(57)【要約】【課題】有機溶剤を含有する原ガスから有機溶剤を濃縮し、濃縮された有機溶剤を酸化燃焼させることで原ガスを清浄化する有機溶剤含有ガス処理システムにおいて、濃縮ガスに含まれる有機溶剤を酸化燃焼させるためのエネルギーの使用量を減らすことができる有機溶剤含有ガス処理システムを提供することを目的とする。【解決手段】原ガスＧ１を供給されることにより有機溶剤を吸着し、脱着用ガスＧ３を供給されることにより濃縮ガスＧ４を排出する濃縮装置１００と、濃縮ガスＧ４を供給され、供給された濃縮ガスＧ４を酸化燃焼させる蓄熱燃焼装置２００と、蓄熱燃焼装置２００の燃焼温度を検出する温度測定器３００とを備え、蓄熱燃焼装置２００は、温度測定器３００の検出値に基づいて、脱着用ガスＧ３の所定の風量を調節し、蓄熱燃焼装置２００の燃焼温度を制御する。【選択図】図１
2011072896.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機溶剤を含有する原ガスから前記有機溶剤を濃縮し、濃縮された前記有機溶剤を酸化燃焼させることで前記原ガスを清浄化する有機溶剤含有ガス処理システムであって、
吸着体を有し、前記原ガスを供給されることにより前記原ガスに含有される前記有機溶剤を前記吸着体に吸着させ、所定の風量の脱着用ガスを供給されることにより前記吸着体に吸着した前記有機溶剤を脱着させ、濃縮ガスを排出する濃縮装置と、
前記濃縮ガスが供給され、供給された前記濃縮ガスを燃焼させることにより、前記濃縮ガスに含有される前記有機溶剤を酸化分解させる蓄熱燃焼装置と、
前記蓄熱燃焼装置の燃焼温度を検出する温度測定器と、
を備え、
前記蓄熱燃焼装置は、前記温度測定器が検出した前記蓄熱燃焼装置の前記燃焼温度に基づいて、前記濃縮装置に供給される前記脱着用ガスの前記所定の風量を調節することにより、前記蓄熱燃焼装置の前記燃焼温度を制御する、
有機溶剤含有ガス処理システム。
【請求項２】
有機溶剤を含有する原ガスから前記有機溶剤を濃縮し、濃縮された前記有機溶剤を酸化燃焼させることで前記原ガスを清浄化する有機溶剤含有ガス処理システムであって、
筒軸の周りに所定の速度で回転する筒状の吸着体と、前記吸着体の回転方向に並んで規定され前記吸着体が回転することにより前記吸着体をその内部に交互に通過させる吸着領域および脱着領域とを有し、前記吸着領域を通過する前記吸着体に前記原ガスを供給されることにより前記原ガスに含有される前記有機溶剤を吸着させ、前記脱着領域を通過する前記有機溶剤を吸着した前記吸着体に脱着用ガスを供給されることにより前記吸着体から前記有機溶剤を脱着させ、濃縮ガスを排出する濃縮装置と、
前記濃縮ガスが供給され、供給された前記濃縮ガスを燃焼させることにより、前記濃縮ガスに含有される前記有機溶剤を酸化分解させる蓄熱燃焼装置と、
前記蓄熱燃焼装置の燃焼温度を検出する温度測定器と、
を備え、
前記蓄熱燃焼装置は、前記温度測定器が検出した前記蓄熱燃焼装置の前記燃焼温度に基づいて、前記濃縮装置の前記吸着体が回転する前記所定の速度を調節することにより、前記蓄熱燃焼装置の前記燃焼温度を制御する、
有機溶剤含有ガス処理システム。
【請求項３】
有機溶剤を含有する原ガスから前記有機溶剤を濃縮し、濃縮された前記有機溶剤を酸化燃焼させることで前記原ガスを清浄化する有機溶剤含有ガス処理システムであって、
複数の吸着体を有し、吸着処理状態にある一の前記吸着体に前記原ガスを供給されることにより前記原ガスに含有される前記有機溶剤を一の前記吸着体に吸着させ、脱着処理状態にある他の前記吸着体に脱着用ガスを供給されることにより他の前記吸着体に吸着されている前記有機溶剤を脱着させ、濃縮ガスを排出する濃縮装置と、
前記濃縮ガスが供給され、供給された前記濃縮ガスを燃焼させることにより、前記濃縮ガスに含有される前記有機溶剤を酸化分解させる蓄熱燃焼装置と、
前記蓄熱燃焼装置の燃焼温度を検出する温度測定器と、
を備え、
前記吸着体は、所定の時間間隔で、交互に、脱着処理状態であった一の前記吸着体が吸着処理状態に切り替えられ、かつ吸着処理状態であった他の前記吸着体が脱着処理状態に切り替えられ、
前記蓄熱燃焼装置は、前記温度測定器が検出した前記蓄熱燃焼装置の前記燃焼温度に基づいて、前記濃縮装置における前記吸着体の吸着処理状態と脱着処理状態とをそれぞれ切り替える前記所定の時間間隔を調節することにより、前記蓄熱燃焼装置の前記燃焼温度を制御する、
有機溶剤含有ガス処理システム。
【請求項４】
有機溶剤を含有する原ガスから前記有機溶剤を濃縮し、濃縮された前記有機溶剤を酸化燃焼させることで前記原ガスを清浄化する有機溶剤含有ガス処理システムであって、
吸着体を有し、前記原ガスを供給されることにより前記原ガスに含有される前記有機溶剤を前記吸着体に吸着させ、所定の風量の脱着用ガスを供給されることにより前記吸着体に吸着した前記有機溶剤を脱着させ、濃縮ガスを排出する濃縮装置と、
前記濃縮ガスが供給され、供給された前記濃縮ガスを燃焼させることにより、前記濃縮ガスに含有される前記有機溶剤を酸化分解させる蓄熱燃焼装置と、
前記蓄熱燃焼装置の燃焼温度を検出する温度測定器と、
前記蓄熱燃焼装置に所定の風量で外気を供給する外気供給装置と、
を備え、
前記蓄熱燃焼装置は、前記温度測定器が検出した前記蓄熱燃焼装置の前記燃焼温度に基づいて、前記外気供給装置から前記蓄熱燃焼装置に供給される前記外気の前記所定の風量を調節することにより、前記蓄熱燃焼装置の前記燃焼温度を制御する、
有機溶剤含有ガス処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機溶剤を含有する有機溶剤含有ガス（以下、原ガスと称する）から有機溶剤を濃縮し、濃縮した有機溶剤を酸化燃焼させることにより、当該原ガスを清浄化する有機溶剤含有ガス処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
各種工場または研究施設などから排出される原ガスは、有機溶剤を含有している。この有機溶剤には、塩素系の有機化合物などが含まれているため、原ガスを直接大気中にそのまま排出することはできない。有機溶剤含有ガス処理システムは、原ガスを物理的または化学的に処理することにより清浄化し、無害な処理済ガスとして排出する。有機溶剤含有ガス処理システムは、一般に、濃縮装置と燃焼装置とを備えている。
【０００３】
濃縮装置には、原ガスが供給される。濃縮装置は、原ガスを供給されると、当該原ガスに含まれる有機溶剤を吸着する。有機溶剤を吸着した濃縮装置には、脱着用ガスが供給される。濃縮装置は、脱着用ガスを供給されると、当該脱着用ガスにより吸着した有機溶剤を脱着する。濃縮装置は、吸着した有機溶剤を脱着することにより、有機溶剤を高濃度に含む濃縮ガスを排出する。一般的に、濃縮ガスに含まれる有機溶剤の濃度は、原ガスに含まれる有機溶剤の濃度の約５倍〜約１５倍（濃縮倍率）である。
【０００４】
燃焼装置には、濃縮装置から排出された濃縮ガスが供給される。燃焼装置は、供給された濃縮ガスを燃焼することにより濃縮ガスに含まれる有機溶剤を酸化分解させ、濃縮ガスを清浄化する。燃焼装置は、濃縮ガスを清浄化することにより、処理済ガスとして排出する。燃焼装置には、原ガスに含まれる有機溶媒を直接バーナーなどで燃焼する直接燃焼方式（直接燃焼装置）、原ガスに含まれる有機溶媒を触媒により酸化分解する触媒燃焼方式（触媒燃焼装置）、および蓄熱材で原ガスを予熱して原ガスに含まれる有機溶媒を燃焼させる蓄熱燃焼方式（蓄熱燃焼装置）などがある。
【０００５】
下記の特許文献１には、濃縮装置と、燃焼装置と、燃焼装置における燃焼状態の変化を検知する手段と、を備えた有機溶剤含有ガス処理システムが開示されている。当該有機溶剤含有ガス処理システムによれば、検知した燃焼装置における燃焼状態の変化に応じて、燃焼装置における燃焼温度を安定させている。
【０００６】
下記の特許文献２および３には、特許文献１に関連する技術が開示されている。特許文献２では、燃焼装置における濃縮ガス供給口と処理済ガス排出口との温度差を検知している。特許文献３では、燃焼装置における処理済ガス排出口の温度を検知している。特許文献２および３に開示される有機溶剤含有ガス処理システムによれば、検知した温度に応じて、燃焼装置における燃焼温度を安定させている。
【０００７】
ところで、特許文献１〜特許文献３に開示されている有機溶剤含有ガス処理システムに使用されている燃焼装置は、直接燃焼装置または触媒燃焼装置である。一般的に、燃焼装置における有機溶剤の自燃濃度は、直接燃焼装置において約２５００ｐｐｍ〜約３０００ｐｐｍであり、触媒燃焼装置において約１０００ｐｐｍ〜約１５００ｐｐｍである。なお、自燃濃度とは、燃焼装置において有機溶剤の酸化燃焼により反応熱が生成され、当該反応熱のみで、燃焼装置が有機溶剤の酸化燃焼反応を継続することができる有機溶剤の濃度のことを言う。
【０００８】
原ガスに含まれる有機溶剤の濃度が、たとえば約２０ｐｐｍ〜約３０ｐｐｍの低濃度である場合、濃縮装置において仮に約３０倍濃縮したとしても、濃縮装置から排出される濃縮ガスに含まれる有機溶剤の濃度は、約６００ｐｐｍ〜約９００ｐｐｍである。この場合、濃縮ガスに含まれる有機溶剤の濃度は、直接燃焼装置または触媒燃焼装置のいずれの自燃濃度にも到達しない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００９−１６０４８４号公報
【特許文献２】特開平１０−０００３３０号公報
【特許文献３】特開平０８−２９００３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
特許文献１〜特許文献３に開示されている有機溶剤含有ガス処理システムによれば、たとえば約２０〜約３０ｐｐｍなどの低濃度の有機溶剤を含有する原ガスを処理する場合、濃縮装置を用いて有機溶剤を濃縮したとしても、濃縮装置から排出される濃縮ガスに含まれる有機溶剤の濃度（約６００ｐｐｍ〜約９００ｐｐｍ）が自燃濃度に到達しない。このため、燃焼装置において濃縮ガスを予熱・昇温させるエネルギー使用量、および濃縮ガスに含まれる有機溶剤を酸化燃焼させるためのエネルギー使用量が増大し、有機溶剤含有ガス処理システムとしてのランニングコストが増加する。
【００１１】
この発明は、上述課題を解決するためになされたものであり、有機溶剤を含有する原ガスから有機溶剤を濃縮し、濃縮された有機溶剤を酸化燃焼させることで原ガスを清浄化する有機溶剤含有ガス処理システムにおいて、濃縮ガスに含まれる有機溶剤を酸化燃焼させるためのエネルギー使用量を減らすことができる有機溶剤含有ガス処理システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の第１の局面に基づく有機溶剤含有ガス処理システムは、有機溶剤を含有する原ガスから上記有機溶剤を濃縮し、濃縮された上記有機溶剤を酸化燃焼させることで上記原ガスを清浄化する有機溶剤含有ガス処理システムであって、吸着体を有し、上記原ガスを供給されることにより上記原ガスに含有される上記有機溶剤を上記吸着体に吸着させ、所定の風量の脱着用ガスを供給されることにより上記吸着体に吸着した上記有機溶剤を脱着させ、濃縮ガスを排出する濃縮装置と、上記濃縮ガスが供給され、供給された上記濃縮ガスを燃焼させることにより、上記濃縮ガスに含有される上記有機溶剤を酸化分解させる蓄熱燃焼装置と、上記蓄熱燃焼装置の燃焼温度を検出する温度測定器と、を備え、上記蓄熱燃焼装置は、上記温度測定器が検出した上記蓄熱燃焼装置の上記燃焼温度に基づいて、上記濃縮装置に供給される上記脱着用ガスの上記所定の風量を調節することにより、上記蓄熱燃焼装置の上記燃焼温度を制御する。
【００１３】
本発明の第２の局面に基づく有機溶剤含有ガス処理システムは、有機溶剤を含有する原ガスから上記有機溶剤を濃縮し、濃縮された上記有機溶剤を酸化燃焼させることで上記原ガスを清浄化する有機溶剤含有ガス処理システムであって、筒軸の周りに所定の速度で回転する筒状の吸着体と、上記吸着体の回転方向に並んで規定され上記吸着体が回転することにより上記吸着体をその内部に交互に通過させる吸着領域および脱着領域とを有し、上記吸着領域を通過する上記吸着体に上記原ガスを供給されることにより上記原ガスに含有される上記有機溶剤を吸着させ、上記脱着領域を通過する上記有機溶剤を吸着した上記吸着体に脱着用ガスを供給されることにより上記吸着体から上記有機溶剤を脱着させ、濃縮ガスを排出する濃縮装置と、上記濃縮ガスが供給され、供給された上記濃縮ガスを燃焼させることにより、上記濃縮ガスに含有される上記有機溶剤を酸化分解させる蓄熱燃焼装置と、上記蓄熱燃焼装置の燃焼温度を検出する温度測定器と、を備え、上記蓄熱燃焼装置は、上記温度測定器が検出した上記蓄熱燃焼装置の上記燃焼温度に基づいて、上記濃縮装置の上記吸着体が回転する上記所定の速度を調節することにより、上記蓄熱燃焼装置の上記燃焼温度を制御する。
【００１４】
本発明の第３の局面に基づく有機溶剤含有ガス処理システムは、有機溶剤を含有する原ガスから上記有機溶剤を濃縮し、濃縮された上記有機溶剤を酸化燃焼させることで上記原ガスを清浄化する有機溶剤含有ガス処理システムであって、複数の吸着体を有し、吸着処理状態にある一の上記吸着体に上記原ガスを供給されることにより上記原ガスに含有される上記有機溶剤を一の上記吸着体に吸着させ、脱着処理状態にある他の上記吸着体に脱着用ガスを供給されることにより他の上記吸着体に吸着されている上記有機溶剤を脱着させ、濃縮ガスを排出する濃縮装置と、上記濃縮ガスが供給され、供給された上記濃縮ガスを燃焼させることにより、上記濃縮ガスに含有される上記有機溶剤を酸化分解させる蓄熱燃焼装置と、上記蓄熱燃焼装置の燃焼温度を検出する温度測定器と、を備え、上記吸着体は、所定の時間間隔で、交互に、脱着処理状態であった一の上記吸着体が吸着処理状態に切り替えられ、かつ吸着処理状態であった他の上記吸着体が脱着処理状態に切り替えられ、上記蓄熱燃焼装置は、上記温度測定器が検出した上記蓄熱燃焼装置の上記燃焼温度に基づいて、上記濃縮装置における上記吸着体の吸着処理状態と脱着処理状態とをそれぞれ切り替える上記所定の時間間隔を調節することにより、上記蓄熱燃焼装置の上記燃焼温度を制御する。
【００１５】
本発明の第４の局面に基づく有機溶剤含有ガス処理システムは、有機溶剤を含有する原ガスから上記有機溶剤を濃縮し、濃縮された上記有機溶剤を酸化燃焼させることで上記原ガスを清浄化する有機溶剤含有ガス処理システムであって、吸着体を有し、上記原ガスを供給されることにより上記原ガスに含有される上記有機溶剤を上記吸着体に吸着させ、所定の風量の脱着用ガスを供給されることにより上記吸着体に吸着した上記有機溶剤を脱着させ、濃縮ガスを排出する濃縮装置と、上記濃縮ガスが供給され、供給された上記濃縮ガスを燃焼させることにより、上記濃縮ガスに含有される上記有機溶剤を酸化分解させる蓄熱燃焼装置と、上記蓄熱燃焼装置の燃焼温度を検出する温度測定器と、上記蓄熱燃焼装置に所定の風量で外気を供ｓ給する外気供給装置と、を備え、上記蓄熱燃焼装置は、上記温度測定器が検出した上記蓄熱燃焼装置の上記燃焼温度に基づいて、上記外気供給装置から上記蓄熱燃焼装置に供給される上記外気の上記所定の風量を調節することにより、上記蓄熱燃焼装置の上記燃焼温度を制御する。
【発明の効果】
【００１６】
この発明によれば、有機溶剤を含有する原ガスから有機溶剤を濃縮し、濃縮された有機溶剤を酸化燃焼させることで原ガスを清浄化する有機溶剤含有ガス処理システムにおいて、濃縮ガスに含まれる有機溶剤を酸化燃焼させるためのエネルギー使用量を減らすことができる有機溶剤含有ガス処理システムを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施の形態１における、有機溶剤含有ガス処理システムの全体構成を示す模式図である。
【図２】実施の形態２における、有機溶剤含有ガス処理システムの全体構成を示す模式図である。
【図３】実施の形態３における、有機溶剤含有ガス処理システムの全体構成を示す模式図である。
【図４】実施の形態４における、有機溶剤含有ガス処理システムの全体構成を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明に基づいた各実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システムついて、以下、図面を参照しながら説明する。以下に説明する各実施の形態において、個数、量などに言及する場合、特に記載がある場合を除き、本発明の範囲は必ずしもその個数、量などに限定されない。以下に説明する各実施の形態において、同一の部品、相当部品に対しては、同一の参照番号を付し、重複する説明は繰り返さない場合がある。
【００１９】
（実施の形態１）
（構成）
図１を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システムＳ１の構成について説明する。有機溶剤含有ガス処理システムＳ１は、濃縮装置１００と、蓄熱式の燃焼装置である蓄熱燃焼装置２００と、温度測定器３００とを備えている。
【００２０】
（濃縮装置１００）
濃縮装置１００は、吸着体１０を有している。濃縮装置１００は、原ガスＧ１を供給されることにより、原ガスＧ１に含有される有機溶剤を吸着体１０に吸着させる。濃縮装置１００は、有機溶剤を吸着体１０に吸着させることで、清浄ガスＧ２を排出する。濃縮装置１００は、所定の風量（詳細は後述する）の脱着用ガスＧ３を供給されることにより、吸着体１０に吸着した有機溶剤を脱着させ、濃縮ガスＧ４を排出する。
【００２１】
濃縮装置１００は、たとえば回転式またはバッチ式の濃縮装置である。本実施の形態では、回転式の濃縮装置１００に基づき説明する。バッチ式の濃縮装置１００ｂについては、実施の形態３の中で詳述する。濃縮装置１００の吸着体１０は筒状であり、筒軸１３の周りに回転可能に設けられている。吸着体１０は、たとえばハニカム構造（ハニカムローター）を呈している。吸着体１０は、矢印ＡＲの方向に一定の速度で回転することができる。矢印ＡＲで示される回転方向に並んで、吸着領域１１および脱着領域１２が規定されている。吸着体１０が回転することにより、吸着体１０は、吸着領域１１および脱着領域１２の内部を交互に通過する。
【００２２】
吸着領域１１には、原ガスＧ１を供給する配管Ｌ１０と、清浄ガスＧ２を排出する配管Ｌ１２とが接続されている。脱着領域１２には、脱着用ガスＧ３を供給する配管Ｌ１４と、濃縮ガスＧ４を排出する配管Ｌ１６とが接続されている。配管Ｌ１４の脱着領域１２の反対側には、ファン１４が接続されている。ファン１４は、制御装置３１０に接続されている。ファン１４は、脱着領域１２に供給する脱着用ガスＧ３の所定の風量を増減させることができる。
【００２３】
（蓄熱燃焼装置２００）
蓄熱式の燃焼装置である蓄熱燃焼装置２００は、濃縮装置１００から濃縮ガスＧ４が供給される。蓄熱燃焼装置２００は、供給された濃縮ガスＧ４を燃焼することにより、濃縮ガスＧ４に含有される有機溶剤を酸化分解させる。蓄熱燃焼装置２００は、たとえば１チャンバー式、１〜３塔式、または多塔式などの蓄熱燃焼装置である。本実施の形態では、２塔式の蓄熱燃焼装置２００に基づき説明する。本発明は、上記いずれの蓄熱燃焼装置にも適用可能である。
【００２４】
蓄熱燃焼装置２００は、燃焼部２１と、蓄熱部２０Ｌと、蓄熱部２０Ｒとを有している。蓄熱部２０Ｌ、燃焼部２１および蓄熱部２０Ｒの内部の空間は、連通している。燃焼部２１には、燃焼部２１を通過する気体を燃焼させるバーナー２８が設けられている。
【００２５】
蓄熱部２０Ｌは、内部に蓄熱体２Ｌを含んでいる。蓄熱部２０Ｌの下部には、供給口２４Ｌおよび排出口２６Ｌが設けられている。供給口２４Ｌには、濃縮ガスＧ４を蓄熱燃焼装置２００に供給する配管Ｌ１８が接続されている。排出口２６Ｌには、処理済のガスを蓄熱燃焼装置２００から処理済ガスＧ５として排出する配管Ｌ２０が接続されている。蓄熱部２０Ｌと蓄熱部２０Ｒとは、同様の構成をしている。
【００２６】
蓄熱部２０Ｒは、内部に蓄熱体２Ｒを含んでいる。蓄熱部２０Ｒの下部には、供給口２４Ｒおよび排出口２６Ｒが設けられている。供給口２４Ｒには、濃縮ガスＧ４を蓄熱燃焼装置２００に供給する配管Ｌ２２が接続されている。排出口２６Ｒには、処理済のガスを蓄熱燃焼装置２００から処理済ガスＧ５として排出する配管Ｌ２４が接続されている。
【００２７】
配管Ｌ１６は、配管Ｌ１８と配管Ｌ２２とに分岐している。配管Ｌ２０と配管Ｌ２４とは、合流して処理済ガスＧ５を排出する配管Ｌ２６に接続されている。配管Ｌ１８，Ｌ２０，Ｌ２２およびＬ２４は、ダンパーＤ１８，Ｄ２０，Ｄ２２およびＤ２４によって、それぞれの開状態／閉状態が切り替えられる。
【００２８】
（温度測定器３００）
温度測定器３００は、蓄熱燃焼装置２００の燃焼温度を検出する。具体的には、温度測定器３００は、蓄熱燃焼装置２００の燃焼部２１を通過する気体を燃焼させるときの、燃焼温度を検出する。温度測定器３００は、制御装置３１０に接続されている。制御装置３１０は、ファン１４に接続されている。蓄熱燃焼装置２００は、温度測定器３００が検出した蓄熱燃焼装置２００の燃焼温度に基づいて制御装置３１０を作動させ、ファン１４から脱着領域１２に供給される脱着用ガスＧ３の風量を増減させる。
【００２９】
（動作）
次に動作について説明する。有機溶剤含有ガス処理システムＳ１は、まず、濃縮装置１００に原ガスＧ１が供給される。
【００３０】
（濃縮装置１００の動作）
吸着体１０は、矢印ＡＲで示される回転方向に一定の速度で連続的に回転する。なお、濃縮装置１００がバッチ式である場合、吸着体１０の吸着処理状態および脱着処理状態は、一定の時間間隔で切り替えられる（濃縮装置１００がバッチ式である場合についての当該動作については、実施の形態３において詳述する）。
【００３１】
吸着体１０が回転することにより、吸着体１０は吸着領域１１に到達する。吸着領域１１に到達した後、吸着領域１１を通過する吸着体１０に、配管Ｌ１０から原ガスＧ１が供給される。供給された原ガスＧ１は、吸着体１０に含まれる吸着剤と接触する。原ガスＧ１に含まれる有機溶剤は、当該吸着剤に吸着される。濃縮装置１００は、吸着剤により有機溶剤を除去された原ガスＧ１を、配管Ｌ１２から清浄ガスＧ２として排出する。
【００３２】
たとえば、配管Ｌ１０においてトルエン濃度約５０ｐｐｍを含んでいた風量約１０００ｍ３／ｍｉｎの原ガスＧ１は、配管Ｌ１２においてトルエン濃度約１ｐｐｍ以下を含む風量約１０００ｍ３／ｍｉｎの清浄ガスＧ２として排出される。
【００３３】
次に、濃縮装置１００に脱着用ガスＧ３が供給される。吸着体１０が矢印ＡＲの方向にさらに回転することにより、吸着体１０は脱着領域１２に到達する。脱着領域１２に到達した後、脱着領域１２を通過する吸着体１０に、配管Ｌ１４を通して原ガスＧ１よりも高温の、所定の風量の脱着用ガスＧ３が供給される。脱着用ガスＧ３が供給されることにより、吸着体１０の吸着剤に吸着していた有機溶剤が、吸着体１０から脱着される。有機溶剤が脱着されることにより、配管Ｌ１６から、濃縮ガスＧ４が排出される。
【００３４】
たとえば、ファン１４により風量を約１００ｍ３／ｍｉｎに設定された脱着用ガスＧ３が供給されると、一定の速度で回転している吸着体１０からトルエン濃度約５００ｐｐｍを含む風量約１００ｍ３／ｍｉｎの濃縮ガスＧ４が排出される。
【００３５】
吸着体１０は、脱着領域１２において有機溶剤が脱着されることにより再生される。再生された吸着体１０は、さらに矢印ＡＲの方向に回転することにより吸着領域１１に到達する。吸着体１０は、再び原ガスＧ１を供給され、原ガスＧ１に含まれる有機溶剤を吸着する。濃縮装置１００は、上記の一連の動作を繰り返すことにより、大量の原ガスＧ１を連続的に濃縮することができる。
【００３６】
（蓄熱燃焼装置２００の動作）
濃縮装置１００から排出された濃縮ガスＧ４は、配管Ｌ１６を通過して蓄熱燃焼装置２００の供給口２４Ｌまたは供給口２４Ｒのいずれか一方に供給される。
【００３７】
（矢印ＡＲ１方向）
濃縮ガスＧ４が、供給口２４Ｌから蓄熱燃焼装置２００へ供給される場合について説明する（図中矢印ＡＲ１方向）。濃縮ガスＧ４を供給口２４Ｌから蓄熱燃焼装置２００へ供給するために、配管Ｌ１６から分岐して接続されている配管Ｌ１８は、ダンパーＤ１８により開状態となっている。配管Ｌ１６から分岐して接続されている配管Ｌ２２は、ダンパーＤ２２により閉状態となっている。
【００３８】
供給口２４Ｌから蓄熱燃焼装置２００へ供給された濃縮ガスＧ４を、排出口２６Ｒから排出するために、排出口２６Ｌに接続されている配管Ｌ２０は、ダンパーＤ２０により閉状態となっている。排出口２６Ｒに接続されている配管Ｌ２４は、ダンパーＤ２４により開状態となっている。これにより、濃縮ガスＧ４は、配管Ｌ１６から配管Ｌ１８を通過して、供給口２４Ｌから蓄熱燃焼装置２００に供給され、排出口２６Ｒから外部（配管Ｌ２４）に排出される。
【００３９】
供給口２４Ｌから蓄熱燃焼装置２００の内部に供給された濃縮ガスＧ４は、その上方にある蓄熱部２０Ｌに通流される。濃縮ガスＧ４は、蓄熱部２０Ｌの内部の蓄熱体２Ｌにより予熱され、所定の温度まで昇温される。このときの蓄熱部２０Ｌは、熱エネルギーを濃縮ガスＧ４に与えている。所定の温度となった濃縮ガスＧ４は、さらに上昇して燃焼部２１に到達する。濃縮ガスＧ４は、燃焼部２１においてバーナー２８によりたとえば約８００℃で燃焼される。濃縮ガスＧ４に含有される有機溶剤は、その約９９％以上が酸化分解される。
【００４０】
有機溶剤を酸化分解された濃縮ガスＧ４は、燃焼部２１により燃焼されて昇温状態にある。この状態で、燃焼部２１において無害化された濃縮ガスＧ４は、その下方にある蓄熱部２０Ｒに通流される。無害化された濃縮ガスＧ４は、蓄熱部２０Ｒの内部の蓄熱体２Ｒにより熱を回収され（熱交換）、濃縮ガスＧ４が有していた熱エネルギーを蓄熱体２Ｒに放出する。このときの蓄熱部２０Ｒは、熱エネルギーを濃縮ガスＧ４から与えられている。濃縮ガスＧ４は、当該熱交換により冷却され、処理済ガスＧ５として排出口２６Ｒから排出される。
【００４１】
排出口２６Ｒから排出された処理済ガスＧ５は、配管Ｌ２４を通過して、配管Ｌ２６から排出される。たとえば、供給口２４Ｌにおいてトルエン濃度約５００ｐｐｍを含んでいた風量約１００ｍ３／ｍｉｎの濃縮ガスＧ４は、排出口２６Ｒにおいてトルエン濃度約１ｐｐｍ以下を含む風量約１００ｍ３／ｍｉｎの処理済ガスＧ５として排出される。
【００４２】
（矢印ＡＲ２方向）
次に、濃縮ガスＧ４が、供給口２４Ｒから蓄熱燃焼装置２００へ供給される場合について説明する（図中矢印ＡＲ２方向）。濃縮ガスＧ４を供給口２４Ｒから蓄熱燃焼装置２００へ供給するために、配管Ｌ１６から分岐して接続されている配管Ｌ１８は、ダンパーＤ１８により閉状態となっている。配管Ｌ１６から分岐して接続されている配管Ｌ２２は、ダンパーＤ２２により開状態となっている。
【００４３】
供給口２４Ｒから蓄熱燃焼装置２００へ供給された濃縮ガスＧ４を、排出口２６Ｌから排出するために、排出口２６Ｌに接続されている配管Ｌ２０は、ダンパーＤ２０により開状態となっている。排出口２６Ｒに接続されている配管Ｌ２４は、ダンパーＤ２４により閉状態となっている。これにより、濃縮ガスＧ４は、配管Ｌ１６から配管Ｌ２２を通過して、供給口２４Ｒから蓄熱燃焼装置２００に供給され、排出口２６Ｌから外部（配管Ｌ２０）に排出される。
【００４４】
有機溶剤含有ガス処理システムＳ１は、たとえば約３分の間隔で、濃縮ガスＧ４を供給口２４Ｌから供給することと、濃縮ガスＧ４を供給口２４Ｒから供給することとを、上記の各ダンパーＤ１８，Ｄ２０，Ｄ２２，Ｄ２４の操作により切り替えている。これにより、濃縮ガスＧ４の供給経路と処理済ガスＧ５の排出経路とが切り替えられ、濃縮ガスＧ４の供給方向と処理済ガスＧ５の排出方向とが反転している。当該切り替えは、有機溶剤含有ガス処理システムＳ１を連続的に稼動させるため、交互に繰り返し行われる。
【００４５】
上記の各ダンパーＤ１８，Ｄ２０，Ｄ２２，Ｄ２４の操作により、濃縮ガスＧ４の供給方向と処理済ガスＧ５の排出方向とが反転し、濃縮ガスＧ４は供給口２４Ｒから供給される。供給口２４Ｒから蓄熱燃焼装置２００の内部に供給された濃縮ガスＧ４は、その上方にある蓄熱部２０Ｒに通流される。濃縮ガスＧ４は、蓄熱部２０Ｒの内部の蓄熱体２Ｒにより予熱され、所定の温度まで昇温される。このときの蓄熱部２０Ｒは、熱エネルギーを濃縮ガスＧ４に与えている。
【００４６】
蓄熱部２０Ｒは、濃縮ガスＧ４を供給口２４Ｌから供給していたときには、濃縮ガスＧ４の熱エネルギーを回収（熱交換）していた。したがって、濃縮ガスＧ４を供給口２４Ｒから供給するときには、蓄熱体２Ｒは当該熱エネルギーを再利用して濃縮ガスＧ４を所定の温度まで昇温させることが可能となる。
【００４７】
所定の温度となった濃縮ガスＧ４は、さらに上昇して燃焼部２１に到達する。濃縮ガスＧ４は、燃焼部２１においてバーナー２８によりたとえば約８００℃で燃焼される。濃縮ガスＧ４に含有される有機溶剤は、その約９９％以上が酸化分解される。
【００４８】
有機溶剤を酸化分解された濃縮ガスＧ４は、燃焼部２１により燃焼されて昇温状態にある。この状態で、燃焼部２１において無害化された濃縮ガスＧ４は、その下方にある蓄熱部２０Ｌに通流される。無害化された濃縮ガスＧ４は、蓄熱部２０Ｌの内部の蓄熱体２Ｌにより熱を回収され（熱交換）、濃縮ガスＧ４が有していた熱エネルギーを蓄熱体２Ｌに放出する。このときの蓄熱部２０Ｌは、熱エネルギーを濃縮ガスＧ４から与えられている。濃縮ガスＧ４は、当該熱交換により冷却され、処理済ガスＧ５として排出口２６Ｌから排出される。
【００４９】
排出口２６Ｌから排出された処理済ガスＧ５は、配管Ｌ２０を通過して、配管Ｌ２６から排出される。たとえば、供給口２４Ｒにおいてトルエン濃度約５００ｐｐｍを含んでいた風量約１００ｍ３／ｍｉｎの濃縮ガスＧ４は、排出口２６Ｌにおいてトルエン濃度約１ｐｐｍ以下を含む風量約１００ｍ３／ｍｉｎの処理済ガスＧ５として排出される。
【００５０】
（温度測定器３００の動作）
温度測定器３００は、上述のとおり、蓄熱燃焼装置２００の燃焼部２１を通過する気体を燃焼させるときの、燃焼温度を検出する。蓄熱燃焼装置２００は、温度測定器３００が検出した蓄熱燃焼装置２００の燃焼温度に基づいて制御装置３１０を作動させることにより、ファン１４から脱着領域１２に供給される脱着用ガスＧ３の風量を増減させる。本実施の形態においては、ファン１４から風量約１００ｍ３／ｍｉｎの脱着用ガスＧ３が、脱着領域１２に供給されている。
【００５１】
（効果）
有機溶剤含有ガス処理システムＳ１によれば、約１００ｍ３／ｍｉｎの脱着用ガスＧ３が脱着領域１２に供給されることにより、濃縮装置１００の脱着領域１２から、濃度約５００ｐｐｍの有機溶剤を含む風量約１００ｍ３／ｍｉｎの濃縮ガスＧ４が排出されている。
【００５２】
一般的に、蓄熱燃焼装置における有機溶剤の自燃濃度は約６００ｐｐｍ〜約１０００ｐｐｍである。冒頭の説明のとおり、直接燃焼装置における有機溶剤の自燃濃度は約２５００ｐｐｍ〜約３０００ｐｐｍであり、触媒燃焼装置における有機溶剤の自燃濃度は約１０００ｐｐｍ〜約１５００ｐｐｍである。
【００５３】
濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤の濃度が約５００ｐｐｍである場合、蓄熱燃焼装置２００と、直接燃焼装置および触媒燃焼装置とを比較した場合、蓄熱燃焼装置２００における有機溶剤の自燃濃度との濃度差が最も小さい。
【００５４】
したがって、有機溶剤含有ガス処理システムＳ１によれば、蓄熱燃焼装置２００は、（直接燃焼装置および触媒燃焼装置に比べて）より少ないエネルギー使用量により、濃縮ガスＧ４をたとえば約８００℃に昇温（助燃とも言う）させ、かつ濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤を酸化燃焼させることが可能となる。
【００５５】
ここで、原ガスＧ１に含まれる有機溶剤の濃度が低下したと仮定する。また、蓄熱体２Ｌ（または蓄熱体２Ｒ）により濃縮ガスＧ４を予熱するエネルギー使用量、および、バーナー２８により濃縮ガスＧ４を約８００℃に昇温するエネルギー使用量が、濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤の濃度が低下する前後において一定であるとする。
【００５６】
この場合、まず、ファン１４により風量約１００ｍ３／ｍｉｎの脱着用ガスＧ３が脱着領域１２に供給されると、吸着体１０が一定の速度で回転しているため、排出される濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤の濃度は低くなる。濃縮ガスＧ４を予熱および昇温させる上記各エネルギー使用量が一定であるため、蓄熱燃焼装置２００における濃縮ガスＧ４の燃焼温度が下がる（濃縮装置１００がバッチ式である場合についての当該動作については、実施の形態３において後述する）。
【００５７】
燃焼温度が下がることにより、蓄熱燃焼装置２００において、濃縮ガスＧ４を十分に燃焼させることができなくなる。その結果、濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤を酸化分解するためには、上記各エネルギー使用量を増加させる必要が生じる。
【００５８】
有機溶剤含有ガス処理システムＳ１によれば、原ガスＧ１に含まれる有機溶剤の濃度が低下することにより蓄熱燃焼装置２００における燃焼温度が低下したことを、温度測定器３００が検出する。蓄熱燃焼装置２００は、温度測定器３００が検出した蓄熱燃焼装置２００の燃焼温度の低下に応じて制御装置３１０を作動させ、ファン１４から脱着領域１２に供給される脱着用ガスＧ３の風量を減少させる。
【００５９】
脱着領域１２に供給される脱着用ガスＧ３の風量が減少することで、脱着領域１２から排出される濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤の濃度は高くなる。蓄熱燃焼装置２００に供給される濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤の濃度が高くなると、濃縮ガスＧ４を予熱および昇温させる上記各エネルギー使用量が、濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤の濃度が低下する前後において一定であっても、蓄熱燃焼装置２００における濃縮ガスＧ４の燃焼温度は下がらない。
【００６０】
燃焼温度が下がらないため、蓄熱燃焼装置２００において、濃縮ガスＧ４を十分に燃焼させることが可能となる。有機溶剤含有ガス処理システムＳ１によれば、上記各エネルギー使用量を増加させることなく、濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤を酸化分解させることが可能となる。
【００６１】
一方、原ガスＧ１に含まれる有機溶剤の濃度が高くなり、原ガスＧ１に含まれる有機溶剤（トルエン）の濃度がたとえば約１００ｐｐｍに上昇したと仮定する。また、濃縮ガスＧ４を予熱および昇温させる上記各エネルギー使用量が、濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤の濃度が上昇する前後において一定であるとする。
【００６２】
この場合、まず、ファン１４により風量約１００ｍ３／ｍｉｎの脱着用ガスＧ３が脱着領域１２に供給されると、吸着体１０が一定の速度で回転しているため、排出される濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤の濃度も高くなり、たとえば約１０００ｐｐｍに上昇する。濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤の濃度が高くなると、上記各エネルギー使用量が一定であるため、蓄熱燃焼装置２００における濃縮ガスＧ４の燃焼温度も高くなり、たとえば約８６５℃に上昇する。
【００６３】
濃縮ガスＧ４の燃焼温度が、蓄熱燃焼装置２００において設計されている所定の耐熱温度（たとえば約８５０℃）を超えると、蓄熱燃焼装置２００（たとえば、ハニカム形状であるセラミック製の蓄熱体２Ｌ，２Ｒ）が破損する。当該破損を防止するためには、上記各エネルギー使用量を減少させる必要が生じる。ところが、一旦、上記各エネルギー使用量を減少させると、原ガスＧ１に含まれる有機溶剤の濃度が所定の濃度に戻ったあと、ふたたび上記各エネルギー使用量を増加させるためには多くのエネルギー（燃料）使用量が必要になる。
【００６４】
有機溶剤含有ガス処理システムＳ１によれば、原ガスＧ１に含まれる有機溶剤の濃度が高くなったことにより蓄熱燃焼装置２００における燃焼温度が上昇したことを、温度測定器３００が検出する。蓄熱燃焼装置２００は、温度測定器３００が検出した蓄熱燃焼装置２００の燃焼温度の上昇に応じて制御装置３１０を作動させ、ファン１４から脱着領域１２に供給される脱着用ガスＧ３の風量を増加させる。
【００６５】
脱着領域１２に供給される脱着用ガスＧ３の風量が増加することで、脱着領域１２から排出される濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤の濃度は低下する。蓄熱燃焼装置２００に供給される濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤の濃度が低下すると、蓄熱体２Ｌ（または蓄熱体２Ｒ）により濃縮ガスＧ４を予熱するエネルギー使用量、および、バーナー２８により濃縮ガスＧ４を約８００℃に昇温するエネルギー使用量が、濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤の濃度が低下する前後において一定であっても、蓄熱燃焼装置２００における濃縮ガスＧ４の燃焼温度は上昇しない。
【００６６】
燃焼温度が上昇しないため、原ガスＧ１に含まれる有機溶剤の濃度上昇により蓄熱燃焼装置２００が破損することを防止できる。有機溶剤含有ガス処理システムＳ１によれば、蓄熱燃焼装置２００が原ガスＧ１に含まれる有機溶剤の濃度の上昇に伴って、上記各エネルギー使用量を減少させたり、ふたたび上記各エネルギー使用量を増加させたりする必要がない。有機溶剤含有ガス処理システムＳ１によれば、エネルギー使用量を増加させることなく、濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤を酸化分解させることが可能となる。
【００６７】
（実施の形態２）
（構成）
図２を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システムＳ２の構成について説明する。有機溶剤含有ガス処理システムＳ２は、濃縮装置１００ａと、蓄熱式の燃焼装置である蓄熱燃焼装置２００と、温度測定器３００とを備えている。
【００６８】
上述した実施の形態１における濃縮装置１００は、回転式またはバッチ式の濃縮装置である。一方、本実施の形態における濃縮装置１００ａは、回転式の濃縮装置である。
【００６９】
実施の形態１においては、吸着体１０が一定の速度で回転する回転式の濃縮装置１００に基づいて説明した。一方、本実施の形態における濃縮装置１００ａの吸着体１０は、回転速度可変装置１５ａにより、その回転速度が増減する。その他の濃縮装置１００ａについての構成は、実施の形態１の濃縮装置１００と同様である。
【００７０】
回転速度可変装置１５ａは、制御装置３１０に接続されている。回転速度可変装置１５ａは、吸着体１０が回転する速度を増減させることができる。実施の形態１においては、脱着用ガスＧ３は、ファン１４により、その風量が増減するという構成に基づいて説明した。一方、本実施の形態における脱着用ガスＧ３は、一定の風量で濃縮装置１００ａの脱着領域１２に供給される。その他の構成については、実施の形態１と略同様である。
【００７１】
（動作）
有機溶剤含有ガス処理システムＳ２の動作は、実施の形態１における有機溶剤含有ガス処理システムＳ１と、濃縮装置１００ａにおいて相違し、蓄熱燃焼装置２００および温度測定器３００において略同様である。濃縮装置１００ａは、回転速度可変装置１５ａにより吸着体１０の回転する速度が増減させられている。本実施の形態においては、吸着体１０は、回転速度約２ｒｐｈで回転している。
【００７２】
（効果）
有機溶剤含有ガス処理システムＳ２によれば、吸着体１０が回転速度約２ｒｐｈで回転することにより、濃縮装置１００の脱着領域１２から、たとえば濃度約５００ｐｐｍの有機溶剤を含む風量約１００ｍ３／ｍｉｎの濃縮ガスＧ４が排出されている。濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤の濃度が約５００ｐｐｍである場合、実施の形態１の説明において述べたように、蓄熱燃焼装置２００と、直接燃焼装置および触媒燃焼装置とを比較した場合、蓄熱燃焼装置２００における有機溶剤の自燃濃度との濃度差が最も小さい。
【００７３】
したがって、実施の形態１と同様に、有機溶剤含有ガス処理システムＳ２によれば、蓄熱燃焼装置２００は、（直接燃焼装置および触媒燃焼装置に比べて）より少ないエネルギー使用量により、濃縮ガスＧ４をたとえば約８００℃に昇温（助燃とも言う）させ、かつ濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤を酸化燃焼させることが可能となる。
【００７４】
ここで、原ガスＧ１に含まれる有機溶剤の濃度が低下したと仮定する。この場合、実施の形態１と同様に、蓄熱燃焼装置２００における濃縮ガスＧ４の燃焼温度が低下する。その結果、実施の形態１と同様に、濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤を酸化分解するためには、濃縮ガスＧ４を予熱および昇温させる各エネルギー使用量を増加させる必要が生じる。
【００７５】
有機溶剤含有ガス処理システムＳ２によれば、原ガスＧ１に含まれる有機溶剤の濃度が低下することにより蓄熱燃焼装置２００における燃焼温度が低下したことを、温度測定器３００が検出する。蓄熱燃焼装置２００は、温度測定器３００が検出した蓄熱燃焼装置２００の燃焼温度の低下に応じて制御装置３１０を作動させ、回転速度可変装置１５ａが吸着体１０を回転させる速度を遅くする。
【００７６】
吸着体１０の回転速度が遅くなることで、脱着領域１２から排出される濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤の濃度は高くなる。これにより、有機溶剤含有ガス処理システムＳ２によれば、実施の形態１と同様に、上記各エネルギー使用量を増加させることなく、濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤を酸化分解させることが可能となる。
【００７７】
一方、原ガスＧ１に含まれる有機溶剤の濃度が高くなり、原ガスＧ１に含まれる有機溶剤（トルエン）の濃度がたとえば約１００ｐｐｍに上昇した仮定する。この場合、実施の形態１と同様に、蓄熱燃焼装置２００における濃縮ガスＧ４の燃焼温度も高くなり、約１０００ｐｐｍになる。これに伴い、蓄熱燃焼装置２００における濃縮ガスＧ４の燃焼温度も高くなり、約８６５℃に上昇する。
【００７８】
蓄熱燃焼装置２００の破損を防止するためには、実施の形態１と同様に、濃縮ガスＧ４を予熱および昇温させる各エネルギー使用量を減少させたり、ふたたび上記各エネルギー使用量を増加させたりするための多くのエネルギー（燃料）が必要になる。
【００７９】
有機溶剤含有ガス処理システムＳ２によれば、原ガスＧ１に含まれる有機溶剤の濃度が高くなったことにより蓄熱燃焼装置２００における燃焼温度が上昇したことを、温度測定器３００が検出する。蓄熱燃焼装置２００は、温度測定器３００が検出した蓄熱燃焼装置２００の燃焼温度の上昇に応じて制御装置３１０を作動させ、回転速度可変装置１５ａが吸着体１０を回転させる回転速度を速くする。
【００８０】
吸着体１０の回転速度が速くなることで、脱着領域１２から排出される濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤の濃度は低下する。たとえば、吸着体１０の回転速度が約４ｒｐｈになると、脱着領域１２から排出される有機溶剤の濃度は約５００ｐｐｍに低下する。また、蓄熱燃焼装置２００における濃縮ガスＧ４の燃焼温度は、約８００℃に低下する。
【００８１】
これにより、有機溶剤含有ガス処理システムＳ２によれば、実施の形態１と同様に、エネルギー使用量を増加させることなく、濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤を酸化分解させることが可能となる。
【００８２】
（実施の形態３）
（構成）
図３を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システムＳ３の構成について説明する。有機溶剤含有ガス処理システムＳ３は、濃縮装置１００ｂと、蓄熱式の燃焼装置である蓄熱燃焼装置２００と、温度測定器３００とを備えている。上述した実施の形態２における濃縮装置１００ａは、回転式の濃縮装置である。一方、本実施の形態における濃縮装置１００ｂは、バッチ式の濃縮装置である。
【００８３】
（濃縮装置１００ｂ）
濃縮装置１００ｂは、吸着体１０Ｌを含む第１処理槽１１０と、吸着体１０Ｒを含む第２処理槽１２０とを有している。第１処理槽１１０および第２処理槽１２０には、配管Ｌ１０，Ｌ１２，Ｌ１４，Ｌ１６がそれぞれ接続されている。
【００８４】
配管Ｌ１０は、有機溶剤を含有する原ガスＧ１を第１処理槽１１０および第２処理槽１２０に供給する。配管Ｌ１０は、バルブＶ１０Ｌ，Ｖ１０Ｒによって第１処理槽１１０および第２処理槽１２０に対する接続／非接続状態が切り替えられる。配管Ｌ１２は、清浄ガスＧ２を第１処理槽１１０および第２処理槽１２０から排出する。配管Ｌ１２は、バルブＶ１２Ｌ，Ｖ１２Ｒによって第１処理槽１１０および第２処理槽１２０に対する接続／非接続状態が切り替えられる。
【００８５】
配管Ｌ１４は、脱着用ガスＧ３を第１処理槽１１０および第２処理槽１２０に供給する。配管Ｌ１４は、バルブＶ１４Ｌ，Ｖ１４Ｒによって第１処理槽１１０および第２処理槽１２０に対する接続／非接続状態が切り替えられる。配管Ｌ１６は、濃縮ガスＧ４を第１処理槽１１０および第２処理槽１２０から排出する。配管Ｌ１６は、バルブＶ１０Ｌ，Ｖ１０Ｒによって第１処理槽１１０および第２処理槽１２０に対する接続／非接続状態が切り替えられる。
【００８６】
第１処理槽１１０と第２処理槽１２０とは、バルブ切替装置１５ｂにより各バルブ（Ｖ１０Ｌ，Ｖ１０Ｒ，Ｖ１２Ｌ，Ｖ１２Ｒ，Ｖ１４Ｌ，Ｖ１４Ｒ）の開閉を操作することによって、交互に、吸着処理状態および脱着処理状態とが切り替えられる。第１処理槽１１０の吸着体１０Ｌが吸着処理状態である場合には、第２処理槽１２０の吸着体１０Ｒが脱着処理状態である。第１処理槽１１０の吸着体１０Ｌが脱着処理状態である場合には、第２処理槽１２０の吸着体１０Ｒが吸着処理状態である。
【００８７】
濃縮装置１００ｂにおいては、制御装置３１０に接続されたバルブ切替装置１５ｂにより、吸着体１０Ｌ，１０Ｒの吸着処理状態と脱着処理状態とが、所定の時間間隔で交互に切り替わるように構成されている。蓄熱燃焼装置２００は、温度測定器３００が検出した蓄熱燃焼装置２００の燃焼温度に基づいて制御装置３１０を作動させ、バルブ切替装置１５ｂが吸着体１０Ｌ，１０Ｒの吸着処理状態と脱着処理状態とを切り替える時間間隔を増減させる。
【００８８】
蓄熱燃焼装置２００および温度測定器３００のその他の構成については、実施の形態１および２と略同様である。なお、本実施の形態における脱着用ガスＧ３は、実施の形態２と同様に、一定の風量で濃縮装置１００ｂの脱着領域１２に供給される。
【００８９】
（動作）
吸着体１０Ｌおよび吸着体１０Ｒは、原ガスＧ１と接触することで原ガスＧ１に含有されている有機溶剤を吸着する。濃縮装置１００ｂにおいては、吸着体１０Ｌまたは吸着体１０Ｒに、原ガスＧ１を供給することで、有機溶剤が当該吸着体によって吸着される。これにより原ガスＧ１が清浄化され、清浄ガスＧ２が排出される。
【００９０】
吸着体１０Ｌおよび吸着体１０Ｒは、脱着用ガスＧ３を供給することで吸着した有機溶剤を脱着する。これにより、脱着用ガスＧ３を供給することで有機溶剤が吸着体１０Ｌおよび吸着体１０Ｒから脱着され、脱着用ガスＧ３が有機溶剤を含有する濃縮ガスＧ４として排出される。
【００９１】
配管Ｌ１０は、吸着処理状態である吸着体１０Ｌまたは吸着体１０Ｒの一方に接続され、当該吸着体に原ガスＧ１を供給する。配管Ｌ１２は、吸着処理状態である吸着体１０Ｌまたは吸着体１０Ｒの一方に接続され、当該吸着体から清浄ガスＧ２を排出する。配管Ｌ１４は、脱着処理状態である吸着体１０Ｌまたは吸着体１０Ｒの一方に接続され、当該脱着体に脱着用ガスＧ３を供給する。配管Ｌ１６は、脱着処理状態である吸着体１０Ｌまたは吸着体１０Ｒの一方に接続され、当該吸着体から濃縮ガスＧ４を排出する。
【００９２】
濃縮装置１００ｂにおいては、バルブ切替装置１５ｂにより各バルブ（Ｖ１０Ｌ，Ｖ１０Ｒ，Ｖ１２Ｌ，Ｖ１２Ｒ，Ｖ１４Ｌ，Ｖ１４Ｒ）の接続／非接続状態が切り替えられ、脱着処理状態である吸着体１０Ｌが吸着処理状態に移行し、かつ吸着処理状態であった吸着体１０Ｒが処理状態領域に移行し、これが交互に繰り返される。
【００９３】
濃縮装置１００ｂにおいては、たとえば、配管Ｌ１０においてトルエン濃度約５０ｐｐｍを含んでいた風量約１０００ｍ３／ｍｉｎの原ガスＧ１は、配管Ｌ１２においてトルエン濃度約１ｐｐｍ以下を含む風量約１０００ｍ３／ｍｉｎの清浄ガスＧ２として排出される。また、風量約１００ｍ３／ｍｉｎの脱着用ガスＧ３が配管Ｌ１４から供給されると、トルエン濃度約５００ｐｐｍを含む風量約１００ｍ３／ｍｉｎの濃縮ガスＧ４が配管Ｌ１６から排出される。
【００９４】
蓄熱燃焼装置２００の動作は、実施の形態１および２と略同様である。蓄熱燃焼装置２００は、温度測定器３００が検出した蓄熱燃焼装置２００の燃焼温度に基づいて制御装置３１０を作動させ、バルブ切替装置１５ｂが各吸着体の吸着処理状態と脱着処理状態とをそれぞれ切り替える時間間隔を増減させている。本実施の形態においては、各吸着体１０Ｌ，１０Ｒの吸着処理状態と脱着処理状態とは、約２０分の時間間隔で切り替えられている。
【００９５】
（効果）
有機溶剤含有ガス処理システムＳ３によれば、各吸着体１０Ｌ，１０Ｒの吸着処理状態と脱着処理状態とが約２０分の時間間隔で切り替えられることにより、濃縮装置１００ｂの脱着領域１２から、たとえば濃度約５００ｐｐｍの有機溶剤を含む風量約１００ｍ３／ｍｉｎの濃縮ガスＧ４が排出されている。
【００９６】
濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤の濃度が約５００ｐｐｍである場合、実施の形態１および２の説明において述べたように、蓄熱燃焼装置２００と、直接燃焼装置および触媒燃焼装置とを比較した場合、蓄熱燃焼装置２００における有機溶剤の自燃濃度との濃度差が最も小さい。
【００９７】
したがって、実施の形態１および２と同様に、有機溶剤含有ガス処理システムＳ２によれば、蓄熱燃焼装置２００は、（直接燃焼装置および触媒燃焼装置に比べて）より少ないエネルギー使用量により、濃縮ガスＧ４をたとえば約８００℃に昇温（助燃とも言う）させ、かつ濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤を酸化燃焼させることが可能となる。
【００９８】
ここで、原ガスＧ１に含まれる有機溶剤の濃度が低下したと仮定する。この場合、実施の形態１および２と同様に、蓄熱燃焼装置２００における濃縮ガスＧ４の燃焼温度が低下する。その結果、実施の形態１および２と同様に、濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤を酸化分解するためには、濃縮ガスＧ４を予熱および昇温させる各エネルギー使用量を増加させる必要が生じる。
【００９９】
有機溶剤含有ガス処理システムＳ３によれば、原ガスＧ１に含まれる有機溶剤の濃度が低下することにより蓄熱燃焼装置２００における燃焼温度が低下したことを、温度測定器３００が検出する。蓄熱燃焼装置２００は、温度測定器３００が検出した蓄熱燃焼装置２００の燃焼温度の低下に応じて制御装置３１０を作動させ、バルブ切替装置１５ｂが各吸着体１０Ｌ，１０Ｒの吸着処理状態と脱着処理状態とを切り替える時間間隔を長くする。
【０１００】
各吸着体１０Ｌ，１０Ｒの吸着処理状態と脱着処理状態とを切り替えられる時間間隔が長くなることで、脱着領域１２から排出される濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤の濃度は高くなる。これにより、有機溶剤含有ガス処理システムＳ３によれば、実施の形態１および２と同様に、上記各エネルギー使用量を増加させることなく、濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤を酸化分解させることが可能となる。
【０１０１】
一方、原ガスＧ１に含まれる有機溶剤の濃度が高くなり、原ガスＧ１に含まれる有機溶剤（トルエン）の濃度がたとえば約１００ｐｐｍに上昇したと仮定する。この場合、実施の形態１および２と同様に、蓄熱燃焼装置２００における濃縮ガスＧ４の燃焼温度も高くなり、約１０００ｐｐｍになる。これに伴い、蓄熱燃焼装置２００における濃縮ガスＧ４の燃焼温度も高くなり、約８６５℃に上昇する。
【０１０２】
蓄熱燃焼装置２００の破損を防止するためには、実施の形態１および２と同様に、濃縮ガスＧ４を予熱および昇温させる各エネルギー使用量を減少させたり、ふたたび上記各エネルギー使用量を増加させたりするための多くのエネルギー（燃料）が必要になる。
【０１０３】
有機溶剤含有ガス処理システムＳ３によれば、原ガスＧ１に含まれる有機溶剤の濃度が高くなったことにより蓄熱燃焼装置２００における燃焼温度が上昇したことを、温度測定器３００が検出する。蓄熱燃焼装置２００は、温度測定器３００が検出した蓄熱燃焼装置２００の燃焼温度の上昇に応じて制御装置３１０を作動させ、バルブ切替装置１５ｂが各吸着体１０Ｌ，１０Ｒの吸着処理状態と脱着処理状態とを切り替える時間間隔を短くする。
【０１０４】
各吸着体１０Ｌ，１０Ｒの吸着処理状態と脱着処理状態とを切り替えられる時間間隔が短くなることで、脱着領域１２から排出される濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤の濃度は低くなる。たとえば、各吸着体１０Ｌ，１０Ｒの吸着処理状態と脱着処理状態とを切り替える時間間隔が約１０分になると、脱着領域１２から排出される有機溶剤の濃度は約５００ｐｐｍに低下する。また、蓄熱燃焼装置２００における濃縮ガスＧ４の燃焼温度は、約８００℃に低下する。
【０１０５】
これにより、有機溶剤含有ガス処理システムＳ３によれば、実施の形態１および２と同様に、エネルギー使用量を増加させることなく、濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤を酸化分解させることが可能となる。
【０１０６】
（実施の形態４）
（構成）
図４を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システムＳ４の構成について説明する。有機溶剤含有ガス処理システムＳ４は、濃縮装置１００と、蓄熱式の燃焼装置である蓄熱燃焼装置２００と、温度測定器３００と、外気供給装置４００とを備えている。濃縮装置１００は、実施の形態１と同様に、回転式またはバッチ式の濃縮装置である。蓄熱燃焼装置２００および温度測定器３００は、実施の形態１〜３と略同様である。
【０１０７】
（外気供給装置４００）
外気供給装置４００は、配管Ｌ１６に接続された配管Ｌ２８を通して、蓄熱燃焼装置２００に所定の風量で外気Ｇ６を供給する。外気供給装置４００は、制御装置３１０に接続されている。蓄熱燃焼装置２００は、温度測定器３００が検出した蓄熱燃焼装置２００の燃焼温度に基づいて制御装置３１０を作動させることにより、外気供給装置４００が蓄熱燃焼装置２００に供給する外気Ｇ６の風量を増減させる。なお、外気Ｇ６の風量を増減させるとは、外気供給装置４００が蓄熱燃焼装置２００に外気Ｇ６を全く供給しない場合も含む。
【０１０８】
なお、本実施の形態における濃縮装置１００の吸着体１０は、実施の形態１と同様に、矢印ＡＲで示される回転方向に一定の速度で連続的に回転する。本実施の形態における脱着用ガスＧ３は、実施の形態２および３と同様に、一定の風量で濃縮装置１００の脱着領域１２に供給される。
【０１０９】
（動作）
濃縮装置１００および蓄熱燃焼装置２００の動作は、実施の形態１と同様である。温度測定器３００は、上述のとおり、蓄熱燃焼装置２００の燃焼部２１を通過する気体を燃焼させるときの、燃焼温度を検出する。蓄熱燃焼装置２００は、温度測定器３００が検出した蓄熱燃焼装置２００の燃焼温度に基づいて制御装置３１０を作動させ、外気供給装置４００が蓄熱燃焼装置２００に供給する外気Ｇ６の風量を増減させている。
【０１１０】
（効果）
有機溶剤含有ガス処理システムＳ４によれば、約１００ｍ３／ｍｉｎの脱着用ガスＧ３が脱着領域１２に供給されることにより、濃縮装置１００の脱着領域１２から、たとえばトルエン濃度約５００ｐｐｍを含む風量約１００ｍ３／ｍｉｎの濃縮ガスＧ４が排出されている。なお、外気供給装置４００は、蓄熱燃焼装置２００に所定の風量の外気Ｇ６を供給している。
【０１１１】
濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤の濃度が約５００ｐｐｍである場合、実施の形態１〜３の説明において述べたように、蓄熱燃焼装置２００と、直接燃焼装置および触媒燃焼装置とを比較した場合、蓄熱燃焼装置２００における有機溶剤の自燃濃度との濃度差が最も小さい。
【０１１２】
したがって、実施の形態１〜３と同様に、有機溶剤含有ガス処理システムＳ４によれば、蓄熱燃焼装置２００は、（直接燃焼装置および触媒燃焼装置に比べて）より少ないエネルギー使用量により、濃縮ガスＧ４をたとえば約８００℃に昇温（助燃とも言う）させ、かつ濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤を酸化燃焼させることが可能となる。
【０１１３】
ここで、原ガスＧ１に含まれる有機溶剤の濃度が低下したと仮定する。この場合、実施の形態１〜３と同様に、蓄熱燃焼装置２００における濃縮ガスＧ４の燃焼温度が低下する。その結果、実施の形態１〜３と同様に、濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤を酸化分解するためには、濃縮ガスＧ４を予熱および昇温させる各エネルギー使用量を増加させる必要が生じる。
【０１１４】
有機溶剤含有ガス処理システムＳ４によれば、原ガスＧ１に含まれる有機溶剤の濃度が低下することにより蓄熱燃焼装置２００における燃焼温度が低下したことを、温度測定器３００が検出する。蓄熱燃焼装置２００は、温度測定器３００が検出した蓄熱燃焼装置２００の燃焼温度の低下に応じて制御装置３１０を作動させ、外気供給装置４００が蓄熱燃焼装置２００に供給する外気Ｇ６の風量を減らす。
【０１１５】
蓄熱燃焼装置２００に供給される外気Ｇ６の風量が減少することで、蓄熱燃焼装置２００に供給される濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤の濃度は高くなる。これにより、有機溶剤含有ガス処理システムＳ４によれば、実施の形態１〜３と同様に、上記各エネルギー使用量を増加させることなく、濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤を酸化分解させることが可能となる。
【０１１６】
一方、原ガスＧ１に含まれる有機溶剤の濃度が高くなり、原ガスＧ１に含まれる有機溶剤（トルエン）の濃度がたとえば約１００ｐｐｍに上昇したと仮定する。この場合、実施の形態１〜３と同様に、蓄熱燃焼装置２００における濃縮ガスＧ４の燃焼温度も高くなり、約１０００ｐｐｍになる。これに伴い、蓄熱燃焼装置２００における濃縮ガスＧ４の燃焼温度も高くなり、約８６５℃に上昇する。
【０１１７】
蓄熱燃焼装置２００の破損を防止するためには、実施の形態１〜３と同様に、濃縮ガスＧ４を予熱および昇温させる各エネルギー使用量を減少させたり、ふたたび上記各エネルギー使用量を増加させたりするための多くのエネルギー（燃料）が必要になる。
【０１１８】
有機溶剤含有ガス処理システムＳ４によれば、原ガスＧ１に含まれる有機溶剤の濃度が高くなったことにより蓄熱燃焼装置２００における燃焼温度が上昇したことを、温度測定器３００が検出する。蓄熱燃焼装置２００は、温度測定器３００が検出した蓄熱燃焼装置２００の燃焼温度の上昇に応じて制御装置３１０を作動させ、外気供給装置４００が蓄熱燃焼装置２００に供給する外気Ｇ６の風量を増加させる。
【０１１９】
外気供給装置４００から送り出される外気Ｇ６の風量が増加することで、蓄熱燃焼装置２００に供給される濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤の濃度は低くなる。たとえば、外気供給装置４００が送り出していた外気Ｇ６の風量が、約０ｍ３／ｍｉｎから約１００ｍ３／ｍｉｎに増加したとする。濃縮装置１００からは、風量約１００ｍ３／ｍｉｎの濃縮ガスＧ４が排出されているため、蓄熱燃焼装置２００には、濃縮ガスＧ４と外気Ｇ６との合計として、風量約２００ｍ３／ｍｉｎの被処理ガス（希釈化された濃縮ガスＧ４）が供給される。
【０１２０】
蓄熱燃焼装置２００に供給される被処理ガスに含まれる有機溶剤の濃度は、希釈化されて約５００ｐｐｍに低下する。また、蓄熱燃焼装置２００における濃縮ガスＧ４の燃焼温度は、約８００℃に低下する。
【０１２１】
これにより、有機溶剤含有ガス処理システムＳ４によれば、実施の形態１〜３と同様に、エネルギー使用量を増加させることなく、濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤を酸化分解させることが可能となる。
【０１２２】
以上説明したとおり、有機溶剤含有ガス処理システムＳ１〜Ｓ４によれば、濃縮ガスに含まれる有機溶剤を酸化燃焼させるためのエネルギー使用量を増加させること無く、有機溶剤を含有する原ガスから有機溶剤を回収し、回収された有機溶剤を酸化分解させることで原ガスを清浄化することが可能となる。
【０１２３】
なお、実施の形態１の構成は、実施の形態２〜４のいずれかまたはすべての構成と組み合わせることが可能である。実施の形態２の構成は、実施の形態４の構成と組み合わせることが可能である。実施の形態３の構成は、実施の形態４の構成を組み合わせることが可能である。
【０１２４】
以上、本発明の発明を実施するための形態について説明したが、今回開示された形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【０１２５】
２Ｌ，２Ｒ  蓄熱体、１０，１０Ｌ，１０Ｒ  吸着体、１１  吸着領域、１２  脱着領域、１３  筒軸、１４  ファン、１５ａ  回転速度可変装置、１５ｂ  バルブ切替装置、２０Ｌ，２０Ｒ  蓄熱部、２１  燃焼部、２４Ｌ，２４Ｒ  供給口、２６Ｌ，２６Ｒ  排出口、２８  バーナー、１００，１００ａ，１００ｂ  濃縮装置、１１０  第１処理槽、１２０  第２処理槽、２００，２００ａ  蓄熱燃焼装置、３００  温度測定器、３１０  制御装置、４００  外気供給装置、ＡＲ，ＡＲ１，ＡＲ２  矢印、Ｄ１８，Ｄ２０，Ｄ２２，Ｄ２４  ダンパー、Ｇ１  原ガス、Ｇ２  清浄ガス、Ｇ３  脱着用ガス、Ｇ４  濃縮ガス、Ｇ５  処理済ガス、Ｇ６  外気、Ｌ１０，Ｌ１２，Ｌ１４，Ｌ１６，Ｌ１８，Ｌ２０，Ｌ２２，Ｌ２４，Ｌ２６，Ｌ２８  配管、Ｓ１〜Ｓ４  有機溶剤含有ガス処理システム、Ｖ１０Ｌ，Ｖ１０Ｒ，Ｖ１２Ｌ，Ｖ１２Ｒ，Ｖ１４Ｌ，Ｖ１４Ｒ  バルブ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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