(57)【要約】【課題】基板上に形成された複数の発光素子からの射出光をホログラムにより集光させて被露光面に集光点列を形成する露光装置において、複数の発光素子の一部に欠陥があっても、被露光面において所望の個数の集光点列を得ることができる露光装置を提供する。【解決手段】露光装置は、複数の発光素子が一次元状又は二次元状に配列された基板と、基板上に配置され、複数の発光素子から発光点として選択された一部の発光素子に対応して、発光点を通過する拡散光の光路を通る第１の光波と第１の光波の光路の外側に予め定めた距離で収束する収束光の光路を通る第２の光波との干渉により、第２の光波の収束により形成される集光点が予め定めた配列方向に且つ予め定めた個数だけ並ぶように、複数のホログラムが記録されたホログラム記録層と、を含む。【選択図】図７
2011022330.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の発光素子が一次元状又は二次元状に配列された基板と、
前記基板上に配置され、前記複数の発光素子から発光点として選択された一部の発光素子に対応して、前記発光点に対応する位置からホログラム記録層を通過する拡散光の光路を通る第１の光波と前記第１の光波の光路の外側に予め定めた距離で収束する収束光の光路を通る第２の光波との干渉により、前記第２の光波の収束により形成される集光点が予め定めた配列方向に且つ予め定めた個数だけ並ぶように、複数のホログラムが記録された、ホログラム記録層と、
を含む露光装置。
【請求項２】
前記複数の発光素子は、隣り合う２つの発光素子の前記基板の長さ方向に沿った間隔が予め定めた第１の間隔となるように配列されると共に、前記複数のホログラムの各々は、前記基板の長さ方向の直径が前記第１の間隔より大きい請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記複数の発光素子の各々から検出された発光強度に基づいて、前記発光点が前記集光点について予め定めた個数となるように、発光強度の高い順に、前記一部の発光素子が前記複数の発光素子から発光点として選択された、請求項１又は２に記載の露光装置。
【請求項４】
発光強度の下限値が予め定められ、前記複数の発光素子の各々から検出された発光強度に基づいて、前記発光点が前記集光点について予め定めた個数となるように、前記下限値以上の発光強度を有する発光素子の中から前記一部の発光素子が発光点として選択された、請求項１から請求項３までの何れか１項に記載の露光装置。
【請求項５】
発光強度の下限値及び上限値が予め定められ、前記複数の発光素子の各々から検出された発光強度に基づいて、前記発光点が前記集光点について予め定めた個数となるように、前記下限値以上で且つ前記上限値以下の発光強度を有する発光素子の中から前記一部の発光素子が発光点として選択された、請求項４に記載の露光装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５までの何れか１項に記載の露光装置と、
前記露光装置による露光により画像が記録される感光性の画像記録媒体と、
前記画像記録媒体を前記露光装置に対して相対移動させる移動手段と、
前記複数の発光素子の各々を点灯又は消灯するように駆動する駆動手段と、
画像情報に基づいて、前記発光点として選択された一部の発光素子の各々が駆動されると共に、前記画像記録媒体が前記基板の長さ方向と交差する方向に副走査されるように、前記駆動手段及び前記移動手段を制御する制御手段と、
を備えた画像形成装置。
【請求項７】
請求項１から請求項５までの何れか１項に記載の露光装置の製造工程においてホログラム記録層に複数のホログラムを記録するホログラム記録装置であって、
基板上に形成されたホログラム記録層にホログラムを記録するための第１の光波及び第２の光波を照射する光照射手段と、
前記ホログラム記録層が形成された基板を移動させる移動手段と、
前記複数の発光素子の各々を点灯又は消灯するように駆動する駆動手段と、
前記複数の発光素子の各々の発光強度及び位置を計測する計測手段と、
前記ホログラム記録層にホログラムを記録する前に、前記複数の発光素子の全部を点灯させた状態で、前記複数の発光素子の各々の発光強度及び位置を計測するように、前記駆動手段及び前記計測手段を制御する第１制御手段と、
前記計測手段で計測された発光強度及び位置に基づいて、前記発光点の個数が前記集光点について予め定めた個数となるように、前記複数の発光素子から前記一部の発光素子を選択する選択手段と、
選択された前記一部の発光素子と前記予め定めた個数の集光点とを一対一に対応付ける対応付け手段と、
前記一部の発光素子の１つから射出された光が対応する集光点に収束するように、前記発光強度、前記発光点の位置及び前記集光点の位置に基づいて、前記一部の発光素子の各々に対応する複数のホログラムの各々を記録するために必要な、前記第１の光波及び前記第２の光波の照射強度、照射角度、照射位置及び照射時間を含む記録条件を取得する取得手段と、
前記取得手段で取得された記録条件に基づいて、前記ホログラム記録層に前記一部の発光素子の各々に対応する複数のホログラムの各々を順次記録するように、前記光照射手段及び前記移動手段を制御する第２制御手段と、
を備えたホログラム記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置、画像形成装置及びホログラム記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、レーザ光源からのレーザ光をスポット状のビームに変換するスイッチング素子と、そのビームを収束させるホログラム素子とを、１対１に対応して複数個存在させたことを特徴とする印字装置が記載されている。
【０００３】
特許文献２には、光源基板上に配列された複数の発光素子と、透過する光を回折させることにより当該光の光線束を収束させて像を結ぶ複数の回折正レンズを有する第１レンズアレイと、複数のレンズを有し、前記複数の発光素子の各々との間に前記第１レンズアレイを挟む第２レンズアレイとを備え、前記複数の回折正レンズの各々は、前記光源基板に垂直な方向において前記複数の発光素子の各々に重なっている、ことを特徴とする露光装置が記載されている。
【０００４】
特許文献３には、画像を多数の微小な画素に分割し、一つもしくは複数の光源から各画素の濃度に対応した強度の光束を射出し、当該光束による輝点を、閾値以上の光量密度の光が照射されることにより、感光して表面電位変化や化学的変化等の潜像が形成される、又は感光して濃度変化を持つ画像が形成される画像記録媒体の上に走査して、各画素領域を順次感光させることにより画像を書込む光書込み装置において、前記光源と前記画像記録媒体との間であって光源側から順に、光束を集束させる光集束素子部と、光束が集束する位置に設けられた微小な光学的開口部と、該光学的開口部より射出した光束をおおむね平行な光束とするコリメータ部と、光束を複数の方向へ分解して放射すると共に複数の光束をおおむね同一の平面上に集束させるホログラム素子と、を配列された一つのユニットを、主走査方向に画素数と同数のアレイ状に配置したことを特徴とする光書込み装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平４−２０１２７０号公報
【特許文献２】特開２００７−２３７５７６号公報
【特許文献３】特開２０００−３３００５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の目的は、基板上に形成された複数の発光素子からの射出光をホログラムにより集光させて被露光面に集光点列を形成する露光装置において、複数の発光素子の一部に欠陥があっても、被露光面において所望の個数の集光点列を得ることができる露光装置を提供することにある。また、本発明の目的は、当該露光装置を用いた画像形成装置、及び当該露光装置の製造工程においてホログラム記録層にホログラムを記録するホログラム記録装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために各請求項に記載の発明は、下記構成を備えたことを特徴としている。
【０００８】
請求項１に記載の発明は、複数の発光素子が一次元状又は二次元状に配列された基板と、前記基板上に配置され、前記複数の発光素子から発光点として選択された一部の発光素子に対応して、前記発光点に対応する位置からホログラム記録層を通過する拡散光の光路を通る第１の光波と前記第１の光波の光路の外側に予め定めた距離で収束する収束光の光路を通る第２の光波との干渉により、前記第２の光波の収束により形成される集光点が予め定めた配列方向に且つ予め定めた個数だけ並ぶように、複数のホログラムが記録された、ホログラム記録層と、を含む露光装置である。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、前記複数の発光素子は、隣り合う２つの発光素子の前記基板の長さ方向に沿った間隔が予め定めた第１の間隔となるように配列されると共に、前記複数のホログラムの各々は、前記基板の長さ方向の直径が前記第１の間隔より大きい請求項１に記載の露光装置である。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、前記複数の発光素子の各々から検出された発光強度に基づいて、前記発光点が前記集光点について予め定めた個数となるように、発光強度の高い順に、前記一部の発光素子が前記複数の発光素子から発光点として選択された請求項１又は２に記載の露光装置である。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、発光強度の下限値が予め定められ、前記複数の発光素子の各々から検出された発光強度に基づいて、前記発光点が前記集光点について予め定めた個数となるように、前記下限値以上の発光強度を有する発光素子の中から前記一部の発光素子が発光点として選択された請求項１から請求項３までの何れか１項に記載の露光装置である。
【００１２】
請求項５に記載の発明は、発光強度の下限値及び上限値が予め定められ、前記複数の発光素子の各々から検出された発光強度に基づいて、前記発光点が前記集光点について予め定めた個数となるように、前記下限値以上で且つ前記上限値以下の発光強度を有する発光素子の中から前記一部の発光素子が発光点として選択された、請求項４に記載の露光装置である。
【００１３】
請求項６に記載の発明は、請求項１から請求項５までの何れか１項に記載の露光装置と、前記露光装置による露光により画像が記録される感光性の画像記録媒体と、前記画像記録媒体を前記露光装置に対して相対移動させる移動手段と、前記複数の発光素子の各々を点灯又は消灯するように駆動する駆動手段と、画像情報に基づいて、前記発光点として選択された一部の発光素子の各々が駆動されると共に、前記画像記録媒体が前記基板の長さ方向と交差する方向に副走査されるように、前記駆動手段及び前記移動手段を制御する制御手段と、を備えた画像形成装置である。
【００１４】
請求項７に記載の発明は、請求項１から請求項５までの何れか１項に記載の露光装置の製造工程においてホログラム記録層に複数のホログラムを記録するホログラム記録装置であって、基板上に形成されたホログラム記録層にホログラムを記録するための第１の光波及び第２の光波を照射する光照射手段と、前記ホログラム記録層が形成された基板を移動させる移動手段と、前記複数の発光素子の各々を点灯又は消灯するように駆動する駆動手段と、前記複数の発光素子の各々の発光強度及び位置を計測する計測手段と、前記ホログラム記録層にホログラムを記録する前に、前記複数の発光素子の全部を点灯させた状態で、前記複数の発光素子の各々の発光強度及び位置を計測するように、前記駆動手段及び前記計測手段を制御する第１制御手段と、前記計測手段で計測された発光強度及び位置に基づいて、前記発光点の個数が前記集光点について予め定めた個数となるように、前記複数の発光素子から前記一部の発光素子を選択する選択手段と、選択された前記一部の発光素子と前記予め定めた個数の集光点とを一対一に対応付ける対応付け手段と、前記一部の発光素子の１つから射出された光が対応する集光点に収束するように、前記発光強度、前記発光点の位置及び前記集光点の位置に基づいて、前記一部の発光素子の各々に対応する複数のホログラムの各々を記録するために必要な、前記第１の光波及び前記第２の光波の照射強度、照射角度、照射位置及び照射時間を含む記録条件を取得する取得手段と、前記取得手段で取得された記録条件に基づいて、前記ホログラム記録層に前記一部の発光素子の各々に対応する複数のホログラムの各々を順次記録するように、前記光照射手段及び前記移動手段を制御する第２制御手段と、を備えたホログラム記録装置である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の各請求項に記載の発明によれば、以下の効果がある。
【００１６】
請求項１に記載の発明によれば、基板上に形成された複数の発光素子からの射出光をホログラムにより集光させて被露光面に集光点列を形成する露光装置において、複数の発光素子の一部に欠陥があっても、被露光面において所望の個数の集光点列を得ることができる。
【００１７】
請求項２に記載の発明によれば、ロッドレンズを用いた従来のＬＥＤアレイ方式の露光装置に比べて、作動距離が長くなる。
【００１８】
請求項３に記載の発明によれば、発光強度の高い一部の発光素子を発光点として選択することができる。
【００１９】
請求項４に記載の発明によれば、下限値未満の発光強度を有する発光素子を発光点から排除することができる。
【００２０】
請求項５に記載の発明によれば、下限値以上で且つ上限値以下の発光強度を有する発光素子を発光点として選択することで、光量ばらつきを低減できる。
【００２１】
請求項６に記載の発明によれば、本発明の露光装置を備えた画像形成装置において、露光装置の基板上に形成された複数の発光素子の一部に欠陥があっても、被露光面において所望の個数の集光点列を得ることができる。
【００２２】
請求項７に記載の発明によれば、基板上に形成された複数の発光素子の一部に欠陥があっても、被露光面において所望の個数の集光点列を形成するように、露光装置のホログラム記録層に複数のホログラムを記録することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施の形態に係る画像形成装置の構成の一例を示す概略図である。
【図２】本実施の形態に係る露光装置としてのＬＥＤプリントヘッドの構成の一例を示す概略斜視図である。
【図３】（Ａ）はホログラム素子の概略形状を示す斜視図であり、（Ｂ）はＬＥＤプリントヘッドの副走査方向の断面図であり、（Ｃ）はＬＥＤプリントヘッドの主走査方向に延びる第１の直線に沿った断面図である。
【図４】（Ａ）及び（Ｂ）はホログラム記録層にホログラム素子が形成される様子を示す図である。
【図５】（Ａ）及び（Ｂ）は、ホログラム素子から回折光が生成される様子を示す図である。
【図６】（Ａ）〜（Ｅ）はＬＥＤプリントヘッドの製造工程を示す工程図である。
【図７】選択された一部のＬＥＤに対応してホログラムが形成されたＬＥＤプリントヘッドの部分的構成の一例を示す分解斜視図である。
【図８】本発明の実施の形態に係るホログラム記録装置の構成の一例を示す概略図である。
【図９】図８に示すホログラム記録装置の駆動制御系の構成を示すブロック図である。
【図１０】ホログラム選択形成プログラムの処理ルーチンを示すフローチャートである。
【図１１】スキャナの計測結果を示す図である。
【図１２】発光強度の高低を表す図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態の一例を詳細に説明する。
【００２５】
＜画像形成装置＞
図１は本発明の実施の形態に係る画像形成装置の構成の一例を示す概略図である。この画像形成装置は、所謂タンデム型のデジタルカラープリンタであり、各色の画像データに対応して画像形成を行う画像形成部としての画像形成プロセス部１０、画像形成装置の動作を制御する制御部３０、及び画像読取装置３と例えばパーソナルコンピュータ（ＰＣ）２等の外部装置とに接続され、これらの装置から受信された画像データに対して所定の画像処理を施す画像処理部４０を備えている。
【００２６】
画像形成プロセス部１０は、一定の間隔で並列に配置される４つの画像形成ユニット１１Ｙ、１１Ｍ、１１Ｃ、１１Ｋを備えている。画像形成ユニット１１Ｙ、１１Ｍ、１１Ｃ、１１Ｋの各々は、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、黒（Ｋ）のトナー像を形成する。なお、画像形成ユニット１１Ｙ、１１Ｍ、１１Ｃ、１１Ｋを、適宜「画像形成ユニット１１」と総称する。
【００２７】
各画像形成ユニット１１は、静電潜像を形成してトナー像を担持する像担持体としての感光体ドラム１２、感光体ドラム１２の表面を所定電位で一様に帯電する帯電器１３、帯電器１３によって帯電された感光体ドラム１２を露光する露光装置としてのＬＥＤプリントヘッド(ＬＰＨ)１４、ＬＰＨ１４によって得られた静電潜像を現像する現像器１５、転写後の感光体ドラム１２表面を清掃するクリーナ１６を備えている。
【００２８】
ＬＰＨ１４は、感光体ドラム１２の軸線方向の長さと略同じ長さの長尺状のプリントヘッドである。ＬＰＨ１４には、長さ方向に沿って複数のＬＥＤがアレイ状（列状）に配列されている。ＬＰＨ１４は、その長さ方向が感光体ドラム１２の軸線方向を向くように、感光体ドラム１２の周囲に配置されている。また、本実施の形態では、ＬＰＨ１４の作動距離は長く、感光体ドラム１２の表面から数ｃｍ離間して配置されている。このため、感光体ドラム１２の周方向における占有幅が小さく、感光体ドラム１２の周囲の混雑が緩和されている。
【００２９】
また、画像形成プロセス部１０は、各画像形成ユニット１１の感光体ドラム１２にて形成された各色のトナー像が多重転写される中間転写ベルト２１、各画像形成ユニット１１の各色トナー像を中間転写ベルト２１に順次転写（一次転写）させる一次転写ロール２２、中間転写ベルト２１上に転写された重畳トナー像を記録媒体である用紙Ｐに一括転写（二次転写）させる二次転写ロール２３、及び二次転写された画像を用紙Ｐ上に定着させる定着器２５を備えている。
【００３０】
次に上記画像形成装置の動作について説明する。
まず、画像形成プロセス部１０は、制御部３０から供給された同期信号等の制御信号に基づいて画像形成動作を行う。その際に、画像読取装置３やＰＣ２から入力された画像データは、画像処理部４０によって画像処理が施され、インターフェースを介して各画像形成ユニット１１に供給される。
【００３１】
例えば、イエローの画像形成ユニット１１Ｙでは、帯電器１３により所定電位で一様に帯電された感光体ドラム１２の表面が、画像処理部４０から得られた画像データに基づいて発光するＬＰＨ１４により露光されて、感光体ドラム１２上に静電潜像が形成される。即ち、ＬＰＨ１４の各ＬＥＤが画像データに基づいて発光することで、感光体ドラム１２の表面が主走査されると共に、感光体ドラム１２が回転することで副走査されて、感光体ドラム１２上に静電潜像が形成される。形成された静電潜像は現像器１５により現像され、感光体ドラム１２上にはイエローのトナー像が形成される。同様に、画像形成ユニット１１Ｍ,１１Ｃ,１１Ｋにおいて、マゼンタ、シアン、黒の各色トナー像が形成される。
【００３２】
各画像形成ユニット１１で形成された各色トナー像は、図１の矢印Ａ方向に回動する中間転写ベルト２１上に、一次転写ロール２２により順次静電吸引されて転写される（一次転写）。中間転写ベルト２１上には、重畳されたトナー像が形成される。重畳トナー像は、中間転写ベルト２１の移動に伴って二次転写ロール２３が配設された領域（二次転写部）に搬送される。重畳トナー像が二次転写部に搬送されると、トナー像が二次転写部に搬送されるタイミングに合わせて用紙Ｐが二次転写部に供給される。
【００３３】
そして、二次転写部にて二次転写ロール２３により形成される転写電界により、重畳トナー像は搬送されてきた用紙Ｐ上に一括して静電転写される（二次転写）。重畳トナー像が静電転写された用紙Ｐは、中間転写ベルト２１から剥離され、搬送ベルト２４により定着器２５まで搬送される。定着器２５に搬送された用紙Ｐ上の未定着トナー像は、定着器２５によって熱および圧力による定着処理を受けることで用紙Ｐ上に定着される。そして定着画像が形成された用紙Ｐは、画像形成装置の排出部に設けられた排紙トレー（不図示）に排出される。
【００３４】
なお、ＬＰＨの作動距離が長い方が、感光体ドラムの周囲が混み合わず、全体として画像形成装置が小型化される。ロッドレンズを用いた従来のＬＰＨでは、ロッドレンズのレンズアレイ端面から結像点までの光路長（作動距離）は数ｍｍ程度と短く、感光体ドラムの周囲における露光装置の占有割合が大きくなる。また、一般に、インコヒーレント光（非干渉性の光）を射出するＬＥＤを用いるＬＰＨでは、コヒーレンス性が低下してスポットぼけ（いわゆる色収差）が生じ、微小スポットを形成することは容易ではない。
【００３５】
＜ＬＥＤプリントヘッド(ＬＰＨ)＞
図２は本実施の形態に係る露光装置としてのＬＥＤプリントヘッドの構成の一例を示す概略斜視図である。図３（Ａ）はホログラム素子の概略形状を示す斜視図であり、図３（Ｂ）はＬＥＤプリントヘッドの副走査方向の断面図であり、図３（Ｃ）はＬＥＤプリントヘッドの主走査方向に延びる第１の直線に沿った断面図である。
【００３６】
図２に示すように、ＬＥＤプリントヘッド(ＬＰＨ１４)は、複数のＬＥＤ５０を備えたＬＥＤアレイ５２と、複数のＬＥＤ５０の各々に対応して設けられた複数のホログラム素子５４を備えたホログラム素子アレイ５６と、を備えている。図２に示す例では、ＬＥＤアレイ５２は６個のＬＥＤ５０１〜５０６を備え、ホログラム素子アレイ５６は６個のホログラム素子５４１〜５４６を備えている。なお、各々を区別する必要がない場合には、ＬＥＤ５０１〜５０６を「ＬＥＤ５０」と総称し、ホログラム素子５４１〜５４６を「ホログラム素子５４」と総称する。
【００３７】
複数のＬＥＤ５０の各々は、ＬＥＤ５０の各々を駆動する駆動回路（図示せず）と共に、長尺状のＬＥＤ基板５８上に実装されている。上述した通り、ＬＥＤ５０の各々は、感光体ドラム１２の軸線方向と平行な方向に沿って配列されている。ＬＥＤ５０の配列方向が「主走査方向」である。また、ＬＥＤ５０の各々は、互いに隣接する２つのＬＥＤ５０の主走査方向の間隔が一定間隔となるように配列されている。なお、感光体ドラム１２の回転により副走査が行われるが、「主走査方向」と直交する方向を「副走査方向」として図示している。
【００３８】
ＬＥＤアレイ５２としては、複数のＬＥＤがチップ単位で基板上に実装されたＬＥＤアレイ等、種々の形態のＬＥＤアレイを用いてもよい。複数のＬＥＤが配列されたＬＥＤチップを複数個配列する場合には、複数のＬＥＤチップは、直列に配置してもよく、千鳥状に配置してもよい。また、副走査方向に２個以上配置してもよい。
【００３９】
図２に示すように、本実施の形態では、ＬＰＨ１４は、３個のＬＥＤ５０１、ＬＥＤ５０２及びＬＥＤ５０３が配列されたＬＥＤチップ５３１と、３個のＬＥＤ５０４、ＬＥＤ５０５及びＬＥＤ５０６が配列されたＬＥＤチップ５３２と、がＬＥＤ基板５８上に実装されている。ＬＥＤチップ５３１とＬＥＤチップ５３２とは、主走査方向に並ぶように配置されると共に、副走査方向に一定間隔ずらして配置されている。
【００４０】
ＬＥＤチップ５３１とＬＥＤチップ５３２とに分けられていても、複数のＬＥＤ５０の各々は、互いに隣接する２つのＬＥＤ５０の主走査方向の間隔が、一定間隔となるように配列されている。例えば、ＬＥＤ５０２及びＬＥＤ５０３の主走査方向の間隔は、ＬＥＤ５０３及びＬＥＤ５０４の主走査方向の間隔と等しい。
【００４１】
３個のＬＥＤ５０１、ＬＥＤ５０２及びＬＥＤ５０３が主走査方向に沿った第１の直線上に配列されて、ＬＥＤアレイ５２１が構成されている。また、３個のＬＥＤ５０４、ＬＥＤ５０５及びＬＥＤ５０６が主走査方向に沿った第２の直線上に配列されて、ＬＥＤアレイ５２２が構成されている。第１の直線と第２の直線とは、副走査方向に一定間隔で離間されている。第１の直線と第２の直線との間隔は、ＬＥＤ５０の主走査方向の間隔と略同じ間隔である。
【００４２】
上記のＬＥＤチップ５３１及びＬＥＤチップ５３２を覆うように、ＬＥＤ基板５８上には、ホログラム記録層６０が形成されている。ホログラム記録層６０には、複数のＬＥＤ５０１〜５０６の各々に対応して、主走査方向に沿って複数のホログラム素子５４１〜５４６が形成されている。ホログラム素子５４の各々は、互いに隣接する２つのホログラム素子５４の主走査方向の間隔が、上記のＬＥＤ５０の主走査方向の間隔と同じ間隔となるように配列されている。
【００４３】
なお、図２では簡略化して、複数のＬＥＤ５０の全部に対応して複数のホログラム素子５４が形成されている例を図示するが、後述する通り、本実施の形態では、複数のＬＥＤ５０は余剰の個数配列されており、複数のＬＥＤ５０の一部に対応して複数のホログラム素子５４が形成されている（図７参照）。この「ホログラムの選択形成」については、後で詳しく説明する。また、図２では簡略化して、ホログラム素子５４が重なり合わないように図示されているが、後述する通り、互いに隣接する２つのホログラム素子５４が互いに重なり合うように、径の大きいホログラム素子５４が形成されている。
【００４４】
ホログラム素子アレイ５６は、ＬＥＤ基板５８上に形成されたホログラム記録層６０内に形成されている。ホログラム記録層６０は、ホログラムを永続的に記録保持することが可能な高分子材料から構成されている。このような高分子材料としては、いわゆるフォトポリマーを用いてもよい。フォトポリマーは、光重合性モノマーのポリマー化による屈折率変化を利用してホログラムを記録する。
【００４５】
後述する通り、ＬＥＤ基板５８とホログラム記録層６０とは密着している必要はなく、図３（Ｂ）及び図３（Ｃ)に例示した通り、ＬＥＤ基板５８とホログラム記録層６０とは、空気層や透明樹脂層などを介して所定距離だけ離間されていてもよい。例えば、ホログラム記録層６０は、ＬＥＤ基板５８から所定高さだけ離間された位置に、図示しない保持部材によって保持されていてもよい。
【００４６】
図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示すように、ホログラム素子５４の各々は、ホログラム記録層６０の表面側を底面とし、ＬＥＤ５０側に向かって収束する円錐台状に形成されている。この例では円錐台状のホログラム素子について説明するが、ホログラム素子の形状はこれには限定されない。例えば、円錐、楕円錐、楕円錐台等の形状としてもよい。円錐台状のホログラム素子５４の直径は、底面で最も大きくなる。この円形の底面の直径を「ホログラム径ｒＨ」とする。
【００４７】
ホログラム素子５４の各々は、ＬＥＤ５０の主走査方向の間隔よりも大きな「ホログラム径ｒＨ」を有している。例えば、ＬＥＤ５０の主走査方向の間隔は３０μｍであり、ホログラム径ｒＨは２ｍｍ、ホログラム厚さｈＨは２５０μｍである。従って、図２及び図３（Ｃ）に示すように、互いに隣接する２つのホログラム素子５４は、互いに大幅に重なり合うように形成されている。
【００４８】
複数のＬＥＤ５０の各々は、対応するホログラム素子５４側に光を射出するように、発光面をホログラム記録層６０の表面側に向けて、ＬＥＤ基板５８上に配置されている。ＬＥＤ５０の「発光光軸」は、対応するホログラム素子５４の中心（円錐台の対称軸）付近を通り、ＬＥＤ基板５８と直交する方向を向いている。図示した通り、発光光軸は、上記の主走査方向及び副走査方向の各々とも直交する。
【００４９】
ＬＥＤアレイ５２としては、種々の形態のＬＥＤアレイを用いてもよい。本実施の形態では、複数の自己走査型ＬＥＤ（ＳＬＥＤ：Self-scanning LED）が一次元状に配列された複数のＳＬＥＤチップ（図示せず）が、２列の千鳥状に配置されたＳＬＥＤアレイを用いることを想定している。ＳＬＥＤアレイは、スイッチのオン・オフを二本の信号線によって行い、各ＳＬＥＤを選択的に発光させて、データ線を共通化している。このＳＬＥＤアレイを用いることで、基板上での配線数が少なくて済む。なお、「ＬＥＤ」に代えて「ＳＬＥＤ」を用いる場合には、ＬＥＤ５０と同じ符号を付して「ＳＬＥＤ５０」と称する。また、ＳＬＥＤチップにも同じ符号を付して「ＳＬＥＤチップ５３」と称する。
【００５０】
また、図示は省略するが、ＬＰＨ１４は、ホログラム素子５４で生成された回折光が感光体ドラム１２の方向に射出されるように、ハウジングやホルダー等の保持部材により保持されて、画像形成ユニット１１内の所定位置に取り付けられている。なお、ＬＰＨ１４は、調整ネジ（図示せず）等の調整手段により、回折光の光軸方向に移動するように構成されていてもよい。ホログラム素子５４による結像位置(焦点面)が、感光体ドラム１２表面上に位置するように、上記の調整手段により調整する。また、ホログラム記録層６０上に、カバーガラスや透明樹脂等で保護層が形成されていてもよい。保護層によりゴミの付着を防止する。
【００５１】
＜ホログラム素子の記録・再生＞
次に、ホログラム素子５４の記録・再生の原理について簡単に説明する。図４（Ａ）は、ホログラム記録層にホログラム素子が形成される様子を示す図である。感光体ドラム１２の図示は省略し、結像面である表面１２Ａだけを図示する。また、ホログラム記録層６０Ａは、ホログラム素子５４が形成される前の記録層であり、符号Ａを付して、ホログラム素子５４が形成されたホログラム記録層６０と区別する。
【００５２】
図４（Ａ）に示すように、表面１２Ａに結像される回折光の光路を通るコヒーレント光が、信号光としてホログラム記録層６０Ａに照射される。同時に、ホログラム記録層６０Ａを通過する際に、発光点から所望のホログラム径ｒＨまで拡がる拡散光の光路を通るコヒーレント光が、参照光としてホログラム記録層６０Ａに照射される。コヒーレント光の照射には、半導体レーザ等のレーザ光源が用いられる。
【００５３】
信号光と参照光とは、ホログラム記録層６０Ａに対し、同じ側（ＬＥＤ基板５８が配置される側）から照射される。信号光と参照光との干渉により得られる干渉縞（強度分布）が、ホログラム記録層６０Ａの厚さ方向にわたって記録される。これにより、透過型のホログラム素子５４が形成されたホログラム記録層６０が得られる。ホログラム素子５４は、面方向及び厚さ方向に干渉縞の強度分布が記録された体積ホログラムである。このホログラム記録層６０を、ＬＥＤアレイ５２が実装されたＬＥＤ基板５８上に取り付けることで、ＬＰＨ１４が作製される。
【００５４】
なお、図４（Ａ）では、表面１２Ａが概略的に図示されているが、ホログラム径ｒＨは数ｍｍ、作動距離Ｌは数ｃｍであるから、表面１２Ａはかなり離れた位置にある。このため、ホログラム素子５４は、図示されたような円錐状ではなく、図３（Ａ）に示すように、円錐台状に形成される。
【００５５】
また、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）と同様に、ホログラム素子が形成される様子を示す図である。図４（Ａ）の形成方法とは異なり、信号光と参照光とが、ホログラム記録層６０Ａの表面側から照射される。即ち、位相共役波によりホログラムが記録される。本実施の形態では、ＬＥＤ基板５８上に形成されたホログラム記録層６０に、位相共役波によってホログラムが記録される。従って、図４（Ｂ）に示す形成方法については、後で詳しく説明する。
【００５６】
＜スポット列の形成＞
図５（Ａ）及び図５（Ｂ）は、ホログラム素子から回折光が生成される様子を示す図である。ＬＥＤ５０を発光させると、ＬＥＤ５０から射出された光は、発光点からホログラム径ｒＨまで拡がる拡散光の光路を通る。ＬＥＤ５０の発光により、ホログラム素子５４に参照光が照射されたのと略同じ状況となる。参照光の照射により、ホログラム素子５４から信号光と同じ光が再生され、回折光として射出される。射出された回折光は収束して、数ｃｍの作動距離で感光体ドラム１２の表面１２Ａに結像される。表面１２Ａにはスポット６２が形成される。特に、体積ホログラムは入射角選択性及び波長選択性が高く、高い回折効率が得られる。このためバックグラウンドノイズ（背景雑音）が低減され、信号光が精度よく再生されて、表面１２Ａに輪郭の鮮明な微小スポット（集光点）が形成される。
【００５７】
ＬＥＤ５０１に代表される第１の直線上に在るＬＥＤ５０から射出された光は、発光光軸と角度θ１を成す方向に回折され、ＬＥＤ５０２に代表される第２の直線上に在るＬＥＤ５０から射出された光は、発光光軸と角度θ２を成す方向に回折される。また、感光体ドラム１２が、ＬＥＤ５０からホログラム径ｒＨまで拡がる拡散光の光路の外側に位置するように、発光光軸と回折光光軸とが成す角度θ１、角度θ２が設定されている。従って、ホログラムで回折されずに透過する拡散光があったとしても、この透過拡散光は感光体ドラム１２にバックグラウンド光として照射されない。
【００５８】
図２に示すように、射出された各回折光は、感光体ドラム１２の方向に収束して、数ｃｍ先の焦点面に配置された感光体ドラム１２の表面で結像される。感光体ドラム１２の表面１２Ａには、ホログラム素子５４１〜５４６に対応して、スポット６２１〜６２６が形成される。複数のＬＥＤチップ５３１、５３２は千鳥状に配列されて、複数のＬＥＤ５０は副走査方向に分布して配置されているが、副走査方向の位置に応じて角度θ１、角度θ２を適切に設定することで、ＬＥＤチップ毎に複数のＬＥＤの各々を異なるタイミングで発光させなくても、スポット６２１〜６２６が主走査方向に一列に形成される。なお、各々を区別する必要がない場合には、スポット６２１〜６２６を「スポット６２」と総称する。
【００５９】
なお、図２に示す例では、各々３個のＬＥＤ５０を実装した２個のＬＥＤチップ５３により、合計６個のＬＥＤ５０１〜５０６が配列されている例を図示したが、より多くのＬＥＤ５０を実装したＬＥＤチップ５３を用いてもよく、より多くのＬＥＤチップ５３を配列してもよい。実際の画像形成装置では、主走査方向の解像度に応じて数千個のＬＥＤが配列されている。
【００６０】
例えば、上記のＳＬＥＤアレイを例に説明すると、１２８個のＳＬＥＤが１２００ｓｐｉ（spots per inch）間隔で配列されたＳＬＥＤチップが、ＳＬＥＤが主走査方向に沿って並ぶように、５８個直列に配列されてＳＬＥＤアレイが構成されていると仮定する。この仮定の下で換算すると、１２００ｄｐｉの解像度の画像形成装置では、７４２４個のＳＬＥＤが２１μｍの間隔で配列されることになる。全部のＳＬＥＤが発光点として使用されると仮定すると、これら７４２４個のＳＬＥＤに対応して、感光体ドラム１２上には７４２４個のスポット６２が主走査方向に一列に並ぶように形成される。
【００６１】
また、図２では簡略化して、複数のＬＥＤ５０が２列に配列されている例を図示したが、本実施の形態では、後述する通り、各ＬＥＤ５０の位置及び発光強度を計測し、この計測値に基づいて一部のＬＥＤ５０が「発光点」として選択される。ここで「発光点」とは、光源として使用するために選択された発光素子である。選択された一部のＬＥＤ５０の計測値に基づいて、予め設計された位置にホログラム素子５４が形成される。このように、使用する発光点の位置に応じてホログラムを記録するので、ＬＥＤアレイ５２は一次元状及び二次元状の何れの配列でもよく、ＬＥＤ５０又はＬＥＤチップ５３の位置ずれも補償される。
【００６２】
＜ホログラム素子の大きさ＞
上記の例においては、１２００ｄｐｉの解像度の画像形成装置では、７４２４個のＳＬＥＤが２１μｍの間隔で配列されることになる。集光レンズより集光してスポットを形成する場合には、スポット微小化の限界は光の回折現象に由来して決まる。集光レンズで形成されるスポットは、下記関係式から、エアリーディスクと称される。エアリーディスクの直径（スポットサイズ）φは、波長λと集光レンズの開口数ＮＡとを用いて、φ＝１．２２λ／ＮＡ（＝２．４４λＦ）で表される。従って、作動距離（≒焦点距離）をｆとすると、ｆ＝ｒＨφ／２．４４λとなる。
【００６３】
ＮＡ＝sinθ＝ｒＨ／２ｆ
Ｆ（Ｆナンバー）＝ｆ／ｒＨ
ｆ：焦点距離
ｆ＝ｒＨφ／２．４４λ
【００６４】
従来のホログラム素子アレイを用いたＬＰＨでは、複数のホログラム素子の各々は、複数のレンズをＬＥＤの各々に対応させて配列する場合と同様に、互いに重ならないように、ＬＥＤのピッチ間隔（発光素子ピッチ）以下の直径で作製されている。発光素子ピッチは、感光体ドラム上に形成される微小スポットの間隔（画素ピッチ）と略同じ長さであり、数十μｍである。直径が数十μｍのホログラム素子では、回折によるビームの広がり（回折限界）によって、ロッドレンズと同様に数ｍｍオーダの作動距離しか得ることができない。これに対して、本実施の形態では、発光素子ピッチよりもホログラム素子の直径を大きくすることで、ｃｍオーダの作動距離が実現される。
【００６５】
例えば、従来通り、ホログラム素子の直径を発光素子ピッチ以下とすると、１２００ｄｐｉの解像度では、ホログラムサイズｒＨを約２０μｍ以下にしなければならない。このとき、波長を７８０ｎｍとすると、スポットサイズφを約４０μｍまで許容したとしても、作動距離は高々４２０μｍが限界である。このように、従来技術では作動距離をｃｍオーダまで長くすることができない。
【００６６】
一方、本実施の形態のように、ホログラム素子の直径を発光素子ピッチよりも大きくすると、作動距離がｃｍオーダまで長くなる。例えば、集光レンズとして機能するホログラム素子５４の直径（ホログラム径ｒＨ）を１ｍｍ以上にすれば、作動距離が１ｃｍ以上になる。例えば、ホログラム径ｒＨ＝２ｍｍ、ホログラム厚さｈＨ＝２５０μｍにおいては、４ｃｍの作動距離で、約４０μｍ（半値幅で約３０μｍ）のスポットサイズφとなる。
【００６７】
また、ホログラム素子の直径が１０ｍｍを超えると、ホログラム素子の多重度が極めて高くなるため、材料のダイナミックレンジで制限される回折効率が低下する。従って、例えば、材料のダイナミックレンジに応じて、ホログラム素子の直径を１０ｍｍ以下としてもよい。
【００６８】
＜ＬＰＨの製造方法の概略＞
次に、ＬＰＨ１４の製造方法の一例について説明する。なお、アライメント検査工程、ホログラムを記録する記録工程については、ホログラム記録装置の構成と共に、後で「ホログラム選択形成プログラム」の手順として更に詳しく説明する。図６（Ａ）〜（Ｅ）はＬＥＤプリントヘッドの製造工程を示す工程図である。概要はホログラム素子５４の記録・再生の原理として説明した通りである。ここでは、副走査方向の断面図を図示するので、ＬＥＤ５０及びホログラム素子５４は１個ずつしか図示されていないが、ＬＥＤアレイ５２とホログラム素子アレイ５６とを備えたＬＰＨ１４の製造工程として説明する。
【００６９】
まず、図６（Ａ）に示すように、複数のＬＥＤ５０が配列された複数のＬＥＤチップ５３が、ＬＥＤ基板５８上に実装されたＬＥＤアレイ５２を用意する。ＬＥＤ基板５８表面の周辺部に、フォトポリマーを堰き止めるための土手部６４を枠状に形成する。土手部６４は、例えば、硬化性ポリマーをホログラム記録層６０と略同じ厚さで塗布した後に、加熱や光照射により硬化させて形成する。薄い体積ホログラムを記録する場合には、ホログラム記録層６０の厚さは数百μｍ程度であり、同様に、厚さ数百μｍの土手部６４を形成する。厚い体積ホログラムを記録する場合には、ホログラム記録層６０の厚さは１ｍｍ〜１０ｍｍの範囲であり、同様に、厚さ１ｍｍ〜１０ｍｍの土手部６４を形成する。
【００７０】
次に、図６（Ｂ）に示すように、周辺部に枠状の土手部６４が形成されたＬＥＤ基板５８上に、土手部６４から溢れない程度にディスペンサからフォトポリマーを流し込んで、ホログラム記録層６０Ａを形成する。次いで、ホログラム記録層６０Ａの表面に、記録光及び再生光に対し透明な薄板状のカバーガラスを装着する等して、ホログラム記録層６０Ａ上に保護層６６を形成する。この後に、チップアライメント検査を行い、複数のＬＥＤ５０の位置及び発光強度を計測する。
【００７１】
次に、図６（Ｃ）に示すように、フォトポリマーからなるホログラム記録層６０Ａに、保護層６６側から信号光と参照光とを同時に照射して、ホログラム記録層６０Ａに複数のホログラム素子５４を形成する。所望の回折光の光路を逆向きに通過するレーザ光を、信号光として照射する。また、ホログラム記録層６０Ａを通過する際に、所望のホログラム径ｒＨから発光点まで収束する収束光の光路を通過するレーザ光を、参照光として照射する。即ち、図４（Ｂ）に示したように、位相共役波によりホログラムを記録する。信号光及び参照光用のレーザ光には、例えば、半導体レーザから発振される波長７８０ｎｍのレーザ光を用いる。
【００７２】
まず、上記のチップアライメント検査で得られた計測データから、発光点として使用するＬＥＤ５０が選択される。また、上記の計測データとホログラム素子５４の設計値（ホログラム径ｒＨ、ホログラム厚さｈＨ）とから、選択されたＬＥＤ５０毎に、レーザ光の照射位置、照射角度、拡がり角度、収束角度等、信号光及び参照光が設計される。ここで、ホログラム素子５４で生成された回折光（再生された信号光）により、感光体ドラム１２上にスポット６２が所定間隔で一列に並んで形成されるように、選択されたＬＥＤ５０毎に信号光が設計される。そして、選択されたＬＥＤ５０毎に、設計された信号光及び参照光を照射するための書き込み光学系を配置する。
【００７３】
ホログラム記録層６０Ａが形成されたＬＥＤ基板５８を、参照光を照射するための光学系に対して移動させる。選択されたＬＥＤ５０の各々に、参照光が順次収束するように、ＬＥＤ基板５８を所定位置に移動させる。各位置において、再生された信号光が感光体ドラム１２表面の所望の位置にスポット６２を形成するように、信号光を照射するための光学系を配置する。各位置でＬＥＤ５０に応じて信号光及び参照光を照射することで、ホログラム記録層６０Ａには、球面波シフト多重により複数のホログラム素子５４が多重記録される。
【００７４】
次に、図６（Ｄ）に示すように、紫外線照射によりホログラム記録層６０Ａを全面露光して、光重合性モノマーを全部ポリマー化する。この定着処理によりホログラム記録層６０Ａに屈折率分布が固定される。例えば、フォトポリマーは、光重合性モノマーと別の非重合性化合物との混合物として提供される。この場合、フォトポリマーに干渉縞が照射されると、明部では光重合性モノマーがポリマー化し、光重合性モノマーに濃度勾配が生ずる。その結果、明部に光重合性モノマーが拡散して、明部と暗部とで屈折率分布が発生する。
【００７５】
更に全面露光して、暗部に残存する光重合性モノマーをポリマー化して重合反応を完結させ、追記や消去ができない状態とする。なお、ホログラム記録材料としては、様々な記録メカニズムに基づく方式が提案されている。例えば、光強度分布に応じた屈折率変調が記録される材料が用いられる。
【００７６】
最後に、図６（Ｅ）に示すように、複数のＬＥＤ５０を順次発光させて、各ＬＥＤ５０に対応して形成されたホログラム素子５４により、所望の回折光が得られるか否かを検査する。この検査工程により全部の製造工程が終了する。
【００７７】
なお、上記の製造工程では、ＬＥＤ５０とホログラム記録層６０が接している例について説明したが、図３（Ｂ）及び図３（Ｃ）に示したように、空気層や透明樹脂層等を介してホログラム記録層６０をＬＥＤ５０と離して形成してもよい。このとき保護層で挟まれた未記録のホログラム記録層６０Ａからなるシートを別途作製し、発光素子アレイ上に配置してもよい。
【００７８】
＜ホログラムの選択形成＞
次に、選択された一部のＬＥＤ５０に対応して、ホログラム素子５４が形成される「ホログラムの選択形成」について説明する。図７は選択された一部のＬＥＤに対応してホログラムが形成されたＬＰＨの部分的構成の一例を示す分解斜視図である。図７の分解斜視図は、図２に概略的に図示したＬＰＨの構成をより具体的に図示したものであり、実際の画像形成装置に使用される構成に近い。
【００７９】
本実施の形態では、ＬＰＨ１４は、ＬＥＤアレイ５２が実装されたＬＥＤ基板５８と、複数のホログラム素子５４が形成されたホログラム記録層６０と、を備えている。ＬＥＤアレイ５２は、複数のＳＬＥＤチップ５３が２列の千鳥状に配置されたＳＬＥＤアレイである。上述した通り、実際の画像形成装置のＬＰＨ１４には、主走査方向の解像度に応じて数千個のＬＥＤが配列されている。
【００８０】
図７に示す分解斜視図では、実際の構成に近いＬＰＨ１４の一部として、４個のＳＬＥＤチップ５３１1〜５３２２が２列の千鳥状に配置されている様子を示す。ここで、ＳＬＥＤチップ５３ｍｎとは、ｍ行ｎ列目に配列されたＳＬＥＤチップ５３を表す。４個のＳＬＥＤチップ５３１1〜５３２２の各々には、９個のＳＬＥＤ５０が所定間隔で一次元状に配列されている。そして、４個のＳＬＥＤチップ５３１1〜５３２２の各々は、ＳＬＥＤ５０の配列方向が主走査方向を向くように配置されている。
【００８１】
即ち、ＬＥＤアレイ５２の１行目には、ＳＬＥＤチップ５３１1とＳＬＥＤチップ５３１２とが互いに隣接するように配置され、ＬＥＤアレイ５２の２行目には、ＳＬＥＤチップ５３２1とＳＬＥＤチップ５３２２とが互いに隣接するように配置されている。ここで、ＳＬＥＤ５０ｍｎとは、ｍ行ｎ列目に配列されたＳＬＥＤを表す。従って、図７に示す例では、２行１８列で配列された合計３６個のＳＬＥＤ５０（ＳＬＥＤ５０１1〜５０２１８）が図示されている。
【００８２】
この例では、１行目のＳＬＥＤチップ５３１１と２行目のＳＬＥＤチップ５３２１とは、１行目のＳＬＥＤチップ５３１１の３列目のＳＬＥＤ５０１３と、２行目のＳＬＥＤチップ５３２１の１列目のＳＬＥＤ５０２１とが副走査方向に並ぶように、１行目のＳＬＥＤチップ５３と２行目のＳＬＥＤチップ５３とは、主走査方向に２列ずらして（即ち、千鳥状に）配置されている。
【００８３】
本実施の形態では、ＬＰＨ１４の製造方法で説明した通り、ＳＬＥＤ５０の各々の位置及び発光強度が計測され、この計測値に基づいて一部のＳＬＥＤ５０が発光点として選択される。例えば、図７に示す例では、黒（●）で図示したＳＬＥＤ５０が欠陥素子であるとすると、この欠陥素子を避けるように他のＳＬＥＤ５０が発光点として選択される。発光点の選択方法の具体例については後述する。
【００８４】
実際の画像形成装置のＬＰＨ１４では、感光体ドラム１２の表面１２Ａには、主走査方向の解像度に応じて、数千個のスポット６２が所定間隔で配列される。この例では、表面１２Ａには、１８個のスポット６２１〜６２１８が所定間隔で形成されている。従って、３６個のＳＬＥＤ５０から、１８個のスポット６２の各々に対応付けて、１８個のＳＬＥＤ５０が選択される。この例では、ＳＬＥＤアレイの３６個のＳＬＥＤ５０の内、１８個のＳＬＥＤ５０しか使用されていない。換言すれば、欠陥率が高い（この例では５０％）光源アレイを使用してもよい。
【００８５】
そして、選択された１８個のＳＬＥＤ５０の各々に対応して、１８個のスポット６２１〜６２１８が形成されるように、予め設計された位置及び形状の１８個のホログラム素子５４１〜５４１８が形成されている。即ち、ＬＥＤアレイ５２は余剰のＳＬＥＤ５０を有しており、ＬＥＤアレイ５２を構成する全部のＳＬＥＤ５０に対応してホログラム素子５４が形成されるのではなく、選択された一部のＳＬＥＤ５０に対応して、複数のホログラム素子５４が選択的に形成されている。
【００８６】
＜ホログラム記録装置＞
図８は本発明の実施の形態に係るホログラム記録装置の構成の一例を示す概略図である。図８に示すように、このホログラム記録装置には、コヒーレント光であるレーザ光を発振するレーザ光源１００が設けられている。
【００８７】
レーザ光源１００の光出射側には、開閉可能に構成されたシャッタ１０２、互いに直交する直線偏光成分に１／２波長の位相差を付与する１／２波長板１０４、所定方向の偏光だけを透過すると共にそれ以外の偏光を反射する偏光ビームスプリッタ１０６が、この順序でレーザ光の光路上に配置されている。シャッタ１０２は、後述するシャッタ駆動部に接続されている。シャッタ１０２は、シャッタ駆動部により矢印Ｂ方向に駆動されて、レーザ光の光路に挿入された状態（閉状態）又は光路から退避させられた状態（開状態）となる。
【００８８】
偏光ビームスプリッタ１０６の光反射側には、反射されたレーザ光を吸収する光吸収体（図示せず）が配置されている。一方、偏光ビームスプリッタ１０６の光透過側には、一対のレンズ１０８、１１０が、この順序でレーザ光の光路上に配置されている。一対のレンズ１０８、１１０は、２枚のレンズを焦点位置が一致するように組み合わせたものであり、レーザ光のビーム径を拡大するビームエキスパンダとして機能する。レンズ１０８、１１０の焦点面には、ピンホール（微小開口）１１２ａを備えた空間フィルタ１１２が配置されている。
【００８９】
レンズ１１０の光出射側には、透過したレーザ光を反射して光路を所定角度だけ折り曲げるミラー１１４が配置されている。この例では、入射光の光路は、ミラー１１４により９０°だけ折り曲げられる。ミラー１１４の光反射側には、１／２波長板１１６、レーザ光を二光波に分岐するための偏光ビームスプリッタ１１８が、この順序でレーザ光の光路上に配置されている。レーザ光の光路は、偏光ビームスプリッタ１１８により、信号光光路と参照光光路とに分岐される。
【００９０】
偏光ビームスプリッタ１１８の光透過側（即ち、信号光光路側）には、１／２波長板１２０、ミラー１２２、レーザ光が通過する所定径の開口を備えた遮光板であるアパーチャ１２４が、この順序でレーザ光の光路上に配置されている。この例では、１／２波長板１２０を透過したレーザ光の光路は、ミラー１２２により９０°だけ折り曲げられて、アパーチャ１２４に入射する。
【００９１】
アパーチャ１２４の光透過側には、一対のレンズ１２６、１２８、レーザ光を反射して光路を任意の角度だけ折り曲げる回転ミラー１３０、記録時に信号光をＬＰＨ１４（の未記録のホログラム記録層６０Ａ）に照射するレンズ１３４、ＬＰＨ１４を所定位置に保持するステージ１３６が、この順序でレーザ光の光路上に配置されている。なお、ステージ１３６は、後述する通り、ホログラムの記録時には実線で図示した記録位置にＬＰＨ１４を保持し、計測時には点線で図示した計測位置にＬＰＨ１４を保持する。
【００９２】
回転ミラー１３０は、後述するミラー駆動部に接続されている。回転ミラー１３０は、ミラー駆動部により駆動されて、矢印Ｃで図示したように回転軸１３２の回りに回転し、光路を任意の角度だけ折り曲げる。レンズ１３４は、後述するレンズ駆動部に接続されている。レンズ１３４は、レンズ駆動部により駆動されて矢印Ｄ方向に移動され、スポット６２の形成位置に相当する焦点位置が変更される。ステージ１３６は、後述するステージ駆動部に接続されている。ステージ１３６は、ステージ駆動部により駆動されて、矢印Ｅ方向及び矢印Ｆ方向に移動する。
【００９３】
偏光ビームスプリッタ１１８の光反射側には、一対のレンズ１４０、１４２が、この順序でレーザ光の光路上に配置されている。一対のレンズ１４０、１４２は、２枚のレンズを焦点位置が一致するように組み合わせたものである。レンズ１４０、１４２の焦点面には、ピンホール（微小開口）１４４ａを備えた空間フィルタ１４４が配置されている。レンズ１４２の光出射側には、参照光をＬＰＨ１４に照射するレンズ１４６が配置されている。ステージ１３６がステージ駆動部により駆動されて、参照光がＬＥＤ５０に向って集光するように、ステージ１３６に保持されたＬＰＨ１４を矢印Ｅ方向及び矢印Ｆ方向に移動する。
【００９４】
なお、計測時には点線で図示した計測位置にＬＰＨ１４が保持される。計測位置のＬＰＨ１４の被計測面側には、ＬＰＨ１４のＬＥＤアレイ５２を構成する各ＬＥＤ５０の位置及び発光強度を計測するスキャナ１４８が配置されている。スキャナ１４８としては、例えば、ＣＣＤスキャナ等の読み取り装置を用いてもよい。スキャナ１４８は、スキャナ駆動部により駆動されて、図面の奥行き方向（矢印Ｇ方向）に延びたＬＥＤ基板５８の長さ方向に移動しながら、ＬＰＨ１４の長さ方向に沿って配列された複数のＬＥＤ５０の位置及び発光強度を順次計測する。
【００９５】
次に、上記装置の電気的構成について説明する。図９はホログラム記録装置の駆動制御系の構成を示すブロック図である。ホログラム記録装置は、図９に示すように、装置全体を制御する制御部２００を備えている。制御部２００には、制御信号に応じて、レーザ光源１００を駆動するレーザ駆動部（駆動回路）２０２が接続されている。制御部２００には、制御信号に応じて、シャッタ１０２を開閉駆動するシャッタ駆動部２０４が接続されている。
【００９６】
制御部２００には、制御信号に応じて、ステージ１３６を駆動するステージ駆動部２０６が接続されている。また、ステージ１３６に保持されるＬＰＨ１４のＬＥＤ基板５８には、駆動回路（図示せず）が実装されている。ステージ駆動部２０６は、また、この駆動回路に接続されて、ＬＥＤ基板５８上に形成された各ＬＥＤ５０を駆動する。
【００９７】
制御部２００には、制御信号に応じて、レンズ１３４を移動させるレンズ駆動部２０８が接続されている。制御部２００には、制御信号に応じて、スキャナ１４８を駆動するスキャナ駆動部２１０が接続されている。また、制御部２００は、スキャナ１４８から計測信号を取得する。更に、制御部２００には、制御信号に応じて、回転ミラー１３０を回転駆動するミラー駆動部２１２が接続されている。
【００９８】
制御部２００は、装置各部の制御及び各種演算を行うＣＰＵ（中央処理装置）、ＯＳ等の各種プログラムを記憶したＲＯＭ、及びプログラムの実行時にワークエリアとして使用されるＲＡＭを備えている。また、制御部２００は、ハードディスク等の各種情報を記憶する外部記憶装置、入出力ポート、通信インターフェース、及び各種ドライブを備えていてもよい。制御部２００を構成する各部は、バスにより相互に接続されている。ＣＰＵは、プログラムをＲＯＭ又は外部記憶装置等の記憶装置から読み出し、ＲＡＭにロードする。そしてＲＡＭをワークエリアとして使用し、ロードされたプログラムを実行する。
【００９９】
なお、後述する「ホログラム選択形成プログラム」は、ＲＯＭ又は外部記憶装置に記憶されている。また、スポット６２の位置座標等も、予めＲＯＭ又は外部記憶装置等の記憶装置に予め設計値として記憶されている。
【０１００】
＜ホログラムの記録動作の概略＞
次に、図８及び図９を参照して、上記ホログラム記録装置の記録動作について説明する。なお、アライメント検査等、ホログラムの記録前に実施される動作については、次に詳しく説明する。ホログラムの記録時には、シャッタ１０２は、シャッタ駆動部２０４により駆動されて「開状態」とされている。レーザ駆動部２０２により駆動されて、レーザ光源１００から所定波長のレーザ光が発振する。レーザ光源１００から発振されたレーザ光は、１／２波長板１０４を通過して互いに直交する直線偏光成分に１／２波長の位相差が付与され、偏光ビームスプリッタ１０６に入射する。偏光ビームスプリッタ１０６は、例えば、Ｐ偏光及びＳ偏光の一方を透過し、他方を反射する。
【０１０１】
偏光ビームスプリッタ１０６を透過した所定方向の偏光は、ビームエキスパンダとして機能する一対のレンズ１０８、１１０によりビーム径が拡大される。レンズ１０８、１１０の焦点面に配置された空間フィルタ１１２は、ピンホール１１２ａを通過できない一部のレーザ光を遮断する。ピンホール１１２ａを通過したレーザ光は、レンズ１１０で平行光化され、ミラー１１４で反射されてレーザ光の光路が９０°折り曲げられる。
【０１０２】
ミラー１１４で反射されたレーザ光は、１／２波長板１１６を通過して、偏光ビームスプリッタ１１８に入射する。偏光ビームスプリッタ１１８を透過したレーザ光は、１／２波長板１２０を通過して、ミラー１２２で反射され、アパーチャ１２４により開口径に応じた所定のビーム径とされる。ステージ駆動部２０６によりステージ１３６が駆動されて、ＬＰＨ１４はステージ１３６によって所定の記録位置に保持されている。アパーチャ１２４を通過したレーザ光は、一対のレンズ１２６、１２８でリレーされ、回転ミラー１３０で所定方向に反射される。回転ミラー１３０で反射されたレーザ光は、レンズ１３４で集光されて、ＬＰＨ１４に信号光として照射される。
【０１０３】
一方、偏光ビームスプリッタ１１８で反射されたレーザ光は、一対のレンズ１４０、１４２によりリレーされる。レンズ１４０、１４２の焦点面に配置された空間フィルタ１４４は、ピンホール１４４ａを通過できない一部のレーザ光を遮断する。ピンホール１４４ａを通過したレーザ光は、レンズ１４２で平行光化され、レンズ１４６で集光されて、ＬＰＨ１４に参照光として照射される。
【０１０４】
上記の通り、信号光と参照光とは、同じレーザ光源１００から発振されたレーザ光を分岐して生成される。これら信号光と参照光とは、ＬＰＨ１４の同じ位置に同時に且つ同じ側から照射される。これによって、ＬＰＨ１４のホログラム記録層６０Ａ内で信号光と参照光とが干渉して、干渉パターンがホログラムとして記録される。なお、ＬＰＨ１４の同じ位置とは、１つのホログラム（干渉縞）を記録するのに必要な範囲で同じ位置という意味である。
【０１０５】
＜ホログラム選択形成プログラム＞
本実施の形態では、ＳＬＥＤ５０の各々の位置及び発光強度を計測し、この計測値に基づいて一部のＳＬＥＤ５０が発光点として選択される。そして、選択されたＳＬＥＤ５０の各々に対応して、スポット６２の列が形成されるように、複数のホログラム素子５４が選択的に形成される。次に、制御部２００により実行される「ホログラム選択形成プログラム」の処理手順について説明する。図１０はホログラム選択形成プログラムの処理ルーチンを示すフローチャートである。この処理ルーチンの実行により、ホログラムの選択形成が行われる。
【０１０６】
まず、ステップ１００で、ＬＰＨ１４を計測位置に移動するための制御信号を、ステージ駆動部２０６、スキャナ駆動部２１０の各々に入力する。この制御信号に応じて、ステージ駆動部２０６によりステージ１３６が駆動され、ＬＰＨ１４が点線で図示した計測位置に保持される。また、スキャナ駆動部２１０により、スキャナ１４８が初期位置に移動される。
【０１０７】
次に、ステップ１０２で、全部のＬＥＤ５０を点灯させるための制御信号を、ステージ駆動部２０６に入力する。この制御信号に応じて、ステージ駆動部２０６に接続されたＬＥＤ基板５８の駆動回路（図示せず）により駆動されて、ＬＰＨ１４のＬＥＤ基板５８上に実装された各ＬＥＤ５０が、計測のために一斉に点灯する。
【０１０８】
次に、ステップ１０４で、各ＬＥＤ５０の位置及び発光強度を計測するための制御信号を、スキャナ駆動部２１０に入力する。この制御信号に応じて、スキャナ駆動部２１０により駆動されたスキャナ１４８は、ＬＥＤ基板５８の長さ方向に移動しながら、ＬＰＨ１４の長さ方向に沿って配列された複数のＬＥＤ５０の位置及び発光強度を順次計測する。スキャナ１４８により計測された計測値は、制御部２００に入力されて所定の記憶装置に記憶される。記憶された計測値は、後述する工程で適宜読み出して使用される。
【０１０９】
次に、ステップ１０６で、スキャナ１４８の計測値に基づいて、一部のＳＬＥＤ５０を発光点として選択する。必要なスポット６２（集光点）の個数と、同じ個数のＳＬＥＤ５０が選択される。ここで、発光点の選択方法の例について説明する。図１１はスキャナの計測結果を示す図である。発光素子であるＬＥＤ５０の位置は、ＸＹＺの三次元（空間）座標系中の座標（Ｘ，Ｙ，Ｚ）で表される。
【０１１０】
なお、Ｘ軸方向は主走査方向と一致し、Ｙ軸方向は副走査方向と一致し、Ｚ軸方向はＬＥＤ５０の光軸方向と一致する。また、ＬＥＤ基板５８の一角が原点（０，０，０）と一致する。ＬＰＨ１４が計測位置に保持された状態（Ｚ＝０の状態）は、空間座標系においては、ＬＰＨ１４が感光体ドラム１２の周りに、露光装置として配置された状態に相当する（図１参照）。
【０１１１】
図１２は発光強度の高低を表す図である。ＳＬＥＤ５０の発光強度は、具体的な測定値として取得される。ここでは、説明の便宜上、ＳＬＥＤ５０の発光強度を、高い方からＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの４段階にランク付けして図示している。白（○）は発光強度が最も高いＡランクを表し、黒（●）は発光強度が最も低い又は無発光のＤランクを表す。中間にあるＢランクとＣランクとは、中間調の濃淡で表している。
【０１１２】
ＡランクとＤランクとの間に、好適な発光強度の範囲を設けてもよい。例えば、好適な発光強度の範囲の上限値はＡランクとＢランクとの間にあり、下限値はＣランクとＤランクとの間にあると仮定する。この場合は、ＢランクとＣランクとが下限値以上で且つ上限値以下の範囲、即ち、好適な発光強度の範囲内となり、光量ばらつきが低減する。
【０１１３】
図７に示す分解斜視図では、ＬＥＤ基板５８上には、９個のＳＬＥＤ５０が配列されたて４個のＳＬＥＤチップ５３１1〜５３２２が千鳥状に配置され、３６個のＳＬＥＤ５０１1〜５０２１８が２行１８列で配列されている。図１１はこのＬＥＤアレイを計測した結果を示している。スキャナ１４８によりＳＬＥＤ５０毎に計測された計測値は、例えば、下記表１に示すようなテーブルで所定の記憶装置に記憶される。
【０１１４】
【表１】
2011022330.tif 000003
【０１１５】
発光点の選択方法としては、例えば、上記の好適な発光強度の範囲内にあるＢランクとＣランクのＳＬＥＤ５０を選択する方法がある。図７に示す例では、この方法で選択された１８個のＳＬＥＤ５０に対応して、１８個のホログラム素子５４が形成されている。また、別の選択方法としては、発光強度の高い順に、所望の個数のＳＬＥＤ５０を選択する方法がある。更に、別の選択方法としては、下限値以上の発光強度を有するＳＬＥＤ５０の中から、所望の個数のＳＬＥＤ５０を選択する方法がある。図１２のように下限値を定めると、欠陥のあるＤランクのＳＬＥＤ５０が排除されることになる。
【０１１６】
例えば、図１１に図示した例で、原則としては１行目のＳＬＥＤ５０１１〜５０１１８から選択することとし、１行目のＳＬＥＤ５０に欠陥がある場合に、２行目のＳＬＥＤ５０２１〜５０２１８から選択することにしてもよい。この例の場合は、ＤランクのＳＬＥＤ５０１７、ＳＬＥＤ５０１１０、ＳＬＥＤ５０１１６に代えて、Ａ〜ＣランクのＳＬＥＤ５０２７、ＳＬＥＤ５０２１０、ＳＬＥＤ５０２１６が選択される。
【０１１７】
次に、ステップ１０８で、発光点として選択された一部のＳＬＥＤ５０を、集光点である複数のスポット６２の各々に対応付ける。図７に示したように、スポット６２１に対しＳＬＥＤ５０１１、スポット６２２に対しＳＬＥＤ５０１３、スポット６２１８に対しＳＬＥＤ５０２１７というように、１８個のスポット６２１〜６２１８の各々に対し１８個のＳＬＥＤ５０が対応付けられる。スポット６２（集光点）とＳＬＥＤ５０（発光点）との対応関係は、例えば、下記表２に示すようなテーブルで所定の記憶装置に記憶される。
【０１１８】
【表２】
2011022330.tif 000004
【０１１９】
或いは、表３に示すように、スポット６２１の位置座標（ＸＳ１，ＹＳ１，ＺＳ１）に対しＳＬＥＤ５０１１の位置座標（Ｘ１１，Ｙ１１，０）というように、スポット６２（集光点）の位置座標とＳＬＥＤ５０（発光点）の位置座標との対応関係を、テーブルで記憶しておいてもよい。なお、スポット６２の位置座標は、所定の記憶装置に予め設計値として記憶されている。
【０１２０】
【表３】
2011022330.tif 000005
【０１２１】
次に、ステップ１１０で、発光点として選択された一部のＳＬＥＤ５０に対応する複数のホログラム素子５４の各々について、そのホログラムを記録するための記録条件を取得する。表３に示したように、スポット６２の位置座標とＳＬＥＤ５０の位置座標との対応関係が決まると、スポット６２に対応するＳＬＥＤ５０の位置座標に応じて、ホログラム素子５４を形成する位置が特定される。また、スポット６２及びＳＬＥＤ５０の位置座標、ＳＬＥＤ５０の発光強度、及びホログラム素子５４の設計値（ホログラム径ｒＨ、ホログラム厚さｈＨ）から、選択されたＳＬＥＤ５０毎に、レーザ光の照射位置、照射角度、拡がり角度、収束角度等、信号光及び参照光が設計される。即ち、ホログラムの記録条件が取得される。
【０１２２】
次に、ステップ１１２で、ＬＰＨ１４を最初のホログラムを記録する位置に移動するための制御信号を、ステージ駆動部２０６に入力する。この制御信号に応じて、ステージ駆動部２０６によりステージ１３６が駆動され、ＬＰＨ１４が実線で図示した記録位置に保持される。ここでの記録位置は、最初のホログラムに対応したＳＬＥＤ５０に、設計された参照光が集光する位置である。
【０１２３】
次に、ステップ１１４で、最初のホログラムを記録するための制御信号を、レンズ駆動部２０８、ミラー駆動部２１２、レーザ駆動部２０２及びシャッタ駆動部２０４に入力する。この制御信号に応じて、回転ミラー１３０が回転軸１３２の回りに回転され、レンズ１３４が移動されて、ＬＰＨ１４に設計された信号光を照射するように光学系が配置される。
【０１２４】
そして、シャッタ１０２がシャッタ駆動部２０４により駆動されて「開状態」とされ、レーザ駆動部２０２により駆動されて、レーザ光源１００が点灯してレーザ光が発振する。レーザ光源１００からレーザ光が発振されると、上述した通り、ホログラムの記録動作が実施されて、設計された信号光及び参照光で最初のホログラムが記録される。なお、ホログラムの記録終了後には、シャッタ１０２がシャッタ駆動部２０４により駆動されて「閉状態」とされ、レーザ駆動部２０２により駆動されてレーザ光源１００が消灯する。
【０１２５】
次に、ステップ１１６で、ＬＰＨ１４を次のホログラムを記録する位置に移動するための制御信号を、ステージ駆動部２０６に入力する。この制御信号に応じて、ステージ駆動部２０６によりステージ１３６が駆動され、ＬＰＨ１４が実線で図示した記録位置に保持される。ここでの記録位置は、次のホログラムに対応したＳＬＥＤ５０に、設計された参照光が集光する位置である。
【０１２６】
次に、ステップ１１８で、次のホログラムを記録するための制御信号を、レンズ駆動部２０８、ミラー駆動部２１２、レーザ駆動部２０２及びシャッタ駆動部２０４に入力する。この制御信号に応じて各部が駆動され、ホログラムの記録動作が実施されて、設計された信号光及び参照光で次のホログラムが記録される。なお、ホログラムの記録終了後には、シャッタ１０２が「閉状態」とされ、レーザ光源１００が消灯する。
【０１２７】
次に、ステップ１２０で、次に記録するホログラムがあるか否かを判断する。ここで肯定判定の場合には、ステップ１１６に戻って次のホログラムを記録する。一方、ここで否定判定の場合には、全部のホログラムが記録されたものとして処理ルーチンを終了する。
【０１２８】
（他の実施の形態）
なお、上記の実施の形態では、複数のＬＥＤ（ＳＬＥＤを含む）を備えたＬＥＤプリントヘッドについて説明したが、ＬＥＤに代えて電界発光素子（ＥＬ）やレーザダイオード（ＬＤ）等、他の発光素子を用いてもよい。コヒーレント光源であるＬＤを備えた露光装置は、インコヒーレント光源を用いた露光装置よりも、エネルギー利用効率が高くなる。発光素子の特性に応じてホログラム素子を設計すると共に、インコヒーレント光による不要露光を防止することで、インコヒーレント光を射出するＬＥＤやＥＬを発光素子として用いた場合でも、コヒーレント光を射出するＬＤを発光素子として用いた場合と同様に、輪郭が鮮明な微小スポットが形成される。
【０１２９】
また、上記の実施の形態では、複数のＬＥＤが長さ方向に沿って配列されたＬＥＤアレイについて説明したが、ＬＥＤアレイ等の発光素子アレイ（アレイ光源）は、一次元アレイで構成されていてもよく、二次元アレイで構成されていてもよい。例えば、垂直共振器型の面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ）を一次元状又は二次元状に配列した面発光レーザアレイを用いてもよい。上記の実施の形態で説明したように、アレイ光源は余剰の発光素子を備えており、複数の発光素子の各々の位置及び発光強度を計測し、この計測値に基づいて一部の発光素子を選択し発光点として使用する。このため、アレイ光源に欠陥、光量ばらつき、位置ずれ等の不備があっても、発光点の選択によりこれらの不備は補償される。
【０１３０】
また、上記の実施の形態では、球面波シフト多重により複数のホログラム素子を多重記録する例について説明したが、所望の回折光が得られる多重方式であれば、他の多重方式で複数のホログラム素子を多重記録してもよい。また、複数種類の多重方式を併用しても良い。他の多重方式としては、参照光の入射角度を変えながら記録する角度多重記録、参照光の波長を変えながら記録する波長多重記録、参照光の位相を変えながら記録する位相多重記録等が挙げられる。多重記録が可能であれば、多重記録された複数のホログラムからは、別々の回折光がクロストークなく再生される。
【０１３１】
また、上記の実施の形態では、画像形成装置がタンデム型のデジタルカラープリンタであり、その各画像形成ユニットの感光体ドラムを露光する露光装置としてのＬＥＤプリントヘッドについて説明したが、露光装置により感光性の画像記録媒体を露光することで画像が形成される画像形成装置であればよく、上記の実施の形態の例には限定されない。例えば、画像形成装置は、電子写真方式のデジタルカラープリンタには限定されない。銀塩方式の画像形成装置や光書込み型電子ペーパ等の書き込み装置等にも本発明の露光装置を搭載してもよい。また、感光性の画像記録媒体は、感光体ドラムには限定されない。シート状の感光体や写真感光材料、フォトレジスト、フォトポリマー等の露光にも本発明の露光装置を適用してもよい。
【符号の説明】
【０１３２】
２     ＰＣ
３     画像読取装置
１０   画像形成プロセス部
１１   画像形成ユニット
１２   感光体ドラム
１２Ａ 表面
１３   帯電器
１４   ＬＥＤプリントヘッド
１５   現像器
１６   クリーナ
２１   中間転写ベルト
２２   一次転写ロール
２３   二次転写ロール
２４   搬送ベルト
２５   定着器
３０   制御部
４０   画像処理部
５０   ＬＥＤ
５２   ＬＥＤアレイ
５３   ＬＥＤチップ
５４   ホログラム素子
５６   ホログラム素子アレイ
５８   ＬＥＤ基板
５９   中間層
５９a  斜面
６０   ホログラム記録層
６１   中間層
６２   スポット
６４   土手部
６６   保護層
１００ レーザ光源
１０２ シャッタ
１０４ １／２波長板
１０６ 偏光ビームスプリッタ
１０８ レンズ
１１０ レンズ
１１２ａ      ピンホール
１１２ 空間フィルタ
１１４ ミラー
１１６ １／２波長板
１１８ 偏光ビームスプリッタ
１２０ １／２波長板
１２２ ミラー
１２４ アパーチャ
１２６ レンズ
１３０ 回転ミラー
１３２ 回転軸
１３４ レンズ
１３６ ステージ
１４０ レンズ
１４２ レンズ
１４４ａ      ピンホール
１４４ 空間フィルタ
１４６ レンズ
１４８ スキャナ
２００ 制御部
２０２ レーザ駆動部
２０４ シャッタ駆動部
２０６ ステージ駆動部
２０８ レンズ駆動部
２１０ スキャナ駆動部
２１２ ミラー駆動部
【図１】
2011022330.tif 000006
【図２】
2011022330.tif 000007
【図３】
2011022330.tif 000008
【図４】
2011022330.tif 000009
【図５】
2011022330.tif 000010
【図６】
2011022330.tif 000011
【図７】
2011022330.tif 000012
【図８】
2011022330.tif 000013
【図９】
2011022330.tif 000014
【図１０】
2011022330.tif 000015
【図１１】
2011022330.tif 000016
【図１２】
2011022330.tif 000017