(57)【要約】【課題】少なくとも一端側が開放する形状を備えた被着体の内面側に接着シートを貼付するシート貼付装置に適用できる押圧装置を提供すること。【解決手段】外周側に環状の凸部１１を設けて内側が凹部１２とされた半導体ウエハＷの凹部１２に接着シートＳを貼付する押圧装置１６であって、上蓋部材２１の開口部２０に底蓋部２３Ａと筒状部２３Ｂとからなる弾性部材２３を配置することで加圧室Ｃが形成されている。この筒状部２３Ｂの外周側に弾性リング２４が装着されている。加圧室Ｃを加圧することで底蓋部２３Ａが接着シートＳを凹部１２の底面に押し付ける一方、筒状部２３Ｂと弾性リング２４とによって凹部１２の側面に接着シートＳが押し付けられる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一端側が開放する被着体の内側に接着シートを押圧して貼付するシート貼付装置に用いられる押圧装置であって、
内部に加圧室を備えるとともに当該加圧室の圧力上昇によって弾性変形可能な弾性部材と弾性変形不能な非弾性部材とを備えた中空体と、前記弾性部材の外周側に装着されて前記被着体の内側に対向配置可能な弾性リングとを含み、
前記弾性リングと被着体との間に接着シートを配置した状態で前記加圧室を加圧することで、前記弾性部材及び弾性リングが変形して前記接着シートを前記被着体の内側に押圧することを特徴とする押圧装置。
【請求項２】
外周側に環状の凸部が設けられて当該凸部の内側に凹部を有する被着体の当該凹部の底面及び側面に接着シートを押圧して貼付するシート貼付装置に用いられる押圧装置であって、
内部に加圧室を備えるとともに当該加圧室の圧力上昇によって弾性変形可能な筒状部と底蓋部とからなる弾性部材と弾性変形不能な非弾性部材とを備えた中空体と、前記筒状部の外周側に装着されて前記被着体の内側に対向配置可能な弾性リングとを含み、
前記弾性部材及び弾性リングと被着体との間に接着シートを配置した状態で前記加圧室を加圧することで、前記弾性部材及び弾性リングが変形して前記接着シートを前記被着体の凹部の底面及び側面に押圧することを特徴とする押圧装置。
【請求項３】
前記非弾性部材は、前記弾性リングを前記被着体の内周面側に導く誘導部を有することを特徴とする請求項１又は２記載の押圧装置。
【請求項４】
前記弾性リングは、相互に平行な上面及び下面と、前記弾性部材の外周側に接触する内周面と、上面側に向かうに従って縮径若しくは縮小する外周面とを備えていることを特徴とする請求項１、２又は３記載の押圧装置。
【請求項５】
前記弾性リングの内周面は、前記加圧室が加圧されたときに前記弾性部材の一部を受容する切欠部を備えていることを特徴とする請求項１ないし４の何れかに記載の押圧装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は押圧装置に係り、更に詳しくは、少なくとも一端が開放する被着体の内側に接着シートを貼付するシート貼付装置に利用可能な押圧装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の半導体ウエハは、ウエハの損傷を回避しつつ種々の処理を施す際のハンドリング性を考慮して、外周に補強部として作用する環状の凸部を設けて一端側が開放する凹部となるように、ウエハの内側を研削する方法と装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。このようなウエハには、洗浄や表面処理等の種々の処理を施す際に、当該処理を行わない方の面を保護するため接着シートを貼付するが、特許文献１に開示される形状を備えたウエハにあっては、凹部の内面側に接着シートを貼付させることが困難になる、という不都合がある。すなわち、凹部に臨む位置に接着シートを配置して当該接着シートを凹部に押圧しても、当該凹部の底面とこの底面に連なる側面とのコーナー（以下、単に「コーナー」という）領域に接着シートが貼付されない（貼付され難い）未貼付領域を生ずるため、当該コーナー近傍から接着シートが剥がれてしまうことがある。このように接着シートが剥がれた（剥がれ易い）状態で上記のような処理を施した場合、接着シートとウエハとの間に、洗浄液や表面処理液等の液体や不純物等が入り込み易くなり、これが電子部品としての製品性能を低下させる要因となる。
【０００３】
ところで、特許文献２には、一端が開放する被着体の内側に接着シート（ラベル）を貼付することのできる貼付装置が開示されている。同文献に開示された貼付装置は、粘着剤層を外側にした状態で接着シートを保持可能とする貼付ヘッドを含み、この貼付ヘッドと被着体とを相対移動させることで接着シートが被着体の内周面に貼付できるように構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１９３７９号公報
【特許文献２】特開２００４−２１０３０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献２の貼付装置にあっては、凹部の底面と内側面とに跨るように接着シートを貼付することはできない。
また、特許文献２の装置は、凹部の内周面に接着シートを貼付する場合、貼付ヘッドと被着体との間に接着シートを介在させ、これらが相互に当接した状態で相対回転することにより接着シートに押圧力を付与するものであり、相対回転を行うための機構が必要になり、装置の構成や制御を複雑化させるという欠点がある。
【０００６】
［発明の目的］
本発明は、一端若しくは両端が開放する形状を備えた被着体の内面に対し、簡単な構成で接着シートを貼付するシート貼付装置に利用可能な押圧装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明は、少なくとも一端側が開放する被着体の内側に接着シートを押圧して貼付するシート貼付装置に用いられる押圧装置であって、内部に加圧室を備えるとともに当該加圧室の圧力上昇によって弾性変形可能な弾性部材と弾性変形不能な非弾性部材とを備えた中空体と、前記弾性部材の外周側に装着されて前記被着体の内側に対向配置可能な弾性リングとを含み、前記弾性リングと被着体との間に接着シートを配置した状態で前記加圧室を加圧することで、前記弾性部材及び弾性リングが変形して前記接着シートを前記被着体の内側に押圧するように構成されている。
【０００８】
また、本発明は、外周側に環状の凸部が設けられて当該凸部の内側に凹部を有する被着体の当該凹部の底面及び側面に接着シートを押圧して貼付するシート貼付装置に用いられる押圧装置であって、内部に加圧室を備えるとともに当該加圧室の圧力上昇によって弾性変形可能な筒状部と底蓋部とからなる弾性部材と弾性変形不能な非弾性部材とを備えた中空体と、前記筒状部の外周側に装着されて前記被着体の内側に対向配置可能な弾性リングとを含み、前記弾性部材及び弾性リングと被着体との間に接着シートを配置した状態で前記加圧室を加圧することで、前記弾性部材及び弾性リングが変形して前記接着シートを前記被着体の凹部の底面及び側面に押圧するように構成することができる。
【０００９】
また、前記非弾性部材は、前記弾性リングを前記被着体の内周面側に導く誘導部を有する、という構成を採るとよい。
【００１０】
更に、前記弾性リングは、相互に平行な上面及び下面と、前記弾性部材の外周側に接触する内周面と、上面側に向かうに従って縮径若しくは縮小する外周面とを備えた形状が採用されている。
【００１１】
また、前記弾性リングの内周面は、前記加圧室が加圧されたときに前記弾性部材の一部を受容する切欠部を備えた形状に設けることが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、加圧室を形成する中空体の一部を弾性部材により構成し、この弾性部材に弾性リングを装着しているため、加圧室に圧縮エアを供給するだけで弾性部材と弾性リングとが変形し、これにより、弾性リングと被着体との間に配置された接着シートを被着体の内周面に押圧することが可能となる。しかも、加圧力によって接着シートを貼り付けるための押圧力が付与されるため、貼付圧力を十分に高めることができ、接着シートの不用意な剥がれも防止することができる。
また、弾性部材が筒状部と底蓋部とを備え、筒状部に弾性リングを装着した構成では、加圧室への圧縮エア供給により、凹部を有する被着体の底面と内周面とに接着シートを貼付することが可能となる。
更に、非弾性部材に誘導部を設けた構成では、弾性リングが変形する方向が一定方向に導かれるため、弾性リングが予期せぬ方向に変形し、接着シートの貼付不良が発生することを防止することができる。
また、弾性リングの外周面が上面側に向かうに従って縮径若しくは縮小する形状であることで、接着シートと被着体の内周面との間の空気を逃がしながら接着シートに押圧力を付与することができ、気泡混入を防止することができる。
更に、弾性リングの内周面に切欠部を設けた構成では、加圧室が圧力上昇したときに、筒状部が切欠部に受容されるようになり、筒状部の伸び代が確保され、当該筒状部が局所的に変形されて破損することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】（Ａ）は第１実施形態に係る押圧装置がシート貼付装置に適用された概略断面図、（Ｂ）は図１（Ａ）のＡ部拡大図。
【図２】図１の分解斜視図。
【図３】半導体ウエハの凹部に接着シートを貼付する初期段階を示す概略断面図。
【図４】凹部底面に接着シートを貼付した状態を示す概略断面図。
【図５】凹部側面に接着シートを貼付した状態を示す概略断面図。
【図６】第２実施形態に係る押圧装置の概略断面図。
【図７】第３実施形態に係る押圧装置の概略断面図。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明に係る押圧装置がシート貼付装置に適用された実施形態について図面を参照しながら説明する。
【００１５】
［第１実施形態］
図１及び図２において、シート貼付装置１０は、被着体としてのウエハＷに接着シートＳを貼付する装置として構成されている。接着シートＳは、ウエハＷよりも大きい内径を備えたリングフレームＲＦに貼付されており、接着シートＳをウエハＷに接着することによってリングフレームＲＦとウエハＷとが一体化されるようになっている。ここで、ウエハＷは一端側が開放する形状に設けられている。すなわち、一方の面（図１中上面）の外周側に環状の凸部１１が設けられ、その内側に底面１２Ａとこの底面１２Ａに連なる側面１２Ｂとからなる凹部１２が設けられ、これら底面１２Ａと側面１２Ｂとが交差する位置がコーナー１２Ｃとされている。なお、図において、ウエハＷは、図面の錯綜を回避するために板厚を大きく示しているが、実際には、リングフレームＲＦの厚みよりも薄いものとなる。
【００１６】
前記シート貼付装置１０は、ウエハＷの他方の面（図１中下面）側から当該ウエハＷを支持するテーブル１５と、ウエハＷの凹部１２が形成された面に対向するように接着シートＳを供給可能なシート供給手段１３と、接着シートＳを凹部１２に押圧して貼付する押圧装置１６と、当該押圧装置１６に圧縮エアを付与するコンプレッサ１７と、凹部１２に接着シートＳを貼付する際に、凸部１１の上面側に接着シートＳが接着することを防止するマスキング手段１８とを備えて構成されている。テーブル１５は、その上面側に図示しない複数の吸引孔を備えており、当該吸引孔を通じてウエハＷを吸引保持するように設けられている。
【００１７】
前記シート供給手段１３は、図示しない駆動手段を介して相互に離間接近可能な一対のＬ型ブラケットにより構成され、これらＬ型ブラケットでリングフレームＲＦの図１中左右の直線部ＲＦ１を挟み込むことで、ウエハＷの凹部１２が形成された面に対向するようにリングフレームＲＦ及びそれに貼付された接着シートＳを供給し、位置決めするようになっている。
【００１８】
前記押圧装置１６は、内部に加圧室Ｃを備えた中空体１９と、この中空体１９を凹部１２に対して進退させる直動モータ２２と、中空体１９に装着された弾性リング２４とを含み、中空体１９は、弾性変形可能なシート状の弾性部材２３と、弾性変形不能な非弾性部材としての上蓋部材２１とにより構成されている。弾性部材２３は、底蓋部２３Ａと、当該底蓋部２３Ａの外周に連なる筒状部２３Ｂとからなる有底の筒状をなし、上蓋部材２１は、テーブル１５側に開口部２０を備えた形状に設けられ、当該開口部２０の内周に筒状部２３Ｂの上部を固定することによって加圧室Ｃが形成されている。また、上蓋部材２１は、その上面部２１Ａ部分にホース２５が接続され、コンプレッサ１７から供給される圧縮エアがホース２５を介して加圧室Ｃに供給される。また、上蓋部材２１の下面部２１Ｂには、開口部２０が設けられている。なお、上蓋部材２１の下面部２１Ｂは、弾性リング２４が弾性変形する際の案内面として作用する誘導部として機能し、弾性リング２４が予期せぬ方向に変形し、接着シートＳの貼付不良が発生することを防止できるようになっている。
【００１９】
前記底蓋部２３Ａは、加圧室Ｃを加圧しない状態で、その中央部が他の領域よりもウエハＷ側に接近した傾斜面若しくは曲面形状に形成され、この底蓋部２３の平面視形状は、凹部１２の底面１２Ａの平面視形状よりも小さい相似関係となる平面視形状となっている。また、弾性部材２３は、ゴムや樹脂等の弾性変形可能な部材によって形成されており、筒状部２３Ｂは、その硬度が底蓋部２３Ａの硬度よりも大きいものが採用されている。本実施形態では、特に限定されるものではないが、底蓋部２３Ａの硬度は３０であり、筒状部２３Ｂの硬度は５０とされ、また、底蓋部２３Ａと筒状部２３Ｂの厚みは、それぞれ３ｍｍとされている。なお、平面視形状とは、図１中上方から下方に見下ろしたときの形状であり、硬度とは、ＪＩＳ  Ｋ  ６２５３試験法による値である。
【００２０】
前記弾性リング２４は、弾性部材２３と同様、ゴムや樹脂等の弾性変形可能な部材によって形成されている。この弾性リング２４は、上面２４Ｅと下面２４Ｄとが相互に平行であるとともに、内周面２４Ｆの上部に略Ｌ字状の切欠部２４Ａが設けられ、この切欠部２４Ａの下方に連なる内周面２４Ｆのみが筒状部２３Ｂの外周に固定されている。また、弾性リング２４の外周面２４Ｂは、図１中下方の径が上方の径よりも大きいテーパー面とされ、その外縁の平面視形状は、凹部１２の側面１２Ｂの平面視形状よりも小さい相似関係となる平面視形状となっており、当該外周面２４Ｂと下面２４Ｄとが交差する位置で角部２４Ｃを形成する。また、切欠部２４Ａによって筒状部２３Ｂの伸び代が確保され、当該筒状部２３Ｂが局所的に変形されて破損することを防止する（図５参照）。なお、弾性リング２４の硬度は、筒状部２３Ｂの硬度と同一とし、図１中左右方向の厚みを弾性部材２３よりも厚く（例えば、１２ｍｍに）設定することで、筒状部２３Ｂが伸びてその力によって拡径するようになっている。
【００２１】
前記コンプレッサ１７は、図示しない圧力制御手段によって、低圧圧縮エアと高圧圧縮エアとを、ホース２５を介して加圧室Ｃに供給可能に設けられている。これにより、低圧圧縮エアが加圧室Ｃに導入されたときに、底蓋部２３Ａが膨張し、高圧圧縮エアが加圧室Ｃに導入されたときに、筒状部２３Ｂ及び弾性リング２４が膨張（拡径）する。つまり、弾性部材２３は、コンプレッサ１７から供給される圧縮エアによって、時差を持って弾性変形可能とされている。なお、低圧圧縮エアの圧力は、底蓋部２３Ａを膨張可能、且つ、筒状部２３Ｂが殆ど膨張しない程度の圧力であれば特に限定されることはない。更に、高圧圧縮エアの圧力は、低圧圧縮エアの圧力よりも高く、且つ、筒状部２３Ｂ及び弾性リング２４が膨張できる程度の圧力であれば特に限定されることはない。また、低圧、高圧圧縮エアの圧力は、雰囲気の温度や気圧によって変化するものであるため、それらに応じて適宜変更できる。
【００２２】
前記マスキング手段１８は、上面側が不接着処理面とされた一対のプレート１８Ａ、１８Ｂにより構成されている。これらプレート１８Ａ、１８Ｂは、相互に突き合わされたときに、同一平面上に位置するとともに、凹部１２の側面１２Ｂの平面視形状に一致する半円状の切欠部４０を備え、凸部１１の上面をマスクして接着シートＳが付着しないようにするリング形状に設けられている。これらプレート１８Ａ、１８Ｂは、図２に示されるように、実線位置と二点鎖線の位置で相互に離間接近可能なよう図示しない移動手段に保持される。
【００２３】
次に、本実施形態に係るシート貼付装置１０によるシート貼付方法について、図３ないし図５をも参照しながら説明する。
【００２４】
先ず、図１に示されるように、図示しない搬送手段がウエハＷをテーブル１５の所定の位置に位置決めして載置するとともに、リングフレームＲＦをシート供給手段１３の所定の位置に位置決めして載置することで、ウエハＷの凹部１２に相対する所定の位置にリングフレームＲＦ及びそれに貼付された接着シートＳを供給する。そして、図示しない駆動手段によってシート供給手段１３がリングフレームＲＦを挟み込んで保持する。同時に、マスキング手段１８の各プレート１８Ａ、１８Ｂを相互に突き合わせ、凸部１１の上面側をマスキングする。
【００２５】
この後、図３に示されるように、直動モータ２２の出力軸２２Ａを伸長させて上蓋部材２１が凹部１２に向かって下降する。この際、底蓋部２３Ａの中央部が他の領域よりも接着シートＳ側に僅かに膨張する程度に、コンプレッサ１７によって低圧圧縮エアが加圧室Ｃ内に供給される。これにより、接着シートＳは、底蓋部２３Ａ及び弾性リング２４の下面２４Ｄによって下方へ押し付けられ、接着シートＳの中央部が凹部１２の底面１２Ａに接着する。
【００２６】
その後、直動モータ２２の出力軸２２Ａが更に伸長すると、図４に示されるように、底蓋部２３Ａの全域が接着シートＳを凹部１２の底面１２Ａに押圧すると同時に、弾性リング２４の下面２４Ｄが接着シートＳの対応領域を凹部１２の底面１２Ａに押圧することとなる。このとき、底面１２Ａの外縁側には、接着シートＳの未貼付領域が若干残っている。なお、底蓋部２３Ａが押されて平坦となるときに、加圧室Ｃ内の圧力が上昇するが、コンプレッサ１７の図示しない圧力制御手段によって、加圧室Ｃ内は所定の圧力（低圧圧縮エアの圧力）に保たれるようになっているため、筒状部２３Ｂが膨張することはない。
【００２７】
次いで、コンプレッサ１７によって高圧圧縮エアが加圧室Ｃに供給されると、図５に示されるように、筒状部２３Ｂが弾性リング２４の切欠部２４Ａに入り込むように変形するとともに、弾性リング２４の上面２４Ｅが上蓋部材２１の下面部２１Ｂで案内されつつ径を拡大する。すると、弾性リング２４の下面２４Ｄで、底面１２Ａの接着シートＳの未貼付領域に接着シートＳを貼付するとともに、弾性リング２４の外周面２４Ｂで側面１２Ｂに接着シートＳを貼付する。この側面１２Ｂに接着シートＳを貼付するとき、弾性リング２４の外周面２４Ｂがテーパー面とされていることで、弾性リング２４の角部２４Ｃが凹部１２のコーナー１２Ｃに当接した後に、外周面２４Ｂの下方から徐々に上方に向かって接着シートＳを側面１２Ｂに貼付していくこととなるため、側面１２Ｂと接着シートＳとの間に気泡を混入することなく貼付することができる。これにより凹部１２の底面１２Ａとコーナー１２Ｃと側面１２Ｂとに接着シートＳを貼付することができ、接着シートＳの未貼付領域を生じさせることなく、凹部１２の内面の全域に接着シートを貼付することができる。このとき、マスキング手段１８で凸部１１の上面をマスキングしているので、接着シートＳが凸部１１に接着することなく、弾性リング２４の拡径変形による接着シートＳの局部的な引っ張りを緩和させることができる。
【００２８】
接着シートＳが凹部１２の底面１２Ａ、コーナー１２Ｃ及び側面１２Ｂに貼付されると、コンプレッサ１７による圧縮エアの供給が絶たれ、直動モータ２２によって上蓋部材２１を若干上昇させ、マスキング手段１８のプレート１８Ａ、１８Ｂを上蓋部材２１の下面２１Ａと凸部１１の上面との間から退避させる。その後、出力軸２２Ａを再び伸長させることで、下面２１Ｂが接着シートＳ部分を凸部１１の上面に押圧し、これにより、接着シートＳの接着を完了する。このとき、弾性リング２４は、上蓋部材２１の押圧力によって圧縮変形する。
【００２９】
従って、このような第１実施形態によれば、外周に凸部１１を有するウエハＷの凹部１２に接着シートＳを貼付するに際して、従来困難とされていた凹部のコーナー１２Ｃに接着シートＳを確実に貼付することができる、という効果を得る。
【００３０】
次に、本発明の前記以外の実施形態について、図６、図７を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、第１実施形態と同一若しくは同等の構成部分については同一符号を用いるものとし、説明を省略若しくは簡略にする。
【００３１】
［第２実施形態］
図６は、本発明の第２実施形態を示す。この実施形態は、両端が開放するリング状部材を被着体Ｗ１とし、当該被着体Ｗ１の内側（内周面）に接着シートＳを貼付する構成に特徴を有する。ここで、接着シートＳは、被着体Ｗ１の内周面を保護するための平ループ状の保護用シートとされる。なお、接着シートＳは、弾性リング２３が拡径変形したときに、一定量延びることのできるフィルム素材が用いられている。
この実施形態の場合、中空体１９は、弾性変形不能な非弾性部材としての板状部材１００と、当該板状部材１００の下面側に設けられた弾性部材２３とからなり、この弾性部材２３の筒状部２３Ｂ上端を板状部材１００に固定することで加圧室Ｃが形成されている。弾性リング２４は、前記実施形態と同様に、筒状部２３Ｂの外周に装着されている。また、板状部材１００の下側の面が弾性リング２４の弾性変形案内面として作用する誘導部１００Ａとされている。
そして、接着シートＳが、図６に示されるように、テーブル１５上に載置された被着体Ｗ１の内側（内周面側）に図示しない搬送装置で載置される。その後、被着体Ｗ１の上方から中空体１９を矢印方向に下降させた後、第１実施形態と同様に加圧室Ｃに圧縮エアの供給を行うことにより、被着体Ｗ１の内周面に接着シートＳを押圧して貼付することができる。
【００３２】
従って、このような第２実施形態によれば、内周面のみに接着シートＳを貼付する場合に特に効果的に利用することができる。
なお、図示しない搬送手段によって、接着シートＳを弾性リング２４の外周面２４Ｂに支持させておき、上記のように中空体１９を下降させた後、第１実施形態と同様に加圧室Ｃに圧縮エアの供給を行うようにしてもよい。
【００３３】
［第３実施形態］
図７には、本発明の第３実施形態が示されている。この実施形態は、第１実施形態の変形的態様であり、押圧装置１６の両側にシート供給部５０と巻取部５１とを設けたところに特徴を有する。
シート供給部５０は、ロール状に巻回された接着シートＳを繰出可能に支持する支持ローラ５５と、モータＭ１によって回転する駆動ローラ５６と、当該駆動ローラ５６との間に接着シートＳを挟み込むピンチローラ５７とにより構成されている。巻取部５１は、巻取ローラ６０と、モータＭ２の駆動によって回転する駆動ローラ６２と、当該駆動ローラ６２との間にシートＳを挟み込むピンチローラ６４とにより構成されている。そして、シート供給部５０と巻取部５１との間に繰り出された接着シート部分を押圧装置１６で押圧することにより、接着シートＳを凹部１２に貼付した後に、ウエハＷの外縁に沿って図示しないカッターで接着シートＳを切り抜き、これによって生ずる外側部分を不要シートＳ１として巻取ローラ６０で巻き取るようになっている。
【００３４】
従って、このような第３実施形態によっても前記各実施形態と同一の効果を得ることができる。
【００３５】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３６】
例えば、前記各実施形態では、底蓋部２３Ａと筒状部２３Ｂとが異なる硬度を有するものとしたが、硬度が同一の材料を用いて形成することも可能である。このように硬度が同一の材料を用いる場合、底蓋部２３Ａの肉厚よりも筒状部２３Ｂの肉厚を厚く設け、当該筒状部２３Ｂが相対的に強い剛性を有するように構成すればよい。更に、弾性リング２４の硬度が底蓋部２３Ａよりも大きいものや肉厚の厚いものを採用した場合、筒状部２３Ｂは、その硬度が底蓋部２３Ａの硬度よりも小さいものを採用することもできる。要するに、本発明に係る弾性部材２３は、コンプレッサ１７から供給される圧縮エアによって、底蓋部２３Ａが弾性変形した後、時差を持って筒状部２３Ｂ及び弾性リング２４が弾性変形可能とされるといった段階的な変形をもたらすものであればよい。
【００３７】
更に、被着体は半導体ウエハＷの他、ガラス板、鋼板、または、樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。
【符号の説明】
【００３８】
１０  シート貼付装置
１１  凸部
１２  凹部
１２Ａ  底面
１２Ｂ  側面
１６  押圧装置
１９  中空体
２１  上蓋部材（非弾性部材）
２１Ｂ  下面（誘導部）
２３  弾性部材
２３Ａ  底蓋部
２３Ｂ  筒状部
２４  弾性リング
１００  板状部材（非弾性部材）
１００Ａ  誘導部
Ｃ  加圧室
Ｓ  接着シート
Ｗ  半導体ウエハ（被着体）
Ｗ１  被着体
【図１】
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【図２】
2011029360.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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