(57)【要約】【課題】短時間で効果的に内周刃ブレードの刃先を局所的にドレッシングして内周刃ブレードの変位を効果的に修正でき、内周刃ブレードのライフを向上できる内周刃ブレードのドレッシング方法を提供する。【解決手段】ドレス材に予め基準溝を形成する工程と、刃先の左右どちら側の部分をドレッシングするかを選択する工程と、基準溝の開口部側がドレッシングすると選択した側とは反対側になるようにして、基準溝の開口部の角の位置と刃先の最先端位置とが一致するように内周刃ブレード及びドレス材を相対的に移動する工程と、刃先を相対的にドレス材の深さ方向及び刃先のドレッシングすると選択した側の方向に同時に送ることによって、該ドレッシングすると選択した側とは反対側の刃先の部分をドレス材と接触させずに、ドレス材に切り込ませて、刃先の選択した側の部分のみを局所的にドレッシングする工程とを有する内周刃ブレードのドレッシング方法。【選択図】  図１
2011056647.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ドーナツ状薄板の内周部に砥粒が固着されて刃先が形成された内周刃ブレードをドレス材に切り込ませて前記刃先をドレッシングする内周刃ブレードのドレッシング方法であって、少なくとも、
前記ドレス材に予め基準溝を形成する工程と、
前記刃先の左右どちら側の部分をドレッシングするかを選択する工程と、
前記基準溝の開口部側が前記ドレッシングすると選択した側とは反対側になるようにして、前記基準溝の開口部の角の位置と前記刃先の最先端位置とが一致するように前記内周刃ブレード及びドレス材を相対的に移動する工程と、
前記刃先を相対的に前記ドレス材の深さ方向及び前記刃先のドレッシングすると選択した側の方向に同時に送ることによって、該ドレッシングすると選択した側とは反対側の前記刃先の部分を前記ドレス材と接触させずに、前記ドレス材に切り込ませて、前記刃先の選択した側の部分のみを局所的にドレッシングする工程とを有することを特徴とする内周刃ブレードのドレッシング方法。
【請求項２】
前記基準溝を、該基準溝の幅が前記刃先の幅の１／２より大きくなるように形成することを特徴とする請求項１に記載の内周刃ブレードのドレッシング方法。
【請求項３】
前記刃先を相対的に前記ドレス材の深さ方向に送る際の送り量を前記刃先の高さと同じにし、前記刃先のドレッシングすると選択した側の方向に送る際の送り量を前記刃先の幅の１／２と同じにすることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の内周刃ブレードのドレッシング方法。
【請求項４】
前記内周刃ブレード及びドレス材を相対的に移動する工程と、前記刃先の選択した側の部分のみを局所的にドレッシングする工程とを繰返し行うことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の内周刃ブレードのドレッシング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内周刃ブレードのドレッシング方法に関し、特に半導体素子の素材となる例えばシリコン単結晶等のインゴットをブロック、或いはウェーハに切断する内周刃スライサーの内周刃ブレードのドレッシング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＣＺ法等によって製造されたシリコン単結晶等のインゴットは円柱状の胴体部にコーン状の端部（トップ部およびテイル部）を有している。このようなインゴットの加工においては、これらコーン状の端部を切り離し円柱状の胴体部のみとし、その胴体部を必要に応じて複数のブロックに切断する。次いでそのブロックをウェーハとするための加工を行う。
このようなコーン状の端部の切断加工や胴体部を複数のブロックに切断加工する場合には、内周刃スライサー、外周刃スライサーなどが多く用いられてきた。近年のウェーハの大口径化に伴ってバンドソーも多く使用されるようになってきた。
【０００３】
図７は、内周刃スライサーを用いてインゴットをウェーハに切断する様子を示した説明図である。
図７に示すように、内周刃スライサー１１０の内周刃ブレード１０１は、ドーナツ状薄板１０４の内周部にダイヤモンド砥粒が電着されて刃先１０３が形成されている。インゴット１１３はクランパ（不図示）等によって押圧されて保持されている。そして、インゴット１１３のウェーハに切断される側の端面は吸着手段１１１によって真空吸着されている。
【０００４】
そして、内周刃ブレード１０１が回転駆動され、この状態で内周刃ブレード１０１を相対的に上方から下方に送り出すことによってインゴット１１３をウェーハに切断していく。
このようにして切断を重ねていくと、内周刃ブレード１０１の刃先１０３にスラッジ（切断粉末）が堆積するなどして表面のダイヤモンド砥粒が埋もれたり、切断によって砥粒が摩耗、或いは脱落したりしてその切断能力が低下してしまう。このような状態で切断を行うと、図８（Ａ）に示すように、インゴット１１３の軸方向で＋方向又は−方向のどちらか刃先の切れ易い方向へ内周刃ブレード１０１が変位してしまう。
【０００５】
そして、この内周刃ブレード１０１の変位の大きさによっては品質面では切断面の段差、チッピング（カケ）、反りの大きいウェーハ、切断面の加工歪みが大きいウェーハを生じる原因となり、設備面では内周刃ブレード１０１の薄板１０４の損傷による寿命低下、ブレード破断による設備損害の原因となり得る。
例えば、図８（Ｂ）に示すように、内周刃ブレード１０１が−方向（吸着手段側）に変位した場合、切断中のウェーハを吸着手段１１１に押しつける方向で力が作用する為に結果として切断中にウェーハが割れてしまい、内周刃ブレード１０１の回転によりウェーハが吸着手段１１１から外れ飛ばされてしまう。
このため切断中の内周刃ブレード１０１の変位が所定の大きさに達した時にドレッシングを行う必要があり、その方法としてテーブルドレッシングとハンドドレッシングがある。
【０００６】
このテーブルドレッシングは、内周刃ブレードでドレス材を切り込む方法である。例えば、ドレス材を回転する内周刃ブレードの切断方向に送り込み、切り込んだ状態でドレス材を内周刃ブレードの切断方向と直交する方向に移動させてドレッシングを行うスライシングマシンが開示されている（特許文献１参照）。また、ドレス材を内周刃ブレードの刃先に水平に切り込ませた後、内周刃ブレードを斜め下方又は斜め上方に引き抜いてドレッシングを行うスライシングマシンのドレッシング装置が開示されている（特許文献２参照）。
【０００７】
さらに、内周刃ブレードの刃先をドレス材に対して斜め上方に切り込み、その状態から内周刃ブレードをドレス材から水平に引き抜くことにより、刃先の後端上側部分を切り込み溝の谷部に当接させてドレッシングを行うドレッシング方法が開示されている（特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平８−３１８５２５号公報
【特許文献２】特開平１１−４８１４１号公報
【特許文献３】特開平９−１３１７２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、上記のような従来の方法でドレッシングを行っても内周刃ブレードの切れ味の不均一によって発生する内周刃ブレードの変位を修正することができなかった。すなわち、上記したような従来の方法はいずれも最初に内周刃ブレードをドレス材に切り込ませる際に切れ味の良い部分までドレッシングしてしまうため、１度のドレッシングで切れ味の不均一が解消されず内周刃ブレードの変位を修正することができない。このドレッシングを何度も繰り返すことでブレード変位の修正を多少改善することはできたが、砥粒の摩耗を進め内周刃ブレードの寿命低下に繋がってしまうし、その効果も十分ではなかった。
【００１０】
そこで、従来では作業者がドレス材を直接手で持ち、回転するブレードの刃先の切れにくい面にドレス材を押し当て局部的にドレッシングするハンドドレッシングを行っていた。しかし、このようなハンドドレッシングは危険性が極めて高い作業であり、非常に時間がかかる上、作業者個人のスキルに大きく依存するため、ドレッシング精度にバラツキが発生して安定したドレッシング効果を奏すことができず、内周刃ブレードの変位の修正を安定して行うことができなかった。
【００１１】
本発明は前述のような問題に鑑みてなされたもので、作業者によるハンドドレッシング作業を行うことなく、短時間で効果的に内周刃ブレードの刃先を局所的にドレッシングして内周刃ブレードの変位を効果的に修正でき、また、内周刃ブレードのライフを向上することができる内周刃ブレードのドレッシング方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明によれば、ドーナツ状薄板の内周部に砥粒が固着されて刃先が形成された内周刃ブレードをドレス材に切り込ませて前記刃先をドレッシングする内周刃ブレードのドレッシング方法であって、少なくとも、前記ドレス材に予め基準溝を形成する工程と、前記刃先の左右どちら側の部分をドレッシングするかを選択する工程と、前記基準溝の開口部側が前記ドレッシングすると選択した側とは反対側になるようにして、前記基準溝の開口部の角の位置と前記刃先の最先端位置とが一致するように前記内周刃ブレード及びドレス材を相対的に移動する工程と、前記刃先を相対的に前記ドレス材の深さ方向及び前記刃先のドレッシングすると選択した側の方向に同時に送ることによって、該ドレッシングすると選択した側とは反対側の前記刃先の部分を前記ドレス材と接触させずに、前記ドレス材に切り込ませて、前記刃先の選択した側の部分のみを局所的にドレッシングする工程とを有することを特徴とする内周刃ブレードのドレッシング方法が提供される。
【００１３】
このように、少なくとも、前記ドレス材に予め基準溝を形成する工程と、前記刃先の左右どちら側の部分をドレッシングするかを選択する工程と、前記基準溝の開口部側が前記ドレッシングすると選択した側とは反対側になるようにして、前記基準溝の開口部の角の位置と前記刃先の最先端位置とが一致するように前記内周刃ブレード及びドレス材を相対的に移動する工程と、前記刃先を相対的に前記ドレス材の深さ方向及び前記刃先のドレッシングすると選択した側の方向に同時に送ることによって、該ドレッシングすると選択した側とは反対側の前記刃先の部分を前記ドレス材と接触させずに、前記ドレス材に切り込ませて、前記刃先の選択した側の部分のみを局所的にドレッシングする工程とを有するドレッシング方法であれば、作業者によるハンドドレッシング作業を行うことなく、短時間で効果的に内周刃ブレードの刃先の切れ味の悪い側のみドレッシングを行うことができるので、切断中の内周刃ブレードの変位を効果的に修正できる。その結果、次のドレッシングまでに可能な切断回数が増え、ドレッシング回数の増加を抑制して内周刃ブレードのライフを向上することができる。
【００１４】
このとき、前記基準溝を、該基準溝の幅が前記刃先の幅の１／２より大きくなるように形成することが好ましい。
このように、前記基準溝を、該基準溝の幅が前記刃先の幅の１／２より大きくなるように形成すれば、ドレッシングすると選択した側とは反対側の刃先の部分をより確実にドレス材と接触させずにドレッシングすることができる。
【００１５】
またこのとき、前記刃先を相対的に前記ドレス材の深さ方向に送る際の送り量を前記刃先の高さと同じにし、前記刃先のドレッシングすると選択した側の方向に送る際の送り量を前記刃先の幅の１／２と同じにすることが好ましい。
このように、前記刃先を相対的に前記ドレス材の深さ方向に送る際の送り量を前記刃先の高さと同じにし、前記刃先のドレッシングすると選択した側の方向に送る際の送り量を前記刃先の幅の１／２と同じにすれば、ドレッシングすると選択した側のみのドレッシングをより確実に十分に行うことができる。
【００１６】
またこのとき、前記内周刃ブレード及びドレス材を相対的に移動する工程と、前記刃先の選択した側の部分のみを局所的にドレッシングする工程とを繰返し行うことが好ましい。
このように、前記内周刃ブレード及びドレス材を相対的に移動する工程と、前記刃先の選択した側の部分のみを局所的にドレッシングする工程とを繰返し行えば、ドレッシングすると選択した側のみのドレッシングをさらに十分に行って、内周刃ブレードの変位をより確実に修正できる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明では、内周刃ブレードのドレッシング方法において、少なくとも、ドレス材に予め基準溝を形成する工程と、刃先の左右どちら側の部分をドレッシングするかを選択する工程と、前記基準溝の開口部側が前記ドレッシングすると選択した側とは反対側になるようにして、前記基準溝の開口部の角の位置と前記刃先の最先端位置とが一致するように前記内周刃ブレード及びドレス材を相対的に移動する工程と、前記刃先を相対的に前記ドレス材の深さ方向及び前記刃先のドレッシングすると選択した側の方向に同時に送ることによって、該ドレッシングすると選択した側とは反対側の前記刃先の部分を前記ドレス材と接触させずに、前記ドレス材に切り込ませて、前記刃先の選択した側の部分のみを局所的にドレッシングする工程とを有するので、作業者によるハンドドレッシング作業を行うことなく、短時間で効果的に内周刃ブレードの刃先の切れ味の悪い側のみドレッシングを行うことができるので、切断中の内周刃ブレードの変位を効果的に修正できる。その結果、次のドレッシングまでに可能な切断回数が増え、ドレッシング回数の増加を抑制して内周刃ブレードのライフを向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の内周刃ブレードのドレッシング方法のフロー図である。
【図２】ドレス材に形成する基準溝を示す説明図である。（Ａ）基準溝の幅、高さを示す説明図。（Ｂ）基準溝の形成方法の一例を示す説明図。
【図３】本発明の内周刃ブレードのドレッシング方法の一部工程を説明する説明図である。（Ａ）刃先の最先端が基準位置に一致するように内周刃ブレード及びドレス材を相対的に移動した状態。（Ｂ）（Ａ）の点線で囲まれた部分を拡大した図。（Ｃ）選択した側の部分のみを局所的にドレッシングする様子。
【図４】本発明の内周刃ブレードのドレッシング方法の一部工程を繰返し行うことによってドレッシングを行う様子を示す説明図である。
【図５】内周刃ブレードの刃先のドレッシングされる部分を説明する説明図である。（Ａ）本発明の内周刃ブレードのドレッシング方法における説明図。（Ｂ）従来の一般的なドレッシング方法における説明図。
【図６】本発明の内周刃ブレードのドレッシング方法で用いることができるドレス材及び内周刃ブレードの移動機構の一例を示す概略図である。
【図７】一般的な内周刃スライサーを用いてインゴットをウェーハに切断する様子を示す説明図である。
【図８】一般的な内周刃スライサーを用いてインゴットをウェーハに切断する際に内周刃ブレードが変位する様子を示す説明図である。（Ａ）内周刃ブレードが変位する様子。（Ｂ）内周刃ブレードが変位した際のウェーハに割れが発生する様子。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明について実施の形態を説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
一般的に内周刃ブレードのドレッシング方法として、テーブルドレッシングとハンドドレッシングが知られている。
しかし、従来の方法によるテーブルドレッシングでは、最初に内周刃ブレードをドレス材に切り込ませて内周刃ブレードの刃先全体をドレッシングするため、内周刃ブレードの切れ味の不均一によって発生する内周刃ブレードの変位を修正することが困難であった。
【００２０】
このブレードの変位を修正するために、従来ではハンドドレッシングを行っていた。しかし、このハンドドレッシングは作業者による危険性が極めて高い作業であり、非常に時間がかかる上、作業者個人のスキルに大きく依存するため、ドレッシング精度にバラツキが発生して安定したドレッシング効果を奏すことができず、ブレードの変位の修正を安定して行うことができなかった。また、ドレッシング回数が増えることから内周刃ブレードのライフの低下の原因となっていた。
【００２１】
そこで、本発明者はこのような問題を解決すべく鋭意検討を重ねた。その結果、テーブルドレッシングにおいて、内周刃ブレードの変位を修正するめためには内周刃ブレードの刃先の切れ味の悪い側のみドレッシングを行うようにすれば良く、ドレス材に溝を設け、刃先のドレッシングを行わない側がその溝の開口部側になるようにしてドレッシングを行えば内周刃ブレードの刃先の切れ味の悪い側のみ効果的にドレッシングでき、ドレッシングの回数も削減できることに想到し、本発明を完成させた。
【００２２】
図１は本発明の内周刃ブレードのドレッシング方法の工程を説明するフロー図である。
まず、ドレス材に予め、図２（Ａ）に示すような基準溝を形成する（図１のＡ参照）。この基準溝５の高さｈｄは、特に限定されることはないが、例えば図２（Ｂ）に示すように、ドレッシングする内周刃ブレード１の刃先３の高さｈｂ以上であることが望ましく、ドレス材２を完全に切り離してしまうことなく、ドレッシング時にドレス材２が基準溝５の下方で破損してしまわない程度の高さに形成すればドレス材２を有効利用できるので好ましい。
【００２３】
また、この基準溝５の幅Ｗｄも、特に限定されることはないが、例えばドレッシングする内周刃ブレード１の刃先３の幅の１／２より大きく、特に刃先３の幅と同じになるように形成すれば、刃先３のドレッシングを行わない側がドレス材２と接触するのをより確実に防ぐことができるとともに、基準溝５の形成に伴うドレス材２の消費を最小限に留めることができる。
この基準溝５の形成は、例えば図２（Ｂ）に示すように、内周刃ブレード１を用いて、ドレス材２に切り込むことで形成することができる。もちろん、別のブレード等を用いて形成することもできる。
尚、この工程は、次に説明する刃先の左右どちら側の部分をドレッシングするかを選択する工程（図１のＢ参照）の後に行うようにしても良い。
【００２４】
次に、刃先の左右どちら側の部分をドレッシングするかを選択する（図１のＢ参照）。切断中における内周刃ブレード１の変位の発生は、内周刃ブレード１によってインゴットの切断を繰り返すと刃先３の切れ味に不均一を生じ、刃先３の切れ易い側の方向へ薄板４及び刃先３が変位することによって生じる。そのため、内周刃ブレード１の変位の修正を行うには刃先３の切れ味の不均一を解消すれば良く、刃先３の切れ味の悪い側のみドレッシングを行うようにすれば良い。すなわち、切断中に発生する内周刃ブレード１の変位を、図８（Ａ）に示すように変位センサー１１２で測定し、その変位する方向とは反対側の部分をドレッシングするように選択すれば良い。
【００２５】
図５（Ａ）を用いて詳細に以下説明する。内周刃ブレード１の変位方向は刃先３の断面で考えると、曲線ａ−ａ’−ｃと曲線ｂ−ｂ’−ｃの切れ味のバランスが崩れる事が原因であり、例えば図５（Ａ）の矢印Ｌ方向に変位する場合は、曲線ａ−ａ’−ｃの方が切れ味が良いことになる。この変位を修正するには、曲線ａ−ａ’−ｃと曲線ｂ−ｂ’−ｃの切れ味のバランスを均一にするために、切れ味の悪い方、すなわち曲線ｂ−ｂ’−ｃのみをドレッシングすることが重要である。逆に矢印Ｒ方向に変位する場合には曲線ａ−ａ’−ｃのみをドレッシングすることで変位の修正が可能となる。
【００２６】
次に、基準溝５の開口部側がドレッシングすると選択した側とは反対側になるようにして、基準溝５の開口部の角の位置と刃先３の最先端位置とが一致するように内周刃ブレード１及びドレス材２を相対的に移動する（図１のＣ参照）。図３（Ａ）は、例えばドレッシングすると選択した側を右側とした場合の内周刃ブレード１及びドレス材２の移動後の状態を示した図であり、図３（Ｂ）は図３（Ａ）の点線で囲まれた部分を拡大した図である。図３（Ｂ）に示すように、基準溝５の開口部側がドレッシングすると選択した側とは反対側になっており、基準溝５の開口部の角Ｒ１の位置と刃先３の最先端位置とが一致している（この位置を以下基準位置とする）。
【００２７】
このとき、内周刃ブレード１及びドレス材２の移動は、例えば図６に示すような移動機構を用いて行うことができる。すなわち、ドレス材２を固定するホルダー６と、このホルダー６を内周刃ブレード１に対して相対的に水平方向に移動させる手段７と、内周刃ブレード１をホルダー６に対し相対的に垂直方向に移動させる手段８を用い、これら水平方向への移動手段７と垂直方向への移動手段８を同時に制御しながら移動させる。ここで、移動精度は少なくとも０．０１ｍｍ以下で制御できることが好ましく、例えばボールネジ、リニアガイドとサーボモーター等から構成される機構を用いることができる。
【００２８】
次に、図３（Ｃ）に示すように、刃先３を相対的にドレス材２の深さ方向及び刃先３のドレッシングすると選択した側の方向に同時に送ることによって、該ドレッシングすると選択した側とは反対側の刃先３の部分をドレス材２と接触させずに、ドレス材２に切り込ませて、刃先３の選択した側の部分のみを局所的にドレッシングする（図１のＤ参照）。尚、図３（Ｃ）は、ドレッシングすると選択した側を右側とした場合の例を示す図である。ここで、刃先３、ドレス材２の送り速度は特に限定されず、内周刃ブレード１やドレス材２の材質や大きさ等に応じて適宜決定することができるが、例えば刃先３のドレッシングすると選択した側の方向への送り速度を１０〜３０ｍｍ／ｍｉｎ、ドレス材２の深さ方向への送り速度を３０〜５０ｍｍ／ｍｉｎとすることができる。また、刃先３、ドレス材２の送りは例えば図６に示すような移動機構を用いて行うことができる。
【００２９】
また、ドレッシングすると選択した側を左側とした場合には、基準溝５の開口部の角Ｌ１の位置と刃先３の最先端位置とが一致するようにして、刃先３を相対的にドレス材２の深さ方向及び刃先３の左側方向に同時に送るようにしてドレッシングを行えば良い。このように、本発明の内周刃ブレードのドレッシング方法では、刃先３のドレッシングする側を簡単に切り換えて実施することができる。
【００３０】
以上のようにしてドレッシングを行えば、従来の作業者によるハンドドレッシングでの作業を行う必要もなく、短時間で効果的に内周刃ブレード１の刃先３の切れ味の悪い側のみドレッシングを行うことができ、切断時における内周刃ブレード１の変位を効果的に抑制できる刃先３を有する内周刃ブレード１に修正できる。その結果、次のドレッシングまでに可能な切断回数が増え、ドレッシング回数の増加を抑制して内周刃ブレードのライフを向上することができる。
【００３１】
このとき、図３（Ｃ）に示すように、刃先３を相対的にドレス材２の深さ方向に送る際の送り量を刃先３の高さｈｂと同じかそれ以下にし、刃先３のドレッシングすると選択した側の方向に送る際の送り量を刃先３の幅Ｗｂの１／２と同じかそれ以下にすることが好ましい。
このようにすれば、ドレッシングすると選択した側とは反対側の刃先３の部分をドレス材２と確実に接触させずにドレッシングでき、すなわちドレッシングすると選択した側のみのドレッシングを十分に確実に行うことができる。
【００３２】
そして、上記ドレッシング工程後、さらに、内周刃ブレード１及びドレス材２を相対的に移動する工程（図１Ｃ）と、刃先３の選択した側の部分のみを局所的にドレッシングする工程（図１Ｄ）とを繰返し行うことができる（図１のＥ参照）。こうすることで、ドレッシングすると選択した側のみのドレッシングをさらに十分に行って、内周刃ブレード１の変位をより確実に修正できる。
ここで、繰り返し行う内周刃ブレード１及びドレス材２を相対的に移動する工程での基準位置を、図４に示すように、例えばドレッシングすると選択した側を右とした場合に前工程のドレッシングで切り込んだ部分の下方のドレス材２の基準溝５の開口部の角Ｒ２とすることができる。そして、その基準位置から上記のようにしてドレッシングを行う。さらにこれら工程を繰り返す場合には、図４に示すように、そのドレッシングによる切り込み後のドレス材２の基準溝５の開口部の角Ｒ３を基準位置とすることができる。
【００３３】
もちろん、前工程でのドレッシングによって切り込んだ部分の下方を繰り返しドレッシングするのではなく、ドレス材２の横方向にドレッシングの切り込みを繰り返し行うようにしても良い。
また、上記のようにしてドレッシングを繰り返し行っていくと基準溝５の幅が次第に大きくなり、同じドレス材２ではその長さによって使用の限界に達する。この場合にはドレス材２の交換が必要になり、交換後には予め基準溝５を形成しておく。
【実施例】
【００３４】
以下、本発明の実施例及び比較例を示して本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【００３５】
（実施例）
図１に示すような本発明の内周刃ブレードのドレッシング方法に従って、内周刃ブレードをドレッシングし、ドレッシング後の内周刃ブレードを用いてシリコン単結晶インゴットをウェーハに切断した。その切断の際の内周刃ブレードの変位量を変位センサーで測定し、その測定値が−３０〜１２０μｍの範囲を超えるまでの切断回数と、内周刃ブレードのライフを測定した。
【００３６】
まず、内周刃ブレードを具備した内周刃スライサーによりシリコン単結晶インゴットを切断し、内周刃ブレードの変位量が１２０μｍを超えたもの、すなわち図８（Ａ）に示すような＋方向（左方向）に変位するものを用い、図３（Ａ）―（Ｃ）に示すように刃先の右側をドレッシングするようにした。内周刃ブレードは、その刃先の幅が０．５ｍｍ、刃先の高さが０．５ｍｍのものを使用した。
【００３７】
また、ドレス材に設けた基準溝は、その幅を０．５ｍｍ、深さを３ｍｍとした。
そして、ドレス材の深さ方向への送りを、送り速度４０ｍｍ／ｍｉｎ、送り量を刃先の高さと同じである０．５ｍｍとし、刃先３のドレッシングすると選択した側の方向への送りを、送り速度を２０ｍｍ／ｍｉｎ、送り量を刃先の幅の１／２である０．２５ｍｍとしてドレッシングを行った。そして、図１に示す工程Ｃ、Ｄを１２回繰り返し行った。
以上を１００個の異なる内周刃ブレードに対して行った。
【００３８】
その結果を表１に示す。表１に示すように、１２回のドレッシングで内周刃ブレードの変位量を目標範囲である０〜９０μｍに修正することができた。また、ドレッシング完了後の平均切断回数は１１０回、ブレードライフは切断回数５０７８回といずれも後述の比較例１、比較例２に比べ向上していることが分かった。
【００３９】
このように、本発明の内周刃ブレードのドレッシング方法は、作業者によるハンドドレッシング作業を行うことなく、内周刃ブレードの変位を効果的に修正でき、また、内周刃ブレードのライフを向上することができることが確認できた。
【００４０】
（比較例１）
内周刃ブレードを基準溝の設けられていないドレス材の部分に切り込ませた後、ドレス材を内周刃ブレードに対して水平方向に移動させる従来の方法でドレッシングを行い、実施例と同様な評価を行った。ここで、ドレス材の深さ方向への送り及びドレス材の内周刃ブレードに対して水平方向への送りの速度及び量は実施例と同様とした。また、ドレッシングする内周刃ブレードは実施例と同様のものを用い、同様に１００個の異なる内周刃ブレードについて評価した。
その結果を表１に示す。表１に示すように、３０％の内周刃ブレードが１２回のドレッシングで内周刃ブレードの変位量を目標範囲である０〜９０μｍに修正することができず、作業者によるハンドドレッシングが必要であった。また、ドレッシング完了後の平均切断回数は６０回、ブレードライフは切断回３９６８回と実施例の結果と比べ悪化していることが分かった。
【００４１】
図５（Ｂ）に示すように、矢印Ｌ方向に変位していく場合を考えると、内周刃ブレードをドレス材に切り込ませる際に、曲線ａ−ａ’−ｃ−ｂ’−ｂ部分をドレッシングすることになるが、本来、ａ−ａ’−ｃ部分はドレッシングを行うべきではない。次にドレス材を内周刃ブレードに対して水平方向に移動させて曲線ｂ−ｂ’部分のみをドレッシングするが、この曲線ｂ−ｂ’部分は合計２回のドレッシングを行っている事になる。すなわち、曲線ｂ−ｂ’−ｃをドレッシングすべきが、ａ−ａ’−ｃの必要がない部分をドレッシングすること、ｂ−ｂ’を２回ドレッシングすることがドレッシングの効果が低く、更にはブレード変位の悪化やブレードライフを低減させた原因だと考えられる。
（比較例２）
内周刃ブレードを基準溝の設けられていないドレス材に切り込ませた後、ドレス材を内周刃ブレードに対して水平方向に移動させながら内周刃ブレードを引き抜く従来の方法でドレッシングを行い、実施例と同様な評価を行った。ここで、ドレス材の深さ方向への送り及びドレス材の内周刃ブレードに対して水平方向への送りの速度及び量は実施例と同様とした。また、ドレッシングする内周刃ブレードは実施例と同様のものを用い、同様に１００個の異なる内周刃ブレードについて評価した。
その結果を表１に示す。表１に示すように、２０％の内周刃ブレードが１２回のドレッシングで内周刃ブレードの変位量を目標範囲である０〜９０μｍに修正することができず、作業者によるハンドドレッシングが必要であった。また、ドレッシング完了後の平均切断回数は８０回、ブレードライフは切断回４２３２回と実施例の結果と比べ悪化していることが分かった。
【００４２】
図５（Ｂ）に示すように、矢印Ｌ方向に変位していく場合を考えると、内周刃ブレードをドレス材に切り込む際に、曲線ａ−ａ’−ｃ−ｂ’−ｂ部分をドレッシングすることになるが、本来、曲線ａ−ａ’−ｃ部分はドレッシングを行うべきではない。次にドレス材を内周刃ブレードに対して水平方向に移動させながら内周刃ブレードを引き抜き、曲線ｄ−ｂ−ｅ部分をドレッシングするが、曲線ｄ−ｂ部分は合計２回のドレッシングを行っている事になり、ｂ−ｅ部分は必要がないドレッシングを行っている。すなわち、曲線ｂ−ｂ’−ｃをドレッシングすべきが、必要のない曲線ａ−ａ’−ｃ部分をドレッシングすること、曲線ｄ−ｂ部分を２回ドレッシングすることがドレッシングの効果が低く、更にはブレード変位の悪化やブレードライフを低減させた原因だと考えられる。
【００４３】
【表１】
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【００４４】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【符号の説明】
【００４５】
１…内周刃ブレード、  ２…ドレス材、  ３…刃先、  ４…薄板、
５…基準溝、  ６…ホルダー、  ７…ホルダーの移動手段、
８…内周刃ブレードの移動手段。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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