(57)【要約】【課題】  放電原因解消のための電力遮断回数を最小にする。【解決手段】  直流高圧発生装置１６、電子銃５、電子銃５のフィラメント６とアノード８間の電圧から放電を検出する手段、放電検出手段からの放電信号が特定時間続いているか否かを検知する検知回路、検知回路からの信号に基づきトリガ信号を発生するトリガ発生回路２４、フィラメント６とアノード８間の電流を遮断する遮断手段１８ａ、両電極間の電流遮断状態を非遮断状態に戻す正常復帰信号発生回路２０を備え、トリガ発生回路２４からのトリガ信号に基づいて前記両電極間の電流を遮断状態にし、トリガ信号に基づいて正常復帰信号発生回路２０により遮断状態を遅延して非遮断状態に戻す様に成しており、非遮断状態に戻した時に検知回路から発生される信号又はトリガ信号をカウントし、カウント値に応じて正常復帰信号発生回路２０により遮断状態を非遮断状態に戻す際の遅延時間を設定する様に成した。【選択図】図６
2011076733.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高電圧発生回路、該高電圧発生回路からの高電圧が印加される二つの電極、該二つの電極間の電圧又は両電極間に流れる電流を検出して実質的に両電極間の放電を検出する手段、該放電検出手段からの放電信号が特定時間続いているかどうかを検知する検知回路、該放電信号が該特定時間続いた時に発生される該検知回路からの信号に基づきトリガ信号を発生するトリガ信号発生回路、前記両電極間への印加電圧を遮断するか又は両電極間に流れる電流を遮断する手段、及び、前記両電極間への印加電圧遮断状態を非遮断状態に戻すか又は両電極間の電流遮断状態を非遮断状態に戻す正常復帰手段を備え、前記トリガ信号発生回路からのトリガ信号に基づいて前記印加電圧遮断手段又は電流遮断手段により前記両電極間の印加電圧又は電流を遮断の状態にし、前記トリガ信号に基づいて前記正常復帰手段により該遮断状態を遅延して非遮断状態に戻す様に成した電子ビーム装置において、前記非遮断状態に戻した時に前記検知回路から発生される信号又は前記トリガ信号をカウントし、該カウント値に応じて前記正常復帰手段により該遮断状態を非遮断状態に戻す際の遅延時間を設定する様に成した電子ビーム装置。
【請求項２】
前記カウント値が０の場合の遅延時間をＴ、該カウント値をＮ、遅延時間を変化させる時間をαとした場合、Ｔ＋（Ｎ−１）αに従って前記遅延時間を設定する様に成した請求項１記載の電子ビーム装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放電停止装置を備えた電子ビーム装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子ビーム装置の中に、真空に排気されたチャンバー内において、電子銃から放出された電子ビームを加速して処理すべき材料に衝突させることにより、電子ビームに与えられた運動エネルギーが熱エネルギーに変換される性質を利用して、材料の溶解、蒸発等に使用されているものがある。
【０００３】
この様な電子ビーム装置において、例えば、材料を蒸発させる場合、電子ビームがこの材料に衝突すると、該材料に含まれている種々の物質が蒸発したり、或いは、該材料に含まれている種々のガスが発生することにより、真空チャンバー内の圧力が高くなったりして、その結果、電子ビームを加速するための高電圧がかかっている電子銃又はその近傍で放電が発生する。
【０００４】
そこで、放電が発生した場合、例えば、電子銃に供給された電力を一時的に遮断し、放電に伴う前記電子銃或いはその周囲部品等の損傷を避ける様にしている。
【０００５】
さて、電子ビーム蒸発源（電子ビームの照射により材料を蒸発させるもの）が備えられた真空蒸着装置やイオンプレーティング装置等においては、例えば、真空チャンバー内において、基板に蒸着すべき材料（蒸発物質）を坩堝内に収容し、該坩堝の横若しくは下側に設けられた電子銃からの電子ビームを磁場により曲線状に偏向させて該坩堝内の蒸発物質に導き、該蒸発物質を加熱蒸発させ、該蒸発粒子を前記基板に付着させる様にしている。
【０００６】
図１は真空蒸着装置の主要部を成す電子ビーム蒸発源の概略を示したもので、図２は図１のＡ−Ａ線断面図である。
【０００７】
図中１Ａ、１Ｂは、永久磁石２を挟んで平行に配置された磁極板で、前記永久磁石２によりＮ極とＳ極に励磁されている。
【０００８】
該磁極板間には、蒸発物質３が収容された坩堝４が設けられており、該坩堝の下には、電子銃５が設けられている。
【０００９】
該電子銃はフィラメント６、グリッド７及びアノード８から成り、該フィラメントの両端子間にフィラメント加熱電源９が、該フィラメントとアノード間（アース間）に加速電源１０がそれぞれ接続されている。尚、１１はグリッド支持板である。
【００１０】
図中１２は環状鉄心にＸ方向走査用偏向コイルとＹ方向走査用偏向コイルが巻かれた走査用電磁コイル体で、前記電子銃５からの電子ビームの通路上に配置されている。尚、この走査用電磁コイル体は、例えば、磁極１Ａ、１Ｂの間で坩堝４の近くに取り付けられた非磁性製のホルダー（図示せず）によって支持されている。
【００１１】
図中１３は該走査用電磁コイル体に走査用の電流を流すための走査用電源である。
【００１２】
図３は前記加速電源９の詳細を示したもので、放電停止装置を備えている。
【００１３】
該図３において、１４は商用周波数の三相交流電源、１５は該交流電源からの信号を調整する電圧調整装置で、例えばスライドトランス又はサイリスタ制御装置で構成されており、直流高圧発生装置１６の一次側の電圧を自由に可変出来るものである。
【００１４】
該直流電圧発生装置は既知の昇圧トランス、整流器及び平滑回路から構成されている。
【００１５】
１７ａ、１７ｂは電流遮断装置で、１７ａは高電圧側で電流を遮断する場合、１７ｂは低電圧側で電流を遮断する場合の電流遮断装置で、どちらか一方が用いられる。本例では、高圧側で電流を遮断する場合を説明する。
【００１６】
１８ａ、１８ｂ、１８ｃは放電検出装置で、１８ａは高電圧側の電流、１８ｂは低電圧側の電流、１８ｃは電子銃電圧（加速電圧）をそれぞれ検出することによって放電検出を行う装置で、何れかの一つが用いられる。本例では、電子銃電圧を検出する場合を説明する。
【００１７】
１９は放電制御装置で、前記放電検出装置１８ｃからの検出信号により前記電流遮断装置１７ａ又は前記電圧調整装置１５、及び、正常復帰信号発生回路２０を制御するものである。
【００１８】
該放電制御装置は図４に示す様に、前記放電検出装置１８ｃで電子銃電圧（加速電圧）を分圧した信号を放電検出のための閾値Ｖｒｅｆと比較して、分圧信号が閾値を下回った時に放電検出パルスを発生するコンパレータ２１、該パルスを一定時間遅らせるパルス遅延回路２２、該パルスと前記コンパレータ２１の放電検出パルスが供給されるＡＮＤ回路２３、該ＡＮＤ回路の出力によってトリガ信号を発生するトリガ発生回路２４、及び、該トリガ発生回路からのトリガ信号を予め設定された所定時間遅延させて前記正常復帰信号発生回路２０に送るトリガ遅延回路２５から構成されている。尚、この予め設定された所定時間は、通常、前記電子銃５への電力供給を遮断してから数ｍｓｅｃ以内には放電原因が解消して放電が停止するので、数ｍｓｅｃ以内の固定した遅延時間が前記トリガ遅延回路２５に設定されている。
【００１９】
尚、前記正常復帰信号発生回路は、該トリガ遅延回路２５からの遅延信号に基づいて前記電流遮断装置１７ａ又は前記電圧調整装置１２を元の定常運転状態に戻すための信号を発するものである。
【００２０】
又、前記図１及び図２には、蒸発粒子が付着される基板、前記各素子を収容した真空チャンバー、該真空チャンバー内を真空排気するための排気手段等は特に図示しなかった。
【００２１】
この様な装置において、前記電子銃５のフィラメント６から発生された電子ビームは、前記アノード８によって加速され、前記グリッド７とアノード８のビーム通過孔７Ｈ、８Ｈを通過する。この際、グリッド７とアノード８のビーム通過孔７Ｈ、８Ｈにより電子ビームの開き角が決定される。
【００２２】
そして、前記アノード８のビーム通過孔８Ｈを出た電子は、前記磁極１Ａ、１Ｂが作る磁場によりラーモア円を描く様に、２７０°前後曲げられ坩堝４内に収容された蒸発物質３に照射される。この際、前記電子銃５からの電子ビームは前記走査用電磁コイル体１２が作る二次元方向走査用磁場を通過するので、電子ビームは前記蒸発物質３上を二次元方向に走査することになる。
【００２３】
この結果、前記蒸発物質３は電子ビームにより加熱されて蒸発し、その蒸発粒子が、例えば、前記坩堝４上方に配置された基板（図示せず）上に付着する。
【００２４】
さて、この様な真空蒸着装置において、放電が生じた場合、前記放電検出装置１８ｃに電子銃電圧（加速電圧）の異常に減少した電圧、即ち、放電電圧として検出される（図５のステップ１（Ｓ１））。
【００２５】
該放電電圧は前記コンパレータ２１から放電検出パルスとして取り出され、一定時間、前記パルス遅延回路２２にて送らせた後、該放電検出パルスは前記コンパレータ２１のパルスと共に前記ＡＮＤ回路２３に供給される。
【００２６】
この時、放電が前記一定時間経過しても持続している場合、前記ＡＮＤ回路２３から持続放電検出パルスが発生され、該パルスは前記トリガ発生回路２４に供給される。
【００２７】
該トリガ発生回路は前記ＡＮＤ回路２３の出力によりトリガ信号を発生（図５のステップ２（Ｓ２））し、該トリガ信号を正常運転時にオフの状態になっていた前記電流遮断装置１７ａ又はオンの状態になっていた電圧調整装置１５、及び、トリガ遅延回路２５を介して正常復帰信号発生回路２０にそれぞれ供給するので、該電流遮断装置はオンの状態、又は前記電圧調整装置１５はオフの状態となって一次側電流が遮断状態となる。
【００２８】
その為、前記電子銃５に供給される電力が遮断される(図５のステップ３（Ｓ３）)。
【００２９】
その後、通常、数ｍｓｅｃ以内には放電原因が解消して該放電が停止しする。この時、前記正常復帰信号発生回路２０には前記トリガ遅延回路２５から、予め設定された所定時間遅れて前記トリガ発生回路２４からのトリガ信号が供給されているので、該正常復帰信号発生回路２０は、前記トリガ発生回路２４からのトリガ信号発生時から予め設定されている所定時間後に前記電流遮断装置１４ａ又は電圧調整装置１５に信号を送り、再び、前記電流遮断装置１４ａをオフの状態又は電圧調整装置１５をオンの状態にする。
【００３０】
この結果、前記電子銃５への電力供給が再開される(図５のステップ４（Ｓ４）)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００３１】
【特許文献１】特開昭６２−  ２０８５３４号公報
【特許文献２】特開平０２−  ３３８４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００３２】
さて、前記真空蒸着装置において、前記チャンバー内の圧力が著しく上昇した場合（例えば、蒸発粒子と反応させて反応物質の膜を基板に付けるために、チャンバー内に反応性ガスを導入している場合など）、前記チャンバー内の圧力は短時間では下がりにくい状態にあるので、前記した様に、前記電子銃５に供給される電力を予め設定された所定時間遮断しても、該所定時間内に前記チャンバー内の圧力は、放電が起きにくい圧力まで達していないことが多い。
【００３３】
所で、電子銃への電力供給遮断時間が長い程、成膜状態に与える悪影響が大きくなることから、前記予め設定される所定時間は、出来るだけ短い時間に設定されており、通常、当該真空蒸着装置の加速電源の性能に基づいて成し得る最小時間に設定されている。
【００３４】
従って、前記電子銃５への電力供給を再開した時、再び放電が起き、前記放電検出（Ｓ１）〜電子銃への電力供給再開（Ｓ４）のステップが何度も繰り返されてしまい、成膜プロセスに悪影響を与えるばかりか、アーク放電へ移行してしまい、当該真空蒸着装置自身の稼働を停止せざるを得なくなる。
【００３５】
さりとて、前記予め設定される所定遮断時間を著しく長くすると、放電の大きさに拘わらず何時でも成膜プロセスへ悪影響が大きくなってしまう。
【００３６】
本発明は、この様な問題を解決する新規な電子ビーム装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００３７】
本発明の電子ビーム装置は、高電圧発生回路、該高電圧発生回路からの高電圧が印加される二つの電極、該二つの電極間の電圧又は両電極間に流れる電流を検出して実質的に両電極間の放電を検出する手段、該放電検出手段からの放電信号が特定時間続いているかどうかを検知する検知回路、該放電信号が該特定時間続いた時に発生される該検知回路からの信号に基づきトリガ信号を発生するトリガ信号発生回路、前記両電極間への印加電圧を遮断するか又は両電極間に流れる電流を遮断する手段、及び、前記両電極間への印加電圧遮断状態を非遮断状態に戻すか又は両電極間の電流遮断状態を非遮断状態に戻す正常復帰手段を備え、前記トリガ信号発生回路からのトリガ信号に基づいて前記印加電圧遮断手段又は電流遮断手段により前記両電極間の印加電圧又は電流を遮断の状態にし、前記トリガ信号に基づいて前記正常復帰手段により該遮断状態を遅延して非遮断状態に戻す様に成した電子ビーム装置において、前記非遮断状態に戻した時に前記検知回路から発生される信号又は前記トリガ信号をカウントし、該カウント値に応じて前記正常復帰手段により該遮断状態を非遮断状態に戻す際の遅延時間を設定する様に成したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００３８】
本発明によれば、チャンバー内に発生した放電の原因を該チャンバー内に設けられた電子銃への電力遮断により解消する様に成した電子ビーム装置において、チャンバー内の圧力が著しく上昇した場合でも、電力遮断回数を最小にすることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】真空蒸着装置の主要部分を成す電子ビーム蒸発源の概略を示したものである。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】図１に示す加速電源９の詳細を示したものである。
【図４】図３に示す放電制御装置の詳細を示したものである。
【図５】放電検出ステップ〜電子銃への電力供給再開ステップへの流れを示したものである。
【図６】本発明の電子ビーム装置の一例である真空蒸着装置の主要部を成す電子ビーム蒸発源の加速電源９の一部を成す放電制御装置の概略を示す。
【図７】放電検出ステップ〜電子銃への電力供給再開ステップへの流れを示したものである。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
先ず、本発明の原理について説明する。
【００４１】
前記真空蒸着装置において、前記チャンバー内の圧力が著しく上昇した場合（例えば、蒸発粒子と反応させて反応物質の膜を基板に付けるために、チャンバー内に反応性ガスを導入している場合など）、前記チャンバー内の圧力は短時間では下がりにくい状態にあるので、前記した様に、前記電子銃５に供給される電力を予め設定された所定時間（真空蒸着装置の加速電源の性能に基づいて成し得る最小時間に対応する時間）遮断しても、該所定時間内に前記チャンバー内の圧力は、放電が起きにくい圧力まで達していないことが多い。
【００４２】
さて、前記電子銃５への電力遮断後に該電子銃へ電力を供給した時、即ち、前記電子銃５のフィラメント６とアノード８間に加速電圧を印加した時、該フィラメントとアノードから該電極成分粒子とガスが発生する。
【００４３】
従って、前記チャンバー内の圧力が著しく上昇した場合においては、前記電子銃への電力供給を再開した時、前記チャンバー内、取り分け、前記電子銃周辺の圧力は、再び同じ時間電力遮断を行っても、放電が起きにくい圧力まで達しないことが多く、電子銃への電力遮断と電力供給の再開を限りなく続けてしまう可能性がある。
【００４４】
従って、一回目の電力遮断で放電が停止しない場合には、二回目の電力遮断時間を少し長くして電力遮断を行い、該二回目の電力遮断で放電が停止しない場合には、三回目の電力遮断を更に少し長くして電力遮断を行い、該三回目の電力遮断で放電が停止しない場合には、四回目の電力遮断を更に少し長くして電力遮断を行い、以後、同様に、行えば、前記チャンバー内の圧力が著しく上昇した場合に該チャンバー内の圧力は短時間では下がりにくい状態にあっても、電力遮断回数を最小にすることが出来る筈である。
【００４５】
即ち、一回目の電力遮断時間が使用真空蒸着装置の加速電源の性能に基づいて成し得る最小時間Ｔに設定されているとした場合、二回目の電力遮断時間はＴ＋α、三回目の電力遮断時間は（Ｔ＋α）＋α、即ち、Ｔ＋２α、……、Ｎ回目の電力遮断時間はＴ＋（Ｎ−１）αとなる様にすれば、チャンバー内の圧力が著しく上昇した場合に該チャンバー内の圧力は短時間では下がりにくい状態にあっても、電力遮断回数を最小にすることが出来る筈である。尚、α＜Ｔとする。
【００４６】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００４７】
図６は本発明の電子ビーム装置の一例である真空蒸着装置の主要部を成す電子ビーム蒸発源の加速電源９の一部を成す放電制御装置の概略を示す。
【００４８】
図中、前記図４で使用されている記号と同一記号の付されたものは同一構成要素を示す。
【００４９】
該図６に示されている放電制御装置が前記図４で示されている放電制御装置と異なる所は、次の二点である。
【００５０】
一つは、ＡＮＤ回路２３の出力数を数えてカウントアップするカウンタ２６と該カウンタのカウント値をリセットするための放電継続判別回路２７が新たに設けられた点である。
【００５１】
もう一つは、図４でのトリガ遅延回路２５はトリガ発生回路２４からのトリガ信号を常に予め設定された所定時間遅延させて正常復帰信号発生回路２０に送る様に成っていたが、図６のトリガ遅延回路２５０は、前記カウンタ２６からの出力、即ち、連続する放電回数に対応した信号に基づいた遅延時間を演算して、該算出した遅延時間、前記トリガ発生回路２４からのトリガ信号を遅延させて正常復帰信号発生回路２０に送る様に成っている。
【００５２】
即ち、該トリガ遅延回路２５０は、真空蒸着装置の加速電源の性能に基づいて成し得る最小遅延時間をＴ、該Ｔよりも小さい適宜時間をα、連続する放電回数をＮとすると、Ｔ＋（Ｎ−１）αの式により遅延時間を演算し、該算出された遅延時間、前記トリガ発生回路２４からのトリガ信号を遅らせて前記正常復帰信号発生回路２０に送る。
【００５３】
以上説明した構成の放電制御装置を有する加速電源９を備えた電子ビーム蒸発源を主要部とする真空蒸着装置において、前記基板（図示せず）への成膜中、放電が生じた場合、前記放電検出装置１８ｃに電子銃電圧（加速電圧）の異常減少電圧、即ち、放電電圧として検出される（図７のステップ１（Ｓ１））。
【００５４】
該放電電圧は前記コンパレータ２１にパルスとして取り出され、このパルスを一定時間、前記パルス遅延回路２２にて送らせた後、該パルスを前記コンパレータ２１の出力と共に前記ＡＮＤ回路２３に供給する。
【００５５】
この時、放電が前記一定時間経過しても持続している場合、前記ＡＮＤ回路２３は前記トリガ発生回路２４と前記カウンタ２６及び前記放電継続判別回路２７にトリガ信号を供給する。
【００５６】
該トリガ発生回路は前記ＡＮＤ回路２３の出力によりトリガ信号を発生（図７のステップ２（Ｓ２））し、該トリガ信号を定常運転時にオフの状態になっていた前記電流遮断装置１７ａ又はオンの状態になっていた電圧調整装置１５、及び、トリガ遅延回路２５０に供給する。
【００５７】
すると、該電流遮断装置はオンの状態、又は前記高電圧発生装置１３はオフの状態となって一次側電流が遮断状態となり、前記電子銃５に供給される電力が遮断される(図７のステップ３（Ｓ３）)。
【００５８】
一方、前記カウンタ２６は前記ＡＮＤ回路２３からの出力をカウントし、１回目の放電回数である事を知らせる放電回数信号を前記トリガ遅延回路２５０に供給する。
【００５９】
該トリガ遅延回路には前記トリガ発生回路２４からトリガ信号も同時に供給されているので、該トリガ遅延回路はＴ＋（Ｎ−１）αの式により遅延時間を演算し、算出された遅延時間（Ｔ）、前記トリガ発生回路２４からのトリガ信号を遅らせて前記正常復帰信号発生回路２０に供給する。
【００６０】
その為、該正常復帰信号発生回路は、前記トリガ発生回路２４からのトリガ信号発生時から前記遅延時間（Ｔ）後に前記電流遮断装置１４ａ又は電圧調整装置１２に正常復帰信号を送り、再び、前記電流遮断装置１４ａをオフの状態又は電圧調整装置１２をオンの状態にする。
【００６１】
この結果、前記電子銃５への電力供給が再開される(図７のステップ４（Ｓ４）)。
【００６２】
この時、放電が発生していなければ、装置は定常運転を続け（図７のステップＳ５）、同時に、前記正常復帰信号発生回路２０からの正常復帰信号と前記ＡＮＤ回路２３からの出力を前記放電継続判別回路２７に送り、前記カウンタ２６は、前記放電継続判別回路２７からの信号によりカウント値（１）をリセットする。
【００６３】
さて、前記チャンバー内の圧力が著しく上昇した場合（例えば、蒸発粒子と反応させて反応物質の膜を基板に付けるために、チャンバー内に反応性ガスを導入している場合など）においては、前記電子銃への電力供給を再開しても、放電原因が解消せず、待ち時間の間に放電が再度起きてしまう。
【００６４】
この様な場合、再び、前記放電検出（Ｓ１）〜電子銃への電力供給遮断（Ｓ３）のステップが行われ、前記カウンタ２６は前記ＡＮＤ回路２３からのパルスを引き続きカウントし、２回目の放電回数である事を知らせる放電回数信号を前記トリガ遅延回路２５０に供給する。
【００６５】
すると、該トリガ遅延回路には前記トリガ発生回路２４からトリガ信号も同時に供給されているので、該トリガ遅延回路はＴ＋（Ｎ−１）αの式により遅延時間を演算し、算出された遅延時間（Ｔ＋α）、前記トリガ発生回路２４からのトリガ信号を遅らせて前記正常復帰信号発生回路２０に供給する。
【００６６】
その為、該正常復帰信号発生回路は、前記トリガ発生回路２４からのトリガ信号発生時から前記遅延時間（Ｔ＋α）後に前記電流遮断装置１４ａ又は電圧調整装置１２に信号を送り、再び、前記電流遮断装置１４ａをオフの状態又は電圧調整装置１２をオンの状態にする。
【００６７】
この結果、前記電子銃５への電力供給が再開される(図７のステップ４（Ｓ４）)。この時、放電が発生していなければ、装置は定常運転を続け（図７のステップＳ５）、同時に、前記カウンタ２６は前記放電継続判別回路２７からの信号によりカウント値（２）をリセットする。
【００６８】
しかし、放電が発生していれば、再び、前記放電検出（Ｓ１）〜電子銃への電力供給遮断（Ｓ３）のステップが行われ、前記カウンタ２６は前記ＡＮＤ回路２３からの出力を引き続きカウントし、３回目の放電回数である事を知らせる放電回数信号を前記トリガ遅延回路２５０に供給する。
【００６９】
すると、該トリガ遅延回路には前記トリガ発生回路２４からトリガ信号も同時に供給されているので、該トリガ遅延回路はＴ＋（Ｎ−１）αの式により遅延時間を演算し、算出された遅延時間（Ｔ＋２α）、前記トリガ発生回路２４からのトリガ信号を遅らせて前記正常復帰信号発生回路２０に供給する。
【００７０】
その為、該正常復帰信号発生回路は、前記トリガ発生回路２４からのトリガ信号発生時から前記遅延時間（Ｔ＋２α）後に前記電流遮断装置１４ａ又は電圧調整装置１２に信号を送り、再び、前記電流遮断装置１４ａをオフの状態又は電圧調整装置１２をオンの状態にする。
【００７１】
この結果、前記電子銃５への電力供給が再開される(図７のステップ４（Ｓ４）)。この時、放電が発生していなければ、装置は定常運転を続け（図７のステップＳ５）、同時に、前記カウンタ２６は前記放電継続判別回路２７からの信号によりカウント値（２）をリセットする。
【００７２】
しかし、放電が発生していれば、前記カウンタ２６のカウント値（２）はリセットされず、前記と同様なステップが繰り返される。
【００７３】
この様に、電子銃への電力遮断から電力供給再開する際、連続して放電が発生する場合、その放電の回数に応じて、電力遮断時間を長くする様にしたので、チャンバー内の圧力が著しく上昇して、該チャンバー内の圧力は短時間では下がりにくい状態にあっても、従来の様に電子銃への電力遮断から電力供給再開を永遠に繰り返すことなく、遮断回数を最小にすることが出来る。
【００７４】
上記説明では、カウンタ２６でＡＮＤ回路２３の出力をカウントしたが、トリガ発生回路２４からのトリガ信号をカウントするようにしても良い。
【００７５】
尚、前記本発明の実施例として、真空蒸着装置について説明したが、電子ビームの照射により金属材料を溶解する装置等にも本発明は応用可能である。
【符号の説明】
【００７６】
１Ａ、１Ｂ…磁極板
２…永久磁石
３…蒸発物質
４…坩堝
５…電子銃
６…フィラメント
７…グリッド
８…アノード
９…フィラメント加熱電源
１０…加速電源
１１…グリッド支持板
１２…走査用電磁コイル体
１３…走査用電源
１４…三相交流電源
１５…電圧調整装置
１６…直流高電圧発生装置
１７ａ、１７ｂ…電流遮断装置
１８ａ、１８ｂ、１８ｃ…放電検出装置
１９…放電制御装置
２０…正常復帰信号発生回路
２１…コンパレータ
２２…パルス遅延回路
２３…ＡＮＤ回路
２４…トリガ発生回路
２５…トリガ遅延回路
２６…カウンタ
２７…放電継続判別回路
２５０…トリガ遅延回路
【図１】
2011076733.tif 000003
【図２】
2011076733.tif 000004
【図３】
2011076733.tif 000005
【図４】
2011076733.tif 000006
【図５】
2011076733.tif 000007
【図６】
2011076733.tif 000008
【図７】
2011076733.tif 000009