(57)【要約】【課題】コモンモードフィルタにおいて、従来技術の欠点を克服し、製作を簡単にし、製造コストを削減する。【解決手段】コモンモードフィルタ１０は、絶縁基板１１と、下部コイルリード層１３と、コイル本体積層構造１８と、上部コイルリード層１６とを備える。上部コイルリード層１６は、上部リード線１６１と、上部リード端子１６２と、上部コンタクト１６３とを備えている。下部コイルリード層１３は、下部リード線１３１と、下部リード端子１３２と、下部コンタクト１３３とを備えている。上部リード線１６１の両端は、上部リード端子１６２および上部コンタクト１６３にそれぞれ接続されるとともに、上部コンタクト１６３にまで延在してこれを巻回している。下部リード線１３１の両端は、下部リード端子１３２および下部コンタクト１３３にそれぞれ接続されるとともに、下部コンタクト１３３にまで延在してこれを巻回している。【選択図】図１
2011035364.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁基板と、
少なくとも一つの下部リード線と、少なくとも一つの下部リード端子と、少なくとも一つの下部コンタクトとを備えており、前記下部リード線の両端は前記下部リード端子および前記下部コンタクトにそれぞれ接続されるとともに、前記下部コンタクトにまで延在してこれを巻回している、前記絶縁基板上に設けられている下部コイルリード層と、
少なくとも一つの上部リード線と、少なくとも一つの上部リード端子と、少なくとも一つの上部コンタクトとを備えており、前記上部リード線の両端は前記上部リード端子および前記上部コンタクトにそれぞれ接続されるとともに、前記上部コンタクトにまで延在してこれを巻回している上部コイルリード層と、
前記上部コイルリード層と前記下部コイルリード層の間に介在されているコイル本体積層構造と、
を具備したことを特徴とするコモンモードフィルタ。
【請求項２】
前記下部リード線が前記下部コンタクトを巻回する、または前記上部リード線が前記上部コンタクトを巻回する巻回経路が、正方形、長方形、円形、八角形または不規則な形状であることを特徴とする請求項１に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項３】
前記下部リード線が前記下部コンタクトを巻回する、または前記上部リード線が前記上部コンタクトを巻回する巻回経路が、一周、３／４周、倍数の巻き数または分数の巻き数であることを特徴とする請求項１に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項４】
前記絶縁基板と前記下部コイルリード層との中間に設けられている第１の絶縁層をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項５】
前記コイル本体積層構造は、順次積層して設けられている、第２の絶縁層と、第１のコイル本体層と、第３の絶縁層と、第２のコイル本体層と、第４の絶縁層とを備えており、また前記第１のコイル本体層および前記第２のコイル本体層は少なくとも一つの螺旋状コイル線をそれぞれ備えたことを特徴とする請求項４に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項６】
前記上部コイルリード層の上方に順次積層して設けられている、第５の絶縁層と、第１の磁性材料層とをさらに備えたことを特徴とする請求項５に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項７】
前記絶縁基板の表面に設けられている第２の磁性材料層をさらに備えたことを特徴とする請求項６に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項８】
前記コイル本体積層構造における対向する両側に設けられている、第３の磁性材料層と、第４の磁性材料層とをさらに備えたことを特徴とする請求項７に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項９】
前記絶縁基板の材質が、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、ガラス、石英またはフェライトであることを特徴とする請求項１に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項１０】
前記第１の絶縁層、前記第２の絶縁層、前記第３の絶縁層、前記第４の絶縁層および前記第５の絶縁層の材質が、ポリイミド、エポキシ樹脂、ベンゾシクロブデン（ＢＣＢ）樹脂またはその他高分子重合体であることを特徴とする請求項６に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項１１】
前記下部コイルリード層、前記第１のコイル本体層、前記第２のコイル本体層および前記上部コイルリード層の材質が、銀（Ａｇ）、パラジウム（Ｐｄ）、アルミニウム（Ａｌ）、クロム（Ｃｒ）、ニッケル（Ｎｉ）、チタン（Ｔｉ）、金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）または白金（Ｐｔ）であってもよいことを特徴とする請求項５に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項１２】
前記第１の磁性材料層、前記第２の磁性材料層、前記第３の磁性材料層および前記第４の磁性材料層の材質が、磁性基材または磁性粉末を混入した合成樹脂であることを特徴とする請求項８に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項１３】
前記磁性粉末の合成樹脂の材質が、磁性粉末とポリイミド、エポキシ樹脂、ベンゾシクロブデン（ＢＣＢ）樹脂または高分子重合体のうちの一つとの混合物であることを特徴とする請求項１２に記載のコモンモードフィルタ。
【請求項１４】
コモンモードフィルタの製造方法であって、
絶縁基板を提供する工程と、
少なくとも一つの下部リード線と、少なくとも一つの下部リード端子と、少なくとも一つの下部コンタクトとを備えており、前記下部リード線の両端が前記下部リード端子および前記下部コンタクトにそれぞれ接続されるとともに、前記下部コンタクトにまで延在してこれを巻回している下部コイルリード層を前記絶縁基板上に形成する工程と、
コイル本体積層構造を前記下部コイルリード層上に形成する工程と、
少なくとも一つの上部リード線と、少なくとも一つの上部リード端子と、少なくとも一つの上部コンタクトとを備えており、前記上部リード線の両端が前記上部リード端子および前記上部コンタクトにそれぞれ接続されるとともに、前記上部コンタクトにまで延在してこれを巻回している上部コイルリード層を前記コイル本体層上に形成する工程と、
を含むことを特徴とするコモンモードフィルタの製造方法。
【請求項１５】
前記絶縁基板と前記下部コイルリード層との間に介在される第１の絶縁層を前記絶縁基板の表面に塗布する工程をさらに含むことを特徴とする請求項１４に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
【請求項１６】
前記コイル本体積層構造を製造する工程が、
第２の絶縁層を前記下部コイルリード層上に塗布するとともに、前記第２の絶縁層に少なくとも一つの第１の開口部を形成する工程と、
第１のコイル本体層を前記第２の絶縁層上に形成する工程と、
第３の絶縁層を前記第１のコイル本体層上に塗布する工程と、
第２のコイル本体層を前記第３の絶縁層上に形成する工程と、
第４の絶縁層を前記第２のコイル本体層上に塗布するとともに、前記第４の絶縁層に少なくとも一つの第２の開口部を形成する工程と、
を含むことを特徴とする請求項１５に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
【請求項１７】
前記下部コイルリード層、前記第１のコイル本体層、前記第２のコイル本体層および前記上部コイルリード層が金属薄膜積層工程、フォトリソグラフィ技術または電気めっき工程により形成されることを特徴とする請求項１６に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
【請求項１８】
第５の絶縁層および第１の磁性材料層を前記上部コイルリード層に順次形成する工程をさらに含むことを特徴とする請求項１６に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
【請求項１９】
前記第１の絶縁層、前記第２の絶縁層、前記第３の絶縁層、前記第４の絶縁層および前記第５の絶縁層が塗布により形成されることを特徴とする請求項１６に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
【請求項２０】
前記絶縁基板における前記下部コイルリード層に対向する面に第２の磁性材料層を形成する工程をさらに含むことを特徴とする請求項１８に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
【請求項２１】
前記コイル本体積層構造における対向する両側に第３の磁性材料層と、第４の磁性材料層とを形成する工程をさらに含むことを特徴とする請求項２０に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
【請求項２２】
前記絶縁基板の材質が、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、ガラス、石英またはフェライトであることを特徴とする請求項１４に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
【請求項２３】
前記第１の絶縁層、前記第２の絶縁層、前記第３の絶縁層、前記第４の絶縁層および前記第５の絶縁層の材質が、ポリイミド、エポキシ樹脂、ベンゾシクロブデン樹脂またはその他高分子重合体であってもよいことを特徴とする請求項１８に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
【請求項２４】
前記下部コイルリード層、前記第１のコイル本体層、前記第２のコイル本体層および前記上部コイルリード層の材質が、銀、パラジウム、アルミニウム、クロム、ニッケル、チタン、金、銅または白金であることを特徴とする請求項１６に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
【請求項２５】
前記第１の磁性材料層、前記第２の磁性材料層、前記第３の磁性材料層および前記第４の磁性材料層の材質が、磁性基材または磁性粉末を混入した合成樹脂であることを特徴とする請求項２１に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
【請求項２６】
前記磁性粉末の合成樹脂の材質が、磁性粉末とポリイミド、エポキシ樹脂、ベンゾシクロブデン樹脂または高分子重合体のうちの一つとの混合物であることを特徴とする請求項２５に記載のコモンモードフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はコモンモードフィルタおよびその製造方法に関し、特に薄膜コモンモードフィルタおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
コモンモードフィルタはコモンモード電流を抑制するための素子であって、前記コモンモード電流は平行した伝送路内で電磁干渉を引き起こしてしまう。現在、コモンモードフィルタは携帯型通信機器に応用可能とすべく、小型化および高密度化の構造が求められることから、薄膜型および積層型のコモンモードフィルタが徐々に従来のコイル型コモンモードフィルタに取って代わってきている。コイル型コモンモードフィルタはまさにその名の通り、円柱状のフェライトコアに巻線を巻回した形状である。一方、薄膜型および積層型のコモンモードフィルタでは、例えば、薄膜型コモンモードフィルタは通常フェライト板に、フォトリソグラフィ技術を用いて、平面状のコイルを形成するという具合により多くの半導体製造工程を必要とする。また、積層型コモンモードフィルタでは、フェライト板に、スクリーン印刷技術でコイルを形成して、さらに焼成圧着の工程で完成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】米国特許第７，１４５，４２７Ｂ２号明細書
【特許文献２】米国特許第６，３５６，１８１Ｂ１号明細書
【特許文献３】米国特許第６，６１８，９２９Ｂ２号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
コイル線のコモンインピーダンスを調整するために、特許文献１にはコモンモードノイズフィルタ素子が開示されている。特許文献１では、コイル線を磁性基板上に形成するとともに、非直線のコイル線構造の一部にエッチング技術で孔を形成し、さらに磁性粉末を混入した合成樹脂を孔内に埋め込む。その後、平坦化工程で表面を平坦化した後、接着技術で他の磁性基板と接着して、前記素子の製作が完了する。この先行技術は絶縁層の厚みを変更してコモンインピーダンス調整しているので、厚みの調節こそがコモンインピーダンスを調節する重要な要因となる。しかしながら、絶縁層の厚みの調節は、製造方式、製造工程の変数および絶縁材料の性質に依存するので、厚みを正確な範囲に調節するのは容易ではなく、または相当に製造コストが嵩んでしまう。
【０００５】
また特許文献２および特許文献３には積層型のコモンモードフィルタが開示されており、これもまた磁性基板の上にコイル構造を製作するとともに、磁性材料で被覆するものである。この先行技術はコイルの配置パターンを変更することで、差動信号のインピーダンスを低減するものである。しかしながら、コイルの配置パターンは連続してしかも異なる層に配置されているので、複雑になってしまい、しかも影響する変数はより多くなってしまう。
【０００６】
上記をまとめるに、市場においては、製作が簡単でコモンインピーダンスを正確に変更可能とすることで、上記した従来技術のコモンモードフィルタに存在する欠点を克服するとともに、製造コストを削減できる製品が求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、リード線が開口部のコンタクトを巻回するため、前記リード線の巻回パターンを変更するのみで、コモンインピーダンス値を正確に調整することができる、構造が簡素でコモンインピーダンスを調整可能なコモンモードフィルタを提供する。
【０００８】
本発明は、リード線を異なるパターンで設計することでコモン信号のインピーダンスを調整するとともに、一般的なフォトリソグラフィを用いて正確なパターン調節が達成されるので、より正確なコモンインピーダンス値の調整が達成できつつ、コストが別途嵩むようなことのない、コモンモードフィルタの低コストの製造方法を提供する。
【０００９】
上記をまとめるに、本発明は、絶縁基板と、下部コイルリード層と、コイル本体積層構造と、上部コイルリード層とを備えたコモンモードフィルタを開示する。前記上部コイルリード層は、少なくとも一つの上部リード線と、少なくとも一つの上部リード端子と、少なくとも一つの上部コンタクトとを備えており、また前記下部コイルリード層は少なくとも一つの下部リード線と、少なくとも一つの下部リード端子と、少なくとも一つの下部コンタクトとを備えている。前記上部リード線の両端は前記上部リード端子および前記上部コンタクトにそれぞれ接続されるとともに、前記上部コンタクトにまで延在してこれを巻回している。前記下部リード線の両端は前記下部リード端子および前記下部コンタクトにそれぞれ接続されるとともに、前記下部コンタクトにまで延在してこれを巻回している。前記コイル本体積層構造は前記上部コイルリード層と前記下部コイルリード層の間に介在され、そして前記下部コイルリード層は前記絶縁基板上に設けられている。
【００１０】
本発明はさらにコモンモードフィルタの製造方法を開示しており、絶縁基板を提供する工程と、少なくとも一つの下部リード線と、少なくとも一つの下部リード端子と、少なくとも一つの下部コンタクトとを備えており、前記下部リード線の両端が前記下部リード端子および前記下部コンタクトにそれぞれ接続されるとともに、前記下部コンタクトにまで延在してこれを巻回している下部コイルリード層を前記絶縁基板上に形成する工程と、コイル本体積層構造を前記下部コイルリード層上に形成する工程と、少なくとも一つの上部リード線と、少なくとも一つの上部リード端子と、少なくとも一つの上部コンタクトとを備えており、前記上部リード線の両端が前記上部リード端子および前記上部コンタクトにそれぞれ接続されるとともに、前記上部コンタクトにまで延在してこれを巻回している上部コイルリード層を前記コイル本体層上に形成する工程と、を含む。
【００１１】
本発明の一実施例では、磁性材料層を前記上部コイルリード層の上方に形成する。
【発明の効果】
【００１２】
前記リード線の巻回パターンを変更するのみで、構造が簡素でコモンインピーダンス値を正確に調整することができる。
【００１３】
リード線を異なるパターンで設計することでコモン信号のインピーダンスを調整するとともに、一般的なフォトリソグラフィを用いて正確なパターン調節が達成されるので、より正確なコモンインピーダンス値の調整が達成できつつ、コストが別途嵩むようなことがない。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施例におけるコモンモードフィルタの分解概略図
【図２】本発明の他の実施例におけるコモンモードフィルタの分解概略図
【図３Ａ】本発明の他のリード線ユニット３３の概略図
【図３Ｂ】本発明のさらに他のリード線ユニット３３’の概略図
【図３Ｃ】従来技術のリード線ユニット３３’’の概略図
【図４】本発明の図３Ａおよび図３Ｂにおけるリード線ユニットと従来技術のリード線ユニットとを比較した挿入損失図
【図５Ａ】本発明の他の実施例におけるコモンモードフィルタ５０の構造概略図
【図５Ｂ】本発明のさらに他の実施例におけるコモンモードフィルタ５０’の構造概略図
【図６Ａ】本発明の一実施例におけるコモンモードフィルタの製造方法の工程の概略図
【図６Ｂ】本発明の一実施例におけるコモンモードフィルタの製造方法の工程の概略図
【図６Ｃ】本発明の一実施例におけるコモンモードフィルタの製造方法の工程の概略図
【図６Ｄ】本発明の一実施例におけるコモンモードフィルタの製造方法の工程の概略図
【図６Ｅ】本発明の一実施例におけるコモンモードフィルタの製造方法の工程の概略図
【図６Ｆ】本発明の一実施例におけるコモンモードフィルタの製造方法の工程の概略図
【図６Ｇ】本発明の一実施例におけるコモンモードフィルタの製造方法の工程の概略図
【図６Ｈ】本発明の一実施例におけるコモンモードフィルタの製造方法の工程の概略図
【図６Ｉ】本発明の一実施例におけるコモンモードフィルタの製造方法の工程の概略図
【図６Ｊ】本発明の一実施例におけるコモンモードフィルタの製造方法の工程の概略図
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図１は本発明の一実施例におけるコモンモードフィルタの分解概略図である。図１に示すように、コモンモードフィルタ１０は絶縁基板１１と、第１の絶縁層１２１と、下部コイルリード層１３と、第２の絶縁層１２２と、第１のコイル本体層１４と、第３の絶縁層１２３と、第２のコイル本体層１５と、第４の絶縁層１２４と、上部コイルリード層１６と、第５の絶縁層１２５と、磁性材料層１７とを備えている。また前記第２の絶縁層１２２、第１のコイル本体層１４、第３の絶縁層１２３、第２のコイル本体層１５および第４の絶縁層１２４はコイル本体積層構造１８を構成している。
【００１６】
前記下部コイルリード層１３は二つの下部リード線ユニット１３ａおよび１３ｂを備えており、各リード線ユニットは下部リード線１３１と、下部リード端子１３２と、下部コンタクト１３３とを備えている。前記下部リード線１３１の両端は前記下部リード端子１３２および前記下部コンタクト１３３にそれぞれ接続されるとともに、前記下部コンタクト１３３にまで延在してこれを巻回している。前記下部リード線１３１に電流が流れると、その経路が前記下部コンタクト１３３を巻回することで、誘電効果が生じるので、コモンインピーダンスが増加するとともにコモンモードの周波数が低下する。同じように、前記上部コイルリード層１６は二つの上部リード線ユニット１６ａおよび１６ｂを有し、各リード線ユニットは上部リード線１６１と、上部リード端子１６２と、上部コンタクト１６３とを備えている。前記上部リード線１６１の両端は前記上部リード端子１６２および前記上部コンタクト１６３にそれぞれ接続されるとともに、前記上部コンタクト１６３にまで延在してこれを巻回している。
【００１７】
前記第１のコイル本体層１４は二つの螺旋状コイル線１４１および螺旋状コイル線１４２を備えており、前記螺旋状コイル線１４１および螺旋状コイル線１４２は前記第２の絶縁層１２２の各開口部１２２１中におけるガイド突起１２２２をそれぞれ介して、下部リード線ユニット１３ａおよび１３ｂに電気的に接続されている。同様に、前記第２のコイル本体層１５は二つの螺旋状コイル線１５１および１５２を備えており、前記螺旋状コイル線１５１および螺旋状コイル線１５２は前記第４の絶縁層１２４の各開口部１２４１中におけるガイド突起１２４２をそれぞれ介して、上部リード線ユニット１６ａおよび１６ｂに電気的に接続されている。本実施例では二組の螺旋状コイル線を有しているが、これに限定されず、より多くの螺旋状コイル線を同一のコモンモードフィルタ中に製作してもよい。
【００１８】
前記絶縁基板１１の材質は、酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、ガラス、石英またはフェライトである。前記第１の絶縁層１２１から前記第５の絶縁層１２５の材質は、ポリイミド、エポキシ樹脂、ベンゾシクロブデン（ＢＣＢ）樹脂またはその他高分子重合体とすることができる。前記下部コイルリード層１３、前記第１のコイル本体層１４、前記第２のコイル本体層１５および前記上部コイルリード層１６の材質は、銀（Ａｇ）、パラジウム（Ｐｄ）、アルミニウム（Ａｌ）、クロム（Ｃｒ）、ニッケル（Ｎｉ）、チタン（Ｔｉ）、金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）または白金（Ｐｔ）とすることができる。前記磁性材料層１７の材質は、磁性基材または磁性粉末を混入した合成樹脂とすることができる。前記磁性粉末の合成樹脂は、磁性粉末とポリイミド、エポキシ樹脂、ベンゾシクロブデン（ＢＣＢ）樹脂またはその他高分子重合体のうちの一つとを混合して作製することができる。
【００１９】
図２は本発明の他の実施例におけるコモンモードフィルタの分解概略図である。図２に示すように、コモンモードフィルタ２０は、絶縁層２１と、第１の絶縁層２２１と、下部コイルリード層２３と、第２の絶縁層２２２と、第１のコイル本体層２４と、第３の絶縁層２２３と、第２のコイル本体層２５と、第４の絶縁層２２４と、上部コイルリード層２６と、第５の絶縁層２２５と、磁性材料層２７とを備えている。図１における実施例と比較するに、本実施例では螺旋状コイル線が一組である。また第２の絶縁層２２２、第１のコイル本体層２４、第３の絶縁層２２３、第２のコイル本体層２５および第４の絶縁層２２４はコイル本体積層構造２８である。
【００２０】
図３Ａは本発明の他のリード線ユニット３３の概略図である。リード線３３１の両端は、リード端子３３２およびコンタクト３３３にそれぞれ接続されるとともに、前記コンタクト３３３にまで延在してこれを巻回している。図中におけるリード線３３１は、巻線全体で前記コンタクト３３３を略巻回するとともに、概ね正方形の巻回経路をなしている。前記リード線３３１は、例えば長方形、円形、八角形、不規則な形状という具合に異なる形状の巻回経路に変化することができ、これにより前記コモンモードノイズフィルタ素子のコモンインピーダンス値を調整することができる。
【００２１】
図３Ｂは本発明のさらに他のリード線ユニット３３’の概略図である。リード線３３１’の両端は、リード端子３３２’およびコンタクト３３３’にそれぞれ接続されるとともに、前記コンタクト３３３’にまで延在してこれを巻回している。図中におけるリード線３３１’は前記コンタクト３３３’の概ね３／４周を巻回しているが、１／２周、１／４周、倍数の巻き数または分数の巻き数も選択することができる。
【００２２】
図３Ｃは従来技術のリード線ユニット３３’’の概略図である。リード線３３１’’の両端はリード端子３３２’’およびコンタクト３３３’’にそれぞれ接続されるとともに、前記コンタクト３３３’’から直接引き出されるが、巻回はされない。
【００２３】
図４は本発明の図３Ａおよび図３Ｂにおけるリード線ユニットと従来技術のリード線ユニットとを比較した挿入損失図（Ｓ２１）である。ここで従来技術のリード線ユニットのリード線は前記コンタクトを巻回しておらず、つまり図３Ｃ中におけるリード線ユニット３３’’を対照サンプルとするものである。図から理解できるように、図３Ａおよび３Ｂにおけるリード線ユニット３３および３３’はコモンインピーダンスを増加させて、コモンモードの共振周波数を低下させるので、コモンモードフィルタの高周波特性およびコモンモードの周波数除去範囲を向上させて調整することができる。
【００２４】
図１および図２における磁性材料層を最上層に積層する以外にも、最上層および最下層を被覆してもよい。図５Ａは本発明の他の実施例におけるコモンモードフィルタ５０の構造概略図であり、図中、第１の磁性材料層５７１が絶縁基板１１の下面を被覆し、また第２の磁性材料層５７２が第５の絶縁層１２５の上面を被覆している。図５Ｂは本発明のさらに他の実施例におけるコモンモードフィルタ５０’の構造概略図であり、図中、第３の磁性材料層５７３および第４の磁性材料層５７４がコモンモードフィルタ５０’における対向する両側の面を被覆している。また、両側表面には電極が設けられているが、磁性材料層は被覆されていない。上記した磁性材料層はコモンモードフィルタの誘電効果を向上させることができる。
【００２５】
図６Ａないし図６Ｊは本発明の一実施例におけるコモンモードフィルタの製造方法の各工程の概略図である。図６Ａに示すように、絶縁基板１１上に第１の絶縁層１２１をスピンコーティング法で塗布する。図６Ｂに示すように、金属薄膜積層工程、フォトリソグラフィ技術または電気めっき工程などを用いて、下部コイルリード層１３を製作する。続いて、図６Ｃに示すように、第２の絶縁層１２２をスピンコーティング法で塗布するとともに、フォトリソグラフィ技術またはエッチング技術などを用いて、リード線接続用の開口部１２２１を製作する。そして図６Ｄに示すように、再度薄膜積層工程、フォトリソグラフィ技術または電気めっき工程などを用いて第１のコイル本体層１４を製作する。図６Ｅに示すように、第３の絶縁層１２３をスピンコーティング法で塗布する。図６Ｆに示すように、金属薄膜積層工程、フォトリソグラフィ技術または電気めっき工程などを用いて、第２のコイル本体層１５を製作する。図６Ｇに示すように、第４の絶縁層１２４をスピンコーティング法で塗布するとともに、フォトリソグラフィ技術またはエッチング技術などを用いて、リード線接続用の開口部１２４１を製作する。図６Ｈに示すように、金属薄膜積層工程、フォトリソグラフィ技術または電気めっき工程を用いて、上部コイルリード層１６を製作する。図６Ｉに示すように、上部コイルリード層１６の表面に第５の絶縁層１２５をスピンコーティング法で塗布する。図６Ｊに示すように、接着工程技術、スクリーン印刷工程またはスピンコーティング技術などを用いて、第５の絶縁層１２５上に磁性材料層１７を形成する。
【００２６】
本発明の技術内容および技術的特徴は上記のように開示したが、当該技術に習熟する当業者であれば、本発明の教示および開示に基づいて、本発明の技術的思想に違わない様々な置換および付加を行うことは可能である。したがって、本発明の保護範囲は実施例に開示するものに限定されることなく、本発明に違わない様々な置換および付加が含まれるものであるとともに、別紙の特許請求の範囲に含まれるものである。
【符号の説明】
【００２７】
１０、２０、５０、５０’ コモンモードフィルタ
１１                     絶縁基板
１２１、２２１           第１の絶縁層
１２２１、１２４１       開口部
１２２２、１２４２       ガイド突起
１２２、２２２           第２の絶縁層
１２３、２２３           第３の絶縁層
１２４、２２４           第４の絶縁層
１２５、２２５           第５の絶縁層
１３、２３               下部コイルリード層
１３ａ、１３ｂ           下部リード線ユニット
１３１                   下部リード線
１３２                   下部リード端子
１３３                   下部コンタクト
１４、２４               第１のコイル本体層
１４１、１４２           螺旋状コイル線
１５、２５               第２のコイル本体層
１５１、１５２           螺旋状コイル線
１６、２６               上部コイルリード層
１６ａ、１６ｂ           上部リード線ユニット
１６１                   上部リード線
１６２                   上部リード端子
１６３                   上部コンタクト
１７、２７               磁性材料層
１８、２８               コイル本体積層構造
２１                     絶縁層
３３、３３’、３３’’   リード線ユニット
３３１、３３１’、３３１’’       リード線
３３２、３３２’、３３２’’       リード端子
３３３、３３３’、３３３’’       コンタクト
５７１                   第１の磁性材料層
５７２                   第２の磁性材料層
５７３                   第３の磁性材料層
５７４                   第４の磁性材料層
【図１】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４】
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【図５Ａ】
2011035364.tif 000009
【図５Ｂ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図６Ｄ】
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【図６Ｅ】
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【図６Ｆ】
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【図６Ｇ】
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【図６Ｈ】
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【図６Ｉ】
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【図６Ｊ】
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