(57)【要約】【課題】ローラー搬送方式で基板をトレイ等に搭載することなく直接搬送させる場合、搬送用ローラーと基板の接触面積が大きく、搬送用ローラーの基板接触面への異物の付着を防ぐことは困難であるが、この付着した異物との接触による基板へのダメージを抑制することを可能にした基板搬送装置を提供するものである。【解決手段】基板の搬送方向に配列し、駆動系と連結して複数のローラーシャフトを回転させて基板を搬送する基板搬送装置において、複数のローラーシャフトに、それぞれ幅の細い複数個の半径の異なるリングローラーを交互に連結させて一体のローラーを形成し、かつ、ローラーがローラーシャフトに複数個配置されていることを特徴とする。【選択図】図1
2011190032.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の搬送方向に配列し、駆動系と連結して複数のローラーシャフトを回転させて基板を搬送する基板搬送装置において、前記複数のローラーシャフトに、それぞれ幅の細い複数個の半径の異なるリングローラーを交互に連結させて一体のローラーを形成し、かつ、前記ローラーが前記ローラーシャフトに複数個配置されていることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記リングローラーは、第１のリングローラーと、前記第１のリングローラーより半径の小さい第２のリングローラーとを有し、前記ローラーの両端を前記第１のリングローラーにして交互に連結されていることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記ローラーシャフトの両端に配置される二つのそれぞれの前記ローラーは、前記第１のリングローラーを外側にして連結されていることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記第１のリングローラーは、前記基板と接触する外周をR形状に加工されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかの一項に記載の基板搬送装置。
【請求項５】
前記基板搬送装置は、排気可能な成膜処理室を有していることを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかの一項に記載の基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送対象の基板にスパッタリング法などで被膜を形成する成膜装置において、基板を水平に搬送する基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、図３に示す大型のガラス等の基板６０を水平に搬送する、例えば、スパッタリング装置等を備えた排気可能な処理室２等から構成される基板搬送装置１の基板搬送方法として、ローラー搬送方式が知られている。
【０００３】
この搬送方式は、特許文献１の技術によれば、複数のドライブシャフトに複数の搬送用ローラーを固定し、ドライブシャフトを回転することで搬送用ローラーを回転させて、搬送用ローラーの上部に接触することで基板を搬送させるものである。
そして、基板の裏面に対する傷等のダメージを抑制するため、搬送用ローラーと搬送する基板の接触部には、樹脂部材等が用いられている。
【０００４】
しかし、このようなローラー搬送方式の基板搬送装置においては、搬送する基板の裏面に傷がつかないようにするために搬送用ローラーと基板との接触部位に樹脂部材を使用しても、搬送用ローラーと基板の接触面積が大きく、ガラス等の異物の付着を防止することができず、付着した異物との接触によるさらなる基板裏面へのダメージを抑制することができなかった。
なお本発明に関連する従来技術として、さらに下記の特許文献２を挙げることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００４−３３８８９３号公報
【特許文献２】特開２００８−２９７５８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前述のローラー搬送方式において、基板をトレイ等に搭載することなく直接搬送させる場合、搬送用ローラーと基板の接触面積が大きく、搬送用ローラーの基板接触面への異物の付着を防ぐことは困難であり、この付着した異物との接触により基板へのダメージが懸念されている。
本発明は、上記のような問題に対して、基板に対するダメージを抑制するための基板搬送装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、基板の搬送方向に配列し、駆動系と連結して複数のローラーシャフトを回転させて基板を搬送する基板搬送装置において、複数のローラーシャフトに、それぞれ幅の細い複数個の半径の異なるリングローラーを交互に連結させて一体のローラーを形成し、かつ、ローラーがローラーシャフトに複数個配置されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、上記のように、搬送対象の基板を水平に搬送する基板搬送装置において、搬送用ローラーへの異物の付着を低減し、搬送用ローラー表面に付着した異物と基板の接触による基板裏面へのダメージを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明に係る一実施形態の基板搬送装置の概略図であり、（ａ）上から見た図であり（ｂ）は基板の搬送方向から見た図である。
【図２】本発明のローラーの拡大図であり、（ａ）は基板の搬送方向からみた正面図であり（ｂ）は第２のリングローラーが見える状態にした側面図である。
【図３】基板搬送装置を説明する概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に、本発明の好適な実施形態（実施例）を添付図面に基づいて説明する。
尚、図１においては、図３で説明した要素と実質的に同一の要素には同一の符号を付している。また、図３の基板搬送装置と同様、スパッタリング装置等を備えた排気可能な処理室等を有していてもかまわないが、スパッタリングを可能にする機構や排気系等の図示は省略している。
【００１１】
本発明の基板搬送装置１は、図1に示すように、搬送対象の基板６０の下面を支持し、基板６０を矢印１０の方向に水平に搬送する基板搬送装置1で、複数のドライブシャフト２０と、ドライブシャフト２０に固定されてローラー３０が回転することにより回転し、複数のローラー３０上の基板６０を搬送している。
【００１２】
図１に示す本発明に係るローラー３０は、基板６０との接触面積を小さくするため、複数枚の薄い第１のリングローラー３１と、その第１のリングローラー３１間に半径の小さい第２のリングローラー３２を交互に挟み、これを一つのローラー３０とすることを特徴とするものである。
【００１３】
ここで、第１のリングローラー３１は、基板６０との接触面積、及び、基板搬送に必要な摩擦力を考慮しているため、厚さは２〜１０ｍｍの範囲で、できれば４〜６ｍｍの範囲が好ましい。
【００１４】
また、第１のリングローラー３１は、ポリイミドなどの樹脂部材、あるいは、搬送対象の基板６０より硬度の低い金属部材（例えば、アルミニウムなど）からなることが好ましい。
【００１５】
また、第１のリングローラー３１と基板６０との接触面にガラス等の異物が付着しても、接触面に留まらないように、第１のリングローラー３１の形状がR形状であることが好ましい。
【００１６】
さらに、複数のドライブシャフト２０は、外部に取り付けられた駆動部４０と、一方の軸端をベルト、あるいは、ギア等のドライブシャフト連結部５０により連結し、同期させて回転させることで、基板６０と接触するローラー３０を同じ速度で回転させることができ安定した基板搬送が可能となる。
また、搬送による基板６０の蛇行を防止するためのガイドローラー３５をガイドローラー保持部３６に備えていてもよい。  
【００１７】
図２に、本発明の一実施形態であるローラー３０の拡大図を示す。
【００１８】
複数枚の薄い円板形状の第１のリングローラー３１と、その第１のリングローラー３１の間に挟まれ、第１のリングローラー３１より半径の小さい第２のリングローラー３２を互いに、例えば、ねじ３３等で止めして一つのローラー３０を構成し、第１のリングローラー３１で基板６０を支持し、その回転にて基板６０を搬送するものである。
【００１９】
図２（ａ）に示すローラー３０は、その両端が第１のリングローラー３１で構成されているが、搬送中の基板６０の形状に合わせて、ローラー３０を構成する第１のリングローラー３１をドライブシャフト２０に対して最も外側に配置させて他のリングローラーを内側に任意に配置しても良い。
【００２０】
さらに、第１のリングローラー３１は、その部材により基板６０にダメージを与えないように樹脂部材、または、搬送対象の基板６０より硬度の低いアルミニウムなどの金属部材を用いている。
また、ローラー３０を構成する第１のリングローラー３１について、その基板６０との接触面の形状をR形状とすることで、第１のリングローラー３１の基板６０との接触面へ異物が付着しにくくしている。
【００２１】
このようにして、本発明の基板搬送装置１は、基板６０を支持する第１のリングローラー３１の基板６０との接触面に異物が付着しにくく、これにより、基板６０に対する傷等のダメージを抑制することができる。
【００２２】
以上の実施形態で説明された構成、形状、大きさおよび配置関係については本発明が理解・実施できる程度に概略的に示したものにすぎない。従って本発明は、説明された実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に示される技術的思想の範囲を逸脱しない限り様々な形態に変更することができる。
【符号の説明】
【００２３】
１  基板搬送装置
２  処理室
１０  基板の搬送方向
２０  ドライブシャフト
２１  ドライブシャフト保持部
３０  ローラー
３１  第１のリングローラー
３２  第２のリングローラー
３３  ねじ
３４  ドライブシャフトへの固定用穴部
３５  ガイドローラー
３６  ガイドローラー保持部
４０  駆動部
５０  ドライブシャフト連結部
６０  基板
【図１】
2011190032.tif 000003
【図２】
2011190032.tif 000004
【図３】
2011190032.tif 000005