(57)【要約】【課題】  据付スペースを小域とすることが可能な加工装置を提供することである。【解決手段】  流体が流体供給源から加工装置内に流入する複数の流入口と、該加工装置内で使用された流体が該加工装置外へ流出する複数の流出口とを備えた加工装置であって、該流入口及び該流出口は、オペレーターが該加工装置を操作する操作側に対して右側又は左側の側面に形成されており、背面には該流入口及び該流出口が形成されていないことを特徴とする。【選択図】図１
2011115863.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流体供給源から加工装置内に流入する複数の流入口と、該加工装置内で使用された流体が該加工装置外へ流出する複数の流出口とを備えた加工装置であって、
該流入口及び該流出口は、オペレーターが該加工装置を操作する操作側に対して右側又は左側の側面に形成されており、背面には該流入口及び該流出口が形成されていないことを特徴とする加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体が流体供給源から加工装置内に流入する複数の流入口と、該加工装置内で使用された流体が該加工装置外へ流出する複数の流出口とを含み、該流入口及び該流出口はチューブ又は配管で外部装置に連通する加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
産業機械や製造装置は水、加工液、又はエアといった各種流体を用いるものが多い。これらの各流体はチューブや配管等を通じて流体源から加工装置へと流入し、加工装置内で使用された流体はダクトやドレインを介して加工装置外へと排出される。
【０００３】
例えば半導体デバイスの製造プロセスでは、半導体ウエーハを研削して薄化する研削装置、研削面の歪を除去する研磨装置、薄化された半導体ウエーハを個々のチップへと分割する切削装置等の加工装置が使用される。
【０００４】
これらの加工装置では、チャックテーブルで被加工物を吸引保持するための負圧や、搬送装置等の可動部を可動させるエアシリンダー、研削装置、研磨パッド、切削ブレード等の加工手段を回転させるスピンドルを回転可能に支持するエアベアリング等にエアが供給されている。
【０００５】
また、被加工物や加工手段には、加工中に加工熱を冷却するとともに加工屑を被加工物上から排出する目的で純水等の加工液が供給されている（例えば、特開２００９−１５８７６８号公報、特開２０００−１２４１６５号公報参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００９−１５８７６８号公報
【特許文献２】特開２０００−１２４１６５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述したような加工装置を設置する際には、加工装置の外周に配管やダクト、ドレインのためのスペースを確保する必要があり、加工装置の実際のサイズよりも大きい据付スペースが必要となる。
【０００８】
従来の加工装置では、エアや加工液等の流体が流入する流入口と流出口が、オペレーターが加工装置を操作する操作側に対して背面側に設けられているのが一般的であり、このため背面の壁等の間に相当なスペースを設ける必要があり、比較的大きな据付スペースを必要としていた。
【０００９】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、装置の背面側に据付スペースを必要とせずに、小域の据付スペースで設置可能な加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によると、流体が流体供給源から加工装置内に流入する複数の流入口と、該加工装置内で使用された流体が該加工装置外へ流出する複数の流出口とを備えた加工装置であって、該流入口及び該流出口は、オペレーターが該加工装置を操作する操作側に対して右側又は左側の側面に形成されており、背面には該流入口及び該流出口が形成されていないことを特徴とする加工装置が提供される。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によると、オペレーターが加工装置を操作する操作側に対向する背面側には流体が流入・流出する流入口や流出口が形成されていないため、加工装置を背面の壁部等からあまり離さずに設置することができ、小域の据付スペースで加工装置を設置することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明実施形態に係る切削装置の外観斜視図である。
【図２】切削装置の正面図である。
【図３】切削装置の左側面図である。
【図４】切削装置の右側面図である。
【図５】切削装置の背面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、本発明実施形態に係る切削装置２の外観斜視図が示されている。オペレーターが切削装置２を操作する操作側には、オペレーション表示モニタ４が配設されている。
【００１４】
このオペレーション表示モニタ４はタッチパネル式であり、オペレーターはモニタ４に表示された情報にタッチすることにより、切削装置２にコマンドを入力することができると共に、切削装置２の稼働状況がこのモニタ４上に表示される。
【００１５】
６はカセット載置台であり、このカセット載置台６上に複数枚のウエーハを収容したカセットが載置される。カセット載置台６は上下方向に昇降可能である。パネル８は切削装置２のメインテナンスのために取り外し可能である。
【００１６】
１０は切削装置２の稼動状況を表示する表示ランプであり、切削装置２が正常作動時には例えば緑色で点灯し、何らかの保障が生じた場合には赤色が点滅する。１２は非常停止ボタンであり、オペレーターがこの非常停止ボタン１２を押すと切削装置２の作動を直ちに停止することができる。
【００１７】
切削装置２は複数のパネルからなるハウジング３により覆われているが、このハウジング３内には切削装置２の機械的構成要素であるチャックテーブル、切削ブレードを備えた切削ユニット、ウエーハの切削すべき領域を検出する撮像装置を備えたアライメントユニット、スピン洗浄装置、ウエーハを搬送する搬送装置等が収容されている。
【００１８】
図３の左側面図も合わせて参照すると、扉１４，１６は観音開きに開閉可能であり、切削装置２の切削ブレードを交換したい場合には、扉１４，１６を開いて切削ブレードを交換する。
【００１９】
１８はダクトファンであり、このダクトファン１８により切削装置２のハウジング３内に外気が取り入れられ、切削装置２内の排気はダクト２０を介して排出される。２２はブレーカーであり、切削装置２の電源に何らかの異常があった場合には、このブレーカー２２が落ちることにより、切削装置２の電力系統を保護するようになっている。２４は切削装置２の操作側に設けた非常停止ボタン１２と同様な異常停止ボタンである。
【００２０】
２６は切削水の流量、スピンナ洗浄装置への洗浄水の流量、スピンドルを回転可能に支持するエアベアリングのエアの流量、チャックテーブルに作用する負圧の流量等が表示される流量計である。切削装置２のメインテナンスのために、パネル２８，３０，３２，３４は取り外し可能に装着されている。
【００２１】
図４の右側面図を参照すると、切削装置２の各種の配管、例えば切削水用の配管、負圧用の配管、エアベアリング用の配管等に接続する複数の接続口３６が配設されている。これらの接続口３６は流体が切削装置２内へ流入する流入口及び切削装置２内で使用された流体が切削装置２外で流出する流出口を構成する。
【００２２】
これらの接続口３６には吸引源又は切削水源等に接続されたチューブ又はホースが接続される。切削装置２のメインテナンスのために、扉３８，４０は開閉可能であり、パネル４２，４４，４６は取り外し可能に設置されている。
【００２３】
図５の背面図を参照すると明らかなように、切削装置２の背面側には流体の流入口及び流出口は何ら形成されていない。パネル４８，５０，５２は取り外し可能に設置されている。
【００２４】
しかし、これらのパネル４８，５０，５２は切削装置２のメインテナンスの為には取り外す必要が無く、メインテナンス部は切削装置２の操作側及び両側面側に設けられている。このメインテナンス部は、定期的に交換が必要な消耗品（電磁弁、フィルター、ランプ等）へのアクセスを可能とする部位や清掃用にアクセスを可能とする部位である。
【００２５】
上述した実施形態の切削装置２では、流体の流入口及び流出口を切削装置２の側面側に形成し、背面側には流体が流入・流出する流入口や流出口を設けないのが大きな構造的特徴であり、この特徴のために切削装置２を背面側の壁等から余りスペースを置かずに設置することができ、据付スペースを従来に比較して小面積にすることができる。
【００２６】
上述した説明では本発明を切削装置に適用した例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、研削装置、研磨装置等の他の加工装置にも本発明を適用することができる。
【符号の説明】
【００２７】
２    切削装置
３    ハウジング
４    オペレーション表示モニタ
６    カセット載置台
１２，２４    非常停止ボタン
１４，１６    扉
１８    ダクトファン
２０    ダクト
２６    流量計
３６    接続口
【図１】
2011115863.tif 000003
【図２】
2011115863.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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