(57)【要約】【課題】重量を軽減し、作業性及び生産性を改善したガラス洗浄用ローラブラシを提供する。【解決手段】中心軸の周りに回転してガラス基板の表面を洗浄するガラス洗浄用ローラブラシは、円筒状のローラシャフト３と、このローラシャフト２の周面にこの周面を覆うようにして接着剤により固定されたブラシシート３とを有する。このブラシシート３は、織物地に毛材が編み込まれて構成されており、この毛材は、その先端がローラシャフトの半径方向の外側に向かうようにローラシャフトに放射状に配置されている。ローラシャフト２は、カーボン製のパイプを、ステンレス製のフィルムで被覆したものである。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心軸の周りに回転してガラス基板の表面を洗浄するガラス洗浄用ローラブラシにおいて、円筒状のローラシャフトと、このローラシャフトの周面にこの周面を覆うようにして接着剤により直接固定されたブラシシートとを有し、このブラシシートは、織物地に毛材が編み込まれて構成されており、この毛材は、その先端が前記ローラシャフトの半径方向の外側に向かうように前記ローラシャフトに放射状に配置されていることを特徴とするガラス洗浄用ローラブラシ。
【請求項２】
前記ローラシャフトは、カーボン製のパイプを、ステンレス製のフィルムで被覆して構成されていることを特徴とする請求項１に記載のガラス洗浄用ローラブラシ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置（ＬＣＤ）及びプラズマ表示装置（ＰＤＰ）等の平面型表示装置の製造工程において、そのガラス面を洗浄するために使用されるガラス洗浄用ローラブラシに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置等の製造工程において、ガラス基板の表面に付着している付着物は、ローラブラシにより除去される。例えば、厚さが０．７〜１．５ｍｍ程度のガラス基板を高速で水平方向に搬送し、１対のローラブラシを、前記ガラス基板を挟んでその上下に対向するように、且つ、その回転軸がガラス基板の搬送方向に直交するようにして配置し、ブラシがガラス基板の表面をガラス基板の搬送方向に反対の方向に掃引するように、ローラブラシを、例えば、３００ｒｐｍの回転速度で回転駆動する。ブラシを構成する毛材は、その線径が例えば０．０５ｍｍのナイロン（商品名：ポリアミド系繊維）製である。この毛材がガラス基板の表面を摺擦することにより、ガラス基板表面の付着物を除去する。
【０００３】
従来のローラブラシには、ローラシャフトに毛材を取り付ける態様が２種類あり、この毛材の取付け態様に起因して、植毛型ローラブラシと、チャンネル型ローラブラシとがある（特許文献１）。特許文献１に開示された植毛型ローラブラシは、ローラシャフトの周面に、多数の溝を形成し、毛材をＵ字形に折り返して折り返し側を溝に挿入し、この溝内の毛材折り返し部にピンを挿入して、毛材を溝内に固定している。一方、チャンネル型ローラブラシは、帯状の金属帯を、その幅方向の両端部を起立させて断面がＵ字形の形状のチャネルを成形し、このチャネルをローラシャフトの周面に沿って螺旋状に巻回して固定した後、このＵ字溝内に、Ｕ字形に折り返した毛材をその折り返し側から挿入し、毛材の折り曲げ部の内側にワイヤを通してこのワイヤをローラシャフトに固定し、チャネルのＵ字の側面をその上端開口が狭まるように折り曲げて、毛材をシャフトに固定している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−３８２０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述の従来のローラブラシには、その重量が重いという問題点がある。例えば、チャンネル型ローラブラシにおいては、チャンネルが金属製であり、長さが３ｍのローラブラシでも、ローラシャフトを除いたブラシ部分の重量が２０ｋｇもあり、極めて重いという難点がある。
【０００６】
近時、液晶表示装置の画面の大型化に伴い、そのガラス基板の洗浄に使用するローラブラシも長寸化しており、このため、ローラブラシの重量が重いことが作業性及び生産性を阻害している。
【０００７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、重量を軽減し、作業性及び生産性を改善したガラス洗浄用ローラブラシを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るガラス洗浄用ローラブラシは、中心軸の周りに回転してガラス基板の表面を洗浄するガラス洗浄用ローラブラシにおいて、円筒状のローラシャフトと、このローラシャフトの周面にこの周面を覆うようにして接着剤により直接固定されたブラシシートとを有し、このブラシシートは、織物地に毛材が編み込まれて構成されており、この毛材は、その先端が前記ローラシャフトの半径方向の外側に向かうように前記ローラシャフトに放射状に配置されていることを特徴とする。
【０００９】
このガラス洗浄用ローラブラシにおいて、前記ローラシャフトは、例えば、カーボン製のパイプを、ステンレス製のフィルムで被覆して構成されている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明においては、毛材が織物地に編み込まれてブラシシートが構成され、このブラシシートがローラシャフトに直接接着されて、毛材が植毛されたローラブラシが構成されている。このため、このブラシシートの部分は極めて軽量である。従って、作業性及び生産性が極めて優れたガラス洗浄用ローラブラシを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施形態に係るローラブラシの全体を示す斜視図である。
【図２】同じく、そのローラブラシの端部を拡大して示す斜視図である。
【図３】同じく、そのブラシシートの植毛状態を示す斜視図である。
【図４】同じく、そのブラシシートの植毛態様を示す断面図である。
【図５】同じく、そのブラシシートの他の植毛態様を示す断面図である。
【図６】同じく、そのブラシシートの更に他の植毛態様を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について、添付の図面を参照して具体的に説明する。図１乃至図４に示すように、本実施形態のローラブラシ１は、例えば、長さが８ｍの長寸のものであり、ローラシャフト２の周面に、ブラシシート３が接着剤により直接固定されている。このブラシシート３は、所定の幅をもつシートであり、ローラシャフト２の周面に螺旋状に巻回され、ブラシシート３間に隙間がないように配置されて、ブラシシート３がローラシャフト２の周面を被覆している。
【００１３】
ローラシャフト２は、その軸方向の両端部の端面に、回動軸４がローラシャフト２に同軸的に且つ一体的に形成されており、回動軸４の外側両端部には、ローラブラシ１を駆動装置に取り付けるための取付板５がその面を回動軸４に垂直にして、回動軸４と一体的に形成されている。
【００１４】
一方、ブラシシート３は、織物地１１に、毛材１２が編み込まれており、毛材１２が織物地１１から起立した状態に植毛されている。この毛材１２は、例えば、線径が０．０７ｍｍのナイロン繊維を使用することができる。織物地１１に対する毛材１２の植毛態様は、例えば、図４乃至図６に示すものがある。図４（ａ）に示す植毛態様は、地経糸２１（図中、紙面に垂直に配置された糸）に対し、地緯糸２２（図中、紙面に平行に横方向に延びる糸）が交互に交錯して地組織を形成しており、この地組織に対して、パイル緯糸２３が編み込まれている。このパイル緯糸２３は、例えば、特定の地経糸２１の下方をくぐったのち、３本の地経糸２１を飛び越えて、４本目の地経糸２１の下方をくぐるというように編み込まれている。そして、図４（ｂ）に示すように、パイル緯糸２３の中央部を切断すると、地経糸２１及び地緯糸２２からなる地組織に、パイル緯糸２３が地組織の面に垂直になるように植毛されたブラシシートが得られる。このパイル緯糸２３が毛材となる。この植毛態様は、図４（ｃ）に示すように、毛材２５が１個の地経糸２１をくぐっただけのものもあれば、毛材２５が３個の地経糸２１に交互に係合したものもある。
【００１５】
図５（ａ）に示す植毛態様は、地経糸３１が上下２段になるように配置され、これらの地経糸３１に地緯糸３２が絡み合い、地組織を構成している。そして、上段の各地経糸３１の下方をくぐり、上段の地経糸３１の中間でループを形成するようにしてパイル緯糸３３が編み込まれている。このパイル緯糸３３の各ループには、図５（ｃ）に示す針金３４が打ち込まれる。この針金３４はその後端部に刃３５が形成されており、この針金３４を引き抜くことにより、刃３５がパイル緯糸３３のループ部分を切断し、図４（ｂ）と同様の植毛が得られる。
【００１６】
この場合に、図５（ｂ）に示すように、地経糸４１にパイル緯糸４２を織り込み、パイル経糸４２のループ４３内に上端に凹部４５が形成されている針金４４を打ち込み、この凹部４５に刃を打ち込むことにより、パイル緯糸４２のループ４３を切断してもよい。
【００１７】
図６（ａ）に示す植毛態様は、一群の地経糸５１ａと他の一群の地経糸５１ｂとを上下に２段に分けて配置し、各地経糸５１ａ及び５１ｂを夫々地緯糸５２ａ及び５２ｂで平織りする。そして、パイル緯糸５３を、上段の地経糸５１ａと下段の地経糸５１ｂとに、交互に掛け渡し、図６（ｂ）に示すように、パイル緯糸５３を上段と下段との中間で切断することにより、２枚のパイル織物が得られ、２枚のブラシシートを得ることができる。
【００１８】
ローラシャフト２は、例えば、カーボン製のパイプを、ステンレス製のフィルムで被覆したものである。このカーボン製パイプは、例えば、ピッチ系カーボンにより成形されており、このピッチ系カーボンはたわみが小さく、また軽量であるため慣性モーメントが小さいという利点がある。
【００１９】
このカーボンパイプをステンレスフィルムで被覆したローラシャフト２は、例えば、厚さが５ｍｍ、直径が１００ｍｍのカーボンパイプに対し、厚さが０．５ｍｍのステンレスパイプを嵌合して、圧入することにより、製造することができる。又は、カーボンパイプの周面に、適宜の幅のステンレス帯を螺旋状に巻回して、カーボンパイプをステンレスで被覆することとしてもよい。仮に、カーボンパイプが露出していると、ローラブラシを半導体ウエハの洗浄に使用したときに、ｐＨが１４程度のアルカリ水にカーボンが接触し、粉化が生じる。このステンレス被覆は、このようなカーボンの粉化を防止するためのものである。
【００２０】
また、ピッチ系のカーボンをローラシャフト２の強度を担うベース部分に使用するのは、このピッチ系カーボンが、軽量で且つ剛性が高いために、例えば、長さが８ｍもの長寸のローラシャフト２を高速で回転駆動した場合に、その中央部のぶれが少ないという利点があるからである。
【００２１】
上述のごとく構成された本実施形態のガラス洗浄用ローラブラシ１においては、上下に１対平行に配置され、両者間に高速で通板されてくるガラス基板の上面及び下面をローラブラシ１の回転駆動によりブラシが摺擦して洗浄する。このローラブラシ１は、例えば、４００ｒｐｍの高速回転で、ガラス基板の表面をその移動方向とは逆方向に摺擦する。このとき、本実施形態によれば、ローラシャフト２が軽量であり、また、ブラシシート３は、織物地に毛材を編み込んだものであり、金属製のチャンネルを使用しないので、ブラシシート３も極めて軽量である。例えば、このブラシシート３は、長さが８ｍのローラブラシにおいて、５ｋｇ程度の重量になる。よって、本実施形態のローラブラシ１は、その全体が軽量であり、大型液晶表示装置の洗浄用として長寸化しても、その取り扱いが容易であり、しかも、剛性が高いため、高精度で、液晶表示画面のガラス基板を洗浄することができる。これにより、広大な面積のガラス基板を安全に且つむらなく均一に洗浄することができる。
【００２２】
なお、ローラシャフト２としては、必ずしもカーボン製パイプを使用しなくても、ブラシシート自体が、チャネルを使用しないので軽量化されているので、ローラブラシの軽量化が可能である。
【産業上の利用可能性】
【００２３】
本発明は、軽量かつ剛性が高いローラブラシなので、液晶表示装置のガラス基板及び半導体ウエハ等の広大な面積を洗浄する際に極めて有益である。
【符号の説明】
【００２４】
１：ローラブラシ
２：ローラシャフト
３：ブラシシート
４：回動軸
５：取付板
１１：織物地
１２：毛材
２１，３１，４１，５１ａ，５１ｂ：地経糸
２２，３２，４２，５２ａ、５２ｂ：地緯糸
２３，３３，４３，５３：パイル緯糸
２５：毛材
【図１】
2011131144.tif 000003
【図２】
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【図３】
2011131144.tif 000005
【図４】
2011131144.tif 000006
【図５】
2011131144.tif 000007
【図６】
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