(57)【要約】【課題】光学部品の検査時間を短縮するとともに、高精度な検査を実施することを課題とする。【解決手段】チャープ測定器は、入力光から、光周波数の揺らぎによるものと、光が光学部品の欠陥箇所を通過することで発生するものとを含んだチャープを測定する。そして、チャープ測定器は、測定されたチャープの所定タイムスロット毎の時間平均を算出することで、ランダムに発生するチャープを平滑化する。続いて、チャープ測定器は、光が光学部品の欠陥箇所を通過することで恒常的に発生するチャープのピークが所定チャープ閾値以上であるか否かを判定する。その後、チャープ測定器は、所定チャープ閾値以上である場合に、該当する光学部品の性能劣化を示す性能劣化情報を出力する。また、チャープ測定器は、所定チャープ閾値未満である場合に、該当する光学部品が良品であることを示す良品情報を出力する。【選択図】図１
2011137763.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力光の光周波数の時間変動を示すチャープを測定するチャープ測定部と、
予め決定された加算回数に基づいて、前記チャープ測定部によって測定されたチャープの加算平均を算出する加算平均算出部と、
前記加算平均算出部によって算出された加算平均の算出結果が、所定のチャープ閾値以上であるか否かを判定するチャープ閾値判定部と、
前記チャープ閾値判定部による判定結果を出力する判定結果出力部と
を有することを特徴とするチャープ測定器。
【請求項２】
チャープの測定対象であるデバイスの設計で発生するデバイス固有の固有チャープ値を記憶する固有チャープ値記憶部と、
前記固有チャープ値記憶部から固有チャープ値を取得し、前記加算平均算出部によって算出された加算平均の算出結果に含まれる固有チャープ値を除外する固有チャープ値除外部とをさらに有し、
前記チャープ閾値判定部は、前記固有チャープ値除外部によって固有チャープ値が除外された加算平均の算出結果が、所定のチャープ閾値以上であるか否かを判定することを特徴とする請求項１に記載のチャープ測定器。
【請求項３】
入力光の光周波数の時間変動を示すチャープを測定するチャープ測定手順と、
予め決定された加算回数に基づいて、前記チャープ測定手順によって測定されたチャープの加算平均を算出する加算平均算出手順と、
前記加算平均算出手順によって算出された加算平均の算出結果が、所定のチャープ閾値以上であるか否かを判定するチャープ閾値判定手順と、
前記チャープ閾値判定手順による判定結果を出力する判定結果出力手順と
をコンピュータに実行させることを特徴とするチャープ測定プログラム。
【請求項４】
入力光の光周波数の時間変動を示すチャープを測定するチャープ測定ステップと、
予め決定された加算回数に基づいて、前記チャープ測定ステップによって測定されたチャープの加算平均を算出する加算平均算出ステップと、
前記加算平均算出ステップによって算出された加算平均の算出結果が、所定のチャープ閾値以上であるか否かを判定するチャープ閾値判定ステップと、
前記チャープ閾値判定ステップによる判定結果を出力する判定結果出力ステップと
を含んだことを特徴とするチャープ測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チャープ測定器、チャープ測定プログラム及びチャープ測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光通信システムにおいて、所定時間あたりに転送されるデータ量である伝送速度は、大容量化の傾向にある。かかる光通信システムは、高い信頼性で高速通信が可能であるとともに、より安価で提供されることが要求される。高い信頼性の要求に対しては、例えば、チャープ測定器を用いて測定される光周波数の時間変動（光周波数の揺らぎ）であるチャープの評価や制御等が実施される。
【０００３】
一方、より安価で提供するためには、例えば、光通信システムに含まれる光学部品の検査工数をいかに削減するかが重要な要因の一つとして挙げられる。従来、光通信システムに含まれる光学部品の検査工程では、例えば、顕微鏡の利用や目視等によって濁りの有無が検出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１１４３０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来に係る光通信システムに含まれる光学部品の検査工程では、光学部品の検査に時間を要するとともに、検査の精度が低いという課題がある。具体的には、顕微鏡の利用や目視等による検査は、実際の使用に十分耐え得る光学部品までも欠品にする可能性がある。また、顕微鏡の利用や目視等による検査は、人手を介したり高精度な顕微鏡を利用したりすることで、検査に要する時間や費用等がかかる。
【０００６】
そこで、本願に開示する技術は、上記に鑑みてなされたものであって、光学部品の検査時間を短縮するとともに、高精度な検査を実施することが可能であるチャープ測定器、チャープ測定プログラム及びチャープ測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するため、本願に開示するチャープ測定器は、入力光の光周波数の時間変動を示すチャープを測定するチャープ測定部を有する。また、チャープ測定器は、予め決定された加算回数に基づいて、チャープ測定部によって測定されたチャープの加算平均を算出する加算平均算出部を有する。また、チャープ測定器は、加算平均算出部によって算出された加算平均の算出結果が、所定のチャープ閾値以上であるか否かを判定するチャープ閾値判定部を有する。また、チャープ測定器は、チャープ閾値判定部による判定結果を出力する判定結果出力部を有する。
【発明の効果】
【０００８】
本願に開示するチャープ測定器、チャープ測定プログラム及びチャープ測定方法の一つの様態によれば、光学部品の検査時間を短縮するとともに、高精度な検査を実施するという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】図１は、実施例１に係るチャープ測定器の構成例を示す図である。
【図２】図２は、位相変調器における駆動電圧の時間変化の例を示す図である。
【図３】図３は、キャリア周波数からの変化であるチャープの例を示す図である。
【図４】図４は、チャープが発生したときの位相変化の例を示す図である。
【図５】図５は、駆動電圧ドライバーを用いて位相変調器にチャープを発生させる場合のシミュレーション結果の例を示す図である。
【図６】図６は、キャリア周波数の揺らぎを付加した条件におけるシミュレーション結果の例を示す図である。
【図７】図７は、時間平均によるチャープ検出の例を示す図である。
【図８】図８は、実施例２に係るチャープ測定器を含んだ光学部品の検査システムの構成例を示す図である。
【図９】図９は、実施例２に係るチャープ測定器の構成例を示す図である。
【図１０】図１０は、設定される時間平均の幅の例を示す図である。
【図１１】図１１は、設計によるチャープを除外する処理の例を示す図である。
【図１２】図１２は、チャープエラーの判別処理の例を示す図である。
【図１３】図１３は、実施例２に係るチャープ測定処理の流れを説明するフローチャートである。
【図１４】図１４は、チャープ測定プログラムを実行するコンピュータの例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に添付図面を参照して、本願に開示するチャープ測定器、チャープ測定プログラム及びチャープ測定方法の実施例を説明する。なお、以下の実施例により本発明が限定されるものではない。
【実施例１】
【００１１】
図１を用いて、実施例１に係るチャープ測定器の構成例を説明する。図１は、実施例１に係るチャープ測定器の構成例を示す図である。
【００１２】
例えば、図１に示すように、チャープ測定器１は、チャープ測定部２と、加算平均算出部３と、チャープ閾値判定部４と、判定結果出力部５とを有する。また、チャープ測定器１は、例えば、入力光から、光通信システムにおいてランダムに発生する光周波数の時間変動（光周波数の揺らぎ）であるチャープを測定するものである。また、チャープは、上記の光周波数の揺らぎによるものだけではなく、光が光学部品の欠陥箇所を通過する場合に位相変調が起きることでも発生する。すなわち、光が光学部品の欠陥箇所を通過する場合に発生するチャープは、恒常的に発生する。
【００１３】
上述した構成において、チャープ測定部２は、入力光の光周波数の時間変動を示すチャープを測定する。そして、加算平均算出部３は、予め決定された加算回数に基づいて、チャープ測定部２によって測定されたチャープの加算平均を算出する。続いて、チャープ閾値判定部４は、加算平均算出部によって算出された加算平均の算出結果が、所定のチャープ閾値以上であるか否かを判定する。その後、判定結果出力部５は、チャープ閾値判定部４による判定結果を出力する。
【００１４】
具体的に説明すると、チャープ測定部２は、入力光から、光周波数の揺らぎによるものと、光が光学部品の欠陥箇所を通過することで発生するものとを含んだチャープを測定する。そして、加算平均算出部３は、チャープ測定部２によって測定されたチャープを用いて、所定タイムスロット毎の時間平均を算出する。これらにより、チャープ測定器１は、ランダムに発生するチャープを平滑化し、光が光学部品の欠陥箇所を通過することで恒常的に発生するチャープを残存させる。
【００１５】
続いて、チャープ閾値判定部４は、加算平均算出部３によって算出された加算平均の算出結果に残存するチャープのピークが、所定のチャープ閾値以上であるか否かを判定する。その後、判定結果出力部５は、チャープ閾値判定部４による判定結果として、所定のチャープ閾値以上である場合に、該当する光学部品の性能劣化を示す性能劣化情報を出力する。
【００１６】
また、判定結果出力部５は、チャープ閾値判定部４による判定結果として、所定のチャープ閾値未満である場合に、該当する光学部品が良品であることを示す良品情報を出力する。なお、判定結果出力部５によって出力される判定結果は、例えば、チャープ測定器１が有する表示部や所定の表示装置等に表示出力される。
【００１７】
上述したように、チャープ測定器１は、測定されるチャープの時間平均を算出することで、光が光学部品の欠陥箇所を通過することで恒常的に発生するチャープのみを検出し、検出されたチャープが閾値以上か否かを判定し、判定結果を出力する。この結果、チャープ測定器１は、既存のチャープ測定器に簡易な構成を付加するだけで、顕微鏡の利用や目視等による従来の光学部品の検査工程と比較して、光学部品の検査時間を短縮するとともに、高精度な検査を実施することができる。
【実施例２】
【００１８】
次に、図２〜図７を用いて、チャープの発生について説明し、図８〜図１３を用いて、実施例２に係るチャープ測定器について説明する。チャープは、位相変調が起きることで発生する。このことにより、以下では、位相変調器を用いたチャープの発生、キャリア周波数の揺らぎによるチャープの発生及び光強度の変化によるチャープの発生について説明する。
【００１９】
例えば、位相変調は、光導波路に駆動ドライバーで電圧をかけると、導波路内の屈折率が変化することで発生する。ここで、例えば、振幅の時間変化「ｆｃ（ｔ）」は、振幅を「Ａ」、キャリア周波数を「ωｃ」、電圧によって生じる位相変化を「θ０（ｔ）」とすると（式１）となる。また、（式１）は、位相情報のみに着眼すると（式２）と表すことができる。そして、（式２）は、位相の変化を調べるために時間微分を行なうと（式３）になる。
【００２０】
【数１】
2011137763.tif 000003
【００２１】
【数２】
2011137763.tif 000004
【００２２】
【数３】
2011137763.tif 000005
【００２３】
ここで、（式３）を瞬時周波数と呼ぶこととし、（式３）での瞬時周波数は、キャリア周波数から本来あるべき位相の回転位置から、どれほどのずれがあるか、また、どのように時間変化が推移するかを表している。キャリア周波数からの変化は、光周波数の時間変動（光周波数の揺らぎ）であるチャープとなる。
【００２４】
図２は、位相変調器における駆動電圧（Ｖ）の時間変化（ｔ）の例を示す図である。図２の例では、駆動電圧「Ｖ」は、時間間隔「Ｔ１」で増加し、時間間隔「Ｔ２」で一定となり、時間間隔「Ｔ３」で減少している。そして、瞬時周波数は、例えば、ニオブ酸リチウム（LN：LiNbO3）の結晶を利用した光変調器であるＬＮ変調器において、位相変化を発生させる電圧変化が図２に示すものである場合には（式３）及び図１から、（式４）、（式５）及び（式６）となる。
【００２５】
【数４】
2011137763.tif 000006
【００２６】
【数５】
2011137763.tif 000007
【００２７】
【数６】
2011137763.tif 000008
【００２８】
図３は、キャリア周波数からの変化であるチャープの例を示す図である。また、図４は、チャープが発生したときの位相変化の例を示す図である。図３の例では、チャープは、時間間隔「Ｔ１」で上に凸となり、時間間隔「Ｔ２」で「０」となり、時間間隔「Ｔ３」で下に凸となる。そして、図３におけるチャープの振る舞いにおいて、位相変化は、（式７）、（式８）及び（式９）から、図４に示すように、時間間隔「Ｔ１」、「Ｔ２」及び「Ｔ３」で、キャリア周波数よりも速い周波数が発生したり、遅い周波数が発生したりする。
【００２９】
【数７】
2011137763.tif 000009
【００３０】
【数８】
2011137763.tif 000010
【００３１】
【数９】
2011137763.tif 000011
【００３２】
図５は、駆動電圧ドライバーを用いて位相変調器にチャープを発生させる場合のシミュレーション結果の例を示す図である。ここで、図３に示したチャープの振る舞いは、設計によってある程度調整することができる。以上のことから、シミュレーション結果は、図５に示すように、チャープ値「０」を任意の時間間隔でとりつつチャープが発生する。
【００３３】
図６は、キャリア周波数の揺らぎを付加した条件におけるシミュレーション結果の例を示す図である。ところが、実際の測定で得られるチャープは、図６に示すように、チャープ値「０」を任意の時間間隔でとることなく、ランダム性を有するチャープ（実際には、キャリア周波数の揺らぎ）がさらに発生する。要するに、（式５）において、実際のキャリア周波数は、帯域が「０」ではなく有限の帯域を持つ、すなわち、発信レーザの周波数揺らぎを有することとなる。このため、（式３）は、（式１０）と表すことができる。
【００３４】
【数１０】
2011137763.tif 000012
【００３５】
（式１０）において瞬時周波数を求める場合には、キャリア周波数「ωｃ」も一定値とはならず、時間変化によってランダムに発生するものとなるため、誘電体多層膜やレンズ等の他の光学部品も設計通りであれば、発生し得るチャープを特定できる。ところが、（式２）は、導波路中に何らかの要因で位相変化に影響のある欠陥を有する場合には（式１１）となる。（式１１）では、欠陥によって発生する位相変化の項「θｅｒｒｏｒ（ｔ）」が付加される。（式１１）において、位相変化の時間平均をとる場合には、（式１２）となる。なお、（式１２）において、時間平均は、「＜＞」で示す。
【００３６】
【数１１】
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【００３７】
【数１２】
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【００３８】
図７は、時間平均によるチャープ検出の例を示す図である。（式１２）では、「ωｃ＝＜ωｃ（ｔ）＞」としており、これにより、周波数の揺らぎによるチャープを除去し、設計により生じるチャープの時間平均と、欠陥により生じるチャープの時間平均とを得ることができる。例えば、チャープは、図７に示すように、図７上部に示される４つのタイムスロット毎の位相変化の時間平均をとることにより、図７下部に示されるように、設計により生じるものと欠陥により生じるものとが得られる。
【００３９】
［実施例２に係るシステム構成］
次に、図８を用いて、実施例２に係るチャープ測定器を含んだ光学部品の検査システムの構成例を説明する。図８は、実施例２に係るチャープ測定器を含んだ光学部品の検査システムの構成例を示す図である。
【００４０】
例えば、図８に示すように、実施例２に係るシステムは、光源と、ＤＵＴ（Device  Under  Test：テストデバイス）と、チャープ測定器とを有する。このうち、光源は、例えば、光通信システムで用いられる波長帯であり、変調をかけていない単一波長を出力する。ＤＵＴは、例えば、チャープ測定の対象デバイス（光学部品）であり、光源と直列に接続される。また、チャープ測定器は、例えば、ＤＵＴとさらに直列に接続される。なお、以下では、ＤＵＴに何らかの欠陥がある場合を説明する。
【００４１】
上述した構成において、ＤＵＴへの入力前で仮に測定した場合には、例えば、光源の揺らぎ「ωｃ」が測定される。そして、チャープ測定器は、ＤＵＴの通過後において、位相変化「θ０（ｔ）」が付加されるとともに、ＤＵＴの欠陥による位相変化「θｅｒｒｏｒ（ｔ）」が付加された位相情報を測定する。その後、チャープ測定器は、測定された位相情報から瞬時周波数を算出し、チャープを測定する。なお、実施例２に係るチャープ測定器によるチャープ測定の詳細については後述する。
【００４２】
［実施例２に係るチャープ測定器の構成］
次に、図９を用いて、実施例２に係るチャープ測定器の構成例を説明する。図９は、実施例２に係るチャープ測定器の構成例を示す図である。例えば、図９に示すように、チャープ測定器１００は、記憶部１１０と、制御部１２０とを有する。
【００４３】
記憶部１１０は、制御部１２０による各種処理に要するデータや、制御部１２０による各種処理結果を記憶し、固有チャープ値記憶部１１１を有する。また、記憶部１１０は、例えば、ＲＡＭ（Random  Access  Memory）、ＲＯＭ（Read  Only  Memory）、フラッシュメモリ（flash  memory）等の半導体メモリ素子、又は、ハードディスク、光ディスク等の記憶装置である。
【００４４】
固有チャープ値記憶部１１１は、例えば、チャープ測定器１００によるチャープの測定対象であるデバイスの設計で発生するデバイス固有の固有チャープ値（理論値）をそれぞれ記憶する。固有チャープ値記憶部１１１によって記憶されるチャープ値は、デバイスによってそれぞれ固有の値を有し、固有チャープ値記憶部１１１は、当該デバイスごとに異なるチャープ値をそれぞれ記憶する。
【００４５】
制御部１２０は、制御プログラム、各種の処理手順等を規定したプログラム及び所用データを格納するための内部メモリを有し、チャープ測定器１００を制御する。また、制御部１２０は、チャープ測定部１２１と、加算平均算出部１２２と、固有チャープ値除外部１２３と、チャープ閾値判定部１２４と、判定結果出力部１２５とを有する。なお、制御部１２０は、例えば、ＡＳＩＣ（Application  Specific  Integrated  Circuit）やＦＰＧＡ（Field  Programmable  Gate  Array）等の集積回路、又は、ＣＰＵ（Central  Processing  Unit）やＭＰＵ（Micro  Processing  Unit）等の電子回路である。
【００４６】
チャープ測定部１２１は、例えば、チャープ測定対象となるＤＵＴを通過した入力光から、光周波数の揺らぎによるものと、光がＤＵＴの欠陥箇所を通過することで発生するものとを含んだチャープを測定する。そして、チャープ測定部１２１は、例えば、測定されたチャープを加算平均算出部１２２に入力する。なお、チャープ測定部１２１は、チャープ測定部２の一例として挙げられる。
【００４７】
加算平均算出部１２２は、例えば、チャープ測定部１２１によって測定されたチャープに基づいて、所定タイムスロット毎の時間平均を算出し、固有チャープ値除外部１２３に入力する。加算平均算出部１２２による所定タイムスロット毎の時間平均の算出では、例えば、図１０に示すように、ＤＵＴの通過時間「Ｔｐａｓｓ」毎のデータから時間平均を算出する。なお、図１０は、設定される時間平均の幅の例を示す図である。
【００４８】
時間平均は、例えば、時間間隔「Ｔｐａｓｓ」毎にサンプリングデータ「ｔ（１），ｃｈｉｒｐ（１）」、・・・、「ｔ（ｊ），ｃｈｉｒｐ（ｊ）」、・・・、が得られる場合に、時間軸でｊ番目のデータについて平均をとると、（式１３）で算出できる。また、（式１３）において「Ｎ」（Ｎは自然数）は、加算平均数を示し、加算平均数は予め決定される。なお、加算平均算出部１２２は、加算平均算出部３の一例として挙げられる。
【００４９】
【数１３】
2011137763.tif 000015
【００５０】
固有チャープ値除外部１２３は、例えば、ＤＵＴの設計で発生する固有チャープ値が存在する場合に、固有チャープ値記憶部１１１から固有チャープ値を取得する。固有チャープ値が存在するか否かは、事前に設定されるものである。そして、固有チャープ値除外部１２３は、加算平均算出部１２２から入力された時間平均の算出結果に含まれる固有チャープ値を除外し、チャープ閾値判定部１２４に入力する。
【００５１】
固有チャープ値除外部１２３による固有チャープ値の除外処理では、例えば、図１１に示すように、図１１上段の時間平均の算出結果から、図１１中段の設計によるチャープを差し引き、図１１下段の結果を得る。なお、図１１は、設計によるチャープを除外する処理の例を示す図である。
【００５２】
チャープ閾値判定部１２４は、例えば、固有チャープ値除外部１２３から入力された固有チャープ値が除外された時間平均の算出結果に含まれるチャープが、所定のチャープ閾値以上であるか否かを判定し、判定結果出力部１２５に入力する。なお、チャープ閾値判定部１２４は、チャープ閾値判定部４の一例として挙げられる。
【００５３】
チャープ閾値判定部１２４による判定では、例えば、図１２に示すように、時間間隔が「Ｔｐａｓｓ」の３つから得られる時間平均算出結果において、所定のチャープ閾値（チャープエラーバー）以上であるか否かを判定する。このチャープエラーバーは、例えば、伝送シミュレーション等で伝送品質に影響のあるレベルとなるチャープ量が予め算出され、当該チャープ量に基づいて設定される。なお、図１２は、チャープエラーの判別処理の例を示す図である。
【００５４】
判定結果出力部１２５は、例えば、チャープ閾値判定部１２４による判定結果として、チャープエラーバー以上である場合に、ＤＵＴの性能劣化を示す「ＮＧ」を出力する。また、判定結果出力部１２５は、例えば、チャープ閾値判定部１２４による判定結果として、チャープエラーバー未満である場合に、ＤＵＴが良品であることを示す「ＯＫ」を出力する。判定結果出力部１２５によって出力される判定結果は、例えば、チャープ測定器１００が有する表示部や、オシロスコープ等の所定の表示装置に表示出力される。なお、判定結果出力部１２５は、判定結果出力部５の一例として挙げられる。
【００５５】
要するに、実施例２に係るチャープ測定器１００によるチャープ測定では、光周波数の揺らぎによるものと、光がＤＵＴの欠陥箇所を通過することで発生するものと、ＤＵＴの設計により発生するものとを含んだチャープを測定する。そして、チャープ測定器１００は、加算平均算出部１２２によって光周波数の揺らぎによるチャープを平滑化し、固有チャープ値除外部１２３によって設計によるチャープを除外する。その後、チャープ測定器１００は、光がＤＵＴの欠陥箇所を通過することで発生するチャープが光通信に影響を及ぼす、すなわち、所定チャープ閾値以上であるものを欠陥があると判定する。なお、チャープ測定器１００は、設計によるチャープが存在しない場合に、設計によるチャープ値を除外する処理を行なうことなく時間平均の算出のみを行う。
【００５６】
［実施例２に係るチャープ測定処理］
次に、図１３を用いて、実施例２に係るチャープ測定処理の流れを説明する。図１３は、実施例２に係るチャープ測定処理の流れを説明するフローチャートである。なお、チャープ測定処理とは、実施例２に係るチャープ測定器１００による処理を指す。
【００５７】
例えば、図１３に示すように、チャープ測定器１００は、光源から出力された光がチャープ測定対象となるＤＵＴを通過することで得られる光が入力された場合に（ステップＳ１０１肯定）、設計によるチャープがあるか否かを判定する（ステップＳ１０２）。なお、チャープ測定器１００は、光が入力されない場合に（ステップＳ１０１否定）、入力光の入力待ちの状態となる。
【００５８】
そして、チャープ測定器１００は、設計によるチャープがない場合に（ステップＳ１０２否定）、チャープを測定する（ステップＳ１０３）。このとき、チャープ測定器１００は、光周波数の揺らぎによるものと、光がＤＵＴの欠陥箇所を通過することで発生するものとを含んだチャープを測定する。
【００５９】
続いて、チャープ測定器１００は、測定されたチャープに基づいて、所定タイムスロット毎の時間平均（例えば、加算回数は「Ｎ」）を算出する（ステップＳ１０４）。その後、チャープ測定器１００は、チャープが所定のチャープ閾値以上であるか否かを判定する（ステップＳ１０５）。
【００６０】
そして、チャープ測定器１００は、チャープが所定のチャープ閾値以上である場合に（ステップＳ１０５肯定）、ＤＵＴの性能劣化を示す「ＮＧ」を出力する。また、チャープ測定器１００は、チャープが所定のチャープ閾値未満である場合に（ステップＳ１０５否定）、ＤＵＴが良品であることを示す「ＯＫ」を出力する。
【００６１】
一方、チャープ測定器１００は、設計によるチャープがある場合に（ステップＳ１０２肯定）、ＤＵＴのデバイス設計による固有チャープ値を固有チャープ値記憶部１１１から取得する（ステップＳ１０６）。そして、チャープ測定器１００は、チャープを測定する（ステップＳ１０７）。このとき、チャープ測定器１００は、光周波数の揺らぎによるものと、光がＤＵＴの欠陥箇所を通過することで発生するものと、ＤＵＴの設計によって発生するものとを含んだチャープを測定する。
【００６２】
続いて、チャープ測定器１００は、測定されたデータに基づいて、所定タイムスロット毎の時間平均（例えば、加算回数は「Ｎ」）を算出する（ステップＳ１０８）。このとき、チャープ測定器１００は、光周波数の揺らぎによってランダムに発生するチャープを平滑化し、光がＤＵＴの欠陥箇所を通過することで発生するものと、ＤＵＴの設計によって発生するものとを含んだチャープを出力する。
【００６３】
その後、チャープ測定器１００は、時間平均の処理によるデータと、設計によるチャープ値である設計値データとの差分をとることにより、設計によって発生するチャープ値を除外する（ステップＳ１０９）。このとき、チャープ測定器１００は、設計によるチャープ値を除外し、光がＤＵＴの欠陥箇所を通過することで発生するものを含んだチャープを出力する。
【００６４】
そして、チャープ測定器１００は、チャープが所定のチャープ閾値以上である場合に（ステップＳ１１０肯定）、ＤＵＴの性能劣化を示す「ＮＧ」を出力する。また、チャープ測定器１００は、チャープが所定のチャープ閾値未満である場合に（ステップＳ１１０否定）、ＤＵＴが良品であることを示す「ＯＫ」を出力する。なお、固有チャープ値記憶部１１１からの固有チャープの取得は、時間平均の算出処理後でも良い。
【００６５】
［実施例２による効果］
上述したように、チャープ測定器１００は、測定したチャープのうち、光が光学部品の欠陥箇所を通過することで発生するチャープのみを出力し、出力されたチャープが所定チャープ閾値以上である場合に欠陥があることを出力する。この結果、チャープ測定器１００は、光学部品の検査時間を短縮するとともに、高精度な検査を実施することができる。また、チャープ測定器１００は、既存のチャープ測定器に簡易な構成を追加するだけで、光学部品の欠品検査に利用するので、より安価に欠品検査を行なうことができる。また、チャープ測定器１００は、チャープの観点から欠品検査を行なうことで、顕微鏡の利用や目視等による欠品検査で欠品としていた光学部品を良品として救済できる。
【実施例３】
【００６６】
さて、これまで本願に開示するチャープ測定器の実施例について説明したが、上述した実施例以外にも種々の異なる形態にて実施されてよいものである。そこで、（１）加算平均のタイミング、（２）チャープ測定器の構成、（３）プログラム、において異なる実施例を説明する。
【００６７】
（１）加算平均のタイミング
上記実施例１及び２では、チャープを測定した後に加算平均を算出する場合を説明したが、チャープ測定器に入力されるデータの加算平均を先に算出することとしても良い。つまり、チャープ測定器は、入力されたデータの加算平均を算出し、ランダムに発生する光周波数の揺らぎ成分が平滑化されたデータについてチャープを測定し、測定されたチャープの閾値判定を行なう。
【００６８】
（２）チャープ測定器の構成
また、上記文書中や図面中などで示した処理手順、制御手順、具体的名称、各種のデータやパラメタなどを含む情報（例えば、測定されるチャープ等）については、特記する場合を除いて任意に変更することができる。例えば、チャープの測定では、装置の仕様によっては下に凸となるチャープを出力することもある。
【００６９】
また、図示した基地局および移動通信端末の各構成要素は、機能概念的なものであり、必ずしも物理的に図示の如く構成されていることを要しない。すなわち、各装置の分散・統合の具体的形態は、図示のものに限られず、その全部又は一部を各種の負担や使用状況などに応じて、任意の単位で機能的又は物理的に分散・統合することができる。例えば、加算平均算出部１２２と、固有チャープ値除外部１２３とを、測定データの時間平均を算出するとともに、デバイスの設計によるチャープを除外する「ノイズチャープ除外部」として統合しても良い。
【００７０】
（３）プログラム
ところで、上記実施例では、ハードウェアロジックによって各種の処理を実現する場合を説明したが、予め用意されたプログラムをコンピュータで実行することによって実現するようにしても良い。そこで、以下では、図１４を用いて、上記実施例に示したチャープ測定器１と同様の機能を有するチャープ測定プログラムを実行するコンピュータの一例を説明する。図１４は、チャープ測定プログラムを実行するコンピュータの例を示す図である。
【００７１】
図１４に示すように、チャープ測定器１としてのコンピュータ１１は、バス１８で接続されるＨＤＤ１３、ＣＰＵ１４、ＲＯＭ１５及びＲＡＭ１６等を有する。
【００７２】
ＲＯＭ１５には、上記実施例に示したチャープ測定器１と同様の機能を発揮するチャープ測定プログラム、つまり、図１４に示すように、チャープ測定プログラム１５ａと、加算平均算出プログラム１５ｂと、チャープ閾値判定プログラム１５ｃと、判定結果出力プログラム１５ｄとが予め記憶される。なお、これらのプログラム１５ａ〜プログラム１５ｄについては、図１に示したチャープ測定器１の各構成要素と同様、適宜統合又は分散しても良い。
【００７３】
そして、ＣＰＵ１４がこれらのプログラム１５ａ〜プログラム１５ｄをＲＯＭ１５から読み出して実行することで、図１４に示すように、プログラム１５ａ〜プログラム１５ｄは、チャープ測定プロセス１４ａと、加算平均算出プロセス１４ｂと、チャープ閾値判定プロセス１４ｃと、判定結果出力プロセス１４ｄとして機能するようになる。なお、プロセス１４ａ〜プロセス１４ｄは、図１に示したチャープ測定部２と、加算平均算出部３と、チャープ閾値判定部４と、判定結果出力部５とに対応する。そして、ＣＰＵ１４は、ＲＡＭ１６に記録されたデータに基づいて、チャープ測定プログラムを実行する。
【００７４】
なお、上記各プログラム１５ａ〜プログラム１５ｄについては、必ずしも最初からＲＯＭ１５に記憶させておく必要はなく、例えば、コンピュータ１１に挿入されるフレキシブルディスク（ＦＤ）、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤディスク、光磁気ディスク、ＩＣカード等の「可搬用の物理媒体」、又はコンピュータ１１の内外に備えられるＨＤＤ等の「固定用の物理媒体」、さらには公衆回線、インターネット、ＬＡＮ、ＷＡＮ等を介してコンピュータ１１に接続される「他のコンピュータ（又はサーバ）」等に各プログラムを記憶させておき、コンピュータ１１がこれから各プログラムを読み出して実行するようにしてもよい。
【符号の説明】
【００７５】
１  チャープ測定器
２  チャープ測定部
３  加算平均算出部
４  チャープ閾値判定部
５  判定結果出力部
１００  チャープ測定器
１１０  記憶部
１１１  固有チャープ値記憶部
１２０  制御部
１２１  チャープ測定部
１２２  加算平均算出部
１２３  固有チャープ値除外部
１２４  チャープ閾値判定部
１２５  判定結果出力部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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