(57)【要約】【課題】スイッチング素子のＯＮ／ＯＦＦ動作に起因するノイズの影響を受けない形でフィードバック制御を行えるフィードバック制御装置を提供する。【解決手段】フィードバック制御装置は、ＰＷＭ信号発生部１２に対する制御内容を決定するために必要な情報を得るためにセンサ２１からのアナログ信号をＡＤコンバータ１７にＡＤ変換させる際に、スイッチング素子１４のスイッチング動作を停止させる構成（遅延回路１６、２入力ＮＡＮＤゲート１３）を備える。【選択図】図１
2011022692.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
負荷に供給する電力量を調整するためのスイッチング素子と、
前記負荷に供給する電力量に応じて、その値が変化する特定の物理量のアナログセンサによる測定値が入力されるＡＤコンバータと、
前記ＡＤコンバータによりデジタルデータ化された前記物理量の測定値に基づき、前記物理量の値を目標値に一致させるための前記スイッチング素子のＯＮ時間の割合である目標割合を演算する演算処理を周期的に行って、ＯＮ時間の割合が演算した目標割合となるように前記スイッチング素子をＯＮ／ＯＦＦ制御する制御部であって、目標割合の演算に使用する各測定値の前記ＡＤコンバータによるＡＤ変換時に前記スイッチング素子のＯＮ／ＯＦＦ動作を停止させる制御部と
を備えることを特徴とするフィードバック制御装置。
【請求項２】
前記制御部は、
ＯＦＦ時間がＯＮ時間未満となるように前記スイッチング素子を制御している状況下、前記演算処理を行う場合には、前記スイッチング素子をＯＮ状態に制御してから、前記スイッチング素子のＯＮ／ＯＦＦ動作を停止させ、ＯＮ時間がＯＦＦ時間未満となるように前記スイッチング素子を制御している状況下、前記演算処理を行う場合には、前記スイッチング素子をＯＦＦ状態に制御してから、前記スイッチング素子のＯＮ／ＯＦＦ動作を停止させる
ことを特徴とする請求項１に記載のフィードバック制御装置。
【請求項３】
前記制御部が、
ＰＷＭ信号を発生するためのＰＷＭ信号発生部と、
前記ＡＤコンバータへのＡＤ変換開始信号をアサートすることにより周期的に前記ＡＤコンバータにＡＤ変換動作を開始させ、当該ＡＤ変換動作によりデジタルデータ化された前記物理量の各測定値に基づき前記演算処理を行い、前記演算処理を行う度に、演算した目標割合に応じたデューティ比を有するＰＷＭ信号の発生を前記ＰＷＭ信号発生部に指示する演算処理部と、
前記ＰＷＭ信号発生部からの前記ＰＷＭ信号を前記スイッチング素子のゲートにゲート制御信号として供給する信号供給回路であって、前記ＡＤ変換開始信号がアサートされた後、一定時間の間は、所定レベルのゲート制御信号を前記スイッチング素子のゲートに供給する信号供給回路と
を含むユニットである
ことを特徴とする請求項１に記載のフィードバック制御装置。
【請求項４】
前記制御部が、
前記ＡＤコンバータへのＡＤ変換開始信号をアサートすることにより周期的に前記ＡＤコンバータにＡＤ変換動作を開始させ、当該ＡＤ変換動作によりデジタルデータ化された前記物理量の各測定値に基づき前記演算処理を行う演算処理部と、
前記演算処理部が演算した目標割合に応じたデューティ比を有するＰＷＭ信号を発生してゲート制御信号として前記スイッチング素子のゲートに供給するＰＷＭ信号発生部であって、前記ＡＤ変換開始信号がアサートされた後、一定時間の間は、所定レベルの信号を発生するＰＷＭ信号発生部と
を含むユニットである
ことを特徴とする請求項１に記載のフィードバック制御装置。
【請求項５】
前記制御部が、
ＰＷＭ信号を発生してゲート制御信号として前記スイッチング素子のゲートに供給するためのＰＷＭ信号発生部と、
前記ＰＷＭ信号発生部の動作を停止させてから前記ＡＤコンバータのＡＤ変換動作を開始させる処理を周期的に行い、開始させたＡＤ変換動作によりデジタルデータ化された前記物理量の各測定値に基づき前記演算処理を行い、前記演算処理を行う度に、演算した目標割合に応じたデューティ比を有するＰＷＭ信号の発生開始を前記ＰＷＭ信号発生部に指示する演算処理部と
を含むユニットである
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のフィードバック制御装置。
【請求項６】
負荷に供給する電力量を調整するためのスイッチング素子と、前記負荷に供給する電力量に応じて、その値が変化する特定の物理量のアナログセンサによる測定値が入力されるＡＤコンバータと、ＰＷＭ信号を発生してゲート制御信号として前記スイッチング素子のゲートに供給するためのＰＷＭ信号発生部とに接続されたコンピュータに、
前記ＰＷＭ信号発生部の動作を停止させてから前記ＡＤコンバータのＡＤ変換動作を開始させるステップと、
開始させたＡＤ変換動作によりデジタルデータ化された前記物理量の測定値に基づき、前記物理量の値を目標値に一致させるための前記スイッチング素子のＯＮ時間の割合である目標割合を演算するステップと、
演算した目標割合に応じたデューティ比を有するＰＷＭ信号の発生開始を前記ＰＷＭ信号発生部に指示するステップと
を実行させることを特徴とするフィードバック制御プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願明細書で開示される技術は、フィードバック制御を行うためのフィードバック制御装置とフィードバック制御プログラムとに関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、スイッチング素子を高速にＯＮ／ＯＦＦさせることにより負荷（電力の供給対象）への電力供給量を調整することが行われている。そして、そのような電力供給量の調整を正確に行うためには、電力供給量に応じて変化する物理量（温度、電流値等）を測定し、測定結果に基づきフィードバック制御を行う必要がある。そのため、図８に示した構成を有するフィードバック制御装置が開発されている。
【０００３】
このフィードバック制御装置は、温度制御対象を加熱するためのヒータ２０に供給する電力量を、温度制御対象の温度の温度センサ２１による測定結果に基づきフィードバック制御する装置である。
【０００４】
より具体的には、このフィードバック制御装置が備えるＡＤ(analog-to-digital)コン
バータ５７は、増幅回路５８を介して入力される温度センサ２１からのアナログ信号を、温度制御演算部５１から指示されたときにデジタルデータに変換する回路である。ＰＷＭ信号発生部５２は、温度制御演算部５１から指示されたパターンで時間変化するＰＷＭ（Pulse Width Modulation）信号を発生する回路である。
【０００５】
ＮＯＴ回路５９は、ＰＷＭ信号発生部５２からのＰＷＭ信号を反転させた信号を、スイッチング素子５４のゲートに供給する回路である。平滑化回路５５は、スイッチング素子５４からのパルス状電流を平滑化することにより、スイッチング素子１４のＯＮ時間に応じたレベルの直流電圧を生成してヒータ２０に印可する回路である。
【０００６】
温度制御演算部５１は、『ＡＤコンバータ５７にＡＤ変換を行わせることにより温度制御対象の温度を取得し、取得した温度に基づき、温度制御対象の温度を目標温度とすることが出来るデューティ比を求め、求めたデューティ比のＰＷＭ信号をＰＷＭ信号発生部５２に発生させる処理』を周期的に行うユニットである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−１４５１０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
さて、ＰＷＭ信号の周波数が高いほど、平滑化回路５５を小型化できる。そのため、上記したフィードバック制御装置のＰＷＭ信号発生部５２は、高い周波数のＰＷＭ信号を発生するものとなっているのであるが、スイッチング素子５４が高速にＯＮ／ＯＦＦされると、比較的に大きなノイズが発生する。また、温度センサ２１から出力される信号は微弱な信号である。
【０００９】
そして、温度センサ２１からＡＤコンバータ５７への信号経路を、スイッチング素子５４から大きく離れた場所に設けることは実際上出来ない。そのため、従来のフィードバック制御装置（特に小型化を図ったもの）は、図９に示したように、スイッチング素子５４のＯＮ／ＯＦＦ時に、ＡＤコンバータ５７に入力される温度センサ信号にノイズが畳重し
てしまうものとなっている。そして、従来のフィードバック制御装置は、このノイズの影響により、ＰＷＭ信号発生部に対して誤った制御が行われてしまうことがある装置となっている。
【００１０】
そこで、開示の技術の課題は、スイッチング素子のＯＮ／ＯＦＦ動作に起因するノイズの影響を受けない形でフィードバック制御を行えるフィードバック制御装置及びフィードバック制御プログラムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、開示の技術の一態様のフィードバック制御装置は、負荷に供給する電力量を調整するためのスイッチング素子と、前記負荷に供給する電力量に応じて、その値が変化する特定の物理量のアナログセンサによる測定値が入力されるＡＤコンバータと、前記ＡＤコンバータによりデジタルデータ化された前記物理量の測定値に基づき、前記物理量の値を目標値に一致させるための前記スイッチング素子のＯＮ時間の割合である目標割合を演算する演算処理を周期的に行って、ＯＮ時間の割合が演算した目標割合となるように前記スイッチング素子をＯＮ／ＯＦＦ制御する制御部であって、目標割合の演算に使用する各測定値の前記ＡＤコンバータによるＡＤ変換時に前記スイッチング素子のＯＮ／ＯＦＦ動作を停止させる制御部とを備える。
【発明の効果】
【００１２】
開示の技術によれば、スイッチング素子のＯＮ／ＯＦＦ動作に起因するノイズの影響を受けない形でフィードバック制御を行うことが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】第１実施形態に係るフィードバック制御装置の構成図。
【図２】第１実施形態に係るフィードバック制御装置が備える温度制御演算部が実行する制御処理の流れ図。
【図３】第１実施形態に係るフィードバック制御装置の動作を説明するためのタイミングチャート。
【図４】スイッチング素子がＯＮ／ＯＦＦ動作を行っていない場合における温度センサ信号の状態の説明図。
【図５】第２実施形態に係るフィードバック制御装置の構成図。
【図６】第３実施形態に係るフィードバック制御装置の構成図。
【図７】第３実施形態に係るフィードバック制御装置が備える温度制御演算部が実行する制御処理の流れ図。
【図８】既存のフィードバック制御装置の構成図。
【図９】既存のフィードバック制御装置における温度センサ信号の状態の説明図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、図面を参照して、フィードバック制御装置についての幾つかの実施形態を説明する。なお、以下で説明する各実施形態は例示であり、本発明は、以下の説明における特定の技術事項に限定されるものではない。
【００１５】
《第１実施形態》
図１に、第１実施形態に係るフィードバック制御装置の構成を示す。
このフィードバック制御装置は、或る物体（以下、温度制御対象と表記する）を加熱するためのヒータ２０に供給する電力量を、温度センサ２１による温度制御対象の温度の測定結果に基づきフィードバック制御する装置である。
【００１６】
図示してあるように、フィードバック制御装置は、温度制御演算部１１、ＰＷＭ信号発
生部１２、２入力ＮＡＮＤゲート１３、スイッチング素子１４、平滑化回路１５、遅延回路１６、ＡＤコンバータ１７及び増幅回路１８を、備えている。
【００１７】
増幅回路１８は、温度センサ２１からのアナログ信号を増幅するための回路である。ＡＤコンバータ１７は、増幅回路１８からのアナログ信号（以下、温度センサ信号と表記する）をデジタルデータに変換するための回路である。このＡＤコンバータ１７は、温度制御演算部１１からのＡＤ変換開始信号のレベルがハイレベルに変化したときに、ＡＤ変換を開始する回路となっている。
【００１８】
スイッチング素子１４は、ゲートに入力されているゲート制御信号に従ってＯＮ／ＯＦＦ動作を繰り返すことにより、電圧Ｖｃｃの直流をパルス状電流に変換して平滑化回路１５に供給する素子（本実施形態では、ｐ型のＭＯＳＦＥＴ(Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor)）である。平滑化回路１５は、スイッチング素子１４からのパ
ルス状電流を平滑化することにより、スイッチング素子１４のＯＮ時間に応じたレベルの直流電圧を生成してヒータ２０に印可する回路である。
【００１９】
ＰＷＭ信号発生部１２は、温度制御演算部１１から指示されたパターン（ＰＷＭ周期、デューティ比）で時間変化するＰＷＭ信号を発生する回路である。
【００２０】
遅延回路１６は、通常は、ハイレベルの停止制御信号を出力し、ＡＤ変換開始信号がハイレベルに変化したときに、一定時間の間だけ、ローレベルの停止制御信号を出力する回路（いわゆるワンショット・マルチバイブレータ）である。この遅延回路１６は、ＡＤコンバータ１７のＡＤ変換時間（例えば、５μｓ）と同程度の時間（本実施形態では、ＡＤ変換時間と同じ時間）だけ、ローレベルの停止制御信号を出力するように構成された回路となっている。なお、ＡＤコンバータ１７のＡＤ変換時間とは、ＡＤコンバータ１７によるＡＤ変換に要する時間のことである。
【００２１】
２入力ＮＡＮＤゲート１３は、２つの入力端子の双方にハイレベルの信号が入力されている場合には、出力端子からローレベルの信号を出力し、そうでない場合には、出力端子からハイレベルの信号を出力する回路である。この２入力ＮＡＮＤゲート１３の２つの入力端子には、それぞれ、遅延回路１６からの停止制御信号、ＰＷＭ信号発生部１２からのＰＷＭ信号が入力されている。そして、フィードバック制御装置は、この２入力ＮＡＮＤゲート１３の出力端子からの信号が、スイッチング素子１４のゲートに、ゲート制御信号として入力された装置となっている。
【００２２】
温度制御演算部１１は、フィードバック制御装置が起動されると、自ユニット内に設定されているフィードバック制御プログラムに従って、図２に示した手順の制御処理を実行するユニット（一種のコンピュータ）である。
【００２３】
すなわち、フィードバック制御装置が起動されると、温度制御演算部１１は、まず、初期化処理（ステップＳ１０１）を行う。この初期化処理時には、その後に使用する各種変数の値を初期化する処理、発生させるＰＷＭ信号のＰＷＭ周期をＰＷＭ信号発生部１２に設定する処理等が行われる。
【００２４】
その後、温度制御演算部１１は、サンプリング周期（例えば、５ｍｓ）が経過するのを待機する（ステップＳ１０２）。なお、詳細説明は省略するが、温度制御演算部１１内に設定されているフィードバック制御プログラムは、フィードバック制御装置を、目標温度をユーザが設定できる装置として機能させるプログラムとなっている。
【００２５】
サンプリング周期が経過した場合（ステップＳ１０２；ＹＥＳ）、温度制御演算部１１
は、ＡＤ変換開始信号をアサートする（つまり、ＡＤ変換開始信号のレベルをハイレベルに変化させる）ことにより、ＡＤコンバータ１７にＡＤ変換の開始を指示する（ステップＳ１０３）。
【００２６】
その後、温度制御演算部１１は、ＡＤコンバータ１７による温度センサ信号のＡＤ変換が完了するのを待機する（ステップＳ１０４）。そして、温度制御演算部１１は、ＡＤ変換が完了した場合（ステップＳ１０４：ＹＥＳ）には、目標デューティ比算出処理（ステップＳ１０５）を行う。この目標デューティ比算出処理は、温度センサ信号の今回のＡＤ変換結果に基づき、温度制御対象の温度を目標温度に一致させるためのスイッチング素子１４のＯＮ時間の割合である目標デューティ比を算出する処理である。
【００２７】
ここで、『温度制御対象の温度を目標温度に一致させるためのスイッチング素子１４のＯＮ時間の割合』（目標デューティ比）とは、スイッチング素子１４のＯＮ時間の割合をその値とすることにより、温度制御対象の温度を目標温度に近づけること、又は、温度制御対象の温度を目標温度近傍の温度に維持することが出来る値のことである。なお、本実施形態に係る温度制御演算部１１が実際に実行する目標デューティ比算出処理は、目標デューティ比を、いわゆるＰＩＤ（proportional integral and differential gain）制御
アルゴリズムにて算出する処理である。
【００２８】
目標デューティ比算出処理を終えた温度制御演算部１１は、デューティ比が目標デューティ比となっているＰＷＭ信号を発生するようにＰＷＭ信号発生部１２を制御する（ステップＳ１０６）。そして、温度制御演算部１１は、ステップＳ１０２以降の処理を再び開始する。
【００２９】
以上の説明から明らかなように、本実施形態に係るフィードバック制御装置は、目標デューティ比の更新／算出に必要な情報を得るためのＡＤ変換時に、スイッチング素子１４のＯＮ／ＯＦＦ動作が停止する構成を有している。
【００３０】
より具体的には、既に説明したように、遅延回路１６（図１参照）は、ＡＤ変換開始信号がアサートされると、停止制御信号のレベルを、ＡＤ変換時間と同程度の時間（以下、停止時間と表記する）の間だけ、ローレベルに変更する回路である。そして、フィードバック制御装置は、停止制御信号が２入力ＮＡＮＤゲート１３の一方の入力端子に入力され、２入力ＮＡＮＤゲート１３の出力信号がゲート制御信号としてスイッチング素子１４のゲートに入力された構成を有している。
【００３１】
従って、温度制御演算部１１によりＡＤ変換開始信号がアサートされると、図３に模式的に示したように、その後、停止時間が経過するまでの間、ゲート制御信号のレベルがハイレベルに固定されることになる。
【００３２】
また、ＡＤ変換開始信号がアサートされると、ＡＤコンバータ１７による温度センサ信号のＡＤ変換が開始されるが、停止時間は、ＡＤコンバータ１７のＡＤ変換時間相当の時間となっている。従って、ＡＤコンバータ１７によるＡＤ変換は、ゲート制御信号のレベルがハイレベルに固定されている状況下、つまり、ｐＭＯＳＦＥＴであるスイッチング素子１４がＯＦＦ状態をとり続けている状況下で、実行されることになる。
【００３３】
そして、スイッチング素子１４がＯＮ／ＯＦＦ動作を行っていない場合、図４に示したように、温度センサ信号は、スイッチング素子１４のＯＮ／ＯＦＦ動作に起因するノイズ（図９参照）が畳重されていないものとなる。
【００３４】
従って、本実施形態に係るフィードバック制御装置を用いておけば、スイッチング素子
１４のＯＮ／ＯＦＦ動作に起因するノイズの影響を受けない形で温度制御対象の温度を制御できることになる。
【００３５】
なお、ＡＤ変換中にスイッチング素子１４の動作を停止させても、温度制御対象の温度の制御上の問題は特に生じない。何故ならば、サンプリング周期は、許容する温度誤差や温度制御対象の仕様／特性により適切な値が定まるパラメータであるが、出力分解能２%
つまり出力０から最大出力まで５０段階のＰＷＭ信号発生回路でも正確に制御できる。本発明ではスイッチング素子の停止であるが、サンプリング(ＡＤ変換)周期を５ｍｓとしＡＤ変換時間を５μｓとするとＡＤ変換中にスイッチング素子１４の動作を停止させることにより生ずるヒータ１７への供給電力量の変化量は、サンプリング周期がＡＤ変換時間の１０００倍の場合（つまり、変化量が比較的に大きくなる場合）でも、せいぜい、０．１％であるからである。
【００３６】
《第２実施形態》
以下、第２実施形態に係るフィードバック制御装置の構成及び動作を、第１実施形態に係るフィードバック制御装置と異なっている部分を中心に、説明する。
【００３７】
図５に示したように、第２実施形態に係るフィードバック制御装置は、温度制御演算部１１、ＰＷＭ信号発生部１２ｂ、スイッチング素子１４、平滑化回路１５、遅延回路１６、ＡＤコンバータ１７、増幅回路１８及びＮＯＴゲート１９を、備えている。
【００３８】
このフィードバック制御装置が備える温度制御演算部１１、スイッチング素子１４、平滑化回路１５、遅延回路１６、ＡＤコンバータ１７、増幅回路１８は、それぞれ、第１実施形態に係るフィードバック制御装置が備える同名の構成要素と同じものである。
【００３９】
ＮＯＴゲート１９は、ＰＷＭ信号発生部１２ｂからの信号を反転させた信号を、ゲート制御信号としてスイッチング素子１４のゲートに供給する回路である。
【００４０】
ＰＷＭ信号発生部１２ｂは、上記したＰＷＭ信号発生部１２と本質的には同機能の回路である。ただし、ＰＷＭ信号発生部１２ｂは、或る信号入力端子にローレベルの信号が入力されている場合には、ＰＷＭ信号の出力を停止して一定レベル（本実施形態では、ローレベル）の信号を出力する回路となっている。
【００４１】
そして、第２実施形態に係るフィードバック制御装置は、ＰＷＭ信号発生部１２ｂの上記信号入力端子に、遅延回路１６からの停止制御信号が入力されるように構成した装置となっている。
【００４２】
以上の説明から明らかなように、第２実施形態に係るフィードバック制御装置は、ＡＤ変換時にスイッチング素子１４のＯＮ／ＯＦＦ動作を停止させることを、第１実施形態に係るフィードバック制御装置とは異なる構成で実現した装置となっている。
【００４３】
従って、この第２実施形態に係るフィードバック制御装置によっても、スイッチング素子１４のＯＮ／ＯＦＦ動作に起因するノイズの影響を受けない形で温度制御対象の温度を制御できることになる。
【００４４】
《第３実施形態》
以下、第３実施形態に係るフィードバック制御装置の構成及び動作を、第１、第２実施形態に係るフィードバック制御装置と異なっている部分を中心に、説明する。
【００４５】
図６に、第３実施形態に係るフィードバック制御装置の構成を示す。
図示してあるように、第３実施形態に係るフィードバック制御装置は、温度制御演算部１１ｃ、ＰＷＭ信号発生部１２、スイッチング素子１４、平滑化回路１５、遅延回路１６、ＡＤコンバータ１７、増幅回路１８及びＮＯＴゲート１９を、備えている。
【００４６】
このフィードバック制御装置が備えるＰＷＭ信号発生部１２、スイッチング素子１４、平滑化回路１５、ＡＤコンバータ１７、増幅回路１８は、それぞれ、第１実施形態に係るフィードバック制御装置が備える同名の構成要素と同じものである。また、ＮＯＴゲート１９は、第２実施形態に係るフィードバック制御装置が備えるＮＯＴゲート１９と同じ論理ゲートである。
【００４７】
温度制御演算部１１ｃは、温度制御演算部１１と同様に、フィードバック制御装置が起動されると、自ユニット内に設定されているフィードバック制御プログラムに従った動作を開始するユニットである。ただし、この温度制御演算部１１ｃ内に設定されているフィードバック制御プログラムは、温度制御演算部１１ｃに、図７に示した手順／内容の制御処理を実行させるものとなっている。
【００４８】
すなわち、フィードバック制御装置が起動されると、温度制御演算部１１ｃは、まず、温度制御演算部１１が行うものと同内容の初期化処理（ステップＳ２０１）を行う。
【００４９】
その後、温度制御演算部１１ｃは、サンプリング周期（例えば、５ｍｓ）が経過するのを待機する（ステップＳ２０２）。そして、温度制御演算部１１ｃは、サンプリング周期が経過した場合（ステップＳ２０２；ＹＥＳ）には、その時点における目標デューティ比（以下、現目標デューティ比と表記する）を制御再開時用デューティ比として記憶する処理（ステップＳ２０３）を行う。
【００５０】
次いで、温度制御演算部１１ｃは、ステップＳ２０４にて、現目標デューティ比が５０％以上であるか否かを判断する。そして、温度制御演算部１１ｃは、現目標デューティ比が５０％以上であった場合には、デューティ比が１００％のＰＷＭ信号を発生するようにＰＷＭ信号発生部１２を制御してから、ステップＳ２０４の処理を終了する。また、温度制御演算部１１ｃは、現目標デューティ比が５０％未満であった場合には、デューティ比が０％のＰＷＭ信号を発生するようにＰＷＭ信号発生部１２を制御してから、ステップＳ２０４の処理を終了する。
【００５１】
ステップＳ２０４の処理を終えた温度制御演算部１１ｃは、ＡＤ変換開始信号をアサートする（ステップＳ２０５）。その後、温度制御演算部１１ｃは、ＡＤコンバータ１７による温度センサ信号のＡＤ変換が完了するのを待機する（ステップＳ２０６）。
【００５２】
ＡＤ変換が完了した場合（ステップＳ２０６：ＹＥＳ）、温度制御演算部１１ｃは、制御再開時用デューティ比のＰＷＭ信号を発生するようにＰＷＭ信号発生部１２を制御する（ステップＳ２０７）。
【００５３】
そして、温度制御演算部１１ｃは、ステップＳ２０８、Ｓ２０９にて、それぞれ、ステップＳ１０５、Ｓ１０６（図２参照）と同内容の処理を行ってから、ステップＳ２０２以降の処理を開始する。
【００５４】
以上の説明から明らかなように、第３実施形態に係るフィードバック制御装置も、温度センサ信号のＡＤ変換時にスイッチング素子１４のＯＮ／ＯＦＦ動作を停止させる装置となっている。従って、本実施形態に係るフィードバック制御装置によっても、スイッチング素子１４のＯＮ／ＯＦＦ動作に起因するノイズの影響を受けない形で温度制御対象の温度を制御できることになる。
【００５５】
また、第３実施形態に係るフィードバック制御装置は、フィードバック制御プログラム（温度制御演算部１１ｃ）が、スイッチング素子１４のＯＮ／ＯＦＦ動作を停止させる構成を有している。従って、このフィードバック制御装置は、遅延回路１６等が不要な分、第１、第２実施形態に係るフィードバック制御装置よりも安価かつコンパクトに製造できる装置となっていることになる。
【００５６】
さらに、第３実施形態に係るフィードバック制御装置は、ＡＤ変換中にヒータ２０に供給される電力量を、ヒータ２０に供給可能な最大電力量、“０”のうちの、ＡＤ変換開始前にヒータ２０に供給していた電力量に近い方の電力量に制御する機能を有している。また、フィードバック制御装置は、ＡＤ変換完了後、即座に（目標デューティ比の算出完了を待つことなく）、スイッチング素子１４のスイッチング動作を開始させる機能も有している。
【００５７】
従って、第３実施形態に係るフィードバック制御装置は、そのような機能を有さない第１，第２実施形態に係るフィードバック制御装置よりも温度制御対象の温度を正確に制御できる装置となっていることにもなる。
【００５８】
《変形形態》
上記した各実施形態に係るフィードバック制御装置は、各種の変形を行うことが出来る。例えば、第１、第２実施形態に係るフィードバック制御装置内の温度制御演算部１１を、制御処理時に、ステップＳ２０３及びＳ２０７の処理相当の処理も実行するユニットに変形することが出来る。
【００５９】
また、各実施形態に係るフィードバック制御装置を、スイッチング素子１４のスイッチング動作を時々停止しても問題が生じないものでありさえすれば、ヒータ２０以外のもの（ペルチェ素子等）への供給電力量を制御する装置として使用することも出来る。また、各実施形態に係るフィードバック制御装置を、ＡＤコンバータ１７が頻繁に機能し、ＡＤ変換結果を実際に利用する場合にのみスイッチング素子１４のスイッチング動作が停止される装置に変形することも出来る。さらに、各実施形態に係るフィードバック制御装置を、平滑化回路１５や増幅回路１８を備えない装置、温度センサ２１以外のセンサ（例えば、電流センサ）からのアナログ信号に基づきフィードバック制御を行う装置等に変形しても良いことなどは同然のことである。
【符号の説明】
【００６０】
１１、１１ｃ  温度制御演算部
１２、１２ｂ  ＰＷＭ信号発生部
１３  ２入力ＮＡＮＤゲート
１４  スイッチング素子
１５  平滑化回路
１６  遅延回路
１７  ＡＤコンバータ
１８  増幅回路
１９  ＮＯＴゲート
２０  ヒータ
２１  温度センサ
【図１】
2011022692.tif 000003
【図２】
2011022692.tif 000004
【図３】
2011022692.tif 000005
【図４】
2011022692.tif 000006
【図５】
2011022692.tif 000007
【図６】
2011022692.tif 000008
【図７】
2011022692.tif 000009
【図８】
2011022692.tif 000010
【図９】
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