(57)【要約】【課題】顧客カスタマイズを施して運用する機器の教育システムにおいて、顧客カスタマイズ後の機器動作をシステムに反映し、一度実機で操作された機能について確実にシミュレートする。【解決手段】システムのＵＩ操作によって生ずるコマンドに対し、シミュレーションシステム２４は、システム状態を保持するシミュレーション制御部２７の状態及びコマンドの種類を条件に、シナリオ管理部２９の保持シナリオを選択し、シナリオ実行部２８が選択したシナリオを実行することにより応答する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
実機と同様の操作が可能なユーザインタフェイスを持つ操作手段と、動作履歴からシナリオを作成し、該シナリオを管理するシナリオ管理手段と、前記シナリオを実行して実機の応答を模擬するシナリオ実行手段と、状態マシンの状態に応じて、ユーザの操作に対して応答するシミュレーション制御手段とから成ることを特徴とする操作訓練用教育システム。
【請求項２】
前記シナリオ管理手段は、新たに取得した動作履歴から前記シナリオを更新することを特徴とする請求項１に記載の操作訓練用教育システム。
【請求項３】
前記シミュレーション制御手段は、システムの動作を示す状態を保持し、前記操作手段から送信されるコマンドの受信とシステム内で発生するイベントによって、状態を遷移させることを特徴とする請求項１又は２に記載の操作訓練用教育システム。
【請求項４】
前記シナリオ管理手段は、動作履歴から作成する前記シナリオを動作条件と共に保持し、前記操作手段から送信されたコマンドパラメータと前記シミュレーション制御手段の状態を検索の条件とし、実行対象の前記シナリオを選択することを特徴とする請求項１〜３の何れか１つの請求項に記載の操作訓練用教育システム。
【請求項５】
前記実機は半導体露光装置としたことを特徴とする請求項１〜４の何れか１つの請求項に記載の操作訓練用教育システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機器の運転操作を行う操作者に対し、操作に係る技術訓練を支援する操作訓練用教育システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置に代表されるＦＡシステムでは、生産現場毎にカスタマイズが施される。例えば、生産現場では様々な装置を組み合わせて一連のシステムを構築するため、半導体露光装置の前工程や後工程の装置の種類や機種に依存して、システムのパラメータ設定が異なる。また、生産対象の半導体の種別や現場のワークフローチャート図に依存して、ＵＩ（ユーザインタフェイス）がカスタマイズされ、装置のハードウェア構成に依存して、設定可能な項目やＵＩ構成が変化する。このように様々な要因で、生産現場毎にカスタマイズが施される結果、ＵＩ操作は生産現場毎に独自のものとなり、生産現場にマッチした操作技術訓練が必要となる。
【０００３】
一方、生産現場でのシステム運転の操作の学習は、対象装置のシミュレーションシステムを用いて、操作の体験をすることが一般的に行われている。
【０００４】
従来のシミュレーションシステムの構成は、次の２つの方法が提案されている。
【０００５】
（１）実機と同様の動作仕様に基づいて、シミュレータソフトェアをプログラミングする方法。
【０００６】
（２）予めシナリオを用意し、シナリオ実行プログラムがシナリオに基づく動作を実施する方法。
【０００７】
（１）については、装置の動作モデルを作成しておき、モデルからシミュレータ用のソースコードを自動生成する方法が提案されている。（２）については、例えば特許文献１のように予め複数のシナリオを用意し、用途に応じてシナリオを取り代えながら動作を模擬する方式が提案されている。更に、この場合には、予め用意したシナリオの動作から逸脱した場合でも、他に実行継続可能なシナリオがあれば継続して動作するシミュレータ装置がある。例えば特許文献２のように、複数の動作シナリオを予め登録し、動作条件に応じたシナリオを用いたシミュレーションテスト方式及びシミュレーションテスト装置の従来技術が提案されている。
【０００８】
このように、従来のシミュレーションシステムでは、予め想定している動作をプログラミングすることによって、或いはシミュレーションのシナリオを用意することによって基本構成に対応した動作模擬が可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開平１１−３０５８２２号公報
【特許文献２】特開２００４−２１４６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上述した従来のシミュレーションシステムは、シミュレータのソフトウェアやシナリオが変更されないことを前提としており、想定した操作者の操作に対する応答を再現するだけである。このようなシミュレータでの操作訓練は、装置のカスタマイズが施される半導体露光装置のような機器においては、充分な操作訓練が実施できず不適切である。そのため、操作者の習熟度を向上することが難しい。
【００１１】
一方、シミュレーションシステムに顧客カスタマイズ仕様を実装する場合は、カスタマイズ情報が顧客先の生産活動に関する秘密情報であるため、シミュレーション開発者が正確にカスタマイズ情報を把握することができないという問題がある。そのため、シミュレーションシステムにカスタマイズ後の動作仕様を盛り込むことができない。
【００１２】
本発明の目的は、上述の問題点を解消し、機器のカスタマイズ後の動作仕様に対応し、機器操作の習熟度向上を実現する操作訓練用教育システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するための本発明に係る操作訓練用教育システムは、実機と同様の操作が可能なユーザインタフェイスを持つ操作手段と、動作履歴からシナリオを作成し、該シナリオを管理するシナリオ管理手段と、前記シナリオを実行して実機の応答を模擬するシナリオ実行手段と、状態マシンの状態に応じて、ユーザの操作に対して応答するシミュレーション制御手段とから成ることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る操作訓練用教育システムによれば、操作部から伝達されるコマンド種とシステムの状態に応じて、実機の動作履歴から作成されるシナリオを選択実行することにより、機器の応答を動的に作成する。従って、一度実機で操作された機能については、同様の応答動作を実現することができ、実際の機器応答と同様の操作が可能になり、実機操作と同様の操作訓練環境が得られ、操作者の習熟度が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】半導体露出装置のブロック回路構成図である。
【図２】操作訓練用教育システムのブロック回路構成図である。
【図３】表示制御部の構成図である。
【図４】表示制御部の動作フローチャート図である。
【図５】コマンド制御部の構成図である。
【図６】ＵＩアクション−送信コマンド対応表である。
【図７】コマンド制御部の動作フローチャート図である。
【図８】シミュレーション制御部の構成図である。
【図９】シミュレーション制御部のエラー発生制御ＧＵＩの表示画面である。
【図１０】システム用の状態遷移表である。
【図１１】ジョブ用の状態遷移表である。
【図１２】シミュレーション制御部の動作フローチャート図である。
【図１３】シナリオ管理部の構成図である。
【図１４】シナリオファイル表である。
【図１５】シナリオデータ構造表である。
【図１６】シナリオ−動作条件対応表である。
【図１７】動作履歴データ構造表である。
【図１８】シナリオ管理部のシナリオ選択の動作フローチャート図である。
【図１９】シナリオ管理部のシナリオ及び動作条件表作成の動作フローチャート図である。
【図２０】シナリオ実行部の構成図である。
【図２１】ＸＭＬエレメント属性−コマンド対応表である。
【図２２】シナリオ実行部の動作フローチャート図である。
【図２３】履歴取得部の構成図である。
【図２４】履歴更新部の実機からのデータ取得の動作フローチャート図である。
【図２５】履歴更新部のＵＩからのデータ取得の動作フローチャート図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明する。
図１は本実施例の教育システムの対象とする半導体露光装置のブロック回路構成図である。半導体露光装置を含む半導体製造ラインは、半導体露光装置１やコーターデベロッパ２、エッジング装置３、複数の操作端末部４の各種装置から構成されている。これらの各装置はネットワークＮにより接続され、半導体露光装置１の生産ラインは、制御アプリケーションＡを搭載の集中管理ホストコンピュータ５によって制御されている。
【００１７】
半導体露光装置１には、露光に伴う各種処理を実行するメカ／ハードウェア１１が設けられている。また、このメカ／ハードウェア１１を制御するハードウェア制御部１２、露光処理や計測処理をジョブとして制御するジョブ制御部１３、装置状態の監視、露光処理等を指示しアプリケーションを有する操作制御部１４が設けられている。更に、集中管理ホストコンピュータ５の生産ライン全体を統括する制御アプリケーションＡによる指示を受けて動作するオンライン制御部１５、各種動作の履歴を保持する動作履歴部１６が設けられている。
【００１８】
また、半導体露光装置１に接続された操作端末部４は複数の作業者が装置を操作することを目的に、操作制御部１４と同等のアプリケーションを搭載している。複数の操作端末部４が接続された構成において、任意の一端末が装置の制御を占有することも可能であり、これを占有権と云い、この占有権は獲得すべき端末が占有コマンドを装置に対して発行することにより実現する。
【００１９】
操作者が露光処理や各種計測処理、装置状態の取得を目的に、操作制御部１４のＧＵＩ（グラフィカルユーザインタフェイス）を操作すると、操作内容はコマンドに変換され、ジョブ制御部１３に送信される。ジョブ制御部１３はこのコマンドを解析しジョブとして実行する。ジョブは状態を持っており、ジョブ実行状況に応じて実行中、エラー解除待ち、終了処理中のように状態が推移する。ジョブ制御部１３のジョブ実行によって、ハードウェア制御部１２がハードウェアレジスタに値を設定し、割り込み処理やデータ転送処理などを行う。
【００２０】
半導体露光装置１が保持する動作履歴部１６は、障害発生時の原因解析データや、消耗品の交換時期予測のための予測データとして利用される。動作履歴部１６には、システム状態や、操作制御部１４及び制御アプリケーションＡからの機能実行指示内容と、それに伴う応答やイベント内容がタイムスタンプと共に保持／管理されている。
【００２１】
図２は半導体露光装置１に対する操作訓練用教育システムのブロック回路構成図である。操作訓練用教育システムは、対象機器の動作を模擬するソフトウェアを動作させるホストコンピュータ２０、操作者が操作するキーボードやマウスなどの入力装置２１、操作者にシステム状態を可視化するディスプレイなどの表示装置２２から構成されている。
【００２２】
ホストコンピュータ２０上で動作するソフトウェアの構成は、ＧＵＩ操作を制御する操作制御部２３とシミュレーションシステム２４とから構成され、操作制御部２３とシミュレーションシステム２４は通信によって情報伝達を行う。操作制御部２３は操作訓練対象の半導体露光装置１と同様のＵＩ表示とＵＩ操作が可能で、表示変更制御を行う表示制御部２５と、コマンド授受を制御するコマンド制御部２６から成っている。シミュレーションシステム２４はシミュレーション制御部２７、シナリオ実行部２８、シナリオ管理部２９から構成されている。
【００２３】
図３に示す表示制御部２５は、制御部２５ａとＧＵＩレイアウト２５ｂ、ＧＵＩ部品２５ｃから構成されている。制御部２５ａは操作者の指示やシステム状態に応じてＧＵＩレイアウト２５ｂ及びＧＵＩ部品２５ｃの色やテキスト情報といった属性情報を変更する。ＧＵＩレイアウト２５ｂはＧＵＩ部品２５ｃの組み合わせ方法や配置方法を定義しており、露光処理の進捗状況やステージ状態、ウェハ位置などの表示用ウィンドウがある。
【００２４】
図４は表示制御部２５の動作フローチャート図である。操作者によるＧＵＩ操作やシミュレーションシステム２４のコマンド応答などのイベント（事象）が発生すると（Ｓ１０１）、表示制御部２５内の処理で完結するか、シミュレーションシステム２４にコマンド送信が必要かを判断する。表示制御部２５内での処理で完結する場合は（Ｓ１０２）、ＧＵＩレイアウト２５ｂやＧＵＩ部品２５ｃの更新を行う（Ｓ１０３）。シミュレーションシステム２４へのコマンド送信が必要な場合は、コマンド制御処理に移る（Ｓ１０４）。
【００２５】
シミュレーションシステム２４からのコマンド応答やウェハ位置通知等のイベントをコマンド制御部２６を経由して受信した場合は、コマンド内容を解釈し、ＧＵＩレイアウト２５ｂやＧＵＩ部品２５ｃに反映する（Ｓ１０３）。
【００２６】
図５はコマンド制御部２６の構成図を示し、図６に示すＵＩアクション−送信コマンド対応表Ｌ１、通信制御手段２６ａから構成されている。ＧＵＩ操作による処理依頼のコマンド送信とシミュレーションシステム２４からの状態通知や応答の受信を担う。ＵＩイベントはＵＩアクション−送信コマンド対応表Ｌ１により対応するコマンドに変換され、通信制御手段２６ａがコマンドを送信する。ＵＩアクション−送信コマンド対応表Ｌ１には、ＵＩアクションの内容とそれに対応するコマンドとコマンドパラメータの種類が定義されている。
【００２７】
図７はコマンド制御部２６の動作フローチャート図である。コマンド制御処理が依頼されると（Ｓ２０１）、ＵＩアクション−送信コマンド対応表Ｌ１によりＵＩイベントをコマンドに変換し（Ｓ２０２）、操作制御部２３とシミュレーションシステム２４間の定義プロトコルに従ってコマンドを発行する（Ｓ２０３）。また、シミュレーションシステム２４からコマンド応答を受信すると（Ｓ２０１）、その内容を表示制御部２５に渡す（Ｓ２０４）。
【００２８】
図８はシミュレーション制御部２７の構成図を示し、通信制御部２７ａ、コマンドパラメータ抽出部２７ｂ、システム用状態マシン２７ｃ、ジョブインスタンス管理部２７ｄ、ジョブ用状態マシン２７ｅ、エラー発生制御部２７ｆから構成されている。また、ジョブインスタンス管理部２７ｄはジョブを識別するためにジョブ毎に付与されるコンテキスト情報の管理を担うコンテキスト情報管理部２７ｇを含んでいる。更に、シミュレーション制御部２７は後述するシステム用、ジョブ用の状態遷移表Ｌ２、Ｌ３を有している。
【００２９】
シミュレーション制御部２７は通信制御部２７ａのコマンド受信及びシナリオ実行部２８によるシナリオ実行完了や、エラー発生制御部２７ｆから発生するエラーイベントによって、システム用状態マシン２７ｃが状態遷移を起こす。エラー発生制御部２７ｆは強制的にシミュレーション制御部２７のシステム用状態マシン２７ｃやジョブ用状態マシン２７ｅの状態をエラー状態にするものであり、実機では発生頻度の少ないエラー処置の操作訓練用に用いられる。
【００３０】
図９はエラー発生制御部２７ｆのＧＵＩの表示画面を示している。エラー発生用ＧＵＩは半導体露光装置１の各種モジュール毎にエラー設定が可能である。ジョブインスタンス管理部２７ｄは露光処理などの処理単位でジョブの生成／削除を担う。
【００３１】
状態遷移表は図１０に示すシステム用の状態遷移表Ｌ２、図１１に示すジョブ用の状態遷移表Ｌ３のように定義される。システム用の状態遷移表Ｌ２は横の列にイベント種を縦の行に現在の状態を示し、交差する個所のマスの中はそのイベントが発生した時の処理内容（アクション）と次の遷移先の状態を示し、「アクション／次の遷移先状態」と表現している。システム用の状態遷移表Ｌ２では、シミュレーション制御部２７の現在状態が“オンライン状態でかつ非占有状態”のとき、占有コマンドを受信すると、状態遷移表Ｌ２のアクション定義に従ってａｃｃｅｐｔｅｄ応答を行う。そして、“オンライン状態でかつ占有状態”に遷移する。
【００３２】
ジョブ用の状態遷移表Ｌ３も同様の記述方式で表現されている。状態遷移表Ｌ３において実際の値としてのデータにあるジョブインスタンスが生成され、ジョブの現在状態が“ＰＲＥＰＲＯＣＥＳＳＩＮＧ”の場合に、一時停止コマンドを受信すると、状態遷移表Ｌ３のアクション定義に従ってａｃｃｅｐｔｅｄ応答を行う。更に、シナリオを実行し、“ＰＡＵＳＥＤ状態”に遷移する。なお、シナリオ実行はシナリオ実行部２８がシミュレーション制御部２７の状態とコマンドパラメータの内容から実行に適したシナリオを検索して実行する。
【００３３】
ジョブの現在の状態が“ＰＲＯＣＥＳＳＩＮＧ”の場合には、シナリオ実行完了イベントを受信すると、ジョブ用の状態遷移表Ｌ３のアクション定義に従ってシナリオを実行し、次の状態遷移先の“ＰＯＳＲＰＲＯＣＥＳＳＩＮＧ”に遷移する。ジョブの現在の状態が“ＰＲＯＣＥＳＳＩＮＧ”の場合に、エラー発生イベントを受信すると、状態遷移表Ｌ３のアクション定義に従って実行中のシナリオを停止し、次の状態遷移先の“ＳＵＳＰＥＮＤＥＤ”に遷移する。
【００３４】
図１２はシミュレーション制御部２７の動作フローチャート図である。通信制御部２７ａが操作制御部２３のコマンド制御部２６から送信されたコマンドを受信すると（Ｓ３０１）、コマンドパラメータ抽出部２７ｂがコマンド内のデータ構造を解析してコマンドパラメータを抽出し、コマンド種を特定する（Ｓ３０２）。システム用状態マシン２７ｃからシステムの状態を取得する（Ｓ３０３）。システムの状態がジョブ制御コマンドでない場合は（Ｓ３０４）、システム用の状態遷移表Ｌ２に定義されたアクションを実行して（Ｓ３０５）、システム用状態マシン２７ｃの状態を次の遷移先に遷移させる（Ｓ３０６）。
【００３５】
ジョブ抑制コマンドの場合で、受信したコマンドがジョブ生成コマンドの場合は（Ｓ３０７）、ジョブインスタンス管理部２７ｄがジョブインスタンスの上限値を超えていないかなどのジョブ生成条件を判断する（Ｓ３０８）。生成可能であれば、ジョブインスタンスを生成する（Ｓ３０９）。更に、インスタンスを識別するためのコンテキスト情報を、コンテキスト情報管理部２７ｇが作成する（Ｓ３１０）。そして、ジョブ用状態マシン２７ｅの状態を取得し（Ｓ３１１）、アクションに「シナリオ実行」が指定されていた場合は、シナリオ実行部２８にコマンドパラメータとシステムとジョブの状態を渡してシナリオを実行する（Ｓ３１２）。ジョブ生成以外のジョブ制御コマンドの場合も、Ｓ３１１〜Ｓ３１３のアクション実行と次の状態への遷移処理を行う。
【００３６】
図１３に示すシナリオ管理部２９は、動作履歴部２８ａ、シナリオ選択部２８ｂ、動作履歴からシナリオへに変換するシナリオ変換部２８ｃから構成されている。また、シナリオ管理部２９はシナリオファイル表Ｌ４、シナリオ−動作条件対応表Ｌ６を有している。シナリオ変換部２８ｃは動作履歴を解釈する履歴解釈部２８ｄが装置のコマンド応答やイベント送信を抽出する。シナリオ作成部２８ｅは抽出されたデータを基に、記述言語であるＸＭＬのエレメント種や属性値を決定し、図１４に示すシナリオファイル表Ｌ４に出力する。
【００３７】
図１５に示すシナリオデータ構造表Ｌ５は、シナリオファイル表Ｌ４を作成する際に動作履歴から機器の応答やイベントを抜き出した中間データである。コマンド単位でコマンドパラメータとその値を抽出し、更に前のコマンド送信からの経過時間を算出する。これをＸＭＬ形式化したシナリオファイル表Ｌ４に、シナリオデータ構造表Ｌ５で示した各要素をＸＭＬエレメント及びエレメント属性として表現している。タイマはコマンドの送信間隔を定義するもので、履歴から抽出したタイムスタンプから導出しているため、コマンド応答やイベント送信のタイミングについてもよりリアルに動作模擬が可能となる。
【００３８】
図１６に示す動作条件とシナリオ名を対応させたシナリオ−動作条件対応表Ｌ６は、シナリオ名と動作条件の関連を表現し、動作条件にコマンドパラメータ種とその値及びジョブ状態が記載され、それに対応してシナリオファイル名が登録されている。動作条件は主に実機の操作部から送信される露光処理依頼などのコマンドパラメータと実機の状態を指し、シナリオは操作部に送信された複数のコマンド応答やイベントを基に作成する。
【００３９】
図１７に示す動作履歴データ構造表Ｌ７は動作履歴部２８ａのデータ構造の例を示している。実機の操作制御部１４とジョブ制御部１３間のプロトコルとシステム／ジョブ／ユニットの状態変化をモニタしたものであり、コマンド依頼／応答やジョブ制御部１３からのイベント発行が記録されている。履歴の内容はタイムスタンプ、操作区分、操作番号、状態、コマンド種、コマンドパラメータとその値から構成されている。
【００４０】
図１８はシナリオ管理部２９のシナリオ選択の動作フローチャート図である。シミュレーション制御部２７のコマンドパラメータ抽出部２７ｂからコマンドパラメータを、システム用状態マシン２７ｃとジョブ用状態マシン２７ｅから各種状態を取得する（Ｓ４０１）。そして、これらの情報に合致する動作条件をシナリオ−動作条件対応表Ｌ６内で検索する（Ｓ４０２）。条件に合致する内容が検出された場合は（Ｓ４０３）、シナリオ名を依頼元に渡し（Ｓ４０４）、合致するシナリオが存在しなかった場合には、コマンドパラメータとシミュレーション制御部２７の状態に最も近い動作条件を特定する（Ｓ４０５）。
【００４１】
図１９はシナリオ管理部２９のシナリオファイル表Ｌ４及びシナリオ−動作条件対応表Ｌ６の作成のための動作フローチャート図である。動作履歴部２８ａに次の行があると（Ｓ５０１）、１行ずつ読み出す（Ｓ５０２）。操作区分が“ｏｐｅｒａｔｉｏｎ”でコマンド応答やイベント送信を示す場合は（Ｓ５０３）、図１５のシナリオデータ構造表Ｌ５のシナリオ中間データにコマンド枠を追加する（Ｓ５０４）。前回のコマンドのタイムスタンプと現履歴のタイムスタンプとの差分を算出し、１回前のコマンドのタイマ値として設定する（Ｓ５０５）。そして、現履歴のタイムスタンプをテンポラリ領域に格納し（Ｓ５０６）、追加したコマンド枠にはコマンド種、コマンドパラメータとその値を登録する（Ｓ５０７）。
【００４２】
また、ジョブの状態変化”ｊｏｂＳｔａｔｕｓ”の場合では（Ｓ５０３）、図１５のシナリオデータ構造表Ｌ５のシナリオ中間データに登録されている全データをＸＭＬ形式に変換してシナリオファイルを作成し、シナリオ中間データをクリアする（Ｓ５０８）。操作区分が“ｏｐｅｒａｔｉｏｎ”でコマンド受信の場合と、操作区分がシステムの状態変化”ｓｔａｔｕｓ”も同様である。作成したシナリオファイル表Ｌ４の名称と保持している動作条件を対応させて、シナリオ−動作条件対応表Ｌ６を更新し（Ｓ５０９）、現在の履歴から抽出した各種要素で動作履歴を更新する（Ｓ５１０）。以上の処理を動作履歴に次の行がある限り、全ての行に対して行う（Ｓ５０１）。
【００４３】
図２０に示すシナリオ実行部２８は、シナリオコマンド変換部２９ａ、コンテキスト情報置換部２９ｂ、ＸＭＬエレメント属性−コマンド対応表Ｌ８から構成されている。シナリオコマンド変換部２９ａはＸＭＬ形式で記載されたシナリオファイルを解釈し、コマンドに変換する。
【００４４】
このコマンドへの変換は、ＸＭＬで定義されたコマンド種を示すＸＭＬエレメントの属性値とコマンドの対応を定義した図２１に示すＸＭＬエレメント属性−コマンド対応表Ｌ８を基に実行される。ＸＭＬエレメント属性−コマンド対応表Ｌ８はＸＭＬで記載されたシナリオの要素をパースし、予め決められたＸＭＬエレメントの属性の値を取得し、対応表のＸＭＬエレメント属性に対して取得した値を検索してコマンドを特定する。
【００４５】
ところで、ジョブ投入毎にインクリメントされるジョブコンテキスト情報であるジョブ識別情報が存在し、この情報は同時に複数投入されるジョブを区別するための識別子であり、殆どのコマンド応答やイベントに含まれる情報である。ジョブ識別情報は動的に変化するため、動作履歴の情報をそのまま利用できない。そのため、コンテキスト情報置換部２９ｂがコンテキスト情報をシミュレーション制御部２７のコンテキスト情報管理部２７ｇから取得し、コマンドパラメータに反映する必要がある。
【００４６】
図２２はシナリオ実行部２８にシナリオ実行が依頼された際の動作フローチャート図である。シナリオ実行部２８は実行指示により（Ｓ６０１）、実行対象のシナリオをシナリオ管理部２９から取得する（Ｓ６０２）。取得したシナリオを展開してＸＭＬエレメントの属性値を取得し、次の行が定義されていれば（Ｓ６０３）、ＸＭＬエレメント属性−コマンド対応表Ｌ８から実行するコマンドを特定する（Ｓ６０４）。実行するコマンドにシナリオ内に記載されているパラメータ値を反映し、更にコンテキスト情報置換部２９ｂがコンテキスト情報をコンテキスト情報管理部２７ｇから取得して、ジョブ識別子などのパラメータ値に反映する（Ｓ６０５）。作成したコマンドは予め定義したプロトコルに従って、操作制御部２３に送信する（Ｓ６０６）。
【００４７】
上述のステップＳ６０３〜Ｓ６０６の処理を、シナリオ内の全てのＸＭＬエレメントに対して実行し（Ｓ６０３）、１個のシナリオファイルの実行を完了する。シナリオ実行が完了すると、完了イベントをシミュレーション制御部２７に送信し、シミュレーション制御は必要に応じてモデルの状態遷移を起こす。
【００４８】
シナリオ管理部２９の動作履歴部２８ａは、ユーザの利用形態に応じて随時更新が可能である。例えば、装置のバージョンアップや顧客カスタマイズの追加などにより、装置の動作仕様の変更があった場合に、最新の機器の動作情報を操作訓練環境に速やかに動作仕様を反映する必要がある。また、実機で行われる多様な機能実行を動作履歴部２８ａに定期的に取り込むことにより、教育システム内で保持するよりも動作定義パターンが増し、リアルな動作模擬を実現する。
【００４９】
図２３はシナリオ管理部２９に付随する履歴取得部の構成図である。半導体露光装置１の実機側に動作履歴を随時取得するための履歴取得部３１（エージェント）を作動させておき、教育システムの履歴更新部３２とネットワークを通じて通信を行う。
【００５０】
実機側の半導体露光装置１は動作履歴部１６、履歴取得部３１から構成され、履歴取得部３１は更新スケジュール部３３、通信制御部３４を有している。教育システム側の履歴更新部３２は、通信制御部３５、履歴反映部３６、履歴更新ＵＩ３７から構成されている。
【００５１】
履歴更新時に、実機側の更新スケジュール部３３に基づいて動作履歴部１６からデータを取得し、通信制御部３４を通じて、教育システムの履歴更新部３２に履歴データを送信する。
【００５２】
図２４は履歴取得の動作フローチャート図である。教育システムの履歴更新部３２はネットワークと通じて通信制御部３５が履歴データを受信して（Ｓ７０１）、履歴反映部３６によってシナリオ管理部２９の動作履歴部２８ａを更新し（Ｓ７０２）、更新した履歴を基に新たにシナリオを作成する（Ｓ７０３）。
【００５３】
図２５はＵＩによる履歴取得動作フローチャート図である。教育システムの履歴更新部３２は、教育システム独自の履歴更新ＵＩ３７によって、教育システムの操作者が更新対象の動作履歴ファイルを指定する（Ｓ８０１）。この指定により、対象ファイルの内容をシナリオ管理部２９の動作履歴部２８ａに反映し（Ｓ８０２）、更新した履歴を基に新たにシナリオを作成する（Ｓ８０３）。
【００５４】
このように本実施例によれば、半導体露光装置１の教育システムは、操作制御部２３が送信するコマンドを解析し、コマンド種とシステムの状態に応じてシナリオを選択実行することにより、機器の応答を動的に作成する。ここで用いるシナリオは実機の動作履歴から作成するため、一旦、半導体露光装置１で操作された機能について同様の応答動作を再現することができ、実機応答と同様の操作が可能になる。このような実機操作と同様の操作訓練環境とすることにより、操作者の習熟度の向上が期待できる。
【００５５】
なお、本実施例においては、半導体露光装置１の実機を対象として、操作訓練用教育システムについて説明したが、他の種類の実機に対して同様の精度システムとすることもできる。
【符号の説明】
【００５６】
１  半導体露光装置
４  操作端末部
５  集中管理ホストコンピュータ
１１  メカ／ハードウェア
１２  ハードウェア制御部
１３  ジョブ制御部
１４  操作制御部
１５  オンライン制御部
１６  動作履歴部
２０  ホストコンピュータ
２１  入力装置
２２  表示装置
２３  操作制御部
２４  シミュレーションシステム
２５  表示制御部
２６  コマンド制御部
２７  シミュレーション制御部
２８  シナリオ実行部
２９  シナリオ管理部
３１  履歴取得部
３２  履歴更新部
３３  更新スケジュール部
３６  履歴反映部
３７  履歴更新ＵＩ
Ａ  制御アプリケーション
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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