(57)【要約】【課題】  外装体と洗浄治具本体の間に水晶素板が入り込み、水晶素板が破損してしまうことを防止すると共に、洗浄治具自体の反りや破損を防止することができる洗浄治具を提供することを課題とする。【解決手段】  薄板を洗浄する際に用いられる洗浄治具であって、薄板が挿入可能とするように、第１の基部と第１の枠部により設けられる第１の収容部を有し、第１の収容部底面に第１の貫通孔が設けられている第１の外装体と、第２の基部と第２の枠部により設けられる第２の収容部を有し、第２の収容部底面に第２の貫通孔が設けられ、第２の収容部底面の４隅に第２の注入排出孔が設けられている第２の外装体と、を備え、第１の枠部が第２の収容部内に嵌め込めるようになっており、第１の枠部の４隅に第１の注入排出孔が第２の注入排出孔と向かい合う位置に設けられ、第１の注入排出孔が第１の収容部と連通していることを特徴とするものである。【選択図】図１
2011131177.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板を洗浄する際に用いられる洗浄治具であって、
前記薄板が挿入可能とするように、第１の基部と第１の枠部により設けられる第１の収容部を有し、前記第１の収容部底面に第１の貫通孔が設けられている第１の外装体と、
第２の基部と第２の枠部により設けられる第２の収容部を有し、前記第２の収容部底面に第２の貫通孔が設けられ、前記第２の収容部底面の４隅に第２の注入排出孔が設けられている第２の外装体と、を備え、
前記第１の枠部が前記第２の収容部内に嵌め込めるようになっており、前記第１の枠部の４隅に第１の注入排出孔が前記第２の注入排出孔と向かい合う位置に設けられ、前記第１の注入排出孔が前記第１の収容部と連通していることを特徴とする洗浄治具。
【請求項２】
薄板を洗浄する際に用いられる洗浄治具であって、
前記薄板が挿入可能とするように、第１の基部と４つの壁部により設けられる第１の収容部を有し、前記第１の収容部底面に第１の貫通孔が設けられている第１の外装体と、
第２の基部と第２の枠部により設けられる第２の収容部を有し、前記第２の収容部底面に第２の貫通孔が設けられ、前記第２の収容部底面の４隅に第２の注入排出孔が設けられている第２の外装体と、を備え、
前記４つの壁部が前記第２の収容部内に嵌め込めるようになっており、前記第１の基部の４箇所に第１の注入排出孔が前記第２の注入排出孔と向かい合う位置に設けられていることを特徴とする洗浄治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄く形成された板状体を洗浄する際に用いる洗浄治具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
薄く形成された板状体、つまり薄板には、例えば水晶素板がある。この水晶素板は、従来より、通信機器や電子機器等に搭載される圧電デバイスに用いられている。
【０００３】
図５及び図６に示す水晶素板４００は、洗浄されてから用いられる。水晶素板４００は小さく割れやすいため、前記水晶素板４００の洗浄には、洗浄治具３００が用いられる。
具体的には、図５及び図６に示すように、洗浄治具３００は、第１の外装体３１０と第２の外装体３２０とから構成されている。
【０００４】
第１の外装体３１０は、第１の基部３１０ａと第１の枠部３１０ｂにより構成されている。
前記枠部３１０ｂは、一枚板の金属板をエッチング加工することによって複数設けられ、第１の枠部３１０ｂで囲まれた部分が第１の収容部３１１となる。つまり、第１の収容部３１１は、第１の基部３１０ａと第１の枠部３１０ｂにより形成される。
前記第１の収容部３１１は、その内部に前記水晶素板４００が挿入可能であり、第１の収容部３１１底面となる第１の枠部３１０ｂ内の第１の基部３１０ａに第１の貫通孔３１２が設けられている。
【０００５】
第２の外装体３２０は、第２の基部３２０ａと第２の枠部３２０ｂにより構成されている。
前記枠部３２０ｂは、一枚板の金属板をエッチング加工することによって設けられ、第２の枠部３２０ｂで囲まれた部分が第２の収容部３２１となる。つまり、第２の収容部３２１は、第２の基部３２０ａと第２の枠部３２０ｂにより形成される。
第２の基部３２０ａと第２の枠部３２０ｂにより第２の収容部３２１が複数形成されており、第２の収容部３２１底面となる第２の枠部３２０ｂ内の第２の基部３２０ａに第２の貫通孔３２２が設けられている。
水晶素板４００が、前記第１の収容部３１１の水晶素板４００に対向する底面と前記第２の収容部３２１の水晶素板４００に対向する底面にはさまれて第１の外装体３１０から脱落しないようになっている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
この従来の洗浄治具３００を用いた水晶素板４００の洗浄は、前記水晶素板３００を収容し、前記洗浄治具３００を洗浄槽に浸けて、前記洗浄治具３００に向かって水流を噴射することによって、前記水晶素板４００に付着している研磨粉やごみ等の付着物を落とすシャワー洗浄を行なっている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００９−２４０９７７号公報
【特許文献２】特開２００７−２８４５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来の洗浄治具３００は、第１の外装体３１０及び第２の外装体３２０のどちらか一方の外側に向いている面に対して水流を噴射することにより、前記第１の貫通孔３１２内及び前記第２の貫通孔３２２内から第１の収容部３１１内及び第２の収容部３１２内に入った水流の水圧によって、水流を噴射している側と反対側の面の外装体が浮いた状態になるので、第１の外装体３１０と第２の外装体３２０との間に水晶素板４００が入り込み、水晶素板４００が割れてしまうといった課題あった。
また、水流を噴射している側と反対側の面の外装体が浮いた状態になることから、水晶素板４００が固定されなくなるため、第１の外装体３１０と第２の外装体３２０との間に入り込んだ水晶素板４００を収容部に再整理する工程が必要になるため、生産性が低下してしまうといった課題があった。
【０００９】
本発明は前記課題に鑑みてなされたものであり、第１の外装体と第２の外装体との間に薄板が入り込み、薄板が破損してしまうことを防ぐと共に、生産性を向上させる洗浄治具を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の洗浄治具は、薄板を洗浄する際に用いられる洗浄治具であって、薄板が挿入可能とするように、第１の基部と第１の枠部により設けられる第１の収容部を有し、第１の収容部底面に第１の貫通孔が設けられている第１の外装体と、第２の基部と第２の枠部により設けられる第２の収容部を有し、第２の収容部底面に第２の貫通孔が設けられ、第２の収容部底面の４隅に第２の注入排出孔が設けられている第２の外装体と、を備え、第１の枠部が第２の収容部内に嵌め込めるようになっており、第１の枠部の４隅に第１の注入排出孔が第２の注入排出孔と向かい合う位置に設けられ、第１の注入排出孔が第１の収容部と連通していることを特徴とするものである。
【００１１】
また、本発明の洗浄治具は、薄板を洗浄する際に用いられる洗浄治具であって、薄板が挿入可能とするように、第１の基部と４つの壁部により設けられる第１の収容部を有し、第１の収容部底面に第１の貫通孔が設けられている第１の外装体と、第２の基部と第２の枠部により設けられる第２の収容部を有し、第２の収容部底面に第２の貫通孔が設けられ、第２の収容部底面の４隅に第２の注入排出孔が設けられている第２の外装体と、を備え、４つの壁部が第２の収容部内に嵌め込めるようになっており、第１の基部の４箇所に第１の注入排出孔が第２の注入排出孔と向かい合う位置に設けられていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１２】
このような洗浄治具によれば、第２の外装体の第２の収容部底面の４隅に第２の注入排出孔が設けられ、第１の外装体の第１の枠部の４隅に第１の注入排出孔が、第２の注入排出孔と向かい合う位置に設けられていることによって、洗浄治具の片面に対して水流を噴射することにより、前記第１の貫通孔内及び前記第２の貫通孔内から第１の収容部内及び第２の収容部内に入った水流は、第１の注入排出孔及び第２の注入排出孔から排出されることによって、水流を噴射している面と反対側の面の外装体にかかる水圧を低減し、第１の外装体と第２の外装体との間に水晶素板が入り込むことを防ぐことができるので、水晶素板が破損することを防止することができる。
また、第１の注入排出孔及び第２の注入排出孔から排出されることによって、水流を噴射している面と反対側の面の外装体にかかる水圧を低減することができるので、水流を噴射している側と反対側の面の外装体が浮いた状態になることを防ぐことができる。よって、第１の外装体と第２の外装体との間に水晶素板が入り込むことがなくなり、水晶素板を第１の収容部に再整理する工程が必要ないので、生産性を向上させることができる。
【００１３】
また、このような洗浄治具によれば、第２の外装体の第２の収容部底面の４隅に第２の注入排出孔が設けられ、第１の外装体の４つの壁部が第２の収容部内に嵌め込めるようになっており、第１の基板部の４箇所に第１の注入排出孔が、第２の注入排出孔と向かい合う位置に設けられていることによって、洗浄治具の片面に対して水流を噴射することにより、前記第１の貫通孔内及び前記第２の貫通孔内から第１の収容部内及び第２の収容部内に入った水流は、第１の注入排出孔及び第２の注入排出孔から排出されることによって、水流を噴射している面と反対側の面の外装体にかかる水圧を低減し、第１の外装体と第２の外装体との間に水晶素板が入り込むことを防ぐことができるので、水晶素板が破損することを防止することができる。
また、第１の注入排出孔及び第２の注入排出孔から排出されることによって、水流を噴射している面と反対側の面の外装体にかかる水圧を低減することができるので、水流を噴射している側と反対側の面の外装体が浮いた状態になることを防ぐことができる。よって、第１の外装体と第２の外装体との間に水晶素板が入り込むことがなくなり、水晶素板を第１の収容部に再整理する工程が必要ないので、生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る洗浄治具を第１の外装体側から見た分解斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る洗浄治具を第２の外装体側から見た分解斜視図である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係る洗浄治具を第１の外装体側から見た分解斜視図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る洗浄治具を第２の外装体側から見た分解斜視図である。
【図５】従来の洗浄治具を第１の外装体側から見た分解斜視図である。
【図６】従来の洗浄治具を第２の外装体側から見た分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施添付図面に基づいて詳細に説明する。尚、薄板を水晶素板として説明する。
図１〜図５に示す洗浄治具１００は、水晶素板１０を収容し、その洗浄治具１００を洗浄槽（図示せず）に浸けて、洗浄治具１００に向かって水流を噴射することによって、水晶素板１０の表面に水流を当てて、前記水晶素板１０に付着している付着物を落とすことにより洗浄する際に用いるものである。以下、水晶素板１０、洗浄治具１００の順に説明する。
【００１６】
（水晶素板）
水晶素板１０は、人工水晶体から所定のカットアングルで切断し外形加工を施された概略平板状で平面形状が例えば四角形となっている。
水晶素板１０の厚みは、例えば、２０μｍ〜５０μｍとなっている。このように洗浄された水晶素板１０の表裏両主面には励振用電極（図示せず）が被着形成され水晶振動素子（図示せず）となる。
前記水晶振動素子は、外部からの電圧が引き出し電極（図示せず）を励振用電極を介して水晶素板１０に印加されると、所定の振動モード及び周波数で励振を起こすようになっている。
励振用電極は、前記水晶素板１０の表裏両主面に金属膜を積層するようにして被着・形成したものであり、水晶素板１０の上面には第１の金属膜であるクロム（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）が形成され、第１の金属膜の上面に第２の金属膜である金（Ａｕ）が積層するように形成されている。
【００１７】
（洗浄治具）
（第１の実施形態）
図１〜図２に示すように、第１の実施形態に係る洗浄治具１００は、第１の外装体１１０と第２の外装体１２０とから構成されている。
図１〜図２に示す第１の外装体１１０は、例えば、ＳＵＳ３０４等のステンレス鋼によって構成された一枚板の金属板により構成されている。
第１の外装体１１０は、第１の基部１１０ａと第１の枠部１１０ｂにより構成されている。
前記枠部１１０ｂは、一枚板の金属板をエッチング加工することによって複数設けられ、第１の枠部１１０ｂで囲まれた部分が第１の収容部１１１となる。つまり、第１の収容部１１１は、第１の基部１１０ａと第１の枠部１１０ｂにより形成される。
【００１８】
前記第１の収容部１１１は、その内部に前記水晶素板１０が挿入可能であり、第１の収容部１１１底面となる第１の枠部１１０ｂ内の第１の基部１１０ａに第１の貫通孔１１２が設けられている。
前記第１の貫通孔１１２は、金属板を打ち抜き加工等をすることにより設けられている。前記第１の貫通孔１１２は、水晶素板１０の主面に設けられる励振用電極及び引き出し電極の形状を成している。
【００１９】
また、前記第１の外装体１１０の前記第１の枠部１１０ｂの４隅には、第１の注入排出孔１１３が設けられている。つまり、第１の注入排出孔１１３は、後述する第２の注入排出孔１２３と向かい合う位置になるように前記第１の枠部１１０ｂの４隅に設けられている。
前記第１の注入排出孔１１３は、前記第１の収容部１１１と連通している。つまり、第１の注入排出孔１１３は、水流を第１の収容部１１１内及び後述する第２の収容部１２１に注入する役割と前記前記第１の貫通孔１１２及び後述する第２の注入排出孔１２３から入った水流を排出する役割とを果たす。
【００２０】
また、第１の収容部１１１は、後述する第２の外装体１２０の第２の収容部１２１よりも開口面積は小さくなっている。つまり、第１の枠部１１０ｂの外周サイズは、後述する第２の枠部１２０ｂに設けられた第２の収容部１２１の開口部サイズよりも小さくなっている。
また、第１の外装体１１０の厚みは、第１の基部１１０ａと第１の枠部１１０ｂの厚みを足して、例えば、７０〜１４０μｍになっている。
【００２１】
図１〜図２に示す第２の外装体１２０は、第１の外装体１１０と同様に、例えば、ＳＵＳ３０４等のステンレス鋼によって構成された一枚板の金属板により構成されている。
第２の外装体１２０は、第２の基部１２０ａと第２の枠部１２０ｂにより構成されている。
前記枠部１２０ｂは、一枚板の金属板をエッチング加工することによって設けられ、第２の枠部１２０ｂで囲まれた部分が第２の収容部１２１となる。つまり、第２の収容部１２１は、第２の基部１２０ａと第２の枠部１２０ｂにより形成される。
【００２２】
第２の基部１２０ａと第２の枠部１２０ｂにより第２の収容部１２１が複数形成されており、第２の収容部１２１底面となる第２の枠部１２０ｂ内の第２の基部１２０ａに第２の貫通孔１２２が設けられている。
前記第２の貫通孔１２２は、金属板を打ち抜き加工等をすることにより設けられている。前記第２の貫通孔１２２は、水晶素板１０の主面に設けられる励振用電極の形状を成している。
【００２３】
また、第２の外装体１２０の前記第２の収容部１２１底面の４隅に第２の注入排出孔１２３が設けられている。
また、第２の注入排出孔１２３は、前記第１の注入排出孔１１３と向かい合う位置になるように設けられている。つまり、前記第２の注入排出孔１２３は、前記第１の注入排出孔１１３と対向する位置に設けられている。
これにより、第２の注入排出孔１２３は、水流を前記第１の収容部１１１内及び前記第２の収容部１２１内に注入する役割と前記前記第２の貫通孔１１２及び後述する第１の注入排出孔１１３から入った水流を排出する役割とを果たす。
【００２４】
また、第２の収容部１２１の開口部サイズは、前記第１の外装体１１０の第１の枠部１１０ｂの外周サイズよりも開口面積は大きくなっており、この第２の収容部１２１内に第１の外装体１１０の第１の枠部１１０ｂが嵌め込むことができるようになっている。
このように第２の収容部１２１に第１の枠部１１０ｂを嵌め込むことによって、前記第１の収容部１１１の底面と前記第２の収容部１２１の底面が水晶素板１０と向かい合うようになっている。
また、このように第２の収容部１２１に第１の枠部１１０ｂを嵌め込むことによって前記第２の注入排出孔１２３と前記第１の注入排出孔１１３が向かい合うようになっている。
【００２５】
この水晶素板１０と対向する前記第１の収容部１１１の底面の中央と前記第２の収容部１２１の底面の中央には、第１の外装体１１０と第２の外装体１２０の一方の主面から他方に主面に貫通された第１の貫通孔１１２、第２の貫通孔１２２が設けられている。尚、第１の収容部１１１及び第２の収容部１２１の開口サイズは、内部に収容する水晶素板１０の主面サイズより小さくなっている。
また、第２の外装体１２０の厚みは、第２の基部１２０ａと第２の枠部１２０ｂの厚みを足して、例えば、７０〜１４０μｍになっている。
また、第１の外装体１１０、第２の外装体１２０との間隔は、収容される水晶素板１０の厚み程度となっている。
【００２６】
このような洗浄治具１００は、第１の外装体１１０の第１の収容部１１１内に水晶素板１０を収容し、第２の外装体１２０の第２の収容部１２１に第１の外装体１１０の第１の枠部１２０ｂを嵌め込むようにして、第１の外装体１１０と第２の外装体１２０を重ね合わせ、接合固定状態で使用される。
前記水晶素板１０が収容された洗浄治具１００の第１の貫通孔１１２及び第２の貫通孔１２２の開口に向けて水流を噴射させる。
第１の外装体１１０に設けられた第１の貫通孔１１２と第２の外装体１２０に設けられた第２の貫通孔１２２を通して、水流が水晶素板１０にあたることによって、前記水晶素板１０に付着している付着物が落とされ、水晶素板１０の洗浄を行なっている。
【００２７】
このように、本発明の洗浄治具１００によれば、第２の外装体１２０の第２の収容部１２１底面の４隅に第２の注入排出孔１２３が設けられ、第１の外装体１１０の第１の枠部１１０ｂの４隅に第１の注入排出孔１１３が、第２の注入排出孔１２３と向かい合う位置に設けられていることによって、洗浄治具１００の片面に対して水流を噴射することにより、前記第１の貫通孔１１２内及び前記第２の貫通孔１２２内から第１の収容部１１１内及び第２の収容部１２１内に入った水流は、第１の注入排出孔１１３及び第２の注入排出孔１２３から排出されることによって、水流を噴射している面と反対側の面の外装体にかかる水圧を低減し、第１の外装体１１０と第２の外装体１２０との間に水晶素板１０が入り込むことを防ぐことができるので、水晶素板１０が破損することを防止することができる。
また、第１の注入排出孔１１３及び第２の注入排出孔１２３から排出されることによって、水流を噴射している面と反対側の面の外装体にかかる水圧を低減することができる。よって、水流を噴射している側と反対側の面の外装体が浮いた状態にならないので、第１の外装体１１０と第２の外装体１２０との間に入り込むことがなくなり、水晶素板１０を第１の収容部１１１に整理する工程が必要ないので、生産性を向上させることができる。
【００２８】
（第２の実施形態）
図３〜図４に示すように、第２の実施形態に係る洗浄治具２００は、第１の外装体２１０と第２の外装体２２０とから構成され、前記第１の外装体２１０が、第１の基部２１０ａと４つの壁部２１０ｂにより構成されている点が第１の実施形態と異なる。
図３〜図４に示す第１の外装体２１０は、例えば、ＳＵＳ３０４等のステンレス鋼によって構成された一枚板の金属板により構成されている。
第１の外装体２１０は、第１の基部２１０ａと４つの壁部２１０ｂにより構成されている。
前記４つの壁部２１０ｂは、一枚板の金属板をエッチング加工することによって複数設けられ、前記４つの壁部２１０ｂで囲まれた部分が第１の収容部２１１となる。つまり、第１の収容部２１１は、第１の基部２１０ａと４つの壁部２１０ｂにより形成される。
【００２９】
前記第１の収容部２１１は、その内部に前記水晶素板１０が挿入可能であり、第１の収容部２１１底面となる４つの壁部２１０ｂで囲まれた第１の基部２１０ａに第１の貫通孔２１２が設けられている。また、前記４つの壁部２１０ｂは、第１の貫通孔２１２を囲むと共に、各壁部２１０ｂが接触しない位置にそれぞれ設けられている。
前記第１の貫通孔２１２は、金属板を打ち抜き加工等をすることにより設けられている。前記第１の貫通孔２１２は、水晶素板１０の主面に設けられる励振用電極及び引き出し電極の形状を成している。
【００３０】
また、後述する第２の注入排出孔２２３と向かい合う前記第１の外装体２１０の第１の基部２１０ａの位置に第１の注入排出孔２１３が設けられている。
つまり、第１の注入排出孔２１３は、後述する第２の注入排出孔２２３と向かい合う位置になるように、４つの壁部２１０ｂが設けられていない第１の基部２１０ａの４箇所に設けられている。
前記第１の注入排出孔２１３は、水流を第１の収容部２１１内及び後述する第２の収容部２２１に注入する役割と前記前記第１の貫通孔２１２及び後述する第２の注入排出孔２２３から入った水流を排出する役割とを果たす。
【００３１】
図１〜図２に示す第２の外装体２２０は、第１の外装体２１０と同様に、例えば、ＳＵＳ３０４等のステンレス鋼によって構成された一枚板の金属板により構成されている。
第２の外装体２２０は、第２の基部２２０ａと第２の枠部２２０ｂにより構成されている。
前記枠部２２０ｂは、一枚板の金属板をエッチング加工することによって設けられ、第２の枠部２２０ｂで囲まれた部分が第２の収容部２２１となる。つまり、第２の収容部２２１は、第２の基部２２０ａと第２の枠部２２０ｂにより形成される。
【００３２】
第２の基部２２０ａと第２の枠部２２０ｂにより第２の収容部２２１が複数形成されており、第２の収容部２２１底面となる第２の枠部２２０ｂ内の第２の基部２２０ａに第２の貫通孔２２２が設けられている。
前記第２の貫通孔２２２は、金属板を打ち抜き加工等をすることにより設けられている。前記第２の貫通孔２２２は、水晶素板１０の主面に設けられる励振用電極の形状を成している。
【００３３】
また、第２の外装体２２０の前記第２の収容部２２１底面の４隅に第２の注入排出孔２２３が設けられている。
また、第２の注入排出孔２２３は、前記第１の注入排出孔２１３と向かい合う位置になるように設けられている。つまり、前記第２の注入排出孔２２３は、前記第１の注入排出孔２１３と対向する位置に設けられている。
これにより、第２の注入排出孔２２３は、水流を前記第１の収容部２１１内及び前記第２の収容部２２１内に注入する役割と前記前記第２の貫通孔２２２及び後述する第１の注入排出孔２１３から入った水流を排出する役割とを果たす。
【００３４】
また、第２の収容部２２１の開口部サイズは、前記第１の外装体２１０の前記４つの壁部２１０ｂの外周サイズよりも開口面積は大きくなっており、この第２の収容部２２１内に第１の外装体２１０の４つの壁部２１０ｂが嵌め込むことができるようになっている。
このように第２の収容部２２１に前記４つの壁部２１０ｂを嵌め込むことによって、前記第１の収容部２１１の底面と前記第２の収容部２２１の底面が水晶素板１０と向かい合うようになっている。
また、このように第２の収容部２２１に前記４つの壁部２１０ｂを嵌め込むことによって、前記第２の注入排出孔２２３と前記第１の注入排出孔２１３が向かい合うようになっている。
【００３５】
このような洗浄治具２００によれば、第２の外装体２２０の第２の収容部２２１底面の４隅に第２の注入排出孔２２３が設けられ、第１の外装体２１０の４つの壁部２１０ｂが第２の収容部２２１内に嵌め込めるようになっており、第２の注入排出孔２２３と向かい合う第１の外装体２１０の位置に第１の注入排出孔２１３が設けられていることによって、洗浄治具２００の片面に対して水流を噴射することにより、前記第１の貫通孔２１２内及び前記第２の貫通孔２２２内から第１の収容部２１１内及び第２の収容部２２１内に入った水流は、第１の注入排出孔２１３及び第２の注入排出孔２２３から排出されることによって、水流を噴射している面と反対側の面の外装体にかかる水圧を低減することができる。よって、第１の外装体２１０と第２の外装体２２０との間に水晶素板１０が入り込むことを防ぐことができるので、水晶素板１０が破損することを防止することができる。
【００３６】
また、第１の注入排出孔２１３及び第２の注入排出孔２２３から排出されることによって、水流を噴射している面と反対側の面の外装体にかかる水圧を低減することができるので、水流を噴射している側と反対側の面の外装体が浮いた状態になることを防ぐことができる。よって、第１の外装体２１０と第２の外装体２２０との間に水晶素板１０が入り込むことがなくなり、水晶素板１０を第１の収容部２１１に再整理する工程が必要ないので、生産性を向上させることができる。
【００３７】
尚、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
また、前記実施形態においては、第１の注入排出孔２１３及び第２の注入排出孔２２３は、１つの収容部に対して、各４箇所設けられているが、隣り合う別の収容部に設けられた第１の注入排出孔及び第２の注入排出孔とつながっていても構わない。
【００３８】
また、前記実施形態においては、第１の貫通孔２１２、第２の貫通孔２２２は、平面形状は四角形で記載されていたが、円形でも構わない。また、水晶素板１０も平面形状は四角形で記載されていたが、円形の板であっても構わない。
【００３９】
また、前記実施形態においては、薄板を水晶素板１０として説明したが、セラミック、ガラス、サファイア等の硬脆材のものであっても構わない。
【００４０】
また、圧電デバイスは、素子搭載部材の一方の主面に形成されている凹部空間内に、水晶素板１０に励振電極が設けられた水晶振動素子が搭載され、前記封止用導体パターンと蓋体が接合され、気密封止されている水晶振動子がある。
また、素子搭載部材に水晶振動素子と集積回路素子が搭載され、前記素子搭載部材の封止用導体パターンと蓋体が接合され、気密封止されている水晶発振器がある。
【符号の説明】
【００４１】
１０・・・水晶素板
１１０、２１０・・・第１の外装体
１１０ａ、２１０ａ・・・第１の基部
１１０ｂ・・・第１の枠部
２１０ｂ・・・壁部
１１１、２１１・・・第１の収容部
１１２、２１２・・・第１の貫通孔
１１３、２１３・・・第１の注入排出孔
１２０、２２０・・・第２の外装体
１２０ａ、２２０ａ・・・第２の基部
１２０ｂ、２２０ｂ・・・第２の枠部
１２１、２２１・・・第２の収容部
１２２、２２２・・・第２の貫通孔
１２３、２２３・・・第２の注入排出孔
１００、２００・・・洗浄治具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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