(57)【要約】【課題】不具合が発生することなく、半導体チップの周囲及び背面側を樹脂基板で封止できる半導体装置の製造方法を提供する。【解決手段】支持体１０に、接続電極２０ａを支持体１０側に向けて半導体チップ２０を仮固定する工程と、支持体１０及び半導体チップ２０の上に、半導体チップ２０を被覆する樹脂染込防止用絶縁層３０を形成する工程と、樹脂染込防止用絶縁層３０の上に、半導体チップ２０の周囲及び背面側を封止する樹脂基板５０を形成する工程と、支持体１０を除去することにより、半導体チップ２０の接続電極２０ａを露出させる工程とを含む。半導体チップ２０の接続電極２０ａにビルドアップ配線ＢＷが直接接続される。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体に、半導体チップの接続電極を前記支持体側に向けて前記半導体チップを仮固定する工程と、
前記支持体及び前記半導体チップの上に、前記半導体チップを被覆する樹脂染込防止用絶縁層を形成する工程と、
前記樹脂染込防止用絶縁層の上に、前記半導体チップの周囲及び背面側を封止する樹脂基板を形成する工程と、
前記支持体を除去することにより、前記半導体チップの接続電極を露出させる工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記支持体を除去する工程の後に、
前記半導体チップの表面及び前記樹脂染込防止用絶縁層の上に、前記半導体チップの前記接続電極に直接接続される配線層を形成する工程をさらに有することを特徴とする請求項１に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記支持体に前記半導体チップを仮固定する工程において、
前記支持体の上に粘着シートを介して前記半導体チップを仮固定し、
前記支持体を除去した後に、前記粘着シートを引き剥がすことを特徴とする請求項１又は２に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記支持体に前記半導体チップを仮固定する工程において、
前記支持体の上に複数の前記半導体チップを配置し、
前記配線層を形成する工程の後に、
前記複数の半導体チップの境界部を切断することにより、個々の半導体装置を得る工程をさらに有することを特徴とする請求項２に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記樹脂染込防止用絶縁層を形成する工程は、
半硬化状態の熱硬化性の樹脂シートを前記支持体及び前記半導体チップの上に真空雰囲気で貼付し、加熱処理することにより、前記樹脂シートを硬化させる工程であること特徴とする請求項１又は２に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項６】
前記樹脂基板を形成する工程は、
前記樹脂染込防止用絶縁層の上に熱硬化性の粉末樹脂又は液状樹脂を形成し、加圧／加熱処理によって硬化させる工程であることを特徴とする請求項１又は２に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項７】
前記支持体は金属板からなり、
前記支持体を除去する工程において、前記金属板をウェットエッチングによって除去することを特徴とする請求項１又は２に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項８】
表面側に接続電極を備えた半導体チップと、
前記半導体チップの背面及び側面を被覆し、かつ前記半導体チップの前記側面の上部から周囲に延在する樹脂染込防止用絶縁層と、
前記樹脂染込防止用絶縁層の下に形成され、前記前記半導体チップの周囲及び背面側を封止する樹脂基板とを有することを特徴とする半導体装置。
【請求項９】
前記半導体チップ及び前記樹脂染込防止用絶縁層の上に形成され、前記半導体チップの接続電極に接続された配線層をさらに有することを特徴とする請求項８に記載の半導体装置。
【請求項１０】
前記樹脂染込防止用絶縁層は、熱硬化性の樹脂シートから形成され、
前記樹脂基板は、熱硬化性の粉末樹脂又は液状樹脂から形成されることを特徴とする請求項８に記載の半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体装置及びその製造方法に係り、さらに詳しくは、半導体チップが樹脂基板で封止されて、半導体チップの接続電極に配線層が接続された実装構造に適用できる半導体装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体チップが樹脂基板で封止されて、半導体チップの接続電極に配線層が接続された構造の半導体装置がある。そのような半導体装置では、半導体チップの接続電極に配線層を直接接続できるので、半導体チップをフリップチップ実装するためのはんだバンプを省略することができ、薄型化を図ることが可能である。これにより、半導体装置内の配線経路を短くできることから、インダクタンスを低減できるので、電源特性の向上に有効な構造とすることができる。
【０００３】
そのような半導体装置に類似する技術は、特許文献１及び特許文献２に開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】ＷＯ  ０２／１５２６６  Ａ２
【特許文献２】ＷＯ  ０２／３３７５１  Ａ２
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
後述する関連技術で説明するように、関連技術の半導体装置では、支持体の上に粘着シートを介して半導体チップがその接続電極を下側に向けて仮固定された後に、半導体チップの周囲及び背面側が樹脂で封止される。さらに、支持体及び粘着シートが除去された後に、半導体チップの接続電極に接続されるビルドアップ配線が形成される。
【０００６】
関連技術では、半導体チップを樹脂で封止する際に、半導体チップと粘着シートとの界面から半導体チップの接続電極上に樹脂が染み込んで接続電極が汚染される問題がある。半導体チップの接続電極上に樹脂が染み込むと、ビルドアップ配線を形成する際に染み込んだ樹脂がビアホール内の残渣となりやすいため、半導体チップとビルドアップ配線との接続不良が発生しやすい。
【０００７】
本発明は以上の課題を鑑みて創作されたものであり、不具合が発生することなく、半導体チップの周囲及び背面側を樹脂基板で封止できる半導体装置の製造方法及び半導体装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明は、半導体装置の製造方法に係り、支持体に、半導体チップの接続電極を前記支持体側に向けて前記半導体チップを仮固定する工程と、前記支持体及び前記半導体チップの上に、前記半導体チップを被覆する樹脂染込防止用絶縁層を形成する工程と、前記樹脂染込防止用絶縁層の上に、前記半導体チップの周囲及び背面側を封止する樹脂基板を形成する工程と、前記支持体を除去することにより、前記半導体チップの接続電極を露出させる工程とを有することを特徴とする。
【０００９】
本発明では、支持体に接続電極を下側に向けて半導体チップを仮固定した後に、半導体チップを樹脂染込防止用絶縁層で被覆する。好適には、支持体上に粘着シートを介して半導体チップが仮固定される。これにより、半導体チップの接続電極が設けられた素子面と支持体との界面が樹脂染込防止用絶縁層によって封鎖されて保護される。
【００１０】
次いで、樹脂染込防止用絶縁層上で樹脂を溶融／硬化させることにより、半導体チップの周囲及び背面側を樹脂基板で封止する。
【００１１】
このとき、半導体チップの素子面と支持体（又は粘着シート）との界面は樹脂染込防止用絶縁層で保護されているので、その界面から半導体チップの素子面に液状樹脂が染み込むおそれがない。また、半導体チップは樹脂染込防止用絶縁層によって支持体に強固に固定されるので、液状樹脂の流れに基づく横方向への押圧力によって半導体チップが位置ずれするおそれもなくなる。
【００１２】
その後に、支持体を除去することにより半導体チップの接続電極を露出させる。
【００１３】
本発明では、半導体チップの接続電極が染込樹脂で汚染されるおそれがないので、半導体チップの接続電極に接続されるビルドアップ配線を形成する際に、ビアホール内に汚染樹脂が残ることなく歩留りよくビルドアップ配線を形成することができる。
【００１４】
また、支持体上で半導体チップが位置ずれするおそれもないので、特に多数の半導体チップを支持体の上に配置し、樹脂基板を一括して形成する場合に、各半導体チップに接続されるビルドアップ配線を歩留りよく形成することができる。
【００１５】
また、上記課題を解決するため、本発明は半導体装置に係り、表面側に接続電極を備えた半導体チップと、前記半導体チップの背面及び側面を被覆し、かつ前記半導体チップの前記側面の上部から周囲に延在する樹脂染込防止用絶縁層と、樹脂染込防止用絶縁層の下に形成され、前記前記半導体チップの背面側及び周囲を封止する樹脂基板とを有することを特徴とする。
【００１６】
本発明の半導体装置は上記した製造方法によって製造される。上記したように、半導体チップの背面及び側面から周囲にかけて樹脂染込防止用絶縁層が形成されているので、半導体チップの接続電極が染込樹脂で汚染されることなく半導体チップの周囲及び背面側が樹脂基板で封止される。これにより、半導体チップの接続電極に接続されるビルドアップ配線が歩留りよく形成される。
【発明の効果】
【００１７】
以上説明したように、本発明では、不具合が発生することなく、半導体チップの周囲及び背面側を樹脂基板で封止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は本発明に関連する関連技術の半導体装置の製造方法を示す平面図及び断面図（その１）である。
【図２】図２（ａ)〜（ｃ）は本発明に関連する関連技術の半導体装置の製造方法を示す平面図及び断面図（その２）である。
【図３】図３は本発明の実施形態の半導体装置の製造方法を示す平面図及び断面図（その１）である。
【図４】図４（ａ）〜（ｃ）は本発明の実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図（その２）である。
【図５】図５（ａ）〜（ｃ）は本発明の実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図（その３）である。
【図６】図６（ａ）〜（ｃ）は本発明の実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図（その４）である。
【図７】図７（ａ）及び（ｂ）は本発明の実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図（その５）である。
【図８】図８（ａ）及び（ｂ）は本発明の実施形態の半導体装置の製造方法において突出する接続電極を備えた半導体チップを使用する形態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について、添付の図面を参照して説明する。
【００２０】
（関連技術）
本発明の実施形態を説明する前に、本発明に関連する関連技術の問題点について説明する。図１及び図２は関連技術の半導体装置の製造方法を示す図である。
【００２１】
関連技術の半導体装置の製造方法では、図１に示すように、まず、支持体１００の上に粘着シート１２０を介して複数の半導体チップ２００を位置合わせした状態で横方向に並べて配置する。半導体チップ２００はその接続電極２００ａが下側を向いた状態で支持体１００上の粘着シート１２０に仮固定される。
【００２２】
図１の部分拡大断面図には、図1の平面図の２つの半導体チップ２００の様子が示されている。
【００２３】
続いて、図２（ａ）に示すように、半導体チップ２００が仮固定された支持体１００を下型４００の上に配置する。続いて、支持体１００及び半導体チップ２００の上に粉末樹脂を配置する。さらに、上型４２０によって粉末樹脂を下側に加圧した状態で加熱することにより溶融／硬化させる。これにより、半導体チップ２００の周囲及び背面側が樹脂基板５００で封止される。
【００２４】
次いで、図２（ｂ）に示すように、支持体１００及び樹脂基板５００から下型４００及び上型４２０を取り外す。
【００２５】
図２（ａ）及び（ｂ）の工程では、半導体チップ２００は粘着シート１２０に仮固定されているだけであり、半導体チップ２００の接続電極２００ａが設けられた素子面Ａと粘着シート１２０とは強固には接着されていない。このため、粉末樹脂を加圧／加熱して溶融／硬化させる際に、半導体チップ２００の素子面Ａと粘着シート１２０との界面から半導体チップ２００の素子面Ａに液状樹脂が染み込みやすい。
【００２６】
従って、半導体チップ２００の周縁側の接続電極２００ａが染込樹脂Ｒ（図２（ｂ）の太線部）で被覆されて汚染されてしまう（図２（ｂ）の半導体チップ２００の平面図ではハッチング部）。半導体チップ２００の接続電極２００ａが上側（図２（ａ）及び（ｂ）では下側）に突出している場合は、半導体チップ２００の素子面Ａと粘着シート１２０との界面に隙間が生じやすいので、染込樹脂Ｒの染み込み量がさらに顕著になる。
【００２７】
また、半導体チップ２００と粘着シート１２０との密着が十分ではないため、粉末樹脂を加圧／加熱して溶融／硬化させる際に、液状樹脂の流れに基づく横方向への押圧力によって、半導体チップ２００が横方向に位置ずれして配置されることがある。
【００２８】
続いて、図２（ｃ）に示すように、樹脂基板５００及び半導体チップ２００から支持体１００及び粘着シート１２０を除去することにより、半導体チップ２００の接続電極２００ａを露出させる。
【００２９】
その後に、半導体チップ２００及び樹脂基板５００の上に樹脂からなる層間絶縁層６００を形成した後に、層間絶縁層６００をレーザで加工することより、半導体チップ２００の接続電極２００ａに到達するビアホールＶＨを形成する。さらに、ビアホールＶＨを介して半導体チップ２００の接続電極２００ａに接続されるビルドアップ配線７００が形成される。
【００３０】
このとき、染込樹脂Ｒは層間絶縁層６００に比べてレーザで加工しにくい特性を有するため、ビアホールＶＨの底部に染込樹脂Ｒが残渣として残りやすい。半導体チップ２００の接続電極２００ａ上に染込樹脂Ｒが残っていると、半導体チップ２００とビルドアップ配線７００との接続不良が発生しやすく、ビルドアップ配線７００の歩留り低下の要因になる。
【００３１】
また、樹脂基板５００を形成する際に支持体１００上で複数の半導体チップ２００が位置ずれを起こすと、ビアホールＶＨが半導体チップ２００の接続電極２００ａから外れてしまうことがあり、ビルドアップ配線７００を信頼性よく形成できない場合がある。
【００３２】
以下に説明する本発明の実施形態は、前述した不具合を解消することができる。
【００３３】
（実施の形態）
図３〜図８は本発明の実施形態の半導体装置の製造方法を示す図である。本発明の半導体装置は半導体パッケージとも呼称される。
【００３４】
本実施形態の半導体装置の製造方法では、図３に示すように、まず、平板状の支持体１０の上に粘着シート１２を貼付する。さらに、表面側に接続電極２０ａが露出して設けられた半導体チップ２０（ＬＳＩチップ）を用意する。
【００３５】
半導体チップ２０は、各チップ領域にトランジスタなどの回路素子とそれらを接続する多層配線が設けられたシリコンウェハ（不図示）が切断されたものであり、半導体チップ２０の接続電極２０ａは多層配線に接続されている。半導体チップ２０としては、例えばＣＰＵなどのロジックＬＳＩが使用され、その厚みは３００〜７００μｍである。
【００３６】
そして、支持体１０の上に粘着シート１２を介して複数の半導体チップ２０を横方向に並べて配置する。このとき、半導体チップ２０の接続電極２０ａが設けられた素子面Ａが支持体１０側（下側）を向いた状態で、半導体チップ２０の素子面Ａが支持体１０上の粘着シート１２に接着されて仮固定される。半導体チップ２０の素子面Ａでは、接続電極２０ａ以外の領域には保護絶縁層（パッシベーション膜など）が設けられている。
【００３７】
また、複数の半導体チップ２０は、支持体１０上の各チップ搭載領域にそれぞれ位置合わせされて配置される。図３の部分拡大断面図には、図３の平面図の２つの半導体チップ２０の様子が示されている。
【００３８】
なお、支持体１０に半導体チップ２０を仮固定（粘着）させればよく、粘着シート１２の代わりに、粘着剤をスピンコート法などによって支持体１０上の全体に薄く塗布してもよい。あるいは、半導体チップ２０の素子面Ａに粘着剤を塗布してもよい。
【００３９】
後述するように、支持体１０は半導体チップ２０が樹脂基板で封止された後に除去される。このため、支持体１０として、ウェットエッチングによって容易に除去できる銅板などの金属板が好適に使用される。支持体１０としては、ある程度の剛性を有し、後に除去（剥離）できるものであればよく、金属板以外のものを代用することも可能である。
【００４０】
次いで、図４（ａ）に示すように、半硬化状態（Ｂステージ）の厚みが２５〜５０μｍの樹脂シート３０ａを用意する。樹脂シート３０ａはエポキシ樹脂などの熱硬化樹脂からなる。樹脂シート３０ａには、シリカなどのフィラーが含まれていてもよく、その含有率は例えば３０〜５０％である。
【００４１】
そして、図４（ｂ）に示すように、樹脂シート３０ａを真空雰囲気で支持体１０及び半導体チップ２０の上に貼付する（真空ラミネート）。さらに、１７０℃程度の温度雰囲気で半硬化の樹脂シート３０ａを加熱処理することにより硬化させる。
【００４２】
これにより、四角状の半導体チップ２０の背面（素子面Ａと反対面）と四辺の側面及び粘着シート１２の上に樹脂染込防止用絶縁層３０が形成される。つまり、樹脂染込防止用絶縁層３０は、樹脂シート１２の上面、半導体チップ２０の側面及び背面に沿って膜状に形成される。これにより、半導体チップ２０の素子面と粘着シート１２との界面が樹脂染込防止用絶縁層３０で封鎖されて保護される。
【００４３】
このように、樹脂染込防止用絶縁層３０は、半硬化状態の樹脂シート３０ａが真空雰囲気で加熱によって硬化して形成される。このため、半導体チップ２０は樹脂染込防止用絶縁層３０の接着作用によって粘着シート１２に強固に固定される。また、樹脂染込防止用絶縁層３０は、半導体チップ２０及び粘着シート１２との界面に気泡が発生することなく、半導体チップ２０及び粘着シート１２に密着して形成される。
【００４４】
続いて、図４（ｃ）に示すように、図４（ｂ）の構造体を下型４０の上に配置し、樹脂染込防止用絶縁層３０の上に樹脂基板を得るための粉末樹脂５０ａを配置する。粉末樹脂５０ａとしては、エポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂が使用される。粉末樹脂５０ａには、シリカなどのフィラーが含まれていてもよく、その含有率は例えば８０〜９０％である。
【００４５】
次いで、図５（ａ）に示すように、粉末樹脂５０ａを上型４２によって下側に加圧しながら１５０〜１７０℃の温度雰囲気で加熱する。これにより、粉末樹脂５０ａが溶融／硬化すると同時に、上型４２によって樹脂が成形されて、半導体チップ２０の周囲から背面側に樹脂基板５０が形成される。
【００４６】
樹脂基板５０は、半導体チップ２０の背面上の樹脂染込防止用絶縁層３０の上面において１００〜３００μｍの厚みをもって形成される。樹脂基板５０は複数の半導体チップ２０を支持する支持基板として機能する。
【００４７】
このとき、半導体チップ２０は樹脂染込防止用絶縁層３０で被覆されており、半導体チップ２０の素子面Ａと粘着シート１２との界面は樹脂染込防止用絶縁層３０で保護されている。
【００４８】
従って、粉末樹脂５０ａが溶融／硬化する際に半導体チップ２０の素子面Ａと粘着シート１２との界面から液状樹脂が染み込んで半導体チップ２０の接続電極２０ａが染込樹脂で汚染されることが防止される。
【００４９】
また、半導体チップ２０は樹脂染込防止用絶縁層３０の接着作用によって、粘着シート１２に強固に固定される。これにより、樹脂基板５０を形成する際に、半導体チップ２０が液状樹脂の流れに基づく横方向への押圧力を受けるとしても、半導体チップ２０はその押圧力に耐えることができ、半導体チップ２０の横方向への位置ずれが防止される。
【００５０】
なお、粉末樹脂５０ａの代わりに、エポキシ樹脂などの熱硬化性の液状樹脂を塗布し、加圧／加熱処理を行って樹脂基板５０を形成してもよい。あるいは、エポキシ樹脂などの熱硬化性の半硬化状態の樹脂シートを真空雰囲気で貼付し、加圧／加熱処理を行うことにより、樹脂基板５０を得ることも可能である。
【００５１】
さらには、トランスファモールド工法によってエポキシ樹脂などを注入して樹脂基板５０を形成してもよい。
【００５２】
樹脂染込防止用絶縁層３０及び樹脂基板５０がフィラーを含有している場合は、それらの熱膨張係数を半導体チップ２０（シリコン）に近似させることができるので、熱応力の発生が抑制されて反りの発生が防止される。
【００５３】
その後に、図５（ｂ）に示すように、支持体１０及び樹脂基板５０から下型４０及び上型４２を取り外す。
【００５４】
なお、図８（ａ）には、接続電極２０ａが素子面Ａから突出している半導体チップ２０を同様な方法で樹脂封止する形態が示されている。図８（ａ）に示すように、半導体チップ２０の接続電極２０ａがその素子面Ａ（保護絶縁層）から突出している場合は、上記した図５（ａ）及び（ｂ）の工程において半導体チップ２０の素子面Ａと粘着シート１２との間に隙間ｃが生じやすくなる。
【００５５】
本実施形態では、半導体チップ２０の素子面Ａと粘着シート１２との界面を樹脂染込防止用絶縁層３０で封鎖するため、それらの界面に隙間ｃが生じている場合であっても樹脂の染み込みを確実に防止することができる。
【００５６】
次いで、図５（ｃ）に戻って説明すると、支持体１０を粘着シート１２から除去する。支持体１０として銅板などの金属板が使用される場合は、金属板がウェットエッチングによって除去されて粘着シート１２が露出する。
【００５７】
さらに、図６（ａ）に示すように、図５（ｃ）の構造体から粘着シート１２を引き剥がすことにより、半導体チップ２０の接続電極２０ａ及び樹脂染込防止用絶縁層３０を露出させる。前述したように、樹脂基板５０を形成する際に、樹脂染込防止用絶縁層３０の保護によって半導体チップ２０の素子面Ａに液状樹脂が染み込まないので、半導体チップ２０の接続電極２０ａはクリーンな状態で露出する。
【００５８】
なお、支持体１０の上に粘着剤で半導体チップ２０を仮固定する場合は、支持体１０を除去した後に、粘着剤を剥離剤によって除去する。
【００５９】
あるいは、粘着シート１２として熱剥離性粘着剤を使用してもよく、この場合は、加熱を施すことにより、図５（ｂ）の構造体から粘着シート１２及び支持板１０を同時に分離して図６（ａ）の構造を得ることができる。
【００６０】
ここで、本実施形態と違って樹脂染込防止用絶縁層３０を形成しない場合は、前述した図５（ａ）の工程において粉末樹脂５０ａから樹脂基板５０を形成する際に、粘着シート１２との界面の樹脂基板５０に気泡が発生しやすい。
【００６１】
このため、支持体１０及び粘着シート１２を除去して樹脂基板５０を露出させると、樹脂基板５０の気泡が表面段差となってしまう。その結果、樹脂基板５０の表面段差の影響によって、次に説明するビルドアップ配線を形成する際に歩留り低下の要因になる。
【００６２】
しかしながら、本実施形態では、前述したように樹脂染込防止用絶縁層３０は気泡が発生することなく粘着シート１２に密着して形成されるので、支持体１０及び粘着シート１２を除去すると、樹脂染込防止用絶縁層３０の露出面は平坦な状態となっている。
【００６３】
これにより、次に説明するビルドアップ配線を信頼性よく形成することができる。
【００６４】
次に、図６（ｂ）に示すように、図６の構造体を上下反転させて、半導体チップ２０の素子面Ａ（表面）及び樹脂染込防止用絶縁層３０の上にエポキシやポリイミドなどの樹脂フィルムを貼付するなどして第１層間絶縁層６０を形成する。さらに、レーザによって第１層間絶縁層６０を加工することにより、半導体チップ２０の接続電極２０ａに到達する深さの第１ビアホールＶＨ１を形成する。
【００６５】
このとき、半導体チップ２０の接続電極２０ａ上にはレーザ加工しにくい染込樹脂が存在しないので、第１ビアホールＶＨ１内に半導体チップ２０の接続電極２０ａを信頼性よく露出させることができる。
【００６６】
また、半導体チップ２０は位置ずれすることなく、樹脂基板５０の所望位置に配置されているので、複数の半導体チップ２０において各接続電極２０ａ上に第１ビアホールＶＨ１が信頼性よく配置される。
【００６７】
なお、感光性のエポキシやポリイミドなどの樹脂により第１層間絶縁層６０を形成し、露光・現像によって第１ビアホールＶＨ１を形成してもよい。
【００６８】
続いて、図６（ｃ）に示すように、第１ビアホール（ビア導体）を介して半導体チップ２０の接続電極２０ａに接続される第１配線層７０を第１層間絶縁層６０の上に形成する。第１ビアホールＶＨ１内には半導体チップ２０の接続電極２０ａが露出しているので、第１配線層７０が半導体チップ２０の接続電極２０ａに信頼性よく電気接続される。
【００６９】
第１配線層７０は各種の配線形成方法によって形成することができる。以下に一例としてセミアディティブ法で形成する方法について説明する。まず、第１ビアホールＶＨ１内及び第１層間絶縁層６０の上にスパッタ法や無電解めっきによって銅などからなるシード層（不図示）を形成する。さらに、第１配線層７０が配置される部分に開口部が設けられためっきレジスト（不図示）を形成する。
【００７０】
続いて、シード層をめっき給電経路に利用する電解めっきにより、第１ビアホールＶＨ１内及びめっきレジストの開口部に銅などからなる金属めっき層（不図示）を形成する。さらに、めっきレジストを除去した後に、金属めっき層をマスクにしてシード層をエッチングすることにより第１配線層７０が得られる。
【００７１】
本実施形態では、半導体チップ２０がフリップチップ実装によって配線基板に接続されるのではなく、半導体チップ２０の接続電極２０ａに第１配線層７０が直接接続される。従って、フリップチップ実装するための高さの高い（例えば５０〜１００μｍ）はんだバンプなどのバンプ電極を使用する必要がないので、半導体装置の薄型化を図ることができる。
【００７２】
次いで、図７（ａ）に示すように、同様な方法により、第１配線層７０を被覆する第２層間絶縁層６２を形成した後に、第１配線層７０に到達する第２ビアホールＶＨ２を第２層間絶縁層６２に形成する。さらに、同様な方法により、第２ビアホールＶＨ２（ビア導体）を介して第１配線層７０に接続される第２配線層７２を第２層間絶縁層６２の上に形成する。
【００７３】
その後に、第２配線層７２の接続部ＣＰ上に開口部６４ａが設けられたソルダレジスト６４を形成する。さらに、必要に応じて、第２配線層７２の接続部ＣＰ上に下から順にニッケル／金めっき層を形成するなどしてコンタクト層（不図示）を形成する。
【００７４】
さらに、第２配線層７２の接続部ＣＰにはんだボールやリードピンなどの外部接続端子を設けてもよい。また、第２配線層７２の接続部ＣＰ自体を外部接続端子としてもよい。
【００７５】
これにより、半導体チップ２０及び樹脂基板５０（樹脂染込防止用絶縁層３０）の上に半導体チップ２０の接続電極２０ａに接続される２層のビルドアップ配線ＢＷが形成される。２層のビルドアップ配線ＢＷを例示するが、ｎ層（ｎは１以上の整数）の配線層を任意に形成することができる。半導体チップ２０の接続電極２０ａのピッチが第１、第２配線層７０，７２によって所望の広いピッチに変換される。
【００７６】
さらに、各半導体チップ２０の境界部（中間部）のビルドアップ配線ＢＷから樹脂基板５０まで切断することにより、図７（ｂ）に示すように個々の半導体装置１が得られる。
【００７７】
なお、半導体装置１の放熱性を向上させる場合は、図７（ａ）の工程の後に、樹脂基板５０の下面側から樹脂基板５０及び樹脂染込防止絶縁層３０を研磨することにより、半導体チップ２０の背面を露出させてもよい。その後に、同様に、各半導体チップ２０の境界部が切断されて個々の半導体装置が得られる。
【００７８】
以上説明したように、本実施形態の半導体装置の製造方法では、支持体１０の上に粘着シート１２を介して複数の半導体チップ２０を仮固定した後に、半導体チップ２０を樹脂染込防止用絶縁層３０で被覆することにより半導体チップ２０の素子面Ａと粘着シート１２との界面を封鎖して保護する。
【００７９】
次いで、粉末樹脂５０ａを加圧／加熱処理して溶融／硬化させることにより、半導体チップ２０の周囲及び背面側を樹脂基板５０で封止する。
【００８０】
このとき、半導体チップ２０の素子面Ａと粘着シート１２との界面は樹脂染込防止用絶縁層３０で保護されているので、その界面から液状樹脂が染み込むおそれがない。また、半導体チップ２０は、樹脂染込防止用絶縁層３０によって粘着シート１２に強固に固定されるので、液状樹脂の流れによって位置ずれするおそれもなくなる。
【００８１】
その後に、支持体１０及び粘着シート１２を除去することにより半導体チップ２０の接続電極２０ａを露出させる。
【００８２】
このように、支持体１０上の半導体チップ２０は染込樹脂による接続電極２０ａの汚染や位置ずれが回避されるので、半導体チップ２０の接続電極２０ａに接続されるビルドアップ配線ＢＷを歩留りよく形成することができる。
【００８３】
図７（ｂ）に示すように、本実施形態の半導体装置１では、表面側の素子面Ａに接続電極２０ａを備えた半導体チップ２０の背面及び側面が樹脂染込防止用絶縁層３０で被覆されており、樹脂染込防止用絶縁層３０は半導体チップ２０の側面上部から周囲に延在して形成されている。さらに、樹脂染込防止用絶縁層３０の下には、半導体チップ２０の周囲及び背面側を封止する樹脂基板５０が形成されている。
【００８４】
このようにして、半導体チップ２０の周囲及び背面側が樹脂染込防止用絶縁層３０及び樹脂基板５０によって封止されている。樹脂基板５０は半導体チップ２０を支持する支持基板として機能する。
【００８５】
図７（ｂ）では、半導体チップ２０の素子面Ａと樹脂染込防止用絶縁層３０の上面とは、同じ高さに配置されて同一面を構成している。樹脂染込防止用絶縁層３０は、前述した製造方法で説明したように、樹脂基板５０を形成する際に液状樹脂が半導体チップ２０の素子面Ａに染み込むこと防止する保護層として機能する。このため、本実施形態の半導体装置１では、半導体チップ２０の素子面Ａには染込樹脂が存在せずクリーンな状態となっている。
【００８６】
半導体チップ２０及び樹脂染込防止用絶縁層３０の上には、半導体チップ２０の接続電極２０ａ上に第１ビアホールＶＨ１が設けられた第１層間絶縁層６０が形成されている。第１層間絶縁層６０の上には、第１ビアホールＶＨ１（ビア導体）を介して半導体チップ２０の接続電極２０ａに接続される第１配線層７０が形成されている。
【００８７】
第１配線層７０及び第１層間絶縁層６０の上には、第１配線層７０の接続部上に第２ビアホールＶＨ２が設けられた第２層間絶縁層６２が形成されている。
【００８８】
第２層間絶縁層６２の上には、第２ビアホールＶＨ２（ビア導体）を介して第１配線層７０に接続される第２配線層７２が形成されている。さらに、第２配線層７２の接続部上に開口部６４ａが設けられたソルダレジスト６４が形成されている。第２配線層７２の接続部に、下から順にニッケル／金めっき層を形成するなどしてコンタクト層が設けられていてもよい。
【００８９】
このようにして、半導体チップ２０及び樹脂染込防止用絶縁層３０の上に、半導体チップ２０の接続電極２０ａに接続される２層のビルドアップ配線ＢＷが形成されている。２層のビルドアップ配線ＢＷを例示するが、ｎ層（ｎは１以上の整数）の配線層を任意に形成することができる。
【００９０】
本実施形態の半導体装置１では、前述したように、支持体１０上に配置された半導体チップ２０が樹脂基板５０で封止される際に、半導体チップ２０が樹脂染込防止用絶縁層３０で被覆されて保護されるので、液状樹脂が半導体チップ２０の素子面Ａに染み込むことが防止される。
【００９１】
これにより、半導体チップ２０の接続電極２０ａをクリーンな状態に維持できるので、半導体チップ２０の接続電極２０ａに接続されるビルドアップ配線ＢＷが歩留りよく形成される。
【００９２】
また、樹脂染込防止用絶縁層３０の接着作用によって、支持体１０上での半導体チップ２０の位置ずれが防止されるので、ビルドアップ配線ＢＷが歩留りよく形成される。
【００９３】
図８（ｂ）には、前述した製造方法において接続電極２０ａが素子面Ａから突出している半導体チップ２０を使用する場合の半導体装置１ａが示されている。この形態の半導体装置１ａでは、前述した製造方法において半導体チップ２０の素子面Ａと粘着シート１２との間に隙間ｃ（図８（ａ））が生じる。
【００９４】
従って、樹脂染込防止用絶縁層３０の上面が半導体チップ２０の素子面Ａ（保護絶縁層）より上側に配置され、半導体チップ２０の接続電極２０ａの上面と同一高さに配置される。そして、半導体チップ２０の接続電極２０ａの段差が第１層間絶縁層６０で埋め込まれる。その他の要素は図７（ｃ）の半導体装置１と同一である。図８（ｂ）の半導体装置１ａは図７（ｂ）の半導体装置１と同様な効果を奏する。
【符号の説明】
【００９５】
１，１ａ…半導体装置、１０…支持体、１２…粘着シート、２０…半導体チップ、２０ａ…接続電極、３０…樹脂染込防止用絶縁層、４０…下型、４２…上型、５０…樹脂基板、５０ａ…粉末樹脂、６０…第１層間絶縁層、６２…第２層間絶縁層、６４…ソルダレジスト、６４ａ…開口部、７０…第１配線層、７２…第２配線層、Ａ…素子面、ｃ…隙間、ＣＰ…接続部、ＢＷ…ビルドアップ配線、ＶＨ１…第１ビアホール、ＶＨ２…第２ビアホール。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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