(57)【要約】【課題】液体噴射ヘッドの製造工程における部品の無駄を少なくし、製造コストを低減すること。【解決手段】液体噴射ヘッド１０の製造工程において、ヘッドユニット２６の段階で、実際に液体を噴射させることなく、ノズル開口１６から吸引した気体の流量値によって不良を判定する。したがって、ヘッドユニット２６の組み立て以降に使用する部品の無駄を少なくでき、製造コストの低減した液体噴射ヘッド１０の製造方法を得ることができる。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズル開口が形成されたノズル形成基板、流路形成基板、アクチュエーターユニットを含むヘッドユニットを組み立てるヘッドユニット組立工程と、
複数の前記ノズル開口から気体を吸引して流量を測定し、流量値から前記ヘッドユニットの不良を判定するヘッドユニット検査工程と、
前記アクチュエーターユニットへの配線を行い、サブヘッドを組み立てるサブヘッド組立工程と、
前記サブヘッドをヘッドケースに組み込むヘッドケース組み込み工程と、
電装基板を前記配線に接合する接合工程とを含む
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記ノズル形成基板、前記流路形成基板または前記アクチュエーターユニットのうち少なくとも一対をシート状接着材によって、加圧、加熱して接着する
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記吸引を３個〜５個の前記ノズル開口毎に行う
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記流量値は、前記吸引の開始時と前記吸引の終了時との間の安定した流量値を用いる
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記ノズル開口の直径が、１８μｍ〜２２μｍで、前記吸引の圧力が５．０ｋＰａ〜７．０ｋＰａである
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項６】
請求項１〜請求項５のいずれか一項に記載の製造方法により得られた液体噴射ヘッドを備えた
ことを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッドの製造方法、この液体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ノズル開口から液体を液滴として噴射する液体噴射ヘッドは、例えば、プリンター等の液体噴射装置としての画像記録装置および液晶表示装置のカラーフィルターの製造等に用いられる液体噴射装置等に適用される。
このような液体噴射ヘッドとして、圧力室内の液体に圧力変動を生じさせ、ノズル開口から液滴を噴射させ、記録媒体等の被対象物に液滴を到達させるようにしたものがある。この液体噴射ヘッドは、圧力室とノズル開口や共通液室を備えた流路ユニットとを備えている。流路ユニットは、流路形成基板、ノズル開口が形成されたノズル形成基板等を積み重ねて製造される。
例えば、流路形成基板とノズル形成基板であるノズルプレートとは、ノズル開口であるノズル孔の位置に合わせて逃げ孔が形成されたシート状接着材を流路形成基板とノズルプレートとの間に介在させ、加圧しつつ加熱して、接合される（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−２０９１５４号公報（３頁、図６および図７）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
液体噴射ヘッドの製造工程において、様々な要因でノズル開口および液体の流路が塞がれ、あるいは狭められて、液体の噴射不良を引き起こす。液体の噴射不良の検査は、液体噴射ヘッドを製造後、実際に液体を噴射させて行うが、液体噴射ヘッド組み立て後に不良が判明し、液体噴射ヘッドを構成する部品が無駄になり、製造コストの低減が難しい。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］
複数のノズル開口が形成されたノズル形成基板、流路形成基板、アクチュエーターユニットを含むヘッドユニットを組み立てるヘッドユニット組立工程と、複数の前記ノズル開口から気体を吸引して流量を測定し、流量値から前記ヘッドユニットの不良を判定するヘッドユニット検査工程と、前記アクチュエーターユニットへの配線を行い、サブヘッドを組み立てるサブヘッド組立工程と、前記サブヘッドをヘッドケースに組み込むヘッドケース組み込み工程と、電装基板を前記配線に接合する接合工程とを含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【０００７】
この適用例によれば、液体噴射ヘッドの製造工程において、ヘッドユニットの段階で、実際に液体を噴射させることなく、ノズル開口から吸引した気体の流量値によって不良を判定する。したがって、ヘッドユニット組立工程以降のサブヘッド組立工程、ヘッドケース組み込み工程および接合工程で使用する部品の無駄が少なくなり、製造コストの低減した液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【０００８】
［適用例２］
上記液体噴射ヘッドの製造方法において、前記ノズル形成基板、前記流路形成基板または前記アクチュエーターユニットのうち少なくとも一対をシート状接着材によって、加圧、加熱して接着することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
この適用例では、加圧および加熱によってシート状接着材が、ノズル開口および流路に進入して、ノズル開口および流路を狭めたり、塞いだりして不良が発生してもヘッドユニットの段階で不良を判定できる。したがって、シート状接着材を使用した場合に、前述の効果を有する液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【０００９】
［適用例３］
上記液体噴射ヘッドの製造方法において、前記吸引を３個〜５個の前記ノズル開口毎に行うことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
この適用例では、３個以上のノズル開口毎に吸引を行なうので検査速度が上がり、５個以下のノズル開口毎に吸引を行なうので不良の発生したノズル開口の特定が行いやすい。したがって、製造にかかる時間が短縮され、製造コストの低減した液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
また、不良の発生したノズル開口の特定により、不良発生の原因解明が行ないやすく、不良の原因を取り除くことにより、製造コストのより低減した液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【００１０】
［適用例４］
上記液体噴射ヘッドの製造方法において、前記流量値は、前記吸引の開始時と前記吸引の終了時との間の安定した流量値を用いることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
この適用例では、不良を判定する流量値として、流量の安定しない吸引の開始時と吸引の終了時との間の流量の安定したときの流量値を用いる。したがって、より正確に不良の判定が行なえ、製造コストのより低減した液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【００１１】
［適用例５］
上記液体噴射ヘッドの製造方法において、前記ノズル開口の直径が、１８μｍ〜２２μｍで、前記吸引の圧力が５．０ｋＰａ〜７．０ｋＰａであることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
この適用例では、ノズル開口の直径が、１８μｍ〜２２μｍのとき、吸引の圧力を５．０ｋＰａ〜７．０ｋＰａとすることにより、不良の発生したノズル開口の流量値と不良の発生していないノズル開口の流量値との間に判定可能な差が生じ、判定が行ないやすい。したがって、より正確に不良の判定が行なえ、製造コストのより低減した液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【００１２】
［適用例６］
上記に記載の製造方法により得られた液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
【００１３】
この適用例によれば、前述の効果を有する液体噴射装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】プリンターの概略構成を示す図。
【図２】液体噴射ヘッドを斜め上方から見た概略分解斜視図。
【図３】ヘッドユニットの構成を示す概略部分断面図。
【図４】液体噴射ヘッドの製造方法の一部を示すフロー図。
【図５】ヘッドユニット検査工程を示すヘッドユニットおよび流量測定装置の概略斜視図。
【図６】ヘッドユニット検査工程を示すヘッドユニットおよび流量測定装置の概略断面図。
【図７】流量の測定結果を示す図。
【図８】流量の測定結果を示す拡大図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、実施形態を図面に基づいて詳しく説明する。なお、図面では、説明を分かりやすくするために、一部を省略したり、各構成等を誇張したりして図示している。
【００１６】
以下の説明は、実施形態の製造方法によって製造された液体噴射ヘッド１０が液体噴射装置である画像記録装置としてのプリンター１００に搭載される場合を例に挙げて行う。
図１はプリンター１００の概略構成を示す図である。図１中、Ｘ方向は、キャリッジ１０４が移動する主走査方向を示し、Ｙ方向は、記録媒体Ｐが移送される副走査方向を示している。Ｚ方向は、Ｘ方向およびＹ方向と直交する方向である。
【００１７】
図１に示すように、プリンター１００は、液体噴射ヘッド１０と、キャリッジ１０４と、キャリッジ移動機構１０５と、プラテンローラー１０６と、インクカートリッジ１０７とを備えている。
【００１８】
液体噴射ヘッド１０は、キャリッジ１０４の記録媒体Ｐ側（図１中Ｚ方向下面）に取付けられ、記録媒体Ｐの表面にインクを液滴として噴射する。キャリッジ移動機構１０５は、タイミングベルト１０８と、駆動プーリー１１１と、従動プーリー１１２と、モーター１０９とを備えている。タイミングベルト１０８は、キャリッジ１０４が係止されており、駆動プーリー１１１と従動プーリー１１２とに張設されている。駆動プーリー１１１は、モーター１０９の出力軸に接続されている。
そのため、モーター１０９が作動すると、キャリッジ１０４は、プリンター１００に架設されたガイドロッド１１０に案内されて、主走査方向であるＸ方向に往復移動する。
【００１９】
プラテンローラー１０６は、モーター１０３から駆動力を受け、記録媒体Ｐを副走査方向であるＹ方向に移送する。インクカートリッジ１０７は、インクを貯留し、キャリッジ１０４に着脱可能に装着される。インクカートリッジ１０７は、液体噴射ヘッド１０にインクを供給する。
【００２０】
このように構成されたプリンター１００は、キャリッジ１０４をキャリッジ移動機構１０５によりＸ方向に往復移動させるとともに、記録媒体Ｐをプラテンローラー１０６によりＹ方向に移送させながら、キャリッジ１０４に取付けられた液体噴射ヘッド１０からインクを液滴として噴射することによって、記録用紙等の記録媒体Ｐ上に画像等の記録を行うことができる。
【００２１】
液体噴射ヘッド１０について、図２に基づいて説明する。
図２は、液体噴射ヘッド１０を斜め上方から見た概略分解斜視図である。図２の示すＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向は、図１に示すＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向と同じである。
【００２２】
図２に示すように、液体噴射ヘッド１０は、供給針ユニット１２と、ヘッドケース１８と、ヘッドユニット２６と、ヘッドカバー１９とを備えている。
【００２３】
供給針ユニット１２は、図１に示したインクカートリッジ１０７内のインクを液体噴射ヘッド１０内に導入するインク供給針１１が複数配設されている。
ヘッドケース１８は、供給針ユニット１２と配線基板２０とが取付けられるベース部２７と、ベース部２７の底部から下方に向けて延出し、開口面にヘッドユニット２６が取付けられる中空箱体状のケース部２８とにより構成される。
ヘッドケース１８と供給針ユニット１２の材料としては、例えば、エポキシ系の合成樹脂等が好適に用いられる。
【００２４】
ヘッドケース１８のベース部２７には、配線基板２０が配設される基板配設部２３が区画されている。配線基板２０は、各種駆動信号用の電子部品が実装されるとともに、アクチュエーターユニット１３と接続されたフレキシブルケーブル２４の一端側の端子が接続される図示しない接続端子が形成されている。配線基板２０は、制御装置等からのＦＦＣ（フレキシブルフラットケーブル）等の制御ケーブルが電気的に接続されるコネクター２５を備えている。ここで、ヘッドユニット２６とフレキシブルケーブル２４とを合わせてサブヘッド２９と呼ぶ。
【００２５】
ヘッドユニット２６は、アクチュエーターユニット１３と流路ユニット１４とから構成されている。
ヘッドカバー１９は、液体噴射ヘッド１０のノズル形成基板１７の表面の外周縁を被覆してノズル開口１６を露出した状態でヘッドケース１８の先端側の取付部に取付けられる。
【００２６】
ヘッドユニット２６について、図２および図３を参照して説明する。
図３はヘッドユニット２６の構成を示す概略部分拡大断面図である。図３の示すＸ方向およびＺ方向は、図１および図２に示すＸ方向およびＺ方向と同じである。
図３に示すように、ヘッドユニット２６は、アクチュエーターユニット１３と流路ユニット１４とが積層され構成されている。
【００２７】
アクチュエーターユニット１３は、少なくとも、圧力室形成基板５０と、振動板５２と、蓋部材５４と、圧力素子としての圧電振動子５６とから構成されている。
なお、上記各基板は複数の基板から構成されていてもよい。圧力室形成基板５０は、例えば、厚さ約１５０μｍ程度のアルミナやジルコニア（ＺｒＯ2）等のセラミックス板が好適に用いられ、圧力室６０となる通孔が開設されている。圧力室６０は、液滴を噴射するノズル開口１６と一対一に対応している。
【００２８】
振動板５２は、例えば、厚さ約１０μｍ程度のアルミナやジルコニアの薄板が好適に用いられ、一方の面に図示しない駆動電極が形成され、さらにその上にＰＺＴ等からなる圧電振動子５６が固定されている。
蓋部材５４は、例えば、アルミナやジルコニア等のセラミックス板からなり、後述する供給側連通口３８の一部およびノズル連通口３６の一部が形成されている。
【００２９】
圧力室形成基板５０は、振動板５２と蓋部材５４とにより両面が封止されて圧力室６０を形成している。このとき、振動板５２に固定されている圧電振動子５６は、振動板５２を介して圧力室６０に対向している。また、蓋部材５４に設けられた供給側連通口３８の一部およびノズル連通口３６の一部は、一方の開口が圧力室６０のＸ方向両端部に連通し、他方の開口は流路ユニット１４側に連通している。
【００３０】
圧力室形成基板５０と振動板５２と蓋部材５４とは、前述のように、アルミナやジルコニア等のセラミックス板で作製されているため、焼成によって一体に形成されることができる。例えば、グリーンシート（未焼成のシート材）に対して切削や打ち抜き等の加工を施して必要な通孔等を形成し、圧力室形成基板５０、振動板５２、および蓋部材５４の各シート状前駆体を形成する。
【００３１】
そして、各シート状前駆体を積層し焼成することにより、各シート状前駆体は一体化されて１枚のセラミックスシートとなる。この場合、各シート状前駆体は一体焼成されるので、特別な接着処理が不要である。また、各シート状前駆体の接合面において高いシール性を得ることもできる。
【００３２】
なお、１枚のセラミックスシート、すなわちアクチュエーターユニット１３には、圧電振動子５６を備えた圧力室６０が複数形成される。また、図２に示すＴＣＰ（テープキャリアパッケージ）等のフレキシブルケーブル２４の一端の端子が、圧電振動子５６の端子部に電気的に接続されている。
【００３３】
アクチュエーターユニット１３における圧電振動子５６は、いわゆる撓み振動モードの圧電素子である。そのため、圧電振動子５６を駆動し撓み変形させると、圧力室６０は、圧電振動子５６の撓み振動を受けて収縮、膨張する。ただし、圧電振動子５６として、この撓み振動モードに限定されない。
【００３４】
以下に、流路ユニット１４について説明する。
流路ユニット１４は、図２および図３に示すように、ノズル形成基板１７と流路形成基板としてのインク室形成基板３４と供給口形成基板３２とを有する。
【００３５】
ノズル形成基板１７は、図２に示すように、複数のノズル開口１６を有しており、複数のノズル開口１６は、Ｙ方向に沿って列状に配設され複数のノズル列１５を形成している。本実施例においては、４本のノズル列１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄが形成されている。ノズル列１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄは、２分され、ノズル列１５ａ，１５ｂがプレートノズル列群２１ａを、ノズル列１５ｃ，１５ｄがプレートノズル列群２１ｂを構成している。
なお、ノズル形成基板１７の構成材料としては、例えば、ステンレス製の薄板材が好適に用いられ、プレス加工等により作成される。
【００３６】
インク室形成基板３４には、インクカートリッジ１０７側から導入されたインクが供給される複数の液室としてのインク室３３とノズル連通口３６の一部が形成されている。インク室形成基板３４の構成材料としては、例えば、ステンレス製の薄板材が好適に用いられ、プレス加工等により作成される。
【００３７】
供給口形成基板３２は、ノズル連通口３６の一部となり圧力室６０からのインクをノズル開口１６へ導く連通孔と、オリフィスとして機能する供給側連通口３８の一部となりインク室３３からのインクを圧力室６０へ導く連通孔とが形成されている。
【００３８】
供給口形成基板３２の構成材料としては、例えば、ステンレス製の薄板材が好適に用いられる。例えば、２枚のステンレス等の不錆鋼等の金属薄板６２，６３を、接着フィルムを介して積層、接合して形成する。
【００３９】
流路ユニット１４は、インク室形成基板３４の一方の表面にノズル形成基板１７を、他方の表面に供給口形成基板３２を、シート状接着材７０およびギャップ剤８０を介して配置し、加圧、加熱することによって、供給口形成基板３２、インク室形成基板３４、ノズル形成基板１７が接合され、一体に作製される。
ギャップ剤８０は、微粒子を分散させたペースト状のものを用いることができる。微粒子は、接着材に分散していてもよい。また、微粒子の直径は限定されないが、実施形態においては、数μｍ〜数十μｍのものを用いる。微粒子としては、エポキシ系、ウレタン系、ポリイミド系等の合成樹脂を用いることができる。
【００４０】
図３において、シート状接着材７０には、ノズル開口１６、インク室３３等に合わせて開口部７１が形成されている。開口部７１は、ノズル開口１６の直径よりわずかに大きな径で形成されている。インク室形成基板３４とノズル形成基板１７とを加圧接着した際に、潰された接着材がノズル開口１６側に流れてもノズル開口１６を塞がないようにするためである。シート状接着材７０は、シート状接着材７０の複数の開口部７１の各中心がノズル開口１６の各中心と合うように位置決めされて、貼り付けられる。
なお、シート状接着材７０の構成材料としては、例えば、厚み約２５μｍ程度のフィルム状接着材が好適に用いられる。
【００４１】
アクチュエーターユニット１３と流路ユニット１４ともシート状接着材７０およびギャップ剤８０を介して配置し、加圧、加熱することによって接合され、一体に作製される。
【００４２】
図４は、液体噴射ヘッド１０の製造方法の一部を示すフロー図である。
図４において、液体噴射ヘッド１０の製造方法は、ヘッドユニット組立工程としてのステップ１（Ｓ１）と、ヘッドユニット検査工程としてのステップ２（Ｓ２）と、サブヘッド組立工程としてのステップ３（Ｓ３）と、ヘッドケース組み込み工程としてのステップ４（Ｓ４）と、接合工程としてのステップ５（Ｓ５）とを含む。
【００４３】
ヘッドユニット組立工程（Ｓ１）では、前述のように流路ユニット１４を構成する流路形成基板としてのインク室形成基板３４、ノズル形成基板１７および流路形成基板としての供給口形成基板３２とアクチュエーターユニット１３とをシート状接着材７０を介して加圧、加熱して接着して組み立てる。
加圧、加熱して接着する工程では、ギャップ剤８０を配置する工程後、流路形成基板としてのインク室形成基板３４および供給口形成基板３２とノズル形成基板１７とをシート状接着材７０を介して加圧、加熱して接着する。
加圧圧力、加熱温度は、シート状接着材７０によって異なるが、例えば、加圧圧力が３ｋｇ／ｃｍ2、加熱温度１２０℃で行う。加圧圧力、加熱温度は、一度に加えるのでなく段階的に加えてもよい。
【００４４】
ヘッドユニット検査工程（Ｓ２）では、異物の混入、シート状接着材７０の潰れ等によって、ノズル開口１６、ノズル連通口３６、供給側連通口３８等が狭くなったり、塞がれたりしていないかを検査する。
【００４５】
図５は、ヘッドユニット検査工程（Ｓ２）を示すヘッドユニット２６および流量測定装置２００の概略斜視図、図６は概略断面図である。
図５および図６において、ヘッドユニット検査工程（Ｓ２）では、流量測定装置２００を用いて、ノズル開口１６、ノズル連通口３６、供給側連通口３８等を流れる気体としての空気の流量を測定する。
流量測定装置２００は、先端に弾性材料からなるカップ２１０を備えている。カップ２１０は、ばね２２０によって先端に向かって押されている。
【００４６】
カップ２１０が複数のノズル開口１６を覆うように、流量測定装置２００を配置し、ヘッドユニット２６にカップ２１０を押し付ける。図６では、カップ２１０が一つのノズル開口１６を覆うように描かれているが、実際には複数のノズル開口１６を覆っている。
カップ２１０が複数のノズル開口１６を覆った状態で、流量測定装置２００で図６の実線矢印で示した方向に吸引し、流量を測定する。
カップ２１０は、ばね２２０によって押されているので、ノズル形成基板１７に押し付けられ、空気はノズル開口１６、ノズル連通口３６、供給側連通口３８等を流れて吸引される。
【００４７】
図７は、流量の測定結果を示す図である。流量は、ノズル開口１６の直径が２０μｍ、吸引の圧力が６．０ｋＰａで測定した。流量測定に用いる流量計は、０．０１ｍｌまで測定可能な流量計を用いた。
【００４８】
図７において、１８０個のノズル開口１６につき、３個のノズル開口１６毎に、６０回測定した結果を示した。
ここで、（１）：４０回目のノズル開口１６については３個中２個、（２）：４１回目のノズル開口１６については３個中３個、（３）：４２回目のノズル開口１６については３個中１個のノズル開口１６をあらかじめ塞いでおいて、流量の変化を調べた。
図７において、横軸は時間（ｓｅｃ）で、縦軸は流量計からの出力電圧で出力電圧が大きいほど、流量が大きい。
【００４９】
（１）：４０回目、（２）：４１回目、（３）：４２回目の測定において、流量が減少しているのがわかる。また、塞いだノズル開口１６の数に応じて流量は減少し、３個のノズル開口１６を塞いだ（２）：４１回目の測定における流量の減少が一番大きく、１個のノズル開口１６を塞いだ（３）：４２回目の測定における流量の減少が一番小さいことがわかる。
さらに、ノズル開口１６を塞いでいない測定回では、ほぼ一定の電圧６．８Ｖ弱を示しているのがわかる。
【００５０】
例えば、不良かどうかの判定のための流量値は、ノズル開口１６を塞いでいない電圧６．８Ｖと、（３）：３個中１個のノズル開口１６が塞がったときの電圧４．２Ｖとの中間値である５．５Ｖとすることができる。
ここで、測定電圧が大きくうねっているのは、場所によってノズル開口１６、ノズル連通口３６、供給側連通口３８等の流路の狭くなり方が異なることを表している。
【００５１】
図８は、流量の測定結果を示す拡大図である。図７と同様に、横軸は時間（ｓｅｃ）で、縦軸は流量計からの出力電圧である。
Ａは吸引のためにバルブを開いた時点を示し、Ｂはバルブを閉じた時点を示している。また、Ｃは次の測定のためにバルブを開いた時点を示している。この時点を吸引の開始時とする。
Ａにおいて、バルブを開くと流量は急速に増大し、ピークを超えて安定する。Ｂにおいて、バルブを閉じるとカップ２１０が離れるまでは流量は安定しているが、カップ２１０が離れる瞬間に流量は急速に増大する。カップ２１０が離れる時点を吸引の終了時とする。
【００５２】
例えば、一回の測定に必要な時間は、２．４ｓｅｃであり、不良判定のための流量値は、吸引の開始時と吸引の終了時との間の安定した流量値Ｇを用いる。例えば、吸引のためにバルブを開いた時点Ａから１ｓｅｃ後の流量値を用いる。
これらの値は、上記に限定されるものではなく、流量を測定する流量計や、吸引圧力、ノズル開口の径、一回の測定に要する時間、一回の測定で吸引するノズル開口の数によって変えることができる。
【００５３】
加圧、加熱の際に、加圧が均一に行われていないと、圧力が大きく加わった場所等で、シート状接着材７０がノズル開口１６、ノズル連通口３６、供給側連通口３８等に多く入り込む。ヘッドユニット検査工程（Ｓ２）において、不良の発生したノズル開口１６が特定でき、同じ場所のノズル開口１６で不良が発生するようであれば、その場所に異物等が挟まり圧力が大きく加わっている等の原因が推測できる。
【００５４】
サブヘッド組立工程（Ｓ３）では、フレキシブルケーブル２４の一端の端子を、アクチュエーターユニット１３の圧電振動子５６の端子部に電気的に接続し、フレキシブルケーブル２４を屈曲させることによってサブヘッド２９を得る。
【００５５】
ヘッドケース組み込み工程（Ｓ４）では、サブヘッド２９をヘッドケース１８に組み込む。具体的には、フレキシブルケーブル２４とヘッドユニット２６とを備えたサブヘッド２９のフレキシブルケーブル２４をヘッドケース１８に差し込み、ヘッドカバー１９を、ノズル形成基板１７の表面の外周縁を被覆してノズル開口１６を露出した状態でヘッドケース１８の先端側の取り付部に、かしめることによって取り付ける。
【００５６】
接合工程（Ｓ５）では、配線基板２０を、フレキシブルケーブル２４の一端側の端子と接合し、供給針ユニット１２をヘッドケース１８に組み込む。
以上述べた製造方法を含む製造方法によって、液体噴射ヘッド１０が得られる。
【００５７】
上述の構成を有する液体噴射ヘッド１０の噴射動作について、図３を参照して説明する。
インク室形成基板３４のインク室３３には、インクカートリッジ１０７から図示しないインク供給口を介してインクが供給される。インクカートリッジ１０７から供給されたインクは、供給側連通口３８を経由してアクチュエーターユニット１３の圧力室６０およびノズル連通口３６にも供給される。その結果、インク室３３、供給側連通口３８、圧力室６０、ノズル連通口３６、ノズル開口１６の開口部までインクが満たされている。
【００５８】
アクチュエーターユニット１３の圧電振動子５６が駆動され撓み変形すると、圧力室６０は圧電振動子５６の撓み振動を受けて収縮する。圧力室６０が収縮すると、圧力室６０に収容されているインクが加圧される。このとき、供給側連通口３８はオリフィスとして機能するため、インクは、ノズル連通口３６の一部となるノズル開口１６から液滴として噴射される。また、圧電振動子５６の撓み変形が解除されると、圧力室６０は膨張する。圧力室６０が膨張すると、供給側連通口３８を介してインク室３３からインクが吸引され、圧力室６０にインクが充填される。インク室３３には、図示しないインク供給口を介して、インクカートリッジ１０７からインクが供給される。
【００５９】
このように、アクチュエーターユニット１３の圧電振動子５６が駆動され撓み変形すると、圧力室６０は圧電振動子５６の撓み振動を受けて収縮、膨張を繰り返し、ノズル開口１６からインクを液滴として噴射することができる。
【００６０】
以上に述べた実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）液体噴射ヘッド１０の製造工程において、ヘッドユニット２６の段階で、実際に液体を噴射させることなく、ノズル開口１６から吸引した気体の流量値によって不良を判定する。したがって、ヘッドユニット組立工程以降のサブヘッド組立工程、ヘッドケース組み込み工程および接合工程で使用する部品の無駄を少なくでき、製造コストの低減した液体噴射ヘッド１０の製造方法を得ることができる。
【００６１】
（２）加圧および加熱によってシート状接着材７０が、ノズル開口１６、流路であるノズル連通口３６および供給側連通口３８等に進入して、ノズル開口１６、ノズル連通口３６および供給側連通口３８等を狭めたり、塞いだりして不良が発生してもヘッドユニットの段階で不良を判定できる。したがって、シート状接着材７０を使用した場合に、前述の効果を有する液体噴射ヘッド１０の製造方法を得ることができる。
【００６２】
（３）３個以上のノズル開口１６毎に吸引を行なうので検査速度が上がり、５個以下のノズル開口１６毎に吸引を行なうので不良の発生したノズル開口１６の特定が行いやすい。したがって、製造にかかる時間を短縮でき、製造コストの低減した液体噴射ヘッド１０の製造方法を得ることができる。
また、不良の発生したノズル開口１６の特定により、不良発生の原因解明が行ないやすく、不良の原因を取り除くことにより、製造コストのより低減した液体噴射ヘッド１０の製造方法を得ることができる。
【００６３】
（４）不良を判定する流量値として、流量の安定しない吸引の開始時と吸引の終了時との間の流量の安定したときの流量値Ｇを用いる。したがって、より正確に不良の判定を行なうことができ、製造コストのより低減した液体噴射ヘッド１０の製造方法を得ることができる。
【００６４】
（５）ノズル開口１６の直径が、１８μｍ〜２２μｍのとき、吸引の圧力を５．０ｋＰａ〜７．０ｋＰａとすることにより、不良の発生したノズル開口１６の流量値と不良の発生していないノズル開口１６の流量値との間に判定可能な差が生じ、判定を行ないやすくできる。したがって、より正確に不良の判定が行なえ、製造コストのより低減した液体噴射ヘッド１０の製造方法を得ることができる。
【００６５】
（６）前述の効果を有するプリンター１００が得られる。
【００６６】
上述した実施形態以外にも、種々の変更を行うことが可能である。
例えば、不良を判定するための測定は、全品に行なう必要はなく抜き取りで行なってもよい。
また、カップ２１０の形状は図示したものに限らず、ヘッドユニット２６のノズル形成基板１７と密着し、カップ２１０とノズル形成基板１７との間で気体の漏れが生じない形状であればよい。
【符号の説明】
【００６７】
１０…液体噴射ヘッド、１３…アクチュエーターユニット、１６…ノズル開口、１７…ノズル形成基板、１８…ヘッドケース、２０…電装基板としての配線基板、２６…ヘッドユニット、２９…サブヘッド、３２…流路形成基板としての供給口形成基板、３４…流路形成基板としてのインク室形成基板、７０…シート状接着材、１００…液体噴射装置としてのプリンター、Ｇ…流量値。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図８】
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【図７】
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