(57)【要約】      （修正有）【課題】共振特性及び耐衝撃性を同時に向上させ得る磁気ヘッドサスペンションを提供する。【解決手段】磁気ヘッド搭載領域を有するフレクシャ部と、磁気ヘッドを記録媒体へ向けて押し付ける荷重を発生させる荷重曲げ部と、荷重曲げ部によって発生される荷重をフレクシャ部へ伝達するロードビーム部と、荷重曲げ部の基端側に連接される基部とを備える。基部は先端から所定距離だけ基端側へ至る領域が他の厚肉領域３５０に比して板厚の薄い薄肉領域３１０となるように、厚肉領域を形成する厚肉部材３５０Ｆと薄肉領域を形成し且つ厚肉部材とは別体とされた薄肉部材３１０Ｆとを備え、薄肉部材は磁気ヘッドサスペンション幅方向両側にフランジ曲げ部３１１を有している。【選択図】図１５
2011129246.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッド搭載領域を有するフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダを記録媒体へ向けて押し付ける荷重を発生させる荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部によって発生される荷重を前記フレクシャ部へ伝達するロードビーム部と、前記荷重曲げ部の基端側に連接されるステンレス製の基部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記基部は、先端から所定距離だけ基端側へ至る領域が他の厚肉領域に比して板厚の薄い薄肉領域とされ、
前記基部は、前記厚肉領域を形成する厚肉部材と、前記薄肉領域を形成する薄肉部材であって、前記厚肉部材とは別体とされた薄肉部材とを備え、
前記薄肉部材は、磁気ヘッドサスペンション幅方向両側にフランジ曲げ部を有していることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２】
磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッド搭載領域を有するフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダを記録媒体へ向けて押し付ける荷重を発生させる荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部によって発生される荷重を前記フレクシャ部へ伝達するロードビーム部と、前記荷重曲げ部の基端側に連接されるステンレス製の基部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記基部は、先端から所定距離だけ基端側へ至る領域が他の厚肉領域に比して板厚の薄い薄肉領域とされ、
前記荷重曲げ部を構成する部材は、前記基部に固着される固着領域と、前記固着領域と前記ロードビーム部との間に位置する荷重発生領域とを有しており、
前記固着領域は、前記薄肉領域と前記厚肉領域とによって形成される先端側に開く凹部内において前記基部に固着されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク装置等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする為の磁気ヘッドスライダを支持するサスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ヘッドサスペンションには、共振特性の向上及び耐衝撃性の向上が望まれている。
即ち、搭載する磁気ヘッドスライダを、ハードディスク装置等の記憶媒体における目的トラック上へ向けてシーク方向へ高速移動させる為には、磁気ヘッドサスペンションの共振周波数を高める必要がある。
又、磁気ヘッドスライダがロード位置に位置する際（即ち、磁気ヘッドスライダが記憶媒体上で浮上状態とされている際）に衝撃が加わった場合において、磁気ヘッドスライダがＺ方向（記憶媒体の記憶面と直交する方向）へ跳躍して記憶媒体の記憶面を損傷することを防止する為に、耐衝撃性を向上させる必要がある。
【０００３】
しかしながら、共振特性の向上と耐衝撃性の向上とは相反する関係にある。
例えば、磁気ヘッドサスペンションを構成する部材の厚みを増加させれば、該磁気ヘッドサスペンションの剛性が向上し、これにより、共振特性を向上させることができるが、その反面、重量増加によって耐衝撃性が悪化する。
【０００４】
この点に関し、剛性アップによって共振特性を向上させる代わりに、前記磁気ヘッドサスペンションにおけるロードビーム部に、減衰の大きな粘弾性材からなる制振部材を貼付することで共振特性の向上を図ることが提案されている（下記特許文献１参照）。
【０００５】
前記特許文献１に記載の構成は、磁気ヘッドサスペンションの重量増加を可及的に防止しつつ、前記制振部材によって磁気ヘッドサスペンションの共振モードの振幅を減少させることができる点で有用であるが、部品点数の増加によるコストアップや、前記制振部材の貼り付け精度に起因する振動特性のバラツキという問題が生じる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開昭５９−１８０８５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、斯かる従来技術に鑑みなされたものであり、共振特性及び耐衝撃性を同時に向上させ得る構造簡単な磁気ヘッドサスペンションの提供を、一の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者は、磁気ヘッドサスペンションの種々の物性のうちのどの物性が共振特性及び耐衝撃性にとって重要であるかを、図１に示す１自由度系モデル１を用いて検討した。
前記モデル１は、一端部が回転中心５に支持されたバネ２と、前記バネ２の他端部に連結された剛体３とを有している。
【０００９】
前記モデル１において、回転中心５から前記剛体３の重心Ｇまでの距離ｒにおける前記剛体３の慣性モーメントをＩ、減衰定数をＣ、バネ２の回転方向の剛性をＫとすると、前記モデルの固有角振動数ωn及び減衰比は、それぞれ、
ωn＝√（Ｋ／Ｉ）         ・・・式（１）
減衰比＝Ｃ／２√（Ｉ×Ｋ）・・・式（２）
となる。
【００１０】
例えば、剛性Ｋを小さくすれば減衰比を大きくできるが（式（２）参照）、その反面、固有角振動数ωnが小さくなり、共振周波数が低下する（式（１）参照）。
又、慣性モーメントＩを小さくしても減衰比を大きくできるが（式（２）参照）、磁気ヘッドサスペンション全体に対して単純に質量を低下させるだけでは、剛性が悪化して共振周波数が低下してしまう（式（１）参照）。
【００１１】
そこで、本発明者は、磁気ヘッドサスペンションにおける構成要素の中で最も大質量（一般的には、磁気ヘッドサスペンション全体質量の６５％〜９５％）である基部部材に着目し、該基部部材の先端側領域の質量を低下させることで、式（２）における（Ｉ×Ｋ）を小さくして減衰比を大とさせつつ、質量低下に伴う剛性Ｋの低下を可及的に防止できる新規な磁気ヘッドサスペンションを発明した。
【００１２】
即ち、本発明の第１態様は、磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッド搭載領域を有するフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダを記録媒体へ向けて押し付ける荷重を発生させる荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部によって発生される荷重を前記フレクシャ部へ伝達するロードビーム部と、前記荷重曲げ部の基端側に連接されるステンレス製の基部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記基部は、先端から所定距離だけ基端側へ至る領域が他の厚肉領域に比して板厚の薄い薄肉領域とされ、前記基部は、前記厚肉領域を形成する厚肉部材と、前記薄肉領域を形成する薄肉部材であって、前記厚肉部材とは別体とされた薄肉部材とを備え、前記薄肉部材は、磁気ヘッドサスペンション幅方向両側にフランジ曲げ部を有している磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【００１３】
さらに、本発明の第２態様は、磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッド搭載領域を有するフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダを記録媒体へ向けて押し付ける荷重を発生させる荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部によって発生される荷重を前記フレクシャ部へ伝達するロードビーム部と、前記荷重曲げ部の基端側に連接されるステンレス製の基部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記基部は、先端から所定距離だけ基端側へ至る領域が他の厚肉領域に比して板厚の薄い薄肉領域とされ、前記荷重曲げ部を構成する部材は、前記基部に固着される固着領域と、前記固着領域と前記ロードビーム部との間に位置する荷重発生領域とを有しており、前記固着領域は、前記薄肉領域と前記厚肉領域とによって形成される先端側に開く凹部内において前記基部に固着されている磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、基部のうち先端から所定距離だけ基端側へ至る領域を他の厚肉領域に比して板厚の薄い薄肉領域としたので、軽量化による慣性モーメント低減の効果を最大限に得ることができる。従って、共振特性を効果的に向上させつつ、耐衝撃性も向上させることができる。
【００１５】
さらに、本発明の第１態様によれば、前記基部が前記厚肉領域を形成する厚肉部材と前記薄肉領域を形成する薄肉部材であって、前記厚肉部材とは別体とされた薄肉部材とを備え、前記薄肉部材は磁気ヘッドサスペンション幅方向両側にフランジ曲げ部を有しているので、前記薄肉領域及び前記他の領域の板厚をそれぞれ独立して設定することができると共に、質量増加を招くことなく横方向，上下方向及び捩り方向の剛性を向上させることができる。従って、前記効果に加えて、記薄肉領域を有する前記基部の製造容易化並びに共振特性及び耐衝撃性のさらなる向上を図ることができる。
【００１６】
さらに、本発明の第２態様によれば、前記荷重曲げ部を構成する部材が前記基部に固着される固着領域と前記固着領域及び前記ロードビーム部の間に位置する荷重発生領域とを有し、前記固着領域は、前記薄肉領域と前記厚肉領域とによって形成される先端側に開く凹部内において前記基部に固着されているので、前記効果を奏しつつ、磁気ヘッドサスペンションのＺ方向（上下方向）の厚みを可及的に縮小化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、磁気ヘッドサスペンションとして擬制したモデルの模式図である。
【図２】図２は、本発明の実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの斜視図であり、記録媒体とは反対側から視た状態を示している。
【図３】図３(a)〜(c)は、それぞれ、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの平面図（記録媒体とは反対側から視た図）、側面図及び背面図（記録媒体側から視た図）である。
【図４】図４は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの分解図である。
【図５】図５(a)及び(b)は、それぞれ、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおける基部の平面図及び側面図である。
【図６】図６は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおける基部の製造方法の一例を示す模式図である。
【図７】図７は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおける基部の製造方法の他の例を示す模式図である。
【図８】図８(a)〜(c)は、それぞれ、本発明の実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの平面図、側面図及び背面図である。
【図９】図９(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションにおける基部の平面図及び側面図である。
【図１０】図１０は、前記実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションにおける基部の製造方法の一例を示す模式図である。
【図１１】図１１(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンションにおける基部の平面図及び側面図である。
【図１２】図１２(a)及び(b)は、それぞれ、図１１に示す基部の変形例の平面図及び側面図である。
【図１３】図１３(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態５に係る磁気ヘッドサスペンションにおける基部の平面図及び側面図である。
【図１４】図１４(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態６に係る磁気ヘッドサスペンションにおける基部の分解平面図及び側面図である。
【図１５】図１５(a)及び(b)は、図１４に示す基部の変形例の分解平面図及び側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
実施の形態１
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図２に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａの斜視図であって、記録媒体とは反対側から視た斜視図を示す。
又、図３(a)〜(c)に、それぞれ、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの平面図（記録媒体とは反対側から視た図）、側面図及び背面図（記録媒体側から視た図）を示す。
【００１９】
図２及び図３に示すように、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａは、磁気ヘッドスライダ１５を支持する磁気ヘッド搭載領域１１を有するフレクシャ部１０と、前記磁気ヘッドスライダ１５を記録媒体へ向けて押し付ける荷重を発生させる荷重曲げ部３０と、前記荷重曲げ部３０によって発生される荷重を前記フレクシャ部１０へ伝達するロードビーム部２０と、前記荷重曲げ部３０の基端側に連接される基部４０とを備えている。
【００２０】
前記フレクシャ部１０は、例えば、厚さ１０μｍ〜２５μｍのステンレス板材から形成される。
前記フレクシャ部１０は基端側が前記ロードビーム部２０に接合されており、前記磁気ヘッド搭載領域１１が前記ロードビーム部２０によって片持ち支持されている。
なお、本実施の形態においては、前記フレクシャ部１０は、前記ロードビーム部を構成する部材とは別体の部材によって構成されており、該フレクシャ部１０は、前記ロードビーム部２０に溶接によって接合されている。
前記フレクシャ部１０には、前記磁気ヘッドスライダ１５及び外部の間で電気信号を伝達する為の配線構造体９０が設けられている。
前記配線構造体９０は、例えば、絶縁層及び導体層が前記フレクシャ部に一体形成された構成とされ得る。
【００２１】
前記ロードビーム部２０は、前記荷重曲げ部３０によって発生される磁気ヘッド押し付け荷重を前記フレクシャ部１０に伝達すると共に、磁気ヘッドスライダ１５をシーク方向へ移動させ、目的のトラックに位置決めさせる為の剛性を有している。
【００２２】
前記ロードビーム部２０には、前記フレクシャ部１０の磁気ヘッド搭載領域１１に対応した位置に、ディンプル２５が設けられている。
斯かるディンプル２５を設けることにより、前記磁気ヘッド搭載領１１のピッチ剛性及びロール剛性を向上（低下）させることができる。従って、該磁気ヘッド搭載領域１１に搭載される磁気ヘッドスライダ１５の記録面に対する追従性を向上させることができる
【００２３】
好ましくは、前記ロードビーム部２０は両側辺にフランジ部２１を有し得る。
斯かるフランジ部２１を備えることにより、質量を増加させることなく、前記ロードビーム部２０の剛性を高めることができる。
より好ましくは、前記ロードビーム部２０は、前記荷重曲げ部３０に連接される基端側を幅広とし、且つ、該基端側から先端側へ行くに従って幅狭とした平面視略二等辺三角形状とすることができる。
このように、前記ロードビーム部を平面視略二等辺三角形状とすることにより、衝撃特性の悪化を防止しつつ、剛性を高めることができる。
【００２４】
前記荷重曲げ部３０は、磁気ディスク等の記憶媒体の回転に伴って磁気ヘッドスライダ１５と記憶面との間に生じる空気膜の圧力に抗して、前記磁気ヘッドスライダ１５を記憶面へ向けて押し付け、磁気ヘッドスライダ１５の一定の浮上量を確保する為の前記磁気ヘッド押し付け荷重を発生させる板ばねとして機能する。
【００２５】
本実施の形態においては、前記荷重曲げ部３０は前記ロードビーム部２０と一体形成されている。
図４に前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの分解図を示す。
【００２６】
即ち、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記フレクシャ部１０を構成する第１部材１００と、前記荷重曲げ部３０及び前記ロードビーム部２０を形成する第２部材２００と、前記基部４０を構成する第３部材３００とを有しており、前記第１〜第３部材１００，２００，３００が溶接等により固着されている。
【００２７】
前記第２部材２００は、基端側が前記荷重曲げ部３０を形成し、且つ、先端側が前記ロードビーム部２０を形成している。
詳しくは、前記第２部材２００のうち前記荷重曲げ部３０を形成する領域には前記フランジ部２１が設けられておらず、前記ロードビーム部２０を形成する領域にのみ前記フランジ部２１が設けられている。
【００２８】
好ましくは、前記第２部材２００のうち前記荷重曲げ部３０を形成する領域は、基端側が幅広とされ且つ先端側が幅狭とされた平面視略三角形状とされる。
本実施の形態においては、図４に示すように、前記第２部材２００のうち荷重曲げ部を形成する領域を平面視略三角形状とすると共に幅方向略中央に開口を設けている。
前記第２部材２００は、例えば、板厚２５μｍ〜５０μｍのステンレス材によって形成される。
なお、当然ながら、前記ロードビーム２０を構成する部材と前記荷重曲げ部３０を構成する部材とを別体とすることも可能である。
【００２９】
前記荷重曲げ部３０を構成する部材（本実施の形態においては前記第２部材２００）は、図４に示すように、前記基部４０に固着される固着領域２１０と、前記固着領域２１０と前記ロードビーム部２０との間に位置する荷重発生領域２５０とを有している。
【００３０】
前記基部４０は、前記荷重曲げ部３０，前記ロードビーム部２０及び前記フレクシャ部１０からなるアッセンブリを支持すると共に、該アッセンブリに対してアクチュエータからの駆動力を伝達し得るように構成されている。
本実施の形態においては、図２〜図４に示すように、前記基部４０は、ボイスコイルモータのベアリングに取り付けられるアームとされている。
これに代えて、前記基部４０を、Ｅブロックにかしめにより取り付けられるマウントとすることも可能である。
【００３１】
図５(a)及び(b)に、それぞれ、前記基部４０の平面図（記録媒体とは反対側から視た図）及び側面図を示す。
図５に示すように、前記基部４０を構成する前記第３部材３００は、先端から所定距離だけ基端側へ至る領域が他の領域３５０に比して板厚の薄い薄肉領域３１０とされている。
前記他の領域３５０は、例えば、厚み０．１ｍｍ〜０．５ｍｍとすることでき、前記薄肉領域３１０の厚みは前記他の領域３５０の厚みの５０％以下とすることができる。
【００３２】
斯かる構成の前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては以下の効果を得ることができる。
即ち、前記磁気ヘッドサスペンションの構成要素のうち最も大質量である前記基部４０の一部を薄肉領域３１０としたことにより、低質量化による耐衝撃性の向上を図ることができる。
さらに、前記薄肉領域３１０を前記基部４０の先端側に設けたので、質量低下による剛性悪化を可及的に防止しつつ、該磁気ヘッドサスペンション１Ａの慣性モーメントを効果的に低減させることができる。従って、共振周波数の低下防止及び共振時のシーク方向の振幅の低減化を含む共振特性の向上並びに耐衝撃性の向上を図ることができる。
【００３３】
前記基部４０を構成する前記第３部材３００は、例えば、鉄、アルミニウム、チタン、ステンレス等の金属、又は、これらの合金とされ得る。
これに代えて、前記第３部材３００をセラミックとすることも可能である。
【００３４】
本実施の形態においては、前記基部４０は単一の金属材料によって形成されている。
図６に、本実施の形態における前記基部４０の製造方法の一例を示す。
【００３５】
図６に示す製造方法においては、まず、略均一な所定厚み（例えば、０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ）の金属板３００をダイ４００の上に載せ、前記薄肉領域３１０とすべき部分に対してパンチ４１０によってプレスすることにより絞り加工（圧縮加工）を施し、該薄肉領域３１０の厚みを他の領域３５０よりも薄い所定の厚みとする（図６(a)及び(b)参照）。
【００３６】
次に、前記絞り加工によって外側へ押し出された材料を打ち抜き加工によって製品形状に合わせる（図６(c)参照）。なお、この打ち抜き加工の際には、金属材料の外形状を製品形状に合わせる外形打ち抜き加工に加えて、孔打ち抜き加工が含まれる。該孔打ち抜き加工によって形成される孔には、前記磁気ヘッドサスペンションの組立作業の際に用いる位置決め孔４４や、前記基部４０を前記アクチュエータへ取り付ける為の取付孔４５が含まれる。
【００３７】
そして、最後に、化学研磨又は電解研磨等の表面処理加工を行って、前記基部４０を得る（図６(d)参照）。
斯かる製造方法によれば、同一形状の基部４０を効率よく量産することができる。
【００３８】
図６に示すプレス加工に代えて、エッチング加工によって前記基部４０を製造することも可能である。
図７に、エッチング加工を用いた前記基部の製造方法の一例を示す。
【００３９】
図７に示す製造方法においては、まず、略均一な所定厚み（例えば、０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ）の金属板３００を、製品形状（外形状及び孔形状を含む）に対応したレジスト５００でマスクする（図７(a)参照）。
次に、前記レジストをエッチングマスクとして前記金属板３００をエッチング処理し、前記薄肉領域３１０の板厚を減少させると共に、必要な開口（位置決め孔４４及び取付孔４５）を形成する（図７(b)参照）。なお、図７においては取付孔４５のみを示している。
【００４０】
なお、エッチング処理しない前記他の領域３５０には前記レジスト５００を両面に設け、前記薄肉領域３１０には前記レジスト５００を一方面にだけ設け、且つ、前記孔を形成すべき領域には両面共に前記レジスト５００を設けない状態で、前記エッチング処理を前記金属板３００の両面から行うことにより、板厚の薄い前記薄肉領域３１０を形成しつつ、前記開口を形成することができる。
前記金属板３００としてステンレス鋼材を用いる場合には、塩化第二鉄水溶液等のエッチング液を用いることができる。
【００４１】
その後、前記レジスト５００を除去し（図７(c)）、洗浄を行って前記基部４０を得る（図７(d)）。
斯かるエッチングを用いた製造方法によれば、前記薄肉領域３１０及び前記開口を同時に形成することができる。さらに、前記薄肉領域３１０の表面が化学的に溶解される為、該薄肉領域３１０の表面平滑性を向上させることができる。
又、エッチング濃度やエッチング時間／エッチング温度等のエッチング条件を制御することにより、前記薄肉領域３１０の板厚を高精度にコントロールすることができる。
【００４２】
実施の形態２
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図８(a)〜(c)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂの平面図（記録媒体とは反対側から視た図）、側面図及び背面図（記録媒体側から視た図）を示す。
なお、前記実施の形態１におけると同一部材には同一符号を付して、その説明を省略する。
【００４３】
前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては、前記荷重曲げ部３０を構成する部材の前記固着領域２１０は、前記薄肉領域３１０における両面のうち前記他の領域３５０と同一面内に位置する面に、固着されている。
即ち、前記実施の形態１においては、前記薄肉領域３１０と前記他の領域３５０とによって形成される凹部３２０が記録媒体とは反対側を向くように前記基部４０が配置されており、このように配置された前記基部４０に対して、前記荷重曲げ部３０を形成する部材２００は、前記固着領域２１０が前記凹部３２０とは反対面に固着されている（図３(b)の拡大図参照）。
【００４４】
これに対し、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂにおいては、図８に示すように、前記固着領域２１０は前記凹部３２０内において前記基部４０に固着されている。
斯かる構成の磁気ヘッドサスペンション１Ｂにおいては、前記実施の形態１における効果に加えて、前記荷重曲げ部３０と前記基部４０との固着部分における板厚を減少させ、磁気ヘッドサスペンション１ＢのＺ方向（記録媒体の記録面と直交する方向）の省スペース化を図ることができる。
【００４５】
なお、本実施の形態においては、前記凹部３２０が記録媒体を向くように前記基部４０を配置した状態で、該凹部３２０内に前記固着領域２１０を位置させたが、当然ながら、前記凹部３２０が記録媒体とは反対側を向くように前記基部４０を配置させた状態（図３に示す状態）で前記固着領域２１０を前記凹部３２０内に位置させることも可能である。
【００４６】
実施の形態３
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について添付図面を参照しつつ説明する。
図９(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃにおける基部４０Ｃの平面図及び側面図を示す。
なお、前記実施の形態１又は２におけると同一部材には同一符号を付して、その説明を省略する。
【００４７】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃは、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて、前記基部４０の代わりに基部４０Ｃを備えている。
詳しくは、前記実施の形態１における基部４０は単一の金属材料からなる前記第３部材３００によって形成されている。
これに対し、本実施の形態における基部４０Ｃは、図９に示すように、物性の異なる複数の材料が積層されてなる積層部材３００Ｃによって形成されている。
【００４８】
具体的には、前記積層部材３００Ｃは、図９に示すように、第１金属材料３０１Ｃ及び第２金属材料３０２Ｃと、前記第１及び第２金属材料３０１Ｃ，３０２Ｃによって挟まされた樹脂系材料３０３Ｃであって、前記第１及び第２金属材料３０１Ｃ，３０２Ｃよりも減衰定数Ｃ（前記式（２）参照）が大とされた樹脂系材料３０３Ｃとを含んでいる。
斯かる積層部材３００Ｃを用いて前記基部４０を形成することにより、前記実施の形態１又は２における効果に加えて、前記基部４０の減衰比を大とすることができ、従って、磁気ヘッドサスペンション１Ｃの共振モードの振幅を低減させることができる。
前記樹脂系材料３０３Ｃとしては、ポリイミドや液晶ポリマー等のダンピング効果の高いものが例示される。
なお、前記第１及び第２金属材料３０１Ｃ，３０２Ｃには、ステンレス、アルミニウム、チタン等が例示される。
【００４９】
図１０に、前記積層部材３００Ｃを用いた前記基部４０Ｃの製造方法の一例を示す。
図１０に示す製造方法においては、まず、前記他の領域３５０に必要な厚みを有するプレート状の前記積層部材３００Ｃを用意し、該積層部材３００Ｃを製品外形状に沿ったレジスト５００で覆う（図１０(a)参照）。
この際、前記他の領域３５０に相当する領域には両面に前記レジスト５００を設け、前記薄肉領域３１０に相当する領域は一方面（図示の方法においては、前記第２金属材料３０２Ｃの側）だけに前記レジスト５００を設け、且つ、前記開口を形成すべき領域には両面共に前記レジスト５００を設けない。
【００５０】
次に、所定形状の前記レジスト５００をエッチングマスクとして前記積層部材３００Ｃに対して第１エッチング処理を行う（図１０(b)参照）。
前記第１エッチング処理は、前記積層部材３００Ｃの両面側から行う。
この第１エッチング処理によって、前記薄肉領域３１０に相当する領域において露出している前記第１及び第２金属材料３０１Ｃ，３０２Ｃの一方（図示の構成においては第１金属材料３０１Ｃ）の一部又は全部がエッチング除去されると同時に、前記孔を形成すべき領域において露出している前記第１及び第２金属材料３０１Ｃ，３０２Ｃの双方がエッチング除去される。
なお、図１０に示す製造方法においては、前記第１エッチング処理によって前記薄肉領域３１０において露出している前記一方の金属材料を全て除去し、前記薄肉領域３１０において前記樹脂系材料３０３Ｃが露出するように構成しているが（図１０(b)参照）、これに代えて、前記薄肉領域３１０において露出している前記一方の金属材料の一部だけを除去することで、該薄肉領域３１０の板厚を前記他の領域３５０に比して薄くすることも可能である。
【００５１】
次に、前記レジスト５００又は残存する前記金属材料３０１Ｃ，３０２Ｃをエッチングマスクとして第２エッチング処理を行い（図１０(c)参照）、前記開口を形成すべき領域において残存する前記樹脂系材料３０３Ｃをエッチング除去する。
前記第２エッチング処理は、例えば、強アルカリ水溶液を用いたエッチング又はプラズマエッチングとし得る。
なお、図１０に示す製造方法においては、前記第２エッチング処理は、前記薄肉領域３１０に相当する領域において前記レジスト５００が設けられた側（図示の形態においては前記第２金属材料３０２Ｃの側）から行われており、これにより、前記薄肉領域３１０における前記樹脂系材料３０３Ｃは残しつつ、前記開口を形成すべき領域における前記樹脂系材料３０３Ｃのみを除去するように構成している。
【００５２】
これに代えて、前記第２エッチング処理を、前記積層部材３００Ｃの両面側から行い、これにより、前記開口を形成すべき領域における前記樹脂系材料３０３Ｃに加えて、前記薄肉領域３１０における前記樹脂系材料３０３Ｃを除去するように構成することも可能である。
この置換方法によれば、前記薄肉領域３１０には、前記第１及び第２金属材料の他方だけ（例えば、第２金属材料３０２Ｃだけ）が残存することになる（図９(b)における拡大図参照）。
【００５３】
その後、前記レジスト５００を除去し（図１０(d)）、洗浄を行って前記基部４０Ｃを得る（図１０(e)）。
斯かる製造方法によれば、前記薄肉領域３１０及び前記開口を同時に形成することができる。さらに、前記薄肉領域３１０の表面が化学的に溶解される為、振幅をより低減させ得る基部４０Ｃを、前記薄肉領域３１０の表面平滑性を向上させた状態で得ることができる。
又、エッチング濃度やエッチング時間／エッチング温度等のエッチング条件を制御することにより、前記薄肉領域の板厚を高精度にコントロールすることができる。
【００５４】
なお、本実施の形態においては、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて前記基部４０の代わりに前記基部４０Ｃを備えたが、当然ながら、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂにおいて前記基部４０Ｃを採用することも可能である。
【００５５】
実施の形態４
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について添付図面を参照しつつ説明する。
図１１(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｄにおける基部４０Ｄの平面図及び側面図を示す。
【００５６】
前記実施の形態１〜３に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａ〜１Ｃにおいては、前記薄肉領域３１０と前記他の領域３５０との境界線は平面視において該磁気ヘッドサスペンションの幅方向に沿った略直線状とされている（図３，図８及び図９等参照）。
【００５７】
これに対し、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｄの前記基部１Ｄにおいては、図１１に示すように、前記薄肉領域３１０及び前記他の領域３５０の境界線は、幅方向中央が幅方向両側よりも基端側に位置するような平面視コの字状とされている。
即ち、本実施の形態においては、前記基部４０Ｄは、前記薄肉領域３１０の基端側エッジの幅方向両側に厚肉領域３５０Ｄが存在するように構成されている。
【００５８】
斯かる構成の磁気ヘッドサスペンション１Ｄにおいては、前記薄肉領域３１０によって質量低減化を図りつつ、前記厚肉領域３５０Ｄによって前記基部４０Ｄのシーク方向（横方向）の剛性を向上させることができる。
従って、斯かる前記基部４０Ｄを備えた前記磁気ヘッドサスペンション１Ｄにおいては、シーク方向の共振特性をより向上させることができる。
【００５９】
好ましくは、図１２に示すように、前記薄肉領域３１０及び前記他の領域３５０の境界線を、幅方向中央が幅方向両側よりも基端側に位置するような円弧状とすることができる。
斯かる構成の基部４０Ｄ’は、前記薄肉領域３１０の基端側の境界線を平面視において略コの字状とされた前記基部４０Ｄに比して、容易に製造され得る。
従って、シーク方向の共振特性をより向上させ得る磁気ヘッドサスペンション１Ｄを容易に得ることができる。
【００６０】
実施の形態５
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について添付図面を参照しつつ説明する。
図１３(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｅにおける基部４０Ｅの平面図及び側面図を示す。
【００６１】
前記基部４０Ｅは、図１３に示すように、先端から所定距離だけ基端側へ延びる前記薄肉領域３１０が幅方向中央においてのみ存在し、前記薄肉領域３１０の幅方向両端側３５０Ｅを含む他の領域３５０が該薄肉領域３１０よりも肉厚とされている。
即ち、本実施の形態における前記基部４０Ｅは、前記薄肉領域３１０の基端側に加えて、前記薄肉領域３１０の幅方向両端側３５０Ｅも厚肉とされている。
【００６２】
斯かる構成の基部４０Ｅを備えた磁気ヘッドサスペンション１Ｅにおいては、横方向に加えて、上下方向及び捩り方向の剛性を向上させることができる。
従って、共振特性の向上及び耐衝撃性の向上をより効果的に図ることができる。
【００６３】
実施の形態６
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について添付図面を参照しつつ説明する。
図１４(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｆにおける基部４０Ｆの分解平面図及び側面図を示す。
【００６４】
前記各実施の形態においては、前記基部４０〜４０Ｅは、前記薄肉領域３１０及び前記他の領域３５０が単一部材によって形成されている。
これに対し、本実施の形態においては、前記基部４０Ｆは、前記薄肉領域３１０を形成する部材と、前記他の領域３５０を形成する部材とが別体とされており、これらが溶接等によって固着されている。
【００６５】
即ち、本実施の形態においては、前記基部４０Ｆを構成する部材３００Ｆは、前記他の領域３５０を形成する厚肉部材３５０Ｆと、前記薄肉領域３１０を形成する薄肉部材３１０Ｆであって、前記厚肉部材３５０Ｆとは別体とされた薄肉部材３１０Ｆとを有している。
そして、前記厚肉部材３５０Ｆ及び前記薄肉部材３１０Ｆを互いに固着することにより、前記基部４０Ｆが形成されている。
【００６６】
斯かる構成の前記基部４０Ｆを備えた磁気ヘッドサスペンション１Ｆにおいては、前記薄肉領域３１０及び前記他の領域３５０をそれぞれ独立して形成することができる為、前記薄肉領域３１０及び前記他の領域３５０の板厚をより簡便に制御することができる。
【００６７】
好ましくは、図１５に示すように、前記薄肉領域３１０の幅方向両端側にフランジ曲げ部３１１が存するように前記薄肉部材３１０Ｆに曲げ加工を施すことができる。
斯かる構成の基部４０Ｆ’を備えた磁気ヘッドサスペンション１Ｆ’においては、質量増加を抑えつつ、横方向、上下方向及び捩り方向の剛性を向上させることができる。
従って、共振特性の向上及び耐衝撃性の向上をより効果的に図ることができる。
【００６８】
なお、図１５に示す基部４０Ｆ’においては、前記薄肉領域３１０の長手方向略全域に亘って前記フランジ曲げ部３１１を設けたが、本発明は斯かる構成に限定されるものではなく、前記フランジ曲げ部３１１が前記薄肉領域３１０の長手方向の少なくとも一部に設けられた種々の構成を含む。
【００６９】
又、図１５においては、前記薄肉領域３１０及び前記他の領域３５０が別部材で形成されている場合において、前記薄肉領域３１０の幅方向両端側にフランジ曲げ部３１１を設けた構成を示したが、このフランジ曲げ部３１１を設ける構成は前記薄肉領域３１０及び前記他の領域３５０が別部材によって形成される態様に限定されるものではない。
即ち、実施の形態１〜３に示すように前記薄肉領域３１０及び前記他の領域３５０が一体形成された構成において、前記薄肉領域３１０の幅方向両端側にフランジ曲げ部３１１を設けることも可能である。
【００７０】
又、前記各実施の形態においては、前記薄肉領域３１０は全域が同一の厚みを有するように構成されているが、これに代えて、前記薄肉領域３１０が、先端側へ行くに従って板厚が薄くなるテーパ領域を有するように構成することも可能である。前記薄肉領域３１０の長手方向全域に亘って前記テーパ領域を設けることも可能であるし、前記薄肉領域３１０の長手方向の一部にのみ前記テーパ領域を設けることも可能である。
【符号の説明】
【００７１】
１Ａ〜１Ｆ                磁気ヘッドサスペンション
１０                      フレクシャ部
１１                      磁気ヘッド搭載領域
１５                      磁気ヘッドスライダ
２０                      ロードビーム部
３０                      荷重曲げ部
４０                      基部
２００                    ロードビーム部及び荷重曲げ部を構成する第２部材
２１０                    固着領域
２５０                    荷重発生領域
３００                    基部を構成する第３部材
３１０                    薄肉領域
３１０Ｆ                  薄肉部材
３１１                    フランジ曲げ部
３２０                    凹部
３５０                    他の領域
３５０Ｆ                  厚肉部材
【図１】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図２】
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