(57)【要約】【課題】吐出特性の低下を抑制した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】ノズルプレート２０と、圧力発生室１２が設けられた流路形成基板１０と、圧電素子３００と、各圧力発生室１２に共通のマニホールド１００とを具備し、マニホールド１００は、液体導入孔１２２が設けられたインク導入部材１２０と、インク導入部材１２０の第１の面１３１に相対向する第２の面１３２の一部にマニホールド形成部１１１を有するマニホールド形成基板１１０と、マニホールド形成基板１１０からインク導入部材１２０に亘ってノズルプレート２０のノズル面に直交する方向に起立して設けられたコンプライアンス基板４０とから画成され、コンプライアンス基板４０には、マニホールド１００に導入されたインクの圧力を吸収する封止膜４１が設けられ、マニホールド形成部１１１には、封止膜４１側に傾斜した傾斜面１１２が形成されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口が形成されたノズルプレートと、前記ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、前記圧力発生室に圧力を発生させる圧力発生素子と、複数の前記圧力発生室に対して共通の流路となるマニホールドとを具備し、
前記マニホールドは、当該マニホールドに液体を導入するための液体導入孔が設けられた液体導入部材と、前記マニホールドの前記液体導入孔側の第１の面に相対向する側の第２の面の少なくとも一部にマニホールド形成部を有するマニホールド形成基板と、前記マニホールド形成基板から前記液体導入部材に亘って前記ノズルプレートのノズル面に直交する方向に起立して設けられて前記マニホールド内の液体の圧力を吸収するコンプライアンス基板とから画成され、
前記マニホールド形成部には、前記コンプライアンス基板側に傾斜した傾斜面が形成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記マニホールド形成部の第２の面であって前記傾斜面以外の領域には、複数の凸部が形成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記マニホールド形成基板は、前記ノズルプレートから離隔して設けられている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜請求項３の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドであるインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、ノズル開口に連通する圧力発生室とこの圧力発生室の長手方向一端部側に圧力発生室の短手方向に亘って設けられて各圧力発生室に連通する連通部とが形成される流路形成基板と、この流路形成基板の一方面側に形成される圧電素子と、流路形成基板の圧電素子側の面に接着剤を介して接合されて、連通部と共にリザーバー（本願のマニホールドに相当する。）の一部を構成するリザーバー部を有するリザーバー形成基板と、リザーバー及び流路の底面を構成し、かつノズル開口が形成されたノズルプレートとを具備するものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１に開示されたインクジェット式記録ヘッドの構成では、流路形成基板の圧力発生室の長手方向一端部側にマニホールドの一部を構成する連通部が設けられているため、流路形成基板は長手方向に大型化し、インクジェット式記録ヘッドも長手方向に大型化してしまうという問題がある。
【０００４】
そこで、インクジェット式記録ヘッドを支持するヘッドホルダーを利用して、このヘッドホルダーとノズルプレートとでリザーバーを形成することにより圧力発生室の長手方向で小型化した液体噴射ヘッドが知られている（例えば、特許文献２参照）。また、該液体噴射ヘッドのノズルプレートには、リザーバー内に導入されたインクの圧力を吸収するための薄肉部と弾性変形する高分子材料とからなるコンプライアンス部が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−２１９２４３号公報（第３〜５図、第６〜８頁）
【特許文献２】特許第３４０２３４９号（第１１図等）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記構成では、ヘッドホルダーを利用することで流路形成基板の小型化は可能であるものの、ノズルプレートがリザーバーの一部を形成するため、このリザーバーの大きさに合わせてノズルプレートを形成しなければならず、ノズルプレートの小型化が困難になるという問題がある。
【０００７】
また、このような構造のインクジェット式記録ヘッドでは、インク吐出の際、圧力発生室内に圧力変化を生じさせる関係上、インク吐出と共に圧力発生室内のインクがインク供給路を介してリザーバー側に流出する。上記構成では、このリザーバー側に流出するインクの流れとは平行にコンプライアンス部が設けられているため、該インクの圧力を十分に吸収できない。このため、隣接する圧力発生室から流出したインクの流れが干渉して、いわゆるクロストークが発生し、安定したインク吐出特性が得られないという問題が生じる。
【０００８】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッドに限定されず、他のデバイスに用いられる液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑み、吐出特性の低下を抑制した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口が形成されたノズルプレートと、前記ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、前記圧力発生室に圧力を発生させる圧力発生素子と、複数の前記圧力発生室に対して共通の流路となるマニホールドとを具備し、前記マニホールドは、当該マニホールドに液体を導入するための液体導入孔が設けられた液体導入部材と、前記マニホールドの前記液体導入孔側の第１の面に相対向する側の第２の面の少なくとも一部にマニホールド形成部を有するマニホールド形成基板と、前記マニホールド形成基板から前記液体導入部材に亘って前記ノズルプレートのノズル面に直交する方向に起立して設けられて前記マニホールド内の液体の圧力を吸収するコンプライアンス基板とから画成され、前記マニホールド形成部には、前記コンプライアンス基板側に傾斜した傾斜面が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、液体導入孔からマニホールドに導入された液体による圧力は、傾斜面に沿う方向、もしくは傾斜面に反射してコンプライアンス基板側に伝達され、そのインクの圧力は吸収される。また、圧力発生室からの液体の流れによる圧力は、直接的にコンプライアンス基板に吸収される。従って、マニホールド内の液体の圧力が十分に吸収され、液体の吐出特性の低下を抑制することができる。また、マニホールドを構成する部材としてマニホールド形成基板を用いたので、ノズルプレートや流路形成基板を小型化することができる。したがって、一枚の基板から得られるノズルプレートや流路形成基板の数を増やすことができ、これによるコストの削減が可能である。
【００１１】
ここで、前記マニホールド形成部の第２の面であって前記傾斜面以外の領域には、複数の凸部が形成されていることが好ましい。これにより、液体導入孔からマニホールドに導入された液体による圧力が凸部により緩和されるので、この圧力に起因した吐出特性の低下をさらに抑制することができる。
【００１２】
また、前記マニホールド形成基板は、前記ノズルプレートから離隔して設けられていることが好ましい。マニホールド形成基板は、ノズルプレートから離隔して設けられているため、マニホールド形成基板が液体の圧力で振動したとしても、その振動が直接ノズルプレートに伝わることがない。このようにノズルプレートの振動が防止されるので、液体の吐出特性がより一層安定する。
【００１３】
また、上記課題を解決する本発明の他の態様は、上記態様に記載する液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、吐出特性の低下を抑制した液体噴射装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施形態１に係る記録ヘッドの一例を示す分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの一例を示す平面図及び断面図である。
【図３】実施形態１に係る記録ヘッドの要部断面図である。
【図４】実施形態２に係る記録ヘッドの要部断面図である。
【図５】実施形態３に係る記録ヘッドの一例を示す断面図である。
【図６】実施形態４に係る記録ヘッドの一例を示す断面図である。
【図７】本発明の記録装置の概略構成を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
〈実施形態１〉
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図２は、図１の平面図及び断面図である。図示するように、流路形成基板１０は、本実施形態では面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成されている。流路形成基板１０には、隔壁１１により複数の圧力発生室１２がその幅方向に並設されている。また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向外側の領域には、インク供給路１４と連通部１３とが隔壁１１によって区画されている。この圧力発生室１２とインク供給路１４と連通部１３とで個別流路が構成されている。
【００１６】
連通部１３は、圧力発生室１２の列毎に共通の流路となるマニホールド１００に連通する。インク供給路１４は、圧力発生室１２よりも上面視において狭い幅となるように形成されており、連通部１３から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。
【００１７】
流路形成基板１０の開口面側には、マニホールド形成基板１１０が接合され、さらにこのマニホールド形成基板１１０にノズルプレート２０が接合されている。マニホールド形成基板１１０は、流路形成基板１０の開口面全体を覆っており、この開口面がマニホールド形成基板１１０で封止されることにより圧力発生室１２が画成されている。
【００１８】
マニホールド形成基板１１０には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍に連通する連通孔１１４が形成され、ノズルプレート２０には、連通孔１１４に連通するノズル開口２１が穿設されている。すなわち、各ノズル開口２１は、各連通孔１１４を介して各圧力発生室１２に連通している。
【００１９】
マニホールド形成基板１１０は、流路形成基板１０よりも圧力発生室１２の長手方向に突出したマニホールド形成部１１１を有している。詳細は後述するが、マニホールド形成部１１１は、マニホールド１００の一部を形成する。
【００２０】
ノズルプレート２０は、マニホールド形成基板１１０の連通孔１１４を封止しうる程度の大きさに形成されている。本実施形態では、圧力発生室の長手方向の長さが、流路形成基板よりも短く形成されている。
【００２１】
このようなマニホールド形成基板１１０及びノズルプレート２０は、例えば、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板などからなる。また、流路形成基板１０、マニホールド形成基板１１０及びノズルプレート２０は、それぞれ接着剤や熱溶着フィルム等で接合されている。
【００２２】
一方、このような流路形成基板１０の開口面とは反対側には、上述したように弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には、例えば、酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５５が形成されている。さらに、この絶縁体膜５５上には、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とが、後述するプロセスで積層形成されて、圧力発生素子の一例である圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。本実施形態では、第１電極６０は圧電素子３００の共通電極とし、第２電極８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。
【００２３】
なお、このような各圧電素子３００の第２電極８０には、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０がそれぞれ接続されている。リード電極９０には、駆動ＩＣ２００が設けられているＣＯＦ２０１が接続されており、駆動ＩＣ２００からの信号は、リード電極９０を介して各圧電素子３００に選択的に印加される。
【００２４】
また、流路形成基板１０上の圧電素子３００側の面には、圧電素子３００に対向する領域にその運動を阻害しない程度の空間を確保可能な圧電素子保持部３１を有する保護基板３０が接合されている。圧電素子３００は、この圧電素子保持部３１内に形成されているため、外部環境の影響を殆ど受けない状態で保護されている。なお、保護基板３０の材料としては、例えば、ガラス、セラミックス材料、金属、樹脂等が挙げられるが、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料で形成されていることがより好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
【００２５】
保護基板３０上には、マニホールド１００を構成する液体導入部材の一例であるインク導入部材１２０が接着剤層を介して設けられている。インク導入部材１２０は、天井壁１２１と３つの側壁とから構成されている。即ち、インク導入部材１２０は、底面と、圧力発生室１２の長手方向における連通部１３側の側面（図２中右側の側面）とが開放されている。天井壁１２１には、インクを導入するためのインク導入孔（液体導入孔）１２２が設けられている。
【００２６】
第１の面１３１は、マニホールド１００のインク導入孔１２２側の面、すなわち、インク導入部材１２０のマニホールド形成基板１１０側の面のうちマニホールド１００を画成する部分である。第２の面１３２は、マニホールド形成基板１１０の第１の面１３１に相対向する面、すなわち、マニホールド形成基板１１０のインク導入部材１２０側の面のうちマニホールド１００を画成する部分である。
【００２７】
前述したマニホールド形成基板１１０のマニホールド形成部１１１は、マニホールド形成基板１１０の第２の面１３２の一部に形成されている。すなわち、マニホールド形成基板１１０の第２の面１３２を構成する領域の一部分がマニホールド形成部１１１となっている。なお、マニホールド形成部１１１は、第２の面１３２の全体に亘って形成されてもよい。
【００２８】
また、インク導入部材１２０の開放された側面側には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０がインク導入部材１２０からマニホールド形成基板１１０までに亘って接合されている。このように、インク導入部材１２０と、保護基板３０及び流路形成基板１０の壁面、マニホールド形成部１１１、及びコンプライアンス基板４０により画成された空間がマニホールド１００となっている。このようなマニホールド１００は、インク導入孔１２２に連通すると共に各連通部１３、即ち各個別流路に連通しており、これによりインク流路が構成されている。
【００２９】
封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、厚さが６μｍのポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）からなり、固定板４２は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定板４２のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
【００３０】
マニホールド形成部１１１には、コンプライアンス基板４０側に傾斜した傾斜面１１２が形成されている。本実施形態では、第２の面１３２の一部にマニホールド形成部１１１が設けられているので、第２の面１３２の一部が傾斜面１１２となっている。なお、マニホールド形成基板１１０の第２の面を構成する領域をマニホールド形成部とした場合は、その第２の面全体が傾斜面となる。
【００３１】
このように構成されたマニホールド１００は、可撓性を有する封止膜４１により、マニホールド１００内に導入されたインクの圧力が吸収される。このとき、マニホールド形成部１１１には、コンプライアンス基板４０側に傾斜した傾斜面１１２が形成されているため、インクの圧力がより一層、吸収され易くなっている。
【００３２】
このことを、図３を用いて詳細に説明する。図３は、図２（ｂ）の要部断面図である。図示するように、マニホールド形成部１１１には、コンプライアンス基板４０側に傾斜した傾斜面１１２が設けられている。上述したように、このマニホールド形成部１１１は、第１の面１３１に相対向する第２の面１３２の一部に設けられているので、矢印Ａに示すように、インク導入孔１２２に導入されたインクによる圧力は、傾斜面１１２に沿う方向、もしくは傾斜面１１２に反射してコンプライアンス基板４０側に伝達され、そのインクの圧力は、封止膜４１により吸収される。
【００３３】
また、インク吐出の際、圧力発生室１２内に圧力変化が生じたとき、矢印Ｂに示すように、インク吐出と共に圧力発生室１２内のインクがインク供給路１４を介してマニホールド１００側に流出する。このとき、ノズルプレート２０のノズル面に垂直に配設されたコンプライアンス基板４０は個別流路に相対向しているため、そのインクの流れによる圧力はコンプライアンス基板４０に直接的に伝わり、封止膜４１により吸収される。このため、隣接する圧力発生室１２にクロストークが発生することが抑制され、安定したインク吐出特性が得られる。
【００３４】
このように、インク導入孔１２２から導入されるインクの流れによる圧力は、傾斜面１１２を設けることでコンプライアンス基板４０に吸収され、圧力発生室１２からのインクの流れによる圧力は、直接的にコンプライアンス基板４０に吸収される。従って、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドでは、マニホールド１００内のインクの圧力が十分に吸収され、インクの吐出特性の低下を抑制することができる。
【００３５】
また、本実施形態のようにマニホールド１００を構成する部材としてノズルプレート２０を用いずにマニホールド形成基板１１０を用いたので、ノズルプレート２０は、必要最小限の大きさにすることができる。すなわち、ノズルプレート２０は、流路形成基板１０の開口面を封止しうる程度の大きさであればよく、マニホールド１００を構成するために必要な大きさ（本実施形態のマニホールド形成基板１１０の大きさと同等の大きさ）に形成する必要が無い。このようにノズルプレート２０を小型化することができるので、一枚の基板から得られるノズルプレート２０の数を増やすことができ、これによるコストの削減が可能である。
【００３６】
また、従来技術では、流路形成基板にマニホールドの一部を構成するように連通路が形成されていたが、本実施形態に係る流路形成基板１０ではマニホールド形成基板１１０を用いたため、そのような連通路は不要となっている。このため、流路形成基板１０は、そのような連通路が不要となる分、小型化することができる。これにより、一枚の基板から得られるノズルプレート２０の数を増やすことができ、これによるコストの削減が可能である。
【００３７】
ノズルプレート２０については、ノズル開口２１や表面に撥水膜を形成する工程等、流路形成基板１０については、圧力発生室１２や圧電素子３００等を形成する工程等は、複雑でコストが掛かるものである。しかしながら、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドでは、比較的、加工に要する手間やコストが掛からないマニホールド形成基板１１０を用いてマニホールド１００を形成することで、ノズルプレート２０や流路形成基板１０の小型化を実現し、ノズルプレート２０や流路形成基板１０などのコストが掛かる部材については、一枚の基板から得られる数を多くすることでコストの増大を抑制することができる。
【００３８】
また、本実施形態では、吐出特性を向上させるべく、コンプライアンス基板４０の封止膜４１の面積を広げてコンプライアンスを大きくするためには、コンプライアンス基板４０をノズルプレート２０のノズル面に対して垂直な方向に延設すればよい。このため、インクジェット式記録ヘッドの専有面積を大きくすることなく、コンプライアンスを大きくすることができる。
【００３９】
このようなインクジェット式記録ヘッドは、図示しない外部インク供給手段からインク導入孔１２２を介してインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動ＩＣ２００からの信号に従い、ＣＯＦ２０１を介して圧力発生室１２に対応するそれぞれの第１電極６０と第２電極８０との間に電圧を印加し、弾性膜５０、絶縁体膜５５、第１電極６０及び圧電体層７０をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。
【００４０】
〈実施形態２〉
本発明の実施形態２について、図４を用いて説明する。本発明の実施形態２に係る記録ヘッドは、実施形態１に係る記録ヘッドとは、マニホールド形成基板１１０Ａの構造が異なるものである。即ち、本実施形態においては、マニホールド形成部１１１の第２の面１３２であって傾斜面１１２が設けられていない面に、複数の凸部１１３が形成されている。
【００４１】
このような凸部１１３がマニホールド形成部１１１に形成されていることで、マニホールド１００に導入されたインクは、矢印に示すように、凸部１１３及び傾斜面１１２に流れる。傾斜面１１２に到達したインクは、傾斜面１１２に沿ってコンプライアンス基板４０に誘導される。一方、凸部１１３に到達したインクは、凸部１１３によりインクの圧力が打ち消される。このように、本実施形態では、コンプライアンス基板４０のコンプライアンスとともに、凸部１１３でインクの圧力を吸収することができるため、インク吐出特性の低下をより一層抑制することができる。なお、凸部１１３は、傾斜面１１２に設けられていてもよく、この場合、さらに確実にインクの圧力を吸収することができる。
【００４２】
〈実施形態３〉
本発明の実施形態３について、図５を用いて説明する。本発明の実施形態３に係る記録ヘッドは、実施形態１に係る記録ヘッドとは、マニホールド形成基板１１０Ｂの構造が異なるものである。即ち、実施形態１においては、マニホールド形成基板１１０は、流路形成基板１０とノズルプレート２０との間に配設されていたが、本実施形態においては、マニホールド形成基板１１０Ｂは、ノズルプレート２０の流路形成基板１０とは反対側に接合されている。
【００４３】
本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドは、マニホールド形成基板１１０Ｂがノズルプレート２０に接合され、マニホールド形成基板１１０Ｂのノズルプレート２０が接合されていない領域がマニホールド形成部１１１となっている。実施形態１と同様に、マニホールド形成部１１１は、インク導入部材１２０、コンプライアンス基板４０とともにマニホールド１００を形成しており、マニホールド形成部１１１には、傾斜面１１２が形成されている。
【００４４】
このような構成のインクジェット式記録ヘッドにおいても、実施形態１と同様の作用効果を奏する。なお、本実施形態では、マニホールド形成基板１１０Ｂは、ノズルプレート２０に接合された状態が維持できる程度の大きさ、形状であればよく、マニホールド形成基板１１０Ｂを小型化して、その分コストを削減することができる。
【００４５】
なお、マニホールド形成基板１１０Ｂと、インク導入部材１２０とは同一部材であってもよい。
【００４６】
〈実施形態４〉
本発明の実施形態４について、図６を用いて説明する。本発明の実施形態４に係る記録ヘッドは、マニホールド形成基板１１０Ｃがノズルプレート２０とは離隔して設けられていることを特徴とする。
【００４７】
図示するように、流路形成基板１０には、その開口面の一部を封止するノズルプレート２０が設けられるとともに、その開口面の他の部分を封止する流路底面部１５が設けられている。
【００４８】
本実施形態では流路形成基板１０をエッチングして圧力発生室１２を形成する際にこの部分を残して流路底面部１５を形成してもよく、また、流路形成基板１０を厚さ方向に２部材に分けて構成してもよい。具体的には、流路形成基板１０を一方面からエッチングして圧力発生室１２、連通部１３、インク供給路１４を形成する。この時に、圧力発生室１２は連通部１３、インク供給路１４と同じ深さまで形成する。次いで、このエッチングにより形成された部分に犠牲層材料を充填し、犠牲層を形成する。その後、この犠牲層を形成した面に後述するように弾性膜５０、絶縁体膜５５及び圧電素子３００をこの順で形成する。次いで、犠牲層が形成された面とは逆の面からエッチングを行い、圧力発生室１２のノズル開口に連通する部分を形成し、その後このエッチングした部分から犠牲層の除去剤を導入して犠牲層を取り除く。このようにして、流路底面部１５を残して個別流路をエッチングにより形成することができる。なお、これらの流路底面部１５及びノズルプレート２０はそれぞれ流路形成基板１０と強度を十分に保てる程度に接着されている。
【００４９】
マニホールド形成基板１１０Ｃは、流路底面部１５に接合されている。すなわち、マニホールド形成基板１１０Ｃは、ノズルプレート２０から離隔して設けられているため、マニホールド形成基板１１０Ｃがインクの圧力で振動したとしても、その振動が直接ノズルプレート２０に伝わることがない。このようにノズルプレート２０の振動が防止されるので、インクの吐出特性が安定する。
【００５０】
〈液体噴射装置〉
さらに、これらインクジェット式記録ヘッドＩは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置ＩＩに搭載される。図７は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００５１】
図示するように、インクジェット式記録ヘッドＩは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、このインクジェット式記録ヘッドＩを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。このインクジェット式記録ヘッドＩは、例えば、ブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００５２】
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、インクジェット式記録ヘッドＩを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００５３】
〈他の実施形態〉
本発明は上述した実施形態に限られない。マニホールド１００へのインクの導入方向、即ちインク導入孔１２２に相対向する面を構成する部材（マニホールド形成部）にコンプライアンス基板側に傾斜した傾斜面が設けられていれば、マニホールド１００へのインク導入時におけるインクの圧力を吸収することができ、また、圧力発生室１２からのインクの圧力を吸収できるという本発明の効果を得ることができる。従って、他の構成のインクジェット式記録ヘッドにおいてもこのような構成とすることで同様の効果を得ることができる。例えば、液体を吐出するノズル開口に連通する複数の圧力発生室が並設された流路形成基板と、この流路形成基板上に設けられて圧力発生室の一方側の面を構成する振動板と、振動板に先端部が当接するように設けられる圧電素子と、圧力発生室の周縁部に対向する領域に薄肉部が形成されてこの振動板の各圧力発生室に対向する領域内に圧電素子の先端部が当接する島部が設けられている液体噴射ヘッドの場合について説明する。この場合においても、圧力発生室に連通するマニホールドの底面を、ノズル開口が形成されているノズルプレートとは別の部材により構成し、この別の部材に傾斜面１１２を設けることで、上述した実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００５４】
また、上述した実施形態では、流路形成基板１０として、シリコン単結晶基板を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、ＳＯＩ基板、ガラス等の材料を用いるようにしてもよい。
【００５５】
なお、上述した実施形態では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００５６】
Ｉ  インクジェット式記録ヘッド、ＩＩ  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １０  流路形成基板、  １２  圧力発生室、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル開口、  ３０  保護基板、  ４０  コンプライアンス基板、  ４１  封止膜、  ４２  固定板、  １００  マニホールド、  １１０、１１０Ａ、１１０Ｂ、１１０Ｃ  マニホールド形成基板、  １１１  マニホールド形成部、  １１２  傾斜面、  １１３  凸部、  １２０  インク導入部材（液体導入部材）、  １２２  インク導入孔（液体導入孔）、  １３１  第１の面、  １３２  第２の面、  ３００  圧電素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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