(57)【要約】【課題】吸引時における機能液の粘度を下げ、機能液の吸引流速を高めて、吐出ヘッド内の気泡や異物等を除去する。【解決手段】機能液を吐出する吐出部と、前記吐出部内の前記機能液を吸引する吸引部と、前記吸引部の内部を洗浄する洗浄液が貯留された洗浄液貯留部と、前記吸引部に対して、前記洗浄液貯留部から前記洗浄液を吸引させた後に、前記吐出部から前記機能液を吸引させる制御部と、を備えた。【選択図】図１
2011131458.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液を吐出する吐出部と、
前記吐出部内の前記機能液を吸引する吸引部と、
前記吸引部の内部を洗浄する洗浄液が貯留された洗浄液貯留部と、
前記吸引部に対して、前記洗浄液貯留部から前記洗浄液を吸引させた後に、前記吐出部から前記機能液を吸引させる制御部と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出装置において、
前記洗浄液貯留部に、前記洗浄液を加温する洗浄液加温部が設けられ、
前記制御部では、
前記吸引部に対して、前記洗浄液貯留部から加温された前記洗浄液を吸引させた後に、前記吐出部から前記機能液を吸引させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
請求項２に記載の液滴吐出装置において、
前記制御部では、
前記吸引部の内部に、加温された前記洗浄液を充填させて放置した後、前記洗浄液を吸引させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の液滴吐出装置において、
前記制御部では、
前記吸引部に対して、前記吐出部から前記機能液を吸引させた後で、前記洗浄液貯留部から前記洗浄液を吸引させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の液滴吐出装置において、
前記吸引部に吸引された前記機能液を加温する機能液加温部を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
機能液を吐出する吐出部と、前記吐出部内の前記機能液を吸引する吸引部と、前記吸引部の内部を洗浄する洗浄液が貯留された洗浄液貯留部と、を備えた液滴吐出装置の制御方法であって、
前記吸引部に対して、前記洗浄液貯留部から前記洗浄液を吸引させた後で、前記吐出部から前記機能液を吸引させることを特徴とする液滴吐出装置の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置、液滴吐出装置の制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
吐出ヘッドから機能液を液滴として吐出して、所望のパターンを形成する液滴吐出装置が知られている。当該液滴吐出装置では、吐出ヘッドの内部の気泡や異物等を除去するため、吐出ヘッド内の機能液を強制的に吸引する吸引装置を備えている。さらに、吸引時における機能液の粘度を低下させ、吸引性能を維持するため、吸引装置を構成する吸引パイプに機能液を加熱する加熱手段を設けている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−９９４１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、吸引パイプを加熱しながら機能液を吸引すると、機能液を組成する成分が加熱によって固化しやすくなり、残留物として吸引パイプ内に付着して、吸引性能が低下してしまう、という課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかる液滴吐出装置は、機能液を吐出する吐出部と、前記吐出部内の前記機能液を吸引する吸引部と、前記吸引部の内部を洗浄する洗浄液が貯留された洗浄液貯留部と、前記吸引部に対して、前記洗浄液貯留部から前記洗浄液を吸引させた後に、前記吐出部から前記機能液を吸引させる制御部と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、吸引部の内部に洗浄液が吸引されると、例えば、吸引部に残留した機能液に含まれる成分の固形物等が除去される。そうすると、その後、吸引される機能液の吸引速度が高まり、容易に吐出ヘッド内の気泡や異物等を除去することができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例にかかる液滴吐出装置では、前記洗浄液貯留部に、前記洗浄液を加温する洗浄液加温部が設けられ、前記制御部では、前記吸引部に対して、前記洗浄液貯留部から加温された前記洗浄液を吸引させた後に、前記吐出部から前記機能液を吸引させることを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、加温された洗浄液の吸引によって吸引部の内部の温度が上昇する。すると、吸引部の温度の上昇によって吸引される機能液の温度が上昇して粘度が低下する。従って、機能液を吸引する吸引速度が高まり、容易に吐出ヘッド内の気泡や異物等を除去することができる。
【００１０】
［適用例３］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部では、前記吸引部の内部に、加温された前記洗浄液を充填させて放置した後、前記洗浄液を吸引させることを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、まず、吸引部の内部に加温された洗浄液が充填されて放置される。この間、吸引部の内部が温まり温度が上昇し、液体を吸引した後も、加温効果が持続する。従って、効率よく吸引部の内部を暖め、機能液の粘度を低下させることができる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例にかかる液滴吐出装置の前記制御部では、前記吸引部に対して、前記吐出部から前記機能液を吸引させた後で、前記洗浄液貯留部から前記洗浄液を吸引させることを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、機能液を吸引した場合、吸引部に機能液に含まれる成分が残留する場合がある。このような残留物は、吸引性能を低下させる原因となる。そこで、機能液を吸引した後に、洗浄液を吸引することにより、残留物等が除去され、吸引性能を安定的に維持することができる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例にかかる液滴吐出装置は、前記吸引部に吸引された前記機能液を加温する機能液加温部を備えたことを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、加温部によって機能液が流動する部分が加温される。そして、加温された部分の温度の上昇によって吸引される機能液の粘度が低下する。従って、機能液の吸引する吸引速度が高まり、容易に吐出ヘッド内の気泡や異物等を除去することができる。
【００１６】
［適用例６］本適用例にかかる液滴吐出装置の制御方法は、機能液を吐出する吐出部と、前記吐出部内の前記機能液を吸引する吸引部と、前記吸引部の内部を洗浄する洗浄液が貯留された洗浄液貯留部と、を備えた液滴吐出装置の制御方法であって、前記吸引部に対して、前記洗浄液貯留部から前記洗浄液を吸引させた後で、前記吐出部から前記機能液を吸引させることを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、吸引部の内部に洗浄液が吸引されると、例えば、吸引部に残留した機能液に含まれる成分の固形物等が除去される。そうすると、その後、吸引される機能液の吸引速度が高まり、容易に吐出ヘッド内の気泡や異物等を除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す斜視図。
【図２】吐出部としての吐出ヘッドの構成を示す断面図。
【図３】洗浄液貯留部の構成を示す模式図。
【図４】吸引部としてのキャッピングユニットの構成を示す模式図。
【図５】制御部の構成を示す電気制御ブロック図。
【図６】液滴吐出装置の制御方法を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材ごとに縮小を異ならせて図示している。
【００２０】
（液滴吐出装置の構成）
まず、液滴吐出装置の構成について説明する。図１は、液滴吐出装置の構成を示す斜視図である。液滴吐出装置１は、機能液を吐出する吐出部としての吐出ヘッド１４と、吐出ヘッド１４内の機能液を吸引する吸引部としてのキャッピングユニット１９と、キャッピングユニット１９の内部を洗浄する洗浄液が貯留された洗浄液貯留部７０と、キャッピングユニット１９に対して、洗浄液貯留部７０から洗浄液を吸引させた後に、吐出ヘッド１４から機能液を吸引させる制御部等を備えている。以下、さらに詳細な構成について説明する。
【００２１】
図１に示すように、液滴吐出装置１には、直方体形状に形成される基台２が備えられている。本実施形態では、この基台２の長手方向をＹ方向とし、同Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。基台２の上面２ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール３ａ，３ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その基台２の上側には、一対の案内レール３ａ，３ｂに対応する図示しない直動機構を備えた走査手段を構成するテーブル及びワーク移動テーブルとしてのステージ４が取り付けられている。そのステージ４の直動機構は、例えば案内レール３ａ，３ｂに沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＹ軸モーター（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号がＹ軸モーターに入力されると、Ｙ軸モーターが正転又は逆転して、ステージ４が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ軸方向に沿って所定の速度で往動又は、復動する（Ｙ方向に走査する）ようになっている。
【００２２】
さらに、基台２の上面２ａには、案内レール３ａ，３ｂと平行に主走査位置検出装置５が配置され、ステージ４の位置が計測できるようになっている。
【００２３】
そのステージ４の上面には、載置面６が形成され、その載置面６には、図示しない吸引式の基材チャック機構が設けられている。そして、載置面６にワーク７を載置すると、基材チャック機構によって、そのワーク７が載置面６の所定位置に位置決め固定されるようになっている。
【００２４】
基台２のＸ方向両側には、一対の支持台８ａ，８ｂが立設され、その一対の支持台８ａ，８ｂには、Ｘ方向に延びる案内部材９が架設されている。案内部材９は、ステージ４の幅よりも長く形成され、その一端が支持台８ａ側に張り出すように配置されている。案内部材９の上側には、機能液を収容する機能液収容タンク１０及び洗浄液を収容する洗浄液収容タンク７１（洗浄液貯留部７０の一部）が配設されている。一方、その案内部材９の下側には、Ｘ方向に延びる案内レール１１がＸ方向全幅にわたり凸設されている。
【００２５】
案内レール１１に沿って移動可能に配置されるキャリッジ１２は、略直方体形状に形成されている。そのキャリッジ１２の直動機構は、例えば案内レール１１に沿ってＸ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＸ軸モーター（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をＸ軸モーターに入力すると、Ｘ軸モーターが正転又は逆転して、キャリッジ１２が同ステップ数に相当する分だけＸ方向に沿って往動又は復動する（Ｘ方向に走査する）。案内部材９とキャリッジ１２との間には、副走査位置検出装置１３が配置され、キャリッジ１２の位置が計測できるようになっている。そして、キャリッジ１２（ステージ４側の面）には、吐出ヘッド１４が凸設されるとともに、洗浄液供給部７２（洗浄液貯留部７０の一部）が併設されている。そして、機能液収容タンク１０は吐出ヘッド１４に接続され、機能液収容タンク１０に収容された機能液が吐出ヘッド１４に供給される。一方、洗浄液収容タンク７１は洗浄液供給部７２に接続され、洗浄液収容タンク７１に収容された洗浄液が洗浄液供給部７２に供給される。
【００２６】
基台２の片側の一方（図中Ｘ方向の逆方向）には、保守用基台１５が配置されている。保守用基台１５の上面１５ａには、Ｙ方向に延びる一対の案内レール１６ａ，１６ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その保守用基台１５の上側には、一対の案内レール１６ａ，１６ｂに対応する図示しない直動機構を備えた移動手段を構成する保守ステージ１７が取り付けられている。その保守ステージ１７の直動機構は、例えばステージ４と同様の直動機構であり、Ｙ方向に沿って往動又は、復動するようになっている。
【００２７】
保守ステージ１７の上には、フラッシングユニット１８、吸引部としてのキャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０が配置されている。
【００２８】
フラッシングユニット１８は、吐出ヘッド１４内の流路を洗浄するとき、吐出ヘッド１４から吐出する液滴を受ける装置である。吐出ヘッド１４内に固形物が混入した場合に、固形物を吐出ヘッド１４から排除するため、吐出ヘッド１４から液滴を吐出して洗浄する。この液滴を受ける機能をフラッシングユニット１８が行う。
【００２９】
キャッピングユニット１９は、主に、吐出ヘッド１４に蓋をするとともに吐出ヘッド１４内の機能液を吸引する装置である。吐出ヘッド１４から吐出する液滴は、揮発性を有する場合があり、吐出ヘッド１４に内在する機能液の溶媒がノズルから揮発すると、機能液の粘度が変わり、ノズルが目詰まりすることがある。キャッピングユニット１９は、吐出ヘッド１４に蓋をすることで、ノズルが目詰まりすることを防止するようになっている。また、吐出ヘッド１４に蓋をした状態で、当該蓋内に負圧をかけ、吐出ヘッド１４内の機能液を吸引することにより、吐出ヘッド１４内の気泡や異物等を取り除くことができる。なお、キャッピングユニット１９の詳細な構成については後述する。
【００３０】
ワイピングユニット２０は、吐出ヘッド１４のノズルが配置されているノズルプレートを拭く装置である。ノズルプレートは、吐出ヘッド１４において、ワーク７と対向する側の面に配置されている部材である。ノズルプレートに液滴が付着しているとき、ノズルプレートに付着している液滴とワーク７とが接触して、ワーク７において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことがある。ワイピングユニット２０は、ノズルプレートを拭くことにより、ワーク７において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことを防止している。
【００３１】
保守用基台１５と基台２との間には、重量測定装置２２が配置されている。重量測定装置２２には、電子天秤が２台設置され、各電子天秤には、受け皿が配置されている。液滴が、吐出ヘッド１４から受け皿に吐出され、電子天秤が液滴の重量を測定するようになっている。受け皿は、スポンジ状の吸収体を備え、吐出される液滴が、跳ねて、受け皿の外に出ないようになっている。電子天秤は、吐出ヘッド１４が液滴を吐出する前後で、受け皿の重量を測定し、吐出前後の受け皿の重量の差分を測定している。
【００３２】
キャリッジ１２が、案内レール１１に沿って、Ｘ方向に移動することにより、吐出ヘッド１４は、ヘッドクリーニング部２１、重量測定装置２２、ワーク７と対向する場所に移動し、液滴を吐出することができるようになっている。ヘッドクリーニング部２１は、フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０を含み、保守ステージ１７が、案内レール１６ａ，１６ｂに沿って移動することにより、吐出ヘッド１４と対向する場所に、フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０のいずれか一つの装置が配置されるようになっている。
【００３３】
次に、吐出ヘッド１４の構成について説明する。図２は、吐出ヘッドの構成を示す断面図である。図２に示すように、吐出ヘッド１４は、ノズルプレート３０を備え、ノズルプレート３０には、ノズル３１が形成されている。ノズルプレート３０の上側であってノズル３１と相対する位置には、ノズル３１と連通するキャビティ３２が形成されている。そして、吐出ヘッド１４のキャビティ３２には、機能液収容タンク１０に貯留されている機能液３３が供給される。
【００３４】
キャビティ３２の上側には、上下方向（Ｚ方向：縦振動）に振動して、キャビティ３２内の容積を拡大縮小する振動板３４と、上下方向に伸縮して振動板３４を振動させる加圧手段としての圧電素子３５が配設されている。圧電素子３５が上下方向に伸縮して振動板３４を振動し、振動板３４がキャビティ３２内の容積を拡大縮小してキャビティ３２を加圧する。それにより、キャビティ３２内の圧力が変動し、キャビティ３２内に供給された機能液３３は、ノズル３１を通って吐出されるようになっている。
【００３５】
そして、吐出ヘッド１４が圧電素子３５を制御駆動するための駆動信号を受けると、圧電素子３５が伸張して、振動板３４がキャビティ３２内の容積を縮小する。その結果、吐出ヘッド１４のノズル３１からは、縮小した容積分の機能液３３が液滴３６として吐出される。なお、本実施形態では、加圧手段として、縦振動型の圧電素子３５を用いたが、特に、これに限定されず、例えば、下電極と圧電体層と上電極とを積層形成した撓み変形型の圧電素子を用いてもよい。また、圧力発生手段として、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用してもよい。さらには、発熱体を用いてノズル内に泡を発生させ、その泡によって機能液を液滴として吐出させる構成を有する吐出ヘッドであってもよい。
【００３６】
次に、洗浄液貯留部７０の構成について説明する。図３は、洗浄液貯留部の構成を示す模式図である。洗浄液貯留部７０は、洗浄液を収容する洗浄液収容タンク７１と、洗浄液を外部に供給する洗浄液供給部７２と、洗浄液収容タンク７１と洗浄液供給部７２とを接続するチューブ７３とを有し、チューブ７３の途中には開閉弁７４が設けられている。そして、開閉弁７４を開弁すると洗浄液収容タンク７１から洗浄液供給部７２側に洗浄液が導入される。一方、開閉弁７４を閉弁すると洗浄液収容タンク７１から洗浄液供給部７２側への洗浄液の導入が停止される。洗浄液供給部７２は、洗浄液を貯留する容器７２ａと、貯留した洗浄液を外部に供給する供給部７２ｂを備え、供給部７２ｂには、複数のノズル孔７２ｃが設けられている。さらに、洗浄液貯留部７０には、洗浄液を加温する洗浄液加温部が設けられている。本実施形態では、チューブ７３に洗浄液加温部としての第２ヒーター部７５が配置されている。そして、第２ヒーター部７５を駆動させることにより、洗浄液収容タンク７１から洗浄液供給部７２に導入される洗浄液が加温される。なお、洗浄液加温部の配置位置は、チューブ７３のみに限定されず、例えば、洗浄液収容タンク７１や洗浄液供給部７２等に配置してもよい。
【００３７】
ここで、洗浄液は、液滴吐出装置１において用いる機能液に応じて適宜設定される。例えば、機能液としてＵＶインクを用いる場合には、洗浄液としてジエチレングリコールモノエチルエーテルアセタート、グリコールエーテル類等を用いることができる。また、機能液として水系のＡｇインクを用いる場合には、洗浄液として純水を用いることができる。
【００３８】
次に、キャッピングユニットの構成について説明する。図４は、キャッピングユニットの構成を示す模式図である。キャッピングユニット１９は、吐出ヘッド１４のノズルプレート３０の面や洗浄液供給部７２の供給部７２ｂの面を覆うキャップ部６０と、吸引した機能液や洗浄液を回収する回収タンク６４と、キャップ部６０と回収タンク６４とを接続するチューブ６３と、チューブ６３の途中に設けられた吸引ポンプ６２等を備えている。そして、例えば、吐出ヘッド１４のノズルプレート３０の面をキャップ部６０で覆い、吸引ポンプ６２を駆動させることにより、キャップ部６０の内部が負圧となり、吐出ヘッド１４内の機能液がキャップ部６０側に吸引される。そして、吸引された機能液はチューブ６３を介して回収タンク６４に回収される。また、キャッピングユニット１９には、吸引される機能液を加温する機能液加温部が設けられている。本実施形態では、チューブ６３に機能液加温部としての第１ヒーター部６９が配置されている。そして、第１ヒーター部６９を駆動させることにより、チューブ６３が加温されるため、吸引される機能液が加温され、機能液の粘度が低下する。なお、機能液加温部の配置位置は、チューブ６３のみに限定されず、例えば、キャップ部６０等に配置してもよい。また、キャップ部６０とチューブ６３の双方に配置してもよい。
【００３９】
次に、制御部の構成について説明する。制御部は、上記説明した各部材を制御するものであり、例えば、キャッピングユニット１９に、洗浄液供給部７２から洗浄液を吸引させた後に、吐出ヘッド１４から機能液を吸引させたり、第１または第２ヒーター部６９，７５を駆動させ、キャッピングユニット１９に、加温された洗浄液を吸引させたり、キャッピングユニット１９の内部において加温された洗浄液を充填させて放置した後、洗浄液を吸引させたりする。以下、詳細な構成について説明する。
【００４０】
図５は、制御部の構成を示すブロック図である。制御部１００は、指令部１３０と駆動部１４０とを備え、指令部１３０は、ＣＰＵ１３２，記憶手段としてのＲＯＭ１３３，ＲＡＭ１３４および入出力インターフェース１３１からなり、ＣＰＵ１３２が入出力インターフェース１３１を介して入力される各種信号を、ＲＯＭ１３３、ＲＡＭ１３４のデータに基づき処理し、入出力インターフェース１３１を介して駆動部１４０へ制御信号を出力する。
【００４１】
駆動部１４０は、ヘッドドライバー１４１、モータードライバー１４２、開閉弁ドライバー１４４、メンテドライバー１４５、第１ヒータードライバー１４６及び第２ヒータードライバー１４７等から構成されている。モータードライバー１４２は、指令部１３０の制御信号により、Ｘ軸モーターやＹ軸モーターを制御し、ワーク７や吐出ヘッド１４の移動を制御する。また、メンテドライバー１４５を制御して、フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０のそれぞれを制御する。ヘッドドライバー１４１は、吐出ヘッド１４を制御し、モータードライバー１４２の制御と同調して、ワーク７上に所定位置に吐出を行う。開閉弁ドライバー１４４は、洗浄液貯留部７０の開閉弁７４を制御する。そして、第１ヒータードライバー１４６は、第１ヒーター部６９を制御し、第２ヒータードライバー１４７は、第２ヒーター部７５を制御する。
【００４２】
（液滴吐出装置の制御方法）
次に、液滴吐出装置の制御方法について説明する。図６は、液滴吐出装置の制御方法を示すフローチャートである。なお、本実施形態にかかる液滴吐出装置の制御方法は、機能液を吐出する吐出部としての吐出ヘッド１４と、吐出ヘッド１４内の機能液を吸引する吸引部としてのキャッピングユニット１９と、キャッピングユニット１９の内部を洗浄する洗浄液が貯留された洗浄液貯留部７０と、を備えた液滴吐出装置の制御方法であって、キャッピングユニット１９に対して、洗浄液貯留部７０から洗浄液を吸引させた後で、吐出ヘッド１４から機能液を吸引させるものである。以下、さらに詳細に説明する。
【００４３】
まず、ステップＳ１では、第１ヒーター部６９を駆動させる。次いで、ステップＳ２では、第２ヒーター部７５を駆動させる。なお、ステップＳ１及びステップＳ２を同時期に実施してもよい。これにより、各チューブ６３，７３の温度が上昇する。
【００４４】
ステップＳ３では、洗浄液を吸引させ、キャッピングユニット１９内を加温された洗浄液で充填させる。具体的には、キャッピングユニット１９のキャップ部６０で洗浄液供給部７２の供給部７２ｂを覆い、吸引ポンプ６２を駆動させる。また、同時期に、開閉弁７４を開弁させる。これにより、洗浄液が洗浄液収容タンク７１からチューブ７３を介して洗浄液供給部７２に導入される。なお、洗浄液の導入過程において、洗浄液はチューブ７３に設けられた第２ヒーター部７５によって加温されるため、加温された洗浄液が洗浄液供給部７２に導入される。そして、洗浄液供給部７２のノズル孔７２ｃからキャップ部６０側に洗浄液が吸引される。そして、例えば、チューブ６３において洗浄液で充填されるタイミングで吸引ポンプ６２の駆動を停止させ、チューブ６３内を加温された洗浄液で充填させる。また、第１ヒーター部６９の駆動により、充填された洗浄液の加温状態が維持される。つまり、本ステップＳ３における洗浄液の吸引及び充填させることにより、チューブ６３内の温度を十分に加温させることができる。
【００４５】
ステップＳ４では、機能液を吸引させる。具体的には、キャッピングユニット１９のキャップ部６０で吐出ヘッド１４のノズルプレート３０を覆い、吸引ポンプ６２を駆動させる。これにより、吐出ヘッド１４内の機能液が吸引され、吸引された機能液は、チューブ６３を介して回収タンク６４に回収される。
【００４６】
ステップＳ５では、洗浄液を吸引させる。具体的には、キャッピングユニット１９のキャップ部６０で洗浄液供給部７２の供給部７２ｂを覆い、吸引ポンプ６２を駆動させる。これにより、吸引された洗浄液は、チューブ６３を介して回収タンク６４に回収される。すなわち、本ステップＳ５における洗浄液の吸引及は、本来の洗浄機能であり、機能液に含まれる成分の固形化した残留物を除去し、キャッピングユニット１９の機能液等の吸引性能を維持・確保するために行われる。
【００４７】
ステップＳ６では、第１ヒーター部６９の駆動を停止させる。次いで、ステップＳ７では、第２ヒーター部７５の駆動を停止させる。なお、ステップＳ６及びステップＳ７を同時期に実施してもよい。このように、機能液を吸引する際に第１及び第２ヒーター部６９，７５を駆動させ、機能液の吸引が終了次第、第１及び第２ヒーター部６９，７５の駆動を停止させることにより、電力を削減することができる。
【００４８】
従って、上記の実施形態によれば、以下に示す効果がある。
【００４９】
（１）第２ヒーター部７５を駆動させ、加温させた洗浄液を吸引させて、キャッピングユニット１９のチューブ６３を洗浄液で充填させた。これにより、チューブ６３内の温度が上昇する。その後、機能液を吸引した。すると、チューブ６３内の温度が加温された状態であるため、吸引された機能液の温度が上昇して、機能液の粘度が低下する。従って、機能液の吸引する吸引速度が高まり、容易に吐出ヘッド内の気泡や異物等を除去することができる。
【００５０】
（２）さらに、第１ヒーター部６９を駆動させるとともに、機能液を吸引させた。これにより、さらに、チューブ６３内の温度が上昇するため、機能液を粘度を低下させることができる。
【００５１】
（３）機能液を吸引させた後、再度洗浄液を吸引させた。これにより、機能液の成分の一部が固形化した残留物等が除去され、吸引性能を安定的に維持することができる。
【００５２】
なお、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような変形例が挙げられる。
【００５３】
（変形例１）上記の実施形態では、洗浄液と機能液とを別々に吸引したが、これに限定されない。例えば、洗浄液供給部７２から洗浄液とともに、吐出ヘッド１４から機能液を吸引させてもよい。この場合、吐出ヘッド１４と洗浄液供給部７２を覆う大きさのキャップ部６０を構成すればよい。或いは、吐出ヘッド１４と洗浄液供給部７２のそれぞれにキャップ部６０を用意するとともに、チューブ６３を各キャップ部６０に分岐させればよい。このようにすれば、機能液は、希釈液によって希釈され、粘度が低下する。従って、機能液の吸引する吸引速度が高まり、容易に吐出ヘッド内の気泡や異物等を除去することができる。
【００５４】
（変形例２）上記の実施形態では、洗浄液をチューブ６３内部で充填させて放置させた後、機能液を吸引させたが、これに限定されない。洗浄液を吸引させた後に、機能液を吸引させてもよい。このようにしても、チューブ６３内は加温されるため、機能液の粘度を低下させることができる。
【００５５】
（変形例３）上記の実施形態の液滴吐出装置１では、機能液としてのカラーフィルター用の機能液、有機ＥＬ用の機能液、ＵＶ硬化性の機能液、基板配線用の機能液等に適用することができる。なお、この場合において、各機能液を洗浄する洗浄液を適宜用いればよい。このようにしても、上記同様の効果を得ることができる。
【符号の説明】
【００５６】
１…液滴吐出装置、１４…吐出部としての吐出ヘッド、１９…吸引部としてのキャッピングユニット、６０…キャップ部、６２…吸引ポンプ、６３…チューブ、６４…回収タンク、６９…機能液加温部としての第１ヒーター部、７０…洗浄液貯留部、７１…洗浄液収容タンク、７２ａ…容器、７２ｂ…供給部、７２ｃ…ノズル孔、７３…チューブ、７４…開閉弁、７５…洗浄液加温部としての第２ヒーター部、１００…制御部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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