(57)【要約】      （修正有）【課題】集積回路の動作中に集積回路の少なくとも一部の電流の結果生じる集積回路の少なくとも１つの領域内の少なくとも１つの温度勾配の生成、及び前記温度勾配により電気エネルギーを生成する手段を備えた集積回路の提供。【解決手段】少なくとも１つの熱電気材料ＭＴＨを含み集積回路の動作中に集積回路の少なくとも一部ＰＳＴＡ、ＰＳＴＢにおける電流の流れにより生じる少なくとも１つの温度勾配にさらされるように構成された少なくとも１つの領域ＲＧ、及び前記領域に接続されて熱電気材料ＭＴＨにより生成された電気エネルギーを伝えるための電気的伝導出力手段を備えた集積回路。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
集積回路内にエネルギーを生成する方法であって、集積回路の動作中に集積回路の少なくとも一部における電流の流れにより生じる集積回路の少なくとも１つの領域での少なくとも１つの温度勾配の生成（２２）、及び前記温度勾配にさらされた前記領域に含まれる少なくとも１つの熱電気材料に基づく電気エネルギーの生成（２３）を含む、方法。
【請求項２】
活性構成要素（Ｔ）及び活性構成要素を相互接続するよう構成された電気的伝導相互接続ネットワーク（ＲＩＣＸ）を備えた集積回路が用いられ、前記少なくとも１つの温度勾配は集積回路の少なくとも一部の動作中の相互接続ネットワークの少なくとも一部（ＰＳＴＡ、ＰＳＴＢ）における電流の流れから生じ、熱電気材料（ＭＴＨ）は相互接続ネットワークの一部或いは複数の付近に造られた１つ或いは複数の領域内に収容される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
相互接続ネットワークが複数の相互接続層を備え、少なくとも１つの前記領域が異なる相互接続層（Ｍｎ、Ｍｎ＋１）上及び層間に造られる、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
相互接続ネットワークは複数の相互接続層を備え、少なくとも１つの前記領域（ＲＧ）は同一の相互接続層上に造られる、請求項２又は３に記載の方法。
【請求項５】
少なくとも１つの前記領域はネットワークの電気的絶縁被覆（ＥＮＲ）の異なる熱拡散率（ＰＡＧ１、ＰＡＧ２）の少なくとも２つの区域に隣接するように造られる、請求項２から４の何れか１つに記載の方法。
【請求項６】
相互接続ネットワークを備える集積回路の一部はダミー相互接続線のための場所を備え、少なくとも１つの前記熱電気領域は少なくとも１つの前記ダミー相互接続線のために設けられた場所に造られる、請求項２から５の何れか１つに記載の方法。
【請求項７】
生成されたエネルギーは集積回路内に形成された蓄積手段（ＣＥＬ）に蓄積される、請求項１から６の何れか１つに記載の方法。
【請求項８】
集積回路であって、少なくとも１つの熱電気材料（ＭＴＨ）を含み集積回路の動作中に集積回路の少なくとも一部（ＰＳＴＡ、ＰＳＴＢ）における電流の流れにより生じる少なくとも１つの温度勾配にさらされるように構成された少なくとも１つの領域（ＲＧ）、及び前記領域に接続されて熱電気材料（ＭＴＨ）により生成された電気エネルギーを伝えるための電気的伝導出力手段を備えた集積回路。
【請求項９】
活性構成要素及び活性構成要素を相互接続するよう構成された電気的伝導相互接続ネットワークを備え、そして少なくとも１つの熱電気材料（ＭＴＨ）を含み集積回路の動作中に集積回路の少なくとも一部（ＰＳＴＡ、ＰＳＴＢ）における電流の流れにより生じる少なくとも１つの温度勾配にさらされるように構成された少なくとも１つの領域（ＲＧ）は相互接続ネットワークの１つ或いは複数の部分の付近に配置されている、請求項８に記載の集積回路。
【請求項１０】
相互接続ネットワークは複数の相互接続層を備え、そして前記領域（ＲＧ）の少なくとも１つは異なる相互接続層（Ｍｎ、Ｍｎ＋１）の上及び間に延びている、請求項９に記載の集積回路。
【請求項１１】
相互接続ネットワークは複数の相互接続層を備え、そして少なくとも１つの前記領域（ＲＧ）は同一の相互接続層上に延びている、請求項９又は１０に記載の集積回路。
【請求項１２】
少なくとも１つの前記領域（ＲＧ）は、相互接続ネットワークの部分の電気的絶縁被覆層の少なくとも２つの異なる熱拡散率の区域に隣接する、請求項９から１１の何れか１つに記載の集積回路。
【請求項１３】
２つの区域のうちの１つ（Ｚ２）はエアー・ポケットを備える、請求項１２に記載の集積回路。
【請求項１４】
少なくとも１つの前記領域（ＲＧ）は相互接続線の少なくとも幾つかの間に延びる、請求項８から１３の何れか１つに記載の集積回路。
【請求項１５】
少なくとも１つの前記領域（ＲＧ）は前記電気的伝導出力手段（ＭＳＥ）に接続された、電気エネルギー蓄積手段を更に備える、請求項８から１４の何れか１つに記載の集積回路。
【請求項１６】
集積回路の製造方法であって、少なくとも１つの熱電気材料を含み集積回路の動作中に集積回路の少なくとも一部における電流の流れにより生じる少なくとも１つの温度勾配にさらされるように構成された少なくとも１つの領域（ＲＧ）の製造、及び前記領域に接続され前記熱電気材料により生成された電気エネルギーを伝えるための電気的伝導出力手段（ＭＳＥ）の製造を含む、方法。
【請求項１７】
集積回路の活性部の製造及び前記活性部上の相互接続部の製造を含み、前記領域（ＲＧ）の製造は電気的伝導出力手段（ＭＳＥ）の製造と同様に前記相互接続部の製造中に成される、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
前記領域の製造は、トレンチを形成するような、１つ或いは複数の相互接続層上に配置された相互接続ネットワークの相互接続線間のエッチング操作、及び、これらトレンチの少なくとも１つの熱電気材料（ＭＴＨ）による充填操作、或いはその他の以前に形成された熱電気材料層のエッチング操作を含む、請求項１６又は１７に記載の方法。
【請求項１９】
少なくとも１つの領域の形成は異なる相互接続層に配置された熱電気材料トレンチ間の少なくとも１つのビア（ＺＬ）の形成、及びビアの熱電気材料による充填を含む、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
熱電気材料で充填された少なくとも１つの領域の付近のエアー・ポケット（ＰＡＧ１、ＰＡＧ２）の形成を更に含む、請求項１６から１９の何れか１つに記載の方法。
【請求項２１】
少なくとも１つの熱電気領域は集積回路の少なくとも１つのダミー相互接続線の少なくとも１つの一部のために最初は設けられた場所に形成される、請求項１６から２０の何れか１つに記載の方法。
【請求項２２】
電気出力手段（ＭＳＥ）に接続されたエネルギー蓄積手段（ＣＥＬ）の形成を更に含む、請求項１６から２１の何れか１つに記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は集積回路に係り、より詳しくは例えばバッテリーのような従来の電力源により生成されるエネルギーではない、集積回路中での電気エネルギーの生成に関する。
【背景技術】
【０００２】
本発明の実装及び実施の一形態によれば、こうして集積回路の本来固有の動作に基づいて電気エネルギーを再生できる方法及び集積回路が提案され、任意選択的にこの電気エネルギーを蓄積して例えば集積回路の特定の部分に電力供給し、及び、又は、バッテリーを再充電する。こうして、バッテリーの寿命を極めて延ばし、及び、又は、その寸法を小さくすることができる。
【０００３】
一形態によれば、集積回路の動作中に集積回路の少なくとも一部の電流の結果生じる集積回路の少なくとも１つの領域内の少なくとも１つの温度勾配の生成、及び前記温度勾配にさらされた前記領域内に含まれる少なくとも１つの熱電気材料に基づく電気エネルギー生成を含む、集積回路内でのエネルギーを生成する方法が提案される。
【０００４】
本発明者等は集積回路の少なくとも一部の動作中、温度勾配が集積回路の或る領域に発生することを実際に観察し、特に種々の電気的相互接続層の間で、例えば、論理回路、レジスタ、フリップ・フロップのトグル操作、トランジスタのスイッチング等により生じる例えば電気パルスのような電流の流れの結果生じる前記勾配を観察した。
【０００５】
そして、これら種々の要素の相互接続によって、これら電気パルスの伝達は特定の時間そして集積回路の特定の領域に温度勾配を生じさせる。
【０００６】
熱電気材料は次に電気エネルギーを生成することを可能にし、より詳細には、熱電気材料がさらされる温度勾配に基づいて、電流を生成する。実装される方法は如何なる特定の過熱素子も冷却素子も用いず、温度勾配を生じさる機能しか用いないことにここで気付かれたい。
【０００７】
通常、集積回路は当業者により一般に「バック・エンド・オブ・ライン」（ＢＥＯＬ）と呼ばれる第２の部分が載置された、当業者により一般に「フロント・エンド・オブ・ライン」（ＦＥＯＬ）と呼ばれる第１の部分を備える。
【０００８】
ＦＥＯＬ部は実際に例えばトランジスタ、レジスタのような個々の活性素子が配置される集積回路の第１の製造部分である。ＦＥＯＬ部は第１メタル層までの集積回路の全ての種々の要素を含む。
【０００９】
集積回路の上部、即ちＢＥＯＬ部はトラック或いは相互接続線、及びビアを形成するメタライゼーション層を形成する相互接続ネットワークにより活性要素が相互接続される集積回路の部分である。このＢＥＯＬ部は一般に第１メタライゼーション層で始まり又ビア、絶縁層と同様に集積回路の上部に配置されたコンタクト・パッドを含む。
【００１０】
前記熱電気領域は温度勾配を生じる集積回路内の如何なる部分にも配置できるが、１つ或いは複数の相互接続ネットワーク部分の付近、即ち集積回路のＢＥＯＬ部に熱電気材料を収容することが有利且つ簡単である。実際、集積回路の少なくとも一部の動作中の相互接続ネットワークの少なくとも一部における電流の流れは有用な温度勾配をただちに生成できたことが観察された。
【００１１】
集積回路内の温度勾配の場所は特に集積回路の内部の特徴及びその予想される動作により、そして特に活性素子のタイプ、それらが相互接続される形態及び集積回路の動作中のそれらの使われ方及び実践のされ方による。
【００１２】
特に相互接続ネットワーク内での、この温度勾配の場所は例えば予想可能な動作状態での集積回路の動作の１つ或いは複数のシミュレーションに基づくシミュレーションにより容易に引き起こされ得る。
【００１３】
そして一旦この場所の温度勾配が成されると、１つ或いは複数の熱電気材料を含むべき領域を特定するのは容易である。
【００１４】
相互接続ネットワークが複数の相互接続層を含むとき、これが通常であるが、少なくとも１つの熱電気領域を異なる相互接続層上或いは層間に造ることも可能である。
【００１５】
実装の一形態によれば、相互接続ネットワークの一部の電気的絶縁被い物（例えば中間誘電体）の異なる熱拡散率の少なくとも２つの区域に隣り合うように、前記熱電気領域の少なくとも１つを造ることもできる。
【００１６】
この絶縁被い物に、当業者により一般に「エアー・ギャップ」と呼ばれる、例えばエアー・ポケットを造ることができ、それにより低熱拡散率の区域を形成することが可能となる。
【００１７】
熱電気材料により生成されたエネルギーは種々の目的で用いられ得る。例えばこのエネルギーを集積回路に造られた例えばキャパシタのような蓄積手段に蓄積できる。このキャパシタは例えばＢＥＯＬ部内に造られた金属−金属キャパシタであり得、或いはＦＥＯＬ部に造られたキャパシタであり得る。
【００１８】
他の形態によれば、少なくとも１つの熱電気材料を含み集積回路の動作中の集積回路の少なくとも一部における電流の流れの結果生じる少なくとも１つの温度勾配にさらされるように構成された少なくとも１つの領域、及び前記領域に接続されて熱電気材料により生成された電気エネルギーを伝導するための電気的伝導出力手段を備えた集積回路が提案される。
【００１９】
一実施例によれば、集積回路は活性構成要素及び活性構成要素間の電気的伝導相互接続ネットワークを備え、少なくとも１つの熱電気材料を含み少なくとも１つの温度勾配にさらされるように構成された少なくとも１つの前記領域は相互接続ネットワークの１つ或いは複数の部分の付近に配置される。
【００２０】
一実施例によれば、相互接続ネットワークは複数の相互接続層を備え、前記領域の少なくとも１つは異なる相互接続層間及び層上に延びる。
【００２１】
一実施例によれば、前記領域の少なくとも１つは相互接続ネットワークの部分の電気的絶縁被いの異なる熱伝達率の少なくとも２つの区域に隣接する。
【００２２】
２つの区域の１つはエアー・ポケットを備え得る。
【００２３】
一実施例によれば、前記領域の少なくとも１つは相互接続線の部分の少なくとも１つの間を延びる。
【００２４】
一実施例によれば、集積回路は電気的伝導出力手段に接続された、電気エネルギー蓄積手段を更に備える。
【００２５】
他の形態によれば、少なくとも１つの熱電気材料を含み集積回路の動作中の集積回路の少なくとも１つの部分における電流の流れの結果生じる少なくとも１つの温度勾配にさらされるように構成された少なくとも１つの領域の製法、及び前記領域に接続された熱電気材料により生成された電気エネルギーを伝導するための電気的伝導出力手段の製法を含む集積回路の製法方法が提案される。
【００２６】
集積回路の活性部分の製法及び活性部分の上部の相互接続ネットワークの製法が描かれるところの実装の一形態によれば、前記熱電気領域の製造は電気的伝導出力手段の製造と  同様に相互接続ネットワークの製造の間に成遂げられる。
【００２７】
実装の一形態によれば、前記領域の製造は１つ或いは複数の相互接続層の上に載置された相互接続ネットワークの相互接続線の間のエッチング操作を含み、それによりトレンチを形成し、そして少なくとも１つの熱電気材利用でこれらトレンチを充填する。
【００２８】
実施の一形態によれば、少なくとも１つの領域の製造は異なる相互接続層上に載置された熱電気トレンチ間の少なくとも１つのビアの製造、及びビアの熱電気材料による充填を含む。
【００２９】
実装の一形態によれば、熱電気材料で充填された少なくとも１つの領域の一部の付近にエアー・ポケットを製造するための用意を更に有する。
【００３０】
実践の一形態によれば、電気的出力手段に接続されたエネルギーを貯蓄する手段の製造のための更なる用意を有する。
【００３１】
本発明のその他の利点及び特徴は実装及び実施例の全く限定されない態様の詳細な説明の検討により明らかになる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】図１は集積回路の例示的構成を模式的に図示する。
【図２】図２は本発明による方法を実施する一形態の主たるステップを図示する。
【図３】図３は本発明による集積回路の例示的一実施例を図示する。
【図４】図４は本発明による集積回路の熱電気領域の例示的実施例を図示する。
【図５】図５は本発明による集積回路の熱電気領域の例示的実施例を図示する。
【図６】図６は本発明による集積回路の熱電気領域の例示的実施例を図示する。
【図７】図７は本発明による集積回路の熱電気領域の例示的実施例を図示する。
【図８】図８は本発明による集積回路の熱電気領域の例示的実施例を図示する。
【図９】図９は本発明による集積回路の一部の別の実施例を模式的に図示する。
【図１０】図１０は本発明による集積回路の一部の更に別の実施例を模式的に図示する。
【図１１】図１１は本発明による集積回路の一実施例により生成されたエネルギーを蓄積するための手段の例示的な電気的構成を図示する。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
図１中、参照符号ＣＩは例えば活性部を備える通常の構成の集積回路を示し、活性部は例えばトランジスタＴの活性構成要素を備える。この活性部は「フロント・エンド・オブ・ライン」（ＦＥＯＬ）という表現で当業者により一般に呼ばれる。
【００３４】
この活性部には集積回路の種々の活性構成要素同士を互いにそして集積回路の上部の上に載置されたコンタクト・パッドに相互接続するための相互接続ネットワークＲＩＣＸが載置されている。
【００３５】
この相互接続ネットワークＲＩＣＸは、図１では５つが示されているが、複数のメタライゼーション層Ｍｉ上に分布された、例えば銅やアルミニウムの、参照符号ＰＳＴの、電気的伝導トラックの集合体を通常の形態で備えている。
【００３６】
相互接続ネットワークはまた１つのメタライゼーション層の或るトラックを隣接するメタライゼーション層の或るトラックに接続する電気的伝導開口であるビアＶを備える。最後に、トラックの集合体及びビアは絶縁層ＥＮＲ或いは中間誘電体ＩＬＤにより互いに電気的に絶縁されている。そのような絶縁体は例えば二酸化シリコンであり得る。
【００３７】
この集積回路の動作の間（図２のステップ２０）、相互接続ネットワークＲＩＣＸの少なくとも１つの部分に電流の流れが生じる（ステップ２１）。
【００３８】
或る場合における電流のこの流れは例えばフリップ・フロップ論理回路の切換え、トランジスタのスイッチング、等の結果による。この電流は相互接続ネットワークの一部を伝播する。他の場合では、他の構成要素が関与して、相互接続ネットワークの他の部分、或いは実際に前回と部分的に同じ部分にも電流の流れが生じる。
【００３９】
これら電流の流れは、例えば種々の電気的相互接続層Ｍ１−Ｍ５の間で、集積回路の少なくとも１つの領域内に温度勾配の発現を生じさせる（ステップ２２）。
【００４０】
従って、このような温度勾配にさらされるこれら領域の１つ或いは複数における、少なくとも１つの熱電気材料、そして実際には同一の熱電気材料の配置が用意される。
【００４１】
温度勾配にさらされる、熱電気材料はそして電気エネルギー（電流）を生成し（ステップ２３）、この後更に詳細に示されるように、この電気エネルギーは、生成された電気エネルギーを蓄積するための例えば蓄積手段に取出される（ステップ２４）。
【００４２】
相互接続ネットワークの或る部分に生じるこの或いはこれらの温度勾配は集積回路の本来固有の動作のみの結果により生じる事ことを特に注意されたい。例えば集積回路の一部を冷却できる要素或いは自身により集積回路を加熱できる要素のように温度勾配を形成できる特別の要素を集積回路に何の用意もここではしていない。
【００４３】
同様に、熱電気材料は集積回路の動作に関与しない。熱電気材料はここでは集積回路の動作により生じる温度勾配を利用するだけであり、集積回路自身のための電力供給手段により供給される電気エネルギー以外の電気エネルギーを生成する。
【００４４】
実際に、一実施例によれば、熱電気材料が配置される領域は熱源である相互接続線ＰＳＴに隣接する。
【００４５】
如何なる熱電気材料もその材料がさらされる温度勾配からエネルギーを生成するために適している。特にビスマス・テルル化合物（Ｂｉ２Ｔｅ３）或いは他にゲルマニウム・シリコン化合物或いは他にコバルト・ニッケルの鉱物の族からの材料を例示できる。
【００４６】
集積回路ＣＩの３つのトラック或いは相互接続線ＰＳＴＡ、ＰＳＴＢ及びＰＳＴＣを備えた相互接続ネットワークの部分が図３中に示されている。トラックＰＳＴＡはメタライゼーション層ｎに配置される一方、トラックＰＳＴＢ及びＰＳＴＣはメタライゼーション層ｎ＋１に配置される。
【００４７】
トラックＰＳＴＡ及びトラックＰＳＴＢは２つの全く独立した相互接続線であってもよいし、或いは集積回路の何れかの場所でビアにより互いに接続されてもよいことに注意すべきである。
【００４８】
集積回路が動作中のとき、線ＰＳＴＡは第１の熱源を形成し、ＰＳＴＢ線第２の熱源を形成し、そして例えば約１０℃の単位の温度勾配がこれら２つの線の間に存在する。
【００４９】
連結部或いはビアＺＬにより連結された２つの区域ＺＡ及びＺＢを有する領域ＲＧに横たわる熱電気材料ＭＴＨは従って２つの線ＰＳＴＡ及びＰＳＴＢで形成される相互接続ネットワークのこの部分の付近に配置される。区域ＺＡはトラックＰＳＴＡの付近に配置される一方区域ＺＢはトラックＰＳＴＢの付近に配置される。
【００５０】
この領域内に配置された熱電気材料ＭＴＨは従って相互接続線ＰＳＴＡ及びＰＳＴＢの層に現出する温度勾配ΔＴにさらされる。
【００５１】
この温度勾配の存在を通じて、熱電気材料ＭＴＨは従って電気エネルギーを生成する。
【００５２】
熱電気材料ＭＴＨを含む領域の製法の特定の一例を述べるために図４から８を特に参照する。
【００５３】
図４中、集積回路のＦＥＯＬ部内の３つのトランジスタＴが例として図示されている。金属層Ｍ１が次に通常の方法で造られる。
【００５４】
より詳細には、図４に示されるように、絶縁層Ｃ１、例えば二酸化シリコン、が堆積されそして後に形成されるトラック及びビアの間の被い層ＥＮＲを形成する。
【００５５】
次に、樹脂層ＲＳを堆積し、樹脂層のフォトリソグラフィ及び照射により、後の金属トラックＰＳＴの配置の範囲設定を実行した後、層Ｃ１のそれ自体は通常のエッチングを樹脂マスクＲＳを通じて行って空隙ＣＶを形成する。
【００５６】
次に、金属層Ｃ３、例えば銅、が堆積されて空隙ＣＶが充填される（図６）。
【００５７】
次に、機械化学研磨後、絶縁被覆層ＥＮＲで被われた金属トラックＰＳＴを備える金属層Ｍ１の製法により図７に描かれる構成が得られる。
【００５８】
金属層Ｍ１における金属材料を含む領域ＲＧ或いはトレンチの製造はちょうど述べられたステップと類似のステップにより成される。より詳細には、結局のところ、種々のトレンチの場所を定めるため、トラックＰＳＴ間の層Ｃ１の材料のフォトリソグラフィ及びエッチングの新しいステップがまた実行されて熱電気材料ＭＴＨを受付けるようにされた間隙を形成するようにする。
【００５９】
次に、熱電気材料の堆積が実行されて間隙を充填し機械化学研磨が実行されて熱電気材料ＭＴＨで充填された間隙を得る。
【００６０】
こうして述べた例では、金属トラックは誘電材料をエッチングして金属を充填することにより形成された。他の例として、特にアルミニウムが用いられるときは、これらのトラックは金属を堆積し次に金属をエッチングしても形成できる。同じことが熱電気材料の領域の製造でも行われ、即ち熱電気材料の層の形成及びそしてこの材料のエッチングである。
【００６１】
そのような方法は例えばビスマス・テルルライドが用いられるときに予期できる。より詳細には、ビスマス・テルルライドの層の形成は通常の化学気相成長法或いはその他のＭＢＥ（分子線エピタキシー）の表記で当業者に通常知られる分子エピタキシーの既知の技術により成遂げられる。そして熱電気材料のパターンはプラズマ・エッチングが後続するところのフォトリソグラフィにより通常の方法で画定され得る。
【００６２】
金属トラック及び熱電気材料のパターンはその後に誘電材料のような絶縁層により被覆される。
【００６３】
図３は熱電気領域が複数のメタライゼーションに亘って延びる例示的実施例を図示するが、図９に図示されるようにこれらの領域を同一のメタライゼーション層上に造ることも可能である。
【００６４】
より詳細には、この図で、参照符号ＰＳＴＩ及びＰＳＴＪは誘電材料のような、絶縁層により被われた同一のメタライゼーション層上を延びる、例えば銅のような、２つの金属トラックを示す。
【００６５】
熱拡散率の異なる２つの区域Ｚ１及びＺ２が次にこの被覆層、例えば２つのトラックＰＳＴＩ及びＰＳＴＪ間に造られる。
【００６６】
ここで、エアー・ポケットＰＡＧ１、ＰＡＧ２を金属トラックＰＳＴＩ及びＰＳＴＪの付近に造ることができる。
【００６７】
そのようなエアー・ポケットはそれらの製法同様に当業者にはよく知られている。そのようなエアー・ポケットは「エアー・ギャップ」という表現でも知られる。
【００６８】
２つのトラックＰＳＴＩ及びＰＳＴＪの間には、空洞或いはトレンチが造られ次には熱電気材料ＭＴＨで充填される。熱電気材料領域ＲＧはそうしてエアー・ポケットＰＡＧ１及びＰＡＧ２間に延びる区域Ｚ２を備え、トラックＰＳＴＩ及びＰＳＴＪ間にではあるがエアー・ポケットＰＡＧ１及びＰＡＧ２間にではなく配置された区域Ｚ１により延長されている。
【００６９】
こうして、エアー・ポケットの存在により生じる、区域Ｚ２内での被いＥＮＲの低熱拡散率により、電流がトラックＰＳＴＩ及びＰＳＴＪを流れるとき、温度勾配ΔＴが区域１及び区域２の間に生成され、それにより、熱電気材料ＴＨＮが電気エネルギーを発生する。
【００７０】
図１０に示されるように、もしメタライゼーション層が熱電気トレンチの介在を許さないほどに密であるなら、相当数の熱電気領域を造るように、集積回路内の、例えば最後のメタライゼーション層の上のような、相互接続ネットワーク内に特定の層を造ることも可能である。
【００７１】
より詳細には、図１０に図示される例では、より低いレベルの金属トラックにビアを介して連結された金属トラックＰＳＴ１、ＰＳＴ２、ＰＳＴ３、ＰＳＴ４はこの特定の層上に形成されている。
【００７２】
次に、例えば図９を参照して述べたところと類似して、これら金属トラック間に、熱電気領域ＲＧ１２、ＲＧ２３、ＲＧ３４、ＲＧ４０が造られる。
【００７３】
これら領域の夫々は部分的にエアー・ポケットＰＡＧ１、ＰＡＧ２、ＰＡＧ３、ＰＡＧ４、ＰＡＧ５、ＰＡＧ６、ＰＡＧ７、ＰＡＧ８に隣接する。
【００７４】
これら全ての領域は電流がトラックＰＳＴ１、ＰＳＴ２、ＰＳＴ３及びＰＳＴ４を流れるときに温度勾配ΔＴに結局さらさられる。
【００７５】
更に、この例では熱電気領域ＲＧ１２、ＲＧ２３、ＲＧ３４、ＲＧ４０の夫々の２つの端部に夫々が連結された熱電気材料の２つの帯により形成される電気的出力手段ＭＳＥが設けられている。
【００７６】
電気的出力手段ＭＳＥは、例えば相互接続線及びビアのネットワークのような、電気的伝導接続ＣＮＸを介して、例えば集積回路のＦＥＯＬ部に形成された特定の蓄積回路ＣＥＬに連結される。
【００７７】
図１１は集積回路の動作中に熱電気領域により生成されるエネルギーを蓄積することのできるそのような回路ＣＥＬの電気的構成を模式的に図示する。
【００７８】
より詳細には、ここで述べる例では、全く限定的ではないが、回路ＣＥＬは入力領域が連結部ＣＮＸを介して出力手段ＭＳＥに接続されているダイオードに基づくブリッジＰＲＤである。
【００７９】
整流ブリッジの出力は集積回路の負荷に蓄積したエネルギーを与える事が任意選択的に可能な蓄積キャパシタＣＳＴの２つの端子に連結される。
【００８０】
本発明はこれまでここで述べられた実装及び実施の形態に限られずそれらの全ての変形例を含む。
【００８１】
こうして集積回路は相互接続ネットワークを含む上部（ＢＥＯＬ）内に、ダミー金属ライン（当業者には「ダミー」という表現でよく知られる。）を備えることができる。これらダミー線は相互接続ネットワークが十分密でないときに集積回路の上部の密度を高くするように貢献して、製造方法、特に機械化学研磨ステップを容易にする。そのような場合、特定のダミー線或いは相互接続線の付近に配置されたダミー線の一部を、熱電気材料の領域で置き換えることが可能である。図８中に図示された熱電気領域ＭＴＨの１つはダミー相互接続線のための最初から予定されていた場所に造られていてもよい。そのような実施例は集積回路の製造のための通常のプロセスと更に一層の容易な互換性がある。
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図１１】
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【図１】
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【図９】
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【図１０】
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【外国語明細書】
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