(57)【要約】【課題】リニアモータの位置検出方法において、磁気センサの駆動コイル付近に磁気センサを設置した場合、駆動コイルへの通電に応じて発生する磁界の影響を受けることで、位置検出の精度が落ちてしまうという課題があった。【解決手段】直線状の駆動方向に沿って駆動用の磁気パターンが着磁されたマグネットと、マグネットに対向して配置され、マグネットに対して前記駆動方向に駆動力を発生させる駆動コイルと、マグネットに対して、駆動コイルの反対側で対向して配置される複数の磁気センサとを備えるリニアモータ。【選択図】図２
2011061995.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
直線状の駆動方向に沿って駆動用の磁気パターンが着磁されたマグネットと、
前記マグネットに対向して配置され、前記マグネットに対して前記駆動方向に駆動力を発生させる駆動コイルと、
前記マグネットに対して、前記駆動コイルの反対側で対向して配置される複数の磁気センサと
を備えるリニアモータ。
【請求項２】
前記複数の磁気センサのそれぞれの間隔は、前記複数の磁気センサのそれぞれが距離に対して出力する磁場強度が単調増加または単調減少を示す間隔よりも狭い請求項１に記載のリニアモータ。
【請求項３】
前記複数の磁気センサのうち所定値を超える磁気を検出した磁気センサの配置位置から前記マグネットの位置を検出する一つの磁気センサを決定し、前記一つの磁気センサの出力を演算して前記マグネットの位置を算出する算出部を備える請求項１または２に記載のリニアモータ。
【請求項４】
前記算出部は、前記複数の磁気センサのそれぞれの出力に対応して、磁場強度を距離に変換する参照テーブルまたは変換関数を有する請求項３に記載のリニアモータ。
【請求項５】
前記磁気センサの近傍に温度センサを備え、
前記算出部は、前記温度センサの出力を加味して前記マグネットの位置を算出する請求項３または４に記載のリニアモータ。
【請求項６】
直線状の駆動方向に沿って駆動用の磁気パターンが着磁されたマグネットと、前記マグネットに対向して配置され、前記マグネットに対して前記駆動方向に駆動力を発生させる駆動コイルと、前記マグネットに、前記駆動コイルとは反対側で対向して配置される複数の磁気センサとを備えるリニアモータの位置検出方法であって、
前記複数の磁気センサのうち所定値を超える磁気を検出した磁気センサの配置位置から前記マグネットの位置を検出する一つの磁気センサを決定する決定ステップと、
決定された前記一つの磁気センサの出力を演算して前記マグネットの位置を算出する算出ステップと
を有するリニアモータの位置検出方法。
【請求項７】
前記算出ステップは、前記一つの磁気センサの出力を、磁場強度を距離に変換する参照テーブルまたは変換関数に当てはめて前記マグネットの位置を算出する請求項６に記載のリニアモータの位置検出方法。
【請求項８】
前記算出ステップは、前記磁気センサの近傍に設置された温度センサの出力を加味して前記マグネットの位置を算出する請求項６または７に記載のリニアモータの位置検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアモータおよびリニアモータの位置検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、リニアモータの位置検出方法において、固定子である駆動コイルに磁気センサを設置して可動磁石の移動に伴う磁場の変化を計測することで、可動磁石の位置を検出する方法が知られている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−９２８１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、駆動コイル付近に磁気センサを設置した場合、駆動コイルへの通電に応じて発生する磁界の影響を受けることで、位置検出の精度が落ちてしまうという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様におけるリニアモータは、直線状の駆動方向に沿って駆動用の磁気パターンが着磁されたマグネットと、マグネットに対向して配置され、マグネットに対して駆動方向に駆動力を発生させる駆動コイルと、マグネットに対して、駆動コイルの反対側で対向して配置される複数の磁気センサとを備える。
【０００６】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】リニアモータの全体構造を模式的に示す斜視図である。
【図２】リニアモータの構造を概略的に示す断面図である。
【図３】ホール素子位置での可動子の磁場分布を示す図である。
【図４】可動子の移動に伴うホール素子の磁場測定結果の概要を示す図である。
【図５】可動子の位置を検出する流れを示すフローチャートである。
【図６】ホール素子の出力電圧と可動子のストローク位置との関係を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【０００９】
図１は、本実施形態に係るリニアモータ１００の全体構造を模式的に示す斜視図である。リニアモータ１００は、可動子１１０、固定子１２０、ホール素子１３０、ベース部材１４０、算出部１５０、ガイドレール１６０及び温度センサ１７０を有する。可動子１１０は円筒形状のマグネットであり、その周りがハウジング部材に覆われている。固定子１２０は、中心軸１２２及び中心軸の周囲に装着された複数のコイルを有する駆動コイル１２４を備える。中心軸１２２は強磁性体のヨークであり可動子側マグネットとの間で磁気回路を構成している。
【００１０】
可動子１１０はガイドレール１６０に支持されており、ガイドレール１６０の長手方向に移動する。固定子１２０はベース部材１４０の支持部１４２に支持されている。また固定子１２０は可動子１１０の内径よりも小さな外径を有している。すなわち、可動子１１０の内面は固定子１２０から離間している。以下、可動子１１０の移動方向をＸ軸方向、リニアモータ１００の載置面に直交する方向をＺ軸方向、Ｘ軸及びＺ軸に直交する方向をＹ軸方向として説明する。
【００１１】
ホール素子１３０は、Ｘ軸方向に沿ってベース部材上に配列された複数のホール素子を有する。これら複数のホール素子は可動子１１０に対向する位置に配置されており、可動子１１０の磁場を測定する。なお本実施形態では、１８個のホール素子が等間隔に配置されている。
【００１２】
図２は、リニアモータ１００の構造を概略的に示す断面図である。可動子１１０は、マグネットホルダ１１２及びマグネットホルダ１１２に固定されたマグネット１１４を備えている。マグネット１１４には、駆動用の磁気パターンとして、Ｘ軸方向に磁極が配列する磁気パターンが着磁されている。この磁気パターンは３つの区画を有しており、中央の区画の両端に、中央の区画幅よりも狭い幅の区画が着磁されている。本実施形態では、中央の区画幅は両端の区画幅の倍となっている。
【００１３】
固定子１２０の駆動コイル１２４は、Ｕ相、Ｖ相及びＷ相の３つのコイルを１組とするコイル群を複数組有しており、各コイル群はＵ相、Ｖ相、Ｗ相の順に固定子１２０の長手方向に配列されている。各コイルのＸ軸方向の幅は同じであり、マグネット１１４の磁極パターンにおける中央区画のおよそ１／３の幅となっている。
【００１４】
駆動コイル１２４には、マグネット１１４の磁極ピッチ（Ｎ−Ｓ間）を位相１８０度とした場合に１２０度の位相差を持つ位置に応じた三相電流を供給することで、可動子１１０の磁気パターンとの関係によりＸ軸方向に推力が発生する。駆動コイル１２４が有する複数のコイルのうち、同じ相のコイルは同じ電流出力端子に接続されており、この電流出力端子を介して電流が供給される。可動子１１０の位置に応じて駆動コイル１２４に供給する電流を制御することで、可動子１１０のＸ方向への移動を制御することができる。
【００１５】
ここで、全てのコイルに通電すると可動子１１０の移動に寄与しない部分のコイルに供給された電流が無駄になり効率が悪くなることが考えられる。そこでこれに対応するために、スイッチを設けて可動子１１０の移動に寄与する部分のコイルのみが通電される構成としてもよい。
【００１６】
可動子１１０の位置は、複数配置されたホール素子１３０を用いて検出する。ホール素子１３０で可動子１１０のマグネット１１４の磁場を測定するには、可動子１１０に対向する位置に配置することとなる。ここで、駆動コイル１２４にホール素子１３０を設置することも考えられる。しかしながら、駆動コイル１２４付近にホール素子１３０を設置した場合、駆動コイル１２４への通電に応じて発生する磁界の影響を受けやすく、位置検出の精度が落ちてしまう可能性がある。
【００１７】
そこで本実施形態では、マグネット１１４に対して、駆動コイル１２４の反対側にホール素子１３０を配置している。このような配置とすることで、駆動コイル１２４の周囲に生じる磁界の影響を軽減することができる。これら配置された複数のホール素子１３０が磁場を測定した結果が算出部１５０に出力され、算出部１５０によって可動子１１０の位置が算出される。なお本実施形態では磁気センサとしてホール素子を用いたが、マグネットダイオード又は磁気抵抗効果素子等の他の磁気センサを用いてもかまわない。
【００１８】
続いて、可動子１１０の位置検出方法について説明する。図３は、本実施形態で用いるホール素子１３０の、ホール素子位置での可動子１１０の磁場分布を示している。縦軸は磁場強度を示しており、横軸はホール素子１３０の配置座標を中心としたＸ軸方向における可動子１１０のストローク位置を示している。例えば、ホール素子１３０に対して、可動子１１０がＸ軸方向で−５ｍｍの位置にある場合、ホール素子１３０が測定する磁場強度は０．２Ｔとなる。逆に言えば、ホール素子１３０が検出した磁場強度が０．２Ｔの場合は、可動子１１０がホール素子１３０からみてＸ軸方向で−５ｍｍの位置にあることがわかる。
【００１９】
ホール素子１３０の配置座標は既知なので、あらかじめテーブル情報として登録しておくことができる。したがって、ホール素子１３０により磁場強度を測定すれば、テーブル情報を参照して取得したそのホール素子１３０の配置座標に、磁場強度に対応するストローク位置を加算することで、可動子１１０の位置を検出することができる。
【００２０】
ここで、横軸の値が０ｍｍの周辺であれば、磁場強度が単調減少しているので、磁場強度からストローク位置を一意に換算することができる。しかしながら、ストローク位置が例えば−５ｍｍ以下又は５ｍｍ以上のように単調減少区間よりも広がると、一つの磁場強度に対して複数のストローク位置が対応してしまう。
【００２１】
そこで本実施形態では、複数のホール素子１３０の配置間隔を、ホール素子１３０のそれぞれが距離に対して出力する磁場強度が、単調増加または単調減少を示す区間よりも狭い間隔で配置する。図３の特性を示すホール素子１３０を用いる場合、−５ｍｍから５ｍｍの範囲が単調減少を示す区間であるから、隣り合うホール素子の間隔は１０ｍｍ以下とする。
【００２２】
このように配置することで、可動子１１０がどの位置に移動しても、複数のホール素子１３０のうちのいずれかのホール素子１３０がこの単調増加または単調減少を示す区間の磁場強度を示すこととなる。したがって、そのホール素子１３０を用いれば、この単調増加又は単調減少を示す区間で可動子１１０の位置検出ができることとなるので、精確な位置検出を実現できる。
【００２３】
図４は、可動子１１０の移動に伴うホール素子１３０の磁場測定結果の概要を示す図である。複数のホール素子１３０は等間隔に配置されており、基準側から順番に配置位置に応じた配置番号が割り当てられて。図では、左から順番に１から１８までの配置番号が割り当てられている。図中に示すＨとＬは論理信号であり、それぞれ真上に位置するホール素子１３０に対応している。測定した磁場強度の絶対値が所定値を超えるホール素子１３０がＨ、所定値を超えないホール素子１３０がＬとなっている。
【００２４】
図は、上から順に１段階目から４段階目へと可動子１１０が移動した場合の各ホール素子１３０に対応する論理信号の変化を示している。なお本実施形態では、所定値を磁場強度０．０１Ｔとしている。この値は可動子１１０の磁場強度、リニアモータの規模等の環境によって適切な値が変わると考えられるので、環境によって適宜変更して設定すればよい。
【００２５】
可動子１１０が対向する領域内に配置されているホール素子１３０の論理信号はそのほとんどがＨとなる。一部、可動子１１０の磁場極性が変化する位置については、磁場強度が０もしくは０に近い値を示すため論理信号がＬとなる場合があるが、少なくとも可動子１１０の両端部は磁場が存在するのでその論理信号はＨとなる。
【００２６】
そして、可動子１１０が対向する領域外にあるホール素子１３０は、可動子１１０の磁場から離れているので、その論理信号はＬとなる。このことから、可動子１１０の両端部付近に対応するホール素子１３０の配置番号は、それぞれ論理信号がＨとなるホール素子１３０の配置番号のうちで最大値と最小値をとることになる。
【００２７】
そして、最大値と最小値の平均値に近い配置番号を持つホール素子１３０は、可動子１１０の中央部付近に位置することとなる。そこで本実施形態では、平均値を四捨五入した値と等しい配置番号を持つホール素子１３０を、可動子１１０の位置を検出する位置検出用ホール素子として決定する。
【００２８】
図４の例によれば、まず一番上の１段階目では、可動子１１０の左端に対応するホール素子１３０は、Ｈを示すホール素子１３０の配置番号のうち最小値の１を示すホール素子１３０となる。また、可動子１１０の右端に対応するホール素子１３０は、Ｈを示すホール素子１３０の配置番号のうち、最大値の７を示すホール素子１３０となる。したがって、可動子１１０の中央に対応するホール素子１３０の配置番号は、これらの平均値の４となる。図中の矢印は、決定されたホール素子１３０を指している。なお配置番号４のホール素子１３０の論理信号はＬとなっているが、これは上述したように磁場極性が変化する位置に来ていることに起因する。
【００２９】
同様に、２段階目では最小値が２、最大値が８となるので、その平均値の５を配置番号として持つホール素子１３０が位置検出用ホール素子として決定されている。３段階目では配置番号６をもつホール素子１３０が、４段階目では配置番号８のホール素子１３０がそれぞれ位置検出用ホール素子として決定されている。このように、所定値を超える磁気を検出したホール素子の配置位置から、可動子１１０の位置を検出する位置検出用ホール素子が１つ決定される。
【００３０】
なおこの決定方法は、用いる可動子１１０の着磁の仕方に依存する。本実施形態では、可動子１１０の中心からみて左右対称に磁場強度が同じ強さで分布するように着磁されているので、可動子１１０の中心位置と、単調減少または単調増加区間の中心位置とがほぼ一致することとなる。しかしながら、可動子１１０の中心からみて磁場強度が異なる強さで分布している場合は、可動子１１０の中心位置と、単調減少又は単調増加区間の中心とが一致しないこととなる。
【００３１】
この場合、位置検出用ホール素子を決定するときにこの条件を加えて決定することが望まれる。例えば、可動子１１０の中心ではなく、左側から５／８の位置に単調減少の中心位置がくる場合を想定してみる。この場合、最小値と最大値との平均値ではなく、最小値と最大値の合計に５／８を乗じた値に近い配置番号を持つホール素子１３０を位置検出用ホール素子として決定する。
【００３２】
図５は、可動子１１０の位置を検出する流れを示すフローチャートである。まず、ステップＳ５１で、駆動コイル１２４に電流が印加され可動子１１０が移動する。次にステップＳ５２で、可動子１１０の移動に伴う磁場の変化がホール素子１３０により計測される。磁場測定は、ベース部材１４０上に設置された複数のホール素子１３０すべてにより実行される。そして、計測された磁場強度が算出部１５０に送信される。
【００３３】
ステップＳ５３では、算出部１５０が、複数のホール素子１３０のうち、計測した磁場強度が所定値を越えるホール素子１３０をまず判断する。所定値は予め設定され、算出部１５０が有する記憶部に記憶されている。そして、磁場強度が所定値を越えるホール素子１３０の配置番号を取得する。続いてステップＳ５４において、算出部１５０がまず、取得した配置番号の最大値と最小値を判断する。そして、最大値及び最小値の平均値を四捨五入した値を算出して、この数値と同じ配置番号に対応するホール素子１３０を、可動子１１０の位置を検出する位置検出用ホール素子として決定する。
【００３４】
最後にステップＳ５５において、算出部１５０が、ステップＳ５４で決定された位置検出用ホール素子が測定した磁場強度を用いて可動子１１０の位置を算出する。以下、このステップＳ５５で実行される位置算出の詳細について説明する。
【００３５】
ホール素子の配置番号をｉ、ホール素子の配置座標をＸＳ（ｉ）、決定された位置検出用ホール素子を用いて算出されるストローク位置をＸＳＴとすると、可動子１１０の位置Ｘは、数式（１）で算出することができる。
【数１】
2011061995.tif 000003
（１）
【００３６】
ここで、複数のホール素子１３０の配置座標は、表１のようなテーブル情報として、あらかじめ算出部１５０が有する記憶部に保持しておく。ステップＳ５４において位置検出用ホール素子が決定した場合に、その配置番号を入力として本テーブル情報を参照することで、ホール素子の配置座標を取得することができる。こうして取得した配置座標にストローク位置ＸＳＴを加算すれば可動子１１０の位置を算出することができるが、ここでストローク位置ＸＳＴの算出方法として２つの例を示す。
【表１】
2011061995.tif 000004
【００３７】
１つ目の例として、表２に示すような参照テーブルを利用する手法を示す。この参照テーブルには、ホール素子１３０が測定した可動子１１０の磁場強度に対する、可動子１１０のストローク位置が登録されている。テーブル内の情報は事前に測定されて登録されている。
【００３８】
本参照テーブルを用いることで、ホール素子１３０が測定した磁場強度を可動子１１０のストローク位置に変換することができる。すなわち、磁場強度を距離に変換することができる。なお本実施形態では、算出部１５０が有する記憶部に１つの参照テーブルを保持する構成で説明するが、ホール素子毎の特性の差に対応して、各ホール素子に対応する参照テーブルをそれぞれ保持するよう構成してもかまわない。
【表２】
2011061995.tif 000005
【００３９】
本手法では、算出部１５０が、ステップＳ５４で決定された位置検出用ホール素子が測定した磁場強度の出力を受けて、その磁場強度を入力として本参照テーブルを参照することでストローク位置を取得する。そして、数式（１）に示すように、ここで取得したストローク位置と、表１に示すテーブル情報を参照して取得された位置検出用ホール素子の配置座標とを加算演算することによって、可動子１１０の位置を算出する。
【００４０】
ここで更に具体的に示す。例えばステップＳ５４で、配置番号３のホール素子１３０が位置検出ホール素子として決定され、配置番号３のホール素子の出力が０．０３Ｔであった場合、可動子の位置は−１９．５ｍｍに０．６０ｍｍを加算することで、−１８．１ｍｍと算出することができる。
【００４１】
なお、参照テーブルに登録された値よりも細かい値を位置検出用ホール素子が出力した場合は、参照テーブルに登録された磁場強度のうちその前後にあたる磁場強度に対して内挿補間を適用することで対応する。例えば、位置検出用ホール素子が出力した磁場強度が０．０３５Ｔであった場合は、内挿補間により、０．７０ｍｍという値が取得できる。
【００４２】
続いて２つ目の例として、参照テーブルを利用するかわりに、磁場強度と比例関係にある出力電圧と、ストローク位置との関係を変換関数で表しておき、これを利用する手法について説明する。図６は、ホール素子１３０の出力電圧と可動子１１０のストローク位置との関係を示した図である。プロットが事前に実測して解析した値を表しているが、これは近似３次方程式である数式（２）で近似することができる。Ｅはホール素子１３０の出力電圧を示す。
【数２】
2011061995.tif 000006
（２）
【００４３】
数式（２）に対して、実際に解析したホール素子１３０の出力電圧とストローク位置を適用することで、係数Ｋ３、Ｋ２、Ｋ１およびＫ０の値を算出する。これら係数を数式（２）に適用すると、図に示したような近似曲線を描き、解析値とほぼ一致する。本手法では、このようにして算出した係数の値を、算出部１５０が有する記憶部に予め記憶しておく。
【００４４】
そして算出部１５０は、ステップＳ５４で決定された位置検出用ホール素子の出力電圧を受けた場合に、その出力電圧と記憶部に記憶された係数の値とを数式（２）に適用して演算することで、可動子１１０のストローク位置を算出する。そして数式（１）に示すように、ここで取得したストローク位置と、表１に示すテーブル情報を参照して取得した位置検出用ホール素子の配置座標とを加算することによって、可動子１１０の位置を算出する。
【００４５】
本実施形態では、上述の構成をとることにより、可動子１１０の精確な位置検出を実現できる。なお、リニアモータ１００が温度変化を伴う環境下で使用されるときには、ホール素子１３０の近傍に温度センサ１７０を設けて出力を調整することが有効と考えられる。
【００４６】
例えば、様々な温度環境下でホール素子１３０の出力電圧を測定して解析することで、温度係数情報を算出して、算出部１５０の記憶部に記憶させておく。そしてホール素子１３０で磁場測定するときに、温度センサ１７０で計測した温度に対応する温度係数を適用する。このように温度センサ１７０の出力を加味するよう構成することで、周囲温度の変化によるホール素子１３０の出力電圧の変化に対応することでき、位置検出精度を高めることができる。
【００４７】
また上記実施形態では、１８個のホール素子１３０すべてで磁場計測を実行していたが、これに限られない。例えば磁場計測をするホール素子１３０を、決定された位置検出用ホール素子から所定の範囲内にあるホール素子１３０に限定するよう構成してもかまわない。
【００４８】
その具体例として、所定の範囲を配置番号７以内と定めた場合を例に説明する。位置検出用ホール素子が配置番号７のホール素子の場合、配置番号１から７に対応するホール素子は所定の範囲内なので磁場測定を実行しかつ配置番号７から１３に対応するホール素子も所定の範囲内なので磁場測定を実行する。これに対し配置番号１４から１８は所定の範囲外となるので、磁場測定を実行しないよう制御する。
【００４９】
可動子１１０が移動して、位置検出用ホール素子が配置番号８のホール素子に切り替わった場合、配置番号２から１４に対応するホール素子は所定の範囲内となるので磁場測定を実行する。そして、配置番号１及び配置番号１５から１８に対応するホール素子は磁場測定を実行しない。所定の範囲を適切に設定すれば位置検出に問題が生じることはないので、このように構成することによって、磁気計測を実行しないホール素子１３０の分の処理負荷を低減することができる。
【００５０】
またこれに加えて、可動子１１０の進行方向を考慮するよう構成してもよい。進行方向と逆方向とで、所定の範囲を別々に設定して、逆方向の所定の範囲を進行方向の所定の範囲よりも小さく設定することで、更なる処理負荷の低減および省電力を実現できる。これは、任意のタイミングで可動子１１０に注目した場合、その可動子１１０が次に動く方向は、その時点における進行方向の方が、逆方向よりも可能性が高いことを考慮している。所定の範囲は、可動子１１０の急な加速等を考慮して余裕を持たせた値に設定することが望まれるが、進行方向を考慮することでその余裕分を調整して処理負荷の低減を実現する。
【００５１】
例えば進行方向の所定の範囲を配置番号７以内、逆方向の所定の範囲を５以内と定めた場合を想定する。上述の例と同様に、位置検出用ホール素子が配置番号７のホール素子の場合として、さらに、可動子１１０が配置番号増加方向に移動していた場合、配置番号１および２に対応するホール素子１３０は、逆方向の所定の範囲６を越えているので、磁場測定を実行しないホール素子１３０となる。
【００５２】
この結果、配置番号３から１３に対応するホール素子は磁場測定を実行して、配置番号１、２及び配置番号１４から１８に対応するホール素子は磁場測定を実行しない。このように、可動子１１０の進行方向を考慮することで磁場測定を実行するホール素子１３０を適切に減らすことによって、更なる処理負荷の低減および省電力を実現できる。
【００５３】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【００５４】
特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。
【符号の説明】
【００５５】
１００  リニアモータ、１１０  可動子、１１２  マグネットホルダ、１１４  マグネット、１２０  固定子、１２２  中心軸、１２４  駆動コイル、１３０  ホール素子、１４０  ベース部材、１４２  支持部、１５０  算出部、１６０  ガイドレール、１７０  温度センサ
【図１】
2011061995.tif 000007
【図２】
2011061995.tif 000008
【図３】
2011061995.tif 000009
【図４】
2011061995.tif 000010
【図５】
2011061995.tif 000011
【図６】
2011061995.tif 000012