(57)【要約】【課題】  部品点数及び組立工数が少なく、電極部と安定して接触できる検査用治具及び検査用治具に用いる検査用プローブの提供。【解決手段】  複数の検査用プローブと複数の電極部と検査用プローブを保持する保持体を備える検査用治具であって、検査用プローブは、導電性を有する細長い棒状部材と、該棒状部材の他端に接続されるとともに該棒状部材の径よりも幅広に形成される係止部を有し、保持体は検査用プローブの一端を検査点に案内する検査側案内孔を有する検査側案内板と、検査用プローブの他端を電極部に案内する電極側案内孔を有する電極側案内板を有し、電極側案内孔は係止部の幅よりも長い孔径の第一案内孔と、第一案内孔と連通連結され、該係止部の幅よりも短く且つ棒状部材の幅よりも広い孔径を有する第二案内孔を有し、接続体の表面には異方性導電シートが載置されていることを特徴とする。【選択図】  図４
2011137664.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端が検査対象物上に設定される所定の検査点と導通接触する複数の検査用プローブと、前記複数の検査用プローブの他端と夫々導通接触する複数の電極部を有する接続体と、前記検査対象物と前記接続体との間に配置されるとともに前記検査用プローブを保持する保持体とからなる検査用治具であって、
前記検査用プローブは、導電性を有する細長い棒状部材と、該棒状部材の他端に接続されるとともに該棒状部材の径よりも幅広に形成される係止部を有し、
前記保持体は、前記検査用プローブの一端を前記検査点に案内する検査側案内孔を有する検査側案内板と、前記検査用プローブの他端を前記電極部に案内する電極側案内孔を有する電極側案内板を有し、
前記電極側案内孔は、前記係止部の幅よりも長い孔径の第一案内孔と、前記第一案内孔と連通連結され、該係止部の幅よりも短く且つ棒状部材の幅よりも広い孔径を有する第二案内孔を有し、
前記接続体の表面には異方性導電シートが配置されていることを特徴とする検査用治具。
【請求項２】
一端が検査対象物上に設定される所定の検査点と導通接触する複数の検査用プローブと、前記複数の検査用プローブの他端と夫々導通接触する複数の電極部を有する接続体と、前記検査対象物と前記接続体との間に配置されるとともに前記検査用プローブを保持する保持体とからなる検査用治具であって、
前記検査用プローブは、導電性を有する細長い棒状部材と、該棒状部材の他端に接続されるとともに該棒状部材の径よりも幅広に形成される係止部を有し、
前記保持体は、前記検査用プローブの一端を前記検査点に案内する検査側案内孔を有する第一案内板と、前記検査用プローブの他端を前記電極部に案内する電極側案内孔を有する第二案内板を有し、
前記電極側案内孔は、前記係止部の幅よりも長い孔径の第一案内孔と、前記第一案内孔と連通連結され、該係止部の幅よりも短く且つ棒状部材の幅よりも広い孔径を有する第二案内孔を有し、
前記保持体は、前記第一案内孔内に同軸上に収容されるとともに、該第二案内孔よりも幅広の内径を有するばね部を備えることを特徴とする検査用治具。
【請求項３】
前記係止部は、略球形状に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の検査用治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検査物の検査対象部上に予め設定される検査点とこの検査を実施する検査装置とを電気的に接続する検査用治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
検査用プローブが取り付けられる検査用治具は、この検査用プローブを経由して、被検査物が有する検査対象部に、検査装置から電流或いは電気信号を所定検査点に供給するとともに、検査対象部から電気信号を検出することによって、検査対象部の電気的特性の検出、動作試験の実施等をする。
【０００３】
被検査物としては、例えば、プリント配線基板、フレキシブル基板、セラミック多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板や、半導体ウェハや半導体チップやCSP(Chip size package)などの半導体装置が該当する。
【０００４】
被検査物が例えば基板であり、それに搭載されるものがＩＣ等の半導体回路や抵抗器やコンデンサなどの電気・電子部品の場合には、基板に形成された検査対象部が配線や電極になる。その場合には、検査対象部の配線が、それらに電気信号を正確に伝達できることを保証するために、電気・電子部品を実装する前のプリント配線基板、液晶パネルやプラズマディスプレイパネルの配線が形成された回路基板に設けられた検査点間の抵抗値やリーク電流等の電気的特性を測定し、その測定結果に基づいて、その配線の良否を判断している。
【０００５】
ここで、例えば特許文献１に開示される印刷配線基板検査用装置は、検査用接触子と、被検査基板と検査用接触子を接続するためのアダプターピンと、アダプターピンを保持する保持手段を備える。アダプターピンの一方の端部には球状体に形成された頭部を備え、他方の端部には印刷配線基板の検査用接触部と接続する接触端部を備える。そのアダプターピンの頭部には、検査接触子から突出する接触先端部が当接しており、接触先端部はスプリングによって突出する方向に付勢されている。
【０００６】
しかしながら、特許文献１に示される基板検査用装置では、アダプターピンの両端部をそれぞれ検査接触子の接触先端部及び基板の検査用接触部と適切に接触させるために、アダプターピンとは別体の検査接触子にスプリングを設けてある。そのため、検査用プローブとしては、アダプターピン及び検査接触子を必要とするとともに検査接触子の接触先端部をアダプターピンの頭部に当接させる必要があり、部品点数及び組立工数が多くなっている。また、部品点数が多いため、部品同士の接触部分も多くなっている。
また、検査接触子は微細である為、その製造及び組立を比較的容易にする必要がある。更に検査接触子と電極部との接触抵抗値の問題から検査接触子を安定して電極部と接触させる必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開昭６０−１１４７７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで、本発明は、部品点数及び組立工数を減少させ、電極部と安定して接触することのできる検査用治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１記載の発明は、一端が検査対象物上に設定される所定の検査点と導通接触する複数の検査用プローブと、前記複数の検査用プローブの他端と夫々導通接触する複数の電極部を有する接続体と、前記検査対象物と前記接続体との間に配置されるとともに前記検査用プローブを保持する保持体とからなる検査用治具であって、前記検査用プローブは、導電性を有する細長い棒状部材と、該棒状部材の他端に接続されるとともに該棒状部材の径よりも幅広に形成される係止部を有し、前記保持体は、前記検査用プローブの一端を前記検査点に案内する検査側案内孔を有する検査側案内板と、前記検査用プローブの他端を前記電極部に案内する電極側案内孔を有する電極側案内板を有し、前記電極側案内孔は、前記係止部の幅よりも長い孔径の第一案内孔と、前記第一案内孔と連通連結され、該係止部の幅よりも短く且つ棒状部材の幅よりも広い孔径を有する第二案内孔を有し、前記接続体の表面には異方性導電シートが配置されていることを特徴とする検査用治具を提供する。
請求項２記載の発明は、一端が検査対象物上に設定される所定の検査点と導通接触する複数の検査用プローブと、前記複数の検査用プローブの他端と夫々導通接触する複数の電極部を有する接続体と、前記検査対象物と前記接続体との間に配置されるとともに前記検査用プローブを保持する保持体とからなる検査用治具であって、前記検査用プローブは、導電性を有する細長い棒状部材と、該棒状部材の他端に接続されるとともに該棒状部材の径よりも幅広に形成される係止部を有し、前記保持体は、前記検査用プローブの一端を前記検査点に案内する検査側案内孔を有する第一案内板と、前記検査用プローブの他端を前記電極部に案内する電極側案内孔を有する第二案内板を有し、前記電極側案内孔は、前記係止部の幅よりも長い孔径の第一案内孔と、前記第一案内孔と連通連結され、該係止部の幅よりも短く且つ棒状部材の幅よりも広い孔径を有する第二案内孔を有し、前記保持体は、前記第一案内孔内に同軸上に収容されるとともに、該第二案内孔よりも幅広の内径を有するばね部を備えることを特徴とする検査用治具を提供する。
請求項３記載の発明は、前記係止部は、略球形状に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の検査用治具を提供する。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１記載の発明によれば、検査用プローブの他端に係止部を形成し、接続体の表面に異方性導電シートを備えているので、検査用プローブの係止部が異方性導電シートの表面に圧接された該シートの部位が弾性変形して、所定の電極部と検査用プローブが導通接続状態となる。また、検査用プローブの係止部が異方性導電シートを押圧している状態となることから、該シートの当接部位と係止部が絶えず圧接して導通接続されることになるので、これら部材が安定して導通接続することになる。
請求項２記載の発明によれば、検査用プローブの他端に係止部を形成し、接続体と保持体を接続した際に、電極部が係止部を圧接するにともないばね部が収縮することになり、係止部と電極部が安定して導通接続することになる。
請求項３記載の発明によれば、検査用プローブの係止部が略球形状を有しているので、係止部と、異方性導電シート又はばね部がその球面に応じるように変形することになり、より安定して導通接続することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係る検査用治具の概略の構成を示す側面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る検査用プローブの側面図である。
【図３】保持体の一実施形態を示しており、（ａ）は保持体そのものの断面図を示し、（ｂ）は保持体に検査用プローブが保持された状態を示す断面図を示す。尚、検査用プローブは側面図として示している。
【図４】接続体の一実施形態を示しており、（ａ）は接続体そのものの断面図を示し、（ｂ）は接続体に保持体を組み付けた場合の断面図を示す。尚、検査用プローブは側面図として示している。
【図５】本発明の第二実施形態の検査用治具の一実施形態を示し、（ａ）は保持体に検査用プローブが保持されている状態を示す断面図であり、（ｂ）は接続体に保持体を組み付けた場合の断面図を示す。尚、検査用プローブは側面図として示している。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１は、本発明に係る検査用治具１の一実施形態の概略の構成を示す側面図である。図１においては、図面の簡略化の為に三本の検査用プローブ２を示しているが、これらは三本に限られず、検査対象に設定される検査点に応じて本数が決定される。
検査用治具１は、複数の検査用プローブ２と、これら複数の検査用プローブ２を保持する保持体３と、複数の電極部４１を有する接続体４と、接続体４を支持する支柱部５と、電極部４１から延設されて検査装置（図示せず）と電極部４１を電気的に接続する導線部６と、複数の検査用プローブ２や保持体３や接続体４や支柱部５などの土台となる土台部７と、検査装置と導線部６を接続するコネクタ部８を有してなる。
尚、支柱部５の長さは、検査用治具１の高さを調整することになるが、その高さは検査装置の大きさに応じて適宜変更される。導線部６は土台部７の裏側面から突出するように配置されるコネクタ部８に接続されており、コネクタ部８が裏面側からの突出により検査装置と電気的に接続することができるように配置されている。土台部７は、板状部材で形成されることもできるが、特に限定されるものではなく、検査装置に合わせて適宜、その大きさなどの寸法が調整されることになる。コネクタ部８は、導線部６の数に応じて適宜調整され、図１では３つのコネクタ部８が示されている。
【００１３】
検査用プローブ２は、一端が検査対象物上に設定される所定の検査点に導通接続され、他端が後述する電極部４１に接続される。図２は、検査用プローブ２の一実施形態を示す側面図である。この検査用プローブ２は、棒状部材２１と係止部２２を有してなる。
棒状部材２１は、所定長さを有する導電性を有する細長い円柱形状に形成されている。この棒状部材２１は、その先端２１ａが検査点に導通接触し、その後端２１ｂが後述する係止部２２に接続される。棒状部材２１は、可撓性を有する部材により形成されており、検査用プローブ２が保持体３に保持される際に、僅かに湾曲して保持されることができる。このように検査用プローブ２が湾曲して保持されるので、検査用プローブ２の両端には検査用プローブ２の復元力により押圧力が生じることになる。
この棒状部材２１の素材としては、例えば、タングステン、ベリリウム銅やニッケル若しくはそれらの合金などを用いることができる。
【００１４】
この棒状部材２１は、絶縁被覆２３が形成されていることが好ましい。検査用プローブ２は湾曲形状にて保持体３に保持されるので、隣接する検査用プローブ２との短絡を防止することができる。この絶縁被覆２３の素材として、ウレタンやフッ素化樹脂（ポリプロピレン（polypropylene）やポリテトラフルオロエチレン（PTFE））などを用いることができる。
【００１５】
図２で示される検査用プローブ２の先端２１ａは、先鋭形状に形成されているが、特に限定されるものではなく、例えば、平坦形状、王冠形状、円錐形状や円筒形状に形成することができる。
【００１６】
係止部２２は、棒状部材２１の他端２１ｂに接続されるとともに、棒状部材２１の径よりも幅広に形成される。係止部２２は、後述する電極側案内板３１の電極側案内孔３１ｈの孔径よりも小さく、且つ、電極側案内板３１の第二案内孔３１ｈ２の孔径より大きく形成される。
この係止部２２は、図２で示される如く、棒状部材２１の径よりも大きい直径を有する球形状に形成されることが好ましい。係止部２２が球形状に形成されることにより、検査用プローブ２が湾曲しても、後述する異方性導電シート４３やばね部３３ａと導通接触する係止部２２の接触面を一定にすることができ、安定した導通接触状態を提供することができる。
【００１７】
この係止部２２は、棒状部材２１と一体的に形成されることが好ましい。例えば、この係止部２２の製造方法は、棒状部材２１の他端にレーザ光を照射して、棒状部材２１を融解して形成することもできる。このように製造することによって係止部２２を棒状部材２１と一体的に形成することができる。
【００１８】
図３は、保持体の一実施形態を示しており、（ａ）は保持体そのものの断面図を示し、（ｂ）は保持体に検査用プローブが保持された状態を示す断面図を示す。
保持体３は、検査対象物と接続体４との間に配置されるとともに複数の検査用プローブ２を保持する。この保持体３は、電極側案内板３１と検査側案内板３２を有している。
電極側案内板３１や検査側案内板３２は、絶縁素材により形成される。電極側案内板３１と検査側案内板３２は、所定間隔を有して配置されており、この電極側案内板３１と検査側案内板３２の間の空間で、検査用プローブ２が湾曲状態となる。
【００１９】
検査側案内板３２は、検査用プローブ２の一端を検査点に案内する検査側案内孔３２ｈを有している。この検査側案内板３２は、一枚又は複数枚の板状部材から形成されることができ、図３の実施形態では二枚の板状部材（検査側上板状部材３２１，検査側下板状部材３２２）から形成され、検査側下板状部材３２２が検査用プローブ２の先端２１ａを検査点に案内することになる。
【００２０】
検査側板状部材３２は、検査側上板状部材３２１と検査側下板状部材３２２が積層されて形成されている。検査側板状部材３２には、検査側案内孔３２ｈが形成されている。この検査側案内孔３２ｈは、検査側上板状部材３２１に第一検査側案内孔３２ｈ１と第二検査側案内孔３２ｈ２が設けられ、検査側下板状部材３２２に第三検査側案内孔３２ｈ３と第四検査側案内孔３２ｈ４が設けられることにより形成されている。
これら第一乃至第四検査案内孔３２ｈ１乃至３２ｈ４は、同軸上に連通連結して配置されてなり、第四検査案内孔３２ｈ４が検査用プローブ２の先端２１ａを検査点に案内することになる。
【００２１】
第一検査案内孔３２ｈ１と第四検査案内孔３２ｈ４は、検査用プローブ２の棒状部材２１の径よりも僅かに大きい径を有するように形成されている。第一検査案内孔３２ｈ１と第四検査案内孔３２ｈ４は、検査用プローブ２の絶縁被覆２３の径よりも小さい径を有することが好ましい。このように形成されることにより、電極側板状部材３１の電極側案内孔３２ｈから検査用プローブ２を挿入して、保持体３に取り付ける場合に、検査点側への検査用プローブ２の突出量を調整することができる。
第二検査案内孔３２ｈ２と第三検査案内孔３２ｈ３は、第一検査案内孔３２ｈ１又は第四検査案内孔３２ｈ４の径よりも大きい径を有するように形成されている。このように各案内孔が形成されることにより、検査用プローブ２を検査点に好適に案内することができるようになる。
【００２２】
電極側板状部材３１は、検査用プローブ２の他端を電極部４１に案内する電極側案内孔３１ｈを有している。この電極側案内板３１は、一枚又は複数枚の板状部材から形成されることができ、図３の実施形態では三枚の板状部材（電極側上板状部材３１１，電極側中板状部材３１２，電極側下板状部材３１３）から形成され、電極側上板状部材３１１が検査用プローブ２の係止部２２を電極部４１に案内することになる。
【００２３】
電極側板状部材３１は、電極側上板状部材３１１、電極側中板状部材３１２と電極側下板状部材３１３が積層されて形成されている。電極側板状部材３１には、電極側案内孔３１ｈが形成され、この電極部案内孔３１ｈにより検査用プローブ２の他端（係止部２２）を電極部４１へ案内することになる。
この電極側案内孔３１ｈは、第一案内孔３１ｈ１と第二案内孔３１ｈ２が連通連結して形成されている。第一案内孔３１ｈ１は電極側上板状部材３１１に形成され、第二案内孔３１ｈ２は電極側中板状部材３１２と電極側下板状部材３１３に形成されている。
【００２４】
第一案内孔３１ｈ１は、電極側上板状部材３１１に形成されており、検査用プローブ２の係止部２２の幅よりも僅かに長い孔径を有している。このため、係止部２２を第一案内孔３１ｈ１に収容することができる。尚、この第一案内孔３１ｈ１の深さ（電極側上板状部材３１１の厚み）は、係止部２２の高さよりも短く形成される。このように形成されることによって、検査用プローブ２が保持体３に保持された際に、電極側上板状部材３１１表面から係止部２２が突出して配置されることになる。このように係止部２２が突出して配置されることにより、保持体３を接続体４に装着した際に、異方性導電シート４３やばね部３３ａを圧接することができるようになる。
【００２５】
第二案内孔３１ｈ２は、第一案内孔３１ｈ１と連通連結され、係止部２２の幅よりも短く且つ棒状部材２１の幅よりも広い孔径を有して形成される。図３（ａ）で示される実施形態では、第二案内孔３１ｈ２が電極側中板状部材３１２と電極側下板部材３１３に形成されている。この実施形態では、第二案内孔３１ｈ２が、第一電極側案内孔３１ｈ２１、第二電極側案内孔３１ｈ２２、第三電極側案内孔３１ｈ２３と第四電極側案内孔３１ｈ２４から形成されている。
第一電極側案内孔３１ｈ２１は、電極側中板状部材３１２に形成される。この第一電極側案内孔３１ｈ２１は、検査用プローブ２の絶縁被覆２３の外径よりも僅かに広い孔径を有するように形成される。
第二電極側案内孔３１ｈ２２は、電極側中板状部材３１２に形成される。この第二電極側案内孔３１ｈ２２は、第一電極側案内孔３１ｈ２１と同軸上に配置されて連通連結されるとともに、第一電極側案内孔３１ｈ２１よりも大きい孔径を有するように形成される。
【００２６】
第三電極側案内孔３１ｈ２３は、電極側下板状部材３１３に形成される。この第三電極側案内孔３１ｈ２３は、第二電極側案内孔３１ｈ２２と同じ孔径を有するように形成されるとともに連通連結されている。
第四電極側案内孔３１ｈ２４は、電極側下板状部材３１３に形成される。この第四電極側案内孔３１ｈ２４は、第一電極側案内孔３１ｈ２１と同じ孔径を有するように形成され、第三電極側案内孔３１ｈ２３と同軸上に配置されて連通連結されている。
【００２７】
第一電極側案内孔３１ｈ２１及び第二電極側案内孔３１ｈ２２と、第三電極側案内孔３１ｈ２３及び第四電極側案内孔３１ｈ２４は、上記の如き夫々同軸上に配置されるが、第一電極側案内孔３１ｈ２１と第二電極側案内孔３１ｈ２２の軸と、第三電極側案内孔３１ｈ２３と第四電極側案内孔３１ｈ２４の軸は、いずれかの方向にずれて配置されている（図３（ａ）では紙面左方向）。このため、第二案内孔３１ｈ２は、電極側案内板３１の表面に対して傾斜する貫通孔が形成されることになる。さらにまた、上記の如く、電極側案内孔３１ｈが板状部材表面に対して傾斜方向に貫通孔が形成され、この傾斜の延長線と検査側板状部材３２（又は検査側上板状部材３２１）とが交わった部分に、第一検査側案内孔３２ｈ１が形成される。
このように配置されることにより、検査用プローブ２を保持体３に装着させる際に、検査用プローブ２の先端２１ａを第一案内孔３１ｈ１、第一電極側案内孔３１ｈ２１、第二電極側案内孔３１ｈ２２、第三電極側案内孔３１ｈ２３と第四電極側案内孔３１ｈ２４の順番で挿入することになり、検査用プローブ２が傾斜して電極側板状部材３１に収容され、更に、検査側板状部材３２に到達した検査用プローブ２の先端２１ａは、第一検査側案内孔３２ｈ１、第二検査側案内孔３２ｈ２、第三検査側案内孔３２ｈ３と第四検査側案内孔３２ｈ４を通過して、検査側板状部材３２に対して直角方向に収容されることになる。このため、検査用プローブ２は、湾曲状態で保持体３に保持されることになる。
【００２８】
検査側板状部材３２や電極側板状部材３１を形成する各板状部材は、上記の電極側上板状部材３１１を除いて、その厚みは適宜設定される。これらの各板状部材の厚みが調整されることによって、保持体３の大きさなどが調整されることになる。
図３（ｂ）で示される実施形態では、検査用プローブ２の絶縁被覆２３は、第一案内孔３１ｈ１と第二案内孔３１ｈ２（又は第一電極側案内孔３１ｈ２１）の境界付近（図３（ａ）では第一電極側案内孔３１ｈ２１内）から、検査側板状部材３２の検査側案内孔３２ｈの手前まで形成されている。
【００２９】
図４は、接続体の一実施形態を示し、（ａ）は接続体そのものの断面図を示し、（ｂ）は接続体に保持体を組み付けた状態を示す断面図を示す。但し、検査用プローブ２は説明の都合上側面図で示している。
接続体４は、複数の検査用プローブ２の他端と夫々導通接触する複数の電極部４１と、これら電極部４１を保持する絶縁素材から形成される電極保持部４２と、電極保持部４２に積層構造を有して配置される異方性導電シート４３を有してなる。
電極部４１は、その一端が検査用プローブ２の係止部２２と導通接続されるとともに、他端が検査装置（図示せず）と導通接続される。この電極部４１は、電気信号の伝送路となる導電性の導線４１１と、この導線４１１を同軸上に被覆する絶縁素材から形成される導線被覆部４１２を備えてなる。この電極部４１は、後述する電極保持部４２に貫通孔が形成され、この貫通孔に貫通挿入され、その端面がこの電極保持部４２と面一となるように形成されている。このため、導線４１１の端面が電極部４１の接続面となる。
【００３０】
電極保持部４２は、複数の電極部４１を保持する部材として形成される。この電極保持部４２は絶縁素材により板状部材に形成され、この板状部材に電極部４１を保持するための貫通孔が形成されてなる。
【００３１】
異方性導電シート４３は、電極部４１の接触面が形成される電極保持部４２の表面に沿って配置される。この異方性導電シート４３は、樹脂などの絶縁素材に導電性を有する微細な金属粒子を混ぜ合わせてシート状に成型している。このため、この異方性導電シート４３は、押圧力がかかるとシート内に分散している金属粒子が接触しながら重なり、やがて押し付けられることで導電する経路を形成することになる。また一方で、押圧力がかからなかったシート部にある粒子は絶縁性を保持しているため、シート部の絶縁は保持されることになる。すなわち、この異方性導電シート４３の押圧部では導電性が確保され、非押圧部では絶縁性が確保されることになる。
【００３２】
この異方性導電シート４３は弾性を有している。このため、異方性導電シート４３が押圧力を受けるとこの力に応じた反発力（弾性変形による復元力）を生じることになる。この異方性導電シート４３を用いることにより、係止部２２は絶えずこの異方性導電シート４３に圧接されることになるので、係止部２２と異方性導電シート４３が相互に押圧される状態で保持されることになる。このため、実際に複数枚の基板の検査が実施されても、検査用プローブ２と電極部４１は非接触状態となることなく、安定的に導通接続状態を維持することができるようになる。つまり、検査用プローブ２と電極部４１が常時安定した接続を維持することができる。
【００３３】
この異方性導電シート４３の厚みは特に限定されないが、少なくとも、電極側板状部材３１の第一案内孔３１ｈから突出される係止部２２による押圧を受けて変形し、電極側板状部材３１と異方性導電シート４３が圧接されることができる厚みを有することが好ましい。この程度の厚みを有することにより、係止部２２の突出量に応じて異方性導電シート４３が確実に押圧変形することができ、その押圧変形に応じて、検査用プローブ２の係止部２２と電極部４１が確実に導通することができるようになるからである。
【００３４】
支柱部５は、接続体４を支持する（図１参照）。この図１の実施形態では、接続体４の四隅に夫々支柱部５が形成され、接続体４を支えている。
導線部６は、接続体４の電極部４１から延設され、検査装置に接続される後述するコネクタ部８に接続される。
土台部７は、複数の検査用プローブ２や保持体３や接続体４や支柱部５などの土台として形成される。この土台部７は検査装置に応じてその形状や寸法が決定される。
コネクタ部８は、導線部６の他端に接続され、検査装置と電気的に接続することを可能にする。このコネクタ部８は、土台部７の裏面側から突出するように形成されている。
以上が本発明の第一実施形態の検査用治具の構成の説明である。
【００３５】
次に、第一実施形態の検査用治具の組立てについて説明する。
まず、図２で示される如き検査用プローブ２を準備する。このような検査用プローブ２は、例えば、絶縁被覆された導電性を有する所定長を有する棒状部材を準備し、この棒状部材の一端をレーザ溶融して、そのまま球形状を形成するようにして製造することができる。尚、この場合、検査用プローブ２の他端が検査点に接触する先端２１ａとなるため、この他端を先鋭形状などの形状に加工したり、金めっきを施すなどの処理を施したりすることもできる。
【００３６】
次に、保持体３や接続体４を準備する。
保持体３を製造するために、検査側板状部材３１と電極側板状部材３２を形成するための複数の板状部材を用意し、夫々の板状部材に所望の貫通孔（案内孔）を有するように加工する。夫々の板状部材の貫通孔の形成が終了すると、上記の如く、各板状部材に形成される貫通孔を各板状部材に形成される貫通孔と対応するように積層させる。このようにして、図３（ａ）に示される保持体３を形成する。尚、このとき、電極側板状部材３１の第二案内孔３２ｈは、電極側上板状部材３１２と電極側下板状部材３１３に夫々形成される第一乃至第四電極側案内孔３１ｈ２１,３１ｈ２２，３１ｈ２３，３１ｈ２４により形成され、電極側板状部材３１の表面に対して傾斜方向に配置される。また、検査側板状部材３２には検査側案内孔３２ｈが形成されており、この検査側案内孔３２ｈは電極側案内孔３１ｈの傾斜方向に位置するように配置されている。
【００３７】
保持体３が形成されると、検査用プローブ２をこの保持体３に取り付ける。検査用プローブ２の先端２１ａを保持体３の電極側案内孔３１ｈに挿入して貫通させ、第一案内孔３１ｈ１に係止部２２が配置するよう挿入する。このとき、検査用プローブ２は、電極側板状部材３１に傾斜して保持されるが、検査側板状部材３２に対しては略直角となるように保持されていることになる。
【００３８】
次に、検査用プローブ２が保持体３に保持されると、保持体３を接続体４に取り付ける。この場合、検査用プローブ２の係止部２２が対応する電極部４１に対向配置されるように位置決めして電極側上板状部材３１１を異方性導電シート４３に圧接する。このとき、保持体３から検査用プローブ２の係止部２２が所定量突出されおり、この係止部２２の突出部が異方性導電シート４３を押圧して変形させることになる。つまり、検査用プローブ２の係止部２２が配置される部位では、異方性導電シート４３が押圧変形されて、係止部２２と電極部４１が異方性導電シート４３を介して導通状態となる。
以上が、本発明にかかる検査用治具１の組立て方法である。
【００３９】
次に、本発明にかかる第二実施形態の検査用治具１ａについて説明する。
図５は、第二実施形態の検査用治具を示しており、（ａ）は保持体に検査用プローブが保持されている状態を示す断面図であり、（ｂ）は検査用治具として組み立てられた状態を示す断面図である。但し、説明の都合上、検査用プローブは側面図として示されている。
この第二実施形態の検査用治具１ａは、第一実施形態の検査用治具１と比較すると、異方性導電シート４３を用いず、この異方性導電シート４３の変わりにばね部３３ａを用いることが大きく相違している。
【００４０】
この第二実施形態の検査用治具１ａについて説明する。尚、この検査用治具１ａの構成と、第一実施形態の検査用治具１の構成とが、同一の場合には説明を省略し、相違する構成を中心に説明する。
【００４１】
検査用治具１ａの保持体３ａは、ばね部３３ａと電極側上板状部材３１１ａを有している。このばね部３３ａは、電極側中板状部材３１２の第一電極側案内孔３１ｈ２１の孔径より大きい外径を有するばねが用いられ、且つ、このばね部３３ａは、係止部２２の幅よりも小さい内径を有するばねが用いられる。このようにばね部３３ａを用いることにより、電極側中板状部材３１２の表面で第一電極側案内孔３１ｈ２１と略同軸上にばね部３３ａを配置することができるとともに、検査用プローブ２が、ばね部３３ａと係止部２２で係止されることになる。
【００４２】
電極側上板状部材３１１ａは、電極側中板状部材３１２と積層するように配置され、第一電極側案内孔３１ｈ２１と略同軸上に配置される第一案内孔３１ｈ１ａを有している。この第一案内孔３１ｈ１ａは、図５（ａ）で示される如く、係止部２２の幅よりも大きい孔径を有するとともに、ばね部３３ａの高さ（長軸方向の長さ）よりも長い深さを有するように形成されている。また、検査用プローブ２をばね部３３ａに挿入して装着した際に、係止部２２とばね部３３ａの長さがこの第一案内孔３１ｈ１ａから僅かに突出するように形成されている。このため、図５（ａ）で示される如く、電極側上板状部材３１１ａの第一案内孔３１ｈ１ａから僅かに係止部２２が突出することになる。
【００４３】
上記の如き検査用プローブ２が装着された保持体３ａは、接続体４ａに組み付けられる。保持体３ａと接続体４ａが組み付けられる前には、検査用プローブ２の係止部２２が第一案内孔３１ｈ１ａから突出して配置されているが、保持体３ａと接続体４ａが組み付けられた後には、係止部２２が電極部４１（又は導線４１１の接続端面）に圧接されることになる。このとき、ばね部３３ａはこの係止部２２の圧接により収縮されることになり、保持体３ａと接続体４ａを組み立てる場合には、常時、係止部２２と電極部４１が圧接されることになる。このため、実際に複数枚の基板の検査が実施されても、検査用プローブ２と電極部４１は非接触状態になることなく、安定的に導通接続状態を維持することができるようになる。つまり、検査用プローブ２と電極部４１が常時安定した接続を維持することができる。
以上が本発明の第二実施形態の検査用治具１ａの構成の説明である。
【００４４】
この第二実施形態の検査用治具１ａを組み立てる場合には、基本的には第一実施形態の検査用治具１の組立てと同様であり、保持体３ａの第一案内孔３１１ａにばね部３３ａが略同軸となるように配置され、このばね部３３ａに貫通するように検査用プローブ２を貫通挿通させて、保持体３ａに検査用プローブ２を保持させる。そして、保持体３ａを接続体４ａに接続する。このとき、上記の如きばね部３３ａが電極部４１からの押圧により収縮することになり、係止部２２と電極部４１が圧接状態となる。このように検査用治具１ａが組み立てられることになる。
以上が本発明の検査用治具の説明である。
【符号の説明】
【００４５】
１・・・・・検査用治具
１ａ・・・・検査用治具（第二実施形態の検査用治具）
２・・・・・検査用プローブ
２２・・・・係止部
３・・・・・保持体
３１・・・・電極側板状部材
３１ｈ・・・電極側案内孔
３１ｈ１・・第一案内孔
３１ｈ２・・第二案内孔
３１ａ・・・電極側板状部材（第二実施形態）
３１ｈ１ａ・第一案内孔（第二実施形態）
３２・・・・検査側板状部材
３３ａ・・・ばね部
４・・・・・接続体
４１・・・・電極部
４ａ・・・・接続体（第二実施形態）
４３・・・・異方性導電シート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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