(57)【要約】【課題】調整機構等を精密な部品を用いることなく、低背化できる簡素な構成の、導波管を入出力とするダイオードリミッタ装置を提供する。【解決手段】導波管下板３０は所定深さの溝が形成されたアルミニウム板である。導波管上板３１は所定厚さの単純なアルミニウム板である。導波管下板３０に形成されている溝と導波管上板３１とで囲まれた空間によって導波路及び共振器が構成されている。導波管共振器３４と導波管３２，３６との境界部分には、幅方向を狭めた窓３３，３５が形成されている。同軸共振器３７は、中心導体３８とその周囲の部分円柱状の空間とで第２の共振器を構成している。中心導体３８の先端と導波管上板３１との間には間隙が生じていて、その間隙にＰＩＮダイオード４１が接続されている。これにより、導波管を入出力とし、途中に同軸共振器３７と導波管共振器３４が挿入された回路が構成される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の共振器と、
前記第１の共振器に結合する第２の共振器と、
前記第２の共振器に設けられ、前記第２の共振器の共振モードと前記第１の共振器の共振モードとの結合モードによる電磁界により電圧が印加されるダイオードと、を備えた、ダイオードリミッタ装置。
【請求項２】
前記第１の共振器は導波管共振器であり、前記第２の共振器は、外導体が前記導波管共振器の壁に連続する同軸共振器であり、前記ダイオードは前記同軸共振器の中心導体と接地導体との間に接続された、請求項１に記載のダイオードリミッタ装置。
【請求項３】
前記第１の共振器である前記導波管共振器のキャビティ内に、前記第２の共振器と前記第１の共振器との結合調整用の部材を備えた、請求項２に記載のダイオードリミッタ装置。
【請求項４】
前記第１の共振器は、導波管下板と導波管上板との積層体内に設けられる略直方体状のキャビティで構成され、
前記第２の共振器は、前記導波管下板と前記導波管上板との積層体内に設けられる、前記キャビティにつながる部分円柱状の空間と、円柱状の中心導体とで構成され、
前記結合調整用の部材は、前記キャビティ内に突出する金属製の調整ねじである、請求項３に記載のダイオードリミッタ装置。
【請求項５】
前記第１の共振器は、導波管下板と導波管上板との積層体内に設けられる部分円柱状の空間と、中心導体とで構成される同軸共振器又は同軸形空胴共振器であり、
前記第２の共振器は、前記導波管下板と前記導波管上板との積層体内に設けられる、前記部分円柱状の空間につながる部分円柱状の空間と円柱状の中心導体とで構成される同軸共振器又は同軸形空胴共振器である、請求項１又は２に記載のダイオードリミッタ装置。
【請求項６】
前記第２の共振器及び当該第２の共振器に設けられた前記ダイオードの組を複数組備え、前記複数組のうち前段側に耐電力性の高い大電力用のダイオードが設けられ、後段側に応答遅れの少ない中電力用のダイオードが設けられた、請求項１乃至５の何れかに記載のダイオードリミッタ装置。
【請求項７】
探知用のパルス状電磁波を発生する電磁波発生手段と、前記パルス状電磁波を送信し、物標で反射されたエコー信号を受信するアンテナと、前記パルス状電磁波を前記アンテナへ導出し、前記アンテナからの受信信号を受信回路へ導入するサーキュレータと、を備え、
前記受信回路の入力部に請求項１乃至６の何れかに記載のダイオードリミッタ装置を設けた、レーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は例えばパルスレーダ等に用いられる導波管型ダイオードリミッタ装置、及びそれを備えたレーダに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図１は一般的なパルスレーダの構成を示すブロック図である。パルスレーダにおいては、マグネトロン１から出力されるマイクロ波信号をサーキュレータ２を介してアンテナ３に導き、アンテナ３からマイクロ波信号を放射する。物標からの反射波はアンテナ３で受信され、サーキュレータ２、リミッタ４を介して受信モジュール５へと導かれる。
【０００３】
このような信号の送受の際、リミッタ４はマグネトロン１からのマイクロ波信号がサーキュレータ２で直接漏洩するなどして受信モジュールへ入力される過大な信号から受信モジュール５を保護する。
【０００４】
従来、このようなリミッタとしては、過大なマイクロ波信号が入力した場合に、ダイオードがオンして、受信モジュールへの漏洩電力を制限するダイオードリミッタ装置が用いられている。
【０００５】
図２は従来のダイオードリミッタ装置の構成を示す図である。シングルリッジ形の矩形導波管２０には幅広壁面（Ｅ面）の一方のリッジ部２０ａに所定の間隔でねじ穴２１ａ，２１ｂが形成される。この矩形導波管２０の幅広壁面の他方にはＰＩＮダイオード挿着用の凹部２２ａ，２２ｂがねじ穴２１ａ，２１ｂの中心線と同一線上に形成されていて、その凹部２２ａ，２２ｂにＰＩＮダイオード２３の一方の電極が接続されている。ねじ穴２１ａ，２１ｂで同軸外導体が形成され、板状の第１の金属ねじ部材２４ａ，２４ｂが螺合調整自在に螺合される。第１の金属ねじ部材２４ａ，２４ｂにはねじ穴２５ａ，２５ｂがリッジ導波管の凹部２２ａ，２２ｂに対応して形成され、ねじ穴２５ａ，２５ｂには棒状の第２の金属ねじ部材２６ａ，２６ｂがそれぞれ螺合調整自在に螺合されている。第２の金属ねじ部材２６ａ，２６ｂはリッジ導波管２０のねじ穴２１ａ，２１ｂに遊挿されて同軸内導体を形成するもので、その先端部は凹部２２ａ，２２ｂに挿着されたＰＩＮダイオード２３の他方の電極に接続されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平５−６７９３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来のリミッタは、導波管に垂直な方向に共振器が配置されているため、導波管の厚み寸法＋共振器の深さ寸法分の高さを要する。
また、ダイオードリミッタの理想的な特性は、入力電力が所定値以下では出力電力がリニアで、入力電力が所定値以上で出力電力がフラットに制限されるような特性であるが、ダイオードの静電容量のバラツキに起因してリミッタ特性は変動する。このリミッタ特性の調整は困難である。例えば、図２に示した例では、ねじや先端部の凹部など複雑な加工を施した棒状同軸中心導体２５や金属ねじ部材２４などが必要である。そのため、全体の部品点数が多く、その組立て作業が繁雑であるとともに高精度な組立てが困難であるという問題があった。
【０００８】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、調整機構等を精密な部品を用いることなく、低背化できる簡素な構成の、導波管を入出力とするダイオードリミッタ装置、及びそれを備えたレーダを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、ダイオードを内蔵した同軸共振器と導波管共振器を電磁界的に組み合わせた新しい共振器を構成し、この共振器を利用してリミッタ装置として作用させるものである。
【００１０】
本発明のダイオードリミッタ装置は、第１の共振器と、前記第１の共振器に結合する少なくとも一つの第２の共振器と、前記第１の共振器に設けられ、前記第１の共振器の共振モードと前記第２の共振器の共振モードとの結合モードによる電磁界により電圧が印加されるダイオードと、を備えている。
【００１１】
例えば、前記第２の共振器は導波管共振器であり、前記第１の共振器は、外導体が前記導波管共振器の壁に連続する同軸共振器であり、前記ダイオードは前記同軸共振器の中心導体と接地導体との間に接続される。
【００１２】
例えば前記第２の共振器である前記導波管共振器のキャビティ内に、前記第１の共振器と前記第２の共振器との結合調整用の部材を備える。
【００１３】
例えば、前記第１の共振器は、導波管下板と導波管上板との積層体内に設けられる略直方体状のキャビティで構成され、
前記第２の共振器は、前記導波管下板と前記導波管上板との積層体内に設けられる、前記キャビティにつながる部分円柱状の空間と、円柱状の中心導体とで構成され、
前記結合調整用の部材は、前記キャビティ内に突出する金属製の調整ねじである。
【００１４】
例えば、前記第１の共振器は、導波管下板と導波管上板との積層体内に設けられる部分円柱状の空間と、中心導体とで構成される同軸共振器又は同軸形空胴共振器であり、
前記第２の共振器は、前記導波管下板と前記導波管上板との積層体内に設けられる、前記部分円柱状の空間につながる部分円柱状の空間と円柱状の中心導体とで構成される同軸共振器又は同軸形空胴共振器である。
【００１５】
また、例えば、前記第２の共振器及び当該第２の共振器に設けられた前記ダイオードの組を複数組備え、前記複数組のうち前段側に耐電力性の高い大電力用のダイオードが設けられ、後段側に応答遅れの少ない中電力用のダイオードが設けられる。
【００１６】
本発明のレーダは、探知用のパルス状電磁波を発生する電磁波発生手段と、前記パルス状電磁波を送信し、物標で反射されたエコー信号を受信するアンテナと、前記パルス状電磁波を前記アンテナへ導出し、前記アンテナからの受信信号を受信回路へ導入するサーキュレータと、を備え、前記受信回路の入力部に前記ダイオードリミッタ装置を設けて構成される。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、設けられる２つの共振器は設計上小型化が可能であり、入出力導波管と同じ電磁界モードを有するので、設計性に優れた導波管リミッタ装置を構成ができる。
【００１８】
また、従来の同軸回路の場合にはダイオードの静電容量ばらつきに対して調整機能をもたせることが難しかったが、本発明によれば導波管共振器部を利用できるため、調整が容易である。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】一般的なパルスレーダの構成を示すブロック図である。
【図２】従来のダイオードリミッタの構成を示す図である。
【図３】図３（Ａ）は第１の実施形態に係るダイオードリミッタ装置の主要部の平面図、図３（Ｂ）は同ダイオードリミッタ装置の主要部の分解斜視図である。
【図４】同軸共振器３７と導波管共振器３４との関係を示す図である。図４（Ａ）は同軸共振器３７の基本形の斜視図、図４（Ｂ）は導波管共振器３４の基本形の斜視図である。図４（Ｃ）は、図４（Ａ）の同軸共振器３７と、図４（Ｂ）の導波管共振器３４とを合成した共振器の斜視図である。
【図５】同軸共振器３７の共振空間と導波管共振器３４の共振空間に生じる電磁界の分布と結合の様子を示す図である。
【図６】図３に示したダイオードリミッタ装置１０１の導波管３２と導波管３６との間での通過特性を示す図である。図６（Ａ）は入力電力が−１０ｄＢｍのときの特性、図６（Ｂ）は入力電力が＋１０ｄＢｍのときの特性である。
【図７】図３に示したダイオードリミッタ装置１０１の入力電力と出力電力との関係を示す図である。
【図８】図８（Ａ）は第２の実施形態に係るダイオードリミッタ装置の主要部の平面図、図８（Ｂ）は同ダイオードリミッタ装置の主要部の分解斜視図である。
【図９】第３の実施形態に係るダイオードリミッタ装置の主要部である共振器部分の斜視図である。
【図１０】第３の実施形態に係るダイオードリミッタ装置１０３の導波管下板の平面図である。
【図１１】第４の実施形態に係るレーダの構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
《第１の実施形態》
図３（Ａ）は第１の実施形態に係るダイオードリミッタ装置の主要部の平面図、図３（Ｂ）は同ダイオードリミッタ装置の主要部の分解斜視図である。
図３（Ｂ）に示すように、ダイオードリミッタ装置１０１は、導波管下板３０、導波管上板３１、ＰＩＮダイオード４１を備えている。図３（Ａ）は導波管下板３０の平面図である。
【００２１】
導波管下板３０は所定深さの溝が形成されたアルミニウム板である。導波管上板３１は所定厚さの単純なアルミニウム板である。導波管下板３０に形成されている溝と導波管上板３１とで囲まれた略直方体状の空間（キャビティ）によって導波路及び共振器が構成されている。すなわち、導波管３２，３６で矩形導波管の導波路が構成されている。導波管共振器３４は概形が直方体であり、ＴＭ１１０モードで共振する第１の共振器が構成されている。この導波管共振器３４と導波管３２，３６との境界部分には、幅方向を狭めた磁界結合用の窓３３，３５が形成されている。
【００２２】
同軸共振器３７は、円柱形状の中心導体３８とその周囲の部分円柱状の空間とで第２の共振器を構成している。中心導体３８の先端と導波管上板３１（接地導体）との間には間隙が生じていて、その間隙にＰＩＮダイオード４１が接続されている。
【００２３】
同軸共振器３７の外導体は導波管共振器３４の壁（キャビティ）に連続していて、同軸共振器３７は導波管共振器３４に隣接配置されている。すなわち同軸共振器３７の共振空間と導波管共振器３４の共振空間とは連続している。したがって、同軸共振器３７の共振空間と導波管共振器３４の共振空間とは一部を共有していて、同軸共振器３７の共振モードと導波管共振器３４の共振モードとは結合する。
図４は、同軸共振器３７と導波管共振器３４との関係を示す図である。図４（Ａ）は同軸共振器３７の基本形の斜視図、図４（Ｂ）は導波管共振器３４の基本形の斜視図である。図４（Ｃ）は、図４（Ａ）の同軸共振器３７と、図４（Ｂ）の導波管共振器３４とを合成した共振器の斜視図である。このように、同軸共振器３７の共振空間と導波管共振器３４の共振空間とは一部を共有している。
【００２４】
図５は、同軸共振器３７の共振空間と導波管共振器３４の共振空間に生じる電磁界の分布と結合の様子を示す図である。図中の破線の矢印は磁界の向き（磁力線）、実線の矢印は電界の向き（電気力線）を表している。導波管共振器３４は共振空間のほぼ中央に、導波管の縦方向を向く電界最大の山が生じ、その周囲を平面方向に囲む磁界ループが生じる。一方、同軸共振器３７の中心導体３８と周囲（半周囲）の壁面との間に電界が生じ、中心導体３８を囲むように磁界ループが生じる。同軸共振器３７と導波管共振器３４の磁界は一部で共有することになり、両者間で磁界エネルギーの授受が行われるので、同軸共振器３７の共振モードと導波管共振器３４の共振モードとは磁界結合する。
【００２５】
同軸共振器３７に入力される電力が所定値を超えると、中心導体３８の先端と接地電極（導波管上板３１の内天面）との間に掛かる電圧がダイオード４１のしきい値電圧を超えて、ダイオード４１が導通する。これにより、同軸共振器３７の共振周波数が大きく変化して、導波管３２と導波管３６との間の挿入損失が非常に大きくなって、受信モジュールへの電力流入が抑制される。
【００２６】
以上に示したダイオードリミッタ装置において、同軸共振器３７の中心導体３８とダイオード４１とを合わせた高さは５ｍｍであり、中心導体３８の直径は１．５ｍｍであり、中心導体３８周囲の外導体内径は４．５ｍｍである。導波管共振器３４の平面寸法は２２ｍｍ×２０ｍｍ、高さ寸法は５ｍｍである。
【００２７】
本発明によれば、中心導体にダイオードを接続した同軸共振器と導波管共振器とを利用したことにより、低背化可能なダイオードリミッタ装置を構成できる。
【００２８】
構成要素である２つの共振器である、同軸共振器３７及び導波管共振器３４の結合モードの共振周波数は、それぞれの共振器の共振周波数ｆ１、ｆ２と共振器間の結合係数ｋによって決まる。ｆ１、ｆ２の周波数が等しく、ｆ１＝ｆ２＝ｆｏであれば、結合モードの共振周波数ｆは、
ｆ＝ｆｏ（１±ｋ／２）
の関係となる。例えば、結合係数ｋが０．４場合には、
ｆ＝０．８ｆｏ，１．２ｆｏ
となる。この二つの結合モードのうち一方の結合モードの共振周波数が使用周波数となるように、同軸共振器３７及び導波管共振器３４の共振周波数ｆ１，ｆ２、及び結合係数ｋを定める。但し、小型化のためには、二つの結合モードのうち低い方の共振周波数が使用周波数になるように、ｆ１，ｆ２，ｋを定める。ここで、ｆ１，ｆ２＝１２ＧＨｚ、ｋ＝０．４とすれば、ｆ＝１２×（１−０．４／２）＝９７［ＧＨｚ］となる。
【００２９】
なお、ｆ１，ｆ２は必ずしも正確に等しく定める必要はなく、二つの共振器が結合し、結合モードの共振周波数が使用周波数になるように定めることができれば、利用できる。
【００３０】
このように、同軸共振器３７の単独での共振周波数は理論的に１２ＧＨｚと高い周波数であるので、高さ５ｍｍと大幅な低背化が実現できる。これを従来のダイオードリミッタ装置の同軸回路で構成すれば、１５ｍｍ程度の高さが必要であるので、本発明によれば、大幅に低背化できることが分かる。
【００３１】
図６（Ａ）、図６（Ｂ）は、図３に示したダイオードリミッタ装置１０１の導波管３２と導波管３６との間での通過特性を示す図である。図６（Ａ）は入力電力が−１０ｄＢｍのときの特性、図６（Ｂ）は入力電力が＋１０ｄＢｍのときの特性である。このように、９．７ＧＨｚで共振ピークをもち、入力電力が＋１０ｄＢｍでは出力電力が−１５ｄＢｍに制限されていることが分かる。
【００３２】
図７は、図３に示したダイオードリミッタ装置１０１の入力電力と出力電力との関係を示す図である。入力電力と出力電力はいずれもｄＢｍ単位で表している。入力電力が＋５ｄＢｍまではリミット動作せず、入力電力が＋５ｄＢｍを超える範囲でリミット動作することが分かる。
【００３３】
《第２の実施形態》
図８（Ａ）は第２の実施形態に係るダイオードリミッタ装置の主要部の平面図、図８（Ｂ）は同ダイオードリミッタ装置の主要部の分解斜視図である。
第２の実施形態に係るダイオードリミッタ装置１０２は、第１の実施形態で図３に示したダイオードリミッタ装置１０１に金属製の調整ねじ４２を設けたものである。導波管共振器３４のほぼ中央に円柱状の金属製調整ねじ４２が、導波管下板３０側から又は導波管上板３１側から挿入されている。
【００３４】
導波管共振器３４のほぼ中央は電界エネルギーが集中している箇所であるので、その位置に調整ねじを突出させると、その突出量が大きくなる程、容量成分が増して、導波管共振器３４の共振周波数が低下する。したがって、調整ねじの挿抜量によって共振周波数を容易に調整できる。
【００３５】
従来のダイオードリミッタ装置に構成される同軸回路では、共振周波数を調整するために同軸回路の寸法自体を変える必要があるので、部品自体に精密加工が必要であり、部品点数が多くなるという問題があった。第２の実施形態では汎用のねじを用いて調整機構を構成することができるため、構造の簡略化が可能となる。
【００３６】
なお、導波管下板３０の側面から導波管共振器３４の壁面に対して調整ねじを突出させるように設けてもよい。この場合には調整ねじの挿抜量によってインダクタンス成分を調整して共振周波数を定めることができる。
【００３７】
《第３の実施形態》
図９は第３の実施形態に係るダイオードリミッタ装置の主要部である共振器部分の斜視図である。また、図１０は、第３の実施形態に係るダイオードリミッタ装置１０３の導波管下板の主要部の平面図である。
【００３８】
第１・第２の実施形態では、第１の共振器として導波管共振器を備え、第２の共振器として同軸共振器を備えたが、第３の実施形態では、第１の共振器として二つの同軸共振器４３，４５を備え、第２の共振器として同軸共振器３７を備えている。すなわち、円柱形状の中心導体４４，４６とその周囲の部分円柱状の空間とで二つの同軸共振器４３，４５を構成している。また、前記部分円柱状の空間につながる部分円柱状の空間と円柱状の中心導体とで同軸共振器３７を構成している。なお、中心導体４４，４６のそれぞれの一方の先端とそれらに対向する導体面との間に間隙を設けて同軸形空胴共振器を構成してもよい。
【００３９】
第３の実施形態に係るダイオードリミッタ装置１０３は、図１０に示した導波管下板に平板状の導波管上板を被せて構成される。導波管３２，３６は矩形導波管の導波路を構成している。同軸共振器４３は中心導体４４とその周囲の部分円柱状の空間とで構成されている。同様に、同軸共振器４５は中心導体４６とその周囲の部分円柱状の空間とで構成されている。同軸共振器４３と導波管３２との境界部分には、幅方向を狭めた窓３３が形成されている。同様に、同軸共振器４５と導波管３６との境界部分には、幅方向を狭めた窓３５が形成されている。
【００４０】
同軸共振器３７は、中心導体３８とその周囲の半円柱状の空間とで構成されている。中心導体３８の先端と導波管上板３１との間には間隙が生じていて、その間隙にＰＩＮダイオード４１は接続されている。
【００４１】
三つの同軸共振器４３，３７，４５は、電磁界が分布する共振空間の一部を共有して互いに結合する。そのため、導波管３２−３６の間に３段の共振器が挿入された回路が構成されていることになる。
【００４２】
ここで、三つの同軸共振器４３，３７，４５の共振周波数をｆｏ、同軸共振器４３と３７との結合係数をｋ１、同軸共振器４３と４５との結合係数をｋ２とすれば、結合モードうち最も低い共振周波数ｆminは次式で表される。
ｆmin＝ｆｏ（１−ｋ１／２−ｋ２／２）
この周波数ｆminが使用周波数に一致するように、前記ｆｏ，ｋ１，ｋ２を定めればよい。
本発明に係る「第１の共振器」は導波管共振器に限らず、このように同軸共振器又は同軸形空胴共振器であってもよい。
【００４３】
なお、図１０に示した例では、入力側の導波路に結合する同軸共振器又は同軸形空胴共振器と、出力側の導波路に結合する同軸共振器又は同軸形空胴共振器を別に設けたが、入力側の導波路と出力側の導波路にそれぞれ結合する共通の同軸共振器又は同軸形空胴共振器を設けてもよい。
【００４４】
《第４の実施形態》
第１〜第３の実施形態では、リミッタ用ダイオードを備えた共振器を一つだけ設けたが、リミッタ用ダイオードを備えた共振器を複数個設けてもよい。その場合には、導波管共振器に結合する二つの同軸共振器を設け、それぞれの同軸共振器の中心導体にダイオードを接続するか、導波管共振器と同軸共振器との組を、導波管に二組挿入する。二つのダイオードを用いる場合、前段に耐電力性の高い大電力用のダイオード、後段に応答遅れの少ない中電力用のダイオードを設ければよい。このことにより、耐電力性と高速応答性を両立したダイオードリミッタ装置を構成できる。
【００４５】
《第５の実施形態》
図１１は第５の実施形態に係るレーダの構成を示すブロック図である。レーダの高周波回路部は、マイクロ波を発振するマグネトロン７２、それをパルス駆動する駆動回路７１、マグネトロン７２の発振信号を後段方向へ伝搬するサーキュレータ７３、終端器７４、２次高調波を抑制する高調波伝搬阻止フィルタ２０１、送信信号をロータリージョイント側へ伝搬させ、受信信号を受信回路側へ伝搬させるサーキュレータ７６、ロータリージョイント７７、アンテナ７８、送信信号の電力が受信回路側へ回り込まないようにする制限するリミッタ回路７９および受信回路８０を備えている。
【００４６】
駆動回路７１がマグネトロン７２をパルス駆動することによって、９．６ＧＨｚのパルス状マイクロ波信号が出力され、サーキュレータ７３→高調波伝搬阻止フィルタ２０１→サーキュレータ７６→ロータリージョイント７７→アンテナ７８の経路で空中へ放射される。また物標で反射した信号がアンテナ７８で受信され、ロータリージョイント７７→サーキュレータ７６→リミッタ回路７９→受信回路８０の経路で受信される。
リミッタ回路７９には、第１〜第３の実施形態で示したうちの何れかのダイオードリミッタ装置を用いる。
【符号の説明】
【００４７】
３０…導波管下板
３１…導波管上板
３２，３６…導波管
３３，３５…窓
３４…導波管共振器（第１の共振器）
３７…同軸共振器（第２の共振器）
３８…中心導体
４１…ダイオード
４２…調整ねじ
４３，４５…同軸共振器
４４，４６…中心導体
７１…駆動回路
７２…マグネトロン
７３…サーキュレータ
７４…終端器
７６…サーキュレータ
７７…ロータリージョイント
７８…アンテナ
７９…リミッタ回路
８０…受信回路
１０１〜１０３…ダイオードリミッタ装置
２０１…高調波伝搬阻止フィルタ
【図１】
2011193202.tif 000003
【図２】
2011193202.tif 000004
【図３】
2011193202.tif 000005
【図４】
2011193202.tif 000006
【図５】
2011193202.tif 000007
【図６】
2011193202.tif 000008
【図７】
2011193202.tif 000009
【図８】
2011193202.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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