(57)【要約】      （修正有）【課題】天面に付着した塵埃を除去することができると共に、適切なエアーの流れを効率良く作ることができる。【解決手段】チャンバールーム２６内に、クリーンエアーを供給するエアー供給機構と、一端がエアー供給機構に連通し、他端がチャンバールーム２６内に開放された送気口手段と、チャンバールーム２６の下部に形成した排気口６１から、チャンバールーム２６内のエアーを排気するエアー排気機構３０と、を備え、送気口手段は、チャンバールーム２６の天面にクリーンエアーを吹き付ける複数の横送気口ユニット２８を有している。【選択図】図４
2011002170.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバールーム内に、クリーンエアーを供給するエアー供給手段と、
一端が前記エアー供給手段に連通し、他端が前記チャンバールーム内に開放された送気口手段と、
前記チャンバールームの下部に形成した排気口から、前記チャンバールーム内のエアーを排気するエアー排気手段と、を備え、
前記送気口手段は、前記チャンバールームの天面にクリーンエアーを吹き付ける複数の送気口ユニットを有していることを特徴とするチャンバー装置。
【請求項２】
複数の前記送気口ユニットは、吹き出したクリーンエアーが相互に内向きの流れとなるように対向位置した、２つの前記送気口ユニットで構成されていることを特徴とする請求項１に記載のチャンバー装置。
【請求項３】
前記各送気口ユニットは、
前記エアー供給手段に連通するエアーマニホールドと、
前記エアーマニホールドに連通する複数の吹出し口と、を有していることを特徴とする請求項１または２に記載のチャンバー装置。
【請求項４】
前記エアーマニホールドは、水平方向に延在し、
複数の前記吹出し口は、前記エアーマニホールドに沿って水平方向に列設されていることを特徴とする請求項３に記載のチャンバー装置。
【請求項５】
前記各吹出し口は、クリーンエアーの吹出し方向を可変可能に構成されていることを特徴とする請求項３または４に記載のチャンバー装置。
【請求項６】
前記各吹出し口は、スリット状の形状を有していることを特徴とする請求項３ないし５のいずれかに記載のチャンバー装置。
【請求項７】
前記各送気口ユニットは、
前記エアー供給手段に連通するエアーマニホールドと、
前記エアーマニホールドに連通するスリット状の吹出し口と、を有していることを特徴とする請求項１または２に記載のチャンバー装置。
【請求項８】
前記チャンバールームは、直方体形状に形成され、
複数の前記送気口ユニットは、前記チャンバールームの周側壁と天壁とで構成される４つ横方向隅部のうちの、少なくとも平行に位置する２つの前記横方向隅部に配設された、少なくとも２つの前記送気口ユニットで構成されていることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載のチャンバー装置。
【請求項９】
前記エアー排気手段は、
前記チャンバールームにおける前記床部直下の下部空間に配設され、
エアー中の異物を除去する排気フィルターを介して、前記チャンバールーム内のエアーおよび前記下部空間内のエアーを排気することを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載のチャンバー装置。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれかに記載のチャンバー装置と、
前記チャンバールーム内に配設された天吊り型のロボットと、を備えたことを特徴とするロボットセル。
【請求項１１】
チャンバールームの側部からクリーンエアーの送気を行うと共に、前記チャンバールームの下部から排気を行って、前記チャンバールーム内の気流をダウンフローさせながら、前記チャンバールーム内を換気するチャンバールームの換気方法であって、
一部の前記クリーンエアーを、前記チャンバールームの天面に且つ相互に内向きの流れとなるように吹き付けることを特徴とするチャンバールームの換気方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンエアーを供給しつつエアーを排出して、チャンバールームを所定の空気清浄度に維持するチャンバー装置、これを備えたロボットセルおよびチャンバールームの換気方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のチャンバー装置ではないが、クリーンエアーを上方から供給するエアー供給手段と、エアーを下方から排出するエアー排出手段と、を備えた製造装置が知られている（特許文献１参照）。この製造装置は、エアーをダウンフローさせることによって、製造工程で発生する塵埃を下方へ排除する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭６１−１２５１２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような構成を上記チャンバー装置に適用すると、チャンバールームの天壁部分（天井部分）にエアー供給手段（ファン・フィルターユニット）を設けることになる。そのため、他の用途に天壁部分を使用することができず、天壁部分に他の製造機器等を配設することができないという問題があった。特に、チャンバールーム内でエアーが滞留する空間を作らないためには、天壁全域にエアー供給手段を設ける必要がある。ゆえに、他の用途に天壁全域を使用することができず、天壁全域において他の製造機器等を配設することができないという問題がある。これに対し、天壁部分を避けてエアー供給手段の送気口を設けると、天壁の内面（天面）に付着した塵埃を除去することができないことが想定される。かかる場合、天面に付着していた塵埃が浮遊し、チャンバールーム内を汚染してしまうという問題があった。
【０００５】
本発明は、天面に付着した塵埃を除去することができると共に、適切なエアーの流れを効率良く作ることができるチャンバー装置、これを備えたロボットセルおよびチャンバールームの換気方法を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のチャンバー装置は、チャンバールーム内に、クリーンエアーを供給するエアー供給手段と、一端がエアー供給手段に連通し、他端がチャンバールーム内に開放された送気口手段と、チャンバールームの下部に形成した排気口から、チャンバールーム内のエアーを排気するエアー排気手段と、を備え、送気口手段は、チャンバールームの天面にクリーンエアーを吹き付ける複数の送気口ユニットを有していることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、チャンバールームの天面にクリーンエアーを吹き付けることにより、天面に付着した塵埃を除去することができる。また、天面に吹き付けたクリーンエアーが下降して、チャンバールームの下部に形成した排気口から排気されるため、チャンバールーム内を流れるダウンフローを形成することができる。このように、必ずしも天壁部分（天井部分）に送気口手段を設ける必要がない構成によって、ダウンフローを形成することができるため、天壁部分において使用可能スペースを確保することができる。
【０００８】
この場合、複数の送気口ユニットは、吹き出したクリーンエアーが相互に内向きの流れとなるように対向位置した、２つの送気口ユニットで構成されていることが好ましい。
【０００９】
天面にクリーンエアーを吹き付けるように、送気口ユニットからクリーンエアーを吹き出すと、送気口ユニットに対向する天面の隅部に届かずに、エアーが下降してしまう。すなわち、エアーが滞留する空間が生じてしまう。
上記構成によれば、対向した２つの送気口ユニットによって、相互に内向きの流れとなるようにクリーンエアーを吹き出すため、エアーが滞留する空間が生ずることがなく、且つ中間位置に達したエアーを無理なく下降させることができる。ゆえに、チャンバールーム内を所定の空気清浄度に維持することができる。
【００１０】
上記のチャンバー装置において、各送気口ユニットは、エアー供給手段に連通するエアーマニホールドと、エアーマニホールドに連通する複数の吹出し口と、を有していることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、複数の吹出し口から均一にエアーを吹き出すことができ、良好なエアーの流れを形成することができる。また、各送気口ユニットを簡単な構成にすることができる。
【００１２】
この場合、エアーマニホールドは、水平方向に延在し、複数の吹出し口は、エアーマニホールドに沿って水平方向に列設されていることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、複数の吹出し口を水平方向に列設することによって、均一に且つ天壁の水平方向全域に、クリーンエアーを吹き付けることができる。そのため、更に、天面に付着した異物を除去することができる。
【００１４】
この場合、各吹出し口は、クリーンエアーの吹出し方向を可変可能に構成されていることが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、各吹出し口の吹出し方向を調整することができるため、各種条件に合わせた適切なエアーの流れを発生することができる。
【００１６】
この場合、各吹出し口は、スリット状の形状を有していることが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、スリット状の吹出し口を用いることによって、１つの吹出し口で天面の広い範囲にクリーンエアーを拭き付けることができる。
【００１８】
上記のチャンバー装置において、各送気口ユニットは、エアー供給手段に連通するエアーマニホールドと、エアーマニホールドに連通するスリット状の吹出し口と、を有していることが好ましい。
【００１９】
この構成によれば、各送気口ユニットを簡単な構成にすることができると共に、均一に吹き出されるエアーにより天壁の水平方向全域に、クリーンエアーを吹き付けることができる。そのため、更に、天面に付着した塵埃を除去することができる。
【００２０】
この場合、チャンバールームは、直方体形状に形成され、複数の送気口ユニットは、チャンバールームの周側壁と天壁とで構成される４つ横方向隅部のうちの、少なくとも平行に位置する２つの横方向隅部に配設された、少なくとも２つの送気口ユニットで構成されていることが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、直方体形状のチャンバールームにおいて、天壁と周側壁で構成された横方向隅部に、各送気口ユニットを配設することにより、周側壁部分にも使用可能スペースを確保することができる。また、横方向隅部に、各送気口ユニットを配設することにより、エアーが滞留しやすい隅部からクリーンエアーを吹き出すため、更に、エアーが滞留する空間を作らない。なお、「４つ横方向隅部」とは、それぞれ天面の４辺に当たる部分である。
【００２２】
この場合、エアー排気手段は、チャンバールームにおける床部直下の下部空間に配設され、エアー中の塵埃を除去する排気フィルターを介して、チャンバールーム内のエアーおよび下部空間内のエアーを排気することが好ましい。
【００２３】
この構成によれば、排気フィルターを設けることで、チャンバールーム内の異物（塵埃）が含有したエアーを清浄化することができ、クリーンエアーを外部に排出することができる。すなわち、チャンバー装置の排気エアーによって、外部雰囲気を汚染することがない。また、塵埃等が発生しやすいエアー排気手段の周囲のエアーも換気することができる。
【００２４】
本発明のロボットセルは、上記のチャンバー装置と、チャンバールーム内に配設された天吊り型のロボットと、を備えたことを特徴とする。
【００２５】
この構成によれば、上記のチャンバー装置を用いることにより、天吊り型ロボットを天壁に配設することができると共に、天面に付着した塵埃を除去することができる。すなわち、チャンバー装置の機能を損なうことなく、天吊り型のロボットを設置することができる。
【００２６】
本発明のチャンバールームの換気方法は、チャンバールームの側部からクリーンエアーの送気を行うと共に、チャンバールームの下部から排気を行って、チャンバールーム内の気流をダウンフローさせながら、チャンバールーム内を換気するチャンバールームの換気方法であって、一部のクリーンエアーを、チャンバールームの天面に且つ相互に内向きの流れとなるように吹き付けることを特徴とする。
【００２７】
この構成によれば、チャンバールームの天面に一部のクリーンエアーを吹き付けることにより、天面に付着した塵埃を除去することができる。また、天面に吹き付けたクリーンエアーが下降して、チャンバールームの下部から排気されるため、チャンバールーム内を流れるダウンフローを形成することができる。このように、必ずしも天壁部分（天井部分）に送気口手段を設ける必要がない構成によって、ダウンフローを形成することができるため、天壁部分において使用可能スペースを確保することができる。さらに、相互に内向きの流れとなるように、クリーンエアーを拭き出すため、エアーが滞留する空間が生ずることなく、且つ中間位置に達したエアーを無理なく下降させることができる。ゆえに、チャンバールーム内を所定の空気清浄度に維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の一実施形態に係るロボットセルの側面図である。
【図２】ロボットセルの配管系を示した模式図である。
【図３】横送気口ユニットおよび縦送気口ユニットを示したロボットセルの断面図である。
【図４】ロボットセル内のエアーの流れを示した説明図である。
【図５】横送気口ユニットの変形例（ａ）およびその配置構成（ｂ）を示した模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、添付した図面を参照して、本発明のチャンバー装置を適用したロボットセルについて説明する。このロボットセルは、天吊り型の産業用ロボットを収容し、チャンバールーム内の作業エリアにおいて、ワークに対し各種作業を行うものである。特に、このロボットセルは、チャンバールームの天面に付着した塵埃を除去することができると共に、チャンバールーム内に適切なエアーの流れを、効率良く作ることができる。
【００３０】
図１および図２に示すように、ロボットセル１は、全体として直方体の形状を有しており、上下中間位置に配設した支持板２によって上部空間３と下部空間４とに分断されている。上部空間３は、チャンバールーム２６によって覆われており、産業用ロボット１２の作業エリアとして用いられる。一方、下部空間４は、下部外壁５によって覆われており、後述する制御装置１３等を収納する収納エリアとして用いられる。ロボットセル１は、チャンバールーム２６および下部外壁５によって全体として密閉されている。また、支持板２には、上部空間３と下部空間４とを連通するための複数の連通孔６が形成されている。なお、ロボットセル１は、その内部が外部に対し正圧となるように、エアーの供給量および排気量が制御されている。
【００３１】
ロボットセル１は、チャンバールーム２６を有すると共にチャンバールーム２６内を所定の空気清浄度に維持するチャンバー装置１１と、チャンバールーム２６の天壁に天吊りされた産業用ロボット（ロボット）１２と、チャンバー装置１１および産業用ロボット１２を制御する制御装置１３と、を備えている。なお、ロボットセル１は、これに加えて、チャンバールーム２６や支持板２上に各種製造機器等（ワークをセットしたパレットや作業台等を含む）を配設することによって、ワークの製造装置や組立装置として機能する。
【００３２】
産業用ロボット１２は、天吊り型の水平多関節ロボット（いわゆるスカラーロボット）であり、アームおよびエンドエフェクターを駆動して、各種作業を行う。
【００３３】
チャンバー装置１１は、上部空間３を覆うチャンバールーム２６と、チャンバールーム２６内にクリーンエアーを供給するエアー供給機構（エアー供給手段）２７と、チャンバールーム２６における天壁２６ａと四周壁２６ｂとで構成された隅部（以下、横方向隅部と記載）に横設された２つの横送気口ユニット２８と、チャンバールーム２６の四周壁２６ｂの隅部（以下、縦方向隅部と記載）に縦設された４つの縦送気口ユニット２９と、下部外壁５の側壁に配設されたエアー排気機構（エアー排気手段）３０と、を備えている。
【００３４】
エアー供給機構２７から供給されたクリーンエアーは、各横送気口ユニット２８および各縦送気口ユニット２９からチャンバールーム２６内に供給される。チャンバールーム２６内のエアーは、エアー排気機構３０により、下部空間４を介して、ロボットセル１外部に排気される。なお、請求項にいう送気口ユニットは、横送気口ユニット２８により構成されており、請求項にいう送気口手段は、２つの横送気口ユニット２８により構成されている。
【００３５】
チャンバールーム２６は、直方体形状の枠体にシールを介して天壁２６ａおよび四周壁（周側壁）２６ｂを取り付けて構成されている。四周壁２６ｂは、４枚の側壁で構成され、枠体に対し取り外し可能に構成されている。チャンバールーム２６は、その床部に当たる支持板２を除いて密閉されており、支持板２の複数の連通孔６を介して、床部直下の下部空間４と連通している。
【００３６】
エアー供給機構２７は、圧縮エアーを供給するエアー供給設備３６と、上流端がエアー供給設備３６に接続された主流路３７と、主流路３７を２方に分岐する２本の分岐流路３８と、各分岐流路３８をそれぞれ３方に分岐すると共に、下流端が異なる送気口ユニット２８、２９それぞれに接続した３本の個別流路３９と、を備えている。すなわち、エアー供給設備３６から供給されたエアーは、６方に分岐して、２つの横送気口ユニット２８および４つの縦送気口ユニット２９に供給される。
【００３７】
主流路３７には、エアー供給設備３６側から順に、レギュレーター４５、開閉弁４６およびフィルター４７が介設されている。レギュレーター４５は、制御装置１３からの指令に基づいて、供給されるエアーの圧力を制御する。フィルター４７は、いわゆるＨＥＰＡフィルター (Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ)であり、エアー供給設備３６から供給されたエアーを清浄化（異物除去）して、クリーンエアーを生成する。すなわち、エアー供給設備３６から供給されたエアーは、レギュレーター４５によって、圧力調整がなされると共に、フィルター４７によって、清浄化されてから、各送気口ユニット２８,２９に供給される。なお、各個別流路３９に、制御装置１３に接続された開閉弁をそれぞれ介設し、各送気口ユニット２８、２９へのエアーの供給を個別に制御できるようにしても良い。
【００３８】
図１、図２および図３（ａ）に示すように、２つの横送気口ユニット２８は、天壁２６ａと四周壁２６ｂとで構成された４つ横方向隅部のうち、平行な２つの横方向隅部に配設されている。すなわち、天壁２６ａの前後端の位置もしくは左右端の位置に配設されている。各横送気口ユニット２８は、個別流路３９に接続される横マニホールド（エアーマニホールド）５１と、横マニホールド５１に連通する複数のスリットノズル５２と、を備えている。すなわち、各横送気口ユニット２８は、一端（上流端）がエアー供給機構２７に連通し、他端（下流端）がチャンバールーム２６内に開放されている。
【００３９】
横マニホールド５１は、エアーマニホールドであり、横方向隅部に沿って水平方向に延在している。複数のスリットノズル５２は、横マニホールド５１の延在方向（水平方向）に沿って列設されており、それぞれ横マニホールド５１に連通されている。各スリットノズル５２は、スリット状の吹出し口を有する共に、水平な吹出し方向を有している。すなわち、各スリットノズル５２は、クリーンエアーの一部をチャンバールーム２６の天面（天壁２６ａの内面）に吹き付けるように設けられている。また、２つの横送気口ユニット２８は、対向位置に配置されており、２つの横送気口ユニット２８の各スリットノズル５２が向き合うようになっている。そのため、各スリットノズル５２は、相互に内向きの流れとなるように、クリーンエアーを吹き出す構成となっている。なお、各スリットノズル５２は、フレキシブルボールジョイントによって、吹出し方向が可変可能に構成されている。
【００４０】
図１、図２および図３（ｂ）に示すように、４つの縦送気口ユニット２９は、四周壁２６ｂが構成する４つ縦方向隅部にそれぞれ配設されている。各縦送気口ユニット２９は、個別流路３９に接続される縦マニホールド５３と、縦マニホールド５３に連通する複数のスリットノズル５４と、を備えている。すなわち、各縦送気口ユニット２９は、一端（上流端）がエアー供給機構２７に連通し、他端（下流端）がチャンバールーム２６内に開放されている。
【００４１】
縦マニホールド５３は、エアーマニホールドであり、縦方向隅部に沿って鉛直方向に延在している。複数のスリットノズル５４は、縦マニホールド５３の延在方向（鉛直方向）に沿って列設されており、それぞれ縦マニホールド５３に連通されている。各スリットノズル５４は、スリット状の吹出し口を有すると共に、斜め下向きで且つ、チャンバールーム２６の真ん中を中心とする鉛直軸廻りの円周方向に倣った吹出し方向を有している。すなわち、各スリットノズル５４は、チャンバールーム２６内で鉛直軸廻りの旋廻流を発生するように、クリーンエアーを吹き出す構成となっている。なお、各スリットノズル５４は、フレキシブルボールジョイントによって、吹出し方向が可変可能に構成されている。
【００４２】
図１および図２に示すように、エアー排気機構３０は、下部外壁５の側壁に配設されると共に下部外壁５（下部空間４）の内部と外部とを連通する排気口６１と、排気口６１上に設けられる共に、排気するエアーを清浄化する排気フィルター６２と、同じく排気口６１上に設けられると共に、排気フィルター６２の抵抗に勝って、エアーを排気するファンユニット６３と、を備えている。エアー排気機構３０は、排気口６１からチャンバールーム２６内のエアーおよび下部空間４内のエアーを排気する。なお、排気フィルター６２に対し、ファンユニット６３は、下部空間４の内側（上流側）に配設されている。
【００４３】
図１および図２に示すように、制御装置１３は、産業用ロボット１２を制御するロボットコントローラーを備えている。また、制御装置１３は、その発熱部を冷却するために、発熱部にエアーを吹き付ける冷却ファンユニット６４を有している。なお、冷却ファンユニット６４によって発生したエアーの流れがスムーズに排気されるように、冷却ファンユニット６４による送気方向と、エアー排気機構３０による吸気方向とが、一致するようになっている。
【００４４】
ここで図４を参照して、ロボットセル１内におけるエアーの流れについて説明する。なお、このエアーの流れは、産業用ロボット１２の稼動時において、チャンバー装置１１を駆動することで形成される。図４に示すように、チャンバールーム２６内では、２つの横送気口ユニット２８の各スリットノズル５２および４つの縦送気口ユニット２９の各スリットノズル５４からエアーを同時に吹き出すことで、所定のエアーの流れ（気流）を形成する。具体的には、２つの横送気口ユニット２８の各スリットノズル５２は、相互に内向きの流れとなるように、クリーンエアーを吹き出す。これによって、チャンバールーム２６の天壁２６ａ付近では、クリーンエアーの一部がチャンバールーム２６の天面に吹きつけられると共に、吹き出された相互のクリーンエアーが衝突する。エアー排気機構３０がチャンバールーム２６の下部に設けられているため、吹き出されたエアーは、衝突後にスムーズに降下し、ダウンフローを形成する。
【００４５】
一方、４つの縦送気口ユニット２９の各スリットノズル５４は、鉛直軸廻りの旋廻流を発生するように、クリーンエアーを吹き出す。これによって、天壁２６ａ付近を除くチャンバールーム２６内で鉛直軸廻りの旋廻流が発生する。エアー排気機構３０がチャンバールーム２６の下部に設けられているため、吹き出されるエアーは、旋廻しつつ降下し、旋廻流のダウンフローを形成する。
【００４６】
これらにより、所定のエアーの流れによって支持板２に達したエアーは、連通孔６から下部空間４に供給される。その後、下部空間４のエアーは、エアー排気機構３０によって、排気口６１から排気される。このように、産業用ロボット１２の稼動時において、常時、チャンバールーム２６に対しクリーンエアーの送気と排気とを行って、所定のエアーの流れで、チャンバールーム２６内を換気する。
【００４７】
このように、横マニホールド５１と複数のスリットノズル５２とを備えた横送気口ユニット２８を用いることで、複数のスリットノズル５２から均一にエアーを吹き出すことができ、良好なエアーの流れを形成することができる。また、各横送気口ユニット２８を簡単な構成とすることができる。
【００４８】
また、対向した２つの横送気口ユニット２８によって、相互に内向きの流れとなるようにクリーンエアーを吹き出すことにより、エアーが滞留する空間が生ずることがなく、且つ中間位置に達したエアーを無理なく下降させることができる。ゆえに、チャンバールーム２６内を所定の空気清浄度に維持することができる。
【００４９】
さらに、複数のスリットノズル５２を水平方向に列設することによって、均一に且つ天壁２６ａの水平方向全域に、クリーンエアーを吹き付けることができる。そのため、天面に付着した異物を除去することができる。
【００５０】
またさらに、各スリットノズル５２の吹出し方向を可変可能に構成することにより、各スリットノズル５２の吹出し方向を調整することができるため、各種条件に合わせた適切なエアーの流れを形成することができる。
【００５１】
また、スリット状の吹出し口を用いることによって、１つの吹出し口で天面の広い範囲にクリーンエアーを拭き付けることができる。
【００５２】
なお、上記実施形態においては、各スリットノズル５２の吹出し方向を水平方向としたが、各スリットノズル５２の吹出し方向を水平方向に代えて斜め上方向、すなわち、天面側に向ける構成であっても良い。
【００５３】
次に、図５を参照して、横送気口ユニット２８の変形例について説明する。図５に示すように、変形例の横送気口ユニット２８は、前後端を閉塞した円筒状の横マニホールド５１と、横マニホールド５１に設けられ、水平方向に延在するスリット孔（スリット状の吹出し口）６５と、を備えている（図５（ａ）参照）。スリット孔６５は、内向きで且つ水平方向に設けられている。すなわち、２つの横送気口ユニット２８の各スリット孔６５は、クリーンエアーの一部をチャンバールーム２６の天面に吹き付けると共に、相互に内向きの流れとなるようにクリーンエアーを吹き出す構成となっている（図５（ｂ）参照）。
【００５４】
このように、各横送気口ユニット２８が、横マニホールド５１とスリット孔６５とを有する構成であるため、各横送気口ユニット２８を簡単な構成にすることができると共に、均一に吹き出されるエアーにより天面の水平方向全域に、クリーンエアーを吹き付けることができる。そのため、天面に付着した塵埃を除去することができる。
【００５５】
以上のような構成によれば、チャンバールーム２６の天面にクリーンエアーを吹き付けることにより、天面に付着した塵埃を除去することができる。また、天面に吹き付けたクリーンエアーが下降して、チャンバールーム２６の下部に形成した排気口６１から排気されるため、チャンバールーム２６内を流れるダウンフローを形成することができる。このように、必ずしも天壁２６ａ部分（天井部分）に送気口手段を設ける必要がない構成によって、ダウンフローを形成することができるため、天壁２６ｂ部分において使用可能スペースを確保することができる。
【００５６】
また、直方体形状のチャンバールーム２６において、四周壁２６ｂで構成された横方向隅部に、各横送気口ユニット２８を配設することにより、四周壁２６ｂ部分にも使用可能スペースを確保することができる。また、横方向隅部に、各横送気口ユニット２８を配設することにより、エアーが滞留しやすい隅部からクリーンエアーを吹き出すため、更に、エアーが滞留する空間を作らない。
【００５７】
さらに、排気フィルター６２を設けることで、チャンバールーム２６内および下部空間４内の異物（塵埃）が含有したエアーを清浄化することができ、クリーンエアーを外部に排気することができる。すなわち、チャンバー装置１１（ロボットセル１）の排気エアーによって、外部雰囲気を汚染することがない。また、塵埃等が発生しやすいエアー排気機構３０の周囲のエアーも換気することができる。
【００５８】
なお、本実施形態においては、天吊り型の産業用ロボット１２を用いたロボットセル１に、本発明のチャンバー装置１１を適用したが、他の各種製造装置等に本発明のチャンバー装置１１を適用しても良い。また、本実施形態では、平坦な天壁２６ａを有するチャンバールーム２６に対し、本発明を適用したが、天壁２６ｂの形状によって天壁２６ｂ部分に送気口手段を配設することができないチャンバールーム２６に対し、本発明を適用しても良い。
【００５９】
また、本実施形態においては、横送気口ユニット２８を４つ横方向隅部のうちの平行な２つの横方向隅部に配設したが、４つ横方向隅部全てに横送気口ユニット２８を配設する構成であっても良いし、１つのみに横送気口ユニット２８を配設する構成であっても良い。
【００６０】
さらに、本実施形態においては、チャンバールーム２６の横方向隅部に各横送気口ユニット２８を配設する構成であったが、四周壁２６ｂ上の横方向隅部に対する中央部に各横送気口ユニット２８を配設し、その位置から天面に向けて、エアーを吹き出す構成であっても良い。
【符号の説明】
【００６１】
１：ロボットセル、  ４：下部空間、  １１：チャンバー装置、  １２：産業用ロボット、  ２６：チャンバールーム、  ２６ａ：天壁、  ２６ｂ：四周壁、  ２７：エアー供給機構、  ２８：横送気口ユニット、  ３０：エアー排気機構、  ５１：横マニホールド、  ６１：排気口、  ６２：排気フィルター、  ６５：スリット孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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