(57)【要約】【課題】ワークにそりや局部的な変形を発生させない吸着装置を提供する。【解決手段】ワーク５を吸着する吸着装置２０であって、吸着板２１と、吸着板２１に設けられワーク５の外形に沿って額縁状に形成された多孔質の多孔質吸着部２２と、多孔質吸着部２２に連通された負圧発生部２５と、を備えている。このため、ワーク５を吸着する部分がワーク５の外形付近であり、吸着する面積が広いためワーク５にそりや局部的な変形を与えることなく吸着ができる。そして、ワーク５に不要な応力をかかることがなく、ワーク５の割れを防止できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを吸着する吸着装置であって、
吸着板と、
前記吸着板に設けられ前記ワークの外形に沿って額縁状に形成された多孔質の多孔質吸着部と、
前記多孔質吸着部に連通された負圧発生部と、を備えたことを特徴とする吸着装置。
【請求項２】
請求項１に記載の吸着装置において、
額縁状の前記多孔質吸着部が分離して形成されていることを特徴とする吸着装置。
【請求項３】
ワークを吸着する吸着装置であって、
吸着板と、
前記吸着板に設けられ前記ワークの外形に沿って同じ高さに形成された複数の中空針が突出した針状吸着部と、
前記針状吸着部に連通された負圧発生部と、を備えたことを特徴とする吸着装置。
【請求項４】
ワークに液滴を塗布する液滴吐出装置であって、
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の吸着装置と、
前記吸着装置を移動させる搬送装置と、
前記ワークに液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着装置および液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液状体を液滴にして半導体基板、ガラス基板などのワークに吐出し、様々な描画を行う液滴吐出装置が知られている。近年、液滴吐出装置を用いて各種のデバイス製造やマーキング、印刷などが行われ、液滴吐出装置の利用分野が拡大している。
ところで、液滴吐出装置などの生産装置におけるワークの搬送は、一般にワークの表面（上面）に吸着パッドを接触させて真空吸着して保持する吸着装置が用いられ、ワークを吸着した状態で搬送することが行われている。（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１６０７１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、近年、ワークが薄型化してきており、ワークの吸着が原因でワークにそりが生ずる課題がある。また、吸引穴部分では吸着の強さによりその部分が局部的に変形することがある。
このようなワークにそりや局部的な変形が生じた場合、ワークに応力がかかりワークが割れやすくなる問題がある。また、搬送中のワークを画像認識する場合、ワークに形成したアライメントマークが変形して画像認識が不安定になることがある。
このため、厚みの薄いワークに対して、そりや局部的な変形を発生させない吸着装置が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかる吸着装置は、ワークを吸着する吸着装置であって、吸着板と、前記吸着板に設けられ前記ワークの外形に沿って額縁状に形成された多孔質の多孔質吸着部と、前記多孔質吸着部に連通された負圧発生部と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、ワークの外形に沿って額縁状に形成された多孔質の多孔質吸着部がワークを吸引する。ワークを吸着する部分がワークの外周付近であり、さらに吸着する面積が広いためワークにそりや局部的な変形を与えることなく吸着ができる。そして、ワークに不要な応力をかかることがなく、ワークの割れを防止できる。
また、本適用例の吸着装置ではワークの中央部と多孔質吸着部とが接触することがないため、ワークの中央部へのごみなどの付着のおそれがない。
【０００８】
［適用例２］上記適用例にかかる吸着装置において、額縁状の前記多孔質吸着部が分離して形成されていることを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、額縁状の多孔質吸着部が分離して形成されている。このようにすることで、吸着の吸気の系統を分けることができ、各吸気の強さを調整してワークのそりをさらに軽減することが可能である。
【００１０】
［適用例３］本適用例にかかる吸着装置は、ワークを吸着する吸着装置であって、吸着板と、前記吸着板に設けられ前記ワークの外形に沿って同じ高さに形成された複数の中空針が突出した針状吸着部と、前記針状吸着部に連通された負圧発生部と、を備えたことを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、ワークの外形に沿って中空針が配置された針状吸着部がワークを吸引する。ワークを吸着する部分が外周付近であり、さらに吸着が多数の針先で行われ吸着面積が小さいためワークにそりや局部的な変形を与えることなく吸着ができる。そして、ワークに不要な応力をかかることがなく、ワークの割れを防止できる。
また、本適用例の吸着装置ではワークの中央部と針状吸着部とが接触することがないため、ワークの中央部へのごみなどの付着のおそれがない。
【００１２】
［適用例４］本適用例にかかる液滴吐出装置は、ワークに液滴を塗布する液滴吐出装置であって、適用例１乃至３のいずれか一例に記載の吸着装置と、前記吸着装置を移動させる搬送装置と、前記ワークに液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、を備えたことを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、ワークにそりや局部的な変形を与えない吸着装置が液滴吐出装置に備えられている。このため、ワークの搬送中にワークにそりや局部的な変形を与えない液滴吐出装置を提供できる。そして、ワークの吸引においてワークに不要な応力をかかることがなく、ワークの割れを防止できる。
また、この液滴吐出装置はワークの搬送中におけるワークのそりがなく、ワークを吸着した状態でのワークの画像認識が精度よく行える。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】第１の実施形態における吸着装置の構成を示し、（ａ）は概略平面図、（ｂ）は概略断面図。
【図２】第１の実施形態における吸着装置の変形例を示す概略平面図。
【図３】第２の実施形態における吸着装置の構成を示し、（ａ）は概略平面図、（ｂ）は概略断面図。
【図４】第３の実施形態における液滴吐出装置の構成を示す概略平面図。
【図５】第３の実施形態の液滴吐出装置における構成の一部を示す概略側面図。
【図６】第３の実施形態における液滴吐出ヘッドの構成を示す概略断面斜視図。
【図７】第３の実施形態におけるロボットの構成を示す概略斜視図。
【図８】第３の実施形態における液滴吐出装置の電気制御ブロック図。
【図９】第３の実施形態におけるワークのアライメントマークを示す平面図。
【図１０】第３の実施形態における液滴吐出装置の動作を説明する模式図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の寸法の割合を適宜変更している。
（第１の実施形態）
【００１６】
図１は本実施形態における吸着装置の構成を示し、図１（ａ）は概略平面図、図１（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ断線に沿う概略断面図である。
吸着装置２０は矩形平板状の吸着板２１と、多数の微細な穴を有する多孔質の材料で形成された多孔質吸着部２２と、多孔質吸着部２２に連通する負圧発生部２５と、を有している。
吸着板２１はアルミニウム、ステンレスなどの金属材料にて表面が平坦に形成されている。そして、その吸着板２１の表面にワーク５の外形に沿って額縁状に形成された多孔質吸着部２２が配置されている。なお、ワーク５は半導体基板、ガラス基板などが対象であり、矩形の外形である。
【００１７】
吸着板２１の一方の面には多孔質吸着部２２の形状に合わせた段付溝部２３が形成され、表面側の幅の広い溝部に多孔質吸着部２２が接着剤などにより固定される。この多孔質吸着部２２は吸着板２１の一方の面より突出して配置され、その突出した面は吸着板２１の一方の面に平行でかつ平坦に形成されている。
一方、幅の狭い溝部は多孔質吸着部２２の一面との間に空間を形成する。そして、段付溝部２３から吸着板２１の他方の面に貫通する複数の吸引穴２４が形成されている。吸引穴２４は配管チューブを介して負圧発生部２５に連通している。
負圧発生部２５としては、減圧ポンプまたは圧縮空気を用いて減圧状態を発生させる真空発生器などを用いることができる。
【００１８】
このように、負圧発生部２５で発生した負圧状態により吸引穴２４から吸引が行われる。吸引穴２４は段付溝部２３に連通しており、段付溝部２３と多孔質吸着部２２との間の空間が負圧状態になる。そして、この空間に接する多孔質吸着部２２の微細な穴を通して吸引が行われる。このようにして、多孔質吸着部２２から均一な力で吸引を可能とし、ワーク５を多孔質吸着部２２に接触させることで、接触面が平坦なワーク５を吸着することができる。
【００１９】
なお多孔質吸着部２２は樹脂材料を焼結成形した樹脂焼結材で構成されている。焼結成形は、原料粉末を金型内に充填して加熱し、原料粉末の表層同士を融着（焼結）させることにより、粉末間の空間を残したまま成形する方法である。その原料粉末として、ポリエチレン（ＰＥ）やポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリアミド（ＰＡ）、アクリル樹脂（ＰＭＭＡ）、フッ素樹脂（ＰＶＤＦ、ＰＴＦＥ）等の熱可塑性樹脂材料を採用することが可能である。このように多孔質吸着部２２を樹脂材料で構成することにより、多孔質吸着部２２の表面に吸着されるワークの損傷を防止することができる。
また、他の多孔質吸着部２２の材料として、多孔質焼結金属やアルミナ、ジルコニア、炭化珪素、窒化珪素を原料とする多孔質セラミックスなどを用いても良い。
【００２０】
以上のように、本実施形態の吸着装置２０は、ワーク５の外形に沿って額縁状に形成された多孔質の多孔質吸着部２２がワーク５を吸引する。ワーク５を吸着する部分がワーク５の外周付近であり、さらに吸着する面積が広いためワーク５にそりや局部的な変形を与えることなく吸着ができる。そして、ワーク５に不要な応力をかかることがなく、ワーク５の割れを防止できる。
また、吸着装置２０はワーク５の中央部と多孔質吸着部２２とが接触することがないため、ワーク５の中央部へのごみなどの付着のおそれがない。
（変形例）
【００２１】
次に、第１の実施形態の吸着装置における変形例について説明する。
この変形例の吸着装置では、多孔質吸着部が第１の実施形態のように一体に形成されず、分離して形成されている点が異なる。このため、構成の異なる点について詳細に説明する。
図２は第１の実施形態における吸着装置の変形例を示す概略平面図である。
【００２２】
図２（ａ）に示すように、吸着装置２０ａは、吸着板２１の表面にワーク５の外形に沿って額縁状に形成された４つの多孔質吸着部２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄを備えている。多孔質吸着部２２ａと多孔質吸着部２２ｃおよび多孔質吸着部２２ｂと多孔質吸着部２２ｄが互いに向かい合って平行に配置され、額縁状の形状が４つに分離されている。
また図示しないが、吸着板２１には第１の実施形態と同様に、段付溝部が形成され、段付溝部から吸着板２１の他方の面に貫通する複数の吸引穴２４が形成されている。吸引穴２４は配管チューブを介して負圧発生部に連通している。
【００２３】
他の変形例として、図２（ｂ）に示すように、吸着装置２０ｂは、吸着板２１の表面にワーク５の外形に沿って額縁状に形成された２つの多孔質吸着部２２ｅ，２２ｆを備えている。多孔質吸着部２２ｅ，２２ｆはそれぞれ矩形の２辺を有しており、額縁状の形状が２つに分離されている。
また図示しないが、吸着板２１には第１の実施形態と同様に、段付溝部が形成され、段付溝部から吸着板２１の他方の面に貫通する複数の吸引穴２４が形成されている。吸引穴２４は配管チューブを介して負圧発生部に連通している。
【００２４】
この変形例のように、額縁状の多孔質吸着部２２ａ〜２２ｆを分離して形成することで、吸着の吸気の系統を分けることができ、各吸気の強さを調整してワーク５のそりをさらに軽減することが可能である。
（第２の実施形態）
【００２５】
次に、第２の実施形態の吸着装置について説明する。この実施形態では第１の実施形態と比べて吸着部の構成が異なる。このため、第１の実施形態と同じ構成については同符号を付し説明する。
図３は本実施形態における吸着装置の構成を示し、図３（ａ）は概略平面図、図３（ｂ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ断線に沿う概略断面図である。
【００２６】
吸着装置２６は矩形平板状の吸着板２１と、吸着板２１に突設された多数の針状吸着部２７と、針状吸着部２７に連通する負圧発生部２５と、を有している。
吸着板２１はアルミニウム、ステンレスなどの金属材料にて表面が平坦に形成されている。針状吸着部２７は中空針（パイプ状の針）で構成され、吸引のための小さな穴を有している。そして、その吸着板２１の表面にワーク５の外形に沿って針状吸着部２７が配置されている。詳しくは、ワーク５の外形から少し離れた内側に針状吸着部２７が設けられている。また、針状吸着部２７は吸着板２１の一方の面より同じ高さで突出して配置され、その吸着面は一方の面に平行でかつ平坦に形成されている。
なお、針状吸着部２７を配置する本数については、ワーク重量、吸引力などにより適宜決めればよい。
【００２７】
吸着板２１の他方の面には針状吸着部２７に連通する複数の吸引穴２４が形成されている。そして、吸引穴２４は配管チューブを介して負圧発生部２５に連通している。
負圧発生部２５としては、減圧ポンプまたは圧縮空気を用いて減圧状態を発生させる真空発生器などを用いることができる。
【００２８】
このように、負圧発生部２５で発生した負圧状態により吸引穴２４から吸引が行われる。吸引穴２４は針状吸着部２７に連通しており、針状吸着部２７の小さな穴を通して吸引が行われる。
このようにして、多数の針状吸着部２７から吸引を可能とし、ワーク５を針状吸着部２７に接触させることで、接触面が平坦なワーク５を吸着することができる。
【００２９】
以上のように、本実施形態の吸着装置２６は、ワーク５の外形に沿って形成された多数の針状吸着部２７がワーク５を吸引する。ワーク５を吸着する部分がワーク５の外周付近であり、さらに吸着が針先で行われ吸着面積が小さいためワーク５にそりや局部的な変形を与えることなく吸着ができる。そして、ワーク５に不要な応力をかかることがなく、ワーク５の割れを防止できる。
また、吸着装置２６はワーク５の中央部と針状吸着部２７とが接触することがないため、ワーク５の中央部へのごみなどの付着のおそれがない。
（第３の実施形態）
【００３０】
次に、上記で説明した吸着装置を備えた液滴吐出装置について説明する。
図４は本実施形態の液滴吐出装置の構成を示す概略平面図である。図５はロボットを除く液滴吐出装置の構成を示す概略側面図である。図６は液滴吐出ヘッドの構成を示す概略断面斜視図である。図７はロボットの構成を示す概略斜視図である。なお、各図では説明のために直交座標を表示している。
図４に示すように、液滴吐出装置１はガラス基板、半導体基板などのワーク５を吸着する吸着装置２０と、吸着装置２０を移動させる搬送装置としてのロボット１０と、ワークを給除材する給除材部３０と、吸着装置２０が吸着したワーク５を撮像可能なカメラ３５と、ワーク５が載置される描画ステージ４０と、ワーク５に液滴を塗布する液滴吐出ヘッド５０と、を備えている。
【００３１】
給除材部３０は基台８上に配置され、台座３１と、台座３１の上に配置された給除材ステージ３２とが備えられている。この給除材部３０は液滴塗布前、または液滴塗布後のワーク５を一時的に置く場所であり、給除材ステージ３２の上にワーク５が載置される。
カメラ３５は基台８上に配置され、焦点が上方（＋Ｚ軸方向）となるように配置されている。カメラ３５は吸着装置２０が吸着したワーク５を撮像可能である。また、カメラ３５は描画ステージ４０の近くに配置されている。
【００３２】
描画ステージ４０は、ボールねじなどの直動機構と接続されガイドレール４５に沿って移動可能に構成されている。このガイドレール４５は基台８に固定され、描画ステージ４０がＹ軸方向に移動が可能である。
基台８からは上方（＋Ｚ軸方向）に立ち上がる２本の支柱６４が形成され、支柱６４の両端を橋渡しするガイドレール６５が設けられている。このガイドレール６５はＸ軸方向に延出するように配置されている。
ガイドレール６５には、キャリッジ６０が挟持され、キャリッジ６０は、ボールねじなどの直動機構と接続されガイドレール６５に沿って、Ｘ軸方向に移動可能に構成されている。
【００３３】
そして、キャリッジ６０には基台８に対向するように液滴吐出部としての液滴吐出ヘッド５０が設けられている。
なお、液滴を吐出するときに液滴吐出ヘッド５０とワーク５とを相対移動する方向を主走査方向と呼び、主走査方向と直交する方向を副走査方向と呼ぶ。副走査方向は改行するときに液滴吐出ヘッド５０とワーク５とを相対移動する方向である。本実施形態ではＸ軸方向を主走査方向とし、Ｙ軸方向を副走査方向とする。
【００３４】
液滴吐出ヘッド５０は、図６に示すように、ノズルプレート５６に複数のノズル５５を備え、それぞれのノズル５５の開口に連通する圧力室５３、圧力室５３の一壁面を構成する振動板５２、振動板５２を変形させるＰＺＴなどの圧電素子５１、各圧力室５３にインクなどの液状体を送り込む共通インク室５４を有している。
【００３５】
振動板５２は、弾性変形可能な薄板から構成され、圧電素子５１の先端に当接している。このような構成により、圧電素子５１が収縮して、振動板５２が上方に撓んで圧力室５３が膨張すると、共通インク室５４の液状体が圧力室５３に流れ込む。所定時間の経過後に、圧電素子５１が伸長して、振動板５２が元に戻って圧力室５３が収縮すると、圧力室５３の液状体が圧縮されて、ノズル５５の開口から液滴が吐出する。このとき、液滴吐出ヘッド５０に形成されている多数のノズル５５のうち、いずれから液滴を吐出するかによってワークに描画が可能である。
【００３６】
次に、液滴吐出装置の搬送装置としてのロボットについて説明する。
ロボット１０は、図７に示すようにスカラー型ロボットで構成され、平板状の基台１１上に支持台１２が設置されている。支持台１２の内部にはモーター、角度検出器、減速機等から構成される回転機構１２ａが備えられている。そして、モーターの出力軸は減速機と接続され、減速機の出力軸は支持台１２の上方に配置された第１腕部１３と接続されている。また、角度検出器がモーターの出力軸と連結され、モーターの出力軸の回転角度を検出する。これにより、回転機構１２ａは第１腕部１３の回転角度を検出して、所望の角度に回転させることができる。
【００３７】
第１腕部１３上において支持台１２と反対側の端には回転機構１４が設置されている。回転機構１４はモーター、角度検出器、減速機等により構成され、支持台１２の内部に設置された回転機構１２ａと同様の機能を備えている。そして、回転機構１４の出力軸は第２腕部１５と接続されている。これにより、回転機構１４は第２腕部１５の回転角度を検出して、所望の角度に回転させることができる。
【００３８】
第２腕部１５上において回転機構１４と反対側の端には昇降機構および回転機構１６が配置されている。
そして、昇降機構および回転機構１６の下側にはワークを保持する第１の実施形態で説明した吸着装置２０が設けられている。吸着装置２０は昇降機構および回転機構１６により上下方向（Ｚ軸方向）の移動と、ＸＹ平面での回転とが可能となっている。
【００３９】
このロボット１０に取り付けられた吸着装置２０の動作範囲内に、給除材部３０と、カメラ３５と、描画ステージ４０とが配置されている。
このように、ロボット１０に取り付けられた吸着装置２０が給除材部３０にてワーク５を吸着して、カメラ３５の上方を搬送して描画ステージ４０にワーク５を載置できる構成となっている。
【００４０】
次に、液滴吐出装置の電気制御について説明する。
図８は、液滴吐出装置の電気制御ブロック図である。
液滴吐出装置１はその動作を制御する制御装置を備えている。そして、制御装置はプロセッサーとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（中央演算処理装置）７０と、各種情報を記憶するメモリー８０とを備えている。
【００４１】
主走査駆動装置９２、副走査駆動装置９３、液滴吐出ヘッド５０を駆動するヘッド駆動回路９４、カメラ３５を作動させるカメラ作動回路９５、ロボット１０を駆動させるロボット駆動回路９６、吸着装置２０を作動させる吸着装置作動回路９７は、入出力インターフェイス９１及びデータバス９０を介してＣＰＵ７０に接続されている。
主走査駆動装置９２は描画ステージ４０の移動を制御する装置であり、副走査駆動装置９３はキャリッジ６０の移動を制御する装置である。
【００４２】
メモリー８０は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリーや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には液滴吐出装置１における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト８１を記憶する記憶領域が設定される。さらに、ワークにおける吐出位置の座標データである吐出位置データ８２を記憶するための記憶領域も設定される。
【００４３】
ＣＰＵ７０は、メモリー８０内に記憶されたプログラムソフト８１に従ってワークの所定位置に液滴を吐出するための制御を行うものである。
ＣＰＵ７０には、主走査制御部７１、副走査制御部７２、吐出制御部７３、カメラ制御部７４、ロボット制御部７５、ワーク位置演算部７６、ワーク載置位置演算部７７、を備えている。
【００４４】
主走査制御部７１は液滴吐出ヘッド５０を主走査方向へ所定の走査量で移動させるための制御を行い、副走査制御部７２はワークを副走査方向へ所定の速度で走査移動させるための制御を行う。
吐出制御部７３は液滴吐出ヘッド５０の液滴吐出にかかわる演算をする。
【００４５】
カメラ制御部７４はワークの画像を捉えるようにカメラの作動を制御し、ロボット制御部７５はワークの吸着、搬送、などのロボットの動きを制御する。
ワーク位置演算部７６はカメラで撮像したワークの画像を画像処理し、ロボットの位置情報に基づき搬送中のワーク位置を演算する。
ワーク載置位置演算部７７はワーク位置演算部７６で得られたワーク位置に基づき描画ステージにワークを載置すべき位置を演算する。そして、データバス９０を介してこの位置情報をロボット制御部７５に送る。
【００４６】
次に、このような構成の液滴吐出装置の動作について説明する。
図９はワークのアライメントマークを示す平面図である。図１０は液滴吐出装置の動作を説明する模式図である。
図９に示すように、ワーク５の一方の面にはアライメントマーク５ａを予め形成しておく。本実施形態ではアライメントマーク５ａは描画を行う面とは反対の面でワーク５の所定位置に少なくとも２箇所形成する。また、アライメントマーク５ａはワーク５表面の色相と異なるものが好ましい。
【００４７】
図１０（ａ）に示すように、ロボットが駆動して吸着装置２０の吸着板２１が給除材部３０の給除材ステージ３２に載置されたワーク５を吸着する。
この状態でワーク５を搬送し、図１０（ｂ）に示すように、カメラ３５の上方に達する。ワーク５の裏面にはアライメントマークが形成され、カメラ３５がこの搬送中のワーク５を撮像し、アライメントマークを認識する。
ここで、ＣＰＵのワーク位置演算部にてロボットのハンドの位置情報とアライメントマークからの位置情報から、ワーク５の位置情報を演算する。続いてワーク載置位置演算部にて、ワーク位置演算部で得られたワーク位置に基づき描画ステージにワーク５を載置すべき位置を演算し、その位置情報を生成する。
【００４８】
そして、ワーク５はカメラ３５の上方を通過して搬送され、描画ステージ４０の上方で停止する。続いて、ロボットが駆動し吸着板２１が下降して、図１０（ｃ）に示すように、ワーク位置演算部で生成した位置情報に基づきワーク５を描画ステージ４０に載置する。
この描画ステージに載置されたワーク５の位置は、液滴を吐出する液滴吐出ヘッド５０に対してずれがなく、ワーク位置を補正する必要がない。
ワーク５を描画ステージ４０に載置した後、ロボットが駆動し吸着装置２０は給除材ステージ３２の上方に戻って待機する。
【００４９】
その後、図１０（ｄ）に示すように、キャリッジ６０が移動して描画ステージ４０に近づき、液滴吐出ヘッド５０からワーク５に液滴を塗布する。必要に応じて、描画ステージ４０を副走査方向に移動させて改行し、液滴をワーク５に塗布する。
ワーク５への液滴の塗布が終了すると、キャリッジ６０は待機位置に戻る。そしてロボットが駆動して吸着板２１が描画ステージ４０に載置されたワーク５を吸着搬送し、給除材ステージ３２に載置する。
【００５０】
以上のように、本実施形態の液滴吐出装置１は、ワーク５にそりや局部的な変形を与えない吸着装置２０が液滴吐出装置に備えられている。このため、ワーク５の吸引においてワーク５に不要な応力をかかることがなく、ワークの割れを防止できる。
また、この液滴吐出装置１はワークの搬送中におけるワーク５のそりや局部的な変形がなく、ワーク５を吸着した状態でのワーク５の画像認識が精度よく行える。
【００５１】
なお、上記実施形態では第１の実施形態における吸着装置を液滴吐出装置に具備したが、第２の実施形態で説明した吸着装置を備えてもよい。
【符号の説明】
【００５２】
１…液滴吐出装置、５…ワーク、５ａ…アライメントマーク、８…基台、１０…搬送装置としてのロボット、１１…基台、１２…支持台、１２ａ…回転機構、１３…第１腕部、１４…回転機構、１５…第２腕部、１６…昇降機構および回転機構、２０…吸着装置、２０ａ，２０ｂ…吸着装置、２１…吸着板、２２…多孔質吸着部、２２ａ〜２２ｆ…多孔質吸着部、２３…段付溝部、２４…吸引穴、２５…負圧発生部、２６…吸着装置、２７…針状吸着部、３０…給除材部、３１…台座、３２…給除材ステージ、３５…カメラ、４０…描画ステージ、４５…ガイドレール、５０…液滴吐出部としての液滴吐出ヘッド、５１…圧電素子、５２…振動板、５３…圧力室、５４…共通インク室、５５…ノズル、５６…ノズルプレート、６０…キャリッジ、６４…支柱、６５…ガイドレール、７０…ＣＰＵ、７１…主走査制御部、７２…副走査制御部、７３…吐出制御部、７４…カメラ制御部、７５…ロボット制御部、７６…ワーク位置演算部、７７…ワーク載置位置演算部、８０…メモリー、８１…プログラムソフト、８２…吐出位置データ、９０…データバス、９１…入出力インターフェイス、９２…主走査駆動装置、９３…副走査駆動装置、９４…ヘッド駆動回路、９５…カメラ作動回路、９６…ロボット駆動回路、９７…吸着装置作動回路。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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