(57)【要約】【課題】容器の後方から前方に向かって搬送用支持体を突出させることにより容器授受部に対して容器を授受することができるものでありながら、容器授受部にて容器を精度良く位置決めされた状態で載置支持することができる容器搬送設備を提供すること。【解決手段】授受側後方ピン34Rを支持する授受側後方ピン支持体32Rは、下降位置で出退される搬送用支持体20の搬送側後方ピン24Rに対して容器左右方向で異なる位置において、授受側後方ピン34Rよりも下方側に延びる形態で設けられ、搬送用支持体20には、下降位置で出退されるときに、授受側後方ピン支持体32Rが搬送用支持体20に対して挿脱自在な出退挿脱用間隙G1が形成され、且つ、突出位置P1に位置する状態で昇降させるときに、授受側後方ピン34R及び授受側後方ピン支持体32Rが搬送用支持体20に対して挿脱自在な昇降挿脱用間隙G2が形成されている容器搬送設備。【選択図】図５
2011071434.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板出し入れ用の開口部が前方側に配置された半導体基板搬送用の容器を載置支持自在な容器授受部と、
前記容器授受部に載置支持されたときの前記容器の後方側から前記容器授受部に対して前記容器を授受自在な容器搬送手段とが設けられ、
前記容器授受部は、
前記容器の底面の前方側において容器左右方向の一方側と他方側とに分散して形成された左右一対の前方係合溝部の夫々に左右一対の授受側前方ピンの夫々を係合させて、前記容器を載置支持自在に構成され、
前記容器搬送手段には、
前記容器授受部に対して設定された授受作業位置に前記容器搬送手段を移動させた状態において、前記容器授受部側に突出する突出位置と自己側に引退する引退位置とに出退自在で且つ前記左右一対の授受側前方ピンよりも下方側の下降位置と前記左右一対の授受側前方ピンよりも上方側の上昇位置とに昇降自在な搬送用支持体が備えられ、
前記搬送用支持体は、
前記左右一対の前方係合溝部の夫々に左右一対の搬送側前方ピンの夫々を係合させ、且つ、前記容器の底面の前記容器の後方側において容器左右方向の中央部に形成された後方係合溝部に搬送側後方ピンを係合させて、前記容器を位置決めする状態で前記容器の底面を載置支持自在に構成され、
前記搬送用支持体を前記突出位置と前記引退位置との間で出退させるとき及び前記突出位置において前記下降位置と前記上昇位置との間で昇降させるときに、前記左右一対の授受側前方ピンの存在位置と、前記左右一対の搬送側前方ピンの存在位置及び前記搬送用支持体のうち少なくとも前記搬送側前方ピンを支持する部分の存在位置とが容器左右方向で異なる位置に配置されている容器搬送設備であって、
前記容器授受部は、前記上昇位置に位置する前記搬送用支持体よりも下方側でかつ前記下降位置に位置する前記搬送用支持体よりも上方側において前記後方係合溝部に授受側後方ピンを係合させて、前記容器を位置決めする状態で載置支持自在に構成され、
前記授受側後方ピンを支持する授受側後方ピン支持体は、前記下降位置に位置する状態で前記突出位置と前記引退位置との間で出退される前記搬送用支持体の前記搬送側後方ピンに対して容器左右方向で異なる位置において、前記授受側後方ピンよりも下方側に延びる形態で設けられ、
前記搬送用支持体には、前記下降位置に位置する状態で前記突出位置と前記引退位置との間で出退されるときに、前記授受側後方ピン支持体が前記搬送用支持体に対して挿脱自在な出退挿脱用間隙が形成され、且つ、前記突出位置に位置する状態で前記下降位置と前記上昇位置との間で昇降させるときに、前記授受側後方ピン及び前記授受側後方ピン支持体が前記搬送用支持体に対して挿脱自在な昇降挿脱用間隙が形成されている容器搬送設備。
【請求項２】
前記上昇位置は、前記授受側後方ピン及び前記授受側後方ピン支持体の一部と前記搬送用支持体の一部とが上下方向において重複する位置に設定されており、
前記搬送用支持体には、前記上昇位置に位置する状態で前記突出位置と前記引退位置との間で出退されるときに、前記搬送用支持体の一部と上下方向において重複する前記授受側後方ピン及び前記授受側後方ピン支持体の一部を挿脱自在な上昇位置出退挿脱用間隙が前記搬送側後方ピンよりも下方側に形成されている請求項１に記載の容器搬送設備。
【請求項３】
前記搬送用支持体は、出退方向の引退側に備えられて容器左右方向に延びる基部と、前記基部の容器左右方向の端部から出退方向の突出側に延びてその先端部にて前記搬送側前方ピンを支持する左右一対の搬送側前方ピン支持体と、前記左右一対の搬送側前方ピン支持体の容器左右方向の間において前記基部から出退方向の突出側に延びてその先端部にて前記搬送側後方ピンを支持する搬送側後方ピン支持体とを備え、
前記搬送側後方ピン支持体は、容器左右方向において、前記左右一対の搬送側前方ピン支持体の夫々と間隔を隔てて配置され、
前記出退挿脱用間隙が、容器左右方向における前記搬送側後方ピン支持体と前記搬送側前方ピン支持体との間隙にて構成されている請求項１又は２に記載の容器搬送設備。
【請求項４】
前記容器授受部には、平坦状の上面部を備えた基台が備えられ、
前記左右一対の授受側前方ピンの夫々を支持する授受側前方ピン支持体の夫々、及び、前記授受側後方ピン支持体が、前記基台の上面部から上方側に延びる同一長さの支持体にて構成されている請求項１〜３の何れか１項に記載の容器搬送設備。
【請求項５】
前記容器授受部に載置支持されたときの前記容器の前方側から前記容器授受部に対して前記容器を授受自在な第２容器搬送手段とが設けられ、
前記第２容器搬送手段には、前記容器授受部に対して設定された第２授受作業位置に移動させた状態において、前記容器授受部側に突出する第２突出位置と自己側に引退する第２引退位置とに出退自在で且つ前記下降位置と前記上昇位置とに昇降自在な第２搬送用支持体が備えられ、
前記第２搬送用支持体は、前記左右一対の前方係合溝部の夫々に左右一対の第２搬送側前方ピンの夫々を係合させ、且つ、前記後方係合溝部に第２搬送側後方ピンを係合させて、前記容器を位置決めする状態で前記容器の底面を載置支持自在に構成され、
前記第２搬送用支持体を前記第２突出位置と前記第２引退位置との間で出退させるとき及び前記第２突出位置において前記下降位置と前記上昇位置との間で昇降させるときに、容器左右方向で前記左右一対の授受側前方ピンの間に、前記第２搬送用支持体並びに前記左右一対の第２搬送側前方ピン及び第２搬送側後方ピンが位置する請求項１〜４の何れか１項に記載の容器搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板出し入れ用の開口部が前方側に配置された半導体基板搬送用の容器を載置支持自在な容器授受部と、前記容器授受部に載置支持されたときの前記容器の後方側から前記容器授受部に対して前記容器を授受自在な容器搬送手段とが設けられ、前記容器搬送手段には、前記容器授受部に対して設定された授受作業位置に前記容器搬送手段を移動させた状態において、前記容器授受部側に突出する突出位置と自己側に引退する引退位置とに出退自在で且つ前記左右一対の授受側前方ピンよりも下方側の下降位置と前記左右一対の授受側前方ピンよりも上方側の上昇位置とに昇降自在な搬送用支持体が備えられ、前記搬送用支持体は、前記左右一対の前方係合溝部の夫々に左右一対の搬送側前方ピンの夫々を係合させ、且つ、前記容器の底面の前記容器の後方側において容器左右方向の中央部に形成された後方係合溝部に搬送側後方ピンを係合させて、前記容器を位置決めする状態で前記容器の底面を載置支持自在に構成されている容器搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
本願の容器搬送設備が搬送対象とする容器には、容器の底面の前方側において容器左右方向（容器の横幅方向）の一方側と他方側とに分散して形成された左右一対の前方係合溝部と容器の底面の後方側において容器左右方向の中央部に形成された後方係合溝部とからなる３つの係合溝部が備えられている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
容器搬送手段の搬送用支持体には、上述の容器底面の３つの係合溝部の配置関係に対応させた高さの揃った３つの搬送側ピンが備えられており、容器搬送手段は、搬送用支持体が備えるこれらの３つの搬送側ピンを、容器底面の３つの係合溝部に係合させて容器を位置決めする状態で容器を載置支持することにより、安定良く搬送用支持体に対して位置決めした状態で容器を搬送できるようになっている。
【０００４】
一方、容器授受部は、容器搬送手段にて搬送される容器を載置支持する専用のものではなく、容器搬送手段にて搬送された容器を他の搬送手段に受け渡すための中継箇所等として用いられている。よって、容器授受部においても、他の搬送手段との授受を適正に行えるように、容器を位置決めする状態で載置支持することが求められる。そこで、容器授受部に、容器底面に形成されている左右一対の前方係合溝部の夫々に係合自在な左右一対の授受側前方ピンと容器底面に形成されている後方係合溝に係合自在な授受側後方ピンとの３つのピンを備え、それら３つのピンにより容器を位置決めする状態で載置支持するものがある（例えば、特許文献２参照。）。このように３つのピンが備えられた容器授受部では、載置支持される容器の前方側において左右一対の授受側前方ピンが容器の横幅方向の一方側と他方側とに分散して配置され、載置支持される容器の後方側において１つの授受側後方ピンが容器の横幅方向の中央部に配置されている。
【０００５】
そして、上述の如く、例えば、容器搬送手段と他の搬送手段との中継箇所として容器授受部を用いるときに、容器授受部に載置支持されたときの容器の前方側から容器授受部に対して授受自在に他の搬送手段を配置することがある。このような場合では、容器授受部に載置支持されたときの容器の後方側から容器授受部に対して授受自在となるように容器搬送手段を配置することがある。したがって、容器搬送手段と容器授受部の配置関係として、容器授受部に載置支持される容器の前後方向において、容器授受部に対して容器搬送手段が後方側となることがある。
【０００６】
容器搬送手段と容器授受部の配置関係がこのような場合には、容器授受部に備えられたピンを支持する支持体が邪魔になって、容器搬送手段が容器授受部との間で容器を授受できなくなる。つまり、容器搬送手段は、搬送用支持体を下降位置において引退位置から容器授受部側の突出位置に突出させたのち下降位置から上昇位置に上昇させることで、容器授受部に載置支持されている容器を受け取るようにしている。したがって、物品授受部に備えられた授受側後方ピンよりも奥側まで搬送用支持体を突出させることになるが、その授受側後方ピンを支持する支持体が授受側後方ピンの下方側に延びる状態で設けられていることから、搬送用支持体の突出経路途中に授受側後方ピンを支持する支持体が存在することになる。よって、搬送用支持体を突出位置に突出させるときに、授受側後方ピンを支持する支持体が邪魔となって、搬送用支持体を突出位置まで突出させることができず、容器搬送手段が容器授受部から容器を受け取ることができなくなる。また、容器搬送手段が容器授受部に容器を受け渡す場合も、容器搬送手段が容器授受部から容器を受け取る場合と同様に、授受側後方ピンを支持する支持体が邪魔となって、搬送用支持体を突出位置まで突出させることができず、容器を受け渡すことができなくなる。
【０００７】
そのため、搬送用支持体を容器授受部に対して突出させる方向が容器の前後方向で前方向きとなるような配置関係である場合は、従来では、容器授受部には、授受側後方ピンを設けず、上述の容器底面の３つの係合溝部のうち左右一対の前方係合溝部の配置関係に対応させた左右一対の授受側前方ピンだけを備えるようにしている（例えば、特許文献３参照）。
【０００８】
そして、左右一対の授受側前方ピンだけを容器底面の左右一対の前方係合溝部に係合させた状態でも、容器授受部にて容器を位置決めした状態で載置支持できるように、従来では、例えば、図１１及び図１２に示すように、容器授受部に設置された基台３１の上面部３１ｓに前後方向に長い長尺状の左右一対の支持ブラケット１７Ｌ・１７Ｒを容器左右方向で間隔を隔てて立設する状態で固定し、夫々の支持ブラケット１７Ｌ・１７Ｒには、基板出し入れ用の開口部１１を開閉する着脱自在なフタ１２を前方側に備えた容器１０の前後方向における前方側の移動を規制する左右一対の突出方向規制用ガイドブロック１８Ｌ・１８Ｒを設け、さらに、容器載置状態で容器１０の後方側が下方に下がって容器１０が傾倒しないように、容器１０の底面１５の後方側における左右両側部分を下方支持する左右一対の授受側後方支持プレート１９Ｌ・１９Ｒを備えて構成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２０００−３１５７２１号公報（図１及び図３）
【特許文献２】特開２００８−１０８７６５号公報（段落「０００２」及び図面の図４〜図１０）
【特許文献３】特開２００１−２２５９０９号公報（図２１及び図２２）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上記特許文献３に記載の容器搬送設備における容器授受部の構成であると、授受側ピンとしては左右一対の授受側前方ピンの２本しかないため、容器底面の３つの係合溝部のうち、左右一対の前方係合溝部だけに授受側ピンが係合する状態で載置支持されることになる。そのため、容器底面の３つの係合溝部の全てに授受側ピンが係合する状態で載置支持する場合ほど位置決め精度が確保できず、容器授受部に対して容器を搬入したときに容器が容器授受部に対して適切な位置及び姿勢とならない移載不良が発生し、例えば、他の搬送手段との間で容器の授受が行えないという問題が発生するおそれがあった。
【００１１】
本発明は上記実情に鑑みて為されたものであって、その目的は、容器搬送手段が容器の後方側から搬送用支持体を突出させることにより容器授受部に対して容器を授受することができるものでありながら、容器授受部にて容器を精度良く位置決めされた状態で載置支持することができる容器搬送設備を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この目的を達成するために、本発明に係る容器搬送設備の第１特徴構成は、基板出し入れ用の開口部が前方側に配置された半導体基板収納用の容器を載置支持自在な容器授受部と、前記容器授受部に載置支持されたときの前記容器の後方側から前記容器授受部に対して前記容器を授受自在な容器搬送手段とが設けられ、前記容器授受部は、前記容器の底面の前方側において容器左右方向の一方側と他方側とに分散して形成された左右一対の前方係合溝部の夫々に左右一対の授受側前方ピンの夫々を係合させて、前記容器を載置支持自在に構成され、前記容器搬送手段には、前記容器授受部に対して設定された授受作業位置に移動させた状態において、前記容器授受部側に突出する突出位置と自己側に引退する引退位置とに出退自在で且つ前記左右一対の授受側前方ピンよりも下方側の下降位置と前記左右一対の授受側前方ピンよりも上方側の上昇位置とに昇降自在な搬送用支持体が備えられ、前記搬送用支持体は、前記左右一対の前方係合溝部の夫々に左右一対の搬送側前方ピンの夫々を係合させ、且つ、前記容器の底面の前記容器の後方側において容器左右方向の中央部に形成された後方係合溝部に搬送側後方ピンを係合させて、前記容器を位置決めする状態で前記容器の底面を載置支持自在に構成され、前記搬送用支持体を前記突出位置と前記引退位置との間で出退させるとき及び前記突出位置において前記下降位置と前記上昇位置との間で昇降させるときに、前記左右一対の授受側前方ピンの存在位置と、前記左右一対の搬送側前方ピンの存在位置及び前記搬送用支持体のうち少なくとも前記搬送側前方ピンを支持する部分の存在位置とが容器左右方向で異なる位置に配置されている容器搬送設備において、前記容器授受部は、前記上昇位置に位置する前記搬送用支持体よりも下方側でかつ前記下降位置に位置する前記搬送用支持体よりも上方側において前記後方係合溝部に授受側後方ピンを係合させて、前記容器を位置決めする状態で載置支持自在に構成され、前記授受側後方ピンを支持する授受側後方ピン支持体は、前記下降位置に位置する状態で前記突出位置と前記引退位置との間で出退される前記搬送用支持体の前記搬送側後方ピンに対して容器左右方向で異なる位置において、前記授受側後方ピンよりも下方側に延びる形態で設けられ、前記搬送用支持体には、前記下降位置に位置する状態で前記突出位置と前記引退位置との間で出退されるときに、前記授受側後方ピン支持体が前記搬送用支持体に対して挿脱自在な出退挿脱用間隙が形成され、且つ、前記突出位置に位置する状態で前記下降位置と前記上昇位置との間で昇降させるときに、前記授受側後方ピン及び前記授受側後方ピン支持体が前記搬送用支持体に対して挿脱自在な昇降挿脱用間隙が形成されている点にある。
【００１３】
本特徴構成によれば、容器を容器授受部に載置支持させる場合、授受側後方ピンを容器の底面の後方係合溝部に係合させ、かつ、左右一対の授受側前方ピンを容器の底面の左右一対の前方係合溝部に係合させた状態で載置支持できるので、容器の底面に備えられた３つの係合溝部の夫々に対して授受側ピンを係合させることができるので、容器授受部に対して容器を精度良く位置決めした状態で載置支持させることができる。
【００１４】
このように、容器授受部に、左右一対の授受側前方ピンと１つの授受側後方ピンとを備えているが、容器搬送手段は、これら３つのピン及びそのピンを支持する支持体と干渉することなく、容器授受部に対して容器を授受することが必要になる。
【００１５】
そこで、本特徴構成では、まず、左右一対の授受側前方ピンに対しては、その存在位置が、搬送用支持体を突出位置と前記引退位置との間で出退させるとき及び突出位置において下降位置と上昇位置との間で昇降させるときに、左右一対の搬送側前方ピンの存在位置及び搬送用支持体のうち少なくとも左右一対の搬送側前方ピンを支持する部分の存在位置と容器左右方向で異なる位置に配置されているので、容器授受部に対して容器を受け渡す場合において、容器搬送手段を容器授受部に対して設定された授受作業位置に移動させた状態で、搬送用支持体を上昇位置において引退位置から突出位置まで前方に突出させるとき、突出位置において上昇位置と下降位置との間で昇降させるとき、下降位置において突出位置から引退位置まで後方に引退させるときのいずれにおいても左右一対の授受側前方ピンと搬送用支持体とが干渉することはない。
【００１６】
次に、授受側後方ピンに対しては、上昇位置に位置する搬送用支持体よりも下方側において後方係合溝部に係合させるので、授受側後方ピンは、上昇位置に位置する搬送用支持体よりも下方側に位置していることになる。また、授受側後方ピンを支持する授受側後方ピン支持体は、授受側後方ピンよりも下方側に延びる形態で設けられているので、授受側後方ピン支持体は、上昇位置に位置する搬送用支持体よりも下方側に位置していることになる。したがって、容器授受部に対して容器を受け渡す場合において、容器搬送手段を容器授受部に対して設定された授受作業位置に移動させた状態で、搬送用支持体を上昇位置において引退位置から突出位置まで前方に突出させるときに、授受側後方ピン及び授受側後方ピン支持体と搬送用支持体とが干渉することはない。
【００１７】
また、授受側後方ピン支持体は、下降位置に位置する状態で突出位置と引退位置との間で出退される搬送用支持体の搬送側後方ピンに対して容器左右方向で異なる位置において、授受側後方ピンよりも下方側に延びる形態で設けられており、しかも、搬送用支持体は、突出位置に位置する状態で下降位置と上昇位置との間で昇降させるときに、授受側後方ピン及び授受側後方ピン支持体が搬送用支持体に対して挿脱自在な昇降挿脱用間隙が形成されているので、搬送用支持体を突出位置に位置する状態で上昇位置と下降位置との間で昇降させるときには、授受側後方ピン及び授受側後方ピン支持体が搬送用支持体に形成されている昇降挿脱用間隙をくぐることで、授受側後方ピンと搬送側後方ピンの上下関係が入れ替わることになる。したがって、容器授受部に対して容器を受け渡す場合において、搬送用支持体を突出位置において上昇位置と下降位置との間で昇降させるときに授受側後方ピン及び授受側後方ピン支持体が搬送用支持体と干渉することはない。
【００１８】
さらに、授受側後方ピンは、下降位置に位置する搬送用支持体よりも上方側において後方係合溝部に係合するので、搬送用支持体が下降位置であると、搬送用支持体は授受側後方ピンよりも下方側に位置することになる。授受側後方ピンを支持する授受側後方ピン支持体は授受側後方ピンよりも下方側に延びる形態で設けられているが、搬送用支持体には、下降位置に位置する状態で突出位置と引退位置との間で出退されるときに、授受側後方ピン支持体が搬送用支持体に対して挿脱自在な出退挿脱用間隙が形成されているので、搬送用支持体が出退するときに、授受側後方ピン支持体が出退挿脱用間隙を通過することで、授受側後方ピン支持体と搬送用支持体とは干渉しない。したがって、容器授受部に対して容器を受け渡す場合において、搬送用支持体を下降位置において突出位置から引退位置まで後方に引退させるときに、授受側後方ピン及び授受側後方ピン支持体と搬送用支持体とが干渉することはない。
【００１９】
以上のことから、搬送用支持体にて載置支持した容器を容器授受部に受け渡す場合には、容器授受部における授受側後方ピン及び授受側後方ピン支持体並びに左右一対の授受側前方ピンと搬送用支持体とを干渉させることなく、搬送用支持体を上昇位置に位置させた状態で容器授受部に対して搬送用支持体を容器の前後方向で後方から前方に向かう方向に突出位置まで突出させ、突出位置において上昇位置から下降位置に下降させ、下降位置に位置させた状態で容器の前後方向で前方から後方に向かう方向に突出位置から引退位置まで引退させることができる。
【００２０】
同様に、容器授受部にて載置支持した容器を容器授受部から受け取る場合には、容器授受部における授受側後方ピン及び授受側後方ピン支持体並びに左右一対の授受側前方ピンと搬送用支持体とを干渉させることなく、搬送用支持体を下降位置に位置させた状態で容器授受部に対して搬送用支持体を容器の前後方向で後方から前方に向かう方向に突出位置まで突出させ、突出位置において下降位置から上昇位置に上昇させ、上昇位置に位置させた状態で容器の前後方向で前方から後方に向かう方向に突出位置から引退位置まで引退させることができる。
【００２１】
このように、容器の後方から前方に向かって搬送用支持体を突出させることにより容器授受部に対して容器を授受することができるものでありながら、容器授受部にて容器を精度良く位置決めされた状態で載置支持することができる容器搬送設備を得るに至った。
【００２２】
本発明に係る容器搬送設備の第２特徴構成は、前記上昇位置は、前記授受側後方ピン及び前記授受側後方ピン支持体の一部と前記搬送用支持体の一部とが上下方向において重複する位置に設定されており、前記搬送用支持体には、前記上昇位置に位置する状態で前記突出位置と前記引退位置との間で出退されるときに、前記搬送用支持体の一部と上下方向において重複する前記授受側後方ピン及び前記授受側後方ピン支持体の一部を挿脱自在な上昇位置出退挿脱用間隙が前記搬送側後方ピンよりも下方側に形成されている点にある。
【００２３】
搬送用支持体を上昇位置において出退させたときに授受側後方ピン及び授受側後方ピン支持体と搬送用支持体とが干渉しないようにするために、搬送用支持体の下端が授受側後方ピン及び授受側後方ピン支持体よりも高くなる位置を上昇位置に設定することが考えられるが、このような上昇位置であると、下降位置と上昇位置との間で昇降させるときの昇降量が大きくなり、同じ昇降速度の基では、搬送用支持体を下降位置と上昇位置との間で昇降させるための時間が長くなってしまい移載効率の点で不利である。
【００２４】
本特徴構成によれば、上昇位置に位置する状態で出退されるときに、搬送用支持体の一部と上下方向において重複する授受側後方ピン及び授受側後方ピン支持体の一部が、搬送用支持体を通過できるように、搬送用支持体に上昇位置出退挿脱用間隙を設けることで、搬送用支持体が上昇位置に位置するときに、授受側後方ピン及び授受側後方ピン支持体の一部と搬送用支持体の一部とが上下方向において重複していても、その高さで搬送用支持体を出退させることができる。
【００２５】
したがって、授受側後方ピン及び授受側後方ピン支持体と搬送用支持体とが上下方向において完全に重複しない高さを上昇位置とするものに比べ、下降位置から又は下降位置への昇降量が小さくなるような低い位置を上昇位置として設定し、この上昇位置において、搬送用支持体を出退させることができる。
【００２６】
このように、本特徴構成によれば、下降位置と上昇位置との昇降量を抑制して、搬送用支持体を下降位置と上昇位置との間で昇降させるための時間を短くできるので、容器授受部に対する容器の授受を速やかに行うことができる。
【００２７】
本発明に係る容器搬送設備の第３特徴構成は、前記搬送用支持体は、出退方向の引退側に備えられて容器左右方向に延びる基部と、前記基部の容器左右方向の端部から出退方向の突出側に延びてその先端部にて前記搬送側前方ピンを支持する左右一対の搬送側前方ピン支持体と、前記左右一対の搬送側前方ピン支持体の容器左右方向の間において前記基部から出退方向の突出側に延びてその先端部にて前記搬送側後方ピンを支持する搬送側後方ピン支持体とを備え、前記搬送側後方ピン支持体は、容器左右方向において、前記左右一対の搬送側前方ピン支持体の夫々と間隔を隔てて配置され、前記出退挿脱用間隙が、容器左右方向における前記搬送側後方ピン支持体と前記搬送側前方ピン支持体との間隙にて構成されている点にある。
【００２８】
本特徴構成によれば、容器左右方向に延びる基部に、出退方向の突出側に延びる左右一対の搬送側前方ピン支持体及び同じく出退方向の突出側に延びる搬送側後方ピン支持体を備えることで、搬送側後方ピン支持体と左右一対の搬送側前方ピン支持体の夫々とが容器左右方向に間隔を隔てて互いの間に容器左右方向に間隙を形成する状態で、基部の容器左右方向の両端部の夫々に左右一対の搬送側前方ピン支持体が位置し、基部の容器左右方向の中間部に搬送側後方ピン支持体が位置することになる。
【００２９】
左右一対の搬送側前方ピン支持体の夫々と搬送側後方ピン支持体との間に間隙が形成されるため、例えば、搬送用支持体の平面視形状の全体に広がる板状部材を用いて搬送側後方ピンと左右一対の搬送側前方ピンを支持する場合に比べ、授受側後方ピン及び左右一対の授受側前方ピン並びにこれらを支持する部材を容器授受部に配置させる場合の制約が少なくなる。
【００３０】
しかも、左右一対の搬送側前方ピン支持体の夫々と搬送側後方ピン支持体との間に形成される間隙を、そのまま、出退挿脱用間隙とすることができるので、例えば、前述の板状部材を用いて搬送側後方ピンと左右一対の搬送側前方ピンを支持する場合には、その板状部材の前端部から始まり後方側に進入する形状のスリット等を形成する等の加工により出退挿脱用間隙を形成しなければならないが、本特徴構成によれば、基部に左右一対の搬送側前方ピン支持体及び搬送側後方ピン支持体を組み付けるだけで、自ずと、出退挿脱用間隙が形成されるので、搬送用支持体を簡単に製造できる。
【００３１】
本発明に係る容器搬送設備の第４特徴構成は、前記容器授受部には、平坦状の上面部を備えた基台が備えられ、前記左右一対の授受側前方ピンの夫々を支持する授受側前方ピン支持体の夫々、及び、前記授受側後方ピン支持体が、前記基台の上面部から上方側に延びる同一長さの支持体にて構成されている点にある。
【００３２】
本特徴構成によれば、基台が備える平坦状の上面部に、上方側に延びる同一長さの支持体を配置して授受側後方ピン支持体及び左右一対の授受側前方ピン支持体を構成することで、支持体にて支持される授受側後方ピン及び授受側前方ピンの３つのピンの高さを精度良く揃えることができる。したがって、容器授受部における３つの授受側ピンにて容器を載置支持させた場合に、容器の底面の3つの係合溝部に係合する各授受側ピンの高さが揃うので、容器授受部において載置支持される容器の水平面に対する姿勢を、傾倒の少ない極力適正な姿勢とすることができる。
【００３３】
本発明に係る容器搬送設備の第５特徴構成は、前記容器授受部に載置支持されたときの前記容器の前方側から前記容器授受部に対して前記容器を授受自在な第２容器搬送手段が設けられ、前記第２容器搬送手段には、前記容器授受部に対して設定された第２授受作業位置に移動させた状態において、前記容器授受部側に突出する第２突出位置と自己側に引退する第２引退位置とに出退自在で且つ前記下降位置と前記上昇位置とに昇降自在な第２搬送用支持体が備えられ、前記第２搬送用支持体は、前記左右一対の前方係合溝部の夫々に左右一対の第２搬送側前方ピンの夫々を係合させ、且つ、前記後方係合溝部に第２搬送側後方ピンを係合させて、前記容器を位置決めする状態で前記容器の底面を載置支持自在に構成され、前記第２搬送用支持体を前記第２突出位置と前記第２引退位置との間で出退させるとき及び前記第２突出位置において前記下降位置と前記上昇位置との間で昇降させるときに、容器左右方向で前記左右一対の授受側前方ピンの間に、前記第２搬送用支持体並びに前記左右一対の第２搬送側前方ピン及び第２搬送側後方ピンが位置している点にある。
【００３４】
本特徴構成によれば、第２容器搬送手段に備えられた第２搬送用支持体は、左右一対の第２搬送側前方ピン及び第２搬送側後方ピンの３つのピンの夫々を、容器の底面の３つの係合溝部に係合させて、容器を位置決めする状態で容器の底面を載置支持する。
【００３５】
第２搬送用支持体を第２突出位置と第２引退位置との間で出退させるとき及び第２突出位置において下降位置と上昇位置との間で昇降させるときに、容器左右方向で左右一対の授受側前方ピンの間に、第２搬送用支持体並びに左右一対の第２搬送側前方ピン及び第２搬送側後方ピンが位置するので、容器授受部に対して設定された第２授受作業位置に第２容器搬送手段を移動させた状態において、搬送用支持体を第２突出位置と第２引退位置との間で出退させ、下降位置と上昇位置との間で昇降させることで、容器の前方側から搬送用支持体を突出させることにより容器授受部に対して容器を授受することができる。
【００３６】
したがって、容器搬送手段を授受作業位置に位置させて行う容器の後方から前方に向かう搬送用支持体の突出による容器授受部に対する容器の授受と、授受作業位置とは容器授受部に関して反対側に位置する第２授受作業位置に第２容器搬送手段を位置させて行う容器の前方から後方に向かう搬送用支持体の突出による容器授受部に対する容器の授受との双方が行える。したがって、容器授受部を介して容器搬送手段と第２容器搬送手段との間で容器を受け渡しできる。
【００３７】
しかも、いずれの方向からの授受においても、容器授受部に載置支持される容器は、その底面の３つの係合溝部の全てに授受側ピンが係合した状態で載置支持するので、容器は容器授受部に対して精度良く位置決めされた状態で載置支持されるので、容器搬送手段と第２容器搬送手段との間で容器を受け渡すときに移載不良が生じ難い。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】容器搬送設備の全体側面図
【図２】容器搬送設備の全体平面図
【図３】授受部と（ａ）クレーン側引退位置及び（ｂ）授受側突出位置にあるクレーン載置台との配置関係を示す平面図
【図４】授受部と授受側突出位置で下降位置及び上昇位置にあるクレーン載置台との配置関係を示す側面図
【図５】授受部と（ａ）シャトル側引退位置及び（ｂ）授受側突出位置にあるシャトル載置台との配置関係を示す側面図
【図６】（ａ）授受部と授受側突出位置で下降位置にあるシャトル載置台との配置関係を示す側面図及び（ｂ）図６（ａ）のVIb-VIb矢視図
【図７】（ａ）授受部と授受側突出位置で上昇位置にあるシャトル載置台との配置関係を示す側面図及び（ｂ）図７（ａ）のVIIb-VIIb矢視図
【図８】別実施形態におけるシャトル載置台の平面図
【図９】図８のIX−IX矢視図
【図１０】（ａ）別実施形態についての図６（ｂ）に相当する図であって図８のX−X矢視図及び（ｂ）別実施形態についての図７（ｂ）に相当する図であって図８のX−X矢視図
【図１１】従来の容器授受部における容器支持構造の平面図
【図１２】従来の容器授受部における容器支持構造の側面図
【発明を実施するための形態】
【００３９】
本発明に係る容器搬送設備の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１及び図２に示すように、この容器搬送設備は、半導体ウエハを複数収納するFOUPと呼ばれる容器１０を搬送するシャトルＶ１が、この容器１０を複数保管するストッカ５０における授受部３０（容器授受部の一例）や、容器１０に収納された半導体ウエハの加工を行う図外のウエハ処理装置における授受部に対して容器１０を搬入及び搬出するものである。
【００４０】
シャトルＶ１やストッカ５０やウエハ処理装置は、空気浄化手段を備えたクリーンルーム内に設置されている。クリーンルームの床側には、スラブ床から上方に間隔を隔てた状態で多孔状のグレーチング床が設けられ、クリーンルームの天井側には天井から下方に間隔を隔ててＨＥＰＡフィルタなどからなるエアーフィルタが設けられている。そして、空気浄化手段の通風ファンを作動させることにより天井側から床側に清浄空気のダウンブローが形成されるようになっている。
【００４１】
容器１０は、半導体ウエハを搬送するための樹脂製の密封容器であり、FOUP(Front Opening Unified Pod)と呼ばれるSEMI（Semiconductor Equipment and Materials Institute）規格に準拠したウエハー用の搬送容器である。容器１０は、基板出し入れ用の開口部１１が前方側に配置され、この開口を取り付け状態において閉鎖し取り外し状態で開放する着脱自在な蓋１２を備えている。容器１０の上部には、ホイスト式の搬送体による把持を可能にするトップフランジ１３が形成され、底面１５には、容器１０が載置支持されるときに容器１０を支持する側に備えられた位置決め用のピンが係合する３つの係合溝部１４が備えられている。容器１０は３つの係合溝部１４として、図３及び図５に示すように、容器１０の底面１５の前方側において容器左右方向の一方側と他方側とに分散して形成された左右一対の前方係合溝部１４Ｆ（左前方係合溝部１４ＦＬ及び右前方係合溝部１４ＦＲ）と、容器１０の底面１５の容器１０の後方側において容器左右方向の中央部に形成された後方係合溝部１４Ｒとを備えている。これら３つの係合溝部１４は、中央部１６を中心とする略同一円周上で円周方向にほぼ均等な間隔で配置されており、溝形成方向が半径方向に沿うように位置及び向きが設定されている。
【００４２】
なお、以下の説明では、図１及び図２における容器１０に関して容器１０の中心から開口部１１に向かう向き、つまり、図１及び図２で紙面右方向を前方向とし、その反対方向である図１及び図２で紙面左方向を後方向とし、さらに容器１０の横幅方向（図２で紙面上下方向）を左右方向とし、図１の紙面手前から奥に向かう方向（図２紙面上方向）を左方向とし、図１の紙面奥から手前に向かう方向（図２紙面下方向）を右方向として説明する。
【００４３】
図１に示すように、シャトルＶ１は、走行駆動手段とそれにより駆動される走行車輪を備えた走行体１が、天井から吊り下げ支持された走行路４に案内されて、走行路４に隣接配置されたストッカ５０や図外のウエハ処理装置に設けられた授受部３０に対する容器１０の搬出入を行うべく、これらの授受部３０について設定された搬出入作業位置Ｐｓ１に移動自在に構成されており、OHS（Over Head Shuttle）と呼ばれるものである。
【００４４】
シャトルＶ１の走行体１は、縦軸心回りに旋回自在なターンテーブル２と、このターンテーブル２により縦軸心回りに旋回操作されるスカラアーム３とを備えている。図２に示すように、スカラアーム３は、ターンテーブル２にその旋回軸心と同一縦軸心回りに揺動自在に連結された第１アーム３ａと、この第１アーム３ａの揺動端部に縦軸心周りに揺動自在に連結された第２アーム３ｂとを備えている。第２アーム３ｂの第１アーム３ａが連結された端部とは反対側の端部には、シャトル載置台２０が縦軸心回りに揺動自在に連結されている。
【００４５】
シャトル載置台２０においてスカラアーム３の第２アーム３ｂが連結されている基部側箇所には、駆動ケース５が設けられており、この駆動ケース５には、シャトル載置台２０を第２アーム３ｂに対して昇降させる図外のリンク式昇降機構を昇降作動させる横軸出力の昇降駆動モータ６と、第２アーム３ｂにおいてシャトル載置台２０が連結された側の端部に入力されるスカラアーム３の屈伸作動用の駆動力を供給する縦軸出力の出退駆動モータ７が内装されている。
【００４６】
そして、図外のシャトルコントローラにより出退駆動モータ７の回転駆動を制御して正逆転に回転作動させることで、シャトル載置台２０を平面視の姿勢を保ったまま、授受側突出位置Ｐ１（図５参照）とシャトル側引退位置Ｐ２との間で前後方向に出退させることができ、また、昇降駆動モータ６の回転駆動を制御して正逆転に回転作動させることで、シャトル載置台２０を下降位置Ｐ３（図７（ａ）参照）と上昇位置Ｐ４（図６（ａ）参照）との間で昇降させることができるようになっている。
【００４７】
つまり、シャトルＶ１は、授受部３０に対して設定された搬出入作業位置Ｐｓ１まで走行路４に沿って走行移動して、搬出入作業位置Ｐｓ１に位置した状態において、授受部３０側に突出する授受側突出位置Ｐ２と自己側に引退するシャトル側引退位置Ｐ２とに出退自在で且つ下降位置Ｐ３と上昇位置Ｐ４とに昇降自在なシャトル載置台２０を備え、授受部３０に載置支持されたときの容器１０の後方側から授受部３０に対して容器を授受自在に構成されており、本件の容器搬送手段に相当する。
【００４８】
なお、下降位置Ｐ３は、シャトル載置台２０が授受部３０における後述する左右一対の授受側前方ピン３４（授受側左前方ピンＦＬ及び授受側右前方ピン３４ＦＲ）よりも下方側となるシャトル載置台２０の高さであり、上昇位置Ｐ４は、シャトル載置台２０が授受部３０における左右一対の授受側前方ピン３４Ｆよりも上方側となるシャトル載置台２０の高さである。また、シャトル載置台２０が授受側突出位置Ｐ２に突出したときの３つのシャトル側ピン２４の平面視配置は、クレーン載置台４０が授受側突出位置Ｐ５に突出したときの３つのクレーン側ピン４４の夫々の平面視位置と一致する。
【００４９】
ストッカ５０は、図１及び図２に示すように、その内部に容器１０を載置支持自在な収納棚５１が上下左右に並ぶ状態で複数設けられている。収納棚５１には、容器１０の底面１５に備えられた３つの係合溝部１４に対して上向きに係合する３つの棚側ピン５１ａが設けられており、容器１０は、収納部５１において位置決めされた状態で載置支持されるようになっている。ストッカ５０の、シャトルＶ１が走行する高さに合わせた箇所に、外部と連通する間口３５が形成され、間口３５の下端部にはストッカ５０の内部側に突入する状態で、容器１０を載置支持自在な授受部３０が設けられている。そして、ストッカ５０の内部において各収納棚５１と授受部３０との間で容器１０を搬送する第２容器搬送手段としてのスタッカークレーンＶ２（以下、単にクレーンＶ２という。）が設けられている。
【００５０】
授受部３０は、ストッカ５０の外壁から内部側に向けて延設された基台３１と、基台３１の前方側箇所に左右に間隔を隔てて立設された左右一対の授受側前方ピン支持体３２（授受側左前方ピン支持体３２ＦＬ及び授受側右前方ピン支持体３２ＦＲ）及びこれらの上端部にて支持されて、容器１０を載置支持するときに左右一対の前方係合溝部１４Ｆに上向きに係合する左右一対の授受側前方ピン３４Ｆと、基台３１の後方側箇所において左右一対の授受側前方ピン３４Ｆの左右方向の中心に立設された単一の授受側後方ピン支持体３２Ｒ及びこの上端部にて支持されて、容器１０を載置支持するときに後方係合溝部１４Ｒに上向きに係合する単一の授受側後方ピン３４Ｒとを備えて構成されている。
【００５１】
授受側後方ピン支持体３２Ｒは、上端に水平部分が形成されており、この水平部分にて授受側後方ピン３４Ｒを支持している。水平部分の左側端部から下方に延びる鉛直部分は、左右方向で授受側後方ピン３４Ｒの存在位置よりも左にずれた位置となっている。
【００５２】
基台３１の上面３１ｓは平坦状に形成されており、左右一対の授受側前方ピン支持体３２及び授受側後方ピン支持体３２Ｒはいずれも同一長さであるため、３つの授受側ピン３４の配置高さが精度良く揃うようになっており、授受部３０に容器１０を載置支持させた場合に極力容器１０が傾倒しない適正な姿勢で支持されるようになっている。
【００５３】
クレーンＶ２は、棚横幅方向で移動自在な図外の走行台車と、この走行台車に立設された庫内昇降ガイド５２に沿って昇降自在な昇降体５３と、この昇降体５３に旋回台５４及びスカラアーム５５を介して取り付けられたクレーン載置台４０とを備えている。昇降体５３は、バランスウェイト５７の下端部及び上端部に連結され図外の上下プーリーに巻回されているタイミングベルトにて構成された昇降用ベルト５９によりその上部及び下部が連結された状態で、吊り下げ支持されている。なお、昇降体５３の上端部及び下端部には、庫内昇降ガイド５２に上下方向に沿って形成された平坦なガイド面に当接する横軸心ガイドローラ５８が複数設けられており、昇降用ベルト５９を正逆双方向に巻回作動させることで、昇降体５３は庫内昇降ガイド５２に沿って上昇及び下降することができるようになっている。なお、図２の５３ａは昇降体５３の作動用電力や制御線等のケーブル類を支持するケーブルベアである。
【００５４】
そして、走行台車の走行作動、昇降体５３の昇降作動により、授受部３０に対して設定された第２授受作業位置としての入出庫作業位置Ｐｓ２にクレーンＶ２を移動させた状態において、図３及び図４に示すように、授受部側に突出する授受側突出位置Ｐ５と自己側に引退するクレーン側引退位置Ｐ６とに出退自在で且つ下降位置Ｐ３と上昇位置Ｐ４とに昇降自在な第２搬送用支持体としてのクレーン載置台４０を、昇降体５３の昇降作動、旋回台５４の旋回作動、及び、スカラアーム５５の屈伸作動を組み合わせることにより、収納棚５１に載置支持された状態で収納されている容器１０を掬い取って授受部３０に載置支持させる出庫作業や、授受部３０に載置支持されている容器１０を掬い取って空き状態の収納棚５１に載置支持させる入庫作業を行うことができるようになっている。このように、クレーンＶ２は、授受部３０に載置支持されたときの容器１０の前方側から授受部３０に対して容器１０を授受自在となっている。
【００５５】
クレーン載置台４０は、図３及び図４に示すように、ピン取付プレート４１に、３つのクレーン側ピン４４を突設して構成している。これにより、左右一対の前方係合溝部１４Ｆの夫々に左右一対のクレーン側前方ピン４４Ｆ（クレーン側左前方ピン４４ＦＬ及びクレーン側右前方ピン４４ＦＲ）の夫々を係合させ、且つ、後方係合溝部１４Ｒにクレーン側後方ピン４４Ｒを係合させて、容器１０を位置決めする状態で容器１０の底面１５を載置支持自在に構成されている。クレーン載置台４０は、容器１０の３つの係合溝部１４の夫々に３つのクレーン側ピン４４の夫々を係合させて載置支持するので、容器１０をクレーン載置台４０に対して精度良く位置決めされた状態で載置支持することができる。
【００５６】
また、図３に示すように、クレーン載置台４０を授受側突出位置Ｐ５とクレーン側引退位置Ｐ６との間で出退させるとき（図３の（ａ）と（ｂ）との間での移動）及び授受側突出位置Ｐ５において下降位置Ｐ３と上昇位置Ｐ４との間で昇降させるとき（図４の実線と仮想線との間の移動）に、左右方向で左右一対の授受側前方ピン３４Ｆ（授受側左前方ピン３４ＦＬ・授受側右前方ピン３４ＦＲ）の間に、クレーン支持体４０並びに左右一対のクレーン側前方ピン４４Ｆ及びクレーン側後方ピン４４Ｒが位置する。これにより、授受部３０の左右一対の授受側前方ピン３４Ｆと干渉することなく、クレーン支持体４０を授受側突出位置Ｐ５とクレーン側引退位置Ｐ６との間で出退させることができ、また、授受側突出位置Ｐ５において下降位置Ｐ３と上昇位置Ｐ４との間で昇降させることができる。
【００５７】
図５に示すように、シャトル載置台２０を授受側突出位置Ｐ１（図５（ｂ）参照）とシャトル側引退位置Ｐ２（図５（ａ）参照）との間で出退させるとき及び授受側突出位置Ｐ１において下降位置Ｐ３（図６（ｂ）参照）と上昇位置Ｐ４（図７（ｂ）参照）との間で昇降させるときに、左右一対の授受側前方ピン３４Ｆの存在位置と、左右一対のクレーン側前方ピン２４Ｆの存在位置及びシャトル載置台２０のうち少なくともシャトル側前方ピン２４Ｆを支持する部分（後述する左右一対のシャトル側前ピン支持体２２Ｆの先端部２３（図５参照））の存在位置とが左右方向で異なる位置に配置されている。
【００５８】
具体的には、図５に示すように、シャトル載置台２０は、出退方向の引退側（後方側）に備えられて左右方向に延びる基部２１と、基部２１の左右方向の端部から出退方向の突出側（前方側）に延びてその先端部２３にて左右一対のシャトル側前方ピン２４Ｆ（シャトル側左前方ピン２４ＦＬ・シャトル側右前方ピン２４ＦＲ）を支持する左右一対のシャトル側前方ピン支持体２２Ｆ（シャトル側左前方ピン支持体２２ＦＬ・シャトル側右前方ピン支持体２２ＦＲ）と、左右一対のシャトル側前方ピン支持体２２Ｆの左右方向の間において基部２１から出退方向の突出側（前方側）に延びてその先端部２５にてシャトル側後方ピン２４Ｒを支持するシャトル側後方ピン支持体２２Ｒとを備えている。
【００５９】
図５及び図６に示すように、シャトル側後方ピン支持体２２Ｒは、左右方向において、左右一対のシャトル側前方ピン支持体２２Ｆの夫々と間隔を隔てて配置され、左右方向におけるシャトル側後方ピン支持体２２Ｒとシャトル側前方ピン支持体２２Ｆとの間には間隙Ｇ１が形成されており、出退挿脱用間隙がこの間隙Ｇ１にて構成されている。
【００６０】
出退挿脱用間隙Ｇ１を形成することで、下降位置Ｐ３に位置する状態で授受側突出位置Ｐ１とシャトル側引退位置Ｐ２との間でシャトル載置台２０が出退されるときに、授受側後方ピン支持体３２Ｒがシャトル載置台２０に対して挿脱させることができる。
【００６１】
このように、シャトル載置台２０には、下降位置Ｐ３に位置する状態で授受側突出位置Ｐ１とシャトル側引退位置Ｐ２との間で出退されるときに、授受側後方ピン支持体がシャトル載置台２０に対して挿脱自在な出退挿脱用間隙Ｇ１が形成されている。
【００６２】
図６（ｂ）及び図７（ｂ）に示すように、左右一対のシャトル側前方ピン支持体２２Ｆは、断面視がコの字状に形成された前後方向に長尺状の部材にて構成されている。シャトル側後方ピン支持体２２Ｒも、同様に、断面視がコの字状に形成された前後方向に長尺状の部材にて構成されているが、図５に示すように、コの字部材の上面を、基部２１からシャトル側後方ピン２４Ｒの取り付け箇所に亘って切り欠いて、間隙Ｇ２が形成されており、昇降挿脱用間隙がこの間隙Ｇ２にて構成されている。
【００６３】
昇降挿脱用間隙Ｇ２を形成しておくことで、シャトル載置台２０を授受側突出位置Ｐ１に位置させた状態で下降位置Ｐ３（図６（ｂ）参照）と上昇位置Ｐ４（図７（ｂ）参照）との間で昇降させるときに、図５（ｂ）において紙面奥から手前に向かって移動することになる。このとき、授受側後方ピン支持体３２Ｒのうち授受側後方ピン３４Ｒを支持する部分と授受側後方ピン３４Ｒとを、シャトル側後方ピン支持体２２Ｒの間隙Ｇ２にて通過させるようにして、授受側後方ピン３４Ｒ及び授受側後方ピン支持体３２Ｒをシャトル載置台２０に対して挿脱させることができる。
【００６４】
このように、シャトル載置台２０には、シャトル載置台２０を授受側突出位置Ｐ１に位置する状態で下降位置Ｐ３と上昇位置Ｐ４との間で昇降させるときに、授受側後方ピン３４Ｒ及び授受側後方ピン支持体３２Ｒがシャトル載置台２０に対して挿脱自在な昇降挿脱用間隙Ｇ２が形成されている。
【００６５】
授受側後方ピン支持体３２Ｒについて説明を加えると、図６（ｂ）に示すように、授受側後方ピン３４Ｒを支持する授受側後方ピン支持体３２Ｒは、下降位置Ｐ３に位置する状態で授受側突出位置Ｐ１とシャトル側引退位置Ｐ２との間で出退されるシャトル載置台２０のシャトル側後方ピン２４Ｒに対して左右方向で異なる位置において、授受側後方ピン３４Ｒよりも下方側に延びる形態で設けられている。また、図５〜図７に示すように、授受側左前方ピン支持体３２ＦＬと授受側右前方ピン支持体３２ＦＲとはいずれも前後方向視でＬ字状のＬ字部材が用いられており、同一の部材を互いに対向配置している。
【００６６】
シャトル載置台２０には、上昇位置Ｐ４に位置する状態で授受側突出位置Ｐ１とシャトル側引退位置Ｐ２との間で出退されるとき（図７（Ｂ）参照）に、シャトル載置台２０の一部と上下方向において重複する授受側後方ピン３４Ｒ及び授受側後方ピン支持体３２Ｒの一部を挿脱自在な上昇位置出退挿脱用間隙Ｇ３がシャトル側後方ピン３４Ｒよりも下方側に形成されている。
【００６７】
具体的には、図７（ｂ）に示すように、シャトル側後方ピン支持体２２Ｒを構成するコの字部材の上面（シャトル側後方ピン２４Ｒを支持している水平部分）より下に形成される間隙Ｇ３にて上昇位置出退挿脱用間隙を構成している。このように、シャトル側後方ピン支持体２２Ｒをコの字部材で構成することで長手方向の強度を確保すると同時に、授受側後方ピン３４Ｒ及び授受側後方ピン支持体３２Ｒの一部を挿脱させる間隙を備えさせることができる。
【００６８】
そして、授受側後方ピン３４Ｒ及び授受側後方ピン支持体３２Ｒがシャトル載置台２０の一部と上下方向において一部重複していても、その重複している部分を挿脱させる上昇位置出退挿脱用間隙Ｇ３を備えているので、シャトル側後方ピン支持体２２Ｒの下端高さが授受側後方ピン３４Ｒよりも上方になるまで高い位置とする必要はなく、上昇位置Ｐ４は、図７（ｂ）に示すように、授受側後方ピン３４Ｒ及び授受側後方ピン支持体３２Ｒの一部とシャトル載置台２０の一部とが上下方向において重複する位置に設定されている。これにより、下降位置Ｐ３と上昇位置Ｐ４との差を小さくしてシャトル載置台２０の昇降作動量を小さくすることができので、容器１０の授受を迅速に行うことができる。
【００６９】
以上のような構成により、本実施形態の容器搬送設備では、シャトルＶ１を搬出入作業位置Ｐｓ１に位置させて行う容器１０の後方から前方に向かうシャトル載置台２０の突出による授受部３０に対する容器１０の授受と、搬出入作業位置Ｐｓ１とは授受部３０に関して反対側に位置する入出庫作業位置Ｐｓ２にクレーンＶ２を位置させて行う容器１０の前方から後方に向かうクレーン載置台４０の突出による授受部３０に対する容器１０の授受との双方が行える。したがって、授受部３０を介してシャトルＶ１とクレーンＶ２との間で容器１０を受け渡しできる。
【００７０】
しかも、授受部３０に対するいずれの方向からの授受においても、授受部３０に載置支持される容器１０は、その底面１５の３つの係合溝部１４の全てに授受側ピン３４が係合した状態で載置支持するので、容器１０は授受部３０に対して精度良く位置決めされた状態で載置支持されるので、シャトルＶ１とクレーンＶ２との間で容器１０を受け渡すときに移載不良が生じ難い。
【００７１】
〔別の実施形態〕以下、本発明の別実施形態について説明する。
【００７２】
（１）上記実施形態では、搬送用支持体を、出退方向の引退側に備えられて左右方向に延びる基部と、この基部の左右方向の端部から出退方向の突出側に延びる左右一対の搬送側前方ピン支持体と、左右一対の搬送側前方ピン支持体の左右方向の間において基部から出退方向の突出側に延びる搬送側後方ピン支持体とを備えて構成し、搬送側後方ピン支持体を、左右方向において、左右一対の搬送側前方ピン支持体の夫々と間隔を隔てて配置することで、出退挿脱用間隙を、左右方向における搬送側後方ピン支持体と搬送側前方ピン支持体との間隙にて構成したものを例示したが、これに代えて、例えば、搬送用支持体を板状部材に構成し、授受側後方ピン支持体の横幅長さより幅広の前後方向に沿ったスリットを、板状部材の前端部から後方に突入するように形成し、このスリットにて出退挿脱用間隙を構成してもよい。この場合、出退挿脱用間隙を構成するスリットの後側箇所の横幅を幅広にして、上昇位置出退挿脱用間隙を形成してもよい。
【００７３】
（２）上記実施形態では、左右一対の搬送用前側ピン支持体及び搬送用後側ピン支持体が、断面コの字状の部材にて構成されたものを例示したが、これに限らず、左右一対の搬送用前側ピン支持体及び搬送用後側ピン支持体の形態は、適宜変更可能である。
【００７４】
例えば、図８〜図１０に示すように、搬送用後側ピン支持体を、角棒の先端部上面に、容器左右方向に角棒から容器左右方向で搬送用後側ピンの配置箇所に向かって外側に突出するピン取り付け用プレートを設けて構成したピン支持プレート付きの後側ピン支持棒２６であってもよい。
【００７５】
また、図８〜図１０に示すように、左右一対の搬送用前側ピン支持体を、基部２１から突出方向に先細りの棒体の先端にて搬送用前側ピンを支持するもので構成してもよい。
【００７６】
さらに、図８〜図１０に示すように、左右一対の授受側前方ピン支持体を、上下方向に延びる直線状部材で構成してもよい。
【００７７】
（３）上記実施形態では、容器授受部として、ストッカ５０に設けられた授受部３０を例示したが、これに限らず、処理装置に設けられた授受部や、搬送コンベヤの搬送経路の端部又は途中に設けられたものであってもよく、容器授受部の具体的設置箇所は種々選択可能である。
【００７８】
（４）上記実施形態では、容器搬送手段としてＯＨＳを、また、第２容器搬送手段としてスタカークレーンを例示したが、これに代えて、例えば、容器搬送手段がスタカークレーンであるものや、第２容器搬送手段がＯＨＳであるもの、双方ともＯＨＳであるもの等、容器搬送手段及び第２容器搬送手段の具体的構成は種々のものに変更できる。
【符号の説明】
【００７９】
Ｖ１    容器搬送手段
Ｖ２    第２容器搬送手段
Ｐｓ１  授受作業位置
Ｐｓ２  第２授受作業位置
Ｐ１    突出位置
Ｐ２    引退位置
Ｐ３    下降位置
Ｐ４    上昇位置
Ｐ５    第２突出位置
Ｐ６    第２引退位置
Ｇ１    出退挿脱用間隙
Ｇ２    昇降挿脱用間隙
Ｇ３    上昇位置出退挿脱用間隙
１０    容器
１１    開口部
１４Ｆ  左右一対の前方係合溝部
１４Ｒ  後方係合溝部
１５    底面
２０    搬送用支持体
２１    基部
２２Ｆ、２６Ｆ  左右一対の搬送側前方ピン支持体
２２Ｒ、２６Ｒ  搬送側後方ピン支持体
２３    先端部
２４Ｆ  左右一対の搬送側前方ピン
２４Ｒ  搬送側後方ピン
３０    容器授受部
３１    基台
３１ｓ  上面部
３２Ｆ、３６Ｆ  授受側前方ピン支持体
３２Ｒ、３６Ｒ  授受側後方ピン支持体
３４Ｆ  左右一対の授受側前方ピン
３４Ｒ  授受側後方ピン
４０    第２搬送用支持体
４４Ｆ  左右一対の第２搬送側前方ピン
４４Ｒ  第２搬送側後方ピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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