(57)【要約】【課題】サイクルタイムが短い物品搬送装置を提供する。【解決手段】物品処理装置に処理される前の物品である処理前物品と、物品処理装置に処理された後の物品である処理後物品とを搬送する物品搬送装置であって、処理前物品を搬送する第１コンベヤ１１１と、上昇機能及び下降機能を有し、処理前物品を上昇又は下降させて第１コンベヤ１１１に移載する第１昇降機１２０と、第１コンベヤ１１１の上方又は下方に配置され、処理後物品を搬送する第２コンベヤ１１２とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品処理装置に処理される前の物品である処理前物品と、前記物品処理装置に処理された後の物品である処理後物品とを搬送する物品搬送装置であって、
前記処理前物品を搬送する第１コンベヤと、
上昇機能及び下降機能を有し、前記処理前物品を上昇又は下降させて前記第１コンベヤに移載する第１昇降機と、
前記第１コンベヤの上方又は下方に配置され、前記処理後物品を搬送する第２コンベヤと
を備えた物品搬送装置。
【請求項２】
さらに、
前記処理前物品を前記物品処理装置に供給する供給ポートと、
前記物品処理装置から排出された前記処理後物品を載置する排出ポートと、
上昇機能及び下降機能を有する第２昇降機と
を備え、
前記第１昇降機は、前記処理前物品を収納する第１カセットから搬送される前記処理前物品を前記第１コンベヤに移載するとともに、前記排出ポートから搬送される前記処理後物品を第２コンベヤに移載し、
前記第２昇降機は、前記第１コンベヤから搬送される前記処理前物品を前記供給ポートに移載するとともに、前記第２コンベヤから搬送される前記処理後物品を第２カセットに移載する
請求項１に記載の物品搬送装置。
【請求項３】
前記供給ポートが配置される位置の高さが、前記第１カセットから前記処理前物品を取り出す高さ若しくは前記第２カセットに前記処理後物品を収納する高さと異なっている、又は、前記排出ポートが配置される位置の高さが、前記第１カセットから前記処理前物品を取り出す高さ若しくは前記第２カセットに前記処理後物品を収納する高さと異なっている
請求項２に記載の物品搬送装置。
【請求項４】
さらに、
前記第１カセットを載置する第１の物品受け渡しステーションと、
前記第２カセットを載置する第２の物品受け渡しステーションと
を備える請求項２又は請求項３に記載の物品搬送装置。
【請求項５】
前記第１の物品受け渡しステーションと前記排出ポートとが対向して配置されるとともに、前記第２の物品受け渡しステーションと前記供給ポートとが対向して配置される
請求項４に記載の物品搬送装置。
【請求項６】
さらに、上昇機能及び下降機能を有する第３昇降機を備え、
前記第３昇降機は、前記第２コンベヤから搬送される前記処理後物品を第３カセットに移載する
請求項２〜５のいずれか１項に記載の物品搬送装置。
【請求項７】
さらに、上昇機能及び下降機能を有する第３昇降機を備え、
前記第３昇降機は、前記処理前物品を収納する第３カセットから、前記処理前物品を前記第１コンベヤに移載する
請求項２〜５のいずれか１項に記載の物品搬送装置。
【請求項８】
さらに、
前記処理前物品を前記物品処理装置に供給するとともに、前記物品処理装置から排出された前記処理後物品を載置する供給排出ポートと、
上昇機能及び下降機能を有する第２昇降機と、
上昇機能及び下降機能を有する第３昇降機と
を備え、
前記第１昇降機は、前記処理前物品を収納する第１カセットから搬送される前記処理前物品を前記第１コンベヤに移載し、
前記第２昇降機は、前記第１コンベヤから搬送される前記処理前物品を前記供給排出ポートに移載するとともに、前記供給排出ポートから移載される前記処理後物品を前記第２コンベヤに移載し、
前記第３昇降機は、前記第２コンベヤから搬送される前記処理後物品を第２カセットに移載する
請求項１に記載の物品搬送装置。
【請求項９】
前記第１コンベヤが前記第２コンベヤの上方に配置されている
請求項１〜請求項８のいずれか１項に記載の物品搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）等のＦＰＤ（Ｆｌａｔ  Ｐａｎｅｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）パネルに用いられるガラス基板等の物品を搬送するための物品搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体工場やＬＣＤ工場では、半導体やＬＣＤ等に用いられる物品を処理するための処理装置がある。例えば、ＬＣＤ工場では、ＬＣＤに用いられるガラス基板をエッチング又は洗浄等するためのガラス基板処理装置がある。
【０００３】
ＬＣＤ工場において、ガラス基板は自動倉庫に保管されており、ガラス基板を処理する度に、ガラス基板はスタッカークレーンによって自動倉庫から物品受け渡しステーションに出庫される。出庫されたガラス基板は、物品搬送装置によってガラス基板処理装置に自動搬送される。その後、ガラス基板は、ガラス基板処理装置によって所定の処理が施された後、再び物品搬送装置によって物品受け渡しステーションに搬送され、再びスタッカークレーンによって自動倉庫に入庫される。
【０００４】
従来、このようなガラス基板における保管と処理とを一体にした効率的な自動倉庫システムが知られている（特許文献１）。この従来の自動倉庫システムは、ガラス基板を収納するラックの背面にガラス基板の処理装置を設けて、ガラス基板の出庫及び入庫を行うものである。このとき、上述のとおり、ガラス基板は、スタッカークレーンによって物品受け渡しステーションに搬送され、その後、物品搬送装置によってガラス基板処理装置に自動搬送される。
【０００５】
ここで、ガラス基板等の物品を搬送するための第１の従来の物品搬送装置について説明する。第１の従来の物品搬送装置は、ガラス基板を一枚ずつ搬送する、いわゆる枚葉式の物品搬送装置である。図１６は、第１の従来の物品搬送装置４００の平面図である。
【０００６】
図１６に示すように、第１の従来の物品搬送装置４００は、スタッカークレーンＳＴＫとガラス基板処理装置ＥＱとの間に配置される。スタッカークレーンＳＴＫは、レールに沿って走行し、物品搬送装置４００との間で物品の受け渡しを行う。
【０００７】
第１の従来の物品搬送装置４００は、図１６に示すように、第１の物品受け渡しステーション４４０、第２の物品受け渡しステーション４５０、供給ポート４６０、排出ポート４７０、第１の方向転換機４８０、第２の方向転換機４９０及びコンベヤ４１０を備える。
【０００８】
第１の物品受け渡しステーション４４０には、自動倉庫から搬出されるガラス基板を収納するための第１カセット４４１が載置される。第１カセット４４１には、処理前の複数のガラス基板が所定の間隔で水平多段状に格納されている。第１カセット４４１は、スタッカークレーンＳＴＫによって自動倉庫から出庫される。
【０００９】
第２の物品受け渡しステーション４５０には、ガラス基板処理装置ＥＱによって処理された後のガラス基板を収納するための第２カセット４５１が載置される。第２カセット４５１には、処理後のガラス基板が所定の間隔で水平多段状に格納される。処理後のガラス基板が収納された第２カセット４５１は、その後、スタッカークレーンＳＴＫによって自動倉庫に入庫される。
【００１０】
供給ポート４６０には、ガラス基板処理装置ＥＱに投入する直前のガラス基板が載置される。ガラス基板は、供給ポート４６０から一枚ずつガラス基板処理装置ＥＱに供給される。
【００１１】
排出ポート４７０には、ガラス基板によって処理された後のガラス基板が排出される。処理後のガラス基板は、コンベヤ４１０に移載されるまでの間、排出ポート４７０に載置される。
【００１２】
第１の方向転換機４８０は、第１の物品受け渡しステーション４４０から受け取った処理前のガラス基板をコンベヤ４１０に移載する。また、第１の方向転換機４８０は、排出ポート４７０から受け取った処理後のガラス基板をコンベヤ４１０に移載する。この際、第１の方向転換機において、処理前又は処理後のガラス基板の搬送方向が転換される。
【００１３】
第２の方向転換機４９０は、処理前のガラス基板をコンベヤ４１０から供給ポート４６０に移載する。また、第２の方向転換機４９０は、処理後のガラス基板をコンベヤ４１０から第２の物品受け渡しステーション４５０に移載する。この際、第２の方向転換機４９０において、処理前及び処理後のガラス基板の搬送方向が転換される。
【００１４】
コンベヤ４１０は、処理前及び処理後のガラス基板を一方向のみに自動搬送する駆動ローラコンベヤである。コンベヤ４１０によって、処理前又は処理後のガラス基板が、第１の方向転換機４８０から第２の方向転換機４９０に一枚ずつ搬送される。
【００１５】
次に、ガラス基板を搬送するときの第１の従来の物品搬送装置４００の動作について、図１６を用いて説明する。なお、図１６に示す白抜き矢印は、処理前のガラス基板が搬送されるローディング搬送経路Ｒ４１を示し、黒矢印は処理後のガラス基板が搬送されるアンローディング搬送経路Ｒ４２を示している。
【００１６】
図１６に示すように、ローディング搬送経路Ｒ４１において、処理前のガラス基板は、第１の物品受け渡しステーション４４０に載置された第１カセット４４１から第１の方向転換機４８０に移載され、コンベヤ４１０によって第２の方向転換機４９０に搬送された後、供給ポート４６０に搬送される。
【００１７】
また、アンローディング搬送経路Ｒ４２において、処理後のガラス基板は、排出ポート４７０から第１の方向転換機４８０に移載され、コンベヤ４１０によって第２の方向転換機４９０に搬送された後、第２の物品受け渡しステーション４５０に載置された第２カセット４５１に収納される。
【００１８】
次に、第２の従来の物品搬送装置について、図１７を用いて説明する。図１７は、第２の従来の物品搬送装置５００の平面図である。なお、図１７に示す白抜き矢印は、処理前のガラス基板が搬送されるローディング搬送経路Ｒ５１を示し、黒矢印は処理後のガラス基板が搬送されるアンローディング搬送経路Ｒ５２を示している。第２の従来の物品搬送装置５００は、上記第１の従来の物品搬送装置４００と基本構成は同じであるので、同じ構成については同じ符号を付しており、その説明は省略又は簡略している。
【００１９】
図１７に示すように、第２の従来の物品搬送装置５００は、スタッカークレーンＳＴＫと物品処理装置ＥＱの間におけるガラス基板の受け渡し方法が第１の従来の物品搬送装置４００と異なっている。第２の従来の物品搬送装置５００の当該ガラス基板の受け渡し方法は、自走式搬送機５８０によって行われる。
【００２０】
自走式搬送機５８０は、図１７に示す矢印Ｌ方向及び矢印Ｒ方向に移動することができるガラス基板搬送機である。自走式搬送機５８０は、ローディング搬送経路Ｒ５１に示すように、第１の物品受け渡しステーション４４０に載置された第１カセット４４１から処理前のガラス基板を受け取って、図１７に示す矢印Ｌ方向に移動し、処理前のガラス基板を供給ポート４６０に供給する。また、自走式搬送機５８０は、アンローディング搬送経路Ｒ５２に示すように、排出ポート４７０から処理後のガラス基板を受け取って、図１７に示す矢印Ｌ方向に移動し、第２の物品受け渡しステーション４５０に載置された第２カセット４５１に処理後のガラス基板を収納する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２１】
【特許文献１】特開２００１−１３０７０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
しかしながら、図１６に示す第１の従来の物品搬送装置４００では、コンベヤ４１０は処理前のガラス基板と処理後のガラス基板の両方を搬送するものであるので、例えば、コンベヤ４１０が処理前のガラス基板を搬送している間は、排出ポート４７０に排出された処理後のガラス基板を排出ポート４７０から移載することができない。
【００２３】
逆に、コンベヤ４１０が処理後のガラス基板を搬送している間は、処理前のガラス基板を第１の物品受け渡しステーション４４０から移載することができない。
【００２４】
このように、第１の従来の物品搬送装置４００では、コンベヤ４１０が、処理前のガラス基板と処理後のガラス基板のいずれか一方しか搬送することができない。このため、ガラス基板処理装置ＥＱから処理後のガラス基板が排出されていたとしても、処理後のガラス基板をコンベヤ４１０に搬送できず排出ポート４７０で待機させなければならなかったり、処理前のガラス基板をコンベヤ４１０に搬送できず第１カセット４４１内に待機させなければならなかったりする。従って、第１の従来の物品搬送装置４００は、処理前のガラス基板を第１カセット４４１からガラス基板処理装置に搬送し、処理後のガラス基板を第２カセット４５１に収納するまでのサイクルタイムが長いという問題がある。
【００２５】
また、図１７に示す第２の従来の物品搬送装置５００では、第１の従来の物品搬送装置４００と同様に、処理前のガラス基板と処理後のガラス基板のいずれか一方しか搬送することができない。従って、第２の従来の物品搬送装置５００についてもサイクルタイムが長いという問題がある。
【００２６】
しかも、第２の従来の物品搬送装置５００では、自走式搬送機５８０は、処理前のガラス基板を供給ポート４６０に供給した後、次に処理後のガラス基板を搬送しようとするが、この場合、自走式搬送機５８０は何も載置しない空の状態で矢印Ｒ方向に移動することになる。このため、さらにサイクルタイムが長くなるという問題がある。
【００２７】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、サイクルタイムが短い物品搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２８】
上記問題を解決するために、本発明に係る物品搬送装置の一態様は、物品処理装置に処理される前の物品である処理前物品と、前記物品処理装置に処理された後の物品である処理後物品とを搬送する物品搬送装置であって、前記処理前物品を搬送する第１コンベヤと、
上昇機能及び下降機能を有し、前記処理前物品を上昇又は下降させて前記第１コンベヤに移載する第１昇降機と、前記第１コンベヤの上方又は下方に配置され、前記処理後物品を搬送する第２コンベヤとを備えたものである。
【００２９】
この構成により、処理前物品又は処理後物品を、第１昇降機によって上昇又は下降させて、第２コンベヤに対して上下方向にある第１コンベヤに移載することができるので、処理前物品と処理後物品とを同時に搬送することができる。従って、サイクルタイムを短くすることができる。また、第１コンベヤと第２コンベヤとを上下方向に重ねて配置しているので、物品搬送装置の設置面積を大きくする必要がなくなる。
【００３０】
さらに、本発明に係る物品搬送装置の一態様において、前記処理前物品を前記物品処理装置に供給する供給ポートと、前記物品処理装置から排出された前記処理後物品を載置する排出ポートと、上昇機能及び下降機能を有する第２昇降機とを備え、前記第１昇降機は、前記処理前物品を収納する第１カセットから搬送される前記処理前物品を前記第１コンベヤに移載するとともに、前記排出ポートから搬送される前記処理後物品を第２コンベヤに移載し、前記第２昇降機は、前記第１コンベヤから搬送される前記処理前物品を前記供給ポートに移載するとともに、前記第２コンベヤから搬送される前記処理後物品を第２カセットに移載することが好ましい。
【００３１】
さらに、本発明に係る物品搬送装置の一態様において、前記供給ポートが配置される位置の高さが、前記第１カセットから前記処理前物品を取り出す高さ若しくは前記第２カセットに前記処理後物品を収納する高さと異なっている、又は、前記排出ポートが配置される位置の高さが、前記第１カセットから前記処理前物品を取り出す高さ若しくは前記第２カセットに前記処理後物品を収納する高さと異なっていることが好ましい。
【００３２】
さらに、本発明に係る物品搬送装置の一態様において、前記第１カセットを載置する第１の物品受け渡しステーションと、前記第２カセットを載置する第２の物品受け渡しステーションとを備えることが好ましい。
【００３３】
さらに、本発明に係る物品搬送装置の一態様において、前記第１の物品受け渡しステーションと前記排出ポートとが対向して配置されるとともに、前記第２の物品受け渡しステーションと前記供給ポートとが対向して配置されることが好ましい。
【００３４】
さらに、本発明に係る物品搬送装置の一態様において、上昇機能及び下降機能を有する第３昇降機を備え、前記第３昇降機は、前記第２コンベヤから搬送される前記処理後物品を第３カセットに移載することが好ましい。
【００３５】
さらに、本発明に係る物品搬送装置の一態様において、上昇機能及び下降機能を有する第３昇降機を備え、前記第３昇降機は、前記処理前物品を収納する第３カセットから、前記処理前物品を前記第１コンベヤに移載することが好ましい。
【００３６】
さらに、本発明に係る物品搬送装置の一態様において、前記処理前物品を前記物品処理装置に供給するとともに、前記物品処理装置から排出された前記処理後物品を載置する供給排出ポートと、上昇機能及び下降機能を有する第２昇降機と、上昇機能及び下降機能を有する第３昇降機とを備え、前記第１昇降機は、前記処理前物品を収納する第１カセットから搬送される前記処理前物品を前記第１コンベヤに移載し、前記第２昇降機は、前記第１コンベヤから搬送される前記処理前物品を前記供給排出ポートに移載するとともに、前記供給排出ポートから移載される前記処理後物品を前記第２コンベヤに移載し、前記第３昇降機は、前記第２コンベヤから搬送される前記処理後物品を第２カセットに移載することが好ましい。
【００３７】
さらに、本発明に係る物品搬送装置の一態様において、前記第１コンベヤが前記第２コンベヤの上方に配置されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００３８】
本発明に係る物品搬送装置によれば、処理前物品と処理後物品の搬送を同時に行うことができるので、サイクルタイムを短くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の平面図である。
【図２Ａ】図２Ａは、図１に示されるＡ−Ａ’線に沿って切断した物品搬送装置の断面図である。
【図２Ｂ１】図２Ｂ１は、図１に示されるＢ−Ｂ’線に沿って切断した物品搬送装置の断面図であり、第１及び第２昇降機の最大下降時の状態を示している。
【図２Ｂ２】図２Ｂ２は、図１に示されるＢ−Ｂ’線に沿って切断した物品搬送装置の断面図であり、第１及び第２昇降機の最大上昇時の状態を示している。
【図２Ｃ】図２Ｃは、図１に示されるＣ−Ｃ’線に沿って切断した物品搬送装置の断面図である。
【図３Ａ】図３Ａは、ローディング搬送経路のステップＳ１１１における本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図３Ｂ】図３Ｂは、ローディング搬送経路のステップＳ１１２における本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図３Ｃ】図３Ｃは、ローディング搬送経路のステップＳ１１３における本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図３Ｄ】図３Ｄは、ローディング搬送経路のステップＳ１１４における本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図３Ｅ】図３Ｅは、ローディング搬送経路のステップＳ１１５における本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図４Ａ】図４Ａは、アンローディング搬送経路のステップＳ１２１における本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図４Ｂ】図４Ｂは、アンローディング搬送経路のステップＳ１２２における本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図４Ｃ】図４Ｃは、アンローディング搬送経路のステップＳ１２３における本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図４Ｄ】図４Ｄは、アンローディング搬送経路のステップＳ１２４における本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図４Ｅ】図４Ｅは、アンローディング搬送経路のステップＳ１２５における本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図５Ａ】図５Ａは、ステップＳ１Ａにおける本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図５Ｂ】図５Ｂは、ステップＳ１Ｂにおける本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図５Ｃ】図５Ｃは、ステップＳ１Ｃにおける本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図５Ｄ】図５Ｄは、ステップＳ１Ｄにおける本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図５Ｅ】図５Ｅは、ステップＳ１Ｅにおける本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図５Ｆ】図５Ｆは、ステップＳ１Ｆにおける本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図５Ｇ】図５Ｇは、ステップＳ１Ｇにおける本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図５Ｈ】図５Ｈは、ステップＳ１Ｈにおける本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図５Ｉ】図５Ｉは、ステップＳ１Ｉにおける本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図５Ｊ】図５Ｊは、第２カセットに処理後ガラス基板が満たされた状態における本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図６】図６は、本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の平面図である。
【図７Ａ】図７Ａは、図６に示されるＡ−Ａ’線に沿って切断した物品搬送装置の断面図である。
【図７Ｂ１】図７Ｂ１は、図６に示されるＢ−Ｂ’線に沿って切断した物品搬送装置の断面図であり、第１〜第３昇降機の最大下降時の状態を示している。
【図７Ｂ２】図７Ｂ２は、図６に示されるＢ−Ｂ’線に沿って切断した物品搬送装置の断面図であり、第１〜第３昇降機の最大上昇時の状態を示している。
【図７Ｃ】図７Ｃは、図６に示されるＣ−Ｃ’線に沿って切断した物品搬送装置の断面図である。
【図８Ａ】図８Ａは、ローディング搬送経路のステップＳ２１１における本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図８Ｂ】図８Ｂは、ローディング搬送経路のステップＳ２１２における本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図８Ｃ】図８Ｃは、ローディング搬送経路のステップＳ２１３における本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図８Ｄ】図８Ｄは、ローディング搬送経路のステップＳ２１４における本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図８Ｅ】図８Ｅは、ローディング搬送経路のステップＳ２１５における本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図９Ａ】図９Ａは、アンローディング搬送経路のステップＳ２２１における本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図９Ｂ】図９Ｂは、アンローディング搬送経路のステップＳ２２２における本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図９Ｃ】図９Ｃは、アンローディング搬送経路のステップＳ２２３における本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図９Ｄ】図９Ｄは、アンローディング搬送経路のステップＳ２２４における本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図９Ｅ】図９Ｅは、アンローディング搬送経路のステップＳ２２５における本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図１０Ａ】図１０Ａは、ステップＳ２Ａにおける本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１０Ｂ】図１０Ｂは、ステップＳ２Ｂにおける本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１０Ｃ】図１０Ｃは、ステップＳ２Ｃにおける本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１０Ｄ】図１０Ｄは、ステップＳ２Ｄにおける本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１０Ｅ】図１０Ｅは、ステップＳ２Ｅにおける本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１０Ｆ】図１０Ｆは、ステップＳ２Ｆにおける本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１０Ｇ】図１０Ｇは、ステップＳ２Ｇにおける本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１０Ｈ】図１０Ｈは、ステップＳ２Ｈにおける本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１０Ｉ】図１０Ｉは、第２カセットに処理後ガラス基板が満たされた状態における本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１１】図１１は、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の平面図である。
【図１２Ａ】図１２Ａは、図１１に示されるＡ−Ａ’線に沿って切断した物品搬送装置の断面図である。
【図１２Ｂ１】図１２Ｂ１は、図１１に示されるＢ−Ｂ’線に沿って切断した物品搬送装置の断面図であり、第１及び第２昇降機の最大下降時の状態を示している。
【図１２Ｂ２】図１２Ｂ２は、図１１に示されるＢ−Ｂ’線に沿って切断した物品搬送装置の断面図であり、第１及び第２昇降機の最大上昇時の状態を示している。
【図１２Ｃ】図１２Ｃは、図１１に示されるＣ−Ｃ’線に沿って切断した物品搬送装置の断面図である。
【図１３Ａ】図１３Ａは、ローディング搬送経路のステップＳ３１１における本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図１３Ｂ】図１３Ｂは、ローディング搬送経路のステップＳ３１２における本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図１３Ｃ】図１３Ｃは、ローディング搬送経路のステップＳ３１３における本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図１３Ｄ】図１３Ｄは、ローディング搬送経路のステップＳ３１４における本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図１３Ｅ】図１３Ｅは、ローディング搬送経路のステップＳ３１５における本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図１３Ｆ】図１３Ｆは、ローディング搬送経路のステップＳ３１６における本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図１４Ａ】図１４Ａは、アンローディング搬送経路のステップＳ３２１における本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図１４Ｂ】図１４Ｂは、アンローディング搬送経路のステップＳ３２２における本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図１４Ｃ】図１４Ｃは、アンローディング搬送経路のステップＳ３２３における本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図１４Ｄ】図１４Ｄは、アンローディング搬送経路のステップＳ３２４における本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図１４Ｅ】図１４Ｅは、アンローディング搬送経路のステップＳ３２５における本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図１４Ｆ】図１４Ｆは、アンローディング搬送経路のステップＳ３２５における本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の要部断面図である。
【図１５Ａ】図１５Ａは、ステップＳ３Ａにおける本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１５Ｂ】図１５Ｂは、ステップＳ３Ｂにおける本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１５Ｃ】図１５Ｃは、ステップＳ３Ｃにおける本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１５Ｄ】図１５Ｄは、ステップＳ３Ｄにおける本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１５Ｅ】図１５Ｅは、ステップＳ３Ｅにおける本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１５Ｆ】図１５Ｆは、ステップＳ３Ｆにおける本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１５Ｇ】図１５Ｇは、ステップＳ３Ｇにおける本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１５Ｈ】図１５Ｈは、ステップＳ３Ｈにおける本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１５Ｉ】図１５Ｉは、ステップＳ３Ｉにおける本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１５Ｊ】図１５Ｊは、ステップＳ３Ｊにおける本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１５Ｋ】図１５Ｋは、ステップＳ３Ｋにおける本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１５Ｌ】図１５Ｌは、ステップＳ３Ｌにおける本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１５Ｍ】図１５Ｍは、ステップＳ３Ｍにおける本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１５Ｎ】図１５Ｎは、ステップＳ３Ｎにおける本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１５Ｏ】図１５Ｏは、ステップＳ３Ｏにおける本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１５Ｐ】図１５Ｐは、ステップＳ３Ｐにおける本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１５Ｑ】図１５Ｑは、ステップＳ３Ｑにおける本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１５Ｒ】図１５Ｒは、ステップＳ３Ｒにおける本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１５Ｓ】図１５Ｓは、ステップＳ３Ｓにおける本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１５Ｔ】図１５Ｔは、ステップＳ３Ｔにおける本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１５Ｕ】図１５Ｕは、ステップＳ３Ｕにおける本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１５Ｖ】図１５Ｖは、ステップＳ３Ｖにおける本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１５Ｗ】図１５Ｗは、第２カセットに処理後ガラス基板が満たされた状態における本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の模式的な外観斜視図である。
【図１６】図１６は、第１の従来の物品搬送装置の平面図である。
【図１７】図１７は、第２の従来の物品搬送装置の平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
以下、本発明の実施形態に係る物品搬送装置について説明する。
本発明の実施形態に係る物品搬送装置よって搬送される物品としては、例えば、ＬＣＤ、ＰＤＰ、有機ＥＬ等のＦＰＤパネルに用いられるガラス基板がある。この場合、物品処理装置としては、ガラス基板を処理するためのガラス基板処理装置である。ガラス基板の処理としては、例えば、マスク処理、洗浄処理、又は真空蒸着等の薄膜形成処理等がある。その他、ガラス基板処理装置としては、ガラス基板検査装置も含まれる。
【００４１】
ここで、物品処理装置によって処理される前の物品を処理前物品と称し、物品処理装置によって処理された後の物品を処理後物品と称す。従って、上記のように物品処理装置としてガラス基板処理装置を用い、物品としてガラス基板を用いた場合は、前記処理前物品は処理前ガラス基板であり、前記処理後物品は処理後ガラス基板である。
【００４２】
以下、本発明の各実施形態に係る物品搬送装置については、物品処理装置としてガラス基板処理装置を用い、物品としてガラス基板を用いる場合について説明する。
【００４３】
（第１の実施形態）
まず、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置１００について図１及び図２Ａ〜図２Ｃを用いて説明する。図１は、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置１００の平面図である。図２Ａ〜図２Ｃは、図１に示されるＡ−Ａ’線、Ｂ−Ｂ’線、Ｃ−Ｃ’線に沿って切断した物品搬送装置１００の断面図である。
【００４４】
図１に示すように、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置１００は、スタッカークレーンＳＴＫとガラス基板処理装置ＥＱとの間に配置される。
【００４５】
本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置１００は、スタッカークレーンＳＴＫから搬入された処理前ガラス基板Ｇ１をガラス基板処理装置ＥＱに搬送するとともに、ガラス基板処理装置ＥＱから排出された処理後ガラス基板Ｇ２をスタッカークレーンＳＴＫまで搬送するものである。
【００４６】
図１に示すように、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置１００は、コンベヤ部１１０と、コンベヤ部１１０の物品搬入側に配置された第１昇降機１２０と、コンベヤ部１１０の物品搬出側に配置された第２昇降機１３０と、第１昇降機１２０とスタッカークレーンＳＴＫとの間に配置された第１の物品受け渡しステーション（以下、「第１ステーション」と称す）１４０と、第２昇降機１３０とスタッカークレーンＳＴＫとの間に配置された第２の物品受け渡しステーション（以下、「第２ステーション」と称す）１５０と、第２昇降機１３０とガラス基板処理装置ＥＱとの間に配置された供給ポート１６０と、第１昇降機１２０とガラス基板処理装置ＥＱとの間に配置された排出ポート１７０とからなる。
【００４７】
図２Ａに示すように、第１ステーション１４０は、ガラス基板処理装置ＥＱによって処理される前のガラス基板（処理前ガラス基板）Ｇ１が複数枚収納された第１カセット１４１を載置するための載置台であって、当該処理前ガラス基板Ｇ１を第１昇降機１２０に移載するための移載機能を有する。この移載機能は、例えば、駆動ローラコンベヤによって実現することができる。第１カセット１４１は、スタッカークレーンＳＴＫによって自動倉庫の所定の棚から出庫される。第１カセット１４１には、例えば、５０枚の処理前ガラス基板Ｇ１が所定の間隔で水平多段状に格納されている。第１ステーション１４０は、さらに昇降機能を有し、第１カセット１４１を多段階に下降させることができる。第１ステーション１４０の昇降機能と移載機能によって、処理前ガラス基板Ｇ１が第１カセット１４１内から一枚ずつ排出されて第１昇降機１２０に移載される。
【００４８】
第２ステーション１５０は、ガラス基板処理装置ＥＱによって処理された後のガラス基板（処理後ガラス基板）Ｇ２を複数枚収納する第２カセット１５１を載置するための載置台であって、当該処理後ガラス基板Ｇ２を第２昇降機１３０から受け取る機能を有する。第２カセット１５１は、第１カセット１４１と同様の形状であり、例えば、５０枚のガラス基板を水平多段状に格納することができるように構成されている。第２ステーション１５０は、さらに、昇降機能を有し、第２カセット１５１を多段階に上昇させることができる。また、第２ステーション１５０は、例えば、駆動ローラコンベヤで構成される移載機能を有する。第２ステーション１５０の昇降機能と移載機能によって、第２昇降機１３０から移載される処理後ガラス基板Ｇ２が第２カセット１５１内に一枚ずつ格納される。第２カセット１５１に所定枚数（例えば、５０枚）の処理後ガラス基板Ｇ２が収納されると、第２カセット１５１はスタッカークレーンＳＴＫによって自動倉庫の所定の棚に入庫される。なお、後述するように、第２ステーション１５０の地面からの高さは、第１ステーション１４０の地面からの高さと同じである。この第１ステーション及び第２ステーションの高さは、処理前ガラス基板Ｇ１を第１カセット１４１から取り出す位置の高さ及び処理後ガラス基板Ｇ２を第２カセット１５１に収納する位置の高さを基準に設定される。
【００４９】
図２Ｂ１に示すように、第１昇降機１２０は、上昇機能及び下降機能を有する第１昇降部１２１及び第２昇降部１２２を有する。第１昇降部１２１は、第２昇降部１２２の上方に位置するように設けられる上側昇降部である。また、第２昇降部１２２は、第１昇降部１２１の下方に位置するように設けられる下側昇降部である。第１昇降機１２０における第１昇降部１２１と第２昇降部１２２とは、それぞれ独立して駆動するように構成されており、それぞれ独立して動くものである。本実施形態では、図２Ｂ１及び図２Ｂ２に示すように、第１昇降機１２０の第１昇降部１２１及び第２昇降部１２２は、お互いの相対的位置関係が維持されたまま上昇及び下降するようにそれぞれ駆動させている。すなわち、第１昇降部１２１と第２昇降部１２２の間は常に一定の距離が保たれており、第１昇降部１２１と第２昇降部１２２とは連動した昇降動作を行う。なお、本実施形態のように、第１昇降部１２１と第２昇降部１２２との相対的位置関係が維持される場合は、第１昇降部１２１と第２昇降部１２２とを一体化して構成することもできる。
【００５０】
第１昇降機１２０において、上層に位置する第１昇降部１２１は、処理前ガラス基板Ｇ１を搬送するものであり、第１ステーション１４０から移載される処理前ガラス基板Ｇ１を一枚ずつ受け取り、処理前ガラス基板Ｇ１を載置した状態で上昇した後、処理前ガラス基板Ｇ１をコンベヤ部１１０の第１コンベヤ１１１に移載する。
【００５１】
一方、第１昇降部１２１の下層に位置する第２昇降部１２２は、処理後ガラス基板Ｇ２を搬送するものであり、排出ポート１７０から移載される処理後ガラス基板Ｇ２を一枚ずつ受け取り、処理後ガラス基板Ｇ２を載置した状態で下降した後、処理後ガラス基板Ｇ２をコンベヤ部１１０の第２コンベヤ１１２に移載する。
【００５２】
なお、本実施形態では、第１昇降機１２０における第１昇降部１２１と第２昇降部１２２とは、それぞれ処理前ガラス基板Ｇ１のみ及び処理後ガラス基板Ｇ２のみを搬送するように構成した。但し、第１昇降部１２１の機能と第２昇降部１２２の機能とを切り替えるように構成することもでき、これにより、第１コンベヤ１１１の機能と第２コンベヤ１１２の機能とを切り替えた物品搬送装置を構成することもできる。
【００５３】
また、処理前ガラス基板Ｇ１及び処理後ガラス基板Ｇ２のコンベヤ部１１０への移載は、第１昇降部１２１及び第２昇降部１２２に駆動ローラコンベヤ等を設けることによって行うことができる。また、図１に示すように、処理前ガラス基板Ｇ１が第１ステーション１４０から第１昇降機１２０に搬入されてくる方向と、当該処理前ガラス基板Ｇ１が第１昇降機１２０から第１コンベヤ１１１に搬出する方向とは、直角になっている。同様に、処理後ガラス基板Ｇ２が排出ポート１７０から第１昇降機１２０に搬入されてくる方向と、当該処理後ガラス基板Ｇ２が第１昇降機１２０から第２コンベヤ１１２に搬出する方向とは、直角になっている。すなわち、本実施形態における第１昇降機１２０は、ガラス基板の搬送方向を転換する転換機能を有し、これにより、処理前ガラス基板Ｇ１又は処理後ガラス基板Ｇ２の搬送方向が９０度転換される。
【００５４】
コンベヤ部１１０は、図２Ｂ１及び図２Ｂ２に示すように、第１コンベヤ１１１と第２コンベヤ１１２とで構成される二層式のコンベヤである。第１コンベヤ１１１及び第２コンベヤ１１２は、ガラス基板を一枚ずつ自動搬送するための枚葉式のコンベヤであり、第１コンベヤ１１１は、第２コンベヤ１１２の上方に設けられる上側コンベヤである。また、第２コンベヤ１１２は第１コンベヤ１１１の下方に設けられる下側コンベヤである。
【００５５】
上層に位置する第１コンベヤ１１１は、第１昇降機１２０の第１昇降部１２１から搬送されてくる処理前ガラス基板Ｇ１を第２昇降機１３０に搬送するための駆動ローラコンベヤである。第１コンベヤ１１１は、処理前ガラス基板Ｇ１を搬送するための処理前ガラス基板用コンベヤである。なお、本実施形態では、第１コンベヤ１１１として駆動ローラコンベヤを用いたが、エア浮上コンベヤ等その他のコンベヤを用いても構わない。
【００５６】
一方、第１コンベヤ１１１に対して下層に位置する第２コンベヤ１１２は、第１昇降機１２０の第２昇降部１２２から搬送される処理後ガラス基板Ｇ２を第２昇降機１３０に搬送するための駆動ローラコンベヤである。第２コンベヤ１１２は、処理後ガラス基板Ｇ２を搬送するための処理後ガラス基板用コンベヤである。なお、本実施形態では、第１コンベヤ１１１として駆動ローラコンベヤを用いたが、エア浮上コンベヤ等その他のコンベヤを用いても構わない。
【００５７】
なお、第１コンベヤ１１１と第２コンベヤ１１２とは同じ構成であり、処理前ガラス基板Ｇ１及び処理後ガラス基板Ｇ２を同じ方向（図１及び図２Ｂ１の紙面左方向）に搬送する。また、図示していないが、第１コンベヤ１１１と第２コンベヤ１１２は、所定の方法によって固定されている。
【００５８】
第２昇降機１３０は、第１昇降機１２０と同様の構成であって、上昇機能及び下降機能を有する第１昇降部１３１及び第２昇降部１３２を有する。第１昇降部１３１は、第２昇降部１３２の上方に位置するように設けられる上側昇降部である。また、第２昇降部１３２は、第１昇降部１３１の下方に位置するように設けられる下側昇降部である。第２昇降機１３０における第１昇降部１３１と第２昇降部１３２とは、それぞれ独立して駆動するように構成されており、それぞれ独立して動くものである。本実施形態では、図２Ｂ１及び図２Ｂ２に示すように、第２昇降機１３０の第１昇降部１３１及び第２昇降部１３２は、お互いの相対的位置関係が維持されたまま上昇及び下降するようにそれぞれ駆動させている。すなわち、第１昇降部１３１と第２昇降部１３２の間は常に一定の距離が保たれており、第１昇降部１３１と第２昇降部１３２とは連動した昇降動作を行う。なお、本実施形態のように、第１昇降部１３１と第２昇降部１３２との相対的位置関係が維持される場合は、第１昇降部１３１と第２昇降部１３２とを一体化して構成することもできる。
【００５９】
第２昇降機１３０において、上層に位置する第１昇降部１３１は、処理前ガラス基板Ｇ１を搬送するものであり、コンベヤ部１１０の第１コンベヤ１１１から移載される処理前ガラス基板Ｇ１を一枚ずつ受け取り、処理前ガラス基板Ｇ１を載置した状態で下降した後、処理前ガラス基板Ｇ１を供給ポート１６０に移載する。
【００６０】
一方、第１昇降部１３１の下層に位置する第２昇降部１３２は、処理後ガラス基板Ｇ２を搬送するものであり、コンベヤ部１１０の第２コンベヤ１１２から移載される処理後ガラス基板Ｇ２を一枚ずつ受け取り、処理後ガラス基板Ｇ２を載置して上昇した後、処理後ガラス基板Ｇ２を第２ステーション１５０に載置される第２カセット１５１に一枚ずつ収納する。
【００６１】
なお、本実施形態では、第２昇降機１３０における第１昇降部１３１と第２昇降部１３２とは、それぞれ処理前ガラス基板Ｇ１のみ及び処理後ガラス基板Ｇ２のみを搬送するように構成した。但し、第１昇降部１３１の機能と第２昇降部１３２の機能とを切り替えるように構成することもでき、これにより、第１コンベヤ１１１の機能と第２コンベヤ１１２の機能とを切り替えた物品搬送装置を構成することもできる。
【００６２】
また、処理前ガラス基板Ｇ１の供給ポート１６０への移載と処理後ガラス基板Ｇ２の第２カセット１５１への移載は、第１昇降部１３１及び第２昇降部１３２に駆動ローラコンベヤ等を設けることによって行うことができる。また、図１に示すように、処理前ガラス基板Ｇ１が第１コンベヤ１１１から第２昇降機１３０に搬入されてくる方向と、処理前ガラス基板Ｇ１が第２昇降機１３０から供給ポート１６０に搬出する方向とは、直角になっている。同様に、処理後ガラス基板Ｇ２が第２コンベヤ１１２から第２昇降機１３０に搬入されてくる方向と、処理後ガラス基板Ｇ２が第２昇降機１３０から第２ステーション１５０に搬出する方向とは、直角になっている。すなわち、第２昇降機１３０は、ガラス基板の搬送方向を転換する転換機能を有し、これにより、処理前ガラス基板Ｇ１又は処理後ガラス基板Ｇ２の搬送方向が９０度転換される。
【００６３】
図１に示すように、供給ポート１６０は、第２昇降機１３０を介して第２ステーション１５０に対向する位置に設けられている。供給ポート１６０は、第２昇降機１３０の第１昇降部１３１から移載される処理前ガラス基板Ｇ１を一枚ずつ受け取るための載置台であって、当該処理前ガラス基板Ｇ１をガラス基板処理装置ＥＱに供給する機能を有する。処理前ガラス基板Ｇ１のガラス基板処理装置ＥＱへの供給は、例えば、駆動ローラコンベヤ等によって行うことができる。この供給ポート１６０によって、処理前ガラス基板Ｇ１がガラス基板処理装置ＥＱに供給される。なお、ガラス基板処理装置ＥＱに対して供給待ちの処理前ガラス基板Ｇ１は供給ポート１６０で待機する。
【００６４】
排出ポート１７０は、図１に示すように、第１昇降機１２０を介して第１ステーション１４０に対向する位置に設けられている。排出ポート１７０は、ガラス基板処装置ＥＱから排出された処理後ガラス基板Ｇ２を一枚ずつ受け取るための載置台であって、当該処理後ガラス基板Ｇ２を第１昇降機１２０に搬送する機能を有する。処理後ガラス基板Ｇ２の第１昇降機１２０への搬送は、例えば、駆動ローラコンベヤ等によって行うことができる。
【００６５】
以上、このように構成された各構成要素が配置される位置の高さ関係について説明する。図２Ａ〜図２Ｃに示すように、第１ステーション１４０及び第２ステーション１５０の高さをＨ１S1、Ｈ１S2とし、第１コンベヤ１１１及び第２コンベヤ１１２の高さをＨ１VC1、Ｈ１VC2とする。また、第１昇降機１２０における第１昇降部１２１の最大上昇時高さ及び最大下降時高さをＨ１L11max、Ｈ１L11minとし、第１昇降機１２０における第２昇降部１２２の最大上昇時高さ及び最大下降時高さをＨ１L12max、Ｈ１L12minとする。同様に、第２昇降機１３０の第１昇降部１３１の最大上昇時高さ及び最大下降時高さをＨ１L21max、Ｈ１L21minとし、第２昇降機１３０の第２昇降部１３２の最大上昇時高さ及び最大下降時高さをＨ１L22max、Ｈ１L22minとする。また、供給ポート１６０及び排出ポート１７０の高さをＨ１P1とＨ１P2とする。
【００６６】
この場合、最上位に位置する構成要素の高さ関係は、Ｈ１VC1＝Ｈ１L11max＝Ｈ１L21maxであり、二番目に位置する構成要素の高さ関係は、Ｈ１S1＝Ｈ１S2＝Ｈ１L11min＝Ｈ１L21min＝Ｈ１L12max＝Ｈ１L22max＝Ｈ１P1＝Ｈ１P2であり、最下位に位置する構成要素の高さ関係は、Ｈ１VC2＝Ｈ１L12min＝Ｈ１L22minである。このように、本実施形態に係る構成要素は、３層の高さ位置に配置されている。
【００６７】
なお、第１ステーション１４０及び第２ステーション１５０の高さについては、第１ステーション１４０及び第２ステーション１５０の高さそのものが重要なのではなく、処理前ガラス基板Ｇ１を第１カセット１４１から取り出す位置の高さ及び処理後ガラス基板Ｇ２を第２カセット１５１に収納する位置の高さが重要である。従って、この第１ステーション１４０の高さは、処理前ガラス基板Ｇ１を第１カセット１４１から取り出す位置の高さを基準にして設定され、また、第２ステーション１５０の高さは、処理後ガラス基板Ｇ２を第２カセット１５１に収納する位置の高さを基準にして設定される。
【００６８】
次に、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置１００の動作について、図１、図３Ａ〜図３Ｅ及び図４Ａ〜図４Ｅを用いて説明する。ここで、図１に示す白抜き矢印は、処理前ガラス基板Ｇ１が搬送されるローディング搬送経路Ｒ１１を示し、黒矢印は処理後ガラス基板Ｇ２が搬送されるアンローディング搬送経路Ｒ１２を示している。図３Ａ〜図３Ｅは、図１に示すローディング搬送経路Ｒ１１における本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図である。また、図４Ａ〜図４Ｅは、図１に示すアンローディング搬送経路Ｒ１２における本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図である。
【００６９】
最初に、処理前ガラス基板Ｇ１についてのローディング搬送経路Ｒ１１について説明する。なお、実際は、処理前ガラス基板Ｇ１とともに処理後ガラス基板Ｇ２も同時に搬送されるが、ここでは説明を簡単にするために、処理前ガラス基板Ｇ１の搬送についてのみ説明する。
【００７０】
まず、図３Ａに示すように、複数の処理前ガラス基板Ｇ１が収納された第１カセット１４１が第１ステーション１４０に載置された後、第１ステーション１４０の移載機能によって、最下層にある一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１が第１カセット１４１から第１昇降機１２０の第１昇降部１２１に移載される（ステップＳ１１１）。
【００７１】
次に、図３Ｂに示すように、第１昇降機１２０が上昇することにより、処理前ガラス基板Ｇ１が載置された第１昇降部１２１が第１コンベヤ１１１の高さまで上昇する（ステップＳ１１２）。このとき、第１カセット１４１は第１ステーション１４０の昇降機能によって一段下降し、次に搬送する二枚目の処理前ガラス基板Ｇ１の搬送準備が行われる。
【００７２】
次に、図３Ｃに示すように、第１昇降機１２０の移載機能によって処理前ガラス基板Ｇ１は第１コンベヤ１１１に移載され、引き続き第１コンベヤ１１１によって処理前ガラス基板Ｇ１は第２昇降機１３０の第１昇降部１３１に搬送される（ステップＳ１１３）。これにより、処理前ガラス基板Ｇ１は第２昇降機１３０の第１昇降部１３１に載置される。
【００７３】
次に、図３Ｄに示すように、第２昇降機１３０が下降することにより、処理前ガラス基板Ｇ１が載置された第２昇降機１３０の第１昇降部１３１が供給ポート１６０の高さまで下降する（ステップＳ１１４）。
【００７４】
次に、図３Ｅに示すように、第２昇降機１３０の移載機能によって処理前ガラス基板Ｇ１は第２昇降機１３０から供給ポート１６０に移載される（ステップＳ１１５）。供給ポート１６０に載置された処理前ガラス基板Ｇ１は、その後ガラス基板処理装置ＥＱによって所定の処理が施される。このとき、第１昇降機１２０の第１昇降部１２１には、次の二枚目の処理前ガラス基板Ｇ１が第１カセット１４１から移載される。
【００７５】
なお、以降は、図３Ａの動作に戻って、第１カセット１４１内の処理前ガラス基板Ｇ１がなくなるまで図３Ｂ以降の同じ動作が繰り返される。
【００７６】
次に、図１に示す処理後ガラス基板Ｇ２のアンローディング搬送経路Ｒ１２について、図４Ａ〜図４Ｅを参照して説明する。なお、上述のとおり、実際は、処理後ガラス基板Ｇ２とともに処理前ガラス基板Ｇ１も同時に搬送されるが、ここでは説明を簡単にするために、処理後ガラス基板Ｇ２の搬送についてのみ説明する。
【００７７】
まず、図４Ａに示すように、排出ポート１７０に排出された処理後ガラス基板Ｇ２は、排出ポート１７０の移載機能によって排出ポート１７０から第１昇降機１２０の第２昇降部１２２に移載される（ステップＳ１２１）。
【００７８】
次に、図４Ｂに示すように、第１昇降機１２０が下降することにより、処理後ガラス基板Ｇ２が載置された第１昇降機１２０の第２昇降部１２２が第２コンベヤ１１２の高さまで下降する（ステップＳ１２２）。
【００７９】
次に、図４Ｃに示すように、第１昇降機１２０の移載機能によって処理後ガラス基板Ｇ２は第２コンベヤ１１２に移載された後、引き続き第２コンベヤ１１２によって処理後ガラス基板Ｇ２は第２昇降機１３０の第２昇降部１３２に搬送される（ステップＳ１２３）。これにより、処理後ガラス基板Ｇ２は第２昇降機１３０の第２昇降部１３２に載置される。
【００８０】
次に、図４Ｄに示すように、第２昇降機１３０が上昇することにより、処理後ガラス基板Ｇ２が載置された第２昇降機１３０の第２昇降部１３２が第２ステーション１５０の高さまで上昇する（ステップＳ１２４）。このとき、本実施形態では、次の処理後ガラス基板Ｇ２が排出ポート１７０に排出されている。
【００８１】
次に、図４Ｅに示すように、第２昇降機１３０の移載機能によって、処理後ガラス基板Ｇ２は、第２昇降機１３０から第２ステーション１５０に載置された第２カセット１５１内に移載される（ステップＳ１２５）。その後、処理後ガラス基板Ｇ２が収納された第２カセット１５１は、次の処理後ガラス基板Ｇ２を収納するために一段上昇する。このとき、第１昇降機１２０の第１昇降部１２１には、次の処理後ガラス基板Ｇ２が移載されている。
【００８２】
なお、以降は、図４Ａの動作に戻って、第２カセット１５１内に処理後ガラス基板Ｇ２が所定枚数収納されるまで図４Ｂ以降の同じ動作が繰り返される。
【００８３】
次に、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置１００において、処理前ガラス基板Ｇ１と処理後ガラス基板Ｇ２とを同時に搬送する動作について、図５Ａ〜図５Ｊを参照して説明する。図５Ａ〜図５Ｊは、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置１００の動作を示す図であり、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置１００を模式的に表した外観斜視図である。なお、図５Ａ〜図５Ｊにおいては、処理前ガラス基板Ｇ１と処理後ガラス基板Ｇ２の動作に着目し、それ以外の構成については簡略化又は省略している。また、各図において、処理前ガラス基板Ｇ１は白抜き矩形で表しており、処理後ガラス基板Ｇ２はハッチング矩形で表している。各図中の細矢印は、処理前ガラス基板Ｇ１又は処理後ガラス基板Ｇ２の動きを表しており、白抜き太矢印は、第１昇降機１２０又は第２昇降機１３０が上昇又は下降する動作を表している。なお、第１カセット１４１内及び第２カセット１５１内のガラス基板の枚数は例示である。
【００８４】
まず、図５Ａに示すように、一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１を、第１ステーションに載置された第１カセット１４１内から第１昇降機１２０に移載する（ステップＳ１Ａ）。
【００８５】
次に、図５Ｂに示すように、第１昇降機１２０を上昇させて、一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１を第１コンベヤ１１１の高さ位置に移動させる（ステップＳ１Ｂ）。このとき、排出ポート１７０には、一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２が排出されている。なお、第１昇降機１２０の上昇前に処理後ガラス基板Ｇ２が排出ポート１７０に排出されている場合は、第１昇降機１２０が上昇するまで、処理後ガラス基板Ｇ２を排出ポート１７０に待機させる。一方、第１昇降機１２０が上昇した後も排出ポート１７０に処理後ガラス基板Ｇ２が排出されていない場合は、第１昇降機１２０を上昇させた状態で待機させる。この場合、処理前ガラス基板Ｇ１を連続して搬送するようにしても構わない。これらの点は、以下の動作においても同様である。
【００８６】
次に、図５Ｃに示すように、一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２を排出ポート１７０から第１昇降機１２０に移載する（ステップＳ１Ｃ）。
【００８７】
その後、図５Ｄに示すように、一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１を第１昇降機１２０から第１コンベヤ１１１に移載し、引き続き第１コンベヤ１１１によって、一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１を第２昇降機１３０に搬送する（ステップＳ１Ｄ）。なお、この処理前ガラス基板Ｇ１の第２昇降機１３０への搬送（Ｓ１Ｄ）は、図５Ｃで示す処理後ガラス基板Ｇ２を排出ポート１７０から第１昇降機１２０に移載した（Ｓ１Ｃ）後で行ったが、処理後ガラス基板Ｇ２を排出ポート１７０から第１昇降機１２０に移載させる前に行っても構わない。これは、以下の動作においても同様である。
【００８８】
次に、図５Ｅに示すように、一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１が載置された第１昇降機１２０と、一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２が載置された第２昇降機１３０とを同時に下降させる（ステップＳ１Ｅ）。なお、第１昇降機１２０と第２昇降機１３０とは同時に下降させたが、下降するタイミングはずらしても構わない。但し、サイクルタイムを少しでも向上させるためには同時に下降させることが好ましい。
【００８９】
次に、図５Ｆに示すように、第１昇降機１２０に載置された一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１を供給ポート１６０に移載する。また、第１昇降機１２０から第２コンベヤ１１２に一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２を移載し、引き続き第２コンベヤ１１２によって一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２を第２昇降機１３０に搬送する（ステップＳ１Ｆ）。これら処理前ガラス基板Ｇ１の移載と処理後ガラス基板Ｇ２の搬送とはサイクルタイムを向上させるために同時に行うことが好ましいが、タイミングをずらして行っても構わない。なお、このとき、第１カセット１４１からは二枚目の処理前ガラス基板Ｇ１が第１昇降機１２０に移載されている。
【００９０】
次に、図５Ｇに示すように、一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２が載置された第２昇降機１３０を上昇させる（ステップＳ１Ｇ）。このとき、二枚目の処理前ガラス基板Ｇ１が載置された第１昇降機１２０も同時に上昇させる。このとき、排出ポート１７０には、二枚目の処理後ガラス基板Ｇ２が排出されている。
【００９１】
次に、図５Ｈに示すように、一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２を第２昇降機１３０から第２ステーション１５０に移載し、一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２を第２ステーション１５０に載置された第２カセット１５１に収納する（ステップＳ１Ｈ）。このとき、排出ポート１７０に載置された二枚目の処理後ガラス基板Ｇ２は排出ポート１７０から第１昇降機１２０に移載される。
【００９２】
次に、図５Ｉに示すように、二枚目の処理前ガラス基板Ｇ１を第１昇降機１２０から第１コンベヤ１１１に移載し、引き続き第１コンベヤ１１１によって二枚目の処理前ガラス基板Ｇ２を第２昇降機１３０に搬送する（ステップＳ１Ｉ）。なお、この動作は、図５Ｄに示す動作と同じである。
【００９３】
以降、二枚目の処理前ガラス基板Ｇ１及び二枚目の処理後ガラス基板Ｇ２、さらに、これ以降の処理前ガラス基板Ｇ１及び処理後ガラス基板Ｇ２に対して、上述の図５Ｅ〜図５Ｈに示す動作を繰り返すことにより、最終的に、図５Ｊに示すように、第１カセット１４１内は空になり、第２カセット１５１には所定枚数の処理後ガラス基板Ｇ２が収納される。
【００９４】
なお、処理後ガラス基板Ｇ２が満たされ第２カセット１５１は、その後、スタッカークレーンＳＴＫによって自動倉庫の所定の棚に入庫される。また、新たにガラス基板を処理する必要がある場合は、スタッカークレーンＳＴＫによって、処理前ガラス基板Ｇ１が収納された次の第１カセット１４１が第１ステーション１４０に載置される。
【００９５】
以上、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置１００は、処理前ガラス基板Ｇ１と処理前ガラス基板Ｇ２とをそれぞれ第１コンベヤ１１１及び第２コンベヤ１１２によって別個に同時に搬送するものである。しかも、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置１００は、第１昇降機１２０と第２昇降機１３０とを用いることによって、ローディング搬送中の処理前ガラス基板Ｇ１とアンローディング搬送中の処理後ガラス基板Ｇ２との受け取り及び供給の動作を交互に行っているので、高タクトで処理前ガラス基板Ｇ１と処理前ガラス基板Ｇ２とを搬送させることができる。従って、ガラス基板処理装置ＥＱに対するガラス基板の供給と排出を連続して行うことができるので、サイクルタイムを大幅に向上させることができる。また、第１コンベヤ１１１と第２コンベヤ１１２とを上下方向に重ねて配置しているので、物品搬送装置の設置面積を増大させることなく、物品搬送装置を設置することができる。
【００９６】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置２００について図６及び図７Ａ〜図７Ｃを用いて説明する。図６は、本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置２００の平面図である。図７Ａ〜図７Ｃは、図６に示されるＡ−Ａ’線、Ｂ−Ｂ’線、Ｃ−Ｃ’線に沿って切断した物品搬送装置２００の断面図である。
【００９７】
本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置２００は、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置１００と基本的な構成は同じである。本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置２００が本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置１００と異なる点は、コンベヤ部の構成、供給ポート及び搬送ポートの構成、第２ステーションの配置位置、さらに、第３昇降機を有する点である。なお、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置１００と同じ構成については、同じ符号を付しており、その説明は省略又は簡略化している。
【００９８】
図６に示すように、本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置２００において、コンベヤ部２１０はガラス基板の搬送方向において２つに分割されており、その分割されたコンベヤ間に、第３昇降機２８０が配置されている。また、第３昇降機２８０と対向する位置に、第２カセット１５１を載置するための第２ステーション１５０が配置されている。また、本実施形態では、第１の実施形態における供給ポート１６０と排出ポート１７０とを兼用した供給排出ポート２６０を備えており、供給排出ポート２６０は第２昇降機１３０とガラス基板処理装置ＥＱとの間に配置されている。
【００９９】
図７Ｂ１及び図７Ｂ２に示すように、本実施形態に係るコンベヤ部２１０は、第１コンベヤ２１１と第２コンベヤ２１２とで構成される２層式のコンベヤである。第１コンベヤ２１１及び第２コンベヤ２１２は、ガラス基板を一枚ずつ自動搬送するための枚葉式のコンベヤであり、第１コンベヤ２１１は、第２コンベヤ１１２の上方に設けられる上側コンベヤである。また、第２コンベヤ２１２は下側コンベヤである。
【０１００】
上層に位置する第１コンベヤ２１１は、処理前ガラス基板Ｇ１のみを搬送するものであり、処理前ガラス基板Ｇ１の搬送方向の前後方向において、さらに、第１コンベヤ前方部２１１ａと第１コンベヤ後方部２１１ｂとに分割されている。搬送方向に対して後方に位置する第１コンベヤ後方部２１１ｂは、第１昇降機１２０の第１昇降部１２１から搬送される処理前ガラス基板Ｇ１を第３昇降機２８０の第１昇降部２８１に搬送するための駆動ローラコンベヤである。搬送方向に対して前方に位置する第１コンベヤ前方部２１１ａは、第３昇降機２８０の第１昇降部２８１から搬送される処理前ガラス基板Ｇ１を第２昇降機１３０の第１昇降部１３１に搬送するための駆動ローラコンベヤである。
【０１０１】
一方、第１コンベヤ２１１に対して下層に位置する第２コンベヤ２１２は、処理後ガラス基板Ｇ２のみを搬送するものであり、第１コンベヤ前方部２１１ａに対向する位置にのみ配置されている。第２コンベヤ２１２は、第２昇降機１３０の第２昇降部１３２から搬送される処理後ガラス基板Ｇ２を第３昇降機２８０の第２昇降部２８２に搬送するための駆動ローラコンベヤである。
【０１０２】
なお、処理前ガラス基板Ｇ１の搬送方向は、図６、図７Ｂ１及び図７Ｂ２の紙面左方向であり、処理後ガラス基板Ｇ２の搬送方向は、図６、図７Ｂ１及び図７Ｂ２の紙面右方向であり、本実施形態では、コンベヤ部２１０における処理前ガラス基板Ｇ１と処理後ガラス基板Ｇ２の搬送方向は逆方向となっている。また、図示していないが、第１コンベヤ２１１と第２コンベヤ２１２は、所定の方法によって固定されている。
【０１０３】
第３昇降機２８０は、第１昇降機１２０及び第２昇降機１３０と同様の構成であって、上昇機能及び下降機能を有する第１昇降部２８１及び第２昇降部２８２を有する。第１昇降部２８１は、第２昇降部２８２の上方に位置するように設けられる上側昇降部である。また、第２昇降部２８２は、第１昇降部２８１の下方に位置するように設けられる下側昇降部である。第３昇降機２８０における第１昇降部２８１と第２昇降部２８２とは、それぞれ独立して駆動するように構成されており、それぞれ独立して動くものである。本実施形態では、図７Ｂ１及び図７Ｂ２に示すように、第３昇降機２８０の第１昇降部２８１及び第２昇降部２８２は、お互いの相対的位置関係が維持されたまま上昇及び下降するようにそれぞれ駆動させている。すなわち、第１昇降部２８１と第２昇降部２８２の間は常に一定の距離が保たれており、第１昇降部２８１と第２昇降部２８２とは連動した昇降動作を行う。なお、本実施形態のように、第１昇降部２８１と第２昇降部２８２との相対的位置関係が維持される場合は、第１昇降部２８１と第２昇降部２８２とを一体化して構成することもできる。
【０１０４】
第３昇降機２８０において、上層に位置する第１昇降部２８１は、処理前ガラス基板Ｇ１を搬送するものであり、第１コンベヤ２１１の第１コンベヤ後方部２１１ｂから搬送される処理前ガラス基板Ｇ１を一枚ずつ受け取り、当該処理前ガラス基板Ｇ１を第１コンベヤ前方部２１１ａに搬送する。
【０１０５】
一方、第１昇降部２８１の下層に位置する第２昇降部２８２は、処理後ガラス基板Ｇ２を搬送するものであり、第２コンベヤ２１２から搬送される処理後ガラス基板Ｇ２を一枚ずつ受け取り、処理後ガラス基板Ｇ２を載置して上昇した後、処理後ガラス基板Ｇ２を第２ステーション１５０に載置される第２カセット１５１に一枚ずつ収納する。
【０１０６】
なお、本実施形態では、第３昇降機２８０における第１昇降部２８１と第２昇降部２８２とは、それぞれ処理前ガラス基板Ｇ１のみ及び処理後ガラス基板Ｇ２のみを搬送するように構成した。
【０１０７】
また、第１昇降部２８１による処理前ガラス基板Ｇ１の移載と第２昇降部２８２による処理後ガラス基板Ｇ２の移載は、第１昇降部２８１及び第２昇降部２８２に駆動ローラコンベヤ等を設けることによって行うことができる。また、図６に示すように、処理後ガラス基板Ｇ２が第２コンベヤ２１２から第３昇降機２８０に搬入されてくる方向と、処理後ガラス基板Ｇ２が第３昇降機２８０から第２ステーション１５０に搬出する方向とは、直角になっている。すなわち、第３昇降機２８０は、少なくとも第２昇降部２８２がガラス基板の搬送方向を転換する転換機能を有し、これにより、処理後ガラス基板Ｇ２の搬送方向が９０度転換される。一方、第１昇降部２８１によって処理前ガラス基板Ｇ１の搬送方向は転換されない。なお、第３昇降機２８０として第１昇降機１２０又は第２昇降機１３０と同じ装置を用いることができる。
【０１０８】
図６に示すように、供給排出ポート２６０は、第２昇降機１３０に対向する位置に配置されている。供給排出ポート２６０は、第１の実施形態の供給ポート１６０と同様に、第２昇降機１３０の第１昇降部１３１から移載される処理前ガラス基板Ｇ１を一枚ずつ受け取るための載置台であって、当該処理前ガラス基板Ｇ１をガラス基板処理装置ＥＱに供給する機能を有する。さらに、供給排出ポート２６０は、ガラス基板処装置ＥＱから排出された処理後ガラス基板Ｇ２を一枚ずつ受け取るための載置台でもあり、当該処理後ガラス基板Ｇ２を第２昇降機１３０に搬送する機能も有する。すなわち、供給排出ポート２６０は、第１の実施形態に係る供給ポート１６０と排出ポート１７０の両方の機能を兼ね備えている。
【０１０９】
なお、処理前ガラス基板Ｇ１のガラス基板処理装置ＥＱへの供給又は処理後ガラス基板Ｇ２の第２昇降機１３０への搬送は、例えば、駆動ローラコンベヤ等によって行うことができる。また、処理前ガラス基板Ｇ１のガラス基板処理装置ＥＱへの供給と処理後ガラス基板Ｇ２のガラス基板処理装置ＥＱからの排出は同時に行われることはなく、供給排出ポート２６０には、処理前ガラス基板Ｇ１及び処理後ガラス基板Ｇ２のどちらか一方のみが載置される。
【０１１０】
なお、図７Ｂ１に示すように、本実施形態に係る第１昇降機１２０は、第１の実施形態に係る第１昇降機１２０と同じ構成としたが、本実施形態においては、第１昇降機１２０の下側の第２昇降部１２２はガラス基板を搬送しないので、第２昇降部１２２はなくても構わない。
【０１１１】
以上、このように構成された各構成要素が配置される位置の高さ関係について説明する。図７Ａ〜図７Ｃに示すように、第１ステーション１４０及び第２ステーション１５０の高さをＨ２S1、Ｈ２S2とし、第１コンベヤ２１１及び第２コンベヤ２１２の高さをＨ２VC1、Ｈ２VC2とする。また、第１昇降機１２０における第１昇降部１２１の最大上昇時高さ及び最大下降時高さをＨ２L11max、Ｈ２L11minとし、第１昇降機１２０における第２昇降部１２２の最大上昇時高さ及び最大下降時高さをＨ２L12max、Ｈ２L12minとする。同様にして、第２昇降機１３０及び第３昇降機２８０のそれぞれの構成要素についても、その高さをＨ２L21max、Ｈ２L21min、Ｈ２L22max、Ｈ２L22min、Ｈ２L31max、Ｈ２L31min、Ｈ２L32max、Ｈ２L32minとする。また、供給排出ポート２６０の高さをＨ２P1とする。
【０１１２】
この場合、最上位に位置する構成要素の高さ関係は、Ｈ２VC1＝Ｈ２L11max＝Ｈ２L21max＝Ｈ２L31maxであり、二番目に位置する構成要素の高さ関係は、Ｈ２S1＝Ｈ２S2＝Ｈ２P1＝Ｈ２L11min＝Ｈ２L21min＝Ｈ２L31min＝Ｈ２L12max＝Ｈ２L22max＝Ｈ２L32maxであり、最下位に位置する構成要素の高さ関係は、Ｈ２VC2＝Ｈ２L12min＝Ｈ２L22min＝Ｈ２L32minである。このように、本実施形態に係る構成要素は、３層の高さ位置に配置されている。
【０１１３】
次に、このように構成された本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置２００の動作について、図６、図８Ａ〜図８Ｅ及び図９Ａ〜図９Ｅを用いて説明する。ここで、図６に示す白抜き矢印は、処理前ガラス基板Ｇ１が搬送されるローディング搬送経路Ｒ２１を示し、黒矢印は処理後ガラス基板Ｇ２が搬送されるアンローディング搬送経路Ｒ２２を示している。図８Ａ〜図８Ｅは、図１に示すローディング搬送経路Ｒ２１における本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図である。また、図９Ａ〜図９Ｅは、図６に示すアンローディング搬送経路Ｒ２２における本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図である。
【０１１４】
最初に、処理前ガラス基板Ｇ１についてのローディング搬送経路Ｒ２１について説明する。なお、実際は、処理前ガラス基板Ｇ１とともに処理後ガラス基板Ｇ２も同時に搬送されるが、ここでは説明を簡単にするために、処理前ガラス基板Ｇ１の搬送についてのみ説明する。
【０１１５】
まず、図８Ａに示すように、複数の処理前ガラス基板Ｇ１が収納された第１カセット１４１が第１ステーション１４０に載置された後、第１ステーション１４０の移載機能によって、最下層にある一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１が第１カセット１４１から第１昇降機１２０の第１昇降部１２１に移載される（ステップＳ２１１）。
【０１１６】
次に、図８Ｂに示すように、第１昇降機１２０が上昇することにより、処理前ガラス基板Ｇ１が載置された第１昇降部１２１が第１コンベヤ２１１の高さまで上昇する（ステップＳ２１２）。このとき、第１カセット１４１は第１ステーション１４０の昇降機能によって一段下降し、次に搬送する処理前ガラス基板Ｇ１の搬送準備が行われる。
【０１１７】
次に、図８Ｃに示すように、第１昇降機１２０の移載機能によって処理前ガラス基板Ｇ１は第１コンベヤ２１１の第１コンベヤ後方部２１１ｂに移載された後、処理前ガラス基板Ｇ１は、第１コンベヤ１１１によって第３昇降機２８０の第１昇降部２８１に搬送され、引き続き第３昇降機２８０によって第２昇降機１３０の第１昇降部１３１に搬送される（ステップＳ２１３）。これにより、処理前ガラス基板Ｇ１は第２昇降機１３０の第１昇降部１３１に載置される。
【０１１８】
次に、図８Ｄに示すように、第３昇降機２８０が下降することにより、処理前ガラス基板Ｇ１が載置された第２昇降機１３０の第１昇降部１３１が供給排出ポート２６０の高さまで下降する（ステップＳ２１４）。
【０１１９】
次に、図８Ｅに示すように、第２昇降機１３０の移載機能によって処理前ガラス基板Ｇ１は第２昇降機１３０から供給排出ポート２６０に移載される（ステップＳ２１５）。供給排出ポート２６０に載置された処理前ガラス基板Ｇ１は、その後ガラス基板処理装置ＥＱによって所定の処理が施される。このとき、第１昇降機１２０には、次の二枚目の処理前ガラス基板Ｇ１が第１カセット１４１から移載される。
【０１２０】
なお、以降は、図８Ａの動作に戻って、第１カセット１４１内の処理前ガラス基板Ｇ１がなくなるまで図８Ｂ以降の同じ動作が繰り返される。
【０１２１】
次に、図９Ａ〜図９Ｅを参照して、処理後ガラス基板Ｇ２についてのアンローディング搬送経路Ｒ２２について説明する。なお、上述のとおり、実際は、処理後ガラス基板Ｇ２とともに処理前ガラス基板Ｇ１も同時に搬送されるが、ここでは説明を簡単にするために、処理後ガラス基板Ｇ２の搬送についてのみ説明する。
【０１２２】
まず、図９Ａに示すように、供給排出ポート２６０に排出された処理後ガラス基板Ｇ２は、供給排出ポート２６０の搬送機能によって供給排出ポート２６０から第２昇降機１３０の第２昇降部１３２に移載される（ステップＳ２２１）。
【０１２３】
次に、図９Ｂに示すように、第２昇降機１３０が下降することにより、処理後ガラス基板Ｇ２が載置された第２昇降機１３０の第２昇降部１３２が第２コンベヤ２１２の高さまで下降する（ステップＳ２２２）。
【０１２４】
次に、図９Ｃに示すように、第２昇降機１３０の移載機能によって処理後ガラス基板Ｇ２は第２コンベヤ２１２に移載され、引き続き第２コンベヤ２１２によって処理後ガラス基板Ｇ２は第３昇降機２８０の第２昇降部２８２に搬送される（ステップＳ２２３）。これにより、処理後ガラス基板Ｇ２は第３昇降機２８０の第２昇降部２８２に載置される。
【０１２５】
次に、図９Ｄに示すように、第３昇降機２８０が上昇することにより、処理後ガラス基板Ｇ２が載置された第３昇降機２８０の第２昇降部２８２が第２ステーション１５０の高さまで上昇する（ステップＳ２２４）。このとき、本実施形態では、次の処理後ガラス基板Ｇ２が供給排出ポート２６０に排出されている。
【０１２６】
次に、図９Ｅに示すように、第３昇降機２８０の移載機能によって、処理後ガラス基板Ｇ２は、第３昇降機２８０から第２ステーション１５０に載置された第２カセット１５１内に移載される（ステップＳ２２５）。その後、処理後ガラス基板Ｇ２が収納された第２カセット１５１は、次の処理後ガラス基板Ｇ２を収納するために一段上昇する。このとき、第２昇降機１３０の第２昇降部１３２には、次の処理後ガラス基板Ｇ２が移載される。
【０１２７】
なお、以降は、図９Ａの動作に戻って、第２カセット１５１内に処理後ガラス基板Ｇ２が所定枚数収納されるまで図９Ｂ以降の同じ動作が繰り返される。
【０１２８】
次に、本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置２００において、処理前ガラス基板と処理後ガラス基板とを同時に搬送する動作について、図１０Ａ〜図１０Ｉを参照して説明する。図１０Ａ〜図１０Ｉは、本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置２００の動作を示す図であり、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置２００を模式的に表した外観斜視図である。なお、図１０Ａ〜図１０Ｉにおいては、処理前ガラス基板Ｇ１と処理後ガラス基板Ｇ２の動作に着目し、それ以外の構成については簡略化又は省略している。また、各図において、処理前ガラス基板Ｇ１は白抜き矩形で表しており、処理後ガラス基板Ｇ２はハッチング矩形で表している。各図中の細矢印は、処理前ガラス基板Ｇ１又は処理後ガラス基板Ｇ２の動きを表しており、白抜き太矢印は、第１昇降機１２０、第２昇降機１３０又は第３昇降機２８０が上昇又は下降する動作を表している。なお、第１カセット１４１内及び第２カセット１５１内のガラス基板の枚数は例示である。
【０１２９】
まず、図１０Ａに示すように、一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１を、第１ステーション１４０に載置された第１カセット１４１内から第１昇降機１２０に移載する（ステップＳ２Ａ）。
【０１３０】
次に、図１０Ｂに示すように、第１昇降機１２０を上昇させて、一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１を第１コンベヤ２１１の高さ位置に移動させる（ステップＳ２Ｂ）。このとき、供給排出ポート２６０には、一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２が排出されている。
【０１３１】
次に、図１０Ｃに示すように、一枚目の処理後ガラス基板Ｇ１を第１昇降機１２０から第１コンベヤ後方部２１１ｂに移載し、引き続き、第１コンベヤ後方部２１１ｂ、第３昇降機２８０及び第１コンベヤ前方部２１１ａによって一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１を第２昇降機１３０に搬送する。また、このとき、一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２を供給排出ポート２６０から第２昇降機１３０に移載する（ステップＳ２Ｃ）。
【０１３２】
次に、図１０Ｄに示すように、一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１と一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２が載置された第２昇降機１３０を下降させる（ステップＳ２Ｄ）。
【０１３３】
次に、図１０Ｅに示すように、第２昇降機１３０に載置された一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１を供給排出ポート２６０に移載する。また、第２昇降機１３０から第２コンベヤ２１２に一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２を移載し、引き続き第２コンベヤ２１２によって一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２を第３昇降機２８０に搬送する（ステップＳ２Ｅ）。このとき、第１カセット１４１からは二枚目の処理前ガラス基板Ｇ１を第１昇降機１２０に移載する。
【０１３４】
次に、図１０Ｆに示すように、一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２が載置された第３昇降機２８０を上昇させる。このとき、二枚目の処理前ガラス基板Ｇ１が載置された第１昇降機１２０も同時に上昇させる（ステップＳ２Ｆ）。このとき、供給排出ポート２６０には、二枚目の処理後ガラス基板Ｇ２が排出されている。
【０１３５】
次に、図１０Ｇに示すように、一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２を第３昇降機２８０から第２ステーション１５０に移載し、一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２を第２ステーション１５０に載置された第２カセット１５１に収納する（ステップＳ２Ｇ）。同時に、二枚目の処理前ガラス基板Ｇ１を上述と同様にして第１昇降機１２０から第２昇降機１３０に搬送する。また、このとき、供給排出ポート２６０に載置された二枚目の処理後ガラス基板Ｇ２を供給排出ポート２６０から第２昇降機１３０に移載する。
【０１３６】
次に、図１０Ｈに示すように、図１０Ｄと同様にして、一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１と一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２が載置された第２昇降機１３０を下降させる（ステップＳ２Ｈ）。
【０１３７】
以降、二枚目の処理前ガラス基板Ｇ１及び二枚目の処理後ガラス基板Ｇ２、さらに、これ以降の処理前ガラス基板Ｇ１及び処理後ガラス基板Ｇ２に対して、上述の図１０Ｅ〜図１０Ｈと同様の動作を繰り返すことにより、最終的に、図１０Ｉに示すように、第１カセット１４１内は空になり、第２カセット１５１には所定枚数の処理後ガラス基板Ｇ２が収納される。
【０１３８】
なお、処理後ガラス基板Ｇ２が満たされ第２カセット１５１は、その後、スタッカークレーンＳＴＫによって自動倉庫の所定の棚に入庫される。また、新たにガラス基板を処理する必要がある場合は、スタッカークレーンＳＴＫによって、処理前ガラス基板Ｇ１が収納された次の第１カセット１４１が第１ステーション１４０に載置される。
【０１３９】
以上、本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置２００は、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置１００と同様に、処理前ガラス基板Ｇ１と処理前ガラス基板Ｇ２とをそれぞれ第１コンベヤ２１１及び第２コンベヤ２１２によって別個に同時に搬送するものである。しかも、本発明の第２の実施形態に係る物品搬送装置２００は、第１昇降機１２０と第２昇降機１３０と第３昇降機２８０とを用いることによって、ローディング搬送中の処理前ガラス基板Ｇ１とアンローディング搬送中の処理後ガラス基板Ｇ２との受け取り及び供給の動作を交互に行っているので、高タクトで処理前ガラス基板Ｇ１と処理前ガラス基板Ｇ２とを搬送させることができる。従って、ガラス基板処理装置ＥＱに対するガラス基板の供給と排出を連続して行うことができるので、サイクルタイムを大幅に向上させることができる。
【０１４０】
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置３００について図１１及び図１２Ａ〜図１２Ｃを用いて説明する。図１１は、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置３００の平面図である。図１２Ａ〜図１２Ｃは、図１１に示されるＡ−Ａ’線、Ｂ−Ｂ’線、Ｃ−Ｃ’線に沿って切断した物品搬送装置３００の断面図である。なお、図１２Ｂ１、図１２Ｂ２及び図１２Ｃにおいては、各構成要素の高さ関係が分かるように、断面図には現れない構成要素を破線で示している。
【０１４１】
本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置３００は、本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置１００と基本的な構成は同じである。本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置２００が本発明の第１の実施形態に係る物品搬送装置１００と異なる点は、コンベヤ部の構成、第１ステーションから処理前ガラス基板Ｇ１を取り出す高さ及び第２ステーションに処理後ガラス基板Ｇ２を収納する高さと供給ポート及び排出ポートの高さとの高さ方向の位置、第１昇降機及び第２昇降機の動作、さらに、第３ステーション及び第３昇降機を有する点である。なお、本発明の第１及び第２の実施形態に係る物品搬送装置１００、２００と同じ構成については、同じ符号を付しており、その説明は省略又は簡略化している。
【０１４２】
図１１に示すように、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置３００において、２層からなるコンベヤ部３１０はガラス基板の搬送方向において２つに分割されており、その分割されたコンベヤ間に、第３昇降機３８０が配置されている。また、第３昇降機３８０と対向する位置に、第３カセット３５１を載置するための第３の物品受け渡しステーション（以下、「第３ステーション」と称す）３５０が配置されている。なお、後述するように、本実施形態においては、第３ステーション３５０及び第３カセット３５１は設けなくても構わない。
【０１４３】
図１１及び図１２Ａに示すように、図１及び図２Ａと同様にして、第１カセット１４１を載置する第１ステーション１４０及び第２カセットを載置する第２ステーション１５０が配置されている。第３ステーション３５０は、第１ステーション１４０と第２ステーション１５０との間に配置されている。
【０１４４】
第３ステーション３５０は、第２ステーション１５０と同様の機能を有し、処理後ガラス基板Ｇ２を複数枚収納する第３カセット３５１を載置するための載置台であって、当該処理後ガラス基板Ｇ２を第３昇降機３８０から受け取る機能を有する。第３カセット３５１は、第２カセット１５１と同様の形状であり、例えば、５０枚のガラス基板を水平多段状に格納することができるように構成されている。第３ステーション３５０は、さらに、昇降機能を有し、第３カセット３５１を多段階に上昇させることができる。また、第３ステーション３５０は、例えば、駆動ローラコンベヤで構成される移載機能を有する。第３ステーション３５０の昇降機能と移載機能によって、第３昇降機３８０から移載される処理後ガラス基板Ｇ２を第３カセット３５１内に一枚ずつ格納することができる。
【０１４５】
第３ステーション３５０に載置される当該第３カセット３５１は、第２ステーション１５０の第２カセット１５１の予備的なものであり、第２カセット１５１が処理後ガラス基板で満たされてこれ以上処理後ガラス基板を格納することができないような場合、あるいは、処理後ガラス基板を格納しようとするときに第２カセット１５１が第２ステーション１５０に載置されていないような場合に、第３カセット３５１を利用することができる。
【０１４６】
図１２Ｂ１及び図１２Ｂ２に示すように、本実施形態に係る第１昇降機３２０及び第２昇降機３３０は、第１の実施形態に係る第１昇降機１２０及び第２昇降機１３０と基本的構成は同じである。すなわち、本実施形態に係る第１昇降機３２０は、それぞれ上昇機能及び下降機能を有する第１昇降部３２１及び第２昇降部３２２を有する。第１昇降部３２１は、第２昇降部３２２の上方に位置するように設けられる上側昇降部である。また、第２昇降部３２２は、第１昇降部３２１の下方に位置するように設けられる下側昇降部である。
【０１４７】
本実施形態に係る第１昇降機３２０が、第１の実施形態に係る第１昇降機１２０と異なる点は、第１の実施形態に係る第１昇降機１２０では、第１昇降部１２１と第２昇降部１２２とは相対的位置関係が維持されたまま動作しているのに対し、本実施形態に係る第１昇降機３２０では、第１昇降部３２１と第２昇降部３２２とは相対的位置関係が維持されずに動作する点である。なお、第１昇降機３２０に係る第１昇降部３２１と第２昇降部３２２のそれぞれの機能及び動作は、第１の実施形態に係る第１昇降機１２０に係る第１昇降部１２１と第２昇降部１２２と同じであるので、その説明は省略する。
【０１４８】
第２昇降機３３０についても同様であり、本実施形態に係る第２昇降機３３０は、上昇機能及び下降機能を有する第１昇降部３３１及び第２昇降部３３２を有する。第１昇降部３３１は、第２昇降部３３２の上方に位置するように設けられる上側昇降部である。また、第２昇降部３３２は、第１昇降部３３１の下方に位置するように設けられる下側昇降部である。
【０１４９】
本実施形態に係る第２昇降機３３０が第１の実施形態に係る第２昇降機１３０と異なる点は、第１の実施形態に係る第２昇降機１３０では、第１昇降部１３１と第２昇降部１３２とが連動して動作するのに対し、本実施形態に係る第２昇降機３３０では、第１昇降部３３１と第２昇降部３３２とが独立して動作する点である。なお、第２昇降機３３０に係る第１昇降部３３１と第２昇降部３３２のそれぞれの機能及び動作は、第１の実施形態に係る第２昇降機１３０の第１昇降部１３１と第２昇降部１３２と同じであるので、その説明は省略する。
【０１５０】
第３昇降機３８０は、本実施形態に係る第２昇降機３３０と同様の構成を有している。本実施形態に係る第３昇降機３８０は、上昇機能及び下降機能を有する第１昇降部３８１及び第２昇降部３８２を有する。第１昇降部３８１は、第２昇降部３８２の上方に位置するように設けられる上側昇降部である。また、第２昇降部３８２は、第１昇降部の下方に位置するように設けられる下側昇降部である。
【０１５１】
本実施形態に係る第３昇降機３８０は、上記第２昇降機３３０と同様に、第１昇降部３８１と第２昇降部３８２とは独立して動作する。なお、第３昇降機３８０に係る第１昇降部３８１と第２昇降部３８２のそれぞれの機能及び動作は、第２昇降機３３０の第１昇降部３３１と第２昇降部３３２と同じであるので、その説明は省略する。
【０１５２】
本実施形態に係るコンベヤ部３１０は、第１コンベヤ３１１と第２コンベヤ３１２とで構成される２層式のコンベヤである。第１コンベヤ３１１及び第２コンベヤ３１２は、ガラス基板を一枚ずつ自動搬送するための枚葉式のコンベヤであり、第１コンベヤ３１１は、第２コンベヤ３１２の上方に設けられる上側コンベヤである。また、第２コンベヤは下側コンベヤである。
【０１５３】
上層に位置する第１コンベヤ３１１は、処理前ガラス基板Ｇ１のみを搬送するものであり、処理前ガラス基板Ｇ１の搬送方向の前後において、さらに、第１コンベヤ前方部３１１ａと第１コンベヤ後方部３１１ｂとに分割されている。
【０１５４】
搬送方向に対して後方に位置する第１コンベヤ後方部３１１ｂは、第１昇降機３２０の第１昇降部３２１から搬送される処理前ガラス基板Ｇ１を第３昇降機３８０の第１昇降部３８１に搬送するための駆動ローラコンベヤである。搬送方向に対して前方に位置する第１コンベヤ前方部３１１ａは、第３昇降機３８０の第１昇降部３８１から搬送される処理前ガラス基板Ｇ１を第２昇降機３３０の第１昇降部３３１に搬送するための駆動ローラコンベヤである。
【０１５５】
第１コンベヤ３１１に対して下層に位置する第２コンベヤ３１２は、処理後ガラス基板Ｇ２のみを搬送するものであり、処理後ガラス基板Ｇ２の搬送方向の前後において、第１コンベヤ３１１と同様に、さらに、第２コンベヤ前方部３１２ａと第２コンベヤ後方部３１２ｂとに分割されている。
【０１５６】
搬送方向に対して後方に位置する第２コンベヤ後方部３１２ｂは、第１昇降機３２０の第２昇降部３２２から搬送される処理後ガラス基板Ｇ２を第３昇降機３８０の第２昇降部３８２に搬送するための駆動ローラコンベヤである。搬送方向に対して前方に位置する第２コンベヤ前方部３１２ａは、第３昇降機３８０の第２昇降部３８２から搬送される処理後ガラス基板Ｇ２を第２昇降機３３０の第２昇降部３３２に搬送するための駆動ローラコンベヤである。
【０１５７】
なお、処理前ガラス基板Ｇ１の搬送方向は及び処理後ガラス基板Ｇ２の搬送方向は、いずれも図１１、図１２Ｂ１及び図１２Ｂ２の紙面左方向である。また、図示していないが、第１コンベヤ３１１と第２コンベヤ３１２は、所定の方法によって固定されている。
【０１５８】
本実施形態における供給ポート１６０及び排出ポート１７０の構成については、第１の実施形態と同様であるが、本実施形態における供給ポート１６０及び排出ポート１７０は、高さ方向の配置位置が第１の実施形態とは異なる。すなわち、第１の実施形態においては、供給ポート１６０及び排出ポート１７０と、第１ステーション１４０及び第２ステーション１５０との高さは全て同じであったが、本実施形態では、供給ポート１６０及び排出ポート１７０は、第１ステーション１４０及び第２ステーション１５０よりも低い位置に配置されている。つまり、供給ポート１６０が配置される位置の高さは、第１ステーション（第１カセット）から処理前ガラス基板Ｇ１を取り出す位置の高さと、又は、第２ステーション（第２カセット）に処理後ガラス基板Ｇ２を収納する位置の高さと異なっている。また、排出ポート１７０が配置される位置の高さも、第１ステーション（第１カセット）から処理前ガラス基板Ｇ１を取り出す位置の高さと、又は、第２ステーション（第２カセット）に処理後ガラス基板Ｇ２を収納する位置の高さと異なっている。なお、供給ポート１６０と排出ポート１７０同士の高さ、又は、第１ステーション１４０と第２ステーション１５０同士の高さは、それぞれ同じである。
【０１５９】
以上、このように構成された各構成要素が配置される位置の高さ関係について説明する。図１２Ａ〜図１２Ｃに示すように、第１ステーション１４０、第２ステーション１５０及び第３ステーションの高さをＨ３S1、Ｈ３S2、Ｈ３S3とし、第１コンベヤ３１１及び第２コンベヤ３１２の高さをＨ３VC1、Ｈ３VC2とする。また、第１昇降機３２０における第１昇降部３２１の最大上昇時高さ及び最大下降時高さをＨ３L11max、Ｈ３L11minとし、第１昇降機３２０における第２昇降部３２２の最大上昇時高さ及び最大下降時高さをＨ３L12max、Ｈ３L12minとする。同様にして、第２昇降機３３０及び第３昇降機３８０のそれぞれの構成についても、その高さをＨ３L21max、Ｈ３L21min、Ｈ３L22max、Ｈ３L22min、Ｈ３L31max、Ｈ３L31min、Ｈ３L32max、Ｈ３L32minとする。また、供給ポート１６０及び排出ポート１７０の高さをＨ３P1とＨ３P2とする。
【０１６０】
この場合、最上位に位置する構成要素の高さ関係は、Ｈ３VC1＝Ｈ３L11max＝Ｈ３L21max＝Ｈ３L31maxであり、二番目に位置する構成要素の高さ関係は、Ｈ３S1＝Ｈ３S2＝Ｈ３S3＝Ｈ３L11min＝Ｈ３L22max＝Ｈ３L32maxであり、三番目に位置する構成要素の高さ関係は、Ｈ３L21min＝Ｈ３L31min＝Ｈ３L12max＝Ｈ３P1＝Ｈ３P2あり、最下位に位置する構成要素の高さ関係は、Ｈ３VC2＝Ｈ３L22min＝Ｈ３L32minである。このように、本実施形態に係る構成要素は、第１、第２の実施形態の３層とは異なり、４層の高さ位置に配置されている。
【０１６１】
次に、このように構成された本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置３００の動作について、図１１、図１３Ａ〜図１３Ｆ及び図１４Ａ〜図１４Ｆを用いて説明する。ここで、図１１に示す白抜き矢印は、処理前ガラス基板Ｇ１が搬送されるローディング搬送経路Ｒ３１を示し、黒矢印は処理後ガラス基板Ｇ２が搬送されるアンローディング搬送経路Ｒ３２を示している。図１３Ａ〜図１３Ｆは、図１１に示すローディング搬送経路Ｒ３１における本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図である。また、図１４Ａ〜図１４Ｆは、図１１に示すアンローディング搬送経路Ｒ３２における本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置の動作を示す図である。
【０１６２】
最初に、処理前ガラス基板Ｇ１についてのローディング搬送経路Ｒ３１について説明する。なお、実際は、処理前ガラス基板Ｇ１とともに処理後ガラス基板Ｇ２も同時に搬送されるが、ここでは説明を簡単にするために、処理前ガラス基板Ｇ１の搬送についてのみ説明する。
【０１６３】
まず、図１３Ａに示すように、複数の処理前ガラス基板Ｇ１が収納された第１カセット１４１が第１ステーション１４０に載置された後、第１ステーション１４０の移載機能によって、最下層にある一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１が第１カセット１４１から第１昇降機３２０の第１昇降部３２１に移載される（ステップＳ３１１）。
【０１６４】
次に、図１３Ｂに示すように、第１昇降機３２０の第１昇降部３２１が上昇することにより、処理前ガラス基板Ｇ１が載置された第１昇降部３２１が第１コンベヤ３１１の高さまで上昇する（ステップＳ３１２）。このとき、第１カセット１４１は第１ステーション１４０の昇降機能によって一段下降し、次に搬送する二枚目の処理前ガラス基板Ｇ１の搬送準備が行われる。なお、第１昇降機３２０の第２昇降部３２２は、第１昇降部３２１の上昇とは連動しない。
【０１６５】
次に、図１３Ｃに示すように、第１昇降機３２０の第１昇降部３２１の移載機能によって、処理前ガラス基板Ｇ１は第１コンベヤ３１１の第１コンベヤ後方部３１１ｂに移載され、引き続き第１コンベヤ後方部３１１ｂによって処理前ガラス基板Ｇ１は第３昇降機３８０の第１昇降部３８１に搬送される（ステップＳ３１３）。これにより、処理前ガラス基板Ｇ１は第３昇降機３８０の第１昇降部３８１に載置される。また、このとき、第２昇降機３３０の第１昇降部３３１が第１コンベヤ３１１の高さまで移動する。
【０１６６】
次に、図１３Ｄに示すように、処理前ガラス基板Ｇ１は第３昇降機３８０の移載機能によって第１コンベヤ３１１の第１コンベヤ前方部３１１ａに移載された後、引き続き第１コンベヤ前方部３１１ａによって処理前ガラス基板Ｇ１は第２昇降機３３０の第１昇降部３３１に搬送される（ステップＳ３１４）。
【０１６７】
次に、図１３Ｅに示すように、第２昇降機３３０の第１昇降部３３１が下降することにより、処理前ガラス基板Ｇ１が載置された第２昇降機３３０の第１昇降部３３１が供給ポート１６０の高さまで下降する（ステップＳ３１５）。このとき、第１昇降機３２０の第１昇降部３２１には、次の処理前ガラス基板Ｇ１が移載されている。
【０１６８】
次に、図１３Ｆに示すように、第２昇降機３３０の第１昇降部３３１の移載機能によって処理前ガラス基板Ｇ１は第２昇降機３３０の第１昇降部３３１から供給ポート１６０に移載される（ステップＳ３１６）。供給ポート１６０に載置された処理前ガラス基板Ｇ１は、その後ガラス基板処理装置ＥＱによって所定の処理が施される。
【０１６９】
なお、以降は、図１３Ａの動作に戻って、第１カセット１４１内の処理前ガラス基板Ｇ１がなくなるまで図１３Ｂ以降の同じ動作が繰り返される。
【０１７０】
次に、図１４Ａ〜図１４Ｆを参照して、処理後ガラス基板Ｇ２についてのアンローディング搬送経路Ｒ３２について説明する。なお、上述のとおり、実際は、処理後ガラス基板Ｇ２とともに処理前ガラス基板Ｇ１も同時に搬送されるが、ここでは説明を簡単にするために、処理後ガラス基板Ｇ２の搬送についてのみ説明する。
【０１７１】
まず、図１４Ａに示すように、排出ポート１７０に排出された処理後ガラス基板Ｇ２は、排出ポート１７０の搬送機能によって排出ポート１７０から第１昇降機３２０の第２昇降部３２２に移載される（ステップＳ３２１）。
【０１７２】
次に、図１４Ｂに示すように、第１昇降機３２０の第２昇降部３２２が下降することにより、処理後ガラス基板Ｇ２が載置された第１昇降機３２０の第２昇降部３２２が第２コンベヤ３１２の高さまで下降する（ステップＳ３２２）。なお、第１昇降部３２１は、第２昇降部３２２の動作と連動しなくてもよい。図１４Ｂに示す本実施形態では、第１昇降部３２１は、第２昇降部の下降動作に合わせて上昇している。
【０１７３】
次に、図１４Ｃに示すように、第１昇降機３２０の第２昇降部３２２の移載機能によって処理後ガラス基板Ｇ２は第２コンベヤ３１２の第２コンベヤ後方部３１２ｂに移載された後、引き続き第２コンベヤ後方部３１２ｂによって処理後ガラス基板Ｇ２は第３昇降機３８０の第２昇降部３８２に搬送される（ステップＳ３２３）。これにより、処理後ガラス基板Ｇ２は第３昇降機３８０の第１昇降部３８１に載置される。また、このとき、第２昇降機３３０の第２昇降部３３２が第２コンベヤ３１２の高さまで移動する。
【０１７４】
次に、図１４Ｄに示すように、処理後ガラス基板Ｇ２は、第３昇降機３８０の第２昇降部３８２の移載機能によって第２コンベヤ３１２の第２コンベヤ前方部３１２ａに移載された後、引き続き第２コンベヤ前方部３１２ａによって処理後ガラス基板Ｇ２は第２昇降機３３０の第２昇降部３３２に搬送される（ステップＳ３２４）。これにより、処理後ガラス基板Ｇ２は第２昇降機３３０の第２昇降部３３２に載置される。
【０１７５】
次に、図１４Ｅに示すように、第２昇降機３３０の第２昇降部３３２が上昇することにより、処理後ガラス基板Ｇ２が載置された第２昇降機３３０の第２昇降部３３２が第２ステーション１５０の高さまで上昇する（ステップＳ３２５）。このとき、本実施形態では、次の処理後ガラス基板Ｇ２が排出ポート１７０に排出されている。
【０１７６】
次に、図１４Ｆに示すように、第２昇降機３３０の第２昇降部３３２の移載機能によって、処理後ガラス基板Ｇ２は、第２昇降機３３０の第２昇降部３３２から第２ステーション１５０に載置された第２カセット１５１内に移載される（ステップＳ３２６）。このとき、第１昇降機３２０の第２昇降部３２２には、次の処理後ガラス基板Ｇ２が移載されている。その後、処理後ガラス基板Ｇ２が収納された第２カセット１５１は、次の処理後ガラス基板Ｇ２を収納するために一段上昇する。
【０１７７】
なお、以降は、図１４Ａの動作に戻って、第２カセット１５１内に処理後ガラス基板Ｇ２が所定枚数収納されるまで図１４Ｂ以降の同じ動作が繰り返される。
【０１７８】
次に、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置３００において、処理前ガラス基板と処理後ガラス基板とを同時に搬送する動作について、図１５Ａ〜図１５Ｗを参照して説明する。図１５Ａ〜図１５Ｗは、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置３００の動作を示す図であり、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置３００を模式的に表した外観斜視図である。なお、図１５Ａ〜図１５Ｗにおいては、処理前ガラス基板Ｇ１と処理後ガラス基板Ｇ２の動作に着目し、それ以外の構成については簡略化又は省略している。また、各図において、処理前ガラス基板Ｇ１は白抜き矩形で表しており、処理後ガラス基板Ｇ２はハッチング矩形で表している。各図中の細矢印は、処理前ガラス基板Ｇ１又は処理後ガラス基板Ｇ２の動きを表しており、白抜き太矢印は、第１昇降機３２０の第１昇降部３２１又は第２昇降機３３０の第１昇降部３３１が上昇又は下降する動作を表しており、ハッチング太矢印は、第１昇降機３２０の第２昇降部３２２又は第２昇降機３３０の第２昇降部３３２が上昇又は下降する動作を表している。なお、第１カセット１４１内及び第２カセット１５１内のガラス基板の枚数は例示である。
【０１７９】
まず、図１５Ａに示すように、一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２がガラス基板処理装置ＥＱから排出ポート１７０に排出される（ステップＳ３Ａ）。
【０１８０】
次に、図１５Ｂに示すように、一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２を第１昇降機３２０の第２昇降部３２２に移載するとともに、一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１を、第１ステーション１４０に載置された第１カセット１４１内から第１昇降機３２０の第１昇降部３２１に移載する（ステップＳ３Ｂ）。
【０１８１】
次に、図１５Ｃに示すように、第１昇降機３２０の第１昇降部３２１を上昇させて、一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１を第１コンベヤ３１１の高さ位置に移動させるとともに、第１昇降機３２０の第１昇降部３２１を下降させて、一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２を第２コンベヤ３１２の高さ位置に移動させる（ステップＳ３Ｃ）。
【０１８２】
次に、図１５Ｄに示すように、一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１を第１昇降機３２０の第１昇降部３２１から第１コンベヤ３１１の第１コンベヤ後方部３１１ｂに移載し、その後、第１コンベヤ後方部３１１ｂによって一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１を第３昇降機３８０の第１昇降部３８１に搬送する。これと同時に、一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２を第１昇降機３２０の第２昇降部３２２から第２コンベヤ３１２の第２コンベヤ後方部３１２ｂに移載し、その後、第２コンベヤ後方部３１２ｂによって一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２を第３昇降機３８０の第２昇降部３８２に搬送する（ステップＳ３Ｄ）。
【０１８３】
次に、図１５Ｅに示すように、第１昇降機３２０の第１昇降部３２１を第１ステーション１４０の位置に移動させるとともに、第２昇降部３２２を排出ポート１７０の位置に移動させる（ステップＳ３Ｅ）。このとき、排出ポート１７０には二枚目の処理後ガラス基板Ｇ２が排出される。なお、一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１と一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２は、第３昇降機３８０で待機している。
【０１８４】
次に、図１５Ｆに示すように、二枚目の処理後ガラス基板Ｇ２を第１昇降機３２０の第２昇降部３２２に移載するとともに、二枚目の処理前ガラス基板Ｇ１を、第１カセット１４１内から第１昇降機３２０の第１昇降部３２１に移載する（ステップＳ３Ｆ）。このとき、一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１と一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２は、第３昇降機３８０で待機している。
【０１８５】
次に、図１５Ｇに示すように、第１昇降機３２０の第１昇降部３２１を上昇させて、二枚目の処理前ガラス基板Ｇ１を第１コンベヤ３１１の高さ位置に移動させるとともに、第１昇降機３２０の第１昇降部３２１を下降させて、二枚目の処理後ガラス基板Ｇ２を第２コンベヤ３１２の高さ位置に移動させる（ステップＳ３Ｇ）。このときも、一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１と一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２は、第３昇降機３８０で待機している。
【０１８６】
次に、図１５Ｈに示すように、一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１を第３昇降機３８０の第１昇降部３８１から第１コンベヤ３１１の第１コンベヤ前方部３１１ａに移載し、その後、第１コンベヤ前方部３１１ａによって一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１を第２昇降機３３０の第１昇降部３３１に搬送する。これと同時に、一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２を第３昇降機３８０の第２昇降部３８２から第２コンベヤ３１２の第２コンベヤ前方部３１２ａに移載し、その後、第２コンベヤ前方部３１２ａによって一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２を第２昇降機３３０の第２昇降部３３２に搬送する。さらにこれらと同時に、二枚目の処理前ガラス基板Ｇ１を、第１昇降機３２０の第１昇降部３２１から、第１コンベヤ３１１の第１コンベヤ後方部３１１ｂを介して第３昇降機３８０の第１昇降部３８１に搬送するとともに、二枚目の処理後ガラス基板Ｇ２を、第１昇降機３２０の第２昇降部３２２から、第２コンベヤ３１２の第２コンベヤ後方部３１２ｂを介して第３昇降機３８０の第２昇降部３８２に搬送する（ステップＳ３Ｈ）。
【０１８７】
次に、図１５Ｉに示すように、第１昇降機３２０の第１昇降部３２１を第１ステーション１４０の位置に移動させるとともに、第２昇降部３２２を排出ポート１７０の位置に移動させる（ステップＳ３Ｉ）。このとき、排出ポート１７０には三枚目の処理後ガラス基板Ｇ２が排出される。なお、一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１と一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２は第２昇降機３３０で待機し、二枚目の処理前ガラス基板Ｇ１と二枚目の処理後ガラス基板Ｇ２は第３昇降機３８０で待機している。
【０１８８】
次に、図１５Ｊに示すように、一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２が載置された第２昇降機３３０の第２昇降部３３２を第２ステーション１５０の位置まで上昇させる（ステップＳ３Ｊ）。このとき、三枚目の処理後ガラス基板Ｇ２を第１昇降機３２０の第２昇降部３２２に移載するとともに、三枚目の処理前ガラス基板Ｇ１を、第１カセット１４１内から第１昇降機３２０の第１昇降部３２１に移載する。なお、一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１、二枚目の処理前ガラス基板Ｇ１及び二枚目の処理後ガラス基板Ｇ２は、そのままの状態で待機している。
【０１８９】
次に、図１５Ｋに示すように、一枚目の処理後ガラス基板Ｇ２を、第２ステーション１５０に載置された第２カセット１５１に収納する（ステップＳ３Ｋ）。このとき、第１昇降機３２０の第１昇降部３２１を上昇させて、三枚目の処理前ガラス基板Ｇ１を第１コンベヤ３１１の高さ位置に移動させるとともに、第１昇降機３２０の第１昇降部３２１を下降させて、三枚目の処理後ガラス基板Ｇ２を第２コンベヤ３１２の高さ位置に移動させる。なお、一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１、二枚目の処理前ガラス基板Ｇ１及び二枚目の処理後ガラス基板Ｇ２は、そのままの状態で待機している。
【０１９０】
次に、図１５Ｌに示すように、一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１が載置された第２昇降機３３０の第１昇降部３３１を供給ポート１６０の位置まで下降させる（ステップＳ３Ｌ）。このとき、空になった第２昇降機３３０の第２昇降部３３２を第２コンベヤ３１２の位置まで下降させる。なお、二枚目と三枚目の処理前ガラス基板Ｇ１と二枚目と三枚目の処理後ガラス基板Ｇ２は、そのままの状態で待機している。
【０１９１】
次に、図１５Ｍに示すように、一枚目の処理前ガラス基板Ｇ１を供給ポート１６０に移載する（ステップＳ３Ｍ）。このとき、二枚目と三枚目の処理後ガラス基板Ｇ２については、上記と同様の方法によって、それぞれ第２昇降機３３０及び第３昇降機３８０に搬送する。
【０１９２】
次に、図１５Ｎに示すように、空になった第１昇降機３２０の第２昇降部３２２を排出ポート１７０の位置まで上昇させる（ステップＳ３Ｎ）。このとき、排出ポート１７０には四枚目の処理後ガラス基板Ｇ２が排出される。なお、二枚目と三枚目の処理前ガラス基板Ｇ１と二枚目と三枚目の処理後ガラス基板Ｇ２は、そのままの状態で待機している。
【０１９３】
次に、図１５Ｏに示すように、二枚目の処理後ガラス基板Ｇ２が載置された第２昇降機３３０の第２昇降部３３２を第２ステーション１５０の位置まで上昇させる（ステップＳ３Ｏ）。このとき、空になった第２昇降機３３０の第１昇降部３３１を第１コンベヤ３１１の位置まで移動させる。なお、二枚目と三枚目の処理前ガラス基板Ｇ１と二枚目と三枚目の処理後ガラス基板Ｇ２は、そのままの状態で待機している。
【０１９４】
次に、図１５Ｐに示すように、二枚目の処理後ガラス基板Ｇ２を、第２昇降機３３０の第２昇降部３２２から第２カセット１５１に移載するとともに、四枚目の処理後ガラス基板Ｇ２を排出ポート１７０から第１昇降機３２０の第２昇降部３２２に移載する（ステップＳ３Ｐ）。このとき、二枚目と三枚目の処理前ガラス基板Ｇ１については、上記と同様の方法によって、それぞれ第２昇降機３３０及び第３昇降機３８０に搬送する。なお、三枚目の処理後ガラス基板Ｇ２はそのままの状態で待機している。
【０１９５】
次に、図１５Ｑに示すように、二枚目の処理前ガラス基板Ｇ１が載置された第２昇降機３３０の第１昇降部３３１を供給ポート１６０の位置まで下降させる（ステップＳ３Ｑ）。このとき、空になった第２昇降機３３０の第２昇降部３３２を第２コンベヤ３１２の位置まで下降させる。また、四枚目の処理後ガラス基板Ｇ２が載置された第１昇降機３２０の第２昇降部３２２を第２コンベヤ３１２の位置まで下降させる。また、四枚目の処理前ガラス基板Ｇ１を第１カセット１４１から第１昇降機３２０の第１昇降部３２１に移載する。なお、三枚目の処理後ガラス基板Ｇ２はそのままの状態で待機している。
【０１９６】
以降、図１５Ｒ〜図１５ＶのステップＳ３Ｒ〜ステップＳ３Ｖに示されるように、二枚目の処理前ガラス基板Ｇ１を供給ポート１６０に搬送するとともに（図１５Ｒ、ステップＳ３Ｒ）、三枚目及び四枚目の処理前ガラス基板Ｇ１についても供給ポート１６０に順次搬送することができる。また、三枚目及び四枚目の処理後ガラス基板Ｇ２についても、順次、第２カセット１５１に収納することができる。最終的に、図１５Ｗに示すように、第１カセット１４１内は空になり、第２カセット１５１には所定枚数の処理後ガラス基板Ｇ２で満たされることになる。
【０１９７】
なお、処理後ガラス基板Ｇ２が満たされ第２カセット１５１は、その後、スタッカークレーンＳＴＫによって自動倉庫の所定の棚に入庫される。また、新たにガラス基板を処理する必要がある場合は、スタッカークレーンＳＴＫによって、処理前ガラス基板Ｇ１が収納された次の第１カセット１４１が第１ステーション１４０に載置される。
【０１９８】
以上、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置３００は、処理前ガラス基板Ｇ１と処理後ガラス基板Ｇ２とをそれぞれ第１コンベヤ３１１及び第２コンベヤ３１２によって別個に同時に搬送するものである。しかも、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置３００は、第１ステーション（第１カセット）及び第２ステーション（第２カセット）の位置と供給ポート及び排出ポートとの高さ位置を異ならせて、第１ステーション（第１カセット）から処理前ガラス基板Ｇ１を取り出す位置の高さ及び第２ステーション（第２カセット）に処理後ガラス基板Ｇ２を収納する位置の高さと供給ポート及び排出ポートとの高さを異なるように構成するものであるが、第１昇降機３２０と第２昇降機３３０とを用いることによって、ローディング搬送中の処理前ガラス基板Ｇ１とアンローディング搬送中の処理後ガラス基板Ｇ２との受け取り及び供給の動作を交互に行っているので、高タクトで処理前ガラス基板Ｇ１と処理後ガラス基板Ｇ２とを搬送させることができる。従って、ガラス基板処理装置ＥＱに対するガラス基板の供給と排出を連続して行うことができるので、サイクルタイムを大幅に向上させることができる。
【０１９９】
なお、図１５Ａ〜図１５Ｗにおいては、第３カセット３５１を用いなかったが、上述したように、第３カセット３５１は必要に応じて適宜用いればよい。この第３カセット３５１は、第２ステーション１５０の第２カセット１５１の予備的なものであり、第２カセット１５１が処理後ガラス基板で満たされてこれ以上処理後ガラス基板を格納することができないような場合、あるいは、処理後ガラス基板を格納するときに第２カセット１５１が第２ステーション１５０に載置されていないような場合に、第３カセット３５１を利用すればよい。第３カセット３５１を用いる場合は、第３昇降機３８０によって処理後ガラス基板Ｇ２を第３カセットに収納することができる。このように、第３カセット３５１を用いることにより、カセット切り替え時にも処理後ガラス基板Ｇ２の排出を行うことができるので、カセット切り替え時にも連続してガラス基板の排出を行うことができる。
【０２００】
さらに、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置では、第３カセット３５１に処理後ガラス基板Ｇ２を収納する場合について説明したが、第３カセット３５１を処理前ガラス基板Ｇ１を収納するカセットとして用いることもできる。すなわち、第１カセット１４１の切り替え時に処理前ガラス基板Ｇ１を供給するカセットとして利用することができる。これにより、カセット切り替え時にも処理前ガラス基板Ｇ１の供給を行うことができるので、カセット切り替え時にも連続してガラス基板の供給を行うことができる。
【０２０１】
さらに、第３ステーション３５０に、処理前ガラス基板Ｇ１が収納されたカセットと処理後ガラス基板Ｇ２を収納するカセットとを交互に載置するように構成しても構わない。これにより、第１カセット１４１と第２カセット１５１のカセット切り替え時にも、処理前ガラス基板Ｇ１の供給又は処理後ガラス基板Ｇ２の排出を連続して行うことができるので、さらにサイクルタイムを向上させることができる。
【０２０２】
なお、本発明の第３の実施形態に係る物品搬送装置において、第３カセット３５１を全く用いない場合は、第３昇降機３８０を省略した構成とすることができる。
【０２０３】
以上、本発明に係る物品搬送装置について、第１〜第３の実施形態に基づいて説明したが、本発明に係る物品搬送装置は、これらの実施形態に限定されるものではない。
【０２０４】
例えば、第１及び第３の実施形態では、供給ポート及び排出ポートは、同じ高さに配置したが、異なる高さに配置しても構わない。この場合、第１コンベヤ及び／又は第２コンベヤに傾斜を設けるように構成すればよい。また、供給ポート及び排出ポートの高さに合わせて、第１昇降機及び第２昇降機における上側昇降部と下側昇降部の高さを設定すればよい。
【０２０５】
また、第１〜第３の実施形態では、供給ポート及び排出ポートを設けたが、供給ポート及び排出ポートは設けなくても構わない。また、供給ポート及び排出ポートは、それぞれ処理前ガラス基板Ｇ１及び処理後ガラス基板Ｇ２を載置し搬送するための駆動ローラコンベヤとして説明したが、これに限らない。例えば、供給ポート及び排出ポートを供給口及び排出口として構成することもできる。この場合、供給口は、物品処理装置の入庫コンベアにつながる入庫口であり、また、排出口は、物品処理装置の出庫コンベアにつながる出庫口である。すなわち、物品処理装置に直接処理前ガラス基板を供給したり、物品処理装置から直接処理後ガラス基板を受け取ったりするように構成することができる。
【０２０６】
その他、各実施形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で各実施形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【０２０７】
本発明に係る物品搬送装置及び物品搬送装置は、ＬＣＤ等のＦＰＤパネルに用いられるガラス基板等の物品を搬送するために有用である。
【符号の説明】
【０２０８】
１００，２００，３００，４００，５００  物品搬送装置
１１０，２１０，３１０  コンベヤ部
１１１，２１１，３１１  第１コンベヤ
１１２，２１２，３１２  第２コンベヤ
１２０，３２０  第１昇降機
１３０，３３０  第２昇降機
１２１，１３１，２８１，３２１，３３１，３８１  第１昇降部
１２２，１３２，２８２，３２２，３３２，３８２  第２昇降部
１４０，４４０  第１の物品受け渡しステーション（第１ステーション）
１４１，４４１  第１カセット
１５０，４５０  第２の物品受け渡しステーション（第２ステーション）
１５１，４５１  第２カセット
１６０，４６０  供給ポート
１７０，４７０  排出ポート
２１１ａ，３１１ａ  第１コンベヤ前方部
２１１ｂ，３１１ｂ  第１コンベヤ後方部
２６０  供給排出ポート
２８０，３８０  第３昇降機
３１２ａ  第２コンベヤ前方部
３１２ｂ  第２コンベヤ後方部
３５０  第３ステーション
３５１  第３カセット
４１０  コンベヤ
４８０  第１の方向転換機
４９０  第２の方向転換機
５８０  自走式搬送機
【図１】
2011155156.tif 000003
【図２Ａ】
2011155156.tif 000004
【図２Ｂ１】
2011155156.tif 000005
【図２Ｂ２】
2011155156.tif 000006
【図２Ｃ】
2011155156.tif 000007
【図３Ａ】
2011155156.tif 000008
【図３Ｂ】
2011155156.tif 000009
【図３Ｃ】
2011155156.tif 000010
【図３Ｄ】
2011155156.tif 000011
【図３Ｅ】
2011155156.tif 000012
【図４Ａ】
2011155156.tif 000013
【図４Ｂ】
2011155156.tif 000014
【図４Ｃ】
2011155156.tif 000015
【図４Ｄ】
2011155156.tif 000016
【図４Ｅ】
2011155156.tif 000017
【図５Ａ】
2011155156.tif 000018
【図５Ｂ】
2011155156.tif 000019
【図５Ｃ】
2011155156.tif 000020
【図５Ｄ】
2011155156.tif 000021
【図５Ｅ】
2011155156.tif 000022
【図５Ｆ】
2011155156.tif 000023
【図５Ｇ】
2011155156.tif 000024
【図５Ｈ】
2011155156.tif 000025
【図５Ｉ】
2011155156.tif 000026
【図５Ｊ】
2011155156.tif 000027
【図６】
2011155156.tif 000028
【図７Ａ】
2011155156.tif 000029
【図７Ｂ１】
2011155156.tif 000030
【図７Ｂ２】
2011155156.tif 000031
【図７Ｃ】
2011155156.tif 000032
【図８Ａ】
2011155156.tif 000033
【図８Ｂ】
2011155156.tif 000034
【図８Ｃ】
2011155156.tif 000035
【図８Ｄ】
2011155156.tif 000036
【図８Ｅ】
2011155156.tif 000037
【図９Ａ】
2011155156.tif 000038
【図９Ｂ】
2011155156.tif 000039
【図９Ｃ】
2011155156.tif 000040
【図９Ｄ】
2011155156.tif 000041
【図９Ｅ】
2011155156.tif 000042
【図１０Ａ】
2011155156.tif 000043
【図１０Ｂ】
2011155156.tif 000044
【図１０Ｃ】
2011155156.tif 000045
【図１０Ｄ】
2011155156.tif 000046
【図１０Ｅ】
2011155156.tif 000047
【図１０Ｆ】
2011155156.tif 000048
【図１０Ｇ】
2011155156.tif 000049
【図１０Ｈ】
2011155156.tif 000050
【図１０Ｉ】
2011155156.tif 000051
【図１１】
2011155156.tif 000052
【図１２Ａ】
2011155156.tif 000053
【図１２Ｂ１】
2011155156.tif 000054
【図１２Ｂ２】
2011155156.tif 000055
【図１２Ｃ】
2011155156.tif 000056
【図１３Ａ】
2011155156.tif 000057
【図１３Ｂ】
2011155156.tif 000058
【図１３Ｃ】
2011155156.tif 000059
【図１３Ｄ】
2011155156.tif 000060
【図１３Ｅ】
2011155156.tif 000061
【図１３Ｆ】
2011155156.tif 000062
【図１４Ａ】
2011155156.tif 000063
【図１４Ｂ】
2011155156.tif 000064
【図１４Ｃ】
2011155156.tif 000065
【図１４Ｄ】
2011155156.tif 000066
【図１４Ｅ】
2011155156.tif 000067
【図１４Ｆ】
2011155156.tif 000068
【図１５Ａ】
2011155156.tif 000069
【図１５Ｂ】
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【図１５Ｃ】
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【図１５Ｄ】
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【図１５Ｅ】
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【図１５Ｆ】
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【図１５Ｇ】
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【図１５Ｈ】
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【図１５Ｉ】
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【図１５Ｊ】
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【図１５Ｋ】
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【図１５Ｌ】
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【図１５Ｍ】
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【図１５Ｎ】
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【図１５Ｏ】
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【図１５Ｐ】
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【図１５Ｑ】
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【図１５Ｒ】
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【図１５Ｓ】
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【図１５Ｔ】
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【図１５Ｕ】
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【図１５Ｖ】
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【図１５Ｗ】
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【図１６】
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【図１７】
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