(57)【要約】      （修正有）【課題】作動距離が長く、開口数が大きく、色収差が可視域から近赤外域まで良好に補正された液浸系顕微鏡対物レンズを提供する。【解決手段】物体側から順に並んだ、正屈折力の第１レンズ群Ｇ１と、正屈折力の第２レンズ群Ｇ２と、負屈折力の第３レンズ群Ｇ３とを有し、Ｇ１は、物体側に平面を向けた平凸レンズＬ１１と物体側に凹面を向けたメニスカスレンズＬ１２との接合レンズを有し、Ｇ２は２つ以上の接合レンズを有し、Ｇ３は物体側から順に像側に強い凹面を向けた接合レンズと物体側に強い凹面を向けた接合レンズとを有する。Ｇ１を構成する最も物体側の接合レンズの接合面の曲率半径をｒ２とし、Ｌ１１の中心厚をｄ１とし、Ｌ１１の物体側レンズ面の有効半径をｒ１とし、物体面から第１レンズ面までの距離をｄ０とし、Δθ＝tan-1｛（｜ｒ２｜−ｄ１）／ｒ１｝−tan-1（ｄ０／ｒ１）と定義したとき、次式−１５＜Δθ＜＋１０を満足する。【選択図】図１
2011075982.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群と、正の屈折力を持つ第２レンズ群と、負の屈折力を持つ第３レンズ群とを有し、
前記第１レンズ群は、最も物体側に、物体側に平面を向けた平凸レンズと物体側に凹面を向けたメニスカスレンズとの接合レンズを有し、
前記第２レンズ群は、２つ以上の接合レンズを有し、
前記第３レンズ群は、物体側から順に並んだ、像側に強い凹面を向けた接合レンズと、物体側に強い凹面を向けた接合レンズとを有し、
前記第１レンズ群を構成する最も物体側の接合レンズの接合面の曲率半径をｒ２とし、前記平凸レンズの中心厚をｄ１とし、前記平凸レンズの物体側レンズ面の有効半径をｒ１とし、物体面から第１レンズ面までの距離をｄ０とし、Δθ＝tan-1｛（｜ｒ２｜−ｄ１）／ｒ１｝−tan-1（ｄ０／ｒ１）と定義したとき、次式
−１５  ＜  Δθ  ＜  ＋１０
の条件を満足することを特徴とする液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項２】
前記第１レンズ群を構成する最も物体側の接合レンズの焦点距離をｆ１とし、前記対物レンズ全系の焦点距離をＦとしたとき、次式
｜ｆ１／Ｆ｜＞２
の条件を満足することを特徴とする請求項１に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項３】
前記第３レンズ群を構成する前記物体側に強い凹面を向けた接合レンズは、物体側から順に並んだ、凹レンズと、凸レンズとからなり、
前記凹レンズの部分分散比とアッベ数をＰ３ｎとν３ｎとし、前記凸レンズの部分分散比とアッベ数をＰ３ｐとν３ｐとし、ΔＰとΔνをそれぞれΔＰ＝Ｐ３ｎ−Ｐ３ｐとΔν＝ν３ｎ−ν３ｐとしたとき（但し、硝材のｄ線、ｓ線、ｇ線に対する屈折率をそれぞれｎｄ、ｎｓ、ｎｇとしたとき、部分分散比をＰ＝（ｎｄ−ｎｓ）／（ｎｇ−ｎｄ）と定義する）、次式
０．００２  ＜  ΔＰ／Δν  ＜０．００４
の条件を満足することを特徴とする請求項１又は２に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【請求項４】
前記第３レンズ群は、物体側から順に並んだ、前記像側に強い凹面を向けた接合レンズを含む前群と、前記前群の像側に配設され、前記物体側に強い凹面を向けた接合レンズを含む後群とからなり、
前記後群の焦点距離をｆ３とし、前記対物レンズ全系の焦点距離をＦとしたとき、次式
｜ｆ３／Ｆ｜＞２０
の条件を満足することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の液浸系顕微鏡対物レンズ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液浸系顕微鏡対物レンズに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、従来の顕微鏡よりもさらに長い波長での蛍光観察が行われるようになり、近赤外域までの良好な結像性能を有する光学系が望まれている。例えば、２フォトンのようなマルチフォトン観察においては、標本を長波長の照明光にて励起して可視光の蛍光を観察するため、可視域の波長と近赤外域の波長との色収差を良好に補正した顕微鏡対物レンズに対する要望が増えている。また、パッチクランプを行いながら、マルチフォトン観察を行うアプリケーションも増えており、アクセスアングルを大きく取るため作動距離がより長く、光子密度を上げるため開口数がより大きい対物レンズが必要とされている。
【０００３】
従来、開口数が大きく、作動距離が長い対物レンズとして、例えば特許文献１〜３に記載されたものが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１８９７３２号公報
【特許文献２】米国特許２００９／００２７７６９号明細書
【特許文献３】特開２００２−３１７６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の対物レンズでは、色収差補正範囲がアクロマートであった。また、特許文献２に記載の対物レンズでは、色収差が可視域（ｇ線）まではされておらず、短波長側の補正が十分ではなかった。また、特許文献３の記載の対物レンズでは、色収差補正範囲が可視域のみで、近赤外域までは補正されておらず、また開口数も（倍率25倍で換算すると）十分とは言えなかった。
【０００６】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、作動距離が長く、開口数が大きく、色収差が可視域から近赤外域まで良好に補正された液浸系顕微鏡対物レンズを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
このような目的を達成するため、本発明の液浸系顕微鏡対物レンズは、物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群と、正の屈折力を持つ第２レンズ群と、負の屈折力を持つ第３レンズ群とを有し、前記第１レンズ群は、最も物体側に、物体側に平面を向けた平凸レンズと物体側に凹面を向けたメニスカスレンズとの接合レンズを有し、前記第２レンズ群は、２つ以上の接合レンズを有し、前記第３レンズ群は、物体側から順に並んだ、像側に強い凹面を向けた接合レンズと、物体側に強い凹面を向けた接合レンズとを有し、前記第１レンズ群を構成する最も物体側の接合レンズの接合面の曲率半径をｒ２とし、前記平凸レンズの中心厚をｄ１とし、前記平凸レンズの物体側レンズ面の有効半径をｒ１とし、物体面から第１レンズ面までの距離をｄ０とし、Δθ＝tan-1｛（｜ｒ２｜−ｄ１）／ｒ１｝−tan-1（ｄ０／ｒ１）と定義したとき、次式  −１５  ＜  Δθ  ＜  ＋１０  の条件を満足する。
【０００８】
なお、本実施形態においては、前記第１レンズ群を構成する最も物体側の接合レンズの焦点距離をｆ１とし、前記対物レンズ全系の焦点距離をＦとしたとき、次式  ｜ｆ１／Ｆ｜＞２  の条件を満足することが好ましい。
【０００９】
また、本実施形態においては、前記第３レンズ群を構成する前記物体側に強い凹面を向けた接合レンズは、物体側から順に並んだ、凹レンズと、凸レンズとからなり、前記凹レンズの部分分散比とアッベ数をＰ３ｎとν３ｎとし、前記凸レンズの部分分散比とアッベ数をＰ３ｐとν３ｐとし、ΔＰとΔνをそれぞれΔＰ＝Ｐ３ｎ−Ｐ３ｐとΔν＝ν３ｎ−ν３ｐとしたとき（但し、硝材のｄ線、ｓ線、ｇ線に対する屈折率をそれぞれｎｄ、ｎｓ、ｎｇとしたとき、部分分散比をＰ＝（ｎｄ−ｎｓ）／（ｎｇ−ｎｄ）と定義する）、次式  ０．００２  ＜  ΔＰ／Δν  ＜０．００４  の条件を満足することが好ましい。
【００１０】
また、本実施形態においては、前記第３レンズ群は、物体側から順に並んだ、前記像側に強い凹面を向けた接合レンズを含む前群と、前記前群の像側に配設され、前記物体側に強い凹面を向けた接合レンズを含む後群とからなり、前記後群の焦点距離をｆ３とし、前記対物レンズ全系の焦点距離をＦとしたとき、次式  ｜ｆ３／Ｆ｜＞２０  の条件を満足することが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、倍率が２５倍程度で、作動距離が長く（1.0〜2.5mm程度）、開口数が大きく（1.0〜1.1程度）、色収差が可視域から近赤外域まで（おおよそｇ線からｓ線まで）良好に補正された液浸系顕微鏡対物レンズを実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズのレンズ構成図である。
【図２】本発明の第１実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズの諸収差図であり、（ａ）は球面収差、（ｂ）は非点収差、（ｃ）はコマ収差、（ｄ）は歪曲収差を示す。
【図３】本発明の第２実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズのレンズ構成図である。
【図４】本発明の第２実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズの諸収差図であり、（ａ）は球面収差、（ｂ）は非点収差、（ｃ）はコマ収差、（ｄ）は歪曲収差を示す。
【図５】本発明の第３実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズのレンズ構成図である。
【図６】本発明の第３実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズの諸収差図であり、（ａ）は球面収差、（ｂ）は像面湾曲、（ｃ）はコマ収差、（ｄ）は歪曲収差を示す。
【図７】本発明の第４実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズのレンズ構成図である。
【図８】本発明の第４実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズの諸収差図であり、（ａ）は球面収差、（ｂ）は像面湾曲、（ｃ）はコマ収差、（ｄ）は歪曲収差を示す。
【図９】上記実施例に係る顕微鏡対物レンズと組み合わせて用いられる結像レンズのレンズ構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本実施形態について、図面を用いて説明する。本実施形態に係る液浸系顕微鏡対物レンズは、物体側から順に並んだ、正の屈折力を持つ第１レンズ群と、正の屈折力を持つ第２レンズ群と、負の屈折力を持つ第３レンズ群とを有する。
【００１４】
第１レンズ群は、物体から出た発散光を収束させるレンズ群であり、最も物体側に、物体側に平面を向けた平凸レンズと物体側に凹面を向けたメニスカスレンズとの接合レンズを有する。この第１レンズ群を構成する最も物体側に位置する接合レンズの接合面には、強い負の屈折力が与えられており、これによりペッツバール和を効果的に低減することができる。
【００１５】
第２レンズ群は、第１レンズ群で収束させた光線をさらに収束させるレンズ群であり、正レンズと負レンズとを接合した色消しレンズを少なくとも２つ以上有する。この色消しレンズのうち、第２レンズ群内で最も物体側に配置されている色消しレンズは主に色の球面収差を補正する機能を有し、残りの色消しレンズは主に２次スペクトルまで考慮した軸上色収差を補正する機能を有する。
【００１６】
第３レンズ群は、第２レンズ群で収束させた収束光を平行光にし、結像レンズへと導くレンズ群であり、物体側から順に並んだ、正レンズと負レンズとをこの順に並べて接合した、像側に強い（すなわち、比較的曲率半径の小さい）凹面を向けた色消しレンズと、負レンズと正レンズとをこの順に並べて接合した、物体側に強い凹面を向けた色消しレンズとから構成された、いわゆるガウスタイプを採用している。これら２つの強い凹面を持つ色消しレンズにより、第３レンズ群では、球面収差やコマ収差を補正するのに加えて、第１レンズ群で低減しきれなかったペッツバール和を低減させ、全体として像面湾曲を補正することができる。
【００１７】
以上のような構成の基に、本実施形態の顕微鏡対物レンズは、第１レンズ群を構成する最も物体側の接合レンズの接合面の曲率半径をｒ２とし、平凸レンズの中心厚をｄ１とし、平凸レンズの物体側レンズ面の有効半径をｒ１とし、物体面から第１レンズ面までの距離をｄ０とし、Δθ＝tan-1｛（｜ｒ２｜−ｄ１）／ｒ１｝−tan-1（ｄ０／ｒ１）と定義したとき、次式（１）の条件を満足する。
【００１８】
−１５  ＜  Δθ  ＜  ＋１０  …（１）
【００１９】
上記条件式（１）は、物体面と第１レンズ面までの距離、すなわち作動距離と、第１レンズ群の最も物体側の接合レンズの接合面の曲率半径との適切な関係を規定するものである。この条件式（１）の下限値を下回ると、作動距離を長く確保しようとした際に、第１レンズ群の最も物体側の接合レンズの接合面の曲率半径が小さくなり、開口数が大きい光の補正ができなくなる。また、条件式（１）の上限値を上回ると、第１レンズ群の最も物体側の接合レンズの接合面の曲率半径が大きくなり、十分な負の屈折力が得られなくなる。すると、対物レンズ全系でのペッツバール和が増大し、像面の平坦性が悪化してしまう。
【００２０】
なお、本実施形態の効果をより確実にするためには、条件式（１）の下限値を−１０に設定することが望ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするためには、条件式（１）の上限値を＋５に設定することが望ましい。
【００２１】
また、本実施形態においては、第１レンズ群を構成する最も物体側の接合レンズの焦点距離をｆ１とし、対物レンズ全系の焦点距離をＦとしたとき、次式（２）の条件を満足することが好ましい。
【００２２】
｜ｆ１／Ｆ｜＞２  …（２）
【００２３】
上記条件式（２）は、第１レンズ群を構成する最も物体側の接合レンズの焦点距離の適切な範囲を規定するものである。この条件式（２）の下限値を下回ると、前記接合レンズにおいて球面収差やコマ収差が悪化して、補正が難しくなる。
【００２４】
また、本実施形態においては、第３レンズ群を構成する物体側に強い凹面を向けた接合レンズは、物体側から順に並んだ、凹レンズと、凸レンズとからなり、前記凹レンズの部分分散比とアッベ数をＰ３ｎとν３ｎとし、前記凸レンズの部分分散比とアッベ数をＰ３ｐとν３ｐとし、ΔＰとΔνをそれぞれΔＰ＝Ｐ３ｎ−Ｐ３ｐとΔν＝ν３ｎ−ν３ｐとしたとき（但し、硝材のｄ線、ｓ線、ｇ線に対する屈折率をそれぞれｎｄ、ｎｓ、ｎｇとしたとき、部分分散比をＰ＝（ｎｄ−ｎｓ）／（ｎｇ−ｎｄ）と定義する）、次式（３）の条件式を満足することが好ましい。
【００２５】
０．００２  ＜  ΔＰ／Δν  ＜０．００４  …（３）
【００２６】
上記条件式（３）は、可視域から近赤外域まで（おおよそｇ線からｓ線まで）の広範囲に亘る色収差を良好に補正するため、第３レンズ群を構成する物体側に強い凹面を向けた接合レンズの部分分散比とアッベ数との適切な関係を規定するものである。この条件式（３）の下限値を下回ると、可視光域の色収差は良好に補正されるものの、近赤外域の色収差補正が不足する。また、条件式（３）の上限値を上回ると、可視光域の色収差は良好に補正されるものの、近赤外域での色収差補正が過剰となる。
【００２７】
なお、本実施形態の効果をより確実にするためには、条件式（３）の下限値を0.0025に設定することが望ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするためには、条件式（３）の上限値を0.0035に設定することが望ましい。
【００２８】
また、本実施形態においては、第３レンズ群は、物体側から順に並んだ、像側に強い凹面を向けた接合レンズを含む前群と、前群の像側に配設され、物体側に強い凹面を向けた接合レンズを含む後群とからなり、前記後群の焦点距離をｆ３とし、対物レンズ全系の焦点距離をＦとしたとき、次式（４）の条件を満足することが好ましい。
【００２９】
｜ｆ３／Ｆ｜＞２０  …（４）
【００３０】
上記条件式（４）は、対物レンズ全系の焦点距離に対する、第３レンズ群を構成する後群の焦点距離の適切な関係を規定するものである。この条件式（４）の下限値を下回ると、後群を構成する物体側に強い凹面を向けた接合レンズへの光の入射角度がきつくなり、高次のコマ収差の補正ができない。
【実施例】
【００３１】
以下、本実施形態に係る各実施例について、図面に基づいて説明する。
【００３２】
各実施例において、顕微鏡対物レンズは液浸タイプであり、浸液として水（屈折率ｎｄ＝1.3326，アッベ数νｄ＝55.9）を基準として設計されている。
【００３３】
以下に、表１〜表４を示すが、これらは第１〜第４実施例における各諸元の表である。［全体諸元］において、Ｆは対物レンズ全系の合成焦点距離、ＮＡは開口数、βは倍率、ｄ０はカバーガラスの対物レンズ側の面から第１レンズ群Ｇ１の第１レンズ面（表中の面番号１）までの光軸上の距離、ＴＬは対物レンズ全長をそれぞれ示す。また、［レンズ諸元］において、面番号は光線の進行する方向に沿った物体側からのレンズ面の順序を、ｒは各レンズ面の曲率半径を、ｄは各光学面から次の光学面（又は像面）までの光軸上の距離である面間隔を、ｎｄはｄ線（波長587.6nm）に対する屈折率を、νｄはｄ線に対するアッベ数をそれぞれ示す。なお、曲率半径の「0.000」は平面を示す。また、空気の屈折率「1.0000」の記載は省略している。［各群焦点距離データ］において、各群の初面及び焦点距離を示す。［条件式］において、上記条件式（１）〜（４）に対応する値を示す。
【００３４】
なお、表中において、焦点距離、曲率半径、面間隔、その他の長さの単位は、一般に「mm」が使われている。但し、光学系は、比例拡大又は比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、単位は「mm」に限定されることなく、他の適当な単位を用いることが可能である。
【００３５】
（第１実施例）
第１実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズについて、図１、図２及び表１を用いて説明する。第１実施例に係る顕微鏡対物レンズは、図１に示すように、物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とを有して構成される。
【００３６】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側より順に並んだ、物体側に平面を向けた平凸レンズＬ１１と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１２との接合レンズと、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１３と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１４と、両凹レンズＬ１５と両凸レンズＬ１６との接合レンズとを有する。
【００３７】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側より順に並んだ、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ２１と両凸レンズＬ２２との接合レンズと、両凸レンズＬ２３と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ２４と両凸レンズＬ２５と両凹レンズＬ２６との接合レンズとを有する。
【００３８】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側より順に並んだ、両凸レンズＬ３１と両凹レンズＬ３２とからなり、像側に凹面を向けた接合メニスカスレンズを有する前群Ｇ３Ｆと、両凹レンズＬ３３と両凸レンズＬ３４とからなり、物体側に凹面を向けた接合メニスカスレンズを有する後群Ｇ３Ｒとから構成される。
【００３９】
表１に第１実施例における各諸元の表を示す。なお、表１における面番号１〜２５は、図１に示す面１〜２５に対応している。
【００４０】
（表１）
［全体諸元］
Ｆ＝8.0，ＮＡ＝1.1，β＝−25，ｄ０＝2.04，ＴＬ＝79.4
［レンズ諸元］
面番号      ｒ        ｄ        ｎｄ        νｄ
１      0.000      2.00      1.4585      67.8
２      -3.460      4.90      1.8830      40.8
３      -7.000      0.10
４      -22.816      3.50      1.4343      95.0
５      -12.395      0.10
６      -91.696      3.50      1.4978      82.5
７      -23.020      0.10
８      -382.205    1.00      1.6134      44.3
９      25.550      11.45      1.4339      95.2
10      -18.751      0.10
11      103.567      1.10      1.8160      46.6
12      21.493      9.10      1.4978      82.5
13      -34.993      0.20
14      31.731      5.10      1.4343      95.0
15      -92.975      1.00
16      56.522      1.20      1.6516      58.5
17      21.047      6.25      1.4339      95.2
18      -41.902      1.00      1.8160      46.6
19      47.631      0.20
20      13.040      7.50      1.4343      95.0
21      -140.218    5.40      1.5638      60.7
22      9.070      6.35
23      -11.368      1.05      1.6228      57.0
24      24.469      5.15      1.8044      39.6
25      -17.991
［各群焦点距離データ］
群番号      群初面    群焦点距離
Ｇ１        １        12.0
Ｇ２        11        131.7
Ｇ３        20        -172.0
［条件式］
条件式（１）Δθ＝-8.1
条件式（２）ｆ１／Ｆ＝2.9
条件式（３）ΔＰ／Δν＝0.0027
条件式（４）｜ｆ３／Ｆ｜＝24.0
【００４１】
表１に示す諸元の表から、本実施例に係る顕微鏡対物レンズでは、上記条件式（１）〜（４）を全て満たすことが分かる。
【００４２】
図２は、第１実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図であり、（ａ）は球面収差、（ｂ）は非点収差、（ｃ）はコマ収差、（ｄ）は歪曲収差を示す。なお、（ｂ）の非点収差を示す図において、実線はサジタル像面、破線はメリディオナル像面をそれぞれ示している。また、（ｄ）の歪曲収差を示す図においては、基準波長としてのｄ線に対する収差を示す。また、図２において、ＮＡは開口数を、ｙは像高（mm）を示す。また、実線はｄ線（波長587.6nm）を、点線はｓ線（波長852.1nm）を、一点鎖線はＦ線（波長486.1nm）を、二点鎖線はｇ線（波長435.8nm）を示す。以上の収差図の説明は、他の実施例においても同様である。
【００４３】
図２に示す各収差図から明らかであるように、第１実施例に係る顕微鏡対物レンズでは、広い波長域にわたり諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることが分かる。
【００４４】
（第２実施例）
第２実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズについて、図３、図４及び表２を用いて説明する。第２実施例に係る顕微鏡対物レンズは、図３に示すように、物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とを有して構成される。
【００４５】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側より順に並んだ、物体側に平面を向けた平凸レンズＬ１１と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１２との接合レンズと、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１３と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１４と、両凹レンズＬ１５と両凸レンズＬ１６との接合レンズとを有する。
【００４６】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側より順に並んだ、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ２１と両凸レンズＬ２２との接合レンズと、両凸レンズＬ２３と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ２４と両凸レンズＬ２５と両凹レンズＬ２６との接合レンズとを有する。
【００４７】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側より順に並んだ、両凸レンズＬ３１と両凹レンズＬ３２とからなり、像側に凹面を向けた接合メニスカスレンズを有する前群Ｇ３Ｆと、両凹レンズＬ３３と両凸レンズＬ３４とからなり、物体側に凹面を向けた接合メニスカスレンズを有する後群Ｇ３Ｒとから構成される。
【００４８】
表２に第２実施例における各諸元の表を示す。なお、表２における面番号１〜２５は、図３に示す面１〜２５に対応している。
【００４９】
（表２）
［全体諸元］
Ｆ＝8.0，ＮＡ＝1.1，β＝−25，ｄ０＝1.00，ＴＬ＝79.1
［レンズ諸元］
面番号      ｒ        ｄ        ｎｄ        νｄ
１      0.000      1.10      1.4585      67.8
２      -2.022      6.22      1.8830      40.8
３      -6.780      0.11
４      -26.816      3.10      1.4978      82.5
５      -12.270      0.11
６      -84.272      3.10      1.4343      95.0
７      -27.233      0.11
８      -890.662    1.20      1.6134      44.3
９      26.084      9.80      1.4978      82.5
10      -19.333      0.10
11      2191.192    1.00      1.8160      46.6
12      24.124      9.80      1.4339      95.2
13      -22.996      0.10
14      27.589      5.90      1.4343      95.0
15      -73.469      1.00
16      78.529      1.20      1.6968      55.5
17      21.577      6.80      1.4339      95.2
18      -24.704      1.00      1.8160      46.6
19      589.935      0.20
20      12.988      9.00      1.4343      95.0
21      -1053.207    3.85      1.6204      60.3
22      9.000      6.50
23      -9.025      1.50      1.6516      58.5
24      443.037      5.30      1.8044      39.6
25      -13.708
［各群焦点距離データ］
群番号      群初面    群焦点距離
Ｇ１        １        11.2
Ｇ２        11        84.8
Ｇ３        20        -103.3
［条件式］
条件式（１）Δθ＝-2.0
条件式（２）ｆ１／Ｆ＝11.8
条件式（３）ΔＰ／Δν＝0.0031
条件式（４）｜ｆ３／Ｆ｜＝40.8
【００５０】
表２に示す諸元の表から、本実施例に係る顕微鏡対物レンズでは、上記条件式（１）〜（４）を全て満たすことが分かる。
【００５１】
図４は、ｇ線（波長435.8nm）〜ｓ線（波長852.1nm）に対する、第２実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図であり、（ａ）は球面収差、（ｂ）は非点収差、（ｃ）はコマ収差、（ｄ）は歪曲収差を示す。
【００５２】
図４に示す各収差図から明らかであるように、第２実施例に係る顕微鏡対物レンズでは、広い波長域にわたり諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることが分かる。
【００５３】
（第３実施例）
第３実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズについて、図５、図６及び表３を用いて説明する。第３実施例に係る顕微鏡対物レンズは、図５に示すように、物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とを有して構成される。
【００５４】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側より順に並んだ、物体側に平面を向けた平凸レンズＬ１１と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１２との接合レンズと、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１３と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１４と、両凹レンズＬ１５と両凸レンズＬ１６との接合レンズとを有する。
【００５５】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側より順に並んだ、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ２１と両凸レンズＬ２２との接合レンズと、両凸レンズＬ２３と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ２４と両凸レンズＬ２５と両凹レンズＬ２６との接合レンズとを有する。
【００５６】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側より順に並んだ、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３２とからなり、像側に凹面を向けた接合メニスカスレンズを有する前群Ｇ３Ｆと、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３３と物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ３４とからなり、物体側に凹面を向けた接合メニスカスレンズを有する後群Ｇ３Ｒとから構成される。
【００５７】
表３に第３実施例における各諸元の表を示す。なお、表３における面番号１〜２５は、図５に示す面１〜２５に対応している。
【００５８】
（表３）
［全体諸元］
Ｆ＝8.0，ＮＡ＝1.05，β＝−25，ｄ０＝2.50，ＴＬ＝79.1
［レンズ諸元］
面番号      ｒ        ｄ        ｎｄ        νｄ
１      0.000      2.00      1.4585      67.8
２      -4.140      5.00      2.0033      28.3
３      -7.664      0.10
４      -23.691      3.55      1.4343      95.0
５      -12.978      0.10
６      -71.880      3.66      1.4978      82.5
７      -21.075      0.10
８      -205.844      1.00      1.5174      52.4
９      18.246      11.70      1.4978      82.5
10      -25.514      0.10
11      109.221      1.00      1.8340      37.2
12      23.223      8.70      1.4339      95.2
13      -28.327      0.18
14      26.971      5.73      1.4343      95.0
15      -64.927      0.48
16      32.597      1.32      1.6968      55.5
17      20.236      6.49      1.4339      95.2
18      -27.820      1.00      1.8160      46.6
19      28.740      0.10
20      12.752      5.32      1.4343      95.0
21      71.558      5.63      1.6935      53.2
22      9.892      6.76
23      -8.403      1.14      1.6516      58.5
24      -39.590      5.47      1.8010      35.0
25      -12.344
［各群焦点距離データ］
群番号      群初面    群焦点距離
Ｇ１        １        11.8
Ｇ２        11        124.6
Ｇ３        20        -108.9
［条件式］
条件式（１）Δθ＝-4.2
条件式（２）ｆ１／Ｆ＝3.0
条件式（３）ΔＰ／Δν＝0.0033
条件式（４）｜ｆ３／Ｆ｜＝42.8
【００５９】
表３に示す諸元の表から、本実施例に係る顕微鏡対物レンズでは、上記条件式（１）〜（４）を全て満たすことが分かる。
【００６０】
図６は、ｇ線（波長435.8nm）〜ｓ線（波長852.1nm）に対する、第３実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図であり、（ａ）は球面収差、（ｂ）は非点収差、（ｃ）はコマ収差、（ｄ）は歪曲収差を示す。
【００６１】
図６に示す各収差図から明らかであるように、第３実施例に係る顕微鏡対物レンズでは、広い波長域にわたり諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることが分かる。
【００６２】
（第４実施例）
第４実施例に係る液浸系顕微鏡対物レンズについて、図７、図８及び表４を用いて説明する。第４実施例に係る顕微鏡対物レンズは、図７に示すように、物体側から順に並んだ、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、正の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、負の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とを備えて構成される。
【００６３】
第１レンズ群Ｇ１は、物体側より順に並んだ、物体側に平面を向けた平凸レンズＬ１１と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１２との接合レンズと、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１３と、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１４と、両凸レンズＬ１５と両凹レンズＬ１６と両凸レンズＬ１７との接合レンズとを有する。
【００６４】
第２レンズ群Ｇ２は、物体側より順に並んだ、両凹レンズＬ２１と両凸レンズＬ２２との接合レンズと、両凸レンズＬ２３と両凹レンズＬ２４との接合レンズとを有する。
【００６５】
第３レンズ群Ｇ３は、物体側より順に並んだ、両凸レンズＬ３１と両凹レンズＬ３２とからなり、像側に凹面を向けた接合メニスカスレンズを有する前群Ｇ３Ｆと、両凹レンズＬ３３と両凸レンズＬ３４とからなり、物体側に凹面を向けた接合メニスカスレンズと、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ３５とを有する後群Ｇ３Ｒとから構成される。
【００６６】
表４に第４実施例における各諸元の表を示す。なお、表４における面番号１〜２５は、図７に示す面１〜２５に対応している。
【００６７】
（表４）
［全体諸元］
Ｆ＝10.0，ＮＡ＝1.00，β＝−20，ｄ０＝1.10，ＴＬ＝79.6
［レンズ諸元］
面番号      ｒ        ｄ        ｎｄ        νｄ
１      0.000      1.00      1.4585      67.8
２      -2.200      8.11      1.8348      42.7
３      -9.388      0.10
４      -22.186      3.46      1.4978      82.5
５      -10.442      0.14
６      -72.641      3.30      1.4978      82.5
７      -17.734      0.16
８      40.991      7.30      1.4339      95.2
９      -14.831      1.30      1.5638      60.7
10      29.910      6.20      1.4978      82.5
11      -28.823      0.16
12      -243.629    1.51      1.6134      44.3
13      28.477      7.50      1.4339      95.2
14      -22.268      0.61
15      25.767      6.00      1.4978      82.5
16      -20.000      1.24      1.8160      46.6
17      43.488      0.25
18      13.197      7.03      1.5932      67.9
19      -696.070    5.04      1.7550      52.3
20      9.137      5.60
21      -8.030      2.69      1.6584      50.9
22      189.823      5.98      1.5750      41.5
23      -14.863      0.16
24      -37.021      3.67      1.5174      52.4
25      -16.146
［各群焦点距離データ］
群番号      群初面    群焦点距離
Ｇ１        １        10.5
Ｇ２        12        4489.4
Ｇ３        18        -231.3
［条件式］
条件式（１）Δθ＝2.3
条件式（２）ｆ１／Ｆ＝-6.7
条件式（３）ΔＰ／Δν＝0.0029
条件式（４）｜ｆ３／Ｆ｜＝30.1
【００６８】
表４に示す諸元の表から、本実施例に係る顕微鏡対物レンズでは、上記条件式（１）〜（４）を満たすことが分かる。
【００６９】
図８は、ｇ線（波長435.8nm）〜ｓ線（波長852.1nm）に対する、第４実施例に係る顕微鏡対物レンズの諸収差図であり、（ａ）は球面収差、（ｂ）は非点収差、（ｃ）はコマ収差、（ｄ）は歪曲収差を示す。
【００７０】
図８に示す各収差図から明らかであるように、第４実施例に係る顕微鏡対物レンズでは、広い波長域にわたり諸収差が良好に補正され、優れた結像性能が確保されていることが分かる。
【００７１】
なお、各実施例に係る顕微鏡対物レンズは、いずれも無限遠系補正型のレンズであるため、顕微鏡対物レンズの像側に結像レンズを配置し、顕微鏡対物レンズと結像レンズとの組み合わせにより有限光学系を形成している。ここで、図９及び表５を用いて、上記実施例で使用される結像レンズについて説明する。
【００７２】
図９は、各実施例に係る顕微鏡対物レンズと組み合わせて使用された結像レンズの構成図である。図９に示すように、結像レンズは、物体側から順に並んだ、両凸レンズと両凹レンズとの貼り合せからなる第１接合レンズＭ１と、両凸レンズと両凹レンズとの貼り合せからなる第２接合レンズＭ２とを有する。表５は、この結像レンズの諸元値を示している。なお、表５において、Ｆ´は結像レンズ全系の焦点距離を、面番号は光線の進行する方向に沿った物体側からのレンズ面の順序（以下、面番号と称する）を、ｒは各レンズ面の曲率半径を、ｄは各光学面から次の光学面（又は像面）までの光軸上の距離である面間隔を、ｎｄは各レンズを構成するガラスのｄ線（波長587.6nm）に対する屈折率を、νｄは各レンズを構成するガラスのｄ線に対するアッベ数をそれぞれ示す。
【００７３】
（表５）
［レンズ諸元］
Ｆ´＝200
面番号    ｒ        ｄ        ｎｄ        νｄ
１    75.043      5.1      1.62801      57.03
２    -75.043      2.0      1.74950      35.19
３    1600.580    7.5
４    50.260      5.1      1.66755      41.96
５    -84.541      1.8      1.61266      44.41
６    36.911
【００７４】
なお、本発明を分かりやすくするために、実施形態の構成要件を付して説明したが、本発明がこれに限定されるものではないことは言うまでもない。
【符号の説明】
【００７５】
Ｇ１  第１レンズ群
Ｇ２  第２レンズ群
Ｇ３  第３レンズ群
Ｇ３Ｆ  前群
Ｇ３Ｒ  後群
Ｌ    構成レンズ
【図１】
2011075982.tif 000003
【図２】
2011075982.tif 000004
【図３】
2011075982.tif 000005
【図４】
2011075982.tif 000006
【図５】
2011075982.tif 000007
【図６】
2011075982.tif 000008
【図７】
2011075982.tif 000009
【図８】
2011075982.tif 000010
【図９】
2011075982.tif 000011