(57)【要約】【課題】異物の高さ方向の位置を計測することができるＸ線検査装置を提供することである。【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、固設された１個のＸ線照射装置２００から照射されるＸ線を固設された１個のＸ線ラインセンサ４００により検出し、照射されるＸ線内に商品９００を移送させることにより商品９００内の異物９８０を検出するものである。Ｘ線検査装置１００の制御部６１０は、Ｘ線ラインセンサ４００により作成された画像データＤに基づいて商品９００内の異物９８０の高さ方向の位置を計測する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固設された１個のＸ線源から照射されるＸ線を固設された１個のＸ線検出器により検出し、前記照射されたＸ線内に被検査物を移送させることにより前記被検査物内の異物を検出するＸ線検査装置であって、
前記Ｘ線検出器により作成された画像データに基づいて前記被検査物内の異物の高さ方向の位置を計測する計測部を含むことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
前記計測部は、前記異物の高さ方向の位置基準データを複数内部に備え、
前記計測部は、前記画像データと前記異物の高さ方向の位置基準データとを比較することにより、前記被検査物内の異物の高さ方向の位置を計測する、請求項１記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記計測部は、前記画像データにおける濃淡に基づいて前記被検査物内の異物の高さ方向の位置を計測する、請求項１または２記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記計測部は、当該異物の高さ方向の位置に基づいて前記画像データの水平位置を補正する水平位置補正部をさらに備えた、請求項１から３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記計測部は、当該異物の高さ方向の位置に基づいて前記画像データの異物サイズを補正するサイズ補正部をさらに備えた、請求項１から４のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【請求項６】
前記計測部は、前記画像データに基づいて前記被検査物内の１または複数の異物に対して個々に異物の高さ方向の位置、および個数を計測する、請求項１から５のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物品にＸ線を照射し、物品内の異物を検出するＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、物品内の異物を検出するためにＸ線検査装置等が使用されている。これらのＸ線検査装置に関して、日々研究開発が行われている。
【０００３】
特許文献１には、被測定物のＸ線透過量に基づき、所定の式から被測定物の質量を算出して、被測定物の質量測定の容易かつ簡便化を図るＸ線による質量測定方法及びＸ線質量測定装置について開示されている。
【０００４】
特許文献１記載のＸ線質量測定装置においては、少なくとも被測定物の質量吸収係数（μm ）及び前記被測定物に対する曝射Ｘ線量（Ｉ0 ）からなる測定パラメータを設定する測定パラメータ設定部（１０）と、前記被測定物に対し、前記設定された曝射Ｘ線量のＸ線を曝射するＸ線発生部（３）と、曝射された前記被測定物を透過する透過Ｘ線を検出するＸ線検出部（４）と、該Ｘ線検出部から得られた前記透過Ｘ線に基づき、透過データ（ｙ）を導出するデータ処理部と、前記透過データから透過Ｘ線量（Ｉ）を算出する透過Ｘ線量算出部と、前記設定された前記測定パラメータ及び前記透過Ｘ線量に基づき、前記被測定物の全体質量（Ｍ）を算出する質量演算部と、を具備することを特徴とするものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２９６０２２公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１記載のＸ線質量測定装置においては、所定の式を用いて被測定物の質量を算出することができる。
【０００７】
しかしながら、特許文献１記載のＸ線質量測定装置においては、異物の有無を検出することができるが、異物の位置（高さおよび水平位置を有する３次元情報）を正確に検出することはできない。
【０００８】
特に、食品関係の生産ラインにおいて使用される場合、異物の混入位置を正確に特定することで、異物のみを確実に除去することができる。
【０００９】
また、異物の位置（高さおよび水平位置を有する３次元情報）を検出する手法として、一般的なコンピュータ断層撮影（Computerized Tomography）の場合を考慮すると、Ｘ線源およびＸ線検出器を回転させて、多方向からＸ線を照射することにより異物の位置（高さおよび水平位置を有する３次元情報）を得る手法があるが、生産ラインにおいては、検査物が連続して移動するために十分な情報が得られないという問題が生じる。
【００１０】
さらに、Ｘ線源およびＸ線検出器をそれぞれ複数搭載する手法があるが、多大なコスト増加を避けることができないという問題が生じる。
【００１１】
本発明の目的は、異物の高さ方向の位置を計測することができるＸ線検査装置を提供することである。
【００１２】
本発明の他の目的は、異物の高さ方向の位置を計測することができ、かつ大がかりな装置が不要でコスト抑制を図ることができるＸ線検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
（１）
一局面に従うＸ線検査装置は、固設された１個のＸ線源から照射されるＸ線を固設された１個のＸ線検出器により検出し、照射されたＸ線内に被検査物を移送させることにより被検査物の異物を検出するＸ線検査装置であって、Ｘ線検出器により作成された画像データに基づいて被検査物内の異物の高さ方向の位置を計測する計測部を含むものである。
【００１４】
Ｘ線検査装置は、固設された１個のＸ線源から照射されるＸ線を固設された１個のＸ線検出器により検出し、照射されるＸ線内に被検査物を移送させることにより被検査物内の異物を検出するものである。Ｘ線検査装置の計測部は、Ｘ線検出器により作成された画像データに基づいて被検査物内の異物の高さ方向の位置を計測する。
【００１５】
この場合、計測部により画像データに基づいて被検査物内の異物の高さ方向の位置を計測することができる。その結果、被検査物の異物混入位置を確認して異物のみの除去を確実に行うことができる。また、１個のＸ線源および１個のＸ線検出器により異物の高さ方向の位置を計測することができるので、大がかりな装置を使用する必要がなくなり、コスト抑制を実現することができる。
【００１６】
（２）
計測部は、異物の高さ方向の位置基準データを複数内部に備え、計測部は、画像データと異物の高さ方向の位置基準データとを比較することにより、被検査物内の異物の高さを計測するものである。
【００１７】
計測部は、異物の高さ方向の位置基準データを複数内部に備え、計測部は、画像データと異物の高さ方向の位置基準データとを比較することにより、被検査物内の異物の高さを計測するものである。
【００１８】
この場合、計測部は、異物の高さ方向の位置基準データを複数内部に備える。そして、計測部は、画像データと異物の高さ方向の位置基準データとを比較し、近似する異物の高さ方向の位置基準データを選定して、被検査物の異物の高さ方向の位置を計測することができる。その結果、異物の高さ方向の位置基準データと比較することにより、処理速度を向上させることができる。また、比較処理なので複雑な処理が不要となり、高額な画像処理装置を用いる必要がないので、装置のコスト増加を抑制することができる。
【００１９】
（３）
計測部は、画像データにおける濃淡に基づいて被検査物内の異物の高さ方向の位置を計測するものである。
【００２０】
この場合、計測部は、画像データにおける濃淡に基づいて被検査物内の異物の高さ方向の位置を計測する。その結果、１個のＸ線源および１個のＸ線検出器により異物の高さ方向の位置を計測することができる。
【００２１】
（４）
計測部は、当該異物の高さ方向の位置に基づいて画像データの水平位置を補正する水平位置補正部をさらに備えたものである。
【００２２】
この場合、計測部は、水平位置補正部をさらに備え、水平位置補正部は、当該異物の高さ方向の位置に基づいて画像データの水平位置を補正することができる。すなわち、固設された１のＸ線源から照射されたＸ線は、所定の角度の広がりを持ってＸ線検出器に受光される。そのため、通常の画像データにおいて、異物位置は、実際の異物位置と水平方向に異なる位置で現れることがある。しかしながら、当該異物の高さ方向の位置に応じて水平位置補正部により画像データの水平位置が補正されるので、被検査物内の異物の正常な位置を画像データに現すことができ、異物を的確に除去することができる。その結果、異物の除去ミスを防止することができる。
【００２３】
（５）
計測部は、当該異物の高さ方向の位置に基づいて画像データの異物サイズを補正するサイズ補正部をさらに備えたものである。
【００２４】
この場合、計測部は、サイズ補正部をさらに備え、サイズ補正部は、当該異物の高さ方向の位置に基づいて画像データのサイズを補正することができる。すなわち、固設された１のＸ線源から照射されたＸ線は、所定の角度の広がりを持ってＸ線検出器に受光される。そのため、通常の画像データにおいて、異物の大きさは、実際の異物の大きさと異なる大きさで現れることがある。しかしながら、当該異物の高さ方向の位置に応じてサイズ補正部により画像データの異物サイズが補正されるので、被検査物内の異物の正常な大きさを画像データに現すことができ、異物を的確に除去することができる。その結果、異物の除去ミスを防止することができ、さらに不必要なる。
【００２５】
（６）
計測部は、画像データに基づいて被検査物内の１または複数の異物に対して個々に異物の高さ方向の位置、および個数を計測するものである。
【００２６】
この場合、計測部により、画像データに応じて被検査物内の１または複数の異物に対して個々に異物の高さ方向の位置、および個数を計測することができるので、被検査物内の異物を的確に除去することができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明に係るＸ線検査装置においては、異物の高さ方向の位置を計測することができるＸ線検査装置を提供することである。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明に係るＸ線検査装置の一例を示す模式的外観図
【図２】本発明に係るＸ線検査装置の内部構造の一例を示す模式的斜視図
【図３】Ｘ線検査装置の制御システムの一例を示す模式図
【図４】高さ方向基準ファイルを作成するために用いる異物サンプルの一例を示す模式的説明図
【図５】図４の異物サンプルをＸ線検査装置により高さ方向基準ファイルを作成した状態を示す模式的説明図
【図６】Ｘ線の出力および距離の関係を示す模式図
【図７】Ｘ線検査装置を用いて商品内の異物を検出する場合の問題点を説明するための説明図
【図８】画像データＤに複数の異物が含まれている状態を示す模式図
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明に係る実施の形態において図面を用いて説明する。
（一実施の形態）
図１は、本発明に係るＸ線検査装置１００の一例を示す模式的外観図であり、図２は、本発明に係るＸ線検査装置１００の内部構造の一例を示す模式的斜視図である。
【００３０】
図１に示すように、Ｘ線検査装置１００には、Ｘ線検査室３００および制御システム６００が内蔵されている。
また、図１に示すように、Ｘ線検査装置１００のＸ線検査室３００を貫通するように、ベルトコンベア８００が設けられている。
図１のＸ線検査室３００の開口部（入口および出口）には、Ｘ線漏洩防止カーテン５００が設けられている。それにより、Ｘ線検査室３００からＸ線が外部に漏洩することを防止することができる。また、ベルトコンベア８００の下流側には、振り分け装置（図示せず）が設けられる。
【００３１】
作業者は、図１に示すＸ線検査装置１００のタッチパネル画面７００を操作することによりＸ線検査装置１００を駆動させる。作業者は、ベルトコンベア８００に被検査物である商品９００（図２参照）を載置させて搬送させ、Ｘ線検査装置１００のＸ線検査室３００内において異物混入等がないか否かの検査を行う。以下、Ｘ線検査室３００内の具体例について説明する。
【００３２】
図２に示すように、Ｘ線検査室３００の上方には、Ｘ線照射装置２００が設けられ、ベルトコンベア８００の内側にＸ線ラインセンサ４００が内蔵されている。Ｘ線ラインセンサ４００は、シンチレータおよびＰＤＡ（フォトダイオード）からなる多数のセンサ４０１から構成されている。Ｘ線ラインセンサ４００は、ベルトコンベア８００の搬送方向（矢印Ｌ１の方向）に直交する向きに一列に配置されている。
【００３３】
図２に示すように、Ｘ線照射装置２００は、Ｘ線ラインセンサ４００に向けて扇状のＸ線（領域Ｓ１）を照射する。この場合、商品９００が、移動しつつ扇状のＸ線（領域Ｓ１）を受けるようベルトコンベア８００上を搬送される。その結果、商品９００を透過したＸ線がＸ線ラインセンサ４００により検出されつつ、商品９００が移動し、商品９００全体の異物検査が行われる。
【００３４】
次に、図３は、Ｘ線検査装置１００の制御システム６００の一例を示す模式図である。
【００３５】
図３に示すように、Ｘ線検査装置１００の制御システム６００は、制御部６１０、光電センサ６２１，６２２、Ｘ線照射装置２００、Ｘ線ラインセンサ４００、タッチパネル画面７００、コンベアモータ８３０、モータエンコーダ８４０および振り分け装置出力端末８６０を含む。
【００３６】
制御システム６００では、光電センサ６２１，６２２、Ｘ線照射装置２００、Ｘ線ラインセンサ４００、タッチパネル画面７００、コンベアモータ８３０、モータエンコーダ８４０および振り分け装置出力端末８６０と、制御部６１０とが、それぞれ接続して設けられている。
【００３７】
制御部６１０は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）６１１、ＲＯＭ（リードオンリメモリ）６１２、ＲＡＭ（ランダムアクセスメモリ）６１３、ＨＤＤ（ハードディスクドライブ）６１４およびＦＤＤ（フロッピー（登録商標）ディスクドライブ）６１５を含む。ＨＤＤ６１４には、後述する高さ方向基準ファイル群６１４ａが記録されている。
【００３８】
また、ＣＰＵ６１１、ＲＯＭ６１２、ＲＡＭ６１３、ＨＤＤ６１４およびＦＤＤ６１５は、互いにアドレスバス、データバス等のバスラインを介して相互通信可能に接続されている。
【００３９】
さらに、制御部６１０は、タッチパネル画面７００からのキー入力データを取り込むキー入力回路（図示せず）、プリンタ等の外部機器に関するＩ／Ｏポート（図示せず）等を備えている。
【００４０】
図３に示すように、ＣＰＵ６１１は、Ｘ線照射装置２００に対してＸ線の照射のオンオフを制御する。また、ＣＰＵ６１１は、コンベアモータ８３０に装着されたモータエンコーダ８４０からの信号に基づいて、コンベアモータ８３０の駆動のオンオフ、搬送速度（インバータ）および回転方向（正回転、逆回転）を制御する。
【００４１】
また、ＣＰＵ６１１は、光電センサ６２１，６２２からの信号を受信する。光電センサ６２１，６２２は、同期センサの働きを有し、それぞれ、コンベアを挟んで配置される一対の投光器及び受光器から構成されている。ＣＰＵ６１１は、光電センサ６２１，６２２からの信号に基づいて商品９００がＸ線ラインセンサ４００の上方に搬送されるタイミングを検知する。
【００４２】
ＣＰＵ６１１は、光電センサ６２１，６２２からの信号を受信し、商品９００が扇状のＸ線の照射を通過する場合に、Ｘ線ラインセンサ４００によるＸ線透過信号を短時間の間隔で取得し、それらのＸ線透過信号に基づいて商品９００の画像データを作成する。
【００４３】
次に、ＨＤＤ６１４に記録された高さ方向基準ファイル群６１４ａについて説明を行う。高さ方向基準ファイル群６１４ａは、予めＨＤＤ６１４に記録されている。
【００４４】
図４は、高さ方向基準ファイル群６１４ａを作成するために用いる異物サンプルの一例を示す模式的説明図であり、図５は、図４の異物サンプルをＸ線検査装置１００により高さ方向基準ファイル群を作成した状態を示す模式的説明図であり、図６は、Ｘ線の出力および距離の関係を示す模式図である。  図４（ａ）は、異物サンプル９９０の平面図を示し、図４（ｂ）は異物サンプル９９０の高さ方向の位置を示す。
【００４５】
図４（ａ）に示すように、異物サンプル９９０には、異物９９１，〜，異物９９６のように形状および大きさがそれぞれ異なり、図４（ｂ）に示すように、異物の高さ方向の位置が高さＨ１，〜，Ｈ４，Ｈ（Ｈ１＜Ｈ２＜Ｈ３＜Ｈ４＜Ｈの関係）と異なるものが含まれる。
【００４６】
また、異物サンプル９９０は、材質の異なるもの、例えば、ステンレス鋼（Stainless steel）、鉄（Ｆｅ）、骨等、種々の材質について、それぞれ少なくとも１個形成される（図５参照）。  具体的には、ステンレス鋼、鉄等の金属、骨、ゴム等の種々の材質について、直径０．５ｍｍの球体、直径１．０ｍｍの球体、直径２．０ｍｍの球体のテストピースを異物サンプル９９０として用いる。
【００４７】
また、予め形状の判明しているもの、例えば、薬の能書き書または脱酸素材等も異物サンプル９９０として用いる。その結果、薬の能書き書または脱酸素材等は予めサイズおよび形状が判明している検査対象物であるので、当該検査対象物の検査を行う場合に、箱内の能書き書または脱酸素材の正確な高さおよび位置を検出でき、有効である。
【００４８】
ここで、図６に示すように、Ｘ線の出力は、照射距離（照射から受光までの距離）が短い場合、大きな値を示し、照射距離が長い場合、小さな値を示す。すなわち、Ｘ線の出力は、照射距離の自乗に反比例する二次曲線の特徴を示す。
【００４９】
したがって、図６に示す傾向と同じように、図４の高さＨ１，〜，Ｈ４，Ｈにおいても出力の差が現れるので、当該出力の差を画像データの濃淡として処理することができる。
【００５０】
図４に示す異物サンプル９９０を、図２に示す商品９００の代わりにＸ線検査装置１００で検出する。それにより、図５に示すように、高さ方向基準ファイル６１４ａ１，〜高さ方向基準ファイル６１４ａ１０を高さ方向基準ファイル群６１４ａとして記録する。
【００５１】
また、各高さ方向基準ファイル６１４ａ１，〜高さ方向基準ファイル６１４ａ１０の各異物に対して、水平位置およびサイズの補正値も記録される。この水平位置およびサイズの補正値が必要となる点については、後述する。
【００５２】
次に、図７は、Ｘ線検査装置１００を用いて商品９００内の異物９８０を検出する場合の問題点を説明するための説明図である。
【００５３】
図７に示すように、商品９００がベルトコンベア８００により搬送される。この場合、Ｘ線照射装置２００から扇状にＸ線（領域Ｓ１）が照射され、商品９００を透過したＸ線がＸ線ラインセンサ４００により検出される。
【００５４】
この場合、商品９００内の異物９８０は、Ｘ線が上斜方向から照射されるため、実際の位置よりも搬送方向の幅方向に対して外側に配置されたＸ線ラインセンサ４００で検出される。また、異物９８０のサイズもわずかに大きい印影で画像データＤに映し出される。その結果、画像データＤにおいては、現実の位置とは異なり、破線で示した異物９８０の位置９８１に現れる。
【００５５】
また、異物９８０のサイズは、Ｘ線が上斜方向から照射されることにより現実の異物９８０のサイズよりも大きなサイズの異物９８０の位置９８１として現れる。
【００５６】
すなわち、本来の異物９８０の水平位置およびサイズを特定するためには、水平位置およびサイズの補正値が必要となる。
【００５７】
本実施の形態に係るＸ線検査装置１００においては、制御部６１０のＣＰＵ６１１において、高さ方向基準ファイル群６１４ａと画像データＤとを比較する処理を行う。
【００５８】
具体的には、図７の異物９８０の位置９８１と大きさおよび濃淡が最も近似する、高さ方向基準ファイル６１４ａ１，〜，６１４ａ１０の画像を一つ選択する。例えば、高さ方向基準ファイル６１４ａ１（図５参照）の異物９９１のＨの画像が選択された場合、異物９８０は、高さＨにあると計測される。
【００５９】
また、水平位置およびサイズを補正する補正データも高さ方向基準ファイル６１４ａ１の異物毎に決められているので、実際の異物９８０の現実の水平位置および現実のサイズに補正し、実際の水平位置およびサイズを特定することができる。このようにして、高さ方向異物位置測定が行われる。
【００６０】
そして、ＣＰＵ６１１は、異物９８０の正確な高さ方向の位置および水平方向の位置、サイズを、振り分け装置出力端末８６０から振り分け装置に指示を与える。その結果、振り分け装置により商品９００の異物９８０が確実に除去される。
【００６１】
例えば、商品９００がミンチ肉等の場合、ミンチ肉が継続して搬送され、振り分け装置により、ミンチ肉の異物が混入している部分のみ、除去することができる。その結果、異物が混入していない部分を無駄に排除する必要がなくなり、コスト増加を防止することができる。
【００６２】
また、商品９００が薬箱の場合、能書き書が梱包されていない場合、または商品９００の開封時に、能書き書が目に付く位置（高さおよび位置）にない場合、振り分け装置により正常ラインから排除し、能書き書が正常な位置に梱包された薬箱のみを正常ラインに排出することができる。それにより、購買者が能書き書を読まずに薬を飲むことを防止できる。
【００６３】
次に、商品９００に複数の異物が含まれている場合について説明を行う。図８は、画像データＤに異物９８２および異物９８３が含まれている状態を示す模式図である。
【００６４】
制御部６１０のＣＰＵ６１１は、異物９８２および異物９８３を含む画像データＤと、複数の高さ方向基準ファイル群６１４ａとを比較する。すなわち、画像データＤにおいて、複数の濃淡の差がある場合には、複数の異物が混入しているとして、高さ方向基準ファイル群６１４ａから高さ方向基準ファイルを複数選択する。それにより、複数の異物９８２，９８３に対しても、それぞれ高さ方向異物位置測定がおこなわれる。また、画像の濃淡に基づいて、異物形状および異物個数の測定が行われる。なお、いびつな形状の異物の場合には、濃淡が徐々に変化するため、濃淡が徐々に変化している場合には、１の異物が混入していると判定する。
【００６５】
以上のように、本発明に係るＸ線検査装置１００においては、制御部６１０において、画像データＤと高さ方向基準データファイル６１４ａとを比較し、近似する異物９８０の高さ方向の位置基準データを１つ選定し、商品９００内の異物９８０の高さ方向の位置を計測することができる。
【００６６】
また、当該異物９８０の高さ方向の位置に応じてＣＰＵ６１１により画像データＤの水平位置およびサイズが、現実の水平位置および現実のサイズに補正されるので、商品９００内の異物９８０の正常な位置（三次元）を計測することができる。
【００６７】
その結果、異物９８０の高さ方向の位置基準データ群と比較することにより、演算処理を行う場合等と比較して処理速度を向上させることができる。その結果、即座に商品９００の異物混入位置を確認して異物９８０のみの除去を確実に行うことができる。
【００６８】
なお、上記の実施の形態においては、図２に商品９００を例示したが、これに限定されず、他の任意の商品、例えば、連続的に運搬されるミンチ肉、小魚等、袋入りのせんべい、１段または複数段を有する饅頭等であってもよい。
また、図に示すように、濃淡は、グレースケールにおいて表現されるとしたが、これに限定されず、数値化、カラー化等により現してもよい。
【００６９】
さらに、上記実施の形態においては、ＣＰＵ６１１により画像の濃淡について高さを測定することとしたが、所定周期で検出する商品９００内の異物９８０の輪郭のずれにより高さを算出する、またはテンプレートマッチング処理をすることとしてもよい。また、振り分け装置を用いることとしたが、これに限定されず、他の任意の装置、例えば異物除去装置等を用いてもよい。
【００７０】
本実施の形態においては、Ｘ線照射装置２００が１個のＸ線源に相当し、Ｘ線ラインセンサ４００が１個のＸ線検出器に相当し、商品９００が被検査物に相当し、異物９８０が異物に相当し、Ｘ線検査装置１００がＸ線検査装置に相当し、画像データＤが画像データに相当し、制御部６１０が計測部、水平位置補正部およびサイズ補正部に相当し、高さ方向基準データファイル群６１４ａが異物の高さ方向の位置基準データに相当し、高さ方向基準データファイル群６１４ａの高さＨ、Ｈ１、Ｈ２、Ｈ３、Ｈ４のそれぞれの濃淡が、画像データにおける濃淡に相当する。
【００７１】
本発明の好ましい一実施の形態は上記の通りであるが、本発明はそれだけに制限されない。本発明の精神と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が他になされることは理解されよう。さらに、本実施形態において、本発明の構成による作用および効果を述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限定するものではない。
【符号の説明】
【００７２】
２００  Ｘ線照射装置
４００  Ｘ線ラインセンサ
９００  商品
９８０  異物
１００  Ｘ線検査装置
Ｄ  画像データ
６１０  制御部
６１４ａ  高さ方向基準データファイル群
【図１】
2011085518.tif 000003
【図２】
2011085518.tif 000004
【図３】
2011085518.tif 000005
【図４】
2011085518.tif 000006
【図５】
2011085518.tif 000007
【図６】
2011085518.tif 000008
【図７】
2011085518.tif 000009
【図８】
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