(57)【要約】      （修正有）【課題】研磨キズの発生が少なく、凹みを形成しない場合に比べてキズ発生率が１／２０であり、カラーフィルタの平坦性が向上するのでコントラストが高い、安定した画質の液晶表示装置を提供する。【解決手段】基板（１）上にブラックマトリックス（２）とストライプ状に形成された着色画素（４）が備え、前記着色画素（４）は凹み（８）を有することを特徴とするカラーフィルタ基板、あるいは該着色画素上にオーバーコート層を備える場合は、前記オーバーコート層は凹みを有することを特徴とするカラーフィルタ基板である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上にブラックマトリックスとストライプ状に形成された着色画素を備え、前記着色画素は凹みを有することを特徴とするカラーフィルタ基板。
【請求項２】
基板上にブラックマトリックスと着色画素、及び該着色画素上にオーバーコート層を備え、前記オーバーコート層は凹みを有することを特徴とするカラーフィルタ基板。
【請求項３】
前記直線状の凹みは、深さが０．３０〜１．００μｍ、長さが５．０〜１５．０μｍの範囲であることを特徴とする請求項1又は請求項２に記載のカラーフィルタ基板。
【請求項４】
請求項1から請求項３のいずれか１項に記載の凹みを、ハーフトーンマスク又はグレートーンマスクを用いて製造することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置に使用するカラーフィルタ基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置に使用されているガラス基板には、ストライプ状に透明電極が形成され、該電極上には赤、緑、青色の微小な着色層または着色画素が規則的に敷設されている。対抗する透明電極に挟まれていない部分は、液晶が動かず光が透過する場合があるので、このまま放置するとコントラストが低くなるため、一般には黒色の遮光膜（以下、ブラックマトリックス、又はＢＭと記す。）をマトリックス状に設けている。
【０００３】
ブラックマトリックスは、低反射のクロム又は酸化クロムの金属膜あるいはカーボンブラックを含有する黒色感光性樹脂を用いてフォトリソ法により形成する。カラーフィルタ基板は、このＢＭの開口部に着色画素を規則的に敷設したものである。各着色部の形状がストライプ状であれ、ドット状であれ、着色画素の周囲境界はＢＭに乗り上げて形成される。図２（ａ）〜（ｃ）に、ブラックマトリックス２，６上の着色画素３，４が重なり会う様子を模式的に示した。
【０００４】
金属ＢＭ６に比べ樹脂ＢＭ２は相対的に厚いので、着色層が重なる部位７（以下、ツノ段差と記す。）は周辺より高くなるが、ツノ段差７が高すぎると、基板間隙に封入される液晶に配向異常を誘起するという問題がある。また、ツノ段差部から画素中央部にかけて傾斜が生まれるので、当該傾斜による配向差、厚み差によってコントラストに悪影響があることがある。尚、金属ＢＭでは、着色層が重ならないように隙間を開けておくことも可能であるが（図２（ａ））、金属表面がむき出しになると、反射光によりＴＦＴの動作不良を誘導する原因となる。そこで通常は隙間を開けずＢＭ上で色重なりさせるのが普通である。
【０００５】
例えば、図２（ａ））で厚さ１．３μｍ程度の樹脂ＢＭ上に、厚さ１．５μｍ程度の着色画素を形成するとツノ段差（突起部-開口画素）は、概ね１μｍ程度になる。金属ＢＭでは厚さが０．１〜０．２μｍ程度であるので、ツノ段差は僅少と見なして構わないが、ＢＭ上で２つの着色画素が重なると（図２（ｂ）、（ｃ））、１．５μｍ程度の段差が発生する。
【０００６】
このようなカラーフィルタ基板表面に形成される突起部分を、液晶分子の配向に影響のない程度にまで高さを低くする目的でカラーフィルタ表面の研磨が行われる。あるいは、研磨した上でさらに、着色層成分の液晶中への溶出防止も兼ねて、着色層全体をオーバーコート層で被覆して平坦化することもある。
【０００７】
この研磨処理は、平盤研磨機の円形テーブル上に、カラーフィルタ基板を載置固定し、常盤に貼り合わせた研磨パッド面をカラーフィルタ表面に加圧接触させて、円形テーブルを回転させながら、研磨液を滴下しつつ、常盤を回転揺動させて、カラーフィルタ表面の突起を削り取るというものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００４−１８４５８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところが、ツノ段差を低減するために赤、青、緑の着色画素に対し研磨処理を行うと、該画素表面にキズ９（図１（ａ）参照）が発生し、液晶表示装置化すると、このキズに沿って光が漏れるという問題がある。特に、研磨量を増やしていくとこの傾向が強まるという問題があった。
そこで、本発明は、研磨荷重、研磨時間、研磨材を調整して研磨量を増やした場合でも、研磨キズが発生せず平坦性の向上したカラーフィルタ基板の提供を目的とした。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の課題を達成するための請求項１に記載の発明は、基板上にブラックマトリックスとストライプ状に形成された着色画素を備え、前記着色画素は凹みを有することを特徴とするカラーフィルタ基板としたものである。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、基板上にブラックマトリックスと着色画素、及び該着色画素上にオーバーコート層を備え、前記オーバーコート層は凹みを有することを特徴とするカラーフィルタ基板としたものである。
【００１２】
カラーフィルタ表面に凹みを有する構成であると、研磨により脱離したツノ段差あるいはこれと研磨材が合体した物（研磨クズ）が凹みに収容されるので、カラーフィルタ基板上をごろごろと徘徊することがない。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、前記直線状の凹みは、深さが０．３０〜１．００μｍ、長さが５．００〜１５．００μｍの範囲であることを特徴とする請求項1又は請求項２に記載のカラーフィルタ基板としたものである。
【００１４】
研磨部が回転する研磨装置においては、かかる形状の凹みが、脱離したツノ段差の収容効率が高く、研磨工程で凹み部分が損傷を受けることがない。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、請求項1から請求項３のいずれか１項に記載の凹みを、ハーフトーンマスク又はグレートーンマスクを用いて製造することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法としたものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明になるカラーフィルタ基板にあっては、研磨キズの発生が少なく、凹みを形成しない場合に比べてキズ発生率が１／２０となった。カラーフィルタの平坦性が向上するのでコントラストが高い安定した画質の液晶表示装置が製造できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】（ａ）〜（ｃ）着色画素の重なりによるツノ段差の形状を模式的に説明する断面視の図である。
【図２】（ａ）カラーフィルタ基板上の凹みの位置を説明するための上面視の図、（ｂ）ＢＭ上の凹みの形状を模式的に説明する断面視の図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明は、基板上のブラックマトリックス上に一色の着色層を形成した所謂突起の少ない基板と、フォトリソ法を使用して２色以上の着色層をパタニングした所謂突起を有するカラーフィルタ基板を、同一条件で研磨した場合の研磨キズの発生を比較して得た知見に基づいている。
【００１９】
実験によれば、単一の着色層しかない場合には、研磨キズの発生は極めて僅少であった
。
このことは、研磨キズは研磨処理で脱落した突起（研磨クズ）が関与しているということを示唆している。そこで本発明者は、研磨され脱落した突起が凝集したり研磨剤を抱き込んで基板上を動き回ることのないように、脱落した突起を収容するスペースを適切な部位に設けることに想到した。
【００２０】
以下、この点について実施の形態に基づいて説明する。
【００２１】
カラーフィルタ形成用の着色組成物に含まれる顔料としては、有機または無機の顔料を、単独でまたは２種類以上混合して用いることができる。顔料は、発色性が高く、且つ耐熱性の高い顔料、特に耐熱分解性の高い顔料が好ましく、通常は有機顔料が用いられる。以下に、着色組成物に使用可能な有機顔料の具体例を、カラーインデックス番号で示す。赤色着色組成物には、例えばＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｒｅｄ  ７、１４、４１、４８：２、４８：３、４８：４、８１：１、８１：２、８１：３、８１：４、１４６、１６８、１７７、１７８、１７９、１８４、１８５、１８７、２００、２０２、２０８、２１０、２４６、２５４、２５５、２６４、２７０、２７２、２７９等の赤色顔料を用いることができ、黄色顔料を併用することもできる。黄色顔料としては、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  １、２、３、４、５、６、１０、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、２４、３１、３２、３４、３５、３５：１、３６、３６：１、３７、３７：１、４０、４２、４３、５３、５５、６０、６１、６２、６３、６５、７３、７４、７７、８１、８３、９３、９４、９５、９７、９８、１００、１０１、１０４、１０６、１０８、１０９、１１０、１１３、１１４、１１５、１１６、１１７、１１８、１１９、１２０、１２３、１２６、１２７、１２８、１２９、１３８、１４７、１５０、１５１、１５２、１５３、１５４、１５５、１５６、１６１、１６２、１６４、１６６、１６７、１６８、１６９、１７０、１７１、１７２、１７３、１７４、１７５、１７６、１７７、１７９、１８０、１８１、１８２、１８５、１８７、１８８、１９３、１９４、１９９、１９８、２１３、２１４等が挙げられる。
【００２２】
また緑色着色組成物には、例えばＣ．Ｉ．ＰｉｇｍｅｎｔＧｒｅｅｎ  ７、１０、３６、３７等の緑色顔料を用いることができ、黄色顔料を併用できる。黄色顔料としては、赤色着色組成物のところで挙げた顔料と同様のものが使用可能である。
【００２３】
青色着色組成物には、例えばＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｂｌｕｅ  １５、１５：１、１５：２、１５：３、１５：４、１５：６、１６、２２、６０、６４等の青色顔料を用いることができ、紫色顔料を併用できる。紫色顔料としては、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  １、１９、２３、２７、２９、３０、３２、３７、４０、４２、５０等が挙げられる。
【００２４】
ブラックマトリックス用の黒色着色組成物には、カーボンブラックあるいは黒色有機系顔料を使用できる。
【００２５】
着色組成物には顔料担体が含まれる。上記の顔料を分散させるものであり、熱可塑性樹脂・熱硬化性樹脂・感光性樹脂などの透明樹脂、その前駆体またはそれらの混合物により構成される。透明樹脂は、可視光領域の４００〜７００ｎｍの全波長領域において透過率が好ましくは８０％以上、より好ましくは９５％以上の樹脂である。透明樹脂には、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、および感光性樹脂が含まれ、その前駆体には、放射線照射により硬化して透明樹脂を生成するモノマーもしくはオリゴマーが含まれ、これらを単独でまたは２種以上混合して用いることができる。
顔料担体は、着色組成物中の顔料１００重量部に対して、３０〜７００重量部、好ましくは６０〜４５０重量部の量で用いることができる。また、透明樹脂とその前駆体との混合
物を顔料担体として用いる場合には、透明樹脂は、着色組成物中の顔料１００重量部に対して、２０〜４００重量部、好ましくは５０〜２５０重量部の量で用いることができる。また、透明樹脂の前駆体は、着色組成物中の顔料１００重量部に対して、１０〜３００重量部、好ましくは１０〜２００重量部の量で用いることができる。
【００２６】
熱可塑性樹脂としては、例えば， ブチラール樹脂、スチレンーマレイン酸共重合体、塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル系樹脂、アルキッド樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミド樹脂、ゴム系樹脂、環化ゴム系樹脂、セルロース類、ポリブタジエン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリイミド樹脂等が挙げられる。
また、熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、ロジン変性マレイン酸樹脂、ロジン変性フマル酸樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、フェノール樹脂等が挙げられる。
【００２７】
感光性樹脂としては、水酸基、カルボキシル基、アミノ基等の反応性の置換基を有する線状高分子にイソシアネート基、アルデヒド基、エポキシ基等の反応性置換基を有する（メタ）アクリル化合物やケイヒ酸を反応させて、（メタ）アクリロイル基、スチリル基等の光架橋性基を該線状高分子に導入した樹脂が用いられる。また、スチレン−無水マレイン酸共重合物やα−オレフィン−無水マレイン酸共重合物等の酸無水物を含む線状高分子をヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート等の水酸基を有する（メタ）アクリル化合物によりハーフエステル化したものも用いられる。
【００２８】
透明樹脂の前駆体であるモノマーおよびオリゴマーとしては、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリシクロデカニル（メタ）アクリレート、メラミン（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート等の各種アクリル酸エステルおよびメタクリル酸エステル、（メタ）アクリル酸、スチレン、酢酸ビニル、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ヒドロキシメチル（メタ）アクリルアミド、アクリロニトリル等が挙げられる。これらは、単独でまたは２種類以上混合して用いることができる。
【００２９】
着色組成物には、該組成物を紫外線等の照射により硬化するので、光重合開始剤等が添加される。光重合開始剤としては、アセトフェノン系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、チオキサントン系光重合開始剤、トリアジン系光重合開始剤、ボレート系光重合開始剤、カルバゾール系光重合開始剤、イミダゾール系光重合開始剤等から選択して用いられる。
光重合開始剤は、着色組成物中の顔料１００重量部に対して、５〜２００重量部、好ましくは１０〜１５０重量部の量で用いることができる。
【００３０】
上記光重合開始剤は、単独あるいは２種以上混合して用いるが、増感剤として、α−アシロキシエステル、アシルフォスフィンオキサイド、メチルフェニルグリオキシレート、ベンジル、９，１０−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、エチルアンスラキノン、４，４’−ジエチルイソフタロフェノン、３，３’，４，４’−テトラ（ｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、４，４’−ジエチルアミノベンゾフェノン等の化合物を併用することもできる。
増感剤は、光重合開始剤１００重量部に対して、０．１〜６０重量部の量で含有させることができる。
【００３１】
さらに着色組成物には、連鎖移動剤としての働きをする多官能チオールを含有させることができる。多官能チオールは、着色組成物中の顔料１００重量部に対して、０．２〜１５０重量部、好ましくは０．２〜１００重量部の量で用いることができる。
【００３２】
さらに着色組成物には、顔料を充分に顔料担体中に分散させ、ガラス基板等の平面体上に乾燥膜厚が０．２〜５μｍとなるように塗布して各色表示画素を形成することを容易にするために溶剤を含有させる。溶剤としては、例えばシクロヘキサノン、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、１−メトキシ−２−プロピルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、エチルベンゼン、エチレングリコールジエチルエーテル、キシレン、エチルセロソルブ、メチル−ｎアミルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、トルエン、メチルエチルケトン、酢酸エチル、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、ブタノール、イソブチルケトン、石油系溶剤等が挙げられ、これらを単独でもしくは混合して用いる。
溶剤は、着色組成物中の顔料１００重量部に対して、８００〜４０００重量部、好ましくは１０００〜２５００重量部の量で用いることができる。
【００３３】
着色組成物は、１種または２種以上の顔料を、必要に応じて上記光重合開始剤と共に、顔料担体および有機溶剤中に三本ロールミル、二本ロールミル、サンドミル、ニーダー、アトライター等の各種分散手段を用いて微細に分散して製造する。また、２種以上の顔料を含む着色組成物は、各顔料を別々に顔料担体および有機溶剤中に微細に分散したものを混合して製造することもできる。顔料を顔料担体および有機溶剤中に分散する際には、適宜、樹脂型顔料分散剤、界面活性剤、顔料誘導体等の分散助剤を含有させることができる。分散助剤は、顔料の分散に優れ、分散後の顔料の再凝集を防止する効果が大きいので、分散助剤を用いて顔料を顔料担体および有機溶剤中に分散してなる着色組成物を用いた場合には、透明性に優れたカラーフィルタが得られる。
分散助剤は、着色組成物中の顔料１００重量部に対して、０．１〜４０重量部、好ましくは０．１〜３０重量部の量で用いることができる。
【００３４】
着色組成物には、組成物の経時粘度を安定化させるために貯蔵安定剤を含有させることができる。貯蔵安定剤は、着色組成物中の顔料１００重量部に対して、０．１〜１０重量部の量で含有させる。
【００３５】
また着色組成物には、基板との密着性を高めるためにシランカップリング剤等の密着向上剤を含有させることもできる。シランカップリング剤は、着色組成物中の顔料１００重量部に対して、０．０１〜１００重量部の量で含有させる。
【００３６】
顔料は、着色組成物の全固形分量を基準（１００重量％）として５〜７０重量％の割合で含有されることが好ましい。より好ましくは、２０〜５０重量％の割合で含有され、その残部は、顔料担体により提供される樹脂質バインダーから実質的になる。
着色組成物は、遠心分離、焼結フィルタ、メンブレンフィルタ等の手段にて、５μｍ以上の粗大粒子、好ましくは１μｍ以上の粗大粒子、さらに好ましくは０．５μｍ以上の粗大粒子および混入した塵の除去を行う。
【００３７】
次に、定法のフォトリソグラフィー法により、ブラックマトリックス形成を最初に各着色画素を順次形成する。ネガ型アルカリ現像着色レジストとして、上記に記載した材料を適宜使用して調製した着色組成物を、基板上に、スピンコート法により、乾燥膜厚がＢＭについては、１．２μｍ、各色については２．０μｍとなるように所定の厚みに塗布した後、次工程の処理に移った。また、塗布膜を乾燥させる際には、減圧乾燥機とホットプレートを使用した。
【００３８】
露光は、ＢＭについてはバイナリーマスク、各色についてはハーフトーンマスク、場合によってグレートーンマスクを使用してプロキシミティー紫外線露光を行った。ハーフトーンマスクを使用することで、画素パターン３，４，５と、本発明になる凹み８を図１で示す位置に同時に敷設した。すなわち、凹み８は液晶の配向に影響を与えない位置、例えば非画素部であるＢＭ２上に形成するのが好ましい。ＢＭ上は異なる色の着色画素の端部が重なる部分であってツノ段差部を有する部位もあるが、ツノ段差があるＢＭ部位７に凹みを形成するのは好ましくない。ハーフトーン部には遮光性の酸化クロム膜を形成して透過光量を減らした。
【００３９】
本発明では、着色画素３，４，５はストライプ状に形成してあるのが好ましい態様である。隣接するストライプ状の着色画素の間のＢＭ上に凹みを形成するのではなく、着色ストライプを各画素に細分する部位、図１に示すストライプと直交する部位に敷設する。当該部位は着色画素がＢＭを単に横断しているだけで、着色層同士の重なりがなく安定して露光・現像処理が行え、且つ、当該部位に凹みがあっても液晶の配向に影響を与えることが少ないからである。
【００４０】
各色とも、アルカリ現像液によるスプレー法により現像液を噴霧して未硬化部を除去して所望のパターンを形成した後、同様の操作を他色について繰り返して凹み８を備えたカラーフィルタ基板を製造した。現像後の凹８みは、ストライプパターンに直交する直方体状で、１画素内に形成する場合、幅３０μｍ、長さ５μｍ、深さ１μｍであった。直線状の凹みであれば、深さが０．３０〜１．００μｍ、長さが５．００〜１５．００μｍの範囲が望ましい。
前記数値は、観察される研磨キズの形状と研磨クズの収容効果から決めたものであるが、深さが１．００μm以内、幅はＢＭの太さよりも小さい値が望ましいが、概ね５．０〜１５．０μmの範囲に設定すると研磨キズが少なかった。
【００４１】
凹み８は、各画素ごとに孤立させて形成する必要はなく、ストライプパターンを横切るように繋げて長く形成すると効果が高い。また、設計によっては必ずしも画素ごとに形成する必要もない。但し、凹みが延びる方向と長さは、研磨時に基板が回転する回転方向と略平行にできなければならない。そうでないと脱落したツノ段差の収容効率が低下して、凹みに損傷を与える。
【００４２】
現像に際しては、アルカリ現像液として炭酸ナトリウム水溶液を使用した。ジメチルベンジルアミン、トリエタノールアミン等の有機アルカリを用いることもできる。
【００４３】
次に、平盤研磨機を用いて、上記で得られたカラフィルター基板を研磨した。平盤研磨機は、常盤と研磨パッドからなるが、その間に柔軟層及び硬質フィルム層を常盤側から設けても構わない。こうすることで、研磨パッドとカラーフィルタ表面の密着追随性を高めることができる。
【００４４】
平盤研磨機の円形テーブル上に、カラーフィルタ基板を載置、固定し、常磐に貼り合わせた研磨パッド面をカラーフィルタ表面に加圧接触させた。次いで、カラーフィルタ上に研磨液を滴下しながら、常盤を揺動（回転）させた。研磨パッドとしては、発砲樹脂素材、不織繊維素材などが用いられ、例えば、ロデールニッタ（株）製：ｓｕｂａ４００、ｓｕｐｒｅｍｅＲＮ−Ｈ（商品名）が挙げられる。研磨液としては、一次粒子径０．１〜１．０μｍのアルミナ、ジルコニア、セリウム、二酸化マンガン、シリコンカ−バイト、シリカなどから選択した研磨材を分散させた研磨液を用いる。研磨圧１．９６×１０４Ｐａ以下、回転数は３００ｒｐｍ以下で研磨をいった。
【００４５】
凹みを設けたカラーフィルタ基板と通常のカラーフィルタ基板で同一の研磨条件で研磨を行った。その後、キズの深さが１．００μmより大きくなった研磨キズの発生率（研磨キズの発生した基板数／投入基板数）を比較したところ、研磨キズの発生率は前者で１%以下、後者で２０％と発生率は２０分の１に低減しており大幅な改善が見られた。
【００４６】
所望する色特性を得るため、着色画素の膜厚を通常の着色画素の膜厚より厚くしなければならない、または、ブラックマトリックスに十分な遮光性を持たせるために通常のブラックマトリックスの膜厚より厚くしなければならない場合、ツノ段差部の高さは通常のカラーフィルタ基板で生じるツノ段より段差が大きくなる。ツノ段差部の高さが通常のツノ段差部より高くなった基板に対し研磨を行う場合、所望する平坦性を得るため研磨条件を強くする（例えば、回転揺動速度を上げる、押し付け圧力を上げるなど）ことがある。
【００４７】
本発明の凹部を有さないカラーフィルタ基板では研磨条件を強くするほど研磨キズは発生しやすくなる。しかし、本発明の凹部を有するカラーフィルタ基板では研磨条件を強くしても研磨キズを防止出来る。研磨条件を強くするほど、本発明のカラーフィルタ基板とすることの効果は増大するといえる。
【００４８】
また、着色層形成後に、該着色層上にオーバーコート層を保護層として設け、該オーバーコート層に凹み８を設けることもできる。形成する位置、形状については着色層に設ける場合と変わらず、例えばグレートーンマスクを使用して露光すれば、オーバーコート層パタニング、凹みの形成、配向制御用突起など、基準位置から高さのことなる樹脂層の形成が可能である。オーバーコート層の材料は、固形分重量でアルカリ可溶性樹脂組成物  １００重量部、重合性モノマー  Ｍ４０２  １００重量部、および光重合開始剤Ｉｒｕｇａｃｕｒｅ９０７  １４重量部、平均粒径３０ｎｍのＳｉＯ２微粒子１０重量部に、レジスト中の固形分が３０重量％になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートにより希釈して、感光性樹脂組成物として調整した。
１、基板
２、樹脂ＢＭ
３、着色層１（赤）
４、着色層２（緑）
５、着色層３（青）
６、金属ＢＭ
７、ツノ段差（重なり部）
８、凹み
９、研磨キズ
【図１】
2011085679.tif 000003
【図２】
2011085679.tif 000004