(57)【要約】【課題】半導体集積回路の素子及び配線のレイアウトにおけるガードリングの設計の自由度を高める。【解決手段】設計装置は、デザインルールを記憶するデザインルール記憶部１１、予め設計されたレイアウトを記憶するレイアウト記憶部１２、デザインルールに適合したガードリング幅を設定幅として設定するガードリング幅設定部２１、レイアウト上にガードリングの形成経路を指定するための経路指定部３２、指定経路に基づいてガードリング形成経路を認識する経路認識部２２、ガードリング形成用のレイヤーリストを記憶するガードリング形成用レイヤー記憶部１３、認識経路の下地レイヤーに応じたガードリング形成用のレイヤーを設定するガードリング形成用レイヤー設定部２３及び認識経路に設定幅で設定レイヤーを反映させてガードリングを生成するガードリング生成部２４を備えている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レイアウトを構成する各レイヤーのデザインルールを記憶するデザインルール記憶部と、
ガードリングを生成する前の状態での全レイヤーにより形成される全素子及び全配線のレイアウトを記憶するレイアウト記憶部と、
ガードリングの幅として入力された値が前記デザインルールに適合するか否かを判定する機能を有し、前記デザインルールに適合した値を設定幅として設定するガードリング幅設定部と、
前記レイアウト上にガードリングを形成すべき経路を指定経路として指定するための経路指定部と、
前記指定経路に基づいてガードリング形成経路を認識経路として認識する経路認識部と、
下地レイヤーに応じたガードリング形成用のレイヤーリストを記憶するガードリング形成用レイヤー記憶部と、
前記認識経路の下地レイヤーを認識し、認識した下地レイヤーに応じたガードリング形成用のレイヤーを前記レイヤーリストから選択し設定レイヤーとして設定するガードリング形成用レイヤー設定部と、
前記認識経路に前記設定幅で前記設定レイヤーを反映させてガードリングを生成するガードリング生成部と、を備えたガードリング設計装置。
【請求項２】
前記経路指定部は新たな指定経路を追加する機能を有し、
前記経路認識部は前記新たな指定経路に基づいて新たな認識経路を認識する機能を有し、
前記ガードリング幅設定部は新たな設定幅を設定する機能を有し、
前記ガードリング生成部は前記新たな認識経路に新たな設定幅のガードリングを生成する機能を有する請求項１に記載のガードリング設計装置。
【請求項３】
レイアウトを構成するセルの情報を記憶するセル情報記憶部と、
前記ガードリング幅設定部により設定されたガードリング幅と前記セル情報記憶部に記憶されているセル情報とに基づいてガードリングに必要なコンタクトセルの単位長さ当たりの個数を算出する演算部をさらに備え、
前記ガードリング生成部は前記演算部により算出された個数以上のコンタクトセルを含むガードリングを生成する機能を有する請求項１又は２に記載のガードリング設計装置。
【請求項４】
ガードリングの幅として入力された値がレイアウトを構成する各レイヤーのデザインルールに適合するか否かを判定し、前記デザインルールに適合した値を設定幅として設定するガードリング幅設定ステップと、
ガードリングを生成する前の状態での全レイヤーにより形成される全素子及び全配線のレイアウト上に指定された指定経路に基づいてガードリング形成経路を認識経路として認識する経路認識ステップと、
前記認識経路の下地レイヤーを認識し、認識した下地レイヤーに応じたガードリング形成用のレイヤーを、下地レイヤーに応じたガードリング形成用レイヤーのリストとして予め設定されたレイヤーリストから選択し設定レイヤーとして設定するガードリング形成用レイヤー設定ステップと、
前記認識経路に前記設定幅で前記設定レイヤーを反映させてガードリングを生成するガードリング生成ステップと、を備え、各ステップを実行してガードリングを設計するガードリング設計方法。
【請求項５】
前記ガードリング幅設定ステップとは別に新たなガードリング幅を新設定幅として設定する新ガードリング幅設定ステップと、
前記指定経路とは別に新たに指定された経路に基づいてガードリング形成経路を新認識経路として認識する新経路認識ステップと、
前記新認識経路の下地レイヤーに応じたガードリング形成用のレイヤーを前記レイヤーリストから選択し新設定レイヤーとして設定する新ガードリング形成用レイヤー設定ステップと、
前記新認識経路に前記新設定幅で前記新設定レイヤーを反映させてガードリングを生成する新ガードリング生成ステップと、をさらに備えた請求項４に記載のガードリング設計方法。
【請求項６】
ガードリング幅設定部により設定されたガードリング幅と予め記憶されているセル情報とに基づいてガードリングに必要なコンタクトセルの単位長さ当たりの個数を算出するコンタクトセル数演算ステップを、さらに備え、
前記ガードリング生成ステップにおいて前記コンタクトセル数演算ステップにおいて算出された個数以上のコンタクトセルを含むガードリングを生成する請求項５に記載のガードリング設計方法。
【請求項７】
請求項４から６のいずれか一項に記載のガードリング設計方法に係る各ステップを実行することにより、コンピュータをガードリング設計装置として機能させるためのプログラム。
【請求項８】
請求項７に記載のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路の製造において、不要なキャリアを吸収するためのガードリングの配置を設計するためのガードリング設計装置、ガードリング設計方法、プログラム及び記録媒体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
複数の回路ブロックを搭載した半導体集積回路では、各回路ブロックにおいて発生した不要なキャリアが他の回路ブロックへ影響を与えて誤動作等の不具合を起こすことを防止するために、ノイズによって誤動作等の不具合が発生しうる回路ブロックの周囲を囲うようにガードリングを配置することが従来から行なわれている（例えば、特許文献１参照。）。ガードリングは拡散層とその拡散層を電源電圧又はグランドに接続するためのメタル配線によって構成される。
【０００３】
半導体集積回路の設計においては、ＣＡＤ（Computer-Aided Design）システムを用いて行なわれることが一般的である。ＣＡＤシステムにおいては、種々の回路に利用可能な電子回路構成要素をセルとして保持しており、それらのセルを選択して配置するとともにメタル配線を配することにより所望の電子回路を設計することができる。このようなＣＡＤシステムを用いてガードリングを必要とする回路ブロックを含む集積回路を設計する場合、初期段階からガードリングを考慮してガードリングが必要な回路ブロックの周囲にセルを配置しないように設計し、全てのセルを配置するとともに全てのメタル配線を配してから設計者が手作業で必要な位置にガードリングを作成していた。
【０００４】
しかし、ガードリングの作成においてガードリングを構成するメタル配線と他の配線とが交差しないようにするなどの制約があるため、セルや配線の配置が複雑になると手作業によるガードリングの作成作業も複雑になり、ガードリング作成に長時間を要したり配線ミスが発生したりするなどの問題があった。
【０００５】
上記問題の解決を図ることを目的として、ガードリングが必要な回路ブロックの周囲に自動的にガードリングを作成するガードリング設計装置が提案されている（特許文献２参照。）。
【０００６】
特許文献２のガードリング設計装置について簡単に説明する。この設計装置は、セルリスト記憶部、レイアウトデータ記憶部、セル枠認識部、ガードリング枠生成部、外枠抽出部、成否判定部及びチップレイアウト出力部で構成されている。セルリスト記憶部はセルのリストを記憶しており、レイアウトデータ記憶部はそれらのセルのレイアウトを記憶している。セル枠認識部は、セルリスト記憶部及びレイアウトデータ記憶部のデータに基づいてガードリングを必要とする回路ブロックを構成する各セルの枠の位置座標を算出する。ガードリング枠生成部は、ガードリングとセル枠との間に必要な距離及びガードリング幅をセル枠認識部が算出した各セル枠の位置座標に加え、各セル枠を取り囲むガードリング枠の位置座標を算出する。外枠抽出部は、各ガードリング枠の位置座標に基づいてそれら全てを取り囲む外枠を抽出する。成否判定部は当該外枠と他のセルとの重複の有無を判定する。チップレイアウト出力部は、外枠抽出部が抽出した外枠と他のセルとの重複が無い場合に上記外枠に沿って、他の配線との交差点を除いた位置にガードリングのメタル配線を生成する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記特許文献２のガードリング設計装置では、設計者がガードリングを必要とする回路ブロックを指定すると、その回路ブロックを含む領域の周囲の空き領域にガードリングを自動的に生成するものである。その設計装置では、ガードリングを配置したくない領域（禁止領域）を設定する機能がないため、指定した回路ブロックの周囲にガードリングを配置したくない領域が存在する場合にはその領域に仮想的に何らかのセルを配置してガードリングを配置できない領域として認識させる作業が必要であり、ガードリングの配置領域を設計者が自由に設計することは困難であった。
【０００８】
そこで本発明は、半導体集積回路の素子及び配線のレイアウトにおけるガードリングの設計の自由度を高めることを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るガードリング設計装置は、レイアウトを構成する各レイヤーのデザインルールを記憶するデザインルール記憶部と、ガードリングを生成する前の状態での全レイヤーにより形成される全素子及び全配線のレイアウトを記憶するレイアウト記憶部と、ガードリングの幅として入力された値がデザインルールに適合するか否かを判定する機能を有し、デザインルールに適合した値を設定幅として設定するガードリング幅設定部と、レイアウト上にガードリングを形成すべき経路を指定経路として指定するための経路指定部と、指定経路に基づいてガードリング形成経路を認識経路として認識する経路認識部と、下地レイヤーに応じたガードリング形成用のレイヤーリストを記憶するガードリング形成用レイヤー記憶部と、認識経路の下地レイヤーを認識し、認識した下地レイヤーに応じたガードリング形成用のレイヤーをレイヤーリストから選択し設定レイヤーとして設定するガードリング形成用レイヤー設定部と、認識経路に設定幅で設定レイヤーを反映させてガードリングを生成するガードリング生成部と、を備えたものである。
ここで、「デザインルール」とは、レイアウトを構成する各レイヤーにおける配線の必要幅や必要な間隔などセルや配線のレイアウト設計において守るべきルールを意味する。
【００１０】
また、特許文献２のガードリング設計装置では、ガードリングが必要な回路ブロックを指定すると、指定した回路ブロックを含む領域の周囲に一律の幅のガードリングが生成され、ガードリングの幅を場所によって変更することは不可能であった。
そこで本発明に係るガードリング設計装置では、経路指定部は新たな指定経路を追加する機能を有し、経路認識部は新たな指定経路に基づいて新たな認識経路を認識する機能を有し、ガードリング幅設定部は新たな設定幅を設定する機能を有し、ガードリング生成部は新たな認識経路に新たな設定幅のガードリングを生成する機能を有することが好ましい。そうすれば、設計者は幅を変更しながらガードリングの設計を行なうことが可能になるので、ガードリング設計の自由度がさらに高まる。
【００１１】
さらに、本発明に係るガードリング設計装置では、レイアウトを構成するセルの情報を記憶するセル情報記憶部と、ガードリング幅設定部により設定されたガードリング幅とセル情報記憶部に記憶されているセル情報とに基づいてガードリングに最低限必要なコンタクトセルの単位長さ当たりの個数を算出する演算部をさらに備え、ガードリング生成部は演算部により算出された個数以上のコンタクトセルを含むガードリングを生成する機能を有することが好ましい。そうすれば、必要なコンタクトセルの単位長さ当たりの個数が自動的に演算されるので、設計者はコンタクトセルを含めたガードリングの設計が容易になり、設計にかかる時間の短縮及び設計ミスの低減を図ることができる。
【００１２】
本発明に係るガードリング設計方法は、ガードリングの幅として入力された値がレイアウトを構成する各レイヤーのデザインルールに適合するか否かを判定し、デザインルールに適合した値を設定幅として設定するガードリング幅設定ステップと、ガードリングを生成する前の状態での全レイヤーにより形成される全素子及び全配線のレイアウト上に指定された指定経路に基づいてガードリング形成経路を認識経路として認識する経路認識ステップと、認識経路の下地レイヤーを認識し、認識した下地レイヤーに応じたガードリング形成用のレイヤーを、下地レイヤーに応じたガードリング形成用レイヤーのリストとして予め設定されたレイヤーリストから選択し設定レイヤーとして設定するガードリング形成用レイヤー設定ステップと、認識経路に設定幅で設定レイヤーを反映させてガードリングを生成するガードリング生成ステップと、を備え、各ステップを実行してガードリングを設計するものである。
【００１３】
本発明に係るガードリング設計方法において、ガードリング幅設定ステップとは別に新たなガードリング幅を新設定幅として設定する新ガードリング幅設定ステップと、指定経路とは別に新たに指定された経路に基づいてガードリング形成経路を新認識経路として認識する新経路認識ステップと、新認識経路の下地レイヤーに応じたガードリング形成用のレイヤーをレイヤーリストから選択し新設定レイヤーとして設定する新ガードリング形成用レイヤー設定ステップと、新認識経路に新設定幅で新設定レイヤーを反映させてガードリングを生成する新ガードリング生成ステップと、をさらに備えていることが好ましい。そうすれば、設計者は幅を変更しながらガードリングの設計を行なうことが可能になるので、ガードリング設計の自由度がさらに高まる。
【００１４】
本発明に係るガードリング設計方法において、ガードリング幅設定部により設定されたガードリング幅と予め記憶されているセル情報とに基づいてガードリングに必要なコンタクトセルの単位長さ当たりの個数を算出するコンタクトセル数演算ステップを、さらに備え、ガードリング生成ステップにおいてコンタクトセル数演算ステップにおいて算出された個数以上のコンタクトセルを含むガードリングを生成することが好ましい。そうすれば、必要なコンタクトセルの単位長さ当たりの個数が自動的に演算されるので、設計者はコンタクトセルを含めたガードリングの設計が容易になり、設計にかかる時間の短縮及び設計ミスの低減を図ることができる。
【００１５】
本発明に係るプログラムは、上記のガードリング設計方法に係る各ステップを実行することにより、コンピュータをガードリング設計装置として機能させるものである。
【００１６】
本発明に係る記録媒体は上記のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能なものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明のガードリング設計装置及び設計方法によれば、ガードリングの幅を設定してその形成経路を指定することで、指定された経路に基づいてデザインルールに適合した経路を認識し、その認識経路の下地レイヤーからガードリングを形成するために必要なレイヤーが設定され、そのレイヤーを反映したガードリングが設定幅で認識経路に生成されるので、自由度の高いガードリングの設計を容易に行なうことが可能である。
【００１８】
本発明のガードリング設計方法を実行する本発明のプログラムをコンピュータに組み込むことにより、そのコンピュータを本発明のガードリング設計装置として機能させることができる。
【００１９】
本発明のプログラムを記録した記録媒体をコンピュータで読み取ることにより、本発明のプログラムをコンピュータに組み込むことができ、そのコンピュータを本発明のガードリング設計装置として機能させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】第１の実施例を概略的に示すブロック図である。
【図２】同実施例におけるガードリング設計手順を示すフローチャートである。
【図３】第２の実施例を概略的に示すブロック図である。
【図４】同実施例におけるガードリング設計手順を示すフローチャートである。
【図５】レイアウト上におけるガードリング生成プロセスを説明するためのレイアウト画面の図である。
【図６】図５の続きを示すレイアウト画面の図である。
【図７】図６の続きを示すレイアウト画面の図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下にガードリング設計装置の第１の実施例を図１及び図２を参照しながら説明する。
まず、図１に基づいて一実施例の構成を説明する。この実施例のガードリング設計装置はＣＡＤシステムに内包されており、記憶部１、処理部２及びインターフェイス部３を備えている。記憶部１、処理部２及びインターフェイス部３はそれぞれＣＡＤシステムを操作するＰＣ（パーソナルコンピュータ）を構成する各要素により構成される。記憶部１はＰＣに内蔵された記憶装置の一部の領域により構成されている。処理部はＰＣのＣＰＵ（Central Processing Unit）及びプログラムにより構成されている。インターフェイス部３は設計者がこの設計装置に対して操作を行なうとともに設計装置からの情報を確認する手段であり、具体的にはＰＣに接続されたキーボード、マウス及びモニタにより実現される。
【００２２】
記憶部１はデザインルール記憶部１１、レイアウト記憶部１２、ガードリング形成用レイヤー記憶部１３及びガードリング生成後レイアウト記憶部１４を備えている。デザインルール記憶部１１にはレイアウトを構成する各レイヤーにおける配線の必要幅や必要な間隔などセルや配線のレイアウト設計におけるデザインルールが記憶されている。レイアウト記憶部１２には、予め設計されたセルや配線の形成プロセスのレイヤーごとの配置がレイアウトデータとして記憶されている。ガードリング形成用レイヤー記憶部１３には、ガードリングを形成する領域の下地のレイヤーに対応したガードリングを形成するためのウエル画定、イオン注入及びメタルのパターニングに必要なレイヤーのリストが記憶されている。ガードリング生成後レイアウト記憶部１４は後述するガードリング生成部によりガードリングが生成された後のレイアウトデータを記憶する領域である。
【００２３】
処理部２はガードリング幅設定部２１、経路認識部２２、ガードリング形成用レイヤー設定部２３及びガードリング生成部２４を備えている。インターフェイス部３は幅入力部３１、経路指定部３２及びレイアウト表示部３３を備えており、幅入力部３１はキーボードによって実現され、経路指定部３２はマウスによって実現され、レイアウト表示部３３はＰＣのモニタによって実現される。
【００２４】
ガードリング幅設定部２１は幅設定部３１を介して設計者により入力されたガードリング幅がデザインルール１１に記憶されているデザインルールに適合しているか否かを判定し、適合している場合にその幅を形成するガードリングの幅として設定する。以下、ガードリング幅設定部２１が設定した幅を「設定幅」と記す。
【００２５】
経路認識部２２はレイアウト表示部３３にガードリング設計前のレイアウトを表示するとともに、そのレイアウト上で設計者により経路指定部３２を介して指定されたガードリングの形成経路を認識する。以下、経路認識部２２が認識した経路を「認識経路」と記す。
【００２６】
ガードリング形成用レイヤー設定部２３は、経路認識部２２が認識した経路の下地レイヤーを認識し、その下地レイヤーによって形成されるその領域にガードリングを形成するために必要なプロセスを実行するのに必要な全てのレイヤーをガードリング形成用レイヤー記憶部１３のレイヤーリストから割り出し、ガードリング形成用レイヤーとして設定する。以下、ガードリング形成用レイヤー設定部２３により設定されたレイヤーを「設定レイヤー」と記す。
【００２７】
ガードリング生成部２４はレイアウト上の認識経路にガードリングを設定幅で生成する。ガードリングは設定レイヤーを反映した形で生成され、イオン注入用に画定された領域、拡散により形成されるウエル領域及びその上層に形成されるメタル配線がレイヤーごとに生成される。ガードリングが生成された後のレイアウトはレイアウト表示部３３に表示されるとともに、そのデータがガードリング生成後レイアウト記憶部１４に記憶される。
【００２８】
次に、図２に基づいてこの実施例のガードリング設計装置によるガードリングの設計手順の一例を図５から図７も参照しながら説明する。
まず、レイアウト表示部３３に予め作成されたガードリング設計前のレイアウト画像が表示される（ステップＳ１、図５）。設計者は配置すべきガードリングのメタル配線の幅を幅入力部３１より入力する（ステップＳ２）。ガードリング幅設定部２１は入力された幅がデザインルールに規定されている配線の最低幅を満たしているか否かを判定し（ステップＳ３）、満たしていなければ設計者に幅の再入力を促し、最低幅を満たしているときにその幅をガードリング幅として設定する。
【００２９】
設計者は、レイアウト表示部３３に表示されているレイアウト上において、ガードリングを配置したい経路を経路指定部３２で指定する（ステップＳ５、図６）。経路認識部２２は設計者の指定した経路をガードリング形成経路として認識する（ステップＳ６）。
【００３０】
ガードリング形成用レイヤー設定部２３は、経路認識部２２により認識された認識経路の下地となっているレイヤーを認識する（ステップＳ７）。さらに、ガードリング形成用レイヤー設定部２３は、その下地レイヤーにより形成される領域にガードリングを形成するために必要なレイヤーをガードリング形成用レイヤー記憶部１３のレイヤーリストから割り出して設定する（ステップＳ８）。ここでは、例えば認識経路がＮウエル領域のレイヤー上にある場合、
ウエル画定用レイヤー：ウエル１用レイヤー
イオン注入用レイヤー：Ｎプラス注入用レイヤー
メタル配線用レイヤー：メタル１形成用レイヤー
などのように、ガードリングを形成するために必要なプロセスに用いるレイヤーの全てが設定される。
【００３１】
ガードリング形成用レイヤーが設定されると、その設定レイヤー、認識経路及び設定幅に基づいてガードリング生成部２４がレイアウト上にガードリングを生成する（ステップＳ９、図７）。そして、レイアウト表示部３３にはガードリングを生成した後のレイアウト画面が表示され、そのデータがガードリング生成後レイアウト記憶部１４に記憶される。レイアウト画面では、ガードリングが設定レイヤーを反映した形で生成され、レイヤーごとに色分け等の識別がなされた状態で表示される。
【００３２】
この実施例では、配置するガードリングをさらに追加で設計することが可能である（ステップＳ１０）。ガードリングを追加で設計する場合には、新たなガードリング幅を入力することも可能である（ステップＳ１１）。ガードリング幅に変更がない場合はステップＳ５以後の手順を行ない、ガードリング幅に変更がある場合はステップＳ２に戻って設計者が新たなガードリング幅を入力し、ステップＳ３以後の手順を行なう。
【００３３】
このように、新たな幅のガードリングの追加機能を備えることにより、例えばガードリングを必要とする回路ブロックの周囲を囲う経路において、１回の経路指定でその経路を指定せず、その経路を異なる幅を設定しながら複数回に分けて指定すれば、場所によって幅の異なるガードリングで囲うような設計も可能となり、自由度の高いガードリング設計が可能である。
【００３４】
次に、ガードリング設計装置の第２の実施例を図３及び図４を参照しながら説明する。
この実施例のガードリング装置が第１の実施例のガードリング装置と異なる点は、設計するガードリングにコンタクトセルも含むようにした点である。すなわち、この実施例の設計装置の処理部２ａは、第１の実施例のガードリング幅設定部２１に代えて幅設定・演算部２５を備えている。幅設定・演算部２５は、ガードリング幅設定部２１と同様のガードリング幅設定機能に加え、配置するガードリングに必要なコンタクトセルの単位長さ当たりの個数を演算する機能を備えている。なお、他の構成については第１の実施例と同じであるため、詳細な説明は割愛する。
【００３５】
幅設定・演算部２５について説明する。デザインルール記憶部１１には、コンタクトスペース、オーバーラップ量、電源容量などが記憶されており、幅設定部・演算部２５はガードリング幅を設定した後にそれらの情報を読み出し、ガードリングに必要な（最適な）コンタクトセルの単位長さ当たりの個数を演算する。デザインルール記憶部１１はセル情報記憶部も構成する。
【００３６】
図４に基づいてこの実施例の設計装置によるガードリングの設計手順を説明する。なお、この設計手順のうち第１の実施例の設計手順と同じ部分についての詳細説明は省略する。
レイアウト表示部３３にレイアウトが表示され（ステップＳ２１）、設計者はガードリング幅を入力する（ステップＳ２２）。幅設定・演算部２５は、入力された幅に対するデザインルールの確認（ステップＳ２３）をして幅を設定（ステップＳ２４）した後、設定幅とデザインルール記憶部１１から読み出したコンタクトスペース、オーバーラップ量、電源容量等の情報に基づいてコンタクトセルに必要な単位長さ当たりの個数を演算する（ステップＳ２５）。
【００３７】
その後、設計者による経路指定（ステップＳ２６）の後、経路認識部２２がその指定経路を認識し（ステップＳ２７）、ガードリング形成用レイヤー設定部２３がその認識経路の下地レイヤーに応じたガードリング形成用レイヤーを設定する（ステップＳ２８，Ｓ２９）。ガードリング生成部２４はレイアウト上の認識経路に設定幅のガードリングを設定レイヤーを反映させて生成する（ステップＳ３０）。ここで生成されるガードリングには、幅設定・演算部２５が演算した単位長さ当たりの個数のコンタクトセルも含めて生成される。なお、コンタクトセルの配置位置や間隔はガードリング生成部２４が自動的に設定して配置するようになっていてもよいし、設計者にその単位長さ当たりの個数以上の個数のコンタクトセルの配置位置を指定させるようになっていてもよい。
【００３８】
この実施例でも、配置するガードリングをさらに追加で設計することが可能である（ステップＳ３１）。ガードリングを追加で設計する場合には、新たなガードリング幅を入力することも可能である（ステップＳ３２）。
【符号の説明】
【００３９】
１    記憶部
２    処理部
３    インターフェイス部
１１    デザインルール記憶部
１２    レイアウト記憶部
１３    ガードリング形成用レイヤー記憶部
１４    ガードリング生成後レイアウト記憶部
２１    ガードリング幅設定部
２２    経路認識部
２３    ガードリング形成用レイヤー設定部
２４    ガードリング生成部
３１    幅入力部
３２    経路指定部
３３    レイアウト表示部
【先行技術文献】
【特許文献】
【００４０】
【特許文献１】特開２００６−２８６８００号公報
【特許文献２】特許第３１１７９０８号公報
【図１】
2011197811.tif 000003
【図２】
2011197811.tif 000004
【図３】
2011197811.tif 000005
【図４】
2011197811.tif 000006
【図５】
2011197811.tif 000007
【図６】
2011197811.tif 000008
【図７】
2011197811.tif 000009