(57)【要約】【課題】高温動作時の信頼性を向上できるエンコーダを提供する。【解決手段】エンコーダ（１）は、パターンを有する符号板（１０）と、符号板（１０）に光を照射する光源（２０）と、複数の受光素子を有し、パターンを検出するセンサ（３０）と、複数の受光素子のうち少なくとも一部が光を受光していない第１状態においてセンサ（３０）から得られる第１のセンサ信号を用いて、受光素子がパターンを検出する第２状態においてセンサ（３０）から得られる第２のセンサ信号に対して補正を行う演算処理部（９０）とを備える。【選択図】図１
2011154005.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パターンを有する符号板と、
前記符号板に光を照射する光源と、
複数の受光素子を有し、前記パターンを検出するセンサと、
前記複数の受光素子のうち少なくとも一部が前記光を受光していない第１状態において前記センサから得られる第１のセンサ信号を用いて、前記受光素子が前記パターンを検出する第２状態において前記センサから得られる第２のセンサ信号に対して補正を行う演算処理部と
を備えることを特徴とするエンコーダ。
【請求項２】
請求項１に記載のエンコーダであって、
前記複数の受光素子は、
前記第１状態として遮光される第１の受光素子と
前記第１の受光素子と同じ基板上に形成され、前記第２状態として前記パターンを検出する第２の受光素子と、
を備えることを特徴とするエンコーダ。
【請求項３】
請求項２に記載のエンコーダであって、
前記光源は、前記第１の受光素子と前記第２の受光素子との間に配置される
ことを特徴とするエンコーダ。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載のエンコーダであって、
前記演算処理部は、
前記光源を消灯している期間の前記第１のセンサ信号を検出し、前記光源を発光させた期間に検出された前記第２のセンサ信号の補正を行う
ことを特徴とするエンコーダ。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載のエンコーダであって、
前記光源の発光と消灯とを繰り返させる光源駆動部を備え、
前記光源駆動部は、
前記パターンの検出に同期させて前記光源の発光と消灯との期間を変更する
ことを特徴とするエンコーダ。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載のエンコーダであって、
前記パターンは、
等間隔に配置された第１のパターンと、前記センサと前記符号板との位置関係を絶対位置として示す位置情報を符号化した第２のパターンとを含んで形成される
ことを特徴とするエンコーダ。
【請求項７】
請求項６に記載のエンコーダであって、
前記光源は、
並行して設けられる前記第１のパターンと前記第２のパターンとに対向する位置に設けられる
ことを特徴とするエンコーダ。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれかに記載のエンコーダであって、
前記光源は、前記センサの受光面上に配置される
ことを特徴とするエンコーダ。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれかに記載のエンコーダであって、
前記演算処理部は、
前記第１のセンサ信号の変化量に基づいて、周囲温度の変化を検出する
ことを特徴とするエンコーダ。
【請求項１０】
請求項１から請求項９のいずれかに記載のエンコーダであって、
前記演算処理部は、
前記第１のセンサ信号に基づいて、前記第２のセンサ信号に含まれる暗電流成分を減算する
ことを特徴とするエンコーダ。
【請求項１１】
請求項１から請求項１０のいずれかに記載のエンコーダであって、
前記演算処理部は、
前記第１のセンサ信号の増加に応じて、前記第２のセンサ信号に対する増幅率を高くする
ことを特徴とするエンコーダ。
【請求項１２】
請求項１から請求項１１のいずれかに記載のエンコーダであって、
前記第２のセンサ信号を判定する閾値レベルは、前記第１のセンサ信号の増加に応じて増加する値である
ことを特徴とするエンコーダ。
【請求項１３】
請求項１から請求項１２のいずれかに記載のエンコーダであって、
前記第１のセンサ信号と前記第２のセンサ信号とに基づいて異常情報を出力する
ことを特徴とするエンコーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位置検出を行うエンコーダに関する。
【背景技術】
【０００２】
移動体の移動位置や回転体の回転角度位置を光学的に検出する光学式エンコーダでは、フォトダイオードアレイを有するフォトＩＣやイメージセンサを利用して、位置を検知する。エンコーダは、該位置の検出精度を確保するために、エンコーダ内部に設けた温度センサによって動作環境の温度を検出している。特に、その温度センサは、高温度の動作環境に適用されたり、異常な温度上昇を検出したりして、エンコーダの故障や、検出精度の低下を未然に防いでいる（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００６−５０７１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、近年、上記のようなエンコーダは、その用途の拡大により、より小型化が望まれている。
しかしながら、例えば特許文献１のように、動作環境の温度を管理するためにエンコーダ内部に温度センサを設けた場合では、その温度センサは、エンコーダを小型化することに対する制約条件となる可能性がある。一方で、温度センサを設けない場合では、エンコーダは、動作温度範囲内にあることを識別できず、異常な温度上昇の発生も検出できず、エンコーダ本体及び検出される位置情報の信頼性を確保できない可能性があるという問題がある。
【０００５】
本発明は、上記問題を解決すべくなされたもので、その目的は、動作温度範囲内における信頼性を向上できるエンコーダを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記問題を解決するために、本発明の一態様はパターンを有する符号板と、前記符号板に光を照射する光源と、複数の受光素子を有し、前記パターンを検出するセンサと、前記複数の受光素子のうち少なくとも一部が前記光を受光していない第１状態において前記センサから得られる第１のセンサ信号を用いて、前記受光素子が前記パターンを検出する第２状態において前記センサから得られる第２のセンサ信号に対して補正を行う演算処理部とを備えることを特徴とするエンコーダである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、動作温度範囲内における信頼性向上が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の一実施形態によるエンコーダの構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施形態による符号板１０に設けられるパターンの一形態を示す図である。
【図３】本発明の一実施形態による符号板１０、光源２０及びセンサ３０の配置を示す側面図である。
【図４】本発明の一実施形態によるセンサ３０の受光面３１を示す上面図である。
【図５】本発明の一実施形態によるセンサ３０の受光面３１を示す拡大図である。
【図６】本発明の一実施形態による符号板１０、光源２０及びセンサ３０の断面図である。
【図７】本発明の一実施形態による符号板１０、光源２０及びセンサ３０の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。
本実施形態に示す光学式のエンコーダでは、イメージセンサの暗電流を監視することにより、イメージセンサの温度変化を検出することができる。これにより、エンコーダは、検出した光信号の誤判定を防止することができ、検出した位置情報の信頼性を向上させることができる。
【００１０】
（第１実施形態）
図１は、本実施形態によるエンコーダの構成を示すブロック図である。
この図に示されるエンコーダ１は、符号板１０、光源２０、センサ３０（イメージセンサ）、光源駆動部４０、センサ駆動部５０、増幅部６０、記憶部（メモリ）７０、及び、演算処理部９０を備える。本実施形態に示すエンコーダ１は、回転体の回転軸の角度位置情報を検出する一態様を示す。
符号板１０は、回転体の回転軸に固定され、その回転体とともに転回自在に設けられる。符号板１０には、回転角度の位置を示す指標であるパターンが配置される。そのパターンの配置において、絶対角度位置を検出するための絶対角度位置パターンが配置されるアブソリュート・トラック、又は、相対角度位置を検出するための相対角度位置パターンが配置されるインクリメンタル・トラックのうち少なくとも一方のトラックが設けられる。符号板１０に設けられるトラックは、回転軸に対してそれぞれ一定の距離に配置され、すなわち、それぞれ異なる半径の円周上に設けられる。
【００１１】
図２は、符号板１０に設けられるパターンの一形態を示す図である。
図２に示される符号板１０は、パターン１１を含んだアブソリュート・トラックと、パターン１２を含んだインクリメンタル・トラックの双方のトラックを備える。アブソリュート・トラックに含まれるパターン１１は、センサ３０と符号板１０との位置関係を絶対位置として示す位置情報を符号化して示すものである。また、インクリメンタル・トラックに含まれるパターン１２は、同一の形状の指標を等間隔に配置したものである。
符号板１０の各トラックに設けられるパターン１１と１２は、光源２０からの光を反射する反射型のパターンである。パターン１１と１２は、そのパターンが示す情報に応じて反射量が異なるように、例えば、異なる反射率を有する状態に表面処理が施される。この図では、反射率が低い領域を濃い色で、反射率が高い領域を白で示す。
また、パターン１１とパターン１２が符号板１０上に並べて設けられ、回転軸を基準として各パターンがそれぞれ半径の異なる同周上に設けることにより、局所的に並行するパターンになる。各パターンの幅と回転軸からの半径を適当に設けて、２つのパターンが重ならないように隙間を設けて配置する。
【００１２】
図１に戻り、光源２０は、符号板１０のトラックに設けられたパターンの検出に必要とされる光を照射する。光源２０は、光源駆動部４０から供給される制御信号に応じて点灯状態が制御される。
センサ３０は、符号板１０のトラックに設けられたパターンを検出する。センサ３０の受光面は、符号板１０のトラックが設けられた面と対向して配置される。センサ３０の受光面には、２次元の格子上に配置された光検出素子（受光素子）が設けられる。そして、その光検出素子は、符号板１０に設けられたトラックの接線方向と平行、又は、そのトラックに沿って、符号板１０のトラックが配置された位置と対向するように設けられる。なお、センサ３０は、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）、Ｃ−ＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）センサなどが適用できる。
センサ３０の各光検出素子は、受光量に応じた光電変換を行い、それぞれの光量に対応した電圧によって示されるアナログ信号に変換する。各光検出素子には、例えば、Ｃ−ＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）センサなどが適用できる。Ｃ−ＭＯＳセンサの場合における光検出素子は、フォトダイオード、電荷電圧変換部、セレクタスイッチなどを含んで構成される。センサ３０の各光検出素子は、光源駆動部４０から供給される制御信号に応じて選択され、選択された光検出素子が出力する情報から受光した光量を検出できる。
【００１３】
光源駆動部４０は、符号板１０のトラックに設けられたパターンの検出に必要とされる光を、光源２０によって照射させるための制御信号を供給する。
センサ駆動部５０は、演算処理部９０からの指示により、センサ３０の受光面において選択された領域に含まれる光検出素子の受光量を検出するための制御信号及びタイミング信号をセンサ３０に供給する。
センサ駆動部５０は、選択された領域に対応する範囲に含まれる光検出素子に対して、受光量に応じて蓄積された電荷量に応じた信号電圧を順に出力する。
増幅部６０は、センサ３０における光検出素子によって検出された受光量に応じた信号を増幅する。増幅部６０は、センサ３０が出力した信号レベルに応じて、適当な信号レベルとなるように増幅率が調整される。
【００１４】
記憶部（メモリ）７０は、外部から供給された動作モードの指定情報、判定処理に用いる基準値、センサ３０の状態に応じた設定情報などを変数領域に記憶する。記憶部７０は、半導体メモリ素子に限らず、状態を記憶するラッチ回路などであってもよい。
演算処理部９０は、エンコーダ１における各種設定を行い、動作時には各部への制御指示を出力し、センサ３０において検出された光量に基づいて検出した位置情報を生成して出力する。演算処理部９０は、入出力部９１、光源制御部９２、センサ制御部９３、信号検出部９４及び位置検出部９５を備える。
入出力部９１は、外部から供給される設定情報に応じて、エンコーダ１の動作を定める初期値、閾値などの設定情報を受け、メモリ７０に記録する。また、入出力部９１は、外部から設定状態などを参照する指示が供給されると、該当する情報を参照し出力する。
光源制御部９２は、入出力部９１からの指示に基づき光源２０の発光状態を制御する制御信号を光源駆動部４０に供給する。
センサ制御部９３は、入出力部９１からの指示に基づきセンサ３０から出力させる情報を選択する制御信号をセンサ駆動部５０に供給する。
信号検出部９４は、センサ３０によって検出された信号に基づいた情報が、増幅部６０を経て供給される。信号検出部９４は、その情報に対して信号変換処理を行う。信号変換処理としては、例えば、フィルタリング処理、アナログデジタル変換処理などがある。
位置検出部９５は、信号処理部９４によって処理された結果に基づいて、判定処理を行う。判定処理としては、予め定められた基準値と比較する判定処理などがある。
【００１５】
次に、図を参照し、上記した各構成の配置を説明する。
図３は、符号板１０、光源２０及びセンサ３０の配置を示す側面図である。
この図３に示される符号板１０には、下側の面に図２に示したパターン１１と１２とが設けられたトラックが配置される。センサ３０の受光面３１は、パターン１１と１２とが配置された面と平行で且つ対向する状態で配置される。光源２０は、光軸を符号板１０の方に向けて、センサ３０の受光面３１上に配置される。光源２０から射出される光は、符号板１０に向けて照射され、符号板１０のパターン１１と１２とを介した各反射光が、センサ３０の受光面３１にそれぞれ照射される。
【００１６】
図４は、センサ３０の受光面３１を示す上面図である。
この図４は、パターン１１、１２からの反射光を検出するための光検出素子が選択された領域３２と３３、及び、受光面３１上に照射される光によって生じる光量の変化を模式的に示す。
例えば、反射率が低い部分で反射した光は、符号板１０に設けられたパターン１１、１２によって吸収され、反射光によって受光面３１上に照射される光量が低下する。この図４では、反射率の低いパターンに応じて四角い領域で示された影が形成される。
パターン１１とパターン１２とは、符号板１０の回転軸を基準として各パターンがそれぞれ半径の異なる同周上に設けられることにより、符号板１０上に並行するパターンになる。光源２０は、パターン１１とパターン１２との間に形成される隙間部分と対向する受光面３１上に、配置される。光源２０の光軸は、符号板１０の回転軸と平行であり、パターン１１とパターン１２との間に形成される隙間部分を通るように設ける。すなわち、光源２０は、並行して設けられるパターン１１とパターン１２との間の隙間と対向する位置に設けられる。光源２０をそのような位置に配置すると、図に示されるように受光面３１において、光源２０を挟んでパターン１１とパターン１２との影が投影される。
【００１７】
図５は、本実施形態におけるセンサ３０の受光面３１を示す拡大図である。
また、図６は、符号板１０、光源２０及びセンサ３０の断面図である。光源２０が発光している状態を示す。
センサ３０の受光面３１において、光検出素子が２次元に配列されている。
また、本実施形態における受光面３１は、光が受光できない遮光領域３１０と、光を受光できる領域３２０とを有する。遮光領域３１０は、センサ３０の受光面３１に透過性のない遮光膜を設けることによって形成できる。その結果、センサ３０の受光面３１に配置される光検出素子のうち、受光できない光検出素子３１１と、受光できる光検出素子３２１と、を受光面３１に設けることができる。この光検出素子３１１と光検出素子３１２とは、同じセンサ３０として形成された同等の特性を有するものであるが、受光面３１上に設けられた遮光領域３１０の遮光膜によって、遮光されるか否かが異なる。
光源２０は、遮光領域３１０と、光を受光できる領域３２０との間に配置される。このような配置とすることにより、光源２０に給電する配線を遮光領域上に設けることが可能となる。また、光源２０を配置した場所は遮光領域３１０となる。
【００１８】
センサ３０は、光検出素子が光を受光している状態（第２状態）及び受光していない状態（第１状態）においても暗電流が生じて、その暗電流によって検出信号のレベルが変化する。この暗電流の大きさは、センサ３０の温度に依存し、高温になるほど高くなる。その暗電流の変化率を温度係数（温度勾配）で示すと、例えば、ＣＣＤであれば、温度が８℃変化すると暗電流の値が２倍になり、ＣＭＯＳセンサあれば、温度が５から６℃変化すると暗電流の値が２倍になる。適応する温度範囲が広い場合には、暗電流の値が大きく変化する。
エンコーダ１は、このような暗電流による影響を回避して、受光している状態（第２状態）と受光していない状態（第１状態）とを正しく判定する必要がある。
そこで、広範囲な温度範囲に適応させるためには、センサ３０からの信号を所定の基準値と比較する方法で判定すると、ノイズマージンが低下して誤検出が生じる確率が高まる。そのため、センサ３０によって生成された信号から、温度によって変化する暗電流によるオフセット電圧を減算する補正を行うことにより、その温度における暗電流の影響を低減させて、検出信号を得ることができる。つまり、本実施形態におけるエンコーダ１は、暗電流によって生じるオフセット電圧を基準とする補正を行い、受光量に応じて検出される検出信号を得ることとする。従って、本実施形態におけるエンコーダ１は、複数の光検出素子（受光素子）のうち少なくとも一部が、光を受光していない第１状態において、センサ３０から得られる第１のセンサ信号を用いて、光検出素子３２１がパターンを検出する第２状態においてセンサ３０から得られる第２のセンサ信号に対して補正を行う。
【００１９】
また、センサ３０の暗電流を検出して、その検出値を標準温度の場合の標準暗電流の値と比較することにより、温度に応じた暗電流の値から標準暗電流の値を減算して得られた暗電流の差を暗電流偏差とする。その暗電流偏差の値から、標準温度からの温度差を算出することができる。この演算処理によって算出される温度差に基づいて、推定動作温度を算出する。
得られた暗電流偏差に基づいて、標準温度からの温度差を算出する処理は、線形演算で定義された演算式、或いは、対応関係が定められたテーブルを参照して行うことができる。暗電流偏差と、標準温度からの温度差との相互の対応関係を定めたテーブルは、予めメモリ７０に記憶しておき、演算処理部９０が、暗電流偏差の値をキーとして参照し、温度差の値を得る。
【００２０】
以上に示した処理により、エンコーダ１は、センサ３０における暗電流を検出して、動作温度に応じて変化する暗電流の影響を低減することができる。また、そのときの動作温度を暗電流の値に基づいて導くことができるため、個別の温度センサを設けることなく温度検出が可能となる。そして、エンコーダ１は、動作温度範囲を超える状態などの異常状態を検出することが可能となり、高温動作時の信頼性を向上させることができる。
【００２１】
（第２実施形態）
次に、図に基づいて、暗電流の検出方法における別の実施態様を説明する。図１から図６と同じ構成は、同じ符号を付す。
図７は、符号板１０、光源２０及びセンサ３０の断面図であり、光源２０が消灯している状態を示す。すなわち、センサ３０の受光面に設けられた各光検出素子は、遮光膜などによって受光面を覆うことなく、受光しない状態（第１状態）となる。
本実施形態におけるエンコーダ１は、光源を消灯している期間に、センサ３０の出力信号（第１のセンサ信号）を検出することにより、暗電流を検出できる。
光源２０は、光源制御部９２からの指示に基づいて、光源駆動部４０から断続的な点灯を繰り返すように駆動される。したがって、演算処理部９０は、光源２０を消灯している期間のセンサ３０の信号を検出し、光源２０を発光させた期間に検出されたセンサ３０の信号（第２のセンサ信号）の補正を行う。
演算処理部９０は、光源２０を消灯している期間のセンサ３０の信号を検出することにより、暗電流の値を検出可能である。また、光源２０を発光させた状態（第２状態）の検出に用いるセンサ３０の光検出素子３２１を暗電流の検出にも用いることができる。同じ光検出素子３２１を用いて、暗電流を測定できることから素子の違いによる検出誤差を低減させることができる。
【００２２】
なお、光源２０は、発光と消灯とを繰り返し動作させて用いることにより、消灯期間内に暗電流を検出する期間を設けることができ、センサ３０に特別な処理を行うことなく実施可能である。
暗電流の検出期間ｔｄｃを、光源２０の発光時間ｔＯＮと同じ長さ（ｔｄｃ＝ｔＯＮ）とすることにより、光源２０の発光時間に影響を受ける暗電流の量を相殺することができる。
【００２３】
（第３実施形態）
次に、暗電流の検出方法における別の実施態様を説明する。図１から図７と同じ構成は、同じ符号を付す。
光源２０の発光期間ｔＯＮを短くすることにより、センサ３０に対して符号板１０の移動によるブレの量を少なくできることから、発光期間ｔＯＮは消灯期間ｔＯＦＦに対して充分短い時間が選択される。そして、暗電流の検出期間ｔｄｃを、光源２０の発光時間ｔＯＮのＮ倍（ただし、Ｎは、（Ｎ×ｔＯＮ）＜ｔＯＦＦ）の長さとして、検出された暗電流の値に１／Ｎを乗算することにより、発光期間と同じ時間に相当する暗電流の影響を算出することができる。算出されたその値を用いて、光源２０の発光時間に影響を受ける暗電流の量と相殺することができる。このような処理を行うことにより、暗電流検出期間に混入する雑音の影響を低減することが可能となる。ただし、暗電流の検出期間ｔｄｃを、光源２０の発光時間ｔＯＮをＮ倍の長さとしても回路上の飽和は生じないものとする。
【００２４】
（第４実施形態）
次に、暗電流の検出方法における別の実施態様を説明する。図１から図７と同じ構成は、同じ符号を付す。
光源駆動部４０は、演算処理部９０からの制御にしたがって、各パターンの位置情報を検出する検出サイクルの周期に同期させて、光源２０を発光させる期間と消灯させる期間との長さをそれぞれ変更する。これにより、繰り返して行われる各パターンの検出サイクルと暗電流判定のための消灯期間とが干渉しないことから、検出サイクルを中断することなく連続して行うことができる。そして、検出サイクルを切り替えるタイミングにあわせて、光源２０の発光と消灯との期間を変更できる。
【００２５】
なお、本発明は、上記の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
【００２６】
なお、本実施形態におけるエンコーダ１の演算処理部９０は、複数の光検出素子（受光素子）のうち少なくとも一部が、光を受光していない第１状態において、センサ３０から得られる第１のセンサ信号を用いて、光検出素子３２１がパターンを検出する第２状態においてセンサ３０から得られる第２のセンサ信号に対して補正を行う。
【００２７】
また、本実施形態におけるエンコーダ１は、複数の光検出素子は、第１状態として遮光される光検出素子３１１と、光検出素子３１１と同じ基板上に形成され、第２状態として前記パターンを検出する光検出素子３２１とを備える。
【００２８】
また、本実施形態におけるエンコーダ１は、光源２０は、光検出素子３１１と光検出素子３１２との間に配置される。
【００２９】
また、本実施形態におけるエンコーダ１は、演算処理部９０は、光源２０を消灯している期間の第１のセンサ信号を検出し、光源１０を発光させた期間に検出された第２のセンサ信号の補正を行う。
【００３０】
また、本実施形態におけるエンコーダ１は、光源２０の発光と消灯とを繰り返させる光源駆動部は、パターンの検出に同期させて光源の発光と消灯との期間を変更する。
【００３１】
また、本実施形態におけるエンコーダ１は、パターンは、等間隔に配置された第１のパターンと、センサ３０と符号板１０との位置関係を絶対位置として示す位置情報を符号化した第２のパターンとを含んで形成される。
【００３２】
また、本実施形態におけるエンコーダ１は、光源２０は、並行して設けられる第１のパターンと第２のパターンとに対向する位置に設けられる。
【００３３】
また、本実施形態におけるエンコーダ１は、光源２０は、センサ３０の受光面３１上に配置される。
【００３４】
また、本実施形態におけるエンコーダ１は、演算処理部９０は、第１のセンサ信号の変化量に基づいて、周囲温度の変化を検出する。
【００３５】
また、本実施形態におけるエンコーダ１は、演算処理部９０は、第１のセンサ信号に基づいて、前記第２のセンサ信号に含まれる暗電流成分を減算する。
【００３６】
また、本実施形態におけるエンコーダ１は、演算処理部９０は、第１のセンサ信号の増加に応じて、第２のセンサ信号に対する増幅率を高くする。
【００３７】
また、本実施形態におけるエンコーダ１は、第２のセンサ信号を判定する閾値レベルは、第１のセンサ信号の増加に応じて増加する値である。
【００３８】
また、本実施形態におけるエンコーダ１は、第１のセンサ信号と第２のセンサ信号とに基づいて異常情報を出力する。
本実施形態に示す光学式エンコーダは、例えば、光を検知するセンサにイメージセンサを利用する。そのイメージセンサ内の一部の画素或いは全ての画素の暗電流を監視することにより、光学式エンコーダの高温動作時の誤検出を防止するとともに、故障に繋がる異常動作を回避する。
また、これまで一般的に設けられていた温度センサは、本実施形態における温度検出には利用しないため、削除することが可能となる。エンコーダ本体に搭載する部品点数を削減し、小型化が可能となるとともに、部品点数削減による信頼度向上が行える。
【符号の説明】
【００３９】
１  エンコーダ
１０  符号板
２０  光源
３０  センサ
９０  演算処理部
【図１】
2011154005.tif 000003
【図２】
2011154005.tif 000004
【図３】
2011154005.tif 000005
【図４】
2011154005.tif 000006
【図５】
2011154005.tif 000007
【図６】
2011154005.tif 000008
【図７】
2011154005.tif 000009