(57)【要約】【課題】結像品質を改善する拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージ。【解決手段】基板１０、チップ２０、上蓋３０および封止樹脂体４０をから構成する。チップ２０は、基板１０に接合され、上蓋３０プラスチック薄板３１は、チップ２０上に接着される。透明蓋体３２は、プラスチック薄板３１に接合され、チップ２０の感光領域２２１の上方を被覆して気室３３を形成する。封止樹脂体４０は、基板１０上に配置され、チップ２０および上蓋３０の四周を被覆する。プラスチック薄板３１の厚さにより、透明蓋体３２とチップ２０との間の距離が増大することにより、チップ２０と透明蓋体３２との間の気室３３空間が拡大する。これにより、光線が多重屈折および反射することにより、ゴースト画像が発生するのを防止することができ、撮像効果を改善することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の第１の導電接点が形成される第１の表面と、第２の表面とを有する基板と、
前記第１の表面上に接合される第３の表面と、感光領域を形成した第４の表面と、前記感光領域の周囲に配置され、前記複数の第１の導電接点に電気的に接続される複数の第２の導電接点と、を有するチップと、
前記チップの感光領域を囲う第４の表面上に接着されるプラスチック薄板と、前記プラスチック薄板に接合され、前記感光領域上方を被覆することにより、気室を形成する透明蓋体と、を有する上蓋と、
前記基板上の前記チップおよび前記上蓋の四周を被覆する封止樹脂体と、から構成されることを特徴とする拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージ。
【請求項２】
前記基板は、回路基板であることを特徴とする請求項１記載の拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージ。
【請求項３】
前記チップは、ＣＭＯＳ撮像素子チップまたはＣＣＤであることを特徴とする請求項１記載の拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージ。
【請求項４】
前記第２の導電接点と前記第１の導電接点とは、ボンディングワイヤを介して電気的に接続されることを特徴とする請求項１記載の拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージ。
【請求項５】
前記感光領域は、複数の感光素子から構成されることを特徴とする請求項１記載の拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージ。
【請求項６】
前記プラスチック薄板の材料は、液晶ポリエステルまたは耐熱プラスチック材料であることを特徴とする請求項１記載の拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージ。
【請求項７】
前記プラスチック薄板は、筐体であり、第５の表面および第６の表面を有し、前記筐体には、開口が形成され、前記透明蓋体は、第７の表面および第８の表面を有し、前記第７の表面が前記第５の表面に接合されることにより、前記透明蓋体は、前記開口を被覆することを特徴とする請求項１記載の拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージ。
【請求項８】
前記封止樹脂体は、さらに、前記第８の表面の周縁を被覆することを特徴とする請求項７記載の拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージ。
【請求項９】
前記プラスチック薄板と前記透明蓋体とは、射出成形により、互いに接合されることを特徴とする請求項１記載の拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージ。
【請求項１０】
前記プラスチック薄板は、前記第４の表面に接着される第１の板体と、前記第１の板体の辺縁から垂直に延伸する第２の板体と、前記第２の板体の端部から水平に中央に延伸する第３の板体と、を有し、前記第１の板体、第２の板体および第３の板体により、凹溝が形成され、前記透明蓋体の周縁端部は、前記凹溝内に接合されることを特徴とする請求項１記載の拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージ。
【請求項１１】
前記透明蓋体は、第７の表面、第８の表面および側面を有し、前記凹溝は、前記側面、第７の表面の四周および前記第８の表面の四周を被覆することを特徴とする請求項１０記載の拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージ。
【請求項１２】
前記第３の板体の上面の辺縁に配置されるダムをさらに有することを特徴とする請求項１０記載の拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージ。
【請求項１３】
前記封止樹脂体は、前記チップ、前記上蓋および前記ダムの周囲に塗布または成形されることを特徴とする請求項１２記載の拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージ。
【請求項１４】
前記封止樹脂体は、前記チップ、前記プラスチック薄板および前記透明蓋体の周囲に塗布または成形されることを特徴とする請求項１記載の拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージ。
【請求項１５】
前記封止樹脂体は、液状化合物またはモールドコンパウンドであることを特徴とする請求項１記載の拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージ。
【請求項１６】
前記第２の表面に配置される複数の半田ボールまたは複数の半田パッドをさらに有し、前記半田ボールまたは前記半田パッドは、前記基板の回路構造を介して前記第１の導電接点に電気的に接続されることを特徴とする請求項１記載の拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージ。
【請求項１７】
前記半田パッドは、前記第２の表面の周縁に配置されるか、或いは、前記第２の表面にマトリクス状に配置されることを特徴とする請求項１６記載の拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮像素子パッケージに関し、特に、撮像効果を改善するために応用される拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージに関する。
【背景技術】
【０００２】
科学技術の進歩に伴い、各メーカーは、ユーザの要請に応じて映像マルチメディア製品の機能を向上することを努力目標としている。撮像素子は、これらの電子製品にとって、重要な素子である。撮像素子は、光信号を受信し、光信号を電気信号に変換する。その後、外部装置により、この電気信号が分析される。撮像素子は、電子製品の内部に配置され、撮影などの機能を提供する。
【０００３】
従来の撮像素子パッケージ（Ｉｍａｇｅ  ｓｅｎｓｏｒ  ｐａｃｋａｇｅ）は、主に、撮像素子チップ（Ｓｅｎｓｏｒ  ｃｈｉｐ）が基板上に配置され、ボンディングワイヤを介して撮像素子チップと基板とが電気的に接続される。その後、透明蓋体（例えば、ガラス）が撮像素子チップの上方に配置される。これにより、光線が透明蓋体を透過し、撮像素子チップにより、撮像が行われる。封止が完了した後の撮像素子は、システムメーカーに供給され、プリント基板などの外部装置に配置される。その後、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、監視装置、携帯電話、車用撮像素子モジュールなどの各種電子製品に応用される。
【０００４】
撮像素子は、大量生産が可能であるという特徴を有する必要がある以外に、撮像効果に優れることも非常に重要である。従来技術においては、撮像素子の大きさを縮小するために、透明蓋体が撮像素子チップ上に略直接貼合される。このため、透明蓋体と撮像素子チップとの間の距離は、非常に短い。従って、光線が透明蓋体から撮像素子チップ上の感光領域に入射したとき、容易に多重屈折および反射が発生し、結像品質が劣化し、ゴースト画像（ｇｈｏｓｔ  ｉｍａｇｅ）が発生する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２１８３３３号公報
【特許文献２】特開昭５８−３４６８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の第１の目的は、透明蓋体とチップとの間にプラスチック薄板が配置されることにより、透明蓋体とチップとの間の距離が増大され、これにより、撮像素子パッケージの結像品質を改善することができる拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージを提供することにある。
本発明の第２の目的は、射出成形により、透明蓋体とプラスチック薄板とが接合されるため、製造工程を簡単にすることができる拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージを提供することにある。
本発明の第３の目的は、透明蓋体の上表面の周縁が封止樹脂体により被覆されることにより、水分がチップに浸入する経路が延長されるため、水分により、撮像素子パッケージの撮像効果が影響を受けるのを防止することができる、拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述の課題を解決するために、本発明の拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージは、
複数の第１の導電接点が形成される第１の表面と、第２の表面と、を含む基板と、
第１の表面上に接合される第３の表面と、感光領域を含む第４の表面と、感光領域の周囲に配置され、複数の第１の導電接点に電気的に接続される複数の第２の導電接点と、を含むチップと、
第４の表面上に接着されるプラスチック薄板と、プラスチック薄板に接合され、感光領域を被覆することにより、気室を形成する透明蓋体と、を含む上蓋と、
基板上に配置され、チップおよび上蓋の四周を被覆する封止樹脂体と、を備える。
【発明の効果】
【０００８】
本発明を実施することにより、下記の効果が達成される。
１．気室空間が拡大される上、透明蓋体とチップとの間の距離も増大されることにより、撮像素子パッケージの結像品質を改善することができる。
２．射出成形により、透明蓋体とプラスチック薄板とが接合されるため、製造工程を簡単にすることができ、製造コストを低減することができる。
３．透明蓋体の上表面の周縁が封止樹脂体により被覆されることにより、水分がチップに浸入する経路が延長されるため、水分により、撮像素子パッケージの撮像効果が影響を受けるのを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の第１実施形態による拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージを示す断面図である。
【図２】本発明の第２実施形態による拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージを示す断面図である。
【図３】本発明の上蓋の第１実施形態を示す斜視図である。
【図４】図３の線Ａ−Ａに沿った断面図である。
【図５】本発明の第３実施形態による拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージを示す断面図である。
【図６】本発明の第４実施形態による拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージを示す断面図である。
【図７】図６の平面図である。
【図８】本発明の上蓋の第２実施形態を示す斜視図である。
【図９】図８の線Ｂ−Ｂに沿った断面図である。
【図１０】本発明の上蓋を示す分解断面図である。
【図１１】本発明の基板の第２の表面に配置される半田パッドの第１実施形態を示す底面図である。
【図１２】本発明の基板の第２の表面に配置される半田パッドの第２実施形態を示す底面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
当該技術に熟知する者が本発明の技術内容、目的および長所を簡単に理解できるように、本発明の実施方式を図面に沿って詳細に説明する。
【００１１】
図１は、本発明の第１実施形態による拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージを示す断面図である。図２は、本発明の第２実施形態による拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージを示す断面図である。図３は、本発明の上蓋３０の第１実施形態を示す斜視図である。図４は、図３の線Ａ−Ａに沿った断面図である。図５は、本発明の第３実施形態による拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージを示す断面図である。図６は、本発明の第４実施形態による拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージを示す断面図である。図７は、図６の上面図である。図８は、本発明の上蓋３０’の第２実施形態を示す斜視図である。図９は、図８の線Ｂ−Ｂに沿った断面図である。図１０は、本発明の上蓋３０’を示す分解断面図である。図１１は、本発明の基板１０の第２の表面１２に配置される半田パッド１２２の第１実施形態を示す底面図である。図１２は、本発明の基板１０の第２の表面１２に配置される半田パッド１２２の第２実施形態を示す底面図である。
【００１２】
（第１実施形態）
図１を参照する。図１に示すように、本発明の第１実施形態による拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージは、基板１０、チップ２０、上蓋３０および封止樹脂体４０を含む。
【００１３】
図１に示すように、基板１０は、一般の撮像素子パッケージに使用される基板１０であり、例えば、回路基板とすることができる。基板１０は、第１の表面１１および第２の表面１２を有する。第１の表面１１は、基板１０の上表面であり、第２の表面１２は、基板１０の下表面である。基板１０の第１の表面１１には、複数の第１の導電接点１１１が形成される。第２の表面１２には、複数の半田ボール１２１（ｓｏｌｄｅｒ  ｂａｌｌ）が配置される。基板１０には、回路構造が設けられて、その回路構造を介して第１の導電接点１１１と半田ボール１２１とは、電気的に接続される。また、撮像素子パッケージは、半田ボール１２１を介し、他の回路装置に電気的に接続される。
【００１４】
チップ２０は、ＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ  Ｍｅｔａｌ  Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）撮像チップまたはＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅｄ  Ｃｏｕｐｌｅ  Ｄｅｖｉｃｅ）であって、光線を検出する。チップ２０は、第３の表面２１および第４の表面２２を有する。第３の表面２１は、チップ２０の下表面であり、第４の表面２２は、チップ２０の上表面である。チップ２０の第３の表面２１は、基板１０の第１の表面１１に接合される。即ち、チップ２０は、基板１０の第１の表面１１上に配置される。また、チップ２０は、接着剤８０により、基板１０の第１の表面１１上に接着してもよい。
【００１５】
また、チップ２０の第４の表面２２は、感光領域２２１および複数の第２の導電接点２２２を有する。感光領域２２１は、複数の感光素子から構成される。第２の導電接点２２２は、感光領域２２１の周囲に配置され、感光素子に電気的に接続される。ボンディングワイヤ２３を介し、チップ２０上の第２の導電接点２２２と、基板１０上の第１の導電接点１１１と、が電気的に接続されることにより、感光素子は、半田ボール１２１に間接的に電気的に接続される。
【００１６】
図３および図４を参照する。図３および図４に示すように、上蓋３０は、プラスチック薄板３１および透明蓋体３２を備える。プラスチック薄板３１の材料は、液晶ポリエステル（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｐｏｌｙｅｓｔｅｒ：ＬＣＰ）または耐熱プラスチック材料であるため、操作および環境による高熱に対する耐熱性を有する。
【００１７】
図３に示すように、プラスチック薄板３１は、筐体とすることができる。また、プラスチック薄板３１の中央には、光線が通過するための開口３１１が設けられる。図４に示すように、プラスチック薄板３１は、第５の表面３１２および第６の表面３１３を有する。透明蓋体３２は、第７の表面３２１および第８の表面３２２を有する。第１の接着剤５０（例えば、エポキシ樹脂）により、プラスチップ薄板３１の第５の表面３１２が透明蓋体３２の第７の表面３２１に接着されることにより、透明蓋体３２は、プラスチック薄板３１の開口３１１を完全に被覆する。即ち、第１の接着剤５０を利用することにより、透明蓋体３２は、プラスチック薄板３１上に接着され、透明蓋体３２の周縁端部がプラスチック薄板３１の外部に突出する。また、プラスチック薄板３１は、射出成形（Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ  Ｍｏｌｄｉｎｇ）により、透明蓋体３２に接合してもよい。
【００１８】
図１を参照する。図１に示すように、第２の接着剤６０（例えば、エポキシ樹脂）を用いることにより、プラスチック薄板３１の第６の表面３１３をチップ２０の第４の表面２２上に接着する。また、第２の接着剤６０は、チップ２０の感光領域２２１と第２の導電接点２２２との間に配置する必要があるが、感光領域２２１を被覆してはならない。従って、光線は、透明蓋体３２を通過した後、プラスチック薄板３１の開口３１１を通過し、チップ２０の感光領域２２１に入射する。また、第２の接着剤６０は、感光領域２２１の周囲に塗布され、塗布される形状は、プラスチック薄板３１の形状に整合する。このため、プラスチック薄板３１は、チップ２０の第４の表面２２上に確実に接着され、透明蓋体３２とプラスチック薄板３１とチップ２０との間に気室３３（ａｉｒ  ｃａｖｉｔｙ）が形成される。
【００１９】
プラスチック薄板３１は、所定の厚さを有するため、プラスチック薄板３１の厚さを利用することにより、透明蓋体３２を持ち上げ、チップ２０と透明蓋体３２との間に持ち上げられたストッパ壁が形成される。また、透明蓋体３２とチップ２０の感光領域２２１との間にも所定の距離が形成されるため、気室３３空間が拡大される。気室３３空間が拡大され、透明蓋体３２とチップ２０との間の距離も増大されるため、撮像効果を改善することができ、従来の撮像素子パッケージのように、透明蓋体３２とチップ２０との間の距離が短すぎることにより、光線が多重屈折および反射し、ゴースト画像（Ｇｈｏｓｔ  Ｉｍａｇｅ）が発生することがない。
【００２０】
封止樹脂体４０は、基板１０上に塗布または成形され、チップ２０、プラスチック薄板３１および透明蓋体３２の周囲を被覆し、ボンディングワイヤ２３を内部に完全に封止する。これにより、撮像素子パッケージの封止が完了する。封止樹脂体４０は、ディスペンサによる塗布（ｄｉｓｐｅｎｓｉｎｇ）または金型成形により、基板１０上に配置されるが、これらの方法に限定されない。
【００２１】
（第２実施形態）
図２を参照する。図２は、本発明の第２実施形態による拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージを示す断面図である。図２に示すように、封止樹脂体４０は、透明蓋体３２の第８の表面３２２の周縁を被覆してもよい。透明蓋体３２の上表面の四周が封止樹脂体４０により被覆されることにより、水分がチップ２０に浸入する経路が延長されるため、水分が撮像素子パッケージの撮像効果に影響を与えるのを防止する。
【００２２】
また、封止樹脂体４０は、液状化合物（Ｌｉｑｕｉｄ  ｃｏｍｐｏｕｎｄ）またはモールドコンパウンド（Ｍｏｌｄ  Ｃｏｍｐｏｕｎｄ）とすることができる。
【００２３】
（第３実施形態）
図５を参照する。図５は、本発明の第３実施形態による拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージを示す断面図である。図５に示すように、撮像素子パッケージの上蓋３０’は、さらに他の実施形態により実施することができる。図８および図９を参照する。図８および図９に示すように、上蓋３０’は、第１実施形態および第２実施形態と同様に、透明蓋体３２を備える。また、予め、射出成形により、透明蓋体３２の外周をプラスチック薄板３１’により被覆してもよい。プラスチック薄板３１’の材料は、耐熱プラスチック材料または液晶ポリエステル（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｐｏｌｙｅｓｔｅｒ：ＬＣＰ）とする。
【００２４】
図９および図１０を参照する。図９および図１０に示すように、プラスチック薄板３１’は、第１の板体３１４、第２の板体３１５および第３の板体３１６からなる。第１の板体３１４および第３の板体３１６の中央には、第１実施形態および第２実施形態と同様に、開口３１１’が形成される。第２の板体３１５は、第１の板体３１４の四周の辺縁から垂直に延伸されたものであり、第２の板体３１５により、第１の板体３１４上に突出端部が形成される。第３の板体３１６は、第２の板体３１５の突出端部から水平方向に中央に延伸したものであり、第１の板体３１４と平行である。第１の板体３１４と第２の板体３１５と第３の板体３１６との間には、凹溝３１７が形成される。
【００２５】
図９および図１０に示すように、透明蓋体３２の周縁端部は、凹溝３１７内に接合される。透明蓋体３２の側面３２３、第７の表面３２１の四周周縁および第８の表面３２２の四周周縁は、全て、プラスチック薄板３１’により被覆される。透明蓋体３２の四周がプラスチック薄板３１’に被覆されるため、透明蓋体３２の第８の表面３２２に第３の板体３１６が増設された構造となる。これにより、水分がチップ２０に浸入する経路が延長され、水分が撮像素子パッケージの撮像効果に影響を与えるのを防止することができ、撮像素子パッケージの信頼性が向上する。
【００２６】
図５を参照する。図５に示すように、第１の板体３１４は、第３の接着剤７０により、チップ２０の第４の表面２２に接着される。第３の接着剤７０は、第１実施形態および第２実施形態と同様に、チップ２０の感光領域２２１と第２の導電接点２２２との間に配置され、感光領域２２１を被覆してはならず、感光領域２２１が遮蔽されて感光領域２２１が光線を検出する機能が影響を受けるのを防止する。また、第３の接着剤７０は、感光領域２２１の周囲に塗布され、塗布される形状は、第１の板体３１４の底面の形状に整合するため、プラスチック薄板３１’をチップ２０の第４の表面２２上に確実に接着することができ、感光領域２２１をプラスチック薄板３１’と透明蓋体３２とによって形成される気室３３の内部に密封することができる。
【００２７】
透明蓋体３２と第３の接着剤７０との間の第１の板体３１４は、所定の厚さを有するため、第１の板体３１４の厚さにより、透明蓋体３２を持ち上げ、チップ２０と透明蓋体３２との間に持ち上げられたストッパ壁が形成される。また、透明蓋体３２とチップ２０の感光領域２２１との間にも所定の距離が形成されるため、気室３３空間が拡大される。気室３３空間が拡大され、透明蓋体３２とチップ２０との間の距離も増大されるため、撮像効果を改善することができ、従来の撮像素子パッケージのように、透明蓋体３２とチップ２０との間の距離が短すぎることにより、光線が多重屈折および反射し、ゴースト画像が発生することがない。
【００２８】
（第４実施形態）
図６および図７を参照する。図６は、本発明の第４実施形態による拡大された気室空間を有する撮像素子パッケージを示す断面図である。図７は、図６の平面図である。図６および図７に示すように、プラスチック薄板３１’の第３の板体３１６の上面辺縁には、ダム９０（ｄａｍ）（図７を参照）が配置される。封止樹脂体４０を基板１０上に金型成形するとき、ダム９０が金型の内表面に当接されてストッパ壁（図示せず）が形成される。封止樹脂体４０を金型のキャビティ内に注入したとき、ダム９０により、封止樹脂体４０は、透明蓋体３２の外部に阻止されるため、透明蓋体３２の第８の表面３２２上の中央領域に流れ込まない。また、金型は、ダム９０上を直接押圧し、上蓋３０’の第３の板体３１６に接触しないため、上蓋３０’が破損するのを防止することができる。
【００２９】
また、金型成形により、撮像素子パッケージを封止するときに使用される封止樹脂体４０は、モールドコンパウンド（Ｍｏｌｄ  Ｃｏｍｐｏｕｎｄ）であるため、コストが液状化合物よりも低い。これにより、材料コストを大幅に低減することができる。また、トランスファー成形（Ｔｒａｎｓｆｅｒ  Ｍｏｌｄｉｎｇ）によって封止樹脂体４０を金型成形することができるため、製造工程のサイクルタイム（Ｃｙｃｌｅ  Ｔｉｍｅ）を大幅に短縮し、単位時間当たりの生産数（ｔｈｒｏｕｇｈｐｕｔ）を増加させることができ、間接的にコストを低減することができる。
【００３０】
図１１および図１２を参照する。図１１および図１２に示すように、基板１０の第２の表面１２には、半田ボール１２１を配置することができる以外に、半田パッド１２２を配置してもよい。半田パッド１２２は、基板１０の内部の回路構造に電気的に接続されることにより、第１の表面１１上の第１の導電接点１１１に電気的に接続される。半田パッド１２２を利用することにより、撮像素子パッケージを他の回路装置に電気的に接続することができる。半田パッド１２２は、第２の表面１２の周縁に配置する（図１１を参照）か、或いは、第２の表面１２にマトリクス状（図１２を参照）に配列することができる。
【００３１】
上述の各実施形態は、本発明の特徴を示すものであり、その目的は、当該技術に熟知するものが本発明の内容を理解し、実施することであり、本発明の範囲を限定することではない。従って、本発明の主旨を逸脱しない範囲における修飾または変更は、全て本発明の特許請求の範囲に含まれる。
【符号の説明】
【００３２】
１０  基板
１１  第１の表面
１１１  第１の導電接点
１２  第２の表面
１２１  半田ボール
１２２  半田パッド
２０  チップ
２１  第３の表面
２２  第４の表面
２２１  感光領域
２２２  第２の導電接点
２３  ボンディングワイヤ
３０  上蓋
３０’  上蓋
３１  プラスチック薄板
３１’  プラスチック薄板
３１１  開口
３１１’  開口
３１２  第５の表面
３１３  第６の表面
３１４  第１の板体
３１５  第２の板体
３１６  第３の板体
３１７  凹溝
３２  透明蓋体
３２１  第７の表面
３２２  第８の表面
３２３  側面
３３  気室
４０  封止樹脂体
５０  第１の接着剤
６０  第２の接着剤
７０  第３の接着剤
８０  接着剤
９０  ダム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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