(57)【要約】【課題】  運転を継続した状態で分離膜ユニットを交換できる分離膜装置を提供する。【解決手段】  混合流体が供給される混合流体供給管３５と、該混合流体供給管３５がそれぞれ接続される複数の分離膜ユニット３１、３２、３３と、該複数の分離膜ユニット３１、３２、３３にそれぞれ接続され分離膜ユニット３１、３２、３３で分離された分離流体を排出する分離流体排出管３７と、複数の分離膜ユニット３１、３２、３３にそれぞれ接続され分離膜ユニット３１、３２、３３で分離されなかった残部の流体を排出する残部流体排出管３９と、混合流体供給管３５、分離流体排出管３７および残部流体排出管３９にそれぞれ設けられたバルブ４１とを具備する。【選択図】  図１
2011131148.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
混合流体を供給する混合流体供給管と、該混合流体供給管がそれぞれ接続された複数の分離膜ユニットと、該複数の分離膜ユニットにそれぞれ接続された、該分離膜ユニットで分離された分離流体を排出する分離流体排出管と、前記複数の分離膜ユニットにそれぞれ接続された、該分離膜ユニットで分離されなかった残部の流体を排出する残部流体排出管と、前記混合流体供給管、前記分離流体排出管および前記残部流体排出管にそれぞれ設けられたバルブとを具備することを特徴とする分離膜装置。
【請求項２】
前記残部流体中における前記分離流体の濃度を測定するセンサを有することを特徴とする請求項１に記載の分離膜装置。
【請求項３】
前記分離膜ユニットは、多孔質の支持管の内面に分離膜が形成された分離膜単管を複数順次直列に接続しており、複数の前記分離膜単管内を前記混合流体が順次流れることを特徴とする請求項１または２に記載の分離膜装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分離膜装置に関し、特に、含水アルコールの脱水濃縮、天然ガス分離、石油プラントにおける異性体分離等に用いられる分離膜装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、各種ガスを含有する混合気体中から特定ガスを分離する分離膜装置や、含水アルコールから水分を除去する分離膜装置、触媒を担持したメンブレンリアクター等が用いられているが、安全かつ簡便なことからその適用範囲が拡がり、今やこれらの分離濃縮技術は各種燃焼機関をはじめ、食品工業や医療用機器、化学プラントや石油精製プラントの蒸留の一部代替、更には溶剤の回収処理、廃棄物処理等の分野でも注目されている。
【０００３】
例えば、水素ガスを分離する分離膜装置としては、石油精製プラントにおいて発生するオフガスや、アンモニア合成プラントにおいて発生するパージガスからの水素ガスの回収などに、また二酸化炭素を分離する分離膜装置としては、燃費の向上およびパイプラインの腐食防止を目的に天然ガスに含まれる二酸化炭素の除去への応用が研究されている。さらに、酸素を分離する分離膜装置としては、医療機器、スポーツ機器、各種燃焼機関用として応用されている。
【０００４】
従来の分離膜装置として、分離膜ユニットが直列に接続された分離膜装置が提案されている（特許文献１参照）。この特許文献１に記載された分離膜装置は、予熱器の後段に複数の分離膜ユニットを直列に接続して構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００９−１６０４８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１の分離膜装置では、分離膜ユニットが直列に接続されているため、分離膜装置から排出される濃縮エタノール中のエタノール濃度を向上することができるものの、ある分離膜ユニットの分離性能が劣化した場合やある分離膜ユニットが故障した場合には、分離装置自体を停止し、分離性能が劣化した、もしくは故障した分離膜ユニットを取り替え、再運転する必要があった。
【０００７】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたもので、運転を継続した状態で分離膜ユニットを交換できる分離膜装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の分離膜装置は、混合流体を供給する混合流体供給管と、該混合流体供給管がそれぞれ接続された複数の分離膜ユニットと、該複数の分離膜ユニットにそれぞれ接続された、該分離膜ユニットで分離された分離流体を排出する分離流体排出管と、前記複数の分離膜ユニットにそれぞれ接続された、該分離膜ユニットで分離されなかった残部の流体を排出する残部流体排出管と、前記混合流体供給管、前記分離流体排出管および前記残部流体排出管にそれぞれ設けられたバルブとを具備することを特徴とする。
【０００９】
本発明の分離膜装置では、混合流体供給管が複数の分離膜ユニットに接続され、これらの複数の分離膜ユニットから、分離流体、残部流体がそれぞれ排出されるため、例えば、一つの分離膜ユニットに故障が生じた場合でも、その分離膜ユニットに接続されている混合流体供給管、分離流体排出管および残部流体排出管のバルブを閉じ、故障した分離膜ユニットを混合流体供給管、分離流体排出管および残部流体排出管から取り外し、新たな分離膜ユニットを取り付けることにより、分離膜装置の運転を継続した状態で分離膜ユニットを交換でき、分離膜装置を停止することなく故障を直すことができる。
【００１０】
また、本発明の分離膜装置は、前記残部流体中における前記分離流体の濃度を測定するセンサを有することを特徴とする。
【００１１】
このような分離膜装置では、残部流体中における分離流体の濃度を測定するセンサを有するため、故障した分離膜ユニットを簡単に特定することができる。
【００１２】
さらに、本発明の分離膜装置は、前記分離膜ユニットは、多孔質の支持管の内面に分離膜が形成された分離膜単管を複数順次直列に接続しており、複数の前記分離膜単管内を前記混合流体が順次流れることを特徴とする。
【００１３】
このような分離膜装置では、それぞれの分離膜ユニットにおける混合流体の分離精度を向上することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の分離膜装置では、一つの分離膜ユニットに故障が生じた場合でも、分離膜装置の運転を継続した状態で分離膜ユニットを交換でき、分離膜装置を停止することなく故障を直すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の分離膜装置における３個の分離膜ユニットの接続状態を示す説明図である。
【図２】複数の分離膜ユニットを高さ方向に積み重ねた分離膜装置を示す説明図である。
【図３】分離膜ユニットを示すもので、（ａ）は分解斜視図、（ｂ）は（ａ）の左側のチャンバ内の流体の流れを示す説明図、（ｃ）は（ａ）の右側のチャンバ内の流体の流れを示す説明図である。
【図４】図３の分離膜単管を示すもので、（ａ）は分離膜単管の一部の断面図、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大して示す断面図である。
【図５】図３の分離膜ユニットのチャンバ形成体を９０度回転させた状態を示すもので、（ａ）は分解斜視図、（ｂ）は（ａ）の左側のチャンバ内の流体の流れを示す説明図、（ｃ）は（ａ）の右側のチャンバ内の流体の流れを示す説明図である。
【図６】６本の分離膜単管を有する分離膜ユニットを示すもので、（ａ）は分解図、（ｂ）は（ａ）の左側のチャンバ内の流体の流れを示す説明図、（ｃ）は（ａ）の右側のチャンバ内の流体の流れを示す説明図である。
【図７】１２本の分離膜単管を有する分離膜ユニットの分解図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の分離膜装置について図１を基に説明する。本発明の分離膜装置は、３個の分離膜ユニット３１、３２、３３を具備して構成されている。これらの分離膜ユニット３１、３２、３３には、混合流体が供給される混合流体供給管３５がそれぞれ接続されており、さらに、分離膜ユニット３１、３２、３３で分離された流体を排出する分離流体排出管３７と、分離膜ユニット３１、３２、３３で分離されなかった残部の流体を排出する残部流体排出管３９がそれぞれ接続されている。言い換えれば、分離膜ユニット３１、３２、３３は並列に接続されている。
【００１７】
混合流体供給管３５、分離流体排出管３７および残部流体排出管３９には、それぞれの管を開閉するバルブ４１が設けられている。分離膜ユニット３１、３２、３３にそれぞれ接続された分離流体排出管３７は連結されて冷却装置４３に接続され、この冷却装置４３には、吸引装置（いわゆる真空状態に近づけるような真空装置）４５が接続されている。
【００１８】
そして、残部流体中における分離流体の濃度を測定するセンサ４７が、残部流体排出管３９にそれぞれ設けられている。なお、残部流体中における分離流体の濃度を測定するセンサ４７は、残部流体中における分離流体の濃度を測定できる位置であれば、残部流体排出管３９に設ける必要はない。また、分離流体および残部流体のうち少なくとも一方の濃度を測定するセンサを有していれば良い。分離流体中における残部流体の濃度を測定するセンサは、例えば、分離流体排出管３７に設けられる。
【００１９】
分離膜ユニット３１、３２、３３としては、水分を含んだ有機液体の脱水や数種類の有機液体から選択的に特定の液体の分離を行うもので、アルコール、例えばエタノール中の水分を分離除去してエタノールを濃縮するものである。例えば、約０．５ｎｍφ（５Åφ）程度の分子レベルの細孔を有する分離膜を隔てて、供給側に供給したエタノールと水分が混合した混合流体中の水分を、この分離膜で選択的に溶解及び拡散させることにより、分離膜の透過側に蒸気として取り出す浸透気化法（透過気化法：パーベーパレーション(Pervaporation) 法：ＰＶ法）が用いられている。
【００２０】
図１では、分離膜を透過した水蒸気が吸引装置４５で吸引され、冷却装置４３で冷却され、水として排出されることになる。
【００２１】
分離膜ユニット３１、３２、３３は、図２に示すように、高さ方向に積み重ねられている。
【００２２】
分離膜ユニット３１、３２、３３は、例えば、図３に示すようなものが使用できる。図３は分離膜ユニットの分解斜視図を示すもので、分離膜ユニットは両端が開口する４本の円筒状の分離膜単管１を有している。
【００２３】
これらの４本の分離膜単管１は、それらの側面間が所定間隔をおいて並列に配列され、４本の分離膜単管１の両端部がそれぞれ単管固定板７に固定されている。さらに、４本の分離膜単管１は円筒状の収納管５内に収容され、この収納管５の両端もそれぞれ単管固定板７に固定されている。分離膜単管１と、収納管５と、単管固定板７とによりユニット本体３が構成されている。
【００２４】
なお、図３では、円筒状の分離膜単管１を用いたが、円筒状である必要はなく、例えば、断面が四角形でも良い。また、図１では、円筒状の収納管５を記載したが、円筒状である必要はなく、例えば、断面が四角形でも良い。
【００２５】
分離膜単管１の両端部は、単管固定板７の挿入孔１０内にそれぞれ挿入されて固定されている。単管固定板７の材質は、分離膜単管１を単管固定板７に流体が漏れることなく固定できるものであれば特に限定されるものではないが、例えば、ゴム製とすることで分離膜単管１の固定時にかかる応力を軽減できる。
【００２６】
ユニット本体３の単管固定板７にはそれぞれチャンバ２ａ、２ｂ（以下、チャンバ２ということがある）が設けられており、チャンバ２ａ、２ｂ内には、混合流体が複数の分離膜単管１内を直列に流れるように制御する仕切板６が設けられている。言い換えれば、仕切板６により、複数の分離膜単管１内を、流体が順次通過するように制御されている。さらに言い換えれば、複数の分離膜単管１は、チャンバ２ａ、２ｂで順次直列に接続されている。
【００２７】
チャンバ２ａ、２ｂは、チャンバ形成体２ａ１、２ｂ１と、該チャンバ形成体２ａ１、２ｂ１に設けられたフランジ部２ａ２、２ｂ２とを有しており、チャンバ２ａ、２ｂのフランジ部２ａ２、２ｂ２の外周部に形成されている挿入孔８と、単管固定板７の外周部に形成されている挿入孔８とを合わせた状態で、挿入孔８内にボルトを挿入して締め付けることにより、チャンバ形成体２ａ１、２ｂ１と単管固定板７とが確実に固定されている。なお、図３（ａ）ではフランジ部２ａ２、２ｂ２と単管固定板７との固定方法はボルト締めであるが、金属製の留め具などを用いて固定してもよい。
【００２８】
ユニット本体３の左側のチャンバ２ａ内に設けられた仕切板６は、チャンバ２ａ内を３つの部屋に分割しており、ユニット本体３の右側のチャンバ２ｂ内に設けられた仕切板６は、チャンバ２ｂ内を２つの部屋に分割しており、それぞれの部屋には、分離膜単管１が連通している。
【００２９】
すなわち、凹形状のチャンバ形成体２ａ１、２ｂ１内に仕切板６が収容固定され、このチャンバ形成体２ａ１、２ｂ１に、円板状のフランジ部２ａ２、２ｂ２が、チャンバ形成体２ａ１、２ｂ１の凹部を塞ぐように接合され、これにより、チャンバ形成体２ａ１、２ｂ１内が仕切板６とフランジ部２ａ２、２ｂ２とで仕切られ、複数の部屋が形成されている。円板状のフランジ部２ａ２、２ｂ２には複数の分離膜単管１とそれぞれ連通する複数の貫通孔１６、１７が形成されている。
【００３０】
なお、円板状のフランジ部２ａ２、２ｂ２を用いることなく、チャンバ形成体２ａ１、２ｂ１の外側にはみ出す環状のフランジ部とし、チャンバ形成体２ａ１、２ｂ１内を仕切板６と単管固定板７とで仕切り、複数の部屋を形成しても良い。
【００３１】
ユニット本体３の左側のチャンバ２ａには、３つの部屋のうち一つの部屋に連通する混合流体供給管３５が設けられ、他の一つの部屋に連通する残部流体排出管３９が設けられている。混合流体供給管３５から導入される流体は、例えば、エタノールと水を含有する混合流体（被分離液体）であり、残部流体排出管３９から導出される流体は、例えばエタノールを高濃度で含む濃縮エタノールである。
【００３２】
分離膜単管１の内部から外部へ透過した分離流体は、例えば水（水分）であり、この水は、収納管５に設けられた分離流体排出管３７から排出されるようになっている。分離流体排出管３７は１本に限らず、何本でも良い。
【００３３】
なお、図３では、左側のチャンバ形成体２ａ１に混合流体供給管３５と残部流体排出管３９を設けた例について説明したが、例えば、左側のチャンバ形成体２ａ１に混合流体供給管３５を設け、右側のチャンバ形成体２ｂ１に残部流体排出管３９を設けても良い。混合流体供給管３５および残部流体排出管３９は、配管という点から、チャンバ形成体２ａ１、２ｂ１のいずれか一方に設けることが望ましい。
【００３４】
分離膜単管１は、図４に示すように、多孔質の支持管１３の内面に多孔質の中間層１４を設け、この中間層１４の内面に分離膜１５を設けることにより構成されている。支持管１３は、例えばセラミックからなり、中間層１４は、例えば炭素粒子からなり、分離膜１５は、例えばガラス状炭素から構成されている。
【００３５】
このような分離膜ユニット３１、３２、３３では、例えば、被分離液体であるエタノールと水を含有する混合流体が、図３（ａ）の矢印で示すように、混合流体供給管３５から左側のチャンバ２ａの仕切板６で仕切られた部屋内に導入され、分離膜単管１ａ内を通過して、右側のチャンバ２ｂの仕切板６で仕切られた部屋内に導入され、同じ部屋内に連通する他の分離膜単管１ｂ内を通過して、左側のチャンバ２ａの仕切板６で仕切られた部屋内に導入され、同じ部屋内に連通する分離膜単管１ｃ内を通過して、右側のチャンバ２ｂの仕切板６で仕切られた部屋内に導入され、同じ部屋内に連通する分離膜単管１ｄ内を通過して、左側のチャンバ２ａの仕切板６で仕切られた部屋内に導入され、残部流体排出管３９から導出される。図３（ｂ）（ｃ）にもチャンバ２ａ、２ｂ内の混合流体の流れを記載した。
【００３６】
そして、分離膜単管１（分離膜単管１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄを総称して分離膜単管１ということがある）内をエタノールと水を含有する流体が通過する間に、水が分離膜１５を透過して分離流体排出管３７から排出され、残ったエタノールを高濃度で含有する濃縮エタノールが、残部流体排出管３９から導出される。
【００３７】
このような分離膜ユニット３１、３２、３３では、チャンバ形成体２ａ１、２ｂ１内の仕切板６により、流体が４本の分離膜単管１内を直列に流れるため、言い換えれば、混合流体が、分離膜単管１ａ、分離膜単管１ｂ、分離膜単管１ｃ、分離膜単管１ｄの順で流れ、従来のＵ字管を用いて複数の分離膜単管を接続する場合と比較して単純構造であり、製造時の自動化も容易であり、容易に製造することができる。
【００３８】
また、フランジ部２ａ２、２ｂ２と単管固定板７とを連結するボルトを外すことにより、の分離膜単管１同士の直列接続が解除できるため、分離膜単管１が破損、或いは劣化した際の交換作業が容易であり、また、分離膜単管１内に堆積した水垢等の除去作業も容易に行うことができる。
【００３９】
また、分離膜ユニット３１、３２、３３は、チャンバ形成体２ａ１、２ｂ１を回転することにより、チャンバ形成体２ａ１、２ｂ１の仕切板６で混合流体が複数の分離膜単管１内を流れる順序を変更することができる。
【００４０】
すなわち、図５は、ユニット本体３の単管固定板７に対して、図３の状態からチャンバ形成体２ａ１、２ｂ１をそれぞれ９０度回転させて固定した状態を示している。この分離膜ユニット３１、３２、３３では、例えば、被分離液体であるエタノールと水を含有する混合流体が、図５（ａ）の矢印で示すように、混合流体供給管３５から左側のチャンバ形成体２ａ１の仕切板６で仕切られた部屋内に導入され、分離膜単管１ｄ内を通過して、右側のチャンバ形成体２ｂ１の仕切板６で仕切られた部屋内に導入され、同じ部屋内に連通する他の分離膜単管１ａ内を通過して、左側のチャンバ形成体２ａ１の仕切板６で仕切られた部屋内に導入され、同じ部屋内に連通する分離膜単管１ｂ内を通過して、右側のチャンバ形成体２ｂ１の仕切板６で仕切られた部屋内に導入され、同じ部屋内に連通する分離膜単管１ｃ内を通過して、左側のチャンバ形成体２ａ１の仕切板６で仕切られた部屋内に導入され、残部流体排出管３９から導出される。図５（ｂ）（ｃ）にもチャンバ２ａ、２ｂ内の混合流体の流れを記載した。
【００４１】
従って、図３の分離膜ユニット３１、３２、３３では、混合流体が、分離膜単管１ａ、分離膜単管１ｂ、分離膜単管１ｃ、分離膜単管１ｄの順で直列に流れていたが、図３の分離膜ユニット３１、３２、３３では、チャンバ形成体２ａ１、２ｂ１をそれぞれ９０度回転させることにより、混合流体を、分離膜単管１ｄ、分離膜単管１ａ、分離膜単管１ｂ、分離膜単管１ｃの順で直列に流すことができ、分離膜単管１内を流れる順序を変更することができ、これにより、ある一定の時間経過後に、チャンバ形成体２ａ１、２ｂ１をそれぞれ回転させることにより、混合流体が分離膜単管１内を流れる順序を変更でき、各分離膜単管１の劣化の度合いを均一化させることができ、これにより分離膜単管１の寿命を長くでき、分離膜ユニット３１、３２、３３の寿命を長くできる。
【００４２】
すなわち、混合流体供給管３５から供給される混合流体中に含まれる水は、混合流体供給管３５に近い分離膜単管１で多く分離され、非分離流体供給管３９に近づくに従って水の含有量は少なくなる。つまり、混合流体供給管３５に近い分離膜単管１ほど水の影響を受けて劣化しやすい傾向にあるが、チャンバ形成体２ａ１、２ｂ１をそれぞれ回転させることにより、分離膜単管１内を流れる順序を変更することができるため、各分離膜単管１の劣化の度合いを均一化させることも可能となり、これにより分離膜単管１の寿命を長くでき、分離膜ユニットの寿命を長くできる。
【００４３】
なお、図６は６本の分離膜単管１を有する分離膜ユニット３１、３２、３３を示すものであり、図７は１２本の分離膜単管１を有する分離膜ユニット３１、３２、３３を示すものであるが、このような分離膜ユニット３１、３２、３３であっても、上記と同様の効果を得ることができる。
【００４４】
以上のように構成された分離膜装置では、混合流体供給管３５が複数の分離膜ユニット３１、３２、３３に並列に接続され、これらの複数の分離膜ユニット３１、３２、３３から、分離流体である水分、非分離流体である濃縮エタノールがそれぞれ排出されるため、例えば、一つの分離膜ユニットに故障が生じた場合でも、その分離膜ユニットに接続されている混合流体供給管３５、分離流体排出管３７および残部流体排出管３９のバルブ４１を閉じ、故障した分離膜ユニット３１、３２、３３を混合流体供給管３５、分離流体排出管３７および残部流体排出管３９から取り外し、新たな分離膜ユニットを取り付けることにより、分離膜装置の運転を継続した状態で分離膜ユニットを交換でき、分離膜装置を停止することなく故障を直すことができる。一つの分離膜ユニットの分離性能が劣化した場合も同様である。
【００４５】
また、分離膜装置の混合流体の処理量に応じて、一種類の分離膜ユニットの個数を増加して並列接続することで対応できる。
【００４６】
すなわち、従来、濃縮エタノール中のエタノール濃度を高めるため、分離膜ユニットの直列接続が行われていたが、分離装置の処理量を増加するには、分離膜ユニットを大型化したり、分離膜単管の本数を増加したりすることで対応しており、複数の分離膜ユニットの並列接続は殆ど検討されていない。本発明では、上記したように、故障した分離膜ユニットのみをバルブ４１により分離膜装置全体から切り離して停止し、交換することができるため、他の分離膜ユニットの運転への影響は少なく、分離膜装置全体として、濃度等の品質が安定した濃縮エタノールを得ることができる。
【００４７】
なお、故障し修理を行った分離膜ユニットを再稼動させる場合、分離膜ユニット内の温度分布や、混合流体の流れ状態が定常状態となるまでの間は濃縮エタノールの品質も不安定となる。従って、各分離膜ユニットの濃縮エタノールを混合流体供給管に戻す流路を設け、品質が安定するまでは交換した分離膜ユニットから排出された濃縮エタノール（残部流体）を混合流体供給管に戻すように制御することが望ましい。
【００４８】
また、残部流体である濃縮エタノール中における分離流体である水分の濃度を測定するセンサが残部流体排出管３９に設けられているため、分離性能が劣化した、または故障した分離膜ユニットを簡単に特定することができる。
【００４９】
さらに、分離膜ユニット３１、３２、３３は、多孔質の支持管１３の内面に分離膜１５が形成された複数の分離膜単管１を順次混合流体が流れるため、それぞれの分離膜ユニット３１、３２、３３における混合流体の分離効率を向上することができる。
【００５０】
すなわち、分離効率を上げるためには分離膜近傍の混合流体と分離膜から離れた位置での混合流体との間で濃度分布が生じないようにするため、分離膜ユニットを直列に接続し、分離膜と接触する流路を長くし、混合流体の分離効率を高めていたが、分離膜ユニットを並列に接続した場合は、直列に接続した場合と比較し、混合流体と分離膜との接触時間が短くなり、分離効率が直列接続と比較して低くなる傾向がある。これに対し、本発明では、多孔質の支持管１３の内面に分離膜１５が形成された複数の分離膜単管１を順次混合流体が流れる（直列に混合流体が流れる）ため、分離膜ユニット３１、３２、３３における混合流体と分離膜との接触時間も長くなるため、直列接続と同等の分離効率を得ることができる。
【００５１】
また、分離膜ユニット３１、３２、３３が高さ方向に積み重ねられているため、分離膜装置の占める容積を小さくすることができる。なお、図３に示すように外観が円柱状の分離膜ユニット３１、３２、３３の場合、積み重ねを容易に行うべく、分離膜ユニット３１、３２、３３に枠体を設けることが望ましい。
【００５２】
なお、分離膜ユニット３１、３２、３３として、図３〜図６に示したものに限定されるものではなく、従来公知の単管の外側に分離膜を形成したものを用いた分離膜ユニットを用いることもでき、特に限定されるものではない。
【符号の説明】
【００５３】
１・・・分離膜単管
２ａ、２ｂ・・・チャンバ
２ａ１、２ｂ１・・・チャンバ形成体
２ａ２、２ｂ２・・・フランジ部
３・・・ユニット本体
６・・・仕切板
７・・・単管固定板
１５・・・分離膜
３１、３２、３３・・・分離膜ユニット
３５・・・混合流体供給管
３７・・・分離流体排出管
３９・・・残部流体排出管
４１・・・バルブ
４７・・・センサ
【図１】
2011131148.tif 000003
【図２】
2011131148.tif 000004
【図３】
2011131148.tif 000005
【図４】
2011131148.tif 000006
【図５】
2011131148.tif 000007
【図６】
2011131148.tif 000008
【図７】
2011131148.tif 000009