(57)【要約】【課題】配管の影響による可動塗布ユニットのローリングを抑制すること。【解決手段】基板に塗布液を塗布する塗布装置であって、基板保持部と、記基板に対して略平行な主走査方向に沿って延びるガイド部４０と、ガイド部４０との間にエア層を介在させた状態でガイド部４０により主走査方向に沿って移動可能に支持されたスライダ５２と、スライダ５２に支持された吐出部６０とを有する可動塗布ユニット５０と、可動塗布ユニット５０に流体を導く配管部材８０、８１とを備えている。配管部材８０、８１は、可動塗布ユニット５０に対してガイド部４０の軸を挟んで両側に分けて固定されている。【選択図】図４
2011072975.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に塗布液を塗布する塗布装置であって、
基板を保持する基板保持部と、
前記基板に対して略平行な主走査方向に沿って延びるガイド部と、
前記ガイド部との間にエア層を介在させた状態で前記ガイド部により前記主走査方向に沿って移動可能に支持されたスライダと、前記スライダに支持された吐出部とを有する可動塗布ユニットと、
前記可動塗布ユニットに流体を導く複数の配管と、
を備え、
前記複数の配管は、前記可動塗布ユニットに対して前記ガイド部の軸を挟んで両側に分けて固定されている、塗布装置。
【請求項２】
請求項１記載の塗布装置であって、
前記複数の配管は、前記可動塗布ユニットの移動に伴って前記主走査方向を含む面に沿って曲るように配設されている、塗布装置。
【請求項３】
請求項２記載の塗布装置であって、
前記複数の配管のうちの少なくとも一つを、前記流体の送り方向上流側部分で、前記主走査方向を含む面に沿って延在するように固定する配管固定部をさらに備える、塗布装置。
【請求項４】
請求項３記載の塗布装置であって、
前記配管固定部は、前記複数の配管のうちの少なくとも一つを、前記流体の送り方向上流側部分で、前記主走査方向を含む面に沿って揺動可能に支持する配管ガイド部材をさらに備える塗布装置。
【請求項５】
請求項４記載の塗布装置であって、
前記配管固定部は、前記主走査方向を含む面に沿って弾性変形可能な板バネを有し、
少なくとも一つの前記配管の前記流体の送り方向上流側部分が前記板バネに固定されている、塗布装置。
【請求項６】
請求項１〜請求項５のいずれか一つに記載の塗布装置であって、
前記複数の配管のうち前記可動塗布ユニットに対して前記ガイド部の軸を挟んで一側に固定されたものと、他側に固定されたものとが、同方向に凸となって湾曲するように配設されている、塗布装置。
【請求項７】
請求項１〜請求項５のいずれか一つの記載の塗布装置であって、
前記複数の配管のうち前記可動塗布ユニットに対して前記ガイド部の軸を挟んで一側に固定されたものと、他側に固定されたものとが、異なる方向に凸となって湾曲するように配設されている、塗布装置。
【請求項８】
請求項１〜請求項７のいずれか一つに記載の塗布装置であって、
前記ガイド部に隣設する位置で、前記主走査方向に沿って延びるカウンタ用ガイド部と、
前記カウンタ用ガイド部により前記主走査方向に沿って移動可能に支持されたカウンタ用スライダと、
前記カウンタ用スライダに流体を導くカウンタ用配管と、
を備え、
前記複数の配管のうち前記可動塗布ユニットに対して前記ガイド部の軸を挟んで一側に固定されたものと、他側に固定されたものとが、前記カウンタ用ガイド部を挟む位置で、前記可動塗布ユニットの移動に伴って前記主走査方向を含む面に沿って曲るように配設され、
それらの間で前記カウンタ用配管が前記カウンタ用スライダの移動に伴って前記主走査方向を含む面に沿って曲るように配設されている、塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）用ガラス基板、有機ＥＬ表示パネル用ガラス基板、磁気或は光ディスク用のガラス或はセラミック基板等の各種被処理基板に塗布液を塗布する塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の塗布装置として、特許文献１に開示のものがある。
【０００３】
特許文献１は、塗布ヘッドを主走査方向に往復移動するヘッド移動機構として、主走査方向に伸びるガイド部に係合しつつガイド部との間にエアを噴出することにより、非接触状態にてガイド部に支持されるスライダを有する構成を開示している。また、上記スライダにエアを供給するエアチューブ及び塗布ヘッドに塗布液を供給する複数の塗布液チューブとを結束してチューブ群とし、このチューブ群をスライダ及び塗布ヘッドを含む可動部分に連結してエア及び塗布液を供給する構成が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−１３１７３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示の塗布装置では、塗布ヘッドに対するチューブ群の固定箇所によっては、チューブ群の自重等による荷重が、可動部に対して不均一に作用し、可動部分を、その移動軸周りにローリングさせるローリング荷重として作用する恐れがある。これにより、塗布ヘッドからの塗布液の着弾位置がずれ、塗布軌跡が蛇行してしまう恐れがある。
【０００６】
特に、ノズル数増加によるチューブ数が増加すると、チューブ群の重量が大きくなり、より大きな蛇行を生じる恐れがある。
【０００７】
また、上記現象は、塗布ピッチ幅が狭くなるほど、重要な問題となる。
【０００８】
そこで、この発明は、配管の影響による可動塗布ユニットのローリングを抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、第１の態様に係る塗布装置は、基板に塗布液を塗布する塗布装置であって、基板を保持する基板保持部と、前記基板に対して略平行な主走査方向に沿って延びるガイド部と、前記ガイド部との間にエア層を介在させた状態で前記ガイド部により前記主走査方向に沿って移動可能に支持されたスライダと、前記スライダに支持された吐出部とを有する可動塗布ユニットと、前記可動塗布ユニットに流体を導く複数の配管と、を備え、前記複数の配管は、前記可動塗布ユニットに対して前記ガイド部の軸を挟んで両側に分けて固定されている。
【００１０】
第２の態様に係る塗布装置は、第１の態様に係る塗布装置であって、前記複数の配管は、前記可動塗布ユニットの移動に伴って前記主走査方向を含む面に沿って曲るように配設されているものである。
【００１１】
第３の態様に係る塗布装置は、第２の態様に係る塗布装置であって、前記複数の配管のうちの少なくとも一つを、前記流体の送り方向上流側部分で、前記主走査方向を含む面に沿って延在するように固定する配管固定部をさらに備えるものである。
【００１２】
第４の態様に係る塗布装置は、第３の態様に係る塗布装置であって、前記配管固定部は、前記複数の配管のうちの少なくとも一つを、前記流体の送り方向上流側部分で、前記主走査方向を含む面に沿って揺動可能に支持する配管ガイド部材をさらに備えるものである。
【００１３】
第５の態様に係る塗布装置は、第４の態様に係る塗布装置であって、前記配管固定部は、前記主走査方向を含む面に沿って弾性変形可能な板バネを有し、少なくとも一つの前記配管の前記流体の送り方向上流側部分が前記板バネに固定されているものである。
【００１４】
第６の態様に係る塗布装置は、第１〜第５のいずれか一つの態様に係る塗布装置であって、前記複数の配管のうち前記可動塗布ユニットに対して前記ガイド部の軸を挟んで一側に固定されたものと、他側に固定されたものとが、同方向に凸となって湾曲するように配設されているものである。
【００１５】
第７の態様に係る塗布装置は、第１〜第５のいずれか一つに態様に係る塗布装置であって、前記複数の配管のうち前記可動塗布ユニットに対して前記ガイド部の軸を挟んで一側に固定されたものと、他側に固定されたものとが、異なる方向に凸となって湾曲するように配設されているものである。
【００１６】
第８の態様に係る塗布装置は、第１〜第７のいずれか一つの態様に係る塗布装置であって、前記ガイド部に隣設する位置で、前記主走査方向に沿って延びるカウンタ用ガイド部と、前記カウンタ用ガイド部により前記主走査方向に沿って移動可能に支持されたカウンタ用スライダと、前記カウンタ用スライダに流体を導くカウンタ用配管と、を備え、前記複数の配管のうち前記可動塗布ユニットに対して前記ガイド部の軸を挟んで一側に固定されたものと、他側に固定されたものとが、前記カウンタ用ガイド部を挟む位置で、前記可動塗布ユニットの移動に伴って前記主走査方向を含む面に沿って曲るように配設され、それらの間で前記カウンタ用配管が前記カウンタ用スライダの移動に伴って前記主走査方向を含む面に沿って曲るように配設されているものである。
【発明の効果】
【００１７】
第１の態様によると、前記複数の配管は、前記可動塗布ユニットに対して前記ガイド部の軸を挟んで両側に分けて固定されているため、配管から可動塗布ユニットに作用する荷重を、ガイド部の軸を挟んで両側で、なるべく均一にすることができる。これにより、可動塗布ユニットに作用するローリング荷重等を抑制でき、配管の影響による可動塗布ユニットのローリングを抑制することができる。
【００１８】
第２の態様によると、複数の配管相互間の干渉を抑制することができる。
【００１９】
第３の態様によると、流体の送り方向上流側部分で、主走査方向を含む面に沿って延在するように配管が固定されているため、可動塗布ユニットが移動すると、その配管は、主として主走査方向を含む面で曲り、複数の配管相互間の干渉を抑制することができる。
【００２０】
第４の態様によると、配管の上流側部分を配管ガイド部材により支持することで、複数の配管相互間の干渉をより抑制することができる。
【００２１】
第５の態様によると、配管の上流側部分を板バネにより固定支持することにより、配管が主走査方向を含む面に沿って曲るようにガイドすることができ、複数の配管相互間の干渉を抑制することができる。
【００２２】
第６の態様によると、同方向に凸となって湾曲するように配設された複数の配管が、前記可動塗布ユニットに対して前記ガイド部の軸を挟んで両側に分けて固定されているため、配管から可動塗布ユニットに作用する荷重を、ガイド部の軸を挟んで両側で、なるべく均一にすることができる。これにより、可動塗布ユニットに作用するローリング荷重等を抑制でき、配管の影響による可動塗布ユニットのローリングを抑制することができる。
【００２３】
第７の態様によると、異なる方向に凸となって湾曲するように配設された複数の配管が、前記可動塗布ユニットに対して前記ガイド部の軸を挟んで両側に分けて固定されているため、配管から可動塗布ユニットに作用する荷重を、ガイド部の軸を挟んで両側で、なるべく均一にすることができる。これにより、可動塗布ユニットに作用するローリング荷重等を抑制でき、配管の影響による可動塗布ユニットのローリングを抑制することができる。
【００２４】
第８の態様によると、カウンタ用配管についても、可動塗布ユニットへの配管との干渉を避けつつ、バランスよく配設することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】実施形態に係る塗布装置を示す概略平面図である。
【図２】同上の塗布装置を示す概略正面図である。
【図３】図２におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線概略断面図である。
【図４】配管部材の配設構成を示す概略斜視図である。
【図５】配管固定部を示す概略側面図である。
【図６】配管固定部を示す概略側面図である。
【図７】変形例に係る配管部材の配設構成を示す概略斜視図である。
【図８】他の変形例に係る配管部材の配設構成を示す概略斜視図である。
【図９】他の変形例に係る配管固定部を示す概略斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
＜全体構成＞
以下、実施形態に係る塗布装置について説明する。図１は実施形態に係る塗布装置２０を示す概略平面図であり、図２は塗布装置２０を示す概略正面図であり、図３は図２におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線概略断面図である。なお、説明の便宜上、後述する主走査方向に沿った方向をＸ方向、当該Ｘ方向及び上下方向に直交する方向をＹ方向、上下方向をＺ方向として説明することがある。この塗布装置２０は、基板１０に対して塗布液を塗布する装置である。基板１０としては、方形状の基板、例えば、平面表示装置用のガラス基板等が想定される。また、塗布液としては、基板１０に形成すべきパターン等の形成材料、例えば、有機ＥＬ表示装置の製造を想定した場合には、有機ＥＬ材料及びその溶媒等を含む液等が想定される。
【００２７】
この塗布装置２０は、基板保持部３０と、ガイド部４０と、可動塗布ユニット５０と、配管部材８０、８１、８２とを備えている。
【００２８】
基板保持部３０は、基板１０を略水平姿勢で保持可能に構成されている。ここでは、基板保持部３０は、一主面を所定高さ位置で上向き略水平姿勢に配設したステージ３２を有している。そして、基板１０の一主面をステージ３２の上向き主面に当接させるように基板１０をステージ３２上に載置することで、基板１０が一定位置及び姿勢で保持可能に構成されている。基板保持部は、その他、基板の周囲を把持することで当該基板を保持する構成であってもよい。
【００２９】
また、基板保持部３０の下方には、可動塗布ユニット５０に対して基板１０をＹ方向（副走査方向）に沿って相対移動させる基板移動機構３４が設けられている。ここでは、基板移動機構３４は、上方にステージ３２を支持する台部３６と、一対のスライド受部３７とを有している。スライド受部３７は、台部３６の下端部に設けられ、Ｙ方向に沿って延びる副走査方向ガイド部３９上をスライド移動可能に構成されている。そして、リニアモータ等の基板移動駆動部（図示省略）からの駆動力を受けることで、基板移動機構３４が、上記ステージ３２及び基板１０と共に、Ｙ方向に沿って移動する構成とされている。なお、基板１０をＹ方向に沿って移動させる代りに、上記ガイド部４０及び可動塗布ユニット５０等を、基板１０に対してＹ方向に沿って移動させる構成であってもよい。
【００３０】
なお、上記ステージ３２には、必要に応じて、基板１０を加熱する加熱機構が設けられていてもよい。また、上記ステージ３２は、基板移動機構３４に対して鉛直軸周りに回転駆動可能に構成されていてもよい。
【００３１】
ガイド部４０は、基板１０の上方位置で、基板１０に対して略平行な主走査方向（Ｘ方向）に沿って延びる長尺状部材に形成されている。より具体的には、ガイド部４０は、略角棒状部材に形成されており、その上面に、上方に開口しかつＸ方向に沿って延びる凹溝４２が形成されている。
【００３２】
可動塗布ユニット５０は、スライダ５２と吐出部６０とを有しており、上記ガイド部４０によりＸ方向に沿って往復移動可能に支持されている。
【００３３】
すなわち、スライダ５２は、ガイド部４０を挿通配置可能な空間を有する部材であり、ガイド部４０との間にエア層を介在させた状態で当該ガイド部４０によりＸ方向に沿って移動可能に支持されている。より具体的には、スライダ５２の外形状は略直方体状に形成され、スライダ５２内には、ガイド部４０の外周面を、間隔を有して囲繞可能な内部空間５２Ｓが形成されている。また、スライダ５２の内周面には、エア吐出部５２ａが形成されている。そして、外部より後述する配管部材８０等を介して供給されるエアがスライダ５２に形成されるエア分岐路を経由して当該各エア吐出部５２ａにより吐出されるようになっている。そして、内部空間５２Ｓ内にスライダ５２を配設した状態で、エア吐出部５２ａよりエアを吐出させることにより、スライダ５２は、ガイド部４０の外周面との間にエア層を介在させた状態で（つまり、ガイド部４０の外周面に対して浮いた状態で）、Ｘ方向に沿って移動可能に支持された状態となる。これにより、スライダ５２は、高速高加速移動可能かつ耐久性に優れた態様で支持されることになる。もっとも、スライダ５２は、ガイド部４０に対してエア層を介して支持されているため、そのエア層分、ガイド部４０周りに揺れる（ローリング）恐れがある。ここでは、かかる揺れ対策に関する技術を開示している。
【００３４】
なお、スライダ５２の上部幅方向（Ｙ方向）中間部に、ガイド部４０の凹溝４２に対応するスリット５３が形成されている。そして、このスリット５３を挟む部分にベルト取付ブラケット５４が取付けられ、当該凹溝４２内で、スライダ５２を駆動するための駆動ベルト４８がベルト取付ブラケット５４に取付けられている。
【００３５】
もっとも、上記各構成は必須ではない。例えば、ガイド部は、単純な角棒状或は丸棒状で、スライダ内には当該単純な角棒状或は丸棒状よりも一回り大きな内部空間が形成された構成であってもよい。また、ガイド部は、複数の棒状部材により構成されていてもよい。さらに、ガイド部とスライダとの間にエア層が介在している場合には、それらの間に噴出されたエア圧の作用による場合の他、磁力の反発力等他の力の作用による場合を含む。
【００３６】
吐出部６０は、上記スライダ５２によって支持されると共に、基板１０に対して塗布液を吐出可能に構成されている。ここでは、吐出部６０は、ノズル支持部６２と少なくとも一つのノズル６４とを有しており、上記スライダ５２のＹ方向における一側面に、厚板状の介在取付部材５５を介して取付固定されている。
【００３７】
ノズル支持部６２は、介在取付部材５５の側面に取付けられる基端部６２ａと、基端部６２ａの下端部より外方に向けて延出するノズル取付板部６２ｂとを有している。そして、複数（ここでは３つ）のノズル６４が、Ｘ方向及びＹ方向に位置をずらしつつ、ノズル取付板部６２ｂに取付固定されている。なお、ノズル６４の数は、１つ以上であればよく、より多数のノズルが設けられていてもよい。各ノズル６４は、それぞれ塗布液を吐出可能な吐出口を有しており、当該吐出口をノズル取付板部６２ｂの下向きにした姿勢で、ノズル取付板部６２ｂに固定されている。そして、上記スライダ５２をＸ方向に移動させつつ、各ノズル６４から塗布液を吐出することで、当該塗布液がステージ３２上に載置された基板１０に塗布されるようになっている。
【００３８】
そして、エア供給源９６から配管部材８０を介して上記スライダ５２にエアが供給されると共に、塗布液供給源９８から配管部材８０、８１を介して各ノズル６４に塗布液が供給されるようになっている。これらの配管部材８０、８１の配設構成については後で詳述する。
【００３９】
なお、上記スライダ５２のうち吐出部６０に対して反対側の側部に、ノズルカウンタ５６が設けられている。このノズルカウンタ５６により、ガイド部４０をＹ方向に沿って挟む両側で、可動塗布ユニット５０の重量的なバランスがとられている。
【００４０】
また、ここでは、ガイド部４０に隣設してカウンタ用ガイド部７０が設けられ、そのカウンタ用ガイド部７０によってカウンタ用スライダ７４が移動可能に支持されている。
【００４１】
カウンタ用ガイド部７０は、上記ガイド部４０の上方（Ｚ方向に沿った上方）で、Ｘ方向に沿って延びる長尺棒状部材に形成されている。カウンタ用スライダ７４は、カウンタ用ガイド部７０を挿通可能な内部空間を有する部材であり、カウンタ用ガイド部７０の外周面との間にエア層を介在させた状態で、当該カウンタ用ガイド部７０によってＸ方向に沿って移動可能に支持されている。
【００４２】
より具体的には、カウンタ用ガイド部７０は、略丸棒状に形成され、ガイド部４０の上方に略平行状態で２本設けられている。また、カウンタ用スライダ７４内には、各カウンタ用ガイド部７０の外周面を、間隔を有して囲繞可能な丸穴状の内部空間７４Ｓが形成されている。なお、このカウンタ用スライダ７４の幅寸法（Ｙ方向の寸法）は、上記スライダ５２の同方向における幅寸法よりも小さい。このカウンタ用スライダ７４の内周面には、エア吐出部７４ａが形成されている。そして、外部より後述する配管部材８２等を介して供給されるエアがカウンタ用スライダ７４に形成されるエア分岐経路等を経由して、周方向に亘って形成されたエア吐出部７４ａより吐出されるようになっている。そして、内部空間７４Ｓ内にカウンタ用ガイド部７０を挿通した状態で、エア吐出部７４ａよりエアを吐出させることにより、カウンタ用スライダ７４は、カウンタ用ガイド部７０との間にエア層を介在させた状態で（つまり、カウンタ用ガイド部７０の外周面に対して浮いた状態で）、Ｘ方向に沿って移動可能に支持される。
【００４３】
そして、エア供給源９６から配管部材８２を介して上記カウンタ用スライダ７４にエアが供給されるようになっている。この配管部材８２の配設構成についても後で詳述する。
【００４４】
なお、ここで、カウンタ用スライダがカウンタ用ガイド部に対して移動可能に支持される構成は、上記ガイド部とスライダとの構成に関して述べたのと同様、種々構成を採用し得る。
【００４５】
もっとも、カウンタ用スライダは、上記のようにカウンタ用ガイド部に対してエア層を介在させた状態で移動自在に支持されている必要はない。例えば、カウンタ用スライダは、長尺状のカウンタ用ガイド部に対して、他の低摩擦部材、転動体等を介して接触した状態で、移動自在に支持される構成であってもよい。
【００４６】
また、この塗布装置２０は、Ｘ方向に沿って、可動塗布ユニット５０及びカウンタ用スライダ７４をＸ方向に沿って往復移動駆動する主走査駆動機構４４を備えている。
【００４７】
主走査駆動機構４４は、ガイド部４０の両端部に設けられた一対のプーリ体４６、４６と、一対のプーリ体４６、４６に巻掛けられた駆動ベルト４８と、一方のプーリ体４６を正逆両方向に回転駆動可能なモータ４９とを有している。一対のプーリ体４６、４６間を走行する２経路の駆動ベルト４８のうち一方側（下側）には、上記スライダ５２のベルト取付ブラケット５４が連結固定されている。また、一対のプーリ体４６、４６間を走行する２経路の駆動ベルト４８のうち他方側（上側）には、上記カウンタ用スライダ７４が連結固定されている。なお、カウンタ用スライダ７４は、可動塗布ユニット５０の往復移動範囲の中央位置（通常は、一対のプーリ体４６、４６の中央位置）を挟んで可動塗布ユニット５０と略対称位置に配設されるように、駆動ベルト４８に連結固定されている。そして、回転方向及び回転速度、回転量等を制御しつつモータ４９を回転駆動することで、スライダ５２及び可動塗布ユニット５０がＸ方向に沿って往復移動駆動される。また、この際、カウンタ用スライダ７４は、可動塗布ユニット５０に対して、前記中央位置を挟んで対称位置を保ちつつ、Ｘ方向に沿って往復移動するようになっている。
【００４８】
なお、上記可動塗布ユニット５０及びカウンタ用スライダ７４を駆動する機構としては、上記例に限られず、モータ以外の各種回転駆動装置を用いることができ、また、駆動力も直接伝達される場合だけでなく、種々のギア等の伝達機構を介して伝達される構成であってもよい。
【００４９】
また、この塗布装置２０は、本装置全体の動作制御を司る制御部９０を備えている。制御部９０は、ＣＰＵ、ＲＯＭおよびＲＡＭ等を備える一般的なマイクロコンピュータによって構成されており、予め格納されたソフトウェアプログラムに従って塗布装置２０の動作制御を行う。ここでは、制御部９０は、後述するエア供給源９６からエアを供給すると共に、後述する塗布液供給源９８からの塗布液供給を開始して各ノズル６４から塗布液を吐出させた状態で、可動塗布ユニット５０をＸ方向に沿って移動させるように、モータ４９を駆動制御する処理を行うように構成されている。
【００５０】
＜配管及びその配設構成＞
図４は配管部材８０、８１、８２の配設構成を示す概略斜視図であり、図５及び図６は配管固定部８４を示す概略側面図である。図１〜図６に示すように、本塗布装置２０は、可動塗布ユニット５０に対して流体を導く配管部材８０、８１と、カウンタ用スライダ７４に対して流体を導く配管部材８２とを有している。これらの配管部材８０、８１、８２は、しなるように変形可能な可撓性ある線状部材である。
【００５１】
すなわち、可動塗布ユニット５０に対しては、複数のノズル６４それぞれに流体として塗布液を導く複数の配管と、スライダ５２に対して流体としてエアを導く配管とを接続する必要がある。そして、これらの配管が、可動塗布ユニット５０に対してガイド部４０の軸を挟んで両側にわけて当該可動塗布ユニット５０に固定されている（図３参照）。
【００５２】
ここでは、塗布液用の一部の配管とエア用の配管とが束ねられて、一つの配管部材８０として構成されている。また、残りの複数の配管が束ねられて、一つの配管部材８１として構成されている。これらの配管部材８０、８１は、メインスキャンチューブとも呼ばれる。なお、ガイド部４０の軸は、ガイド部４０の幅方向中心位置であり、通常、可動塗布ユニット５０のＹ方向の重心と一致している。
【００５３】
また、スライダ５２の両側部（Ｙ方向における両側部）に、当該スライダ５２の上方に延出するようにしてスライダ側配管固定部５８、５９が取付固定されている。ここでは、スライダ側配管固定部５８、５９は、略細長板状に形成されており、カウンタ用スライダ７４の上方に延出するように構成されている。そして、上記配管部材８０の一端部（流体の送り方向下流側の端部）が、吐出部６０側のスライダ側配管固定部５８の外面側に略鉛直姿勢（Ｚ方向に沿った姿勢）で固定され、その固定部分さらにスライダ５２或は各ノズル６４に向けて引回されて、それらスライダ５２或は各ノズル６４に各流体を供給可能に接続されている。また、配管部材８１の他端部（流体の送り方向下流側の端部）が、ノズルカウンタ５６側のスライダ側配管固定部５９の外面側に略鉛直姿勢（Ｚ方向に沿った姿勢）で固定され、その固定部分さらに各ノズル６４に向けて引回されて、各ノズル６４に流体を供給可能に接続されている。
【００５４】
なお、各配管の分け方は、上記例に限られず、一つのエア用の配管と、複数の塗布液用の配管とに分けられていてもよい。また、複数の配管が３つ以上に分けられていてもよい。また、配管部材８０、８１の固定箇所は、上記例に限られず、スライダ５２に直接固定されていてもよいし、或は、吐出部６０に固定されていてもよい。要するに、エア用の配管と塗布液用の配管とを含む複数の配管が、一つ以上の配管を含む複数の配管部材に分けられており、ガイド部４０の軸を挟んで両側で、Ｘ方向に沿って移動する可動塗布ユニット５０に固定されていればよい。
【００５５】
また、配管部材８２は、カウンタ用スライダ７４に対して流体としてエアを導くカウンタ用配管を有している。通常、この配管部材８２は、１本の配管を有している。この配管部材８２の一端部（流体の送り方向下流側の端部）は、カウンタ用スライダ７４にエアを供給可能な状態で接続及び固定されている（図３参照）。カウンタ用スライダ７４に対する配管部材８２の固定箇所は、カウンタ用スライダ７４の幅方向（Ｙ方向の幅方向）中央部であることが好ましい。
【００５６】
上記により、配管部材８０、８１が、カウンタ用スライダ７４を挟む両側位置で、可動塗布ユニット５０から外方（上方）に延出され、配管部材８２がそれらの配管部材８０、８１に挟まれる位置でカウンタ用スライダ７４から外方（上方）に延出される。
【００５７】
また、上記配管部材８０、８１、８２は、可動塗布ユニット５０の移動に伴って、Ｘ方向を含む面（ここではＸ方向を含む鉛直面、つまり、Ｘ−Ｚ平面、以下、単に鉛直面という場合がある）に沿って曲るように配設されている。なお、ここで、配管部材が鉛直面に沿って曲るとは、隣設する配管部材間での干渉を抑制できる範囲内で、主として鉛直面内で曲る場合をいい、厳密に当該鉛直面に沿った方向のみで曲る必要はない。
【００５８】
ここでは、配管固定部８４を用いた次の構成によって、配管部材８０、８１、８２が前記鉛直面に沿って曲るようにしている。
【００５９】
すなわち、ガイド部４０の上方位置に３つの配管固定部８４が取付固定されている。ここでは、ガイド部４０の一端部（−Ｘ側端部）上方位置に、２つの配管固定部８４が、略並列姿勢で、かつ、Ｘ方向に沿ってガイド部４０の中央向き姿勢で配設されている。この２つの配管固定部８４により、配管部材８０、８１のうち流体の送り方向上流側部分が、前記鉛直面に沿ってＸ方向に延在する姿勢で固定されている。また、ガイド部４０の他端部（＋Ｘ側端部）上方位置に、１つの配管固定部８４が、Ｘ方向に沿ってガイド部４０の中央向き姿勢で配設されている。この配管固定部８４により、配管部材８２のうち流体の送り方向上流側部分が、前記鉛直面に沿ってＸ方向に延在する姿勢で固定されている。各配管固定部８４の固定は、例えば、ガイド部４０の上方に設けられた取付フレーム２２に片持ち状に支持されることにより実現される。
【００６０】
各配管固定部８４は、基体部８５と、第１板バネ８６及び第２板バネ８７とを有している（特に、図２、図４〜図６参照）。基体部８５は、アルミニウム等により、略細長直方体状に形成されており、後述するように、ガイド部４０の上方位置で、略水平姿勢（Ｘ方向に沿った姿勢）で片持ち状に支持されている。第１板バネ８６及び第２板バネ８７は、バネ鋼、樹脂板等バネ材により、略帯板状に形成されている。第１板バネ８６は、基体部８５の一主面（上面）からその先端側外方に延出するように、当該基板部８５にネジ等により取付固定されている。また、第２板バネ８７は、第１板バネ８６の一主家面（上面）からその先端側外方に延出するように、当該第２板バネ８７上にネジ等により取付固定されている。なお、第２板バネ８７の基端側部分は、基体部８５の上面に重複する位置に配設されている。そして、第１板バネ８６及び第２板バネ８７のうち基体部８５より延出する部分が、前記鉛直面に沿って弾性変形可能に配設されている。なお、第１板バネ８６及び第２板バネ８７のうち基体部８５より延出する部分は、第１板バネ８６及び第２板バネ８７の重複部分（図６のＰ参照）よりも第２板バネ８７の単独存在部分（図６のＱ参照）で（つまり、先端側で）容易に弾性変形し得る。
【００６１】
配管部材８０、８１、８２は、配管固定部８４の上面の基端側から先端側に向けて、つまり、基体部８５と第１板バネ８６と第２板バネ８７との重複部分、第１板バネ８６と第２板バネ８７との重複部分（Ｐ）、第２板バネ８７の単独存在部分（Ｑ）とに配設固定されている。配管部材８０、８１、８２の固定は、バンド状の結束具等、公知構成を含む種々構成によって実現される。これにより、配管部材８０、８１、８２のうち流体の送り方向上流側部分が、第１板バネ８６及び第２板バネ８７の弾性変形可能部分により、鉛直面に沿って揺動可能に支持されている。
【００６２】
なお、本配管固定部８４とエア供給源９６或は塗布液供給源９８との間は、配管部材８０、８１、８２の延長部分或は別の配管によって接続されている。
【００６３】
また、配管部材８０、８１、８２のうち配管固定部８４への固定部分と可動塗布ユニット５０或はカウンタ用スライダ７４への固定部分との中間部分は、前記鉛直面において湾曲するように配設されている。
【００６４】
ここでは、可動塗布ユニット５０への配管部材８０、８１は、同方向に凸となるように、より具体的には、ガイド部４０の他端側（＋Ｘ方向）に凸となって湾曲するように配設されている。また、カウンタ用スライダ７４への配管部材８２は、上記配管部材８０、８１の間で、上記とは異なる方向に凸となるように、より具体的には、ガイド部４０の一端側（−Ｘ方向）に凸となって湾曲するように配設されている。
【００６５】
このように構成された塗布装置２０では、可動塗布ユニット５０をＸ方向に沿って往復移動させる際、配管部材８０、８１の重量及びその走査移動にかかる慣性力による荷重が当該可動塗布ユニット５０に加わる。ここで、配管部材８０、８１は、可動塗布ユニット５０に対してガイド部４０の軸を挟んで両側に分けて固定されているため、当該配管部材８０、８１から可動塗布ユニット５０に加わる荷重を、当該軸を挟んで両側でなるべく均一にすることができる。これにより、可動塗布ユニット５０に作用するローリング荷重等を抑制でき、配管の影響による可動塗布ユニット５０のローリングを抑制することができる。これにより、可動塗布ユニット５０をＸ方向に移動させた際に、ノズル６４から吐出される塗布液の軌跡の蛇行を抑制することができる。
【００６６】
また、配管部材８０、８１の重量が大きくなっても、可動塗布ユニット５０に対するローリングを抑制することができるため、配管部材８０を構成する配管本数を増やすことができる。
【００６７】
さらに、可動塗布ユニット５０のローリングを抑制できる結果、可動塗布ユニット５０のスライダ５２とガイド部４０表面との接触による移動阻害（いわゆるタッチダウン等）が抑制され、可動塗布ユニット５０を円滑に移動させることができる。
【００６８】
また、可動塗布ユニット５０の移動に伴って配管部材８０、８１のうちの流体送り方向下流側の端部が、Ｘ方向に沿って往復移動する。この際、配管部材８０、８１は、鉛直面に沿って曲るように配設されている。ここでは、配管部材８０、８１のうち流体の送り方向上流側部分を、前記鉛直面に沿って延在する姿勢で、上記配管固定部８４によって固定している。このため、配管部材８０、８１の中間部は、鉛直面に沿ってむちのようにしなって弧状形状を変形させる。例えば、可動塗布ユニット５０がＸ方向に沿って−Ｘ側に移動すると、配管部材８０、８１は小さな曲げ半径の弧状に変形し（図４の２点鎖線参照）、可動塗布ユニット５０がＸ方向に沿って＋Ｘ方向に移動すると、配管部材８０、８１は大きな曲げ半径の弧状に変形する（図４の一点鎖線参照）。このため、配管部材８０、８１相互間での干渉を抑制することができる。
【００６９】
しかも、配管部材８０、８１の上流側部分を、第１板バネ８６及び第２板バネ８７により、鉛直面内で揺動可能なように支持しているため、複数の配管部材８０、８１の配管相互間の干渉をより確実に抑制することができる。しかも、配管部材８０、８１は、第１板バネ８６及び第２板バネ８７により補強支持されつつ配管固定部８４から垂下がることになるため、急激な屈曲が抑制され、より大きな曲げ半径で曲げられる。このため、曲げによる配管部材８０、８１に対するダメージが抑制されると共に、可動塗布ユニット５０移動時における配管部材８０の暴れが抑制される。
【００７０】
しかも、第１板バネ８６及び第２板バネ８７の基端部はより弾性変形し難く、先端部はより弾性変形し易いため、配管部材８０、８１を配管固定部８４部分でよりなだらかな弧を描くように弾性変形させることができる。このため、曲げによる配管部材８０、８１へのダメージをより抑制することができる。
【００７１】
もっとも、上記第１板バネ８６及び第２板バネ８７を省略した場合であっても、配管部材のうち流体の送り方向上流側部分を、前記鉛直面に沿って延在する姿勢で固定することにより、当該配管部材が鉛直面に沿って曲るようにすることができる。
【００７２】
また、配管部材８０、８１が同方向に凸となって湾曲するように配設されているため、可動塗布ユニット５０の移動に伴って、配管部材８０が略同様の弧状を描きつつ変形する。このため、配管部材８０、８１から可動塗布ユニット５０に作用する荷重を、ガイド部４０の軸を挟んで両側で、なるべく均一にすることができる。これにより、可動塗布ユニット５０に作用するローリング荷重等をより抑制でき、配管の影響による可動塗布ユニット５０のローリングをより抑制することができる。
【００７３】
また、カウンタ用スライダ７４用の配管部材８２が、配管部材８０、８１の間で、鉛直面に沿って曲るように配設されているため、配管部材８２についても他の配管部材８０、８１との干渉を避けつつ変形させることができる。しかも、可動塗布ユニット５０及びカウンタ用スライダ７４、それらのガイド部４０及びカウンタ用ガイド部７０を含むＸ方向の移動機構全体に作用する荷重についても、ガイド部４０の軸を挟んでバランスよくすることができる。
【００７４】
＜変形例＞
なお、上記実施形態では、可動塗布ユニット５０に対する配管部材８０、８１の上流側を、Ｘ方向に沿って同じ側で固定しているが、必ずしもその必要はない。
【００７５】
例えば、図７に示すように、配管部材８０をＸ方向に沿って−Ｘ側に固定し、配管部材８１をＸ方向に沿って＋Ｘ側に固定してもよい。この場合、カウンタ用スライダ７４用の配管部材８２をＸ方向に沿っていずれか一方側、例えば、−Ｘ側に固定してもよい。この場合、配管部材８０の中間部は＋Ｘ側に凸となるように配設され、配管部材８１の中間部は−Ｘ側に凸となるように配設されることになり、異なる方向に凸となって湾曲するように配設されることになる。換言すれば、配管部材８０、８１は、交差状に設けられている。
【００７６】
この場合でも、配管部材８０、８１の重力による荷重は、可動塗布ユニット５０に対して、ガイド部４０の軸を挟んで可及的に均一に作用するため、上記実施形態と同様に、可動塗布ユニット５０のローリングを抑制することができる。
【００７７】
また、上記実施形態では、配管部材８０、８１、８２の上流側を、ガイド部４０の端部位置で固定しているが必ずしもその必要はない。
【００７８】
例えば、図８に示すように、配管部材８０、８１、８２の上流側を、ガイド部４０の略中央位置で固定するようにしてもよい。この場合の配管固定部１８４としては、例えば、図９に示すものを採用することができる。
【００７９】
この配管固定部１８４は、略直方体状の基体部１８５と、その基体部１８５の両側部からＸ方向に沿って外方に延出する板バネ１８６とを有している。ここでは、基体部１８５の一側部（−Ｘ側）に１つの板バネ１８６が延出され、基体部１８５の他側部（＋Ｘ側）に２つの板バネ１８６が略並列状態で延出されている。そして、可動塗布ユニット５０用の配管部材８０、８１が、基体部１８５の他側部の２つの板バネ１８６に結束バンド等の固定具１８７を介して固定され、カウンタ用スライダ７４用の配管部材８２が基体部１８５の一側部の板バネ１８６に固定具１８７を介して固定されている。
【００８０】
なお、本配管固定部１８４とエア供給源９６或は塗布液供給源９８との間は、配管部材８０、８１、８２の延長部分或は別の配管によって接続されている。
【００８１】
そして、可動塗布ユニット５０及びカウンタ用ガイド部７０の移動に伴って、配管部材８０、８１、８２の流体の送り方向下流側の端部がＸ方向に沿って移動し、鉛直面内に沿って湾曲度合を変えつつ変形するようになっている。
【００８２】
この場合でも、上記実施形態と同様の作用効果を得ることができる。特に、この変形例では、エア供給源９６及び塗布液供給源９８からの配管を、１カ所にまとめるように配設すればよいため、その配設構造を簡易化することができる。
【００８３】
また、上記実施形態では、配管部材８０、８１がＸ方向に沿った鉛直面に沿って曲る例で説明したが、かならずしもその必要はない。例えば、配管部材８０、８１が可動塗布ユニットの両側外方から当該可動塗布ユニットに向けて配設されていてもよい。つまり、複数の配管部材が可動塗布ユニットに対してガイド部の軸を挟んで両側に分けて固定されていれば、可動塗布ユニットのローリング抑制を図ることができ、その上流側の配設姿勢は特に限定されない。
【００８４】
また、配管部材を鉛直面内で曲るように配設する構成は上記例に限られない。例えば、配管部材それ自体が、扁平な断面形状を有する構成等によって、主として鉛直面内で曲るような構成とされた場合であってもよい。
【００８５】
また、配管部材を鉛直面に沿って揺動可能に支持する構成は上記例に限られない。例えば、上記配管固定部８４に代えて、長尺部材が鉛直面に略直交する軸周りに回転可能に支持され、配管部材の一部が当該長尺部材に沿って取付固定された構成等を採用することができる。この際、当該長尺部材をコイルバネ、ねじりコイルバネ等によりＸ方向に沿った回転姿勢となるように付勢しておくことが好ましい。
【符号の説明】
【００８６】
１０  基板
２０  塗布装置
３０  基板保持部
４０  ガイド部
４４  主走査駆動機構
５０  可動塗布ユニット
５２  スライダ
５２Ｓ  内部空間
６０  吐出部
６４  ノズル
７０  カウンタ用ガイド部
７４  カウンタ用スライダ
８０、８１、８２  配管部材
８４  配管固定部
８６  第１板バネ
８７  第２板バネ
９６  エア供給源
９８  塗布液供給源
１８４  配管固定部
１８６  板バネ
【図１】
2011072975.tif 000003
【図２】
2011072975.tif 000004
【図３】
2011072975.tif 000005
【図４】
2011072975.tif 000006
【図５】
2011072975.tif 000007
【図６】
2011072975.tif 000008
【図７】
2011072975.tif 000009
【図８】
2011072975.tif 000010
【図９】
2011072975.tif 000011