(57)【要約】【課題】フォトダイオードアレイの補修が可能な光検出器を実現すること。【解決手段】  複数のフォトダイオードをアレイ状に配置したフォトダイオードアレイを備え、各フォトダイオードの出力電流をもとにフォトダイオードアレイで受光した被測定光を検出する光検出器において、前記フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードの代わりに被測定光を受光する代替フォトダイオードと、前記代替フォトダイオードの出力電流を取り出す電流取出手段と、前記フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードに向かって出射された前記被測定光の進行方向を変更させて前記代替フォトダイオードに入射させる光ガイド手段と、を具備することを特徴とする。【選択図】図１
2011075399.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のフォトダイオードをアレイ状に配置したフォトダイオードアレイを備え、各フォトダイオードの出力電流をもとにフォトダイオードアレイで受光した被測定光を検出する光検出器において、
前記フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードの代わりに被測定光を受光する代替フォトダイオードと、
前記代替フォトダイオードの出力電流を取り出す電流取出手段と、
前記フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードに向かって出射された前記被測定光の進行方向を変更させて前記代替フォトダイオードに入射させる光ガイド手段と、
を具備することを特徴とする光検出器。          
【請求項２】
前記光ガイド手段は、
前記フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードのうち欠陥がある欠陥フォトダイオードに向かって出射された前記被測定光を途中で反射し進行方向を変更させて前記代替フォトダイオードに入射させる位置に配置される反射手段であることを特徴とする
請求項１記載の光検出器。
【請求項３】
前記光ガイド手段と前記代替フォトダイオードは、
前記フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードごとにそれぞれ配置されることを特徴とする
請求項１または２記載の光検出器。
【請求項４】
前記光ガイド手段は、前記欠陥フォトダイオードの被測定光の受光面上に形成される三角ミラーであることを特徴とする
請求項１〜３いずれかに記載の光検出器。
【請求項５】
前記光ガイド手段は、
前記欠陥フォトダイオードの前記被測定光の受光面上に形成される反射膜であることを特徴とする
請求項２または３記載の光検出器。
【請求項６】
前記光ガイド手段は、前記被測定光を反射して前記欠陥フォトダイオードに入射させる位置に移動可能であることを特徴とする
請求項１〜３いずれかに記載の光検出器。
【請求項７】
前記フォトダイオードアレイを構成するフォトダイオードが欠陥フォトダイオードであると検知すると、前記光ガイド手段を制御して、前記被測定光を反射して前記欠陥フォトダイオードに入射させる位置に移動させる制御手段を備えることを特徴とする
請求項６記載の光検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のフォトダイオードをアレイ状に配置したフォトダイオードアレイを備え、各フォトダイオードの出力電流をもとにフォトダイオードアレイで受光した被測定光を検出する光検出器に関し、特にフォトダイオードアレイの補修に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、基板上にアレイ状に形成された複数のフォトダイオードにそれぞれ入射された光により発生した電流を電気信号として取り出すことにより光を検出するフォトダイオードアレイセンサ（光検出器）が分光分析器、干渉縞計測や光を用いた絶対位置計測のエンコーダに利用されている。
【０００３】
たとえば光検出器は、サンプル（試料）を通過するように向けられた光のスペクトル強度を分析することによって、サンプルの化学的組成を決定する分光分析器に用いられる。
【０００４】
具体的には、分光分析器は、分光分析器に備えられた回折格子等の波長分散素子で波長分解した光を集光レンズなどによりフォトダイオードアレイ受光面上にビームスポットを結び光度測定を行なうことにより、サンプルによって光（ビーム）のどのスペクトル成分が吸収されたかを把握する。
【０００５】
図４は従来の光検出器の構成図であり、図４において従来の光検出器は、主に、フォトダイオード１ａ〜１ｚと、電極２ａ〜２ｚと、から構成される。フォトダイオード１ａ〜１ｚは基板上にアレイ状に配列されて形成される。電極２ａ〜２ｚは、各フォトダイオード１ａ〜１ｚに入射された光により発生した電流を（外部に）取り出す。
【０００６】
このような構成により、従来の光検出器は、基板上にアレイ状に形成された複数のフォトダイオード１ａ〜１ｚにそれぞれ入射された光により発生した電流を電気信号として取り出すことにより光検出を行う。
【０００７】
このような光検出器に関連する先行技術文献として下記の特許文献１がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００１−１１９００５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、従来の光検出器では、高密度、多ピクセルになるほどフォトダイオードアレイを形成するフォトダイオード素子に欠陥がある可能性が高くなり、所定の連続有効素子数のフォトダイオードアレイの歩留まりが悪化してしまうという問題点があった。たとえば、図５は従来の光検出器の各フォトダイオードで検出される被測定光の光強度を示す説明図であり、図５のようにピクセルｃのみ平均暗電流より大幅に多い場合や、ピクセルｙのみ感度が無いといいったように一部のフォトダイオード素子が破損している場合がある。
【００１０】
また、従来の光検出器では、所定の連続有効素子数のフォトダイオードアレイを選別して用いていることから、いくつかのフォトダイオード素子に欠陥が生じていると、フォトダイオードアレイごと取替える必要があるので、コストが掛かってしまうという問題点があった。
【００１１】
さらに、従来の光検出器では、所定の連続有効素子数以外のフォトダイオードアレイを使用する場合（たとえばいくつかのフォトダイオード素子に欠陥が生じているフォトダイオードアレイを使用する場合）、欠陥を有するフォトダイオード（欠陥素子）による光検出に対して補正手段を設けなければならないという問題点があった。
【００１２】
本発明は上述の問題点を解決するものであり、その目的は、フォトダイオードアレイの補修が可能な光検出器を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
複数のフォトダイオードをアレイ状に配置したフォトダイオードアレイを備え、各フォトダイオードの出力電流をもとにフォトダイオードアレイで受光した被測定光を検出する光検出器において、
前記フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードの代わりに被測定光を受光する代替フォトダイオードと、
前記代替フォトダイオードの出力電流を取り出す電流取出手段と、
前記フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードに向かって出射された前記被測定光の進行方向を変更させて前記代替フォトダイオードに入射させる光ガイド手段と、
を具備することを特徴とする光検出器。          
【００１４】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の光検出器において、
前記光ガイド手段は、
前記フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードのうち欠陥がある欠陥フォトダイオードに向かって出射された前記被測定光を途中で反射し進行方向を変更させて前記代替フォトダイオードに入射させる位置に配置される反射手段であることを特徴とする。
【００１５】
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の光検出器において、
前記光ガイド手段と前記代替フォトダイオードは、
前記フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードごとにそれぞれ配置されることを特徴とする。
【００１６】
請求項４記載の発明は、請求項１〜３いずれかに記載の光検出器において、
前記光ガイド手段は、前記欠陥フォトダイオードの被測定光の受光面上に形成される三角ミラーであることを特徴とする。
【００１７】
請求項５記載の発明は、請求項２または３記載の光検出器において、
前記光ガイド手段は、
前記欠陥フォトダイオードの前記被測定光の受光面上に形成される反射膜であることを特徴とする。
【００１８】
請求項６記載の発明は、請求項１〜３いずれかに記載の光検出器において、
前記光ガイド手段は、前記被測定光を反射して前記欠陥フォトダイオードに入射させる位置に移動可能であることを特徴とする。
【００１９】
請求項７記載の発明は、請求項６に記載の光検出器において、
前記フォトダイオードアレイを構成するフォトダイオードが欠陥フォトダイオードであると検知すると、前記光ガイド手段を制御して、前記被測定光を反射して前記欠陥フォトダイオードに入射させる位置に移動させる制御手段を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の光検出器であれば、複数のフォトダイオードをアレイ状に配置したフォトダイオードアレイを備え、各フォトダイオードの出力電流をもとにフォトダイオードアレイで受光した被測定光を検出する光検出器において、前記フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードの代わりに被測定光を受光する代替フォトダイオードと、前記代替フォトダイオードの出力電流を取り出す電流取出手段と、前記フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードに向かって出射された前記被測定光の進行方向を変更させて前記代替フォトダイオードに入射させる光ガイド手段と、を具備することにより、フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードに欠陥素子がある場合であっても、被測定光の検出を行うことができる。すなわち所定の連続有効素子数以外のフォトダイオードアレイ（欠陥素子が有る場合のフォトダイオードアレイ)を補修することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明に係る光検出器の構成例を示す構成図である。
【図２】本発明に係る光検出器の他の構成例を示す構成図である。
【図３】本発明に係る光検出器のその他の構成例を示す構成図である。
【図４】従来の光検出器の構成図である。
【図５】従来の光検出器の各フォトダイオードで検出される被測定光の光強度を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明は、複数のフォトダイオードをアレイ状に配置したフォトダイオードアレイを備え、各フォトダイオードの出力電流をもとにフォトダイオードアレイで受光した被測定光を検出する光検出器に関し、特に反射手段等の光ガイド手段がフォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードに向かって出射された被測定光の進行方向を変更させ、フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードの代わりに被測定光を受光する代替フォトダイオードが光ガイド手段により反射された被測定光を受光し、代替フォトダイオードの出力電流を取り出す光検出器に関する。以下図面を用いて本発明の光検出器を説明する。
【実施例１】
【００２３】
図１は、本発明に係る光検出器の構成例を示す構成図であり、図４と共通する部分には同一の符号を付けて適宜説明を省略する。図４との相違点は、主に、フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオード、特に欠陥のあるフォトダイオード（以下、欠陥フォトダイオードという）の代わりに被測定光を受光する代替フォトダイオードと、フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードに向かって出射された被測定光の進行方向を変更させて代替フォトダイオードに入射させる光ガイド手段と、代替フォトダイオードの出力電流を取り出す電流取出手段を備えた点が相違する。
【００２４】
図１（Ａ）は回折格子等の波長分散素子で波長分解された光（被測定光）が集光レンズ等により集光されてフォトダイオードアレイ１ａ〜１ｚに入射するところを説明する説明図、図１（Ｂ）は欠陥フォトダイオード１ｃと代替フォトダイオード３との位置関係を説明する説明図である。
【００２５】
図１において本発明に係る光検出器は、主に、フォトダイオード１ａ〜１ｚと、電極２ａ〜２ｚ（図示せず）と、フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオード（特に欠陥フォトダイオード）の代わりに被測定光を受光する代替フォトダイオード３と、光ガイド手段の一例としての反射手段４と、電流取出手段の一例としての代替フォトダイオード３の出力電流を（外部に）取り出す電極５（図示せず）から構成される。
【００２６】
フォトダイオード１ａ〜１ｚは基板上にアレイ状に配列されて形成される。電極２ａ〜２ｚは、各フォトダイオード１ａ〜１ｚに入射された光により受光面で発生した電流を（外部に）取り出す。
【００２７】
代替フォトダイオード３は、フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオード（特に欠陥フォトダイオード）の代わりに被測定光を受光する。
【００２８】
反射手段４は、（フォトダイオードアレイを形成する）フォトダイオード１ａ〜１ｚに向かって出射された被測定光を途中で反射し進行方向を変更させて代替フォトダイオード３に入射させる位置に配置される。
【００２９】
この反射手段４は、たとえば三角ミラーなどであり、図１のように、フォトダイオード１ａ〜１ｚのうち欠陥を有するフォトダイオード（たとえばフォトダイオード１ｃ）の受光面上に接合されて形成される。
【００３０】
この場合、代替フォトダイオード３は、フォトダイオード１ｃの近傍に設置され、反射手段４（三角ミラー）により反射されたフォトダイオード１ｃに向かって出射された被測定光を受光する。代替フォトダイオード３は、たとえば図１のように、フォトダイオード１ｃの近傍に、反射手段４（三角ミラー）からの被測定光を受光できるように垂直配置される。
【００３１】
このような構成により、本発明の光検出器は次の動作を行なう。たとえば、図示しない光源から出力され、回折格子等の波長分散素子で波長分解された光（被測定光）が集光レンズ等により集光されてフォトダイオードアレイ１ａ〜１ｚ、または代替フォトダイオード３の受光面上にビームスポットを結ぶ。
【００３２】
具体的には、基板上にアレイ状に形成された複数のフォトダイオード１ａ〜１ｚのうち欠陥のないフォトダイオード（有効なフォトダイオード、たとえばフォトダイオード１ａ、１ｂ、１ｄ〜１ｚ）および代替フォトダイオード３（欠陥フォトダイオード１ｃの代わりに受光する）が、それぞれ入射された被測定光およびを反射手段４を介して入射された被測定光を受光する。
【００３３】
電極２ａ、２ｂ、２ｄ〜２ｚおよび電極５は、フォトダイオード１ａ、１ｂ、１ｄ〜１ｚおよび代替フォトダイオード３（欠陥フォトダイオード１ｃの代わりに受光する）の出力電流、いいかえれば受光面で発生した電流を電気信号として取り出す。これにより本発明に係る光検出器は被測定光を検出する。
【００３４】
すなわち、本発明に係る光検出器は、フォトダイオードを形成するフォトダイオードアレイの受光面に反射光学系を構成し、この反射光学系により反射された被測定光を代替フォトダイオードがフォトダイオードを形成するフォトダイオードアレイまたは欠陥フォトダイオードの代わりに受光する点で特徴がある。
【００３５】
なお、本発明に係る光検出器は、複数の代替フォトダイオードおよび複数の反射手段を有するものでもよく、たとえば、フォトダイオードアレイに対して平行光が入射される場合、フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオード数と同数の反射手段（たとえば、ミラーアレイデバイス）を用いて代替フォトダイオードへ導光するものでもよい。
【００３６】
この結果、本発明のフォトダイオードアレイは、フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオード、特に欠陥のあるフォトダイオード（以下、欠陥フォトダイオードという）の代わりに被測定光を受光する代替フォトダイオードと、フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードに向かって出射された被測定光を途中で反射し進行方向を変更させて代替フォトダイオードに入射させる位置に配置される反射手段と、代替フォトダイオードの受光面で発生した電流を取り出す電極を備えることにより、フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードに欠陥素子がある場合であっても、被測定光の検出を行うことができる。すなわち所定の連続有効素子数以外のフォトダイオードアレイ（欠陥素子が有る場合のフォトダイオードアレイ)を補修することが可能となる。
【００３７】
また、本発明によれば、選別が無くとも、製造したフォトダイオードアレイ全てを有効活用できる。
【００３８】
また、本発明によれば、フォトダイオードアレイごと取替える必要がなくなり、フォトダイオード素子の欠陥時における交換にかかるコストの低減に貢献できる。
【実施例２】
【００３９】
図２は、本発明に係る光検出器の他の構成例を示す構成図であり、図４と共通する部分には同一の符号を付けて適宜説明を省略する。図４との相違点は、主に、フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオード、特に欠陥フォトダイオードの代わりに被測定光を受光する代替フォトダイオードと、フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードに向かって出射された被測定光を途中で反射し進行方向を変更させて代替フォトダイオードに入射させる位置に移動可能である反射手段と、代替フォトダイオードの受光面で発生した電流を取り出す電極を備えた点が相違する。
【００４０】
図２において本発明に係る光検出器は、主に、フォトダイオード１ａ〜１ｚと、電極２ａ〜２ｚ（図示せず）と、フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオード（特に欠陥フォトダイオード）の代わりに被測定光を受光する代替フォトダイオード３と、反射手段４と、代替フォトダイオード３の受光面で発生した電流を（外部に）取り出す電極５（図示せず）から構成される。
【００４１】
代替フォトダイオード３は、フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオード（特に欠陥フォトダイオード、たとえばフォトダイオード１ｃ）の代わりに被測定光を受光する。
【００４２】
反射手段４は、（フォトダイオードアレイを形成する）フォトダイオードのいずれか（たとえばフォトダイオード１ｃ）に向かって出射された被測定光を途中で反射し進行方向を変更させて代替フォトダイオード３に入射させる位置に移動可能であり、たとえば図２に示すように反射板の回転角度を制御して被測定光を反射して代替フォトダイオード３に入射させることが可能な位置に回転移動させる。ここで図２（Ａ）は反射手段４が被測定光を反射して欠陥フォトダイオード１ｃに入射させることが可能な位置に配置されている場合の説明図、図２（Ｂ）は反射手段４が被測定光を反射して代替フォトダイオード３に入射させることが可能な位置に配置されている場合の説明図である。
【００４３】
たとえば、この反射手段４が回転移動して被測定光を反射可能な位置に移動すると、被測定光は反射手段４により反射して代替フォトダイオード３に入射する。本発明の光検出器は、回転移動した反射手段４により反射された被測定光を代替フォトダイオード３が被測定光を受光し、電極５を介して外部に受光面で発生した電流を取り出すことにより被測定光を検出する。
【００４４】
なお、反射手段４はミラーなどの反射板であり、図示しない駆動手段により制御されて反射板の回転軸部を軸として回転移動するものでもよい。
【００４５】
この駆動手段は、図示しない制御手段と電気的に接続され、制御手段からの制御信号に基づいて被測定光を反射して代替フォトダイオードに入射させる位置、または、被測定光を反射して欠陥フォトダイオード１ｃに入射させることが可能な位置に移動する。
【００４６】
また、駆動手段は、たとえば反射板の回転角度を制御するものであってもよい。制御手段からの制御信号に基づいて、反射板の回転角度を制御して被測定光を被測定光を反射して代替フォトダイオードに入射させることが可能な位置、または、被測定光を反射して欠陥フォトダイオード１ｃに入射させることが可能な位置に回転移動させるものでもよい。また代替フォトダイオードを複数設置するものでもよく、この場合、制御手段は、駆動手段を制御し回転軸部を軸として反射板の回転角度を制御して被測定光を反射して代替フォトダイオードに入射させる位置に回転移動させ、複数の代替フォトダイオードの中から被測定光を入射させる代替フォトダイオードを選択するものでもよい。
【００４７】
このような構成により、本発明の光検出器は、基板上にアレイ状に形成された複数のフォトダイオード１ａ〜１ｚのうち欠陥のないフォトダイオード（有効なフォトダイオード、たとえばフォトダイオード１ａ、１ｂ、１ｄ〜１ｚ）および代替フォトダイオード３（フォトダイオード１ｃの代わりに受光する）が、それぞれ入射された被測定光および被測定光を反射して代替フォトダイオードに入射させることが可能な位置に回転移動した反射手段４を介して入射された被測定光を受光し、電極２ａ、２ｂ、２ｄ〜２ｚおよび電極５により発生した電流を電気信号として取り出す。
【００４８】
すなわち、本発明に係る光検出器は、フォトダイオードを形成するフォトダイオードアレイが被測定光を受光する途中に反射光学系を構成し、この反射光学系により反射された被測定光を代替フォトダイオードがフォトダイオードを形成するフォトダイオードアレイまたは欠陥フォトダイオードの代わりに受光する点で特徴がある。
【００４９】
この結果、本発明のフォトダイオードアレイは、フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオード、特に欠陥のあるフォトダイオードの代わりに被測定光を受光する代替フォトダイオードと、フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードに向かって出射された被測定光を途中で反射し進行方向を変更させて代替フォトダイオードに入射させる位置に移動可能とする反射手段と、代替フォトダイオードの受光面で発生した電流を取り出す電極を備えることにより、フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードに欠陥素子がある場合であっても、被測定光の検出を行うことができる。すなわち所定の連続有効素子数以外のフォトダイオードアレイ（欠陥素子が有る場合のフォトダイオードアレイ)を補修することが可能となる。
【実施例３】
【００５０】
また本発明に係る光検出器は、各フォトダイオードの受光面に反射膜を構成して受光面の法線に対し一定の角度を持つ入射平行光を導光する構成を特徴するものでもよいし、欠陥素子の受光面に反射膜を構成し欠陥フォトダイオードの代わりに被測定光を受光する代替フォトダイオードへ導光するものでもよい。
【００５１】
図３は、本発明に係る光検出器のその他の構成例を示す構成図である。図４および図１、２と共通する部分には同一の符号を付けて適宜説明を省略する。図４との相違点は、主に、フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオード、特に欠陥フォトダイオードの代わりに被測定光を受光する代替フォトダイオードと、フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードに向かって出射された被測定光を反射して代替フォトダイオードに入射させるためのフォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードまたは欠陥フォトダイオードの受光面上に形成される反射膜である反射手段と、代替フォトダイオードの受光面で発生した電流を取り出す電極を備えた点が相違する。
【００５２】
図３において本発明に係る光検出器は、主に、フォトダイオード１ａ〜１ｚと、電極２ａ〜２ｚ（図示せず）と、フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオード（特に欠陥フォトダイオード）の代わりに被測定光を受光する代替フォトダイオード３と、反射手段４と、代替フォトダイオード３の受光面で発生した電流を（外部に）取り出す電極５（図示せず）から構成される。
【００５３】
代替フォトダイオード３は、フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードまたは欠陥フォトダイオード（たとえばフォトダイオード１ｃ）の代わりに被測定光を受光する。
【００５４】
反射手段４は、（フォトダイオードアレイを形成する）フォトダイオードのいずれか（たとえばフォトダイオード１ｃ）の受光面上に形成される反射膜であり、被測定光を途中で反射し進行方向を変更させて代替フォトダイオード３に入射させる。
【００５５】
この場合、代替フォトダイオード３は、フォトダイオード１ｃの近傍に設置され、反射手段４（反射膜）により反射されたフォトダイオード１ｃに向かって出射された被測定光を受光する。代替フォトダイオード３は、たとえば図３のように、フォトダイオード１ｃの近傍に、反射手段４（反射膜）からの被測定光を受光できるように垂直配置される。
【００５６】
このような構成により、本発明の光検出器は、基板上にアレイ状に形成された複数のフォトダイオード１ａ〜１ｚのうち欠陥のないフォトダイオード（有効なフォトダイオード、たとえばフォトダイオード１ａ、１ｂ、１ｄ〜１ｚ）および代替フォトダイオード３（欠陥フォトダイオード１ｃの代わりに受光する）が、それぞれ入射された被測定光および反射手段４（反射膜）を介して入射された被測定光を受光し、電極２ａ、２ｂ、２ｄ〜２ｚおよび電極５により発生した電流を電気信号として取り出す。これにより被測定光を検出できる。
【００５７】
なお、本発明に係る光検出器は、複数の代替フォトダイオードおよび複数の反射手段（反射膜）を有するものでもよく、たとえば、フォトダイオードアレイに対して平行光が入射される場合、フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオード数と同数の反射手段（反射膜）が各フォトダイオードの受光面に形成され、これらの反射手段（反射膜）が被測定光を反射して各代替フォトダイオードに導光することにより被測定光を検出するものでもよい。
【００５８】
すなわち、本発明に係る光検出器は、フォトダイオードを形成するフォトダイオードアレイの受光面に反射光学系を構成し、この反射光学系により反射された被測定光を代替フォトダイオードがフォトダイオードを形成するフォトダイオードアレイまたは欠陥フォトダイオードの代わりに受光する点で特徴がある。
【００５９】
この結果、本発明のフォトダイオードアレイは、フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオード、特に欠陥のあるフォトダイオードの代わりに被測定光を受光する代替フォトダイオードと、フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードに向かって出射された被測定光を途中で反射し進行方向を変更させて代替フォトダイオードに入射させる位置に配置される反射手段と、代替フォトダイオードの受光面で発生した電流を取り出す電極を備えることにより、フォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードに欠陥素子がある場合であっても、被測定光の検出を行うことができる。すなわち所定の連続有効素子数以外のフォトダイオードアレイ（欠陥素子が有る場合のフォトダイオードアレイ)を補修することが可能となるので、製造したフォトダイオードアレイ全てを有効活用でき、フォトダイオードアレイごと取替える必要がなくなり、コストの低減に貢献できる。
【００６０】
（その他の実施例）
なお本発明に係る光検出器は、電流取出手段として代替フォトダイオードの出力電流を取り出す電極を備えているが、特にこれに限定するものではなく、電極を設けずにリード線、配線パターン等の代替フォトダイオードの出力電流を取り出す電流取出手段を備える構成としてもよい。
【００６１】
また本発明に係る光検出器は、光ガイド手段としてフォトダイオードアレイを形成するフォトダイオードに向かって出射された被測定光を途中で反射し進行方向を変更させて代替フォトダイオードに入射させる位置に配置される反射手段を備えているが、特にこれに限定するものではなく、反射手段を設けずに、フォトダイオードに向かって出射された被測定光の進行方向を変更させて代替フォトダイオードに入射させる光ファイバや光を屈折させる光学部品等の光ガイド手段を備える構成としてもよい。
【符号の説明】
【００６２】
１ａ〜１ｚ  フォトダイオード
２ａ〜２ｚ、５  電極
３  代替フォトダイオード
４  反射手段
【図１】
2011075399.tif 000003
【図２】
2011075399.tif 000004
【図３】
2011075399.tif 000005
【図４】
2011075399.tif 000006
【図５】
2011075399.tif 000007