(57)【要約】【課題】２種類の共通電極を有する圧電アクチュエータにおいて、各共通電極に電位のばらつきが生じるのを防止する。【解決手段】圧電アクチュエータ３２においては、互いに積層された圧電層４０〜４２のうち圧電層４０と圧電層４１との間に配置された複数の第１共通電極４３ａは、第１共通配線４３ｂにより互いに接続されている。第１共通配線４３ｂは、４つの第１延在部４３ｂ１、及び、第１接続部４３ｂ２と対向するように形成されたスルーホール５１、５３により、それぞれ、圧電層４０の下面及び圧電層４２の上面に引き出されている。また、圧電層４１と圧電層４２との間に配置された複数の第２共通電極４４ａは、第２共通配線４４ｂにより互いに接続されている。第２共通配線４４ｂは、４つの第２延在部４４ｂ１、及び、第２接続部４４ｂ２と対向するように形成されたスルーホール５４、５５により、圧電層４２の上面に引き出されている。【選択図】図２
2011212865.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
積層された複数の圧電層からなる圧電体と、
前記複数の圧電層のうちのいずれか２つの圧電層間に配置されており、所定の第１電位に保持される複数の第１共通電極と、
前記第１共通電極が配置された２つの圧電層間に配置されており、前記複数の第１共通電極と接続され、前記圧電体の面と平行な一方向に延在する複数の第１延在部と、前記複数の第１延在部同士を接続する接続部とを有する第１共通配線と、
前記複数の圧電層のうちのいずれか２つの圧電層間に配置されており、前記第１電位とは異なる第２電位に保持される複数の第２共通電極と、
前記第２共通電極が配置された２つの圧電層間に配置されており、前記複数の第２共通電極と接続され、前記一方向に延在する複数の第２延在部と、前記複数の第２延在部同士を接続する第２接続部とを有する第２共通配線と、
前記圧電層の積層方向から見て、その一部が前記第１共通電極と重なり、別の一部が前記第２共通電極と重なる複数の個別電極と、
前記圧電体の表面に配置されており、それぞれの電極と接続される複数の接続端子とを備え、前記複数の接続端子を介して前記それぞれの電極に電圧を付与する配線部材と電気的に接続される圧電アクチュエータであって、
前記第１共通配線と前記第２共通配線は、前記積層方向から見て、互いに重ならないように配置されており、
前記圧電層には、前記第１共通配線及び前記第２共通配線のうちの少なくとも一方の共通配線における、互いに離隔した複数箇所と対向する部分に複数のスルーホールが形成されており、
前記複数のスルーホールには、前記複数の第１延在部及び前記複数第２延在部のうち、前記少なくとも一方の共通電極を構成する複数の延在部と対向するものが含まれており、
前記第１共通電極と前記第２共通電極のうちの少なくとも一方の共通電極は、前記複数箇所において、前記少なくとも一方の共通配線及び前記複数のスルーホールにより前記圧電体の表面に引き出された上で前記接続端子に接続されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項２】
積層された複数の圧電層からなる圧電体と、
前記複数の圧電層のうちのいずれか２つの圧電層間に配置されており、所定の第１電位に保持される複数の第１共通電極と、
前記第１共通電極が配置された２つの圧電層間に配置されており、前記複数の第１共通電極と接続され、前記圧電体の面と平行な一方向に延在する複数の第１共通配線と、
前記複数の圧電層のうちのいずれか２つの圧電層間に配置されており、前記第１電位とは異なる第２電位に保持される複数の第２共通電極と、
前記第２共通電極が配置された２つの圧電層間に配置されており、前記複数の第２共通電極と接続され、前記一方向に延在する複数の第２共通配線と、
前記圧電層の積層方向から見て、その一部が前記第１共通電極と重なり、別の一部が前記第２共通電極と重なる複数の個別電極と、
前記圧電体の表面に配置されており、それぞれの電極と接続される複数の接続端子とを備え、前記複数の接続端子を介して前記それぞれの電極に電圧を付与する配線部材と電気的に接続される圧電アクチュエータであって、
前記第１共通配線と前記第２共通配線は、前記積層方向から見て、互いに重ならないように配置されており、
前記圧電層には、前記第１共通配線及び前記第２共通配線のうち少なくとも一方の共通配線における、互いに離隔した複数箇所と対向する部分に複数のスルーホールが形成されており、
前記第１共通電極と前記第２共通電極のうちの少なくとも一方の共通電極は、前記複数箇所において、前記少なくとも一方の共通配線及び前記複数のスルーホールにより前記圧電体の表面に引き出された上で前記接続端子に接続されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項３】
前記第１共通配線と前記第２共通配線とは、前記複数の圧電層の互いに異なる面に配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の圧電アクチュエータ。
【請求項４】
前記第１共通電極は、前記圧電体の、前記２つの共通電極のうち前記第１共通電極側の第１表面に、前記第１共通配線と複数のスルーホールにより引き出されており、
前記第２共通電極は、前記圧電体の表面のうち前記第１表面と対向する第２表面に、前記第２共通配線と複数のスルーホールにより引き出されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
【請求項５】
前記圧電体の表面には、前記複数のスルーホールと対向する位置に、前記複数の接続端子が配置されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
【請求項６】
前記スルーホールにより前記少なくとも一方の共通電極が引き出された前記圧電層の表面には、前記スルーホール同士を接続させる表面配線が配置されており、
前記表面配線上には、前記複数の接続端子が配置されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電層と圧電層の面上に配置された電極とを有する圧電アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に記載の圧電アクチュエータにおいては、互いに積層された２つの圧電層（圧電材料層）のうち、上側の圧電層の上面（第１層）、２つの圧電層の間（第２層）、及び、下側の圧電層の下面（第３層）に、それぞれ、複数の個別電極、第２共通電極（第２の定電位電極）、及び、第１共通電極（第１の定電位電極）が配置されている。
【０００３】
そして、第２共通電極は、記録用紙の搬送方向に関する個別電極の両端部と対向する複数の第２の部分と、個別電極の列毎に設けられており、記録用紙の搬送方向に延びて、第２の部分同士を接続する第１の部分とを有している。また、第１の部分は、第２層において、その両端部同士が互いに接続されているとともに、第３層の４つの角部まで引き出されている。さらに、これら４つの角部から、それぞれ、圧電層に形成されたスルーホールにより、上側の圧電層の上面に形成された接続端子まで引き出されている。接続端子はフレキシブル配線板に接続されており、接続端子を介してフレキシブル配線板から電圧が印加される。
【０００４】
一方、第１共通電極は、個別電極の列毎に設けられており、複数の個別電極と対向するように記録用紙の搬送方向に延びた第３の部分を有している。また、第３の部分は、第３層において、その両端部同士が互いに接続されているとともに、走査方向（記録用紙の搬送方向と直交する方向）に関する両端部まで引き出されている。さらに、この走査方向に関する両端部から圧電層に形成されたスルーホールにより、上側の圧電層の上面に形成された接続端子まで引き出されている。接続端子はフレキシブル配線板に接続されており、接続端子を介してフレキシブル配線板から電圧が印加される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−９６１７３号公報（図６６、図６７）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここで、特許文献１に記載の圧電アクチュエータでは、第１共通電極と第２共通電極とが互いに対向している部分が存在するが、この部分においては、第１共通電極と第２共通電極との間には、１つの薄い圧電層が介在しているだけであるので、この部分において、第１共通電極と第２共通電極の間の電界によって意図せぬ変形が生じてしまう。
【０００７】
そこで、本発明の発明者は、第１共通電極と第２共通電極とを互いに対向しないように配置することを考えた。しかしながら、この場合、第２共通電極については、第１の部分の両端部同士を接続しようとすると、どうしても第１共通電極と対向してしまうため、第１の部分は片側の端部同士しか接続することができない。
【０００８】
一方、第１共通電極については、上記第３の部分のうち、第２共通電極の第１の部分と対向する部分をなくした、互いに離隔した個別電極と対向する複数の部分と、個別電極の列毎に設けられ、記録用紙の搬送方向に延びてこれら複数の部分同士を接続する部分（接続部とする）とを有するものとする必要があるが、この接続部の両端部同士を接続しようとすると、どうしても第２共通電極と対向してしまうため、接続部は、片側の端部同士しか接続することができない。
【０００９】
共通電極は、その電位を一定に保持されるものであるが、接続端子からの距離が長くなるほど電圧降下が生じ、個別電極と対向する部分の電位にばらつきが生じてしまう。さらに、個別電極の数が多くなると、記録用紙の搬送方向に延びた第１の部分、および、第３の部分が長くなり、上記電位のばらつきは特に顕著なものとなる。そして、このような電位のばらつきが生じてしまうと、圧電アクチュエータの駆動特性がばらついてしまう虞がある。
【００１０】
本発明の目的は、圧電層に意図せぬ変形を生じさせることなく、共通電極に電位のばらつきがない圧電アクチュエータを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
第１の発明に係る圧電アクチュエータは、積層された複数の圧電層からなる圧電体と、前記複数の圧電層のうちのいずれか２つの圧電層間に配置されており、所定の第１電位に保持される複数の第１共通電極と、前記第１共通電極が配置された２つの圧電層間に配置されており、前記複数の第１共通電極と接続され、前記圧電体の面と平行な一方向に延在する複数の第１延在部と、前記複数の第１延在部同士を接続する接続部とを有する第１共通配線と、前記複数の圧電層のうちのいずれか２つの圧電層間に配置されており、前記第１電位とは異なる第２電位に保持される複数の第２共通電極と、前記第２共通電極が配置された２つの圧電層間に配置されており、前記複数の第２共通電極と接続され、前記一方向に延在する複数の第２延在部と、前記複数の第２延在部同士を接続する第２接続部とを有する第２共通配線と、前記圧電層の積層方向から見て、その一部が前記第１共通電極と重なり、別の一部が前記第２共通電極と重なる複数の個別電極と、前記圧電体の表面に配置されており、それぞれの電極と接続される複数の接続端子とを備え、前記複数の接続端子を介して前記それぞれの電極に電圧を付与する配線部材と電気的に接続される圧電アクチュエータであって、前記第１共通配線と前記第２共通配線は、前記積層方向から見て、互いに重ならないように配置されており、前記圧電層には、前記第１共通配線及び前記第２共通配線のうちの少なくとも一方の共通配線における、互いに離隔した複数箇所と対向する部分に複数のスルーホールが形成されており、前記複数のスルーホールには、前記複数の第１延在部及び前記複数第２延在部のうち、前記少なくとも一方の共通電極を構成する複数の延在部と対向するものが含まれており、前記第１共通電極と前記第２共通電極のうちの少なくとも一方の共通電極は、前記複数箇所において、前記少なくとも一方の共通配線及び前記複数のスルーホールにより前記圧電体の表面に引き出された上で前記接続端子に接続されていることを特徴とする。
【００１２】
それぞれ異なる電位に保持される複数種類の共通電極を有する構成においては、同じ種類の共通電極を同じ電位に保持し、それぞれの共通電極において電位のばらつきが生じないように、互いに接続されていることが望ましい。しかし、第１共通電極と第２共通電極にそれぞれ接続される複数の第１共通配線と第２共通配線が、圧電体の面と平行な一方向に延在している第１延在部及び第２延在部を有している場合には、その一方向における圧電体の一端側で、第１延在部同士を互いに接続させると、第２延在部同士は他端側で互いに接続されることになる。
【００１３】
第１延在部同士を他端側でも接続させれば、第１共通電極における電圧降下の影響を低減させることができるが、他端側で第１延在部同士を接続させると、第１共通配線と第２共通配線が重なる領域が形成されてしまう。電圧降下の影響を低減させるため、第２延在部同士を一端側で接続させる場合も同様である。そのため、第１共通配線と第２共通配線を同じ面に配置することはできず、また、異なる面に配置された場合には、第１共通配線と第２共通配線との間に電界が発生し、この間の圧電層が意図せぬ変形をしてしまうこととなる。
【００１４】
しかし、本発明では、第１共通配線と第２共通配線とが互いに対向しないように配置されているととともに、圧電層における、第１共通配線及び第２共通配線のうち少なくとも一方の共通配線における、互いに離隔した複数箇所と対向する部分に、複数のスルーホールが形成されている。さらに、これら複数のスルーホールには、複数の第１延在部及び複数第２延在部のうち、少なくとも一方の共通電極を構成する複数の延在部と対向するものが含まれている。そして、第１共通電極と第２共通電極のうちの少なくとも一方の共通電極は、前記複数箇所において、前記少なくとも一方の共通配線及び前記複数のスルーホールにより圧電体の表面に引き出されている。したがって、引き出された後に同じ種類の共通電極同士を接続させることができ、複数の共通電極に電位のばらつきが生じない。また、第１共通配線と第２共通配線が圧電体の内部で重なることがないため、第１共通配線と第２共通配線の間に電界が発生することがない。
【００１５】
第２の発明に係る圧電アクチュエータは、積層された複数の圧電層からなる圧電体と、前記複数の圧電層のうちのいずれか２つの圧電層間に配置されており、所定の第１電位に保持される複数の第１共通電極と、前記第１共通電極が配置された２つの圧電層間に配置されており、前記複数の第１共通電極と接続され、前記圧電体の面と平行な一方向に延在する複数の第１共通配線と、前記複数の圧電層のうちのいずれか２つの圧電層間に配置されており、前記第１電位とは異なる第２電位に保持される複数の第２共通電極と、前記第２共通電極が配置された２つの圧電層間に配置されており、前記複数の第２共通電極と接続され、前記一方向に延在する複数の第２共通配線と、前記圧電層の積層方向から見て、その一部が前記第１共通電極と重なり、別の一部が前記第２共通電極と重なる個別電極と、前記圧電体の表面に配置されており、それぞれの電極と接続される複数の接続端子とを備え、前記複数の接続端子を介して前記それぞれの電極に電圧を付与する配線部材と電気的に接続される圧電アクチュエータであって、前記第１共通配線と前記第２共通配線は、前記積層方向から見て、互いに重ならないように配置されており、前記圧電層には、前記第１共通配線及び前記第２共通配線のうち少なくとも一方の共通配線における、互いに離隔した複数箇所と対向する部分に複数のスルーホールが形成されており、前記第１共通電極と前記第２共通電極のうちの少なくとも一方の共通電極は、前記複数箇所において、前記少なくとも一方の共通配線及び前記複数のスルーホールにより前記圧電体の表面に引き出された上で前記接続端子に接続されていることを特徴とする。
【００１６】
本発明では、第１共通電極と第２共通電極とが互いに対向しないように配置されているとともに、圧電層には、第１共通配線及び第２共通配線のうち少なくとも一方の共通配線における、互いに離隔した複数箇所と対向する部分に複数のスルーホールが形成されている。そして、第１共通電極と第２共通電極のうちの少なくとも一方の共通電極は、前記複数箇所において、前記少なくとも一方の共通配線及び前記複数のスルーホールにより圧電体の表面に引き出されている。したがって、引き出された後に同じ種類の共通電極同士を接続させることができるため、複数の共通電極に電位のばらつきが生じない。また、第１共通配線と第２共通配線が圧電体の内部で重なることがないため、第１共通配線と第２共通配線の間に電界が発生することがない。
【００１７】
なお、第１及び第２の発明において、第１共通配線と第２共通配線が互いに重ならないように配置されているというのは、第１共通電極と第２共通配線が、圧電層の異なる面に配置されていること、及び、第１共通配線と第２共通配線が、圧電層の同じ面に配置されており、第１共通配線と第２共通配線が、その面の異なる領域に配置されていることの両方を含んでいる。
【００１８】
第３の発明に係る圧電アクチュエータは、第１又は第２の発明に係る圧電アクチュエータにおいて、前記第１共通配線と前記第２共通配線とは、前記複数の圧電層の互いに異なる面に配置されていることを特徴とする。
【００１９】
本発明によると、第１共通配線と第２共通配線とが、圧電層の互いに異なる面に配置されており、第１共通配線と第２共通配線とが圧電層を挟んで互いに対向していないので、さらに、第１共通配線と第２共通配線の間にマイグレーションが生じてしまうのを抑制できる。
【００２０】
第４の発明に係る圧電アクチュエータは、第１〜第３のいずれかの発明に係る圧電アクチュエータにおいて、前記第１共通電極は、前記圧電体の、前記２つの共通電極のうち前記第１共通電極側の第１表面に、前記第１共通配線と複数のスルーホールにより引き出されており、前記第２共通電極は、前記圧電体の表面のうち前記第１表面と対向する第２表面に、前記第２共通配線と複数のスルーホールにより引き出されていることを特徴とする。
【００２１】
本発明によると、第１共通電極は、圧電体の、第１共通電極が配置されている側の第１表面に引き出されており、第２共通電極は、圧電体の、第１表面と対向する第２表面に引き出されているため、引き出した第１共通電極や第２電極に配線を接続する場合には、これらを同じ面に引き出した場合に比べて、配線の引き回しの自由度が高くなる。
【００２２】
第５の発明に係る圧電アクチュエータは、第１〜第４のいずれかの発明に係る圧電アクチュエータにおいて、前記圧電体の表面には、前記複数のスルーホールと対向する位置に、前記複数の接続端子が配置されていることを特徴とする。
【００２３】
本発明によると、圧電体の表面に引き出された共通配線（接続端子）と配線部材とを容易に接続することができる。
【００２４】
また、圧電体の表面のスルーホールと対向する部分に接続端子が配置されているため、仮に、圧電体の一表面に、スルーホールにより引き出された共通電極と、接続端子とを接続するための配線が配置されているとすると、その配線間でマイグレーションが生じる可能性があるが、共通電極と接続端子を接続するための配線がないため、マイグレーションが生じにくい。
【００２５】
第６の発明に係る圧電アクチュエータは、第１〜第５のいずれかの発明に係る圧電アクチュエータにおいて、前記スルーホールにより前記少なくとも一方の共通電極が引き出された前記圧電層の表面には、前記スルーホール同士を接続させる表面配線が配置されており、前記表面配線上には、前記複数の接続端子が配置されていることを特徴とする。
【００２６】
本発明によると、圧電体の表面において、引き出された共通電極同士を接続させる表面配線が配置されているため、共通電極同士の電位にばらつきが生じない。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、第１、第２共通電極の少なくとも一方が、複数のスルーホールにより圧電体の表面に引き出されているため、圧電層に意図せぬ変形を生じさせることなく、引き出された複数の部分同士を接続すれば共通電極の電位のばらつきを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施の形態に係るプリンタの概略構成図である。
【図２】図１のインクジェットヘッドの平面図である。
【図３】圧電層が積層された圧電アクチュエータの各圧電層の平面図である。
【図４】図３（ａ）〜（ｃ）の部分拡大図である。
【図５】図４のＶ−Ｖ線断面図である。
【図６】図４のVI−VI線断面図である。
【図７】（ａ）が図２のVIIa−VIIa線断面図であり、（ｂ）が図２のVIIb−VIIb線断面図である。
【図８】変形例１の図３（ａ）〜（ｃ）相当の図である。
【図９】変形例１の図７相当の図である。
【図１０】変形例２の図８（ａ）、（ｂ）相当の図である。
【図１１】変形例３の図３相当の図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明の好適な第１実施形態について説明する。図１は、本実施の形態に係るプリンタの概略構成図である。図１に示すように、プリンタ１は、キャリッジ２、インクジェットヘッド３、用紙搬送ローラ４などを備えている。
【００３０】
キャリッジ２は、ガイド軸５に沿って走査方向（図１の左右方向）に往復移動する。インクジェットヘッド３は、キャリッジ２の下面に配置されており、その下面に形成された複数のノズル１５からインクを吐出する。用紙搬送ローラ４は、記録用紙Ｐを紙送り方向（図１の手前方向）に搬送する。
【００３１】
そして、プリンタ１においては、用紙搬送ローラ４が紙送り方向に搬送する記録用紙Ｐに、インクジェットヘッド３が、キャリッジ２とともに走査方向に往復移動しながらインクを吐出するとによって、記録用紙Ｐに印刷を行う。
【００３２】
次に、インクジェットヘッド３（記録ヘッド）について詳細に説明する。図２はインクジェットヘッド３の平面図である。図３は後述する圧電層の平面図であり、（ａ）が圧電層４２の上面、（ｂ）が圧電層４１の上面、（ｃ）が圧電層４０の上面、（ｄ）が圧電層４０の下面をそれぞれ示している。図４は図３（ａ）〜（ｃ）の部分拡大図である。図５は、図４のＶ−Ｖ線断面図である。図６は、図４のVI−VI線断面図である。図７（ａ）は、図２のVIIa−VIIa線断面図である。図７（ｂ）は、図２のVIIb−VIIb線断面図である。
【００３３】
なお、図面を分かりやすくするため、図２においては、後述するスルーホール５１〜５５を、図７よりも大きく図示している。また、図２においては、後述する流路ユニット３１の圧力室１０及びノズル１５除くインク流路の図示を省略している。また、図２、図３においては、後述する導電パターン４３、４４及び個別４５、接続端子４６〜４９及び表面配線６１、６２にハッチングを付している。また、図６においては、流路ユニット３１の圧力室１０よりも下の部分の図示を省略している。
【００３４】
図２〜図７に示すように、インクジェットヘッド３は、流路ユニット３１と圧電アクチュエータ３２とを備えている。流路ユニット３１は、複数のプレート２１〜２７が互いに積層されることによって形成されており、その内部には、インク供給口９からインクが供給されるマニホールド流路１１、及び、マニホールド流路１１の出口からアパーチャ流路１２を経て圧力室１０に至り、さらに、圧力室１０からディセンダ流路１４を経てノズル１５に至る複数の個別インク流路を有するインク流路が形成されている。
【００３５】
複数の圧力室１０は、走査方向（図２の左右方向）を長手方向とする略楕円の平面形状を有しており、紙送り方向（図２の上下方向）に沿って配列されて１つの圧力室列８を構成している。そして、このような圧力室列８が、走査方向に沿って４つ配列されている。また、複数のノズル１５も、複数の圧力室１０と同様に配置されている。
【００３６】
そして、これら４つの圧力室列８を構成するノズル１５からは、図２の右側に配置されているものから順に、ブラック、イエロー、シアン、マゼンタのインク滴を噴射する。なお、インク流路の他の部分の構成については、従来のものと同様であるので、ここでは、その詳細な説明を省略する。
【００３７】
圧電アクチュエータ３２は、圧電層４０〜４２、第１導電パターン４３、第２導電パターン４４及び複数の個別電極４５を備えている。圧電層４０〜４２は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなり、互いに積層された状態で、複数の圧力室１０を覆うように、流路ユニット３０の上面に配置されている。ここで、圧電層４０〜４２のうち、圧電層４０は振動板として機能するものである。なお、本実施の形態では、圧電層４０〜４２の積層体が、本発明に係る圧電体に相当する。また、圧電層４０は、接着剤により流路ユニット３０の上面に接合されており、流路ユニット３０と圧電層４０との間には接着剤の層（接着層３９）が介在している。
【００３８】
第１導電パターン４３は、複数の第１共通電極４３ａと、第１共通配線４３ｂとからなり、圧電層４０と圧電層４１との間に配置されている。
【００３９】
複数の第１共通電極４３ａは、それぞれ、圧力室１０の紙送り方向に関する両端部と対向するように配置されている。第１共通配線４３ｂは、４つの第１延在部４３ｂ１と、１つの第１接続部４３ｂ２とからなる。第１延在部４３ｂ１は、４つの圧力室列８に対して個別に設けられており、紙送り方向に延びて各圧力室列８を構成する圧力室１０に対応する第１共通電極４３ａの図３における右端部同士を互いに接続している。第１接続部４３ｂ２は、走査方向に延びており、４つの第１延在部４３ｂ１の図３における上端部を互いに接続している。
【００４０】
ここで、圧電層４０の第１共通配線４３ｂの第１延在部４３ｂ１の図３における下端部と対向する部分には、内部に金属などの導電材料が充填されたスルーホール５１が形成されており、第１延在部４３ｂ１のこの部分は、スルーホール５１により圧電層４０の下面（圧電体の第１共通電極４３ａ側の第１表面）に引き出されている。
【００４１】
さらに、圧電層４０の下面には、表面配線６１が配置されている。表面配線６１は、４つのスルーホール５１にまたがるように走査方向に延びてスルーホール５１同士を接続しているとともに、その図３における右端部において折れ曲がって図中上下方向に延びている。また、圧電層４０〜４２における、表面配線６１の上下方向に延びた部分と対向する部分には、３つのスルーホール５２が形成されており、表面配線６１のこの部分は、スルーホール５２によって、圧電層４２の上面に引き出されている。圧電層４２の上面には、スルーホール５２と対向する図３における右下端部に、略矩形の平面形状を有する接続端子４６が配置されており、これにより、表面配線６１がスルーホール５２によって接続端子４６に接続されている。接続端子４６はランド５６を介して、圧電アクチュエータ３２の上方に配置されるＣＯＦ（Chip On Film）７０に接続されている。
【００４２】
一方、走査方向に延びた第１接続部４３ｂ２は、その左端部において図３の下方に折れ曲がっている。圧電層４１、４２の、この折れ曲がった部分と対向する部分には、内部に金属などの導電材料が充填された３つのスルーホール５３が形成されており、第１共通配線４３ｂのこの部分は、スルーホール５３を介して圧電層４２の上面（圧電体の表面）に引き出されている。圧電層４２の上面には、スルーホール５３と対向する図３における左上端部に、略矩形の平面形状を有する接続端子４７が配置されており、これにより、スルーホール５３により引き出された第１接続部４３ｂ２が接続端子４７に接続されている。接続端子４７はランド５７を介してＣＯＦ７０に接続されている。
【００４３】
このように、本実施の形態では、複数の第１共通電極４３ａが、圧電層４０、４２における、第１共通配線４３ｂの互いに離隔した複数箇所と対向する部分に形成されたスルーホール５１、５３を介して、それぞれ、圧電層４０の下面及び圧電層４２の上面に引き出された上で、接続端子４６、４７に接続されている。
【００４４】
第２導電パターン４４は、複数の第２共通電極４４ａと、第２共通配線４４ｂとからなり、圧電層４１と圧電層４２との間に配置されている。
【００４５】
複数の第２共通電極４４ａは、略矩形の平面形状を有しており、圧力室１０の略中央部と対向するように配置されている。第２共通配線４４ｂは、４つの第２延在部４４ｂ１と１つの第２接続部４４ｂ２とからなる。第２延在部４４ｂ１は、４つの圧力室列８に対して個別に設けられており、紙送り方向に延びて各圧力室列８を構成する圧力室１０に対応する第２共通電極４４ａの図３における左端部同士を互いに接続している。第２接続部４４ｂ２は、走査方向に延びており、４つの第２延在部４４ｂ１の図３における下端部を互いに接続している。
【００４６】
ここで、圧電層４２における、４つの第２延在部４４ｂ１の図３における上端部と対向する部分には、それぞれ、内部に金属などの導電材料が充填されたスルーホール５４が形成されており、第２延在部４４ｂ１のこの部分は、スルーホール５４により圧電層４２の上面（圧電体の第１表面と対向する第２表面）に引き出されている。
【００４７】
さらに、圧電層４２の上面には、表面配線６２が配置されている。表面配線６２は、４つのスルーホール５４にまたがるように走査方向に延びてスルーホール５４同士を接続しているとともに、図３における右端部が、圧電層４２の上面の図３における右上端部に配置された、略矩形の平面形状を有する接続端子４８と接続されている。接続端子４８はランド５８を介してＣＯＦ７０に接続されている。
【００４８】
一方、走査方向に延びた第２接続部４４ｂ２は、図３における左端部において図中上方に折れ曲がっている。圧電層４２における、第２接続部４４ｂ２の上記折れ曲がった部分と対向する部分には、内部に金属などの導電材料が充填された３つのスルーホール５５が形成されており、第２接続部４４ｂ２のこの部分は、スルーホール５５を介して圧電層４２の上面に引き出されている。圧電層４２の上面には、スルーホール５５と対向する図３における左下端部に、略矩形の平面形状を有する接続端子４９が配置されており、これにより、スルーホール５５に引き出された第２接続部４４ｂ２が接続端子４９に接続される。接続端子４９はランド５９を介してＣＯＦ７０に接続されている。
【００４９】
このように、本実施の形態では、複数の第２共通電極４４ａが、圧電層４２における、第２共通配線４４ｂの互いに離隔した複数箇所と対向する部分に形成されたスルーホール５４、５５を介して、圧電層４２の上面に引き出された上で接続端子４８、４９に接続されている。
【００５０】
なお、本実施の形態では、上述したように、スルーホール５２、５３、５５が３つずつ設けられているが、３つのスルーホール５２、３つのスルーホール５３、及び、３つのスルーホール５５は、それぞれ、同じ役割を果たすものであるため、スルーホール５２、５３、５５はそれぞれ最低１つずつあればよい。
【００５１】
複数の個別電極４５は、それぞれ、略矩形の平面形状を有しており、圧電層４２の上面の複数の圧力室１０の全域と対向するように配置されている。そして、個別電極４５は、その紙送り方向に関する両端部において第１共通電極４３ａと対向するとともに、その紙送り方向に関する略中央部において第２共通電極４４ａと対向する。すなわち、個別電極４５は、その一部が第１共通電極４３ａと重なり、別の一部が第２共通電極４４ａと重なる。
【００５２】
また、各個別電極４５は、圧力室１０と対向しない部分まで延びており、この部分が接続端子４５ａとなっている。接続端子４５ａは、ランド６０を介してＣＯＦ７０と接続されている。
【００５３】
そして、上述したような構成を有する圧電アクチュエータ３２においては、ＣＯＦ７０上に実装された図示しないドライバＩＣにより、第１共通電極４３ａがグランド電位（第１電位）に保持され、第２共通電極４４ａがグランド電位とは異なる所定の駆動電位（例えば２０Ｖ、第２電位）に保持される。さらに、ドライバＩＣにより、複数の個別電極４５には、グランド電位及び駆動電位のいずれかが選択的に付与される。
【００５４】
また、このような構成を有する圧電アクチュエータ３２においては、個別電極４５と第２共通電極４４ａとに挟まれた部分（活性部Ｒ１）が、その厚み方向に分極されている。また、圧電層４１、４２の、個別電極４５と第１共通電極４３ａとに挟まれた部分（活性部Ｒ２）は、活性部Ｒ１と同様に、その厚み方向に分極されている。
【００５５】
ここで、圧電アクチュエータ３２の動作について説明する。圧電アクチュエータ３２がインクを吐出させる動作を行う前の待機状態においては、前述したように、第１共通電極４３ａ及び第２共通電極４４ａが、それぞれ、常にグランド電位及び駆動電位に保持されているとともに、個別電極４５の電位が予めグランド電位に保持されている。
【００５６】
そのため、個別電極４５と第２共通電極４４ａとの間の電位差が生じ、活性部Ｒ１にはその分極方向と平行な方向の電界が発生する。これにより、活性部Ｒ１がこの電界と直交する方向、すなわち、厚み方向と直交する面方向に収縮し、いわゆるユニモルフ変形が生じ、圧電層４１、４２、及び、振動板としての圧電層４０の圧力室１０と対向する部分が全体として圧力室１０に向かって凸となるように変形する。この状態では、圧電層４０〜４２が変形していない場合と比較して、圧力室１０の容積が小さくなっている。
【００５７】
そして、インクを吐出させるべく圧電アクチュエータ３２を駆動させる際には、ある個別電極４５の電位を、一旦、駆動電位に切り替え、所定時間経過後、グランド電位に戻す。個別電極４５の電位を駆動電位に切り替えると、活性部Ｒ１の上記収縮が元に戻ると同時に、個別電極４５と第１共通電極４３ａとの間の電位差により、活性部Ｒ２にその分極方向と平行な方向の電界が発生することで、活性部Ｒ２がその面方向に収縮する。これにより圧電層４１、４２、及び、振動板としての圧電層４０の圧力室１０と対向する部分が全体として、圧力室１０と反対側に凸となるように変形し、圧力室１０の容積が増加する。
【００５８】
この後、個別電極４５の電位をグランド電位に戻すと、活性部Ｒ２の収縮が元に戻るとともに活性部Ｒ１がその面方向に収縮して、前述したのと同様、圧電層４０〜４２の圧力室１０と対向する部分が全体として圧力室１０に向かって凸となるように変形し、圧力室１０の容積が小さくなる。これにより、圧力室１０内のインクの圧力が上昇し、圧力室１０に連通するノズル１５からインクが吐出される。
【００５９】
また、圧電アクチュエータ３２をこのように駆動した場合には、圧電層４１、４２の変形時に、活性部Ｒ１の収縮と活性部Ｒ２の伸長とが互いに吸収しあい、活性部Ｒ１の伸長と活性部Ｒ２の収縮とが互いに吸収しあうため、圧電層４１、４２のある圧力室１０と対向する部分の変形が、別の圧力室１０と対向する部分に伝達して、当該部分の変形に影響を与えるいわゆるクロストークを防止することができる。
【００６０】
ここで、本実施の形態のように、複数の第１共通電極４３ａ及び複数の第２共通電極４４ａを備えた構成の圧電アクチュエータ３２においては、複数の第１共通電極４３ａ間、及び、複数の第２共通電極４４ａ間で電位のばらつきがないように、全ての第１共通電極４３ａが互いに接続されているとともに、全ての第２共通電極４４ａが互いに接続されていることが好ましい。
【００６１】
そのため、本実施の形態では、第１共通配線４３ｂにより第１共通電極４３ａ同士を接続しているとともに、第２共通配線４４ｂにより第２共通電極４４ａ同士を接続している。
【００６２】
しかしながら、仮に、第１共通配線４３ｂと第２共通配線４４ｂとが、いずれかの部分において対向しているとすると、第１共通配線４３ｂと第２共通配線４４ｂとの間には、圧電層４１が配置されているので、第１共通配線４３ｂと第２共通配線４４ｂとの電位差により、圧電層４１に意図せぬ変形が生じてしまう。
【００６３】
そこで、本実施の形態では、第１共通配線４３ｂ及び第２共通配線４４ｂを上述したように配置することで、図３に示すように、第１共通配線４３ｂと第２共通配線４４ｂとが、互いに対向していないようにしている。したがって、圧電層４１に上述したような意図せぬ変形が生じてしまうのを防止することができる。
【００６４】
さらに、第１共通配線４３ｂと第２共通配線４４ｂは、圧電層の互いに異なる面に配置されており、互いに対向していないので、第１共通配線４３ｂと第２共通配線４４ｂとの間でマイグレーションが生じてしまうのを抑制することができる。
【００６５】
また、仮に、スルーホール５１、５４がなく、接続端子４７及びスルーホール５３を介してのみ第１共通配線４３ｂに電位が付与され、接続端子４９及びスルーホール５５を介してのみ第２共通電極４４ｂに電位が付与されるとすると、第１延在部４３ｂ１の電位に、接続端子４７からの距離に応じて電圧降下が生じる。同様に、第２延在部４４ｂ１の電位に、接続端子４９からの距離に応じて電圧降下が生じる。その結果、第１共通配線４３ｂに接続された複数の第１共通電極４３ａ間、及び、第２共通配線４４ｂに接続された複数の第２共通電極４４ａ間で、それぞれ、電位のばらつきが生じてしまう。
【００６６】
そして、この電圧降下による影響は、第１共通電極４３ａ及び第２共通電極４４ａの数が多く、第１延在部４３ｂ１及び第２延在部４４ｂ１が長尺の場合に特に顕著なものとなる。
【００６７】
これに対して、本実施の形態では、第１共通配線４３ｂにおいて、第１接続部４３ｂ２がスルーホール５３により圧電層４２の上面に引き出されて接続端子４７に接続されているのに加えて、第１延在部４３ｂ１の図２における下端部が、スルーホール５１により圧電層４０の下面に引き出され、さらに、表面配線６１及びスルーホール５２を介して圧電層４２の上面に引き出されて接続端子４６に接続されている。
【００６８】
一方、第２共通配線４４ｂにおいては、第２接続部４４ｂ２がスルーホール５５により圧電層４２の上面に引き出されて接続端子４９に接続されているのに加えて、第２延在部４４ｂ１の図２における上端部が、スルーホール５４により圧電層４２の上面に引き出され、さらに、表面配線６２を介して接続端子４８に接続されている。
【００６９】
これにより、第１共通配線４３ｂのスルーホール５１〜５３により引き出した部分同士、及び、第２共通配線４４ｂのスルーホール５４、５５により引き出した部分同士をそれぞれ接続すれば、第１共通配線４３ｂ及び第２共通配線４４ｂに電圧降下による影響を抑制することができ、、複数の第１共通電極４３ａ間、及び、複数の第２共通電極４４ａ間に、それぞれ電位のばらつきが生じてしまうのを抑制することができる。
【００７０】
さらに、本実施の形態では、圧電層４０の下面に配置された表面配線６１により、スルーホール５１同士が接続されているとともに、圧電層４２の下面に配置された表面配線６２によりスルーホール５５同士が接続されているため、より確実に第１共通配線４３ｂ及び第２共通配線４４ｂの電位のばらつきを抑制することができ、第１共通電極４３ａ間、及び、第２共通電極４４ａ間で、それぞれ電位のばらつきが生じてしまうのをより効果的に抑制することができる。
【００７１】
さらに、表面配線６１は、圧電層４０の下面（圧電体の第１共通配線側の第１表面）に配置されているため、表面配線６１と第２導電パターン４４との間には、２つの圧電層４０、４１が介在する。一方、表面配線６２は、圧電層４２の上面（圧電体の第１表面と対向する第２表面）に配置されているため、表面配線６１と第２導電パターン４４との間には、２つの圧電層４１、４２が介在する。
【００７２】
すなわち、表面配線６１と第２導電パターン４４との距離、及び、表面配線６２と第１導電パターン４３との距離は、１つの圧電層４１のみを挟んで第１共通配線４３ｂと第２共通配線４４ｂとが対向するとした場合の第１共通配線４３ｂと第２共通配線４４ｂとの距離に比べて大きいため、表面電極６１、６２と導電パターン４４，４３の間に電界が生じたとしても、これらに挟まれた圧電層の変形は、圧電アクチュエータの変形を阻害しない程度の小さな変形とすることができる。
【００７３】
また、圧電層４０と流路ユニット３１とを接合している接着層３９は、それほど大きな厚みを有するものではないため、圧電層４２の下面に配置された表面配線６１が、流路ユニット３１と導通してしまうことも考えられるが、流路ユニット３１を構成するプレート２１〜２７などは、インク流路中のインクの帯電などを防止するために、表面配線６１（第１共通電極４３ａ）と同じグランド電位に保持されている。したがって、表面配線６１と流路ユニット３１とが導通してしまったとしても、第１共通電極４３ａの電位が変動してしまうことがない。
【００７４】
次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、本実施の形態と同様の構成を有するものについては、適宜その説明を省略する。
【００７５】
上述の実施の形態では、第１共通配線４３ｂを、スルーホール５１により圧電層４０の下面に引き出すともに、第２共通配線４４ｂを、スルーホール５４により圧電層４２の上面に引き出していたが、これには限られない。
【００７６】
例えば、これとは逆に、スルーホールにより、第１延在部４３ｂ１を圧電層４２の上面（圧電体の第２共通配線４４ｂ側の表面）に引き出し、第２延在部４４ｂ１を、圧電体の上記表面と反対側の表面である圧電層４０の下面に引き出してもよい。
【００７７】
さらには、第１共通配線４３ｂと第２共通配線４４ｂとを圧電体の互いに異なる表面に引き出すことには限られない。
【００７８】
一変形例（変形例１）では、図８、図９に示すように、第１延在部４３ｂ１の図８における下端部が、圧電層４１、４２のに形成されたスルーホール８１により、圧電層４２の上面に引き出されている。さらに、圧電層４２の上面のスルーホール８１と対向する部分には、個別に接続端子８２が配置されており、スルーホール８１により引き出された第１延在部４３ｂ１が接続端子８２に接続されている。
【００７９】
また、圧電層４２の上面のスルーホール５４と対向する部分には、個別に接続端子８４が配置されており、スルーホール５４によって圧電層４２の上面に引き出された第２延在部４４ｂ１が接続端子８４に接続されている。そして、接続端子８２、８４は、それぞれ、ランド８５、８６を介してＣＯＦ７０に接続されている。
【００８０】
上述の実施の形態では、スルーホール５１によって圧電層４０の下面に引き出した第１共通配線４３ｂを、さらに表面配線６１及びスルーホール５２を介して圧電層４２の上面に引き出して、圧電層４２の上面に配置された接続端子４６に接続する必要があったが、変形例１では、第１共通配線４３ｂ及び第２共通配線４４ｂの両方をスルーホール８１、５３、５４、５５によって圧電層４２の上面に引き出して接続端子４７、４９、８２、８４に接続しているため、引き出した第１共通配線４３ｂ及び第２共通配線４４ｂとＣＯＦ７０との接続を容易に行うことができる。
【００８１】
また、この場合、仮に圧電層４２の上面に表面配線６１と同様の配線を配置して、引き出した第１共通配線４３ｂ同士を接続してしまうと、この配線が、１つの圧電層４２のみを挟んで第１共通配線４３ｂと対向することとなってしまい、これらの間に生じた電界により、圧電層４２が意図せぬ変形をしてしまう。
【００８２】
しかしながら、変形例１では、圧電層４２の上面のスルーホール５４、８１と対向する部分に、それぞれ、接続端子８２、８４を配置することで、第１延在部４３ｂ１及び第２延在部４４ｂ１を、それぞれ、圧電層４２の上面に引き出した位置において接続端子８２、８４に接続しているため、圧電層４２の上面に、引き出した第１共通配線４３ｂ及び第２共通配線４４ｂと接続端子８２、８４とを接続するための配線が必要なく、上述したような変形は生じにくい。
【００８３】
さらに、このような配線を設けると、配線間でマイグレーションが生じてしまう虞があるが、変形例１では、このような配線がないため、マイグレーションが生じにくい。
【００８４】
また、上述の実施の形態では、第１導電パターン４３（第１共通配線４３ｂ）と第２導電パターン４４（第２共通配線４４ｂ）とが、圧電層の互いに異なる面に配置されていたが、これには限られない。
【００８５】
別の一変形例（変形例２）では、図１０に示すように、第１導電パターン４３と第２導電パターン４４が、ともに圧電層４１と圧電層４２との間に配置されている。なお、この場合、第１共通配線４３ｂと第２共通配線４４ｂとは、圧電層４１の上面の互いに異なる領域に配置されており、第１共通配線４３ｂと第２共通配線４４ｂとは互いに対向していない。
【００８６】
そして、第１共通配線４３ｂにおいては、第１延在部４３ｂ１の図１０における下端部が、圧電層４２に形成されたスルーホール９１により圧電層４２の上面に引き出されて接続端子８２に接続されており、第１接続部４３ｂ２が圧電層４２に形成されたスルーホール９２により圧電層４２の上面に引き出されて接続端子４７に接続されている。
【００８７】
一方、第２共通配線４４ｂにおいては、変形例１と同様、第２延在部４４ｂ１の図１０における上端部が、スルーホール５４により圧電層４２の上面に引き出されて接続端子８４に接続されており、第２接続部４４ｂ２が、スルーホール５５により圧電層４２の上面に引き出されて接続端子４９に接続されている。
【００８８】
第１共通配線４３ｂと第２共通配線４４ｂとが圧電層の同じ面に配置されている場合、これらが配置されている面上で、４つの第１延在部４３ｂ１の図１０における下端部を互いに接続することや、４つの第２延在部４４ｂ１の図１０における上端部を互いに接続することは困難である。
【００８９】
そこで、変形例２では、スルーホール５４、９１により、第１延在部４３ｂ１の図１０における下端部や、第２延在部４４ｂ１の図１０における上端部を圧電層４２の上面に引き出して接続端子８２、４９に接続している。これにより、これらの接続端子に同じ電源を接続するなどして、第１共通配線４３ｂのスルーホールにより引き出された部分同士、及び、第２共通配線４４ｂのスルーホールにより引き出された部分同士を接続すれば、第１共通配線４３ｂ及び第２共通配線４４ｂの電位のばらつきを防止することができる。
【００９０】
また、上述の実施の形態では、第１共通配線４３ｂが、４つの第１延在部４３ｂ１と、第１延在部４３ｂ１同士を接続する第１接続部４３ｂ１とからなるのものであり、第２共通配線４４ｂが、４つの第２延在部４４ｂ１と、第２延在部４４ｂ１同士を接続する第２接続部４４ｂ２とからなるのものであったが、これには限られない。
【００９１】
別の一変形例（変形例３）では、図１１に示すように、圧電層４０と圧電層４１との間に、複数の第１共通電極４３ａと、上述の４つの第１延在部４３ｂ１（図３参照）と同様の平面形状を有し、各圧力室列８に対応する複数の第１共通電極４３ａをそれぞれ互いに接続する４つの第１共通配線１０３ｂとからなる第１導電パターン１０３が配置されている。また、圧電層４１と圧電層４２との間に、複数の第２共通電極４４ａと、上述の４つの第２延在部４４ｂ１（図３参照）と同様の平面形状を有し、各圧力室列８に対応する複数の第２共通電極４４ａをそれぞれ互いに接続する４つの第２共通配線１０４ｂとからなる第２導電パターン１０４が配置されている。
【００９２】
そして、第１共通配線１０３ｂは、図１１における下端部が、上述の実施の形態と同様、スルーホール５１により圧電層４０の下面に引き出され、さらに、表面配線６１及びスルーホール５２により圧電層４２の上面に引き出されて接続端子４６に接続されている。
【００９３】
また、４つの第１共通配線１０３ｂは、図１１における上端部が、圧電層４０に形成されたスルーホール１１１により圧電層４０の下面に引き出されている。さらに、圧電層４０の下面には、走査方向に延びてスルーホール１１１同士を接続する表面配線１２１が配置されており、表面配線１２１の図中左端部が、圧電層４０〜４２に形成されたスルーホール１１２を介して圧電層４２の上面に引き出されて接続端子４７に接続されている。
【００９４】
一方、４つの第２共通配線１０４ｂは、図１１における上端部が、上述の実施の形態と同様、スルーホール５４により圧電層４２の上に引き出されて接続端子４８に接続されている。
【００９５】
また、４つの第２共通配線１０４ｂは、図１１における下端部が、圧電層４２に形成されたスルーホール１１４を介して圧電層４２の上面に引き出されている。さらに、圧電層４２の上面には、走査方向に延びた表面配線１２２が配置されており、表面配線１２２がスルーホール１１４同士を接続しているとともに、その図１１における左端部が、接続端子４９に接続されている。
【００９６】
そして、この場合でも、第１共通配線１０３ｂの電位、及び、第２共通配線１０４ｂの電位がばらつくことがなく、第１共通電極４３ａ間、及び、第２共通電極４４ａ間で、それぞれ、電位のばらつきが生じてしまうのを防止することができる。また、この場合も、表面配線６１、１２１と、第２導電パターン１０４、及び、表面配線６２、１２２と、第１導電パターン１０３との間に変形が発生しにくい。
【００９７】
さらに、この場合には、第１共通配線１０３ｂをスルーホール５１、１１１により圧電層４０の下面に引き出しているとともに、第２共通配線１０４ｂをスルーホール５４、１１４により圧電層４２の上面に引き出しているため、表面配線６１、１２１と、表面配線６２、１２２とが、圧電体の異なる表面に配置され、これらの表面配線が圧電体の同じ表面に配置されている場合に比べて配線の引きまわしの自由度が高くなる。
【００９８】
また、以上の例では、スルーホールが、第１延在部４３ｂ１、第２延在部４４ｂ１、第１共通配線１０３ｂ及び第２共通配線１０４ｂの端部と対向するように形成されていたが、これには限られず、スルーホールは、これらの途中の部分と対向するように形成されていてもよい。
【００９９】
また、以上では、一方の共通電極を、スルーホールを介して圧電層４０の下面に引き出した後、さらに別のスルーホールを介して圧電層４２の上面に引き出していたが、これには限られず、別のスルーホールで圧電層４２の上面に引き出すことなく、一方の共通電極を圧電層４０の下面でＣＯＦ７０と接続し、他方の共通電極を圧電層４２の上面でＣＯＦ７０と接続してもよい。さらに、この場合に、圧電層４０の下面に引き出される共通電極はグランド電位に保持される電極であり、圧電層４０の下面で、この共通電極と流路ユニット３１を接続させ、流路ユニット３１とＣＯＦ７０を接続させてもよい。
【０１００】
また、スルーホールの数は、以上に説明したものには限れらず、さらに多くのスルーホールによって、共通配線が圧電体の表面に引き出されていてもよい。
【０１０１】
また、以上の説明では、４つの圧力室列８が設けられていたのに合わせて、第１延在部４３ｂ１、第２延在部４４ｂ１、第１共通配線１０３ｂ及び第２共通配線１０４ｂが、それぞれ、４つずつ設けられていたが、圧力室列８の数が異なる場合には、その数に応じて、これらが、２又は３もしくは５以上設けられていてもよい。
【０１０２】
また、以上の例では、第１共通電極４３ａ及び第２共通電極４４ａの両方を、それぞれ、互いに離隔した複数箇所において、共通配線及びスルーホールにより圧電体の表面に引き出していたが、このように引き出すのは、第１共通電極４３ａ及び第２共通配線４４ａの一方のみであってもよい。これらの場合でも、当該一方の共通電極間に電位のばらつきが生じてしまうのを防止することはできる。
【０１０３】
また、以上では、ノズルからインク滴を噴射するインクジェットヘッドの圧電アクチュエータに本発明を適用した例について説明したが、これには限られず、インクジェットヘッド以外の種々の装置に用いられる、個別電極と互いに異なる電位に保持された２種類の共通電極とを有する圧電アクチュエータに本発明を適用することも可能である。
【符号の説明】
【０１０４】
３２  圧電アクチュエータ
４０、４１、４２  圧電層
４３ａ  第１共通電極
４３ｂ  第１共通配線
４３ｂ１  第１延在部
４３ｂ２  第１接続部
４４ａ  第２共通電極
４４ｂ  第２共通配線
４４ｂ１  第２延在部
４４ｂ２  第２接続部
４５  個別電極
４６〜４９  接続端子
５１〜５５  スルーホール
６１、６２  表面配線
８１  スルーホール
８２、８４  接続端子
９１  スルーホール
１０３ｂ  第１共通配線
１０４ｂ  第２共通配線
１１１、１１２、１１４  スルーホール
１２１、１２２  表面配線
【図１】
2011212865.tif 000003
【図２】
2011212865.tif 000004
【図３】
2011212865.tif 000005
【図４】
2011212865.tif 000006
【図５】
2011212865.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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