(57)【要約】【課題】輝度測定装置において、高価な面光源を用いることなく高精度の補正データを作成する。【解決手段】複数の画素を備えた撮像素子を有する輝度測定装置における補正係数算出方法であって、基準位置で対象物を撮像するステップと、基準位置に対して少なくとも１画素分ずらして対象物を撮像するステップと、撮像結果に基づいて、所定の基準画素に対する画素毎の感度比率を算出する感度比率算出ステップと、感度比率に基づいて画素毎の感度補正係数を算出する感度補正係数算出ステップとを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の画素を備えた撮像素子を有する輝度測定装置における補正係数算出方法であって、
基準位置で対象物を撮像するステップと、
前記基準位置に対して少なくとも１画素分ずらして前記対象物を撮像するステップと、
前記撮像結果に基づいて、所定の基準画素に対する画素毎の感度比率を算出する感度比率算出ステップと、
前記感度比率に基づいて画素毎の感度補正係数を算出する感度補正係数算出ステップとを有することを特徴とする補正係数算出方法。
【請求項２】
請求項１に記載の補正係数算出方法であって、
前記感度比率算出ステップは、
前記基準画素のずらし方向側の画素を順次注目画素として、前記基準位置で撮像した場合に注目画素で取得された輝度値と、少なくとも１画素分ずらして撮像した場合に前記注目画素の基準画素側の画素（「第１比較画素」と称する）で取得された輝度値との比と、前記第１比較画素の感度比率との積を前記注目画素の感度比率とすることを特徴とする補正係数算出方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の補正係数算出方法であって、
前記感度比率算出ステップは、
前記基準画素のずらし方向と反対側の画素を順次注目画素として、少なくとも１画素分ずらして撮像した場合に注目画素で取得された輝度値と、前記基準位置で撮像した場合に前記注目画素の基準画素側の画素（「第２比較画素」と称する）で取得された輝度値との比と、前記第２比較画素の感度比率との積を前記注目画素の感度比率とすることを特徴とする補正係数算出方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の補正係数算出方法であって、
前記感度補正係数算出ステップは、
前記感度比率の逆数を算出して感度補正係数とすることを特徴とする補正係数算出方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の補正係数算出方法であって、
前記対象物を撮像するステップは、水平方向に少なくとも１画素分ずらして撮像する処理と、鉛直方向に少なくとも１画素分ずらして撮像する処理とを含み、
前記感度比率算出ステップは、水平方向および鉛直方向について画素毎の感度比率を算出することを特徴とする補正係数算出方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の補正係数算出方法であって、
前記対象物を撮像するステップは、対象物の輝度を異ならせて撮像する処理を含み、
前記感度比率算出ステップは、輝度変化に対応した補正係数を備えるために、対象物の輝度ごとに前記感度比率を算出することを特徴とする補正係数算出手段。
【請求項７】
複数の画素を備えた撮像素子を有する輝度測定装置であって、
基準位置に対して少なくとも１画素分ずらして前記撮像素子を移動させる微動機構と、
基準位置で対象物を撮像し、前記基準位置に対して少なくとも１画素分ずらして前記対象物を撮像し、前記撮像結果に基づいて、所定の基準画素に対する画素毎の感度比率を算出し、前記感度比率に基づいて画素毎の感度補正係数を算出する補正データ作成部と、
前記感度補正係数を用いて前記撮像素子が撮像した画像データを補正する画像補正部と、
を備えたことを特徴とする輝度測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、輝度測定装置に係り、特に、輝度測定装置に備えられた撮像素子の感度特性補正技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
検査対象物の輝度を測定する輝度測定装置が知られている。図７は、従来の輝度測定装置の構成例を示すブロック図である。本図に示すように検査対象物７００の輝度および輝度分布を測定する輝度測定装置６００は、撮像装置６１０と制御装置６２０とを備えて構成される。なお、検査対象物７００は、例えば、フラットパネルディスプレイ装置、平面光源等とすることができる。
【０００３】
撮像装置６１０は、レンズ、絞り機構等を備えた光学系６１１と、ＣＣＤ、ＣＭＯＳ等の撮像素子６１２と、露出、撮像タイミング等の撮像装置６１０における撮像処理を制御し、撮像した画像データを出力する撮像制御部６１３とを備えている。
【０００４】
制御装置６２０は、画像データを入力する画像入力部６２１と、画像補正部６２２と、画像処理部６２３と、結果表示部６２４と、補正データ作成部６２５とを備えている。画像処理部６２３は、画像データに対して強調処理、２値化処理、特徴量計算処理や識別処理等の判定処理等を行ない、検査対象物の表示素子ごとの輝度および輝度分布を評価する。結果表示部６２４は、評価結果等を画像表示したり、ファイル出力したりする。
【０００５】
一般に、撮像装置６１０が出力する画像データは、光学系６１１の特性である周辺減光や、撮像素子６１２毎の感度特性のバラツキ等によって、検査対象物の真の輝度分布ではなく、輝度ムラを含んでいる。画像補正部６２２は、この輝度ムラを補正して検査対象物の真の輝度分布を示す画像にする補正を行なう。この補正は、補正データ作成部６２５が作成する補正データを用いて行なう。
【０００６】
補正データの作成は、以下のように行なうことができる。すなわち、一様な輝度分布を持つ基準面光源を用意し、撮像装置６１０で基準面光源を撮像する。この画像データの輝度分布は、撮像装置６１０の特性に基づくため、撮像素子６１２の各画素の輝度値の逆数を算出して、補正データとする。この際に、Median処理、平滑化処理等を行なうようにしてもよい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００８−７６２０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
一様な輝度分布を持つ基準面光源は、積分球等が用いられるが、補正データによる補正精度は、基準面光源の面内輝度分布の精度に依存することになる。したがって、補正データによる補正精度を高めるためには、面内輝度分布が均一な高精度の基準面光源を用意しなければならない。しかしながら、大型で高精度の基準面光源は、一般に高価である。
【０００９】
そこで、本発明は、輝度測定装置において、高価な面光源を用いることなく高精度の補正データを作成することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するため、本発明の第１の態様である補正係数算出方法は、複数の画素を備えた撮像素子を有する輝度測定装置における補正係数算出方法であって、基準位置で対象物を撮像するステップと、前記基準位置に対して少なくとも１画素分ずらして前記対象物を撮像するステップと、前記撮像結果に基づいて、所定の基準画素に対する画素毎の感度比率を算出する感度比率算出ステップと、前記感度比率に基づいて画素毎の感度補正係数を算出する感度補正係数算出ステップとを有する。
【００１１】
本発明では、対象物の同一の領域を異なる画素で撮像することにより、画素毎の感度比率を算出するため、面内輝度分布が均一な高精度の基準面光源を用いることなく高精度の補正データを作成することができるようになる。
【００１２】
より具体的には、前記感度比率算出ステップは、前記基準画素のずらし方向側の画素を順次注目画素として、前記基準位置で撮像した場合に注目画素で取得された輝度値と、少なくとも１画素分ずらして撮像した場合に前記注目画素の基準画素側の画素（「第１比較画素」と称する）で取得された輝度値との比と、前記第１比較画素の感度比率との積を前記注目画素の感度比率とすることができる。
【００１３】
また、前記感度比率算出ステップは、前記基準画素のずらし方向と反対側の画素を順次注目画素として、少なくとも１画素分ずらして撮像した場合に注目画素で取得された輝度値と、前記基準位置で撮像した場合に前記注目画素の基準画素側の画素（「第２比較画素」と称する）で取得された輝度値との比と、前記第２比較画素の感度比率との積を前記注目画素の感度比率とすることができる。
【００１４】
さらに、前記感度補正係数算出ステップは、前記感度比率の逆数を算出して感度補正係数とすることができる。
【００１５】
また、前記対象物を撮像するステップは、水平方向に少なくとも１画素分ずらして撮像する処理と、鉛直方向に少なくとも１画素分ずらして撮像する処理とを含み、前記感度比率算出ステップは、水平方向および鉛直方向について画素毎の感度比率を算出するようにしてもよい。
【００１６】
あるいは、前記対象物を撮像するステップは、対象物の輝度を異ならせて撮像する処理を含み、前記感度比率算出ステップは、輝度変化に対応した補正係数を備えるために、対象物の輝度ごとに前記感度比率を算出するようにしてもよい。
【００１７】
上記課題を解決するため、本発明の第２の態様である輝度測定装置は、複数の画素を備えた撮像素子を有する輝度測定装置であって、基準位置に対して少なくとも１画素分ずらして前記撮像素子を移動させる微動機構と、基準位置で対象物を撮像し、前記基準位置に対して少なくとも１画素分ずらして前記対象物を撮像し、前記撮像結果に基づいて、所定の基準画素に対する画素毎の感度比率を算出し、前記感度比率に基づいて画素毎の感度補正係数を算出する補正データ作成部と、前記感度補正係数を用いて前記撮像素子が撮像した画像データを補正する画像補正部と、を備える。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、輝度測定装置において、高価な面光源を用いることなく高精度の補正データを作成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本実施形態に係る輝度測定装置の構成を示すブロック図である。
【図２】補正データ作成手順を示すフローチャートである。
【図３】画素ずらしの位置を説明する図である。
【図４】画素をずらした３箇所での撮像結果を示す図である。
【図５】感度比率の算出領域と算出結果とを示す図である。
【図６】補正データである輝度補正係数の算出結果を示す図である。
【図７】従来の輝度測定装置の構成例を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、本実施形態に係る輝度測定装置の構成を示すブロック図である。本図に示すように検査対象物２００の表示素子ごとの輝度および輝度分布を測定する輝度測定装置１００は、撮像装置１１０と、制御装置１２０と、微動機構１３０とを備えて構成される。なお、検査対象物２００は、例えば、フラットパネルディスプレイ装置、面光源等とすることができる。
【００２１】
撮像装置１１０は、レンズ、絞り等を備えた光学系１１１と、ＣＣＤ、ＣＭＯＳ等の撮像素子１１２と、露出、撮像タイミング等の撮像装置１１０における撮像処理を制御し、撮像した画像データを出力する撮像制御部１１３とを備えている。ただし、撮像処理の制御は制御装置１２０側で行なうようにしてもよい。
【００２２】
制御装置１２０は、画像データを入力する画像入力部１２１と、画像補正部１２２と、画像処理部１２３と、結果表示部１２４と、補正データ作成部１２５とを備えている。制御装置１２０は、ＰＣ等の情報処理装置を用いることができる。
【００２３】
画像補正部１２２は、補正データ作成部１２５が作成した補正データを用いて撮像装置１１０が撮像した画像データの輝度ムラを補正する。ここで、補正データは、撮像素子１１２の画素毎に輝度補正係数が定められたデータであり、画像補正部１２２は、画像データの各画素の輝度値に対して、対応する輝度補正係数を乗じることにより輝度ムラの補正を行なう。
【００２４】
画像処理部１２３は、画像データに対して強調処理、２値化処理、特徴量計算処理や識別処理等の判定処理等を行ない、検査対象物の表示素子ごとの輝度および輝度分布を評価する。結果表示部１２４は、評価結果等を画像表示したり、ファイル出力したりする。
【００２５】
補正データ作成部１２５は、基準面光源を基準位置および基準位置に対して少なくとも１画素分ずらした位置で撮像された撮像結果に基づいて、所定の基準画素に対する画素毎の感度比率を算出し、感度比率に基づいて画素毎の感度補正係数を算出することにより補正データを作成する。
【００２６】
より具体的に説明すると、感度比率の算出に際しては、基準画素のずらし方向側の画素を順次注目画素として、基準位置で撮像した場合に注目画素で取得された輝度値と、少なくとも１画素分ずらして撮像した場合に注目画素の基準画素側の画素（「第１比較画素」と称する）で取得された輝度値との比と、第１比較画素の感度比率との積を注目画素の感度比率とする。
【００２７】
また、基準画素のずらし方向と反対側の画素を順次注目画素として、少なくとも１画素分ずらして撮像した場合に注目画素で取得された輝度値と、基準位置で撮像した場合に注目画素の基準画素側の画素（「第２比較画素」と称する）で取得された輝度値との比と、第２比較画素の感度比率との積を注目画素の感度比率とする。
【００２８】
微動機構１３０は、補正データ作成部１２５の制御にしたがって撮像装置１１０の撮像位置を水平方向および鉛直方向に画素単位で移動させる。いわゆる画素ずらし画像を撮像する場合は、撮像素子の１／２、１／３、１／４といった１画素に満たない移動量で微動させて撮像素子の不感帯を補うものであるが、本発明の微動機構１３０は、撮像装置１１０の撮像位置を画素単位で移動させるものであり、少なくとも１画素以上の移動を行なう。微動機構１３０は、例えば、特開２００８−９８９６８号公報に記載されている微動ステージにおけるアクチュエータを用いて構成することができる。
【００２９】
上記の構成において、補正データ作成部１２５が補正データを作成する際には、検査対象物２００に代えて、図示しない基準面光源を撮像する。本実施形態では、基準面光源の輝度分布は、従来の構成で要求されるほど一様でなくてもよく、概ね均一な輝度分布を持つ面光源、スクリーン、白基準板等とすることができる。このため、高価な基準面光源を用いずに補正データを作成することができる。
【００３０】
本実施形態における補正データ作成手順について図２のフローチャートを参照して説明する。まず、撮像装置１１０により、基準面光源を基準位置Ａで撮像する（Ｓ１０１）。ここで、基準位置Ａは、撮像素子１１２の各画素が基準面光源を撮影できるような任意の位置とすることができる。
【００３１】
次に、微動機構１３０を動作させ、撮像装置１１０を水平方向に１画素分移動させた位置Ｂに移動させる（Ｓ１０２）。ここでは、図３に示すように、撮像装置１１０を１画素分右側に移動させた位置を位置Ｂとする。そして、基準面光源を位置Ｂで撮像する（Ｓ１０３）。
【００３２】
位置Ｂで基準面光源を撮像すると、微動機構１３０を動作させ、撮像装置１１０を基準位置Ａに対して鉛直方向に１画素分移動させた位置Ｃに移動させる（Ｓ１０５）。ここでは、図３に示すように、撮像装置１１０を基準位置Ａに対して１画素分上側に移動させた位置を位置Ｃとする。そして、基準面光源を位置Ｃで撮像する（Ｓ１０５）。
【００３３】
なお、水平方向、鉛直方向とも１画素分ずらして撮像する理由は、基準面光源上の同一の領域を異なる画素で撮像することになり、画素毎の感度比率を算出できるようになることと、１画素程度分の移動では、基準面光源の均一性が保たれ、感度比率の算出において周辺減光等の影響を少なくすることができるからである。ただし、ずらし量は１画素に限られず、２以上の数画素分であってもよい。この場合、後述する感度比率の算出において、比較対象となる画素の位置をずらし量に対応させて調整するようにする。
【００３４】
画素をずらした３箇所での撮像を終えると、水平方向感度比率を算出し（Ｓ１０６）、さらに、鉛直方向感度比率を算出する（Ｓ１０７）。
【００３５】
ここで、水平方向感度比率および鉛直方向感度比率は、撮像素子６１２を構成する画素の中から基準画素を定め、他のそれぞれの画素が、基準面光源の撮像結果において、基準画素と比較してどの程度の感度特性を有しているかを示す値である。
【００３６】
水平方向感度比率と鉛直方向感度比率の算出方法について図４および図５を参照して説明する。ここでは説明を簡単にするため、撮像素子６１２は、水平方向について１〜９の９個の画素、鉛直方向について１〜９の９個の画素で、合計８１個の画素から構成されているものとする。また、基準画素は、中心の（５，５）の画素とする。
【００３７】
図４は、基準位置Ａでの撮像結果、位置Ｂでの撮像結果、位置Ｃでの撮像結果を示しており、それぞれ各画素の輝度値を示している。まず、基準位置Ａでの撮像結果と位置Ｂでの撮像結果とを用いて、水平方向感度比率を算出する。水平方向感度比率の算出は、基準画素を含む水平方向の各画素（１，５）〜（９，５）について感度比率を算出する。なお、感度比率は、基準画素（５，５）に対する比率とするため、基準画素（５，５）の比率は１．０とする。
【００３８】
水平方向感度比率では、図５の領域２が示す基準画素から左側の画素（４，５）〜（１，５）と、領域１が示す基準画素から右側の画素（６，５）〜（９，５）とで、算出方法が異なる。
【００３９】
まず、図５の領域１が示す基準画素から右側の画素（６，５）〜（９，５）の水平方向感度比率の算出方法について説明する。これらの画素は、基準画素のずらし方向側の画素である。まず、画素（６，５）を注目画素とする。この場合、画素（５，５）が第１比較画素となる。
【００４０】
図４が示す基準位置Ａでの撮像結果および位置Ｂでの撮像結果から分かるように、基準位置Ａで画素（６，５）が撮像した基準面光源の領域は、位置Ｂでは、基準画素（５，５）が撮像していることになる。同一の領域を撮像したのにもかかわらず、画素（６，５）の輝度値は６４であり、基準画素（５，５）の輝度値は４８となっている。すなわち、画素（６，５）の感度は、基準画素（５，５）に対して、６４／４８＝１．３３となる。
【００４１】
次に、画素（７，５）を注目画素とする。この場合、画素（６，５）が第１比較画素となる。画素（６，５）を注目画素とした場合と同様に、基準位置Ａで画素（７，５）が撮像した基準面光源の領域は、位置Ｂでは、画素（６，５）が撮像していることになる。同一の領域を撮像したのにもかかわらず、画素（７，５）の輝度値は４９であり、画素（６，５）の輝度値は５６となっている。すなわち、画素（７，５）の感度は、画素（６，５）に対して、４９／５６＝０．８８となる。ここで、画素（６，５）の感度は基準画素（５，５）に対して１．３３であるから、画素（７，５）の基準画素（５，５）に対する感度は、０．８８×１．３３＝１．１７となる。
【００４２】
以上から、領域１が示す基準画素から右側の画素（６，５）〜（９，５）における水平方向感度比率は、
感度比率（ｘ，５）＝位置Ａ（ｘ，５）／位置Ｂ（ｘ−１，５）×感度比率（ｘ−１，５）
で求めることができる。
【００４３】
次に、図５の領域２が示す基準画素から左側の画素（４，５）〜（１，５）の水平方向感度比率の算出方法について説明する。これらの画素は、基準画素のずらし方向と反対側の画素である。まず、画素（４，５）を注目画素とする。この場合、画素（５，５）が第２比較画素となる。
【００４４】
図４が示す基準位置Ａでの撮像結果および位置Ｂでの撮像結果から分かるように、基準位置Ａで基準画素（５，５）が撮像した基準面光源の領域は、位置Ｂでは、画素（４，５）が撮像していることになる。同一の領域を撮像したのにもかかわらず、基準画素（５，５）の輝度値は６０であり、画素（４，５）の輝度値は８０となっている。すなわち、画素（４，５）の感度は、基準画素（５，５）に対して、８０／６０＝１．３３となる。
【００４５】
次に、画素（３，５）を注目画素とする。この場合、画素（４，５）が第２比較画素となる。画素（４，５）を注目画素とした場合と同様に、基準位置Ａで画素（４，５）が撮像した基準面光源の領域は、位置Ｂでは、画素（３，５）が撮像していることになる。同一の領域を撮像したのにもかかわらず、画素（４，５）の輝度値は６４であり、画素（３，５）の輝度値は５６となっている。すなわち、画素（３，５）の感度は、画素（４，５）に対して、５６／６４＝０．８８となる。ここで、画素（４，５）の感度は基準画素（５，５）に対して１．３３であるから、画素（３，５）の基準画素（５，５）に対する感度は、０．８８×１．３３＝１．１７となる。
【００４６】
以上から、図５の領域２が示す基準画素から左側の画素（４，５）〜（１，５）における水平方向感度比率は、
感度比率（ｘ，５）＝位置Ｂ（ｘ，５）／位置Ａ（ｘ＋１，５）×感度比率（ｘ＋１，５）
で求めることができる。
【００４７】
鉛直方向感度比率は、水平方向感度比率が算出された列（以下「基準列」と称する）を基準にして、基準位置Ａでの撮像結果と、位置Ｃでの撮像結果とを用いて水平方向感度比率の算出と同様に算出することができる。
【００４８】
すなわち、ずらし方向側である図５の領域３が示す基準列から上側の画素（ｘ，４）〜（ｘ，１）と、ずらし方向と反対側である領域４が示す基準列から下側の画素（ｘ，６）〜（ｘ，９）とで、算出方法が異なる。なお、ｘは、１〜９それぞれについて基準列を基準にして鉛直方向感度比率を求めるようにする。
【００４９】
図５の領域３が示す基準列から上側の画素（ｘ，４）〜（ｘ，１）における鉛直方向感度比率は、
感度比率（ｘ，ｙ）＝位置Ａ（ｘ，ｙ）／位置Ｃ（ｘ，ｙ＋１）×感度比率（ｘ，ｙ＋１）
で求めることができる。
【００５０】
一方、図５の領域４が示す基準列から下側の画素（ｘ，６）〜（ｘ，９）における鉛直方向感度比率は、
感度比率（ｘ，ｙ）＝位置Ｃ（ｘ，ｙ）／位置Ａ（ｘ，ｙ−１）×感度比率（ｘ，ｙ−１）
で求めることができる。以上の結果、各画素の感度比率は、図５に示すような値となる。
【００５１】
以上の手順により、各画素について基準画素に対する感度比率を算出すると、補正データ作成部１２５は、補正データを生成する（Ｓ１０８）。ここで、補正データは、画素毎の輝度補正係数であり、感度比率の逆数で求めることができる。図６は、算出された輝度補正係数を示す図である。
【００５２】
画像補正部１２２は、補正データ作成部１２５が作成した補正データにしたがって、撮像装置１１０が撮像した検査対象物２００の画像データの各輝度値を補正することで、輝度ムラのない画像データを得ることができる。
【００５３】
なお、上述の例では、２次元の撮像素子を例に説明したが、本発明は、１次元のライン型の撮像素子を用いた場合にも適用することができる。ライン型の撮像素子を用いた場合は、水平方向あるいは鉛直方向のいずれか一方に対する感度比率算出処理および輝度補正係数算出処理を行なえばよい。
【００５４】
また、基準画素（５，５）の感度比率を１．０としたが、他の撮像装置との特性差を考慮して定めるようにしてもよい。例えば、撮像装置Ａが撮像装置Ｂと比較して、２倍の感度を有していれば、撮像装置Ａにおける基準画素（５，５）の感度比率を１．０とし、撮像装置Ｂにおける基準画素（５，５）の感度比率を０．５と設定するようにしてもよい。撮像装置毎の感度差は同一対象物に対する基準画素の輝度を比較したり、所定領域の画素における平均輝度値を算出すること等で取得することができる。
【００５５】
また、撮像位置は１画素分ずらした３箇所としたが、縦横方向に撮像素子全面分移動し、それぞれの位置で撮像することで、撮像素子全面を補正するようにしてもよい。また、画像補正部１２２をハードウェアで構成するとともに撮像装置１１０側に設けて、リアルタイムで高速に補正処理を行なうようにしてもよい。
【００５６】
また、補正データ作成部１２５による補正データの作成は、輝度測定装置の出荷前のみならず、出荷後においてユーザが適宜行なったり、サービスマンがメンテナンス時に行なうことができる。
【００５７】
以上説明したように、本実施形態によれば、画素をずらして撮像し、画素毎の感度比率を算出することで補正データを作成しているため、高価な面光源を用いることなく高精度の補正データを作成することができるようになる。
【００５８】
また、補正データの作成を２以上の異なる輝度で実施し、輝度分布の補正データのみならず、撮像素子ひとつひとつの感度の「傾き」と「切片」とを算出してもよい。すなわち、２つ以上の異なる輝度の基準面光源を用いて、輝度ごとに補正データを作成し、輝度による補正データに差異が生じる場合には、撮像素子の感度補正を行なう、もしくは、輝度に応じた補正係数項を備えることで、輝度変化に対しても補正が可能となる。また、撮像素子ごとの「傾き」、「切片」は別の手法で求め、本発明の輝度分布の補正を加えることで、さらに高精度の補正を行なうことができる。
【符号の説明】
【００５９】
１００…輝度測定装置
１１０…撮像装置
１１１…光学系
１１２…撮像素子
１１３…撮像制御部
１２０…制御装置
１２１…画像入力部
１２２…画像補正部
１２３…画像処理部
１２４…結果表示部
１２５…補正データ作成部
１３０…微動機構
２００…検査対象物
６００…輝度測定装置
６１０…撮像装置
６１１…光学系
６１２…撮像素子
６１３…撮像制御部
６２０…制御装置
６２１…画像入力部
６２２…画像補正部
６２３…画像処理部
６２４…結果表示部
６２５…補正データ作成部
７００…検査対象物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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