(57)【要約】【課題】検査対象物のＸ線透視像に重畳させて異物検査結果および欠品検査結果を表示するように構成されたＸ線検査装置において、検査結果を判りやすくし、見間違える可能性を少なくする。【解決手段】欠品検査結果の表示形態を、欠品ありを表すマークＮＬに加えて、欠品なしを表すマークＧＬを検査対象物の像Ｐに重畳させて表示することで、正常品であることを明確化し、検査対象物の像Ｐに模様等が現れても見間違えを防止する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線発生装置からのＸ線を検査対象物に照射し、その透過Ｘ線をＸ線検出器で検出して得られる検査対象物のＸ線透視像を表示する透視像表示手段と、そのＸ線透視像を用いた画像処理により検査対象物内の異物の有無を判定する異物検査手段と、上記Ｘ線透視像を用いた画像処理により検査対象物の欠品の検査を行う欠品検査手段と、上記異物検査手段および欠品検査手段による検査結果を上記透視像表示手段による画像上の該当の検査対象物像に重畳させて表示する検査結果表示手段を備えたＸ線検査装置において、
上記検査結果表示手段による欠品検査結果の表示形態が、欠品有りおよび無しの双方にそれぞれ対応するマークを検査対象物像に重畳表示する形態であることを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
上記検査結果表示手段による検査結果の表示を、上記異物検査結果および欠品検査結果のいずれか一方もしくは双方に切り換える結果表示選択手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
上記異物検査手段および欠品検査手段によるそれぞれの評価結果に係る情報を表示する評価結果情報表示手段を有し、この評価結果情報表示手段による表示は、上記結果表示選択手段の選択状況に対応して上記異物検査手段および欠品検査手段による判定結果情報のいずれか一方のみを表示するように構成されていることを特徴とする請求項２に記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物のＸ線透視像の画像処理により、異物検査および欠品検査を行うＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線検査装置においては、一般に、Ｘ線発生装置とＸ線検出器とを対向配置し、これらの間に検査対象物を搬送するコンベアを設けた構造が多用され、検査対象物がＸ線発生装置とＸ線検出器の間を通過する際に、検査対象物を透過したＸ線を収集することにより、検査対象物のＸ線透視像を構築する。そのＸ線透視像を画像処理することにより、検査対象物に異物が混入しているか否かの異物検査、および、検査対象物に割れや欠けなどがあるか否か、あるいは検査対象物が規定の大きさの範囲に収まっているか等の欠品検査を行う。
【０００３】
その異物検査結果や欠品検査結果は、Ｘ線透視像を表示する表示器の画面上に、該当の検査対象物像に重畳させて表示される（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
検査結果の表示は、異物検査結果については、検査対象物像上に異物が存在する位置を塗りつぶしたり、欠品検査結果については、欠品のある検査対象物に対して規定のマークを付す等の手段により、オペレータに報知するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−６８９１０号公報（第９頁１〜６行目）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、異物検査や欠品検査は、それぞれに互いに異なる複数の評価手法を用いて行われ、異物検査結果や欠品検査結果は、それぞれの評価手法に対応する色等を用いて不良品の像の上に塗りつぶしやマークを重畳表示する手法等が多用されている。
【０００７】
そのため、検査対象物のＸ線透視像に対して付されたマークや塗りつぶしが、どの検査結果に対応して付されたものか判りづらい、つまり異物混入であるのか欠品であるのかが判りにくいという問題がある。
【０００８】
また、図４（Ａ）に例示するように、検査対象物のＸ線透視像Ｐ上に模様等が濃淡像Ｄとして現れる場合、同図（Ｂ）に示すような欠品検査結果が不良であることを表すマークＭと見間違えてしまう可能性があり、正常品であるにも関わらず欠品と判断してしまう可能性がある。
【０００９】
また、異物検査および欠品検査は、前記したようにそれぞれに複数の評価手法を用いて判定されるように構成しているのであるが、各判定手法においては、例えば画像の濃度しきい値や、あるいは周囲長の上下限値等をパラメータとして用い、検査結果がしきい値や周囲長の上下限値に対してどのレベルにあるのかをオペレータに報知したり、あるいはこれらのしきい値や周囲長の上下限値を微調整することを可能とするために、レベルゲージ等によって表示するのであるが、異物検査の評価手法と欠品検査の評価手法がそれぞれに複数種ある場合に、それぞれに複数のレベルゲージが表示されることになり、どのゲージのパラメータを調整すれば検査結果にどのような影響を与えるのかが判りにくいという問題もある。
【００１０】
本発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、検査対象物のＸ線透視像に重畳させて異物検査結果および欠品検査結果を表示するように構成されたＸ線検査装置において、検査結果を判りやすくすることを第１の課題とし、また、併せて、パラメータ調整等も従来に比して間違いにくいＸ線検査装置の提供を第２の課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するため、本発明のＸ線検査装置は、Ｘ線発生装置からのＸ線を検査対象物に照射し、その透過Ｘ線をＸ線検出器で検出して得られる検査対象物のＸ線透視像を表示する透視像表示手段と、そのＸ線透視像を用いた画像処理により検査対象物内の異物の有無を判定する異物検査手段と、上記Ｘ線透視像を用いた画像処理により検査対象物の欠品の検査を行う欠品検査手段と、上記異物検査手段および欠品検査手段による検査結果を上記透視像表示手段による画像上の該当の検査対象物像に重畳させて表示する検査結果表示手段を備えたＸ線検査装置において、上記検査結果表示手段による欠品検査結果の表示形態が、欠品有りおよび無しの双方にそれぞれ対応するマークを検査対象物像に重畳表示する形態であることによって特徴付けられる（請求項１）。
【００１２】
ここで、本発明においては、上記検査結果表示手段による検査結果の表示を、上記異物検査結果および欠品検査結果のいずれか一方もしくは双方に切り換える結果表示選択手段を備えている構成（請求項２）を好適に採用することができる。
【００１３】
また、本発明においては、上記異物検査手段および欠品検査手段によるそれぞれの評価結果に係る情報を表示する評価結果情報表示手段を有し、この評価結果情報表示手段による表示は、上記結果表示選択手段の選択状況に対応して上記異物検査手段および欠品検査手段による評価結果情報のいずれか一方のみを表示するように構成すること（請求項３）が更に好ましい。
【００１４】
本発明は、欠品検査結果の表示に関し、欠品がないと判定された検査対象物の像にその旨のマークを付することにより、欠品のない検査対象物を明確にすることで、課題を解決しようとするものである。
【００１５】
すなわち、欠品がある検査対象物のＸ線透視像にマークを付するのみならず、欠品がないと判定された検査対象物のＸ線透視像にも、欠品がない旨のマークを付する。これにより、検査対象物像に模様が現れる場合等においても、その模様等をマークと間違う可能性を少なくすることができ、第１の課題を解決することができる。
【００１６】
また、請求項２に係る発明のように、異物検査の結果と欠品検査の結果の表示のいずれか一方もしくは双方を選択的に表示するように構成すると、マークの見間違えを更に少なくすることができる。
【００１７】
そして、請求項３に係る発明のように、検査結果の表示の選択状況に対応させて、つまりその選択状況に連動させて、異物検査および欠品検査のそれぞれの評価結果に係る情報（つまり前記したレベルゲージ等）のうち、いずれか一方の検査に対するもののみを表示するように構成すると、評価のためのパラメータ等の微調整等に際して、意図するパラメータを間違ってしまう可能性を少なくすることができ、第２の課題を解決することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、欠品検査の結果に関し、欠品のあるもののみならず、欠品のないものについても、検査対象物のＸ線透視像に重畳させてその旨のマークを表示するので、オペレータに対して欠品のないことを明確に知らしめることができ、従来に比して検査対象物に現れる模様等と検査結果のマークとを見間違える可能性を少なくすることができる。
【００１９】
また、請求項２に係る発明のように、異物検査の結果と欠品検査の結果の表示について、いずれか一方もしくは双方を表示することを選択可能とすることにより、マークの見間違えを更に少なくすることができる。
【００２０】
そして、請求項３に係る発明のように、検査結果の表示の選択状況に連動させて、異物検査の評価結果情報と欠品検査の評価結果情報のうち、いずれか一方のみを表示するように構成すると、ある評価手法のパラメータを微調整等する場合に、意図するものとは異なるパラメータを誤って調整する等の不具合の発生の可能性を少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施の形態の構成図で、機械的構成を表す模式図とシステム構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
【図２】本発明の実施の形態におけるＸ線透視像の表示内容の例を示す図であり、（Ａ）は異物検査結果のみの表示を選択した状態、（Ｂ）はそれに加えて欠品検査結果の表示を選択した状態をそれぞれ表す図である。
【図３】本発明の実施の形態の有用性の説明図で、（Ａ）は欠品検査結果が正常であることのマークの表示を行わない場合、（Ｂ）は欠品検査結果が正常であることのマークの表示を行う場合を示す図である。
【図４】従来のＸ線検査装置による欠品検査結果の表示と、検査対象物の透視像に現れる模様とが判別しにくい例の説明図である。
【符号の説明】
【００２２】
１  Ｘ線発生装置
２  Ｘ線ラインセンサ
３  コンベア
４  画像形成部
５  光電センサ
６  画像メモリ
７  表示制御部
８  モニタ兼操作部
９  画像処理部
１０  制御部
１１  搬送駆動回路
Ｗ  検査対象物
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図１に本発明の実施の形態の構成図を示すように、Ｘ線発生装置１とＸ線ラインセンサ２とが対向配置され、これらの間に、検査対象物Ｗを搬送するためのコンベア３が配置されている。Ｘ線発生装置１はスリットを等を介することによりファンビーム状のＸ線を出力し、Ｘ線ラインセンサ２はそのファンビーム状のＸ線の広がり方向に複数の素子が並ぶように配置されている。図１ではＸ線ラインセンサ２の各素子は紙面に垂直な方向に並んでいる。検査対象物３はコンベアによってファンビーム状のＸ線の広がり方向に対して直交する方向に一定の速度で搬送される。
【００２４】
Ｘ線ラインセンサ２の出力、つまり入射したＸ線の１次元の線量分布は画像形成部４に常時取り込まれる。Ｘ線発生装置１とＸ線ラインセンサ２の対に対し、コンベア３による検査対象物Ｗの搬送方向上流側には光電センサ５が配置されており、画像形成部４はこの光電センサ５の出力によって検査対象物Ｗの到来を検知し、これを起点にＸ線ラインセンサ２のから出力されている１次元の線量分布を時間順に並べることによって検査対象物Ｗの像を含む２次元のＸ線透視像を構築する。
【００２５】
以上のようにして構築されたＸ線透視像は画像メモリ６に取り込まれ、表示制御部７を介してモニタ兼操作部８に表示されるとともに、画像処理部９による処理に供される。画像処理部９では、Ｘ線透視像から濃度しきい値を用いて検査対象物Ｗの像を抽出し、その抽出した検査対象物像に対し、異物検査処理および欠品検査処理を行う。ここで、異物検査処理については、例えば異物検出用の濃度しきい値を用いる評価方法や、異物フィルタを用いる評価方法等の複数の評価方法、この実施の形態では３種類の評価方法が用意されている。また、欠品検査処理については、像の面積や周囲長の上下限値を用いる評価方法等の複数の評価方法、この実施の形態では３種類の評価方法が用意されている。これらの各評価方法で用いる濃度しきい値や面積の上下限値等のパラメータは、モニタ兼操作部８の操作により設定ないしは調整することができ、その設定値は制御部１０を介して画像処理部９に供給される。ここで、この実施の形態においては、異物検査処理により異物ありと判定された検査対象物については、欠品検査処理は行われない。
【００２６】
以上の画像処理部９による異物検査処理および欠品検査処理の各結果は表示制御部７に供給され、後述する検査対象物Ｗの像への検査結果マークの重畳表示のための情報とされる。また、異物検査結果と欠品検査結果に基づくＸ線透視像上へのマーク等の表示は、モニタ兼操作部８の操作により後述するように選択することができる。
【００２７】
上記した画像形成部４、画像メモリ６、表示制御部７、画像処理部９は制御部１０の制御下に置かれている。また、コンベア３を駆動する搬送駆動回路１１についても制御部１０の制御下に置かれている。ここで、画像形成部４、画像メモリ６、表示制御部７、画像処理部９および制御部１０は、実際にはコンピュータとその周辺機器によって構成され、インストールされているプログラムに従った機能を実現するのであるが、図１ではその主要な機能ごとにブロックで表している。
【００２８】
さて、以上の構成からなる本発明の実施の形態においては、前記したように、検査対象物ＷのＸ線透視像がモニタ兼操作部８に表示されるとともに、その検査対象物像上に、異物検査結果や欠品検査結果を表すマークを重畳表示するが、その詳細について以下に説明する。
【００２９】
図２（Ａ），（Ｂ）は本発明の実施の形態におけるモニタ兼操作部８の表示内容の例を示す図である。このうち、（Ａ）は欠品検査結果を表示しないことを選択した状態での表示内容で、（Ｂ）は欠品検査結果を表示することを選択した状態での表示内容を表している。これらの図において、ＴはＸ線透視像の表示部で、Ｑは評価手法ごとのレベルゲージの表示部であって、Ｐは検査対象物像である。
【００３０】
欠品検査を表示しないことを選択した状態では、図２（Ａ）に示すように、Ｘ線透視像の表示部Ｔにおける各検査対象物像Ｐ上に、異物検査結果により異物がありと判定されたものについてのみ、その異物像を塗りつぶすことによる異物検出マークＮＳが重畳表示される。同時に、レベルゲージの表示部Ｑには、異物検査のための３つの評価手法それぞれのレベルゲージＳ１，Ｓ２，Ｓ３が表示される。
【００３１】
一方、欠品検査を表示することを選択した状態では、図２（Ｂ）に示すように、Ｘ線透視像の表示部Ｔにおける各検査対象物像Ｐ上に、異物検査結果により異物がありと判定されたものに異物検出マークＮＳが重畳表示されるとともに、異物なしと判定されたもののうち、欠品検査結果が異常であると判定されたものには欠品異常マークＮＬが重畳表示され、欠品検査結果が正常であると判定されたものには欠品正常マークＧＬが重畳表示される。同時に、レベルゲージの表示部Ｑには、欠品検査のための２つの評価手法それぞれのレベルゲージＬ１，Ｌ２，Ｌ３が表示される。
【００３２】
このような表示によると、異物がなしで、かつ、欠品検査結果が正常と判定された検査対象物、従って良品にマークＧＬが付され、マークＧＬが付されていないものは異物あり、もしくは欠品異常であることが明確となり、オペレータが判断を誤ることがない。
【００３３】
また、欠品検査結果の非表示状態ではその選択に連動して異物検査のための評価手法のレベルゲージＳ１〜Ｓ３のみが表示されるとともに、欠品検査結果の表示状態では、同じくその選択に連動して、欠品検査のための評価手法のレベルゲージＬ１〜Ｌ３のみが表示されるので、異物検査の評価手法のパラメータの微調整や、欠品検査の評価手法のパラメータの微調整に際し、意図する評価手法に対応するレベルゲージを間違うことなく見い出すことができる。
【００３４】
そして、このような表示の仕方によれば、前記した図４で例示したような模様のある検査対象物であっても、これと検査結果とを見間違う可能性を少なくすることができる。すなわち、図３（Ａ）に示すように、欠品検査結果が正常であるマークが表示されない場合、検査対象物像Ｐに模様Ｄが現れるような場合に、オペレータがその模様を欠品検査が異常であるマークＮＬと見間違えて、正常である検査対象物を異常と判断してしまう恐れがあったのに対し、図３（Ｂ）に示すように、欠品検査結果が正常であるマークＧＬを表示することにより、模様Ｄが現れても正常品であることが明確となり、上記の恐れは生じにくい。
【００３５】
なお、以上の実施の形態においては、異物検査結果については常に表示し、その表示に欠品検査結果を併せて表示するか否かを選択するように構成したが、異物検査結果のみ、欠品検査結果のみ、およびこれら双方の表示を選択するように構成することもできる。
【００３６】
また、異物ありのマークＮＳを異物像の塗りつぶしとした例を示したが、他の専用のマークを重畳表示してもよい。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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