(57)【要約】【課題】高品質な焼結体を安価に製造することができるＩＴＯ焼結体の製造方法及びＩＴＯスパッタリングターゲットの製造方法を提供する。【解決手段】本発明の一実施形態に係るＩＴＯ焼結体の製造方法は、酸化インジウム及び酸化スズを主成分とする焼結片群を容器内で撹拌しながら破砕することで、第１の平均粒子径を有する第１のＩＴＯ粉末を作製する工程を含む。上記第１のＩＴＯ粉末を媒体撹拌ミル又はジェットミルによって破砕することで、上記第１の平均粒子径よりも小さい第２の平均粒子径を有する第２のＩＴＯ粉末が作製される。上記第２のＩＴＯ粉末に酸化インジウム粉末及び酸化スズ粉末を混合し、その混合粉末を粉砕することで、上記第２の平均粒子径よりも小さい第３の平均粒子径を有する第３のＩＴＯ粉末が作製される。上記第３のＩＴＯ粉末を含むスラリーを型に鋳込むことで成形体が作製された後、焼結される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸化インジウム及び酸化スズを主成分とする焼結片群を容器内で撹拌しながら破砕することで、第１の平均粒子径を有する第１のＩＴＯ粉末を作製し、
前記第１のＩＴＯ粉末を媒体撹拌ミル又はジェットミルによって粉砕することで、前記第１の平均粒子径よりも小さい第２の平均粒子径を有する第２のＩＴＯ粉末を作製し、
前記第２のＩＴＯ粉末に酸化インジウム粉末及び酸化スズ粉末を混合し、その混合粉末を粉砕することで、前記第２の平均粒子径よりも小さい第３の平均粒子径を有する第３のＩＴＯ粉末を作製し、
前記第３のＩＴＯ粉末を含むスラリーを型に鋳込むことで成形体を作製し、
前記成形体を焼結する
ＩＴＯ焼結体の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載のＩＴＯ焼結体の製造方法であって、
前記第１のＩＴＯ粉末を作製する工程は、前記焼結片群を樹脂製容器内で破砕する
ＩＴＯ焼結体の製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載のＩＴＯ焼結体の製造方法であって、
前記第３のＩＴＯ粉末を作製する工程は、前記第３のＩＴＯ粉末を媒体撹拌ミルによって作製する
ＩＴＯ焼結体の製造方法。
【請求項４】
請求項３に記載のＩＴＯ焼結体の製造方法であって、
前記第３の平均粒子径は、０．２０μｍ以上０．３０μｍ以下である
ＩＴＯ焼結体の製造方法。
【請求項５】
請求項１に記載のＩＴＯ焼結体の製造方法であって、
前記第３のＩＴＯ粉末中における前記第２の混合粉末の混合比率は、１０重量％以上、４０重量％以下である
ＩＴＯ焼結体の製造方法。
【請求項６】
請求項１に記載のＩＴＯ焼結体の製造方法であって、
前記焼結片群は、使用済みのＩＴＯスパッタリングターゲットの分割片群である
ＩＴＯ焼結体の製造方法。
【請求項７】
酸化インジウム及び酸化スズを主成分とする焼結片群を容器内で撹拌しながら破砕することで、第１の平均粒子径を有する第１のＩＴＯ粉末を作製し、
前記第１のＩＴＯ粉末を媒体撹拌ミル又はジェットミルによって粉砕することで、前記第１の平均粒子径よりも小さい第２の平均粒子径を有する第２のＩＴＯ粉末を作製し、
前記第２のＩＴＯ粉末に酸化インジウム粉末及び酸化スズ粉末を混合し、その混合粉末を粉砕することで、前記第２の平均粒子径よりも小さい第３の平均粒子径を有する第３のＩＴＯ粉末を作製し、
前記第３のＩＴＯ粉末を含むスラリーを型に鋳込むことで成形体を作製し、
前記成形体を焼結する
ＩＴＯスパッタリングターゲットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばスパッタリングターゲットとして使用されるＩＴＯ焼結体の製造方法及びＩＴＯスパッタリングターゲットの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイや太陽発電モジュールの製造分野において、透明導電膜として酸化インジウム及び酸化スズを主成分とするＩＴＯ膜が広く用いられている。ＩＴＯ膜は、真空蒸着法、スパッタリング法等によって成膜される。スパッタリング法では、ＩＴＯで構成されたスパッタリングターゲットが使用される。ＩＴＯターゲットには、酸化インジウムと酸化スズの混合粉末の焼結体が広く用いられている。特に近年、製造コストの削減を図るために、使用済みＩＴＯターゲットのリサイクルが検討されている（例えば特許文献１〜３参照）。
【０００３】
特許文献１には、スパッタリング成膜に使用した後のＩＴＯターゲットの表面付着物を除去した後、これを自生粉砕することによって粉末とし、次いでこの粉末を焼結する、ＩＴＯ焼結体の製造方法が記載されている。
【０００４】
特許文献２には、スクラップとなったＩＴＯ焼結体を０．５ｍｍ以下の顆粒に粉砕した後、該ＩＴＯ顆粒と実質的にインジウム、スズおよび酸素からなる粉末とを混合した後、成形、焼結を行う、ＩＴＯ焼結体の再生方法が開示されている。
【０００５】
特許文献３には、ＩＴＯリサイクル粉を熱処理し、比表面積を２．５〜７．０ｍ２／ｇの範囲に調整した粉末を用いて泥漿鋳込み成形法によって成形し、得られた成形体を乾燥後、酸素雰囲気で焼成する、ＩＴＯ焼結体の製造方法が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平７−３１６７９８号公報（段落[００１５]）
【特許文献２】特開平１１−１００２５３号公報（段落［０００９］）
【特許文献３】特開平１１−２２８２１９号公報（段落[０００５]）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
安定したスパッタ成膜と高品質な薄膜形成を実現するには、スパッタリングターゲットに組織の緻密化及び均一化が要求される。このため、原料粉末を微細化して焼結密度を向上させることが必須となる。しかしながら、使用済みターゲットを原料とする焼結体の製造に際しては、原料となる焼結体の微細化にコストが嵩み、高密度かつ均質性の高いＩＴＯ焼結体を安価に製造することが困難であるという問題がある。
【０００８】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、高品質な焼結体を安価に製造することができるＩＴＯ焼結体の製造方法及びＩＴＯスパッタリングターゲットの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係るＩＴＯ焼結体の製造方法は、酸化インジウム及び酸化スズを主成分とする焼結片群を容器内で撹拌しながら破砕することで、第１の平均粒子径を有する第１のＩＴＯ粉末を作製する工程を含む。上記第１のＩＴＯ粉末を媒体撹拌ミル又はジェットミルによって破砕することで、上記第１の平均粒子径よりも小さい第２の平均粒子径を有する第２のＩＴＯ粉末が作製される。上記第２のＩＴＯ粉末に酸化インジウム粉末及び酸化スズ粉末を混合し、その混合粉末を粉砕することで、上記第２の平均粒子径よりも小さい第３の平均粒子径を有する第３のＩＴＯ粉末が作製される。上記第３のＩＴＯ粉末を含むスラリーを型に鋳込むことで成形体が作製された後、上記成形体は焼結される。
【００１０】
また、上記目的を達成するため、本発明の一形態に係るＩＴＯスパッタリングターゲットの製造方法は、酸化インジウム及び酸化スズを主成分とする焼結片群を容器内で撹拌しながら破砕することで、第１の平均粒子径を有する第１のＩＴＯ粉末を作製する工程を含む。上記第１のＩＴＯ粉末を媒体撹拌ミル又はジェットミルによって破砕することで、上記第１の平均粒子径よりも小さい第２の平均粒子径を有する第２のＩＴＯ粉末が作製される。上記第２のＩＴＯ粉末に酸化インジウム粉末及び酸化スズ粉末を混合し、その混合粉末を粉砕することで、上記第２の平均粒子径よりも小さい第３の平均粒子径を有する第３のＩＴＯ粉末が作製される。上記第３のＩＴＯ粉末を含むスラリーを型に鋳込むことで成形体が作製された後、上記成形体は焼結される。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施形態に係るＩＴＯ焼結体の製造方法を示す工程フローである。
【図２】本発明の実施形態における使用済みターゲットの分離工程を説明する模式図である。
【図３】本発明の実施形態における焼結片の準備工程を説明する模式図である。
【図４】本発明の実施形態における第１のＩＴＯ粉末の作製工程を説明する模式図である。
【図５】本発明の実施形態における第３のＩＴＯ粉末及びこれを含むスラリーの作製工程を説明する模式図である。
【図６】本発明の実施形態における成形工程に用いられる成形型の模式図であり、（Ａ）は側断面図、（Ｂ）は型本体の平面図である。
【図７】本発明の実施形態において作製された焼結体の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
本発明の一実施形態に係るＩＴＯ焼結体の製造方法は、酸化インジウム及び酸化スズを主成分とする焼結片群を容器内で撹拌しながら破砕することで、第１の平均粒子径を有する第１のＩＴＯ粉末を作製する工程を含む。第１のＩＴＯ粉末は、焼結片同士の衝突作用により、第１の平均粒子径（例えば２μｍ）を有する大きさに破砕される。上記焼結片群は、定形又は不定形の既成のＩＴＯ焼結材料の小片、あるいはその焼結材料を適宜の形状に分割した分割片とすることができる。焼結材料としては、ＩＴＯ焼結製品の製造時に不可避的に発生する廃材や使用済みの焼結製品などが挙げられ、焼結製品としては、典型的には、ＩＴＯスパッタリングターゲットである。
【００１３】
ここで、本明細書において「平均粒子径」とは、レーザー回折・散乱法で測定した粒度分布の積算％が５０％の値を意味する。また、平均粒子径の値は、日機装（株）製レーザー回折・散乱式粒度分析計（ＭＴ３０００II）による測定値を用いた。
【００１４】
上記第１のＩＴＯ粉末は、上記焼結片群を樹脂容器内で破砕することで作製される。これにより、例えば金属製容器内で当該ＩＴＯ粉末を作製する場合と比較して、粉末中への不純物の混入を抑制することができる。勿論、樹脂製容器を使用した場合、その樹脂成分が粉末中に混入するおそれはあるが、脱脂工程あるいは焼結工程において当該樹脂成分を消失させることができる。
【００１５】
次に、上記第１のＩＴＯ粉末を媒体撹拌ミル又はジェットミルによって粉砕することで、第２の平均粒子径（例えば０．６μｍ）を有する第２のＩＴＯ粉末が作製される。これにより、上記焼結片からより微細なＩＴＯ粉末を作製することが可能となる。
【００１６】
媒体撹拌ミルとしては、振動ボールミルやロッドミル等が挙げられる。媒体撹拌ミル又はジェットミルは、湿式でもよいし乾式でもよい。また、媒体撹拌ミルを用いる場合、撹拌媒体となるボールやロッドの表面に樹脂コートが施されているものを採用することにより、粉体中への不純物の混入を効果的に抑制することができる。本実施形態では、媒体撹拌ミルとして振動ボールミルが好適に用いられる。ジェットミルとしては、湿式ジェットミルが好適である。
【００１７】
続いて、上記第２のＩＴＯ粉末に酸化インジウム粉末及び酸化スズ粉末を混合し、その混合粉末を粉砕することで、上記第２の平均粒子径よりも小さい第３の平均粒子径（例えば０．２０μｍ〜０．３０μｍ）を有する第３のＩＴＯ粉末が作製される。第２のＩＴＯ粉末に混合される酸化インジウム粉末及び酸化スズ粉末としては、それぞれ未使用の粉末が用いられるが、これに限られない。上記酸化インジウム粉末及び酸化スズ粉末の平均粒子径は特に限定されず、適宜の粒子径を採用することができる。
【００１８】
上記第３のＩＴＯ粉末は、媒体撹拌ミルを用いて作製することができる。これにより、比較的微細な平均粒子径を有するＩＴＯ粉体を容易に作製することができる。媒体撹拌ミルとしては、ボールミル、ロッドミル等が適用可能であるが、振動ボールミルが好適である。
【００１９】
上記第３のＩＴＯ粉末の平均粒子径（第３の平均粒子径）を０．２０μｍ以上０．３０μｍ以下とすることで、相対密度が９９．８％以上であり、組成の均一性に優れた高品質のＩＴＯ焼結体を製造することができる。
【００２０】
上記第３のＩＴＯ粉末中における上記第２のＩＴＯ粉末の混合比率は、１０重量％以上、４０重量％以下とすることができる。これにより、ＩＴＯ焼結体の材料コストを効果的に低減することができる。なお、第２のＩＴＯ粉末の混合比率が４０重量％を越えると、第３のＩＴＯ粉末の目的とする平均粒子径や、ＩＴＯ焼結体の目的とする相対密度や組成が得られないおそれがある。また、第２のＩＴＯ粉末の混合比率が１０重量％未満の場合、ＩＴＯ焼結体の材料コストの低減効果が低くなる。
【００２１】
次に、上記第３のＩＴＯ粉末を含むスラリーを型に鋳込むことで成形体が作製され、この成形体を焼結することで、目的とするＩＴＯ焼結体が作製される。泥漿鋳込み成形法は、低粘度のスラリー（泥漿）を石膏型等の吸水性の鋳型中に流し込み、その鋳型の成形室内壁に粉体の堆積層を形成させ、乾燥した後、鋳型から取り出して成形体を得る方法である。泥漿鋳込み成形法を採用することで、比較的安価に成形体を作製することができる。
【００２２】
上記ＩＴＯ焼結体の製造方法によれば、焼結体の原料の一部に、既成の焼結片の破砕粉を用いているので、原料コストの低減を図ることができる。また、上記焼結片の破砕粉を段階的に微細化しているため、工程数の大幅な増加や特殊な処理を施すことなく焼結粒子の微細化を達成でき、高品質の焼結体を比較的低コストで作製することが可能となる。したがって、以上の処理を経ることで、高品質なＩＴＯスパッタリングターゲットを製造することができる。
【００２３】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。
【００２４】
図１は、本発明の実施形態によるＩＴＯ焼結体の製造方法を説明する工程図である。図２〜図７は、各工程を説明する模式図である。本実施形態では、焼結片の準備工程（ステップ１）と、粗粉砕工程（ステップ２）と、微粉砕工程（ステップ３）と、混合・微粉砕工程（ステップ４）と、スラリー調整工程（ステップ５）と、成形工程（ステップ６）と、焼結工程（ステップ７）とを有する。
【００２５】
［焼結片準備工程］
この工程では、原料の一部となる焼結片が準備される。ここでは、図２及び図３に示すように、使用済みのＩＴＯスパッタリングターゲット２を適当な形状及び大きさに分割することで、目的とする焼結片２ａを作製する。スパッタリングターゲット２は、これを支持するバッキングプレート１から分離された形態で使用される。分離されたスパッタリングターゲット２は、Ｉｎ等のろう材および表面に付着した不純物を取り除くために酸で洗浄され、その後、焼結片２ａが作製される。使用されるスパッタリングターゲット２は、これを原料として作製される新たなＩＴＯ焼結体と同様な組成を有するものが用いられる。
【００２６】
［粗粉砕工程］
この工程は、作製された適当量の焼結片２ａを樹脂製容器３に収容し（図４（Ａ））、当該容器３ａを回転させ、これら焼結片群を衝撃によって破砕する（図４（Ｂ））。上記樹脂製容器３ａとしては、ボールミルやロッドミル等に用いられる粉砕用の容器を用いることができる。この破砕工程は、上記容器３ａ内に純水を適宜の量添加して実施される。この工程によって、第１の平均粒子径を有する第１のＩＴＯ粉末Ｐ１が作製される。第１の平均粒子径は特に限定されず、例えば２μｍとすることができる。なお、図示の例ではＩＴＯ粉末Ｐ１をやや誇張して示している。
【００２７】
第１のＩＴＯ粉末Ｐ１を樹脂製容器３ａ内で作製することにより、例えば金属製容器内で当該ＩＴＯ粉末を作製する場合と比較して、粉末中への不純物の混入を抑制することができる。勿論、樹脂製容器を使用した場合、その樹脂成分が粉末中に混入するおそれはあるが、脱脂工程あるいは焼結工程において当該樹脂成分を消失させることが可能である。
【００２８】
［微粉砕工程］
この工程は、上記第１のＩＴＯ粉末Ｐ１を振動ボールミル又は湿式ジェットミルを用いて粉砕することで、第２の平均粒子径を有する第２のＩＴＯ粉末（Ｐ２）を作製する。これにより、第１のＩＴＯ粉末をより微細化することができる。第２の平均粒子径の大きさは特に限定されず、例えば０．６μｍとすることができる。
【００２９】
この微粉砕工程においても、第２のＩＴＯ粉末は樹脂製容器内で粉砕される。また、振動ボールミルを用いる場合、撹拌媒体として表面に樹脂コーティングが施されたボールが用いられる。これにより、第２のＩＴＯ粉末への異種金属の混入を抑制することが可能となる。この微粉砕工程は、上記容器内に純水や適宜の分散剤を添加して実施することができる。得られた第２のＩＴＯ粉末は、必要に応じて乾燥される。
【００３０】
［混合・微粉砕工程］
この工程は、図５（Ａ）、（Ｂ）に示すように、第２のＩＴＯ粉末Ｐ２に、酸化インジウム（Ｉｎ２Ｏ３）粉末Ｐ２ａ及び酸化スズ（ＳｎＯ２）粉末Ｐ２ｂを混合し、その混合粉末を粉砕することで、第３の平均粒子径を有する第３のＩＴＯ粉末Ｐ３を作製する。第３のＩＴＯ粉末Ｐ３の平均粒子径を０．２０μｍ以上０．３０μｍ以下とすることで、相対密度が９９．８％以上であり、組成の均一性に優れた高品質のＩＴＯ焼結体を製造することができる。
【００３１】
第２のＩＴＯ粉末Ｐ２と混合される酸化インジウム粉末Ｐ２ａ及び酸化スズ粉末Ｐ２ｂには、いずれも未使用の粉末が用いられる。既成の焼結片から作製された原料粉末と未使用の原料粉末とを組み合わせることによって、原料コストの低減を図ることができる。また、スパッタリングターゲット等の使用済み材料を効率良くリサイクルすることが可能となる。
【００３２】
本実施形態では、平均粒子径が０．９μｍの酸化インジウム粉末Ｐ２ａと、平均粒子径が１．３μｍの酸化スズ粉末Ｐ２ｂとが用いられる。酸化インジウム粉末Ｐ２ａ及び酸化スズ粉末Ｐ２ｂの平均粒子径は上記の例に限定されず、例えば、第２のＩＴＯ粉末Ｐ２の平均粒子径と同等又はそれ以下の大きさのものを用いることができる。
【００３３】
酸化インジウム粉末Ｐ２ａ及び酸化スズ粉末Ｐ２ｂの添加量は、第２のＩＴＯ粉末Ｐ２の成分組成や目的とするＩＴＯ焼結体の成分組成に応じて適宜調整することができる。本実施形態では、酸化インジウム粉末Ｐ２ａと酸化スズ粉末Ｐ２ｂとが重量比で９：１となるように第２のＩＴＯ粉末Ｐ２に混合される。また、第３のＩＴＯ粉末Ｐ３中における第２のＩＴＯ粉末Ｐ２の混合比率は、１０重量％以上、４０重量％以下とすることができる。これにより、ＩＴＯ焼結体の材料コストを効果的に低減することができる。
【００３４】
この混合工程においても、第３のＩＴＯ粉末Ｐ３は樹脂製容器３ｂ内で粉砕される。また、ボールミルを用いる場合、撹拌媒体として表面に樹脂コーティングが施されたボールが用いられる。これにより、第３のＩＴＯ粉末Ｐ３への異種金属の混入を抑制することが可能となる。この混合工程は、容器３ｂ内に純水や適宜の分散剤を添加して実施することができる。
【００３５】
［スラリー調整工程］
この工程は、第３のＩＴＯ粉末Ｐ３を含むスラリーＳを調整する（図５（Ｂ））。スラリーＳは、第３のＩＴＯ粉末Ｐ３を純水で懸濁した液状物質であり、スラリー中におけるＩＴＯ粉末Ｐ３の濃度が例えば７０％〜８０％となるように調整される。このスラリーＳの調整工程は、上記混合工程に含まれていてもよく、この場合、当該混合工程の最終段階でスラリーＳが調整される。
【００３６】
［成形工程］
成形工程は、図６（Ａ）、（Ｂ）に示す成形型４の中にスラリーＳを充填することで成形体を得る。成形型４は、例えば石膏等の吸水性のある材料で構成され、本体４ａと、蓋体４ｂとを備える。
【００３７】
本体４ａには、内部空間４ｃと、この内部空間に連通する鋳込み口４ｄとを有する。図示の構成は一例であり、内部空間４ｃの形状や鋳込み口４ｄの位置等は適宜設定することが可能である。スラリーＳは、鋳込み口４ｄを介して内部空間４ｃへ所定圧力で充填され、かつその状態が所定時間保持される。これにより、スラリーＳ中の水分は成形型４に吸収され、ＩＴＯ粉末Ｐ３は型内に着肉することで高密度に成形される。成形体の作製にこのような泥漿鋳込み成形法を採用することにより、比較的安価に成形体を作製することができる。
【００３８】
成形型４は、石膏スラリーを素材とし、これを成形した後、乾燥することで形成される。石膏スラリーの溶媒である水の割合は、５０重量％以上６５重量％以下とすることができる。石膏スラリー中の溶媒が過剰に多いと（例えば６５重量％を越える場合）、成形型の吸液量は大きくなるものの、成形型の平均気孔径も大きくなるため、毛細管現象に起因する吸水力が小さくなる。その結果、成形体を製造する際の成形時において、スラリー中の溶媒である水の排水効率が悪くなり、成形に長時間を要することになる。また、石膏スラリー中の溶媒が少ないと（例えば５０重量％未満の場合）、成形型の吸液量が小さくなるため、成形体を製造する際の成形時において、スラリー中の溶媒である水の排水を十分できなくなり、満足できる成形体を作製することが困難となる。
【００３９】
作製された成形体は、乾燥工程を経て、乾燥される。乾燥工程は、所定温度に維持された乾燥室の中で行うことができる。乾燥後、必要に応じて、成形体の脱脂工程を実施してもよい。これにより、成形体中に含まれる樹脂成分が除去され、成形体の純度を高めることができる。
【００４０】
［焼結工程］
焼結工程は、得られた成形体を焼結することで、目的とするＩＴＯ焼結体Ｓｃを作製する。焼結は例えば大気中で行われ、焼結温度は例えば１５００℃〜１６５０℃とすることができる。
【００４１】
以上のようにして作製されたＩＴＯ焼結体Ｓｃは、９９．８％以上の相対密度と５μｍ以下の平均結晶粒径とを有する。焼結体Ｓｃの作製後、これを所定形状に切削あるいは研削することで、ＩＴＯスパッタリングターゲットが作製される。
【００４２】
焼結体Ｓｃの相対密度及び結晶粒径は、スラリー中のＩＴＯ粉末Ｐ３の平均粒子径で主に決定され、ＩＴＯ粉末Ｐ３の平均粒子径を０．２μｍ〜０．３μｍとすることにより、上述した諸特性の焼結体を安定して得ることが可能となる。また、焼結片２ａの破砕粉（Ｐ１）を段階的に微細化しているため、工程数の大幅な増加や特殊な処理を必要とすることなく焼結粒子の微細化を達成できる。したがって、本実施形態によれば、結晶粒が微細で組織が均一な高密度の焼結体を低コストで作製することができる。
【００４３】
以上のようにして作製されたスパッタリングターゲットは、ノジュールの発生を抑え、安定したスパッタ成膜を実現することが可能となる。
【実施例】
【００４４】
（実施例１）
使用済みＩＴＯターゲットを２００℃に加熱してバッキングプレートから剥がし、これを５０％希硫酸に２４時間浸漬することで、表面に付着したボンディング用ろう材を除去した。そのＩＴＯターゲットを適宜の大きさに分割し、焼結片としてのターゲット片を作製した。これらターゲット片２００ｋｇを純水２０リットルと共に容量３００リットルの樹脂製容器に投入し、当該容器を３５ｒｐｍの回転数で２４時間撹拌することにより、各ターゲット片を破砕した。その後、破砕粉を分級し１００μｍ以下の粉末を回収し、同粉末を２００℃で２４時間乾燥し、これを第１のＩＴＯ粉末とした。得られた第１のＩＴＯ粉末の平均粒子径は２μｍ（最大値８０μｍ）であった。
【００４５】
次に、振動ボールミルを用いて第１のＩＴＯ粉末を粉砕し、第２のＩＴＯ粉末を作製した。より具体的には、容量５０リットルの樹脂製容器に、第１のＩＴＯ粉末９ｋｇと、表面が樹脂コーティングされた直径１０ｍｍのボール（撹拌媒体）５０ｋｇを入れ、更に、純水１０リットルとカルボン酸系分散剤１８０ミリリットルとを添加し、５時間、振幅８ｍｍの条件で、第１のＩＴＯ粉末を粉砕した。得られた第２のＩＴＯ粉末の平均粒子径は０．６μｍ（最大値５μｍ）であった。
【００４６】
第２のＩＴＯ粉末を２００℃で２４時間乾燥した後、スピンミルで解砕した。そして、容量２００リットルの樹脂製容器に、この第２のＩＴＯ粉末３０重量％（４２ｋｇ）と、未使用の原料粉末７０重量％（酸化インジウム粉末８８．２ｋｇ、酸化スズ粉末９．８ｋｇ）と、直径１０ｍｍのジルコニアボール（撹拌媒体）２７２ｋｇとを投入し、純水３７．４リットル、カルボン酸系分散剤２．３１リットルを添加して、８４時間混合した。これにより、平均粒子径が０．２５μｍ（最大値２μｍ）の第３のＩＴＯ粉末を含むスラリーを作製した。スラリーの濃度は７８％、粘度は２００ｃｐｓであった。作製したスラリーにカルボン酸系バインダー１重量％を加え、回転数２０ｒｐｍで３０分間、スラリーを真空脱泡した。
【００４７】
縦４１５ｍｍ、横７８０ｍｍ、厚み１０．５ｍｍの成形体を作製可能な両面着肉構造の石膏型を準備した。この石膏型に、脱泡機の鋳込みバルブを調整することでスラリーを成形圧力３ｋｇ／ｃｍ２で流し込み、成形した。成形時間は８０分とした。得られた成形体は、３０℃雰囲気の乾燥室で６日間自然乾燥させ、縦３８０ｍｍ、横７８０ｍｍ、厚み１０．５ｍｍの成形体を得た。その後、大気中で６００℃、３時間の加熱条件で成形体を脱脂処理した。脱脂後、成形体を焼結した。焼結温度は１６００℃、焼結時間は８時間とした。焼結雰囲気は、酸素雰囲気とし、酸素導入量は毎分２００リットルとした。
【００４８】
得られた焼結体は、縦３１０ｍｍ、横６２０ｍｍ、厚み８．５ｍｍであった。この焼結体の両面を研削し、端面を切断することで、縦３００ｍｍ、横６１０ｍｍ、厚み７ｍｍに仕上げた。焼結体の平均結晶粒径は４．２μｍ、相対密度は９９．８％であった。この焼結体を縦１２７ｍｍ、横３８１ｍｍ、厚み６ｍｍに再加工し、銅製のバッキングプレートにボンディングすることで、ＩＴＯスパッタリングターゲットを作製した。
【００４９】
当該ターゲットをスパッタリング装置に組み込み、１００ｋＷｈスパッタしたところ、ターゲット表面へのノジュールの発生がほとんどないことが確認された。さらに、当該スパッタリングターゲットを用いて形成されたＩＴＯ膜（２００ｎｍ）の抵抗値を測定したところ、０．２×１０−３Ω・ｃｍであった。この結果、当該ＩＴＯ膜は、未使用の原料粉末のみで焼結されたＩＴＯターゲットを用いて成膜されたＩＴＯ膜と同等の抵抗値であることが確認された。
【００５０】
（実施例２）
使用済みＩＴＯターゲットを２００℃に加熱してバッキングプレートから剥がし、これを５０％希硫酸に２４時間浸漬することで、表面に付着したボンディング用ろう材を除去した。そのＩＴＯターゲットを適宜の大きさに分割し、焼結片としてのターゲット片を作製した。これらターゲット片２００ｋｇを純水２０リットルと共に容量３００リットルの樹脂製容器に投入し、当該容器を３５ｒｐｍの回転数で２４時間撹拌することにより、各ターゲット片を破砕した。その後、破砕粉を分級し１００μｍ以下の粉末を回収し、これを第１のＩＴＯ粉末とした。得られた第１のＩＴＯ粉末の平均粒子径は２μｍ（最大値８０μｍ）であった。
【００５１】
次に、振動ボールミルを用いて第１のＩＴＯ粉末を粉砕し、第２のＩＴＯ粉末を作製した。より具体的には、容量５０リットルの樹脂製容器に、第１のＩＴＯ粉末９ｋｇと、表面が樹脂コーティングされた直径１０ｍｍのボール（撹拌媒体）５０ｋｇを入れ、更に、純水１０リットルとカルボン酸系分散剤１８０ミリリットルとを添加し、５時間、振幅８ｍｍの条件で、第１のＩＴＯ粉末を粉砕した。得られた第２のＩＴＯ粉末の平均粒子径は０．６μｍ（最大値５μｍ）であった。
【００５２】
第２のＩＴＯ粉末を２００℃で２４時間乾燥した後、スピンミルで解砕した。そして、容量２００リットルの樹脂製容器に、この第２のＩＴＯ粉末１０重量％（１４ｋｇ）と、未使用の原料粉末９０重量％（酸化インジウム粉末１１３．４ｋｇ、酸化スズ粉末１２．６ｋｇ）と、直径１０ｍｍのジルコニアボール（撹拌媒体）２７２ｋｇとを投入し、純水３７．４リットル、カルボン酸系分散剤２．３１リットルを添加して、８４時間混合した。これにより、平均粒子径が０．２５μｍ（最大値２μｍ）の第３のＩＴＯ粉末を含むスラリーを作製した。スラリーの濃度は７８％、粘度は２００ｃｐｓであった。作製したスラリーにカルボン酸系バインダー１重量％を加え、回転数２０ｒｐｍで３０分間、スラリーを真空脱泡した。
【００５３】
縦４１５ｍｍ、横７８０ｍｍ、厚み１７ｍｍの成形体を作製可能な両面着肉構造の石膏型を準備した。この石膏型に、脱泡機の鋳込みバルブを調整することでスラリーを成形圧力３ｋｇ／ｃｍ２で流し込み、成形した。成形時間は８０分とした。得られた成形体は、３０℃雰囲気の乾燥室で６日間自然乾燥させ、縦３８０ｍｍ、横７８０ｍｍ、厚み１７ｍｍの成形体を得た。その後、大気中で６００℃、３時間の加熱条件で成形体を脱脂処理した。脱脂後、成形体を焼結した。焼結温度は１６００℃、焼結時間は８時間とした。焼結雰囲気は、酸素雰囲気とし、酸素導入量は毎分２００リットルとした。
【００５４】
得られた焼結体は、縦３１０ｍｍ、横６１０ｍｍ、厚み１５ｍｍであった。この焼結体の両面を研削し、端面を切断することで、縦３００ｍｍ、横６１０ｍｍ、厚み７ｍｍに仕上げた。焼結体の平均結晶粒径は４．３μｍ、相対密度は９９．９％であった。この焼結体を縦１２７ｍｍ、横３８１ｍｍ、厚み６ｍｍに再加工し、銅製のバッキングプレートにボンディングすることで、ＩＴＯスパッタリングターゲットを作製した。
【００５５】
当該ターゲットをスパッタリング装置に組み込み、１００ｋＷｈスパッタしたところ、ターゲット表面へのノジュールの発生がほとんどないことが確認された。さらに、当該スパッタリングターゲットを用いて形成されたＩＴＯ膜（２００ｎｍ）の抵抗値を測定したところ、０．２×１０−３Ω・ｃｍであった。この結果、当該ＩＴＯ膜は、未使用の原料粉末のみで焼結されたＩＴＯターゲットを用いて成膜されたＩＴＯ膜と同等の抵抗値であることが確認された。
【００５６】
（実施例３）
使用済みＩＴＯターゲットを２００℃に加熱してバッキングプレートから剥がし、これを５０％希硫酸に２４時間浸漬することで、表面に付着したボンディング用ろう材を除去した。そのＩＴＯターゲットを適宜の大きさに分割し、焼結片としてのターゲット片を作製した。これらターゲット片２００ｋｇを純水２０リットルと共に容量３００リットルの樹脂製容器に投入し、当該容器を３５ｒｐｍの回転数で２４時間撹拌することにより、各ターゲット片を破砕した。その後、破砕粉を分級し１００μｍ以下の粉末を回収し、これを第１のＩＴＯ粉末とした。得られた第１のＩＴＯ粉末の平均粒子径は２μｍ（最大値８０μｍ）であった。
【００５７】
次に、振動ボールミルを用いて第１のＩＴＯ粉末を粉砕し、第２のＩＴＯ粉末を作製した。より具体的には、容量５０リットルの樹脂製容器に、第１のＩＴＯ粉末９ｋｇと、表面が樹脂コーティングされた直径１０ｍｍのボール（撹拌媒体）５０ｋｇを入れ、更に、純水１０リットルとカルボン酸系分散剤１８０ミリリットルとを添加し、５時間、振幅８ｍｍの条件で、第１のＩＴＯ粉末を粉砕した。得られた第２のＩＴＯ粉末の平均粒子径は０．６μｍ（最大値５μｍ）であった。
【００５８】
第２のＩＴＯ粉末を２００℃で２４時間乾燥した後、スピンミルで解砕した。そして、容量２００リットルの樹脂製容器に、この第２のＩＴＯ粉末４０重量％（５６ｋｇ）と、未使用の原料粉末６０重量％（酸化インジウム粉末７５．６ｋｇ、酸化スズ粉末８．４ｋｇ）と、直径１０ｍｍのジルコニアボール（撹拌媒体）２７２ｋｇとを投入し、純水３７．４リットル、カルボン酸系分散剤２．３１リットルを添加して、８４時間混合した。これにより、平均粒子径が０．２５μｍ（最大値２μｍ）の第３のＩＴＯ粉末を含むスラリーを作製した。スラリーの濃度は７８％、粘度は２００ｃｐｓであった。作製したスラリーにカルボン酸系バインダー１重量％を加え、回転数２０ｒｐｍで３０分間、スラリーを真空脱泡した。
【００５９】
縦４１５ｍｍ、横７８０ｍｍ、厚み１７ｍｍの成形体を作製可能な両面着肉構造の石膏型を準備した。この石膏型に、脱泡機の鋳込みバルブを調整することでスラリーを成形圧力３ｋｇ／ｃｍ２で流し込み、成形した。成形時間は８０分とした。得られた成形体は、３０℃雰囲気の乾燥室で６日間自然乾燥させ、縦３８０ｍｍ、横７８０ｍｍ、厚み１７ｍｍの成形体を得た。その後、大気中で６００℃、３時間の加熱条件で成形体を脱脂処理した。脱脂後、成形体を焼結した。焼結温度は１６００℃、焼結時間は８時間とした。焼結雰囲気は、酸素雰囲気とし、酸素導入量は毎分２００リットルとした。
【００６０】
得られた焼結体は、縦３１０ｍｍ、横６１０ｍｍ、厚み１５ｍｍであった。この焼結体の両面を研削し、端面を切断することで、縦３００ｍｍ、横６１０ｍｍ、厚み７ｍｍに仕上げた。焼結体の平均結晶粒径は４．５μｍ、相対密度は９９．９％であった。この焼結体を縦１２７ｍｍ、横３８１ｍｍ、厚み６ｍｍに再加工し、銅製のバッキングプレートにボンディングすることで、ＩＴＯスパッタリングターゲットを作製した。
【００６１】
当該ターゲットをスパッタリング装置に組み込み、１００ｋＷｈスパッタしたところ、ターゲット表面へのノジュールの発生がほとんどないことが確認された。さらに、当該スパッタリングターゲットを用いて形成されたＩＴＯ膜（２００ｎｍ）の抵抗値を測定したところ、０．２×１０−３Ω・ｃｍであった。この結果、当該ＩＴＯ膜は、未使用の原料粉末のみで焼結されたＩＴＯターゲットを用いて成膜されたＩＴＯ膜と同等の抵抗値であることが確認された。
【００６２】
（比較例）
使用済みＩＴＯターゲットを２００℃に加熱してバッキングプレートから剥がし、これを５０％希硫酸に２４時間浸漬することで、表面に付着したボンディング用ろう材を除去した。そのＩＴＯターゲットを適宜の大きさに分割し、これらターゲット片２００ｋｇを純水２０リットルと共に容量３００リットルの樹脂製容器に投入し、当該容器を３５ｒｐｍの回転数で２４時間撹拌することにより、各ターゲット片を破砕した。その後、破砕粉を分級し１００μｍ以下の粉末を回収した。得られたＩＴＯ粉末の平均粒子径は２μｍ（最大値８０μｍ）であった。
【００６３】
容量２００リットルの樹脂製容器に、このＩＴＯ粉末３０重量％（４２ｋｇ）と、未使用の原料粉末７０重量％（酸化インジウム粉末８８．２ｋｇ、酸化スズ粉末９．８ｋｇ）と、直径１０ｍｍのジルコニアボール（撹拌媒体）２７２ｋｇとを投入し、純水３７．４リットル、カルボン酸系分散剤２．３１リットルを添加して、８４時間混合した。得られたスラリーの平均粒子径は０．７μｍ（最大値１０μｍ）、濃度は７８％、粘度は２００ｃｐｓであった。作製したスラリーにカルボン酸系バインダー１重量％を加え、回転数２０ｒｐｍで３０分間、スラリーを真空脱泡した。
【００６４】
縦４１５ｍｍ、横７８０ｍｍ、厚み１７ｍｍの成形体を作製可能な両面着肉構造の石膏型を準備した。この石膏型に、脱泡機の鋳込みバルブを調整することでスラリーを成形圧力３ｋｇ／ｃｍ２で流し込み、成形した。成形時間は８０分とした。得られた成形体は、３０℃雰囲気の乾燥室で６日間自然乾燥させ、縦３８０ｍｍ、横７８０ｍｍ、厚み１７ｍｍの成形体を得た。その後、大気中で６００℃、３時間の加熱条件で成形体を脱脂処理した。脱脂後、成形体を焼結した。焼結温度は１６００℃、焼結時間は８時間とした。焼結雰囲気は、酸素雰囲気とし、酸素導入量は毎分２００リットルとした。
【００６５】
得られた焼結体は、縦３１０ｍｍ、横６１０ｍｍ、厚み１５ｍｍであった。この焼結体の両面を研削し、端面を切断することで、縦３００ｍｍ、横６１０ｍｍ、厚み７ｍｍに仕上げた。焼結体の平均結晶粒径は７．０μｍ、相対密度は９９．２％であった。この焼結体を縦１２７ｍｍ、横３８１ｍｍ、厚み６ｍｍに再加工し、銅製のバッキングプレートにボンディングすることで、ＩＴＯスパッタリングターゲットを作製した。
【００６６】
当該ターゲットをスパッタリング装置に組み込み、１００ｋＷｈスパッタしたところ、ターゲット表面において多くのノジュールが確認された。さらに、当該スパッタリングターゲットを用いて形成されたＩＴＯ膜（２００ｎｍ）の抵抗値を測定したところ、０．８×１０−３Ω・ｃｍであった。この結果、当該ＩＴＯ膜は、未使用の原料粉末のみで焼結されたＩＴＯターゲットを用いて成膜されたＩＴＯ膜よりも高抵抗値であることが確認された。
【００６７】
以上、本発明の実施形態について説明したが、勿論、本発明はこれに限定されることはなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
【００６８】
例えば以上の実施形態では、第２のＩＴＯ粉末の作製に振動ボールミルを用いたが、湿式ジェットミル等の他の粉砕方法を用いてもよい。
【００６９】
また、以上の実施形態では、成形体の焼結雰囲気を酸素ガス雰囲気としたが、これに限られず、大気雰囲気としてもよい。
【符号の説明】
【００７０】
２…（使用済みの）スパッタリングターゲット
２ａ…焼結片
３ａ、３ｂ…樹脂製容器
４…成形型
Ｐ１…第１のＩＴＯ粉末
Ｐ２…第２のＩＴＯ粉末
Ｐ３…第３のＩＴＯ粉末
Ｓ…スラリー
Ｓｃ…焼結体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2011093729.tif 000006
【図５】
2011093729.tif 000007
【図６】
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【図７】
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