(57)【要約】【課題】ニードルで剥離のきっかけ部を形成する際に、吸着手段を介してセパレータを吸着し、その吸着を維持した状態で吸着手段を剥離方向に変位させて接着剤層から剥離すること。【解決手段】接着性シートＳを基板１３に貼付した状態で、セパレータ１１を接着剤層１２から剥離する剥離装置１０であり、同装置は、基板１３を支持するテーブル１５と、セパレータ１１を上面から突き刺すニードル１６と、当該ニードル１６を変位させて剥離きっかけ部１１Ａを形成させる支持手段１８と、セパレータ１１を吸着する吸着パッド３５とを備えている。剥離きっかけ部１１Ａが形成される際には、吸着パッド３５が吸着力をセパレータ１１に付与し、剥離きっかけ部１１Ａを形成した状態で吸着パッド３５を基板から離れる方向に回転させることでセパレータ１１を剥離可能とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面がセパレータで被覆された接着剤層を有する接着性シートを被着体に貼付した状態で、前記セパレータを接着剤層から剥離する剥離装置であって、
前記被着体を支持するテーブルと、
前記セパレータの端部を上面から突き刺すニードルと、
前記セパレータに剥離きっかけ部を形成するように前記ニードルを変位可能に支持する支持手段と、
前記セパレータを吸着する吸着手段とを含み、
前記ニードルで剥離きっかけ部を形成する際に、前記吸着手段で吸着力をセパレータに付与し、剥離きっかけ部が形成されたときに前記吸着手段と被着体とを相対的に離間させて前記セパレータを剥離可能としたことを特徴とする剥離装置。
【請求項２】
前記吸着手段は、所定の減圧ポンプに接続された吸着パッドを含んで構成され、当該吸着パッドは、第１の回転中心軸と、第２の回転中心軸を中心として回転可能に設けられることで被着体に対して離間接近可能とされ、前記第２の回転中心軸を中心とする吸着パッドの回転半径は、前記第１の回転中心軸を中心とする吸着パッドの回転半径よりも短いことを特徴とする請求項１記載の剥離装置。
【請求項３】
前記ニードルは平面視で前記吸着パッドの中心を通る線上で前記セパレータを突き刺すことを特徴とする請求項２記載の剥離装置。
【請求項４】
前記ニードルは、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸駆動装置を介して支持され、これら駆動装置を駆動することで、前記突き刺し、剥離きっかけ部の形成動作を行うことを特徴とする請求項１，２又は３記載の剥離装置。
【請求項５】
前記接着剤層は熱溶融性反応系接着剤であり、当該接着剤層を介して接着性シートが前記被着体に貼付された状態で前記セパレータを剥離することを特徴とする請求項１ないし４の何れかに記載の剥離方法
【請求項６】
一方の面がセパレータで被覆された接着剤層を有する接着性シートを被着体に貼付した状態で、前記セパレータを接着剤層から剥離する剥離方法であって、
前記被着体をテーブルに支持させる工程と、
前記セパレータの端部をニードルで上面から突き刺す工程と、
前記ニードルがセパレータを突き刺す際に当該セパレータに吸着パッドを介して吸着力を付与する工程と、
前記ニードルを変位させて前記セパレータに剥離きっかけ部を形成する工程と、
前記剥離きっかけ部を形成する際に、前記セパレータに吸着を吸着した状態で前記吸着パッドと被着体とを相対的に離間させて前記セパレータを接着剤層から剥離する工程と、
を含むことを特徴とする剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は剥離装置及び剥離方法に係り、特に、接着剤層の一方の面がセパレータで被覆された接着性シートを被着体に貼付した状態で、前記セパレータを接着剤層から剥離することに適した剥離装置及び剥離方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機ＥＬ基板、ディスプレイパネル等の板状若しくはシート状のワークを積層して一体化させるために、これらワーク間に接着性シートを介在させて接着することが知られている。
前記接着性シートとしては、例えば、フィルム状をなす一対のセパレータ間に接着剤層を挟み込んだ基材シートを用い、一方のセパレータを剥離して表出する接着面をワークに貼付しておき、他方のセパレータを剥離して接着面を表出させることで、当該表出した接着面にワークを貼り合わせることができる。
このようなセパレータの剥離に際しては、その表面に粘着テープを貼り付け、当該粘着テープを引っ張ることで剥離を行うことが知られている。
しかしながら、粘着テープを剥離毎に利用する剥離装置は、廃棄処分される粘着テープが必須となり、ランニングコストがかかって経済的でない、という不利益がある。
そこで、粘着テープを用いることなく剥離を行うことのできる装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平７−１５７１８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載された剥離装置は、基板にラミネートされた保護フィルムを剥離するために、針（ニードル）を保護フィルムに突き刺し、基板を支持するテーブルを水平方向に移動させることによって、保護フィルムが針にひっかけられて基板から剥離できる構成となっている。
【０００５】
しかしながら、特許文献１記載の剥離装置にあっては、針を保護フィルムに突き刺した状態を維持して剥離を行うものであるため、剥離途中における保護フィルムの撓み変形等によって針が保護フィルムから抜け出てしまうおそれがあり、剥離の確実性が担保できない、という問題がある。このような問題は、保護フィルムの剛性が高い場合、或いは、保護フィルムが極薄である場合に一層顕在化する。
また、剥離された保護フィルムは針の先端側にぶら下がった状態となるため、これを積極的に分離しなければならない。そのため、保護フィルムの面にエアを吹き付けて針から脱落させる必要があり、フィルムが意図しない方向に吹き飛ばされるといった不都合を招来する。
しかも、ニードルを剥離動作の最終段階まで用いる構成であるため、次の剥離動作への移行時間が長くなって剥離効率も低い、という難点がある。
【０００６】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、ニードルで剥離のきっかけ部を形成する際に、吸着手段を介してセパレータを吸着し、その吸着を維持した状態で吸着手段を剥離方向に変位させて接着剤層からセパレータを剥離することができ、しかも、剥離効率を向上させることのできる剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明は特許請求の範囲記載の構成を採用した。
具体的には、一方の面がセパレータで被覆された接着剤層を有する接着性シートを被着体に貼付した状態で、前記セパレータを接着剤層から剥離する剥離装置であって、
前記被着体を支持するテーブルと、
前記セパレータの端部を上面から突き刺すニードルと、
前記セパレータに剥離きっかけ部を形成するように前記ニードルを変位可能に支持する支持手段と、
前記セパレータを吸着する吸着手段とを含み、
前記ニードルで剥離きっかけ部を形成する際に、前記吸着手段で吸着力をセパレータに付与し、剥離きっかけ部が形成されたときに前記吸着手段と被着体とを相対的に離間させて前記セパレータを剥離可能としたものである。
【０００８】
本発明において、前記吸着手段は、所定の減圧ポンプに接続された吸着パッドを含んで構成され、当該吸着パッドは、第１の回転中心軸と、第２の回転中心軸を中心として回転可能に設けられることで被着体に対して離間接近可能とされ、前記第２の回転中心軸を中心とする吸着パッドの回転半径は、前記第１の回転中心軸を中心とする吸着パッドの回転半径よりも短い、という構成を採っている。
【０００９】
また、前記ニードルは平面視で前記吸着パッドの中心を通る線上で前記セパレータを突き刺すように設けることが好ましい。
【００１０】
更に、前記ニードルは、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸駆動装置を介して支持され、これら駆動装置を駆動することで、前記突き刺し、剥離きっかけ部の形成動作を行うように構成することができる。
【００１１】
また、前記接着剤層は熱溶融性反応系接着剤であり、当該接着剤層を介して接着性シートが前記被着体に貼付された状態で前記セパレータを剥離する、という構成に適用するとよい。
【００１２】
更に、本発明は、一方の面がセパレータで被覆された接着剤層を有する接着性シートを被着体に貼付した状態で、前記セパレータを接着剤層から剥離する剥離方法であって、
前記被着体をテーブルに支持させる工程と、
前記セパレータの端部をニードルで上面から突き刺す工程と、
前記ニードルがセパレータを突き刺す際に当該セパレータに吸着パッドを介して吸着力を付与する工程と、
前記ニードルを変位させて前記セパレータに剥離きっかけ部を形成する工程と、
前記セパレータを吸着した状態で前記吸着パッドと被着体とを相対的に離間させて前記セパレータを接着剤層から剥離する工程と、を含むものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、前記ニードルで剥離きっかけ部を形成し、吸着手段が吸着力をセパレータに付与して被着体から離間する構成としたことから、セパレータは吸着手段に保持された状態で剥離されることとなる。従って、セパレータの剥離を確実に行うことができるとともに、当該セパレータを規則的に回収することが可能となる。更に、ニードルは剥離の初期動作で利用されるものであるため、次のセパレータを剥離する動作に移行することが可能となる。
【００１４】
また、吸着パッドは第２の回転中心軸を中心とした回転半径が、第１の回転中心軸を中心とした回転半径よりも短く設定される構成を採用した場合には、第２の回転中心軸を中心とする吸着パッドの回転により、吸着による初期の剥離方向をセパレータの面に対して傾斜する方向に設定し易くなり、最も剥離抵抗が大きい初期の剥離動作をスムースに行うことができる。
【００１５】
更に、ニードルが平面視で吸着パッドの中心を通る線上でセパレータを突き刺す構成では、ニードルによってセパレータの端部を持ち上げようとする力と、吸着パッドによる初期の吸着力とを相互に作用させることができ、剥離きっかけ部を確実に形成して剥離不良を未然に防止することができる。
【００１６】
また、ニードルがＸ、Ｙ、Ｚ軸駆動装置を介して支持される構成では、予め設定可能な移動軌跡に沿ってニードルが変位するように駆動装置を駆動させることで、セパレータをニードルで突き刺して剥離きっかけ部を形成する動作を行わせることができ、テーブル及び被着体を平面内で移動させることなく剥離を行うことができる。
【００１７】
また、接着剤層が熱溶融性反応系接着剤であれば、セパレータが接着剤層に突き刺さった場合に形成され得るピンホールは、板状部材の貼り合せに際して溶融によって埋められるようになり、板状部材の積層後に、それら板状部材間に気泡が残ってしまうような不都合を回避することができる。
なお、前記熱溶融性反応系接着剤とは、加熱することにより溶融し流動性を発現して被着体を濡らすものであるが、硬化反応は溶融した状態のものにさらにエネルギーを加えることで進行する。本発明において前記エネルギーに特に制限はないが、該エネルギーとしては加熱、活性光照射などが挙げられ、被着体に対する影響や生産性の点などから、活性光照射が特に好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本実施形態に剥離装置の概略正面図。
【図２】剥離対象を示す概略斜視図。
【図３】剥離動作を開始する状態を示す要部正面図。
【図４】図１の一部概略平面図。
【図５】剥離きっかけ部を形成した状態を示す要部正面図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２０】
図１において、貼付装置１０は、一方の面がセパレータ１１で被覆された接着剤層１２を有する接着性シートＳを被着体としての基板１３に貼付した状態で、前記セパレータ１１を接着剤層１２から剥離する装置として構成されている。セパレータ１１は、一般的に剥離シートと称呼されるものと実質的に同一のものであり、材質としてはポリエチレンテレフタレートなどが例示される。当該セパレータは、接着剤層１２側の面が剥離処理された厚み１０μｍ〜６０μｍ、特に好ましくは５０μｍ程度のフィルムにより構成されている。また、接着剤層１２は、特に限定されるものではないが、熱溶融性反応系接着剤により構成され、その層厚が１０〜４０μｍ、特に好ましくは２０μｍ程度とされている。接着性シートＳは、本実施形態では、図２に示されるように、基板１３の複数箇所に等大、等間隔を隔てて複数箇所に貼付されている。
【００２１】
前記剥離装置１０は、基板１３を支持するテーブル１５と、セパレータ１１の端部を上面から突き刺すニードル１６と、セパレータ１１に剥離きっかけ部１１Ａ（図５参照）を形成するように前記ニードル１６を変位可能に支持する支持手段１８と、セパレータ１１を吸着する吸着手段１９と、吸着手段１９に吸着されたセパレータ１１を回収する回収手段２０と、これら手段等を全体的に制御する図示しない制御装置とを備えて構成されている。
【００２２】
前記テーブル１５は、内部に図示しないチャンバと、当該チャンバに連通してテーブル１５の上面に開通する多数の吸着孔を備え、前記チャンバに接続された図示しない減圧ポンプの駆動により基板１３を吸着して当該基板１３を固定的に支持できるように設けられている。このテーブル１５は、下面側に位置する直動モータＭ１を介してＸ軸方向に移動可能に設けられている。
【００２３】
前記ニードル１６は、セパレータ１１の端部を上方より突き刺し、当該端部を接着剤層１２から離れる上方に引き上げるように動作して剥離きっかけ部１１Ａを形成するようになっている。このニードル１６は、図１中紙面直交方向に沿って複数、本実施形態では３本用いられており（図４参照）、それらの上端は、調整摘み２４Ａを介して突出長さが調整可能となる状態で保持ブロック２４に保持されている。ニードル１６は、図３に示されるように、その傾斜角度θが４５°〜６０°の範囲内に設定されている。４５°未満では、セパレータ１１上を滑って当該セパレータ１１に突き刺し難くなり、６０°を越えると、剥離きっかけ部１１Ａを形成する際の抵抗が大きくなり過ぎるためである。また、ニードル１６がセパレータ１１を突き刺す位置は、図３に示されるように、セパレータ１１の端縁から距離Ｌ１離れた内側が好ましく、Ｌ１としては、約１ｍｍが例示できる。
【００２４】
前記支持手段１８は、ニードル１６を支持するブロック２４の他、当該ブロック２４を図１中左右方向に移動可能に支持するＸ軸モータ３０と、このＸ軸モータ３０を上下方向に移動可能に支持するＺ軸モータ３１と、当該Ｚ軸モータ３１を図１中紙面直交方向（Ｙ軸方向）に移動可能に支持するＹ軸モータ３３とを含む。Ｙ軸モータ３３は、図示しないフレームを介して支持されている。従って、ニードル１６は、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸の直交三軸方向に変位可能となる。
【００２５】
前記吸着手段１９は図示しない減圧ポンプに接続された吸着パッド３５を含んで構成されている。この吸着パッド３５は、前記ニードル１６の本数に対応するように３個を１組として回転ブロック３７に支持されており（図４参照）、当該回転ブロック３７は、アーム３８の自由端側に相対回転可能に支持されている。アーム３８は、モータＭ２を介して鉛直面内で回転可能とされ、回転ブロック３７は、アーム３８の自由端側に設けられたモータＭ３を介して鉛直面内で回転可能となっている。また、アーム３８は、図１中紙面直交方向に沿って一対をなす関係で配置され、これらアーム３８の自由端側間に前記回転ブロック３７が位置するようになっている。本実施形態における吸着手段１９は、Ｙ軸方向に沿って複数設けられており、Ｙ軸方向に並ぶセパレータ毎に各吸着手段１９が対応するように構成されている。
【００２６】
前記吸着パッド３５は、モータＭ２の出力軸４０を第１の回転中心軸として図１中矢印Ａ１方向に回転可能となっている。また、前記モータＭ３の出力軸４１を第２の回転中心軸として矢印Ａ２方向に回転可能となっており、これにより、吸着パッド３５が基板１３の上面に対して離間接近可能とされている。また、モータＭ３の出力軸４１を中心とする吸着パッド３５の回転半径は、モータＭ２の出力軸４０を中心とする吸着パッド３５の回転半径よりも短く設定されている。第２の回転中心軸を構成する出力軸４１の位置は、剥離を行うセパレータ１１の面内上方に位置可能とされている一方、第１の回転中心軸を構成する出力軸４０の位置は、当該セパレータ１１の上面から外れた外側上方に設定されている。従って、吸着パッド３５がセパレータ１１を吸着して後述する剥離力を付与するときの剥離方向を矢印Ａ２の方向に大きく傾斜して初期の剥離力を効果的に作用させることができる一方、剥離が開始された後、完全剥離を行うときに、アーム３８を矢印Ａ１方向に回転させることでセパレータ１１の迅速な剥離が行えることとなる。なお、吸着パッド３５がセパレータ１１を吸着する位置は、図３に示されるように、セパレータ１１の端縁からＬ２離れた内側となっており、Ｌ２としては約２ｍｍが例示できる。従って、吸着位置の最も端縁寄りの位置とニードル１１が突き刺す位置との距離は、約１ｍｍとなる。
【００２７】
前記回収手段２０は、前記アーム３８が図１中二点鎖線で示される位置に回転変位したときに、その自由端上方に位置する吸着ベルト４５と、当該吸着ベルト４５の下面側に位置する搬送ベルト４６とを含んで構成されている。吸着ベルト４５は、吸着パッド３５に吸着されたセパレータ１１を一時的に吸着した状態で搬送ベルト４６側にセパレータ１１を移動させて当該搬送ベルト４６との間に挟み込み、挟み込まれたセパレータ１１は搬送方向下流側に設けられた図示しない回収ボックスに回収される。なお、ここでは図示省略しているが、前記アーム３８の自由端側にはローラが設けられており、当該ローラは、アーム３８が図１中二点鎖線で示される位置に変位したときに、吸着ベルト４５との間に剥離されたセパレータ１１を挟み込むようになっている。そして、このローラは、吸着ベルト４５が回転することで従動回転してセパレータ１１を搬送ベルト４６側に確実に送り出すように作用する。
【００２８】
次に、前記剥離装置１０を用いた剥離方法について説明する。
【００２９】
前工程において、図２に示されるように、基板１３に接着性シートＳが所定位置に貼付されて剥離対象が形成され、当該剥離対象が、テーブル１５の上面にアライメントされる。
ニードル１６は、例えば、図１中二点鎖線で示される位置に待機する一方、吸着パッド３５は、同図中実線で示される位置よりも上方位置で待機する。
【００３０】
剥離対象を支持したテーブル１５が直動モータＭ１を介して図１中右側から移動して実線位置に到達したことが図示しないセンサにより検出されることで、直動モータＭ１が駆動を停止し、その後に剥離動作に移行する。
【００３１】
すなわち、支持手段１８を構成するＹ軸モータ３３が駆動し、剥離を行うべき最初のセパレータ１１の端部に対応する位置に保持ブロック２４が位置するようにＺ軸モータをＹ軸方向に移動させる。
次いで、Ｘ軸モータ３０及びＺ軸モータ３１を駆動して図１中二点鎖線で示される位置から実線で示される位置に保持ブロック２４を変位させ、これによってニードル１６がセパレータ１１を突き刺すこととなる。この突き刺し深さは、ニードル１６の先端が接着剤層１２に達する位置まで行うように設定する他、接着剤層１２に達しない深さに制限することもできる。
【００３２】
ニードル１６がセパレータ１１を突き刺す際には、吸着パッド３５がセパレータ１１に接する位置まで回転変位し、吸着力を付与した状態で、吸着パッド３５を例えば約１ｍｍ程度上方に変位させる。この変位は、第２のモータＭ３を駆動して回転ブロック３７を回転させることによって行われる。この際、ニードル１６と吸着パッド３５の相対位置は、図４に示されるように、ニードル１６が平面視で吸着パッド３５の中心を通る線上に位置するようになっている。
【００３３】
この状態で、ニードル１６が図５中二点鎖線位置（初期突き刺し位置）から同図中実線で示される位置に変位することで、セパレータ１１の端部に対し、上方に捲り上げる力を付与し、吸着パッド３５が吸着力を付与しつつ上方に約１ｍｍ変位する動作とが相互に作用して剥離きっかけ部１１Ａが形成される。なお、前記吸着パッド３５による吸着力は、減圧ポンプでの減圧のため生じるものである。
【００３４】
このようにして剥離きっかけ部１１Ａが形成されると、吸着パッド３５を保持する回転ブロック３７が図１中矢印Ａ２に沿う右方向に回転し、同時に、ニードル１６が同図中左側に後退することで、吸着パッド３５を介してセパレータ１１が同方向に剥離され、ニードル１６の先端がセパレータ１１から抜け出す。そして、アーム３８が矢印Ａ１方向に沿う右方向に沿う回転することで、セパレータ１１が接着剤層１２から完全に剥離される。この際、テーブル１３は静止位置を保ったままである。
【００３５】
本実施形態におけるニードル１６は３本用いられており、これに対応する各吸着パッド３５は、それぞれ同一動作を行うこととなる。従って、セパレータ１１は、幅方向（Ｙ軸方向）における複数箇所で剥離力を受けることで、セパレータ１１の幅に対応した剥離を行うことができる。
【００３６】
吸着パッド３５に吸着されて完全に剥離されたセパレータ１１は、前記アーム３８を図１中二点鎖線で示される位置に回転変位させたときに、吸着ベルト４５に吸着される。この際、吸着パッド３５は、例えば復圧などによりその吸着が解除されるようになっており、これにより、セパレータ１１は、吸着ベルト４５に吸着された状態で、搬送ベルト４６側に搬送され、当該搬送ベルト４６との間にセパレータ１１が挟み込まれた状態で、吸着ベルト４５による吸着を解除して搬送方向下流側に搬送され、最終的に図示しない回収ボックスに回収される。
【００３７】
このように一枚のセパレータ１１が剥離されると、ニードル１６はＹ軸方向に移動し、一枚目のセパレータ１１の剥離を行った吸着手段１９に隣接する吸着手段１９が次に作動し、当該吸着手段１９とニードル１６とが相互に作用して同様の動作を繰り返すことで次のセパレータ１１を剥離する。そして、Ｙ軸方向に沿う第１列目のセパレータ１１が全て剥離されたときに、テーブル１５が図１中左側に移動して次の列のセパレータ１１を剥離位置に位置させ、以後、同様にして剥離を繰り返す。
【００３８】
従って、このような実施形態によれば、ニードル１６による剥離きっかけ部１１Ａを形成しつつ吸着パッド３５でセパレータ１１を剥離する構成としたから、当該セパレータ１１を確実に剥離することができる、という効果を得る。
【００３９】
本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上に述べた実施の形態に対し、形状、材料、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それら形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００４０】
例えば、前記実施形態では、吸着パッド３５が３個を１組となる吸着手段１９をＹ軸方向に沿って複数設けた場合を図示、説明したが、単一の吸着手段とし、これをＹ軸方向に移動可能に設ける構成としてもよい。ただし、前記構成とすれば、剥離されたセパレータ１１を回収手段２０側に移動させる動作を行っている際に、隣接する吸着手段を介して次のセパレータ１１を剥離させる動作を行うことができるので、剥離処理時間を短縮する上で有利となる。
【００４１】
また、前記実施形態では、単一の基板１３に複数の接着性シートＳが貼付されている対象について説明したが、一枚の接着性シートＳが貼付されたものからセパレータ１１を剥離する構成にも適用可能である。
【００４２】
更に、ニードル１６及び吸着パッド３５の数は、相互に対応する数であれば、増加、減少を妨げない。要するに本発明は、セパレータ１１の幅に応じてニードル１６及び吸着パッド３５の使用数を決定すれば足りる。
【００４３】
また、前記テーブル１５に昇降機構を設け、当該テーブル１５を下降させて基板１３及び吸着手段１９に対して相対的に離間させる構成を採用してもよい。
【符号の説明】
【００４４】
１０  剥離装置
１１  セパレータ
１１Ａ  剥離きっかけ部
１２  接着剤層
１３  基板（被着体）
１５  テーブル
１６  ニードル
１８  支持手段
１９  吸着手段
３０  Ｘ軸モータ（Ｘ軸駆動装置）
３１  Ｚ軸モータ（Ｚ軸駆動装置）
３３  Ｙ軸モータ（Ｙ軸駆動装置）
３５  吸着パッド
４０  出力軸（第１の回転中心軸）
４１  出力軸（第２の回転中心軸）
Ｓ  接着性シート
【図１】
2011131954.tif 000003
【図２】
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【図３】
2011131954.tif 000005
【図４】
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【図５】
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