(57)【要約】【課題】ＡＣＦ貼付装置を別途備えずに装置全体の長さを画期的に短縮しかつ投資額を低減して投資効率を向上させる。【解決手段】ＡＣＦ１２６を切断するＡＣＦ切断部２１０と、ＡＣＦが貼り付けられたＴＣＰ１３０が吸着プレートから離脱しないようにすると共に、ＡＣＦをベースフィルム１４０から剥離するＡＣＦ剥離部２２０と、ＴＣＰを供給するＴＣＰ供給部２３０と、ＡＣＦを貼り付けるためにＴＣＰを供給する際に誤差を最小限に抑えるＡＣＦ貼付補正部２５０と、撮像素子２６４により、ＴＣＰのパンチングサイズを測定し、ＴＣＰに形成された整列キーの位置を確認するＡＣＦ貼付前検査部２６０と、撮像素子２７４により、ＡＣＦをＴＣＰに貼り付けた後、ＡＣＦの貼付有無及び整列キーの位置を確認するＡＣＦ貼付後検査部２７０と、ＡＣＦが貼り付けられたＴＣＰを真空吸着し、回転しながら下部基板のパッド端子に供給するインデックス部２９０とを含む。【選択図】図１
2011138128.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を切断するＡＣＦ切断部と、
前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）が貼り付けられたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）が吸着プレートから離脱しないようにすると共に、ベースフィルムから前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を剥離するＡＣＦ剥離部と、
前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を供給するＴＣＰ供給部と、
前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を貼り付けるために前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を供給する際に誤差を最小限に抑えるＡＣＦ貼付補正部と、
撮像素子により、前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）のパンチングサイズを測定し、前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）に形成された整列キー（アラインキー）の位置を確認するＡＣＦ貼付前検査部と、
前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）に貼り付けた後、撮像素子により、前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）の貼付有無及び整列キーの位置を確認するＡＣＦ貼付後検査部と、
前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）が貼り付けられたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を真空吸着し、回転しながら前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を下部基板のパッド端子に供給するインデックス部と
を含む液晶表示装置の製造装置。
【請求項２】
前記ＡＣＦ切断部は、
前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を切断するために移動するカッターと、
前記カッターと平行に位置するヒンジを中心に回転し、前記カッターにより当接するボードと
を含む
ことを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項３】
前記ＡＣＦ剥離部は、
前記ベースフィルムへ前進または後進する前後進部と、
前記前後進部により前進または後進し、前記ベースフィルムから前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を剥離するセパレータと
を含む
ことを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項４】
前記ＴＣＰ供給部は、
前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を定められた長さで把持するＴＣＰ供給グリッパと、
前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を供給するＴＣＰ供給アクチュエータと
を含む
ことを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項５】
前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）に貼り付けて一定の圧力で加圧するツールチップを備える貼付ツール部をさらに含む
ことを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項６】
前記ＡＣＦ貼付前検査部の撮像素子は、
前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）のパンチングサイズの測定及び整列マークの位置確認のためのものである
ことを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項７】
前記ＡＣＦ貼付前検査部の撮像素子は、
誤差を補正するために必要な前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）の縁部／整列マークを認識するためのものである
ことを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項８】
上部基板、下部基板、及び前記上部基板と前記下部基板との間に形成された液晶層から構成された液晶パネルを準備する段階と、
ベースフィルム上に貼り付けられた異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を切断する段階と、
前記液晶パネルの駆動装置を備えたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を供給する段階と、
前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）上に前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を貼り付ける段階と、
前記ベースフィルムから前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を剥離する段階と、
前記下部基板上に前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）が貼り付けられたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を貼り付ける段階と
を含むＴＣＰ整列装置を用いた液晶表示装置の製造方法。
【請求項９】
撮像素子により、前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）のパンチングサイズを測定し、前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）上の整列マークの位置を確認する段階と、
前記測定工程の結果に応じて、前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）に対する整列マークの位置を調整する段階と
をさらに含む
ことを特徴とする請求項８に記載のＴＣＰ整列装置を用いた液晶表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）上に前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を貼り付けた後、前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）の貼付位置を測定し、整列マークの位置を確認する段階をさらに含む
ことを特徴とする請求項９に記載のＴＣＰ整列装置を用いた液晶表示装置の製造方法。
【請求項１１】
前記下部基板上に前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）が貼り付けられたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を貼り付ける段階は、
前記下部基板側に前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）が貼り付けられたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を移動させる段階を含む
ことを特徴とする請求項８に記載のＴＣＰ整列装置を用いた液晶表示装置の製造方法。
【請求項１２】
前記下部基板側に前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）が貼り付けられたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を移動させる段階は、
吸着装置により前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）が貼り付けられたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を吸着する段階を含む
ことを特徴とする請求項１１に記載のＴＣＰ整列装置を用いた液晶表示装置の製造方法。
【請求項１３】
請求項１の装置を用いた液晶表示装置の製造方法であって、
上部基板、下部基板、及び前記上部基板と前記下部基板との間に形成された液晶層から構成された液晶パネルを準備する段階と、
ベースフィルム上に貼り付けられた異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を切断する段階と、
前記液晶パネルの駆動装置を備えたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を供給する段階と、
前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）上に前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を貼り付ける段階と、
前記ベースフィルムから前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を剥離する段階と、
前記下部基板上に前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）が貼り付けられたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を貼り付ける段階と
を含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項１４】
前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）上に前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を貼り付ける前に、撮像素子により、前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）のパンチングサイズを測定し、前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）上の整列マークの位置を確認する段階と、
前記測定工程の結果に応じて、前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）に対する整列マークの位置を調整する段階と
をさらに含む
ことを特徴とする請求項１３に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１５】
前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）上に前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を貼り付けた後、前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）の貼付位置を測定し、整列マークの位置を確認する段階をさらに含む
ことを特徴とする請求項１４に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１６】
前記下部基板上に前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）が貼り付けられたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を貼り付ける段階は、
前記下部基板側に前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）が貼り付けられたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を移動させる段階を含む
ことを特徴とする請求項１３に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項１７】
前記下部基板側に前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）が貼り付けられたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を移動させる段階は、
吸着装置により前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）が貼り付けられたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を吸着する段階を含む
ことを特徴とする請求項１６に記載の液晶表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置（Liquid Crystal Display; LCD）に関し、特に、液晶パネルとその駆動回路が実装されたプリント基板とを電気的に接続するための液晶表示装置製造用テープキャリアパッケージ（Tape Carrier Package; TCP）整列装置、並びにこれを用いた液晶表示装置の製造装置及び製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶表示装置には、光学的異方性と分極特性を有する液晶層を介して１対の基板が貼り合わせられて構成される液晶パネルが必ず備えられ、前記液晶パネルを構成する１対の基板の互いに対向する面にはそれぞれ電界生成電極が形成されるが、これらの間の電場を変化させることで液晶分子の配列方向を人為的に調節し、このときに変化する光の透過率で様々な画像を外部に表示する。
【０００３】
このような液晶パネルには、走査信号の出力のためのゲート駆動回路と画像信号の出力のためのデータ駆動回路がそれぞれ実装されたプリント基板が、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）で接続される。
【０００４】
図１２は、一般的な液晶パネルを概略的に示す斜視図である。図１２に示すように、一般的な液晶パネル１０は、下部のアレイ基板１２と上部の上部基板１８が液晶層（図示せず）を介して対向して貼り合わせられており、その縁部に沿ってゲート駆動回路及びデータ駆動回路が実装された１つ以上のプリント基板２０が複数のテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）３０で接続されている。
【０００５】
以下、図１２のＡ部を拡大して示す図１３を参照してより詳細に説明する。通常の液晶パネル１０は、アレイ基板１２の面積が上部基板１８の面積より大きいため、アレイ基板１２の隣接する２つの縁部が上部基板１８の外側に露出し、ここにはそれぞれゲートライン又はデータラインから引き出された複数の第１パッド１６が配列されている。ここで、複数の第１パッド１６は均一な微細間隔で配列されている。
【０００６】
また、プリント基板２０の少なくとも１つの縁部に沿っては、走査信号または画像信号の出力のための複数の第２パッド２２が配列されているが、複数の第２パッド２２も均一な微細間隔で配列されている。
【０００７】
さらに、これらを接続するためのＴＣＰ３０の両端縁部には、第１及び第２パッド１６、２２と１対１で対応する複数の第１及び第２接触パッド３２、３４が同じ微細間隔で配列されている。すなわち、図示のように、ＴＣＰ３０の両端縁部に形成された第１及び第２接触パッド３２、３４は、それぞれ液晶パネル１０の第１パッド１６及びプリント基板２０の第２パッド２２に１対１で対応して接続される。
【０００８】
このように、ＴＣＰ３０の第１及び第２接触パッド３２、３４と液晶パネル１０の第１パッド１６及びプリント基板２０の第２パッド２２とを１対１で対応して接続する工程を、通常ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）という。
【０００９】
図１４は、図１２のIII−III線断面図である。図１４に示すように、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）３０の一縁部の第１接触パッド３２をアレイ基板１２の一縁部の第１パッド１６と対面して重ね合わせた状態でその間に異方性導電フィルム（Anisotropic Conductive Film; ACF）２６を介在し、その後、所定のヒートツール４５でＴＣＰ３０の縁部の外面に沿って押してヒートツール４５をスライドさせることにより熱及び圧力を加えて、アレイ基板１２の第１パッド１６とＴＣＰ３０の第１接触パッド３２を接続する。
【００１０】
図示していないが、プリント基板２０の第２パッド２２とＴＣＰ３０の第２接触パッド３４の接続も同様に行われる。
【００１１】
ここで、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）２６は、熱硬化性樹脂内に導電性物質の粒子を分散含有させたテープ状のものであって、熱及び圧力により樹脂部分が硬化すると共に内部の導電性物質の粒子が上下に押されて第１パッド１６と第１接触パッド３２をそれぞれ１対１で対応するように接続させる。
【００１２】
このようなＴＡＢ方式は、ＣＯＧ方式より多く用いられている。前記ＣＯＧ方式は、パネルの有効面積を広げることができ、比較的工程が単純であり、駆動回路を基板上に直接実装する方式であるので構造が簡単であるという利点があるが、液晶パネルが高解像度化するにつれて駆動回路の基板への取り付けが容易でないという問題を有するからである。
【００１３】
以下、このようなＴＡＢ方式を用いる従来のＴＣＰ整列装置について図１５及び図１６を参照して概略的に説明する。図１５は、従来のＴＣＰ整列装置を用いたＴＣＰ整列工程を説明するための工程フロー図である。また、図１６は、従来のＴＣＰ整列装置を用いたＴＣＰ整列工程において、ＡＣＦの貼り付けとＴＣＰの供給が異なる装置を用いて個別に行われることを概略的に示す平面図である。
【００１４】
図１５に示すように、従来のＴＣＰ整列装置を用いたＴＣＰ整列工程では、第１ステップ（Ｓ１０）として、アレイ基板１２の一縁部の第１パッド（図示せず）上にＡＣＦ貼付装置（図示せず）を用いてＡＣＦ２６を交差するように貼り付ける。
【００１５】
次に、第２ステップ（Ｓ１２）として、ＴＣＰ３０の一縁部の第１接触パッド（図示せず）をアレイ基板１２の一縁部の前記第１パッドと対面して重ね合わせる。
【００１６】
次に、第３ステップ（Ｓ１４）及び第４ステップ（Ｓ１６）として、所定のヒートツール（図示せず）を用いてＴＣＰ３０の縁部の外面に沿って押して前記ヒートツールをスライドさせることにより熱及び圧力を加えて、アレイ基板１２の第１パッドとＴＣＰ３０の第１接触パッドを接続する。このとき、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）２６は、熱硬化性樹脂内に導電性物質の粒子を分散含有させたテープ状のものであって、熱及び圧力により樹脂部分が硬化すると共に内部の導電性物質の粒子が上下に押されて前記第１パッドと前記第１接触パッドをそれぞれ１対１で対応するように接続させる。
【００１７】
次に、第５ステップ（Ｓ１８）として、ＴＡＢ工程でＡＣＦ２６とＴＣＰ３０が接触して液晶パネル１０の第１パッドとＴＣＰ３０の第１接触パッドが正しく接触しているかを誤整列検査装置（図示せず）により検査する。
【００１８】
しかし、従来のＴＡＢ方式を用いたＴＣＰ整列装置には、次のような問題があった。従来のＴＡＢ方式を用いたＴＣＰ整列装置は、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を貼り付ける装置に加えて、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を供給してＴＡＢを行う装置をさらに必要とする。特に、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を液晶パネルに貼り付けるための装置が別途に構成されているが、この装置はＴＣＰ整列装置全体の長さの約３０％以上を占める。
【００１９】
また、従来のＴＣＰ整列装置のＡＣＦ貼付装置は、ＴＣＰ整列装置の全体コストの約３０％を占めるため、製造コストを増加させる一要因となる。
【００２０】
さらに、従来のＴＣＰ整列装置のＡＣＦ貼付装置とＴＣＰ貼付装置とが分離されており、レイアウトの増加及び投資額の増加を伴う。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２１】
本発明は、このような従来技術の諸問題を解決するためになされたものであり、ＡＣＦ貼付装置を別途備えずに、装置全体の長さを画期的に短縮し、かつ投資額を低減して投資効率を向上させることのできる、液晶表示装置の製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
上記の目的を達成するための本発明による液晶表示装置の製造装置は、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を切断するＡＣＦ切断部と、前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）が貼り付けられたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）が吸着プレートから離脱しないようにすると共に、ベースフィルムから前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を剥離するＡＣＦ剥離部と、前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を供給するＴＣＰ供給部と、前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を貼り付けるために前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を供給する際に誤差を最小限に抑えるＡＣＦ貼付補正部と、撮像素子により、前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）のパンチングサイズを測定し、前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）に形成された整列キー（アラインキー）の位置を確認するＡＣＦ貼付前検査部と、前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）に貼り付けた後、撮像素子により、前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）の貼付有無及び整列キーの位置を確認するＡＣＦ貼付後検査部と、前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）が貼り付けられたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を真空吸着し、回転しながら前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を下部基板のパッド端子に供給するインデックス部とを含むことを特徴とする。
【００２３】
また、本発明による液晶表示装置の製造方法は、上部基板、下部基板、及び前記上部基板と前記下部基板との間に形成された液晶層から構成された液晶パネルを準備する段階と、ベースフィルム上に貼り付けられた異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を切断する段階と、前記液晶パネルの駆動装置を備えたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を供給する段階と、前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）上に前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を貼り付ける段階と、前記ベースフィルムから前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を剥離する段階と、前記下部基板上に前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）が貼り付けられたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を貼り付ける段階とを含むことを特徴とする。
【００２４】
さらに、本発明による液晶表示装置の製造方法は、上部基板、下部基板、及び前記上部基板と前記下部基板との間に形成された液晶層から構成された液晶パネルを準備する段階と、ベースフィルム上に貼り付けられた異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を切断する段階と、前記液晶パネルの駆動装置を備えたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を供給する段階と、前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）上に前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を貼り付ける段階と、前記ベースフィルムから前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を剥離する段階と、前記下部基板上に前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）が貼り付けられたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を貼り付ける段階とを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、次のような効果がある。
【００２６】
本発明による液晶表示装置の製造装置及び製造方法は、ＴＣＰ整列装置の全長の１／５を占めるＡＣＦ貼付装置を別途構成せずにプレＴＣＰ貼付装置に統合し、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を液晶パネルに直接貼り付けることにより、装置の長さを画期的に短縮することができる。
【００２７】
よって、本発明による液晶表示装置の製造装置及び製造方法は、ＡＣＦ貼付装置を別途構成せずにＡＣＦ貼付機能をプレＴＣＰ貼付装置に統合し、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を液晶パネルに直接貼り付けることにより、装置の長さを画期的に短縮することができ、投資することなく液晶表示装置モジュール工程時のクリーンルームを他の用途に活用することができる。
【００２８】
また、本発明による液晶表示装置の製造装置及び製造方法は、ヒンジを適用した自律回転タイプの自動補正構造を適用することにより、品質とセッティングの容易性を確保することができる。すなわち、ＡＣＦ貼付時に補正構造を適用することにより、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）に異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を精密に貼り付けることができる。
【００２９】
また、本発明による液晶表示装置の製造装置及び製造方法は、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）が貼り付けられるテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）に整列キーが形成されており、撮像素子により前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）に形成された整列キーに対応して正確に整列することができる。
【００３０】
さらに、本発明による液晶表示装置の製造装置及び製造方法は、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）が切断された状態を確認することでＡＣＦの貼り付け精度を確認することができ、撮像素子によりＡＣＦの貼付有無を容易に検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明による液晶表示装置の製造装置を概略的に示す概略図である。
【図２】本発明による液晶表示装置の製造装置のＡＣＦ切断部を示す概略図である。
【図３】本発明による液晶表示装置の製造装置のＡＣＦ剥離部を示す概略図である。
【図４】本発明による液晶表示装置の製造装置のＡＣＦ供給及び貼付部を示す概略図である。
【図５】本発明による液晶表示装置の製造装置の貼付ツール部を示す概略図である。
【図６】本発明による液晶表示装置の製造装置のＡＣＦ貼付補正部を示す概略図である。
【図７】本発明による液晶表示装置の製造装置のＡＣＦ貼付前検査部を示す概略図である。
【図８】本発明による液晶表示装置の製造装置のＡＣＦ貼付後検査部を示す概略図である。
【図９】本発明による液晶表示装置の製造装置のＡＣＦ貼付前／後検査用カメラ及びインデックス部を示す概略図である。
【図１０】本発明による液晶表示装置の製造装置のＴＣＰ整列工程を説明するための整列工程フロー図である。
【図１１】本発明による液晶表示装置の製造装置のＴＣＰ整列工程におけるＡＣＦが貼り付けられたＴＣＰのパネルへの貼り付けを概略的に示す平面図である。
【図１２】一般的な液晶パネルを概略的に示す斜視図である。
【図１３】図１２のＡ部の拡大斜視図である。
【図１４】図１２のIII−III線断面図である。
【図１５】従来のＴＣＰ整列装置を用いたＴＣＰ整列工程を説明するための工程フロー図である。
【図１６】従来のＴＣＰ整列装置を用いたＴＣＰ整列工程において、ＡＣＦの貼り付けとＴＣＰの供給が異なる装置を用いて個別に行われることを概略的に示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明による液晶表示装置の製造装置について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００３３】
図１は、本発明による液晶表示装置の製造装置を概略的に示す概略図である。本発明による液晶表示装置の製造装置であるＴＣＰ整列装置２００は、図１に示すように、ＡＣＦ切断部２１０、ＡＣＦ剥離部２２０、ＡＣＦ供給及び貼付部２３０、貼付ツール部２４０、ＡＣＦ貼付補正部２５０、ＡＣＦ貼付前検査部２６０（図７参照）、ＡＣＦ貼付後検査部２７０（図８参照）、インデックス部２９０（図９参照）を含む。
【００３４】
ここで、ＡＣＦ切断部２１０は、ヒンジを適用した自律回転タイプの自動補正構造を適用することにより、品質とセッティングの信頼性を確保する役割を果たす。
【００３５】
また、ＡＣＦ剥離部２２０は、セパレータタイプの剥離装置であって、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）が貼り付けられたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）が吸着プレート（図示せず）から離脱しないようにする。
【００３６】
また、ＡＣＦ供給及び貼付部２３０及び貼付ツール部２４０は、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を精密に貼り付けるためにテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を供給する際に誤差を最小限に抑えることのできる構造を適用する。
【００３７】
また、ＡＣＦ貼付補正部２５０は、ＴＣＰのパンチング精度、ＴＣＰのセンタリング精度の変化時にＡＣＦ供給及び貼付部２３０を誤差分だけ移動させることにより、精密な貼り付け精度が維持されるようにする。
【００３８】
また、ＡＣＦ貼付前検査部２６０は、撮像素子、例えばカメラを備えており、このカメラによりＴＣＰのパンチングサイズの測定及び整列キー（アラインキー）の位置確認を行い、その情報をＡＣＦ貼付補正部２５０に送る。
【００３９】
また、ＡＣＦ貼付後検査部２７０は、撮像素子、例えばカメラを備えており、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）をテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）に貼り付けた後、このカメラにより前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）の貼付有無及び整列キーの位置を確認する。
【００４０】
また、インデックス部２９０は、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を真空吸着し、約６０゜ずつ回転してテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を下部基板のパッド端子に供給する。
【００４１】
図２は、本発明による液晶表示装置製造用ＴＣＰ整列装置のＡＣＦ切断部を示す概略図である。本発明によるＡＣＦ切断部２１０は、図２に示すように、ヒンジを適用した自律回転タイプの自動補正構造を適用することにより、品質とセッティングの信頼性を確保する。
【００４２】
従来はセッティングジグを基準にカッターをセッティングしていたが、前後進部に取り付けた後に異方性導電フィルム（ＡＣＦ）が切断されなかったり、必要以上に切断されたりするなどの品質問題が発生していた。
【００４３】
このような問題を改善するために、本発明においては、セッティングジグを基準にカッターをセッティングするのは従来の方式と変わらないが、ボード部の構造を図２のように変更する。すなわち、ベースフィルム（図示せず；図３の１４０参照）上の異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を切断するために、ジグ２１２が前進してボード２１４に当接すると、瞬間的にボード２１４がヒンジ２１６を中心に傾けられカッター２１８と平行状態を維持する。
【００４４】
ＡＣＦを切断するカッター２１８の刃先との平行度に応じてＡＣＦを支えているボード２１４を微細に回転させることにより、刃とＡＣＦが平行となるようにする。すなわち、ＡＣＦを切断するカッター２１８がＡＣＦの載置されたボード２１４に前進する動作中にカッター２１８とボード２１４が平行になっている場合にＡＣＦが均一に切断されるため、カッター２１８とボード２１４が平行でない状態で固定されている場合は、カッター２１８を固定するジグ２１２がヒンジ２１６を中心に回転可能なボード２１４に当接することにより、ボード２１４がジグ２１２面に接触した状態で平行度を調整する。従って、従来は数回にわたって繰り返さなければならなかった切断のセッティングを、本発明においては１回で完了することができる。
【００４５】
図３は、本発明による液晶表示装置製造用ＴＣＰ整列装置のＡＣＦ剥離部を示す概略図である。本発明による液晶表示装置製造用ＴＣＰ整列装置のＡＣＦ剥離部２２０は、図３に示すように、前後進部２２４により前進または後進して、セパレータ２２６を用いてベースフィルム１４０から異方性導電フィルム（ＡＣＦ）１２６を剥離する剥離装置であって、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）１２６が貼り付けられたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）１３０が吸着プレート（図示せず）から離脱しないようにする。
【００４６】
すなわち、ＴＣＰにベースフィルム上のＡＣＦが共に貼り付けられた後に前記ベースフィルムからＡＣＦを剥離する工程が必要である。このとき、前記ベースフィルムからＡＣＦを剥離するとＴＣＰが共に外れる（これは、ＡＣＦとベースフィルム間の粘着力の方がＴＣＰを吸着している設備の吸着力より強いからである。）が、このような現象を防止するために、小さい板で吸着している方向にＴＣＰを押している（図示せず）。
【００４７】
従来は、ローラタイプの剥離部によりＡＣＦとベースフィルムを分離していたが、本発明においては、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）１３０に異方性導電フィルム（ＡＣＦ）１２６を直接精密に貼り付ける方式を適用することにより、ローラタイプの剥離部によっては剥離の瞬間に発生するテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）に垂直に作用する力により真空吸着しているテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）１３０が離脱することがあるため、セパレータタイプの剥離装置が適用される。
【００４８】
また、セパレータ２２６の端部は、とがった形状に加工されており、半径Ｒが約０．２〜３ｍｍとなるようにラウンド処理されている。
【００４９】
従って、本発明によるＡＣＦ剥離部の鋭さ及び角度を変更することにより、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）１３０の垂直方向に加わる力を調節できるという効果がある。
【００５０】
図４は、本発明による液晶表示装置製造用ＴＣＰ整列装置のＡＣＦ供給及び貼付部を示す概略図である。また、図５は、本発明による液晶表示装置製造用ＴＣＰ整列装置の貼付ツール部を示す概略図である。
【００５１】
本発明によるＡＣＦ供給及び貼付部２３０は、図４に示すように、ＡＣＦ供給アクチュエータ２３２及びＡＣＦ供給グリッパ２３４を含むが、ＡＣＦ供給アクチュエータ２３２により異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を供給し、ＡＣＦ供給グリッパ２３４によるテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）との貼り付け精度を考慮して異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を一定の長さだけ供給する。
【００５２】
また、ＴＣＰ整列装置の貼付ツール部２４０は、図５に示すように、ツールチップ（tool tip）２４２を備えているが、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）をテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）に貼り付けて一定の圧力で加圧する役割を果たす。
【００５３】
図６は、本発明による液晶表示装置製造用ＴＣＰ整列装置のＡＣＦ貼付補正部を示す概略図である。
【００５４】
本発明による液晶表示装置製造用ＴＣＰ整列装置のＡＣＦ貼付補正部２５０は、図６に示すように、ＴＣＰのパンチング精度、ＴＣＰのセンタリング精度の変化時にＡＣＦ供給及び貼付部２３０を誤差分だけ移動させることにより、精密な貼り付け精度が維持されるようにする。
【００５５】
図６において、符号２５２はサーボモータであり、２５４及び２５８はＬＭモータであって、精密に直線運動をガイドするＬＭレール上のブロックを示す。また、２５６はナットである。
【００５６】
従来は、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を液晶パネルに貼り付ける場合に貼り付け精度が±２００μｍレベルで別途の補正装置を必要としなかったが、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）をテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）に直接貼り付ける本発明の場合は、貼り付け精度が±１００μｍレベルでＹ軸に別途の補正装置を必要とする。ここで、Ｙ軸はＡＣＦの幅方向（例えば、１〜２ｍｍ）を示し、このＹ軸と直角となる方向、すなわちＡＣＦが繰り出される方向をＸ軸とする。
【００５７】
また、本発明においては、ＡＣＦを貼り付ける前に、撮像素子であるカメラによりテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）の縁部／整列マークを認識してサイズ及び吸着位置を確認し、ＡＣＦの位置を補正する。
【００５８】
従って、ＴＣＰのパンチング精度、ＴＣＰの供給精度による貼り付け精度の異常を事前に認知して補正することにより、スペックを満たす。
【００５９】
図７及び図８は、本発明による液晶表示装置製造用ＴＣＰ整列装置のＡＣＦ貼付前／後検査部を示す概略図である。
【００６０】
図９は、本発明による液晶表示装置製造用ＴＣＰ整列装置のＡＣＦ貼付前／後検査用カメラ及びインデックス部を示す概略図である。
【００６１】
本発明による液晶表示装置製造用ＴＣＰ整列装置のＡＣＦ貼付前検査部２６０は、図７に示すように、撮像素子であるカメラ２６４によりＴＣＰのパンチングサイズの測定及び整列キーの位置確認を行い、その情報をＡＣＦ貼付補正部に送る。
【００６２】
また、本発明による液晶表示装置製造用ＴＣＰ整列装置のＡＣＦ貼付後検査部２７０は、図８及び図９に示すように、カメラ２７４によりＡＣＦの貼付有無と共に整列キーの位置を確認する。
【００６３】
さらに、本発明によるＡＣＦ貼付後検査部２７０は、カメラ２７４により、ＡＣＦの貼り付け精度を±１００μｍ以内に実現するために、Ｙ軸方向の誤差補正に必要なＴＣＰの縁部／整列マークを認識する。ここで、Ｙ軸はＡＣＦの幅方向（例えば、１〜２ｍｍ）を示し、このＹ軸と直角となる方向、すなわちＡＣＦが繰り出される方向をＸ軸とする。
【００６４】
本発明によるＡＣＦ貼付前検査部２６０は、ＡＣＦを貼り付ける前に、カメラ２６４によりＴＣＰの縁部／整列マークを認識してサイズ及び吸着位置を確認し、ＡＣＦの位置を補正する。ここで、符号２６２はサーボモータであり、２７２はシリンダである。
【００６５】
従って、本発明によるＡＣＦ貼付前後検査部２６０、２７０のカメラ２６４、２７４により、ＡＣＦの貼り付け精度を向上させることができ、ＡＣＦ貼付の良否判定が容易であり、不良ＴＣＰを選別することができる。
【００６６】
本発明によるインデックス部２９０は、図９に示すように、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）が貼り付けられたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を真空吸着し、約６０゜ずつ回転してテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を液晶パネルの下部基板に設けられたパッド端子に供給する。
【００６７】
以下、このように構成される本発明による液晶表示装置の製造装置を用いた液晶表示装置の製造方法について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００６８】
図１０は、本発明による液晶表示装置製造用ＴＣＰ整列装置を用いたＴＣＰ整列工程を説明するための整列工程フロー図である。また、図１１は、本発明による液晶表示装置製造用ＴＣＰ整列装置を用いたＴＣＰ整列工程におけるＡＣＦが貼り付けられたＴＣＰのパネルへの貼り付けを概略的に示す平面図である。
【００６９】
まず、図示していないが、下部基板１０２上に、複数の薄膜トランジスタと、前記各薄膜トランジスタに信号を供給するためのパッド端子を形成する。
【００７０】
次に、図示していないが、上部基板１０８上に、光を遮断するブラックマトリクスと、光が透過して画像が実現されるカラーフィルタを形成する。
【００７１】
次に、下部基板１０２と上部基板１０８との間に液晶（図示せず）が含まれるように下部基板１０２と上部基板１０８を貼り合わせることにより、図１１に示す液晶パネル１００を製造する。
【００７２】
次に、図１０及び図１１に示すように、液晶パネル１００の駆動素子が取り付けられ、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）１２６の貼り付けを補助するための整列マーク（図示せず）が形成されたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）１３０を供給する。
【００７３】
次に、カメラ（図示せず）により、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）１３０上に前記整列マークに対応するように異方性導電フィルム（ＡＣＦ）１２６を整列し、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）１２６をテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）１３０上に貼り付ける。このとき、図７に示すＡＣＦ貼付前検査部２６０を用いて、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）１３０のパンチングサイズの測定及び整列キーの位置確認を行い、その情報を図６に示すＡＣＦ貼付補正部２５０に送る。つまり、ＡＣＦ貼付前検査部２６０に備えられたカメラ２６４によりテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）１３０のパンチングサイズを測定すると共に整列キーの位置を確認する。誤整列が発生した場合、ＡＣＦを貼り付ける前に、カメラ２６４によりＴＣＰ１３０の縁部／整列マークを認識してサイズ及び吸着位置を確認し、ＡＣＦの位置を補正する。ここで、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）１３０上に貼り付けられた異方性導電フィルム（ＡＣＦ）１２６の幅は、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）１３０の幅より狭いことが好ましい。
【００７４】
次に、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）１２６をテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）１３０に貼り付けた後、図８に示すＡＣＦ貼付後検査部２７０に備えられたカメラ２７４により、ＡＣＦの貼り付け精度を±１００μｍ以内に実現するために、Ｙ軸方向の誤差補正に必要なＴＣＰの縁部／整列マークを認識する。
【００７５】
従って、本発明によるＡＣＦ貼付前後検査部２６０、２７０のカメラ２６４、２７４により、ＡＣＦの貼り付け精度を向上させることができ、ＡＣＦ貼付の良否判定が容易であり、不良ＴＣＰを選別することができる。
【００７６】
次に、このようにして異方性導電フィルム（ＡＣＦ）１２６が貼り付けられたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）１３０を下部基板１０２のパッド端子（図示せず）に接着する。このとき、図９に示すインデックス部２９０により、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）１２６が貼り付けられたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）１３０を真空吸着し、約６０゜ずつ回転してテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）１３０を下部基板１０２の前記パッド端子に供給する（Ｓ１１０）。
【００７７】
次に、所定のヒートツール（図示せず）でテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）１３０の縁部の外面に沿って押して前記ヒートツールをスライドさせることにより熱及び圧力を加えて（Ｓ１１２、Ｓ１１４）、下部基板１０２の前記パッド端子とテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）１３０の接触パッド（図示せず）を接続する。ここで、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）１２６は、熱硬化性樹脂内に導電性物質の粒子を分散含有させたテープ状のものであって、熱及び圧力により樹脂部分が硬化すると共に内部の導電性物質の粒子が上下に押されて下部基板１０２の前記パッド端子とテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）１３０の前記接触パッドをそれぞれ１対１で対応するように接続させる。
【００７８】
次に、ＴＡＢ工程で異方性導電フィルム（ＡＣＦ）１２６が貼り付けられたテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）１３０を、誤整列検査装置（図示せず）により、液晶パネル１００の前記パッド端子とテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）１３０の前記接触パッドが正しく接触しているか検査することにより（Ｓ１１６）、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）接着工程を完了する。
【００７９】
以上のように、本発明による液晶表示装置の製造装置及び製造方法は、ＴＣＰ整列装置の全長の１／５を占めるＡＣＦ貼付装置を別途に構成せずにプレＴＣＰ貼付装置に統合し、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を液晶パネルに直接貼り付けることにより、装置の長さを画期的に短縮することができる。
【００８０】
よって、本発明による液晶表示装置の製造装置及び製造方法は、ＡＣＦ貼付装置を別途に構成せずにＡＣＦ貼付機能をプレＴＣＰ貼付装置に統合し、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）を液晶パネルに直接貼り付けることにより、装置の長さを画期的に短縮することができ、投資することなく液晶表示装置モジュール工程時のクリーンルームを他の用途に活用することができる。
【００８１】
また、本発明による液晶表示装置の製造装置及び製造方法は、ＡＣＦ切断部にヒンジを適用した自律回転タイプの自動補正構造を適用することにより、品質とセッティングの容易性を確保することができる。すなわち、ＡＣＦ貼付時に補正構造を適用することにより、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）に異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を精密に貼り付けることができる。
【００８２】
さらに、本発明による液晶表示装置の製造装置及び製造方法は、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）が貼り付けられるテープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）に整列キーが形成されており、撮像素子により前記異方性導電フィルム（ＡＣＦ）を前記テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）に形成された整列キーに対応して正確に整列することができる。
【００８３】
さらに、本発明による液晶表示装置の製造装置及び製造方法は、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）が切断された状態を確認することでＡＣＦの貼り付け精度を確認することができ、撮像素子によりＡＣＦの貼付有無を容易に検査することができる。
【００８４】
以上、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明したが、本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば本発明の技術的思想や必須の特徴を変更することなく他の具体的な形態で実施することができることを理解するであろう。
【００８５】
よって、以上説明した実施形態は、本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が発明の技術上の意義を理解できるように提供されるものであるので、あくまで例示にすぎず、本発明がこれらに限定されるものでないことを理解すべきであり、本発明は、請求の範囲によってのみ定義されるものである。
【符号の説明】
【００８６】
１００  液晶パネル
１０２  下部基板
１０８  上部基板
１２６  異方性導電フィルム（ＡＣＦ）
１３０  テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）
２００  ＴＣＰ整列装置
２１０  ＡＣＦ切断部
２２０  ＡＣＦ剥離部
２３０  ＡＣＦ供給及び貼付部（ＴＣＰ供給部）
２４０  貼付ツール部
２５０  ＡＣＦ貼付補正部
２６０  ＡＣＦ貼付前検査部
２６４  カメラ
２７０  ＡＣＦ貼付後検査部
２７４  カメラ
２９０  インデックス部
【図１】
2011138128.tif 000003
【図２】
2011138128.tif 000004
【図３】
2011138128.tif 000005
【図４】
2011138128.tif 000006
【図５】
2011138128.tif 000007
【図６】
2011138128.tif 000008
【図７】
2011138128.tif 000009
【図８】
2011138128.tif 000010
【図９】
2011138128.tif 000011
【図１０】
2011138128.tif 000012
【図１１】
2011138128.tif 000013
【図１２】
2011138128.tif 000014
【図１３】
2011138128.tif 000015
【図１４】
2011138128.tif 000016
【図１５】
2011138128.tif 000017
【図１６】
2011138128.tif 000018