(57)【要約】【課題】外力の付与に応じた破壊が生じ難く、異物の侵入等に起因する不具合の発生を抑制可能な移動機構の製造方法、および撮像装置の製造方法を提供する。【解決手段】基準部と移動対象物とが接着されている接着状態で且つ基準部から移動対象物にかけて支持部が架設される架設状態に設定される。その後、接着状態が解除されることで、移動対象物が支持部によって支持される支持状態に設定される。このような製造工程により、基準部に対して設けられる変形可能な支持部によって支持される移動対象物が基準部に対して相対的に移動する移動機構が製造される。【選択図】図２２
2011118074.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準部に対して設けられる変形可能な支持部によって支持される移動対象物が前記基準部に対して相対的に移動する移動機構の製造方法であって、
前記基準部と前記移動対象物とが接着されている接着状態で且つ前記基準部から前記移動対象物にかけて前記支持部が架設される架設状態に設定する組立工程と、
前記接着状態を解除することで、前記移動対象物が前記支持部によって支持される支持状態に設定する解除工程と、
を備えることを特徴とする移動機構の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の移動機構の製造方法であって、
前記移動機構が、
前記移動対象物に対して駆動力を付与するアクチュエータ部を含み、
前記組立工程において、
前記アクチュエータ部を、前記基準部に対して設けることを特徴とする移動機構の製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載の移動機構の製造方法であって、
前記解除工程において、
加熱に応じて前記接着状態が解除され、
前記アクチュエータ部が、
加熱に応じた変形によって前記駆動力を発生することを特徴とする移動機構の製造方法。
【請求項４】
請求項２に記載の移動機構の製造方法であって、
前記解除工程において、
所定範囲の波長の光の照射に応じて前記接着状態が解除され、
前記アクチュエータ部が、
前記所定範囲の波長の光の照射に応じた変形によって前記駆動力を発生することを特徴とする移動機構の製造方法。
【請求項５】
請求項１から請求項４の何れか１つの請求項に記載の移動機構の製造方法であって、
前記基準部が撮像素子を含み且つ前記移動対象物が被写体からの光を前記撮像素子に導く光学系を含むか、または前記基準部が前記光学系を含み且つ前記移動対象物が前記撮像素子を含むことを特徴とする移動機構の製造方法。
【請求項６】
請求項１から請求項５の何れか１つの請求項に記載の移動機構の製造方法であって、
前記組立工程において、
前記基準部と前記移動対象物とがそれぞれ含まれ且つ該基準部と該移動対象物とがそれぞれ相互に接着されている複数のユニット部が、所定ルールで配列される積層部材を形成し、
前記組立工程の後であり且つ前記解除工程の前において、前記積層部材を切断することで前記ユニット部毎に分離する分離工程、
を更に備えることを特徴とする移動機構の製造方法。
【請求項７】
基準部と、
前記基準部と接着されている移動対象物と、
を備え、
前記基準部と前記移動対象物とが接着されている接着状態が解除されることで、前記移動対象物が、前記基準部に対して設けられる変形可能な支持部によって支持される支持状態に設定されることを特徴とする移動機構。
【請求項８】
基準部と、
前記基準部と接着されている移動対象物と、
を備え、
前記基準部と前記移動対象物とが接着されている接着状態が解除されることで、前記移動対象物が、前記基準部に対して設けられる変形可能な支持部によって支持される支持状態に設定され、
更に、前記移動対象物が被写体からの光を撮像素子まで導く光学系を含み且つ前記基準部が前記撮像素子を含む第１構成、または前記移動対象物が前記撮像素子を含み且つ前記基準部が前記光学系を含む第２構成を有することを特徴とする撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、移動機構の製造方法、移動機構、および撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話機等の小型の電子機器に、カメラモジュールが搭載されることが一般的となっている。そして、このカメラモジュールに対しては、更なる小型化および軽量化が要求されている。
【０００３】
このようなカメラモジュールは、レンズ、該レンズを支持するレンズホルダ、赤外線（ＩＲ）カットフィルタ、基板、および撮像素子を有し、これらの部材を支持する筐体等を含む様々な形状を有する多数の部品によって構成される。そして、カメラモジュールの更なる小型化を図るためには、上記多数の部品の小型化を図ることが考えられる。
【０００４】
しかし、多数の部品の小型化が図られると、該多数の部品を精度良く組み合わせて、カメラモジュールを作製することが容易でなくなる。更に、オートフォーカス（ＡＦ）やズーム等の機能を、カメラモジュールに持たせようとすれば、部品点数の増加、構成の複雑化、および組合せの困難さを招く。
【０００５】
このような状況において、最近では、基板と、多数の撮像素子が形成された半導体シートと、多数の撮像レンズが形成されたレンズアレイシートとを樹脂層を介して貼り付けてウエハ状の積層部材を形成し、該積層部材をダイシングして、個々のカメラモジュールを完成させる技術が提案されている（例えば、特許文献１，２等）。
【０００６】
この技術によれば、一枚のウエハ状の積層部材から数百個のカメラモジュールを製作することも可能である。そして、該技術は、ＭＥＭＳ(Micro Electro Mechanical Systems)等の微細加工とのマッチングも良い。このため、カメラモジュールの小型化、薄型化、および低コスト化に大きく寄与するものと考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−２００９６５号公報
【特許文献２】特開２００７−１２９９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記特許文献１，２の技術では、複数のウエハ状のシートを積層させるため、ボイスコイルモータ等といった従来から知られるアクチュエータの配置等が大変困難であり、ＡＦやズーム等の機能をカメラモジュールに持たせることが困難である。
【０００９】
ところで、いわゆるユニモルフ形状を有する駆動素子（ＰＺＴ、ＳＭＡ、およびバイメタル等を採用したもの）を用いたアクチュエータが知られる。そして、多数の該アクチュエータが形成されたウエハ状のシートを、上記特許文献１，２の技術に適用することで、カメラモジュールにＡＦやズーム等の機能を持たせることが考えられる。但し、レンズ部を移動可能な状態としたままで、他の部材によって支持することは難しい。
【００１０】
このような問題を解決する方法としては、(ｉ)ウエハ状の積層部材のダイシングによって各カメラモジュールを完成させた後に、レンズ部を一時的に支持している部分をレーザー等を用いて切断する方法や、(ii)多数のレンズ部が配列されたウエハ状の部材に対してダイシングが施されることで個片化された各レンズ部を、アクチュエータの機能を有するレイヤ（アクチュエータレイヤ）や平行ばねの機能を有するレイヤ（平行ばねレイヤ）等が積層されたものの内部に配置して、該平行ばねレイヤに接合する方法等が考えられる。
【００１１】
しかしながら、上記(ｉ)(ii)の方法では、製造工程が複雑となり、製造コストの上昇を招く。
【００１２】
また、(iii)積層部材を構成する複数のウエハ状のシートに、多数のレンズレイヤが配列されたウエハ状のシートを、他のシートとは接合されない態様で含ませ、該積層部材のダイシングが施される際に、固定部に対してレンズ部が移動可能に支持されるカメラモジュールが製造される方法も考えられる。
【００１３】
しかしながら、上記(iii)の方法では、例えば、強度が低い平行ばねレイヤのみでレンズレイヤが支持されるため、ダイシングの際における振動等といった外力によって、カメラモジュールが破壊される虞がある。また、移動部と固定部との間に空隙が生じ、該空隙を介して、ダイシングの際の冷却水や切削粉等がカメラモジュール内に侵入して、撮像センサに付着することで撮影画像に悪影響を及ぼす虞があるとともに、アクチュエータや平行ばね等によって構成される駆動部の動作を阻害する虞がある。
【００１４】
また、これらの問題は、積層部材に対してダイシングが施されることで、複数のカメラモジュールが製造される場合に限られず、カメラモジュールに対して外力が付与されるような場合一般に共通し、更に、種々の物体が移動される移動機構一般に共通する。
【００１５】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、外力の付与に応じた破壊が生じ難く、異物の侵入等に起因する不具合の発生を抑制可能な移動機構の製造方法、移動機構、および撮像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を解決するために、第１の態様に係る移動機構の製造方法は、基準部に対して設けられる変形可能な支持部によって支持される移動対象物が前記基準部に対して相対的に移動する移動機構の製造方法であって、前記基準部と前記移動対象物とが接着されている接着状態で且つ前記基準部から前記移動対象物にかけて前記支持部が架設される架設状態に設定する組立工程と、前記接着状態を解除することで、前記移動対象物が前記支持部によって支持される支持状態に設定する解除工程とを備える。
【００１７】
第２の態様に係る移動機構の製造方法は、第１の態様に係る移動機構の製造方法であって、前記移動機構が、前記移動対象物に対して駆動力を付与するアクチュエータ部を含み、前記組立工程において、前記アクチュエータ部を、前記基準部に対して設ける。
【００１８】
第３の態様に係る移動機構の製造方法は、第２の態様に係る移動機構の製造方法であって、前記解除工程において、加熱に応じて前記接着状態が解除され、前記アクチュエータ部が、加熱に応じた変形によって前記駆動力を発生する。
【００１９】
第４の態様に係る移動機構の製造方法は、第２の態様に係る移動機構の製造方法であって、前記解除工程において、所定範囲の波長の光の照射に応じて前記接着状態が解除され、前記アクチュエータ部が、前記所定範囲の波長の光の照射に応じた変形によって前記駆動力を発生する。
【００２０】
第５の態様に係る移動機構の製造方法は、第１から第４の何れか１つの態様に係る移動機構の製造方法であって、前記基準部が撮像素子を含み且つ前記移動対象物が被写体からの光を前記撮像素子に導く光学系を含むか、または前記基準部が前記光学系を含み且つ前記移動対象物が前記撮像素子を含む。
【００２１】
第６の態様に係る移動機構の製造方法は、第１から第５の何れか１つの態様に係る移動機構の製造方法であって、前記組立工程において、前記基準部と前記移動対象物とがそれぞれ含まれ且つ該基準部と該移動対象物とがそれぞれ相互に接着されている複数のユニット部が、所定ルールで配列される積層部材を形成し、前記組立工程の後であり且つ前記解除工程の前において、前記積層部材を切断することで前記ユニット部毎に分離する分離工程を更に備える。
【００２２】
第７の態様に係る移動機構は、基準部と、前記基準部と接着されている移動対象物と、を備え、前記基準部と前記移動対象物とが接着されている接着状態が解除されることで、前記移動対象物が、前記基準部に対して設けられる変形可能な支持部によって支持される支持状態に設定される。
【００２３】
第８の態様に係る撮像装置は、基準部と、前記基準部と接着されている移動対象物と、を備える。また、該撮像装置では、前記基準部と前記移動対象物とが接着されている接着状態が解除されることで、前記移動対象物が、前記基準部に対して設けられる変形可能な支持部によって支持される支持状態に設定される。更に、該撮像装置では、前記移動対象物が被写体からの光を撮像素子まで導く光学系を含み且つ前記基準部が前記撮像素子を含む第１構成、または前記移動対象物が前記撮像素子を含み且つ前記基準部が前記光学系を含む第２構成を有する。
【発明の効果】
【００２４】
第１から第６の何れの態様に係る移動機構の製造方法によっても、組立工程と解除工程との間の期間では、基準部と移動対象物とが接着されているため、外力の付与に応じた破壊が生じ難く、異物の侵入等に起因する不具合の発生が抑制される。
【００２５】
第３の態様に係る移動機構の製造方法によれば、接着を解除する際の熱によってアクチュエータ部が移動対象物に対して駆動力を付与するため、基準部に対して移動対象物が接着されている接着状態が、より確実かつ短時間で解除される。
【００２６】
第４の態様に係る移動機構の製造方法によれば、接着を解除する際の光の照射によってアクチュエータ部が移動対象物に対して駆動力を付与するため、基準部に対して移動対象物が接着されている接着状態が、より確実かつ短時間で解除される。
【００２７】
第６の態様に係る移動機構の製造方法によれば、積層部材が切断されてユニット部毎に分離される際には基準部と移動対象物とが接着されているため、外力の付与に応じた破壊が生じ難く、異物の侵入等に起因する不具合の発生が抑制される。
【００２８】
第７の態様に係る移動機構および第８の態様に係る撮像装置の何れによっても、基準部と移動対象物とが接着されているため、外力の付与に応じた破壊が生じ難く、異物の侵入等に起因する不具合の発生が抑制される。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】一実施形態に係るカメラモジュールを搭載した携帯電話機の概略構成を示す模式図である。
【図２】携帯電話機のうちの第１の筐体に着目した断面模式図である。
【図３】カメラモジュールの構成を示す側面模式図である。
【図４】カメラモジュールの移動機構の構成を示す分解斜視図である。
【図５】カメラモジュールの構成を示す上面模式図である。
【図６】カメラモジュールの構成を示す断面模式図である。
【図７】カメラモジュールの構成を示す断面模式図である。
【図８】レンズ群の構成を模式的に示す図である。
【図９】レンズ群の構成を示す上面模式図である。
【図１０】レンズ群の構成を示す下面図である。
【図１１】第１レンズ構成層の製作方法を示す模式図である。
【図１２】連結板の構成を示す上面模式図である。
【図１３】連結板の構成を示す断面模式図である。
【図１４】連結板の構成を示す断面模式図である。
【図１５】仮固定レイヤの構成を示す上面模式図である。
【図１６】第１平行ばねレイヤの構成を示す上面模式図である。
【図１７】間隔板レイヤの構成を示す上面模式図である。
【図１８】第２平行ばねレイヤの構成を示す上面模式図である。
【図１９】スペーサレイヤの構成を示す上面模式図である。
【図２０】アクチュエータレイヤの構成を示す上面模式図である。
【図２１】カバーガラスレイヤの構成を示す上面模式図である。
【図２２】カメラモジュールの製造工程の流れを示すフローチャートである。
【図２３】複数のシートの接合工程を模式的に示す図である。
【図２４】複数のシートの接合工程を１つのカメラモジュールに対応する部分に着目して模式的に示す図である。
【図２５】複数のシートの接合工程を１つのカメラモジュールに対応する部分に着目して模式的に示す図である。
【図２６】複数のシートの接合工程を１つのカメラモジュールに対応する部分に着目して模式的に示す図である。
【図２７】複数のシートの接合工程を１つのカメラモジュールに対応する部分に着目して模式的に示す図である。
【図２８】複数のシートの接合工程を１つのカメラモジュールに対応する部分に着目して模式的に示す図である。
【図２９】複数のシートの接合工程を１つのカメラモジュールに対応する部分に着目して模式的に示す図である。
【図３０】複数のシートの接合工程を１つのカメラモジュールに対応する部分に着目して模式的に示す図である。
【図３１】複数のシートの接合工程を１つのカメラモジュールに対応する部分に着目して模式的に示す図である。
【図３２】複数のシートの接合工程を１つのカメラモジュールに対応する部分に着目して模式的に示す図である。
【図３３】複数のシートの接合工程を１つのカメラモジュールに対応する部分に着目して模式的に示す図である。
【図３４】積層部材を切断するダイシング工程を説明するための模式図である。
【図３５】接着状態の解除工程およびカメラモジュールの動作を説明するための図である。
【図３６】接着状態の解除工程およびカメラモジュールの動作を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００３０】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
【００３１】
＜(1)撮像装置を搭載した電子機器の概略構成＞
図１は、一実施形態に係るカメラモジュール５００を搭載した電子機器の一例である携帯電話機１００の概略構成を示す模式図である。なお、図１およびその他の図では方位関係を明確化するために、ＸＹＺの相互に直交する３軸が適宜付されている。
【００３２】
図１で示されるように、携帯電話機１００は、折り畳み式の携帯電話機として構成され、第１の筐体２００と、第２の筐体３００と、ヒンジ部４００とを有する。第１の筐体２００および第２の筐体３００は、それぞれ板状の略直方体の形状を有し、各種電子部材を格納する筐体としての役割を有する。
【００３３】
具体的には、第１の筐体２００は、カメラモジュール５００および表示ディスプレイを有し、第２の筐体３００は、携帯電話機１００を電気的に制御する制御部とボタン等の操作部材とを有する。なお、ヒンジ部４００は、第１の筐体２００と第２の筐体３００とを回動可能に接続する。このため、携帯電話機１００は、折り畳み可能となっている。
【００３４】
また、第１の筐体２００には、電流供給ドライバ６００、電気抵抗検出部７００、およびコントラスト検出部８００が搭載されている。電流供給ドライバ６００は、カメラモジュール５００を構成するアクチュエータレイヤ２０（図３）のヒータ部への電流の供給を制御する。電気抵抗検出部７００は、ヒータ部における電気抵抗を検出する。コントラスト検出部８００は、撮像素子レイヤＰＢ（図３）の撮像素子ＩＳ（図６）で得られる画像信号についてコントラストを検出する。
【００３５】
また、第２の筐体３００には、合焦制御部３１０が搭載されている。合焦制御部３１０は、電気抵抗検出部７００およびコントラスト検出部８００からの信号の入力に応じて、電流供給ドライバ６００を介した導電層への電流の供給量を制御することで、カメラモジュール５００の合焦状態を調整するオートフォーカス(ＡＦ)制御を行う。
【００３６】
図２は、携帯電話機１００のうちの第１の筐体２００に着目した断面模式図である。図１および図２で示されるように、カメラモジュール５００は、ＸＹ断面のサイズが約５ｍｍ四方であり、厚さ（Ｚ方向の奥行き）が数ｍｍ程度である小型の撮像装置、所謂マイクロカメラユニット（ＭＣＵ）となっている。
【００３７】
以下、カメラモジュール５００の構成、カメラモジュール５００の製造方法、およびカメラモジュール５００の動作について順次に説明する。
【００３８】
＜(2)カメラモジュールの構成＞
カメラモジュール５００は、例えば、微細な素子を集積させるために使用される所謂マイクロマシニング(micromachining)技法によって製作される。該技法には、例えば、半導体加工技術の一種としてのＭＥＭＳ(Micro Electro Mechanical Systems)等が含まれる。
【００３９】
＜(2-1)カメラモジュールの概略構成＞
図３は、カメラモジュール５００の構成を示す側面模式図である。
【００４０】
図３で示されるように、撮像素子レイヤＰＢ、カバーガラスレイヤ１０、アクチュエータレイヤ２０、スペーサレイヤ３０、第２平行ばねレイヤ４０、間隔板レイヤ５０、第１平行ばねレイヤ６０、仮固定レイヤ７０、およびレンズ群レイヤ８０からなる９層がこの順番で積層されて形成される。ここで、各層ＰＢ，１０〜８０は、±Ｚ方向の面において略同一の矩形状（ここでは、一辺が約５ｍｍの正方形）の外形を有する。
【００４１】
カメラモジュール５００では、仮固定レイヤ７０と第１平行ばねレイヤ６０との間を除いて、相互に隣接して積層される各２つのレイヤの間が、樹脂によって接合される。なお、後述するが、仮固定レイヤ７０とレンズ群レイヤ８０との間については、カメラモジュール５００の製造工程の途中までは相互に接着される。
【００４２】
また、カバーガラスレイヤ１０、アクチュエータレイヤ２０、スペーサレイヤ３０、第２平行ばねレイヤ４０、間隔板レイヤ５０、第１平行ばねレイヤ６０、仮固定レイヤ７０、およびレンズ群レイヤ８０からなる８層が、レンズ群レイヤ８０を移動させる移動機構ＷＢを構成する。
【００４３】
そして、カメラモジュール５００では、アクチュエータレイヤ２０によって移動対象物としてのレンズ群レイヤ８０に対して駆動力が付与され、該レンズ群レイヤ８０が光軸ＰＬに沿った方向（ここでは、±Ｚ方向）に移動される。そして、この動作により、撮像素子レイヤＰＢの撮像素子ＩＳ（図６）とレンズ群レイヤ８０との距離が変更され、カメラモジュール５００におけるＡＦ制御が実現される。
【００４４】
ここで、カメラモジュール５００の構成について具体的に説明する。
【００４５】
図４は、カメラモジュール５００の移動機構ＷＢの構成を示す分解斜視図であり、図５は、カメラモジュール５００を上面側（ここでは、＋Ｚ側）から見たカメラモジュールの構成を示す上面模式図である。また、図６は、カメラモジュール５００の切断面VI−VIにて矢印方向に見たカメラモジュール５００の断面図であり、図７は、カメラモジュール５００の切断面VII−VIIにて矢印方向に見たカメラモジュール５００の断面図である。
【００４６】
図４〜図７で示されるように、レンズ群レイヤ８０は、レンズ群８２と該レンズ群８２の裏面側（−Ｚ側）に設けられる連結板８１とを有する。連結板８１では、該連結板８１の対向する２つの角部の内縁近傍に−Ｚ方向に延設される突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂが設けられるとともに、該連結板８１の対向する他の２つの角部の内縁近傍に−Ｚ方向に延設される突起部８１Ｔｃ，８１Ｔｄが設けられる。２つの突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂは、他の２つの突起部８１Ｔｃ，８１ＴｄよりもＺ軸に沿った長距離に渡って延設される。
【００４７】
詳細には、図６で示されるように、２つの突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂは、スペーサレイヤ３０付近まで延設され、２つの突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂの先端部が、アクチュエータレイヤ２０の可動部２０ａ，２０ｂ（図２０）の先端部（自由端）近傍に対して微小な間隙を有して配置される。そして、２つの突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂのうち、先端部よりも若干＋Ｚ側の部分が、第２平行ばねレイヤ４０の弾性部４１（図１８）に対してそれぞれ接着剤ＢＤによって接着される。このため、レンズ群レイヤ８０が、連結板８１を介して、支持部としての弾性部４１によって支持される。
【００４８】
また、図７で示されるように、２つの突起部８１Ｔｃ，８１Ｔｄは、第１平行ばねレイヤ６０付近まで延設され、該２つの突起部８１Ｔｃ，８１Ｔｄの先端部およびその近傍の部分が、第１平行ばねレイヤ６０の弾性部６１（図１６）に対してそれぞれ接着剤ＢＤによって接着される。このため、レンズ群レイヤ８０が、連結板８１を介して、支持部としての弾性部６１によって支持される。
【００４９】
このような移動機構ＷＢでは、可動部２０ａ，２０ｂが変形することで、該可動部２０ａ，２０ｂの先端部（自由端）付近が、２つの突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂの先端部と当接し、該２つの突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂを介して、レンズ群レイヤ８０に対して＋Ｚ方向に力が付与される。
【００５０】
そして、カバーガラスレイヤ１０、アクチュエータレイヤ２０の枠体２０ｆ（図２０）、スペーサレイヤ３０、第２平行ばねレイヤ４０の枠体４０ｆ（図１８）、間隔板レイヤ５０、第１平行ばねレイヤ６０の枠体６０ｆ（図１６）、および仮固定レイヤ７０が、第１の筐体２００に対して固定された基準の部分（以下「固定部」と称する）とされ、該固定部に対して、レンズ群レイヤ８０が、相対的に移動する。
【００５１】
つまり、移動機構ＷＢでは、第１および第２平行ばねレイヤ４０，６０にそれぞれ設けられる弾性部４１，６１によって支持されるレンズ群レイヤ８０が、固定部に対して相対的に移動する。なお、レンズ群レイヤ８０が固定部に対して相対的に移動する際には、弾性部４１，６１が略同一の変形を行うため、レンズ群レイヤ８０の光軸ＰＬが傾かない。
【００５２】
＜(2-2)各機能層の構成＞
＜(2-2-1)レンズ群レイヤ＞
レンズ群レイヤ８０は、複数の該レンズ群レイヤ８０が所定ルールに従ってマトリックス状に配列されたウエハ状のシート（レンズ群レイヤシート）Ｕ８０（図２３）の形態で製作される。また、該レンズ群レイヤ８０は、少なくとも２枚以上の光学レンズが重ね合わされて構成される。なお、レンズ群レイヤ８０を構成する光学レンズの数については、撮像素子ＩＳの有効画素数等に応じて適宜増減されるが、本実施形態に係るレンズ群レイヤ８０は、２つの光学レンズが重ね合わされた構成を有する。
【００５３】
図８は、レンズ群レイヤ８０に含まれるレンズ群８２の構成例を示す断面模式図である。図９は、レンズ群８２の構成例を示す上面模式図である。図１０は、レンズ群８２の構成例を示す裏面模式図である。
【００５４】
図８〜図１０で示されるように、レンズ群８２は、光学レンズＧ１を有する第１レンズ構成層ＬＹ１と、光学レンズＧ２を有する第２レンズ構成層ＬＹ２とが、スペーサ層ＲＢを介して積層されて構成される。
【００５５】
第１レンズ構成層ＬＹ１は、複数の該第１レンズ構成層ＬＹ１が所定ルールに従ってマトリックス状に配列されたウエハ状のシート（第１レンズ構成層シート）の形態で製作される。
【００５６】
第２レンズ構成層ＬＹ２は、複数の該第２レンズ構成層ＬＹ２が所定ルールに従ってマトリックス状に配列されたウエハ状のシート（第２レンズ構成層シート）の形態で製作される。
【００５７】
スペーサ層ＲＢは、樹脂等によって形成され、外縁および内縁が矩形を有する環状の部材である。そして、該スペーサ層ＲＢは、複数のスペーサ層ＲＢが所定ルールに従ってマトリックス状に配列されたウエハ状のシート（スペーサ層シート）の形態で製作される。換言すれば、該スペーサ層シートでは、板状の樹脂において貫通する矩形の中空部が所定ルールに従ってマトリックス状に配列された形態を有する。
【００５８】
第１および第２レンズ構成層シートは、同様な方法によって製作される。このため、ここで、第１レンズ構成層ＬＹ１の製作方法を例にとって説明する。
【００５９】
図１１は、第１レンズ構成層ＬＹ１すなわち第１レンズ構成層シートの製作方法を示す模式図であり、次の工程(ｉ)〜(iv)が順次に行われることで、第１レンズ構成層シートが製作される。
【００６０】
(ｉ)ウエハ形状の基板８２ＢＳが準備される。該基板８２ＢＳの素材としては、テンパックス（登録商標）等のガラス材料やＰＭＭＡ等の樹脂等が挙げられる。
【００６１】
(ii)光学レンズＧ１の上半分（レンズ上部ＧＰ１）の形状に相当する凹み部が下面において所定ルールに従ってマトリックス状に配列された樹脂型８２ＣＡと、光学レンズＧ１の下半分（レンズ下部ＧＰ２）の形状に相当する凹み部が上面において所定ルールに従ってマトリックス状に配列された樹脂型８２ＣＢとが準備される。なお、樹脂型８２ＣＡ，８２ＣＢは、透明な樹脂等によって形成されるが、ガラス製のガラス型であっても良い。
【００６２】
(iii)基板８２ＢＳの上面および下面のそれぞれに透明度の高いアクリル系またはエポキシ系の紫外線(ＵＶ)硬化樹脂が塗布され、上方から樹脂型８２ＣＡが所定の圧力で押し当てられるとともに、下方から樹脂型８２ＣＢが所定の圧力で押し当てられる。具体的には、図１１で示されるように、基板８２ＢＳが、上下から樹脂型８２ＣＡ，８２ＣＢによって挟まれた状態となる。このとき、レンズ上部ＧＰ１およびレンズ下部ＧＰ２の形状がそれぞれ形成される。
【００６３】
(iv)紫外線が照射されることで、ＵＶ硬化樹脂が硬化し、レンズ上部ＧＰ１およびレンズ下部ＧＰ２がそれぞれ形成され、第１レンズ構成層シートが形成される。
【００６４】
また、スペーサ層シートは、樹脂を用いた成型、または板状の樹脂の打ち抜き等によって形成される。
【００６５】
図１２は、連結板８１の構成例を示す上面模式図である。また、図１３は、連結板８１の切断面XIII−XIIIにて矢印方向に見た連結板８１の断面図であり、図１４は、連結板８１の切断面XIV−XIVにて矢印方向に見た連結板８１の断面図である。
【００６６】
連結板８１は、枠体８１ｆと、突設部８１ａ〜８１ｄと、突起部８１Ｔａ〜８１Ｔｄとを有する。
【００６７】
枠体８１ｆは、中空部８１ｈを形成する矩形環状の板状の部分である。また、突設部８１ａ〜８１ｄは、枠体８１ｆの４隅において中空部８１ｈ側に向けて同様に突設される板状の部分である。更に、突起部８１Ｔａ〜８１Ｔｄは、各突設部８１ａ〜８１ｄの先端にそれぞれ設けられる。
【００６８】
具体的には、連結板８１の一方の対角線上に位置する対向する２隅付近には、一対の同様な形状を有する突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂが設けられる。また、連結板８１の他方の対角線上に位置する対向する２隅付近には、一対の同様な形状を有する突起部８１Ｔｃ，８１Ｔｄが設けられる。
【００６９】
また、突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂは、突起部８１Ｔｃ，８１Ｔｄよりも、Ｚ方向に沿った長距離に渡って延設される。そして、図６で示されたように、２つの突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂが、第２平行ばねレイヤ４０の弾性部４１に対して接合されるとともに、図７で示されたように、２つの突起部８１Ｔｃ，８１Ｔｄが、第１平行ばねレイヤ６０の弾性部６１に対して接合される。
【００７０】
また、２つの突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂの先端部は、第２平行ばね４０の弾性部４１の空隙部を突き抜けて突出しており、アクチュエータレイヤ２０を構成する可動部２０ａ，２０ｂの先端部（自由端）近傍まで延設される。
【００７１】
上記構成を有する連結板８１は、複数の連結板８１が所定ルールに従ってマトリックス状に配列されたウエハ状のシート（連結板シート）の形態で製作される。該連結板シートは、例えば、ステンレス製の金属板に対してプレス加工が施されることで製作される。なお、各突起部８１Ｔａ〜８１Ｔｄは、例えば、曲げ加工によって形成される。
【００７２】
なお、第１および第２レンズ構成層シート、スペーサ層シート、ならびに連結板シートには、２箇所以上の所定の位置にアライメントのためのマーク（アライメントマーク）が付される。
【００７３】
そして、スペーサ層シートが第１レンズ構成層シートと第２レンズ構成層シートとによって挟まれるように積層されるとともに、連結板シートが更に積層される。これにより、レンズ群レイヤシートＵ８０（図２３）が形成される。
【００７４】
具体的には、第１レンズ構成層シート、スペーサ層シート、第２レンズ構成層シート、および連結板シートについて、マスクアライナー等が用いられて、それぞれのアライメントマークが基準とされ、この順番で位置合わせが行われるとともに相互に接合される。
【００７５】
各シートに係る接合方法としては、スペーサ層ＲＢの上面および下面、ならびに連結板８１の上面にＵＶ硬化樹脂からなる硬化層（ＵＶ硬化層）が設けられ、紫外線の露光によって接合される方法等が採用される。
【００７６】
なお、接合される各表面に不活性ガスのプラズマが照射され、該各表面が活性化された状態で張り合わされて接合される方法（表面活性化接合法）等が採用されても良い。
【００７７】
このような接合により、第１レンズ構成層シート、スペーサ層シート、第２レンズ構成層シート、および連結板シートがこの順番で積層されたシート（レンズ群レイヤシート）Ｕ８０が形成される。
【００７８】
なお、カメラモジュール５００に絞りを形成する場合は、シャドウマスクを用いて、光学レンズＧ２を含む第２レンズ構成層ＬＹ２に対して遮光材料の薄膜が形成される方法が考えられる。また、別途黒色に色付けされた樹脂製の絞りレイヤ等が、レンズ群レイヤ８０に追加されても良い。
【００７９】
＜(2-2-2)仮固定レイヤ＞
図１５は、仮固定レイヤ７０の構成例を示す上面模式図である。
【００８０】
仮固定レイヤ７０は、外縁および内縁が矩形を有する環状の部材であり、上面側（＋Ｚ側）の接着力が加熱に応じて減じられるとともに、下面側（−Ｚ側）の接着力が加熱に拘わらず殆ど減じられないテープを用いて構成される。なお、加熱に応じて接着力が減じるテープとしては、例えば、日東電工社製のリバアルファ（登録商標）等が挙げられる。
【００８１】
なお、仮固定レイヤ７０の裏面（−Ｚ側の面）は、第１平行ばねレイヤ６０の枠体６０ｆ（図１６）に接着される。また、仮固定レイヤ７０の表面（＋Ｚ側の面）とレンズ群レイヤ８０の裏面（−Ｚ側の面）との間の接着は、既に解除された状態となっている。
【００８２】
また、仮固定レイヤ７０は、複数の仮固定レイヤ７０が所定ルールに従ってマトリックス状に配列されたウエハ状のシート（仮固定レイヤシート）Ｕ７０（図２３）の形態で製作される。換言すれば、該仮固定レイヤシートＵ７０は、貫通する矩形の中空部７０ｈが所定ルールに従ってマトリックス状に配列された形態を有する。
【００８３】
なお、該仮固定レイヤシートＵ７０は、所定のテープに対して金型を用いたプレス加工が施されることで製作可能である。
【００８４】
＜(2-2-3)第１平行ばねレイヤ＞
図１６は、第１平行ばねレイヤ６０の構成を示す上面模式図である。
【００８５】
図１６で示されるように、第１平行ばねレイヤ６０は、枠体６０ｆと、弾性部６１とを有する弾性部材であり、ばね機構を形成する層（弾性層）である。第１平行ばねレイヤ６０の素材としては、例えば、ステンレス等の金属材料またはりん青銅等が採用される。
【００８６】
枠体６０ｆは、第１平行ばねレイヤ６０の外周部を構成する矩形環状であり且つ表裏面が略平行な板状の部分である。なお、枠体６０ｆの表面（＋Ｚ側の面）が、仮固定レイヤ７０の裏面（−Ｚ側の面）に接合されるとともに、枠体６０ｆの裏面（−Ｚ側の面）が、間隔板レイヤ５０の枠体５０ｆ（図１７）の上面（＋Ｚ側の面）に接合される。
【００８７】
弾性部６１は、枠体６０ｆに対する接続部６０Ｃｃ，６０Ｃｄと、突起部８１Ｔｃ，８１Ｔｄに対する接着部６０Ｓｃ，６０Ｓｄとを有し、接続部６０Ｃｃ，６０Ｃｄと接着部６０Ｓｃ，６０Ｓｄとが板状部材６１ｃ，６１ｄで繋がれる。また、接着部６０Ｓｃ，６０Ｓｄは、それぞれＵ字状の内縁を有し、該内縁によって囲まれる空間領域６０Ｔｃ，６０Ｔｄをそれぞれ形成する。
【００８８】
そして、接着部６０Ｓｃの空間領域６０Ｔｃに突起部８１Ｔｃの先端部近傍が配置されるとともに、該突起部８１Ｔｃの先端部近傍と接着部６０Ｓｃとが接着剤を用いて接着される。また、接着部６０Ｓｄの空間領域６０Ｔｄに突起部８１Ｔｄの先端部近傍が配置されるとともに、該突起部８１Ｔｄの先端部近傍と接着部６０Ｓｄとが接着剤を用いて接着される。
【００８９】
接続部６０Ｃｃ，６０Ｃｄは、枠体６０ｆの一方の対角線上の対向する２隅の内側に設けられる。一方、該枠体６０ｆの他方の対角線上の対向する２隅の内側には、該枠体６０ｆと弾性部６１との間に中空部６０ｈａ，６０ｈｂがそれぞれ形成される。また、弾性部６１の内側には、被写体からの光が通る部分（光路）を構成する中空部６０ｈが形成される。
【００９０】
ここでは、図４で示されるように、突起部８１Ｔａが、中空部６０ｈａを通ることで、第１平行ばねレイヤ６０と接触することなく、アクチュエータレイヤ２０の可動部２０ａの近傍まで延設される。また、突起部８１Ｔｂが、中空部６０ｈｂを通ることで、第１平行ばねレイヤ６０と接触することなく、アクチュエータレイヤ２０の可動部２０ｂの近傍まで延設される。
【００９１】
上記構成を有する第１平行ばねレイヤ６０では、レンズ群レイヤ８０が枠体６０ｆに対して＋Ｚ方向に移動されるにつれて、接続部６０Ｃｃ，６０Ｃｄと接着部６０Ｓｃ，６０ＳｄとのＺ方向の位置がずれ、板状部材６１ｃ，６１ｄが曲げ変形（たわみ変形）を生じて湾曲する。つまり、第１平行ばねレイヤ６０は、板状部材６１ｃ，６１ｄの弾性変形によって、レンズ群レイヤ８０の光軸方向（±Ｚ方向）に弾性変形可能であり、ばね機構として機能する。
【００９２】
このような第１平行ばねレイヤ６０は、複数の第１平行ばねレイヤ６０が所定ルールに従ってマトリックス状に配列されたウエハ状のシート（第１平行ばねレイヤシート）Ｕ６０（図２３）の形態で製作される。
【００９３】
なお、該第１平行ばねレイヤシートＵ６０は、例えば、ステンレスまたはりん青銅等の金属板上に、フォトリソグラフィ技術で第１平行ばねレイヤ６０の形状がパターンニングされ、塩化鉄系のエッチング液に浸すウエットエッチングが施されることで形成される。
【００９４】
＜(2-2-4)間隔板レイヤ＞
図１７は、間隔板レイヤ５０の構成を示す上面模式図である。
【００９５】
間隔板レイヤ５０は、表裏面が略平行な板状の枠体５０ｆによって構成され、枠体５０ｆは、内側に中空部５０ｈを形成する。
【００９６】
枠体５０ｆは、一方の対角線上に位置する対向する２隅の部分において枠の幅が内側に広がっているとともに、該２隅の内側の部分にＺ軸に沿った溝部５０ｋａ，５０ｋｂを有する。そして、枠体５０ｆの表面（＋Ｚ側の面）が、第１平行ばねレイヤ６０の裏面（−Ｚ側の面）に接合されるとともに、枠体５０ｆの裏面（−Ｚ側の面）が、第２平行ばねレイヤ４０の枠体４０ｆ（図１８）の表面（＋Ｚ側の面）に接合される。
【００９７】
また、図４で示されるように、突起部８１Ｔａが、溝部５０ｋａが形成する空間を通ることで、間隔板レイヤ５０と接触することなく、アクチュエータレイヤ２０の可動部２０ａの近傍まで延設される。また、突起部８１Ｔｂが、溝部５０ｋｂが形成する空間を通ることで、間隔板レイヤ５０と接触することなく、アクチュエータレイヤ２０の可動部２０ｂの近傍まで延設される。
【００９８】
なお、携帯電話機１００が地面に落下される際等、カメラモジュール５００に対して強い衝撃が与えられる場合には、固定部に対して固定されていないレンズ群レイヤ８０に対してある程度大きな慣性力が働く。しかしながら、本実施形態では、突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂが、溝部５０ｋａ，５０ｋｂの内壁に引っ掛かることで、第１および第２平行ばねレイヤ４０，６０が、塑性変形してしまうような不具合の発生が防止される。
【００９９】
また、間隔板レイヤ５０は、複数の間隔板レイヤ５０が所定ルールに従ってマトリックス状に配列されたウエハ状のシート（間隔板レイヤシート）Ｕ５０（図２３）の形態で製作される。換言すれば、該間隔板レイヤシートＵ５０は、貫通する中空部５０ｈが所定ルールに従ってマトリックス状に配列された形態を有する。
【０１００】
上記構成を有する間隔板レイヤシートＵ５０は、例えば、樹脂材料やガラス等によって構成される。ここで、樹脂材料によって間隔板レイヤシートＵ５０が構成される場合には、例えば、金属金型が用いられたプレスや射出成型等によって間隔板レイヤシートＵ５０が形成される。
【０１０１】
なお、カーボンブラックが混練された樹脂材料が用いられて、間隔板レイヤシートＵ５０が作製されることで、不要な光が遮られるとともに、電磁波の遮断も可能となる。
【０１０２】
＜(2-2-5)第２平行ばねレイヤ＞
図１８は、第２平行ばねレイヤ４０の構成を示す上面模式図である。
【０１０３】
図１８で示されるように、第２平行ばねレイヤ４０は、第１平行ばねレイヤ６０（図１６）と比較して、Ｚ軸に平行なレンズ群レイヤ８０の光軸ＰＬを中心として、９０度回転された構成を有する。
【０１０４】
具体的には、第２平行ばねレイヤ４０は、枠体４０ｆと、弾性部４１とを有する弾性部材であり、ばね機構を形成する層（弾性層）となっている。
【０１０５】
枠体４０ｆは、第２平行ばねレイヤ４０の外周部を構成する矩形環状であり且つ表裏面が略平行な板状の部分である。なお、枠体４０ｆの表面（＋Ｚ側の面）が、間隔板レイヤ５０の裏面（−Ｚ側の面）に接合されるとともに、枠体４０ｆの裏面（−Ｚ側の面）が、スペーサレイヤ３０の枠体３０ｆ（図１９）の表面（＋Ｚ側の面）に接合される。
【０１０６】
弾性部４１は、枠体４０ｆに対する接続部４０Ｃａ，４０Ｃｂと、突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂに対する接着部４０Ｓａ，４０Ｓｂとを有し、接続部４０Ｃａ，４０Ｃｂと接着部４０Ｓａ，４０Ｓｂとが板状部材４１ａ，４１ｂで繋がれる。また、接着部４０Ｓａ，４０Ｓｂは、それぞれＵ字状の内縁を有し、該内縁によって囲まれる空間領域４０Ｔａ，４０Ｔｂをそれぞれ形成する。
【０１０７】
そして、接着部４０Ｓａの空間領域４０Ｔａに突起部８１Ｔａが配置されるとともに、該突起部８１Ｔａと接着部４０Ｓａとが接着剤を用いて接着される。また、接着部４０Ｓｂの空間領域４０Ｔｂに突起部８１Ｔｂが配置されるとともに、該突起部８１Ｔｂと接着部４０Ｓｂとが接着剤を用いて接着される。
【０１０８】
接続部４０Ｃａ，４０Ｃｂは、枠体４０ｆの一方の対角線上の対向する２隅の内側に設けられる。一方、該枠体４０ｆの他方の対角線上の対向する２隅の内側には、該枠体４０ｆと弾性部４１との間に中空部４０ｈｃ，４０ｈｄがそれぞれ形成される。また、弾性部４１の内側には、被写体からの光が通る部分（光路）を構成する中空部４０ｈが形成される。
【０１０９】
ここでは、図４で示されるように、突起部８１Ｔａが、接着部４０Ｓａの空間領域４０Ｔａを通り、該突起部８１Ｔａの先端部が、アクチュエータレイヤ２０の可動部２０ａの近傍まで延設される。また、突起部８１Ｔｂが、接着部４０Ｓｂの空間領域４０Ｔｂを通り、該突起部８１Ｔｂの先端部が、アクチュエータレイヤ２０の可動部２０ｂの近傍まで延設される。
【０１１０】
上記構成を有する第２平行ばねレイヤ４０では、レンズ群レイヤ８０が枠体４０ｆに対して＋Ｚ方向に移動されるにつれて、接続部４０Ｃａ，４０Ｃｂと接着部４０Ｓａ，４０ＳｂとのＺ方向の位置がずれ、板状部材４１ａ，４１ｂが曲げ変形（たわみ変形）を生じて湾曲する。つまり、第２平行ばねレイヤ４０は、板状部材４１ａ，４１ｂの弾性変形によって、レンズ群レイヤ８０の光軸方向（±Ｚ方向）に弾性変形可能であり、ばね機構として機能する。
【０１１１】
このような第２平行ばねレイヤ４０は、第１平行ばねレイヤ６０と同様に、複数の第２平行ばねレイヤ４０が所定ルールに従ってマトリックス状に配列されたウエハ状のシート（第２平行ばねレイヤシート）Ｕ４０（図２３）の形態で製作される。
【０１１２】
なお、該第２平行ばねレイヤシートＵ４０は、第１平行ばねレイヤシートＵ６０と同様な方法で製作される。
【０１１３】
＜(2-2-6)スペーサレイヤ＞
図１９は、スペーサレイヤ３０の構成を示す上面模式図である。
【０１１４】
スペーサレイヤ３０は、表裏面が略平行な板状の枠体３０ｆによって構成される。
【０１１５】
枠体３０ｆは、外縁および内縁が矩形を有する環状で且つ板状の部材であり、内側に中空部３０ｈを形成する。なお、枠体３０ｆの表面（＋Ｚ側の面）が、第２平行ばねレイヤ４０の枠体４０ｆの裏面（−Ｚ側の面）に接合されるとともに、枠体３０ｆの裏面（−Ｚ側の面）が、アクチュエータレイヤ２０の枠体２０ｆ（図２０）の表面（＋Ｚ側の面）に接合される。
【０１１６】
そして、スペーサレイヤ３０は、環境温度の変化等といった環境条件に応じてアクチュエータレイヤ２０の可動部２０ａ，２０ｂの形状が変化する際に、レンズ群レイヤ８０が不要に移動される現象を抑える目的で設けられる。
【０１１７】
具体的には、スペーサレイヤ３０の存在により、室温（例えば、２０℃）において、突起部８１Ｔａの先端部と可動部２０ａとが若干離隔されるとともに、突起部８１Ｔｂの先端部と可動部２０ｂとが若干離隔される。そして、ある程度の環境温度の上昇時には、可動部２０ａ，２０ｂは、若干変形するものの、突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂに当接しない。
【０１１８】
また、スペーサレイヤ３０は、複数のスペーサレイヤ３０が所定ルールに従ってマトリックス状に配列されたウエハ状のシート（スペーサレイヤシート）Ｕ３０（図２３）の形態で製作される。換言すれば、該スペーサレイヤシートＵ３０は、貫通する矩形の中空部３０ｈが所定ルールに従ってマトリックス状に配列された形態を有する。
【０１１９】
なお、該スペーサレイヤシートＵ３０は、例えば、ステンレス製の板に対して金型を用いたプレス加工等が施されることで製作される。
【０１２０】
＜(2-2-7)アクチュエータレイヤ＞
図２０は、アクチュエータレイヤ２０の構成を示す上面模式図である。
【０１２１】
アクチュエータレイヤ２０は、所謂ユニモルフ型のアクチュエータとしての機能を有する。該アクチュエータレイヤ２０では、熱膨張率の異なる２種以上の金属薄板が貼り合わされた所謂バイメタルが採用されることで、アクチュエータの機能が付与される。
【０１２２】
具体的には、図２０で示されるように、アクチュエータレイヤ２０は、枠体２０ｆと、可動部２０ａ，２０ｂとを有する。
【０１２３】
枠体２０ｆは、中空部２０ｈを形成する矩形環状の板状の部分である。
【０１２４】
可動部２０ａは、枠体２０ｆの４辺をそれぞれ構成する４枚の板状部のうち、＋Ｙ側に位置する板状部材の＋Ｘ側の端部から若干内側に入った部分に、一端部（固定端）が固定される板状の部分である。そして、可動部２０ａは、固定端から−Ｙ方向に直線的に延設される。
【０１２５】
可動部２０ｂは、可動部２０ａと同様に、枠体２０ｆの４辺をそれぞれ構成する４枚の板状部のうち、−Ｙ側に位置する板状部材の−Ｘ側の端部から若干内側に入った部分に、一端部（固定端）が固定される板状の部分である。そして、可動部２０ｂは、固定端から＋Ｙ方向に直線的に延設される。
【０１２６】
また、可動部２０ａ，２０ｂは、バイメタルの構成をそれぞれ有するとともに、金属の配線パターンによって形成されたヒータ部をそれぞれ有する。該ヒータ部は、例えば、枠体２０ｆに設けられる電極部と、カメラモジュール５００の側面に形成される薄膜状の配線とを順次に介して、撮像素子レイヤＰＢに対して電気的に接続され、更に、電流供給ドライバ６００（図１）に対して電気的に接続される。
【０１２７】
このような構成を有するアクチュエータレイヤ２０では、可動部２０ａ，２０ｂに設けられるヒータ部に対する電流の付与により、該ヒータ部がジュール熱に基づいて発熱する。このとき、可動部２０ａ，２０ｂは、加熱され、該加熱に応じて変形する。
【０１２８】
詳細には、可動部２０ａ，２０ｂが加熱されれば加熱されるほど、可動部２０ａ，２０ｂの自由端２０Ｔａ，２０Ｔｂがそれぞれ上方（＋Ｚ方向）に変位するように、可動部２０ａ，２０ｂがそれぞれ湾曲する。
【０１２９】
このような挙動により、アクチュエータレイヤ２０では、可動部２０ａ，２０ｂにおいて、加熱に応じた変形によって駆動力が発生する。
【０１３０】
また、アクチュエータレイヤ２０は、複数のアクチュエータレイヤ２０が所定ルールに従ってマトリックス状に配列されたウエハ状のシート（アクチュエータレイヤシート）Ｕ２０（図２３）の形態で製作される。
【０１３１】
なお、該アクチュエータレイヤシートＵ２０は、例えば、フォトリソグラフィ技術が採用され、基板上に対するレジスト膜のパターンニングと、蒸着またはスパッタリングと、エッチングとが適宜行われることで製作される。
【０１３２】
＜(2-2-8)カバーガラスレイヤ＞
図２１は、カバーガラスレイヤ１０の構成を示す上面模式図である。
【０１３３】
図２１で示されるように、カバーガラスレイヤ１０は、外縁が矩形であり且つ透明のガラス板によって構成される。なお、カバーガラスレイヤ１０の外縁近傍の外周部の上面が、アクチュエータレイヤ２０の枠体２０ｆの裏面に対して接合される。
【０１３４】
また、カバーガラスレイヤ１０は、複数のカバーガラスレイヤ１０に相当する部分が所定ルールに従ってマトリックス状に配列されたウエハ状のシート（カバーガラスレイヤシート）Ｕ１０（図２３）の形態で製作される。但し、該カバーガラスレイヤシートＵ１０については、単なるガラス板であれば良い。
【０１３５】
＜(3)カメラモジュールの製造＞
図２２は、カメラモジュール５００の製造工程の流れを示すフローチャートである。
【０１３６】
図２２で示されるように、(工程Ａ)複数のシートの準備（ステップＳ１）、(工程Ｂ)複数のシートの接合（ステップＳ２）、(工程Ｃ)ダイシング（ステップＳ３）、および(工程Ｄ)接着状態の解除（ステップＳ４）が順次に行われることで、カメラモジュール５００が製造される。以下、各工程について説明する。
【０１３７】
＜(3-1)複数のシートの準備（工程Ａ）＞
図２３で示されるように、９枚のシートＵＰＢ，Ｕ１０〜Ｕ８０が準備される。ここでは、各シートが、円盤状である例を示して説明する。
【０１３８】
８枚のシートＵ１０〜Ｕ８０の製作方法については、上記各機能層の構成に係る説明中で述べた通りである。なお、撮像素子レイヤシートＵＰＢについては、複数の撮像素子レイヤＰＢに相当する部分が所定ルールに従ってマトリックス状に配列されたウエハ状のシートの形態で製作される。該撮像素子レイヤシートＵＰＢは、例えば、フォトリソグラフィ技術等を用いて形成される。
【０１３９】
また、工程Ａで準備される９枚のシートＵＰＢ，Ｕ１０〜Ｕ８０には、シートの接合工程における位置合わせのためのマーク（アライメントマーク）が、略同一の位置に付される。アライメントマークとしては、例えば、十字等のマーク等が挙げられ、各シートＵＰＢ，Ｕ１０〜Ｕ８０の上面の外周部近傍であって比較的離隔した２箇所以上の位置に設けられることが好ましい。
【０１４０】
＜(3-2)複数のシートの接合（工程Ｂ）＞
図２３で示されるように、工程Ａで準備された９枚のシートＵＰＢ，Ｕ１０〜Ｕ８０が、順次に積層されて接合される。
【０１４１】
図２４〜図３３は、複数のシートＵＰＢ，Ｕ１０〜Ｕ８０の接合工程を１つのカメラモジュール５００に相当する部分に着目して模式的に示す図である。なお、図２４〜図３３では、図６に対応するカメラモジュール５００の断面に相当する各工程における構成が示されている。また、図２４〜図３３では、実際の工程に即して、図６と比較して、各レイヤの上下が反転されて示されている。
【０１４２】
本工程Ｂでは、下記工程(Ｉ)〜(XI)が順次に行われることで、複数のシートＵＰＢ，Ｕ１０〜Ｕ８０の接合が行われる。以下、図２４〜図３３を参照しつつ、下記工程(Ｉ)〜(XI)について説明する。
【０１４３】
(Ｉ)図２４で示されるように、組立用の治具ＪＧが準備される。該治具ＪＧは、各カメラモジュール５００に相当する部分が形成される位置に、それぞれレンズ群レイヤ８０に相当する部分が載置される環状で且つ上面が平坦な突起部がそれぞれ設けられる。
【０１４４】
(II)図２５で示されるように、治具ＪＧ上に、レンズ群レイヤ８０に相当する部分が配列されたレンズ群レイヤシートＵ８０が、位置決めされて載置される。ここでは、レンズ群レイヤ８０の外形に基づいて位置決めがなされても良いし、レンズ群レイヤシートＵ８０のアライメントマークが用いられて位置決めされても良いし、レンズ群レイヤシートＵ８０の外形の特徴に応じて位置決めされても良い。
【０１４５】
(III)図２６で示されるように、レンズ群レイヤシートＵ８０上に、仮固定レイヤシートＵ７０が、位置決めされて載置される。詳細には、各レンズ群レイヤ８０に相当する部分の直上に、仮固定レイヤ７０に相当する部分がそれぞれ配置される。このとき、仮固定レイヤシートＵ７０が、上方（−Ｚ方向）から押圧されて、レンズ群レイヤシートＵ８０に対して接着される。
【０１４６】
(IV)図２７で示されるように、仮固定レイヤシートＵ７０上に、第１平行ばねレイヤシートＵ６０が、位置決めされて載置される。詳細には、各仮固定レイヤ７０に相当する部分の直上に、第１平行ばねレイヤ６０に相当する部分がそれぞれ配置される。このとき、第１平行ばねレイヤシートＵ６０が、上方（−Ｚ方向）から押圧されて、仮固定レイヤシートＵ７０に対して接着される。なお、仮固定レイヤシートＵ７０は、例えば、１ＭＰａ程度の押圧によって接着が可能である。また、この時点で、第１平行ばねレイヤシートＵ６０の各接着部６０Ｓｃの空間領域６０Ｔｃに突起部８１Ｔｃの先端部近傍が配置されるとともに、各接着部６０Ｓｄの空間領域６０Ｔｄに突起部８１Ｔｄの先端部近傍が配置される。
【０１４７】
(Ｖ)第１平行ばねレイヤシートＵ６０の各枠体６０ｆに相当する部分の一主面（ここでは、枠体６０ｆの−Ｚ側の面）上に、ＵＶ硬化層が設けられ、図２８で示されるように、第１平行ばねレイヤシートＵ６０上に、間隔板レイヤシートＵ５０が、位置決めされて載置される。そして、紫外線の露光によって、各第１平行ばねレイヤ６０に相当する部分に対して、間隔板レイヤ５０に相当する部分がそれぞれ接合される。
【０１４８】
(VI)間隔板レイヤシートＵ５０の各枠体５０ｆに相当する部分の一主面（ここでは、枠体５０ｆの−Ｚ側の面）上に、ＵＶ硬化層が設けられ、図２９で示されるように、間隔板レイヤシートＵ５０上に、第２平行ばねレイヤシートＵ４０が、位置決めされて載置される。そして、紫外線の露光によって、各間隔板レイヤ５０に相当する部分に対して、第２平行ばねレイヤ４０に相当する部分がそれぞれ接合される。また、この時点で、第２平行ばねレイヤシートＵ４０の各接着部４０Ｓａの空間領域４０Ｔａに突起部８１Ｔａが配置されるとともに、各接着部４０Ｓｂの空間領域４０Ｔｂに突起部８１Ｔｂが配置される。
【０１４９】
(VII)ディスペンサーが用いられて、突起部８１Ｔｃの先端部近傍と接着部６０Ｓｃとの両方に掛かるように紫外線の照射に応じて硬化する接着剤（ＵＶ硬化剤）が塗布されるとともに、突起部８１Ｔｄの先端部近傍と接着部６０Ｓｄとの両方に掛かるようにＵＶ硬化剤が塗布される。また、ディスペンサーが用いられて、突起部８１Ｔａと接着部４０Ｓａとの両方に掛かるようにＵＶ硬化剤が塗布されるとともに、突起部８１Ｔｂと接着部４０Ｓｂとの両方に掛かるようにＵＶ硬化剤が塗布される。そして、紫外線の照射に応じてＵＶ硬化剤が硬化することで、突起部８１Ｔａの先端部近傍と接着部４０Ｓａとの間、突起部８１Ｔｂの先端部近傍と接着部４０Ｓｂとの間、突起部８１Ｔｃの先端部近傍と接着部６０Ｓｃとの間、および突起部８１Ｔｄの先端部近傍と接着部６０Ｓｄとの間が、それぞれ接着される。
【０１５０】
(VIII)第２平行ばねレイヤシートＵ４０の各枠体４０ｆに相当する部分の一主面（ここでは、枠体４０ｆの−Ｚ側の面）上に、ＵＶ硬化層が設けられ、図３０で示されるように、第２平行ばねレイヤシートＵ４０上に、スペーサレイヤシートＵ３０が、位置決めされて載置される。そして、紫外線の露光によって、各第２平行ばねレイヤ４０に相当する部分に対して、スペーサレイヤ３０に相当する部分がそれぞれ接合される。
【０１５１】
(IX)スペーサレイヤシートＵ３０の各枠体３０ｆに相当する部分の一主面（ここでは、枠体３０ｆの−Ｚ側の面）上に、ＵＶ硬化層が設けられ、図３１で示されるように、スペーサレイヤシートＵ３０上に、アクチュエータレイヤシートＵ２０が、位置決めされて載置される。そして、紫外線の露光によって、各スペーサレイヤ３０に相当する部分に対して、アクチュエータレイヤ２０に相当する部分がそれぞれ接合される。このとき、アクチュエータレイヤ２０に相当する部分が、固定部に対して設けられることになる。
【０１５２】
(Ｘ)アクチュエータレイヤシートＵ２０の各枠体２０ｆに相当する部分の一主面（ここでは、枠体２０ｆの−Ｚ側の面）上に、ＵＶ硬化層が設けられ、図３２で示されるように、アクチュエータレイヤシートＵ２０上に、カバーガラスレイヤシートＵ１０が、位置決めされて載置される。そして、紫外線の露光によって、各アクチュエータレイヤ２０に相当する部分に対して、カバーガラスレイヤ１０に相当する部分がそれぞれ接合される。
【０１５３】
(XI)カバーガラスレイヤシートＵ１０の各外周部に相当する部分の一主面（ここでは、外周部の−Ｚ側の面）上に、ＵＶ硬化層が設けられ、図３３で示されるように、カバーガラスレイヤシートＵ１０上に、撮像素子レイヤシートＵＰＢが、位置決めされて載置される。そして、紫外線の露光によって、各カバーガラスレイヤ１０に相当する部分に対して、撮像素子レイヤＰＢに相当する部分がそれぞれ接合される。
【０１５４】
上記工程(Ｉ)〜(XI)が順次に行われることで、複数のカメラモジュール５００がマトリックス状に配列されたウエハ状の積層部材Ｕ５００（図３４）が組み立てられる。したがって、該工程Ｂは、積層部材Ｕ５００を組み立てる工程（組立工程）であるとも言える。
【０１５５】
積層部材Ｕ５００では、カメラモジュール５００のうちの第１の筐体２００に対して固定される固定部に相当する部分と、移動対象物としてのレンズ群レイヤ８０に相当する部分とが、仮固定レイヤ７０に相当する部分によって接着されている状態（接着状態）に設定されている。また、固定部に相当する部分からレンズ群レイヤ８０に相当する部分にかけて弾性部４１，６１がそれぞれ架設されている状態（架設状態）に設定されている。
【０１５６】
＜(3-3)ダイシング（工程Ｃ）＞
９つのシートＵＰＢ，Ｕ１０〜Ｕ８０が積層されて形成された積層部材Ｕ５００には、カメラモジュール５００にそれぞれ相当する多数のチップ（カメラモジュールユニット部）５００Ｐｒが、所定ルールに従ってマトリックス状に配列される。
【０１５７】
そして、工程Ｃでは、積層部材Ｕ５００が、ダイシング装置によってカメラモジュールユニット部５００Ｐｒ毎に切り離されて、９つの層ＰＢ，１０〜８０がそれぞれ積層されたカメラモジュールユニット部５００Ｐｒが多数製作される。
【０１５８】
図３４は、積層部材Ｕ５００を切断するダイシング工程を模式的に示す図である。図３４で示されるように、積層部材Ｕ５００が、太破線に沿って縦横に切断されることで、カメラモジュールユニット部５００Ｐｒ毎に分離される。
【０１５９】
このとき、レンズ群レイヤシートＵ８０のレンズ群レイヤ８０に相当する部分と、仮固定レイヤシートＵ７０の仮固定レイヤ７０に相当する部分とが、それぞれ接着されており、相対的な位置関係が固定されている状態にある。
【０１６０】
このため、ダイシングの際に、レンズ群レイヤ８０に相当する部分と固定部に相当する部分との間に振動による不要なずれが生じず、カメラモジュール５００に相当する部分の内部への冷却水等を含む異物の侵入等が防止される。これにより、カメラモジュール５００の機能低下が生じる不具合の発生が回避される。
【０１６１】
＜(3-4)接着状態の解除（工程Ｄ）＞
ダイシングの直後のカメラモジュールユニット部５００Ｐｒは、図６で示されるような形態を有する。
【０１６２】
図３５および図３６は、接着状態の解除工程を説明するための図である。
【０１６３】
工程Ｄでは、カメラモジュールユニット部５００Ｐｒが、ある程度の温度（例えば、２００℃）まで加熱されることで、仮固定レイヤ７０の上面（ここでは、＋Ｚ側の主面）の接着力が失われる。なお、１つの加熱ボックス内に多数のカメラモジュールユニット部５００Ｐｒが入れられた状態で加熱されることにより、加熱処理の効率化が図られる。
【０１６４】
また、このとき、図３５で示されるように、加熱に応じて可動部２０ａ，２０ｂが湾曲するように変形して、レンズ群レイヤ８０を上方（＋Ｚ方向）に押し上げる。つまり、仮固定レイヤ７０とレンズ群レイヤ８０との間の接着を解除するための熱に応じて、アクチュエータレイヤ２０が、レンズ群レイヤ８０に対して駆動力を付与する。
【０１６５】
その結果、仮固定レイヤ７０を含む固定部とレンズ群レイヤ８０とが接着されている接着状態が、より確実かつ短時間で解除される。
【０１６６】
このような加熱による接着状態の解除により、レンズ群レイヤ８０が第１および第２平行ばねレイヤ４０，６０（具体的には、弾性部４１，６１）によって支持されている状態（支持状態）に設定される。これにより、カメラモジュール５００が完成される。
【０１６７】
なお、カメラモジュール５００の加熱が終了され、カメラモジュール５００の周囲の環境温度が下がると、可動部２０ａ，２０ｂの変形が減じられる。
【０１６８】
また、環境温度がある程度の温度（例えば、７０℃）を下回ると、図３６で示されるように、アクチュエータレイヤ２０によるレンズ群レイヤ８０の押し上げが終了され、レンズ群レイヤ８０が、仮固定レイヤ７０の上面に接触する。但し、この時点では、仮固定レイヤ７０の上面における接着力は失われているため、レンズ群レイヤ８０と固定部とが接着されていない状態が保たれる。
【０１６９】
＜(4)カメラモジュールの動作＞
＜(4-1)カメラモジュールの動作原理＞
カメラモジュール５００は、室温状態（例えば、気温が２５℃の状態）において、アクチュエータレイヤ２０のヒータ部に対して通電がなされていなければ、図６で示されるように、レンズ群レイヤ８０が、仮固定レイヤ７０の上面に接触した状態（非駆動状態）となっている。
【０１７０】
次に、アクチュエータレイヤ２０のヒータ部に対する通電が開始されると、可動部２０ａ，２０ｂが加熱されて、該可動部２０ａ，２０ｂが変形する。このとき、可動部２０ａ，２０ｂの自由端２０Ｔａ，２０Ｔｂ近傍が突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂを上方に押し上げることで、図３５で示されるように、固定部を基準として、レンズ群レイヤ８０が、上方（＋Ｚ方向）に移動する。
【０１７１】
そして、アクチュエータレイヤ２０のヒータ部に対する通電が終了されると、可動部２０ａ，２０ｂの変形が低減される。また、可動部２０ａ，２０ｂの温度がある程度の温度（例えば、７０℃）を下回ると、図３６で示されるように、アクチュエータレイヤ２０によるレンズ群レイヤ８０の押し上げが終了され、レンズ群レイヤ８０が、仮固定レイヤ７０の上面に接触する。
【０１７２】
＜(4-2)カメラモジュールのＡＦ制御＞
カメラモジュール５００におけるＡＦ制御は、図１で示された電流供給ドライバ６００、電気抵抗検出部７００、コントラスト検出部８００、および合焦制御部３１０によって実現される。
【０１７３】
電気抵抗検出部７００は、アクチュエータレイヤ２０のヒータ部の電気抵抗を検出し、該電気抵抗を示す信号を合焦制御部３１０に対して出力する。合焦制御部３１０は、ヒータ部の電気抵抗に基づいて、ヒータ部の変形（具体的には、可動部２０ａ，２０ｂの自由端２０Ｔａ，２０Ｔｂの変位）を検出する。そして、合焦制御部３１０が、可動部２０ａ，２０ｂに係る変位を認識し、該変位をレンズ群レイヤ８０の変位として認識する。
【０１７４】
可動部２０ａ，２０ｂの自由端２０Ｔａ，２０Ｔｂの変位の検出については、ヒータ部における形状と電気抵抗との関係が一義的に決まることが利用されて実行される。
【０１７５】
そして、合焦制御部３１０は、可動部２０ａ，２０ｂの自由端２０Ｔａ，２０Ｔｂの変位を検出しつつ、電流供給ドライバ６００を介してヒータ部への電流の供給を制御することで、可動部２０ａ，２０ｂの変形量、すなわち自由端２０Ｔａ，２０Ｔｂの変位を制御する。
【０１７６】
このとき、可動部２０ａ，２０ｂによる突起部８１Ｔａ，８１Ｔｂの押し上げにより、レンズ群レイヤ８０が＋Ｚ方向に移動されることで、レンズ群レイヤ８０と撮像素子ＩＳとの離隔距離が変更されて、焦点の位置が変更される。
【０１７７】
また、コントラスト検出部８００は、撮像素子ＩＳで得られる画像信号について、コントラストを検出する。例えば、隣接画素間の階調値の差分を画像全体について積算した数値が、コントラストを示す評価値として検出される。このコントラストを示す評価値を示す信号は、合焦制御部３１０に対して出力される。
【０１７８】
具体的には、下記(Ａ)〜(Ｃ)の動作が順次に行われることで、ＡＦ制御が実現される。
【０１７９】
(Ａ)合焦制御部３１０の制御により、まず、レンズ群レイヤ８０と撮像素子ＩＳとの離隔距離が予め設定された多段階の離隔距離に順次に設定される。このとき、各離隔距離にレンズ群レイヤ８０と撮像素子ＩＳとが設定される状態で撮像素子ＩＳによって画像信号が取得される。
【０１８０】
(Ｂ)合焦制御部３１０が、コントラスト検出部８００によって各離隔距離について検出されるコントラストを示す評価値に基づいて、コントラストを示す評価値が最大となる離隔距離、すなわちレンズ群レイヤ８０の繰り出し位置を検出する。ここでは、該コントラストを示す評価値が最大となる繰り出し位置にレンズ群レイヤ８０が配置されている状態が、被写体に合焦している状態に相当する。
【０１８１】
(Ｃ)合焦制御部３１０の制御により、レンズ群レイヤ８０がコントラストを示す評価値が最大となる繰り出し位置まで移動されることで、カメラモジュール５００における被写体に対する合焦が実現される。すなわち、ＡＦ制御が実現される。
【０１８２】
以上のように、本発明の一実施形態に係るカメラモジュール５００の製造工程では、積層部材Ｕ５００の組立工程と、接着状態を解除する工程（解除工程）との間の期間では、固定部に相当する部分とレンズ群レイヤ８０に相当する部分とが接着されている。このため、ダイシング工程において積層部材Ｕ５００が切断されてカメラモジュールユニット部５００Ｐｒ毎に分離される際には、固定部に相当する部分とレンズ群レイヤ８０に相当する部分とが接着されている。その結果、ダイシング工程における外力の付与に応じた破壊が生じ難く、異物の侵入等に起因する不具合の発生が抑制される。
【０１８３】
＜(5)変形例＞
なお、本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
【０１８４】
◎例えば、上記一実施形態では、ダイシング工程における破壊や汚れを防いだ後に、接着状態が解除されることで、カメラモジュール５００が完成された。この接着状態が解除される工程（解除工程）は、目的に応じたタイミングで行われれば良い。
【０１８５】
例えば、ダイシング工程の直後に解除工程が実行されて、カメラモジュール５００が完成された状態で出荷されても良いし、カメラモジュールユニット部５００Ｐｒの状態で出荷されて、出荷先で解除工程が実行されても良い。
【０１８６】
出荷先で解除工程が実行される場合には、カメラモジュールユニット部５００Ｐｒを用いた後工程において、カメラモジュールユニット部５００Ｐｒの内部にゴミや塵等の異物が侵入する不具合が生じない。なお、該後工程としては、例えば、携帯電話機１００等の各種機器にカメラモジュールユニット部５００Ｐｒが搭載される工程等が含まれる。また、カメラモジュールユニット部５００Ｐｒが、運搬される際における振動に起因して破損する確率も低減される。勿論、出荷時および運搬時におけるカメラモジュールユニット部５００Ｐｒの内側にゴミや塵等の異物が侵入する不具合も生じない。
【０１８７】
このように、解除工程を種々のタイミングで行うことが可能であるが、何れの態様によっても、組立工程と解除工程との間の期間では、固定部とレンズ群レイヤ８０とが接着されている。このため、外力の付与に応じた破壊が生じ難く、異物の侵入等に起因する不具合の発生が抑制される。
【０１８８】
◎また、上記一実施形態では、仮固定レイヤ７０が、上面側の接着力が加熱に応じて減じられるテープを用いて構成されたが、これに限られない。
【０１８９】
例えば、所定範囲の波長の光の照射に応じて接着力が減じられるテープを用いて構成されても良い。なお、紫外線の照射に応じて接着力が減じるテープとしては、例えば、積水化学社製のセルファ（登録商標）等が挙げられる。
【０１９０】
このような構成が採用される場合には、解除工程において、所定範囲の波長の光（例えば、紫外線）の照射に応じて、接着状態が解除される。
【０１９１】
また、所定範囲の波長の光の照射に応じて縮小する材料（例えば、フォトクロミック材料）の薄膜が基板上に設けられて、可動部２０ａ，２０ｂが構成され、該所定範囲の波長の光の照射に応じて自由端２０Ｔａ，２０Ｔｂが上方（＋Ｚ方向）に変位するように変形することで駆動力を発生する態様が併せて採用されても良い。
【０１９２】
これにより、接着状態を解除する際の光の照射によってアクチュエータレイヤ２０がレンズ群レイヤ８０に対して駆動力を付与する。このため、固定部に対してレンズ群レイヤ８０が接着されている接着状態が、より確実かつ短時間で解除される。
【０１９３】
なお、仮固定レイヤ７０が紫外線の照射に応じて接着力が低下するものである場合には、組立工程において、ＵＶ硬化層の代わりに、熱の付与に応じて硬化する樹脂からなる熱硬化接着層が設けられ、加熱によって接合される方法が採用される方が好ましい。また、接合される各表面に不活性ガスのプラズマが照射され、該各表面が活性化された状態で張り合わされて接合される方法（表面活性化接合法）等が採用されても良い。
【０１９４】
◎また、上記一実施形態では、移動対象物が、レンズ群レイヤ８０であった。つまり、固定部が、撮像素子ＩＳを含み、且つ移動対象物が、被写体からの光を撮像素子ＩＳに導く光学系としてのレンズ群レイヤ８０を含んでいる構成が採用された。しかしながら、該構成に限られず、例えば、撮像素子等のその他の部材が移動対象物に含まれても良い。
【０１９５】
具体例としては、上記一実施形態に係るカメラモジュール５００のうち、レンズ群レイヤ８０が第１の筐体２００に固定されて、残余の部分が、レンズ群レイヤ８０に対して相対的に移動する移動対象物とされる構成が考えられる。つまり、固定部が、被写体からの光を撮像素子に導くための光学系を含み、且つ移動対象物が、撮像素子を含む構成が採用されても良い。
【０１９６】
また、移動対象物は、光学系や撮像素子等といった撮像装置を構成する要素に限られない。例えば、移動対象物は、光ピックアップレンズの対物レンズ等といったその他の部材であっても良い。すなわち、本発明は、固定部と、該固定部に対して相対的に移動する移動対象物とを有して構成される移動機構一般に適用することができる。
【０１９７】
◎また、上記一実施形態では、アクチュエータレイヤ２０において、バイメタルが用いられてアクチュエータの機能が実現される構成が採用されていたが、これに限られない。
【０１９８】
例えば、シリコン(Ｓｉ)または金属等で構成される基板上に、薄膜状のアクチュエータ素子が形成されるか、または箔状に加工されたアクチュエータ素子が貼り付けられることで、アクチュエータの機能が実現されても良い。
【０１９９】
なお、アクチュエータ素子としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛(ＰＺＴ)等の無機材料を用いた圧電素子、ポリフッ化ビニリデン(ＰＶＤＦ)等の有機材料を用いた圧電素子、または形状記憶合金(ＳＭＡ)を用いた素子等が挙げられる。
【０２００】
ここで、アクチュエータ素子として圧電素子の薄膜が採用される場合には、例えば、シリコンウエハの基板上に、電極の薄膜、圧電素子の薄膜、および電極の薄膜が、この順番で、スパッタリング法等によって形成され、高電圧を印加するポーリングが行われる。
【０２０１】
また、アクチュエータ素子として、ＳＭＡが採用される場合には、例えば、基板上に二酸化珪素(シリカ)等の絶縁膜、金属の配線パターンからなるヒータの薄膜、およびアクチュエータ素子の薄膜が、スパッタリング等によって形成された後に、記憶させたい形状の型に可動部がセットされて、所定の高温(例えば、約６００℃)で加熱されることで、形状記憶処理が行われる。
【０２０２】
◎なお、上記一実施形態および各種変形例をそれぞれ構成する全部または一部を、適宜、矛盾しない範囲で組み合わせ可能であることは、言うまでもない。
【符号の説明】
【０２０３】
１０  カバーガラスレイヤ
２０  アクチュエータレイヤ
２０ａ，２０ｂ  可動部
３０  スペーサレイヤ
４０  第２平行ばねレイヤ
４１，６１  弾性部
５０  間隔板レイヤ
６０  第１平行ばねレイヤ
７０  仮固定レイヤ
８０  レンズ群レイヤ
８１  連結板
８１Ｔａ〜８１Ｔｄ  突起部
８２  レンズ群
１００  携帯電話機
５００  カメラモジュール
５００Ｐｒ  カメラモジュールユニット部
ＩＳ  撮像素子
ＰＢ  撮像素子レイヤ
Ｕ１０  カバーガラスレイヤシート
Ｕ２０  アクチュエータレイヤシート
Ｕ３０  スペーサレイヤシート
Ｕ４０  第２平行ばねレイヤシート
Ｕ５０  間隔板レイヤシート
Ｕ６０  第１平行ばねレイヤシート
Ｕ７０  仮固定レイヤシート
Ｕ８０  レンズ群レイヤシート
Ｕ５００  積層部材
ＵＰＢ  撮像素子レイヤシート
ＷＢ  移動機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
2011118074.tif 000034
【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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