(57)【要約】【課題】ワーク処理のタクトタイムに影響を及ぼすことなく、機能液滴吐出ヘッドのメンテナンスを効率良く実施することができる液滴吐出装置を提供することである。【解決手段】機能液滴吐出ヘッド６を搭載した２組のキャリッジ群５と、描画が行われる描画エリア２５に配設され、ワークＷがセットされるワークテーブル２１と、機能液滴吐出ヘッド６の保守を行う一対のメンテナンスエリア２６と、描画エリア２５と、の間で両キャリッジ群５を移動させるキャリッジ移動機構と、一対のメンテナンスエリア２６に配設され、機能液滴吐出ヘッド６の保守を実施する２組のメンテナンス装置５１と、描画エリア２５を画成する描画チャンバー２７と、各メンテナンスエリア２６を画成する一対のメンテナンスチャンバー２８と、描画チャンバー２７の内部雰囲気および各メンテナンスチャンバー２８の内部雰囲気を個別に雰囲気調和する雰囲気調和手段２９，３０と、を備えたものである。【選択図】図８
2011088101.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに描画を行なう機能液滴吐出ヘッドを搭載した１以上のキャリッジユニットから成る２組のキャリッジ群と、
前記機能液滴吐出ヘッドにより描画が行われる描画エリアに配設され、前記ワークがセットされるワークテーブルと、
前記描画エリアの両外側に位置し前記機能液滴吐出ヘッドの保守を行う一対のメンテナンスエリアと前記描画エリアとの間で、前記２組のキャリッジ群を交互に移動させるキャリッジ移動手段と、
前記一対のメンテナンスエリアに配設され、前記各キャリッジ群における前記機能液滴吐出ヘッドの保守を実施する２組のメンテナンス手段と、
前記描画エリアを画成する描画チャンバーと、
前記各メンテナンスエリアを画成する一対のメンテナンスチャンバーと、
前記描画チャンバーの内部雰囲気および前記各メンテナンスチャンバーの内部雰囲気を個別に雰囲気調和する雰囲気調和手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記雰囲気調和手段は、
前記描画チャンバーを雰囲気調和する描画部調和手段と、
前記各メンテナンスチャンバーを雰囲気調和する一対のメンテナンス部調和手段と、を有していることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記描画部調和手段および前記描画エリア内の構成手段を制御する描画部制御手段と、
前記各メンテナンス部調和手段および前記各メンテナンスエリア内の構成手段を制御する一対のメンテナンス部制御手段と、
前記キャリッジ移動手段を制御するキャリッジ移動制御手段と、を更に備えたことを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記一対のメンテナンス部制御手段が、前記キャリッジ移動制御手段を兼ねていることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記描画チャンバーと前記各メンテナンスチャンバーとは、間隙を存して配設されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記描画チャンバーおよび前記一対のメンテナンスチャンバー間には、前記キャリッジ移動手段のキャリッジ移動軸が架設され、
前記描画チャンバーは、前記キャリッジ移動軸が挿通すると共に前記各キャリッジ群が通過する２つの第１チャンバー開口と、前記各第１チャンバー開口おける前記キャリッジ移動軸以外の部分を開閉する２つの第１開閉扉と、有し、
前記各メンテナンスチャンバーは、前記キャリッジ移動軸が挿通すると共に前記各キャリッジ群が通過する１つの第２チャンバー開口と、前記第２チャンバー開口おける前記キャリッジ移動軸以外の部分を開閉する１つの第２開閉扉と、有していることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記描画チャンバーと前記各メンテナンスチャンバーとの間において、相互の前記チャンバー開口間を覆う一対の部分チャンバーを、更に備え、
前記各部分チャンバーは、前記描画チャンバーおよび前記各メンテナンスチャンバーより低圧に設定されていることを特徴とする請求項６に記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記各部分チャンバーは、排気設備に連通していることを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
前記描画エリアに配設され、
前記キャリッジ移動手段による移動方向と直交する方向に前記ワークテーブルを移動させるワーク移動手段と、
前記ワーク移動手段のワーク移動軸に搭載され、前記各キャリッジ群における前記機能液滴吐出ヘッドの保守を実施する描画部メンテナンス手段と、
前記ワーク移動軸に搭載され、前記各キャリッジ群における前記機能液滴吐出ヘッドからの検査吐出を受けるシートユニットと、
前記シートユニットへの検査吐出結果を画像認識する画像認識手段と、を更に備えたことを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項１０】
前記各メンテナンスエリアに配設され、
前記各キャリッジ群における前記機能液滴吐出ヘッドの吐出性能検査を実施するメンテナンス部検査手段と、を更に備えたことを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドを用いてワークに描画を行なう液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の液滴吐出装置として、複数のキャリッジユニットから成る２組のキャリッジ群を交互に使用して連続的に描画しながら、待機状態のキャリッジユニットをメンテナンスするものが知られている（特許文献１参照）。
この液滴吐出装置は、ワークテーブルにセットしたワークを、Ｘ軸方向に移動するＸ軸テーブルと、Ｘ軸テーブルを跨ぐように配設されたＹ軸テーブル４と、Ｙ軸テーブル４に移動自在に搭載され、複数の機能液滴吐出ヘッドを搭載した２組のキャリッジ群と、Ｙ軸テーブル４の両外端に設けられ、機能液滴吐出ヘッドを保守・検査する一対のメンテナンス装置と、を備えている。そして、Ｘ軸テーブルおよびＹ軸テーブル４が交差する領域には、描画処理を行う描画エリアが設定され、描画エリアからＹ軸方向に外れた両領域には、機能液滴吐出ヘッド（ヘッドユニット４５）を交換・保守・検査する一対のメンテナンスエリアが設定されている。さらに、液滴吐出装置全体は、クリーンブース形式のチャンバーで覆われており、雰囲気管理されている。
この場合、描画エリアに臨んだ一方のキャリッジ群によりワークに対して描画を行っている間、他方のキャリッジ群をメンテナンスエリアに臨ませてメンテナンスを行い、待機状態としておく。これにより、一方のキャリッジ群に故障やヘッドユニット４５が要交換となっても、遅滞なく描画動作が続行されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−６２１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような液滴吐出装置では、装置全体がチャンバーに収容されているため、ヘッドユニット４５を交換しようとすると、チャンバー内（メンテナンスエリア）に作業者が入る必要がある。このため、安全性の観点から装置を停止させる必要があり、内部雰囲気の復旧時間と合わせて、ワーク処理のタクトタイムに影響を及ぼす問題がある。また、メンテナンスエリアにおいて、ヘッドユニット４５の交換後に行う機能液滴吐出ヘッドの吐出検査では、温度条件を実際の描画動作と合わせるべく、予備吐出（ヘッドの昇温）を十分に行う必要があり、吐出検査に時間を要すると共に機能液を無駄に消費する問題があった。
【０００５】
本発明は、ワーク処理のタクトタイムに影響を及ぼすことなく、機能液滴吐出ヘッドのメンテナンスを効率良く実施することができる液滴吐出装置を提供することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液滴吐出装置は、ワークに描画を行なう機能液滴吐出ヘッドを搭載した１以上のキャリッジユニットから成る２組のキャリッジ群と、機能液滴吐出ヘッドにより描画が行われる描画エリアに配設され、ワークがセットされるワークテーブルと、描画エリアの両外側に位置し機能液滴吐出ヘッドの保守を行う一対のメンテナンスエリアと描画エリアとの間で、２組のキャリッジ群を交互に移動させるキャリッジ移動手段と、一対のメンテナンスエリアに配設され、各キャリッジ群における機能液滴吐出ヘッドの保守を実施する２組のメンテナンス手段と、描画エリアを画成する描画チャンバーと、各メンテナンスエリアを画成する一対のメンテナンスチャンバーと、描画チャンバーの内部雰囲気および各メンテナンスチャンバーの内部雰囲気を個別に雰囲気調和する雰囲気調和手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、描画エリアは描画チャンバーにより画成されており、一対のメンテナンスエリアは一対のメンテナンスチャンバーによりそれぞれ画成されている。これにより、例えば作業者が、メンテナンスチャンバー内でヘッドユニットを交換することができるため、描画チャンバー内の装置を停止させる必要がなく、ワーク処理のタクトタイムに影響を及ぼすことがない。また、各チャンバーは、雰囲気調和手段によって内部雰囲気が個別に雰囲気調和されている。これにより、例えば機能液滴吐出ヘッドの吐出検査において、メンテナンスチャンバー内を所定の温度条件等に設定することができ、あるいは自在に大気開放することができ、メンテナンス時間や機能液の無駄を省くことができる。さらに、一方のキャリッジ群を待機状態としておくことができるため、描画中のキャリッジ群に故障等が生じても、遅滞なく描画動作を続行することができる。
【０００８】
この場合、雰囲気調和手段は、描画チャンバーを雰囲気調和する描画部調和手段と、各メンテナンスチャンバーを雰囲気調和する一対のメンテナンス部調和手段と、を有していることが、好ましい。
【０００９】
この構成によれば、描画チャンバーは描画部調和手段により雰囲気調和されており、各メンテナンスチャンバーは一対のメンテナンス部調和手段により雰囲気調和されているため、両調和手段の故障や機能不全に対して、簡単且つ迅速に復旧を行うことができ、ワーク処理のタクトタイムへの影響を極力少なくすることができる。
【００１０】
この場合、描画部調和手段および描画エリア内の構成手段を制御する描画部制御手段と、各メンテナンス部調和手段および各メンテナンスエリア内の構成手段を制御する一対のメンテナンス部制御手段と、キャリッジ移動手段を制御するキャリッジ移動制御手段と、を更に備えたことが、好ましい。
【００１１】
また、一対のメンテナンス部制御手段が、キャリッジ移動制御手段を兼ねていることが、好ましい。
【００１２】
これらの構成によれば、制御手段の構成を単純化することで、制御動作を効率良く行うことができる。また、１の制御系の故障に対し、他の制御系が影響を受けることがなく、結果的にワーク処理のタクトタイムへの影響を極力少なくすることができる。
【００１３】
この場合、描画チャンバーと各メンテナンスチャンバーとは、間隙を存して配設されていることが、好ましい。
【００１４】
この構成によれば、正圧に調整された描画チャンバーおよび各メンテナンスチャンバーの内部雰囲気は、大気圧となる間隙に流出するだけで、対峙するチャンバーに流入することがない。例えば、描画エリア（描画チャンバー）においては、吐出した機能液の溶媒が気化するが、この気化した溶媒がメンテナンスチャンバーに流入することがなく、作業者がメンテナンスチャンバーに入って作業を行なう機能液滴吐出ヘッドの交換等において、この気化した溶媒の影響を排除することができる。
【００１５】
この場合、描画チャンバーおよび一対のメンテナンスチャンバー間には、キャリッジ移動手段のキャリッジ移動軸が架設され、描画チャンバーは、キャリッジ移動軸が挿通すると共に各キャリッジ群が通過する２つの第１チャンバー開口と、各第１チャンバー開口おけるキャリッジ移動軸以外の部分を開閉する２つの第１開閉扉と、有し、各メンテナンスチャンバーは、キャリッジ移動軸が挿通すると共に各キャリッジ群が通過する１つの第２チャンバー開口と、第２チャンバー開口おけるキャリッジ移動軸以外の部分を開閉する１つの第２開閉扉と、有していることが、好ましい。
【００１６】
この構成によれば、キャリッジユニット（キャリッジ群）の移動時にのみ第１開閉扉および第２開閉扉を開放し、各エリアでの作業時には、両開閉扉を閉塞することにより、各チャンバーにおける内部雰囲気の流出を極力抑制することができ、雰囲気管理を良好に行うことができる。
【００１７】
この場合、描画チャンバーと各メンテナンスチャンバーとの間において、相互のチャンバー開口間を覆う一対の部分チャンバーを、更に備え、各部分チャンバーは、描画チャンバーおよび各メンテナンスチャンバーより低圧に設定されていることが、好ましい。
【００１８】
また、各部分チャンバーは、排気設備に連通していることが、好ましい。
【００１９】
これらの構成によれば、第１開閉扉および第２開閉扉を開放したときに、両チャンバーの内部雰囲気は、部分チャンバーに流れ込む。このため、両チャンバーの内部雰囲気が相互に流出入するのを確実に防止することができると共に、部分チャンバー内の雰囲気を適切に排気処理することができる。
【００２０】
この場合、描画エリアに配設され、キャリッジ移動手段による移動方向と直交する方向にワークテーブルを移動させるワーク移動手段と、ワーク移動手段のワーク移動軸に搭載され、各キャリッジ群における機能液滴吐出ヘッドの保守を実施する描画部メンテナンス手段と、ワーク移動軸に搭載され、各キャリッジ群における機能液滴吐出ヘッドからの検査吐出を受けるシートユニットと、シートユニットへの検査吐出結果を画像認識する画像認識手段と、を更に備えることが、好ましい。
【００２１】
この構成によれば、キャリッジユニット（キャリッジ群）をメンテナンスエリアに移動させることなく、機能液滴吐出ヘッドの保守および吐出性能検査を実施することができるため、描画品質を維持しつつ、装置の停止時間を短縮することができる。なお、機能液滴吐出ヘッドの保守や吐出性能検査は、ワークの交換時に実施することが好ましい。
【００２２】
この場合、各メンテナンスエリアに配設され、各キャリッジ群における機能液滴吐出ヘッドの吐出性能検査を実施するメンテナンス部検査手段と、を更に備えたことが、好ましい。
【００２３】
この構成によれば、機能液滴吐出ヘッドの交換時等に機能液滴吐出ヘッドの吐出性能検査を行うことができるため、一方のキャリッジ群を完全に描画待機状態としておくことができ、ワーク処理のタクトタイムへの影響を極力排除することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】液滴吐出装置の平面模式図である。
【図２】メンテナンス装置廻りの（ａ）は平面図であり、（ｂ）は側面図である。
【図３】吸引ユニットの側面図である。
【図４】ワイピングユニットの側面図である。
【図５】アライメントユニットの側面図である。
【図６】重量測定ユニットの側面図である。
【図７】ヘッド昇温機構の側面図である。
【図８】第１実施形態に係る描画チャンバーおよびメンテナンスチャンバーの平面図である。
【図９】第２実施形態に係る描画チャンバーおよびメンテナンスチャンバーの平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、添付した図面を参照して、本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッドを用いて、液晶表示装置のカラーフィルターや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００２６】
図１および図２に示すように、液滴吐出装置１は、ワークテーブル２１にセットされたワークＷを、描画時の主走査方向となるＸ軸方向に移動させる描画部Ｘ軸テーブル（ワーク移動手段）２と、描画部Ｘ軸テーブル２を挟むように配設され、機能液滴吐出ヘッド６の保守を実施する２組のメンテナンス装置（メンテナンス手段）５１をそれぞれＸ軸方向に移動させる一対のメンテナンス部Ｘ軸テーブル３，３と、描画部Ｘ軸テーブル２および一対のメンテナンス部Ｘ軸テーブル３，３を跨ぐように架け渡され、描画時の副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル（キャリッジ移動手段）４と、Ｙ軸テーブル４に搭載され、複数の機能液滴吐出ヘッド６を搭載した複数のキャリッジユニット７でそれぞれ構成された２組のキャリッジ群５と、を備えている。なお、機能液滴吐出ヘッド６は、図１においてキャリッジユニット７あたり1つのみ図示しており、その他の図面においては省略している。
【００２７】
また、液滴吐出装置１は、ワークテーブル２１と共に描画部Ｘ軸テーブル２に搭載した定期フラッシングユニット２２および描画部ロール紙ユニット（シートユニット）２３を備えると共に、描画部Ｘ軸テーブル２を跨ぐように配設した描画部画像認識ユニット（画像認識手段）２４を備えている。描画部画像認識ユニット２４は、Ｙ軸テーブル４の近傍に固定され、描画部ロール紙ユニット２３と共に機能液滴吐出ヘッド６の吐出性能検査を実施する描画部検査手段を構成している。
【００２８】
また、描画部Ｘ軸テーブル２および描画部Ｘ軸テーブル２廻りの構成装置を含む領域には、ワークＷへの描画、ワークＷの除給および機能液滴吐出ヘッド６の検査等を行う描画エリア２５が設定されている。同様に、各メンテナンス部Ｘ軸テーブル３および各メンテナンス部Ｘ軸テーブル３廻りの構成装置を含む領域には、機能液滴吐出ヘッド６の保守・機能回復および検査を行うと共に後述するヘッドユニット４５を交換するためのメンテナンスエリア２６がそれぞれ設定されている。
【００２９】
そして、液滴吐出装置１は、上記の描画エリア２５を覆う描画チャンバー２７と、一対のメンテナンスエリア２６，２６をそれぞれ覆う一対のメンテナンスチャンバー２８，２８と、描画チャンバー２７の内部雰囲気を雰囲気調和する描画部調和装置（描画部調和手段）２９と、各メンテナンスチャンバー２８の内部雰囲気を雰囲気調和する一対のメンテナンス部調和装置（メンテナンス部調和手段）３０と、を更に備えている。描画チャンバー２７は、一対のメンテナンスチャンバー２８，２８に挟まれるように且つ相互に間隙を存して配設され、また上記のＹ軸テーブル４は、これらチャンバー２７，２８，２８を横断するように延在している。なお、請求項にいう雰囲気調和手段は、描画部調和装置２９およびメンテナンス部調和装置３０から構成されている。
【００３０】
さらに、液滴吐出装置１は、描画部調和装置２９および描画チャンバー２７内の構成装置等を制御する描画部制御装置（描画部制御手段）３１と、各メンテナンス部調和装置３０および各メンテナンスチャンバー２８内の構成装置等を制御する一対のメンテナンス部制御装置（メンテナンス部制御手段）３２と、Ｙ軸テーブル４を制御するキャリッジ移動制御装置（キャリッジ移動制御手段）３３と、を備えている。そして、描画部制御装置３１、一対のメンテナンス部制御装置３２およびキャリッジ移動制御装置３３は、制御的に相互にリンクしている。なお、メンテナンス部制御装置３２が、キャリッジ移動制御装置３３を兼ねていてもよい（図示省略）。
【００３１】
描画部Ｘ軸テーブル２は、Ｘ軸方向に延在する一対の描画部Ｘ軸ガイドレール（ワーク移動軸）３９と、描画部Ｘ軸ガイドレール３９に搭載された上記のワークテーブル２１を、描画部Ｘ軸ガイドレール３９に沿って移動させるワークテーブル移動機構３５と、上記の定期フラッシングユニット２２および描画部ロール紙ユニット２３を、描画部Ｘ軸ガイドレール３９に沿って移動させるユニット移動機構３６と、を有している。すなわち、ワークテーブル２１と、定期フラッシングユニット２２および描画部ロール紙ユニット２３は、個別に描画部Ｘ軸ガイドレール３９上を移動可能に構成されている。
【００３２】
定期フラッシングユニット２２は、機能液滴吐出ヘッド６から捨て吐出（フラッシング）された機能液を受けるボックスであり、ワークＷの除給材時に、Ｙ軸テーブル４の直下に移動して機能液滴吐出ヘッド６から捨て吐出を受ける。これにより、ワークＷの除給材時に描画動作を休止する機能液滴吐出ヘッド６の保守が図られている。
【００３３】
描画部ロール紙ユニット２３は、上記の描画部画像認識ユニット２４と共に描画部検査手段を構成しており、機能液滴吐出ヘッド６の吐出性能検査を実施する。
描画部ロール紙ユニット２３は、機能液滴吐出ヘッド６からの検査吐出を受ける検査シート３７を有しており、ワークＷの除給材時に、Ｙ軸テーブル４の直下に移動して機能液滴吐出ヘッド６からの検査吐出を受ける。この検査吐出は、描画動作に連続するようにして実施され、ワークＷが除給材位置に達することにより、描画部ロール紙ユニット２３が描画部画像認識ユニット２４の直下に達するようになっている。
一方、描画部画像認識ユニット２４は、検査シート３７上に着弾した着弾ドットを画像認識する複数台のカメラ３７と、複数台のカメラ３７をＹ軸方向に移動（操作）させるカメラ移動機構３８と、から構成されている。描画部画像認識ユニット２４は、ワークＷの給除材時において、検査吐出された着弾ドットを画像認識する。認識した画像は、描画部制御装置３１に送信されて、各機能液滴吐出ヘッド６の各吐出ノズルが正常に機能液を吐出しているか（ノズル詰まりおよび飛行曲がりがあるか）否かが評価される。
【００３４】
Ｙ軸テーブル４は、Ｙ軸方向に延在する一対のＹ軸ガイドレール（キャリッジ移動軸）４１と、Ｙ軸ガイドレール４１に搭載された複数のキャリッジユニット７（２組のキャリッジ群５）を、Ｙ軸ガイドレール４１に沿って個々に移動させるキャリッジ移動機構４２と、を有している。各キャリッジユニット７は、一対のＹ軸ガイドレール４１に掛け渡したブリッジプレート４３と、ブリッジプレート４３から吊下したθテーブル付きのキャリッジ本体４４と、キャリッジ本体４４の下端部に着脱自在に取り付けたヘッドユニット４５と、を有している（図３参照）。ヘッドユニット４５は、下面にアライメント基準となる一対の基準マークを有するヘッドプレート４６と、ヘッドプレート４６に６個ずつ２群に分けて搭載した１２個の機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）６と、から構成されている。なお、キャリッジユニット７の個数および各キャリッジユニット７に搭載される機能液滴吐出ヘッド６の個数は任意である。
【００３５】
このように構成されたＹ軸テーブル４は、上記のキャリッジ移動制御装置３３に接続されており、キャリッジ移動制御装置３３は、描画エリア２５において各キャリッジ群５をＹ軸方向に副走査し、描画エリア２５と一対のメンテナンスエリア２６との間で２組のキャリッジ群５を交互に移動させる。すなわち、キャリッジ移動制御装置３３は、一方のキャリッジ群５を描画エリア２５に移動させ、他方のキャリッジ群５を対応するメンテナンスエリア２６に移動させて描画を実施するが、一方のキャリッジ群５がメンテナンス要（交換要）となったときに、一方のキャリッジ群５を対応するメンテナンスエリア２６に移動させ、他方のキャリッジ群５を描画エリア２５に移動させる。これにより、短時間でキャリッジ群５の交換が行われ、ワーク処理のタクトタイム（サイクルタイム）への影響を極力少なくしている。
【００３６】
各メンテナンス部Ｘ軸テーブル３は、Ｘ軸方向に延在する一対のメンテナンス部Ｘ軸ガイドレール３４と、メンテナンス部Ｘ軸ガイドレール３４に搭載されたメンテナンス装置５１を、メンテナンス部Ｘ軸ガイドレール３４に沿って移動させるメンテナンス装置移動機構５２と、を有している。メンテナンス部Ｘ軸テーブル３は、メンテナンスエリア２６に移動したキャリッジ群５に対し、メンテナンス装置５１の各構成ユニットを臨ませる。
【００３７】
図２ないし図７に示すように、各メンテナンス装置５１は、各機能液滴吐出ヘッド６から機能液を吸引する複数（各キャリッジ群５のキャリッジユニット７数に対応）の吸引ユニット５３と、各機能液滴吐出ヘッド６のノズル面を払拭するワイピングユニット５４と、各機能液滴吐出ヘッド６の液滴吐出量を測定する重量測定ユニット５５と、ヘッドユニット４５のアライメントを実施するためのアライメントユニット５６と、機能液滴吐出ヘッド６の吐出性能検査を実施するメンテナンス部ロール紙ユニット５７およびメンテナンス部画像認識ユニット５８と、吐出性能検査時において、各機能液滴吐出ヘッド６を昇温するヘッド昇温機構５９と、を有している。なお、請求項にいうメンテナンス部検査手段は、は、メンテナンス部ロール紙ユニット５７、メンテナンス部画像認識ユニット５８およびヘッド昇温機構５９から構成されている。
【００３８】
図３に示すように、吸引ユニット５３は、各機能液滴吐出ヘッド６のノズル面に密接するキャップユニット６１と、キャップユニット６１を昇降させるキャップ昇降機構６２と、有しており、このキャップユニット６１を密接状態として、装置の稼働停止時における機能液滴吐出ヘッド６の保全（乾燥防止）と、機能液吸引による機能液滴吐出ヘッド６の機能回復と、を実施する。また、キャップユニット６１を離間状態として、機能液滴吐出ヘッド６からの捨て吐出を受ける。
【００３９】
図４に示すように、ワイピングユニット５４は、リール・ツー・リールで送られるワイピングシート６３と、ワイピングシート６３を搭載したユニット本体６４と、ユニット本体６４をＹ軸方向（払拭方向）に移動させる本体移動機構６５と、を有している。ワイピングシート６３を走行させながら、ユニット本体６４を払拭方向に移動させることより、吸引後の各機能液滴吐出ヘッド６のノズル面を払拭する。なお、ワイピングユニット５４は、複数搭載されていてもよい。
【００４０】
メンテナンスエリア２６に移動したキャリッジ群５（キャリッジユニット７）は、定期的にそのヘッドユニット４５（機能液滴吐出ヘッド６）を交換するようになっている。そして、交換後のヘッドユニット４５に対して、アライメント、機能液の重量測定、吐出性能検査が実施される。
図５に示すように、アライメントユニット５６は、アライメントカメラ６６と、アライメントカメラ６６をＹ軸方向に移動させるキャリッジカメラ移動機構６７と、を有している。アライメントカメラ６６をＹ軸方向に移動させ、ヘッドユニット４５に設けた一対の基準マークを画像認識する。この認識結果に基づいて、ヘッドユニット４５のθ補正が実施されると共に、ヘッドユニット４５のＹ軸方向の位置補正（データ補正）および吐出タイミング補正（Ｙ軸方向の位置補正）が実施される。
【００４１】
図６に示すように、重量測定ユニット５５は、１の機能液滴吐出ヘッド６（ノズル列単位）から吐出した機能液を受ける複数の受液容器６８と、各受液容器６８を介して機能液の重量を測定する複数の電子天秤６９と、これらをＹ軸方向に移動する重量測定ユニット移動機構７０と、を有している。機能液滴吐出ヘッド６からの液滴吐出を受容し、吐出ドットの重量を測定する。この測定結果に基づいて、各機能液滴吐出ヘッド６への駆動電圧が補正される。
メンテナンス部検査手段であるメンテナンス部ロール紙ユニット５７およびメンテナンス部画像認識ユニット５８は、構造および機能において上記の描画部ロール紙ユニット２３および描画部画像認識ユニット２４と同一であるため、ここでは説明を省略する。
【００４２】
ところで、描画動作時の機能液滴吐出ヘッド６は、そのヘッド基板からの発熱により幾分昇温する（機能液の粘度低下）。そこで、メンテナンス部検査手段による吐出性能検査の際に、描画動作時の機能液滴吐出ヘッド６と同一条件で検査吐出を実施すべく、ヘッド昇温機構５９がキャリッジユニット７単位で設けられている。
図７に示すように、ヘッド昇温機構５９は、ヘッドユニット４５に向って昇温エアーを吹き付ける吹出し口７１と、ヘッドユニット４５を通過した昇温エアーを吸引する吸込み口７２と、吹出し口７１と吸込み口７２とを連通する循環ダクト７３と、循環ダクト７３に介設したヒーター７４およびファン７５と、を有している。ファン７５を駆動し、ヒーター７４で昇温した昇温エアーを、吹出し口７１からヘッドユニット４５に吹き付けて機能液滴吐出ヘッド６を所定の温度に昇温させる。なお、ヒーター７４およびファン７５は、図外のセンサーにより制御されることは、言うまでもない。また、キャリッジユニット７単位の複数のヘッド昇温機構５９を、単一のもので構成してもよい（図示省略）。
【００４３】
このように、各メンテナンスエリア２６においては、キャリッジ群５を単位として、例えば描画部検査手段によりＮＧとなったヘッドユニット４５（機能液滴吐出ヘッド６）のメンテナンスが実施され、またヘッドユニット４５の交換とその後のメンテナンスが実施される。すなわち、描画エリア２５において、一方のキャリッジ群５によりワークＷに描画が行なわれている間に、メンテナンスエリア２６において、他方のキャリッジ群５の交換やメンテナンスが実施される。そして、メンテナンスエリア２６のキャリッジ群５は、描画待機状態となる。
【００４４】
次に、図８を参照して、描画チャンバー２７およびメンテナンスチャンバー２８について説明する。描画チャンバー２７および一対のメンテナンスチャンバー２８，２８は、描画エリア２５および一対のメンテナンスエリア２６，２６をそれぞれ画成しており、Ｙ軸方向において相互に間隙を存して配設されている。また、両チャンバー２７，２８間には、排気設備８１に接続した部分チャンバー８２がそれぞれ配設されており、両チャンバー２７，２８に連通している。描画チャンバー２７および各メンテナンスチャンバー２８は、プレハブ形式のクリーンブースの形態を有しており、描画チャンバー２７には上記の描画部調和装置２９が、各メンテナンスチャンバー２８には上記のメンテナンス部調和装置３０が、それぞれ併設されている。
【００４５】
描画チャンバー２７は、Ｘ軸方向から描画部Ｘ軸テーブル２を挟むように配設した一対の第１Ｘ軸側壁９１，９１と、Ｙ軸方向から描画部Ｘ軸テーブル２を挟むように配設した一対の第１Ｙ軸側壁９２，９２と、描画部Ｘ軸テーブル２の上方に配設した描画天壁と、を有し、底壁を構成するベース（共に図示省略）に取り付けられている。また、描画チャンバー２７には、相互の内部流路を連通するようにして、描画部制御装置３１に接続した描画部調和装置２９が併設されている。
【００４６】
一対の第１Ｙ軸側壁９２，９２には、Ｙ軸ガイドレール４１が挿通すると共に、キャリッジユニット７が通過する第１チャンバー開口９３がそれぞれ形成されている。各第１チャンバー開口９３には、一対のＹ軸ガイドレール４１に対応する部分を切り欠いたスライド式の開閉扉９４が設けられている。開閉扉９４は、例えばエアーシリンダー等のエアーアクチュエーターにより、上下方向に開閉動作する。すなわち、第１チャンバー開口９３に形成したガイドに案内されて、上方に移動して第１チャンバー開口９３を閉塞し、この状態から下方に移動して第１チャンバー開口９３を開放する。
【００４７】
一方、各メンテナンスチャンバー２８は、Ｘ軸方向からメンテナンス部Ｘ軸テーブル３を挟むように配設した一対の第２Ｘ軸側壁９５，９５と、Ｙ軸方向からメンテナンス部Ｘ軸テーブル３を挟むように配設した一対の第２Ｙ軸側壁９６，９６と、メンテナンス部Ｘ軸テーブル３の上方に配設したメンテナンス天壁と、を有し、底壁を構成するベース（共に図示省略）に取り付けられている。また、各メンテナンスチャンバー２８には、相互の内部流路を連通するようにして、メンテナンス部調和装置３０に接続したメンテナンス部調和装置３０が併設されている。描画チャンバー２７側の第２Ｙ軸側壁９６には、Ｙ軸ガイドレール４１が挿通すると共に、キャリッジユニット７が通過する第２チャンバー開口９７が形成されている。なお、第２チャンバー開口９７にも、上記のような開閉扉９４を設けてもよい。
【００４８】
部分チャンバー８２は、各チャンバー開口９３，９７を連通する連通チャンバー１０１と、連通チャンバー１０１に連通すると共に、排気設備８１に連通した排気管１０２と、から構成されている。すなわち、一対の連通チャンバー１０１，１０１を介して、描画チャンバー２７および一対のメンテナンスチャンバー２８，２８が連通した形態となっている。また、各部分チャンバー８２は、排気設備８１による吸引動作により、描画チャンバー２７およびメンテナンスチャンバー２８内より低圧に制御されている。これにより、描画チャンバー２７および一対のメンテナンスチャンバー２８，２８の内部雰囲気は、部分チャンバー８２に向かって流れ出すため、各チャンバー２７，２８の内部雰囲気が相互に影響を及ぼすことがない。
【００４９】
描画部調和装置２９は、描画チャンバー２７の描画天壁に連通し、描画天壁に組み込んだＨＥＰＡフィルターを介して、図外の窒素源からの窒素やエアー源からのドライエアーを、雰囲気調和して描画チャンバー２７に常時供給する。また、描画チャンバー２７の下部の複数箇所には、排気設備８１に連なる排気配管が接続され、描画チャンバー２７の雰囲気は、流量調整されながら常時排気されるようになっている。そして、雰囲気調和を行うため、描画部調和装置２９に形成した内部流路には、ヒーター、クーラー、ファン等が組み込まれており（いずれも、図示省略）、これらヒーター、クーラー、ファン等は、描画チャンバー２７内に設置した各種センサー（圧力センサーも含む）の検出結果に基づいて、描画部制御装置３１により制御される。すなわち、描画部調和装置２９は、描画部制御装置３１により、適宜、描画チャンバー２７内の内部雰囲気を一定に調和する。なお、メンテナンス部調和装置３０も同一構成であるため、ここでの説明は省略する。
【００５０】
描画部制御装置３１は、描画部調和装置２９の他、描画チャンバー２７の各開閉蓋の開閉を制御すると共に、描画チャンバー２７内に収容した各種の装置を制御する。同様に、各メンテナンス部制御装置３２は、メンテナンス部調和装置３０の他、メンテナンスチャンバー２８内の各種の装置を制御する。そして、描画部制御装置３１およびメンテナンス部制御装置３２は、相互にリンクしており、描画チャンバー２７およびメンテナンスチャンバー２８の内部雰囲気が、両チャンバー２７，２８の外部より高圧になるように、且つ各チャンバー２７，２８における作業に合わせて内部雰囲気をそれぞれ調整する。これにより、各チャンバー２７，２８，２８内の内部雰囲気は、部分チャンバー８２への流入が促進される。すなわち、一方のチャンバー２７（２８）の内部雰囲気が、他方のチャンバー２８（２７）内に流入することを防止でき、両チャンバー２７，２８の内部雰囲気が相互に影響を及ぼすことがない。
【００５１】
次に、図９を参照して、本発明の第２実施形態に係る液滴吐出装置１について説明する。なお、重複した記載を避けるべく、第１実施形態と異なる部分を主として説明する。この液滴吐出装置１では、描画チャンバー２７および一対のメンテナンスチャンバー２８，２８が、それぞれが間隙なく配設されている。すなわち、描画チャンバー２７および一対のメンテナンスチャンバー２８間には、第１Ｙ軸側壁９２と第２Ｙ軸側壁９６とを兼ねる隔壁様の一対のＹ軸側壁１０３が配設されている。そして、各Ｙ軸側壁１０３には、チャンバー開口９３，９３がそれぞれ形成されている。また、描画チャンバー２７内には、Ｙ軸側壁１０３に沿わせて一対のチャンバー開口９３，９３を覆うように、一対の開閉扉９４，９４がそれぞれ配設されている。係る場合には、描画チャンバー２７およびメンテナンスチャンバー２８内の内部雰囲気が、相互に流入しないように、各チャンバー２７，２８，２８内を制御することが好ましい。例えば、両チャンバー２７，２８内の圧力を同一となるように制御する、あるいは、同一気流となるように内部雰囲気をそれぞれ調整する。
【００５２】
以上の構成によれば、描画エリア２５およびメンテナンスエリア２６は、描画チャンバー２７および一対のメンテナンスチャンバー２８によりそれぞれ画成され、且つ個別に制御可能に構成されているため、メンテナンスチャンバー２８内で人的にヘッドユニット４５などの交換などを行う場合であっても、ワーク処理のタクトタイムに影響を及ぼすことがなく、機能液滴吐出ヘッド６のメンテナンス作業を効率良く実施することができる。
【符号の説明】
【００５３】
１…液滴吐出装置  ２…Ｘ軸テーブル  ４…Ｙ軸テーブル  ５…キャリッジ群  ６…機能液滴吐出ヘッド  ７…キャリッジユニット  １７…フラッシングユニット  ２１…ワークテーブル  ２３…描画部ロール紙ユニット  ２４…描画部画像認識ユニット  ２５…描画エリア  ２６…メンテナンスエリア  ２７…描画チャンバー  ２８…メンテナンスチャンバー  ２９…描画部調和装置  ３０…メンテナンス部調和装置  ３１…描画部制御装置  ３２…メンテナンス部制御装置  ４１…Ｙ軸ガイドレール  ５１…メンテナンス装置  ５７…メンテナンス部ロール紙ユニット  ５８…メンテナンス部画像認識ユニット  ８１…排気設備  ８２…部分チャンバー  ９３…第１チャンバー開口  ９４…第１開閉扉  ９７…第２チャンバー開口  Ｗ…ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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