(57)【要約】【課題】電気絶縁性シートに発生する塵埃を効率良く除塵するだけではなく、除電することも可能をする除塵方法を提供すること。【解決手段】電気絶縁性シートの除塵および除電方法であって、接地された芯金の周囲に極細繊維からなる基材を配設して棒状処理部材とし、棒状処理部材の極細繊維に体積抵抗率１０６Ω・ｃｍ以下の溶媒を湿潤させ、棒状処理部材を電気絶縁性シートの法線方向の両側から挟むように対向配置し、電気絶縁性シートの両面から同時にシート幅方向に対して均一に前記棒状処理部材を接触させ、電気絶縁性シートに接している溶媒の全てと芯金とを導通させた状態で、電気絶縁性シート面に付着した塵埃を拭取ることにより、電気絶縁性シートに発生する０．０５μｍ以上５００μｍ以下の塵埃を効率良く除去することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気絶縁性シートの除塵および除電方法であって、接地された芯金の周囲に極細繊維からなる基材を配設して棒状処理部材とし、該棒状処理部材の極細繊維に体積抵抗率１０６Ω・ｃｍ以下の溶媒を湿潤させ、前記棒状処理部材を前記電気絶縁性シートの法線方向の両側から挟むように対向配置し、前記電気絶縁性シートの両面から同時にシート幅方向に対して均一に前記棒状処理部材を接触させ、前記電気絶縁性シートに接している前記溶媒の全てと前記芯金とを導通させた状態で、前記電気絶縁性シート面に付着した塵埃を拭取ることを特徴とする電気絶縁性シートの除塵および除電方法。
【請求項２】
電気絶縁性シートの除塵および除電方法であって、接地された第１の芯金の周囲に極細繊維からなる基材を配設して第１の棒状処理部材とし、該第１の棒状処理部材の極細繊維に体積抵抗率１０６Ω・ｃｍ以下の前記溶媒を湿潤させ、前記第１の棒状処理部材を前記電気絶縁性シートの法線方向の両側から挟むように対向配置し、前記電気絶縁性シートの両面から同時にシート幅方向に対して均一に前記第１の棒状処理部材を接触させ、前記電気絶縁性シートに接している前記溶媒の全てと前記第１の芯金とを導通させ、第２の芯金の周囲に極細繊維からなる基材を配設して第２の棒状処理部材とし、前記第１の棒状処理部材の前記絶縁性シートの搬送方向下流側に前記第２の棒状処理部材を前記電気絶縁性シートの法線方向の両側から挟むように対向配置し、前記電気絶縁性シートの両面から同時に前記電気絶縁性シート幅方向に対して均一に前記第２の棒状処理部材を接触させ、前記第１の棒状処理部材と前記第２の棒状処理部材との間で前記溶媒を前記絶縁性シート両面に均一に塗布させ、前記第２の棒状処理部材の位置において前記電気絶縁性シート上の前記溶媒の全てを拭取ることを特徴とするシートの除塵および除電方法。
【請求項３】
前記第１の棒状処理部材と前記第２の棒状処理部材との前記電気絶縁性シートの搬送方向の間隔は、１ｃｍ以上１ｍ以下であることを特徴とする請求項２に記載のシートの除塵および除電方法。
【請求項４】
前記基材となる極細繊維の直径が０．１μｍ以上１０μｍ以下であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のシートの除塵および除電方法。
【請求項５】
前記体積抵抗率１０６Ω・ｃｍ以下の溶媒は、水、エタノール、アセトンのいずれかであることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のシートの除塵および除電方法。
【請求項６】
前記体積抵抗率１０６Ω・ｃｍ以下の溶媒の前記極細繊維からなる基材表面への湿潤量が、５００ｇ／ｍ３以上であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のシートの除塵および除電方法。
【請求項７】
除去すべき塵埃のサイズが、０．５μｍ以上５００μｍ以下であることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のシートの除塵および除電方法。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかの除塵方法を用いてシートを処理した後に、シートの検査を行うことを特徴とするシートの検査方法。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかの方法を用いたシートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気絶縁性シートの除塵および除電方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フィルムなどの長尺状の電気絶縁性シートは、製造工程において複数のロールにより連続的に搬送されることが知られている。長尺状の電気絶縁性シートを各工程に搬送する際、工程内に浮遊している塵や埃など（以下、塵埃という）が静電気力の影響により電気絶縁性シートに付着することがある。電気絶縁性シートに塵埃が付着されている状態のまま各工程に搬送された場合、電気絶縁性シートと搬送ロールの間に塵埃が挟まり、電気絶縁性シートにキズが発生し、問題となる。また、電気絶縁性シートに塵埃が付着されている状態のまま欠点検査機に通した場合、欠点だけではなく、塵埃も欠点として同様に検出してしまう。このため、問題となる欠点以外を過検出してしまい、正確な検査を実施することができない。従って、電気絶縁性シートの表面に付着した塵埃を除塵する必要がある。
【０００３】
塵埃を除去する方法、清掃方法として、特許文献１〜３に記載の方法が知られている。
【０００４】
電気絶縁性シートに付着した塵埃を除去する一般的な方法として、特許文献１に示されている粘着ロールを用いた方法がある。
【０００５】
図２は特許文献１に記載の除塵装置の実施構成図である。
【０００６】
図２において、２６は搬送される電気絶縁性シート、２１は転写ロール、２２は粘着ロール、２３は転写ロールと粘着ロールを併せた除塵ロールを示す。２４は乾式除塵器を示し、２５は搬送ロールを示す。
【０００７】
特許文献１に記載の除塵方法は、塵埃を補足可能な転写ロール２１と、その転写ロール２１と線接触しながら互いに反対方向に回転する粘着ロール２２とからなる一対の除塵ロール２３を回転させながら、その転写ロール２１の表面を搬送する電気絶縁性シート２６に接触させ、電気絶縁性シート２６表面に付着している塵埃を除去する方法である。
【０００８】
この方法は、転写ロール２１の粘着性が除塵性能に大きく影響しており、適切な粘着力を持つ転写ロール２１を用いた場合は、有効な除塵方法である。
【０００９】
しかしながら、発明者らの知見によれば、転写ロール２１の粘着力が弱い場合は、塵埃を補足することができず、有効な除塵をすることができない。
【００１０】
また、転写ロール２１の粘着力が強い場合、転写ロール２１表面の粘着剤が電気絶縁性シート２６に転写し、電気絶縁性シート２６表面を汚してしまう恐れがある。そのため、電気絶縁性シート２６の種類にあわせて、転写ロール２１の粘着性を選定しなければならず、この選定は困難である。
【００１１】
さらに、長時間の使用により転写ロール２１の表面が汚れた場合、この汚れが電気絶縁性シート２６に転写してしまう問題が発生する。また、電気絶縁性シート２６を挟んで転写ロール２１の反対側に存在する搬送ロール２５の表面が汚れた場合も同様に、この汚れが電気絶縁性シートに転写してしまう問題が発生する。
【００１２】
また、この方法では、電気絶縁性シート２６と除塵ロール２３との接触の際に静電気が発生し、電気絶縁性シート２６が帯電してしまう。そのため、特許文献１の方法で除塵したとしても、その後の搬送中に浮遊している塵埃が再度電気絶縁性シート２６に付着してしまうことが問題である。
【００１３】
また、電気絶縁性シートに拭取り布を接触させ、電気絶縁性シートに付着した塵埃を除去する方法が、特許文献２に記載されている。
【００１４】
特許文献２に記載の方法を、図３を用いて説明する。図３は特許文献２に記載の除塵装置の実施構成図を示す。
【００１５】
図３において、３１は拭取り布巻出ロール、３２は拭取り布巻取ロール、３３は拭取り布、３４は押圧部材（チューブ、プレート、送風機）を示す。また、３５は各歯車を示し、３６は電気絶縁性シート２６表面を除電するためのイオン化装置を示す。
【００１６】
特許文献２に記載の除塵方法は、電気絶縁性シート２６の面に対して上下に、拭取り布３３と該拭取り布３３を電気絶縁性シート２６に押し付ける押圧部材３４を設置して、上下同時に拭取り布３３を電気絶縁性シートに接触させ、電気絶縁性シート２６に付着した塵埃を除去する方法である。
【００１７】
また、電気絶縁性シートの上下の拭取り布３３は、拭取り布巻出ロール３１と拭取り布巻取ロール３２に繋がっており、歯車３５によって拭取り布３３は、拭取り布巻出ロール３１から拭取り布巻取ロール３２に搬送される。これにより、拭取り布３３は、電気絶縁性シート２６と接触する面は常に新しい布となり、拭取り布３３で吸着した塵埃を電気絶縁性シート２６に再付着することを防ぐことが可能である。
【００１８】
しかしながら、発明者らの知見によれば、特許文献２に記載の方法では、拭取り布３３が拭取り布巻出ロール３１から拭取り布巻取ロール３２へと移動されるため、拭取り布３３は常に新しくなり、電気絶縁性シート２６に塵埃が再付着することがないが、拭取り布３３を電気絶縁性シート２６と接触させることにより、大きな静電気力が発生し、電気絶縁性シート２６が帯電してしまうという問題が発生する。電気絶縁性シート２６が帯電することにより、電気絶縁性シート２６周辺に存在する塵埃は、電気絶縁性シート２６に引き付けられ、塵埃の再付着が発生する。
【００１９】
そのため、除塵装置とは別に除電装置を設置する必要があり、装置が複雑となり、また高価となり、さらに設置場所として、広いスペースが必要となる。
【００２０】
また、枚葉の基板の側辺部の回路材料に付着した塵埃を除去する方法として、特許文献３に記載の方法がある。
【００２１】
特許文献３に記載の除塵方法を、図４を用いて説明する。
【００２２】
図４は特許文献３に記載の除塵装置の実施構成図を示す。
【００２３】
図４において、４１は基板、４２は清掃部材、４３は供給リール、４４は巻き取りリール、４５は上下駆動手段（シリンダ）を示す。更に４６はノズルを示し、４７は溶剤の供給チューブを示す。
【００２４】
特許文献３に記載の方法は、基板４１の側辺部の上面に、この側辺部の長手方向に対して所定間隔で設けられた複数の端子を清掃するための清掃方法であって、基板４１の側辺部の長さと同等以上の幅寸法を有する清掃部材４２に清掃用の溶剤をノズル４６から供給する工程と、溶剤が供給された清掃部材４２を基板４１の端子が形成された側辺部の上面の全長にわたって上下駆動手段４５により押圧部材３４を押圧する工程と、清掃部材４２が基板４１の側辺部の上面に押圧された状態で、清掃部材４２と基板４１を端子が所定間隔で配置された方向と交差する水平方向に供給リール４３と巻き取りリール４４により相対的に移動させる工程とを具備したことを特徴とする基板の除塵方法である。
【００２５】
特許文献３の除塵方法は、ノズル４６から供給された溶剤が浸み込まれた清掃部材４２を上下駆動手段４５により該清掃部材４２を上下同時に基板４１の側辺部に押圧することにより、基板４１の側辺部の入り組んだ回路パターン内の塵埃を除去することができる。
【００２６】
さらに、供給リール４３と巻き取りリール４４により、清掃部材４２は常に新しいものに取り替えられるため、清掃部材４２の汚れが基板４１の側辺部に転写することなく除塵することが可能である。また、除塵対象が基板の側辺部の回路パターン、つまり導電性であるため、除電を考慮する必要がなく、除塵することが可能である。
【００２７】
しかしながら、発明者らの知見によれば、特許文献３に記載の方法は、枚葉の導電性の基板に付着した除塵方法に関するものであり、基板が帯電することがなく、除電をする必要がないため、除電する技術的思想については何ら開示されていない。
【００２８】
以上のように、連続的に搬送される電気絶縁性シートに付着した塵埃を除去する場合、静電気力による塵埃の再付着が問題であった。更に、電気絶縁性シートに清掃布を接触させる際にキズや溶剤の拭き取りムラを発生することが問題であった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２９】
【特許文献１】特開２０００−２８８４８３号公報
【特許文献２】特公昭５５−２８７５０号公報
【特許文献３】特開２００９−９５６９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００３０】
本発明の目的は、連続的に搬送される電気絶縁性シートに付着した塵埃を簡易な方法により、電気絶縁性シートにキズや拭き取りムラを発生させることなく除去し、さらに、塵埃の再付着を防止するために静電気力も同時に除電することができる電気絶縁性シートの除塵方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００３１】
上記目的を達成するために、本発明は、電気絶縁性シートの除塵および除電方法であって、接地された芯金の周囲に極細繊維からなる基材を配設して棒状処理部材とし、該棒状処理部材の極細繊維に体積抵抗率１０６Ω・ｃｍ以下の溶媒を湿潤させ、前記棒状処理部材を前記電気絶縁性シートの法線方向の両側から挟むように対向配置し、前記電気絶縁性シートの両面から同時にシート幅方向に対して均一に前記棒状処理部材を接触させ、前記電気絶縁性シートに接している前記溶媒の全てと前記芯金とを導通させた状態で、前記電気絶縁性シート面に付着した塵埃を拭取ることを特徴とする電気絶縁性シートの除塵および除電方法を提供する。
【００３２】
また、本発明の別の形態によれば、電気絶縁性シートの除塵および除電方法であって、接地された第１の芯金の周囲に極細繊維からなる基材を配設して第１の棒状処理部材とし、該第１の棒状処理部材の極細繊維に体積抵抗率１０６Ω・ｃｍ以下の前記溶媒を湿潤させ、前記第１の棒状処理部材を前記電気絶縁性シートの法線方向の両側から挟むように対向配置し、前記電気絶縁性シートの両面から同時にシート幅方向に対して均一に前記第１の棒状処理部材を接触させ、前記電気絶縁性シートに接している前記溶媒の全てと前記第１の芯金とを導通させ、第２の芯金の周囲に極細繊維からなる基材を配設して第２の棒状処理部材とし、前記第１の棒状処理部材の前記絶縁性シートの搬送方向下流側に前記第２の棒状処理部材を前記電気絶縁性シートの法線方向の両側から挟むように対向配置し、前記電気絶縁性シートの両面から同時に前記電気絶縁性シート幅方向に対して均一に前記第２の棒状処理部材を接触させ、前記第１の棒状処理部材と前記第２の棒状処理部材との間で前記溶媒を前記絶縁性シート両面に均一に塗布させ、前記第２の棒状処理部材の位置において前記電気絶縁性シート上の前記溶媒の全てを拭取ることを特徴とするシートの除塵および除電方法を提供する。
【００３３】
また、本発明の好ましい形態によれば、前記第１の棒状処理部材と前記第２の棒状処理部材との前記電気絶縁性シートの搬送方向の間隔は、１ｃｍ以上１ｍ以下であることを特徴とするシートの除塵および除電方法を提供する。
【００３４】
また、本発明の好ましい形態によれば、前記基材となる極細繊維の直径が０．１μｍ以上１０μｍ以下であることを特徴とするシートの除塵および除電方法を提供する。
【００３５】
また、本発明の好ましい形態によれば、前記体積抵抗率１０６Ω・ｃｍ以下の溶媒は、水、エタノール、アセトンのいずれかであることを特徴とするシートの除塵および除電方法を提供する。
【００３６】
また、本発明の好ましい形態によれば、前記体積抵抗率１０６Ω・ｃｍ以下の溶媒の前記極細繊維からなる基材表面への湿潤量が、５００ｇ／ｍ３以上であることを特徴とするシートの除塵および除電方法を提供する。
【００３７】
また、本発明の好ましい形態によれば、除去すべき塵埃のサイズが、０．５μｍ以上５００μｍ以下であることを特徴とするシートの除塵および除電方法を提供する。
【００３８】
また、本発明の好ましい形態によれば、前記の除塵および除電方法を用いてシートを処理した後に、シートの検査を行うことを特徴とするシートの検査方法を提供する。
【００３９】
また、本発明の好ましい形態によれば、前記の除塵および除電方法を用いたシートの製造方法を提供する。
【発明の効果】
【００４０】
本発明によれば、以下に説明するとおり、複数ロールにより連続的に搬送される電気絶縁性シートの製造に関し、電気絶縁性シートに塵埃が付着することに起因する、キズの発生、異物のかみ込みという問題を解決すると共に、同時に静電気力を除去することによる塵埃の再付着を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の一実施形態における除塵装置構成を示す概略図である。
【図２】特許文献１の実施構成図である。
【図３】特許文献２の実施構成図である。
【図４】特許文献３の実施構成図である。
【図５】本発明の一実施形態における電気絶縁性シートの表面上における電荷の様子を表す模式図である。
【図６】本発明の一実施形態における電気絶縁性シートの表面が帯電する場合の模式図である。
【図７】本発明の別の一実施形態における除塵装置構成を示す概略図である。
【図８】本発明の一実施形態における極性溶媒供給ノズルを装備した際の除塵装置構成を示す概略図である。
【図９】本発明の一実施形態における極性溶媒供給ノズルを装備した際の除塵装置構成を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００４２】
以下、本発明の最良の実施形態の例を、連続的に搬送される電気絶縁性シートの除塵装置に適用した場合を例にとって、図面を参照しながら説明する。
【００４３】
図１は、電気絶縁性シートの除塵装置の概略断面図である。
【００４４】
図１の電気絶縁性シートの除塵装置は、第１の棒状処理部８と第２の棒状処理部９で構成される。
【００４５】
第１の棒状処理部８には、第１の棒状処理部材３が電気絶縁性シート４の両面に対向して設置されている。第１の棒状処理部材３は、第１の芯金２の周囲に、湿潤された極細繊維からなる布帛１を２周以上巻き付けたもので構成されている。前記極細繊維からなる布帛１には、体積抵抗率１０６Ω・ｃｍ以下の極性溶媒を５００ｇ/ｍ３以上湿潤させる。
【００４６】
第２の棒状処理部９は、第１の棒状処理部材８の電気絶縁性シート４の搬送方向下流側に第２の棒状処理部材１２を電気絶縁性シート４の法線方向の両側から挟むように対向配置されている。また、第２の棒状処理部材１２は、第２の芯金１１の周囲に、極細繊維からなる布帛１０を２周以上巻き付けたもので構成されている。前記極細繊維からなる布帛１０には極性溶媒を湿潤させていない。
【００４７】
また、本発明における第１の棒状処理部８と第２の棒状処理部９は、押圧手段と一体化した棒状処理部材が電気絶縁性シート４を、その法線方向の両側から挟んで対向配置されており、電気絶縁性シートを挟んだ一対の棒状処理部材のズレ量は３ｍｍ以内とすることにより、前記電気絶縁性シートを均一に除電できるため好ましい。
【００４８】
本発明において、「電気絶縁性シート」とは、体積抵抗率が１０１０［Ω・ｃｍ］以上の電気を通し難いシートをいう。
【００４９】
本発明が適用される電気絶縁性シートとして、代表的なものには、プラスチックフィルム、布帛、紙等のシートがあるが、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリイミドフィルム、ポリフェニレンサルファイドフィルム、ナイロンフィルム、アラミドフィルム、ポリエチレンフィルム等のプラスチックフィルムは、電気絶縁性が高いため、本発明を適用するのに特に好適である。
【００５０】
また、本発明の除塵対象である電気絶縁性シートは、複数のロールに接触することにより電気絶縁性シートの表裏両面が帯電する。この帯電の静電気力により、空気中の塵や埃が集塵され、電気絶縁性シートに付着する。本発明では、電気絶縁性シートに付着した０．５μｍ以上５００μｍ以下の塵埃を除去対象とする。
【００５１】
本明細書において、「静電気力」とは、電気絶縁性シートが支持具や把持ロールなどと接触する際、摩擦帯電現象により発生した静電荷に由来する、「シートの帯電」を言う。電気絶縁性シートが持つ時間的に変化しない静電荷が発生することで帯電した状態となる。
【００５２】
また、本発明において、「体積抵抗率が１０６Ω・ｃｍ以下の極性溶媒」とは、液体であって、その液体の体積抵抗率［Ω・ｃｍ］が１０６Ω・ｃｍ以下であることをいう。
【００５３】
体積抵抗率の測定方法は、液体である溶媒を、１辺が１ｃｍの立方体に充填し、その相対する両面間に電圧を加えた場合の両面間の電気抵抗で表される。実際には、円筒型電極を用いて直流電圧を印加して測定される。外筒電極の内部に内筒電極を持つ円筒型電極に被測定液体（溶媒）を入れ、外筒電極と内筒電極の間に１０Ｖの直流電圧を印加し、そのときの抵抗値Ｒｖ［Ω］を得る。内筒の半径ｒ１［ｃｍ］、外筒の半径ｒ２［ｃｍ］、電極の有効長Ｌ［ｃｍ］において、体積抵抗率：ρｖ［Ω・ｃｍ］は、Ｒｖ・（２πＬ）／（ｌｎ（ｒ２／ｒ１））により求められる。
【００５４】
本発明に用いられる極性溶媒５として、たとえば、水やアルコールなどの溶媒がある。また、溶媒に電気導電性物質などの所定の体積抵抗率を得るように添加物を均一に分散させたもので、体積抵抗率が１０６［Ω・ｃｍ］以下のものでもよい。また、水を使用することにより、他の溶媒を使用する際に比べ処理が容易となるため、好ましい。
また、本発明に用いられる極細繊維からなる布帛とは、繊維径が０．１μｍ以上１０μｍ以下の繊維の編物である布帛からなる拭取り布である。さらに、極性溶媒５の拭き残しを発生させないため、本発明に用いられる極細繊維からなる布帛の吸水速度は、１００ｍｍ／１０分以上であることが好ましい。吸水速度を１００ｍｍ／１０分以上とすることにより、電気絶縁性シートの搬送速度を速くした場合も、極性溶媒を均一に拭取りができ、除電も均一にできる。なお、本発明で吸水速度とは、ＪＩＳ  Ｌ１９０７（２００４）記載のパイレック法で測定した吸水速度をいう。
【００５５】
さらに、本発明に用いられる極細繊維からなる布帛の発塵量は、３５３０個／ｍ３以下（１００個／１ＣＦ以下）であることが好ましい。なお、本発明の発塵量は米国環境科学協会規定ＩＥＳ−ＰＲ−ＣＣ−００３−８７−Ｔによるタンブラー法に準じ、一辺２４ｃｍの正方形のサンプルを用いてパーティクルカウンターによる測定で得られる値をさす。
【００５６】
さらに、本発明に用いられる極細繊維からなる布帛の厚みは、５００μｍ以上であることが好ましい。５００μｍ以上とすることにより、極細繊維からなる布帛に塵埃を包み込むことができ、電気絶縁性シート面をキズつける可能性が減少する。さらに、塵埃の電気絶縁性シートへの再付着の可能性も減少する。なお、本発明でいう厚みは、布帛内部に含まれる空隙を含む見かけの厚さのことである。
【００５７】
また、本発明に用いられる第１の芯金２と第２の芯金１１とは、電気絶縁性シート４の幅方向を長手方向とする棒状基材であり、電気絶縁性シートの幅方向と平行となるように設置されている。さらに、第１の芯金２と第２の芯金１１は、電気絶縁性シート４を両面から同時に挟み込むための押圧手段と一体化しており、さらに接地された棒状基材であり、アルミや鉄などの金属が用いられる。
【００５８】
また、第１の芯金２と第２の芯金１１の電気絶縁性シート搬送方向の大きさは、１０ｍｍ以上１００ｍｍ未満とすることにより、塵埃や拭取りムラを下工程へ流出させることがなくなり、効率的な除塵と除電ができるため、好ましい。
【００５９】
本発明に用いられる押圧手段と一体化した接地された棒状処理部材の電気絶縁性シート４への押圧量は０．５ｋｇ/ｍ２以上１ｋｇ/ｍ２以下とすることにより、キズの発生がなく、塵埃や極性溶媒の拭き残しもなくなるため、好ましい。
【００６０】
なお、本発明における接地の一形態として、押圧手段と一体化した棒状処理部材が、ベアリングやハウジングによって金属製のフレームに取り付けられており、金属製のフレームは建物等の接地点に電気的に接続されている。上述のように、本発明における接地とは、棒状処理部材と金属製のフレームとの間の抵抗値をテスターで測定した場合、１０Ｖ以下であることをいう。
【００６１】
また、第１の棒状処理部だけでなく、第２の棒状処理部も接地させることにより、第１の棒状処理部により導通できていない位置が発生した場合にも除電できるようになるため、好ましい。
【００６２】
また、本発明に用いられる棒状処理部材の電気絶縁性シート４面との接触面は、第１の棒状処理部８における極性溶媒の電気絶縁性シート４への塗布ムラ、キズの発生の防止、第２の棒状処理部９における極性溶媒の拭き残し、キズの発生の防止のため、電気絶縁性シート４面と平行とする。
【００６３】
また、本発明に用いられる第１の芯金２に巻き付ける極細繊維からなる布帛１の巻き付け回数と第２の芯金１１に巻き付ける極細繊維からなる布帛１０の巻き付け回数は、増加させることにより、電気絶縁性シート４へのあたりを柔らかくすることができ、キズの発生を防止することが可能である。そのため、第１の芯金２と第２の芯金１１への極細繊維からなる布帛の巻き付け回数は、２回以上、好ましくは１０回以上であることが好ましい。
【００６４】
また、第１の芯金２と第２の芯金１１のその表面に保水性と弾力性の高い部材を巻き付け、その表面に極細繊維からなる布帛を巻きつけることにより、同様の効果を得ることができる。
【００６５】
また、本発明に用いられる第１の芯金２と第２の芯金１１に巻き付ける極細繊維からなる布帛は、布帛表面が汚れてきた際に、布帛を芯金から１周剥がすことにより、簡単に新しい布帛とすることができる。布帛を取り替える時間は短いほど、極細繊維からなる布帛に付いた塵埃の再流出を防ぐことができるため好ましい。そのため、１時間に１回以上極細繊維からなる布帛を剥がすことが好ましい。
【００６６】
また、本発明における第１の棒状処理部８と第２の棒状処理部９の電気絶縁性シート４の搬送方向の間隔は、１ｃｍ以上１ｍ以下であり、第１の棒状処理部８と第２の棒状処理部９の電気絶縁性シート４の搬送方向の間隔が短いほど、第１の棒状処理部８と第２の棒状処理部９の間の電気絶縁性シートに極性溶媒５を均一に塗布しやすくなるため、好ましい。
【００６７】
発明者らは、これらの連続的に搬送される電気絶縁性シート４の除塵方法として、接地された第１の芯金２の周囲に極細繊維からなる布帛１を配設して第１の棒状処理部材３とし、該第１の棒状処理部材３の極細繊維からなる布帛１に体積抵抗率１０６Ω・ｃｍ以下の前記溶媒を湿潤させ、前記第１の棒状処理部材３を前記電気絶縁性シート４の法線方向の両側から挟むように対向配置し、前記電気絶縁性シート４の両面から同時にシート幅方向に対して均一に前記第１の棒状処理部材３を接触させ、前記電気絶縁性シート４に接している前記極性溶媒の全てと前記第１の芯金２とを導通させ、第２の芯金１１の周囲に極細繊維からなる布帛１０を配設して第２の棒状処理部材１２とし、前記第１の棒状処理部材３の前記電気絶縁性シート４の搬送方向下流側に前記第２の棒状処理部材１２を前記電気絶縁性シート４の法線方向の両側から挟むように対向配置し、前記電気絶縁性シート４の両面から同時に前記電気絶縁性シート幅方向に対して均一に前記第２の棒状処理部材１２を接触させ、前記第１の棒状処理部材３と前記第２の棒状処理部材１２との間で前記溶媒を前記絶縁性シート両面に均一に塗布させ、前記第２の棒状処理部材１２の位置において前記電気絶縁性シート４上の前記極性溶媒５の全てを拭取ること電気絶縁性シート４に付着した塵埃と静電気力による帯電を効率的に除去でき、かつ、電気絶縁性シート４の表面のキズの発生を防ぐことができることを見出した。
【００６８】
本発明の第２の棒状処理部９で用いられる乾燥した極細繊維からなる布帛１０で電気絶縁性シートを拭いた場合、電気絶縁性シートは帯電する。しかし、本発明では、前記棒状処理部に極細繊維からなる布帛を用いることにより、第２の棒状処理部９に少しでも溶媒が触れた場合、毛管現象により、前記極細繊維からなる布帛全体が瞬時に湿潤される。そのため、電気絶縁性シートと極細繊維からなる布帛の接触している面全体が溶媒によって湿潤されるため、第２の棒状処理部において均一な除電が可能となる。
【００６９】
本発明において、電気絶縁性シート４の表面の静電荷を中和するためには、シート表面に溶媒をムラなく塗布して、電気的に接地した状態のまま乾燥させることが必要である。このためには、静電荷に相当する逆極性の電荷を、液体が接触した瞬間や、液体がシートから離れる瞬間まで、時間的にほぼ同時に電荷を誘導させておく必要がある。
【００７０】
時間的な誘導時間は減衰定数に関係するが、減衰定数は、抵抗値と静電容量の積である。電気絶縁性シートの静電荷が瞬時に中和するためには、体積抵抗率は１０６［Ω・ｃｍ］以下に小さくする必要がある。体積抵抗率が１０６［Ω・ｃｍ］を超えると、接触や剥離時に時間遅れが生じ、十分に中和ができなくなり、シートが高速で搬送されるなどの接触や剥離がごく短時間に行われる場合には、電気絶縁性シートに静電荷のムラを発生させてしまう。よって、体積抵抗率は１０６［Ω・ｃｍ］以下の極性溶媒を用いることが好ましい。
【００７１】
本発明の体積抵抗率１０６［Ω・ｃｍ］以下の液体による電気絶縁性シート表面に存在する静電荷の中和方法について説明する。
【００７２】
電気絶縁性シートの各面に存在する静電荷は、溶媒を湿潤させると、瞬時に逆極性の電荷が等量誘導され、中和される。このとき、逆極性で等量の誘導電荷が、シートの静電荷の場所に発生するので、正と負、または、負と正がバランスし中和される。正と負、または、負と正がバランスした状態を保ったまま、すなわち、電気的に接地された状態を維持したまま溶媒を乾燥させる方法である。電気的に接地された状態を維持したままで乾燥させるとは、溶媒が１つに繋がった静電気的導通状態でその最縁部から徐々に、波が引くように、溶媒を乾燥させることで実現できる。
【００７３】
次に、本発明の状態である両面から同時に中和する除電方法について図５を用いて説明する。図５は、電気絶縁性シート４表面上における電荷の様子の模擬図である。
【００７４】
除塵装置前の電気絶縁性シート４面上は、電気絶縁性シートが複数のロールと接触することにより、正（または負）電荷に帯電している。これらは、上面と下面に存在する静電荷が独立して存在している。電気絶縁性シート４の上面の静電荷と下面の静電荷は、第１の棒状処理部８の上側の棒状処理部材と下側の棒状処理部材からそれぞれ逆極性の静電荷が補償される。いずれか片方の面のみで処理を行った場合、たとえば、第１の棒状処理部８の上側の棒状処理部材により電気絶縁性シート４の上面のみを処理した場合には、電気絶縁性シート４の上面の電荷と下面の電荷の両方を中和するように、誘導電荷を形成してしまう。よって、この状態のまま第２の棒状処理部９において極性溶媒５を拭取り、静電荷を中和してしまうと、電気絶縁性シート４の上面と下面の静電荷の合計がゼロになるだけで、それぞれの面には静電荷がアンバランスに存在した状態となる。両面から処理を同時に行うことで、電気絶縁性シートの各面に存在する静電荷量に応じた量だけ電荷が丁度誘導され、電気的に接地したまま乾燥させることで、それぞれの面の静電荷がバランスよく中和できる。
【００７５】
本発明における除電方法は、第１の棒状処理部８における電気絶縁性シート４の両面への均一な塗布が重要であり、第１の棒状処理部８において電気絶縁性シート４の両面への均一な塗布ができていない場合には逆に電気絶縁性シート４を帯電させてしまうことになる。
【００７６】
図６に電気絶縁性シート４が帯電してしまう場合の模式図を示す。
【００７７】
図６に示すように、第１の棒状処理部８において、電気絶縁性シート４への均一な塗布ができておらず、塗布ムラが発生した状態で、第２の棒状処理部９において電気絶縁性シート４と棒状処理部材１２を接触させた場合、電気絶縁性シート４に極性溶媒５が湿潤されていないことから、第２の芯金１０との導通が取れず、逆極性電荷が発生せず、中和処理が為されない。また、極性溶媒５で湿潤されていないため、電気絶縁性シート４と第２の棒状処理部９の接触面に強い静電気力が発生し、逆に帯電してしまう。
【００７８】
そのため、第１の棒状処理部８での電気絶縁性シートへの極性溶媒５の塗布は、電気絶縁性シート４両面に対し、極性溶媒が塗布されず乾燥している場所が発生しないよう均一に塗布する必要がある。
【００７９】
第１の棒状処理部８で極性溶媒５を電気絶縁性シート４に均一に塗布させる方法として、極細繊維からなる布帛１の幅方向の湿潤量を均一にし、さらに、電気絶縁性シート面と、その上下に設置された第１の芯金２に巻き付けた極細繊維からなる布帛の電気絶縁性シート面との接触面を平行とし、全幅均一に押圧することが必要である。そのため、第１の芯金２に巻き付けた極性溶媒で湿潤させた極細繊維を電気絶縁性シート４の上下から均一に挟み込む際、第１の芯金２の幅方向に均一に押圧量を調整するため、押しボルトを第１の芯金２の幅方向に等間隔に配置し、押しボルトの締め付け量により、押圧量を調整することが好ましい。また、この押しボルトの間隔は細かくすればするほど第２の芯金２の幅方向に均一な押圧量の調整が可能となる。
【００８０】
これは、第２の棒状処理部９で電気絶縁性シート４に塗布された極性溶媒５を確実に拭取るために、第１の棒状処理部の場合と同様に、電気絶縁性シート面とその上下に設置された第２の芯金１０に巻き付けた極細繊維からなる布帛の電気絶縁性シート面との接触面を平行とし、全幅均一に押圧することが必要である。
【００８１】
さらに、本発明における除電方法は、第２の棒状処理部９における極性溶媒５の確実な拭取りが重要であり、極性溶媒５の拭残しが発生した場合、電気絶縁性シート４に存在する電荷と極性溶媒５の拭き残しに存在する逆極性電荷のバランスが崩れ、その箇所が帯電されてしまう。
【００８２】
図６に示すように極性溶媒５の拭残しが発生した場合、極性溶媒５と電気絶縁性シート４には、逆極性電荷がそれぞれ存在する。時間が経つにつれて、極性溶媒５は電荷を残して徐々に蒸発し、極性溶媒５の領域は収縮する。この収縮により、極性溶媒の電荷は導体である極性溶媒に応じて移動する。一方、極性溶媒５の蒸発により逆極性電荷が消失した電気絶縁性シート表面は、電荷がそのまま存在し、帯電が発生する。
【００８３】
また、蒸発により収縮した極性溶媒の領域には、極性溶媒上に存在していた電荷が移動することから、その領域に電荷が集まる。そのため、最終的に極性溶媒が残る位置では、電気絶縁性シート表面の逆極性電荷が集合するため、その箇所では電気絶縁性シート表面の逆極性に帯電する。
【００８４】
このように、電気絶縁性シートを確実に除電するためには、接地された第１の棒状処理部８で、電気絶縁性シート４を極性溶媒５で均一に塗布させ、また、第２の棒状処理部９で電気絶縁性シート両面に塗布されている極性溶媒５を均一に表裏同時に拭取ることが必要となる。
【００８５】
また、本発明の別の実施形態の例を、図７を参照しながら説明する。
【００８６】
図７において、１３は５００ｇ/ｍ３以上の極性溶媒を湿潤させた極細繊維からなる布帛であり、芯金１４の周囲に２周以上巻き付けている。１４は該極細繊維からなる布帛を巻き付けるための芯金を示す。また、１５は芯金１４の周囲に極性溶媒を湿潤させた極細繊維からなる布帛を巻き付けた棒状処理部材であり、１６は、棒状処理部材１５を電気絶縁性シート４の法線方向の両側から挟むように対向配置した棒状処理部である。また、４は電気絶縁性シートを示す。
このように、図７に示す電気絶縁性シート４の除塵装置は、図１に示す電気絶縁性シートの除塵装置の第１の棒状処理部のみの形態である。このように、１つの棒状処理部のみであるため、省スペースとなり、簡易に設置可能である。
【００８７】
図７に示す実施形態において、接地された芯金１４の周囲に極細繊維からなる布帛１３を配設して棒状処理部材１５とし、該棒状処理部材１５の極細繊維からなる布帛に体積抵抗率１０６Ω・ｃｍ以下の極性溶媒を湿潤させ、前記棒状処理部材１５を電気絶縁性シート４の法線方向の両側から挟むように対向配置し、前記電気絶縁性シート４の両面から同時に電気絶縁性シート幅方向に対して均一に前記棒状処理部材１５を接触させ、前記電気絶縁性シート４に接している前記極性溶媒の全てと前記芯金１４とを導通させた状態で、前記電気絶縁性シート４面に付着した塵埃を拭取ることにより、電気絶縁性シートの電気絶縁性シート４に付着した塵埃と静電気力による帯電を効率的に除去でき、かつ、電気絶縁性シート４の表面のキズの発生を防ぐことができる。
【００８８】
また、第１の棒状処理部８の極細繊維からなる布帛１に極性溶媒を湿潤させる方法として、予め極細繊維からなる布帛に極性溶媒を湿潤させておく方法があるが、電気絶縁性シート４の連続搬送時には、搬送中に湿潤量が変化し、一定の除塵性能が確保できない場合がある。そのため、図８、図９に示すように、極性溶媒を一定時間毎に供給する装置を追加する方法が好ましい。また、この供給間隔は時間が短いほど、極性溶媒を電気絶縁性シートに均一に湿潤することが可能となるため、３０分以下とすることが好ましい。
【００８９】
ここで、図８は、第１の棒状処理部８の極細繊維からなる布帛の前に極性溶媒供給ノズル６を設置した場合の電気絶縁性シートの除塵装置である。極性溶媒供給ノズル６は、第１の棒状処理部８の長手方向に均一に湿潤させる必要があり、第１の棒状処理部８の長手方向に対して、複数の極性溶媒供給ノズル６が設置させる。この極性溶媒供給ノズル間の距離は、２０ｃｍ以下であることが好ましい。
【００９０】
また、図９は、第１の棒状処理部８の極細繊維からなる布帛を巻き付ける第１の芯金２に極性溶媒供給管７を設置し、第１の芯金２に一定間隔で極性溶媒供給ノズル６を設置した場合の電気絶縁性シートの除塵装置である。図９の電気絶縁性シートの除塵装置も、図８と同様に、極性溶媒供給ノズル６は、第１の棒状処理部８の長手方向に均一に湿潤させる必要があり、第１の棒状処理部８の長手方向に対して、複数の極性溶媒供給ノズル６が設置させる。この極性溶媒供給ノズル間の距離は、２０ｃｍ以下であることが好ましい。
【００９１】
このようにすることで、連続搬送される電気絶縁性シート４に対して、電気絶縁性シートの除塵装置は一定の除塵・除電性能を維持することが可能となる。
【実施例】
【００９２】
以下に、連続的に搬送される幅１ｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（以下フィルムと呼ぶ）に付着した塵埃を除去するために本発明を適用した実施例を説明するが、本発明はかかる実施例のみに限定されるものではない。また、比較例として、条件を変えた場合の結果を示す。
［実施例１］
図７と同じ構成を有するフィルムの除塵装置を用いた。極細繊維からなる布帛として東レ株式会社製“トレシー（登録商標、以下、単にトレシーと呼ぶ）”（型式：ＭＴＫ）を用い、５０ｍｍ×５０ｍｍ、長さ１．５ｍのアルミ製の角材に幅１．２ｍのトレシーを１０周巻き付けた。また、極性溶媒としてエタノールを用い、予め３０ｇのエタノールを湿潤させた幅方向に長いスポンジを２つのアルミ製の角材に巻き付けたトレシーによって均一に挟みこむことにより、トレシーの幅方向に均一にエタノールを湿潤させた。このアルミ製の角材に巻き付けたトレシーをフィルムの上下から同時に挟み込んだ。ここで、２つのトレシーを巻き付けた芯金２により、フィルムを上下から挟み込む圧力は富士フィルム株式会社製のプレスケール（型式「ＬＬＬＷ」）により測定し、５００ｇ／ｍ２とした。
［比較例１］
実施例１と同じ構成を有するフィルムの除塵装置において、アルミ製の角材を接地させず、エタノールとアルミ製の角材を導通させない状態で、シート両面を同時に拭取った。
［実施例２］
図１と同じ構成を有するフィルムの除塵装置を用いた。極細繊維からなる布帛としてトレシーを用い、第１の棒状処理部として、５０ｍｍ×５０ｍｍ、長さ１．５ｍのアルミ製の角材に幅１．２ｍのトレシーを１０周巻き付け、極性溶媒であるエタノール５０ｇをトレシーに予め湿潤させた。また、第２の棒状処理部として、５０ｍｍ×５０ｍｍ、長さ１．５ｍのアルミ製の角材に幅１．２ｍトレシーを１０周巻き付けた。各棒状処理部におけるトレシーを巻き付けた芯金によってフィルムを上下から挟み込む圧力は５００ｇ／ｍ２とした。さらに、第１の棒状処理部と第２の棒状処理部の間隔は５０ｍｍとした。
［比較例２］
実施例２と同じ構成を有するフィルムの除塵装置の第２の棒状処理部において、トレシーを巻き付けた芯金とフィルムが均一に接触されず、拭残しがあり、フィルムに湿潤させたエタノールとトレシーが導通されない場所が存在する状態とした。
［評価結果］
０．５μｍ以上５００μｍ以下の塵埃が付着し、＋１５ｋＶに帯電した幅１ｍのフィルムを１０ｍ／ｍｉｎで５０ｍ連続的に搬送させ、実施例１、２と比較例１，２の各除塵装置を適用した。そして、各除塵装置適用後におけるフィルムの両面の除塵結果、除電結果、キズ発生結果、溶媒の拭取り結果を確認した。除塵結果、キズ発生結果、溶媒の拭取り結果は除塵後のフィルムを１０ｍ切り取り、そのフィルムに蛍光灯により光を当て、フィルム表面に存在するキズ、塵埃、溶媒の拭き残しを確認し、除電結果は、Ｔｒｅｋ，Ｉｎｃ．製の表面電位計（型式「Ｍｏｄｅｌ５２３−１」）により測定した。この結果を表１に示す。なお、除塵結果における「○」は８０％以上の除塵効果が得られ、「×」は８０％未満の除塵効果であった場合である。また、除電結果における「○」は電位測定結果が±１ｋＶ以内であり、「×」はそれ以上である。また、キズ発生結果における「○」はキズが発生しなかった場合、「×」はキズが発生した場合である。溶媒の拭取り結果における「○」は溶媒の拭取りムラが発生しなかった場合、「×」は溶媒の拭取りムラが発生した場合である。
【００９３】
【表１】
2011090826.tif 000003
【００９４】
実施例１、２において、フィルムに付着していた０．５μｍ以上５００μｍ以下の塵埃を全て除去することができ、キズの発生もなかった。また、エタノールを均一に拭取ることができ、除塵後のフィルムの帯電量を測定した結果、＋０．５ｋＶとほぼ帯電していないことが確認できた。
【００９５】
さらに、本除塵装置の後に、カメラと光源による検査装置に通したところ、フィルムに発生したキズのみを検出することができた。さらに、検査結果に基づいてフィルムの製造工程を管理し、フィルムの製造工程に検査結果をフィードバックすることにより、フィルムの製造方法を改善することができた。
【００９６】
一方、比較例１において、エタノールとアルミ製の角材を導通させない場合、フィルムに付着していた塵埃を除去できることが確認でき、キズも発生していなかった。しかし、フィルムの帯電は＋１５ｋＶであり、除電することができなかった。
【００９７】
また、比較例２において、各棒状処理部のトレシーを巻き付けたアルミ製の角材をフィルム幅方向に対して均一に接触させず、フィルムに湿潤させたエタノールとトレシーが導通されない場所が存在する状態の場合、エタノールの拭取りムラが発生した。帯電量を測定すると、均一に拭取れた箇所は＋０．５ｋＶと除電できていたが、エタノールの拭取りムラ部は＋１５ｋＶと帯電していることが確認され、フィルム上で、斑上に帯電箇所が存在することが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００９８】
本発明は、連続搬送するフィルム表面に生じる塵埃の除塵装置に限らず、紙面表面に生じる塵埃の除去などにも応用することができるが、その応用範囲が、これらに限られるものではない。
【符号の説明】
【００９９】
１     ５００ｇ／ｍ３以上の極性溶媒を湿潤させ、第１の芯金に２周以上巻きつけた極細繊維からなる布帛
２     第１の芯金
３     第１の棒状処理部材
４     電気絶縁性シート
５     極性溶媒
６     極性溶媒供給ノズル
７     極性溶媒供給管
８     第１の棒状処理部
９     第２の棒状処理部
１０   第２の芯金に２周以上巻きつけた極細繊維からなる布帛
１１   第２の芯金
１２   第２の棒状処理部材
１３   ５００ｇ／ｍ３以上の極性溶媒を湿潤させ、芯金に２周以上巻きつけた極細繊維からなる布帛
１４   芯金
１５   棒状処理部材
１６   棒状処理部
２１   転写ロール
２２   粘着ロール
２３   除塵ロール
２４   乾式除塵器
２５   搬送ロール
２６   電気絶縁性シート
３１   拭取り布布巻出ロール
３２   拭取り布巻取ロール
３３   拭取り布
３４   押圧部材
３５   歯車
３６   イオン化装置
４１   基板
４２   清掃部材
４３   供給リール
４４   巻き取りリール
４５   上下駆動手段（シリンダ）
４６   ノズル
４７   供給チューブ
【図１】
2011090826.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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