(57)【要約】【課題】可動部の共振周波数（振幅）を所定値に設定し、使用中にその設定から外れないように制御するミラーデバイス駆動制御装置を提供する。【解決手段】ミラーデバイス１を駆動信号により駆動する駆動部２と、ミラーデバイス１の可動部の振幅および温度を検出し、検出に応じた検出信号を生成して出力する駆動状態検出部４と、可動部が所定範囲で振幅するように駆動信号の周波数の制御を行う制御部７と、制御部７の制御中に、可動部の周波数を変更する周波数変更部と、を備え、周波数変更部は、駆動状態検出部４の検出信号に基づいて可動部の振幅の周波数をうなり周波数ｆｂとして検出し、うなり周波数を検出したときのミラーデバイス１の駆動信号の周波数ｆと、うなり周波数ｆｂと、に基づいて所定の周波数ｆ１を求め、周波数ｆ１の駆動信号でミラーデバイス１を駆動させる。【選択図】図１
2011002537.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動部の周波数がヒステリシス特性を有するミラーデバイスを駆動制御するミラーデバイス駆動制御装置であって、
前記ミラーデバイスを駆動信号により駆動する駆動部と、
前記ミラーデバイスの可動部の振幅および前記ミラーデバイスの温度を検出し、当該検出に応じた検出信号を生成して出力する駆動状態検出部と、
前記可動部が所定範囲の振幅で駆動するように前記駆動信号の周波数の制御を行う制御部と、
前記制御部の制御中に、前記可動部の周波数を変更する周波数変更部と、を備え、
前記周波数変更部は、前記駆動状態検出部の温度検出信号に基づいて前記可動部の振幅の包絡線の周波数をうなり周波数ｆｂとして検出し、
前記うなり周波数を検出したときの前記ミラーデバイスの駆動信号の周波数ｆと、前記うなり周波数ｆｂと、に基づいて所定の周波数ｆ１を求め、
当該周波数ｆ１の駆動信号で前記ミラーデバイスを駆動させることを特徴とするミラーデバイス駆動制御装置。
【請求項２】
請求項１に記載のミラーデバイス駆動制御装置において、
前記制御部が、前記ミラーデバイスの温度変化を算出して所定の変化を超えたときに、前記可動部の振幅の包絡線の周波数をうなり周波数ｆｂとして検出することを特徴とするミラーデバイス駆動制御装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のミラーデバイス駆動制御装置において、
前記うなり周波数ｆｂを検出する際に、前記ミラーデバイスの温度変化に応じて検出するための周期を変えることを特徴とするミラーデバイス駆動制御装置。
【請求項４】
ミラーデバイス駆動制御装置を含むプロジェクターにおいて、
前記ミラーデバイス駆動制御装置は、請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載のミラーデバイス駆動制御装置であることを特徴とするプロジェクター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ミラーデバイス駆動制御装置およびプロジェクターに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ミラーデバイスを１次元方向に回動（回転）させて光の走査を行う光スキャナー装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
このミラーデバイスは、光が反射する反射面が形成されたミラー部と、このミラー部を両側から支持する一対の捩り振動部と、ミラー部および捩り振動部を囲む外枠と、一対の捩り振動部のミラー部とは反対側端部と外枠とを連結する連結部とを、１枚の板材にて形成したものである。
そして、このようなミラーデバイスでは、一対の捩り振動部の捩り振動により、ミラー部を、各捩り振動部と連結部との接続点を結ぶ回転軸を中心に回動させて、レーザー光などの光を走査するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−９７３０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような従来のミラーデバイスを、例えばプロジェクターに適用する場合において、その画角を大きくするには、ミラーデバイスの可動部（ミラー部）の振幅（振れ角）を大きくする必要がある。
ミラーデバイスには温度により可動部の周波数（振幅）が変動する特性があり、このため、例えばミラー部の振幅を大きな状態に設定し、その設定状態でミラーデバイスを駆動制御したときに、温度変化に起因してその設定から外れることがある。この場合には、プロジェクターの画像が良好に表示できない問題となる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかるミラーデバイス駆動制御装置は、可動部の周波数がヒステリシス特性を有するミラーデバイスを駆動制御するミラーデバイス駆動制御装置であって、前記ミラーデバイスを駆動信号により駆動する駆動部と、前記ミラーデバイスの可動部の振幅および前記ミラーデバイスの温度を検出し、当該検出に応じた検出信号を生成して出力する駆動状態検出部と、前記可動部が所定範囲の振幅で駆動するように前記駆動信号の周波数の制御を行う制御部と、前記制御部の制御中に、前記可動部の周波数を変更する周波数変更部と、を備え、前記周波数変更部は、前記駆動状態検出部の温度検出信号に基づいて前記可動部の振幅の包絡線の周波数をうなり周波数ｆｂとして検出し、前記うなり周波数を検出したときの前記ミラーデバイスの駆動信号の周波数ｆと、前記うなり周波数ｆｂと、に基づいて所定の周波数ｆ１を求め、当該周波数ｆ１の駆動信号で前記ミラーデバイスを駆動させることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、駆動状態検出部の温度検出信号に基づいて可動振幅の包絡線の周波数をうなり周波数ｆｂとして検出し、うなり周波数を検出したときのミラーデバイスの駆動信号の周波数ｆと、うなり周波数ｆｂと、に基づいて所定の周波数ｆ１を求め、周波数ｆ１の駆動信号でミラーデバイスを駆動させる。
このことから、温度に起因した可動部の振幅の変動（共振周波数の変動）を補正してミラーデバイスを駆動させることができる。このように、うなり周波数を利用することで、簡単な構成で共振状態から外れないミラーデバイスの駆動を実現できる。そして、ミラーデバイスの共振周波数を直接求めることができることから、制御装置の簡素化が可能である。
【０００８】
［適用例２］上記適用例にかかるミラーデバイス駆動制御装置において、前記制御部が、前記ミラーデバイスの温度変化を算出して所定の変化を超えたときに、前記可動部の振幅の包絡線の周波数をうなり周波数ｆｂとして検出することが望ましい。
【０００９】
この構成によれば、ミラーデバイスの温度変化率または温度変化量などの温度変化を算出して、これらの値に基づきうなり周波数を検出する。
このことから、温度変化に対応して周波数変更処理が行われ、温度変化に対して良好な周波数制御が可能である。
【００１０】
［適用例３］上記適用例にかかるミラーデバイス駆動制御装置において、前記うなり周波数ｆｂを検出する際に、前記ミラーデバイスの温度変化に応じて検出するための周期を変えることが望ましい。
【００１１】
この構成によれば、ミラーデバイスの温度変化に対応してうなり周波数を検出する周期を変えることで、予め予想される急激な温度変化や、緩やかな温度変化に追従したミラーデバイスの駆動制御を可能にする。
【００１２】
［適用例４］本適用例にかかるミラーデバイス駆動制御装置を含むプロジェクターにおいて、前記ミラーデバイス駆動制御装置は、適用例１〜３のいずれかに記載のミラーデバイス駆動制御装置であることを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、ミラーデバイスの可動部の振幅を所定値に設定して、使用中にその設定から外れないように制御できることから、画像を良好に表示するプロジェクターを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】第１の実施形態のミラーデバイス駆動制御装置の構成を示すブロック図。
【図２】第１の実施形態のミラーデバイスの構成を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線の断面図。
【図３】ミラーデバイスの駆動周波数と可動部の振幅（振れ角）との関係を示すグラフ。
【図４】ミラーデバイスの可動部が異常振動を発生した直後の振動波形の一例を示す波形図。
【図５】ミラーデバイスの立ち上がり特性を示すグラフであり、（ａ）は温度の推移、（ｂ）は共振周波数の推移、（ｃ）は温度変化率の推移を示すグラフ。
【図６】第１の実施形態のミラーデバイスの駆動制御の一例を示すフローチャート。
【図７】第１の実施形態のミラーデバイスの制御処理の一例を示すフローチャート。
【図８】第１の実施形態のミラーデバイスの周波数変更処理の一例を示すフローチャート。
【図９】第１の実施形態のうなり周波数検出の処理の一例を示すフローチャート。
【図１０】第１の実施形態の変形例を説明するミラーデバイスの立ち上がり特性を示すグラフ。
【図１１】第２の実施形態におけるプロジェクターの一例を示す概略図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。
（第１の実施形態）
【００１６】
図１は本実施形態のミラーデバイス駆動制御装置の構成を示すブロック図である。
ミラーデバイス駆動制御装置１０は駆動部２と、駆動信号生成部３と、駆動状態検出部４と、制御部７とを備えている。また、ミラーデバイス１の駆動状態における可動部の振幅を検出するために、フォトディテクターなどによる振幅検出部５と、ミラーデバイス１の温度を検出する温度センサーなどによる温度検出部６が設けられている。この温度検出部６は直接ミラーデバイス１の温度を検出するのが好ましいが、ミラーデバイス１の近傍に温度センサーを配置して、その温度を代用して検出しても良い。
【００１７】
制御部７は、ミラーデバイス１の駆動信号を生成する駆動信号生成部３に接続され、駆動信号生成部３はミラーデバイス１を駆動させる駆動部２に接続されている。そして、駆動部２はミラーデバイス１に接続されている。
また、駆動状態検出部４の振幅検出部５および温度検出部６は制御部７に接続されている。
【００１８】
図２はミラーデバイスの構成を示し、図２（ａ）は平面図、図２（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線の断面図である。
ミラーデバイス１は、可動部１１を有し、この可動部１１の上面に光を反射するアルミニウム（Ａｌ）などの金属膜で形成されたミラー部１２が設けられている。可動部１１の両端は、捩れ部１３，１４を介して枠部１５と接続されている。そして、可動部１１、捩れ部１３，１４、および枠部１５は、１枚の板材（例えばシリコン基板）を加工することにより形成されている。
また、可動部１１の下面には磁石１６が設けられ、その磁石１６の下方にコイル１７が配置されている。そして、そのコイル１７に交流電流を流すことにより、捩れ部１３，１４がその長さ方向と直交する方向に回動し、これにより可動部１１とミラー部１２が振れるようになっている。
【００１９】
上記の構成のミラーデバイス駆動制御装置１０において、駆動部２は駆動信号生成部３で生成した駆動信号に基づいてミラーデバイス１を駆動する。駆動信号生成部３は、制御部７からの指示に従って所望の周波数の駆動信号を生成し、この生成した駆動信号を駆動部２に出力する。
振幅検出部５は、ミラーデバイス１の可動部１１の振れに応じた振幅、言い換えるとミラー部１２の振れに応じた振幅を検出する。
制御部７は、後述のようにミラーデバイス１の駆動中に所定の手順で制御処理を行う。また、制御処理中にはミラーデバイス１の可動部１１の周波数変更処理およびうなり周波数の検出を実施する。さらに、そのうなり周波数の検出後には、再度周波数変更処理を行う。このために制御部７は、図示しないが、ＣＰＵ、メモリーなどを備えている。
【００２０】
（周波数ヒステリシス特性）
このように構成されるミラーデバイス１における可動部１１の周波数は、以下に示すようなヒステリシス特性を有している。
本実施形態では後述の制御処理を行うが、その制御処理は周波数ヒステリシスを有するミラーデバイスにおける新たな知見を用いている。
図３はミラーデバイスの駆動周波数と可動部の振幅（振れ角）との関係を示すグラフである。図４はミラーデバイスの可動部が異常振動を発生した直後の振動波形の一例を示す波形図である。
図２に示すようなミラーデバイス１を駆動する場合に、その駆動信号の周波数の変化に対するミラーデバイス１の可動部１１の振れに応じた振幅（振れ角）の変化は、例えば図３に示すようなヒステリシス特性を有する。これは、ミラーデバイス１の材料および構造によるバネの非線形効果が現れるためである。
【００２１】
ミラーデバイス１の駆動信号の周波数を徐々に上げていった場合には、ミラーデバイス１の可動部１１の振幅は上昇し（矢印ａの方向に変化し）、その振幅が最大になる駆動信号の周波数はｆ２となる。
一方、駆動信号の周波数をｆ２より超えた周波数から徐々に下げていった場合には、ミラーデバイス１の可動部１１の振幅は上昇する（矢印ｂの方向に変化する）が、その振幅が最大になる駆動信号の周波数はｆ１となる。
このように、駆動信号の周波数を徐々に上げていった場合と下げていった場合とでは、振幅が最大になる駆動信号の周波数がｆ１とｆ２というように異なる（ｆ１＜ｆ２）。
【００２２】
ところで、図３に示すように、ミラーデバイス１の駆動信号の周波数がｆ２であって、ミラーデバイス１の可動部１１の振幅が最大の状態（共振状態）にある場合などに、ミラーデバイス１の周囲の環境温度の変化などに起因して、その共振状態が駆動信号の周波数ｆ２から外れる場合がある。この場合には、ミラーデバイス１の可動部１１は異常振動となり、この異常振動は可動部１１の振幅（振れ角）が急激に小さく変化するとともに、うなりが生じた状態となる。
このときのミラーデバイス１の可動部１１の振幅変動を観察すると、図４のような振動波形が得られ、この振動波形は振幅が急激に小さくなっていくとともに、うなりに対応する包絡線を含んでいる。同様に、このようなうなり現象は駆動周波数と共振周波数とが一致していない状態で、駆動周波数を変化させたときに発生することもわかっている。
【００２３】
そして、その包絡線の周波数をうなり周波数ｆｂとし、うなりが生じたときの駆動信号の周波数をｆとし、駆動信号の周波数を高い周波数から徐々に下げていったときのミラーデバイス１の可動部１１の振幅（振れ角）の最大のときの周波数ｆ１とすれば、次の（１）式が成立するという知見を得た。
ｆｂ≒ｆ−ｆ１・・・（１）
また、（１）式を変形すると、（２）式が得られる。
ｆ１≒ｆ−ｆｂ・・・（２）
そこで、本発明は、ミラーデバイス１の可動部１１の振幅変動に含まれる包絡線の周波数をうなり周波数ｆｂとして求めれば、うなりが生じたときの駆動信号の周波数ｆは予めわかっているので、（２）式により周波数ｆ１を求めることができる。そこで、この求めた周波数ｆ１を、後述のように活用するようにした。
【００２４】
（ミラーデバイスの立ち上がり特性）
また、ミラーデバイス１の立ち上がり（ミラーデバイス１を起動させてからの一定時間経過まで）における、温度、共振周波数、温度変化率の推移について説明する。
図５は、ミラーデバイスの立ち上がり特性を示すグラフであり、図５（ａ）は温度の推移、図５（ｂ）は共振周波数の推移、図５（ｃ）は温度変化率の推移を示している。
【００２５】
ミラーデバイスの温度は、起動後から徐々に温度が上昇する。そして、一旦、温度が下がり、一定時間経過後はほぼ一定の温度を保つように推移する。
また、ミラーデバイスの共振周波数は、温度に影響を受けて変動する。温度が上昇することにより共振周波数は低下する。
このため、ミラーデバイスの共振周波数は、起動後から徐々に低くなり、一旦、共振周波数が上昇して一定時間経過後はほぼ一定の共振周波数を保つように推移する。
ミラーデバイスの温度変化率は、立ち上げ後、急激に上昇してその後、なだらかに低下し、一旦、マイナスの温度変化率となり、再び上昇して温度変化率は０付近を保持する。
【００２６】
このように、温度の変化によりミラーデバイスの共振周波数が変動する。温度の上昇は周辺回路の温度上昇に加え、ミラーデバイスの振動による内部発熱と、レーザー光などの光源からの光が可動部のミラー部に当たり、その一部が吸収されることによる。このため、ミラーデバイスの温度上昇を抑制させることは困難である。
そして、ミラーデバイスの温度上昇により、捩れ部のバネ定数（弾性係数）が変化し、可動部の周波数が変化すると考えられる。
このようにして、ミラーデバイスの温度上昇により周波数が変化し、ミラーデバイスの駆動制御をしない場合には可動部の振幅が設定値から外れることが起きる。
【００２７】
（ミラーデバイスの駆動制御）
図６はミラーデバイスの駆動制御の一例を示すフローチャートである。
ステップＳ１では、ミラーデバイスの駆動信号を順次増加させて駆動部でミラーデバイスを駆動させる起動処理を行う。ステップＳ２の初期データ取得では、ミラーデバイスの所望の振幅が得られる駆動周波数と、そのときの温度を取得する。そして、ステップＳ３で、この取得した初期データをメモリーに記憶（保存）する。
次に、ミラーデバイスの振幅データを取得し（ステップＳ４）、取得した振幅データにおいて、制御処理が可能な設定範囲内かどうかの判断を行う（ステップＳ５）。取得した振幅データが制御処理可能な設定範囲内であれば、ミラーデバイスの振幅（周波数）を良好に保つ制御が行われ（ステップＳ６）、以降ステップＳ４〜Ｓ６の処理が繰り返され、ミラーデバイスの制御が継続的に行われる。
また、ステップＳ４で取得した振幅データが制御処理可能な設定範囲外であれば、動作を終了する。
【００２８】
（制御処理）
次に、上記の制御処理について説明する。
図７は制御処理の一例を示すフローチャートである。
制御処理では、まず、温度検出部にて温度を検出し（ステップＳ２１）、温度の変化率を算出する（ステップＳ２２）。そして、算出した温度変化率が所定の温度変化率ｔｒより大きいか、小さいかを判断する（ステップＳ２３）。
算出した温度変化率が所定の温度変化率ｔｒより大きいときには、後述する周波数変更処理が行われ（ステップＳ２４）、温度変化率の温度データをメモリーに記憶（保存）して（ステップＳ２５）、制御処理を終了する。
【００２９】
また、算出した温度変化率が所定の温度変化率ｔｒより小さいときには、ステップＳ２６に進み、温度変化量が所定の温度変化量ΔＴより大きいか、小さいかを判断する（ステップＳ２６）。
温度変化量が所定の温度変化量ΔＴより大きいときには、後述する周波数変更処理が行われ（ステップＳ２７）、温度変化率の温度データをメモリーに記憶（保存）して（ステップＳ２８）、制御処理を終了する。
そして、温度変化量が所定の温度変化量ΔＴより小さいときには、制御処理を終了する。
【００３０】
（周波数変更処理）
続いて、上記のステップＳ２４およびステップＳ２７における周波数変更処理について説明する。
図８は周波数変更処理の一例を示すフローチャートである。
周波数変更処理では、まずステップＳ３１の駆動周波数演算Ａにて、現在のミラーデバイスの駆動周波数ｆａから周波数Δｆαだけずらした駆動周波数を演算する。駆動周波数演算Ａにて演算された駆動周波数をｆｄ１とすると、ｆｄ１＝ｆａ＋Δｆα、となる。なお、Δｆαは現在の駆動周波数に対してうなりを発生する周波数に設定されている。例えば、Δｆα＝１Ｈｚである。
【００３１】
そして、ステップＳ３２において、駆動周波数を算出した駆動周波数ｆｄ１に変更する。この駆動周波数の変更により駆動信号生成部の生成する駆動信号の周波数が変更される。このことから、駆動部は変更された周波数の駆動信号でミラーデバイスを駆動する。
ステップＳ３３では、図９に示すような手順でうなり周波数検出を行うが、その概要は以下の通りである。
すなわち、うなり周波数検出は、ミラーデバイスの駆動周波数の変更直後に、振幅検出部の検出信号に基づいて行う。このとき、ミラーデバイスの可動部で振幅変動が生じていれば、振幅検出部の検出信号に基づいて、その振幅に含まれる包絡線の周波数をうなり周波数ｆｂ＝｜ｆ０−ｆｄ１｜、として求める。なお、ｆ０は現在の共振周波数である。
【００３２】
そして、ステップＳ３４では、検出したうなり周波数を用いて新たにミラーデバイスを駆動する駆動周波数を演算する。このとき、温度変化率をもとに新たな駆動周波数ｆｄ２を決定する。温度変化率ｔｒ＞０のときは、ｆｄ２＝ｆｄ１−ｆｂ、温度変化率ｔｒ＜０のときは、ｆｄ２＝ｆｄ１＋ｆｂ、となる。
ステップＳ３５において、駆動周波数を算出した駆動周波数ｆｄ２に変更する。この駆動周波数の変更により駆動信号生成部の生成する駆動信号の周波数が変更される。このことから、駆動部は変更された周波数の駆動信号でミラーデバイスを駆動する。
【００３３】
（うなり周波数検出）
図９は、制御部が周波数変更処理中にステップＳ３３において実施するうなり周波数検出（異常検出）の一例のフローチャートである。
このうなり周波数検出は、ミラーデバイスの駆動信号の周波数ｆ０を所定周波数Δｆαだけ増加した直後に行うものであり、以下のような処理手順からなる。
ステップＳ５１では、振幅検出部の検出信号に基づき、可動部の振れに応じた振幅値を示すデータの取り込みを開始する。ステップＳ５２ではその取り込んだデータをメモリーに記憶（保存）する。ステップＳ５３では、Ｎ個のデータを取得したか否を判定する。
【００３４】
このようなステップＳ５１〜Ｓ５３の一連の処理により、振幅検出部の検出信号に基づき、所定の時間間隔でＮ個のデータを取得し、この取得したＮ個のデータをメモリーに記憶できる。
ステップＳ５１〜Ｓ５３の一連の処理でＮ個のデータを取得すると、次のステップＳ５４に移行する。ステップＳ５４では、その取得した可動部の振れに応じた振幅値を示す、Ｎ個のデータに基づいてＦＦＴ（高速フーリエ変換）処理を行う。
ステップＳ５５では、ステップＳ５４におけるＦＦＴ処理に基づき、上述のうなり周波数ｆｂを取得する。ステップＳ５６では、その取得したうなり周波数ｆｂをメモリーに記憶（保存）する。
【００３５】
以上のように、本実施形態のミラーデバイス駆動制御装置は、温度に起因した可動部の振幅の変動（周波数の変動）をうなり周波数を利用してミラーデバイスの駆動周波数の補正を行う。このように、うなり周波数を利用することで、簡単な構成で共振状態から外れない駆動を実現できる。そして、ミラーデバイスの駆動周波数を直接求めることができることから、制御装置の簡素化が可能である。
（変形例）
【００３６】
次に、第１の実施形態における変形例について説明する。
図１０は、ミラーデバイスの立ち上がり特性を示すグラフであり、温度変化の時間による推移を示すグラフである。
ミラーデバイスの起動の初期には、温度が急激に上昇する。この範囲を範囲Ｅとする。その後の温度は、温度の上昇が緩やかになり一旦、温度が少し下降する。この範囲を範囲Ｆとする。そして、充分に時間が経過すると温度が平衡を保って変動が少なくなってくる。この範囲を範囲Ｇとする。
そして、範囲Ｅの平均の温度変化率をｔｒ１、範囲Ｆの平均の温度変化率をｔｒ２、範囲Ｇの平均の温度変化率をｔｒ３、とすると、ｔｒ１＞ｔｒ２＞ｔｒ３という関係にある。
【００３７】
本変形例では、それぞれの範囲でうなり周波数を検出する周期を変更することを特徴とする。
例えば、範囲Ｅでは温度変化が大きいため、駆動周波数を変更するための処理を実施する周期Ｔ１は短いほうがよい。範囲Ｆでは温度変化は範囲Ｅよりも小さいため、駆動周波数を変更するための処理を実施する周期Ｔ２は周期Ｔ１より長くても良い。さらに範囲Ｇでは、温度変化が小さいので、駆動周波数を変更するための処理を実施する周期Ｔ３は周期Ｔ２よりも長くても良い。また、この範囲Ｇのような熱的に平衡状態が保たれる範囲では、温度変化量だけを捕らえて駆動周波数の制御を実施しても良い。
【００３８】
このように、温度変化に対応してうなり周波数を検出する周期を変えることで、急激な温度変化や、緩やかな温度変化に追従したミラーデバイスの駆動制御を可能にする。
（第２の実施形態）
【００３９】
次に、プロジェクター（画像形成装置）に本実施形態のミラーデバイスを採用した例を説明する。
図１１はプロジェクターを示す概略図である。
プロジェクター１００は、ミラーデバイス１と、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色の光源１２１，１２２，１２３と、クロスダイクロイックプリズム（Ｘプリズム）１２４と、ガルバノミラー１２５と、固定ミラー１２６と、スクリーン１２７とを備えている。
【００４０】
このようなプロジェクター１００では、光源１２１，１２２，１２３からクロスダイクロイックプリズム１２４を介してミラーデバイス１のミラー部１２に各色の光が照射される。このとき、光源１２１からの赤色の光と、光源１２２からの緑色の光と、光源１２３からの青色の光とが、クロスダイクロイックプリズム１２４にて合成される。
そして、可動部１１のミラー部１２で反射した光（３色の合成光）は、ガルバノミラー１２５で反射した後に、固定ミラー１２６で反射し、スクリーン１２７上に照射される。
【００４１】
その際、ミラーデバイス１の駆動（駆動軸Ｘまわりの回動）により、ミラー部１２で反射した光は、スクリーン１２７の横方向に走査（主走査）される。一方、ガルバノミラー１２５の軸線Ｙまわりの回転により、ミラー部１２で反射した光は、スクリーン１２７の縦方向に走査（副走査）される。また、各色の光源１２１，１２２，１２３から出力される光の強度は、図示しないコンピューターから受けた画像情報に応じて変化する。
【００４２】
以上のように、本実施形態のプロジェクター１００は、温度に起因した可動部１１の振幅の変動（周波数の変動）をうなり周波数を利用してミラーデバイス１の駆動周波数の補正を行う。よって、ミラーデバイス１の温度が変動しても可動部１１の振幅が設定から外れることが無く、良好な画像を表示できるプロジェクター１００を提供できる。
なお、本実施形態のミラーデバイスはプロジェクターに限らず、レーザープリンター、バーコードリーダー、走査型共焦点顕微鏡などの画像形成装置に適用することが可能である。
【符号の説明】
【００４３】
１…ミラーデバイス、２…駆動部、３…駆動信号生成部、４…駆動状態検出部、５…振幅検出部、６…温度検出部、７…制御部、１０…ミラーデバイス駆動制御装置、１１…可動部、１２…ミラー部、１３，１４…捩れ部、１５…枠部、１６…磁石、１７…コイル、１００…プロジェクター、１２１，１２２，１２３…光源、１２４…クロスダイクロイックプリズム、１２５…ガルバノミラー、１２６…固定ミラー、１２７…スクリーン。
【図１】
2011002537.tif 000003
【図２】
2011002537.tif 000004
【図３】
2011002537.tif 000005
【図４】
2011002537.tif 000006
【図５】
2011002537.tif 000007
【図６】
2011002537.tif 000008
【図７】
2011002537.tif 000009
【図８】
2011002537.tif 000010
【図９】
2011002537.tif 000011
【図１０】
2011002537.tif 000012
【図１１】
2011002537.tif 000013