(57)【要約】【課題】共振周波数よりも低周波数側の周波数側におけるリップルを小さくすることができる、１ポート型弾性波共振子を得る。【解決手段】圧電基板１上に、ＩＤＴ電極３と、ＩＤＴ電極３が交叉幅重み付けされており、ＩＤＴ電極３の中心ＯよりもＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向一端である第１の端部３ａ側の領域であってかつ交叉幅重み付けにより規定される包絡線で囲まれた領域と、中心ＯよりもＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向他端である第２の端部３ｂ側の領域であってかつ交叉幅重み付けにより規定される包絡線で囲まれた領域とが非対称とされている、一ポート型弾性波共振子１。【選択図】図１
2011041082.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられたＩＤＴ電極と、
前記ＩＤＴ電極が交叉幅重み付けされている、一ポート型弾性波共振子であって、
前記ＩＤＴ電極の中心よりも前記ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向一端である第１の端部側の領域であってかつ交叉幅重み付けにより規定される包絡線で囲まれた領域が、ＩＤＴ電極の中心よりも前記ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向他端である第２の端部側の領域であってかつ交叉幅重み付けにより規定される包絡線で囲まれた領域と非対称とされている、一ポート型弾性波共振子。
【請求項２】
前記ＩＤＴ電極の包絡線で囲まれた領域の形状が、前記ＩＤＴ電極の前記第１の端部において第１の角部を有しており、かつ第２の端部において第２の角部を有している、請求項１に記載の一ポート型弾性波共振子。
【請求項３】
前記第１の角部の弾性波伝搬方向と直交する方向に沿う位置と、前記第２の角部の弾性波伝搬方向に直交する方向に沿う位置とがＩＤＴ電極の中心に対し非対称とされている、請求項２に記載の一ポート型弾性波共振子。
【請求項４】
前記第１の角部の内角と、前記第２の角部の内角とが異なっている、請求項２または３に記載の一ポート型弾性波共振子。
【請求項５】
前記第１，第２の角部のうち、少なくとも一方の角部が複数設けられている、請求項２〜４のいずれか１項に記載の一ポート型弾性波共振子。
【請求項６】
前記第１の端部の弾性波伝搬方向外側に配置された第１の反射器と、
前記第２の端部の弾性波伝搬方向外側に設けられた第２の反射器とをさらに備える、請求項１〜５のいずれか１項に記載の一ポート型弾性波共振子。
【請求項７】
縦結合共振子型弾性波フィルタ部と、前記縦結合共振子型弾性波フィルタ部に直列に接続されている、請求項１〜６のいずれか１項に記載の一ポート型弾性波共振子とを備える、弾性波フィルタ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一ポート型弾性波共振子及び該弾性波共振子が用いられた弾性波フィルタ装置に関し、より詳細には、ＩＤＴ電極に交叉幅重み付けがされている一ポート型弾性波共振子及び該弾性波共振子を用いた弾性波フィルタ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、様々な弾性波フィルタ装置において、直列トラップまたは並列トラップを形成するために、弾性波フィルタ部に直列または並列に一ポート型の弾性波共振子が接続されている。このような用途に用いられる弾性波共振子の一例として、下記の特許文献１には、図１０に示す一ポート型弾性表面波共振子１００１が開示されている。一ポート型弾性表面波共振子１００１は、ＬｉＴａＯ３基板１００２と、ＬｉＴａＯ３基板１００２上に設けられたＩＤＴ電極１００３と、反射器１００４，１００５とを有する。
【０００３】
ここでは、ＩＤＴ電極１００３におけるメタライゼーション比が０．５５〜０．８５の範囲とされており、かつＩＤＴ電極１００３が交叉幅重み付けされている。それによって、周波数ばらつきの低減と、反共振周波数におけるＱ値の改善を図り得るとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】国際公開第２００５／０１１１１７号パンフレット
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記一ポート型弾性表面波共振子１００１では、周波数ばらつきを低減することができるものの、共振特性上において、共振周波数よりも低周波数側の周波数域に大きなリップルが現れることが分かった。
【０００６】
そのため、このような一ポート型弾性表面波共振子１００１を、帯域フィルタに直列接続し、直列トラップとして用いた場合、フィルタの通過帯域内における挿入損失が劣化するという問題があった。
【０００７】
本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を改善し、共振周波数よりも低周波数側の領域におけるリップルが小さく、良好な共振特性を有する一ポート型弾性共振子、並びに該一ポート型弾性共振子を直列トラップとして備えた弾性波フィルタ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、圧電基板と、前記圧電基板上に設けられたＩＤＴ電極と、前記ＩＤＴ電極が交叉幅重み付けされている、一ポート型弾性波共振子であって、前記ＩＤＴ電極の中心よりも前記ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向一端である第１の端部側の領域であってかつ交叉幅重み付けにより規定される包絡線で囲まれた領域が、ＩＤＴ電極の中心よりも前記ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向他端である第２の端部側の領域であってかつ交叉幅重み付けにより規定される包絡線で囲まれた領域と非対称とされている、一ポート型弾性波共振子が提供される。
【０００９】
本発明に係る一ポート型弾性波共振子のある特定の局面では、前記ＩＤＴ電極の包絡線で囲まれた領域の形状が、前記ＩＤＴ電極の前記第１の端部において第１の角部を有しており、かつ第２の端部において第２の角部を有する。
【００１０】
また、本発明の一ポート型弾性波共振子の他の特定の局面によれば、前記第１の角部の弾性波伝搬方向と直交する方向に沿う位置と、前記第２の角部の弾性波伝搬方向に直交する方向に沿う位置とがＩＤＴ電極の中心に対し非対称とされている。
【００１１】
本発明に係る一ポート型弾性波共振子の別の特定の局面では、前記第１の角部の内角と、前記第２の角部の内角とが異なっている。
【００１２】
本発明に係る一ポート型弾性波共振子においては、第１，第２の角部のうち少なくとも一方の角部が複数設けられていてもよい。
【００１３】
本発明に係る一ポート型弾性波共振子のさらに他の特定の局面では、前記第１の端部の弾性波伝搬方向外側に配置された第１の反射器と、前記第２の端部の弾性波伝搬方向外側に設けられた第２の反射器とがさらに備えられている。このように、本発明では、第１，第２の反射器が設けられていてもよい。
【００１４】
また、本発明に係る弾性波フィルタ装置は、縦結合共振子型弾性波フィルタ部と、該縦結合共振子型弾性波フィルタ部に直列に接続されており、かつ本発明に従って構成された一ポート型弾性波共振子とを備える。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に係る一ポート型弾性波共振子では、ＩＤＴ電極の交叉幅重み付けにおいて、ＩＤＴ電極の中心よりもＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向一端である第１の端部側の領域であってかつ交叉幅重み付けにより規定される包絡線で囲まれた領域と、ＩＤＴ電極の中心よりもＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向他端である第２の端部側の領域であってかつ交叉幅重み付けにより規定される包絡線で囲まれた領域とが非対称とされているため、共振特性上における共振周波数よりも低周波数側の周波数域におけるリップルを非常に小さくすることができる。
【００１６】
本発明に係る弾性波フィルタ装置では、縦結合共振子型弾性波フィルタ部に直列に本発明の一ポート型弾性波共振子が接続されているため、通過帯域内における挿入損失を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る一ポート型弾性波共振子の平面図であり、（ｂ）は交叉領域の形状を示す模式的平面図であり、（ｃ）は２個の第１の実施形態の一ポート型弾性波共振子が直列に接続されている構成を示す回路図である。
【図２】本発明の第１の実施形態の一ポート型弾性波共振子が縦結合共振子型弾性波フィルタ部に直列に接続されている、本発明の第２の実施形態としての弾性波フィルタ装置を示す模式的回路図である。
【図３】比較のために用意した、従来の交叉幅重み付けが施されたＩＤＴ電極を示す模式的平面図である。
【図４】本発明の変形例に係る一ポート型弾性波共振子のＩＤＴ電極を示す模式的平面図である。
【図５】本発明の第１の実施形態及び比較のために用意した従来の一ポート型弾性波共振子のリターンロス特性を示す図である。
【図６】本発明の変形例に係る一ポート型弾性波共振子及び比較のために用意した従来の弾性波共振子のリターンロス特性を示す図である。
【図７】第１の実施形態の一ポート型弾性波共振子のさらに他の変形例を説明するためのＩＤＴ電極を示す平面図である。
【図８】第１の実施形態の一ポート型弾性波共振子のさらに別の変形例を示す平面図である。
【図９】弾性境界波共振子を説明するための模式的正面図である。
【図１０】従来の一ポート型弾性表面波共振子を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００１９】
図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る一ポート型弾性波共振子の平面図である。本実施形態の一ポート型弾性波共振子は、弾性表面波を利用した一ポート型弾性表面波共振子である。
【００２０】
一ポート型弾性波共振子１は、圧電基板２を有する。圧電基板２は、本実施形態では、４２°ＹカットＬｉＴａＯ３からなる。圧電基板２を構成する圧電材料は、４２°ＹカットＬｉＴａＯ３に限らず、ＬｉＴａＯ３、ＬｉＮｂＯ３もしくは水晶などの圧電単結晶、またはＰＺＴなどの圧電セラミックスなどの適宜の圧電材料を用いることができる。
【００２１】
圧電基板２上に、ＩＤＴ電極３が形成されている。本実施形態では、ＩＤＴ電極３は、ＡｌＣｕ（Ａｌ主成分）とＴｉの積層構造からなる。ＩＤＴ電極３の弾性波伝搬方向一端を第１の端部３ａ、他端を第２の端部３ｂとする。
【００２２】
ＩＤＴ電極３を構成する金属は、ＡｌＣｕ（Ａｌ主成分）とＴｉの積層構造に限らず、Ａｕ、Ｐｔ、Ｃｕ、Ｗ、Ｔａ、Ａｌなどの適宜の金属もしくは合金を用い得る。また、これらの電極は、複数の金属膜を積層してなる積層金属膜により形成されていてもよい。
【００２３】
一ポート型弾性波共振子１の特徴は、ＩＤＴ電極３の重み付けにある。これを、より詳細に説明する。
【００２４】
ＩＤＴ電極３は、第１のバスバー３ｃと、第１のバスバー３ｃと対向するように配置された第２のバスバー３ｄとを有する。第１のバスバー３ｃに、複数本の第１の電極指３ｅの一端が接続されている。複数本の第１の電極指３ｅの他端は第２のバスバー３ｄ側に位置している。同様に、第２のバスバー３ｄに複数本の第２の電極指３ｆの一端が接続されている。複数本の第２の電極指３ｆの他端は第１のバスバー３ｃ側に位置している。
【００２５】
複数本の第１，第２の電極指３ｅ，３ｆは弾性波伝搬方向と直交する方向に延びている。そして、複数本の第１の電極指３ｅの先端とギャップを隔てて、複数本の第１のダミー電極指３ｇが形成されている。複数本の第１のダミー電極指３ｇは、第２のバスバー３ｄに接続されている。同様に、複数本の第２の電極指３ｆの先端とギャップを隔てて、複数本の第２のダミー電極指３ｈが形成されている。複数本の第２のダミー電極指３ｈは、第１のバスバー３ｃに接続されている。なお、第１，第２のダミー電極指３ｇ，３ｈは設けられずともよい。もっとも、複数本の第１，第２のダミー電極指３ｇ，３ｈを設けることにより、横モードの励振を抑制することができる。
【００２６】
ＩＤＴ電極３では、図１（ａ）に示すように、複数本の第１の電極指３ｅと、複数本の第２の電極指３ｆとが弾性波伝搬方向において交叉している部分の長さ、すなわち重なり合っている部分の長さである交叉幅が、弾性波伝搬方向において変化している。このようにして、交叉幅重み付が施されている。第１，第２の電極指３ｅ，３ｆが交叉している交叉領域は、図示の破線で示す第１，第２の包絡線Ａ，Ｂにより囲まれている。ここで、第１の包絡線Ａは、複数本の第の２電極指３ｆの先端を結ぶ仮想線であり、第２の包絡線Ｂは、複数本の第１の電極指３ｅの先端を結ぶ仮想線である。
【００２７】
従って、交叉領域の平面形状は、図１（ｂ）に示すように表される。本実施形態では、第１，第２の包絡線Ａ，Ｂが、第１の端部３ａで合一しており、第１の端部３ａから遠ざかるにつれて、第１，第２の包絡線Ａ，Ｂ間の距離が連続的に長くされており、ＩＤＴ電極３の中央部においては、第１，第２の包絡線Ａ，Ｂは、バスバー３ｃ，３ｄとほぼ平行とされている。また、第２の端部３ｂ側においても、第１，第２の包絡線Ａ，Ｂが合一しており、第２の端部３ｂから内側にいくにつれ、第１，第２の包絡線Ａ，Ｂ間の距離が順次長くされている。
【００２８】
従って、図１（ｂ）に示すように、第１、第２の電極指３ｅ、３ｆが交叉している交叉領域を囲む平面形状は、第１，第２の包絡線Ａ，Ｂで囲まれており、第１の端部３ａ側に角部Ｘを有し、第２の端部３ｂ側において角部Ｙを有する。
【００２９】
本実施形態では、角部Ｘは、第１，第２のバスバー３ｃ，３ｄを結ぶ方向の中心に位置しており、角部Ｙも第１，第２のバスバー３ｃ，３ｄを結ぶ方向において中心に位置している。すなわち、弾性波伝搬方向と直交する方向において、角部Ｘと角部Ｙとは等しい位置にある。
【００３０】
本実施形態の特徴は、上記交叉領域において、第１の角部Ｘの内角θＸと、角部Ｙの内角θＹとが異なっていることにあり、それによってＩＤＴ電極３の中心Ｏよりも第１の端部３ａ側の交叉領域と、中心Ｏよりも第２の端部３ｂ側の交叉領域が非対称とされていることにある。その結果、後述の実験例で示すように、共振周波数よりも低周波数側の周波数域に現れるリップルを小さくすることができる。
【００３１】
第１の実施形態の一ポート型弾性波共振子１を２個用意し、図１（ｃ）に示すように直列に接続した。この２個の一ポート型弾性波共振子１が直列接続された構造のリターンロス特性を図５に実線で示す。
【００３２】
比較のために、図３に示すＩＤＴ電極１１０１を有することを除いては、上記と同様にして構成された２個の一ポート型弾性波共振子が直列接続された弾性波共振子装置を用意した。この弾性波共振子装置のリターンロス特性を図５に破線で示す。
【００３３】
用意した弾性波共振子の設計パラメータは以下の通りである。
【００３４】
圧電基板２  ：４２°カットＬｉＴａＯ３
ＩＤＴ電極３：材料はＡｌＣｕ（Ａｌ主成分）とＴｉの積層構造。厚みはＡｌＣｕ=２１８ｎｍ、Ｔｉ=１０ｎｍ。電極指の対数＝７５対。角部Ｘの内角θＸ＝７２°、角部Ｙの内角θＹ＝５３°、電極指ピッチ＝１．０４２７μｍ。第１，第２の端部３ａ，３ｂ間の距離＝１５５．８０３７μｍ。
【００３５】
図５から明らかなように、比較のために用意した弾性波共振子に比べ、本実施形態の一ポート型弾性波共振子を用いた場合には、矢印Ｃで示す周波数域におけるリップルが小さくなっていることがわかる。すなわち、共振周波数である１８３５ＭＨｚよりも低周波数側の周波数域においてリップルを小さくすることが可能とされている。これは、ＩＤＴ電極３における交叉幅重み付けにおいて、中心Ｏよりも第１の端部３ａ側の交叉領域と、第２の端部３ｂ側の交叉領域とが非対称とされていることによる。一般に、グレーティング構造を用いた反射器ではストップバンド外では反射特性に周期性が現れ、リップルが発生する。重み付けを施した場合、ダミー電極も反射器として動作するため、同様に、ストップバンド外でこのダミー電極に起因するリップルが発生する。重み付けを左右非対称とすることで、左右からの反射の周波数特性がずれるためリップルを分散させることが出来たものと考えられる。
【００３６】
従って、例えば図２に示す実施形態の弾性波フィルタ装置１１において、縦結合共振子型弾性波フィルタ部１２に直列に一ポート型弾性波共振子１を接続することにより、直列トラップを構成した場合、弾性波フィルタ装置１１の通過帯域内における損失を効果的に低減することができる。
【００３７】
本実施形態は、中心Ｏよりも第１の端部３ａ側の交叉領域と、第２の端部３ｂ側の交叉領域とを非対称とすることにより、上記のように共振周波数よりも低周波数側におけるリップルを低減し得ることに特徴を有する。従って、上記重み付けの非対称構造は図１（ａ）及び（ｂ）に示した形状に限定されるものではない。
【００３８】
図４は、本発明の第１の実施形態の変形例のＩＤＴ電極の平面図である。本変形例の弾性波共振子では、ＩＤＴ電極１３の重み付けが異なることを除いては、第１の実施形態の一ポート型弾性波共振子１と同様とされている。図４に示すように、本変形例では、ＩＤＴ電極１３の包絡線Ａ，Ｂで囲まれる交叉領域の平面形状において、第１の端部１３ａ側に、第１の実施形態の場合と同様に角部Ｘが形成されている。他方、第２の端部１３ｂ側においては、第２の包絡線Ｂが第１のバスバー３ｃ側に至っており、角部Ｙが第１のバスバー３ｃの内側の辺の近傍に位置している。
【００３９】
従って、角部ＸとＹはそれぞれの内角θＸ及びθＹが異なるだけでなく、角部Ｘの弾性波伝搬方向と直交する方向における位置と、角部Ｙの弾性波伝搬方向と直交する方向に沿う位置とが中心Ｏに対して非対称とされていることによっても、第１の端部１３ａ側の交叉領域と、第２の端部１３ｂ側の交叉領域とが非対称とされている。
【００４０】
図６において上記変形例の弾性波共振子を２個直列に接続した構造の弾性波共振子のリターンロス特性を実線で示す。比較のために、前述した図２に示す電極構造を示す２個の弾性波共振子を直列接続した構造のリターンロス特性を図６に破線で示す。
【００４１】
なお、ＩＤＴ電極１３において、角部Ｘの内角θＸ＝７２°とし、角部Ｙの内角θＹは４５°とした。
【００４２】
また、ＩＤＴ電極１３のパラメータは以下の通りである。
【００４３】
電極指の対数＝７８対。電極指ピッチ＝１．０４２７μｍ。第１，第２の端部３ａ，３ｂ間の距離＝１６１．０１７２μｍ。
【００４４】
図６から明らかなように、本変形例の一ポート型弾性波共振子を用いた場合においても、比較のために用意した従来の弾性波共振子を用いた場合に比べて、Ｃで示す周波数域において、すなわち共振周波数よりも低周波数側の周波数域において、リップルを小さくすることが可能とされている。
【００４５】
また、図５と図６とを比較すれば明らかなように、第１の実施形態に比べ、変形例によれば、共振周波数よりも低域側におけるリップルをより一層小さくすることができる。これは、角部Ｘ及び角部Ｙの内角が異なるだけでなく、角部Ｘ及び角部Ｙの位置も異なることにより、非対称性が高められたことによると考えられる。
【００４６】
比較のために用意した弾性波共振子では、角部の内角θは第１の端部及び第２の端部のいずれの例においても、θ＝７０°とした。
【００４７】
また、ＩＤＴ電極１３のパラメータは以下の通りである。
【００４８】
電極指の対数＝７８対。電極指ピッチ＝１．０４２７μｍ。第１，第２の端部３ａ，３ｂ間の距離＝１６２．０５９９μｍ。
【００４９】
図７は、本発明の弾性波共振子のＩＤＴ電極のさらに他の変形例を示す平面図である。本変形例では、ＩＤＴ電極２３において、第１，第２の包絡線Ａ，Ｂは、第１の端部及び第２の端部２３ａ，２３ｂにおいて合一していない。従って、交叉領域の外形は、第１，第２の包絡線Ａ，Ｂと、図７に示す破線Ｄ，Ｅとにより形成されている。
【００５０】
破線Ｄ，Ｅで示す部分は、それぞれ、第１，第２の端部２３ａ，２３ｂにおいて、離れている第１，第２の包絡線Ａ，Ｂを弾性波伝搬方向と直交する方向において結ぶ仮想線部分である。第１，第２の包絡線Ａ，Ｂが第１，第２の端部２３ａ，２３ｂで離れているため、交叉領域の外形は、第１の端部２３ａ及び第２の端部２３ｂにおいては、上記破線Ｄ，Ｅによりそれぞれ規定されることになる。
【００５１】
よって破線Ｄと第１の包絡線Ａとが合一している部分において、１つの第１の角部Ｘ１が形成され、第２の包絡線Ｂと破線Ｄとが合一している部分において、他の１つの第１の角部Ｘ２が形成されている。言い換えれば、第１の端部２３ａ側において、複数の第１の角部Ｘ１，Ｘ２が形成されている。同様に、第２の端部２３ｂ側においても、破線Ｅの両側に複数の第２の角部Ｙ１，Ｙ２が形成されている。
【００５２】
本変形例においても、第１の角部Ｘ１，Ｘ２の内角θＸ１，θＸ２と、第２の角部Ｙ１，Ｙ２の内角θＹ１，θＹ２とが異なっているため、中心Ｏよりも第１の端部２３ａ側の交叉領域の形状と、第２の端部２３ｂ側の交叉領域の形状とが非対称とされている。従って、第１の実施形態と同様に、共振周波数よりも低周波数側におけるリップルを効果的に小さくすることができる。
【００５３】
図７から明らかなように、本発明においては、第１の端部及び第２の端部において、角部の数は１個に限らず、複数であってもよい。すなわち、ＩＤＴ電極の第１，第２の端部のうち少なくとも一方において、複数の角部が形成されていてもよい。
【００５４】
なお、上記実施形態では、反射器を設けられていなかったが、図８に示す変形例のように、ＩＤＴ電極３の両側に反射器４，５を設けてもよい。具体的には、第１の端部３ａの弾性波伝搬方向外側に第１の反射器４が形成されている。また、第２の端部３ｂの弾性波伝搬方向外側に第２の反射器５が形成されている。
【００５５】
第１，第２の反射器４，５は、複数本の電極指を両端で短絡してなるグレーティング反射器である。第１，第２の反射器４，５は、ＡｌＣｕ（Ａｌ主成分）とＴｉの積層構造からなる。
【００５６】
反射器４，５を構成する金属は、ＡｌＣｕ（Ａｌ主成分）とＴｉの積層構造に限らず、Ａｕ、Ｐｔ、Ｃｕ、Ｗ、Ｔａ、Ａｌなどの適宜の金属もしくは合金を用い得る。また、これらの電極は、複数の金属膜を積層してなる積層金属膜により形成されていてもよい。
【００５７】
また、上記実施形態及び変形例の一ポート型弾性波共振子１は、弾性表面波を利用した弾性表面波共振子であったが、本発明は、弾性境界波を利用した一ポート型弾性境界波共振子であってもよい。図９は、一ポート型弾性境界波共振子を示す模式的正面断面図である。ここでは、一ポート型弾性境界波共振子３１は、圧電基板３２と、圧電基板３２上に積層された誘電体層３３とを有し、圧電基板３２と誘電体層３３との界面にＩＤＴ電極３４及び反射器３５，３６が形成されている。反射器３５、３６はなくてもよい。本発明は、ＩＤＴ電極の重み付けに特徴を有するものであるため、このような一ポート型弾性境界波共振子３１においても、ＩＤＴ電極３４の重み付けを本発明に従って形成することにより、上記実施形態と同様に共振周波数よりも低周波数側におけるリップルを効果的に小さくすることができる。
【符号の説明】
【００５８】
１  …一ポート型弾性波共振子
２  …圧電基板
３  …ＩＤＴ電極
３ａ…第１の端部
３ｂ…第２の端部
３ｃ…第１のバスバー
３ｄ…第２のバスバー
３ｅ…第１の電極指
３ｆ…第２の電極指
３ｇ…第１のダミー電極指
３ｈ…第２のダミー電極指
４  …第１の反射器
５  …第２の反射器
１１  …弾性波フィルタ装置
１２  …縦結合共振子型弾性波フィルタ部
１３  …ＩＤＴ電極
１３ａ…第１の端部
１３ｂ…第２の端部
２３  …ＩＤＴ電極
２３ａ…第１の端部
２３ｂ…第２の端部
３１  …一ポート型弾性境界波共振子
３２  …圧電基板
３３  …誘電体層
３４  …ＩＤＴ電極
３５  …反射器
３６  …反射器
１００１…一ポート型弾性表面波共振子
１００２…基板
１００３…ＩＤＴ電極
１００４…反射器
１００５…反射器
１１０１…ＩＤＴ電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2011041082.tif 000009
【図８】
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【図９】
2011041082.tif 000011
【図１０】
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