(57)【要約】【課題】基板移載装置による基板の移載を適確に行うことができる基板搬送設備の提供。【解決手段】基板を出し入れする出し入れ口及び基板を上下方向に間隔を隔てる状態で複数枚収納可能な基板収納空間を備えた容器本体３と、その容器本体３を載置支持可能で且つ容器本体３を載置支持した状態で基板収納空間に清浄空気を送風するファンフィルタユニットを備えた載置支持部材４とを備えた基板用収納容器２、容器本体３を載置支持した載置支持部材４を支持台８に対して上方から載置支持させる形態で基板用収納容器２を支持台８に搬送する容器搬送装置、及び、基板用収納容器２を支持台８に載置支持させた状態で容器本体３に直接に当接することにより、容器本体３の水平方向での位置を基板移載装置が出し入れ口を通して基板を移載するための基板移載用位置に調整する位置調整手段５１を設ける。【選択図】図９
2011111258.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で複数枚収納可能な基板収納空間を備えた基板用収納容器を基板移載用の支持台に搬送する容器搬送装置と、
前記支持台に載置支持された前記基板用収納容器に対して、前記基板用収納容器の側部に形成された出し入れ口を通して基板を取り出す又は基板を収納するべく基板を移載する基板移載装置とが設けられている基板搬送設備であって、
前記基板用収納容器が、前記出し入れ口及び前記基板収納空間を備えた容器本体と、その容器本体を載置支持可能で且つ前記容器本体を載置支持した状態で前記基板収納空間に清浄空気を送風するファンフィルタユニットを備えた載置支持部材とを備えて構成され、
前記容器搬送装置が、前記容器本体を載置支持した前記載置支持部材を前記支持台に対して上方から載置支持させる形態で前記基板用収納容器を前記支持台に搬送するように構成され、
前記基板用収納容器を前記支持台に載置支持させた状態で前記容器本体に直接に当接することにより、前記容器本体の水平方向での位置を前記基板移載装置が基板を移載するための基板移載用位置に調整する位置調整手段が設けられている基板搬送設備。
【請求項２】
前記位置調整手段が、前記支持台にその支持台から上方に突出する状態で設けられた複数の嵌合体、前記容器本体に備えられた上方に凹入する被嵌合部、前記容器本体における前記被嵌合部の周囲に備えられて前記嵌合体を前記被嵌合部に案内する傾斜面部、及び、前記嵌合体が前記被嵌合部に嵌合する嵌合状態と前記嵌合体を前記被嵌合部から下方に離間させた離間状態とに切り換えるべく前記容器本体と前記嵌合体とを相対的に昇降移動させる昇降操作手段を備えて構成されている請求項１に記載の基板搬送設備。
【請求項３】
前記嵌合体が、前記支持台に固定状態で設けられ、
前記容器搬送装置が、前記昇降操作手段を兼用している請求項２記載の基板搬送設備。
【請求項４】
前記載置支持部材に、その載置支持部材から上方に突出する状態で係合体が複数設けられ、
前記容器本体に、上方に凹入する形状に形成されて、前記載置支持部材にて前記容器本体を載置支持している状態で前記係合体が係合する被係合部が複数設けられ、
前記複数の嵌合体の夫々が、前記昇降操作手段にて前記離間状態から前記嵌合状態に切り換えられるに伴って前記被嵌合部を受け止め支持した状態で前記容器本体を前記載置支持部材に対して持ち上げ、前記嵌合状態において、前記係合体が前記被係合部から下方に離間させた状態で前記容器本体を支持するように構成されている請求項２又は３記載の基板搬送設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で複数枚収納可能な基板収納空間を備えた基板用収納容器を基板移載用の支持台に搬送する容器搬送装置と、前記支持台に載置支持された前記基板用収納容器に対して、前記基板用収納容器の側部に形成された出し入れ口を通して基板を取り出す又は基板を収納するべく基板を移載する基板移載装置とが設けられている基板搬送設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる基板搬送設備は、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイに使用されるガラス基板等の基板を搬送する際に用いられるものであり、基板を複数枚収納した基板用収納容器を容器搬送装置にて支持台に搬送した後、支持台に載置支持された基板用収納容器から基板移載装置にて基板を取り出す、或いは、基板移載装置にて支持台に載置支持された基板用収納容器に基板を収納した後、基板を複数枚収納した基板用収納容器を容器搬送装置にて支持台から搬送するようにして、基板を搬送するように構成されている。そして、ガラス基板等の高いクリーン度が要求される基板を基板用収納容器に収納する場合、基板収納空間に清浄空気を供給するファンフィルタユニットを設けて、外部よりも基板用収納容器の基板収納空間のクリーン度を高くする局所クリーン技術が用いられている。
【０００３】
このような基板用収納容器の従来例として、基板用収納容器が、出し入れ口及び基板収納空間を形成する容器本体と、出し入れ口を開閉する蓋が装着された蓋用枠体と、基板収納空間に清浄空気を供給するファンフィルタユニットが装着されたＦＦＵ用枠体とで構成されており、容器本体の出し入れ口が形成される一端側に蓋用枠体が分離可能に取り付けられ、容器本体の他端側にＦＦＵ用枠体が分離可能に取り付けられているものがある。そして、この従来例では、支持台は、基板用収納容器の底部を形成する容器本体を載置支持する形態で基板用収納容器を載置支持するように構成されており、容器搬送装置は、容器本体を支持台に対して上方から載置支持させる形態で基板用収納容器を支持台に搬送するように構成されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
また、一般に、基板搬送設備では、基板用収納容器の収納効率を高めるために基板同士の間隔が狭い状態で容器本体に収納されており、また、ガラス基板等の基板では他物との接触により破損し易いものであるため、基板用収納容器の設定位置への調整は高い精度が求められる。そこで、特許文献１の基板搬送設備では、基板用収納容器を支持台に載置支持させた状態で、基板用収納容器に当接することにより、基板用収納容器の水平方向での位置を基板移載装置が基板を移載するための設定位置に調整するセンタリング装置が設けられていた。
【０００５】
特許文献１のセンタリング装置について説明を加えると、このセンタリング装置は、平面視が矩形状の基板用収納容器の下端部における四隅に当接することにより、基板用収納容器の水平方向での位置を調整することで、基板用収納容器を設定位置に調整するように構成されている。具体的には、基板用収納容器の下端部における四隅には蓋用枠体又はＦＦＵ用枠体が位置しており、センタリング装置は、ＦＦＵ用枠体や蓋用枠体の下端部に当接することにより基板用収納容器の水平方向での位置を調整することで、基板用収納容器を設定位置に位置させるように構成されている。
【０００６】
また、容器本体を分離可能な基板用収納容器として、本願の出願人は特願２００９−２４４７５４において、基板用収納容器が、出し入れ口及び基板収納空間を形成する容器本体と、この容器本体を載置支持し且つファンフィルタユニットが装着された載置支持体とで構成した基板用収納容器を提案している。この基板用収納容器は、載置支持部材にて基板用収納容器の底部を形成し、容器本体が載置支持部材に対して上方に分離可能で且つ容器本体を分離させたときに載置支持部材が転倒し難くして、容器本体の分離を自動化させ易いものとなっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００８−０９４４９４号公報（段落番号「００５７」、図２３及び図２４）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
容器本体と載置支持部材とで構成された基板用収納容器の水平方向での位置を、特許文献１のセンタリング装置にて調節することが考えられるが、センタリング装置は、基板用収納容器の下端部の四隅に当接して基板用収納容器の水平方向での位置を調整するものであり、その基板用収納容器の下端部の四隅には載置支持部材の四隅が位置しているため、センタリング装置を載置支持部材の四隅に当接させて基板用収納容器の位置を設定位置に調整することになる。
【０００９】
しかしながら、基板用収納容器を容器本体と載置支持部材とで構成したものでは、搬送中の振動等により容器本体が載置支持部材に対して水平方向にずれる場合があるため、基板用収納容器を設定位置に調節するべく載置支持部材を適正な位置に調整したとしても、載置支持部材と容器本体との間で水平方向にずれが生じていると、基板移載装置が移載するための基板移載用位置から容器本体の位置が水平方向にずれてしまう。
【００１０】
そして、容器本体の位置が基板移載用位置から水平方向にずれた状態で基板移載装置にて基板を移載すると、容器本体に収納されている基板を取り出すときに、基板移載装置が取り出し対象の基板に対する位置がずれることになり、基板移載装置による基板の移載が適確に行えない虞があった。
【００１１】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、基板移載装置による基板の移載を適確に行うことができる基板搬送設備を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明にかかる基板搬送設備は、基板を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で複数枚収納可能な基板収納空間を備えた基板用収納容器を基板移載用の支持台に搬送する容器搬送装置と、前記支持台に載置支持された前記基板用収納容器に対して、前記基板用収納容器の側部に形成された出し入れ口を通して基板を取り出す又は基板を収納するべく基板を移載する基板移載装置とが設けられているものであって、その第１特徴構成は、
前記基板用収納容器が、前記出し入れ口及び前記基板収納空間を備えた容器本体と、その容器本体を載置支持可能で且つ前記容器本体を載置支持した状態で前記基板収納空間に清浄空気を送風するファンフィルタユニットを備えた載置支持部材とを備えて構成され、  前記容器搬送装置が、前記容器本体を載置支持した前記載置支持部材を前記支持台に対して上方から載置支持させる形態で前記基板用収納容器を前記支持台に搬送するように構成され、前記基板用収納容器を前記支持台に載置支持させた状態で前記容器本体に直接に当接することにより、前記容器本体の水平方向での位置を前記基板移載装置が基板を移載するための基板移載用位置に調整する位置調整手段が設けられている点にある。
【００１３】
すなわち、基板用収納容器は、容器本体を載置支持部材に対して相対的に上昇させることにより、容器本体を載置支持部材から分離させることができ、また、載置支持部材は容器本体を載置支持するべく水平方向に大きく形成されているため、容器本体を分離させたときに載置支持部材が転倒し難くなる。
【００１４】
そして、容器搬送手段は、容器本体を載置支持した載置支持部材を支持台に対して上方から載置支持させる形態で基板用収納容器を支持台に搬送するように構成されており、容器搬送手段にて基板用収納容器が支持台に搬送されるに伴って、支持台が基板用収納容器の載置支持部材を載置支持するとともに、位置調整手段が容器本体に直接に当接して容器本体の水平方向での位置を基板移載用位置に調整する。このように、基板用収納容器を支持台に載置支持させた状態で位置調整手段が容器本体に直接に当接することにより、容器本体の水平方向での位置を基板移載用位置に調整することができる。
【００１５】
つまり、支持台に載置支持されている載置支持部材の水平方向での位置を調整するのではなく、基板移載装置にて基板が移載される容器本体の位置を位置調整手段にて直接に調整することにより、容器本体と載置支持部材との間にずれが生じていても容器本体の位置を基板移載用位置に調整することができる。このため、基板移載装置による基板の移載を適確に行うことができ、もって、基板移載装置による基板の移載を適確に行うことができる基板搬送設備を提供することができるに至った。
【００１６】
本発明にかかる基板搬送設備の第２特徴構成は、第１特徴構成において、前記位置調整手段が、前記支持台にその支持台から上方に突出する状態で設けられた複数の嵌合体、前記容器本体に備えられた上方に凹入する被嵌合部、前記容器本体における前記被嵌合部の周囲に備えられて前記嵌合体を前記被嵌合部に案内する傾斜面部、及び、前記嵌合体が前記被嵌合部に嵌合する嵌合状態と前記嵌合体を前記被嵌合部から下方に離間させた離間状態とに切り換えるべく前記容器本体と前記嵌合体とを相対的に昇降移動させる昇降操作手段を備えて構成されている点にある。
【００１７】
すなわち、昇降操作手段にて容器本体を嵌合体に対して相対的に下降移動させることにより、被嵌合部から下方に離間していた嵌合体が被嵌合部に嵌合して嵌合状態に切り換えられる。そして、被嵌合部の周囲に、嵌合体を被嵌合部に案内する傾斜面部が備えられているため、昇降操作手段にて離間状態から嵌合状態に切り換える際に、容器本体が基板移載用位置から水平方向にずれており、被嵌合部の位置が嵌合体の真上から水平方向にずれて位置している場合でも、嵌合体が傾斜面部に当接しながら相対的に上昇移動することで、被嵌合部が嵌合体の真上に位置するように容器本体が基板移載用位置に移動して嵌合体が被嵌合部に嵌合する。このように、位置調整手段は、容器本体が基板移載用位置から水平方向にずれている場合に、傾斜面部の作用により、容器本体の位置を基板移載用位置に調整することができるとともに、嵌合体の被嵌合部への嵌合により、基板用移載位置に調整された容器本体の位置をその位置に保持できる。
【００１８】
本発明にかかる基板搬送設備の第３特徴構成は、第２特徴構成において、前記嵌合体が、前記支持台に固定状態で設けられ、前記容器搬送装置が、前記昇降操作手段を兼用している点にある。
【００１９】
すなわち、容器搬送手段にて、容器本体を載置支持した載置支持部材を支持台に対して上方から載置支持させることで、容器本体が嵌合体に対して下降移動して嵌合状態に切り換えることができ、また、容器搬送手段にて、容器本体を載置支持した載置支持部材を支持台から掬い上げることで、容器本体が嵌合体に対して上昇移動して離間状態に切り換えることができる。よって、容器本体と嵌合体とを相対的に昇降移動させる専用の手段を備える必要がなく、基板搬送設備の構成の簡素化を図ることができる。
【００２０】
本発明にかかる基板搬送設備の第４特徴構成は、第２又は第３特徴構成のいずれか１つにおいて、前記載置支持部材に、その載置支持部材から上方に突出する状態で係合体が複数設けられ、前記容器本体に、上方に凹入する形状に形成されて、前記載置支持部材にて前記容器本体を載置支持している状態で前記係合体が係合する被係合部が複数設けられ、前記複数の嵌合体の夫々が、前記昇降操作手段にて前記離間状態から前記嵌合状態に切り換えられるに伴って前記被嵌合部を受け止め支持した状態で前記容器本体を前記載置支持部材に対して持ち上げ、前記嵌合状態において、前記係合体が前記被係合部から下方に離間させた状態で前記容器本体を支持するように構成されている点にある。
【００２１】
すなわち、容器本体を載置支持部材に載置支持させた状態では係合体が被係合部に係合しており、容器本体が載置支持部材に対して水平方向に移動することが規制されているため、容器搬送手段にて基板用収納容器を搬送する際に容器本体が載置支持部材から落下することを未然に防止することができる。
【００２２】
また、嵌合状態に切り換えた状態では、係合体が被係合部から下方に離間しており係合体と被係合体との係合が外れた状態であるので、容器本体は載置支持部材に対して水平方向に移動可能な状態となっている。よって、位置調整手段にて容器本体の位置を基板移載用位置に調整する際に、載置支持部材を水平方向に極力移動させることなく容器本体の位置を基板移載用位置に調整することができるため、載置支持部材が容器搬送手段や支持台上で水平方向へ摺動することによる塵埃の発生を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】基板搬送設備の側面図
【図２】基板搬送設備の平面図
【図３】基板移載ロボットの正面図
【図４】基板用収納容器の斜視図
【図５】容器本体の斜視図
【図６】載置支持部材の斜視図
【図７】基板用収納容器を支持台の上方に位置させた状態を示す斜視図
【図８】基板用収納容器を支持台に載置支持させた状態を示す斜視図
【図９】嵌合状態と離間状態とを示す図
【図１０】別実施形態（１）の嵌合状態と離間状態とを示す図
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の基板搬送設備について図面に基づいて説明する。
図１及び図２に示すように、基板搬送設備には、基板用収納容器２を収納する収納棚１０と基板移載用の支持台８との間や収納棚１０と容器離脱用の載置台９との間で基板用収納容器２を搬送する容器搬送装置としてのスタッカークレーン７、基板移載用の支持台８に載置支持された基板用収納容器２に対して、基板用収納容器２の側部に形成された出し入れ口２１を通して基板１を取り出し且つ基板１を収納するべく基板１を移載する基板移載装置としての基板移載ロボット１１、及び、載置台９に載置支持された基板用収納容器２から容器本体３を分離させる容器分離装置１２が設けられている。
【００２５】
また、図１に示すように、基板搬送設備には、クリーン空間１３に設置されており、天井部から床部に清浄空気を通風させるダウンフロー式の清浄空気通風手段１４が設けられている。この清浄空気通風手段１４は、床部を構成するグレーティング床１５の下方の空間と天井部を構成するエアーフィルタ１６の上方の空間とが、通風ファン１７及びプレフィルタ１８を備えた循環路１９にて連通されており、クリーン空間１３内の空気を、プレフィルタ１８とエアーフィルタ１６とで清浄化させながら循環させて、清浄空気をクリーン空間１３の天井部から床部に通風させるように構成されている。
【００２６】
〔基板用収納容器〕
図４に示すように、基板搬送設備において搬送される基板用収納容器２には、基板１を上下方向に間隔を隔てて並べる状態で複数枚収納可能な基板収納空間Ｓが備えられている。そして、基板用収納容器２は、基板１を出し入れする出し入れ口２１及び基板収納空間Ｓを備えた容器本体３と、その容器本体３を載置支持可能で且つ容器本体３を載置支持した状態で基板収納空間Ｓに清浄空気を送風するファンフィルタユニット５（図６参照）を備えた載置支持部材４とを備えて構成されており、容器本体３と載置支持部材４とは分離可能に構成されている。
【００２７】
図５に示すように、容器本体３は、その側部に基板１を出し入れするための出し入れ口２１とファンフィルタユニット５にて供給される清浄空気を基板収納空間Ｓに給気するための給気口２２とを形成して構成されている。そして、出し入れ口２１は、容器本体３の前側部に形成され、給気口２２は、容器本体３の後側部に形成されており、出し入れ口２１と給気口２２とは互いに対向するように形成されている。尚、図５（ａ）は、前方側左斜め上方からの容器本体３の斜視図を示しており、容器本体３の一部を切り欠いている。また、図５（ｂ）は、後方側左斜め下方からの容器本体３の斜視図を示している。
【００２８】
容器本体３について説明を加えると、容器本体３は、枠材を四角柱状に枠組みして本体フレーム２３を形成し、その本体フレーム２３の上部と左右の横側部とを側板２４で閉塞して門状に形成されている。そして、容器本体３の前側部は、側板２４にて閉塞されておらず、その前側部に出し入れ口２１が形成されている。また、容器本体３の後側部も、側板２４にて閉塞されておらず、その後側部に給気口２２が形成されている。容器本体３の下部は、下部形成用の枠材２３ａを格子状に並べて構成されており、側板２４にて閉塞されていないため開口しているが、図４に示すように、容器本体３を載置支持部材４に載置支持させた状態ではその載置支持部材４にて閉塞される。
【００２９】
つまり、容器本体３は、ファンフィルタユニット５にて供給される清浄空気を給気口２２から給気し、基板収納空間Ｓ内を後方側から前方側に清浄空気を通気させ、出し入れ口２１から清浄空気を排気させるように構成されている。そして、基板収納空間Ｓ内を後方側から前方側に清浄空気を通気させることで、その気流により基板１に塵埃が付着することを防止するとともに、出し入れ口２１から清浄空気を排気させることにより出し入れ口２１から基板収納空間Ｓへの塵埃の侵入が防止されている。
【００３０】
また、容器本体３には、基板収納空間Ｓに収納する基板１を載置支持するための基板支持体２５が備えられており、この基板支持体２５は本体フレーム２３に支持されている。また、基板支持体２５は、上下方向に間隔を隔てて並ぶ複数枚の基板１の枚数に応じて上下方向に複数並べて設けられており、複数の基板支持体２５の夫々は、横方向に並ぶ複数本の棒材にて構成されている。ちなみに、容器本体３の内部空間にて基板収納空間Ｓが形成されている。
【００３１】
図６に示すように、載置支持部材４は、容器本体３を載置支持する支持部分２７と、その支持部分２７にて容器本体３を載置支持した状態において給気口２２と対向する位置にファンフィルタユニット５を位置させるようにファンフィルタユニット５が装着された装着部分２８とを備えて構成されている。ちなみに、載置支持部材４の支持部分２７は、載置支持した容器本体３が支持部分２７から横側方に突出しないように、平面視での大きさが容器本体３より大型に形成されている。尚、図６（ａ）は、前方側左斜め上方からの載置支持部材４の斜視図であり、図６（ｂ）は、後方側左斜め下方からの載置支持部材４の斜視図である。
【００３２】
載置支持部材４について説明を加えると、載置支持部材４の支持部分２７は、枠材を平面視で矩形の格子状に枠組みして支持フレーム２９を形成し、その支持フレーム２９に底板３０を取り付けて平板状に構成されている。また、載置支持部材４の装着部分２８は、支持部分２７の後端部から立設される状態で支持部分２７に連結され、且つ、ファンフィルタユニット５が起立姿勢で容器横幅方向に並ぶ状態で３台装着されている。そして、載置支持部材４は、側面視で一字状の支持部分２７と側面視でＩ字状の装着部分２８とで側面視でＬ字状に形成されている。尚、底板３０は、横幅方向に４枚並べ、その列を前後方向に３列並べるように計１２枚取り付けられている。
【００３３】
支持部分２７には、並べられた底板３０のうちの３列夫々において横幅方向の両端に位置する２枚の底板３０に形成する形態で後述する昇降式支持体４７が上下方向に挿抜可能な開口部３１が形成されている。このように形成された開口部３１は、容器横幅方向に間隔を隔てて２列形成されており、その夫々が、容器前後方向に沿う形状に形成されている。ちなみに、載置支持部材４における２列の開口部３１の間に位置する部分が、スタッカークレーン７にて載置支持され、開口部３１の容器横幅方向外方側に位置する部分が、収納棚１０に収納される際に支持され、また、支持台８や載置台９に載せた際に載置支持される。
【００３４】
装着部分２８には、載置支持部材４に載置支持された容器本体３の後端部を覆うフード部３２が設けられている。このフード部３２は、容器本体３の後端部における左右の横側方及び上方を覆う形状に形成されている。また、図４に示すように、フード部３２は、容器本体３が支持部分２７に載置支持された状態において、容器本体３の上部とフード部３２との間に上下方向の隙間が形成されており、この隙間が形成されていることにより、図８に示すように、載置支持部材４に対して容器本体３を上方側に分離させるときに、容器本体３がフード部３２と接触しないように構成されている。
【００３５】
図６（ｂ）に示すように、載置支持部材４には、非接触給電装置３３の受電部３３ａが備えられており、収納棚１０に収納された状態では、収納棚１０に備えられた非接触給電装置３３の給電部３３ｂ（図１参照）から供給された電力によりファンフィルタユニット５が作動されるように構成されている。また、載置支持部材４には、受電部３３ａに供給された電力を蓄えるバッテリ（図示せず）も備えられており、基板用収納容器２をスタッカークレーン７にて搬送するとき等、受電部３３ａが給電部３３ｂから離れて基板用収納容器２に電力が供給されなくなる状態では、バッテリに蓄えられた電力にてファンフィルタユニット５が作動されるように構成されている。
【００３６】
基板用収納容器２には、容器本体３を載置支持部材４に載置支持された状態において、容器本体３の載置支持部材４に対する水平方向への移動を規制する規制手段３４が備えられている。載置支持部材４に、その載置支持部材４の上面から上方に突出する状態で係合体としての位置決めピン３４ａが複数設けられ、容器本体３に、上方に凹入する形状に形成されて、載置支持部材４にて容器本体３を載置支持している状態で位置決めピン３４ａが係合する被係合部としての係合用凹部３４ｂが複数設けられており、規制手段３４は、これら位置決めピン３４ａと係合用凹部３４ｂとを備えて構成されている。そして、規制手段３４は、載置支持部材４に容器本体３を載置した際に係合用凹部３４ｂに位置決めピン３４ａが係合することにより、容器本体３の載置支持部材４に対する水平方向の移動を規制するように構成されている。
【００３７】
そして、容器本体３の下部形成用の枠材２３ａは、その一部の容器前後方向に沿う枠材２３ａ（図５（ｂ）において仮想線で示す枠材２３ａ）が載置支持部材４に容器本体３を載置支持させた状態において載置支持部材４に形成された開口部３１の真上に位置するように配設されている。そして、開口部３１に挿入された後述する昇降式支持体４７にて下部形成用の枠材２３ａが受け止め支持される状態で容器本体３が持ち上げられるように構成されており、容器本体３は、開口部３１に挿入された昇降式支持体４７にて下部形成用の枠材２３ａが受け止め支持される状態で載置支持部材４に対して上方側に分離可能に構成されている。
【００３８】
〔スタッカークレーン〕
図１及び図２に示すように、基板用収納容器２を収納する収納部１０ａを上下方向及び棚横幅方向に並設した収納棚１０が互いに対向する状態で一対設けられており、この一対の収納棚１０の間にスタッカークレーン７が配設されている。スタッカークレーン７は、一対の収納棚１０の間に形成された走行経路３６をその長手方向に沿って走行移動する走行台車３７と、走行台車３７に立設された昇降マストに昇降自在に案内支持される昇降台３８と、昇降台３８に支持されたフォーク式の移載装置３９とを備えて構成されている。移載装置３９は、基板用収納容器２における載置支持部材４を載置支持するように構成されており、一対の収納棚１０と自己との間や支持台８と自己との間や載置台９と自己との間で基板用収納容器２を移載可能で且つ縦軸心周りに旋回可能に構成されている。ちなみに、収納棚１０の収納部１０ａには、ファンフィルタユニット５が装着されている後端部を出し入れ口２１が形成されている前端部より走行経路３６側に位置させる状態で基板用収納容器２が収納されている。
【００３９】
スタッカークレーン７は、走行経路３６に隣接する状態で設けられた支持台８に搬送可能に構成されている。そして、スタッカークレーン７は、移載装置３９を旋回させることにより搬送している基板用収納容器２の向きを１８０°変更可能に構成されており、搬送先の支持台８の位置が搬送元の収納部１０ａの位置に対して走行経路３６の反対側に位置する場合は移載装置３９の旋回により基板用収納容器２の向きを１８０°変更して支持台８に搬送し、また、搬送先の支持台８の位置が搬送元の収納部１０ａの位置に対して走行経路３６の同じ側に位置する場合は基板用収納容器２の向きを変更せずに支持台８に搬送することにより、支持台８に対して基板用収納容器２を受け渡すときは、基板用収納容器２の後端部を前端部より走行経路３６側に位置させる状態で受け渡される。尚、載置台９に対しても、支持台８と同様にスタッカークレーン７にて基板用収納容器２が搬送される。
【００４０】
〔基板移載ロボット〕
図１〜図３に示すように、基板移載ロボット１１は、収納棚１０の背面側を棚横幅方向に沿って移動する移動台車４１と、その移動台車４１に昇降並びに回転自在に支持された昇降回転部４２と、その昇降回転部４２にリンク機構４４を介して連結されたフォーク状の基板支持部４３とを備えて構成されている。
【００４１】
そして、基板移載ロボット１１は、昇降回転部４２の昇降及び回転とリンク機構４４の伸縮とによって、支持台８に載置支持された基板用収納容器２から基板搬送コンベヤ４５の収納棚側端部に基板１を一枚ずつ移載し、且つ、基板搬送コンベヤ４５の収納棚側端部の基板１を支持台８に載置支持された基板用収納容器２に一枚ずつ移載するように構成されている。ちなみに、基板用収納容器２における横幅方向に隣接する基板支持体２５同士の間で且つ上下方向に隣接する基板１同士の間に、基板支持部挿抜用のスペースが形成されており、この基板支持部挿抜用のスペースに基板支持部４３を挿抜させて、基板用収納容器２から基板１を一枚ずつ取り出すことや基板用収納容器２に基板１を一枚ずつ収納できるようになっている。
【００４２】
ちなみに、基板搬送コンベヤ４５は、基板１の横幅方向の両端部を回転ローラにて支持して、その回転ローラを回転駆動させることによって基板１を搬送するように構成されており、図２に示すように、基板搬送コンベヤ４５として、基板移載ロボット１１から受け取った基板１を基板処理装置Ｅに向けて搬送する未処理用の基板搬送コンベヤ４５と、基板処理装置Ｅから搬出された基板１を収納棚１０側に向けて搬送する処理済用の基板搬送コンベヤ４５とが備えられている。
【００４３】
〔容器分離装置〕
図１に示すように、容器分離装置１２は、容器本体３を水平方向に載置搬送可能で且つ昇降可能な昇降式支持体４７と、この昇降式支持体４７を昇降移動させる電動式シリンダ等で構成された昇降手段４８とを備えて構成されている。
【００４４】
そして、容器分離装置１２は、基板用収納容器２が載置台９にて載置支持されている状態で、昇降手段４８にて昇降式支持体４７を上昇移動させることで、昇降式支持体４７が載置支持部材４の開口部３１に下方側から挿通して容器本体３を上方側に持ち上げ、容器本体３を載置支持部材４に対して上方側に分離させる。この分離させた状態では、容器本体３の下面が位置決めピン３４ａの上端より上方に位置しており、容器本体３は規制手段３４にて規制されることなく載置支持部材４に対して水平方向に搬送可能な状態となっている。
【００４５】
また、容器分離装置１２は、載置支持部材４が載置台９にて載置支持され且つ容器本体３が昇降式支持体４７にて載置支持されている状態で、昇降手段４８にて昇降式支持体４７を下降移動させることで、位置決めピン３４ａが係合用凹部３４ｂに係合されるように容器本体３が載置支持部材４上に降ろされ、昇降式支持体４７が載置支持部材４の開口部３１から下方側に抜出される。このように載置支持部材４に降ろされた容器本体３は載置支持部材４に載置支持されて載置支持部材４と結合される。
【００４６】
そして、昇降式支持体４７は、上昇移動した状態で容器本体３を水平方向に載置搬送することで、隣接する容器搬送コンベヤ４９との間で容器本体３を授受できるように構成されている。ちなみに、容器搬送コンベヤ４９は容器本体３を洗浄する図外の洗浄装置に容器本体３を搬送する。
【００４７】
基板搬送設備には、基板用収納容器２を支持台８に載置支持させた状態で容器本体３に直接に当接することにより、容器本体３の水平方向での位置を基板移載ロボット１１が基板１を移載するための基板移載用位置に調整する位置調整手段５１が設けられている。次に、この位置調整手段５１について説明するとともに、上述した規制手段３４について説明を加える。
【００４８】
〔規制手段〕
まず、規制手段３４について説明を加える。
規制手段３４は、上述の如く位置決めピン３４ａと係合用凹部３４ｂとを備えて構成されている。図６に示すように、位置決めピン３４ａは、載置支持部材４の支持部分２７の前端部における横幅方向の中央部に横幅方向に間隔を隔てた状態で一対設けられ、また、支持部分２７の後端部における横幅方向の中央部に横幅方向に間隔を隔てた状態で一対設けられている。これら計４本の位置決めピン３４ａの夫々は、載置支持部材４の支持フレーム２９に連結支持される状態で設けられており、図９に示すように、円柱形状に形成され且つ上端部は先細り形状に形成されている。
【００４９】
図５に示すように、係合用凹部３４ｂは、容器本体３の下面の前端部における横幅方向の中央部に横幅方向に間隔を隔てた状態で一対設けられ、また、容器本体３の下面の後端部における横幅方向の中央部に横幅方向に間隔を隔てた状態で一対設けられている。これら計４箇所の係合用凹部３４ｂの夫々は、載置支持部材４の適正な箇所に容器本体３を載置支持させた状態で位置決めピン３４ａが係合するように、位置決めピン３４ａの設置位置に対応して形成されている。また、係合用凹部３４ｂの夫々は円筒形の穴に形成されている。
【００５０】
係合用凹部３４ｂの夫々の径は、係合する位置決めピン３４ａの径より若干大きく、位置決めピン３４ａを係合用凹部３４ｂに係合した状態で位置決めピン３４ａの側面と係合用凹部３４ｂの側面との間に隙間が形成されるようになっており、規制手段３４は、この隙間分だけ容器本体３の載置支持部材４に対する水平方向への移動を許容するように構成されている。また、係合用凹部３４ｂの夫々の周囲には、位置決めピン３４ａを係合用凹部３４ｂに案内する係合用傾斜面３５が円錐状に形成されている。
【００５１】
そして、容器本体３を載置支持部材４に載置支持させた状態において、載置支持部材４の支持部分２７の上面と位置決めピン３４ａの上端との上下方向の間隔より、容器本体３の下面と係合用凹部３４ｂの底面との上下方向の間隔が広くなるように、位置決めピン３４ａの長さ及び係合用凹部３４ｂの深さが設定されている。つまり、容器本体３を載置支持部材４に載置支持させた状態では、係合した位置決めピン３４ａの上端は係合用凹部３４ｂの底面に接触していない。ちなみに、容器本体３の下面とは、容器本体３を載置支持部材４に載置支持させた状態で支持部分２７の上面に接触する面である。
【００５２】
〔位置調整手段〕
次に、位置調整手段５１について説明する。
図９に示すように、位置調整手段５１は、支持台８にその支持台８から上方に突出する状態で設けられた複数の嵌合体としての調整ピン５２、容器本体３に備えられた上方に凹入する被嵌合部としての嵌合用凹部５３、容器本体３における嵌合用凹部５３の周囲に備えられて調整ピン５２を嵌合用凹部５３に案内する傾斜面部としての嵌合用傾斜面５４、及び、調整ピン５２が嵌合用凹部５３に嵌合する嵌合状態と調整ピン５２を嵌合用凹部５３から下方に離間させた離間状態とに切り換えるべく容器本体３と調整ピン５２とを相対的に昇降移動させる昇降操作手段５６を備えて構成されている
【００５３】
図７に示すように、調整ピン５２は、支持台８の四隅に固定状態で設けられている。具体的には、支持台８に、載置支持する基板用収納容器２の四隅に対応して４本の支柱８ａが設けられており、４本の支柱８ａの夫々の上端部に基板用収納容器２の隅部を各別に載置支持する支持板８ｂが取り付けられている。そして、調整ピン５２は、支持板８ｂの平坦に形成された上面の夫々に固着されて、支持台８の四隅に支持台８から上方に突出する状態に固定状態で設けられている。また、図９に示すように、調整ピン５２は、円柱形状に形成され且つ上端部は先細り形状に形成されている。
【００５４】
嵌合用凹部５３は、容器本体３の下面の四隅に設けられており、これら計４箇所の嵌合用凹部５３の夫々は、容器本体３の水平方向での位置が基板１を移載するための基板移載用位置に位置させた状態で調整ピン５２が係合するように、調整ピン５２の設置位置に対応して形成されている。また、嵌合用凹部５３の夫々は、円筒形の穴に形成されており、底面が調整ピン５２の形状に沿う形状に形成されている。
【００５５】
嵌合用凹部５３の夫々の径は、係合する調整ピン５２の径と略同じ大きさであり、調整ピン５２を嵌合用凹部５３に係合した状態で調整ピン５２の側面と嵌合用凹部５３の側面との間に隙間が殆ど形成されないようになっており、位置調整手段５１は、調整ピン５２が嵌合用凹部５３に嵌合した状態では、容器本体３が支持台８に対する水平方向への移動が殆ど許容されておらず、容器本体３の位置を基板移載用位置に適確に位置させることができるように構成されている。
【００５６】
基板用収納容器２を支持台８に載置支持させた状態における支持台８の上面と調整ピン５２の上端との上下方向の間隔より、載置支持部材４に容器本体３を載置支持した状態における載置支持部材４の下面と嵌合用凹部５３の底面との上下方向の間隔が狭くなるように、調整ピン５２の長さ及び嵌合用凹部５３の深さが設定されている。つまり、図９（ｂ）に示すように、基板用収納容器２を支持台８に載置支持させた状態では、基板用収納容器２における載置支持部材４のみが支持台８に載置支持され、容器本体３は調整ピン５２にて支持される。ちなみに、載置支持部材４の下面とは、基板用収納容器２を支持台８に載置支持させた状態で支持板８ｂの上面に接触する面である。
【００５７】
そして、図９に示すように、複数の調整ピン５２の夫々は、スタッカークレーン７にて離間状態から嵌合状態に切り換えられるに伴って嵌合用凹部５３を受け止め支持した状態で容器本体３を載置支持部材４に対して持ち上げ、図９（ｂ）に示すように、嵌合状態において、位置決めピン３４ａが係合用凹部３４ｂから下方に離間させた状態で容器本体３を支持するように構成されている。よって、嵌合状態に切り換えられて容器本体３が調整ピン５２にて支持された状態では、容器本体３の下面が位置決めピン３４ａの上端より上方に位置しており、容器本体３は規制手段３４にて規制されることなく載置支持部材４に対して水平方向に移動可能な状態となっている。
【００５８】
嵌合用傾斜面５４は、嵌合用凹部５３の夫々の周囲に形成されており、上方側ほど径が小さくなる円錐状に形成されている。つまり、容器本体３を調整ピン５２に対して下降移動させて離間状態から嵌合状態に切り換える際に、容器本体３が基板移載用位置から水平方向にずれており、嵌合用凹部５３の位置が調整ピン５２の真上から水平方向にずれて位置している場合でも、調整ピン５２が嵌合用傾斜面５４に当接した状態で相対的に上昇移動することで、嵌合用凹部５３が調整ピン５２の真上に位置するように容器本体３が案内されて容器本体３が基板移載用位置に移動し、調整ピン５２が嵌合用凹部５３に嵌合するように構成されている。このように、位置調整手段５１は、容器本体３が基板移載用位置から水平方向にずれている場合に、嵌合用傾斜面５４の作用により容器本体３の位置を基板移載用位置に調整するように構成されている。
【００５９】
載置支持部材４における嵌合用凹部５３に対応した箇所に形成されて調整ピン５２が上下方向に挿抜可能な開孔部５５が形成されている。この開孔部５５は、載置支持部材４に載置支持された容器本体３が載置支持部材上の適正な位置（位置決めピンの中心と係合用凹部の中心とが一致する位置）に位置する状態において嵌合用凹部５３の真下に位置する箇所に形成されており、平面視で円形の孔に形成されている。また、開孔部５５は、位置決めピン３４ａが係合用凹部３４ｂに係合している状態で容器本体３が載置支持部材４上の適正な位置から水平方向にずれている場合でも、調整ピン５２の上端部が嵌合用傾斜面５４の外周縁部に接触できるように、嵌合用傾斜面５４の下端部の径より大径に形成されている。ちなみに、嵌合用傾斜面５４の下端部の径は、スタッカークレーン７による支持台８への搬送精度により生じる基板用収納容器２の設定位置に対する水平方向の最大ずれ量と、位置決めピン３４aの径と係合用凹部３４ｂの径との差により生じる容器本体３の載置支持部材４上の適正な位置に対する水平方向の最大ずれ量とを考慮して設定されている。
【００６０】
スタッカークレーン７は、容器本体３を載置支持した載置支持部材４を支持台８に対して上方から載置支持させる形態で基板用収納容器２を支持台８に搬送し、且つ、載置支持部材４を支持台８から掬い上げる形態で基板用収納容器２を支持台８から搬送するように構成されている。そして、スタッカークレーン７は、基板用収納容器２を支持台８に対して上方から降ろすことで容器本体３を調整ピン５２に対して下降移動させ、基板用収納容器２を支持台８に対して上方に掬い上げることで容器本体３を調整ピン５２に対して上昇移動させるものであり、昇降操作手段５６に兼用されている。
【００６１】
要するに、容器本体３が基板移載用位置からずれていない場合は、スタッカークレーン７にて基板用収納容器２を支持台８に対して上方から降ろすときに、調整ピン５２は嵌合用傾斜面５４に当接することなく嵌合用凹部５３に嵌合するため、位置調整手段５１による調整は行われない。また、基板用収納容器２が基板移載ロボット１１に対応して設定された支持台８上の設定位置から水平方向にずれている、又は、載置支持部材４に載置支持された容器本体３が載置支持部材４上の適正な位置から水平方向にずれている、或いは、これら両方の要因によって、容器本体３が基板移載用位置から水平方向にずれている場合は、スタッカークレーン７にて基板用収納容器２を支持台８に対して上方から降ろすときに、調整ピン５２が嵌合用傾斜面５４に当接した後に嵌合用凹部５３に嵌合するため、位置調整手段５１により容器本体３の位置は基板移載用位置に調整される。このように、容器本体３が基板移載用位置からずれている場合は、位置調整手段５１における調整ピン５２を容器本体３に直接に当接させることにより、支持台８上に載置支持される載置支持部材４の位置を調整することなく、容器本体３の位置を基板移載用位置に調整することができる。
【００６２】
〔別実施形態〕
（１）  上記実施形態では、容器搬送装置７を昇降操作手段５６に兼用したが、嵌合体を昇降移動させる昇降操作手段５６を設ける等、容器搬送装置７とは別に昇降操作手段５６を設けてもよい。具体的には、例えば、図１０に示すように、昇降操作手段５６として調整ピン５２を支持台８に対して昇降移動させる昇降用シリンダ５８を設けて、基板用収納容器２を支持台８に載置支持させた状態で、昇降用シリンダ５８にて調整ピン５２を昇降移動させることで、嵌合状態（図１０（ｂ）参照）と離間状態（図１０（ａ）参照）とに切り換えるように構成してもよい。
【００６３】
（２）  上記実施形態では、位置調整手段５１を、嵌合体と被嵌合体と傾斜面部と昇降操作手段とを備えて、容器本体を嵌合体に対して相対的に昇降移動させて容器本体を基板移載用位置に調整するように構成したが、位置調整手段５１を、支持台８に載置支持された基板用収納容器２における容器本体３に側方から当接する当接部材を設けて、当接部材を容器本体に対して水平方向に遠近移動させて容器本体を基板移載用位置に調整するように構成してもよい。
【００６４】
（３）  上記実施形態では、嵌合状態において係合体が被係合部から下方に離間させるように構成したが、嵌合状態に切り換えるに伴う容器本体３の載置支持部材４に対する持ち上げ量を小さくして、嵌合状態においても係合体が被係合部に係合する状態を維持するように構成してもよい。この場合、位置調整手段５１にて容器本体３の位置を水平方向に調整する際に、係合体が被係合体に係合していることより、載置支持部材４は容器本体３の移動に追従して水平方向に移動する。また、上記実施形態では、係合体と被係合部とを設けたが、これらを設けなくてもよい。
【００６５】
（４）  上記実施形態では、被嵌合部を容器本体３の下面の四隅に備えて容器本体３に４つの被嵌合部を備えるとともに、これに対応して支持台８に嵌合体を４つ備えたが、被嵌合部や嵌合体の位置や数は適宜変更してもよい。つまり、例えば、被嵌合部を、容器本体３の下面における横幅方向の両端部夫々の前後方向中央部に備え、且つ、容器本体３の下面における前後方向の両端部夫々の横幅方向中央部に備えるように、容器本体の４箇所に被嵌合部を備えてもよい。また、被嵌合部を、容器本体３の下面における後端部の横幅方向両端部に夫々備え、容器本体３の下面における前端部の横幅方向中央部に備えるようにして、容器本体の３箇所に被嵌合部を備えてもよい。また、容器本体３の下面の周縁部ではなく中央部に被嵌合部を備えてもよく、また、容器本体の５箇所以上に被嵌合部を備えてもよい。そして、嵌合体は、支持台における被嵌合部に対応する箇所に対応した数だけ備える。
【００６６】
（５）  上記実施形態では、基板用収納容器を載置支持する支持台８に嵌合体を設けたが、支持台８に嵌合体を設けずに、別途設けた嵌合体専用の台に嵌合体を設けてもよい。
【００６７】
（６）  上記実施形態では、被嵌合部における底部を上方側ほど径が小さくなる先細り形状に形成し、被嵌合部における底部より下方の部分を円筒形状に形成したが、被嵌合部の全体を上方側ほど径が小さくなる先細り形状に形成してもよい。
【符号の説明】
【００６８】
１    基板
２    基板用収納容器
３    容器本体
４    載置支持部材
５    ファンフィルタユニット
７    容器搬送装置
８    支持台
１１    基板移載装置
２１    出し入れ口
３４ａ  係合体
３４ｂ  被係合部
５１    位置調整手段
５２    嵌合体
５３    被嵌合部
５４    傾斜面部
５６    昇降操作手段
Ｓ    基板収納空間
【図１】
2011111258.tif 000003
【図２】
2011111258.tif 000004
【図３】
2011111258.tif 000005
【図４】
2011111258.tif 000006
【図５】
2011111258.tif 000007
【図６】
2011111258.tif 000008
【図７】
2011111258.tif 000009
【図８】
2011111258.tif 000010
【図９】
2011111258.tif 000011
【図１０】
2011111258.tif 000012