(57)【要約】【課題】複数の光源を用いて標本の観察を行う場合に、より簡単に光源からの光の光路調整を行うことができるようにする。【解決手段】小型レーザユニット３１−１乃至小型レーザユニット３１−３は、ステージ３４−１乃至ステージ３４−３に固定されている。各小型レーザユニット３１から射出された極短パルス光は同一光路に合成され、標本１２に照射されるとともに、位置検出ユニット４０に入射する。位置検出ユニット４０は、入射した極短パルス光を受光し、その受光位置から極短パルス光の光路のずれを検出する。駆動制御部４５は、そのずれの検出結果に基づいてステージ３４を平行移動または回動させることで、極短パルス光の光路を補正する。このように小型レーザユニット３１を動かすことで、他の光学部材を移動させずに簡単に光路調整することができる。本発明は、走査型顕微鏡に適用することができる。【選択図】図１
2011146463.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物に照射される照射光を射出する複数のレーザ光源と、
前記複数のレーザ光源からの前記照射光を同一光路上に合成する合成手段と、
前記合成手段からの前記照射光を受光して、前記照射光の光路のずれを検出する光路ずれ検出手段と、
前記光路ずれ検出手段による検出結果に基づいて、前記照射光の光路のずれが補正されるように、前記複数のレーザ光源のそれぞれを独立に平行移動または回動させる駆動制御手段と
を備えることを特徴とするレーザ発振装置。
【請求項２】
前記光路ずれ検出手段は、
前記合成手段からの前記照射光を受光して、前記照射光のシフト方向の光路ずれを検出するシフト検出手段と、
前記合成手段からの前記照射光を受光して、前記照射光のチルト方向の光路ずれを検出するチルト検出手段と
を備え、
前記合成手段からの前記照射光を分岐させて、前記シフト検出手段および前記チルト検出手段に入射させる分岐手段をさらに備え、
前記シフト検出手段は、前記チルト検出手段よりも、より前記分岐手段に近い位置に配置されている
ことを特徴とする請求項１に記載のレーザ発振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の光源からの光を同一光路上に合成させる場合に、より簡単に各光源からの光の光路調整をすることができるようにしたレーザ発振装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、多光子励起を利用した走査型のレーザ顕微鏡である多光子顕微鏡が知られている。多光子顕微鏡では、非常に時間幅の短い（例えば、100フェムト秒の）パルス状のレーザ光である極短パルス光の射出が可能な極短パルスレーザ光源が用いられる。このような多光子顕微鏡には、波長が可変の極短パルスレーザ光源を備え、複数の波長の極短パルス光を使用できるものもある。
【０００３】
ところで、多光子顕微鏡において、複数の極短パルスレーザ光源を用いる場合、それらの極短パルスレーザ光源から射出される極短パルス光が同一光路上に合成されるように、各極短パルス光の光路の調整が必要となる。
【０００４】
複数のレーザ光源を用いる顕微鏡において、レーザ光源を交換する技術として、レーザ光源と、そのレーザ光源からの光を他のレーザ光源からの光と合成させる光学部材とをベース部材に固定し、ベース部材ごと付け替える技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−０８５８８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した技術では、複数の光源からの光が同一光路を通るように、各光源からの光の光路調整を行うことは困難だった。
【０００７】
例えば、波長が固定された極短パルスレーザ光源が複数設けられた多光子顕微鏡において、使用する極短パルスレーザ光源を切り替えながら、異なる波長の極短パルス光で標本の同じ部位を観察する場合、同じ光学系であっても極短パルス光の波長により光路が変化する。そのため、各波長の極短パルス光の光路が同一となるように充分に光路調整がされていないと、標本の励起位置にずれが生じてしまう。
【０００８】
ところが、このような光路のずれを調整するには、極短パルスレーザ光源から標本までの間に配置されたハーフミラー等の多くの光学部材の位置調整を行う必要があり、大変な手間であった。
【０００９】
また、例えば、第１の極短パルスレーザ光源からの極短パルス光がミラーにより反射され、ミラーからの極短パルス光と、第２の極短パルスレーザ光源からの極短パルス光とがダイクロイックミラーにより同一光路上に合成される多光子顕微鏡があったとする。
【００１０】
この場合、第２の極短パルスレーザ光源を異なる第３の極短パルスレーザ光源に交換するときに、ダイクロイックミラーを傾けることで、第３の極短パルスレーザ光源からの極短パルス光の光路調整をすると、第１の極短パルスレーザ光源からの極短パルス光の光路にずれが生じることになる。
【００１１】
そうすると、第２の極短パルスレーザ光源の交換前にされていた、第１の極短パルスレーザ光源を利用した標本の観察が再現できなくなり、再度、ミラーを傾けて第１の極短パルスレーザ光源からの極短パルス光の光路調整を行わなければならなくなる。
【００１２】
さらに、特許文献１に記載の技術では、レーザ光源と光学部材からなるユニットを複数固定する台などが必要であるため、顕微鏡システム全体が大型化していまい、レーザ光源からの光を顕微鏡の本体へと導入する際に、大掛かりな調整作業が必要であった。
【００１３】
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、複数の光源からの光を同一光路上に合成させる場合に、より簡単に各光源からの光の光路調整をすることができるようにするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明のレーザ発振装置は、対象物に照射される照射光を射出する複数のレーザ光源と、前記複数のレーザ光源からの前記照射光を同一光路上に合成する合成手段と、前記合成手段からの前記照射光を受光して、前記照射光の光路のずれを検出する光路ずれ検出手段と、前記光路ずれ検出手段による検出結果に基づいて、前記照射光の光路のずれが補正されるように、前記複数のレーザ光源のそれぞれを独立に平行移動または回動させる駆動制御手段とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、複数の光源からの光を同一光路上に合成させる場合に、より簡単に各光源からの光の光路調整をすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明を適用した走査型顕微鏡の一実施の形態の構成例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して、本発明を適用した実施の形態について説明する。
【００１８】
図１は、本発明を適用した走査型顕微鏡の一実施の形態の構成例を示す図である。
【００１９】
走査型顕微鏡１１は、観察対象の標本１２に対して照射光を照射し、これにより生じた観察光を受光して標本１２の観察画像を得ることで、標本１２を観察する顕微鏡である。走査型顕微鏡１１は、多チャンネルレーザ発振装置として機能する走査装置２１と、顕微鏡本体２２とから構成される。
【００２０】
走査装置２１内には、３つの小型レーザユニット３１−１乃至小型レーザユニット３１−３が、走査装置２１に対して着脱可能に内蔵されている。小型レーザユニット３１−１乃至小型レーザユニット３１−３には、それぞれ小型レーザ３２−１乃至小型レーザ３２−３と、プリチャーパ３３−１乃至プリチャーパ３３−３が設けられている。
【００２１】
小型レーザ３２−１乃至小型レーザ３２−３は、例えば照射光として赤外波長領域の極短パルス光を射出する極短パルスレーザ光源からなり、極短パルス光を射出してプリチャーパ３３−１乃至プリチャーパ３３−３に入射させる。プリチャーパ３３−１乃至プリチャーパ３３−３は、小型レーザ３２−１乃至小型レーザ３２−３からの極短パルス光の群速度に負分散を発生させることで、極短パルス光のパルス幅を調整する。
【００２２】
なお、走査型顕微鏡１１の光学系により発生するチャープ量、すなわちパルス幅の広がりの量は、極短パルス光の波長により異なる。そのため、プリチャーパ３３−１乃至プリチャーパ３３−３の負分散量は、各極短パルス光のパルス幅が所望の大きさとなるように、極短パルス光の波長に応じて、予め最適化されている。
【００２３】
また、以下、小型レーザユニット３１−１乃至小型レーザユニット３１−３のそれぞれを個々に区別する必要のない場合、単に小型レーザユニット３１とも称する。さらに、以下、小型レーザ３２−１乃至小型レーザ３２−３を個々に区別する必要のない場合、単に小型レーザ３２とも称し、プリチャーパ３３−１乃至プリチャーパ３３−３を個々に区別する必要のない場合、単にプリチャーパ３３とも称する。
【００２４】
走査型顕微鏡１１においては、各小型レーザユニット３１は、個別にオン／オフの制御、すなわち極短パルス光を射出するか否かの制御が可能となっており、３つの小型レーザユニット３１のうちの任意のものから極短パルス光を射出できるようにされている。以下、小型レーザ３２−１乃至小型レーザ３２−３のそれぞれから射出される極短パルス光を、適宜、極短パルス光Ａ乃至極短パルス光Ｃとも呼ぶこととする。
【００２５】
また、小型レーザユニット３１−１乃至小型レーザユニット３１−３のそれぞれは、走査装置２１に内蔵された電動のステージ３４−１乃至ステージ３４−３のそれぞれに着脱可能に固定されている。ステージ３４−１乃至ステージ３４−３は、それぞれ独立して駆動し、小型レーザユニット３１を平行移動させたり、回動させたりする。
【００２６】
例えば、図１中、紙面縦方向をｘ方向とし、奥行き方向（紙面垂直方向）をｙ方向とすると、ステージ３４−１乃至ステージ３４−３は、ｘ方向またはｙ方向に平行移動する。また、ｘ方向およびｙ方向に垂直な方向をｚ方向と呼ぶこととすると、ステージ３４−１乃至ステージ３４−３は、ｙ方向またはｚ方向に平行な直線を軸として回動する。
【００２７】
さらに、走査装置２１には、各小型レーザユニット３１からの極短パルス光を同一光路上に合成するためのミラー３５、ダイクロイックミラー３６、およびダイクロイックミラー３７が設けられている。
【００２８】
小型レーザユニット３１−１から射出された極短パルス光Ａは、ミラー３５において反射し、さらにダイクロイックミラー３６を透過する。また、小型レーザユニット３１−２からの射出された極短パルス光Ｂは、ダイクロイックミラー３６により反射される。ダイクロイックミラー３６においては、極短パルス光Ａと極短パルス光Ｂの光路が同一となるように、極短パルス光の合成、つまり透過と反射がされる。
【００２９】
ダイクロイックミラー３６において反射または透過した極短パルス光は、ダイクロイックミラー３７において反射され、プリチャーパ３８に入射する。また、小型レーザユニット３１−３から射出された極短パルス光は、ダイクロイックミラー３７を透過してプリチャーパ３８に入射する。すなわち、ダイクロイックミラー３７では、極短パルス光Ａ乃至極短パルス光Ｃの光路が同一となるように、極短パルス光の合成が行われる。
【００３０】
プリチャーパ３８は、ダイクロイックミラー３７から入射した極短パルス光の群速度に負分散を発生させることで、極短パルス光のパルス幅を調整する。
【００３１】
なお、走査装置２１では、プリチャーパ３８により、極短パルス光Ａ乃至極短パルス光Ｃの大まかなチャープ量の補正が行われるようになされている。そして、プリチャーパ３３−１乃至プリチャーパ３３−３において、極短パルス光Ａ乃至極短パルス光Ｃのそれぞれの波長に正確に対応したチャープ量の補正が行われる。
【００３２】
プリチャーパ３８の後段にはハーフミラー３９が設けられており、ハーフミラー３９は極短パルス光を分岐させて、極短パルス光の光路ずれを検出するための位置検出ユニット４０、および極短パルス光を標本１２に導く光学系のそれぞれに、分岐させた極短パルス光を入射させる。
【００３３】
具体的には、プリチャーパ３８からハーフミラー３９に入射した極短パルス光の一部は、ハーフミラー３９で反射して光路ずれ検出用の位置検出ユニット４０に入射し、残りの極短パルス光はハーフミラー３９をそのまま透過してダイクロイックミラー４１に入射する。
【００３４】
光路ずれ検出用の位置検出ユニット４０は、ハーフミラー４２、光位置センサ４３、および光位置センサ４４から構成され、極短パルス光のシフトずれおよびチルトずれを検出するとともに、その検出結果を駆動制御部４５に供給する。
【００３５】
すなわち、ハーフミラー４２は、ハーフミラー３９からの極短パルス光の一部をそのまま透過させて光位置センサ４３に入射させるとともに、残りの極短パルス光を反射して光位置センサ４４に入射させる。
【００３６】
光位置センサ４３は、PSD（Position Sensitive Detector）などの２次元光位置センサからなり、ハーフミラー４２から入射した極短パルス光を受光して、極短パルス光のシフトずれを検出する。ここで、極短パルス光が本来通るべき光路を基準光路と呼ぶこととすると、極短パルス光のシフトずれとは、基準光路と垂直な方向への基準光路に対する実際の極短パルス光の位置のずれをいう。また、極短パルス光の光路が、基準光路に対して、基準光路と垂直な方向に所定の距離だけずれているとすると、そのずれている距離、つまりシフトずれの量をシフト量と呼ぶこととする。
【００３７】
光位置センサ４４は、PSDなどの２次元光位置センサからなり、ハーフミラー４２から入射した極短パルス光を受光して、極短パルス光のチルトずれを検出する。ここで、チルトずれとは、基準光路に対する実際の極短パルス光の光路の角度のずれをいう。以下では、極短パルス光の光路が、基準光路に対して所定の角度だけ傾いているとすると、その傾いた角度、つまりチルトずれの量をチルト量と呼ぶこととする。
【００３８】
さらに、位置検出ユニット４０では、シフト方向の光路のずれを検出する光位置センサ４３が、チルト方向の光路のずれを検出する光位置センサ４４よりも、ハーフミラー４２により近い位置に配置されている。つまり、ハーフミラー４２から光位置センサ４３に入射する極短パルス光の光路の方が、ハーフミラー４２から光位置センサ４４に入射する極短パルス光の光路よりも短くなるようにされている。
【００３９】
光位置センサ４３および光位置センサ４４では、それぞれ受光面に入射した極短パルス光の受光位置のずれに基づいて、シフトずれおよびチルトずれが検出されるが、受光位置のずれには、シフトずれの成分およびチルトずれの成分が含まれている。そして、チルトずれの成分は、極短パルス光の受光面がハーフミラー４２から遠い位置にあるほど、より多く含まれることになる。
【００４０】
そこで、光位置センサ４３をよりハーフミラー４２に近い位置に配置し、光位置センサ４４をよりハーフミラー４２から遠い位置に配置することで、シフトずれおよびチルトずれをより正確に検出することができる。
【００４１】
また、駆動制御部４５は、位置検出ユニット４０から供給されたシフトおよびチルトのずれの検出結果に基づいて、それらのシフトずれおよびチルトずれが補正されるように、ステージ３４を平行移動させたり、回動させたりする。
【００４２】
さらに、ハーフミラー３９を透過し、ダイクロイックミラー４１に入射した極短パルス光は、ダイクロイックミラー４１で反射して、ガルバノスキャナにより構成される走査部４６に入射する。そして、極短パルス光は走査部４６において偏向され、走査レンズ４７により集光されて走査装置２１から射出され、顕微鏡本体２２へと入射する。
【００４３】
顕微鏡本体２２に入射した極短パルス光は、顕微鏡本体２２内に設けられた鏡筒レンズ５１により平行光とされ、さらにダイクロイックミラー５２を透過して、対物レンズ５３により標本１２の観察面において集光される。このとき、走査部４６は、極短パルス光の走査範囲や走査速度を制御しながら、標本１２の観察面において極短パルス光を走査する。
【００４４】
極短パルス光が標本１２に照射されると、標本１２からは多光子励起による蛍光が発現し、この蛍光は観察光となって、ダイレクトディテクタ５４またはピンホールディテクタ４８により検出される。
【００４５】
具体的には、ダイレクトディテクタ５４により観察光を検出する場合、標本１２からの観察光は、対物レンズ５３を介してダイクロイックミラー５２に入射し、さらにダイクロイックミラー５２で反射されてダイレクトディテクタ５４に入射する。
【００４６】
ダイレクトディテクタ５４は、バリアフィルタ、光電子増倍管などにより構成され、ダイクロイックミラー５２から入射した観察光を受光して、その受光量に応じた電気信号を出力する。この電気信号に基づいて、標本１２の観察面の画像、つまり観察画像が生成される。
【００４７】
これに対して、ピンホールディテクタ４８により観察光を検出する場合、標本１２からの観察光は、対物レンズ５３乃至鏡筒レンズ５１、および走査レンズ４７を介して走査部４６に入射する。そして、観察光は走査部４６においてデスキャンされ、ダイクロイックミラー４１を介してピンホールディテクタ４８に入射する。
【００４８】
ピンホールディテクタ４８は、集光レンズ、ピンホール、光電子増倍管などにより構成され、観察光は、対物レンズ５３の焦点位置とほぼ共役な位置に設けられたピンホールを通過した後、受光される。ピンホールディテクタ４８は、入射した観察光を受光すると、その受光量に応じた電気信号を出力する。この電気信号により標本１２の観察画像が生成される。
【００４９】
このように、走査型顕微鏡１１は、多光子顕微鏡だけでなく共焦点顕微鏡としても使用することができる。
【００５０】
ところで、走査型顕微鏡１１においては、各小型レーザユニット３１は、それぞれ個別にステージ３４に固定されるため、ユーザは、各小型レーザユニット３１からの極短パルス光の光路調整を独立に行うことができる。
【００５１】
例えば、初期の調整時において、小型レーザユニット３１−３からの極短パルス光を基準として、各小型レーザユニット３１からの極短パルス光が最適な状態となるように調整を行う。
【００５２】
具体的には、まずユーザは、小型レーザユニット３１−３だけから極短パルス光を射出させる。そして、ユーザは小型レーザユニット３１−３からの極短パルス光が、対物レンズ５３の瞳位置で、その瞳の中央を充分満たした状態となるように、ダイクロイックミラー４１等の極短パルス光の光路上に配置された光学部材の位置などを調整する。
【００５３】
小型レーザユニット３１−３からの極短パルス光が最適な状態となると、位置検出ユニット４０は、このような状態で小型レーザユニット３１−３が極短パルス光を射出したときの光位置センサ４３、および光位置センサ４４による極短パルス光の受光位置を記録する。すなわち、各光位置センサの受光面における極短パルス光の入射位置が記録される。
【００５４】
これらの受光位置を用いれば、位置検出ユニット４０は、その後、記録している受光位置と、実際の極短パルス光の光位置センサへの入射位置とを比較することで、極短パルス光のシフトずれおよびチルトずれを検出することができる。また、検出されたずれを補正するには、光位置センサ（光位置センサ４３および光位置センサ４４）への極短パルス光の入射位置が、記録されている受光位置と一致するように、ステージ３４を平行移動または回動すればよい。
【００５５】
次に、ユーザは、小型レーザユニット３１−１、および小型レーザユニット３１−２からの極短パルス光が最適な状態となるように、極短パルス光の光路調整をする。
【００５６】
すなわち、ユーザは、小型レーザユニット３１−１だけから極短パルス光を射出させる。すると、小型レーザユニット３１−１からの極短パルス光は、ミラー３５乃至ハーフミラー３９を介してハーフミラー４２に入射する。そして、極短パルス光の一部はそのままハーフミラー４２を透過して光位置センサ４３に入射し、残りの極短パルス光はハーフミラー４２で反射されて光位置センサ４４に入射する。
【００５７】
このように、光位置センサ４３および光位置センサ４４には、小型レーザユニット３１−１からの極短パルス光だけが入射することになる。光位置センサ４３は、入射した極短パルス光を受光して極短パルス光のシフトずれを検出し、光位置センサ４４は、入射した極短パルス光を受光して極短パルス光のチルトずれを検出する。
【００５８】
より詳細には、位置検出ユニット４０は、記録している極短パルス光の受光位置と、実際に光位置センサ４３において受光された極短パルス光の位置とに基づいて、極短パルス光のシフトずれ、つまりシフトの方向および量を検出する。
【００５９】
同様に、位置検出ユニット４０は、記録している極短パルス光の受光位置と、実際に光位置センサ４４において受光された極短パルス光の位置とに基づいて、極短パルス光のチルトずれ、つまりチルトの方向および量を検出する。
【００６０】
そして、位置検出ユニット４０は、シフトずれおよびチルトずれの検出結果を駆動制御部４５に供給する。
【００６１】
駆動制御部４５は、位置検出ユニット４０から検出結果として供給されたシフトの方向および量に基づいて、ステージ３４−１を平行移動させるべき方向および距離を特定し、その方向に特定された距離だけステージ３４−１を平行移動させる。これにより、ステージ３４−１に固定された小型レーザユニット３１−１も平行移動し、極短パルス光のシフトずれが補正される。
【００６２】
さらに、駆動制御部４５は、位置検出ユニット４０から検出結果として供給されたチルトの方向および量に基づいて、ステージ３４−１を回動させるべき方向および角度を特定し、その方向に特定された角度だけステージ３４−１を回動させる。これにより、ステージ３４−１に固定された小型レーザユニット３１−１も回動し、極短パルス光のチルトずれが補正される。
【００６３】
そして、シフトおよびチルトのずれが検出されなくなるまで、つまり実際の光位置センサ４３および光位置センサ４４における極短パルス光の受光位置が、位置検出ユニット４０に記録されている受光位置となるまで、上述した処理が繰り返し行われ、極短パルス光の光路調整が行われる。
【００６４】
なお、シフトのずれの方向および量に対して、ステージ３４を移動させるべき方向および距離や、チルトのずれの方向および角度に対して、ステージ３４を回動させるべき方向および角度は予め定められており、それらの情報は駆動制御部４５に保持されている。
【００６５】
このようにしてステージ３４−１が平行移動または回動されると、小型レーザユニット３１−１からの極短パルス光の光路が調整される。
【００６６】
さらに、ユーザは、小型レーザユニット３１−２だけから極短パルス光を射出させ、小型レーザユニット３１−２からの極短パルス光の光路調整をする。すなわち、駆動制御部４５は、位置検出ユニット４０から供給されたシフトおよびチルトのずれの検出結果に基づいて、ステージ３４−２を平行移動させたり、回動させたりする。これにより、小型レーザユニット３１−２からの極短パルス光のシフトおよびチルトのずれが補正される。
【００６７】
このように、各小型レーザユニット３１からの極短パルス光の光路調整がされると、それらの小型レーザユニット３１から同時に極短パルス光を射出させた場合に、各極短パルス光は、ダイクロイックミラー３７により同一光路に合成される。すなわち、各極短パルス光が対物レンズ５３の瞳位置で、その瞳の中央を充分満たした状態となるようにされ、各極短パルス光は、同一光路を通って標本１２の同じ位置に照射される。
【００６８】
また、走査型顕微鏡１１では、ステージ３４に対して小型レーザユニット３１が着脱可能となっているため、ユーザは、小型レーザユニット３１を所望の波長の極短パルス光を射出するものと交換することができる。
【００６９】
ユーザが、ステージ３４に固定されている小型レーザユニット３１を外して、他の新たな小型レーザユニット３１をステージ３４に固定する場合においても、ユーザは、新たに取り付けた小型レーザユニット３１だけから極短パルス光を射出させるだけで、簡単に極短パルス光の光路調整を行うことができる。このような場合も、上述した場合と同様に、位置検出ユニット４０により極短パルス光のシフトおよびチルトのずれが検出され、その検出結果に基づいて、駆動制御部４５によりステージ３４の駆動が制御され、極短パルス光の光路調整がされる。
【００７０】
以上のようにして、走査型顕微鏡１１は、小型レーザユニット３１からの極短パルス光を位置検出ユニット４０において受光して、極短パルス光のシフトおよびチルトのずれを検出する。そして、走査型顕微鏡１１は、その検出結果に応じて、小型レーザユニット３１が固定されたステージ３４を平行移動または回動し、小型レーザユニット３１からの極短パルス光の光路調整を行う。
【００７１】
このように、ステージ３４に個別に小型レーザユニット３１を固定することで、複数の小型レーザ３２からの極短パルス光を同一光路上に合成させる場合に、より簡単に小型レーザ３２からの極短パルス光の光路調整をすることができる。その結果、各小型レーザユニット３１をより簡単に交換することが可能となる。
【００７２】
すなわち、調整対象となる小型レーザユニット３１が固定されたステージ３４を動かすだけであるので、ミラー３５乃至ダイクロイックミラー３７等の極短パルス光の光路上にある光学部材を動かす必要もなく、より簡単に光路調整をすることができる。しかも、極短パルス光の光路上の部材を一切動かす必要がないので、他の小型レーザユニット３１からの極短パルス光の光路がずれることもなく、その光路を調整する必要もなくなる。
【００７３】
例えば、小型レーザユニット３１−２を交換しようとする場合、従来では、新たな小型レーザユニット３１−２を取り付けた後、ダイクロイックミラー３６を傾けることにより、小型レーザユニット３１−２からの極短パルス光の光路を調整していた。この場合、ダイクロイックミラー３６を傾けると、小型レーザユニット３１−１からの極短パルス光の光路もダイクロイックミラー３６においてずれが生じるため、さらにミラー３５を傾けて、小型レーザユニット３１−１からの極短パルス光の光路調整を行う必要があった。
【００７４】
これに対して、走査型顕微鏡１１では、小型レーザユニット３１−２からの極短パルス光の光路調整時には、ダイクロイックミラー３６を傾ける必要はないので、小型レーザユニット３１−１からの極短パルス光の光路にずれは生じなくなる。したがって、小型レーザユニット３１−１からの極短パルス光の光路調整も不要となり、より簡単に小型レーザユニット３１の交換ができるようになる。
【００７５】
また、走査型顕微鏡１１では、小型レーザ３２およびプリチャーパ３３が一体となって小型レーザユニット３１とされているため、小型レーザユニット３１の交換時に新たにチャープ量の調整を行う必要がなく、さらに簡単に小型レーザユニット３１の交換ができる。
【００７６】
なお、極短パルス光の光路調整時に、駆動制御部４５がどのステージ３４を駆動させるかは、ユーザにより指定されてもよいし、駆動制御部４５が稼動している小型レーザユニット３１を特定することで、駆動させるべきステージ３４を特定するようにしてもよい。
【００７７】
また、極短パルス光の初期の光路調整時に基準となる小型レーザユニット３１については、その基準とされる小型レーザユニット３１は、ステージ３４に固定されずに、平行移動または回動しないように走査装置２１の筐体等にそのまま固定されてもよい。但し、この場合、基準となる小型レーザユニット３１は交換することはできない。
【００７８】
なお、本発明の実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
【符号の説明】
【００７９】
１１  走査型顕微鏡，  ２１  走査装置，  ２２  顕微鏡本体，  ３１−１乃至３１−３，３１  小型レーザユニット，  ３４−１乃至３４−３，３４  ステージ，  ４０  位置検出ユニット，  ４２  ハーフミラー，  ４３  光位置センサ，  ４４  光位置センサ，  ４５  駆動制御部
【図１】
2011146463.tif 000003