(57)【要約】【課題】３塔式の蓄熱燃焼装置を備えることなく、未処理状態の濃縮ガスが排出されることを防止し、かつ３塔式の蓄熱燃焼装置を用いる場合に比して、設置するための費用等を必要としない、蓄熱燃焼装置を備えた有機溶剤含有ガス処理システムを提供する。【解決手段】濃縮ガスＧ４を排出する濃縮装置１００と、燃焼部２１および２つの蓄熱部２０Ｌ，２０Ｒを有する蓄熱燃焼装置２００ａと、外気導入装置３００とを備え、２つの蓄熱部２０Ｌ，２０Ｒは、濃縮ガスＧ４の予熱状態と、酸化分解された濃縮ガスＧ４に含まれる熱エネルギーの蓄熱および酸化分解された濃縮ガスＧ４の排気状態とを、所定の時間間隔でそれぞれ交互に切り替えられ、当該切替の前に、蓄熱燃焼装置２００への濃縮ガスＧ４の導入は一時的に停止され、外気導入装置３００は、濃縮ガスＧ４を予熱しているいずれか一方の蓄熱部２０Ｌまたは蓄熱部２０Ｒに外気Ｇ６を導入する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機溶剤を含有する原ガスから前記有機溶剤を濃縮し、濃縮された前記有機溶剤を酸化分解させることで前記原ガスを清浄化する有機溶剤含有ガス処理システムであって、
吸着体を含み、前記原ガスを接触されることにより前記原ガスに含有される前記有機溶剤を前記吸着体に吸着させ、前記原ガスよりも高温の脱着用ガスを接触されることにより前記吸着体に吸着した前記有機溶剤を脱着させ、濃縮ガスを排出する濃縮装置と、
燃焼部および２つの蓄熱部を有し、前記濃縮ガスが供給され、一方の前記蓄熱部において供給された前記濃縮ガスを予熱し、前記燃焼部において前記濃縮ガスに含有される前記有機溶剤を酸化分解させ、他方の前記蓄熱部において酸化分解された前記濃縮ガスに含まれる熱エネルギーを蓄熱しつつ酸化分解された前記濃縮ガスを排気する蓄熱燃焼装置と、
前記蓄熱燃焼装置に外気を導入する外気導入装置と、
を備え、
２つの前記蓄熱部は、前記濃縮ガスを予熱することと、酸化分解された前記濃縮ガスに含まれる熱エネルギーを蓄熱しつつ酸化分解された前記濃縮ガスを排気することとを、所定の時間間隔でそれぞれ交互に切り替えられ、
２つの前記蓄熱部が、前記濃縮ガスを予熱することと、酸化分解された前記濃縮ガスに含まれる熱エネルギーを蓄熱しつつ酸化分解された前記濃縮ガスを排気することとを切り替えられる前に、前記蓄熱燃焼装置は、前記濃縮ガスを導入されることを一時的に停止され、
前記外気導入装置は、前記蓄熱燃焼装置が前記濃縮ガスを導入されることを一時的に停止されている間に、前記蓄熱式燃焼装置の前記濃縮ガスを予熱しているいずれか一方の前記蓄熱部に前記外気を導入する、
有機溶剤含有ガス処理システム。
【請求項２】
前記蓄熱燃焼装置は２塔式であり、内部にそれぞれ前記蓄熱部を含む第１塔部と第２塔部とを有し、
前記燃焼部は、前記第１塔部および前記第２塔部の上部に配置され、前記上部において前記第１塔部と前記第２塔部とを連通し、
前記第１塔部の下部または前記第２塔部の下部から、いずれか一方の前記蓄熱部へ前記濃縮ガスが前記所定の時間間隔で交互に導入されることにより、２つの前記蓄熱部は、前記濃縮ガスを予熱することと、酸化分解された前記濃縮ガスに含まれる熱エネルギーを蓄熱しつつ酸化分解された前記濃縮ガスを排気することとを切り替えられる、
請求項１に記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
【請求項３】
前記蓄熱燃焼装置は１チャンバー式であり、
前記燃焼部は２つの前記蓄熱部に挟まれるように配置され、
一方の前記蓄熱部から他方の前記蓄熱部へ向かって、前記濃縮ガスが前記所定の時間間隔で交互に導入されることにより、２つの前記蓄熱部は、前記濃縮ガスを予熱することと、酸化分解された前記濃縮ガスに含まれる熱エネルギーを蓄熱しつつ酸化分解された前記濃縮ガスを排気することとを切り替えられる、
請求項１に記載の有機溶剤含有ガス処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機溶剤を含有する有機溶剤含有ガス（以下、原ガスと称する）から有機溶剤を濃縮し、濃縮した有機溶剤を燃焼させ酸化分解させることにより、当該原ガスを清浄化する有機溶剤含有ガス処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
各種工場や研究施設等から排出される原ガスは、有機溶剤を含有している。この有機溶剤には塩素系の有機化合物などが含まれているため、原ガスを直接大気中にそのまま排出することはできない。有機溶剤含有ガス処理システムは、原ガスを物理的または化学的に処理することにより清浄化し、無害な処理済ガスとして排出する。有機溶剤含有ガス処理システムは、一般に、濃縮装置と燃焼装置とを備えている。
【０００３】
濃縮装置には、原ガスが供給される。濃縮装置は、供給された原ガスに含まれる有機溶剤を吸着し、所定の処理を経て吸着した有機溶剤を脱着させ、濃縮ガスとして排出する。燃焼装置には、濃縮装置から排出された濃縮ガスが供給される。燃焼装置は、供給された濃縮ガスを燃焼することにより、濃縮ガスに含まれる有機溶剤を酸化分解させ、濃縮ガスを清浄化し、処理済ガスとして排出する。
【０００４】
燃焼装置には、蓄熱式のものがある（以下、蓄熱燃焼装置と称する）。蓄熱燃焼装置は、濃縮ガスに含まれる有機溶剤を酸化分解させるときに発生する熱エネルギーを回収し、再利用することで消費エネルギーを節約している。蓄熱燃焼装置には、１チャンバー式のもの、または、２塔式，３塔式のものなどがある（下記の非特許文献１を参照）。
【０００５】
１チャンバー式または２塔式の蓄熱燃焼装置を備えた有機溶剤含有ガス処理システムについて考える。１チャンバー式または２塔式の蓄熱燃焼装置は、２つの蓄熱部と、２つの蓄熱部の間に位置する燃焼部とを有している。当該蓄熱燃焼装置において、濃縮装置から一方の蓄熱部に濃縮ガスが連続的に供給され、他方の蓄熱部からは連続的に処理済ガスが排出されている。ダンパーなどを用いて濃縮ガスの供給経路と処理済ガスの排出経路とを切り替えることにより、濃縮ガスの供給方向と処理済ガスの排出方向とは反転する。
【０００６】
濃縮ガスの供給方向と処理済ガスの排出方向とが反転するとき、反転の直前まで濃縮ガスを供給されていた一方の蓄熱部の内部（特に供給口付近）には、未処理状態の濃縮ガスが残留している。濃縮ガスの供給方向と処理済ガスの排出方向とが反転することにより、未処理状態の濃縮ガスは、そのまま排出されてしまう。１チャンバー式または２塔式の蓄熱燃焼装置を備えた有機溶剤含有ガス処理システムによれば、有機溶剤を含んだ未処理状態の濃縮ガスが排出されるという問題があった。
【０００７】
この問題を解決するために、３塔式の蓄熱燃焼装置を備えた有機溶剤含有ガス処理システムが提案されている。３塔式の蓄熱燃焼装置は、３つの蓄熱部と、３つの蓄熱部の上部を連通する燃焼部とを有している。３つの蓄熱部は、それぞれ、濃縮ガスを供給する蓄熱部と、処理済ガスを排出する蓄熱部と、パージガスを供給する蓄熱部とから構成され、これらをダンパーなどを用いて各ガスの供給および排出経路を切り替えることにより、有機溶剤を含んだ未処理状態の濃縮ガスが排出されることを防止している。
【０００８】
３塔式の蓄熱燃焼装置を備えた有機溶剤含有ガス処理システムによれば、未処理状態の濃縮ガスが排出されることなく、原ガスを無害な処理済ガスとして連続的に排出することができる。
【０００９】
ところで、３塔式の蓄熱燃焼装置と、１チャンバー式および２塔式の蓄熱燃焼装置とを比べると、３塔式の蓄熱燃焼装置の方が、装置全体の大きさが大きく、接続される配管の構成も複雑であり、各ガスの供給および排出経路を切り替えるダンパーの制御も複雑となる。したがって、３塔式の蓄熱燃焼装置と、１チャンバー式および２塔式の蓄熱燃焼装置とを比べると、設置するための余分な面積や、余分な費用が必要になる。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【００１０】
【非特許文献１】「最新防脱臭技術集成」株式会社エヌ・ティー・エス出版  １９９７年９月２２日  １５４頁９〜１０行目，１５６頁６〜９行目，１６６頁図１１
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
有機溶剤含有ガス処理システムにおいて、３塔式の蓄熱燃焼装置を備えるという構成を採用すると、未処理状態の濃縮ガスが排出されることを防止することはできるが、その反面、上記のとおり、設置するための余分な面積や、余分な費用が必要になる。
【００１２】
この発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、蓄熱燃焼装置を備えた有機溶剤含有ガス処理システムにおいて、３塔式の蓄熱燃焼装置を備えることなく、未処理状態の濃縮ガスが排出されることを防止することができ、かつ３塔式の蓄熱燃焼装置を用いる場合に比して、設置するための余分な面積または費用を必要としない有機溶剤含有ガス処理システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明に基づいた有機溶剤含有ガス処理システムにおいては、有機溶剤を含有する原ガスから上記有機溶剤を濃縮し、濃縮された上記有機溶剤を酸化分解させることで上記原ガスを清浄化する有機溶剤含有ガス処理システムであって、吸着体を含み、上記原ガスを接触されることにより上記原ガスに含有される上記有機溶剤を上記吸着体に吸着させ、上記原ガスよりも高温の脱着用ガスを接触されることにより上記吸着体に吸着した上記有機溶剤を脱着させ、濃縮ガスを排出する濃縮装置と、燃焼部および２つの蓄熱部を有し、上記濃縮ガスが供給され、一方の上記蓄熱部において供給された上記濃縮ガスを予熱し、上記燃焼部において上記濃縮ガスに含有される上記有機溶剤を酸化分解させ、他方の上記蓄熱部において酸化分解された上記濃縮ガスに含まれる熱エネルギーを蓄熱しつつ酸化分解された上記濃縮ガスを排気する蓄熱燃焼装置と、上記蓄熱燃焼装置に外気を導入する外気導入装置と、を備え、２つの上記蓄熱部は、上記濃縮ガスを予熱することと、酸化分解された上記濃縮ガスに含まれる熱エネルギーを蓄熱しつつ酸化分解された上記濃縮ガスを排気することとを、所定の時間間隔でそれぞれ交互に切り替えられ、２つの上記蓄熱部が、上記濃縮ガスを予熱することと、酸化分解された上記濃縮ガスに含まれる熱エネルギーを蓄熱しつつ酸化分解された上記濃縮ガスを排気することとを切り替えられる前に、上記蓄熱燃焼装置は、上記濃縮ガスを導入されることを一時的に停止され、上記外気導入装置は、上記蓄熱燃焼装置が上記濃縮ガスを導入されることを一時的に停止されている間に、上記蓄熱式燃焼装置の上記濃縮ガスを予熱しているいずれか一方の上記蓄熱部に上記外気を導入する。
【００１４】
上記発明の他の形態においては、上記蓄熱燃焼装置は２塔式であり、内部にそれぞれ上記蓄熱部を含む第１塔部と第２塔部とを有し、上記燃焼部は、上記第１塔部および上記第２塔部の上部に配置され、上記上部において上記第１塔部と上記第２塔部とを連通し、上記第１塔部の下部または上記第２塔部の下部から、いずれか一方の上記蓄熱部へ上記濃縮ガスが上記所定の時間間隔で交互に導入されることにより、２つの上記蓄熱部は、上記濃縮ガスを予熱することと、酸化分解された上記濃縮ガスに含まれる熱エネルギーを蓄熱しつつ酸化分解された上記濃縮ガスを排気することとを切り替えられる。
【００１５】
上記発明の他の形態においては、上記蓄熱燃焼装置は１チャンバー式であり、上記燃焼部は２つの上記蓄熱部に挟まれるように配置され、一方の上記蓄熱部から他方の上記蓄熱部へ向かって、上記濃縮ガスが上記所定の時間間隔で交互に導入されることにより、２つの上記蓄熱部は、上記濃縮ガスを予熱することと、酸化分解された上記濃縮ガスに含まれる熱エネルギーを蓄熱しつつ酸化分解された上記濃縮ガスを排気することとを切り替えられる。
【発明の効果】
【００１６】
この発明によれば、蓄熱燃焼装置を備えた有機溶剤含有ガス処理システムにおいて、３塔式の蓄熱燃焼装置を備えることなく、未処理状態の濃縮ガスが排出されることを防止することができ、かつ３塔式の蓄熱燃焼装置を用いる場合に比して、設置するための余分な面積または費用を必要としない有機溶剤含有ガス処理システムを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施の形態１における、有機溶剤含有ガス処理システムの全体構成を示す模式図である。
【図２】実施の形態１における有機溶剤含有ガス処理システムに採用される濃縮装置の構造を示す模式図である。
【図３】実施の形態１における有機溶剤含有ガス処理システムに採用される他の濃縮装置の構造を示す模式図である。
【図４】実施の形態２における、有機溶剤含有ガス処理システムの全体構成を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
本発明に基づいた各実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システムについて、以下、図面を参照しながら説明する。以下に説明する各実施の形態において、個数、量などに言及する場合、特に記載がある場合を除き、本発明の範囲は必ずしもその個数、量などに限定されない。以下に説明する各実施の形態において、同一の部品、相当部品に対しては、同一の参照番号を付し、重複する説明は繰り返さない場合がある。
【００１９】
（実施の形態１）
図１〜図３を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システムＳ１について説明する。
【００２０】
（構成）
図１をまず参照して、有機溶剤含有ガス処理システムＳ１の構成について説明する。有機溶剤含有ガス処理システムＳ１は、濃縮装置１００と、蓄熱燃焼装置２００ａと、外気導入装置３００とを備えている。
【００２１】
濃縮装置１００は、たとえば回転式またはバッチ式の濃縮装置である。濃縮装置１００の詳細な構成については、図２および図３を参照して後述する。濃縮装置１００は、吸着体１０を含み、原ガスＧ１を接触されることにより原ガスＧ１に含有される有機溶剤を吸着体１０に吸着させ、原ガスＧ１よりも高温の脱着用ガスＧ３を接触されることにより吸着体１０に吸着した有機溶剤を脱着させ、濃縮ガスＧ４を排出する。
【００２２】
吸着体１０の吸着領域１１には、原ガスＧ１を供給する配管Ｌ１０と、清浄ガスＧ２を排出する配管Ｌ１２とが接続されている。吸着体１０の脱着領域１２には、脱着用ガスＧ３を供給する配管Ｌ１４と、濃縮ガスＧ４を排出する配管Ｌ１６とが接続されている。
【００２３】
蓄熱燃焼装置２００ａは、２塔式の蓄熱燃焼装置である。本実施の形態では、２つの蓄熱部を有する蓄熱燃焼装置の一例として、２塔式の蓄熱燃焼装置である蓄熱燃焼装置２００ａに基づき説明する。蓄熱燃焼装置２００ａは、燃焼部２１と、第１塔部としての蓄熱部２０Ｌと、第２塔部としての蓄熱部２０Ｒとを有している。蓄熱部２０Ｌ、燃焼部２１および蓄熱部２０Ｒの内部の空間は、連通している。燃焼部２１には、燃焼部２１を通過する気体を燃焼させるバーナー２８が設けられている。
【００２４】
蓄熱部２０Ｌの内部には、蓄熱体２Ｌが設けられている。蓄熱部２０Ｌの下部には、供給口２４Ｌおよび排出口２６Ｌが設けられている。供給口２４Ｌには、濃縮ガスＧ４を蓄熱燃焼装置２００ａに供給する配管Ｌ１８が接続されている。蓄熱部２０Ｌの排出口２６Ｌには、処理済のガスを蓄熱燃焼装置２００ａから処理済ガスＧ５として排出する配管Ｌ２０が接続されている。蓄熱部２０Ｌと蓄熱部２０Ｒとは同様の構成をしている。
【００２５】
蓄熱部２０Ｒの内部には、蓄熱体２Ｒが設けられている。蓄熱部２０Ｒの下部には、供給口２４Ｒおよび排出口２６Ｒが設けられている。供給口２４Ｒには、濃縮ガスＧ４を蓄熱燃焼装置２００ａに供給する配管Ｌ２２が接続されている。蓄熱部２０Ｒの排出口２６Ｒには、処理済のガスを蓄熱燃焼装置２００ａから処理済ガスＧ５として排出する配管Ｌ２４が接続されている。
【００２６】
外気導入装置３００は、蓄熱燃焼装置２００ａに外気を導入する。外気導入装置３００は、配管Ｌ２８に接続されている。配管Ｌ２８は、濃縮装置１００から濃縮ガスＧ４を排出する配管Ｌ１６に接続されている。
【００２７】
配管Ｌ１６は、配管Ｌ２８に接続されたあと、配管Ｌ１８と配管Ｌ２２とに分岐している。配管Ｌ２０と配管Ｌ２４とは、合流して処理済ガスＧ５を排出する配管Ｌ２６に接続されている。
【００２８】
配管Ｌ１６，Ｌ１８，Ｌ２０，Ｌ２２，およびＬ２４は、ダンパーＤ１６，Ｄ１８，Ｄ２０，Ｄ２２，およびＤ２４によって、それぞれの開状態／閉状態が切り替えられる。
【００２９】
（動作）
図１を引続き参照して、次に動作について説明する。有機溶剤含有ガス処理システムＳ１は、まず、濃縮装置１００に原ガスＧ１が供給される。
【００３０】
（濃縮装置）
より具体的には、濃縮装置１００において、吸着領域１１の吸着体１０に対し、配管Ｌ１０から有機溶剤を含む原ガスＧ１が供給される。吸着体１０に含まれる吸着剤に、原ガスＧ１が接触することにより、原ガスＧ１に含有される有機溶剤は当該吸着材に吸着される。有機溶剤を含有していた原ガスＧ１は清浄化され、配管Ｌ１２から有機溶剤をほとんど含まない清浄ガスＧ２が排出される。たとえば、配管Ｌ１０においてトルエン濃度約１０ｐｐｍを含んでいた風量約１０００ｍ３／ｍｉｎの原ガスＧ１は、配管Ｌ１２においてトルエン濃度約１ｐｐｍ以下を含む風量約１０００ｍ３／ｍｉｎの清浄ガスＧ２として排出される。
【００３１】
次に、濃縮装置１００において、脱着領域１２の吸着体１０に対し、配管Ｌ１４から原ガスＧ１よりも高温の脱着用ガスＧ３が供給される。脱着用ガスＧ３が供給されることにより、吸着体１０の吸着剤に吸着していた有機溶剤が脱着される。有機溶剤が脱着されることにより、配管Ｌ１６から、濃縮された有機溶剤を含有する濃縮ガスＧ４が排出される。たとえば、風量約１００ｍ３／ｍｉｎの脱着用ガスＧ３が供給されることにより、トルエン濃度約２００ｐｐｍを含む風量約１００ｍ３／ｍｉｎの濃縮ガスＧ４が排出される。
【００３２】
ここで、有機溶剤含有ガス処理システムＳ１に用いられる濃縮装置１００の詳細な構成について、図２および図３を参照して説明する。濃縮装置１００は、たとえば回転式またはバッチ式の濃縮装置である。回転式の濃縮装置を濃縮装置１００ａとし、バッチ式の濃縮装置を濃縮装置１００ｂとする。
【００３３】
（回転式の濃縮装置）
図２を参照して、回転式の濃縮装置１００ａについて説明する。濃縮装置１００ａは、吸着体１０、吸着領域１１および脱着領域１２を有している。
【００３４】
吸着体１０は筒状であり、筒軸１３の周りに回転可能に設けられている。吸着体１０は、粉末状の吸着剤を表面に塗布されており、たとえばハニカム構造（ハニカムローター）を呈している。吸着体１０は、矢印ＡＲの方向に回転することができる。吸着領域１１および脱着領域１２は、吸着体１０の矢印ＡＲで示される回転方向に並んで規定されている。吸着体１０が回転することにより、吸着体１０は、吸着領域１１および脱着領域１２の内部を交互に通過する。
【００３５】
次に、動作について説明する。吸着体１０は連続的に矢印ＡＲで示される回転方向に回転する。吸着体１０が回転することにより、吸着体１０は吸着領域１１に到達する。吸着領域１１に到達した後、吸着領域１１を通過する吸着体１０に、配管Ｌ１０から有機溶剤を含有する原ガスＧ１が供給される。供給された原ガスＧ１は、吸着体１０に含まれる吸着剤と接触する。原ガスＧ１に含まれる有機溶剤は、当該吸着剤に吸着される。濃縮装置１００ａは、吸着剤により有機溶剤を除去された原ガスＧ１を、配管Ｌ１２から清浄ガスＧ２として排出する。
【００３６】
吸着体１０が矢印ＡＲの方向にさらに回転することにより、吸着体１０は脱着領域１２に到達する。脱着領域１２に到達した後、脱着領域１２を通過する吸着体１０に配管Ｌ１４から脱着用ガス（高温の気体）Ｇ３が供給される。供給された脱着用ガスＧ３は、有機溶剤を吸着している吸着体１０の吸着剤と接触する。吸着体１０の吸着剤に吸着している有機溶剤は、当該吸着剤から脱着される。濃縮装置１００ａは、脱着された有機溶剤を、配管Ｌ１６から濃縮ガスＧ４として排出する。
【００３７】
濃縮装置１００ａの吸着体１０は、脱着領域１２において有機溶剤が脱着されることにより再生される。再生された吸着体１０は、さらに矢印ＡＲの方向に回転することにより吸着領域１１に到達する。再生された吸着体１０は、再び原ガスＧ１を供給され、原ガスＧ１に含まれる有機溶剤を吸着する。濃縮装置１００ａは、上記の一連の動作を繰り返すことにより、大量の原ガスＧ１を連続的に濃縮することができる。
【００３８】
（バッチ式の濃縮装置）
図３を次に参照して、バッチ式の濃縮装置１００ｂについて説明する。濃縮装置１００ｂは、吸着体１０Ｌを含む第１処理槽１１０と、吸着体１０Ｒを含む第２処理槽１２０とを有している。
【００３９】
第１処理槽１１０および第２処理槽１２０には、配管Ｌ１０，Ｌ１２，Ｌ１４，Ｌ１６がそれぞれ接続されている。
【００４０】
配管Ｌ１０は、有機溶剤を含有する原ガスＧ１を第１処理槽１１０および第２処理槽１２０に供給する。配管Ｌ１０は、バルブＶ１０Ｌ，Ｖ１０Ｒによって第１処理槽１１０および第２処理槽１２０に対する接続／非接続状態が切り替えられる。
【００４１】
配管Ｌ１２は、清浄ガスＧ２を第１処理槽１１０および第２処理槽１２０から排出する。配管Ｌ１２は、バルブＶ１２Ｌ，Ｖ１２Ｒによって第１処理槽１１０および第２処理槽１２０に対する接続／非接続状態が切り替えられる。
【００４２】
配管Ｌ１４は、脱着用ガスＧ３を第１処理槽１１０および第２処理槽１２０に供給する。配管Ｌ１４は、バルブＶ１４Ｌ，Ｖ１４Ｒによって第１処理槽１１０および第２処理槽１２０に対する接続／非接続状態が切り替えられる。
【００４３】
配管Ｌ１６は、濃縮ガスＧ４を第１処理槽１１０および第２処理槽１２０から排出する。配管Ｌ１６は、バルブＶ１０Ｌ，Ｖ１０Ｒによって第１処理槽１１０および第２処理槽１２０に対する接続／非接続状態が切り替えられる。
【００４４】
第１処理槽１１０と第２処理槽１２０とは、上述した各バルブ（Ｖ１０Ｌ，Ｖ１０Ｒ，Ｖ１２Ｌ，Ｖ１２Ｒ，Ｖ１４Ｌ，Ｖ１４Ｒ）の開閉を操作することによって交互に吸着領域および脱着領域として機能する。具体的には、第１処理槽１１０が吸着領域として機能している場合には、第２処理槽１２０が脱着領域として機能する。第１処理槽１１０が脱着領域として機能している場合には、第２処理槽１２０が吸着領域として機能する。濃縮装置１００ｂにおいては、吸着領域と脱着領域とが経時的に交互に切り替わるように構成されている。
【００４５】
配管Ｌ１０は、吸着領域として機能している第１処理槽１１０または第２処理槽１２０の一方に接続され、当該吸着領域に原ガスＧ１を供給する。配管Ｌ１２は、吸着領域として機能している第１処理槽１１０または第２処理槽１２０の一方に接続され、当該吸着領域から清浄ガスＧ２を排出する。
【００４６】
配管Ｌ１４は、脱着領域として機能している第１処理槽１１０または第２処理槽１２０の一方に接続され、当該脱着領域に脱着用ガスＧ３を供給する。配管Ｌ１６は、脱着領域として機能している第１処理槽１１０または第２処理槽１２０の一方に接続され、当該脱着領域から濃縮ガスＧ４を排出する。
【００４７】
バッチ式の濃縮装置１００ｂにおいては、上記の各バルブ（Ｖ１０Ｌ，Ｖ１０Ｒ，Ｖ１２Ｌ，Ｖ１２Ｒ，Ｖ１４Ｌ，Ｖ１４Ｒ）操作により、脱着領域であった第１処理槽１１０が吸着領域に移行し、かつ吸着領域であった第２処理槽１２０が脱着領域に移行し、これが交互に繰り返される。
【００４８】
吸着体１０Ｌおよび吸着体１０Ｒは、原ガスＧ１を接触させることで原ガスＧ１に含有される有機溶剤を吸着する。濃縮装置１００ｂにおいては、吸着体１０Ｌまたは吸着体１０Ｒに、原ガスＧ１を供給することで、有機溶剤が吸着体１０Ｌまたは吸着体１０Ｒによって吸着される。これにより原ガスＧ１が清浄化されて、清浄ガスＧ２が排出されることになる。
【００４９】
吸着体１０Ｌおよび吸着体１０Ｒは、脱着用ガスＧ３を接触させることで吸着した有機溶剤を脱着する。濃縮装置１００ｂにおいては、吸着体１０Ｌおよび吸着体１０Ｒに、脱着用ガスＧ３を供給することで有機溶剤が吸着体１０Ｌおよび吸着体１０Ｒから脱着され、これにより脱着用ガスＧ３が有機溶剤を含有する濃縮ガスＧ４として排出されることになる。
【００５０】
（蓄熱燃焼装置）
濃縮装置１００から排出された濃縮ガスＧ４は、配管Ｌ１６を通過して蓄熱燃焼装置２００ａの供給口２４Ｌまたは供給口２４Ｒのいずれか一方に供給される。
【００５１】
（矢印ＡＲ１方向）
濃縮ガスＧ４が、供給口２４Ｌから蓄熱燃焼装置２００ａへ供給される場合について説明する（図中矢印ＡＲ１方向）。濃縮ガスＧ４を供給口２４Ｌから蓄熱燃焼装置２００ａへ供給するために、配管Ｌ１６から分岐して接続されている配管Ｌ１８は、ダンパーＤ１８により開状態となっている。一方、配管Ｌ１６から分岐して接続されている配管Ｌ２２は、ダンパーＤ２２により閉状態となっている。
【００５２】
供給口２４Ｌから蓄熱燃焼装置２００ａへ供給された濃縮ガスＧ４を、排出口２６Ｒから排出するために、排出口２６Ｌに接続されている配管Ｌ２０は、ダンパーＤ２０により閉状態となっている。一方、排出口２６Ｒに接続されている配管Ｌ２４は、ダンパーＤ２４により開状態となっている。これにより、濃縮ガスＧ４は、配管Ｌ１６から配管Ｌ１８を通過して、供給口２４Ｌから蓄熱燃焼装置２００ａに供給される。
【００５３】
供給口２４Ｌから蓄熱燃焼装置２００ａの内部（第１塔部としての蓄熱部２０Ｌ側）に供給された濃縮ガスＧ４は、その上方にある蓄熱部２０Ｌに通流される。濃縮ガスＧ４は、蓄熱部２０Ｌの内部の蓄熱体２Ｌにより予熱され、所定の温度まで昇温される。所定の温度となった濃縮ガスＧ４は、さらに上昇して燃焼部２１に到達する。濃縮ガスＧ４は、燃焼部２１においてバーナー２８により約８００℃で燃焼される。濃縮ガスＧ４に含有される有機溶剤は、その約９９％以上が酸化分解される。
【００５４】
有機溶剤を酸化分解（無害化）された濃縮ガスＧ４は、燃焼部２１により燃焼されて昇温状態にある。この状態で、燃焼部２１において酸化分解された濃縮ガスＧ４は、その下方にある蓄熱部２０Ｒに通流される。酸化分解された濃縮ガスＧ４は、蓄熱部２０Ｒの内部の蓄熱体２Ｒにより熱を回収され（熱交換）、濃縮ガスＧ４が有していた熱エネルギーを蓄熱体２Ｒに放出する。酸化分解された濃縮ガスＧ４は、当該熱交換により冷却され、処理済ガスＧ５として排出口２６Ｒから排出される。
【００５５】
排出口２６Ｒから排出された処理済ガスＧ５は、配管Ｌ２４を通過して、配管Ｌ２６から排出される。たとえば、供給口２４Ｌにおいてトルエン濃度約２００ｐｐｍを含んでいた風量約１００ｍ３／ｍｉｎの濃縮ガスＧ４は、排出口２６Ｒにおいてトルエン濃度約１ｐｐｍ以下を含む風量約１００ｍ３／ｍｉｎの処理済ガスＧ５として排出される。
【００５６】
（矢印ＡＲ２方向）
次に、濃縮ガスＧ４が、供給口２４Ｒから蓄熱燃焼装置２００ａへ供給される場合について説明する（図中矢印ＡＲ２方向）。濃縮ガスＧ４を供給口２４Ｒから蓄熱燃焼装置２００ａへ供給するために、配管Ｌ１６から分岐して接続されている配管Ｌ１８は、ダンパーＤ１８により閉状態となっている。一方、配管Ｌ１６から分岐して接続されている配管Ｌ２２は、ダンパーＤ２２により開状態となっている。
【００５７】
供給口２４Ｒから蓄熱燃焼装置２００ａへ供給された濃縮ガスＧ４を、排出口２６Ｌから排出するために、排出口２６Ｌに接続されている配管Ｌ２０は、ダンパーＤ２０により開状態となっている。一方、排出口２６Ｒに接続されている配管Ｌ２４は、ダンパーＤ２４により閉状態となっている。これにより、濃縮ガスＧ４は、配管Ｌ１６から配管Ｌ２２を通過して、供給口２４Ｒから蓄熱燃焼装置２００ａに供給される。
【００５８】
有機溶剤含有ガス処理システムＳ１は、たとえば約３分の時間間隔で、濃縮ガスＧ４を供給口２４Ｌから供給することと、濃縮ガスＧ４を供給口２４Ｒから供給することとを、上記の各ダンパー（Ｄ１８，Ｄ２０，Ｄ２２，Ｄ２４）の操作により切り替えている。これにより、濃縮ガスＧ４の供給経路と処理済ガスＧ５の排出経路とが切り替えられ、濃縮ガスＧ４の供給方向と処理済ガスＧ５の排出方向とが反転している。当該切り替えは、有機溶剤含有ガス処理システムＳ１を連続的に稼動させるため、交互に繰り返し行われる。
【００５９】
上記の各ダンパー（Ｄ１８，Ｄ２０，Ｄ２２，Ｄ２４）の操作により、濃縮ガスＧ４の供給方向と処理済ガスＧ５の排出方向とが反転し、濃縮ガスＧ４は供給口２４Ｒから供給される。供給口２４Ｒから蓄熱燃焼装置２００ａの内部（第２塔部としての蓄熱部２０Ｒ側）に供給された濃縮ガスＧ４は、その上方にある蓄熱部２０Ｒに通流される。濃縮ガスＧ４は、蓄熱部２０Ｒの内部の蓄熱体２Ｒにより予熱され、所定の温度まで昇温される。
【００６０】
濃縮ガスＧ４を予熱している蓄熱部２０Ｒは、濃縮ガスＧ４を供給口２４Ｌから供給していたときには濃縮ガスＧ４に含まれる熱エネルギーを蓄熱しつつ濃縮ガスＧ４を排気しており、濃縮ガスＧ４の熱エネルギーを回収（熱交換）していた。したがって、濃縮ガスＧ４を供給口２４Ｒから供給するときには、蓄熱体２Ｒは当該熱エネルギーを再利用して濃縮ガスＧ４を所定の温度まで昇温させることが可能となる。
【００６１】
所定の温度となった濃縮ガスＧ４は、さらに上昇して燃焼部２１に到達する。濃縮ガスＧ４は、燃焼部２１においてバーナー２８により約８００℃で燃焼される。濃縮ガスＧ４に含有される有機溶剤は、その約９９％以上が酸化分解される。
【００６２】
有機溶剤を酸化分解（無害化）された濃縮ガスＧ４は、燃焼部２１により燃焼されて昇温状態にある。この状態で、燃焼部２１において酸化分解された濃縮ガスＧ４は、その下方にある蓄熱部２０Ｌに通流される。酸化分解された濃縮ガスＧ４は、蓄熱部２０Ｌの内部の蓄熱体２Ｌにより熱を回収され（熱交換）、濃縮ガスＧ４が有していた熱エネルギーを蓄熱体２Ｌに放出する。酸化分解された濃縮ガスＧ４は、当該熱交換により冷却され、処理済ガスＧ５として排出口２６Ｌから排出される。
【００６３】
排出口２６Ｌから排出された処理済ガスＧ５は、配管Ｌ２０を通過して、配管Ｌ２６から排出される。たとえば、供給口２４Ｒにおいてトルエン濃度約２００ｐｐｍを含んでいた風量約１００ｍ３／ｍｉｎの濃縮ガスＧ４は、排出口２６Ｌにおいてトルエン濃度約１ｐｐｍ以下を含む風量約１００ｍ３／ｍｉｎの処理済ガスＧ５として排出される。
【００６４】
（外気導入装置）
有機溶剤含有ガス処理システムＳ１が、濃縮ガスＧ４を供給口２４Ｌから供給することと、濃縮ガスＧ４を供給口２４Ｒから供給することとを反転させる直前の状態について説明する。反転の直前の状態において、たとえば供給口２４Ｌから蓄熱燃焼装置２００ａに供給されていた濃縮ガスＧ４は、蓄熱部２０Ｌの下方の供給口２４Ｌ付近に残留している。当該濃縮ガスＧ４は、未だ蓄熱部２０Ｌ、燃焼部２１および蓄熱部２０Ｒを通過していないため、未処理状態にあり、有機溶剤を含有している。
【００６５】
この状態で、有機溶剤含有ガス処理システムＳ１が濃縮ガスＧ４を供給口２４Ｌから供給することと、濃縮ガスＧ４を供給口２４Ｒから供給することと反転させたと仮定する。
【００６６】
蓄熱部２０Ｌの側については、ダンパーＤ１８は配管Ｌ１８の開状態を閉状態とし、ダンパーＤ２０は配管Ｌ２０の閉状態を開状態とする。これにより、蓄熱部２０Ｌの下方の供給口２４Ｌが閉じられ、排出口２６Ｌが開かれる。
【００６７】
蓄熱部２０Ｒの側については、ダンパーＤ２２は配管Ｌ２２の閉状態を開状態とし、ダンパーＤ２４は配管Ｌ２４の開状態を閉状態とする。これにより、蓄熱部２０Ｒの下方の供給口２４Ｒが開かれ、排出口２６Ｒが閉じられる。
【００６８】
蓄熱部２０Ｒの側において、新たな濃縮ガスＧ４が供給口２４Ｒから供給される。濃縮ガスＧ４は、蓄熱部２０Ｒ、燃焼部２１、および蓄熱部２０Ｌを順次通過することにより、処理済ガスＧ５となる。ところが、蓄熱部２０Ｌの下方の供給口２４Ｌ付近には、未処理状態で有機溶剤を含有している濃縮ガスＧ４が残留している。処理済ガスＧ５は、残留していた有機溶剤を含有している濃縮ガスＧ４を、排出口２６Ｌから押し出す。処理済ガスＧ５は、濃縮ガスＧ４とともに配管Ｌ２０および配管Ｌ２６を通過して外部に排出される。
【００６９】
そこで、本実施の形態に係る有機溶剤含有ガス処理システムＳ１は、濃縮ガスＧ４を予熱することと、濃縮ガスＧ４に含まれる熱エネルギーを蓄熱しつつ濃縮ガスＧ４を排気することとを切り替える前に、蓄熱燃焼装置２００ａが濃縮ガスＧ４を供給されることを、一時的に停止させる。具体的には、有機溶剤含有ガス処理システムＳ１は、濃縮ガスＧ４を供給口２４Ｌから供給することと、濃縮ガスＧ４を供給口２４Ｒから供給することとを反転させる前に、たとえば配管Ｌ１６に設けたダンパーＤ１６を用いて配管Ｌ１６を一時的に閉状態にする。これにより、蓄熱燃焼装置２００ａへの濃縮ガスＧ４の供給が、一時的に停止する。なお、一時的にとは、たとえば１０秒間である。
【００７０】
そして、外気導入装置３００は、蓄熱燃焼装置２００ａへの濃縮ガスＧ４の供給が一時的に停止されている間に、蓄熱燃焼装置２００ａの非濃縮ガスＧ４を予熱している蓄熱部２０Ｌに風量約１００ｍ３／ｍｉｎの外気Ｇ６を導入する。
【００７１】
供給口２４Ｌから供給された外気Ｇ６は、供給口２４Ｌ付近に残留していた、未処理状態にある有機溶剤を含有している濃縮ガスＧ４を、蓄熱部２０Ｌ、燃焼部２１、蓄熱部２０Ｒに順次通過させる（矢印ＡＲ１方向）。これにより、供給口２４Ｌ付近に残留していた濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤は酸化分解され、清浄化された処理済ガスＧ５となって配管Ｌ２６から外部に排出される。
【００７２】
なお、これとは反対に、供給口２４Ｒが開いており、蓄熱部２０Ｒが濃縮ガスＧ４を予熱しているときには、外気導入装置３００は、蓄熱燃焼装置２００ａへの濃縮ガスＧ４の供給が一時的に停止されている間に、蓄熱部２０Ｒに風量約１００ｍ３／ｍｉｎの外気Ｇ６を導入する。
【００７３】
供給口２４Ｒから供給された外気Ｇ６は、供給口２４Ｒ付近に残留していた、未処理状態にある有機溶剤を含有している濃縮ガスＧ４を、蓄熱部２０Ｒ、燃焼部２１、蓄熱部２０Ｌに順次通過させる（矢印ＡＲ２方向）。これにより、供給口２４Ｒ付近に残留していた濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤は酸化分解され、清浄化された処理済ガスＧ５となって配管Ｌ２６から外部に排出される。
【００７４】
蓄熱燃焼装置２００ａへの濃縮ガスＧ４の供給を一時的に停止する時間、および外気Ｇ６の供給する風量などは、処理済ガスＧ５の有機溶剤の濃度が約１ｐｐｍ以下になるように、原ガスＧ１の濃度または蓄熱燃焼装置２００ａの大きさなどを考慮して決定されるとよい。
【００７５】
（効果）
本実施の形態に係る有機溶剤含有ガス処理システムＳ１によれば、外気導入装置３００により、供給口２４Ｌまたは供給口２４Ｒ付近に残留していた未処理状態の濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤を酸化分解させることができる。したがって、有機溶剤含有ガス処理システムＳ１によれば、３塔式の蓄熱燃焼装置を用いることなく、未処理状態の濃縮ガスＧ４が排出されることを防止することができる。
【００７６】
また、有機溶剤含有ガス処理システムＳ１によれば、２つの蓄熱部２０Ｌ，２０Ｒを備えていることにより、３塔式の蓄熱燃焼装置を備えたものに比して装置全体の大きさが小さく、接続される配管の構成も複雑でなく、各ガスの供給および排出経路を切り替えるダンパーの制御も容易に行なうことが可能となる。したがって、有機溶剤含有ガス処理システムＳ１によれば、３塔式の蓄熱燃焼装置を備えたものに比して、設置するための余分な面積や、余分な費用が必要になることがない。
【００７７】
（実施の形態２）
図４を参照して、本実施の形態における有機溶剤含有ガス処理システムＳ２について説明する。有機溶剤含有ガス処理システムＳ２は、蓄熱燃焼装置２００ｂにおいて、その構成および動作などが、有機溶剤含有ガス処理システムＳ１と相違する。
【００７８】
（構成）
有機溶剤含有ガス処理システムＳ２は、濃縮装置１００と、蓄熱燃焼装置２００ｂと、外気導入装置３００とを備えている。濃縮装置１００および外気導入装置３００の構成については、実施の形態１と同様であるため、その説明を繰り返さないものとする。
【００７９】
蓄熱燃焼装置２００ｂは、１チャンバー式の蓄熱燃焼装置である。本実施の形態では、２つの蓄熱部を有する蓄熱燃焼装置の一例として、１チャンバー式の蓄熱燃焼装置である蓄熱燃焼装置２００ｂに基づき説明する。蓄熱燃焼装置２００ｂは、燃焼部２１と、蓄熱部２０Ｌと、蓄熱部２０Ｒとを有している。燃焼部２１は、蓄熱部２０Ｌと蓄熱部２０Ｒとに挟まれるように配置されている。蓄熱部２０Ｌ、燃焼部２１および蓄熱部２０Ｒの内部の空間は連通している。燃焼部２１、蓄熱部２０Ｌおよび蓄熱部２０Ｒの両側面は、断熱材３，３で覆われている。
【００８０】
蓄熱部２０Ｌの内部には、蓄熱体２Ｌが設けられている。蓄熱部２０Ｌの上方には、風洞４Ｌが設けられている。蓄熱部２０Ｌの風洞４Ｌには、濃縮ガスＧ４の供給および処理済ガスＧ５の排出を行なう配管Ｌ４０が接続されている。
【００８１】
蓄熱部２０Ｒの内部には、蓄熱体２Ｒが設けられている。蓄熱部２０Ｒの下方には、風洞４Ｒが設けられている。蓄熱部２０Ｒの風洞４Ｒには、濃縮ガスＧ４を供給および処理済ガスＧ５の排出を行なう配管Ｌ４２が接続されている。
【００８２】
配管Ｌ１６は、ダンパーＤ４０により配管Ｌ４０および配管Ｌ４２に選択的に接続されている。さらに、配管Ｌ４０および配管Ｌ４２は、ダンパーＤ４０により、配管Ｌ４４に選択的に接続されている。
【００８３】
ダンパーＤ４０により、配管Ｌ１６と配管Ｌ４０とが接続されているときは、配管Ｌ１６と配管Ｌ４２とは接続されておらず、かつ、配管Ｌ４２と配管Ｌ４４とは接続されている。
【００８４】
ダンパーＤ４０により、配管Ｌ１６と配管Ｌ４２とが接続されているときは、配管Ｌ１６と配管Ｌ４０とは接続されておらず、かつ、配管Ｌ４０と配管Ｌ４４とは接続されている。
【００８５】
（動作）
次に動作について説明する。有機溶剤含有ガス処理システムＳ２は、まず、濃縮装置１００に原ガスＧ１が供給される。濃縮装置１００からは、実施の形態１と同様に、濃縮ガスＧ４が排出される。
【００８６】
（蓄熱燃焼装置）
濃縮装置１００から排出された濃縮ガスＧ４は、配管Ｌ１６を通過して蓄熱燃焼装置２００ｂの風洞４Ｌまたは風洞４Ｒのいずれか一方に供給される。
【００８７】
（矢印ＡＲ１方向）
濃縮ガスＧ４が、風洞４Ｌから供給される場合について説明する（図中矢印ＡＲ１方向）。濃縮ガスＧ４を風洞４Ｌから供給するために、配管Ｌ１６は、ダンパーＤ４０により配管Ｌ４０に接続されている。これにより、濃縮ガスＧ４は、配管Ｌ１６から配管Ｌ４０を通過して、風洞４Ｌから蓄熱燃焼装置２００ｂに供給される。なお、風洞４Ｌから供給された濃縮ガスＧ４を、処理済ガスＧ５として配管Ｌ４４から排出するために、風洞４Ｒに接続されている配管Ｌ４２は、ダンパーＤ４０により配管Ｌ４４に接続されている。
【００８８】
風洞４Ｌから蓄熱燃焼装置２００ｂの内部に供給された濃縮ガスＧ４は、その下方にある蓄熱部２０Ｌに通流される。濃縮ガスＧ４は、蓄熱部２０Ｌの内部の蓄熱体２Ｌにより予熱され、所定の温度まで昇温される。所定の温度となった濃縮ガスＧ４は、さらに下降して燃焼部２１に到達する。濃縮ガスＧ４は、燃焼部２１において約８００℃で燃焼される。濃縮ガスＧ４に含有される有機溶剤は、その約９９％以上が酸化分解される。
【００８９】
有機溶剤を酸化分解（無害化）された濃縮ガスＧ４は、燃焼部２１により燃焼されて昇温状態にある。この状態で、燃焼部２１において酸化分解された濃縮ガスＧ４は、その下方にある蓄熱部２０Ｒに通流される。酸化分解された濃縮ガスＧ４は、蓄熱部２０Ｒの内部の蓄熱体２Ｒにより熱を回収され（熱交換）、濃縮ガスＧ４が有していた熱エネルギーを蓄熱体２Ｒに放出する。酸化分解された濃縮ガスＧ４は、当該熱交換により冷却され、処理済ガスＧ５として風洞４Ｒから排出される。
【００９０】
風洞４Ｒから排出された処理済ガスＧ５は、配管Ｌ４２を通過して、配管Ｌ４４から排出される。たとえば、トルエン濃度約２００ｐｐｍを含んでいた風量約１００ｍ３／ｍｉｎの濃縮ガスＧ４は、トルエン濃度約１ｐｐｍ以下を含む風量約１００ｍ３／ｍｉｎの処理済ガスＧ５として排出される。
【００９１】
（矢印ＡＲ２方向）
次に、濃縮ガスＧ４が、風洞４Ｒから供給される場合について説明する（図中矢印ＡＲ２方向）。濃縮ガスＧ４を風洞４Ｒから供給するために、配管Ｌ１６は、ダンパーＤ４０により配管Ｌ４２に接続されている。これにより、濃縮ガスＧ４は、配管Ｌ１６から配管Ｌ４２を通過して、風洞４Ｒから蓄熱燃焼装置２００ｂに供給される。なお、風洞４Ｒから供給された濃縮ガスＧ４を、処理済ガスＧ５として配管Ｌ４０から排出するために、風洞４Ｌに接続されている配管Ｌ４０は、ダンパーＤ４０により配管Ｌ４４に接続されている。
【００９２】
有機溶剤含有ガス処理システムＳ２は、たとえば約３分の時間間隔で、濃縮ガスＧ４を風洞４Ｌから供給することと、濃縮ガスＧ４を風洞４Ｒから供給することとを、ダンパーＤ４０により切り替えている。これにより、濃縮ガスＧ４の供給経路と処理済ガスＧ５の排出経路とが切り替えられ、濃縮ガスＧ４の供給方向と処理済ガスＧ５の排出方向とが反転している。当該切り替えは、有機溶剤含有ガス処理システムＳ２を連続的に稼動させるため、交互に繰り返し行われる。
【００９３】
ダンパーＤ４０が切り替えられることにより、濃縮ガスＧ４は風洞４Ｒから供給される。風洞４Ｒから蓄熱燃焼装置２００ｂの内部（特に、第２塔部としての蓄熱部２０Ｒ側）に供給された濃縮ガスＧ４は、その上方にある蓄熱部２０Ｒに通流される。濃縮ガスＧ４は、蓄熱部２０Ｒの内部の蓄熱体２Ｒにより予熱され、所定の温度まで昇温される。
【００９４】
濃縮ガスＧ４を予熱している蓄熱部２０Ｒは、濃縮ガスＧ４を風洞４Ｌから供給していたときには濃縮ガスＧ４に含まれる熱エネルギーを蓄熱しつつ濃縮ガスＧ４を排気しており、濃縮ガスＧ４の熱エネルギーを回収（熱交換）している。したがって、濃縮ガスＧ４を風洞４Ｒから供給するときには、蓄熱体２Ｒは当該熱エネルギーを再利用して濃縮ガスＧ４を所定の温度まで昇温させることが可能となる。
【００９５】
所定の温度となった濃縮ガスＧ４は、さらに上昇して燃焼部２１に到達する。濃縮ガスＧ４は、燃焼部２１において約８００℃で燃焼される。濃縮ガスＧ４に含有される有機溶剤は、その約９９％以上が酸化分解される。
【００９６】
有機溶剤を酸化分解（無害化）された濃縮ガスＧ４は、燃焼部２１により燃焼されて昇温状態にある。この状態で、燃焼部２１において酸化分解された濃縮ガスＧ４は、その上方にある蓄熱部２０Ｌに通流される。酸化分解された濃縮ガスＧ４は、蓄熱部２０Ｌの内部の蓄熱体２Ｌにより熱を回収され（熱交換）、濃縮ガスＧ４が有していた熱エネルギーを蓄熱体２Ｌに放出する。酸化分解された濃縮ガスＧ４は、当該熱交換により冷却され、処理済ガスＧ５として風洞４Ｌから排出される。
【００９７】
風洞４Ｌから排出された処理済ガスＧ５は、配管Ｌ４０を通過して、配管Ｌ４４から排出される。たとえば、トルエン濃度約２００ｐｐｍを含んでいた風量約１００ｍ３／ｍｉｎの濃縮ガスＧ４は、トルエン濃度約１ｐｐｍ以下を含む風量約１００ｍ３／ｍｉｎの処理済ガスＧ５として排出される。
【００９８】
（外気導入装置）
有機溶剤含有ガス処理システムＳ２が、濃縮ガスＧ４を風洞４Ｌから供給することと、濃縮ガスＧ４を風洞４Ｒから供給することとを反転させる直前の状態について説明する。反転の直前の状態において、たとえば風洞４Ｌから蓄熱燃焼装置２００ｂに供給されていた濃縮ガスＧ４は、蓄熱部２０Ｌの下方または風洞４Ｌ付近に残留している。当該濃縮ガスＧ４は、未だ蓄熱部２０Ｌ、燃焼部２１および蓄熱部２０Ｒを通過していないため、未処理状態にあり、有機溶剤を含有している。
【００９９】
この状態で、有機溶剤含有ガス処理システムＳ２が濃縮ガスＧ４を風洞４Ｌから供給することと、濃縮ガスＧ４を風洞４Ｒから供給することと反転させたと仮定する。
【０１００】
蓄熱部２０Ｒの側において、新たな濃縮ガスＧ４が風洞４Ｒから供給される。濃縮ガスＧ４は、蓄熱部２０Ｒ、燃焼部２１、および蓄熱部２０Ｌを順次通過することにより、処理済ガスＧ５となる。ところが、蓄熱部２０Ｌの下方または風洞４Ｌ付近には、未処理状態で有機溶剤を含有している濃縮ガスＧ４が残留している。処理済ガスＧ５は、残留していた有機溶剤を含有している濃縮ガスＧ４を、風洞４Ｌから押し出す。処理済ガスＧ５は、濃縮ガスＧ４とともに配管Ｌ４０および配管Ｌ４４を通過して外部に排出される。
【０１０１】
そこで、本実施の形態に係る有機溶剤含有ガス処理システムＳ２は、濃縮ガスＧ４を予熱することと、濃縮ガスＧ４に含まれる熱エネルギーを蓄熱しつつ濃縮ガスＧ４を排気することとを切り替える前に、蓄熱燃焼装置２００ｂが濃縮ガスＧ４を供給されることを一時的に停止させる。
【０１０２】
そして、外気導入装置３００は、蓄熱燃焼装置２００ｂへの濃縮ガスＧ４の供給が一時的に停止されている間に、蓄熱燃焼装置２００ｂの濃縮ガスＧ４を予熱している蓄熱部２０Ｌに風量約１００ｍ３／ｍｉｎの外気Ｇ６を導入する。
【０１０３】
風洞４Ｌから供給された外気Ｇ６は、風洞４Ｌ付近に残留していた、未処理状態にある有機溶剤を含有している濃縮ガスＧ４を、蓄熱部２０Ｌ、燃焼部２１、蓄熱部２０Ｒに順次通過させる（矢印ＡＲ１方向）。これにより、風洞４Ｌ付近に残留していた濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤は酸化分解され、清浄化された処理済ガスＧ５となって配管Ｌ４４から外部に排出される。
【０１０４】
なお、これとは反対に、蓄熱部２０Ｒが濃縮ガスＧ４を予熱しているときには、外気導入装置３００は、蓄熱燃焼装置２００ｂへの濃縮ガスＧ４の供給が一時的に停止されている間に、蓄熱部２０Ｒに風量約１００ｍ３／ｍｉｎの外気Ｇ６を導入する。
【０１０５】
風洞４Ｒから供給された外気Ｇ６は、風洞４Ｒ付近に残留していた、未処理状態にある有機溶剤を含有している濃縮ガスＧ４を、蓄熱部２０Ｒ、燃焼部２１、蓄熱部２０Ｌに順次通過させる（矢印ＡＲ２方向）。これにより、風洞４Ｒ付近に残留していた濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤は酸化分解され、清浄化された処理済ガスＧ５となって配管Ｌ４４から外部に排出される。
【０１０６】
蓄熱燃焼装置２００ｂへの濃縮ガスＧ４の供給を一時的に停止する時間、および外気Ｇ６の供給する風量などは、処理済ガスＧ５の有機溶剤の濃度が１ｐｐｍ以下になるように、原ガスＧ１の濃度または蓄熱燃焼装置２００ｂの大きさなどを考慮して決定されるとよい。
【０１０７】
（効果）
本実施の形態に係る有機溶剤含有ガス処理システムＳ２によれば、実施の形態１と同様に、外気導入装置３００により、風洞４Ｌまたは風洞４Ｒ付近に残留していた未処理状態の濃縮ガスＧ４に含まれる有機溶剤を酸化分解させることができる。したがって、有機溶剤含有ガス処理システムＳ２によれば、３塔式の蓄熱燃焼装置を用いることなく、未処理状態の濃縮ガスＧ４が排出されることを防止することができる。
【０１０８】
また、有機溶剤含有ガス処理システムＳ２によれば、２つの蓄熱部２０Ｌ，２０Ｒを備えていることにより、３塔式の蓄熱燃焼装置を備えたものに比して装置全体の大きさが小さく、接続される配管の構成も複雑でなく、各ガスの供給および排出経路を切り替えるダンパーの制御も容易に行なうことが可能となる。したがって、有機溶剤含有ガス処理システムＳ２によれば、３塔式の蓄熱燃焼装置を備えたものに比して、設置するための余分な面積や、余分な費用が必要になることがない。
【０１０９】
以上、本発明の発明を実施するための形態について説明したが、今回開示された形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【０１１０】
２Ｌ，２Ｒ  蓄熱体、３  断熱材、４Ｌ，４Ｒ  風洞、１０，１０Ｌ，１０Ｒ  吸着体、１１  吸着領域、１２  脱着領域、１３  筒軸、２０Ｌ，２０Ｒ  蓄熱部、２１  燃焼部、２４Ｌ，２４Ｒ  供給口、２６Ｌ，２６Ｒ  排出口、２８  バーナー、１００，１００ａ，１００ｂ  濃縮装置、１１０  第１処理槽、１２０  第２処理槽、２００ａ，２００ｂ  蓄熱燃焼装置、３００  外気導入装置、ＡＲ，ＡＲ１，ＡＲ２  矢印、Ｄ１６，Ｄ１８，Ｄ２０，Ｄ２２，Ｄ２４，Ｄ４０  ダンパー、Ｇ１  原ガス、Ｇ２  清浄ガス、Ｇ３  脱着用ガス、Ｇ４  濃縮ガス、Ｇ５  処理済ガス、Ｇ６  外気、Ｌ１０，Ｌ１２，Ｌ１４，Ｌ１６，Ｌ１８，Ｌ２０，Ｌ２２，Ｌ２４，Ｌ２６，Ｌ２８，Ｌ４０，Ｌ４２，Ｌ４４  配管、Ｓ１，Ｓ２  有機溶剤含有ガス処理システム、Ｖ１０Ｌ，Ｖ１０Ｒ，Ｖ１２Ｌ，Ｖ１２Ｒ，Ｖ１４Ｌ，Ｖ１４Ｒ  バルブ。
【図１】
2011072919.tif 000003
【図２】
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【図３】
2011072919.tif 000005
【図４】
2011072919.tif 000006