(57)【要約】【課題】従来の記録方法では、記録パターンにおける信頼性を向上させることが困難である。【解決手段】紫外光の照射を受けて硬化が促進する性質である光硬化性を有する液状体を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドから吐出された前記液状体に照射するための前記紫外光を含む光９１を放出する光源８７と、光源８７と前記吐出ヘッドから吐出された前記液状体との間に介在し、光９１における前記紫外光の強度を弱める光学フィルター８３と、光源８７に対する光学フィルター８３の相対位置を変化させるガイドレール８５と、を含む、ことを特徴とする記録装置。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
紫外光の照射を受けて硬化が促進する性質である光硬化性を有する液状体を液滴として吐出する吐出ヘッドと、
前記吐出ヘッドから吐出された前記液状体に照射するための前記紫外光を含む光を放出する光源と、
前記光源と前記吐出ヘッドから吐出された前記液状体との間に介在し、前記光源が放出する前記光である放出光における前記紫外光の強度を弱める光学素子と、
前記光源に対する前記光学素子の相対位置を変化させる変位装置と、を含む、
ことを特徴とする記録装置。
【請求項２】
前記光学素子は、前記放出光における前記紫外光のうち、少なくとも前記液状体の硬化を促進させるピーク波長以下の前記紫外光の強度を弱める、
ことを特徴とする請求項１に記載の記録装置。
【請求項３】
前記放出光は、紫外光の波長域から可視光の波長域に及ぶ強度分布を有している、
ことを特徴とする請求項１に記載の記録装置。
【請求項４】
前記光学素子は、前記紫外光の波長域にわたって、前記紫外光の強度を弱める、
ことを特徴とする請求項３に記載の記録装置。
【請求項５】
前記光学素子は、前記紫外光の波長域から続く前記可視光の波長域の一部における前記光の強度も弱める、
ことを特徴とする請求項４に記載の記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録装置等に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、紫外線硬化樹脂を含有するインクでマーキング（記録パターン）を施す（記録する）装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−２７４３３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１に記載されたマーキング装置（記録装置）では、マーキングが施されたパッケージ（記録媒体）に紫外光を照射することによって、紫外線硬化樹脂を含有するインク（以下、ＵＶインクと呼ぶ）を固化させることができる。これにより、インクに対する受容性（インクを吸収する性質）が低い材質に施したマーキングの状態を維持させやすくすることができる。
ところで、記録媒体に塗布されたＵＶインクに紫外光を照射したとき、ＵＶインクの内側（記録媒体側）には、ＵＶインクの表面側（記録媒体とは反対側）に比較して、紫外光が届きにくい。そして、この場合、ＵＶインクは、内側よりも表面側の方が硬化が促進する。内側よりも表面側の方が硬化が促進すると、紫外光は、ＵＶインクの内側に一層届きにくくなる。
このように、記録媒体に塗布されたＵＶインクにおいて、ＵＶインクの内側は、ＵＶインクの表面側に比較して、硬化率（重合率）が低くなることがある。ＵＶインクの内側において重合率が低くなると、記録媒体とＵＶインクとの間の結合力が弱くなりやすい。
つまり、従来の記録装置では、記録パターンにおける信頼性を向上させることが困難であるという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現され得る。
【０００６】
［適用例１］紫外光の照射を受けて硬化が促進する性質である光硬化性を有する液状体を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドから吐出された前記液状体に照射するための前記紫外光を含む光を放出する光源と、前記光源と前記吐出ヘッドから吐出された前記液状体との間に介在し、前記光源が放出する前記光である放出光における前記紫外光の強度を弱める光学素子と、前記光源に対する前記光学素子の相対位置を変化させる変位装置と、を含む、ことを特徴とする記録装置。
【０００７】
この適用例の記録装置は、吐出ヘッドと、光源と、光学素子と、変位装置と、を含む。
吐出ヘッドは、液状体を液滴として吐出する。液状体は、光硬化性を有する。光硬化性は、紫外光の照射を受けて硬化が促進する性質である。
光源は、光を放出する。光源が放出する光である放出光は、吐出ヘッドから吐出された液状体に照射するための紫外光を含む。
光学素子は、光源と吐出ヘッドから吐出された液状体との間に介在している。光学素子は、放出光における紫外光の強度を弱める。
変位装置は、光源に対する光学素子の相対位置を変化させる。
この記録装置では、光源と液状体との間に光学素子が介在しているので、例えば、放出光における紫外光のうち、液状体の硬化を促進させるピーク波長以下の紫外光の強度を弱めることができる。液状体の内部に光源からの光を届かせやすくすることができる。液状体の内部に届く光には紫外光が含まれるので、液状体の内部における硬化が促進する。この結果、液状体の内部の硬化率を高めやすくすることができる。
また、この記録装置では、変位装置によって、光源に対する光学素子の相対位置を変化させることができる。これにより、例えば、放出光におけるピーク波長以下の紫外光の強度を維持した状態で、光源からの光を液状体に照射することができる。この結果、液状体の硬化を促進させやすくすることができる。
この記録装置によれば、液状体の内部の硬化率を高めてから、液状体の硬化を促進させやすくすることができる。この結果、記録媒体と記録パターンとの間の結合力を高めやすくすることができるので、記録パターンにおける信頼性を向上させやすくすることができる。
【０００８】
［適用例２］上記の記録装置であって、前記光学素子は、前記放出光における前記紫外光のうち、少なくとも前記液状体の硬化を促進させるピーク波長以下の前記紫外光の強度を弱める、ことを特徴とする記録装置。
【０００９】
この適用例では、光学素子が、放出光における紫外光のうち、少なくとも液状体の硬化を促進させるピーク波長以下の紫外光の強度を弱める。これにより、液状体の内部の硬化率を高めてから、液状体の硬化を促進させやすくすることができる。
【００１０】
［適用例３］上記の記録装置であって、前記放出光は、紫外光の波長域から可視光の波長域に及ぶ強度分布を有している、ことを特徴とする記録装置。
【００１１】
この適用例では、放出光が、紫外光の波長域から可視光の波長域に及ぶ強度分布を有している。これにより、光源を熱源として利用することができる。このため、光学素子を介して光を照射することによって、液状体の硬化を遅らせる間に、液状体を加熱することができる。加熱により、液状体の膜を薄くしやすくすることができる。この結果、液状体の容積を低減することができるので、溶剤などの液体による記録パターンの膨潤の程度を軽減することができる。このため、記録パターンを構成する膜に発生する応力を軽減しやすくすることができるので、記録媒体から記録パターンを剥離させにくくすることができる。従って、記録パターンにおける信頼性を向上させやすくすることができる。
【００１２】
［適用例４］上記の記録装置であって、前記光学素子は、前記紫外光の波長域にわたって、前記紫外光の強度を弱める、ことを特徴とする記録装置。
【００１３】
この適用例では、光学素子が、紫外光の波長域にわたって、紫外光の強度を弱める。これにより、光学素子を介して光を照射することによって、液状体の硬化を一層遅らせやすくすることができる。
【００１４】
［適用例５］上記の記録装置であって、前記光学素子は、前記紫外光の波長域から続く前記可視光の波長域の一部における前記光の強度も弱める、ことを特徴とする記録装置。
【００１５】
この適用例では、光学素子が、紫外光の波長域から続く可視光の波長域の一部における光の強度も弱めるので、紫外光の強度を紫外光の波長域にわたって弱めやすくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本実施形態における液滴吐出装置の概略の構成を示す斜視図。
【図２】本実施形態におけるキャリッジを図１中のＡ視方向に見たときの正面図。
【図３】本実施形態におけるヘッドユニットの底面図。
【図４】図２中のＢ−Ｂ線における断面図。
【図５】図１中のＣ−Ｃ線における断面図。
【図６】本実施形態における光学フィルターの解除位置を説明する図。
【図７】本実施形態における光源からの放出光の強度分布を説明する図。
【図８】本実施形態における液滴吐出装置の概略の構成を示すブロック図。
【図９】本実施形態における記録方法の流れを示す図。
【図１０】本実施形態における描画処理の流れを示す図。
【図１１】本実施形態における液滴吐出装置の側面図。
【図１２】本実施形態における露光処理の流れを示す図。
【図１３】本実施形態における液滴吐出装置の側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
図面を参照しながら、記録装置の１つである液滴吐出装置を例に、実施形態について説明する。なお、各図面において、それぞれの構成を認識可能な程度の大きさにするために、構成や部材の縮尺が異なっていることがある。
【００１８】
実施形態における液滴吐出装置１は、概略の構成を示す斜視図である図１に示すように、ワーク搬送装置３と、キャリッジ７と、キャリッジ搬送装置９と、メンテナンス装置１１と、照射装置１５と、を有している。
キャリッジ７には、ヘッドユニット１３が設けられている。
液滴吐出装置１では、ヘッドユニット１３と基板などのワークＷとの平面視での相対位置を変化させつつ、ヘッドユニット１３から液状体を液滴として吐出させることによって、ワークＷに液状体で所望のパターンを描画することができる。なお、図中のＹ方向はワークＷの移動方向を示し、Ｘ方向は平面視でＹ方向とは直交する方向を示している。また、Ｘ方向及びＹ方向によって規定されるＸＹ平面と直交する方向は、Ｚ方向として規定される。
【００１９】
このような液滴吐出装置１は、例えば、液晶表示パネル等に用いられるカラーフィルターの製造や、有機ＥＬ（Electro Luminescence）装置の製造などに適用され得る。
赤、緑及び青の３色のフィルターエレメントを有するカラーフィルターの場合、液滴吐出装置１は、例えば、基板に赤、緑及び青の各着色層を形成する工程で好適に使用され得る。この場合、ヘッドユニット１３から各着色層に対応する各液状体を、ワークＷに液滴として吐出させることによって、ワークＷに赤、緑及び青のそれぞれのフィルターエレメントのパターンが描画される。
また、有機ＥＬ装置の製造では、例えば、赤、緑及び青の画素ごとに、各色に対応する機能層（有機層）を形成する工程で好適に使用され得る。この場合、ヘッドユニット１３から各色の機能層に対応する各液状体を、ワークＷに液滴として吐出させることによって、ワークＷに赤、緑及び青のそれぞれの機能層のパターンが描画される。
【００２０】
ここで、液滴吐出装置１の各構成について、詳細を説明する。
ワーク搬送装置３は、図１に示すように、定盤２１と、ガイドレール２３ａと、ガイドレール２３ｂと、ワークテーブル２５と、テーブル位置検出装置２７と、を有している。
定盤２１は、例えば石などの熱膨張係数が小さい材料で構成されており、Ｙ方向に沿って延びるように据えられている。ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂは、定盤２１の上面２１ａ上に配設されている。ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂは、それぞれ、Ｙ方向に沿って延在している。ガイドレール２３ａとガイドレール２３ｂとは、互いにＸ方向に隙間をあけた状態で並んでいる。
【００２１】
ワークテーブル２５は、ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂを挟んで定盤２１の上面２１ａに対向した状態で設けられている。ワークテーブル２５は、定盤２１から浮いた状態でガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂ上に載置されている。ワークテーブル２５は、ワークＷが載置される面である載置面２５ａを有している。載置面２５ａは、定盤２１側とは反対側（上側）に向けられている。ワークテーブル２５は、ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂによってＹ方向に沿って案内され、定盤２１上をＹ方向に沿って往復移動可能に構成されている。
テーブル位置検出装置２７は、定盤２１の上面２１ａに設けられており、Ｙ方向に延在している。テーブル位置検出装置２７は、ガイドレール２３ａとガイドレール２３ｂとの間に設けられている。テーブル位置検出装置２７は、ワークテーブル２５のＹ方向における位置を検出する。
【００２２】
ワークテーブル２５は、図示しない移動機構及び動力源によって、Ｙ方向に往復動可能に構成されている。移動機構としては、例えば、ボールねじとボールナットとを組み合わせた機構や、リニアガイド機構などが採用され得る。また、本実施形態では、ワークテーブル２５をＹ方向に沿って移動させるための動力源として、後述するワーク搬送モーターが採用されている。ワーク搬送モーターとしては、ステッピングモーター、サーボモーター、リニアモーターなどの種々のモーターが採用され得る。
ワーク搬送モーターからの動力は、移動機構を介してワークテーブル２５に伝達される。これにより、ワークテーブル２５は、ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂに沿って、すなわちＹ方向に沿って往復移動することができる。つまり、ワーク搬送装置３は、ワークテーブル２５の載置面２５ａに載置されたワークＷを、Ｙ方向に沿って往復移動させることができる。
【００２３】
ヘッドユニット１３は、キャリッジ７を図１中のＡ視方向に見たときの正面図である図２に示すように、ヘッドプレート３１と、２個の吐出ヘッド３３と、を有している。２個の吐出ヘッド３３は、Ｘ方向に並んでいる。なお、吐出ヘッド３３の個数は、２個に限定されず、１個以上の任意の個数が採用され得る。また、以下においては、２つの吐出ヘッド３３のそれぞれを識別する場合に、吐出ヘッド３３ａ及び吐出ヘッド３３ｂという表記が用いられる。
吐出ヘッド３３は、底面図である図３に示すように、ノズル面３５を有している。ノズル面３５には、複数のノズル３７が形成されている。なお、図３では、ノズル３７をわかりやすく示すため、ノズル３７が誇張され、且つノズル３７の個数が減じられている。
【００２４】
各吐出ヘッド３３において、複数のノズル３７は、Ｙ方向に沿って配列する２本のノズル列３９を構成している。２本のノズル列３９は、Ｘ方向に互いに隙間をあけた状態で並んでいる。各ノズル列３９において、複数のノズル３７は、Ｙ方向に沿って所定のノズル間隔Ｐで形成されている。各吐出ヘッド３３において、２本のノズル列３９は、互いにＹ方向にＰ／２の距離だけずれている。
ヘッドユニット１３では、２個の吐出ヘッド３３のうちの一方におけるノズル列３９と、他方の吐出ヘッド３３におけるノズル列３９とが、互いにＹ方向にＰ／４の距離だけずれている。これにより、本実施形態では、Ｙ方向におけるノズル３７の密度が高められている。
【００２５】
吐出ヘッド３３は、図２中のＢ−Ｂ線における断面図である図４に示すように、ノズルプレート４６と、キャビティープレート４７と、振動板４８と、複数の圧電素子４９と、を有している。
ノズルプレート４６は、ノズル面３５を有している。複数のノズル３７は、ノズルプレート４６に設けられている。
キャビティープレート４７は、ノズルプレート４６のノズル面３５とは反対側の面に設けられている。キャビティープレート４７には、複数のキャビティー５１が形成されている。各キャビティー５１は、各ノズル３７に対応して設けられており、対応する各ノズル３７に連通している。各キャビティー５１には、図示しないタンクから機能液５３（液状体）が供給される。
【００２６】
振動板４８は、キャビティープレート４７のノズルプレート４６側とは反対側の面に設けられている。振動板４８は、Ｚ方向に振動（縦振動）することによって、キャビティー５１内の容積を拡大したり、縮小したりする。
複数の圧電素子４９は、それぞれ、振動板４８のキャビティープレート４７側とは反対側の面に設けられている。各圧電素子４９は、各キャビティー５１に対応して設けられており、振動板４８を挟んで各キャビティー５１に対向している。各圧電素子４９は、駆動信号に基づいて、伸張する。これにより、振動板４８がキャビティー５１内の容積を縮小する。このとき、キャビティー５１内の機能液５３に圧力が付与される。その結果、ノズル３７から、機能液５３が液滴５５として吐出される。吐出ヘッド３３による液滴５５の吐出法は、インクジェット法の１つである。インクジェット法は、塗布法の１つである。
【００２７】
上記の構成を有する吐出ヘッド３３は、図２に示すように、ノズル面３５がヘッドプレート３１から突出した状態で、ヘッドプレート３１に支持されている。
キャリッジ７は、図２に示すように、ヘッドユニット１３を支持している。ここで、ヘッドユニット１３は、ノズル面３５がＺ方向の下方に向けられた状態でキャリッジ７に支持されている。
上記により、ワークＷには、吐出ヘッド３３から機能液５３が塗布され得る。
なお、本実施形態では、縦振動型の圧電素子４９が採用されているが、機能液５３に圧力を付与するための加圧手段は、これに限定されず、例えば、下電極と圧電体層と上電極とを積層形成した撓み変形型の圧電素子も採用され得る。また、加圧手段としては、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなども採用され得る。さらに、発熱体を用いてノズル内に泡を発生させ、その泡によって機能液に圧力を付与する構成も採用され得る。
【００２８】
本実施形態では、機能液５３として、光の照射を受けることによって硬化が促進する液状体が採用されている。本実施形態では、機能液５３の硬化を促進させる光として紫外光が採用されている。
機能液５３は、樹脂材料、光重合開始剤及び溶媒を、成分として含んでいる。これらの成分に、顔料や染料等の色素や、親液性や撥液性等の表面改質材料などの機能性材料を添加することによって固有の機能を有する機能液５３を生成することができる。顔料や染料等の色素を含有する機能液５３は、例えば、ワークＷに描画する画像を形成するための機能液５３として採用され得る。以下において、ワークＷに描画する画像を形成するための機能液５３は、画像塗料と呼ばれる。
【００２９】
また、機能液５３の成分としての樹脂材料に、例えば、アクリル系の樹脂材料などの光透過性を有する樹脂材料を採用することによって、光透過性を有する機能液５３を構成することができる。このような光透過性を有する機能液５３は、例えば、クリアインクとしての用途が考えられる。以下において、光透過性を有する機能液５３は、透光塗料と呼ばれる。
クリアインクの用途としては、例えば、画像を被覆するオーバーコート層としての用途や、画像を形成する前の下地層としての用途などが考えられる。以下において、下地層として適用される機能液５３は、下地塗料と呼ばれる。
下地塗料としては、透光塗料だけでなく、透光塗料に種々の顔料を添加した機能液５３を採用することもできる。
機能液５３における樹脂材料は、樹脂膜を形成する材料である。このような樹脂材料としては、常温で液状であり、重合させることによってポリマーとなる材料であれば特に限定されない。樹脂材料としては、粘性が小さいものが好ましく、オリゴマーの形態であるのが好ましい。さらに、樹脂材料としては、モノマーの形態であることが一層好ましい。
光重合開始剤は、ポリマーの架橋性基に作用して架橋反応を進行させる添加剤である。光重合開始剤としては、例えば、ベンジルジメチルケタールなどが採用され得る。
溶媒は、樹脂材料の粘度を調整するためのものである。
【００３０】
キャリッジ搬送装置９は、図１に示すように、架台６１と、ガイドレール６３と、キャリッジ位置検出装置６５と、を有している。
架台６１は、Ｘ方向に延在しており、ワーク搬送装置３及びメンテナンス装置１１をＸ方向にまたいでいる。架台６１は、ワークテーブル２５の定盤２１側とは反対側で、ワーク搬送装置３及びメンテナンス装置１１のそれぞれに対向している。架台６１は、一対の支柱６７によって支持されている。一対の支柱６７は、定盤２１を挟んでＸ方向に互いに対峙する位置に設けられている。
なお、以下においては、一対の支柱６７のそれぞれを識別する場合に、支柱６７ａ及び支柱６７ｂという表記が用いられる。支柱６７ａ及び支柱６７ｂは、それぞれ、ワークテーブル２５よりもＺ方向の上方に突出している。これにより、架台６１とワークテーブル２５との間、及び架台６１とメンテナンス装置１１との間には、それぞれ隙間が保たれている。
【００３１】
ガイドレール６３は、架台６１の定盤２１側に設けられている。ガイドレール６３は、Ｘ方向に沿って延在しており、架台６１のＸ方向における幅にわたって設けられている。
前述したキャリッジ７は、ガイドレール６３に支持されている。キャリッジ７がガイドレール６３に支持された状態において、吐出ヘッド３３のノズル面３５は、Ｚ方向においてワークテーブル２５側に向いている。キャリッジ７は、ガイドレール６３によってＸ方向に沿って案内され、Ｘ方向に往復動可能な状態でガイドレール６３に支持されている。なお、平面視で、キャリッジ７がワークテーブル２５に重なっている状態において、ノズル面３５とワークテーブル２５の載置面２５ａとは、互いに隙間を保った状態で対向する。
キャリッジ位置検出装置６５は、架台６１とキャリッジ７との間に設けられており、Ｘ方向に延在している。キャリッジ位置検出装置６５は、キャリッジ７のＸ方向における位置を検出する。
【００３２】
キャリッジ７は、図示しない移動機構及び動力源によって、Ｘ方向に往復動可能に構成されている。移動機構としては、例えば、ボールねじとボールナットとを組み合わせた機構や、リニアガイド機構などが採用され得る。また、本実施形態では、キャリッジ７をＸ方向に沿って移動させるための動力源として、後述するキャリッジ搬送モーターが採用されている。キャリッジ搬送モーターとしては、ステッピングモーター、サーボモーター、リニアモーターなどの種々のモーターが採用され得る。
キャリッジ搬送モーターからの動力は、移動機構を介してキャリッジ７に伝達される。これにより、キャリッジ７は、ガイドレール６３に沿って、すなわちＸ方向に沿って往復移動することができる。つまり、キャリッジ搬送装置９は、キャリッジ７に支持されたヘッドユニット１３を、Ｘ方向に沿って往復移動させることができる。
【００３３】
メンテナンス装置１１は、図１に示すように、定盤７１と、ガイドレール７３ａと、ガイドレール７３ｂと、保守テーブル７５と、キャッピングユニット７６と、フラッシングユニット７７と、ワイピングユニット７９と、を有している。
定盤７１は、例えば石などの熱膨張係数が小さい材料で構成されており、Ｘ方向に支柱６７ａを挟んで定盤２１と対峙する位置に設けられている。
ガイドレール７３ａ及びガイドレール７３ｂは、定盤７１の上面７１ａ上に配設されている。ガイドレール７３ａ及びガイドレール７３ｂは、それぞれ、Ｙ方向に沿って延在している。ガイドレール７３ａとガイドレール７３ｂとは、互いにＸ方向に隙間をあけた状態で並んでいる。
保守テーブル７５は、ガイドレール７３ａ及びガイドレール７３ｂを挟んで定盤７１の上面７１ａに対向した状態で設けられている。保守テーブル７５は、定盤７１から浮いた状態でガイドレール７３ａ及びガイドレール７３ｂ上に載置されている。
【００３４】
保守テーブル７５には、キャッピングユニット７６や、フラッシングユニット７７、ワイピングユニット７９などの保守ユニットが載置される。本実施形態では、保守ユニットは、キャッピングユニット７６と、フラッシングユニット７７と、ワイピングユニット７９と、を含んでいる。
保守テーブル７５は、ガイドレール７３ａ及びガイドレール７３ｂによってＹ方向に沿って案内され、定盤７１上をＹ方向に沿って往復移動可能に構成されている。
フラッシングユニット７７は、保守テーブル７５の定盤７１側とは反対側に設けられている。
ここで、ワークＷへのパターンの描画とは無関係に、吐出ヘッド３３から液状体を吐出させる動作は、フラッシング動作と呼ばれる。フラッシング動作には、例えば、ノズル３７内に滞留する液状体がノズル３７内で固化してしまうことを予防する効果がある。フラッシングユニット７７は、フラッシング動作のときに、吐出ヘッド３３から吐出される液状体を受ける装置である。
【００３５】
キャッピングユニット７６は、吐出ヘッド３３に蓋をする装置である。吐出ヘッド３３から吐出される液状体では、液体成分が蒸発することがある。一般的に、液状体における液体成分が蒸発すると、液状体の粘度が高くなる。吐出ヘッド３３内の液状体の粘度が高くなると、ノズル３７における液滴５５を吐出する性能（以下、吐出性能と呼ぶ）が低下することがある。吐出性能の低下としては、例えば、ノズル３７から吐出された液滴５５の進行方向が曲がってしまったり（飛行曲がり）、ノズル３７から液滴５５が吐出されなかったり（不吐出）することなどが挙げられる。なお、キャッピングユニット７６で吐出ヘッド３３に蓋をする動作は、キャッピング動作と呼ばれる。
【００３６】
キャッピングユニット７６は、吐出ヘッド３３に蓋をすることで、液状体における液体成分がノズルから蒸発することを低く抑える。これにより、吐出ヘッド３３における吐出性能を維持しやすくすることができる。
ワイピングユニット７９は、吐出ヘッド３３のノズル面３５を拭く装置である。液滴吐出装置１では、ノズル面３５に液状体が付着することがある。ノズル面３５に液状体が付着すると、吐出ヘッド３３における吐出性能が低下することがある。ワイピングユニット７９は、ノズル面３５を拭くことによって、ノズル面３５に付着している液状体を払拭する。これにより、吐出ヘッド３３における吐出性能を維持しやすくすることができる。なお、ワイピングユニット７９でノズル面３５を拭く動作は、ワイピング動作と呼ばれる。
【００３７】
保守テーブル７５は、図示しない移動機構及び動力源によって、Ｙ方向に往復動可能に構成されている。移動機構としては、例えば、ボールねじとボールナットとを組み合わせた機構や、リニアガイド機構などが採用され得る。また、本実施形態では、保守テーブル７５をＹ方向に沿って移動させるための動力源として、後述するテーブル搬送モーターが採用されている。テーブル搬送モーターとしては、ステッピングモーター、サーボモーター、リニアモーターなどの種々のモーターが採用され得る。
テーブル搬送モーターからの動力は、移動機構を介して保守テーブル７５に伝達される。これにより、保守テーブル７５は、ガイドレール７３ａ及びガイドレール７３ｂに沿って、すなわちＹ方向に沿って往復移動することができる。
つまり、メンテナンス装置１１は、キャッピングユニット７６や、フラッシングユニット７７、ワイピングユニット７９などの保守ユニットを、Ｙ方向に沿って往復移動させることができる。これにより、平面視で吐出ヘッド３３がメンテナンス装置１１に重なっている状態において、吐出ヘッド３３をキャッピングユニット７６、フラッシングユニット７７及びワイピングユニット７９のそれぞれに対向させることができる。
【００３８】
照射装置１５は、図１に示すように、光源部８１と、光学フィルター８３と、一対のガイドレール８５と、を有している。
光源部８１は、一対の支柱６７の架台６１側とは反対側において、一対の支柱６７に支持されている。従って、光源部８１と架台６１とは、Ｙ方向に一対の支柱６７を挟んで互いに対峙している。
光学フィルター８３は、光源部８１と定盤２１との間に設けられている。本実施形態では、光学フィルター８３は、光源部８１に設けられている。
一対のガイドレール８５は、光源部８１に設けられている。一対のガイドレール８５は、Ｘ方向に光源部８１を挟んで互いに対峙している。一対のガイドレール８５は、光学フィルター８３を、Ｙ方向に沿って進退可能に案内する。なお、以下においては、一対のガイドレール８５のそれぞれを識別する場合に、ガイドレール８５ａ及びガイドレール８５ｂという表記が用いられる。
【００３９】
光源部８１は、図１中のＣ−Ｃ線における断面図である図５に示すように、光源８７と、筐体８９と、を有している。
光源８７は、光９１を放出する。光９１には、機能液５３の硬化を促進させる紫外光が含まれている。光源８７は、ワークテーブル２５（図１）のＸ方向における幅にわたる長さを有している。光源８７は、筐体８９内に収容されている。光源８７としては、例えば、水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、エキシマランプ等の種々の光源８７が採用され得る。本実施形態では、光源８７として、メタルハライドランプが採用されている。
筐体８９は、一対の支柱６７に支持されている。筐体８９は、光９１に対する遮光性が高い材料で構成されている。筐体８９において、光源８７とワークテーブル２５との間が開口されている。このため、光源８７から放出された光９１の少なくとも一部は、ワークテーブル２５に届き得る。なお、光９１に対する遮光性が高い材料としては、例えば、金属や、プラスチックなどが挙げられる。
【００４０】
光学フィルター８３は、光９１に含まれる紫外光の少なくとも一部を弱める機能を有している。光学フィルター８３に入射した光９１は、光９１に含まれる紫外光の少なくとも一部が弱められてから、光９３として光学フィルター８３から射出する。
一対のガイドレール８５は、光学フィルター８３をＹ方向に沿って進退可能に案内する。光学フィルター８３は、平面視で光源８７に重なる位置であるフィルタリング位置（図５）と、平面視で光源８７からＹ方向に離間した位置である解除位置との間を進退可能に構成されている。光学フィルター８３は、一対のガイドレール８５によって案内されることによって、フィルタリング位置から、図６に示すように、解除位置に待避し得る。
光学フィルター８３が解除位置に待避している状態では、光源８７から放出された光９１は、光９１のままでワークテーブル２５に届き得る。
【００４１】
ここで、光９１は、図７に示すように、紫外光の波長域から可視光の波長域を経て赤外光の波長域に及ぶ強度分布を有している。
また、本実施形態では、機能液５３の硬化を促進させる紫外光のピーク波長が、３６５〜３９５ｎｍの範囲内に存在する。これは、光重合開始剤が、３６５〜３９５ｎｍの波長の紫外光に最も強く反応することに由来する。つまり、ピーク波長は、紫外光の波長域において、機能液５３の硬化を最も促進させる紫外光の波長である。なお、ピーク波長の紫外光は、反応ピークとも呼ばれる。
【００４２】
液滴吐出装置１は、図８に示すように、上記の各構成の動作を制御する制御部１１１を有している。制御部１１１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）１１３と、駆動制御部１１５と、メモリー部１１７と、を有している。駆動制御部１１５及びメモリー部１１７は、バス１１９を介してＣＰＵ１１３に接続されている。
また、液滴吐出装置１は、キャリッジ搬送モーター１２１と、ワーク搬送モーター１２３と、テーブル搬送モーター１２５と、フィルター搬送モーター１２７と、入力装置１２９と、表示装置１３１と、を有している。
キャリッジ搬送モーター１２１及びワーク搬送モーター１２３は、それぞれ、入出力インターフェース１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。テーブル搬送モーター１２５及びフィルター搬送モーター１２７も、それぞれ、入出力インターフェース１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。また、入力装置１２９及び表示装置１３１も、それぞれ、入出力インターフェース１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。
【００４３】
キャリッジ搬送モーター１２１は、キャリッジ７を駆動するための動力を発生させる。ワーク搬送モーター１２３は、ワークテーブル２５を駆動するための動力を発生させる。テーブル搬送モーター１２５は、保守テーブル７５を駆動するための動力を発生させる。フィルター搬送モーター１２７は、光学フィルター８３を進退させるための動力を発生させる。入力装置１２９は、各種の加工条件を入力する装置である。表示装置１３１は、加工条件や、作業状況を表示する装置である。液滴吐出装置１を操作するオペレーターは、表示装置１３１に表示される情報を確認しながら、入力装置１２９を介して種々の情報を入力することができる。
なお、キャリッジ位置検出装置６５、テーブル位置検出装置２７及び２個の吐出ヘッド３３も、それぞれ、入出力インターフェース１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。また、光源８７、及びメンテナンス装置１１も、それぞれ、入出力インターフェース１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。
【００４４】
ＣＰＵ１１３は、プロセッサーとして各種の演算処理を行う。駆動制御部１１５は、各構成の駆動を制御する。メモリー部１１７は、ＲＡＭ（Random Access Memory）や、ＲＯＭ（Read-Only Memory）などを含んでいる。メモリー部１１７には、液滴吐出装置１における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト１３５を記憶する領域や、各種のデータを一時的に展開する領域であるデータ展開部１３７などが設定されている。データ展開部１３７に展開されるデータとしては、例えば、描画すべきパターンが示される描画データや、描画処理等のプログラムデータなどが挙げられる。
駆動制御部１１５は、モーター制御部１４１と、位置検出制御部１４３と、吐出制御部１４５と、光源制御部１４７と、保守制御部１４９と、表示制御部１５１と、を有している。
【００４５】
モーター制御部１４１は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動と、ワーク搬送モーター１２３の駆動と、テーブル搬送モーター１２５の駆動と、フィルター搬送モーター１２７の駆動とを、個別に制御する。
位置検出制御部１４３は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、キャリッジ位置検出装置６５と、テーブル位置検出装置２７とを、個別に制御する。
位置検出制御部１４３は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、キャリッジ位置検出装置６５にキャリッジ７のＸ方向における位置を検出させ、且つ検出結果をＣＰＵ１１３に出力する。
また、位置検出制御部１４３は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、テーブル位置検出装置２７にワークテーブル２５のＹ方向における位置を検出させ、且つ検出結果をＣＰＵ１１３に出力する。
【００４６】
吐出制御部１４５は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、２個の吐出ヘッド３３の駆動を個別に制御する。
光源制御部１４７は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、光源８７の発光状態を制御する。
保守制御部１４９は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、メンテナンス装置１１におけるキャッピングユニット７６や、フラッシングユニット７７、ワイピングユニット７９などの保守ユニットの駆動を個別に制御する。
表示制御部１５１は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、表示装置１３１の駆動を制御する。
【００４７】
ここで、本実施形態における記録方法について説明する。本実施形態における記録方法は、図９に示すように、描画工程Ｓ１と、露光工程Ｓ２と、を有している。
描画工程Ｓ１では、ワークテーブル２５に載置されたワークＷに、吐出ヘッド３３から液滴５５を吐出させることによって、ワークＷに機能液５３でパターンを描画する。
露光工程Ｓ２では、ワークＷに描画されたパターンを構成する機能液５３に光９３や光９１を照射する。
描画工程Ｓ１は、ＣＰＵ１１３が、後述する描画処理を実施することによって達成され得る。また、露光工程Ｓ２は、ＣＰＵ１１３が、後述する露光処理を実施することによって達成され得る。
【００４８】
ここで、液滴吐出装置１における描画処理について説明する。
液滴吐出装置１では、制御部１１１が入力装置１２９から入出力インターフェース１３３及びバス１１９を介して描画データを受け取ると、ＣＰＵ１１３によって図１０に示す描画処理が開始される。
ここで、描画データは、機能液５３（液状体）でワークＷに描画すべきパターンを指示するものであり、描画すべきパターンがビットマップ状に表現されている。ワークＷへのパターンの描画は、吐出ヘッド３３をワークＷに対向させた状態で、吐出ヘッド３３とワークＷとを相対的に往復移動させながら、吐出ヘッド３３から液滴５５を所定周期で吐出させることによって行われる。
【００４９】
描画処理では、ＣＰＵ１１３は、まず、ステップＳ２１において、キャリッジ搬送指令をモーター制御部１４１（図８）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動を制御して、キャリッジ７を描画エリアの往路開始位置に移動させる。ここで、描画エリアは、図１に示すワークテーブル２５によってＹ方向に沿って描かれる軌跡と、２個の吐出ヘッド３３によってＸ方向に沿って描かれる軌跡とが重なり合う領域である。往路開始位置は、キャリッジ７を往復移動させるときの往路が開始する位置である。本実施形態では、往路開始位置は、Ｘ方向において、メンテナンス装置１１とワークテーブル２５との間に位置している。往路開始位置は、平面視で、ワークテーブル２５の外側に位置している。
【００５０】
次いで、ステップＳ２２において、ＣＰＵ１１３は、ワーク搬送指令をモーター制御部１４１（図８）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、ワーク搬送モーター１２３の駆動を制御して、ワークＷを描画エリアに移動させる。
なお、ワークＷは、ワークテーブル２５が初期位置に待機している状態でワークテーブル２５に載置される。初期位置は、図１１に示すように、支柱６７の照射装置１５側とは反対側の位置である。さらに、本実施形態では、初期位置は、吐出ヘッド３３の支柱６７側とは反対側に設定されている。これにより、ワークＷの載せ替えの際に、ワークＷと吐出ヘッド３３等との衝突などを避けやすくすることができる。
ステップＳ２２では、ワークＷを初期位置から描画エリアに移動させる。
【００５１】
次いで、ステップＳ２３において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ走査指令をモーター制御部１４１（図８）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動を制御して、キャリッジ７の往復移動を開始させる。
ここで、キャリッジ７の往復移動では、キャリッジ７は、上述した往路開始位置と復路開始位置との間を往復移動する。つまり、往路開始位置から復路開始位置で折り返して往路開始位置に戻る経路がキャリッジ７の１往復である。このため、本実施形態では、往路開始位置から復路開始位置に向かう経路がキャリッジ７の往路である。他方で、復路開始位置から往路開始位置に向かう経路がキャリッジ７の復路である。
なお、復路開始位置は、Ｘ方向にワークテーブル２５（図１）を挟んで往路開始位置に対峙する位置である。復路開始位置は、平面視で、ワークテーブル２５の外側に位置している。このため、往路開始位置と復路開始位置とは、平面視で、ワークテーブル２５をＸ方向に挟んで互いに対峙している。
【００５２】
次いで、ステップＳ２４において、ＣＰＵ１１３は、吐出指令を吐出制御部１４５（図５）に出力する。このとき、吐出制御部１４５は、吐出ヘッド３３の駆動を制御して、描画データに基づいて、各ノズル３７から液滴５５を吐出させる。これにより、往路での描画が行われる。
次いで、ステップＳ２５において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ７の位置が復路開始位置に到達したか否かを判定する。このとき、キャリッジ７の位置が復路開始位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ２６に移行する。他方で、キャリッジ７の位置が復路開始位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、キャリッジ７の位置が復路開始位置に到達するまで処理が待機される。
【００５３】
次いで、ステップＳ２６において、ＣＰＵ１１３は、改行指令をモーター制御部１４１（図８）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、ワーク搬送モーター１２３の駆動を制御して、ワークＷをＹ方向に移動（改行）させ、ワークＷにおいてパターンを描画すべき新たな領域を描画エリアに移動させる。
次いで、ステップＳ２７において、ＣＰＵ１１３は、吐出指令を吐出制御部１４５（図８）に出力する。このとき、吐出制御部１４５は、吐出ヘッド３３の駆動を制御して、描画データに基づいて、各ノズル３７から液滴５５を吐出させる。これにより、復路での描画が行われる。
次いで、ステップＳ２８において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達したか否かを判定する。このとき、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ２９に移行する。他方で、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達するまで処理が待機される。
【００５４】
次いで、ステップＳ２９において、ＣＰＵ１１３は、描画データが終了したか否かを判定する。このとき、描画データが終了した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理が終了する。他方で、描画データが終了していない（Ｎｏ）と判定されると、処理がステップＳ３０に移行する。
ステップＳ３０において、ＣＰＵ１１３は、改行指令をモーター制御部１４１（図８）に出力してから、処理をステップＳ２４に移行させる。このとき、モーター制御部１４１は、ワーク搬送モーター１２３の駆動を制御して、ワークＷをＹ方向に移動（改行）させ、ワークＷにおいてパターンを描画すべき新たな領域を描画エリアに移動させる。
【００５５】
液滴吐出装置１における露光処理について説明する。
液滴吐出装置１では、制御部１１１が入力装置１２９から入出力インターフェース１３３及びバス１１９を介して露光指令を受け取ると、ＣＰＵ１１３によって図１２に示す露光処理が開始される。
露光処理では、ＣＰＵ１１３は、まず、ステップＳ５１において、フィルター搬送指令をモーター制御部１４１（図８）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、フィルター搬送モーター１２７の駆動を制御して、光学フィルター８３をフィルタリング位置（図５）に移動させる。
次いで、ステップＳ５２において、ＣＰＵ１１３は、照射指令を光源制御部１４７（図８）に出力する。このとき、光源制御部１４７は、光源８７の駆動を制御して、光源８７を点灯させる。
【００５６】
次いで、ステップＳ５３において、ＣＰＵ１１３は、ワーク搬送指令をモーター制御部１４１（図８）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、ワーク搬送モーター１２３の駆動を制御して、ワークＷを初期位置から露光エリアを経て折り返し位置に向けて移動させる。これにより、ワークＷに描画されたパターン（以下、描画パターンと呼ぶ）に、光９３が照射される。
ここで、露光エリアは、平面視で光源部８１（図１１）に重なる領域である。また、折り返し位置は、図１３に示すように、支柱６７の吐出ヘッド３３側とは反対側の位置である。本実施形態では、折り返し位置は、光源部８１の支柱６７側とは反対側に設定されている。
ステップＳ５３に次いで、ステップＳ５４では、ＣＰＵ１１３は、ワークテーブル２５の位置が折り返し位置に到達したか否かを判定する。このとき、ワークテーブル２５の位置が折り返し位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ５５に移行する。他方で、ワークテーブル２５の位置が折り返し位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、ワークテーブル２５の位置が折り返し位置に到達するまで処理が待機される。
【００５７】
次いで、ステップＳ５５において、ＣＰＵ１１３は、ワーク停止指令をモーター制御部１４１（図８）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、ワーク搬送モーター１２３の駆動を停止する。
次いで、ステップＳ５６において、ＣＰＵ１１３は、照射停止指令を光源制御部１４７（図８）に出力する。このとき、光源制御部１４７は、光源８７の駆動を制御して、光源８７を消灯させる。
次いで、ステップＳ５７において、ＣＰＵ１１３は、フィルター解除指令をモーター制御部１４１（図８）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、フィルター搬送モーター１２７の駆動を制御して、光学フィルター８３を解除位置（図６）に移動させる。
次いで、ステップＳ５８において、ＣＰＵ１１３は、照射指令を光源制御部１４７（図８）に出力する。このとき、光源制御部１４７は、光源８７の駆動を制御して、光源８７を点灯させる。
【００５８】
次いで、ステップＳ５９において、ＣＰＵ１１３は、ワーク搬送指令をモーター制御部１４１（図８）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、ワーク搬送モーター１２３の駆動を制御して、ワークＷを折り返し位置から露光エリアを経て初期位置に向けて移動させる。
次いで、ステップＳ６０において、ＣＰＵ１１３は、ワークテーブル２５の位置が初期位置に到達したか否かを判定する。このとき、ワークテーブル２５の位置が初期位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ６１に移行する。他方で、ワークテーブル２５の位置が初期位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、ワークテーブル２５の位置が初期位置に到達するまで処理が待機される。
ステップＳ６１において、ＣＰＵ１１３は、照射停止指令を光源制御部１４７（図８）に出力してから、処理を終了させる。このとき、光源制御部１４７は、光源８７の駆動を制御して、光源８７を消灯させる。
【００５９】
第１実施形態について説明する。
第１実施形態では、光学フィルター８３として、機能液５３の硬化を促進させるピーク波長以下の紫外光の強度を弱める光学フィルター８３が採用されている。前述したように、本実施形態では、機能液５３の硬化を促進させる紫外光のピーク波長が、３６５〜３９５ｎｍの範囲内に存在している。このため、第１実施形態における光学フィルター８３は、波長が３９５ｎｍ以下の紫外光の強度を弱める。
第１実施形態では、露光処理において、まず、機能液５３の硬化を促進させるピーク波長以下の紫外光の強度が弱められた光９３が機能液５３に照射される。これにより、ワークＷに付着している機能液５３の内側に光９３が届きやすくなる。光９３には、ピーク波長以下の紫外光が残存しているので、機能液５３の内部における硬化を促進させやすくすることができる。この結果、機能液５３の内部の重合率を表面側に比較して高めやすくすることができる。
【００６０】
そして、光９３の照射に次いで、機能液５３に光９１が照射される。これにより、機能液５３の硬化を一層促進させることができる。
第１実施形態では、機能液５３の内部の硬化率を高めてから、機能液５３の硬化を促進させやすくすることができる。この結果、ワークＷと描画パターンとの間の結合力を高めやすくすることができるので、描画パターンにおける信頼性を向上させやすくすることができる。
【００６１】
第２実施形態について説明する。
第２実施形態では、光学フィルター８３として、紫外光の波長域にわたって紫外光の強度を弱める光学フィルター８３が採用されている。
ここで、本実施形態では、前述したように、光９１が、紫外光の波長域から可視光の波長域に及ぶ強度分布を有している。これにより、光源８７を熱源として利用することができる。
ところで、本実施形態における記録方法は、電子部品などのパッケージに施すマーキングに適用され得る。つまり、本実施形態における記録方法を用いて、電子部品などのパッケージにマーキングを施すことができる。
このような電子部品では、回路基板などに実装された状態で、洗浄される場合がある。このような洗浄では、一般的に、洗浄剤として溶剤などが使用される。マーキングが施されたパッケージに洗浄を施すと、溶剤によってマーキングが膨潤することがある。マーキングが膨潤すると、マーキングを構成する膜に応力が発生するため、パッケージから剥離しやすくなる。
【００６２】
第２実施形態では、紫外光の波長域にわたって紫外光の強度を弱める光学フィルター８３が採用されているので、光学フィルター８３を介して機能液５３に光９３を照射することによって、機能液５３の硬化を遅らせつつ、機能液５３を加熱することができる。
加熱により、機能液５３の膜を薄くしやすくすることができる。この結果、機能液５３の容積を低減することができるので、溶剤などの液体による描画パターンの膨潤の程度を軽減することができる。このため、描画パターンを構成する膜に発生する応力を軽減しやすくすることができるので、ワークＷから描画パターンを剥離させにくくすることができる。従って、描画パターンにおける信頼性を向上させやすくすることができる。
なお、第２実施形態では、紫外光の波長域から続く可視光の波長域の一部における光の強度も弱める光学フィルター８３を採用することが、紫外光の波長域にわたる紫外光を確実に弱めやすくすることができる点で好ましい。
【００６３】
上述した実施形態において、ワークＷが記録媒体に対応し、描画パターンが記録パターンに対応し、機能液５３が液状体に対応している。また、光９１が放出光に対応し、光学フィルター８３が光学素子に対応し、フィルター搬送モーター１２７及びガイドレール８５が変位装置に対応している。また、露光工程が光照射工程に対応している。また、露光処理において、光学フィルター８３を介してワークＷに光９３を照射する工程が第１照射工程に対応し、光学フィルター８３を解除した状態でワークＷに光９１を照射する工程が第２照射工程に対応している。
なお、本実施形態では、描画工程Ｓ１において、機能液５３を塗布する方法として、塗布法の１つであるインクジェット法が採用されている。しかしながら、塗布法は、インクジェット法に限定されず、ディスペンス法や、印刷法なども採用され得る。しかしながら、インクジェット法を採用することは、ワークＷの任意の箇所に任意の量の機能液５３を塗布しやすい点で好ましい。
【符号の説明】
【００６４】
１…液滴吐出装置、３…ワーク搬送装置、７…キャリッジ、９…キャリッジ搬送装置、１１…メンテナンス装置、１３…ヘッドユニット、１５…照射装置、２５…ワークテーブル、３３…吐出ヘッド、３３ａ，３３ｂ…吐出ヘッド、５３…機能液、５５…液滴、８１…光源部、８３…光学フィルター、８５，８５ａ，８５ｂ…ガイドレール、８７…光源、８９…筐体、９１…光、９３…光、１２７…フィルター搬送モーター、Ｗ…ワーク。
【図１】
2011152524.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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