(57)【要約】【課題】  印刷速度を早くしても、被印刷物がスクリーン版の裏面に貼着し多孔質吸着盤から剥離してしまうのを防ぎ、段差吸収層の形成を容易とするスクリーン印刷補助板、およびこれを用いたスクリーン印刷機を提供することを目的とする。【解決手段】    シート状の被印刷物を印刷テーブルに載置して吸着した状態でスクリーン印刷するのに用いられるスクリーン印刷補助板であって、スクリーン印刷補助板は、印刷テーブルに設けた多孔質吸着板と被印刷物との間に配置した複数の貫通孔を備える薄金属板であって、前記被印刷物はスクリーン印刷補助板を介して印刷テーブルに吸引固定し、被印刷物に作用する吸引力が部位により異なるように、スクリーン印刷補助板の貫通孔による開口面積を異ならせた。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状の被印刷物を印刷テーブルに載置して吸着した状態でスクリーン印刷するのに用いられるスクリーン印刷補助板であって、
スクリーン印刷補助板は、印刷テーブルに設けられた多孔質吸着板と被印刷物との間に配置された複数の貫通孔を備える薄金属板であって、前記被印刷物はスクリーン印刷補助板を介して印刷テーブルに吸引固定され、被印刷物に作用する吸引力が部位により異なるように、スクリーン印刷補助板の貫通孔による開口面積を異ならせたことを特徴とするスクリーン印刷補助板。
【請求項２】
被印刷物がグリーンシートであり、スクリーン印刷補助板と被印刷物との間には、前記被印刷物を支持する樹脂フィルムを備えたことを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷補助板。
【請求項３】
前記開口面積は、スクリーン印刷補助板の中央側よりも被印刷物の縁部に対応する外縁側で大きいことを特徴とする請求項１又は２に記載のスクリーン印刷補助板。
【請求項４】
スクリーン印刷補助板の外縁側に中央側よりも大きい開口面積を有する開口部を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のスクリーン印刷補助板。
【請求項５】
被印刷物には複数の貫通孔が形成されており、被印刷物の貫通孔に対応するスクリーン印刷補助板の部位では、吸引のための貫通孔を有さない、若しくは、吸引のための貫通孔がシール材にて目止めされたことを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載のスクリーン印刷補助板。
【請求項６】
シート状の被印刷物を載置して吸着する印刷テーブルと、印刷テーブルに設けられた多孔質吸着板と被印刷物との間に配置された複数の貫通孔を備える薄金属板で形成されたスクリーン印刷補助板と、多孔質吸着板とスクリーン印刷補助板を介して被印刷物を印刷テーブルに吸引固定するための吸引手段とを備え、前記スクリーン印刷補助板として請求項１乃至５のいずれかに記載のスクリーン印刷補助板を用いることを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項７】
印刷テーブルの天面に対して、スクリーン印刷補助板の厚みの分、多孔質吸着板はその上面が落ち込む様に段差もって構成されることを特徴とする請求項６に記載のスクリーン印刷機。
【請求項８】
前記スクリーン印刷補助板は磁性体金属板からなり、印刷テーブルに埋設された磁石により、非吸着動作時にスクリーン印刷補助板を印刷テーブルに着脱自在に固定させたことを特徴とする請求項６に記載のスクリーン印刷機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スクリーン印刷用の治具であるスクリーン印刷補助板とこれを用いたスクリーン印刷機に関し、より詳細には、スクリーン印刷時にセラミックグリーンシートや樹脂フィルムなどシート状の被印刷物へ作用する吸引力を部位により異ならせるための薄金属板であるスクリーン印刷補助板に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のスクリーン印刷機としては、特許文献１に開示された図９に示すようなものが知られている。スクリーン印刷機の構造を図９に示した概略構成図を用いて説明する。
このスクリーン印刷機は、印刷テーブル５０上で被印刷物１０を印刷するために、印刷テーブル５０に多孔質吸着盤２と、多孔質吸着盤２にて真空ポンプ７０により被印刷物１０を吸引固定する真空排気部６７とを備える。多孔質吸着盤２はステンレスや真鍮の焼結金属で構成され板状に加工されており、その主面が印刷テーブル５０と同一平面になるように取り付けられ、印刷テーブル５０には被印刷物１０が載置され、真空ポンプ７０による減圧吸引にて、配管６０、真空排気部６７を介して支持台５５の内側の気室６５が減圧され、多孔質吸着盤２を介して被印刷物１０の全面が吸着固定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平０６−７１８５４号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来のスクリーン印刷機では多孔質吸着盤２によって被印刷物に吸引力がむらなく均一に作用する。このため被印刷物１０が薄い場合でも均一に吸引されるので、スクリーン印刷するスクリーン版１５とスキージ２０によってインキ２５を被印刷物１０に印刷しても、インキの粘着力に負けて被印刷物１０がスクリーン版１５に貼着し、印刷テーブル５０より剥離、位置ずれ、皴、印刷パターンの滲みや掠れといった不具合が生じない高品質で安定した印刷が可能であるとしている。
【０００５】
しかしながら従来のスクリーン印刷機では、電子部品の製造において前記不具合を十分に解消し得ない場合があった。積層セラミックコンデンサや積層インダクタ等の電子部品では、より一層の小型化・高容量化・低抵抗化が進められている。積層セラミックコンデンサを小型化・高容量化するために、コンデンサ電極を構成する内部電極と絶縁体層を薄層化し交互に多層化する。また積層インダクタを小型化・低抵抗化するために、コイルを構成する内部電極を厚くして絶縁体層と交互に多層化する。
【０００６】
しかしながら積層構造を採る電子部品では、絶縁体層と内部電極が重なる部分と、絶縁体層のみが重なる部分が形成され、内部電極が存在する部分と、そうでない部分との間で段差を生じ、変形や層間のデラミネーションなどが生じる場合があった。
この様な問題に対して、図１２及び図１３に示すように絶縁体層を構成するグリーンシート（被印刷物）１０に内部電極パターン１００を形成した後、内部電極パターン１００が形成されていない部分に段差吸収層７０を形成して平坦化し、積層して多層化することが行なわれる。グリーンシート１０を形成するためのセラミック基材は、アルミナや、窒化アルミニウムや、低温焼成セラミック等が良く知られている。
【０００７】
段差吸収層７０の形成には電極段差吸収用印刷ペースト（インキ）２５が用いられ、有機バインダを溶剤に溶解させた有機ビヒクル中にソフトフェライトや誘電体などのセラミック粉末を分散させたものが用いられ、印刷パターンの精度やグリーンシート１０との接着性を向上するように、有機バインダとしてポリビニルブチラールを含むなどするが、この様な電極段差吸収用印刷ペーストは粘度が高く、糸引き現象が生じ易いため、スクリーン版の被印刷物からの版離れ性が悪い。このためグリーンシートがスクリーン版の裏面に貼着し多孔質吸着盤から剥離してしまい、印刷できないと言った問題がある。
【０００８】
スクリーン版１５の開口部を通過した電極段差吸収用印刷ペースト２５はグリーンシート１０上に供給される。この時、電極段差吸収用印刷ペースト２５は、前記開口部とほぼ同じ平面寸法と、スクリーン版とほぼ同じ厚さ（即ち、開口部とほぼ同じ高さ）の段差吸収層７０を構成する。
電極段差吸収用印刷ペースト２５の印刷では、電極段差吸収用印刷ペースト２５とスクリーン版１５の開口部やグリーンシート１０との密着力が影響し、版離れ性が悪いため、ペーストの改良によって粘度を低減し、糸引き現象を解消するように取り組まれているが現状十分では無い。
【０００９】
他の方法として、スクリーン版１５とグリーンシート１０との間隔を大きくして、スクリーン版１５に作用する張力を大きくして版離れ性を改善することが行なわれるが、版の裏面（グリーンシート１０側）に電極段差吸収用印刷ペーストが回り込み易くなり、段差吸収層が滲んで内部電極パターンを覆い、他の層に形成された内部電極パターンとの電気的接続を阻害する場合があった。またスキージ圧も高くせざるを得ないため、グリーンシートや内部電極パターンに変形を生じさせる問題もある。
また高張力タイプのスクリーン版を用いればグリーンシートとの間隔を変えることなく印刷可能となり、段差吸収層の滲みなどの問題は低減されるが、スキージ圧も高くせざるを得ないため、間隔を大きくする場合と同様の問題がある。
また電極段差吸収用印刷ペーストとスクリーン版の開口部との密着力が低減する訳では無いので、グリーンシートの吸引力が前記密着力に負けると、グリーンシートが多孔質吸着盤から剥離してしまうという課題が残される。
【００１０】
吸引手段として大型の真空ポンプやブロアーを用いることでグリーンシートの吸引力を上げることは可能であるが、生産装置が無用に大型化し、製造コストも上昇するので好ましくは無い。
このため段差吸収層の形成は、スクリーン印刷機のスキージの速度を遅くして行なうことで、グリーンシートとスクリーン版との版離れが十分に行なわれるようにしなければならず、電子部品の生産性を著しく低下させていた。
【００１１】
本発明は、上記従来の問題を解決するためになされたものであり、印刷速度を早くしても、被印刷物がスクリーン版の裏面に貼着し多孔質吸着盤から剥離してしまうのを防ぎ、段差吸収層の形成を容易とするスクリーン印刷補助板、およびこれを用いたスクリーン印刷機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、シート状の被印刷物を印刷テーブルに載置して吸着した状態でスクリーン印刷するのに用いられるスクリーン印刷補助板であって、スクリーン印刷補助板は、印刷テーブルに設けられた多孔質吸着板と被印刷物との間に配置された複数の貫通孔を備える薄金属板であって、前記被印刷物はスクリーン印刷補助板を介して印刷テーブルに吸引固定され、被印刷物に作用する吸引力が部位により異なるように、スクリーン印刷補助板の貫通孔による開口面積を異ならせたことを特徴とするスクリーン印刷補助板である。
【００１３】
スクリーン印刷補助板と被印刷物との間には、前記被印刷物を支持する樹脂フィルムを備えるのが好ましい。樹脂フィルムがスクリーン印刷補助板に吸着されることで、貫通孔による被印刷物の撓みなどの変形や破れを防ぐことが出来る。なお、被印刷物を支持する樹脂フィルムは、ドクターブレード法等の公知のシート成形に用いられるものであり、グリーンシートを支持する塗こうフィルムであって、グリーンシートと一体の状態で供せられるものである。
【００１４】
本発明者等は、被印刷物がスクリーン版の裏面に貼着し多孔質吸着盤から剥離してしまう現象を再現しながら詳密に検討したところ、被印刷物の外縁部で僅かに多孔質吸着盤から剥離することで空気が漏れ、多孔質吸着盤から被印刷物へ与えられる吸引力が減じられて被印刷物が剥離することが判明した。
更に幾種類のスクリーン版を用いて確認したところ、開口部の場所、形状等の影響は有るが、スクリーン版の中央側よりも被印刷物の縁部に対応する外縁側で初期剥離が生じることが判明した。従って前記開口面積は、スクリーン印刷補助板の中央側よりも被印刷物の縁部に対応する外縁側で大きくするのが好ましい。
【００１５】
前記外縁側の開口面積が大なる領域を被印刷物の縁部に対応する全周に設けても良いし、外縁側の一部にのみ開口面積が大なる領域を設けても良い。スクリーン印刷補助板の中央側の一部にも選択的に開口面積が大なる領域を設けて被印刷物に対する吸着力を上げても良いが、相対的に外縁側で大きな吸引力が発揮される様にする。
【００１６】
また被印刷物には複数の貫通孔が形成されている場合がある。被印刷物の貫通孔とスクリーン印刷補助板の貫通孔とが重なると、その部分で空気の漏れが生じてしまい吸着力の低下を招く。そこで、被印刷物の貫通孔に対応するスクリーン印刷補助板の部位を、吸引のための貫通孔を有さない構成、若しくは、吸引のための貫通孔が感光乳剤等をシール材として用い、目止めされた構成とするのが好ましい。
【００１７】
第２の発明は、シート状の被印刷物を載置して吸着する印刷テーブルと、印刷テーブルに設けられた多孔質吸着板と被印刷物との間に配置された複数の貫通孔を備える薄金属板で形成されたスクリーン印刷補助板と、多孔質吸着板とスクリーン印刷補助板を介して被印刷物を印刷テーブルに吸引固定するための吸引手段として真空ポンプまたはブロアーとを備え、前記スクリーン印刷補助板として、前記スクリーン印刷補助板を用いることを特徴とするスクリーン印刷機である。
【００１８】
印刷テーブルの多孔質吸着板を配置する窪みをスクリーン印刷補助板の厚みの分深くし、印刷テーブルの天面に対して、多孔質吸着板の上面が落ち込む様に段差もって構成すれば、スクリーン印刷補助板を配置した印刷テーブルの天面を凹凸無く一面に構成できるので、スクリーン版の破れなど、不具合の発生を低減できるので好ましい。またスクリーン印刷補助板はその外縁と印刷テーブルの窪みの内周とで位置決めすることが出来好ましい。
【００１９】
また、スクリーン印刷補助板を磁性体金属板から構成し、印刷テーブルに埋設された磁石により、非吸着動作時にスクリーン印刷補助板を印刷テーブルに着脱自在に固定させる構造としても良い。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、印刷速度を早くしても、グリーンシートがスクリーン版の裏面に貼着し多孔質吸着盤から剥離してしまうのを防ぎ、段差吸収層の形成を容易とするスクリーン印刷補助板、およびこれを用いたスクリーン印刷機を提供することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施例に係るスクリーン印刷補助板の平面図である。
【図２】本発明の一実施例に係るスクリーン印刷補助板のＡ部拡大図である。
【図３】本発明の他の実施例に係るスクリーン印刷補助板のＡ部拡大図である。
【図４】本発明の一実施例に係るスクリーン印刷補助板を用いたスクリーン印刷機の断面図である。
【図５】本発明の一実施例に係るスクリーン印刷補助板を用いたスクリーン印刷機の部分分解斜視図である。
【図６】本発明の他の実施例に係るスクリーン印刷補助板の平面図である。
【図７】本発明の他の実施例に係るスクリーン印刷補助板の平面図である。
【図８】本発明の他の実施例に係るスクリーン印刷補助板の平面図である。
【図９】スクリーン印刷補助板を用いない従来のスクリーン印刷機の断面図である。
【図１０】シート状の被印刷物における内部電極を形成する領域を示す平面図である。
【図１１】シート状の被印刷物における内部電極の形成一例を示す拡大平面図である。
【図１２】シート状の被印刷物における内部電極の形成一例を示す断面図である。
【図１３】シート状の被印刷物における内部電極と段差吸収層の形成一例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
図を用いて本発明について詳細に説明する。図１はスクリーン印刷補助板の平面図である。スクリーン印刷補助板１は薄金属板であって、防錆や加工容易、また価格等の観点からステンレス材を用いるのが好ましく、厚みは１ｍｍ以下であり、多孔質吸着板による吸引に対して容易に変形しない厚みであるものが好ましい。ステンレス材としては非磁性で安価なＳＵＳ３０４や強磁性体のＳＵＳ４３０等の金属板で構成されているのが好ましい。現在、工業的に供給され、容易に入手可能なステンレス材の厚みは０．０３ｍｍ程度の薄さのものまであるが、吸着により変形が生じるため、０．０５ｍｍ以上、好ましくは０．１ｍｍ以上の厚みとするのが好ましい。外形は多孔質吸着板の外形よりも大きく、それを覆う程度以上の大きさで形成される。
【００２３】
スクリーン印刷補助板１は、被印刷物の縁部に対応する部位を含み、その縁部を越えない内側の領域に多数の貫通孔が形成される。前記縁部近傍の領域５ａには相対的に開口面積が大きな貫通孔が形成され、更にその内側の領域５ｂには開口面積が小さな貫通孔が形成されている。貫通孔はレーザ加工、打ち抜き金型や、ＮＣマシン、放電加工、エッチングなどの公知の穴あけ方法により形成され、円形状、多角形状など形状等は特に限定はされないが、開口面積は、吸引時や印刷時に被印刷物に変形が生じない程度に限定される。好ましくは直径が０．５ｍｍ以下の円形状あるいは、前記円に内接する４角形以上の多角形であるのが好ましい。
【００２４】
図１に示したスクリーン印刷補助板では、被印刷物の外縁の全周に亘って開口面積が大きな領域５ａが形成される。図２にスクリーン印刷補助板の領域５ａ，５ｂを含むＡ部の拡大平面図を示す。領域５ａには６角形の貫通孔が稠密状に多数配置され、領域５ｂには円形状で相対的に小開口の貫通孔が多数配置され、単位面積当たりの開口面積を異ならせ、被印刷物の外縁部において相対的に大きな吸引力を発揮させている。
【００２５】
図３はスクリーン印刷補助板の領域５ａ，５ｂの他の態様を示す。領域５ａには６角形の貫通孔が細密状に多数配置されるが、貫通孔の大きさを幾つかに異ならせている。この様に領域５ａに形成される貫通孔一つ当たりの開口面積は同じでなくても良く、領域５ｂ形成される貫通孔もまた同様である。この場合もまた、単位面積当たりの開口面積を異ならせて、被印刷物の外縁部において相対的に大きな吸引力を発揮させている。
【００２６】
図６〜８はスクリーン印刷補助板の他の態様を示す平面図である。図６に示したスクリーン印刷補助板では、矩形の被印刷物の角部領域に開口面積が大きな領域５ａを形成する例であり、図７、図８は矩形の被印刷物の一辺側、あるいは二辺側に領域５ａを形成する例である。先にも述べたが、スクリーン版の開口の形状や場所などの条件によって、グリーンシートがスクリーン版に貼着し易い部位が異なるため、この部位にのみ、あるいはその部位の近傍にのみ領域５ａを形成しても良い。
【００２７】
図４及び図５を用いて本発明のスクリーン印刷補助板を用いたスクリーン印刷機について説明する。図４はスクリーン印刷補助板を含むスクリーン印刷機の断面図であり、図５はスクリーン印刷補助板を用いたスクリーン印刷機の部分分解斜視図である。
図４に示す様にスクリーン印刷補助板を用いたスクリーン印刷機の基本的な構成は、印刷テーブル５０に設けられた多孔質吸着板２と、被印刷物１０との間に配置された複数の貫通孔を備える薄金属板で構成されたスクリーン印刷補助板１を備える以外は、図９で示した従来のスクリーン印刷機の基本的な構成と同じである。
【００２８】
スクリーン印刷機の支持台５５の内側は空洞に形成され、印刷テーブル５０と多孔質吸着板２に囲まれた領域で気室６５を構成する。気室６５は真空排気部６７と配管６０、真空排気部６７を介して真空ポンプ７０と接続されており、真空ポンプ７０により気室６５には負圧・正圧を作用させることができる。
【００２９】
制御装置８０からの信号に基づいて真空ポンプ７０により気室６５に負圧を作用させることにより、印刷テーブル５０に載置された多孔質吸着盤２とスクリーン印刷補助板１を介して、被印刷物１０の全面が吸引固定され、印刷テーブル５０上に保持される。なお、被印刷物１０がそれを支持する樹脂フィルムを備える場合には、樹脂フィルムを吸着して被印刷物１０を固定する。
次いで、この状態でスクリーン版１５とスキージ２０により被印刷物１０にインキ２５を印刷する。印刷終了後、制御装置８０からの信号に基づいて、真空ポンプ７０により気室６５に対する負圧解除し、正圧を作用させて、印刷テーブル５０への被印刷物１０の吸着を解除する。
【００３０】
スクリーン印刷機にスクリーン印刷補助板１を用いることで、容易に被印刷物１０に作用する吸引力を部位により異ならせることが出来る。なお多孔質吸着盤２に換えて、スクリーン印刷補助板１を直接印刷テーブル５０に取り付けすることも考えられるが、変形を防ぐように強度の確保が必要であって、金属板の厚みを厚くすることが必要となり、貫通孔の形成が難しくなる。またスクリーン版を換える度にスクリーン印刷機の印刷テーブル５０に取り付けることが必要となり、繁雑であるとともに、取り付け状態によっては不要な空気漏れが生じる場合があり好ましくは無い。
【実施例】
【００３１】
本発明の一実施の形態に係るスクリーン印刷補助板を用いて被印刷物にインクを印刷し、被印刷物がスクリーン版の裏面に貼着し多孔質吸着盤から剥離してしまう不具合の発生有無を確認した。なお本実施形態では、電子部品として積層インダクタを例示して説明する。
【００３２】
用いたスクリーン印刷補助板は図１と図２に示したものと同様であって、スクリーン印刷補助板の領域５ａは矩形の被印刷物１０の外縁全周に対応して設けられており、６角形の貫通孔が形成されている。外形が３００ｍｍ×３００ｍｍの正方形で、厚みが０．１ｍｍのＳＵＳ３０４材で形成され、貫通孔の対角幅寸法は０．２ｍｍであり、貫通孔間の中心間隔が０．２２５ｍｍであって稠密状に連続して配置され、単位面積あたりの開口率は６１．７％としている。なお領域５ａはスクリーン印刷補助板の内側に位置し、外寸法は２００ｍｍ×１８０ｍｍに形成され、その外側には吸着用の貫通孔は形成されていない。
【００３３】
領域５ａの内側には、相対的に開口率が低い領域５ｂが形成されている。外寸法は１９０ｍｍ×１７０ｍｍに形成され、直径が５０μｍの複数の貫通孔が均一に配置され形成されており、単位面積あたりの開口率は１１．１％としている。
【００３４】
積層インダクタは、フェライト層とコイルを構成する内部電極パターンとが交互に積層された構成を有する。図１０は積層インダクタを構成するフェライト層の一例を示すグリーンシートの平面図であり、図１１はその一部拡大平面図であり、積層インダクタを構成する内部電極パターンの一例を示している。
フェライト層を構成するグリーンシートは、Ｌｉ系フェライト、Ｎｉ系フェライト、Ｍｇ系フェライト等のソフトフェライト粉末と、バインダ、溶媒を混合したスラリーを、ドクターブレード法より樹脂フィルム（キャリアフィルムとも呼ぶ）上に塗こうして、乾燥後、０．５〜２００μｍ程度の厚みで形成される。樹脂フィルムは、剥離性を改善するためにシリコーンなどがコーティングされたＰＥＴフィルムなどが用いられる。本実施例ではグリーンシートの厚みを２０μｍとし、樹脂フィルムの厚みを５０μｍとしている。
【００３５】
グリーンシートの外形はスクリーン印刷補助板の領域５ａの外寸法と等しく、樹脂フィルムとともに２００ｍｍ×１８０ｍｍに裁断形成されている。図１０にて示す格子にて区切られた領域Ｂにはコイルを構成するリング状の内部電極パターン１００が導体ペーストにより印刷形成されている。導体ペーストに用いられる導体はＡｇやＣｕ等の低抵抗導体が用いられ、乾燥後、厚みが５０μｍ、幅２００μｍの帯状にラインパターンとしている。図示した内部電極パターン１００の両端１１０ａ，１１０ｂは自由端として形成され、一端１１０ａ側には他の層との接続の為のビアホール６０が形成されている。ビアホール６０には内部電極パターン１００を構成する導体ペーストが充填されるが、その中央部が開口状態となる場合もあるので、ビアホール６０と対応するスクリーン印刷補助板の部位に設けられた貫通孔には、乳剤により目止めがされている。なお前記内部電極パターンの寸法形状は様々であって、特に限定されるものでは無い。
【００３６】
内部電極パターン１００が形成される格子にて区切られた領域は、グリーンシートの外縁よりも内側に位置し、その外寸法はスクリーン印刷補助板の領域５ｂと略等しい。それよりも外側の領域には、変形対策のための電極パターンやグリーンシートを識別するための電極パターンが、内部電極パターン１００を形成するのに合わせて、同時に印刷形成されている。
【００３７】
このグリーンシートをスクリーン印刷補助板１、グリーンシート１０の順に重ねて、真空ポンプ７０により印刷テーブル５０上に吸着固定し、グリーンシート１の内部電極パターン１００、及び他の電極パターンを除く余白領域に、乾燥後、ほぼ内部電極パターンの厚みと同じとなるように、電極段差吸収用印刷ペーストにて段差吸収層７０を印刷形成した。なお電極段差吸収用印刷ペーストは、グリーンシートに用いたものと同じ組成のフェライト粉末と有機バインダとしてポリビニルブチラールを含み、粘度が２００〜３００Ｐａ・ｓのものを用いた。印刷条件は印圧が０．４５ＭＰａ、背圧が０．２０ＭＰａ、グリーンシート表面とスクリーン版裏面との間隔を４．０ｍｍとしている。
比較例としてスクリーン印刷補助板１を用いず、他は実施例と同じ条件にて印刷した。それらを合わせて、結果を表１に纏める。
【００３８】
【表１】
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【００３９】
比較例の条件では、スキージ速度６０ｍｍ／ｓｅｃではグリーンシートとスクリーン版との貼着は生じなかったが、スキージ速度を速めると貼着が生じた。スキージ速度１００ｍｍ／ｓｅｃでは、図１０で示すグリーンシート右上の１０％程度の領域で、スキージ速度１２０ｍｍ／ｓｅｃでは、グリーンシートの右下を除く６０％程度の領域で貼着が生じた。
一方実施例ではキージ速度１２０ｍｍ／ｓｅｃまで貼着は無く、スキージ速度１４０ｍｍ／ｓｅｃでグリーンシート右上の５％程度の領域で貼着が生じた。
【００４０】
次いでスクリーン版を換えるとともに、このスクリーン版の開口にあわせたスクリーン印刷補助板を用いて、積層インダクタの他の層を構成するグリーンシートに、電極段差吸収用印刷ペーストにて段差吸収層を印刷形成した。この場合もまた、スキージ速度１２０ｍｍ／ｓｅｃまで貼着は無く、スキージ速度１４０ｍｍ／ｓｅｃでグリーンシート右上の数％程度の領域で貼着が生じた。
【００４１】
スキージ速度１２０ｍｍ／ｓｅｃで段差吸収層を印刷形成した実施例のグリーンシートを積層し、所定の形状にて切断し後、９２０℃で焼結して積層インダクタを作成した。同様に、スキージ速度６０ｍｍ／ｓｅｃで段差吸収層を印刷形成した比較例のグリーンシートを積層し積層インダクタを作成した。得られたそれぞれの積層インダクタについて、電気的特性、外観状態、積層方法切断面の観察を行なったところ、インダクタンス値、直流抵抗等の電気的特性に差異は無く、外観状態や内部状態も、割れやクラック無く、共に良好であった。実施例によれば、スキージ速度を速めてもスクリーン版に被印刷物が貼着することが無く、得られる電子部品の特性にも影響しないことがわかった。スクリーン印刷補助板を用いることで、従来よりもスキージ速度を２倍化することが出来、単純には段差吸収層の形成において、生産性を２倍化することが出来る。
【符号の説明】
【００４２】
１  スクリーン印刷補助板
２  多孔質吸着盤
１０  被印刷物
１５  スクリーン版
２０  スキージ
２５  インキ
５０  印刷テーブル
５５  支持台
６０  配管
６５  気室
６７  真空排気部
７０  真空ポンプ
１００  内部電極パターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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