(57)【要約】【課題】磁性粒子の除去効率を向上させる。【解決手段】  被処理流体の流路底壁２０１の下方には、マグネット２１３を有するヨーク２１２が、エアシリンダ２２１によって矢印Ａ、Ｂ方向に移動可能に設けられている。マグネット２１３と流路底壁２０１との間には、開口部２１４ａを有する磁気シールド板２１４が設けられている。ヨーク２１２がＡ方向に移動したときには、マグネット２１３が磁気シールド板２１４の開口部２１４ａに臨み、流路底壁２０１付近の被処理流体中の磁性粒子ｊが流路底壁２０１の近傍に集約される。ヨーク２１２がＢ方向に移動したときには、マグネット２１３の磁力は磁気シールド板２１４により遮断されて、磁気吸引力が解除され、流路底壁２０１の近傍に集約された磁性粒子ｊは排出される。【選択図】図２
2011212601.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理流体中に含まれる磁性粒子を除去する磁性粒子除去装置であって、
上記被処理流体中の磁性粒子に磁気吸引力を作用させる磁石部材と、
上記磁石部材を、上記被処理流体中の磁性粒子に磁気吸引力を作用させる吸引位置と、該磁気吸引力を解除する解除位置とに移動させる移動機構と、
上記吸引位置の磁石部材により磁性粒子が除去された浄化後被処理流体の排出流路と、
上記解除位置で磁石部材の吸引力が解除された磁性粒子の排出流路と、
を備えたことを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項２】
請求項１の磁性粒子除去装置であって、さらに、
上記磁石部材を上記吸引位置と上記解除位置とに移動させるように駆動する駆動部を備えたことを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項３】
請求項１の磁性粒子除去装置であって、
上記磁性粒子排出流路、および上記浄化後被処理流体排出流路の少なくとも一方の下流側に、開閉バルブが設けられていることを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項４】
請求項３の磁性粒子除去装置であって、
上記磁性粒子排出流路の下流側の開閉バルブが開く動作に連動して上記浄化後被処理流体排出流路の下流側の開閉バルブが閉じ、または上記磁石部材が上記解除位置に移動する動作に連動して、上記磁性粒子排出流路の下流側の開閉バルブが開く動作、および上記浄化後被処理流体排出流路の下流側の開閉バルブが閉じる動作の少なくとも一方の動作が行われることを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項５】
請求項１の磁性粒子除去装置であって、
上記磁石部材は、被処理流体の流路壁に沿って移動可能に設けられるとともに、
さらに、上記解除位置における磁石部材と被処理流体との間に磁気遮蔽部材が設けられていることを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項６】
請求項５の磁性粒子除去装置であって、
上記磁石部材は、被処理流体の流路壁における底壁の下面側に沿って移動可能に設けられるとともに、さらに、
被処理流体の流路における上記吸引位置の上流側に設けられ、被処理流体の流れを底壁に向ける上流側バッフル板と、
被処理流体の流路における上記吸引位置の下流側に設けられ、上方に上記浄化後被処理流体排出流路を形成するとともに、下方に上記磁性粒子排出流路を形成する下流側バッフル板と、
を備えたことを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項７】
請求項６の磁性粒子除去装置であって、
上記磁性粒子排出流路の流路断面積よりも、上記浄化後被処理流体排出流路の流路断面積の方が大きく設定されていることを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項８】
請求項１の磁性粒子除去装置であって、さらに、
被処理流体中に浸漬されるとともに、吸引位置に位置する磁石部材に近接して設けられ、該磁石部材と磁気的に結合して、被処理流体中の磁性粒子を吸着させる吸着磁性体と、
解除位置に位置する磁石部材と対向して設けられる磁気遮蔽部材と、
を備えたことを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項９】
請求項８の磁性粒子除去装置であって、
上記磁石部材は、被処理流体の流路の上方に設けられ、
上記吸着磁性体は、棒状の形状を有し、吸引位置に位置する磁石部材の下方に垂下して設けられていることを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項１０】
請求項９の磁性粒子除去装置であって、
上記吸着磁性体は、複数設けられ、被処理流体の流れる方向に垂直な方向に配列されていることを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項１１】
請求項９の磁性粒子除去装置であって、
上記吸着磁性体は、複数設けられ、中心軸が鉛直な仮想円筒面に沿う位置に配列されていることを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項１２】
請求項８の磁性粒子除去装置であって、
被処理流体の流路における上記吸着磁性体の下流側に設けられ、上方に上記浄化後被処理流体排出流路を形成するとともに、下方に上記磁性粒子排出流路を形成するバッフル板を備えたことを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項１３】
請求項１の磁性粒子除去装置であって、さらに、
被処理流体中に浸漬されるとともに、吸引位置に位置する磁石部材に近接して設けられ、該磁石部材と磁気的に結合して、被処理流体中の磁性粒子を吸着させる吸着磁性体を備え、
上記移動機構は、磁石部材を上記吸着磁性体と離間する上記解除位置に移動させ得るように構成されていることを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項１４】
請求項１３の磁性粒子除去装置であって、さらに、
上記移動機構は、磁石部材の移動方向の中心軸を有する雄ねじ部材と、
該雄ねじ部材に螺合する雌ねじ部材と、
を備え、
上記雄ねじ部材を回転させることによって、雄ねじ部材または雌ねじ部材がねじ送りされることにより、磁石部材が上記吸引位置と、上記解除位置とに移動することを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項１５】
請求項１３の磁性粒子除去装置であって、
上記磁石部材は、被処理流体の流路の上方に設けられ、
上記吸着磁性体は、棒状の形状を有し、吸引位置に位置する磁石部材の下方に垂下して設けられていることを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項１６】
請求項１５の磁性粒子除去装置であって、
上記吸着磁性体は、複数設けられ、中心軸が鉛直な仮想円筒面に沿う位置に配列されていることを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項１７】
請求項１３の磁性粒子除去装置であって、
被処理流体の流路における上記吸着磁性体の下流側に設けられ、上方に上記浄化後被処理流体排出流路を形成するとともに、下方に上記磁性粒子排出流路を形成するバッフル板を備えたことを特徴とする磁性粒子除去装置。
【請求項１８】
請求項１の磁性粒子除去装置と、
サイクロン式磁性粒子分離装置とを有し、これらの装置によって磁性粒子を除去する被処理流体浄化システムであって、
上記サイクロン式磁性粒子分離装置は、
磁性粒子を含む被処理流体を内周面に沿って旋回下降流動させ、その旋回下降流動によって生じる遠心力により被処理流体内の磁性粒子を分離して下方に排出するサイクロン式処理容器と、
上記サイクロン式処理容器の中心部にて上下方向に延び、下端に該サイクロン式処理容器の内部に開口する開口部を有し、浄化後の被処理流体を該サイクロン式処理容器の上方から該容器外へと導く排出管と、
を備え、
上記磁性粒子除去装置は、上記サイクロン式磁性粒子分離装置による浄化後の被処理流体の流路中に設けられていることを特徴とする被処理流体浄化システム。
【請求項１９】
請求項１の磁性粒子除去装置と、
サイクロン式磁性粒子分離装置とを有し、これらの装置によって磁性粒子を除去する被処理流体浄化システムであって、
上記サイクロン式磁性粒子分離装置は、
磁性粒子を含む被処理流体を内周面に沿って旋回下降流動させ、その旋回下降流動によって生じる遠心力により被処理流体内の磁性粒子を分離して下方に排出するサイクロン式処理容器と、
上記サイクロン式処理容器の中心部にて上下方向に延び、下端に該サイクロン式処理容器の内部に開口する開口部を有し、浄化後の被処理流体を該サイクロン式処理容器の上方から該容器外へと導く排出管と、
を備え、
上記磁性粒子除去装置は、上記サイクロン式磁性粒子分離装置によって分離された磁性粒子を含む被処理流体の流路中に設けられていることを特徴とする被処理流体浄化システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被処理流体中の磁性粒子を磁気吸引力により吸着して除去する磁性粒子除去装置に関する技術分野に属する。
【背景技術】
【０００２】
この種の磁性粒子除去装置としては、例えば特許文献１に示すように、内周面にマグネットを配して外周面を磁性粒子吸着用の吸着面とする非磁性回転円筒と、該回転円筒の吸着面に吸着された磁性粒子（切屑等）を掻き取る掻取り板とを備えたものが知られている。この除去装置では、上記非磁性回転円筒を、その吸着面がクーラント液中に浸漬する状態でモータにより回転駆動させることで、掻取り板を、吸着面に沿って周方向に（つまり掻取り板の掻取り面が磁性粒子を掻き取る向きに）相対移動させ、これによって、吸着面に吸着された磁性粒子を該掻取り板で掻き取るようになっている。掻き取られた磁性粒子は、掻取り板に沿って落下して装置外へと排出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−３４０７１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上述のような磁石部材の磁気吸引力を利用した磁性粒子除去装置では、磁性粒子の除去効率の向上を図るために、マグネット数を増やす等して磁気吸引力の増強を図ることが好ましい。
【０００５】
しかしながら、このように磁気吸引力を増強した場合には、磁性粒子の吸着面への吸着力が強くなり過ぎる結果、掻取り板により掻き取られた磁性粒子が再び吸着面に吸着されて、磁性粒子の除去効率が低下するという問題がある。
【０００６】
本発明は、斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、例えば、被処理流体中の磁性粒子を磁気吸引力により吸着して除去する磁性粒子除去装置において、その構成に工夫を凝らすことで、装置の簡素化を図りつつ、磁性粒子の除去効率を可及的に向上させようとすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために、この発明では、例えば、磁石部材を、被処理流体中の磁性粒子に磁気吸引力を作用させる吸引位置と、該磁気吸引力を解除する解除位置とに移動させる移動機構を設け、磁石部材を吸引位置に移動させて磁性粒子を吸引、集約し被処理流体を浄化するとともに、解除位置に移動させて上記磁性粒子を容易に排出できるようにした。
【０００８】
具体的には、本発明は、
被処理流体中に含まれる磁性粒子を除去する磁性粒子除去装置であって、
上記被処理流体中の磁性粒子に磁気吸引力を作用させる磁石部材と、
上記磁石部材を、上記被処理流体中の磁性粒子に磁気吸引力を作用させる吸引位置と、該磁気吸引力を解除する解除位置とに移動させる移動機構と、
上記吸引位置の磁石部材により磁性粒子が除去された浄化後被処理流体の排出流路と、
上記解除位置で磁石部材の吸引力が解除された磁性粒子の排出流路と、
を備えたことを特徴とする。
【０００９】
これにより、磁石部材が吸引位置に移動したときには、被処理流体中の磁性粒子に磁石部材の磁気吸引力が作用して、例えば１０μｍ以下、特に５μｍ以下などの微小、軽量な磁性粒子であっても容易に吸引、集約され、被処理流体が浄化される。磁石部材が解除位置に移動したときには上記磁石部材の吸引力が解除された磁性粒子（磁性粒子を含む被処理流体）が磁性粒子排出流路から排出される。それゆえ、磁石部材を移動させる比較的簡素な機構を設けることにより、特に微小、軽量な磁性粒子を効率的に除去できる。
【００１０】
上記磁石部材の移動は、手動で行われるようにしてもよいが、エアシリンダ、油圧シリンダやモータなどの駆動部によって行われるようにしてもよい。
【００１１】
また、磁性粒子排出流路、および浄化後被処理流体排出流路は、常時開放されて、被処理流体や磁性粒子が排出されるようにしてもよい。一方、これらの流路の何れか、または両方の下流側に開閉バルブを設けて、間欠的に排出されるようにしてもよい。
【００１２】
すなわち、磁性粒子排出流路の下流側に設けられる場合には、磁石部材が解除位置に移動したときに、当該開閉バルブを開いて、磁器吸引力が解除されて被処理流体中に漂う磁性粒子を磁性粒子排出流路から排出させるとともに、磁石部材が吸引位置に移動したときには、当該開閉バルブを閉じて、浄化後被処理流体排出流路から排出される被処理流体の流量を確保することが容易にできる。
【００１３】
一方、浄化後被処理流体排出流路の下流側に設けられる場合には、磁石部材が解除位置に移動したときに当該開閉バルブを閉じて、磁石部材による磁気吸引力が解除されて被処理流体中に漂う磁性粒子が浄化後被処理流体排出流路から排出されるのを確実に阻止することができる。
【００１４】
上記のような開閉バルブの開閉動作は、個別に行われるようにしてもよいが、互いに連動して行われるようにしたり、磁石部材の移動に連動して行われるようにしたりして、動作の確実性や操作性の向上を図り得るようにしてもよい。
【００１５】
上記磁石部材は、被処理流体の流路壁、例えば底壁の下面に沿って移動可能に設け、解除位置における磁石部材と被処理流体との間に磁気遮蔽部材が設けられるようにしてもよい。
【００１６】
これにより、磁石部材が吸引位置に移動した場合には、磁石部材の磁力により被処理流体中の磁性粒子が流路壁に向けて吸引されて集約され、浄化後の被処理流体が浄化後被処理流体排出流路から排出される。一方、磁石部材が解除位置に移動した場合には、集約した磁性粒子に作用する磁力が磁気遮蔽部材によって遮られるので、磁性粒子は磁性粒子排出流路から排出されやすくなる。
【００１７】
また、磁石部材を底壁の下面側に設ける場合、磁石部材の上流側や下流側にバッフル板を設けて、被処理流体の流れを磁石部材の位置の底壁に向けるようにしたり、磁性粒子が底壁に吸引されることにより浄化された被処理流体が、バッフル板の上方に形成された浄化後被処理流体排出流路から排出されるようにするとともに、底壁に吸引された磁性粒子が、バッフル板の下方に形成された磁性粒子排出流路から排出されるようにしてもよい。また、上記磁性粒子排出流路の流路断面積よりも、上記浄化後被処理流体排出流路の流路断面積の方が大きく設定されるようにして、磁性粒子の速やかな排出や、浄化処理後被処理流体排出流路から排出される浄化後の被処理流体の流量確保が容易にできるようにしてもよい。
【００１８】
また、被処理流体中に浸漬されるとともに、吸引位置に位置する磁石部材に近接して設けられ、該磁石部材と磁気的に結合して、被処理流体中の磁性粒子を吸着させる吸着磁性体を設けてもよい。上記吸着磁性体は、例えば断面四角形状または断面円形状の棒状（短冊状を含む）の形状を有し、吸引位置に位置する磁石部材の下方に垂下して設けることができる。また、上記吸着磁性体は、複数設けられ、被処理流体の流れる方向に垂直な方向に互いに平行に配列されるようにしたり、中心軸が鉛直な仮想円筒面に沿う位置に配列されるようにしたりしてもよい。上記のような吸着磁性体と磁石部材との磁気的結合の解除は、磁石部材を、吸着磁性体に近接した位置から、その磁力を遮る磁気遮蔽部材に対向する位置に移動させたり、例えばねじ送り機構によって吸着磁性体から十分に離間する位置に移動させたりすることにより行うことができる。
【００１９】
これにより、被処理流体中の磁性粒子は、被処理流体に浸漬された吸着磁性体の近傍を通過する際に効率よく捕捉されるので、被処理流体の浄化能力を高めることが容易にできる。また、吸着磁性体と磁石部材との磁気的結合を解除することにより、吸着磁性体に吸着された磁性粒子は比較的凝集した状態で沈殿するので、磁性粒子排出流路から容易に排出させることができる。
【００２０】
上記のような吸着磁性体を設ける場合にも、バッフル板を設けて、磁性粒子が吸着磁性体に吸引されることにより浄化された被処理流体が、バッフル板の上方に形成された浄化処理後被処理流体排出流路から排出されるようにするとともに、吸着磁性体に吸着された後沈殿した磁性粒子が、バッフル板の下方に形成された磁性粒子排出流路から排出されるようにしてもよい。
【００２１】
また、上記のような磁性粒子除去装置とサイクロン式磁性粒子除去装置とを組み合わせてもよい。具体的には、例えばサイクロン式磁性粒子分離装置による浄化後の被処理流体の流路中、および／またはサイクロン式磁性粒子分離装置によって分離された磁性粒子を含む被処理流体の流路中に磁性粒子除去装置を設けてもよい。
【００２２】
これにより、例えば比較的大きな磁性粒子をサイクロン式磁性粒子除去装置で除去し、サイクロン式磁性粒子除去装置で除去しきれなかった比較的小さな磁性粒子を磁性粒子除去装置で除去したり、一旦サイクロン式磁性粒子除去装置で除去された磁性粒子が別途設けられるダスト分離（回収）装置で回収しきれずに再度サイクロン式磁性粒子除去装置に戻されるのを防止することができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、例えば、被処理流体中の磁性粒子を磁気吸引力により吸着して除去する磁性粒子除去装置において、装置の簡素化を図りつつ、磁性粒子の除去効率を可及的に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】実施形態１の磁性粒子除去装置を含む被処理流体浄化システムの構成を示す正面図である。
【図２】実施形態１の磁性粒子除去装置の具体的な構成を示す縦断面図である。
【図３】図２のIII−III線断面図である。
【図４】図２のIV−IV線断面図である。
【図５】実施形態２の磁性粒子除去装置を含む被処理流体浄化システムの構成を示す正面図である。
【図６】実施形態２の磁性粒子除去装置の具体的な構成を示す縦断面図である。
【図７】図６のVII−VII線断面図である。
【図８】図６のVIII−VIII線断面図である。
【図９】実施形態３の磁性粒子除去装置の具体的な構成を示す縦断面図である。
【図１０】図９のX−X線断面図である。
【図１１】図９のXI−XI線断面図である。
【図１２】実施形態４の磁性粒子除去装置の具体的な構成を示す縦断面図である。
【図１３】実施形態４の磁性粒子除去装置の具体的な構成を示す平面図である。
【図１４】図１２のXIV−XIV線断面図である。
【図１５】図１２のXV−XV線断面図である。
【図１６】実施形態５の磁性粒子除去装置の具体的な構成を示す縦断面図である。
【図１７】図１６のXVII−XVII線断面図である。
【図１８】実施形態６の被処理流体浄化システムの構成を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の各実施形態において、他の実施形態と同様の機能を有する構成要素については同一の符号を付して説明を省略する。
【００２６】
《発明の実施形態１》
図１は、本発明の実施形態１に係る被処理流体浄化システム１００を示し、本実施形態では一例として、この被処理流体浄化システム１００を、工作機械１０１のクーラント液（被処理流体）の浄化システムに適用した例を示す。
【００２７】
すなわち、上記被処理流体浄化システム１００は、工作機械１０１において、クーラント液（すなわち被処理流体）の中に混入する切粉、或いは該切粉と砥粒との溶着したもの等からなる切削屑である磁性粒子ｊと、クーラント液とを分離し、該磁性粒子ｊを分離回収する場合に適用したものである。より具体的には、この被処理流体浄化システム１００は、ダーティタンク１０２と、サイクロン式分離除去装置１（異物粒子分離装置）と、ダスト分離用タンク１０３と、コンベア式のダスト分離装置１０８と、磁性粒子除去装置２１０と、スーパクリーンタンク１０４とを備えている。
【００２８】
工作機械１０１から排出されたダーティ液（磁性粒子ｊを除去する前の被処理流体）は先ず、ダーティタンク１０２内へと導かれて貯留される。ダーティタンク１０２内に貯留された被処理流体は、ポンプ１０５により汲み上げられてサイクロン式分離除去装置１の導入口３へと導かれる。
【００２９】
サイクロン式分離除去装置１では、比重がかなり小さい粒子、油成分、浮遊カーボン等は浮上物排出口２１からダスト分離用タンク１０３へと排出された後、比重が比較的大きい磁性粒子ｊが遠心力により分離されて、排出口４からダスト分離用タンク１０３へと排出され、磁性粒子ｊ分離後の被処理流体が、筒状排出管６から排出されて、磁性粒子除去装置２１０を介してスーパクリーンタンク１０４へと導かれる。
【００３０】
サイクロン式分離除去装置１の排出口４や浮上物排出口２１から排出されたダストが導かれるダスト分離用タンク１０３内では、該ダスト分離用タンク１０３の底部に沈殿した磁性粒子ｊがダスト分離装置１０８により回収されてダストボックス１０７に排出される。ダスト分離用タンク１０３内の上層の被処理流体は、その水位が所定水位ｈ１に達すると戻り管１０３ｂからダーティタンク１０２へと戻されて、再度、サイクロン式分離除去装置１へと導かれる。尚、サイクロン式分離除去装置１からダスト分離用タンク１０３に導かれた磁性粒子ｊを含む被処理流体が戻り管１０３ｂからダーティタンク１０２に直接戻されないように、仕切り壁１０３ｃが設けられている。尚、ダスト分離装置１０８は、例えば特開２００３−２５１５４２号公報に示す公知の構造を有するものとされ、ここではその説明を省略する。
【００３１】
一方、サイクロン式分離除去装置１の筒状排出管６から排出された浄化処理後の被処理流体は、スーパクリーンタンク１０４に至る流路中に設けられた磁性粒子除去装置２１０によって、サイクロン式分離除去装置１では除去しきれなかった、比重が比較的小さい磁性粒子ｊが除去される。より詳しくは、磁性粒子除去装置２１０の上流側には、上流側バッフル板２０３が設けられる一方、下流側には、下流側バッフル板２０４が設けられている。上流側バッフル板２０３は、流路上壁２０２に取り付けられて流路底壁２０１との間に被処理流体の流路を形成し、被処理流体の流れを流路底壁２０１に向けるようになっている。下流側バッフル板２０４は、流路上壁２０２との間に浄化処理後被処理流体流路２０４ａを形成するとともに、流路底壁２０１との間に磁性粒子流路２０４ｂを形成するように設けられている。磁性粒子流路２０４ｂは、後述するように磁性粒子除去装置２１０のマグネット２１３が吸引位置にあるときに磁性粒子除去装置２１０付近に吸引された磁性粒子ｊを、マグネット２１３が磁気吸引力の解除位置に移動したときに、磁性粒子排出口２０６およびダーティ側開閉バルブ２０７を介してダーティタンク１０２に戻すようになっている。また、磁性粒子ｊがマグネット２１３に吸引されて除去された被処理流体は、浄化処理後被処理流体流路２０４ａから浄化後被処理流体排出口２０５およびクリーン側開閉バルブ２０７’を介して、スーパクリーンタンク１０４に導かれる。上記流路２０４ａ・２０４ｂの流路面積比は、限定されないが、例えば８：２に設定されている。
【００３２】
スーパクリーンタンク１０４に導かれて貯留された、磁性粒子除去後のクリーンな被処理流体は、不図示のポンプにより工作機械１０１に供給されてクーラント液として使用される。尚、スーパクリーンタンク１０４内の被処理流体は、その水位が所定水位ｈ２に達すると戻り管１０４ｂからダーティタンク１０２へと戻されるようになっている。これに伴って、軽くてスーパクリーンタンク１０４内で表面に浮いたダストも、ダーティタンク１０２へと戻される。また、サイクロン式分離除去装置１、および磁性粒子除去装置２１０によっても除去されずスーパクリーンタンク１０４内で沈殿したダストは、スーパクリーンタンク１０４の底部に設けられた排出管１０４ｃ、および排出バルブ１０４ｄを介してダーティタンク１０２に排出されるようになっている。なお、スーパクリーンタンク１０４の上壁部１０４ａから垂下された仕切り壁１０４ｅ、および／または底部に立設された仕切り壁１０４ｆを設けて、スーパクリーンタンク１０４内でのダストの浮上や沈殿による除去効果をより高めるようにしてもよい。このような構成にすることにより、スーパクリーンタンク１０４内でのダストの蓄積を極力抑制できるので、常時クリーンな液を工作機械１０１に供給することができ、工作機械１０１の稼働を止めることなく、連続して使用することができる。
【００３３】
−磁性粒子除去装置２１０の構成−
磁性粒子除去装置２１０は、図２、図３に示すように、被処理流体流路における流路底壁２０１の下面に設けられている。すなわち、流路底壁２０１の下面には、マグネットガイド２１１が、ビス２１７とナット２１８とによって取り付けられている。マグネットガイド２１１内には、２つのマグネット２１３を備えた磁性体製のヨーク２１２が、図２に矢印Ａ、Ｂで示す方向に摺動自在に設けられている。マグネット２１３は、ヨーク２１２の段付凹部２１２ａに例えば上下方向の極性が互いに逆になるように嵌め込まれ、位置決めされて固定されるとともに、上端付近でマグネット２１３とヨーク２１２との間にわずかな隙間が形成されることによって、磁力線のリークを防止し、磁気吸引力が被処理流体中の磁性粒子ｊに効率よく作用するようになっている。
【００３４】
流路底壁２０１とヨーク２１２との間には、磁性体製の磁気シールド板２１４が設けられている。この磁気シールド板２１４には、ヨーク２１２が矢印Ａで示す方向に移動する位置（吸引位置）に対応して開口部２１４ａが形成され、マグネット２１３の磁気吸引力を被処理流体中の磁性粒子ｊに作用させる一方、ヨーク２１２が矢印Ｂで示す方向に移動した位置（解除位置）では、マグネット２１３の磁力を遮断するようになっている。
【００３５】
上記ヨーク２１２は、エアシリンダ２２１によって、矢印Ａ、Ｂで示す方向に駆動されるようになっている。エアシリンダ２２１は、流路底壁２０１に設けられたベースプレート２０８に取り付けられている。ヨーク２１２は、レバープレート２１５を介してエアシリンダ２２１のロッド２２２に連結されている。すなわち、レバープレート２１５は、ボルト２１６によりヨーク２１２に固定される一方、ボルト２２３によりロッド２２２に固定されている。また、ヨーク２１２が矢印Ａ方向に移動したとき（吸引位置）の位置決めは、マグネットガイド２１１のブラケット２３１に取り付けられたストッパボルト２３２およびロックナット２３３によってなされるようになっている。すなわち、ストッパボルト２３２によってボルト２２３の先端位置が規制されることによって、図４に示すように、マグネット２１３が磁気シールド板２１４の開口部２１４ａに正確に臨むように調整し得るようになっている。なお、マグネット２１３の停止位置精度が高く保たれる場合には、調整可能なストッパボルト２３２に代えて固定的なストッパを設けたり、エアシリンダ２２１をフルストロークさせるようにしたりしてもよい。また、ヨーク２１２が解除位置に移動したときの位置決めも同様に調整可能または固定的なストッパを設けたりしてもよいが、磁気シールド板２１４が十分に大きければ、解除位置の精度は比較的低くてもよい。
【００３６】
−磁性粒子除去装置２１０の動作−
以上のように構成された被処理流体浄化システム１００において、サイクロン式分離除去装置１から排出された、軽量な（例えば１０μｍ以下、特に５μｍ以下の）磁性粒子ｊを含む被処理流体は、上流側バッフル板２０３によって流路底壁２０１に沿うように誘導され、磁性粒子除去装置２１０の近傍を通過する。
【００３７】
そこで、ヨーク２１２がエアシリンダ２２１により矢印Ａで示す方向に駆動されてマグネット２１３が磁気シールド板２１４の開口部２１４ａに臨む位置（吸引位置）にあるときには、被処理流体中の磁性粒子ｊは、マグネット２１３の磁力により吸引されて流路底壁２０１の近傍に集約される。これにより、磁性粒子ｊが除去された被処理流体は、主として下流側バッフル板２０４の上方に形成された浄化処理後被処理流体流路２０４ａ、浄化後被処理流体排出口２０５、およびクリーン側開閉バルブ２０７’を介してスーパクリーンタンク１０４に導かれる。
【００３８】
一方、ヨーク２１２がエアシリンダ２２１により矢印Ｂで示す方向に駆動されると（解除位置）、マグネット２１３の磁力は磁気シールド板２１４により遮断されて、磁気吸引力が解除される。この状態でダーティ側開閉バルブ２０７が開かれると、上記流路底壁２０１の近傍に集約された磁性粒子ｊは磁性粒子排出口２０６からダーティ側開閉バルブ２０７を介してダーティタンク１０２に排出される。また、クリーン側開閉バルブ２０７’を閉じることにより、マグネット２１３の磁器吸引力が解除されて被処理流体中に漂う磁性粒子ｊがスーパクリーンタンク１０４に送られるのを阻止して確実にダーティタンク１０２に戻すことができる。
【００３９】
上記のような開閉バルブ２０７・２０７’の開閉は、手動で行うようにしてもよいが、磁性粒子除去装置２１０の動作と連動させて自動的に行われるようにしてもよい。具体的には、例えば、空気圧によって駆動される開閉バルブ２０７・２０７’を用い、エアシリンダ２２１と連動して開閉されるように制御してもよい。また、エアシリンダ２２１と開閉バルブ２０７・２０７’とをリンクやワイヤなどで連接する機構を設けて連動させるようにしたり、開閉バルブ２０７・２０７’が一体化された複合バルブを用いるなどしてもよい。また、これらの場合には、所定のタイムラグを持たせて、ダーティ側開閉バルブ２０７の開放、クリーン側開閉バルブ２０７’の閉塞、およびマグネット２１３の解除位置への移動を順次行わるようにしてもよい。これにより、磁性粒子ｊがスーパクリーンタンク１０４に送られるのを確実に阻止して効率よくダーティタンク１０２に戻すようにすることが容易にでき、操作性を向上させることもできる。また、開閉バルブ２０７・２０７’の一方だけをエアシリンダ２２１と連動させたり、開閉バルブ２０７・２０７’どうしだけを連動させたりしてもよい。
【００４０】
なお、ダーティ側開閉バルブ２０７だけを設けて、クリーン側開閉バルブ２０７’は設けず（または常時開放状態にして）、浄化処理後被処理流体流路２０４ａからスーパクリーンタンク１０４に送られる被処理流体の流量が確保されるようにしてもよい。
【００４１】
逆に、クリーン側開閉バルブ２０７’だけを設けて、ダーティ側開閉バルブ２０７は設けず（または常時開放状態にして）、被処理流体中に漂う磁性粒子ｊがスーパクリーンタンク１０４に送られるのをより確実に阻止し得るようにしてもよい。
【００４２】
また、開閉バルブ２０７・２０７’を共に設けず（または常時開放状態にして）、流路底壁２０１の近傍に吸引された磁性粒子ｊが速やかに磁性粒子流路２０４ｂから排出されるとともに、浄化処理後被処理流体流路２０４ａからスーパクリーンタンク１０４に送られる被処理流体の流量が確保されるようにしてもよい。
【００４３】
ここで、上記のようにダーティ側開閉バルブ２０７を設けない（または常時開放状態にする）場合には、特に、前記のように磁性粒子流路２０４ｂの流路面積を浄化処理後被処理流体流路２０４ａよりも小さくすることは、浄化処理後被処理流体流路２０４ａからスーパクリーンタンク１０４に送られる被処理流体の流量確保が容易になる点で有効である。
【００４４】
また、磁性粒子排出口２０６から排出された磁性粒子ｊは、ダーティタンク１０２に送られるのに限らず、ダスト分離用タンク１０３に送られるようにしてもよい。
【００４５】
《発明の実施形態２》
図５は、本発明の実施形態２に係る磁性粒子除去装置２４０を備えた被処理流体浄化システム１００を示す。
【００４６】
実施形態２の磁性粒子除去装置２４０は、流路上壁２０２の上に設けられ、被処理流体中に垂下されて浸漬される棒状の吸着磁性体２４９を有している。吸着磁性体２４９は、後に詳述するように、マグネット２４３と磁気的に結合される状態または解除される状態に切り替えられるようになっている。
【００４７】
吸着磁性体２４９の下流側には、第１および第２下流側バッフル板２０４’・２０４”が設けられ、磁性粒子ｊが吸着磁性体２４９に吸引されて除去された後の被処理流体が、第１下流側バッフル板２０４’の上方、および第２下流側バッフル板２０４”の下方を通過して、浄化後被処理流体排出口２０５からクリーン側開閉バルブ２０７’を介してスーパクリーンタンク１０４に導かれるようになっている。また、吸着磁性体２４９とマグネット２４３との磁気的結合が解除されたときに、吸着磁性体２４９に吸引されていた磁性粒子ｊが第１下流側バッフル板２０４’の下方からダーティ側開閉バルブ２０７を介してダーティタンク１０２に戻されるようになっている。
【００４８】
−磁性粒子除去装置２４０の構成−
磁性粒子除去装置２４０は、図６、図７に示すように、流路上壁２０２の上に、例えばアルミニウム等の非磁性体から成るベースプレート２０８がボルト２０９により固定されることによって取り付けられている。ベースプレート２０８には、マグネットガイド２４４がボルト２４５によって取り付けられるとともに、エアシリンダ２２１が取り付けられている。マグネットガイド２４４内には、２つのマグネット２４３を備えたヨーク２４２が、図６に矢印Ａ、Ｂで示す方向に摺動自在に設けられている。マグネット２４３は、実施形態１と同様に、図８に示すようにヨーク２４２の段付凹部２４２ａに嵌め込まれている。
【００４９】
上記ヨーク２４２は、ピン２２５、およびクレビス２２４を介してエアシリンダ２２１のロッド２２２に連結され、矢印Ａ、Ｂで示す方向に駆動されるようになっている。ヨーク２４２が矢印Ａで示す方向に移動した位置の下方には、被処理流体の流れる方向に垂直な方向に櫛形に配列されて垂下される４本の断面四角形状の棒状の吸着磁性体２４９が、押ボルト２５０によってベースプレート２０８に固定されている。すなわち、ヨーク２４２が矢印Ａで示す方向に移動したときには、マグネット２４３と吸着磁性体２４９とが磁気的に結合されて、被処理流体中の磁性粒子ｊを吸着磁性体２４９に吸着させるようになっている。また、ヨーク２４２が矢印Ｂで示す方向に移動した位置の下方には、磁性体製の磁気シールド板２４６がボルト２４７によってベースプレート２０８に固定され、マグネット２４３の磁力を遮断するようになっている。また、ベースプレート２０８、吸着磁性体２４９、および磁気シールド板２４６と、ヨーク２４２との間には、ヨーク２４２をなめらかに摺動させやすくするために、例えばステンレスプレート２４８が設けられている。
【００５０】
−磁性粒子除去装置２４０の動作−
以上のように構成された被処理流体浄化システム１００において、サイクロン式分離除去装置１から排出された被処理流体中の軽量な磁性粒子ｊは、吸着磁性体２４９の周囲を通過する。
【００５１】
そこで、ヨーク２４２がエアシリンダ２２１により矢印Ａで示す方向に駆動されてマグネット２４３が吸着磁性体２４９と磁気的に結合する位置（吸引位置）にあるときには、被処理流体中の磁性粒子ｊは、マグネット２４３の磁力により吸引されて吸着磁性体２４９の周囲に集約される。これにより、磁性粒子ｊが除去された被処理流体は、液面が所定の高さ以上になると、第１下流側バッフル板２０４’の上方、および第２下流側バッフル板２０４”の下方を通過して、浄化後被処理流体排出口２０５からスーパクリーンタンク１０４に導かれる。
【００５２】
一方、ヨーク２４２がエアシリンダ２２１により矢印Ｂで示す方向に駆動されると、マグネット２４３が吸着磁性体２４９と離間するとともに、マグネット２４３の磁力が磁気シールド板２４６により遮断されて、吸着磁性体２４９から被処理流体中の磁性粒子ｊに作用する磁気吸引力が解除され、吸着磁性体２４９の表面に吸着された磁性粒子ｊは、吸着磁性体２４９の下方に沈殿し、流路底壁２０１の近傍に集約される。そこで、ダーティ側開閉バルブ２０７が開かれると、上記流路底壁２０１の近傍に集約された磁性粒子ｊはダーティタンク１０２に排出される。また、クリーン側開閉バルブ２０７’が閉じられると、上記のように吸着磁性体２４９から離脱した磁性粒子ｊがスーパクリーンタンク１０４に送られるのが阻止される。
【００５３】
なお、ダーティ側開閉バルブ２０７は必ずしも設けず、被処理流体をわずかずつダーティタンク１０２に向けて流して、マグネット２４３が吸引位置にある場合でも吸着磁性体２４９に吸着されずに自重で流路底壁２０１付近に沈殿した磁性粒子ｊを常時排出させるようにしてもよい。
【００５４】
また、第１下流側バッフル板２０４’は、実施形態１で示したのと同様に、流路底壁２０１との間に形成される磁性粒子流路を狭くしたり、側壁との間に隙間を設けて第１下流側バッフル板２０４’の下流側で沈殿した磁性粒子ｊも磁性粒子排出口２０６から排出させ得るようにしてもよい。
【００５５】
また、上記の例では、第１下流側バッフル板２０４’の下流側に第２下流側バッフル板２０４”が設けられる例を示したが、これらの位置関係を逆にするなどしてもよい。
【００５６】
また、磁気シールド板２４６は、マグネット２４３の位置をずらすことによって吸着磁性体２４９との磁気的結合が十分に小さくなる場合には、必ずしも設けなくてもよい。
【００５７】
また、上記のように被処理流体が所定の高さ以上の液面になったときに浄化後被処理流体排出口２０５からスーパクリーンタンク１０４に流れるように構成されるのに限らず、実施形態１のように密閉された流路が形成され、その流路中に吸着磁性体２４９が配置されるようにしてもよい。
【００５８】
また、マグネット２４３、および吸着磁性体２４９の数や、ヨーク２４２の形状は、上記に限るものではない。例えば、マグネット２４３は、１本の吸着磁性体２４９あたり１個設け、隣り合うマグネット２４３ごとに、吸着磁性体２４９に面する部分の極性が互いに逆になるようにしてもよい。この場合には、各マグネット２４３の大きさは比較的小さくなるが、各隣り合う吸着磁性体２４９間に生じる磁束の磁束密度を容易に高くすることができる。また、ヨーク２４２は、マグネット２４３の上面だけに面する平板状に形成し、上記ヨーク２４２と同様の形状に形成された非磁性体内にマグネット２４３とともに収容してもよい。これにより、ヨーク２４２と吸着磁性体２４９との間に生じる磁束の磁束密度を低減して、吸着磁性体２４９間に生じる磁束の磁束密度を高くすることが容易にできる。
【００５９】
《発明の実施形態３》
吸着磁性体２４９は、上記実施形態２について説明したように被処理流体の流れる方向に垂直な方向に配列されるのに限らず、例えば図９〜図１１に示すように、仮想的な円筒面に沿う位置に配列されて設けられてもよい。より詳しくは、ヨーク２４２には円形状の段付凹部２４２ａが形成され、その内部には、半割れドーナツ状の２つのマグネット２４３が嵌め込まれている。吸着磁性体２４９は、断面円形状の棒状をなし、２本ずつが、それぞれ１つのマグネット２４３の下方に位置するように配列されている。すなわち、被処理流体の上流側から下流側にかけて同極性の吸着磁性体２４９が設けられることになる。
【００６０】
このように構成される場合には、被処理流体の上流側の吸着磁性体２４９に捕捉されなかった磁性粒子ｊを下流側の吸着磁性体２４９で捕捉することによって、磁性粒子ｊの除去効率を高めることが容易にできる。
【００６１】
《発明の実施形態４》
ヨーク２４２は、上記のようにエアシリンダ２２１によって駆動されるのに限らず、手動で吸引位置と解除位置とに切り替えられるようにしてよい。実施形態４の磁性粒子除去装置では、例えば図１２〜図１４に示すように、流路上壁２０２上にボルト２０９によって取り付けられたベースプレート２０８の上面に、ステンレスプレート２４８を介して、矢印Ａ、Ｂで示す方向の２つの貫通穴２９１ａが形成されたシリンダブロック２９１が設けられている。上記シリンダブロック２９１の貫通穴２９１ａには、フランジ２９２ａに取り付けられた２本のロッド２９２が摺動自在に勘合されている。マグネット２４３を備えたヨーク２４２は、上記フランジ２９２ａに取り付けられることにより、矢印Ａ、Ｂで示す方向に摺動自在に設けられている。ヨーク２４２の上部にはハンドル２９３が取り付けられ、手動で吸引位置と解除位置とに切り替えられるようになっている。
【００６２】
吸着磁性体２４９は、短冊状、すなわち図１５に示すように横断面形状が長い四角形状の平板棒状に形成され、互いに平行、かつ、被処理流体の流れる方向に垂直な方向に櫛形に配列されて設けられ、押ボルト２５０によりベースプレート２０８に固定されている。
【００６３】
このように手動可能に構成される場合にも、マグネット２４３と吸着磁性体２４９とを磁気的に結合状態と解除状態とに切り替えることによる磁性粒子の除去メカニズム自体は実施形態２、３と同じである。それゆえ、低コストで、軽量、微小な磁性粒子ｊを効率よく除去することができる。
【００６４】
なお、図１２〜図１４には特に示していないが、ヨーク２４２を吸引位置および／または解除位置に正確にまたは容易に位置決めするためのストッパ装置やラッチ機構を設けてもよい。
【００６５】
《発明の実施形態５》
マグネット２４３と吸着磁性体２４９との磁気的結合を解除するためには、上記のようにヨークを摺動させて吸着磁性体２４９に対応する位置からずらすのに限らず、単に吸着磁性体２４９との距離を空けるようにしてもよい。
【００６６】
具体的には、実施形態５の磁性粒子除去装置２４０は、例えば図１６〜図１７に示すように構成されている。すなわち、ヨーク２７１は外形形状が円形状に形成され、段付凹部２７１ａにマグネット２４３が嵌め込まれ、有底円筒状のカバー２７３内に収容されている。ベースプレート２０８には、雄ねじシャフト２６１が、ナット２６３とスナップリング２６４との間に固定されたスリーブ２６２を介して回転自在に設けられている。雄ねじシャフト２６１の上部には、ハンドル２６５がボルト２６６によって取り付けられている。雄ねじシャフト２６１の外周に形成された雄ねじと、ヨーク２７１の中心部に形成された雌ねじとが螺合されるとともに、ベースプレート２０８に立設された回り止めピン２７２がヨーク２７１に形成されたピン穴２７１ｂに勘合されている。これによって、ハンドル２６５を回して雄ねじシャフト２６１を回転させると、ヨーク２７１は回り止めピン２７２により回転を抑制されているため上下に移動するようになっている。
【００６７】
上記のように構成される場合でも、吸着磁性体２４９から被処理流体中の磁性粒子ｊに作用する磁気吸引力が十分小さくなる程度に、ハンドル２６５を回してマグネット２４３を上方に移動させ、吸着磁性体２４９から離間させれば、吸着磁性体２４９の表面に吸着された磁性粒子ｊは、吸着磁性体２４９の下方に沈殿し、流路底壁２０１の近傍に集約される。そこで、ダーティ側開閉バルブ２０７が開かれると、上記流路底壁２０１の近傍に集約された磁性粒子ｊはダーティタンク１０２に排出される。
【００６８】
なお、上記のように雄ねじシャフト２６１をヨーク２７１と螺合させるのに代えて、ベースプレート２０８と螺合させるとともに、ヨーク２７１は雄ねじシャフト２６１に相対的に回転可能、かつ上下方向の位置はスナップリング２６４等により拘束されるように設けてもよい。この場合には、ハンドル２６５を回すことによって、雄ねじシャフト２６１を上下に移動させ、これに伴ってヨーク２７１も上下に移動させることができる。
【００６９】
《発明の実施形態６》
上記実施形態２〜５で説明したような磁性粒子除去装置２１０・２４０は、実施形態２の図５に示した被処理流体浄化システム１００のように、サイクロン式分離除去装置１によって浄化された被処理流体の流路に設けられるのに限らず、図１８に示すように、ダスト分離用タンク１０３、すなわちサイクロン式分離除去装置１の排出口４から排出されたダストを含む被処理流体の流路中に設けられてもよい。
【００７０】
より詳しくは、サイクロン式分離除去装置１の排出口４から排出された被処理流体は、主として図１８におけるバッフル板２８２の右方から下方に回り込み、ダスト分離装置１０８によって比較的大きなダストが除去された後、磁性粒子除去装置２４０の吸着磁性体２４９の近傍、およびバッフル板２８１の上方を通過し、排出口１０３ｄから戻り管１０３ｂを介してダーティタンク１０２に戻されるようになっている。
【００７１】
このように構成される場合には、ダスト分離装置１０８の排出口４から排出された磁性粒子ｊ、特に軽量な磁性粒子ｊは、被処理流体が磁性粒子除去装置２４０の吸着磁性体２４９の近傍を通過する際に吸着磁性体２４９に吸着された後、マグネット２４３が解除位置になったときに沈殿して、ダスト分離装置１０８により効率よく回収される。すなわち、サイクロン式分離除去装置１によって一旦分離された磁性粒子ｊは、ダスト分離用タンク１０３からダーティタンク１０２に戻される被処理流体中に混入しにくくなるので、ダスト分離装置１０８によるダストの回収効率を向上させて、被処理流体浄化システム１００全体としての浄化効率を向上させることができる。
（その他の事項）
なお、上記各実施形態および変形例について説明した構成要素は、論理的に可能な範囲で種々組み合わせてもよい。
【００７２】
具体的には、例えば実施形態１で説明したような開閉バルブ２０７・２０７’の有無や、これらのバルブどうし、および／または少なくとも一方のバルブとエアシリンダ２２１とを連動させる構成を実施形態２の被処理流体浄化システム１００に適用してもよい。また、実施形態４のように手動によるマグネット２４３の移動と開閉バルブ２０７・２０７’とを連動させるようにしてもよい。
【００７３】
また、実施形態４で説明したように手動によってマグネット２４３を吸引位置または解除位置に移動させる構成を実施形態１〜３の磁性粒子除去装置２１０・２４０に適用してもよい。
【００７４】
また、実施形態１で説明したようなマグネット２４３の吸引位置および／または解除位置の位置決め精度を調整するためのストッパ機構を他の実施形態の磁性粒子除去装置に設けてもよい。もっとも、実施形態２等においては、マグネット２１３と吸着磁性体２４９とが磁気的に結合、または解除されればよいので、両者の相対位置精度は比較的低くてもよいため、必ずしも高精度または調整可能なストッパ機構を設けなくてもよい。
【００７５】
また、吸着磁性体２４９の形状は、特に限定されず、実施形態２〜４で説明したような断面四角形状または断面円形状の棒状（短冊状を含む）を相互に変更したり、他の形状を適用したりしてもよい。
【００７６】
また、実施形態３〜５（図９〜図１７）で説明したような磁性粒子除去装置２４０が、実施形態６（図１８）で説明したようにダスト分離用タンク１０３に設けられるなどしてもよい。さらに、スーパクリーンタンク１０４（特に仕切り壁１０４ｅの上流側または近傍）に設けられてもよく、これらが組み合わされてもよい。
【００７７】
また、工作機械１０１から排出されたダーティ液は、そのままサイクロン式分離除去装置１に送られるのに限らず、一旦、ダスト分離用タンク１０３に（直接または貯留タンクを介して）送られ、自重だけで沈殿しやすいダストが除去された後、サイクロン式分離除去装置１に供給されるようにしてもよく、この場合でも、各実施形態で説明したような磁性粒子除去装置をダスト分離用タンク１０３、および／またはサイクロン式分離除去装置１による浄化後の被処理流体の流路中に設けてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７８】
本発明にかかる磁性粒子除去装置は、被処理流体中の磁性粒子を磁気吸引力により吸着して除去する磁性粒子除去装置等として有用である。
【符号の説明】
【００７９】
１      サイクロン式分離除去装置
３      導入口
４      排出口
６      筒状排出管
２１      浮上物排出口
１００      被処理流体浄化システム
１０１      工作機械
１０２      ダーティタンク
１０３      ダスト分離用タンク
１０３ｂ    戻り管
１０３ｃ    仕切り壁
１０３ｄ    排出口
１０４      スーパクリーンタンク
１０４ａ    上壁部
１０４ｂ    戻り管
１０４ｃ    排出管
１０４ｄ    排出バルブ
１０４ｅ    仕切り壁
１０４ｆ    仕切り壁
１０５      ポンプ
１０７      ダストボックス
１０８      ダスト分離装置
２０１      流路底壁
２０２      流路上壁
２０３      上流側バッフル板
２０４      下流側バッフル板
２０４’    第１下流側バッフル板
２０４”    第２下流側バッフル板
２０４ａ    浄化処理後被処理流体流路
２０４ｂ    磁性粒子流路
２０５      浄化後被処理流体排出口
２０６      磁性粒子排出口
２０７      ダーティ側開閉バルブ
２０７’    クリーン側開閉バルブ
２０８      ベースプレート
２０９      ボルト
２１０      磁性粒子除去装置
２１１      マグネットガイド
２１２      ヨーク
２１２ａ    段付凹部
２１３      マグネット
２１４      磁気シールド板
２１４ａ    開口部
２１５      レバープレート
２１６      ボルト
２１７      ビス
２１８      ナット
２２１      エアシリンダ
２２２      ロッド
２２３      ボルト
２２４      クレビス
２２５      ピン
２３１      ブラケット
２３２      ストッパボルト
２３３      ロックナット
２４０      磁性粒子除去装置
２４２      ヨーク
２４２ａ    段付凹部
２４３      マグネット
２４４      マグネットガイド
２４５      ボルト
２４６      磁気シールド板
２４７      ボルト
２４８      ステンレスプレート
２４９      吸着磁性体
２５０      押ボルト
２６１      雄ねじシャフト
２６２      スリーブ
２６３      ナット
２６４      スナップリング
２６５      ハンドル
２６６      ボルト
２７１      ヨーク
２７１ａ    段付凹部
２７１ｂ    ピン穴
２７２      回り止めピン
２７３      カバー
２８１      バッフル板
２８２      バッフル板
２９１      シリンダブロック
２９１ａ    貫通穴
２９２      ロッド
２９２ａ    フランジ
２９３      ハンドル
【図１】
2011212601.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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