(57)【要約】      （修正有）【課題】液晶表示パネルの検査を行う際の工程を簡素化するとともに、検査に要する時間を短縮化する。【解決手段】異物検出部２において、液晶表示パネル１０を搬送させながら、液晶表示パネル１０の表裏面に照明ランプ４による照射光を照射させた状態で、ラインセンサー５により、液晶表示パネル１０の表裏面の第１画像データを撮影し、液晶表示パネル１０の表裏面における輝点の位置を取得する。表示欠陥検出部３において、液晶表示パネル１０に対してバックライト１１による照射光を照射させた状態で、カメラ１４により、液晶表示パネル１０の内部と表裏面の第２画像データを撮影し、液晶表示パネル１０の内部と表裏面における輝点の位置を取得する。そして、第１画像データにおける輝点の位置と第２画像データにおける輝点の位置を比較することにより、液晶表示パネル１０の内部に欠陥があるか否かを検出する。【選択図】図１
2011002294.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板と、前記第１基板に対向して配置され、カラーフィルターを有する第２基板と、前記第１基板及び前記第２基板の間に設けられた表示媒体層とを備える液晶表示パネルの欠陥検出方法であって、
第１検査部において、前記液晶表示パネルを搬送させながら、前記液晶表示パネルの表裏面に照明ランプによる照射光を照射させた状態で、ラインセンサーにより、前記液晶表示パネルの表裏面の第１画像データを撮影し、前記第１画像データに基づいて、前記液晶表示パネルの表裏面における輝点の位置を取得する第１輝点位置取得工程と、
第２検査部において、前記液晶表示パネルに対してバックライトによる照射光を照射させた状態で、カメラにより、液晶表示パネルの内部と表裏面の第２画像データを撮影し、前記第２画像データに基づいて、液晶表示パネルの内部と表裏面における輝点の位置を取得する第２輝点位置取得工程と、
前記第１画像データにおける輝点の位置と第２画像データにおける輝点の位置を比較することにより、液晶表示パネルの内部に欠陥があるか否かを検出する欠陥検出工程と
を少なくとも含むことを特徴とする液晶表示パネルの検査方法。
【請求項２】
前記第１輝点位置取得工程において、前記液晶表示パネルの表裏面に付着した異物に基づく輝点の位置を取得し、
前記第２輝点位置取得工程において、前記液晶表示パネルの内部に存在する欠陥に基づく輝点の位置と前記液晶表示パネルの表裏面に付着した異物に基づく輝点の位置を取得し、
前記欠陥検出工程において、前記第１画像データにおける輝点の位置と第２画像データにおける輝点の位置を比較して、重複する輝点の位置を削除することにより、液晶表示パネルの内部に欠陥があるか否かを検出する
ことを特徴とする請求項１に記載の液晶表示パネルの検査方法。
【請求項３】
第１輝点位置取得工程が終了した後、前記第１検査部から前記第２検査部へ前記液晶表示パネルを搬送させる搬送工程を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示パネルの検査方法。
【請求項４】
前記第２輝点位置取得工程が終了した後、前記第２検査部から前記第１検査部へ前記液晶表示パネルを搬送させる搬送工程を更に備えることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示パネルの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルの内部における欠陥の有無を検査するための検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、より高品位な画像表示が可能な液晶表示パネルが強く要望されている。しかしながら、現在の液晶表示パネルの製造技術では、表示欠陥の発生を防止することは困難である。このため、表示欠陥の低減された高品位の液晶表示パネルを提供するために、製造工程において、表示欠陥検査（画質検査）工程が行われている。
【０００３】
例えば、輝点（異常点灯）不良、黒点（不点灯）不良といった表示パネルの表示欠陥の有無の検査工程は、検査員の目視により行われるのが一般的である。
【０００４】
検査員による目視検査工程は、良品として扱うことができる最低品位のサンプルである限界サンプルを用いて行われる。
【０００５】
より具体的には、液晶表示パネルと限界サンプルとを検査員が見比べることにより、合否（表示欠陥の有無）の判定が行われる。
【０００６】
しかし、目視検査工程では、各検査員の間で合否判定結果がバラつくという問題や、同一検査員による検査であっても日時、検査環境によって合否判定結果がバラつくという問題、更には、マンパワーを必要とするため、液晶表示パネルの製造コストが上昇するという問題がある。
【０００７】
そこで、このような問題に鑑み、液晶表示パネルの表示欠損の自動検査方法が種々提案されている。例えば、液晶表示パネルをバックライトで照らし、液晶表示パネルの欠陥を撮像装置（例えば、ＣＣＤカメラ）により撮影することにより、液晶表示パネルの表示欠陥の有無を検査する方法が提案されている。
【０００８】
より具体的には、例えば、液晶表示パネルの裏面に対向させて配置させたバックライトを点灯して、液晶表示パネルを透過してくるバックライト光を液晶表示パネルの表面に対向するように配置させたＣＣＤカメラで撮影することにより、液晶表示パネルの内部の欠陥を検査している。
【０００９】
しかし、この場合、液晶表示パネルの内部の欠陥だけでなく、液晶パネルの表面に付着した埃やゴミ等の異物も、ＣＣＤカメラにより撮影されることになる。
【００１０】
そこで、液晶表示パネルの内部の欠陥と表面の異物とを区別できるように、照明ランプを用いて、液晶表示パネルの表面に対して斜め方向から光を当てることにより、液晶表示パネルの内部の欠陥と表面の異物とを区別している。
【００１１】
より具体的には、まず、バックライトを消灯、またはバックライトからの光が液晶表示パネルに照射されないように遮光用のシャッター部材によりバックライトからの光を遮光しておいて、照明ランプによる光だけを液晶表示パネルの表面に照射し、その反射光をＣＣＤカメラにより撮影する。この際、ＣＣＤカメラに映るのは、液晶表示パネルの表面における埃やゴミ等の異物であり、液晶表示パネルの内部の欠陥は映らないことになる。次いで、照明ランプを消灯するとともに、バックライトを点灯、またはバックライトからの光が液晶表示装置に照射されるように遮光用のシャッター部材を移動させて、透過光をＣＣＤカメラで撮影する。この際、ＣＣＤカメラには、液晶表示パネルの内部の欠陥とともに、液晶表示パネルの表面における埃やゴミが映ることになる。そして、バックライトを点灯させた状態で撮影された画像の情報から、照明ランプを点灯させた状態で撮影された画像の情報を比較することにより、液晶表示パネルの内部の欠陥の有無を検査する（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開平１１−３２６１２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかし、上記特許文献１に記載の液晶表示パネルの検査方法では、照明ランプを照射させる際には、バックライトを消灯または遮光用のシャッター部材を移動させてバックライトからの光を遮光し、照明ランプを消灯させる際には、バックライトを点灯または遮光用のシャッター部材を移動させてバックライトからの光を照射させるようにしなければならない。従って、液晶表示パネルの検査を行う際の工程が複雑になるとともに、液晶表示パネルの検査に長時間を要するという問題があった。
【００１４】
また、従来、液晶表示パネルの電極にプローブを接触させて、所定の表示パターンを表示させて点灯検査を行っているが、当該点灯検査を行う装置において、上記特許文献１に記載の液晶表示パネルの検査方法を行うと、プローブが存在するため、照明ランプによる照明光を、液晶表示パネルに対して平行に当てにくくなり、液晶表示パネルの欠陥検出の精度が低下するという問題があった。
【００１５】
そこで、本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、液晶表示パネルの検査を行う際の工程を簡素化することができるとともに、液晶表示パネルの検査に要する時間を短縮化することができる液晶表示パネルの検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、第１基板と、第１基板に対向して配置され、カラーフィルターを有する第２基板と、第１基板及び第２基板の間に設けられた表示媒体層とを備える液晶表示パネルの欠陥検出方法であって、第１検査部において、液晶表示パネルを搬送させながら、液晶表示パネルの表裏面に照明ランプによる照射光を照射させた状態で、ラインセンサーにより、液晶表示パネルの表裏面の第１画像データを撮影し、第１画像データに基づいて、液晶表示パネルの表裏面における輝点の位置を取得する第１輝点位置取得工程と、第２検査部において、液晶表示パネルに対してバックライトによる照射光を照射させた状態で、カメラにより、液晶表示パネルの内部と表裏面の第２画像データを撮影し、第２画像データに基づいて、液晶表示パネルの内部と表裏面における輝点の位置を取得する第２輝点位置取得工程と、第１画像データにおける輝点の位置と第２画像データにおける輝点の位置を比較することにより、液晶表示パネルの内部に欠陥があるか否かを検出する欠陥検出工程とを少なくとも含むことを特徴とする。
【００１７】
同構成によれば、第１検査部において、照明ランプによる照射光を照射させた状態で、ラインセンサーにより液晶表示パネルの表裏面の第１画像データを撮影することができるとともに、第２検査部において、バックライトによる照射光を照射させた状態で、カメラにより液晶表示パネルの内部と表裏面の第２画像データを撮影する構成としている。従って、液晶表示パネルの欠陥を検出する際に、上記従来技術とは異なり、照明ランプ及びバックライトの点消灯の切り替え作業が不要になるとともに、遮光用のシャッター部材によりバックライトの照射状態を制御する必要がなくなる。従って、液晶表示パネルの欠陥検査を行う際の工程を簡素化することができるとともに、液晶表示パネルの欠陥検査に要する時間を短縮化することができる。
【００１８】
また、上記従来技術とは異なり、プローブが不要になるため、照明ランプによる照明光を、液晶表示パネルに対して平行に当てやすくなる。従って、液晶表示パネルの欠陥検出精度の低下を防止することが可能になる。
【００１９】
更に、上記従来技術とは異なり、バックライトの遮光用のシャッター部材が不要になるため、液晶表示パネルの欠陥検査を行う際のコストを抑制することが可能になる。
【００２０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の液晶表示パネルの検査方法であって、第１輝点位置取得工程において、液晶表示パネルの表裏面に付着した異物に基づく輝点の位置を取得し、第２輝点位置取得工程において、液晶表示パネルの内部に存在する欠陥に基づく輝点の位置と液晶表示パネルの表裏面に付着した異物に基づく輝点の位置を取得し、欠陥検出工程において、第１画像データにおける輝点の位置と第２画像データにおける輝点の位置を比較して、重複する輝点の位置を削除することにより、液晶表示パネルの内部に欠陥があるか否かを検出することを特徴とする。
【００２１】
同構成によれば、簡単な方法で、液晶表示パネルの内部に存在する欠陥を検出することが可能になる。
【００２２】
請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の液晶表示パネルの検査方法であって、第１輝点位置取得工程が終了した後、第１検査部から第２検査部へ液晶表示パネルを搬送させる搬送工程を更に備えることを特徴とする。
【００２３】
同構成によれば、第１検査部と第２検査部との間で、液晶表示パネルの入れ替えを行いながら、液晶表示パネルの欠陥検出を行うことが可能になるため、液晶表示パネルの欠陥検査に要する時間をより一層短縮化することができる。
【００２４】
請求項４に記載の発明は、請求項１に記載の液晶表示パネルの検査方法であって、第２輝点位置取得工程が終了した後、第２検査部から第１検査部へ液晶表示パネルを搬送させる搬送工程を更に備えることを特徴とする。
【００２５】
同構成によれば、第１検査部と第２検査部との間で、液晶表示パネルの入れ替えを行いながら、液晶表示パネルの欠陥検出を行うことが可能になるため、液晶表示パネルの欠陥検査に要する時間をより一層短縮化することができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、液晶表示パネルの欠陥検査を行う際の工程を簡素化することができるとともに、液晶表示パネルの欠陥検査に要する時間を短縮化することができる。また、液晶表示パネルの欠陥検出精度の低下を防止することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施形態にかかる液晶表示パネルの欠陥の有無を検査するための自動検査装置（輝度測定装置）の構成を示す概念図である。
【図２】本発明の実施形態に係る液晶表示パネルの検査方法により検査される液晶表示パネルの構成を説明するための断面図である。
【図３】本実施形態に係る液晶表示パネルの欠陥検査方法を説明するためのフローチャートである。
【図４】照射ランプにより照射して、ラインセンサーにより撮影した液晶表示パネルの第１画像データの一部を拡大した模式図である。
【図５】バックライトにより照射して、カメラにより撮影した液晶表示パネルの第２画像データの一部を拡大した模式図である。
【図６】本実施形態に係る液晶表示パネルの欠陥検査方法を説明するためのフローチャートである。
【図７】液晶表示パネルの内部に存在する欠陥に基づく輝点の位置データを示す模式図である。
【図８】液晶表示パネルの内部に欠陥が存在しない場合の第２画像データを示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。尚、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。また、本明細書において、「自動検査」とは、検査員の目視検査によらず、検査装置を用いて行う検査のことである。
【００２９】
図１は、本発明の実施形態に係る液晶表示パネルの欠陥の有無を検査するための自動検査装置（輝度測定装置）の構成を示す概念図である。また、図２は、本発明の実施形態に係る液晶表示パネルの検査方法により検査される液晶表示パネルの構成を説明するための断面図である。
【００３０】
この自動検査装置１は、液晶表示パネル１０の表裏面（即ち、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂ）における埃やゴミ等の異物の有無の検査を行う第１検査部である異物検出部２と、液晶表示パネル１０の表示欠陥不良の有無の検査を行う第２検査部である表示欠陥検出部３とを備えている。
【００３１】
そして、本実施形態においては、まず、異物検出部２により、液晶表示パネル１０の表裏面における埃やゴミ等の異物の有無の検査を行った後、液晶表示パネル１０を表示欠陥検出部３に搬送して、表示欠陥の検出を行う構成となっている。
【００３２】
また、本実施形態に係る液晶表示パネルの検査方法による検査される液晶表パネル１は、図２に示すように、バックライト１１による表示用光の入射側に設けられた第１基板であるＴＦＴ基板２４と、ＴＦＴ基板２４に対向して配置された第２基板であるＣＦ基板２５と、ＴＦＴ基板２４及びＣＦ基板２５の間に設けられた表示媒体層である液晶層２６と、ＴＦＴ基板２４及びＣＦ基板２５を互いに接着するとともに液晶層２６を封入するために枠状に設けられたシール材２７とを備えている。
【００３３】
このシール材２７は、液晶層２６を周回するように形成されており、ＴＦＴ基板２４とＣＦ基板２５は、このシール材２７を介して相互に貼り合わされている。
【００３４】
また、ＣＦ基板２５は、ＴＦＴ基板２４と液晶層２６とを介して対向するように表示用光の出射側に設けられている。
【００３５】
ＴＦＴ基板２４は、不図示のガラス基板と、ガラス基板上に形成されたそれぞれ不図示のゲート電極、ソース電極及びドレイン電極等のＴＦＴ素子、透明絶縁層、画素電極及び配向膜等で構成されている。
【００３６】
ＣＦ基板２５は、例えば、ガラス基板上に格子状及び遮光部として枠状に設けられたブラックマトリクス（不図示）と、ブラックマトリクスの各格子間にそれぞれ設けられ、各画素に対して設けられた複数種の着色層（即ち、赤色層Ｒ、緑色層Ｇ、および青色層Ｂ）を含むカラーフィルタ（不図示）と、ブラックマトリクス及びカラーフィルタを覆うように設けられた共通電極（不図示）と、共通電極上に柱状に設けられたフォトスペーサ（不図示）と、共通電極を覆うように設けられた配向膜（不図示）とを備えている。
【００３７】
なお、ブラックマトリクスは、隣接する着色層の間に設けられ、これら複数種の着色層を区画する役割を有するものである。このブラックマトリクスは、Ｔａ（タンタル）、Ｃｒ（クロム）、Ｍｏ（モリブデン）、Ｎｉ（ニッケル）、Ｔｉ（チタン）、Ｃｕ（銅）、Ａｌ（アルミニウム）などの金属材料、カーボンなどの黒色顔料が分散された樹脂材料、または、各々、光透過性を有する複数色の着色層が積層された樹脂材料などにより形成される。
【００３８】
液晶層２６は、例えば、電気光学特性を有するネマチックの液晶材料などにより構成されている。
【００３９】
また、図１に示すように、異物検出部２は、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂを照射するための照射部である照射ランプ４と、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂの画像の取り込みを行うためのラインセンサー５とを備えている。
【００４０】
照射ランプ４は、図１に示すように、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂに対向するように配置されている。
【００４１】
また、ラインセンサー５は、図１に示すように、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂに対向するように配置されるとともに、照明ランプ４に隣接して設けられている。
【００４２】
ラインセンサー５は、複数のＣＣＤ（ｃｈａｒｇｅ−ｃｏｕｐｌｅｄ  ｄｅｖｉｃｅ；電荷結合素子）により構成され、照射ランプ４による照射光であって、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂに付着した異物３０，３１により反射された反射光３２，３３が、ラインセンサー５により受光される構成となっている。
【００４３】
そして、ラインセンサー５に光が入射すると、入射した光量に応じてラインセンサー５を構成するＣＣＤに電荷が蓄積される。そして、ラインセンサー５に設けられた複数のＣＣＤのそれぞれに蓄積された電荷量が、液晶表示パネル５のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂの１ライン毎の画像データとして、画像処理装置１５に入力される構成となっている。
【００４４】
また、表示欠陥検出部３は、検査対象となる液晶表示パネル１０を設置する検査用テーブル１２と、検査用テーブル１２の背面に設けられ、液晶表示パネル１０の一方の表面（即ち、ウラ面１０ｂ）に対向するように配置されたバックライト１１と、検査用テーブル１２の上方に設けられ、液晶表示パネル１０の他方の表面（即ち、オモテ面１０ａ）に対向するように配置されたカメラ１４と、カメラ１４と検査用テーブル１２との間に設けられたレンズ群１３とを備えている。
【００４５】
また、検査用テーブル１２の背面に設けられたバックライト１１は検査対象である液晶表示パネル１０に対して光を照射する。そして、バックライト１１から供給され、液晶表示パネル１０を透過した光は、レンズ群１３によりカメラ１４に集光される構成となっている。
【００４６】
また、カメラ１４には複数のＣＣＤにより構成されており、カメラ１４は、液晶表示パネル１０の各画素に対応する単数または複数のＣＣＤを有し、各画素からの光は、レンズ群１３により、それぞれ対応する単数または複数のＣＣＤに集光される。
【００４７】
そして、ＣＣＤに光が入射すると、入射した光量に応じてＣＣＤに電荷が蓄積される。カメラ１４に設けられた複数のＣＣＤのそれぞれに蓄積された電荷量が、液晶表示パネル１０の画像データとして画像処理装置１５に入力される構成となっている。
【００４８】
尚、検査する液晶表示パネル１０の１画素に１つのＣＣＤが対応していても良く、１画素に２以上のＣＣＤが対応していても良い。各画素に対応するＣＣＤの数を増やすことによって、各画素の輝度をより正確に測定することができる。また、各画素に対応するＣＣＤを複数にすることで、カメラ１４と液晶表示パネル１０との相対位置がずれた場合であっても、比較的正確な輝度を測定することができる。換言すれば、各画素に対応するＣＣＤの数を複数にすることによって、輝度の測定ムラを低減することができる。
【００４９】
また、図１に示すように、本実施形態における自動検査装置１は、ラインセンサー５及びカメラ１４に接続された画像処理部１５を備えている。
【００５０】
この画像処理部１５は、ラインセンサー５及びカメラ１４に接続されたＡ／Ｄコンバータ１６と、Ａ／Ｄコンバータ１６に接続された位置データ算出部１７と、位置データ算出部１７に接続された記憶部１８と、記憶部１８に接続された欠陥検出部１９とを備えている。
【００５１】
そして、ラインセンサー５を構成するＣＣＤに蓄積された電荷量（即ち、液晶表示パネル５のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂの画像データ）は、Ａ／Ｄコンバータ１６によってデジタル化され、当該デジタル化された画像データが位置データ算出部１７に入力される。
【００５２】
そして、当該位置データ算出部１７により、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ、及びウラ面１０ｂに付着した異物に基づく輝点の位置データが算出される。そして、算出された異物に基づく輝点の位置データが記憶部１８に記憶される。
【００５３】
また、同様に、カメラ１４を構成するＣＣＤに蓄積された電荷量（即ち、液晶表示パネル１０の画像データ）は、Ａ／Ｄコンバータ１６によってデジタル化され、デジタル化された画像データが位置データ算出部１７に入力される。
【００５４】
そして、当該位置データ算出部１７により、液晶表示パネル１０の内部の欠陥に基づく輝点の位置データ及びオモテ面１０ａ、及びウラ面１０ｂに付着した異物に基づく輝点の位置データが算出される。そして、算出された欠陥及び異物に基づく輝点の位置データが記憶部１８に記憶される。
【００５５】
そして、欠陥検出部１９は、メモリ１８に記憶された輝点の位置データを読み出し、当該読み出された輝点の位置データに基づいて、液晶表示パネル１０の欠陥の有無を検出する構成となっている。
【００５６】
次に、本実施形態に係る液晶表示パネルの欠陥検査方法について説明する。図３、図６は、本実施形態に係る液晶表示パネルの欠陥検査方法を説明するためのフローチャートである。なお、本実施形態における液晶表示パネルの欠陥検査方法は、第１輝点位置取得工程、第２輝点位置取得工程及び欠陥検出工程を備える。
【００５７】
＜第１輝点位置取得工程＞
本工程においては、第１検査部である異物検出部２において、液晶表示パネル１０を搬送させながら、液晶表示パネル１０の表裏面に照明ランプ４による照射光を照射させた状態で、ラインセンサー５により、液晶表示パネル１０の表裏面の第１画像データを撮影し、第１画像データに基づいて、液晶表示パネル１０の表裏面における輝点の位置を取得する。
【００５８】
より具体的には、まず、異物検査部２において、検査対象である液晶表示パネル１０を、異物検査部２から表示欠陥検出部３に向けて（即ち、図１に示す矢印Ｘの方向に）搬送させながら、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂを照射ランプ４により照射する（ステップＳ１）。
【００５９】
次いで、照射ランプ４による照射光を照射させた状態で、ラインセンサー５により、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂの第１画像データを撮影する（ステップＳ２）。
【００６０】
この際、図１に示すように、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂに異物３０，３１が付着している場合、照射ランプ４による照射光２９が、液晶表示パネル５のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂに付着した異物３０，３１により反射され、異物３０，３１による反射光３２，３３が、ラインセンサー５により受光される。そして、ラインセンサー５に光が入射すると、入射した光量に応じてラインセンサー５を構成するＣＣＤに電荷が蓄積される。
【００６１】
そして、ラインセンサー５に設けられた複数のＣＣＤのそれぞれに蓄積された電荷量が、液晶表示パネル５のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂの１ライン毎の画像データとして画像処理装置１５に入力され、デジタル化される。
【００６２】
より具体的には、ラインセンサー５を構成するＣＣＤに蓄積された電荷量（即ち、液晶表示パネル５のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂの第１画像データ）は、Ａ／Ｄコンバータ１６に入力され、当該Ａ／Ｄコンバータ１６によってデジタル化される（ステップＳ３）。
【００６３】
次いで、デジタル化された第１画像データが位置データ算出部１７に入力され、当該位置データ算出部１７は、入力された第１画像データに基づいて、液晶表示パネル５のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂに付着した異物３０，３１の位置を算出する（ステップＳ４）。
【００６４】
即ち、位置データ算出部１７は、入力された第１画像データに基づいて、第１画像データにおける、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂに付着した異物に基づく輝点の位置データを算出し、液晶表示パネルのオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂに付着した異物３０，３１に基づく輝点の位置を取得する。
【００６５】
そして、算出された異物３０，３１に基づく輝点の位置データが記憶部１８に記憶される（ステップＳ５）。
【００６６】
図４は、照射ランプ４により照射して、ラインセンサー５により撮影した液晶表示パネル１の第１画像データ５１の一部を拡大した模式図である。
【００６７】
液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂに異物が付着している場合、図４に示す液晶表示パネル１の第１画像データ５１において、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａに付着した異物３０が輝点５２として映るとともに、液晶表示パネル１０のウラ面１０ｂに付着した異物３１が輝点５３として映ることになる。そして、異物３０，３１に基づく輝点５２，５３の位置データが記憶部１８に記憶されることになる。
【００６８】
＜第２輝点位置取得工程＞
本工程においては、第２検査部である表示欠陥検出部３において、液晶表示パネル１０に対してバックライト１１による照射光を照射させた状態で、カメラ１４により、液晶表示パネル１０の内部と表裏面の第２画像データを撮影し、第２画像データに基づいて、液晶表示パネル１０の内部と表裏面における輝点の位置を取得する。
【００６９】
より具体的には、まず、異物検査部２における検査が終了した後（即ち、第１輝点位置取得工程が終了した後）、異物検査部２から表示欠陥検出部３へ液晶表示パネルを搬送させる（ステップＳ６）。そして、液晶表示パネル１０が検査用テーブル１２に設置する。
【００７０】
次いで、バックライト１１を点灯させて、バックライト１１による照射光を照射させた状態で、カメラ１４により、液晶表示パネル１０の内部と表裏面の第２画像データを撮影する（ステップＳ７）。
【００７１】
この際、図１に示すように、液晶表示パネル１０の内部に欠陥３４が存在する場合（例えば、液晶表示パネル１０を構成する画素電極と共通電極との間に異物が介在して短絡した画素が存在する場合）、当該欠陥３４からバックライト１１の照射光３９が漏れ、漏れた光３５が、カメラ１４により受光される。そして、カメラ１４に光が入射すると、入射した光量に応じてカメラ１４を構成するＣＣＤに電荷が蓄積される。
【００７２】
また、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂに異物３０，３１が付着している場合、異物３０，３１にバックライト１１の照射光３９が当たると、光が乱反射し、異物３０，３１からの散乱光３６，３７がカメラ１４により受光される。そして、カメラ１４に光が入射すると、入射した光量に応じてカメラ１４を構成するＣＣＤに電荷が蓄積される。
【００７３】
そして、カメラ１４に設けられた複数のＣＣＤのそれぞれに蓄積された電荷量が、液晶表示パネル５の内部と表裏面の第２画像データとして画像処理装置１５に入力される。
【００７４】
より具体的には、カメラ１４を構成するＣＣＤに蓄積された電荷量（即ち、液晶表示パネル５の第２画像データ）は、Ａ／Ｄコンバータ１６に入力され、当該Ａ／Ｄコンバータ１６によってデジタル化される（ステップＳ８）。
【００７５】
次いで、デジタル化された第２画像データが位置データ算出部１７に入力され、当該位置データ算出部１７は、入力された第２画像データに基づいて、液晶表示パネル１０の内部に存在する欠陥３４の位置を算出するとともに、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂに付着した異物３０，３１の位置を算出する（ステップＳ９）。
【００７６】
即ち、位置データ算出部１７は、入力された第２画像データに基づいて、第２画像データにおける、液晶表示パネル１０の内部に存在する欠陥３４に基づく輝点の位置データと、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ、及びウラ面１０ｂに付着した異物３０，３１に基づく輝点の位置データを取得する。
【００７７】
そして、算出された欠陥３４、及び異物３０，３１に基づく輝点の位置データが記憶部１８に記憶される（ステップＳ１０）。
【００７８】
図５は、バックライト１１により照射して、カメラ１４により撮影した液晶表示パネル１の第２画像データ５４の一部を拡大した模式図である。
【００７９】
液晶表示パネル１０の内部に欠陥３４が存在する場合、図５に示す液晶表示パネル１０の第２画像データ５４において、液晶表示パネル１０の欠陥３４が輝点５５として映ることになる。また、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂに異物３０，３１が付着している場合、図５に示す液晶表示パネル１の第２画像データ５４において、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａに付着した異物３０が輝点５２として映るとともに、液晶表示パネル１０のウラ面１０ｂに付着した異物３１が輝点５３として映ることになる。そして、欠陥３４に基づく基点５５、及び異物３０，３１に基づく輝点５２，５３の位置データが記憶部１８に記憶されることになる。
【００８０】
＜欠陥検出工程＞
本工程においては、第１画像データにおける輝点の位置と第２画像データにおける輝点の位置を比較することにより、液晶表示パネル１０の内部に欠陥があるか否かを検出する。
【００８１】
より具体的には、欠陥検出部１９は、記憶部１８に記憶された、上述のラインセンサー５により撮影された液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａ及びウラ面１０ｂの第１画像データに基づいて算出された異物３０，３１に基づく輝点の位置データ（即ち、図３に示す輝点５２，５３の位置データ）と、上述のカメラ１４により撮影された液晶表示パネル１０の第２画像データに基づいて算出された欠陥３４、及び異物３０，３１に基づく輝点の位置データ（即ち、図４に示す輝点５２，５３，５５の位置データ）を読み出すとともに、これら２つの輝点の位置データを比較する（ステップＳ１１）。
【００８２】
次いで、欠陥検出部１９は、２つの輝点の位置データから、重複する輝点の位置データ（即ち、異物３０，３１による輝点５２，５３の位置データ）を削除する。即ち、欠陥検出部１９は、重複する輝点の位置データを異物３０，３１による輝点５２，５３の位置データとして削除する（ステップＳ１２）。
【００８３】
そうすると、図７に示すように、液晶表示パネル１０の画像データ５６において、液晶表示パネル１０の内部の欠陥３４に基づく輝点５５の位置データのみが残ることになり、液晶表示パネル１０の内部に欠陥３４が存在することを検出することができる。
【００８４】
なお、液晶表示パネル１０の内部に欠陥３４が存在しない場合は、図８に示すように、カメラ１４により撮影された液晶表示パネル１０の第２画像データ５７に基づいて算出された異物３０，３１に基づく輝点５２，５３の位置データは、上述の図３に示す輝点５２，５３の位置データと同じになる。そのため、重複する輝点の位置のデータを異物３０，３１による輝点５２，５３の位置データとして削除すると、液晶表示パネル１０の内部の欠陥３４に基づく輝点５５の位置データは残らないため、液晶表示パネル１０の内部に欠陥３４が存在しないことを検出することができる。
【００８５】
即ち、欠陥検出部１９は、液晶表示パネル１０の内部の欠陥３４に基づく輝点５５の位置データが残ったか否かを判断し（ステップＳ１３）、欠陥３４に基づく輝点５５の位置データが残った場合は、液晶表示パネル１０の内部に欠陥３４があると判断する（ステップＳ１４）。
【００８６】
一方、欠陥３４に基づく輝点５５の位置データが残らなかった場合は、液晶表示パネル１０の内部に欠陥３４がないと判断する（ステップＳ１５）。
【００８７】
このように、本実施形態においては、液晶表示パネル１０のオモテ面１０ａやウラ面１０ｂに異物３０，３１が存在する場合であっても、液晶表示パネル１０の内部における欠陥の有無を検出することができる。
【００８８】
以上に説明した本実施形態によれば、以下の効果を得ることができる。
【００８９】
（１）本実施形態においては、異物検出部２において、液晶表示パネル１０を搬送させながら、液晶表示パネル１０の表裏面に照明ランプ４による照射光を照射させた状態で、ラインセンサー５により、液晶表示パネル１０の表裏面の第１画像データを撮影し、第１画像データに基づいて、液晶表示パネル１０の表裏面における輝点の位置を取得する構成としている。また、表示欠陥検出部３において、液晶表示パネル１０に対してバックライト１１による照射光を照射させた状態で、カメラ１４により、液晶表示パネル１０の内部と表裏面の第２画像データを撮影し、第２画像データに基づいて、液晶表示パネル１０の内部と表裏面における輝点の位置を取得する構成としてる。また、第１画像データにおける輝点の位置と第２画像データにおける輝点の位置を比較することにより、液晶表示パネル１０の内部に欠陥があるか否かを検出する構成としている。従って、液晶表示パネル１０の欠陥を検出する際に、上記従来技術とは異なり、照明ランプ４及びバックライト１１の点消灯の切り替え作業が不要になるとともに、遮光用のシャッター部材によりバックライトの照射状態を制御する必要がなくなる。その結果、液晶表示パネル１０の欠陥検査を行う際の工程を簡素化することができるとともに、液晶表示パネル１０の欠陥検査に要する時間を短縮化することができる。
【００９０】
（２）また、上記従来技術と異なり、プローブが不要になるため、照明ランプ４による照明光を、液晶表示パネル１０に対して平行に照射しやすくなる。従って、液晶表示パネル１０の欠陥検出精度の低下を防止することが可能になる。
【００９１】
（３）また、バックライト１１の遮光用のシャッター部材が不要になるため、液晶表示パネル１０の欠陥検査を行う際のコストを抑制することが可能になる。
【００９２】
（４）本実施形態においては、第１輝点位置取得工程において、液晶表示パネル１０の表裏面に付着した異物３０，３１に基づく輝点の位置を取得し、第２輝点位置取得工程において、液晶表示パネル１０の内部に存在する欠陥３４に基づく輝点の位置と液晶表示パネル１０の表裏面に付着した異物３０，３１に基づく輝点の位置を取得し、欠陥検出工程において、第１画像データにおける輝点の位置と第２画像データにおける輝点の位置を比較して、重複する輝点の位置を削除することにより、液晶表示パネル１０の内部に欠陥があるか否かを検出する構成としている。従って、簡単な方法で、液晶表示パネル１０の内部に存在する欠陥を検出することが可能になる。
【００９３】
（５）本実施形態においては、第１輝点位置取得工程が終了した後、異物検出部２から
表示欠陥検出部３へ液晶表示パネル１０を搬送させる構成としている。従って、異物検出部２と表示欠陥検出部３との間で、液晶表示パネル１０の入れ替えを行いながら、液晶表示パネル１０の欠陥検出を行うことが可能になる。その結果、液晶表示パネル１０の欠陥検査に要する時間をより一層短縮化することができる。
【００９４】
なお、上記実施形態は以下のように変更しても良い。
【００９５】
上記実施形態においては、第１輝点位置取得工程が終了した後に、第２輝点位置取得工程を行う構成としたが、第２輝点位置取得工程を行った後に、第１輝点位置取得工程を行う構成としても良い。即ち、第２輝点位置取得工程において、第２画像データに基づいて、液晶表示パネル１０の内部と表裏面における輝点の位置を取得した後に、表示欠陥検出部３から異物検出部２へ液晶表示パネル１０を搬送させ、第１輝点位置取得工程において、第１画像データに基づいて、液晶表示パネル１０の表裏面における輝点の位置を取得する構成としても良い。このような構成においても、異物検出部２と表示欠陥検出部３との間で、液晶表示パネル１０の入れ替えを行いながら、液晶表示パネル１０の欠陥検出を行うことが可能になる。その結果、液晶表示パネル１０の欠陥検査に要する時間をより一層短縮化することができる。
【００９６】
また、上記実施形態においては、液晶表示パネルに限定して説明したが、本発明は、エレクトロルミネセンス表示パネル、プラズマ表示パネル、フィールドエミッション表示パネル等にも適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００９７】
本発明の活用例としては、液晶表示パネルの内部における欠陥の有無を検査する液晶表示パネルの検査方法が挙げられる。
【符号の説明】
【００９８】
１    自動検査装置
２    異物検出部（第１検査部）
３    表示欠陥検出部（第２検査部）
４    照明ランプ
５    ラインセンサー
１０    液晶表示パネル
１０ａ    液晶表示パネルのオモテ面
１０ｂ    液晶表示パネルのウラ面
１１    バックライト
１２    検査用テーブル
１３    レンズ群
１４    カメラ
１５    画像処理装置
１６    Ａ／Ｄコンバータ
１７    位置データ算出部
１８    記憶部
１９    欠陥検出部
２４    ＴＦＴ基板（第１基板）
２５    ＣＦ基板（第２基板）
２６    液晶層（表示媒体層）
３０    異物
３１    異物
３４    欠陥
５２    異物に基づく輝点
５３    異物に基づく輝点
５５    欠陥に基づく輝点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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