(57)【要約】【課題】本発明は、高精度なマスクを使用しなくても製造することが可能な、解像度の高い有機エレクトロルミネッセンス表示装置を提供することを目的とする。【解決手段】複数の発光層４０は、少なくとも、第１グループの発光層４２と、第２グループの発光層４４と、を含む。第１グループの発光層４２と第２グループの発光層４４は、光の色が異なる。複数の画素電極２６は、少なくとも、第１グループの画素電極４８と、第２グループの画素電極５０と、を含む。第１グループの画素電極４８のそれぞれと共通電極３６の間に、第１グループの発光層４２のそれぞれが配置される。第２グループの画素電極５０のそれぞれと共通電極３６の間に、第２グループの発光層４４のそれぞれが配置される。第２グループの画素電極５０のそれぞれは、第１グループの発光層４２のそれぞれの一部の上に載るように配置されている。【選択図】図２
2011090874.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の画素電極と、
前記複数の画素電極と対向する共通電極と、
前記画素電極の１つと前記共通電極の間に１つの発光層が配置されるように複数の発光層を有し、
前記複数の発光層は、少なくとも、第１グループの前記発光層と、第２グループの前記発光層と、を含み、
前記第１グループの前記発光層と前記第２グループの前記発光層は、前記光の色が異なり、
前記複数の画素電極は、少なくとも、第１グループの前記画素電極と、第２グループの前記画素電極と、を含み、
前記第１グループの前記画素電極のそれぞれと前記共通電極の間に、前記第１グループの前記発光層のそれぞれが配置され、
前記第２グループの前記画素電極のそれぞれと前記共通電極の間に、前記第２グループの前記発光層のそれぞれが配置され、
前記第２グループの前記画素電極のそれぞれは、前記第１グループの前記発光層のそれぞれの一部の上に載るように配置されていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
【請求項２】
請求項１に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、
前記複数の発光層は、第３グループの前記発光層をさらに含み、
前記第３グループの前記発光層は、前記第１グループの前記発光層及び前記第２グループの前記発光層とは前記光の色が異なり、
前記複数の画素電極は、第３グループの前記画素電極をさらに含み、
前記第３グループの前記画素電極のそれぞれと前記共通電極の間に、前記第３グループの前記発光層のそれぞれが配置され、
前記第３グループの前記画素電極のそれぞれは、前記第１グループの前記発光層のそれぞれの一部及び前記第２グループの前記発光層のそれぞれの一部の上に載るように配置されていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
【請求項３】
請求項２に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、
前記第１グループの前記発光層の前記光の色は、青であり、
前記第２グループの前記画素電極のそれぞれは、前記第１グループの前記発光層のそれぞれの第１端部に載るように形成され、
前記第２グループの前記発光層の前記光の色は、緑であり、
前記第３グループの前記画素電極のそれぞれは、前記第１グループの前記発光層のそれぞれの前記第１端部及び前記第２グループの前記発光層のそれぞれの第２端部に載るように形成され、
前記第３グループの前記発光層の前記光の色は、赤であることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
【請求項４】
請求項１に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、
前記第１グループの前記発光層は、前記第２グループの前記発光層の前記色とは異なる複数の前記色を発する複数色の前記発光層からなり、
前記第２グループの前記画素電極のそれぞれは、前記複数色の前記発光層のそれぞれの一部の上に載るように配置されていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
【請求項５】
請求項４に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、
前記複数色の前記発光層は、複数行複数列のマトリクス状であって、行方向に前記色が異なるように交互に並び、列方向に前記色が同じになるように配列され、
前記第２グループの前記発光層は、千鳥状に配列され、
前記第２グループの前記発光層のそれぞれは、前記複数色の前記発光層のうち２行２列に並ぶ４つの前記発光層に４方向から囲まれる位置に配列されていることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機エレクトロルミネッセンス表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法において、マスク蒸着法によって発光層を形成することが知られている（特許文献１）。マスク蒸着法では、１色ごとに蒸着を行い、３色の発光層を形成するのに３回の蒸着を行う。マスクの開口部と開口部の間のリブは、２色分の発光層に相当する幅を有する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−４７５６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年、高解像度の画像を表示するために発光層を微小に形成することが要求されている。微小な発光層を形成するために、マスクの開口部の幅を狭くしてリブの幅も狭くすると、このようなマスクは強度が低いという問題がある。あるいは、マスクの開口部の幅を狭くする一方で、マスクの強度を確保するためにリブの幅を広くすると、発光層の形成されない（発光しない）無駄なスペースが広くなり、発光領域の占める割合が縮小して輝度が低下するという問題がある。このように、高精細なマスクを使用することは難しくなってきている。
【０００５】
本発明は、高精細なマスクを使用しなくても製造することが可能な、解像度の高い有機エレクトロルミネッセンス表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置は、複数の画素電極と、前記複数の画素電極と対向する共通電極と、１つの前記画素電極と前記共通電極の間に１つの発光層が配置された、電子と正孔の結合によりそれぞれ光を発する複数の発光層と、を有し、前記複数の発光層は、少なくとも、第１グループの前記発光層と、第２グループの前記発光層と、を含み、前記第１グループの前記発光層と前記第２グループの前記発光層は、前記光の色が異なり、前記複数の画素電極は、少なくとも、第１グループの前記画素電極と、第２グループの前記画素電極と、を含み、前記第１グループの前記画素電極のそれぞれと前記共通電極の間に、前記第１グループの前記発光層のそれぞれが配置され、前記第２グループの前記画素電極のそれぞれと前記共通電極の間に、前記第２グループの前記発光層のそれぞれが配置され、前記第２グループの前記画素電極のそれぞれは、前記第１グループの前記発光層のそれぞれの一部の上に載るように配置されていることを特徴とする。本発明によれば、第２グループの画素電極のそれぞれが、第１グループの発光層のそれぞれの一部の上に載るように配置されているので、高精細なマスクを使用しなくても、解像度の高い有機エレクトロルミネッセンス表示装置を製造することが可能である。
【０００７】
（２）（１）に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、前記複数の発光層は、第３グループの前記発光層をさらに含み、前記第３グループの前記発光層は、前記第１グループの前記発光層及び前記第２グループの前記発光層とは前記光の色が異なり、前記複数の画素電極は、第３グループの前記画素電極をさらに含み、前記第３グループの前記画素電極のそれぞれと前記共通電極の間に、前記第３グループの前記発光層のそれぞれが配置され、前記第３グループの前記画素電極のそれぞれは、前記第１グループの前記発光層のそれぞれの一部及び前記第２グループの前記発光層のそれぞれの一部の上に載るように配置されていることを特徴としてもよい。
【０００８】
（３）（２）に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、前記第１グループの前記発光層の前記光の色は、青であり、前記第２グループの前記画素電極のそれぞれは、前記第１グループの前記発光層のそれぞれの第１端部に載るように形成され、前記第２グループの前記発光層の前記光の色は、緑であり、前記第３グループの前記画素電極のそれぞれは、前記第１グループの前記発光層のそれぞれの前記第１端部及び前記第２グループの前記発光層のそれぞれの第２端部に載るように形成され、前記第３グループの前記発光層の前記光の色は、赤であることを特徴としてもよい。
【０００９】
（４）（１）に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、前記第１グループの前記発光層は、前記第２グループの前記発光層の前記色とは異なる複数の前記色を発する複数色の前記発光層からなり、前記第２グループの前記画素電極のそれぞれは、前記複数色の前記発光層のそれぞれの一部の上に載るように配置されていることを特徴としてもよい。
【００１０】
（５）（４）に記載された有機エレクトロルミネッセンス表示装置において、前記複数色の前記発光層は、複数行複数列のマトリクス状であって、行方向に前記色が異なるように交互に並び、列方向に前記色が同じになるように配列され、前記第２グループの前記発光層は、千鳥状に配列され、前記第２グループの前記発光層のそれぞれは、前記複数色の前記発光層のうち２行２列に並ぶ４つの前記発光層に４方向から囲まれる位置に配列されていることを特徴としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の画素配列を説明する図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の断面図である。
【図３】画素電極と、駆動ＴＦＴ出力電極との電気的接続部を示す図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の画素配列を説明する図である。
【図５】本発明の第２の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の断面図である。
【図６】第１グループの画素電極及び導電層のバンクから露出した部分を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
【００１３】
［第１の実施形態］
図１は、本発明の第１の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の画素配列を説明する図である。画素配列は、赤色の画素Ｒ、緑色の画素Ｇ及び青色の画素Ｂからなるモザイク配列である。画素Ｒ，Ｇ，Ｂは、隣同士の間に隙間がなく接触しているので、１００％の開口率を達成することができる。
【００１４】
図２は、本発明の第１の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の断面図である。
【００１５】
有機エレクトロルミネッセンス表示装置は、基板１０を有する。ボトムエミッション型の有機エレクトロルミネッセンス表示装置であれば、基板１０はガラスなどの光透過性を有する材料からなるが、トップエミッション型の有機エレクトロルミネッセンス表示装置であれば、基板１０の光透過性の有無は問わない。図２に示す有機エレクトロルミネッセンス表示装置はトップエミッション型であるが、基板１０はガラスからなる。
【００１６】
基板１０には、複数の薄膜トランジスタ１２が形成されている。薄膜トランジスタ１２は、シリコン層１４（例えばポリシリコン層）と、シリコン層１４に電気的に接続されたソース／ドレイン電極１６と、ゲート電極１８と、を有する。ゲート電極１８をシリコン層１４及びソース／ドレイン電極１６から電気的に絶縁するように、例えばＳｉＯ２からなる層間絶縁膜２０が形成されている。薄膜トランジスタ１２を湿気から保護するために、ＳｉＮからなるパッシベーション膜２２が形成されている。層間絶縁膜２０をドライエッチングでパターニングするときは、図２に示すように、その上にパッシベーション膜２２を形成する。変形例として、層間絶縁膜２０をウェットエッチングでパターニングする場合には、その下にパッシベーション膜２２を形成してもよい。パッシベーション膜２２上には平坦化層２４が形成されている。
【００１７】
有機エレクトロルミネッセンス表示装置は、複数の画素電極２６を有する。画素電極２６は、平坦化層２４の貫通穴２８を介してソース／ドレイン電極１６の駆動ＴＦＴ出力側と電気的に接続されている。図３は、画素電極２６の、ソース／ドレイン電極１６の駆動ＴＦＴ出力との電気的接続部を示す図である。
【００１８】
画素電極２６は、アルミニウム又は銀からなる下層３０（反射メタル層）と、Indium
Tin Oxide又はIndium Zinc Oxideなどの光透過性導電材料から構成される上層３２と、を含む。アルミニウム又は銀は光を反射するので、下層３０が光を反射することで、トップエミッション型の有機エレクトロルミネッセンス表示装置が構成される。なお、画素電極２６の上層３２（Indium Tin Oxide又はIndium Zinc Oxide）は、正孔注入層の機能を果たしている。画素電極２６の上（共通電極側）には、正孔輸送層３４が形成されている。
【００１９】
有機エレクトロルミネッセンス表示装置は、複数の画素電極２６と対向する共通電極３６を有する。共通電極３６の下（画素電極２６側）には、電子輸送層３８が形成されている。共通電極３６及び電子輸送層３８の間には、図示しない電子注入層が形成されている。
【００２０】
有機エレクトロルミネッセンス表示装置は、複数の発光層４０を有する。発光層４０は、蛍光あるいは燐光を発する有機材料であり、電子およびホールを輸送する能力のある材料と組み合わせて用いる。１つの画素電極２６と共通電極３６の間に１つの発光層４０が配置されており、画素電極２６と共通電極３６の間に電圧が加えられたときに、発光層４０で電子と正孔が結合して光が放出される。
【００２１】
複数の発光層４０は、第１グループの発光層４２と、第２グループの発光層４４と、第３グループの発光層４６と、を含む。隣同士の発光層４０の間にはバンクが存在しない。第１グループの発光層４２、第２グループの発光層４４及び第３グループの発光層４６は、それぞれ光の色が異なる。具体的には、第１グループの発光層４２の光の色は、図１に示す画素Ｂに対応する青である。第２グループの発光層４４の光の色は、図１に示す画素Ｇに対応する緑である。第３グループの発光層４６の光の色は、図１に示す画素Ｒに対応する赤である。発光の色に応じた材料の性質から、第１グループの発光層４２よりも第２グループの発光層４４が厚く形成され、第２グループの発光層４４よりも第３グループの発光層４６が厚く形成されている。
【００２２】
複数の発光層４０は、マスクを使用した蒸着によって、発光の色ごとに形成する。詳しくは、第１グループの発光層４２を形成した後に、第２グループの発光層４４を形成し、その後、第３グループの発光層４６を形成する。
【００２３】
複数の画素電極２６は、第１グループの画素電極４８と、第２グループの画素電極５０と、第３グループの画素電極５２と、を含む。画素電極２６もマスクを使用した蒸着によって形成する。
【００２４】
第１グループの画素電極４８のそれぞれと共通電極３６の間に、第１グループの発光層４２のそれぞれが配置されている。第２グループの画素電極５０のそれぞれと共通電極３６の間に、第２グループの発光層４４のそれぞれが配置されている。第３グループの画素電極５２のそれぞれと共通電極３６の間に、第３グループの発光層４６のそれぞれが配置されている。
【００２５】
第２グループの画素電極５０のそれぞれは、第１グループの発光層４２のそれぞれの一部（第１端部５４）の上に載るように配置されている。第３グループの画素電極５２のそれぞれは、第１グループの発光層４２のそれぞれの一部（第１端部５４）及び第２グループの発光層４４のそれぞれの一部（第２端部５６）の上に載るように配置されている。
【００２６】
図２に示すように、第２グループの画素電極５０の端部と共通電極３６の間には電子輸送層３８が介在して両者の電気的な絶縁を図っている。また、第３グループの画素電極５２の端部と共通電極３６の間にも電子輸送層３８が介在して両者の電気的な絶縁を図っている。これにより、画素電極２６と共通電極３６の短絡を防止し、非発光画素の発生を防止している。したがって、電子輸送層３８は確実に第２グループの画素電極５０の端部及び第３グループの画素電極５２の端部を覆う必要がある。かかる被覆性の向上は、電子輸送層３８を形成するための蒸着を高圧下で行うことで可能となる。例えば、通常真空蒸着の圧力は１０−４Ｐａ以上１０−３Ｐａ未満であるが、蒸着を１０−３Ｐａ以上１０−１Ｐａ以下で行うことで被覆性は飛躍的に向上する。ただし、この圧力域ではガスの流れに乗って排出される材料が増すため収率が低下するが、電子輸送層３８材料はアルミノキノリノール錯体など比較的安価な材料であるので大きな問題とならない。
【００２７】
図２に示すように、第１グループの画素電極４８の端部と第２グループの画素電極５０の間には正孔輸送層３４が介在して両者の電気的な絶縁を図っている。第１グループの画素電極４８の端部と第３グループの画素電極５２の間にも正孔輸送層３４が介在して両者の電気的な絶縁を図っている。第２グループの画素電極５０の端部と第３グループの画素電極５２の間にも正孔輸送層３４が介在して両者の電気的な絶縁を図っている。これらにより、第１グループの画素電極４８と第２グループの画素電極５０との短絡、第１グループの画素電極４８と第３グループの画素電極５２との短絡、第２グループの画素電極５０と第３グループの画素電極５２との短絡を防止している。
【００２８】
したがって、正孔輸送層３４は確実に第１グループの画素電極４８の端部及び第２グループの画素電極５０の端部を覆う必要がある。そのため、例えば、マスクを１０μｍから２０μｍ程度基板１０から離した状態で、画素電極２６は低圧（１０−４Ｐａから１０−３）で、正孔輸送層３４はそれより高い圧力（１０−３Ｐａから１０−１Ｐａ）下の蒸着によって形成する。これにより、正孔輸送層３４はマスク開口より３０μｍ程度大きくパターンニングされるので画素電極２６を覆うことができる。
【００２９】
本実施の形態によれば、第２グループの画素電極５０のそれぞれ及び第３グループの画素電極５２のそれぞれが、第１グループの発光層４２のそれぞれの一部の上に載るように配置されている。したがって、第１グループの発光層４２は、画素Ｂ（図１参照）よりも大きく形成することができる。
【００３０】
また、第３グループの画素電極５２のそれぞれが、第２グループの発光層４４のそれぞれの一部の上に載るように配置されている。したがって、第２グループの発光層４４は、画素Ｇ（図１参照）よりも大きく形成することができる。
【００３１】
本実施の形態によれば、高精度なマスクを使用しなくても、解像度の高い有機エレクトロルミネッセンス表示装置を製造することが可能である。
【００３２】
［第２の実施形態］
図４は、本発明の第２の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の画素配列を説明する図である。赤色の画素Ｒ及び緑色の画素Ｇが、複数行複数列のマトリクス状に配列されている。行方向（横方向）には、赤色の画素Ｒ及び緑色の画素Ｇは交互に並んでいる。各列（縦方向）には、赤色の画素Ｒのみ又は緑色の画素Ｇのみが並んでいる。青色の画素Ｂは、千鳥状に配列されている。それぞれの画素Ｂは、列方向に隣り合う２つの赤色の画素Ｒとその隣で列方向に隣り合う２つの緑色の画素Ｇからなる４つの画素に、４方向から囲まれるように配列されている。なお、人間の目は青の解像度が低いため、青色の画素Ｂの数を、画素Ｒの数及び画素Ｇの数のいずれよりも少なくしてある。
【００３３】
図５は、本発明の第２の実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス表示装置の断面図である。
【００３４】
有機エレクトロルミネッセンス表示装置は、第１の実施形態で説明した基板１０を有する。基板１０には、第１の実施形態で説明した複数の薄膜トランジスタ１２が形成されている。なお、第１の実施形態（図２）では、パッシベーション膜２２の上にソース／ドレイン電極１６の一部が載っているが、本実施形態では、ソース／ドレイン電極２１６の全体がパッシベーション膜２２２の下にある。
【００３５】
有機エレクトロルミネッセンス表示装置は、複数の画素電極２２６を有する。複数の画素電極２２６は、第１グループの画素電極２４８と第２グループの画素電極２５０を含む。第１グループの画素電極２４８は、パッシベーション膜２２２及び平坦化層２２４の貫通穴２２８を介してソース／ドレイン電極２１６の駆動ＴＦＴ出力側と電気的に接続されている。第１グループの画素電極２４８と同様に、パッシベーション膜２２２及び平坦化層２２４の貫通穴２２８を介して、ソース／ドレイン電極２１６の駆動ＴＦＴ出力側と電気的に接続されるように導電層２５８が形成されている。第１グループの画素電極２４８及び導電層２５８はそれぞれ平坦化層２２４上に配置される部分を有する。第２グループの画素電極２５０は、導電層２５８を介してソース／ドレイン電極２１６の駆動ＴＦＴ出力側と電気的に接続されている。
【００３６】
第１グループの画素電極２４８及び導電層２５８の上に、それぞれの一部を避けて、バンク２６０が形成されている。図６は、第１グループの画素電極２４８及び導電層２５８のバンク２６０から露出した部分を示す図である。バンク２６０は、無機材料から形成してもよいし、有機材料から形成してもよいし、無機材料層及びその上に設けられた有機材料層から構成してもよい。バンク２６０の上に第２グループの画素電極２５０が載っている（図５参照）。
【００３７】
画素電極２２６の材料及び積層構造については第１の実施形態で説明した通りである。また、正孔注入層及び正孔輸送層２３４についても、第１の実施形態で説明した内容が本実施形態でも該当する。
【００３８】
有機エレクトロルミネッセンス表示装置は、複数の画素電極２２６と対向する共通電極２３６を有する。共通電極２３６の下（画素電極２２６側）には、電子輸送層２３８が形成されている。共通電極２３６及び電子輸送層２３８の間には、図示しない電子注入層が形成されている。
【００３９】
有機エレクトロルミネッセンス表示装置は、複数の発光層２４０を有する。発光層２４０は、例えば高分子有機材料からなる。１つの画素電極２２６と共通電極２３６の間に１つの発光層２４０が配置されており、画素電極２２６と共通電極２３６の間に電圧が加えられたときに、発光層２４０で電子と正孔が結合して光が放出される。
【００４０】
複数の発光層２４０は、第１グループの発光層２４２及び第２グループの発光層２４４を含む。第１グループの発光層２４２及び第２グループの発光層２４４は、それぞれ光の色が異なる。具体的には、第１グループの発光層２４２の光の色は、複数色であって、例えば図４に示す画素Ｒ，Ｇに対応する赤及び緑である。第２グループの発光層２４４の光の色は、図４に示す画素Ｂに対応する青である。
【００４１】
複数の発光層２４０は、マスクを使用した蒸着によって、発光の色ごとに形成する。詳しくは、第１グループの発光層２４２を形成した後に、第２グループの発光層２４４を形成する。第１グループの発光層２４２の形成プロセスでは、発光層２４０を色ごとに形成する。
【００４２】
第１グループの発光層２４２は、複数の色（例えば赤及び緑）の光を発する複数色の発光層２４０（画素Ｒに対応する第１発光層２６１及び画素Ｇに対応する第２発光層２６２）からなる。複数色の発光層２４０（第１発光層２６１及び第２発光層２６２）は、図４に示す画素配列に対応して、複数行複数列のマトリクス状であって、行方向に色が異なるように交互に並び、列方向に色が同じになるように配列されている。
【００４３】
第２グループの発光層２４４は、図４に示す画素Ｂに対応して千鳥状に配列されている。第２グループの発光層２４４のそれぞれは、画素Ｒに対応する第１発光層２６１及び画素Ｇに対応する第２発光層２６２のうち２行２列（図４参照）に並ぶ４つの発光層２４０に４方向から囲まれる位置に配列されている。
【００４４】
第１グループの画素電極２４８のそれぞれと共通電極２３６の間に、第１グループの発光層２４２のそれぞれが配置されている。第２グループの画素電極２５０はマスクを使用した蒸着によって形成する。第２グループの画素電極２５０のそれぞれと共通電極２３６の間に、第２グループの発光層２４４のそれぞれが配置されている。
【００４５】
第２グループの画素電極２５０のそれぞれは、第１グループの発光層２４２（複数色の発光層２４０（第１発光層２６１及び第２発光層２６２））のそれぞれの一部の上に載るように配置されている。
【００４６】
図５に示すように、第２グループの画素電極２５０の端部と共通電極２３６の間には電子輸送層２３８が介在して両者の電気的な絶縁を図っている。これにより、第２グループの画素電極２５０と共通電極２３６の短絡を防止し、非発光画素の発生を防止している。したがって、電子輸送層２３８は確実に第２グループの画素電極２５０の端部を覆う必要がある。かかる被覆性の向上は、電子輸送層２３８を形成するための蒸着を高圧下で行うことで可能となる。例えば、通常真空蒸着の圧力は１０−４Ｐａ以上１０−３Ｐａ未満であるが、蒸着を１０−３Ｐａ以上１０−１Ｐａ以下で行うことで被覆性は飛躍的に向上する。ただし、この圧力域ではガスの流れに乗って排出される材料が増すため収率が低下するが、電子輸送層２３８の材料はアルミノキノリノール錯体など比較的安価な材料であるので大きな問題とならない。
【００４７】
本実施の形態によれば、第２グループの画素電極２５０のそれぞれが、第１グループの発光層２４２のそれぞれの一部の上に載るように配置されている。したがって、第１グループの発光層２４２は、画素Ｒ，Ｇ（図１参照）よりも大きく形成することができる。
【００４８】
本実施の形態によれば、高精度なマスクを使用しなくても、解像度の高い有機エレクトロルミネッセンス表示装置を製造することが可能である。
【００４９】
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく種々の変形が可能である。例えば、実施形態で説明した構成は、実質的に同一の構成、同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成で置き換えることができる。
【符号の説明】
【００５０】
１０  基板、１２  薄膜トランジスタ、１４  シリコン層、１６  ソース／ドレイン電極、１８  ゲート電極、２０  層間絶縁膜、２２  パッシベーション膜、２４  平坦化層、２６  画素電極、２８  貫通穴、３０  下層、３２  上層、３４  正孔輸送層、３６  共通電極、３８  電子輸送層、４０  発光層、４２  第１グループの発光層、４４  第２グループの発光層、４６  第３グループの発光層、４８  第１グループの画素電極、５０  第２グループの画素電極、５２  第３グループの画素電極、５４  第１端部、５６  第２端部、２１６  ソース／ドレイン電極、２２２  パッシベーション膜、２２４  平坦化層、２２６  画素電極、２２８  貫通穴、２３４  正孔輸送層、２３６  共通電極、２３８  電子輸送層、２４０  発光層、２４２  第１グループの発光層、２４４  第２グループの発光層、２４８  第１グループの画素電極、２５０  第２グループの画素電極、２５８  導電層、２６０  バンク、２６１  第１発光層、２６２  第２発光層。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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