(57)【要約】【課題】本発明は、従来にない作用効果を発揮する画期的な研磨装置を提供することを目的とする。【解決手段】被研磨物保持体１に保持された湾曲状の被研磨部２ａを有する被研磨物２を揺動させながら研磨部３に当接させて該湾曲状の被研磨部２を研磨する研磨装置であって、前記被研磨物保持体１を揺動せしめる第一駆動源４の回転駆動軸５を該被研磨物保持体１に連設して該第一駆動源４の回転駆動を該被研磨物保持体１に伝達する第一動力伝達部７を有するものである。【選択図】図５
2011218509.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被研磨物保持体に保持された湾曲状の被研磨部を有する被研磨物を揺動させながら研磨部に当接させて該湾曲状の被研磨部を研磨する研磨装置であって、前記被研磨物保持体を揺動せしめる第一駆動源の回転駆動軸を該被研磨物保持体に連設して該第一駆動源の回転駆動を該被研磨物保持体に伝達する第一動力伝達部を有し、この第一動力伝達部は、前記回転駆動軸に設けられる第一連設部と、この第一連設部に連設され前記被研磨物保持体に設けられる第二連設部とから成り、前記第一連設部と前記第二連設部との間には第一転動体が設けられ、前記第一連設部と前記第二連設部とは前記第一転動体の接触によって連設されていることを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
被研磨物保持体に保持された湾曲状の被研磨部を有する被研磨物を揺動させながら研磨部に当接させて該湾曲状の被研磨部を研磨する研磨装置であって、前記研磨部はスライド体のスライド移動によりスライド移動自在に設けられており、第二駆動源の駆動により移動する移動部材を前記スライド体に連設して該第二駆動源の駆動を該スライド体に伝達する第二動力伝達部を有し、この第二動力伝達部は、前記移動部材に設けられる第三連設部と、この第三連設部に連設され前記スライド体に設けられる第四連設部とから成り、前記第三連設部と前記第四連設部との間には第二転動体が設けられ、前記第三連設部と前記第四連設部とは前記第二転動体の接触によって連設されていることを特徴とする研磨装置。
【請求項３】
請求項２記載の研磨装置において、前記被研磨物保持体を揺動せしめる第一駆動源の回転駆動軸を該被研磨物保持体に連設して該第一駆動源の回転駆動を該被研磨物保持体に伝達する第一動力伝達部を有し、この第一動力伝達部は、前記回転駆動軸に設けられる第一連設部と、この第一連設部に連設され前記被研磨物保持体に設けられる第二連設部とから成り、前記第一連設部と前記第二連設部との間には第一転動体が設けられ、前記第一連設部と前記第二連設部とは前記第一転動体の接触によって連設されていることを特徴とする研磨装置。
【請求項４】
請求項１〜３いずれか１項に記載の研磨装置において、前記第一転動体若しくは前記第二転動体は複数で且つ環状に配されていることを特徴とする研磨装置。
【請求項５】
請求項１，３，４いずれか１項に記載の研磨装置において、前記第一連設部は前記第二連設部を両側から挟み込む挟み込み部を有し、この挟み込み部と前記第二連設部との間には前記第一転動体が設けられていることを特徴とする研磨装置。
【請求項６】
請求項１，３，４いずれか１項に記載の研磨装置において、前記第二連設部は前記第一連設部を両側から挟み込む挟み込み部を有し、この挟み込み部と前記第一連設部との間には前記第一転動体が設けられていることを特徴とする研磨装置。
【請求項７】
請求項１〜６いずれか１項に記載の研磨装置において、前記第一転動体若しくは前記第二転動体は転動体保持手段により保持されていることを特徴とする研磨装置。
【請求項８】
請求項７記載の研磨装置において、前記転動体保持手段は自転自在に設けられていることを特徴とする研磨装置。
【請求項９】
請求項１，３，４，５，６，７，８いずれか１項に記載の研磨装置において、前記第一転動体は付勢体の付勢により前記第一連設部と前記第二連設部とに押圧接触状態に設けられていることを特徴とする研磨装置。
【請求項１０】
請求項１〜９いずれか１項に記載の研磨装置において、前記第一転動体若しくは前記第二転動体は球状体であることを特徴とする研磨装置。
【請求項１１】
請求項１〜１０いずれか１項に記載の研磨装置において、前記被研磨物として単結晶ダイヤモンド製のバイト用チップを採用したことを特徴とする研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば単結晶ダイヤモンド製のバイト用チップを研磨するための研磨装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、単結晶ダイヤモンドを使用した超精密微細加工の要求が高まっている。
【０００３】
具体的には、ダイヤモンドバイトやダイヤモンドエンドミルを使った超精密金型加工が多く実施されており、成形する金型（成形面）には数十ナノレベルの加工精度が要求されることから、この金型の切削加工を行なうダイヤモンドバイトやダイヤモンドエンドミルの湾曲状（アール状）の刃先は、ナノレベルでの加工精度が要求されている。
【０００４】
ところで、従来、このダイヤモンドバイトやダイヤモンドエンドミルにおけるアール状の刃先を自動で研磨する研磨装置が提案されている。
【０００５】
具体的には、例えば特開昭５６−１５９６５号（以下、従来例）のように、アール状の被研磨部を有する被研磨物を保持する被研磨物保持体と、この被研磨物保持体に連設され該被研磨物保持体を揺動せしめる駆動源とを有し、被研磨物保持体に保持された被研磨物を揺動させながら研磨部に当接させて該アール状の被研磨部を研磨する構造である。
【０００６】
しかしながら、従来例は、被研磨物保持体を揺動せしめる駆動源の振動が被研磨物保持体まで伝わり、この被研磨物保持体にブレ（被研磨物保持体の揺動軸芯のブレ）が生じてしまい、十分な加工精度が得られないという問題点があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開昭５６−１５９６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上述の問題点を解決するもので、極めて高精度の研磨が確実に行われる画期的な研磨装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。
【００１０】
被研磨物保持体１に保持された湾曲状の被研磨部２ａを有する被研磨物２を揺動させながら研磨部３に当接させて該湾曲状の被研磨部２を研磨する研磨装置であって、前記被研磨物保持体１を揺動せしめる第一駆動源４の回転駆動軸５を該被研磨物保持体１に連設して該第一駆動源４の回転駆動を該被研磨物保持体１に伝達する第一動力伝達部７を有し、この第一動力伝達部７は、前記回転駆動軸５に設けられる第一連設部７Ａと、この第一連設部７Ａに連設され前記被研磨物保持体１に設けられる第二連設部７Ｂとから成り、前記第一連設部７Ａと前記第二連設部７Ｂとの間には第一転動体８が設けられ、前記第一連設部７Ａと前記第二連設部７Ｂとは前記第一転動体８の接触によって連設されていることを特徴とする研磨装置に係るものである。
【００１１】
また、被研磨物保持体１に保持された湾曲状の被研磨部２ａを有する被研磨物２を揺動させながら研磨部３に当接させて該湾曲状の被研磨部２を研磨する研磨装置であって、前記研磨部３はスライド体10のスライド移動によりスライド移動自在に設けられており、第二駆動源12の駆動により移動する移動部材11を前記スライド体10に連設して該第二駆動源12の駆動を該スライド体10に伝達する第二動力伝達部13を有し、この第二動力伝達部13は、前記移動部材11に設けられる第三連設部13Ａと、この第三連設部13Ａに連設され前記スライド体10に設けられる第四連設部13Ｂとから成り、前記第三連設部13Ａと前記第四連設部13Ｂとの間には第二転動体が設けられ、前記第三連設部13Ａと前記第四連設部13Ｂとは前記第二転動体の接触によって連設されていることを特徴とする研磨装置に係るものである。
【００１２】
また、請求項２記載の研磨装置において、前記被研磨物保持体１を揺動せしめる第一駆動源４の回転駆動軸５を該被研磨物保持体１に連設して該第一駆動源４の回転駆動を該被研磨物保持体１に伝達する第一動力伝達部７を有し、この第一動力伝達部７は、前記回転駆動軸５に設けられる第一連設部７Ａと、この第一連設部７Ａに連設され前記被研磨物保持体１に設けられる第二連設部７Ｂとから成り、前記第一連設部７Ａと前記第二連設部７Ｂとの間には第一転動体８が設けられ、前記第一連設部７Ａと前記第二連設部７Ｂとは前記第一転動体８の接触によって連設されていることを特徴とする研磨装置に係るものである。
【００１３】
また、請求項１〜３いずれか１項に記載の研磨装置において、前記第一転動体８若しくは前記第二転動体は複数で且つ環状に配されていることを特徴とする研磨装置に係るものである。
【００１４】
また、請求項１，３，４いずれか１項に記載の研磨装置において、前記第一連設部７Ａは前記第二連設部７Ｂを両側から挟み込む挟み込み部23ａ，23ｂを有し、この挟み込み部23ａ，23ｂと前記第二連設部７Ｂとの間には前記第一転動体８が設けられていることを特徴とする研磨装置に係るものである。
【００１５】
また、請求項１，３，４いずれか１項に記載の研磨装置において、前記第二連設部７Ｂは前記第一連設部７Ａを両側から挟み込む挟み込み部を有し、この挟み込み部と前記第一連設部との間には前記第一転動体８が設けられていることを特徴とする研磨装置に係るものである。
【００１６】
また、請求項１〜６いずれか１項に記載の研磨装置において、前記第一転動体８若しくは前記第二転動体は転動体保持手段９により保持されていることを特徴とする研磨装置に係るものである。
【００１７】
また、請求項７記載の研磨装置において、前記転動体保持手段９は自転自在に設けられていることを特徴とする研磨装置に係るものである。
【００１８】
また、請求項１，３，４，５，６，７，８いずれか１項に記載の研磨装置において、前記第一転動体８は付勢体16の付勢により前記第一連設部７Ａと前記第二連設部７Ｂとに押圧接触状態に設けられていることを特徴とする研磨装置に係るものである。
【００１９】
また、請求項１〜９いずれか１項に記載の研磨装置において、前記第一転動体８若しくは前記第二転動体は球状体であることを特徴とする研磨装置に係るものである。
【００２０】
また、請求項１〜１０いずれか１項に記載の研磨装置において、前記被研磨物２として単結晶ダイヤモンド製のバイト用チップを採用したことを特徴とする研磨装置に係るものである。
【発明の効果】
【００２１】
本発明は上述のように構成したから、前述した従来例に比し、極めて高精度の研磨が確実に行われる画期的な研磨装置となる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本実施例の使用状態説明図である。
【図２】本実施例に係る要部の動作説明図である。
【図３】本実施例に係る要部の説明図である。
【図４】本実施例に係る要部の斜視図である。
【図５】本実施例に係る要部の説明図である。
【図６】本実施例に係る要部の分解斜視図である。
【図７】本実施例に係る要部の説明図である。
【図８】本実施例に係る要部の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
好適と考える本発明の実施形態を、図面に基づいて本発明の作用を示して簡単に説明する。
【００２４】
被研磨物保持体１を揺動させて該被研磨物保持体１で保持された被研磨物２を研磨部３に当接させて湾曲状の被研磨部２ａを研磨する。
【００２５】
この被研磨物２を揺動させて研磨部３で研磨する際、第一駆動源４で生じる振動は、第一連設部７Ａと第二連設部７Ｂとの間に設けられた第一転動体８が転動することで吸収される。
【００２６】
従って、前述した従来例のように駆動源の振動がダイレクトに伝わらず、よって、被研磨物２を高精度に研磨できることになる。
【実施例】
【００２７】
本発明の具体的な一実施例について図面に基づいて説明する。
【００２８】
本実施例は、被研磨物保持体１に保持された湾曲状（アール状）の被研磨部２ａを有する被研磨物２を揺動させながら研磨部３に当接させて当該被研磨部２ａを研磨するものである。尚、本実施例では、被研磨物２としてダイヤモンドバイト17に付設される単結晶のダイヤモンド製のバイト用チップ（刃物）を採用しているが、これに限られるものではない。
【００２９】
具体的には、各作動部位を制御する制御部を内装した装置本体に被研磨物２を保持して移動せしめる被研磨物移動部18と、該被研磨物移動部18で保持された被研磨物２を当接させて研磨する研磨部３とを有する装置である。
【００３０】
被研磨物移動部18は、装置本体に適宜な昇降手段を介して昇降自在に設けられる筒状の昇降体19に被研磨物保持体１及び第一駆動源４を設けて構成されている。
【００３１】
被研磨物保持体１は、図１に図示したように昇降体19の先端側径大部19Ａに収納される軸状基部20の先端部に被研磨物保持部21を突設して構成されている。尚、本実施例では軸状基部20を該軸状基部20の軸芯を横方向に向けて設けているが、軸状基部20の軸芯を縦方向に向けて設けるようにしても良い。
【００３２】
この軸状基部20の周面には凹溝部20ａが形成され、この凹溝部20ａには昇降体19の先端開口縁部に内方へ向けて突設した係止突部19ａが嵌入係止されており、この凹溝部20ａと係止突部19ａとの間に図示省略のベアリング構造が具備せしめられている。
【００３３】
また、軸状基部20の基端部には、後述する回転駆動軸５に設けられる第一連設部７Ａに連設され第一動力伝達部７を構成する第二連設部７Ｂが設けられている。
【００３４】
被研磨物保持部21は、図１，２に図示したように軸状基部20の先端部にして軸芯位置と異なる周端位置に突設されるアーム部21ａの先端部に被研磨物２を着脱自在に保持するチャック部21ｂを設けて構成されている。
【００３５】
従って、被研磨物保持部21は、昇降体19を昇降することで上下方向（図２中矢印ａ方向）に移動自在となり、また、昇降体19に対して軸状基部20を左右方向（図２中矢印ｂ方向）に揺動されるものである。よって、被研磨物保持体１に被研磨物２を保持した状態で被研磨物保持体１を所定角度左右方向に揺動させて研磨部３に当接させることで、被研磨物２のアール状の被研磨部２ａを研磨することができる。
【００３６】
第一駆動源４は、図１に図示したように昇降体19の後端部に配設されるサーボモーターであり、この第一駆動源４の駆動先端部４ａには、昇降体19の後端側径小部19Ｂに収納される回転駆動軸５が付設され、この回転駆動軸５の先端部には前述した軸状基部20の基端部に設けた第二連設部７Ｂに連設され、第一動力伝達部７を構成する第一連設部７Ａが設けられている。符号22は回転駆動軸５を軸受けするベアリング部、27は回転駆動軸５の先端部を後述する添設部材23に止着する止着部材である。
【００３７】
この第一動力伝達部７は、図３〜５に図示したように、軸状基部20の基端部に突設された第二連設部７Ｂ（被挟み込み部20ｂ）と、この第二連設部７Ｂに対して挟み込み状態で連設され回転駆動軸５の先端部に設けられる第一連設部７Ａ（挟み込み部23ａ，23ｂ）とで構成されている。
【００３８】
従って、第一駆動源４を回転駆動させると、挟み込み部23ａ，23ｂが左右方向に揺動することで該挟み込み部23ａ，23ｂに挟み込まれる軸状基部20の基端部に突設した被挟み込み部20ｂは左右方向（図５中矢印ａ方向）に揺動することになり、よって、被研磨物保持体１も左右方向に揺動することになる。
【００３９】
また、挟み込み部23ａ，23ｂは、被研磨物保持体１の被挟み込み部20ｂにして該被研磨物保持体１の揺動軸芯位置と異なる位置において被挟み込み部20ｂを挟み込むものである。
【００４０】
これは、仮に被挟み込み部20ｂの揺動軸芯位置で連設する構造とした場合、揺動させる為には強い力が必要であるなどの問題点が生じ得る。この点、本実施例は、挟み込み部23ａ，23ｂを被研磨物保持体１の被挟み込み部20ｂにして該被研磨物保持体１の揺動軸芯位置と異なる外側位置において連設する構造を採用したから、比較的弱い力であっても確実に被研磨物保持体１を揺動させることができることになる。尚、挟み込み部23ａ，23ｂにおける被挟み込み部20ｂに対する挟み込み位置は、第一駆動源４の軸芯位置（回転駆動軸５の軸芯位置）となるように設定するようにしても良い。
【００４１】
また、第一動力伝達部７は、互いに重合する第一連設部７Ａ（挟み込み部23ａ，23ｂ）と第二連設部７Ｂ（被挟み込み部20ｂ）との間には第一転動体８が設けられている。
【００４２】
具体的には、第一連設部７としての挟み込み部23ａ，23ｂは、第二連設部７Ｂとしての被挟み込み部20ｂに添設される添設部材23の下端側に設けたもので、この挟み込み部23ａ，23ｂ夫々の内面と、該内面と対向する第二連設部７Ｂとしての被挟み込み部20ｂの左右側面との間に第一転動体８が配設されている。
【００４３】
従って、第一連設部７Ａと第二連設部７Ｂとは第一転動体８の接触のみによって連設されている。
【００４４】
この第一転動体８は適宜な金属製の球状体であり、転動体保持手段９を介して互いに等間隔の離れた位置にして複数（８個）環状に並設されている。
【００４５】
転動体保持手段９は、図６，７に図示したように適宜な金属製の円板体９Ａに複数（８個）の貫通孔９ａを環状に設けて構成されており、この各貫通孔９ａは第一転動体８を回転自在に保持し得る保持孔として機能する。符号９ｂは円板体９Ａを挟み込み部23ａ，23ｂに止着部材14を介して連結する際の止着孔である。
【００４６】
また、円板体９Ａ夫々の厚みは、貫通孔９ａに第一転動体８を配した際、円板体９Ａの表裏面から第一転動体８の一部が突出する厚みに設定されている。
【００４７】
また、円板体９Ａ夫々は、止着部材14を介して挟み込み部23ａ，23ｂ夫々の内面に自転自在に設けられている。尚、円板体９Ａは被挟み込み部20ｂの左右側面に回動自在に設けても良い。
【００４８】
従って、第一転動体８は、第一連設部７Ａ（挟み込み部23ａ，23ｂ）夫々の内面と、該内面と対向する第二連設部７Ｂ（被挟み込み部20ｂ）の左右側面との間で自転自在にして公転自在に配設されており、第一連設部７Ａ及び第二連設部７Ｂ双方に対して常時接触状態となるように設けられている。
【００４９】
また、第一転動体８は、第一連設部７Ａ及び第二連設部７Ｂに対して付勢体16の付勢により押圧接触状態に設けられている。
【００５０】
具体的には、図５，６に図示したように一方の挟み込み部23ａの内面にして第一転動体８を受ける受け面を別体から成る受け体15で構成し、この受け体15を付勢体16（コイルバネ）の付勢により第一転動体８に圧接するように設けている。
【００５１】
従って、この付勢体16と受け体15とからなる付勢構造により挟み込み部23ａは被挟み込み部20ｂに対して押圧状態で接することになり、この一方の挟み込み部23ａがこの付勢構造を具備することで他方の挟み込み部23ｂも被挟み込み部20ｂに対して押圧状態で接することになる。
【００５２】
尚、他方の挟み込み部23ｂにも前述した付勢体と受け体とからなる付勢構造を具備せしめても良く、また、第一連設部７Ａは第二連設部７Ｂを両側から挟み込む挟み込み部23ａ，23ｂを有し、この挟み込み部23ａ，23ｂと第二連設部７Ｂとの間には第一転動体８が設けられる構造としたが、第二連設部７Ｂは第一連設部７Ａを両側から挟み込む挟み込み部を有し、この挟み込み部と第一連設部７Ａとの間には第一転動体８が設けられる構造としても良い。
【００５３】
研磨部３は、図８に図示したように適宜な第二駆動源12を介して回動自在となる平面視円形状の研磨板24を、ガイドレール25上をスライド移動するスライド体10の上面に設けられており、被研磨物保持体１に対して接離移動自在に設けられている。この研磨板24の表面にはダイヤモンドパウダーが散りばめられており、この研磨板24の表面に被研磨物２を擦り合わせることで被研磨部２ａを研磨する。
【００５４】
また、スライド体10は、第二駆動源12の駆動によりスライド移動自在に設けられている。
【００５５】
この第二駆動源12は、図８に図示したようにモーター12ａの駆動により螺子棒部12ｂを回動させ、該螺子棒部12ｂに螺合されるナット部を形成した移動部材11を該モーター12ａの駆動により進退移動させる構造であり（所謂ボールネジ構造）、この移動部材11とスライド体10とは第二動力伝達部13を介して連設されている。
【００５６】
この第二動力伝達部13は前述した第一動力伝達部７と同構造である。
【００５７】
具体的には、図８に図示したようにスライド体10の側部に突設した第四連設部13Ｂ（被挟み込み部10ａ）と、この第四連設部13Ｂに対して挟み込み状態で連設され移動部材11に突設された突設部材26の側部に設けられた第三連設部13Ａ（挟み込み部26ａ）とから成り、この第二動力伝達部13により第二駆動源12の駆動をスライド体10に伝達するように構成されている。
【００５８】
従って、第二駆動源12を駆動させると、挟み込み部26ａ，26ｂが左右方向に移動し、該挟み込み部26ａ，26ｂにスライド体10の側部に突設した被挟み込み部10ａが挟み込まれているから、スライド体10も左右方向に移動する。
【００５９】
また、第二動力伝達部13は、互いに重合する第三連設部13Ａと第四連設部13Ｂとの間には第二転動体が設けられている。
【００６０】
具体的には、第三連設部13Ａとしてのこの挟み込み部26ａ，26ｂ夫々の内面と、該内面と対向する第四連設部13Ｂとしての被挟み込み部10ａの左右側面との間に第二転動体が配設されている。
【００６１】
従って、第三連設部13Ａと第四連設部13Ｂとは第二転動体の接触のみによって連設されている。
【００６２】
この第二転動体は適宜な金属製の球状体であり、転動体保持手段を介して互いに等間隔の離れた位置にして複数（８個）環状に並設されている。
【００６３】
転動体保持手段は、適宜な金属製の円板体に複数（８個）の貫通孔を環状に設けて構成されており、この各貫通孔は第二転動体を回転自在に保持し得る保持孔として機能する。
【００６４】
また、円板体夫々の厚みは、貫通孔に第二転動体を配した際、円板体の表裏面から第二転動体の一部が突出する厚みに設定されている。
【００６５】
また、円板体夫々は、止着部材を介して挟み込み部26ａ，26ｂ夫々の内面に自転自在に設けられている。尚、円板体は被挟み込み部10ａの左右側面に回動自在に設けても良い。
【００６６】
従って、第二転動体は、第三連設部13Ａ（挟み込み部26ａ，26ｂ）夫々の内面と、該内面と対向する第四連設部13Ｂ（被挟み込み部10ａ）の左右側面との間で自転自在にして公転自在に配設されており、第三連設部13Ａ及び第四連設部13Ｂ双方に対して常時接触状態となるように設けられている。
【００６７】
また、第二転動体は、第三連設部13Ａ及び第四連設部13Ｂに対して付勢体の付勢により押圧接触状態に設けられている。
【００６８】
具体的には、一方の挟み込み部26ａの内面にして第二転動体を受ける受け面を別体から成る受け体で構成し、この受け体を付勢体（コイルバネ）の付勢により第二転動体に圧接するように設けている。
【００６９】
従って、この付勢体と受け体とからなる付勢構造により挟み込み部26ａは被挟み込み部10ａに対して押圧状態で接することになり、この一方の挟み込み部26ａがこの付勢構造を具備することで他方の挟み込み部26ｂも被挟み込み部10ａに対して押圧状態で接することになる。
【００７０】
尚、他方の挟み込み部26ｂにも前述した付勢体と受け体とからなる付勢構造を具備せしめても良く、また、第三連設部13Ａは第四連設部13Ｂを両側から挟み込む挟み込み部26ａ，26ｂを有し、この挟み込み部26ａ，26ｂと第四連設部13Ｂとの間には第一転動体が設けられる構造としたが、第四連設部13Ｂは第三連設部13Ａを両側から挟み込む挟み込み部を有し、この挟み込み部と第三連設部13Ａとの間には第二転動体が設けられる構造としても良い。
【００７１】
以上の構成からなる本実施例に係る研磨装置を使用した被研磨物２の研磨工程について説明する。
【００７２】
被研磨物保持体１に係るチャック部21ｂにダイヤモンドバイト17を装着した状態で昇降体19を降下し、回転する研磨板24の表面に当接させると共に、被研磨物保持体１を左右に揺動させると、被研磨物２のアール状の被研磨部２ａが研磨される（この際、研磨板24を適宜スライド移動させることで研磨する位置が適宜変更し得る。）。
【００７３】
この被研磨物２を揺動させて研磨部３で研磨する際、第一駆動源４で生じる振動は被研磨物保持体１と回転駆動軸５との第一動力伝達部７に伝達されるが、この振動は、第一連設部７Ａ及び第二連設部７Ｂ同士間に設けられた第一転動体８が転動することで吸収される（前述した第一転動体８を用いた平面上に制限のない自由度を有する軸受構造により吸収される。）。
【００７４】
研磨終了後、昇降体19を上昇させ研磨済みのダイヤモンドバイト17を取り外して他のダイヤモンドバイト17に取り替えて研磨作業を順次行う。
【００７５】
本実施例は上述のように構成したから、被研磨物保持体１に対する第一駆動源４の第一動力伝達部７が第一転動体８を介しての接触連設構造であるから、前述した従来例と異なり、第一駆動源４の振動が被研磨物保持体１に伝達するのを可及的に防止でき（被研磨物保持体１の揺動軸芯のブレを可及的に防止することができる）、しかも、被研磨物保持体１と回転駆動軸５との連設は、第一転動体８を介して接触状態であって非接触とすることもないため、よって、ナノレベルの研磨精度と高剛性を両立することで極めて高精度な研磨が実現し得ることになる。実際に試してみたところ、４０ナノレベルのダイヤモンドチップの輪郭精度と微細形状が安定的に得られることを確認している。
【００７６】
また、本実施例は、研磨部３はスライド体10のスライド移動によりスライド移動自在に設けられており、第二駆動源12の駆動により移動する移動部材11を前記スライド体10に連設して該第二駆動源12の駆動を該スライド体10に伝達する第二動力伝達部13は、移動部材11に設けられる第三連設部13Ａと、この第三連設部13Ａに連設されスライド体10に設けられる第四連設部13Ｂとから成り、第三連設部13Ａと第四連設部13Ｂとの間には第二転動体が設けられ、第三連設部13Ａと第四連設部13Ｂとは第二転動体の接触によってのみ連設されているから、この研磨部３の移動においても第二駆動源12で生じる振動の伝わりを可及的に防止し得るから、より一層高精度な研磨が実現し得ることになる。
【００７７】
即ち、本実施例で第二駆動源12として採用したボールネジ構造は、その構造上、正確な直動性を実現することは困難とされ振動が生じる構造であり、第二駆動源12で発生する振動がスライド体10を介して研磨部３に伝達してしまい、高精度な研磨の実現の障害となり得る懸念があるが、この点、本実施例は、前述した構造から、第二駆動源12で生じる振動の伝わりを可及的に防止し、高精度な研磨を実現し得ることになる。
【００７８】
尚、本発明は、本実施例に限られるものではなく、各構成要件の具体的構成は適宜設計し得るものである。
【符号の説明】
【００７９】
１  被研磨物保持体
２  被研磨物
２ａ  被研磨部
３  研磨部
４  第一駆動源
５  回転駆動軸
７  第一動力伝達部
７Ａ  第一連設部
７Ｂ  第二連設部
８  第一転動体
９  転動体保持手段
10  スライド体
11  移動部材
12  第二駆動源
13  第二動力伝達部
13Ａ  第三連設部
13Ｂ  第四連設部
16  付勢体
23ａ  挟み込み部
23ｂ  挟み込み部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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