(57)【要約】【課題】プロキシミティ露光装置において、基板の温度制御を効果的に行う。【解決手段】本体ハウス３０内で、基板１をチャック１０により支持し、マスク２をマスクホルダ２０により保持し、チャック１０をステージにより移動する。本体ハウス３０内へ横方向に温度調節された清浄な空気を供給し、チャック１０の下方に設けた吸気口４１をチャック１０と伴に移動しながら、吸気口４１から本体ハウス３０内の空気を取り込んで本体ハウス３０外へ排気する。横方向へ流れる空気が、基板１の表面を伝って、チャック１０の下方に設けた吸気口４１へ回り込み、マスク２が基板１の上方に基板１と接近して配置されても、基板１の表面へ温度調節された清浄な空気が供給される。【選択図】図３
2011002567.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、
基板を支持するチャックと、
マスクを保持するマスクホルダと、
前記チャックを移動するステージと、
前記チャック、前記マスクホルダ及び前記ステージを収容する本体ハウスと、
前記本体ハウス内へ横方向に温度調節された清浄な空気を供給する空気供給手段と、
前記チャックの下方に前記チャックと伴に移動する吸気口を有し、該吸気口から前記本体ハウス内の空気を取り込んで前記本体ハウス外へ排気する排気手段とを備えたことを特徴とするプロキシミティ露光装置。
【請求項２】
前記ステージは、第１のステージと、該第１のステージに搭載されて該第１のステージの移動方向と直交する方向へ移動する第２のステージとを有し、
前記排気手段は、前記第１のステージに設けられ、前記第２のステージの移動範囲に渡って前記吸気口を有する第１の排気カバーと、該第１の排気カバー内の空気を排出するファンと、該ファンにより排出された空気を前記本体ハウス外へ排気する第２の排気カバーとを有することを特徴とする請求項１に記載のプロキシミティ露光装置。
【請求項３】
前記第１の排気カバーは、内部に前記第２のステージに接続されたケーブル及び配管を収納し、
前記第２の排気カバーは、内部に前記第１のステージに接続されたケーブル及び配管を収納することを特徴とする請求項２に記載のプロキシミティ露光装置。
【請求項４】
マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置の基板温度制御方法であって、
本体ハウス内で、
基板をチャックにより支持し、
マスクをマスクホルダにより保持し、
チャックをステージにより移動し、
本体ハウス内へ横方向に温度調節された清浄な空気を供給し、
チャックの下方に設けた吸気口をチャックと伴に移動しながら、
吸気口から本体ハウス内の空気を取り込んで本体ハウス外へ排気することを特徴とするプロキシミティ露光装置の基板温度制御方法。
【請求項５】
ステージを、第１のステージと、第１のステージに搭載されて第１のステージの移動方向と直交する方向へ移動する第２のステージとで構成し、
第１のステージに、第２のステージの移動範囲に渡って吸気口を有する第１の排気カバーを設け、
第１の排気カバー内の空気をファンにより排出し、
排出した空気を第２の排気カバーにより本体ハウス外へ排気することを特徴とする請求項４に記載のプロキシミティ露光装置の基板温度制御方法。
【請求項６】
第１の排気カバー内に、第２のステージに接続されたケーブル及び配管を収納し、
第２の排気カバー内に、第１のステージに接続されたケーブル及び配管を収納することを特徴とする請求項５に記載のプロキシミティ露光装置の基板温度制御方法。
【請求項７】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置を用いて基板の露光を行うことを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
【請求項８】
請求項４乃至請求項６のいずれか一項に記載のプロキシミティ露光装置の基板温度制御方法を用いて基板の温度を制御しながら、基板の露光を行うことを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ装置等の表示用パネル基板の製造において、プロキシミティ方式を用いて基板の露光を行うプロキシミティ露光装置、プロキシミティ露光装置の基板温度制御方法、及びそれらを用いた表示用パネル基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示用パネルとして用いられる液晶ディスプレイ装置のＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）基板やカラーフィルタ基板、プラズマディスプレイパネル用基板、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示パネル用基板等の製造は、露光装置を用いて、フォトリソグラフィー技術により基板上にパターンを形成して行われる。露光装置としては、レンズ又は鏡を用いてマスクのパターンを基板上に投影するプロジェクション方式と、マスクと基板との間に微小な間隙（プロキシミティギャップ）を設けてマスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ方式とがある。プロキシミティ方式は、プロジェクション方式に比べてパターン解像性能は劣るが、照射光学系の構成が簡単で、かつ処理能力が高く量産用に適している。
【０００３】
プロジェクション方式の投影露光装置では、投影光学系を構成する光学部品の光学特性が周囲の温度により変化するため、露光装置内の温度を一定に制御する必要がある。特許文献１には、露光装置内に温度制御された空気を送り込む複数のダクトを備え、複数のダクトの吹出し口を露光装置内の異なる位置にそれぞれ配置して、露光装置内の温度を制御する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−１４７７７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
プロキシミティ露光装置は、投影露光装置の様な投影光学系を備えておらず、投影光学系の光学部品の光学特性が温度変化により影響を受けるという問題は無い。一方、プロキシミティ露光装置では、マスクと基板とを一対一に向き合わせて基板の露光を行うため、露光光の照射により基板の温度が上昇すると、基板が熱膨張して、パターンの露光が精度良く行われない。そのため、プロキシミティ露光装置では、露光装置内での基板の温度管理が重要となる。
【０００６】
従来のプロキシミティ露光装置では、チャックに温度調節機構を設けると伴に、露光装置内に上から下へ流れる空気のダウンフローを形成して、基板の温度制御を行っていた。しかしながら、プロキシミティ露光装置では、露光時にマスクが基板の上方に基板と接近して配置されるため、空気のダウンフローがマスクに遮られて基板へ当たらず、基板の温度制御を十分に行うことができなかった。
【０００７】
本発明の課題は、プロキシミティ露光装置において、基板の温度制御を効果的に行うことである。また、本発明の課題は、高品質な表示用パネル基板を製造することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のプロキシミティ露光装置は、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置において、基板を支持するチャックと、マスクを保持するマスクホルダと、チャックを移動するステージと、チャック、マスクホルダ及びステージを収容する本体ハウスと、本体ハウス内へ横方向に温度調節された清浄な空気を供給する空気供給手段と、チャックの下方にチャックと伴に移動する吸気口を有し、吸気口から本体ハウス内の空気を取り込んで本体ハウス外へ排気する排気手段とを備えたものである。
【０００９】
また、本発明のプロキシミティ露光装置の基板温度制御方法は、マスクと基板との間に微小なギャップを設けて、マスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ露光装置の基板温度制御方法であって、本体ハウス内で、基板をチャックにより支持し、マスクをマスクホルダにより保持し、チャックをステージにより移動し、本体ハウス内へ横方向に温度調節された清浄な空気を供給し、チャックの下方に設けた吸気口をチャックと伴に移動しながら、吸気口から本体ハウス内の空気を取り込んで本体ハウス外へ排気するものである。
【００１０】
本体ハウス内へ横方向に温度調節された清浄な空気を供給するので、本体ハウス内に横方向へ流れる空気のサイドフローが形成される。そして、チャックの下方に設けた吸気口から本体ハウス内の空気を取り込んで本体ハウス外へ排気するので、横方向へ流れる空気が、基板の表面を伝って、チャックの下方に設けた吸気口へ回り込み、マスクが基板の上方に基板と接近して配置されても、基板の表面へ温度調節された清浄な空気が供給される。さらに、チャックの下方に設けた吸気口をチャックと伴に移動するので、常に基板の表面へ温度調節された清浄な空気が供給される。従って、基板の温度制御が効果的に行われる。
【００１１】
さらに、本発明のプロキシミティ露光装置は、ステージが、第１のステージと、第１のステージに搭載されて第１のステージの移動方向と直交する方向へ移動する第２のステージとを有し、排気手段が、第１のステージに設けられ、第２のステージの移動範囲に渡って吸気口を有する第１の排気カバーと、第１の排気カバー内の空気を排出するファンと、ファンにより排出された空気を本体ハウス外へ排気する第２の排気カバーとを有するものである。
【００１２】
また、本発明のプロキシミティ露光装置の基板温度制御方法は、ステージを、第１のステージと、第１のステージに搭載されて第１のステージの移動方向と直交する方向へ移動する第２のステージとで構成し、第１のステージに、第２のステージの移動範囲に渡って吸気口を有する第１の排気カバーを設け、第１の排気カバー内の空気をファンにより排出し、排出した空気を第２の排気カバーにより本体ハウス外へ排気するものである。
【００１３】
第１のステージに、第２のステージの移動範囲に渡って吸気口を有する第１の排気カバーを設けるので、吸気口が、第１のステージによりチャックと伴に移動される。そして、第１の排気カバー内の空気をファンにより排出し、排出した空気を第２の排気カバーにより本体ハウス外へ排気するので、第１の排気カバー、ファン及び第２の排気カバーを用いた簡単な構成で、吸気口から取り込んだ空気が本体ハウス外へ排気される。
【００１４】
さらに、本発明のプロキシミティ露光装置は、第１の排気カバーが、内部に第２のステージに接続されたケーブル及び配管を収納し、第２の排気カバーが、内部に第１のステージに接続されたケーブル及び配管を収納するものである。また、本発明のプロキシミティ露光装置の基板温度制御方法は、第１の排気カバー内に、第２のステージに接続されたケーブル及び配管を収納し、第２の排気カバー内に、第１のステージに接続されたケーブル及び配管を収納するものである。第１のステージ及び第２のステージには、ステージの駆動装置、空気圧回路、チャックの温度調節機構等へ電力、圧縮空気、温度調節用の水等を供給するケーブル及び配管が接続され、これらのケーブル及び配管が第１のステージ又は第２のステージと伴に移動する際に、塵埃が発生する。これらのケーブル及び配管を第１の排気カバー内又は第２の排気カバー内に収納するので、ケーブル及び配管の移動により発生する塵埃が、本体ハウス内へ広がることなく、本体ハウス外へ空気と一緒に排出される。
【００１５】
本発明の表示用パネル基板の製造方法は、上記のプロキシミティ露光装置を用いて基板の露光を行い、あるいは、上記のプロキシミティ露光装置の基板温度制御方法を用いて基板の温度を制御しながら、基板の露光を行うものである。基板の温度制御が効果的に行われるので、パターンの露光が精度良く行われ、高品質な表示用パネル基板が製造される。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のプロキシミティ露光装置及びプロキシミティ露光装置の基板温度制御方法によれば、本体ハウス内で、基板をチャックにより支持し、マスクをマスクホルダにより保持し、チャックをステージにより移動し、本体ハウス内へ横方向に温度調節された清浄な空気を供給し、チャックの下方に設けた吸気口をチャックと伴に移動しながら、吸気口から本体ハウス内の空気を取り込んで本体ハウス外へ排気することにより、基板の温度制御を効果的に行うことができる。
【００１７】
さらに、本発明のプロキシミティ露光装置及びプロキシミティ露光装置の基板温度制御方法によれば、ステージを、第１のステージと、第１のステージに搭載されて第１のステージの移動方向と直交する方向へ移動する第２のステージとで構成し、第１のステージに、第２のステージの移動範囲に渡って吸気口を有する第１の排気カバーを設け、第１の排気カバー内の空気をファンにより排出し、排出した空気を第２の排気カバーにより本体ハウス外へ排気することにより、簡単な構成で、吸気口をチャックと伴に移動することができ、かつ吸気口から取り込んだ空気を本体ハウス外へ排気することができる。
【００１８】
さらに、本発明のプロキシミティ露光装置及びプロキシミティ露光装置の基板温度制御方法によれば、第１の排気カバー内に、第２のステージに接続されたケーブル及び配管を収納し、第２の排気カバー内に、第１のステージに接続されたケーブル及び配管を収納することにより、第１のステージ又は第２のステージに接続されたケーブル及び配管の移動により発生する塵埃を、本体ハウス内へ広げることなく、本体ハウス外へ空気と一緒に排出することができる
【００１９】
本発明の表示用パネル基板の製造方法によれば、基板の温度制御を効果的に行うことができるので、パターンの露光を精度良く行って、高品質な表示用パネル基板を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の上面図である。
【図２】本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の側面図である。
【図３】一方のチャックを露光位置へ移動した状態を示す側面図である。
【図４】Ｘステージに設けられた排気カバーの斜視図である。
【図５】ベースに設けられた排気カバーの斜視図である。
【図６】液晶ディスプレイ装置のＴＦＴ基板の製造工程の一例を示すフローチャートである。
【図７】液晶ディスプレイ装置のカラーフィルタ基板の製造工程の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
図１は、本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の上面図である。また、図２は、本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の側面図である。本実施の形態は、基板を支持するチャックを２つ備えたプロキシミティ露光装置の例を示しているが、チャックの数は２つに限定されるものではなく、１つ又は３つ以上であってもよい。プロキシミティ露光装置は、ベース３、Ｘガイド４、Ｘステージ５、Ｙガイド６、Ｙステージ７、θステージ８、チャック支持台９、チャック１０、マスクホルダ２０、ホルダフレーム２１、支柱２２、本体ハウス３０、側壁３１、フィルタ付き吹き出し口３２、排気カバー４０，５０、排気ダクト５５、恒温送風機６０、及び送風ダクト６１を含んで構成されている。プロキシミティ露光装置は、これらの他に、基板１をチャック１０へ搬入し、また基板１をチャック１０から搬出する基板搬送ロボット、露光光を照射する照射光学系等を備えている。
【００２２】
なお、以下に説明する実施の形態におけるＸＹ方向は例示であって、Ｘ方向とＹ方向とを入れ替えてもよい。
【００２３】
図１及び図２において、各チャック１０は、基板１のロード及びアンロードを行うそれぞれのロード／アンロード位置にある。それぞれのロード／アンロード位置において、図示しない基板搬送ロボットにより、基板１がチャック１０へ搬入され、また基板１がチャック１０から搬出される。チャック１０への基板１のロード及びチャック１０からの基板１のアンロードは、チャック１０に設けた複数の突き上げピンを用いて行われる。突き上げピンは、チャック１０の内部に収納されており、チャック１０の内部から上昇して、基板１をチャック１０にロードする際、基板搬送ロボットから基板１を受け取り、基板１をチャック１０からアンロードする際、基板搬送ロボットへ基板１を受け渡す。
【００２４】
各チャック１０の内部には、例えば温度調節用の水を通すパイプ等から成る温度調節機構が設けられており、基板１からチャック１０へ熱が伝わることにより、基板１の温度調節が行われる。
【００２５】
図３は、一方のチャックを露光位置へ移動した状態を示す側面図である。基板１の露光を行う露光位置の上空には、マスク２を保持するマスクホルダ２０が配置されている。マスクホルダ２０は、ホルダフレーム２１に取り付けられており、ホルダフレーム２１は、支柱２２により露光位置の上空に支持されている。マスクホルダ２０には、露光光が通過する開口が設けられており、マスクホルダ２０は、開口の周囲に設けられた図示しない吸着溝により、マスク２の周辺部を真空吸着して保持する。マスクホルダ２０に保持されたマスク２の上空には、図示しない照射光学系が配置されている。露光時、照射光学系からの露光光がマスク２を透過して基板１へ照射されることにより、マスク２のパターンが基板１の表面に転写され、基板上にパターンが形成される。
【００２６】
図２及び図３において、各チャック１０は、チャック支持台９を介してθステージ８に搭載されており、θステージ８の下にはＹステージ７及びＸステージ５が設けられている。Ｘステージ５は、ベース３に設けられたＸガイド４に搭載され、Ｘガイド４に沿ってＸ方向（図２及び図３の図面横方向）へ移動する。Ｙステージ７は、Ｘステージ５に設けられたＹガイド６に搭載され、Ｙガイド６に沿ってＹ方向（図２及び図３の図面奥行き方向）へ移動する。Ｘステージ５及びＹステージ７は、ボールねじ及びモータや、リニアモータ等の図示しない駆動装置により駆動される。θステージ８は、Ｙステージ７に搭載され、θ方向へ回転する。チャック支持台９は、θステージ８に搭載され、チャック１０を複数箇所で支持する。
【００２７】
Ｘステージ５のＸ方向への移動及びＹステージ７のＹ方向への移動により、各チャック１０は、それぞれのロード／アンロード位置と露光位置との間を移動される。それぞれのロード／アンロード位置において、Ｘステージ５のＸ方向への移動、Ｙステージ７のＹ方向への移動、及びθステージ８のθ方向への回転により、チャック１０に搭載された基板１のプリアライメントが行われる。露光位置において、Ｘステージ５のＸ方向への移動及びＹステージ７のＹ方向への移動により、チャック１０に搭載された基板１のＸＹ方向へのステップ移動が行われる。そして、Ｘステージ５のＸ方向への移動、Ｙステージ７のＹ方向への移動、及びθステージ８のθ方向への回転により、基板１のアライメントが行われる。また、図示しないＺ−チルト機構によりマスクホルダ２０をＺ方向（図３の図面上下方向）へ移動及びチルトすることにより、マスク２と基板１とのギャップ合わせが行われる。
【００２８】
なお、本実施の形態では、マスクホルダ２０をＺ方向へ移動及びチルトすることにより、マスク２と基板１とのギャップ合わせを行っているが、チャック支持台９にＺ−チルト機構を設けて、チャック１０をＺ方向へ移動及びチルトすることにより、マスク２と基板１とのギャップ合わせを行ってもよい。
【００２９】
以下、本発明の一実施の形態によるプロキシミティ露光装置の基板温度制御方法について説明する。図１〜図３において、ベース３の外側には、ベース３、Ｘガイド４、Ｘステージ５、Ｙガイド６、Ｙステージ７、θステージ８、チャック支持台９、チャック１０、マスクホルダ２０、ホルダフレーム２１、及び支柱２２を収容する本体ハウス３０が設けられている。本体ハウス３０の天井には、図示しない照射光学系からの露光光が透過する窓が設けられている。本体ハウス３０の側壁３１には、フィルタ付き吹き出し口３２が設けられており、フィルタ付き吹き出し口３２は、本体ハウス３０内へ横方向に温度調節された清浄な空気を供給する。フィルタ付き吹き出し口３２から供給された空気により、図２及び図３に矢印で示す様に、本体ハウス３０内に横方向へ流れる空気のサイドフローが形成される。
【００３０】
図１〜図３において、Ｘステージ５のＹ方向へ伸びる２つの側面には、Ｙステージ７の移動範囲に渡って、排気カバー４０がそれぞれ設けられている。また、ベース３のＸ方向へ伸びる２つの側面には、Ｘステージ５の移動範囲に渡って、排気カバー５０がそれぞれ設けられている。
【００３１】
図４は、Ｘステージに設けられた排気カバーの斜視図である。各排気カバー４０は、内部が空洞であって、２つの排気カバーの互いに向かい合う側面には、Ｙステージ７の移動範囲に渡って、吸気口４１がそれぞれ設けられている。各排気カバー４０の両端には、フィルタ付きファン４２がそれぞれ取り付けられている。各フィルタ付きファン４２の働きにより、図４に矢印で示す様に、本体ハウス３０内の空気が、各吸気口４１から各排気カバー４０内へ取り込まれて、各フィルタ付きファン４２から排出される。
【００３２】
図５は、ベースに設けられた排気カバーの斜視図である。各排気カバー５０は、内部が空洞であって、２つの排気カバー５０の互いに向かい合う側面には、Ｘステージ５の移動範囲に渡って、吸気口５１がそれぞれ設けられている。また、各排気カバー５０の吸気口５１が設けられた側面と反対側の側面には、複数の排気ダクト５５がそれぞれ設けられている。図５に矢印で示す様に、図４の各フィルタ付きファン４２から排出された空気は、各吸気口５１から各排気カバー５０内へ取り込まれて、複数の排気ダクト５５から本体ハウス３０外へ排出される。
【００３３】
本体ハウス３０内へ横方向に温度調節された清浄な空気を供給するので、本体ハウス３０内に横方向へ流れる空気のサイドフローが形成される。そして、チャック１０の下方に設けた吸気口４１から本体ハウス３０内の空気を取り込んで本体ハウス３０外へ排気するので、図２及び図３に矢印で示す様に、横方向へ流れる空気が、基板１の表面を伝って、チャック１０の下方に設けた吸気口４１へ回り込み、図３に示す様にマスク２が基板１の上方に基板１と接近して配置されても、基板１の表面へ温度調節された清浄な空気が供給される。さらに、チャック１０の下方に設けた吸気口４１をチャック１０と伴に移動するので、常に基板１の表面へ温度調節された清浄な空気が供給される。従って、基板１の温度制御が効果的に行われる。
【００３４】
また、Ｘステージ５に、Ｙステージ７の移動範囲に渡って吸気口４１を有する排気カバー４０を設けるので、吸気口４１が、Ｘステージ５によりチャック１０と伴に移動される。そして、排気カバー４０内の空気をフィルタ付きファン４２により排出し、排出した空気を排気カバー５０により本体ハウス３０外へ排気するので、排気カバー４０、フィルタ付きファン４２及び排気カバー５０を用いた簡単な構成で、吸気口４１から取り込んだ空気が本体ハウス３０外へ排気される。
【００３５】
図１〜図３において、排気ダクト５５は、本体ハウス３０外に設けられた恒温送風機６０へ接続されている。恒温送風機６０は、排気ダクト５５から排出された空気の温度を調節し、温度調節された空気を、送風ダクト６１を介して、本体ハウス３０の側壁３１に設けられたフィルタ付き吹き出し口３２へ供給する。
【００３６】
図４及び図５において、排気カバー４０，５０内には、ケーブルベア４３，５３がそれぞれ設置されており、ケーブルベア４３，５３内には、ステージの駆動装置、空気圧回路、チャック１０の温度調節機構等へ電力、圧縮空気、温度調節用の水等を供給するケーブル及び配管がそれぞれ収納されている。図４において、ケーブルベア４３の一端は、Ｙステージ７に接続されており、Ｙステージ７に設けられたベア受け４４により支持されて、Ｙステージ７と伴に移動する。また、図５において、ケーブルベア５３の一端は、Ｘステージ５に接続されており、Ｘステージ５に設けられたベア受け５４により支持されて、Ｘステージ５と伴に移動する。Ｙステージ７に接続されたケーブル及び配管を排気カバー４０内に収納し、Ｘステージ５に接続されたケーブル及び配管を排気カバー５０内に収納するので、ケーブル及び配管の移動により発生する塵埃が、本体ハウス３０内へ広がることなく、本体ハウス３０外へ空気と一緒に排出される。
【００３７】
以上説明した実施の形態によれば、本体ハウス３０内で、基板１をチャック１０により支持し、マスク２をマスクホルダ２０により保持し、チャック１０をＸステージ５及びＹステージ７により移動し、本体ハウス３０内へ横方向に温度調節された清浄な空気を供給し、チャック１０の下方に設けた吸気口４１をチャック１０と伴に移動しながら、吸気口４１から本体ハウス３０内の空気を取り込んで本体ハウス３０外へ排気することにより、基板１の温度制御を効果的に行うことができる。
【００３８】
さらに、Ｘステージ５に、Ｙステージ７の移動範囲に渡って吸気口４１を有する排気カバー４０を設け、排気カバー４０内の空気をフィルタ付きファン４２により排出し、排出した空気を排気カバー５０により本体ハウス３０外へ排気することにより、簡単な構成で、吸気口４１をチャック１０と伴に移動することができ、かつ吸気口４１から取り込んだ空気を本体ハウス３０外へ排気することができる。
【００３９】
さらに、排気カバー４０内に、Ｙステージ７に接続されたケーブル及び配管を収納し、排気カバー５０内に、Ｘステージ５に接続されたケーブル及び配管を収納することにより、Ｘステージ５又はＹステージ７に接続されたケーブル及び配管の移動により発生する塵埃を、本体ハウス３０内へ広げることなく、本体ハウス３０外へ空気と一緒に排出することができる。
【００４０】
本発明のプロキシミティ露光装置を用いて基板の露光を行い、あるいは、本発明のプロキシミティ露光装置の基板温度制御方法を用いて基板の温度を制御しながら、基板の露光を行うことにより、基板の温度制御を効果的に行うことができるので、パターンの露光を精度良く行って、高品質な表示用パネル基板を製造することができる。
【００４１】
例えば、図６は、液晶ディスプレイ装置のＴＦＴ基板の製造工程の一例を示すフローチャートである。薄膜形成工程（ステップ１０１）では、スパッタ法やプラズマ化学気相成長（ＣＶＤ）法等により、基板上に液晶駆動用の透明電極となる導電体膜や絶縁体膜等の薄膜を形成する。レジスト塗布工程（ステップ１０２）では、ロール塗布法等により感光樹脂材料（フォトレジスト）を塗布して、薄膜形成工程（ステップ１０１）で形成した薄膜上にフォトレジスト膜を形成する。露光工程（ステップ１０３）では、プロキシミティ露光装置や投影露光装置等を用いて、マスクのパターンをフォトレジスト膜に転写する。現像工程（ステップ１０４）では、シャワー現像法等により現像液をフォトレジスト膜上に供給して、フォトレジスト膜の不要部分を除去する。エッチング工程（ステップ１０５）では、ウエットエッチングにより、薄膜形成工程（ステップ１０１）で形成した薄膜の内、フォトレジスト膜でマスクされていない部分を除去する。剥離工程（ステップ１０６）では、エッチング工程（ステップ１０５）でのマスクの役目を終えたフォトレジスト膜を、剥離液によって剥離する。これらの各工程の前又は後には、必要に応じて、基板の洗浄／乾燥工程が実施される。これらの工程を数回繰り返して、基板上にＴＦＴアレイが形成される。
【００４２】
また、図７は、液晶ディスプレイ装置のカラーフィルタ基板の製造工程の一例を示すフローチャートである。ブラックマトリクス形成工程（ステップ２０１）では、レジスト塗布、露光、現像、エッチング、剥離等の処理により、基板上にブラックマトリクスを形成する。着色パターン形成工程（ステップ２０２）では、染色法、顔料分散法、印刷法、電着法等により、基板上に着色パターンを形成する。この工程を、Ｒ、Ｇ、Ｂの着色パターンについて繰り返す。保護膜形成工程（ステップ２０３）では、着色パターンの上に保護膜を形成し、透明電極膜形成工程（ステップ２０４）では、保護膜の上に透明電極膜を形成する。これらの各工程の前、途中又は後には、必要に応じて、基板の洗浄／乾燥工程が実施される。
【００４３】
図６に示したＴＦＴ基板の製造工程では、露光工程（ステップ１０３）において、図７に示したカラーフィルタ基板の製造工程では、ブラックマトリクス形成工程（ステップ２０１）及び着色パターン形成工程（ステップ２０２）の露光処理において、本発明のプロキシミティ露光装置又は本発明のプロキシミティ露光装置の基板温度制御方法を適用することができる。
【符号の説明】
【００４４】
１  基板
２  マスク
３  ベース
４  Ｘガイド
５  Ｘステージ
６  Ｙガイド
７  Ｙステージ
８  θステージ
９  チャック支持台
１０  チャック
２０  マスクホルダ
２１  ホルダフレーム
２２  支柱
３０  本体ハウス
３１  側壁
３２  フィルタ付き吹き出し口
４０，５０  排気カバー
４１，５１  吸気口
４２  フィルタ付きファン
４３，５３  ケーブルベア
４４，５４  ベア受け
５５  排気ダクト
６０  恒温送風機
６１  送風ダクト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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