(57)【要約】【課題】回転する被研磨材に曲がりや振れ、あるいは凸凹した外周面形状や表面状態などがあっても最適で安定な押圧力で被研磨材を研磨することのできるバフ研磨装置が望まれている。【解決手段】バフ研磨装置１は、基台フレーム１９に、回転する被研磨材Ｇに対し近接離間するヘッド部６２が移動自在に取り付けられ、前記ヘッド部６２に、被研磨材Ｇの回転軸心Ｇ０と略平行または交差する軸心Ｊ０回りに回転して被研磨材Ｇの周面を研磨するバフ体６と、バフ体６を回転させるモータ１１とが取り付けられている装置であって、ヘッド部６２が、被研磨材Ｇへの近接離間方向に伸縮するコイルバネを介して基台フレーム１９に弾性的に支持されるとともに、圧縮空気の供給を受けてヘッド部６２を被研磨材Ｇへ近づける方向に押圧するガスシリンダが、基台フレーム１９とヘッド部６２との間に介設されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台フレームに、回転する被研磨材に対し近接離間するヘッド部が移動自在に取り付けられ、前記ヘッド部に、被研磨材の回転軸心と略平行または交差する軸心回りに回転して被研磨材の周面を研磨するバフ体と、該バフ体を回転させる回転駆動源とが取り付けられているバフ研磨装置において、
ヘッド部が、被研磨材への近接離間方向に伸縮する弾性部材を介して基台フレームに弾性的に支持されるとともに、ピストン駆動用ガスの供給を受けてヘッド部を被研磨材へ近づける方向に押圧するガスシリンダが、基台フレームとヘッド部との間に介設されていることを特徴とするバフ研磨装置。
【請求項２】
回転駆動源としてサーボモータを用いたことを特徴とする請求項１に記載のバフ研磨装置。
【請求項３】
ヘッド部がＬＭガイド部材を介して基台フレームに移動自在に取り付けられている請求項１または請求項２に記載のバフ研磨装置。
【請求項４】
回転駆動源の回転駆動軸とバフ体の従動回転軸とがＶリブドベルトを介して駆動連結されている請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のバフ研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば金属，合成樹脂，特殊表面処理材質などから成る、円筒体，円柱体その他の被研削材を回転させながら回転バフ体で研磨するバフ研磨装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の研磨装置としては、例えば押圧機構による一定の押圧力で、バフ体を被研磨材に強制的に押し付けて研磨するものが知られている。また、コイルバネなどの弾性部材の弾性力で、バフ体を被研磨材に押し付けるものも知られている。あるいは、基台フレームに対し上下移動自在に取り付けられたヘッド部の重量でバフ体を被研磨材に押し付けるものも知られている。
そこで、被研削材に対する回転砥石体の押圧力を調整するものとして、下記の特許文献１に開示された研削機が開発されている。この研削機は、支点プーリに架けられたワイヤなどでヘッド部と錘を連結し、ヘッド部と錘の重量差により回転砥石体の押圧力を得るようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】登録実用新案第３０３４８５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記した従来のバフ研磨装置のうち、バフ体を被研磨材に一定の押圧力で強制的に押し付けるものでは、押圧力が強すぎたり弱すぎたりすることがある。また、被研磨材である金属ロールなどが曲がっていたり回転時に振られたりすると、被研磨材の曲がり、振れ、外周面形状、表面状態などに追従する安定な押圧力が得られず、研磨ムラを生じやすい。
そして、弾性部材の弾性力だけでバフ体を押し付けるものでは、被研磨材の曲がり、振れ、外周面形状などにより弾性部材が周期的に振動するため、安定な押圧力が得られない。
また、ヘッド部の自重だけでバフ体を押し付けるものでは、被研磨材の被研磨材の曲がり、振れ、外周面形状などにより、ヘッド部が跳ね上げられることがある。特に、バフ体を回転させる電磁誘導モータをヘッド部に備えているものでは、ヘッド部の総重量が重すぎて、ソフトな研磨ができないという不具合もある。
また、錘により押圧力を調整するようにした特許文献１記載の研削機は、設定される押圧力が小さな領域において、支点プーリでの軸受摩擦、および基台フレームとヘッド部間のすべり摩擦が大きく影響して一定の押圧力が確実に得られず、被研磨材外周面の微妙な凹凸に押圧力が追従できなかった。
【０００５】
本発明は、上記した従来の問題点に鑑みてなされたものであって、回転する被研磨材に曲がりや振れ、あるいは凸凹した外周面形状や表面状態などがあっても最適で安定な押圧力で被研磨材を研磨することのできるバフ研磨装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明に係るバフ研磨装置は、基台フレームに、回転する被研磨材に対し近接離間するヘッド部が移動自在に取り付けられ、前記ヘッド部に、被研磨材の回転軸心と略平行または交差する軸心回りに回転して被研磨材の周面を研磨するバフ体と、該バフ体を回転させる回転駆動源とが取り付けられているバフ研磨装置において、ヘッド部が、被研磨材への近接離間方向に伸縮する弾性部材を介して基台フレームに弾性的に支持されるとともに、ピストン駆動用ガスの供給を受けてヘッド部を被研磨材へ近づける方向に押圧するガスシリンダが、基台フレームとヘッド部との間に介設されている構成にしてある。
【０００７】
また、前記構成において、回転駆動源としてサーボモータを用いたものである。
【０００８】
そして、前記した各構成において、ヘッド部がＬＭガイド部材を介して基台フレームに移動自在に取り付けられているものである。
【０００９】
更に、前記した各構成において、回転駆動源の回転駆動軸とバフ体の従動回転軸とがＶリブドベルトを介して駆動連結されているものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係るバフ研磨装置によれば、基台フレームとヘッド部とが、被研磨材への近接離間方向に伸縮する弾性部材を介して弾性的に連結されているので、弾性部材の弾性力によりヘッド部の重量が軽減される。このように軽減されたヘッド部の重量により、バフ体が被研磨材をソフトに研磨するが、その際に、回転する被研磨材の曲がり、振れ、外周面形状、表面状態などの影響を受けて、ヘッド部が上下動し弾性部材が振動しようとする。このとき、ガスシリンダがピストン駆動用ガスの供給を受けてヘッド部を被研磨材へ近づける方向に押圧するので、弾性部材の周期的振動を抑制できる。その結果、被研磨材の曲がり、振れ、外周面形状、表面状態などに対応した最適で安定な押圧力で被研磨材を研磨することができる。
【００１１】
また、一般に能力が同等である場合、電磁誘導モータよりもサーボモータの方がはるかに軽量であるので、サーボモータを搭載したヘッド部は、全体重量が軽くなるため慣性力が小さくなる。従って、被研磨材への押圧力はヘッド部の重量による影響が小さくなり、ガスシリンダからの押圧力に依存する割合が高くなる。従って、ガスシリンダへ供給されるガス圧を調整することにより、被研磨材へかける押圧力の制御を容易に行なうことができる。無論、回転駆動力も強い。
【００１２】
そして、ヘッド部が特に摩擦抵抗の小さいＬＭガイド部材を介して基台フレームに移動自在に取り付けられているものでは、基台フレームに対してヘッド部を極めて円滑に移動させることができる。従って、被研磨材の曲がり、振れ、外周面形状、表面状態などに追従させて、ヘッド部を高速で微小移動させることができ、ガスシリンダの押圧力も適切に反映させることができる。
【００１３】
更に、回転駆動源の回転駆動軸とバフ体の従動回転軸とがＶリブドベルトを介して駆動連結されているものでは、動力伝達効率を高くすることができ、ベルト走行時の振動を少なくして音を小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態に係るバフ研磨装置の正面図である。
【図２】前記バフ研磨装置の平面図である。
【図３】前記バフ研磨装置の一部破断した側面構成図である。
【図４】前記バフ研磨装置の研磨ユニットの一部破断した部分側面図である。
【図５】前記研磨ユニットの部分平面構成図である。
【図６】図５におけるＡ−Ａ線矢視図である。
【図７】図５におけるＢ−Ｂ線矢視図である。
【図８】図５におけるＣ−Ｃ線矢視図である。
【図９】前記研磨ユニットの部分側面構成図である。
【図１０】前記研磨ユニットに使用されるＶリブドベルトの部分斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。尚、以下に述べる実施形態は本発明を具体化した一例に過ぎず、本発明の技術的範囲を限定するものでない。図１は本発明の一実施形態に係るバフ研磨装置の正面図、図２は前記バフ研磨装置の平面図、図３は前記バフ研磨装置の一部破断した側面構成図である。
各図において、この実施形態に係るバフ研磨装置１は、横長ベッド状の装置本体２上に、被研磨材Ｇを保持する芯押台４の傘型コーン７およびスクロールチャック８と、スクロールチャック８に駆動連結されて被研磨材Ｇを回転させる無段変速モータ９と、被研磨材Ｇの回転軸心Ｇ０に沿って左右方向（矢印Ｒ，Ｌ）に往復移動する研磨ユニット５と、芯押台４を移動させるモータ２１とを備えている。装置本体２の上面には、被研磨材Ｇを回動自在に載置する受けローラ１０，１０，１０，１０が設置されている。符号１２はバフ研磨装置１の制御入力、状態表示、警報出力などを行なうための制御盤である。
【００１６】
前記の研磨ユニット５は、装置本体２後方の載置ベッド５７の上面に左右移動自在に載置された基台フレーム１９と、基台フレーム１９の前面に上下移動自在に取り付けられて被研磨材Ｇに対し近接離間するヘッド部６２と、ヘッド部６２に設けられて被研磨材Ｇの周面を研磨するバフ体６と、ヘッド部６２に設けられてバフ体６を回転させるモータ１１とを備えている。
【００１７】
基台フレーム１９は、載置ベッド５７の上面に載置されて左右方向（図１，２の矢印Ｒ，Ｌ方向）に往復摺動する往復台３と、往復台３の上面に載置されて前後方向（図３の矢印Ｆ，Ｅ方向）に往復摺動する前後進台５８と、前後進台５８上に固設された基体１３と、基体１３前面の傾斜面にＬＭガイド部材１５を介して上下移動自在に取り付けられた基移動体１４と、基移動体１４の前面に突設された左右一対の側板部４３，４３とを備えて構成されている。基体１３の上面には、例えば電磁誘導式のモータ６０が設置されている。ＬＭガイド部材１５は、基体１３の前面に上下方向に沿って固設された左右１対のレール体１６，１６と、レール体１６，１６と嵌合して上下方向に案内される上下左右合計４つの摺動子１７，１７，１７，１７とから構成される。摺動子１７，１７，１７，１７は基移動体１４の背面の左右辺部に固設されている。各摺動子１７内には、レール体１６上を転動するボールまたはローラなどの転動体が内蔵されている。
【００１８】
そして、載置ベッド５７の下部には、左右方向に延在する雄ネジ棒２３が回動自在に軸支されており、モータ５９と駆動連結されている。雄ネジ棒２３は往復台３の下面に垂設された雌ネジ体２２と螺合し、モータ５９の駆動によって往復台３を左右方向に移動させるようになっている。また、往復台３には、前後方向に延在する雄ネジ棒２５が回動自在に軸支されており、傘歯歯車などを介してモータ２４と駆動連結されている。雄ネジ棒２５は前後進台５８の下面に垂設された雌ネジ体２６と螺合し、モータ２４の駆動によって前後進台５８を前後方向に移動させるようになっている。
【００１９】
基体１３内の前部には、図４〜図６に示すように、上下方向に延在する雄ネジ棒２７が回動自在に軸支されておりモータ６０と駆動連結されている。基移動体１４の背面には受穴付きの受座２８が突設されており、受座２８の受穴に雌ネジ体２９が装着されている。この雌ネジ体２９に雄ネジ棒２７が螺合し、モータ６０の駆動によって基移動体１４を上下方向に移動させるようになっている。
【００２０】
側板部４３，４３の前方位置には、移動台１８がＬＭガイド部材３０を介して上下移動自在に取り付けられている。ＬＭガイド部材３０は、側板部４３，４３の前端側面に上下方向に沿って固設された左右１対のレール体３１，３１と、レール体３１，３１と嵌合して上下方向に案内される上下左右合計４つの摺動子３２，３２，３２，３２とから構成される。摺動子３２，３２，３２，３２はレールとの嵌合面をそれぞれ内向きにした状態で移動台１８背部の左右両辺部に固設されている。各摺動子３２内には、レール体３１上を転動するボールまたはローラなどの転動体が内蔵されている。
【００２１】
側板部４３，４３間における基移動体１４の前面下部には、図７および図８に示すように、側面視Ｌの字状の支持板部３９，３９が左右１対で突設されている。一方、支持板部３９，３９の上方位置における移動台１８の背面には、側面視Ｌの字状の支持板部３３，３３が左右１対で突設されている。各支持板部３３には、バネ保持棒４０を上下摺動自在に案内するガイド穴４１がそれぞれ形成されている。各バネ保持棒４０の下端部は各支持板部３９の棒保持穴に通されてボルトなどで固定されている。そして、支持板部３９に固定されたバネ保持棒４０にコイルバネ（弾性部材の例）４２が装入されている。コイルバネ４２の下端は支持板部３９上面に支持され、上端は支持板部３３下面に支持されている。すなわち、基台フレーム１９の支持板部３９と移動台１８の支持板部３３とは、被研磨材Ｇへの近接離間方向に伸縮するコイルバネ４２を介して弾性的に連結されている。
【００２２】
バネ保持棒４０，４０間における基移動体１４の前面上部には、図６に示すように、側面視Ｌの字状の支持板部３４が突設されている。支持板部３４の下方位置における移動台１８の背面には、側面視Ｌの字状の支持板部３８が突設されている。支持板部３４の下面にはガスシリンダ３６の末端部が固設されており、ガスシリンダ３６のピストンロッド３７の先端は支持板部３８の上面に載せられている。移動台１８の縦軸穴には回転軸３５が回動自在に支持されている。この回転軸３５に取り付けられた移動台フレーム４４は回転軸３５の軸心Ｋ０回りに、移動台フレーム４４を例えば１点鎖線４４Ａまたは１点鎖線４４Ｂ（図９参照）で示すように揺動可能となっている。移動台フレーム４４は、天板部と右側板部とを有する正面視で「つ」の字状に形成されている。移動台フレーム４４の右側板部の内側には、この右側板部と平行する内壁４５が設けられている。移動台フレーム４４と内壁４５は箱型一体構造として構成されている。
【００２３】
移動台フレーム４４の天板前部には、図９に示すように、バフ体６の回転駆動源としてのモータ１１が固設されている。このモータ１１は、回転速度０〜２５００ｒｐｍの例えば容量３．５ｋＷのサーボモータを用いてある。通常の回転速度は２０００ｒｐｍ程度である。かかるサーボモータは小型軽量で力が強い。また、被研磨材Ｇの周面に接したときに回転駆動軸１１Ａにかかるトルク（抵抗）を検出し、検出したトルクをモータ回転数の制御に用いることができ、検出トルクの値によっては、押圧の制御、信号検知、あるいはモータ１１の停止に、その検出トルク値を利用することも可能である。
【００２４】
モータ１１の回転駆動軸１１Ａの下方位置における移動台フレーム４４の天板部には、ベルト通過穴が形成されている。また、モータ１１の回転駆動軸１１ＡにはＶ溝プーリ４８が固設されている。移動台フレーム４４の側板部の下部と内壁４５の下部には、軸受４６と軸受４７が配備されている。これらの軸受４６と軸受４７により、回転駆動軸１１Ａと平行軸心の従動回転軸６Ａが回動自在に軸支される。軸受４６と軸受４７の間の従動回転軸６ＡにはＶ溝プーリ４９が固設されている。Ｖ溝プーリ４８，４９の外周面には、それぞれＶ溝４８Ａ，４９Ａが形成されている。これらのＶ溝４８Ａ，４９Ａは、幅方向に複数の溝が全周にわたって形成されている。Ｖ溝プーリ４８のＶ溝４８ＡとＶ溝プーリ４９のＶ溝４９Ａに、無端状のＶリブドベルト５０が掛け回されている。
【００２５】
Ｖリブドベルト５０は、図１０に示すように、ベルト長手方向に延びる縦溝状のＶリブ５１がベルト幅方向に複数条並べて形成されたリブゴム層と、Ｖリブ５１とは反対側の面に積重された第１接着ゴム層５２と、第１接着ゴム層５２に埋め込まれてベルト長手方向に延びる複数本の心線５５と、第１接着ゴム層５２の上面に積重された第２接着ゴム層５３と、第２接着ゴム層５３の上面に積重された帆布５４とから構成されている。
【００２６】
すなわち、既述したヘッド部６２は、移動台１８、移動台フレーム４４、内壁４５、回転軸３５、モータ１１、Ｖ溝プーリ４８，４９、Ｖリブドベルト５０、保持ホイール６１、バフ体６、従動回転軸６Ａ、およびバフカバー２０から構成されており、基台フレーム１９に対し上下移動自在となっている。
【００２７】
そして、従動回転軸６Ａの先端部には保持ホイール６１が固設されている。そして、保持ホイール６１の外周部に、ドーナツ状のバフ体６が装着固定されている。例えばバフ体６の直径は４００ｍｍであり幅は１００ｍｍである。バフ体６の周囲は、内壁４５に取り付けられたバフカバー２０で囲まれている。前記バフ体６は、被研磨材Ｇの回転軸心Ｇ０と平行する水平方向の軸心Ｊ０回りに回転して被研磨材Ｇの周面を研磨する。尚、被研磨材Ｇの回転軸心Ｇ０に対する軸心Ｊ０の向きは、前記の平行方向に限るものでなく、幾ばくかの角度で交差する向きとなるように角度可変に構成することもできる。例えば図５に示すように、移動台１８の縦軸穴に回動自在に支持された回転軸３５の軸心Ｋ０回りに、移動台フレーム４４を１点鎖線４４Ａまたは１点鎖線４４Ｂで示す位置に揺動させることが可能である。
【００２８】
バフ体６の材質や寸法は特に限定されないが、使用可能なバフの種類としては例えば糸バフ、布バフ、スポンジバフ、リングバフなどが挙げられる。ここでは、例えば水をかけながら研磨する湿式バフ方式が採用されている。被研磨材Ｇとしては、鉄，ステンレス鋼，アルミニウム，銅，超硬合金，合成樹脂その他の材質から成る丸棒材や円管材などが適用される。被研磨材Ｇとして丸棒材を研磨する場合は、無段変速モータ９側にスクロールチャック８を取付け、芯押台４側に傘型コーン７を取り付けて用いる。一方、被研磨材Ｇとして円管材を研磨する場合は、前記のスクロールチャック８を傘型コーンに取り替えて用いる。
【００２９】
引続き、上記構成のバフ研磨装置１により被研磨材Ｇの表面を研磨する動作について説明する。まず、被研磨材Ｇの両端を無段変速モータ９側のスクロールチャック８と芯押台４側の傘型コーン７に保持させる。この状態から、制御盤１２を操作して、無段変速モータ９を起動し被研磨材Ｇを例えば２００ｒｐｍで回転させる（例えば図４のように右側面から見て反時計回り）。但し、被研磨材Ｇを右側面視で時計回り方向に回転させても構わない。次に、モータ２４を駆動し、往復台３に対し前後進台５８を前後移動させて、バフ体６が当たる被研磨材Ｇの外周面の位置を決めておく。
【００３０】
研磨前において、ヘッド部６２は基台フレーム１９の上部位置に在って、バフ体６は被研磨材Ｇから離れている。そして、コイルバネ４２，４２はヘッド部６２の全重量がかかって短縮しており、ヘッド部６２はコイルバネ４２，４２を介して弾性的に支持されている。この場合、ヘッド部６２はサーボモータであるモータ１１を有しているので、比較的小型でありながら馬力が強く、しかも軽量である。そのために、ヘッド部６２の全体重量が大きくならない。その結果、被研磨材Ｇから伝わる振動が大きくならず、回転する被研磨材Ｇの曲がり、振れ、外周面の凹凸にうまく追従させて、適切な押圧力を得ることができる。
【００３１】
続いて、モータ１１の回転駆動軸１１Ａを駆動させると、その駆動力がＶ溝プーリ４８、Ｖリブドベルト５０、Ｖ溝プーリ４９、従動回転軸６Ａ、保持ホイール６１を順次経て伝わりバフ体６を回転させる。バフ体６の回転数としては、被研磨材Ｇの材質、表面状態、研磨条件によるが、ここでは例えば約２０００ｒｐｍである。尚、このバフ研磨装置１では、研磨条件などに応じてバフ体６の回転数を０〜２５００ｒｐｍとすることができる。この場合、モータ１１の回転駆動軸１１Ａとバフ体６の従動回転軸６ＡとはＶリブドベルト５０およびＶ溝プーリ４８，４９を介して駆動連結されているので、Ｖリブドベルト５０とＶ溝プーリ４８，４９との間のスリップが少ない。そのために、高い効率で動力伝達を行なうことができ、省電力で研磨作業を行なうことができる。また、Ｖリブドベルト５０とＶ溝プーリ４８，４９の組み合わせ構成は、ベルト走行時の振動が汎用のＶベルトを用いた場合と比べてはるかに小さいことから、音が小さくバフ体６の振動の少ない研磨装置を提供することができる。
【００３２】
そして、往復台３に対し前後進台５８を前後移動させて、バフ体６が当たる被研磨材Ｇの外周面の位置を決めておく。次に、モータ６０を駆動して基台フレーム１９の基移動体１４を下降させ、バフ体６を被研磨材Ｇに近づける。この場合、基移動体１４はＬＭガイド部材１５を介して基体１３に取り付けられているので、小さい摺動摩擦抵抗で滑らかに上下移動することができる。そのうち、バフ体６が被研磨材Ｇの外周面に当接すると、バフ体６は被研磨材Ｇの外周面を押圧しながら摺動研磨する。この場合、ヘッド部６２はコイルバネ４２，４２を介して弾性的に支持されているので、ヘッド部６２の重量はコイルバネ４２，４２の弾性力により一部相殺されている。従って、ヘッド部６２の重量にのみ任せて押圧するような従来技術と比べると、被研磨材Ｇの外周面状態などに対する追随性を上げることが可能で、ソフトな研磨を行なうことができる。
【００３３】
更に、エアコンプレッサの開閉弁（いずれも図示省略）を開き、所定圧力の圧縮空気（ピストン駆動用ガスの例）をガスシリンダ３６内に供給する。すると、圧縮空気によりピストンロッド３７がシリンダ本体から例えば２点鎖線３７Ａで示す位置に押し出され、コイルバネ４２，４２を伸ばすとともにヘッド部６２を被研磨材Ｇへ近づける方向に移動させる。このときの押出力は、レギュレータ（図示省略）の調整操作によって圧縮空気の圧力を例えば０．４９ＭＰａ（５ｋｇ／ｃｍ2）までの所定圧力に設定することにより得られる。
そして、被研磨材Ｇの外周面にバフ体６が接していることにより、ヘッド部６２は、回転する被研磨材Ｇの曲がり、振れ、外周面形状、表面状態などに対応して上下に微小移動する。そして、ヘッド部６２の重量はコイルバネ４２，４２により弾性的に軽減されているが、この重量によりバフ体６が被研磨材Ｇの外周面を押圧して研磨する。このとき、コイルバネ４２，４２は振動しようとするが、その振動はガスシリンダ３６のピストンロッド３７の押出力によって抑制される。すなわち、ガスシリンダ３６およびピストンロッド３７はコイルバネ４２，４２の周期的振動を緩和するショックアブソーバとしての役割をも果たす。従って、被研磨材Ｇの曲がり、振れ、外周面形状、表面状態、研磨条件にうまく追従した最適で安定な押圧力を提供することができ、緻密で美しい被研磨面を得ることができる。そして、圧縮空気の設定圧力を調整することにより、簡単に、荒研磨から鏡面仕上げ研磨に至るまで研磨度合を自由に選定することができる。
【００３４】
この場合、ヘッド部６２の移動台１８はＬＭガイド部材３０を介して基台フレーム１９の側板部４３，４３に取り付けられているので、ヘッド部６２の微小移動を低い摺動摩擦抵抗で滑らかに行なうことができる。このＬＭガイド部材３０の存在も、ヘッド部６２の上下移動の追従性を更に高めるので、最適な押圧力を得ることに大きく貢献する。
【００３５】
尚、上記の実施形態では弾性部材としてコイルバネ４２を用いたが、本発明はそれに限定されるものでなく、コイルバネ４２に替えて例えば板バネなどを弾性部材として用いても構わない。
また、上記では、圧縮空気をピストン駆動用ガスとして用いるガスシリンダ３６を例示したが、本発明ではピストン駆動用ガスとして空気の替わりに、窒素ガス、炭酸ガスなどを用いることも可能である。そして、ガスシリンダ３６を基台フレーム１９の支持板部３４に取り付け、ピストンロッド３７でヘッド部６２を押すようにしたが、逆にヘッド部６２側にガスシリンダ３６を取り付け、基台フレーム１９側をピストンロッド３７で押すようにしても構わない。
【００３６】
また、バフ体６の取扱い方式としては、粉塵発生や摩擦熱による表面焼けの問題を解消し得るならば、湿式バフ方式に替えて、乾式バフ方式を採用してもよい。
そして、上記では基体１３の前面を約１５度傾けているが、垂直にした基体１３の前面に基移動体１４を取り付けたものも、本発明に含まれる。
また、上記では転動体を有するＬＭガイド部材３０を採用したが、本発明はＬＭガイド部材３０に替えて、転動体を持たない汎用のガイド部材およびレール体を用いたものも含んでいる。
【符号の説明】
【００３７】
１    バフ研磨装置
５    研磨ユニット
６    バフ体
６Ａ  従動回転軸
１１  モータ（回転駆動源、サーボモータ）
１１Ａ  回転駆動軸
１８  移動台
１９  基台フレーム
３０  ＬＭガイド部材
３１  レール体
３２  摺動子
３６  ガスシリンダ
３７  ピストンロッド
４２  コイルバネ（弾性部材）
４３  側板部
４４  移動台フレーム
４８  Ｖ溝プーリ
４９  Ｖ溝プーリ
５０  Ｖリブドベルト
６２  ヘッド部
Ｇ  被研磨材
Ｇ０  回転軸心
Ｊ０  軸心
【図１】
2011115895.tif 000003
【図２】
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【図３】
2011115895.tif 000005
【図４】
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【図５】
2011115895.tif 000007
【図６】
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【図７】
2011115895.tif 000009
【図８】
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【図９】
2011115895.tif 000011
【図１０】
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