(57)【要約】【課題】アライメント装置が備えられた室内の温度が変化すると、カメラを支持している部材が熱変形し、カメラの姿勢が変化する。このため、カメラによって撮像された画像におけるアライメントマークの位置がずれるので、被撮像部品の位置決め精度が低下してしまうという課題がある。【解決手段】台座１３に置かれた被撮像部品１４，１６をカメラ２で撮像し、撮像された画像における被撮像部品１４，１６の位置に基づいて被撮像部品１４の位置を調整するアライメント装置１であって、カメラ２を支持する第１の支持部材５と、台座１３に対する位置が固定された第２の支持部材８と、第１の支持部材５と第２の支持部材８とに挟まれるように備えられる中間部材６と、を備え、第１の支持部材５の線膨張係数と第２の支持部材８の線膨張係数は、中間部材６の線膨張係数より大きいアライメント装置１を提供する。【選択図】図１
2011090184.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
台座に置かれた被撮像部品をカメラで撮像し、撮像された画像における前記被撮像部品の位置に基づいて前記台座における前記被撮像部品の位置を調整するアライメント装置であって、
前記カメラを支持する第１の支持部材と、
前記台座に対する位置が固定された第２の支持部材と、
前記第１の支持部材と前記第２の支持部材とに挟まれるように備えられる中間部材と、を備え、
前記第１の支持部材の線膨張係数と前記第２の支持部材の線膨張係数は、前記中間部材の線膨張係数より大きいことを特徴とするアライメント装置。
【請求項２】
請求項１に記載のアライメント装置であって、
前記第１の支持部材の線膨張係数と前記第２の支持部材の線膨張係数は同じであることを特徴とするアライメント装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のアライメント装置であって、
前記第１の支持部材と前記第２の支持部材の材質はアルミニウムであり、前記中間部材の材質は鉄またはステンレスであることを特徴とするアライメント装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アライメント装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドからインクを噴射して紙などの記録媒体に画像を形成する液体噴射装置としてのインクジェットプリンターには、ノズル開口に通じる圧力室を含む液体流路および圧力室の容積を変動させるためのダイヤフラム部を有する流路ユニットと、ダイヤフラム部を変位させるための圧電振動子を有する振動子ユニットを収容するケースユニットとを一つのヘッドユニットとする液体噴射ヘッドが備えられる。そのようなインクジェットプリンターには、複数のヘッドユニットを並べて一つの液体噴射ヘッドとして構成したものがある。複数のヘッドユニットからなる液体噴射ヘッドを製造する場合には、それぞれのヘッドユニットの位置決め精度の確保が重要となる。
そこで、例えば、特許文献１では、ヘッドユニットの位置決め精度を向上させるため、位置決め穴を有する共通ベース基板を備えた液体噴射ヘッドが提案されている。
【０００３】
このような液体噴射ヘッドの製造において、例えば、流路ユニットと共通ベース基板を接合するとき、カメラを備えたアライメント装置が用いられる。共通ベース基板に形成されたアライメントマークをカメラで撮像し、流路ユニットに対する共通ベース基板の位置決めを行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２３８５９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、アライメント装置が備えられた室内の温度が変化すると、カメラを支持している部材が熱変形するため、カメラの姿勢が変化する。このため、熱変形する前に撮像された範囲の位置と、熱変形した後に撮像された範囲の位置とが異なり、撮像された画像における原点に対応する位置がずれてしまう。従って、カメラによって撮像された画像における原点からのアライメントマークの位置がずれるので、被撮像部品の位置決め精度が低下してしまうという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］台座に置かれた被撮像部品をカメラで撮像し、撮像された画像における前記被撮像部品の位置に基づいて前記台座における前記被撮像部品の位置を調整するアライメント装置であって、前記カメラを支持する第１の支持部材と、前記台座に対する位置が固定された第２の支持部材と、前記第１の支持部材と前記第２の支持部材とに挟まれるように備えられる中間部材と、を備え、前記第１の支持部材の線膨張係数と前記第２の支持部材の線膨張係数は、前記中間部材の線膨張係数より大きいことを特徴とするアライメント装置。
【０００８】
この構成によれば、第１の支持部材の線膨張係数と第２の支持部材の線膨張係数は、中間部材の線膨張係数より大きく、中間部材は、第１の支持部材と第２の支持部材とに挟まれるように備えられる。これにより、第１の支持部材が熱変形によって湾曲することが抑制されるため、第１の支持部材によって支持されるカメラの姿勢が変化することが抑制される。このため、熱変形する前に撮像された範囲の位置と、熱変形した後に撮像された範囲の位置とのずれが最小化され、撮像された画像における原点に対応する位置が熱変形によってずれてしまうことが抑制される。従って、カメラによって撮像された画像における原点からのアライメントマークの位置がずれることにより被撮像部品の位置決め精度が低下してしまうことが抑制される。
【０００９】
［適用例２］前記第１の支持部材の線膨張係数と前記第２の支持部材の線膨張係数は同じであることを特徴とする上記アライメント装置。
【００１０】
この構成によれば、さらに、第１の支持部材が湾曲することが抑制されるため、第１の支持部材によって支持されるカメラの姿勢が変化することが抑制される。
【００１１】
［適用例３］前記第１の支持部材と前記第２の支持部材の材質はアルミニウムであり、前記中間部材の材質は鉄またはステンレスであることを特徴とする上記アライメント装置。
【００１２】
この構成によれば、第１の支持部材が湾曲することが抑制されるため、第１の支持部材によって支持されるカメラの姿勢が変化することが抑制される。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】アライメント装置の一部外観斜視図。
【図２】アライメント装置の側面図。
【図３】比較のためのアライメント装置の側面図。
【図４】中間部材を材質が異なる複数の部材で構成したアライメント装置の側面図。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
（実施形態）
図１は、本実施形態におけるアライメント装置１の一部外観斜視図である。図２は、アライメント装置１をＹ方向から見た側面図である。
【００１５】
外形が円筒状のカメラ２の内部にはレンズ（不図示）とＣＣＤ（ＣｈａｒｇｅＣｏｕｐｌｅｄＤｅｖｉｃｅ）イメージセンサー（不図示）が備えられる。ＣＣＤによって撮像された画像は、ケーブル３を介して電気信号として送信され、液晶パネルなどの表示部（不図示）に画像が表示される。
【００１６】
第１の支持部材５は、カメラ２を固定する固定部材４を介してカメラ２を支持する。中間部材６は、中間部材６に備えられたつまみ７を使用者が回転操作することによって、第２の支持部材８に対して鉛直線方向であるＺ方向にスライドする。
【００１７】
第１の支持部材５に形成された中間部材６側の平面ｋ２と、中間部材６に形成された第１の支持部材５側の平面ｋ１とが接合されている。中間部材６に形成された第２の支持部材８側の平面ｋ４は、第２の支持部材８に形成された中間部材６側の平面ｋ３と接触しながらスライドする。
【００１８】
中間部材６は、Ｘ方向において、第１の支持部材５と第２の支持部材８とによって挟まれるように備えられる。
【００１９】
第２の支持部材８は、ＸＹテーブル９に備えられる。ＸＹテーブル９に備えられたつまみ１０を使用者が回転操作することによって、第２の支持部材８を水平面におけるＸ方向にスライドさせることができる。また、ＸＹテーブル９に備えられたつまみ１１を使用者が回転操作することによって、第２の支持部材８を水平面におけるＹ方向にスライドさせることができる。
【００２０】
ＸＹテーブル９はＸＹテーブル支持部１２に固定される。ＸＹテーブル支持部１２は、台座１３に固定される。従って、使用者がつまみ１０，１１の回転操作を停止しているとき、ＸＹテーブル９に備えられた第２の支持部材８は、台座１３に対して固定された位置にある。
【００２１】
被撮像部品１４は、台座１３に置かれた被撮像部品１６の上に置かれる。カメラ２によって撮像されると、表示部には、被撮像部品１４と被撮像部品１６の外周部が表示される。
【００２２】
使用者は、アライメント装置１に備えられた治具（不図示）を操作することによって、表示部に表示された被撮像部品１４のアライメントマーク１５の位置を調整し、被撮像部品１６に対する被撮像部品１４のＸ方向およびＹ方向の位置決めを行う。
【００２３】
本実施形態では、カメラ２によって撮像される画像における原点の位置は、レンズの中心を通る中心線Ｓと対応する画像の位置とする。図２のカメラ２の姿勢にあるとき、中心線Ｓは、鉛直線Ｖ上にある。
【００２４】
図２に示すように、カメラ２の中心線Ｓが鉛直線Ｖ上となる姿勢にあるとき、カメラ２によって撮像される画像における原点の位置は、鉛直線Ｖ（中心線Ｓ）上にある被撮像部品１４のカメラ２側の平面における位置Ｐ１に対応する。このときのＸ方向におけるアライメントマーク１５の位置は、位置Ｐ１から距離Ｌ１の位置にある。
【００２５】
本実施形態における第１の支持部材５の材質および第２の支持部材８の材質はアルミニウムであり、中間部材６の材質は鉄である。アルミニウムの線膨張係数は、鉄の線膨張係数より大きい。また、上述したように、中間部材６は、第１の支持部材５と第２の支持部材８とによって挟まれるように備えられる。中間部材６の材質は、鉄より線膨張係数が小さいステンレスでもよい。
【００２６】
（比較例）
図３は、比較のためのアライメント装置１ａをＹ方向から見た側面図である。アライメント装置１ａにおける第１の支持部材５ａの材質と中間部材６の材質は鉄であり、第２の支持部材８の材質はアルミニウムである。
【００２７】
図３の位置Ｐ１は、図２のカメラ２の中心線Ｓが鉛直線上となる姿勢にあるとき、カメラ２によって撮像される画像の原点に対応する位置である。
【００２８】
アライメント装置１ａが置かれた室温が変化すると、第２の支持部材８より線膨張係数が小さい中間部材６が湾曲する。例えば、室温が上昇すると、中間部材６が第２の支持部材８側に凸となるように湾曲する。すると、カメラ２の中心線Ｓは鉛直線Ｖに対する傾斜角度θに示すように、カメラ２の中心線Ｓは、鉛直線Ｖに対して傾斜する。
【００２９】
図３に示すように、カメラ２の中心線Ｓが鉛直線Ｖに対して傾斜する姿勢にあるとき、カメラ２によって撮像される範囲が移動し、カメラ２によって撮像される画像における原点に対応する位置は、中心線Ｓ上にある被撮像部品１４のカメラ２側の平面における位置Ｐ２に移動する。このときのＸ方向におけるアライメントマーク１５の位置は、位置Ｐ２から距離Ｌ２の位置にある。
【００３０】
このように、室温が変化すると、カメラ２によって撮像される画像における原点に対応する位置は、被撮像部品１４のカメラ２側の平面における位置Ｐ１から位置Ｐ２に移動する。このため、室温が変化する前は、アライメントマーク１５は、位置Ｐ１から距離Ｌ１の位置にあり、室温が変化した後は、位置Ｐ２から距離Ｌ２の位置にある。従って、室温が変化すると、カメラ２によって撮像された画像におけるアライメントマーク１５のＸ方向の原点からの位置は変化してしまう。
【００３１】
本実施形態におけるアライメント装置１は、台座１３に置かれた被撮像部品１４，１６をカメラ２で撮像し、撮像された画像における被撮像部品１４，１６の位置に基づいて被撮像部品１４の位置を調整するアライメント装置１であって、カメラ２を支持する第１の支持部材５と、台座１３に対する位置が固定された第２の支持部材８と、第１の支持部材５と第２の支持部材８とに挟まれるように備えられる中間部材６と、を備え、第１の支持部材５の線膨張係数と第２の支持部材８の線膨張係数は、中間部材６の線膨張係数より大きい。
【００３２】
この構成によれば、第１の支持部材５の線膨張係数と第２の支持部材８の線膨張係数は、中間部材６の線膨張係数より大きく、中間部材６は、第１の支持部材５と第２の支持部材８とに挟まれるように備えられる。これにより、第１の支持部材５が熱変形によって湾曲することが抑制される。そのため、第１の支持部材５によって支持されるカメラ２の姿勢が変化することが抑制される。従って、熱変形する前に撮像された範囲の位置と、熱変形した後に撮像された範囲の位置とのずれが最小化され、撮像された画像に対応する原点の位置Ｐ１が熱変形によってずれてしまうことが抑制されるので、カメラ２によって撮像された画像におけるアライメントマーク１５の原点からの位置がずれることによって被撮像部品１４の位置決め精度が低下してしまうことが抑制される。
【００３３】
また、第１の支持部材５の線膨張係数と第２の支持部材８の線膨張係数は同じである。
【００３４】
これにより、さらに、第１の支持部材５が湾曲することが抑制されるため、第１の支持部材５によって支持されるカメラ２の姿勢が変化することが抑制される。
【００３５】
（変形例）
図４は、中間部材を材質が異なる複数の部材で構成したアライメント装置１ｂの側面図である。図４の中間部材６ａの材質はステンレスであり、中間部材６ｂの材質は鉄である。第１の支持部材５の材質と第２の支持部材８の材質はアルミニウムである。アライメント装置１ｂのその他の構成は、アライメント装置１の構成と同じである。
【００３６】
中間部材６ａ，６ｂは、第１の支持部材５と第２の支持部材８とによってＸ方向において挟まれるように備えられる。このような構成においても、アライメント装置１ｂが置かれた室温が変化しても、中間部材６ａと中間部材６ｂとから構成される中間部材が湾曲することが抑制されるので、カメラ２が鉛直線に対して傾くことが抑制され、被撮像部品１４の位置決め精度が低下することが抑制される。
【符号の説明】
【００３７】
１，１ａ，１ｂ…アライメント装置、２…カメラ、５，５ａ…第１の支持部材、６，６ａ，６ｂ…中間部材、８…第２の支持部材、１３…台座、１４，１６…被撮像部品。
【図１】
2011090184.tif 000003
【図２】
2011090184.tif 000004
【図３】
2011090184.tif 000005
【図４】
2011090184.tif 000006