(57)【要約】【課題】トリメチルシラノール等のシラノール化合物を効率的に除去可能なケミカルフィルタを提供する。【解決手段】内部ケミカルフィルタ１５は、三次元網状骨格構造を有するフィルタ基材５０に、無数の吸着剤５１を固着したものである。吸着剤５１は、活性炭等の粉末ないし粒子状の多孔質体の表面に白金、パラジウム等の金属触媒を担持したものである。吸着剤５１は、空気中に含まれるシラノール化合物を、金属触媒で二量化して吸着する。【選択図】図２
2011166085.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多孔質体から構成される多数の吸着剤を備え、前記多数の吸着剤の少なくとも一部は、金属触媒が担持されており、前記金属触媒によって空気中に含まれるシラノール化合物を、二量化して前記吸着剤によって吸着させることを特徴とする、シラノール化合物除去用ケミカルフィルタ。
【請求項２】
前記金属触媒は、白金又はパラジウムを少なくとも含むことを特徴とする請求項１に記載のケミカルフィルタ。
【請求項３】
前記吸着剤に前記金属触媒が担持されている第１のフィルタ部と、前記吸着剤に前記金属触媒が担持されていない第２のフィルタ部とを備え、これら第１及び第２のフィルタ部は空気が通過する方向に沿って上流側からこの順に配置され、前記第１のフィルタ部において前記金属触媒によって空気中に含まれるシラノール化合物を二量化し、その二量体を前記第２のフィルタ部の吸着剤に吸着させることを特徴とする請求項１又は２に記載のケミカルフィルタ。
【請求項４】
前記多数の吸着剤が固着されたフィルタ基材を備えることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載のケミカルフィルタ。
【請求項５】
前記多孔質体は、活性炭であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載のケミカルフィルタ。
【請求項６】
前記シラノール化合物は、トリメチルシラノールであることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載のケミカルフィルタ。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載のケミカルフィルタによって内部の空気が浄化されることを特徴とする露光装置。
【請求項８】
多孔質体から構成される多数の吸着剤を備えるとともに、前記多数の吸着剤の少なくとも一部が、金属触媒が担持されているケミカルフィルタに、シラノール化合物を含む空気を通過させて、前記シラノール化合物を二量化し、前記吸着剤によって吸着させることを特徴とする空気浄化方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光工程で露光障害等を引き起こすおそれのあるシラノール化合物を空気中から除去するためのケミカルフィルタに関し、特に吸着剤に金属触媒が担持されたケミカルフィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造プロセスの露光工程において、ヘキサメチルジシラザン（ＨＤＭＳ）のようなジシラザン化合物が、フォトレジスト密着剤として使用されることが知られている。ＨＤＭＳは、例えばガスとしてウエハ表面に吹き付けられることにより、ウエハ表面の水酸基をトリメチルシラノール基に置換させることで、ウエハ表面を疎水化させて、ウエハ表面のレジスト剤との密着性を向上させている。ＨＤＭＳは加水分解してトリメチルシラノール（ＴＭＳ）として露光装置内にガス状で浮遊することがあるが、浮遊したＴＭＳはレンズ等に付着して曇りの原因となり、露光障害等を引き起こすおそれがある。
【０００３】
露光工程が行われる露光装置のチャンバ内部には、通常、活性炭等の吸着剤を有するケミカルフィルタを通過した空気が供給される。ＴＭＳ等のガス状不純物は、ケミカルフィルタによって除去されることにより、チャンバ内部は一定の清浄度に保持され、露光障害等が防止されるのが一般的である（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１８１９６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、ＴＭＳは、低分子量物質であり、活性炭等では吸着し難くまた吸着してもすぐに脱離するため、一般的な吸着剤を有するケミカルフィルタでは、効率的に除去することは難しい。したがって、従来、ＴＭＳを必要量除去するために、ケミカルフィルタを厚くし若しくは多層にしたり、活性炭を多量に使用したりする必要があった。
【０００６】
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであり、ＴＭＳ等のシラノール化合物を効率的に除去可能なシラノール化合物除去用ケミカルフィルタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るシラノール化合物除去用ケミカルフィルタは、多孔質体から構成される多数の吸着剤を備え、前記多数の吸着剤の少なくとも一部は、金属触媒が担持されており、金属触媒によって空気中に含まれるシラノール化合物を、二量化して多孔質体によって吸着させることを特徴とする。
【０００８】
金属触媒は、白金又はパラジウムを少なくとも含むことが好ましい。上記ケミカルフィルタは、例えば多数の吸着剤が固着されたフィルタ基材を備え、また多孔質体は、活性炭であることが好ましい。なお、シラノール化合物は、通常、トリメチルシラノールである。
【０００９】
本発明に係るケミカルフィルタは、吸着剤に金属触媒が担持されている第１のフィルタ部と、吸着剤に金属触媒が担持されていない第２のフィルタ部とを備えることが好ましい。これら第１及び第２のフィルタ部は空気が通過する方向に沿って上流側からこの順に配置される。この場合、第１のフィルタ部は、金属触媒によって空気中に含まれるシラノール化合物を二量化し、その二量体を第２のフィルタ部の吸着剤が吸着する。
【００１０】
本発明に係る露光装置は、上記したケミカルフィルタによって内部の空気が浄化されることを特徴とするものである。
【００１１】
本発明に係る空気浄化方法は、多孔質体から構成される多数の吸着剤を備えるとともに、多数の吸着剤の少なくとも一部が、金属触媒が担持されているケミカルフィルタに、シラノール化合物を含む空気を通過させて、シラノール化合物を二量化して吸着剤によって吸着させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明では、シラノール化合物が、多孔質体によって吸着されやすく、かつ吸着剤から脱離しにくい二量体とされたうえで吸着剤に吸着されるので、ケミカルフィルタのシラノール化合物の除去効率を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明のケミカルフィルタが適用される露光装置を示す概略図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係るケミカルフィルタを示す拡大図である。
【図３】第２の実施形態に係るケミカルフィルタを示す斜視図である。
【図４】第２の実施形態の変形例に係るケミカルフィルタを示す斜視図である。
【図５】通気実験１を実施するためのカラムを示す模式図である。
【図６】通気実験２を実施するためのカラムを示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明について図面を参照しつつさらに詳細に説明する。
図１は、本発明の第１の実施形態に係るケミカルフィルタが適用される露光装置を示す概略図である。図１に示すように、露光装置１０は、その外部チャンバ１１内部に、内部チャンバ１２と空気循環路１３とが設けられた構造となっており、内部チャンバ１２の内部には露光本体部２０が配置される。空気循環路１３は、内部チャンバ１２内部の空気を循環させるための通路である。空気循環路１３内部には、内部チャンバ１２内部の空気の温度及び湿度を一定に保つための調温調湿装置１４と、内部チャンバ１２の空気を浄化するための内部ケミカルフィルタ１５が設けられる。
【００１５】
露光本体部２０は、照明光学系２１、レクチル２２、投影光学系２３、及びウエハステージ２４を備え、ウエハステージ２４上には、ウエハＷが載置させられている。ウエハＷは、下記一般式（１）で示されるジシラザン化合物であるフォトレジスト密着剤によって表面が疎水化された後、フォトレジスト剤が塗布されたものである。
【００１６】
Ｒ３ＳｉＮＨＳｉＲ３    ・・・・（１）
式（１）において、Ｒはメチル、エチル等の炭素数１〜３のアルキル基であるが、Ｒのうち一部は水素原子、又はふっ素原子、塩素原子等のハロゲン原子であっても良い。当該ジシラザン化合物としては、上記式（１）においてＲが全てメチルであるヘキサメチルジシラザン（ＨＤＭＳ）が一般的に使用される。
【００１７】
照明光学系２１は、リレーレンズ系、コンデンサーレンズ等を含み、外部チャンバ１１の外部に設けられた光源２６から出射されたレーザー光を、レクチル２２に入射させる。レクチル２２は所定のマスクパターンを有するフォトマスクであって、そのマスクパターンは投影光学系２３を介して、ウエハステージ２４上に配置されるウエハＷに結像され、ウエハＷに対して露光処理が行われる。
【００１８】
空気循環路１３内部等には不図示のファンが設けられ、外部チャンバ１１内部の空気は、そのファンによって、一定経路Ｓに沿って循環させられる。具体的には、空気循環路１３の空気は、内部供給口１６を介して内部チャンバ１２内部に供給され、内部チャンバ１２内部を循環して、内部排出口１７を介して空気循環路１３に排出される。内部排出口１７から排出された空気は、空気循環路１３内部において、内部ケミカルフィルタ１５及び調温調湿装置１４を通って再び、内部供給口１６を介して、内部チャンバ１２内部に供給される。また、内部チャンバ１２内部の空気は、一部が局部排出口１８を介して外部に排気されるとともに、外部の空気は、外部供給口１９を介して空気循環路１３内部に供給される。
【００１９】
調温調湿装置１４は、内部供給口１６の上流に配置され、空気循環路１３から内部チャンバ１２内部に供給される空気は、調温調湿装置１４によって、一定湿度、一定温度に調整されたものである。また、外部供給口１９の上流には、外部ケミカルフィルタ２５が配置され、外部からの空気は、外部ケミカルフィルタ２５によって、ガス状汚染物質が除去されたうえで、空気循環路１３に供給される。
【００２０】
図２に示すように、空気循環路１３内部に設けられた内部ケミカルフィルタ１５は、ポリウレタンフォーム等の発泡体やから構成される三次元網状骨格構造を有し、例えばマット形状を呈するフィルタ基材５０に、無数の吸着剤５１が公知のバインダによって固着されたものである。なお、フィルタ基材５０としては、発泡体の代わりに有機繊維や無機繊維から構成される繊維状基材やハニカム構造体が使用されても良い。本実施形態における内部ケミカルフィルタ１５は、以下の構成を有することにより、後述するシラノール化合物を効率的に除去することが可能なシラノール化合物除去用ケミカルフィルタである。
【００２１】
内部ケミカルフィルタ１５の吸着剤５１は、破砕状、粉末状、粒子状等の多孔質体の表面に金属触媒が担持されたものである。吸着剤５１に使用される多孔質体としては、活性炭、シリカ、ゼオライト、アルミナ、多孔質ガラス等のガス状有機物を物理的吸着により吸着可能なものが挙げられるが、これらのうち活性炭が好ましい。活性炭は、後述するシラノール化合物やジシロキサン化合物を吸着しやすいからである。
【００２２】
金属触媒としては、白金、パラジウム、銀、銅、亜鉛、鉄、及びニッケルの群から選択される１種以上のものが使用されるが、後述するシラノール化合物をより効果的に二量化するために、白金又はパラジウムを少なくとも含むことが好ましい。吸着剤は、特に限定されるわけではないが、例えば、金属触媒の酸金属塩の水溶液に、活性炭等の多孔質体を浸漬等して、多孔質体表面に当該水溶液を付着させた後、窒素雰囲気下で加熱（例えば、７００℃）し還元させることにより、多孔質体表面に金属触媒を添着させたものである。上記金属触媒の多孔質体への添着量は、多孔質体（１００重量％）に対して、例えば０．１〜１５重量％、好ましくは１〜８重量％である。
【００２３】
上記したように、ウエハＷは、ジシラザン化合物によって構成されるフォトレジスト密着剤によって、疎水化処理が施され、また、チャンバ１２内部は、一定の相対湿度に保たれる。そのため、内部チャンバ１２内部には、ジシラザン化合物の加水分解反応（反応式（２）’参照）によって生成される、化学式（２）のシラノール化合物が浮遊しており、一定経路Ｓに沿って循環する空気には、シラノール化合物が含まれる。
Ｒ３ＳｉＮＨＳｉＲ３  ＋２Ｈ２Ｏ  →  ２Ｒ３ＳｉＯＨ  ＋  ＮＨ３・・・・（２）’
【００２４】
Ｒ３ＳｉＯＨ    ・・・・（２）
シラノール化合物は、式（２）に示すように、ＳｉＯＨ基を１つだけ有するものである。式（２）において、Ｒはメチル、エチル等の炭素数１〜３のアルキル基であるが、Ｒのうち一部は水素原子、又はふっ素原子、塩素原子等のハロゲン原子であっても良い。当該シラノール化合物は、一般的には、ＨＤＭＳの分解物であって、式（２）においてＲが全てメチルとなるトリメチルシラノール（ＴＭＳ）である。
【００２５】
シラノール化合物は、下記式（３）に示すように、脱水縮合することにより二量化される。この脱水縮合反応は、露光装置１０内部のように、シラノール化合物低濃度下では通常殆ど起こらないが、上記した金属触媒が添着された吸着剤があると低濃度下でも、吸着剤の吸着作用及び金属触媒の触媒作用により発生しやすくなる。したがって、シラノール化合物の少なくとも一部（通常、半分以上程度）は、内部ケミカルフィルタ１５を通過する際に二量化され、二量体であるジシロキサン化合物に化学変化させられる。二量体であるジシロキサン化合物は、シラノール化合物よりも分子量が大きいため、シラノール化合物よりも、内部ケミカルフィルタ１５の多孔質体によって吸着されやすく、また吸着された後脱離しにくくなる。
【００２６】
すなわち、内部ケミカルフィルタ１５は、金属触媒でシラノール化合物を積極的に二量化させることにより、効率的にシラノール化合物を吸着剤５１に吸着させることが可能になる。このように、本実施形態では、吸着剤５１によって、効率的にシラノール化合物を除去可能であるので、内部ケミカルフィルタ１５の寿命を長くすることができる。
【００２７】
２Ｒ３ＳｉＯＨ    →    Ｒ３ＳｉＯＳｉＲ３  ＋  Ｈ２Ｏ    ・・・（３）
式（３）において、ジシロキサン化合物（Ｒ３ＳｉＯＳｉＲ３）は一般的に、ＴＭＳの二量体であるヘキサメチルジシロキサンである。
【００２８】
なお、外部ケミカルフィルタ２５は、内部ケミカルフィルタ１５と同様の構成を有するケミカルフィルタであっても良いが、金属触媒が担持されていない活性炭等の多孔質体が、フィルタ基材に固着されたケミカルフィルタであっても良い。勿論、内部ケミカルフィルタ１５は、吸着剤５１によってシラノール化合物及びその二量体以外のガス状不純物も除去する。また、経路Ｓ上には、他の種類のエアフィルタがさらに設けられていても良い。
【００２９】
図３は、本発明の第２の実施形態に係るケミカルフィルタの構造を示す。第１の実施形態においては、内部ケミカルフィルタ１５は、１つのケミカルフィルタによって構成されたが、第２の実施形態では、内部ケミカルフィルタ６５は、図３に示すように、第１及び第２のケミカルフィルタ６６、６７が重ねられて構成される。第１及び第２のケミカルフィルタ６６、６７は、空気が通過する方向Ｓ’に沿って上流側からこの順に配置される。
【００３０】
この場合、第１のケミカルフィルタ６６は、第１の実施形態の内部ケミカルフィルタ１５と同様の構成を有しており、フィルタ基材５０に、金属触媒が担持された無数の吸着剤が固着されたものである。一方、第２のケミカルフィルタ６７は、フィルタ基材５０に、金属触媒が担持されていない無数の吸着剤が固着されたものである。
【００３１】
このような構成によれば、シラノール化合物は、第１のケミカルフィルタ６６で、二量化されつつ吸着・除去されるとともに、第１のケミカルフィルタ６６で吸着されなかった二量体（ジシロキサン化合物）は、第２のケミカルフィルタ６７で吸着・除去される。そのため本実施形態では、より効率的に空気中のシラノール化合物を除去することが可能になる。
【００３２】
さらには、金属触媒が担持されたケミカルフィルタ６６の厚みを、第１の実施形態より薄くしてもシラノール化合物の除去効果を高めることができるので、金属触媒が担持された吸着剤の量を少なくすることもできる。したがって、白金、パラジウム等の比較的高価な金属触媒の使用量を抑制できるので、コストが高くなることを抑制できる。
【００３３】
さらに、第２の実施形態における第１及び第２のケミカルフィルタ６６、６７は、別体のフィルタ基材５０、５０それぞれに無数の吸着剤が固着されて構成されたが、図４に示すように、１つのフィルタ基材５０から構成されたケミカルフィルタ７０であっても良い。この場合、ケミカルフィルタ７０の上流側の部分（上流部分７０Ａ）に金属触媒が担持された吸着剤が固着され、下流側の部分（下流部分７０Ｂ）に金属触媒が担持されていない吸着剤が固着される。
【００３４】
また、第１の実施形態では、金属触媒が担持された活性炭と、金属触媒が担持されない活性炭の両方が混合されて、フィルタ基材５０に固着されていても良い。さらに、第２の実施形態のように、第１及び第２のケミカルフィルタが重ねられているような場合において、これらいずれのフィルタにも金属触媒が担持された活性炭が固着されても良い。
【００３５】
なお、第１及び第２の実施形態において、各ケミカルフィルタは、フィルタ基材に吸着剤が固着されたものでなくても良く、例えば容器やケース中に吸着剤が充填されたものであっても良い。例えば、第２の実施形態では、第１のケミカルフィルタを容器やケース中に金属触媒が担持された吸着剤が充填されたものとするとともに、第２のケミカルフィルタを、金属触媒が担持されていない吸着剤が、フィルタ基材に固着されたものとしても良い。
【実施例】
【００３６】
本発明について、以下実施例を用いてさらに詳細に説明するが、本発明は以下の実施例の構成に限定されるわけではない。
【００３７】
[通気試験１]
通気実験１では、図５に示すように、内部に６層のケミカルフィルタ８３Ａ〜８３Ｆを重ねて配置したカラム８０を用意した。ケミカルフィルタ８３Ａ〜８３Ｆとしては、ウレタンフォームに、添着剤未添着の活性炭を固着して構成されるギガソーブＬ（商品名、ニッタ株式会社製）であって、直径１９ｍｍ、高さ２０ｍｍの円柱状に切り出したものを用いた。カラム８０のエア排出口８２側には、エアの流量を調整するバルブ８４と、カラム８０に通気されるエアの流量を計測する流量計８５と、カラム８０にエアを通気させるためのポンプ８６を接続した。最も上流側のケミカルフィルタ８３Ａは、約４５０ｇ／ｍ２のＴＭＳを付着させて、ＴＭＳ発生源として使用した。
【００３８】
カラム８０には、１０．２リットル／分（面風速０．６ｍ／秒）で、２３℃に空調したエアを２４０時間通気させた。ＴＭＳは一部がヘキサメチルジシロキサン（以下、“Ｄ２”と略する）に二量化されるとともに、エア通気によりケミカルフィルタ８３ＡからＴＭＳないしＤ２が脱離して、下流側に流された。
【００３９】
通気終了後、ケミカルフィルタ８３Ａ〜８３Ｆそれぞれを２０ｍｌのアセトン中に入れて、各フィルタに吸着されたガス状有機物を超音波振動により２時間かけて抽出し、ＧＣ−ＦＩＤによって、フィルタ８３Ａ〜８３Ｆそれぞれに吸着されたＴＭＳとＤ２の量を測定した。また、通気前（０時間）のケミカルフィルタ８３Ａ〜８３Ｆに関しても、ブランクとして同様にＴＭＳとＤ２の重量を測定した。表１には、ＴＭＳ及びＤ２それぞれに関し、各層における測定値と、全体の吸着量を１００重量％としたときの各層の吸着量の比率（重量％）とを示した。
【００４０】
ＧＣ−ＦＩＤの測定条件は、以下のとおりである。
ＧＣ−ＦＩＤ：島津製作所社製、ＧＣ−２０１０
カラム：Ｉｎｅｒｔ Ｃａｐ １ＭＳ   内径０．２５ｍｍ  長さ６０ｍ
カラム温度：４０℃で５分間維持した後、１０℃／分で２８０℃まで昇温。その後、２８０℃で２１分ホールド。
キャリアガス：Ｈｅ    カラム流量：１．１６ｍｌ／分
注入量：１．０μｌ    測定時間：５０分
【００４１】
【表１】
2011166085.tif 000003
【００４２】
表１の結果から明らかなように、ＴＭＳは、１層目のケミカルフィルタからその多くが脱離し、その脱離したＴＭＳは３層目のケミカルフィルタに最も多く吸着された。一方、Ｄ２はその多くが１層目のケミカルフィルタに保持されたままであり、脱離したものも２層目のフィルタに最も多く吸着された。すなわち、ＴＭＳはケミカルフィルタに吸着されにくく、一旦吸着されても脱離しやすいが、その二量体（Ｄ２）は、ケミカルフィルタに吸着されやすく、一旦吸着されたものはフィルタから脱離しにくいことが理解できる。
【００４３】
［通気試験２］
通気実験２では、図６に示すように、エア注入口を構成する第１の管部１０１、内部に吸着剤１１２を充填し、第１のケミカルフィルタを構成する第２の管部１０２、内部に吸着層１１３を配置し、第２のケミカルフィルタを構成する第３の管部１０３、及びエア排出口を構成する第４の管部１０４をこの順に接続したカラム１００を用意した。第１〜第４の管部１０１〜１０４それぞれは、ＳＵＳ製の網１２１〜１２３を介して接続した。エア排出口には、エアの流量を調整するバルブ１０８と、カラム１００に通気されるエアの流量を計測する流量計１０９と、カラム１００にエアを通気させるためのポンプ１１０を接続した。
【００４４】
吸着層１１３は、４層のケミカルフィルタ１１３Ａ〜１１３Ｄを重ねて構成したものであった。また、第１の管部１０１内部にケミカルフィルタ１１１を配置した。ケミカルフィルタ１１１は、ＴＭＳを約３００ｇ／ｍ２付着させてあり、ＴＭＳ発生源として使用した。ケミカルフィルタ１１１、１１３Ａ〜１１３Ｆとしては、通気試験１と同様のものを使用した。
【００４５】
実施例１では、吸着剤１１２としては、ギガソープＬ（ニッタ株式会社製）用のビーズ状活性炭表面に、白金を２．９重量％担持させた吸着剤を使用した。実施例２では、活性炭表面にパラジウムを４．７重量％担持させた以外は実施例１と同様に実施した。比較例１は、活性炭に金属触媒を担持させなかった点を除いて実施例１と同様に実施した。
【００４６】
ポンプ１１０の吸気によって、カラム１００に２３℃に空調したエアを、５．１Ｌ／分（面風速０．３ｍ/秒）で５０時間通気させた。この通気により、ケミカルフィルタ１１１からはＴＭＳが脱離して、第１の管部１０１から下流側には、ＴＭＳを含むエアが流された。ＴＭＳは、吸着剤の金属触媒作用等によって一部がＤ２に変化した。
【００４７】
通気終了後、通気実験１と同様にして、フィルタ１１１、吸着剤１１２、フィルタ１１３Ａ〜１１３Ｄそれぞれのサンプルに吸着されたＴＭＳとＤ２の吸着量を測定した。その測定結果を表２に示す。表２では、フィルタ１１３Ａ〜１１３Ｄの吸着量については、１層目と２層目（フィルタ１１３Ａ、１１３Ｂ）、及び３層目と４層目（フィルタ１１３Ｃ、１１３Ｄ）の合計量として示した。また、測定された吸着量から、吸着剤１１２（第１のケミカルフィルタ）、吸着層１１３（第２のケミカルフィルタ）、並びに吸着剤１１２と吸着層１１３の吸着量合計におけるＴＭＳとＤ２の比率（％）を算出し、その結果も表２に示す。
【００４８】
【表２】
2011166085.tif 000004
【００４９】
金属触媒を担持した吸着剤を用いた実施例１、２では、表２の結果から明らかなように、ＴＭＳはその多くがＤ２に変化したうえで、吸着剤１１２、吸着層１１３に吸着された。一方、金属触媒が担持されていない吸着剤を用いた比較例１では、ＴＭＳはほとんどＤ２に変化することなく、吸着剤１１２、吸着層１１３に吸着された。
【符号の説明】
【００５０】
１０  露光装置
１５  内部ケミカルフィルタ
５０  フィルタ基材
５１  吸着剤
６６  第１のケミカルフィルタ（第１のフィルタ部）
６７  第２のケミカルフィルタ（第２のフィルタ部）
７０Ａ  上流部分（第１のフィルタ部）
７０Ｂ  下流部分（第２のフィルタ部）
【図１】
2011166085.tif 000005
【図３】
2011166085.tif 000006
【図４】
2011166085.tif 000007
【図５】
2011166085.tif 000008
【図６】
2011166085.tif 000009
【図２】
2011166085.tif 000010