(57)【要約】【課題】識別情報の読み取り性の向上を図ることが可能なヘッドアッセンブリの製造方法を提供する。【解決手段】本発明のヘッドアッセンブリの製造方法では、ヘッドスライダの識別情報を表す識別マークと、識別マークと所定の位置関係にある所定のパターンからなる基準マークと、が形成されたヘッドスライダのマーク形成面の画像を取得し（Ｓ４）、画像内で基準マークを特定し（Ｓ５）、画像内の基準マークと所定の位置関係にある範囲から識別情報を読み取る（Ｓ６）。【選択図】図５
2011118981.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッドスライダを含むヘッドアッセンブリの製造方法であって、
前記ヘッドスライダの識別情報を表す識別マークと、前記識別マークと所定の位置関係にある所定のパターンからなる基準マークと、が形成された前記ヘッドスライダのマーク形成面の画像を取得し、
前記画像内で前記基準マークを特定し、
前記画像内の前記基準マークと所定の位置関係にある範囲から前記識別情報を読み取る、
ことを特徴とするヘッドアッセンブリの製造方法。
【請求項２】
前記ヘッドスライダの気体流出側の端面が、前記マーク形成面である、
請求項１に記載のヘッドアッセンブリの製造方法。
【請求項３】
前記ヘッドスライダでは、基板部の気体流出側の端面上に複数の薄膜が積層され、
前記複数の薄膜の最上の薄膜に、前記識別マーク及び前記基準マークが形成される、
請求項１に記載のヘッドアッセンブリの製造方法。
【請求項４】
前記識別マーク及び前記基準マークが１つの工程中で一斉に形成される、
請求項３に記載のヘッドアッセンブリの製造方法。
【請求項５】
前記識別マーク及び前記基準マークは、前記マーク形成面に形成された溝により記述される、
請求項１に記載のヘッドアッセンブリの製造方法。
【請求項６】
前記マーク形成面の縁と前記基準マークとの間に前記識別マークが配置される、
請求項１に記載のヘッドアッセンブリの製造方法。
【請求項７】
前記マーク形成面には金属端子が設けられ、
前記基準マークは、前記識別マークと前記金属端子との間に配置される、
請求項１に記載のヘッドアッセンブリの製造方法。
【請求項８】
前記基準マークを構成する第１の要素と第２の要素とが所定の方向に配列する、
請求項１に記載のヘッドアッセンブリの製造方法。
【請求項９】
前記第１の要素及び前記第２の要素の各々の幅は、前記識別マークの幅より小さい、
請求項８に記載のヘッドアッセンブリの製造方法。
【請求項１０】
前記マーク形成面には金属端子が設けられ、
前記第１の要素及び前記第２の要素の各々の幅は、前記金属端子の幅より小さい、
請求項１に記載のヘッドアッセンブリの製造方法。
【請求項１１】
識別情報を表す識別マークと、前記識別マークと所定の位置関係にある所定のパターンからなる基準マークと、が外面の１つに形成される、
ことを特徴とするヘッドスライダ。
【請求項１２】
識別情報を表す識別マークと、前記識別マークと所定の位置関係にある所定のパターンからなる基準マークと、が外面の１つに形成されるヘッドスライダと、
前記ヘッドスライダを支持するヘッド支持部材と、
を備えることを特徴とするヘッドアッセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘッドアッセンブリの製造方法、ヘッドスライダ及びヘッドアッセンブリに関し、特には、ヘッドスライダに形成された識別マークから識別情報を読み取る技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置に用いられるヘッドアッセンブリには、磁気ディスク上に浮上してデータを読み書きするヘッドスライダが含まれている。こうしたヘッドスライダには、識別情報を表す識別マークが付されている。ヘッドアッセンブリの製造時には、ヘッドスライダを撮像することで得られる画像内で識別マークが特定され、そこから識別情報が読み取られる。識別マークの特定は、通常、画像内でヘッドスライダの縁を検出した後、縁の位置に基づいて行われる（特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−３０５２５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来技術では、画像内でヘッドスライダの縁を安定的に検出することが困難であったため、識別情報の読み取り性が必ずしも良くなかった。
【０００５】
本発明は、上記実情に鑑みて為されたものであり、識別情報の読み取り性の向上を図ることが可能なヘッドアッセンブリの製造方法、ヘッドスライダ及びヘッドアッセンブリを提供することを主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明のヘッドアッセンブリの製造方法は、ヘッドスライダを含むヘッドアッセンブリの製造方法であって、前記ヘッドスライダの識別情報を表す識別マークと、前記識別マークと所定の位置関係にある所定のパターンからなる基準マークと、が形成された前記ヘッドスライダのマーク形成面の画像を取得し、前記画像内で前記基準マークを特定し、前記画像内の前記基準マークと所定の位置関係にある範囲から前記識別情報を読み出す、ことを特徴とする。
【０００７】
また、本発明のヘッドスライダは、識別情報を表す識別マークと、前記識別マークと所定の位置関係にある所定のパターンからなる基準マークと、が外面の１つに形成される、ことを特徴とする。
【０００８】
また、本発明のヘッドアッセンブリは、識別情報を表す識別マークと、前記識別マークと所定の位置関係にある所定のパターンからなる基準マークと、が外面の１つに形成されるヘッドスライダと、前記ヘッドスライダを支持するヘッド支持部材と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
上記本発明によると、マーク形成面に識別マークと所定の位置関係で形成された基準マークが画像内でまず特定されることで、識別情報を読み取る範囲が識別マークの形成位置に的確に合わせられる。その結果、識別情報の読み取り性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施形態に係る磁気ディスク装置の平面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るヘッドアッセンブリの斜視図である。
【図３Ａ】本発明の一実施形態に係るヘッドスライダの斜視図である。
【図３Ｂ】本発明の一実施形態に係るヘッドスライダの端面の要部拡大図である。
【図４】本発明の一実施形態に係るヘッドアッセンブリの製造方法におけるカメラ配置を表す図である。
【図５】本発明の一実施形態に係るヘッドアッセンブリの製造方法の流れを表すフローチャートである。
【図６Ａ】図５のＳ１の説明図である。
【図６Ｂ】図５のＳ２の説明図である。
【図６Ｃ】図５のＳ３の説明図である。
【図７】図５のＳ５及びＳ６の説明図である。
【図８Ａ】本発明の変形例に係るヘッドスライダの端面を表す図である。
【図８Ｂ】本発明の変形例に係るヘッドスライダの端面を表す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
本発明のヘッドアッセンブリの製造方法、ヘッドスライダ及びヘッドアッセンブリの実施形態を、図面を参照しながら説明する。
【００１２】
図１は、磁気ディスク装置１の平面図である。同図では、トップカバーの図示が省略されている。磁気ディスク装置１の筐体内には、磁気ディスク２及びヘッドアッセンブリ４が収納されている。磁気ディスク２は、筐体の底部に設けられたスピンドルモータ３に取り付けられている。
【００１３】
図２は、ヘッドアッセンブリ４の斜視図である。ヘッドアッセンブリ４は、複数のヘッドスライダ１０を備えるヘッドスタックアッセンブリである。ヘッドアッセンブリ４は、ピボット軸が挿入されて旋回可能に支承される軸支部４０と、軸支部４０から一方に延びる複数のアーム５と、軸支部４０から他方に延びるコイル部９と、を有している。各アーム５は、板状に構成され、所定の間隔で互いに平行に配列している。コイル部９は、ボイスコイルモータの一部となる。各アーム５の先端部には、ヘッド支持部材としてのサスペンション６及びフレクシャ７が取り付けられており、さらに、これらの先端部には、ヘッドスライダ１０が取り付けられている。サスペンション６、フレクシャ７及びヘッドスライダ１０は、ヘッドジンバルアッセンブリ８を構成する。
【００１４】
図３Ａは、ヘッドスライダ１０の斜視図である。同図中の矢印Ｆｒは、ヘッドスライダ１０が受ける気体流の方向を表す。図３Ｂは、ヘッドスライダ１０の気体流出側端面１０ｂの要部拡大図である。ヘッドスライダ１０の、磁気ディスク２と対向するディスク対向面１０ａには、ＡＢＳ（Air Bearing Surface）が形成されている。ヘッドスライダ１０は、磁気ディスク２の回転により生じる気体流をディスク対向面１０ａで受けることで、磁気ディスク２上に近接浮上する。ヘッドスライダ１０は、アルミナとチタンカーバイトの焼結体（いわゆるアルチック）からなる基板部１１を有しており、基板部１１の気体流出側の端面上には、アルミナからなる複数の薄膜が積層されてできた薄膜積層部１２が設けられている。薄膜積層部１２には、データを読み書きする記録再生ヘッドが含まれている。
【００１５】
ヘッドスライダ１０の気体流出側端面１０ｂ、すなわち薄膜積層部１２の最上の薄膜１２ａの表面には、複数の端子１３と複数のパッド１４とが設けられている。６つの端子１３は、概略矩形状に構成され、気体流出側端面１０ｂの上半部で左右方向に配列している。これらの端子１３は、薄膜積層部１２に含まれる記録再生ヘッドと電気的に接続されている。これらの端子１３は、上記フレクシャ７に設けられたＦＰＣに半田を介して電気的に接続される。２つのパッド１４は、概略楕円状に構成され、気体流出側端面１０ｂの下半部で左右方向に配列している。これらのパッド１４は、ラッピングの終点を検知するための抵抗測定パッドである。これらのパッド１４は、左右に位置する側面１０ｃから離れて形成されている。具体的には、これらのパッド１４は、左右の端から中央に向かって２つ目の端子１３の下方に設けられている。
【００１６】
気体流出側端面１０ｂの右下部、すなわち右端に位置する端子１３の下方、かつ右側に位置するパッド１４の右方には、基準マーク１６と識別マーク１８とが設けられている。気体流出側端面１０ｂは、基準マーク１６と識別マーク１８とが設けられたマーク形成面である。基準マーク１６と識別マーク１８とは、気体流出側端面１０ｂに形成された溝によって記述されている。基準マーク１６と識別マーク１８とは、薄膜積層部１２の最上の薄膜１２ａに対するパターニング工程の中で一度に形成される。すなわち、基準マーク１６と識別マーク１８とは、これらの形に抜かれたマスクを用いたエッチングによって形成される。
【００１７】
識別マーク１８は、溝によって記述された文字を含んでおり、ヘッドスライダ１０の識別情報を表している。なお、ヘッドアッセンブリ４の各ヘッドスライダ１０に設けられた識別マーク１８を構成する文字は、互いに異なっている。
【００１８】
基準マーク１６は、識別マーク１８のすぐ上方に設けられている。具体的には、基準マーク１６は、右端に位置する端子１３と識別マーク１８との間の、やや識別マーク１８寄りの位置で、パッド１４の上端部と同程度の高さに設けられている。換言すると、基準マーク１６と気体流出側端面１０ｂの下縁との間に、識別マーク１８が設けられている。
【００１９】
基準マーク１６は、溝の有無のパターンによって表されている。すなわち、基準マーク１６では、溝が形成されていない第１の要素１６ａと、溝が形成されている第２の要素１６ｂと、が左右および上下に交互に配列している。第２の要素１６ｂは、左右に延びる矩形状に構成されている。各第２の要素１６ｂの幅と、これらに挟まれる第１の要素１６ａの幅は、ほぼ同じとされており、識別マーク１８全体の幅や各端子１３の幅より小さい。なお、ヘッドアッセンブリ４の各ヘッドスライダ１０に設けられた基準マーク１６は、全て同じ形状を有している。
【００２０】
図４は、ヘッドアッセンブリ４の製造方法におけるカメラ配置を表す図である。カメラユニット２１は、Ｚ方向を向き、ヘッドアッセンブリ４の複数のヘッドスライダの気体流出側端面１０ｂを撮像する。カメラユニット２１は、広角撮像用のワイドカメラと、拡大撮像用のズームカメラとを含んでいる。サイドカメラ２３は、Ｙ方向を向き、ヘッドアッセンブリ４の複数のヘッドスライダ１０の側面１０ｃを撮像する。
【００２１】
図５は、ヘッドアッセンブリ４の製造方法の流れを表すフローチャートである。Ｓ１〜Ｓ７の処理は、コンピュータにより実行される。
【００２２】
Ｓ１では、図６Ａに示されるように、サイドカメラ２３から得られる画像内でＺＸ面の基準点が検出される。ＺＸ面の基準点は、ヘッドスライダ１０のディスク対向面１０ａと気体流出側端面１０ｂとの交点であり、ヘッドスライダ１０の輪郭を検出することで特定される。
【００２３】
Ｓ２では、図６Ｂに示されるように、カメラユニット２１に含まれるワイドカメラから得られる画像内でＸＹ面の基準点が検出される。ＸＹ面の基準点は、ヘッドスライダ１０のディスク対向面１０ａと側面１０ｃとの交点であり、ヘッドスライダ１０の輪郭を検出することで特定される。
【００２４】
Ｓ３では、図６Ｃに示されるように、上記Ｓ２で検出されたＸＹ面の基準点近傍が、カメラユニット２１に含まれるズームカメラによりフォーカスされる。Ｓ４では、ズームカメラにより撮像されたＸＹ面の基準点近傍の拡大画像が、画像データとしてコンピュータに取得される。
【００２５】
Ｓ５では、上記Ｓ４で取得された拡大画像内で基準マークが特定される。基準マークの特定は、図７に示されるマスク３４を用いて行われる。マスク３４は、位置合わせ窓３６と、これに隣接する読み取り窓３８とを含んでいる。位置合わせ窓３６は、第１の要素３６ａと第２の要素３６ｂとを含んでいる。これら第１の要素３６ａと第２の要素３６ｂの位置、形状および大きさは、上記基準マーク１６に含まれる第１の要素１６ａと第２の要素１６ｂに対応する。
【００２６】
他方、拡大画像は、所定の閾値によって２値化される。閾値は、識別マーク１８に含まれる文字の明度と、その周囲の明度との間になるように、若しくは、基準マーク１６の第１の要素１６ａの明度と、第２の要素１６ｂの明度との間になるように、適宜設定される。
【００２７】
マスク３４は、２値化された拡大画像内でスキャンされ、位置合わせ窓３６が基準マーク１６に合わせられる。具体的には、位置合わせ窓３６に含まれる第１の要素３６ａと第２の要素３６ｂとが、基準マーク１６に含まれる第１の要素１６ａと第２の要素１６ｂとにそれぞれ重なるように、マスク３４が位置決めされる。
【００２８】
Ｓ６では、マスク３４が位置決めされた状態で、位置合わせ窓３６と隣接する読み取り窓３８内から識別情報が読み取られる。位置合わせ窓３６に対する読み取り窓３８の位置は、基準マーク１６に対する識別マーク１８の位置と対応するので、位置合わせ窓３６が基準マーク１６と合致する場合、読み取り窓３８内には識別マーク１８が位置することになる。そして、読み取り窓３８内の画像に対してＯＣＲ（Optical Character Recognition：光学文字認識）処理を実行することにより、読み取り窓３８内に位置する識別マーク１８から識別情報が文字データとして読み取られる。
【００２９】
以上のＳ１〜Ｓ６の処理は、ヘッドアッセンブリ４に含まれる全てのヘッドスライダ１０に対して実行される（Ｓ７）。
【００３０】
以上に説明した本実施形態によれば、マスク３４に含まれる位置合わせ窓３６が基準マーク１６に合わせられることで、読み取り窓３８が識別マーク１８に的確に合わせられるので、識別マーク１８から識別情報を安定的に読み出すことが可能である。
【００３１】
また、ヘッドスライダ１０の気体流出側端面１０ｂに識別マーク１８及び基準マーク１６が形成されることで、ヘッドアッセンブリ４にヘッドスライダ１０が組み込まれた状態で識別マーク１８及び基準マーク１６を読み出すことが容易である。
【００３２】
また、薄膜積層部１２の最上の薄膜１２ａに識別マーク１８及び基準マーク１６が形成されることで、基板部１１の気体流出側の端面上に薄膜を積層する薄膜積層プロセス内で識別マーク１８及び基準マーク１６を形成することが可能である。
【００３３】
また、薄膜積層部１２の最上の薄膜１２ａに対するパターニング工程の中で識別マーク１８及び基準マーク１６が一度に形成されることで、識別マーク１８と基準マーク１６との位置関係の精度を向上させることが可能である。
【００３４】
また、気体流出側端面１０ｂの下縁と基準マーク１６との間に識別マーク１８が配置されることで、気体流出側端面１０ｂの下縁から基準マーク１６を離すことが可能である。これにより、ヘッドスライダ１０の切り出し工程で基準マーク１６が損傷することが抑制される。
【００３５】
また、基準マーク１６が識別マーク１８と端子１３との間に配置されることで、気体流出側端面１０ｂの下縁から基準マーク１６を離すことが可能である。これにより、ヘッドスライダ１０の切り出し工程で基準マーク１６が損傷することが抑制される。
【００３６】
また、基準マーク１６に含まれる第１の要素１６ａと第２の要素１６ｂとが左右および上下に交互に配列することで、位置合わせ窓３６の位置決め精度を向上させることが可能である。
【００３７】
また、基準マーク１６に含まれる第１の要素１６ａ及び第２の要素１６ｂの各々の幅が識別マーク１８の幅より小さくされることで、位置合わせ窓３６の位置決め精度を向上させることが可能である。
【００３８】
また、基準マーク１６に含まれる第１の要素１６ａ及び第２の要素１６ｂの各々の幅が端子１３の幅より小さくされることで、位置合わせ窓３６の位置決め精度を向上させることが可能である。
【００３９】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形実施が当業者にとって可能であるのはもちろんである。
【００４０】
なお、基準マーク１６は、上記態様に限られない。例えば、図８Ａに示されるように、基準マーク１６の第２の要素１６ｂがディスク対向面１０ａと側面１０ｃとに沿ったＬ字状に構成されてもよい。また、図８Ｂに示されるように、基準マーク１６の第２の要素１６ｂが識別マーク１８の上下両方に配置されてもよい。
【符号の説明】
【００４１】
１  磁気ディスク装置、２  磁気ディスク、３  スピンドルモータ、４  ヘッドアッセンブリ（ヘッドスタックアッセンブリ）、４０  軸支部、５  アーム、６  サスペンション、７  フレクシャ、８  ヘッドジンバルアッセンブリ、９  コイル部、１０  ヘッドスライダ、１０ａ  ディスク対向面、１０ｂ  気体流出側端面、１０ｃ  側面、１１  基板部、１２  薄膜積層部、１２ａ  最上の薄膜、１３  端子、１４  パッド、１６  基準マーク、１６ａ  第１の要素、１６ｂ  第２の要素、１８  識別マーク、２１  カメラユニット、２３  サイドカメラ、３４  マスク、３６  位置合わせ窓、３６ａ  第１の要素、３６ｂ  第２の要素、３８  読み取り窓。
【図１】
2011118981.tif 000003
【図２】
2011118981.tif 000004
【図３Ａ】
2011118981.tif 000005
【図３Ｂ】
2011118981.tif 000006
【図４】
2011118981.tif 000007
【図５】
2011118981.tif 000008
【図８Ａ】
2011118981.tif 000009
【図８Ｂ】
2011118981.tif 000010
【図６Ａ】
2011118981.tif 000011
【図６Ｂ】
2011118981.tif 000012
【図６Ｃ】
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【図７】
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