(57)【要約】【課題】カセットの搬送過程においても、カセットの姿勢を正常な状態に維持することができる搬送装置を提供する。【解決手段】搬送装置は、第１搬送台１１０および第２搬送台１１１と、カセット２００の第１側面との間の距離を検知可能なセンサと、センサからの出力に基づいて第１ローラと第２ローラの回転速度を調整する制御部２６０とを備える。【選択図】図１
2011111289.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
幅方向に配列する第１側面および第２側面を含むカセットを搬送する搬送装置であって、
前記カセットの底面のうち、前記第１側面側に位置する部分が配置され、搬送方向に延びる第１搬送台と、
前記第１搬送台の上面に回転可能に設けられ、前記カセットを搬送する複数の第１ローラと、
前記第１ローラを回転させる第１駆動部と、
前記カセットの底面のうち、前記第２側面側に位置する部分が配置され、前記第１搬送台と平行に延びる第２搬送台と、
前記第２搬送台の上面に回転可能に設けられ、前記カセットを搬送する複数の第２ローラと、
前記第２ローラを回転させる第２駆動部と、
前記第１側面との距離を検知可能な検知部と、
前記検知部からの出力に基づいて前記第１駆動部および前記第２駆動部を制御して、前記第１ローラと前記第２ローラの回転速度を調整する制御部とを備え、
前記検知部は、前記第１側面に位置する第１検出位置との間の第１距離と、
前記第１側面のうち、前記第１検出位置よりも前記搬送方向前方側に位置する第２検出位置との間の第２距離とを検知し、
前記制御部は、前記第１距離と前記第２距離との差が所定の閾値より小さくなるように、前記第１ローラと、前記第２ローラとの少なくとも一方の回転速度を上昇または低下させる、搬送装置。
【請求項２】
前記検知部は、前記搬送方向に延びる第１仮想基準線と前記第１側面との間の距離を測定可能とされた、請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記検知部は、前記第１センサと、前記第１センサよりも前記搬送方向前方側に位置する第２センサとを含み、
前記第１センサおよび前記第２センサとは、前記第１仮想基準線上に配列された、請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記検知部からの出力の変動率が基準変動率を超えたときを初期基準時とし、
前記制御部は、前記初期基準時から第１期間経過した第１基準時における前記検知部の出力を前記第１距離とし、
前記制御部は、前記初期基準時から第２期間経過した第２基準時における前記検知部の出力を前記第２距離とする、請求項１または請求項２に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記制御部は、
前記第１距離が前記第２距離よりも大きいと判断すると、前記第１ローラの回転速度を上昇させ、
前記第２距離が前記第１距離よりも大きいと判断すると、前記第２ローラの回転速度を上昇させる、請求項１から請求項４のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項６】
前記制御部は、
前記第１距離が前記第２距離よりも大きいと判断すると、前記第２ローラの回転速度を低下させ、
前記第２距離が前記第１距離よりも大きいと判断すると、前記第１ローラの回転速度を低下させる、請求項１から請求項５のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項７】
前記検知部は、
前記第２側面に位置する第３検出位置との間の第３距離と、
前記第２側面のうち、前記第３検出位置よりも前記搬送方向前方側に位置する第４検出位置との間の第４距離とを検知し、
前記制御部は、前記第３距離と前記第４距離との差が所定の閾値よりも大きいと判断すると、前記第３距離と前記第４距離との差が所定の閾値より小さくなるように、前記第１ローラと、前記第２ローラとの少なくとも一方の回転速度を上昇または低下させる、請求項１から請求項６のいずれかに記載の搬送装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記第３距離が前記第４距離よりも大きいと判断すると、前記第１ローラの回転速度を低下させ、
前記制御部は、前記第４距離が前記第３距離よりも大きいと判断すると、前記第２ローラの回転速度を低下させる、請求項７に記載の搬送装置。
【請求項９】
カセットを搬送する搬送装置であって、
搬送方向に延びる第１搬送台と、
前記第１搬送台の上面に回転可能に設けられ、前記カセットを搬送する複数の第１ローラと、
前記第１ローラを回転させる第１駆動部と、
前記第１搬送台と平行に延びる第２搬送台と、
前記第２搬送台の上面に回転可能に設けられ、前記カセットを搬送する複数の第２ローラと、
前記第２ローラを回転させる第２駆動部と、
前記第１ローラに加えられる荷重を計測可能な荷重センサと、
前記荷重センサからの出力に基づいて前記第１ローラと前記第２ローラの回転速度を調整する制御部とを備える、搬送装置。
【請求項１０】
幅方向に配列する第１側面および第２側面と正面および背面とを含むカセットを搬送する搬送装置であって、
前記カセットの底面のうち、前記第１側面側に位置する部分が配置され、搬送方向に延びる第１搬送台と、
前記第１搬送台の上面に回転可能に設けられ、前記カセットを搬送する複数の第１ローラと、
前記第１ローラを回転させる第１駆動部と、
前記カセットの底面のうち、前記第２側面側に位置する部分が配置され、前記第１搬送台と平行に延びる第２搬送台と、
前記第２搬送台の上面に設けられ、前記カセットを搬送する複数の第２ローラと、
前記第２ローラを回転させる第２駆動部と、
前記カセットの上方に配置され、前記第１搬送台および第２搬送台の配列方向に配列する第１正面検知部、および前記第１正面検知部よりも前記第２搬送台側に位置する第２正面検知部と、
前記第１正面検知部および第２正面検知部からの出力に基づいて、前記第１駆動部および前記第２駆動部を制御し、前記第１ローラと前記第２ローラの回転速度を調整する制御部とを備え、
前記第１正面検知部は、該第１正面検知部の下方を前記正面が通過したことを検知可能とされ、
前記第２正面検知部は、該第２正面検知部の下方を前記正面が通過したことを検知可能とされ、
前記制御部は、
前記正面が前記第１正面検知部を前記第２正面検知部よりも先に通過した場合に、前記第１ローラの回転速度を低下させると共に、前記第２ローラの回転速度を上昇させ、
前記正面が前記第１正面検知部を前記第２正面検知部よりも後に通過した場合に、前記第１ローの回転速度を上昇させると共に、前記第２ローラの回転速度を低下させる、搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カセットの搬送装置に関し、特に液晶のガラス基板を収容するカセットを搬送する搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から各種搬送物を搬送する搬送装置が提案されている。
たとえば、特開平１１−２９２２４２号公報に記載された搬送装置は、複数のベルトコンベアを備えた搬送装置が記載されている。
【０００３】
この搬送装置は、１つのベルトコンベアを駆動させる主動モータと、他のベルトコンベアを駆動させる従動モータと、従動モータの回転速度を主動モータの回転速度に一致させる制御装置とを備えている。
【０００４】
特開平８−８３４５５号公報に記載されたカセットオートチェンジャは、複数のカセット収容部および第１のカセット搬送手段を含む第１のコンソールと、記録再生装置を含む第２のコンソールと、第１のコンソールおよび第２のコンソール間を移動して、カセットを搬送するカセット搬送部とを備えている。
【０００５】
さらに、カセット搬送部のカセット移動経路に沿って、カセットの位置を検出する複数のセンサとを備え、センサからの出力に基づいて、カセットがカセット搬送部からのはみ出し量を検出している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−２９２２４２号公報
【特許文献２】特開平８−８３４５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特開平１１−２９２２４２号公報に記載された搬送装置を用いて、仮に、ガラス基板を搬送するカセットを搬送したとすると、カセットの底面の状態および各ベルトコンベアの表面の状態によっては、カセットの右側と左側とで搬送速度にずれが生じる場合がある。
【０００８】
この場合、初期状態において、カセットを正常に配置したとしても、カセットは、搬送方向に搬送されながらも回転する。
【０００９】
このため、カセットからガラス基板を取り出したり、ガラス基板をカセット内に差し込んだりする際に、カセットの開口部が所定の方向に向いておらず、ガラス基板を取り出したりするフォークがカセットと接触する等の問題が生じる。
【００１０】
なお、上記特開平８−８３４５５号公報に記載されたカセットチェンジャにおいては、カセットの傾きの状態を検知することはできない。
【００１１】
本発明は、上記のような課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、カセットの搬送過程においても、カセットの姿勢を正常な状態に維持することができる搬送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に係る搬送装置は、幅方向に配列する第１側面および第２側面を含むカセットを搬送する搬送装置である。カセットの底面のうち、第１側面側に位置する部分が配置され、搬送方向に延びる第１搬送台と、第１搬送台の上面に回転可能に設けられ、カセットを搬送する複数の第１ローラと、第１ローラを回転させる第１駆動部と、カセットの底面のうち、第２側面側に位置する部分が配置され、第１搬送台と平行に延びる第２搬送台と、第２搬送台の上面に回転可能に設けられ、カセットを搬送する複数の第２ローラと、第２ローラを回転させる第２駆動部と、第１側面との距離を検知可能な検知部と、検知部からの出力に基づいて第１駆動部および第２駆動部を制御して、第１ローラと第２ローラの回転速度を調整する制御部とを備える。上記検知部は、第１側面に位置する第１検出位置との間の第１距離と、第１側面のうち、第１検出位置よりも搬送方向前方側に位置する第２検出位置との間の第２距離とを検知し、制御部は、第１距離と第２距離との差が所定の閾値より小さくなるように、第１ローラと、第２ローラとの少なくとも一方の回転速度を上昇または低下させる。
【００１３】
好ましくは、上記検知部は、搬送方向に延びる第１仮想基準線と第１側面との間の距離を測定可能とされる。
【００１４】
好ましくは、上記検知部は、第１センサと、第１センサよりも搬送方向前方側に位置する第２センサとを含み、第１センサおよび第２センサとは、第１仮想基準線上に配列される。
【００１５】
好ましくは、上記制御部は、検知部からの出力の変動率が基準変動率を超えたときを初期基準時とし、制御部は、初期基準時から第１期間経過した第１基準時における検知部の出力を第１距離とし、制御部は、初期基準時から第２期間経過した第２基準時における検知部の出力を第２距離とする。
【００１６】
好ましくは、制御部は、第１距離が第２距離よりも大きいと判断すると、第１ローラの回転速度を上昇させ、第２距離が第１距離よりも大きいと判断すると、第２ローラの回転速度を上昇させる。
【００１７】
好ましくは、上記制御部は、第１距離が第２距離よりも大きいと判断すると、第２ローラの回転速度を低下させ、第２距離が第１距離よりも大きいと判断すると、第１ローラの回転速度を低下させる。
【００１８】
好ましくは、上記検知部は、第２側面に位置する第３検出位置との間の第３距離と、第２側面のうち、第３検出位置よりも搬送方向前方側に位置する第４検出位置との間の第４距離とを検知する。上記制御部は、第３距離と第４距離との差が所定の閾値よりも大きいと判断すると、第３距離と第４距離との差が所定の閾値より小さくなるように、第１ローラと、第２ローラとの少なくとも一方の回転速度を上昇または低下させる。
【００１９】
好ましくは、上記制御部は、第３距離が第４距離よりも大きいと判断すると、第１ローラの回転速度を低下させ、制御部は、第４距離が第３距離よりも大きいと判断すると、第２ローラの回転速度を低下させる。
【００２０】
本発明に係る搬送装置は、他の局面では、カセットを搬送する搬送装置であって、搬送方向に延びる第１搬送台と、第１搬送台の上面に回転可能に設けられ、カセットを搬送する複数の第１ローラと、第１ローラを回転させる第１駆動部と、第１搬送台と平行に延びる第２搬送台と、第２搬送台の上面に回転可能に設けられ、カセットを搬送する複数の第２ローラと、第２ローラを回転させる第２駆動部と、第１ローラに加えられる荷重を計測可能な荷重センサと、荷重センサからの出力に基づいて第１ローラと第２ローラの回転速度を調整する制御部とを備える。
【００２１】
本発明に係る搬送装置は、他の局面では、幅方向に配列する第１側面および第２側面と正面および背面とを含むカセットを搬送する搬送装置であって、カセットの底面のうち、第１側面側に位置する部分が配置され、搬送方向に延びる第１搬送台と、第１搬送台の上面に回転可能に設けられ、カセットを搬送する複数の第１ローラと、第１ローラを回転させる第１駆動部と、カセットの底面のうち、第２側面側に位置する部分が配置され、第１搬送台と平行に延びる第２搬送台と、第２搬送台の上面に設けられ、カセットを搬送する複数の第２ローラと、第２ローラを回転させる第２駆動部と、カセットの上方に配置され、第１搬送台および第２搬送台の配列方向に配列する第１正面検知部、および第１正面検知部よりも第２搬送台側に位置する第２正面検知部と、第１正面検知部および第２正面検知部からの出力に基づいて、第１駆動部および第２駆動部を制御し、第１ローラと第２ローラの回転速度を調整する制御部とを備える。上記第１正面検知部は、該第１正面検知部の下方を正面が通過したことを検知可能とされ、第２正面検知部は、該第２正面検知部の下方を正面が通過したことを検知可能とされる。上記制御部は、正面が第１正面検知部を第２正面検知部よりも先に通過した場合に、第１ローラの回転速度を低下させると共に、第２ローラの回転速度を上昇させ、正面が第１正面検知部を第２正面検知部よりも後に通過した場合に、第１ローの回転速度を上昇させると共に、第２ローラの回転速度を低下させる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係る搬送装置によれば、カセットの搬送過程にカセットの姿勢が崩れることを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施の形態に係る搬送装置の正面図である。
【図２】カセット２００の斜視図である。
【図３】第２搬送台１１１を模式的に示す斜視図である。
【図４】搬送装置１００の平面図である。
【図５】カセットの姿勢を矯正する過程を示す平面図である。
【図６】第２搬送台１１１の一部を断面視した正面図である。
【図７】ベアリングおよびその周囲の構成を示す斜視図である。
【図８】本実施の形態２に係る搬送装置１００の平面図である。
【図９】本実施の形態３に係る搬送装置１００の正面図である。
【図１０】図９に示す搬送装置１００を模式的に示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
図１から図１０を用いて、本発明の実施の形態に係る搬送装置について説明する。
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態に係る搬送装置の正面図である。この図１に示すように、搬送装置１００は、カセット２００を搬送するカセット搬送装置である。
【００２５】
搬送装置１００は、カセット２００の搬送方向に延びる第１搬送台１１０と、第１搬送台１１０からカセット２００の幅方向に間隔をあけて設けられ、第１搬送台１１０と平行に延びる第２搬送台１１１とを備えている。
【００２６】
第１搬送台１１０は、第１搬送台１１０の上面に設けられると共に、第１搬送台１１０と第２搬送台１１１との配列方向に延びる回転中心線を中心に回転可能に設けられたローラ１１２を含む。
【００２７】
第２搬送台１１１は、第２搬送台１１１の上面に設けられると共に、第２搬送台１１１と第１搬送台１１０との配列方向に延びる回転中心線を中心に回転可能に設けられたローラ１１３を含む。
【００２８】
カセット２００は、ローラ１１２およびローラ１１３に跨るように配置される。このようにカセット２００が載置された状態で、ローラ１１２およびローラ１１３が回転することで、カセット２００が搬送される。
【００２９】
図２は、カセット２００の斜視図である。この図２に示すように、カセット２００は、蓋２０１が設けられた側面部２０４と、側面部２０４に対して反対側に位置する側面部２０５と、正面部２０２と、正面部２０２と反対側に位置する背面部２０７と、底部２０３と、天面部２０６とを少なくともを含む。搬送装置１００上にカセット２００を搭載した状態では、正面部２０２が搬送方向前方側に向くように配置される。
【００３０】
カセット２００の高さは、たとえば、２．５ｍ程度とされており、蓋２０１の幅は、たとえば、３ｍｍ程度とされ、正面部２０２の幅は、３ｍ程度とされている。
【００３１】
蓋２０１は、取り外し可能に設けられており、カセット２００内にガラス基板を収容したり、カセット２００内に収容されたガラス基板を取り出す際には、蓋２０１はカセット２００から外される。
【００３２】
図３は、第２搬送台１１１を模式的に示す斜視図であり、図３に示すように、第２搬送台１１１は、カセット２００の搬送方向に長尺に延びている。第２搬送台１１１は、台座１１７と、台座１１７の上面に固定された筐体１１８とを含む。筐体１１８には、複数のローラ１１３が回転可能に設けられている。ローラ１１３は、第２搬送台１１１の延在方向に間隔をあけて配列している。
【００３３】
なお、図１に示す第１搬送台１１０も第２搬送台１１１と同様に構成されている。具体的には、第１搬送台１１０は、搬送方向に延びる台座１１４と、この台座１１４の上面に固定され、台座１１４の延在方向に延びる筐体１１５と、筐体１１５を台座１１４の上面に固定する固定部材１１６とを備えている。
【００３４】
そして、筐体１１５の上面には、第１搬送台１１０の延在方向に間隔をあけて複数のローラ１１２が設けられている。そして、図２に示すように、ローラ１１３は、円柱状に形成されており、第１搬送台１１０および第２搬送台１１１の配列方向に延びる回転中心線を中心に回転可能に設けられている。筐体１１８は、固定部材１１９によって台座１１７の上面に固定されている。
【００３５】
第２搬送台１１１は、ローラ１１３を回転させるモータ等の駆動部１３１をさらに備え、第１搬送台１１０は、ローラ１１２を回転させるモータ等の駆動部１３０をさらに備える。
【００３６】
図４は、搬送装置１００の平面図である。この図４に示すように、第１搬送台１１０より搬送方向Ｐ前方側には、第３搬送台２１０が連設されている。第２搬送台１１１よりも搬送方向Ｐ前方側には、第４搬送台２１１が連設されている。
【００３７】
第３搬送台２１０の上面にも、複数のローラ２１２が回転可能に配置されており、第４搬送台２１１の上面にも、ローラ２１３が回転可能に配置されている。
【００３８】
第１搬送台１１０の外側面には、センサ１５０が配置されており、センサ１５０より搬送方向Ｐ前方側に位置する第１搬送台１１０の外側面には、センサ１５１が配置されている。センサ１５０は、第１基準位置Ｑ１に位置しており、センサ１５１は、第２基準位置Ｑ２に位置している。
【００３９】
センサ１５０およびセンサ１５１は、搬送方向Ｐに延びる第１仮想基準線Ｆ１上に配列している。
【００４０】
この図４に示す例においては、第１搬送台１１０と第２搬送台１１１は、直線状に形成されているため、第１仮想基準線Ｆ１は、第１搬送台１１０の外側面に沿って直線状に延びている。
【００４１】
センサ１５０は、カセット２００の側面部２０５の第１検査位置Ｑ１１と第１基準位置Ｑ１との間の第１距離Ｌ１を検知する。センサ１５１は、カセット２００の側面部２０５の第２検査位置Ｑ１２と、第２基準位置Ｑ２との間の距離を測定している。この図４に示す例においては、第１基準位置Ｑ１と、第２基準位置Ｑ２とは、第１仮想基準線Ｆ１上に配列している。
【００４２】
このため、センサ１５０およびセンサ１５１は、第１検査位置Ｑ１１と第１仮想基準線Ｆ１との間の距離と、第２検査位置Ｑ１２と第１仮想基準線Ｆ１との間の距離を測定する。具体的には、センサ１５０は、第１搬送台１１０および第２搬送台１１１の配列方向における第１基準位置Ｑ１と第１検査位置Ｑ１１との間の距離を測定する。同様に、センサ１５１は、第１搬送台１１０と第２搬送台１１１との配列方向における第２基準位置Ｑ２と第２検査位置Ｑ１２との間の距離を測定する。
【００４３】
センサ１５１は、センサ１５０よりも搬送方向Ｐ前方側に配置されているため、上記第２検査位置Ｑ２は、第１検査位置Ｑ１よりも搬送方向Ｐ前方側に位置する。
【００４４】
センサ１５１とセンサ１５０とは、同時に、各第１距離Ｌ１および第２距離Ｌ２を検知している。センサ１５０およびセンサ１５１が各距離を計測するタイミングとしては、たとえば、センサ１５０がカセット２００を検知してから、所定時間経過後とする。
【００４５】
センサ１５０は、測定値を制御部２６０に常時出力している。制御部２６０は、センサ１５０の出力値の変動率が所定の基準変動率を超えたときには、カセット２００がセンサ１５０の前方に達したものと判断する。制御部２６０は、カセット２００がセンサ１５０の前方に達したと判断してから、所定時間経過後に、センサ１５０およびセンサ１５１からの出力値を格納する。
【００４６】
カセット２００は、センサ１５０の前方側に達してから所定時間経過するまでの間、搬送方向Ｐ前方側に搬送される。このため、上記所定時間は、カセット２００がセンサ１５０の前方側に達してから通過するまでに要する通過時間よりも短い時間とされる。
【００４７】
センサ１５０（第１基準位置Ｑ１）とセンサ１５１（第２基準位置Ｑ２）との距離は、カセット２００の正面２０２および背面間の長さよりも短くなるように設定される。さらに好ましくは、カセット２００の正面２０２および背面間の距離の半分の長さよりも長くなるように設定される。
【００４８】
制御部２６０は、第１距離Ｌ１と第２距離Ｌ２との差が所定の閾値Ｔよりも小さくなるようにローラ１１２およびローラ１１３の回転速度を調整する。
【００４９】
これにより、カセット２００の側面部２０５の延在方向が、搬送方向Ｐと略一致させることができ、カセット２００の姿勢を矯正することができる。
【００５０】
ここで、第１距離Ｌ１が第２距離Ｌ２よりも大きく、第１距離Ｌ１と第２距離Ｌ２との差が閾値Ｔよりも大きいときには、図４に示すように、側面部２０５は、搬送方向Ｐ前方側に向かうにつれて、第２搬送台１１１から離れるように傾斜している。
【００５１】
そこで、制御部２６０は、ローラ１１２の回転速度が上昇するように駆動部１３０の駆動を制御する。このように、ローラ１１２の回転速度を上昇させることで、図５に示すように、側面部２０５が第１仮想基準線Ｆ１に沿うように変位する。
【００５２】
第２距離Ｌ２の方が第１距離Ｌ１よりも大きく、第２距離Ｌ２と第１距離Ｌ１との差が、閾値Ｔよりも大きいときには、側面部２０５は、搬送方向Ｐ前方側に向かうにしたがって、第２搬送台１１１に近接するように傾斜している。この場合には、制御部２６０は、ローラ１１３の回転速度を上昇させるように、駆動部１３１の駆動を制御する。
【００５３】
なお、第１距離Ｌ１が第２距離Ｌ２よりも大きい時には、ローラ１１３の回転速度を低下させるように駆動部１３１を駆動してもよい。さらに、第２距離Ｌ２の方が第１距離Ｌ１よりも大きい時には、ローラ１１２の回転速度を低下させるように、駆動部１３０の駆動を制御してもよい。
【００５４】
このように、制御部２６０がローラ１１２およびローラ１１３の回転速度を調整することで、短時間でカセット２００の姿勢を矯正することができる。
【００５５】
また、ローラ１１２とローラ１１３の回転速度の差の絶対値および回転速度の加速度は、第１距離Ｌ１および第２距離Ｌ２の差の絶対値に基づいて設定される。たとえば、ローラ１１２とローラ１１３の回転速度の差の絶対値を第１距離Ｌ１および第２距離Ｌ２の差の絶対値に比例するように設定してもよい。このため、第１距離Ｌ１と第２距離Ｌ２との差が大きいときには、ローラ１１２とローラ１１３との回転速度の差が大きくなり、カセット２００の回転速度が大きくなる。これにより、カセット２００の姿勢の傾きが大きいとき場合であっても、速やかにカセット２００の姿勢を矯正することができる。
【００５６】
また、ローラ１１２，１１３の回転速度の加速度の絶対値は、第１距離Ｌ１および第２距離Ｌ２の差の絶対値に比例するように設定してもよい。これにより、カセット２００の姿勢が大きく傾いているときには、ローラ１１２，１１３の回転の加速度が大きくなり、短時間でローラ１１２，１１３の回転速度を目標値とすることができる。
【００５７】
なお、この図４に示す例においては、搬送装置１００は、第２搬送台１１１の外側面に設けられたセンサ１５２と、このセンサ１５２に対して搬送方向Ｐ前方側に配置されたセンサ１５３とをさらに備える。
【００５８】
ここで、第２搬送台１１１は、直線状に延びており、第２搬送台１１１の延在方向と搬送方向Ｐとは一致している。このため、搬送方向Ｐと平行に延びる第２仮想基準線Ｆ２は、第２搬送台１１１の外側面上に延びている。
【００５９】
センサ１５２は、側面部２０４上に位置する第３検査位置Ｑ１３と、第３基準位置Ｑ３との間の第３距離Ｌ３を測定する。センサ１５３は、側面部２０４上に位置する第３検査位置Ｑ１４と、第４基準位置Ｑ４との間の第４距離Ｌ４を測定する。センサ１５２は、第３基準位置Ｑ３に位置している。センサ１５３は第４基準位置Ｑ４に位置している。この図４に示す例においては、第３基準位置Ｑ３と第４基準位置Ｑ４とは、第２仮想基準線Ｆ２上に配列している。このため、センサ１５２およびセンサ１５３とは、第２仮想基準線Ｆ２と第３検査位置Ｑ１３までの距離と、第２仮想基準線Ｆ２と第３検査位置Ｑ１４までの距離を測定している。
【００６０】
なお、センサ１５２、１５３は、上記センサ１５０，１５１と同時に、各距離を検知している。
【００６１】
そして、制御部２６０は、第３距離Ｌ３と第４距離Ｌ４との差が、閾値Ｔよりも小さくなるように、ローラ１１３およびローラ１１２の回転速度を制御する。
【００６２】
ここで、第４距離Ｌ４が第３距離Ｌ３よりも大きく、第４距離Ｌ４と第３距離Ｌ３との差が閾値Ｔよりも大きいときには、図４に示すように、側面部２０４は、搬送方向Ｐ前方側に向かうにつれて、第１搬送台１１０に近接するように傾斜している。
【００６３】
そこで、制御部２６０は、ローラ１１２の回転速度が上昇するように駆動部１３０の駆動を制御する。このように、ローラ１１２の回転速度を上昇させることで、図５に示すように、側面部２０５が第１仮想基準線Ｆ１に沿うように変位する。
【００６４】
第３距離Ｌ３の方が第４距離Ｌ４よりも大きく、第３距離Ｌ３と第４距離Ｌ４との差が、閾値Ｔよりも大きいときには、側面部２０４は、搬送方向Ｐ前方側に向かうにしたがって、第１搬送台１１０から離れるように傾斜している。この場合には、制御部２６０は、ローラ１１３の回転速度を上昇させるように、駆動部１３１の駆動を制御する。
【００６５】
なお、第４距離Ｌ４が第３距離Ｌ３よりも大きいときには、ローラ１１３の回転速度を低下させるように駆動部１３１を駆動してもよい。さらに、第３距離Ｌ３の方が第４距離Ｌ４よりも大きいときには、ローラ１１２の回転速度を低下させるように駆動部１３０の駆動を制御してもよい。これにより、短時間で、カセット２００の姿勢を矯正することができる。
【００６６】
このように、ローラ１１２およびローラ１１３の回転速度を調整することで、カセット２００を搬送しながら、カセット２００を回転させることができる。
【００６７】
これにより、初期状態において、カセット２００が正常な位置に配置されている場合には、カセット２００を正常な姿勢に戻すことができる。
【００６８】
この結果、第１距離Ｌ１と第２距離Ｌ２と第３距離Ｌ３と第４距離Ｌ４とが略等しくなる。第１距離Ｌ１と第３距離Ｌ３との間の距離が等しくなく、さらに、第２距離Ｌ２と第４距離Ｌ４との距離が等しくない場合には、カセット２００が幅方向にずれていることになる。たとえば、カセット２００が、第１搬送台１１０側にオフセットしている場合には、所定時間、ローラ１１２の回転速度をローラ１１３の回転速度よりも速くする。これにより、カセット２００は回転しながら第２搬送台１１１側に変位する。所定時間経過後、姿勢が傾斜したカセット２００の姿勢を矯正するために、ローラ１１３の回転速度をローラ１１２の回転速度よりも速くする。これにより、カセット２００は回転し、正常な姿勢に戻るように回転すると共に、今度は、第１搬送台１１０側に変位する。ここで、カセット２００の回転速度およびカセット２００の幅方向の変位速度は、ローラ１１２およびローラ１１３の回転速度や速度差を適宜調整することで変更することができる。
【００６９】
そこで、カセット２００の姿勢自体は正常であっても、カセット２００の位置が幅方向にずれている場合には、ローラ１１２の回転速度をローラ１１３の回転速度よりも速めることと、ローラ１１３の回転速度をローラ１１２の回転速度よりも速めることを繰り返すことで、カセット２００の幅方向の中央部が、第１搬送台１１０および第２搬送台１１１の幅方向の中央部に位置するように調整することができる。この結果、カセット２００を正常な姿勢に矯正することができると共に、第１距離Ｌ１と第２距離Ｌ２と第３距離Ｌ３と第４距離Ｌ４とが略等しくなるようにカセット２００の幅方向の位置を修正することができる。
【００７０】
なお、制御部２６０は、カセット２００の姿勢を矯正するために、ローラ１１２およびローラ１１３の回転速度を変更してから所定時間経過すると、ローラ１１２およびローラ１１３の回転速度を通常の回転速度に戻す。カセット２００の姿勢を矯正し始めてから所定時間経過すると、カセット２００は、第１搬送台１１０および第２搬送台１１１から次の搬送台に差し掛かる。そこで、カセット２００が次の搬送台に差し掛かるときに、ローラ１１２およびローラ１１３の回転速度を定常状態に戻し、次に搬送されるカセット２００の矯正の準備をする。
【００７１】
搬送装置１００は、第１搬送台１１０に連設され、搬送方向Ｐ前方側に位置する第３搬送台２１０と、第２搬送台１１１に連設され、搬送方向Ｐ前方側に位置する第４搬送台２１１とを備える。
【００７２】
第３搬送台２１０および第４搬送台２１１は、第１搬送台１１０等と同様に構成されており、回転可能に設けられたローラ２１２，２１３と、ローラ２１２，２１３を回転駆動する駆動部２３０，２３１とを備える。
【００７３】
第３搬送台２１０の外側面には、センサ２５０と、センサ２５０より搬送方向前方側に配置されたセンサ２５１とが設けられている。
【００７４】
第４搬送台２１１の外側面には、センサ２５２と、センサ２５２よりも搬送方向Ｐ前方側に配置されたセンサ２５３とが設けられている。
【００７５】
そして、制御部２６０は、センサ２５０，センサ２５１，センサ２５２およびセンサ２５３からの出力に基づいて、カセット２００の姿勢を判断し、駆動部２３０および駆動部２３１の駆動を制御することで、カセット２００の姿勢を矯正する。
【００７６】
このように、搬送装置１００は、複数の区間でカセット２００の姿勢を判定し、カセット２００が所定の状態から回転している場合には、搬送装置１００の姿勢を矯正する制御を行う。
【００７７】
この搬送装置１００においては、第１搬送台１１０および第２搬送台１１１によって構成される区間には、１つのカセット２００が位置するように、カセット２００間の間隔が設定されている。
【００７８】
このため、たとえば、第１搬送台１１０および第２搬送台１１１によって構成される区間に複数のカセット２００が配置されることを抑制されており、１つのカセット２００の姿勢を矯正することで、他のカセット２００の姿勢が崩れることが抑制されている。
【００７９】
これにより、搬送装置１００が複数のカセット２００を搬送する際においても、各カセット２００の姿勢を矯正することができる。
【００８０】
なお、図４に示す例においては、複数のセンサを用いて、カセット２００の側面部からの距離を測定して、カセット２００の姿勢を判断しているが、カセット２００の姿勢の判断方向としては、上記の方法に限られない。
【００８１】
たとえば、センサ１５０のみを用いて、カセット２００の姿勢を判断するようにしてもよい。
【００８２】
制御部２６０には、基準変動率が格納されている。センサ１５０は常時、距離のセンシングを行っている。カセット２００がセンサ１５０に達すると、センサ１５０からの出力値は大きく変動する。制御部２６０は、センサ１５０から出力の変動率が上記基準変動率よりも大きくなったと判断すると、当該時刻を初期基準時とする。
【００８３】
そして、制御部２６０は、上記初期基準時から第２期間経過した第２基準時におけるセンサ１５０の出力を第２距離Ｌ２とする。この際、第２検査位置Ｑ１２とセンサ１５０との間の距離が測定される。その後、制御部２６０は、上記初期基準時から第１期間経過した第１基準時におけるセンサ１５０の出力を第１距離Ｌ１とする。この際、第１検査位置Ｑ１１とセンサ１５０との間の距離が測定される。なお、第２期間は、第１期間よりも短い。そして、第１距離Ｌ１および第２距離Ｌ２に基づいて、ローラ１１２およびローラ１１３の回転速度を制御する。
【００８４】
なお、上記変形例においては、第１検査位置Ｑ１１および第２検査位置Ｑ１２の２点と、センサ１５０との距離に基づいて、カセット２００の傾斜状態を判断しているが、これに限られない。たとえば、さらに複数の位置でカセット２００とセンサ１５０との間の距離を測定するようにしてもよい。
【００８５】
たとえば、センサ１５０は、カセット２００の側面部２０５がセンサ１５０の側方に達してから、少なくとも所定期間、第１距離Ｌ１を測定し、制御部２６０に測定結果を時々刻々出力する。
【００８６】
たとえば、第１距離Ｌ１が時間がたつにつれて大きくなる場合には、図４に示すように、カセット２００が傾斜しているものと考えられる。この場合には、制御部２６０はローラ１１２の回転速度を上昇させると共に、ローラ１１３の回転速度を低下させる。
【００８７】
その一方で、第１距離Ｌ１が時間がたつにつれて、小さくなる場合には、制御部２６０は、ローラ１１２の回転速度を低下させると共に、ローラ１１３の回転速度を上昇させる。このような例においても、カセット２００の姿勢を判断することができると共に、カセット２００の姿勢を矯正することができる。
【００８８】
（実施の形態２）
図６から図８を用いて、本実施の形態２に係る搬送装置１００について説明する。なお、図６および図７に示す構成のうち、上記図１から図５に示された構成と同一または相当する構成については、同一の符号を付してその説明を省略する場合がある。
【００８９】
図６は、第２搬送台１１１の一部を断面視した正面図である。この図６に示すように、ローラ１１３は、回転軸１２０によって、筐体１１８に回転可能に設けられている。
【００９０】
回転軸１２０には、図７に示すように、ベアリング３２０が装着されている。ここで、ベアリング３２０は、間隔をあけて２つ配置されており、各ベアリング３２０の間に、ローラ１１２が配置されている。
【００９１】
ベアリング３０１のアウターレースは、筐体１１８に形成された穴部の内周面に装着されており、ベアリング３０１のインナーレースには、回転軸１２０が固定されている。ベアリング３０１のアウターレースの外周面のうち、下端部側には圧力センサ３００が配置されている。
【００９２】
これにより、ローラ１１２に加えられた荷重は、２つの圧力センサ３００によって検知することができる。
【００９３】
図８は、本実施の形態２に係る搬送装置１００の平面図である。この図８に示すように、第１搬送台１１０には、上記圧力センサ３００と、圧力センサ３００より搬送方向Ｐ前方側に位置するローラ１１２のベアリングに設けられた２つの圧力センサ３０１とを備えている。第２搬送台１１１には、ローラ１１３のベアリングに設けられた圧力センサ３０２と、この圧力センサ３０２に対して搬送方向Ｐ前方側に位置する２つの圧力センサ３０３とを備えている。
【００９４】
なお、圧力センサ３０２と圧力センサ３００とは、第１搬送台１１０および第２搬送台１１１の配列方向に配列している。圧力センサ３０３と圧力センサ３０１も、第１搬送台１１０と第２搬送台１１１との配列方向に配列している。
【００９５】
制御部２６０には、カセット２００が正常な姿勢の際に、各圧力センサ３００〜圧力センサ３０３に加えられる荷重が記憶されている。
【００９６】
そして、制御部２６０は、各圧力センサ３００〜圧力センサ３０３から出力値を受け取り、各荷重センサからの出力が所定の閾値の範囲内であれば、カセット２００の姿勢が正常なものと判断し、ローラ１１２およびローラ１１３の回転速度を維持する。
【００９７】
その一方で、圧力センサ３００〜圧力センサ３０３から出力された出力値が閾値を越えるときには、カセット２００の姿勢を矯正するために、ローラ１１２およびローラ１１３の回転速度を調整する。
【００９８】
たとえば、図８に示す例においては、側面部２０５が搬送方向Ｐ前方側に向かうにしたがって、第２搬送台１１１から離れるように傾斜し、側面部２０４が搬送方向Ｐ前方側に向かうにしたがって、第１搬送台１１０に近接するように傾斜している。
【００９９】
このようにカセット２００が傾斜した状態においては、圧力センサ３００および圧力センサ３０３に加えられる荷重は、カセット２００が正常な姿勢のときよりも小さくなる。圧力センサ３０１および圧力センサ３０２に加えられる荷重は、カセット２００が正常な姿勢のときよりも大きくなる。
【０１００】
このように、圧力センサ３００および圧力センサ３０３が出力する出力値が閾値を超えて小さく、圧力センサ３０１および圧力センサ３０３が出力する出力値が閾値を大きい時には、制御部２６０は、ローラ１１２の回転速度を大きくするとともに、ローラ１１３の回転速度を低下させる。
【０１０１】
その一方で、圧力センサ３００および圧力センサ３０３の出力値が閾値を超えて大きく、圧力センサ３０１および圧力センサ３０２の出力値が閾値をより小さいときには、制御部２６０は、ローラ１１２の回転速度を低下させるとともに、ローラ１１３の回転速度を上昇させる。本実施の形態２に係る搬送装置１００においては、第３搬送台２１０にも、圧力センサ４５０および圧力センサ４５０より搬送方向Ｐ前方側に設けられた圧力センサ４５１とが設けられている。
【０１０２】
なお、本実施の形態２に係る搬送装置１００においては、複数の圧力センサ３００〜
圧力センサ３０３を用いて、カセット２００の姿勢を検知しているが、圧力センサ３００のみを用いて、検知するようにしてもよい。
【０１０３】
たとえば、カセット２００が正常な姿勢の時には、圧力センサ３００に加えられる荷重は、カセット２００が通過する過程において、大きくは変動しない。
【０１０４】
その一方で、図８に示すように、カセット２００が傾斜しているときには、圧力センサ３００に加えられる荷重は、始め閾値よりも大きく、カセット２００が通過するにつれて、小さくなる。
【０１０５】
この場合には、制御部２６０は、ローラ１１２の回転速度を上昇させると共に、ローラ１１３の回転速度を低下させる。
【０１０６】
反対に、側面部２０５が搬送方向Ｐ前方側に向かうにつれて、第２搬送台１１１に近接するように傾斜している場合には、圧力センサ３００に加えられる荷重は、始め閾値よりも小さく、カセット２００が通過するにつれて大きくなる。
【０１０７】
この場合には、制御部２６０は、ローラ１１３の回転速度を上昇させると共に、ローラ１１２の回転速度を低下させる。このように、圧力センサ３００のみで、カセット２００の姿勢を矯正することもできる。
【０１０８】
なお、本実施の形態２に係る搬送装置１００においても、第３搬送台２１０および
第４搬送台２１１にも複数圧力センサ４５０〜圧力センサ４５３が設けられている。
【０１０９】
（実施の形態３）
図９および図１０を用いて、本実施の形態３に係る搬送装置１００について説明する。なお、図９および図１０に示す構成のうち、上記図１から図８に示す構成と同一または相当する構成については、同一の符号を付してその説明を省略する場合がある。
【０１１０】
図９は、本実施の形態３に係る搬送装置１００の正面図である。この図９に示すように、搬送されるカセット２００の上方に間隔をあけて複数のセンサ３１１、３１２、３１３が配置されている。
【０１１１】
図１０は、図９に示す搬送装置１００を模式的に示す平面図である。この図１０に示すように、複数のセンサ３１１〜センサ３１３が仮想垂直線Ｌ５上に間隔をあけて配列している。仮想垂直線Ｌ５は、搬送方向Ｐと直行する仮想直線であり、複数のセンサ３１１〜センサ３１３は、第１搬送台１１０および第２搬送台１１１の配列方向に配列している。なお、センサ３１１は、センサ３１３，３１２よりも第１搬送台１１０側に位置しており、センサ３１２は、センサ３１３，３１１間に配置されている。なお、センサ３１１〜センサ３１３は、カセット２００の上方に配置されている。
【０１１２】
そして、センサ３１１〜センサ３１３は、下方をカセット２００が位置しているか否かを判断する。そして、制御部２６０は、センサ３１１〜センサ３１３からの出力に基づいて、カセット２００の姿勢を判断し、カセット２００の姿勢が傾いているときには、ローラ１１２およびローラ１１３の回転速度を調整する。
【０１１３】
たとえば、図１０に示す例においては、カセット２００が搬送される過程において、カセット２００の正面部２０２のうち、側面部２０４側に位置する部分が仮想垂直線Ｌ５を通過する。カセット２００が搬送されるにつれて、正面部２０２のうち、側面部２０４側から側面部２０５側に位置する部分が順次仮想垂直線Ｌ５を通過する。
【０１１４】
このため、センサ３１３がまず、カセット２００が下方に達したことを検知し、その後、センサ３１２およびセンサ３１１が順次、カセット２００を検知する。
【０１１５】
ここで、制御部２６０は、センサ３１３がカセット２００を検知した後、センサ３１２がカセット２００を検知するまでの時間およびセンサ３１３が検知した後、センサ３１１がカセット２００を検知するまでの時間を算出する。
【０１１６】
そして、制御部２６０は、センサ３１１がカセット２００を検知してからセンサ３１２がカセット２００を検知するまでの時間が所定の閾値を越えており、さらに、センサ３１１がカセット２００を検知してからセンサ３１１がカセット２００を検知するまでの時間が所定の閾値を越えている場合には、ローラ１１２の回転を上昇させ、ローラ１１３の回転を低下させる。
【０１１７】
その一方で、センサ３１１がカセット２００を最初に検知し、その後、センサ３１２およびセンサ３１３が順次カセット２００を検知した場合には、制御部２６０は、次のようにローラ１１２およびローラ１１３の回転速度を調整する。
【０１１８】
センサ３１１がカセット２００を検知してからセンサ３１２がカセット２００を検知するまでの時間および、センサ３１１がカセット２００を検知してからセンサ３１３がカセット２００を検知するまでの時間が所定の閾値を超えている場合には、ローラ１１２の回転速度を低下させると共に、ローラ１１３の回転速度を上昇させる。
【０１１９】
このように各ローラの駆動を制御することで、良好にカセットの姿勢を矯正することができる。
【０１２０】
以上のように本発明の実施の形態について説明を行なったが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。さらに、上記数値などは、例示であり、上記数値および範囲にかぎられない。
【符号の説明】
【０１２１】
１００  搬送装置、１１０，１１１  搬送台、１１２  ローラ、１５０，１５１  センサ、２００  カセット、２０２  正面部、２０３  底部、２０４  側面部、２０５  側面部、２０６  天面部、２０７  背面部、２１０，２１１  搬送台、２１２，２１３  ローラ、２３０，２３１  駆動部、２５０，２５１，２５１，２５３  センサ、Ｆ１，Ｆ２  仮想基準線、Ｌ５  仮想垂直線、Ｐ  搬送方向。
【図１】
2011111289.tif 000003
【図２】
2011111289.tif 000004
【図３】
2011111289.tif 000005
【図４】
2011111289.tif 000006
【図５】
2011111289.tif 000007
【図６】
2011111289.tif 000008
【図７】
2011111289.tif 000009
【図８】
2011111289.tif 000010
【図９】
2011111289.tif 000011
【図１０】
2011111289.tif 000012