(57)【要約】【課題】歩留まりが高く、良好な光学結合効率が得られる光電気変換部品及びその製造方法を提供する。【解決手段】電極２０と、電極２０に導通接続された光デバイス１３とを備えた光電気変換部品１１であって、第１の透明材料から形成された第１透光部２１と、第１の透明材料よりも屈折率が大きい第２の透明材料から形成された第２透光部２２とを有し、第１透光部２１と第２透光部２２との境界面に曲面状の内部レンズ面３１が形成され、光デバイス１３と第１透光部２１との間に第２透光部２２が設けられ、内部レンズ面３１の光軸を通る光伝送路上で内部レンズ面３１に対して光デバイス１３と反対側が第１透光部２１で形成されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極と、前記電極に導通接続された光デバイスとを備えた光電気変換部品であって、
第１の透明材料から形成された第１透光部と、
前記第１の透明材料よりも屈折率が大きい第２の透明材料から形成された第２透光部とを有し、
前記第１透光部と前記第２透光部との境界面に曲面状の内部レンズ面が形成され、
前記光デバイスと前記第１透光部との間に前記第２透光部が設けられ、前記内部レンズ面の光軸を通る光伝送路上で前記内部レンズ面に対して前記光デバイスと反対側が前記第１透光部で形成されていることを特徴とする光電気変換部品。
【請求項２】
請求項１に記載の光電気変換部品であって、
前記第１透光部は、前記光伝送路上で前記内部レンズ面に対して前記光デバイスと反対側の面に、曲面状の外部レンズ面面を有することを特徴とする光電気変換部品。
【請求項３】
請求項１または２に記載の光電気変換部品であって、
前記電極と前記光デバイスとの接続箇所が、前記第２透光部を形成する第２の透明材料によって補強されていることを特徴とする光電気変換部品。
【請求項４】
請求項１から３の何れか一項に記載の光電気変換部品であって、
前記第１透光部には、前記第２透光部を形成する第２の透明材料が充填される充填空間に連通する開口部が形成されていることを特徴とする光電気変換部品。
【請求項５】
請求項１から４の何れか一項に記載の光電気変換部品であって、
前記内部レンズ面が複数設けられ、それぞれの前記内部レンズ面の光軸を通る複数の前記光伝送路が配列され、前記光伝送路に対応する複数本の光ファイバを保持する光ファイバアレイが前記第１透光部に対して前記光デバイスと反対側に配置されていることを特徴とする光電気変換部品。
【請求項６】
請求項５に記載の光電気変換部品であって、
前記第１透光部に対して前記光ファイバアレイを位置決めし、それぞれの前記光ファイバの端面を前記光伝送路上に配置させる位置決めガイドを備えていることを特徴とする光電気変換部品。
【請求項７】
請求項１から６の何れか一項に記載の光電気変換部品を製造する製造方法であって、
前記第１の透明材料を成型して前記内部レンズ面となる曲面部分を有する前記第１透光部を前記電極とともに成型する第１透光部成型工程と、
前記曲面部分の対向位置において、前記電極に前記光デバイスを導通状態に接続させて取り付ける光デバイス取り付け工程と、
前記第１透光部の前記曲面部分と前記光デバイスとの間に、前記第２の透明材料を充填して硬化させて前記第２透光部を成型する第２透光部成型工程とを含むことを特徴とする光電気変換部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光伝送等に用いられる光電気変換部品及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
発光素子で発生させた光信号を光ファイバにより伝送したり、光ファイバを伝搬してきた光信号を受光素子で受光する光伝送を行う光電気変換部品は、収納スペース等の制約からコンパクト化が望まれている。
このため、外面に金属めっき部を備えた樹脂製のフェルールに形成されたファイバ孔に光ファイバを挿入して固定し、光デバイスや電気デバイスなどの異なるデバイス同士を、金属めっき部を介して電気的に接続可能としてコンパクト化を図る技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１１５２８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、上記フェルールにおいて、ファイバ孔へ光ファイバを挿入するときに、ファイバ孔の内周面が光ファイバの端面の縁部によって削れる場合がある。そして、その削り屑が光ファイバの端面に付着し、光デバイスとの光学結合効率が低下してしまうことがあった。
また、ファイバ孔の端部に光デバイスを配置させた場合、ファイバ孔へ挿入した光ファイバの端面が光デバイスに当たり、光デバイスの素子部分を損傷させ、光電気変換部品の歩留まりの低下を招いてしまうこともあった。
【０００５】
本発明の目的は、歩留まりが高く、良好な光学結合効率が得られる光電気変換部品及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決することのできる本発明の光電気変換部品は、電極と、前記電極に導通接続された光デバイスとを備えた光電気変換部品であって、
第１の透明材料から形成された第１透光部と、
前記第１の透明材料よりも屈折率が大きい第２の透明材料から形成された第２透光部とを有し、
前記第１透光部と前記第２透光部との境界面に曲面状の内部レンズ面が形成され、
前記光デバイスと前記第１透光部との間に前記第２透光部が設けられ、前記内部レンズ面の光軸を通る光伝送路上で前記内部レンズ面に対して前記光デバイスと反対側が前記第１透光部で形成されていることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明の光電気変換部品において、前記第１透光部は、前記光伝送路上で前記内部レンズ面に対して前記光デバイスと反対側の面に、曲面状の外部レンズ面を有することが好ましい。
【０００８】
また、本発明の光電気変換部品において、前記電極と前記光デバイスとの接続箇所が、前記第２透光部を形成する第２の透明材料によって補強されていることが好ましい。
【０００９】
また、本発明の光電気変換部品において、前記第１透光部には、前記第２透光部を形成する第２の透明材料が充填される充填空間に連通する開口部が形成されていることが好ましい。
【００１０】
また、本発明の光電気変換部品において、前記内部レンズ面が複数設けられ、それぞれの前記内部レンズ面の光軸を通る複数の前記光伝送路が配列され、前記光伝送路に対応する複数本の光ファイバを保持する光ファイバアレイが前記第１透光部に対して前記光デバイスと反対側に配置されていることが好ましい。
【００１１】
また、本発明の光電気変換部品において、前記第１透光部に対して前記光ファイバアレイを位置決めし、それぞれの前記光ファイバの端面を前記光伝送路上に配置させる位置決めガイドを備えていることが好ましい。
【００１２】
また、本発明の光電気変換部品の製造方法は、上記の何れかの光電気変換部品を製造する製造方法であって、
前記第１の透明材料を成型して前記内部レンズ面となる曲面部分を有する前記第１透光部を前記電極とともに成型する第１透光部成型工程と、
前記曲面部分の対向位置において、前記電極に前記光デバイスを導通状態に接続させて取り付ける光デバイス取り付け工程と、
前記第１透光部の前記曲面部分と前記光デバイスとの間に、前記第２の透明材料を充填して硬化させて前記第２透光部を成型する第２透光部成型工程とを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の光電気変換部品及びその製造方法によれば、光伝送路上で第１透光部に対して内部レンズ面と反対側に光ファイバの端面を配置することで、光電気変換部品の内部レンズ面の光軸を通る光伝送路において光デバイスと光ファイバとの光伝送を行うことができる。そのため、フェルールのファイバ孔へ光ファイバを挿入して固定する構造と比較して、光ファイバの独立性を高めることができる。また、光伝送路において伝送させる光を、第１透光部と第１透光部よりも屈折率が大きい第２透光部との境界面に設けられた内部レンズ面によって良好に集光させることができるので、良好な光学結合効率で光伝送を行うことができる。
これにより、光ファイバの実装時に、削り屑の発生による光学結合効率の低下や光デバイスとの接触による歩留まりの低下をなくすことができる。つまり、当該部品の歩留まりを高めることができ、良好な光学結合効率を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態に係る光電気変換部品を備えた光電気変換モジュールの外観を示す斜視図である。
【図２】図１の光電気変換モジュールを示す断面図である。
【図３】図１の光電気変換モジュールの分解斜視図である。
【図４】光デバイスの構造を示す光デバイスの正面図である。
【図５】図１の光電気変換モジュールにおける光伝送路を示す概略平面図である。
【図６】光電気変換部品の製造方法を示す図であって、（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ光電気変換部品の断面図である。
【図７】光電気変換部品の変形例を示す第１透光部の断面図である。
【図８】光電気変換部品の変形例を示す第１透光部の斜視図である。
【図９】実施例において用いる光源となる発光素子のファーフィールドパターンの特性を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明に係る光電気変換部品及びその製造方法の実施の形態の例を、図面を参照して説明する。
図１及び図２に示すように、本実施形態に係る光電気変換部品１１は、電気デバイス１２、光ファイバアレイ１４とともに光電気変換モジュール１５を構成し、光電気変換モジュール１５は、回路基板１６に実装されている。
【００１６】
図３にも示すように、光電気変換部品１１は、略直方体形状に形成されており、一方の端面がデバイス固定面１１ａとされ、他方の端面が光ファイバ接続面１１ｂとされている。光電気変換部品１１は、複数の電極２０とともに一体成型された構造を有しており、電極２０は、デバイス固定面１１ａ側に設けられている。
【００１７】
光電気変換部品１１は、第１透光部２１と第２透光部２２とから構成されている。第１透光部２１は、第１の透明材料を射出成型することによって成型されたものである。第１の透明材料としては、例えば、環状オレフィン系樹脂やフッ素樹脂などの耐熱性のある射出成型用の透明樹脂が用いられる。
【００１８】
第１透光部２１には、デバイス固定面１１ａ側に、光ファイバ接続面１１ｂ側へ向かって延びる断面円形の複数の穴部（充填空間）２３が並設されており、これらの穴部２３内に第２透光部２２が設けられている。第２透光部２２は、第１透光部２１よりも屈折率が大きい第２の透明材料を穴部２３へ充填して硬化させることにより成型されたものであり、この第２の透明材料としては、例えば、エポキシ樹脂やポリカーボネート樹脂などの透明樹脂が用いられる。また、第１透光部２１には、第２透光部２２を形成する第２の透明材料が充填される充填空間である穴部２３に連通する開口部２４が形成されており、穴部２３に充填した第２の透明材料に気泡が含まれていても開口部２４から排出されるようになっている。
【００１９】
第１透光部２１の穴部２３の底部における第１透光部２１と第２透光部２２との境界面は、光ファイバ接続面１１ｂ側へ突出する曲面状に形成されており、この曲面状の境界面によって内部レンズ面３１が形成されている。そして、光電気変換部品１１では、デバイス固定面１１ａと光ファイバ接続面１１ｂとの間に、内部レンズ面３１の光軸を通る複数の光伝送路Ａを有している。
第１透光部２１の光ファイバ接続面１１ｂには、それぞれの光伝送路Ａ上に、外側へ突出する曲面状の外部レンズ面３２が形成されている。
【００２０】
光電気変換部品１１の光ファイバ接続面１１ｂ側には、複数本の光ファイバ心線４３（またはテープ心線）の端部が接続された光ファイバアレイ１４が設けられている。この光ファイバアレイ１４は、例えばフェルール４２を有する光コネクタの形態をなしており、フェルール４２は、例えば、ポリエステル樹脂、ＰＰＳ樹脂及びエポキシ樹脂の何れかを含む材料で形成されている。光ファイバ心線４３は、コア４４ａ及びクラッド４４ｂを有するガラスファイバ（光ファイバ）４４を樹脂によって被覆したもので、光ファイバ心線４３の端部で被覆から露出されたガラスファイバ４４がフェルール４２に保持されている。そして、フェルール４２における光ファイバ接続面１１ｂとの対向面である光入出面１４ａで、それぞれのガラスファイバ４４の端面が露出されている。
【００２１】
この光ファイバアレイ１４には、光電気変換部品１１側の光入出面１４ａの両側部に、光電気変換部品１１側へ突出する位置決めピン（位置決めガイド）４５が設けられている。また、これらの位置決めピン４５の上下位置には、光電気変換部品１１側へ突出する位置決めスペーサ４６が設けられている。位置決めピン４５は、位置決めスペーサ４６よりも突出寸法が大きく、光電気変換部品１１の光ファイバ接続面１１ｂの両側部に形成された位置決め穴（位置決めガイド）４７へ挿入可能とされている。なお、位置決めスペーサ４６は光電気変換部品１１と光ファイバアレイ１４の間の空間を覆うものであっても良い。
【００２２】
そして、この光ファイバアレイ１４は、位置決めピン４５を位置決め穴４７へ挿入させながら、位置決めスペーサ４６の先端部が光電気変換部品１１の光ファイバ接続面１１ｂに当接するまで光電気変換部品１１側へ近接させることにより、ガラスファイバ４４の端面４４ａを、光電気変換部品１１の光伝送路Ａ上の所定位置に高精度に配置させることができる。
【００２３】
電極２０は、光電気変換部品１１のデバイス固定面１１ａにおける第２透光部２２の下方に配置された短尺電極５１と、第２透光部２２の側方に配置された長尺電極５２とを有している。短尺電極５１は、その一部が第１透光部２１の下面側まで延ばされ、長尺電極５２は、その一部が第１透光部２１の上面側まで延ばされている。そして、第１透光部２１の上下面に延ばされた短尺電極５１及び長尺電極５２の一部が、それぞれ電極端子５１ａ，５２ａとされている。
【００２４】
図４に示すように、電極２０が設けられた光電気変換部品１１のデバイス固定面１１ａに取り付けられる光デバイス１３は、デバイス固定面１１ａに取り付けられる取り付け面である素子面１３ａに、複数の素子部６１と端子部６２とを有している。
この光デバイス１３は、例えば、ＶＣＳＥＬ（Vertical Cavity Surface Emitting Laser）などの発光素子やフォトダイオードなどの受光素子である。光デバイス１３の素子部６１は、光デバイス１３が発光素子である場合は発光部であり、光デバイス１３が受光素子である場合は受光部である。
【００２５】
また、光デバイス１３の端子部６２は、素子部６１の下方に配置された短尺端子部６３と、素子部６１の側方に配置された長尺端子部６４とされている。
そして、この光デバイス１３は、それぞれの素子部６１がそれぞれの第２透光部２１に対向するように、光電気変換部品１１のデバイス固定面１１ａに取り付けられている。また、光デバイス１３の端子部６２は、短尺端子部６３が短尺電極５１と対向位置に配置され、長尺端子部６４が長尺電極５２と対向位置に配置されている。短尺端子部６３と短尺電極５１及び長尺端子部６４と長尺電極５２は、例えば、金（Ａｕ）からなるバンプ７０によって導通接続されている。
【００２６】
このように、光電気変換部品１１のデバイス固定面１１ａに取り付けられた光デバイス１３は、デバイス固定面１１ａとの隙間が第２透光部２２を形成する第２の透明材料によって埋められて、光電気変換部品１１の電極２０と光デバイス１３の端子部６２との接続箇所が補強されている。
【００２７】
光電気変換部品１１は、その下面側の電極端子５１ａが回路基板１６に形成された回路パターン（図示省略）に導通接続されている。そして、回路基板１６に実装された電気デバイス１２の端子部１２ａと導通されている。また、光電気変換部品１１は、その上面側の電極端子５２ａが、例えば、金（Ａｕ）からなるボンディングワイヤ７１によって電気デバイス１２の端子部１２ａに導通接続されている。
なお、電気デバイス１２は、例えば、ドライバ、トランスインピーダンスアンプなどの光素子駆動ＩＣである。
【００２８】
ここで、光電気変換部品１１の全長Ｌは約２ｍｍとされており、第２透光部２２の光軸方向の長さＬ１は全長Ｌの約１０％以上１５％以下とされている。
また、第１透光部２１におけるそれぞれの外部レンズ面３２は、一辺が約０．２５ｍｍの矩形状の範囲内に形成されている。また、第２透光部２２は、その径が約０．０５ｍｍとされている。
【００２９】
また、光デバイス１３の素子面１３ａから光電気変換部品１１の電極２０までの距離Ｇは約０．０１ｍｍとされている。
光ファイバアレイ１４に取り付けられる光ファイバ心線４３としては、コア径が約０．０５ｍｍ、開口率（ＮＡ）が約０．２１、波長が約８５０ｎｍであるものが用いられている。
【００３０】
上記の光電気変換部品１１を備えた光電気変換モジュール１５では、図５に示すように、４つの光伝送路Ａが形成されており、これらの光伝送路Ａを介して光デバイス１３とガラスファイバ４４との間で光伝送が行われる。
発光素子からなる光デバイス１３からガラスファイバ４４へ光伝送が行われる場合では、光デバイス１３の素子部６１から発光されて第２透光部２２へ照射された光は、内部レンズ面３１によって集光して第１透光部２１を通り、外部レンズ面３２によって再び集光してガラスファイバ４４のコア４４ａへ入射することとなる。
【００３１】
また、ガラスファイバ４４から受光素子からなる光デバイス１３へ光伝送が行われる場合では、ガラスファイバ４４のコア４４ａから出射した光は、外部レンズ面３２によって集光して第１透光部２１を通り、内部レンズ面３１によって再び集光して第２透光部２２を通過して光デバイス１３の素子部６１へ入射することとなる。
【００３２】
このように、上記実施形態に係る光電気変換部品１１は、第１透光部と第２透光部との境界面が内部レンズ面３１とされて、内部レンズ面３１の光軸を通る光伝送路上で内部レンズ面３１に対して光デバイス１３と反対側が第１透光部２１で形成されている。また、光デバイス１３と第１透光部との間に形成された第２透光部は第１透光部２１よりも屈折率が大きい。この光電気変換部品１１の内部レンズ面３１の光軸を通る光伝送路Ａにおいて、光デバイス１３とガラスファイバ４４との光伝送を行うので、フェルールのファイバ孔へ光ファイバを挿入して固定する構造と比較して、ガラスファイバ４４の独立性を高めることができる。また、光伝送路Ａにおいて伝送させる光を、第１透光部２１と第１透光部２１よりも屈折率が大きい第２透光部２２との境界面に設けられた内部レンズ面３１によって良好に集光させることができるので、良好な光学結合効率で光伝送を行うことができる。
【００３３】
これにより、ガラスファイバ４４の実装時に、削り屑の発生による光学結合効率の低下や光デバイス１２との接触による歩留まりの低下をなくすことができる。つまり、歩留まりを高めることができ、良好な光学結合効率を得ることができる。
また、第１透光部２１には、内部レンズ面３１に対して光デバイス１３とは反対側の面に外部レンズ面３２を設けたので、内部レンズ面３１と外部レンズ面３２との二重レンズ構造によって、光学結合効率を一層向上させることができる。
【００３４】
次に、上記の光電気変換部品１１を製造する場合について、工程ごとに説明する。
【００３５】
（第１透光部成型工程）
図６（ａ）に示すように、まず、第１透光部２１を成型する。具体的には、電極２０をインサートした金型へ第１の透明材料を射出成型することにより、穴部２３及び開口部２４を有し、穴部２３の底部が曲面とされた電極２０を有する第１透光部２１を一体成型する。このとき、穴部２３及び開口部２４を形成する位置には、それぞれピン状の抜型を配置しておき、脱型時にそれぞれの抜型を抜き取る。
【００３６】
（光デバイス接合工程）
次に、図６（ｂ）に示すように、成型した第１透光部２１における穴部２３の開口側のデバイス固定面１１ａに、光デバイス１３を接合させる。具体的には、デバイス固定面１１ａと光デバイス１３の素子面１３ａとを突き合わせ、電極２０と端子部６２とをバンプ７０によって導通接続させる。
【００３７】
（第２透光部成型工程）
その後、図６（ｃ）に示すように、第１透光部２１の穴部２３へ、溶融状態の第２の透明材料を充填して硬化させることにより、第２透光部２２を成型する。ここで、穴部２３へ充填された第２の充填材料は、第１透光部２１と光デバイス１３との隙間にも入り込み、光デバイス１３の周囲を覆うように硬化する。これにより、光デバイス１３は、その周囲が第２透光部２２を形成する第２の透明材料によって覆われて光電気変換部品１１の電極２０と光デバイス１３の端子部６２との接続箇所が補強される。穴部２３へ充填された第２の透明材料に気泡が含まれていたとしても、その気泡は、第１透光部２１の開口部２４へ導かれ、この開口部２４から外部へ排出される。これにより、穴部２３は気泡の残留なく第２透明材料によって満たされ、良好な第２透光部２２が成型される。
【００３８】
そして、上記の光電気変換部品の製造方法によれば、ガラスファイバ４４の実装時における歩留まりの低下がなく、また、良好な光学結合効率を得ることが可能な光電気変換部品１１を円滑に製造することができる。
【００３９】
なお、上記実施形態では、第１透光部２１に、穴部２３と繋がる開口部２４を形成したが、図７及び図８に示すように、第１透光部２１の上面とデバイス固定面１１ａとに連通するスリット８０を形成しても良い。このようなスリット８０を有する第１透光部２１によれば、穴部２３への第２の透明材料の気泡をスリット８０から良好に排出させることができ、また、第１透光部２１の成型時において、穴部２３とスリット８０とを形成するための抜型を一体化して同一方向へ抜くことができ、成型作業の効率を高めることができる。
【００４０】
また、上記実施形態では、光電気変換部品１１として、４つの光伝送路Ａを有するものを例示して説明したが、光伝送路Ａの数は４つに限定されることはない。
また、第１透光部２１の屈折率、第２透光部２２の屈折率、内部レンズ面３１の曲率半径等の条件によっては、外部レンズ面３２を形成しない場合もあり、また、光ファイバアレイ１４を光電気変換部品１１に対して当接させて配置させる場合もある。
【実施例】
【００４１】
材料及び寸法の異なる複数種類の光電気変換部品を用い、それぞれ光伝送路における光学結合効率を測定した。
【００４２】
（試験対象の光電気変換部品）
（実施例１）
（１）使用材料
第１透光部を成型する第１の透明材料として耐熱性のある射出成型用樹脂である屈曲率１．５１のナイロン系樹脂を用い、第２透光部を成型する第２の透明材料として屈曲率１．５６の固定用エポキシ系樹脂を用いた。
（２）各寸法
内部レンズ面の曲率半径：０．０３０ｍｍ
第２透光部の光軸方向の長さＬ１：０．２７５ｍｍ
外部レンズ面の曲率半径：０．２９０ｍｍ
ガラスファイバとの間隔：０．７７４ｍｍ
【００４３】
（実施例２）
（１）使用材料
第１透光部を成型する第１の透明材料として耐熱性のある射出成型用樹脂である屈曲率１．５１のナイロン系樹脂を用い、第２透光部を成型する第２の透明材料として屈曲率１．６５の高屈折率エポキシ系樹脂を用いた。
（２）各寸法
内部レンズ面の曲率半径：０．０４７ｍｍ
第２透光部の光軸方向の長さＬ１：０．２８８ｍｍ
外部レンズ面の曲率半径：０．２９８ｍｍ
ガラスファイバとの間隔：０．７９８ｍｍ
【００４４】
（実施例３）
（１）使用材料
第１透光部を成型する第１の透明材料として屈曲率１．３４のフッ素系樹脂を用い、第２透光部を成型する第２の透明材料として屈曲率１．５８のポリカーボネート樹脂を用いた。
（２）各寸法
内部レンズ面の曲率半径：０．０５６ｍｍ
第２透光部の光軸方向の長さＬ１：０．２６５ｍｍ
外部レンズ面の曲率半径：０．２１７ｍｍ
ガラスファイバとの間隔：０．６７９ｍｍ
【００４５】
（比較例１）
（１）使用材料
第１透光部を成型する第１の透明材料として耐熱性のある射出成型用樹脂である屈曲率１．５１のナイロン系樹脂を用い、また、第２透光部の部分も第１の透明材料で成型した。つまり、第２透光部がない光電気変換部品とした。
（２）各寸法
外部レンズ面の曲率半径：０．３５１ｍｍ
ガラスファイバとの間隔：１．１１１ｍｍ
【００４６】
（試験方法）
それぞれの光電気変換部品のデバイス固定面に、光源となる発光素子（ＶＣＳＥＬ）を取り付け、この発光素子によって発光させた際の光学結合効率を測定した。
光源となる発光素子には、実測値を参考に、発光部の径が０．００１４ｍｍであり、ニアフィールドパターン（ＮＦＰ）が均一で、ファーフィールドパターン（ＦＦＰ）が図９に示す特性を有するものを用いた。
【００４７】
（試験結果）
光学結合効率は、実施例１で０．６０、実施例２で０．８６、実施例３で０．９２であり、何れも０．６以上の良好な光学結合効率が得られた。これは、第２透光部を形成して内部レンズ面と外部レンズ面との二重レンズ構造とすることにより、光学結合効率が向上されるためであると考えられる。また、この結果から、使用可能な透明材料の屈折率の幅が増えれば、さらなる光学結合効率の向上が図れ、０．９以上の良好な光学結合効率が容易に得られると考えられる。
また、比較例１では、０．３と低い光学結合効率であった。これは、第２透光部がなく、外部レンズ面のみを有するため、光学結合効率の向上が図られなかったためと考えられる。
【符号の説明】
【００４８】
１１：光電気変換部品、１３：光デバイス、１４：光ファイバアレイ、２０：電極、２１：第１透光部、２２：第２透光部、２３：穴部（充填空間）、２４：開口部、３１：内部レンズ面、３２：外部レンズ面、４４：ガラスファイバ（光ファイバ）、４５：位置決めピン（位置決めガイド）、４７：位置決め穴（位置決めガイド）、Ａ：光伝送路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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