(57)【要約】【課題】接着剤がインク室に流入することを防止できて、接着剤によりインク室が塞がれることを防止するインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】第１連通溝５１は、マニホールド部材１１の第１対向面１１１および第１上面１１３に設けられ、第２連通溝５２は、マニホールド部材１１の第２対向面１１２および第２上面１１４に設けられている。このため、マニホールド部材１１とヘッドチップ１０との接着時に、余剰接着剤の第１、第２共通インク室への流入を防止でき、かつ、マニホールド部材１１とノズルプレートとの接着時に、余剰接着剤の第１、第２共通インク室への流入を防止できる。【選択図】図２
2011218727.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方向に延在してこの一方向の両端が開口する個別インク溝を複数有すると共にこの複数の個別インク溝が互いに平行に配列されているヘッドチップと、
上記複数の個別インク溝の一端側において上記複数の個別インク溝と連通する第１共通インク溝を有すると共に上記複数の個別インク溝の他端側において上記複数の個別インク溝と連通する第２共通インク溝を有するマニホールド部材と、
上記複数の個別インク溝、上記第１共通インク溝および上記第２共通インク溝を、上記個別インク溝の底面に直交する方向の開口側である上側から覆って、上記複数の個別インク溝と共に複数の個別インク室を定義し、上記第１共通インク溝と共に第１共通インク室を定義し、上記第２共通インク溝と共に第２共通インク室を定義するノズルプレートと
を備え、
上記ヘッドチップにおける上記個別インク溝の上記一端が開口する第１側面と、このヘッドチップの第１側面と対向するマニホールド部材の第１対向面とは、接着され、
上記マニホールド部材における上記第１共通インク溝の上部が開口する第１上面と、このマニホールド部材の第１上面と対向するノズルプレートの第１対向面とは、接着され、
上記ヘッドチップにおける上記個別インク溝の上記他端が開口する第２側面と、このヘッドチップの第２側面と対向するマニホールド部材の第２対向面とは、接着され、
上記マニホールド部材における上記第２共通インク溝の上部が開口する第２上面と、このマニホールド部材の第２上面と対向するノズルプレートの第２対向面とは、接着され、
上記ヘッドチップの上記第１側面、上記マニホールド部材の上記第１対向面、上記マニホールド部材の上記第１上面、および、上記ノズルプレートの上記第１対向面のうちの少なくとも一つに、上記第１共通インク室と上記マニホールド部材の外側とを連通する第１連通溝を設けていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記ヘッドチップの上記第２側面、上記マニホールド部材の上記第２対向面、上記マニホールド部材の上記第２上面、および、上記ノズルプレートの上記第２対向面のうちの少なくとも一つに、上記第２共通インク室と上記マニホールド部材の外側とを連通する第２連通溝を設けていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】
請求項２に記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記第１連通溝は、上記マニホールド部材の上記第１対向面および上記第１上面に設けられ、
上記第２連通溝は、上記マニホールド部材の上記第２対向面および上記第２上面に設けられていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項４】
請求項２または３に記載のインクジェットヘッドにおいて、
上記第１連通溝および上記第２連通溝は、接着剤により、封止されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項５】
第１側面に一端が開口すると共に第２側面に他端が開口する個別インク溝を有するヘッドチップと、
第１対向面および第１上面に切り欠かれて形成された第１共通インク溝と、第１対向面と第１上面とのそれぞれに第１共通インク溝と外側とを連通するように設けられた第１連通溝と、第２対向面および第２上面に切り欠かれて形成された第２共通インク溝と、第２対向面と第２上面とのそれぞれに第２共通インク溝と外側とを連通するように設けられた第２連通溝とを有するマニホールド部材と、
ノズル孔を有するノズルプレートと
を用意する第１工程と、
上記ヘッドチップの上面に上記ノズルプレートを接着する第２工程と、
上記マニホールド部材の第１上面および第２上面に上記ノズルプレートを接着する第３工程と
を備えることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】
請求項５に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
上記第２工程と上記第３工程との間に、上記ヘッドチップの上記第１側面に上記マニホールド部材の上記第１対向面を接着すると共に上記ヘッドチップの上記第２側面に上記マニホールド部材の上記第２対向面を接着する工程を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項７】
請求項６に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
上記ヘッドチップ、上記マニホールド部材および上記ノズルプレートの互いの接着は、毛細管力を利用して接着剤を流入させて接着していることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えばプリンタなどに用いられるインクジェットヘッド、および、このインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、プリンタにおいては、インパクト印字装置に代わって、カラー化、多階調化に対応しやすいインクジェット方式などのノンインパクト印字装置が急速に普及している。これに用いるインク噴射装置としてのインクジェットヘッドとしては、特に、印字に必要なインク滴のみを噴射するというドロップ・オン・デマンド型が、噴射効率の良さ、低コスト化の容易さなどから注目されている。ドロップ・オン・デマンド型としては、カイザー（Kyser）方式やサーマルジェット方式が主流となっている。
【０００３】
しかし、カイザー方式は、小型化が困難で高密度化に不向きであるという欠点を有していた。また、サーマルジェット方式は、高密度化には適しているものの、ヒータでインクを加熱してインク内にバブル（泡）を生じさせて、そのバブルのエネルギーを利用して噴射させる方式であるため、インクの耐熱性が要求され、また、ヒータの長寿命化も困難であり、エネルギー効率が悪いため、消費電力も大きくなるという問題を有していた。
【０００４】
このような各方式の欠点を解決するものとして、圧電材料のシェアモード変形を利用したインクジェット方式が提案されている。この方式は、圧電材料からなるインクチャンネルの壁（以下、「チャンネル壁」という。）の両側面に形成した電極を用いて、圧電材料の分極方向と直交する方向に電界を生じさせることで、シェアモードでチャンネル壁を変形させ、その際に生じる圧力波変動を利用してインク滴を吐出するものであり、ノズルの高密度化、低消費電力化、高駆動周波数化に適している。
【０００５】
最近では、このシェアモード変形を利用したインクジェットヘッドで、特開平９−９４９５２号公報や特開２００９−３４８８４号公報に示されるように、以下のような構造も提案されている。
【０００６】
これらのインクジェットヘッド構造としては、圧電基板の上面に後にインク室となる両端開口の複数の流路溝部を平行に設け、圧電基板の流路溝部形成面にノズル孔を形成したカバープレートをかぶせて固着し、これらの流路溝部を閉鎖してインク流路作製する。圧電基板の両側部には、複数の流路溝部の両開口端に連通する共通インク室部を備えたマニホールド部材がそれぞれ固着してありインク流路の両開口端に設けてある共通インク室から流路溝部の中央部に設けてあるノズルにインクを供給する。
【０００７】
以上の構成にすることにより、吐出されたインクの補充を迅速化することができ、ノズルの高密度化を行うことができる。また、ノズル孔は流路溝部の中央部に設けており、流路溝部を構成しているチャンネル壁を変形させその際に生じる圧力波変動を利用してインク滴を吐出する構成となるため、従来のシェアモード型インクジェットヘッドの２倍のチャンネル壁によりインク滴を吐出させることが可能であり、このためチャンネル壁の変形が小さくても吐出可能となり、より低消費電力化が可能となる。
【０００８】
しかしながら、上記従来のインクジェットヘッドでは、圧電基板の両側部には、複数の流路溝部が開口しており、この両開口端に連通する共通インク室を備えたマニホールド部材を接着する場合に、接着剤が流路溝部に流入し、インク室を塞いでしまう問題があった。また、圧電基板、マニホールド部材に跨るようにノズルプレートを接着する場合においても同様に余剰接着剤が流路溝部に流入し、インク室を塞いでしまう問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平９−９４９５２号公報
【特許文献２】特開２００９−３４８８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
そこで、この発明の課題は、接着剤がインク室に流入することを防止できて、接着剤によりインク室が塞がれることを防止するインクジェットヘッド、および、このインクジェットヘッドの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため、この発明のインクジェットヘッドは、
一方向に延在してこの一方向の両端が開口する個別インク溝を複数有すると共にこの複数の個別インク溝が互いに平行に配列されているヘッドチップと、
上記複数の個別インク溝の一端側において上記複数の個別インク溝と連通する第１共通インク溝を有すると共に上記複数の個別インク溝の他端側において上記複数の個別インク溝と連通する第２共通インク溝を有するマニホールド部材と、
上記複数の個別インク溝、上記第１共通インク溝および上記第２共通インク溝を、上記個別インク溝の底面に直交する方向の開口側である上側から覆って、上記複数の個別インク溝と共に複数の個別インク室を定義し、上記第１共通インク溝と共に第１共通インク室を定義し、上記第２共通インク溝と共に第２共通インク室を定義するノズルプレートと
を備え、
上記ヘッドチップにおける上記個別インク溝の上記一端が開口する第１側面と、このヘッドチップの第１側面と対向するマニホールド部材の第１対向面とは、接着され、
上記マニホールド部材における上記第１共通インク溝の上部が開口する第１上面と、このマニホールド部材の第１上面と対向するノズルプレートの第１対向面とは、接着され、
上記ヘッドチップにおける上記個別インク溝の上記他端が開口する第２側面と、このヘッドチップの第２側面と対向するマニホールド部材の第２対向面とは、接着され、
上記マニホールド部材における上記第２共通インク溝の上部が開口する第２上面と、このマニホールド部材の第２上面と対向するノズルプレートの第２対向面とは、接着され、
上記ヘッドチップの上記第１側面、上記マニホールド部材の上記第１対向面、上記マニホールド部材の上記第１上面、および、上記ノズルプレートの上記第１対向面のうちの少なくとも一つに、上記第１共通インク室と上記マニホールド部材の外側とを連通する第１連通溝を設けていることを特徴としている。
【００１２】
この発明のインクジェットヘッドによれば、上記ヘッドチップの上記第１側面、上記マニホールド部材の上記第１対向面、上記マニホールド部材の上記第１上面、および、上記ノズルプレートの上記第１対向面のうちの少なくとも一つに、上記第１共通インク室と上記マニホールド部材の外側とを連通する第１連通溝を設けているので、第１連通溝を設けている面とこの面に対向する面とを接着剤を介して接着したときに、この第１連通溝を設けている面から第１共通インク室内へ、余剰接着剤が流入することを防止できて、接着剤により個別インク室が塞がれることを防止する。
【００１３】
具体的に述べると、第１連通溝を設けた面は、第１連通溝により、例えば、接着領域（面積）の小さい部分と接着領域（面積）の大きい部分とに分割される。そして、まず、接着領域の小さい部分の接着を行う。このとき、接着剤を毛細管力により流入させる。
【００１４】
ここで、余剰接着剤が第１共通インク室に流入し、個別インク室を塞いでしまうのは、互いに対向する接着面の間の隙間の体積に対して、供給される接着剤の量が多いためである。このため、まず、接着領域の小さい部分を接着することにより、余剰接着剤量を低減させることができ、この余剰接着剤は、第１連通溝のエッジのメニスカスの働きにより保持され、余剰接着剤が第１共通インク室に流入するのを防止することができる。
【００１５】
引き続いて、接着領域の小さい部分の接着の後に、接着領域の大きい部分についても、毛細管力により接着剤を供給するが、このときの余剰接着剤は、第１連通溝のエッジのメニスカスの働きにより保持されるが、保持できない場合、この余剰接着剤は第１連通溝に流入し、この部分で保持され、余剰接着剤が流路溝部に流入するのを防止することができる。
【００１６】
また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、上記ヘッドチップの上記第２側面、上記マニホールド部材の上記第２対向面、上記マニホールド部材の上記第２上面、および、上記ノズルプレートの上記第２対向面のうちの少なくとも一つに、上記第２共通インク室と上記マニホールド部材の外側とを連通する第２連通溝を設けている。
【００１７】
この実施形態のインクジェットヘッドによれば、上記ヘッドチップの上記第２側面、上記マニホールド部材の上記第２対向面、上記マニホールド部材の上記第２上面、および、上記ノズルプレートの上記第２対向面のうちの少なくとも一つに、上記第２共通インク室と上記マニホールド部材の外側とを連通する第２連通溝を設けているので、第２連通溝を設けている面とこの面に対向する面とを接着剤を介して接着したときに、この第２連通溝を設けている面から第２共通インク室内へ、余剰接着剤が流入することを防止できて、接着剤により個別インク室が塞がれることを防止する。
【００１８】
また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、
上記第１連通溝は、上記マニホールド部材の上記第１対向面および上記第１上面に設けられ、
上記第２連通溝は、上記マニホールド部材の上記第２対向面および上記第２上面に設けられている。
【００１９】
この実施形態のインクジェットヘッドによれば、上記第１連通溝は、上記マニホールド部材の上記第１対向面および上記第１上面に設けられ、上記第２連通溝は、上記マニホールド部材の上記第２対向面および上記第２上面に設けられているので、マニホールド部材とヘッドチップとの接着時に、余剰接着剤の第１、第２共通インク室への流入を防止でき、かつ、マニホールド部材とノズルプレートとの接着時に、余剰接着剤の第１、第２共通インク室への流入を防止できる。
【００２０】
また、一実施形態のインクジェットヘッドでは、上記第１連通溝および上記第２連通溝は、接着剤により、封止されている。
【００２１】
この実施形態のインクジェットヘッドによれば、上記第１連通溝および上記第２連通溝は、接着剤により、封止されているので、第１、第２連通溝から他の領域への余剰接着剤の流入を阻止することが可能となる。例えば、必要部分の接着完了後、第１、第２連通溝の開口端より、接着剤を毛細管力により流入させることにより、第１、第２連通溝は外部と遮断され、インクの流出を阻止し、マニホールドとして機能するようになる。
【００２２】
また、この発明のインクジェットヘッドの製造方法は、
第１側面に一端が開口すると共に第２側面に他端が開口する個別インク溝を有するヘッドチップと、
第１対向面および第１上面に切り欠かれて形成された第１共通インク溝と、第１対向面と第１上面とのそれぞれに第１共通インク溝と外側とを連通するように設けられた第１連通溝と、第２対向面および第２上面に切り欠かれて形成された第２共通インク溝と、第２対向面と第２上面とのそれぞれに第２共通インク溝と外側とを連通するように設けられた第２連通溝とを有するマニホールド部材と、
ノズル孔を有するノズルプレートと
を用意する第１工程と、
上記ヘッドチップの上面に上記ノズルプレートを接着する第２工程と、
上記マニホールド部材の第１上面および第２上面に上記ノズルプレートを接着する第３工程と
を備えることを特徴としている。
【００２３】
この発明のインクジェットヘッドの製造方法によれば、マニホールド部材に跨る大きさのノズルプレートをヘッドチップに接着し、その後、ヘッドチップより突出したノズルプレートに対応するようにマニホールド部材を接着することで、ヘッドチップとマニホールド部材との間に段差が生じた場合においても、後工程でのノズルプレートとマニホールド部材との間を接着剤で充填することにより未接着領域のない状態に接着することができる。このときに、接着剤量が多すぎた場合においても、余剰接着剤は、第１、第２連通溝により保持され、他の領域への余剰接着剤の流入を阻止することができる。
【００２４】
また、一実施形態のインクジェットヘッドの製造方法では、上記第２工程と上記第３工程との間に、上記ヘッドチップの上記第１側面に上記マニホールド部材の上記第１対向面を接着すると共に上記ヘッドチップの上記第２側面に上記マニホールド部材の上記第２対向面を接着する工程を有する。
【００２５】
この実施形態のインクジェットヘッドの製造方法によれば、各部材を接着する工程において、接着する際の余剰接着剤が、第１、第２共通インク室等の他の領域への流入を阻止することができ、個別インク室の詰まりの無いインクジェットヘッドを製造することが可能である。
【００２６】
また、一実施形態のインクジェットヘッドの製造方法では、上記ヘッドチップ、上記マニホールド部材および上記ノズルプレートの互いの接着は、毛細管力を利用して接着剤を流入させて接着している。
【００２７】
この実施形態のインクジェットヘッドの製造方法によれば、各部材の接着が容易となる。例えば、ノズルプレートとマニホールド部材をおおよそ０．１ｍｍ以下程度のギャップになるように位置調整してから、ノズルプレートの外周部に接着剤を塗布すると、毛細管力により、ギャップ内に接着剤が浸透する。所望部まで接着剤が浸透した時点で、ノズルプレートの外周部に塗布した接着剤を拭うことにより、接着剤の供給を断つことで接着領域をコントロールすることが可能となる。接着剤量が多すぎた場合においても、余剰接着剤は第１、第２連通溝により保持され、他の領域への余剰接着剤の流入を阻止することができる。
【発明の効果】
【００２８】
この発明のインクジェットヘッドによれば、上記ヘッドチップの上記第１側面、上記マニホールド部材の上記第１対向面、上記マニホールド部材の上記第１上面、および、上記ノズルプレートの上記第１対向面のうちの少なくとも一つに、上記第１共通インク室と上記マニホールド部材の外側とを連通する第１連通溝を設けているので、第１連通溝を設けている面とこの面に対向する面とを接着剤を介して接着したときに、この第１連通溝を設けている面から第１共通インク室内へ、余剰接着剤が流入することを防止できて、接着剤により個別インク室が塞がれることを防止する。
【００２９】
この発明のインクジェットヘッドの製造方法によれば、上記ノズルプレートは、上記ヘッドチップに接着された後、上記マニホールド部材に接着されるので、ヘッドチップとマニホールド部材との間に段差が生じた場合においても、後工程でのノズルプレートとマニホールド部材との間を接着剤で充填することにより未接着領域のない状態に接着することができる。このときに、接着剤量が多すぎた場合においても、余剰接着剤は、第１、第２連通溝により保持され、他の領域への余剰接着剤の流入を阻止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明のインクジェットヘッドの一実施形態を示す斜視図である。
【図２】インクジェットヘッドのノズルプレートを外した状態を示す斜視図である。
【図３】マニホールド部材の第２部分を示す斜視図である。
【図４】ウエハ状の圧電基板を示す斜視図である。
【図５】ヘッドチップが２つ分繋がった状態を示す斜視図である。
【図６】ヘッドチップの斜視図である。
【図７Ａ】電極部を形成したヘッドチップの斜視図である。
【図７Ｂ】ヘッドチップの第１側面の拡大図である。
【図８】ヘッドチップに配線基板を接続した状態を示す斜視図である。
【図９】ヘッド保持部材にヘッドチップを搭載した状態の斜視図である。
【図１０】ヘッド保持部材の斜視図である。
【図１１】ヘッドチップにノズルプレートを接着した状態の斜視図である。
【図１２】マニホールド部材の斜視図である。
【図１３Ａ】ヘッドチップとマニホールド部材との間の接着剤の状態を示す拡大図である。
【図１３Ｂ】ヘッドチップとマニホールド部材との間の接着剤の状態を示す拡大図である。
【図１４】余剰接着剤が第１、第２連通溝に流入しない構成を示す概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００３２】
図１は、この発明のインクジェットヘッドの一実施形態である斜視図を示す。図２は、インクジェットヘッドのノズルプレートを外した状態の斜視図を示す。このインクジェットヘッドは、例えばプリンタなどに用いられ、例えば液晶生産装置や太陽電池生産装置等の生産装置に利用される。
【００３３】
図１と図２に示すように、このインクジェットヘッド２５は、ヘッドチップ１０と、ヘッドチップ１０に配置されるノズルプレート２１と、ヘッドチップ１０に取り付けられるマニホールド部材１１とを有する。
【００３４】
上記ヘッドチップ１０は、圧電基板を含み、複数の個別インク溝３１を有する。個別インク溝３１は、Ｘ方向（一方向）に延在してＸ方向の両端が開口する。個別インク溝３１の一端は、ヘッドチップ１０の第１側面１０１に開口し、個別インク溝３１の他端は、ヘッドチップ１０の第２側面１０２に開口する。
【００３５】
上記複数の個別インク溝３１は、Ｘ方向に交差するＹ方向に互いに間隔をあけて平行に配列される。ここで、Ｘ方向とＹ方向とは、互いに直交する。Ｘ方向およびＹ方向に直交する方向を、Ｚ方向とする。なお、Ｘ、Ｙ、Ｚの全てが直交しなくてもよい。
【００３６】
上記マニホールド部材１１は、ヘッドチップ１０に取り付けられる。マニホールド部材１１は、複数の第１個別インク溝３１の上記一端側の開口部に連通する第１共通インク溝４１と、複数の第１個別インク溝３１の上記他端側の開口部に連通する第２共通インク溝４２とを有する。第１共通インク溝４１は、マニホールド部材１１の第１対向面１１１および第１上面１１３に切り欠かれて形成され、第２共通インク溝４２は、マニホールド部材１１の第２対向面１１２および第２上面１１４に切り欠かれて形成されている。
【００３７】
上記ノズルプレート２１は、ヘッドチップ１０とマニホールド部材１１とに跨るように配置され、複数の個別インク溝３１、第１共通インク溝４１および第２共通インク溝４２を、個別インク溝３１の底面に直交する方向の開口側である上側から覆って、個別インク溝３１と共に個別インク室を定義し、第１共通インク溝４１と共に第１共通インク室を定義し、第２共通インク溝４２と共に第２共通インク室を定義する。ノズルプレート２１は、個別インク溝３１に連通するノズル孔２０を有する。
【００３８】
上記マニホールド部材１１は、第１部分１１ａと第２部分１１ｂとを有する。第１部分１１ａおよび第２部分１１ｂは、それぞれ、略Ｌ字状に形成されている。上記第１部分１１ａには、第１共通インク溝４１が設けられ、第１共通インク溝４１の底面には、インクを供給するための供給孔５ａを形成している。上記第２部分１１ｂには、第２共通インク溝４２が設けられ、第２共通インク溝４２の底面には、インクを供給するための排出孔６ａを形成している。供給孔５ａおよび排出孔６ａは、図示しないニップルを介して、図示しないインクチューブと接続している。つまり、上記第１共通インク溝４１（第１共通インク室）は、インクが供給されるインク流路を構成する。上記第２共通インク溝４２（第２共通インク室）は、インクが排出されるインク流路を構成する。
【００３９】
上記複数の個別インク溝３１は、隔壁３によって互いに隔てられている。個別インク溝３１の内面には、電極８（図７Ｂ参照）が設けられている。この電極８は、ヘッドチップ１０の第１側面１０１に導出している。つまり、ヘッドチップ１０を３次元的に利用して電極８を設けた構成となる。したがって、電極８のためにヘッドチップ１０の表面部分を利用した２次元的な電極導出を行う必要がなく、ヘッドチップ１０に対して高密度に個別インク溝３１を形成できる。
【００４０】
上記電極８におけるヘッドチップ１０の第１側面１０１に導出している導出部８１（図７Ｂ参照）には、異方性導電フィルム（以下「ＡＣＦ」という。）を介して、配線基板（外部引き出し用回路基板）２４が接続されている。つまり、配線基板２４を、ヘッドチップ１０の厚さ方向に配置することが可能となる。このため、ヘッド幅を小さくすることが可能となりヘッド、または、着弾基板の走査距離を小さくすることができ、タクトタイムを短縮することができる。
【００４１】
上記ヘッドチップ１０、上記マニホールド部材１１および上記ノズルプレート２１は、接着剤により、互いに接着されている。
【００４２】
上記ヘッドチップ１０の上記第１側面１０１と、ヘッドチップ１０の第１側面１０１と対向するマニホールド部材１１の第１対向面１１１とは、接着されている。マニホールド部材１１における第１共通インク溝４１の上部が開口する第１上面１１３と、マニホールド部材１１の第１上面１１３と対向するノズルプレート２１の第１対向面２１１とは、接着されている。
【００４３】
上記ヘッドチップ１０の上記第２側面１０２と、ヘッドチップ１０の第２側面１０２と対向するマニホールド部材１１の第２対向面１１２とは、接着されている。マニホールド部材１１における第２共通インク溝４２の上部が開口する第２上面１１４と、マニホールド部材１１の第２上面１１４と対向するノズルプレート２１の第２対向面２１２とは、接着されている。
【００４４】
上記ヘッドチップ１０の下面（裏面）は、マニホールド部材１１の当接部１１５に、当接している。ヘッドチップ１０の下面と、マニホールド部材１１の当接部１１５とは、接着されている。
【００４５】
図１と図２と図３に示すように、上記マニホールド部材１１の上記第１対向面１１１および上記第１上面１１３には、第１連通溝５１が設けられている。この第１連通溝５１は、第１共通インク室（第１共通インク溝４１）とマニホールド部材１１の外側（外面）とを連通する。
【００４６】
上記第１連通溝５１は、Ｙ方向に延在しており、第１共通インク溝４１を挟んでＹ方向の両側に設けられている。上記第１対向面１１１に設けられた第１連通溝５１と、上記第１上面１１３に設けられた第１連通溝５１とは、第１対向面１１１と第１上面１１３との境界部である角部の近傍に設けられている。第１対向面１１１の第１連通溝５１と、第１上面１１３の第１連通溝５１との間に、上記角部を含む第１ダム部６１を形成する。
【００４７】
上記マニホールド部材１１の上記第２対向面１１２および上記第２上面１１４には、第２連通溝５２が設けられている。この第２連通溝５２は、第２共通インク室（第２共通インク溝４２）とマニホールド部材１１の外側（外面）とを連通する。
【００４８】
上記第２連通溝５２は、Ｙ方向に延在しており、第２共通インク溝４２を挟んでＹ方向の両側に設けられている。上記第２対向面１１２に設けられた第２連通溝５２と、上記第２上面１１４に設けられた第２連通溝５２とは、第２対向面１１２と第２上面１１４との境界部である角部の近傍に設けられている。第２対向面１１２の第２連通溝５２と、第２上面１１４の第２連通溝５２との間に、上記角部を含む第２ダム部６２を形成する。
【００４９】
図３に示すように、上記マニホールド部材１１の第２上面１１４は、第２連通溝５２により、接着領域（面積）の小さい部分Ｚｓと接着領域（面積）の大きい部分Ｚｂとに分割される。同様に、マニホールド部材１１の第２対向面１１２は、第２連通溝５２により、接着領域（面積）の小さい部分Ｚｓと接着領域（面積）の大きい部分Ｚｂとに分割される。図中、大きい部分Ｚｂを点線のハッチングにて示し、小さい部分Ｚｓを実線のハッチングにて示す。なお、図示しないが、上記第１対向面１１１および上記第１上面１１３についても、同様である。
【００５０】
上記第１連通溝５１および上記第２連通溝５２は、接着剤により、封止されている。このため、第１、第２連通溝５１，５２は外部と遮断され、インクの流出を阻止し、マニホールド部材１１は、マニホールドとして機能するようになる。
【００５１】
次に、インクの流れについて説明する。
【００５２】
図２に示すように、（図示しない）第１のインクタンクからインクジェットヘッド２５に供給されたインクは、インクチューブ（図示せず）を通り、ニップル（図示せず）から供給孔５ａを通過して、第１共通インク溝４１へ流入する。第１共通インク溝４１に至ったインクは、引き続き、ヘッドチップ１０の複数の個別インク溝３１のいずれかを通過し、第２共通インク溝４２へ流れ込む。
【００５３】
インクが個別インク溝３１を通過する際には、ノズル孔２０に連通している個別インク溝３１のすべてが、インク流路として用いられる。さらに、第２共通インク溝４２に至ったインクは、排出孔６ａを通過してニップルからインクチューブを通過して、図示しない第２のインクタンクへと排出される。
【００５４】
上記インクジェットヘッド２５の構成によれば、インクは、第１共通インク溝４１から第２共通インク溝４２へと移動する際に、複数の個別インク溝３１に分かれて流れる。複数の個別インク溝３１のうちノズル孔２０に連通している個別インク溝３１を通ったインクの一部は、ノズル孔２０から吐出されることによって消費されるが、個別インク溝３１を通ったインクのうちノズル孔２０から吐出されなかったインクは、全て第２共通インク溝４２へと円滑に流れる。
【００５５】
したがって、インクを円滑に循環させることが可能となり、ノズル孔２０の直近の空間である個別インク溝３１の内部においても通過するインク流れを積極的に形成することが可能となる。このことにより、インク中に微粒子が含まれている場合であってもその微粒子が沈殿または浮遊することが抑制され、吐出時の液滴中に含まれる微粒子数を安定させることができる。なお、インクの流れは上述の向きに限定されるものではなく、逆向きであってもよい。
【００５６】
次に、インクジェットヘッドの製造方法について説明する。
【００５７】
まず、図４に示すように、分極方向の異なる２枚のウエハ状の基板１ａ，１ｂを貼り合わせて、ウエハ状の圧電基板１を作成する。
【００５８】
その後、圧電基板１に、Ｘ方向に延在しＸ方向の両端が開口する個別インク溝３１を、Ｘ方向に交差するＹ方向に互いに間隔をあけて複数形成する。一般的なダイシングマシンに使用されるダイシングブレード４０を繰返し走行させて溝加工することによって、個別インク溝３１を形成することができる。この１枚の圧電基板１は、後に分割されて、多数のヘッドチップ１０となる。
【００５９】
隣り合う個別インク溝３１，３１は、互いに平行に並ぶ複数の細長い隔壁３によって隔てられている。個別インク溝３１は、所定の幅と深さを有する細長い溝であればよく、溝加工は一直線状に行われる。例えば、１つのヘッドチップ１０となるべき部分に、深さ２６０μｍの個別インク溝３１を１３４本加工する。
【００６０】
その後、溝加工を行ったウエハ状圧電基板１をダイシングブレード４０で分割し、図５に示すように、２つのヘッドチップ１０，１０が繋がったサイズの圧電基板１とする。続いて、個別インク溝３１の内面に電極としての導電体膜を形成する。ここで、形成される電極は、インクジェットヘッド完成後に隔壁３をシェアモードで駆動させるための電極である。電極は、銅の膜であり、ＲＦ（Radio Frequency）マグネトロンスパッタ装置を用いて、スパッタリング法により成膜される。成膜により、電極は、隔壁３の両端面のみならず、隔壁３の上面、圧電基板１の端面および上面も覆うように形成される。
【００６１】
したがって、圧電基板１の側面に電極を形成するためには電極を形成したい圧電基板１の側面を露出させた状態で成膜する必要があるため、ウエハ状態の圧電基板１から、各ヘッドチップ１０に対応する圧電基板１に切断した状態で電極成膜を行う必要があるが、多数の圧電基板１に分断した状態での成膜は作業性が悪い。導電体膜（電極８の導出部８１）は、圧電基板１の一方の側面に形成されていれば良いため、２つのヘッドチップ１０が繋がった状態で導電体膜を形成し、後に中央部で分断することで圧電基板１の一方の側面に電極が形成された状態を作り上げることが可能である。これにより、個別の圧電基板１に分断した状態で電極成膜を行い場合に比較して１/２の作業量でよくなり、作業効率が向上する。
【００６２】
そして、圧電基板１の上面に対してダイシングブレード４０によって除去量が１０μｍになるように研削して、圧電基板１の上面を覆う不要な電極を除去する。このとき、各隔壁３の上面を覆っていた電極も同時に除去されるので、上から見た状態としては個別インク溝３１ごとに電極が分離される。圧電基板１の厚みは、以上の機械加工により、設定値±５μｍ以下の厚み精度で加工することが可能である。
【００６３】
その後、圧電基板１をダイシングブレード４０により仮想線Ｄに示す位置で半分に切断し、図６に示すように、ヘッドチップ１０の１つ分のサイズにする。こうして、個別のヘッドチップ１０が得られる。この切断により、圧電基板１の両側面のうち、切断によって生じた新たな側面には電極がないが、反対側の側面には電極がある状態となる。図６では、第１側面１０１に電極８があり、第２側面１０２に電極８がない。この時点では、各個別インク溝３１内の電極８同士は、この第１側面１０１を覆う電極８によって互いに導通した状態となっている。
【００６４】
その後、第１側面１０１が上向きになるようにヘッドチップ１０を固定し、図７Ａと図７Ｂに示すように、ダイシングブレード４０によって、第１側面１０１の隔壁３の中心線に対応する部分の電極８をそれぞれ線状に研削除去する。このため、個別インク溝３１の電極８に接続される導出部８１は、隣り合う個別インク溝３１，３１において、除去部８２によって分離される。なお、図７Ｂでは、分かりやすくするために、電極８（導出部８１を含む）をハッチングにて示している。
【００６５】
この時点で、各個別インク溝３１内の電極８は、完全に個別に電気的に分離された状態となる。第１側面１０１の個別インク溝３１に対応する部分では電極８が研削除去されておらず、残っている。この残った電極８が、導出部８１となる。このような除去方法以外に、レーザで第１側面１０１の隔壁３の中心線に対応する部分をそれぞれ線状にスキャンさせることで、電極８の除去加工を行うことも可能である。それ以外の方法として、フォトリソにより、エッチングを行う方法等が挙げられる。
【００６６】
その後、図８に示すように、ヘッドチップ１０の第１側面１０１の電極８（導出部８１）に、図示しないＡＣＦを介して、配線基板２４を接続する。これにより、配線基板２４を通じて、ヘッドチップ１０の個別インク溝３１の両側の隔壁３に、画像データに基づいた電圧を印加することが可能となり、外部からヘッドチップ１０のインクチャンネルを独立して駆動することが可能となる。
【００６７】
ヘッドチップ１０の第１側面１０１および第２側面１０２には、後述するマニホールド部材１１も接着固定されるため、電極８の導出部８１に対して、配線基板２４は、約１ｍｍ程度の接続幅で接続する必要がある。そして、配線基板２４とヘッドチップ１０の第１側面１０１とを接着剤で補強する。
【００６８】
本発明では、電極８の導出部８１がヘッドチップ１０の第１側面１０１に形成されており、ヘッドチップ１０の投影面積を増加させないため、インクジェットヘッド２５は、インクを吐出させるために必要な駆動部分のみで構成することが可能となり、ヘッドチップ１０の取れ数を最大にすることが可能となり、コストダウンに貢献できる。
【００６９】
なお、配線基板２４との接続方法としては、上述のＡＣＦを用いた接続方法以外にも、配線基板２４のリードをヘッドチップ１０の第１側面１０１に直接接続する方法や、配線基板２４のリードをヘッドチップ１０の電極８の導出部８１にワイヤボンディングする方法などがある。
【００７０】
その後、ヘッドチップ１０の個別インク溝３１の内面に形成された電極８を保護するために、電極保護膜（図示せず）を約１０μｍの厚さで形成する。この電極保護膜は、その形成工程においてはヘッドチップ１０および配線基板２４の露出するあらゆる表面に付着するため、付着させる必要のない配線基板２４には予めマスキングテープなどでマスクすることによって、電極保護膜が付着しないようにしておく。
【００７１】
配線基板２４とヘッドチップ１０の第１側面１０１を接着剤で補強しており、有機保護膜の成膜に伴う洗浄工程、成膜工程等では被成膜面を保持したりすると、ダストの付着や、汚染の問題があるため、被成膜面以外を保持して作業を行う必要があり、配線基板２４を保持して作業を行う。しかし、配線基板２４とヘッドチップ１０の第１側面１０１との接続幅が狭く、付着強度が弱いため、接続部分が剥離し、電気的な導通が得られなくなったり、接続抵抗のバラツキが生じたりする問題がある。そこで、接着剤による補強を行うことで、有機保護膜の成膜に伴う洗浄工程、成膜工程等に耐え得る付着強度を得ることができる。
【００７２】
また、配線基板２４を保持して作業を行うことで、ダストの付着や、汚染の問題を排除することができる。第１側面１０１と配線基板２４との接続部分も有機保護膜が付着するため、仮にこの接続部分にインクが付着しても、有機保護膜により、接続部分のショートが発生せず、安全面でも有利である。有機保護膜は、ヘッドチップ１０表面や、配線基板２４表面に付着するため、配線基板２４の制御回路との接続電極部にマスキングを行うことで、有機保護膜の付着を防止する。
【００７３】
その後、図９に示すように、ヘッドチップ１０をヘッド保持部材４に接着する。このヘッド保持部材４は、図１０に示すように、インクジェットヘッド２５をプリンタや描画装置に搭載するための取り付け部２６を有しており、この取り付け部２６には、基準である（孔やピンなどの）位置決め部７を形成する。この位置決め部７により、インクジェットヘッド２５のＸＹ方向の位置決めを行っている。また、取り付け部２６には、取り付け用ネジが通る貫通穴２８を形成しており、プリンタや描画装置にネジ止めし、搭載する。
【００７４】
インクジェットヘッド２５のＺ方向の精度に関しては、ヘッド保持部材４のプリンタや描画装置側の取り付け部への当接面であり、インクジェットヘッド２５のＺ方向の基準面である取り付け部２６から、ヘッド保持部材４のヘッドチップ１０の当接面までの距離は研削加工により±１０μｍ程度の精度で加工を行うことができる。
【００７５】
ヘッド保持部材４のヘッドチップ１０の裏面への当接幅は、ヘッドチップ１０の複数の個別インク溝３１の配列方向の幅よりも短く形成し、一部ヘッドチップ２５の裏面とは未接着領域Ｅを設け、この未接着領域Ｅに後述するマニホールド部材１１の当接部１１５を当接させる。
【００７６】
ヘッドチップ１０の圧電基板１の厚みは、機械加工により、設定値±５μｍ以下の厚み精度で加工することが可能である。接着厚さバラツキは±１μｍ程度で接着可能で、Ｚ方向の精度に関しても高精度に制御可能である。Ｚ方向の精度に関しては、装置上ではＺ方向ステージに搭載されており、レーザ変位計等により計測された突き出し量を基に、突き出しを制御することも可能である。
【００７７】
ヘッドチップ１０をヘッド保持部材４に接着する際に位置決め部７を基準にヘッドチップ１０を位置決めすることで、インクジェットヘッド２５をプリンタや描画装置に搭載後の位置決め部７に対するノズル孔２０の位置を高精度に管理することができる。これによりインク吐出後の着弾位置を予想することができ、指定アドレスに着弾できるように着弾位置補正をスムーズに行うことができる。また、インクジェットヘッド２５の交換においても同様に位置決め部７に対するノズル孔２０の位置を高精度に管理することができるため、インクジェットヘッド２５の交換、着弾補正に時間がかからず、生産装置への応用においても生産ロスを最小限に抑えることができる。
【００７８】
ヘッド保持部材４は、上述のように、研削加工を行って精度向上を図るため、金属、セラミクス等で作製するのが望ましく、熱膨張率が圧電基板１に近い方がよい。また、価格的に安価なほうが望ましいことから、ＳＵＳ４１０を選択している。
【００７９】
ＳＵＳ４１０は、磁性体であり、電磁チャックを使用した研削加工により、±１０μｍ程度の精度で充分に加工を行うことが可能である。また、装置の使用環境がクリーンルーム内であった場合、錆等のダスト発生要因を排除する点からもステンレス材料の使用が望ましい。
【００８０】
ヘッドチップ１０とヘッド保持部材４との接着幅が大きいほど、熱膨張差による影響が大きく、温度変化により、接着剤の剥離、部材のクラック等の問題が生じるため、ヘッドチップ１０とヘッド保持部材４との接着幅を小さくすることで熱膨張差による影響を抑え、温度変化により、接着剤の剥離、部材のクラック等の影響を小さくすることができる。
【００８１】
圧電基板１の熱膨張率約３〜６×１０−６／℃に対し、ヘッド保持部材４であるＳＵＳ４１０の熱膨張率は約９．９×１０−６／℃であり、ヘッド保持部材４を加熱硬化形のエポキシ系接着剤を使用してヘッドチップ１０に接着を行った場合、加熱硬化温度で、ヘッドチップ１０とヘッド保持部材４が伸びた状態で接着され、硬化完了後の室温状態では、ヘッド保持部材４は、ヘッドチップ１０に対して、より収縮するため、ヘッドチップ１０には、圧縮応力がかかった状態となる。ヘッドチップ１０とヘッド保持部材４との接着幅が大きいほど、熱膨張差による影響が大きく、温度変化により、接着剤の剥離、部材のクラック等の問題が生じるため、ヘッドチップ１０とヘッド保持部材４との接着幅を小さくすることで熱膨張差による影響を抑え、温度変化により、接着剤の剥離、部材のクラック等の影響を小さくすることができる。
【００８２】
その後、図１１に示すように、ノズルプレート２１をヘッドチップ１０に接着する。ノズルプレート２１は、ポリイミドにより形成されており、ノズルプレート２１表面には、予めインクに対して撥液性の薄膜をコーティングした状態でヘッドチップ１０の個別インク溝３１の形成ピッチと同一になるようにエキシマレーザによりノズル孔２０を加工する。ノズルプレート２１の外形サイズは、ヘッドチップ１０の長さと同等でヘッドチップ１０とマニホールド部材１１とを足し合わせた幅程度に加工を行う。
【００８３】
ヘッド保持部材４に接着されたヘッドチップ１０に対してノズルプレート２１を接着するため、まず、ヘッドチップ１０に対して接着剤を転写する。接着剤は、ガラス基板上に接着剤を滴下し、スピンコートにより均一な接着剤層を得る。スピンコートの回転数、とき間により所望の接着剤厚を調整することが可能である。
【００８４】
次に、ガラス基板にコーティングされた接着剤層に対してヘッドチップ１０をスタンプすることで、表面に接着剤を転写する。この際に、ガラス基板にコーティングされた接着剤層の約半分がヘッドチップ１０表面に転写される。
【００８５】
ヘッドチップ１０に形成された個別インク溝３１とノズルプレート２１との相対位置を合わせて、接着を行う。以上の工程はＩＣチップを基板上に搭載するボンダーマシンを利用し、位置決め精度±５μｍ程度の精度でノズルプレート２１を接着することができる。
【００８６】
その後、図２に示すように、マニホールド部材１１をヘッドチップ１０に取り付ける。図１１に示すように、マニホールド部材は、第１部分１１ａと第２部分１１ｂとからなる２ピース構造となっている。
【００８７】
ヘッドチップ１０に対してマニホールド部材１１を接着する場合、部品点数は少ないほど作業効率は良いが、本発明では、ヘッドチップ１０を介して相対するように第１共通インク溝４１および第２共通インク溝４２を配置しており、また、ヘッドチップ１０の投影面積を増加させないため、電極８がヘッドチップ１０の第１側面１０１に形成されており、この電極８に対して配線基板２４を接続している。このため、マニホールド部材１１を接着するときには、配線基板２４が、ヘッドチップ１０の第１側面１０１に形成された状態となっており、配線基板２４をかわすようにマニホールド部材１１を取り付ける必要がある。そこで、マニホールド部材１１を２部品で構成し、第１部分１１ａに第１共通インク溝４１を設け、第２部分１１ｂに第２共通インク溝４２を設け、ヘッドチップ１０の側面１０１，１０２を一面ずつ、第１部分１１ａおよび第２部分１１ｂをヘッドチップ１０の裏面基準で位置合わせを行って、接着することにより、配線基板２４をかわしながら接着を行うことができる。
【００８８】
また、マニホールド部材１１を２部品で構成したことで、それぞれのマニホールド部材１１をヘッドチップ１０の側面１０１，１０２に密着させて接着することができるため、接着剤の厚さを可能な限り薄くして、接着することができる。
【００８９】
マニホールド部材１１のノズルプレート接着面である上面１１３，１１４に対して、ヘッドチップ１０の個別インク溝３１の深さよりも深い２ｍｍの深さで、ヘッドチップ１０の個別インク溝３１の形成幅以上の段差部を設け、第１共通インク溝４１および第２共通インク溝４２を形成する。この第１共通インク溝４１および第２共通インク溝４２は、ヘッドチップ１０の側面１０１，１０２と接着することで、ヘッドチップ１０の両端に開口した複数の個別インク溝３１と連通する。
【００９０】
マニホールド部材１１の第１部分１１ａには、第１共通インク溝４１と外部とを連通させる第１連通溝５１が形成され、マニホールド部材１１の第２部分１１ｂには、第２共通インク溝４２と外部とを連通させる第２連通溝５２が形成されている。
【００９１】
マニホールド部材１１の上面１１３，１１４に形成された連通溝５１，５２は、幅０．３ｍｍ、深さ０．１ｍｍの溝で、ヘッドチップ１０の側面１０１，１０２より０．３ｍｍ離れた部位に形成されている。
【００９２】
マニホールド部材１１の対向面１１１，１１２に形成された連通溝５１，５２は、幅０．３ｍｍ、深さ０．１ｍｍの溝で、ヘッドチップ１０に接着されたノズルプレート２１より０．３ｍｍ離れた部位に形成されている。
【００９３】
ノズルプレート２１が接着されたヘッドチップ１０の側面１０１，１０２をマニホールド部材１１で挟み込むように配置する。マニホールド部材１１とノズルプレート２１との位置決めは、マニホールド部材１１の当接部１１５を圧電基板の裏面に当接させることで高精度な位置決めを行うことができる。
【００９４】
接着剤は、エポキシ系の接着剤で、粘度が約１５００ｃｐのものを使用しており、ヘッドチップ１０の側面１０１，１０２をマニホールド部材１１で挟み込むように配置した部分に対してヘッドチップ１０の裏面方向から接着剤を塗布すると、ヘッドチップ１０の側面１０１，１０２とマニホールド部材１１の対向面１１１，１１２との間に毛細管力により接着剤が浸透していく。
【００９５】
マニホールド部材１１ａの対向面１１１，１１２には、側方から深さ０．２５ｍｍで、幅は配線基板２４と同程度でザグリ加工を行ない、配線基板用凹部２７を形成する。配線基板用凹部２７により、配線基板２４とヘッドチップ１０との接続部分が、インクと直接接触せず、インクによる配線基板２４の溶解、溶出を防止する。
【００９６】
マニホールド部材１１は、厚さ５ｍｍのＰＰＳ材料にチタン酸カリウムからなる繊維を混入させた材料で形成する。本材料を射出成型によりマニホールド部材１１を形成することが可能であり、成型厚さバラツキは、設定値±１０μｍ程度で成型可能である。
【００９７】
チタン酸カリウムからなる繊維は、線径０．２〜０．６μｍ、長さ１０〜２０μｍの微細な繊維であり、これをＰＰＳに混入させることで熱膨張率を１０×１０−６／℃程度まで下げることが可能となり、熱膨張差による影響を抑えることが可能で、接着剤の剥離、部材のクラック等の問題を回避できる。また、フィラーサイズが小さく、成型ときにフィラーが動きやすいため、フィラーがマニホールド部材１１の形状から外側に突出することがなく、フィラーの脱落等の問題を生じないため、インクジェットヘッドチップ直近であるマニホールド部材１１を作製してもインクに対して悪影響を及ぼさないことを確認している。
【００９８】
マニホールド部材１１の当接部１１５から上面１１３，１１４までの距離を、ヘッドチップ１０の厚さより、約１５μｍ程度小さく設定し、成型する。成型厚さバラツキは設定値±１０μｍ程度で成型可能である。
【００９９】
実際の組み立ては、以下の通りである。配線基板２４を接続した側のヘッドチップ１０の第１側面１０１に、マニホールド部材１１の第１部分１１ａを配置し、ヘッドチップ１０の第２側面１０２に、マニホールド部材１１の第２部分１１ｂを配置して、第１、第２部分１１ａ，１１ｂのそれぞれの当接部１１５をヘッドチップ１０の裏面のヘッド保持部材４との未接着領域Ｅに当接させる。こうすることで、ヘッドチップ１０とマニホールド部材１１との段差は、ヘッドチップ１０の高さバラツキ±５μｍ、成型厚さバラツキは±１０μｍであり、０から３０μｍ程度ヘッドチップ１０が突出した状態にすることができて、ヘッドチップ１０の上面に対してマニホールド部材１１の突き出しを高精度に規制しながら配置することができる。
【０１００】
ヘッドチップ１０の側面１０１，１０２をマニホールド部材１１で挟み込むように配置し、マニホールド部材１１の突き出しを規制した後、第１部分１１ａの第１ダム部６１と第２部分１１ｂの第２ダム部６２とに、連通溝５１，５２の開口端部より接着剤を供給すると、毛細管力により接着剤が浸透していく。
【０１０１】
ダム部６１，６２は、ノズルプレート２１より０．３ｍｍ離れた領域により形成されている。このわずかな領域に対して接着剤を供給するため、接着剤量は微量である。
【０１０２】
この毛細管力による接着剤の浸透は、接着剤の表面張力や、接着部分の表面粗さ等により異なるが、ダム部６１，６２のギャップが狭いほど接着剤は浸透しやすい。逆に、ギャップが広い連通溝５１，５２では、毛細管力は働きにくくなり、接着剤の浸透は止まる。
【０１０３】
このように、まず、図１３Ａに示すように、微小領域である第１ダム部６１（接着領域の小さい部分Ｚｓ）のみに接着剤９を毛細管力により浸透させて硬化することにより、余剰接着剤の影響を小さくし、第１ダム部６１におけるギャップが広い第１連通溝５１側に位置するエッジで、メニスカスの働きにより接着剤９の浸透を食い止めることができる。なお、図示しないが、第２部分１１ｂ（ダム部６２）とヘッドチップ１０との接着についても、同様である。
【０１０４】
その後、マニホールド部材１１に対してヘッドチップ１０の裏面（下面）方向から接着剤を塗布すると、ヘッドチップ１０の側面１０１，１０２とマニホールド部材１１の当接部１１５に毛細管力により接着剤が浸透していく。
【０１０５】
図１３Ｂに示すように、この接着剤９は、接着領域の大きい部分Ｚｂを毛細管力により浸透して、接着領域の大きい部分Ｚｂにおける第１連通溝５１側に位置するエッジで、メニスカスの働きにより接着剤９の浸透を食い止めることができる。なお、図示しないが、第２部分１１ｂとヘッドチップ１０との接着についても、同様である。
【０１０６】
接着剤９の供給量が多く、余剰接着剤が、第１連通溝５１側のエッジや第２連通溝５２側のエッジで食い止められない場合は、連通溝５１，５２内に接着剤９が流入するが、予めダム部６１，６２を接着しているため、個別インク溝３１への流れ込みを阻止することができる。
【０１０７】
この後、第１、第２連通溝５１，５２に対して外側の開口部より接着剤を塗布することにより、接着剤により、第１、第２連通溝５１，５２を埋めて、インク漏れのない状態にする。
【０１０８】
その後、図１に示すように、ノズルプレート２１とマニホールド部材１１との接着を行う。マニホールド部材１１とノズルプレート２１との隙間は、０から３０μｍ程度になっており、この接着工程も、毛細管力を利用し、必要部分のみを接着するものである。第１部分１１ａの第１ダム部６１と第２部分１１ｂの第２ダム部６２とに、連通溝５１，５２の開口端部より接着剤を供給すると、毛細管力により接着剤が浸透していく。
【０１０９】
ダム部６１，６２は、ヘッドチップ１０の側面１０１，１０２より０．３ｍｍ離れた領域により形成されている。このわずかな領域に対して接着剤を供給するため、接着剤量は、微量である。
【０１１０】
この毛細管力による接着剤の浸透は、接着剤の表面張力や、接着部分の表面粗さ等により異なるが、ダム部６１，６２のギャップが狭いほど接着剤は浸透しやすい。逆に、ギャップが広い連通溝５１，５２では、毛細管力は働きにくくなり、接着剤の浸透は止まる。
【０１１１】
このように、まず、微小領域であるダム部６１，６２のみをまず接着、硬化することにより、余剰接着剤の影響を小さくし、第１ダム部６１における第１連通溝５１側に位置するエッジ、および、第２ダム部６２における第２連通溝５２側に位置するエッジで、メニスカスの働きにより接着剤の浸透を食い止めることができる。
【０１１２】
その後、マニホールド部材１１に対してノズルプレート２１の外周に接着剤を塗布する。この接着剤の供給は、ノズルプレート２１の外周に沿って接着剤をディスペンサにて供給することができる。
【０１１３】
接着剤は、マニホールド部材１１とノズルプレート２１との隙間に毛細管力により浸透していく。この接着剤は、マニホールド部材１１の上面１１３，１１４の接着領域の大きい部分Ｚｂを毛細管力により浸透して、第１上面１１３の接着領域の大きい部分Ｚｂにおける第１連通溝５１側に位置するエッジ、および、第２上面１１４の接着領域の大きい部分Ｚｂにおける第２連通溝５２側に位置するエッジで、メニスカスの働きにより接着剤の浸透を食い止めることができる。
【０１１４】
接着剤の供給量が多く、余剰接着剤が、第１連通溝５１側のエッジや第２連通溝５２側のエッジで食い止められない場合は、連通溝５１，５２内に接着剤が流入するが、予めダム部６１，６２を接着しているため、個別インク溝３１への流れ込みを阻止することができる。
【０１１５】
しかしながら、余剰接着剤が過剰な場合や、加熱硬化ときの粘度低下に伴いメニスカスが変動した場合は、ときとして、余剰接着剤が第１、第２連通溝５１，５２に流入するおそれがある。この対策について、図１４を用いて説明する。図１４は、余剰接着剤が第１、第２連通溝５１，５２に流入しない構成を示す概念図である。なお、説明を判り易くするため、ノズルプレート２１を仮想線にて示している。
【０１１６】
まず、マニホールド部材１１の供給孔５ａおよび排出孔６ａと、ノズルプレート２１のノズル孔２０とを、配管７１およびバルブ７２によって、塞いで、接着剤を供給する。なお、配管７１およびバルブ７２以外に、テープ等で塞いでもよい。
【０１１７】
こうすることで、余剰接着剤が、第１、第２連通溝５１，５２に流入すると、インク流路内が閉じられた状態となるため、インク流路内で加熱、膨張した空気が、第１、第２連通溝５１，５２から矢印で示す通り、外部へと排出される。このため、第１、第２連通溝５１，５２内に流入した接着剤は、外部へと押し出され、個別インク溝３１への流入を防止することができる。
【０１１８】
ノズルプレート２１を、ポリイミドにより作製することにより、毛細管力により浸透する接着剤を、ポリイミド越しに確認することができ、接着剤の供給状態を確認することが可能である。
【０１１９】
この後、第１、第２連通溝５１，５２に対して外部の開口部より接着剤を塗布する場合には、供給孔５ａ、排出孔６ａおよびノズル孔２０を塞ぐことなく接着剤を塗布することにより、第１、第２連通溝５１，５２を接着剤により埋めて、インク漏れのない状態にできて、インク流路を形成することが可能となる。
【０１２０】
以上の工程により、ヘッドチップ１０とマニホールド部材１１との接着時や、ノズルプレート２１とマニホールド部材１１との接着時の余剰接着剤が、マニホールド部材１１の接着界面に流れ込み、個別インク溝３１の詰まりや、予定外の部分への流れ込み等を生じさせる問題を排除することが可能である。
【０１２１】
上記構成のインクジェットヘッド２５によれば、上記第１連通溝５１は、上記マニホールド部材１１の上記第１対向面１１１および上記第１上面１１３に設けられ、上記第２連通溝５２は、上記マニホールド部材１１の上記第２対向面１１２および上記第２上面１１４に設けられているので、マニホールド部材１１とヘッドチップ１０との接着時に、余剰接着剤の第１、第２共通インク室への流入を防止でき、かつ、マニホールド部材１１とノズルプレート２１との接着時に、余剰接着剤の第１、第２共通インク室への流入を防止できる。
【０１２２】
また、上記第１連通溝５１および上記第２連通溝５２は、接着剤により、封止されているので、第１、第２連通溝５１，５２から他の領域への余剰接着剤の流入を阻止することが可能となる。例えば、必要部分の接着完了後、第１、第２連通溝５１，５２の開口端より、接着剤を毛細管力により流入させることにより、第１、第２連通溝５１，５２は外部と遮断され、インクの流出を阻止し、マニホールドとして機能するようになる。
【０１２３】
上記構成のインクジェットヘッド２５の製造方法によれば、マニホールド部材１１に跨る大きさのノズルプレート２１をヘッドチップ１０に接着し、その後、ヘッドチップ１０より突出したノズルプレート２１に対応するようにマニホールド部材１１を接着することで、ヘッドチップ１０とマニホールド部材１１との間に段差が生じた場合においても、後工程でのノズルプレート２１とマニホールド部材１１との間を接着剤で充填することにより未接着領域のない状態に接着することができる。このときに、接着剤量が多すぎた場合においても、余剰接着剤は、第１、第２連通溝５１，５２により保持され、他の領域への余剰接着剤の流入を阻止することができる。
【０１２４】
また、上記ヘッドチップ１０に上記ノズルプレート２１を接着する工程と、上記マニホールド部材１１に上記ノズルプレート２１を接着する工程との間に、上記ヘッドチップ１０に上記マニホールド部材１１を接着する工程を有するので、各部材を接着する工程において、接着する際の余剰接着剤が、第１、第２共通インク室等の他の領域への流入を阻止することができ、個別インク室の詰まりの無いインクジェットヘッド２５を製造することが可能である。
【０１２５】
また、上記ヘッドチップ１０、上記マニホールド部材１１および上記ノズルプレート２１の互いの接着は、毛細管力を利用して接着剤を流入させて接着しているので、各部材の接着が容易となる。例えば、ノズルプレート２１とマニホールド部材１１をおおよそ０．１ｍｍ以下程度のギャップになるように位置調整してから、ノズルプレート２１の外周部に接着剤を塗布すると、毛細管力により、ギャップ内に接着剤が浸透する。所望部まで接着剤が浸透した時点で、ノズルプレート２１の外周部に塗布した接着剤を拭うことにより、接着剤の供給を断つことで接着領域をコントロールすることが可能となる。接着剤量が多すぎた場合においても、余剰接着剤は第１、第２連通溝５１，５２により保持され、他の領域への余剰接着剤の流入を阻止することができる。
【０１２６】
なお、この発明は上述の実施形態に限定されない。例えば、連通溝５１，５２を、マニホールド部材１１以外に、ヘッドチップ１０やノズルプレート２１に設けてもよい。
【０１２７】
例えば、上記ヘッドチップ１０の上記第１側面１０１、上記マニホールド部材１１の上記第１対向面１１１、上記マニホールド部材１１の上記第１上面１１３、および、上記ノズルプレート２１の上記第１対向面２１１のうちの少なくとも一つに、上記第１共通インク室と上記マニホールド部材１１の外側とを連通する第１連通溝５１を設けてもよく、第１連通溝５１を設けている面とこの面に対向する面とを接着剤を介して接着したときに、この第１連通溝５１を設けている面から第１共通インク室内へ、余剰接着剤が流入することを防止できて、接着剤により個別インク室が塞がれることを防止する。
【０１２８】
具体的に述べると、第１連通溝５１を設けた面は、第１連通溝５１により、例えば、接着領域（面積）の小さい部分と接着領域（面積）の大きい部分とに分割される。そして、まず、接着領域の小さい部分の接着を行う。このとき、接着剤を毛細管力により流入させる。
【０１２９】
ここで、余剰接着剤が第１共通インク室に流入し、個別インク室を塞いでしまうのは、互いに対向する接着面の間の隙間の体積に対して、供給される接着剤の量が多いためである。このため、まず、接着領域の小さい部分を接着することにより、余剰接着剤量を低減させることができ、この余剰接着剤は、第１連通溝５１のエッジのメニスカスの働きにより保持され、余剰接着剤が第１共通インク室に流入するのを防止することができる。
【０１３０】
引き続いて、接着領域の小さい部分の接着の後に、接着領域の大きい部分についても、毛細管力により接着剤を供給するが、このときの余剰接着剤は、第１連通溝５１のエッジのメニスカスの働きにより保持されるが、保持できない場合、この余剰接着剤は第１連通溝５１に流入し、この部分で保持され、余剰接着剤が流路溝部に流入するのを防止することができる。
【０１３１】
また、上記ヘッドチップ１０の上記第２側面１０２、上記マニホールド部材１１の上記第２対向面１１２、上記マニホールド部材１１の上記第２上面１１４、および、上記ノズルプレート２１の上記第２対向面２１２のうちの少なくとも一つに、上記第２共通インク室と上記マニホールド部材１１の外側とを連通する第２連通溝５２を設けてもよく、第２連通溝５２を設けている面とこの面に対向する面とを接着剤を介して接着したときに、この第２連通溝５２を設けている面から第２共通インク室内へ、余剰接着剤が流入することを防止できて、接着剤により個別インク室が塞がれることを防止する。
【符号の説明】
【０１３２】
１  圧電基板
３  隔壁
４  ヘッド保持部材
５ａ  供給孔
６ａ  排出孔
８  電極
８１  導出部
９  接着剤
１０  ヘッドチップ
１０１  第１側面
１０２  第２側面
１１  マニホールド部材
１１ａ  第１部分
１１ｂ  第２部分
１１１  第１対向面
１１２  第２対向面
１１３  第１上面
１１４  第２上面
１１５  当接部
２０  ノズル孔
２１  ノズルプレート
２１１  第１対向面
２１２  第２対向面
２４  配線基板
２５  インクジェットヘッド
３１  個別インク溝
４１  第１共通インク溝
４２  第２共通インク溝
５１  第１連通溝
５２  第２連通溝
６１  第１ダム部
６２  第２ダム部
Ｚｂ  接着領域の大きい部分
Ｚｓ  接着領域の小さい部分
【図１】
2011218727.tif 000003
【図２】
2011218727.tif 000004
【図３】
2011218727.tif 000005
【図４】
2011218727.tif 000006
【図５】
2011218727.tif 000007
【図６】
2011218727.tif 000008
【図７Ａ】
2011218727.tif 000009
【図７Ｂ】
2011218727.tif 000010
【図８】
2011218727.tif 000011
【図９】
2011218727.tif 000012
【図１０】
2011218727.tif 000013
【図１１】
2011218727.tif 000014
【図１２】
2011218727.tif 000015
【図１３Ａ】
2011218727.tif 000016
【図１３Ｂ】
2011218727.tif 000017
【図１４】
2011218727.tif 000018