(57)【要約】【課題】印刷材料の利用効率を高め、かつ、印刷パターンとそこに露光されるパターンとの位置がずれることを極力解消できる電子部品の製造方法及び電子部品の製造装置を得る。【解決手段】セラミックシート１の表面にペースト状の感光性材料を印刷、露光、現像して所定形状のパターン（コイル１０）を形成する電子部品の製造方法及び製造装置。感光性材料の印刷工程では、スキージを用いてスクリーン版の裏面から感光性材料をセラミックシート１の表面に供給する。その際、スクリーン印刷によって形成されるパターン５は、スキージの移動方向Ａに延在するストライプ状である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平坦な素体の表面にペースト状の感光性材料を印刷、露光、現像して所定形状のパターンを形成する電子部品の製造方法であって、
前記感光性材料の印刷工程では、スキージを用いてスクリーン版の裏面から前記感光性材料を前記素体の表面に供給するスクリーン印刷を行い、
前記スクリーン印刷によって形成されるパターンは前記スキージの移動方向に延在するストライプ状であること、
を特徴とする電子部品の製造方法。
【請求項２】
前記感光性材料は導電性であることを特徴とする請求項１に記載の電子部品の製造方法。
【請求項３】
前記導電性の感光性材料によって形成されるパターンはコイルであることを特徴とする請求項２に記載の電子部品の製造方法。
【請求項４】
前記感光性材料は非導電性であることを特徴とする請求項１に記載の電子部品の製造方法。
【請求項５】
第１の撮像手段と、
第２の撮像手段と、
素体を保持するステージと、
前記ステージの移動手段及び／又は前記スクリーン版の移動手段と、
ストライプ状の印刷パターンを形成するためのスクリーン版と、
前記スクリーン版上からペースト状の感光性材料を前記素体の表面に供給するためのスキージと、
制御手段と、
を備えた電子部品の製造装置であり、
前記制御手段は、前記ステージ上に保持された前記素体の表面に形成されたアライメントマークを前記第１の撮像手段で撮像した第１の位置情報を記憶し、かつ、前記スクリーン版に形成されたアライメントマークを前記第２の撮像手段で撮像した第２の位置情報を記憶し、
前記制御手段は、前記ステージ及び／又は前記スクリーン版の移動手段を駆動して、前記第１及び第２の位置情報に基づいて、前記スクリーン版を前記ステージ上に保持された前記素体に位置合わせし、
前記制御手段は、前記スクリーン版上で前記スキージをストライプ状の印刷パターンの延在方向に移動させること、
を特徴とする電子部品の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品の製造方法及び製造装置、特に、セラミックシートの表面にペースト状の感光性材料を印刷して所定形状のパターンを形成するチップインダクタなどの電子部品の製造方法及び製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、チップインダクタなどの電子部品は、特許文献１に記載のように、セラミックシートの表面に感光性の導電性ペーストをスクリーン印刷し、露光、現像して所定形状のパターンの導体（コイル）を形成している。
【０００３】
より具体的には、図４（Ａ）に示すように、広い面積のセラミックシート５０上のほぼ全面の領域５１に感光性導電ペーストをスクリーン版とスキージを用いて印刷し、螺旋状のコイル５５となる複数の導体パターンをマトリクス状に露光し、現像によって不要なペーストを洗い流してコイル５５（図４（Ｂ）参照）を形成していた。しかし、このような製造方法では、シート５０のほぼ全面に感光性導電ペーストを印刷するが、コイル５５とならない部分は現像によって洗い流されてしまうため、材料（感光性導電ペースト）の利用効率が極めて悪いという問題点を有していた。また、スクリーン印刷で全面的にベタ状に印刷すると、どうしても印刷厚みの精度が低くなる。
【０００４】
そこで、図５に示すように、セラミックシート５０の表面に感光性導電ペーストをアイランド状に印刷し、個々の印刷領域５２に導体パターンを露光することが考えられる。しかし、スキージを用いたスクリーン印刷では、スキージでスクリーン版を押し込んで変形させて印刷するため、印刷方向（スキージの走行方向、矢印Ａ参照）の印刷位置精度が悪く、個々の印刷領域５２が導体パターン（コイル５５）の形成位置からずれてしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−５９７２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで、本発明の目的は、印刷材料の利用効率を高め、かつ、印刷パターンとそこに露光されるパターンとの位置がずれることを極力解消できる電子部品の製造方法及び電子部品の製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
以上の目的を達成するため、本発明の第１の形態である電子部品の製造方法は、
平坦な素体の表面にペースト状の感光性材料を印刷、露光、現像して所定形状のパターンを形成する電子部品の製造方法であって、
前記感光性材料の印刷工程では、スキージを用いてスクリーン版の裏面から前記感光性材料を前記素体の表面に供給するスクリーン印刷を行い、
前記スクリーン印刷によって形成されるパターンは前記スキージの移動方向に延在するストライプ状であること、
を特徴とする。
【０００８】
本発明の第２の形態である電子部品の製造装置は、
第１の撮像手段と、
第２の撮像手段と、
素体を保持するステージと、
前記ステージの移動手段及び／又は前記スクリーン版の移動手段と、
ストライプ状の印刷パターンを形成するためのスクリーン版と、
前記スクリーン版上からペースト状の感光性材料を前記素体の表面に供給するためのスキージと、
制御手段と、
を備えた電子部品の製造装置であり、
前記制御手段は、前記ステージ上に保持された前記素体の表面に形成されたアライメントマークを前記第１の撮像手段で撮像した第１の位置情報を記憶し、かつ、前記スクリーン版に形成されたアライメントマークを前記第２の撮像手段で撮像した第２の位置情報を記憶し、
前記制御手段は、前記ステージ及び／又は前記スクリーン版の移動手段を駆動して、前記第１及び第２の位置情報に基づいて、前記スクリーン版を前記ステージ上に保持された前記素体に位置合わせし、
前記制御手段は、前記スクリーン版上で前記スキージをストライプ状の印刷パターンの延在方向に移動させること、
を特徴とする。
【０００９】
前記電子部品の製造方法及び製造装置においては、スクリーン版によって形成される感光性材料の印刷パターンはストライプ状であり、この印刷パターンを露光、現像して所定のパターンを形成する。感光性材料の大部分は現像によって洗い流されるが、ストライプ状であるために全面に印刷する場合と比較すると洗い流される材料の無駄が少なくなる。また、スキージを用いてのスクリーン印刷では、印刷パターンがスキージの移動方向にずれる傾向にあるが、ストライプ状の印刷パターンはスキージの移動方向に延在しているため、ずれの影響がほとんど発生することがなく、露光パターンが印刷パターンからずれて形成される不具合が極力解消される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、感光性材料をストライプ状に印刷することで、印刷材料の利用効率を高め、印刷パターンがスキージの移動方向に延在するストライプ状であることから、印刷パターンとそこに露光されるパターンとの位置がずれることを極力解消することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】（Ａ）は本発明に係る製造方法でセラミックシート上に印刷された感光性材料のパターンの第１例を示す平面図、（Ｂ）はコイルを示す平面図である。
【図２】（Ａ）は本発明に係る製造方法でセラミックシート上に印刷された感光性材料のパターンの第２例を示す平面図、（Ｂ）はコイルを示す平面図である。
【図３】本発明に係る製造装置の一実施例を示す斜視図である。
【図４】（Ａ）は従来の製造方法でセラミックシート上に印刷された感光性材料のパターンを示す平面図、（Ｂ）はコイルを示す平面図である。
【図５】セラミックシート上に感光性材料をアイランド状に印刷した場合を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明に係る電子部品の製造方法及び製造装置の実施形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１３】
本発明に係る製造方法は、平坦な素体の表面にペースト状の感光性材料を印刷、露光、現像して所定形状のパターンを形成する。図１（Ａ）にセラミックシート１上にスクリーン印刷された導電性の感光性材料（例えば、Ａｇペースト）の印刷パターン５の第１例を示す。スクリーン印刷では、スキージを用いてスクリーン版の裏面から感光性材料をセラミックシート１の表面に均一な厚さに供給し、印刷パターン５はスキージの移動方向（矢印Ａ参照）に延在するストライプ状である。
【００１４】
このストライプ状の印刷パターン５に対しては、螺旋状のコイル１０となる複数の導体パターンをマトリクス状に露光し、現像によって不要な感光性材料を洗い流してコイル１０を形成する。その後、セラミックシート１及びコイル１０は焼成され、図１（Ｂ）に示す点線にてダイシングする。
【００１５】
なお、以上の工程はチップインダクタの製造工程の一部であり、通常は積層タイプとして、コイル１０を形成したシート１の上側にさらに別のシート（あるいは、絶縁層）を設けて、必要であればビアホールを形成し、該シートの表面にさらに別のコイルを前記同様の工程を繰り返して形成する。
【００１６】
印刷パターン５として形成された感光性材料の大部分は現像によって洗い流されるが、ストライプ状であるために全面に印刷する場合と比較すると洗い流される材料の無駄が少なくなる。また、スキージを用いてのスクリーン印刷では、印刷パターン５がスキージの移動方向Ａにずれる傾向にある。図１（Ａ）では中央部分の印刷パターン５が若干矢印Ａ方向にずれて印刷されている状態が描かれている。しかし、ストライプ状の印刷パターン５はスキージの移動方向Ａに延在しているため、コイル１０のほとんどは印刷パターン５内に露光される。仮に、印刷パターン５からずれて形成される不具合が発生するのは、図１（Ａ）の下部領域６のみである。
【００１７】
図２（Ａ）にセラミックシート上にスクリーン印刷された感光性材料の印刷パターン５の第２例を示す。図２（Ａ）は印刷パターン５の要部を拡大して示しており、図１（Ａ）に示した印刷パターン５のほぼ２倍の幅寸法を有し、導体パターン（コイル１０）は引出し部１１を備えたものが２個ずつ並置された状態で形成される。露光後は、現像によって不要な感光性材料を洗い流してコイル１０を形成する。その後、セラミックシート及びコイル１０は焼成され、図２（Ｂ）に示す点線にてダイシングする。
【００１８】
本第２例における作用効果は前記第１例と同様である。また、前記印刷、露光、現像工程を繰り返して、積層タイプとしてコイル１０を複数層に形成する場合があることも第１例と同様である。
【００１９】
次に、本発明に係る製造装置の一実施例を図３を参照して説明する。この製造装置は、概略、第１の撮像手段（２台のカメラ２１）と、セラミックシート１を保持するステージ３０と、ステージ３０をレール３５に沿ってＸ方向に移動させる移動手段（図示せず）と、第２の撮像手段（２台のカメラ２２）と、ストライプ状の印刷パターンを形成するためのスクリーン版４１と、スクリーン版４１をＹ方向に移動させる移動手段（図示せず）と、スクリーン版４１上からペースト状の感光性材料をセラミックシート１の表面に供給するためのスキージ４２と、スクレーパ４３と、制御手段（コンピュータ４５）とで構成されている。
【００２０】
なお、この種の印刷機構において、ステージ３０の移動手段、スクリーン版４１やスキージ４２の移動手段は周知であり、詳細な説明は省略する。
【００２１】
この製造装置の特徴的部分は、まず、コンピュータ４５は、ステージ３０上に保持されたセラミックシート１の表面に形成された二つのアライメントマークＭ１をカメラ２１で撮像した第１の位置情報を記憶し、かつ、スクリーン版４１に形成された二つのアライメントマークＭ２をカメラ２２で撮像した第２の位置情報を記憶する。これらのアライメントマークＭ１，Ｍ２は完全に重なるように予め形成されている。
【００２２】
次に、コンピュータ４５は、ステージ３０及び／又はスクリーン版４１をその移動手段を駆動して、Ｘ方向及びＹ方向に移動させ、前記第１及び第２の位置情報に基づいて、スクリーン版４１をステージ３０上に保持されたセラミックシート１に位置合わせする。その後、コンピュータ４５は、スクリーン版４１上でスキージ４２及びスクレーパ４３を矢印Ａ方向に移動させる。これにて、セラミックシート１の表面にペースト状の感光性材料からなるストライプ状の印刷パターン５（図１、図２参照）が形成される。
【００２３】
なお、図３に示す製造装置においては、ステージ３０を水平面上での角度θを調整可能であってもよい。また、アライメントマークの形状、位置は任意である。
【００２４】
（他の実施形態）
なお、本発明に係る電子部品の製造方法及び製造装置は前記実施形態に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更できる。
【００２５】
特に、ペースト状の感光性材料としては、導電性のもの以外に非導電性のものであってもよい。また、印刷パターンに露光、現像によって形成されるパターンはコイルに限定するものでないことは勿論である。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
以上のように、本発明は、電子部品の製造方法及び製造装置に有用であり、特に、印刷材料の利用効率を高め、かつ、印刷パターンとそこに露光されるパターンとの位置がずれることを極力解消できる点で優れている。
【符号の説明】
【００２７】
１…セラミックシート
５…印刷パターン
１０…コイル
２１…第１の撮像手段（カメラ）
２２…第２の撮像手段（カメラ）
３０…ステージ
４１…スクリーン版
４２…スキージ
４５…制御手段（コンピュータ）
Ａ…スキージ移動方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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