(57)【要約】【課題】ワークを短時間で搬送可能なワーク搬送装置を提供する。【解決手段】第１ステージと、前記第１ステージに近接して配置された第２ステージと、を有し、各前記第１及び第２ステージには、ワークが載置される載置面と、前記載置面に設けられた通気孔と、前記通気孔にエアーを供給するエアー供給部と、が設けられ、前記ワークを保持するととともに、前記第１及び第２ステージ間において保持した前記ワークを搬送させるワーク搬送部と、を備えた。【選択図】図１
2011105497.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ステージと、
前記第１ステージに近接して配置された第２ステージと、を有し、
各前記第１及び第２ステージには、
ワークが載置される載置面と、
前記載置面に設けられた通気孔と、
前記通気孔にエアーを供給するエアー供給部と、が設けられ、
前記ワークを保持するととともに、前記第１及び第２ステージ間において保持した前記ワークを搬送させるワーク搬送部と、を備えたことを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項２】
前記第１ステージの前記載置面が、前記第２ステージの前記載置面よりも高いことを特徴とする請求項１に記載のワーク搬送装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のワーク搬送装置において、
前記第１及び第２ステージの両方に、前記エアーを供給させた状態で、
前記ワークを搬送させることを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項に記載のワーク搬送装置において、
前記第２ステージに近接して配置され、前記載置面と、前記通気孔と、前記エアー供給部とが設けられた第３ステージを有し、
前記ワーク搬送部は、
前記第１〜第３ステージ間において保持した前記ワークを搬送させることを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項５】
請求項４に記載のワーク搬送装置において、
前記第１及び第２ステージの両方に、前記エアーを供給させた状態で、
前記ワークを前記第１ステージから前記第２ステージに移動させ、
前記第２及び第３ステージの両方に、前記エアーを供給させた状態で、
前記ワークを前記第２ステージから前記第３ステージに移動させることを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項６】
請求項４または５に記載のワーク搬送装置において、
前記第２ステージの前記載置面が、前記第３ステージの前記載置面よりも高いことを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項７】
ワークに向けて機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置であって、
請求項１〜６のいずれか一項に記載のワーク搬送装置を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項７に記載の液滴吐出装置において、
前記ワーク搬送装置の前記第２ステージと前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させる移動部を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワーク搬送装置、液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワークに所望のパターンを描画する液滴吐出装置は、ワークに向けてパターンの材料を含む機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドと、ワークを載置するステージと、液滴吐出ヘッドとステージとを相対的に移動させる移動部等を備えている。（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−１５９１８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記液滴吐出装置を用いて、例えば、ワークとしての基板上にパターンを描画してカラーフィルター等を製造する場合、製造にかかる処理時間を短縮することが望まれる。製造にかかる処理時間を短縮させるためには、例えば、基板に描画する描画処理時間の短縮やワークをステージに搬入・搬出するワーク搬送処理時間の短縮が重要である。ところで、近年、カラーフィルター等に用いられる基板の大型化が進んでいる。このため、基板の搬送において撓み等が発生するため、基板の取り扱いが困難になってきており、ステージへのワークの搬入処理や描画後のワークの搬出処理に時間がかかってしまう、という課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
【０００６】
［適用例１］本適用例にかかるワーク搬送装置は、第１ステージと、前記第１ステージに近接して配置された第２ステージと、を有し、各前記第１及び第２ステージには、ワークが載置される載置面と、前記載置面に設けられた通気孔と、前記通気孔にエアーを供給するエアー供給部と、が設けられ、前記ワークを保持するととともに、前記第１及び第２ステージ間において保持した前記ワークを搬送させるワーク搬送部と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、例えば、ワークを第１ステージに載置させた状態で、通気孔からエアーが供給されると、供給されたエアーの圧力により、ワークを重力方向とは反対方向に押し上げる作用が生じ、ワークの面と載置面との摩擦力が低減される。この状態においてワークを保持するとともに第２ステージ側に移動させることにより、素早くワークを搬送させることができる。すなわち、ワークの搬送処理時間を短縮化させることができる。なお、第２ステージから第１ステージにワークを移動させる場合にも、同様の効果を得ることができる。また、載置面に載置されたワークは、エアーの圧力によって浮上が可能となる。従って、リフトピン等を用いてワークを載置面から離す機構を省くことができるので、装置構成を簡略化することができる。
【０００８】
［適用例２］上記適用例にかかるワーク搬送装置では、前記第１ステージの前記載置面が、前記第２ステージの前記載置面よりも高いことを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、例えば、第１ステージ側から第２ステージ側にワークを搬送する場合に、高い位置から低い位置にワークが搬送されるため、安全で搬送が容易となる。特に、ワークが比較的大型なもの対して有効である。
【００１０】
［適用例３］上記適用例にかかるワーク搬送装置では、前記第１及び第２ステージの両方に、前記エアーを供給させた状態で、前記ワークを搬送させることを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、例えば、第１ステージ側から第２ステージ側にワークを移動させる場合に、第１ステージから第２ステージ間においてワークを押し上げる作用力が維持されながら、ワークが搬送される。従って、ワークの搬送中におけるワークの保持力を均衡に保ち、安定したワーク搬送を行うことができる。
【００１２】
［適用例４］上記適用例にかかるワーク搬送装置は、前記第２ステージに近接して配置され、前記載置面と、前記通気孔と、前記エアー供給部とが設けられた第３ステージを有し、前記ワーク搬送部は、前記第１〜第３ステージ間において保持した前記ワークを移動させることを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、例えば、第１ステージを第２ステージにワークを供給するためのワーク供給ステージとし、第２ステージを供給されたワークを処理するワーク処理ステージとし、第３ステージを処理されたワークを第２ステージから排出するワーク排出ステージとした構成の構築が可能となり、ワークを円滑に搬送することができる。
【００１４】
［適用例５］上記適用例にかかるワーク搬送装置では、前記第１及び第２ステージの両方に、前記エアーを供給させた状態で、前記ワークを前記第１ステージから前記第２ステージに移動させ、前記第２及び第３ステージの両方に、前記エアーを供給させた状態で、前記ワークを前記第２ステージから前記第３ステージに移動させることを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、例えば、第１ステージ側から第２ステージ側にワークを移動させる場合に、第１ステージから第２ステージ間においてワークを押し上げる作用力が維持されながら、ワークが搬送される。同様にして、第２ステージ側から第３ステージ側にワークを移動させる場合に、第２ステージから第３ステージ間においてワークを押し上げる作用力が維持されながら、ワークが搬送される。従って、ワークの搬送中におけるワークの保持力を均衡に保ち、安定したワーク搬送を行うことができる。
【００１６】
［適用例６］上記適用例にかかるワーク搬送装置では、前記第１ステージの前記載置面が、前記第２ステージの前記載置面よりも高く、前記第２ステージの前記載置面が、前記第３ステージの前記載置面よりも高いことを特徴とする。
【００１７】
この構成によれば、例えば、第１ステージ側から第２ステージ側にワークを搬送する場合に、高い位置から低い位置にワークが搬送されるため、安全で搬送が容易となる。特に、ワークが比較的大型なもの対して有効である。さらに、ワークの搬送において第１ステージから張り出したワークの一部を、第２ステージの通気孔から供給されたエアーの圧力によりワークの撓み等を軽減し、ワークを安定した状態で搬送することができる。
【００１８】
［適用例７］本適用例にかかる液滴吐出装置は、ワークに向けて機能液を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置であって、上記のワーク搬送装置を備えたことを特徴とする。
【００１９】
この構成によれば、ワークが素早く安定して搬送されるので、サイクルタイムの短縮化が図れた液滴吐出装置を提供することができる。
【００２０】
［適用例８］上記適用例にかかる液滴吐出装置では、前記ワーク搬送装置の前記第２ステージと前記液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させる移動部を備えたことを特徴とする。
【００２１】
この構成によれば、第２ステージを、ワーク搬送装置として用いるとともに、ワークに対して描画等を行う処理ステージとして共用化することにより、液滴吐出装置の構成を簡略化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】液滴吐出装置の構成を示す概略図。
【図２】液滴吐出ヘッドの構成を示す断面図。
【図３】ワーク搬送装置の構成を示す概略図。
【図４】液滴吐出装置の電気制御ブロック図。
【図５】ワーク搬送装置の制御方法を示すフローチャート。
【図６】ワークの搬送方法を示す説明図。
【図７】ワークの搬送方法を示す説明図。
【図８】変形例における搬送装置の構成を示す概略図。
【図９】他の変形例における搬送装置の構成を示す概略図。
【図１０】他の変形例における搬送装置の構成を示す概略図。
【図１１】他の変形例における搬送装置の構成を示す概略図。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材ごとに縮小を異ならせて図示している。
【００２４】
（液滴吐出装置の構成）
まず、液滴吐出装置の構成について説明する。図１は、液滴吐出装置の構成を示す概略図である。図１に示すように、液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッドを含む描画部１０と、ワーク搬送装置４０を備えている。
【００２５】
描画部１０には、直方体形状に形成される基台１２が備えられている。本実施形態では、この基台１２の長手方向をＸ方向とし、同Ｘ方向と直交する方向をＹ方向とする。基台１２の上面１２ａには、Ｘ方向に延びる一対の案内レール１３ａ，１３ｂが同Ｘ方向全幅にわたり凸設されている。
【００２６】
基台１２の上側には、一対の案内レール１３ａ，１３ｂに対応する図示しない移動部としての直動機構を備えた第２ステージ４２が取り付けられている。第２ステージ４２の直動機構は、例えば案内レール１３ａ，１３ｂに沿ってＸ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＸ軸モーター（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号がＸ軸モーターに入力されると、Ｘ軸モーターが正転又は逆転して、第２ステージ４２が同ステップ数に相当する分だけ、Ｘ軸方向に沿って所定の速度で往動又は、復動（Ｘ方向に走査する）して、第２ステージ４２と液滴吐出ヘッド２４とが相対的に移動するようになっている。なお、本実施形態では、液滴吐出ヘッド２４に対して第２ステージ４２を移動させたが、第２ステージ４２に対して液滴吐出ヘッド２４を移動させる構成であってもよい。
【００２７】
また、基台１２の上面１２ａには、案内レール１３ａ，１３ｂと平行に主走査位置検出装置１５が配置され、第２ステージ４２の位置が計測できるようになっている。
【００２８】
基台１２の上方であって、Ｙ方向に延びる案内部材１９が架設されている。案内部材１９は、その長手方向の幅が第２ステージ４２のＹ方向よりも長く形成されている。案内部材１９の上側には、吐出する液体を供給可能に収容する収容タンク２０が配設されている。一方、その案内部材１９の下側には、Ｙ方向に延びる案内レール２１がＹ方向全幅にわたり凸設されている。そして、案内レール２１に沿って移動可能にキャリッジ２２が配置されている。キャリッジ２２には直動機構が接続され、例えば、案内レール２１に沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＹ軸モーター（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をＹ軸モーターに入力すると、Ｙ軸モーターが正転又は逆転して、キャリッジ２２が同ステップ数に相当する分だけＹ方向に沿って往動又は復動する（Ｙ方向に走査する）。案内部材１９には、副走査位置検出装置２３が配置され、キャリッジ２２の位置が計測できるようになっている。そして、キャリッジ２２の下面（第２ステージ４２側の面）には、液滴吐出ヘッド２４が設置されている。
【００２９】
基台１２のＹ方向における片側には、ヘッド保守部２５が配置されている。ヘッド保守部２５は、液滴吐出ヘッド２４のメンテナンス等を行う部材であり、フラッシングユニット、キャッピングユニット、ワイピングユニット等で構成されている。そして、液滴吐出ヘッド２４がヘッド保守部２５に移動され、適宜必要なメンテナンスが行われる。
【００３０】
図２は、液滴吐出ヘッドの構成を示す断面図である。図２に示すように、液滴吐出ヘッド２４は、ノズルプレート３０を備え、ノズルプレート３０には、ノズル３１が形成されている。ノズルプレート３０の上側であってノズル３１と相対する位置には、ノズル３１と連通するキャビティ３２が形成されている。そして、液滴吐出ヘッド２４のキャビティ３２には、収容タンク２０に貯留されている機能液３３が供給される。
【００３１】
キャビティ３２の上側には、上下方向（Ｚ方向：縦振動）に振動して、キャビティ３２内の容積を拡大縮小する振動板３４と、上下方向に伸縮して振動板３４を振動させる加圧手段としての圧電素子３５が配設されている。圧電素子３５が上下方向に伸縮して振動板３４を振動し、振動板３４がキャビティ３２内の容積を拡大縮小してキャビティ３２を加圧する。それにより、キャビティ３２内の圧力が変動し、キャビティ３２内に供給された機能液３３は、ノズル３１を通って吐出されるようになっている。
【００３２】
そして、液滴吐出ヘッド２４が圧電素子３５を制御駆動するための駆動信号を受けると、圧電素子３５が伸張して、振動板３４がキャビティ３２内の容積を縮小する。その結果、ノズル３１から縮小した容積分の機能液３３が液滴３６として吐出される。なお、本実施形態では、加圧手段として、縦振動型の圧電素子３５を用いたが、特に、これに限定されず、例えば、下電極と圧電体層と上電極とを積層形成した撓み変形型の圧電素子を用いてもよい。また、圧力発生手段として、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用してもよい。さらには、発熱体を用いてノズル内に泡を発生させ、その泡によって機能液を液滴として吐出させる構成を有する吐出ヘッドであってもよい。
【００３３】
（ワーク搬送装置の構成）
次に、ワーク搬送装置の構成について説明する。図３は、ワーク搬送装置の構成を示す概略図であり、同図（ａ）は平面図であり、同図（ｂ）は側面図である。図３（ａ）に示すように、ワーク搬送装置４０は、第１ステージ４１と、第１ステージ４１に近接して配置された第２ステージ４２と、第２ステージ４２に近接して配置された第３ステージ４３と、ワーク搬送部６０を備えている。本実施形態では、第２ステージ４２のＹ方向の一方側の近傍に第１ステージ４１が配置され、第２ステージ４２のＹ方向の他方側の近傍に第３ステージ４３が配置されている。なお、第２ステージ４２は、描画部１０の一部でもある。
【００３４】
第１ステージ４１は、板厚状に形成された平面視において略正方形のテーブル５１ａと、ワークＷが載置される載置面５２ａと、載置面５２ａに設けられた通気孔５３ａと、通気孔５３ａを介してエアーを吸引或いは供給するエアー吸引・供給部５４ａを含む。ワークＷは、例えば、カラーフィルター等に用いられる基板等である。
【００３５】
載置面５２ａは、均一な平坦面を成し、載置されるワークＷの大きさ（面積）よりも大きな面積を有している。通気孔５３ａは、載置面５２ａに複数形成され、各通気孔５３ａは、エアー吸引・供給部５４ａにチューブ等を介して接続されている。エアー吸引・供給部５４ａは、エアー供給部としての第１コンプレッサー５５ａと、エアーを吸引する第１真空ポンプ５６ａを有する。
【００３６】
通気孔５３ａと第１コンプレッサー５５ａとが接続されるチューブの途中にはエアー供給用開閉バルブが接続されている。そして、当該エアー供給用バルブを開き、第１コンプレッサー５５ａを駆動させることにより、チューブを介して通気孔５３ａから圧縮されたエアーが吹き出される。供給されたエアーの圧力により、載置面５２ａに載置されたワークＷには、重力方向とは反対方向に押し上げる作用が生じ、ワークＷの面と載置面５２ａとの摩擦力が低減される。本実施形態では、ワークＷが載置面５２ａから０．５ｍｍ程度浮上する程度に、供給するエアーの圧力を調整する。
【００３７】
また、通気孔５３ａと第１真空ポンプ５６ａとが接続されるチューブの途中にはエアー吸引用開閉バルブが接続されている。そして、当該エアー吸引用バルブを開き、第１真空ポンプ５６ａを駆動させることにより、チューブを介して通気孔５３ａからエアーが吸引される。エアーの吸引により、載置面５２ａに載置されたワークＷが載置面５２ａに吸着される。
【００３８】
第２及び第３ステージ４２，４３も同様に、板厚状に形成された平面視において略正方形のテーブル５１ｂ，５１ｃと、ワークＷが載置される載置面５２ｂ，５２ｃと、各載置面５２ｂ，５２ｃに設けられた複数の通気孔５３ｂ，５３ｃと、各通気孔５３ｂ，５３ｃを介してエアーを吸引或いは供給するエアー吸引・供給部５４ｂ，５４ｃを含む。なお、第２及び第３ステージ４２，４３における各部材の構成等は第１ステージ４１と同様なので説明を省略する。なお、少なくとも第２ステージ４２のテーブル５１ｂは、石材で形成することが好ましい。前述したように、第２ステージ４２は、描画部１０の一部を構成しているため、耐熱性等に優れた石材を用いることにより、描画精度を確保するためである。従って、第２ステージ４２以外の第１及び第３ステージ４１，４３のテーブル５１ａ，５１ｃの材質は特に限定されず、金属や樹脂等でもよい。
【００３９】
図３（ｂ）は、第１〜第３ステージ４１，４２，４３の側面図である。図３（ｂ）に示すように、第１ステージ４１の載置面５２ａが、第２ステージ４２の載置面５２ｂよりも高く、第２ステージ４２の載置面５２ｂが、第３ステージ４３の載置面５２ｃよりも高く設定されている。換言すれば、各ステージ４１，４２，４３間に段差を設けている。これは効率よくワークＷを搬送させるためである。なお、本実施形態では、ワークＷが第１ステージ４１から第２ステージ４２へ、また、第２ステージ４２から第３ステージ４３へと搬送される。
【００４０】
各ステージ４１，４２，４３間の段差量（ギャップ量）は、ワークＷの材質や形態等によって適宜設定することができるが、例えば、第１ステージ４１の載置面５２ａ側から第２ステージ４２の載置面５２ｂ側に一部はみ出したワークＷの撓み量よりも大きい段差量（ギャップ量）を設ける。これにより、第１ステージ４１から第２ステージ４２側にワークＷを搬送した際、ワークＷの端部と第２ステージ４２との衝突を防止することができる。
【００４１】
ワーク搬送部６０は、第１〜第３ステージ４１，４２，４３の配置方向（Ｘ方向）に配置された案内レール６１と、案内レール６１に設置された移動部６２と、移動部６２の位置を検出する移動位置検出装置６３等で構成されている。移動部６２には、一対の保持部６４ａ，６４ｂが設けられ、保持部６４ａ，６４ｂによってワークＷを保持することができる。保持部６４ａ，６４ｂは、例えば、ワークＷを把持するチャッキング機構やワークＷを吸着する吸着機構等、特に限定されない。そして、移動部６２には直動機構が接続され、例えば、案内レール６１に沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＹ軸モーター（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をＹ軸モーターに入力すると、Ｙ軸モーターが正転又は逆転して、移動部６２が同ステップ数に相当する分だけＹ方向に沿って、第１ステージ４１から第３ステージ４３間を往動又は復動する（Ｙ方向に走査する）。案内レール６１には、移動位置検出装置６３が配置され、移動部６２の位置が計測できるようになっている。
【００４２】
そして、ワークＷを保持した状態で移動部６２をＹ方向に走査させることにより、ワークＷが、第１ステージ４１から第２ステージ４２へ、また、第２ステージ４２から第３ステージ４３に搬送される。
【００４３】
（電気制御の構成）
図４は、液滴吐出装置の電気制御の構成を示すブロック図である。図４において、液滴吐出装置１は、各種の演算処理を行うＣＰＵ（演算処理装置）８０と、各種情報を記憶するメモリー８１を備えている。
【００４４】
描画部１０及びワーク搬送装置４０のＸ軸モーター、Ｙ軸モーター、主走査位置検出装置１５、副走査位置検出装置２３、移動位置検出装置６３、液滴吐出ヘッド２４を駆動するヘッド駆動回路、ヘッド保守部２５及びエアー吸引・供給部５４ａ，５４ｂ，５４ｃは、入出力インターフェース８５およびバス８６を介してＣＰＵ８０に接続されている。
【００４５】
メモリー８１は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリーや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、液滴吐出装置１における動作の制御手順が記述されたプログラムソフトを記憶する記憶領域や、ワークＷ内における吐出位置の座標データである吐出位置データを記憶するための記憶領域が設定される。さらに、ワークＷを主走査方向（Ｙ方向）へ移動する主走査移動量と、キャリッジ２２を副走査方向（Ｘ方向）へ移動する副走査移動量とを記憶するための記憶領域や、ＣＰＵ８０のためのワークエリアやテンポラリーファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。
【００４６】
そして、ＣＰＵ８０は、メモリー８１内に記憶されたプログラムソフトに従って、ワークＷにおける表面の所定位置に機能液を液滴吐出するための制御や、ワークＷの搬送するための制御を行う。
【００４７】
（ワーク搬送装置の制御方法）
次に、ワーク搬送装置の制御方法について説明する。図５は、ワーク搬送装置の制御方法を示すフローチャートであり、図６及び図７は、ワークの搬送方法を示す説明図である。
【００４８】
まず、ステップＳ１では、第１ステージ４１にワークＷを載置する。図示しないワーク給材装置を用いて、第１ステージ４１の載置面５２ａ上にワークを載置する。この際、ワークＷは、アライメントされ、載置面５２ａの基準載置位置（基準線）Ｓに載置される。また、ワークＷが載置される際、ワーク搬送部の保持部６４ａ，６４ｂでワークＷを保持する。
【００４９】
ステップＳ２では、第１ステージ４１の第１コンプレッサー５５ａを駆動させる。次いで、ステップＳ３では、第２ステージ４２の第２コンプレッサー５５ｂを駆動させる。なお、第１及び第２コンプレッサー５５ａ，５５ｂを同時期に駆動させてもよい。第１コンプレッサー５５ａの駆動により、図６（ａ）に示すように、ワークＷは、通気孔５３ａから圧縮されたエアーの圧力によって押し上げられる。なお、保持部６４ａ，６４ｂによってワークＷを保持しているので、安定した状態でワークＷを浮上した状態を維持することができる。
【００５０】
ステップＳ４では、ワークＷを第１ステージ４１から第２ステージ４２に搬送させる。具体的には、第１及び第２ステージ４１，４２の両方に、エアーを供給させた状態で、ワークＷを搬送させる。本実施形態では、ワークＷを載置面５２から浮上させた状態で、第１ステージ４１から第２ステージ４２側に搬送させる。図６（ｂ）は、ワークＷの一部が第１ステージ４１から第２ステージ４２側にのり出した状態を示している。この場合、一部のり出した部分は、エアー圧力を受けないため、重量方向に撓む。しかし、第２ステージ４２の載置面５２ｂは、第１ステージ４１の載置面５２ａよりも低いため、ワークＷがのり出した部分は、載置面５２ｂに衝突しない。また、ワークＷがのり出した部分は、第２ステージ４２の通気孔５３ｂから供給されるエアーによって押し上げられ、図６（ｃ）に示すように、ワークＷが、第２ステージ４２の載置面５２ｂに衝突することなく、第１ステージ４１から第２ステージ４２の載置面５２ｂ上に円滑に搬送される（図６（ｄ））。
【００５１】
ステップＳ５では、ワークＷが第２ステージ４２上の所定の位置か否かを判断する。所定の位置でない場合（ＮＯ）は、ステップＳ４に移行する。所定の位置である場合（ＹＥＳ）は、ステップＳ６に移行する。
【００５２】
ステップＳ６では、第１コンプレッサー５５ａの駆動を停止させる。次いで、ステップＳ７では、第２コンプレッサー５５ｂの駆動を停止させる。なお、第１及び第２コンプレッサー５５ａ，５５ｂを同時期に停止させてもかまわない。第１及び第２コンプレッサー５５ａ，５５ｂの駆動停止により、図６（ｅ）に示すように、ワークＷが載置面５２ｂ上に載置される。
【００５３】
ステップＳ８では、第２真空ポンプ５６ｂを駆動させる。これにより、通気孔５３ｂを介してエアーが吸引され、ワークＷが載置面５２ｂに吸着される。ワークＷが載置面５２ｂに吸着された後に、ワーク搬送部の保持部６４ａ，６４ｂによるワークＷの保持を開放する。
【００５４】
ステップＳ９では、描画が実行される。ステージ４２と液滴吐出ヘッド２４とを相対的に移動させ、ワークＷに向けて液滴吐出ヘッド２４から液滴３６を吐出して、ワークＷの表面に機能液を付着させる。
【００５５】
ステップＳ１０では、描画が終了したか否かを判断する。描画が終了していない（ＮＯ）の場合は、ステップＳ９に移行し、描画が終了した場合は、ステップＳ１１に移行する。
【００５６】
ステップＳ１１では、まず、ワーク搬送部の保持部６４ａ，６４ｂでワークＷを保持する。次に、第２ステージ４２の第２コンプレッサー５５ｂを駆動させる。次いで、ステップＳ１２では、第３ステージ４３の第３コンプレッサー５５ｃを駆動させる。なお、第２及び第３コンプレッサー５５ｂ，５５ｃを同時期に駆動させてもよい。第２コンプレッサー５５ｂの駆動により、図７（ａ）に示すように、ワークＷは、通気孔５３ｂから圧縮されたエアーの圧力によって押し上げられる。
【００５７】
ステップＳ１３では、ワークＷを第２ステージ４２から第３ステージ４３に搬送させる。具体的には、第２及び第３ステージ４２，４３の両方に、エアーを供給させた状態で、ワークＷを搬送させる。本実施形態では、ワークＷを載置面５２ｃから浮上させた状態で、第２ステージ４２から第３ステージ４３側に搬送させる。図７（ｂ）は、ワークＷの一部が第２ステージ４２から第３ステージ４３側にのり出した状態を示している。この場合、一部のり出した部分は、エアー圧力を受けないため、重量方向に撓む。しかし、第３ステージ４３の載置面５２ｃは、第２ステージ４２の載置面５２ｂよりも低いため、ワークＷがのり出した部分は、載置面５２ｃに衝突しない。また、ワークＷがのり出した部分は、第３ステージ４３の通気孔５３ｃから供給されるエアーによって押し上げられ、図７（ｃ）に示すように、ワークＷが、第３ステージ４３の載置面５２ｃに衝突することなく、第２ステージ４２から第３ステージ４３の載置面５２ｃ上に円滑に搬送される（図７（ｄ））。
【００５８】
ステップＳ１４では、ワークＷが第３ステージ４３上の所定の位置か否かを判断する。所定の位置でない場合（ＮＯ）は、ステップＳ１３に移行する。所定の位置である場合（ＹＥＳ）は、ステップＳ１５に移行する。
【００５９】
ステップＳ１５では、第２コンプレッサー５５ｂの駆動を停止させる。次いで、ステップＳ１６では、第３コンプレッサー５５ｃの駆動を停止させる。なお、第２及び第３コンプレッサー５５ｂ，５５ｃを同時期に停止させてもかまわない。第２及び第３コンプレッサー５５ｂ，５５ｃの駆動停止により、図７（ｅ）に示すように、ワークＷが載置面５２ｃ上に載置される。次いで、ワークＷが載置面５２ｃ上に載置された後に、ワーク搬送部の保持部６４ａ，６４ｂによるワークＷの保持を開放する。
【００６０】
載置面５２ｃ上に載置されたワークＷは、図示しないワーク排材装置等により、第３ステージ４３からワークＷが取り除かれる。なお、第１ステージ４１では、第１ステージ４１上にワークＷが無いことを確認した後、他のワークＷが第１ステージ４１上に載置される。
【００６１】
従って、上記実施形態によれば、以下に示す効果がある。
【００６２】
（１）載置面５２ａ，５２ｂ，５２ｃからエアーの供給によってワークＷを浮上させ、浮上させた状態でワークＷを搬送させた。これにより、ワークＷと載置面５２ａ，５２ｂ，５２ｃとの摩擦力は低いため、ワークＷを素早く搬送できる。
【００６３】
（２）第１〜第３ステージ４１，４２，４３のうち、ワークＷの搬送上流側となる第１ステージ４１の載置面５２ａを最も高く設定し、次いで、第２ステージ４２の載置面５２ｂを高く設定し、第３ステージ４３の載置面５２ｃを最も低く設定した。これにより、ワークＷの搬送した際、例えば、第１ステージ４１の載置面５２ａからワークＷの一部が、第２ステージ４２側へはみ出した際、はみ出したワークＷの一部が、エアー圧力を受けないため、重量方向に撓む場合であっても、ワークＷがはみ出した部分は、載置面５２ａと次の載置面との間に設けられた段差（ギャップ）により、載置面５２ｂに衝突しないですむ。また、はみ出した部分が、エアー圧力を受けない領域を超えると第２ステージ４２の通気孔５３ｂから吹き出したエアーによって圧力をうけるため、ワークＷの撓みを抑え、安定したワークＷの搬送を行うことができる。これは第２ステージ４２から第３ステージ４３へワークＷを搬送する場合も同様である。
【００６４】
なお、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような変形例が挙げられる。
【００６５】
（変形例１）上記実施形態では、第１ステージ４１と、第２ステージ４２と、第３ステージ４３と、を配置したが、これに限定されず、例えば、図８に示すように、第１ステージと、第１ステージに近接して配置された第２ステージと、を有し、各第１及び第２ステージには、ワークが載置される載置面と、載置面に設けられ、エアーを導入する通気孔と、通気孔に前記エアーを供給するエアー供給部と、が設けられ、ワークを保持するととともに、第１及び第２ステージ間において保持した前記ワークを搬送させるワーク搬送部と、を備えた構成でもよい。このようにすれば、装置構成を簡略化させることができる。
【００６６】
（変形例２）上記実施形態の構成に加え、図９に示すように、第１ステージ４１と第２ステージ４２との間に、ワークＷに向かってエアーを吹き出すエアー噴流装置１００ａを設けてもよい。さらに、第２ステージ４２と第３ステージ４３との間にも、ワークＷに向かってエアーを吹き出すエアー噴流装置１００ｂを設けてもよい。このようにすれば、第１ステージ４１と第２ステージ４２との間の隙間からもエアーが吹き出すため、搬送されるワークＷを浮上させる。これにより、ワークＷの撓み等の発生を低減させ、安定した状態でワークＷを搬送させることができる。この場合は、第１ステージから第２ステージへのり出したワークＷに対して、途切れることなくエアーを供給することが可能になるため、第１ステージと第２ステージとの載置面の高さは同じにすることが可能になる。このため、より安定した状態でワークＷを搬送させることができる。なお、第２ステージ４２から第３ステージ４３側にワークＷを搬送する場合も、同様の効果を得ることができる。
【００６７】
（変形例３）上記実施形態の構成に加え、図１０に示すように、第１ステージ４１と第２ステージ４２との間に、ワークＷの表面への帯電を防止する帯電防止装置、例えば、軟Ｘ線除電装置１０１ａを設けてもよい。さらに、ワークＷの表面側及び裏面側のそれぞれに軟Ｘ線除電装置１０１ａ，１０１ｂを設けてもよい。このようにすれば、ワークＷの搬送における帯電を防止することができる。なお、第２ステージ４２と第３ステージ４３との間に帯電防止装置を設けてもよい。このようにしても、同様の除電効果を得ることができる。
【００６８】
（変形例４）上記実施形態の構成に加え、図１０に示すように、第２ステージ４２と第３ステージ４３との間に、外観情報取得装置を設けてもよい。例えば、ワークＷとしての基板にパターン膜を描画して、カラーフィルターを製造する場合には、外観情報取得装置として、画素間の混色状態を検出するカメラ１０２や、画素間に設けられた区画部（ブラックマトリクス）への機能液の乗り上げ状態を検出するカメラ１０３等を設けてもよい。このようにすれば、ワークＷの搬送動作中に効率よく外観検査を実行することがきできる。
【００６９】
（変形例５）上記実施形態では、ワークＷを保持する移動部６２を一つ設けたが、この構成に限定されず、例えば、図１１に示すように、移動部６２に加え、他の移動部１２０を設けてもよい。そして、移動部６２を第１ステージ４１から第２ステージ４２間で移動させ、他の移動部１２０を第２ステージ４２から第３ステージ４３間で移動させる。このようにすれば、同時期に、複数のワークＷの搬送が可能となり、ワークＷの搬送にかかる時間を短縮させることができる。
【００７０】
（変形例６）上記実施形態では、第１〜第３ステージ４１，４２，４３の載置面５２ａ，５２ｂ，５２ｃの高さをそれぞれ異ならせたが、これに限定されない。例えば、載置面５２ａ，５２ｂ，５２ｃの高さが均一であってもよい。この場合、例えば、のり出した部分が重量方向に撓む撓み量を勘案して、より高くワークＷを持ち上げるように、各第１〜第３ステージ４１，４２，４３から吹き出されるエアーの圧力を調整すればよい。このようにしても、上記同様の効果を得ることができる。
【００７１】
（変形例７）上記実施形態では、ワークＷとしてカラーフィルター用の基材を例に挙げて説明したが、他にも有機ＥＬ部材、基板配線部材等のワークＷとしても適用することができる。
【符号の説明】
【００７２】
１…液滴吐出装置、１０…描画部、２４…液滴吐出ヘッド、４０…ワーク搬送装置、４１…第１ステージ、４２…第２ステージ、４３…第３ステージ、５２ａ，５２ｂ，５２ｃ…載置面、５３ａ，５３ｂ，５３ｃ…通気孔、５４ａ，５４ｂ，５４ｃ…エアー吸引・供給部、５５ａ…第１コンプレッサー、５５ｂ…第２コンプレッサー、５５ｃ…第３コンプレッサー、５６ａ…第１真空ポンプ、５６ｂ…第２真空ポンプ、５６ｃ…第３真空ポンプ、６０…ワーク搬送部、６１…案内レール、６２…移動部、６３…移動位置検出装置、６４ａ，６４ｂ…保持部、１００ａ，１００ｂ…エアー噴流装置、１０１ａ，１０１ｂ…軟Ｘ線除電装置、１０２，１０３…外観検出装置としてのカメラ、１２０…他の移動部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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