(57)【要約】      （修正有）【課題】多種多量の測定値を簡単、正確に比較する。【解決手段】画面１００に、複数の真空処理の測定値のグラフ１３２を表示させ、第一、第二のメジャー線１０１、１０２を表示させ、第一、第二のメジャー線１０１、１０２が位置するＸ軸上の第一、第二の時刻と、第一、第二の時刻にそれぞれ対応する表示したグラフ１３２の測定値である第一、第二の測定値を表示する。第一、第二のメジャー線１０１、１０２は移動させることができ、第一、第二の時刻と、各グラフ１３２に付き、一本のグラフ１３２中の第一、第二の測定値の差を表示させると、グラフデータの分析が容易になる。【選択図】図５
2011090527.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、
前記真空処理部から送信された複数の測定値を、前記測定値が生成された測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、
前記測定値を演算する演算装置と、
前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有するデータ解析プログラムであって、
前記演算装置により、前記記憶装置内に記憶された複数のロットの前記測定値が読み込まれ、読み込まれた前記測定値の前記測定時刻を各前記真空処理毎に定められた基準時刻からの時刻に換算されたＸ軸上換算時刻が求められ、
前記基準時刻はＸ−Ｙ座標のＸ軸上の所定位置にされ、前記測定値は、前記Ｘ軸上換算時刻から前記Ｘ軸上の位置が求められ、前記測定値の大きさから前記Ｘ−Ｙ座標のＹ軸上の位置が求められ、同一の前記真空処理に対応付けられた複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とから一のグラフが生成され、読み込まれた前記測定値によって複数の前記グラフが前記Ｘ−Ｙ座標と共に前記表示装置に表示され、
表示された複数の前記グラフのうち、二個以上の前記グラフが選択され、前記Ｘ軸に含まれる前記Ｘ軸上換算時刻の範囲内の第一の時刻が指示されると、選択された前記グラフ毎に、前記Ｘ軸上換算時刻が前記第一の時刻に最も近い前記測定値が第一の測定値として特定され、
異なる前記グラフの前記第一の測定値同士の差の値と、前記第一の測定値とが、前記表示装置に表示されるように構成されたデータ解析プログラム。
【請求項２】
前記第一の時刻に加え、前記Ｘ軸に含まれる前記Ｘ軸上換算時刻の範囲内の第二の時刻が指示されると、選択された前記グラフ毎に、前記Ｘ軸上換算時刻が前記第二の時刻に最も近い前記測定値が第二の測定値として特定され、
一の前記グラフの前記第一の測定値と、他の前記グラフの前記第二の測定値との差の値と、前記第二の測定値とも前記表示装置に表示されるように構成された請求項１記載のデータ解析プログラム。
【請求項３】
表示された複数の前記グラフのうち、二個以上の前記グラフが選択でき、
選択された前記グラフに含まれる測定値から、前記第一、第二の測定値が特定される請求項２記載のデータ解析プログラム。
【請求項４】
異なる前記グラフ間の前記第二の測定値同士の差の値も前記表示装置に表示される請求項２又は請求項３のいずれか１項記載のデータ解析プログラム。
【請求項５】
前記第一の時刻と前記第二の時刻が前記表示装置に表示される請求項２乃至請求項４のいずれか１項記載のデータ解析プログラム。
【請求項６】
前記第一の時刻と前記第二の時刻の差である時間が前記表示装置に表示される請求項２乃至請求項５のいずれか１項記載のデータ解析プログラム。
【請求項７】
Ｘ座標が前記第一の時刻である前記Ｘ−Ｙ座標上の点を通り、前記Ｘ軸と垂直な第一のメジャー線と、
Ｘ座標が前記第二の時刻である前記Ｘ−Ｙ座標上の点を通り、前記Ｘ軸と垂直な第二のメジャー線とが表示され、
前記第一、第二のメジャー線の位置を変更すると、前記第一、第二の時刻は、変更された前記第一、第二のメジャー線が示す前記Ｘ軸上換算時刻にそれぞれ変更されるように構成された請求項２乃至請求項６のいずれか１項記載のデータ解析プログラム。
【請求項８】
前記真空処理を行う装置を動作させる動作信号と、前記動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が、前記動作を開始する開始時刻と前記動作を停止する停止時刻と共に、前記真空処理に対応付けて前記記憶装置に記憶され、
前記演算装置によって、前記記憶装置に記憶された前記制御信号の前記開始時刻と前記停止時刻が前記基準時刻からの時刻に換算された時間軸上換算時刻が求められ、
前記Ｘ軸と離間した位置に時間軸が前記Ｘ軸と平行に表示され、
前記基準時刻は前記時間軸上の所定位置にされ、前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにされて前記制御信号の前記開始時刻と前記停止時刻の前記時間軸上換算時刻から、前記開始時刻と前記停止時刻の前記時間軸上の位置が求められ、
前記動作信号と前記停止信号を示す横線分には前記時間軸からの高さに差が設けられ、前記横線分の端部同士を結ぶ縦線分と前記横線分とを有する折線で前記制御信号が表示されるように構成された請求項７記載のデータ解析プログラム。
【請求項９】
前記Ｘ−Ｙ座標には、表示された前記制御信号によって行われた前記真空処理の前記測定値の前記グラフ含まれるように構成された請求項８記載のデータ解析プログラム。
【請求項１０】
前記第一、第二のメジャー線の延長線上に、前記制御信号の表示と交叉する第三、第四のメジャー線がそれぞれ表示され、
前記第一、第二のメジャー線の位置が変更されると、前記第三、第四のメジャー線の位置は、位置が変更された前記第一、第二のメジャー線の延長線上に移動され、
前記第三、第四のメジャー線の位置が変更されると、前記第一、第二のメジャー線の位置は、位置が変更された前記第三、第四のメジャー線の延長線上にそれぞれ移動されるように構成された請求項９記載のデータ解析プログラム。
【請求項１１】
真空槽内に処理対象物を配置し前記処理対象物を真空処理する真空処理部が測定値を送信し、前記測定値を生成した測定時刻と共に前記真空処理に対応させて記憶装置に記憶し、
前記記憶装置内に記憶された複数回の前記真空処理に対応する前記測定値を読み込み、読み込んだ前記測定値の前記測定時刻を各前記真空処理毎に定めた基準時刻からの時刻に換算したＸ軸上換算時刻を求め、
前記基準時刻をＸ−Ｙ座標のＸ軸上の所定位置にし、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ座標上の位置を求め、前記測定値の大きさから前記測定値のＹ軸上の位置を求め、同一の前記真空処理に対応付けられた複数の前記測定値の前記Ｘ座標と前記Ｙ座標とから一のグラフを生成し、読み込まれた前記測定値によって複数の前記グラフを前記Ｘ−Ｙ座標と共に前記表示装置に表示し、
表示された複数の前記グラフのうち、二個以上の前記グラフが選択され、前記Ｘ軸に含まれる前記Ｘ軸上換算時刻の範囲内の第一の時刻が指示されると、選択された前記グラフ毎に、前記Ｘ軸上換算時刻が前記第一の時刻に最も近い前記測定値を第一の測定値として特定し、
異なる前記グラフの前記第一の測定値同士の差の値と、前記第一の測定値とを、前記表示装置に表示するグラフデータの分析方法。
【請求項１２】
前記第一の時刻に加え、前記Ｘ軸に含まれる前記Ｘ軸上換算時刻の範囲内の第二の時刻が指示されると、選択された前記グラフ毎に、前記Ｘ軸上換算時刻が前記第二の時刻に最も近い前記測定値を第二の測定値として特定し、
一の前記グラフの前記第一の測定値と、他の前記グラフの前記第二の測定値との差の値と、前記第二の測定値とも前記表示装置に表示する請求項１１記載のグラフデータの分析方法。
【請求項１３】
表示された複数の前記グラフのうち、二個以上の前記グラフを選択できるようにされ、
選択された前記グラフに含まれる測定値から、前記第一、第二の測定値を特定する請求項１２記載のグラフデータの分析方法。
【請求項１４】
異なる前記グラフ間の前記第二の測定値同士の差の値も前記表示装置に表示する請求項１２又は請求項１３のいずれか１項記載のグラフデータの分析方法。
【請求項１５】
前記第一の時刻と前記第二の時刻が前記表示装置に表示される請求項１２乃至請求項１４のいずれか１項記載のグラフデータの分析方法。
【請求項１６】
前記第一の時刻と前記第二の時刻の差である時間が前記表示装置に表示される請求項１２乃至請求項１５のいずれか１項記載のグラフデータの分析方法。
【請求項１７】
Ｘ座標が前記第一の時刻である前記Ｘ−Ｙ座標上の点を通り、前記Ｘ軸と垂直な第一のメジャー線と、
Ｘ座標が前記第二の時刻である前記Ｘ−Ｙ座標上の点を通り、前記Ｘ軸と垂直な第二のメジャー線とを表示し、
前記第一、第二のメジャー線の位置は変更できるように構成され、
変更されると、前記第一、第二の時刻を、変更された前記第一、第二のメジャー線が示すＸ軸上換算時刻にそれぞれ変更させる請求項１２乃至請求項１６のいずれか１項記載のグラフデータの分析方法。
【請求項１８】
前記真空処理を行う装置を動作させる動作信号と、前記動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号を、前記動作を開始する開始時刻と前記動作を停止する停止時刻と共に、前記真空処理に対応付けて前記記憶装置に記憶しておき、
前記演算装置は、前記記憶装置に記憶された前記制御信号の前記開始時刻と前記停止時刻を前記基準時刻からの時刻に換算して時間軸上換算時刻を求め、
前記Ｘ軸と離間した位置に時間軸を前記Ｘ軸と平行に表示し、
前記基準時刻を前記時間軸上の所定位置にし、前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記制御信号の前記開始時刻と前記停止時刻の前記時間軸上換算時刻から、前記開始時刻と前記停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、
前記動作信号と前記停止信号を示す横線分には前記時間軸からの高さに差を設け、前記横線分の端部同士を結ぶ縦線分と前記横線分とを有する折線で前記制御信号を表示し、
前記動作信号と前記停止信号に前記時間軸からの高さに差を設け、前記開始時刻と前記停止時刻を結ぶ折線で前記制御信号を表示する請求項１７記載のグラフデータの分析方法。
【請求項１９】
前記Ｘ−Ｙ座標には、表示された前記制御信号によって行われた前記真空処理の前記測定値の前記グラフ含ませる請求項１８記載のグラフデータの分析方法。
【請求項２０】
前記第一、第二のメジャー線の延長線上に、前記制御信号の表示と交叉する第三、第四のメジャー線をそれぞれ表示し、
前記第一、第二のメジャー線の位置が変更されると、前記第三、第四のメジャー線の位置を、位置が変更された前記第一、第二のメジャー線の延長線上に移動させ、
前記第三、第四のメジャー線の位置が変更されると、前記第一、第二のメジャー線の位置を、位置が変更された前記第三、第四のメジャー線の延長線上にそれぞれ移動させる請求項１９記載のグラフデータの分析方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空処理装置の技術分野に係り、特に、真空処理装置を用いた量産技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空処理技術は、スパッタリング方法、ＣＶＤ方法、蒸着方法等の成膜技術や、エッチング技術、表面改質技術、不純物注入技術、真空乾燥技術等があり、広い分野で用いられている。
真空処理技術によって同一品種の製品を量産する場合、同一規格の処理対象物に同じ真空処理を行うが、品質にバラツキが発生する。
品質のバラツキが生じた原因を確認する場合や、バラツキが不良品を発生させないように製造工程を管理する場合、動作中の真空処理装置の状態を測定し、測定結果をロット間で比較、検証することが行われている。
【０００３】
特に、真空処理装置内の機器の動作電流量、温度、圧力等の差違をロット間や真空処理装置間で定量的に確認しようとする場合、製造工程中に測定して測定値を記憶しておき、検査装置によって測定値をグラフ化し、その形の比較を行っていた。
しかしながら、真空処理装置内の測定対象の機器が増加し、また、測定する項目である物理量の種類も増え、大量の測定値をグラフ化して比較することが困難になっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−８０８４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は上記従来技術の問題点を解決する技術を提供することを課題としており、本発明によれば、多種多量の測定値を簡単、正確に比較することが可能となる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明は、真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、前記真空処理部から送信された複数の測定値を、前記測定値が生成された測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、前記測定値を演算する演算装置と、前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有するデータ解析プログラムであって、前記演算装置により、前記記憶装置内に記憶された複数のロットの前記測定値が読み込まれ、読み込まれた前記測定値の前記測定時刻を各前記真空処理毎に定められた基準時刻からの時刻に換算されたＸ軸上換算時刻が求められ、前記基準時刻はＸ−Ｙ座標のＸ軸上の所定位置にされ、前記測定値は、前記Ｘ軸上換算時刻から前記Ｘ軸上の位置が求められ、前記測定値の大きさから前記Ｘ−Ｙ座標のＹ軸上の位置が求められ、同一の前記真空処理に対応付けられた複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とから一のグラフが生成され、読み込まれた前記測定値によって複数の前記グラフが前記Ｘ−Ｙ座標と共に前記表示装置に表示され、表示された複数の前記グラフのうち、二個以上の前記グラフが選択され、前記Ｘ軸に含まれる前記Ｘ軸上換算時刻の範囲内の第一の時刻が指示されると、選択された前記グラフ毎に、前記Ｘ軸上換算時刻が前記第一の時刻に最も近い前記測定値が第一の測定値として特定され、異なる前記グラフの前記第一の測定値同士の差の値と、前記第一の測定値とが、前記表示装置に表示されるように構成されたデータ解析プログラムである。
また、本発明は、前記第一の時刻に加え、前記Ｘ軸に含まれる前記Ｘ軸上換算時刻の範囲内の第二の時刻が指示されると、選択された前記グラフ毎に、前記Ｘ軸上換算時刻が前記第二の時刻に最も近い前記測定値が第二の測定値として特定され、一の前記グラフの前記第一の測定値と、他の前記グラフの前記第二の測定値との差の値と、前記第二の測定値とも前記表示装置に表示されるように構成されたデータ解析プログラムである。
また、本発明は、表示された複数の前記グラフのうち、二個以上の前記グラフが選択でき、選択された前記グラフに含まれる測定値から、前記第一、第二の測定値が特定されるデータ解析プログラムである。
また、本発明は、異なる前記グラフ間の前記第二の測定値同士の差の値も前記表示装置に表示されるデータ解析プログラムである。
また、本発明は、前記第一の時刻と前記第二の時刻が前記表示装置に表示されるデータ解析プログラムである。
また、本発明は、前記第一の時刻と前記第二の時刻の差である時間が前記表示装置に表示されるデータ解析プログラムである。
また、本発明は、Ｘ座標が前記第一の時刻である前記Ｘ−Ｙ座標上の点を通り、前記Ｘ軸と垂直な第一のメジャー線と、Ｘ座標が前記第二の時刻である前記Ｘ−Ｙ座標上の点を通り、前記Ｘ軸と垂直な第二のメジャー線とが表示され、前記第一、第二のメジャー線の位置を変更すると、前記第一、第二の時刻は、変更された前記第一、第二のメジャー線が示す前記Ｘ軸上換算時刻にそれぞれ変更されるように構成されたデータ解析プログラムである。
また、本発明は、前記真空処理を行う装置を動作させる動作信号と、前記動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が、前記動作を開始する開始時刻と前記動作を停止する停止時刻と共に、前記真空処理に対応付けて前記記憶装置に記憶され、前記演算装置によって、前記記憶装置に記憶された前記制御信号の前記開始時刻と前記停止時刻が前記基準時刻からの時刻に換算された時間軸上換算時刻が求められ、前記Ｘ軸と離間した位置に時間軸が前記Ｘ軸と平行に表示され、前記基準時刻は前記時間軸上の所定位置にされ、前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにされて前記制御信号の前記開始時刻と前記停止時刻の前記時間軸上換算時刻から、前記開始時刻と前記停止時刻の前記時間軸上の位置が求められ、前記動作信号と前記停止信号を示す横線分には前記時間軸からの高さに差が設けられ、前記横線分の端部同士を結ぶ縦線分と前記横線分とを有する折線で前記制御信号が表示されるように構成されたデータ解析プログラムである。
また、本発明は、前記Ｘ−Ｙ座標には、表示された前記制御信号によって行われた前記真空処理の前記測定値の前記グラフ含まれるように構成されたデータ解析プログラムである。
また、本発明は、前記第一、第二のメジャー線の延長線上に、前記制御信号の表示と交叉する第三、第四のメジャー線がそれぞれ表示され、前記第一、第二のメジャー線の位置が変更されると、前記第三、第四のメジャー線の位置は、位置が変更された前記第一、第二のメジャー線の延長線上に移動され、前記第三、第四のメジャー線の位置が変更されると、前記第一、第二のメジャー線の位置は、位置が変更された前記第三、第四のメジャー線の延長線上にそれぞれ移動されるように構成されたデータ解析プログラムである。
また、本発明は、真空槽内に処理対象物を配置し前記処理対象物を真空処理する真空処理部が測定値を送信し、前記測定値を生成した測定時刻と共に前記真空処理に対応させて記憶装置に記憶し、前記記憶装置内に記憶された複数回の前記真空処理に対応する前記測定値を読み込み、読み込んだ前記測定値の前記測定時刻を各前記真空処理毎に定めた基準時刻からの時刻に換算したＸ軸上換算時刻を求め、前記基準時刻をＸ−Ｙ座標のＸ軸上の所定位置にし、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ座標上の位置を求め、前記測定値の大きさから前記測定値のＹ軸上の位置を求め、同一の前記真空処理に対応付けられた複数の前記測定値の前記Ｘ座標と前記Ｙ座標とから一のグラフを生成し、読み込まれた前記測定値によって複数の前記グラフを前記Ｘ−Ｙ座標と共に前記表示装置に表示し、表示された複数の前記グラフのうち、二個以上の前記グラフが選択され、前記Ｘ軸に含まれる前記Ｘ軸上換算時刻の範囲内の第一の時刻が指示されると、選択された前記グラフ毎に、前記Ｘ軸上換算時刻が前記第一の時刻に最も近い前記測定値を第一の測定値として特定し、異なる前記グラフの前記第一の測定値同士の差の値と、前記第一の測定値とを、前記表示装置に表示するグラフデータの分析方法である。
また、本発明は、前記第一の時刻に加え、前記Ｘ軸に含まれる前記Ｘ軸上換算時刻の範囲内の第二の時刻が指示されると、選択された前記グラフ毎に、前記Ｘ軸上換算時刻が前記第二の時刻に最も近い前記測定値を第二の測定値として特定し、一の前記グラフの前記第一の測定値と、他の前記グラフの前記第二の測定値との差の値と、前記第二の測定値とも前記表示装置に表示するグラフデータの分析方法である。
また、本発明は、表示された複数の前記グラフのうち、二個以上の前記グラフを選択できるようにされ、選択された前記グラフに含まれる測定値から、前記第一、第二の測定値を特定するグラフデータの分析方法である。
また、本発明は、異なる前記グラフ間の前記第二の測定値同士の差の値も前記表示装置に表示するグラフデータの分析方法である。
また、本発明は、前記第一の時刻と前記第二の時刻が前記表示装置に表示されるグラフデータの分析方法である。
また、本発明は、前記第一の時刻と前記第二の時刻の差である時間が前記表示装置に表示されるグラフデータの分析方法である。
また、本発明は、Ｘ座標が前記第一の時刻である前記Ｘ−Ｙ座標上の点を通り、前記Ｘ軸と垂直な第一のメジャー線と、Ｘ座標が前記第二の時刻である前記Ｘ−Ｙ座標上の点を通り、前記Ｘ軸と垂直な第二のメジャー線とを表示し、前記第一、第二のメジャー線の位置は変更できるように構成され、変更されると、前記第一、第二の時刻を、変更された前記第一、第二のメジャー線が示すＸ軸上換算時刻にそれぞれ変更させるグラフデータの分析方法である。
また、本発明は、前記真空処理を行う装置を動作させる動作信号と、前記動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号を、前記動作を開始する開始時刻と前記動作を停止する停止時刻と共に、前記真空処理に対応付けて前記記憶装置に記憶しておき、前記演算装置は、前記記憶装置に記憶された前記制御信号の前記開始時刻と前記停止時刻を前記基準時刻からの時刻に換算して時間軸上換算時刻を求め、前記Ｘ軸と離間した位置に時間軸を前記Ｘ軸と平行に表示し、前記基準時刻を前記時間軸上の所定位置にし、前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記制御信号の前記開始時刻と前記停止時刻の前記時間軸上換算時刻から、前記開始時刻と前記停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、前記動作信号と前記停止信号を示す横線分には前記時間軸からの高さに差を設け、前記横線分の端部同士を結ぶ縦線分と前記横線分とを有する折線で前記制御信号を表示し、前記動作信号と前記停止信号に前記時間軸からの高さに差を設け、前記開始時刻と前記停止時刻を結ぶ折線で前記制御信号を表示するグラフデータの分析方法である。
また、本発明は、前記Ｘ−Ｙ座標には、表示された前記制御信号によって行われた前記真空処理の前記測定値の前記グラフ含ませるグラフデータの分析方法である。
また、本発明は、前記第一、第二のメジャー線の延長線上に、前記制御信号の表示と交叉する第三、第四のメジャー線をそれぞれ表示し、前記第一、第二のメジャー線の位置が変更されると、前記第三、第四のメジャー線の位置を、位置が変更された前記第一、第二のメジャー線の延長線上に移動させ、前記第三、第四のメジャー線の位置が変更されると、前記第一、第二のメジャー線の位置を、位置が変更された前記第三、第四のメジャー線の延長線上にそれぞれ移動させるグラフデータの分析方法である。
【発明の効果】
【０００７】
真空処理同士の処理内容を簡単に比較することができるので、真空処理の分析を行うことができる。
ロット間の真空処理を比較できるので、真空処理を行った処理対象物の特性を、真空処理毎に検討をすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の真空処理装置を説明するためのブロック図
【図２】本発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(１)
【図３】本発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(２)
【図４】本発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(３)
【図５】本発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(４)
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１の符号１は、本発明の真空処理装置の一例であり、真空処理部２０を有している。
真空処理部２０は、真空槽１１を有している。
真空槽１１の内部には、処理対象物である基板の真空処理を行う処理機器群２３が配置されている。
【００１０】
処理機器群２３は、複数の処理機器を有しており、ここでは処理機器には、真空槽１１の底面に配置された蒸着源３４と、蒸着源３４に電子線を照射するＥＢガン３３と、蒸着源３４の上方に配置された保持装置３１と、保持装置３１の内部に配置されたヒータ３２とが含まれる。
【００１１】
図１の符号１５は、処理対象物である基板であり、成膜面を蒸着源３４に向けて保持装置３１に保持されている。
真空槽１１の外部には周辺機器群２４と制御部２１とが配置されている。
周辺機器群２４は、複数の周辺機器を有しており、ここでは周辺機器には、真空排気系３６と、ガス導入系３７と、ヒータ用電源３８と、蒸着用電源３９とが含まれている。
【００１２】
真空排気系３６とガス導入系３７は真空槽１１に接続されており、真空排気系３６を動作させて真空槽１１の内部を真空排気することができ、ガス導入系３７を動作させて真空槽１１の内部にガス導入系３７から反応性ガス等のガスを導入でき、例えば反応性蒸着を行うことができる。
【００１３】
ヒータ用電源３８と蒸着用電源３９は、ヒータ３２とＥＢガン３３にそれぞれ接続されており、ヒータ用電源３８と蒸着用電源３９からヒータ３２と蒸着源３４にそれぞれ電力を供給する。
ヒータ３２は供給された電力で発熱し、保持装置３１を昇温させて真空雰囲気中で基板１５を加熱する。ＥＢガン３３は供給された電力で蒸着源３４に電子ビームを照射し、蒸着源３４内に配置された蒸着材料を加熱し、真空槽１１内の真空雰囲気中に蒸着材料の蒸気を放出させる。
この蒸気は真空雰囲気や反応ガス雰囲気中で基板１５に到達し、その成膜面に薄膜を形成する。
【００１４】
周辺機器群２４には、処理機器群２３に含まれる処理機器にセンサ部分が取り付けられ、温度測定や圧力測定などの物理量の測定を行う測定装置も含まれており、また、ヒータ用電源３８や蒸着用電源３９等の内部に配置され、電流や電圧等の物理量を測定する測定装置も含まれている。
周辺機器群２４では、周辺機器群２４に含まれる周辺機器が測定した真空槽１１内の圧力、基板１５の温度、ガス導入量、ヒータ３２へ流れた電流量、ＥＢガン３３に供給した電力等の測定値が生成されており、測定値は、測定値と測定値の発生時刻とが対応されて、周辺機器群２４から制御部２１に入力されている。
【００１５】
制御部２１には、シーケンサ４１とコンピュータ４０とが配置されており、周辺機器群２４から入力された測定値と測定時刻は、シーケンサ４１を介してコンピュータ４０に入力される。
コンピュータ４０のデータ解析プログラム４５は、演算装置４２と、記憶装置４３と、表示装置４４とを有しており、入力された測定値は、測定時刻と共に記憶装置４３に記憶される。
【００１６】
真空槽１１では、真空処理がされた基板１５は真空槽１１の外部に搬出され、未処理の基板が搬入され、真空処理が行われる。
所定枚数の基板は連続して処理する基板ごとにロット番号が付与されており、測定値のロット番号が分かるように、測定値を記憶装置４３に記憶させる。ファイル名称には、ロット番号やロット名称等、ロットを区別できる表示が含まれており、また、一つのロット内でも、異なる真空処理は区別できるように、真空処理番号等の真空処理が区別できる表示もふくまれており、従って、測定値は、そのファイル名称から、ロットと真空処理に対応付けされていることになる。
【００１７】
他方、シーケンサ４１には、真空処理部２０を動作させる手順が記憶されており、シーケンサ４１からは、周辺機器群２４や処理機器群２３に対して、周辺機器群２４や処理機器群２３を制御しながら動作させて真空処理を行うための制御信号が出力されている。この制御信号には、周辺機器群２４や処理機器群２３を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが少なくとも含まれている。
【００１８】
制御信号は、周辺機器群２４に含まれる周辺機器３６〜３９や処理機器群２３に含まれる処理機器３１〜３４に出力されると共に、コンピュータ４０にも出力されている。また、シーケンサ４１からコンピュータ４０には、制御信号と共に、動作信号の出力が開始された開始時刻と、停止信号の出力が開始された停止時刻とが、動作信号と停止信号に対応付けて出力されており、制御信号は、制御信号によって行われた真空処理のロット番号や真空処理番号等が付され、ロットと真空処理に対応付けられ、開始時刻と停止時刻と共に記憶される。
【００１９】
この真空処理装置１では、複数ロットの基板の真空処理が行われ、記憶装置４３に複数ロットの真空処理の測定値と、測定値に対応した測定時刻と、その真空処理を制御した制御信号と、制御信号中の開始時刻と停止時刻とが記憶されているものとし、複数の真空処理の測定結果を比較して分析するための、コンピュータ４０の操作手順について説明する。
【００２０】
記憶装置４３には、真空処理の分析を行うプログラムが記憶されており、このプログラムを起動し、複数の真空処理に対応する測定値を、測定値が生成された測定時刻と共に、演算処理を行うメモリ等に読み込む。
測定値が生成されたロット番号や真空処理番号等のロットと真空処理は、測定値のファイル名称によって区別できる。
【００２１】
分析する測定値は、ここでは、同じ処理機器３１〜３４又は周辺機器３６〜３９の測定結果であり、同じ物理量であり、測定時刻の間隔は、一真空処理中で一定であり、真空処理間でも一定値であるようにされている。
また、読み込む測定値が生成されたときの真空処理を制御していた制御信号も、読み込む。開始時刻と停止時刻は、例えば、測定時刻中に含まれる時刻にすることができる。制御信号のロットや真空処理との対応関係は、制御信号のファイルの名称で分かるものとする。
【００２２】
図２の符号１００は、コンピュータ４０に接続された表示装置４４の画面を示している。コンピュータ４０とＬＡＮ等の手段によって交信する他のコンピュータの表示装置の画面であっても良い。
画面１００には、読み込みを行った測定値と、その測定値に対応する制御信号を特定するために、測定値特定欄１１０と、制御信号特定欄１２０とが設けられており、測定値の変化と、制御信号の変化を対応して視認できるように、測定値のグラフを表示するグラフ表示領域１３０と、制御信号を表示するタイミングチャート表示領域１４０とに区分けされている。タイミングチャート表示領域１４０では、動作信号と停止信号を区別でき、開始時刻と停止時刻の位置が分かるように制御信号が表示される。
【００２３】
測定値は、ロットと真空処理に加え、そのファイル名称１５１で、測定値の種類(例えば、電流値、電圧、圧力等)を特定できるようにされており、測定値特定欄１１０には、読み込みを行った各測定値のファイル名称１５１(名称１〜５)を縦一列に表示する名称表示列１１１が設けられている。
また、測定値特定欄１１０には、読み込みを行った測定値のうち、グラフ表示をする測定値を指示するための表示指示列１１４が設けられている。
【００２４】
表示するＸ−Ｙ座標は、Ｙ軸を左側と右側の二本有しており、測定値を左側のＹ軸の目盛か、右側のＹ軸の目盛のいずれかに対応させてグラフを表示することができ、測定値特定欄１１０には、Ｙ軸を選択するためのＹ軸指示列１１５が設けられており、また、後述するメジャー線の表示を指示をするメジャー指示列１１３とが設けられている。
【００２５】
表示指示列１１４に縦一列に表示されたチェックボックス１５４にチェックすると、チェックを付された測定値がグラフ表示領域１３０にグラフ表示され、Ｙ軸指示列１１５にそれぞれ縦一列に表示された左側のＹ軸のチェックボックス１５６と、右側のＹ軸のチェックボックス１５５のいずれか一方にチェックを付すことで、測定値を対応させるＹ軸が左か右かを選択され、メジャー指示列１１３に縦一列に配置されたチェックボックス１５３に一本用のマーク又は二本用のマークを付すことで、所望のメジャー線が表示される。
【００２６】
また、測定値特定欄１１０には、グラフの色を指示するための色指示列１１２が設けられており、色指示列１１２に縦一列に表示される色サンプル１５２の色を変更することで、表示されるグラフの色を変更することができる。
各列１１１〜１１４のチェックボックス等の表示内容は、表示内容と測定値の名称１５１との対応が見やすいように、表示内容と名称１５１は同一高さに表示されている。
【００２７】
制御信号特定欄１２０についても、Ｙ軸指示列１１５以外は、測定値特定欄１１０と同様にされており、名称表示列１２１と、色指示列１２２と、メジャー指示列１２３と、表示指示列１２４とが設けられている。
メジャー指示列１２３で指示されたメジャー線と制御信号のグラフ(折線)との交点は、交点の制御信号が動作信号であるか停止信号であるかの信号状態を、ハイを示す数値かローを示す数値を制御信号の信号値として画面１００に表示する。交点が動作信号であるか停止信号であるかの信号状態は、記号や図形など、他の方法で示しても良い。
【００２８】
図中、符号１６１はロットや真空処理が特定できる制御信号の名称を示し、符号１６２は色サンプル、符号１６３、１６４は、チェックボックスを示している。
測定値特定欄１１０と制御信号特定欄１２０のチェックボックス１５３〜１５６、１６３、１６４を使用し、チェックを記載して表示する測定値を選択し、図３に示すように、グラフ表示領域１３０には、選択された測定値から作製されたグラフ１３２が表示される。このグラフ１３２は、真空処理毎に別々に、Ｘ−Ｙ座標１３１と一緒に表示される。
タイミングチャート表示領域１４０には、制御信号から作製された折線１３４が時間軸１４１と一緒に表示されている。時間軸１４１は、画面１００上でＸ−Ｙ座標１３１のＸ軸の真下に位置し、Ｘ軸と平行である。
【００２９】
測定値に対応した測定時刻と、制御信号の動作の開始と停止の開始とにそれぞれ対応した開始時刻と停止時刻は、一日を２４時間とし、午前零時を始点とした時刻であり、西暦及び月日付も付随して、同一時刻でも西暦、月、又は日付のうちの一つが異なれば、異なる時刻になるようにされている。
【００３０】
測定値毎に異なる時刻である基準時刻を設定し、同じ真空処理に対する複数の測定値を生成した測定時刻を、同じ基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に読み込む測定値の真空処理毎に換算し、測定値と対応付けてメモリや記憶装置４３に記憶する。基準時刻は測定値に対応付けられた時刻である。
基準時刻は、測定値が測定された真空処理を行った周辺機器群２４や処理機器群２３を制御した制御信号に含まれる開始時刻や停止時刻などを用いることができる。
【００３１】
Ｘ軸の単位長さ当たりの時間は、入力され、又は、読み込む測定値の時間などから算出されており、測定値のＸ座標は、基準時刻のＸ軸上の位置とＸ軸の単位長さ当たりの時間とにより、測定値に対応した各測定値のＸ軸上換算時刻をＸ軸上の位置に換算することで求められている。ここではＸ軸と選択された左側Ｙ軸の交点がＸ−Ｙ座標の原点であり、基準時刻の位置は、原点よりも右側のＸ軸上の所定位置に配置されている。
【００３２】
本例で用いた測定値は、同じ周辺機器３６〜３９又は処理機器３１〜３４から送信された測定値であり、測定値に対応付けられて記憶された測定時刻間の時間間隔は、一真空処理中で一定値にされており、また、真空処理間でも一定値であるようにされている。従って、一個のＸ軸上換算時刻には、複数の測定値が対応されている。
【００３３】
また、左右のＹ軸のうち、Ｙ軸指示列１１５によって指定されたＹ軸上の単位時間当たりの値と、Ｘ軸と指示されたＹ軸との交点(左側Ｙ軸とＸ軸の交点がＸ−Ｙ座標１３１の原点である)の値は、入力され、又は測定値の大きさから求められている。
従って、Ｙ軸とＸ軸の交点の値とＹ軸の単位長さ当たりの時間により、各測定値の選択されたＹ軸上の位置であるＹ座標は、測定値の値から求められている。
【００３４】
このように、各測定値のＸ座標とＹ座標が求められ、同じ真空処理の測定値を最小二乗法等で一本のグラフにしたり、測定値の座標値の点を線分で結んでグラフ化する。図３に示すように、表示指示列１１４のチェックボックス１５４へのチェックによって指示された測定値がグラフ１３２として表示される。
開始時刻と停止時刻は、測定値と同じ基準時刻を基準とし、基準時刻からの時間軸１４１上の時間である時間軸上換算時刻に換算されている。
【００３５】
時間軸１４１の原点は、Ｘ−Ｙ座標１３１の左側のＹ軸の延長線が時間軸１４１と交叉する点であり、時間軸１４１上の基準時刻の位置は、Ｘ軸上の基準時刻を通るＸ軸に対する垂線が時間軸１４１と交叉する点にされている。時間軸の単位長さ当たりの時間は決められており、従って、開始時刻と停止時刻は、その時間軸上換算時刻の値に応じた時間軸１４１上の位置になる。
【００３６】
本例では、時間軸の単位長さ当たりの時間は、Ｘ軸の単位長さ当たりの時間と同じにされており、従って、Ｘ軸と時間軸１４１とに垂直に交叉する直線は、同じ値のＸ軸上換算時刻と時間軸上換算時刻を通るようになっている。
制御信号に含まれる動作信号と停止信号は、時間軸１４１と平行で、高さが異なる横線分で表示されており、開始時刻を換算した時間軸上時刻では、一つの停止信号の終点と次の動作信号の始点との間と、一つの動作信号の終点と、次の停止信号の始点とが、垂直な縦線分で結ばれて形成された折線１３４によって制御信号が表示されている。
縦線分は、開始時刻と停止時刻を換算した時間軸上時刻に位置している。
【００３７】
このプログラムでは、グラフ表示領域１３０には、Ｘ軸と垂直な一本、又は二本以上(本例では二本)のメジャー線(第一、第二のメジャー線)を表示させることができる。また、タイミングチャート表示領域１４０にも、時間軸１４１に垂直な一本、又は二本以上(本例では二本)の補助メジャー線(第三、第四のメジャー線)を表示させることができる。
一本のメジャー線と一本の補助メジャー線を表示させる場合は、メジャー指示列１１３、１２３の一又は複数のチェックボックス１５３、１６３に、一本表示用のマークを付ける。
【００３８】
図４はその状態であり、測定値特定欄１１０と制御信号特定欄１２０には、それぞれ二個のチェックボックス１５３、１６３に一本用のマークが付されている。一本用のマークが付されると、グラフ表示領域１３０の予め設定された位置に第一のメジャー線１０１が表示される。このとき、タイミングチャート表示領域１４０では、第一のメジャー線１０１が位置するＸ軸上換算時刻と同じ時刻の時間軸上換算時刻に、第一の補助メジャー線１０３が表示される。
【００３９】
ここでは、基準時刻の位置から予め設定された距離だけ離間したＸ軸上換算時刻と時間軸上換算時刻の位置に第一のメジャー線１０１と、第一の補助メジャー線１０３とがそれぞれ表示されるようになっている。
一本用のマークが付されて選択された測定値中で、第一のメジャー線１０１が表示される位置のＸ軸上換算時刻に対応する測定値があった場合は、その測定値は、交点を区別するための記号Ｐ１、Ｐ２と共に、グラフ表示領域１３０に表示される。
【００４０】
第一のメジャー線１０１が表示される位置のＸ軸上換算時刻に対応する測定値が無かった場合は、一本用のマークで選択された測定値中で、第一のメジャー線１０１のＸ軸上換算時刻に最も近く、測定値と対応付けられているＸ軸上換算時刻に第一のメジャー線１０１は移動される。第一の補助メジャー線１０３も、第一のメジャー線１０１が移動されたＸ軸上換算時刻と同じ時刻である時間軸上換算時刻に移動される。
【００４１】
そして、移動後のＸ軸上換算時刻に対応付けられた測定値は、上記のように、交点を区別するための記号Ｐ１、Ｐ２と共に、グラフ表示領域１３０に表示される。
このとき、複数のチェックボックス１５３へ一本用のマークが付され、複数の真空処理の測定値が選択されている場合は、選択された測定値の中で、第一のメジャー線１０１のＸ軸上換算時刻と対応された測定値同士の差が計算され、差がどのグラフ１３２の値同士の差であるかと共に、画面１００に表示される(計算値１)。
【００４２】
また、第一の補助メジャー線１０３と折線１３４との交点が動作信号であるか停止信号であるかの信号状態が分かるように、交点が動作信号又は停止信号を区別できる値や記号が交点を区別するための記号Ｐ１、Ｐ２と共に画面１００に表示される。
第一のメジャー線１０１や第一の補助メジャー線１０３、及び後述の第二のメジャー線１０２や第二の補助メジャー線１０４は、時刻を入力することや、マウスやカーソルで動かすことで移動させることができる。
【００４３】
第一のメジャー線１０１を移動させる場合、移動された第一のメジャー線１０１のＸ軸上換算時刻と同じ時刻の時間軸上換算時刻に第一の補助メジャー線１０３が移動され、逆に、第一の補助メジャー線１０３を移動させると、移動された第一の補助メジャー線１０３の時間軸上換算時刻と同じ時刻のＸ軸上換算時刻に第一のメジャー線１０１が移動される。
【００４４】
このとき、第一のメジャー線１０１の移動先のＸ軸上換算時刻に測定値が対応されている場合は、第一のメジャー線１０１がそのＸ軸上換算時刻に移動され、第一の補助メジャー線１０３は、そのＸ軸上換算時刻と同時刻の時間軸上換算時刻に移動され、表示される測定値と、表示される測定値同士の差は、移動後の測定値を用いたものに変更される。
【００４５】
移動先のＸ軸上換算時刻に測定値が対応されていなかった場合は、メジャー指示列１１３のマークにより選択された測定値の中で、移動先のＸ軸上換算時刻に最も近く、測定値に対応付けられているＸ軸上換算時刻が選択され、そのＸ軸上換算時刻と、それと同時刻の時間軸上換算時刻に、第一のメジャー線１０１と第一の補助メジャー線１０３とがそれぞれ移動され、移動後の測定値と移動後の交点の信号状態を用いた表示にされる。
【００４６】
時刻の入力や画面上でのマウス等を使用した移動により、第一の補助メジャー線１０３を移動させることで、第一のメジャー線１０１を連動して移動させることもできる。
移動先の時間軸上換算時刻と同時刻のＸ軸上換算時刻に測定値が対応付けられていない場合は、メジャー指示列１１３のマークにより選択された測定値中で、移動先の時間軸上換算時刻と同時刻のＸ軸上換算時刻に最も近く、測定値に対応付けられているＸ軸上換算時刻が選択され、第一のメジャー線１０１が移動される。移動されるＸ軸上換算時刻と同時刻の時間軸上換算時刻に第一の補助メジャー線１０３が移動される。測定値や差の表示は移動後の測定値を用いた値が表示される。
【００４７】
次に、メジャー指示列１１３、１２３のチェックボックス１５３、１６３は、マークが付されていない状態では、最初に一本用のマークを付すことができるように構成されており、次に、一本用のマークが付されているときは、それを二本用のマークに書き換えることができるようにれている。
二本用のマークが付されると、第一のメジャー線１０１と、第一の補助メジャー線１０３に加え、図５に示すように、第二のメジャー線１０２と第二の補助メジャー線１０４がＸ−Ｙ座標１３１上と時間軸１４１上の予め設定された位置にそれぞれ表示される。
【００４８】
第二のメジャー線１０２と第二の補助メジャー線１０４についても、第一のメジャー線１０１と第一の補助メジャー線１０３と同様に第二のメジャー線１０２は、測定値に対応されたＸ軸上換算時刻に位置することができ、移動先のＸ軸上換算時刻に測定値が対応されていない場合、第一のメジャー線１０１と同じ手順で、測定値に対応されたＸ軸上換算時刻に移動され、そのＸ軸上換算時刻と同時刻の時間軸上時刻に第二の補助メジャー線１０４は移動される。
【００４９】
また、第二のメジャー線１０２と第二の補助メジャー線１０４についても、第一のメジャー線１０１と第一の補助メジャー線１０３と同様に位置を変更可能であり、移動は時刻入力でもマウスやカーソル等による移動でもよい。
第一のメジャー線１０１が位置するＸ軸上換算時間を第一の時刻、第二のメジャー線１０２が位置する時刻を第二の時刻とすると、画面１００には、第一の時刻と第二の時刻と共に、第一の時刻と第二の時刻の差である時間が表示される。
【００５０】
また、選択された測定値中の第一の時刻に対応付けられた測定値を第一の測定値とし、各グラフ１３２間の第一の測定値同士の差を求めて表示し、また、第二の時刻に対応付けられた測定値を第二の測定値とすると、各グラフ１３２間の第二の測定値同士の差を求めて表示し、更に、二本用のマークが付されたグラフ１３２中の測定値であって、一つのグラフ１３２の第一の測定値と第二の測定値の差を、二本用のマークが付された測定値のグラフ１３２毎に表示する。図５中では計算値２の欄である。
各差の値は、正負符号を含めても良いし、絶対値で示しても良い。
【００５１】
一本のグラフ１３２の、第一の測定値と第二の測定値の差を、グラフ１３２同士比較することで、各グラフ１３２が描かれた真空処理の状態の差が分かり、真空処理が行われた基板１５の特性を測定した結果の比較と、真空処理の比較とにより、装置の状態の変化等が分かるようになる。特に、処理機器群２３に含まれる処理機器３１〜３４の動作が開始される時刻を基準時刻として、複数の真空処理について、それぞれ第一、第二の時刻の間の差を求めて比較すると、比較対象とされた測定値に関係する処理機器３１〜３４の処理内容を比較することができる。
【符号の説明】
【００５２】
１……真空処理装置
１１……真空槽
１５……処理対象物
２０……真空処理部
２１……制御部
２３……処理機器群
２４……周辺機器群
３１〜３４……処理機器
３６〜３９……周辺機器
４０……コンピュータ
４２……演算装置
４３……記憶装置
４４……表示装置
４５……データ解析プログラム
１０１……第一のメジャー線
１０２……第二のメジャー線
１０３……第三のメジャー線
１０４……第四のメジャー線
１３１……Ｘ−Ｙ座標
１３２……グラフ
１３４……折線
１４１……時間軸 
【図１】
2011090527.tif 000003
【図２】
2011090527.tif 000004
【図３】
2011090527.tif 000005
【図４】
2011090527.tif 000006
【図５】
2011090527.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成22年11月10日(2010.11.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空処理装置の技術分野に係り、特に、真空処理装置を用いた量産技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空処理技術は、スパッタリング方法、ＣＶＤ方法、蒸着方法等の成膜技術や、エッチング技術、表面改質技術、不純物注入技術、真空乾燥技術等があり、広い分野で用いられている。
真空処理技術によって同一品種の製品を量産する場合、同一規格の処理対象物に同じ真空処理を行うが、品質にバラツキが発生する。
品質のバラツキが生じた原因を確認する場合や、バラツキが不良品を発生させないように製造工程を管理する場合、動作中の真空処理装置の状態を測定し、測定結果をロット間で比較、検証することが行われている。
【０００３】
特に、真空処理装置内の機器の動作電流量、温度、圧力等の差違をロット間や真空処理装置間で定量的に確認しようとする場合、製造工程中に測定して測定値を記憶しておき、検査装置によって測定値をグラフ化し、その形の比較を行っていた。
しかしながら、真空処理装置内の測定対象の機器が増加し、また、測定する項目である物理量の種類も増え、大量の測定値をグラフ化して比較することが困難になっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−８０８４４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は上記従来技術の問題点を解決する技術を提供することを課題としており、本発明によれば、多種多量の測定値を簡単、正確に比較することが可能となる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明は、真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、前記真空処理部が出力した複数の測定値を、測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、前記測定値を演算する演算装置と、前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、連続して前記真空処理された所定枚数の基板を一ロットとし、所定枚数の前記処理対象物を連続して同じ前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値を前記記憶装置に記憶し、前記真空処理を行う装置を動作させる動作信号と、前記動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に、前記真空処理に対応付けて前記記憶装置に記憶する真空処理装置であって、前記記憶装置には、データ分析プログラムが記憶され、前記データ分析プログラムは、前記記憶装置内に記憶する複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、Ｘ−Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、前記測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とから複数のグラフ線を生成して前記Ｘ−Ｙ座標と共に表示装置に表示し、前記表示装置に表示した複数の前記グラフ線のうちから二個以上の前記グラフ線が第一選択群として選択され、前記表示装置に前記Ｙ軸と平行な第一の主メジャー線が表示されると、前記第一選択群の各前記グラフ線と前記第一の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ線毎の第一の時刻とし、前記第一選択群の各前記グラフ線の前記Ｘ軸上換算時刻のうち、前記第一の時刻に最も近い前記Ｘ軸上換算時刻に対応された測定値である第一の測定値を各前記グラフ線毎の第一の測定値とし、前記表示装置上で、前記第一の測定値を選択された前記グラフ線毎に表示し、前記第一の測定値同士の差の値を表示する真空処理装置である。
また、本発明は、前記第一の時刻に加え、前記Ｘ軸に含まれる前記Ｘ軸上換算時刻の範囲内の第二の時刻が指示されると、前記第一選択群の前記グラフ線毎に、前記Ｘ軸上換算時刻が前記第二の時刻に最も近い前記測定値が第二の測定値として特定され、一の前記グラフ線の前記第一の測定値と、他の前記グラフ線の前記第二の測定値との差の値と、前記第二の測定値とも前記表示装置に表示するように構成された真空処理装置である。
また、本発明は、表示された複数の前記グラフ線のうち、二個以上の前記グラフ線が選択でき、選択された前記グラフ線に含まれる測定値から、前記第一、第二の測定値が特定される真空処理装置である。
また、本発明は、異なる前記グラフ線間の前記第二の測定値同士の差の値も前記表示装置に表示する真空処理装置である。
また、本発明は、前記第一の時刻と前記第二の時刻が前記表示装置に表示される真空処理装置である。
また、本発明は、前記第一の時刻と前記第二の時刻の差である時間が前記表示装置に表示される真空処理装置である。
また、本発明は、前記第一の主メジャー線に加え、前記表示装置に前記Ｙ軸と平行な第二の主メジャー線が表示されると、前記第一選択群の各前記グラフ線と前記第一の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ線毎の前記第一の時刻とし、前記第二選択群の各前記グラフ線と前記第二の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ線毎の前記第二の時刻とし、前記第一、第二の主メジャー線の位置を変更すると、前記第一、第二の時刻は、位置が変更された前記第一、第二の主メジャー線の前記Ｘ軸上換算時刻にそれぞれ変更されるように構成された真空処理装置である。
また、本発明は、前記真空処理を行う処理装置を動作させる動作信号と、前記動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が前記制御装置から出力され、前記制御信号は、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に前記記憶装置に記憶され、前記データ分析プログラムは、前記記憶装置に記憶された前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の、前記基準時刻からの時間である時間軸上換算時刻を求め、前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、前記表示装置には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示するように構成された真空処理装置である。
また、本発明は、前記Ｘ−Ｙ座標上には、表示された前記タイミングチャートの前記制御信号によって行われた前記真空処理中に測定された前記測定値から生成された前記グラフ線が表示されるように構成された真空処理装置である。
また、本発明は、前記第一、第二の主メジャー線の延長線上に、前記制御信号の表示と交叉する第三、第四の主メジャー線がそれぞれ表示され、前記第一、第二の主メジャー線の位置が変更されると、前記第三、第四の主メジャー線は、位置が変更された前記第一、第二の主メジャー線の延長線上の位置に移動され、前記第三、第四の主メジャー線の位置が変更されると、前記第一、第二の主メジャー線は、位置が変更された前記第三、第四の主メジャー線の延長線上の位置にそれぞれ移動されるように構成された真空処理装置である。
また、本発明は、真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、前記真空処理部が出力した複数の測定値を、測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、前記測定値を演算する演算装置と、前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、連続して前記真空処理された所定枚数の基板を一ロットとし、所定枚数の前記処理対象物を連続して同じ前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値が前記記憶装置に記憶され、前記真空処理を行う装置を動作させる動作信号と、前記動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に、前記真空処理に対応付けて前記記憶装置に記憶された真空処理装置の、前記記憶装置に記憶された前記測定値のグラフ線を前記表示装置に表示するグラフ線表示方法であって、前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値を選択させ、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、Ｘ−Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、前記測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とから複数のグラフ線を生成して前記Ｘ−Ｙ座標と共に表示装置に表示し、前記表示装置に表示した複数の前記グラフ線のうちから二個以上の前記グラフ線を第一選択群として選択させ、前記表示装置に前記Ｙ軸と平行な第一の主メジャー線を表示し、前記第一選択群の各前記グラフ線と前記第一の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ線毎の第一の時刻とし、前記第一選択群の各前記グラフ線の前記Ｘ軸上換算時刻のうち、前記第一の時刻に最も近い前記Ｘ軸上換算時刻に対応された測定値である第一の測定値を各前記グラフ線毎の第一の測定値とし、前記表示装置上で、前記第一の測定値を選択された前記グラフ線毎に表示し、前記第一の測定値同士の差の値を表示するグラフ線表示方法である。
また、本発明は、前記第一の時刻に加え、前記Ｘ軸に含まれる前記Ｘ軸上換算時刻の範囲内の第二の時刻を指示させ、前記第一選択群の前記グラフ線毎に、前記Ｘ軸上換算時刻が前記第二の時刻に最も近い前記測定値を第二の測定値として特定し、一の前記グラフ線の前記第一の測定値と、他の前記グラフ線の前記第二の測定値との差の値と、前記第二の測定値とも前記表示装置に表示するグラフ線表示方法である。
また、本発明は、表示された複数の前記グラフ線のうち、二個以上の前記グラフ線が選択でき、選択された前記グラフ線に含まれる測定値から、前記第一、第二の測定値を特定させるグラフ線表示方法である。
また、本発明は、異なる前記グラフ線間の前記第二の測定値同士の差の値も前記表示装置に表示するグラフ線表示方法である。
また、本発明は、前記第一の時刻と前記第二の時刻を前記表示装置に表示するグラフ線表示方法である。
また、本発明は、前記第一の時刻と前記第二の時刻の差である時間を前記表示装置に表示するグラフ線表示方法である。
また、本発明は、前記第一の主メジャー線に加え、前記表示装置に前記Ｙ軸と平行な第二の主メジャー線を表示すると、前記第一選択群の各前記グラフ線と前記第一の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ線毎の前記第一の時刻とし、前記第二選択群の各前記グラフ線と前記第二の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ線毎の前記第二の時刻とし、前記第一、第二の主メジャー線の位置を変更すると、前記第一、第二の時刻は、位置が変更された前記第一、第二の主メジャー線の前記Ｘ軸上換算時刻にそれぞれ変更するグラフ線表示方法である。
また、本発明は、前記真空処理を行う処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が前記制御装置から出力され、前記制御信号は、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に前記記憶装置に記憶され、前記データ分析プログラムは、前記記憶装置に記憶された前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の、前記基準時刻からの時間である時間軸上換算時刻を求め、前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示するグラフ線表示方法である。
また、本発明は、前記Ｘ−Ｙ座標上には、表示された前記タイミングチャートの前記制御信号によって行われた前記真空処理中に測定された前記測定値から生成された前記グラフ線を表示するグラフ線表示方法である。
また、本発明は、前記第一、第二の主メジャー線の延長線上に、前記制御信号の表示と交叉する第三、第四の主メジャー線をそれぞれ表示し、前記第一、第二の主メジャー線の位置が変更されると、前記第三、第四の主メジャー線は、位置が変更された前記第一、第二の主メジャー線の延長線上の位置に移動され、前記第三、第四の主メジャー線の位置が変更されると、前記第一、第二の主メジャー線は、位置が変更された前記第三、第四の主メジャー線の延長線上の位置にそれぞれ移動されるように構成されたグラフ線表示方法である。
【発明の効果】
【０００７】
真空処理同士の処理内容を簡単に比較することができるので、真空処理の分析を行うことができる。
ロット間の真空処理を比較できるので、真空処理を行った処理対象物の特性を、真空処理毎に検討をすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の真空処理装置を説明するためのブロック図
【図２】本発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(１)
【図３】本発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(２)
【図４】本発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(３)
【図５】本発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(４)
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１の符号１は、本発明の真空処理装置の一例であり、真空処理部２０を有している。
真空処理部２０は、真空槽１１を有している。
真空槽１１の内部には、処理対象物である基板の真空処理を行う処理機器群２３が配置されている。
【００１０】
処理機器群２３は、複数の処理機器を有しており、ここでは処理機器には、真空槽１１の底面に配置された蒸着源３４と、蒸着源３４に電子線を照射するＥＢガン３３と、蒸着源３４の上方に配置された保持装置３１と、保持装置３１の内部に配置されたヒータ３２とが含まれる。
【００１１】
図１の符号１５は、処理対象物である基板であり、成膜面を蒸着源３４に向けて保持装置３１に保持されている。
真空槽１１の外部には周辺機器群２４と制御部２１とが配置されている。
周辺機器群２４は、複数の周辺機器を有しており、ここでは周辺機器には、真空排気系３６と、ガス導入系３７と、ヒータ用電源３８と、蒸着用電源３９とが含まれている。
【００１２】
真空排気系３６とガス導入系３７は真空槽１１に接続されており、真空排気系３６を動作させて真空槽１１の内部を真空排気することができ、ガス導入系３７を動作させて真空槽１１の内部にガス導入系３７から反応性ガス等のガスを導入でき、例えば反応性蒸着を行うことができる。
【００１３】
ヒータ用電源３８と蒸着用電源３９は、ヒータ３２とＥＢガン３３にそれぞれ接続されており、ヒータ用電源３８と蒸着用電源３９からヒータ３２と蒸着源３４にそれぞれ電力を供給する。
ヒータ３２は供給された電力で発熱し、保持装置３１を昇温させて真空雰囲気中で基板１５を加熱する。ＥＢガン３３は供給された電力で蒸着源３４に電子ビームを照射し、蒸着源３４内に配置された蒸着材料を加熱し、真空槽１１内の真空雰囲気中に蒸着材料の蒸気を放出させる。
この蒸気は真空雰囲気や反応ガス雰囲気中で基板１５に到達し、その成膜面に薄膜を形成する。
【００１４】
周辺機器群２４には、処理機器群２３に含まれる処理機器にセンサ部分が取り付けられ、温度測定や圧力測定などの物理量の測定を行う測定装置も含まれており、また、ヒータ用電源３８や蒸着用電源３９等の内部に配置され、電流や電圧等の物理量を測定する測定装置も含まれている。
周辺機器群２４では、周辺機器群２４に含まれる周辺機器が測定した真空槽１１内の圧力、基板１５の温度、ガス導入量、ヒータ３２へ流れた電流量、ＥＢガン３３に供給した電力等の測定値が生成されており、測定値は、測定値と測定値の発生時刻とが対応されて、周辺機器群２４から制御部２１に入力されている。
【００１５】
制御部２１には、シーケンサ４１とコンピュータ４０とが配置されており、周辺機器群２４から入力された測定値と測定時刻は、シーケンサ４１を介してコンピュータ４０に入力される。
コンピュータ４０のデータ解析プログラム４５は、演算装置４２と、記憶装置４３と、表示装置４４とを有しており、入力された測定値は、測定時刻と共に記憶装置４３に記憶される。
【００１６】
真空槽１１では、真空処理がされた基板１５は真空槽１１の外部に搬出され、未処理の基板が搬入され、真空処理が行われる。
所定枚数の基板は連続して処理する基板ごとにロット番号が付与されており、測定値のロット番号が分かるように、測定値を記憶装置４３に記憶させる。ファイル名称には、ロット番号やロット名称等、ロットを区別できる表示が含まれており、また、一つのロット内でも、異なる真空処理は区別できるように、真空処理番号等の真空処理が区別できる表示もふくまれており、従って、測定値は、そのファイル名称から、ロットと真空処理に対応付けされていることになる。
【００１７】
他方、シーケンサ４１には、真空処理部２０を動作させる手順が記憶されており、シーケンサ４１からは、周辺機器群２４や処理機器群２３に対して、周辺機器群２４や処理機器群２３を制御しながら動作させて真空処理を行うための制御信号が出力されている。この制御信号には、周辺機器群２４や処理機器群２３を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが少なくとも含まれている。
【００１８】
制御信号は、周辺機器群２４に含まれる周辺機器３６〜３９や処理機器群２３に含まれる処理機器３１〜３４に出力されると共に、コンピュータ４０にも出力されている。また、シーケンサ４１からコンピュータ４０には、制御信号と共に、動作信号の出力が開始された開始時刻と、停止信号の出力が開始された停止時刻とが、動作信号と停止信号に対応付けて出力されており、制御信号は、制御信号によって行われた真空処理のロット番号や真空処理番号等が付され、ロットと真空処理に対応付けられ、開始時刻と停止時刻と共に記憶される。
【００１９】
この真空処理装置１では、複数ロットの基板の真空処理が行われ、記憶装置４３に複数ロットの真空処理の測定値と、測定値に対応した測定時刻と、その真空処理を制御した制御信号と、制御信号中の開始時刻と停止時刻とが記憶されているものとし、複数の真空処理の測定結果を比較して分析するための、コンピュータ４０の操作手順について説明する。
【００２０】
記憶装置４３には、真空処理の分析を行うプログラムが記憶されており、このプログラムを起動し、複数の真空処理に対応する測定値を、測定値が生成された測定時刻と共に、演算処理を行うメモリ等に読み込む。
測定値が生成されたロット番号や真空処理番号等のロットと真空処理は、測定値のファイル名称によって区別できる。
【００２１】
分析する測定値は、ここでは、同じ処理機器３１〜３４又は周辺機器３６〜３９の測定結果であり、同じ物理量であり、測定時刻の間隔は、一真空処理中で一定であり、真空処理間でも一定値であるようにされている。
また、読み込む測定値が生成されたときの真空処理を制御していた制御信号も、読み込む。開始時刻と停止時刻は、例えば、測定時刻中に含まれる時刻にすることができる。制御信号のロットや真空処理との対応関係は、制御信号のファイルの名称で分かるものとする。
【００２２】
図２の符号１００は、コンピュータ４０に接続された表示装置４４の画面を示している。コンピュータ４０とＬＡＮ等の手段によって交信する他のコンピュータの表示装置の画面であっても良い。
画面１００には、読み込みを行った測定値と、その測定値に対応する制御信号を特定するために、測定値特定欄１１０と、制御信号特定欄１２０とが設けられており、測定値の変化と、制御信号の変化を対応して視認できるように、測定値のグラフ線を表示するグラフ表示領域１３０と、制御信号を表示するタイミングチャート表示領域１４０とに区分けされている。タイミングチャート表示領域１４０では、動作信号と停止信号を区別でき、開始時刻と停止時刻の位置が分かるように制御信号が表示される。
【００２３】
測定値は、ロットと真空処理に加え、そのファイル名称１５１で、測定値の種類(例えば、電流値、電圧、圧力等)を特定できるようにされており、測定値特定欄１１０には、読み込みを行った各測定値のファイル名称１５１(名称１〜５)を縦一列に表示する名称表示列１１１が設けられている。
また、測定値特定欄１１０には、読み込みを行った測定値のうち、グラフ線を表示をする測定値を指示するための表示指示列１１４が設けられている。
【００２４】
表示するＸ−Ｙ座標は、Ｙ軸を左側と右側の二本有しており、測定値を左側のＹ軸の目盛か、右側のＹ軸の目盛のいずれかに対応させてグラフ線を表示することができ、測定値特定欄１１０には、Ｙ軸を選択するためのＹ軸指示列１１５が設けられており、また、後述するメジャー線の表示を指示をするメジャー指示列１１３とが設けられている。
【００２５】
表示指示列１１４に縦一列に表示されたチェックボックス１５４にチェックすると、チェックを付された測定値がグラフ表示領域１３０にグラフ線が表示され、Ｙ軸指示列１１５にそれぞれ縦一列に表示された左側のＹ軸のチェックボックス１５６と、右側のＹ軸のチェックボックス１５５のいずれか一方にチェックを付すことで、測定値を対応させるＹ軸が左か右かを選択され、メジャー指示列１１３に縦一列に配置されたチェックボックス１５３に一本用のマーク又は二本用のマークを付すことで、所望のメジャー線が表示される。
【００２６】
また、測定値特定欄１１０には、グラフ線の色を指示するための色指示列１１２が設けられており、色指示列１１２に縦一列に表示される色サンプル１５２の色を変更することで、表示されるグラフ線の色を変更することができる。
各列１１１〜１１４のチェックボックス等の表示内容は、表示内容と測定値の名称１５１との対応が見やすいように、表示内容と名称１５１は同一高さに表示されている。
【００２７】
制御信号特定欄１２０についても、Ｙ軸指示列１１５以外は、測定値特定欄１１０と同様にされており、名称表示列１２１と、色指示列１２２と、メジャー指示列１２３と、表示指示列１２４とが設けられている。
メジャー指示列１２３で指示されたメジャー線と制御信号のグラフ線(折線)との交点は、交点の制御信号が動作信号であるか停止信号であるかの信号状態を、ハイを示す数値かローを示す数値を制御信号の信号値として画面１００に表示する。交点が動作信号であるか停止信号であるかの信号状態は、記号や図形など、他の方法で示しても良い。
【００２８】
図中、符号１６１はロットや真空処理が特定できる制御信号の名称を示し、符号１６２は色サンプル、符号１６３、１６４は、チェックボックスを示している。
測定値特定欄１１０と制御信号特定欄１２０のチェックボックス１５３〜１５６、１６３、１６４を使用し、チェックを記載して表示する測定値を選択し、図３に示すように、グラフ表示領域１３０には、選択された測定値から作製されたグラフ線１３２が表示される。このグラフ線１３２は、真空処理毎に別々に、Ｘ−Ｙ座標１３１と一緒に表示される。
タイミングチャート表示領域１４０には、制御信号から作製された折線１３４が時間軸１４１と一緒に表示されている。時間軸１４１は、画面１００上でＸ−Ｙ座標１３１のＸ軸の真下に位置し、Ｘ軸と平行である。
【００２９】
測定値に対応した測定時刻と、制御信号の動作の開始と停止の開始とにそれぞれ対応した開始時刻と停止時刻は、一日を２４時間とし、午前零時を始点とした時刻であり、西暦及び月日付も付随して、同一時刻でも西暦、月、又は日付のうちの一つが異なれば、異なる時刻になるようにされている。
【００３０】
測定値毎に異なる時刻である基準時刻を設定し、同じ真空処理に対する複数の測定値を生成した測定時刻を、同じ基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に読み込む測定値の真空処理毎に換算し、測定値と対応付けてメモリや記憶装置４３に記憶する。基準時刻は測定値に対応付けられた時刻である。
基準時刻は、測定値が測定された真空処理を行った周辺機器群２４や処理機器群２３を制御した制御信号に含まれる開始時刻や停止時刻などを用いることができる。
【００３１】
Ｘ軸の単位長さ当たりの時間は、入力され、又は、読み込む測定値の時間などから算出されており、測定値のＸ座標は、基準時刻のＸ軸上の位置とＸ軸の単位長さ当たりの時間とにより、測定値に対応した各測定値のＸ軸上換算時刻をＸ軸上の位置に換算することで求められている。ここではＸ軸と選択された左側Ｙ軸の交点がＸ−Ｙ座標の原点であり、基準時刻の位置は、原点よりも右側のＸ軸上の所定位置に配置されている。
【００３２】
本例で用いた測定値は、同じ周辺機器３６〜３９又は処理機器３１〜３４から送信された測定値であり、測定値に対応付けられて記憶された測定時刻間の時間間隔は、一真空処理中で一定値にされており、また、真空処理間でも一定値であるようにされている。従って、一個のＸ軸上換算時刻には、複数の測定値が対応されている。
【００３３】
また、左右のＹ軸のうち、Ｙ軸指示列１１５によって指定されたＹ軸上の単位時間当たりの値と、Ｘ軸と指示されたＹ軸との交点(左側Ｙ軸とＸ軸の交点がＸ−Ｙ座標１３１の原点である)の値は、入力され、又は測定値の大きさから求められている。
従って、Ｙ軸とＸ軸の交点の値とＹ軸の単位長さ当たりの時間により、各測定値の選択されたＹ軸上の位置であるＹ座標は、測定値の値から求められている。
【００３４】
このように、各測定値のＸ座標とＹ座標が求められ、同じ真空処理の測定値を最小二乗法等で一本のグラフにしたり、測定値の座標値の点を線分で結んでグラフ化する。図３に示すように、表示指示列１１４のチェックボックス１５４へのチェックによって指示された測定値がグラフ線１３２として表示される。
開始時刻と停止時刻は、測定値と同じ基準時刻を基準とし、基準時刻からの時間軸１４１上の時間である時間軸上換算時刻に換算されている。
【００３５】
時間軸１４１の原点は、Ｘ−Ｙ座標１３１の左側のＹ軸の延長線が時間軸１４１と交叉する点であり、時間軸１４１上の基準時刻の位置は、Ｘ軸上の基準時刻を通るＸ軸に対する垂線が時間軸１４１と交叉する点にされている。時間軸の単位長さ当たりの時間は決められており、従って、開始時刻と停止時刻は、その時間軸上換算時刻の値に応じた時間軸１４１上の位置になる。
【００３６】
本例では、時間軸の単位長さ当たりの時間は、Ｘ軸の単位長さ当たりの時間と同じにされており、従って、Ｘ軸と時間軸１４１とに垂直に交叉する直線は、同じ値のＸ軸上換算時刻と時間軸上換算時刻を通るようになっている。
制御信号に含まれる動作信号と停止信号は、時間軸１４１と平行で、高さが異なる横線分で表示されており、開始時刻を換算した時間軸上時刻では、一つの停止信号の終点と次の動作信号の始点との間と、一つの動作信号の終点と、次の停止信号の始点とが、垂直な縦線分で結ばれて形成された折線１３４によって制御信号が表示されている。
縦線分は、開始時刻と停止時刻を換算した時間軸上時刻に位置している。
【００３７】
このプログラムでは、グラフ表示領域１３０には、Ｘ軸と垂直な一本、又は二本以上(本例では二本)のメジャー線(第一、第二のメジャー線)を表示させることができる。また、タイミングチャート表示領域１４０にも、時間軸１４１に垂直な一本、又は二本以上(本例では二本)の補助メジャー線(第三、第四のメジャー線)を表示させることができる。
一本のメジャー線と一本の補助メジャー線を表示させる場合は、メジャー指示列１１３、１２３の一又は複数のチェックボックス１５３、１６３に、一本表示用のマークを付ける。
【００３８】
図４はその状態であり、測定値特定欄１１０と制御信号特定欄１２０には、それぞれ二個のチェックボックス１５３、１６３に一本用のマークが付されている。一本用のマークが付されると、グラフ表示領域１３０の予め設定された位置に第一のメジャー線１０１が表示される。このとき、タイミングチャート表示領域１４０では、第一のメジャー線１０１が位置するＸ軸上換算時刻と同じ時刻の時間軸上換算時刻に、第一の補助メジャー線１０３が表示される。
【００３９】
ここでは、基準時刻の位置から予め設定された距離だけ離間したＸ軸上換算時刻と時間軸上換算時刻の位置に第一のメジャー線１０１と、第一の補助メジャー線１０３とがそれぞれ表示されるようになっている。
一本用のマークが付されて選択された測定値中で、第一のメジャー線１０１が表示される位置のＸ軸上換算時刻に対応する測定値があった場合は、その測定値は、交点を区別するための記号Ｐ１、Ｐ２と共に、グラフ表示領域１３０に表示される。
【００４０】
第一のメジャー線１０１が表示される位置のＸ軸上換算時刻に対応する測定値が無かった場合は、一本用のマークで選択された測定値中で、第一のメジャー線１０１のＸ軸上換算時刻に最も近く、測定値と対応付けられているＸ軸上換算時刻に第一のメジャー線１０１は移動される。第一の補助メジャー線１０３も、第一のメジャー線１０１が移動されたＸ軸上換算時刻と同じ時刻である時間軸上換算時刻に移動される。
【００４１】
そして、移動後のＸ軸上換算時刻に対応付けられた測定値は、上記のように、交点を区別するための記号Ｐ１、Ｐ２と共に、グラフ表示領域１３０に表示される。
このとき、複数のチェックボックス１５３へ一本用のマークが付され、複数の真空処理の測定値が選択されている場合は、選択された測定値の中で、第一のメジャー線１０１のＸ軸上換算時刻と対応された測定値同士の差が計算され、差がどのグラフ線１３２の値同士の差であるかと共に、画面１００に表示される(計算値１)。
【００４２】
また、第一の補助メジャー線１０３と折線１３４との交点が動作信号であるか停止信号であるかの信号状態が分かるように、交点が動作信号又は停止信号を区別できる値や記号が交点を区別するための記号Ｐ１、Ｐ２と共に画面１００に表示される。
第一のメジャー線１０１や第一の補助メジャー線１０３、及び後述の第二のメジャー線１０２や第二の補助メジャー線１０４は、時刻を入力することや、マウスやカーソルで動かすことで移動させることができる。
【００４３】
第一のメジャー線１０１を移動させる場合、移動された第一のメジャー線１０１のＸ軸上換算時刻と同じ時刻の時間軸上換算時刻に第一の補助メジャー線１０３が移動され、逆に、第一の補助メジャー線１０３を移動させると、移動された第一の補助メジャー線１０３の時間軸上換算時刻と同じ時刻のＸ軸上換算時刻に第一のメジャー線１０１が移動される。
【００４４】
このとき、第一のメジャー線１０１の移動先のＸ軸上換算時刻に測定値が対応されている場合は、第一のメジャー線１０１がそのＸ軸上換算時刻に移動され、第一の補助メジャー線１０３は、そのＸ軸上換算時刻と同時刻の時間軸上換算時刻に移動され、表示される測定値と、表示される測定値同士の差は、移動後の測定値を用いたものに変更される。
【００４５】
移動先のＸ軸上換算時刻に測定値が対応されていなかった場合は、メジャー指示列１１３のマークにより選択された測定値の中で、移動先のＸ軸上換算時刻に最も近く、測定値に対応付けられているＸ軸上換算時刻が選択され、そのＸ軸上換算時刻と、それと同時刻の時間軸上換算時刻に、第一のメジャー線１０１と第一の補助メジャー線１０３とがそれぞれ移動され、移動後の測定値と移動後の交点の信号状態を用いた表示にされる。
【００４６】
時刻の入力や画面上でのマウス等を使用した移動により、第一の補助メジャー線１０３を移動させることで、第一のメジャー線１０１を連動して移動させることもできる。
移動先の時間軸上換算時刻と同時刻のＸ軸上換算時刻に測定値が対応付けられていない場合は、メジャー指示列１１３のマークにより選択された測定値中で、移動先の時間軸上換算時刻と同時刻のＸ軸上換算時刻に最も近く、測定値に対応付けられているＸ軸上換算時刻が選択され、第一のメジャー線１０１が移動される。移動されるＸ軸上換算時刻と同時刻の時間軸上換算時刻に第一の補助メジャー線１０３が移動される。測定値や差の表示は移動後の測定値を用いた値が表示される。
【００４７】
次に、メジャー指示列１１３、１２３のチェックボックス１５３、１６３は、マークが付されていない状態では、最初に一本用のマークを付すことができるように構成されている。
二本用のマークが付されると、第一のメジャー線１０１と、第一の補助メジャー線１０３に加え、図５に示すように、第二のメジャー線１０２と第二の補助メジャー線１０４がＸ−Ｙ座標１３１上と時間軸１４１上の予め設定された位置にそれぞれ表示される。
【００４８】
第二のメジャー線１０２と第二の補助メジャー線１０４についても、第一のメジャー線１０１と第一の補助メジャー線１０３と同様に第二のメジャー線１０２は、測定値に対応されたＸ軸上換算時刻に位置することができ、移動先のＸ軸上換算時刻に測定値が対応されていない場合、第一のメジャー線１０１と同じ手順で、測定値に対応されたＸ軸上換算時刻に移動され、そのＸ軸上換算時刻と同時刻の時間軸上時刻に第二の補助メジャー線１０４は移動される。
【００４９】
また、第二のメジャー線１０２と第二の補助メジャー線１０４についても、第一のメジャー線１０１と第一の補助メジャー線１０３と同様に位置を変更可能であり、移動は時刻入力でもマウスやカーソル等による移動でもよい。
第一のメジャー線１０１が位置するＸ軸上換算時間を第一の時刻、第二のメジャー線１０２が位置する時刻を第二の時刻とすると、画面１００には、第一の時刻と第二の時刻と共に、第一の時刻と第二の時刻の差である時間が表示される。
【００５０】
また、選択された測定値中の第一の時刻に対応付けられた測定値を第一の測定値とし、各グラフ線１３２間の第一の測定値同士の差を求めて表示し、また、第二の時刻に対応付けられた測定値を第二の測定値とすると、各グラフ線１３２間の第二の測定値同士の差を求めて表示し、更に、二本用のマークが付されたグラフ線１３２中の測定値であって、一つのグラフ線１３２の第一の測定値と第二の測定値の差を、二本用のマークが付された測定値のグラフ線１３２毎に表示する。図５中では計算値２の欄である。
各差の値は、正負符号を含めても良いし、絶対値で示しても良い。
【００５１】
一本のグラフ線１３２の、第一の測定値と第二の測定値の差を、グラフ線１３２同士比較することで、各グラフ線１３２が描かれた真空処理の状態の差が分かり、真空処理が行われた基板１５の特性を測定した結果の比較と、真空処理の比較とにより、装置の状態の変化等が分かるようになる。特に、処理機器群２３に含まれる処理機器３１〜３４の動作が開始される時刻を基準時刻として、複数の真空処理について、それぞれ第一、第二の時刻の間の差を求めて比較すると、比較対象とされた測定値に関係する処理機器３１〜３４の処理内容を比較することができる。
【符号の説明】
【００５２】
１……真空処理装置
１１……真空槽
１５……処理対象物
２０……真空処理部
２１……制御部
２３……処理機器群
２４……周辺機器群
３１〜３４……処理機器
３６〜３９……周辺機器
４０……コンピュータ
４２……演算装置
４３……記憶装置
４４……表示装置
４５……データ解析プログラム
１０１……第一のメジャー線
１０２……第二のメジャー線
１０３……第三のメジャー線
１０４……第四のメジャー線
１３１……Ｘ−Ｙ座標
１３２……グラフ線
１３４……折線
１４１……時間軸 
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、
前記真空処理部が出力した複数の測定値を、測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、
前記測定値を演算する演算装置と、
前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、
連続して前記真空処理された所定枚数の基板を一ロットとし、
所定枚数の前記処理対象物を連続して同じ前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値を前記記憶装置に記憶し、
前記真空処理を行う装置を動作させる動作信号と、前記動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に、前記真空処理に対応付けて前記記憶装置に記憶する真空処理装置であって、
前記記憶装置には、データ分析プログラムが記憶され、
前記データ分析プログラムは、
前記記憶装置内に記憶する複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、
Ｘ−Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、前記測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とから複数のグラフ線を生成して前記Ｘ−Ｙ座標と共に表示装置に表示し、
前記表示装置に表示した複数の前記グラフ線のうちから二個以上の前記グラフ線が第一選択群として選択され、前記表示装置に前記Ｙ軸と平行な第一の主メジャー線が表示されると、
前記第一選択群の各前記グラフ線と前記第一の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ線毎の第一の時刻とし、
前記第一選択群の各前記グラフ線の前記Ｘ軸上換算時刻のうち、前記第一の時刻に最も近い前記Ｘ軸上換算時刻に対応された測定値である第一の測定値を各前記グラフ線毎の第一の測定値とし、前記表示装置上で、前記第一の測定値を選択された前記グラフ線毎に表示し、前記第一の測定値同士の差の値を表示する真空処理装置。
【請求項２】
前記第一の時刻に加え、前記Ｘ軸に含まれる前記Ｘ軸上換算時刻の範囲内の第二の時刻が指示されると、前記第一選択群の前記グラフ線毎に、前記Ｘ軸上換算時刻が前記第二の時刻に最も近い前記測定値が第二の測定値として特定され、
一の前記グラフ線の前記第一の測定値と、他の前記グラフ線の前記第二の測定値との差の値と、前記第二の測定値とも前記表示装置に表示するように構成された請求項１記載の真空処理装置。
【請求項３】
表示された複数の前記グラフ線のうち、二個以上の前記グラフ線が選択でき、
選択された前記グラフ線に含まれる測定値から、前記第一、第二の測定値が特定される請求項２記載の真空処理装置。
【請求項４】
異なる前記グラフ線間の前記第二の測定値同士の差の値も前記表示装置に表示する請求項２又は請求項３のいずれか１項記載の真空処理装置。
【請求項５】
前記第一の時刻と前記第二の時刻が前記表示装置に表示される請求項２乃至請求項４のいずれか１項記載の真空処理装置。
【請求項６】
前記第一の時刻と前記第二の時刻の差である時間が前記表示装置に表示される請求項２乃至請求項５のいずれか１項記載の真空処理装置。
【請求項７】
前記第一の主メジャー線に加え、前記表示装置に前記Ｙ軸と平行な第二の主メジャー線が表示されると、
前記第一選択群の各前記グラフ線と前記第一の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ線毎の前記第一の時刻とし、
前記第二選択群の各前記グラフ線と前記第二の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ線毎の前記第二の時刻とし、
前記第一、第二の主メジャー線の位置を変更すると、前記第一、第二の時刻は、位置が変更された前記第一、第二の主メジャー線の前記Ｘ軸上換算時刻にそれぞれ変更されるように構成された請求項２乃至請求項６のいずれか１項記載の真空処理装置。
【請求項８】
前記真空処理を行う処理装置を動作させる動作信号と、前記動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が前記制御装置から出力され、
前記制御信号は、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に前記記憶装置に記憶され、
前記データ分析プログラムは、
前記記憶装置に記憶された前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の、前記基準時刻からの時間である時間軸上換算時刻を求め、
前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、
前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、
前記表示装置には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示するように構成された請求項７記載の真空処理装置。
【請求項９】
前記Ｘ−Ｙ座標上には、表示された前記タイミングチャートの前記制御信号によって行われた前記真空処理中に測定された前記測定値から生成された前記グラフ線が表示されるように構成された請求項８記載の真空処理装置。
【請求項１０】
前記第一、第二の主メジャー線の延長線上に、前記制御信号の表示と交叉する第三、第四の主メジャー線がそれぞれ表示され、
前記第一、第二の主メジャー線の位置が変更されると、前記第三、第四の主メジャー線は、位置が変更された前記第一、第二の主メジャー線の延長線上の位置に移動され、
前記第三、第四の主メジャー線の位置が変更されると、前記第一、第二の主メジャー線は、位置が変更された前記第三、第四の主メジャー線の延長線上の位置にそれぞれ移動されるように構成された請求項９記載の真空処理装置。
【請求項１１】
真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、
前記真空処理部が出力した複数の測定値を、測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、
前記測定値を演算する演算装置と、
前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、
連続して前記真空処理された所定枚数の基板を一ロットとし、
所定枚数の前記処理対象物を連続して同じ前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値が前記記憶装置に記憶され、
前記真空処理を行う装置を動作させる動作信号と、前記動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に、前記真空処理に対応付けて前記記憶装置に記憶された真空処理装置の、前記記憶装置に記憶された前記測定値のグラフ線を前記表示装置に表示するグラフ線表示方法であって、
前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値を選択させ、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、
Ｘ−Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、前記測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とから複数のグラフ線を生成して前記Ｘ−Ｙ座標と共に表示装置に表示し、
前記表示装置に表示した複数の前記グラフ線のうちから二個以上の前記グラフ線を第一選択群として選択させ、前記表示装置に前記Ｙ軸と平行な第一の主メジャー線を表示し、
前記第一選択群の各前記グラフ線と前記第一の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ線毎の第一の時刻とし、
前記第一選択群の各前記グラフ線の前記Ｘ軸上換算時刻のうち、前記第一の時刻に最も近い前記Ｘ軸上換算時刻に対応された測定値である第一の測定値を各前記グラフ線毎の第一の測定値とし、前記表示装置上で、前記第一の測定値を選択された前記グラフ線毎に表示し、前記第一の測定値同士の差の値を表示するグラフ線表示方法。
【請求項１２】
前記第一の時刻に加え、前記Ｘ軸に含まれる前記Ｘ軸上換算時刻の範囲内の第二の時刻を指示させ、前記第一選択群の前記グラフ線毎に、前記Ｘ軸上換算時刻が前記第二の時刻に最も近い前記測定値を第二の測定値として特定し、
一の前記グラフ線の前記第一の測定値と、他の前記グラフ線の前記第二の測定値との差の値と、前記第二の測定値とも前記表示装置に表示する請求項１１記載のグラフ線表示方法。
【請求項１３】
表示された複数の前記グラフ線のうち、二個以上の前記グラフ線が選択でき、
選択された前記グラフ線に含まれる測定値から、前記第一、第二の測定値を特定させる請求項１２記載のグラフ線表示方法。
【請求項１４】
異なる前記グラフ線間の前記第二の測定値同士の差の値も前記表示装置に表示する請求項１２又は請求項１３のいずれか１項記載のグラフ線表示方法。
【請求項１５】
前記第一の時刻と前記第二の時刻を前記表示装置に表示する請求項１２乃至請求項１４のいずれか１項記載のグラフ線表示方法。
【請求項１６】
前記第一の時刻と前記第二の時刻の差である時間を前記表示装置に表示する請求項１２乃至請求項１５のいずれか１項記載のグラフ線表示方法。
【請求項１７】
前記第一の主メジャー線に加え、前記表示装置に前記Ｙ軸と平行な第二の主メジャー線を表示すると、
前記第一選択群の各前記グラフ線と前記第一の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ線毎の前記第一の時刻とし、
前記第二選択群の各前記グラフ線と前記第二の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ線毎の前記第二の時刻とし、
前記第一、第二の主メジャー線の位置を変更すると、前記第一、第二の時刻は、位置が変更された前記第一、第二の主メジャー線の前記Ｘ軸上換算時刻にそれぞれ変更する請求項１２乃至請求項１６のいずれか１項記載のグラフ線表示方法。
【請求項１８】
前記真空処理を行う処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が前記制御装置から出力され、
前記制御信号は、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に前記記憶装置に記憶され、
前記データ分析プログラムは、
前記記憶装置に記憶された前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の、前記基準時刻からの時間である時間軸上換算時刻を求め、
前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、
前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、
前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示する請求項１７記載のグラフ線表示方法。
【請求項１９】
前記Ｘ−Ｙ座標上には、表示された前記タイミングチャートの前記制御信号によって行われた前記真空処理中に測定された前記測定値から生成された前記グラフ線を表示する請求項１８記載のグラフ線表示方法。
【請求項２０】
前記第一、第二の主メジャー線の延長線上に、前記制御信号の表示と交叉する第三、第四の主メジャー線をそれぞれ表示し、
前記第一、第二の主メジャー線の位置が変更されると、前記第三、第四の主メジャー線は、位置が変更された前記第一、第二の主メジャー線の延長線上の位置に移動され、
前記第三、第四の主メジャー線の位置が変更されると、前記第一、第二の主メジャー線は、位置が変更された前記第三、第四の主メジャー線の延長線上の位置にそれぞれ移動されるように構成された請求項１９記載のグラフ線表示方法。