(57)【要約】【課題】固定部とスライドテーブルとの間に異物が入り込んでも異物を除去してガイドレールに異物が付着することを防止することができるリニアアクチュエータを提供する。【解決手段】リニアアクチュエータ１１において、シリンダチューブ１２と、シリンダチューブ１２の上面Ｓに装着されたガイドレール３０とから固定部が形成されている。ガイドレール３０にはガイドブロック４０が摺動可能に支持され、ガイドブロック４０にはスライドテーブル５０が固定されている。シリンダチューブ１２の上面Ｓにおいてスライドテーブル５０に対向する位置に第１パージ孔１２１、第２パージ孔、及び第３パージ孔が形成されるとともに、上面Ｓに対するスライドテーブル５０の対向面５０ａに、スライドテーブル５０と固定部との間に一定のクリアランスでシリンダチューブ１２の軸方向及び幅方向へ延びるエア通路５２を形成するための通路形成壁５１が形成されている。【選択図】図５
2011075027.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダチューブのシリンダ室には、ピストンが前記シリンダチューブの軸方向へ移動可能に収容されており、前記シリンダチューブと、該シリンダチューブの装着面に装着され前記軸方向に沿って延びるガイドレールとから固定部が形成され、前記ガイドレールにガイドブロックが摺動可能に支持されるとともに該ガイドブロックにスライドテーブルが固定されており、前記シリンダ室に対するエアの給排による前記ピストンの往復動に連動して前記スライドテーブルが前記ガイドレールに沿って往復動するように構成されたリニアアクチュエータであって、
前記装着面において前記スライドテーブルに対向する位置に前記エアのパージ孔が形成されるとともに、前記スライドテーブルと前記固定部との間に一定のクリアランスで前記シリンダチューブの軸方向及び幅方向へ延びるエア通路を形成するための通路形成壁が、前記装着面に対する前記スライドテーブルの対向面に前記ガイドレールを挟んで前記シリンダチューブの軸方向に沿って延びるように形成されているリニアアクチュエータ。
【請求項２】
前記スライドテーブルは前記シリンダチューブの軸方向への長さより長くなるように形成されるとともに、前記通路形成壁は前記スライドテーブルの両端に達する位置まで形成され、前記エア通路は前記シリンダチューブの軸方向の両端に達するまで形成されている請求項１に記載のリニアアクチュエータ。
【請求項３】
前記対向面と、前記ガイドレールとの間に前記エア通路を形成するため、前記対向面において前記ガイドレールに対向する部位が前記ガイドレールに向けて膨出されている請求項１又は請求項２に記載のリニアアクチュエータ。
【請求項４】
前記パージ孔は前記シリンダチューブの軸方向に沿って複数形成されている請求項１〜請求項３のうちいずれか一項に記載のリニアアクチュエータ。
【請求項５】
前記パージ孔は二つの通路形成壁を挟むように各通路形成壁より外側に形成されている請求項４に記載のリニアアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガイドレールにガイドブロックを介してスライドテーブルが支持され、シリンダ室に対するエアの給排によるピストンの往復動に連動してスライドテーブルがガイドレールに沿って往復動するように構成されたリニアアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のリニアアクチュエータを、例えば、塵芥や粘性のある液体等の異物が漂う環境下で使用した場合、ガイドレールにおけるガイドブロックの摺動面に異物が付着すると、ガイドブロックの摺動抵抗が増加し、スライドテーブルの動作性が悪化してしまう。この問題を解消するため、例えば特許文献１に開示の防塵機構を備えたロッドレスシリンダが提案されている。特許文献１のロッドレスシリンダは、シリンダチューブ（固定部）の軸方向に沿って延びかつシリンダチューブの内外を連通するスリットと、スリットを介してピストンに連結されたスライダと、スリット周囲にある異物を加圧エアで吹き飛ばす浄化手段とを備えている。浄化手段は、スライダに設けられたエアノズルによって形成されており、このエアノズルはスライダにおいて進行方向側となる２つの側端面に設けられている。
【０００３】
そして、特許文献１のロッドレスシリンダでは、ピストンによって区画されるシリンダチューブ内の圧力空間に流体を給排すると、その流体の圧力の作用によってピストン及びスライダがシリンダチューブの軸方向に沿って一体的に移動する。このとき、エアノズルから噴出される加圧エアにより、スリット周囲にある異物が吹き飛ばされるため、ロッドレスシリンダが異物の多い環境下での使用に耐えうるものとなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平９−１６６１０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、特許文献１のロッドレスシリンダにおいて、加圧エアは、スライダにおいて進行方向側となる２つの側端面に設けられたエアノズルから噴出されており、スライダの外に向けて異物を吹き飛ばしている。よって、特許文献１のロッドレスシリンダでは、万一、異物がスライダとシリンダチューブとの間に入り込んでしまうと、その異物は噴出される加圧エアで除去することができず、スライダの摺動面に異物が付着してしまう。
【０００６】
本発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的は、固定部とスライドテーブルとの間に異物が入り込んでも異物を除去してガイドレールに異物が付着することを防止することができるリニアアクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記問題点を解決するために、請求項１に記載の発明は、シリンダチューブのシリンダ室には、ピストンが前記シリンダチューブの軸方向へ移動可能に収容されており、前記シリンダチューブと、該シリンダチューブの装着面に装着され前記軸方向に沿って延びるガイドレールとから固定部が形成され、前記ガイドレールにガイドブロックが摺動可能に支持されるとともに該ガイドブロックにスライドテーブルが固定されており、前記シリンダ室に対するエアの給排による前記ピストンの往復動に連動して前記スライドテーブルが前記ガイドレールに沿って往復動するように構成されたリニアアクチュエータであって、前記装着面において前記スライドテーブルに対向する位置に前記エアのパージ孔が形成されるとともに、前記スライドテーブルと前記固定部との間に一定のクリアランスで前記シリンダチューブの軸方向及び幅方向へ延びるエア通路を形成するための通路形成壁が、前記装着面に対する前記スライドテーブルの対向面に前記ガイドレールを挟んで前記シリンダチューブの軸方向に沿って延びるように形成されていることを要旨とする。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のリニアアクチュエータにおいて、前記スライドテーブルは前記シリンダチューブの軸方向への長さより長くなるように形成されるとともに、前記通路形成壁は前記スライドテーブルの両端に達する位置まで形成され、前記エア通路は前記シリンダチューブの軸方向の両端に達するまで形成されていることを要旨とする。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載のリニアアクチュエータにおいて、前記対向面と、前記ガイドレールとの間に前記エア通路を形成するため、前記対向面において前記ガイドレールに対向する部位が前記ガイドレールに向けて膨出されていることを要旨とする。
【００１０】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜請求項３のうちいずれか一項に記載のリニアアクチュエータにおいて、前記パージ孔は前記シリンダチューブの軸方向に沿って複数形成されていることを要旨とする。
【００１１】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載のリニアアクチュエータにおいて、前記パージ孔は二つの通路形成壁を挟むように各通路形成壁より外側に形成されていることを要旨とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、固定部とスライドテーブルとの間に異物が入り込んでも異物を除去してガイドレールに異物が付着することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施形態のリニアアクチュエータを示す平断面図。
【図２】実施形態のリニアアクチュエータを示す斜視図。
【図３】リニアアクチュエータにおけるシリンダチューブを示す平面図。
【図４】スライドテーブルの裏面を示す斜視図。
【図５】リニアアクチュエータ内を示す図２の５−５線断面図。
【図６】リニアアクチュエータ内を示す図２の６−６線断面図。
【図７】リニアアクチュエータの動作を示す側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図７にしたがって説明する。
図２に示すように、リニアアクチュエータ１１は、四角扁平状のシリンダチューブ１２を備えるとともに、図５に示すように、シリンダチューブ１２の上面Ｓにはガイドレール３０が装着されている。本実施形態において、シリンダチューブ１２の上面Ｓ全体が装着面を形成している。また、ガイドレール３０にはガイドブロック４０が摺動可能に支持されるとともに、このガイドブロック４０にはスライドテーブル５０が固定されている。そして、リニアアクチュエータ１１において、シリンダチューブ１２とガイドレール３０は、移動不可能な固定部を形成するとともに、ガイドブロック４０とスライドテーブル５０は、固定部に対し移動可能な可動部を形成している。
【００１５】
図１に示すように、シリンダチューブ１２内には、一対のシリンダ孔１２ａがシリンダチューブ１２の軸方向に延びるように形成されている。また、シリンダチューブ１２の軸方向に直交する幅方向に対向する一対の側面において、シリンダチューブ１２の軸方向の一端（図１では右端）寄りには、第１給排ポート１２ｃが形成されている。また、シリンダチューブ１２の幅方向に対向する一対の側面において、シリンダチューブ１２の軸方向のほぼ中央部には、第２給排ポート１２ｄが形成されている。第１給排ポート１２ｃ、及び第２給排ポート１２ｄそれぞれは、シリンダ孔１２ａに連通している。なお、一対の第１給排ポート１２ｃのうちの一方、及び一対の第２給排ポート１２ｄのうちの一方それぞれには図示しないエア供給手段が接続されるとともに、他方それぞれは図示しない封止部材によって封止されている。
【００１６】
各シリンダ孔１２ａの一端開口それぞれは封止部材１３によって封止されている。また、各シリンダ孔１２ａのほぼ中央部には円筒状のロッドメタル１４が配設されるとともに、ロッドメタル１４よりシリンダ孔１２ａの他端開口側には円筒状のカバー１５が配設されている。そして、各シリンダ孔１２ａ内には、封止部材１３とロッドメタル１４によりシリンダ室１２ｂが区画されている。ロッドメタル１４の外周面にはＯリング１４ａが装着されるとともに、カバー１５の外周面にはＯリング１５ａが装着されている。そして、両Ｏリング１４ａ，１５ａによりシリンダ室１２ｂからのエアの漏れが防止されている。
【００１７】
各シリンダ室１２ｂにはピストン１６が収容されるとともに、各ピストン１６にはピストンロッド１７が固定されている。ピストンロッド１７の一端部には小径部１７ａが形成されるとともに、小径部１７ａの先端には第１雄ねじ１７ｂが形成されている。そして、小径部１７ａにピストン１６が装着されるとともに第１雄ねじ１７ｂにナットＮが螺合されることにより、ピストン１６とピストンロッド１７とが一体化されている。
【００１８】
各ピストンロッド１７は、ロッドメタル１４及びカバー１５を貫通するとともに、ロッドメタル１４及びカバー１５によりシリンダチューブ１２の軸方向へ移動可能に支持されている。両ピストンロッド１７の他端部には第２雄ねじ部１７ｃが形成されるとともに、この第２雄ねじ部１７ｃにはフローティング部材１９が螺合されている。そして、両ピストンロッド１７の他端部は、フローティング部材１９を介して矩形状の連結板１８に固定されるとともに、連結板１８により一対のピストンロッド１７が同期して移動するように連結されている。
【００１９】
ピストン１６の周面にはピストンパッキン１６ａ及びマグネット１６ｂが装着されている。ピストン１６は、シリンダ室１２ｂを封止部材１３側の第１圧力室１２ｅと、ロッドメタル１４側の第２圧力室１２ｆとに仕切るとともに、第１圧力室１２ｅは第１給排ポート１２ｃと連通し、第２圧力室１２ｆは第２給排ポート１２ｄと連通している。
【００２０】
そして、第１給排ポート１２ｃから第１圧力室１２ｅにエアが供給されるとともに、第２給排ポート１２ｄから第２圧力室１２ｆのエアが排出されると、ピストン１６がシリンダチューブ１２の軸方向に沿ってロッドメタル１４側へ移動する。一方、第２給排ポート１２ｄから第２圧力室１２ｆにエアが供給されるとともに、第１給排ポート１２ｃから第１圧力室１２ｅのエアが排出されると、ピストン１６がシリンダチューブ１２の軸方向に沿って封止部材１３側へ移動する。ピストン１６の移動に伴い、ピストンロッド１７はシリンダチューブ１２の軸方向に沿って移動する。
【００２１】
図３及び図５に示すように、シリンダチューブ１２の上面Ｓにおいて、シリンダチューブ１２の幅方向の中央部となる位置には、装着凹部Ｓａがシリンダチューブ１２の軸方向全体へ延びるように凹設されている。この装着凹部Ｓａには、長尺状のガイドレール３０がシリンダチューブ１２の軸方向に沿って延びるように装着されている。ガイドレール３０はボルト３１によってシリンダチューブ１２に螺着されている。ガイドレール３０は一端がシリンダチューブ１２の一端面の直近まで延びるとともに、他端がシリンダチューブ１２の他端面より退いた位置まで延びている。
【００２２】
図５に示すように、ガイドレール３０において、その軸方向（長さ方向）へ延びる一対の側面それぞれには、転動溝３０ａがガイドレール３０の軸方向全体に亘って延びるように形成されている。また、図３及び図６に示すように、ガイドレール３０にはガイドブロック４０が摺動可能に支持されている。ガイドブロック４０は四角板状をなすとともに、その長さ方向の両側部にはガイドレール３０の両転動溝３０ａに対向するようにボール支持部４１が延設され、各ボール支持部４１には転動溝４１ａが形成されている。
【００２３】
そして、ガイドブロック４０は、両ボール支持部４１によってガイドレール３０の両転動溝３０ａを挟むようにガイドレール３０に支持されている。各転動溝４１ａには複数のボール４２が転動可能に収容されるとともに、ボール４２はガイドレール３０の転動溝３０ａにも収容されている。そして、ボール４２が両転動溝３０ａ，４１ａで転動することにより、ガイドブロック４０がガイドレール３０の軸方向（シリンダチューブ１２の軸方向）へ摺動するようになっている。
【００２４】
ガイドブロック４０の上面には、スライドテーブル５０が固定されている。図４に示すように、スライドテーブル５０は、矩形板状をなし、その軸方向がシリンダチューブ１２の軸方向に延びるようにガイドブロック４０に固定されている。なお、ガイドブロック４０は、スライドテーブル５０の軸方向の中央部より一端側へずれた位置に固定されている。また、スライドテーブル５０の他端は連結板１８に連結されている。そして、ガイドブロック４０とスライドテーブル５０は、ピストン１６の移動に伴うピストンロッド１７の出没に連動してガイドレール３０に沿ってシリンダチューブ１２の軸方向へ往復動するようになっている。このとき、ボール４２は、両転動溝３０ａ，４１ａを転動し、スライドテーブル５０が円滑に往復動する。
【００２５】
また、図７に示すように、スライドテーブル５０の軸方向への長さは、シリンダチューブ１２の軸方向への長さより長くなっている。そして、ピストン１６がロッドメタル１４に当接し突出方向へのストロークエンドに達したときでも、スライドテーブル５０によりシリンダチューブ１２の装着凹部Ｓａ全体を覆うようになっている。
【００２６】
次に、リニアアクチュエータ１１におけるパージ構造について説明する。
図１及び図５に示すように、シリンダチューブ１２の幅方向に対向する一対の側面それぞれにおいて、シリンダチューブ１２の軸方向の他端寄りにはパージポート１２ｇが形成されるとともに、このパージポート１２ｇに一端が連通する導入路１２ｈが形成されている。なお、一対のパージポート１２ｇのうち一方には図示しないエア供給手段が接続されるとともに、他方は図示しない封止部材によって封止されている。
【００２７】
また、各カバー１５の外周面にはガイド溝１５ｂがカバー１５の周方向の全体に亘って延びるように形成されるとともに、このガイド溝１５ｂには導入路１２ｈの他端が連通している。さらに、シリンダチューブ１２の軸方向の他端寄りにおいて、両シリンダ孔１２ａに挟まれた位置には、両カバー１５のガイド溝１５ｂ同士を連通するようにシリンダチューブ１２の幅方向へ延びる連通路１２ｋが形成されている。
【００２８】
また、シリンダチューブ１２の軸方向の他端寄りにおいて、シリンダチューブ１２の幅方向の両側には、各ガイド溝１５ｂに連通する第１パージ孔１２１が上面Ｓからシリンダチューブ１２外へ開口するように形成されている。また、シリンダチューブ１２の軸方向の他端寄りにおいて、シリンダチューブ１２の幅方向の中央部には、連通路１２ｋに連通する補助パージ孔１２ｓが上面Ｓからシリンダチューブ１２外へ開口するように形成されている。
【００２９】
シリンダチューブ１２内には、各第１パージ孔１２１に連通する供給通路１２ｐがシリンダチューブ１２の軸方向へ延びるように形成されている。そして、図３に示すように、シリンダチューブ１２の軸方向の中央部には、各供給通路１２ｐに連通する第２パージ孔１２２が上面Ｓからシリンダチューブ１２外へ開口するように形成されている。また、図３及び図６に示すように、シリンダチューブ１２の軸方向の一端寄りには、各供給通路１２ｐに連通する第３パージ孔１２３が上面Ｓからシリンダチューブ１２外へ開口するように形成されている。第１〜第３パージ孔１２１〜１２３それぞれは、スライドテーブル５０の対向面５０ａに対向する位置に形成されるとともに、両通路形成壁５１を挟むように各通路形成壁５１より外側に形成されている。
【００３０】
一方、図５に示すように、スライドテーブル５０において、シリンダチューブ１２の上面Ｓ（装着凹部Ｓａ）への対向面５０ａには、一対の通路形成壁５１が上面Ｓにおける装着凹部Ｓａの内底面に向けて延設されている。図４に示すように、一対の通路形成壁５１は、スライドテーブル５０の軸方向に沿ってガイドブロック４０の固定位置からスライドテーブル５０の両端に達するまで延びている。そして、図５に示すように、一対の通路形成壁５１は、ガイドレール３０を幅方向から挟むとともに両転動溝３０ａに対向するように対向面５０ａから延設されている。
【００３１】
上面Ｓと対向面５０ａとの間、各通路形成壁５１の外側面と装着凹部Ｓａの内側面との間、各通路形成壁５１の下面と装着凹部Ｓａの内底面との間、各通路形成壁５１の内側面とガイドレール３０の側面との間、及びガイドレール３０の上面と対向面５０ａとの間にはエア通路５２が区画形成されている。このエア通路５２は、シリンダチューブ１２の軸方向及び幅方向に沿って一定のクリアランスで延びている。すなわち、通路形成壁５１が形成されることにより、固定部（シリンダチューブ１２とガイドレール３０）と、スライドテーブル５０との間には、一定のクリアランスのエア通路５２が区画形成されている。
【００３２】
通路形成壁５１は、ガイドブロック４０の両側からスライドテーブル５０の両端に達するまで延びおり、スライドテーブル５０の軸方向への長さはシリンダチューブ１２の軸方向への長さより長くなっている。このため、ピストン１６の移動に連動してスライドテーブル５０が移動しても、エア通路５２は常に区画されるようになっている。
【００３３】
次に、本実施形態のリニアアクチュエータ１１におけるエアパージについて説明する。
さて、リニアアクチュエータ１１の駆動時、エア供給手段から一方のパージポート１２ｇにエアが供給されると、エアは導入路１２ｈを介して一方のカバー１５のガイド溝１５ｂに供給される。さらに、エアはガイド溝１５ｂから連通路１２ｋを介して他方のカバー１５のガイド溝１５ｂに供給される。すると、エアは両第１パージ孔１２１及び補助パージ孔１２ｓから上面Ｓへ向けて吹き出し、シリンダチューブ１２の軸方向の他端側にエアがパージされる。また、パージエアは、供給通路１２ｐを介して第２パージ孔１２２及び第３パージ孔１２３から上面Ｓ外へ向けて吹き出し、シリンダチューブ１２の軸方向の中央部及び一端側にエアがパージされる。
【００３４】
両第１〜第３パージ孔１２１〜１２３から吹き出したエアは、シリンダチューブ１２の幅方向に沿ってエア通路５２外へ吹き出すエアと、ガイドレール３０に向かって流れるエアとに分かれる。そして、ガイドレール３０に向かって流れたエアは、シリンダチューブ１２の幅方向に沿って一定のクリアランスで延びるエア通路５２を流れるため、エア通路５２を流れることによりエアの流速が低下することが抑制される。
【００３５】
そして、シリンダチューブ１２の幅方向のほぼ中央部でエア同士が合流すると、エアは通路形成壁５１に沿うようにシリンダチューブ１２の軸方向に沿ってエア通路５２を流れる。また、第１〜第３パージ孔１２１〜１２３から吹き出したエアは、シリンダチューブ１２の軸方向両端に向かってエア通路５２を流れる。このとき、エア通路５２はシリンダチューブ１２の軸方向に沿って一定のクリアランスで形成されているため、エアがシリンダチューブ１２の両端に向かって流れる際、エアの流速が低下することが抑制される。
【００３６】
その結果、流速を維持したエアが、シリンダチューブ１２の軸方向の両端から吹き出すとともに、シリンダチューブ１２の幅方向の両側から吹き出すため、スライドテーブル５０の周りに漂う塵芥、油等の異物がエアによりスライドテーブル５０外へ向けて吹き飛ばされる。また、万一、異物が、固定部とスライドテーブル５０の対向面５０ａとの間に入り込んでも、流速を維持したエアにより異物が吹き飛ばされる。よって、ガイドレール３０の摺動面である転動溝３０ａ、さらにはガイドブロック４０の転動溝４１ａに異物が付着することが防止される。
【００３７】
上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）シリンダチューブ１２の上面Ｓに第１〜第３パージ孔１２１〜１２３を形成するとともに、スライドテーブル５０の対向面５０ａに一対の通路形成壁５１をガイドレール３０を挟むように延設した。この通路形成壁５１により、シリンダチューブ１２とガイドレール３０とからなる固定部と、スライドテーブル５０との間に、シリンダチューブ１２の幅方向及び軸方向に沿って一定のクリアランスで延びるエア通路５２を区画形成した。そして、第１〜第３パージ孔１２１〜１２３から吹き出されたエアは、一定のクリアランスのエア通路５２を流れるため、吹き出した後、流速の低下が防止され、一定の流速を維持したまま、固定部とスライドテーブル５０との間からエアが吹き出される。したがって、固定部とスライドテーブル５０の対向面５０ａとの間に異物が入り込んでも、一定の流速のエアにより異物を吹き飛ばすことができ、ガイドレール３０とガイドブロック４０の摺動面である転動溝３０ａ，４１ａに異物が付着することが防止される。その結果として、ガイドブロック４０の摺動抵抗が増加することが防止でき、ガイドブロック４０を円滑に移動させてスライドテーブル５０を円滑に移動させることができる。
【００３８】
（２）通路形成壁５１を形成することにより、固定部とスライドテーブル５０との間に、シリンダチューブ１２の幅方向及び軸方向に沿って一定のクリアランスで延びるエア通路５２を区画形成した。そして、第１〜第３パージ孔１２１〜１２３から吹き出されたエアは、一定のクリアランスのエア通路５２を流れるため、吹き出した後、流速の低下が防止され、一定の流速を維持したまま固定部とスライドテーブル５０との間からエアを吹き出すことができる。よって、例えば、固定部とスライドテーブル５０との間に、狭い空間と広い空間とが共存する場合のように、吹き出したエアが狭い空間から広い空間へ流れた際に膨張したり、渦を巻いたりすることが防止できる。よって、エアの膨張や渦により、固定部とスライドテーブル５０の間に入り込んだ異物が滞留してしまうことを防止することができる。
【００３９】
（３）スライドテーブル５０の軸方向への長さは、シリンダチューブ１２の軸方向への長さより長くなっているとともに、通路形成壁５１はスライドテーブル５０の軸方向の両端に達するまで延びている。そして、ピストン１６がストロークエンドに達しても通路形成壁５１はシリンダチューブ１２の軸方向両端に達する位置まで延びており、エア通路５２は常にシリンダチューブ１２の軸方向両端にまで延びている。よって、スライドテーブル５０の移動に伴って、ガイドレール３０が露出してしまったり、エア通路５２が形成されない箇所が存在したりすることが防止できる。
【００４０】
（４）スライドテーブル５０の対向面５０ａにおいて、ガイドレール３０の上面と対向する部位は、その他の部位よりもガイドレール３０に向けて膨出している。そして、ガイドレール３０の上面と対向面５０ａとの間には、ガイドレール３０の軸方向及び幅方向へ一定のクリアランスで延びるエア通路５２が形成されている。よって、ガイドレール３０の上面と対向面５０ａとの間に流れ込んだエアも、流速を低下させることなくガイドレール３０の軸方向両端に向けて流すことができ、エア通路５２のエアにより異物を吹き飛ばすことができる。
【００４１】
（５）第１〜第３パージ孔１２１〜１２３は、シリンダチューブ１２の軸方向の両端及び中央部に形成されている。よって、第１〜第３パージ孔１２１〜１２３により、シリンダチューブ１２の軸方向全体に亘ってエアをパージすることができ、異物の除去を効率良く行うことができる。
【００４２】
（６）第１〜第３パージ孔１２１〜１２３それぞれは、シリンダチューブ１２の幅方向の両側に形成されるとともに、二つの通路形成壁５１を挟むように各通路形成壁５１より外側に形成されている。このため、第１〜第３パージ孔１２１〜１２３から吹き出たエアを、シリンダチューブ１２の幅方向においてスライドテーブル５０の外方へ向かうエアと、ガイドレール３０に向かうエアとに分けることができる。そして、スライドテーブル５０の外方へ向かうエアにより、スライドテーブル５０に異物が近づくことを抑制し、さらに、ガイドレール３０に向かうエアにより固定部とスライドテーブル５０との間に入り込んだ異物を吹き飛ばすことができる。
【００４３】
（７）通路形成壁５１を形成することにより、固定部とスライドテーブル５０との間に、シリンダチューブ１２の幅方向及び軸方向に沿って一定のクリアランスで延びるエア通路５２を区画形成した。そして、第１〜第３パージ孔１２１〜１２３から吹き出されたエアは、一定のクリアランスのエア通路５２を流れるため、一定の流速を維持したエアにより異物を吹き飛ばし、ガイドレール３０に異物が付着することを防止することができる。よって、本実施形態のリニアアクチュエータ１１は、例えば、ガイドレール３０に付着した異物をスクレーパで掻き取る場合のように、スクレーパを必要としてリニアアクチュエータ１１が大型化したり、スクレーパが損傷して異物を掻き取れなくなったりする不都合が発生しない。
【００４４】
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・  実施形態では、シリンダチューブ１２の軸方向に沿って３個のパージ孔１２１〜１２３を形成したが、シリンダチューブ１２の軸方向への長さ等に応じて軸方向におけるパージ孔の個数を変更してもよい。
【００４５】
・  実施形態では、シリンダチューブ１２の幅方向において、第１〜第３パージ孔１２１〜１２３を各通路形成壁５１より外側に形成したが、シリンダチューブ１２の幅方向において、第１〜第３パージ孔１２１〜１２３の形成箇所を変更してもよい。例えば、第１〜第３パージ孔１２１〜１２３を通路形成壁５１の下面と対向する位置に形成してもよい。
【００４６】
・  実施形態において、ピストン１６がストロークエンドに達したとき、シリンダチューブ１２の軸方向の端面よりスライドテーブル５０が突出している場合、シリンダチューブ１２の軸方向両端に達するまでエア通路５２が区画形成できるのであれば、通路形成壁５１はスライドテーブル５０の軸方向両端にまで達していなくてもよい。
【００４７】
・  ガイドレール３０の上面と対向面５０ａとの間に形成されるエア通路５２は、ガイドレール３０の上面をスライドテーブル５０に向けて膨出するとともに、対向面５０ａを凹ませて形成してもよい。
【００４８】
・  補助パージ孔１２ｓは無くてもよい。
・  本発明をロッドレスのリニアアクチュエータに適用してもよい。
【符号の説明】
【００４９】
Ｓ…装着面としてのシリンダチューブの上面、１１…リニアアクチュエータ、１２…固定部を形成するシリンダチューブ、１２ｂ…シリンダ室、１６…ピストン、３０…固定部を形成するガイドレール、４０…ガイドブロック、５０…スライドテーブル、５０ａ…対向面、５１…通路形成壁、５２…エア通路、１２１〜１２３…第１〜第３パージ孔。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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