(57)【要約】      （修正有）【課題】装置の動作の詳細を握することが可能な基板処理システムを提供する。【解決手段】基板処理システムを構成する基板処理装置において、基板処理装置内部において発生する事象を外部に出力し、外部接続装置３により事象に時刻を付して記憶手段５３に記録し、編集手段５４で加工（編集）し、表示手段５５に表示することにより、基板処理装置の生産性向上手法の方向を指標すると共に、実施施策の効果が確認できる外部接続装置を備える。【選択図】図１
2011009757.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理する基板処理装置と、該基板処理装置に接続される外部接続装置とを備え、
前記外部接続装置は、
前記基板処理装置内に発生する複数の事象の中から抽出すべき事象に予め事象コードを設定して、前記事象コードと前記事象との対応づけを行う事象コード設定手段と、
前記事象コードが設定された前記事象の各々が発生する時刻を、前記設定された事象と関連づけて、前記時刻、前記事象コード、及び前記事象からなる事象データを作成するデータ作成手段と、
前記事象コードに対応する所望の二つの事象や該二つの事象間の動作の所要時間に、時間コードを設定して、前記時間コードと前記二つの事象ないし前記所要時間との対応付けを行う時間コード設定手段と、
前記事象データ、前記時間コードを記憶する記憶手段と、
前記事象データ、前記時間コードを表示する表示手段と、
前記事象コード及び前記事象コードに対応する事象、前記時間コード及び前記時間コードに対応する前記二つの事象間の動作を編集する編集手段と、を有する
ことを特徴とする基板処理システム。
【請求項２】
基板を処理する基板処理装置と、該基板処理装置に接続される外部接続装置とを備え、
前記外部接続装置は、
前記基板処理装置内に発生する複数の事象の中から抽出すべき事象に予め事象コードを設定して、前記事象コードと前記事象との対応づけを行う事象コード設定手段と、
前記事象コードが設定された前記事象の各々が発生する時刻を、前記設定された事象と関連づけて、前記時刻、前記事象コード、及び前記事象からなる事象データを作成するデータ作成手段と、
前記事象コードに対応する所望の二つの事象や該二つの事象間の動作の所要時間に、時間コードを設定して、前記時間コードと前記二つの事象ないし前記所要時間との対応付けを行う時間コード設定手段と、
一動作が複数の事象間動作の組合せからなり、一動作に要する事象を対応付けるように設定したり、一動作に要する総合時間を、前記複数の事象間動作の所要時間を加算した事象加工期間として設定したりする期間設定手段と、
前記事象データ、前記時間コード、前記事象加工期間を記憶する記憶手段と、
前記事象データ、前記時間コード、前記事象加工期間を表示する表示手段と、
前記事象コード及び前記事象コードに対応する事象、前記時間コード及び前記時間コードに対応する前記二つの事象間の動作、または一動作を構成する前記複数の事象間動作の組合せを編集する編集手段と、を有する
ことを特徴とする基板処理システム。
【請求項３】
基板を処理する基板処理装置と該基板処理装置に接続される外部接続装置とを備え、
前記外部接続装置は、
前記基板処理装置内に発生する複数の事象と前記複数の事象が発生する時刻を関連づけてデータとして記憶する記憶手段と、
前記データを表示する表示手段と、
を有し、
前記基板処理装置は、前記基板を処理するために動作すると、その動作に伴って発生する複数の事象を前記外部接続装置に送信し、
前記外部接続装置は、前記複数の事象の各々が発生する時刻と関連づけられたデータを表示する
ことを特徴とする基板処理システム。
【請求項４】
基板を処理する基板処理装置に接続される外部接続装置であって、
前記基板処理装置内に発生する複数の事象の各々が発生する時刻を前記事象と関連づけてデータとして記憶する記憶手段と、
前記データを表示する表示手段と、
を有し、
前記基板処理装置が前記基板を処理するために動作され、その動作に伴って前記基板処理装置内に発生する複数の事象が送信されると、前記複数の事象の各々が発生する時刻と関連づけられたデータを表示する
ことを特徴とする外部接続装置。
【請求項５】
基板を処理する基板処理装置であって、
前記基板処理装置内に発生する複数の事象の各々が発生する時刻を前記事象と関連づけてデータとして記憶する記憶手段と、
前記データを表示する表示手段と、
を有し、
前記基板を処理するために動作すると、その動作に伴って前記基板処理装置内に発生する複数の事象を送信し、前記複数の事象の各々が発生する時刻と関連づけられたデータを表示する
ことを特徴とする基板処理装置。
【請求項６】
基板を処理する基板処理装置と該基板処理装置に接続される外部接続装置とを備える基板処理システムにより実施される基板処理システムの表示方法であって、
前記外部接続装置の記憶手段が、前記基板処理装置内に発生する複数の事象と前記複数の事象が発生する時刻を関連づけてデータとして記憶する工程と、
前記外部接続装置の表示手段が、前記データを表示する工程と、
前記基板処理装置が、前記基板を処理するために動作すると、その動作に伴って前記基板処理装置に発生する複数の事象を送信する工程と、
前記外部接続装置が、前記基板処理装置内に発生する複数の事象の各々が発生する時刻を前記複数の事象と関連づけられたデータを表示する工程と、を有する
ことを特徴とする基板処理システムの表示方法。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板処理システムに係り、特に装置内で発生する事象を把握するものに関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、半導体製造ラインでは高い生産性が望まれ、半導体製造装置の性能が重視されている。半導体製造装置に求められる性能の中でも、特に高稼働率、高スループット、高ターンアラウンドタイムは重要視されている。
しかしながら半導体製造ラインにおいて、製造装置運用時には装置の障害の発生による停止、装置の非効率な動作およびウェハ搬送機器間とのカセット搬送での時間ロス、非効率なメンテナンス作業等様々な要因により、半導体製造装置にはウェハを処理していない時間が多々存在している。また、半導体製造装置は準備できているが、ウェハが提供されない等、生産性低下の要因が多々ある。
それらを招く要因を排除すべく製造装置メーカは半導体製造装置の性能向上、およびデバイスメーカは生産ラインの改善等を行い、それを繰り返し、生産性向上に努めている。
【０００３】
例えば、製造装置メーカは、装置性能向上の施策の効果を、時間であればストップウォッチ等で計測する等して、その結果から、行った施策の効果があるかどうかを判断していた。また、デバイスメーカは、半導体製造装置による生産の記録を取り、生産性向上施策を実施または作業改善し、再びその結果を記録し施策・改善の効果があったかどうかを判断していた。
【０００４】
なお、前提となる技術として、半導体製造装置を制御するコントローラに通信回線を介して制御プログラムを供給するものがある（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２１７１８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、製造装置メーカのストップウオッチ等で計測するやり方では、数多くある駆動部分等が複雑に連携して動作する箇所では、ストップウオッチ等の計測結果からでは、果たして、おこなった施策の効果があるかどうか確証することが出来なかった。
また、デバイスメーカが行う生産の記録は、主としてロット（カセット）の着工、完了の時刻程度のものであり、細かい装置、例えばウェハ搬送機や自走型搬送車等の装置周辺機器と基板処理装置間の連絡状況等が把握できなかったため、施策が効率的・効果的であったかどうかの確認も正確には出来ていなかった。
これらの原因は、装置の動作の詳細を知ることができないことに起因していた。
【０００７】
本発明の課題は、上述した従来技術の問題点を解消して、装置の動作の詳細を握することが可能な基板処理システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、基板処理システムを構成する基板処理装置において、基板処理装置内部において発生する事象を外部に出力し、外部接続装置により事象に時刻を付して記録、加工（
編集）、表示することにより、基板処理装置の生産性向上手法の方向を指標すると共に、実施施策の効果が確認できる外部接続装置を備えたものである。なお、外部接続装置に代えて内部制御装置でもよい。より具体的にはつぎの各発明をいう。
【０００９】
第１の発明は、基板を処理する基板処理装置と、該基板処理装置に接続される外部接続装置とを備え、前記外部接続装置は、基板処理装置内に発生する複数の事象の中から抽出すべき事象を予め設定する設定手段と、前記抽出された事象の各々が発生する時刻を前記抽出された事象と関連づけてデータとして記憶する記憶手段と、前記データを表示する表示手段と、前記データを編集する編集手段とを有することを特徴とする基板処理システムである。
【００１０】
基板処理装置が基板を処理するために動作すると、その動作にともなって基板処理装置内に複数の事象が発生する。発生した複数の事象は、外部接続装置に送られる。外部接続装置に送られた複数の事象の中から、設定手段で予め設定された事象が抽出される。抽出された事象は、当該事象の各々が発生する時刻と関連づけられてデータとして記憶手段に記憶される。記憶手段に記憶されたデータは表示手段によりそのまま表示されるか、あるいは編集手段によって編集された後表示される。
【００１１】
事象がその発生時刻と関連づけられたデータとして、そのまま、あるいは編集されて表示手段に表示されるので、事象の発生、変動、消滅が明らかとなり、これまで可視化出来なかった装置の動作の詳細を、装置外部で把握することができる。
基板処理装置内に発生する事象には、基板処理装置のオペレータ操作、基板処理装置と装置周辺機器との連動状況も含まれる。
【００１２】
第２の発明は、基板を処理する基板処理装置であって、基板処理装置内に発生する複数の事象の中から抽出すべき事象を予め設定する設定手段と、前記抽出された事象の各々が発生する時刻を前記抽出された事象と関連づけて時系列データとして記憶する記憶手段と、前記データを表示する表示手段と、前記データを編集する編集手段と
を備えていることを特徴とする基板処理装置である。
【００１３】
基板処理装置が基板を処理するために動作すると、その動作にともなって基板処理装置内に複数の事象が発生する。発生した複数の事象は、基板処理装置内部で、次のように処理される。複数の事象の中から、設定手段で予め設定された事象が抽出される。抽出された事象は、当該事象の各々が発生する時刻と関連づけられてデータとして記憶手段に記憶される。記憶手段に記憶されたデータは表示手段によりそのまま表示されるか、あるいは編集手段によって編集された後表示される。
【００１４】
事象がその発生時刻と関連づけられたデータとして、そのまま、あるいは編集されて表示手段に表示されるので、事象の発生、変動、消滅（終了）が明らかとなり、これまで可視化出来なかった装置の動作の詳細を、装置内部で把握することができる。
【００１５】
第３の発明は、基板を処理する基板処理装置と、該基板処理装置に接続される外部接続装置とを備え、前記外部接続装置は、基板処理装置内に発生する複数の事象の中から抽出すべき事象に予め事象コードを設定して、事象コードと事象との対応づけを行う事象コード設定手段と、前記事象コードが設定された事象の各々が発生する時刻を、前記設定された事象と関連づけて、前記時刻、前記事象コード、及び前記事象からなる事象データを作成するデータ作成手段と、前記事象コードに対応する所望の二つの事象や該二つの事象間の動作の所要時間に、時間コードを設定して、時間コードと前記二つの事象ないし前記所要時間との対応付けを行う時間コード設定手段と、前記事象データ、時間コードを記憶する記憶手段と、前記事象データ、時間コードを表示する表示手段と、前記事象コード及び
事象コードに対応する事象、前記時間コード及び時間コードに対応する二つの事象間の動作を編集する編集手段を有することを特徴とする基板処理システムである。
【００１６】
基板処理装置が基板を処理するために動作すると、その動作にともなって基板処理装置内に複数の事象が発生する。発生した複数の事象は、外部接続装置に送られる。事象コード設定手段により、外部接続装置に送られた複数の事象の中から、予め設定した事象が抽出されて、この抽出された事象に事象コードが付与される。
【００１７】
データ作成手段により、事象コードが付与された事象と、該事象の各々が発生する時刻とが関連づけられた事象データが作成される。また、時間コード設定手段により、所望の二つの前記事象コードや所望の二つの前記事象コード間の時間に時間コードが付与される。前述した事象データ、時間コードは記憶手段に記憶される。記憶手段に記憶されたデータ及びコードは、表示手段によりそのまま表示されるか、編集手段によって編集された後表示される。
【００１８】
所望の二つの事象コードや所望の二つの事象コード間の所要時間に時間コードが付与されるので、時間コードから、事象の発生、変動、消滅が明らかとなり、これまで可視化出来なかった装置の動作の詳細を、装置外部で把握することができる。
【００１９】
第４の発明は、基板を処理する基板処理装置と、該基板処理装置に接続される外部接続装置とを備え、前記外部接続装置は、基板処理装置内に発生する複数の事象の中から抽出すべき事象に予め事象コードを設定して、事象コードと事象との対応づけを行う事象コード設定手段と、前記事象コードが設定された事象の各々が発生する時刻を、前記設定された事象と関連づけて、前記時刻、前記事象コード、及び前記事象からなる事象データを作成するデータ作成手段と、前記事象コードに対応する所望の二つの事象や該二つの事象間の動作の所要時間に、時間コードを設定して、時間コードと前記二つの事象ないし前記所要時間との対応付けを行う時間コード設定手段と、一動作が複数の事象間動作の組合わせからなり、一動作に要する事象を対応付けるように設定したり、一動作に要する総合時間を、前記複数の事象間動作の所要時間を加算した事象加工期間として設定したりする期間設定手段と、前記事象データ、時間コード、事象加工期間を記憶する記憶手段と、前記事象データ、時間コード、事象加工期間を表示する表示手段と、前記事象コード及び事象コードに対応する事象、前記時間コード及び時間コードに対応する二つの事象間の動作、または一動作を構成する複数の事象間動作の組合わせを編集する編集手段とを有することを特徴とする基板処理システムである。
【００２０】
基板処理装置が基板を処理するために動作すると、その動作にともなって基板処理装置内に複数の事象が発生する。発生した複数の事象は、外部接続装置に送られる。事象コード設定手段により、外部接続装置に送られた複数の事象の中から、予め設定した事象が抽出されて、この抽出された事象に事象コードが付与される。
【００２１】
データ作成手段により、事象コードが付与された事象と、該事象の各々が発生する時刻とが関連づけられた事象データが作成される。また、時間コード設定手段により、所望の二つの前記事象コードや所望の二つの前記事象コード間の時間に時間コードが付与される。期間設定手段により、一動作に要する事象を対応付けるように設定されたり、一動作に要する総合時間が、前記複数の事象間動作の所要時間を加算した事象加工期間として設定されたりする。前述した事象データ、時間コード、事象加工期間は記憶手段に記憶される。記憶手段に記憶された事象データ、時間コード及び事象加工期間は、表示手段によりそのまま表示されるか、編集手段によって編集された後表示される。
【００２２】
所望の二つの事象コードや所望の二つの事象コード間の所要時間に時間コード、期間コ
ードが付与されるので、時間コード、期間コードから、事象の発生、変動、消滅が明らかとなり、これまで可視化出来なかった装置の動作の詳細を、装置内部で把握することができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、いままで可視化出来なかった装置の動作を可視化して把握することできる。したがって、製造装置メーカは装置の性能向上、およびデバイスメーカは生産ラインの改善等を行う手掛かりが得られると共に、実施施策の効果の確認も容易に出来るようになる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】実施の形態による外部ツールのブロック図である。
【図２】実施の形態による基板処理システムのブロック図である。
【図３】実施の形態による１イベントの構成図である。
【図４】実施の形態によるイベントデータの記録状況を示す説明図である。
【図５】実施の形態による時間定義テーブルの説明図である。
【図６】実施の形態による期間定義テーブルの説明図である。
【図７】実施の形態によるイベント加工期間データ表示画面の説明図である。
【図８】実施の形態による計測リセットトリガーイベント設定画面を示す図である。
【図９】本発明に適用される処理装置の外観斜視図である。
【図１０】本発明に適用される処理装置の側面図である。
【図１１】本発明に適用される半導体製造装置の制御系の一例を示す説明図である。
【図１２】実施の形態によるカセット払出し動作を実行するための説明図である。
【図１３】実施の形態によるカセット払出し動作を実行するための説明図である。
【図１４】実施の形態によるカセット払出し動作を実行するための説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下に本発明の基板処理システムの実施の形態を説明する。
本発明の基板処理システムを構成する基板処理装置の構成を図面を用いて説明する。尚、以下の説明では、基板処理装置として基板に拡散処理やＣＶＤ処理などを行う縦型の装置に適用した場合について述べる。図９は、本発明に適用される基板処理装置の外観斜視図である。尚、この図は透視図として描かれている。また、図１０は図９に示す基板処理装置の側面図である。
【００２６】
基板処理装置は、シリコン等からなるウェハ（基板）２００を収納したポッド（基板収納容器）１００を、外部から筐体１０１内へ挿入するため、およびその逆に筐体１０１内から外部へ払出すためのＩ／Ｏステージ（保持具授受部材）１０５が筐体１０１の前面に付設され、筐体１０１内に挿入されたポッド１００を保管するためのカセット棚（載置手段）１０９が敷設されている。なお、ポッド対応仕様ではなく、カセット対応仕様の装置では、Ｉ／Ｏステージ１０５に対応する筐体１０１の前面にシャッタが設けられ、このシャッタを介して筐体１０１内にカセットが挿入される。
【００２７】
また、ウェハ２００の搬送エリアであり、後述のボート（基板保持手段）２１７のローディング、アンローディング空間となる気密なＮ２パージ室１０２が設けられている。ウェハ２００に処理を行なうときのＮ２パージ室１０２の内部は、ウェハ２００の自然酸化膜を防止するためにＮ２ガスなどの不活性ガスが充満されるように、Ｎ２パージ室１０２は密閉容器となっている。
【００２８】
上述したポッド１００としては、現在ＦＯＵＰというタイプが主流で使用されており、ポッド１００の一側面に設けられた開口部を蓋体（図示せず）で塞ぐことで大気からウェ
ハ２００を隔離して搬送でき、蓋体を取り去る事でポッド１００内へウェハ２００を入出させることができる。このポッド１００の蓋体を取外し、ポッド内の雰囲気とＮ２パージ室１０２の雰囲気とを連通させるために、Ｎ２パージ室１０２の前面側には、ポッドオープナ（開閉手段）１０８が設けられている。なお、ポッド対応仕様ではなく、カセット対応仕様の装置では、Ｎ２パージ室１０２の前面にゲートバルブが設けられ、Ｎ２パージ室１０２と搬送空間とはゲートバルブにより連結されている。
【００２９】
ポッドオープナ１０８、カセット棚１０９、およびＩ／Ｏステージ１０５間のポッド１００の搬送は、カセットローダ１１４によって行なわれる。なお、ポッド対応仕様ではなく、カセット対応仕様の装置では、カセットローダ１１４に回転ステージを備える。このカセットローダ１１４によるポッド１００の搬送空間には、筐体１０１に設けられたクリーンユニット（図示せず）によって清浄化した空気をフローさせるようにしている。
【００３０】
Ｎ２パージ室１０２の内部には、複数のウェハ２００を多段に積載するボート２１７と、ウェハ２００のノッチ（又はオリエンテーションフラット）の位置を任意の位置に合わせる基板位置合わせ装置１０６と、ポッドオープナ１０８上のポッド１００と基板位置合わせ装置１０６とボート２１７との間でウェハ２００の搬送を行なうウェハ移載機（搬送手段）１１２とが設けられている。また、Ｎ２パージ室１０２の上部にはウェハ２００を処理するための処理炉２０２が設けられており、ボート２１７はボートエレベータ（昇降手段）１１５によって処理炉２０２へローディング、又は処理炉２０２からアンローディングすることができる。
【００３１】
次に、本発明の基板処理装置の動作について説明する。
先ず、ＡＧＶ（自走型搬送車）やＯＨＴ（天井吊下式搬送装置）などにより筐体１０１の外部から搬送されてきたポッド１００は、Ｉ／Ｏステージ１０５に載置される。Ｉ／Ｏステージ１０５に載置されたポッド１００は、シャッタを介して搬送空間に挿入された後、カセットローダ１１４によって、直接ポッドオープナ１０８上に搬送されるか、または、一旦カセット棚１０９にストックされた後にポッドオープナ１０８上に搬送される。なお、ポッド対応仕様ではなく、カセット対応仕様の装置では、搬送空間とＮ２パージ室１０２との間に設けられたゲートバルブがオープンされる。ポッドオープナ１０８上に搬送されたポッド１００は、ポッドオープナ１０８によってポッド１００の蓋体を取り外され、ポッド１００の内部雰囲気がＮ２パージ室１０２の雰囲気と連通される。
【００３２】
次に、ウェハ搬送機１１２によって、Ｎ２パージ室１０２の雰囲気と連通した状態のポッド１００内からウェハ２００を取り出す。取り出されたウェハ２００は、基板位置合わせ装置１０６によって任意の位置にノッチが定まる様に位置合わせが行なわれ、位置合わせ後、ボート２１７へ搬送される。
ボート２１７へのウェハ２００の搬送が完了したならば、処理室２０１の炉口シャッタ１１６を開けて、ボートエレベータ１１５によりウェハ２００を搭載したボート２１７をローディングする。
ローディング後は、処理炉２０２にてウェハ２００に任意の処理が実施され、処理後は上述の逆の手順で、ウェハ２００およびポッド１００は筐体１０１の外部へ払出される。
【００３３】
上述した基板処理装置、例えば半導体製造装置は、図１１に示すように、工場に複数台（＃１〜＃ｎ）設置されて、これら半導体製造装置の動作をコントローラにより制御している。各半導体製造装置には、反応室の温度などの加熱温度を制御する温度コントローラ２１、エレベータやロボットアームなどのメカニカル部分の動作を制御するメカコントローラ２２、反応室の反応圧などの圧力を制御する圧力コントローラ２３、反応室へ供給するガス流などを制御するガスコントローラ２４、これらコントローラ２１〜２４をＬＡＮなどの通信回線２６を介して統括制御するメインコントローラ２５が備えられている。更
に、当該工場にはこれら複数の半導体製造装置のメインコントローラ２５をＬＡＮなどの通信回線２８を介して統括制御するブロックコントローラ２７が設けられている。
【００３４】
これらコントローラ２１〜２４のうち、例えばメカコントローラ２２には、モータ１３、電磁弁１２、センサ１１等が接続されている。圧力コントローラ２３には圧力弁１４や圧力センサ１５が接続されている。これらコントローラ２１〜２４、２５、２７はコンピュータにより構成されており、プロセッサやメモリなどのハードウエアで所定の制御プログラムを実行することにより、所定の制御処理を実行する。このような制御プログラムは、例えば、コントローラに備えられたハードディスクメモリに記憶され、或いは、コントローラに備えられたＲＯＭに予め格納されて、コントローラに設定されている。
【００３５】
ところで、本実施の形態の基板処理システムは、上述した各基板処理装置内で発生する複数の事象を把握しようとするものである。事象とは、ここでは、基板処理装置を構成する機構の動作開始や動作終了、センサＯＮ、センサＯＦＦ、基板処理装置操作の命令や履歴、あるいは後述する生産ライン設置機器の通信結果等の現象をいう。複数の事象から、動作素が構成され、複数の動作素から一動作が構成される。
この一動作を、例えば複数の動作１〜１０（動作素）からなるカセット払出し動作を例にとって説明する。
【００３６】
図１２〜図１４に、そのようなカセット払出し動作を実行するための一連の動作素を示す。
図１２（ａ）にカセット払出し動作を行なうための模式的な基本機器構成を示す。なお、ここでの基本機器構成は、便宜上、図９及び図１０に示す基板処理装置の機器とは、ポッドとカセットの相違や機種タイプの相違から、必ずしも一致するものではない。
予備室（ＬＬ室）３３とロードロック室３５とはゲート３４を介して連結されている。ゲート３４と反対側のＬＬ室３３の入口はシャッタ３１により開閉自在になっている。また、シャッタ３１とＬＬ室３３との間にカセット３７を搭載するステージ３２が設けられる。ステージ３２は、カセット３７をＬＬ室３３に対して搬入、搬出するために断面Ｌ字形状をしており、ＣＹ軸（ステージ回転用軸）３６を中心に回転可能になっている。
【００３７】
さて、初期状態では、カセット３７はＬＬ室３３に存在し、ＬＬ室３３は真空状態にある（図１２（ｂ））。
【００３８】
動作１では、つぎの複数の事象によって、ＬＬ室３３のベントを行なう。（１）ＬＬ室ベント命令が圧力弁（図１１の圧力弁１４に相当）などに出され、（２）ＬＬ室３３のベント処理実施がなされ、（３）大気圧センサ（図１１の圧力センサ１５に相当）ＯＮによりＬＬ室ベントが完了する（図１２（ｃ））。
【００３９】
動作２では、つぎの複数の事象によって、シャッタ３１をオープンする。（１）シャッタオープン命令がシャッタ３１を操作する電磁弁（図１１の電磁弁１２に相当）に出され、（２）シャッタ３１がオープン動作し、（３）オープンセンサ（図１１のセンサ１１に相当）ＯＮによりシャッタオープンが終了する（図１２（ｄ））。
【００４０】
動作３では、つぎの複数の事象によって、ステージ３２の取出しが行なわれる。（１）ＣＹ軸回転命令がモータ（図１１のモータ１３に相当）に出され、（２）ＣＹ軸３６が回転動作してステージ３２が反時計方向に回転し、（３）モータ動作完了によりＣＹ軸回転が完了し、ステージ３２が半回転して止り、カセット３７をＬ字形ステージ３２の一方の載置部から他方の載置部に移載して、ＬＬ室３３の外に払い出す（図１２（ｅ））。
【００４１】
動作４では、つぎの複数の事象によって、図示しないＡＧＶにカセット３７を受け渡す
。（１）ＡＧＶにカセット取出し要求をし、（２）ＡＧＶと装置間でカセット受渡し通信を開始し、（３）ＡＧＶと装置間でカセット受け渡し動作を開始し、（４）ＡＧＶと装置でカセット受け渡し動作を終了し、（５）ＡＧＶと装置間でカセット受け渡し通信が終了する（図１３（ａ））。
【００４２】
動作５では、つぎの複数の事象によって、次カセット払出しのためにステージ３２が回転する。（１）ＣＹ軸回転命令が出され、（２）ＣＹ軸３６が回転動作し、ステージ３２が反転し、（３）モータ動作完了によりＣＹ軸３６の回転が完了し、ステージ３２がＬＬ室３３に納まる（図１３（ｂ））。
【００４３】
動作６では、つぎの複数の事象によって、シャッタ３１がクローズする。（１）シャッタクローズ命令が電磁弁に出され、（２）シャッタ３１がクローズ動作し、ＬＬ室３３を密閉し、（３）クローズセンサＯＮによりシャッタ３１のクローズが終了する（図１３（ｃ））。
【００４４】
動作７では、つぎの複数の事象によって、ＬＬ室３３をエバック（真空に到達するまで減圧処理することをいう）する。（１）ＬＬ室エバック命令が出され、（２）ＬＬ室３３のエバック処理が実施され、（３）真空圧力センサＯＮによりＬＬ室３３のエバックを完了する（図１３（ｄ））。
【００４５】
動作８では、つぎの複数の事象によって、ＬＬ室３３とロードロック室３５との間のゲート３４をオープンする。（１）ゲートオープン命令が電磁弁に出され、（２）ゲート３４がオープン動作し、（３）オープンセンサＯＮによりゲート３４のオープンが終了して、ＬＬ室３３とロードロック室３５とが連通する（図１４（ａ））。
【００４６】
動作９では、つぎの複数の事象によって、ロードロック室３５からＬＬ室３３に次カセット３７が搬入される。（１）カセット搬入命令が出され、（２）カセット移載機により、ロードロック室３５からＬＬ室３３へのカセット搬入動作に入り、（３）カセット３７のＬＬ室３３へ搬入を完し、カセット３７はＬ字形ステージ３２の一方の載置部に移載される（図１４（ｂ））。
【００４７】
動作１０では、つぎの複数の事象によって、ゲート３４をクローズする。（１）ゲートクローズ命令が出され、（２）ゲート３４がクローズ動作に入り、（３）クローズセンサＯＮによりゲートクローズが終了して、ＬＬ室３３とロードロック室３５との連通が遮断される（図１４（ｃ））。
動作１０が終了すると、動作１に戻る。
【００４８】
上述したカセット払出し動作のような基板処理装置内で発生する複数の事象、ないし一動作を把握するために、実施の形態では、図２のブロックに示すような基板処理システムを構築している。基板処理システムは、オペレータの装置操作により動いて基板を処理する基板処理装置１と、装置周辺機器（生産ライン設置機器２）と、外部接続装置（外部ツール３）とを備える。外部ツール３は、基板処理装置１および生産ライン設置機器２と接続されている。通常、生産ライン設置機器２や外部ツール３とは通信で接続される。
【００４９】
基板処理装置１は、半導体製造装置やＬＣＤ装置をいい、生産性が評価され基板を処理する産業用機器全般をいう。
【００５０】
生産ライン設置機器２とは、ＡＧＶシステム、ホストコンピュータ（デバイスメーカホストコンピュータ等）、測定器、基板処理装置が枚葉装置であれば、例えば、クラスタ状に配設される複数のモジュール（チャンバー）が独立して制御部を持ち、メインコントロ
ーラとの接続が必要な場合のモジュール等であって、装置と物品，情報のやりとりを行う機器全般である。
【００５１】
外部ツール３は、基板処理装置１内で発生する事象、または生産ライン設置機器２と基板処理装置１間の連動状況を示す事象を基板処理装置１を介して受け取るようになっている。また、外部ツール３は、生産ライン設置機器２内で発生する事象を、直接受け取るようにもなっている。これらの事象を受け取った外部ツール３は、後述するイベントを設定し、イベントデータの収集、蓄積、加工、表示を行うように構成されている。そのために、外部ツール３には、イベントデータの収集・蓄積・加工・表示用機器が設置される。
【００５２】
外部ツール３は、例えば、図１に示すように、イベントコード設定手段５１、データ形成手段５２、記憶手段５３、編集手段５４、表示手段５５から構成され、編集には、時間コード設定手段としての時間定義テーブル５６、および期間設定手段としての期間定義テーブル５７が用いられる。
【００５３】
事象コード設定手段５１は、基板処理装置１内に発生する複数の事象の中から抽出すべき事象に予め事象コード（以下、イベントコードという）を設定して、イベントコードと事象との対応づけを行う。データ作成手段５２は、イベントコードが設定された事象の各々が発生する時刻を、設定された事象と関連づけて、時刻、イベントコード、及び事象からなる事象データを作成する。時間定義テーブル５６は、イベントコードに対応する所望の二つの事象を対応付けるようにしたり、該二つの事象間の動作の所要時間に、時間コードを設定して、時間コードと所要時間との対応付けを行う。期間定義テーブル５７は、時間定義テーブル５６で設定された時間コードを複数選択し動作名称を設定して、動作名称と前記複数の時間コードとの対応付けを行ったり、一動作が複数の事象間動作の組合わせからなり、一動作に要する総合時間を、前記複数の事象間動作の所要時間を加算した事象加工期間として設定したりする。記憶手段５３は、編集された時間定義テーブルや期間定義テーブル、事象データ、時間コード、事象加工期間を記憶する。表示手段５５は、事象データ、時間コード、事象加工期間を表示する。編集手段５４は、イベントコード及びイベントコードに対応する事象、前記時間コード及び時間コードに対応する二つの事象間の動作、または一動作を構成する複数の事象間動作の組合わせ等を編集する。編集されたデータは、記憶手段５３に保存する。
【００５４】
つぎに、上述した構成の作用を説明する。基板処理装置１が基板を処理するために動作すると、その動作にともなって基板処理装置１内に複数の事象が発生する。発生した複数の事象は、外部ツール３に送られる。事象コード設定手段５１により、外部ツール３に送られた複数の事象の中から、予め設定した事象が抽出されて、この抽出された事象にイベントコードが付与される。
【００５５】
データ作成手段５２により、イベントコードが付与された事象と、該事象の各々が発生する時刻とが関連づけられた事象データが作成される。また、時間定義テーブル５６を参照あるいは選択することにより、所望の二つのイベントコード間の時間に時間コードを付与することができる。期間定義テーブル５７を参照あるいは選択することにより、一動作に要する総合時間が、複数の事象間動作の所要時間を加算した事象加工期間として設定することができる。前述した事象データ、時間コードは記憶手段５３に記憶される。記憶手段５３に記憶された事象データ及時間コードは、表示手段５５によりそのまま表示されるか、編集手段５４によって編集された後表示される。所望の二つのイベントコード間の所要時間に時間コードが付与されるので、時間コードから、事象の発生、変動、消滅が明らかとなり、これまで可視化出来なかった装置の動作の詳細を、基板処理装置１の外部ツール３で容易に把握することができる。
【００５６】
つぎに、上述したイベントの定義、イベントの設定、イベントの収集・蓄積、加工データの表示について具体的に説明する。
【００５７】
イベントの定義
ここでイベントとは、基板処理装置１内部において発生する事象、または基板処理装置１の操作、生産ライン設置機器２との連動によって発生する事象を、その発生した時刻とともに記録されるものをいう。イベントにはその分類のために系統立てられたコードが付与されている。コードには一部イベントの属性を表す情報も含まれる。主たるイベント情報を図３に記す。
図３に示すように、１イベントは発生時刻、イベントコード、イベント名称から構成される。発生時刻は例えば［ｙｙ／ｍｍ／ｄｄ  ｈｈ：ｍｍ：ｓｓ］で示される。イベントコードは、例えば８桁のコード［△△□□□○○○×××］で表され、△△は２桁の数字で示される属性コード、□□□は３桁の数字で示されるポジションコード、○○○は３桁の数字で示されるパーツコード、及び×××は３桁の数字で示されるシリアルナンバを意味する。
【００５８】
図３に示すように、属性コードはイベントの性格を定義する。ポジションコードはイベント発生箇所を定義する。パーツコードはセンサなどの部品を定義する。イベント名称は、基板処理装置１内に発生する複数の事象の中から抽出すべき事象に付けられた名称である。図示例では、Ｌ／Ｌ１ゲートオープンの例が示されている。これは複数ある予備室（Ｌ／Ｌ室）のうちの１番目の予備室（Ｌ／Ｌ１）のゲートがオープンしたことを意味する。
イベントコードを構成する属性コード、ポジションコード、パーツコード、シリアルナンバは、共に、ユーザもしくは装置によって定義可能なように開放してあり、使用目的により定義を変えることができるようになっている。したがって、稼働率といったマクロ的な動作を把握したいのか、それとも一動作の細かい動きを把握したいのかにより、定義を変えることができる。
【００５９】
イベントの設定
上述した構成のイベントの設定は次のようになされる。基板処理装置１および生産ライン設置機器２において発生した事象は、その発生時点において外部ツール３に報告される。報告された事象は、それが抽出すべき事象である場合にのみ、外部ツール３が受付ける。外部ツール３は事象受付け時に、イベントコード設定手段５１で抽出すべき事象に予め決められているイベントコードを設定する。また、データ形成手段５２で、事象発生時間となる時刻を付与したイベントデータを形成して、外部ツール３内の記憶手段５３に収集・蓄積（記録）する。イベントコードから、該イベントコードに対応する情報（発生時刻及びイベント名称）が取得できるようになる。
【００６０】
イベントの収集・蓄積
図４に、この外部ツール３内の記憶手段５３に記録される複数のイベントデータの記録状況を示す。イベントデータは、図示するように発生時刻、イベントコード、イベント名称からなるデータ構造をしている。記憶手段（イベントデータ収集用機器）５３には、イベントデータがこの構造で、時系列に記録される。図示例のイベントデータは、前述したカセット払出し動作（一動作）を実行するための複数の動作のうち、最初の動作１〜動作３を示している。
【００６１】
イベントデータの加工
記憶手段５３に収集・蓄積されたイベントデータは、ユーザーの意図に従って作成されている時間定義テーブル５６ないし期間定義テーブル５７を参照あるいは参考にすることによって、編集手段５４で所望の加工データに編集され、その編集結果が表示手段５５に
表示される。ユーザーは目的によりイベントデータをどのように加工するのかを設定することにより、意図する加工データを画面表示させ、情報を得ることが出来る。
イベントデータの加工方法を時間要素で設定するために、ここでは図５及び図６にそれぞれ示す時間定義テーブル５６と期間定義テーブル５７とを用いる。なお、これらの定義テーブル５６、５７は予め記憶手段５３に登録しておく。
ここでテーブルの意味は、ユーザ（装置メーカを含む）が、目的の時間を実施し、生産性向上につながるために、イベントを定義して登録できるワークエリアという位置付けである。ユーザは例えば記憶手段５３から「登録画面」を表示手段５５に読み出して、「登録画面」からこのテーブルを構築し、外部ツール３の記憶手段５３に「登録する」ことにより、容易に目的のツールを使うことができるようになる。ユーザはイベントコードの作成→時間定義テーブルの作成→期間定義テーブルの作成という順序で設定作業を勧める。
【００６２】
まず、図５に示す時間定義テーブル５６について説明する。時間定義テーブル５６は、所望の二つのイベント間に要する時間を、時間コードとして設定するものをいい、時間コードと前記所要時間との対応付けを行う。機能の運用方法が異なる場合にも対応できるようにするため、この定義テーブルは複数用意される。図示例の時間定義テーブルは、時間名称欄、計測開始イベントコード欄、計測終了イベントコード欄から構成される。時間コードが付与される名称欄に、二つのイベントや、二つのイベント間の所要時間に付けられるイベント間動作の名称が入力される。計測開始イベントコード欄と計測終了イベントコード欄とには、当該名称を定義するための、二つのイベントがそれぞれ入力される。ここでの入力イベント内容は、図４で説明したイベントコードとイベント名称の二つの項目であるが、さらに発生時刻を含ませてもよい。イベント間動作時間の名称欄の時間とは、計測開始イベントの発生から計測終了イベントの発生までと定義される。上述した時間コードは登録され、時間コードに対応する情報（イベント間動作時間名称、計測開始及び計測終了のイベントデータ）が取得できるようになる。このとき編集手段５４は、計測開始から計測終了イベント間の所要時間を演算するようにし、時間定義テーブル５６に所要時間欄を設け、二つのイベントを設定したときに演算させ、表示させるようにしてもよい。
【００６３】
時間コード１の場合を例にとって説明すると、Ｌ／Ｌ１シャッタオープン時間は、Ｌ／Ｌ１シャッタオープン命令が出てから、Ｌ／Ｌ１シャッタオープン動作終了までの所要時間となる。この時間定義テーブル５６を用いることにより、時間コード１から、時間コード１に対応する上記シャッタオープン命令、シャッタオープン動作終了の二つのイベント情報（発生時刻を含む）の全てが取得できるようになる。
【００６４】
つぎに、図６に示す期間定義テーブル５７について説明する。一動作は、複数のイベント間動作からなる一連の動作ないし動作情報をいう。一動作の総合時間は、登録した複数のイベント間動作に係る時間コードの時間データをすべて加算した時間と定義する。機能の運用方法が異なる場合にも対応できるようにするため、この定義テーブルも複数用意される。図示例の期間定義テーブルは、一動作名称欄、登録コード欄から構成される。一動作名称欄には一動作の名称が記入される。ここでは一動作名称としてカセット搬出動作に限定した名称が記入されているが、所望する一動作名称が記載される。登録コード欄には、複数の登録コード番号が記入され、各登録コード番号欄には、図５で説明した時間コードとイベント間動作時間名称が記入されている。登録コードから、登録コードに対応する時間コード、名称等の情報が取得できる。
【００６５】
図示例の「カセット搬出動作」は、Ｌ／Ｌ１カセット払出し動作と、タイムラグ時間詳細とからなる。Ｌ／Ｌ１カセット払出し動作や動作時間は、横の欄に記入されている時間コード２のＬ／Ｌ１ベント時間、時間コード１のＬ／Ｌ１シャッタオープン時間、時間コード６のＬ／Ｌ１ステージ取出し時間や、それら全てを加算した時間である。タイムラグ時間詳細は、時間コード３のＬ／Ｌ１ベント命令タイムラグ時間、時間コード４のＬ／Ｌ
１大気戻しタイムラグ時間、Ｌ／Ｌ１真空引きタイムラグ時間や、それら全てを加算した時間である。期間定義テーブル５７を用いることにより、複数の登録コードに対応する一動作の名称欄の「カセット搬出動作」のイベント情報（発生時刻を含む）の全てや、一動作の情報である時間定義テーブルに基づく総合時間、イベント間動作時間名称等が取得できるようになる。このとき、編集手段５４は、選択された欄に記入された全ての時間や、一部の時間を組合わせ演算するようにできる。例えば、図６における時間コード２のＬ／Ｌ１ベント時間、時間コード１のＬ／Ｌ１シャッタオープン時間、時間コード６のＬ／Ｌ１ステージ取出し時間の全てを加算するようにし、期間定義テーブル５７に所要時間欄を設け、登録コードを設定したときに演算させ、表示させるようにしてもよい。
【００６６】
加工データの表示
定義テーブルに基づいて編集手段５４でイベント加工された加工結果は、記憶手段５３に記憶されるとともに、表示画面５５に表示される。なお表示に代えて、あるいは表示とともに、プリントアウトしてもよい。
図７にそのようなイベント加工期間データ表示画面６０を示す。図５及び図６と同様、表示内容はＬ／Ｌ１カセット払出し動作（一動作）に関するものであって、この一動作の総合時間を構成するＬ／Ｌ１ベント時間、Ｌ／Ｌ１シャッタオープン時間、Ｌ／Ｌ１ステージ取出し時間の総合時間に対する構成比、及び各時間コードの測定値を示している。測定値は自動的に複数回行なわれる。構成比は、期間定義テーブル５７の定義時間の総和を分母にその百分率を表示する。各時間コードの時間が全体に占める割合を知ることにより、装置性能の改善、改良の目安にする。
【００６７】
画面６０のリセットボタン６１は、ユーザによるリセット操作により時間の蓄積を初期化する。リセット操作により、リセット前の「現在測定中」のデータは「前回」にデータが移行する。画面の保存ボタン６２は、ユーザによる保存操作により、画面に表示されているデータが、表示されていない「前回」以前のデータと共に記憶手段５３に保存される。
【００６８】
計測リセットトリガーイベント指定ボタン６３は、ユーザによる指定操作によりトリガーイベントを登録して、イベントによる「リセット」操作を可能にする。この計測リセットトリガーイベント指定は、時間測定に際して、自動的に複数回の時間測定を行なうため、あるイベントの発生を期に、新たに計測開始とする仕組みである。例えば何回もカセットを払い出して、その各回の時間を連続的に計測したいようなとき、カセット払出し動作の開始イベントである「Ｌ／Ｌ１ベント命令」をトリガーイベントとすれば、１回毎のカセット払出し動作の時間が計測できる。Ｌ／Ｌ１ベント命令ではなく、例えば障害イベントをトリガーすれば、ＭＴＴＲやＭＴＢＦを計測することができる。
ユーザにより機能の運用方法が異なるため、この画面は複数用意される。
計測リセットトリガーイベント指定ボタン６３を押すと、図８の計測リセットトリガーイベント設定画面に移行する。図８は計測リセットトリガーイベント設定画面の例示である。計測リセットトリガーイベント設定画面はトリガー指定欄とイベント名称欄で構成され、このイベント名称欄での各イベント名称は、期間定義テーブルにて登録コードを構成するイベント名称が選択可能となっており、トリガーしたい所望のイベントのトリガー指定欄を選択することにより、設定が完了する。
【００６９】
上述したように、実施の形態によれば、基板処理装置１と外部ツール３とを備え、外部ツール３は、事象コード設定手段５１とデータ作成手段５２と時間定義テーブル５６と期間定義テーブル５７と記憶手段５３と表示手段５５と編集手段５４とを備えることにより、基板処理装置１の動作や基板処理装置１の動作と生産ライン設置機器２との連動状況の時間的な情報を可視化するようにしたので、いままで可視化出来なかった装置の動作（例えば一動作にかかる時間や二つのイベント間の動作にかかる時間など）および生産ライン
設置機器２との連動状況の詳細が把握でき、基板処理装置の性能向上、およびデバイスメーカは生産ラインの改善等を行う手掛かりとなると共に、実施施策の効果の確認も出来るようになる。
【００７０】
なお、上述した実施の形態では、基板処理装置１の外部に設けられた外部ツール３を使用した場合について説明した。これによれば、装置メーカ、デバイスメーカ双方の問題解決のために使用、運用できる。しかし、本発明はこれに限定されない。例えば、外部ツール３に相当する制御部が基板処理装置１内に備っている場合には、その制御部に外部ツールと同じ機能をもたせることによっても本発明を実現することができる。これによれば、特に装置メーカの問題解決のために使用、運用できる。
【００７１】
また、実施の形態では、イベントデータを編集する際に、時間定義テーブル及び期間定義テーブルを利用した場合について説明した、テーブルの形である必要はない。要するに、時間定義テーブルにあっては、事象コードに対応する所望の二つの事象間の動作や二つの事象間の所要時間に、時間コードを設定して、時間コードと二つの事象や所要時間との対応付けを行う時間コード設定手段であればよい。また、期間定義テーブルにあっては、一動作が複数の事象間動作の組合わせからなり、一動作に要する事象を対応付けるように設定したり、一動作に要する総合時間を、複数の事象間動作の所要時間を加算した事象加工期間として設定したりする期間設定手段であればよい。
【００７２】
また、基板処理装置としては、半導体製造装置、ＬＣＤ製造装置を挙げられるが、本発明はこれらに限定されず、広く生産性が評価される産業機器全般に適用することも可能である。
【符号の説明】
【００７３】
１    基板処理装置
３    外部ツール（外部接続装置）
５１    事象コード設定（設定手段）
５２    データ作成手段
５３    記憶手段
５４    編集手段
５５    表示手段
５６    時間定義テーブル
５７    期間定義テーブル
【図４】
2011009757.tif 000003
【図５】
2011009757.tif 000004
【図６】
2011009757.tif 000005
【図７】
2011009757.tif 000006
【図８】
2011009757.tif 000007
【図９】
2011009757.tif 000008
【図１０】
2011009757.tif 000009
【図１１】
2011009757.tif 000010
【図１２】
2011009757.tif 000011
【図１３】
2011009757.tif 000012
【図１４】
2011009757.tif 000013
【図１】
2011009757.tif 000014
【図２】
2011009757.tif 000015
【図３】
2011009757.tif 000016