(57)【要約】      （修正有）【課題】リソースの枯渇を防止することのできる情報処理システムを提供する。【解決手段】情報処理システムは、情報を送信する送信装置及び情報を受信する受信装置を有し、前記送信装置は、情報を記憶する記憶部と、前記受信装置からの要求に応じて、前記受信装置のリソースの状態及び前記送信装置のリソースの状態に基づいて、前記受信装置に対する前記記憶部に記憶された情報の送信を制御する制御部と、前記制御部による制御に基づいて、前記受信装置に対して前記記憶部に記憶された情報を送信する送信部とを有し、前記受信装置は、前記送信部に対して前記記憶部に記憶された情報の送信を要求する送信要求部と、前記送信部から前記記憶部に記憶された情報を受信する受信部とを有する。【選択図】図１１
2011118726.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報を送信する送信装置及び情報を受信する受信装置を有し、
前記送信装置は、
情報を記憶する記憶部と、
前記受信装置からの要求に応じて、前記受信装置のリソースの状態及び前記送信装置のリソースの状態に基づいて、前記受信装置に対する前記記憶部に記憶された情報の送信を制御する制御部と、
前記制御部による制御に基づいて、前記受信装置に対して前記記憶部に記憶された情報を送信する送信部と
を有し、
前記受信装置は、
前記送信部に対して前記記憶部に記憶された情報の送信を要求する送信要求部と、
前記送信部から前記記憶部に記憶された情報を受信する受信部と
を有する
情報処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、装置で取得された情報を送受信する情報処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の情報処理システムは、基板処理装置などで生成された情報を要求するクライアントと、基板処理装置などで取得された情報を蓄積し、クライアントの要求に応じて情報を送信するサーバとにより構成される。ここで、クライアントの要求がなされた状況によっては、リソース（例えば、メモリ、ＣＰＵ及びネットワーク）が枯渇し、情報処理システムの機能が低下するおそれがある。
特許文献１には、１つの計算機上で動作するアプリケーションが、他の計算機上で動作するアプリケーションと連携をとりながら処理を行う場合、各計算機のリソース情報を必要な場合にのみ通知することにより、リソースの無駄使いを防止することが記載されている。
特許文献２には、構成情報に基づいて基板処理装置及び通信装置が通信する場合、構成情報が更新されたとき、通信装置はその旨を通知され、更新後の構成情報に基づいて通信することにより、システム停止時間を短縮することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−２４９９９７号公報
【特許文献２】特開２００８−２５８２５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、上述した背景からなされたものであり、リソースの枯渇を防止することができる情報処理システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明に係る情報処理システムは、情報を送信する送信装置及び情報を受信する受信装置を有し、前記送信装置は、情報を記憶する記憶部と、前記受信装置からの要求に応じて、前記受信装置のリソースの状態及び前記送信装置のリソースの状態に基づいて、前記受信装置に対する前記記憶部に記憶された情報の送信を制御する制御部と、前記制御部による制御に基づいて、前記受信装置に対して前記記憶部に記憶された情報を送信する送信部とを有し、前記受信装置は、前記送信部に対して前記記憶部に記憶された情報の送信を要求する送信要求部と、前記送信部から前記記憶部に記憶された情報を受信する受信部とを有する。
【発明の効果】
【０００６】
本発明に係る基板処理装置によれば、リソースの枯渇を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の背景となる情報処理システムの構成を示す図である。
【図２】本発明の実施形態に係る情報処理システムの構成を示す図である。
【図３】基板処理装置の斜視図である。
【図４】基板処理装置の側面透視図である。
【図５】クライアント及びサーバのハードウエア構成を、制御装置を中心にして示す図である。
【図６】クライアント上で実行される情報処理プログラムの構成を示す図である。
【図７】クライアントリソーステーブルの例である。
【図８】クライアント上で実行される情報処理プログラムの動作フロー（Ｓ１０）を示すフローチャートである。
【図９】サーバ上で実行される情報処理プログラムの構成を示す図である。
【図１０Ａ】サーバリソーステーブルの例である。
【図１０Ｂ】リソーステーブルの例である。
【図１０Ｃ】リソース閾値の例である。
【図１１】サーバ上で実行される情報処理プログラムの動作フロー（Ｓ２０）を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
まず、図１を参照して、本発明の背景を説明する。
図１は、情報処理システム１の構成を示す図である。図１に示すように、情報処理システム１は、複数の基板処理装置１０−１〜１０−ｎ（ｎは正数）、複数のクライアント１２−１〜１２−ｍ（ｍは正数。ｍはｎと同じ値であってもよいし、異なる値であってもよい）及びサーバ１４が、ネットワーク１６を介して互いに通信可能に接続されて構成されている。
このような構成によって、複数の基板処理装置１０−１〜１０−ｎにおいて取得された情報が、複数のクライアント１２−１〜１２−ｍ及びサーバ１４間で送受信される。
なお、クライアント１２−１〜１２−ｍは、一般的なコンピュータとしての機能を備えるものである。サーバ１４は、一般的なコンピュータとしての機能を備えるとともに、複数の基板処理装置１０−１〜１０−ｎにおいて取得された情報を蓄積する。ネットワーク１６は、例えば、ＬＡＮ及びＷＡＮである。
以下、基板処理装置１０−１〜１０−ｎなど、複数ある構成要素のいずれかを特定せずに示すときには、単に基板処理装置１０などと略記することがある。また、図１の情報処理システム１において、サーバ１４は１台しか存在していないが、複数台存在していてもよい（後述する情報処理システム２においても同様）。
【０００９】
基板処理装置１０は、プロセスレシピに基づいて基板に処理を施す。具体的には、プロセスレシピには、基板に処理を施すための手順が記載されており、基板処理装置１０は、この手順に沿って、装置内の各構成要素を制御する。例えば、基板処理装置１０は、処理炉内の温度が基板処理可能な温度となるよう、ヒータを制御する。
基板処理の実行にともない取得された情報（例えば、処理炉内の温度の実測値。以下、「基板処理情報」）は、いったん基板処理装置１０内に蓄積された後、予め定められたタイミング（例えば、一連の基板処理が終了した後）で、サーバ１４に送信されて蓄積される。
なお、以下、情報処理システム１において送受信される情報は、基板処理装置１０で取得された基板処理情報であるとしているが、これは例示に過ぎず、基板処理装置１０以外の装置で取得された情報が送受信されてもかまわない（後述する情報処理システム２においても同様）。
【００１０】
クライアント１２は、ネットワーク１６を介して、サーバ１４に対し、蓄積された基板処理情報の送信を要求する。
サーバ１４は、蓄積された基板処理情報の大きさに応じて、同時に接続して情報を送信することが可能なクライアント数である「最大同時接続数」、同時に接続して情報を送信することが可能な時間である「最大取得時間」及び同時に接続して送信することが可能なデータ項目の数である「最大項目数」からなる閾値情報を予め記憶する。また、サーバ１４は、現在接続中のクライアント数である「カレント接続数」及びユーザの接続状況に関する情報である「接続ユーザ情報」からなる接続クライアント情報をクライアント１２から取得して保持する。
サーバ１４は、クライアント１２の要求に応じて、閾値情報及び接続クライアント情報に基づいて、ネットワーク１６を介して、クライアント１２に対し、蓄積した基板処理情報を送信する。
しかしながら、蓄積された基板処理情報の状態（例えば、データ長及び単位時間当たりの蓄積量）にばらつきがある場合、リソースが有効に活用されなかったり、リソースが枯渇したりすることがある。
クライアント１２が、サーバ１４から送信される基板処理情報を予め定められた単位で分割することによって、リソースが枯渇しないよう制御することも考えられる。しかしながら、この場合、情報の分割にともないオーバーヘッドが生じ、リソースが枯渇することがある。
【００１１】
次に、本発明の実施形態に係る情報処理システム２を説明する。
図２は、本発明の実施形態に係る情報処理システム２の構成を示す図である。図２に示すように、情報処理システム２は、複数の基板処理装置１０−１〜１０−ｎ、複数のクライアント２０−１〜２０−ｍ及びサーバ２２が、ネットワーク１６を介して互いに通信可能に接続されて構成されている。
図１の情報処理システム１と同様、このような構成によって、複数の基板処理装置１０において取得された基板処理情報が、複数のクライアント２０及びサーバ２２間で送受信される。
【００１２】
次に、基板処理装置１０をさらに説明する。
[基板処理装置の詳細構成]
まず、基板処理装置１０の詳細な構成を説明する。
図３には、基板処理装置１０が斜視図を用いて示されている。また、図４には、基板処理装置１０が側面透視図を用いて示されている。
基板処理装置１０は、基板として用いられるシリコン等からなるウエハ１００を処理する。
【００１３】
図３及び図４に示されているように、基板処理装置１０は、基板処理装置本体１１を備える。また、基板処理装置１０では、ウエハ１００を収納したウエハキャリアとして用いられるフープ（基板収容器。以下、ポッド）１０１が使用されている。
基板処理装置本体１１の正面壁１１ａの正面前方部にはメンテナンス可能なように設けられた開口部として用いられる正面メンテナンス口１０２が設置され、正面メンテナンス口１０２を開閉する正面メンテナンス扉１０３が建て付けられている。なお、上側の正面メンテナンス扉１０３近傍には、操作部（不図示）が設置されている。
【００１４】
基板処理装置本体１１の正面壁１１ａには、ポッド搬入搬出口１０４が基板処理装置本体１１の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出部１０４はフロントシャッタ１０５によって開閉されるようになっている。
ポッド搬入搬出部１０４の正面前方側にはロードポート１０６が設置されており、ロードポート１０６はポッド１０１を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド１０１はロードポート１０６上に工程内搬送装置（不図示）によって搬入され、ロードポート１０６上から搬出されるようになっている。
【００１５】
基板処理装置本体１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚１０７が設置されており、回転式ポッド棚１０７は複数個のポッド１０１を保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚１０７は垂直に設置されて水平面内で間欠回転される支柱１０８と、支柱１０８に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板１０９とを備えており、複数枚の棚板１０９はポッド１０１を複数個宛にそれぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
【００１６】
基板処理装置本体１１内におけるロードポート１０６と回転式ポッド棚１０７との間には、ポッド搬送装置１１０が設置されており、ポッド搬送装置１１０は、ポッド１０１を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ１１０ａと搬送機構としてのポッド搬送機構１１０ｂとで構成されており、ポッド搬送装置１１０はポッドエレベータ１１０ａとポッド搬送機構１１０ｂとの連続動作により、ロードポート１０６、回転式ポッド棚１０７、ポッドオープナ１１１との間で、ポッド１０１を搬送するように構成されている。
【００１７】
基板処理装置本体１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１２が後端にわたって設置されている。サブ筐体１１２の正面壁１１２ａにはウエハ１００をサブ筐体１１２内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口１１３が一対、垂直方向に上下二段に並べられて設置されており、上下段のウエハ搬入搬出口１１３には、一対のポッドオープナ１１１がそれぞれ設置されている。ポッドオープナ１１１はポッド１０１を載置する載置台１１４と、ポッドのキャップを着脱するキャップ着脱機構１１５を備えている。ポッドオープナ１１１は載置台１１４に載置されたポッド１０１のキャップをキャップ着脱機構１１５によって着脱することにより、ポッド１０１のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
【００１８】
サブ筐体１１２はポッド搬送装置１１０や回転式ポッド棚１０７の設置空間から流体的に隔絶された移載室１１６を構成している。移載室１１６の前側領域にはウエハ移載機構１１７が設置されており、ウエハ移載機構１１７は、ウエハ１００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置１１７ａ及びウエハ移載装置１１７ａを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ１１７ｂとで構成されている。図１に模式的に示されているようにウエハ移載装置エレベータ１１７ｂは基板処理装置本体１１右側端部とサブ筐体１１２の移載室１１６前方領域右端部との間に設置されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ１１７ｂ及びウエハ移載装置１１７ａの連続動作により、ウエハ移載装置１１７ａのツイーザ１１７ｃをウエハ１００の載置部として、ボート１１８に対してウエハ１００を装填（チャージング）及び脱装（ディスチャージング）するように構成されている。
【００１９】
移載室１１６の後側領域には、ボート１１８を収容して待機させる待機部１１９が構成されている。待機部１１９の上方には、処理炉１２０が設けられている。処理炉１２０の下端部は、炉口シャッタ１２１により開閉されるように構成されている。
【００２０】
図３に模式的に示されているように、基板処理装置本体１１右側端部とサブ筐体１１２の待機部１１９右端部との間にはボート１１８を昇降させるためのボートエレベータ１２２が設置されている。ボートエレベータ１２２の昇降台に連結された連結具としてのアーム１２３には蓋体としてのシールキャップ１２４が水平に据え付けられており、シールキャップ１２４はボート１１８を垂直に支持し、処理炉１２０の下端部を閉塞可能なように構成されている。
ボート１１８は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０〜１２５枚程度）のウエハ１００をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。
【００２１】
また、図３に模式的に示されているように移載室１１６のウエハ移載装置エレベータ１１７ｂ側及びボートエレベータ１２２側と反対側である左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１２５を供給するよう供給ファン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１２６が設置されており、ウエハ移載装置１１７ａとクリーンユニット１２６との間には、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置（不図示）が設置されている。
【００２２】
クリーンユニット１２６から吹き出されたクリーンエア１２５は、ノッチ合わせ装置及びウエハ移載装置１１７ａ、待機部１１９にあるボート１１８に流通された後に、ダクト（不図示）により吸い込まれて、基板処理装置本体１１の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット１２６の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット１２６によって、移載室１１７内に吹き出されるように構成されている。
【００２３】
[基板処理装置の動作]
次に、本発明の基板処理装置１０の動作を説明する。
図３及び図４に示されているように、ポッド１０１がロードポート１０６に供給されると、ポッド搬入搬出口１０４がフロントシャッタ１０５によって開放され、ロードポート１０６の上のポッド１０１はポッド搬送装置１１０によって基板処理装置本体１１の内部へポッド搬入搬出口１０４から搬入される。
【００２４】
搬入されたポッド１０１は回転式ポッド棚１０７の指定された棚板１０９へポッド搬送装置１１０によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１０９から一方のポッドオープナ１１１に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１０９から一方のポッドオープナ１１１に搬送されて載置台１１４に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ１１１に搬送されて載置台１１４に移載される。この際、ポッドオープナ１１１のウエハ搬入搬出口１１３はキャップ着脱機構１１５によって閉じられており、移載室１１６にはクリーンエア１２５が流通され、充満されている。例えば、移載室１１６にはクリーンエア１２５として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、基板処理装置本体１１の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりもはるかに低く設定されている。
【００２５】
載置台１１４に載置されたポッド１０１はその開口側端面がサブ筐体１１２の正面壁１１２ａにおけるウエハ搬入搬出口１１３の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウエハ出し入れ口を開放される。
ポッド１０１がポッドオープナ１１１によって開放されると、ウエハ１００はポッド１０１からウエハ移載装置１１７ａのツイーザ１１７ｃによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、ノッチ合わせ装置（不図示）にてウエハを整合した後、移載室１１６の後方にある待機部１１９へ搬入され、ボート１１８に装填（チャージング）される。ボート１１８にウエハ１００を受け渡したウエハ移載装置１１７ａはポッド１０１に戻り、次のウエハをボート１１８に装填する。
【００２６】
この一方（上段または下段）のポッドオープナ１１１におけるウエハ移載機構１１７によるウエハのボート１１８への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１１１には回転式ポッド棚１０７から別のポッド１０１がポッド搬送装置１１０によって搬送されて移載され、ポッドオープナ１１１によるポッド１０１の開放作業が同時進行される。
【００２７】
予め指定された枚数のウエハ１００がボート１１８に装填されると、炉口シャッタ１２１によって閉じられていた処理炉１２０の下端部が、炉口シャッタ１２１によって、開放される。続いて、ウエハ１００群を保持したボート１１８はシールキャップ１２４がボートエレベータ１２２によって上昇されることにより、処理炉１２０内へ搬入（ローディング）されて行く。
ローディング後は、処理炉１２０にてウエハ１００に任意の処理が実施される。
処理後は、ノッチ合わせ装置（不図示）でのウエハの整合工程を除き、上述の逆の手順で、ウエハ１００及びポッド１０１は筐体の外部へ払出される。
【００２８】
次に、クライアント２０及びサーバ２２をさらに説明する。
[クライアント及びサーバのハードウエア構成]
まず、クライアント２０及びサーバ２２のハードウエア構成を説明する。
図５は、クライアント２０及びサーバ２２のハードウエア構成を、制御装置２４を中心にして示す図である。
【００２９】
図５に示すように、クライアント２０及びサーバ２２は、ＣＰＵ２６及びメモリ２８を含む制御装置２４と、ネットワーク１６を介して外部の装置と情報の送受信を行う通信インターフェース（以下、「通信ＩＦ」）３０と、ハードディスクドライブなどの記憶装置３２と、液晶ディスプレイなどである表示装置３４と、キーボード及びマウスなどである入力装置３６とを有する。このように、クライアント２０及びサーバ２２は、一般的なコンピュータとしての機能を備え、後述する情報処理プログラムなどを実行する。
【００３０】
[クライアント及びサーバのソフトウエア構成]
次に、クライアント２０及びサーバ２２のソフトウエア構成を説明する。
図６は、クライアント２０にインストールされ、クライアント２０上で実行される情報処理プログラム３８の構成を示す図である。
図６に示すように、情報処理プログラム３８は、ユーザインターフェース（以下、「ＵＩ」）部３８０、ユーザ指示送信部３８２、クライアントリソーステーブル要求受信部３８４、クライアントリソース監視部３８６、クライアントリソーステーブル記憶部３８８、クライアントリソーステーブル送信部３９０及び基板処理情報受信部３９２を有する。このような構成により、クライアント２０は、サーバ２２に対して基板処理情報の送信を要求し、サーバ２２から基板処理情報を受信する。
【００３１】
ＵＩ部３８０は、ユーザが図５の入力装置３６を介して入力した指示（例えば、基板処理情報のうち、温度モニタ値、ＭＦＣモニタ値、ＡＰＣモニタ値及び圧力モニタ値の送信を要求する指示）を受け付ける。また、ＵＩ部３８０は、基板処理情報受信部３９２が受信した基板処理情報を図５の表示装置３４に出力する。
ユーザ指示送信部３８２は、ＵＩ部３８０が受け付けたユーザ指示を図５の通信ＩＦ３０を介してサーバ２２に送信する。
クライアントリソーステーブル要求受信部３８４は、通信ＩＦ３０を介して、サーバ２２からクライアントリソーステーブルの要求を受信する。
クライアントリソース監視部３８６は、図５のＣＰＵ２６、メモリ２８及びネットワーク１６などからこれらの状態を示す情報を収集し、例えば、図７に示す形式のクライアントリソーステーブルとして、クライアントリソーステーブル記憶部３８８に記憶する。
クライアントリソーステーブル送信部３９０は、クライアントリソーステーブル要求受信部３８４がクライアントリソーステーブルの要求を受信したことをトリガに、クライアントリソーステーブル記憶部３８８に記憶されたクライアントリソーステーブルを、通信ＩＦ３０を介してサーバ２２に送信する。
基板処理情報受信部３９２は、サーバ２２が通信ＩＦ３０を介して送信した基板処理情報を受信する。
【００３２】
図８は、図６の情報処理プログラム３８の動作フロー（Ｓ１０）を示すフローチャートである。
図８に示すように、ステップ１００（Ｓ１００）において、図６のＵＩ部３８０がユーザから指示を受け付けたか否かが判定される。ＵＩ部３８０がユーザ指示を受け付けた場合には、ステップ１０２の処理に進み、ＵＩ部３８０がユーザ指示を受け付けるまで、ステップ１００の処理が繰り返される。
ステップ１０２（Ｓ１０２）において、図６のユーザ指示送信部３８２は、ステップ１００でＵＩ部３８０が受け付けたユーザ指示をサーバ２２に送信する。
ステップ１０４（Ｓ１０４）において、図６の基板処理情報受信部３９２が、ステップ１００で受け付けられたユーザ指示どおりに基板処理情報をすべてサーバ２２から受信したか否かが判定される。基板処理情報受信部３９２が、ユーザ指示通りに基板処理情報をすべて受信した場合には、処理を終了する。一方、そうでない場合（例えば、基板処理情報の受信をまだ開始してしない場合及び一部の基板処理情報しか受信しない場合）には、ステップ１０６の処理に進む。
【００３３】
ステップ１０６（Ｓ１０６）において、図６のクライアントリソーステーブル要求受信部３８４が、サーバ２２からクライアントリソーステーブルの要求を受信したか否かが判定される。クライアントリソーステーブル要求受信部３８４がクライアントリソーステーブルの要求を受信した場合には、ステップ１０８の処理に進み、そうでない場合には、ステップ１０４の処理に戻る。
ステップ１０８（Ｓ１０８）において、図６のクライアントリソーステーブル送信部３９０は、クライアントリソーステーブル記憶部３８８からクライアントリソーステーブルを読み出し、サーバ２２に送信する。
【００３４】
図９は、サーバ２２上で実行される情報処理プログラム４０の構成を示す図である。
図９に示すように、情報処理プログラム４０は、基板処理情報受信部４００、基板処理情報記憶部４０２、ユーザ指示受信部４０４、送信サイズ決定部４０６、クライアントリソーステーブル要求送信部４０８、クライアントリソーステーブル受信部４１０、サーバリソース監視部４１２、サーバリソーステーブル記憶部４１４、リソース閾値記憶部４１６及び基板処理情報送信部４１８を有する。このような構成により、サーバ２２は、クライアント２０の要求に応じて、基板処理装置１０において取得された基板処理情報を送信する。
【００３５】
基板処理情報受信部４００は、図５の通信ＩＦ３０を介して基板処理装置１０から基板処理情報を受信し、基板処理情報記憶部４０２に記憶する。
ユーザ指示受信部４０４は、通信ＩＦ３０を介してクライアント２０からユーザ指示を受信する。
送信サイズ決定部４０６は、ユーザ指示受信部４０４がユーザ指示を受信したことをトリガに、サーバ２２が１回の送信でクライアント２０に送信する基板処理情報のサイズ（以下、「送信サイズ」）を決定する。
具体的には、送信サイズ決定部４０６は、クライアントリソーステーブル、サーバリソーステーブル及びリソース閾値に基づいて、送信サイズを決定する。
【００３６】
クライアントリソーステーブルは、ユーザ指示受信部４０４がユーザ指示を受信したタイミングで、クライアントリソーステーブル要求送信部４０８が通信ＩＦ３０を介してクライアント２０にクライアントリソーステーブルの要求を送信することにより、クライアントリソーステーブル受信部４１０が通信ＩＦ３０を介してクライアント２０から受信する。
サーバリソーステーブルは、サーバリソース監視部４１２が図５のＣＰＵ２６、メモリ２８及びネットワーク１６などからこれらの状態を示す情報を収集し、例えば図１０Ａに示す形式のサーバリソーステーブルとしてサーバリソーステーブル記憶部４１４に記憶されたものが読み出される。
なお、ユーザ指示、クライアントリソーステーブル及びサーバリソーステーブルは、例えば図１０Ｂに示す形式のリソーステーブルにまとめられる。図１０Ｂにおいて、（１）はサーバリソーステーブルの内容に対応し、（２）はクライアント２０−１から受信したクライアントリソーステーブルの内容に対応し、（３）はクライアント２０−１から受信したユーザ指示に対応する。また、（４）はクライアント２０−２から受信したクライアントリソーステーブル及びユーザ指示に対応し、（５）はクライアント２０−ｍから受信したクライアントリソーステーブル及びユーザ指示に対応する。つまり、リソーステーブルには、サーバリソーステーブル、サーバ２２に接続されているクライアント２０のクライアントリソーステーブル、及び、サーバ２２に接続されたことのあるクライアント２０のクライアントリソーステーブルの内容が含まれている。
リソース閾値は、ユーザが予め設定し、例えば図１０Ｃに示す形式のリソース閾値としてリソース閾値記憶部４１６に記憶されたものが読み出される。
【００３７】
基板処理情報送信部４１８は、ユーザ指示受信部４０４が受信したユーザ指示に基づいて、基板処理情報記憶部４０２から基板処理情報を読み出し、送信サイズ決定部４０６が決定した送信サイズで、通信ＩＦ３０を介してクライアント２０に送信する。
【００３８】
図１１は、図９の情報処理プログラム４０の動作フロー（Ｓ２０）を示すフローチャートである。
図１１に示すように、ステップ２００（Ｓ２００）において、図９のユーザ指示受信部４０４が、クライアント２０からユーザ指示を受信したか否かが判定される。ユーザ指示受信部４０４がユーザ指示を受信した場合には、ステップ２０２の処理に進み、ユーザ指示受信部４０４がユーザ指示を受信するまで、ステップ２００の処理が繰り返される。
ステップ２０２（Ｓ２０２）において、図９のクライアントリソーステーブル要求送信部４０８が、ステップ２００で受信したユーザ指示の送信元であるクライアント２０に対し、クライアントリソーステーブルを要求する。
ステップ２０４（Ｓ２０４）において、図９のクライアントリソーステーブル受信部４１０が、クライアント２０からクライアントリソーステーブルを受信したか否かが判定される。クライアントリソーステーブル受信部４１０がクライアントリソーステーブルを受信した場合には、ステップ２０６（Ｓ２０６）の処理に進み、クライアントリソーステーブル受信部４１０がクライアントリソーステーブルを受信するまで、ステップ２０２〜２０４の処理が繰り返される。
【００３９】
ステップ２０６（Ｓ２０６）において、クライアントリソーステーブル受信部４１０が受信したクライアントリソーステーブルは、図９の送信サイズ決定部４０６に出力される。また、送信サイズ決定部４０６は、図９のサーバリソーステーブル記憶部４１４からサーバリソーステーブルを読み込むとともに、図９のリソース閾値記憶部４１６からリソース閾値を読み込む。
ステップ２０８（Ｓ２０８）において、送信サイズ決定部４０６は、ステップ２０６で出力されたクライアントリソーステーブル及びステップ２０６で読み込まれたサーバリソーステーブル及びリソース閾値に基づいて、送信サイズを決定する。
具体的には、送信サイズ決定部４０６は、クライアント２０の送信サイズを、当該クライアントのクライアントリソーステーブル、サーバリソーステーブル及びリソース閾値に基づいて決定する。例えば、クライアント２０−１の送信サイズを決定する場合、クライアント２０−１のクライアントリソーステーブル、基板処理情報の取得先であるサーバ２２のサーバリソーステーブル及びリソース閾値に基づいて決定する。
クライアントリソーステーブル及びサーバリソーステーブルの少なくともいずれかのリソース使用率がリソース閾値で設定された最大値を超えるクライアント２０の送信サイズは０に決定し、そうでないクライアント２０の送信サイズは、例えば、クライアントリソーステーブルのリソース使用率が高いほど送信回数（サーバ２２がクライアント２０に基板処理情報を送信する回数）が少なくなるよう決定する。
【００４０】
ステップ２１０（Ｓ２１０）において、ステップ２０８で決定された送信サイズが非ゼロであるか否かが判定される。送信サイズが非ゼロである場合、ステップ２１２の処理に進み、そうでない場合、ステップ２０２〜２１０の処理を繰り返す。
ステップ２１２（Ｓ２１２）において、図９の基板処理情報送信部４１８は、ステップ２００で受信したユーザ指示に基づき、図９の基板処理情報記憶部４０２から基板処理情報を読み込み、ステップ２０８で決定された送信サイズでクライアント２０に送信する。
ステップ２１４（Ｓ２１４）において、基板処理情報送信部４１８が、ステップ２００で受信したユーザ指示通りに基板処理情報をすべて送信したか否かが判定される。基板処理情報送信部４１８が、ユーザ指示通りに基板処理情報をすべて送信した場合には、処理を終了する。一方、そうでない場合（例えば、一部の基板処理情報しか送信してしない場合）には、ユーザ指示通りに基板処理情報をすべて送信するまで、ステップ２０２〜２１４の処理を繰り返す。
【符号の説明】
【００４１】
１      情報処理システム
１０    基板処理装置
１２    クライアント
１４    サーバ
１６    ネットワーク
２      情報処理システム
２０    クライアント
２２    サーバ
３８    情報処理プログラム
４０    情報処理プログラム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１０Ｃ】
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【図１１】
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