(57)【要約】【課題】載置棚に転用可能なフローティングテーブルの提供。【解決手段】基台１１０と、基台１１０に対し水平方向に移動自在な載置台１２０と、基台１１０に垂直方向に移動可能に取り付けられ、載置台１２０と係合することにより載置台１２０の移動を規制する規制部材１３０と、規制部材１３０と載置台１２０との係合状態を維持する維持機構１４０とを備える。【選択図】図３
2011057350.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、
前記基台に対し水平方向に移動自在な載置台と、
前記基台に垂直方向に移動可能に取り付けられ、前記載置台と係合することにより前記載置台の移動を規制する規制部材と、
前記規制部材と前記載置台との係合状態を維持する維持機構と
を備えるフローティングテーブル。
【請求項２】
前記規制部材は、筒形状であり、前記基台と前記載置台との摺動部分を取り囲んで覆うように配置される請求項１に記載のフローティングテーブル。
【請求項３】
前記規制部材が前記載置台と係合した状態において、前記載置台の中央を通り垂直方向に仮想的に延びる載置台軸と、前記基台の中央を通り垂直方向に仮想的に延びる基台軸とが一致する請求項１に記載のフローティングテーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、載置した移載対象物の水平方向の位置合わせを可能とするフローティングテーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＦＰＤ（Ｆｌａｔ  Ｐａｎａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）等の製造工場においては自動化や無人化が進められており、例えば、大型のガラス基板などの搬送対象物は、物品保管用の棚等から搬送され、ＦＰＤの製造装置に自動的に受け渡される。
【０００３】
ここで、前記搬送対象物は、自動搬送車などにより搬送され、移載装置によって移載されるが、自動搬送車の停止位置の精度にはどうしても限界があり、ＦＰＤの製造装置が要求する精度を満足させることが困難な場合が多い。
【０００４】
そこで、自動搬送車側の位置ずれを吸収する移動機構を移載装置に設け、自動搬送車の位置ずれに対応して移動機構を水平にずらして対象物をすくい取り、移動機構を用いて対象物を所定位置に戻す構成が提案されている（例えば特許文献１参照）。
【０００５】
また、対象物が重量物などの場合は、基台は床面などに固定され、前記基台に対して水平方向に自在に移動可能な載置台を備えるフローティングテーブルに対象物を載置した後、ロボットなどを用いて前記載置台と共に対象物を移動させることによって対象物の位置決めを行い、再度対象物を持ち上げて正確な位置のまま搬送する場合などもある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−７０００６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、前記フローティングテーブルを工場内に設置した場合でも、設置された場所が恒久的に移載用の場所として存在するわけではなく、対象物を一時的に保管するための載置棚としてフローティングテーブルを利用したい場合がある。
【０００８】
しかしながら、フローティングテーブルに対象物を載置して保管する場合、不本意に対象物が移動し、対象物が破損するなどの不具合が発生する可能性が考えられる。
【０００９】
本願発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、対象物を保管するための載置棚としても使用することのできるフローティングテーブルの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本願発明にかかるフローティングテーブルは、基台と、前記基台に対し水平方向に移動自在な載置台と、前記基台に垂直方向に移動可能に取り付けられ、前記載置台と係合することにより前記載置台の移動を規制する規制部材と、前記規制部材と前記載置台の係合状態を維持する維持機構とを備えることを特徴とする。
【００１１】
これにより、必要に応じて載置台の水平方向の移動を規制部材で規制し、当該規制状態を維持機構により維持することができる。従って、フローティングテーブルを載置棚として機能させることができ、フローティングテーブルの上に安定して対象物を載置することが可能となる。
【００１２】
また、前記規制部材は、筒形状であり、前記基台と前記載置台との摺動部分を取り囲んで覆うように配置されることが好ましい。
【００１３】
これにより、部品点数を増加させることなく、載置台の水平方向の移動を規制すると共に、基台に対する載置台の摺動により発生する塵などの拡散を抑止し、当該摺動部に異物が挿入されて載置台の自由な移動が阻害されることを抑止することが可能となる。
【００１４】
また、前記規制部材が前記載置台と係合した状態において、前記載置台の中央を通り垂直方向に仮想的に延びる載置台軸と、前記基台の中央を通り垂直方向に仮想的に延びる基台軸とが一致することが好ましい。
【００１５】
これにより、係合部材で載置台の移動を規制した状態では、載置台を見ることにより基台の正確な位置が把握できるため、フローティングテーブルを設置する際など正確な位置出しを容易に行うことができ、据え付け時の作業量を低減することが可能となる。
【発明の効果】
【００１６】
本願発明によれば、基台が備える規制部材と載置台とを任意に係合させ、当該係合状態を維持することが可能となるため、必要に応じてフローティングテーブルを対象物を保管するための載置台として使用することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】フローティングテーブルを示す斜視図である。
【図２】フローティングテーブルを側面から示す断面図である。
【図３】（ａ）は、規制部材と載置台とが係合せずに、載置台が自由に動ける状態のフローティングテーブルを示す断面図であり、（ｂ）は、規制部材と載置台とが係合し、基台に対し載置台が固定された状態のフローティングテーブルを示す断面図である。
【図４】フローティングテーブルの使用態様を模式的に示す上面図である。
【図５】フローティングテーブルの別例を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
次に、本願発明に係るフローティングテーブルの実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。
【００１９】
図１は、フローティングテーブルを示す斜視図である。
図２は、フローティングテーブルを側面から示す断面図である。
【００２０】
同図に示すようにフローティングテーブル１００は、載置した対象物とフローティングテーブル１００とが摩擦することなく、対象物を水平方向に移動可能とするテーブルであり、基台１１０と、載置台１２０と、規制部材１３０と、維持機構１４０とを備えている。
【００２１】
基台１１０は、床面などに固定され、対象物を支える部材である。本実施の形態の場合、基台１１０は、中央を通り垂直方向に仮想的に延びる基台軸（図２中、一点鎖線で示す）を軸とする回転体の形状となっている。詳細には基台１１０は、円柱形状となされ、下部には放射方向に張り出したフランジ部１１１が一体に設けられている。フランジ部１１１は、フローティングテーブル１００を安定させるために設けられている。また、基台１１０の上面部には、ベアリング１５１を転動可能に収容する凹陥部１５２を備えている。
【００２２】
凹陥部１５２に収容されるベアリング１５１は、基台１１０と載置台１２０との間に介在配置され、基台１１０と載置台１２０との摩擦を低減するために備えられる球体である。
【００２３】
載置台１２０は、基台１１０に対し水平方向に移動自在に支持される部材であり、対象物が載置される部材である。本実施の形態の場合、載置台１２０は、中央を通り垂直方向に仮想的に延びる載置台軸（図２中、二点鎖線で示す）を軸とする回転体の形状となっている。詳細には、基台１１０よりも若干径の小さい円盤形状で上面が平坦な載置部１２１と、載置部１２１の下面から下方に突出する円盤形状の第一係合部１２２と、規制部材１３０との接触を回避し載置台１２０の水平方向の移動を可能とする回避部１２３と、ベアリング１５１を介して載置台１２０と接続する接続部１２４とを備えている。
【００２４】
規制部材１３０は、基台１１０に垂直方向に移動可能に取り付けられ、載置台１２０と係合することにより載置台１２０の水平方向の移動を規制する部材である。規制部材１３０は、筒形状であり、基台１１０と載置台１２０との摺動部分を取り囲んで覆うように配置されている。
【００２５】
本実施の形態の場合、規制部材１３０は、中央を通り垂直方向に仮想的に延びる規制部材軸（図２中、一点鎖線で示す）を軸とする回転体の形状となっている。詳細には規制部材１３０は、円柱形状の基台１１０の外周面に沿う円筒形状となっており、上面部には、円盤形状の第一係合部１２２と嵌め合い状態で係合する孔状の第二係合部１３１を形成する円環状の環状部１３２を備えている。
【００２６】
規制部材１３０は、基台１１０の外周に沿って設けられているため、基台１１０の中央を通り垂直方向に仮想的に延びる基台軸と規制部材軸とは一致した状態で配置される。また、規制部材１３０は、基台軸と規制部材軸とを一致させた状態で、基台１１０に対して上下方向にスライドさせることができるものとなっている。
【００２７】
また、規制部材１３０は、垂直方向に延びる長孔１３３を備えている。長孔１３３は、維持機構１４０を回避しつつ基台１１０に対して規制部材１３０を上下動可能とするために設けられている。
【００２８】
また、規制部材１３０は、基台１１０と載置台１２０との摺動部分、つまり、載置台１２０の移動などにより塵埃が発生する凹陥部１５２とベアリング１５１と接続部１２４とが存在する部分をカバーするカバー部材としても機能している。従って、規制部材１３０によりフローティングテーブル１００は、摺動部分から塵埃が飛散するのを抑止することができ、クリーンルームなどにも適用させることも可能となる。
【００２９】
維持機構１４０は、規制部材１３０と載置台１２０との係合状態を維持するための機構である。本実施の形態の場合、維持機構１４０は、基台１１０に直接ねじ込むことのできるボルトである。本実施の形態における維持機構１４０は、ボルトを基台に対してねじ込むことによってボルトのヘッドと基台１１０との間で発生する挟持力によって規制部材１３０を挟持して固定する機構となっている。
【００３０】
図３（ａ）は、規制部材と載置台とが係合せずに、載置台が自由に動ける状態のフローティングテーブルを示す断面図であり、（ｂ）は、規制部材と載置台とが係合し、基台に対し載置台が固定された状態のフローティングテーブルを示す断面図である。
【００３１】
同図（ａ）に示すように、規制部材１３０が載置台１２０と係合していない状態では、基台１１０に対して載置台１２０は、水平方向（図３中、矢印方向など）に移動可能となる。従って、図４に示すように、フローティングテーブル１００の載置台１２０の上に対象物Ａ（ガラス基板）を載置した状態で、対象物Ａの水平方向の位置をロボットＢ等を用いて調整することが可能となる。
【００３２】
一方、図３（ｂ）に示すように、規制部材１３０が載置台１２０と係合した状態、すなわち、規制部材１３０を持ち上げて、載置台１２０の第一係合部１２２と規制部材１３０の第二係合部１３１とを嵌め合い係合させた状態では、基台１１０に対して載置台１２０は固定される。また、維持機構１４０により、規制部材１３０は、規制部材１３０が載置台１２０と係合した状態、すなわち、規制部材１３０を持ち上げた状態を維持することが可能となる。本実施の形態の場合は、ボルトの締め付け力により持ち上げた状態の規制部材１３０を基台１１０に固定することにより、規制部材１３０が載置台１２０と係合した状態を維持している。
【００３３】
この状態において、載置台１２０に対象物を載置した場合、対象物を水平方向に移動させることは困難となり、フローティングテーブル１００は、載置棚として機能させることができる。また、フローティングテーブル１００を輸送等で移動させる場合も、基台１１０と載置台１２０を固定する追加部品が必要なく、輸送などにおける作業工数を減少させ、コスト低減を図ることができる。
【００３４】
また、規制部材１３０が載置台１２０と係合した状態では規制部材軸を介して基台軸と載置台軸とを一致させることができる。これにより、フローティングテーブル１００のいわゆるセンターを得ることができる。フローティングテーブル１００を工場などに据え付ける際に、載置台１２０を基準としてフローティングテーブル１００の位置決めを行うことができ、フローティングテーブル１００の据え付け時における作業を容易にすることができる。
【００３５】
なお、本願発明に係るフローティングテーブルは、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本願発明の主旨を逸脱しない範囲で当業者が思いつく各種変形を施して得られる変形例も本願発明に含まれる。
【００３６】
例えば、フローティングテーブル１００は、図５に示すような態様でもかまわない。すなわち、規制部材１３０は、両端が開口した円筒形状であり、周壁にはＬ字状の孔１４６が設けられている。載置台１２０の下面には、規制部材１３０の端部を挿入することのできる円環状の溝が設けられている。基台１１０の周壁には突出状にピン１４５が取り付けられている。ピン１４５は、孔１４６と係合する位置に設けられている。
【００３７】
以上の構成によれば、維持機構１４０は、ピン１４５と孔１４６とで実現される。すなわち、同図（ａ）に示すように、ピン１４５をＬ字状の孔１４６の下部と係合させれば、規制部材１３０と載置台１２０とが係合している状態を維持することが可能となる。この状態ではフローティングテーブル１００を載置棚として機能させることができる。一方、ピン１４５に孔１４６を沿わせて規制部材１３０を基台１１０に対して移動させることにより、同図（ｂ）に示す状態となる。この状態では、フローティングテーブル１００をフローティングテーブルとして機能させることができる。
【００３８】
また、基台１１０や載置台１２０の形状は円柱形状や円盤形状ばかりでなく、直方体などのブロック状や矩形の板状であってもかまわない。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本願発明は、ＦＰＤの製造工場、特に大型のＦＰＤを製造する工場等の、ロードポートなどに利用可能である。
【符号の説明】
【００４０】
Ａ  対象物
Ｂ  ロボット
１００  フローティングテーブル
１１０  基台
１１１  フランジ部
１２０  載置台
１２１  載置部
１２２  第一係合部
１２３  回避部
１２４  接続部
１３０  規制部材
１３１  第二係合部
１３２  環状部
１３３  長孔
１４０  維持機構
１４５  ピン
１４６  孔
１５１  ベアリング
１５２  凹陥部
【図１】
2011057350.tif 000003
【図２】
2011057350.tif 000004
【図３】
2011057350.tif 000005
【図４】
2011057350.tif 000006
【図５】
2011057350.tif 000007