(57)【要約】【課題】載置する搬送物によらず適切な免振効果を有する免振パレットを提供すること。【解決手段】免振パレット１は、ベースフレーム１１と、載置フレーム１２と、ベースフレーム１１及び載置フレーム１２を常時連結する第１免振部材３１及びベースフレーム１１及び載置フレーム１２を連結可能な第２免振部材３２を有する免振部材１３と、を備え、第１免振部材３１により、載置フレーム１２を常時弾性支持するとともに、第２免振部材３２により、ベースフレーム１１及び載置フレーム１２の連結時に載置フレーム１２を弾性支持することで、載置フレーム１２に載置された搬送物Ｗを最適な支持条件で弾性支持することが可能となる。【選択図】      図１
2011046436.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送物を載置させて搬送手段により前記搬送物を搬送させる免振パレットにおいて、
ベースフレームと、
前記ベースフレームの上方に配置された、前記搬送物を載置可能な載置フレームと、
前記ベースフレーム及び前記載置フレームの間に複数設けられ、少なくともその一部で前記載置フレームを弾性支持可能な免振部材と、
を備えることを特徴とする免振パレット。
【請求項２】
前記免振部材は、
前記ベースフレーム及び前記載置フレームの間の少なくとも４箇所に設けられ、前記ベースフレーム及び前記載置フレームを連結し、且つ、前記載置フレームを弾性支持する第１免振部材と、
前記ベースフレーム及び前記載置フレーム間に設けられ、前記ベースフレーム及び前記載置フレームを連結自在に形成され、前記ベースフレーム及び前記載置フレームの連結時に、前記載置フレームを弾性支持する第２免振部材と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載の免振パレット。
【請求項３】
前記第２免振部材は、
前記ベースフレームに固定された弾性部材と、
前記弾性部材及び前記載置フレームを接続自在に形成された接続手段と、を具備し、
前記接続手段が前記弾性部材と前記載置フレームとを接続することで、前記ベースフレーム及び前記載置フレームを連結し、前記載置フレームを第１免振部材とともに弾性支持することを特徴とする請求項２に記載の免振パレット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送物を載置させて搬送させる免振パレットに関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、搬送物の搬送方法として、搬送物が載置されたパレットを搬送手段、例えばトラック等の車両や鉄道の貨車等により搬送し、フォークリフト等の搬送手段を用いて工場や倉庫等へパレットを搬入する搬送方法が知られている。しかし、電子機器や精密機器等の搬送物は、その構成上、振動や衝撃に弱く、搬送時の振動や衝撃によって損傷の虞がある。
【０００３】
例えば、車両を用いて搬送物を搬送する場合には、サスペンションが板バネであるため、振動の減衰能力が悪く、走行路の凹凸等に起因する振動や衝撃が荷台に伝達され易い。このため、車両にエアサスペンションを備えた車両を用いることで、振動を吸収減衰し、搬送物の損傷を防止することが知られている。しかし、エアサスペンションを備える車両は高価であり、搬送コストが増大する、という問題がある。
【０００４】
貨車を用いて搬送物を搬送する場合には、レールの敷設状況によって、大きな振動や衝撃が発生する。また、走行による微振動も発生する。しかし、貨車のサスペンションも板バネであり、振動・衝撃の減衰も期待できないため、搬送物の搬送に貨車は不向きであった。また、フォークリフトによりパレットを搬送すると、フォークリフトの走行やパレットの移動により振動・衝撃が発生する。
【０００５】
そこで、搬送時に搬送物に印加される振動・衝撃を低減させて免振効果を有する免振パレットが知られている。このような免振パレットは、搬送手段に設置させるベースフレームと、搬送物を載置させる載置フレームを有し、ベースフレームと載置フレームとの間に、振動を減衰する弾性部材が設けられている。
【０００６】
また、垂直方向だけでなく水平方向の振動も減衰可能とするために、弾性部材として、垂直及び水平方向にスプリングを設けた免振パレット（例えば特許文献１参照）が知られている。さらに、弾性部材の上面及び下面に異なる高さの突起を設け、搬送物に加わる加速度等によって、パレットに当接する突起を変化させ、搬送物を支持する弾性力を変化させる免振パレット（例えば特許文献２参照）も知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−１４５２６９号公報
【特許文献２】特開２００２−１４５２６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述した免振パレットでは、以下の問題があった。即ち、上述した免振パレットでは、水平方向及び垂直方向の２方向での振動の減衰や、搬送物が載置された載置パレットを支持する弾性力を加速度等に基いて変更して振動を減衰する免振機能を有している。しかし、載置パレット上に載置された搬送物の重量や重心等によっては、一部の弾性部材に過大な荷重が印加されるなどして、免振パレットの振動・衝撃の減衰が効率よく行われず、免振効果が低いことがある。
【０００９】
例えば、ある搬送物に適した弾性部材を用いることで免振効果が高い免振パレットとした場合には、他の搬送物の搬送では高い免振効果が得られないこともある。即ち、載置させる搬送物の種類、量及び重心等によって、適正な弾性部材が異なることから、高い免振効果を有する免振パレットとすることが困難であった。
【００１０】
そこで本発明は、載置する搬送物によらず適切な免振効果を有する免振パレットを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記課題を解決し目的を達成するために、本発明の免振パレットは、次のように構成されている。
【００１２】
本発明の一態様として、搬送物を載置させて搬送手段により前記搬送物を搬送させる免振パレットにおいて、ベースフレームと、前記ベースフレームの上方に配置された、前記搬送物を載置可能な載置フレームと、前記ベースフレーム及び前記載置フレームの間に複数設けられ、少なくともその一部で前記載置フレームを弾性支持可能な免振部材と、を備えることを特徴とする免振パレットが提供される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、免振部材により載置フレームを適切な支持条件で弾性支持することが可能となり、搬送物に適した高い免振効果を有する免振パレットを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施の形態に係る免振パレットの構成を示す斜視図。
【図２】同免振パレットの構成を示す分解斜視図。
【図３】同免振パレットの第２免振部材の構成を示す斜視図。
【図４】同第２免振部材の構成を示す分解斜視図。
【図５】同第２免振部材の構成を示す斜視図。
【図６】同第２免振部材に用いられる固定部材の構成を示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施の形態に係る免振パレット１を、図１〜６を用いて説明する。  
図１は本発明の一実施の形態に係る免振パレット１の構成を示す斜視図、図２は同免振パレット１の構成を示す分解斜視図、図３は同免振パレット１に用いられる第２免振部材３２の構成を拡大して示す斜視図、図４は同第２免振部材３２の構成を拡大して示す分解斜視図、図５は同第２免振部材３２の使用の一例を示す斜視図、図６は同第２免振部材３２に用いられる固定部材３６の構成を示す斜視図である。なお、図１〜６に示すように、説明の便宜上、互いに直交する３方向をそれぞれＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向として説明する。
【００１６】
図１、２に示すように、免振パレット１は、ベースフレーム１１と、載置フレーム１２と、免振部材１３、を備えている。免振パレット１は、載置フレーム１２上に搬送物Ｗを載置可能に形成されるとともに、車両やフォークリフト等の搬送手段により搬送可能に形成されている。なお、搬送物Ｗは、特に、電子機器、精密機器及び半導体装置等である。
【００１７】
ベースフレーム１１は、例えば、互いに交差する２方向、図中ではＸ方向及びＹ方向に延設された複数のフレーム部材が格子状に固定されて形成されている。具体的には、ベースフレーム１１は、その長手方向がＹ方向に沿って、所定間隔でＸ方向に平行に配置された３本の第１フレーム部材２１と、これら第１フレーム部材２１の両端部及び中央部に所定間隔でＹ方向に平行に配置された３本の第２フレーム部材２２と、を備えている。
【００１８】
ベースフレーム１１は、外側に配置される第１フレーム部材２１及び第２フレーム部材２２により、第１枠体２３が形成される。また、ベースフレーム１１は、第１枠体２３の対向する第１フレーム部材２１及び第２フレーム部材２２をそれぞれ渡すように、第２フレーム部材２２及び第１フレーム部材２１が交差して第１枠体２３に連結する第１補強部２４を有している。このように、ベースフレーム１１は、第１枠体２３を第１補強部２４で連結させることで、方形格子状に形成されている。
【００１９】
載置フレーム１２は、例えば、互いに交差する２方向、図中ではＸ方向及びＹ方向に延設された複数のフレーム部材が格子状に固定されて形成されている。具体的には、載置フレーム１２は、その長手方向がＹ方向に沿って、所定間隔でＸ方向に平行に配置された５本の第３フレーム部材２６と、これら第３フレーム部材２６の一方の端部から他方の端部まで所定間隔でＹ方向に平行に配置された５本の第４フレーム部材２７と、を備えている。また、載置フレーム１２は、第３フレーム部材２６及び第４フレーム部材２７の上面に搬送物Ｗが載置可能に、それら上面が面一に形成されている。
【００２０】
載置フレーム１２は、外側に配置される第３フレーム部材２６及び第４フレーム部材２７により、第２枠体２８が形成される。また、載置フレーム１２は、第２枠体２８の対向する第３フレーム部材２６及び第４フレーム部材２７をそれぞれ渡すように、３本の第４フレーム部材２７及び第３フレーム部材２６がそれぞれ交差して第２枠体２８に連結する第２補強部２９を有している。このように、載置フレーム１２は、第２枠体２８を第２補強部２９で連結させることで、方形格子状に形成されている。
【００２１】
なお、ベースフレーム１１及び載置フレーム１２の各フレーム部材２１，２２，２６，２７の本数及び形状は、各フレーム１１，１２の強度を所定の強度に形成可能、且つ、載置する搬送物Ｗが格子状の開口から落下しない形状であれば、適宜設定可能である。
【００２２】
免振部材１３は、ベースフレーム１１及び載置フレーム１２を常時連結し、且つ、載置フレーム１２を弾性支持する第１免振部材３１と、ベースフレーム１１及び載置フレーム１２を連結可能、且つ、ベースフレーム１１及び載置フレーム１２の連結時に載置フレーム１２を弾性支持可能な第２免振部材３２と、を備えている。
【００２３】
第１免振部材３１は、第１枠体２３及び第２枠体２８の四隅に第１枠体２３及び第２枠体２８を連結して設けられている。第１免振部材３１は、ベースフレーム１１に対して載置フレーム１２を弾性的に支持可能に形成されている。第１免振部材３１は、第１枠体２３の四隅にそれぞれ設けられた免振手段３４と、第２枠体２８の四隅に設けられた連結部材３５と、を備えている。
【００２４】
免振手段３４は、免振が可能な弾性部材、例えば、円筒状のゴム部材であって、Ｘ，Ｙ方向（水平方向）及びＺ方向（圧縮方向）の２方向で振動を減衰可能に形成されている。以下、免振手段３４は、防振ゴム３４として説明する。
【００２５】
防振ゴム３４は、例えば、ボルト等により第１枠体２３に固定可能に形成されている（不図示）。また、防振ゴム３４は、連結部材３５と接続可能なボルト部３４ａが、その上面の中央部から突出して設けられている。このような防振ゴム３４は、例えば、倉敷化工（株）ＫＢ形丸型防振ゴム（型番：ＫＢ−４０−３３Ｈ等）が用いられる。
【００２６】
連結部材３５は、第２枠体２８の四隅に溶接又は締結部材により固定されている。連結部材３５は、例えば、第２枠体２８と平行な平面部３５ａが第１枠体２３側に突出するＵ字形に曲成されている。連結部材３５は、平面部３５ａが防振ゴム３４の上面と当接可能に形成されている。
【００２７】
平面部３５ａは、ボルト部３４ａが挿通可能な挿通孔３５ｂが形成されている。なお、平面部３５ａは、挿通孔３５ｂに挿通されたボルト部３４ａをナット等の締結部材で締結可能に、その側面の一部が開口して形成されている。即ち、連結部材３５は、防振ゴム３４と接続することで、第１枠体２３と第２枠体２８とを連結可能に形成されている。
【００２８】
図１〜５に示すように、第２免振部材３２は、第１枠体２３及び第２枠体２８の４辺の中央部を連結可能に４箇所に設けられている。第２免振部材３２は、第１枠体２３及び第２枠体２８を連結させることで、ベースフレーム１１に対して載置フレーム１２を第１免振部材３１とともに支持可能に形成されている。
【００２９】
第２免振部材３２は、第１枠体２３の四辺の中央部にそれぞれ設けられた防振ゴム３４と、第１枠体２３又は第２枠体２８の一方に固定される固定部材３６と、固定部材３６を第１枠体２３又は第２枠体２８の一方に取り付ける取付板３７と、を備えている。なお、防振ゴム３４は、第１免振部材３１に用いられる防振ゴム３４と同様のものが用いられるため、ここでは、その詳細な説明は省略する。
【００３０】
図１〜６に示すように、固定部材３６は、防振ゴム３４に接続されることで、第１枠体２３及び第２枠体２８を、防振ゴム３４を介して連結可能な接続手段である。固定部材３６は、取付板３７とボルト等の締結部材Ｓにより接続する一対の第１取付面３６ａを備えている。また、固定部材３６は、第１取付面３６ａの主面方向と直交する方向（Ｚ方向）に離間して第１取付面３６ａと平行に設けられ、その主面のいずれか一方が防振ゴム３４の上面と当接する第２取付面３６ｂを備えている。
【００３１】
固定部材３６は、第１取付面３６ａ及び第２取付面３６ｂを連続する連続部３６ｃを備えている。また、固定部材３６は、連続部３６ｃ及び第２取付面３６ｂの一方の側部に連続して設けられた補強壁３６ｄを備えている。なお、このような固定部材３６は、板材を曲折させることで形成されている。
【００３２】
第１取付面３６ａは、締結部材Ｓが挿通する挿通孔３６ｅを有している。第２取付面３６ｂは、ボルト部３４ａが挿通可能であって、補強壁３６ｄが設けられていない他方の第２取付面３６ｂの側部と連続する切欠部３６ｆを有している。即ち、固定部材３６は、第２取付面３６ｂの切欠部３６ｆにボルト部３４ａを挿通した状態で、水平方向にスライド可能に形成されている。なお、第２取付面３６ｂは、切欠部３６ｆに挿通されたボルト部３４ａに螺合されるナット等の被締結部材Ｎの座面が形成されている。
【００３３】
固定部材３６の第１取付面３６ａから第２取付面３６ｂまでの距離（固定部材３６の高さ）は、連結部材３５の高さと同一寸法に形成されている。即ち、第２取付面３６ｂを防振ゴム３４に固定し、且つ、第１取付面３６ａを第２枠体２８の取付板３７に固定した際に、防振ゴム３４から第２枠体２８までの距離を均一とすることで、防振ゴム３４に印加される荷重が局部的に大となること（局部的につぶれること）を防止可能に形成されている。
【００３４】
取付板３７は、第１枠体２３及び第２枠体２８の中央部に設けられている。具体的に説明すると、取付板３７は、防振ゴム３４と隣接して第１枠体２３の四辺にそれぞれ設けられた一対設けられるとともに、この一対の取付板３７と対向して第２枠体２８の四辺に一対設けられる。なお、取付板３７は、第１枠体２３及び第２枠体２８に亘って設けられ、締結部材Ｓが螺合可能なねじ孔３７ａが設けられている。
【００３５】
このように構成された免振パレット１は、第１免振部材３１により、常時ベースフレーム１１上に載置フレーム１２が防振ゴム３４を介して支持されるとともに、必要に応じて第２免振部材３２においても載置フレーム１２がベースフレーム１１に支持される。
【００３６】
具体的に説明すると、免振パレット１は、第１枠体２３に固定された防振ゴム３４と第２枠体２８に固定された連結部材３５とをボルト部３４ａ及び被締結部材により接続することで、ベースフレーム１１と載置フレーム１２とが連結し、ベースフレーム１１に載置フレーム１２が常時弾性的に支持されることとなる。
【００３７】
また、免振パレット１は、載置フレーム１２上に載置する搬送物Ｗの重量や重心に応じて、第２枠体２８の取付板３７に固定部材３６を固定するとともに、防振ゴム３４と固定部材３６とをボルト部３４ａ及び被締結部材Ｎにより連結させる。
【００３８】
このように、免振パレット１は、載置フレーム１２を支持する（ベースフレーム１１と載置フレーム１２を連結させる）第２免振部材３２の数を可変させることで、載置フレーム１２を支持する防振ゴム３４の弾性係数及びバランスを可変可能に形成されている。
【００３９】
次に、図３〜５を用いて、第２免振部材３２の取り付けについて説明する。  
図３及び図５に示すように、第２免振部材３２は、固定部材３６を第１枠体２３又は第２枠体２８の一方に固定することで、第１枠体２３及び第２枠体２８を連結自在に形成されている。
【００４０】
先ず、第２免振部材３２による第１枠体２３及び第２枠体２８の連結について説明する。図４に示すように、先ず、固定部材３６の第１取付面３６ａを第２枠体２８の取付板３７に、第２取付面３６ｂを第１枠体２３の防振ゴム３４に配置させる。この状態で、第１取付面３６ａの挿通孔３６ｅに締結部材Ｓを挿通し、取付板３７のねじ孔３７ａに締結部材Ｓを螺合することで、固定部材３６を第２枠体２８に固定する。このとき、防振ゴム３４のボルト部３４ａを切欠部３４ｆに挿通させる。
【００４１】
なお、既に第１免振部材３１により第１枠体２３及び第２枠体２８が連結されている場合には、固定部材３６は水平方向にスライドさせて、第２枠体２８及び防振ゴム３４に配置させるとともに、切欠部３６ｆにボルト部３４ａを挿通させればよい。なお、図２、４に示すように、第１枠体２３及び第２枠体２８が分離している場合には、先に固定部材３６の第１取付面３６ａを第２枠体２８に固定させておけば良い。
【００４２】
次に、ボルト部３４ａに被締結部材Ｎを螺合させて、防振ゴム３４と固定部材３６とを固定する。これにより、図３に示すように、固定部材３６は防振ゴム３４に支持されることとなり、第２枠体２８が第１枠体２３に、第１免振部材３１及び第２免振部材３２を介して支持されることとなる。
【００４３】
なお、ここで、第２免振部材３２は、全て（４箇所）において第１枠体２３及び第２枠体２８を連結させても良いし、一部の第２免振部材３２により第１枠体２３及び第２枠体２８を連結させてもよい。
【００４４】
次に、第２免振部材３２により第１枠体２３及び第２枠体２８を連結しない場合について説明する。まず、固定部材３６の第１取付面３６ａを第１枠体２３の取付板３７に当接させるとともに、切欠部３６ｆにボルト部３４ａを挿通させる。この状態で第１取付面３６ａの挿通孔３６ｅに締結部材Ｓを挿通させて、締結部材Ｓを第１枠体２３の取付板３７のねじ部３７ａに螺合させ、固定部材３６を第１枠体２３に固定させるとともに、ボルト部３４ａに被締結部材Ｎを螺合させる。
【００４５】
これにより、図５に示すように、第２免振部材３２は、第１枠体２３に固定されることとなり、第２免振部材３２は第２枠体２８に固定されない。即ち、第２免振部材３２は、第１枠体２３と第２枠体２８を連結しないため、載置フレーム１２は第２免振部材３２により弾性的に支持されない。
【００４６】
これらのように、第２免振部材３２は、固定部材３６の第１取付面３６ａを第１枠体２３の取付板３７又は第２枠体２８の取付板３７のいずれか一方に設けることで、ベースフレーム１１と載置フレーム１２の連結を可変とし、第２免振部材３２の防振ゴム３４による載置フレーム１２の弾性支持を任意に変更することが可能となる。
【００４７】
このため、免振パレット１は、第１免振部材３１により載置フレーム１２を弾性支持されるとともに、第２免振部材３２による載置フレーム１２の弾性支持及び非支持を変更することが可能となる。
【００４８】
即ち、免振パレット１は、第２免振部材３２により載置フレーム１２を弾性支持する防振ゴム３４の数及び配置を可変とすることで、載置フレーム１２を支持する防振ゴム３４によるＺ方向の支持荷重、振動伝達率及び重心による偏荷重や加速度等の支持条件を変更することが可能となる。載置フレーム１２の支持条件を変更可能することで、免振パレット１は、搬送物Ｗに対応して適切な支持条件を設定することが可能となる。
【００４９】
なお、支持荷重とは、載置フレーム１２を支持する防振ゴム３４一つ当たりに負荷される荷重である。また、偏荷重は、載置フレーム１２の構成及び載置する搬送物Ｗの重心によって各位置にて異なる荷重であって、この重心により振動時に加わる加速度も変化する。また、支持条件とは、搬送物Ｗや載置フレーム１２の寸法、形状及び材質等に対する防振ゴム３４の防振ゴム３４の数、種類、支持荷重等の条件である。
【００５０】
このように構成された免振パレット１は、載置フレーム１２に載置する搬送物Ｗの重心や荷重（重量）によって、載置フレーム１２を弾性的に支持する防振ゴム３４を可変することで、載置する搬送物Ｗの重心や荷重に対して適切な支持条件とすることが可能となる。
【００５１】
このため、免振パレット１は、最適な支持条件により、載置フレーム１２及び搬送物Ｗを弾性支持することが可能となるため、高い免振効果を得ることとなり、搬送物Ｗの搬送時の振動及び衝撃を減少することが可能となる。
【００５２】
振動及び衝撃の減少により、搬送手段による搬送時の搬送物Ｗの損傷を防止し、製品の品質を確保することが可能となり、搬送の信頼性を向上することが可能となる。また、搬送手段として、車両だけでなく、鉄道輸送やフォークリフト等での搬送にも、適正な防振ゴム３４の数及び配置とすることで、確実に振動及び衝撃を減少することが可能となる。
【００５３】
例えば従来では鉄道では搬送する際に損傷の虞が高かった精密機器等の振動・衝撃に弱い搬送物Ｗも、搬送することが可能となる。即ち、モーダルシフトが可能となり、搬送によるコストの低減や、環境問題の低減の効果にもなる。
【００５４】
さらに、免振パレット１は、防振ゴム３４の数等により、その支持荷重等を可変可能、且つ、振動・衝撃の大幅な低減が可能であるため、同一寸法形状で、様々な種類及び量の搬送物Ｗの搬送が可能となり、且つ、搬送手段の幅も広がる。即ち、免振パレット１の汎用性を向上することが可能となる。
【００５５】
また、第２免振部材３２は、固定部材３６の固定を防振ゴム３４と、第１枠体２３又は第２枠体２８の取付板３７の一方とを固定するだけで載置フレーム１２の弾性支持・非支持を変更することが可能となり、作業性もよい。このようなことから、免振パレット１は、搬送物Ｗ、搬送手段等の種々多用な搬送条件に対応可能となり、搬送コストを低減することが可能となる。
【００５６】
なお、適切な支持条件の決定は、例えば、搬送物Ｗを載置させた状態で、振動試験や落下試験等により、各加速度や振幅値等の衝撃値を測定し、その測定データに基いて、防振ゴム３４の支持数及び支持位置を決定してもよい。また、他の方法で、最適な支持条件を決定してもよい。即ち、適切な支持条件は使用用途等に応じて適宜決定すればよいため、本実施の形態では、具体的な載置フレーム１２の支持条件の決定方法については省略する。
【００５７】
上述したように本実施の形態に係る免振パレット１によれば、載置フレーム１２を弾性的に支持する防振ゴム３４の数及び配置を可変可能とすることで、搬送物Ｗの重量や重心に対して載置フレーム１２の支持条件を最適な支持条件に設定することが可能となる。
【００５８】
これにより、搬送物Ｗに適した高い免振効果（免振効率）を有する免振パレット１となり、搬送時の振動及び衝撃を低減させ、搬送物Ｗの損傷を極力防止し、搬送物Ｗの品質の確保が可能となる。また、モーダルシフト率を向上させることで、搬送手段や搬送可能な搬送物の種類を増大させ、搬送効果を向上させ、搬送コストの低減にもなる。
【００５９】
なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではない。例えば、上述した例では、載置フレーム１２は、第３フレーム部材２６及び第４フレーム部材２７をそれぞれ５本用いる構成で説明したがこれに限定されない。また、ベースフレーム１１及び載置フレーム１２の構成も異なる構成としたが、同一構成としてもよい。
【００６０】
また、上述した例では、第１免振部材３１を第１、第２枠体２３，２８の四隅に設け、第２免振部材３２を第１、第２枠体２３，２８の四辺の中央部に配置させる構成としたがこれに限定されない。例えば、第１免振部材３１と第２免振部材３２の配置位置を入れ替えてもよく、また、第２免振部材３２の数を４つではなく８つとしてもよく、他の数でもよい。
【００６１】
さらに、第１免振部材３１を第２免振部材３２と同一構成、即ち、全ての免振部材において、防振ゴム３４による載置フレーム１２の支持・非支持に可変可能とし、必要に応じて防振ゴム３４により載置フレーム１２を支持する構成であってもよい。但し、この場合には、載置フレーム１２を支持可能に、複数の防振ゴム３４で載置フレーム１２を支持することは勿論である。
【００６２】
また、上述した例では、免振手段３４として、防振ゴム３４を用いると説明したがこれに限定されない。例えば、免振手段３４として、バネ部材を用いても良く、又、エアシリンダ等を用いてもよい。また、防振ゴム３４を用いる場合には、倉敷化工（株）製ＫＢ形丸型防振ゴム（型番：ＫＢ−４０−３３Ｈ等）でなく、他の防振ゴムでもよく、また、異なる複数種類の防振ゴムを免振パレット１に適宜用いる構成でもよい。この他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能である。
【符号の説明】
【００６３】
１…免振パレット、１１…ベースフレーム、１２…載置フレーム、１３…免振部材、２１…第１フレーム部材、２２…第２フレーム部材、２３…第１枠体、２４…補強部、２６…第３フレーム部材、２７…第４フレーム部材、２８…第２枠体、２９…補強部、３１…第１免振部材、３２…第２免振部材、３４…弾性部材（防振ゴム）、３４ａ…ボルト部、３４ｆ…切欠部、３５…連結部材、３５ａ…平面部、３５ｂ…挿通孔、３６…固定部材、３６ａ…第１取付面、３６ｂ…第２取付面、３６ｃ…連続部、３６ｄ…補強壁、３６ｅ…挿通孔、３６ｆ…切欠部、３７…取付板、３７ａ…孔、Ｎ…被締結部材、Ｓ…締結部材、Ｗ…搬送物。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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