(57)【要約】      （修正有）【課題】石英ガラスルツボ内への異物侵入を、ルツボの実際の使用時期まで確実に回避し、汚染されない状態でのルツボの取り扱いを可能にし、多結晶シリコンやドーパント等を充填する工程において、内面が汚染されない状態での石英ガラスルツボの取り扱いを可能にし、更に、石英ガラスルツボ内にドーパント等を充填する工程を容易とする方法を提供する。【解決手段】椀状の底部１０１、及び、底部１０１から延在し、底部１０１から離間する側に開口した周壁部１０２からなる有底円筒状の石英ガラスルツボ１を密閉するための蓋３であって、石英ガラスルツボ１の蓋３は、石英ガラスルツボ１の周壁部１０２の開口側の縁部２に着脱自在であり、かつ、ドーパントをルツボ１内に挿入するための、開閉可能な挿入部７を具える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
椀状の底部、及び、該底部から延在し、該底部から離間する側に開口した周壁部からなる有底円筒状の石英ガラスルツボを密閉するための蓋であって、
該石英ガラスルツボの蓋は、該石英ガラスルツボの周壁部の開口側の縁部に着脱自在であり、かつ、ドーパントを該ルツボ内に挿入するための、開閉可能な挿入部を具えることを特徴とする石英ガラスルツボ用蓋。
【請求項２】
請求項１に記載の蓋において、前記挿入部は、前記蓋の内外を連通させる孔と、該孔上に貼着された着脱自在なシールであることを特徴とする石英ガラスルツボ用蓋。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の蓋において、識別子を有することを特徴とする石英ガラスルツボ用蓋。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の蓋において、該蓋の少なくとも一部が透明であることを特徴とする石英ガラスルツボ用蓋。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の蓋において、該挿入部の少なくとも一部が透明であることを特徴とする石英ガラスルツボ用蓋。
【請求項６】
単結晶シリコンを製造するに際し、石英ガラスルツボ内に多結晶シリコンを装入後、該多結晶シリコンの溶融を行うまでの待機期間は、請求項１〜５のいずれか一項に記載の蓋を、前記石英ガラスルツボの周壁部の開口側の縁部に装着することを特徴とする石英ガラスルツボの取り扱い方法。
【請求項７】
請求項６に記載の石英ガラスルツボの取り扱い方法において、前記待機期間後、前記多結晶シリコンを溶融する前に、前記挿入部を開放し、該挿入部を介してドーパントを充填してから、該挿入部を閉塞する工程を更に含むことを特徴とする石英ガラスルツボの取り扱い方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、石英ガラスルツボ、中でも単結晶シリコン製造の引上げ工程に使用する石英ガラスルツボに関し、特に製造された石英ガラスルツボの保管中、搬送中、多結晶シリコンの充填、ボロンやリン等のドーパント等の充填の際に該ルツボ内面への異物の侵入を回避する構造を与えるものである。また、石英ガラスルツボ内にドーパント等を充填する工程において、充填する作業を容易とする構造を与えるものである。
【背景技術】
【０００２】
単結晶シリコンを製造するに当って、その原料である多結晶シリコンの溶融に用いる、石英ガラスルツボは、その製造後、洗浄を経てから検査され、合格品は袋詰め等されて出荷されるのが一般的である。
ところで、半導体材料の高純度化に伴い、単結晶シリコンの製造中における各種汚染を抑えることが重要である。なぜなら、石英ガラスルツボ内が粉塵等により汚染されてしまうと、得られる単結晶シリコンにかかる汚染に起因した線状の結晶欠陥である転位が生じ、単結晶が得られないからである。そのことから、石英ガラスルツボの内部の汚染を最小限に抑え、クリーンな環境下にて石英ガラスルツボを使用して単結晶の引き上げを行うにあたり、その使用に先立ってルツボ内を超純水等で洗浄する等、汚染に対する細心の注意が払われている。そのため、まずは、製造したルツボの出荷から使用までの期間においても、粉塵等による汚染を防ぐことが重要である。なお、ここでいう「クリーンな環境」とは、米国のＦｅｄｅｒａｌ Ｓｔａｎｄａｒｄ ２０９Ｅに規定される、クラス１００００（０．０２８３ｍ３中に存在する、０．５ミクロンの粒子が１００００個以下）の条件下にある清浄度の極めて高い環境を言うものである。
【０００３】
汚染の原因となる粉塵等には、大気中を浮遊する粉塵や、回転モールド法により石英ガラスルツボを製造した際に、ルツボの外面に付着した原料粉である石英粉等が含まれる。回転モールド法は、石英ガラスルツボの製造方法として一般的なものであり、この製造方法は、回転モールドの内表面に堆積させた石英粉を、モールド空間側から過熱してガラス化することによってルツボを製造する方法であり、該加熱溶融の際にモールド側から石英粉堆積層内の空気を吸引して減圧し、ガラス層内の気泡を除去する真空引きを行うことによって、実質的に気泡を含有しない知りかガラス層からなる内壁部を形成している。このとき、ルツボのモールド側、すなわち外面側には、加熱溶融されなかった石英粉が残留することとなり、かかる石英粉がルツボ内面に入り込むことにより、汚染の原因となっていた。
【０００４】
また、近年は、単結晶シリコンの製造効率を高めるために石英ガラスルツボのサイズが次第に大きくなる傾向にあり、例えば、直径５０ｃｍ以上の大径のルツボは、相当な重量（直径５０ｃｍの場合は約８５ｋｇ）となることから、作業員一人では取扱いが容易ではなく、例えば、ルツボ製造後の検査や袋詰めなどの作業中にも汚染され易いという問題を有する。また、作業員の人数を増やした場合には、労力及びコストを要することとなり、生産性の観点から問題が生じる。
【０００５】
このような問題を解消するために、石英ガラスルツボの洗浄後に清浄な状態で石英ガラスルツボを機械的に包装することを所期して、洗浄された石英ガラスルツボを清浄状態で自動的にラッピングする装置が、特許文献１に提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−２１９２０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に記載された装置を用いてラッピングすることによって、洗浄された石英ガラスルツボを清浄状態に保管し、特に出荷時や運搬中における汚染を回避することが可能になったが、かかるラッピングには、高価な装置を必要とし、かつ、ラッピングを再利用することができないことから、ルツボ内の汚染の防止することに要するコストが莫大なものとなっていた。また、ラッピングを取り除いた後の工程、すなわち、ルツボ内へ単結晶シリコンを充填する工程や、その後のドーパント等を充填する工程において、ルツボ内に粉塵等の異物が混入し、ルツボ内が汚染され易いものとなっている。そのことから、安価にて石英ガラスルツボ内の汚染を回避するための方途の提供が希求されている。
【０００８】
そこで、本発明は、安価にて、石英ガラスルツボ内への異物侵入を、ルツボの実際の使用時期までと、実際の使用時において、確実に回避し、汚染されない状態でのルツボの取り扱いを可能にすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の要旨構成は、次のとおりである。
（１）椀状の底部、及び、該底部から延在し、該底部から離間する側に開口した周壁部からなる有底円筒状の石英ガラスルツボを密閉するための蓋であって、
該石英ガラスルツボの蓋は、該石英ガラスルツボの周壁部の開口側の縁部に着脱自在であり、かつ、ドーパントを該ルツボ内に挿入するための、開閉可能な挿入部を具えることを特徴とする石英ガラスルツボ用蓋。
【００１０】
（２）前記（１）に記載の蓋において、前記挿入部は、前記蓋の内外を連通させる孔と、該孔上に貼着された着脱自在なシールであることを特徴とする石英ガラスルツボ用蓋。
【００１１】
（３）前記（１）または（２）に記載の蓋において、識別子を有することを特徴とする石英ガラスルツボ用蓋。
【００１２】
（４）前記（１）、（２）または（３）に記載の蓋において、該蓋の少なくとも一部が透明であることを特徴とする石英ガラスルツボ用蓋。
【００１３】
（５）前記（１）から（４）のいずれかに記載の蓋において、前記挿入部の少なくとも一部が透明であることを特徴とする石英ガラスルツボ用蓋。
【００１４】
（６）単結晶シリコンを製造するに際し、石英ガラスルツボ内に多結晶シリコンを装入後、該多結晶シリコンの溶融を行うまでの待機期間は、前記（１）から（５）のいずれかに記載の蓋を、前記石英ガラスルツボの周壁部の開口側の縁部に装着することを特徴とする石英ガラスルツボの取り扱い方法。
【００１５】
（７）前記（６）に記載の石英ガラスルツボの取り扱い方法において、前記待機期間後、前記多結晶シリコンを溶融する前に、前記挿入部を開放し、該挿入部を介してドーパントを充填してから、該挿入部を閉塞する工程を更に含むことを特徴とする石英ガラスルツボの取り扱い方法。ここでいう「ドーパント」とは、半導体にドーピングされる不純物のことであり、かかるドーパントの多結晶シリコンへの注入により、N型半導体もしくはP型半導体の作成が可能とするものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、回転モールド法により得られた石英ガラスルツボの外面に付着した石英粉のルツボ内面への侵入、ひいては石英ガラスルツボ内への異物の侵入が確実に回避されるため、ルツボの出荷から多結晶シリコンの溶融工程までの期間にわたり、内面が汚染されない状態にて石英ガラスルツボを取り扱うことができる。また、多結晶シリコンやドーパント等を充填する工程において、内面が汚染されない状態にて石英ガラスルツボを取り扱うことができる。更に、ドーパント等を充填する工程において、充填する作業を容易とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】（ａ）及び（ｂ）は、本発明に従う蓋及びルツボを示す径方向断面図であり、（ｃ）は、（ａ）及び（ｂ）に示す蓋の斜視図であり、（ｄ）は、（ｃ）に示す蓋のシールを引き剥した状態を示す斜視図である。
【図２】本発明に従う別の蓋を示す斜視図である。
【図３】本発明に従う別の蓋を示す斜視図である。
【図４】本発明に従う別の蓋を示す斜視図である。
【図５】（ａ）及び（ｂ）は、本発明に従う別の蓋及びルツボの径方向断面図であり、（ｃ）は、（ａ）及び（ｂ）に示す蓋の斜視図である。
【図６】（ａ）及び（ｂ）は、本発明に従う別の蓋及びルツボの径方向断面図であり、（ｃ）は、（ａ）及び（ｂ）に示す蓋の斜視図である。
【図７】蓋を取り付けたルツボを単結晶の引上げ装置に装着した図である。
【図８】ルツボの取り扱いを示すフローチャートである。
【図９】ルツボの取り扱いを示す工程図である。
【図１０】ルツボの取り扱いを示す工程図である。
【図１１】（ａ）は、比較のための蓋及びルツボの径方向断面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示す蓋の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、本発明の蓋を装着した石英ガラスルツボについて、図面を参照して詳しく説明する。図１（ａ）に、本発明の蓋を装着前のルツボの径方向断面を示し、同図（ｂ）に蓋を装着後のルツボの径方向断面を示す。なお、ここでいう「ルツボの径方向断面」とは、ルツボの中心軸栓を通る任意の位置にて径方向に切断した断面を言うものである。
同図において、符号１は石英ガラス製のルツボ１（以下、単にルツボと示す）であり、符号１０１はルツボ１の椀状の底部１０１であり、符号１０２は、底部１０１から延在し、かかる底部１０１から離間する側に開口した周壁部１０２を示したものである。また、かかるルツボ１の周壁部１０２の開口側の縁部２に蓋３を装着する。この蓋３は、前記周壁部１０２の開口側の縁部２と相似の円盤状であり、ルツボ１の周壁部１０２の開口側の縁部２の外周端２ａと密着するフランジ部４を有する。すなわち、蓋３は、図１（ｂ）に示すように、フランジ部４が外周端２ａに密着することによってルツボ１の周壁部１０２の開口側の縁部２に取り付けられる。ここで、フランジ部４の径を、ルツボ１の外径と同等またはやや小さくすることが、周壁部１０２の開口側の縁部２を隙間なく塞ぐために好ましい。さらに、蓋３をＡＢＳ樹脂、ウレタン樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、塩ビ、アクリル樹脂、フッ素系樹脂、ポリカーボネイトなどの可撓性材から構成することによって、装着時に、蓋３を径方向外側に撓ませることによって、その復元力を利用してフランジ部４を外周端２ａに押し付け可能とすることが、蓋３の着脱を確実に行う上で好ましい。
【００１９】
かような構成の蓋３を、ルツボ１の周壁部１０２の開口側の縁部２に装着すると、蓋３が周壁部１０２の開口側の縁部２の外周端２ａ及び周端面２ｂに密着し、周壁部１０２の開口側の縁部２が確実に塞がれ、ルツボ１の外面に付着した石英粉や埃等が例えばラッピングに導かれて内部に案内されるような事態は未然に防がれるから、ルツボ内への異物の侵入を確実に回避できる。
【００２０】
また、蓋３には、蓋３の内外を連通する孔５が設けられており、かかる孔５上に孔５を開閉させるためのシール状の開閉部６が取り付けられており、孔５及びシール状の開閉部６により挿入部Ｓが構成されている。図１に示すシール６は、着脱自在であり、図１（ｃ）に示す取手部分６ａを起点に引き剥がすことにより、図１（ｄ）に示すように、孔５が露出して、蓋３の内外が連通することとなる。孔５が内外に連通することにより、蓋３を取り外すことなく、係る孔５を介して、ドーパント等をルツボ１内に充填することができる。蓋３を取り外す必要がなくなることから、ルツボ１内が汚染される危険性も有効に低減させることが可能となる。その後、開閉部６が着脱自在なシール状であることから、再度、孔５上に貼着して、孔５を塞ぐことにより、ルツボ１が密封され、ルツボ１内の汚染を防止することが可能となる。
一方、例えば、蓋３に上記した挿入部７を設けない場合には、多結晶シリコンを充填した後、追加してルツボ１内にドーパント等を充填する都度、蓋３を着脱する必要が生じ、係る着脱の作業は、複数名によらなければ実施することができないことから、生産性を低下させることとなってしまう。然るに、上記したように、孔５及び開閉部６からなる挿入部７を蓋３に設けることにより、蓋３を着脱することなく、ドーパント等をルツボ内に容易に充填することが可能となる。また、開閉部６を開閉して、孔５を介してドーパント等を充填する作業は、一人でも充分に実施し得ることから、生産性の低下を懸念がなくなる。
【００２１】
図２〜４は、この発明に従う別の蓋３Ａ、３Ｂ、３Ｃである。図２に示すように、蓋３Ａに、孔５上に円状スライド式の開閉部６Ａを取り付けた構成としたり、図３に示すように、蓋３Ｂに、孔５上に区形状のスライド式の開閉部６Ｂを取り付けた構成としたり、図４に示すように、蓋３Ｃに、孔５上に矩形円状折畳み式の開閉部６Ｃを取り付けた構成等を採用することも可能である。
【００２２】
また、図５に示すように、前記したフランジ部４をルツボ側に向かって２段階にわけて屈曲して径方向外側に延びる段差形状とすることも可能である。かかる屈曲している部分は、径方向内側にある第一の屈曲部４ａと、第一の屈曲部４ａに対し、径方向外側にある第二の屈曲部４ｂからなる。図５（ｂ）に示すように、かような構成の蓋３Ｄを、ルツボ１の周壁部１０２の開口側の縁部２に装着すると、蓋３Ｄが周壁部１０２の開口側の縁部２の外周端２ａ及び周端面２ｂに部分的に密着しつつも、周壁部１０２の開口側の縁部２が確実に塞がれ、かつ、蓋３Ｄがルツボ１に対し接触する面積が小さくなる。そうすることで、輸送時等に、振動によって仮に蓋３Ｄがルツボ１に対し移動し、両者の摩擦によりルツボ１及び／又は蓋３Ｄが摩耗して摩耗粉が生じることとなっても、蓋３Ｄとルツボ１とが接触している面積が小さいことから、そのことに比例して、発生する摩耗粉の量が減り、ルツボ１内への異物の侵入を更に有効に回避することが可能となる。
【００２３】
また、図５に示すが如く、蓋３Ｄを外側に突出した形状とすることにより、ルツボ内の空間３ａを大きく確保することが可能となり、後述する単結晶シリコンの製造時に多結晶シリコンを山盛りで装入する場合に有利である。かかる蓋３Ｄは、蓋３Ｄの上面８が、透明かつレンズ形状を有していることから、ルツボ１内に多結晶シリコンやドーパント等を装入し、蓋３Ｄをルツボ１に取り付けたとしても、製造時にルツボ１内の状態を詳細に知る上で極めて有効である。このとき、蓋３Ｄの上面８のレンズとしての機能を損なわせない観点から、ドーパントを充填するための孔５及び開閉部６は、同図の如く、蓋３の側面に設けることが好ましい。
【００２４】
あるいは、図６に示すように、蓋３Ｅを、外側に突出したカップ形状とし、かつ、その内面に蓋３Ｅの強化を目的としたビード９を設けることも可能である。かかるビード９は、ビード加工（ひも出し加工とも呼ばれる）により設けられるものである。勿論、蓋の強化を目的として、その他の加工を施すことも可能であることには留意されたい。
【００２５】
加えて、上記した蓋３に、バーコードやＱＲコードなどの識別子を付与しておくことが好ましい。石英ガラスルツボにバーコードを掘り込んで識別可能としても、図７に示すように、蓋３を取付けたルツボ１を単結晶の引上げ装置Ｍに装着した後に、ルツボ１内の多結晶シリコン１０を加熱、溶融するために、ルツボ１をヒーターにより加熱することから、ルツボ１のロットによる外部からの識別ができなくなるという問題を有する。そのことから、上記構成を採用し、蓋３にバーコードを付与し、かかる蓋３をルツボ１に取り付けた状態にて引上げ装置Ｍに装着しておけば、石英ガラスルツボをヒーターにより加熱したとしても、ルツボ１の識別が可能となる。ちなみに、従来のラッピングシートにバーコードシールを貼れば、単体での移動は可能となるが、例えばルツボ内に多結晶シリコンを入れるため、一度ラッピングシートを剥がすと、これを再利用できない不利がある。更に、ラッピングシートは、引上げ装置Ｍのヒーターを用いてルツボ１を過熱した際に溶解してしまうことから、加熱後のルツボ１の識別に使用することができない。
また、昨今急速に普及しつつある、ＩＣタグ等の電子データを内蔵し得る識別子を蓋３に取り付けることも製造上大変に有効である。なぜなら、ＩＣタグ等の電子データを内蔵し得る識別子を蓋３に取り付けて、外部から電気信号を送り込むだけで、ＩＣタグ内に電子データを書き込むことができ、かかる電子データに基づき、ルツボ内に装入する材料を容易に識別することが可能となるからである。これにより、ルツボ１の管理も容易となり、所望されるルツボ１の取り扱いが容易となる。また、ＩＣタグ等の電子データを内蔵し得る識別子は、何度も使いまわすことができることから、製造コスト削減の観点からも好ましい。
【００２６】
なお、ルツボ１の周壁部１０２の開口側の縁部２に装着した蓋３を外して該ルツボ１を使用に供する際、例えばルツボ１内に多結晶シリコン（Ｓｉ）を充填するに当たって装着した蓋３を外す際には、一度ルツボ１を反転させて、その周壁部の開口側の縁部を鉛直下向きにしてから、蓋３を外すことが好ましい。このように蓋３を外す際のルツボ１の周壁部の開口側の縁部を下向きにすることによって、蓋３の表面に付着した、石英粉や埃などの異物の侵入を回避することができる。
【００２７】
また、石英ガラスルツボ用の蓋は、洗浄することにより繰り返し使用可能である。現状のシートは洗浄困難のため、使い捨てが通常である。そして、蓋は、洗浄可能であることから、その清浄度を高めて提供することができる。ここで、蓋の清浄度としては、該蓋の少なくとも内面の金属成分の付着量を0.05ng／cm２以下にすることが、ルツボ内面の清浄度を高める上で好ましい。
なお、蓋の清浄度は、蓋の内面などの測定対象面に塩化水素（HCL）水溶液を塗布し、該塗布液を回収し、誘導結合プラズマ質量分析（ICP-MS）により測定することができる。ここで、測定対象となる金属元素は、Na，Ｋ，Li，Al，Ca，Co，Cr，Cu，Fe，Mg，Mn，Ni，Ti，Zn，Zr，BaおよびＰ等である。
【００２８】
次に、図８のフローチャートを参照しつつ、多結晶シリコンの溶融を開始する前までの一般的な工程を説明する。まず、例えば、包装済みの多結晶シリコンやドーパント等の単結晶シリコンを製造するために必要な原料、該原料を溶融するための石英ガラスルツボ及びカーボンルツボを準備する。次いで、石英ガラスルツボの外面を包装しているラッピングを取り除く、ルツボ内面の汚染等に関する性状を検査する。汚染等の問題が検出されず検査に合格した場合には、かかる石英ガラスルツボをカーボンルツボにセットする。そして、上記した包装された単結晶シリコンなどの原料を開封し、その性状について検査する。検査に合格した場合には、石英ガラスルツボ内に単結晶シリコンを充填する。次いで、即座にドーパント等を充填することも可能だが、必要に応じて、ドーパント等を充填する前段階で、一旦待機させることも可能である。ドーパント等の充填後、即座に石英ガラスルツボ及びカーボンルツボを、溶融を行うための引き上げ装置内に組み込むこともできるが、必要に応じて、引き上げ装置内に組み込む前段階で、一旦待機させることも可能である。上記したフローチャートに示す基本的な工程を踏まえつつ、本発明に従う蓋３を用いた場合を以下に説明する。
【００２９】
本発明に従う蓋３Ｅを用いることによって、以下に示すルツボの取り扱いが可能になる。すなわち、図８に示すように、単結晶シリコンを製造する際、まず、図９（ａ）に示すように、蓋３Ｅを装着して出荷されてきたルツボ１は、図９（ｂ）に示すように蓋３Ｅを外してから、図９（ｃ）に示すように、ルツボ１内に多結晶シリコン１０を装入し、直ちに、図９（ｄ）に示すように、ルツボ１の周壁部１０２の開口側の縁部２に蓋３Ｅを装着する。その後は、蓋３Ｅの装着によってルツボ１の内部を外界と遮断した、図９（ｅ）に示す状態のまま保管することによって、多結晶シリコン１０の溶融を行うまでの待機期間を、ルツボ１内の原料シリコンが汚染されない状態に保持することができる。
その後、図１０に示すように、ドーパントを充填する際、まず、図１０（ａ）に示すように、蓋３Ｅの孔５上に貼着されたシール状の開閉部６を引き剥がして、孔５を露出させ、図１０（ｂ）に示すように、該露出した孔５を介してドーパントを充填する。そして、図１０（ｃ）に示すように、密封性を確保して汚染を防止するために、開閉部６を孔５上に貼着する。ルツボ１の内部を外界と遮断した図１０（ｃ）に示す状態のまま保管することによって、多結晶シリコン１０の溶融を行うまでの待機期間を、ルツボ１内の原料シリコン及びドーパントが汚染されない状態に保持することができる。充填されるドーパントは、単結晶シリコンに所望される性質に応じて、窒化珪素、炭素等とすることが可能である。
【００３０】
ここで、ルツボ１内に原料シリコンを装入したことを石英ガラスルツボ用蓋３の装着状態にて視認可能なように、蓋３の少なくとも一部を透明又は半透明にして、ここをのぞき窓とすることが好ましい。勿論、蓋３全体を透明材料から作製することも可能である。かように、ルツボ１内の視認が容易であるなら、シリコン原料を装入済みのルツボと、中身が空のるつぼとの区別が容易につき便利である。あるいは、開閉部６の少なくとも一部を透明又は半透明にして、孔５を介するのぞき窓とすることが好ましい。勿論、開閉部６全体を透明材料から作製することも可能である。かように、ルツボ１内の視認が容易であるなら、シリコン原料を装入済みのルツボと、中身が空のるつぼとの区別が容易につき便利である。蓋３及び／又は開閉部６を透明又は半透明とする際の材質としては、ポリエチレン（PE）やポリプロピレン（PP）などが好適である。
【００３１】
なお、上述したところはこの発明の実施形態の一部を示したに過ぎず、この発明の趣旨を逸脱しない限り、これらの構成を交互に組み合わせたり、種々の変更を加えたりすることができる。
【実施例】
【００３２】
（実験１）
次に、図６に示す挿入部を具える蓋をルツボの周壁部の開口側の縁部に装着した際において、単結晶シリコンを充填する前の、ルツボ内面に混入する石英粉数および単結晶化成功本数について、調査した。また、比較として、ルツボをラッピングシートにて被覆する場合と、ルツボの周壁部の開口側の縁部をそのまま開放した場合とについても、同様の調査を行ったその調査結果を、表１に示す。
【００３３】
ここで、ルツボ内面に混入する石英粉数は、単結晶シリコン製造の引き上げ工程へ搬送され、多結晶シリコンを充填する前に、当該蓋を外し、目視にてルツボ内面に付着していた石英粉及び石英片の個数を測定したものであります。なお、個数の単位は、「個」とする。また、単結晶化成功本数は、１回の引上げにて得られる高品質の単結晶の本数を調べたものであります。
【００３４】
【表１】
2011105533.tif 000003
（※）測定条件：単結晶シリコン製造の引上げ工程への搬送後確認
【００３５】
（実験２）
次に、図６に示す挿入部を具える蓋をルツボの周壁部の開口側の縁部に装着した際において、単結晶シリコンを充填し、製品となる結晶領域のTOP部位の狙い抵抗率が１０Ωcmとなる量のボロンをドーパントとして充填した後の、ルツボ内面に混入する石英粉数および結晶収率について、調査した。また、比較として、図１１に示すような、挿入部を具えない蓋を採用した場合と、ルツボの周壁部の開口側の縁部をそのまま開放した場合とについても、同様の調査を行ったその調査結果を、表２に示す。
【００３６】
【表２】
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（※）測定条件：原料溶解後に表面に浮遊した石英粉を確認（10バッチ分を集計）
【符号の説明】
【００３７】
１  ルツボ
１０１  底部
１０２  周壁部
２  周壁部の開口側の縁部
２ａ  周壁部の開口側の縁部の外周端
２ｂ  周壁部の開口側の縁部の周端面
３、３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ、３Ｅ  （石英ガラスルツボ用）蓋
４  フランジ部
５  孔
６、６Ａ、６Ｂ、６Ｃ  開閉部
７、７Ａ、７Ｂ、７Ｃ  挿入部
８  蓋の上面
９  ビード
１０  多結晶シリコン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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