(57)【要約】【課題】高熱衝撃、高熱振動の環境下で使用された場合でも、導電線と電極線との接合部分に剥離が生じにくい温度センサを提供すること。【解決手段】シース芯線３、４と電極線２５〜３１との接合部分においては、第１のサーミスタ素子５４の電極線２５と第２のサーミスタ素子５６の電極線２９は、一方のシース芯線３の軸線方向に沿って配置されるとともに、シース芯線３を挟むようにシース芯線３の径方向の両側に対向して配置されている。また、同様に、第１のサーミスタ素子５４の電極線２７と第２のサーミスタ素子５６の電極線３１は、他方のシース芯線４の軸線方向に沿って配置されるとともに、シース芯線４を挟むようにシース芯線４の径方向の両側に対向して配置されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
温度によって電気的特性が変化する感温体に一対の電極線を設けた２個の感温素子と、前記感温素子の信号を取り出す一対の導電線と、を備えた温度センサにおいて、
前記両感温素子を電気的に並列に接続するように、前記一対の導電線と前記各感温素子の各一対の電極線とをそれぞれ接合した構成を有するとともに、
前記各導電線と前記各電極線との接合部分においては、前記両感温素子の各電極線を前記各導電線の軸線方向に沿って配置し、且つ、前記各導電線を挟むように前記両感温素子の各電極線を前記各導電線の径方向の両側に配置したことを特徴とする温度センサ。
【請求項２】
前記両感温素子の温度に対する電気的特性が異なることを特徴とする請求項１に記載の温度センサ。
【請求項３】
前記感温体が絶縁層を介して一体に積層されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の温度センサ。
【請求項４】
前記感温体が別体に設けられ、該感温体の表面が絶縁層でコーティングされていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の温度センサ。
【請求項５】
前記感温体が、負の温度係数を有するＮＴＣサーミスタであることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の温度センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、自動車用の排気系、吸気系などに好適に使用できる温度センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば自動車の排気ガスの浄化を効果的に行うために、排気ガスの温度を測定する温度センサが使用されている。
この温度センサとしては、厳しくなる環境規制に対応するために、より広範囲にわたって高精度な温度測定が可能なセンサが求められている。また、温度センサが置かれる環境に関しても、より高熱衝撃（即ち高い温度でのヒートショック）、高熱振動（即ち高い温度での振動）のある環境下で使用される状況となっている。
【０００３】
ここで、広い温度領域に亘って使用できる温度センサとしては、その感温体として、サーミスタや白金抵抗体を用いた温度センサが知られている。
このうち、サーミスタは、温度によって抵抗値が変化する特性（例えば温度が上昇すると抵抗値が低下する特性）を有しており、通常は、サーミスタ焼結体に一対の電極線を接続したサーミスタ素子として使用されている。
【０００４】
このサーミスタ素子を用いた温度センサとしては、図７に示す様に、センサ先端のチューブ（Ｐ１）内にサーミスタ素子（Ｐ２）を配置するとともに、サーミスタ焼結体（Ｐ３）から伸びる一対の電極線（Ｐ４）を、サーミスタ素子（Ｐ２）から信号を取り出すための導電線である一対のシース芯線（Ｐ５）にそれぞれ接合し、周囲をセメント（Ｐ６）等で固定したものが知られている（特許文献１、２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−２６６６０９号公報
【特許文献２】特開２００４−２８６４９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述した温度センサを、高熱衝撃、高熱振動の環境下に置いた場合には、サーミスタ素子の電極線とシース芯線との接続部分に最も負荷がかかるので、従来より、電極線とシース芯線とを抵抗溶接やレーザ溶接により接合しているが、それでも十分ではなく、溶接部分が剥離するという問題があった。
【０００７】
つまり、１本のシース芯線と１本の電極線を溶接する場合には、シース芯線の径方向の一方の側（図７では上方）に電極線を溶接することになるので、例えば温度が上昇してシース芯線及び電極線の両方が伸びると、シース芯線の片側（即ち溶接部分）のみに大きな力が加わって、溶接部分に剥離が生じやすいという問題があった。
【０００８】
本発明は、このような問題に鑑みなされたものであり、高熱衝撃、高熱振動の環境下で使用された場合でも、感温素子の電極線と導電線との接合部分に剥離が生じにくい温度センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（１）かかる目的を達成するために成された本発明は、温度によって電気的特性が変化する感温体に一対の電極線を設けた２個の感温素子と、前記感温素子の信号を取り出す一対の導電線と、を備えた温度センサにおいて、前記両感温素子を電気的に並列に接続するように、前記一対の導電線と前記各感温素子の各一対の電極線とをそれぞれ接合した構成を有するとともに、前記各導電線と前記各電極線との接合部分においては、前記両感温素子の各電極線を前記各導電線の軸線方向に沿って配置し、且つ、前記各導電線を挟むように前記両感温素子の各電極線を前記各導電線の径方向の両側に配置したことを特徴とする。
【００１０】
本発明では、一方の導電線に対して両感温素子の一方の電極線（従って合計２本の電極線）が接合されるとともに、他方の導電線に対して両感温素子の他方の電極（従って別の合計２本の電極線）が接合されることにより、両感温素子が電気的に並列に接続されており、特に、電極線と導電線との接合部分においては、両感温素子の電極線は導電線の軸線方向に沿って配置されるとともに、導電線を挟むように両感温素子の電極線が導電線の径方向の両側に対向して配置されている。
【００１１】
つまり、本発明では、電極線は導電線を中心としてほぼ対称となるように向かい合わせに配置されている。よって、温度変化によって、電極線と導電線とが伸縮した場合でも、導電線に対して（一対の電極線が接合された）両側からほぼ均等に応力が加わることになるので、従来の様に、導電線の片側のみに電極線が接合された（片持ちの接合構造の）場合に比べて、接合部分における剥離が生じ難い。
【００１２】
従って、本発明では、温度センサが、温度変化が激しい（特に温度変化の幅が大きな）環境下や、車両の搭載時のように振動が激しい環境下に置かれた場合でも、電極線と導電線の接合部分に剥離が生じにくく、耐久性が高いという効果がある。
【００１３】
（２）上述した温度センサにおいては、請求項２の発明のように、両感温素子として、温度に対する電気的特性が異なる感温素子を用いてもよい。
例えば両感温素子としてサーミスタ素子を用いた場合には、異なるＢ定数のサーミスタ素子を用い、それらを並列に接続してもよい。
【００１４】
（３）上述した温度センサにおいては、請求項３の発明のように、感温体を絶縁層を介して一体に積層してもよい。
例えば両感温素子としてサーミスタ素子を用いた場合には、一対のサーミスタ素子の各サーミスタ焼結体を、電気的に絶縁された状態で一体化してもよい。
【００１５】
つまり、複数のサーミスタ焼結体を、絶縁層を介して一体化することにより、温度センサの製造時などにおいて、サーミスタ素子等の扱いが容易で破損し難いという利点がある。
【００１６】
なお、各サーミスタ焼結体を絶縁する方法としては、例えばサーミスタ焼結体間に、サーミスタ焼結体と反応（界面反応を含む）を起こさず、且つ、絶縁性の高い材料（例えばＡｌ2Ｏ3、ムライト、ＳｒＡｌ2Ｏ4など）からなる絶縁層を挟む方法が挙げられる。
【００１７】
（４）上述した温度センサにおいては、請求項４の発明のように、感温体を別体に設け、各感温体の表面を絶縁層でコーティングしてもよい。
例えば両感温素子としてサーミスタ素子を用いた場合には、一対のサーミスタ素子の各サーミスタ焼結体の表面を、電気的な絶縁層によってコーティングしてもよい。
【００１８】
これにより、サーミスタ素子を容易に製造することができる。
なお、各サーミスタ焼結体を絶縁する方法としては、サーミスタ焼結体と反応（界面反応を含む）を起こさず、且つ、絶縁性の高い、例えばセラミック製セメント、ガラス等の無機絶縁物で、サーミスタ焼結体の表面をコートする方法などを採用できる。
【００１９】
（５）上述した温度センサにおいては、請求項５の発明のように、感温体として、負の温度係数を有するＮＴＣ（Negative Temperature Coefficient）サーミスタを用いてもよい。
【００２０】
本発明は、感温体を例示したものである。ここで、負の温度係数を有するＮＴＣサーミスタとは、負の抵抗温度特性（温度が上昇すると抵抗値が低下する特性）を有するサーミスタのことである。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】第１実施形態の温度センサの構造を正面より示す部分破断断面図である。
【図２】サーミスタ素子の接続部分近傍を拡大して示す斜視図である。
【図３】第１実施形態の温度センサの先端側を軸線方向に沿って破断した状態を正面より示す説明図である。
【図４】第１実施形態の温度センサの先端側を軸線方向に沿って破断した状態を示す（図３のＡ方向から見た）説明図である。
【図５】第２実施形態の温度センサのサーミスタ素子を示す説明図である。
【図６】第３実施形態の温度センサのサーミスタ素子の接続部分近傍を拡大して示す斜視図である。
【図７】従来技術の温度センサを示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
次に、本発明を実施するための好適な形態について説明する。
［第１実施形態］
ａ）まず、本実施形態の温度センサの概要について説明する。
【００２３】
図１に示す様に、温度センサ１は、一対の導電線（シース芯線）３、４を筒状部材５の内側にて絶縁保持したシース部材７と、先端側が閉塞した軸線方向に延びる筒状の金属チューブ９と、金属チューブ９を支持する取付部材１１と、六角ナット部１３及びネジ部１５を有するナット部材１７と、取付部材１１の後端側に接合される外筒１９とを備えている。
【００２４】
なお、軸線方向とは、温度センサ１の長手方向であり、図１においては上下方向に相当する。また、温度センサ１における先端側は図における下側であり、温度センサ１における後端側は図における上側である。
【００２５】
この温度センサ１は、金属チューブ９の先端側の内部に、感温素子としてサーミスタ素子２１を収納したセンサであり、例えば内燃機関の排気管などの流通管に装着され、温度センサ１の先端側が、被測定ガス（排気ガス）が流れる流通管内に配置されることにより、被測定ガスの温度を検出する。
【００２６】
以下、各構成について説明する。
前記サーミスタ素子２１は、後に詳述する様に、その先端側のサーミスタ本体部２３と、サーミスタ本体部２３から伸びる例えばＰｔ／Ｒｈ合金からなる４本の電極線２５、２７、２９、３１（図２参照）とを備えている。
【００２７】
前記シース部材７は、例えばＳＵＳ３１０Ｓからなる筒状部材５と、例えばＳＵＳ３１０Ｓからなるシース芯線３、４と、筒状部材５と２本のシース芯線３、４との間を電気的に絶縁してシース芯線３、４を保持するシリカ等の絶縁粉末３２（図３参照）とから構成される。
【００２８】
前記シース芯線３、４は、後端部が加締め端子３３、３５と接続されている。これにより、シース芯線３、４は、外部回路（例えば、車両の電子制御装置（ＥＣＵ）等）接続用のリード線３７、３９と接続されている。なお、一対のシース芯線３、４及び一対の加締め端子３３、３５は、絶縁チューブ４１により互いに絶縁され、リード線３７、３９は、耐熱ゴム製の補助リング４３の内部を貫通する状態で配置される。
【００２９】
前記取付部材１１は、径方向外側に突出する突出部４７と、突出部４７の後端側に位置すると共に軸線方向に延びる後端側鞘部４９とを有している。この取付部材１１は、金属チューブ９の後端側の外周面を取り囲んで金属チューブ９を支持する。
【００３０】
前記金属チューブ９は、例えばＳＵＳ３１０Ｓからなり、チューブ先端側が閉塞した軸線方向に延びる筒状をなし、筒状のチューブ後端側が開放した形態で構成されている。
この金属チューブ９の内部に、サーミスタ素子２１およびセメント５１が収納されており、セメント５１は、サーミスタ素子２１の周囲に充填されることで、サーミスタ素子２１の揺動を防止している。なお、セメント５１は、非晶質のシリカにアルミナ骨材を含有した絶縁材よりなる。
【００３１】
ｂ）次に、本実施形態の要部であるサーミスタ素子２１とシース芯線３、４との接合部分について説明する。
図２〜図４に示す様に、サーミスタ素子２１は、上述したサーミスタ本体部２３と電極線２５〜３１を備えている。
【００３２】
前記サーミスタ本体部２３は、負の抵抗温度特性を有する第１のサーミスタ焼結体５３と第２のサーミスタ焼結体５５とが、絶縁層５７を介して一体に焼成された焼結体である。つまり、第１のサーミスタ焼結体５３と第２のサーミスタ焼結体５５とは、例えばＳｒＡｌ2Ｏ4からなる絶縁層５７により電気的に絶縁されている。
【００３３】
また、第１のサーミスタ焼結体５３には、一対の電極線２５、２７が接続され、第２のサーミスタ焼結体５５には、一対の電極線２９、３１が接続されている。なお、第１のサーミスタ焼結体５３とその電極線２５、２７によって、第１のサーミスタ素子５４が構成され、第２のサーミスタ焼結体５５とその電極線２９、３１によって、第２のサーミスタ素子５６が構成されている。
【００３４】
このサーミスタ素子２１においては、第１のサーミスタ素子５４は、−４０〜９００℃の温度範囲のＢ定数が１０００〜２０００Ｋの範囲に設定され、第２のサーミスタ素子５６は、−４０〜９００℃の温度範囲のＢ定数が４０００〜８０００Ｋの範囲に設定され、且つ、第１のサーミスタ素子５４のＢ定数と第２のサーミスタ素子５６のＢ定数とは３．０倍以上異なっている。
【００３５】
また、このサーミスタ素子２１は、所定温度（例えば本実施形態では５００℃）より低温側にて、第１のサーミスタ素子５４の抵抗値が第２のサーミスタ素子５６の抵抗値より低く、且つ、所定温度より高温側にて、第１のサーミスタ素子５４の抵抗値が第２のサーミスタ素子５６の抵抗値より高い特性を有する。
【００３６】
特に、本実施形態においては、一方のシース芯線３は、先端部が第１のサーミスタ焼結体５３の電極線２５と接続されるとともに、第２のサーミスタ焼結体５５の電極線２９と接続されている。同様に、他方のシース芯線４は、第１のサーミスタ焼結体５３の電極線２７と接続されるとともに、第２のサーミスタ焼結体５５の電極線３１と接続されている。
【００３７】
ここで、電極線２５〜３１とシース芯線３、４との接合部分について、更に詳しく説明する。
図４に示す様に、第１のサーミスタ焼結体５３の電極線２７は、他方のシース芯線４側（図４の下方）に曲げられ、その先端は他方のシース芯線４の軸線方向に沿って伸びて、他方のシース芯線４の径方向（軸線方向と垂直の方向）における一方の側（図４の上方）に接触するように配置されている。そして、この電極線２７とシース芯線４とは、レーザ溶接によって、それぞれ２箇所（メッシュ部分５９）にて溶接されて一体に接合されている。
【００３８】
同様に、第２のサーミスタ焼結体５５の電極線３１は、他方のシース芯線４側（図４の上方）に曲げられ、その先端は他方のシース芯線４の軸線方向に沿って伸びて、他方のシース芯線４の径方向における他方の側（図４の下方）に接触するように配置されている。そして、この電極線３１とシース芯線４とは、レーザ溶接によって、それぞれ２箇所（メッシュ部分６１）にて溶接されて一体に接合されている。
【００３９】
これによって、他方のシース芯線４は、その１８０度対向する両側（図４の上下方向）にて、電極線２７、３１が接合されていることになる。つまり、電極線２７、３１は、他方のシース芯線４を挟むように配置されて接合されている。なお、上記以外のシース芯線３と電極線２５、２９との接合部分も同様であるので、その説明は省略する。
【００４０】
これにより、第１のサーミスタ焼結体５３の一対の電極線２５、２７は、一対のシース芯線３、４にそれぞれ接続されるとともに、第２のサーミスタ焼結体５５の一対の電極線２９、３１も、同じ一対のシース芯線３、４にそれぞれ接続され、第１のサーミスタ素子５４と第２のサーミスタ素子５６とが電気的に並列に接続されていることになる。
【００４１】
ｃ）次に、本実施形態の温度センサ１の製造方法について説明する。
ここでは、−４０〜９００℃におけるＢ定数が１１６０Ｋの第１のサーミスタ素子と−４０〜９００℃におけるＢ定数が４６６８Ｋの第２のサーミスタ素子とを並列に接続したサーミスタ素子を用いた例について述べる。
【００４２】
(1)まず、金属チューブ９、シース部材７、取付部材１１などの部品を、公知の手法により準備した。
(2)また、第１のサーミスタ（Ｂ定数＝１１６０Ｋ）用の粉末と、絶縁層用のＳｒＡｌ2Ｏ4を主成分とする粉末と、第２のサーミスタ（Ｂ定数＝４６６８Ｋ）用の粉末とを、公知の方法により準備した。
【００４３】
詳しくは、第１サーミスタ用粉末は、特開平９−２０８３１０号公報の段落番号［００４３］に記載の方法（表２の試料番号１の作製方法）で作製した。具体的には、コバルトに対するランタンの比率が０．９５になるように、Ｌａ2Ｏ3、Ｌａ（ＯＨ）3等のランタンを含む化合物と、ＣｏＣＯ3、Ｃｏ3Ｏ4、ＣｏＯ等のコバルトを含む化合物との粉末を秤量し、Ｃｒ2Ｏ3又はＣｒＯ3等のクロムを含む化合物を０．０１ｍｏｌ％添加した。次に、この材料を、１６時間湿式混合し、乾燥後、９００〜１２００℃で２時間仮焼成し、この仮焼成粉を粉砕して、第１のサーミスタ用粉末を得た。
【００４４】
また、第２のサーミスタ用粉末は、例えば特許３９７０８５１号公報の段落番号［００２１］に記載の方法（表２及び表４の実施例１７の作製方法）で作製した。具体的には、Ｙ2Ｏ3粉末（純度９９．９％以上）、ＳｒＣＯ3（純度９９．０％以上）、Ｆｅ2Ｏ3粉末（純度９９．２％以上）、ＭｎＯ3（純度９９．０％以上）、Ａｌ2Ｏ3（純度９９．５％以上）を用いた。そして、Ｓｒのモル数をｘ、Ｙのモル数を１−ｘ、Ｍｎのモル数をｙ、Ａｌのモル数をｚ、Ｆｅのモル数を１−ｙ−ｚとした場合に、表２の実施例１７のモル比（ｘ：ｙ：ｚ：１−ｙ−ｚ＝０．１４８：０．１４８：０．６７２：０．１８０）となるように秤量し、湿式混合した。その後、乾燥して粉末状とし、大気中で１４００℃で２時間仮焼した。次いで、この仮焼粉末１００質量％に対して、１質量％の焼結助剤としてのＳｉＯ2粉末を更に添加して、湿式粉砕、乾燥し、第２のサーミスタ用粉末を得た。
【００４５】
更に、絶縁層用の粉末は、例えば特開２００７−２４６３８１号公報の段落番号［００４６］に記載の様に、ＳｒＡｌ2Ｏ4となるように、ＳｒＣＯ3、Ａｌ2Ｏ3（全て純度９９％以上）の粉末をそれぞれ秤量し、この原料粉末を湿式混合して乾燥し、この混合物を大気雰囲気下で１２００℃で２時間仮焼成し、（ＳｒＡｌ2Ｏ4からなる）絶縁層用の粉末を得た。
【００４６】
(3)そして、前記の様に準備した各粉末を、サーミスタ本体部２３の形状に対応した金型に順次投入（例えば第１のサーミスタ用粉末、絶縁層用粉末、第２のサーミスタ用粉末の順番で投入）するとともに、電極線２５〜３１として、０．３ｍｍφのＰＲ線（８７質量％Ｐｔ−１３質量％Ｒｈ線）各２本を、それぞれ第１のサーミスタ用粉末の充填部分と第２のサーミスタ用粉末の充填部分に挿入した。
【００４７】
(4)次に、金型内に充填した粉末に対して、４５００ｋｇ／ｃｍ3の圧力でプレスし、１５５０℃の温度にて焼成して、サーミスタ素子２１を得た。
(5)このサーミスタ素子２１の４本の電極線２５〜３１を、前記図２に示した様に、シース部材７の各シース芯線３、４に対して、第１、第２のサーミスタ素子５４、５６が並列接続となるように、レーザ溶接により接合した。
【００４８】
(6)次に、前記図１に示す様に、取付部材１１の内部に金属チューブ９を挿通し、加締め及び溶接により、金属チューブ９と取付部材１１とを一体化した。
(7)次に、前記図３及び図４に示す様に、サーミスタ素子２１が溶接されたシース部材７を金属チューブ９内に入れて固定した先端部材６５を作製した。
【００４９】
具体的には、まず、サーミスタ素子２１が挿入されていない状態における、金属チューブ９の先端部分の中にノズル（図示せず）を挿入し、ペースト状、即ち未硬化状態のセメント５１を注入した。
【００５０】
そして、サーミスタ素子２１が溶接されたシース部材７を、セメント５１が注入された金属チューブ９の内部に挿入した。
そして、シース部材７を金属チューブ９の内部に挿入した状態で、金属チューブ９に径方向外側から長孔加締を行った。
【００５１】
(8)その後、先端部材６５に対して、周知の遠心脱泡処理を実施した。そして、この遠心脱泡処理が終了すると、この先端部品６５を８００℃で熱処理し、セメント５１を乾燥（硬化）させた。このようにして、熱処理後の先端部品６５を得た。
【００５２】
(9)その後、従来と同様に、先端部品６５とその他の部品との組み付けを行って温度センサ１を完成した。
ｄ）次に、本実施形態の効果について説明する。
【００５３】
本実施形態では、前記図２に示す様に、シース芯線３、４と電極線２５〜３１との接合部分においては、第１のサーミスタ素子５４の電極線２５と第２のサーミスタ素子５６の電極線２９は、一方のシース芯線３の軸線方向に沿って配置されるとともに、シース芯線３を挟むようにシース芯線３の径方向の両側に対向して配置されている。また、同様に、第１のサーミスタ素子５４の電極線２７と第２のサーミスタ素子５６の電極線３１は、他方のシース芯線４の軸線方向に沿って配置されるとともに、シース芯線４を挟むようにシース芯線４の径方向の両側に対向して配置されている。
【００５４】
つまり、電極線２５、２９は、一方のシース芯線３を中心としてほぼ線対称となるように向かい合わせに配置されているとともに、電極線２７、３１は他方のシース芯線４を中心としてほぼ線対称となるように向かい合わせに配置されている。
【００５５】
よって、温度変化によって、電極線２５〜３１とシース芯線３、４とが伸縮した場合でも、シース芯線３、４に対して（一対の電極線２５〜３１が接合された）両側からほぼ均等に応力が加わることになるので、従来の様に、シース芯線の片側のみに電極線が接合された（片持ちの接合構造の）場合に比べて、接合部分における剥離が生じ難い。
【００５６】
従って、本実施形態では、温度センサ１が、温度変化が激しい（特に温度変化の幅が大きな）環境下や、車両の搭載時のように振動が激しい環境下に置かれた場合でも、電極線２５〜３１とシース芯線３、４の接合部分に剥離が生じにくく、耐久性が高いという効果がある。
［第２実施形態］
次に、第２実施形態の温度センサについて説明するが、前記第１実施形態と同様な内容の説明は省略する。
【００５７】
本実施形態では、前記第１実施形態とは、サーミスタ素子の製造方法が異なるので、主として異なる箇所を説明する。
図５に示す様に、本実施形態の温度センサで用いられるサーミスタ素子７１は、前記第１実施形態と同様に、Ｂ定数が１１６０Ｋの第１のサーミスタ素子７３と、Ｂ定数が４６６８Ｋの第２のサーミスタ素子７５とを並列に接続したものである。
【００５８】
以下では、本実施形態におけるサーミスタ素子７１の製造方法について説明する。
前記図５に示す様に、予め公知の方法で、厚さ０．５ｍｍの２枚の第１のサーミスタ用シート７７、７９と、厚さ０．３ｍｍのＳｒＡｌ2Ｏ4を主成分とする１枚の絶縁層用シート８１と、厚さ０．５ｍｍの２枚の第２のサーミスタ用シート８３、８５とを準備した。
【００５９】
具体的には、第１実施形態と同様な第１のサーミスタ焼結体８７の組成の材料に、ＤＢＰを加え、ＰＶＤバインダで混練し、ドクターブレード法で、一対の第１のサーミスタ用シート７７、７９を作製した。
【００６０】
また、第１実施形態と同様な第２のサーミスタ焼結体８９の組成の材料に、ＤＢＰを加え、ＰＶＤバインダで混練し、ドクターブレード法で、一対の第２のサーミスタ用シート８３、８５を作製した。
【００６１】
なお、同様なドクターブレード法によって、絶縁層用シート８１を作製した。
次に、１対の第１のサーミスタ用シート７７、７９の間に、電極線９１、９３として、０．２５ｍｍφのＰＲ線（８７質量％Ｐｔ−１３質量％Ｒｈ線）を２本挟むとともに、１対の第２のサーミスタ用シート８３、８５の間に、電極線９５、９７として、同様な０．２５ｍｍφのＰＲ線を挟んだ。
【００６２】
そして、一方の第２のサーミスタ用シート８５、他方の第２のサーミスタ用シート８３、絶縁層用シート８１、一方の第１のサーミスタ用シート７９、他方の第１のサーミスタ用シート７７となるように順次積層し、圧着した。
【００６３】
次に、この圧着体を１５５０℃で焼成することにより、第１のサーミスタ焼結体８７と絶縁層１０１と第２のサーミスタ焼結体８９とが一体となったサーミスタ本体部１０３を備えたサーミスタ素子７１を得た。
【００６４】
そして、このサーミスタ素子７１の電極線９１〜９７についても、前記第１実施形態と同様に、各シース芯線（図示せず）に対してその径方向の両側から挟むように配置して、同様にレーザ溶接した。
【００６５】
本実施形態の温度センサにおいても、前記第１実施形態と同様な効果を奏する。
［第３実施形態］
次に、第３実施形態の温度センサについて説明するが、前記第１実施形態と同様な内容の説明は省略する。
【００６６】
図６に示す様に、本実施形態の温度センサに用いられるサーミスタ素子１１１は、第１のサーミスタ素子１１３のサーミスタ焼結体１１５が、ガラス等の絶縁層１１７で覆われるとともに、第２のサーミスタ素子１１９のサーミスタ焼結体１２１も、ガラス等の絶縁層１２３で覆われたものであり、両サーミスタ焼結体１１５、１２１は電気的に絶縁されている。
【００６７】
また、第１のサーミスタ焼結体１１５から伸びる一対の電極線１２５、１２７と第２のサーミスタ焼結体１２１から伸びる一対の電極線１２９、１３１とは、前記第１実施形態と同様に、一対のシース芯線１３３、１３５に対してそれぞれ挟むように配置されてレーザ溶接されている。
【００６８】
なお、各サーミスタ素子１１３、１１９は、例えばガラス材料からなるディップ材料に（各電極線１２５〜１３１を備えた）各サーミスタ焼結体１１５、１２１を漬け、その後に焼成することにより製造することができる。
【００６９】
また、第１、第２のサーミスタ素子１１３、１１９の材料としては、前記第１実施形態と同様な特性（Ｂ定数、抵抗値）を有する材料を採用できる。
本実施形態においても、前記第１実施形態と同様な効果を奏する。
【００７０】
なお、本発明は、以下の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の形態を採り得ることはいうまでもない。
例えば、導電線としては、ステンレス又はインコネルからなる線材が挙げられる。更に、導電線として、筒状部材に貫挿されたシース芯線を用いることができ、筒状部材は、導電線に相当するシース芯線の先端が筒状部材より突出した状態で絶縁保持することができる。また、電極線としては、Ｐｔ、ＰＲ（Ｐｔ／Ｒｈ合金）、又は、Ｐｔ／Ｉｒ合金からなる線材が挙げられる。
【符号の説明】
【００７１】
１…温度センサ
３、４、１３３、１３５…導電線（シース芯線）
７…シース部材
９…金属チューブ
２１、７１、１１１…サーミスタ素子
２３、１０３…サーミスタ本体部
２５、２７、２９、３１、９１、９３、９５、９７、１２５、１２７、１２９、１３１…電極線
５３、８７、１１５…第１のサーミスタ焼結体
５５、８９、１２１…第２のサーミスタ焼結体
５４、７３、１１３…第１のサーミスタ素子
５６、７５、１１９…第２のサーミスタ素子
５７、１０１、１１７、１２３…絶縁層
【図１】
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【図２】
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【図６】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図７】
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