(57)【要約】【課題】簡単な構成で研磨テープの消費量を減らし、コストを削減すると共に、廃棄物を減らす。【解決手段】研磨カセット７において、プラスチックフィルムの表面及び裏面に砥粒を樹脂バインダーで固定した表側研磨層１３，１４を有する研磨テープ８を巻き取り、この研磨テープ８の露出部に１８０°捩られて表裏面が反転した捩り部２５を形成する。研磨テープ８を送り出しながら、研磨ヘッド１７で研磨テープ８の表面側を研磨対象物に押し付け、研磨カセット７に巻き取られた研磨テープ８を全て使用した後、この研磨カセット７を裏返し、研磨テープ８を送り出しながら、研磨ヘッド１７で研磨テープ８の裏面側を研磨対象物に押し付ける。【選択図】図１
2011152610.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラスチックフィルムの表面に砥粒を樹脂バインダーで固定した研磨層が形成された研磨テープと、
上記研磨テープが巻かれた供給リールと、
上記研磨テープを巻き取る巻取リールと、
上記供給リール及び巻取リールが内装され、該供給リールと巻取リールとの間で、上記研磨テープを露出させる開口部が形成されたカセット本体とを備えた研磨カセットであって、
上記研磨テープにおける上記プラスチックフィルムの裏面にも上記研磨層が形成され、
上記研磨テープにおける上記供給リールから供給されて開口部から露出した部分には、１８０°捩られて表裏面が反転した捩り部が形成されている
ことを特徴とする研磨カセット。
【請求項２】
請求項１に記載の研磨カセットにおいて、
上記開口部は、所定の間隔をあけて配置され、上記研磨テープの厚さと同等の幅を有する一対の貫通孔よりなり、
上記捩り部は、上記一対の貫通孔間に形成されている
ことを特徴とする研磨カセット。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の研磨カセットを備えた研磨装置において、
上記開口部から露出する研磨テープを研磨対象物に押さえ付ける研磨ヘッドと、
上記捩り部を保持する捩り部保持部とを備え、
上記捩り部保持部は、上記研磨テープを表裏面から狭持する二対のガイドローラよりなる
ことを特徴とする研磨装置。
【請求項４】
請求項１又は２に記載の研磨カセットを備えた研磨装置において、
上記開口部から露出する研磨テープを研磨対象物に押さえ付ける研磨ヘッドと、
上記捩り部を保持する捩り部保持部とを備え、
上記捩り部保持部は、上記研磨テープと同等の幅及び厚さの貫通孔を有し、１８０°捩られた帯状体よりなる
ことを特徴とする研磨装置。
【請求項５】
研磨対象物上の異物を研磨する研磨方法において、
プラスチックフィルムの表面及び裏面に砥粒を樹脂バインダーで固定した研磨層を有する研磨テープが巻き取られ、該研磨テープの露出部に１８０°捩られて表裏面が反転した捩り部が形成された研磨カセットと、該研磨テープを上記研磨対象物に押し付ける研磨ヘッドとを用意する準備工程と、
上記研磨テープを送り出しながら、上記研磨ヘッドで該研磨テープの表面側を上記研磨対象物に押し付け、上記捩り部を通過して表裏反転したテープを上記研磨カセットに巻き取る表側研磨工程と、
上記表側研磨工程を繰り返して上記研磨カセットに巻き取られた研磨テープを全て使用した後、該研磨カセットを裏返すカセット表裏反転工程と、
上記研磨テープを送り出しながら、上記研磨ヘッドで該研磨テープの裏面側を上記研磨対象物に押し付ける裏側研磨工程と、
を含ことを特徴とする研磨方法。
【請求項６】
研磨対象物上の異物を研磨する研磨方法において、
プラスチックフィルムの表面及び裏面に砥粒を樹脂バインダーで固定した研磨層を有する研磨テープが巻き取られた研磨カセットと、該研磨テープを上記研磨対象物に押し付ける研磨ヘッドとを用意する準備工程と、
上記研磨テープを下面が表面となるように送り出しながら、該研磨テープを一切捩らずに上記研磨ヘッドで該研磨テープの表面側を上記研磨対象物に押し付ける表側研磨工程と、
上記表側研磨工程を繰り返して上記研磨カセットに巻き取られた研磨テープを全て使用した後、該研磨カセットを裏返すカセット表裏反転工程と、
上記研磨テープを下面が表面となるように送り出しながら、該研磨テープの露出部を１８０°捩って表裏面を反転させ、上記研磨ヘッドで該研磨テープの裏面側を上記研磨対象物に押し付け、下面を裏面としたまま研磨カセットに巻き取る裏側研磨工程と、
を含むことを特徴とする研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、研磨カセット、それを備えた研磨装置及び研磨対象物上の異物を研磨する研磨方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、プラスチックフィルムの一方の表面に砥粒を樹脂バインダーで固定した研磨層が形成された研磨テープが知られており、この種の研磨テープを用いて研磨対象物を研磨することが行われている。一度使用した研磨テープの表面は、異物が付着したり、砥粒が剥がれたりすることにより、再利用をすることができない。このため、研磨テープを頻繁に交換しなければならず、コスト面及び環境面で望ましくない。
【０００３】
そこで、例えば、特許文献１の研磨装置では、研磨テープの幅方向片側半分のみを使用した後、巻き取った研磨テープを再び繰り出して残りの幅方向半分を使用するようにし、研磨テープの消費量を半減させるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１７５８００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１では、各リールの反転交換作業が複雑であり、交換時のミスが生じやすい。
【０００６】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、簡単な構成で研磨テープの消費量を減らし、コストを削減すると共に、廃棄物を減らすことにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために、この発明では、研磨テープの表裏面に研磨層を設けた。
【０００８】
具体的には、第１の発明では、
プラスチックフィルムの表面に砥粒を樹脂バインダーで固定した研磨層が形成された研磨テープと、
上記研磨テープが巻かれた供給リールと、
上記研磨テープを巻き取る巻取リールと、
上記供給リール及び巻取リールが内装され、該供給リールと巻取リールとの間で、上記研磨テープを露出させる開口部が形成されたカセット本体とを備えた研磨カセットを対象とする。
【０００９】
そして、上記研磨カセットは、
上記研磨テープにおける上記プラスチックフィルムの裏面にも上記研磨層が形成され、
上記研磨テープにおける上記供給リールから供給されて開口部から露出した部分には、１８０°捩られて表裏面が反転した捩り部が形成されている。
【００１０】
上記の構成によると、研磨テープの進行方向に対し、捩り部よりも前側と後側とで研磨テープの表裏面が反対となる。そして、研磨テープの表面側及び裏面側に研磨層が形成されているので、研磨テープの表面側を全て使用した後、研磨カセットを裏返せば、裏面側を使用することができる。このため、研磨カセットを裏返すだけで、研磨テープの両面を使用することができ、使用量を半分にすることができる。
【００１１】
第２の発明では、第１の発明において、
上記開口部は、所定の間隔をあけて配置され、上記研磨テープの厚さと同等の幅を有する一対の貫通孔よりなり、
上記捩り部は、上記一対の貫通孔間に形成されている。
【００１２】
上記の構成によると、一対の貫通孔の幅が研磨テープの厚さと同等なため、捩り部の不用意なカセット本体内への巻き取りが防止される。なお、研磨テープの厚さと同等の幅とは、研磨テープの厚さと同一の幅を意味するのではなく、例えば、異物が付着した研磨テープが通過可能で、かつ捩り部を巻き込まない程度に若干研磨テープの厚さよりも大きいことを意味する。
【００１３】
第３の発明では、第１又は第２の発明の研磨カセットを備えた研磨装置において、
上記開口部から露出する研磨テープを研磨対象物に押さえ付ける研磨ヘッドと、
上記捩り部を保持する捩り部保持部とを備え、
上記捩り部保持部は、上記研磨テープを表裏面から狭持する二対のガイドローラよりなる。
【００１４】
上記の構成によると、二対のガイドローラ２６ａ間に捩り部が保持されているので、捩り部が誤って開口部を通って巻き取られることが防止される。また、研磨テープの進行方向における二対のガイドローラの前後で研磨テープの表裏面が反転する。このため、供給リールから繰り出される研磨テープの下面が表面のとき、その表面を研磨ヘッドで研磨対象物に押し付けて研磨が行われ、その後二対のガイドローラ間の捩り部で表裏が反転し、下面が裏面となった状態で巻取リールに巻き取られる。そして、供給リールから研磨テープを全て繰り出した後、研磨カセットを裏返せば、巻取リールから繰り出される研磨テープは、下面が未使用の裏面となっているので、未使用の研磨層を用いて研磨が行われる。このため、容易に研磨テープの表裏面を利用することができる。
【００１５】
第４の発明では、第１又は第２の発明の研磨カセットを備えた研磨装置において、
上記開口部から露出する研磨テープを研磨対象物に押さえ付ける研磨ヘッドと、
上記捩り部を保持する捩り部保持部とを備え、
上記捩り部保持部は、上記研磨テープと同等の幅及び厚さの貫通孔を有し、１８０°捩られた帯状体よりなる。
【００１６】
上記の構成によると、帯状体により、その内部に捩り部が保持されるので、捩り部が研磨カセットの開口部を通って巻取ローラに巻き取られることはない。また、研磨テープの進行方向における帯状体のガイドローラの前後で研磨テープの表裏面が反転する。このため、供給リールから繰り出される研磨テープの下面が表面のとき、その表面を研磨ヘッドで研磨対象物に押し付けて研磨が行われ、その後、二対のガイドローラ間の捩り部で表裏が反転し、下面が裏面となった状態で巻取リールに巻き取られる。そして、供給リールから研磨テープを全て繰り出した後、研磨カセットを裏返せば、巻取リールから繰り出される研磨テープは、下面が未使用の裏面となっているので、未使用の研磨層を用いて研磨が行われる。このため、容易に研磨テープの表裏面を利用することができる。なお、研磨テープと同等の幅及び厚さの貫通孔とは、研磨テープと同一の幅及び厚さを意味するのではなく、研磨テープが通過可能な程度に若干研磨テープの幅及び厚さよりも大きいことを意味する。
【００１７】
第５の発明では、研磨対象物上の異物を研磨する研磨方法を前提とし、
上記研磨方法は、
プラスチックフィルムの表面及び裏面に砥粒を樹脂バインダーで固定した研磨層を有する研磨テープが巻き取られ、該研磨テープの露出部に１８０°捩られて表裏面が反転した捩り部が形成された研磨カセットと、該研磨テープを上記研磨対象物に押し付ける研磨ヘッドとを用意する準備工程と、
上記研磨テープを送り出しながら、上記研磨ヘッドで該研磨テープの表面側を上記研磨対象物に押し付け、上記捩り部を通過して表裏反転したテープを上記研磨カセットに巻き取る表側研磨工程と、
上記表側研磨工程を繰り返して上記研磨カセットに巻き取られた研磨テープを全て使用した後、該研磨カセットを裏返すカセット表裏反転工程と、
上記研磨テープを送り出しながら、上記研磨ヘッドで該研磨テープの裏面側を上記研磨対象物に押し付ける裏側研磨工程と、
を含む構成とする。
【００１８】
上記の構成によると、研磨テープの進行方向における捩り部の前後で研磨テープの表裏面が反転する。このため、表側研磨工程において、研磨カセットから繰り出された研磨テープの下面が表面のとき、その表面を研磨ヘッドで研磨対象物に押し付けて研磨が行われ、その後、捩り部で表裏が反転し、下面が裏面となった状態で巻き取られる。そして、研磨カセット内の研磨テープを全て繰り出した後、表裏反転工程において研磨カセットを裏返せば、次に裏側研磨工程で繰り出される研磨テープは、下面が未使用の裏面となっており、未使用の研磨層を用いて研磨が行われる。このため、容易に研磨テープの表裏面を利用することができる。
【００１９】
第６の発明では、研磨対象物上の異物を研磨する研磨方法を前提とし、
上記研磨方法は、
プラスチックフィルムの表面及び裏面に砥粒を樹脂バインダーで固定した研磨層を有する研磨テープが巻き取られた研磨カセットと、該研磨テープを上記研磨対象物に押し付ける研磨ヘッドとを用意する準備工程と、
上記研磨テープを下面が表面となるように送り出しながら、該研磨テープを一切捩らずに上記研磨ヘッドで該研磨テープの表面側を上記研磨対象物に押し付ける表側研磨工程と、
上記表側研磨工程を繰り返して上記研磨カセットに巻き取られた研磨テープを全て使用した後、該研磨カセットを裏返すカセット表裏反転工程と、
上記研磨テープを下面が表面となるように送り出しながら、該研磨テープの露出部を１８０°捩って表裏面を反転させ、上記研磨ヘッドで該研磨テープの裏面側を上記研磨対象物に押し付け、下面を裏面としたまま研磨カセットに巻き取る裏側研磨工程と、
を含む構成とする。
【００２０】
上記の構成によると、研磨テープの進行方向における捩り部の前後で研磨テープの表裏面が反転する。このため、表側研磨工程においては、通常の研磨カセットと同様に繰り出された研磨テープの下面である表面を研磨ヘッドで研磨対象物に押し付けて研磨が行われ、下面が表面のまま巻き取られる。そして、研磨カセット内の研磨テープを全て繰り出した後、表裏反転工程において研磨カセットを裏返し、裏側研磨工程で繰り出される研磨テープを捩り部で表裏反転させて下面を未使用の裏面とし、この未使用の研磨層を用いて研磨が行われる。このため、容易に研磨テープの表裏面を利用することができる。
【発明の効果】
【００２１】
以上説明したように、本発明によれば、研磨テープの表裏面に砥粒を樹脂バインダーで固定した研磨層を設け、研磨カセットから露出した部分に表裏面を反転させる捩り部を設けたことにより、容易に研磨テープの表裏面を使うことができるので、簡単な構成で研磨テープの消費量を減らし、コストを削減すると共に、廃棄物を減らすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】実施形態１にかかるテープ表状態の研磨カセットの正面図である。
【図２】研磨装置の概略を示す斜視図である。
【図３】テープ表状態の研磨テープ及びガイドローラを示す斜視図である。
【図４】研磨テープの構成を拡大して示す断面図である。
【図５】研磨方法を示すフローチャートである。
【図６】テープ裏状態に裏返した研磨カセットを示す図１相当図である。
【図７】実施形態１の変形例のテープ表状態を示す図３相当図である。
【図８】実施形態１の変形例のテープ裏状態を示す図７相当図である。
【図９】実施形態２にかかるテープ表状態の研磨カセットの正面図である。
【図１０】実施形態２にかかるテープ裏状態の研磨カセットの正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態１を図面に基づいて説明する。
【００２４】
−研磨装置の構成−
図２は本発明の実施形態１の研磨カセット７を装着した研磨装置１を示す。この研磨装置１は、例えばフレーム構造よりなるベース部２を備え、このベース部２の上面にワークＷが載置される平坦なワークステージ３が設けられている。例えば、本実施形態では、ワークＷは、ポリイミド樹脂膜を形成後のアレイ基板とする。このワークステージ３に複数の貫通孔（図示せず）を設け、空気を吸引することにより、ワークＷをワークステージ３上に固定するようになっている。
【００２５】
ワークステージ３上には、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向にヘッド本体４を移動可能に支持する移動装置５が設けられている。移動装置５は、ベース部２の対向する側面にＹ方向に沿って配置された一対のレール部５ａと、このレール部５ａ上をＹ方向に沿って移動し、ヘッド本体４をＸ方向及びＺ方向に移動可能に支持するガントリ部５ｂと、図示しない複数のモータとを備え、ワークステージ３上の任意の位置にヘッド本体４を移動可能に構成されている。
【００２６】
ヘッド本体４には、図１に示す研磨カセット７が着脱可能となっている。この研磨カセット７は、研磨テープ８が巻かれた供給リール９と、研磨テープ８を巻き取る巻取リール１０とを備えている。両リール９，１０の間には、研磨テープ８をガイドする一対のローラ１１が、これら供給リール９及び巻取リール１０と共に、矩形状の中空のカセット本体７ａに内装されている。なお、図１では、カセット本体７ａの内部を透過させている。図３に示すように、カセット本体７ａの底面には、研磨テープ８を露出させる開口部としての一対の貫通孔７ｂ，７ｃが形成されている。この一対の貫通孔７ｂ，７ｃは、左右に所定の間隔をあけて配置されている。一対の貫通孔７ｂ，７ｃは、それぞれ長細いスリット状のもので、それらの幅Ｗ１は、研磨テープ８の厚さと同等（研磨テープ８が微細な異物を付着させたままでも通過可能で、かつ後述する捩り部２５を巻き込まない程度に若干研磨テープ８の厚さよりも大きい）に設定され、その貫通孔７ｂの長さＬは、研磨テープ８の幅Ｗ２よりも若干大きく設定されている（Ｌ＞Ｗ２）。カセット本体４ａは、通常のオーディオテープのように、左右対称であり、Ａ面とＢ面とを表裏反転可能となっている。つまり、図６のように、Ｂ面に反転させた場合には、Ａ面の時とは逆に巻取リール１０から、巻き取った研磨テープ８を繰り出して供給リール９に巻き取り可能となっている。
【００２７】
図４に拡大して示すように、研磨テープ８は、ポリエステル等よりなるプラスチックフィルム１２を基材として有し、その表面に砥粒を樹脂バインダーで固定した表側研磨層１３が形成されている。一方、プラスチックフィルム１２の裏面にも表側研磨層１３と同じ構成の裏側研磨層１４が形成されている。なお、上記貫通孔７ｂ，７ｃは、研磨テープ８の砥粒で削れないように、また研磨テープ８が切断されないような材料で、その周縁を構成するのが望ましい。
【００２８】
そして、図１及び図３に示すように、供給リール９から供給されて貫通孔７ｃから露出した研磨テープ８は、１８０°捩られて表裏面が反転した後、他方の貫通孔７ｂを通って巻取リール１０に巻き取られている。例えば、研磨カセット７を組み立てる際に、供給リール９に巻き取ってある研磨テープ８の先端を一方の貫通孔７ｃから露出させ、この露出した研磨テープ８の中間部を１８０°捩った後、先端を他方の貫通孔７ｂに挿入して巻取リール１０に取り付けるようにすればよい。なお、以下、この１８０°捩られて研磨テープ８の表裏面が入れ替わる部分を捩り部２５という。この捩り部２５により、研磨テープ８の進行方向に対して捩り部２５よりも前側と後側とで、研磨テープ８の表裏面が反対となっている。
【００２９】
そして、研磨カセット７を研磨装置１に装着した状態では、巻取リール１０には、ヘッド本体４に設けられたモータ（図示せず）の回転軸１５が巻取リール１０と回転一体に挿入され、供給リール９は、支持軸１６が挿入されて回転可能に支持されることで、所定の速度で供給リール９から供給された研磨テープ８を繰り出しながら、巻取リール１０に巻取可能となっている。
【００３０】
また、一対の貫通孔７ｂ，７ｃ間には、研磨テープ８をワークＷに対して押し付ける研磨ヘッド１７（図３では省略）が設けられている。この研磨ヘッド１７は、ヘッド本体４上で、上下に昇降可能に構成されている。
【００３１】
また、図２に示すように、研磨装置１は、ベース部２の任意の位置に制御装置１８を備え、この制御装置１８が記憶手段としてのメインサーバ１９につながれている。メインサーバ１９には、前工程においてワークＷの表面を撮像カメラ２０で撮像した画像が保存されている。また、撮像カメラ２０で撮像された画像を用い、欠陥捕捉機構２１で画像処理を行って得た異物の位置、形状等の異物情報がメインサーバ１９に保存されている。
【００３２】
そして、図１及び図３に示すように、ヘッド本体４は、捩り部２５を保持する捩り部保持部２６を備えている。本実施形態では、例えば、この捩り部保持部２６は、研磨テープ８を表裏面から狭持する二対のガイドローラ２６ａよりなる。これら二対のガイドローラ２６ａは、ヘッド本体４に支持されている。
【００３３】
なお、ヘッド本体４には、ワークＷ表面を撮像する、例えばデジタル・マイクロミラー・デバイスが設けられ、異物の高さ等を正確に把握可能となっている。
【００３４】
−ワークＷ上の異物を研磨する研磨方法−
次に、本実施形態にかかるワークＷ上の異物を研磨する研磨方法について図面を用いて説明する。
【００３５】
まず、図２に示すように、研磨装置１よりも前の工程で、撮像カメラ２０でワークＷの表面を撮像し、その撮像されたデータは、欠陥捕捉機構２１に送られる。欠陥捕捉機構２１で、撮像された画像に映し出された異物をとらえ、その位置、形状等を異物情報としてメインサーバ１９に記憶する。
【００３６】
そして、準備工程において、上述した研磨装置１と研磨カセット７とを用意する。図１に示すように、研磨カセット７は、Ａ面にして捩り部２５を捩り部保持部２６で保持するようにしてヘッド本体４に取り付けておく。図１における捩り部保持部２６よりも右側は、研磨テープの裏側、すなわち裏側研磨層１４が下面となっている。捩り部保持部２６よりも左側は、研磨テープ８の表側、すなわち表側研磨層１３が下面となっている。
【００３７】
次いで、図５に示すように、ステップＳ０１で制御装置１８が、研磨対象となるメインサーバ１９の異物情報を入手する。この異物情報に合わせて、制御装置１８は、異物の位置にヘッド本体４を移動させる。
【００３８】
次いで、ステップＳ０２において、図１のテープ表状態（Ａ面）で、研磨テープ８を走行させるために、巻取リール１０を回転させながら供給リール９から研磨テープ８を繰り出す。このとき、二対のガイドローラ２６ａにより、捩り部２５がガイドローラ２６ａ間に保持されるので、捩り部２５が研磨カセット７の貫通孔７ｂから巻取リール１０に巻き取られるのが確実に防止される。しかも、貫通孔７ｂの幅Ｗ１が研磨テープ８の厚さと同等なため、さらに確実に捩り部２５の不用意なカセット本体７ａ内への巻き取りが防止される。
【００３９】
次いで、ステップＳ０３において、異物表面まで研磨ヘッド１７を下降させ、表側研磨層１３で異物を研磨する。
【００４０】
次いで、所定時間異物を研磨した後、ステップＳ０４において、研磨ヘッド１７を上昇させ、ステップＳ０５において、研磨テープ８の繰り出しを停止させ、再び図１のテープ表状態とする。
【００４１】
次いで、ステップＳ０６において、デジタル・マイクロミラー・デバイスで撮像したデータから高さが減少したか等を判断することにより、異物が除去されたかどうかを判定する。異物が、大きすぎたり硬すぎたりする等により除去されない場合には、ステップＳ０２に戻って表側研磨層１３による異物の研磨が繰り返される。図示していないが、研磨動作を複数回繰り返しても異物が除去されないときは、警報などを発して問題を解決するようにするとよい。
【００４２】
逆に表側研磨層１３により異物が研磨され、高さが減少した場合には、ステップＳ０７に進む。
【００４３】
ステップＳ０７では、研磨テープ８に残量があるか確認される。残量がなければ、ステップＳ０８において、研磨カセット７がＡ面かどうかが判定される。Ａ面の場合には、ステップＳ０９において、研磨カセット７を裏返し、図６に示すようにＢ面とし、終了する。
【００４４】
一方、ステップＳ０８において、Ｂ面の場合には、ステップＳ１０に進んで、上記準備工程と同様に新しい研磨カセット７をＡ面の状態にして入れ換えて終了する。
【００４５】
逆に残量があれば、そのままＡ面で終了する。
【００４６】
終了後は、次の異物に対してステップＳ０１からの動作が行われる。この動作は、ワークＷ表面の研磨対象となる異物に対して繰り返される。研磨カセット７が、Ｂ面にセットされている場合には、図６に示すように、研磨ヘッド１７でワークＷに押さえ付ける面が裏側研磨層１４となり、未使用の裏側研磨層１４によってステップ０１からの作業が繰り返される。
【００４７】
したがって、本実施形態にかかる研磨カセット７によると、容易に研磨テープ８の表裏面を使うことができるので、簡単な構成で研磨テープ８の消費量を減らし、コストを削減すると共に、廃棄物を減らすことができる。
【００４８】
−実施形態１の変形例−
上記実施形態１では、捩り部保持部２６は、二対のガイドローラ２６ａで構成したが、図７に示すように、研磨テープ８と同等の幅及び厚さの貫通孔を有し、１８０°捩られた帯状体２６ｂで構成してもよい。帯状体２６ｂの貫通孔は、異物が粘着された状態の研磨テープ８が通過可能の大きさとなるように、帯状体２６ｂを樹脂又は金属で成形すればよく、例えば、カセット本体７ａに研磨テープ８を巻き付ける際に、供給リール９から供給されて貫通孔７ｃから露出した研磨テープ８を帯状体２６ｂに挿入すればよい。この帯状体２６ｂを通過させることで、研磨テープ８が１８０°捩られて表裏面が反転する。その後、先端を巻取リール１０に取り付ければよい。研磨カセット７をヘッド本体４に取り付ける際に、捩り部保持部２６をヘッド本体４における研磨ヘッド１７と貫通孔７ｂとの間に固定する。
【００４９】
一方、図８に示すように、Ａ面からＢ面に裏返したときには、捩り部保持部２６を研磨ヘッド１７と供給リール９との間に位置付ける。このことで、未使用の裏側研磨層１４が研磨ヘッド１７によりワークＷに押さえ付けられるようになる。
【００５０】
本変形例では、帯状体２６ｂにより、捩り部２５が帯状体２６ｂの内部に保持されるので、捩り部２５が研磨カセット７の貫通孔７ｂから巻取ローラに巻き取られることはない。
【００５１】
（実施形態２）
−研磨装置の構成−
図９及び図１０は本発明の実施形態２を示し、研磨カセット１０７の構成と、捩り部保持部２６の位置が異なる点で上記実施形態１と異なる。なお、図１〜図６と同じ部分については同じ符号を付してその詳細な説明は省略する。
【００５２】
具体的には、本実施形態の研磨カセット１０７では、上記実施形態１の研磨カセット７と同様に、研磨テープ８には、プラスチックフィルム１２の表面に表側研磨層１３が形成され、裏面にも裏側研磨層１４が形成されている。しかし、上記実施形態１と異なり、研磨カセット１０７を製造した際には、捩り部２５は設けられていない。また、ヘッド本体４には、上記実施形態１と同様の二対のガイドローラ２６ａよりなる捩り部保持部２６を左側に有し、この捩り部保持部２６は、位置変更又は着脱可能に構成されている。
【００５３】
そして、図９に示すように、本実施形態の研磨カセット１０７のＡ面を研磨装置１に取り付ける際には、捩り部保持部２６を研磨テープ８に接触しない位置に退避又は取り外させ、通常の研磨カセットの場合と同様に、研磨テープ８を下面が表面となるように送り出しながら、研磨テープ８を一切捩らずに研磨ヘッド１７で研磨テープ８の表面側をワークＷに押し付ける。
【００５４】
一方、図１０に示すように、供給リール９の研磨テープ８を全て使用して研磨カセット１０７を裏返してＢ面を研磨装置１に取り付ける場合には、捩り部保持部２６を巻取リール１０と研磨ヘッド１７との間に配置して、１８０°捩った捩り部２５を上下一対のガイドローラ２６ａ間に配置する。
【００５５】
すると、捩り部保持部２６を通過した研磨テープ８は、表裏反転して未使用の裏側研磨層１４がワークＷに押さえ付けられ、研磨される。
【００５６】
研磨テープ８は、表裏反転した状態で供給リール９に巻き取られるが、すでに表裏面を使い切っているので、何ら問題はない。
【００５７】
したがって、本実施形態では、取付前の研磨カセット１０７自体は捩り部２５を有さないので、その取り扱いが容易である。
【００５８】
（その他の実施形態）
本発明は、上記各実施形態について、以下のような構成としてもよい。
【００５９】
すなわち、上記各実施形態では、研磨対象物は、アレイ基板としているが、これに限定されず、従来の研磨テープと同様の研磨対象物に本発明は適用可能である。
【００６０】
また、上記各実施形態では、捩り部保持部２６は、二対のガイドローラ２６ａよりなるものとしたが、上下一対のガイドローラ２６ａのみで構成してもよい。その場合には、捩り部２５と研磨ヘッド１７との間に上下一対のガイドローラ２６ａを配置すればよい。この場合も、貫通孔７ｂ，７ｃの幅Ｗ１が研磨テープ８の厚さと同等に抑えられているので、捩り部２５の不用意なカセット本体７ａ内への巻き取りが確実に防止される。
【００６１】
なお、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物や用途の範囲を制限することを意図するものではない。
【符号の説明】
【００６２】
１      研磨装置
７      研磨カセット
７ａ    カセット本体
７ｂ    貫通孔
７ｃ    貫通孔
８      研磨テープ
９      供給リール
１０      巻取リール
１２      プラスチックフィルム
１３      表側研磨層
１４      表側研磨層
１７      研磨ヘッド
２５      捩り部
２６      捩り部保持部
２６ａ    ガイドローラ
２６ｂ    帯状体
１０７      研磨カセット
Ｗ      ワーク（研磨対象物）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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