(57)【要約】【課題】基板に対し、感光材料層を回転するゴムロールで押圧することによりラミネートする際に、ゴムロールの回転数を初動時より安定させて、無駄のない品質に優れた製品を得る。【解決手段】ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから送り出される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの感光性樹脂層２８と、基板搬送機構４５から送り出されるガラス基板２４とを貼り付け機構４６を介して一体化する際、該貼り付け機構４６のゴムロール８０ａをロール表面と支持体の摩擦係数が０．３乃至０．８のシリコーンゴムで構成して、安定した回転数で該ガラス基板２４に対し、感光性樹脂材料をラミネートする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離し、所定の間隔で供給される基板とともに加熱された一対の圧着ロール間に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置において、
少なくとも一方の前記圧着ロールの表面と支持体の摩擦係数が０．３乃至０．８の範囲内であることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
【請求項２】
請求項１記載の感光性積層体の製造装置において、
前記一対の圧着ロールのいずれか一方の感光材料層を押圧する表面が非粘着性であることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
【請求項３】
支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離し、所定の間隔で供給される基板とともに加熱された一対の圧着ロール間に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置において、
前記感光材料層は少なくとも前記一対の圧着ロールの中、前記一方の圧着ロールのロール表面と支持体の摩擦係数が０．３乃至０．８の圧着ロールで前記基板に回転しながら押圧されることを特徴とする感光性積層体の製造方法。
【請求項４】
請求項３記載の感光性積層体の製造方法において、
前記感光材料層を押圧する圧着ロールの表面が非粘着性であることを特徴とする感光性積層体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板と、支持体上に感光材料層が設けられた長尺状感光性ウエブとを一対の圧着ロール間に送り出し、前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、ＰＤＰ用基板では、感光性樹脂層（感光材料層）を有する感光性シート体（感光性ウエブ）を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが順に積層されている。
【０００３】
この種の感光性シート体の貼り付けに使用される製造装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光性樹脂層の範囲に対応して、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離する方式が採用されている。
【０００４】
例えば、特許文献１に開示されている製造装置では、図９に示すように、フイルムロール１から繰り出される積層体フイルム（感光性シート体）１ａは、ガイドロール２ａ、２ｂに巻き付けられて水平のフイルム搬送面に沿って延在している。このガイドロール２ｂには、積層体フイルム１ａの送り量に応じた数のパルス信号を出力するロータリエンコーダ３が取り付けられている。
【０００５】
水平のフイルム搬送面に沿って延在する積層体フイルム１ａは、サクションロール４に巻き掛けられるとともに、前記ガイドロール２ｂと前記サクションロール４との間には、ハーフカッタ装置５とカバーフイルム剥離装置６とが設けられている。
【０００６】
ハーフカッタ装置５は、積層体フイルム１ａの搬送方向に所定間隔離間する一対のディスクカッタ５ａ、５ｂを備えている。ディスクカッタ５ａ、５ｂは、積層体フイルム１ａのフイルム幅方向に沿って移動することにより、前記積層体フイルム１ａのカバーフイルム（図示せず）における剥離部分と残存部分との２個所の境界部分をその裏側の感光性樹脂層（図示せず）と一体に切断する。
【０００７】
カバーフイルム剥離装置６は、粘着テープロール７から繰り出される粘着テープ７ａを押圧ロール８ａ、８ｂ間でカバーフイルムの剥離部分に強く圧着させた後、巻き取りロール９によって巻き取る。これにより、カバーフイルムの剥離部分は、感光性樹脂層から剥離されて粘着テープ７ａと共に巻き取りロール９に巻き取られる。
【０００８】
サクションロール４の下流には、基板搬送装置１０によって所定の間隔で搬送される複数の基板１１の上面に、カバーフイルムの剥離された積層体フイルム１ａの剥離部分を重ねて圧着する一対のラミネーションロール１２ａ、１２ｂが配設されている。このラミネーションロール１２ａ、１２ｂの下流側には、支持フイルム巻き取りロール１３が配置されている。基板１１に貼り付けられている透光性支持フイルム（図示せず）は、基板１１に感光性樹脂層を残存させた状態でカバーフイルムの残存部分とともに支持フイルム巻き取りロール１３に巻き取られる。
【０００９】
前記の従来技術において、本出願人は、積層体フイルム１ａが、可撓性の支持フイルム上に感光性樹脂層を形成したものであり、テンションを付与した状態で搬送されるため、搬送中に発生した延びの影響により、前記境界部分の位置がずれてしまうおそれがあり、また、１枚の基板１１に対して２枚の積層体フイルム１ａ、１ｂを同時に貼り付けるように構成した場合には、各積層体フイルム１ａ、１ｂの基板１１に対する貼り付け位置の個々のずれだけでなく、積層体フイルム１ａ、１ｂ間の位置ずれも問題となることを知見した。さらに、本出願人は、基板１１に対して積層体フイルム１ａを圧着するラミネーションロール１２ａ、１２ｂが、積層体フイルム１ａに対して所定の摩擦力を付与して搬送するため、外周面にゴムがライニングされ、このゴムのライニングは、製造中における積層体フイルム１ａとの摩擦や、積層体フイルム１ａからの転写物の付着等によって摩擦係数が変化することを確認した。そこで、このような物理的な条件変化の影響によっても、基板１１に対する積層体フイルム１ａの位置ずれが発生し、この場合、ゴムがライニングされたラミネーションロール１２ａ、１２ｂは、摩擦係数を含む物理的条件を所定の範囲内とするため、定期的に交換する必要があることを知見した。
【００１０】
そこで、本出願人は、前記の種々の不都合を一挙に解決すべく、特開２００９−２２６８８３号で発明「感光性積層体の製造装置及び製造方法」（特許文献２）を提案した。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開平１１−３４２８０号公報
【特許文献２】特開２００９−２２６８８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は前記発明「感光性積層体の製造装置及び製造方法」に関連してなされたものであって、基板に対して感光材料層を圧着する圧着ロールを改良し、すなわち、圧着ロールを搭載時点はもとより、稼動途上であっても、その摩擦係数が可及的に安定する適切なものとし、それによって圧着ロールの初動時において発生していた感光材料層の基板への貼り付け位置のばらつきを少なくし、そのばらつきに基因する不良品の確認作業の回避、不良品の廃棄による稼動ロスの発生を抑え、さらに基板貼り付け位置のばらつきの有無を検出するための前記製造装置のシステムの監視や調整に係る作業や該製造装置自体の清掃頻度を可及的に少なくすることが可能な感光性積層体の製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記の目的を達成するために、本願の請求項１で特定される発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離し、所定の間隔で供給される基板とともに加熱された一対の圧着ロール間に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置において、
少なくとも一方の前記圧着ロールの表面と支持体の摩擦係数が０．３乃至０．８の範囲内であることを特徴とする。
【００１４】
本願の請求項２で特定される発明は、請求項１記載の感光性積層体の製造装置において、
前記一対の圧着ロールのいずれか一方の感光材料層を押圧する表面が非粘着性であることを特徴とする。
【００１５】
本願の請求項３で特定される発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離し、所定の間隔で供給される基板とともに加熱された一対の圧着ロール間に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置において、
前記感光材料層は少なくとも前記一対の圧着ロールの中、前記一方の圧着ロール表面と支持体の摩擦係数が０．３乃至０．８の圧着ロールで前記基板に回転しながら押圧されることを特徴とする。
【００１６】
本願の請求項４で特定される発明は、請求項３記載の感光性積層体の製造方法において、
前記感光材料層を押圧する圧着ロールの表面が非粘着性であることを特徴とする。
【００１７】
前記請求項１及び３の発明によれば、摩擦係数が０．３乃至０．８の圧着ロールを用いて、基板に感光材料層を回転しながら押圧して貼り付ける際、前記摩擦係数が所定の範囲内であるために基板に対する感光材料層の貼り付け位置が一定となり、これによって感光性積層体の品質が向上するとともに、歩留まりも改良される効果が得られる。
【００１８】
しかも、これによって、システムを介して基板に対する感光材料層の貼り付け位置の監視やそれに必要とされる機器の調整が不要となり、生産効率が一層向上する利点が得られる。
【００１９】
前記請求項２及び４の発明によれば、感光材料層を押圧する圧着ロールの表面を非粘着性の材質のものとしたので、動作中やその環境内に存在する微細な粒子等からの汚染を回避できる。このことは、圧着ロールに対する清掃回数を低減させ、しかもその清掃時間も短くなるために、生産効率のさらなる向上が図れる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、基板と感光材料層とを一体化する際に、ロール表面と支持体の摩擦係数が０．３乃至０．８である圧着ロールを用いて回転しながらラミネートするので動作が安定し、基板に対する感光材料層の貼り付け位置が一定となり、製品としての感光性積層体の品質が向上するとともに、基板や感光材料層の歩留まりも向上する効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施形態に係る製造装置の概略構成図である。
【図２】前記製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。
【図３】前記長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。
【図４】貼り付け機構からベース自動剥離機構に至る製造装置の説明図である。
【図５】圧着ロールの前後における長尺状感光性ウエブのテンションを調整するための回路ブロック図である。
【図６】ハーフカット部位の加工位置を調整するための回路ブロック図である。
【図７】圧着ロールの交換後におけるテンション調整処理のフローチャートである。
【図８】圧着ロールの摩擦係数と回転量と圧着枚数との関係を示すグラフである。
【図９】従来技術の製造装置の概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
図１は、本発明の実施形態に係る感光性積層体の製造装置２０の概略構成図であり、この製造装置２０では、液晶又は有機ＥＬ用カラーフィルタ等の製作工程で、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの各感光性樹脂層２８（後述する）を並列してガラス基板２４に熱転写する作業が行われる。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、それぞれ所定の幅寸法に設定されている。
【００２３】
図２は、製造装置２０に使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの断面図である。この感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、可撓性ベースフイルム（支持体）２６と、感光性樹脂層（感光材料層）２８と、保護フイルム３０とを積層して構成される。
【００２４】
図１に示すように、製造装置２０は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをロール状に巻回した２本（２本以上であればよい）の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを収容し、各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを同期して送り出し可能な第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂと、送り出された各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８に幅方向に切断可能な境界位置であるハーフカット部位（加工部位）３４を形成する第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂ（加工位置調整手段）と、一部に非接着部３８ａを有する接着ラベル３８（図３参照）を各保護フイルム３０に接着させる第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂとを備える。
【００２５】
第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂの下流には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂをタクト送りから連続送りに変更するための第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂと、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから保護フイルム３０を所定の長さ間隔で剥離させる第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂと、ガラス基板２４を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する基板搬送機構４５（貼り付け位置調整手段）と、前記保護フイルム３０の剥離により露出した感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に一体的且つ並列に貼り付ける貼り付け機構４６とが配設される。
【００２６】
貼り付け機構４６における貼り付け位置の上流近傍には、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの境界位置であるそれぞれのハーフカット部位３４の位置を検出する第１及び第２検出機構（加工部位位置検出手段）４７ａ、４７ｂが配設される。
【００２７】
第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂの下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの後端と、新たに使用される感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの先端とを貼り付けるそれぞれの貼り付け台４９が配設される。貼り付け台４９の下流には、感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器５１が配設される。ここで、フイルム端末位置調整は、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂを幅方向に移動させて行うが、ロールを組み合わせた位置調整機構を付設して行ってもよい。なお、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂは、感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを装填して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを繰り出す繰り出し軸を、２軸又は３軸等の多軸に構成してもよい。
【００２８】
第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに収容巻回されている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂのロール径を算出するためのロール対５０の下流に配置される。第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ単一の丸刃５２を備え、この丸刃５２は、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に走行して、保護フイルム３０の残存部分３０ｂ（図２）を挟んだ所定の２個所の位置にハーフカット部位３４を形成する。
【００２９】
図２に示すように、ハーフカット部位３４は、少なくとも保護フイルム３０及び感光性樹脂層２８を切断する必要があり、実際上、ベースフイルム２６まで切り込むように丸刃５２の切り込み深さが設定される。丸刃５２は、回転することなく固定された状態で、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動してハーフカット部位３４を形成する方式や、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂ上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位３４を形成する方式が採用される。このハーフカット部位３４は、丸刃５２に代替して、例えば、レーザ光や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、押し切り刃（トムソン刃）等で形成する方式を採用してもよい。
【００３０】
なお、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの搬送方向（矢印Ａ方向）に残存部分３０ｂの幅に対応した距離だけ離間して２台配設し、保護フイルム３０の残存部分３０ｂ（図２）を挟んで２つのハーフカット部位３４を同時に形成してもよい。
【００３１】
ハーフカット部位３４は、感光性樹脂層２８をガラス基板２４に貼り付けた際、例えば、前記ガラス基板２４の両端部からそれぞれ１０ｍｍずつ内側に入り込んだ位置となるように設定される。なお、ガラス基板２４間の保護フイルム３０の残存部分３０ｂは、後述する貼り付け機構４６において感光性樹脂層２８を前記ガラス基板２４に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。
【００３２】
第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、ガラス基板２４間に対応して保護フイルム３０の残存部分３０ｂを残すため、剥離側前方の剥離部分３０ａａと剥離側後方の剥離部分３０ａｂとを連結する接着ラベル３８を供給する。図２に示すように、保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分３０ａａとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分３０ａｂとする。
【００３３】
図３に示すように、接着ラベル３８は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム３０と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル３８は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部（微粘着を含む）３８ａを有するとともに、この非接着部３８ａの両側、すなわち、前記接着ラベル３８の長手方向両端部に、前方の剥離部分３０ａａに接着される第１接着部３８ｂと、後方の剥離部分３０ａｂに接着される第２接着部３８ｃとを有する。
【００３４】
図１に示すように、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂは、それぞれ最大７枚の接着ラベル３８を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド５４ａ〜５４ｇを備えるとともに、前記吸着パッド５４ａ〜５４ｇによる前記接着ラベル３８の貼り付け位置には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを下方から保持するための受け台５６が昇降自在に配置される。
【００３５】
第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂは、上流側の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの連続搬送との速度差を吸収するために、矢印方向に揺動自在なダンサーロール６０を備える。第２リザーバ機構４２ｂには、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂから送り出される各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが貼り付け機構４６に至るまでの各搬送路長を同一に調整するためのダンサーロール６１が配設される。
【００３６】
第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂの下流に配置される第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂは、それぞれ感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム６２を備える。各サクションドラム６２の近傍には、剥離ロール６３が配置されるとともに、この剥離ロール６３を介して感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム３０は、残存部分３０ｂを除いてそれぞれ保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる。
【００３７】
第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの下流側には、テンションロール６５を含むテンション制御機構６６ａ、６６ｂ（上流側テンション調整手段）が配設される。テンション制御機構６６ａ、６６ｂは、それぞれシリンダ６８を備え、前記シリンダ６８の駆動作用下に、それぞれテンションダンサー７０が揺動変位することにより、各テンションダンサー７０が摺接する感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのテンションが調整可能である。
【００３８】
貼り付け機構４６を構成するゴムロール８０ａ、８０ｂ（圧着ロール）の位置を基準としてハーフカット部位３４の位置を検出する第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂは、搬送ロール７３と搬送ロール７１ａ、７１ｂとの間の長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが直線状となる部分に配設される。第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂは、ハーフカット部位３４を含む長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの画像を撮影するＣＣＤカメラ（後述）により構成される。
【００３９】
基板搬送機構４５は、ガラス基板２４を挟持するように配設される複数組の基板加熱部（例えば、ヒータ）７４と、このガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送する搬送部７６とを備える。基板加熱部７４では、ガラス基板２４の温度を常時監視し、異常時には、搬送部７６の停止や警報を発するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板２４を後工程でＮＧ排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部７６には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板２４が浮上されて矢印Ｃ方向に搬送される。ガラス基板２４の搬送は、ロールコンベアでも行える。
【００４０】
ガラス基板２４の温度測定は、基板加熱部７４内又は貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式（例えば、熱電対）の他、非接触式であってもよい。
【００４１】
基板加熱部７４の上流には、複数のガラス基板２４が収容される基板ストッカー７１が設けられる。この基板ストッカー７１に収容されている各ガラス基板２４は、ロボット７５のハンド部７５ａに設けられた吸着パッド７９に吸着されて取り出され、基板加熱部７４に挿入される。
【００４２】
貼り付け機構４６は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムロール８０ａ、８０ｂを備える。この場合、本実施の形態では、少なくともゴムロール８０ａの表面に摩擦係数が０．３乃至０．８の材質のものを選択した。その材質としては、実験的に確認したところによると、シリコーンゴムであって、特に、前記のように摩擦係数が０．３乃至０．８のものが好ましい。必要に応じて、ゴムロール８０ｂにも、ゴムロール８０ａと同様に摩擦係数が０．３乃至０．８のシリコーンゴムを採用してもよい。シリコーンゴムの場合、その摩擦係数の調整がし易く且つ非粘着性に富むからである。また、塵埃による汚染回避のためにも好適である。ゴムロール８０ａ、８０ｂには、バックアップロール８２ａ、８２ｂが摺接する。一方のバックアップロール８２ｂは、ロールクランプ部８３を構成する加圧シリンダ８４ａ、８４ｂによりゴムロール８０ｂ側に押圧される。
【００４３】
ゴムロール８０ａの近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが前記ゴムロール８０ａに接触することを防止するための接触防止ロール８６が移動可能に配設される。貼り付け機構４６の上流近傍には、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部８７が配設される。この予備加熱部８７は、例えば、赤外線バーヒータ等の加熱手段を備える。
【００４４】
ガラス基板２４は、貼り付け機構４６から矢印Ｃ方向に延在する搬送路８８を介して搬送される。この搬送路８８には、フイルム搬送ロール９０ａ、９０ｂ及び基板搬送ロール９２が配設される。ゴムロール８０ａ、８０ｂと基板搬送ロール９２との間隔は、ガラス基板２４の１枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。基板搬送ロール９２の下流側近傍には、搬送されたガラス基板２４の先端部を検知する基板先端検知センサ９４が配設される。基板先端検知センサ９４は、ガラス基板２４に貼り付けられた感光性樹脂層２８の後端部のハーフカット部位３４が貼り付け機構４６のゴムロール８０ａ、８０ｂ間に配置されたとき、ガラス基板２４の先端部を検知する位置に配置される（図４参照）。
【００４５】
また、基板搬送ロール９２の下流には、冷却機構１２２とベース自動剥離機構１４２ａ、１４２ｂとが設けられる。ベース自動剥離機構１４２ａ、１４２ｂは、所定間隔ずつ離間する各ガラス基板２４に貼り付けられている各長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの長尺なベースフイルム２６を、ガラス基板２４から連続して剥離するものであり、プレ剥離部１４４と、比較的小径な剥離ロール１４６と、巻き取り軸１４８と、自動貼り付け機１５０とを備えている。巻き取り軸１４８は、駆動時にトルク制御してベースフイルム２６に所定のテンションを付与する。プレ剥離部１４４は、ガラス基板２４間で昇降可能な剥離バー１５６を備える。
【００４６】
ベース自動剥離機構１４２ａ、１４２ｂの下流には、ガラス基板２４に実際に貼り付けられた感光性樹脂層２８のエリア位置を測定する測定器１５８が配設される。この測定器１５８は、例えば、感光性樹脂層２８が貼り付けられたガラス基板２４を撮影するＣＣＤカメラ１６０を備える。
【００４７】
また、測定器１５８の下流には、複数の感光性積層体１０６が収容される感光性積層体ストッカー１３２が設けられる。ベース自動剥離機構１４２ａ、１４２ｂでベースフイルム２６及び残存部分３０ｂが剥離された感光性積層体１０６は、ロボット１３４のハンド部１３４ａに設けられた吸着パッド１３６に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー１３２に収容される。
【００４８】
以上のように構成される製造装置２０では、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂ、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂ、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂ、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂ、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂ、第１及び第２テンション制御機構６６ａ、６６ｂが、貫通部１１４を有する隔壁１１０を隔てて貼り付け機構４６の上部クリーンルーム１１２ａに配置される一方、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂ、貼り付け機構４６、冷却機構１２２、ベース自動剥離機構１４２ａ、１４２ｂ、測定器１５８が下部クリーンルーム１１２ｂに配置される。なお、上部クリーンルーム１１２ａ及び下部クリーンルーム１１２ｂに配置される各機構を上下逆に配置してもよく、また、前記製造装置２０全体を直線状に構成してもよい。
【００４９】
図５は、テンション制御機構６６ａ、６６ｂ及びベース自動剥離機構１４２ａ、１４２ｂを制御することで、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの上流側テンション及び下流側テンションを調整するための回路ブロック図である。なお、貼り付け機構４６を構成するゴムロール８０ａ、８０ｂの上流側における長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのテンションを上流側テンション（バックテンションＴＢ）とし、ゴムロール８０ａ、８０ｂの下流側における長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのテンションを下流側テンション（ピールテンションＴＰ）とする。
【００５０】
テンション制御機構６６ａ、６６ｂを構成する各テンションロール６５には、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのバックテンションＴＢを検出するバックテンション検出器１７０（上流側テンション検出手段）が接続される。また、ベース自動剥離機構１４２ａ、１４２ｂを構成する各巻き取り軸１４８は、巻き取り用トルクモータ１７２（下流側テンション調整手段）によって回転制御される。巻き取り用トルクモータ１７２には、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに付与されるテンションを巻き取り用トルクモータ１７２のトルクから算出するピールテンション算出部１７４（下流側テンション検出手段）が接続される。
【００５１】
テンション制御部１７６（テンション制御手段）は、テンション設定部１７８で設定されたテンションに基づき、バックテンション検出器１７０によって検出されたバックテンションＴＢと、ピールテンション算出部１７４によって算出されたピールテンションＴＰとを制御する。テンション設定部１７８は、製造枚数カウンタ１８０により計数した感光性積層体１０６の製造枚数、又は、ゴムロール回転数検出器１８２により検出したゴムロール８０ａ、８０ｂの回転数に基づき、テンション設定テーブル記憶部１８４に記憶されたバックテンションＴＢ及びピールテンションＴＰを読み出してテンション制御部１７６に設定する。なお、製造枚数カウンタ１８０は、例えば、感光性積層体ストッカー１３２に積層される感光性積層体１０６の枚数を計数するカウンタにより構成することができ、ゴムロール回転数検出器１８２は、バックアップロール８２ａの回転軸に連結されたエンコーダにより構成することができる。
【００５２】
図６は、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂによって検出されたハーフカット部位３４の位置に基づき、ガラス基板２４に対する長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの貼り付け位置を調整するための回路ブロック図である。
【００５３】
第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂは、それぞれＣＣＤカメラ１８６を有する。ハーフカット位置算出部１８８は、各ＣＣＤカメラ１８６によって撮影されたハーフカット部位３４を含む長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの画像に基づき、ゴムロール８０ａ、８０ｂの位置を基準とするハーフカット部位３４の位置を算出する。ハーフカット位置補正部１９２は、ハーフカット位置算出部１８８により算出された各ハーフカット部位３４の位置に基づき、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに形成するハーフカット部位３４の位置の補正量を算出する。第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、算出された補正量に従ってハーフカット部位３４の形成位置を修正し、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂにハーフカット部位３４を形成する。
【００５４】
以上のように構成される製造装置２０の動作について、本発明に係る製造方法との関連で以下に説明する。
【００５５】
先ず、第１及び第２ウエブ送り出し機構３２ａ、３２ｂに取り付けられている各感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂから感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが送り出される。感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂに搬送される。
【００５６】
第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂでは、丸刃５２が感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの幅方向に移動して、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを保護フイルム３０から感光性樹脂層２８乃至ベースフイルム２６まで切り込んでハーフカット部位３４を形成する（図２参照）。さらに、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、保護フイルム３０の残存部分３０ｂの幅Ｍに対応して矢印Ａ方向に搬送された後に停止され、丸刃５２の走行作用下にハーフカット部位３４が形成される。これにより、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂには、残存部分３０ｂを挟んで前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとが設けられる（図２参照）。
【００５７】
なお、残存部分３０ｂの幅Ｍは、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂが延びないことを前提として、貼り付け機構４６のゴムロール８０ａ、８０ｂ間に供給されるガラス基板２４間の距離を基準として設定されるものとする。また、幅Ｍで形成される一組のハーフカット部位３４は、ガラス基板２４に貼り付けられる感光性樹脂層２８の基準長さＬ（図４参照）の間隔で長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに形成される。
【００５８】
次いで、各感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂに搬送されて、保護フイルム３０の所定の貼り付け部位が受け台５６上に配置される。第１及び第２ラベル接着機構４０ａ、４０ｂでは、所定枚数の接着ラベル３８が吸着パッド５４ｂ〜５４ｇにより吸着保持され、各接着ラベル３８が保護フイルム３０の残存部分３０ｂを跨いで、前方の剥離部分３０ａａと後方の剥離部分３０ａｂとに一体的に接着される（図３参照）。
【００５９】
例えば、７枚の接着ラベル３８が接着された感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、図１に示すように、第１及び第２リザーバ機構４２ａ、４２ｂを介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂに連続的に搬送される。第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂでは、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのベースフイルム２６がサクションドラム６２に吸着保持されるとともに、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残して前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂから剥離される。この保護フイルム３０は、剥離ロール６３を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部６４に巻き取られる（図１参照）。
【００６０】
第１及び第２剥離機構４４ａ、４４ｂの作用下に、保護フイルム３０が残存部分３０ｂを残してベースフイルム２６から剥離された後、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂは、テンション制御機構６６ａ、６６ｂによってバックテンションＴＢが調整され、次いで、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂにおいてハーフカット部位３４が検出される。
【００６１】
貼り付け機構４６は、検出されたハーフカット部位３４に先行する剥離部分３０ａｂ側のハーフカット部位３４がゴムロール８０ａ、８０ｂに配置されるように、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを搬送して停止させる一方、ガラス基板２４を、基板搬送機構４５の作用下に、予め加熱された状態で貼り付け位置に搬送する。ガラス基板２４は、並列されている感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの感光性樹脂層２８の貼り付け部分に対応してゴムロール８０ａ、８０ｂ間に一旦配置される。
【００６２】
次いで、バックアップロール８２ｂ及びゴムロール８０ｂを上昇させることにより、ゴムロール８０ａ、８０ｂ間にガラス基板２４が所定のプレス圧力で挟み込まれる。そして、ゴムロール８０ａの回転作用下に、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂ及びガラス基板２４を矢印Ｃ方向に搬送する。この結果、並列されている各感光性樹脂層２８が加熱溶融されてガラス基板２４に転写（ラミネート）される。
【００６３】
なお、ラミネート条件としては、速度が１．０ｍ／ｍｉｎ〜１０．０ｍ／ｍｉｎ、ゴムロール８０ａ、８０ｂの温度が８０℃〜１５０℃、前記ゴムロール８０ａ、８０ｂのゴム硬度が４０度〜９０度、該ゴムロール８０ａ、８０ｂのプレス圧（線圧）が５０Ｎ／ｃｍ〜４００Ｎ／ｃｍである。
【００６４】
この場合、本実施の形態では、前記ラミネート条件に加えて、ゴム硬度（ＪＩＳ−Ａ）が４０度〜９０度のゴムロール８０ａにあって摩擦係数０．３〜０．８のものを採用した。以下の知見による。
【００６５】
先ず、図８を参照する。図８は、ゴムロール（圧着ロール）の摩擦係数と、回転量と、圧着枚数との関係を示すグラフである。図８の左縦軸はゴムロール表面と支持体との摩擦係数の値を示し、その右縦軸は基板１枚処理するときのゴムロールの回転数を示し、下横軸は基板の処理枚数を示している。
【００６６】
すなわち、出願人の知見によれば、図８に示すグラフからも明らかな通り、摩擦係数が０．８を超えて１．０程度の従来技術に係るゴムロールを使用してガラス基板を所定の圧力で挟み込み、感光性ウエブを搬送して、その感光性樹脂層を加熱溶融することによりガラス基板にラミネートする際、特に、交換時も含めて、ゴムロールの搭載初動時に摩擦係数が０．８〜１．２近傍の範囲で大きく変動する（図８の特定曲線Ｏ参照）。この間のゴムロールによるガラス基板を１枚処理するための回転数も略Ｍ回から、１．０３Ｍ回まで大きく変動する（図８の特定曲線Ｑ参照）。
【００６７】
一方、本発明に係るゴムロール８０ａを用いた場合、ゴムロール８０ａの表面とベースフィルム（支持体）２６との間の摩擦係数が略０．６程度で安定しており（図８の特定曲線Ｐ参照）、また、このゴムロール８０ａを用いてガラス基板２４に感光性樹脂層２８をラミネートする際の回転数もＭ±０．２５回で、ほとんど回転数に変動がない（図８の特定曲線Ｒ参照）。前記特定曲線Ｒは、基板処理枚数によって若干変動するが、十分に許容範囲内にある。
【００６８】
一方、別の実験によれば、ゴムロール８０ａの摩擦係数が０．３未満の場合には、ガラス基板２４に感光性樹脂層２８をラミネートする際に、ラミネート時に発生する縦シワをゴムロールの圧力でつぶしにくくなり、すなわち、ガラス基板２４と感光性樹脂層２８の間に空気を内包する気泡が残る不都合が露呈することが確認された。
【００６９】
これに反して、ゴムロール８０ａの摩擦係数が０．３以上の場合には、前記気泡の発生は確認されなかった。
【００７０】
次の工程では、基板先端検知センサ９４がガラス基板２４の先端を検知し、ゴムロール８０ａ、８０ｂを介してガラス基板２４に感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの１枚分のラミネートが終了すると、前記ゴムロール８０ａの回転が停止される一方、前記感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがラミネートされた前記ガラス基板２４（以下、貼り付け基板２４ａともいう。）が基板搬送ロール９２によりクランプされる。
【００７１】
そして、ゴムロール８０ｂが、ゴムロール８０ａから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ロール９２の回転が開始されて、貼り付け基板２４ａが矢印Ｃ方向に保護フイルム３０の残存部分３０ｂの幅Ｍに対応する距離だけ搬送され、保護フイルム３０の後方の剥離部分３０ａｂ側のハーフカット部位３４がゴムロール８０ａの下方付近の所定位置に移動する。一方、基板搬送機構４５を介して次なるガラス基板２４が貼り付け位置に向かって搬送される。以上の動作が繰り返されることにより、貼り付け基板２４ａが連続的に製造される。
【００７２】
その際、貼り付け基板２４ａは、図４に示すように、それぞれの端部同士が残存部分３０ｂによって覆われている。従って、感光性樹脂層２８がガラス基板２４に転写される際、ゴムロール８０ａ、８０ｂが前記感光性樹脂層２８により汚れることがない。
【００７３】
貼り付け機構４６でラミネートされた貼り付け基板２４ａは、冷却機構１２２を通って冷却された後、プレ剥離部１４４に移送される。このプレ剥離部１４４では、剥離バー１５６がガラス基板２４間に臨入して上昇し、これによって、ガラス基板２４間の保護フイルム３０が持ち上げられ、隣接するガラス基板２４の後端及び先端から剥離する。
【００７４】
次いで、ベース自動剥離機構１４２ａ、１４２ｂでは、巻き取り軸１４８の回転作用下に、貼り付け基板２４ａからベースフイルム２６が連続して巻き取られる。さらに、トラブル停止での切り離しや、不良品分離時の切断の後、新たにラミネート処理が開始された貼り付け基板２４ａのベースフイルム２６の先端と、巻き取り軸１４８に巻き取られているベースフイルム２６の後端とは、自動貼り付け機１５０を介して自動的に貼り付けられる。この場合、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに付与されるピールテンションＴＰは、巻き取り軸１４８を回転させる巻き取り用トルクモータ１７２によって制御される。
【００７５】
ベースフイルム２６が剥離された貼り付け基板２４ａは、測定器１５８に対応する検査ステーションに配置される。この検査ステーションでは、ガラス基板２４が位置決め固定された状態で、４台のＣＣＤカメラ１６０によりガラス基板２４と感光性樹脂層２８の画像を取り込む。そして、画像処理が施されることにより、貼り付け位置が演算される。
【００７６】
感光性樹脂層２８の貼り付け位置が確認された貼り付け基板２４ａは、ロボット１３４によって取り出され、感光性積層体１０６として感光性積層体ストッカー１３２に収容される。
【００７７】
ところで、一般的には、ガラス基板に対して長尺状感光性ウエブを貼り付けるためのゴムロールは、長期間使用していると、ライニングされたゴムが摩耗したり、表面に長尺状感光性ウエブからの転写物が付着する等により摩擦係数が変化し、長尺状感光性ウエブを適切な状態で搬送できなくなってしまうため、ゴムロールを交換する必要がある場合がある。本実施の形態によれば、ゴムロール８０ａの材質をシリコーンゴムとし、しかもその摩擦係数が０．３乃至０．８のものを採用したから、その交換頻度は可及的に少なくて済む。しかしながら、交換の必要性は皆無とはならない。
【００７８】
そこで、ゴムロール８０ａ、８０ｂを新品に交換した場合、ガラス基板２４に貼り付けられるハーフカット部位３４間の感光性樹脂層２８の位置や基準長さＬ（図４参照）が変化するとともに、２列に貼り付けられる長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの各貼り付け位置がずれてしまうことがある。
【００７９】
そこで、図７のフローチャートに従い、ゴムロール８０ａ、８０ｂを新品に交換した後の処理について説明する。
【００８０】
ゴムロール８０ａ、８０ｂの交換が行われると（ステップＳ１）、テンション制御部１７６は、先ず、ゴムロール８０ａ、８０ｂの上流側における長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのバックテンションＴＢを１００Ｎ／ｍに調整するとともに、ゴムロール８０ａ、８０ｂの下流側のピールテンションＴＰを８０Ｎ／ｍに調整する。（ステップＳ２）。
【００８１】
この場合、バックテンションＴＢは、１００±５Ｎ／ｍ、ピールテンションＰＴｊは、８０±５Ｎ／ｍの範囲で設定してもよい。
【００８２】
そこで、図５において、テンション設定部１７８は、テンション設定テーブル記憶部１８４よりバックテンションＴＢ＝１００Ｎ／ｍ及びピールテンションＴＰ＝８０Ｎ／ｍの各データを読み出し、テンション制御部１７６に設定する。一方、テンション制御機構６６ａ、６６ｂを構成するテンションロール６５に接続された各バックテンション検出器１７０は、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのバックテンションＴＢを検出し、その検出値をテンション制御部１７６に供給する。また、ピールテンション算出部１７４は、ガラス基板２４に感光性樹脂層２８を介して貼り付けられたベースフイルム２６を巻き取る巻き取り軸１４８を回転させる巻き取り用トルクモータ１７２のトルクから、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのピールテンションＴＰを算出し、その算出値をテンション制御部１７６に供給する。テンション制御部１７６は、これらの検出値及び算出値が設定されたバックテンションＴＢ及びピールテンションＴＰとなるように、シリンダ６８を駆動してテンションダンサー７０を制御するとともに、巻き取り用トルクモータ１７２を制御する。
【００８３】
なお、感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのピールテンションＴＰは、巻き取り用トルクモータ１７２のトルクから算出して制御する代わりに、バックテンションＴＢを制御するテンション制御機構６６ａ、６６ｂと同様に、剥離ロール１４６と自動貼り付け機１５０との間の感光性ウエブ２２ａ、２２ｂのピールテンションＴＰを検出し、この間に配設したテンションダンサーを駆動して制御してもよい。
【００８４】
第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂは、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂにより検出したハーフカット部位３４の位置に基づき、必要に応じて、ガラス基板２４に対する長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの貼り付け位置を調整する（ステップＳ３）。
【００８５】
すなわち、図６において、第１及び第２検出機構４７ａ、４７ｂを構成するＣＣＤカメラ１８６は、ゴムロール８０ａ、８０ｂ間の所定位置にハーフカット部位３４が到達した時点で、ハーフカット部位３４を含む長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの画像を撮影する。ハーフカット位置算出部１８８は、撮影された画像からハーフカット部位３４を抽出し、ゴムロール８０ａ、８０ｂの位置を基準とするハーフカット部位３４の位置を算出する。
【００８６】
ハーフカット位置補正部１９２は、ハーフカット部位３４の位置ずれ量が所定量を超えているとき、第１及び第２加工機構３６ａ、３６ｂを制御して、ガラス基板２４の端部から各長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの端部までの距離ΔＬ１、ΔＬ２が距離ΔＬとなるように、各長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに対するハーフカット部位３４の形成位置を修正する。
【００８７】
以上のようにしてガラス基板２４に対する長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの貼り付け位置を調整しながら、ガラス基板２４に対する長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂの貼り付け処理を継続する（ステップＳ４）。
【００８８】
長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂがガラス基板２４の所定部位に貼り付けられた貼り付け基板２４ａは、ベース自動剥離機構１４２ａ、１４２ｂによってベースフイルム２６が剥離された後、測定器１５８に供給され、感光性積層体１０６の貼り付け状態、例えば、貼り付け位置、ガラス基板２４と感光性樹脂層２８との間に気泡が混入しているか否か等について画像検査処理が行われる（ステップＳ５）。
【００８９】
貼り付け位置が安定した後、継続し、所望の製造枚数に達した時点で製造を終了する（ステップＳ６）。
【００９０】
以上のようにして、感光性積層体１０６の製造枚数と、ゴムロール８０ａの回転数とに従い、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂに対するバックテンションＴＢ及びピールテンションＴＰを調整して貼り付け処理を行うことにより、不良品の発生を最小限として、高精度な感光性積層体１０６を連続的に製造することができる。この場合、長尺状感光性ウエブ２２ａ、２２ｂやガラス基板２４を無駄に廃棄してしまうこともない。
【００９１】
しかも、本実施の形態によれば、ガラス基板２４に感光性ウエブ２２ａ、２２ｂを構成する感光性樹脂層２８をラミネートする際のゴムロール８０ａの表面の摩擦係数が０．３〜０．８のシリコーンゴムなので、製造装置２０への搭載時、あるいはゴムロール８０ａの交換後の初動時においても安定した回転数が得られ、その結果、ラミネート自体も安定した状態で行なわれ、これによって品質に優れた製品を得ることができる。
【００９２】
従来技術に係るゴムロールでは、図８に示すように、その初動時に、ガラス基板に感光性樹脂層をラミネートする場合、ガラス基板の枚数にしてＮ１枚からＮ１＊２枚に至る迄、一枚のガラス基板に対するゴムロールの回転数は大きくばらつき、ラミネート作業も安定せず、それに基因して品質が一定でない製品が製造される場合があった。（ここで、Ｎ１は、基板の大きさで決まる枚数を示す。）
【００９３】
しかしながら、本実施の形態のように、摩擦係数が０．３〜０．８の範囲内のゴムロール８０ａを用いることによって、搭載されたゴムロール８０ａの初動時から一枚のガラス基板２４に対して感光性樹脂層２８をラミネートする際の該ゴムロール８０ａの回転数がＭ回転±０．２５％の回転の範囲に止まる。すなわち、ゴムロール８０ａの回転が安定していることになる。
【００９４】
なお、上述した実施形態では、２本の感光性ウエブロール２３ａ、２３ｂを用いているが、これに限定されるものではなく、１本の感光性ウエブロールや、３本以上の感光性ウエブロールを採用してもよい。
【符号の説明】
【００９５】
２０…製造装置
２２ａ、２２ｂ…感光性ウエブ
２４…ガラス基板
２６…可撓性ベースフイルム
２８…感光性樹脂層
３０…保護フイルム
３４…ハーフカット部位
３６ａ、３６ｂ…加工機構
４５…基板搬送機構
４６…貼り付け機構
４７ａ、４７ｂ…検出機構
６５…テンションロール
６６ａ、６６ｂ…テンション制御機構
６８…シリンダ
７０…テンションダンサー
８０ａ、８０ｂ…ゴムロール
１０６…感光性積層体
１４２ａ、１４２ｂ…ベース自動剥離機構
１４８…巻き取り軸
１７０…バックテンション検出器
１７２…巻き取り用トルクモータ
１７４…ピールテンション算出部
１７６…テンション制御部
１７８…テンション設定部
１８０…製造枚数カウンタ
１８２…ゴムロール回転数検出器
１８４…テンション設定テーブル記憶部
１８６…ＣＣＤカメラ
１８８…ハーフカット位置算出部
１９２…ハーフカット位置補正部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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