(57)【要約】【課題】搬送システムの設置作業を簡易化する。【解決手段】容器Ｆの下面には位置決め用の穴が形成されている。製造装置上の載置ポートには容器Ｆ側の位置決め穴に対応する位置決め突起が形成されている。搬送台車２００から容器Ｆを載置ポート上に載置する際は、載置ポートの位置決め突起を位置決め穴にはめ込むことで、容器Ｆの載置位置を規定する。保管装置３００には、製造装置の載置ポートとは異なる載置ポートが設けられている。この載置ポートには位置決め突起が設けられておらず、上面に滑り止め部材３１１が設けられている。【選択図】図３
2011029550.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下面に位置決め穴が形成された被搬送物が上方から載置される載置面を有する第１及び第２の載置ポートと、
前記第１及び第２の載置ポートに前記被搬送物を降下させる搬送装置とを備えており、
前記第１の載置ポートの前記載置面には、前記位置決め穴に対応する位置決め突起が設けられており、
前記第２の載置ポートの前記載置面には、前記位置決め突起が設けられておらず、前記被搬送物の下面との間に生じる静止摩擦力が前記第２の載置ポートの前記載置面と前記被搬送物の下面との間に生じる静止摩擦力より大きい上面を有する滑り止め部材が設けられており、
前記搬送装置が、
前記第１の載置ポートに前記被搬送物を降下させる際には、前記位置決め穴と前記位置決め突起とを水平方向に関して互いに位置合わせし、前記第２の載置ポートに前記被搬送物を降下させる際には、前記滑り止め部材上に前記被搬送物を載置することを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
前記搬送装置が前記第２の載置ポートに前記被搬送物を載置する直前の当該被搬送物の下面が水平方向に対して傾いており、
前記第２の載置ポートの前記載置面が、前記搬送装置が前記第２の載置ポートに前記被搬送物を載置する直前の当該被搬送物の下面との間の角度が、当該下面と水平方向との間の角度より小さくなるように水平方向に対して傾斜していることを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
前記被搬送物の下面が、第１の面と前記第１の面より上方に配置された第２の面とを含んでおり、
前記滑り止め部材が、前記被搬送物が前記第２の載置ポートに載置された際、前記滑り止め部材の上面が前記第２の面に当接すると共に、前記第１の面が前記第２の載置ポートの前記載置面から離隔するような厚みを有していることを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記搬送装置が、
前記被搬送物を把持する把持手段と、
前記把持手段を吊り下げつつ鉛直方向に移動させる移動手段とを有していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の搬送システム。
【請求項５】
前記移動手段が、前記把持手段を吊り下げつつ水平方向に移動する移動アームを有していることを特徴とする請求項４に記載の搬送システム。
【請求項６】
前記被搬送物に加工処理を施す処理装置と、前記被搬送物を保管する保管装置とを更に備えており、
前記第１の載置ポートが前記処理装置に設けられたポートであり、前記第２の載置ポートが前記保管装置に設けられたポートであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の搬送システム。
【請求項７】
下面に位置決め穴が形成された被搬送物に加工処理を施す処理装置と、
前記被搬送物を保管する保管装置と、
前記被搬送物が上方から載置される載置面を有する前記処理装置に設けられた第１の載置ポートと、
前記被搬送物が上方から載置される載置面を有する前記保管装置に設けられた第２の載置ポートと、
前記第１の載置ポートの上方に敷設された軌道と、
前記被搬送物を吊り下げつつ前記軌道に沿って走行する共に、前記被搬送物を吊り下げつつ前記第１及び第２の載置ポートに降下させる搬送台車とを備えており、
前記第１の載置ポートの前記載置面には、前記位置決め穴に対応する位置決め突起が設けられており、
前記第２の載置ポートの前記載置面には、前記位置決め突起が設けられておらず、前記被搬送物の下面との間に生じる静止摩擦力が前記第２の載置ポートの前記載置面と前記被搬送物の下面との間に生じる静止摩擦力より大きい上面を有する滑り止め部材が設けられており、
前記搬送台車が、
前記第１の載置ポートに前記被搬送物を降下させる際には、前記位置決め穴と前記位置決め突起とを水平方向に関して互いに位置合わせし、前記第２の載置ポートに前記被搬送物を降下させる際には、前記滑り止め部材上に前記被搬送物を載置することを特徴とする搬送システム。
【請求項８】
前記第１及び第２の載置ポートがそれぞれ複数設けられた請求項１〜７のいずれか１項に記載の搬送システムの設定方法であって、
前記搬送装置から前記第１の載置ポートのそれぞれに水平方向の位置を調整しつつ前記被搬送物を降下させる工程と、
前記搬送装置から１つの前記第２の載置ポート上に水平方向の位置を調整しつつ前記被搬送物を降下させる工程と、
前記第１及び第２の載置ポートへと前記被搬送物を降下させた結果から、複数の前記第１及び複数の前記第２の載置ポートのそれぞれに対する前記被搬送物の位置合わせを制御するための情報を取得する工程とを備えていることを特徴とする搬送システムの設定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、載置ポートへと被搬送物を降下させる搬送装置を有する搬送システム及びその設定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
被搬送物が載置される載置ポートへと被搬送物を降下させる搬送装置の一例として特許文献１がある。特許文献１では、搬送装置が製造装置に設けられた載置ポートへと被搬送物を降下させる場合が示されている。製造装置の載置ポートに被搬送物が載置された後、その被搬送物に関して各種の加工処理が施される。製造装置において被搬送物に適切に加工処理が施されるためには、製造装置の載置ポートの所定の位置に精度よく被搬送物が載置されなければならない。このため、被搬送物と載置ポートには特許文献２のように、これらを互いに水平方向に関して位置合わせするための位置決め突起及び位置決め穴などの位置決め手段が設けられることがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２７０６６０号公報（図１）
【特許文献２】特開２００９−１０５１０９号公報（図２）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献２のような位置決め手段を設け、搬送装置に被搬送物を載置ポートに対して厳密に位置決めして載置させるためには、あらかじめ搬送装置による被搬送物の降下位置を厳密に設定しなければならない。上記のように製造装置の載置ポートに被搬送物を載置する場合には、製造装置において被搬送物に適切に加工処理を施させるために、このような厳密な位置合わせが不可欠となる。
【０００５】
一方、従来、被搬送物の搬送工程全体において搬送効率を上げるため、被搬送物を一時的に保管しておく仮置き場を設置することがよくある。このような仮置き場においても製造装置と同様に厳密な位置合わせを設定しなければならないとすると、搬送システム全体を設置するために必要な作業が過大になるおそれがある。
【０００６】
本発明の目的は、設置作業が簡易な搬送システム及びその設定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段及び効果】
【０００７】
本発明の搬送システムは、下面に位置決め穴が形成された被搬送物が上方から載置される載置面を有する第１及び第２の載置ポートと、前記第１及び第２の載置ポートに前記被搬送物を降下させる搬送装置とを備えており、前記第１の載置ポートの前記載置面には、前記位置決め穴に対応する位置決め突起が設けられており、前記第２の載置ポートの前記載置面には、前記位置決め突起が設けられておらず、前記被搬送物の下面との間に生じる静止摩擦力が前記第２の載置ポートの前記載置面と前記被搬送物の下面との間に生じる静止摩擦力より大きい上面を有する滑り止め部材が設けられており、前記搬送装置が、前記第１の載置ポートに前記被搬送物を降下させる際には、前記位置決め穴と前記位置決め突起とを水平方向に関して互いに位置合わせし、前記第２の載置ポートに前記被搬送物を降下させる際には、前記滑り止め部材上に前記被搬送物を載置する。
【０００８】
本発明の搬送システムによると、第１の載置ポートでは位置決め突起と位置決め穴により厳密に位置合わせが行われるが、第２の載置ポートにおいては位置決め突起が設けられておらず、滑り止め部材上に載置されるのみである。このため、搬送装置において第２の載置ポートに被搬送物を載置させるための位置合わせを非常に容易に設定でき、搬送システム全体を設置するのに必要な作業が簡易になる。
【０００９】
また、本発明においては、前記搬送装置が前記第２の載置ポートに前記被搬送物を載置する直前の当該被搬送物の下面が水平方向に対して傾いており、前記第２の載置ポートの前記載置面が、前記搬送装置が前記第２の載置ポートに前記被搬送物を載置する直前の当該被搬送物の下面との間の角度が、当該下面と水平方向との間の角度より小さくなるように水平方向に対して傾斜していることが好ましい。被搬送物の重心位置や、搬送装置における被搬送物の支持方法により、第２の載置ポートへと被搬送物を水平に載置できない場合がある。この場合、被搬送物を無理に載置面に載置しようとすると、被搬送物に過大な負荷や衝撃が発生するおそれがある。上記によると、このような場合でも被搬送物の下面と載置面との間の角度が小さくなるように載置面が傾斜しているため、被搬送物を適切に載置面に載置することができる。
【００１０】
また、本発明においては、前記被搬送物の下面が、第１の面と前記第１の面より上方に配置された第２の面とを含んでおり、前記滑り止め部材が、前記被搬送物が前記第２の載置ポートに載置された際、前記滑り止め部材の上面が前記第２の面に当接すると共に、前記第１の面が前記第２の載置ポートの前記載置面から離隔するような厚みを有していることが好ましい。これによると、被搬送物の下面に段差がある場合でも、滑り止め部材の厚みが第１の面が載置面から離隔するように調整されているため、第１の面が載置面に直接当接して衝撃や負荷が被搬送物にかかるのが回避される。
【００１１】
また、本発明においては、前記搬送装置が、前記被搬送物を把持する把持手段と、前記把持手段を吊り下げつつ鉛直方向に移動させる移動手段とを有していてもよい。被搬送物を吊り下げつつ降下させる方式を採用する場合、被搬送物の水平方向に関する位置決めが困難であることが多い。このため、位置合わせの設定が容易な本発明との組み合わせが効果的である。また、被搬送物を吊り下げつつ降下させる方式の場合、被搬送物の重心位置のずれ等により被搬送物が傾きやすい。このため、載置面を傾かせて被搬送物の下面との角度を小さくする構成との組み合わせが効果的である。
【００１２】
また、本発明においては、前記移動手段が、前記把持手段を吊り下げつつ水平方向に移動する移動アームを有していてもよい。把持手段を吊り下げつつ水平方向に移動すると、移動アームが下方に撓むおそれがある。このため、被搬送物の水平方向の位置合わせが困難になりやすく、被搬送物が傾きやすい。したがって、位置合わせの設定が容易な本発明との組み合わせが効果的であり、載置面を傾かせて被搬送物の下面との角度を小さくする構成との組み合わせが効果的である。
【００１３】
また、本発明においては、前記被搬送物に加工処理を施す処理装置と、前記被搬送物を保管する保管装置とを更に備えており、前記第１の載置ポートが前記処理装置に設けられたポートであり、前記第２の載置ポートが前記保管装置に設けられたポートであってよい。これによると、被搬送物に加工処理を施す処理装置においては被搬送物を厳密に位置決めしなければならないため、位置決めピンが設けられた第１の載置ポートを用いなければならない。一方、被搬送物を保管する保管装置においてはそこまで厳密な位置決めを要さないため、位置決めピンが設けられていない第２の載置ポートを用いればよい。このように厳密な位置決めを必要としない箇所には第２の載置ポートを用いることにより、位置合わせの設定作業をシステム全体として大幅に減少させることができる。
【００１４】
また、本発明の別の観点では、下面に位置決め穴が形成された被搬送物に加工処理を施す処理装置と、前記被搬送物を保管する保管装置と、前記被搬送物が上方から載置される載置面を有する前記処理装置に設けられた第１の載置ポートと、前記被搬送物が上方から載置される載置面を有する前記保管装置に設けられた第２の載置ポートと、前記第１の載置ポートの上方に敷設された軌道と、前記被搬送物を吊り下げつつ前記軌道に沿って走行する共に、前記被搬送物を吊り下げつつ前記第１及び第２の載置ポートに降下させる搬送台車とを備えており、前記第１の載置ポートの前記載置面には、前記位置決め穴に対応する位置決め突起が設けられており、前記第２の載置ポートの前記載置面には、前記位置決め突起が設けられておらず、前記被搬送物の下面との間に生じる静止摩擦力が前記第２の載置ポートの前記載置面と前記被搬送物の下面との間に生じる静止摩擦力より大きい上面を有する滑り止め部材が設けられており、前記搬送台車が、前記第１の載置ポートに前記被搬送物を降下させる際には、前記位置決め穴と前記位置決め突起とを水平方向に関して互いに位置合わせし、前記第２の載置ポートに前記被搬送物を降下させる際には、前記滑り止め部材上に前記被搬送物を載置する。
【００１５】
被搬送物を吊り下げつつ搬送し、処理装置へと降下させる搬送台車の場合には、処理装置に設けられた載置ポートに載置するのに特に厳密な位置合わせを要する。したがって、処理装置には、位置決めピンが設けられた第１の載置ポートを使用する必要がある。一方、保管装置にはそこまで厳密な位置合わせを要さないため、位置決めピンが設けられていない第２の載置ポートを使用すればよい。このように厳密な位置決めを必要としない箇所には第２の載置ポートを用いる本発明により、位置合わせの設定作業をシステム全体として大幅に減少させることができる。
【００１６】
また、本発明の搬送システムの設定方法は、前記第１及び第２の載置ポートがそれぞれ複数設けられた請求項１〜７のいずれか１項に記載の搬送システムの設定方法であって、前記搬送装置から前記第１の載置ポートのそれぞれに水平方向の位置を調整しつつ前記被搬送物を降下させる工程と、前記搬送装置から１つの前記第２の載置ポート上に水平方向の位置を調整しつつ前記被搬送物を降下させる工程と、前記第１及び第２の載置ポートへと前記被搬送物を降下させた結果から、複数の前記第１及び複数の前記第２の載置ポートのそれぞれに対する前記被搬送物の位置合わせを制御するための情報を取得する工程とを備えている。これによると、第１の載置ポートに関してはそれぞれにおいて被搬送物を降下させて制御情報を取得する必要があるが、第２の載置ポートに関しては１つの載置ポートに被搬送物を降下させるのみで他の載置ポートに関しても制御情報を取得する。したがって、被搬送物を降下させるための位置合わせの設定が容易になる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施形態である第１の実施形態に係る搬送システムに含まれる軌道の断面図及び軌道に沿って走行する搬送台車の正面図である。
【図２】搬送台車によって搬送される容器と載置ポートとの斜視図である。
【図３】図３（ａ）は、軌道の断面図並びに搬送台車及び保管装置の正面図である。図３（ｂ）は、載置ポートに載置された容器の正面図であり、保管装置における右側面側の図である。
【図４】４つの容器が保管された状態の保管装置の斜視図である。
【図５】載置ポートの斜視図である。
【図６】本発明の別の一実施形態である第２の実施形態に係る搬送台車及び保管装置の正面図である。
【図７】載置ポートへと搬送台車に容器を適切に載置させるための設定方法に関するフロー図である。
【図８】図８（ａ）は、製造装置に設置される載置ポートと容器との位置関係を示す平面図である。図８（ｂ）は、保管装置として軌道横に設置される載置ポートと軌道上の各位置との関係を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
［第１の実施形態］
本発明の一実施形態である第１の実施形態に係る搬送システム１について説明する。図１は、搬送システム１に含まれる軌道１００の断面図及び軌道１００に沿って走行する搬送台車２００の正面図（移載中）である。
【００１９】
搬送システム１は、半導体基板の製造工場等に設置され、被搬送物となる容器Ｆを工場内で搬送するためのものである。容器Ｆはほぼ直方体形状の中空の部材であり、図２に示すように下面に段差が形成されている。この段差は、容器Ｆの正面３１の前方から見て左右にそれぞれ形成されており、これによって下面は、段差同士の間に形成された面２３と、一方の段差と側面３２の間に形成された面２１と、他方の段差と側面３３の間に形成された面２２とに分かれている。これら３つの面２１〜２３はいずれも互いに平行且つ平坦である。面２３は面２１及び２２より下方に配置されており、面２１と面２２とは上下方向に同じ位置に配置されている。ある実施例において段差の高低差は２〜３ｍｍであり、平面視において面２１の幅（平面形状において短い方の長さ）は約１５ｍｍであり、面２２も同様である。
【００２０】
容器Ｆ内には、製造過程における各種加工処理の対象となる複数枚の半導体基板が収容される。容器Ｆの正面３１には開閉自在な扉が設けられており、この扉を開いて容器Ｆの内部から半導体基板を取り出したり、容器Ｆの内部に半導体基板を収容したりすることができる。
【００２１】
工場内には種々の製造装置を含む各種の処理装置や容器Ｆの保管装置が設置されている。処理装置は、容器Ｆ内の半導体基板に種々の加工処理を施す。図２及び図３にはそのような処理装置や保管装置の一例として製造装置９９や保管装置３００が示されている。製造装置９９には、容器Ｆが上面に載置される載置ポート９８が設けられている。載置ポート９８は上面が平坦な平板部材であり、上面が水平になるように製造装置９９に固定されている。
【００２２】
軌道１００は、工場の天井付近において、載置ポート９８の上方付近を通過する所定の搬送経路に沿って敷設されており、固定部材１１０によって天井に固定されている。図１には、軌道１００において、上記所定の搬送経路に直交する方向の断面が示されている。つまり、図１に向かって奥から手前に向かう方向が、軌道１００が延びる方向である。軌道１００内には空洞が形成されており、後述の搬送台車２００の走行機構２１０がこの空洞内に収容されている。
【００２３】
搬送台車２００（搬送装置）は、走行機構２１０を有している。走行機構２１０は、例えばリニアモータ方式で軌道１００に沿って搬送台車２００を走行させる機構である。リニアモータ方式が採用されている場合には、走行機構２１０は、軌道１００内に設けられた２次側永久磁石１０１との磁気的相互作用によって、軌道１００に沿った方向に搬送台車２００を移動させる。走行機構２１０の下部には走行車輪２１１が設けられており、走行車輪２１１は軌道１００内の底面に当接して搬送台車２００をその底面上で支持している。また、リニアモータ方式以外の走行方式が採用されていてもよい。例えば、走行車輪２１１を駆動モータで駆動することにより、軌道１００に沿って走行するように走行機構２１０が構成されていてもよい。
【００２４】
走行機構２１０には、フレーム２１２を介して本体ケーシング２０１が吊り下げられている。なお、図を見やすくするため、図１においては本体ケーシング２０１を破線で示し、図２以降においては本体ケーシング２０１の図示を省略する。本体ケーシング２０１内には、昇降機構２２０及び昇降機構２２０を吊り下げる水平位置調整機構２１３が設けられている。水平位置調整機構２１３は、昇降機構２２０の水平位置を調整するための機構である。水平位置調整機構２１３はアーム２１３ａ及び２１３ｂとこれらを駆動する駆動手段を有している。アーム２１３ａ及び２１３ｂは図１に示す位置から左右方向にスライド移動可能であり、駆動手段によって左方あるいは右方に移動したり、図１の位置に戻ったりする。図３（ａ）の破線は、一例としてアーム２１３ａ及び２１３ｂが図１の位置から右方へと移動した状態を示している。アーム２１３ａ及び２１３ｂが移動することにより、昇降機構２２０が左右方向に移動する。なお、アーム２１３ａ及び２１３ｂが左右両方向ではなく、右方のみ又は左方のみに移動可能であってもよい。また、水平位置調整機構２１３には昇降機構２２０の水平面に沿った回転方向の位置を調整する機構も設けられている。
【００２５】
昇降機構２２０は４本の吊り下げベルト２１４を有している。なお、図１には４本のうち２本の吊り下げベルト２１４のみが図示されている。昇降機構２２０は、これら４本の吊り下げベルト２１４を介して把持機構２１５（把持手段）を吊り下げている。把持機構２１５はアーム２１５ａを有している。アーム２１５ａは、容器Ｆのトップフランジ３４を左右から挟みこんで把持したり、把持しているトップフランジ３４を開放したりすることができる。これによって、例えば載置ポート９８上に容器Ｆが載置された後に把持機構２１５に容器Ｆを開放させたり、載置ポート９８上に載置された容器Ｆを把持機構２１５に把持させたりすることができる。なお、容器Ｆを支持する機構であれば、把持機構２１５のように容器Ｆを把持する機構でなくてもよい。
【００２６】
また、昇降機構２２０は、４本の吊り下げベルト２１４を巻き上げたり繰り出したりする駆動手段を有している。駆動手段が吊り下げベルト２１４を巻き上げることにより把持機構２１５が上昇し、駆動手段が吊り下げベルト２１４を繰り出すことにより把持機構２１５が降下する。これにより、図１中の点線の位置と実線の位置との間で把持機構２１５が把持した容器Ｆが昇降される。
【００２７】
本実施形態においては、水平位置調整機構２１３及び昇降機構２２０が本発明の移動手段に対応している。水平位置調整機構２１３及び昇降機構２２０の動作は昇降制御部２３０によって制御される。昇降制御部２３０は、本体ケーシング２０１内に設置されたプロセッサ回路や各種記憶機器などのハードウェアと、これらのハードウェアに水平位置調整機構２１３及び昇降機構２２０の動作を制御する制御処理を実行させるソフトウェアとから構築されている。
【００２８】
製造装置９９は、容器Ｆの蓋を開け、容器Ｆ内から半導体基板を取り出して各種の加工処理を施す。製造装置９９が適切に容器Ｆから半導体基板を取り出して加工処理を施すためには、容器Ｆが載置ポート９８上の所定の位置に厳密に載置されることが必要である。そこで、容器Ｆを載置ポート９８に対して厳密に位置決めするため、図２及び図２に示すように、容器Ｆの下面２３には３つの位置決め穴１１が形成されており、載置ポート９８の上面には３つの位置決め穴１１に対応する３つの位置決め突起１２が形成されている。位置決め突起１２が各位置決め穴１１にそれぞれ嵌め込まれるように載置ポート９８上に容器Ｆが載置されることにより、容器Ｆの水平方向に関する載置位置が規定される。
【００２９】
位置決め突起１２が位置決め穴１１に嵌め込まれるように容器Ｆを載置ポート９８に適切に載置させるためには、水平位置調整機構２１３及び昇降機構２２０の動作を昇降制御部２３０に適切に制御させる必要がある。つまり、昇降機構２２０に把持機構２１５を降下させると共に、水平位置調整機構２１３に容器Ｆの水平位置を適切に微調整させる制御が必要となる。このため、本搬送システム１の設置時には、容器Ｆが載置ポート９８の所定位置に適切に載置されるように水平位置調整機構２１３を誘導し、これによって適切な水平移動距離と方向を取得すると共に、その情報を昇降制御部２３０に記憶させる、ティーチング処理を実行しなければならない。
【００３０】
水平位置調整機構２１３による容器Ｆの水平位置の調整は、載置ポート９８ごとに実行される。製造装置９９等の処理装置は多くの種類に分かれており、また、設置精度もまちまちだからである。ある実施例によると、処理装置に設置される載置ポート９８は合計で５００〜数千個になる。１台の搬送台車２００に関してティーチング情報を設定した後、異なる搬送台車２００には、後述のとおり、基準となる載置ポート９８に関してティーチング処理を実行した結果に基づいてティーチング処理を実行してもよい。この場合には、少なくとも搬送台車２００の台数分、ティーチング処理を実行する必要がある。なお、搬送台車２００ごとに全ての載置ポート９８についてティーチング処理を実行してもよい。
【００３１】
ところで、上記のとおり、搬送システム１には製造装置の他に、容器Ｆを一時的に保管する保管装置も設けられている。保管装置は、搬送工程の効率化などのために設置されており、ある実施例においては数千台の規模で設置されることもある。図３（ａ）及び図４は、かかる保管装置の一例である保管装置３００ａ〜３００ｃを示している。搬送システム１には保管装置３００ａ〜３００ｃのうちの少なくともいずれかが設置されている。保管装置３００ａ〜３００ｃはそれぞれほぼ同様の構成を有しており、底板３２２及び支柱３２１を有している。支柱３２１はそれぞれ鉛直方向に沿っており、その上端において天井に固定されている。支柱３２１の下端には、矩形の平面形状を有する平板部材である底板３２２が水平に固定されている。この支柱は軌道１０に支持されていてもよい。
【００３２】
底板３２２の上面には４つの載置ポート３０１が水平に設置されている。各載置ポート３０１は軌道１００の直下に配置されており、各１個の容器Ｆが上方から載置される。つまり、保管装置３００は合計４つの容器Ｆを保管可能である。支柱３２１の下端付近には、載置ポート３０１に載置された容器Ｆが底板３２２から落下するのを防止するための落下防止部材３０２が固定されている。落下防止部材３０２は、鉛直方向に沿った平板部材３０２ａ〜３０２ｄからなる４枚の平板部材から構成されている。平板部材３０２ａ〜３０２ｄは、載置ポート３０１に載置された容器Ｆの周囲を取り囲むように、平面視において底板３２２の四辺に沿って配置されている。
【００３３】
保管装置３００ａは、載置ポート３０１が軌道１００の真下に位置するように、下方に載置ポート９８が位置していない領域に配置されている。保管装置３００ａに容器Ｆを載置する際には、搬送台車２００は、図３（ａ）の矢印Ｐ１に示すように水平位置を微調整しつつ軌道１００からほぼ真下に容器Ｆを把持した把持機構２１５を降下させる。保管装置３００ｂ及び３００ｃは、載置ポート３０１が保管装置３００ａの場合よりも若干上方に配置されるように、図３（ａ）において軌道１００の右隣及び左隣に配置されている。保管装置３００ｂ及び３００ｃは、下方に製造装置９９等の処理装置が設置されていないか、下方に処理装置が設置されていても、装置の高さがそれほどでもないため天井付近の空間に余裕がある領域に設置される。保管装置３００ｂや３００ｃに容器Ｆを載置する際には、搬送台車２００は、図３（ａ）の矢印Ｐ２に示すように水平調整機構２１３により把持機構２１５を水平に移動させると共に、矢印Ｐ３に示すように容器Ｆを把持した把持機構２１５を降下させる。なお、搬送台車２００の水平位置調整機構２１３が昇降機構２２０を片側にのみ移動できる構成を有している場合には、保管装置３００ｂ及び３００ｃのいずれか一方のみが設置可能である。
【００３４】
載置ポート３０１について、図３（ｂ）、図４、図５（ａ）に基づいてより詳細に説明する。載置ポート３０１は矩形の平面形状を有しており、上面が平坦である。載置ポート３０１の上面には平板状の２枚の滑り止め部材３１１が固定されている。各滑り止め部材３１１は載置ポート３０１の辺に沿って延びる矩形の平面形状を有している。一方の滑り止め部材３１１は載置ポート３０１の端部付近に配置され、他方の滑り止め部材３１１は、その反対側の端部付近に配置されている。２つの滑り止め部材３１１は、容器Ｆにおいて下面２１及び２２の間から下方へと突出した突出部Ａ（図３（ｂ）参照）が互いの間に嵌まるような距離だけ互いに離隔されている。
【００３５】
容器Ｆは、図３（ｂ）に示すように、下面２１及び２２が滑り止め部材３１１の上面に当接すると共に、突出部Ａが２つの滑り止め部材３１１同士の間に嵌まるように、滑り止め部材３１１上に載置される。滑り止め部材３１１の鉛直方向の厚みは、容器Ｆの下面２３が載置ポート３０１の上面から離隔するように調整されている。つまり、滑り止め部材３１１は、面２１及び面２３（面２２及び面２３）の鉛直方向に関する離隔距離より厚みが大きく形成されている。これにより、面２３が載置ポート３０１の上面に直接当接して衝撃や負荷が被搬送物にかかるのが回避される。
【００３６】
上述の実施例の場合、面２１及び面２３の鉛直方向に関する離隔距離、つまり段差の高低差は２〜３ｍｍであるので、滑り止め部材３１１は３ｍｍを超える厚みに形成される。２つの滑り止め部材３１１は、容器Ｆの位置が多少水平方向にずれたとしても突起部Ａが滑り止め部材３１１に引っ掛かることなく、滑り止め部材３１１同士の間に配置されるようにある程度の余裕を含んで互いに離隔している。あるいは、面２３の両端部付近がそれぞれ滑り止め部材３１１の上に載置されるように滑り止め部材３１１が配置されていてもよい。この場合は滑り止め部材３１１の厚みの制限は必要ない。
【００３７】
滑り止め部材３１１は、容器Ｆの下面との間に生じる静止摩擦力が、載置ポート３０１の上面と容器Ｆの下面との間に生じる静止摩擦力よりも大きくなるような素材から構成されている。例えば、摩擦係数の大きい素材であるゴムなどの樹脂から構成されている。なお、搬送システム１がクリーンルーム内で使用される場合を想定すると、アウトガスが発生しにくい、耐摩耗性に優れたウレタンゴム、シリコンゴム、フッ素ゴムなどが使用されることが好ましい。
【００３８】
載置ポート３０１の上面には、図５に示すように、容器Ｆの載置位置を示すマーカ３０１ａが形成されている。マーカ３０１ａは、図３（ｂ）のように載置ポート３０１上の適切な位置に容器Ｆを載置した際における、平面視において容器Ｆの外形が配置される位置に沿って形成された矩形の平面形状の線である。マーカ３０１ａは、後述のティーチング処理において用いられる。
【００３９】
以上のように、載置ポート３０１には、載置ポート９８の位置決め突起１２のような突起は形成されていない。そして、２つの滑り止め部材３１１は、上記のとおり互いにある程度余裕を含んで離隔している。したがって、容器Ｆを載置ポート３０１に載置する際は、載置ポート９８に載置する場合と異なり、水平方向に厳密な位置決めをすることなく所定の場所に適切に載置することができる。また、滑り止め部材３１１上に載置されるので、一旦載置されると、容器Ｆが水平方向に載置位置がずれたりしにくい。さらに、落下防止部材３０２が設けられているため、万一容器Ｆの載置位置がずれたりしても、保管装置３００から落下するのが回避される。
【００４０】
なお、図５（ｂ）は、載置ポート３０１の代わりに採用可能な載置ポート４０１の斜視図である。載置ポート４０１は、平坦な上面に４枚の滑り止め部材４１１が設置されている。２枚の滑り止め部材４１１は載置ポート４０１の一方の端部付近に端縁に沿って配置され、残り２枚の滑り止め部材４１１は、その反対側の端部付近に端縁に沿って配置されている。載置ポート４０１に容器Ｆが載置されると、容器Ｆの下面の突起部Ａが一方の２枚の滑り止め部材４１１と他方の２枚の滑り止め部材４１１との間に嵌まり込み、下面２１及び２２が滑り止め部材４１１の上面に当接すると共に、下面２３が載置ポート４０１の上面から離隔する。
【００４１】
２枚の滑り止め部材４１１同士の間には、それぞれ貫通孔４０１ａが形成されている。この貫通孔４０１ａは、載置ポート４０１上に載置された容器Ｆの載置位置を下方から確認するための孔である。例えば、容器Ｆの下面の所定の位置に目印となる穴やマーク等が形成されており、この場合に貫通孔４０１ａを通して下方からその目印を確認することにより、容器Ｆが適切に載置されていることを確認できる。
【００４２】
［第２の実施形態］
以下、本発明の別の一実施形態である第２の実施形態について説明する。第２の実施形態は上述の第１の実施形態と多くの構成において同様である。しかし、第２の実施形態は、第１の実施形態と異なり、図６（ａ）や図６（ｂ）に示すように、搬送台車２００が容器Ｆを吊り下げた際、容器Ｆの下面が水平から傾斜する場合が想定されている。このように容器Ｆが傾斜して吊り下げられるのは、（１）容器Ｆの重心位置が把持機構２１５による把持位置から水平方向にずれたり（図６（ａ））、（２）水平位置調整機構２１３のアーム２１３ａ及び２１３ｂが水平方向にスライドした際、これら全体が下方に撓んだり（図６（ｂ））したため、昇降機構２２０が傾斜し、昇降機構２２０によって吊り下げられた把持機構２１５も傾斜することなどによる。また、（３）容器Ｆ自体が変形して下面が傾斜する場合もある。例えば、ある実施例において容器Ｆが図６（ｂ）の状況にあるとき、容器Ｆの下面の傾斜角度は水平面から０．５度〜０．７度となる。なお、本明細書において面同士の角度とは、面の法線同士の間に形成される鋭角の角度に相当するものとする。
【００４３】
このような場合にも第１の実施形態のように載置ポート３０１が水平に設置されていると、把持機構２１５に容器Ｆを把持させる際、傾斜した把持機構２１５のアーム２１５ａが容器Ｆのトップフランジ３４にぶつかり、容器Ｆに衝撃を生じさせたり大きな振動を生じさせたりするおそれがある。また、容器Ｆを載置ポート３０１から離隔させたり載置ポート３０１に載置したりする際、容器Ｆが傾斜した状態と水平な状態との間で変位するため、滑り止め部材３１１と容器Ｆの下面とが擦れ合い、滑り止め部材３１１が磨耗して塵が生じたり、耐久性が徐々に低下したりするおそれもある。
【００４４】
そこで、第２の実施形態では、容器Ｆの傾斜に合わせて載置ポート３０１が傾斜している。具体的には、図６（ａ）や図６（ｂ）に示すように、載置ポート３０１の上面が容器Ｆの下面と平行になるように載置ポート３０１が傾斜した状態で保管装置３００に固定されている。例えば、載置ポート３０１を底板３２２に固定する固定具３１２により、載置ポート３０１の片側を底板３２２から離隔させ、載置ポート３０１の全体を傾斜させる。
【００４５】
以上のように載置ポート３０１を傾斜させることにより、把持機構２１５が容器Ｆを把持する際にアーム２１５ａがトップフランジ３４にぶつかったり、載置ポート３０１に容器Ｆを載置したりする際に容器Ｆと滑り止め部材３１１とが擦れ合ったりすることが回避される。なお、載置ポート３０１の傾斜は少なくとも、載置ポート３０１の上面と容器Ｆの下面とのなす角度が、載置ポート３０１の上面を水平にした際に載置ポート３０１の上面と容器Ｆの下面とのなす角度よりも小さくなるように調整されていれば、上記のような問題が抑制される。
【００４６】
［設定方法］
以下、上述の第１及び第２の実施形態に関して、載置ポート９８及び３０１へと搬送台車２００に容器Ｆを適切に載置させるための設定方法について説明する。図７は、この設定方法の一連の流れを示したフロー図である。なお、第２の実施形態の場合、載置ポート３０１の傾斜は、搬送システム全体の設計時において、搬送台車２００が吊り下げた容器Ｆの下面が水平方向からどれだけ傾斜するかが取得されることにより、あらかじめ設定される。ここで、容器Ｆの傾斜方向、傾斜角度の傾向は容器Ｆの形状や大きさ等が決まれば大体決定されるため、１つの容器Ｆに関して載置ポート３０１の傾斜を設定すればほぼ十分である。しかし、容器Ｆ内の収容物の数、収容状況、載置ポート３０１の設置場所、載置ポート３０１と軌道１００との位置関係などの条件を種々に変化させて容器Ｆの傾斜を取得し、条件ごとの傾斜角度を考慮して各載置ポート３０１の傾斜を設定してもよい。
【００４７】
図７に示すように、まず、基準となる１台の搬送台車２００（以下、搬送台車Ａとする）を駆動し、載置ポート９８へと容器Ｆを降下させて、ティーチング処理を実施する（ステップＳ１）。ティーチング処理は、主に水平方向に関して搬送台車２００に容器Ｆを降下させる位置を教示する処理である。具体的には図８（ａ）に示すように、位置決め突起１２に容器Ｆの位置決め穴１１がはめ込まれる載置ポート９８上の位置へと容器Ｆが載置されるように水平位置調整機構２１３を誘導する。これにより、搬送台車２００に容器Ｆを載置ポート９８の所定位置に適切に載置させるための情報が図示しない制御装置に記憶される。この情報には、水平位置調整機構２１３により水平方向に関する微調整を行うためのＸ、Ｙ及びθの各方向に関する情報が含まれる。この処理は、載置ポート９８ごとに搬送台車Ａを駆動して実行される。つまり、搬送システム１に設けられる載置ポート９８の数だけティーチング処理が繰り返される。これにより、搬送台車Ａについて全ての載置ポート９８に関するティーチング情報が取得される。
【００４８】
次に、未だティーチング処理が済んでいない搬送台車２００（以下、搬送台車Ｂとする）について、基準となる１つの載置ポート９８か、あるいは専用に設けた載置ポート９８に関してティーチング処理を実行する（ステップＳ２）。これにより、搬送台車Ａにおいて取得されたティーチング情報と搬送台車Ｂにおいて取得されたティーチング情報との差が、基準となる１つの載置ポート９８に関して取得される。この差は、１つの同じ載置ポート９８において、Ｘ、Ｙ及びθの各方向に関して搬送台車Ａと搬送台車Ｂとのティーチング情報に生じた差である。つまり、搬送台車２００の個体差による差ということになる。
【００４９】
そこで、上記のＳ１において取得された搬送台車Ａの各載置ポート９８に関するティーチング情報に、上記のＳ１及びＳ２によって取得された上記の個体差情報を加味したティーチング情報を、搬送台車Ｂの各載置ポート９８に関するティーチング情報として設定する（ステップＳ３）。例えば、搬送台車Ｂの各載置ポート９８に関するティーチング情報をＸＡ、ＹＡ、θＡとし、上記の個体差情報をΔＸＢ、ΔＹＢ、ΔθＢとするとき、搬送台車Ｂの各載置ポート９８に関するティーチング情報ＸＢ、ＹＢ、θＢがそれぞれ以下の関係を満たすように搬送台車Ｂのティーチング情報を設定する。なお、ΔＸＢ、ΔＹＢ、ΔθＢは、それぞれ搬送台車Ａのティーチング情報に対する搬送台車Ｂのティーチング情報のずれであるとする。
【００５０】
ＸＢ＝ＸＡ＋ΔＸＢ、ＹＢ＝ＹＡ―＋ΔＹＢ、θＢ＝θＡ＋ΔθＢ
【００５１】
１台の搬送台車Ｂに関して上記の処理を実行すると、ティーチング処理を設定していない搬送台車２００がまだ存在するかどうかを判定する（Ｓ４）。ティーチング処理を設定していない搬送台車２００がまだ存在すると判定すると（Ｓ４、Ｙｅｓ）、その搬送台車２００を次の搬送台車ＢとしてステップＳ２及びＳ３を繰り返す。ティーチング処理を設定していない搬送台車２００がもうないと判定すると（Ｓ４、Ｎｏ）、ステップＳ５に移る。
【００５２】
次に、載置ポート３０１に対するティーチング処理を実行する（ステップＳ５、Ｓ６）。図８（ｂ）は、一例として、軌道１００に隣接して設置された２つの保管装置３００ｂを示している。各保管装置３００ｂは、軌道１００と一定の位置関係を有するように設置されており、軌道１００上の位置Ｑ１や位置Ｔ１に対して所定の位置関係を有するようにある程度厳密に位置決めされて設置されている。
【００５３】
ステップＳ５では、１台の搬送台車２００を駆動し、基準となるいずれかの載置ポート３０１に関するティーチング処理を実施する。つまり、基準となるいずれか１つの載置ポート３０１へと搬送台車２００に容器Ｆを降下させ、載置ポート３０１上のマーカ３０１ａ上に容器Ｆを載置させる。基準となる載置ポート３０１としては、設置精度が確認された載置ポート３０１が選択される。
【００５４】
例えば、図８（ｂ）において左側の保管装置３００ｂにおける最も左方に設置された載置ポート３０１を規準としたとする。この場合、まず、基準となる載置ポート３０１に隣接した軌道１００上の位置Ｑ１に１台の搬送台車２００を配置する。そして、水平位置調整機構２１３を誘導し、水平方向に関して昇降機構２２０の位置を調整させつつ、把持機構２１５を降下させて載置ポート３０１上に容器Ｆを載置させる。これにより、位置Ｑ１から載置ポート３０１の位置までの矢印Ｒ１に沿った水平移動に関するティーチング情報が、Ｘ，Ｙ及びθの各方向に関する情報として取得される。
【００５５】
次に、ステップＳ５のティーチング処理によって取得された情報を他の全ての搬送台車２００における他の載置ポート３０１へのティーチング情報としてコピーする（Ｓ６）。具体的には、まず、ステップＳ５において取得された水平移動Ｒ１に関するティーチング情報を、図８（ｂ）の位置Ｑ２〜Ｑ４から載置ポート３０１への水平移動Ｒ２〜Ｒ４に関するティーチング情報として設定する。さらに、水平移動Ｒ１に関するティーチング情報を、図８（ｂ）の位置Ｔ１〜Ｔ４から載置ポート３０１への水平移動Ｓ１〜Ｓ４に関するティーチング情報として設定する。他の全ての搬送台車２００についても、全ての載置ポート３０１に関するティーチング情報として、ステップＳ５において取得された水平移動Ｒ１に関するティーチング情報を設定する。
【００５６】
このように、載置ポート３０１に関しては、１台の搬送台車２００について１個の載置ポート３０１においてティーチング処理が実行された結果を、他の搬送台車２００や他の載置ポート３０１に関するティーチング処理の結果として用いることができる。これは、保管装置３００ｂ等には製造装置９９ほど厳密な位置決めを要さないことから、載置ポート３０１が位置決め突起を用いておらず、載置ポート９８上に容器Ｆを載置する処理ほど厳密な位置合わせを要求しないためである。また、保管装置３００ｂなどの同じ保管装置が軌道１００に対して同じ位置関係で設置される場合には、各保管装置の設置精度をある程度確保できれば、１つの載置ポート３０１に関するティーチング情報を他の全ての載置ポート３０１にもコピーしてもよいからである。
【００５７】
以上説明した第１及び第２の実施形態によると、厳密な位置決めを要求しない載置ポート３０１については載置ポート９８のようなティーチング処理を実行する必要がない。例えば、載置ポート３０１が１０００箇所設置されたある実施例において、載置ポート９８と同じ厳密なティーチング処理を載置ポート３０１についても実行すると仮定する。１箇所の載置ポート９８についてティーチング処理を実行するのに要する時間が１０分であるとすると、１０００箇所の載置ポート３０１について１台の搬送台車２００につきティーチング処理を実行するのに要する合計ののべ時間は１００００分、つまり、約１６７時間となる。
【００５８】
しかし、上述の実施形態によると、載置ポート３０１には位置決め突起を用いていないため、位置決め突起が容器Ｆの下面にぶつかったりするおそれがない。したがって、容器Ｆの位置が所定の載置位置から多少ずれても問題ない。つまり、載置ポート３０１に関しては、載置ポート９８ほど厳密な位置合わせを行う必要がない。このため、１台の搬送台車２００についてティーチング処理を実行すれば、それによって得られたティーチング情報をその他の搬送台車２００についてコピーすればよい。また、１箇所の載置ポート３０１に関してティーチング処理に要する時間も載置ポート９８に比べて大幅に減少する。これらにより、全ての載置ポートに位置決め突起を用いる場合と比べて、ティーチング処理に要する時間を大幅に短縮することが可能になる。
【００５９】
＜その他の変形例＞
以上は、本発明の好適な実施形態についての説明であるが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、課題を解決するための手段に記載された範囲の限りにおいて様々な変更が可能なものである。
【００６０】
例えば、上述の実施形態において載置ポート３０１に形成されるマーカ３０１ａは、全ての載置ポート３０１に関して形成されてもよい。これは、（１）搬送システム１の設置完了後に、誤って載置ポート３０１自体の位置がずれてしまった場合、元の位置に戻す際に容器Ｆの載置位置を確認しつつ復旧したり、（２）メンテナンス時等に作業者が容器Ｆを載置ポート３０１から持ち上げた後、容器Ｆを載置ポート３０１上の元の位置に戻す際に目印にしたりするためである。しかし、マーカ３０１ａがいずれか必要な載置ポート３０１にのみ形成されていてもよいし、いずれにも形成されていなくてもよい。載置ポート４０１を使用する場合の貫通孔４０１ａについても上記と同様である。
【００６１】
また、上述の実施形態では、天井付近に保管装置３００ａ〜３００ｃが設置されることが想定されているが、容器Ｆを保管するための仮置き台が床上に設置されてもよい。この場合にも仮置き台の上面には載置ポート３０１が固定される。また、第２の実施形態のように固定具３１２により載置ポート３０１が傾斜されており、載置ポート３０１の上面が容器Ｆの下面と平行になるように載置ポート３０１が仮置き台上に固定されてもよい。
【符号の説明】
【００６２】
１        搬送システム
１１      位置決め穴
１２      位置決め突起
９８、３０１、４０１  載置ポート
２００    搬送台車
２１５    把持機構
２２０    昇降機構
３１１    滑り止め部材
Ｆ        容器
【図１】
2011029550.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2011029550.tif 000007
【図６】
2011029550.tif 000008
【図７】
2011029550.tif 000009
【図８】
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