(57)【要約】【課題】傾角ステージを用いずに所望の干渉縞が得ることができるミロー型干渉対物レンズを提供することを課題とする。【解決手段】標本面を照明するための光を前記標本面に集光する対物レンズ系と、前記標本面と前記対物レンズ系との間に配置され、前記対物レンズ系から出射された前記光を分割し、一方は前記標本面とは異なる方向に反射し、他方は前記標本面の方に透過する光路分割手段と、前記光路分割手段によって反射された前記光と、前記光路分割手段を透過し前記標本面で反射された光とが、前記光路分割手段で合さるように前記光路分割手段によって反射された前記光を反射する参照ミラーと、前記対物レンズ系の光軸と直角に交わる平面に対する前記参照ミラーの角度を変更可能に前記参照ミラーを保持する鏡筒とを備えていることを特徴とする干渉対物レンズ。【選択図】図１
2011085655.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対物レンズ系と、
標本面と前記対物レンズ系の中の先端部との間に配置され、前記対物レンズ系から出射された照明光を分割し、一方は前記標本面とは異なる方向に反射し、他方は前記標本面の方に透過する光路分割手段と、
前記光路分割手段と前記対物レンズ系の先端部との間に配置され、前記光路分割手段によって反射された前記光と、前記光路分割手段を透過し前記標本面で反射された光とが、前記光路分割手段で合さるように前記光路分割手段によって反射された前記光を反射する参照ミラーと、
前記対物レンズ系の光軸と直角に交わる平面に対する前記参照ミラーの角度を変更する角度変更部とを備えていることを特徴とする干渉対物レンズ。
【請求項２】
前記参照ミラーは、前記光軸と直角に交わる軸を中心に回転することで、前記光軸と直角に交わる平面に対する角度を変更することを特徴とする請求項１に記載の干渉対物レンズ。
【請求項３】
前記参照ミラーの一方の面側は、前記軸上の２箇所と他の１箇所との３箇所で鏡筒に支持されていることを特徴とする請求項２に記載の干渉対物レンズ。
【請求項４】
前記参照ミラーの他方の面側は、弾性部材により付勢されていることを特徴とする請求項３に記載の干渉対物レンズ。
【請求項５】
前記参照ミラーの回転軸は、該回転軸を含み、前記光軸と直角に交わる平面内で前記光軸を中心として前記鏡筒の周方向に回転可能に設けられていることを特徴とする請求項２から４の何れか一項に記載の干渉対物レンズ。
【請求項６】
前記参照ミラーは、前記鏡筒を前記光軸と直角に交わる方向に移動する部材によって前記回転軸を中心に回転することを特徴とする請求項２から５の何れか一項に記載の干渉対物レンズ。
【請求項７】
前記参照ミラーは外径側に周方向に亘る溝が形成された保持部材に保持され、前記光軸と直角に交わる方向に移動する部材と前記溝とが摺動することで前記回転軸を中心に回転することを特徴とする請求項６に記載の干渉対物レンズ。
【請求項８】
請求項１から７の何れか一項に記載された干渉対物レンズを備えた顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はミロー型干渉対物レンズおよび顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、顕微鏡等で干渉観察を行うための対物レンズとして、対物レンズ内にミロー型の干渉部を組み込んだ干渉対物レンズがある（例えば、特許文献１）。
【０００３】
従来の干渉対物レンズは、対物レンズ、ハーフミラーおよび参照ミラーを備えて構成されており、対物レンズを透過した照明光をハーフミラーで分割し、このハーフミラーを透過した光を標本面に照射し、また、ハーフミラーで反射した光を参照ミラーで反射させた後、標本面で反射した光はハーフミラーを透過させ、さらに、参照ミラーで反射された光はハーフミラーで反射させて対物レンズで集光することにより、これらの光を干渉させて、干渉像と物体像とを形成して標本面を観察するとともに凹凸を測定するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−１９７２１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ミロー型干渉対物レンズを用いて標本を観察する場合、所望の干渉縞を観察可能にするために標本を傾斜させる傾角ステージを使用しなければならないということがある。
【０００６】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、傾角ステージを用いずに所望の干渉縞が得ることができるミロー型干渉対物レンズを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明に係る干渉対物レンズは、対物レンズ系と、標本面と前記対物レンズ系の中の先端部との間に配置され、前記対物レンズ系から出射された照明光を分割し、一方は前記標本面とは異なる方向に反射し、他方は前記標本面の方に透過する光路分割手段と、前記光路分割手段と前記対物レンズ系の先端部との間に配置され、前記光路分割手段によって反射された前記光と、前記光路分割手段を透過し前記標本面で反射された光とが、前記光路分割手段で合さるように前記光路分割手段によって反射された前記光を反射する参照ミラーと、前記対物レンズ系の光軸と直角に交わる平面に対する前記参照ミラーの角度を変更する角度変更部とを備えていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、傾角ステージを用いずに所望の干渉縞が得ることができるミロー型干渉対物レンズを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】実施形態に係るミロー型干渉対物レンズの全体の構成を示す断面図である。
【図２】（ａ）は参照ミラーを保持する保持枠の側面図であり、（ｂ）は保持枠を像側から見た図である。
【図３】図３（ａ）は干渉部鏡筒１９の光軸方向の断面図であり、（ｂ）は図３（ａ）のＸ−Ｘ線の断面を矢印方向から見た図である。
【図４】参照ミラー収容部に形成されたねじ孔部分近傍の拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しつつ説明する。
【００１１】
図１は、本発明の実施形態に係るミロー型干渉対物レンズの断面図である。
【００１２】
本実施形態に係るミロー型干渉対物レンズは、標本の干渉観察をする正立型あるいは倒立型の同軸落射照明顕微鏡等に取付けられて使用される。なお、図１において、紙面左側が標本面側、右側が像側である。
【００１３】
図１に示すように、本実施形態に係るミロー型干渉対物レンズ１は、標本面４側から順に光軸Ｌに沿って、ハーフミラー７と、参照ミラー１０と、複数のレンズを有する対物レンズ系１３とを備えている。ハーフミラー７と参照ミラー１０とで干渉部１６を構成している。干渉部１６は干渉部鏡筒１９に備えられている。ハーフミラー７は環状の保持枠２２の内径側に保持されている。ハーフミラー７の保持枠２２は干渉部鏡筒１９の標本面４側の端部に固定されている。参照ミラー１０は、円形の平行平板ガラス板の中央部分のみがミラー面１０ａとなっている。参照ミラー１０のミラー面１０ａはガラス板の像側の面に形成されており、標本面４側からの光を反射するように形成されている。参照ミラー１０は環状の保持枠２５の内径側に保持され、参照ミラー１０の保持枠２５は干渉部鏡筒１９の標本面４側の端部近傍に保持されている。なお、参照ミラー１０の保持枠２５の干渉部鏡筒１９への保持機構については後で詳細に説明する。
【００１４】
対物レンズ系１３のレンズ１３ａ、１３ｂ、１３ｃは主鏡筒２８に保持されている。最も像側のレンズ１３ｃは、主鏡筒２８の像側端部に配置されている。この位置は対物レンズ系１３に光源（図示省略）からの照明光が最初に入射される位置である。レンズ１３ｃは、主鏡筒２８の内周側に嵌合された円筒状の保持部材４０の像側端部に保持されている。円筒状の保持部材４０の像側端部は、内径がレンズ１３ｃの径に対応した環状に形成されており、レンズ１３ｃは環状部の内径側に保持されている。主鏡筒２８の標本面４側の端部には、主鏡筒２８の径方向で内側に向かって突出する鍔部３１が形成されている。最も標本面４側のレンズ１３ａは鍔部３１によって標本面４側への抜けが防止される。つまり鍔部３１はレンズ１３ａの標本面４側への抜け止めとなっている。レンズ１３ａと中央のレンズ１３ｂとの間は、円筒のスペーサ４３によって間隔が保持されている。スペーサ４３の外径は主鏡筒２８の内径とほぼ同じ寸法に形成されている。中央のレンズ１３ｂと像側のレンズ１３ｃとの間は保持部材４０によって間隔が保持されている。つまり保持部材４０はレンズ１３ｂとレンズ１３ｃとの間隔を保持するスペーサの機能を兼ねている。
【００１５】
主鏡筒２８の像側の端部には、レボルバ（図示省略）への取付け部４６が形成されている。取付け部４６の内径は主鏡筒２８の内径とほぼ同じ大きさまたは少し大きく形成されている。取付け部４６の外周には雄ねじ４６ａが形成されており、レボルバの雌ねじ（図示省略）と螺合することで干渉対物レンズ１はレボルバに取付けられる。取付け部４６の内周側には雌ねじ４６ｂが形成されている。雌ねじ４６ｂには、押え環４９が螺合している。押え環４９は取付け部４６の像側から標本面４側に向かって螺合しており、押え環４９の標本面４側の端部は、レンズ１３ｃを保持している保持部材４０の像側端部と接触している。このように押え環４９を像側から標本面４側に向かって螺合することで、レンズ１３ａ、スペーサ４３、レンズ１３ｂ、保持部材４０およびレンズ１３ｃを主鏡筒２８の内周側で押え環４９と鍔部３１との間に固定している。
【００１６】
主鏡筒２８の外周側の中央部には周方向に亘って段部３４が形成されている。段部３４よりも標本面４側は外径が小さい小径部２８ａ、像側は外径が大きい大径部２８ｂとなっている。また、干渉部鏡筒１９は像側が光軸Ｌ方向に延在する円筒部１９ａとなっている。円筒部１９ａの内径は主鏡筒２８の小径部２８ａの外径とほぼ同じ大きさに形成されており、また、光軸Ｌ方向の長さも小径部２８ａの光軸Ｌ方向の長さとほぼ同じ長さに形成されている。主鏡筒２８の小径部２８ａは干渉部鏡筒１９の円筒部１９ａの内周側に嵌入されている。円筒部１９ａの像側端部は段部３４の標本面４側の面に接触している。
【００１７】
干渉部鏡筒１９の円筒部１９ａの像側端部には、径方向で外方に向かって突出する拡径部１９ｂが周方向に亘って形成されている。また、主鏡筒２８の大径部２８ｂの標本面４側端部には、外径側に雄ねじ３７が形成されている。干渉部鏡筒１９の円筒部１９ａの外径側には外筒５２が配置されている。外筒５２の像側端部の内周側には雌ねじ５２ａが形成されており、また、当該雌ねじ５２ａの標本面４側に隣接して段部５２ｂが周方向に亘って形成されている。段部５２ｂの断面形状は干渉部鏡筒１９の円筒部１９ａに形成された拡径部１９ｂの断面形状に対応した形状に形成されている。外筒５２は標本面４側から像側に向かって干渉部鏡筒１９に嵌め込まれ、象側端部の雌ねじ５２ａと主鏡筒２８の大径部２８ｂの雄ねじ３７とが螺合されることにより、干渉部鏡筒１９の外周側に位置するように主鏡筒２８に固定される。このとき、干渉部鏡筒１９の円筒部１９ａに形成された拡径部１９ｂと外筒５２の内周側の段部５２ｂとが係合する。この係合により、干渉部鏡筒１９の主鏡筒２８から標本面４側への抜けを防止し、かつ干渉部鏡筒１９は主鏡筒２８に対して回転可能に保持される。
【００１８】
次に、参照ミラー１０の保持枠２５の干渉部鏡筒１９への保持機構について説明する。
【００１９】
図２（ａ）は参照ミラー１０の保持枠２５の側面図であり、（ｂ）は保持枠２５を像側から見た図である。
【００２０】
図２（ａ）、（ｂ）に示すように、保持枠２５の像側面には光軸Ｌを挟んで対向する１対の溝５５、５５が形成されている。１対の溝５５、５５は断面形状が略Ｖ字状に形成されている（以下、１対のＶ字溝５５、５５という。）。１対のＶ字溝５５、５５は、それぞれ保持枠２５の内径側から外径側まで連通し、径方向に沿って延在している。１対のＶ字溝５５、５５には、図１および図２（ａ）に示すように、それぞれ角度変更部の一部である鋼球５８、５８が配置されている。Ｖ字溝５５、５５の深さは鋼球５８、５８をＶ字溝５５、５５に入れた状態で鋼球５８、５８の中心が参照ミラー１０のミラー面１０ａと略同一面になる深さに形成されている。また、図２（ａ）に示すように、保持枠２５の外径側には、周方向に亘って断面形状が略Ｖ字状の溝（以下、周方向溝という。）６１が形成されている。
【００２１】
図３（ａ）は干渉部鏡筒１９の光軸方向の断面図であり、（ｂ）は図３（ａ）のＸ−Ｘ線の断面を矢印方向から見た図である。
【００２２】
図３（ａ）、（ｂ）に示すように、干渉部鏡筒１９は全体が略円筒形状に形成されている。干渉部鏡筒１９の像側は円筒部１９ａとなっており、主鏡筒２８の小径部２８ａが嵌入される（図１参照）。また、標本面４側には保持枠２２に保持されたハーフミラー７を固定するハーフミラー固定部６４と、保持枠２５に保持された参照ミラー１０を収容する参照ミラー収容部６７とが設けられている。ハーフミラー固定部６４は内径側に雌ねじ６４ａが形成されており、ハーフミラー７の保持枠２２の外径側に形成された雄ねじと螺合することでハーフミラー７の保持枠２２が固定される。参照ミラー収容部６７と円筒部１９ａとの間は、光路を周方向に囲んで環状壁７０が形成されている。環状壁７０は、参照ミラー１０を収容した状態において、保持枠２５の像側面と対向している（図１参照）。
【００２３】
環状壁７０の参照ミラー収容部６７側、すなわち標本面４側の壁面には、図３（ａ）に示すように凹部７３が１つ形成してある。凹部７３は、参照ミラー収容部６７に参照ミラー１０を収容した状態で、保持枠２５の１対のＶ字溝５５、５５を結ぶ直線の光軸Ｌに直角に交わる垂直二等分線と、光軸Ｌ方向に隣接して重なる位置に形成されている。つまり１対のＶ字溝５５、５５のそれぞれは、凹部７３からほぼ９０°の角度位置にある。凹部７３には、図１に示すように、ゴム球７６が配置されている。ゴム球７６は凹部７３に配置された状態において、環状壁７０の壁面よりも標本面４側に突出している。
【００２４】
図３（ｂ）は、保持枠２５の１対のＶ字溝５５、５５に配置される鋼球５８、５８および環状壁７０の凹部７３に配置されるゴム球７６の環状壁７０に対する配置位置を示している。図３（ｂ）に示すように、１対の鋼球５８、５８を結ぶ直線は光軸Ｌをその中間点としている。鋼球５８、５８のそれぞれは、環状壁７０に設けられた図示しない位置決め用の凹部にその一部が収まっている。また、図１に示すように、１対の鋼球５８、５８とゴム球７６とは略同一面内に存在している。すなわち、ゴム球７６は１対の鋼球５８、５８を結ぶ直線の光軸Ｌに直角に交わる垂直二等分線上に位置している。
【００２５】
干渉部鏡筒１９には、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、外径側から参照ミラー収容部６７に連通するねじ孔７９が形成されている。ねじ孔７９は、ゴム球７６を通り光軸Ｌと直交する直線と光軸方向に重なる位置に形成されている。ねじ孔７９には、図１に示すようにねじ８２が螺合している。
【００２６】
図４は角度変更部の一部である参照ミラー収容部６７に形成されたねじ孔７９部分近傍の拡大図である。
【００２７】
図４に示すように、ねじ孔７９に螺合されているねじ８２は、先端部が円錐状に形成されている（円錐部８２ａ）。この円錐部８２ａの傾斜角度は、参照ミラー１０の保持枠２５の外径側に形成された周方向溝６１の断面形状の傾斜角度に対応している。ねじ８２の円錐部８２ａの斜面は周方向溝６１の像側の溝面６１ａに接触している。
【００２８】
また、図１に示すように、参照ミラー１０の保持枠２５とハーフミラー７の保持枠２２との間にはウエーブワッシャ８５が配置されている。参照ミラー１０の保持枠２５は、ウエーブワッシャ８５により像側に向かう方向に予圧がかけられている。この予圧により、参照ミラー１０の保持枠２５は１対のＶ字溝５５、５５にそれぞれ配置された鋼球５８、５８が環状壁７０に接触し、同時に環状壁７０の凹部７３に配置されたゴム球７６に接触する。つまり、参照ミラー１０の保持枠２５の像側面は１対の鋼球５８、５８と１つのゴム球７６の３点によって参照ミラー収容部６７内に支持されている。言い換えると、参照ミラーの像側は、保持枠２５を介して１対の鋼球５８、５８と１つのゴム球７６の３点によって参照ミラー収容部６７内に支持されている。
【００２９】
上述したように、ゴム球７６は１対の鋼球５８、５８を結ぶ直線の光軸Ｌに直角に交わる垂直二等分線上に位置している。また、図１および図４に示すように、ハーフミラー７と参照ミラー１０のミラー面１０ａとが平行で、それぞれが光軸Ｌと直角に交わる面を形成するとき、ゴム球７６はある程度潰れた状態となっている。したがって、ウエーブワッシャ８５により参照ミラー１０の保持枠２５全体に像側方向の予圧がかけられると、参照ミラー１０は１対の鋼球５８、５８を結ぶ直線を中心にしてゴム球７６が配置されている側の半分側がゴム球７６の弾性力によって標本面４側に移動しようとする。同時にゴム球７６が配置されていない方の半分側は像側に移動しようとする。つまり参照ミラー１０は１対の鋼球５８、５８を通る直線、すなわち参照ミラー１０の直径を中心軸に回転しようとする。しかしゴム球７６が配置されている側の半分側は、ねじ８２の傾斜部８２ａが周方向溝６１の像側の溝面６１ａに接触しているので、標本面４側に移動することができない。このため参照ミラー１０は回転することなく固定される。
【００３０】
ハーフミラー７と参照ミラー１０のミラー面１０ａとが平行で、それぞれが光軸Ｌと直角に交わる平面を形成するとき、周方向溝６１の底部とねじ８２の最先端部すなわち円錐部８２ａの頂点とは、図４に示すように、光軸Ｌ方向に少しずれて位置している。本実施形態においては、周方向溝６１の底部の方がねじ８２の最先端部よりも標本面４側に位置している。また、この状態においては、上述したようにゴム球７６はある程度潰れた状態である。
【００３１】
この状態からねじ８２を締め付ける方向に回転させ、ねじ８２が光軸Ｌに近づく方向（図１および図４の紙面下方）に進むと、ねじ８２の円錐部８２ａが周方向溝６１の像側の溝面６１ａに同方向の力を加える。すると、ねじ８２の円錐部８２ａと周方向溝６１の像側の溝面６１ａとが摺動し、ねじ８２は周方向溝６１の溝面６１ａを像側方向に移動させようとする。するとゴム球７６が当初の状態よりもさらに潰れることで保持枠２５の移動を許容する。その結果、保持枠２５は１対の鋼球５８、５８を結ぶ直線、すなわち参照ミラー１０の直径を軸にしてゴム球７６が配置されている側の半分側が像側へ、他方の半分側が標本面４側へ傾くこととなる。つまり保持枠２５に保持されている参照ミラー１０は光軸Ｌに直交する平面に対して傾斜する。そしてねじ８２の回転を止めると、参照ミラー１０は光軸Ｌに直交する平面に対して傾いた状態で参照ミラー収容部６７に保持される。
【００３２】
一方、ハーフミラー７と参照ミラー１０のミラー面１０ａとが平行な状態からねじ８２を弛める方向に回転させ、ねじ８２が光軸Ｌから離れる方向（図１および図４の紙面上方）に進むと、ねじ８２の円錐部８２ａが周方向溝６１の像側の溝面６１ａから離れる方向に移動する。上述したように、参照ミラー１０は１対の鋼球５８、５８を結ぶ直線を中心にしてゴム球７６が配置されている側の半分側がゴム球７６の弾性力によって標本面４側に移動しようとしている。この状態でねじ８２の円錐部８２ａが光軸Ｌから離れる方向に移動すると、ねじ８２の円錐部８２ａと周方向溝６１の像側の溝面６１ａとが摺動しながら、ゴム球７６が配置されている側の半分側の標本面４側への移動を許容する。その結果、保持枠２５は１対の鋼球５８、５８を結ぶ直線を軸にしてゴム球７６が配置されている側の半分側が標本面４側へ、他方の半分側が像側へ傾くこととなる。つまり保持枠２５に保持された参照ミラー１０は光軸Ｌに直交する平面に対して、ねじ８２を締めこんだ時とは反対方向に傾斜する。そしてねじ８２の回転を止めると、参照ミラー１０は光軸Ｌに直交する平面に対して傾いた状態で参照ミラー収容部６７に保持される。なお、参照ミラー１０がどちらに傾いても、参照ミラー１０の中心点、すなわち光軸Ｌと参照ミラー１０との交点と、ハーフミラー７との距離は、参照ミラー１０の傾斜前と傾斜後で変化しない。
【００３３】
このように、本実施形態では、ねじ８２が参照ミラー１０を傾斜させるための駆動用の部材となっている。すなわち、ねじ８２を締め付ける方向に回転させると参照ミラー１０の保持枠２５は光軸Ｌに直交する平面に対して所定の方向に傾斜し、ねじ８２を反対方向に回転させると参照ミラー１０の保持枠２５は前記所定の方向とは反対方向に傾斜する。そしてねじ８２の回転を止めたところで保持枠２５を固定することができる。その結果、参照ミラー１０を光軸Ｌに直交する平面に対して任意の角度に傾斜させることができる。
【００３４】
また、図１に示すように、外筒５２にはねじ孔８８が設けられている。ねじ孔８８は外筒５２の外径側と内径側とを連通し、ねじ９１が螺合されている。このねじ９１を締め付けることでねじ９１の先端部が干渉部鏡筒１９に係合し、干渉部鏡筒１９が主鏡筒２８に対して光軸Ｌを中心に周方向に回転しないように固定している。ねじ９１を弛める方向に回転させると、ねじ９１と干渉部鏡筒１９との係合が解け、干渉部鏡筒１９は主鏡筒２８に対して回転可能となる。このように、干渉部鏡筒１９は主鏡筒２８に対して周方向に回転可能となっている。
【００３５】
次に、図１を参照して、このような構成の干渉対物レンズ１における照明光および標本からの観察光の光路について説明する。
【００３６】
光源（図示省略）からの照明光はレボルバ（図示省略）を介して干渉対物レンズ１に入射する。照明光はレンズ１３ｃを透過して干渉対物レンズ１の主鏡筒２８内に導かれる。主鏡筒２８に導かれた照明光はレンズ１３ｂ、１３ａを透過して標本面４の方へ出射され、参照ミラー１０に達する。参照ミラー１０を透過した光はハーフミラー７の像側面７ａに達する。ハーフミラー７の像側面７ａは照明光を分割し、一方は対物レンズ系１３の方へ反射し、他方は標本面４の方へ透過する。ハーフミラー７の像側面７ａで反射された光は参照ミラー１０のミラー面１０ａに達する。そして参照ミラー１０のミラー面１０ａで標本面４の方へ反射された後に、ハーフミラー７で反射されて対物レンズ系１３に向かう。一方、ハーフミラー７を透過した光は標本面４で反射された後、ハーフミラー７に達し、ハーフミラー７の像側面７ａにおいて参照ミラー１０で反射された光と合わせられて対物レンズ系１３に向かう。つまり、参照ミラー１０は、ハーフミラー７で反射された光と、ハーフミラー７を透過して標本面４で反射された光とが、ハーフミラー７の像側面７ａで合さるように、当該ハーフミラー７で反射された光を反射している。
【００３７】
ここで、標本面４からハーフミラー７の像側面７ａまでの光路長Ｌ1（図１参照）と、ハーフミラー７の像側面７ａから参照ミラー１０のミラー面１０ａまでの光路長Ｌ2が等しい時、標本面４の干渉縞は最も明瞭に観察される。このとき、干渉縞は互いの長さが波長の４分の１ずれるごとに明暗を繰り返す。観察標本面４、ハーフミラー７の像側面７ａおよび参照ミラー１０のミラー面１０ａとが完全に平行である場合、観察視野内で光路長が一様になるため干渉縞は等高線状としては観察されない。この場合、等高線状の干渉縞を発生させるために、本実施形態においては参照ミラー１０を傾けて視野内で光路長の差を生じさせる。すると参照ミラー１０の傾きに応じて干渉縞を等高線状に観察することが可能となる。
【００３８】
参照ミラー１０を傾けるには、干渉部鏡筒１９のねじ孔７９に螺合しているねじ８２を締め付け方向または弛む方向に回転させる。ねじ８２の回転操作は標本面４の観察像を見ながらドライバーで行う。ねじ８２を締め付け方向に回転させると、参照ミラー１０は保持枠２５を介して１対の鋼球５８、５８を結ぶ直線、すなわち参照ミラー１０の直径を軸にしてゴム球７６が配置されている側の半分側が像側へ、他方の半分側が標本面４側へ傾く。また、ねじ８２を弛む方向に回転させると、参照ミラー１０は保持枠２５を介して１対の鋼球５８、５８を結ぶ直線を軸にしてゴム球７６が配置されている側の半分側が標本面４側へ、他方の半分側が像側へ傾く。こうして観察者は所望の干渉縞を生じさせることができる。このとき参照ミラー１０の中心点、すなわち光軸Ｌと参照ミラー１０との交点と、ハーフミラー７との距離は、参照ミラー１０の傾斜前と傾斜後で変化しない。
【００３９】
また、本実施形態においては、参照ミラー１０の回転軸の光軸Ｌに対する向きを変更することができる。つまり、参照ミラー１０の回転軸は上述したように１対の鋼球５８、５８を通る直線すなわち参照ミラー１０の直径であって、光軸Ｌに直交しているが、この１対の鋼球５８、５８を通る直線が光軸Ｌに直交する向きを変更することができる。参照ミラー１０の回転軸の向きを変えると、干渉縞の発生する向きが変わる。参照ミラー１０の回転軸の向きを変更したいときは、外筒５２のねじ孔８８に螺合しているねじ９１を弛める。ねじ９１の回転操作はドライバーで行う。すると干渉部鏡筒１９はねじ９１との係合が解かれ、主鏡筒２８に対して周方向に回転可能となる。観察者は標本面４の観察像を見ながら干渉部鏡筒１９を主鏡筒２８に対して周方向に回転させ、所望の位置まで回転させる。そしてねじ９１を締め付けて干渉部鏡筒１９と再度係合させて干渉部鏡筒１９を固定する。つまり、参照ミラー１０の回転軸である参照ミラー１０の直径を、参照ミラー１０を周方向に回転させることで回転移動させる。参照ミラー１０の回転軸は光軸Ｌを中心にして、光軸Ｌに直交する平面内で回転する。こうすることで、参照ミラー１０の光軸Ｌに対する回転軸の向きを変更することができる。その結果、干渉縞の向きを変えることができる。
【００４０】
本実施形態に係る干渉対物レンズ１は、以上のような構成となっているので、傾角ステージを使用することなく所望の方向に干渉縞を発生させることができる。また、干渉対物レンズ１のみで干渉縞を発生させる操作を完結することができる。
【００４１】
なお、本実施形態においては主鏡筒２８に保持された対物レンズ系１３を３つのレンズとしたが、レンズの数および保持位置はこれに限定されるものではない。また、本実施形態では参照ミラー１０を光軸Ｌに直交する平面に対して所定の方向および所定の方向と反対方向に傾けることができるが、何れか一方の方向に傾けることができれば干渉縞を発生させることができる。また、本実施形態においては、干渉部鏡筒１９のねじ８２および外筒５２のねじ９１の回転操作はドライバーで行っているが、それぞれのねじと一体に回転用つまみを形成しても良い。
【００４２】
また、本実施形態においては、ゴム球７６を用いたが、バネ等の弾性部材でも良い。更に、弾性部材を用いず、保持枠２５の角度調整をクリックストップ機構を用い、各角度について機械的に位置決めさせる機構でも良い。
【００４３】
このように、本発明の構成は本実施形態に限定されるものではなく、適宜変更が可能である。
【符号の説明】
【００４４】
１  ミロー型干渉対物レンズ
４  標本面    
７  ハーフミラー    
１０  参照ミラー    
１０ａ  ミラー面    
１９  干渉部鏡筒    
１９ａ  円筒部    
１９ｂ  拡径部    
２２  （ハーフミラーの）保持枠    
２５  （参照ミラーの）保持枠    
２８  主鏡筒    
２８ａ  小径部
２８ｂ  大径部    
３１  鍔部    
３４  段部    
３７  雄ねじ    
４６  取付け部
５２  外筒    
５５  Ｖ字溝
５８  鋼球    
６１  周方向溝    
６１ａ  溝面    
６４  ハーフミラー固定部
６７  参照ミラー収容部    
７０  環状壁    
７３  凹部    
７６  ゴム球
７９  ねじ孔    
８２  ねじ    
８５  ウエーブワッシャ
８８  ねじ孔
【図１】
2011085655.tif 000003
【図２】
2011085655.tif 000004
【図３】
2011085655.tif 000005
【図４】
2011085655.tif 000006