(57)【要約】【課題】ペリクルの搬送性を向上し、且つ粘着剤層の劣化を抑制できるペリクル梱包体及びペリクル梱包方法を提供する。【解決手段】ペリクル梱包体１では、ペリクル２における粘着剤層８の層面８ａと載置面５ａとの成す角度が０°よりも大きく９０°よりも小さくなるように、ペリクル２が支持体５によって支持されている。このように、ペリク２ルを載置面５ａに対して傾斜した状態で保持することにより、ペリクル２を水平に保持する構成に比べて、梱包箱４の幅寸法を小さくすることができる。そのため、搬送スペースを確保できると共に持ち運び易くなり、搬送性の向上を図ることができる。また、ペリクル２を垂直に保持する構成に比べて、ペリクル２の自重による粘着剤層８への負荷を軽減できるので、粘着剤層８の経時劣化を抑制することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を有するペリクル枠体と、当該ペリクル枠体の前記開口部を覆うように前記ペリクル枠体の一の縁面に展張されたペリクル膜と、前記ペリクル枠体の前記一の縁面に対向する他の縁面に形成された粘着剤層とを備えるペリクルと、
前記ペリクルを支持する支持体とを有するペリクル梱包体であって、
前記支持体は、前記粘着剤層の層面と載置面との成す角度が０°よりも大きく９０°よりも小さくなるように前記ペリクルを支持することを特徴とするペリクル梱包体。
【請求項２】
前記ペリクルを収納する収納ケースを更に有し、
前記支持体は、前記収納ケースを介して前記ペリクルを支持することを特徴とする請求項１記載のペリクル梱包体。
【請求項３】
前記収納ケース及び前記支持体を収納する梱包箱を更に有し、
前記支持体は、前記梱包箱内において前記収納ケースを支持する緩衝材であることを特徴とする請求項２記載のペリクル梱包体。
【請求項４】
前記収納ケースは、ペリクルが載置されるトレイと、トレイを覆う蓋とを有しており、
前記支持体は、前記トレイの下面を全体に亘って支持することを特徴とする請求項２又は３記載のペリクル梱包体。
【請求項５】
前記支持体は、複数に分割されており、
前記各支持体が前記収納ケースの端部を挟持することを特徴とする請求項２又は３記載のペリクル梱包体。
【請求項６】
前記支持体は、複数に分割されており、
前記各支持体が前記収納ケースの端部を支持することを特徴とする請求項２又は３記載のペリクル梱包体。
【請求項７】
開口部を有するペリクル枠体と、当該ペリクル枠体の前記開口部を覆うように前記ペリクル枠体の一の縁面に展張されたペリクル膜と、前記ペリクル枠体の前記一の縁面に対向する他の縁面に形成された粘着剤層とを備えるペリクルの梱包方法であって、
前記粘着剤層の層面と載置面との成す角度が０°よりも大きく９０°よりも小さくなるように前記ペリクルを支持体により支持することを特徴とするペリクルの梱包方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣ（Integrated Circuit：集積回路）、ＬＳＩ（Large Scale Integration：大規模集積回路）、ＴＦＴ型ＬＣＤ（ThinFilm Transistor，Liquid Crystal Display：薄膜トランジスタ液晶ディスプレイ）等の半導体装置を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマクスやレティクルに異物が付着することを防止するために用いるペリクルのペリクル梱包体及びペリクル梱包方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体回路パターン等の製造においては、フォトマスクやレティクルに対してペリクルと称する防塵手段を配置して、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている。
【０００３】
ペリクルの一般的な構造としては、金属、セラミックス、またはポリマー製の枠体の片側に、ポリマーまたはガラス等の透明な薄膜を貼り付け、その反対側に、マスクに貼り付けるための粘着剤層（粘着材、又は貼着剤と表記することもある）を設けたものが挙げられる。例えば、ペリクルは、フォトマスクやレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の一方の縁面に、厚さ１０μｍ以下のニトロセルロースまたはセルロース誘導体等の透明な高分子膜から成るペリクル膜を展張して接着し、且つ枠体の他方の縁面に粘着材を介してフォトマスクやレティクルの表面に粘着している。
【０００４】
フォトマスクやレティクルの表面に異物が付着した場合、その異物が半導体ウエハ上に形成されたフォトレジスト上に結像して回路パターン欠陥の原因となるが、フォトマスクやレティクルの少なくともパターン面にペリクルを配置した場合、ペリクルの表面に付着した異物はフォーカス位置がずれるため、半導体ウエハ上に形成されたフォトレジスト上に結像することがなく、回路パターンに欠陥を生じさせることがない。
【０００５】
また、近年では、各種のマルチメディアの普及により、高画質、高精細表示が可能な大型のカラーＴＦＴＬＣＤのフォトリソグラフィ工程で使用される大型のフォトマスクに適用できる大型ペリクルが要望されている。例えば、特許文献１には、大型のフォトマスクに適用できる大型ペリクルが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−１０９１３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、上述のペリクルを搬送する際には、ペリクルを衝撃や塵・埃等から保護するために、ペリクルを例えば収納ケースに収納して梱包箱に梱包する。この収納ケース等は、ペリクルの大きさに合わせた形状とする必要がある。そのため、ペリクルの大型化に伴い収納ケース等が大型化し、搬送スペースの確保や持ち運びが困難になるため、搬送性が低下するといった問題がある。また、ペリクルの搬送形態によっては、ペリクルの自重により粘着剤層に負荷がかかるため、搬送時に粘着剤層が劣化するおそれがあった。
【０００８】
本発明は、上記課題解決のためになされたものであり、ペリクルの搬送性を向上し、且つ粘着剤層の劣化を抑制できるペリクル梱包体及びペリクル梱包方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明に係るペリクル梱包体は、開口部を有するペリクル枠体と、ペリクル枠体の開口部を覆うようにペリクル枠体の一の縁面に展張されたペリクル膜と、ペリクル枠体の一の縁面に対向する他の縁面に形成された粘着剤層とを備えるペリクルと、ペリクルを支持する支持体とを有するペリクル梱包体であって、支持体は、粘着剤層の層面と載置面との成す角度が０°よりも大きく９０°よりも小さくなるようにペリクルを支持することを特徴とする。
【００１０】
このペリクル梱包体では、ペリクルにおける粘着剤層の層面と載置面との成す角度が０°よりも大きく９０°よりも小さくなるように、ペリクルが支持体によって支持されている。このように、ペリクルを載置面に対して傾斜した状態で保持することにより、ペリクルを例えば水平に保持する構成に比べて、梱包箱の幅寸法を小さくすることができる。そのため、搬送スペースを確保できると共に持ち運び易くなり、搬送性の向上を図ることができる。また、ペリクルを例えば垂直に保持する構成に比べて、ペリクルの自重による粘着剤層への負荷を軽減できるので、粘着剤層の経時劣化を抑制することができる。
【００１１】
また、ペリクルを収納する収納ケースを更に有し、支持体は、収納ケースを介してペリクルを支持することが好ましい。このような構成を採用することにより、ペリクルを衝撃や塵・埃から保護することができる。
【００１２】
収納ケース及び支持体を収納する梱包箱を更に有し、支持体は、梱包箱内において収納ケースを支持する緩衝材であることが好ましい。このように、梱包箱内にペリクルが保持された収納ケースを収納することにより、搬送時における衝撃や塵・埃等からペリクルをより確実に保護することができる。
【００１３】
また、収納ケースは、ペリクルが載置されるトレイと、トレイを覆う蓋とを有しており、支持体は、トレイの下面を全体に亘って支持する構成とすることができる。このような構成により、ペリクルを確実に傾斜して支持することができると共に、収納ケースの衝撃等を支持体によって吸収することができる。
【００１４】
また、支持体は、複数に分割されており、各支持体が収納ケースの端部を挟持する構成とすることができる。このような構成により、支持体の軽量化を図ることができると共に、梱包箱内において収納ケースを確実に支持固定することができる。
【００１５】
また、支持体は、複数に分割されており、各支持体が収納ケースの端部を支持する構成とすることができる。このような構成により、支持体の軽量化を図ることができ、更なる搬送性の向上を図ることができる。
【００１６】
本発明は、上記のようにペリクル梱包体の発明として記述できる他に、以下のようにペリクルの梱包方法の発明としても記述することができる。これはカテゴリが異なるだけで、実質的に同一の発明であり、同様の作用及び効果を奏する。
【００１７】
すなわち、本発明に係るペリクルの梱包方法は、開口部を有するペリクル枠体と、ペリクル枠体の開口部を覆うようにペリクル枠体の一の縁面に展張されたペリクル膜と、ペリクル枠体の一の縁面に対向する他の縁面に形成された粘着剤層とを備えるペリクルの梱包方法であって、粘着材層の層面と載置面との成す角度が０°よりも大きく９０°よりも小さくなるようにペリクルを支持体により支持することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、ペリクルの搬送性の向上を図り、且つ粘着剤層の劣化を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】第１実施形態に係るペリクル梱包体の断面図である。
【図２】ペリクル梱包体の搬送形態を示す図である。
【図３】第２実施形態に係るペリクル梱包体の断面図である。
【図４】第３実施形態に係るペリクル梱包体の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
【００２１】
［第１実施形態］
図１は、第１実施形態に係るペリクル梱包体の断面図である。同図に示すように、ペリクル梱包体１は、ペリクル２と、このペリクル２を収納するペリクルケース３と、ペリクルケース３を収納する梱包箱４と、梱包箱４内においてペリクルケース３を支持する支持体５とを含んで構成されている。
【００２２】
まず、梱包対象となるペリクル２について説明する。図１に示すように、ペリクル２は、ペリクル枠体６と、ペリクル枠体６の上縁面（一の縁面）６ａに展張されたペリクル膜７と、ペリクル枠体６の下縁面（他の縁面）６ｂに塗布された粘着剤層８と、粘着剤層８に粘着された離型材９とを備えている。
【００２３】
ペリクル枠体６は、例えばアルミニウム、合金、鉄及び鉄系合金、セラミックス、セラミックスと金属との複合材料、樹脂等からなり、略矩形状を呈している。このペリクル枠体６は、例えば４００ｍｍ〜３０００ｍｍの柱状の一対の長辺と、２５０ｍｍ〜２５００ｍｍの柱状の一対の短辺とから構成されており、開口部１０を有している。なお、図１においては、ペリクル枠体６の辺の断面形状を矩形状としているが、ペリクル枠体６の辺の断面形状は例えば楕円形状等であってもよい。
【００２４】
ペリクル膜７は、例えばニトロセルロースやセルロース誘導体等の透明な高分子膜からなり、その厚さは、例えば１０μｍ以下となっている。このペリクル膜７は、ペリクル枠体６の開口部１０を覆うように上縁面６ａに展張され、ペリクル枠体６に粘着支持されている。ペリクル膜７の面積は、例えば１０００ｃｍ２以上であり、好ましくは１２００ｃｍ２以上、更に好ましくは１００００ｃｍ２以上、特に好ましくは１４０００ｃｍ２以上であり、好ましくは４００００ｃｍ２以下、より好ましくは３５０００ｃｍ２以下となっている。すなわち、ペリクル２は、いわゆる大型ペリクルである。
【００２５】
粘着剤層８は、例えばホットメルト系の材質からなり、ペリクル枠体６をフォトマスクやレティクルに粘着するための接着層である。この粘着剤層８は、ペリクル膜７が展張されたペリクル枠体６の上縁面６ａに対向する下縁面６ｂに設けられており、その幅寸法は、ペリクル枠体６の幅寸法と同等となっている。また、離型材９は、粘着剤層８を保護するための部材であり、例えばポリエステルからなる離型紙等の保護フィルム等から形成されている。この離型材９は、粘着剤層８よりも幅寸法が大きく形成されており、粘着剤層８よりもペリクル枠体６の外側に突出している。
【００２６】
続いて、上述の構成を有するペリクル２を一つずつ収納するペリクルケース（収納ケース）３について説明する。
【００２７】
ペリクルケース３は、ペリクル２が載置されるトレイ１１と、このトレイ１１の上部を覆う蓋１２とから構成されている。このペリクルケース３は、例えばエンジニアリングプラスチック、強化プラスチック、金属等からなり、これらの部材を真空成形、射出成形又は貼り合わせ等の組立により形成されている。ペリクルケース３の寸法は、ペリクル２のサイズによって適宜設定される。
【００２８】
トレイ１１は、板部材であり、略矩形状を呈している。このトレイ１１の端部１１ａは、上方に突出しており、断面Ｌ字状をなしている。ペリクル２は、トレイ１１と離型材９とが例えば粘着テープにより接着されることによってトレイ１１に固定されている。
【００２９】
蓋１２は、断面略台形状を呈している。この蓋１２の端部１２ａは、トレイ１１の端部１１ａと係合する形状となっている。トレイ１１の端部１１ａと蓋１２の端部１２ａには、重ね合わされた状態でクリップ１４が取り付けられている。これにより、トレイ１１と蓋１２とが固定され、外れないようになっている。
【００３０】
このようなペリクルケース３は、図１に示すように、梱包箱４内に収納されている。この梱包箱４は、例えば発泡スチロール等の緩衝材から形成されており、ペリクルケース３を収納する収納空間Ｓを有する本体部１５と、本体部１５の開口部１７を覆う天板１６とから構成されている。そして、ペリクルケース３は、梱包箱４内において傾斜した状態で収納されている。具体的には、ペリクルケース３は、梱包箱４内において支持体５に支持されている。
【００３１】
支持体５は、例えばウレタンフォームやポリエチレンフォーム等の緩衝材から形成されており、断面三角形状を呈している。具体的には、支持体５は、本体部１５（梱包箱４）の底部１５ａと当接する載置面５ａと、本体部１５の側部１５ｂと当接する側面５ｂと、ペリクルケース３のトレイ１１の下面１１ｂを全体に亘って支持する傾斜面５ｃとを有している。この傾斜面５ｃと載置面５ａとの成す角度θは、０°よりも大きく９０°よりも小さい角度（０°＜θ＜９０°）となっており、傾斜面５ｃは、例えば載置面５ａに対して約３０°傾斜している。これにより、支持体５に支持されるペリクル２、ひいてはペリクル２における粘着剤層８の層面８ａと支持体５の載置面５ａとの成す角度は、０°よりも大きく９０°よりも小さい角度となっている。
【００３２】
なお、傾斜面５ｃと載置面５ａとの成す角度θとして、好ましくは５°以上、より好ましくは１０°以上、更に好ましくは１５°以上、特に好ましくは２０°以上であり、上限として好ましくは８５°以下、より好ましくは８０°以下、更に好ましくは７０°以下、特に好ましくは６０°以下である。
【００３３】
ここで、通常、ペリクル２が梱包される梱包箱４は、本体部１５の底部１５ａが略水平を保った状態で搬送される。ここでいう水平とは、重力の方向と直角に交わった方向である。つまり、搬送状態において、梱包箱４の底部１５ｂが水平となっているため、支持体５の載置面５ａは、水平面となっている。したがって、支持体５は、水平面に対して角度θだけ傾斜してペリクルケース３（ペリクル２）を支持、すなわち水平面と粘着剤層８の層面８ａとの成す角度θが０°よりも大きく９０°よりも小さい角度となるようにペリクル２を支持している。
【００３４】
続いて、ペリクル２の梱包方法について図１を参照しながら説明する。まず、ペリクル２をペリクルケース３に収納する。具体的には、トレイ１１にペリクル２を載置し、離型材９の突出部分とトレイ１１とを粘着テープで接着して、ペリクル２をトレイ１１に固定する。そして、トレイ１１に蓋１２を被せて、それぞれの端部１１ａ，１２ａにクリップ１４を装着する。これにより、トレイ１１と蓋１２とにより形成される空間にペリクル２が保持される。
【００３５】
次に、梱包箱４の本体部１５における収納空間Ｓに、支持体５を配置する。このとき、支持体５の傾斜面５ｃが本体部１５の開口部１７側を向くように、支持体５を本体部１５内に配置する。そして、支持体５上にペリクルケース３を載置する。これにより、梱包箱４の中において、ペリクルケース３、つまりペリクル２が傾斜した状態で保持される。そして、本体部１５の開口部１７を覆うように、天板１６を載置する。このようにして、ペリクル２がペリクル梱包体１に梱包される。なお、天板１６とペリクルケース３との間の空間には、エアーキャップ等の緩衝材が入れられてもよい。
【００３６】
続いて、上述のペリクル梱包体１の搬送形態について説明する。ペリクル梱包体１は、複数が一まとめにされて搬送される。具体的には、図２を参照しながら説明する。図２は、ペリクル梱包体の搬送形態を示す図である。同図に示すように、複数（ここでは３つ）のペリクル梱包体１ａ〜１ｃは、例えば段ボール等の箱２０に収納されることで一まとめに保持されている。このとき、ペリクル梱包体１ａ〜１ｃが積み重ねられることにより、上段の梱包体１ａ，１ｂの底部１５ａが天板１６と同様に機能するため、最上段の梱包体１ａにのみ天板１６を設ければよい。
【００３７】
このように、ペリクル梱包体１ａ〜１ｃを一まとめにして搬送することにより、ペリクル梱包体１ａ〜１ｃの搬送性が向上する。また、１つの箱２０に対して天板１６を１枚しか必要としないため、個々にペリクル梱包体１ａ〜１ｃを搬送する場合に比べて、重量及びコストの削減を図ることができる。なお、複数のペリクル梱包体１を一つに纏めるための手段は、箱２０だけでなく、例えばプラスチックの紐やビニール袋等であってもよい。
【００３８】
以上説明したように、ペリクル梱包体１では、ペリクル２における粘着剤層８の層面８ａが載置面５ａ（水平面）に対して傾斜（０°＜θ＜９０°）するように、ペリクルケース３を支持体５にて支持している。このように、ペリクル２を載置面５ａに対して傾斜した状態で保持することにより、ペリクル２を水平に保持する構成に比べて、梱包箱４の幅寸法を小さくすることができる。そのため、搬送スペースを確保できると共に持ち運び易くなり、搬送性の向上を図ることができる。
【００３９】
ここで、搬送スペースを確保するために、ペリクル２を縦に立てて（粘着剤層８が重力方向に沿った状態で）搬送する形態が考えられる。しかしながら、ペリクル２を縦にした場合、ペリクル２の自重により粘着剤層８に負荷がかかり、粘着剤層８が劣化（変形）するおそれがある。これに対して、ペリクル梱包体１では、支持体５によりペリクル２を傾斜して支持するため、ペリクル２の自重による粘着剤層８への負荷を低減でき、粘着剤層８の経時劣化（変形）を抑制することができる。その結果、粘着剤層８の粘着性を確保でき、フォトマスク等に粘着する際の不具合を防止できる。以上のように、ペリクル梱包体１では、ペリクル２の搬送性を向上し、且つ粘着剤層８の劣化を抑制できる。
【００４０】
また、ペリクル２をペリクルケース３に収納し、更にペリクルペース３を梱包箱４に収納することにより、ペリクル２のペリクル膜７に異物（塵・埃等）が付着することを防止できると共に、搬送時におけるペリクル２への衝撃等を緩和することができる。
【００４１】
［第２実施形態］
続いて、第２実施形態について説明する。図３は、第２実施形態に係るペリクル梱包体の断面図である。同図に示すように、ペリクル梱包体１Ａは、支持体２１の形状が第１実施形態と異なっており、その他の部分は第１実施形態と共通している。
【００４２】
図３に示すように、支持体２１は、梱包箱４内において分割して設けられている。具体的には、支持体２１は、本体部１５の一方の側部１５ｂ側（図示右側）に配置される第１支持部２１Ａと、側部１５ｂに対向する他方の側部１５ｂ側（図示左側）に配置される第２支持部２１Ｂとから構成されている。
【００４３】
第１支持部２１Ａは、収納箱１５の底部１５ａに当接する載置面２１ａを有する下部支持体２１Ａａと、この下部支持体２１Ａａの上部に配置される上部支持体２１Ａｂとを有している。ペリクルケース３は、その一方の端部が下部支持部２１Ａａと上部支持体２１Ａｂとに上下方向から挟持されることにより支持されている。
【００４４】
また、第２支持部２１Ｂは、収納箱１５の底部１５ａに当接する載置面２１ｂを有する下部支持体２１Ｂａと、この下部支持体２１Ｂａの上部に配置される上部支持体２１Ｂｂとを有している。ペリクルケース３は、その他方の端部が下部支持体２１Ｂａと上部支持体２１Ｂｂとに上下方向から挟持されることにより支持されている。つまり、支持体２２は、ペリクルケース３の両端部を支持している。
【００４５】
第１支持体２１Ａの下部支持部２１Ａａは、第２支持体２１Ｂの下部支持部Ｂａよりも収納箱１５の高さ方向の高さ寸法が大きくなっている。つまり、下部支持部２１Ａａは、下部支持部２１Ｂａよりも底部１５ａから高い位置においてペリクルケース３の端部を支持している。これにより、ペリクルケース３（ペリクル２）は、載置面２１ａ，２１ｂに対して傾斜して支持されている。具体的には、支持体２１は、ペリクル２における粘着剤層８の層面８ａと載置面２１ａ，２１ｂとの成す角度θが０°よりも大きく９０°よりも小さく（０°＜θ＜９０°）なるように、ペリクルケース３（ペリクル２）を支持している。
【００４６】
以上説明したように、ペリクル梱包体１Ａでは、第１実施形態と同様に、ペリクル２における粘着剤層８の層面８ａが載置面２１ａ，２１ｂに対して傾斜するように、ペリクルケース３を支持体２１にて支持している。このように、ペリクル２を載置面２１ａ，２１ｂに対して傾斜した状態で保持することにより、ペリクル２を水平に保持する従来の梱包体に比べて、梱包箱４の幅寸法を小さくすることができる。そのため、搬送スペースを確保できると共に持ち運びが容易になり、搬送性の向上を図ることができる。また、ペリクル２を垂直に保持する従来の構成に比べて、ペリクル２の自重による粘着剤層８への負荷を軽減できるので、粘着剤層８の経時劣化を抑制することができる。その結果、粘着剤層８の粘着性を確保でき、フォトマスク等に粘着する際の不具合を防止できる。
【００４７】
また、支持体２１を第１支持体２１Ａと第２支持体２１Ｂとに分割することにより、支持体２１の軽量化を図ることができる。また、ペリクルケース３を上下方向から挟持する構成のため、梱包箱４内においてペリクルケース３を確実に支持固定することができる。これにより、例えば梱包箱４の側部１５ｂ側がパレット等に載置された場合、つまり支持体２１の載置面２１ａ，２１ｂが重力方向に沿う状態であっても、梱包箱４内においてペリクルケース３が移動することがないため、ペリクル２への衝撃等をより好適に緩和することができる。
【００４８】
なお、上述の構成においては、第１支持体２１Ａ及び第２支持体２１Ｂにおいて、それぞれ下部支持体２１Ａａ，２１Ｂａと上部支持体２１Ａｂ，２１Ｂｂとに２分割された構成としているが、第１支持体２１Ａ及び第２支持体２１Ｂは、それぞれ一体形成されていてもよい。この場合、支持体２１にペリクルケース３を装着した後に、梱包箱４の本体部１５に支持体２１とペリクルケース３とを収納する。
【００４９】
［第３実施形態］
続いて、第３実施形態について説明する。図４は、第３実施形態に係るペリクル梱包体の断面図である。同図に示すように、ペリクル梱包体１Ｂは、支持体２２の形状が第１実施形態と異なっており、その他の部分は第１実施形態と共通している。
【００５０】
図４に示すように、支持体２２は、梱包箱４内において分割して設けられている。具体的には、支持体２２は、本体部１５の一方の側部１５ｂ側（図示右側）に配置される第１支持部２２Ａと、側部１５ｂに対向する他方の側部１５ｂ側（図示左側）に配置される第２支持部２２Ｂとから構成されている。
【００５１】
第１支持体２２Ａは、第２支持体２２Ｂよりも収納箱１５の高さ方向の高さ寸法が大きくなっている。つまり、第１支持部２２Ａは、第２支持部２２Ｂよりも底部１５ａから高い位置においてペリクルケース３の端部を支持している。これにより、ペリクルケース３（ペリクル２）は、支持体２２の載置面２２ａ，２２ｂに対して傾斜して支持されている。具体的には、支持体２２は、ペリクル２における粘着剤層８の層面８ａと載置面２２ａ，２２ｂとの成す角度θが０°よりも大きく９０°よりも小さく（０°＜θ＜９０°）なるように、ペリクルケース３（ペリクル２）を支持している。
【００５２】
以上説明したように、ペリクル梱包体１Ｂでは、第１実施形態と同様に、ペリクル２における粘着剤層８の層面８ａが載置面２２ａ，２２ｂに対して傾斜するように、ペリクルケース３を支持体２２にて支持している。このように、ペリクル２を載置面２２ａ，２２ｂに対して傾斜した状態で保持することにより、ペリクル２を水平に保持する従来の梱包体に比べて、梱包箱４の幅寸法を小さくすることができる。そのため、搬送スペースを確保できると共に持ち運びが容易になり、搬送性の向上を図ることができる。また、ペリクル２を垂直に保持する従来の構成に比べて、ペリクル２の自重による粘着剤層８への負荷を軽減できるので、粘着剤層８の経時劣化を抑制することができる。その結果、粘着剤層８の粘着性を確保でき、フォトマスク等に粘着する際の不具合を防止できる。
【００５３】
また、支持体２２を第１支持体２２Ａと第２支持体２２Ｂとに分割することにより、支持体２２の軽量化を図ることができる。また、支持体２２が上記の構成を有することにより、ペリクル２を取り出す際、梱包箱４（本体部１５）の側部１５ｂを取り外した後に、フォークリフトのつめをペリクルケース３のトレイ１１の下部に挿入することができる。したがって、梱包箱４からペリクル２を容易に取り出すことができる。
【００５４】
以上、上述の実施形態を用いて本発明について詳細に説明したが、当業者にとっては、本発明が本明細書中に説明した実施形態に限定されるものではないということは明らかである。本発明は、特許請求の範囲の記載により定まる本発明の趣旨及び範囲を逸脱することなく修正及び変更態様として実施することができる。従って、本明細書の記載は、例示説明を目的とするものであり、本発明に対して何ら制限的な意味を有するものではない。
【符号の説明】
【００５５】
１，１Ａ，１Ｂ…ペリクル梱包体、２…ペリクル、３…ペリクルケース（収納ケース）、４…梱包箱、５，２１，２２…支持体、５ａ，２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ…載置面、６…ペリクル枠体、７…ペリクル膜、８…粘着剤層、８ａ…層面、１０…開口部、１１…トレイ、１１ｂ…下面、１２…蓋。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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