(57)【要約】【課題】異物の侵入等に起因する不具合の発生を容易に抑制可能な移動機構の製造方法を提供する。【解決手段】基準部および移動対象部のうちの少なくとも一方が内部空間を有し、且つ移動対象部が基準部に設けられる支持部によって支持されるとともに、移動対象部が基準部を基準とした所定値域範囲の距離において移動する移動機構が次の工程(１)〜(３)を順次に経て製造される。(１)基準部と移動対象部とがそれぞれ含まれる複数のユニット部が所定ルールで配列される積層部材が形成される。(２)基準部と移動対象部との間に外部から内部空間への物体の通過を抑制する抑制構造が形成されている状態で、積層部材が切断されることによって該積層部材がユニット部毎に分離される。(３)抑制構造の形態の変化により、移動対象部が基準部を基準とした所定値域範囲の距離において移動可能な状態とされる。【選択図】図２２
2011118064.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準部および移動対象部のうちの少なくとも一方が内部空間を有し、且つ前記移動対象部が前記基準部に設けられる支持部によって支持されるとともに、前記移動対象部が前記基準部を基準とした所定値域範囲の距離において移動する移動機構の製造方法であって、
前記基準部と前記移動対象部とがそれぞれ含まれる複数のユニット部が所定ルールで配列される積層部材を形成する形成工程と、
前記基準部と前記移動対象部との間に外部から前記内部空間への物体の通過を抑制する抑制構造が形成されている状態で、前記積層部材を切断することによって該積層部材を前記ユニット部毎に分離する切断工程と、
前記切断工程の後に、前記抑制構造の形態を変化させて、前記移動対象部が前記基準部を基準とした前記所定値域範囲の距離において移動可能な状態とする形態変化工程と、
を備えることを特徴とする移動機構の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の移動機構の製造方法であって、
前記抑制構造が、
前記基準部と前記移動対象部とが接着されることで形成される構造を含み、
前記形態変化工程において、
加熱および所定値域範囲の波長の光の照射のうちの少なくとも一方によって、前記基準部と前記移動対象部とが接着された状態を解除することで、前記抑制構造の形態を変化させることを特徴とする移動機構の製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載の移動機構の製造方法であって、
前記加熱が、
外部の配線と前記移動機構に含まれる配線との電気的な接続を行う半田付け時の加熱を含むことを特徴とする移動機構の製造方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３の何れか１つの請求項に記載の移動機構の製造方法であって、
前記抑制構造が、
前記基準部が前記移動対象部に対して嵌合するか、または前記移動対象部が前記基準部に対して嵌合することで形成される構造を含み、
前記形態変化工程において、
前記基準部と前記移動対象部との間における嵌合状態を解除することで、前記抑制構造の形態を変化させることを特徴とする移動機構の製造方法。
【請求項５】
請求項１から請求項４の何れか１つの請求項に記載の移動機構の製造方法であって、
前記抑制構造が、
前記基準部のうちの前記移動対象部に対向する第１対向面および前記移動対象部のうちの前記基準部に対向する第２対向面のうちの少なくとも一方の面に設けられる可撓性を有する凸部が弾性変形されつつ、前記基準部に対して前記移動対象部が相対的に押し付けられることで形成される構造を含み、
前記形態変化工程において、
前記基準部に対して前記移動対象部を相対的に押し付ける力を解除することで、前記抑制構造の形態を変化させることを特徴とする移動機構の製造方法。
【請求項６】
請求項１から請求項５の何れか１つの請求項に記載の移動機構の製造方法であって、
前記抑制構造が、
前記基準部のうちの前記移動対象部に対向する第１対向面および前記移動対象部のうちの前記基準部に対向する第２対向面のうちの少なくとも一方の面に撥水性を有する部分を形成するとともに、前記第１対向面と前記第２対向面とを近接または当接させることで形成される構造を含み、
前記形態変化工程において、
前記切断工程の際よりも、前記第１対向面と前記第２対向面とを離隔させることで、前記抑制構造の形態を変化させることを特徴とする移動機構の製造方法。
【請求項７】
請求項１から請求項６の何れか１つの請求項に記載の移動機構の製造方法であって、
前記抑制構造が、
前記基準部と前記移動対象部とを連結する膜状の連結部を含んで構成され、
前記形態変化工程において、
前記基準部と前記移動対象部とを引き離す力によって、前記連結部による前記基準部と前記移動対象部との連結を解除することで、前記抑制構造の形態を変化させることを特徴とする移動機構の製造方法。
【請求項８】
請求項１から請求項６の何れか１つの請求項に記載の移動機構の製造方法であって、
前記抑制構造が、
前記基準部と前記移動対象部とを連結する膜状の連結部を含んで構成され、
前記形態変化工程において、
前記基準部と前記移動対象部とを引き離す力によって、前記連結部を塑性変形させることで、前記抑制構造の形態を変化させることを特徴とする移動機構の製造方法。
【請求項９】
請求項１から請求項８の何れか１つの請求項に記載の移動機構の製造方法であって、
前記基準部に撮像素子が含まれ且つ前記移動対象部に被写体からの光を前記撮像素子に導く光学系が含まれるか、または前記基準部に前記光学系が含まれ且つ前記移動対象部に前記撮像素子が含まれることを特徴とする移動機構の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、移動機構の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話機等の小型の電子機器に、カメラモジュールが搭載されることが一般的となっている。そして、このカメラモジュールに対しては、更なる小型化および軽量化が要求されている。
【０００３】
このようなカメラモジュールは、レンズ、該レンズを支持するレンズホルダ、赤外線（ＩＲ）カットフィルタ、基板、および撮像素子を有し、これらの部材を支持する筐体等を含む様々な形状を有する多数の部品によって構成される。そして、カメラモジュールの更なる小型化を図るためには、上記多数の部品の小型化を図ることが考えられる。
【０００４】
しかし、多数の部品の小型化が図られると、該多数の部品を精度良く組み合わせて、カメラモジュールを作製することが容易でなくなる。更に、オートフォーカス（ＡＦ）やズーム等の機能を、カメラモジュールに持たせようとすれば、部品点数の増加、構成の複雑化、および組合せの困難さを招く。
【０００５】
このような状況において、最近では、基板と、多数の撮像素子が形成された半導体シートと、多数の撮像レンズが形成されたレンズアレイシートとを樹脂層を介して貼り付けてウエハ状の積層部材を形成し、該積層部材をダイシングして、個々のカメラモジュールを完成させる技術が提案されている（例えば、特許文献１，２等）。
【０００６】
この技術によれば、一枚のウエハ状の積層部材から数百個のカメラモジュールを製作することも可能である。そして、該技術は、ＭＥＭＳ(Micro Electro Mechanical Systems)等の微細加工とのマッチングも良い。このため、カメラモジュールの小型化、薄型化、および低コスト化に大きく寄与するものと考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−２００９６５号公報
【特許文献２】特開２００７−１２９９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記特許文献１，２の技術では、複数のウエハ状のシートを積層させるため、ボイスコイルモータ等といった従来から知られるアクチュエータの配置等が大変困難であり、ＡＦやズーム等の機能をカメラモジュールに持たせることが困難である。
【０００９】
ところで、いわゆるユニモルフ形状を有する駆動素子（ＰＺＴ、ＳＭＡ、およびバイメタル等を採用したもの）を用いたアクチュエータが知られる。そして、多数の該アクチュエータが形成されたウエハ状のシートを、上記特許文献１，２の技術に適用することで、カメラモジュールにＡＦやズーム等の機能を持たせることが考えられる。但し、レンズ部を移動可能な状態としたままで、他の部材によって支持することは難しい。
【００１０】
このような問題を解決する方法としては、(ｉ)ウエハ状の積層部材のダイシングによって各カメラモジュールを完成させた後に、レンズ部を一時的に支持している部分をレーザー等を用いて切断する方法や、(ii)多数のレンズ部が配列されたウエハ状の部材に対してダイシングが施されることで個片化された各レンズ部を、アクチュエータの機能を有するレイヤ（アクチュエータレイヤ）や平行ばねの機能を有するレイヤ（平行ばねレイヤ）等が積層されたものの内部に配置して、該平行ばねレイヤに接合する方法等が考えられる。
【００１１】
しかしながら、上記(ｉ)(ii)の方法では、製造工程が複雑となり、製造コストの上昇を招く。
【００１２】
また、(iii)積層部材を構成する複数のウエハ状のシートに、多数のレンズレイヤが配列されたウエハ状のシートを、他のシートとは接合されない態様で含ませ、該積層部材のダイシングが施される際に、固定部に対してレンズ部が移動可能に支持されるカメラモジュールが製造される方法も考えられる。
【００１３】
しかしながら、上記(iii)の方法では、例えば、移動部と固定部との間に空隙が生じ、該空隙を介して、ダイシングの際の冷却水や切削粉等がカメラモジュール内に侵入して、撮像センサに付着することで撮影画像に悪影響を及ぼす虞があるとともに、アクチュエータや平行ばね等によって構成される駆動部の動作を阻害する虞がある。
【００１４】
また、これらの問題は、積層部材に対してダイシングが施されることで、複数の種々の物体を移動させる移動機構が製造される場合一般に共通する。
【００１５】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、異物の侵入等に起因する不具合の発生を容易に抑制可能な移動機構の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を解決するために、第１の態様に係る移動機構の製造方法は、基準部および移動対象部のうちの少なくとも一方が内部空間を有し、且つ前記移動対象部が前記基準部に設けられる支持部によって支持されるとともに、前記移動対象部が前記基準部を基準とした所定値域範囲の距離において移動する移動機構の製造方法であって、前記基準部と前記移動対象部とがそれぞれ含まれる複数のユニット部が所定ルールで配列される積層部材を形成する形成工程と、前記基準部と前記移動対象部との間に外部から前記内部空間への物体の通過を抑制する抑制構造が形成されている状態で、前記積層部材を切断することによって該積層部材を前記ユニット部毎に分離する切断工程と、前記切断工程の後に、前記抑制構造の形態を変化させて、前記移動対象部が前記基準部を基準とした前記所定値域範囲の距離において移動可能な状態とする形態変化工程とを備える。
【００１７】
また、第２の態様に係る移動機構の製造方法は、第１の態様に係る移動機構の製造方法であって、前記抑制構造が、前記基準部と前記移動対象部とが接着されることで形成される構造を含み、前記形態変化工程において、加熱および所定値域範囲の波長の光の照射のうちの少なくとも一方によって、前記基準部と前記移動対象部とが接着された状態を解除することで、前記抑制構造の形態を変化させる。
【００１８】
また、第３の態様に係る移動機構の製造方法は、第２の態様に係る移動機構の製造方法であって、前記加熱が、外部の配線と前記移動機構に含まれる配線との電気的な接続を行う半田付け時の加熱を含む。
【００１９】
また、第４の態様に係る移動機構の製造方法は、第１から第３の何れか１つの態様に係る移動機構の製造方法であって、前記抑制構造が、前記基準部が前記移動対象部に対して嵌合するか、または前記移動対象部が前記基準部に対して嵌合することで形成される構造を含み、前記形態変化工程において、前記基準部と前記移動対象部との間における嵌合状態を解除することで、前記抑制構造の形態を変化させる。
【００２０】
また、第５の態様に係る移動機構の製造方法は、第１から第４の何れか１つの態様に係る移動機構の製造方法であって、前記抑制構造が、前記基準部のうちの前記移動対象部に対向する第１対向面および前記移動対象部のうちの前記基準部に対向する第２対向面のうちの少なくとも一方の面に設けられる可撓性を有する凸部が弾性変形されつつ、前記基準部に対して前記移動対象部が相対的に押し付けられることで形成される構造を含み、前記形態変化工程において、前記基準部に対して前記移動対象部を相対的に押し付ける力を解除することで、前記抑制構造の形態を変化させる。
【００２１】
また、第６の態様に係る移動機構の製造方法は、第１から第５の何れか１つの態様に係る移動機構の製造方法であって、前記抑制構造が、前記基準部のうちの前記移動対象部に対向する第１対向面および前記移動対象部のうちの前記基準部に対向する第２対向面のうちの少なくとも一方の面に撥水性を有する部分を形成するとともに、前記第１対向面と前記第２対向面とを近接または当接させることで形成される構造を含み、前記形態変化工程において、前記切断工程の際よりも、前記第１対向面と前記第２対向面とを離隔させることで、前記抑制構造の形態を変化させる。
【００２２】
また、第７の態様に係る移動機構の製造方法は、第１から第６の何れか１つの態様に係る移動機構の製造方法であって、前記抑制構造が、前記基準部と前記移動対象部とを連結する膜状の連結部を含んで構成され、前記形態変化工程において、前記基準部と前記移動対象部とを引き離す力によって、前記連結部による前記基準部と前記移動対象部との連結を解除することで、前記抑制構造の形態を変化させる。
【００２３】
また、第８の態様に係る移動機構の製造方法は、第１から第６の何れか１つの態様に係る移動機構の製造方法であって、前記抑制構造が、前記基準部と前記移動対象部とを連結する膜状の連結部を含んで構成され、前記形態変化工程において、前記基準部と前記移動対象部とを引き離す力によって、前記連結部を塑性変形させることで、前記抑制構造の形態を変化させる。
【００２４】
また、第９の態様に係る移動機構の製造方法は、第１から第８の何れか１つの態様に係る移動機構の製造方法であって、前記基準部に撮像素子が含まれ且つ前記移動対象部に被写体からの光を前記撮像素子に導く光学系が含まれるか、または前記基準部に前記光学系が含まれ且つ前記移動対象部に前記撮像素子が含まれる。
【発明の効果】
【００２５】
第１から第９の何れの態様に係る移動機構の製造方法によっても、切断工程における内部空間への異物の侵入が抑制されるため、異物の侵入等に起因する不具合の発生が容易に抑制される。
【００２６】
第２の態様に係る移動機構の製造方法によれば、接着状態によって切断工程における内部空間への異物の侵入が抑制され、熱や光を用いて接着状態が解除されるため、異物の侵入等に起因する不具合の発生が容易に抑制される。
【００２７】
第３の態様に係る移動機構の製造方法によれば、異なる目的を達成するための工程において、接着状態が解除されるため、製造コストの上昇を招くことなく、異物の侵入等に起因する不具合の発生が容易に抑制される。
【００２８】
第４の態様に係る移動機構の製造方法によれば、移動機構を装置に実装するまでに、基準部と移動対象部との間における嵌合状態が解除されれば良いため、異物の侵入等に起因する不具合の発生が容易に抑制される。
【００２９】
第５の態様に係る移動機構の製造方法によれば、基準部に対して移動対象部が相対的に押し付けられる力が解除されることで、抑制構造の形態が変化するため、抑制構造の形態の変化が容易に可能となる。
【００３０】
第６の態様に係る移動機構の製造方法によれば、非常に簡易な構成で異物の侵入等に起因する不具合の発生が抑制される。
【００３１】
第７および第８の何れの態様に係る移動機構の製造方法によっても、膜状の連結部を用いることで、確実かつ容易に異物の侵入等に起因する不具合の発生が抑制される。
【００３２】
第９の態様に係る移動機構の製造方法によれば、撮像装置に係る移動機構の製造において、異物の侵入等に起因する不具合の発生が容易に抑制される。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】第１実施形態に係るカメラモジュールを搭載した携帯電話機の概略構成を示す模式図である。
【図２】携帯電話機のうちの第１の筐体に着目した断面模式図である。
【図３】カメラモジュールの構成を示す側面模式図である。
【図４】カメラモジュールの移動機構の構成を示す分解斜視図である。
【図５】カメラモジュールの構成を示す上面模式図である。
【図６】カメラモジュールの構成を示す断面模式図である。
【図７】カメラモジュールの構成を示す断面模式図である。
【図８】レンズ群の構成を模式的に示す図である。
【図９】レンズ群の構成を示す上面模式図である。
【図１０】レンズ群の構成を示す下面図である。
【図１１】第１レンズ構成層の製作方法を示す模式図である。
【図１２】連結板の構成を示す上面模式図である。
【図１３】連結板の構成を示す断面模式図である。
【図１４】連結板の構成を示す断面模式図である。
【図１５】仮固定レイヤの構成を示す上面模式図である。
【図１６】第１平行ばねレイヤの構成を示す上面模式図である。
【図１７】間隔板レイヤの構成を示す上面模式図である。
【図１８】第２平行ばねレイヤの構成を示す上面模式図である。
【図１９】スペーサレイヤの構成を示す上面模式図である。
【図２０】アクチュエータレイヤの構成を示す上面模式図である。
【図２１】カバーガラスレイヤの構成を示す上面模式図である。
【図２２】カメラモジュールの製造工程の流れを示すフローチャートである。
【図２３】複数のシートの接合工程を模式的に示す図である。
【図２４】複数のシートの接合工程を１つのカメラモジュールに対応する部分に着目して模式的に示す図である。
【図２５】複数のシートの接合工程を１つのカメラモジュールに対応する部分に着目して模式的に示す図である。
【図２６】複数のシートの接合工程を１つのカメラモジュールに対応する部分に着目して模式的に示す図である。
【図２７】複数のシートの接合工程を１つのカメラモジュールに対応する部分に着目して模式的に示す図である。
【図２８】複数のシートの接合工程を１つのカメラモジュールに対応する部分に着目して模式的に示す図である。
【図２９】複数のシートの接合工程を１つのカメラモジュールに対応する部分に着目して模式的に示す図である。
【図３０】複数のシートの接合工程を１つのカメラモジュールに対応する部分に着目して模式的に示す図である。
【図３１】複数のシートの接合工程を１つのカメラモジュールに対応する部分に着目して模式的に示す図である。
【図３２】複数のシートの接合工程を１つのカメラモジュールに対応する部分に着目して模式的に示す図である。
【図３３】複数のシートの接合工程を１つのカメラモジュールに対応する部分に着目して模式的に示す図である。
【図３４】積層部材を切断するダイシング工程を説明するための模式図である。
【図３５】接着状態の解除工程およびカメラモジュールの動作を説明するための図である。
【図３６】接着状態の解除工程およびカメラモジュールの動作を説明するための図である。
【図３７】第２実施形態に係るカメラモジュールの構成を示す断面模式図である。
【図３８】第２実施形態に係る連結板の構成を示す下面模式図である。
【図３９】第２実施形態に係る連結板の構成を示す断面模式図である。
【図４０】第２実施形態に係る仮固定レイヤの構成を示す上面模式図である。
【図４１】第２実施形態に係る仮固定レイヤの構成を示す断面模式図である。
【図４２】連結板と仮固定レイヤとの嵌合状態を示す模式図である。
【図４３】連結板と仮固定レイヤとの嵌合状態が解除された状態を示す模式図である。
【図４４】第１変形例に係るカメラモジュールの構成を示す断面模式図である。
【図４５】第１変形例に係る連結板の構成を示す下面模式図である。
【図４６】第１変形例に係る連結板の構成を示す断面模式図である。
【図４７】第１変形例に係る下弁レイヤの構成を示す上面模式図である。
【図４８】第１変形例に係る下弁レイヤの構成を示す断面模式図である。
【図４９】連結板と下弁レイヤとが押し付けられた状態を示す断面模式図である。
【図５０】連結板と下弁レイヤとが押し付けられた状態を示す側面模式図である。
【図５１】連結板と下弁レイヤとの押付状態が解除された状態を示す模式図である。
【図５２】第２変形例に係るカメラモジュールの構成を示す断面模式図である。
【図５３】第２変形例に係る膜状連結弁レイヤの構成を示す断面模式図である。
【図５４】第２変形例に係る膜状連結弁レイヤの構成を示す側面模式図である。
【図５５】第２変形例に係る膜状連結弁レイヤシートの構成を示す上面模式図である。
【図５６】第２変形例に係る膜状連結弁レイヤの破断工程を示す模式図である。
【図５７】第３変形例に係るカメラモジュールの構成を示す断面模式図である。
【図５８】第３変形例に係る膜状連結弁レイヤの伸長工程を示す模式図である。
【図５９】第３変形例に係る膜状連結弁レイヤの塑性変形後の状態を示す模式図である。
【図６０】第４変形例に係るカメラモジュールの構成を示す断面模式図である。
【図６１】第４変形例に係る抑制構造を示す断面模式図である。
【図６２】第４変形例に係る抑制構造が解除された状態を示す断面模式図である。
【図６３】第５変形例に係るカメラモジュールの構成を示す断面模式図である。
【図６４】第５変形例に係る抑制構造を示す断面模式図である。
【図６５】第５変形例に係る抑制構造が解除された状態を示す断面模式図である。
【図６６】第６変形例に係るカメラモジュールの構成を示す断面模式図である。
【図６７】連結板と仮固定レイヤとが嵌合された状態を示す模式図である。
【図６８】連結板と仮固定レイヤとの嵌合状態が解除された状態を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００３４】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００３５】
＜(1)第１実施形態＞
＜(1-1)撮像装置を搭載した電子機器の概略構成＞
図１は、一実施形態に係るカメラモジュール５００を搭載した電子機器の一例である携帯電話機１００の概略構成を示す模式図である。なお、図１およびその他の図では方位関係を明確化するために、ＸＹＺの相互に直交する３軸が適宜付されている。
【００３６】
図１で示されるように、携帯電話機１００は、折り畳み式の携帯電話機として構成され、第１の筐体２００と、第２の筐体３００と、ヒンジ部４００とを有する。第１の筐体２００および第２の筐体３００は、それぞれ板状の略直方体の形状を有し、各種電子部材を格納する筐体としての役割を有する。
【００３７】
具体的には、第１の筐体２００は、カメラモジュール５００および表示ディスプレイを有し、第２の筐体３００は、携帯電話機１００を電気的に制御する制御部とボタン等の操作部材とを有する。なお、ヒンジ部４００は、第１の筐体２００と第２の筐体３００とを回動可能に接続する。このため、携帯電話機１００は、折り畳み可能となっている。
【００３８】
また、第１の筐体２００には、電流供給ドライバ６００、電気抵抗検出部７００、およびコントラスト検出部８００が搭載されている。電流供給ドライバ６００は、カメラモジュール５００を構成するアクチュエータレイヤ２０（図３）のヒータ部への電流の供給を制御する。電気抵抗検出部７００は、ヒータ部における電気抵抗を検出する。コントラスト検出部８００は、撮像素子レイヤＰＢ（図３）の撮像素子ＩＳ（図６）で得られる画像信号についてコントラストを検出する。
【００３９】
また、第２の筐体３００には、合焦制御部３１０が搭載されている。合焦制御部３１０は、電気抵抗検出部７００およびコントラスト検出部８００からの信号の入力に応じて、電流供給ドライバ６００を介した導電層への電流の供給量を制御することで、カメラモジュール５００の合焦状態を調整するオートフォーカス(ＡＦ)制御を行う。
【００４０】
図２は、携帯電話機１００のうちの第１の筐体２００に着目した断面模式図である。図１および図２で示されるように、カメラモジュール５００は、ＸＹ断面のサイズが約５ｍｍ四方であり、厚さ（Ｚ方向の奥行き）が数ｍｍ程度である小型の撮像装置、所謂マイクロカメラユニット（ＭＣＵ）となっている。
【００４１】
以下、カメラモジュール５００の構成、カメラモジュール５００の製造方法、およびカメラモジュール５００の動作について順次に説明する。
【００４２】
＜(1-2)カメラモジュールの構成＞
カメラモジュール５００は、例えば、微細な素子を集積させるために使用される所謂マイクロマシニング(micromachining)技法によって製作される。該技法には、例えば、半導体加工技術の一種としてのＭＥＭＳ(Micro Electro Mechanical Systems)等が含まれる。
【００４３】
＜(1-2-1)カメラモジュールの概略構成＞
図３は、カメラモジュール５００の構成を示す側面模式図である。
【００４４】
図３で示されるように、撮像素子レイヤＰＢ、カバーガラスレイヤ１０、アクチュエータレイヤ２０、スペーサレイヤ３０、第２平行ばねレイヤ４０、間隔板レイヤ５０、第１平行ばねレイヤ６０、仮固定レイヤ７０、およびレンズ群レイヤ８０からなる９層がこの順番で積層されて形成される。ここで、各層ＰＢ，１０〜８０は、±Ｚ方向の面において略同一の矩形状（ここでは、一辺が約５ｍｍの正方形）の外形を有する。
【００４５】
カメラモジュール５００では、仮固定レイヤ７０と第１平行ばねレイヤ６０との間を除いて、相互に隣接して積層される各２つのレイヤの間が、樹脂によって接合される。なお、後述するが、仮固定レイヤ７０とレンズ群レイヤ８０との間については、カメラモジュール５００の製造工程の途中までは相互に接着される。
【００４６】
また、カバーガラスレイヤ１０、アクチュエータレイヤ２０、スペーサレイヤ３０、第２平行ばねレイヤ４０、間隔板レイヤ５０、第１平行ばねレイヤ６０、仮固定レイヤ７０、およびレンズ群レイヤ８０からなる８層が、レンズ群レイヤ８０を移動させる移動機構ＷＢを構成する。
【００４７】
そして、カメラモジュール５００では、アクチュエータレイヤ２０によって移動の対象となる部分（移動対象部）としてのレンズ群レイヤ８０に対して駆動力が付与され、該レンズ群レイヤ８０が光軸ＰＬに沿った方向（ここでは、±Ｚ方向）に移動される。そして、この動作により、撮像素子レイヤＰＢの撮像素子ＩＳ（図６）とレンズ群レイヤ８０との距離が変更され、カメラモジュール５００におけるＡＦ制御が実現される。
【００４８】
ここで、カメラモジュール５００の構成について具体的に説明する。
【００４９】
図４は、カメラモジュール５００の移動機構ＷＢの構成を示す分解斜視図であり、図５は、カメラモジュール５００を上面側（ここでは、＋Ｚ側）から見たカメラモジュールの構成を示す上面模式図である。また、図６は、カメラモジュール５００の切断面VI−VIにて矢印方向に見たカメラモジュール５００の断面図であり、図７は、カメラモジュール５００の切断面VII−VIIにて矢印方向に見たカメラモジュール５００の断面図である。
【００５０】
図４〜図７で示されるように、レンズ群レイヤ８０は、レンズ群８２と該レンズ群８２の裏面側（−Ｚ側）に設けられる連結板８１とを有する。連結板８１では、該連結板８１の対向する２つの角部の内縁近傍に−Ｚ方向に延設される突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂが設けられるとともに、該連結板８１の対向する他の２つの角部の内縁近傍に−Ｚ方向に延設される突起部８１Ｔｃ，８１Ｔｄが設けられる。２つの突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂは、他の２つの突起部８１Ｔｃ，８１ＴｄよりもＺ軸に沿った長距離に渡って延設される。
【００５１】
詳細には、図６で示されるように、２つの突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂは、スペーサレイヤ３０付近まで延設され、２つの突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂの先端部が、アクチュエータレイヤ２０の可動部２０ａ，２０ｂ（図２０）の先端部（自由端）近傍に対して微小な間隙を有して配置される。そして、２つの突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂのうち、先端部よりも若干＋Ｚ側の部分が、第２平行ばねレイヤ４０の弾性部４１（図１８）に対してそれぞれ接着剤ＢＤによって接着される。このため、レンズ群レイヤ８０が、連結板８１を介して、支持部としての弾性部４１によって支持される。
【００５２】
また、図７で示されるように、２つの突起部８１Ｔｃ，８１Ｔｄは、第１平行ばねレイヤ６０付近まで延設され、該２つの突起部８１Ｔｃ，８１Ｔｄの先端部およびその近傍の部分が、第１平行ばねレイヤ６０の弾性部６１（図１６）に対してそれぞれ接着剤ＢＤによって接着される。このため、レンズ群レイヤ８０が、連結板８１を介して、支持部としての弾性部６１によって支持される。
【００５３】
このような移動機構ＷＢでは、可動部２０ａ，２０ｂが変形することで、該可動部２０ａ，２０ｂの先端部（自由端）付近が、２つの突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂの先端部と当接し、該２つの突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂを介して、レンズ群レイヤ８０に対して＋Ｚ方向に力が付与される。
【００５４】
そして、カバーガラスレイヤ１０、アクチュエータレイヤ２０の枠体２０ｆ（図２０）、スペーサレイヤ３０、第２平行ばねレイヤ４０の枠体４０ｆ（図１８）、間隔板レイヤ５０、第１平行ばねレイヤ６０の枠体６０ｆ（図１６）、および仮固定レイヤ７０が、第１の筐体２００に対して固定された基準の部分（基準部）としての固定部とされ、該固定部に対して、レンズ群レイヤ８０が、相対的に移動する。
【００５５】
つまり、移動機構ＷＢでは、第１および第２平行ばねレイヤ４０，６０にそれぞれ設けられる弾性部４１，６１によって支持されるレンズ群レイヤ８０が、固定部に対して相対的に移動する。そして、この移動機構によれば、レンズ群レイヤ８０が、固定部を基準とした所定の値域範囲の距離において移動可能となっている。換言すれば、レンズ群レイヤ８０と撮像素子ＩＳとの離隔距離が、所定の値域範囲内で変更可能となっている。なお、レンズ群レイヤ８０が固定部に対して相対的に移動する際には、弾性部４１，６１が略同一の変形を行うため、レンズ群レイヤ８０の光軸ＰＬが傾かない。
【００５６】
また、固定部は、カバーガラスレイヤ１０、枠体２０ｆ，４０ｆ，６０ｆ、スペーサレイヤ３０、間隔板レイヤ５０、および仮固定レイヤ７０によって囲まれて形成される空間（内部空間）を有する。そして、該内部空間には、移動機構ＷＢのうちのレンズ群レイヤ８０の高精度な移動を実現するための弾性部４１，６１および可動部２０ａ，２０ｂ、ならびに被写体から撮像素子ＩＳに至る光路が配置される。
【００５７】
＜(1-2-2)各機能層の構成＞
＜(1-2-2-1)レンズ群レイヤ＞
レンズ群レイヤ８０は、複数の該レンズ群レイヤ８０が所定ルールに従ってマトリックス状に配列されたウエハ状のシート（レンズ群レイヤシート）Ｕ８０（図２３）の形態で製作される。また、該レンズ群レイヤ８０は、少なくとも２枚以上の光学レンズが重ね合わされて構成される。なお、レンズ群レイヤ８０を構成する光学レンズの数については、撮像素子ＩＳの有効画素数等に応じて適宜増減されるが、本実施形態に係るレンズ群レイヤ８０は、２つの光学レンズが重ね合わされた構成を有する。
【００５８】
図８は、レンズ群レイヤ８０に含まれるレンズ群８２の構成例を示す断面模式図である。図９は、レンズ群８２の構成例を示す上面模式図である。図１０は、レンズ群８２の構成例を示す裏面模式図である。
【００５９】
図８〜図１０で示されるように、レンズ群８２は、光学レンズＧ１を有する第１レンズ構成層ＬＹ１と、光学レンズＧ２を有する第２レンズ構成層ＬＹ２とが、スペーサ層ＲＢを介して積層されて構成される。
【００６０】
第１レンズ構成層ＬＹ１は、複数の該第１レンズ構成層ＬＹ１が所定ルールに従ってマトリックス状に配列されたウエハ状のシート（第１レンズ構成層シート）の形態で製作される。
【００６１】
第２レンズ構成層ＬＹ２は、複数の該第２レンズ構成層ＬＹ２が所定ルールに従ってマトリックス状に配列されたウエハ状のシート（第２レンズ構成層シート）の形態で製作される。
【００６２】
スペーサ層ＲＢは、樹脂等によって形成され、外縁および内縁が矩形を有する環状の部材である。そして、該スペーサ層ＲＢは、複数のスペーサ層ＲＢが所定ルールに従ってマトリックス状に配列されたウエハ状のシート（スペーサ層シート）の形態で製作される。換言すれば、該スペーサ層シートでは、板状の樹脂において貫通する矩形の中空部が所定ルールに従ってマトリックス状に配列された形態を有する。
【００６３】
第１および第２レンズ構成層シートは、同様な方法によって製作される。このため、ここで、第１レンズ構成層ＬＹ１の製作方法を例にとって説明する。
【００６４】
図１１は、第１レンズ構成層ＬＹ１すなわち第１レンズ構成層シートの製作方法を示す模式図であり、次の工程(ｉ)〜(iv)が順次に行われることで、第１レンズ構成層シートが製作される。
【００６５】
(ｉ)ウエハ形状の基板８２ＢＳが準備される。該基板８２ＢＳの素材としては、テンパックス（登録商標）等のガラス材料やＰＭＭＡ等の樹脂等が挙げられる。
【００６６】
(ii)光学レンズＧ１の上半分（レンズ上部ＧＰ１）の形状に相当する凹み部が下面において所定ルールに従ってマトリックス状に配列された樹脂型８２ＣＡと、光学レンズＧ１の下半分（レンズ下部ＧＰ２）の形状に相当する凹み部が上面において所定ルールに従ってマトリックス状に配列された樹脂型８２ＣＢとが準備される。なお、樹脂型８２ＣＡ，８２ＣＢは、透明な樹脂等によって形成されるが、ガラス製のガラス型であっても良い。
【００６７】
(iii)基板８２ＢＳの上面および下面のそれぞれに透明度の高いアクリル系またはエポキシ系の紫外線(ＵＶ)硬化樹脂が塗布され、上方から樹脂型８２ＣＡが所定の圧力で押し当てられるとともに、下方から樹脂型８２ＣＢが所定の圧力で押し当てられる。具体的には、図１１で示されるように、基板８２ＢＳが、上下から樹脂型８２ＣＡ，８２ＣＢによって挟まれた状態となる。このとき、レンズ上部ＧＰ１およびレンズ下部ＧＰ２の形状がそれぞれ形成される。
【００６８】
(iv)紫外線が照射されることで、ＵＶ硬化樹脂が硬化し、レンズ上部ＧＰ１およびレンズ下部ＧＰ２がそれぞれ形成され、第１レンズ構成層シートが形成される。
【００６９】
また、スペーサ層シートは、樹脂を用いた成型、または板状の樹脂の打ち抜き等によって形成される。
【００７０】
図１２は、連結板８１の構成例を示す上面模式図である。また、図１３は、連結板８１の切断面XIII−XIIIにて矢印方向に見た連結板８１の断面図であり、図１４は、連結板８１の切断面XIV−XIVにて矢印方向に見た連結板８１の断面図である。
【００７１】
連結板８１は、枠体８１ｆと、突設部８１ａ〜８１ｄと、突起部８１Ｔａ〜８１Ｔｄとを有する。
【００７２】
枠体８１ｆは、中空部８１ｈを形成する矩形環状の板状の部分である。また、突設部８１ａ〜８１ｄは、枠体８１ｆの４隅において中空部８１ｈ側に向けて同様に突設される板状の部分である。更に、突起部８１Ｔａ〜８１Ｔｄは、各突設部８１ａ〜８１ｄの先端にそれぞれ設けられる。
【００７３】
具体的には、連結板８１の一方の対角線上に位置する対向する２隅付近には、一対の同様な形状を有する突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂが設けられる。また、連結板８１の他方の対角線上に位置する対向する２隅付近には、一対の同様な形状を有する突起部８１Ｔｃ，８１Ｔｄが設けられる。
【００７４】
また、突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂは、突起部８１Ｔｃ，８１Ｔｄよりも、Ｚ方向に沿った長距離に渡って延設される。そして、図６で示されたように、２つの突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂが、第２平行ばねレイヤ４０の弾性部４１に対して接合されるとともに、図７で示されたように、２つの突起部８１Ｔｃ，８１Ｔｄが、第１平行ばねレイヤ６０の弾性部６１に対して接合される。
【００７５】
また、２つの突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂの先端部は、第２平行ばね４０の弾性部４１の空隙部を突き抜けて突出しており、アクチュエータレイヤ２０を構成する可動部２０ａ，２０ｂの先端部（自由端）近傍まで延設される。
【００７６】
上記構成を有する連結板８１は、複数の連結板８１が所定ルールに従ってマトリックス状に配列されたウエハ状のシート（連結板シート）の形態で製作される。該連結板シートは、例えば、ステンレス製の金属板に対してプレス加工が施されることで製作される。なお、各突起部８１Ｔａ〜８１Ｔｄは、例えば、曲げ加工によって形成される。
【００７７】
なお、第１および第２レンズ構成層シート、スペーサ層シート、ならびに連結板シートには、２箇所以上の所定の位置にアライメントのためのマーク（アライメントマーク）が付される。
【００７８】
そして、スペーサ層シートが第１レンズ構成層シートと第２レンズ構成層シートとによって挟まれるように積層されるとともに、連結板シートが更に積層される。これにより、レンズ群レイヤシートＵ８０（図２３）が形成される。
【００７９】
具体的には、第１レンズ構成層シート、スペーサ層シート、第２レンズ構成層シート、および連結板シートについて、マスクアライナー等が用いられて、それぞれのアライメントマークが基準とされ、この順番で位置合わせが行われるとともに相互に接合される。
【００８０】
各シートに係る接合方法としては、スペーサ層ＲＢの上面および下面、ならびに連結板８１の上面にＵＶ硬化樹脂からなる硬化層（ＵＶ硬化層）が設けられ、紫外線の露光によって接合される方法等が採用される。
【００８１】
なお、接合される各表面に不活性ガスのプラズマが照射され、該各表面が活性化された状態で張り合わされて接合される方法（表面活性化接合法）等が採用されても良い。
【００８２】
このような接合により、第１レンズ構成層シート、スペーサ層シート、第２レンズ構成層シート、および連結板シートがこの順番で積層されたシート（レンズ群レイヤシート）Ｕ８０が形成される。
【００８３】
なお、カメラモジュール５００に絞りを形成する場合は、シャドウマスクを用いて、光学レンズＧ２を含む第２レンズ構成層ＬＹ２に対して遮光材料の薄膜が形成される方法が考えられる。また、別途黒色に色付けされた樹脂製の絞りレイヤ等が、レンズ群レイヤ８０に追加されても良い。
【００８４】
＜(1-2-2-2)仮固定レイヤ＞
図１５は、仮固定レイヤ７０の構成例を示す上面模式図である。
【００８５】
仮固定レイヤ７０は、外縁および内縁が矩形を有する環状の部材であり、上面側（＋Ｚ側）の接着力が加熱に応じて減じられるとともに、下面側（−Ｚ側）の接着力が加熱に拘わらず殆ど減じられないテープを用いて構成される。なお、加熱に応じて接着力が減じるテープとしては、例えば、日東電工社製のリバアルファ（登録商標）等が挙げられる。
【００８６】
なお、仮固定レイヤ７０の裏面（−Ｚ側の面）は、第１平行ばねレイヤ６０の枠体６０ｆ（図１６）に接着される。また、仮固定レイヤ７０の表面（＋Ｚ側の面）とレンズ群レイヤ８０の裏面（−Ｚ側の面）との間の接着は、既に解除された状態となっている。
【００８７】
また、仮固定レイヤ７０は、複数の仮固定レイヤ７０が所定ルールに従ってマトリックス状に配列されたウエハ状のシート（仮固定レイヤシート）Ｕ７０（図２３）の形態で製作される。換言すれば、該仮固定レイヤシートＵ７０は、貫通する矩形の中空部７０ｈが所定ルールに従ってマトリックス状に配列された形態を有する。
【００８８】
なお、該仮固定レイヤシートＵ７０は、所定のテープに対して金型を用いたプレス加工が施されることで製作可能である。
【００８９】
＜(1-2-2-3)第１平行ばねレイヤ＞
図１６は、第１平行ばねレイヤ６０の構成を示す上面模式図である。
【００９０】
図１６で示されるように、第１平行ばねレイヤ６０は、枠体６０ｆと、弾性部６１とを有する弾性部材であり、ばね機構を形成する層（弾性層）である。第１平行ばねレイヤ６０の素材としては、例えば、ステンレス等の金属材料またはりん青銅等が採用される。
【００９１】
枠体６０ｆは、第１平行ばねレイヤ６０の外周部を構成する矩形環状であり且つ表裏面が略平行な板状の部分である。なお、枠体６０ｆの表面（＋Ｚ側の面）が、仮固定レイヤ７０の裏面（−Ｚ側の面）に接合されるとともに、枠体６０ｆの裏面（−Ｚ側の面）が、間隔板レイヤ５０の枠体５０ｆ（図１７）の上面（＋Ｚ側の面）に接合される。
【００９２】
弾性部６１は、枠体６０ｆに対する接続部６０Ｃｃ，６０Ｃｄと、突起部８１Ｔｃ，８１Ｔｄに対する接着部６０Ｓｃ，６０Ｓｄとを有し、接続部６０Ｃｃ，６０Ｃｄと接着部６０Ｓｃ，６０Ｓｄとが板状部材６１ｃ，６１ｄで繋がれる。また、接着部６０Ｓｃ，６０Ｓｄは、それぞれＵ字状の内縁を有し、該内縁によって囲まれる空間領域６０Ｔｃ，６０Ｔｄをそれぞれ形成する。
【００９３】
そして、接着部６０Ｓｃの空間領域６０Ｔｃに突起部８１Ｔｃの先端部近傍が配置されるとともに、該突起部８１Ｔｃの先端部近傍と接着部６０Ｓｃとが接着剤を用いて接着される。また、接着部６０Ｓｄの空間領域６０Ｔｄに突起部８１Ｔｄの先端部近傍が配置されるとともに、該突起部８１Ｔｄの先端部近傍と接着部６０Ｓｄとが接着剤を用いて接着される。
【００９４】
接続部６０Ｃｃ，６０Ｃｄは、枠体６０ｆの一方の対角線上の対向する２隅の内側に設けられる。一方、該枠体６０ｆの他方の対角線上の対向する２隅の内側には、該枠体６０ｆと弾性部６１との間に中空部６０ｈａ，６０ｈｂがそれぞれ形成される。また、弾性部６１の内側には、被写体からの光が通る部分（光路）を構成する中空部６０ｈが形成される。
【００９５】
ここでは、図４で示されるように、突起部８１Ｔａが、中空部６０ｈａを通ることで、第１平行ばねレイヤ６０と接触することなく、アクチュエータレイヤ２０の可動部２０ａの近傍まで延設される。また、突起部８１Ｔｂが、中空部６０ｈｂを通ることで、第１平行ばねレイヤ６０と接触することなく、アクチュエータレイヤ２０の可動部２０ｂの近傍まで延設される。
【００９６】
上記構成を有する第１平行ばねレイヤ６０では、レンズ群レイヤ８０が枠体６０ｆに対して＋Ｚ方向に移動されるにつれて、接続部６０Ｃｃ，６０Ｃｄと接着部６０Ｓｃ，６０ＳｄとのＺ方向の位置がずれ、板状部材６１ｃ，６１ｄが曲げ変形（たわみ変形）を生じて湾曲する。つまり、第１平行ばねレイヤ６０は、板状部材６１ｃ，６１ｄの弾性変形によって、レンズ群レイヤ８０の光軸方向（±Ｚ方向）に弾性変形可能であり、ばね機構として機能する。
【００９７】
このような第１平行ばねレイヤ６０は、複数の第１平行ばねレイヤ６０が所定ルールに従ってマトリックス状に配列されたウエハ状のシート（第１平行ばねレイヤシート）Ｕ６０（図２３）の形態で製作される。
【００９８】
なお、該第１平行ばねレイヤシートＵ６０は、例えば、ステンレスまたはりん青銅等の金属板上に、フォトリソグラフィ技術で第１平行ばねレイヤ６０の形状がパターンニングされ、塩化鉄系のエッチング液に浸すウエットエッチングが施されることで形成される。
【００９９】
＜(1-2-2-4)間隔板レイヤ＞
図１７は、間隔板レイヤ５０の構成を示す上面模式図である。
【０１００】
間隔板レイヤ５０は、表裏面が略平行な板状の枠体５０ｆによって構成され、枠体５０ｆは、内側に中空部５０ｈを形成する。
【０１０１】
枠体５０ｆは、一方の対角線上に位置する対向する２隅の部分において枠の幅が内側に広がっているとともに、該２隅の内側の部分にＺ軸に沿った溝部５０ｋａ，５０ｋｂを有する。そして、枠体５０ｆの表面（＋Ｚ側の面）が、第１平行ばねレイヤ６０の裏面（−Ｚ側の面）に接合されるとともに、枠体５０ｆの裏面（−Ｚ側の面）が、第２平行ばねレイヤ４０の枠体４０ｆ（図１８）の表面（＋Ｚ側の面）に接合される。
【０１０２】
また、図４で示されるように、突起部８１Ｔａが、溝部５０ｋａが形成する空間を通ることで、間隔板レイヤ５０と接触することなく、アクチュエータレイヤ２０の可動部２０ａの近傍まで延設される。また、突起部８１Ｔｂが、溝部５０ｋｂが形成する空間を通ることで、間隔板レイヤ５０と接触することなく、アクチュエータレイヤ２０の可動部２０ｂの近傍まで延設される。
【０１０３】
なお、携帯電話機１００が地面に落下される際等、カメラモジュール５００に対して強い衝撃が与えられる場合には、固定部に対して固定されていないレンズ群レイヤ８０に対してある程度大きな慣性力が働く。しかしながら、本実施形態では、突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂが、溝部５０ｋａ，５０ｋｂの内壁に引っ掛かることで、第１および第２平行ばねレイヤ４０，６０が、塑性変形してしまうような不具合の発生が防止される。
【０１０４】
また、間隔板レイヤ５０は、複数の間隔板レイヤ５０が所定ルールに従ってマトリックス状に配列されたウエハ状のシート（間隔板レイヤシート）Ｕ５０（図２３）の形態で製作される。換言すれば、該間隔板レイヤシートＵ５０は、貫通する中空部５０ｈが所定ルールに従ってマトリックス状に配列された形態を有する。
【０１０５】
上記構成を有する間隔板レイヤシートＵ５０は、例えば、樹脂材料やガラス等によって構成される。ここで、樹脂材料によって間隔板レイヤシートＵ５０が構成される場合には、例えば、金属金型が用いられたプレスや射出成型等によって間隔板レイヤシートＵ５０が形成される。
【０１０６】
なお、カーボンブラックが混練された樹脂材料が用いられて、間隔板レイヤシートＵ５０が作製されることで、不要な光が遮られるとともに、電磁波の遮断も可能となる。
【０１０７】
＜(1-2-2-5)第２平行ばねレイヤ＞
図１８は、第２平行ばねレイヤ４０の構成を示す上面模式図である。
【０１０８】
図１８で示されるように、第２平行ばねレイヤ４０は、第１平行ばねレイヤ６０（図１６）と比較して、Ｚ軸に平行なレンズ群レイヤ８０の光軸ＰＬを中心として、９０度回転された構成を有する。
【０１０９】
具体的には、第２平行ばねレイヤ４０は、枠体４０ｆと、弾性部４１とを有する弾性部材であり、ばね機構を形成する層（弾性層）となっている。
【０１１０】
枠体４０ｆは、第２平行ばねレイヤ４０の外周部を構成する矩形環状であり且つ表裏面が略平行な板状の部分である。なお、枠体４０ｆの表面（＋Ｚ側の面）が、間隔板レイヤ５０の裏面（−Ｚ側の面）に接合されるとともに、枠体４０ｆの裏面（−Ｚ側の面）が、スペーサレイヤ３０の枠体３０ｆ（図１９）の表面（＋Ｚ側の面）に接合される。
【０１１１】
弾性部４１は、枠体４０ｆに対する接続部４０Ｃａ，４０Ｃｂと、突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂに対する接着部４０Ｓａ，４０Ｓｂとを有し、接続部４０Ｃａ，４０Ｃｂと接着部４０Ｓａ，４０Ｓｂとが板状部材４１ａ，４１ｂで繋がれる。また、接着部４０Ｓａ，４０Ｓｂは、それぞれＵ字状の内縁を有し、該内縁によって囲まれる空間領域４０Ｔａ，４０Ｔｂをそれぞれ形成する。
【０１１２】
そして、接着部４０Ｓａの空間領域４０Ｔａに突起部８１Ｔａが配置されるとともに、該突起部８１Ｔａと接着部４０Ｓａとが接着剤を用いて接着される。また、接着部４０Ｓｂの空間領域４０Ｔｂに突起部８１Ｔｂが配置されるとともに、該突起部８１Ｔｂと接着部４０Ｓｂとが接着剤を用いて接着される。
【０１１３】
接続部４０Ｃａ，４０Ｃｂは、枠体４０ｆの一方の対角線上の対向する２隅の内側に設けられる。一方、該枠体４０ｆの他方の対角線上の対向する２隅の内側には、該枠体４０ｆと弾性部４１との間に中空部４０ｈｃ，４０ｈｄがそれぞれ形成される。また、弾性部４１の内側には、被写体からの光が通る部分（光路）を構成する中空部４０ｈが形成される。
【０１１４】
ここでは、図４で示されるように、突起部８１Ｔａが、接着部４０Ｓａの空間領域４０Ｔａを通り、該突起部８１Ｔａの先端部が、アクチュエータレイヤ２０の可動部２０ａの近傍まで延設される。また、突起部８１Ｔｂが、接着部４０Ｓｂの空間領域４０Ｔｂを通り、該突起部８１Ｔｂの先端部が、アクチュエータレイヤ２０の可動部２０ｂの近傍まで延設される。
【０１１５】
上記構成を有する第２平行ばねレイヤ４０では、レンズ群レイヤ８０が枠体４０ｆに対して＋Ｚ方向に移動されるにつれて、接続部４０Ｃａ，４０Ｃｂと接着部４０Ｓａ，４０ＳｂとのＺ方向の位置がずれ、板状部材４１ａ，４１ｂが曲げ変形（たわみ変形）を生じて湾曲する。つまり、第２平行ばねレイヤ４０は、板状部材４１ａ，４１ｂの弾性変形によって、レンズ群レイヤ８０の光軸方向（±Ｚ方向）に弾性変形可能であり、ばね機構として機能する。
【０１１６】
このような第２平行ばねレイヤ４０は、第１平行ばねレイヤ６０と同様に、複数の第２平行ばねレイヤ４０が所定ルールに従ってマトリックス状に配列されたウエハ状のシート（第２平行ばねレイヤシート）Ｕ４０（図２３）の形態で製作される。
【０１１７】
なお、該第２平行ばねレイヤシートＵ４０は、第１平行ばねレイヤシートＵ６０と同様な方法で製作される。
【０１１８】
＜(1-2-2-6)スペーサレイヤ＞
図１９は、スペーサレイヤ３０の構成を示す上面模式図である。
【０１１９】
スペーサレイヤ３０は、表裏面が略平行な板状の枠体３０ｆによって構成される。
【０１２０】
枠体３０ｆは、外縁および内縁が矩形を有する環状で且つ板状の部材であり、内側に中空部３０ｈを形成する。なお、枠体３０ｆの表面（＋Ｚ側の面）が、第２平行ばねレイヤ４０の枠体４０ｆの裏面（−Ｚ側の面）に接合されるとともに、枠体３０ｆの裏面（−Ｚ側の面）が、アクチュエータレイヤ２０の枠体２０ｆ（図２０）の表面（＋Ｚ側の面）に接合される。
【０１２１】
そして、スペーサレイヤ３０は、環境温度の変化等といった環境条件に応じてアクチュエータレイヤ２０の可動部２０ａ，２０ｂの形状が変化する際に、レンズ群レイヤ８０が不要に移動される現象を抑える目的で設けられる。
【０１２２】
具体的には、スペーサレイヤ３０の存在により、室温（例えば、２０℃）において、突起部８１Ｔａの先端部と可動部２０ａとが若干離隔されるとともに、突起部８１Ｔｂの先端部と可動部２０ｂとが若干離隔される。そして、ある程度の環境温度の上昇時には、可動部２０ａ，２０ｂは、若干変形するものの、突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂに当接しない。
【０１２３】
また、スペーサレイヤ３０は、複数のスペーサレイヤ３０が所定ルールに従ってマトリックス状に配列されたウエハ状のシート（スペーサレイヤシート）Ｕ３０（図２３）の形態で製作される。換言すれば、該スペーサレイヤシートＵ３０は、貫通する矩形の中空部３０ｈが所定ルールに従ってマトリックス状に配列された形態を有する。
【０１２４】
なお、該スペーサレイヤシートＵ３０は、例えば、ステンレス製の板に対して金型を用いたプレス加工等が施されることで製作される。
【０１２５】
＜(1-2-2-7)アクチュエータレイヤ＞
図２０は、アクチュエータレイヤ２０の構成を示す上面模式図である。
【０１２６】
アクチュエータレイヤ２０は、所謂ユニモルフ型のアクチュエータとしての機能を有する。該アクチュエータレイヤ２０では、熱膨張率の異なる２種以上の金属薄板が貼り合わされた所謂バイメタルが採用されることで、アクチュエータの機能が付与される。
【０１２７】
具体的には、図２０で示されるように、アクチュエータレイヤ２０は、枠体２０ｆと、可動部２０ａ，２０ｂとを有する。
【０１２８】
枠体２０ｆは、中空部２０ｈを形成する矩形環状の板状の部分である。
【０１２９】
可動部２０ａは、枠体２０ｆの４辺をそれぞれ構成する４枚の板状部のうち、＋Ｙ側に位置する板状部材の＋Ｘ側の端部から若干内側に入った部分に、一端部（固定端）が固定される板状の部分である。そして、可動部２０ａは、固定端から−Ｙ方向に直線的に延設される。
【０１３０】
可動部２０ｂは、可動部２０ａと同様に、枠体２０ｆの４辺をそれぞれ構成する４枚の板状部のうち、−Ｙ側に位置する板状部材の−Ｘ側の端部から若干内側に入った部分に、一端部（固定端）が固定される板状の部分である。そして、可動部２０ｂは、固定端から＋Ｙ方向に直線的に延設される。
【０１３１】
また、可動部２０ａ，２０ｂは、バイメタルの構成をそれぞれ有するとともに、金属の配線パターンによって形成されたヒータ部をそれぞれ有する。該ヒータ部は、例えば、枠体２０ｆに設けられる電極部と、カメラモジュール５００の側面に形成される薄膜状の配線とを順次に介して、撮像素子レイヤＰＢに対して電気的に接続され、更に、電流供給ドライバ６００（図１）に対して電気的に接続される。
【０１３２】
このような構成を有するアクチュエータレイヤ２０では、可動部２０ａ，２０ｂに設けられるヒータ部に対する電流の付与により、該ヒータ部がジュール熱に基づいて発熱する。このとき、可動部２０ａ，２０ｂは、加熱され、該加熱に応じて変形する。
【０１３３】
詳細には、可動部２０ａ，２０ｂが加熱されれば加熱されるほど、可動部２０ａ，２０ｂの自由端２０Ｔａ，２０Ｔｂがそれぞれ上方（＋Ｚ方向）に変位するように、可動部２０ａ，２０ｂがそれぞれ湾曲する。
【０１３４】
このような挙動により、アクチュエータレイヤ２０では、可動部２０ａ，２０ｂにおいて、加熱に応じた変形によって駆動力が発生する。
【０１３５】
また、アクチュエータレイヤ２０は、複数のアクチュエータレイヤ２０が所定ルールに従ってマトリックス状に配列されたウエハ状のシート（アクチュエータレイヤシート）Ｕ２０（図２３）の形態で製作される。
【０１３６】
なお、該アクチュエータレイヤシートＵ２０は、例えば、フォトリソグラフィ技術が採用され、基板上に対するレジスト膜のパターンニングと、蒸着またはスパッタリングと、エッチングとが適宜行われることで製作される。
【０１３７】
＜(1-2-2-8)カバーガラスレイヤ＞
図２１は、カバーガラスレイヤ１０の構成を示す上面模式図である。
【０１３８】
図２１で示されるように、カバーガラスレイヤ１０は、外縁が矩形であり且つ透明のガラス板によって構成される。なお、カバーガラスレイヤ１０の外縁近傍の外周部の上面が、アクチュエータレイヤ２０の枠体２０ｆの裏面に対して接合される。
【０１３９】
また、カバーガラスレイヤ１０は、複数のカバーガラスレイヤ１０に相当する部分が所定ルールに従ってマトリックス状に配列されたウエハ状のシート（カバーガラスレイヤシート）Ｕ１０（図２３）の形態で製作される。但し、該カバーガラスレイヤシートＵ１０については、単なるガラス板であれば良い。
【０１４０】
＜(1-3)カメラモジュールの製造＞
図２２は、カメラモジュール５００の製造工程の流れを示すフローチャートである。
【０１４１】
図２２で示されるように、(工程Ａ)複数のシートの準備（ステップＳ１）、(工程Ｂ)複数のシートの接合（ステップＳ２）、(工程Ｃ)ダイシング（ステップＳ３）、および(工程Ｄ)接着状態の解除（ステップＳ４）が順次に行われることで、カメラモジュール５００が製造される。以下、各工程について説明する。
【０１４２】
＜(1-3-1)複数のシートの準備（工程Ａ）＞
図２３で示されるように、９枚のシートＵＰＢ，Ｕ１０〜Ｕ８０が準備される。ここでは、各シートが、円盤状である例を示して説明する。
【０１４３】
８枚のシートＵ１０〜Ｕ８０の製作方法については、上記各機能層の構成に係る説明中で述べた通りである。なお、撮像素子レイヤシートＵＰＢについては、複数の撮像素子レイヤＰＢに相当する部分が所定ルールに従ってマトリックス状に配列されたウエハ状のシートの形態で製作される。該撮像素子レイヤシートＵＰＢは、例えば、フォトリソグラフィ技術等を用いて形成される。
【０１４４】
また、工程Ａで準備される９枚のシートＵＰＢ，Ｕ１０〜Ｕ８０には、シートの接合工程における位置合わせのためのマーク（アライメントマーク）が、略同一の位置に付される。アライメントマークとしては、例えば、十字等のマーク等が挙げられ、各シートＵＰＢ，Ｕ１０〜Ｕ８０の上面の外周部近傍であって比較的離隔した２箇所以上の位置に設けられることが好ましい。
【０１４５】
＜(1-3-2)複数のシートの接合（工程Ｂ）＞
図２３で示されるように、工程Ａで準備された９枚のシートＵＰＢ，Ｕ１０〜Ｕ８０が、順次に積層されて接合される。
【０１４６】
図２４〜図３３は、複数のシートＵＰＢ，Ｕ１０〜Ｕ８０の接合工程を１つのカメラモジュール５００に相当する部分に着目して模式的に示す図である。なお、図２４〜図３３では、図６に対応するカメラモジュール５００の断面に相当する各工程における構成が示されている。また、図２４〜図３３では、実際の工程に即して、図６と比較して、各レイヤの上下が反転されて示されている。
【０１４７】
本工程Ｂでは、下記工程(Ｉ)〜(XI)が順次に行われることで、複数のシートＵＰＢ，Ｕ１０〜Ｕ８０の接合が行われる。以下、図２４〜図３３を参照しつつ、下記工程(Ｉ)〜(XI)について説明する。
【０１４８】
(Ｉ)図２４で示されるように、組立用の治具ＪＧが準備される。該治具ＪＧは、各カメラモジュール５００に相当する部分が形成される位置に、それぞれレンズ群レイヤ８０に相当する部分が載置される環状で且つ上面が平坦な突起部がそれぞれ設けられる。
【０１４９】
(II)図２５で示されるように、治具ＪＧ上に、レンズ群レイヤ８０に相当する部分が配列されたレンズ群レイヤシートＵ８０が、位置決めされて載置される。ここでは、レンズ群レイヤ８０の外形に基づいて位置決めがなされても良いし、レンズ群レイヤシートＵ８０のアライメントマークが用いられて位置決めされても良いし、レンズ群レイヤシートＵ８０の外形の特徴に応じて位置決めされても良い。
【０１５０】
(III)図２６で示されるように、レンズ群レイヤシートＵ８０上に、仮固定レイヤシートＵ７０が、位置決めされて載置される。詳細には、各レンズ群レイヤ８０に相当する部分の直上に、仮固定レイヤ７０に相当する部分がそれぞれ配置される。このとき、仮固定レイヤシートＵ７０が、上方（−Ｚ方向）から押圧されて、レンズ群レイヤシートＵ８０に対して接着される。
【０１５１】
(IV)図２７で示されるように、仮固定レイヤシートＵ７０上に、第１平行ばねレイヤシートＵ６０が、位置決めされて載置される。詳細には、各仮固定レイヤ７０に相当する部分の直上に、第１平行ばねレイヤ６０に相当する部分がそれぞれ配置される。このとき、第１平行ばねレイヤシートＵ６０が、上方（−Ｚ方向）から押圧されて、仮固定レイヤシートＵ７０に対して接着される。なお、仮固定レイヤシートＵ７０は、例えば、１ＭＰａ程度の押圧によって接着が可能である。また、この時点で、第１平行ばねレイヤシートＵ６０の各接着部６０Ｓｃの空間領域６０Ｔｃに突起部８１Ｔｃの先端部近傍が配置されるとともに、各接着部６０Ｓｄの空間領域６０Ｔｄに突起部８１Ｔｄの先端部近傍が配置される。
【０１５２】
(Ｖ)第１平行ばねレイヤシートＵ６０の各枠体６０ｆに相当する部分の一主面（ここでは、枠体６０ｆの−Ｚ側の面）上に、ＵＶ硬化層が設けられ、図２８で示されるように、第１平行ばねレイヤシートＵ６０上に、間隔板レイヤシートＵ５０が、位置決めされて載置される。そして、紫外線の露光によって、各第１平行ばねレイヤ６０に相当する部分に対して、間隔板レイヤ５０に相当する部分がそれぞれ接合される。
【０１５３】
(VI)間隔板レイヤシートＵ５０の各枠体５０ｆに相当する部分の一主面（ここでは、枠体５０ｆの−Ｚ側の面）上に、ＵＶ硬化層が設けられ、図２９で示されるように、間隔板レイヤシートＵ５０上に、第２平行ばねレイヤシートＵ４０が、位置決めされて載置される。そして、紫外線の露光によって、各間隔板レイヤ５０に相当する部分に対して、第２平行ばねレイヤ４０に相当する部分がそれぞれ接合される。また、この時点で、第２平行ばねレイヤシートＵ４０の各接着部４０Ｓａの空間領域４０Ｔａに突起部８１Ｔａが配置されるとともに、各接着部４０Ｓｂの空間領域４０Ｔｂに突起部８１Ｔｂが配置される。
【０１５４】
(VII)ディスペンサーが用いられて、突起部８１Ｔｃの先端部近傍と接着部６０Ｓｃとの両方に掛かるように紫外線の照射に応じて硬化する接着剤（ＵＶ硬化剤）が塗布されるとともに、突起部８１Ｔｄの先端部近傍と接着部６０Ｓｄとの両方に掛かるようにＵＶ硬化剤が塗布される。また、ディスペンサーが用いられて、突起部８１Ｔａと接着部４０Ｓａとの両方に掛かるようにＵＶ硬化剤が塗布されるとともに、突起部８１Ｔｂと接着部４０Ｓｂとの両方に掛かるようにＵＶ硬化剤が塗布される。そして、紫外線の照射に応じてＵＶ硬化剤が硬化することで、突起部８１Ｔａの先端部近傍と接着部４０Ｓａとの間、突起部８１Ｔｂの先端部近傍と接着部４０Ｓｂとの間、突起部８１Ｔｃの先端部近傍と接着部６０Ｓｃとの間、および突起部８１Ｔｄの先端部近傍と接着部６０Ｓｄとの間が、それぞれ接着される。
【０１５５】
(VIII)第２平行ばねレイヤシートＵ４０の各枠体４０ｆに相当する部分の一主面（ここでは、枠体４０ｆの−Ｚ側の面）上に、ＵＶ硬化層が設けられ、図３０で示されるように、第２平行ばねレイヤシートＵ４０上に、スペーサレイヤシートＵ３０が、位置決めされて載置される。そして、紫外線の露光によって、各第２平行ばねレイヤ４０に相当する部分に対して、スペーサレイヤ３０に相当する部分がそれぞれ接合される。
【０１５６】
(IX)スペーサレイヤシートＵ３０の各枠体３０ｆに相当する部分の一主面（ここでは、枠体３０ｆの−Ｚ側の面）上に、ＵＶ硬化層が設けられ、図３１で示されるように、スペーサレイヤシートＵ３０上に、アクチュエータレイヤシートＵ２０が、位置決めされて載置される。そして、紫外線の露光によって、各スペーサレイヤ３０に相当する部分に対して、アクチュエータレイヤ２０に相当する部分がそれぞれ接合される。このとき、アクチュエータレイヤ２０に相当する部分が、固定部に対して設けられることになる。
【０１５７】
(Ｘ)アクチュエータレイヤシートＵ２０の各枠体２０ｆに相当する部分の一主面（ここでは、枠体２０ｆの−Ｚ側の面）上に、ＵＶ硬化層が設けられ、図３２で示されるように、アクチュエータレイヤシートＵ２０上に、カバーガラスレイヤシートＵ１０が、位置決めされて載置される。そして、紫外線の露光によって、各アクチュエータレイヤ２０に相当する部分に対して、カバーガラスレイヤ１０に相当する部分がそれぞれ接合される。
【０１５８】
(XI)カバーガラスレイヤシートＵ１０の各外周部に相当する部分の一主面（ここでは、外周部の−Ｚ側の面）上に、ＵＶ硬化層が設けられ、図３３で示されるように、カバーガラスレイヤシートＵ１０上に、撮像素子レイヤシートＵＰＢが、位置決めされて載置される。そして、紫外線の露光によって、各カバーガラスレイヤ１０に相当する部分に対して、撮像素子レイヤＰＢに相当する部分がそれぞれ接合される。
【０１５９】
上記工程(Ｉ)〜(XI)が順次に行われることで、複数のカメラモジュール５００がマトリックス状に配列されたウエハ状の積層部材Ｕ５００（図３４）が組み立てられる。したがって、該工程Ｂは、積層部材Ｕ５００を組み立てる工程（組立工程）であるとも言える。また、換言すれば、該工程Ｂは、積層部材Ｕ５００が形成される工程（形成工程）であるとも言える。
【０１６０】
積層部材Ｕ５００では、カメラモジュール５００のうちの第１の筐体２００に対して固定される固定部に相当する部分と、移動対象部としてのレンズ群レイヤ８０に相当する部分とが、仮固定レイヤ７０に相当する部分によって接着されている状態（接着状態）に設定されている。また、固定部に相当する部分からレンズ群レイヤ８０に相当する部分にかけて弾性部４１，６１がそれぞれ架設されている状態（架設状態）に設定されている。
【０１６１】
＜(1-3-3)ダイシング（工程Ｃ）＞
９つのシートＵＰＢ，Ｕ１０〜Ｕ８０が積層されて形成された積層部材Ｕ５００には、カメラモジュール５００にそれぞれ相当する多数のチップ（カメラモジュールユニット部）５００Ｐｒが、所定ルールに従ってマトリックス状に配列される。
【０１６２】
そして、工程Ｃでは、積層部材Ｕ５００が、ダイシング装置によってカメラモジュールユニット部５００Ｐｒ毎に切り離されて、９つの層ＰＢ，１０〜８０がそれぞれ積層されたカメラモジュールユニット部５００Ｐｒが多数製作される。
【０１６３】
図３４は、積層部材Ｕ５００を切断するダイシング工程（切断工程）を模式的に示す図である。図３４で示されるように、積層部材Ｕ５００が、太破線に沿って縦横に切断されることで、カメラモジュールユニット部５００Ｐｒ毎に分離される。
【０１６４】
このとき、レンズ群レイヤシートＵ８０のレンズ群レイヤ８０に相当する部分と、仮固定レイヤシートＵ７０の仮固定レイヤ７０に相当する部分とが、それぞれ接着されている。したがって、仮固定レイヤ７０に相当する部分とレンズ群レイヤ８０に相当する部分との間に、外部から固定部内の内部空間に対する異物等の種々の物体の通過を抑制する構造（以下「抑制構造」とも称する）が形成されている状態にある。つまり、抑制構造が形成されている状態で、積層部材Ｕ５００が切断されることによって、積層部材Ｕ５００が、カメラモジュールユニット部５００Ｐｒ毎に分離される。
【０１６５】
このため、ダイシングの際に、レンズ群レイヤ８０に相当する部分と固定部に相当する部分との間に振動による不要なずれが生じず、カメラモジュール５００に相当する部分の内部への冷却水等を含む異物の侵入等が防止される。これにより、カメラモジュール５００の機能低下が生じる不具合の発生が回避される。
【０１６６】
＜(1-3-4)接着状態の解除（工程Ｄ）＞
ダイシングの直後のカメラモジュールユニット部５００Ｐｒは、図６で示されるような形態を有する。
【０１６７】
図３５および図３６は、接着状態の解除工程を説明するための図である。
【０１６８】
工程Ｄでは、カメラモジュールユニット部５００Ｐｒが、ある程度の温度（例えば、２００℃）まで加熱されることで、仮固定レイヤ７０の上面（ここでは、＋Ｚ側の主面）の接着力が失われる。なお、１つの加熱ボックス内に多数のカメラモジュールユニット部５００Ｐｒが入れられた状態で加熱されることにより、加熱処理の効率化が図られる。
【０１６９】
また、このとき、図３５で示されるように、加熱に応じて可動部２０ａ，２０ｂが湾曲するように変形して、レンズ群レイヤ８０を上方（＋Ｚ方向）に押し上げる。つまり、仮固定レイヤ７０とレンズ群レイヤ８０との間の接着を解除するための熱に応じて、アクチュエータレイヤ２０が、レンズ群レイヤ８０に対して駆動力を付与する。
【０１７０】
その結果、仮固定レイヤ７０を含む固定部とレンズ群レイヤ８０とが接着されている接着状態が、より確実かつ短時間で解除される。
【０１７１】
このような加熱による接着状態の解除により、レンズ群レイヤ８０が第１および第２平行ばねレイヤ４０，６０（具体的には、弾性部４１，６１）によって支持されている状態（支持状態）に設定される。これにより、カメラモジュール５００が完成される。このとき、接着状態の解除によって抑制構造の形態が変化し、レンズ群レイヤ８０が、固定部を基準とした所定の値域範囲の距離において移動可能となる。また、解除工程は、抑制構造の形態を変化させる工程（形態変化工程）とも言える。
【０１７２】
なお、カメラモジュール５００の加熱が終了され、カメラモジュール５００の周囲の環境温度が下がると、可動部２０ａ，２０ｂの変形が減じられる。
【０１７３】
また、環境温度がある程度の温度（例えば、７０℃）を下回ると、図３６で示されるように、アクチュエータレイヤ２０によるレンズ群レイヤ８０の押し上げが終了され、レンズ群レイヤ８０が、仮固定レイヤ７０の上面に接触する。但し、この時点では、仮固定レイヤ７０の上面における接着力は失われているため、レンズ群レイヤ８０と固定部とが接着されていない状態が保たれる。
【０１７４】
＜(1-4)カメラモジュールの動作＞
＜(1-4-1)カメラモジュールの動作原理＞
カメラモジュール５００は、室温状態（例えば、気温が２５℃の状態）において、アクチュエータレイヤ２０のヒータ部に対して通電がなされていなければ、図６で示されるように、レンズ群レイヤ８０が、仮固定レイヤ７０の上面に接触した状態（非駆動状態）となっている。
【０１７５】
次に、アクチュエータレイヤ２０のヒータ部に対する通電が開始されると、可動部２０ａ，２０ｂが加熱されて、該可動部２０ａ，２０ｂが変形する。このとき、可動部２０ａ，２０ｂの自由端２０Ｔａ，２０Ｔｂ近傍が突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂを上方に押し上げることで、図３５で示されるように、固定部を基準として、レンズ群レイヤ８０が、上方（＋Ｚ方向）に移動する。
【０１７６】
そして、アクチュエータレイヤ２０のヒータ部に対する通電が終了されると、可動部２０ａ，２０ｂの変形が低減される。また、可動部の温度がある程度の温度（例えば、７０℃）を下回ると、図３６で示されるように、アクチュエータレイヤ２０によるレンズ群レイヤ８０の押し上げが終了され、レンズ群レイヤ８０が、仮固定レイヤ７０の上面に接触する。
【０１７７】
＜(1-4-2)カメラモジュールのＡＦ制御＞
カメラモジュール５００におけるＡＦ制御は、図１で示された電流供給ドライバ６００、電気抵抗検出部７００、コントラスト検出部８００、および合焦制御部３１０によって実現される。
【０１７８】
電気抵抗検出部７００は、アクチュエータレイヤ２０のヒータ部の電気抵抗を検出し、該電気抵抗を示す信号を合焦制御部３１０に対して出力する。合焦制御部３１０は、ヒータ部の電気抵抗に基づいて、ヒータ部の変形（具体的には、可動部２０ａ，２０ｂの自由端２０Ｔａ，２０Ｔｂの変位）を検出する。そして、合焦制御部３１０が、可動部２０ａ，２０ｂに係る変位を認識し、該変位をレンズ群レイヤ８０の変位として認識する。
【０１７９】
可動部２０ａ，２０ｂの自由端２０Ｔａ，２０Ｔｂの変位の検出については、ヒータ部における形状と電気抵抗との関係が一義的に決まることが利用されて実行される。
【０１８０】
そして、合焦制御部３１０は、可動部２０ａ，２０ｂの自由端２０Ｔａ，２０Ｔｂの変位を検出しつつ、電流供給ドライバ６００を介してヒータ部への電流の供給を制御することで、可動部２０ａ，２０ｂの変形量、すなわち自由端２０Ｔａ，２０Ｔｂの変位を制御する。
【０１８１】
このとき、可動部２０ａ，２０ｂによる突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂの押し上げにより、レンズ群レイヤ８０が＋Ｚ方向に移動されることで、レンズ群レイヤ８０と撮像素子ＩＳとの離隔距離が変更されて、焦点の位置が変更される。
【０１８２】
また、コントラスト検出部８００は、撮像素子ＩＳで得られる画像信号について、コントラストを検出する。例えば、隣接画素間の階調値の差分を画像全体について積算した数値が、コントラストを示す評価値として検出される。このコントラストを示す評価値を示す信号は、合焦制御部３１０に対して出力される。
【０１８３】
具体的には、下記(Ａ)〜(Ｃ)の動作が順次に行われることで、ＡＦ制御が実現される。
【０１８４】
(Ａ)合焦制御部３１０の制御により、まず、レンズ群レイヤ８０と撮像素子ＩＳとの離隔距離が予め設定された多段階の離隔距離に順次に設定される。このとき、各離隔距離にレンズ群レイヤ８０と撮像素子ＩＳとが設定される状態で撮像素子ＩＳによって画像信号が取得される。
【０１８５】
(Ｂ)合焦制御部３１０が、コントラスト検出部８００によって各離隔距離について検出されるコントラストを示す評価値に基づいて、コントラストを示す評価値が最大となる離隔距離、すなわちレンズ群レイヤ８０の繰り出し位置を検出する。ここでは、該コントラストを示す評価値が最大となる繰り出し位置にレンズ群レイヤ８０が配置されている状態が、被写体に合焦している状態に相当する。
【０１８６】
(Ｃ)合焦制御部３１０の制御により、レンズ群レイヤ８０がコントラストを示す評価値が最大となる繰り出し位置まで移動されることで、カメラモジュール５００における被写体に対する合焦が実現される。すなわち、ＡＦ制御が実現される。
【０１８７】
以上のように、第１実施形態に係るカメラモジュール５００の製造工程では、積層部材Ｕ５００の組立工程（形成工程）と、接着状態を解除して抑制構造の形態を変化させる工程（形態変化工程）との間の期間では、固定部に相当する部分とレンズ群レイヤ８０に相当する部分とが接着されている。このため、ダイシング工程において積層部材Ｕ５００が切断されてカメラモジュールユニット部５００Ｐｒ毎に分離される際には、固定部に相当する部分とレンズ群レイヤ８０に相当する部分とが接着されている。
【０１８８】
その結果、切断工程における内部空間への異物の侵入が抑制されるため、異物の侵入等に起因する不具合の発生が抑制される。具体的には、固定部の内部空間に配置される弾性部４１，６１および可動部２０ａ，２０ｂの変形、ならびに被写体から撮像素子ＩＳに至る光路が、異物の侵入等によって阻害される不具合の発生が容易に抑制される。
【０１８９】
また、解除工程において、熱を用いて接着状態が解除されるため、異物の侵入等に起因する不具合の発生が容易に抑制される。
【０１９０】
＜(2)第２実施形態＞
上記第１実施形態に係るカメラモジュール５００の製造工程では、ダイシング工程の際に、固定部に含まれる仮固定レイヤ７０に相当する部分と、移動対象部としてのレンズ群レイヤ８０に相当する部分とが接着状態にあることで、内部空間への異物の侵入が抑制された。
【０１９１】
これに対して、第２実施形態に係るカメラモジュール５００Ａの製造工程では、ダイシング工程の際に、固定部に含まれる仮固定レイヤ７０に相当する部分と、移動対象部としてのレンズ群レイヤ８０に相当する部分とが嵌合状態にあることで、内部空間への異物の侵入が抑制される。
【０１９２】
第２実施形態に係るカメラモジュール５００Ａは、第１実施形態に係るカメラモジュール５００と比較して、固定部に含まれる仮固定レイヤ７０に相当する部分および移動対象部としてのレンズ群レイヤ８０に相当する部分がそれぞれ異なる構成に置換されたものである。そして、第２実施形態に係るカメラモジュール５００Ａの製造工程は、第１実施形態に係るカメラモジュール５００の製造工程と比較して、抑制構造の形成と形態の変化とに係る工程が異なる工程に置換されたものである。
【０１９３】
以下、第２実施形態に係るカメラモジュール５００Ａの構成および製造工程のうち、第１実施形態に係るカメラモジュール５００の構成および製造工程と異なる部分について順次に説明する。なお、第２実施形態に係るカメラモジュール５００Ａのうちの第１実施形態に係るカメラモジュール５００と同様な構成については、同様な符号を付して重複説明を省略し、製造工程についても、重複する部分については説明を省略する。
【０１９４】
＜(2-1)カメラモジュールの構成に係る相違点＞
図３７は、第２実施形態に係るカメラモジュール５００Ａの構成を示す断面模式図である。図３７で示されるカメラモジュール５００Ａの断面模式図は、図６で示されるカメラモジュール５００の断面模式図に対応するものである。
【０１９５】
図３７で示されるように、第２実施形態に係るカメラモジュール５００Ａは、第１実施形態に係るカメラモジュール５００と比較して、レンズ群レイヤ８０、仮固定レイヤ７０、およびカバーガラスレイヤ１０が、それぞれレンズ群レイヤ８０Ａ、仮固定レイヤ７０Ａ、およびカバーガラスレイヤ１０Ａに変更されたものである。
【０１９６】
レンズ群レイヤ８０Ａは、第１実施形態に係るレンズ群レイヤ８０と比較して、連結板８１が、形状が若干異なる連結板８１Ａに変更されたものである。
【０１９７】
図３８は、第２実施形態に係る連結板８１Ａの構成を示す下面模式図であり、図３９は、連結板８１Ａの切断面XXXIX−XXXIXにて矢印方向に見た連結板８１Ａの断面模式図である。
【０１９８】
図３８および図３９で示されるように、連結板８１Ａは、第１実施形態に係る連結板８１と比較して、突起部８１Ｔａ〜８１Ｔｄが、−Ｚ方向における延設距離が若干延長された突起部８１ＴａＡ〜８１ＴｄＡに変更されるとともに、枠体８１ｆが、下面（ここでは−Ｚ側の面）において外縁に沿った矩形且つ環状の凸部（環状凸部）８１ｆｔＡが追加された枠体８１ｆＡに変更されたものである。
【０１９９】
図４０は、第２実施形態に係る仮固定レイヤ７０Ａの構成を示す上面模式図であり、図４１は、仮固定レイヤ７０Ａの切断面XXXXI−XXXXIにて矢印方向に見た仮固定レイヤ７０Ａの断面模式図である。
【０２００】
図４０および図４１で示されるように、仮固定レイヤ７０Ａは、第１実施形態に係る仮固定レイヤ７０と比較して、仮固定レイヤ７０の上面（ここでは＋Ｚ側の面）において内縁に沿った矩形且つ環状の凸部（環状凸部）７０ｔＡが追加された構成を有する。また、仮固定レイヤ７０Ａの上面（ここでは＋Ｚ側の面）は、第１実施形態に係る仮固定レイヤ７０とは異なり、加熱の有無に拘わらず、接着力を有しない。なお、仮固定レイヤ７０Ａの下面（ここでは−Ｚ側の面）は、第１平行ばねレイヤ６０の上面（ここでは＋Ｚ側の面）に対して、ＵＶ硬化層等を介して接合されれば良い。
【０２０１】
カバーガラスレイヤ１０Ａは、第１実施形態に係るカバーガラスレイヤ１０と比較して、上面（ここでは＋Ｚ側の面）の中央部分が凹んだ凹部を有する。該凹部は、突起部８１ＴａＡ，ＴｂＡの延設距離が長くなったことに起因して可動部２０ａ，２０ｂが下方（−Ｚ方向）へ湾曲する空間を確保するために設けられる。
【０２０２】
＜(2-2)カメラモジュールの製造工程に係る相違点＞
第２実施形態に係るカメラモジュール５００Ａの製造工程では、第１実施形態に係るカメラモジュール５００の製造工程と比較して、複数のシートの接合を行う工程Ｂのうちのレンズ群レイヤシートＵ８０に対して仮固定レイヤシートＵ７０が接着される工程（接着工程）、および接着状態の解除を行う工程（解除工程）Ｄが異なる工程にそれぞれ置換される。
【０２０３】
具体的には、接着工程が、多数のレンズ群レイヤ８０Ａが配列されるシート（レンズ群レイヤシート）に対して、多数の仮固定レイヤ７０Ａが配列されるシート（仮固定レイヤシート）が嵌合される工程（嵌合工程）に変更される。また、接着状態の解除工程Ｄが、嵌合状態の解除工程に変更される。
【０２０４】
図４２は、１つのカメラモジュール５００Ａに相当する部分の一部に着目して嵌合工程を模式的に示す図である。
【０２０５】
嵌合工程では、図３７および図４２で示される状態とは各レイヤの上下が逆になるため、各レンズ群レイヤ８０Ａに相当する部分の直上に、仮固定レイヤ７０Ａに相当する部分がそれぞれ配置される。そして、仮固定レイヤシートが、上方（−Ｚ方向）から押圧されることで、図４２で示されるように、各環状凸部８１ｆｔＡに相当する部分の内側に、各環状凸部７０ｔＡに相当する部分が嵌り込む。つまり、固定部に含まれる仮固定レイヤ７０Ａに相当する部分が、移動対象部に含まれる連結板８１Ａに相当する部分に対して嵌合する。更に換言すれば、連結板８１Ａに相当する部分と、仮固定レイヤ７０Ａに相当する部分とが、いわゆるインロー式（印籠式）の構造を形成する。
【０２０６】
ここでは、上記嵌合により、連結板８１Ａに相当する部分と、仮固定レイヤ７０Ａに相当する部分との間の隙間が殆ど無い状態となる。このため、ダイシング工程において、図４２の太線矢印で示される外部から固定部の内部空間に対する異物等の種々の物体の通過を抑制する構造（抑制構造）７８Ａが形成される。この抑制構造７８Ａが形成される際には、突起部８１ＴａＡ，８１ＴｂＡによって、可動部２０ａ，２０ｂの自由端近傍が押されて、可動部２０ａ，２０ｂが弾性変形して湾曲する。
【０２０７】
そして、抑制構造７８Ａが形成されている状態で、第２実施形態に係る積層部材Ｕ５００Ａ（図３４）が切断されることにより、積層部材Ｕ５００Ａが、カメラモジュールユニット部５００ＰｒＡ（図３４）毎に分離される。
【０２０８】
図４３は、１つのカメラモジュール５００Ａに相当する部分の一部に着目して嵌合状態の解除工程を模式的に示す図である。
【０２０９】
図４３で示されるように、嵌合状態の解除工程では、例えば、カメラモジュールユニット部５００ＰｒＡのうちの固定部側の位置が固定された状態で、レンズ群レイヤ８０Ａが引き上げられる。このとき、連結板８１Ａと仮固定レイヤ７０Ａとの間における嵌合状態が解除され、抑制構造７８Ａの形態が変化される。その結果、レンズ群レイヤ８０Ａが固定部を基準とした所定の値域範囲の距離において移動可能である移動機構が完成される。
【０２１０】
このような嵌合状態の解除は、カメラモジュール５００Ａがカバーに挿入されて、携帯電話機１００Ａに実装される際または該実装までに実施されれば良い。
【０２１１】
なお、嵌合状態が解除されて完成された移動機構では、図３７で示されるように、突起部８１ＴａＡ，８１ＴｂＡの先端部と、可動部２０ａ，２０ｂの自由端近傍とが、若干離隔された状態となる。
【０２１２】
以上のように、第２実施形態に係るカメラモジュール５００Ａの製造工程では、積層部材Ｕ５００Ａの組立工程（形成工程）と、嵌合状態を解除して抑制構造７８Ａの形態を変化させる工程（形態変化工程）との間の期間では、固定部に相当する部分とレンズ群レイヤ８０Ａに相当する部分とが嵌合されて抑制構造７８Ａが形成されている。このため、切断工程の際には、抑制構造７８Ａの存在により、内部空間への異物の侵入が抑制される。したがって、上記第１実施形態に係るカメラモジュール５００の製造工程と同様に、異物の侵入等に起因する不具合の発生が容易に抑制される。
【０２１３】
なお、ここでは、各環状凸部８１ｆｔＡの形状と、各環状凸部７０ｔＡの形状とが相互に入れ替えられて、移動対象部に含まれる連結板８１Ａに相当する部分が、固定部に含まれる仮固定レイヤ７０Ａに相当する部分に対して嵌合される構成が採用されても良い。
【０２１４】
＜(3)変形例＞
なお、本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
【０２１５】
上記第１実施形態に係るカメラモジュール５００の製造工程では、接着状態の形成と解除とによって抑制構造の形成と変化とが実現され、上記第２実施形態に係るカメラモジュール５００Ａの製造工程では、嵌合状態の形成と解除とによって抑制構造の形成と変化とが実現されたが、これに限られない。その他の形態によって抑制構造の形成と変化とが実現されても良い。
【０２１６】
以下、その他の形態によって抑制構造の形成と変化とが実現される複数の具体例（第１〜６変形例）について順次に説明する。
【０２１７】
＜(3-1)第１変形例＞
第１変形例に係るカメラモジュール５００Ｂの製造工程では、ダイシング工程の際に、固定部に相当する部分と移動対象部に相当する部分との間に複数の弁が形成されることで、内部空間への異物の侵入が抑制される。
【０２１８】
第１変形例に係るカメラモジュール５００Ｂは、第２実施形態に係るカメラモジュール５００Ａと比較して、固定部に含まれる仮固定レイヤ７０Ａに相当する部分と移動対象部としてのレンズ群レイヤ８０Ａに相当する部分とがそれぞれ異なる構成に置換されたものである。そして、第１変形例に係るカメラモジュール５００Ｂの製造工程は、第２実施形態に係るカメラモジュール５００Ａの製造工程と比較して、抑制構造の形成と形態の変化とに係る工程が異なる工程に置換されたものである。
【０２１９】
ここでは、第１変形例に係るカメラモジュール５００Ｂのうちの第２実施形態に係るカメラモジュール５００Ａと同様な構成については、同様な符号を付して重複説明を省略し、製造工程についても、重複する部分については説明を省略する。
【０２２０】
図４４は、第１変形例に係るカメラモジュール５００Ｂの構成を示す断面模式図である。図４４で示されるカメラモジュール５００Ｂの断面模式図は、図３７で示されるカメラモジュール５００Ａの断面模式図に対応するものである。
【０２２１】
図４４で示されるように、第１変形例に係るカメラモジュール５００Ｂは、第２実施形態に係るカメラモジュール５００Ａと比較して、レンズ群レイヤ８０Ａおよび仮固定レイヤ７０Ａが、それぞれレンズ群レイヤ８０Ｂおよび下弁レイヤ７０Ｂに変更されたものである。
【０２２２】
レンズ群レイヤ８０Ｂは、第２実施形態に係るレンズ群レイヤ８０Ａと比較して、連結板８１Ａが、構成が異なる連結板８１Ｂに変更されたものである。
【０２２３】
図４５は、第１変形例に係る連結板８１Ｂの構成を示す下面模式図であり、図４６は、連結板８１Ｂの切断面XXXXVI−XXXXVIにて矢印方向に見た連結板８１Ｂの断面模式図である。
【０２２４】
図４５および図４６で示されるように、連結板８１Ｂは、第１実施形態に係る連結板８１Ａと比較して、下方（ここでは−Ｚ側）において、環状凸部８１ｆｔＡの代わりに矩形且つ環状に突設される複数枚（ここでは４枚）の膜状の部分（膜状凸部）８１ｆｔＢが形成されたものである。すなわち、連結板８１Ｂのうち、下弁レイヤ７０Ｂに対向する面に複数枚の膜状凸部８１ｆｔＢが立設される。
【０２２５】
具体的には、１枚目の膜状凸部８１ｆｔＢの周囲に２枚目の膜状凸部８１ｆｔＢが形成され、２枚目の膜状凸部８１ｆｔＢの周囲に３枚目の膜状凸部８１ｆｔＢが形成され、３枚目の膜状凸部８１ｆｔＢの周囲に４枚目の膜状凸部８１ｆｔＢが形成される。そして、各膜状凸部８１ｆｔＢは、連結板８１Ｂの外周方向に傾斜するように設けられ、それぞれ耐熱性を有するシリコンゴム等の比較的容易に弾性変形可能な可撓性を有する素材を用いて構成される。
【０２２６】
なお、多数の連結板８１Ｂが配列された連結板シートについては、例えば、枠体８１ｆＢと、突設部８１ａ〜８１ｄと、突起部８１ＴａＡ〜８１ＴｄＡとを有する部分が多数配列されるウエハ状のシート上に、４重に膜状凸部８１ｆｔＢが形成される部分が多数配列されたシートが貼り付けられることで製作される。
【０２２７】
図４７は、第１変形例に係る下弁レイヤ７０Ｂの構成を示す上面模式図であり、図４８は、下弁レイヤ７０Ｂの切断面XXXXVIII−XXXXVIIIにて矢印方向に見た下弁レイヤ７０Ｂの断面模式図である。
【０２２８】
図４７および図４８で示されるように、下弁レイヤ７０Ｂは、第２実施形態に係る仮固定レイヤ７０Ａと比較して、上方（ここでは＋Ｚ側の面）において、環状凸部７０ｔＡの代わりに矩形且つ環状に突設される複数枚（ここでは３枚）の膜状の部分（膜状凸部）７０ｔＢが形成されたものである。すなわち、下弁レイヤ７０Ｂのうち、連結板８１Ｂに対向する面に複数枚の膜状凸部７０ｔＢが立設される。
【０２２９】
具体的には、１枚目の膜状凸部７０ｔＢの周囲に２枚目の膜状凸部７０ｔＢが形成され、２枚目の膜状凸部７０ｔＢの周囲に３枚目の膜状凸部７０ｔＢが形成される。そして、各膜状凸部７０ｔＢは、下弁レイヤ７０Ｂの外周方向に傾斜するように設けられ、それぞれ耐熱性を有するシリコンゴム等の比較的容易に弾性変形可能な可撓性を有する素材を用いて構成される。
【０２３０】
なお、多数の下弁レイヤ７０Ｂが配列されたシート（下弁レイヤシート）については、例えば、樹脂等の平板上に、３重に膜状凸部７０ｔＢが形成される部分が多数配列されたシートが貼り付けられ、各下弁レイヤ７０Ｂの中空部７０ｈに相当する部分がプレス加工等によって形成されることで製作される。
【０２３１】
第１変形例に係るカメラモジュール５００Ｂの製造工程では、第２実施形態に係るカメラモジュール５００Ａの製造工程と比較して、複数のシートの接合を行う工程のうちのレンズ群レイヤシートに対して仮固定レイヤシートが嵌合される工程（嵌合工程）と、嵌合状態の解除を行う工程（解除工程）とが異なる工程にそれぞれ置換される。
【０２３２】
具体的には、嵌合工程が、レンズ群レイヤシートに対して下弁レイヤシートが押し付けられた状態（押付状態）に設定されることで、４重の膜状凸部８１ｆｔＢと３重の膜状凸部７０ｔＢとが複数の弁を形成する工程（押付工程）に変更される。また、嵌合状態の解除工程が、押付状態の解除工程に変更される。
【０２３３】
図４９および図５０は、それぞれ１つのカメラモジュール５００Ｂに相当する部分の一部に着目して押付工程を模式的に示す断面図および側面図である。
【０２３４】
押付工程では、図４４、図４９、および図５０で示される状態とは各レイヤの上下が逆になるため、各レンズ群レイヤ８０Ｂに相当する部分の直上に、下弁レイヤ７０Ｂに相当する部分がそれぞれ配置される。そして、下弁レイヤシートが、上方（−Ｚ方向）から押圧されることで、図４９および図５０で示されるように、４重の膜状凸部８１ｆｔＢに対して、３重の膜状凸部７０ｔＢが押し付けられ、各膜状凸部７０ｔＢが、それぞれ２枚の膜状凸部８１ｆｔＢに対して当接する。このとき、各膜状凸部７０ｔＢおよび各膜状凸部８１ｆｔＢが弾性変形しつつ、レンズ群レイヤ８０Ｂに相当する部分と、下弁レイヤ７０Ｂに相当する部分との間の隙間が殆ど無い状態とする多重の弁（多重弁構造）７８Ｂが形成される。
【０２３５】
そして、ダイシング工程では、例えば、第１変形例に係る積層部材Ｕ５００Ｂ（図３４）が上下から挟持されることで、各カメラモジュールユニット部５００ＰｒＢ（図３４）において多重弁構造７８Ｂが形成された状態となる。この多重弁構造７８Ｂは、ダイシング工程において、図４９の太線矢印で示される外部から固定部の内部空間に対する異物等の種々の物体の通過を抑制する抑制構造としての役割を果たす。なお、以下では、多重弁構造７８Ｂを、抑制構造７８Ｂとも称する。
【０２３６】
図５１は、１つのカメラモジュール５００Ｂに相当する部分の一部に着目して押付状態の解除工程を模式的に示す図である。
【０２３７】
ダイシング工程の後に、カメラモジュールユニット部５００ＰｒＢを上下から挟持する力が解除されれば、その時点で、弾性部４１，６１および可動部２０ａ，２０ｂの弾性力によって、連結板８１Ｂと下弁レイヤ７０Ｂとの間で相互に押し付け合う力が解除される。つまり、押付状態の解除により、抑制構造７８Ｂの形態が変化される。
【０２３８】
更に、カメラモジュール５００Ｂがカバーに挿入されて、携帯電話機１００Ｂに実装される際には、図５１で示されるように、カメラモジュールユニット部５００ＰｒＢのうちの固定部側の位置が固定された状態で、レンズ群レイヤ８０Ｂが引き上げられる。このような抑制構造７８Ｂの形態の変化によって、レンズ群レイヤ８０Ｂが固定部を基準とした所定の値域範囲の距離において移動可能である移動機構が完成される。
【０２３９】
以上のように、第１変形例に係るカメラモジュール５００Ｂの製造工程では、積層部材Ｕ５００Ｂの組立工程（形成工程）と、押付状態を解除して抑制構造の形態を変化させる工程（形態変化工程）との間の切断工程の際には、抑制構造７８Ｂの存在により、内部空間への異物の侵入が抑制される。その結果、上記第１および第２実施形態に係るカメラモジュール５００，５００Ａの製造工程と同様に、異物の侵入等に起因する不具合の発生が容易に抑制される。
【０２４０】
なお、ここでは、固定部および移動対象部の双方に膜状凸部が設けられたが、これに限られず、例えば、固定部のうちの移動対象部に対応する面、および移動対象部のうちの固定部に対向する面のうちの少なくとも一方の面に膜状凸部が設けられれば良い。
【０２４１】
＜(3-2)第２変形例＞
第２変形例に係るカメラモジュール５００Ｃの製造工程では、ダイシング工程の際に、固定部に相当する部分と移動対象部に相当する部分とを連結する膜状の弁のレイヤ（膜状連結弁レイヤ）が形成される状態にあることで、内部空間への異物の侵入が抑制される。
【０２４２】
第２変形例に係るカメラモジュール５００Ｃは、第１変形例に係るカメラモジュール５００Ｂと比較して、移動対象部としてのレンズ群レイヤ８０Ｂに相当する部分が異なる構成に置換されるとともに、下弁レイヤ７０Ｂに相当する部分が取り除かれ、膜状連結弁レイヤ７８Ｃ（図５３）の残骸が存在するものである。そして、第２変形例に係るカメラモジュール５００Ｃの製造工程は、第１変形例に係るカメラモジュール５００Ｂの製造工程と比較して、抑制構造の形成と形態の変化とに係る工程が異なる工程に置換されたものである。
【０２４３】
ここでは、第２変形例に係るカメラモジュール５００Ｃのうちの第１変形例に係るカメラモジュール５００Ｂと同様な構成については、同様な符号を付して重複説明を省略し、製造工程についても、重複する部分については説明を省略する。
【０２４４】
図５２は、第２変形例に係るカメラモジュール５００Ｃの構成を示す断面模式図である。図５２で示されるカメラモジュール５００Ｃの断面模式図は、図４４で示されるカメラモジュール５００Ｂの断面模式図に対応するものである。
【０２４５】
図５２で示されるように、レンズ群レイヤ８０Ｃは、第１変形例に係るレンズ群レイヤ８０Ｂと比較して、連結板８１Ｂが、構成が異なる連結板８１Ｃに変更されたものである。具体的には、連結板８１Ｃは、連結板８１Ｂのうちの４枚の膜状凸部８１ｆｔＢが取り除かれた構成を有する。
【０２４６】
カメラモジュール５００Ｃの製造工程では、第１変形例に係るカメラモジュール５００Ｂの製造工程と比較して、抑制構造７８Ｂの代わりに、移動対象部に含まれる連結板８１Ｃと固定部に含まれる第１平行ばねレイヤ６０とを連結する膜状連結弁レイヤ７８Ｃ（図５３）が形成される。つまり、押付工程が、膜状連結弁レイヤ７８Ｃが形成される工程（弁形成工程）に置換される。また、押付状態の解除工程が、膜状連結弁レイヤ７８Ｃを破断する工程（破断工程）に置換される。
【０２４７】
図５３および図５４は、それぞれ１つのカメラモジュール５００Ｃに相当する部分の一部に着目して、膜状連結弁レイヤ７８Ｃに相当する部分が形成される弁形成工程を模式的に示す断面図および側面図である。
【０２４８】
膜状連結弁レイヤ７８Ｃは、耐熱性を有するシリコンゴム等の比較的容易に弾性変形可能な可撓性を有する素材を用いて構成される。そして、弁形成工程では、複数の膜状連結弁レイヤ７８Ｃが所定ルールに従って配列されるシート（膜状連結弁レイヤシート）が用いられる。
【０２４９】
図５５は、膜状連結弁レイヤシートＵ７８Ｃの構成を示す平面模式図である。図５５で示されるように、膜状連結弁レイヤシートＵ７８Ｃでは、枠体６０ｆの形状に沿った矩形且つ環状の各膜状連結弁レイヤ７８Ｃに相当する部分が所定ルールに従ってマトリックス状に配列されるとともに、各膜状連結弁レイヤ７８Ｃに相当する部分が相互に連結される形状を有する。したがって、膜状連結弁レイヤシートＵ７８Ｃは、シリコンゴム等で構成される非常に薄い膜状の部分が格子状に配列されて構成される。
【０２５０】
弁形成工程では、図５２、図５３、および図５４で示される状態とは各レイヤの上下が逆になるため、各レンズ群レイヤ８０Ｃに相当する部分の直上に、膜状連結弁レイヤ７８Ｃに相当する部分がそれぞれ配置されて、ＵＶ硬化樹脂等によって、レンズ群レイヤシートに対して、膜状連結弁レイヤシートＵ７８Ｃが接合される。その後、該膜状連結弁レイヤシートＵ７８Ｃに対して、第１平行ばねレイヤシートＵ６０が接合される。
【０２５１】
このような膜状連結弁レイヤシートＵ７８Ｃの接合により、第２変形例に係る積層部材Ｕ５００Ｃ（図３４）では、各カメラモジュールユニット部５００ＰｒＣ（図３４）において、図５３および図５４で示されるように、連結板８１Ｃに相当する部分と第１平行ばねレイヤ６０に相当する部分とを連結する膜状連結弁レイヤ７８Ｃに相当する部分が形成される。
【０２５２】
この膜状連結弁レイヤ７８Ｃは、ダイシング工程において、図５３の太線矢印で示される外部から固定部の内部空間に対する異物等の種々の物体の通過を抑制する抑制構造としての役割を果たす。なお、以下では、膜状連結弁レイヤ７８Ｃを、抑制構造７８Ｃとも称する。
【０２５３】
図５６は、１つのカメラモジュール５００Ｃに相当する部分の一部に着目して、ダイシング工程の後に行われる膜状連結弁レイヤ７８Ｃの破断工程を模式的に示す図である。
【０２５４】
図５６で示されるように、破断工程では、第１平行ばねレイヤ６０を含む固定部と連結板８１Ｃを含む移動対象部とが引き離されるような外力が付与されることで、膜状連結弁レイヤ７８Ｃが引き延ばされた後に、該膜状連結弁レイヤ７８Ｃが破断される。このとき、膜状連結弁レイヤ７８Ｃによる連結板８１Ｃと第１平行ばねレイヤ６０との連結状態が解除され、膜状連結弁レイヤ７８Ｃの形態が変化する。そして、その結果、レンズ群レイヤ８０Ｃが固定部を基準とした所定の値域範囲の距離において移動可能である移動機構が完成される。
【０２５５】
なお、このような連結状態の解除による膜状連結弁レイヤ７８Ｃの破断は、カメラモジュール５００Ｃがカバーに挿入されて、携帯電話機１００Ｃに実装される際またはその実装までに実施されれば良い。
【０２５６】
以上のように、第２変形例に係るカメラモジュール５００Ｃの製造工程では、積層部材Ｕ５００Ｃの組立工程（形成工程）と、連結状態を解除して抑制構造の形態を変化させる工程（形態変化工程）との間の切断工程の際には、抑制構造７８Ｃの存在により、内部空間への異物の侵入が抑制される。その結果、確実かつ容易に異物の侵入等に起因する不具合の発生が抑制される。
【０２５７】
＜(3-3)第３変形例＞
上記第２変形例に係るカメラモジュール５００Ｃの製造工程では、膜状連結弁レイヤ７８Ｃの破断された。
【０２５８】
これに対して、第３変形例に係るカメラモジュール５００Ｄの製造工程では、膜状連結弁レイヤ７８Ｃが引き延ばされることで塑性変形を生じた膜状連結弁レイヤ７８Ｄとされることによって、レンズ群レイヤ８０Ｃが固定部を基準とした所定の値域範囲の距離において移動可能である移動機構が完成される。
【０２５９】
ここでは、第３変形例に係るカメラモジュール５００Ｄのうちの第２変形例に係るカメラモジュール５００Ｃと同様な構成については、同様な符号を付して重複説明を省略し、製造工程についても、重複する部分については説明を省略する。
【０２６０】
図５７は、第３変形例に係るカメラモジュール５００Ｄの構成を示す断面模式図である。図５７で示されるカメラモジュール５００Ｄの断面模式図は、図５２で示されるカメラモジュール５００Ｃの断面模式図に対応するものである。
【０２６１】
第３変形例に係るカメラモジュール５００Ｄは、第２変形例に係るカメラモジュール５００Ｃ（図５２）と比較して、膜状連結弁レイヤ７８Ｃの残骸が、塑性変形後の膜状連結弁レイヤ７８Ｄに置換されたものである。
【０２６２】
また、第３変形例に係るカメラモジュール５００Ｄの製造工程は、第２変形例に係るカメラモジュール５００Ｂの製造工程と比較して、破断工程が、膜状連結弁レイヤ７８Ｃを引き延ばして塑性変形させる工程（延伸工程）に置換されたものである。
【０２６３】
図５８は、１つのカメラモジュール５００Ｄに相当する部分の一部に着目して、延伸工程を模式的に示す断面図である。
【０２６４】
図５８で示されるように、延伸工程では、第１平行ばねレイヤ６０を含む固定部と連結板８１Ｃを含む移動対象部とが引き離されるような外力が付与されることで、破断しない程度に膜状連結弁レイヤ７８Ｃが引き延ばされる。このとき、膜状連結弁レイヤ７８Ｃが塑性変形して、膜状連結弁レイヤ７８Ｄとされることで、膜状連結弁レイヤ７８Ｃの形態が変化する。
【０２６５】
そして、延伸工程の後では、図５９で示されるように、レンズ群レイヤ８０Ｃが固定部を基準とした所定の値域範囲の距離において移動する際には、膜状連結弁レイヤ７８Ｄが蛇腹状の形態を有して伸縮するため、レンズ群レイヤ８０Ｃの移動を阻害しない。
【０２６６】
なお、延伸工程は、カメラモジュール５００Ｄがカバーに挿入されて、携帯電話機１００Ｄに実装される際またはその実装までに実施されれば良い。
【０２６７】
以上のように、第３変形例に係るカメラモジュール５００Ｄの製造工程では、第２変形例に係るカメラモジュール５００Ｃの製造工程と同様に、切断工程の際には、抑制構造７８Ｃの存在により、内部空間への異物の侵入が抑制される。その結果、確実かつ容易に異物の侵入等に起因する不具合の発生が抑制される。
【０２６８】
＜(3-4)第４変形例＞
第４変形例に係るカメラモジュール５００Ｅの製造工程では、ダイシング工程の際に、固定部に相当する部分と移動対象部に相当する部分とが、撥水性を有するコーティングが施された面において相互に当接することで、内部空間への異物の侵入が抑制される。
【０２６９】
ここでは、第４変形例に係るカメラモジュール５００Ｅのうちの第２変形例に係るカメラモジュール５００Ｃと同様な構成については、同様な符号を付して重複説明を省略し、製造工程についても、重複する部分については説明を省略する。
【０２７０】
図６０は、第４変形例に係るカメラモジュール５００Ｅの構成を示す断面模式図である。図６０で示されるカメラモジュール５００Ｅの断面模式図は、図５２で示されるカメラモジュール５００Ｃの断面模式図に対応するものである。
【０２７１】
図６０で示されるように、第４変形例に係るカメラモジュール５００Ｅは、第２変形例に係るカメラモジュール５００Ｃ（図５２）と比較して、膜状連結弁レイヤ７８Ｃの残骸の代わりに、連結板８１Ｃが、第１平行ばねレイヤ６０の枠体６１ｆに対向する面（下面）に撥水性を有するコーティングが施された連結板８１Ｅに置換されるとともに、第１平行ばねレイヤ６０が、枠体６１ｆのうちの連結板８１Ｃに対向する面（上面）に撥水性を有するコーティングが施された第１平行ばねレイヤ６０Ｅに置換されたものである。なお、撥水性を有するコーティングは、フッ素系の液体の噴霧等によって実現される。また、連結板８１Ｃが連結板８１Ｅに置換されたことで、レンズ群レイヤ８０Ｃがレンズ群レイヤ８０Ｅに置換される。
【０２７２】
そして、第４変形例に係るカメラモジュール５００Ｅの製造工程は、第２変形例に係るカメラモジュール５００Ｂの製造工程と比較して、抑制構造の形成と形態の変化とに係る工程が異なる工程に置換されたものである。
【０２７３】
図６１は、１つのカメラモジュール５００Ｅに相当する部分の一部に着目して、抑制構造の形成工程を模式的に示す断面図である。
【０２７４】
図６１で示されるように、第４変形例に係るカメラモジュール５００Ｅの製造工程では、複数のシートが接合される接合工程において、複数のレンズ群レイヤ８０Ｅが配列されるレンズ群レイヤシート上に、複数の第１平行ばねレイヤ６０Ｅが積層される。
【０２７５】
そして、上下から挟持される力が加えられることで、レンズ群レイヤ８０Ｅに相当する部分の撥水性を有するコーティングが施された部分（撥水性被覆部）８１ｃＥと、第１平行ばねレイヤ６０Ｅに相当する部分の撥水性を有するコーティングが施された部分（撥水性被覆部）６０ｃＥとが相互に近接または当接される。
【０２７６】
ダイシング工程では、例えば、第４変形例に係る積層部材Ｕ５００Ｅ（図３４）が上下から挟持される。このため、各カメラモジュールユニット部５００ＰｒＥ（図３４）において、撥水性被覆部８１ｃＥと撥水性被覆部６０ｃＥとが相互に近接または当接される。このとき、固定部に含まれる第１平行ばねレイヤ６０Ｅに相当する部分と、移動対象部に含まれるレンズ群レイヤ８０Ｅに相当する部分との間の隙間が殆ど無い状態となる。したがって、ダイシング工程において、撥水性被覆部８１ｃＥと撥水性被覆部６０ｃＥとによって、外部から固定部の内部空間に対する異物等の種々の物体の通過を抑制する抑制構造７８Ｅが形成される。
【０２７７】
図６２は、１つのカメラモジュール５００Ｅに相当する部分の一部に着目して抑制構造７８Ｅの形態を変化させる工程（形態変化工程）を模式的に示す図である。
【０２７８】
ダイシング工程の後に、カメラモジュールユニット部５００ＰｒＥを上下から挟持する力が解除されれば、その時点で、弾性部４１，６１および可動部２０ａ，２０ｂの弾性力によって、連結板８１Ｅと第１平行ばねレイヤ６０Ｅとの間で相互に押し付け合う力が解除されて、撥水性被覆部８１ｃＥと撥水性被覆部６０ｃＥとが離隔される。つまり、押付状態が解除され、抑制構造７８Ｅの形態が変化される。
【０２７９】
更に、カメラモジュール５００Ｅがカバーに挿入されて、携帯電話機１００Ｅに実装される際には、図６２で示されるように、カメラモジュールユニット部５００ＰｒＥのうちの固定部側が固定された状態で、レンズ群レイヤ８０Ｅが引き上げられる。このような抑制構造７８Ｅの形態の変化によって、レンズ群レイヤ８０Ｅが、固定部を基準とした所定の値域範囲の距離において移動可能である移動機構が完成される。
【０２８０】
以上のように、第４変形例に係るカメラモジュール５００Ｅの製造工程では、非常に簡易な構成で異物の侵入等に起因する不具合の発生が抑制される。
【０２８１】
なお、ここでは、固定部のうちの移動対象部に対向する面、および移動対象部のうちの固定部に対向する面の双方の面に撥水性を有する部分（撥水性被覆部６０ｃＥ，８１ｃＥ）が形成されたが、これに限られない。例えば、固定部のうちの移動対象部に対向する面、および移動対象部のうちの固定部に対向する面のうちの少なくとも一方の面に撥水性を有する部分が形成されれば良い。
【０２８２】
＜(3-5)第５変形例＞
第５変形例に係るカメラモジュール５００Ｆの製造工程では、ダイシング工程の際に、固定部に相当する部分と移動対象部に相当する部分とが、比較的低い接着力によって相互に接着されることで、内部空間への異物の侵入が抑制され、その後、外力によって、固定部と移動対象部とが引き離される。
【０２８３】
ここでは、第５変形例に係るカメラモジュール５００Ｆのうちの第４変形例に係るカメラモジュール５００Ｅと同様な構成については、同様な符号を付して重複説明を省略し、製造工程についても、重複する部分については説明を省略する。
【０２８４】
図６３は、第５変形例に係るカメラモジュール５００Ｆの構成を示す断面模式図である。図６３で示されるカメラモジュール５００Ｆの断面模式図は、図６０で示されるカメラモジュール５００Ｅの断面模式図に対応するものである。
【０２８５】
図６３で示されるように、第５変形例に係るカメラモジュール５００Ｆは、第４変形例に係るカメラモジュール５００Ｅ（図６０）と比較して、撥水性被覆部６０ｃＥ，８１ｃＥが、両面テープが設けられた部分（接着テープ部）にそれぞれ置換されたものである。この置換により、連結板８１Ｅおよび第１平行ばねレイヤ６０Ｅが、それぞれ連結板８１Ｆおよび第１平行ばねレイヤ６０Ｆに置換される。なお、ここで用いられる両面テープとしては、接着力が比較的低いダイシング用の保護テープ等が挙げられる。
【０２８６】
そして、第５変形例に係るカメラモジュール５００Ｆの製造工程は、第４変形例に係るカメラモジュール５００Ｅの製造工程と比較して、抑制構造の形成と形態の変化とに係る工程が異なる工程に置換されたものである。
【０２８７】
図６４は、１つのカメラモジュール５００Ｆに相当する部分の一部に着目して、抑制構造の形成工程を模式的に示す断面図である。
【０２８８】
図６４で示されるように、第５変形例に係るカメラモジュール５００Ｆの製造工程では、複数のシートが接合される接合工程において、複数のレンズ群レイヤ８０Ｆが配列されるレンズ群レイヤシート上に、複数の第１平行ばねレイヤ６０Ｆが積層される。このとき、所定の押圧力の付与によって、レンズ群レイヤ８０Ｆに相当する部分に貼付された接着テープ部８１ｐＦと、第１平行ばねレイヤ６０Ｆに相当する部分に貼付された接着テープ部６０ｐＦとが接着された状態（接着状態）に設定される。
【０２８９】
ダイシング工程では、上記接着状態により、固定部に含まれる第１平行ばねレイヤ６０Ｆに相当する部分と、移動対象部としてのレンズ群レイヤ８０Ｆに相当する部分との間の隙間が殆ど無い状態となる。したがって、ダイシング工程では、第５変形例に係る積層部材Ｕ５００Ｆ（図３４）の各カメラモジュールユニット部５００ＰｒＦ（図３４）において、接着テープ部８１ｐＦと接着テープ部６０ｐＦとにより、外部から固定部の内部空間に対する異物等の種々の物体の通過を抑制する抑制構造７８Ｆが形成された状態となる。
【０２９０】
図６５は、１つのカメラモジュール５００Ｆに相当する部分の一部に着目して抑制構造７８Ｆの形態を変化させる工程（形態変化工程）を模式的に示す図である。
【０２９１】
ダイシング工程の後に、例えば、カメラモジュール５００Ｆがカバーに挿入されて、携帯電話機１００Ｆに実装される際には、図６５で示されるように、カメラモジュールユニット部５００ＰｒＦのうちの固定部側が固定された状態で、レンズ群レイヤ８０Ｆが引き上げられる。このとき、接着テープ部８１ｐＦと接着テープ部６０ｐＦとの接着状態が解除されて、接着テープ部８１ｐＦと接着テープ部６０ｐＦとが離隔される。つまり、接着状態が解除されて、抑制構造７８Ｆの形態が変化される。そして、このような抑制構造７８Ｆの形態の変化によって、レンズ群レイヤ８０Ｆが、固定部を基準とした所定の値域範囲の距離において移動可能である移動機構が完成される。
【０２９２】
以上のように、第５変形例に係るカメラモジュール５００Ｆの製造工程によれば、接着を利用した非常に簡易な構成で異物の侵入等に起因する不具合の発生が抑制される。
【０２９３】
なお、ここで、接着テープ部８１ｐＦと接着テープ部６０ｐＦとの間における接着力だけでは、外部から固定部の内部空間に対する異物等の種々の物体の通過が十分に抑制されない場合には、上下方向の押圧力や挟持する力を組み合わせることで、抑制構造７８Ｆの機能を高めても良い。
【０２９４】
＜(3-6)第６変形例＞
第６変形例に係るカメラモジュール５００Ｇの製造工程では、第２実施形態に係るカメラモジュール５００Ａの製造工程と同様に、ダイシング工程の際に、固定部に相当する部分と移動対象部に相当する部分とが相互に嵌合した状態（嵌合状態）に設定されることで、内部空間への異物の侵入が抑制され、その後、固定部と移動対象部との嵌合状態が解除される。
【０２９５】
ここでは、第６変形例に係るカメラモジュール５００Ｇのうちの第２実施形態に係るカメラモジュール５００Ａと同様な構成については、同様な符号を付して重複説明を省略し、製造工程についても、重複する部分については説明を省略する。
【０２９６】
図６６は、第６変形例に係るカメラモジュール５００Ｇの構成を示す断面模式図である。図６６で示されるカメラモジュール５００Ｇの断面模式図は、図３７で示されるカメラモジュール５００Ａの断面模式図に対応するものである。
【０２９７】
図６６で示されるように、第６変形例に係るカメラモジュール５００Ｇは、第２実施形態に係るカメラモジュール５００Ａ（図３７）と比較して、連結板８１Ａを含むレンズ群レイヤ８０Ａが、嵌合に係る形状が異なる連結板８１Ｇを含むレンズ群レイヤ８０Ｇに置換されるとともに、仮固定レイヤ７０Ａが、嵌合に係る形状が異なる仮固定レイヤ７０Ｇに置換されたものである。
【０２９８】
図６７および図６８は、連結板８１Ｇと仮固定レイヤ７０Ｇとの嵌合状態と該嵌合状態の解除とを説明するための図である。
【０２９９】
図６７および図６８で示されるように、連結板８１Ｇは、第２実施形態に係る連結板８１Ａと比較して、環状凸部８１ｆｔＡが、複数（ここでは６つ）の矩形且つ環状の凸部（環状凸部群）８１ｆｔＧに置換されたものである。また、仮固定レイヤ７０Ｇは、第２実施形態に係る仮固定レイヤ７０Ａと比較して、環状凸部７０ｔＡが、複数（ここでは６つ）の矩形且つ環状の凸部（環状凸部群）７０ｔＧに置換されたものである。
【０３００】
そして、嵌合状態では、図６７で示されるように、環状凸部群８１ｆｔＧと環状凸部群７０ｔＧとが嵌合される。このような嵌合状態は、例えば、第６変形例に係る積層部材Ｕ５００Ｇ（図３４）が上下から挟持されることで、各カメラモジュールユニット部５００ＰｒＧ（図３４）において実現される。そして、環状凸部群８１ｆｔＧと環状凸部群７０ｔＧとが嵌合した構成により、ダイシング工程において、図６７の太線矢印で示される外部から固定部の内部空間に対する異物等の種々の物体の通過を抑制する構造（抑制構造）７８Ｇが形成される。
【０３０１】
なお、このような嵌合状態の解除は、図６８で示されるように、連結板８１Ｇに相当する部分と、仮固定レイヤ７０Ｇに相当する部分とが、外力等によって引き離されることで、実現される。例えば、ダイシング工程の後に、カメラモジュール５００Ｇがカバーに挿入されて、携帯電話機１００Ｇに実装される際には、嵌合状態が解除される。
【０３０２】
そして、このような嵌合状態の解除によって、抑制構造７８Ｇの形態が変化されることで、レンズ群レイヤ８０Ｇが、固定部を基準とした所定の値域範囲の距離において移動可能である移動機構が完成される。
【０３０３】
以上のように、第６変形例に係るカメラモジュール５００Ｇの製造工程によれば、第２実施形態に係るカメラモジュール５００Ａの製造工程と同様に、抑制構造７８Ｇによって切断工程における内部空間への異物の侵入が抑制されるため、異物の侵入等に起因する不具合の発生が容易に抑制される。
【０３０４】
＜(3-7)その他の変形例＞
◎上記第１実施形態では、加熱ボックスにおける加熱によって、接着状態が解除されたがこれに限られない。例えば、撮像素子レイヤＰＢの裏面に、はんだボールが設けられ、撮像素子レイヤＰＢ内の配線と、配線基板に配置される配線（外部配線）とが、いわゆるリフロー方式の半田付けによって電気的に接続される工程が採用され、該半田付け時の加熱によって、接着状態が解除されても良い。
【０３０５】
このような製造方法が採用されれば、半田付け等といった異なる目的を達成するための工程において、抑制構造に係る接着状態が解除されるため、製造コストの上昇を招くことなく、異物の侵入等に起因する不具合の発生が抑制される。
【０３０６】
◎また、上記第１実施形態では、仮固定レイヤ７０が、上面側の接着力が加熱に応じて減じられるテープを用いて構成されたが、これに限られない。
【０３０７】
例えば、所定の値域範囲の波長の光の照射に応じて接着力が減じられるテープを用いて構成されても良い。なお、紫外線の照射に応じて接着力が減じるテープとしては、例えば、積水化学社製のセルファ（登録商標）等が挙げられる。
【０３０８】
このような構成が採用される場合には、解除工程において、所定の値域範囲の波長の光（例えば、紫外線）の照射に応じて、接着状態が解除される。このため、異物の侵入等に起因する不具合の発生が容易に抑制される。
【０３０９】
また、所定の値域範囲の波長の光の照射に応じて縮小する材料（例えば、フォトクロミック材料）の薄膜が基板上に設けられて、可動部２０ａ，２０ｂが構成され、該所定の値域範囲の波長の光の照射に応じて自由端２０Ｔａ，２０Ｔｂが上方（＋Ｚ方向）に変位するように変形することで駆動力を発生する態様が併せて採用されても良い。
【０３１０】
これにより、接着状態を解除する際の光の照射によってアクチュエータレイヤ２０がレンズ群レイヤ８０に対して駆動力を付与する。このため、固定部に対してレンズ群レイヤ８０が接着されている接着状態が、より確実かつ短時間で解除される。
【０３１１】
なお、仮固定レイヤ７０が紫外線の照射に応じて接着力が低下するものである場合には、組立工程において、ＵＶ硬化層の代わりに、熱の付与に応じて硬化する樹脂からなる熱硬化接着層が設けられ、加熱によって接合される方法が採用される方が好ましい。また、接合される各表面に不活性ガスのプラズマが照射され、該各表面が活性化された状態で張り合わされて接合される方法（表面活性化接合法）等が採用されても良い。
【０３１２】
◎また、上記第１，２実施形態および第１〜６変形例では、移動対象部が、レンズ群レイヤ８０，８０Ａ〜８０Ｃ，８０Ｅ〜８０Ｇであった。つまり、固定部が、撮像素子ＩＳを含み、且つ移動対象部が、被写体からの光を撮像素子ＩＳに導く光学系としてのレンズ群レイヤ８０，８０Ａ〜８０Ｃ，８０Ｅ〜８０Ｇを含んでいる構成が採用された。しかしながら、該構成に限られず、例えば、撮像素子等のその他の部材が移動対象部に含まれても良い。
【０３１３】
具体例としては、上記第１，２実施形態および第１〜６変形例に係るカメラモジュール５００，５００Ａ〜５００Ｇのうち、レンズ群レイヤ８０，８０Ａ〜８０Ｃ，８０Ｅ〜８０Ｇが第１の筐体２００に固定されて、残余の部分が、レンズ群レイヤ８０，８０Ａ〜８０Ｃ，８０Ｅ〜８０Ｇに対して相対的に移動する移動対象部とされる構成が考えられる。つまり、固定部が、被写体からの光を撮像素子に導くための光学系を含み、且つ移動対象部が、撮像素子を含む構成が採用されても良い。なお、このとき、移動対象部が、弾性部４１，６１、可動部２０ａ，２０ｂ、および光路が配置される内部空間を有する。よって、固定部および移動対象部のうちの少なくとも一方が、各種構成が配置される内部空間を有していれば良い。
【０３１４】
また、移動対象部は、光学系や撮像素子等といった撮像装置を構成する要素に限られない。例えば、移動対象部は、光ピックアップレンズの対物レンズ等といったその他の部材であっても良い。すなわち、本発明は、固定部と、該固定部に対して相対的に移動する移動対象部とを有して構成される移動機構一般に適用することができる。
【０３１５】
◎また、上記第１，２実施形態および第１〜６変形例では、アクチュエータレイヤ２０において、バイメタルが用いられてアクチュエータの機能が実現される構成が採用されていたが、これに限られない。
【０３１６】
例えば、シリコン(Ｓｉ)または金属等で構成される基板上に、薄膜状のアクチュエータ素子が形成されるか、または箔状に加工されたアクチュエータ素子が貼り付けられることで、アクチュエータの機能が実現されても良い。
【０３１７】
なお、アクチュエータ素子としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(ＰＺＴ)等の無機材料を用いた圧電素子、ポリフッ化ビニリデン(ＰＶＤＦ)等の有機材料を用いた圧電素子、または形状記憶合金(ＳＭＡ)を用いた素子等が挙げられる。
【０３１８】
ここで、アクチュエータ素子として圧電素子の薄膜が採用される場合には、例えば、シリコンウエハの基板上に、電極の薄膜、圧電素子の薄膜、および電極の薄膜が、この順番で、スパッタリング法等によって形成され、高電圧を印加するポーリングが行われる。
【０３１９】
また、アクチュエータ素子として、ＳＭＡが採用される場合には、例えば、基板上に二酸化珪素(シリカ)等の絶縁膜、金属の配線パターンからなるヒータの薄膜、およびアクチュエータ素子の薄膜が、スパッタリング等によって形成された後に、記憶させたい形状の型に可動部がセットされて、所定の高温(例えば、約６００℃)で加熱されることで、形状記憶処理が行われる。
【０３２０】
◎なお、上記第１，２実施形態および各種変形例をそれぞれ構成する全部または一部を、適宜、矛盾しない範囲で組み合わせ可能であることは、言うまでもない。例えば、第１，２実施形態および第１〜６変形例のうちの何れか２以上の構造の組合せによって、外部から内部空間への異物の侵入が抑制される構成が採用されても良い。
【符号の説明】
【０３２１】
１０，１０Ａ  カバーガラスレイヤ
２０  アクチュエータレイヤ
２０ａ，２０ｂ  可動部
３０  スペーサレイヤ
４０  第２平行ばねレイヤ
４１，６１  弾性部
５０  間隔板レイヤ
６０，６０Ｅ，６０Ｆ  第１平行ばねレイヤ
６０ｃＥ，８１ｃＥ  撥水性被覆部
６０ｐＦ，８１ｐＦ  接着テープ部
７０，７０Ａ，７０Ｇ  仮固定レイヤ
７０Ｂ  下弁レイヤ
７０ｔＡ，８１ｆｔＡ  環状凸部
７０ｔＢ，８１ｆｔＢ  膜状凸部
７０ｔＧ，８１ｆｔＧ  環状凸部群
７８，７８Ａ〜７８Ｃ，７８Ｅ〜７８Ｇ  抑制構造
７８Ｄ  膜状連結弁レイヤ
８０，８０Ａ〜８０Ｃ，８０Ｅ〜８０Ｇ  レンズ群レイヤ
８１，８１Ａ〜８１Ｃ，８１Ｅ〜８１Ｇ  連結板
８１Ｔａ〜８１Ｔｄ，８１ＴａＡ〜８１ＴｄＡ  突起部
８２  レンズ群
１００，１００Ａ〜１００Ｇ  携帯電話機
５００，５００Ａ〜５００Ｇ  カメラモジュール
５００Ｐｒ，５００ＰｒＡ〜５００ＰｒＣ，５００ＰｒＥ〜５００ＰｒＧ  カメラモジュールユニット部
ＩＳ  撮像素子
ＰＢ  撮像素子レイヤ
Ｕ１０  カバーガラスレイヤシート
Ｕ２０  アクチュエータレイヤシート
Ｕ３０  スペーサレイヤシート
Ｕ４０  第２平行ばねレイヤシート
Ｕ５０  間隔板レイヤシート
Ｕ６０  第１平行ばねレイヤシート
Ｕ７０  仮固定レイヤシート
Ｕ７８Ｃ  膜状連結弁レイヤシート
Ｕ８０  レンズ群レイヤシート
Ｕ５００，Ｕ５００Ａ〜Ｕ５００Ｃ，Ｕ５００Ｅ〜Ｕ５００Ｇ  積層部材
ＵＰＢ  撮像素子レイヤシート
ＷＢ  移動機構
【図１】
2011118064.tif 000003
【図２】
2011118064.tif 000004
【図３】
2011118064.tif 000005
【図４】
2011118064.tif 000006
【図５】
2011118064.tif 000007
【図６】
2011118064.tif 000008
【図７】
2011118064.tif 000009
【図８】
2011118064.tif 000010
【図９】
2011118064.tif 000011
【図１０】
2011118064.tif 000012
【図１１】
2011118064.tif 000013
【図１２】
2011118064.tif 000014
【図１３】
2011118064.tif 000015
【図１４】
2011118064.tif 000016
【図１５】
2011118064.tif 000017
【図１６】
2011118064.tif 000018
【図１７】
2011118064.tif 000019
【図１８】
2011118064.tif 000020
【図１９】
2011118064.tif 000021
【図２０】
2011118064.tif 000022
【図２１】
2011118064.tif 000023
【図２２】
2011118064.tif 000024
【図２３】
2011118064.tif 000025
【図２４】
2011118064.tif 000026
【図２５】
2011118064.tif 000027
【図２６】
2011118064.tif 000028
【図２７】
2011118064.tif 000029
【図２８】
2011118064.tif 000030
【図２９】
2011118064.tif 000031
【図３０】
2011118064.tif 000032
【図３１】
2011118064.tif 000033
【図３２】
2011118064.tif 000034
【図３３】
2011118064.tif 000035
【図３４】
2011118064.tif 000036
【図３５】
2011118064.tif 000037
【図３６】
2011118064.tif 000038
【図３７】
2011118064.tif 000039
【図３８】
2011118064.tif 000040
【図３９】
2011118064.tif 000041
【図４０】
2011118064.tif 000042
【図４１】
2011118064.tif 000043
【図４２】
2011118064.tif 000044
【図４３】
2011118064.tif 000045
【図４４】
2011118064.tif 000046
【図４５】
2011118064.tif 000047
【図４６】
2011118064.tif 000048
【図４７】
2011118064.tif 000049
【図４８】
2011118064.tif 000050
【図４９】
2011118064.tif 000051
【図５０】
2011118064.tif 000052
【図５１】
2011118064.tif 000053
【図５２】
2011118064.tif 000054
【図５３】
2011118064.tif 000055
【図５４】
2011118064.tif 000056
【図５５】
2011118064.tif 000057
【図５６】
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【図５７】
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【図５８】
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【図５９】
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【図６０】
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【図６１】
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【図６２】
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【図６３】
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【図６４】
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【図６５】
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【図６６】
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【図６７】
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【図６８】
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