(57)【要約】【課題】フィルムの表面に付着した数μｍという非常に微細な埃、フィルム片、汚れまでも連続的に除去することができ、フィルムの洗浄ノズル装置からフィルムが通り抜けた際に洗浄水がフィルムに付着している量を減少させることができるフィルムの洗浄ノズル装置を提供する。【解決手段】フィルム１２の表裏面の一方の面に洗浄液を吹き付ける洗浄液吐出口５２と、洗浄液吐出口５２の上流側及び下流側において、洗浄液がフィルムの一方の面上を流れるようにフィルムに対して平行に形成された、上流側平面部５３Ａと下流側平面部５３Ｂと、からなるフィルムの洗浄ノズル装置５１に対して、上流側平面部５３Ａと下流側平面部５３Ｂは、フィルム１２表面と等距離となるように配置し、下流側平面部５３Ｂは上流側平面部５３Ａよりも長く形成する。【選択図】  図２
2011000571.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行するフィルムの表裏面の少なくとも一方の面を洗浄する洗浄ノズル装置であって、
前記フィルムの表裏面の一方の面に洗浄液を吹き付ける洗浄液吐出口と、
前記洗浄液吐出口の上流側及び下流側において、前記洗浄液が前記フィルムの一方の面上を流れるように前記フィルムに対して平行に形成された、上流側平面部と下流側平面部と、からなり、
前記上流側平面部と前記下流側平面部は、前記フィルム表面と等距離となるように配置され、
前記下流側平面部は、前記上流側平面部よりも前記フィルムの走行方向距離が長いように形成されていることを特徴とするフィルムの洗浄ノズル装置。
【請求項２】
走行するフィルムの表裏面の少なくとも一方の面を洗浄する洗浄ノズル装置であって、
前記フィルムの表裏面の一方の面に洗浄液を吹き付ける洗浄液吐出口と、
前記洗浄液吐出口の上流側及び下流側において、前記洗浄液が前記フィルムの一方の面上を流れるように前記フィルムに対して平行に形成された、上流側平面部と下流側平面部と、からなり、
前記上流側平面部と前記下流側平面部は、前記フィルムの走行方向距離が同じ長さとなるように形成され、
前記下流側平面部は、前記上流側平面部よりも前記フィルム表面までの距離が近いように配置されていることを特徴とするフィルムの洗浄ノズル装置。
【請求項３】
走行するフィルムの表裏面の少なくとも一方の面を洗浄する洗浄ノズル装置であって、
前記フィルムの表裏面の一方の面に洗浄液を吹き付ける洗浄液吐出口と、
前記洗浄液吐出口の上流側及び下流側において、前記洗浄液が前記フィルムの一方の面上を流れるように前記フィルムに対して平行に形成された、上流側平面部と下流側平面部と、からなり、
前記下流側平面部は、前記上流側平面部よりも前記フィルム表面までの距離が近いように形成され、
前記下流側平面部は、前記上流側平面部よりも前記フィルムの走行方向距離が長いように配置されていることを特徴とするフィルムの洗浄ノズル装置。
【請求項４】
前記上流側平面部と前記フィルムとの距離は、０．２５ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１〜３の何れか１に記載のフィルムの洗浄ノズル装置。
【請求項５】
前記フィルムの洗浄ノズル装置の前記洗浄液吐出口に、洗浄液をフィルムに吹き付ける圧力を減圧する減圧機構が設けられていることを特徴とする請求項１〜４の何れか１に記載のフィルムの洗浄ノズル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラスチックフィルムの表面に付着した、埃、フィルム片、汚れを連続的に洗浄するフィルムの洗浄システムに関するものであり、特に、クリーンなものが求められるＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）分野、エレクトロニクス分野、光学用分野のフィルムの洗浄ノズル装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラスチックフィルムは、ＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）分野、エレクトロニクス分野、光学用分野等、様々な分野で使用されている。ＦＰＤ分野、エレクトロニクス分野に使用されるプラスチックフィルムは、製膜、塗工、貼合などの工程を経て部材、プロセス材として使用される。その製造工程は、終始クリーン環境下での取り扱いが必須であり、埃、繊維、フィルム粕などの異物の製品への混入や付着などの欠陥、及びそれらに起因するキズ、押し跡などの物理的欠陥の発生は厳重に管理されている。これらの欠陥の発生頻度に対する市場の要求基準は急速に厳しくなってきている。また、欠陥の程度についても、従来問題とされなかった非常に微細な欠陥が許容されなくなってきており、改善を求められている。
【０００３】
このような問題を解消する方法として、近年ではプラスチックフィルムを洗浄することにより塵芥を除去することが行われている。
【０００４】
例えば、特許文献１では、超音波発生ノズルを設け、この超音波発生ノズルから噴出されるエアーによる気流と、超音波による振動によってプラスチックフィルム上の塵埃を除去する洗浄ノズルが提案されている。
【０００５】
さらに、特許文献２では、洗浄手段として洗浄ノズルから連続して洗浄液を噴霧し、洗浄液再循環手段として落下した洗浄液を再循環させ、乾燥手段が連続して温風を吹き付ける光学用プラスチックフィルムの洗浄・乾燥方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−２３９７６１号公報
【特許文献２】特開２００２−２９２３４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１では、吹き付けたエアーによって剥離した塵埃が付近に散乱しプラスチックフィルムに再付着する恐れや、強固に付着した塵埃については十分に除去できないという問題がある。
【０００８】
さらに、特許文献２では、洗浄液としてアルコール、エステル等を使用した場合は、光学プラスチックフィルムの可塑剤が溶出し、フィルム特性の変化と均一性の低下が問題となる。また、ロールまたはバーによるスキージングのみでは、洗浄液を十分除去できず、生産性が低いという問題がある。
【０００９】
そして、これら特許文献１、２のようにプラスチックフィルムを洗浄しても、フィルム上の数μｍという非常に微細な異物はフィルムへの付着力が強く、好ましく除去することができないという問題があった。
【００１０】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、プラスチックフィルムの表面に付着した数μｍという非常に微細な埃、フィルム片、汚れまでも連続的に除去することができ、フィルムの洗浄ノズル装置からフィルムが通り抜けた際に洗浄水がフィルムに付着している量を減少させることができるフィルムの洗浄ノズル装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、前記目的を達成するために、走行するフィルムの表裏面の少なくとも一方の面を洗浄する洗浄ノズル装置であって、前記フィルムの表裏面の一方の面に洗浄液を吹き付ける洗浄液吐出口と、前記洗浄液吐出口の上流側及び下流側において、前記洗浄液が前記フィルムの一方の面上を流れるように前記フィルムに対して平行に形成された、上流側平面部と下流側平面部と、からなり、前記上流側平面部と前記下流側平面部は、前記フィルム表面と等距離となるように配置され、前記下流側平面部は、前記上流側平面部よりも前記フィルムの走行方向距離が長いように形成されていることを特徴とする。
【００１２】
そして、本発明は、前記目的を達成するために、走行するフィルムの表裏面の少なくとも一方の面を洗浄する洗浄ノズル装置であって、前記フィルムの表裏面の一方の面に洗浄液を吹き付ける洗浄液吐出口と、前記洗浄液吐出口の上流側及び下流側において、前記洗浄液が前記フィルムの一方の面上を流れるように前記フィルムに対して平行に形成された、上流側平面部と下流側平面部と、からなり、前記上流側平面部と前記下流側平面部は、前記フィルムの走行方向距離が同じ長さとなるように形成され、前記下流側平面部は、前記上流側平面部よりも前記フィルム表面までの距離が近いように配置されていることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明は、前記目的を達成するために、走行するフィルムの表裏面の少なくとも一方の面を洗浄する洗浄ノズル装置であって、前記フィルムの表裏面の一方の面に洗浄液を吹き付ける洗浄液吐出口と、前記洗浄液吐出口の上流側及び下流側において、前記洗浄液が前記フィルムの一方の面上を流れるように前記フィルムに対して平行に形成された、上流側平面部と下流側平面部と、からなり、前記下流側平面部は、前記上流側平面部よりも前記フィルム表面までの距離が近いように形成され、前記下流側平面部は、前記上流側平面部よりも前記フィルムの走行方向距離が長いように配置されていることを特徴とする。
【００１４】
上記のようにフィルムの洗浄ノズル装置を構成することで、プラスチックフィルムの表面に付着した数μｍという非常に微細な埃、フィルム片、汚れまでも連続的に除去することができ、洗浄水を除去することができるフィルムの洗浄ノズル装置を提供することができる。
【００１５】
即ち、上流側平面部と下流側平面部との長さ、及び／又は、上流側平面部と下流側平面部とフィルム表面との距離、を上記のように構成することで、フィルムの洗浄ノズル装置からフィルムが通り抜けた際に洗浄水がフィルムに付着している量を減少させ、フィルムの洗浄ノズル装置下流でのフィルム乾燥におけるエネルギー負荷を減少させることができる。
【００１６】
そして、本発明のフィルムの洗浄ノズル装置は、前記上流側平面部と前記フィルムとの隙間は、０．２５ｍｍ以下であることが好ましい。
【００１７】
即ち、上流側平面部とフィルムとの隙間を０．２５ｍｍ以下とすることで、洗浄液吐出口から供給された洗浄液が０．２５ｍｍ以下の狭い隙間で大きな速度勾配を持つようになるので、数μｍという非常に微細な埃、フィルム片、汚れをフィルムから除去することができる。
【００１８】
また、本発明のフィルムの洗浄ノズル装置の洗浄液吐出口には、洗浄液をフィルムに吹き付ける圧力を減圧する減圧機構が設けられていることが好ましい。
【００１９】
なお、本発明のフィルムの洗浄ノズル装置は、上記のように構成された洗浄液吐出口、上流側平面部、及び下流側平面部を、走行するフィルムの片面のみを設けたものであっても良いし、走行するフィルムの両面にそれぞれ設けたものであっても良い。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、プラスチックフィルムの表面に付着した数μｍという非常に微細な埃、フィルム片、汚れまでも連続的に除去することができ、フィルムの洗浄ノズル装置からフィルムが通り抜けた際に洗浄水がフィルムに付着している量を減少させることができるフィルムの洗浄ノズル装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明のフィルムの洗浄ノズル装置を組み入れたフィルムの塗布装置を示す図
【図２】本発明に係る洗浄ノズル装置の第１の実施形態を示す図
【図３】本発明に係る洗浄ノズル装置の洗浄液吐出口の実施形態を示す図
【図４】洗浄ノズル装置の簡易モデルと洗浄液圧力分布との関係を示した図
【図５】本発明に係る洗浄ノズル装置の第２の実施形態を示す図
【図６】本発明に係る洗浄ノズル装置の第３の実施形態を示す図
【図７】本発明に係る洗浄ノズル装置の絞りの他の実施態様を示す図
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、添付図面に従って、本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００２３】
図１は、フィルムの塗布装置に本発明のフィルムの洗浄ノズル装置を組み込んだときの全体構成の一例を示す概略側面図である。
【００２４】
図１に示すように、フィルムの塗布装置４０は、プラスチックフィルムロールの巻出部４２、フィルムの洗浄システム１０、塗工部４４、乾燥部（塗工後の乾燥部）４６、巻取部４８を順に設けている。プラスチックフィルムロールの巻出部４２より順次巻き出されたシート状のプラスチックフィルム１２は、搬送ローラ１４、１６で本発明のフィルムの洗浄システム１０に搬送される。
【００２５】
図１のフィルムの洗浄システム１０は、走行するフィルムに洗浄液を用いて洗浄を行う洗浄部３６、３６と、洗浄したフィルムの乾燥を行う乾燥部３８と、を備えている。ここで、洗浄部３６は２段、乾燥部３８が１段である例を示しているがこの限りでなく、例えば、洗浄部３６が３段、乾燥部３８が２段であっても良い。なお、フィルムの洗浄システム１０には、システム全体をカバーする全体カバー５０を有していることが好ましい。
【００２６】
本発明における洗浄対象は、プラスチックフィルムの表面に付着した数μｍという非常に微細な埃、フィルム片、汚れである。
【００２７】
そして、本発明に係る洗浄部３６には、図２に示すような本発明のフィルムの洗浄ノズル装置５１が設けられている。
【００２８】
本発明のフィルムの洗浄ノズル装置５１は、フィルムを走行させながらフィルム表裏面の少なくとも一方の面側に洗浄液を供給することにより、少なくとも一方の面に沿った水流で洗浄する構造である。洗浄液は絶えず供給されている。
【００２９】
図２は、本発明に係るフィルムの洗浄ノズル装置５１の実施の形態を示したものであり、側面から見た断面を示した図である。なお、図２のフィルムの洗浄ノズル装置は、フィルムの片面を洗浄する場合である。
【００３０】
図２に示したように、フィルムの洗浄ノズル装置５１は、フィルム１２の表裏面の一方の面に洗浄液を吹き付ける洗浄液吐出口５２と、洗浄液がフィルム１２の一方の面上を流れるようにフィルムに対して平行に形成された上流側平面部５３Ａと下流側平面部５３Ｂと、からなっている。
【００３１】
このように形成されたフィルムの洗浄ノズル装置５１は、洗浄液吐出口５２の上流側及び下流側に狭い隙間５４ａ、５４ｂが形成され、その隙間５４ａ、５４ｂとフィルム１２との間に洗浄液が流れる。このような狭い隙間５４ａ、５４ｂに洗浄液を流すことで、狭い隙間で洗浄液の流速が大きな速度勾配を持つようになるので、フィルム表面との平面部５３Ａ、５３Ｂとの間には、フィルム面に平行で且つ流速の早い平行流が発生する。これにより、数μｍという非常に微細な埃、フィルム片、汚れでもフィルムから除去することが可能となる。
【００３２】
そして、本発明の第１の実施形態は、上流側平面部５３Ａと下流側平面部５３Ｂは、フィルム１２表面と等距離となるように配置されている場合に、下流側平面部を上流側平面部よりもフィルムの走行方向距離が長いように形成することを特徴としている（図２参照）。
【００３３】
このように形成することでフィルム１２が洗浄部３６の洗浄ノズル装置５１から洗浄液がフィルム進行方向へ流出する流量を低減させることができる。即ち、洗浄されたフィルム１２が洗浄部３６から下流に搬送される際には、フィルムに付着していた洗浄水を大幅に減少させることができる。
【００３４】
ここで、本発明のフィルムの洗浄ノズル装置の洗浄液吐出口５２には、洗浄液をフィルムに吹き付ける圧力を減圧する減圧機構が設けられていることが好ましい。
【００３５】
なお、本発明のフィルムの洗浄ノズル装置によれば、フィルムに対し平行な水流によって、付着した異物に下記式（富樫他，機械学会）で表される水平方向の力が働き、塵埃を除去することから、フィルムへのダメージを抑え効果的に塵埃を除去することが出来る。
【００３６】
【数１】
2011000571.tif 000003
【００３７】
ここで、Ｆｄｅｔは塵埃に働く力、ｄは塵埃の直径、ｕは水流の速度、ηは水の粘度係数、ｃは補正係数を表す。
【００３８】
そして、本発明では、例えば、図３に示すように、洗浄ノズル装置５１の洗浄液吐出口５２を、洗浄液を供給する供給口５２ａと、供給口５２ａから供給された洗浄液を減圧するための絞り５２ｂと、減圧された洗浄液をフィルムの洗浄側に吹き出す吹出口５２ｃとで構成することが好ましい。なお、図３は、絞り５２ｂを複数の穿孔を用いた場合の図であり、フィルム長手方向の長さを短くすることが可能であるので、複数の洗浄液吹出口を設ける場合に洗浄ノズル装置をコンパクトにするのに有効である。
【００３９】
図４は、図３の洗浄ノズル装置の簡易モデルと洗浄液圧力分布との関係を示したものである。なお、フィルムは上流側及び下流側のローラにより適度な張力が掛かった状態で搬送されている。また、図４の（ｂ）は、本発明である下流側平面部を上流側平面部よりもフィルムの走行方向距離が長いように形成したフィルムの洗浄ノズル装置を示しており、図４の（ａ）は、比較例として下流側平面部と上流側平面部のフィルムの走行方向距離が同じ長さで形成したフィルムの洗浄ノズル装置について示している。
【００４０】
洗浄ノズル装置５１の供給口５２ａに供給する洗浄液の圧力をＰｓとすると、洗浄液は絞り５２ｂを通り吹出口５２ｃでは圧力Ｐｉとなり、フィルムを洗浄した後、排出され圧力Ｐｏとなる。この圧力によって洗浄ノズル装置５１からフィルム１２を引き離そうとする力（図４の三角形Ｐｉの面積）が発生する。
【００４１】
ここで、フィルム１２が洗浄ノズル装置５１に接近すると、フィルム１２と洗浄ノズル装置３６間の流路抵抗が大きくなり吐出口の圧力ＰｉがＰｉ＋ΔＰｉへ上昇し、洗浄ノズル装置５１からフィルム１２を引き離そうとする力が三角形Ｐｉ＋ΔＰｉへと増加する。また、フィルム１２が洗浄ノズル装置５１から離れた場合も同様に洗浄ノズル装置３６からフィルム１２を引き離そうとする力が減少し、洗浄ノズル装置５１とフィルム１２間の距離を自動的に維持できる。
【００４２】
そして、本発明の図４（ｂ）では、下流側平面部５３Ｂを上流側平面部５３Ａよりもフィルムの走行方向距離が長いように形成しているので、下流側平面部５３Ｂの隙間５４ｂでは上流側平面部５３Ａの隙間５４ａよりも洗浄液の圧力勾配が緩やかになっている。従って、洗浄部３６の洗浄ノズル装置５１から洗浄液がフィルム進行方向へ流出する流量を低減させることができる。即ち、洗浄されたフィルム１２が洗浄部３６から下流に搬送される際には、フィルムに付着していた洗浄水を大幅に減少させることができる。
【００４３】
なお、ここで、洗浄液吐出口５２から洗浄液排出口（洗浄ノズル装置５１から洗浄液が排出される位置６０ａ、６０ｂ（図４（ｂ）参照のこと））への洗浄液の流量は下記の数２で表される。
【００４４】
【数２】
2011000571.tif 000004
【００４５】
ここで、Ｑは流量であり、Ｂは吐出口の幅（フィルム幅）、Ｈは平面部とフィルムとの離隔距離（隙間の距離）、ηは洗浄水の粘性係数、Ｐｉは吐出口での圧力、Ｐｏは大気圧、Ｌは平面部の長さを表す。
【００４６】
数２の式から分かるように、流量Ｑは、平面部の長さＬに反比例しているので、上流側平面部５３Ａの長さよりも下流側平面部５３Ｂの長さを長くすることで、洗浄ノズル装置５１から洗浄液が排出される下流側位置６０ｂでの流量を減少させることができる。
【００４７】
更に、数２の式から分かるように、流量Ｑは、平面部とフィルムとの離隔距離の３乗に比例しているので、下流側の隙間５４ｂを上流側の隙間５４ａよりも狭くすることでも、洗浄ノズル装置５１から洗浄液が排出される下流側位置６０ｂでの流量を減少させることができる。
【００４８】
図５は、本発明の第２の実施形態を示したものであり、上流側平面部と下流側平面部の長さが同じ長さに形成されている場合であり、下流側平面部５３Ｂが上流側平面部５３Ａよりもフィルム１２表面までの距離が近いように配置されているフィルムの洗浄ノズル装置５１を示したものである。このように、フィルムの洗浄ノズル装置５１を構成することでも、洗浄ノズル装置５１から洗浄液が排出される下流側位置６０ｂでの流量を減少させることができる。
【００４９】
また、本発明の第３の実施形態としては、図２と図５の両方の条件を満たしたフィルムの洗浄ノズル装置が考えられる（図６参照）。即ち、下流側平面部５４Ｂを上流側平面部５４Ａよりもフィルム１２表面までの距離が近いようにし、且つ、下流側平面部５３Ｂを上流側平面部５３Ａよりもフィルムの走行方向距離が長いようにすることが考えられる。このように、フィルムの洗浄ノズル装置５１を構成することで、更に洗浄ノズル装置５１から洗浄液が排出される下流側位置６０ｂでの流量を減少させることができる。
【００５０】
本発明のフィルムの洗浄ノズル装置は、上流側平面部５３Ａとフィルム１２との隙間５４ａ、及び、下流側平面部５３Ｂとフィルム１２との隙間５４ｂは、０．２５ｍｍ以下の幅であることが好ましい。
【００５１】
このような狭い隙間５４ａ、５４ｂに洗浄液を流すことで、０．２５ｍｍ以下の狭い隙間で洗浄液の流速が大きな速度勾配を持つようになるので、フィルム表面との平面部５３との間には、フィルム面に平行で且つ流速の早い平行流が発生する。これにより、数μｍという非常に微細な埃、フィルム片、汚れでもフィルムから除去することが可能となる。
【００５２】
図７（ａ）は、本発明に係る洗浄ノズル装置５１において、洗浄液を減圧するために、図３とは別の態様を示した図であり、図３の絞り５２ｂを細い隙間構造にした場合の図である。図７（ｂ）に示すように複数からなる板構造５３ａ，５３ｂ，…５３ｅによって形成され、容易に製作できるという特徴がある。
【００５３】
なお、図３や図７のように洗浄液をフィルムに吹き付ける圧力を減圧する減圧機構（絞り）を設けることで、吹出口５２ｃに供給する洗浄液の圧力が、平面部５３Ａ、５３Ｂとフィルム１２との距離に応じて自動的に調整されることから、平面部５３Ａ、５３Ｂとフィルム１２との距離を一定に保つ効果がある。
【００５４】
以上のように、フィルムの洗浄システム１０の洗浄部３６で洗浄されたフィルム１２は、ローラ２４，２５により乾燥部３８へと送られる。
【００５５】
なお、洗浄部３６の後段には、フィルムに付着している洗浄液を除去するエアーナイフと、エアーナイフの吹出ロに供給される空気をイオン化する除電機構と、を備えていることが好ましい。
【００５６】
本発明の洗浄ノズル装置５１を用いた洗浄部３６で洗浄されたフィルム１２は、洗浄液の付着程度が低いので、フィルムの乾燥時におけるエネルギー負荷を減少させることができる。
【００５７】
洗浄・乾燥されたフィルム１２は、塗工部４４で塗布液が塗布され、ローラで搬送されながら乾燥部４６を通過し、巻取部４８にてロール状態に巻き取られる。
【００５８】
本発明に用いられるプラスチックフィルムは、透明なシートまたはフィルム状のものであれば特に限定されるものではなく、例えば、ポリエステルフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、セロファンフィルム、ジアセチルセルロースフィルム、トリアセチルセルロースフィルム、アセチルセルロースブチレートフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、エチレンビニルアルコールフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリメチルペンテルフィルム、ポリスルフォンフィルム、ポリエーテルケトンフィルム、ポリエーテルスルフォンフィルム、ポリエーテルイミドフィルム、ポリイミドフィルム、フッ素樹脂フィルム、ナイロンフィルム、ポリシクロオレフィンフィルム、アクリルフィルム等の熱可塑性樹脂フィルム、及びこれらのプラスチックフィルムの少なくとも片面に、塗布、塗工、貼合、印刷などの処理を施した多層フィルムを挙げることができる。透過率が高く、高いフィルム均一性が求められるトリアセチルセルロースフィルム、ポリエステルフィルム、ポリシクロオレフィンフィルム、ポリカーボネートフィルムを用いた場合に、塵芥等に起因した欠点の確認が容易である為、効果が大きい。
【００５９】
本発明に用いられるプラスチックフィルムの厚さは、５〜２０００μｍ、好ましくは１５〜５００μｍ、特に好ましくは２０〜２００μｍの範囲から任意に選択できる。
【００６０】
以上、本発明のフィルムの洗浄ノズル装置について、図に基づいて説明したが、本発明は上記図に記載した構成に限定されるものではなく、各図に記載した構成を適宜組み合わせる等、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【符号の説明】
【００６１】
１０…フィルムの洗浄システム、１２…フィルム、３６…洗浄部、３８…乾燥部、４０…フィルムの塗布装置、４２…巻出部、４８…巻取部、５０…全体カバー、５１…（フィルムの）洗浄ノズル装置、５２…洗浄液吐出口、５２ａ…供給口、５２ｂ…絞り、５３ｃ…吹出口、５３Ａ…上流側平面部、５３Ｂ…下流側平面部、５４ａ…上流側の隙間、５４ｂ…下流側の隙間、６０ａ…洗浄液が排出される上流側位置、６０ｂ…洗浄液が排出される下流側位置
【図１】
2011000571.tif 000005
【図２】
2011000571.tif 000006
【図３】
2011000571.tif 000007
【図４】
2011000571.tif 000008
【図５】
2011000571.tif 000009
【図６】
2011000571.tif 000010
【図７】
2011000571.tif 000011