(57)【要約】【課題】小型化、低コスト化を実現することが可能な、一心双方向型光通信に用いられる光送受信装置を提供すること。【解決手段】本発明は、光ファイバ２０に入射する送信光を出射するレーザダイオード１４と、光ファイバ２０から出射される受信光を受光するフォトダイオード１６と、フォトダイオード１６の受光面４２上に設けられ、レーザダイオード１４が出射する送信光が光ファイバ２０に入射されるように反射し、光ファイバ２０から出射される受信光を透過する薄膜１８と、を具備する光送受信装置である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ファイバに入射される送信光を出射するレーザダイオードと、
前記光ファイバから出射される受信光を受光するフォトダイオードと、
前記フォトダイオードの受光面上に設けられ、前記レーザダイオードが出射する前記送信光を前記光ファイバに入射されるように反射し、前記光ファイバから出射される前記受信光を透過する薄膜と、
を具備することを特徴とする光送受信装置。
【請求項２】
前記フォトダイオードは、前記光ファイバの光軸上に配置されていることを特徴とする請求項１記載の光送受信装置。
【請求項３】
前記薄膜で反射される前記送信光の光軸と前記光ファイバの光軸とは一致することを特徴とする請求項２記載の光送受信装置。
【請求項４】
前記レーザダイオードは、前記光ファイバの光軸に対して垂直な面上に設けられていて、前記フォトダイオードは、前記光ファイバの光軸に対して斜めに傾いた面上に設けられていることを特徴とする請求項２または３記載の光送受信装置。
【請求項５】
前記レーザダイオードは、出射する前記送信光と前記光ファイバから出射される前記受信光とが鋭角に交わるように設けられていることを特徴とする請求項２または３記載の光送受信装置。
【請求項６】
前記レーザダイオードは、量子ドットレーザダイオードであることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項記載の光送受信装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光送受信装置に関し、特に、一心双方向型光通信に用いられる光送受信装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、一心双方向型光通信に用いられる光送受信装置の開発が盛んに行われており、例えば、ＢＩＤＩ（bi-directional）型光送受信モジュールが知られている。ＢＩＤＩ型光送受信型モジュールは、送信用ＴＯ−ＣＡＮと、受信用ＴＯ−ＣＡＮと、波長分岐フィルタとが個別に筐体に搭載された構造をしている。このため、ＢＩＤＩ型光送受信モジュールは部品点数が多い。
【０００３】
また、レーザダイオードと、フォトダイオードと、波長分岐フィルタとを１つのＴＯ−ＣＡＮに搭載した光送受信モジュールが知られている（例えば、非特許文献１）。この構造の光送受信モジュールによれば、ＢＩＤＩ型光送受信モジュールでは２個必要としたＴＯ−ＣＡＮおよびレンズを１個に削減できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【非特許文献１】“新しい送信／受信集積実装技術を用いて開発した一心双方向小型光通信モジュール（ＴＯ−ＢＯＳＡ）”、２００７年１２月１２日、日本電信電話株式会社、[平成２１年１０月６日検索]、インターネット＜URL  http://www.phlab.ecl.ntt.co.jp/theme/2007/2007_13_02.pdf＞
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、非特許文献１に係る光送受信モジュールは、レーザダイオードとフォトダイオードの他に、レーザダイオードが出射する送信光を光ファイバに入射させ、光ファイバから出射される受信光をフォトダイオードに入射させるための波長分岐フィルタを備えている。この波長分岐フィルタが、光送受信モジュールの小型化、低コスト化の障害となっている。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、小型化、低コスト化を実現することが可能な、一心双方向型光通信に用いられる光送受信装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、光ファイバに入射される送信光を出射するレーザダイオードと、前記光ファイバから出射される受信光を受光するフォトダイオードと、前記フォトダイオードの受光面上に設けられ、前記レーザダイオードが出射する前記送信光を前記光ファイバに入射されるように反射し、前記光ファイバから出射される前記受信光を透過する薄膜と、を具備することを特徴とする光送受信装置である。本発明によれば、波長分岐フィルタを用いることなく一心双方向型光通信を行うことが可能となり、光送受信装置の小型化、低コスト化が実現できる。
【０００８】
上記構成において、前記フォトダイオードは、前記光ファイバの光軸上に配置されている構成とすることができる。この構成によれば、光ファイバから出射される受信光をフォトダイオードで効率よく受光することができる。
【０００９】
上記構成において、前記薄膜で反射された前記送信光の光軸と前記光ファイバの光軸とは一致する構成とすることができる。この構成によれば、レーザダイオードが出射する送信光を光ファイバに効率よく入射させることができる。
【００１０】
上記構成において、前記レーザダイオードは、前記光ファイバの光軸に対して垂直な面上に設けられていて、前記フォトダイオードは、前記光ファイバの光軸に対して斜めに傾いた面上に設けられている構成とすることができる。この構成によれば、レーザダイオードおよびフォトダイオードの実装を容易に行うことができる。
【００１１】
上記構成において、前記レーザダイオードは、出射する前記送信光と前記光ファイバから出射される前記受信光とが鋭角に交わるように設けられている構成とすることができる。この構成によれば、光ファイバから出射される受信光のフォトダイオードによる受光効率を向上させることができる。
【００１２】
上記構成において、前記レーザダイオードは、量子ドットレーザダイオードである構成とすることができる。この構成によれば、モニタ用フォトダイオードを不要とすることができ、より小型化、低コスト化を実現できる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、波長分岐フィルタを用いることなく一心双方向型光通信を行うことが可能となり、光送受信装置の小型化、低コスト化が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】図１（ａ）は、実施例１に係る光送受信装置の上面模式図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ間の断面模式図である。
【図２】図２は、実施例１に係る光送受信装置に用いる、薄膜を受光面に備えたフォトダイオードの断面模式図である。
【図３】図３は、フォトダイオードの受光面に設けられた薄膜の光学特性を説明する図である。
【図４】図４は、実施例１に係る光送受信装置による送受信光の伝搬を説明する図である。
【図５】図５（ａ）は、実施例２に係る光送受信装置の上面模式図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＡ−Ａ間の断面模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、図面を参照して、本発明に係る光送受信装置の実施例としてＣＡＮパッケージを採用した光送受信装置について説明する。
【実施例１】
【００１６】
図１（ａ）は実施例１に係る光送受信装置１００の上面模式図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ間の断面模式図である。なお、図１（ａ）は、キャップ２４、ガラスボールレンズ２２、および封止ガラス４６を透視した上面模式図である。図１（ａ）および図１（ｂ）のように、光送受信装置１００は、主として、ステム１２と、レーザダイオード（以下、ＬＤと称す）１４と、フォトダイオード（以下、ＰＤと称す）１６と、ＰＤ１６の受光面４２上に設けられた薄膜１８と、ＬＤ１４が出射する送信光および光ファイバ２０から出射される受信光を集光するガラスボールレンズ２２と、ＬＤ１４およびＰＤ１６を封止するキャップ２４と、から構成される。
【００１７】
ステム１２は、例えば普通鋼（ＳＰＣＣ）のような鉄系の合金で形成され、円柱形状をした基部２６と、基部２６の基準面２８で垂直方向に突出した突起部３０と、を有する。基準面２８は、光ファイバ２０の光軸に対して垂直な面であり、この面を基準に、ＬＤ１４、ＰＤ１６、およびガラスボールレンズ２２までの距離などを設定する。突起部３０の先端には、基準面２８に対して平行な面（以下、第１実装面３２と称す）と斜めに傾いた面（以下、第２実装面３４と称す）とを有する。第２実装面３４は、第１実装面３２に対して、例えば４５°の傾きを有する。ステム１２には、リードピン３６が、例えばガラスなどの絶縁物３８を介して固定され取り付けられている。リードピン３６は、例えば３本設けられていて、その内の１本はワイヤ３９によりＬＤ１４に接続され、他の１本はＰＤ１６に接続され、残りの１本はグランドに接続されている。なお、リードピン３６の本数は、３本に限られるわけではなく、４本など、他の本数の場合でもよい。
【００１８】
ＬＤ１４は、例えば窒化アルミニウム（ＡｌＮ）で形成されたヒートシンク４０上にマウントされている。ＬＤ１４がマウントされたヒートシンク４０は、突起部３０の先端の第１実装面３２に実装されている。ＰＤ１６は、突起部３０の先端の第２実装面３４に実装されている。これにより、ＰＤ１６の受光面４２は、ＬＤ１４の光軸に対して４５°傾いて配置される。ＰＤ１６の受光面４２には薄膜１８がコーティングされている。ＰＤ１６および薄膜１８の詳細については後述する。
【００１９】
ＬＤ１４は、例えば量子ドットレーザである。ＬＤ１４が出射する送信光は、ＰＤ１６の受光面４２にコーティングされた薄膜１８で光ファイバ２０側に反射される。薄膜１８で反射された送信光は、ガラスボールレンズ２２で集光され、光ファイバ２０に入射する。一方、光ファイバ２０から出射される受信光は、ガラスボールレンズ２２で集光され、薄膜１８を透過して、ＰＤ１６の受光面４２に入射する。このように、薄膜１８は、ＬＤ１４が出射する送信光に対しては高反射膜として機能し、光ファイバ２０から出射される受信光に対しては低反射膜として機能する。
【００２０】
ＰＤ１６は、光ファイバ２０の光軸上に配置されている。薄膜１８で反射される送信光の光軸と光ファイバ２０の光軸とは一致している。これにより、ＬＤ１４が出射する送信光を光ファイバ２０に効率よく入射させることができる。また、光ファイバ２０から出射される受信光を効率よくＰＤ１６で受光することができる。なおこの場合、薄膜１８で反射される送信光の光軸と光ファイバ２０から出射される受信光の光軸とが一致することにもなる。
【００２１】
キャップ２４は、例えば金属製であり、円筒形状をしている。キャップ２４の上面４４には、孔部が設けられていて、孔部にガラスボールレンズ２２が嵌め込まれている。キャップ２４の上面４４には、ガラスボールレンズ２２の周囲で孔部を覆うように封止ガラス４６が設けられており、封止ガラス４６とガラスボールレンズ２２により孔部がシールされている。これにより、キャップ２４の下部４８をステム１２に溶接固定することで、ＬＤ１４とＰＤ１６をキャップ２４で密閉し、封止することができる。キャップ２４内部は大気が充満している場合でもよいが、ＬＤ１４やＰＤ１６の劣化を抑制するなどの目的から窒素ガスが充満している場合が好ましい。
【００２２】
ここで、実施例１に係る光送受信装置１００がＦＴＴＨ（Fiber To The Home）システムに用いられる場合を想定する。ＦＴＴＨでは、一般的に上りは１．３１μｍの波長帯域を、下りは１．４９μｍの波長帯域を用いることから、光送受信装置１００が有するＬＤ１４は、１．３１μｍ波長帯の送信光を出射し、ＰＤ１６は、光ファイバ２０から出射される１．４９μｍ波長帯の受信光を受光する。したがって、ＰＤ１６の受光面４２にコーティングされる薄膜１８は、１．３１μｍ波長帯の光を反射し、且つ、１．４９μｍ波長帯の光を透過する光学特性を有することが求められる。
【００２３】
１．３１μｍ波長帯の送信光を出射するＬＤ１４は、例えば、ｐ型ＡｌＧａＡｓ層からなる下部クラッド層と、ＩｎＡｓ量子ドットを有する量子ドット活性層と、ｎ型ＡｌＧａＡｓ層からなる上部クラッド層と、を含む量子ドットレーザを用いることができる。
【００２４】
次に、１．４９μｍ波長帯の受信光を受光し、受光面４２に薄膜１８がコーティングされたＰＤ１６を説明する。図２は、薄膜１８がコーティングされたＰＤ１６の断面模式図である。図２のように、ＰＤ１６は、例えばｎ型ＩｎＰ基板５０上に、ｎ型ＩｎＰバッファ層５２、ｎ型ＩｎＧａＡｓ層５４と、ｎ型ＩｎＰ窓層５６にｐ型キャリアを導入したｐ型領域５８と、が順次形成されている。ｎ型ＩｎＧａＡｓ層５４とｐ型領域５８との間にはｐｎ接合６１が形成される。また、ｐ型領域５８の周囲には拡散遮断領域６３が形成されている。ｐ型領域５８上にはｐ型ＩｎＧａＡｓコンタクト層６４が形成され、ｐ型ＩｎＧａＡｓコンタクト層６４上には、ｐ電極６６が形成されている。ｐ電極６６とｐ型領域５８とは、ｐ型ＩｎＧａＡｓコンタクト層６４を介して電気的に接続している。拡散遮断領域６３とｐ電極６６との間にはポリイミド層６５が介在している。ｎ型ＩｎＰ基板５０の裏面にはｎ電極６８が設けられている。受光面４２であるｐ型領域５８上面を覆うように、多層膜である薄膜１８がコーティングされている。
【００２５】
表１は、多層膜である薄膜１８の構造の例であり、多層膜それぞれの層の材料、膜厚、および屈折率を示している。表１のように、薄膜１８は、例えば酸化アルミニウム層（Ａｌ２Ｏ３層）上にシリコン層（Ｓｉ層）と酸化シリコン層（ＳｉＯ２層）とが繰り返し設けられた構造をしている。具体的には、膜厚５８．０ｎｍで屈折率１．５８の酸化アルミニウム層上に、膜厚５３．５ｎｍで屈折率３．５６のシリコン層、膜厚３４８．０ｎｍで屈折率１．４５の酸化シリコン層、膜厚３６．９ｎｍで屈折率３．５６のシリコン層、膜厚１８２．３ｎｍで屈折率１．４５の酸化シリコン層が順次積層されている。その上にはさらに、膜厚７３．７ｎｍで屈折率３．５６のシリコン層と膜厚１８２．３ｎｍで屈折率１．４５の酸化シリコン層とが５回繰り返して形成されている。最上層には、膜厚３６．９ｎｍで屈折率３．５６のシリコン層が形成されている。
【表１】
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【００２６】
図３は、屈折率３．４２のＧａＡｓ基板上に、表１に示す構造の薄膜１８を形成し、薄膜１８に対して４５°の入射角で光を入射させた場合における薄膜１８の反射特性、透過特性、および損失特性を計算したシミュレーション結果である。図３の横軸は薄膜１８に入射する光の波長（ｎｍ）を、縦軸は薄膜１８による光の反射率（％）・透過率（％）・損失率（％）を表している。図３のように、薄膜１８の反射特性と透過特性とは波長に依存している。薄膜１８は、１３００ｎｍ波長帯の光に対しては高反射率で反射する高反射膜として機能し、１５００ｎｍ波長帯の光に対してはほとんど反射せずに高透過率で透過する低反射膜として機能する。損失特性に関しては、１１５０ｎｍから１６５０ｎｍの波長帯において０％である。
【００２７】
図４は、実施例１に係る光送受信装置１００をＦＴＴＨシステムに用いた場合の光の送受信について説明する概念図である。なお、図を明瞭にする目的から、送信光の光軸と受信光の光軸とをずらして図示しているが、実際は、送信光の光軸と受信光の光軸とは一致している。実施例１に係る光送受信装置１００に、１．３１μｍの波長の光を出射するＬＤ１４と、１．４９μｍの波長の光を受光するＰＤ１６と、表１に示す構造の薄膜１８を用いることで、図４のように、ＬＤ１４から出射される１．３１μｍ波長帯の送信光は、ＰＤ１６の受光面４２にコーティングされた薄膜１８で反射され、ガラスボールレンズ２２で集光された後、光ファイバ２０に入射する。一方、光ファイバ２０から出射される１．４９μｍ波長帯の受信光は、ガラスボールレンズ２２で集光され、薄膜１８を透過してＰＤ１６の受光面４２に入射する。
【００２８】
以上説明してきたように、実施例１に係る光送受信装置１００によれば、図１のように、光ファイバ２０に入射される送信光を出射するＬＤ１４と、光ファイバ２０から出射される受信光を受光するＰＤ１６と、ＰＤ１６の受光面４２上に、ＬＤ１４が出射する送信光が光ファイバ２０に入射されるように反射し、光ファイバ２０から出射される受信光を透過する薄膜１８と、が設けられている。これにより、波長分岐フィルタを別途個別に搭載することなく、一心双方向型光通信が可能となり、光送受信装置の小型化、低コスト化を実現することができる。
【００２９】
図１のように、ＰＤ１６は、光ファイバ２０の光軸上に配置されている場合が好ましい。これにより、光ファイバ２０から出射される受信光をＰＤ１６で効率よく受光することができる。また、薄膜１８で反射された送信光の光軸と光ファイバ２０の光軸とは一致している場合が好ましい。これにより、ＬＤ１４が出射する送信光を光ファイバ２０に効率よく入射させることができる。
【００３０】
図１のように、ＬＤ１４は、光ファイバ２０の光軸に対して垂直な面である第１実装面３２上に設けられていて、ＰＤ１６は、光ファイバ２０の光軸に対して斜めに傾いた面である第２実装面３４上に設けられている。ＬＤ１４を光ファイバ２０の光軸に垂直な第１実装面３２上に実装し、ＰＤ１６を光ファイバ２０の光軸に対して斜めに傾いた第２実装面３４上に実装することは、後述する実施例２のようにＬＤ１４とＰＤ１６とを共に光ファイバ２０の光軸に対して斜めに傾いた面に実装する場合に比べて容易に実装できる。また、基準面２８と第１実装面３２とは互いに平行であり、第２実装面３４だけが斜めに傾いている構造のステム１２は、後述する実施例２の場合に比べて容易に製造することができる。
【００３１】
実施例１において、ＰＤ１６の受光面４２上に設けられた薄膜１８は、表１に示すような構造の酸化アルミニウム層とシリコン層と酸化シリコン層との多層膜である場合を例に示したが、これに限られるわけではない。ＰＤ１４が出射する送信光を反射し、光ファイバ２０から出射される受信光を透過する性質を有する薄膜であれば、その他の膜構造や材料からなる場合でもよい。特に、実施例１に係る光送受信装置１００をＦＴＴＨシステムに用いる場合、薄膜１８は、ＬＤ１４が出射する１．３１μｍの波長帯の送信光を反射し、光ファイバ２０から出射される１．４９μｍの波長帯の受信光を透過する光学特性を有する場合が好ましい。また、ＦＴＴＨシステムでは、上りに１．３１μｍの波長帯を、下りに１．５５μｍの波長帯を用いる場合や、上りに１．４９μｍまたは１．５５μｍの波長帯を、下りに１．３１μｍの波長帯を用いる場合もある。したがって、薄膜１８は、１．３１μｍの波長帯の送信光を反射し、１．５５μｍの波長帯の受信光を透過する光学特性を有する場合や、１．４９μｍまたは１．５５μｍの波長帯の送信光を反射し、１．３１μｍの波長帯の受信光を透過する光学特性を有する場合でもよい。
【００３２】
実施例１において、ＬＤ１４は量子ドットレーザである場合を例に示したが、例えば量子井戸レーザなどの他の半導体レーザである場合でもよい。また、ＤＦＢ（Distributed Feedback）型レーザであってもファブリペロ型レーザであってもよい。しかしながら、量子ドットレーザは、出射光の光出力の温度依存性が小さいため、ＡＰＣ（Auto Power Control）回路を用いて出射光の光出力をフィードバックしなくても、一定の光出力を得ることができる。したがって、ＬＤ１４に量子ドットレーザを用いた場合は、モニタ用フォトダイオードなどを設けなくて済むため、光送受信装置１００の小型化、低コスト化をより一層実現することができる。
【００３３】
実施例１において、第２実装面３４が第１実装面３２に対して４５°傾いていることで、ＰＤ１６の受光面４２がＬＤ１４の光軸に対して４５°傾いている場合を例に示した。この場合は、受光面４２にコーティングされた薄膜１８で反射される送信光の光軸と光ファイバ２０の光軸とを一致させることができ、ＬＤ１４が出射する送信光を光ファイバ２０に効率よく入射させることができる。しかしながら、傾きは４５°の場合に限られず、ＬＤ１４が出射する送信光が薄膜１８で反射して光ファイバ２０に入射される範囲内でその他の傾きを有する場合でもよい。例えば３０°から６０°の範囲内の傾きを有する場合でもよい。
【実施例２】
【００３４】
図５（ａ）は実施例２に係る光送受信装置２００の上面模式図であり、図５（ｂ）は図５（ａ）のＡ−Ａ間の断面模式図である。なお、図５（ａ）は、キャップ２４、ガラスボールレンズ２２、および封止ガラス４６を透視した上面模式図である。図５（ａ）および図５（ｂ）のように、ステム１２が有する突起部３０の先端は、くの字型になっており、基準面２８に対して斜めに傾いた面である第３実装面６０と第４実装面６２とを有する。つまり、第３実装面６０と第４実装面６２とは、光ファイバ２０の光軸に対して斜めに傾いた面である。第３実装面６０と第４実装面６２とは共に、基準面２８に対して、例えば、３０°の傾きを有する。
【００３５】
ＬＤ１４がマウントされたヒートシンク４０は、突起部３０の先端の第３実装面６０に実装されている。これにより、ＬＤ１４が出射する送信光と光ファイバ２０から出射された受信光とが交わる角θは６０°と鋭角になる。ＰＤ１６は、突起部３０の第４実装面６２に実装されている。これにより、ＰＤ１６の受光面４２は、ＬＤ１４の光軸に対して斜めに配置されている。ＰＤ１６は、光ファイバ２０の光軸上に配置されていて、薄膜１８で反射された送信光の光軸と光ファイバ２０の光軸とは一致している。その他の構成については、実施例１と同じであり、図１に示しているので、ここでは説明を省略する。
【００３６】
このように、実施例２に係る光送受信装置２００によれば、図５のように、ＬＤ１４は、光ファイバ２０の光軸に対して斜めに傾いた面である第３実装面６０上に設けられていて、ＬＤ１４が出射する送信光と光ファイバ２０から出射される受信光とは鋭角に交わっている。これにより、実施例１に比べて、ＰＤ１６の受光面４２は光ファイバ２０の光軸に対して垂直に近づくことになる。よって、光ファイバ２０から出射される受信光は、ＰＤ１６の受光面４２上に設けられた薄膜１８を透過しやすくなり、受光面４２に入射される受信光の強度が大きくなる。つまり、ＰＤ１６による受信光の受光効率が向上する。
【００３７】
実施例２において、第３実装面６０と第４実装面６２とが、基準面２８に対して３０°傾いている場合を例に示したが、この場合に限られるわけではない。ＬＤ１４が出射する送信光が薄膜１８で反射して光ファイバ２０に入射される範囲内でその他の傾きを有する場合でもよい。特に、薄膜１８で反射される送信光の光軸と光ファイバ２０の光軸とを一致させる場合、基準面２８に対する第３実装面６０の角度が大きくなり、ＬＤ１４が出射する送信光と光ファイバ２０から出射される受信光とのなす角θが小さくなる程、基準面２８に対する第４実装面６２の角度を小さくし、ＰＤ１６の受光面４２を光ファイバ２０の光軸に対して垂直に近づける必要がある。この場合、ＰＤ１６による受信光の受光効率は向上する。したがって、基準面２８に対する第３実装面６０の傾きは大きく、第４実装面６２の傾きは小さい場合が好ましい。
【００３８】
以上、本発明の好ましい実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
【符号の説明】
【００３９】
１２  ステム
１４  レーザダイオード
１６  フォトダイオード
１８  薄膜
２０  光ファイバ
２２  ガラスボールレンズ
２４  キャップ
２６  基部
３０  突起部
３２  第１実装面
３４  第２実装面
３６  リードピン
３８  絶縁物
３９  ワイヤ
４０  ヒートシンク
４２  受光面
４６  封止ガラス
５０  ｎ型ＩｎＰ基板
５２  ｎ型ＩｎＰバッファ層
５４  ｎ型ＩｎＧａＡｓ層
５６  ｎ型ＩｎＰ窓層
５８  ｐ型領域
６０  第３実装面
６２  第４実装面
６３  拡散遮断領域
６４  ｐ型ＩｎＧａＡｓコンタクト層
６５  ポリイミド層
６６  ｐ電極
６８  ｎ電極
１００  光送受信装置
２００  光送受信装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
2011085623.tif 000006
【図４】
2011085623.tif 000007
【図５】
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