(57)【要約】【課題】リテーナによる基板保持力を増大させた場合にあっても蓋体の変形を防止することが可能であり、蓋体のセンシングやシール性能を損ねることがない基板収納容器及び蓋体を提供すること。【解決手段】蓋体は、施錠機構を収容可能な蓋体本体と、この蓋体本体に装着されるカバープレートを備える構成とし、蓋体本体及びカバープレートの少なくとも一方を、高剛性材によって形成する。そして、この高剛性材によって形成された蓋体本体及びカバープレートの少なくとも一方は、蓋体が容器本体に装着された状態において、リテーナによる基板保持力に抗して０．５ｍｍ以上撓まない構成とする。これにより、従来に比して基板保持力を増大させても蓋体の変形を防止することができる。その結果、蓋体の検出不良を防止することができると共に、容器本体と蓋体との間のシール性能の低下を防止することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口を有し基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、前記蓋体の背面側に取り付けられ前記基板を保持するリテーナとを有する基板収納容器であって、
前記蓋体は、施錠機構を収容可能な蓋体本体と、前記蓋体本体に装着されるカバープレートとを備え、
前記蓋体本体及びカバープレートの少なくとも一方は、高剛性材から形成されており、
当該高剛性材は、前記蓋体が前記容器本体に装着された状態において、前記リテーナによる基板保持力に抗して０．５ｍｍ以上撓まない強度を有することを特徴とする基板収納容器。
【請求項２】
前記蓋体本体及びカバープレートの少なくとも一方は、金属材料である前記高剛性材から形成されていることを特徴とする請求項１記載の基板収納容器。
【請求項３】
前記金属材料は、アルミニウム、アルミニウム合金、及びマグネシウム合金のうちの何れか一つであることを特徴とする請求項２記載の基板収納容器。
【請求項４】
前記金属材料の表面にはコーティング処理がなされていることを特徴とする請求項２又は３記載の基板収納容器。
【請求項５】
前記容器本体は、前記開口を有し正面側を構成するフロント側本体部と、背面側を構成するリア側本体部とに分割して形成され、
前記フロント側本体部及び前記リア側本体側のうち一方は、他方よりも剛性が高い高剛性材から形成され、
前記高剛性体から形成された前記一方には、前記基板を支持する支持部材が取り付けられていることを特徴とする請求項１〜４の基板収納容器。
【請求項６】
基板を収納する容器本体の開口を閉鎖する蓋体であって、
と
施錠機構を収容可能な蓋体本体と、
前記蓋体本体に装着されるカバープレートとを備え、
前記蓋体本体及びカバープレートの少なくとも一方は、高剛性材から形成されており、
当該高剛性材は、前記蓋体が前記容器本体に装着された状態において、リテーナによる基板保持力に抗して０．５ｍｍ以上撓まない強度を有することを特徴とする基板収納容器用蓋体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ、ガラスウェーハ、マスクガラス等の精密基板などを収納し、輸送、搬送、保管などに使用される基板収納容器に関するものであり、特には基板収納容器の蓋体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板収納容器として、正面に開口が形成された容器本体と、容器本体の正面開口をシール可能に閉鎖する蓋体とを備えるものが使用されている。近年、半導体部品の微細化や配線の狭ピッチ化が進んでいるが、その一方で、コスト競争も激しさを増している。その対応として精密基板の口径を大きくして、コストを削減しようという動きが続いている。半導体ウェーハの場合、現在主流となっているものは、直径３００ｍｍのものである。しかし、これを４５０ｍｍにして、生産効率をさらに向上させようとする検討が始まっている。
【０００３】
このため、半導体ウェーハなどの基板を収納する基板収納容器も、収納する大口径の基板にあわせて、大きな寸法の容器とする必要がある。また、生産効率を確保するために、大口径になったからといって収納する基板の枚数は、以前と変わらない収納枚数が必要となっていた。直径３００ｍｍの基板を収納する基板収納容器としては、例えば、特許文献１に記載のものが使用されていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−３２４３２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の基板収納容器では、合成樹脂で形成された容器本体及び蓋体が使用されている。蓋体は、略長方形を成し皿状に形成された容器本体と、蓋体本体部の開口を閉鎖する表面プレートから形成されており、容器本体の開口部をシール可能に閉鎖している。
【０００６】
蓋体本体は、相対する上下の側壁に貫通穴が形成されており、この貫通穴に干渉しない側壁全周にシール部材を備えている。蓋体の基板と向き合う背面側には、基板との干渉をさけるための内側凹部が形成されており、ここに、基板を保持するリテーナが取り付けられている。また、蓋体本体の外面側には、内側凹部によって隔てられる外側凹部が形成されており、これらに一対の施錠機構が収納され、外側凹部の開口を閉鎖するように少なくとも１つの表面プレートが取り付けられている。
【０００７】
こうした蓋体を、容器本体に取り付けて施錠すると、リテーナが振動や衝撃を受けても基板が回転しないような所定の保持力で基板を保持することとなる。このときリテーナは、基板を押圧するので、その反力を蓋体が受け止めることとなり、蓋体の中央部が外側に膨らんでしまうことになる。こうした保持力は、通常、基板１枚あたり３Ｎ〜６Ｎに設定されているため、基板を２５枚収納する基板収納容器全体では、７５Ｎ〜１５０Ｎとなっていた。
【０００８】
このように、中央部が膨らんだ蓋体は、蓋体改変装置での蓋体のセンシングに支障をきたして、蓋体の開閉動作が中断されたり、蓋体の変形によりシール性能が悪化して、基板を汚染してしまうおそれがある。
【０００９】
本発明は、リテーナによる基板保持力を増大させた場合にあっても蓋体の変形を防止することが可能であり、蓋体のセンシングやシール性能を損ねることがない基板収納容器及び蓋体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明による基板収納容器は、開口を有し基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、蓋体の背面側に取り付けられ基板を保持するリテーナとを有する基板収納容器であって、蓋体は、施錠機構を収容可能な蓋体本体と、蓋体本体に装着されるカバープレートとを備え、蓋体本体及びカバープレートの少なくとも一方は、高剛性材から形成されており、当該高剛性材は、蓋体が容器本体に装着された状態において、リテーナによる基板保持力に抗して０．５ｍｍ以上撓まない強度を有することを特徴としている。
【００１１】
本発明に係る基板収納容器は、基板を収納する容器本体に装着される蓋体を備えている。この蓋体の背面側には、基板を保持するためのリテーナが取り付けられている。また、蓋体は、施錠機構を収容可能な蓋体本体と、この蓋体本体に装着されるカバープレートを備えている。そして、これらの蓋体本体及びカバープレートの少なくとも一方は、高剛性材から形成されている。このように、蓋体本体及びカバープレートの少なくとも一方は、高剛性材によって形成され、蓋体が容器本体に装着された状態において、リテーナによる基板保持力に抗して０．５ｍｍ以上撓まない構成であるため、従来に比して、基板保持力を増大させても蓋体の変形を防止することが可能である。その結果として、蓋体の検出不良を防止することができると共に、容器本体と蓋体との間のシール性能の低下を防止することができる。
【００１２】
このように、本発明の基板収納容器では、高剛性材から形成された蓋体を備える構成であるため、基板サイズの大型化に伴い基板保持力の設定が増加された場合にあっても、基板保持力の反力によって蓋体が撓んで変形することが効果的に防止可能である。これにより、基板が大型化された場合であっても、基板を回転させることなく保持することができる。
【００１３】
また、蓋体本体及びカバープレートの少なくとも一方は、金属材料である高剛性体から形成されていることが好ましい。金属材料としては、アルミニウム、アルミニウム合金、マグネシウム合金などが挙げられる。さらに、金属材料の表面には、コーティング処理が施工されていることが好適である。
【００１４】
また、容器本体は、開口を有し正面側を構成するフロント側本体部と、背面側を構成するリア側本体部とに分割して形成され、フロント側本体部及びリア側本体側のうち一方は、他方よりも剛性が高い高剛性材から形成され、高剛性体から形成された一方には、基板を支持する支持部材が取り付けられていることが好ましい。
【００１５】
また、本発明による基板収納容器用蓋体は、基板を収納する容器本体の開口を閉鎖する蓋体であって、施錠機構を収容可能な蓋体本体と、蓋体本体に装着されるカバープレートとを備え、蓋体本体及びカバープレートの少なくとも一方は、高剛性材から形成されており、当該高剛性材は、蓋体が容器本体に装着された状態において、リテーナによる基板保持力に抗して０．５ｍｍ以上撓まない強度を有することを特徴としている。
【００１６】
本発明に係る基板収納容器用蓋体は、蓋体本体及びカバープレートの少なくとも一方が、高剛性材によって形成され、当該蓋体が容器本体に装着された状態において、リテーナによる基板保持力に抗して０．５ｍｍ以上撓まない構成であるため、従来に比して、基板保持力を増大させても蓋体の変形を防止することが可能である。その結果として、蓋体の検出不良を防止することができると共に、容器本体と蓋体との間のシール性能の低下を防止することが可能な基板収納容器を実現することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の基板収納容器によれば、基板の大型化に伴い保持力の設定が増大しても、基板を回転させることなく保持可能であり、なおかつ保持力の反力によって蓋体が撓んで変形することが効果的に防止可能である。そのため、蓋体開閉装置での蓋体の検出トラブルを防止できる。また、蓋体の変形を抑制可能であるため、基板収納容器によるシール性能を損なうことなく、クリーンな状態を維持して基板を保管することができる。
【００１８】
また、本発明の基板収納容器用蓋体によれば、基板の大型化に伴い保持力の設定が増大しても、保持力の反力によって蓋体が撓んで変形することを効果的に防止可能である。また、基板の大型化に伴い保持力の設定が増大しても、基板を回転させることなく保持可能な基板収納容器を実現することが可能である。そのため、蓋体開閉装置での蓋体の検出トラブルを防止できる。また、蓋体の変形を抑制可能であるため、基板収納容器によるシール性能を損なうことなく、クリーンな状態を維持して基板を保管することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器の蓋体を示す分解斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器を上方から示す斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器を下方から示す斜視図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る基板収納容器を示す分解斜視図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る基板収納容器の蓋体を示す分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明による基板収納容器の好適な実施形態について図面を参照しながら説明する。図２〜図４に示す本発明の基板収納容器１は、半導体ウェーハ、ガラスウェーハ、マスクガラスなどの精密基板を収納し、輸送、搬送、保管などに使用されるものである。基板収納容器１において、基板を出し入れするための開口部２ａ（図４参照）が形成された面を正面として説明する。また、各図には、直交する３軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ）方向を示している。Ｘ軸方向は、前後方向で基板を出し入れする方向であり、Ｙ軸方向は、幅方向であり、Ｚ軸方向は、上下方向である。
【００２１】
基板収納容器１に収納される半導体ウェーハＷは、例えば９２５μｍの厚さを有する直径４５０ｍｍの薄くて大きいシリコンウェーハである。シリコンウェーハの周縁部には、図示しない位置合わせや識別用のノッチが平面半円形に切り欠かれている。容器本体２には、２５枚の半導体ウェーハが水平状態で、一定間隔で整列して収納される。
【００２２】
図１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器の蓋体を示す分解斜視図であり、図２〜図４は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器を示す各図である。基板収納容器１は、正面に開口部２ａを有し複数枚の基板Ｗを収納する容器本体２と、この容器本体２の開口部２ａを閉鎖する蓋体３と、容器本体２の天面に設けられた搬送用のロボティックフランジ４と、容器本体２の両側壁の内面に設けられ、複数の基板Ｗを水平に支持可能な支持部材５と、容器本体２の底面に設けられた位置決め・固定用のボトムプレート６とを備えている。
【００２３】
蓋体３について説明する。蓋体３は、図１に示すように、容器本体２に係止される係止爪を備えた施錠機構３３を内蔵している。本発明の実施形態に係る蓋体３は、施錠機構３３を収容する蓋体本体３２と、この蓋体本体３２に装着され施錠機構３３を覆うカバープレート３１とを備える。蓋体３は、容器本体２の開口部２ａとの間にシールを形成し、開口部２ａを密封する。
【００２４】
蓋体本体３２は、正面視において矩形状を成し、施錠機構３３を収容する凹部を有する。蓋体本体３２は皿状を成している。蓋体本体３２の凹部は、正面側からの深さが、幅方向（Ｙ方向において）、異なっており、中央部が浅く、その両側は、中央部より深くなっている。蓋体本体３２の中央部は、背面側から正面側へ凹むように形成されているので、正面側からの深さがその両側より浅くなっている。蓋体本体３２の両側には、施錠機構３３を収容するための凹部が形成され、この凹部に施錠機構３３が収容されている。蓋体本体３２には、２つの施錠機構３３が収容されている。蓋体本体３２の周縁に形成された側壁には、施錠機構３３の係止爪を外部に張り出させるための、開口３２ａが形成されている。
【００２５】
施錠機構３３は、回転体３４と、一対のラッチバー３５とを備えている。施錠機構３３は、回転体３４が回転操作されることで、ラッチバー３５の先端が蓋体本体３２の側壁の開口３２ａから突出する。ラッチバー３５の先端には、別部材として形成される係止爪（係止部材）をさらに設けることができる。蓋体３から突出した係止爪は、容器本体２のリム１０に形成された凹部１０ａ（図４参照）に嵌入される。このような施錠機構３３の配置に関しては、ＳＥＭＩ規格（Ｅ６２）にて標準化がなされているが、施錠機構３３へのアクセス位置が蓋体３の幅方向Ｙの外側に位置しているので、係止位置（凹部１０ａ）も外側となっている。
【００２６】
蓋体本体３２の背面側（容器本体２と向き合う側）の凹部には、基板を個別に保持するリテーナ２９が設けられている。リテーナ２９は、枠体部２９ａとこの枠体部２９ａからＹ軸方向の中央側へ延びる弾性片２９ｂとを備える。この弾性片２９ｂの先端部には、保持部が設けられており、蓋体３を容器本体２に取り付けた状態において、各保持部によって個別に基板を保持することが可能である。
【００２７】
カバープレート３１は、板状に形成され、外部からアクセス可能な一対のキー孔３１ａと、蓋体開閉装置との間で位置決めされる一対の位置決め凹部３１ｂとが形成されている。カバープレート３１は、螺子部材や係止爪などの摩擦係合などを利用して、蓋体本体３１に固着されている。
【００２８】
ここで、本実施形態の蓋体３のうち、蓋体本体３２及びカバープレート３１の少なくとも一方は、高剛性材から成る高剛性体として形成されている。この高剛性材は、蓋体３が容器本体２に装着された状態において、リテーナ２９による基板の保持力の合計値に対して、その撓み量が０．５ｍｍ以下である高強度の材料である。基板一枚あたりの保持力を最低約５Ｎ（５１０ｇｆ）とした場合に、基板保持力の合計値となる１２５Ｎの力を蓋体３の中央部に受けても、蓋体の撓み量が０．５ｍｍ以下にすることが可能な材料を、高剛性材として使用することができる。
【００２９】
例えば、高剛性材として合成樹脂を使用して蓋体３を形成する場合には、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどに、カーボン繊維やガラス繊維などを適量（２０〜４０ｗｔ％）添加して強化し、曲げ弾性率が２〜２０ＧＰａであるものが使用可能である。添加されるカーボン繊維としては、ピッチ系、ＰＡＮ系、カーボンナノチューブなどが好ましく、これにより高強度となる。
【００３０】
また、高剛性材として各種の金属材料を使用して蓋体３を形成することも可能である。高剛性材である金属材料として、特には、軽量化が図れるアルミニウム、アルミニウム合金（Ａｌ−Ｓｉ−Ｍｇ系、Ａｌ−Ｓｉ−Ｃｕ系、Ａｌ−Ｓｉ−Ｃｕ−Ｍｇ系）、マグネシウム合金（Ｍｇ−Ａｌ−Ｚｎ系、Ｍｇ−Ａｇ系）、チタン合金などが使用可能である。特には、コスト面で有利なアルミニウムやアルミニウム合金、マグネシウム合金などが好ましい。アルミニウム合金の場合の剛性は、ヤング率を比較して確認することが可能である。ヤング率の値が約６９ＧＰａのアルミニウム合金は、ヤング率が通常の熱可塑性樹脂の約２０倍以上となり、強度的な問題を解決することができる。また、カバープレート３１や蓋体本体３２など、蓋体３の部品を、金属材料によって製作する場合には、鍛造、プレス加工、あるいは切削加工などにより製作することが可能である。
【００３１】
蓋体３をアルミニウムなど鋳造品として形成するときには、表面部の平滑性を確保するためにサンドブラストなどのバリ処理を実行することが好ましい。これにより、表面粗さＲａ１０μｍ以下とすることで、蓋体３の表面を平滑化することができる。また、表面平滑化処理の後に、カーボンの焼付け塗装処理、アウトガスの放出が少ない樹脂を用いた表面コーティング処理、ガスバリア性を有する樹脂による表面コーティング処理、及びこれらの各種処理を組み合わせて、カバープレート３１、蓋体本体３２の表面に被覆層を形成することが好ましい。アウトガスの放出が少ない樹脂として、エポキシ樹脂、ふっ素樹脂、ポリエーテルエーテルケトンなどを使用することができる。ガスバリア性を備えた樹脂として、エチレンビニルアルコール共重合体、ポリブニルアルコール、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニリデンなどを使用することができる。このように、表面平滑化処理を実行することで、磨耗粉の発生を抑制することができる。
【００３２】
また、蓋体本体３２は、幅方向Ｙの中央に開口３９が形成されていてもよい。蓋体本体３２では、正面視において施錠機構３３が配置されていない部分に、開口３９を形成可能である。例えば、透明な合成樹脂で形成されたカバープレート３１と、金属材料によって形成された蓋体本体３２とを備える蓋体３の場合には、蓋体３が装着された状態において、容器本体２の内部を確認することができる。
【００３３】
次に、容器本体２について説明する。図２〜図４に示すように、容器本体２の側壁の外面には、一対の手動搬送用ハンドル１６が取り付けられている。また、容器本体２の天板の外面には、自動搬送用のロボティックフランジ４が取り付けられている。
【００３４】
図３に示すように、容器本体２の底面（底板の外面）には、位置決め・固定用のボトムプレート６が装着されている。ボトムプレート６は、平面視において三角形状を成している。このボトムプレート６下面中央には、基板収納容器１を加工装置に固定するためのアーチ状の固定部６ａが設けられている。また、ボトムプレート６の下面において、三角形の頂点に対応する位置には、位置決め部材６ｂが各々取り付けられている。この位置決め部材６ｂの下面には、Ｖ溝を構成する一対の傾斜面６ｃが形成されている。加工装置には、位置決めピンが設けられている。この位置決めピンの先端の球面が位置決め部材６ｂの傾斜面６ｃに当接することで、容器本体２の位置が割り出される。
【００３５】
ここで、容器本体２は、正面側に位置する開口側本体部（フロント側本体部）７と、背面側（奥側）に位置するリア側本体部８とを備えている。すなわち、容器本体２は、複数のパーツ（開口側本体部７、リア側本体部８）に分割されており、分割された複数のパーツが組み立てられて一体化されている。容器本体２は、前後方向において、複数に分割されている。
【００３６】
開口側本体部７は、基板をローディング、アンローディングする正面の開口側に位置する部品である。開口側本体部７は、正面視において矩形の枠体を成している。開口側本体部７は、天面を構成する天板７ａ、側面を構成する側壁７ｂ，７ｂ、底面を構成する底板７ｃを備え、これらの天板７ａ、側壁７ｂ，７ｂ、底板７ｃが連結されて枠体を成している。開口側本体部７の前後方向の両端には、開口が形成されている。
【００３７】
開口側本体部７の正面側には蓋体３を収納するリム１０が設けられている。リム１０は、容器本体２の正面開口を囲繞して形成され、前方に張り出している。リム１０の張り出し部の内面には、蓋体３を係止するための凹部１０ａが形成されている。蓋体３の係止爪は、蓋体３の開口３２ａから外部に張り出し、係止凹部１０ａに係合されて、蓋体３は容器本体２の開口を閉鎖する。これにより、容器本体２は、蓋体３によってシールされる。
【００３８】
開口側本体部７の背面側には、第１のフランジ１１が形成されている。第１のフランジ１１は、開口側本体部７の背面開口を囲繞して形成され、周方向の外方に張り出している。第１のフランジ１１には、前後方向に貫通する貫通穴１１ａが複数形成されている。
【００３９】
また、開口側本体部７の相対する一対の側壁７ｂ，７ｂの内面には、別体として形成された一対の支持部材５が取り付けられている。この一対の支持部材５は、一定間隔で基板を支持する棚部を有している。複数の基板Ｗは、一対の棚部によって水平状態で支持される。このような支持部材５の材質として、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、あるいは熱可塑性樹脂に摺動材料（例えば、四フッ化エチレンなど）、導電性付与材料（例えば、カーボンブラック、カーボン繊維、カーボンナノチューブなど）を添加したものを好適に使用可能である。このような材質の支持部材５によれば、基板との擦れによる磨耗粉の発生や、傷つきを防止することができる。
【００４０】
リア側本体部８は、容器本体２の背面側を構成する部品である。リア側本体部８は、正面視において矩形の枠体を成している。リア側本体部８は、天面を構成する天板８ａ、側面を構成する側壁８ｂ，８ｂ、底面を構成する底板８ｃ、背面を構成する背面壁８ｄを備えている。これらの天板８ａ、側壁８ｂ，８ｂ、底板８ｃが連結されて枠体を成し、背面側は、背面壁８ｄによって閉じられている。リア側本体部８の正面側には開口が形成されている。
【００４１】
リア側本体部８の正面側には、第２のフランジ１２が形成されている。第２のフランジ１２は、リア側本体部８の正面側の開口を囲繞して形成され、周方向の外方に張り出している。第２のフランジ１２には、前後方向に貫通する貫通穴が複数形成されている。
【００４２】
そして、容器本体２は、開口側本体部７の背面側にリア側本体部８が連結されている。具体的には、開口側本体部７の第１のフランジ１１とリア側本体部８の第２のフランジ１２とが接合されている。第１のフランジ１１及び第２のフランジ１２は、ボルトやビスなどにより連結固定され、シール部材１９を挟持している。容器本体２は、これらの開口側本体部７、リア側本体部８が連結され、気密性を有する一つの収納空間を形成している。
【００４３】
容器本体２のリア側本体部８は、合成樹脂によりそれぞれ射出成形されている。このとき使用される合成樹脂としては、例えば力学的性質や耐熱性などに優れ、内部の確認が可能な透明なポリカーボネート、ポリエーテルイミド、あるいは環状オレフィン樹脂、ポリスチレン樹脂などが挙げられる。これらの樹脂には、カーボン、カーボン繊維、金属繊維、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー、帯電防止剤などの導電性付与材、あるいは難燃剤等が必要に応じて選択的に添加することもできる。
【００４４】
容器本体２の開口側本体部７は、リア側本体部８よりも高剛性であり、かつ、たわみ荷重の大きい材料によって形成された高剛性体として構成される。このような高剛性体である開口側本体部７は、容器本体２の天面側を持ち上げた際、基板収納容器１の自重による天面のたわみ量が０．５ｍｍ以下である高強度の材料によって形成されていることが好ましい。
【００４５】
上記の高強度の材料となる合成樹脂として、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどが適用可能である。特に、これらの合成樹脂にカーボン繊維、ガラス繊維などを適量（２０ｗｔ％〜４０ｗｔ％）添加することで、材料強度を向上させ曲げ弾性率を向上させることが可能である。また、上記のカーボン繊維として、ピッチ系、ＰＡＮ系、カーボンナノチューブなどが挙げられる。
【００４６】
開口側本体部７は、各種の金属材料から形成することが可能である。特には、軽量化が図れるアルミニウム、アルミニウム合金（Ａｌ−Ｓｉ−Ｍｇ系、Ａｌ−Ｓｉ−Ｃｕ系、Ａｌ−Ｓｉ−Ｃｕ−Ｍｇ系）、マグネシウム合金（Ｍｇ−Ａｌ−Ｚｎ系、Ｍｇ−Ａｇ系）、チタン合金などが開口側本体部７に使用可能である。特には、コスト面で有利なアルミニウムやアルミニウム合金、マグネシウム合金などが好ましい。アルミニウム合金の場合の剛性は、ヤング率を比較して確認することが可能である。ヤング率の値が約６９ＧＰａのアルミニウム合金は、ヤング率が通常の熱可塑性樹脂の約２０倍以上となり、強度的な問題を解決することができる。
【００４７】
開口側本体部７をアルミニウムなど鋳造品として形成するときには、表面部の平滑性を確保するためにサンドブラストなどのバリ処理を実行することが好ましい。これにより、表面粗さＲａ１０μｍ以下とすることで、開口側本体部７の表面を平滑化することができる。また、表面平滑化処理の後に、カーボンの焼付け塗装処理、アウトガスの放出が少ない樹脂を用いた表面コーティング処理、ガスバリア性を有する樹脂による表面コーティング処理、及びこれらの各種処理を組み合わせて、開口側本体部７の表面に被覆層を形成することが好ましい。アウトガスの放出が少ない樹脂として、エポキシ樹脂、ふっ素樹脂、ポリエーテルエーテルケトンなどを使用することができる。ガスバリア性を備えた樹脂として、エチレンビニルアルコール共重合体、ポリブニルアルコール、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニリデンなどを使用することができる。このように、表面平滑化処理を実行することで、磨耗粉の発生を抑制することができる。
【００４８】
このような基板収納容器１では、カバープレート３１及び蓋体本体３２のうち少なくとも一方は、上記の高剛性材から形成されているため、蓋体３の剛性が高められ、蓋体３の変形を防止することができる。その結果、蓋体３の検出不良を防止することが出来ると共に、容器本体２と蓋体３との間のシール性能の低下が防止されている。
【００４９】
このように、本実施形態に係る基板収納容器１では、高剛性材から形成された蓋体３を備える構成であるため、基板サイズの大型化に伴い基板保持力の設定を増加された場合にあっても、基板保持力の反力によって蓋体が撓んで変形することが効果的に防止可能である。これにより、基板が大型化された場合であっても、基板を回転させることなく保持することが可能な基板収納容器を実現することができる。
【００５０】
また、基板収納容器１では、容器本体２が複数のパーツ（開口側本体部７、リア側本体部８）に分割されて形成されている。そのため、複数のパーツを組み立てて一体化することで、大型化された容器本体２を実現することができる。これにより、基板サイズの大型化に対応し好適な基板収納容器１を形成することができる。本実施形態の基板収納容器１では、容器本体２が分割形成されているため、容器本体成形用の金型の増大を防止し、成形生産設備の増大を防止することできる。その結果、容器本体を成形するための設備の大型化を抑制し、設備投資金額の増大を抑えつつ、容器本体の大型化を実現することができる。
【００５１】
また、基板収納容器１では、開口側本体部７が、リア側本体部８よりも剛性が高い材料（高剛性材）から形成され、この高剛性材から形成された開口側本体部７に、ロボティックフランジ４が取り付けられている。そのため、搬送時において、容器本体２の自重によるたわみや、ロボティックフランジ４に作用する応力によるたわみなどを抑制することができる。その結果、容器本体２のたわみを抑制して、容器本体２内に収納された基板の損傷を防止することができる。また、容器本体２のたわみを抑制して、精度良く基板を支持することが可能な構成であるため、ローディング、アンローディングのエラーを低減することができる。
【００５２】
また、基板収納容器１は、位置決め・固定用のボトムプレート６が高剛性体から成る開口側本体部７に取り付けられているため、容器本体２の加工装置への固定の際に、自重によるたわみや、固定部品に作用する応力によるたわみを抑制することができる。その結果、容器本体のたわみを抑制して、容器本体２内の基板の損傷を防止して安全に搬送することができる。そのため、ローディング、アンローディングのエラーを低減することができる。
【００５３】
また、基板収納容器１では、開口側本体部７及びリア側本体部８の相対する分割面に、互いに締結可能な一対のフランジ部１１，１２が設けられている。そして、フランジ部１１，１２がシール部材を介して接合され、容器本体２内の気密性が確保されている。
【００５４】
また、容器本体２は、複数のパーツに分割されて一体形成されているため、パーツごとに材質を変更することができる。ロボティックフランジ４及びボトムプレート６が取り付けられた開口側本体部７を高剛性体とし、リア側本体部８を透明な樹脂で形成することで、所定の強度を確保しつつ視認性を確保することができる。
【００５５】
次に、第２実施形態に係る基板収納容器について、図５を参照して説明する。図５は、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器の蓋体を示す分解斜視図である。なお、第２実施形態の説明において、第１実施形態と同様の説明は省略する。
【００５６】
第２実施形態に係る蓋体３Ａは、金属材料によって形成されたカバープレート３１と、透明な合成樹脂によって形成された蓋体本体３２とを備える。カバープレート３１は、高剛性材として金属材料によって形成されている。そして、金属材料製であるカバープレート３１の幅方向Ｙの中央には、開口３９Ａが設けられている。
【００５７】
このような第２実施形態に係る蓋体３にあっても、第１実施形態に係る蓋体３と同様の作用効果を奏する。
【００５８】
以上、本発明をその実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態では、カバープレート３１及び蓋体本体３２のうち少なくとも一方が高剛性材によって形成されているが、カバープレート３１及び蓋体本体３２の両方を高剛性材によって形成してもよい。
【００５９】
また、蓋体３は、カバープレート３１よりも剛性が高い高剛性材によって形成された蓋体本体３２を備える構成としてもよく、蓋体本体３２よりも剛性の高い高剛性材によって形成されたカバープレート３１を備える構成としてもよい。
【００６０】
また、蓋体３は、内部確認用の開口３９，３９Ａが形成されていないものでもよいが、金属材料によって形成されたカバープレート３１、蓋体本体３２には、内部確認用の開口３９，３９Ａが形成されていることが好ましい。
【００６１】
また、高剛性材によって形成されたカバープレート３１、蓋体本体３２では、補強用のリブを形成しないことで、簡素な構成とすることができる。
【００６２】
上記実施形態では、容器本体２を構成する複数のパーツのうちの１つが、他のパーツより剛性が高い高剛性体として形成されているが、複数のパーツを同一の材質で形成してもよい。また、容器本体２は、一体部品によって形成されていてもよい。
【００６３】
上記実施形態では、相対するフランジ部に貫通穴と螺刻穴を形成して、ボルト固定する構成としているが、フランジ部の固定方法はこれに限定されない。例えば、相対するフランジ部に貫通穴とこれに貫入される突起を形成し、突起の先端を熱融着や超音波融着してステーキングし固定してもよい。また、貫通穴に代えて係合部をそれぞれ形成して嵌合させる構成としてもよい。
【００６４】
また、容器本体２の側壁に手動搬送用のハンドル１６を形成することを例示したが、これに限定されず、フォークリフトでの搬送用のサイドレールフランジを側壁から張り出すように形成する構成としてもよい。
【符号の説明】
【００６５】
１…基板収納容器、２…容器本体、３，３Ａ…蓋体、４…ロボティックフランジ（搬送用のフランジ部品）、５…支持部材、６…ボトムプレート、６ａ…固定部材、６ｂ…位置決め部材、６ｃ…傾斜面、７…開口側本体部、８…リア側本体部、１０…リム、１６…手動搬送用ハンドル、３１…カバープレート、３２…蓋体本体、３３…施錠機構。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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