(57)【要約】      （修正有）【課題】不良を発生させることなく所望の凹凸構造を形成可能な凹凸構造形成方法を提供する。【解決手段】所望の形状の凹凸構造４に対応する凹凸構造を有する型２を準備する準備ステップと、太陽電池基板６表面に外的刺激で硬化する液体樹脂１０を塗布する塗布ステップと、該型を基板表面に塗布された該液体樹脂に対向して配設する配設ステップと、該型と基板とを相対移動させて該型で基板を押圧する押圧ステップと、該型で基板を押圧した状態で、該液体樹脂に外的刺激を付与して該液体樹脂を硬化させ、前記所望の形状の凹凸構造を硬化樹脂に転写する硬化ステップと、該硬化ステップを実施した後、該型を基板上から取り除くステップと、該取り除きステップを実施した後、基板上に該所望の形状の凹凸構造が転写された硬化樹脂とともに太陽電池基板に等方性エッチングを施すエッチングステップとを具備し、該エッチングステップにより該硬化樹脂を除去する。【選択図】図１
2011137211.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
太陽電池基板表面に凹凸構造を形成する凹凸構造形成方法であって、
所望の形状の凹凸構造に対応する凹凸構造を有する型を準備する準備ステップと、
太陽電池基板表面に外的刺激で硬化する液体樹脂を塗布する塗布ステップと、
該型を太陽電池基板表面に塗布された該液体樹脂に対向して配設する配設ステップと、
該型と太陽電池基板とを相対移動させて該型で太陽電池基板を押圧する押圧ステップと、
該型で太陽電池基板を押圧した状態で、該液体樹脂に外的刺激を付与して該液体樹脂を硬化させ、前記所望の形状の凹凸構造を硬化樹脂に転写する硬化ステップと、
該硬化ステップを実施した後、該型を太陽電池基板上から取り除く取り除きステップと、
該取り除きステップを実施した後、太陽電池基板上に該所望の形状の凹凸構造が転写された硬化樹脂とともに太陽電池基板に等方性エッチングを施すエッチングステップとを具備し、
該エッチングステップにより該硬化樹脂を除去するとともに、太陽電池基板表面に前記所望の形状の凹凸構造を形成することを特徴とする凹凸構造形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、太陽電池基板表面に凹凸構造を形成する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に太陽電池基板の表面には光の吸収率を高めるとともに、電気変換効率を高めるため、微細な凹凸構造が形成される。この凹凸構造を形成する方法としては、エッチングによる方法、又は特開２０００−９４２９０号公報に開示されているような砥石による方法が挙げられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−９４２９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、凹凸構造は非常に微細であるため、加工が難しい。特に、特許文献１に開示されているような砥石を用いた加工方法では、加工中に太陽電池基板に加工負荷が加わることで、凸形状として残されるべき部分が欠けてしまう等の不良が発生する。
【０００５】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、不良を発生させることなく凹凸構造を形成可能な凹凸構造形成方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によると、太陽電池基板表面に凹凸構造を形成する凹凸構造形成方法であって、所望の形状の凹凸構造に対応する凹凸構造を有する型を準備する準備ステップと、太陽電池基板表面に外的刺激で硬化する液体樹脂を塗布する塗布ステップと、該型を太陽電池基板表面に塗布された該液体樹脂に対向して配設する配設ステップと、該型と太陽電池基板とを相対移動させて該型で太陽電池基板を押圧する押圧ステップと、該型で太陽電池基板を押圧した状態で、該液体樹脂に外的刺激を付与して該液体樹脂を硬化させ、前記所望の形状の凹凸構造を硬化樹脂に転写する硬化ステップと、該硬化ステップを実施した後、該型を太陽電池基板上から取り除く取り除きステップと、該取り除きステップを実施した後、太陽電池基板上に該所望の形状の凹凸構造が転写された硬化樹脂とともに太陽電池基板に等方性エッチングを施すエッチングステップとを具備し、該エッチングステップにより該硬化樹脂を除去するとともに、太陽電池基板表面に前記所望の形状の凹凸構造を形成することを特徴とする凹凸構造形成方法が提供される。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によると、太陽電池基板上に塗布された樹脂に凹凸構造が形成され、その後、等方性エッチングによって所望の形状の凹凸形状が太陽電池基板表面に転写される。従って、加工中太陽電池基板には不要な負荷がかからず、太陽電池基板の不良を発生させることなく凹凸構造を形成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明実施形態に係る凹凸構造形成方法をステップ順に示す図である。
【図２】図１に示したステップの後のステップを順に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。まず、図１（Ａ）に示すように、太陽電池基板上に形成する所望の形状の凹凸構造に対応する凹凸構造４を有する型２を準備する。型２はガラス、又はポリカーボネート、アクリル樹脂等の透明樹脂から形成される。
【００１０】
次いで、図１（Ｂ）に示すように、塗布装置８で太陽電池基板６の表面に外的刺激で硬化する液体樹脂１０を塗布する。太陽電池基板６は、例えば単結晶シリコン基板、多結晶シリコン基板、微結晶シリコン基板、又はアモルファスシリコン基板等から形成される。
【００１１】
また、外的刺激で硬化する液体樹脂１０として、本実施形態では紫外線照射で硬化するレジストを採用した。しかし、外的刺激で硬化する液体樹脂１０としては、紫外線硬化樹脂に限定されるものではなく、例えば加熱により硬化する熱硬化樹脂等も採用可能である。
【００１２】
次いで、型２を太陽電池基板の表面に塗布された液体樹脂１０に対向して配設してから、図１（Ｃ）に示すように、型２と太陽電池基板６とを相対移動させて型２で液体樹脂１０を介して太陽電池基板６を押圧する。
【００１３】
次いで、図１（Ｄ）に示すように、型２で太陽電池基板６を押圧した状態で、紫外線ランプ１２により型２を通して液状樹脂１０に紫外線を照射して、液状樹脂を硬化させる。次いで、型２を太陽電池基板６の上から取り除くと、図２（Ａ）に示すように、型２の凹凸構造４が転写された凹凸構造１４を有する硬化樹脂１０´が太陽電池基板６上に形成される。
【００１４】
次いで、図２（Ｂ）に示すように、エッチング液供給装置１６からフッ酸等のエッチング液１８を硬化樹脂１０´上に供給して、凹凸構造１４を有する硬化樹脂１０´とともに太陽電池基板６に等方性エッチングを施す。これにより、図２（Ｃ）に示すように、太陽電池基板６の表面に型２の凹凸構造４が転写された凹凸構造２０を形成することができる。
【００１５】
図２（Ｂ）に示すウエットエッチングに換えて、フッ素系安定ガスをプラズマ化して供給するドライエッチングにより、硬化樹脂１０´と太陽電池基板６を等方性エッチングするようにしてもよい。
【００１６】
上述した実施形態の凹凸構造形成方法によると、太陽電池基板６上に塗布された硬化樹脂１０´に凹凸構造１４が形成され、その後、等方性エッチングによって型２の押圧構造４が転写された所望の凹凸構造が太陽電池基板６に形成される。従って、太陽電池基板の加工中に太陽電池基板６には不要な負荷がかからず、太陽電池基板６の不良を発生させることなく、所望の凹凸構造を形成することができる。
【符号の説明】
【００１７】
２    型
４    凹凸構造
６    太陽電池基板
１０    液状樹脂
１０´    硬化樹脂
１２    紫外線ランプ
１８    エッチング液
２０    凹凸構造
【図１】
2011137211.tif 000003
【図２】
2011137211.tif 000004