(57)【要約】【課題】長期信頼性を有すると共に、ＣＩ値を低減し、不要な振動の発生を抑えた小型の振動片を提供する。【解決手段】圧電振動片２１は、基部２２の一端側から二股に別れて互いに平行に延出する一対の振動腕２３と、各振動腕２３の先端側に設けられた錘部２５と、各振動腕２３の長手方向に沿った有底の第１溝部２７と、を有している。錘部２５の基部２２側には、各振動腕２３の側面から延長された一方の側面と、第１溝部２７の側面と平行な他方な側面を有する有底の第２溝部２８が設けられている。有底の第２溝部２８の底面を形成する底板部分３５は、錘部２５の振動腕２３との境界を形成する端部において、錘部２５の両端部から振動腕２３の各側面に向かって平面視で基部２２側に広がるテーパー形状の補強部３５ａを形成し、補強部３５ａの錘部２５から振動腕２３の側面の間を接続する外形線と振動腕２３の側面とが形成する角が鋭角となっている。【選択図】図１
2011082841.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部の一端部分から延出された振動腕と、を有し、
前記振動腕は、前記振動腕の前記基部側に位置する腕部と、前記腕部よりも先端側に位置し前記腕部よりも幅広な錘部と、を備え、
前記振動腕の両主面のうち少なくとも一方の主面に前記振動腕の長手方向に沿って形成され、前記腕部から前記錘部の領域内まで延長するように設けられた有底の溝である第１溝部と、
前記錘部に形成された第２溝部であって、前記腕部の側面から連続してそれと同一面をなす側面を一方の側面として備え、その一方の側面が前記第１溝部の側面の裏側に形成された有底の前記第２溝部と、
前記第１溝部の側面に形成された第１励振電極と、
前記振動腕の側面に形成された第２励振電極と、を有する振動片であって、
前記第２溝部の底面を形成する底板部分の前記錘部と前記振動腕の側面との間を接続する外形線と前記振動腕の側面とが形成する角が鋭角であることを特徴とする振動片。
【請求項２】
請求項１に記載の振動片において、
前記第１励振電極が、前記振動腕の前記基部側から前記錘部の領域内までの前記第１溝部の連続する側面に形成され、
前記第２励振電極が、前記振動腕の前記基部側から前記錘部の領域内の前記第２溝部までの連続する側面に形成されていることを特徴とする振動片。
【請求項３】
請求項１または２に記載の振動片において、
前記底板部分の前記錘部から前記振動腕の側面の間を接続する外形線は、前記振動腕の側面と接続される部分の形状が、その外形線が前記振動腕の側面に近づくほど前記基部側に広がる曲線であることを特徴とする振動片。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の振動片において、
圧電体材料により形成された圧電振動片であることを特徴とする振動片。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、圧電体材料からなる圧電振動片などの振動片に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、携帯電話等の通信機器や、コンピューター、ＩＣカード等の情報機器、その他様々な電子機器に圧電デバイスが広く使用されている。最近は、これら電子機器の小型化及び高性能化に伴い、小型化と共に、高品質かつ高安定性の圧電デバイスが要求されている。
【０００３】
屈曲振動モードの圧電振動片は、小型化を図るために振動腕の長さを短くすると、周波数が高くなることがよく知られている。そこで、振動腕の先端部に質量を付加することによって、その質量効果により周波数が高くならないように振動腕の長さを短くし、圧電振動片を小型化することが行われている（例えば、特許文献１，２を参照）。振動腕先端部への質量付加は、多くの場合、該先端部の幅を基端側よりも大きく形成することによってなされる。
【０００４】
また、音叉型圧電振動片においてＣＩ値を低減するために、振動腕の両主面の少なくとも一方に長手方向の溝部を形成し、かつ該溝部の内面に励振電極を成膜した構造が広く採用されている（例えば、特許文献２を参照）。このような振動腕は、その側面の励振電極と溝部内の励振電極との間で電界が、振動腕の断面において広く分布するように発生し、電界効率が大幅に向上するので、振動片を小型化しても振動損失が少なく、ＣＩ値を低く抑制することができる。
【０００５】
更に、振動腕の溝部を振動腕先端の錘部及び基部に入り込む位置まで延長させた構造の音叉型圧電振動片が提案されている（例えば、特許文献３を参照）。このような溝構造の振動腕は、振動腕の基本振動モードを得るために必要な腕長さを確保でき、かつ振動腕の錘部及び基部との各結合部において、振動腕の振動による溝部への応力集中を解消して安定した振動を得ることができる。
【０００６】
また、特許文献３には、ＣＩ値を低減するために錘部の基部側に突堤部を設けた振動腕が開示されている。図面を参照しながら詳細に説明すると、図６において、特許文献３に記載の音叉型水晶振動片１は、基部２の一端部分から平行に延出された一対の振動腕３と、を有している。各振動腕３は、振動腕３の先端側に、振動腕３の基部２側よりも幅が広い錘部５と、振動腕３の長辺方向に沿って形成された有底の第１溝部７と、第１溝部７の側面に形成された第１励振電極９と、振動腕３の側面に形成された第２励振電極１０と、を有している。また、錘部５の基部２側には、振動腕３の側面から連続してそれと同一面をなす側面を一方の側面として、その一方の側面が第１溝部７の側面と平行に形成された貫通孔としての第２溝部８が設けられ、この第２溝部８によって、錘部５の基部２側の両端部には突堤部（突出部）６が形成されている。この突堤部６によって、振動腕３は、錘部５の質量を変えることなく振動二次モーメントの腕長を短くでき、振動の安定性を高めかつＣＩ値を低く抑制することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】実公昭５１−１０７５５号公報
【特許文献２】特開２００４−２８２２３０号公報
【特許文献３】特開２００５−５８９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献３に記載の音叉型水晶振動片１では、錘部５の振動腕３の側面の延長線上を一方の側面とする第２溝部８が錘部５の両主面を貫通する貫通孔であるために、錘部５の基部２側の両端部に形成された突堤部６のそれぞれが錘となることによる不具合が生じる虞がある。すなわち、振動腕３が図中矢印の方向に屈曲振動を繰り返したときに、錘部５が振動腕３の振幅の折り返しで振動腕３よりも大きい変位を呈して高次モードに近い振動姿態となることにより、周波数が上昇して振動が不安定になり、ＣＩ値が上昇する虞がある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【００１０】
〔適用例１〕本適用例にかかる振動片は、基部と、前記基部の一端部分から延出された振動腕と、を有し、前記振動腕は、前記振動腕の前記基部側に位置する腕部と、前記腕部よりも先端側に位置し前記腕部よりも幅広な錘部と、を備え、前記振動腕の両主面のうち少なくとも一方の主面に前記振動腕の長手方向に沿って形成され、前記腕部から前記錘部の領域内まで延長するように設けられた有底の溝である第１溝部と、前記錘部に形成された第２溝部であって、前記腕部の側面から連続してそれと同一面をなす側面を一方の側面として備え、その一方の側面が前記第１溝部の側面の裏側に形成された有底の前記第２溝部と、前記第１溝部の側面に形成された第１励振電極と、前記振動腕の側面に形成された第２励振電極と、を有する振動片であって、前記第２溝部の底面を形成する底板部分の前記錘部と前記振動腕の側面との間を接続する外形線と前記振動腕の側面とが形成する角が鋭角であることを特徴とする。
【００１１】
上記構成によれば、第１溝部を設けることによって、振動腕が動きやすくなって効率的に振動することによりＣＩ値を下げることができるとともに、第２溝部が有底の溝であることにより、錘部を貫通する第２溝部を設けた場合に、振動腕に対して錘部が高次モードに近い振動姿態となって周波数が上昇する不具合を回避できることを発明者は見出した。
しかも、上記構成では、第２溝部の底面を形成する底板部分の錘部と振動腕の側面との間を接続する外形線と振動腕の側面とが形成する角が鋭角である。すなわち、振動腕と錘部との付け根部において、錘部の第２溝部の底板部分が、錘部から振動腕の側面部にテーパー形状の補強部を形成する。この補強部が、振動片を振動させた際に、錘部の振動腕との境界部分で発生する応力を分散させて、長時間の振動に伴う励振電極膜などの密着性劣化などの不具合が抑えられ、振動片の長期信頼性の向上に効果を奏することを発明者は見出した。
したがって、高信頼性を有するとともに、小型で低ＣＩ値の振動片を提供することができる。
【００１２】
〔適用例２〕上記適用例にかかる振動片において、前記第１励振電極が、前記振動腕の前記基部側から前記錘部の領域内までの前記第１溝部の連続する側面に形成され、前記第２励振電極が、前記振動腕の前記基部側から前記錘部の領域内の前記第２溝部までの連続する側面に形成されていることを特徴とする。
【００１３】
この構成のように、第１励振電極を、振動腕の基部側から錘部の領域内まで設けた第１溝部の側面に形成し、かつ第２励振電極を、振動腕の基部側の側面、および、その側面から連続する錘部の側面に連続して形成することによって、振動腕の振動に寄与する電界を振動腕の腕部だけでなく、錘部の領域にも発生させることができる。従って、小型化の要求に対応して振動腕を短くしても、錘部の質量効果を損なうことなく、電極面積を増やして励振効率を高め、ＣＩ値を低減させて圧電振動片の高性能化、高品質化を実現することができる。
【００１４】
〔適用例３〕上記適用例にかかる振動片において、前記底板部分の前記錘部から前記振動腕の側面の間を接続する外形線は、前記振動腕の側面と接続される部分の形状が、その外形線が前記振動腕の側面に近づくほど前記基部側に広がる曲線であることを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、底板部分の振動腕との接続端が振動腕の側面と緩やかな角度で接続されることによって、その接続端が角張っている場合に比して振動時の応力が緩和されるので、振動片の信頼性をより向上させることができる。
【００１６】
〔適用例４〕上記適用例にかかる振動片において、圧電体材料により形成された圧電振動片であることを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、耐衝撃性が高く優れた振動特性を備えた、例えば、水晶からなる水晶振動片などの圧電振動片を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】（ａ）は、振動片としての圧電振動片を模式的に説明する平面図、（ｂ）は、（ａ）のＡ１−Ａ１線断面図、（ｃ）は、（ａ）のＢ１−Ｂ１線断面図。
【図２】実施形態の圧電振動片の図１のＣ１部の概略斜視図。
【図３】圧電振動片の変形例１の、図１の圧電振動片のＣ１部と同じ部分を示す概略平面図。
【図４】（ａ）は、圧電振動片の変形例２を模式的に説明する平面図、（ｂ）は、（ａ）のＡ２−Ａ２線断面図、（ｃ）は、（ａ）のＢ２−Ｂ２線断面図。
【図５】圧電振動片の変形例２の図４のＣ２部の概略斜視図。
【図６】従来の振動片としての音叉型水晶振動片を模式的に示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の振動片を具体化した一実施形態について図面を参照しながら説明する。
【００２０】
図１は、本実施形態の振動片としての圧電振動片を模式的に説明するものであり、（ａ）は、一方の主面側からみた平面図、（ｂ）は、（ａ）のＡ１−Ａ１線断面図、（ｃ）は、（ａ）のＢ１−Ｂ１線断面図である。また、図２は、図１のＣ１部を示す概略斜視図である。
図１において、圧電振動片２１は、水晶などの圧電体材料からなる。圧電振動片２１を水晶により構成する場合、基材の原形となる水晶ウェハ（水晶基材）は、Ｘ軸、Ｙ軸、およびＺ軸からなる直交座標系において、Ｚ軸を中心に時計回りに０度〜５度の範囲で回転させて切り出した水晶Ｚ板を所定の厚みに切断研磨加工して得られるものを用いる。本実施形態の圧電振動片２１は、その水晶Ｚ板を加工することにより形成された基部２２と、この基部２２の一端側（図において上端側）から二股に別れて互いに平行に延出する一対の振動腕２３とからなる所謂音叉型の外形を有して形成されている。
【００２１】
一対の振動腕２３は、基部２２の一端側から平行に延出されている。また、各振動腕２３は、両主面と、その両主面を両側で接続する両側面とを有する。
また、各振動腕２３の先端側には、振動腕２３の基部２２側よりも幅が広い錘部２５がそれぞれ設けられている。このように、各振動腕２３の先端部分の錘部２５が錘の機能を果たすことにより、振動腕２３の長さを増大させることなく周波数を低くすることができる。
なお、本実施形態の振動腕２３は、錘部２５以外の部分が一定の幅を有している構成を図示したが、これに限らず、振動腕２３の腕部（基部２２から錘部２５までの部分）にテーパーを形成してもよい。例えば、振動腕２３の基部２２側から先端側の錘部２５に向かって細くなるテーパーを形成することにより、振動腕２３を振動しやすくすることができる。
【００２２】
図１（ａ）に示すように、各振動腕２３の一方の主面には、それぞれの長手方向に沿って一本の有底の第１溝部２７が設けられている。また、図１（ｂ）に示すように振動腕２３の他方の主面にも、振動腕２３の長手方向に沿って一本の有底の第１溝部２７が設けられている。
このような各振動腕２３の両主面それぞれに開口部を有して設けられた第１溝部２７によって、振動腕２３が動きやすくなって効率的に振動することにより、ＣＩ値を下げることができる。
【００２３】
なお、本実施形態の各振動腕２３において、第１溝部２７は、それらの一端側（振動腕２３の先端側）が、振動腕２３の基部２２側から錘部２５との境界よりも先端側の錘部２５の領域内まで延長するように設けられている。このようにすることにより、振動腕２３が振動する際に生じる応力の集中する領域が振動腕２３の延長方向に分散されるので、振動腕２３の錘部２５の付け根部に応力が集中して破損するなどの不具合を回避できる。
【００２４】
錘部２５の基部２２側には、各振動腕２３の側面から連続してそれと同一面をなす側面を一方の側面として、その一方の側面が第１溝部２７の側面と平行に裏側に形成された有底の第２溝部２８が設けられている。この第２溝部２８により、錘部２５の基部２２側の両端部には突堤部２６がそれぞれ形成される。
【００２５】
有底の第２溝部２８の底面を形成する底板部分３５は、錘部２５の振動腕２３との境界を形成する端部において、錘部２５の両端部から振動腕２３の各側面に向かって平面視で基部２２側に広がるテーパー形状の補強部３５ａを形成している。ここで、補強部３５ａの錘部２５から振動腕２３の側面の間を接続する外形線と振動腕２３の側面とが形成する角が鋭角となっている（図２を併せて参照のこと）。
【００２６】
振動腕２３の基部２２側から錘部２５の領域内までの第１溝部２７の連続する側面には第１励振電極２９が形成されている。本実施形態の圧電振動片２１においては、第１励振電極２９は、有底の第１溝部２７の両側面を接続する凹底面にも連続して形成されている。
また、振動腕２３の基部２２側から錘部２５の領域内の第２溝部２８までの連続する側面（第２溝部２８の一方の側面）には第２励振電極３０が形成されている
一方の振動腕２３の第１励振電極２９と他方の振動腕２３の第２励振電極３０とが互いに接続され、基部２２に引き出した接続電極３１，３１から交流電圧を印加することによって、両振動腕２３，２３が互いに接近又は離反する向きに振動する。
【００２７】
第１励振電極２９および第２励振電極３０などの電極や配線などは、水晶をエッチングして圧電振動片２１の第１溝部２７、第２溝部２８含む外形を形成した後で、例えば、ニッケル（Ｎｉ）またはクロム（Ｃｒ）を下地層として、その上に、蒸着またはスパッタリングにより例えば金（Ａｕ）による電極層を成膜し、その後フォトリソグラフィを用いてパターニングすることにより形成することができる。ここで、クロムは水晶との密着性が高く、また、金は、電気抵抗が低く酸化し難いことで知られている。
【００２８】
本実施形態の圧電振動片２１によれば、振動腕２３が、第１溝部２７を錘部２５の領域まで延長させて設け、且つ、錘部２５の基部２２側の端部から、振動腕２３の両側面が錘部２５の領域内に直線的に延長されるように第２溝部２８を設けて、振動腕２３の励振に寄与する第１励振電極２９および第２励振電極３０を、振動腕２３の腕部だけでなく、錘部２５の領域にも形成する構成とした。これにより、本実施形態の圧電振動片２１は、小型化の要求に対応して振動腕を短くしても、錘部の質量効果を損なうことなく、励振電極の面積を大きくして励振効率を高めることができるので、ＣＩ値を低減させることができる。
ここで、本実施形態の圧電振動片２１では、錘部２５に設けられた第２溝部２８の底板部分３５を、錘部２５の両端部から振動腕２３の側面に向かって平面視で基部２２側に広げてテーパー形状の補強部３５ａを形成した。このテーパー形状の補強部３５ａは、圧電振動片２１を振動させたときに、錘部２５の振動腕２３との境界部分で発生する応力を分散させる効果を奏する。これにより、例えば、底板部分３５のテーパー部が無い構成である場合に、長時間の振動に伴って励振電極膜などの密着性劣化が生じるなどの不具合が抑えられ、振動片の長期信頼性の向上に効果を奏することを発明者は見出した。
さらに、本実施形態の圧電振動片２１では、振動腕２３の側面から連続する側面を一側面として錘部２５に形成する第２溝部２８を有底の溝とした。これにより、例えば、図６の従来の音叉型水晶振動片１のように、錘部５を貫通する第２溝部８を設けた構造である場合に、振動片を振動させた際に振動腕３が高次モードに近い振動姿態となって周波数が上昇する不具合を回避することができる。
【００２９】
上記実施形態で説明した振動片としての圧電振動片は、以下の変形例として実施することも可能である。
【００３０】
（変形例１）
上記実施形態の圧電振動片２１において、補強部３５ａの、錘部２５から振動腕２３の側面の間を接続する外形線と振動腕２３の側面とが接続される部分の形状を、その外形線が側面に近づくほど基部２２側に広がる円弧状とすることにより、信頼性をより向上させることができる。
図３は、圧電振動片の変形例を示すものであり、図１の圧電振動片２１のＣ１部と同じ部分を示す概略平面図である。なお、本変形例の圧電振動片は、補強部の振動腕の側面との接続部の形状以外は上記実施形態の圧電振動片２１と同一であり、上記実施形態と同じ構成については同一符号を付して説明を省略する。
【００３１】
図３に示す圧電振動片２１において、錘部２５に設けられた第２溝部２８の底板部分３５により形成された補強部３５ａの、錘部２５から振動腕２３の側面の間を接続する外形線と振動腕２３の側面との接続部分の形状は、その外形線と振動腕２３の側面との角度が基部２２にいくほど大きくなる曲線を呈している。換言すれば、錘部２５から振動腕２３の側面の間を接続する外形線は、振動腕２３の側面に近づくにしたがって曲率半径が漸次大きくなる形状を有している。
このように、補強部３５ａの振動腕２３側面との接続部が緩やかな曲線を呈していることにより、該接続部が角張った形状で接続されている場合に比して、振動腕２３を振動させたときに接続部に加わる応力が緩和されるので、連続振動に対する耐性がより改善され、圧電振動片２１の信頼性をより向上させることができる。
【００３２】
（変形例２）
上記実施形態および変形例１の圧電振動片２１では、第２溝部２８の底板部分３５により形成される補強部３５ａを、錘部２５の一端（一辺）の両端部から振動腕２３の各側面に接続されるように形成した。これに限らず、補強部を、錘部の一端側の両端部より内側から振動腕の側面に接続する構成としてもよい。
図４は、圧電振動片の変形例２を模式的に説明するものであり、（ａ）は、一方の主面側からみた平面図、（ｂ）は、（ａ）のＡ２−Ａ２線断面図、（ｃ）は、（ａ）のＢ２−Ｂ２線断面図である。また、図５は、図４のＣ２部を示す概略斜視図である。なお、本変形例の圧電振動片の構成のうち、上記実施形態と同じ構成については同一符号を付して説明を省略する。
【００３３】
図４において、圧電振動片４１は、基部２２の一端側（図において上端側）から二股に別れて互いに平行に延出する一対の振動腕４３を有している。各振動腕４３の先端側には、振動腕４３の基部２２側よりも幅が広い錘部４５がそれぞれ設けられている。各振動腕４３の両主面には、それぞれの長手方向に沿って一本の有底の第１溝部４７が設けられている。第１溝部４７は、それらの一端側（振動腕４３の先端側）が、錘部４５の領域内まで延長するように設けられている。
【００３４】
錘部４５の基部２２側には、各振動腕４３の側面から連続してそれと同一面をなす側面を一方の側面として、その一方の側面が第１溝部４７の側面と平行に形成された有底の第２溝部４８が設けられている。この第２溝部４８により、錘部４５の基部２２側の両端部には突堤部４６がそれぞれ形成される。
振動腕４３の基部２２側から錘部４５の領域内までの第１溝部４７の連続する側面には第１励振電極４９が形成されている。また、振動腕４３の基部２２側から錘部４５の領域内の第２溝部４８までの連続する側面（第２溝部４８の一方の側面）には第２励振電極５０が形成されている。
【００３５】
有底の第２溝部４８の底面を形成する底板部分５５は、錘部４５の振動腕４３との境界を形成する端部において、錘部４５の両端部より内側から振動腕４３の各側面に向かって平面視で基部２２側に広がるテーパー形状の補強部５５ａを形成している。本変形例では、補強部５５ａが、錘部４５の各第２溝部４８の外側の側面から、振動腕４３の各側面に向かって形成されている。ここで、補強部５５ａの、錘部４５から振動腕４３の側面の間を接続する外形線と振動腕４３の側面とが形成する角が鋭角となっている（図５を併せて参照のこと）。
【００３６】
本変形例の圧電振動片４１のように、補強部５５ａを、錘部４５の一端側の両端部より内側から振動腕４３の各側面に接続する構成としても、補強部５５ａによる圧電振動片４１を振動させたときの錘部４５の振動腕４３との境界に生じる応力の分散効果が十分に発揮されることを発明者は見出した。
次に、本変形例２の圧電振動片４１を用いて、振動腕４３を振動させた際の補強部５５ａによる応力分散効果を確認した実施例を説明する。
【００３７】
〔実施例〕
以下、上記変形例２の圧電振動片４１の振動時の応力緩和の効果について確認した結果を実施例に基づき説明する。なお、本発明はこれらの実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることが可能である。
【００３８】
１．圧電振動片
本実施例では、図４および図５に示す変形例２の補強部５５ａを有する圧電振動片４１を用いた。圧電振動片４１の各部の寸法は、図４に示す振動腕４３の、基部２２との付け根から錘部４５との境界までの長さｌ１、錘部４５の長さｌ２、錘部４５の幅ｗ、振動腕４３の平均厚みｔ、としたときに、ｌ１＝７２０μｍ、ｌ２＝６８０μｍ、ｗ＝３００μ、ｔ＝１００μｍとした。
また、比較用の圧電振動片として、補強部の無い構成の圧電振動片（補強部以外の構成は変形例２の圧電振動片４１と同一）、すなわち、第２溝部の底板部分の錘部から振動腕の側面の間を接続する外形線と、振動腕の側面とが形成する角が直角となっている構成の圧電振動片を用意した。
そして、変形例２の圧電振動片４１および比較用の上記圧電振動片それぞれを振動させた時の、錘部（４５）の振動腕（４３）との境界に生じる応力（ミーゼス応力、以下同じ）を測定して比較した。
【００３９】
（評価結果）
補強部５５ａを有する変形例２の圧電振動片４１を振動させた時の、錘部４５の振動腕４３との境界に生じた応力は、８．６×１０8（Ｐａ）であった。
これに対して、比較用の補強部の無い圧電振動片を同一条件で振動させた時の、錘部の振動腕との境界に生じた応力は、７．６×１０8（Ｐａ）であった。
この結果により、変形例２の補強部５５ａを有する圧電振動片４１を振動させたときに、錘部４５の振動腕４３との境界に生じる応力は、補強部のない比較用の圧電振動片に対して１２％の応力低減効果を示した。
【００４０】
以上、発明者によってなされた本発明の実施の形態について具体的に説明したが、本発明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることが可能である。
【００４１】
例えば、上記実施形態では、屈曲振動モードの圧電振動片２１を一例として説明した。これに限らず、ねじり振動モードなどの屈曲振動モード以外の振動モードの振動片においても、本発明の特徴的な構成を具備させることにより上記実施形態および変形例と同様な耐衝撃性の向上などの効果を得ることができる。
【００４２】
また、上記実施形態および変形例では、基部２２から２本の振動腕２３，４３が互いに平行に延出されて形成された所謂音叉型の圧電振動片２１，４１における本発明の実施の形態や変形例を説明した。これに限らず、固定端となる基部を有する１本の振動腕のみにより構成される所謂ビーム型振動片などであってもよく、また、３本以上の振動腕を有する振動片であっても、上記実施形態および変形例と同様な効果を得ることができる。
【００４３】
上記実施形態では、圧電体材料の１つである水晶からなる圧電振動片２１について説明したが、これに限らず、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの水晶以外の圧電体材料により構成することもできる。さらに、圧電体材料以外の、例えば、シリコン半導体からなる振動片であっても、上記実施形態および変形例と同様な効果を得ることができる。
【００４４】
上記実施形態および変形例で説明した圧電振動片２１，４１は、圧電デバイスや、圧電デバイス以外の様々な電子部品に適用することができる。特に、パッケージ内に上記の圧電振動片２１，４１のうちいずれかの圧電振動片が接合され、さらに、その圧電振動片２１，４１を発振させる発振回路素子が少なくとも組み込まれて構成された発振器は、ＣＩ値の上昇や不要振動が抑えられて高性能化が実現するとともに、小型化を図ることができる。
【符号の説明】
【００４５】
１…従来の振動片としての音叉型水晶振動片、２１，４１…振動片としての圧電振動片、２，２２…基部、３，２３，４３…振動腕、５，２５，４５…錘部、６，２６，４６…突堤部、７，２７，４７…第１溝部、８，２８，４８…第２溝部、９，２９，４９…第１励振電極、１０，３０，５０…第２励振電極、１１，３１…接続電極、３５，５５…底板部分、３５ａ，５５ａ…補強部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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