(57)【要約】【課題】薄く、幅の狭いウエブでも、バタつきや蛇行の発生を抑制する。【解決手段】下ノズル３のスリット１５設置面から直交するように、略台形状の仕切り板１７の複数を平行に取付ける。孔やスリットのない閉塞した仕切り板１７の後端部は、下ノズル３の上面より高く隙間１８を有し、仕切り板１７の上底は搬送時のウエブ２の略正弦波形状である。下マニホールド５から熱風は、下ノズル３の下部空間１２、孔１４、上部空間１３、案内壁１６に沿って、スリット１５から上方に吹き出される。熱風はウエブ２の下面に当たり、下ノズル３の上面との間の圧力が高まり、離れるように浮上する。浮上状態のウエブ２をニップローラの回転により走行させる。ウエブ２の下面の熱風は仕切り板１７により横方向の流れが抑制され、ウエブ２の端面から流出の熱風によるカールを抑制でき、隙間１８によりウエブ２下面の圧力を逃し、ウエブ２の吹き上がりやバタつきを防止する。【選択図】図２
2011256030.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルから噴出した気体でウエブを浮上させた状態で搬送する搬送装置において、
前記ノズルの気体噴出面に、前記ウエブの搬送方向と平行で、かつ上底が正弦波形状である略台形状の仕切り板が、複数設けられたこと
を特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記複数の仕切り板の上底を掛け渡す棒またはひも状の部品が設けられたこと
を特徴とする請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
前記棒またはひも状の部品の外周円筒面が、前記仕切り板の上底より飛び出していること
を特徴とする請求項２記載の搬送装置。
【請求項４】
一つのノズルにおいて最も外側に位置する両端の前記仕切り板に、前記ウエブ下面と前記ノズル表面との隙間の内外を連通する複数の孔またはスリットが設けられたこと
を特徴とする請求項１または２記載の搬送装置。
【請求項５】
一つのノズルにおいて最も外側に位置する両端の前記仕切り板の内側に、前記ウエブの搬送方向に沿って配置された複数の孔またはスリットを備え、前記複数の孔またはスリットは前記ウエブの端面付近に向けて気体を噴射する機能を有すること
を特徴とする請求項１または２記載の搬送装置。
【請求項６】
一つのノズルにおいて最も外側に位置する片端の仕切り板の内側に、前記ウエブの搬送方向に沿って配置された複数の孔またはスリットを備え、前記複数の孔またはスリットは前記ウエブの幅方向に交互に千鳥配置され、前記ウエブの端面付近に向けて気体を噴射する機能を有すること
を特徴とする請求項１または２記載の搬送装置。
【請求項７】
下面に配置されたノズルからウエブに向けて気体を噴射することで前記ウエブを浮上させて搬送する搬送方法であって、
上底が正弦波形状である略台形状の仕切り板を、前記ノズルの気体噴出面に、前記ウエブの搬送方向と平行に複数配置し、前記仕切り板の間を介して前記ノズル表面から気体を噴射することで前記ウエブを浮上させて搬送すること
を特徴とする搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、紙，フィルム，金属箔などからなるウエブ（帯状物）の上に形成された塗膜を、気体により乾燥もしくは熱処理するために用いる搬送装置および搬送方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ウエブを搬送する場合には、ウエブの進行方向にウエブの両面を挟むように気体噴射ノズルを配置し、その気体噴射ノズルからウエブに向かって噴射する気体によって、ウエブを搬送方向に連続して浮上させて搬送する無接触（浮上）搬送装置を用いた乾燥方法がよく用いられていた。例えば、ウエブに気体噴射するノズルを上下交互の千鳥状に、かつ装置本体の全長にわたって列設し、カール（幅方向の曲がり）を防止するために、ウエブ幅方向から見てウエブを略正弦波形状に変形させて搬送するものである。
【０００３】
ただし、前述の方法では気体を噴射するスリットを搬送方向に対して直角に配置する必要があるため、浮上したウエブの両端面にできる山型の空間に噴射ガスが回りこむ。そのためチャンバーに気体が逃げる時、ウエブの両端を曲げてカールが起きやすい。カールは、バタつきによりウエブを近傍の部品とこすれさせることによって傷をつけるだけでなく、左右ウエブ端面のカールの度合いやスリットの幅方向における気体噴射の強さのバランスによっては蛇行の原因にもなる。これらは薄く、幅の狭いウエブに対して、より顕著に起こる。
【０００４】
そこで従来から、カールやバタつき、蛇行防止の方法が様々に採られてきた。
【０００５】
ウエブの端面からの気体漏れを低減するため、ウエブを浮上させるための気体の噴射方向をウエブの搬送方向に合わせたり（例えば、特許文献１参照）、噴射した気体の位置と対向する位置に排気口を設けたり（例えば、特許文献２参照）したものがある。また、浮上したウエブの両端近傍にスリット端部の覆いになるようなフロー制御板を配置して、ウエブ端面に噴射された気体を当てないように構成したものや（例えば、特許文献３参照）、ウエブを浮上させる気体噴射とは別に、ウエブのカールを矯正する気体噴射ノズルを備えたもの（例えば、特許文献４参照）もある。さらにノズルの表面を凸円弧状にしてウエブを浮上させることにより、略正弦波形状の変形を大きくして逆にカールに対する剛性を上げるというもの（例えば、特許文献５参照）もある。
【０００６】
特許文献５に記載の従来の搬送装置について、図１２を用いて説明する。
【０００７】
図１２では、搬送装置の処理ボックス３１の内部において、ウエブ３２の搬送経路の上側、および下側に千鳥状に中空のウエブガイド３３を配置している。ウエブガイド３３の搬送経路側の非接触ガイド面３４は、凸円弧状に形成されている。非接触ガイド面３４と対向したウエブ３２は、円弧状に積極的に曲げられるため、従来のように直線状に搬送される場合に比較してばたつくことがなく、非接触ガイド面３４との間隙（浮上量）が変化せずに安定してウエブ３２が搬送される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平９−４０２４２号公報
【特許文献２】特開２００８−７０１１４号公報
【特許文献３】特開２０００−２４５７４号公報
【特許文献４】特開平３−１２３６６２号公報
【特許文献５】特開２００６−２６４９７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、従来例の搬送装置においては、バタつきや蛇行の発生が十分に、簡単かつ低コストに抑制できないという問題点があった。
【００１０】
特許文献１の方法では、ウエブの端面まで気体の噴射する速度や量を均等にしたとしても、ウエブの略正弦波形状の変形によってウエブ端面に噴射ガスの逃げる空間があるため、ウエブ幅方向からの気体の逃げが避けられず、カールが発生する可能性が大きい。
【００１１】
特許文献２の方法では、排気口で吸い込むことによって気体に流れの方向をつけて、ウエブ幅方向からの気体の逃げを低減することを意図したものと考えられるが、気体噴射ノズルから排気口が遠いこととウエブ幅方向に仕切りがないことなどから、排気によって噴射した気体の方向をウエブ搬送方向に指向させるのは困難と推測される。
【００１２】
特許文献３の方法では、ウエブ端面に噴射された気体を直接ウエブに当てないようにすることはできるが、ウエブとフロー制御板の間に隙間があるので噴射した気体がここから漏れる。また、ノズル表面からウエブ幅方向へと逃げ出した一部の気体はフロー制御板で行き止まり、ウエブの端面の上へ折り返されることによって結局フロー制御板の隙間から再度逃げていくことになるので、バタつきを抑制できない可能性がある。
【００１３】
特許文献４の方法では、個別に気体噴射ノズルの設置が必要であるため、装置が複雑になったり設備コストが大きくなったりすることが考えられる。また、バタつきや蛇行などによって搬送時にカールの状態が常時変化するため、気体噴射によってカールを矯正することは非常に困難である。また、センサなどを設置してフィードバックするとしても機構が大変複雑になり現実的でない。
【００１４】
特許文献５の方法では、ノズル自体に蛇行補正の機能がないためノズルの取付けやスリットからの気体噴射のバランスが崩れた場合に自己補正できず、最悪の場合近傍の部品と干渉して傷をつけたりノズルから外れて搬送が不可能になったりする可能性がある。
【００１５】
本発明は、前記従来技術の問題点に鑑みてなされたもので、薄く、幅の狭いウエブにおいても、バタつきや蛇行の発生が抑制できる搬送装置および搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
前記の目的を達成するために、本発明に係る搬送装置は、ノズルから噴出した気体でウエブを浮上させた状態で搬送する搬送装置において、前記ノズルの気体噴出面に、前記ウエブの搬送方向と平行で、かつ上底が正弦波形状である略台形状の仕切り板が、複数設けられたことを特徴とする。
【００１７】
また、前記の目的を達成するために、本発明に係る搬送方法は、下面に配置されたノズルからウエブに向けて気体を噴射することで前記ウエブを浮上させて搬送する搬送方法であって、その上底が正弦波形状の略台形状の仕切り板を、前記ノズルの気体噴出面に、前記ウエブの搬送方向と平行に複数配置し、前記仕切り板の間を介して前記ノズル表面から気体を噴射することにで前記ウエブを浮上させて搬送することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、厚みの薄い、また幅の狭いウエブにおいても、低テンション時にバタつきや蛇行の発生を抑制し安定した走行性を得ることができ、簡単かつ低コストなウエブの乾燥均一性に優れた乾燥を実現できる搬送装置および搬送方法を提供できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態１における熱処理装置（搬送装置）を示す断面図
【図２】本実施形態１における下ノズルの断面図であって、（ａ）ウエブ搬送方向の縦断面図、（ｂ）ウエブ幅方向の横断面図
【図３】本実施形態１における下ノズルを示す斜視図
【図４】本発明の実施形態２における下ノズルを示す斜視図
【図５】本発明の実施形態３における下ノズルの断面図であって、（ａ）ウエブ搬送方向の縦断面図、（ｂ）ウエブ幅方向の横断面図
【図６】本実施形態３における下ノズルを示す斜視図
【図７】本発明の実施形態４における下ノズルの断面図であって、（ａ）ウエブ搬送方向の縦断面図、（ｂ）ウエブ幅方向の横断面図
【図８】本実施形態４における下ノズルを示す斜視図
【図９】本発明の実施形態５における下ノズルの断面図であって、（ａ）ウエブ搬送方向の縦断面図、（ｂ）ウエブ幅方向の横断面図
【図１０】本実施形態５における下ノズルを示す斜視図
【図１１】本実施形態５における下ノズルを示す図であって（ａ）配置を示す図、（ｂ）別の配置を示す図
【図１２】従来の搬送装置を示す図
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照して本発明における実施形態を詳細に説明する。なお、以下で参照する図には、ＸＹＺ軸を記し、その対応関係を明確にしている。
【００２１】
（実施形態１）
図１は本発明の実施形態１における熱処理装置（搬送装置）３０を示す断面概略図である。図１に示す熱処理装置３０においては、紙，フィルム，金属箔（アルミニウム，銅）などのウエブ２を、例えば、風速５ｍ／秒から３０ｍ／秒の熱風で加熱させるものである。
【００２２】
熱処理装置３０は、断熱構造のチャンバー（筐体）１を有し、チャンバー１の前部１ａから後部１ｂへウエブ２を前後方向に走行させるものである。なお、チャンバー１は、水平方向に設置するだけでなく、傾斜させて、後部１ｂを前部１ａより高い位置に設けた状態であってもよい。チャンバー１の内部には、ウエブ２の走行路の下面に沿って複数の下ノズル３が配列されている。また、ウエブ２の走行路の上面には上ノズル４が配列されている。そして、上ノズル４と下ノズル３とは千鳥状に配置されている。
【００２３】
下ノズル３に熱風を送るために下ノズル３の下部には下マニホールド５が設けられ、この下マニホールド５には循環ファン６とヒータ７を介して熱風が送られる。また、上ノズル４にも同様に上マニホールド８が設けられ、循環ファン６とヒータ７を介して熱風が送られる。
【００２４】
ここで、熱処理装置３０における熱風の流れを説明すると、循環ファン６によって循環した熱風とフィルタ９を経て外部から吸気された空気が、ヒータ７によって加熱されて熱風となり、フィルタ１０を経て下マニホールド５、上マニホールド８に送られる。下ノズル３、上ノズル４からウエブ２に吹き付けられた熱風は、ウエブ２と各ノズル３、４の上面との間の空間に、周囲より若干高い圧力領域を作る。この圧力領域により、ウエブ２は、各ノズル３、４から浮上した状態（フローティング状態）となり、同時に熱風によりウエブ２の両面が加熱される。こうしてウエブ２の浮上と乾燥が終了しチャンバー１へ流れ出た熱風は、再び循環ファン６に排気されて循環する。また、不要な熱風は、排気ファン１１によって排気される。
【００２５】
熱処理装置３０の下ノズル３と上ノズル４は同等であるので、以降の説明においては、下ノズル３のみを例として、その詳細な構造について図２（ａ），（ｂ）を参照しながら説明する。
【００２６】
図２（ａ）は下ノズル３のウエブ搬送方向の縦断面図であり、図２（ｂ）は下ノズル３のウエブ幅方向の横断面図を示している。下ノズル３は、下部空間１２と上部空間１３とに区画され、下部空間１２に下マニホールド５から熱風が吹き込むようになっている。ウエブ２の幅方向に吹き込む風量や風速を一定にするため、下部空間１２から上部空間１３には複数の孔１４を介して熱風が送られる。上部空間１３内部には、熱風をスリット１５に案内するために案内壁１６が設けられている。
【００２７】
また、この案内壁１６と相対向する下ノズル３の前面壁の上端部は傾斜してスリット１５の方向に向かうようになっている。下ノズル３，上ノズル４のスリット１５の設置面（ノズルの気体噴出面）に、スリット１５に直交するような略台形状の複数の仕切り板１７が、それぞれが平行になるように取付けられている。この仕切り板１７には、孔やスリットなどの開口部は全く設けられておらず閉塞した板であり、仕切り板１７の後端部は下ノズル３の上面より若干高く、隙間１８をあけるようになっている。
【００２８】
また、この略台形状の仕切り板１７の上底に当たる辺は、おおむね搬送時のウエブ２の略正弦波形に類似した形状をしている。この仕切り板１７は薄い板状のため、スリット１５と直交するように上方に取付けられても、気体（熱風）の噴射には影響がない。下ノズル３には、前述のような複数枚の仕切り板１７が所定間隔毎に図２（ａ）における前後方向に配されている。また、図１に示すように、上ノズル４は、下ノズル３の取付けピッチ中央部に向かって下方に熱風を吹き付ける構造となっている。
【００２９】
次に、下ノズル３からの熱風の流れについて説明する。図２（ａ），（ｂ）に示すように、下マニホールド５から吹き付けられた熱風は、下ノズル３の下部空間１２によって、いったんウエブ２の幅方向に広がり、孔１４を通って上部空間１３に流れる。上部空間１３に流れた熱風は案内壁１６に沿って流れ、スリット１５から斜め上方（上後方）に吹き付けられる。この吹き付けられた熱風は、ウエブ２の下面に当たり、このウエブ２の下面と下ノズル３の上面との間の圧力が高まり、下ノズル３の上面から離れるようにウエブ２が浮上する。
【００３０】
このようにウエブ２が浮上した状態で、例えばニップローラ等（図示せず）によりウエブ２を挟み込み、ニップローラを回転させることによってウエブ２を走行（搬送）させることができる。ウエブ２を浮上させた後、ウエブ２の下面に流れている熱風は仕切り板１７に沿って搬送方向の前後に分かれて流れていき、隙間１８からチャンバー１の内部へと流れ出る（図１参照）。
【００３１】
仕切り板１７は孔やスリットなどの開口部は全く設けられていない閉塞した板であるので、仕切り板１７とウエブ２の下面との間に若干の隙間はあるが、大部分の熱風はこの仕切り板１７によって横方向（ウエブ幅方向）の流れが抑制される。この作用によって、ウエブ２の端面から流出していた熱風が起こしたカール（ウエブ幅方向の曲がり）を抑制することができると共に、隙間１８によって高まりすぎたウエブ２の下面の圧力を逃すことができ、ウエブ２の過度な吹き上がりやバタつきを防止することができる。
【００３２】
以上により、仕切り板１７によってウエブ２を浮上、乾燥させた後の噴射気体をウエブ２の搬送方向へ案内しウエブ２の振動を防止するので、ウエブ２の走行安定性（搬送安定性）を確保することができる。なお、本実施形態１では上ノズル４を設けているが、上ノズル４は必ずしも設ける必要がなく、例えば、発泡、面荒れを防止するために上面加熱が不要でウエブ２の下面だけ加熱させる場合には、下ノズル３だけでもよい。
【００３３】
また、上ノズル４を設ける場合も、その種類は本実施形態１の上ノズル４に限定されない。例えば、チャンバー１の後部１ｂから前部１ａに向かって、ウエブ２の上面に沿って熱風を流すノズルであってもよい。
【００３４】
なお、図３は本実施形態１における下ノズル３であるフローティングノズルを示す斜視図である。また、好適には、仕切り板１７として、良好な断熱材を選択することによって、仕切り板１７からの熱伝達による局所的な乾燥ムラが発生しても抑えることができる。
【００３５】
（実施形態２）
本発明の実施形態２について、同じく下ノズルのみを例として、その詳細な構造について図４を参照しながら説明する。
【００３６】
図４は、本実施形態２における下ノズル３であるフローティングノズルを示す斜視図である。また図４において、下ノズル３，下部空間１２，上部空間１３，下マニホールド５，ウエブ２，複数の孔１４，スリット１５，案内壁１６，仕切り板１７，隙間１８等の構成は、図２（ａ），（ｂ）と同様であるため、その構造の図示と説明は省略している。また、下ノズル３，上ノズル４は、図３のように、略台形状の複数の仕切り板１７が、スリット１５の設置面からスリット１５に直交すると共に、それぞれが平行になるように取付けられている。
【００３７】
そして、隣接する仕切り板１７との間に棒またはひも状の部品１９を掛け渡し、図４に示す仕切り板１７の略台形状の上底に当たる辺を固定している。また、棒またはひも状の部品１９はスリット１５と平行に渡されている。部品１９の形状がひも状の場合は、例えば各仕切り板１７の上底に相当する辺に切り欠きを入れて、あたかも琴の弦に対する支持部品（衝立）のように取付ける。理由は後述するが、部品１９の外周円筒面は、仕切り板１７の上底より若干ウエブ２側に飛び出していることが望ましい。また、棒またはひも状の部品１９はできるだけ径が細く、すべりのよい良質な断熱材が望ましい。
【００３８】
ここで、部品１９の外周円筒面は、仕切り板１７の上底より若干ウエブ２側に飛び出していることが望ましい理由について説明する。
【００３９】
前述したように、仕切り板１７によって横方向の流れが抑制され、ウエブ２の過度な吹き上がりやバタつきを防止しているが、ウエブ２と仕切り板１７の間に若干の隙間があるため、完全に横方向の流れが防止できているわけではない。横方向の流れは、ウエブ２と仕切り板１７の間の距離が小さいほど抑制できるが、搬送時にもしバタつきが生じたとすれば、ウエブ２と仕切り板１７の間の距離が小さいと、ウエブ２が仕切り板１７に接触しやすくなる。また、仕切り板１７がウエブ２の搬送方向に平行に取付けられているため、仕切り板１７でウエブ２の下面を引っかいて傷をつける可能性がある。
【００４０】
本実施形態２では、仕切り板１７の略台形状の上底に当たる辺に、隣接する仕切り板１７との間に棒またはひも状の部品１９を渡していることにより、ウエブ２が仕切り板１７に接触する前に、棒またはひも状の部品１９に接触するようにしている。そのため、もしウエブ２が棒またはひも状の部品１９と接触しても、致命的な引っかき傷とはならない。さらに、棒またはひも状の部品１９はその径が細いため、熱風によるウエブ２の浮上を阻害しない。なお、図４においては、棒またはひも状の部品１９を取付けるために、図３に比べ仕切り板１７が２枚多い図になっている。
【００４１】
本実施形態２は、以上により、本実施形態２では、棒またはひも状の部品１９を使うことによって、ウエブ２にバタつきがあった場合にも仕切り板１７がウエブ２と干渉して傷つくことを防止でき、ウエブ２と仕切り板１７を近づけて搬送することができるので、さらにウエブ２の走行安定性を確保することができる。
【００４２】
（実施形態３）
図５（ａ），（ｂ）は、本発明の実施形態３における下ノズル３であるフローティングノズルの詳細な構造を示す図である。図５（ａ）は下ノズル３のウエブ搬送方向の縦断面図であり、図５（ｂ）は下ノズル３のウエブ幅方向の横断面図を示している。
【００４３】
図５（ａ），（ｂ）における下ノズル３、下部空間１２、上部空間１３、下マニホールド５、ウエブ２、複数の孔１４、スリット１５、案内壁１６、仕切り板１７、隙間１８等の構成は、図２（ａ），（ｂ）と同様であるため、その構造の図示と説明は省略している。
【００４４】
本実施形態３と前述の実施形態１との違いは、最外縁部にある仕切り板２０の存在である。図５（ｂ）に示すウエブ２の両端面近傍で最外縁部にある仕切り板２０には、複数の孔またはスリットとしてスリットＡ２１が設けられており、仕切り板１７を挟んでウエブ２の内側領域２２と外側領域２３を連通している。また、図６の下ノズル３であるフローティングノズルの斜視図に示すように、仕切り板２０をウエブ２の両端面近傍に取付けられているために、前述の図３に比べて、仕切り板１７に新たに加えた仕切り板２０が２枚多い図になっている。
【００４５】
ここで、仕切り板２０を設けた理由について説明する。
【００４６】
ウエブ２を浮上させた後、ウエブ２の下面に流れている熱風は仕切り板１７に沿って搬送方向の前後に分かれて流れていき、隙間１８からチャンバー１の内部へと流れ出る。前述したように、仕切り板１７は孔やスリットなどの開口部が全く設けられていない閉塞した板であるので、仕切り板１７とウエブ２の下面との間に若干の隙間はあるが、大部分の熱風はこの仕切り板１７によって横方向の流れが抑制される。それに加え、ウエブ幅方向の端面付近では、ウエブ２を端面まで十分に浮上させるために気体（熱風）をしっかり噴射させたい一方で、ウエブ端面にカールを起こさせない配慮が必要となる。
【００４７】
そこで、本実施形態３では、ウエブ２の端面近傍に複数の孔またはスリットとしてスリットＡ２１を設けた仕切り板２０を取付け、しっかり浮上するための圧力が溜まる空間を作ると共に、搬送方向へ噴射した気体を仕切り板２０からも逃がすようにして、ウエブ２の端面からの気体の噴き上がりを極力抑えている。
【００４８】
本実施形態３は、以上により、ウエブ２の端面から流出していた熱風が起こしたカール（ウエブ幅方向の曲がり）をさらに抑制することができるので、ウエブ２の過度な吹き上がりやバタつきを防止し、さらに安定した搬送ができる。
【００４９】
（実施形態４）
図７（ａ），（ｂ）は、本発明の実施形態４における下ノズル３であるフローティングノズルの詳細な構造を示す図である。図７（ａ）は下ノズル３のウエブ搬送方向の縦断面図であり、図７（ｂ）は下ノズル３のウエブ幅方向の横断面図を示している。
【００５０】
図７（ａ），（ｂ）における下ノズル３、下部空間１２、上部空間１３、下マニホールド５、ウエブ２、複数の孔１４、スリット１５、案内壁１６、仕切り板１７、隙間１８等の構成は、図２（ａ），（ｂ）と同様であるため、その図示と説明を省略している。
【００５１】
本実施形態４は、図７（ｂ）に示すように、ウエブ２の両端面近傍で最外縁部にある仕切り板１７に平行に沿うように、複数の孔またはスリットとしてスリットＢ２４が設けられている。ウエブ２を浮上させるスリット１５と同様に、スリットＢ２４からもウエブ２を浮上させる方向に気体を噴射する。また、図８の下ノズル３であるフローティングノズルの斜視図に示すように、仕切り板１７をウエブ２の両端面近傍に取付けているために、前述の図３に比べ仕切り板１７が２枚多い図になっている。
【００５２】
ここで、スリットＢ２４を設けた理由について説明する。
【００５３】
ウエブ２を浮上させた後、ウエブ２の下面に流れている熱風は仕切り板１７に沿って搬送方向の前後に分かれて流れていき、隙間１８からチャンバー１の内部へと流れ出る。前述したように、仕切り板１７は孔やスリットなどの開口部が全く設けられていない閉塞した板であるので、仕切り板１７とウエブ２の下面との間に若干の隙間はあるが、大部分の熱風はこの仕切り板１７によって横方向の流れが抑制される。ウエブ幅方向の端面付近では、ウエブ２を端面まで十分に浮上させるために気体をしっかり噴射させたい一方で、ウエブ端面にカールを起こさせない配慮が必要となる。このため、例えば下ノズル３のノズル上面を円筒状にして半径を大きくし、ウエブ２の略正弦波形状の変形を増大させて断面二次モーメントを大きくすることで、逆にカールを起こしにくいように剛性を上げてしまう方法が知られている。
【００５４】
ここで、ウエブ２の略正弦波形状を適当に選択することにより、ウエブ２の端面近傍に気体を噴射することが可能になる。つまりウエブ２の両端面近傍に仕切り板１７を取付けて、しっかり浮上するための圧力が溜まる空間を作ると共に、スリットＢ２４からウエブ２の端面へ積極的に気体を噴射する。これによって、噴射した気体がエアカーテンとなって、ウエブ２の位置を強制的に中央に向けて動かすことができ、各ノズルによるウエブ２の蛇行を補正できる。
【００５５】
本実施形態４は、以上により、各ノズルにウエブ２の蛇行補正機能が備わるため、全体としてさらに安定して搬送できる。
【００５６】
（実施形態５）
図９（ａ），（ｂ）は、本発明の実施形態５における下ノズル３であるフローティングノズルの詳細な構造を示す図である。図９（ａ）は下ノズル３のウエブ搬送方向の縦断面図であり、図９（ｂ）は下ノズル３のウエブ幅方向の横断面図を示している。
【００５７】
図９（ａ），（ｂ）における下ノズル３、下部空間１２、上部空間１３、下マニホールド５、ウエブ２、複数の孔１４、スリット１５、案内壁１６、仕切り板１７、隙間１８等の構成は、図２（ａ），（ｂ）と同様であるため、その図示と説明を省略している。
【００５８】
図９（ｂ）に示すウエブ２の両端面近傍で最外縁部にある仕切り板１７に平行に沿うように複数の孔またはスリット状のスリットＢ２４が設けられており、ウエブ２を浮上させるスリット１５と同様に、スリットＢ２４からもウエブ２を浮上させる方向に気体を噴射する。また、図１０のフローティングノズルの斜視図に示すように、仕切り板１７をウエブ２の両端面近傍に取付けているために、前述の図３に比べ仕切り板１７が２枚多い図になっている。なお、下ノズル３において、ウエブ２の片側の端面には蛇行補正用のスリットＢ２４が設けられていないスリットＢのない部分２５がある。
【００５９】
また、図１１（ａ），（ｂ）は、本発明の実施形態５における下ノズル３であるフローティングノズルの配置を示す図である。図１１（ａ）は、本実施形態５の図９（ｂ）に示す下ノズル３の横断面図のようにスリットＢ２４がウエブ２の片側端面にあり、隣り合う下ノズル３と上ノズル４によりウエブ２の蛇行を相殺するように構成したものである。
【００６０】
図１１（ｂ）は、下ノズル３であるフローティングノズルの別の配置を示し、隣り合う下ノズル３と上ノズル４の一組を１セットにし、下ノズル３と上ノズル４の二つのスリットＢ２４を同じ片側端面に設けて、次の一組の１セットにより蛇行を相殺するように構成したものである。
【００６１】
前述した実施形態１〜４において説明したように、カールが発生してウエブ２に対する左右の浮上バランスが崩れてしまうと、蛇行が発生する。発生した蛇行は左右バランスをさらに悪化させるので、いったん蛇行が始まるとウエブ２を走行させるニップローラ（図示せず）を傾ける等を行うメカ的な蛇行補正機構に頼らざるを得ない。そこで、本実施形態５のように各ノズルに積極的にカールや蛇行の方向を決めて発生させ、それを交互に相殺するようにノズルを配置する。
【００６２】
本実施形態５は、以上により、各ノズルで発生する蛇行が一方向のみに蓄積しないため、全体としてさらに安定して搬送できる。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明に係る搬送装置および搬送方法は、厚みの薄い、また幅の狭いウエブにおいても、低テンション時にバタつきや蛇行の発生を抑制し安定した走行性ができるため、紙，フィルム，金属箔などのウエブ（帯状物）に形成された塗膜の乾燥もしくは熱処理等として有用である。
【符号の説明】
【００６４】
１  チャンバー
１ａ  前部
１ｂ  後部
２  ウエブ
３  下ノズル
４  上ノズル
５  下マニホールド
６  循環ファン
７  ヒータ
８  上マニホールド
９，１０  フィルタ
１１  排気ファン
１２  下部空間
１３  上部空間
１４  孔
１５  スリット
１６  案内壁
１７，２０  仕切り板
１８  隙間
１９  部品
２１  スリットＡ
２２  内側領域
２３  外側領域
２４  スリットＢ
２５  スリットＢのない部分
３０  熱処理装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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