備え、前記テーブルが、前記モータコイル部が吊り下げられるコイル吊下げ部と、前記一軸方向からみて前記コイル吊下げ部の幅方向の両側に設けられると共に、前記一対の運動案内装置が取り付けられる一対の運動案内装置取付け部と、を有し、前記テーブルの前記コイル吊下げ部と前記一対の運動案内装置取付け部との間には、前記モータコイル部に発生する熱によって前記コイル吊下げ部が幅方向へ伸びるのを許容する熱膨張吸収部が設けられるリニアモータアクチュエータである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の一態様によれば、テーブルの、モータコイル部が吊り下げられている部分（コイル吊下げ部）に線膨張係数の小さい材料を使用しているので、モータコイル部が発熱し、モータコイル部の熱がテーブルに伝わっても、テーブルの幅方向の熱膨張量を小さくすることができる。運動案内装置に作用するテーブルの幅方向の力を小さくすることができるので、運動案内装置の早期寿命を防止できる。また、テーブルの、ワークが取り付けられる取付け面の材料をコイル吊下げ部とは異なる材料にすることで、ワーク取付け面の仕上げ精度を高くすることができ、ワークの取付け精度を高くすることができる。
【００１３】
本発明の他の態様によれば、テーブルの、コイル吊下げ部と一対の運動案内装置取付け部との間に、コイル吊下げ部が幅方向に伸びるのを許容する熱膨張吸収部を設けるので、モータコイル部が発熱し、コイル吊下げ部が幅方向に熱膨張しても、一対の運動案内装置取付け部の位置を変化させにくくすることができる。運動案内装置に作用する幅方向の力を小さくすることができるので、運動案内装置の早期寿命を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第一の実施形態のリニアモータアクチュエータの斜視図（一部テーブルの断面図を含む）
【図２】上記リニアモータアクチュエータの正面図
【図３】固定子の平面図
【図４】テーブルの概略図
【図５】モータコイル部の移動方向に沿った断面図
【図６】本発明の第二の実施形態のリニアモータアクチュエータの正面図
【図７】本発明の第三の実施形態のリニアモータアクチュエータの正面図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、添付図面に基づいて本発明の実施形態を詳細に説明する。図１は本発明の一実施形態におけるリニアモータアクチュエータの斜視図を、図２は正面図を示す。細長く伸びるベース１上には、リニアモータの固定子２が取り付けられる。ベース１の幅方向の両端の側壁部１ｂの上面には、テーブル４の直線運動を案内する運動案内装置として一対のリニアガイド５が取り付けられる。テーブル４は、一対のリニアガイド５の移動ブロック６の上面に取り付けられる。テーブル４の下面には、左右のリニアガイド５の間にリニアモータの可動子であるモータコイル部８が吊り下げられる。固定子２とモータコイル部８との間には磁気的なすきまｇが設けられる。モータコイル部８は固定子２に対してすきまｇを一定に維持したまま直線運動する。リニアガイド５は、モータコイル部８と固定子２との間のすきまｇを一定に維持する役目を有する。
【００１６】
図２に示すように、ベース１の断面形状は、窪んだ底壁部１ａと、底壁部１ａの幅方向の両端に設けられる一対の側壁部１ｂとから構成される。底壁部１ａの上面に固定子２が取り付けられる。側壁部１ｂの上面にリニアガイド５の軌道レール７が取り付けられる。軌道レール７には、移動ブロック６がスライド可能に組み付けられる。軌道レール７と移動ブロック６との間には、転がり運動可能に多数のボールが介在される（図示せず）。移動ブロック６には、これらの多数のボールを循環させるためのサーキット状のボール循環経路が設けられる。軌道レール７に対して移動ブロック６がスライドすると、多数のボールは軌道レール７のボール転走溝と移動ブロック６の負荷ボール転走溝との間を転がり運動し、またボール循環経路を循環する。軌道レール７と移動ブロック６との間に多数のボールを介在させることにより、軌道レール７に対する移動ブロック６の相対的な運動が円滑になる。
【００１７】
図３は、ベース１に取り付けられる固定子２の平面図を示す。固定子２は、薄板状の磁石保持プレート１１と、磁石保持プレート１１上に一列に並べられる複数の板状の永久磁石１２（１２ａ，１２ｂ）と、から構成される。永久磁石１２は、保磁力の高いネオジウム磁石などの希土類磁石である。永久磁石１２は上下方向に着磁され、永久磁石１２の表側にはＮ極及びＳ極の一方、裏側にはＮ極及びＳ極の他方が形成される。ベース１の長手方向にＮ極とＳ極が交互に形成されるように、表側がＮ極の永久磁石１２ａと表側がＳ極の永久磁石１２ｂがベース１の長手方向に交互に並べられる。永久磁石１２は接着、ボルト、圧入等の固定手段により磁石保持プレート１１に固定される。
【００１８】
磁石保持プレート１１は、一般構造用圧延鋼、珪素鋼などの磁性材料からなる。磁石保持プレート１１に固定された永久磁石１２は、カバープレート１３で覆われる。カバープレート１３も接着、ボルト、圧入等の固定手段により磁石保持プレート１１に固定される。
【００１９】
図２に示すように、リニアガイド５の移動ブロック６の上面には、テーブル４が取り付けられる。テーブル４は、幅方向の中央のコイル吊下げ部４ａと、コイル吊下げ部４ａの幅方向の、一対の運動案内装置取付け部としての一対のリニアガイド取付け部４ｂと、一対のリニアガイド取付け部４ｂに結合される一対のワーク取付け部４ｃと、を有する。この実施形態では、コイル吊下げ部４ａ及び一対のリニアガイド取付け部４ｂが同一の材料からなり、一対のワーク取付け部４ｃがコイル吊下げ部４ａ及び一対のリニアガイド取付け部４ｂとは異なる材料からなる。コイル吊下げ部４ａ及び一対のリニアガイド取付け部４ｂの材料は、一対のワーク取付け部４ｃの材料よりも線膨張係数が小さい。
【００２０】
具体的には、一対のワーク取付け部４ｃの材料には、アルミニウム、鉄等の一般の構造材が用いられ、コイル吊下げ部４ａ及び一対のリニアガイド取付け部４ｂの材料には、ＣＦＲＰ（Carbon Fiber Reinforced Plastics）、セラミック、インバー材、鉄のいずれか一種が用いられる。アルミの線膨張係数は２４．５６×１０-6（／℃）であり、ＣＦＲＰ（Carbon Fiber Reinforced Plastics）及び鉄の線膨張係数はそれぞれ０．２×１０-6（／℃），１１〜１３×１０-6（／℃）である。コイル吊下げ部４ａの熱膨張係数は、１１〜１３×１０-6（／℃）以下が望ましい。線膨張係数が小さい材料としてＣＦＲＰを用いた場合、比重が小さいのでテーブル４の軽量化が可能になる。
【００２１】
テーブル４のコイル吊下げ部には、モータコイル部８が吊り下げられる。モータコイル部８は、例えばボルト結合によりテーブル４のコイル吊下げ部４ａに結合される。テーブル４のコイル吊下げ部４ａには、モータコイル部８を固定するための座ぐり２１（図１参照）が加工される。この座ぐり２１にボルトの頭が座る。テーブル４のリニアガイド取付け部４ｂには、リニアガイド５が取り付けられる。リニアガイド取付け部４ｂには、リニアガイド５を固定するための座ぐり２２（図１参照）が加工される。この座ぐりにリニアガイド固定用のボルトの頭が座る。この実施形態では、テーブル４のコイル吊下げ部４ａとリニアガイド取付け部４ｂとが同一の材料からなり、これらは一枚の矩形状の板状に形成される。
【００２２】
図４に示すように、ワーク取付け部４ｃはテーブル４のリニアガイド取付け部４ｂの厚みに応じた凹み２３を有するＣ字形状に形成される。ワーク取付け部４ｃは、一対のリニアガイド取付け部４ｂの幅方向の両端部に装着される。ワーク取付け部４ｃは、ボルト、接着剤、圧入等の固定手段２５によってリニアガイド取付け部４ｂに固定される。ワーク取付け部４ｃの上面には、ワークをテーブル４に取り付けるためのねじ孔等の締結部２４（図１参照）が加工される。ワークを高精度にテーブル４に取り付けるために、ワーク取付け部４ｃの上面のワーク取付け面４ｄは平面研削される。一対のワーク取付け面４ｄは同一平面内に配置される。一対のワーク取付け面４ｄをテーブル４の幅方向の両端部にのみ設けることにより、平面研削する面を少なくすることができると共に、ワーク取付け面４ｄを一平面内に配置し易くなる。
【００２３】
ワーク取付け部４ｃをテーブル４のリニアガイド取付け部４ｂに取り付けた後に、リニアガイド取付け部４ｂの下面を基準にして、ワーク取付け部４ｃの上面を平面研削するのが望ましい。リニアガイド５の移動ブロック６の上面を基準にしてワーク取付け部４ｃの上面の位置を決めることができるからである。
【００２４】
リニアモータにとって、固定子２とモータコイル部８との間の僅かなすきまｇを一定に保つことが重要である。すきまｇを一定に保つためには、各部品の精度を上げる必要がある。すきまｇを一定に保つために、テーブル４のリニアガイド取付け部４ｂの下面を基準にしてテーブル４のコイル吊下げ部４ａの下面を研削加工してもよい。
【００２５】
ただし、コイル吊下げ部４ａ及びリニアガイド取付け部４ｂの材料にＣＦＲＰを用いた場合には、以下の理由により研削しない方がよい。ＣＦＲＰは、炭素繊維にプラスチック材料を含浸した後、硬化させて成形した複合材料である。ＣＦＲＰの製法としては、炭素繊維を一方向に引き揃えたテープや織物にプラスチックを含浸させて作った中間素材を何枚も積層して、加圧容器であるオートクレーブに入れ、高温下で加圧・硬化して製造する方法が挙げられる。加熱したときのＣＦＲＰの線膨張係数が小さいのは、ＣＦＲＰの積層構造に由来する。ＣＦＲＰを研削すると、厚み方向のバランスがずれ、ＣＦＲＰに歪が生じてしまうからである。また、研削すると炭素の繊維や樹脂に繊維によって表面が毛羽立ってしまう。
【００２６】
また、テーブル４のコイル吊下げ部４ａ及びリニアガイド取付け部４ｂの材料にＣＦＲＰを使用した場合、テーブル４のコイル吊下げ部４ａとモータコイル部８との間にすきまを調整するためのスペーサを介在させてもよい。スペーサを介在させることにより、すきまを調整できるだけでなく、モータコイル部８とリニアガイド５の移動ブロック６との間に段差がある場合にも対応することができる。
【００２７】
テーブル４には、ベース１に対するテーブル４の位置を検出するリニアスケールなどの位置検出手段が取り付けられる。位置検出手段が検出した位置信号は、リニアモータを駆動するドライバに送られる。ドライバは、例えば上位のコントローラからの位置指令に基づいて、モータコイル部８に供給する電流を制御する。
【００２８】
図５は、モータコイル部８の移動方向に沿った断面図を示す。モータコイル部８は、珪素鋼などの磁性材料からなるコア３１と、コア３１の突極３１ａ，３１ｂ，３１ｃに巻かれるコイル３２ａ，３２ｂ，３２ｃと、から構成される。コア３１は、テーブル４の下面に取り付けられる基部プレート３１ｄと、基部プレート３１ｄから下方向に張り出す櫛歯状の上記突極３１ａ，３１ｂ，３１ｃと、から構成される。三つの突極３１ａ，３１ｂ，３１ｃそれぞれには、Ｕ相、Ｖ相及びＷ相いずれかのコイル３２ａ，３２ｂ，３２ｃが巻かれる。三つのコイル３２ａ，３２ｂ，３２ｃには、１２０度の位相差をもつ三相交流が流される。コイル３２ａ，３２ｂ，３２ｃを突極３１ａ，３１ｂ，３１ｃに巻いた後、これらは樹脂封止される。
【００２９】
テーブル４の下面には、モータコイル部８を挟んで一対の補助コア３４が取り付けられてもよい。補助コア３４は、一般構造用圧延鋼、珪素鋼などの磁性材料からなり、コア３１に発生するコギング力を低減する。
【００３０】
図示しないドライバからモータコイル部８に三相交流を流すと、永久磁石に発生する磁界とモータコイル部８に流れる電流によって、モータコイル部８に直線運動する推力が発生する。テーブル４はモータコイル部８から推力を得て直線運動する。ベースに対するテーブル４の直線運動は一対のリニアガイド５によって案内される。
【００３１】
モータコイル部８に三相交流を流すと、モータコイル部８が発熱し、モータコイル部８の熱がテーブル４に伝わる。図２に示すように、テーブル４のコイル吊下げ部４ａ及びリニアガイド取付け部４ｂに線膨張係数の低い材料を使用することにより、テーブル４に熱が伝わっても、テーブル４が幅方向に膨張する量が少なくなる。このため、テーブル４から左右一対のリニアガイド５それぞれに加わる幅方向の力も小さくすることができる。特にテーブル４のコイル吊下げ部４ａ及び一対のリニアガイド取付け部４ｂに線膨張係数の低い材料を使用することにより、一対のリニアガイド取付け部４ｂ間が幅方向に膨張する量を最小にすることができる。このため、リニアガイドの寿命を長くすることができる。また、テーブル４の、ワークが取り付けられるワーク取付け部４ｃの材料をアルミニウム、鉄等の一般の構造材にすることで、ワークの取付け精度を高くすることができる。
【００３２】
図６は、本発明の第二の実施形態のリニアモータアクチュエータを示す。この実施形態では、テーブル４１のリニアガイド取付け部４１ｂ及びワーク取付け部４１ｃの材料が同一である。これらは、アルミニウム、鉄等の一般の構造材からなる。テーブル４のコイル吊下げ部４１ａの材料は、一般の構造材ではなく、線膨張係数の低い、例えばＣＦＲＰ（Carbon Fiber Reinforced Plastics）、セラミック、インバー材、鉄のいずれか一種である。
【００３３】
この実施形態では、テーブル４１のリニアガイド取付け部４１ｂ及びワーク取付け部４１ｃは一体である。これらは、コイル吊下げ部４１ａの幅方向の両側に配置される。リニアガイド取付け部４１ｂの下面及びワーク取付け部４１ｃの上面は、いずれも平面研削される。
【００３４】
左右で一対のリニアガイド取付け部４１ｂの向かい合う対向面には、コイル吊下げ部４１ａを受け入れる溝４２が形成される。コイル吊下げ部４１ａは一対のリニアガイド取付け部４１ｂに圧入、接着等の固定手段によって固定される。
【００３５】
その他のベース１、固定子２、一対のリニアガイド５、モータコイル部８は上記第一の実施形態のリニアモータと同一であるので、同一の符号を附してその説明を省略する。
【００３６】
この実施形態においても、モータコイル部８が発熱するとテーブル４１に熱が伝わる。しかし、テーブル４１のコイル吊下げ部４１ａに線膨張係数の低い材料を使用しているので、テーブル４１に熱が伝わっても、テーブル４１が幅方向に膨張する量が少なくなり、テーブル４１から左右一対のリニアガイド５それぞれにかかる幅方向の力も小さくなる。ただし、この実施形態においては、テーブル４１のリニアガイド取付け部４１ｂの溝４２からリニアガイド取付け部のリニアガイド締結用ボルトまでの間の距離αをできるだけ短くする必要がある。距離αが長いとモータコイル部８から伝わる熱によって距離αが伸びる量も大きくなり、リニアガイド５に幅方向に力が作用するからである。
【００３７】
この実施形態によれば、テーブル４１のリニアガイド取付け部４１ｂ及びワーク取付け部４１ｃを一体にすることにより、リニアガイド５の移動ブロック６の上面及びワーク取付け部４１ｃの上面を正確に位置出しすることができる。さらに、線膨張係数の低い材料をコイル吊下げ部４１ａのみに使用しているので、高価な材料の使用量を最小限にすることができ、材料コストを低減することができる。
【００３８】
図７は、本発明の第三の実施形態のリニアモータアクチュエータを示す。この例においては、上記第二の実施形態のリニアモータアクチュエータと同様にテーブル５１が全体で三分割される。三分割された材料は全て同一であり、アルミニウム、鉄等の一般の構造材が用いられる。
【００３９】
テーブル５１のリニアガイド取付け部５１ｂ及びワーク取付け部５１ｃは一体に形成される。左右で一対のリニアガイド取付け部５１ｂ及びワーク取付け部５１ｃは、コイル吊下げ部５１ａの両側に配置される。テーブル５１のリニアガイド取付け部５１ｂの下面及びワーク取付け部５１ｃの上面は平面研削される。
【００４０】
左右で一対のリニアガイド取付け部５１ｂの向かい合う対向面には、コイル吊下げ部５１ａを受け入れる溝５２が形成される。溝５２の幅は板状のコイル吊下げ部５１ａの高さと同一である。一対のリニアガイド取付け部５１ｂ間にコイル吊下げ部５１ａを挟んだとき、溝５２の底とコイル吊下げ部５１ａとの間には僅かなすきまｓが生ずる。モータコイル部８からコイル吊下げ部５１ａに熱が伝わったとき、コイル吊下げ部５１ａがすきまｓを埋めるように幅方向に膨張する。このため、コイル吊下げ部５１ａが熱膨張しても、リニアガイド５に幅方向の力が働くことがない。一対のリニアガイド取付け部５１ｂでコイル吊下げ部５１ａを確実に支持するために、すきまｓにゴム等の弾性変形し易い材料を充填してもよい。一対のリニアガイド取付け部５１ｂの溝５２、及び一対のリニアガイド取付け部５１ｂとコイル吊下げ部５１ａとの間のすきまｓが、コイル吊下げ部５１ｂが幅方向へ伸びるのを許容する熱膨張吸収部を構成する。
【００４１】
その他の固定子２、ベース１、一対のリニアガイド５、モータコイル部８は上記第一の実施形態のリニアモータと同一であるので、同一の符号を附してその説明を省略する。
【符号の説明】
【００４２】
１…ベース，２…固定子，４，４１，５１…テーブル，４ａ，４１ａ，５１ａ…コイル吊下げ部，４ｂ，４１ｂ，５１ｂ…リニアガイド取付け部（運動案内装置取付け部），４ｃ，４１ｃ，５１ｃ…ワーク取付け部，５…リニアガイド（運動案内装置），６…移動ブロック，７…軌道レール，８…モータコイル部，４１…テーブル，５２…溝（熱膨張吸収部），ｓ…すきま（熱膨張吸収部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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