(57)【要約】【課題】非接触式のノズル部としながらも精度良く均一に薄膜を塗工形成でき、これを用いることで乾燥する前に連続的に両面に精度良く均一に薄膜を形成する両面塗工も実現でき、特にリチウムイオン電池形成材の基材となる金属製フィルムの両面に精度良く均一に塗工でき、画期的な薄膜塗工装置並びに両面薄膜塗工装置を提供すること。【解決手段】搬送されるフィルム状の被塗工体５にノズル部４を接触させずにこのノズル部４の先端吐出孔３から吐出する塗工液２が接触し、且つこの塗工液２を介して前記フィルム状の被塗工体５を押圧する位置に前記ノズル部４を配置した薄膜塗工装置。【選択図】図８
2011194341.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液供給部から供給された塗工液をスリット状の先端吐出孔から吐出するノズル部を有し、このノズル部の先端吐出孔から塗工液を吐出しながら、このノズル部と対向するフィルム状の被塗工体をこのノズル部に対して搬送させることで前記フィルム状の被塗工体に塗工液を薄膜状に塗工するように構成した薄膜塗工装置において、前記搬送されるフィルム状の被塗工体に前記ノズル部を接触させずにこのノズル部の先端吐出孔から吐出する塗工液が接触し、且つこの塗工液を介して前記フィルム状の被塗工体を押圧する位置に前記ノズル部を配置したことを特徴とする薄膜塗工装置。
【請求項２】
前記ノズル部を移動自在若しくは前記フィルム状の被塗工体を支持する支持ロールを移動自在に設けて、前記ノズル部を接触させずにこのノズル部の先端吐出孔から吐出する前記塗工液を前記フィルム状の被塗工体に接触させる接触圧を調整し前記被塗工体のフィルム振動を抑制したことを特徴とする請求項１記載の薄膜塗工装置。
【請求項３】
前記搬送されるフィルム状の被塗工体に、前記ノズル部を接触させずにこのノズル部の先端吐出孔から吐出する前記塗工液を押圧接触させて、この塗工液接触部を起点に前記フィルム状の被塗工体に０.０５°〜１.００°の範囲の角度を付与したことを特徴とする請求項１，２のいずれか１項に記載の薄膜塗工装置。
【請求項４】
前記ノズル部を前記フィルム状の被塗工体に対して接離方向に移動自在に設けてノズル部の前記被塗工体との相対位置を調整自在に設け、前記フィルム状の被塗工体を支持ロールに支持して引き出し搬送する前に、この引き出し張設した被塗工体に、前記塗工液を吐出する前のノズル部の先端部を一旦接触させ、このノズル部の先端部を接触させた位置を基準位置として、前記塗工液を吐出させ前記フィルム状の被塗工体を引き出し搬送させる塗工時には、ノズル部を前記基準位置より更に接近方向へ微小量移動調整して、ノズル部を接触させずに前記塗工液を介して前記フィルム状の被塗工体を押圧する位置に前記ノズル部を配置したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の薄膜塗工装置。
【請求項５】
前記ノズル部の前記先端吐出孔から吐出する前記塗工液が前記搬送するフィルム状の被塗工体に接触していて、前記被塗工体と前記ノズル部とが接触していないことを常時監視する接触監視機構を備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の薄膜塗工装置。
【請求項６】
前記接触監視機構は、ノズル部の先端部と前記フィルム状の被塗工体とが接触した際電流増加若しくは電圧降下が生じるか否かを検知する接触導通監視回路から成ることを特徴とする請求項５記載の薄膜塗工装置。
【請求項７】
前記接触監視機構の前記接触導通監視回路は、ノズル部と、前記フィルム状の被塗工体を支持する支持ロールとに電圧を印加し、前記電流増加若しくは電圧降下が生じるか否かを常時監視する検知部を設けた構成としたことを特徴とする請求項６記載の薄膜塗工装置。
【請求項８】
前記塗工液を塗工しない前記フィルム状の被塗工体の非塗工端部が、前記ノズル部に接触することをエアを吹き付けて防止する浮上保持用エア吹付機構を備えたことを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の薄膜塗工装置。
【請求項９】
前記ノズル部に対して前記フィルム状の被塗工体の搬送下流側に、この塗工を終えたフィルム状の被塗工体を乾燥する乾燥機構を備え、この乾燥機構は、搬送される前記フィルム状の被塗工体にエアを噴出して非接触でこの被塗工体を浮上支持するエア噴出支持部をこの被塗工体を挟んで上側及び下側に複数フィルム搬送方向に並設状態に設け、このエア噴出支持部から噴出するエアを温風とする温風供給部若しくは前記被塗工体の塗工膜を加熱乾燥するヒータ部を備えた構成とし、前記乾燥機構の前記上下に配設するエア噴出支持部を、エア供給部から供給されるエアを前記フィルム状の被塗工体と対向する対向面に設けた噴出孔からこの被塗工体に向かって噴出する構成とし、この噴出孔を前記エア噴出支持部の対向面に多数設けて、この多数の噴出孔からエアを前記フィルム状の被塗工体の両面に吹き付けて浮上支持することで、この乾燥機構で生じる被塗工体のフィルム振動を抑えた構成としたことを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の薄膜塗工装置。
【請求項１０】
前記乾燥機構の前記エア噴出支持部の前記対向面は、前記フィルム状の被塗工体の幅と同等若しくはこれより長く形成し、この対向面に均一に小孔状の前記噴出孔を少なくとも前記フィルム状の被塗工体の幅と同等の範囲に一様に点散形成し、この多数の噴出孔からエアを噴出するエア噴出支持部を被塗工体を挟んで上側及び下側に夫々複数フィルム搬送方向に並設して、前記乾燥機構を構成したことを特徴とする請求項９記載の薄膜塗工装置。
【請求項１１】
前記ノズル部に対して前記フィルム状の被塗工体の搬送下流側に、この塗工を終えたフィルム状の被塗工体を乾燥する乾燥機構を備え、前記ノズル部に対して前記被塗工体の搬送下流側で前記乾燥機構の搬送上流側に、前記フィルム状の被塗工体にエアを吹き付けてフィルム振動を抑制するエア噴出部を前記フィルム状の被塗工体を挟んで対設した非接触式振動抑制機構を設けた構成としたことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の薄膜塗工装置。
【請求項１２】
前記非接触式振動抑制機構は、前記フィルム状の被塗工体の両面に平行にして前記エア噴出部を近接させて対設し、この各エア噴出部の対向面にエアを噴出する多数のエア噴出孔を形成した構成としたことを特徴とする請求項１１に記載の薄膜塗工装置。
【請求項１３】
前記フィルム状の被塗工体の両面に塗工を行う両面薄膜塗工装置であって、片面に塗工する第一塗工機構と、反対面に更に塗工し、且つこの両面塗工を終えた被塗工体を乾燥する乾燥機構を有する第二塗工機構とを備え、前記乾燥機構を有する前記第二塗工機構として前記請求項１〜１２のいずれか１項に記載の薄膜塗工装置を用いたことを特徴とする両面薄膜塗工装置。
【請求項１４】
前記被塗工体として金属製フィルムを用い、この両面に塗工する前記塗工液としてリチウムイオン電池の正極活性物質若しくは負極活性物質を用いて、両面にこの薄膜を塗工形成したリチウムイオン電池形成材を作製するように構成したことを特徴とする請求項１３記載の両面薄膜塗工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばスリット状の先端吐出孔から塗工液を吐出するノズル部に対して、フィルム状の被塗工体を搬送して表面に薄膜を塗工形成するように構成した薄膜塗工装置，並びに被塗工体の片面に塗工した後、これを乾燥する前に反対面にも塗工し、この両面を塗工した後に乾燥して被塗工体の両面に薄膜を塗工形成する両面薄膜塗工装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液供給部から供給された塗工液をスリット状の先端吐出孔から吐出するノズル部を有し、このノズル部の先端吐出孔から塗工液を吐出しながら、このノズル部と対向するフィルム状の被塗工体をこのノズル部に対して搬送させることで、このフィルム状の被塗工体に塗工液を薄膜状に塗工するように構成した薄膜塗工装置において、このノズル部を被塗工体に近接させて吐出塗工するよりもノズル部の先端接触部を被塗工体に接触させた状態で、この先端接触部に対して被塗工体の搬送下流側近傍に設けた先端吐出孔から吐出塗工する接触式のノズル部とした方が精度良く均一な膜厚に形成できる場合がある。
【０００３】
特に、被塗工体がフィルム状である場合に、このフィルム状の被塗工体の塗工面と反対面を支承できる場合は、この反対面を塗工用支承ロールなどで支承して、このフィルム振動がない支承状態でノズル部を近接させて塗工することができるが、反対面を支承できない場合には、たとえ搬送上流側の塗工面を支承ロールで支承しても、搬送下流側で生じる振動が伝わり、例えば熱風乾燥やＩＲ乾燥などの乾燥工程で送風を行うため（フローティング搬送を行うため）フィルムに振動が伝わり均一に塗工できず膜厚を精度良く管理できない。
【０００４】
しかし、前述のようにノズル部の先端接触部をこのフィルム状の被塗工体に押圧接触すれば、このフィルム振動が抑制され、均一な厚さの薄膜を精度良く塗工形成できることとなる。
【０００５】
特にＷｅｔ状態で１００〜２００μｍオーダーの薄膜を均一に塗工形成する場合には、塗工面と反対側の反対面を支承できない場合は、ノズル部を近接させて塗工する方式より前記接触式のノズル部の方が望ましい。
【０００６】
また、搬送する被塗工体の片面に第一塗工機構により塗工した後、熱風乾燥やＩＲ乾燥などの乾燥を行う前に第二塗工機構により反対面も塗工し、この両面塗工した後に乾燥機構により乾燥することで装置の小型化や量産性を向上できる両面薄膜塗工装置の前記反対面を塗工する第二塗工機構においては、塗工面と反対側の前記片面は既に前記第一塗工機構によって塗工されていてまだ乾燥していないため、この片面からは支承できず前述のような問題が生じ、接触式のノズル部を用いることが望ましい。
【０００７】
しかしながら、前記接触式のノズル部を用いると、膜厚の均一精度が高められ、前述のようなフィルム振動も抑えることができる反面、フィルム状の被塗工体とこのノズル部の先端接触部との接触により被塗工体を傷付ける場合があり、またこの被塗工体へのダメージを抑えるためにノズル部の先端接触部の材質を単に硬度の低いものに選定すると、このダメージは抑えられても先端接触部が摩耗し易くなり、この摩耗した先端接触部の摩耗粉が許容以上に塗工薄膜に混入するおそれもあり、また摩耗により先端接触部が減り突出寸法精度が狂い交換や再調整を要することになり、また先端接触部の変形によって先端吐出孔が微妙に変形しても均一な薄膜を形成できないおそれもある。
【０００８】
また、特にアルミ製又は銅製などの金属製フィルムを被塗工体とし、この表面にコバルト酸リチウムなどの正極活性物質又はグラファイトなどの負極活性物質にバインダーなどを混合しこれを塗工液として、１００μｍオーダーの薄膜を塗工形成するリチウムイオン電池形成材を作製する場合、この被塗工体に傷がつき易く不良となるおそれがあり、またノズル部の先端接触部が摩耗してこの摩耗粉が多く混入してしまうとこれも不良となるので接触式のノズル部は実用化しにくい問題があった。
【０００９】
そのため、このようなリチウムイオン電池形成材、特に両面塗工して小型化，高出力化を図るリチウムイオン電池形成材を作製する場合は、片面塗工後これを乾燥する前に反対面を塗工して装置の小型化や量産性を上げる前述の両面塗工を実現したいが、前記問題により難しい。
【００１０】
言い換えると、乾燥する前に両面塗工しようとすると、片面を塗工した後の反対面の塗工に際して、この片面は支持できないし、反対面の塗工面はこの塗工していない搬送上流側でしか支持できないから、搬送下流側の温風（熱風）乾燥などのフローティング乾燥工程によるフィルム振動のために、非接触式の（近接させて塗工する）ノズル部によっては、均一な膜厚を塗工形成できない。
【００１１】
更に具体的に説明すると、塗工部での塗工後の乾燥機構は、塗工膜を内部から乾燥させるためのＩＲヒータなどのヒータ部を設けたり、温風（熱風）により表面乾燥させる温風吹出部を設けた構成とするが、このフィルム状の被塗工体をローラで支持搬送できない場合、例えば前述のように両面塗工後に両面を乾燥させる場合には、ローラで支持搬送できず、非接触で支持（フローティング搬送）させながら乾燥する構成とする。
【００１２】
即ち、塗工を終えて搬送されてくるフィルム状の被塗工体を挟んで上側及び下側にフィルム搬送方向に並設状態に複数のエア噴出支持部（フローティングノズル）を配設し、エア供給源から供給されるエアを対向面に設けたスリット状の噴出孔（フローティングノズル孔）から噴出し、このエア圧によってフィルム状の被塗工体を浮上状態に支持しつつ搬送するもので、このエアを温風（熱風）とし、またこの乾燥部内にＩＲヒータなどのヒータ部を設けるなどした構成としている。
【００１３】
従って、このように例えば両面塗工装置などフィルム状の被塗工体を接触支持できない場合には、前述のようなフローティングノズルによるフローティング乾燥を行うため、フィルム振動が顕著に生じ非接触式のノズル部では均一に精度良く塗工できない。
【００１４】
また、この乾燥工程によるフィルム振動を非接触なフィルム振動抑制機構を用いて抑制するにしても単にノズル部を近接させ非接触とするノズル部による塗工では、やはりこのフィルム振動によって精度良く塗工できないし、接触式とすると前記フィルム状の被塗工体が金属製フィルムであるような場合はダメージの問題を完全に解決しにくい。
【００１５】
また、従来のように片面塗工後に一旦乾燥してから反対面を塗工する場合には、塗工面の温度変化によって膜厚に変化が生じるおそれがあるため、片面塗工して乾燥した後に再びクーリング装置で冷却しなければならず、そのため一旦巻き取りしない連続塗工を行う場合には、この二度の乾燥と片面乾燥後のクーリング工程を行う装置を配置しなければならず、装置が大型化し量産性に劣る。
【００１６】
そこで、前述のように乾燥する前に両面を塗工できる両面塗工装置が要望されており、特に両面塗工することが要望されている前記リチウムイオン電池形成材においては装置の小型化やこのリチウムイオン電池形成材の作製のスピードアップによる量産化を図るために、このような両面塗工が行える両面薄膜塗工装置が切望されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
本発明は、このような問題点を解決し、あくまで非接触式のノズル部としながらも精度良く均一に薄膜を塗工形成でき、これを用いることで乾燥する前に連続的に両面に精度良く均一に薄膜を形成する両面塗工も実現でき、特にリチウムイオン電池形成材の基材となる金属製フィルムの両面に精度良く均一に塗工でき、しかも前記問題点を解決、即ち被塗工体（リチウムイオン電池形成材の作製にあたっては金属製フィルム）を傷付けたりノズル部の先端接触部の摩耗による寸法精度の狂いや交換や再調整の必要性やその頻度、そして摩耗粉の発生・混入による不良もなく、従って、例えばこの両面塗工したリチウムイオン電池形成材の作製装置の小型化やこの作製の量産化も図れる画期的な薄膜塗工装置並びに両面薄膜塗工装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。
【００１９】
液供給部１から供給された塗工液２をスリット状の先端吐出孔３から吐出するノズル部４を有し、このノズル部４の先端吐出孔３から塗工液２を吐出しながら、このノズル部４と対向するフィルム状の被塗工体５をこのノズル部４に対して搬送させることで前記フィルム状の被塗工体５に塗工液２を薄膜状に塗工するように構成した薄膜塗工装置において、前記搬送されるフィルム状の被塗工体５に前記ノズル部４を接触させずにこのノズル部４の先端吐出孔３から吐出する塗工液２が接触し、且つこの塗工液２を介して前記フィルム状の被塗工体５を押圧する位置に前記ノズル部４を配置したことを特徴とする薄膜塗工装置に係るものである。
【００２０】
また、前記ノズル部４を移動自在若しくは前記フィルム状の被塗工体５を支持する支持ロール７を移動自在に設けて、前記ノズル部４を接触させずにこのノズル部４の先端吐出孔３から吐出する前記塗工液２を前記フィルム状の被塗工体５に接触させる接触圧を調整し前記被塗工体５のフィルム振動を抑制したことを特徴とする請求項１記載の薄膜塗工装置に係るものである。
【００２１】
また、前記搬送されるフィルム状の被塗工体５に、前記ノズル部４を接触させずにこのノズル部４の先端吐出孔３から吐出する前記塗工液２を押圧接触させて、この塗工液接触部を起点に前記フィルム状の被塗工体５に０.０５°〜１.００°の範囲の角度を付与したことを特徴とする請求項１，２のいずれか１項に記載の薄膜塗工装置に係るものである。
【００２２】
また、前記ノズル部４を前記フィルム状の被塗工体５に対して接離方向に移動自在に設けてノズル部４の前記被塗工体５との相対位置を調整自在に設け、前記フィルム状の被塗工体５を支持ロール７に支持して引き出し搬送する前に、この引き出し張設した被塗工体５に、前記塗工液２を吐出する前のノズル部４の先端部を一旦接触させ、このノズル部４の先端部を接触させた位置を基準位置として、前記塗工液２を吐出させ前記フィルム状の被塗工体５を引き出し搬送させる塗工時には、ノズル部４を前記基準位置より更に接近方向へ微小量移動調整して、ノズル部４を接触させずに前記塗工液２を介して前記フィルム状の被塗工体５を押圧する位置に前記ノズル部４を配置したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の薄膜塗工装置に係るものである。
【００２３】
また、前記ノズル部４の前記先端吐出孔３から吐出する前記塗工液２が前記搬送するフィルム状の被塗工体５に接触していて、前記被塗工体５と前記ノズル部４とが接触していないことを常時監視する接触監視機構９を備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の薄膜塗工装置に係るものである。
【００２４】
また、前記接触監視機構９は、ノズル部４の先端部と前記フィルム状の被塗工体５とが接触した際電流増加若しくは電圧降下が生じるか否かを検知する接触導通監視回路10から成ることを特徴とする請求項５記載の薄膜塗工装置に係るものである。
【００２５】
また、前記接触監視機構９の前記接触導通監視回路10は、ノズル部４と、前記フィルム状の被塗工体５を支持する支持ロール７とに電圧を印加し、前記電流増加若しくは電圧降下が生じるか否かを常時監視する検知部12を設けた構成としたことを特徴とする請求項６記載の薄膜塗工装置に係るものである。
【００２６】
また、前記塗工液２を塗工しない前記フィルム状の被塗工体５の非塗工端部が、前記ノズル部４に接触することをエアを吹き付けて防止する浮上保持用エア吹付機構11を備えたことを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の薄膜塗工装置に係るものである。
【００２７】
また、前記ノズル部４に対して前記フィルム状の被塗工体５の搬送下流側に、この塗工を終えたフィルム状の被塗工体５を乾燥する乾燥機構Ｃを備え、この乾燥機構Ｃは、搬送される前記フィルム状の被塗工体５にエアを噴出して非接触でこの被塗工体５を浮上支持するエア噴出支持部18をこの被塗工体５を挟んで上側及び下側に複数フィルム搬送方向に並設状態に設け、このエア噴出支持部18から噴出するエアを温風とする温風供給部若しくは前記被塗工体５の塗工膜を加熱乾燥するヒータ部21を備えた構成とし、前記乾燥機構Ｃの前記上下に配設するエア噴出支持部18を、エア供給部から供給されるエアを前記フィルム状の被塗工体５と対向する対向面に設けた噴出孔19からこの被塗工体５に向かって噴出する構成とし、この噴出孔19を前記エア噴出支持部18の対向面に多数設けて、この多数の噴出孔19からエアを前記フィルム状の被塗工体５の両面に吹き付けて浮上支持することで、この乾燥機構Ｃで生じる被塗工体５のフィルム振動を抑えた構成としたことを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の薄膜塗工装置に係るものである。
【００２８】
また、前記乾燥機構Ｃの前記エア噴出支持部18の前記対向面は、前記フィルム状の被塗工体５の幅と同等若しくはこれより長く形成し、この対向面に均一に小孔状の前記噴出孔19を少なくとも前記フィルム状の被塗工体５の幅と同等の範囲に一様に点散形成し、この多数の噴出孔19からエアを噴出するエア噴出支持部18を被塗工体５を挟んで上側及び下側に夫々複数フィルム搬送方向に並設して、前記乾燥機構Ｃを構成したことを特徴とする請求項９記載の薄膜塗工装置に係るものである。
【００２９】
また、前記ノズル部４に対して前記フィルム状の被塗工体５の搬送下流側に、この塗工を終えたフィルム状の被塗工体５を乾燥する乾燥機構Ｃを備え、前記ノズル部４に対して前記被塗工体５の搬送下流側で前記乾燥機構Ｃの搬送上流側に、前記フィルム状の被塗工体５にエアを吹き付けてフィルム振動を抑制するエア噴出部17を前記フィルム状の被塗工体５を挟んで対設した非接触式振動抑制機構Ｄを設けた構成としたことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の薄膜塗工装置に係るものである。
【００３０】
また、前記非接触式振動抑制機構Ｄは、前記フィルム状の被塗工体５の両面に平行にして前記エア噴出部17を近接させて対設し、この各エア噴出部17の対向面にエアを噴出する多数のエア噴出孔16を形成した構成としたことを特徴とする請求項１１に記載の薄膜塗工装置に係るものである。
【００３１】
また、前記フィルム状の被塗工体５の両面に塗工を行う両面薄膜塗工装置であって、片面に塗工する第一塗工機構Ａと、反対面に更に塗工し、且つこの両面塗工を終えた被塗工体５を乾燥する乾燥機構Ｃを有する第二塗工機構Ｂとを備え、前記乾燥機構Ｃを有する前記第二塗工機構Ｂとして前記請求項１〜１２のいずれか１項に記載の薄膜塗工装置を用いたことを特徴とする両面薄膜塗工装置に係るものである。
【００３２】
また、前記被塗工体５として金属製フィルムを用い、この両面に塗工する前記塗工液２としてリチウムイオン電池の正極活性物質若しくは負極活性物質を用いて、両面にこの薄膜を塗工形成したリチウムイオン電池形成材を作製するように構成したことを特徴とする請求項１３記載の両面薄膜塗工装置に係るものである。
【発明の効果】
【００３３】
本発明は上述のように構成したから、あくまで非接触式のノズル部としながらも精度良く均一に薄膜を塗工形成でき、これを用いることで乾燥する前に連続的に両面に精度良く均一に薄膜を形成する両面塗工も実現でき、特にリチウムイオン電池形成材の基材となる金属製フィルムの両面に精度良く均一に塗工でき、しかも前記問題点を解決、即ち被塗工体（リチウムイオン電池形成材の作製にあたっては金属製フィルム）を傷付けたりノズル部の先端接触部の摩耗による寸法精度の狂いや交換や再調整の必要性やその頻度、そして摩耗粉の発生・混入による不良もなく、従って、例えばこの両面塗工したリチウムイオン電池形成材の作製装置の小型化やこの作製の量産化も図れる画期的な薄膜塗工装置並びに両面薄膜塗工装置となる。
【００３４】
更に説明すると、本発明においては、非接触式のノズル部とするが、単にフィルム状の被塗工体にノズル部を近接させて塗工液を吐出させ塗工するのではなく、ノズル部は接触させないが、この塗工液を接触させこの塗工液を介してフィルム状の被塗工体を押圧することで、フィルム振動を抑制する位置にノズル部を配置設定し、非接触式でありながらフィルム振動を抑制し、被塗工体へのダメージ等の問題もなく精度良く均一に薄膜を形成でき、両面塗工も実現できる画期的な薄膜塗工装置となる。
【００３５】
また、請求項２，３，４記載の発明においては、一層簡易な構成で本発明を容易に実現できる一層優れた画期的な薄膜塗工装置となる。
【００３６】
特に請求項４記載の発明においては、前記本発明の効果を発揮する適切なフィルム状の被塗工体との相対位置にノズル部を配置することが容易に行え、一層実用性に優れた画期的な薄膜塗工装置となる。
【００３７】
また、請求項５記載の発明においては、ノズル部は接触せずに塗工液が接触してこの塗工液の接触圧によってフィルム状の被塗工体が押圧されている適切な位置にノズル部が配置されているかどうかとして、フィルム状の被塗工体とノズル部とが接触していないかどうかを常時監視でき、たとえば接触を検知した場合はフィルム状の被塗工体に傷を付けたりするなどの問題が生じるためこれを報知したり表示したり、あるいはフィルム搬送を停止し塗工を停止するなどして不良が生じることを防止できる画期的な薄膜塗工装置となる。
【００３８】
特に請求項６，７記載の発明においては、この接触監視機構を簡易な構成で実現でき、この簡易に実現可能な接触導通監視回路によって常時接触の有無を監視できるため、一層実用性に優れた薄膜塗工装置となる。
【００３９】
また、請求項８記載の発明においては、フィルム状の被塗工体の両端部の塗工しない部分がノズル部に接触することも防止し、また前記接触監視機構を備えれば、これも監視できるため一層フィルム状の被塗工体のダメージによる問題が低減できる一層優れた薄膜塗工装置となる。
【００４０】
また、請求項９記載の発明においては、フローティング式の乾燥機構でのフィルム振動を抑えることで塗工部でのフィルム振動を小さくでき、これによりノズル部の塗工液のフィルム状の被塗工体への接触圧も小さくて済み、ノズル部を接触させずに塗工液を接触させるノズル部の配置管理もそれだけ容易となると共に、この塗工液を介しての押圧によって十分にフィルム振動を抑制でき、一層精度良く均一に薄膜を塗工形成でき、両面塗工も容易に実現できる画期的な薄膜塗工装置となる。
【００４１】
更に説明すると、塗工を終えたフィルム状の被塗工体は、その上側及び下側に設けたエア噴出支持部の対向面から噴出するエアが吹き付けられて浮上状態で支承され、このエアを温風としたり、更にヒータ部を備えることで乾燥するフローティング乾燥機構によって乾燥されるが、従来はこのフローティング乾燥機構によってフィルム振動が顕著に生じていたが、請求項９記載の発明においては、このエア噴出支持部の対向面に多数の噴出孔を設けることで、例えば同じ風量であっても小孔状の噴出孔を多数対向面に形成することでエア噴出速度を小さくでき、この低速で多数の噴出孔から噴出するエアで浮上支持するため、従来の単なるスリット状などの噴出孔を設けたエア噴出支持部（フローティングノズル）に比べてフィルム振動を小さくでき、これによって塗工部でのフィルム振動をそもそも小さく抑えることができる。
【００４２】
これによりフィルム振動が小さくできることからノズル部を接触せずにこのノズル部から吐出する塗工液による接触圧、即ち塗工液を介してのフィルム状の被塗工体への押圧によって塗工液でのフィルム振動を抑制することができる。
【００４３】
従って、本発明によりフィルム振動を抑えるに際してそもそもフィルム振動の発生部である乾燥機構でのフィルム振動が抑制されているため、ノズル部での塗工液による接触圧でも十分にフィルム振動を抑制でき、またこのようにノズル部を接触させずに塗工液を介して押圧させてフィルム振動を抑制するノズル部の配置設定も容易に実現可能となる。
【００４４】
また、請求項１０記載の発明においては、更に一層簡易な構成で一層良好に前記作用・効果を発揮する極めて優れた薄膜塗工装置となる。
【００４５】
また、請求項１１，１２記載の発明においても、請求項９，１０記載の発明と同様にフィルム振動を抑えることができ、極めて優れた薄膜塗工装置となる。
【００４６】
また、請求項１３記載の発明においては、片面に塗工する第一塗工機構と、反対面に更に塗工し、この両面塗工を終えた被塗工体を乾燥する乾燥機構を有する第二塗工機構とを備え、二度の乾燥工程と乾燥後のクーリング工程を要しないで連続して両面塗工を行え、装置の小型化や両面塗工のスピードを上げて量産性を向上できる両面塗工が、前記乾燥機構を有する第二塗工機構として前記薄膜塗工装置を用いることで実現でき、且つ前記接触式のノズル部の摩耗や被塗工体の損傷の問題も生じにくく、実用化が図れる画期的な両面薄膜塗工装置となる。
【００４７】
特に請求項１４記載の発明においては、このような装置の小型化や製作量産化が図れる両面塗工のリチウムイオン電池形成材の作製が実現できる画期的な両面薄膜塗工装置となる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本実施例の概略構成説明図である。
【図２】本実施例のノズル部の拡大説明斜視図である。
【図３】本実施例の塗工部の拡大説明断面図である。
【図４】本実施例のノズル部の適正位置への配置手順を示す塗工部の説明図である。
【図５】本実施例の図４(ａ)の拡大説明断面図である。
【図６】本実施例の図４(ｂ)の拡大説明断面図である。
【図７】本実施例の図４(ｃ)の拡大説明断面図である。
【図８】本実施例の図４(ｄ)の拡大説明断面図である。
【図９】本実施例の浮上保持用エア吹付機構を示すノズル部の説明側面図である。
【図１０】本実施例の乾燥機構（フローティング乾燥機構）の拡大説明図である。
【図１１】本実施例の乾燥機構（フローティング乾燥機構）の配置別例を示す拡大説明図である。
【図１２】本実施例の乾燥機構（フローティング乾燥機構）のエア噴出支持部（フローティングノズル）の拡大説明斜視図である。
【図１３】本実施例の非接触式振動抑制機構の拡大説明図である。
【図１４】本実施例の非接触式振動抑制機構のエア噴出部の拡大説明斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００４９】
好適と考える本発明の実施形態を、図面に基づいて本発明の作用を示して簡単に説明する。
【００５０】
ノズル部４の先端吐出孔３から塗工液２を吐出しながら、このノズル部４に対してフィルム状の被塗工体５が搬送されることで、被塗工体５の表面に均一な薄膜が塗工形成されるが、このノズル部４は接触させないが、このノズル部４の先端吐出孔３から吐出する塗工液２が被塗工体５に接触させこの塗工液２を介して押圧することで、このフィルム状の被塗工体５のフィルム振動を抑え塗工することができるので、更に精度良く均一な膜厚の薄膜を塗工形成できる。
【００５１】
即ち、この被塗工体５の表面が傷付き易いものであったり、傷粉や摩耗粉の混入も不良となるおそれのある場合には、ノズル部４の先端部を被塗工体５の表面に接触摺動させることはできない。
【００５２】
特にリチウムイオン電池形成材の作製にあっては、基材となるアルミや銅などの金属製フィルムを被塗工体５として用いることから、傷が付き易く、また正極ではコバルト酸リチウムなどの正極活性物質，負極ではカーボングラファイトなどの負極活性物質を塗工して１００μｍオーダーの薄膜を均一に塗工するため、金属製フィルムへのわずかなダメージも不良となりかねないし、またノズル部４の先端接触部を単に硬度の小さい軟らかいものにすればダメージを抑えることができるがこの場合も摩耗により先端接触部が減って突出寸法精度が狂ってしまったり、そのため交換や再調整しなければならず、この摩耗粉が薄膜に多く混入するおそれがありこれも不良となるおそれがあるため、ノズル部４が接触する接触式のノズル部４を用いることができなかった。
【００５３】
この点本発明は、ノズル部４の被塗工体５との相対位置の設定によって、ノズル部４を接触させずにこのノズル部４の先端吐出孔３から吐出する塗工液２をフィルム状の被塗工体５に接触させることで、フィルム振動を抑えつつ被塗工体５へのダメージも摩耗の問題も生じない画期的な薄膜塗工装置を実現したものである。
【００５４】
従って、フィルム状の被塗工体５のフィルム振動の問題も、両面塗工における片面塗工後の反対面の塗工に際してのフィルム振動の問題も減じられ、且つフィルム状の被塗工体５のダメージの問題点なども生じなく、熱風乾燥などのフローティング乾燥工程により生じるフィルム振動を良好に抑えつつ精度良く均一に薄膜を塗工できるため、装置の小型化が図れ両面塗工スピードを上げることで量産性も向上する前述の両面塗工が実現できるなど画期的な薄膜塗工装置並びに前記両面塗工が実現できる両面薄膜塗工装置を提供できることとなる。
【００５５】
特にこのような作製スピード向上による量産性が切望されていて、また接触式のノズル部４による被塗工体５（金属製フィルム）へのダメージや摩耗を抑えなければならない両面塗工のリチウムイオン電池形成材の作製においては、極めて実用性に優れた両面薄膜塗工装置を提供できることとなる。
【実施例】
【００５６】
本発明の具体的な実施例について図面に基づいて説明する。
【００５７】
本実施例は、反対面を支承できない状態でフィルム状の被塗工体５に薄膜を塗工するのに極めて有用な薄膜塗工装置を用いたもので、片面塗工後にこれを乾燥する前に連続して反対面も塗工する際にこの本発明に係る薄膜塗工装置を用いて両面薄膜塗工装置を構成したものであり、特にフィルム振動の問題及びこれを解決する接触式のノズル部４の問題の双方を解決して、非接触式であるけれどもノズル部４ではなくノズル部４から吐出する塗工液２を接触させて塗工液２を介して押圧させる、言い換えると塗工液２の接触圧によってフィルム振動を抑えることで、双方の問題が解決される画期的な薄膜塗工装置を、第二塗工に用いて構成した両面薄膜塗工装置である。
【００５８】
即ち、本実施例は、前記フィルム状の被塗工体５の両面に塗工を行う両面薄膜塗工装置であって、片面に塗工する第一塗工機構Ａと、反対面に更に塗工しこの両面塗工を終えた被塗工体５を乾燥する乾燥機構Ｃを有する第二塗工機構Ｂとを備え、前記第二塗工機構Ｂとして本発明に係る以下の薄膜塗工装置を用いた両面薄膜塗工装置としている。
【００５９】
また、本実施例は、前述のように両面塗工に際してのフィルム振動の問題とフィルムダメージの問題の双方を解決するノズル部４を用い、これまで容易に実用化できないとされていた両面塗工のリチウムイオン電池の作製における装置の小型化が図れ且つスピーディーに作製できる両面薄膜塗工装置を実現したものである。
【００６０】
即ち、前記被塗工体５としてアルミ製や銅製などの金属製フィルムを用い、この両面に塗工する前記塗工液２として例えばコバルト酸リチウムなどのリチウムイオン電池の正極活性物質若しくはカーボングラファイトなどの負極活性物質を用いて、両面にこの薄膜を塗工形成したリチウムイオン電池形成材を作製するように構成した両面薄膜塗工装置としている。
【００６１】
具体的には、例えば被塗工体５は厚さ１０〜２０μｍで幅６５０ｍｍの金属製フィルムとし、このフィルムの両面にコバルト酸リチウムなどの正極活性物質若しくはカーボングラファイトなどの負極活性物質にバインダーを混合した塗工液２を用いて１００μｍオーダーの薄膜を、プラスマイナス２μｍの誤差で均一に塗工形成するもので、液供給部１から液溜め部13を介して供給された塗工液２をスリット状の先端吐出孔３から吐出するノズル部４を前記フィルム状の被塗工体５に対向配設し、このノズル部４の先端吐出孔３から塗工液２を吐出しながら、このノズル部４と対向するフィルム状の被塗工体５をこのノズル部４に対して搬送させることで前記被塗工体５に塗工液２を薄膜状に塗工するように構成している。
【００６２】
本実施例では、このようなフィルム状の被塗工体５の片面に先ず塗工液２により塗工する第一塗工機構Ａは、供給ロール14に巻き取ってあるフィルム状の被塗工体５を引き出し、塗工面と反対面を塗工用支持ロール15で支持しながら、片面に前記ノズル部４の先端吐出孔３を近接させて片面に薄膜を塗工形成する従来の非接触式の薄膜塗工装置で構成し、この第一塗工機構Ａにより片面塗工を終え、乾燥工程もクーリング工程も経ることなく、まだ乾燥処理しないこのフィルム状の被塗工体５に、この既に塗工済みの片面を支持することなく第二塗工機構Ｂにより反対面を本発明に係るノズル部４で塗工し、この両面塗工を終えた後に、例えばＩＲや熱風で乾燥するフローティング式の乾燥機構Ｃを設けている。
【００６３】
これにより二つの乾燥工程やクーリング工程も不要となり連続して両面塗工が行え、リチウムイオン電池の作製にあたって装置の小型化や作製スピードの向上による量産化が図れる。
【００６４】
本実施例では、このような両面薄膜塗工装置の前記乾燥機構Ｃを有する前記第二塗工機構Ｂに本発明に係る薄膜塗工装置を適用したものである。
【００６５】
具体的には、本実施例の第二塗工機構Ｂとして用いる薄膜塗工装置は、前記搬送されるフィルム状の被塗工体５にノズル部４を接触させずにこのノズル部４のスリット状の先端吐出孔３から吐出する塗工液２が接触し、且つこの塗工液２を介して前記フィルム状の被塗工体５を押圧する位置に前記ノズル部４を配置した構成としている。
【００６６】
この適正位置にノズル部４の先端吐出孔３を配置するには、前記フィルム状の被塗工体５の搬送上流側を支持する支持ロール７を移動自在に設けて、これを移動調整しノズル部４の被塗工体５との相対位置を調整しても良いが、本実施例では、ノズル部４を被塗工体５の引き出し搬送方向と直交する方向、即ち被塗工体５を水平に引き出し水平搬送する場合には上下方向に移動自在に設けて、ノズル部４の先端部（先端吐出孔３）を接触させずにこのノズル部４の先端吐出孔３から吐出する前記塗工液２を前記フィルム状の被塗工体５に接触させる接触圧を調整し前記被塗工体５のフィルム振動を抑制した構成としている。
【００６７】
即ち、塗工液２の粘度・吐出圧・表面張力などを含めて塗工液２を押圧接触させることで生じる接触圧をもってフィルム状の被塗工体５のフィルム振動を抑制するようにノズル部４を上下方向に移動調整して位置設定した構成としている。具体的には、水平張設されて搬送されるフィルム状の被塗工体５に対してわずかな量だけ下方から上方にノズル部４の先端吐出孔３を突き出してこのノズル部４は接触させないが吐出する塗工液２のみが押圧接触するように構成している。
【００６８】
更に説明すると、具体的には本実施例では、前記搬送されるフィルム状の被塗工体５に、前記ノズル部４を接触させずにこのノズル部４の先端吐出孔３から吐出する前記塗工液２を接触させて、この塗工液接触部を起点に前記フィルム状の被塗工体５に０.０５°〜１.００°の範囲の角度を付与した構成としている。即ち、非常に微妙な位置設定を行って、吐出している塗工液２を押し付けてこの塗工液２が接触する塗工液接触部の搬送下流側の水平引き出し面に対して、搬送上流側の支持ロール７までの供給繰り出し面がわずかな角度を生じるように、ノズル部４を微小量突き上げた配置として、ノズル部４の先端部は接触しないが、塗工液２が押圧接触するように構成している。
【００６９】
本実施例では、少なくとも前記塗工液接触部より搬送下流側が水平である場合に搬送上流側が０.０５°以上の角度で傾斜する程度に塗工液２を介して押圧する必要があり、あまり大きく傾斜してしまう程押圧するとノズル部４が接触してしまう。特にフィルム状の被塗工体５の両端部の非塗工端部は角度が大きいと触れてしまうため０.０５°〜０.３０°が望ましい。
【００７０】
また、後述する浮上保持用エア吹付機構11を設けてゆるやかにエアを吹き付けて非塗工端部がノズル部４に接触することを防止すれば、本実施例では０.４０°程度まで角度を付けて押圧しフィルム振動を抑制できる。このようにして塗工液２を十分に押圧接触させ、後述するフローティング式の乾燥機構Ｃや非接触式振動抑制機構Ｄを用いて塗工部でのフィルム振動を小さくすれば十分にフィルム振動の問題を解決でき均一な塗工膜を両面塗工できることとなる。
【００７１】
また、このノズル部４の配置設定は本発明では以下のように行う。
【００７２】
前記ノズル部４を前記フィルム状の被塗工体５に対して接離方向に移動自在に設けてノズル部４の前記被塗工体５との相対位置を調整自在に設け、前記フィルム状の被塗工体５を支持ロール７に支持して引き出し搬送する前に、この引き出し張設した被塗工体５に、前記塗工液２を吐出する前のノズル部４の先端部を一旦接触させ、このノズル部４の先端部を接触させた位置を基準位置として、前記塗工液２を吐出させ前記フィルム状の被塗工体５を引き出し搬送させる塗工時には、ノズル部４を前記基準位置より更に接近方向へ移動調整して、ノズル部４は接触させずに前記塗工液２で前記フィルム状の被塗工体５を押圧する位置に前記ノズル部４を配置する。
【００７３】
即ち、ノズル部４の配置は微妙な位置設定となるため、本実施例では、一旦支持ロール７から水平に引き出したフィルム状の被塗工体５に対して、ノズル部４をノズル移動機構（ノズル高さ調整用昇降機構）により下降退避させた状態から上昇させて一旦このフィルム状の被塗工体５に接触させこの位置を基準位置とする（例えばこの接触位置での移動量カウンタを０セットする。）。
【００７４】
具体的には、フィルム状の被塗工体５は金属製フィルムでノズル部４もステンレス等の金属製であることから、後述する接触監視機構９として設けた接触導通監視回路10により接触したか否かを検知しながらノズル部４を上昇させ接触検知したらこれを基準位置とすべく移動量を０セットする。
【００７５】
そして、再び一旦下降させて塗工液２の吐出を開始すると共に、ノズル部４を上昇させ接触させるが、この接触圧が、ノズル部４は接触させないがフィルム振動を抑えるのに十分な圧力で被塗工体５を押圧できる位置に上昇配置するように、予め定めた微小な移動量だけ前記基準位置より上昇突出させ、前述のような角度を付与する調整設定を行う。
【００７６】
従って、あくまで非接触式のノズル部４としながらも精度良く均一に薄膜を塗工形成でき、これを用いることで乾燥する前に連続的に精度良く均一に薄膜を形成する両面塗工も実現でき、特にリチウムイオン電池形成材の基材となる金属製フィルムの両面に精度良く均一に塗工でき、しかも前記問題点を解決、即ち被塗工体５（リチウムイオン電池形成材の作製にあたっては金属製フィルム）を傷付けたりノズル部４の先端接触部の摩耗による寸法精度の狂いや交換や再調整の必要性やその頻度、そして摩耗粉の発生・混入による不良も低減でき、従って、例えばこの両面塗工したリチウムイオン電池形成材の作製装置の小型化やこの作製の量産化も図れる画期的な薄膜塗工装置並びにこれを用いた両面薄膜塗工装置となる。
【００７７】
即ち、非接触式のノズル部４とするが、単にフィルム状の被塗工体５にノズル部４を近接させて塗工液２を吐出させて塗工するのではなく、ノズル部４は接触させないが、この塗工液２を押圧接触させてフィルム振動を抑制させる位置にノズル部４を配置設定し、非接触式でありながらフィルム振動を抑制し、精度良く均一に薄膜を形成でき、両面塗工も実現できる画期的な薄膜塗工装置となるものである。
【００７８】
また、このように適切なフィルム状の被塗工体５との相対位置にノズル部４を配置することが容易に行えることとなる。
【００７９】
また、本実施例では、ノズル部４の先端吐出孔３から吐出する塗工液２が前記搬送するフィルム状の被塗工体５に接触していて、前記被塗工体５と前記ノズル部４とが接触していないことを常時監視する接触監視機構９を備えている。
【００８０】
この接触監視機構９は、ノズル部４の先端部と前記フィルム状の被塗工体５とが接触した際電流増加若しくは電圧降下が生じるか否かを検知する接触導通監視回路10から成り、この接触導通監視回路10は、ノズル部４と、前記フィルム状の被塗工体５を支持する支持ロール７とに電圧を印加し、前記電流増加若しくは電圧降下が生じるか否かを常時監視する検知部12を設けた構成としている。
【００８１】
具体的には、金属製のノズル部４と、金属製フィルムである被塗工体５と接触して導通している支持ロール７の軸とを電源につないで電圧を印加し、この回路に電流計を検知部12として設け、ノズル部４と被塗工体５とが接触していなければ電流が流れずノズル部４が接触していなくても塗工液２が接触して塗工状態にあるときは、塗工液２は導電性を有するため所定の電流が流れこれを検知部12で正常な状態として検知し、もしノズル部４が接触した場合には、短絡することになり電流が急激に増大しこれを検知部12で検知するように構成している。また、塗工液２が接触しなくなっても前述のように電流が流れなくなるためこの異常も検知できる。
【００８２】
従って、適切な位置にノズル部４が配置されているかどうか、即ちフィルム状の被塗工体５とノズル部４とが接触していないことを常時監視でき、たとえば接触を検知した場合や逆に塗工液２も接触していないことを検知した場合には、フィルム状の被塗工体５に傷を付けたりするなどの問題が生じるあるいは正常に塗工されていないためこれを報知したり表示したり、あるいは搬送を停止し塗工を停止するなどして不良が生じることを防止できる。
【００８３】
また、本実施例では、フィルム状の被塗工体５の両端部の塗工液２を塗工しない非塗工端部が前記ノズル部４に接触することをエアを吹き付けて防止する浮上保持用エア吹付機構11を備えている。
【００８４】
従って、フィルム状の被塗工体５の両端部の塗工しない部分がノズル部４に接触することも防止し、またこれを前記接触監視機構９により監視できるため一層フィルム状の被塗工体５のダメージによる問題が低減できる。
【００８５】
本実施例のこの浮上保持用エア吹付機構11は、フィルム状の被塗工体５の両端部の非塗工端部の下側からエアをゆるやかに吹き付けてこの非塗工端部がノズル部４に接触しないように浮上保持するもので、具体的にはノズル部４の両端部に前記非塗工端部に向かって吹き上げるエア吹出口23を設けた構成としている。
【００８６】
また、本実施例では、前記ノズル部４の先端吐出孔３に対して前記フィルム状の被塗工体５の搬送下流側に、この塗工を終えたフィルム状の被塗工体５を乾燥する乾燥機構Ｃを備え、この乾燥機構Ｃは、搬送される前記フィルム状の被塗工体５にエアを噴出して非接触でこの被塗工体５を浮上支持するエア噴出支持部18（フローティングノズル）を設けている。
【００８７】
このエア噴出支持部18は、この被塗工体５を挟んで上側及び下側に複数フィルム搬送方向に並設状態に設け、このエア噴出支持部18から噴出するエアを温風とする温風供給部を設けると共に、本実施例では、ＩＲヒータによるヒータ部21をこのフローティング乾燥部内に配設し、塗工膜の表面及び内部から加熱乾燥するフローティング式の乾燥機構Ｃとしている。
【００８８】
本実施例では、この上下に配設するエア噴出支持部18を、エア供給部から供給されるエアを前記フィルム状の被塗工体５と対向する対向面に設けた噴出孔19からこの被塗工体５に向かって噴出する構成とし、この噴出孔19を前記エア噴出支持部18の対向面に多数設けて、この多数の噴出孔19からエアを前記フィルム状の被塗工体５の両面に吹き付けて浮上支持することで、この乾燥機構Ｃで生じる被塗工体５のフィルム振動を抑えた構成としている。
【００８９】
更に具体的には、本実施例では、前記エア噴出支持部18の前記対向面は、前記フィルム状の被塗工体５の幅と同等若しくはこれより長く形成し、この対向面に均一に小孔状の前記噴出孔19を少なくとも前記フィルム状の被塗工体５の幅と同等の範囲に一様に点散形成し、この多数の噴出孔19からエアを噴出するエア噴出支持部18を被塗工体５を挟んで上側及び下側に夫々複数フィルム搬送方向に並設して、前記乾燥機構Ｃを構成している。
【００９０】
従って、従来はこのフローティング乾燥機構Ｃによってフィルム振動が顕著に生じていたが、本実施例においては、このエア噴出支持部18の対向面に多数の噴出孔19を設けることで、例えば同じ風量であっても小孔状の噴出孔19を多数対向面に形成することでエア噴出速度を小さくでき、この低速で多数の噴出孔19から噴出するエアで浮上支持するため、従来の単なるスリット状などの噴出孔19を設けたエア噴出支持部18（フローティングノズル）に比べてフィルム振動を小さくでき、これによって塗工部でのフィルム振動をそもそも小さく抑えることができる。
【００９１】
これによりフィルム振動が小さくできることから前述した本発明に係るノズル部４によってこのフィルム振動を抑える場合に、このノズル部４の塗工液２の被塗工体５への接触圧を小さくできることとなる。
【００９２】
また更に説明すると、本実施例では、繰り返しとなるが、エア（温風）が供給される前記フィルム状の被塗工体５の幅と略合致した幅で搬送方向に所定の長さを有し、この被塗工体５の幅いっぱいで所定長さ範囲にエアを吹き付けるエア噴出支持部18の対向面に多数の噴出孔19を設けている。
【００９３】
例えば、被塗工体５が通過するのに１秒位かかる範囲にエアを吹き付けるようにし、この対向面には、例えば０.５φの小さな噴出孔19を多数設け、このエア噴出支持部18内にはエア（温風）供給源から供給されたエア（温風）を整流均一化する多孔板や網板（邪魔板22）を内装し、最終的にこの内部に供給されたエアが表面（対向面）の前記噴出孔19から均一に噴出するように構成している。
【００９４】
このエアの噴出量は多く且つエア噴出速度が遅い（低い）方がフィルム振動を抑える（減衰させる）フィルム保持効果が良好となるため、対向面のフィルム幅いっぱいに小孔を一様に点散形成している。
【００９５】
また本実施例では、フィルム状の被塗工体５を挟んで上側及び下側の双方に前記エア噴出支持部18を搬送方向に並設し、この上側のエア噴出支持部18間で対向する位置に下側のエア噴出支持部18を設けて、エア噴出支持部18が上下で互い違いに対向するように配設し、フィルム状の被塗工体５のねじれなどのゆがみが生じないようにしつつフローティング搬送し、しかも多数の小孔状の噴出孔19による均一で多量で低速なエア（温風）の吹き付けでフローティング乾燥する構成として、フィルム振動が搬送上流側の塗工部へ伝わることを抑制している。
【００９６】
また、このエア噴出支持部18を上下に互い違いでなく、直に上下に対向するように上下一組ずつ並設対向配設するように構成しても良い。
【００９７】
このようにしてフィルム振動の原因となっていた乾燥機構Ｃを、エア噴出支持部18の対向面に形成した多数の噴出孔19からエアをフィルム状の被塗工体５に両面から吹き付けて浮上支持する構成とすることで、このフローティング式の乾燥機構Ｃでのフィルム振動が小さくできるため、塗工部でのフィルム振動をそもそも小さく抑えることができる。
【００９８】
これによりフィルム振動が小さくできることからノズル部４を接触せずにこのノズル部４から吐出する塗工液２による接触圧、即ち塗工液２を介してのフィルム状の被塗工体５への押圧によって塗工液２でのフィルム振動を抑制することができる。
【００９９】
従って、本発明に係るノズル部４によりフィルム振動を抑えるに際してそもそもフィルム振動の発生部である乾燥機構Ｃでのフィルム振動が抑制されているため、ノズル部４を接触させずに吐出する塗工液２による接触圧でも十分にフィルム振動を抑制でき、またこのようにノズル部４を接触させずに塗工液２を介して押圧させてフィルム振動を抑制するノズル部４の配置設定も容易に実現可能となる。
【０１００】
また、この乾燥機構Ｃの手前に同様なエアニップ方式の非接触式振動抑制機構Ｄを更に設けてフィルム振動をできるだけ抑え込んだ状態で塗工部でのフィルム振動を抑えている。
【０１０１】
即ち、本実施例では、前述のように第二塗工機構Ｂの塗工部とフローティング乾燥機構Ｃとの間、即ち支持ロール７と乾燥機構Ｃとの間にノズル部４を配設するが、このノズル部４と乾燥機構Ｃの間に非接触式振動抑制機構Ｄを設けている。
【０１０２】
この非接触式振動抑制機構Ｄは、前記乾燥機構Ｃと同様にフィルム状の被塗工体５を非接触状態で挟むように板状のエア噴出部17を上下に対向配設し、このエア噴出部17に設けた多数のエア噴出孔からエアを噴出して被塗工体５をエア圧で押さえ、これによりフローティング式で温風乾燥を行う前記乾燥機構Ｃにより生じるフィルム振動を更に少しでも抑制減衰させるように更に非接触支持するものである。
【０１０３】
具体的には、乾燥機構Ｃと同様にして、フィルム状の被塗工体５の所定範囲、例えば被塗工体５の幅が６５０ｍｍであるとすれば、これよりやや大きい幅、例えば８００ｍｍとして、長さは例えば６００ｍｍとし、少なくともエア噴出部17間を被塗工体５が通過するのに１秒位かかる範囲をエアで押さえ込むように構成している。
【０１０４】
具体的には、このエア噴出部17の表面には０.５φの多数のエア噴出孔を設け、このエア噴出部17内にはエア供給源から供給されたエアを整流均一化する多孔板や網板（邪魔板22）を内装し、最終的に内部に供給されたエアが表面の前記エア噴出孔16から均一に噴出するように構成している。
【０１０５】
このエアの噴出量は多く且つエア噴出速度が遅い方が、被塗工体５のフィルム振動を抑制減衰させるフィルム保持効果が良好となる。
【０１０６】
本実施例では、このように非接触式振動抑制機構Ｄを介在して、できるだけ乾燥機構Ｃによるフィルム振動を抑え更に少しでもフィルム振動を抑えた上で、前述した本発明に係るノズル部４を用いた薄膜塗工装置による第二塗工機構Ｂによって、片面を支承できない状態での反対面を塗工する両面塗工においても、精度良く均一に薄膜を塗工形成できるようにしている。
【０１０７】
尚、本発明は、本実施例に限られるものではなく、各構成要件の具体的構成は適宜設計し得るものである。
【符号の説明】
【０１０８】
１  液供給部
２  塗工液
３  先端吐出孔
４  ノズル部
５  被塗工体
７  支持ロール
９  接触監視機構
10  接触導通監視回路
11  浮上保持用エア吹付機構
12  検知部
16  エア噴出孔
17  エア噴出部
18  エア噴出支持部
19  噴出孔
21  ヒータ部
Ａ  第一塗工機構
Ｂ  第二塗工機構
Ｃ  乾燥機構
Ｄ  非接触式振動抑制機構
【図１】
2011194341.tif 000003
【図２】
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【図３】
2011194341.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2011194341.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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