(57)【要約】【課題】本発明は、長時間研磨しても研磨層と支持体が剥がれることなく、従来の研磨パッドに比べて半導体ウエハへのスクラッチが起こりにくく、高平坦・高平滑に研磨することが可能な研磨パッドを提供する。【解決手段】本発明の研磨パッドは、目開きが１０〜１００μｍの織物または開放型格子構造からなる研磨層と支持体とからなり、研磨層と支持体とが熱可塑性樹脂の融着による接着層を介して接着積層されてなる研磨パッドである。 【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
目開き１０〜１００μｍの織物または開放型格子構造からなる研磨層が、熱可塑性樹脂の融着による接着層を介して支持体と接着積層されてなることを特徴とする研磨パッド。
【請求項２】
熱可塑性樹脂が熱接着フィルムである請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項３】
支持体が熱可塑性樹脂からなり、前記織物または開放型格子構造からなる研磨層と支持体とが、直接熱融着し接着積層されてなる請求項１に記載の研磨パッド。
【請求項４】
支持体が熱可塑性樹脂からなるポリウレタンゴムシートである請求項３に記載の研磨パッド。
【請求項５】
目開き１０〜１００μｍの織物または開放型格子構造からなる研磨層と支持体との間に熱接着フィルムを挟み込んだ後、熱接着フィルムを溶融して研磨層と支持体を接着積層することを特徴とする研磨パッドの製造方法。
【請求項６】
目開き１０〜１００μｍの織物または開放型格子構造からなる研磨層と熱可塑性樹脂からなる支持体を重ね合わせた後、支持体を溶融して研磨層と支持体を接着積層することを特徴とする研磨パッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は織物を研磨層とする研磨パッドおよび研磨パッドの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガラスやシリコンウエハを始めとする各種基板の研磨は、研磨パッドを回転可能な下定盤に貼り付け、研磨対象物を上定盤側に保持して、研磨スラリーを供給しながら、研磨対象物と研磨パッドを加圧した状態で、互いに相対的に摺動させることにより行われてきた。ここで、研磨パッドとしては、従来からポリエステル繊維から成る不織布にポリウレタン（ＰＵ）を含浸したＰＵ含浸不織布パッドや、発泡ＰＵ樹脂を板状に仕上げた硬質発泡ＰＵパッドが用いられてきた。
【０００３】
このような従来の研磨パッドは、研磨層とクッション層を積層する目的のため、あるいは定盤と貼り付ける目的のため、両面テープが用いられている。基板の研磨時には研磨スラリーを研磨パッドに供給しながら研磨するのであるが、この研磨スラリーは水系のもので、通常そこにアルカリや酸などが添加されている。両面テープに使用されている粘着剤は一般的にアクリル酸エステルやアクリル酸を主成分とするアクリル系粘着剤であるため、水やアルカリに対する耐性が良いものとは言い難く、長時間研磨により粘着力が弱まり、研磨層が剥がれてくる場合があった。
【０００４】
この課題を解決するために、例えば、硬質発泡ＰＵからなる研磨層を不織布またはプラスチックフィルムからなるクッション層と、反応性ホットメルト接着剤を介して熱融着する方法が提案されている（特許文献１参照。）。しかしながら、特許文献１のホットメルト接着剤では接着剤を溶融させながら研磨層に対して接着剤を塗布するために、塗布厚みを均一にするには限界があった。また、最近では従来のＰＵ含浸不織布や硬質発泡ＰＵパッドにおいて、粘着剤層に研磨スラリーが浸透しないように、止水層として両面テープの上に熱接着フィルムを使用したものが提案されている（特許文献２参照。）。しかしながら、特許文献２においては、研磨層の剥離は抑制できるものの、従来の研磨層を使用しているため、研磨性能の更なる改善が求められていた。
【０００５】
ところで、従来のＰＵ含浸不織布や硬質発泡ＰＵパッドとは異なるものとして、織物からなる研磨層と硬質の支持体を積層した研磨パッドが提案されている（特許文献３参照。）。この特許文献３には、２層積層パッドによりウエハエッジ部への研磨パッドからの応力集中を抑制し、半導体ウエハの縁ダレを抑制する技術的思想が記載されている。
【０００６】
しかしながら、この特許文献３においても研磨層と支持体を積層するために両面テープが使用されており、特に織物を研磨層とする研磨パッドでは、従来の研磨パッドに比べて研磨層が織物であるために研磨スラリーが浸み込みやすく、長時間研磨していると研磨層側から粘着剤層に研磨スラリーが浸透して粘着力が弱まり、研磨層とクッション層が剥がれてくる場合があり、接着に対する更なる改善が望まれていた。さらに、研磨層となる織物の目開きが大きい場合には、両面テープの粘着剤が研磨スラリーにより溶出あるいは膨潤し、織物の表面に粘着剤が染み出してきて、そこに研磨屑や凝集砥粒などが固定されると研磨対象物にスクラッチが入る場合があり、更なる改善が望まれていた。また、織物はフィルムや樹脂シートなどに比べて腰がなく、剛直性に乏しいため、ロールコーターなどを用いてホットメルト接着剤を織物に対して均一に塗布することは難しいという課題があった。
【０００７】
他方、研磨層が従来のものとは異なる新規な研磨パッドとして、研磨フィラメントを積層した開放型格子構造からなる研磨パッドが提案されている（特許文献４参照）。このような構造を研磨層にすることで、研磨屑を除去するのに効果的なスラリー流れを形成させて研磨スラリーの供給や研磨屑の排出を促進することができるため、スクラッチなどの欠陥がない研磨対象物を作製することが可能になる。また、研磨対象物との実接触面積が増大することで研磨レートが向上する旨が記載されており、従来のＰＵ含浸不織布や硬質発泡ＰＵパッドに比べて優れた研磨特性を有する研磨パッドの検討がなされている。
【０００８】
しかしながら、この特許文献４においても研磨層とクッション層を積層するために両面テープが使用されているため、研磨スラリーが浸み込みやすく、長時間研磨していると研磨スラリーが浸透して粘着力が弱まり、研磨層とクッション層が剥がれてくる場合があり、接着に対する更なる改善が望まれていた。
【０００９】
このように、織物または開放型格子構造を研磨層とする研磨パッドでは、研磨層と支持体との接着方法についてはいまだ十分検討されたとは言えず、改善すべき余地が十分残されていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開平８−１７４４０５号公報
【特許文献２】特開２００９−９５９４４号公報
【特許文献３】特開２００８−２０７３１９号公報
【特許文献４】特開２００９−０５６５８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の目的は、長時間研磨しても研磨層と支持体が剥がれることなく、従来の研磨パッドに比べて研磨対象物へのスクラッチが起こりにくい新規な研磨パッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の上記目的は、目開き１０〜１００μｍの織物または開放型格子構造からなる研磨層が、熱可塑性樹脂の融着による接着層を介して支持体と接着積層されてなる研磨パッドにより達成される。
【００１３】
本発明の研磨パッドの好ましい態様によれば、前記の熱可塑性樹脂は熱接着フィルムである。
【００１４】
本発明の研磨パッドの好ましい態様によれば、前記の支持体が熱可塑性樹脂からなり、前記織物または開放型格子構造からなる研磨層と支持体とが、直接熱融着し接着積層されてなるものである。
【００１５】
本発明の研磨パッドの好ましい態様によれば、前記の支持体が熱可塑性樹脂からなるポリウレタンゴムシートである。
【００１６】
本発明の研磨パッドは、目開き１０〜１００μｍの織物または開放型格子構造からなる研磨層と支持体との間に熱接着フィルムを挟み込んだ後、熱接着フィルムを溶融して研磨層と支持体を接着積層することを特徴とする研磨パッドの製造方法で作製することができる。
【００１７】
また、本発明の研磨パッドは、目開き１０〜１００μｍの織物または開放型格子構造からなる研磨層と熱可塑性樹脂からなる支持体を重ね合わせた後、支持体を溶融して研磨層と支持体を接着積層することを特徴とする研磨パッドの製造方法で作製することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、研磨層の剥がれがなく、研磨対象物へのスクラッチを抑制することができる、研磨耐久性に優れた研磨パッドを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、本発明の研磨パッドの構成を例示する概略側面図である。
【図２】図２は、本発明で研磨層に用いられる織物の目開き部分を示す図面代用写真である。
【図３】本発明の研磨層が開放型格子構造からなる研磨パッドの一例を示す正面図である。
【図４】本発明の研磨層が開放型格子構造からなる研磨パッドの一例を示す斜視図である。
【図５】本発明の研磨層が開放型格子構造からなる研磨パッドの一例を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、さらに詳しく本発明の研磨パッドについて説明する。
【００２１】
本発明の研磨パッドは、目開き１０〜１００μｍの織物または開放型格子構造からなる研磨層が、熱可塑性樹脂の融着による接着層を介して支持体と接着積層されてなることを特徴とするものである。
【００２２】
図１は、本発明の研磨パッドの構成を例示する概略側面図である。本発明の研磨パッドは、図１に示したように、織物または開放型格子構造からなる研磨層１と支持体３とを熱可塑性樹脂２の融着による接着層を介して接着積層されている。また、研磨定盤に本発明の研磨パッドを固定するため、必要に応じて、支持体３下部に両面テープなどの粘着層４を設けることもできる。
【００２３】
ここで支持体３とは、次のように定義される。すなわち、支持体３とは、研磨層である織物または開放型格子構造と熱可塑性樹脂２の融着による接着層および研磨定盤との粘着層４に挟まれ、織物または開放型格子構造の横方向の変形を防止するために設けられる層のことを言う。支持体３は単層でも良いし、異なる物性の２層および３層などの多層構造でも良いが、多層間での平坦性のばらつきや接着による支持体の平坦性悪化や製造の効率化を考慮すると、支持体３は単層であることが好ましい。
【００２４】
次に、本発明の研磨層について説明する。
【００２５】
本発明で研磨層として用いられる織物は、経糸および緯糸から形成され、その構造や組織によって１０〜１００μｍサイズの目開きを有するものである。また、本発明で研磨層として用いられる開放型格子構造は、研磨フィラメントが複数本配列して研磨フィラメント層を形成し、その研磨フィラメント層が連続的に積層された層状の格子構造を有するものである。そのため、研磨層である織物または開放型格子構造と支持体の接着に両面テープを用いた場合には、研磨時のスラリーが研磨層から粘着剤層に浸透し、粘着剤が研磨スラリーのアルカリ性により変質して、長時間研磨により研磨層が剥がれてくる場合があった。
【００２６】
また、両面テープの粘着剤がスラリーにより溶出あるいは膨潤し、研磨層の表面に粘着剤が染み出してきて、そこに研磨屑や凝集砥粒などが固定され、ウエハにスクラッチが起こりやすくなるという課題があった。さらに、研磨時の研磨対象物による研磨パッドへの横方向のせん断力に対して、粘着剤はゲル状であるために流動しやすく、研磨層との接着面が浮き上がるなど、長時間の研磨によって研磨パッド自身の平坦性が損なわれて、研磨後の研磨対象物の平坦性・平滑性が悪化するという課題もあった。
【００２７】
そこで、本発明では熱可塑性樹脂の融着による接着層を用いることにより、上記課題を解決するものである。これにより、研磨スラリーが熱可塑性樹脂に接触しても粘着剤のように溶出や膨潤が起こらないため、研磨層が剥がれることを抑制できるばかりでなく、熱可塑性樹脂には両面テープのような粘着性はないため、研磨屑や凝集砥粒が固定されることがなく、研磨対象物へのスクラッチを抑制することができる。さらに、熱可塑性樹脂では粘着剤のように研磨パッドへの横方向のせん断力に対して流動による変形がないために、研磨層との接着面が浮き上がることがなく、長時間の研磨によっても研磨パッド自身の平坦性が維持できるために、研磨後の研磨対象物の平坦性・平滑性を長時間にわたって良好とすることができる。
【００２８】
本発明で用いられる織物としては、平織、綾織（ツイル）および朱子織（サテン）などの織組織のものが代表例として挙げられ、織組織を変えることによって、目的とする特性に合った研磨層を自由に設計することが可能となる。
【００２９】
例えば、平織りとした場合、経緯の糸の拘束点が他の組織に比べて多くなるために、研磨層の耐久性が向上する。また、サテンとした場合には、組織点が平織やツイルのように規則的に連続せず、経糸または緯糸のみが表面に多く表れるため、織物としては表面がなめらかであり、すなわち研磨層の表面平滑性が向上する。さらに、ツイルとした場合には、平織とサテンの中間のような織組織となるため、耐久性と表面平滑性のバランスが取れた研磨層とすることができる。
【００３０】
本発明では織物の目開きが大きいことが好ましいのであるが、本発明で言う目開きとは、経糸および緯糸に囲まれた細孔を意味するものであり、この細孔は織物の厚み方向に貫通しているものである（図２）。図２は、本発明で研磨層に用いられる織物の目開き部分５を示す図面代用写真であり、目開き部分１が○印の位置で示されている。目開きによる細孔は、研磨スラリーのポケットであり、その流れを制御したり、研磨クズなどを一時貯蔵したり排出する役割を果たす。
【００３１】
本発明で用いられる織物の目開きは、１０〜１００μｍであることが重要である。研磨パッド表面設計として、織物を用いて１０〜１００μｍオーダーの研磨スラリーを保持するためのポケット構造を、２次元的に規則的・周期的に研磨層に配列することにより、巨視的にも微視的にも均一な研磨スラリー流れを形成させることができる。このような均一な研磨スラリー流れを形成させることにより、研磨物の凸部に優先的に砥粒が衝突・作用し、研磨物の平滑化および平坦化速度を向上することができる。
【００３２】
目開きサイズは９０μｍ以下であることがより好ましく、さらに好ましくは６０μｍ以下である。一方、スラリー流れを均一化させる観点からは、目開きサイズは１５μｍ以上であることが好ましい。
【００３３】
目開きおよびそのサイズは、研磨パッドの織物表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察した像から特定することができる。観察倍率については、目開きサイズや繊維直径の大きさから５０〜３００倍の中で適当なものを選ぶものとする。また、場合によりＳＥＭ観察が困難な場合はレーザー顕微鏡を用いても良い。これでも難しい場合は、ピント合わせが難しいが通常の光学顕微鏡を用いても良い。また、目開きサイズは同一織物内で異なる２０カ所を測定した平均値を用いるものとする。
【００３４】
また、本発明において、目開きの大きさを均一に制御するために、織物の織密度は１３０本／インチ以上であることが好ましい。ここで言う織密度とは、織物の経糸または緯糸の１インチ当たりの本数のことである。本発明では、経糸または緯糸のいずれかもしくはその両方の織密度が１３０本／インチ以上あれば良いのであるが、本発明の技術的思想によれば、経糸も緯糸１３０本／インチ以上であることが好ましい。織密度を１３０本／インチ以上にすることにより、織物の目開きサイズをより小さく設計することができるため、単位面積当たりに存在する研磨スラリーを保持するポケットの数をより多くすることができ、その結果、研磨後の研磨対象物表面の平滑性や平坦性を向上させることができる。織密度は、より好ましくは１５０本／インチ以上であり、さらに好ましくは２００本／インチ以上であり、特に好ましくは２５０本／インチ以上である。
【００３５】
織密度は高ければ高いほど好ましいが、織物の経糸あるいは緯糸に過剰な張力がかかったり、織物を織る際に経糸と緯糸が擦れて毛羽になるため、織密度の上限値は６００本／インチ程度であり、通常は５００本／インチ以下である。
【００３６】
また、本発明の織物の経糸あるいは緯糸を構成する繊維は、モノフィラメントおよびマルチフィラメントのいずれでも良いが、マルチフィラメントが撚糸されたものであることが好ましい。繊維がマルチフィラメントからなり、さらにその繊維を強く撚って集束させることにより繊維の開繊を抑制し、スラリーを保持するためのポケット（目開き）のサイズを均一に制御することが可能となる。
【００３７】
さらに、マルチフィラメント中の各単繊維１本１本は細いため、研磨時の摩擦により単繊維が摩耗や切断を起こす場合があるが、撚糸することにより耐久性を向上させることができる。ここで言う撚糸（強撚）とは、糸長１ｍ辺り１０００回以上撚られたもの（撚数１０００Ｔ／Ｍ以上）のことを指し、マルチフィラメント中の各単繊維の収束性や耐久性を向上させるために、撚数は１５００Ｔ／Ｍ以上であることが好ましく、より好ましくは２０００Ｔ／Ｍ以上であり、さらに好ましくは３０００Ｔ／Ｍ以上である。撚数の上限値については、マルチフィラメントを撚りすぎるとその応力により単繊維切れや撚り戻りによる収束後の繊維のねじれが起こるため、その上限値は５０００Ｔ／Ｍ程度である。マルチフィラメント撚糸の好ましい撚数は、１５００〜４０００Ｔ／Ｍである。
【００３８】
ここで、撚数が同じ繊維であっても繊維（織糸の総繊維直径）の大きさによって繊維のねじれ角の程度が変わるため、撚りの状態を比較するために、撚りの程度を次の撚係数で定義するのが一般的である。
撚係数Ｋ＝Ｔ×Ｄ
Ｔ：糸長１ｍ当たりの撚数
Ｄ：繊維（マルチフィラメントからなる織糸）の総直径。
【００３９】
繊維の収束性や耐久性を向上させるために、上記の撚係数Ｋは２００００以上であることが好ましく、より好ましくは５００００以上であり、さらに好ましくは１０００００以上である。撚係数Ｋの上限は、２０００００以下であることが好ましい。
【００４０】
本発明では、織糸の総繊維直径が１０〜１００μｍであることが好ましい。織糸の総繊維直径を上記範囲内にすることにより、織物の厚みを小さく設計することができるため、研磨層となる織物の厚み方向への変形が抑制され、研磨パッドに保持された研磨スラリーの流れを均一にすることができる。さらに、織糸径を上記範囲内にすることにより、織糸に撚りを入れやすくなり、繊維の収束性が向上する。織糸の総繊維直径は、より好ましくは７０μｍ以下であり、さらに好ましくは５０μｍ以下である。
【００４１】
本発明で研磨層として用いられる開放型格子構造は、研磨フィラメントが複数本配列して研磨フィラメント層を形成し、その研磨フィラメント層が連続的に積層された層状の格子構造を有するものである。図３〜図５に本発明の研磨層が開放型格子構造からなる研磨パッドの一例を示す。また、研磨フィラメントとは繊維状物のことであり、それらが３次元的に構成されることで開放型格子構造を形成する。さらに、各研磨フィラメント層内の研磨フィラメントは少なくとも２本以上から構成されており、同一層内の研磨フィラメント同士は互いに平行に配置されている。
【００４２】
研磨層が開放型格子構造であることによって、研磨層の内部に多数の連通した空隙が形成され、これにより研磨スラリーの供給や研磨屑の排出を促進することができる。
【００４３】
各研磨フィラメント層間のフィラメントの角度に制限はなく、例えば、各研磨フィラメント層間を９０°で積層すると、研磨層内の空隙の体積が増大して研磨屑の排出をより促進させることができるため好ましい。また、９０°未満であると、研磨フィラメント同士の交点における接触面積が増大して接着性が向上するため好ましい。
【００４４】
研磨フィラメントが細いと研磨層の体積あたりの表面積が増加して熱放散を促進するため好ましく、研磨フィラメントの断面積が１００ｍｍ２以下であることが好ましく、４ｍｍ２以下であることがさらに好ましい。フィラメントが細すぎると研磨層全体の剛性が低下するため、断面積は０．０１ｍｍ２以上であることが好ましい。研磨フィラメントの断面積は任意の研磨フィラメントの断面積を１０ヶ所測定し、その平均値により求める。
【００４５】
研磨フィラメント層内におけるピッチ（研磨フィラメントの中心間距離）が大きいと研磨屑の排出が促進される。そのため、１．０ｍｍ以上であることが好ましく、２．０ｍｍ以上であることがより好ましい。また、ピッチが小さいと研磨層全体の剛性が増加して研磨対象物の平坦性が向上する。そのため、５．０ｍｍ以下であることが好ましく、４．０ｍｍ以下であることがより好ましい。
【００４６】
各研磨フィラメント層内あるいは層間でピッチが一定である必要はないが、一定の値で規則的に配置されているほうが研磨スラリーの供給や研磨屑の排出を研磨面全体で均一に制御できるため好ましい。
【００４７】
本発明の開放型格子構造を研磨層とする研磨パッドは、研磨フィラメントの幅やピッチ、そして研磨フィラメントの本数を変更することで、研磨層が研磨対象物と接触する面積の割合（接触面積率）を容易に制御できる。ここで、正方形断面の研磨フィラメントの幅をｗ、ピッチをｐとすると、研磨層が研磨対象物に接触する面積の割合、つまり接触面積率は（ｗ／ｐ）で表される。対象となる研磨対象物の種類にもよるが、接触面積率は０．２〜０．８であることが好ましい。接触面積率が大きい場合は研磨フィラメントが研磨スラリーを保持しやすくなり、研磨レートを向上させることができるため、０．３以上であることが好ましい。また、接触面積率が小さい場合は研磨スラリーの供給や研磨屑の排出が促進されないため、０．７以下であることが好ましい。
【００４８】
上記の範囲内で研磨フィラメントの太さやピッチ、接触面積率を変更することで研磨パッド全体のせん断や曲げ、圧縮などの特性を制御することができる。本発明の開放型格子構造を研磨層とする研磨パッドは、パッド全体では剛性があって変形しにくく、局所的には研磨フィラメントが変形しやすい構造となる。そのため、研磨対象物の平坦性が向上し、スクラッチを抑制する優れた研磨パッドとなる。
【００４９】
本発明で用いられる繊維または研磨フィラメントは、その数平均直径が１〜２５μｍであることが好ましい。研磨対象物の表面平滑性を向上させるには、単繊維直径も細い方が良く、好ましくは２０μｍ以下であり、より好ましくは１７μｍ以下であり、さらに好ましくは１３μｍ以下である。また、繊維径が小さすぎると、研磨層中の単繊維自身の強力が小さくなるため、研磨パッド表面の耐久性が問題となる場合がある。また、より細い単繊維は製造時の歩留まり低下が起こるためにコストアップし易いという問題もある。このため、単繊維直径の下限としては５μｍ以上とすることが好ましく、より好ましくは１０μｍ以上である。
【００５０】
また、単繊維または研磨フィラメントの断面形状としては、丸断面だけでなく、三葉、十字型、六葉および八葉などの多葉断面、三角や四角、楕円や星型および扁平などの異型断面などを採用することができる。
【００５１】
さらに、本発明で用いられる織物または開放型格子構造を構成する繊維または研磨フィラメントの材質としては、有機ポリマーなど目的に応じて適宜選定すればよい。
【００５２】
例えば、有機ポリマーとしては、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）やポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）などの湿式紡糸可能な有機ポリマーも挙げられるが、湿式紡糸は低吐出量の紡糸設備がまれであるため、低吐出量でモノフィラメントおよびマルチフィラメントを製造しやすいといった観点からは、溶融紡糸可能な熱可塑性ポリマーであることが好ましい。
【００５３】
ここで言う熱可塑性ポリマーとしては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリトリメチレンテレフタレート（ＰＴＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリ乳酸（ＰＬＡ）などのポリエステル、ナイロン６（Ｎ６）、ナイロン６６（Ｎ６６）、ナイロン１１（Ｎ１１）、ナイロン１２（Ｎ１２）、ナイロン６１０（Ｎ６１０）、ナイロン４６（Ｎ４６）、ナイロン５６（Ｎ５６）などのポリアミド、ポリエチレン（ＰＥ）やポリプロピレン（ＰＰ）、ポリメチルペンテン（ＰＭＰ）などのポリオレフィン、さらにはポリエーテルエステルや熱可塑性ＰＵなどのエラストマー、液晶ポリエステルおよびポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）等が挙げられる。
【００５４】
上記ポリマーの中でも、性能と汎用性のバランスを考慮すると、ＰＥＴ、Ｎ６、Ｎ６６、Ｎ１２およびＰＰが特に好ましいポリマーである。
【００５５】
次に、支持体について説明する。
【００５６】
本発明で用いられる支持体の種類は、平坦なシート状のもので良く、フィルム、不織布、ガラス板、金属板、セラミックス板および発泡フォームなどを用いることができる。ガラス板や金属板は、高硬度であることや表面平坦性を制御しやすいという利点があるが、織物または開放型格子構造との接着や研磨時のスラリーに対する耐薬品性において問題のない材質のものを選択することが課題である。
【００５７】
この点、ゴムシートは、適度な硬度や耐薬品性を得やすく、また比較的ゴムシート表面の平坦性も制御しやすいため好ましく用いられる。また、定盤からの振動を吸収して研磨精度を向上させるという観点からも、ゴムシートであることが好ましい。ゴムシートの材質としては、天然ゴム（ＮＲ）、クロロプレンゴム（ＣＲ）、アクリロニトリルブタジエンゴム（ＮＢＲ）、エチレンプロピレンゴム（ＥＰＴ）、イソブチレンイソプレンゴム（ＩＩＲ）、クロロスルホン化ポリエチレンゴム（ＣＳＭ）、スチレンブタジエンゴム（ＳＢＲ）、ブタジエンゴム（ＢＲ）、シリコーンゴム（ＳＲ）、フッ素ゴム（ＦＲ）およびウレタンゴム（ＵＲ）などが挙げられるが、機械的強度、反発弾性および耐薬品性などを考慮するとウレタンゴム（ＵＲ）が好ましく用いられる。
【００５８】
また、現状、汎用性やゴムシートの平坦性から、ゴムシートの材質としては、ウレタンゴム（ＵＲ）とアクリロニトリルブタジエンゴム（ＮＢＲ）が好ましく用いられる。
【００５９】
支持体の厚みは、厚くすると研磨定盤のブレや振動の影響を吸収しやすくなり、薄くすると研磨パッドのコスト低減に役立つ。この観点から、支持体の厚みは０．５〜３０ｍｍであることが好ましく、より好ましくは０．８〜１０ｍｍであり、さらに好ましくは０．８〜５ｍｍである。
【００６０】
次に、熱可塑性樹脂による研磨層と支持体の接着について説明する。
【００６１】
本発明において、研磨層と支持体とを、熱可塑性樹脂の融着による接着層を介して接着積層することが重要であるが、熱可塑性樹脂としては、その目的と用途に応じて適宜選択することができる。具体的には、ポリアミド系、ポリオレフィン系、ポリウレタン系、エチレンビニルアルコール（ＥＶＡ）系、ポリエステル系などの熱可塑性樹脂が挙げられる。
【００６２】
例えば、シリコンウエハを研磨する際の研磨スラリーは、シリコンとのケミカルな作用を狙い、通常、弱アルカリ性（ｐＨ＝１０〜１１）に調整されているが、このような弱アルカリに対する接着層の耐久性を出すためには、ポリアミド系、ポリエステル系およびＥＶＡ系の熱可塑性樹脂を用いることが好ましい。また、研磨パッドに占める接着層のコストを低減する観点からは、ＥＶＡ系の熱可塑性樹脂を用いることが好ましい。
【００６３】
本発明において、熱可塑性樹脂の形態としては、研磨層と支持体とを接着積層した後に、研磨パッドの平坦性が損なわれないようにするために、シート状であることが好ましく、不織布や織編物などの繊維シートやフィルムであることが好ましい。その中でも熱接着フィルムであることが特に好ましい態様である。熱接着フィルムの市販品としては、日本マタイ（株）製のエルファンＮＴ（ポリアミド系）、エルファンＵＨ（ポリウレタン系）、エルファンＰＨ（ポリエステル系）、エルファンＯＨ（ＥＶＡ系）、およびダイセルファインケム（株）製のダイアミドフィルムなどが挙げられる。
【００６４】
熱接着フィルムの厚みは、研磨層である織物または開放型格子構造の厚みに応じて適宜選択することが可能であるが、研磨層の厚みと同等、あるいはそれよりも大きい厚みの熱接着フィルムを使用すると、熱融着する際に溶融した熱可塑性樹脂が研磨層の表面に染み出し、研磨層の表面を一部あるいは全部覆ってしまうため、研磨パッド本来の性能を損なう場合がある。そこで、少なくとも研磨層の厚みよりも熱接着フィルムの厚みが小さい方が好ましく、熱接着フィルムの厚みが、研磨層の厚みの９０％以下であることが好ましい態様である。熱接着フィルムの厚みはより好ましくは７０％以下であり、さらに好ましくは５０％以下である。熱接着フィルムの厚みの下限としては、薄すぎると研磨層の接着力が不十分になるため、研磨層の厚みの２５％以上であることが好ましい。
【００６５】
また、通常の研磨層の厚みは３００μｍ以下であるため、熱接着フィルムの厚みは２００μｍ以下であることが好ましく、より好ましくは１００μｍ以下であり、さらに好ましくは５０μｍ以下である。熱接着フィルムの厚みの下限としては、薄すぎると研磨層の接着力が不十分になるため、５μｍ以上であることが好ましい。特に、本発明で研磨層として好ましく用いられるマルチフィラメント撚糸織物は、その厚さが１００μｍ以下であるため、この場合、熱接着フィルムの厚みは８０μｍ以下であることが好ましく、さらに好ましくは５０μｍ以下である。
【００６６】
さらに、熱接着フィルムに用いられる熱可塑性樹脂の融点（Ｔｍ）は、研磨層の材質の融点Ｔｍよりも低い融点Ｔｍのものを選ぶことが好ましく、加工性の観点からは７０℃以上２００℃以下の熱可塑性樹脂であることが好ましい。融点Ｔｍが高い熱接着フィルムを選択すると、研磨層の種類によっては融着時に繊維の熱劣化が起こり、研磨性能を損なう場合があるため、熱接着フィルムの融点Ｔｍは低い方が好ましく、より好ましくは１５０℃以下であり、さらに好ましくは１３０℃以下である。
【００６７】
本発明においては、研磨層と支持体とを接着層である熱可塑性樹脂により接着積層することが重要であり、支持体が熱可塑性樹脂からなり、支持体自身を熱溶融させて接着層とし、研磨層と支持体とが熱融着し接着積層していることも本発明の好ましい態様である。支持体自身が熱可塑性樹脂であると、研磨層が支持体内部に一部埋め込まれ、研磨層と支持体とが強固に密着し接着しているため、繊維シートや熱接着フィルムなどの別の熱可塑性樹脂を介して研磨層を熱融着するよりも、長時間研磨した際の研磨パッドの耐久性がさらに向上する。
【００６８】
また、研磨層と支持体との間に別の熱可塑性樹脂が存在しないために、研磨時の研磨パッドへの横方向のせん断力に対しても耐性が高まり、研磨中に研磨層が横方向にずれたり、剥がれたりすることを抑制することができる。さらに、研磨層と支持体との接着積層に、繊維シートや熱接着フィルムなどの別の熱可塑性樹脂が不要であるため、研磨パッド製造時のコストを低減することも可能である。
【００６９】
熱可塑性樹脂からなる支持体としては、その目的と用途に応じて適宜選択することができるが、熱可塑性樹脂がポリウレタンゴムシートであることが好ましい。支持体が熱可塑性樹脂からなるポリウレタンゴムシートであると、研磨スラリーに対する耐薬品性に優れ、研磨定盤のブレや振動を吸収できるため、より好ましい。熱可塑性のポリウレタンゴムシートの市販品としては、日本マタイ（株）製のエスマーＵＲＳなどが挙げられる。
【００７０】
次に、本発明の研磨パッドの製造方法について述べる。
【００７１】
本発明の織物を構成する織糸は、公知の紡糸方法により製造することができ、その単繊維直径や断面形状を制御するには溶融紡糸法を採用することができる。
【００７２】
また、織物が強撚糸織物の場合、織糸であるマルチフィラメントを撚糸するには公知の撚糸方法を用いることができ、強撚糸についてはイタリー式撚糸機やダブルツイスターにより製造することができる。
【００７３】
さらに、本発明の織物を作製するには、公知の織機を採用することができるが、高密度の織物については、グリッパー織機やレピア織機、ウォータージェット織機により製造することができる。
【００７４】
本発明の開放型格子構造は、研磨層サイズの樹脂の内部を切削加工することにより作製することができる。切削の方法としては、精密切削加工機を用いる方法やレーザーや流体を噴射して加工する方法など、公知の精密加工技術を採用することができる。また、予め公知の溶融紡糸などの紡糸技術により研磨フィラメントを得た後、そのフィラメント同士を接着により格子状に積層して組み上げることにより開放型格子構造を製造することができる。
【００７５】
本発明の研磨パッドの構成は、図１に示したように、上から研磨層１、熱可塑性樹脂２、支持体３および粘着層４のように積層されている。
【００７６】
織物または開放型格子構造からなる研磨層と支持体の間に熱接着フィルムなどの熱可塑性樹脂を挟み、加熱処理することにより熱可塑性樹脂を溶融し、研磨層と支持体を融着により接着積層する。支持体が熱可塑性ポリウレタンゴムシートなどの熱可塑性樹脂である場合には研磨層を直接支持体に積層し、加熱処理することにより熱可塑性の支持体を溶融し、研磨層と支持体を熱融着により接着積層する。
【００７７】
接着する方法については、アイロンや油圧プレスなどの平板型のプレス機で研磨層と支持体を押し当てて熱融着する方法、カレンダーロールにより熱融着する方法、エンボスロールにより熱融着する方法、および非接触の超音波ウェルダーなどのロール型のプレス機を用いて熱融着する方法が挙げられるが、押し当ての圧力や接着の面内均一性を向上する観点からは、押し付け時の圧力やクリアランス調整が容易なカレンダープレスを用いることが好ましい。クリアランスは、積層する研磨層、熱可塑性樹脂、支持体および粘着層の厚みを合計したものよりもあまりに小さすぎると、押し付け圧が大きくなりすぎるため、溶融された熱可塑性樹脂が研磨層の表面に染み出してくる場合がある。このため、積層する合計の厚みと同等の厚み、もしくは、その厚みの９０％以上のクリアランスで押し付けることが好ましい。
【００７８】
融着による接着は、研磨パッドごとにバッチ式で行うことも可能であるが、生産性の観点からも、ロール状の研磨層、熱接着フィルムなどの熱可塑性樹脂、支持体などシート状物をカレンダープレス機に同時に投入して、連続式で行うことが好ましい。その際、それぞれのロール状シート状物の張力をコントロールして投入すると、積層状態が均一となる。
【００７９】
さらに、それぞれのシート状物の積層方法については、研磨層を熱接着フィルムなどの熱可塑性樹脂を用いて支持体に積層する場合には、研磨層と熱可塑性樹脂および支持体を同時に積層しても良いし、予め研磨層と熱可塑性樹脂を融着により接着してから、続いて支持体と接着しても良いし、予め支持体と熱可塑性樹脂を両面テープなどで固定しておいてから、その上に研磨層を置き、続いて熱接着フィルム面と研磨層を融着により接着しても良い。中でも、融着による接着層と支持体が直接接着されていることが好ましく、研磨層と支持体との間に熱接着フィルムを挟み込んだ後、熱接着フィルムを溶融して研磨層と支持体を接着積層することが好ましい。
【００８０】
また、研磨層と熱可塑性樹脂の支持体を熱融着する場合には、支持体の上に研磨層を積層した状態で熱融着しても良いし、予め熱可塑性樹脂の支持体の表面を加熱溶融させた後に、その上に研磨層をのせて押し付けることで熱融着しても良い。中でも研磨層と熱可塑性樹脂からなる支持体を重ね合わせた後、支持体を溶融して研磨層と支持体を接着積層することが好ましい。
【００８１】
積層する際の温度は、研磨層を熱接着フィルムなどの熱可塑性樹脂で支持体に積層する場合には、熱可塑性樹脂の融点（Ｔｍ）より高い温度で融着することが好ましく、熱可塑性樹脂が過度に溶融したりしないように、熱可塑性樹脂の融点Ｔｍ以上、融点Ｔｍ＋２０℃以下の温度で熱融着することがより好ましく、熱可塑性樹脂の融点Ｔｍ以上、融点Ｔｍ＋１５℃以下の温度で熱融着することがさらに好ましい。
【００８２】
目開きの大きい織物や開放型格子構造が研磨層の場合には、熱可塑性樹脂の融点Ｔｍより高い温度でプレスすると、溶融された熱可塑性樹脂が研磨層の表面に染み出したり、目開き部分が熱可塑性樹脂に埋もれてしまう場合があるため、熱可塑性樹脂の軟化点以上、融点Ｔｍ以下の温度で熱可塑性樹脂を軟化させた状態でプレスして研磨層を仮止めし、その後に熱可塑性樹脂の融点Ｔｍ以上で非接触熱処理をして融着状態を強固にする方法で積層することが好ましい。
【００８３】
また、目開きの大きい織物や開放型格子構造が研磨層の場合には、熱可塑性樹脂の融点Ｔｍより高い温度でプレスすると、溶融された熱可塑性樹脂が研磨層の表面に染み出したり、織物の目開き部分や開放型格子構造の空隙部分が熱可塑性樹脂に埋もれてしまう場合があるため、熱可塑性樹脂の軟化点以上、融点Ｔｍ以下の温度で熱可塑性樹脂を軟化させた状態でプレスして研磨層を仮止めし、その後に熱可塑性樹脂の融点Ｔｍ以上で非接触熱処理をして融着状態を強固にする方法で積層することが好ましい。
【００８４】
また、熱可塑性樹脂の支持体に研磨層を積層する際の温度は、熱可塑性樹脂の支持体の融点（Ｔｍ）より高い温度で融着することが好ましく、熱可塑性樹脂の支持体が過度に溶融したりしないように、熱可塑性樹脂の支持体のＴｍ以上、Ｔｍ＋２０℃以下の温度で熱融着することがより好ましく、熱可塑性樹脂の支持体のＴｍ以上、Ｔｍ＋１５℃以下の温度で熱融着することがさらに好ましい。
【００８５】
また、融着時のプレス圧力については、例えば、カレンダーやエンボスなどのローラー型のプレス装置の場合には、線圧は２００Ｋｇ／ｃｍ以下であることが好ましく、より好ましくは１００Ｋｇ／ｃｍ以下であり、さらに好ましくは６０Ｋｇ／ｃｍ以下である。また、線圧の下限値は、０．１Ｋｇ／ｃｍ以上であることが好ましい。また、アイロンや油圧プレスなどの平板型のプレス装置の場合には、面圧は０．４ＭＰａ以下であることが好ましく、より好ましくは０．２ＭＰａ以下であり、さらに好ましくは０．１ＭＰａ以下である。また、面圧の下限値は、０．００１ＭＰａ以上であることが好ましい。
【００８６】
本発明の研磨パッドを用いると、従来の研磨パッドを用いるよりも研磨対象物の平坦性・平滑性を向上することができ、半導体の微細化などに寄与することができる。
【００８７】
本発明の研磨パッドは、半導体ウエハとしてシリコン（Ｓｉ）ウエハ、アニールウエハ、エピウエハ、ＳＯＩウエハ、埋め込みウエハ、貼り合せウエハおよび再生ウエハなどだけでなく、ガリウムナイトライド（ＧａＮ）、ガリウム砒素（ＧａＡｓ）、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）およびサファイアなどの化合物半導体ウエハにも用いることができる。また、本発明の研磨パッドは、半導体ウエハの研磨用のみに限らず、酸化膜や金属膜などを形成した後のＣＭＰや素子形成後のバックグラインドに用いることも可能である。さらに、本発明の研磨パッドは、アルミディスクやガラスディスクなどのハードディスク用基板の研磨用、さらに液晶ディスプレイ用ガラスや光学ガラスやフォトマスクなどのガラス研磨用など種々の研磨用途に好適に用いることができる。
【実施例】
【００８８】
以下、本発明の研磨パッドについて、実施例を用いて詳細に説明する。実施例中の特性等の測定方法は、次の方法を用いた。
【００８９】
Ａ．織密度
織密度（経密度と緯密度）の測定は、ＪＩＳ  Ｌ１０９６（２００５）に記載されている単位長さあたりの糸本数の測定に準じて行った。すなわち、デンシメータを用い、デンシメーターを織物上に置いたときに現れる干渉バンドの数を測定し、これを３箇所で行いその平均値を求めた。
【００９０】
Ｂ．ＳＥＭ観察
サンプルに白金を蒸着し、超高分解能電解放射型走査型電子顕微鏡で観察した。ＳＥＭ装置には、日立製作所（株）製ＵＨＲ−ＦＥ−ＳＥＭ  Ｓ−５０００を用いた。
【００９１】
Ｃ．織物の目開き
研磨パッド表面を、ＳＥＭ装置により１００倍で観察することにより目開きを特定し、目開き面積を異なる２０カ所で測定し、その平方根の平均値を目開きサイズとした。
【００９２】
Ｄ．織物の厚み
厚み（ｍｍ）は、ダイヤルシックネスゲージ（（株）尾崎製作所製、商品名“ピーコックＨ”）により、無作為に１０箇所測定してその平均値から求めた。
【００９３】
Ｅ．織物の撚数
撚数は、織物の表層をＳＥＭで１００倍で観察し、織物を構成する経糸または緯糸の撚線の数を計測した。計測する糸の本数を１０本とし、その平均値より撚数を求めた。
【００９４】
Ｆ．織糸の総繊維直径
上記のＳＥＭ装置を用いて倍率５０倍で観察し、その観察画像から、三谷商事（株）製の画像処理ソフト（ＷＩＮＲＯＯＦ）を用いて、経糸または緯糸の長手方向に対して垂直な方向の最大繊維幅を織糸の総繊維直径として算出した（ただし、織物の経糸と緯糸の交錯点では織糸がつぶされて見かけ上繊維幅が大きく見えるため、交錯点以外の部分を測定するものとする）。この際、同一横断面内で無作為に抽出した２０本の織糸の直径を測定し、これを３カ所で行い、合計６０本の織糸の直径を測定して、これを単純平均して数平均直径を求めた。
【００９５】
Ｇ．単繊維の数平均直径
上記ＳＥＭ装置で倍率２００倍で観察し、その観察画像から、三谷商事（株）製の画像処理ソフト（ＷＩＮＲＯＯＦ）を用いて、単繊維直径を算出した。この際、同一横断面内で無作為に抽出した２０本の単繊維の直径を測定し、これを３カ所で行い、合計６０本の単繊維の直径を測定して、これを単純平均して数平均直径を求めた。
【００９６】
Ｈ．研磨評価
研磨機は、ラップマスターＳＦＴ株式会社製の片面研磨機である“ラップマスターＬＭ−１５Ｅ”（登録商標）を用いた。研磨パッドは、実施例および比較例で作製した研磨パッドをそれぞれ用い、研磨スラリーにはコロイダルシリカの水分散体である株式会社フジミインコーポレーテッド製“ＧＬＡＮＺＯＸ１３０２”（登録商標）を用いた。ウエハには、４インチのシリコンエッチドウエハを用い、研磨を行なった。研磨条件は下記のとおりである。
【００９７】
＜研磨条件＞
・定盤回転数  ：  ５０ｒｐｍ
・研磨圧力  ：  ２５５ｇｆ／ｃｍ２
・研磨時間  ：  ３０時間（２時間毎にウエハを交換し、交換時に高圧水洗を実施）
・スラリー濃度  ：  １％
・スラリー供給量  ：  ３５ｍＬ／分
研磨する際には、セラミックス製プレートに市販のＰＵスエードをバッキング材としたテンプレートを貼り付けて、それに水貼りでウエハを保持した。また、２時間毎にウエハを交換するが、交換時に３０秒間の高圧水洗（圧力７ＭＰａ、流量７Ｌ／分）によるパッド洗浄を行った。
【００９８】
Ｉ．研磨後ウエハの平坦性・平滑性の評価
Ｚｙｇｏ社の白色干渉顕微鏡である“Ｎｅｗ  Ｖｉｅｗ  ６３００”（登録商標）を用い、中間レンズ１倍、対物レンズとして５０倍、２．５倍で評価を行った。測定は研磨物の中心、それから端までの中間点４カ所の合計５カ所の測定を行い、Ｒａとしてはその平均値で評価を行った。２．５倍のＲａを平坦性の指標とし、５０倍のＲａを平滑性の指標とした。２．５倍のＲａでは１０ｎｍ以下を平坦性が高いとし、５０倍のＲａでは５ｎｍ以下を平滑性が高いとした。
【００９９】
Ｊ．研磨パッドの耐久性評価
上記Ｆ．研磨評価の３０時間連続研磨において、研磨や高圧水洗で３０時間後も研磨層（織物）が剥がれず、ウエハに目視でキズが入らなかったものを○、３０時間後も研磨層が剥がれないが、３０時間までにウエハに目視でキズが入ってしまったものを△、３０時間未満で研磨層が剥がれたり、３０時間までにウエハに目視でキズがはいってしまったものを×として評価し、○と△を合格とした。
【０１００】
（実施例１）
研磨層に用いる織物として、１７ｄｔｅｘ−１２フィラメント（三角断面）、撚数１７００Ｔ／ＭのＰＥＴマルチフィラメントを、経密度１５８本／インチ、緯密度１８０本／インチで織ったマルチフィラメント撚糸平織物（表１）を準備し、支持体として、アスカーＡ硬度９０、厚み１ｍｍの熱硬化性のＰＵ樹脂板を準備した。また、熱接着フィルムとして、厚さ３０μｍ、融点Ｔｍ１２０℃のポリエステル系熱接着フィルム（日本マタイ（株）製  エルファンＰＨ−４１３）を準備し、支持体にこの熱接着フィルムを両面粘着テープ（厚み１３０μｍ、基材は不織布）で貼り付け、予め支持体に固定した。
【０１０１】
さらに、支持体の裏側に定盤接着用の両面粘着テープ（厚み１１０μｍ、基材はポリエステルフィルム）を貼り付けた。支持体の熱接着フィルムが固定された面に、織物を重ね、熱カレンダーロールに通して熱接着フィルムを溶融し、プレスして織物を支持体に固定された両面粘着テープに熱融着した。このときのプレス条件は、温度８０℃、ロール間のクリアランス１．３５ｍｍ、圧力１００Ｋｇ／ｃｍ、ロール速度０．５ｍ／分であった。さらに、織物接着後の支持体を１２５℃の温度のオーブンで３０分間熱処理して、織物と熱接着フィルムの接着力を向上させ、研磨パッドを作製した。
【０１０２】
この研磨パッドを用いて連続研磨を行ったところ、３０時間連続研磨において、研磨や高圧水洗で織物と支持体に固定された両面粘着テープとの接着部分で剥がれることはなく、ウエハに目視で確認できるキズ（スクラッチ）が入ることもなく、耐久性に優れるものであった。また、２．５倍のＲａは４．０ｎｍであり、５０倍のＲａは２．６ｎｍであり、ウエハを高平坦・高平滑に研磨することができた。結果を表１に示す。
【０１０３】
（実施例２）
研磨層に用いる織物として、単繊維直径２７μｍ、経密度５０８本／インチ、緯密度５０８本／インチで織ったＰＥＴモノフィラメントツイル織物（表１）を準備し、支持体としてアスカーＡ硬度６０、厚み１ｍｍの熱硬化性のＰＵ樹脂板を準備した。また、熱接着フィルムとして、厚さ５０μｍ、融点Ｔｍ１２０℃のナイロン系熱接着フィルム（日本マタイ（株）製  エルファンＮＴ−１２０）を準備し、実施例１と同様に支持体にこの熱接着フィルムを両面粘着テープで固定し、支持体の裏側に定盤接着用の両面粘着テープを貼り付けた。
【０１０４】
次に、実施例１と同様に支持体の熱接着フィルムが固定された面に、織物を重ね、熱カレンダーロールに通して熱接着フィルムを溶融し、プレスして織物を支持体に固定された両面粘着テープに熱融着した後、織物接着後の支持体を１２５℃の温度のオーブンで３０分間熱処理して、織物と熱接着フィルムの接着力を向上させ、研磨パッドを作製した。
【０１０５】
この研磨パッドを用いて連続研磨を行ったところ、３０時間連続研磨において、研磨や高圧水洗で織物と支持体に固定された両面粘着テープとの接着部分で剥がれることはなく、ウエハに目視で確認できるキズが入ることもなく、耐久性に優れるものであった。また、２．５倍のＲａは２．４ｎｍであり、５０倍のＲａは１．９ｎｍであり、ウエハを高平坦・高平滑に研磨することができた。結果を表１に示す。
【０１０６】
（実施例３）
研磨層に用いる織物として、１７ｄｔｅｘ−１２フィラメント（三角断面）、撚数３０００Ｔ／ＭのＰＥＴマルチフィラメントを経密度３１４本／インチ、緯密度２０２本／インチで織ったマルチフィラメント撚糸サテン織物（表１）を準備し、支持体としてアスカーＡ硬度７０、厚み１ｍｍの熱硬化性のＰＵ樹脂板を準備した。熱接着フィルムとして、厚さ５０μｍ、融点Ｔｍ１００℃のＰＵ系熱接着フィルム（日本マタイ（株）製  エルファンＵＨ−２０３）を準備し、支持体に直接この熱接着フィルムを熱カレンダーロールでプレスして熱接着フィルムを溶融し、予め熱接着フィルムを支持体に固定した。このときのプレス条件は、温度１２０℃、ロール間のクリアランス１．００ｍｍ、圧力１００Ｋｇ／ｃｍ、ロール速度０．５ｍ／分であった。さらに、支持体の裏側に定盤接着用の両面粘着テープを貼り付けた。
【０１０７】
次に、実施例１と同様に支持体の熱接着フィルムが固定された面に、織物を重ね、熱カレンダーロールに通して熱接着フィルムを溶融し、プレスして織物を支持体に熱融着した。このときのプレス条件は、温度８０℃、ロール間のクリアランス１．３５ｍｍ、圧力１００Ｋｇ／ｃｍ、ロール速度０．５ｍ／分であった。さらに、織物接着後の支持体を１０５℃の温度のオーブンで３０分間熱処理して、織物と熱接着フィルムの接着力を向上させ、研磨パッドを作製した。
【０１０８】
この研磨パッドを用いて連続研磨を行ったところ、３０時間連続研磨において、研磨や高圧水洗で織物と支持体との接着部分で剥がれることはなく、ウエハに目視で確認できるキズが入ることもなく、耐久性に優れるものであった。また、２．５倍のＲａは９．０ｎｍであり、５０倍のＲａは４．３ｎｍであり、ウエハを高平坦・高平滑に研磨することができた。結果を表１に示す。
【０１０９】
（実施例４）
研磨層に用いる織物として、２２ｄｔｅｘ−１２フィラメント（丸断面）、撚数１５００Ｔ／ＭのＰＥＴマルチフィラメントを経密度１４０本／インチ、緯密度１３６本／インチで織ったマルチフィラメント撚糸平織物（表１）を準備し、支持体としてアスカーＡ硬度５０、厚み１ｍｍの熱硬化性のＰＵ樹脂板を準備した。熱接着フィルムとして、厚さ８０μｍ、融点Ｔｍ８３℃、ビカット軟化点５３℃のＥＶＡ系熱接着フィルム（日本マタイ（株）製  エルファンＯＨ−５０１）を準備し、支持体に直接この熱接着フィルムを熱カレンダーロールでプレスして熱接着フィルムを溶融し、予め熱接着フィルムを支持体に固定した。このときのプレス条件は、温度１００℃、ロール間のクリアランス１．００ｍｍ、圧力１００Ｋｇ／ｃｍ、ロール速度０．５ｍ／分であった。
【０１１０】
さらに、支持体の裏側に定盤接着用の両面粘着テープを貼り付けた。次に、実施例１と同様に支持体の熱接着フィルムが固定された面に、織物を重ね、熱カレンダーロールに通して熱接着フィルムを溶融し、プレスして織物を支持体に熱融着した。このときのプレス条件は、温度８０℃、ロール間のクリアランス１．３５ｍｍ、圧力１００Ｋｇ／ｃｍ、ロール速度０．５ｍ／分であった。さらに、織物接着後の支持体を８５℃の温度のオーブンで３０分間熱処理して、織物と熱接着フィルムの接着力を向上させ、研磨パッドを作製した。
【０１１１】
この研磨パッドを用いて連続研磨を行ったところ、３０時間連続研磨において、研磨や高圧水洗で３０時間後も織物と支持体との接着部分で剥がれることはなく、耐久性には優れていたが、まれにウエハに目視で確認できるキズが入ることがあった。織物の厚みが７５μｍであるのに対し、熱接着フィルムの厚みが８０μｍと若干厚いため、織物が熱接着フィルムに一部埋もれてしまったためと考えられる。また、２．５倍のＲａは６．９ｎｍであり、５０倍のＲａは４．０ｎｍであり、ウエハを高平坦・高平滑に研磨することができた。結果を表１に示す。
【０１１２】
（比較例１）
研磨層として、１７ｄｔｅｘ−１２フィラメント（三角断面）、撚数３０００Ｔ／ＭのＰＥＴマルチフィラメントを経密度１５０本／インチ、緯密度１８０本／インチで織ったマルチフィラメント撚糸ツイル織物（表１）を、支持体としてアスカーＡ硬度９０、厚み１ｍｍのＰＵ樹脂板を準備し、支持体に研磨パッド固定用両面粘着テープ（厚み１３０μｍ、中間接着用で基材は不織布、粘着剤はアクリル系の粘着剤）を用いて織物を押し付けて貼り、さらに支持体の裏側に定盤接着用の両面粘着テープ（厚み１１０μｍ、定盤接着用で基材はポリエステルフィルム）を貼り付け、研磨パッドを作製した。
【０１１３】
この研磨パッドを用いて連続研磨を行ったところ、３０時間連続研磨において、２時間経過後に研磨や高圧水洗で織物と支持体との接着部分が部分的に剥がれが生じ、半導体ウエハに目視で確認できるキズも入るため、耐久性に劣るものであった。また、２．５倍のＲａは３４．６ｎｍであり、５０倍のＲａは１２．１ｎｍであり、ウエハの平坦性・平滑性に劣るものであった。結果を表１に示す。
【０１１４】
（実施例５）
研磨層に用いる織物として、１７ｄｔｅｘ−１２フィラメント（三角断面）、撚数３０００Ｔ／ＭのＰＥＴマルチフィラメントを、経密度２９５本／インチ、緯密度２００本／インチで織ったマルチフィラメント撚糸ツイル織物（表１）を準備し、支持体として、アスカーＡ硬度９０、厚み１ｍｍの熱可塑性のＰＵ樹脂板（日本マタイ（株）製  エスマーＵＲＳ）を準備した。次に、支持体に織物を重ね、熱カレンダーロールに通して支持体を溶融し、プレスして織物を支持体に熱融着して仮止めした。このときのプレス条件は、温度１２０℃、ロール間のクリアランス１．００ｍｍ、圧力１００Ｋｇ／ｃｍ、ロール速度０．５ｍ／分であった。
【０１１５】
さらに、織物が積層された支持体を再度熱カレンダーロールに通して支持体を溶融し、プレスして織物を支持体に熱融着して研磨パッドを作製した。このときのプレス条件は、温度１４５℃、ロール間のクリアランス１．００ｍｍ、圧力１００Ｋｇ／ｃｍ、ロール速度０．５ｍ／分であった。
【０１１６】
この研磨パッドを用いて連続研磨を行ったところ、３０時間連続研磨において、研磨や高圧水洗で織物と支持体との接着部分で剥がれることはなく、ウエハに目視で確認できるキズ（スクラッチ）が入ることもなく、耐久性に優れるものであった。また、２．５倍のＲａは３．８ｎｍであり、５０倍のＲａは２．７ｎｍであり、ウエハを高平坦・高平滑に研磨することができた。結果を表１に示す。
【０１１７】
（実施例６）
研磨層に用いる織物として、８ｄｔｅｘ−５フィラメント（丸断面）、撚数４０００Ｔ／ＭのＮ６マルチフィラメントを、経密度２０９本／インチ、緯密度１９４本／インチで織ったマルチフィラメント撚糸平織物（表１）を準備し、支持体として、アスカーＡ硬度９０、厚み１ｍｍの熱可塑性のＰＵ樹脂板（日本マタイ（株）製  エスマーＵＲＳ）を準備した。次に支持体に織物を重ね、熱カレンダーロールに通して支持体を溶融し、プレスして織物を支持体に熱融着して仮止めした。このときのプレス条件は、温度１１０℃、ロール間のクリアランス１．００ｍｍ、圧力１００Ｋｇ／ｃｍ、ロール速度０．５ｍ／分であった。
【０１１８】
さらに、織物が積層された支持体を再度熱カレンダーロールに通して支持体を溶融し、プレスして織物を支持体に熱融着して研磨パッドを作製した。このときのプレス条件は、温度１４０℃、ロール間のクリアランス１．００ｍｍ、圧力１００Ｋｇ／ｃｍ、ロール速度０．５ｍ／分であった。
【０１１９】
この研磨パッドを用いて連続研磨を行ったところ、３０時間連続研磨において、研磨や高圧水洗で織物と支持体との接着部分で剥がれることはなく、ウエハに目視で確認できるキズ（スクラッチ）が入ることもなく、耐久性に優れるものであった。また、２．５倍のＲａは５．０ｎｍであり、５０倍のＲａは４．１ｎｍであり、ウエハを高平坦・高平滑に研磨することができた。結果を表１に示す。
【０１２０】
（比較例２）
研磨層に用いる織物として、１７ｄｔｅｘ−１２フィラメント（三角断面）、撚数１７００Ｔ／ＭのＰＥＴマルチフィラメントを、経密度１２０本／インチ、緯密度１００本／インチで織ったマルチフィラメント撚糸平織物（表１）を準備し、実施例１と同様にして支持体と積層し研磨パッドを作製した。
【０１２１】
この研磨パッドを用いて連続研磨を行ったところ、３０時間連続研磨において、研磨や高圧水洗で織物と支持体との接着部分で剥がれることはなかったが、ウエハに目視で確認できるキズ（スクラッチ）が入り、耐久性に劣るものであった。また、２．５倍のＲａは１０．６ｎｍであり、５０倍のＲａは５．４ｎｍであり、ウエハを高平坦・高平滑に研磨することができなかった。スクラッチが入り、研磨性能に劣る理由として、織物の目開きが実施例１に比べて大きいために、接着時に熱接着フィルムの熱可塑性樹脂が織物表面に染み出したためと考えられた。結果を表１に示す。
【０１２２】
（実施例７）
断面積が１．０ｍｍ２の正方形断面からなる研磨フィラメントをピッチ３．０ｍｍ、接触面積率０．５で研磨フィラメント層を形成した。このフィラメント層を５層積層して開放型格子構造からなる研磨層を作製し、実施例１と同様にして熱接着フィルムを用いて支持体と積層し研磨パッドを作製した。
【０１２３】
この研磨パッドを用いて連続研磨を行ったところ、３０時間連続研磨において、研磨や高圧水洗で織物と支持体との接着部分で剥がれることはなく、ウエハに目視で確認できるキズ（スクラッチ）が入ることもなく、耐久性に優れるものであった。結果を表１に示す。
【０１２４】
（比較例３）
実施例７の開放型格子構造からなる研磨層を用い、比較例１と同様にして両面粘着テープを用いて支持体に研磨層を積層し研磨パッドを作製した。
【０１２５】
この研磨パッドを用いて連続研磨を行ったところ、３０時間連続研磨において、２時間経過後に研磨や高圧水洗で織物と支持体との接着部分が部分的に剥がれが生じ、半導体ウエハに目視で確認できるキズも入るため、耐久性に劣るものであった。結果を表１に示す。
【０１２６】
【表１】
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【符号の説明】
【０１２７】
１：研磨層
２：熱可塑性樹脂
３：支持体
４：粘着層
５：目開き部分
６：研磨フィラメント
７：研磨面
８：開放型格子構造からなる研磨層
【図４】
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【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図５】
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