(57)【要約】【課題】  流路ユニットの四隅における応力の集中を緩和してノズルプレートの剥離を有効に防止することができる液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】液体が噴射されるノズル開口４７を有するノズルプレート４８と、内部に充填されている前記液体に圧力変化が発生され、前記ノズル開口を介して前記液体を噴射させる圧力発生室４２が形成されている流路基板４０とを有する矩形の流路ユニット５と、前記圧力発生室に圧力を発生させるための圧電素子１１とを具備し、前記流路ユニットの４箇所の各角部が面取りされた面取り部４０ａ，４６ａ，４８ａとなっている。【選択図】  図１
2011212873.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が噴射されるノズル開口を有するノズルプレートと、内部に充填されている前記液
体に圧力変化が発生され、前記ノズル開口を介して前記液体を噴射させる圧力発生室が形
成されている流路基板とを有する矩形の流路ユニットと、
前記圧力発生室に圧力を発生させるための圧力発生手段とを具備し、
前記流路ユニットの４箇所の各角部が面取りされた面取り部となっていることを特徴と
する液体噴射ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記流路ユニットの前記ノズルプレートの反対側には矩形のヘッドケースが固着されて
おり、前記ヘッドケースにおける４箇所の角部が面取りされ、前記流路ユニットの面取り
部と面一となった面取り部が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記ノズルプレートと、前記流路基板との長手方向の両端部で、且つ短手方向の中央部
に位置決め用の孔を設けたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドを二個以上備えたことを
特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
【請求項５】
請求項４に記載する液体噴射ヘッドユニットを有することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置に関し、特にワイ
ピング装置を搭載する液体噴射ヘッド装置に適用して有用なものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置は、例えば、圧電素子や発熱素子
によりインク滴吐出のための圧力を発生させる複数の圧力発生室と、各圧力発生室にイン
クを供給する共通のリザーバーと、各圧力発生室に連通するノズル開口とを備えたインク
ジェット式記録ヘッドを具備している。そして、印字信号に対応するノズルと連通した圧
力発生室内に圧力を付与することによりノズル開口からインク滴を吐出させる。このよう
なインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、圧力発生手段として圧力発生室内に駆
動信号によりジュール熱を発生する抵抗線を設けたタイプのものや、圧力発生室の一部を
振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させてノズル開口からインク滴を吐出
させるタイプのもの等が挙げられる。
【０００３】
また、このようなインクジェット式の記録ヘッドは、ノズル開口からインク滴を記録媒
体上に吐出しているため、ノズル開口近傍の周縁部にインクが付着することにより、また
付着したインクが固化することにより、例えば、インク滴の吐出方向が安定しない等の吐
出不良が発生するという問題がある。
【０００４】
このような問題を解決するために、例えば、記録ヘッドのノズル開口面を封止してイン
クの乾燥を防止するためのキャッピング手段と共に、ノズル開口が穿設されたノズルプレ
ートの表面に摺接してクリーニングするクリーニング手段を備えたインクジェット式記録
装置がある。このクリーニング手段は、具体的には、例えば、ゴム板からなるワイピング
材と、不織布等で形成されたラビング材とが一体的に積層形成されたブレードである。そ
して、記録ヘッドが搭載されたキャリッジの一方向への移動によってワイピング材がノズ
ルプレートの表面に接触することにより、ノズルプレート表面のインクカスや紙粉が掻き
取られて除去される。また、キャリッジの反対方向への移動によってラビング材がノズル
プレートの表面に接触することにより、ノズルプレートの表面に付着しているインク等が
吸収されるようになっている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１２７４１７号公報
【特許文献２】特開２００８−１７９０５０号公報
【発明の概要】
【０００６】
従来技術に係る記録ヘッドは一般に矩形に形成されており、ノズルプレートも矩形に形
成され、このノズルプレートが、例えば圧力発生室が形成されている矩形の流路基板に接
着材で固着されている。このため、上述の如きワイピング材によるワイピングの際、ノズ
ルプレートが移動しつつワイピング材に接触することによりノズルプレートの角部に応力
が集中し、かかる応力集中によりノズルプレートの特に角部に剥がれを生起する場合があ
った。
【０００７】
また、一般に前記流路基板は、結晶性基材の一種である円形のシリコンウェハーを異方
性エッチング処理することによって作製されている。この場合、シリコンウェハーは、例
えば、表面が結晶方位面（１１０）面に設定されたシリコン単結晶基板であり、その表面
上に矩形の流路基板となる基板領域が、切断予定線によって複数区画されている。ここで
、切断予定線上には、同じく異方性エッチングによって小さな貫通孔が複数穿設されてブ
レイクパターンが形成されている。このブレイクパターンが形成されている部分は他の部
分よりも脆弱となっており、シリコンウェハーに外力を加えるとブレイクパターンの形成
部分が破断し、個々の流路基板に分割される。ここで、流路基板が矩形のままの場合には
、円形のシリコンウェハーにおいて最も外側に位置する基板領域における流路基板の角部
が、シリコンウェハーから突出してしまう場合がある。このため、流路基板の長辺（ノズ
ル開口の列方向と平行な方向の辺）側における２個の角隅部を切り欠いて略矩形状に形成
したものも提案されている（例えば特許文献２参照）。
【０００８】
ところが、特許文献２に開示する場合、ノズルプレートには流路基板に形成したような
切り欠きは形成されていない。これは、特許文献２に開示する技術が、流路基板のシリコ
ンウェハーからの取り数を可及的に増大させることを目的として流路基板に切り欠き部を
形成したものであるためである。
【０００９】
したがって、特許文献２の場合も、ワイピングの際のノズルプレートのワイピング部材
に対する引っかかりを防止することはできず、ノズルプレートの剥離を有効に防止するこ
とはできない。
【００１０】
なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけでなく、
インク以外の液体を吐出する他の液体噴射ヘッドであっても発生する場合がある。
【００１１】
本発明は、上記従来技術に鑑み、流路ユニットの四隅における応力の集中を緩和してノ
ズルプレートの剥離を有効に防止することができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニ
ット及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体が噴射されるノズル開口を有するノズルプレ
ートと、内部に充填されている前記液体に圧力変化が発生され、前記ノズル開口を介して
前記液体を噴射させる圧力発生室が形成されている流路基板とを有する矩形の流路ユニッ
トと、前記圧力発生室に圧力を発生させるための圧力発生手段とを具備し、前記流路ユニ
ットの４箇所の各角部が面取りされた面取り部となっていることを特徴とする液体噴射ヘ
ッドにある。
本態様によれば、前記流路ユニットの４箇所の各角部が面取りされた面取り部となって
いるので、各角部での応力集中を緩和できる。したがって、当該液体噴射ヘッドをその移
動とともにワイピング材に当接させてもノズルプレートの各角部からの剥離を未然に防止
することができる。ここで、面取り部は四隅にそれぞれ形成されているので、一方向乃至
反対方向への移動に関係なく、同様の応力緩和機能の発揮によりノズルプレートの剥離を
防止することができる。したがって、ノズル面のクリーニングの際、当該液体噴射ヘッド
が左右方向に往復移動する場合でもその姿勢を変えることなく往復移動させることができ
る。
また、通常シリコンを材料とするため、円形のシリコンウェハー上に複数が一度に形成
される流路基板も面取り部によりその取り数を可及的に増大させることができる。
【００１３】
ここで、前記流路ユニットの前記ノズルプレートの反対側には矩形のヘッドケースが固
着されており、前記ヘッドケースにおける４箇所の角部が面取りされ、前記流路ユニット
の面取り部と面一となった面取り部が形成されていることが好ましい。ヘッドケースと流
路ユニットとは通常の両者の接合部に接着材を塗布することにより行っているが、ヘッド
ケースにも面取り部を形成したことにより、接合作業における接着材の塗布作業を容易に
行うことができる。
【００１４】
また、前記ノズルプレートと、前記流路基板との長手方向の両端部で、且つ短手方向の
中央部に位置決め用の孔を設けるのが望ましい。この場合には、ノズルプレート及び流路
ユニットの四隅に面取り部を形成した場合でも容易に位置決め用の孔を形成することがで
きるからである。
【００１５】
本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを二個以上備えたことを特徴とする液体噴射
ヘッドユニットにある。
本態様によれば、液体噴射ヘッドユニットとしても各ノズルプレートの剥離を防止して
、安定した印刷等の所定の処理に資することができる。
【００１６】
本態様の他の態様は、上記液体噴射ヘッドユニットを有することを特徴とする液体噴射
装置にある。
本態様によれば、ノズルプレートの角部の応力集中が緩和されているので、良好なワイ
ピングを適正に行うことで、長期に亘り安定した高品質の印刷等、所定の処理を行うこと
ができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施形態に係る記録ヘッドの分解斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る記録ヘッドの横断面図である。
【図３】流路基板を抽出・拡大して示す平面図である。
【図４】シリコンウェハーと流路基板との関係を示す説明図である。
【図５】本発明の実施形態に係る記録装置を示す概略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
図１は、本発明の実施形態に係る記録ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド
の分解斜視図、図２はその横断面図である。両図に示すように、本実施形態のインクジェ
ット式記録ヘッド１（以下、記録ヘッド１とも言う）は、一対の振動子ユニットである圧
電素子ユニット２と、圧電素子ユニット２を内部に収容可能な収容部３が設けられた樹脂
材料からなるヘッドケース４と、ヘッドケース４の先端面に接合された流路ユニット５と
を具備する。
【００１９】
圧電素子ユニット２は、複数の圧電素子１１がその幅方向に並設された列を形成してい
る圧電素子形成部材１３と、圧電素子形成部材１３の先端部（一端部）側が自由端となる
ようにその基端部（他端部）側が固定端として接合される固定板１４とを有する。圧電素
子形成部材１３は、圧電材料層と、圧電素子１１の２つの極を構成する内部電極、すなわ
ち、隣接する圧電素子１１と電気的に独立する個別電極を構成する個別内部電極と、隣接
する圧電素子１１と電気的に共通する共通電極を構成する共通内部電極とを交互に挟んで
積層することにより形成されている。この圧電素子形成部材１３には、例えば、ワイヤー
ソー等によって複数のスリット１８が形成され、その先端部側が櫛歯状に切り分けられて
圧電素子１１の列が形成されている。なお、圧電素子１１の列の両外側には、各圧電素子
１１よりも広い幅を有する位置決め部１９が設けられている。この位置決め部１９は、圧
電素子１１と同様に、圧電素子形成部材１３で形成されているが、実質的に駆動されない
非駆動振動子であり、圧電素子ユニット２を記録ヘッド１に組み込む際に、位置決め部１
９をヘッドケース４に設けられた収容部３の側面に当接させて、圧電素子ユニット２を高
精度に位置決めするためのものである。
【００２０】
流路ユニット５は流路基板４０、振動板４６及びノズルプレート４８を有する。流路基
板４０はシリコン単結晶基板からなり、その一方面側の表層部分には、複数の隔壁によっ
て画成された圧力室４２がその幅方向（短手方向）に並設されている。各圧力室４２の長
手方向一端部側には、各圧力室４２に液体の一例であるインクを供給するためのマニホー
ルド４４が液体供給路の一例であるインク供給路４５を介して連通されている。また、流
路基板４０の圧力室４２の開口面側は振動板４６で封止され、他方面側にはノズル開口４
７が穿設されたノズル形成部材の一例であるノズルプレート４８が接着剤や熱溶着フィル
ムを介して接着されている。
【００２１】
流路基板４０上に形成された振動板４６は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からな
る第１の部材である弾性膜４６ｃと、この弾性膜４６ｃを支持する、例えば、金属材料等
からなる第２の部材である支持板４６ｂとの複合板で形成されており、弾性膜４６ｃ側が
流路基板４０に接合されている。第１の部材である弾性膜４６ｃは、厚さが数μｍ程度の
ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）フィルムで、また第２の部材である支持板４６ｂ
は、厚さが数十μｍ程度のステンレス鋼板（ＳＵＳ）でそれぞれ好適に形成することがで
きる。
【００２２】
振動板４６の各圧力室４２に対向する領域内には、圧電素子１１の先端部が当接する島
部４９が設けられている。すなわち、振動板４６の各圧力室４２の周縁部に対向する領域
に他の領域よりも厚さの薄い薄肉部５０が形成され、この薄肉部５０の内側にそれぞれ突
出した島部４９が設けられている。このような島部４９には、上述した圧電素子ユニット
２の振動子である圧電素子１１の先端部が、例えば、接着剤等を介して固定される。
【００２３】
また、振動板４６のマニホールド４４に対向する領域には、第１の薄肉部５０及び第２
の薄肉部と同様に、支持板４６ｂがエッチングにより除去されて実質的に弾性膜４６ｃの
みで構成されるコンプライアンス部５４が設けられている。なお、このコンプライアンス
部５４は、マニホールド４４内に圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部５４の
弾性膜４６ｃが変形することによって圧力変化を吸収し、マニホールド４４内の圧力を常
に一定に保持する役割を果たす。
【００２４】
さらに、振動板４６上には、図示しない複数の液体貯留体の一例であるインクカートリ
ッジに接続される液体供給路の一例であるインク供給路を有するヘッドケース４が固定さ
れており、このヘッドケース４には、圧電素子ユニット２が高精度に位置決めされて固定
されている。具体的には、ヘッドケース４には厚さ方向に貫通した収容部３が設けられて
おり、この収容部３の一方の内面に圧電素子ユニット２が、各圧電素子１１の先端が振動
板４６上の各圧力室４２に対応する領域に設けられた各第１の島部４９（厚肉部）に接着
剤等を介して固定されている。
【００２５】
このような収容部３は、図１に示すように、固定板１４が固定される側に固定板１４の
幅よりも幅広に設けられた固定板保持部３ａと、圧電素子形成部材１３側に固定板保持部
３ａよりも幅狭で且つ圧電素子形成部材１３よりも若干幅広に設けられた圧電素子保持部
３ｂとを有する。なお、ここで言う幅は、圧電素子１１（圧力室４２）の並設方向のこと
である。また、図２に示すように、収容部３の固定板保持部３ａには、貫通方向において
振動板４６側が幅狭となるように段差部３ｃが設けられており、固定板１４は、圧電素子
１１が突出する端面が段差部３ｃに当接して固定される。
【００２６】
また、ヘッドケース４には、コンプライアンス部５４に対向する領域に開口する凹形状
を有するコンプライアンス空間５５が設けられている。このコンプライアンス空間５５に
よってコンプライアンス部５４は変形可能に保持される。
【００２７】
このようなヘッドケース４は、樹脂材料によって形成されている。また、ヘッドケース
４は、成形することで、低コストで製造することができると共に、容易に量産することが
できる。
【００２８】
図３は流路基板を抽出・拡大して示す平面図である。同図中、図１及び図２と同一部分
には同一番号を付し、重複する説明は省略する。図３に示すように、流路基板４０の四隅
は各角部が面取りされた４個の面取り部４０ａとなっている。この面取り部４０ａに合わ
せて、流路ユニット５を形成する他の部材である振動板４６及びノズルプレート４８の対
応する四隅も図１乃至図２に示すように面取り部４６ａ，４８ａとなっている。すなわち
、全体がほぼ矩形に形成された本形態における流路ユニット５は四隅が面取りされた面取
り部４０ａ，４６ａ，４８ａを有している。
【００２９】
かくして流路ユニット５、特にノズルプレート４８の角部における応力集中を緩和する
ことができ、ノズルプレート４８の流路基板４０からの剥離を有効に防止することができ
る。
【００３０】
さらに、本形態においては、ヘッドケース４における４箇所の角部も面取りされて、前
記流路ユニットの面取り部４０ａ，４６ａ，４８ａと面一となった面取り部４ａが形成さ
れている。このようにヘッドケース４に面取り部４ａを形成することは必須ではないが、
面取り部４ａを設けることにより、ヘッドケース４と流路ユニット５とを接合する接合作
業を円滑に行うことができる。すなわち、ヘッドケース４と流路ユニット５との接合は、
両者の接合部に接着材を塗布することにより行っているが、ヘッドケース４にも面取り部
４ａを形成することにより、ヘッドケース４の角部が面取り部４０ａ，４６ａ，４８ａか
ら突出することなく、面一となるので、接合作業における接着材の塗布作業を容易に行う
ことができる。
【００３１】
また、流路ユニット５の各部材である流路基板４０、振動板４６及びノズルプレート４
８を一体的に接合する際には、相互の位置合わせを行った後、接着材の塗布及び接合を行
う必要がある。かかる位置合わせに使用する位置決め孔４０ｂ，４６ｂ，４８ｂは、流路
基板４０、振動板４６及びノズルプレート４８の長手方向の両端部で、且つ短手方向の中
央部に２個ずつ設けてある。
【００３２】
かくして、所定の位置決めの際には治具（図示せず）に垂直に立てた位置決めピン（図
示せず）に位置決め孔４０ｂ，４６ｂ，４８ｂを挿入して流路基板４０、振動板４６及び
ノズルプレート４８を一体化する。このように、短手方向の中央部に位置決め孔４０ｂ，
４６ｂ，４８ｂを設けることで、流路ユニット５の四隅に面取り部を形成した場合でも容
易に位置決め孔４０ｂ，４６ｂ，４８ｂを形成することができる。位置決め孔４０ｂ，４
６ｂ，４８ｂの形成領域を容易に確保することができるからである。
【００３３】
図４はシリコンウェハーと流路基板との関係を示す説明図である。同図に示すように、
流路基板４０は四隅の角部が全て面取り部４０ａとなっているので、円形のシリコンウェ
ハー５１上に複数が一度に形成される流路基板４０も面取り部４０ａによりその取り数を
可及的に増大させることができる。このとき、流路基板４０は対称形状であるので配置方
向を考慮する必要もない。
【００３４】
以上、詳述したように本実施形態に係る記録ヘッド１では、インク滴を吐出する際に、
圧電素子１１及び振動板４６の変形によって各圧力室４２の容積を変化させて所定のノズ
ル開口４７からインク滴を吐出させるようになっている。具体的には、図示しないインク
カートリッジからヘッドケース４に設けられたインク導入孔５６を介してマニホールド４
４にインクが供給されると、インク供給路４５を介して各圧力室４２にインクが分配され
る。実際には、圧電素子１１に電圧を印加することにより圧電素子１１を収縮させる。こ
れにより、振動板４６が圧電素子１１と共に変形されて圧力室４２の容積が広げられ、圧
力室４２内にインクが引き込まれる。そして、ノズル開口４７に至るまで内部にインクを
満たした後、所定の記録信号に従い、圧電素子１１の電極（図示せず）に印加していた電
圧を解除する。これにより、圧電素子１１が伸張されて元の状態に戻ると共に振動板４６
も変位して元の状態に戻る。結果として圧力室４２の容積が収縮して圧力室４２内の圧力
が高まりノズル開口４７からインク滴が吐出される。
【００３５】
かかる記録ヘッド１は通常は２個以上が一体となって記録ヘッドユニットを構成してイ
ンクジェット式記録装置（以下、記録装置ともいう）に搭載される。図５はこの種の記録
装置の実施形態を示す概略斜視図である。同図に示すように、本実施形態に係る記録装置
６０は、インク滴を吐出する記録ヘッド１の複数個（本実施形態では５個）が一体となっ
て構成された記録ヘッドユニット６１がキャリッジ６２に固定され、このキャリッジ６２
には、ブラック（Ｂ）、シアン（Ｃ）、マゼンダ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）等の複数の異な
る色の顔料インクが貯留されたインクカートリッジ６３（６３Ｂ，６３Ｃ，６３Ｍ，６３
Ｙ）と、これらのインクとの反応性を有する反応液が貯留された反応液カートリッジ６４
とが着脱可能に搭載されている。
【００３６】
このようなインクカートリッジ６３等が搭載されたキャリッジ６２は、装置本体６５に
取り付けられたキャリッジ軸６６に軸方向移動自在に設けられている。そして、駆動モー
ター６７の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト６８を介してキャリッ
ジ６２に伝達されることで、キャリッジ６２はキャリッジ軸６６に沿って移動される。一
方、装置本体６５にはキャリッジ軸６６に沿ってプラテン６９が設けられており、図示し
ない給紙装置などにより給紙された紙等の被記録媒体Ｓがプラテン６９上を搬送されるよ
うになっている。
【００３７】
また、キャリッジ６２のホームポジションに対応する位置、すなわち、キャリッジ軸６
６の一方の端部近傍には、記録ヘッドユニット６１のノズル面を封止するキャップ部材７
０を有するキャッピング装置７１が設けられている。このキャップ部材７０によってノズ
ル面を封止することにより、インクの乾燥を防止している。また、このキャップ部材７０
は、フラッシング動作時のインク受けとしても機能する。
【００３８】
キャッピング装置７１に隣接して、記録ヘッドユニット６１のノズル面をクリーニング
するためのワイピングブレード８０が設けられている。そして、所定のタイミングでキャ
リッジ６２の移動により記録ヘッドユニット６１のノズル面にワイピングブレード８０の
先端部を摺接させ、ノズル面を払拭するクリーニング動作が実行される。
【００３９】
このワイピングブレード８０は、例えば、ゴム板等の弾性部材からなるワイピング材と
、ワイピング材の一方面に接着固定されたラビング材とで構成されている。また、ワイピ
ングブレード８０は、上下方向に移動可能な基台に固定され、クリーニング動作実行時に
この基台が記録ヘッドユニット６１側に移動することによって、ワイピングブレード８０
の先端部がノズル面に摺接されるようになっている。
【００４０】
したがって、クリーニング動作時にはノズル面がワイピングブレード８０に当接された
状態で図５中を左右方向に往復移動する。かかる移動に際し、記録ヘッドユニット６１を
構成している記録ヘッド１のノズルプレート４８を含む流路ユニット５の構成部材である
流路基板４０及び振動板４６（図２参照）はそれぞれの、４箇所の各角部が面取りされた
面取り部４０ａ，４６ａ，４８ａとなっている。この結果、各角部での応力集中を緩和で
きる。かくして、記録ヘッドユニットが６１がその移動とともにワイピングブレード８０
に摺接されてもノズルプレート４８の各角部からの剥離を未然に防止することができる。
ここで、面取り部は四隅にそれぞれ形成されているので、一方向乃至反対方向への移動に
関係なく、同様の応力緩和機能の発揮によりノズルプレート４８の剥離を防止することが
できる。したがって、ノズル面のクリーニングの際、当該記録ヘッドユニット６１が左右
方向に往復移動する場合でもその姿勢を変えることなく往復移動させることができる。
【００４１】
なお、上記実施形態では縦振動形の記録ヘッドに関して説明したが、記録ヘッドの形式
をこれに限定するものではない。上記実施形態のような縦振動型の他、例えば、たわみ振
動型の記録ヘッド、あるいは圧力発生室内に抵抗線を設けた電気熱変換式の記録ヘッド等
であっても構わない。何れの記録ヘッドでも、ノズルプレートを含む流路ユニットは有し
ており、この流路ユニットの四隅が面取り部となっていれば同様の効果を期待し得るから
である。
【００４２】
さらに、上記実施形態では、液体噴射装置としてインクを吐出する記録ヘッドを具備す
るインクジェット式記録装置を一例として説明したが、本発明は、広く液体噴射装置全般
を対象としたものである。インクジェット式記録装置以外の液体噴射装置としては、例え
ば、プリンター等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラー
フィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放
出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に
用いられる生体有機物噴射ヘッド、精密ピペットとしての試料噴射ヘッド等として利用可
能な液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置が挙げられる。
【符号の説明】
【００４３】
１  記録ヘッド、  ４  ヘッドケース、  ４ａ  面取り部、  ５  流路ユニット、  １
１  圧電素子、  ４０  流路基板、  ４０ａ，４６ａ，４ｆ８ａ  面取り部、  ４０ｂ，
４６ｂ，４８ｂ  位置決め孔、  ４２  圧力室、  ４６  振動板、  ４７  ノズル開口、
４８  ノズルプレート、  ５１  シリコンウェハー、  ６０  記録装置、  ６１  記録
ヘッドユニット、  ８０  ワイピングブレード
【図１】
2011212873.tif 000003
【図２】
2011212873.tif 000004
【図３】
2011212873.tif 000005
【図４】
2011212873.tif 000006
【図５】
2011212873.tif 000007