(57)【要約】【課題】回転軸に生じる軸ずれを検出して、検出した軸ずれに対応して正確な回転軸の回転を検出することができる回転検出装置を提供する。【解決手段】回転検出装置１は、回転軸２Ａに対して非平行に設けられたかさ歯車部２０を有する歯車２に向けて配置され、かさ歯車部２０との距離を測定するセンサＳ１と、センサＳ１と回転軸２Ａ方向に異なる位置に、歯車２に向けて設けられ、かさ歯車部２０との距離を測定するセンサＳ２と、センサＳ１又はセンサＳ２の測定する距離の少なくとも一方の変化に基づいて回転軸２Ａのずれを検出する軸ずれ検出部１２とを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸に対して非平行に設けられる歯車部を有する回転体に向けて配置され、前記歯車部との距離を測定する第１の距離センサと、
前記第１の距離センサと前記回転軸方向に異なる位置に、前記回転体に向けて配置され、前記歯車部との距離を測定する第２の距離センサと、
前記第１の距離センサ又は前記第２の距離センサの測定する距離の少なくとも一方の変化に基づいて前記回転軸のずれを検出する軸ずれ検出部とを有する回転検出装置。
【請求項２】
前記軸ずれ検出部は、前記第１の距離センサ又は前記第２の距離センサの測定する距離の少なくとも一方の増加、減少、又はそれらの組み合わせに基づいて前記回転軸のずれを検出する請求項１に記載の回転検出装置。
【請求項３】
前記軸ずれ検出部は、前記第１の距離センサ又は前記第２の距離センサの測定する距離の少なくとも一方の測定タイミングのずれに基づいて前記回転軸のずれを検出する請求項１に記載の回転検出装置。
【請求項４】
前記軸ずれ検出部が検出する前記回転軸のずれに基づいて前記第１の距離センサ又は前記第２の距離センサの測定した距離を補正して前記歯車部の回転数を検出する回転検出部をさらに有する請求項１〜３のいずれかに記載の回転検出装置。
【請求項５】
前記軸ずれ検出部が検出する前記回転軸のずれに基づいて前記回転体の異常状態を検出する異常状態検出部をさらに有する請求項１〜４のいずれかに記載の回転検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の回転検出装置として、軸ずれが生じても精度良く回転角度を測定することができるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この特許文献１に記載の回転検出装置は、回転軸に接続された円盤状の磁石が生成する磁界を検出する磁気センサと、磁気センサから出力される出力値を記憶する記憶部と、磁気センサから出力される出力値に基づいて回転軸の回転角度を求める演算部とを有する。演算部は、回転軸に第１の軸ずれを発生させて回転することで得られる各回転角度の磁気センサの出力をデータ１として記憶部に記憶するとともに、回転軸に第２の軸ずれを発生させて回転することで得られる各回転角度の磁気センサの出力をデータ２として記憶部に記憶し、データ１及びデータ２に基づいて位相及び振幅の補正値を決定する。これにより、回転軸を回転させたときに磁気センサから出力される出力値に対する補正値を決定することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２６４１３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記した従来の回転検出装置によると、回転角度を求めるために用いられる磁気センサの出力値に対する補正値を決定するのみであり、回転軸に対していかなる軸ずれが生じているのかを検出することができないという問題がある。
【０００６】
従って、本発明の目的は、回転軸に生じる軸ずれを検出して、検出した軸ずれに対応して正確な回転軸の回転を検出することができる回転検出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
［１］本発明は、上記した目的を達成するため、回転軸に対して非平行に設けられる歯車部を有する回転体に向けて配置され、前記歯車部との距離を測定する第１の距離センサと、前記第１の距離センサと前記回転軸方向に異なる位置に、前記回転体に向けて配置され、前記歯車部との距離を測定する第２の距離センサと、前記第１の距離センサ又は前記第２の距離センサの測定する距離の少なくとも一方の変化に基づいて前記回転軸のずれを検出する軸ずれ検出部とを有する回転検出装置を提供する。
【０００８】
上記した構成によれば、第１の距離センサ及び第２の距離センサは、非平行な歯車部との距離をそれぞれ測定するため、測定した距離の変化に基づいて回転軸に生じる軸ずれを検出することができるとともに、検出した軸ずれに対応して正確な回転軸の回転を検出することができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、回転軸に生じる軸ずれを検出して、検出した軸ずれに対応して正確な回転軸の回転を検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の第１の実施の形態係る回転検出装置の外観の構成例を示す概略図である。
【図２】回転検出装置の構成例を示すブロック図である。
【図３】（ａ）及び（ｂ）は、歯車の構成例を示す概略図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図を示す。
【図４】回転検出装置が検出する検出信号例を示すグラフ図である。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は、歯車が軸ずれを生じる場合の動作を示す概略図であり、（ａ）は歯車が軸ずれを生じる場合の例を示した概略図、（ｂ）及び（ｃ）は回転検出装置が検出する検出信号例を示すグラフ図である。
【図６】（ａ）及び（ｂ）は、歯車が位置ずれを生じる場合の動作を示す概略図であり、（ａ）は歯車が位置ずれを生じる場合の例を示した概略図、（ｂ）は回転検出装置が検出する検出信号例を示すグラフ図である。
【図７】（ａ）〜（ｃ）は、歯車が軸ねじれを生じる場合の動作を示す概略図であり、（ａ）は歯車が軸ねじれを生じる場合の例を示した概略図、（ｂ）及び（ｃ）は回転検出装置が検出する検出信号例を示すグラフ図である。
【図８】（ａ）〜（ｄ）は、歯車の軸ねじれ量が時間変化する場合の回転検出装置が検出する検出信号例を示すグラフ図である。
【図９】回転検出装置の軸ずれ判断動作例を示すフローチャートである。
【図１０】（ａ）及び（ｂ）は、第２の実施の形態に係る歯車の構成例を示す概略図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図を示す。
【図１１】（ａ）及び（ｂ）は、歯車が軸ずれを生じる場合の動作を示す概略図であり、（ａ）は歯車が軸ずれを生じる場合の例を示した概略図、（ｂ）は回転検出装置が検出する検出信号例を示すグラフ図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
〔第１の実施の形態〕
（回転検出装置の構成）
図１は、本発明の第１の実施の形態係る回転検出装置の外観の構成例を示す概略図である。
【００１２】
回転検出装置１は、歯車２のかさ歯車部２０との距離を測定し、距離に応じた電圧値を出力するセンサＳ１及びＳ２と、センサＳ１及びＳ２が測定した距離に基づいて歯車２の回転数や回転軸のずれ等を検出する内部回路等を有する。また、回転検出装置１は、駆動部３に接続されており、検出した回転数等をフィードバックするため出力する。
【００１３】
センサＳ１及びＳ２は、磁気式又は光学式の距離センサであり、例えば、距離が大きい場合に小さな電圧値を、距離が小さい場合に大きな電圧値を出力するものとする。
【００１４】
歯車２は、かさ歯車部２０を回転側面に有し、図示しない他の歯車等に接続されており、回転軸２Ａを中心に回転方向２Ｂに回転する。
【００１５】
駆動部３は、モーターやエンジン等の駆動装置であり、歯車２の回転軸に直接又は歯車２に接続された他の歯車を介して間接的に接続され、回転検出装置１の出力した情報に基づいて歯車２を駆動する。
【００１６】
図２は、回転検出装置１の構成例を示すブロック図である。
【００１７】
回転検出装置１は、内部回路として、信号処理部１０と、回転検出部１１と、軸ずれ検出部１２と、異常検出部１３とを有する。
【００１８】
信号処理部１０は、センサＳ１及びＳ２が出力する信号ｓ１及びｓ２を受信し、信号の増幅やノイズ除去等の処理を施して信号ｓ１’及びｓ２’を出力する。
【００１９】
回転検出部１１は、信号ｓ１’及びｓ２’に基づいて歯車２の回転数を検出し、検出した回転数に応じた信号ｓ５を駆動部３に出力する。また、後述する軸ずれに関する信号ｓ３を受け付けたときは、信号ｓ３に基づいて信号ｓ１’及びｓ２’を補正し、より正確に歯車２の回転数を検出する。
【００２０】
軸ずれ検出部１２は、信号ｓ１’及びｓ２’の少なくとも一方の変化に基づいて歯車２の回転軸の軸ずれを検出し、軸ずれに応じた信号ｓ３及びｓ４を出力する。
【００２１】
異常検出部１３は、軸ずれ検出部１２の出力する信号ｓ４に基づいて予め定めた閾値以上の軸ずれが生じた場合に、歯車２に異常な状態が生じたと検出し、駆動部３にその旨を伝える信号ｓ６を出力する。なお、駆動部３は、信号ｓ６によって異常を検出するとその駆動を停止するよう構成してもよい。
【００２２】
図３（ａ）及び（ｂ）は、歯車２の構成例を示す概略図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図を示す。
【００２３】
歯車２は、回転軸２Ａに非平行な歯山２０ａ及び歯溝２０ｂからなるかさ歯車部２０を有する。なお、一例として歯山２０ａ及び歯溝２０ｂの形状を矩形状として説明するが、これに限定されずインボリュート歯形等の一般的な歯形を用いてもよい。
【００２４】
センサＳ１は、かさ歯車部２０の図面左端に設置され、かさ歯車部２０との距離ｄ１を測定する。また、センサＳ２は、かさ歯車部２０の図面右端に設置され、かさ歯車部２０との距離ｄ２を測定する。なお、センサＳ１及びＳ２は、回転軸２Ａを中心としたｘｙ平面の偏角が同一の位置に配置される。
【００２５】
（回転検出装置の動作）
以下に、本発明の一実施の形態における回転検出装置の動作例を各図を参照しつつ説明する。
【００２６】
（１）回転検出装置の基本動作
まず、駆動部３の電源が投入されると、駆動部３は、歯車２に動力を加えて駆動する。歯車２は、駆動部３の駆動によって回転を開始する。
【００２７】
また、センサＳ１及びＳ２は、回転する歯車２のかさ歯車部２０との距離ｄ１及びｄ２を測定し、測定に応じた信号ｓ１及びｓ２を出力する。
【００２８】
回転検出装置１の信号処理部１０は、信号ｓ１及びｓ２の信号を増幅するとともに、ノイズ等を除去し、信号ｓ１’及びｓ２’として回転検出部１１及び軸ずれ検出部１２に出力する。
【００２９】
図４は、回転検出装置１が検出する検出信号例を示すグラフ図である。
【００３０】
信号処理部１０に入力する信号ｓ１及びｓ２は、センサＳ１及びＳ２の下を通過する歯山２０ａ及び歯溝２０ｂの形状に応じた矩形の信号である。なお、センサＳ１の下を歯山２０ａが通過したときの電圧値をＶ１Ｒ、歯溝２０ｂが通過したときの電圧値をＶ１ｒ、同様に、センサＳ２の下を歯山２０ａが通過したときの電圧値をＶ２Ｒ、歯溝２０ｂが通過したときの電圧値をＶ２ｒとする。つまり、距離ｄ１及びｄ２が小さいとき信号ｓ１及びｓ２の信号は大きくなり、距離ｄ１及びｄ２が大きいとき信号ｓ１及びｓ２の信号は小さくなる。
【００３１】
また、矩形の信号間の周期Ｔに歯数を乗じたものが歯車２の回転周期となる。回転検出部１１は、周期Ｔに応じて歯車２の回転数を検出する。なお、信号処理部１０が出力する信号ｓ１’及びｓ２’の波形は、ｓ１及びｓ２の波形を定数倍したものであり、相似形である。
【００３２】
（２−１）歯車が軸ずれを生じる場合の動作
図５（ａ）〜（ｃ）は、歯車２が軸ずれを生じる場合の動作を示す概略図であり、（ａ）は歯車２が軸ずれを生じる場合の例を示した概略図、（ｂ）及び（ｃ）は回転検出装置１が検出する検出信号例を示すグラフ図である。
【００３３】
図５（ａ）に示すように、歯車２の回転軸２Ａが平行にｘ正方向にΔｘずれる場合に回転検出装置１が検出する信号ｓ１及びｓ２を図５（ｂ）に示し、歯車２の回転軸２Ａが平行にｙ正方向にΔｙずれる場合を図５（ｃ）に示す。
【００３４】
歯車２の回転軸２Ａが平行にｘ正方向にΔｘずれる場合、センサＳ１及びＳ２とかさ歯車部２０との距離が大きくなるため、信号処理部１０に入力する信号ｓ１’及びｓ２’は、Δｘが０の場合（破線）に比べて値がΔＶｘ１及びΔＶｘ２だけ小さくなる。また、センサＳ１及びＳ２と歯山２０ａの側面２０ｃとの距離を測定することになるため、矩形の立ち上がりが緩くなる。
【００３５】
また、ｘ負方向にΔｘずれる場合、同様に信号ｓ１’及びｓ２’は、Δｘが０の場合（破線）に比べて値がΔＶｘ１及びΔＶｘ２だけ小さくなるが、矩形の立ち上がりに変化はなく立下りが緩くなる。
【００３６】
歯車２の回転軸２Ａが平行にｙ正方向にΔｙずれる場合、センサＳ１及びＳ２とかさ歯車部２０との距離が小さくなるため、信号処理部１０に入力する信号ｓ１’及びｓ２’は、Δｙが０の場合（破線）に比べて値がΔＶｙ１及びΔＹｙ２だけ大きくなる。
【００３７】
また、ｙ負方向にΔｙずれる場合、信号ｓ１’及びｓ２’は、Δｙが０の場合（破線）に比べて値がΔＶｙ１及びΔＶｙ２だけ小さくなる。
【００３８】
（２−２）歯車が軸方向に位置ずれを生じる場合の動作
図６（ａ）及び（ｂ）は、歯車２が位置ずれを生じる場合の動作を示す概略図であり、（ａ）は歯車２が位置ずれを生じる場合の例を示した概略図、（ｂ）は回転検出装置１が検出する検出信号例を示すグラフ図である。
【００３９】
図６（ａ）に示すように、歯車２が回転軸２Ａに平行にｚ正方向にΔｚずれる場合の回転検出装置１が検出する信号ｓ１’及びｓ２’を図６（ｂ）に示す。
【００４０】
歯車２が回転軸２Ａに平行にｚ正方向にΔｚずれる場合、センサＳ１とかさ歯車部２０との距離が小さくなるため、信号処理部１０に入力する信号ｓ１’は、Δｚが０の場合（破線）に比べて値がΔＶｚ１大きくなる。また、センサＳ２が歯山２０ａの範囲を超えるため、信号ｓ２’が矩形でない小さな値となる。
【００４１】
また、ｚ負方向にΔｚずれる場合、同様に信号ｓ２’は、Δｚが０の場合（破線）に比べて値がΔＶｚ２小さくなり、信号ｓ１’が矩形でない小さな値となる。
【００４２】
（２−３）歯車が軸ねじれを生じる場合の動作
図７（ａ）〜（ｃ）は、歯車２が軸ねじれを生じる場合の動作を示す概略図であり、（ａ）は歯車２が軸ねじれを生じる場合の例を示した概略図、（ｂ）及び（ｃ）は回転検出装置１が検出する検出信号例を示すグラフ図である。
【００４３】
図７（ａ）に示すように、歯車２の回転軸２Ａがｘ方向にΔｘねじれる場合に、回転検出装置１が検出する信号ｓ１’及びｓ２’を図７（ｂ）に示し、歯車２の回転軸２Ａがｙ方向にΔｙずれる場合を図７（ｃ）に示す。
【００４４】
歯車２の回転軸２Ａがｘ方向にΔｘずれる場合、センサＳ１及びＳ２を結ぶ直線とかさ歯車部２０の回転軸２Ａとが非平行となるため、信号処理部１０に入力する信号ｓ１’及びｓ２’は、Δｘが０の場合（破線）に比べてそれぞれ矩形のタイミングが時間ｔの正方向及び負方向にずれて、Δｔａｘ１及びΔｔａｘ２の差が生じる。
【００４５】
また、ｘ負方向にΔｘずれる場合、信号ｓ１’及びｓ２’は、Δｘが０の場合（破線）に比べてそれぞれ矩形のタイミングが時間ｔの負方向及び正方向にずれて、同様にΔｔａｘ１及びΔｔａｘ２の差が生じる。
【００４６】
歯車２の回転軸２Ａがｙ方向にΔｙずれる場合、センサＳ１及びＳ２を結ぶ直線とかさ歯車部２０の回転軸２Ａとが非平行となり、センサＳ１とかさ歯車部２０との距離が大きくなるため、信号処理部１０に入力する信号ｓ１’は、Δｙが０の場合（破線）に比べて値がΔＶａｙ１大きくなる。また、センサＳ２とかさ歯車部２０との距離が小さくなるため、信号処理部１０に入力する信号ｓ２’は、Δｙが０の場合（破線）に比べて値がΔＶａｙ２小さくなる。
【００４７】
また、ｙ負方向にΔｙずれる場合、信号ｓ１’は、Δｙが０の場合（破線）に比べてΔＶａｙ１小さくなり、信号ｓ２’は、ΔＶａｙ２大きくなる。
【００４８】
図８（ａ）〜（ｄ）は、歯車２の軸ねじれ量が時間変化する場合の回転検出装置１が検出する検出信号例を示すグラフ図である。
【００４９】
図７（ａ）に示す軸のねじれΔｘが時間とともに変化するとき、図８（ａ）に示すように、信号ｓ１’のΔｘが０の場合（破線）に比べて生じる矩形のタイミングのずれΔｔａｘが、Δｔ１ａｘ１、Δｔ２ａｘ１、０、Δｔ３ａｘ１と変化する。
【００５０】
また、Δｔａｘ１の振る舞いは、図８（ｂ）に示すように変化するため、その周期を求めることで軸ねじれの周期を求めることができる。
【００５１】
図７（ａ）に示す軸のねじれΔｙが時間とともに変化するとき、図８（ｃ）に示すように、信号ｓ１’のΔｙが０の場合（破線）に比べて生じる矩形がΔＶａｙ１が、ΔＶ１ａｙ１、ΔＶ２ａｙ１、０、ΔＶ３ａｙ１と変化する。
【００５２】
また、ΔＶａｙ１の振る舞いは、図８（ｄ）に示すように変化するため、その周期を求めることで軸ねじれの周期を求めることができる。
【００５３】
軸ずれ検出部１２は、上記した信号ｓ１’及びｓ２’の変化に基づいて軸ずれ量及び軸ずれの方向を検出し、検出結果を信号ｓ３及びｓ４としてそれぞれ回転検出部１１及び異常検出部１３に出力する。
【００５４】
（３）軸ずれ検出部１２の動作
図９は、回転検出装置１の軸ずれ判断動作例を示すフローチャートである。
【００５５】
まず、回転検出部１１は、信号処理部１０が出力した信号ｓ１’及びｓ２’を入力する（Ｓ１）。次に、軸ずれのない状態と軸ずれのある状態との信号ｓ１’及びｓ２’の変位、例えば、図５に示すΔＶｘ１及びΔＶｘ２、ΔＶｙ１及びΔＶｙ２、図６に示すΔＶｚ１及びΔＶｚ２、又は図７に示すΔＶａｙ１及びΔＶａｙ２、Δｔａｘ１及びΔｔａｘ２を検出する（Ｓ２）。
【００５６】
次に、検出した変位が電圧の変位の場合、つまり、Δｔａｘ１及びΔｔａｘ２以外の場合（Ｓ３；Ｙｅｓ）、信号ｓ１’及びｓ２’のそれぞれの変位の符号が一致している場合、つまり、図５に示すようにΔＶｘ１とΔＶｘ２、又はΔＶｙ１とΔＶｙ２が同符号の場合（Ｓ４；Ｙｅｓ）、軸ズレと判断し（Ｓ５）、図５に示すような矩形波の立ち上がり変化が生じる場合はｘ方向のずれ、変化が生じない場合はｙ方向のずれであり、変位量からズレ量Δｘ又はΔｙを算出する（Ｓ６）。
【００５７】
また、ステップＳ４において、変位の符号が一致しない場合、つまり、図６又は図７に示すような場合（Ｓ４；Ｎｏ）であって、図６に示すように信号ｓ１’及びｓ２’いずれかが矩形でない場合（Ｓ７；Ｙｅｓ）、位置ずれと判断し（Ｓ８）、変位量からズレ量Δｚを算出する（Ｓ９）。
【００５８】
また、ステップＳ７において、信号ｓ１’及びｓ２’いずれかが矩形でない場合（Ｓ７；Ｎｏ）、図７に示すようにｙ方向の軸ねじれと判断し（Ｓ１０）、変位から軸ねじれΔｙを算出する（Ｓ１１）。
【００５９】
また、ステップＳ３において、検出した変位が時間の変位の場合（Ｓ３；Ｎｏ）、図７に示すようにｘ方向の軸ねじれと判断し（Ｓ１２）、変位から軸ねじれΔｘを算出する（Ｓ１３）。
【００６０】
（４）回転検出部１１の動作
回転検出部１１は、受信した信号ｓ１’及びｓ２’を信号ｓ３に基づいて補正し、補正された情報に基づいて周期Ｔ及び回転数を算出する。また、算出された回転数を駆動部３にフィードバックするため信号ｓ６を出力する。
【００６１】
（５）異常検出部１３の動作
異常検出部１３は、信号ｓ４が予め定められた閾値を超えるとき異常な軸ずれであると判断し、駆動部３に対して歯車２の駆動を停止するよう信号ｓ６を出力する。
【００６２】
（実施の形態の効果）
上記した実施の形態によると、軸ずれ検出部１２は、図５〜図８に示す軸ずれの種類に応じて信号ｓ１’及びｓ２’の変化の組み合わせが異なることを利用して歯車２の軸ずれを検出するため、少なくとも２つの距離センサで回転軸に生じる軸ずれを検出することができるとともに、検出した軸ずれに対応して正確な回転軸の回転を検出することができる。
【００６３】
〔第２の実施の形態〕
第２の実施の形態は、センサＳ１及びＳ２が回転軸２Ａを中心としたｘｙ平面の偏角が異なる位置に配置される点で第１の実施の形態と異なる。
【００６４】
図１０（ａ）及び（ｂ）は、第２の実施の形態に係る歯車２の構成例を示す概略図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図を示す。
【００６５】
センサＳ１は、かさ歯車部２０の図面左端に設置され、かさ歯車部２０との距離ｄ１を測定する。また、センサＳ２は、かさ歯車部２０の図面右端に設置され、かさ歯車部２０との距離ｄ２を測定する。なお、センサＳ１及びＳ２は、回転軸２Ａを中心としたｘｙ平面の偏角をずらした位置に配置される。
【００６６】
図１１（ａ）及び（ｂ）は、歯車２が軸ずれを生じる場合の動作を示す概略図であり、（ａ）は歯車２が軸ずれを生じる場合の例を示した概略図、（ｂ）は回転検出装置１が検出する検出信号例を示すグラフ図である。
【００６７】
図１１（ａ）に示すように、歯車２の回転軸２Ａが平行にｘ正方向にΔｘずれる場合に回転検出装置１が検出する信号ｓ１及びｓ２を図１１（ｂ）に示す。
【００６８】
歯車２の回転軸２Ａが平行にｘ正方向にΔｘずれる場合、センサＳ１とかさ歯車部２０との距離が大きくなるため、信号処理部１０に入力する信号ｓ１は、Δｘが０の場合（破線）に比べて値がΔＶｘ１’小さくなる。また、センサＳ１と歯山２０ａの側面２０ｃとの距離を測定する割合が多くなるため、矩形の立ち上がりがさらに緩くなる。
【００６９】
また、センサＳ２とかさ歯車部２０との距離が小さくなるため、信号処理部１０に入力する信号ｓ１は、Δｘが０の場合（破線）に比べて値がΔＶｘ２大きくなる。また、歯山２０ａの側面２０ｃの距離を測定する割合がなくなるため、矩形の立ち上がりが急になる。
【００７０】
なお、歯車２の回転軸２Ａが平行にｙ正方向にΔｙずれる場合は、図５（ｃ）に示した内容と類似するため省略する。また、図１１（ｂ）と同様にｓ１の立ち上がりとｓ２の立下りは緩やかとなる。
【００７１】
また、図６に示した位置ずれが生じる場合及び図７に示した軸ねじれが生じる場合、信号ｓ１’及びｓ２’は類似する内容となるため省略する。
【００７２】
（第２の実施の形態の効果）
上記した第２の実施の形態によると、ｘ方向の軸ずれが生じることで信号ｓ１’及びｓ２’の値の変化ΔＶｘ１’及びΔＶｘ２’の符号が異なるため、図６に示した位置ずれが生じる場合及び図７に示した軸ねじれが生じる場合との区別が容易となる。
【００７３】
また、これにより、図６に示すセンサＳ１及びＳ２をかさ歯車部２０の端に設置する必要がなくなる。つまり、センサＳ１及びＳ２を端に設置しない場合、ΔＶｚ１及びΔＶｚ２のうち一方が矩形でなくなることはなくなるが、それぞれの符号が一致するため、図１１の場合との区別は容易となる。
【００７４】
〔他の実施の形態〕
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々な変形が可能である。例えば、かさ歯車を複数組み合わせた形状の歯車を用いても良い。歯車部が回転軸と非平行であれば、内歯車であってもよい。
【符号の説明】
【００７５】
１…回転検出装置、２…歯車、２Ａ…回転軸、２Ｂ…回転方向、３…駆動部、１０…信号処理部、１１…回転検出部、１２…軸ずれ検出部、１３…異常検出部、２０…歯車部、２０ａ…歯山、２０ｂ…歯溝、２０ｃ…側面
【図１】
2011085406.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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