(57)【要約】【課題】静電容量式タッチパネルに好適に適用可能な検査装置を提供する。【解決手段】静電容量式タッチパネル５０の検査装置であって、ベースとなる絶縁部１にタッチプローブ２を設けた検査部３を備え、絶縁部１の表面とタッチプローブ２の接触部とが同一レベルに形成されている。検査部３は、静電容量式タッチパネル５０を上に載置して検査を行う検査面を有する。タッチプローブ２は、絶縁部１に埋設されているか、あるいは、絶縁部１の表面にプリントされている【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
静電容量式タッチパネルの検査装置であって、
ベースとなる絶縁部にタッチプローブを設けた検査部を備え、
前記絶縁部の表面と前記タッチプローブの接触部とが同一レベルに形成されている検査装置。
【請求項２】
前記検査部は、前記静電容量式タッチパネルを上に載置して検査を行う検査面を有する請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記タッチプローブは、前記絶縁部に埋設されている請求項１又は２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記タッチプローブは、前記絶縁部の表面にプリントされている請求項１又は２に記載の検査装置。
【請求項５】
前記タッチプローブのサイズは、前記静電容量式タッチパネルが具備するセンサ電極のサイズの１／ｎ（ｎは１より大きい自然数）倍以下に構成されている請求項１〜４の何れか一項に記載の検査装置。
【請求項６】
前記検査部に前記静電容量式タッチパネルを当接させた検査状態において、前記静電容量式タッチパネルと前記タッチプローブとの接続状態を制御する制御部を備えた請求項１〜５の何れか一項に記載の検査装置。
【請求項７】
静電容量式タッチパネルの検査方法であって、
ベースとなる絶縁部にタッチプローブを同一レベルで設けた検査部の上に、前記静電容量式タッチパネルを載置する載置工程と、
前記静電容量式タッチパネルと前記タッチプローブとの接続状態を制御する制御工程と、
を包含する検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タッチパネルの不具合を検査する検査装置及び検査方法に関し、特に、静電容量式タッチパネルに適用可能な検査装置及び検査方法に関する。
【０００２】
銀行ＡＴＭ、携帯型情報端末、カーナビゲーションシステム、複合機等の電子機器の入力装置として、近年、タッチパネルが多く使用されている。これらタッチパネルのタイプには、抵抗を有する透明電極の電圧の変化を検出する抵抗膜式タッチパネル、フォトセンサに流れる電流の変化を測定する光学式タッチパネル、人体と検出電極との間における静電容量の変化を検出する静電容量式タッチパネル等が従来から知られている。これらタッチパネルの原理は、何れも接触時に発生する電気的特性の変化を検出するものである。従って、タッチパネルの検査を行う場合、通常、上記電気的特性の変化に異常がないかを確認する必要がある。
【０００３】
例えば、抵抗膜式タッチパネルの検査では、当該抵抗膜式タッチパネルを構成する一対の抵抗膜に電圧を印加し、所定入力位置に対応する出力電圧値（抵抗値）を測定する。出力電圧値が所定の閾値以下である場合、抵抗膜に印加する電圧の極性を切り替える。この一連の操作により、抵抗膜式タッチパネルの電気的特性（抵抗値）が測定され、良品か不良品かを判定することができる（例えば、特許文献１を参照）。
【０００４】
光学式タッチパネルの検査では、アレイ基板上に形成されたフォトセンサの所定領域に対して、光の照射／非照射を行う。この操作により、フォトセンサの電気的特性（電流値）が測定され、良品か不良品かを判定することができる（例えば、特許文献２を参照）。
【０００５】
上記特許文献１及び上記特許文献２は、測定する電気的特性として「電圧値（抵抗値）」と「電流値」とで相違するものの、何れもタッチパネルの導通状態を見ている点で共通する。そうすると、近年、需要が増している静電容量式タッチパネルにおいても、良品か不良品かの検査を行う場合、抵抗値等の導通状態を測定することが考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００５−２７４２２５公報
【特許文献２】特開２００８−３１０３７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、静電容量式タッチパネルは、指などで触れた状態及び箇所をわずかな静電容量の変化（数ｐＦ程度）として捕えるため、特許文献１や特許文献２と同様の抵抗値や電流値の異常として電気的に確認することは実質的に不可能である。
【０００８】
一方、静電容量式タッチパネルの検査において、当該静電容量式タッチパネルをコントローラ（コントロールＩＣ）に実装した状態で導通状態を測定することも考えられる。この場合、コントローラ側において静電容量式タッチパネルの微小な静電容量の変化を間接的に測定することになる。ところが、この場合、コントローラ側に何らかの問題があっても、静電容量式タッチパネルとコントローラとを含む全体として不良と判断されてしまう。このため、タッチパネルメーカーには、静電容量式タッチパネルをコントローラに実装する前にタッチパネル単体で検査を実施することが望まれている。
【０００９】
静電容量式タッチパネルの検査において、再現性の良好な安定した静電容量測定を行うためには、検査装置とタッチパネルとの接触面積を大きくする必要がある。そのための一つの手法として、例えば、検査装置における複数のタッチプローブの先端部を平坦な端面に形成し、当該端面の全体をタッチパネルに対して均等に接触させることが考えられる。このとき、タッチプローブはバネ等の付勢手段の力を利用してタッチパネルに圧接することになるが、この場合、夫々のタッチプローブを付勢するバネの強度や、タッチプローブを収容するベースとタッチプローブとの遊びを、検査装置が有する全てのタッチプローブについて均等に調整する必要がある。実際にこれらの調整を行うことは大変困難であり、タッチパネルに対して幾つかのタッチプローブの端面が少しでも傾くと、安定した測定はできなくなる。
【００１０】
このように、現状においては、静電容量式タッチパネルの検査を確実に実施し得る検査装置や検査方法は未だ開発されていない。本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、静電容量式タッチパネルに好適に適用可能な検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するための本発明に係る静電容量式タッチパネルの検査装置の特徴構成は、
静電容量式タッチパネルの検査装置であって、
ベースとなる絶縁部にタッチプローブを設けた検査部を備え、
前記絶縁部の表面と前記タッチプローブの接触部とが同一レベルに形成されていることにある。
【００１２】
背景技術の項目で説明したように、静電容量式タッチパネルにおいては、指などで触れた状態及び箇所をわずかな静電容量の変化（数ｐＦ程度）として捕えてしまうことに起因して、導通状態を抵抗値や電流値の異常として確認することは困難であった。タッチパネルの静電容量を測定する場合でも、検査装置が有する全てのタッチプローブをタッチパネルに対して均等な状態で接触させる必要があり、このような操作は大変困難を伴う。
この点、本構成の静電容量式タッチパネルの検査装置は、ベースとなる絶縁部にタッチプローブを設けた検査部を有しており、ここで、絶縁部の表面とタッチプローブの接触部とが同一レベルに形成されている。このため、検査の際には、静電容量式タッチパネルを検査装置の検査部に重ね合わせるだけで、タッチパネルに対して全てのタッチプローブを均等な状態で接触させることができ、その結果、再現性の良好な安定した静電容量測定が可能となる。
【００１３】
本発明に係る静電容量式タッチパネルの検査装置において、
前記検査部は、前記静電容量式タッチパネルを上に載置して検査を行う検査面を有することが好ましい。
【００１４】
本構成の静電容量式タッチパネルの検査装置であれば、検査部の検査面の上に検査対象の静電容量式タッチパネルを載置するだけで、タッチパネルとタッチプローブとの良好な接触状態を実現できる。従って、より簡単に再現性の良好な安定した静電容量測定を行うことができる。
【００１５】
本発明に係る静電容量式タッチパネルの検査装置において、
前記タッチプローブは、前記絶縁部に埋設されていることが好ましい。
【００１６】
本構成の静電容量式タッチパネルの検査装置であれば、タッチプローブは、絶縁部に埋設されているので、検査装置の耐久性が高い。また、タッチプローブが剥離する心配もないので、接触不良も起き難い。
【００１７】
本発明に係る静電容量式タッチパネルの検査装置において、
前記タッチプローブは、前記絶縁部の表面にプリントされていることが好ましい。
【００１８】
本構成の静電容量式タッチパネルの検査装置では、タッチプローブは、絶縁部の表面にプリントにより形成される。プリントであれば、タッチプローブの形状を自由に設計し易い。なお、タッチプローブのプリントは、例えば、スクリーン印刷やグラビアオフセット印刷等の既存の印刷技術により、低コストで簡単に行うことができる。
【００１９】
本発明に係る静電容量式タッチパネルの検査装置において、
前記タッチプローブのサイズは、前記静電容量式タッチパネルが具備するセンサ電極のサイズの１／ｎ（ｎは１より大きい自然数）倍以下に構成されていることが好ましい。
【００２０】
本構成の静電容量式タッチパネルの検査装置であれば、一つの検査装置で複数種のタッチパネルを検査することが可能となる。タッチプローブとセンサ電極とが同じサイズに構成されている場合では、一つのタッチプローブと一つのセンサ電極とを接触させて検査を行い得るに過ぎないが、例えば、タッチプローブのサイズを１／４倍にすれば、四つのタッチプローブと一つのセンサ電極とを接触させて同様の検査を行い得る。また、この１／４サイズのタッチプローブであれば、１／２サイズのセンサ電極、あるいは１／４サイズのセンサ電極の検査も行い得る。すなわち、タッチプローブのサイズを１／ｎ（ｎは１より大きい自然数）倍以下とすることで、少なくともｎの約数の個数分の種類のタッチパネルを検査することができる。
【００２１】
本発明に係る静電容量式タッチパネルの検査装置において、
前記検査部に前記静電容量式タッチパネルを当接させた検査状態において、前記静電容量式タッチパネルと前記タッチプローブとの接続状態を制御する制御部を備えることが好ましい。
【００２２】
本構成の静電容量式タッチパネルの検査装置であれば、制御部が、静電容量式タッチパネルとタッチプローブとの接続状態を制御することにより、電気的な接続／切断状態を瞬時に実現し得る。これにより、タッチパネルに対して接触／非接触状態とすることと同じ効果が得られ、要望に応じたより細かな検査を実行することができる。
【００２３】
上記課題を解決するための本発明に係る静電容量式タッチパネルの検査方法の特徴構成は、
静電容量式タッチパネルの検査方法であって、
ベースとなる絶縁部にタッチプローブを同一レベルで設けた検査部の上に、前記静電容量式タッチパネルを載置する載置工程と、
前記静電容量式タッチパネルと前記タッチプローブとの接続状態を制御する制御工程と、
を包含することにある。
【００２４】
本構成の静電容量式タッチパネルの検査方法は、上述した静電容量式タッチパネルの検査装置と実質的に同じ作用効果を奏する。すなわち、本構成の静電容量式タッチパネルの検査方法は、ベースとなる絶縁部にタッチプローブを同一レベルで設けた検査部の上に、静電容量式タッチパネルを載置する載置工程を実行することにより、タッチパネルに対して全てのタッチプローブを均等な状態で接触させることができ、その結果、再現性の良好な安定した静電容量測定が可能となる。
また、静電容量式タッチパネルとタッチプローブとの接続状態を制御する制御工程を実行することにより、電気的な接続／切断状態を瞬時に実現し得る。これにより、タッチパネルに対して接触／非接触状態とすることと同じ効果が得られ、要望に応じたより細かな検査を実行することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の第１実施形態に係る静電容量式タッチパネルの検査装置を示す斜視図である。
【図２】本発明の第２実施形態に係る静電容量式タッチパネルの検査装置を示す斜視図である。
【図３】検査部の上にプリント法で形成したタッチプローブと、タッチパネル側のセンサ電極とのサイズの関係を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、本発明の静電容量式タッチパネルの検査装置及び検査方法に関する実施形態を図１〜図３に基づいて説明する。ただし、本発明は、以下に説明する実施形態や図面に記載される構成に限定されることを意図せず、それらと均等な構成も含む。
【００２７】
〔第１実施形態〕
図１は、本発明の第１実施形態に係る静電容量式タッチパネルの検査装置（以下、単に「検査装置」と称する）１００を示す斜視図である。図１では、理解を容易にするために、各部を分離した状態を示してある。検査装置１００は、別工程で製造した静電容量式タッチパネル（以下、単に「タッチパネル」と称する）５０が正常か否かを判定するために使用される。
【００２８】
検査装置１００は、大きく分けて、検査ステージ１０、測定ユニット２０、及び制御回路３０から構成される。検査ステージ１０は、本発明独特の構造を有する。検査ステージ１０には、ベースとなる絶縁部１に複数のタッチプローブ２を設けた検査部３が備えられている。各タッチプローブを参照符号２ａ〜２ｊで示す。検査部３において、タッチプローブ２ａ〜２ｊは円柱状の金属端子であり、絶縁部１の表面（上面）と各タッチプローブ２ａ〜２ｊの接触部（円柱の上面）とが同一レベルとなるように（二つの面が略同一高さになるように）、タッチプローブ２ａ〜２ｊは絶縁部１に埋設されている。これにより、絶縁部１の上面とタッチプローブ２ａ〜２ｊの上面とが略面一となった平面（検査面）が形成される。このようなタッチプローブ２ａ〜２ｊの埋設を行うことにより、検査装置１００の耐久性が高くなる。また、タッチプローブ２ａ〜２ｊが絶縁部１から剥離する心配もなく、接触不良も起き難くなる。
【００２９】
本実施形態では、検査部３の上面がタッチパネルの検査を行う上記検査面となる。検査面において、タッチプローブ２ａ〜２ｆは横方向（タッチパネルのＸ方向に相当）に配置され、タッチプローブ２ｇ〜２ｊは縦方向（タッチパネルのＹ方向に相当）に配置されている。検査部３の絶縁部１として使用可能な材料には、ポリアミド、超高分子量ポリエチレン、熱可塑性ポリエステル系樹脂、ポリアセタール（ＰＯＭ）、フッ素樹脂、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリアミドイミド（ＰＡＩ）等が挙げられる。
【００３０】
検査対象のタッチパネル５０は、リード線ａとセンサ電極ｂとを備えている。本実施形態の場合、Ｘ方向に６本のリード線ａ１〜ａ６を備え、Ｙ方向に４本のリード線ａ７〜ａ１０を備えている。各リード線ａ１〜ａ１０の遠位端付近には、１０個のセンサ電極ｂ１〜ｂ１０が形成されている。このセンサ電極ｂ１〜ｂ１０と検査部３のタッチプローブ２ａ〜２ｊとを夫々接触させることにより、後述する測定ユニット２０を用いて、リード線ａ１〜ａ１０のライン電位（すなわち、リード線ａ１〜ａ１０の各々とグラウンドとの間における静電容量の両端間の電圧）を測定する。
【００３１】
検査を行うに際し、タッチパネル５０は検査ステージ１０の検査部３の検査面上に載置される。検査ステージ１０には、タッチパネル５０を位置決めするためのストッパー４が設けられている。これにより、タッチパネル５０側の各センサ電極ｂ１〜ｂ１０を、検査ステージ１０側の各タッチプローブ２ａ〜２ｊの直上に配置することができる。
【００３２】
タッチパネル５０の基材がガラス基板等のある程度の重量を有する硬質材料から構成されている場合は、タッチパネル５０の自重により各センサ電極ｂ１〜ｂ１０と各タッチプローブ２ａ〜２ｊとが良好な状態で接触する。ここで、タッチパネル５０を検査部３の方に強制的に押し付けるために、タッチパネル５０の上にウェイト（図示せず）を載せたり、付勢力を付与する付勢手段を設けても構わない。付勢手段としては、例えば、検査部３にバキューム吸着機構（図示せず）を設け、タッチパネル５０を検査部３の側に吸着させる。これらのウェイトや付勢手段の設置により、タッチパネル５０と検査部３との接触状態は全面に亘ってより均等化するため、再現性の良好な安定した静電容量測定を行うことができる。
【００３３】
一方、例えば、タッチパネル５０の基材が樹脂フィルムのような軽量で柔軟な材料から構成されている場合は、タッチパネル５０が反り返ってセンサ電極が浮き上がることがある。そこで、そのような場合は、上述のウェイトや付勢手段を用いる。例えば、タッチパネル５０の上にウェイトとなるガラス基板（図示せず）を載置し、必要に応じてガラス基板全体を下方に付勢する。あるいは、検査部３にバキューム吸着機構（図示せず）を設け、タッチパネル５０を検査部３の側に吸着させる。これらの対策により、各センサ電極ｂ１〜ｂ１０と各タッチプローブ２ａ〜２ｊとの均等な接触を確実なものとすることができる。
【００３４】
検査ステージ１０の上にタッチパネル５０を載置したら、測定ユニット２０のプローブブロック２１をリード線ａ１〜ａ１０に接続する。実際には、図１に示すように、リード線ａ１〜ａ１０から延長される１０本の補助ライン５１がタッチパネル５０の端領域に形成されており、この補助ライン５１にプローブブロック２１が当てられる。この状態で、測定ユニット２０の静電容量検出回路２２が、リード線ａ１〜ａ１０のライン電位を測定する。
【００３５】
ライン電位の測定に際し、制御回路（制御部）３０が、センサ電極ｂ１〜ｂ１０とタッチプローブ２ａ〜２ｊとの接触状態（接続状態）を制御する。制御回路３０は、プログラマブルロジックデバイス（ＦＰＧＡ）で構成され、例えば、各タッチプローブ２ａ〜２ｊを個別にグラウンドに接続／切断するスイッチの機能を有するよう設計される。例えば、制御回路３０がタッチプローブ２ａにグラウンド電位を印加することにより、人間が指でセンサ電極ｂ１に接触したことと同じ効果が得られる。反対に、制御回路３０がタッチプローブ２ａをグランウンド電位から切断することにより、人間が指でセンサ電極ｂ１に接触していないことと同じ効果が得られる。このように、制御回路３０を駆使して各センサ電極ｂ１〜ｂ１０と各タッチプローブ２ａ〜２ｊとの接触状態を制御すれば、電気的な接続／切断状態を瞬時に実現し得る。その結果、要望に応じたより細かな検査を実行することができる。
【００３６】
〔第２実施形態〕
図２は、本発明の第２実施形態に係る静電容量式タッチパネルの検査装置（以下、単に「検査装置」と称する）２００を示す斜視図である。図２では、理解を容易にするために、各部を分離した状態を示してある。検査装置２００は、別工程で製造した静電容量式タッチパネル（以下、単に「タッチパネル」と称する）５０が正常か否かを判定するために使用される。
【００３７】
検査装置２００の構成は、検査ステージ１０以外は、第１実施形態で説明した検査装置１００の構成と実質同一である。従って、本実施形態では、検査ステージ１０のみについて説明し、測定ユニット２０、及び制御回路３０の説明は省略する。
【００３８】
検査ステージ１０は、本発明独特の構造を有する。検査ステージ１０には、ベースとなる絶縁部１に複数のタッチプローブ５を設けた検査部３が備えられている。各タッチプローブを参照符号５ａ〜５ｊで示す。検査部３において、タッチプローブ５ａ〜５ｊはプリント基板の一部であり、絶縁部１の表面（上面）と各タッチプローブ５ａ〜５ｊの接触部（導電性のプリント部）とが同一レベルとなるように構成されている。すなわち、絶縁部１の上面とタッチプローブ５ａ〜５ｊの上面とが略面一となった平面（検査面）が形成される。タッチプローブ５ａ〜５ｊのプリントは、例えば、スクリーン印刷やグラビアオフセット印刷等の既存の印刷技術により、低コストで簡単に行うことができる。
【００３９】
タッチプローブ５をプリント法で形成した場合の利点として、タッチプローブ５の形状を自由に設計し易いことが挙げられる。そこで、タッチプローブ５のプリントパターンの異なる検査ステージ１０を用意し、それらを交換できるような機構を付加する。あるいは、検査ステージ１０から検査部３を取り外し可能とし、検査部３のみを交換可能な構成としても構わない。これにより、一つの検査装置２００で複数種のタッチパネル５０を検査することが可能となる。
【００４０】
図３は、検査部３の上にプリント法で形成したタッチプローブ５と、タッチパネル５０側のセンサ電極ｂとのサイズの関係を示す模式図である。図３（ａ）はタッチプローブ５のサイズ（Ｌ１）とセンサ電極ｂのサイズ（Ｌ２）とが実質同等となるように形成した例である。ここで、タッチプローブ５の「サイズ」又はセンサ電極ｂの「サイズ」とは、各要素一つ分の並列方向における有効幅を意味する。図３（ａ）は、図２で示したタッチプローブ５ａ〜５ｊとセンサ電極ｂ１〜ｂ１０との関係に相当する。このように、タッチプローブ５とセンサ電極ｂとが実質同等なサイズであれば、一つのタッチプローブ５と一つのセンサ電極ｂとを接触させて検査を行い得る。
【００４１】
一方、図３（ｂ）はタッチプローブ５のサイズがセンサ電極ｂのサイズより小さくなるように形成した例である。この例では、タッチプローブ５のサイズ（Ｌ３）は、センサ電極ｂのサイズ（Ｌ２）の１／４倍以下にされている。なお、センサ電極ｂは、必ずしもタッチプローブ５に対して全面接触する必要はないので、本発明でのサイズの認識にあたっては、隣接する２つのタッチプローブ５の間の空間もタッチプローブ５のサイズの一部と見なしても構わない。このようなサイズ関係とすれば、四つのタッチプローブ５と一つのセンサ電極ｂとを接触させて、図３（ａ）と同様の検査を行い得る。また、この１／４倍以下のサイズのタッチプローブ５であれば、１／２サイズのセンサ電極（図示せず）、あるいは１／４サイズのセンサ電極（図示せず）の検査も行い得る。前者の場合は二つのタッチプローブと一つのセンサ電極とを接触させ、後者の場合は一つのタッチプローブと一つのセンサ電極とを接触させる。すなわち、タッチプローブ５のサイズを１／ｎ（ｎは１より大きい自然数）倍以下とすることで、少なくともｎの約数の個数分の種類のタッチパネル５０を検査することができる。
【００４２】
〔静電容量式タッチパネルの検査方法〕
上述した本発明の静電容量式タッチパネルの検査装置１００及び２００を用いることにより、本発明の静電容量式タッチパネルの検査方法を実施することができる。ここでは、一例として、図１を参照しながら検査装置１００を用いた検査方法について説明する。
【００４３】
本発明の検査方法では、主として、ベースとなる絶縁部１にタッチプローブ２を同一レベルで設けた検査部３の上に、静電容量式タッチパネル５０を載置する載置工程、及び静電容量式タッチパネル５０とタッチプローブ２との接続状態を制御する制御工程を実行する。
【００４４】
＜載置工程＞
載置工程において、タッチパネル５０は検査ステージ１０の検査部３の検査面上に載置される。検査ステージ１０には、タッチパネル５０を位置決めするためのストッパー４が設けられている。これにより、タッチパネル５０側の各センサ電極ｂ１〜ｂ１０を、検査ステージ１０側の各タッチプローブ２ａ〜２ｊの直上に配置することができる。
【００４５】
タッチパネル５０の基材がガラス基板等のある程度の重量を有する硬質材料から構成されている場合は、タッチパネル５０の自重により各センサ電極ｂ１〜ｂ１０と各タッチプローブ２ａ〜２ｊとが良好な状態で接触する。ここで、タッチパネル５０を検査部３の方に強制的に押し付けるために、追加の工程として、タッチパネル５０の上にウェイト（図示せず）を載せるウェイト載置工程、あるいは付勢力を付与する付勢工程を実行しても構わない。付勢工程では、例えば、検査部３にバキューム吸着機構（図示せず）を設け、タッチパネル５０を検査部３の側に吸着させる。これらのウェイト載置工程や付勢工程を実行することにより、タッチパネル５０と検査部３との接触状態は全面に亘ってより均等化するため、再現性の良好な安定した静電容量測定を行うことができる。
【００４６】
一方、例えば、タッチパネル５０の基材が樹脂フィルムのような軽量で柔軟な材料から構成されている場合は、タッチパネル５０が反り返ってセンサ電極が浮き上がることがある。そこで、そのような場合は、上述のウェイト載置工程や付勢工程を実行する。例えば、タッチパネル５０の上にウェイトとなるガラス基板（図示せず）を載置し、必要に応じてガラス基板全体を下方に付勢する。あるいは、検査部３にバキューム吸着機構（図示せず）を設け、タッチパネル５０を検査部３の側に吸着させる。これらの対策により、各センサ電極ｂ１〜ｂ１０と各タッチプローブ２ａ〜２ｊとの均等な接触を確実なものとすることができる。
【００４７】
＜制御工程＞
次に制御工程を実行する。ここで、前準備として、測定ユニット２０のプローブブロック２１をリード線ａ１〜ａ１０に接続しておく。実際には、図１に示すように、リード線ａ１〜ａ１０から延長される１０本の補助ライン５１がタッチパネル５０の端領域に形成されており、この補助ライン５１にプローブブロック２１が当てられる。この状態で、測定ユニット２０の静電容量検出回路２２が、リード線ａ１〜ａ１０のライン電位を測定する。
【００４８】
制御工程では、ライン電位の測定に際し、制御回路（制御部）３０が、センサ電極ｂ１〜ｂ１０とタッチプローブ２ａ〜２ｊとの接触状態（接続状態）を制御する。制御回路３０は、プログラマブルロジックデバイス（ＦＰＧＡ）で構成され、例えば、各タッチプローブ２ａ〜２ｊを個別にグラウンドに接続／切断するスイッチの機能を有するよう設計される。例えば、制御回路３０がタッチプローブ２ａにグラウンド電位を印加することにより、人間が指でセンサ電極ｂ１に接触したことと同じ効果が得られる。反対に、制御回路３０がタッチプローブ２ａをグランウンド電位から切断することにより、人間が指でセンサ電極ｂ１に接触していないことと同じ効果が得られる。このように、制御工程を実行することにより、各センサ電極ｂ１〜ｂ１０と各タッチプローブ２ａ〜２ｊとの接触状態を制御すれば、電気的な接続／切断状態を瞬時に実現し得る。その結果、要望に応じたより細かな検査を実行することができる。
【００４９】
〔別実施形態〕
＜１＞上記実施形態では、制御手段３０をプログラマブルロジックデバイス（ＦＰＧＡ）で構成し、ＦＰＧＡは各タッチプローブ２ａ〜２ｊ又はタッチプローブ５ａ〜５ｊを個別にグラウンドに接続／切断するスイッチの機能を有するよう設計しているが、ＦＰＧＡを検査部３に対して任意の電圧を印加するデバイスとして構成することも可能である。この場合、印加電圧として、パルス電圧やＤＣ電圧等を採用することができるため、より広範且つ詳細な検査を行うことが可能となる。
【００５０】
＜２＞本発明の静電容量式タッチパネルの検査装置、及び検査方法は、静電容量式タッチパネルの検査に好適に適用し得るものであるが、静電容量の変化を利用する他の電子機器の検査においても利用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明の静電容量式タッチパネルの検査装置、及び検査方法は、例えば、銀行ＡＴＭ、携帯型情報端末、カーナビゲーションシステム、複合機等の電子機器の入力装置の検査において利用可能である。
【符号の説明】
【００５２】
１      絶縁部
２      タッチプローブ
３      検査部
４      ストッパー
５      タッチプローブ
３０    制御部
５０    静電容量式タッチパネル
１００  静電容量式タッチパネルの検査装置
２００  静電容量式タッチパネルの検査装置
【図１】
2011090358.tif 000003
【図２】
2011090358.tif 000004
【図３】
2011090358.tif 000005