(57)【要約】【課題】塵、汚濁物の噛み込みを抑制し、信頼性および安定性の向上したヘッド、およびディスク装置を提供する。【解決手段】ヘッド４０のスライダ４２は、ディスク対向面に設けられ空気流の上流側に位置するリーディングステップ部５０と、リーディングステップ部上に設けられたリーディングパッド５２と、第１方向に沿ってリーディングステップ部からスライダの流出端側に延出しているとともに第２方向に間隔をおいて互いに対向する一対のサイドステップ部４６と、サイドステップ部上に設けられリーディングパッドに連続するサイドパッド４８と、空気流の流出側に位置し、ヘッド部４４が設けられるトレーリングステップ部５８と、リーディングパッドから各サイドパッドまで連続して延び、流入空気流を導く導入溝６０と、を備えている。【選択図】図３
2011138568.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転自在な記録媒体の表面に対向する対向面を有するスライダと、前記スライダに設けられ上記記録媒体に対し情報の記録再生を行うヘッド部と、を備え、
前記スライダの対向面は前記空気流の方向に延びた第１方向、および第１方向と直交する第２方向を有し、
前記スライダの対向面は、前記空気流の上流側に位置するリーディングステップ部と、
リーディングステップ部上に設けられたリーディングパッドと、
前記第１方向に沿って前記リーディングステップ部からスライダの流出端側に延出しているとともに前記第２方向に間隔をおいて互いに対向する一対のサイドステップ部と、
前記サイドステップ部上に設けられ前記リーディングパッドに連続するサイドパッドと、
前記空気流の流出側に位置し、前記ヘッド部が設けられるトレーリングステップ部と、
前記リーディングパッドから前記各サイドパッドまで連続して延び、流入空気流を導く導入溝と、
を備えているヘッド。
【請求項２】
前記リーディングステップ部および各サイドステップ部は、開口を有することなく前記第１方向に沿って連続して延びる外側縁を有している請求項１に記載のヘッド。
【請求項３】
前記各サイドステップ部は、サイドステップ部の流出側端からリーディングステップ部側に向かって、前記第２方向の幅が広がっている請求項１に記載のヘッド。
【請求項４】
前記各導入溝の前記第２方向の幅は、前記リーディングステップ部の前記第２方向の幅の６％以上、３０％以下である請求項１に記載のヘッド。
【請求項５】
前記各導入溝は、深さの異なる複数の溝を連続して形成されている請求項１に記載のヘッド。
【請求項６】
前記各導入溝は、前記リーディングステップ部側の流入端から前記サイドステップ部の流出側端に向かって、第１溝、この第１溝よりも深い第２溝、第１溝と第２溝との中間の深さの第３溝、および第３溝よりも浅い第４溝を順に連続して形成されている請求項５に記載のヘッド。
【請求項７】
前記各導入溝は、前記リーディングステップ部側に開口する流入端と、前記サイドステップの流出端側に開口する流出端と、を有し、前記流入端は、前記流出端よりも前記スライダの中央部側にずれて位置し、前記各導入溝は、前記第１方向に対して、外側に傾斜して延びている請求項１ないし６のいずれか１項に記載のヘッド。
【請求項８】
前記スライダは、前記リーディングステップ部から前記トレーリングステップ部まで前記第１方向に沿って延びるセンターレールと、このセンターレールに形成され前記第１方向に沿って延びるガイド溝と、を有している請求項１ないし７のいずれか１項に記載のヘッド。
【請求項９】
ディスク状の記録媒体を支持し回転する駆動部と、
前記記録媒体に対し情報の記録再生を行うヘッドと、
前記ヘッドを支持するヘッドアクチュエータと、を備え、
前記ヘッドは、前記記録媒体に対向する対向面を有するスライダと、前記スライダに設けられ上記記録媒体に対し情報の記録再生を行うヘッド部と、を備え、
前記スライダの対向面は前記空気流の方向に延びた第１方向、および第１方向と直交する第２方向を有し、
前記スライダの対向面は、前記空気流の上流側に位置するリーディングステップ部と、
リーディングステップ部上に設けられたリーディングパッドと、
前記第１方向に沿って前記リーディングステップ部からスライダの流出端側に延出しているとともに前記第２方向に間隔をおいて互いに対向する一対のサイドステップ部と、
前記サイドステップ部上に設けられ前記リーディングパッドに連続するサイドパッドと、
前記空気流の流出側に位置し、前記ヘッド部が設けられるトレーリングステップ部と、
前記リーディングパッドから前記各サイドパッドまで連続して延び、流入空気流を導く導入溝と、を備えるディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、磁気ディスク装置等のディスク装置に用いるヘッド、およびこのヘッドを備えたディスク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ディスク装置として、例えば、磁気ディスク装置は、ベース内に配設された磁気ディスクと、磁気ディスクを支持および回転駆動するスピンドルモータと、磁気ディスクに対して情報のリード／ライトを行う磁気ヘッドと、磁気ヘッドを磁気ディスクに対して移動自在に支持したキャリッジアッセンブリと、を備えている。キャリッジアッセンブリは、回動自在に支持されたアームと、アームから延出したサスペンションとを備え、このサスペンションに延出端に磁気ヘッドが支持されている。磁気ヘッドは、サスペンションに取り付けられたスライダ、およびスライダに設けられたヘッド部を有し、ヘッド部は、リード用の再生素子、ライト用の記録素子を含んで構成されている。
【０００３】
スライダは、磁気ディスクの記録面と対向した対向面（エアベアリングサーフェース：ＡＢＳ）を有している。磁気ディスク装置の動作時、回転する磁気ディスクとスライダとの間に空気流が発生し、スライダの対向面には、空気流体潤滑の原理により、スライダを磁気ディスク記録面から浮上させる力（正圧）が作用する。この浮上力とヘッド荷重とを釣り合わせることにより、スライダは磁気ディスク記録面と隙間を保って浮上する。
【０００４】
近年、磁気ヘッドのスライダとして、センターレール型のＡＢＳを有するスライダが提案されている（例えば、特許文献１）。このスライダは、その中心軸線に沿って、空気流入端から流出側へ空気流を導く溝を設け、流出側パッドで発生する圧力を高める設計となっている。これにより、減圧時の浮上量低下や突発的な外乱によるスライダの振動など、スライダ諸特性の改善を図っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】米国出願公開ＵＳ２００４／０１５０９１６Ａ１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のような磁気ヘッドは、流出パッドに導く空気流が多い分、ディスク上の塵、汚濁物をスライダとディスクとの間に噛み込む可能性が増大し、ディスクを損傷懸念があるとともに、ヘッド性能が劣化する要因となる。
【０００７】
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、塵、汚濁物の噛み込みを抑制し、信頼性および安定性の向上したヘッド、およびディスク装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明の態様に係るヘッドは、回転自在な記録媒体の表面に対向する対向面を有するスライダと、前記スライダに設けられ上記記録媒体に対し情報の記録再生を行うヘッド部と、を備え、前記スライダの対向面は前記空気流の方向に延びた第１方向、および第１方向と直交する第２方向を有し、  
前記スライダの対向面は、前記空気流の上流側に位置するリーディングステップ部と、リーディングステップ部上に設けられたリーディングパッドと、前記第１方向に沿って前記リーディングステップ部からスライダの流出端側に延出しているとともに前記第２方向に間隔をおいて互いに対向する一対のサイドステップ部と、前記サイドステップ部上に設けられ前記リーディングパッドに連続するサイドパッドと、前記空気流の流出側に位置し、前記ヘッド部が設けられるトレーリングステップ部と、前記リーディングパッドから前記各サイドパッドまで連続して延び、流入空気流を導く導入溝と、を備えている。
【０００９】
この発明の他の態様に係るディスク装置は、ディスク状の記録媒体を支持し回転する駆動部と、前記記録媒体に対し情報の記録再生を行うヘッドと、前記ヘッドを支持するヘッドアクチュエータと、を備え、
前記ヘッドは、前記記録媒体に対向する対向面を有するスライダと、前記スライダに設けられ上記記録媒体に対し情報の記録再生を行うヘッド部と、を備え、前記スライダの対向面は前記空気流の方向に延びた第１方向、および第１方向と直交する第２方向を有し、前記スライダの対向面は、前記空気流の上流側に位置するリーディングステップ部と、リーディングステップ部上に設けられたリーディングパッドと、前記第１方向に沿って前記リーディングステップ部からスライダの流出端側に延出しているとともに前記第２方向に間隔をおいて互いに対向する一対のサイドステップ部と、前記サイドステップ部上に設けられ前記リーディングパッドに連続するサイドパッドと、前記空気流の流出側に位置し、前記ヘッド部が設けられるトレーリングステップ部と、前記リーディングパッドから前記各サイドパッドまで連続して延び、流入空気流を導く導入溝と、を備えている。
【発明の効果】
【００１０】
上記構成によれば、塵、汚濁物の噛み込みを抑制し、信頼性および安定性の向上したヘッド、およびディスク装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】図１は、この発明の第１の実施形態に係るＨＤＤを示す平面図。
【図２】図２は、前記ＨＤＤにおける磁気ヘッド部分を拡大して示す側面図。
【図３】図３は、前記磁気ヘッドのスライダのディスク対向面側を示す斜視図。
【図４】図４は、前記スライダのディスク対向面側を示す平面図。
【図５】図５は、図４の線Ａ−Ａに沿ったスライダの断面図。
【図６】図６は、比較例１として、導入溝を持たず、かつ、サイドステップの外側縁に開口部を有するスライダを示す平面図。
【図７】図７は、第１の実施形態に係る磁気ヘッドのスライダを示す平面図。
【図８】図８は、第１の実施形態に係る磁気ヘッドと比較例に係る磁気ヘッドとのロール剛性を比較して示す図。
【図９】図９は、第１の実施形態に係る磁気ヘッドと比較例に係る磁気ヘッドとについて、最低浮上量の変化率を比較して示す図。
【図１０】図１０は、この発明の第２の実施形態に係るＨＤＤの磁気ヘッドを示す平面図。
【図１１】図１１は、比較例２として、導入溝を持たず、かつ、サイドステップの外側縁に開口部を有するセンターレール型のスライダを示す平面図。
【図１２】図１２は、第２の実施形態に係る磁気ヘッドと比較例２に係る磁気ヘッドとについて、トレーリング部に送られる空気流の流量を比較して示す図。
【図１３】図１３は、トレーリング部の流量と、エラー（ＨＦＷ）を起こし始める汚濁物（ＳｉＯ２）の量との関係を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、図面を参照しながら、この発明に係るディスク装置をハードディスクドライブ（以下、ＨＤＤと称する）に適用した実施形態について詳細に説明する。
【００１３】
図１は、第１の実施形態に係るＨＤＤの筐体のトップカバーを取外して、ＨＤＤの内部構造を示している。図１に示すように、ＨＤＤは筐体を備え、この筐体は、上面の開口した矩形箱状のベース１２と、複数のねじによりベースにねじ止めされベースの上端開口を閉塞する図示しないトップカバーと、を有している。
【００１４】
ベース１２内には、記録媒体としての磁気ディスク１６、磁気ディスクを支持および回転させる駆動部としてのスピンドルモータ１８、磁気ディスクに対して情報の書き込み、読み出しを行なう複数の磁気ヘッド４０、これらの磁気ヘッドを磁気ディスク１６に対して移動自在に支持したキャリッジアッセンブリ２２、キャリッジアッセンブリを回動および位置決めするボイスコイルモータ（以下、ＶＣＭと称する）２４、磁気ヘッドが磁気ディスクの最外周に移動した際、磁気ヘッドを磁気ディスクから離間した退避位置に保持するランプロード機構２５、およびヘッドＩＣ等を有する基板ユニット２１等が収納されている。キャリッジアッセンブリ２２およびＶＣＭ２４は、ヘッドアクチュエータを構成している。
【００１５】
ベース１２の底壁外面には、図示しないプリント回路基板がねじ止めされている。このプリント回路基板は、基板ユニット２１を介して、スピンドルモータ１８、ＶＣＭ２４、および磁気ヘッド４０の動作を制御する。
【００１６】
磁気ディスク１６は、上面および下面に磁気記録層を有している。磁気ディスク１６は、スピンドルモータ１８の図示しないハブの外周に嵌合されているとともに、クランプばね１７によってハブ上に固定されている。スピンドルモータ１８を駆動することにより、磁気ディスク１６は所定の速度で矢印Ｂ方向に回転される。
【００１７】
キャリッジアッセンブリ２２は、ベース１２の底壁上に固定された軸受部２６と、軸受部から延出した複数のアーム３２と、を備えている。これらのアーム３２は、磁気ディスク１６の表面と平行に、かつ、互いに所定の間隔を置いて位置しているとともに、軸受部２６から同一の方向へ延出している。キャリッジアッセンブリ２２は、弾性変形可能な細長い板状のサスペンション３８を備えている。サスペンション３８は、例えば、板ばねにより構成され、その基端がスポット溶接あるいは接着によりアーム３２の先端に固定され、アームから延出している。各サスペンション３８は対応するアーム３２と一体に形成されていてもよい。アーム３２およびサスペンション３８によりヘッドサスペンションを構成し、このヘッドサスペンションと磁気ヘッド４０とによりヘッドサスペンショ ンアッセンブリを構成している。
【００１８】
図２に示すように、各磁気ヘッド４０は、ほぼ直方体形状のスライダ４２とこのスライダに設けられた記録再生用のヘッド部４４とを有し、サスペンション３８の先端部に設けられたジンバルばね４１に固定されている。各磁気ヘッド４０は、サスペンション３８の弾性により、磁気ディスク１６の表面に向かうヘッド荷重Ｌが印加されている。
【００１９】
図１に示すように、キャリッジアッセンブリ２２は、軸受部２６からアーム３２と反対の方向へ延出した支持枠４５を有し、この支持枠により、ＶＣＭ２４の一部を構成するボイスコイル４７が支持されている。支持枠４５は、合成樹脂によりボイスコイル４７の外周に一体的に成形されている。ボイスコイル４７は、ベース１２に固定された一対のヨーク４９間に位置し、これらのヨーク、および一方のヨークに固定された図示しない磁石とともにＶＣＭ２４を構成している。ボイスコイル４７に通電することにより、軸受部２６の回りでキャリッジアッセンブリ２２が回動し、磁気ヘッド４０は磁気ディスク１６の所望のトラック上に移動および位置決めされる。
【００２０】
ランプロード機構２５は、ベース１２の底壁に設けられているとともに磁気ディスク１６の外側に配置されたランプ５１と、各サスペンション３８の先端から延出したタブ５３（図２参照）と、を備えている。キャリッジアッセンブリ２２が、磁気ディスク１６の外側の退避位置まで回動する際、各タブ５３は、ランプ５１に形成されたランプ面と係合し、その後、ランプ面の傾斜によって引き上げられ、磁気ヘッド４０のアンロード動作を行う。
【００２１】
次に、磁気ヘッド４０の構成について詳細に説明する。図３は磁気ヘッドのスライダを示す斜視図、図４はスライダの平面図、図５はスライダの断面図である。  
図２、図３、図４、図５に示すように、磁気ヘッド４０はほぼ直方体状に形成されたスライダ４２を有し、このスライダは磁気ディスク１６の表面に対向する矩形状のディスク対向面（エア・ベアリング・サーフェース：ＡＢＳ）４３、ディスク対向面と直交して延びる流入側端面４４ａ、ディスク対向面と直交して延びる流出側端面４４ｂ、およびそれぞれディスク対向面と直交して流入側端面４４ａと流出側端面４４ｂとの間を延びる一対の側面４４ｃを有している。
【００２２】
ディスク対向面４３の長手方向を第１方向Ｘ、これと直交する幅方向を第２方向Ｙとする。スライダ４２は、第１方向Ｘの長さＬが１．２５ｍｍ以下、例えば、０．８５ｍｍ、第２方向Ｙに沿った幅Ｗ１が１．０ｍｍ以下、例えば、０．７ｍｍに形成され、いわゆるフェムトスライダとして構成されている。
【００２３】
磁気ヘッド４０は浮上型のヘッドとして構成され、スライダ４２は、磁気ディスク１６の回転によってディスク表面とディスク対向面４３との間に生じる空気流Ｃ（図２参照）により浮上する。ＨＤＤの動作時、スライダ４２のディスク対向面４３はディスク表面に対し常に隙間を保って対向している。ここで、空気流Ｃの方向は、磁気ディスク１６の回転方向Ｂと一致している。スライダ４２は、磁気ディスク１６表面に対し、ディスク対向面４３の第１方向Ｘが空気流Ｃの方向とほぼ一致するように配置される。
【００２４】
図３ないし図５に示すように、ディスク対向面４３には、ディスク対向面４３のほぼ中央部から流出端側に渡って、凹所からなる負圧キャビティ５４が形成されている。負圧キャビティ５４は、流出側端面４４ｂに向かって開放している。スライダ４２の厚さＨは、例えば０．２３ｍｍに形成され、負圧キャビティ５４の深さは８００〜１５００ｎｍ、例えば１５００ｎｍに形成されている。負圧キャビティ５４を設けることにより、ＨＤＤで実現される全てのヨー角において、ディスク対向面４３中心部で負圧を発生させることができる。
【００２５】
ディスク対向面４３において、流入側端部には、ほぼ矩形状のリーディングステップ部５０が形成されている。リーディングステップ部５０はディスク対向面４３より一段低く、例えば、１００ｎｍ低く、負圧キャビティ５４の底面に対して突出して設けられ、かつ、空気流Ｃに対して負圧キャビティ５４の流入側に位置している。
【００２６】
ディスク対向面４３は、各側縁に沿って延びているとともに第２方向Ｙに間隔を置いて対向する一対のサイドステップ部４６を有している。これらのサイドステップ部４６は負圧キャビティ５４の底面に対して突出して設けられている。サイドステップ部４６は、リーディングステップ部５０からスライダ４２の下流端側に延出している。
【００２７】
各サイドステップ部４６の外側縁４６ａは、開口を有することなく、リーディングステップ部５０の外側縁５０ａと連続して第１方向Ｘに沿って延びている。各サイドステップ部４６は、その流出側端からリーディングステップ５０側に向かって、第２方向の幅が広がっている。ここでは、サイドステップ部４６の流出端側の約半分の部分の第２方向の幅Ｗ２は、サイドステップ部の流入側の半分の幅Ｗ３よりも小さく形成されている。
【００２８】
リーディングステップ部５０および一対のサイドステップ部４６は、スライダ４２の中心軸線Ｄに対して対象に設けられ、全体として、上流側が閉塞され、下流側に向かって開放したほぼＵ字形状に形成されている。そして、リーディングステップ部５０および一対のサイドステップ部４６により負圧キャビティ５４が規定されている。
【００２９】
磁気ヘッド４０のピッチ角を維持するため、リーディングステップ部５０上には、空気膜によってスライダ４２を支えるリーディングパッド５２が突設されている。リーディングパッド５２は、第２方向Ｙに沿ってリーディングステップ部５０の幅方向全域に渡り連続的に延びているとともに、スライダ４２の流入側端面４４ａから下流側にずれた位置に形成されている。
【００３０】
リーディングパッド５２は、その中央部からリーディングステップ部の流入側端面まで中心軸線Ｄ上に沿って延びるリブ５２ａを有している。また、リーディングパッド５２において、リブ５２ａの両側には、複数、例えば、２つずつ、凹所５２ｂ、５２ｃが形成されている。これらの凹所５２ｂ、５２ｃは、リーディングパッド５２の流入側端に向かって開口している。
【００３１】
各サイドステップ部４６上には、サイドパッド４８が形成され、リーディングパッド５２に繋がっている。リーディングパッド５２およびサイドパッド４８はほぼ平坦に形成され、ディスク対向面４３を形成している。
【００３２】
スライダ４２は、リーディングパッド５２から各サイドパッド４８の流出端まで連続して延び、流入空気流を導く導入溝６０を有している。各導入溝６０は、リーディングステップ部５０側に開口する流入端部６０ａと、サイドステップ部４６の流出端側に開口する流出端部６０ｂと、を有し、この流入端部から流出端部までほぼ一定の幅Ｗ３に形成されている。各導入溝６０の流入端部６０ａは、流出端部６０ｂよりもスライダ４２の中央部側にずれて位置し、各導入溝は、第１方向Ｘに対して、外側に傾斜して延びている。各導入溝６０の第２方向の幅Ｗ３は、リーディングステップ部５０の第２方向の幅Ｗ１の６％以上、３０％以下に形成されている。
【００３３】
各導入溝６０は、深さの異なる複数の溝を連続して形成されている。本実施形態において、各導入溝６０は、リーディングパッド５２側の流入端からサイドステップ部４６の流出側端に向かって、浅溝の第１溝６１ａ、この第１溝よりも深い第２溝６１ｂ、第１溝と第２溝との中間の深さの第３溝６１ｃ、および第３溝よりも浅い第４溝６１ｄを順に連続して形成されている。
【００３４】
図３ないし図５に示すように、スライダ４２のディスク対向面４３には、それぞれ第１方向Ｘに沿ってサイドステップ部４６からスライダの流出側端に向かって直線的に延出した一対のスカート部５７が形成されている。各スカート部５７は、サイドステップ部４６よりも深く形成され、負圧キャビティ５４の底面に対して突出している。各スカート部５７は、ディスク対向面４３に対して深さ１００〜２００ｎｍ、例えば、１００ｎｍに形成されている。
【００３５】
スライダ４２は、空気流Ｃの方向に対して、ディスク対向面４３の流出側の端部に形成されたトレーリングステップ部５８を有している。トレーリングステップ部５８は、負圧キャビティ５４の底面に対して突出して形成され、その突出高さは、リーディングステップ部５０と同一突出高さに形成されている。言い換えると、トレーリングステップ部５８は、ディスク対向面４３からの深さが、リーディングステップ部５０と同一深さ、５０〜２５０ｎｍ、例えば、１００ｎｍに形成されている。トレーリングステップ部５８は、空気流Ｃの方向に対して、負圧キャビティ５４の下流側に位置し、かつ、ディスク対向面４３の第２方向Ｙほぼ中央に位置している。更に、トレーリングステップ部５８は、スライダ４２の流出側端面４４ｂから僅かに流入側端面４４ａ側にずれて設けられている。
【００３６】
図３ないし図５に示すように、トレーリングステップ部５８は、ほぼ直方体形状に形成され、上流側に位置した２つの角部が面取りされた形状を有している。トレーリングステップ部５８は、磁気ディスク１６表面と対向する上面を有している。
【００３７】
トレーリングステップ部５８の上面には、空気膜によってスライダ４２を支えるトレーリングパッド７０が突設されている。トレーリングパッド７０は、リーディングパッド５２およびサイドパッド４８と同一高さレベルに形成され、その表面は、ディスク対向面４３を構成している。
【００３８】
トレーリングパッド７０は、トレーリングステップ部５８の流出側端部に設けられたベース部７２、および第２方向Ｙに沿ってベース部から流入端側へ延びる４つのリブ７４ａ、７４ｂを有している。トレーリングステップ部５８において、ベース部７２は、流出端側で中心軸線上に設けられ、第２方向Ｙのほぼ中央に位置している。中心軸線Ｄの両側に位置する２つのリブ７４ａは、ベース部７２からトレーリングステップ部５８の流入側端まで、第１方向Ｘに沿って延びている。外側の２本のリブ７４ｂは、リブ７４ａよりも短く、ベース部７２からトレーリングステップ部５８の流入側端に向かって、第１方向Ｘに沿って延びている。トレーリングステップ５８において、長い２本のリブ７４ａ間に位置する部分は一段低く形成されている。
【００３９】
磁気ヘッド４０のヘッド部４４は、磁気ディスク１６に対して情報の記録再生を行う記録素子および再生素子を有している。これら再生素子および記録素子は、空気流Ｃの方向に対して、スライダ４２の下流側端部内に埋め込まれている。再生素子および記録素子は、その下端が、トレーリングパッド７０のベース部７２に露出するように設けられている。
【００４０】
以上のように構成されたＨＤＤによれば、磁気ヘッド４０は、磁気ディスク１６の回転によってディスク表面とディスク対向面４３との間に生じる空気流Ｃにより浮上する。これにより、ＨＤＤの動作時、スライダ４２のディスク対向面４３はディスク表面に対し常に隙間を保って対向している。図２に示すように、磁気ヘッド４０は、ヘッド部４４のリード／ライトギャップが最もディスク表面に接近した傾斜姿勢をとって浮上する。
【００４１】
磁気ヘッド４０は、スライダ４２のディスク対向面４３に負圧キャビティ５４を設けることにより、ＨＤＤで実現される全てのヨー角において、ディスク対向面４３中心部で負圧を発生させることができる。また、リーディングステップ部のリーディングパッドから各サイドステップのサイドパッドの流出側端まで連続して延びる導入溝６０を設けることにより、流入空気流の一部をこれらの導入溝６０によって両サイドのサイドステップ４６側に導くことができる。これにより、トレーリングステップ５８およびヘッド部４４側への流入空気量を低減し、塵、汚濁物等がヘッド部４４と磁気ディスクとの間に噛み込むことを抑制し、磁気ディスクの損傷および磁気ヘッドの性能低下を防止することができる。
【００４２】
また、スライダ４２のリーディングエッジ側（流入端側）で集めた空気流の一部を、導入溝６０によってサイドパッド４８へ導くことで、スライダのロール剛性が大幅に向上する。これにより、ロール方向の製造／組み立て公差（サスペンションの静姿勢（ＲＳＡ）やスライダをサスペンションへ貼り付けた場合）による浮上量バラつきを低減し、製造歩留まりや信頼性の改善を図ることができる。  
以上のことから、塵、汚濁物の噛み込みを抑制し、信頼性および安定性の向上したヘッド、およびＨＤＤが得られる。
【００４３】
本願発明者は、図６に示すように、サイドステップ部の外側縁に開口を有しているとともに、導入溝を持たない比較例１に係るスライダを有する磁気ヘッドと、図７に示す本実施形態に係る磁気ヘッドとを用意し、これらの磁気ヘッドについて、ロール剛性を測定し比較した。両磁気ヘッドの浮上量姿勢を合わせた上（素子部浮上量１０nm、ピッチング１１１０urad、ロール０urad、周速１２．２m/s、２．５インチ、ＨＤＤの中周条件）で、シミュレーションで比較を行った。その結果を図８に示す。  
この図からわかるように、本実施形態に係る磁気ヘッドは、比較例１に係る磁気ヘッドに対して、ロール剛性が２．１倍も増加している。
【００４４】
また、上記比較例１に係る磁気ヘッドおよび本実施形態に係る磁気ヘッドについて、ロール剛性向上に伴う浮上量バラつきの低減の確認として、サスペンションの静姿勢（ＲＳＡ）変化が生じた際の浮上解析を行った。その結果を図９に示す。この図から、本実施形態に係る磁気ヘッドは、比較例１に比較して、浮上低下率が４割程度改善していることが分かる。
【００４５】
次に、この発明の第２の実施形態に係るＨＤＤの磁気ヘッドについて説明する。  
図１０は、第２の実施形態に係るＨＤＤの磁気ヘッド４０を示している。本実施形態によれば、スライダ４２は、センターレール型のスライダとして形成されている。すなわち、スライダ４２は、一対のセンターレール７６ａを有し、これらのセンターレールは、第１方向Ｘ沿って、リーディングステップ部５０からトレーリングステップ５８まで平行に延びている。センターレール７６ａは、トレーリングパッド７０のリブ７４ａにそれぞれ連続して形成されている。一対のセンターレール７６ａ間には、ガイド溝７６ｂが形成され、このガイド溝７６ｂは、リーディングステップ５０からトレーリングステップ５８まで延びている。リーディングステップ５０において、センターレール７６ａの基端側に凹部７８が形成されている。この凹部７８は、ガイド溝７６ｂよりも深く形成され、ガイド溝７６ｂに繋がっている。
【００４６】
また、スライダ４２は、リーディングパッド５２から各サイドパッド４８の流出端まで連続して延び、流入空気流を導く導入溝６０を有している。各導入溝６０は、リーディングステップ部５０側に開口する流入端部６０ａと、サイドステップ部４６の流出端側に開口する流出端部６０ｂと、を有し、この流入端部から流出端部までほぼ一定の幅Ｗ３に形成されている。各導入溝６０の流入端部６０ａは、流出端部６０ｂよりもスライダ４２の中央部側にずれて位置し、各導入溝は、第１方向Ｘに対して、外側に傾斜して延びている。各導入溝６０の第２方向の幅は、リーディングステップ部５０の第２方向の幅の６％以上、３０％以下に形成されている。
【００４７】
各導入溝６０は、深さの異なる複数の溝を連続して形成されている。本実施形態において、各導入溝６０は、リーディングパッド５２側の流入端からサイドステップ部４６の流出側端に向かって、浅溝の第１溝６１ａ、この第１溝よりも深い第２溝６１ｂ、第１溝と第２溝との中間の深さの第３溝６１ｃ、および第３溝よりも浅い第４溝６１ｄを順に連続して形成されている。
【００４８】
第２の実施形態において、磁気ヘッド４０の他の構成は、前述した第１の実施形態と同一であり、同一の部分には同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略する。そして、第２の実施形態においても、ロール剛性が向上し、また、塵、汚濁物の噛み込みを抑制し、信頼性および安定性の向上した磁気ヘッド、およびこれを備えたＨＤＤが得られる。
【００４９】
本願発明者は、図１１に示すように、サイドステップ部の外側縁に開口７６を有しているとともに、導入溝を持たない比較例２に係るセンターレール型のスライダを有する磁気ヘッドと、図１０に示す第２の実施形態に係る磁気ヘッドとを用意し、これらの磁気ヘッドについて、トレーリングステップ部への流入空気の流量をシュミレーションし比較した。その結果を図１２に示す。なお、解析条件は、前述したロール剛性解析時と同一の条件でシュミレーションした。図１２から、本実施形態に係る磁気ヘッド４０は、比較例２に係る磁気ヘッドに比較して、流量が約半分に低減していることが分かる。
【００５０】
また、流量の異なるディスク対向面を有する３種類の磁気ヘッドを用意し、２．５インチディスクのＨＤＤを実際に用いて、ＳｉＯ２（汚濁物と仮定する）の注入量をパラメータとし、ＨＤＤがエラーを起こし始めるかどうかを実験した。その結果を図１３に示す。この図に示すように、トレーリングステップ部の空気流の流量と、エラー（ＨＦＷ）を起こし始めるＳｉＯ２の注入量に相関が見られた。すなわち、トレーリングステップ部の空気流の流量が多いほど、僅かなＳｉＯ２の注入量でエラーが発生することが分かる。
【００５１】
このことから、第２の実施形態に係る磁気ヘッドによれば、流入空気流を両サイドステップ部側へ導く導入溝を設け、トレーリングパッド、およびヘッド部への流量を低減することで、ヘッド部の素子部近傍へ集積する汚濁物量の削減し、また、磁気ディスクの損傷抑制を図ることができる。
【００５２】
本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
【００５３】
スライダにおけるリーディングステップ部、トレーリングステップ部、導入溝、各パッドの形状および寸法等は上述した実施形態に限定されることなく、必要に応じて変更可能である。この発明は、フェムトスライダに限らず、ピコスライダ、ペムトスライダ、あるいは、より寸法の大きなスライダにも適用可能である。ディスク装置において、磁気ディスクの枚数は１枚に限らず、増加可能である。
【符号の説明】
【００５４】
１２…ベース、１６…磁気ディスク、１８…スピンドルモータ
２２…キャリッジアッセンブリ、２６…軸受部、３２…アーム、
４０…磁気ヘッド、４２…スライダ、４３…ディスク対向面、
４４…ヘッド部、５０…リーディングステップ部、５２…リーディングパッド、
５４…負圧キャビティ、４６…サイドステップ部、４６ａ…外側縁、
４８…サイドパッド、５７…スカート部、５８…トレーリングステップ部、
６０…導入溝、６０ａ…流入端部、６０ｂ…流出端部、７０…トレーリングパッド、
７６ａ…センターレール、７６ｂ…ガイド溝
【図１】
2011138568.tif 000003
【図２】
2011138568.tif 000004
【図３】
2011138568.tif 000005
【図４】
2011138568.tif 000006
【図５】
2011138568.tif 000007
【図６】
2011138568.tif 000008
【図７】
2011138568.tif 000009
【図８】
2011138568.tif 000010
【図９】
2011138568.tif 000011
【図１０】
2011138568.tif 000012
【図１１】
2011138568.tif 000013
【図１２】
2011138568.tif 000014
【図１３】
2011138568.tif 000015
【手続補正書】
【提出日】平成22年12月10日(2010.12.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
この発明の態様に係る磁気ヘッドは、回転自在な記録媒体の表面に対向する対向面を有するスライダと、前記スライダに設けられ上記記録媒体に対し情報の記録再生を行うヘッド部と、を備え、前記スライダの対向面は前記空気流の方向に延びた第１方向、および第１方向と直交する第２方向を有し、
前記スライダの対向面は、前記空気流の上流側に位置するリーディングステップ部と、リーディングステップ部上に設けられたリーディングパッドと、前記リーディングステップ部からスライダの流出端側に延出しているとともに前記第２方向に間隔をおいて互いに対向する一対のサイドステップ部と、前記サイドステップ部上に設けられ前記リーディングパッドに連続するサイドパッドと、前記空気流の流出側に位置し、前記ヘッド部が設けられるトレーリングステップ部と、前記リーディングパッドから前記各サイドパッドまで連続して延び、流入空気流を導く導入溝と、を備えている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
この発明の他の態様に係るディスク装置は、ディスク状の記録媒体を支持し回転する駆動部と、前記記録媒体に対し情報の記録再生を行うヘッドと、前記ヘッドを支持するヘッドアクチュエータと、を備え、
前記ヘッドは、前記記録媒体に対向する対向面を有するスライダと、前記スライダに設けられ上記記録媒体に対し情報の記録再生を行うヘッド部と、を備え、前記スライダの対向面は前記空気流の方向に延びた第１方向、および第１方向と直交する第２方向を有し、
前記スライダの対向面は、前記空気流の上流側に位置するリーディングステップ部と、リーディングステップ部上に設けられたリーディングパッドと、前記リーディングステップ部からスライダの流出端側に延出しているとともに前記第２方向に間隔をおいて互いに対向する一対のサイドステップ部と、前記サイドステップ部上に設けられ前記リーディングパッドに連続するサイドパッドと、前記空気流の流出側に位置し、前記ヘッド部が設けられるトレーリングステップ部と、前記リーディングパッドから前記各サイドパッドまで連続して延び、流入空気流を導く導入溝と、を備えている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転自在な記録媒体の表面に対向する対向面を有するスライダと、前記スライダに設けられ上記記録媒体に対し情報の記録再生を行うヘッド部と、を備え、
前記スライダの対向面は前記空気流の方向に延びた第１方向、および第１方向と直交する第２方向を有し、
前記スライダの対向面は、前記空気流の上流側に位置するリーディングステップ部と、
リーディングステップ部上に設けられたリーディングパッドと、
前記リーディングステップ部からスライダの流出端側に延出しているとともに前記第２方向に間隔をおいて互いに対向する一対のサイドステップ部と、
前記サイドステップ部上に設けられ前記リーディングパッドに連続するサイドパッドと、
前記空気流の流出側に位置し、前記ヘッド部が設けられるトレーリングステップ部と、
前記リーディングパッドから前記各サイドパッドまで連続して延び、流入空気流を導く導入溝と、
を備えているヘッド。
【請求項２】
前記リーディングステップ部および各サイドステップ部は、開口を有することなく前記第１方向に沿って連続して延びる外側縁を有している請求項１に記載のヘッド。
【請求項３】
前記各サイドステップ部は、サイドステップ部の流出側端からリーディングステップ部側に向かって、前記第２方向の幅が広がっている請求項１に記載のヘッド。
【請求項４】
前記各導入溝の前記第２方向の幅は、前記リーディングステップ部の前記第２方向の幅の６％以上、３０％以下である請求項１に記載のヘッド。
【請求項５】
前記各導入溝は、深さの異なる複数の溝を連続して形成されている請求項１に記載のヘッド。
【請求項６】
前記各導入溝は、前記リーディングステップ部側の流入端から前記サイドステップ部の流出側端に向かって、第１溝、この第１溝よりも深い第２溝、第１溝と第２溝との中間の深さの第３溝、および第３溝よりも浅い第４溝を順に連続して形成されている請求項５に記載のヘッド。
【請求項７】
前記各導入溝は、前記リーディングステップ部側に開口する流入端と、前記サイドステップの流出端側に開口する流出端と、を有し、前記流入端は、前記流出端よりも前記スライダの中央部側にずれて位置し、前記各導入溝は、前記第１方向に対して、外側に傾斜して延びている請求項１ないし６のいずれか１項に記載のヘッド。
【請求項８】
前記スライダは、前記リーディングステップ部から前記トレーリングステップ部まで前記第１方向に沿って延びるセンターレールと、このセンターレールに形成され前記第１方向に沿って延びるガイド溝と、を有している請求項１ないし７のいずれか１項に記載のヘッド。
【請求項９】
ディスク状の記録媒体を支持し回転する駆動部と、
前記記録媒体に対し情報の記録再生を行うヘッドと、
前記ヘッドを支持するヘッドアクチュエータと、を備え、
前記ヘッドは、前記記録媒体に対向する対向面を有するスライダと、前記スライダに設けられ上記記録媒体に対し情報の記録再生を行うヘッド部と、を備え、
前記スライダの対向面は前記空気流の方向に延びた第１方向、および第１方向と直交する第２方向を有し、
前記スライダの対向面は、前記空気流の上流側に位置するリーディングステップ部と、
リーディングステップ部上に設けられたリーディングパッドと、
前記リーディングステップ部からスライダの流出端側に延出しているとともに前記第２方向に間隔をおいて互いに対向する一対のサイドステップ部と、
前記サイドステップ部上に設けられ前記リーディングパッドに連続するサイドパッドと、
前記空気流の流出側に位置し、前記ヘッド部が設けられるトレーリングステップ部と、
前記リーディングパッドから前記各サイドパッドまで連続して延び、流入空気流を導く導入溝と、を備えるディスク装置。
【請求項１０】
前記リーディングステップ部および各サイドステップ部は、開口を有することなく前記第１方向に沿って連続して延びる外側縁を有している請求項９に記載のディスク装置。
【請求項１１】
前記各サイドステップ部は、サイドステップ部の流出側端からリーディングステップ部側に向かって、前記第２方向の幅が広がっている請求項９に記載のディスク装置。
【請求項１２】
前記各導入溝の前記第２方向の幅は、前記リーディングステップ部の前記第２方向の幅の６％以上、３０％以下である請求項９に記載のディスク装置。
【請求項１３】
前記各導入溝は、深さの異なる複数の溝を連続して形成されている請求項９に記載のディスク装置。
【請求項１４】
前記各導入溝は、前記リーディングステップ部側の流入端から前記サイドステップ部の流出側端に向かって、第１溝、この第１溝よりも深い第２溝、第１溝と第２溝との中間の深さの第３溝、および第３溝よりも浅い第４溝を順に連続して形成されている請求項１３に記載のディスク装置。
【手続補正書】
【提出日】平成23年4月6日(2011.4.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
この発明の態様に係るヘッドは、回転自在な記録媒体の表面に対向する対向面を有するスライダと、前記スライダに設けられ上記記録媒体に対し情報の記録再生を行うヘッド部と、を備え、前記スライダの対向面は前記空気流の方向に延びた第１方向、および第１方向と直交する第２方向を有し、
前記スライダの対向面は、前記空気流の上流側に位置するリーディングステップ部と、
リーディングステップ部上に設けられたリーディングパッドと、前記リーディングステップ部からスライダの流出端側に延出しているとともに前記第２方向に間隔をおいて互いに対向する一対のサイドステップ部と、前記サイドステップ部上に設けられ前記リーディングパッドに連続するサイドパッドと、前記リーディングパッドから前記各サイドパッドまで連続して延び、流入空気流を導く導入溝と、を備え、
前記各導入溝は、前記リーディングステップ部側に開口する流入端と、前記サイドステップの流出端側に位置する流出端と、を有し、前記流入端は、前記流出端よりも前記スライダの中央部側にずれて位置している。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
この発明の他の態様に係るディスク装置は、ディスク状の記録媒体を支持し回転する駆動部と、前記記録媒体に対し情報の記録再生を行うヘッドと、前記ヘッドを支持するヘッドアクチュエータと、を備え、
前記ヘッドは、前記記録媒体に対向する対向面を有するスライダと、前記スライダに設けられ上記記録媒体に対し情報の記録再生を行うヘッド部と、を備え、前記スライダの対向面は前記空気流の方向に延びた第１方向、および第１方向と直交する第２方向を有し、前記スライダの対向面は、前記空気流の上流側に位置するリーディングステップ部と、リーディングステップ部上に設けられたリーディングパッドと、前記リーディングステップ部からスライダの流出端側に延出しているとともに前記第２方向に間隔をおいて互いに対向する一対のサイドステップ部と、前記サイドステップ部上に設けられ前記リーディングパッドに連続するサイドパッドと、前記リーディングパッドから前記各サイドパッドまで連続して延び、流入空気流を導く導入溝と、を備え、前記各導入溝は、前記リーディングステップ部側に位置する流入端と、前記サイドステップの流出端側に開口する流出端と、を有し、前記流入端は、前記流出端よりも前記スライダの中央部側にずれて位置している。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
各サイドステップ部４６の外側縁４６ａは、開口を有することなく、リーディングステップ部５０の外側縁５０ａと連続して第１方向Ｘに沿って延びている。各サイドステップ部４６は、その流出側端からリーディングステップ５０側に向かって、第２方向の幅が広がっている。ここでは、サイドステップ部４６の流出端側の部分の第２方向の幅Ｗ２は、サイドステップ部の流入側の部分の幅Ｗ４よりも小さく形成されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
スライダ４２は、リーディングパッド５２から各サイドパッド４８の流出端まで連続して延び、流入空気流を導く導入溝６０を有している。各導入溝６０は、リーディングステップ部５０側に開口する流入端部６０ａと、サイドステップ部４６の流出端側に位置する流出端部６０ｂと、を有し、この流入端部から流出端部までほぼ一定の幅Ｗ３に形成されている。各導入溝６０の流入端部６０ａは、流出端部６０ｂよりもスライダ４２の中央部側にずれて位置し、各導入溝は、第１方向Ｘに対して、外側に傾斜して延びている。各導入溝６０の第２方向の幅Ｗ３は、リーディングステップ部５０の第２方向の幅Ｗ１の６％以上、３０％以下に形成されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
図３ないし図５に示すように、スライダ４２のディスク対向面４３には、それぞれ第１方向Ｘに沿ってサイドステップ部４６からスライダの流出側端に向かって直線的に延出した一対のスカート部５７が形成されている。各スカート部５７は、サイドパッド４８よりも深く形成され、負圧キャビティ５４の底面に対して突出している。各スカート部５７は、ディスク対向面４３に対して深さ１００〜２００ｎｍ、例えば、１００ｎｍに形成されている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転自在な記録媒体の表面に対向する対向面を有するスライダと、前記スライダに設けられ上記記録媒体に対し情報の記録再生を行うヘッド部と、を備え、
前記スライダの対向面は前記空気流の方向に延びた第１方向、および第１方向と直交する第２方向を有し、
前記スライダの対向面は、前記空気流の上流側に位置するリーディングステップ部と、
リーディングステップ部上に設けられたリーディングパッドと、
前記リーディングステップ部からスライダの流出端側に延出しているとともに前記第２方向に間隔をおいて互いに対向する一対のサイドステップ部と、
前記サイドステップ部上に設けられ前記リーディングパッドに連続するサイドパッドと、
前記リーディングパッドから前記各サイドパッドまで連続して延び、流入空気流を導く導入溝と、を備え、
前記各導入溝は、前記リーディングステップ部側に開口する流入端と、前記サイドステップの流出端側に位置する流出端と、を有し、前記流入端は、前記流出端よりも前記スライダの中央部側にずれて位置しているヘッド。
【請求項２】
前記リーディングステップ部および各サイドステップ部は、開口を有することなく前記第１方向に沿って連続して延びる外側縁を有している請求項１に記載のヘッド。
【請求項３】
前記各サイドステップ部は、サイドステップ部の流出側端からリーディングステップ部側に向かって、前記第２方向の幅が広がっている請求項１に記載のヘッド。
【請求項４】
前記各導入溝の前記第２方向の幅は、前記リーディングステップ部の前記第２方向の幅の６％以上、３０％以下である請求項１に記載のヘッド。
【請求項５】
前記各導入溝は、深さの異なる複数の溝を連続して形成されている請求項１に記載のヘッド。
【請求項６】
前記各導入溝は、前記リーディングステップ部側の流入端から前記サイドステップ部の流出側端に向かって、第１溝、この第１溝よりも深い第２溝、第１溝と第２溝との中間の深さの第３溝、および第３溝よりも浅い第４溝を順に連続して形成されている請求項５に記載のヘッド。
【請求項７】
前記各導入溝は、前記第１方向に対して、外側に傾斜して延びている請求項１ないし６のいずれか１項に記載のヘッド。
【請求項８】
前記スライダは、前記リーディングステップ部から前記トレーリングステップ部まで前記第１方向に沿って延びるセンターレールと、このセンターレールに形成され前記第１方向に沿って延びるガイド溝と、を有している請求項１ないし７のいずれか１項に記載のヘッド。
【請求項９】
ディスク状の記録媒体を支持し回転する駆動部と、
前記記録媒体に対し情報の記録再生を行うヘッドと、
前記ヘッドを支持するヘッドアクチュエータと、を備え、
前記ヘッドは、前記記録媒体に対向する対向面を有するスライダと、前記スライダに設けられ上記記録媒体に対し情報の記録再生を行うヘッド部と、を備え、
前記スライダの対向面は前記空気流の方向に延びた第１方向、および第１方向と直交する第２方向を有し、
前記スライダの対向面は、前記空気流の上流側に位置するリーディングステップ部と、
リーディングステップ部上に設けられたリーディングパッドと、
前記リーディングステップ部からスライダの流出端側に延出しているとともに前記第２方向に間隔をおいて互いに対向する一対のサイドステップ部と、
前記サイドステップ部上に設けられ前記リーディングパッドに連続するサイドパッドと、
前記リーディングパッドから前記各サイドパッドまで連続して延び、流入空気流を導く導入溝と、を備え、
前記各導入溝は、前記リーディングステップ部側に位置する流入端と、前記サイドステップの流出端側に開口する流出端と、を有し、前記流入端は、前記流出端よりも前記スライダの中央部側にずれて位置しているディスク装置。
【請求項１０】
前記リーディングステップ部および各サイドステップ部は、開口を有することなく前記第１方向に沿って連続して延びる外側縁を有している請求項９に記載のディスク装置。
【請求項１１】
前記各サイドステップ部は、サイドステップ部の流出側端からリーディングステップ部側に向かって、前記第２方向の幅が広がっている請求項９に記載のディスク装置。
【請求項１２】
前記各導入溝の前記第２方向の幅は、前記リーディングステップ部の前記第２方向の幅の６％以上、３０％以下である請求項９に記載のディスク装置。
【請求項１３】
前記各導入溝は、深さの異なる複数の溝を連続して形成されている請求項９に記載のディスク装置。
【請求項１４】
前記各導入溝は、前記リーディングステップ部側の流入端から前記サイドステップ部の流出側端に向かって、第１溝、この第１溝よりも深い第２溝、第１溝と第２溝との中間の深さの第３溝、および第３溝よりも浅い第４溝を順に連続して形成されている請求項１３に記載のディスク装置。
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2011138568.tif 000016
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2011138568.tif 000017