(57)【要約】【課題】画像を２次元的に表示する画像表示装置であって、光束を２次元に走査するデバイスの動作を安定化させることが容易であるものを提供する。【解決手段】画像表示装置は、第１スキャナ１２０における第１反射ミラー１４０の実振動周波数を取得し、その実振動周波数に基づき、第２スキャナ１２２における第２反射ミラー１８０の目標振動周波数を取得し、その取得された目標振動周波数を反映した鋸波信号を生成し、その生成された鋸波信号に対し、第２反射ミラーが有する固有の共振周波数帯域がトラップされるようにフィルタ処理を行い、そのフィルタ処理後の鋸波信号に基づき、第２スキャナを駆動するための駆動信号を取得する。この画像表示装置は、第１スキャナと第２スキャナとの間における熱の移動が促進されるように設けられた熱移動促進手段１２８を備えている。【選択図】図２
2011090030.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像を２次元的に表示する画像表示装置であって、
画像信号に応じた強度を有する光束を出射する光源と、
その光源から入射した光束を第１方向に走査する第１スキャナと、
その第１スキャナによって走査された光束を、前記第１方向と交差する第２方向に走査する第２スキャナと
を含み、
前記第１スキャナは、
前記入射した光束を反射する第１反射ミラーと、
その第１反射ミラーに連結された第１はり部と、
第１駆動信号に基づき、前記第１はり部をねじり振動させることによって前記第１反射ミラーを共振モードで前記第１方向に揺動させる第１駆動源と
を含み、
前記第２スキャナは、
前記第１反射ミラーから入射した光束を反射する第２反射ミラーと、
その第２反射ミラーに連結された第２はり部と、
第２駆動信号に基づき、電磁駆動によって前記第２反射ミラーを非共振モードで前記第２方向に揺動させる第２駆動源と
を含み、
当該画像表示装置は、さらに、
前記第１反射ミラーの揺動状態を検出するセンサと、
そのセンサの出力信号に基づき、前記第１反射ミラーの実振動周波数を取得する実振動周波数取得部と、
その取得された第１反射ミラーの実振動周波数に基づき、前記第２反射ミラーの目標振動周波数を取得する目標振動周波数取得部と、
その取得された目標振動周波数を反映した鋸波信号を生成する鋸波信号生成部と、
その生成された鋸波信号に対し、前記第２反射ミラーが有する固有の共振周波数帯域がトラップされるようにフィルタ処理を行うフィルタと、
そのフィルタ処理後の鋸波信号に基づき、前記第２駆動信号を取得する駆動信号取得部と、
前記第１スキャナと前記第２スキャナとの間における熱の移動が促進されるように設けられた熱移動促進手段と
を含む画像表示装置。
【請求項２】
前記熱移動促進手段は、前記第１はり部と前記第２はり部とを互いに連結する連結部材を備えている請求項１に記載の画像表示装置。
【請求項３】
前記連結部材は、前記第１反射ミラーと前記第２反射ミラーとに共通のベースフレームを含み、
そのベースフレームには、前記第１反射ミラーと前記第２反射ミラーとが平面的に並んで配置されており、
そのベースフレームには、前記第１はり部および前記第２はり部の双方が連結される請求項２に記載の画像表示装置。
【請求項４】
少なくとも前記連結部材は、金属製である請求項２または３に記載の画像表示装置。
【請求項５】
前記第１スキャナは、さらに、前記第１はり部が連結された基板を含み、
その基板には、前記第１反射ミラーが前記第１はり部を介して連結されており、
前記第１反射ミラー、前記第１はり部および前記基板は、いずれも、金属製であり、それにより、前記第１スキャナがメタルスキャナとして構成されており、
前記第１駆動源は、前記基板に装着されており、前記第１駆動源に発生した振動によって、前記基板および前記第１はり部を介して、前記第１反射ミラーを共振モードで揺動させ、
当該画像表示装置は、さらに、前記第１スキャナと前記第２スキャナとに共通のベースフレームを含み、
そのベースフレームは、前記基板と前記第２はり部とに連結されるとともに、金属製であり、
少なくとも前記ベースフレーム、前記基板、前記第１はり部および前記第１反射ミラーは、それぞれ、前記熱移動促進手段として機能する請求項１に記載の画像表示装置。
【請求項６】
さらに、
前記連結部材に設置された温度センサを含み、
その温度センサによって検出された温度は、前記第１スキャナと前記第２スキャナとの双方を代表する温度として用いられる請求項１ないし５のいずれかに記載の画像表示装置。
【請求項７】
さらに、
前記第２反射ミラーの揺動状態を検出する第２センサと、
その第２センサの出力信号に基づき、前記第２反射ミラーの揺動に発生している誤差が許容値を超えているか否かを判定する誤差判定部と
を含み、
前記フィルタは、前記誤差判定部により、前記誤差が前記許容値を超えていないと判定された場合には、前記フィルタ処理の特性を更新しないが、前記誤差判定部により、前記誤差が前記許容値を超えていると判定された場合には、前記フィルタ処理の特性を更新する請求項１ないし６のいずれかに記載の画像表示装置。
【請求項８】
画像を２次元的に表示する画像表示装置であって、
画像信号に応じた強度を有する光束を出射する光源と、
その光源から入射した光束を、互いに交差する第１方向および第２方向に２次元的に走査する２次元スキャナと
を含み、
その２次元スキャナは、
前記入射した光束を反射する反射ミラーと、
その反射ミラーに連結された第１はり部と、
第１駆動信号に基づき、前記第１はり部をねじり振動させることによって前記反射ミラーを共振モードで前記第１方向に揺動させる第１駆動源と、
前記第１はり部に連結された可動枠と、
その可動枠に連結された第２はり部と、
その第２はり部に連結された固定枠と、
第２駆動信号に基づき、電磁駆動により、前記可動枠を介して前記反射ミラーを非共振モードで前記第２方向に揺動させる第２駆動源と
を含み、
当該画像表示装置は、さらに、
前記反射ミラーの揺動状態を検出するセンサと、
そのセンサの出力信号に基づき、前記反射ミラーの、前記第１方向における実振動周波数を取得する実振動周波数取得部と、
その取得された実振動周波数に基づき、前記反射ミラーの、前記第２方向における目標振動周波数を取得する目標振動周波数取得部と、
その取得された目標振動周波数を反映した鋸波信号を生成する鋸波信号生成部と、
その生成された鋸波信号に対し、前記反射ミラーが有する固有の共振周波数帯域がトラップされるようにフィルタ処理を行うフィルタと、
そのフィルタ処理後の鋸波信号に基づき、前記第２駆動信号を取得する駆動信号取得部と、
前記第１はり部と前記第２はり部との間における熱の移動が促進されるように設けられた熱移動促進手段と
を含む画像表示装置。
【請求項９】
前記熱移動促進手段は、前記可動枠のうち前記第１はり部に隣接する隣接部分と前記固定枠とのうち少なくとも前記隣接部分を金属製とすることにより、前記第１はり部と前記第２はり部との間における熱の移動を促進する請求項８に記載の画像表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像を２次元的に表示する画像表示装置に関するものであり、特に、光束を２次元に走査するデバイスの動作を安定化させる技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
画像を２次元的に表示する画像表示装置が既に知られている。この種の画像表示装置は、一般に、例えば特許文献１に開示されているように、光束を出射する光源と、その光源から入射した光束を２次元的に走査する光スキャナ装置とを含むように構成される。
【０００３】
ここに、「光スキャナ装置」には、第１反射ミラーの１軸周り揺動によって光束を第１方向（主走査方向）に走査し、その走査された光束を第２反射ミラーの１軸周り揺動によって、第１方向と交差する第２方向（副走査方向）に走査する形式が存在する。
【０００４】
この形式の光スキャナ装置においては、一般に、第１スキャナが、前記光源から入射した光束を反射する第１反射ミラーと、その第１反射ミラーに連結された第１はり部と、第１駆動信号に基づき、前記第１はり部をねじり振動させることによって前記第１反射ミラーを共振モードで前記第１方向に揺動させる第１駆動源とを含むように構成される。
【０００５】
この形式においては、さらに、第２スキャナが、前記第１反射ミラーから入射した光束を反射する第２反射ミラーと、その第２反射ミラーに連結された第２はり部と、第２駆動信号に基づき、電磁駆動によって前記第２反射ミラーを非共振モードで前記第２方向に揺動させる第２駆動源とを含むように構成される。
【０００６】
別の形式の光スキャナ装置も存在し、この形式においては、同じ反射ミラーの２軸周り揺動によって光束が２次元的に走査される。
【０００７】
この形式の光スキャナ装置は、一般に、光源から入射した光束を反射する反射ミラーと、その反射ミラーに連結された第１はり部と、第１駆動信号に基づき、前記第１はり部をねじり振動させることによって前記反射ミラーを共振モードで前記第１方向に揺動させる第１駆動源と、前記第１はり部に連結された可動枠と、その可動枠に連結された第２はり部と、その第２はり部に連結された固定枠と、第２駆動信号に基づき、電磁駆動により、前記可動枠を介して前記反射ミラーを非共振モードで前記第２方向に揺動させる第２駆動源とを含むように構成される。
【０００８】
いずれの形式の光スキャナ装置においても、反射ミラーの揺動によって光束を第２方向（副走査方向）に走査する際に反射ミラーが共振しないように駆動源を制御することが重要である。
【０００９】
そのため、その駆動源に供給される駆動信号が、反射ミラーに固有の共振周波数と同じ周波数を有する成分を含まないように、フィルタ処理される。そのフィルタ処理においては、駆動信号から周波数成分が除去される除去帯域が、反射ミラーに固有の共振周波数と同じ周波数を含むように設定される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００４−２５８１５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
前述の従来の光スキャナ装置においては、その形式の如何を問わず、前記第２駆動源が、光束を前記第２方向に走査するために、前記第２反射ミラーまたは前記可動枠を電磁駆動する。そのため、その第２駆動源はジュール熱を発生し、その結果、当該光スキャナ装置のうち、光束を第２方向に走査するために作動する機械的部分（以下、説明の便宜上、「第２スキャナ」という。）に熱が発生する。
【００１２】
しかし、従来の光スキャナ装置においては、その第２スキャナは、主に熱放射により、その発生した熱が放出され、その熱放射より効果的な冷却が実現され得る熱伝導によって熱が放出されるようにはなっていなかった。
【００１３】
一方、反射ミラーに固有の共振周波数は、常に一定であるわけではなく、例えば、反射ミラーおよびそれに連結されたはり部の弾性係数によって変化し、その弾性係数は、それら反射ミラーおよびはり部の温度によって変化する。
【００１４】
前述のように、反射ミラーを駆動する駆動源は、その動作中、発熱する場合があり、この場合には、当該デバイスの温度上昇が原因で、反射ミラーの共振周波数が低下する。
【００１５】
当該デバイスの温度上昇が原因で、反射ミラーの共振周波数が低下すると、駆動信号において本来であれば除去されるべき成分の周波数が低下し、その結果、その周波数が前記フィルタ処理の除去帯域からずれてしまう可能性がある。
【００１６】
この可能性は、特に、駆動源が電磁コイルを用いるために、その動作中に電磁コイルにジュール熱が発生する場合に、顕著である。
【００１７】
以上説明した事情を背景として、本発明は、画像を２次元的に表示する画像表示装置であって、光束を２次元に走査するデバイスの動作を安定化させることが容易であるものを提供することを課題としてなされたものである。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明によって下記の各態様が得られる。各態様は、項に区分し、各項には番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、本発明が採用し得る技術的特徴の一部およびそれの組合せの理解を容易にするためであり、本発明が採用し得る技術的特徴およびそれの組合せが以下の態様に限定されると解釈すべきではない。すなわち、下記の態様には記載されていないが本明細書には記載されている技術的特徴を本発明の技術的特徴として適宜抽出して採用することは妨げられないと解釈すべきなのである。
【００１９】
さらに、各項を他の項の番号を引用する形式で記載することが必ずしも、各項に記載の技術的特徴を他の項に記載の技術的特徴から分離させて独立させることを妨げることを意味するわけではなく、各項に記載の技術的特徴をその性質に応じて適宜独立させることが可能であると解釈すべきである。
【００２０】
（１）  画像を２次元的に表示する画像表示装置であって、
画像信号に応じた強度を有する光束を出射する光源と、
その光源から入射した光束を第１方向に走査する第１スキャナと、
その第１スキャナによって走査された光束を、前記第１方向と交差する第２方向に走査する第２スキャナと
を含み、
前記第１スキャナは、
前記入射した光束を反射する第１反射ミラーと、
その第１反射ミラーに連結された第１はり部と、
第１駆動信号に基づき、前記第１はり部をねじり振動させることによって前記第１反射ミラーを共振モードで前記第１方向に揺動させる第１駆動源と
を含み、
前記第２スキャナは、
前記第１反射ミラーから入射した光束を反射する第２反射ミラーと、
その第２反射ミラーに連結された第２はり部と、
第２駆動信号に基づき、電磁駆動によって前記第２反射ミラーを非共振モードで前記第２方向に揺動させる第２駆動源と
を含み、
当該画像表示装置は、さらに、
前記第１反射ミラーの揺動状態を検出するセンサと、
そのセンサの出力信号に基づき、前記第１反射ミラーの実振動周波数を取得する実振動周波数取得部と、
その取得された第１反射ミラーの実振動周波数に基づき、前記第２反射ミラーの目標振動周波数を取得する目標振動周波数取得部と、
その取得された目標振動周波数を反映した鋸波信号を生成する鋸波信号生成部と、
その生成された鋸波信号に対し、前記第２反射ミラーが有する固有の共振周波数帯域がトラップされるようにフィルタ処理を行うフィルタと、
そのフィルタ処理後の鋸波信号に基づき、前記第２駆動信号を取得する駆動信号取得部と、
前記第１スキャナと前記第２スキャナとの間における熱の移動が促進されるように設けられた熱移動促進手段と
を含む画像表示装置。
【００２１】
この画像表示装置においては、第２スキャナの温度が上昇すると、それに固有の共振周波数が低下する。そのため、第２スキャナの共振を回避するためにその第２スキャナに供給される駆動信号から除去されるべき周波数の帯域が、前記フィルタの除去帯域からはずれようとする。
【００２２】
しかし、この画像表示装置においては、第２スキャナから第１スキャナに熱が移動することが促進されるため、第２スキャナの温度上昇に起因して第１スキャナの温度も上昇する。その結果、第１スキャナの共振周波数も低下し、それの実振動周波数も低下する。一方、その実振動周波数が低下すると、第２スキャナの目標振動周波数も低下する。
【００２３】
目標振動周波数が低下することは、前記フィルタの除去帯域が、周波数が低下する向きにシフトすることを意味する。そのため、熱の発生によって第２スキャナの共振周波数が変化する向きと同じ向きに前記フィルタの除去帯域がシフトし、その結果、第２スキャナの共振周波数の変動にもかかわらず、その第２スキャナに供給される駆動信号には、実際の共振周波数と同じ周波数を有する成分が含まれ難くなる。
【００２４】
したがって、この画像表示装置によれば、第２スキャナの温度上昇にもかかわらず、第２スキャナの動作が安定化し、その結果、表示される画像の品質が向上するとともに安定化する。
【００２５】
本項における「熱移動促進手段」は、例えば、前記第１スキャナと前記第２スキャナとの間における熱伝導を増加させる手段であり、また、例えば、前記第１スキャナと前記第２スキャナとの一方で発生した熱を熱伝導によって他方に伝達する手段である。
【００２６】
また、本項における「第１駆動源」は、例えば、前記第２駆動源と同様に、電磁駆動式としたり、それ以外の方式、例えば、電磁駆動式より発熱しない圧電式とすることが可能である。
【００２７】
（２）  前記熱移動促進手段は、前記第１はり部と前記第２はり部とを互いに連結する連結部材を備えている（１）項に記載の画像表示装置。
【００２８】
この画像表示装置によれば、前記第１反射ミラー、前記第１はり部、前記連結部材、前記第２はり部および前記第２反射ミラーが互いに共同して１個の物理的な連続体を形成する。それにより、前記連結部材の熱伝導を利用し、第１スキャナと第２スキャナとの間における熱の移動が促進される。
【００２９】
（３）  前記連結部材は、前記第１反射ミラーと前記第２反射ミラーとに共通のベースフレームを含み、
そのベースフレームには、前記第１反射ミラーと前記第２反射ミラーとが平面的に並んで配置されており、
そのベースフレームには、前記第１はり部および前記第２はり部の双方が連結される（２）項に記載の画像表示装置。
【００３０】
（４）  少なくとも前記連結部材は、金属製である（２）または（３）項に記載の画像表示装置。
【００３１】
この画像表示装置によれば、前記連結部材が、合成樹脂より熱伝導率が高い材料である金属によって構成されるため、第１スキャナと第２スキャナとの間における熱の移動を容易に促進することができる。
【００３２】
（５）  前記第１スキャナは、さらに、前記第１はり部が連結された基板を含み、
その基板には、前記第１反射ミラーが前記第１はり部を介して連結されており、
前記第１反射ミラー、前記第１はり部および前記基板は、いずれも、金属製であり、それにより、前記第１スキャナがメタルスキャナとして構成されており、
前記第１駆動源は、前記基板に装着されており、前記第１駆動源に発生した振動によって、前記基板および前記第１はり部を介して、前記第１反射ミラーを共振モードで揺動させ、
当該画像表示装置は、さらに、前記第１スキャナと前記第２スキャナとに共通のベースフレームを含み、
そのベースフレームは、前記基板と前記第２はり部とに連結されるとともに、金属製であり、
少なくとも前記ベースフレーム、前記基板、前記第１はり部および前記第１反射ミラーは、それぞれ、前記熱移動促進手段として機能する（１）項に記載の画像表示装置。
【００３３】
この画像表示装置によれば、第１スキャナと第２スキャナとが、それらに共通のベースフレームであって合成樹脂より熱伝導率が高い材料である金属によって構成されたものによって互いに連結される。
【００３４】
さらに、この画像表示装置によれば、第１スキャナが、前記第１反射ミラーおよび前記第１はり部と、その第１はり部が連結された基板とを含むメタルスキャナとして構成され、さらに、それら第１反射ミラー、第１はり部および基板が、いずれも、合成樹脂より熱伝導率が高い材料である金属によって構成される。
【００３５】
この第１スキャナにおいては、第１駆動源に発生した振動が、基板および第１反射ミラーを介して第１反射ミラーに伝達され、それにより、その第１反射ミラーの共振が励起される。
【００３６】
したがって、この画像表示装置によれば、いずれも金属製であるベースフレーム、基板、第１はり部および第１反射ミラーのおかげにより、第１スキャナと第２スキャナとの間における熱の移動をさらに容易に促進することができる。
【００３７】
本項に係る画像表示装置の一実施例においては、ベースフレーム、基板、第１はり部および第１反射ミラーは、例えばステンレス製であり、また、第１駆動源は、例えば圧電素子を主体とするものである。
【００３８】
（６）  さらに、
前記連結部材に設置された温度センサを含み、
その温度センサによって検出された温度は、前記第１スキャナと前記第２スキャナとの双方を代表する温度として用いられる（１）ないし（５）項のいずれかに記載の画像表示装置。
【００３９】
（７）  さらに、
前記第２反射ミラーの揺動状態を検出する第２センサと、
その第２センサの出力信号に基づき、前記第２反射ミラーの揺動に発生している誤差が許容値を超えているか否かを判定する誤差判定部と
を含み、
前記フィルタは、前記誤差判定部により、前記誤差が前記許容値を超えていないと判定された場合には、前記フィルタ処理の特性を更新しないが、前記誤差判定部により、前記誤差が前記許容値を超えていると判定された場合には、前記フィルタ処理の特性を更新する（１）ないし（６）項のいずれかに記載の画像表示装置。
【００４０】
この画像表示装置によれば、第２反射ミラーの揺動に発生している誤差が小さい場合には、鋸波信号の生成とフィルタ処理とが省略されるため、前記誤差の大小を問わず、鋸波信号の生成とフィルタ処理が行われる場合に比較し、信号処理負荷が軽減される。
【００４１】
本項において、第２反射ミラーの揺動に発生している誤差は、その第２反射ミラーが有する固有の共振周波数成分の大きさである。
【００４２】
（８）  画像を２次元的に表示する画像表示装置であって、
画像信号に応じた強度を有する光束を出射する光源と、
その光源から入射した光束を、互いに交差する第１方向および第２方向に２次元的に走査する２次元スキャナと
を含み、
その２次元スキャナは、
前記入射した光束を反射する反射ミラーと、
その反射ミラーに連結された第１はり部と、
第１駆動信号に基づき、前記第１はり部をねじり振動させることによって前記反射ミラーを共振モードで前記第１方向に揺動させる第１駆動源と、
前記第１はり部に連結された可動枠と、
その可動枠に連結された第２はり部と、
その第２はり部に連結された固定枠と、
第２駆動信号に基づき、電磁駆動により、前記可動枠を介して前記反射ミラーを非共振モードで前記第２方向に揺動させる第２駆動源と
を含み、
当該画像表示装置は、さらに、
前記反射ミラーの揺動状態を検出するセンサと、
そのセンサの出力信号に基づき、前記反射ミラーの、前記第１方向における実振動周波数を取得する実振動周波数取得部と、
その取得された実振動周波数に基づき、前記反射ミラーの、前記第２方向における目標振動周波数を取得する目標振動周波数取得部と、
その取得された目標振動周波数を反映した鋸波信号を生成する鋸波信号生成部と、
その生成された鋸波信号に対し、前記反射ミラーが有する固有の周波数帯域がトラップされるようにフィルタ処理を行うフィルタと、
そのフィルタ処理後の鋸波信号に基づき、前記第２駆動信号を取得する駆動信号取得部と、
前記第１はり部と前記第２はり部との間における熱の移動が促進されるように設けられた熱移動促進手段と
を含む画像表示装置。
【００４３】
この画像表示装置においては、第１はり部の温度が、反射ミラーの、第１方向（主走査方向）における振動の共振周波数に影響を及ぼし、一方、第２はり部の温度が、反射ミラーの、第２方向（副走査方向）における振動の共振周波数に影響を及ぼす。このことを、前記（１）に記載の画像表示装置と比較して説明すると、本項における「第１はり部」の温度が、前記（１）項における「第１スキャナ」の温度に対応し、また、本項における「第２はり部」の温度が、前記（１）項における「第２スキャナ」の温度に対応する。
【００４４】
そして、本項に係る画像表示装置においては、第１はり部と第２はり部との間における熱の移動が促進される。したがって、この画像表示装置によれば、同じ反射ミラーの２次元的揺動によって光束を２次元的に走査する形式でありながら、前記（１）項に係る画像表示装置と同じ作用効果が得られる。
【００４５】
（９）  前記熱移動促進手段は、前記可動枠のうち前記第１はり部に隣接する隣接部分と前記固定枠とのうち少なくとも前記隣接部分を金属製とすることにより、前記第１はり部と前記第２はり部との間における熱の移動を促進する（８）項に記載の画像表示装置。
【００４６】
この画像表示装置によれば、可動枠に、金属製ではない部分、すなわち、一般的には磁性を有しない部分（以下、「非磁性部分」という。）を残しつつ、第１はり部と第２はり部との間における熱の移動が促進される。
【００４７】
したがって、第２駆動源が、磁性体との接触を嫌う形式（例えば、電磁コイル）である場合でも、可動枠のうちの非磁性部分に第２駆動源（例えば、電磁コイル）を設置して、その第２駆動源による電磁駆動により、可動枠を強制的に揺動させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の第１実施形態に従う画像表示装置を概略的に示す系統図である。
【図２】図１に示す光スキャナ装置を示す分解斜視図である。
【図３】図１に示す光スキャナ装置を示す縦断面図である。
【図４】図１に示す制御部を周辺装置と共に概念的に表す機能ブロック図である。
【図５】図４に示す制御部のコンピュータによって実行される駆動信号生成プログラムを概念的に表すフローチャートである。
【図６】図４に示す制御部のコンピュータによって実行される目標駆動周波数取得プログラムを概念的に表すフローチャートである。
【図７】図５に示す駆動信号生成プログラムの実行を説明するためのグラフである。
【図８】前記第１実施形態により得られる効果およびその効果が得られる理由を説明するためのフローチャートである。
【図９】本発明の第２実施形態に従う画像表示装置のうちの２次元スキャナを示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００４９】
以下、本発明のさらに具体的な実施の形態のうちのいくつかを図面に基づいて詳細に説明する。
【００５０】
図１には、本発明の第１実施形態に従う画像表示装置１０が概念的に示されている。この画像表示装置１０は、網膜走査型であり、光束を観察者の眼の瞳孔を経て網膜上に投影し、その網膜上において前記光束を走査することにより、その網膜上に画像を直接に投影する。図１には、眼が符号１２で示され、瞳孔が符号１４で示され、網膜が符号１５で示されている。
【００５１】
この画像表示装置１０は、ヘッドマウント式であり、図１に示すように、観察者の頭部に装着されて使用される装着部１６と、その観察者によって携帯される光源ユニット１８とを物理的に互いに独立に備えている。それら装着部１６と光源ユニット１８とは、光伝送手段としてのフレキシブルな光ファイバ２０によって互いに光学的に接続されている。
【００５２】
装着部１６は、眼鏡型であり、通常の眼鏡と同様にして、観察者の鼻と両耳とを利用して観察者の頭部に保持される。光源ユニット１８は、例えば、ベルト等の固定具を利用して、観察者の腰や背中において観察者に装着されて使用される。
【００５３】
画像表示装置１０は、単眼式であり、観察者の片眼１２の網膜１５上に画像を投影する。そのため、図１に示すように、画像表示装置１０は、装着部１６において、光束を走査する走査ユニット４０を備えるとともに、その走査された光束を片眼１２に入射させて網膜１５上に投影する投影具４２を備えている。装着部１６は、走査ユニット４０において、光ファイバ２０に接続されている。
【００５４】
図１に示すように、投影具４２は、反射式であり、走査ユニット４０によって走査された光束を反射して網膜１５に入射させる。具体的には、この投影具４２は、通常の眼鏡における各レンズに類似の形状を有するハーフミラーを用いて構成されている。投影具４２においては、観察者に対向する表面が反射面４４とされており、図１に示すように、走査ユニット４０から反射面４４に入射した光束がその反射面４４で反射して眼１２に入射する。
【００５５】
投影具４２は、上述の反射機能に加えて、投影具４２の前方から入射する光を透過して眼１２に入射させる透過機能も有している。したがって、観察者は、画像表示装置１０から伝送される画像を、投影具４２を透過した眼前の実景に重ね合わせて視認することができる。すなわち、画像表示装置１０は、シースルー型なのである。
【００５６】
図１には、光源ユニット１８と、光ファイバ２０と、走査ユニット４０とが光路図で示されている。
【００５７】
光源ユニット１８は、光源部５０と集束部５２と制御部５４とを含むように構成されている。
【００５８】
光源部５０は、ＲＧＢ方式によって任意の色を再現するために、赤色（Ｒ）のレーザビームを発生させるレーザ装置６０と、緑色（Ｇ）のレーザビームを発生させるレーザ装置６２と、青色（Ｂ）のレーザビームを発生させるレーザ装置６４とを備えている。各レーザ装置６０，６２，６４は、例えば、半導体レーザを主体として構成される。
【００５９】
それらレーザ装置６０，６２，６４から発生するレーザビームの強度は、網膜１５上に投影すべき画像を表す画像信号に基づき、各画素ごとに、制御部５４によって制御される。
【００６０】
これに対し、集束部５２は、それら３つのレーザ装置６０，６２，６４からそれぞれ発生した３つのレーザビームを集束させるために設けられており、例えば、各レーザ装置６０，６２，６４ごとに、発生したレーザビームをコリメートするためのコリメートレンズ７０，７２，７４と、ダイクロイックミラー８０，８２，８４とを含むように構成される。
【００６１】
この集束部５２によって集束されたレーザビームは、収束レンズ９０によって収束され、その収束されたレーザビームは、光ファイバ２０を通過して走査ユニット４０に入射する。
【００６２】
図１に示すように、走査ユニット４０は、光ファイバ２０から出射したレーザビームをコリメートするためのコリメートレンズ９８と、そのコリメートレンズ９８から出射したレーザビームを、互いに交差する第１方向と第２方向とに２次元的に走査する光スキャナ装置１００とを備えている。
【００６３】
本実施形態においては、コリメートレンズ９８により、レーザビームが平行光として光スキャナ装置１００に入射する。その光スキャナ装置１００から出射したレーザビームは、投影具４２の反射面４４に入射し、そこで反射して網膜１５上に到達する。
【００６４】
図１に示すように、光スキャナ装置１００には駆動部１１０が電気的に接続されている。駆動部１１０は、制御部５４から、光ファイバ２０またはそれとは別の経路である電線を経て供給された駆動信号に基づき、光スキャナ装置１００を駆動する。
【００６５】
光スキャナ装置１００は、並列構造型であり、上流側の高速(High-Speed)スキャナ（以下、「ＨＳ」ともいう。）１２０と下流側の低速(Low-Speed)スキャナ（以下、「ＬＳ」ともいう。）１２２とを同一平面上に備えている。それら高速スキャナ１２０と低速スキャナ１２２とが駆動部１１０によって駆動される。
【００６６】
高速スキャナ１２０は、それに入射したレーザビームを第１方向（「主走査方向」ともいい、例えば、水平方向と垂直方向との一方）に共振モードで（後述の反射ミラー１４０の共振により）高速に走査する。これに対し、低速スキャナ１２２は、高速スキャナ１２０から入射したレーザビームを、第１方向とは交差する第２方向（「副走査方向」ともいい、例えば、垂直方向と水平方向との他方）に非共振モードで（後述の反射ミラー１８０の強制揺動により）低速に走査する。
【００６７】
したがって、本実施形態においては、高速スキャナ１２０が前記（１）項における「第１スキャナ」の一例であり、低速スキャナ１２２が同項における「第２スキャナ」の一例である。
【００６８】
光スキャナ装置１００の基本的構成は、本出願人の特許出願に係る特開２００５−１８１５６６号公報に詳細に開示されているため、本明細書においては、重複した説明を省略する。その公報は全体として、その引用により、本明細書に合体させられる。
【００６９】
図２には、光スキャナ装置１００が分解斜視図で示され、一方、図３には、光スキャナ装置１００が縦断面図で示されている。光スキャナ装置１００は、振動体１２４の表面がカバー１２６によって覆われることによって構成されている。
【００７０】
振動体１２４は、薄板金属製のベースフレーム１２８を、高速スキャナ１２０と低速スキャナ１２２とに共通に備えている。そのベースフレーム１２８は、厚さが３０ないし５０μｍ程度であるＳＵＳ３０４（金属に分類される材料の一例）により構成されたプレートを基材として構成されている。
【００７１】
その基材にエッチングを施すことにより、ベースフレーム１２８と高速スキャナ１２０のうちの振動部とが互いに一体的に、振動体１２４に形成されている。高速スキャナ１２０は、それに入射したレーザビームを第１方向に走査するために、前記振動部（揺動部）として、反射ミラー１４０と、その反射ミラー１４０を隔てて互いに対向する一対のはり部１５０，１５０とを備えている。
【００７２】
すなわち、本実施形態においては、反射ミラー１４０が前記（１）項における「第１反射ミラー」の一例を構成し、一対のはり部１５０，１５０が同項における「第１はり部」の一例を構成しているのである。
【００７３】
それら反射ミラー１４０およびはり部１５０にとっては、ベースフレーム１２８のうちはり部１５０に隣接して包囲する部分が、固定枠として機能する。はり部１５０は、反射ミラー１４０とベースフレーム１２８とを互いに連結する。
【００７４】
高速スキャナ１２０は、一対のはり部１５０，１５０が互いに対向する方向に第１揺動軸線を有している。また、一対のはり部１５０，１５０にはそれぞれ駆動源（例えば、圧電素子）１６０が装着されており、各駆動源１６０は、対応するはり部１５０をねじり振動させることによって反射ミラー１４０を共振モードで第１揺動軸線まわりに（前記第１方向に）揺動させる。
【００７５】
図２に示すように、本実施形態においては、反射ミラー１４０を隔てて互いに対向する２つの位置にそれぞれ、２本のはり部１５０，１５０が存在し、それぞれのはり部１５０に駆動源１６０が装着されている。
【００７６】
それらはり部１５０，１５０にはそれぞれ、板厚方向に湾曲させる変位が、互いに逆向きとなるように、それぞれの駆動源１６０から付与される。その結果、それらはり部１５０，１５０は、互いに共同して、反射ミラー１４０を、第１揺動軸線まわりに、同じ向きに揺動させる。
【００７７】
本実施形態においては、高速スキャナ１２０のうち、反射ミラー１４０もはり部１５０も、薄板金属製とされているが、より軽量である材料（例えば、シリコン）を用いて製作してもよい。
【００７８】
図１に示すように、駆動部１１０には、高速スキャナ１２０の駆動源１６０を駆動するための駆動回路１６２が設けられている。この駆動回路１６２は、制御部５４から供給される駆動信号（例えば、正弦波信号）に基づき、必要な電力を駆動源１６０に供給するように設計されている。
【００７９】
以上の説明から明らかなように、高速スキャナ１２０がベースフレーム１２８に一体的に形成されるが、これに対し、低速スキャナ１２２は、ベースフレーム１２８から独立して形成される。ベースフレーム１２８には、高速スキャナ１２０の下流側において矩形状の凹部（または貫通穴）１７０が形成されており、その凹部１７０に低速スキャナ１２２が装着される。
【００８０】
図２に示すように、低速スキャナ１２２は、高速スキャナ１２０から入射したレーザビームを第２方向に走査するために、振動部（揺動部）として、反射ミラー１８０と、その反射ミラー１８０を隔てて互いに対向する一対のはり部１８２，１８２とを備えており、さらに、それらはり部１８２，１８２が連結される固定枠１８４を備えている。
【００８１】
すなわち、本実施形態においては、反射ミラー１８０が前記（１）項における「第２反射ミラー」の一例を構成し、一対のはり部１８２，１８２が同項における「第２はり部」の一例を構成しているのである。
【００８２】
それら反射ミラー１８０、一対のはり部１８２，１８２および固定枠１８４は、基材であるシリコンウェーハ（非磁性材料の一例）にエッチングを施すことにより、互いに一体的に形成される。低速スキャナ１２２は、一対のはり部１８２，１８２が互いに対向する方向に第２揺動軸線を有している。
【００８３】
低速スキャナ１２２は、いわゆるガルバノミラーに分類される。ガルバノミラーの基本的構成はよく知られているため、ここでは詳細な説明を省略する。低速スキャナ１２２においては、反射ミラー１８０の背面に駆動源１８６（図１ないし図３には示されておらず、機能ブロック図である図４のみに示されている。）が装着されている。駆動源１８６の一例は、電磁コイルとして機能するプリント配線である。低速スキャナ１２２は、その駆動源１８６に対向する位置に、永久磁石１８８（図１ないし図３には示されておらず、機能ブロック図である図４のみに示されている。）を備えており、その永久磁石１８８は静磁界を形成する。
【００８４】
低速スキャナ１２２の駆動源１８６は、永久磁石１８８と共同して、一対のはり部１８２，１８２をねじり振動させることによって反射ミラー１８０を非共振モードで第２揺動軸線まわりに（前記第２方向に）強制的に揺動させる。
【００８５】
なお付言するに、本実施形態においては、図２に示すように、反射ミラー１８０と固定枠１８４とを互いに相対揺動可能に連結する１本のはり部１８２が、反射ミラー１８０の位置に関して、両側にそれぞれ配置されている。
【００８６】
図１に示すように、駆動部１１０には、低速スキャナ１２２の駆動源１８６を駆動するための駆動回路１９０が設けられている。この駆動回路１９０は、制御部５４から供給される駆動信号（例えば、直線的に変化する鋸波信号を修正した信号）に基づき、必要な電力を駆動源１８６に供給するように設計されている。
【００８７】
図１に示すように、走査ユニット４０は、さらに、ビームディテクタ１９４（図１においては、「ＢＤ」で表記する。）を定位置に備えている。ビームディテクタ１９４は、高速スキャナ１２０によって偏向されたレーザビーム（すなわち、第１方向において走査されたレーザビーム）を検出するために設けられている。ビームディテクタ１９４の一例は、フォトダイオードである。
【００８８】
ビームディテクタ１９４は、レーザビームが所定の位置に到達したか否かを表す信号（オン状態とオフ状態とに変化する信号）をＢＤ信号として制御部５４に出力する。このビームディテクタ１９４から出力されたＢＤ信号に応答し、制御部５４は、ビームディテクタ１９４がレーザビームを検出した時期から設定時間が経過するのを待って、必要な駆動信号を各レーザ装置６０，６２，６４に供給する。これにより、各走査線ごとに、画像表示開始タイミングが決定され、その決定された画像表示開始タイミングで画像表示が開始される。
【００８９】
制御部５４は、さらに、それに供給されたＢＤ信号の周期（例えば、ＢＤ信号において、互いに隣接または近接する２つのエッジ部の間隔をシステムクロックなどの、更に高速なクロックのもとにカウントして取得される周期）に基づき、高速スキャナ１２０の反射ミラー１４０の実振動周波数を取得する。この実振動周波数の用途については、後に詳述する。
【００９０】
図１に示すように、走査ユニット４０は、さらに、低速スキャナ１２２の反射ミラー１８０の揺動状態を検出する揺動状態センサ１９６を備えている。この揺動状態センサ１９６は、例えば、各はり部１８２に装着された圧電素子であり、各はり部１８２の歪みを検出することによって反射ミラー１８０の揺動状態や、リンギングを検出するために使用される。ここに、「リンギング」とは、駆動信号に応じた反射ミラー１８０の揺動に重畳する形で反射ミラー１８０に出現する不要な共振成分を意味する。
【００９１】
図２に示すように、カバー１２６は、板部２００の周縁から縦壁部２０２が延びるように構成されている。カバー１２６は、外部からレーザビームが入射することを可能にするために入口側透過部２０４を備えており、一方、レーザビームが外部に出射することを可能にするために出口側透過部２０６を備えている。
【００９２】
図３に示すように、高速スキャナ１２０には入口側透過部２０４を経てレーザビームが斜めに入射する一方、低速スキャナ１２２からは出口側透過部２０６を経てレーザビームが斜めに出射する。
【００９３】
図２および図３に示すように、板部２００の両面のうち高速スキャナ１２０および低速スキャナ１２２に対向するもの（すなわち、裏面）に固定ミラー２１０が装着されている。この固定ミラー２１０は、定位置に装着される。固定ミラー２１０は、高速スキャナ１２０から出射したレーザビームを低速スキャナ１２２に向かって反射する。
【００９４】
以上、画像表示装置１０の構成を概略的に説明したが、次に、画像表示装置１０のうち、本発明を理解するために説明することが必要な部分、特に、高速スキャナ１２０および低速スキャナ１２２の制御をより詳細に説明する。
【００９５】
図４には、制御部５４の構成が概念的に機能ブロック図で表されている。この制御部５４は、高速スキャナ１２０の駆動回路１６２に供給すべき駆動信号を生成するための第１駆動信号生成部２２０と、低速スキャナ１２２の駆動回路１９０に供給すべき駆動信号を生成するための第２駆動信号生成部２２２とを備えている。
【００９６】
第１駆動信号生成部２２０は、高速スキャナ１２０が共振するために必要な駆動信号を生成して駆動回路１６２に供給する。高速スキャナ１２０に固有の振動周波数（共振周波数）は、主に反射ミラー１４０およびはり部１５０の質量および弾性係数などによって一義的に決まる。
【００９７】
しかし、反射ミラー１４０およびはり部１５０の弾性係数（特に、はり部１５０の弾性係数）には、高速スキャナ１２０の温度上昇（特に、はり部１５０の温度）に伴って弾性係数が低下するという温度特性がある。そのため、高速スキャナ１２０には、それの温度上昇に伴って共振周波数が低下するという温度特性もある。
【００９８】
そのため、第１駆動信号生成部２２０は、高速スキャナ１２０の動作中に、ビームディテクタ１９４からの出力信号に基づき、反射ミラー１４０の振れ角を監視し、それにより、反射ミラー１４０が共振状態にあるか否かを判定するとともに、反射ミラー１４０が共振状態に維持されるように駆動信号（正弦波信号）を生成する。
【００９９】
その結果、反射ミラー１４０が、それの温度変化にもかかわらず、共振状態に維持されることになる。そのため、反射ミラー１４０の実振動周波数は、変動する可能性がある。
【０１００】
これに対し、第２駆動信号生成部２２２は、高速スキャナ１２０の振動に同期して低速スキャナ１２２を非共振モードで強制的に揺動させるために必要な駆動信号を生成して駆動回路１９０に供給する。
【０１０１】
本実施形態においては、高速スキャナ１２０については、高速走査実現のために、反射ミラー１４０を共振モードで高速に揺動させることが必要であるが、低速スキャナ１２２については、低速走査で足りるため、反射ミラー１８０を共振モードで高速に揺動させることは不要である。
【０１０２】
しかし、低速スキャナ１２２の反射ミラー１８０にも、それに固有の振動周波数が存在するため、その反射ミラー１８０を揺動させるための駆動回路１９０に供給される駆動信号に、その固有振動周波数と実質的に同じ周波数を有する周波数成分が含まれていると、反射ミラー１８０が、前記駆動信号に応じた揺動に加えて、予定外に共振してしまう。反射ミラー１８０の動きに大きな誤差が発生し、大きなリンギングが発生してしまうのである。したがって、低速スキャナ１２２においても、反射ミラー１８０の共振周波数を考慮することが必要である。
【０１０３】
そのため、第２駆動信号生成部２２２は、高速スキャナ１２０の駆動回路１６２に供給される駆動信号の周波数（駆動周波数）に応じて一義的に決まる周波数を有する鋸波信号（直線的に変化する周期的な信号）を基礎信号として、その基礎信号に対してフィルタ処理（デジタルフィルタ処理）を施すことにより、その基礎信号から、低速スキャナ１２２に固有の共振周波数（１次共振周波数ｆ１および２次共振周波数ｆ２を含む）と同じ周波数を有する成分を除去する。
【０１０４】
図４に示すように、第２駆動信号生成部２２２においては、第１記憶部（メモリ）２３０に基礎信号がドットデータとして予め記憶されている。読出部２３２が、その第１記憶部２３０からデータを、第１クロック周波数で読み出し、その読み出されたデータに対してフィルタ部２３４がフィルタ処理を施す。
【０１０５】
図４に示すように、第２駆動信号生成部２２２においては、さらに、目標駆動周波数取得部２３５が、ビームディテクタ１９４の出力信号に基づき、高速スキャナ１２０の実振動周波数を演算し、その演算された実振動周波数を、１フレーム当たりの総走査線数に相当する所定整数値ｎで割り算することにより、低速スキャナ１２２の目標駆動周波数を取得する。
【０１０６】
高速スキャナ１２０の実振動周波数は、ビームディテクタ１９４の出力信号の周期に基づき、取得される。したがって、本実施形態においては、ビームディテクタ１９４が、前記（１）項における「第１反射ミラーの揺動状態を検出するセンサ」の一例を構成している。
【０１０７】
フィルタ部２３４のフィルタ処理の特性は、パラメータ（後述のカットオフ周波数およびトラップ周波数帯域の中心周波数を含む）に基づいて決まる。そのパラメータは、パラメータ決定部２３６により、揺動状態センサ１９６の出力信号に基づいて決定される。
【０１０８】
フィルタ処理後の信号は、ドットデータとして第２記憶部（メモリ）２３８に一時的に記憶される。Ｄ／Ａ変換器２４０が、その第２記憶部２３８からデータを、前記第１クロック周波数と等しい第２クロック周波数で読み出し、その読み出されたデータをアナログ信号に変換する。変換されたアナログ信号は駆動信号として低速スキャナ１２２の駆動回路１９０に供給される。
【０１０９】
なお付言するに、本実施形態の説明においては、第１クロック周波数を有する第１クロック信号と、第２クロック周波数を有する第２クロック信号とが、説明の便宜上、互いに区別して使用されている。これは、各クロック信号が使用される目的が互いに異なることによるが、物理的には、共通のクロック信号であってもよい。
【０１１０】
前記フィルタ処理は、基礎信号を、低速スキャナ１２２の２次共振周波数ｆ２以上の周波数帯域において減衰させるための１次フィルタ処理と、そのフィルタ処理後の信号を、低速スキャナ１２２の１次共振周波数ｆ１を中心とする周波数帯域において減衰させるための２次フィルタ処理とを含んでいる。
【０１１１】
１次フィルタ処理は、ローパスフィルタ処理であり、例えば、ベッセル型の１８次ローパスフィルタ処理である。これに対し、２次フィルタ処理は、先行する２次ローパスフィルタ処理と、後続する２次ノッチフィルタ処理とを含んでいる。
【０１１２】
２次フィルタ処理につき、ローパスフィルタ処理の特性は、カットオフ周波数等のパラメータによって決まり、そのカットオフ周波数は、低速スキャナ１２２の２次共振周波数ｆ２に応じて設定される。これに対し、ノッチフィルタ処理の特性は、処理対象信号のうち、ノッチフィルタ処理によってトラップされるべき周波数帯域（以下、「トラップ周波数帯域」とも「除去帯域」ともいう。）の中心周波数というパラメータによって決まり、そのトラップ周波数帯域の中心周波数は、低速スキャナ１２２の１次共振周波数ｆ１に応じて設定される。
【０１１３】
本実施形態においては、基礎信号に対して１次フィルタ処理が施されると、その基礎信号が１次信号に変換され、その１次信号に対して２次フィルタ処理が施されると、その１次信号が２次信号に変換され、その２次信号に対してＤ／Ａ変換が行われると、その２次信号が最終的な駆動信号に変換される。
【０１１４】
図４に示す制御部５４は、図示しないコンピュータ（プロセッサおよびメモリを有する）が所定のプログラムを実行することにより、動作する。その所定のプログラムは、第２駆動信号生成部２２２の機能を実現するために、駆動信号生成プログラムと目標駆動周波数取得プログラムとを含んでいる。
【０１１５】
図５には、駆動信号生成プログラムが概略的にフローチャートで表されている。
【０１１６】
この駆動信号生成プログラムは、前記コンピュータによって繰返し実行される。各回の実行時には、まず、ステップＳ１０１において、低速スキャナ１２２の目標駆動周波数ｆｄが取得される。この取得は、前記目標駆動周波数取得プログラム（後に詳述する）の実行によって行われる。
【０１１７】
次に、ステップＳ１０２において、その取得された目標駆動周波数ｆｄが第１クロック周波数として設定され、その設定された第１クロック周波数を有する第１クロック信号が生成される。
【０１１８】
続いて、ステップＳ１０３において、その生成された第１クロック信号を用いることにより、基礎信号である鋸波信号を表すデータが第１記憶部２３０から、第１クロック周波数で、読み出される。これにより、鋸波信号（フィルタ部２３４の処理対象である基礎信号）が生成される。
【０１１９】
本実施形態においては、前記コンピュータのうち、ステップＳ１０４およびＳ１０５を実行する部分が、図４に示す読出部２３２を構成している。
【０１２０】
その後、ステップＳ１０４において、予め定められた条件が成立したか否かが判定される。その条件とは、具体的には、この駆動信号生成プログラムの今回の実行が２回目以後である場合、すなわち、後述のステップＳ１１１の実行の結果、低速スキャナ１２２の作動が開始された後である場合に成立する。
【０１２１】
今回は、未だ、上記条件が成立していない（今回の実行は、初回であって、２回目以後ではない）と仮定すれば、ステップＳ１０４の判定がＮＯとなり、ステップＳ１０７に移行する。
【０１２２】
このステップＳ１０７においては、揺動状態センサ１９６の出力信号に基づいて検出された低速スキャナ１２２の揺動状態に基づき、前記フィルタ処理の特性を設定するための前記パラメータが決定される。例えば、揺動状態とパラメータとの間に予め設定されたテーブル（前記メモリに予め記憶されている）を参照するなどして、反射ミラー１８０の揺動状態の検出値に対応するパラメータが決定される。
【０１２３】
本実施形態においては、前記コンピュータのうち、ステップＳ１０６およびＳ１０７を実行する部分が、図４に示すパラメータ決定部２３６を構成している。
【０１２４】
その後、ステップＳ１０８において、前記生成された鋸波信号（基礎信号）に対し、前記決定されたパラメータのもと、前記フィルタ処理（前記１次フィルタ処理と前記２次フィルタ処理とを含む）が施される。その２次フィルタ処理には、前記ノッチフィルタ処理が含まれている。
【０１２５】
本実施形態においては、前記コンピュータのうち、ステップＳ１０８を実行する部分が、図４に示すフィルタ部２３４を構成している。
【０１２６】
続いて、ステップＳ１０９において、前記フィルタ処理が施された鋸波信号（２次信号）が第２記憶部２３８に一時的に保存される。
【０１２７】
その後、ステップＳ１１０において、前記第１クロック信号と同じ周波数を有する第２クロック信号が生成される。続いて、ステップＳ１１１において、その生成された第２クロック信号を用いることにより、前記フィルタ処理が施された鋸波信号（２次信号）を表すデータが第２記憶部２３８から、第２クロック周波数で、読み出される。その読み出された鋸波信号がＤ／Ａ変換されることにより、最終的な駆動信号が生成される。
【０１２８】
本実施形態においては、前記コンピュータのうち、ステップＳ１１１を実行する部分が、図４に示すＤ／Ａ変換器２４０を構成している。
【０１２９】
以上で、この駆動信号生成プログラムの一回の実行が終了する。
【０１３０】
今回は、前記条件が成立していない（今回の実行は、初回であって、２回目以後ではない）と仮定されているが、前記条件が成立した（今回の実行は、２回目以後である）場合には、ステップＳ１０４の判定がＹＥＳとなる。
【０１３１】
この場合には、その後、ステップＳ１０５において、低速スキャナ１２２についての揺動状態センサ１９６の出力信号に基づき、反射ミラー１８０のリンギング（固有共振周波数を有する揺動）の大きさ（振幅の大きさ）が検出される。
【０１３２】
続いて、ステップＳ１０６において、その検出されたリンギングの大きさが許容値を超えているか否かが判定される。
【０１３３】
ここで、低速スキャナ１２２の反射ミラー１８０のリンギングが増加する主たる原因の一つを考察するに、低速スキャナ１２２の温度が上昇してそれの共振周波数が低下すると、その共振周波数が前記フィルタ処理の除去帯域から外れてしまう。それにもかかわらず、前記パラメータを更新することなく前記フィルタ処理を行うと、低速スキャナ１２２に供給された駆動信号に、共振周波数と同じ周波数を有する成分が残存してしまう。その結果、反射ミラー１８０の動きが、等角速度揺動からずれてしまい、これがリンギングとなる。
【０１３４】
今回は、低速スキャナ１２２の反射ミラー１８０のリンギングの大きさが前記許容値を超えていると仮定すると、ステップＳ１０６の判定がＹＥＳとなり、ステップＳ１０７に移行する。
【０１３５】
今回は、低速スキャナ１２２の反射ミラー１８０のリンギング（誤差）が大きいと仮定されているが、そうではない場合には、ステップＳ１０６の判定がＮＯとなる。
【０１３６】
この場合には、ステップＳ１０７がスキップされ、その後、ステップＳ１０８に移行する。したがって、今回は、フィルタ特性のパラメータが更新されることなく、ステップＳ１０８において、フィルタ処理が行われることになる。
【０１３７】
図６には、前記目標駆動周波数取得プログラムが概略的にフローチャートで表されている。
【０１３８】
この目標駆動周波数取得プログラムは、前記コンピュータによって繰返し実行される。各回の実行時には、まず、ステップＳ２０１において、高速スキャナ１２０についてのビームディテクタ１９４からＢＤ信号が取り込まれる。
【０１３９】
その後、ステップＳ２０２において、その取り込まれたＢＤ信号に基づき、前述のようにして、高速スキャナ１２０の反射ミラー１４０の実振動周波数ｆ０が検出される。
【０１４０】
続いて、ステップＳ２０３において、その検出された実振動周波数ｆ０が前記所定整数値ｎで割り算されることにより、低速スキャナ１２２の目標駆動周波数ｆｄが取得される。
【０１４１】
その後、ステップＳ２０４において、その取得された目標駆動周波数ｆｄまたはそれに関連する情報（例えば、分周比等）が、その後の使用に備えて、前記コンピュータのメモリに保存される。図５に示すステップＳ１０２（またはＳ１１０）が実行されれば、最新の目標駆動周波数ｆｄが前記メモリから読み出されることになる。
【０１４２】
以上で、この目標駆動周波数取得プログラムの一回の実行が終了する。
【０１４３】
本実施形態においては、前記コンピュータのうち、この目標駆動周波数取得プログラムを実行する部分が、図４に示す目標駆動周波数取得部２３５を構成している。
【０１４４】
以上の説明から明らかなように、本実施形態においては、低速スキャナ１２２の温度が大きく上昇してそれの共振周波数が大きく低下したために低速スキャナ１２２の反射ミラー１８０のリンギングが大きい場合には、前記フィルタ処理の特性を決める前記パラメータが、低速スキャナ１２２の実際の揺動状態（例えば、それの共振周波数に関連するもの）を反映するように更新され、そのうえで、前記フィルタ処理が行われる。
【０１４５】
これに対し、低速スキャナ１２２の反射ミラー１８０のリンギングが小さい場合には、前記フィルタ処理の特性を決める前記パラメータを更新することなく、前記フィルタ処理が行われ、それにより、最終的な駆動信号が生成される。
【０１４６】
すなわち、低速スキャナ１２２の反射ミラー１８０のリンギングが小さい場合には、前記フィルタ処理の特性を更新することなく、低速スキャナ１２２のための駆動信号を生成し、それにより、前記コンピュータの負荷軽減を図るのである。
【０１４７】
本実施形態においては、最終的な駆動信号から除去される周波数帯域が、低速スキャナ１２２の共振周波数の低下に追従するようにシフトし、その結果、最終的な駆動信号から、共振周波数と同じ周波数を有する成分が除去されるが、以下、その理由を説明する。
【０１４８】
高速スキャナ１２０の場合と同様に、低速スキャナ１２２に固有の共振周波数にも温度依存性がある。低速スキャナ１２２の温度上昇に伴い、低速スキャナ１２２に固有の共振周波数が低下するのである。
【０１４９】
ここに、低速スキャナ１２２の共振周波数の温度特性についてさらに詳しく考察するに、低速スキャナ１２２は、前述のように、駆動源１８６が電磁コイルを利用して反射ミラー１８０を揺動させる形式（電磁駆動方式）である。そのため、低速スキャナ１２２の動作中に電磁コイルにジュール熱が発生し、その結果、低速スキャナ１２２は、ジュール熱が発生しない形式である高速スキャナ１２０より発熱し易い。その温度変化は、低速スキャナ１２２を支持するはり等の弾性特性に大きな影響を及ぼすため、その弾性特性の影響を受け易い共振周波数も低下し易い。
【０１５０】
低速スキャナ１２２の実際の共振周波数が低下すると、その共振周波数が、前述のノッチフィルタ処理の前記除去帯域からずれてしまう可能性がある。
【０１５１】
このようなずれが低速スキャナ１２２の共振周波数と除去帯域との間に存在するにもかかわらず、それを無視してノッチフィルタ処理を行うと、そのノッチフィルタ処理後の信号（駆動信号として低速スキャナ１２２の駆動回路１９０に供給されるもの）において本来であれば除去されるべき周波数成分が実際には除去されない。そのような駆動信号を用いて低速スキャナ１２２を駆動すると、揺動中の反射ミラー１８０の動き（理想的には、厳密な等角速度運動）にリンギングが発生してしまう。
【０１５２】
そこで、本発明者は、低速スキャナ１２２の温度上昇を抑制するために、光スキャナ装置１００において、低速スキャナ１２２からの熱の放散を促進する対策（放熱性向上対策）を研究した。
【０１５３】
その研究の結果、本発明者は、低速スキャナ１２２を包囲するベースフレーム１２８を、シリコンなどの合成樹脂より熱伝導率が高い材料である金属を用いて構成することが、低速スキャナ１２２の放熱性向上に有効であることに気がついた。
【０１５４】
本発明者は、さらに、前記ノッチフィルタ処理につき、次のことにも気がついた。
【０１５５】
ノッチフィルタ処理が施されるべき信号は、基礎信号、すなわち、何ら修正されていない鋸波信号（直線的に変化する信号）に対して１次フィルタ処理（例えば１８次のローパスフィルタ処理）が施されたものであるが、基礎信号が処理された信号である１次信号の周波数（駆動周波数）は、高速スキャナ１２０の実振動周波数（理想的には、実際の共振周波数ｆ０と一致する。）の変動に追従するように設定される。
【０１５６】
前記ノッチフィルタ処理においては、１次信号の周波数（駆動周波数）は、高速スキャナ１２０の実振動周波数を前記所定整数値ｎで割り算することにより、設定される。したがって、１次信号の駆動周波数は、高速スキャナ１２０の実振動周波数に依存する。
【０１５７】
さらに、前記ノッチフィルタ処理においては、除去帯域の中心周波数は、理想的には、低速スキャナ１２２の実際の共振周波数に追従するように可変に設定されるべきである。しかし、低速スキャナ１２２の温度が上昇してそれの共振周波数が低下すると、その共振周波数と除去帯域の中心周波数との間に乖離（容認し難いずれ）が頻繁に発生してしまう。
【０１５８】
しかし、本発明者は、低速スキャナ１２２の温度が上昇してそれの共振周波数が低下すれば、それに追従するように、高速スキャナ１２０の温度も上昇してそれの実振動周波数も低下する対策を講じれば、１次信号がフィルタ処理された信号である２次信号における実際の除去帯域が、低速スキャナ１２２の共振周波数が変化する向きと同じ向きにシフトすることに気がついた。
【０１５９】
以下、このことを、図７を参照することにより、具体的に説明する。
【０１６０】
１次信号である鋸波信号をフーリエ変換すると、その鋸波信号は、図７（ａ）に示すように、駆動周波数の整数倍である複数の高調波成分に分解される。図７において、「θ」は、鋸波信号の振幅を表し、「ｔ」は、時間を表し、「Ｇａｉｎ」は、周波数スペクトルのゲインを表し、「ｆｒ」は、周波数を表す。
【０１６１】
本実施形態においては、前記ノッチフィルタ処理が、それの除去帯域の中心周波数が鋸波信号の駆動周波数（以下、単に「駆動周波数」という。）に依存するように設計されていて、具体的には、除去帯域の中心周波数は、駆動周波数をｍ（ｍ＞１）倍したものとなる。ここで、一例として、複数の高調波成分のうち注目すべき注目高調波を、駆動周波数の４倍の周波数を有する高調波に選定し、それを除去帯域の中心周波数とする。
【０１６２】
なお付言するに、低速スキャナ１２２の反射ミラー１８０が等角速度運動するような駆動信号は、鋸波信号の、できる限り高い次数の高調波まで含むことが望ましい。したがって、前記ｍの値は、上述の例におけるｍの値、すなわち、４より十分に大きいほうが望ましく、また、例えば、低速スキャナ１２２は、ｍ＞１０が成立するようにｍの値が選定されるのが一般的である。
【０１６３】
ここで、時刻ｔ１において、駆動周波数（第１および第２クロック周波数）が６０Ｈｚであると仮定し、時刻ｔ２において、駆動周波数（第１および第２クロック周波数）が５５Ｈｚであると仮定する。時刻ｔ１より、時刻ｔ２の方が、高速スキャナ１２０の温度が上昇してそれの共振周波数が低下し、そのため、駆動周波数（第１および第２クロック周波数）が低下したのである。
【０１６４】
図７（ｂ）に示すうように、除去帯域の中心周波数（高調波の周波数）は、駆動周波数（この図においては、「フレームレート」の意味で、「ｆｌ」で表す。）が６０Ｈｚである場合、２４０Ｈｚとなり、これに対し、駆動周波数ｆｌが５５Ｈｚである場合には、２２０Ｈｚとなる。
【０１６５】
駆動周波数ｆｌが６０Ｈｚである鋸波信号（１次信号）に対して、除去帯域の中心周波数が２４０Ｈｚであるように設定されたノッチフィルタ処理を行う場合には、図７（ｃ）に示すように、そのノッチフィルタ処理により、鋸波信号（１次信号）から、２４０Ｈｚの高調波が除去される。
【０１６６】
ここで、同じ１次信号に対し、同じ特性のノッチフィルタ処理を、駆動周波数ｆｌを５５Ｈｚとして（第１および第２クロック周波数のいずれも５５Ｈｚとして）実行すると、実際には、鋸波信号（１次信号）から、駆動周波数ｆｌの４倍の周波数２２０Ｈｚを有する周波数成分が除去される。すなわち、ノッチフィルタ処理の実際の除去帯域の中心周波数が、駆動周波数ｆｌに依存しているのである。
【０１６７】
このように、ノッチフィルタ処理の前記パラメータが、低速スキャナ１２２の共振周波数に追従するように更新されなくても、駆動周波数ｆｌが低下すれば、自動的に、除去帯域の中心周波数も低下する。
【０１６８】
前述のように、本実施形態においては、低速スキャナ１２２の温度が上昇してそれの共振周波数が低下すれば、それに追従するように、高速スキャナ１２０の温度も上昇してそれの実振動周波数も低下する対策が講じられている。
【０１６９】
この対策は、具体的には、高速スキャナ１２０と低速スキャナ１２２とを、互いに熱的に遮断されるように配置するのではなく、それら高速スキャナ１２０と低速スキャナ１２２とをそれらに共通のベースフレーム１２０に搭載し、それら高速スキャナ１２０と低速スキャナ１２２との間における熱の移動を、熱伝導という効果的な形態によって促進することを含んでいる。
【０１７０】
これによれば、反射ミラー１４０と反射ミラー１８０とが、連結部材としてのベースフレーム１２８を介して互いに連結され、その結果、物理的な１個の連続体が形成されることになる。
【０１７１】
さらに、この対策は、そのベースフレーム１２８を、合成樹脂より熱伝導率が高い材料である金属で構成することを含み、さらに、高速スキャナ１２０においてはり部１５０の温度が上昇し易いように、そのはり部１５０を、合成樹脂より熱伝導率が高い材料である金属で構成することを含んでいる。
【０１７２】
図８には、光スキャナ装置１００において、低速スキャナ１２２（ＬＳ）の温度上昇を原因として、フィルタ部２３４によるノッチフィルタ処理の除去帯域が追従する現象が時系列的に示されている。
【０１７３】
まず、ステップＳ１において、低速スキャナ１２２の温度が上昇すると、ステップＳ２において、その低速スキャナ１２２の共振周波数が低下する。ステップＳ１を原因として、ステップＳ３において、低速スキャナ１２２に発生した熱がベースフレーム１２８を介して高速スキャナ１２０（ＨＳ）に伝達される結果、その高速スキャナ１２０の温度が上昇する。
【０１７４】
ステップＳ３に続き、ステップＳ４において、高速スキャナ１２０の共振周波数が低下し、続いて、ステップＳ５において、低速スキャナ１２２の駆動周波数（前記（１）項における「目標振動周波数」、第１クロック周波数および第２クロック周波数でもある）が低下する。その後、ステップＳ６において、低速スキャナ１２２のためのノッチフィルタ処理の除去帯域が低下する。
【０１７５】
ステップＳ２とＳ６とが共同し、その結果、ステップＳ７において、低速スキャナ１２２の共振周波数の低下にノッチフィルタ処理の除去帯域が追従することになる。
【０１７６】
なお付言するに、本実施形態においては、低速スキャナ１２２にその動作中に発生した熱が高速スキャナ１２０に積極的に伝達されるようになっている。これにより、雰囲気温度が低い場合でも、高速スキャナ１２０の温度が適正温度領域（常温領域）に上昇するのに必要な時間が短縮されるという付随的な効果も得られる。
【０１７７】
この効果により、高速スキャナ２０を含めた光スキャナ装置１００全体の使用温度範囲、すなわち、正常な動作を保証しなければならない温度範囲を縮小することが容易となり、それにより、設計の自由度が向上する。
【０１７８】
以上の説明から明らかなように、本実施形態においては、前記コンピュータのうち、図６に示すステップＳ２０１およびＳ２０２を実行する部分が、前記（１）項における「実振動周波数取得部」の一例を構成し、ステップＳ２０３を実行する部分が、同項における「目標駆動周波数取得部」の一例を構成し、図５に示すステップＳ１０２およびＳ１０３を実行する部分が、同項における「鋸波信号生成部」の一例を構成し、ステップＳ１０７ないしＳ１０９を実行する部分が、同項における「フィルタ」の一例を構成し、ステップＳ１１０およびＳ１１１を実行する部分が、同項における「駆動信号取得部」の一例を構成しているのである。
【０１７９】
さらに、本実施形態においては、ベースフレーム１２８が、前記（１）項における「熱移動促進手段」の一例および前記（２）項における「連結部材」の一例をそれぞれ構成しているのである。
【０１８０】
なお付言するに、本実施形態は、ベースフレーム１２８に温度センサ（図示しない）が設置され、かつ、制御部５４が、その温度センサによって検出された温度を、高速スキャナ１２０と低速スキャナ１２２との双方を代表する温度として用いて、光スキャナ装置１００全体の動作状態を監視するように、変更することが可能である。
【０１８１】
この場合、制御部５４は、例えば、その温度検出値が許容値を超えると、光スキャナ装置１００が過熱している可能性があるとして、その動作の継続を禁止するように設計することが可能である。
【０１８２】
次に、本発明の第２実施形態を説明する。ただし、本実施形態は、第１実施形態と共通する要素が多いため、共通する要素については、同一の名称または符号を使用して引用することにより、重複した説明を省略し、異なる要素についてのみ、詳細に説明する。
【０１８３】
図２に示すように、第１実施形態に従う画像表示装置１０においては、高速スキャナ１２０と低速スキャナ１２２とが、同一平面上に並んで配置されるとともに、それらに共通のベースフレーム１２８に設置されている。
【０１８４】
これに対し、本実施形態に従う画像表示装置２６０は、光スキャナ装置１００に代えて、図９に示す２次元スキャナ２７０を備えている。この２次元スキャナ２７０は、１枚の反射ミラー２７２を２次元的に揺動させ、それにより、その反射ミラー２７２に入射した光束を２次元的に走査するように構成されている。
【０１８５】
２次元スキャナ２７０の基本的構成は、本出願人の特許出願に係る特開２００８−１９１６１９号公報に開示されているため、重複した説明を省略する。この公報は、全体として、引用されることにより、本明細書に合体させられる。
【０１８６】
２次元スキャナ２７０は、反射ミラー２７２の他に、その反射ミラー２７２に連結された一対の第１はり部２７４，２７４と、その一対の第１はり部２７４，２７４に連結された可動枠２７６と、その可動枠２７６に連結された一対の第２はり部２７８，２７８と、その一対の第２はり部２７８，２７８に連結された固定枠２８０とを備えている。
【０１８７】
反射ミラー２７２の裏面には、第１駆動信号に基づき、一対の第１はり部２７４，２７４をねじり振動させることによって反射ミラー２７２を共振モードで第１方向に（図９において、Ｘ軸まわりに）高速に揺動させる第１駆動源２９０が設置されている。その第１駆動源２９０は、電磁コイルである。
【０１８８】
可動枠２７６には、第２駆動信号に基づき、一対の第２はり部２７８，２７８をねじり振動させることにより、可動枠２７６を介して反射ミラー２７２を非共振モードで第２方向に（図９において、Ｙ軸まわりに）低速に揺動させる第２駆動源２９２が設置されている。その第２駆動源２９２も、電磁コイルである。
【０１８９】
本実施形態においては、可動枠２７６のうち第１はり部に隣接する隣接部分が金属製とされ、それにより、一対の第１はり部２７４，２７４と一対の第２はり部２７８，２７８との間における熱の移動が、可動枠２７６によって促進される。
【０１９０】
本実施形態においては、第２駆動源２９２が、磁性体との接触を嫌う電磁コイルであるため、可動枠２７６に非磁性部分を残しつつ、一対の第１はり部２７４，２７４と一対の第２はり部２７８，２７８との間における熱の移動が可動枠２７６によって促進される。可動枠２７６のうち非磁性部分に第２駆動源２９２が設置されており、その第２駆動源２９２の電磁駆動により、可動枠２７６が強制的に揺動させられる。
【０１９１】
本実施形態においては、可動枠２７６内の熱伝導により、一対の第１はり部２７４，２７４と一対の第２はり部２７８，２７８との間における熱の移動が促進される。
【０１９２】
２次元スキャナ２７０は、さらに、第１駆動源２９０に対向する固定位置と、第２駆動源２９２に対向する固定位置とにそれぞれ、第１および第２永久磁石（図示しない）を備えている。第１永久磁石によって形成される静磁界は第１駆動源２９０に適用され、これに対し、第２永久磁石によって形成される静磁界は第２駆動源２９２に適用される。
【０１９３】
第１実施形態における高速スキャナ１２０および低速スキャナ１２２と対比して本実施形態を説明するに、一対の第１はり部２７４，２７４と、第１駆動源２９０と、前記第１永久磁石とが互いに共同して高速スキャナを構成し、一対の第２はり部２７８，２７８と、第２駆動源２９２と、前記第１永久磁石とが互いに共同して低速スキャナを構成し、反射ミラー２７２が、それら高速スキャナと低速スキャナとに共有されている。
【０１９４】
画像表示装置２６０の制御部５４は、前記コンピュータにより、図５に示す駆動信号生成プログラムと図６に示す目標駆動周波数取得プログラムとを実行することにより、第２駆動源２９２に供給すべき駆動信号（前記（１）項における「第２駆動信号」の一例である）を生成する。
【０１９５】
具体的には、本実施形態においては、第１実施形態と同様に、低速スキャナ３０２（例えば、可動枠２７６）の温度が大きく上昇してそれの共振周波数が大きく低下したために反射ミラー２７２の第１方向（主走査方向）におけるリンギングが大きい場合には、前記フィルタ処理の特性を決める前記パラメータが、低速スキャナ３０２の実際の揺動状態（例えば、それの共振周波数に関連するもの）を反映するように更新される。
【０１９６】
これに対し、反射ミラー２７２の第２方向（副走査方向）におけるリンギングが小さい場合には、前記パラメータの更新なしで前記フィルタ処理が行われ、それにより、最終的な駆動信号が生成される。
【０１９７】
すなわち、反射ミラー２７２の第２方向におけるリンギングが小さい場合には、前記フィルタ処理の特性を決めるパラメータを更新することなく、最終的な駆動信号を生成し、それにより、前記コンピュータの負荷軽減を図るのである。
【０１９８】
以上、本発明の第１実施形態および第２実施形態を説明したが、本発明は、その他の形態で実施することも可能である。
【０１９９】
本発明の別の一実施形態においては、例えば、図２に示す高速スキャナ１２０が、メタルスキャナとして構成される。
【０２００】
メタルスキャナについては、それの一従来例が特開２００６−２９３１１６号公報に開示されているため、本明細書においては重複した説明を省略するが、その公報は、その全体が、引用によって本明細書に合体させられる。
【０２０１】
本実施形態に従うメタルスキャナは、その基本的な構造に関しては、図２に示すものと共通するため、共通する要素については、同一の符号を使用して引用することにより、重複した説明を省略する。
【０２０２】
本実施形態に従うメタルスキャナは、図２に示すベースフレーム１２８に連結された基板と、その基板に連結された第１はり部（例えば、図２に示すはり部１８２の如く、１本のストレートはり）と、その第１はり部に連結された反射ミラー１４０とを有している。
【０２０３】
このメタルスキャナの一例においては、ベースフレーム１２８と、基板と、第１はり部と、反射ミラー１４０とが、それらの順に、一列に並ぶように互いに連結される。ただし、基板は、ベースフレーム１２８に、剛結合されるのではなく、軟結合される。具体的には、基板は、例えば、周辺部より剛性が低いために屈曲し易いヒンジを介するなどして、ベースフレーム１２８に、相対的に屈曲可能に連結される。
【０２０４】
基板に圧電膜（前記（１）項における「第１駆動源」の一例）が装着されている。その圧電膜は、電圧を印加されると、振動し、その振動により、基板に振動（振動方向が、基板の表面に対しては平行であるが、その振動の伝播方向に対しては垂直である振動）が発生させられる。
【０２０５】
その発生させられた振動は、第１はり部にねじり振動を励起し、そのねじり振動により、反射ミラー１４０が共振モードで揺動させられる。
【０２０６】
本実施形態においては、ベースフレーム１２８、基板、第１はり部および反射ミラー１４０が、いずれも、金属製（例えばステンレス製）とされている。
【０２０７】
したがって、本実施形態においては、メタルスキャナとして構成された高速スキャナ１２０と低速スキャナ１２２とが、合成樹脂より熱伝導率が高い材料である金属によって構成されたベースフレーム１２８によって互いに連結されている。
【０２０８】
さらに、本実施形態においては、ベースフレーム１２８のみならず、基板、第１はり部および反射ミラー１４０も、合成樹脂より熱伝導率が高い材料である金属によって構成されている。
【０２０９】
したがって、本実施形態によれば、少なくともベースフレーム１２８、基板、第１はり部および反射ミラー１４０を媒介として、高速スキャナ１２０と低速スキャナ１２２との間における熱の移動を容易に促進することができる。
【０２１０】
以上、本発明の実施の形態のいくつかを図面に基づいて詳細に説明したが、これらは例示であり、前記［発明の開示］の欄に記載の態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変形、改良を施した他の形態で本発明を実施することが可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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