(57)【要約】【課題】被搬送物Ｗの搬送中に、ロボットハンド９による被搬送物Ｗの保持状態を安定させて、被搬送物Ｗの搬送作業の煩雑化を十分に抑えること。【解決手段】ハンド本体１１に複数の吸着パッド１９が設けられ、ハンド本体１１に複数のロッド状の支持脚２１が吸着パッド１９の軸心方向に平行な方向へ移動可能に設けられ、各支持脚２１は先端側に被搬送物Ｗの表面に接触可能な接触部２１ｆを有し、各支持脚２１は、ハンド本体１１を被搬送物Ｗに対して接近させると、コイルバネ２９の付勢力に抗して基端方向へ移動するように構成されていること。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被搬送物を搬送する搬送ロボットに用いられ、被搬送物を保持するロボットハンドにおいて、
ハンド本体と、
前記ハンド本体に設けられ、真空圧を利用して被搬送物の表面を吸着する複数の吸着パッドと、
前記ハンド本体に前記吸着パッドの軸心方向に平行な方向へ移動可能に設けられ、先端側に被搬送物の表面に接触可能な接触部を有した複数のロッド状の支持脚と、
複数の前記支持脚を先端方向へ付勢する付勢部材と、を備え、
各支持脚は、前記ハンド本体を被搬送物に対して接近させると、前記付勢部材の付勢力に抗して基端方向へ移動するように構成されていることを特徴とするロボットハンド。
【請求項２】
前記ハンド本体に設けられ、各支持脚を前記平行な方向へ移動不能に固定する固定具と、を備えたことを特徴とする請求項１に記載のロボットハンド。
【請求項３】
前記付勢部材は、コイルバネ又はエアシリンダであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のロボットハンド。
【請求項４】
被搬送物を搬送する搬送ロボットにおいて、
多関節構造のロボットアームと、
前記ロボットアームの先端部に設けられた請求項１から請求項３のうちのいずれかの請求項に記載のロボットハンドと、を備えたことを特徴とする搬送ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被搬送物（ワーク）を保持するロボットハンド、及び被搬送物を搬送する搬送ロボットに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的な搬送ロボットについて図８を参照して簡単に説明する。なお、図８は、一般的な搬送ロボットの一部を示す図である。
【０００３】
図８に示すように、一般的な搬送ロボット１０１は、被搬送物Ｗを搬送する装置であって、多関節構造のロボットアーム１０３を備えている。また、ロボットアーム１０３は、先端側に、フランジ１０５を有しており、ロボットアーム１０３のフランジ（先端部）１０５は、任意方向へ移動できるようになっている。
【０００４】
ロボットアーム１０３のフランジ１０５には、接続部材１０７が設けられており、この接続部材１０７には、被搬送物Ｗを保持するロボットハンド１０９が設けられている。換言すれば、ロボットアーム１０３のフランジ１０５には、ロボットハンド１０９が接続部材１０７を介して設けられている。そして、ロボットハンド１０９は、ロボットアーム１０３のフランジ１０５に設けられたハンド本体１１１と、このハンド本体１１１に設けられかつ真空圧を利用して被搬送物Ｗの表面を吸着する複数の吸着パッド１１３とを備えている。更に、ハンド本体１１１には、複数のロッド状の支持脚１１５が設けられることがあり、各支持脚１１５は、先端側に、被搬送物Ｗに接触可能な接触部（接触面）１１５ｆを有している。
【０００５】
従って、被搬送物Ｗを出発位置から目標位置に搬送する搬送作業を行う際には、まず、ロボットアーム１０３のフランジ１０５を出発位置に接近する方向へ移動させることにより、ハンド本体１１１を被搬送物Ｗに対して接近させて、複数の吸着パッド１１３及び複数の支持脚１１５の接触部１１５ｆを被搬送物Ｗの表面に接触させる。次に、複数の支持脚１１５の接触部１１５ｆを被搬送物Ｗの表面に接触させた状態を保ちつつ、複数の吸着パッド１１３によって被搬送物Ｗの表面を吸着することにより、ロボットハンド１０９によって被搬送物Ｗを保持する。
【０００６】
ここで、被搬送物Ｗの搬送中に、被搬送物Ｗに働く横荷重及びモーメント荷重を複数の支持脚１１５の接触部１１５ｆによって十分に受ける（受圧する）ことにより、ロボットハンド１０９による被搬送物Ｗの保持状態を安定させることができる。そして、ロボットアーム１０３のフランジ１０５を目標位置に接近する方向へ移動させることにより、被搬送物Ｗを搬送して目標位置に位置させる。最後に、複数の吸着パッド１１３の吸着状態を解除して、ロボットアーム１０３のフランジ１０５を上方向へ移動させることにより、ハンド本体１１１を被搬送物Ｗに対して離反させる。
【０００７】
なお、本発明に関連する先行技術として特許文献１〜３に示すものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開平６−１２６５８４号公報
【特許文献２】実公平７−４４４７０号公報
【特許文献３】特開平１−１０４５３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、近年、搬送対象である被搬送物Ｗは多種多様化する傾向にあり、図９（ａ）に示すように、被搬送物Ｗの表面に例えば凹部Ｗａが存在するような場合には、ハンド本体１１１を被搬送物Ｗに対して接近させても、複数の支持脚１１５の接触部１１５ｆが被搬送物Ｗの表面に接触することなく、被搬送物Ｗの搬送中に、被搬送物Ｗに働く横荷重及びモーメント荷重を複数の支持脚１１５によって十分に受けることができない。また、図９（ｂ）に示すように、被搬送物Ｗの表面に例えば凸部Ｗｂが存在するような場合には、ハンド本体１１１を被搬送物Ｗに対して接近させると、複数の吸着パッド１１３が被搬送物Ｗの表面に接触する前に、複数の支持脚１１５の接触部１１５ｆが過度な圧力で被搬送物Ｗの表面に接触してしまい、複数の吸着パッド１１３の吸着動作を妨げることになる。
【００１０】
つまり、被搬送物Ｗの表面に例えば凹部Ｗａ又は凸部Ｗｂが存在するような場合には、ロボットハンド１０９による被搬送物Ｗの保持状態が不安定になり、被搬送物Ｗの搬送中に、ロボットハンド１０９からの被搬送物Ｗの離脱現象（落下現象）等を招き易く、被搬送物Ｗの搬送作業が煩雑化するという問題がある。
【００１１】
そこで、前述の問題を解決することができる、新規な構成のロボットハンド及び搬送ロボットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の第１の特徴は、被搬送物（ワーク）を搬送する搬送ロボットに用いられ、被搬送物を保持するロボットハンドにおいて、ハンド本体と、前記ハンド本体に設けられ、真空圧（負圧）を利用して被搬送物の表面を吸着する複数の吸着パッドと、前記ハンド本体に前記吸着パッドの軸心方向に平行な方向へ移動可能に設けられ、先端側に被搬送物の表面に接触可能な接触部（接触面）を有した複数のロッド状の支持脚と、複数の前記支持脚を先端方向（前記支持脚の先端が指向する方向）へ付勢する付勢部材と、を備え、各支持脚は、前記ハンド本体を被搬送物に対して接近させると、前記付勢部材の付勢力に抗して基端方向（前記支持脚の基端の指向する方向、換言すれば、前記先端方向の反対方向）へ移動するように構成されていることを要旨とする。
【００１３】
なお、本願の明細書及び特許請求の範囲の記載において、「搬送」とは、水平方向へ搬送する水平搬送の他に、垂直方向（上下方向）へ搬送する垂直搬送を含む意である。また、「設けられ」とは、直接的に設けられたことの他に、介在部材を介して間接的に設けられたことを含む意である。
【００１４】
第１の特徴による前記ロボットハンドを用いて、被搬送物を出発位置から目標位置に搬送する搬送作業を行う際には、まず、前記搬送ロボットにおけるロボットアームの先端部を出発位置に接近する方向へ移動させることにより、前記ハンド本体を被搬送物に対して接近させて、複数の前記吸着パッド及び複数の前記支持脚の前記接触部を被搬送物の表面に接触させる。次に、複数の前記支持脚の前記接触部を被搬送物の表面に接触させた状態を保ちつつ、複数の前記吸着パッドによって真空圧を利用して被搬送物の表面を吸着することにより、前記ロボットハンドによって被搬送物を保持する。そして、前記ロボットアームの先端部を前記目標位置に接近する方向へ移動させることにより、被搬送物を搬送して前記目標位置に位置させる。最後に、複数の前記吸着パッドの吸着状態を解除して、前記ロボットアームの先端部を前記目標位置に離反する方向へ移動させることにより、前記ハンド本体を被搬送物に対して離反させる。
【００１５】
ここで、各支持脚は、前記ハンド本体を被搬送物に対して接近させると、前記付勢部材の付勢力に抗して基端方向へ移動するように構成されているため、被搬送物の表面に例えば凹部又は凸部が存在していても、前記ハンド本体を被搬送物に対して接近させることにより、複数の前記支持脚の前記接触部を適度な圧力で被搬送物の表面に接触させて、被搬送物の搬送中に、被搬送物に働く横荷重及びモーメント荷重を複数の前記支持脚の前記接触部によって十分に受ける（受圧する）ことができる。
【００１６】
本発明の第２の特徴は、被搬送物を搬送する搬送ロボットにおいて、多関節構造のロボットアームと、前記ロボットアームの先端部に設けられかつ第１の特徴からなるロボットハンドと、を備えたことを要旨とする。
【００１７】
第２の特徴によると、第１の特徴による作用と同様の作用を奏する。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、被搬送物の表面に例えば凹部又は凸部が存在していても、前記ハンド本体を被搬送物に対して接近させると、複数の前記支持脚の前記接触部を適度な圧力で被搬送物の表面に接触させて、被搬送物の搬送中に、被搬送物に働く横荷重及びモーメント荷重を複数の前記支持脚の前記接触部によって十分に受けることができるため、被搬送物の搬送中に、前記搬送ロボットによる被搬送物の保持状態を安定させることができ、被搬送物の搬送作業の煩雑化を十分に抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１実施形態に係る搬送ロボットの一部を示す図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る搬送ロボットの動作を説明する図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る搬送ロボットの動作を説明する図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る搬送ロボットの動作を説明する図である。
【図５】本発明の第２実施形態に係る搬送ロボットの一部を示す図である。
【図６】本発明の第３実施形態に係る搬送ロボットの一部を示す図である。
【図７】本発明の第４実施形態に係る搬送ロボットの一部を示す図である。
【図８】一般的な搬送ロボットの一部を示す図である。
【図９】一般的な搬送ロボットの問題点を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態について図１から図４を参照して説明する。
【００２１】
図１に示すように、本発明の第１実施形態に係る搬送ロボット１は、被搬送物Ｗを搬送する装置であって、多関節構造のロボットアーム３を備えている。また、ロボットアーム３は、先端側に、フランジ５を有しており、ロボットアーム３のフランジ５は、任意方向へ移動できるようになっている。
【００２２】
ロボットアーム３のフランジ（先端部）５には、接続部材７が設けられており、この接続部材７には、被搬送物Ｗを保持するロボットハンド９が設けられている。換言すれば、ロボットアーム３のフランジ５には、ロボットハンド９が接続部材７を介して設けられている。そして、ロボットハンド９の具体的な構成は、次のようになる。
【００２３】
ロボットハンド９は、ハンド本体１１を備えており、このハンド本体１１は、接続部材７に設けられた第１取付プレート１３、及び第１取付プレート１３に複数の連結バー１５を介して対向して設けられた第２取付プレート１７等からなっている。また、第２取付プレート１７には、真空圧を利用して被搬送物Ｗを吸着する複数（２つのみ図示しているが、本発明の第１実施形態にあっては４つ）の円錐型（カップ型）の吸着パッド１９が設けられている。なお、複数の吸着パッド１９は、真空圧を発生させる真空エジェクタ等の真空発生源（図示省略）に接続してある。
【００２４】
ハンド本体１１における各吸着パッド１９の近傍には、ロッド状の支持脚２１が吸着パッド１９の軸心方向に平行な方向（支持脚２１の軸心方向）へ移動可能に設けられており、各支持脚２１は、先端側に、被搬送物Ｗの表面に接触可能な接触部（接触面）２１ｆを有している。また、各支持脚２１の基端部分は、第１取付プレート１３にガイドブッシュ２３を介して前記平行な方向へ移動可能に支持されており、各支持脚２１の中間部分は、第２取付プレート１７にガイドブッシュ２５を介して前記平行な方向へ移動可能に支持されている。更に、各支持脚２１がハンド本体１１に対して離脱不能になるように、各支持脚２１の中間部分には、第２取付プレート１７に突き当たり可能なストッパリング２７が設けられている。なお、本発明の第１実施形態にあっては、支持脚２１の個数は、吸着パッド１９の個数と同じであるが、３つ以上あれば吸着パッド１９の個数と同じでなくても構わない。
【００２５】
各支持脚２１における第１取付プレート１３と第２取付プレート１７の間には、各支持脚２１を先端方向（支持脚２１の先端が指向する方向）へ付勢するコイルバネが２９設けられている。そして、各支持脚２１は、接触部２１ｆが被搬送物Ｗの表面に接触する前の非接触モード（図２（ａ）に示す状態）下で、各コイルバネ２９の付勢力によって吸着パッド１９よりも先端方向へ突出するようになってあって、ハンド本体１１を被搬送物Ｗに対して接近させると、コイルバネ２９の付勢力に抗して基端方向（支持脚２１の基端の指向する方向、換言すれば、先端方向の反対方向）へ移動するように構成されている。
【００２６】
第１取付プレート１３における各支持脚２１の基端部分の周囲には、各支持脚２１を前記平行な方向へ移動不能に固定するシャフトクランプ（固定具の一例）３１が設けられており、各シャフトクランプ３１は、エア圧とバネ圧を利用した公知の固定具であって、各支持脚２１の基端部分をクランプ可能な把持部３３を有している。なお、シャフトクランプ３１の代わりに、各支持脚２１を前記平行な方向へ移動不能に固定する別の固定具を用いたり、シャフトクランプ３１等の固定具をロボットハンド９の構成要素から省略したりしても構わない。
【００２７】
続いて、本発明の第１実施形態の作用及び効果について説明する。
【００２８】
搬送ロボット１を用いて被搬送物Ｗを出発位置ＤＰ（図２（ａ）（ｂ）及び図３（ａ）（ｂ）参照）から目標位置ＧＰ（図４（ａ）（ｂ）参照）に搬送する搬送作業を行う際には、まず、図２（ａ）に示すように、ロボットアーム３のフランジ５を出発位置ＤＰに接近する方向へ移動させることにより、ハンド本体１１を出発位置ＤＰの上方位置に位置させる。次に、図２（ｂ）に示すように、ロボットアーム３のフランジ５を下方向へ移動させることにより、ハンド本体１１を被搬送物Ｗに対して接近させて、複数の吸着パッド１９及び複数の支持脚２１の接触部２１ｆを被搬送物Ｗの表面に接触させる。そして、複数の支持脚２１の接触部２１ｆを被搬送物Ｗの表面に接触させた状態で、複数の吸着パッド１９によって真空圧を利用して被搬送物Ｗの表面を吸着することにより、ロボットハンド９によって被搬送物Ｗを保持する。
【００２９】
ここで、各支持脚２１は、ハンド本体１１を被搬送物Ｗに対して接近させるとコイルバネ２９の付勢力に抗して基端方向へ移動するように構成されているため、被搬送物Ｗの表面に例えば凹部Ｗａ又は凸部Ｗｂが存在していても、ハンド本体１１を被搬送物Ｗに対して接近させることにより、複数の支持脚２１の接触部２１ｆを適度な圧力で被搬送物Ｗの表面に接触させることができ、被搬送物Ｗの搬送中に、被搬送物Ｗに働く横荷重及びモーメント荷重を複数の支持脚２１の接触部２１ｆによって十分に受ける（受圧する）ことができる
ロボットハンド９によって被搬送物Ｗを保持した後に、図３（ａ）に示すように、ロボットアーム３のフランジ５を上方向へ移動させることにより、被搬送物Ｗを上方向へ垂直搬送して出発位置ＤＰの上方位置に位置させる。次に、各シャフトクランプ３１の把持部３３によって各支持脚２１の基端部分をクランプして、各支持脚２１を前記平行な方向へ移動不能に固定する。そして、図３（ｂ）に示すように、ロボットアーム３のフランジ５を目標位置に接近する方向へ移動させることにより、被搬送物Ｗを水平搬送して目標位置ＧＰの上方位置に位置させる。
【００３０】
被搬送物Ｗを目標位置ＧＰの上方位置に位置させた後に、図４（ａ）に示すように、ロボットアーム３のフランジ５を下方向へ移動させることにより、被搬送物Ｗを下方向へ垂直搬送して目標位置ＧＰに位置させる。そして、複数の吸着パッド１９の吸着状態を解除すると共に、各シャフトクランプ３１の把持部３３をアンクランプして、各支持脚２１の固定状態を解除する。最後に、図４（ｂ）に示すように、ロボットアーム３のフランジ５を上方向へ移動させることにより、ハンド本体１１を被搬送物Ｗに対して離反させる。
【００３１】
従って、本発明の第１実施形態によれば、被搬送物Ｗの表面に例えば凹部Ｗａ又は凸部Ｗｂが存在していても、ハンド本体１１を被搬送物Ｗに対して接近させると、複数の支持脚２１の接触部２１ｆを適度な圧力で被搬送物Ｗの表面に接触させて、被搬送物Ｗの搬送中に、被搬送物Ｗに働く横荷重及びモーメント荷重を複数の支持脚２１の接触部２１ｆによって十分に受けることができるため、被搬送物Ｗの垂直搬送及び水平搬送中に、ロボットハンド９による被搬送物Ｗの保持状態を安定させて、被搬送物Ｗの搬送作業の煩雑化を十分に抑えることができる。特に、被搬送物Ｗの垂直搬送及び水平搬送中に、各シャフトクランプ３１によって各支持脚２１を前記平行な方向へ移動不能に固定しているため、ロボットハンド９による被搬送物Ｗの保持状態をより安定させて、前述の効果をより一層高めることができる。
【００３２】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について図５を参照して説明する。
【００３３】
図５に示すように、本発明の第２実施形態に係る搬送ロボット３５は、被搬送物Ｗを搬送する装置であって、本発明の第１実施形態に係る搬送ロボット１（図１参照）と略同様の構成を有している。即ち、本発明の第２実施形態に係るロボットハンド３７は、本発明の第１実施形態に係るロボットハンド９における複数の円錐型の吸着パッド１９に代えて（図１参照）、複数のベローズ型の吸着パッド３９を備えており、各吸着パッド３９は、軸心方向（吸着パッド３９の軸心方向）へ伸縮可能である。また、本発明の第２実施形態に係る搬送ロボット３５にあっては、各支持脚２１は、接触部２１ｆが被搬送物Ｗの表面に接触する前の非接触モード下で、各コイルバネ２９の付勢力によって吸着パッド３９よりも先端方向へ突出してなくても構わない。なお、本発明の第２実施形態に係る搬送ロボット３５における複数の構成要素のうち、本発明の第１実施形態に係る搬送ロボット１における構成要素と対応するものについては、図中に同一番号を付する。
【００３４】
そして、本発明の第２実施形態においても本発明の第１実施形態の作用及び効果と同様の作用及び効果を奏するものである。
【００３５】
（第３実施形態）
本発明の第３実施形態について図６を参照して説明する。
【００３６】
図６に示すように、本発明の第３実施形態に係る搬送ロボット４１は、被搬送物Ｗを搬送する装置であって、本発明の第１実施形態に係るロボットハンド９（図１参照）と異なる構成を有したロボットハンド４３を備えている。以下、本発明の第３実施形態にロボットハンド４３の構成のうち、本発明の第１実施形態に係るロボットハンド９の構成と異なる部分について説明する。なお、本発明の第３実施形態に係る搬送ロボット４１における複数の構成要素のうち、本発明の第１実施形態に係る搬送ロボット１における構成要素と対応するものについては、図中に同一番号を付する。
【００３７】
即ち、第２取付プレート１７における各吸着パッド１９の近傍には、ロッド状の支持脚４５が吸着パッド１９の軸心方向に平行な方向へガイドブッシュ４７を介して移動可能に設けられており、各支持脚４５は、先端側に、被搬送物Ｗの表面に接触可能な接触部（接触面）４５ｆを有している。なお、本発明の第３実施形態にあっては、支持脚４５の個数は、吸着パッド１９の個数と同じであるが、３つ以上あれば吸着パッド１９の個数と同じでなくても構わない。
【００３８】
第１取付プレート１３における各支持脚４５に整合する位置（対応する位置）には、各支持脚４５を先端方向（支持脚４５の先端が指向する方向）へ付勢するエアシリンダ４９が設けられており、各エアシリンダ４９は、前記平行な方向へ移動可能なピストンロッド５１を有している。また、各エアシリンダ４９におけるピストンロッド５１は、第１取付プレート１３にガイドブッシュ５３を介して前記平行な方向へ移動可能に支持されてあって、各エアシリンダにおけるピストンロッド５１の先端は、支持脚４５の基端に同心状かつ一体的に連結されている。そして、各支持脚４５は、接触部４５ｆが被搬送物Ｗの表面に接触する前の非接触モード下で、各エアシリンダ４９の付勢力によって吸着パッド１９よりも先端方向へ突出するようになっている。
【００３９】
第１取付プレート１３における各エアシリンダ４９の周囲には、各エアシリンダ４９におけるピストンロッド５１、換言すれば、各支持脚４５を前記平行な方向へ移動不能に固定するシャフトクランプ（固定具の一例）５５が設けられており、各シャフトクランプ５５は、エア圧とバネ圧を利用した公知の固定具であって、各エアシリンダ４９におけるピストンロッド５１をクランプ可能な把持部５７を有している。なお、シャフトクランプ５５の代わりに、各支持脚４５を前記平行な方向へ移動不能に固定する別の固定具を用いたり、シャフトクランプ５５等の固定具をロボットハンド４３の構成から省略したりしても構わない。
【００４０】
そして、本発明の第３実施形態においても本発明の第１実施形態の作用及び効果と同様の作用及び効果を奏するものである。
【００４１】
（第４実施形態）
本発明の第４実施形態について図７を参照して説明する。
【００４２】
図７に示すように、本発明の第４実施形態に係る搬送ロボット５９は、被搬送物Ｗを搬送する装置であって、本発明の第１実施形態に係るロボットハンド９（図１参照）と異なる構成を有したロボットハンド６１を備えている。以下、本発明の第４実施形態にロボットハンド６１の構成のうち、本発明の第１実施形態に係るロボットハンド９の構成と異なる部分について説明する。なお、本発明の第４実施形態に係る搬送ロボット５９における複数の構成要素のうち、本発明の第１実施形態に係る搬送ロボット１における構成要素と対応するものについては、図中に同一番号を付する。
【００４３】
即ち、第１取付プレート１３には、吸着パッド１９と同数の中空サーボモータ６３が設けられており、各中空サーボモータ６３は、リング状の固定子（図示省略）と、この固定子の内側に配設されたリング状の回転子（図示省略）とを備えている。また、各中空サーボモータ６３の回転子には、ナット部材６５が一体的に設けられており、各ナット部材６５には、吸着パッド１９の軸心方向へ平行な方向へ延びたボールネジ部材６７（支持脚の一例）が螺合して設けられており、各ボールネジ部材６７は、第１取付プレート１３及び第２取付プレート１７を貫通してある。更に、各ボールネジ部材６７は、ナット部材６５の回転によって前記平行な方向へ移動可能であって、先端側に、被搬送物Ｗの表面に接触可能な接触部（接触面）６７ｆを有している。なお、本発明の第４実施形態にあっては、ボールネジ部材６７の個数は、吸着パッド１９の個数と同じであるが、３つ以上あれば吸着パッド１９の個数と同じでなくても構わない。
【００４４】
第１取付プレート１３における各中空サーボモータ６３の周辺には、各中空サーボモータ６３の回転子を回転不能、換言すれば、各ボールネジ部材６７を前記平行な方向へ移動不能に固定する電磁クラッチ（固定具の一例）が設けられている。なお、電磁クラッチ６９の代わりに、各ボールネジ部材６７を前記平行な方向へ移動不能に固定する別の固定具を用いたり、電磁クラッチ６９等の固定具をロボットハンド６１の構成から省略したりしても構わない。
【００４５】
そして、本発明の第４実施形態においても本発明の第１実施形態の作用及び効果と同様の作用及び効果を奏するものである。
【００４６】
なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限るものでなく、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。
【符号の説明】
【００４７】
ＤＰ      出発位置
ＧＰ      目標位置
Ｗ      被搬送物
Ｗａ    凹部
Ｗｂ    凸部
１      搬送ロボット
３      ロボットアーム
５      フランジ
７      接続部材
９      ロボットハンド
１１      ハンド本体
１３      第１取付プレート
１５      連結バー
１７      第２取付プレート
１９      吸着パッド
２１      支持脚
２１ｆ    接触部（接触面）
２７      ストッパリング
２９      コイルバネ
３１      シャフトクランプ
３５      搬送ロボット
３７      ロボットハンド
３９      吸着パッド
４１      搬送ロボット
４３      ロボットハンド
４５      支持脚
４５ｆ    接触部（接触面）
４９      エアシリンダ
５１      ピストンロッド
５５      シャフトクランプ
５９      搬送ロボット
６１      ロボットハンド
６３      中空サーボモータ
６５      ナット部材
６７      ボールネジ部材（支持脚）
６９      電磁クラッチ
【図１】
2011177848.tif 000003
【図２】
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【図３】
2011177848.tif 000005
【図４】
2011177848.tif 000006
【図５】
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【図６】
2011177848.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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