(57)【要約】【課題】  半導体装置等の温度上昇のオーバーシュートを防止する。【解決手段】  電流が電流閾値を超えて上昇または電流が電流閾値を超えて下降することを検知する電流変化検知処理部と、温度が温度閾値を超えて上昇または温度が温度閾値を超えて下降することを検知する温度変化処理部と、電流が電流閾値を超えて上昇することを検知したとき電流閾値に対応する回転数で冷却ファンの回転を制御し電流が電流閾値を超えて下降することを検知したとき温度が温度閾値を超えているか否かに対応した回転数で冷却ファンの回転を制御する冷却ファン回転数制御処理部と、を備える。【選択図】      図１
2011001931.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電流が電流閾値を超えて上昇することまたは前記電流が前記電流閾値を超えて下降することを検知する電流変化検知処理部と、温度が温度閾値を超えて上昇することまたは前記温度が前記温度閾値を超えて下降することを検知する温度変化処理部と、前記電流が前記電流閾値を超えて上昇することを検知したとき前記電流閾値に対応する回転数で冷却ファンの回転を制御し前記電流が前記電流閾値を超えて下降することを検知したとき前記温度が前記温度閾値を超えているか否かに対応した回転数で前記冷却ファンの回転を制御する冷却ファン回転数制御処理部と、を備えることを特徴とする冷却コントローラ。
【請求項２】
前記電流閾値および前記温度閾値が２つ以上設定されていることを特徴とする請求項１記載の冷却コントローラ。
【請求項３】
前記冷却ファン回転数制御処理部は、一旦前記電流が前記電流閾値を超えて上昇したが再び前記電流閾値を超えて下降することを検知したとき前記温度が前記温度閾値を超えているか否かに対応した回転数で前記冷却ファンの回転を制御することを特徴とする請求項１または請求項２記載の冷却コントローラ。
【請求項４】
前記冷却ファン回転数制御処理部は、一旦前記電流が前記電流閾値を超えて下降したが再び前記電流閾値を超えて上昇することを検知したとき前記電流閾値に対応する回転数及び前記温度が前記温度閾値を超えているか否かに対応した回転数のうちのいずれか高い方の前記回転数で前記冷却ファンの回転を制御することを特徴とする請求項１または請求項２記載の冷却コントローラ。
【請求項５】
前記冷却ファン回転数制御処理部は、前記電流閾値に対応して回転数を規定する電流／回転数テーブルと、前記温度閾値に対応して回転数を規定する温度／回転数テーブルと、前記電流が前記電流閾値を超えて上昇することを検知したとき前記電流／回転数テーブルを参照して前記冷却ファンの回転を制御し、前記電流が前記電流閾値を超えて下降することを検知したとき前記温度／回転数テーブルを参照して前記冷却ファンの回転を制御する冷却ファン回転数決定処理部と、を備えることを特徴とする請求項１または請求項２記載の冷却コントローラ。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の前記冷却コントローラと、前記温度を測定する温度センサおよび前記電流を測定する電流センサを有するモジュールと、前記冷却ファンと、前記温度センサの出力を読み出す温度センサ読出処理部および前記電流センサの出力を読み出す電流センサ読出処理部を有するセンサ読出コントローラと、を備えることを特徴とする冷却装置。
【請求項７】
前記モジュールの中に前記温度センサまたは前記電流センサが複数あるとき前記電流センサ読出処理部は前記電流センサの出力の総和を前記モジュール内の電流と判定し、前記温度センサ読出処理部は前記温度センサの出力の最大値を前記モジュール内の温度と判定することを特徴とする請求項６記載の冷却装置。
【請求項８】
電流が電流閾値を超えて上昇することまたは前記電流が前記電流閾値を超えて下降することを検知する電流変化検知処理ステップと、温度が温度閾値を超えて上昇することまたは前記温度が前記温度閾値を超えて下降することを検知する温度変化処理ステップと、前記電流が前記電流閾値を超えて上昇することを検知したとき前記電流閾値に対応する回転数で冷却ファンの回転を制御し前記電流が前記電流閾値を超えて下降することを検知したとき前記温度が前記温度閾値を超えているか否かに対応した回転数で前記冷却ファンの回転を制御する冷却ファン回転数制御処理部ステップと、を含むことを特徴とする冷却方法。
【請求項９】
前記電流閾値および前記温度閾値が２つ以上設定されていることを特徴とする請求項８記載の冷却方法。
【請求項１０】
前記冷却ファン回転数制御処理ステップは、一旦前記電流が前記電流閾値を超えて上昇したが再び前記電流閾値を超えて下降することを検知したとき前記温度が前記温度閾値を超えているか否かに対応した回転数で前記冷却ファンの回転を制御することを特徴とする請求項８または請求項９記載の冷却方法。
【請求項１１】
前記冷却ファン回転数制御処理ステップは、一旦前記電流が前記電流閾値を超えて下降したが再び前記電流閾値を超えて上昇することを検知したとき前記電流閾値に対応する回転数および前記温度が前記温度閾値を超えているか否かに対応した回転数のうちのいずれか高い方の前記回転数で前記冷却ファンの回転を制御することを特徴とする請求項８または請求項９記載の冷却方法。
【請求項１２】
前記冷却ファン回転数制御処理ステップは、前記電流が前記電流閾値を超えて上昇することを検知したとき前記電流閾値に対応して回転数を規定する電流／回転数テーブルを参照して前記冷却ファンの回転を制御し前記電流が前記電流閾値を超えて下降することを検知したとき前記電流閾値に対応して前記回転数を規定する温度／回転数テーブルを参照して前記冷却ファンの回転を制御する冷却ファン回転数決定処理ステップを含むことを特徴とする請求項８または請求項９記載の冷却方法。
【請求項１３】
電流が電流閾値を超えて上昇することまたは前記電流が前記電流閾値を超えて下降することを検知する電流変化検知処理と、温度が温度閾値を超えて上昇することまたは前記温度が前記温度閾値を超えて下降することを検知する温度変化処理と、前記電流が前記電流閾値を超えて上昇することを検知したとき前記電流閾値に対応する回転数で冷却ファンの回転を制御し前記電流が前記電流閾値を超えて下降することを検知したとき前記温度が前記温度閾値を超えているか否かに対応した回転数で前記冷却ファンの回転を制御する冷却ファン回転数制御処理と、をコンピュータに実行させることを
特徴とするプログラム。
【請求項１４】
前記電流閾値および前記温度閾値が２つ以上設定されていることを特徴とする請求項１３記載のプログラム。
【請求項１５】
前記冷却ファン回転数制御処理は、一旦前記電流が前記電流閾値を超えて上昇したが再び前記電流閾値を超えて下降することを検知したとき前記温度が前記温度閾値を超えているか否かに対応した回転数で前記冷却ファンの回転を制御することを特徴とする請求項１３または請求項１４記載のプログラム。
【請求項１６】
前記冷却ファン回転数制御処理は、一旦前記電流が前記電流閾値を超えて下降したが再び前記電流閾値を超えて上昇することを検知したとき前記電流閾値に対応する回転数および前記温度が前記温度閾値を超えているか否かに対応した回転数のうちのいずれか高い方の前記回転数で前記冷却ファンの回転を制御することを特徴とする請求項１３または請求項１４記載のプログラム。
【請求項１７】
前記冷却ファン回転数制御処理は、前記電流が前記電流閾値を超えて上昇することを検知したとき前記電流閾値に対応して回転数を規定する電流／回転数テーブルを参照して前記冷却ファンの回転を制御し、前記電流が前記電流閾値を超えて下降することを検知したとき前記電流閾値に対応して回転数を規定する温度／回転数テーブルを参照して前記冷却ファンの回転を制御する冷却ファン回転数決定処理をコンピュータに実行させることを特徴とする請求項１３または請求項１４記載のプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、冷却コントローラ、冷却装置、冷却方法、プログラムに関し、特に、半導体装置の冷却ファンによる冷却コントローラ、冷却装置、冷却方法、およびプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
発熱源の温度に応じて、冷却ファンの回転数を制御する例が、特許文献１に記載されている。特許文献１の技術は、冷却ファンの静寂性を向上させるために、発熱源の温度に応じて冷却ファンの回転速度を段階的に可変にする構成である。
【０００３】
また、ＣＰＵの消費電流を基に冷却ファンの回転数数を制御する例が、特許文献２に記載されている。特許文献２の技術は、省エネルギー化等を図るために、ＣＰＵの消費電流（ＣＰＵの温度を間接的に検知）を基に、冷却ファンの回転数を制御する構成である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第４１２６７１８号公報
【特許文献２】特開２００８−２１６３８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１の技術は、半導体装置の温度に応じて、冷却ファンの回転数を制御する。
【０００６】
しかし、温度での回転数制御は、「測定温度がLSIコアの温度ではないケースが多く、温度が上昇してから冷却するため、温度上昇のオーバーシュートが起こり、温度上昇によるストレスが半導体装置にかかり信頼性が低下する」という問題点があるが、特許文献１には、半導体装置等の温度上昇のオーバーシュートを防止する技術の記載がない。
【０００７】
また、特許文献２の技術は、省エネルギー化等を図るために、電流を基に冷却ファンの回転数を制御するが、特許文献２には、半導体装置等の温度上昇のオーバーシュートを防止する技術の記載がない。
【０００８】
本発明の目的は、上記の問題点を解決する冷却装置、冷却方法、プログラムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の冷却コントローラは、電流が電流閾値を超えて上昇することまたは前記電流が前記電流閾値を超えて下降することを検知する電流変化検知処理部と、温度が温度閾値を超えて上昇することまたは前記温度が前記温度閾値を超えて下降することを検知する温度変化処理部と、前記電流が前記電流閾値を超えて上昇することを検知したとき前記電流閾値に対応する回転数で冷却ファンの回転を制御し前記電流が前記電流閾値を超えて下降することを検知したとき前記温度が前記温度閾値を超えているか否かに対応した前記回転数で前記冷却ファンの回転を制御する冷却ファン回転数制御処理部と、を備える。
【００１０】
本発明の冷却方法は、電流が電流閾値を超えて上昇することまたは前記電流が前記電流閾値を超えて下降することを検知する電流変化検知処理ステップと、温度が温度閾値を超えて上昇することまたは前記温度が前記温度閾値を超えて下降することを検知する温度変化処理ステップと、前記電流が前記電流閾値を超えて上昇することを検知したとき前記電流閾値に対応する回転数で冷却ファンの回転を制御し前記電流が前記電流閾値を超えて下降することを検知したとき前記温度が前記温度閾値を超えているか否かに対応した前記回転数で前記冷却ファンの回転を制御する冷却ファン回転数制御処理ステップと、を含む。
【００１１】
本発明のプログラムは、電流が電流閾値を超えて上昇することまたは前記電流が前記電流閾値を超えて下降することを検知する電流変化検知処理と、温度が温度閾値を超えて上昇することまたは前記温度が前記温度閾値を超えて下降することを検知する温度変化処理と、前記電流が前記電流閾値を超えて上昇することを検知したとき前記電流閾値に対応する回転数で冷却ファンの回転を制御し前記電流が前記電流閾値を超えて下降することを検知したとき前記温度が前記温度閾値を超えているか否かに対応した前記回転数で前記冷却ファンの回転を制御する冷却ファン回転数制御処理と、をコンピュータに実行させる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の効果は、半導体装置等の温度上昇のオーバーシュートを防止することができるということである。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第１の実施の形態における冷却コントローラ（１）１０の構成図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態における冷却装置（１）２０の構成図である。
【図３】冷却ファン回転数算出式の一例を示す図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態における冷却装置（１）２０で、電流が上昇して、その後下降する場合の電流、冷却ファンの回転数、温度の関係を示す温度制御の一例を示す図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態における冷却装置（１）２０で、電流が上昇／下降、下降／上昇を繰り返す場合の電流、冷却ファンの回転数、温度の関係を示す温度制御の一例を示す図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態における冷却装置（２）３０の構成図である。
【図７】電流／回転数テーブル４５の一例を示す図である。
【図８】温度／回転数テーブル４４の一例を示す図である。
【図９】本発明の第４の実施の形態における冷却装置（３）４０の構成図である。
【図１０】本発明の第５の実施の形態における冷却装置（４）５０の構成図である。
【図１１】本発明の第２の実施の形態における冷却装置（１）２０の動作を示すフローチャート（１／３）である。
【図１２】本発明の第２の実施の形態における冷却装置（１）２０の動作を示すフローチャート（２／３）である。
【図１３】本発明の第２の実施の形態における冷却装置（１）２０の動作を示すフローチャート（３／３）である。
【図１４】本発明の第３の実施の形態における冷却装置（２）３０の動作を示すフローチャート（１／２）である。
【図１５】温度で冷却ファンの回転数を制御するときの動作状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
次に、本発明の第１の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００１５】
ここで、温度による冷却ファンの回転数制御における半導体装置等での温度上昇のオーバーシュートについて説明する。
【００１６】
温度を基に冷却ファンの回転数を制御したときに、温度上昇のオーバーシュートが発生する状況を図１５に示す。
【００１７】
ここで、制御温度Ｂ１で示すような温度変化が起こるとする。
【００１８】
温度が温度閾値（温度の値の範囲の境界値を示す）ｔ１を超えると、冷却ファン回転数Ａ１は決められた回転数となり冷却ファンを回転させる。同じように、温度が温度閾値ｔ２、温度閾値ｔ３を超えると、冷却ファン回転数Ａ１はそれぞれの決められた回転数となり冷却ファンを回転させる。
【００１９】
同様に、温度が降下すると、温度が温度閾値ｔ４を超えて下回ると、冷却ファン回転数Ａ１は決められた回転数で冷却ファンを回転させる。また、温度が温度閾値ｔ５、温度閾値ｔ６を下回ると、冷却ファン回転数Ａ１はそれぞれの決められた回転数となり冷却ファンを回転させる。
【００２０】
しかし、急激な温度変化が発生した場合で、冷却ファン回転数Ａ１が冷却ファン最高速点（Ｚ）に達しそれ以上は冷却ファンを回転できないようなケースでは、冷却ファンの回転数は追従できず、オーバーシュート点Ｃ１が発生する可能性がある。
【００２１】
次に、このような半導体装置等での温度上昇のオーバーシュートを防止するための本発明の第１の実施の形態について説明する。
【００２２】
図１は、本発明の第１の実施の形態における冷却コントローラ（１）１０の構成図である。
【００２３】
冷却コントローラ（１）１０は、電流変化検知処理部１１と、温度変化処理部１２と、冷却ファン回転数制御処理部１３とから構成されている。
【００２４】
電流変化検知処理部１１は、電流が電流閾値（電流の値の範囲の境界値を示す）を超えて上昇することまたは電流が電流閾値を超えて下降することを検知する。
【００２５】
温度変化処理部１２は、温度が温度閾値を超えて上昇することまたは温度が温度閾値を超えて下降することを検知する。
【００２６】
冷却ファン回転数制御処理部１３は、電流が電流閾値を超えて上昇することを検知したとき電流閾値に対応する回転数で冷却ファンの回転を制御し、電流が電流閾値を超えて下降することを検知したとき、温度が温度閾値を超えているか否かに対応した回転数で冷却ファンの回転を制御する。
【００２７】
このため、本発明の第１の実施の形態における冷却コントローラ（１）１０は、半導体装置等での温度上昇のオーバーシュートを防止することができる。
【００２８】
その理由は、「電流が流れると発熱する」という半導体装置で一般的な現象を元に温度上昇より先に電流量の増加があるという関係を利用して、電流が電流閾値を超えて上昇することを検知したときは電流閾値に対応する回転数で冷却ファンの回転を制御する構成とする。また、電流量で冷却ファンを低回転にすると、温度に対して必要なファン回転するが得られないために、冷却ファンの回転数を低下させる制御は温度で行い、電流が電流閾値を超えて下降することを検知したとき、温度が温度閾値を超えているか否かに対応した回転数で冷却ファンの回転を制御するような構成を採用したためである。
【００２９】
尚、電流変化検知処理部１１、温度変化処理部１２、および冷却ファン回転数制御処理部１３は、ハードウェアで実現してもよいしソフトウェアで実現してもよい。
【００３０】
次に、本発明の第２の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００３１】
図２は、本発明の第２の実施の形態における冷却装置（１）２０の構成図である。
【００３２】
冷却装置（１）２０は、冷却ファン２１と、モジュール（１）２２と、冷却コントローラ（２）２３と、センサ読出コントローラ２４とから構成されている。
【００３３】
冷却ファン２１は、半導体装置等のモジュール（１）２２を冷却する。
【００３４】
モジュール（１）２２は、モジュール（１）２２内の電流を測定する電流センサ（１）３１と、モジュール（１）２２内の温度を測定する温度センサ（１）３３を含んでいる。
【００３５】
センサ読出コントローラ２４は、電流センサ読出処理部３９と温度センサ読出処理部３８とから構成されている。
【００３６】
電流センサ読出処理部３９は、モジュール（１）２２内の電流センサ（１）３１から電流出力を読み出す。
【００３７】
温度センサ読出処理部３８は、モジュール（１）２２内の温度センサ（１）３３から温度出力を読み出す。
【００３８】
冷却コントローラ（２）２３は、温度変化検知処理部１２と、電流変化検知処理部１１と、冷却ファン回転数制御処理部３６と、コントローラ制御処理部５１とから構成されている。
【００３９】
電流変化検知処理部１１は、電流センサ読出処理部３９からの出力電流が電流閾値を超えて上昇することまたは電流が電流閾値を超えて下降することを検知する。
【００４０】
温度変化検知処理部１２は、温度センサ読出処理部３８からの出力温度が温度閾値を超えて上昇することまたは温度が温度閾値を超えて下降することを検知する。
【００４１】
冷却ファン回転数制御処理部３６は、冷却ファン回転数指示処理部４１と冷却ファン回転数算出処理部４２とから構成されている。
【００４２】
コントローラ制御処理部５１は、電流閾値や温度閾値を設定する等の制御を行う。
【００４３】
冷却ファン回転数算出処理部４２は、図３で示す冷却ファン回転数算出式で冷却ファンの回転数を算出する（図３の説明は後述する）。
【００４４】
冷却ファン回転数指示処理部４１は、冷却ファン回転数算出処理部４２からの回転数情報を受けて、冷却ファン２１にこの回転数で冷却するように指示する。
【００４５】
尚、センサ読出コントローラ２４と冷却コントローラ（２）２３は、別のコントローラとして構成されているが、同一のコントローラで実現してもよい。
【００４６】
また、温度変化検知処理部１２、および電流変化検知処理部１１は、それぞれ、本発明の第１の実施の形態である冷却コントローラ（１）１０の温度変化検知処理部１２、電流変化検知処理部１１と同じである。
【００４７】
冷却ファン回転数制御処理部３６は、本発明の第１の実施の形態である冷却コントローラ（１）１０の冷却ファン回転数制御処理部１３の一例である。
【００４８】
また、冷却ファン回転数指示処理部４１と冷却ファン回転数算出処理部４２は、ハードウェアで実現してもよいしソフトウェアで実現してもよい。
【００４９】
図３は、冷却ファン回転数算出処理部４２で使用される冷却ファン回転数算出式の一例である。
【００５０】
算出式は、以下のケースでの冷却ファンの回転数を算出する。
【００５１】
電流ａが電流閾値ａｉ（ｉは１、２、３）を超えて上昇するケースでは、回転数ｎはｎｉ（ｉは１、２、３）となる。電流ａが電流閾値ａｉ（ｉは１、２、３）を超えて下降するケースで、温度ｔ＞ｔｉの場合には、回転数ｎはｎｉとなり、温度tがｔｉ−１＜温度ｔ＜ｔｉの場合には、回転数ｎはｎｉ−１となる。
【００５２】
ここで、一例を示すと、電流ａがａ２を超えて上昇すると、回転数ｎはｎ２となる。電流ａがａ２を超えて下降すると、温度ｔ＞ｔ２の場合には回転数ｎはｎ２となり、温度tがｔ１＜温度ｔ＜ｔ２の場合には回転数ｎはｎ１となる。
【００５３】
尚、iは、ここで１，２，３としたが４以上でもよい。
【００５４】
図４は、電流が上昇して、その後下降する場合の電流、冷却ファンの回転数、温度の関係を示す温度制御の一例である。
【００５５】
図５は、電流が上昇／下降、下降／上昇を繰り返す場合の電流、冷却ファンの回転数、温度の関係を示す一例である。
【００５６】
図１１は、  本発明の第２の実施の形態における冷却装置（１）２０の動作を示すフローチャートである。
【００５７】
次に、本発明の第２の実施の形態における冷却装置（１）２０の動作について、図２、図１１、図１２、図１３を参照して説明する。
【００５８】
まず、冷却コントローラ（２）２３内のコントローラ制御処理部５１は、電流閾値を設定する（ステップ１１）。また、コントローラ制御処理部５１は、温度閾値を設定する（ステップＳ１２）。
【００５９】
次に、センサ読出コントローラ２４内の電流センサ読出処理部３９は、モジュール（１）２２内の電流センサ（１）３１の出力を読み出し、冷却コントローラ（２）２３内の電流変化検知処理部１１へ出力する（ステップＳ１３）。
【００６０】
また、センサ読出コントローラ２４内の温度センサ読出処理部３８は、モジュール（１）２２内の温度センサ（１）３３の出力を読み出し、冷却コントローラ（２）２３内の温度変化検知処理部１２へ出力する（ステップＳ１４）。
【００６１】
次に、電流変化検知処理部１１は、モジュール（１）２２内の電流が電流閾値を超えて上昇したか、または電流閾値を超えて下降したかを検知する（ステップＳ１５）。
【００６２】
また、温度変化検知処理部１２は、モジュール（１）２２内の温度が温度閾値を超えて上昇したか、または温度閾値を超えて下降したかを検知する（ステップＳ１６）。
【００６３】
ここで、ステップＳ１５とステップＳ１６の処理の順序は逆でもよい。
【００６４】
次に、電流変化検知処理部１１が、モジュール（１）２２内の電流が電流閾値を超えて上昇することを検知した場合（ステップＳ２１／ＹＥＳ）、冷却ファン回転数算出処理部４２は、冷却ファン回転数算出式（図３を参照）で、電流閾値に対応した回転数を算出し、回転数情報を冷却ファン回転数指示処理部４１へ出力する（ステップＳ２２）。続いて、冷却ファン回転数指示処理部４１は、冷却ファン２１へ回転数情報を出力して、回転を指示する（ステップＳ２３）。
【００６５】
図４に、電流が電流閾値を超えて上昇する場合の冷却ファン２１の回転数の制御が示されている。電流Ｄ２が電流閾値ａ１、ａ２、ａ３を超えて順次上昇する場合に、冷却ファン回転数Ａ２はｎ０→ｎ１→ｎ２→ｎ３と推移している。
【００６６】
一方、電流変化検知処理部１１が、モジュール（１）２２内の電流が電流閾値を超えて下降することを検知した場合（ステップＳ２４／ＹＥＳ）、冷却ファン回転数算出処理部４２は、冷却ファン回転数算出式で温度閾値に対応した回転数を算出し、回転数情報を冷却ファン回転数指示処理部４１へ出力する（ステップＳ２５）。続いて、冷却ファン回転数指示処理部４１は、冷却ファン２１へ回転数情報を出力して回転を指示する（ステップＳ２３）。
【００６７】
図４に、電流が順次、電流閾値を超えて下降することを検知した場合、冷却ファン回転数算出式で算出された温度閾値に対応した冷却ファンの回転数で冷却ファンを制御する一例が示されている。
【００６８】
温度閾値ｔ３、ｔ２、ｔ１に対応して、冷却ファン回転数Ａ２はｎ３→ｎ２→ｎ１→ｎ０と推移している。
【００６９】
また、電流変化検知処理部１１が、モジュール（１）２２内の電流が一旦電流閾値を超えて上昇し、再び下降することを検知した場合（ステップＳ３１／ＹＥＳ）、冷却ファン回転数算出処理部４２は、冷却ファン回転数算出式で温度閾値に対応した回転数を算出し、回転数情報を冷却ファン回転数指示処理部４１へ出力する（ステップＳ３２）。続いて、冷却ファン回転数指示処理部４１は、冷却ファン２１へ回転数情報を出力して、回転を指示する（ステップＳ３５）。
【００７０】
図５に、電流が上昇／下降する場合の１例として、電流が電流閾値ａ２を超えて上昇したときに、冷却ファン回転数Ａ２はｎ２となり、一旦上昇した電流が再び電流閾値ａ２を超えて下降したときは、冷却ファン回転数Ａ２は温度閾値に対応したｎ１となることが示されている。
【００７１】
また、電流変化検知処理部が、モジュール（１）２２内の電流が一旦電流閾値を超えて下降し、再び上昇ことを検知した場合（ステップＳ３３／ＹＥＳ）、冷却ファン回転数算出処理部４２は、電流閾値に対応する回転数か温度が温度閾値を超えているか否かに対応した回転数のいずれか高い方の回転数を選択し、回転数情報を冷却ファン回転数指示処理部４１へ出力する（ステップＳ３４）。続いて、冷却ファン回転数指示処理部４１は、冷却ファン２１へ回転数情報を出力して、回転を指示する（ステップＳ３５）。
【００７２】
図５に、電流が下降／上昇する場合の１例が示されている。
【００７３】
電流が電流閾値ａ３を超えて下降した場合、冷却ファン回転数Ａ３は、温度閾値ｔ３に対応する回転数ｎ２となり、その後下降した電流が再び電流閾値ａ１を超えて上昇した場合、冷却ファン回転数Ａ３は、電流閾値に対応する回転数n１か、温度が温度閾値を超えているか否かに対応した回転数（温度が温度閾値t２を超えて下降しているため回転数はn１）のいずれか高い方の回転数n１（本ケースでは両者の回転数がn１で等しい）となる。
【００７４】
このため、本発明の第２の実施の形態における冷却装置（１）２０は、半導体装置等の温度上昇のオーバーシュートを防止することができる。
【００７５】
その理由は、電流が電流閾値を超えて上昇することを検知したとき、電流閾値に対応する回転数で冷却ファンの回転を制御し、電流が電流閾値を超えて下降することを検知したとき、温度が温度閾値を超えているか否かに対応した回転数で冷却ファンの回転を制御するような構成を採用したためである。
【００７６】
また、半導体装置を効率よく冷却できる。
【００７７】
その理由は、温度での冷却ファンの回転数制御では、温度センサは周囲の温度を測定しているが、半導体装置等自体の電流を測定する電流センサによって冷却ファンの回転数を制御するような構成を採用したためである。
【００７８】
次に、本発明の第３の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００７９】
図６は、本発明の第３の実施の形態における冷却装置（２）３０の構成図である。
【００８０】
冷却装置（２）３０は、本発明の第２の実施の形態における冷却装置（１）２０と冷却コントローラ（３）２５内の冷却ファン回転数制御処理部３５のみが相違しているが、その他は同じである。
【００８１】
冷却ファン回転数制御処理部３５は、温度／回転数テーブル４４と、電流／回転数テーブル４５と、冷却ファン回転数決定処理部４３とから構成されている。
【００８２】
尚、冷却ファン回転数決定処理部４３は、ハードウェアで実現してもよいしソフトウェアで実現してもよい。
【００８３】
図７は、電流／回転数テーブル４５の一例を示す図である。電流a、電流閾値（a１、a２、a３）に対応する冷却ファン回転数ｎが規定されている。尚、電流閾値はここでは３つ示しているが４つ以上でもよい。
【００８４】
図８は、温度／回転数テーブル４４の一例を示す図である。温度t、温度閾値（t１、t２、t３）に対応する冷却ファン回転数ｎが規定されている。尚、温度閾値はここでは３つ示しているが４つ以上でもよい。
【００８５】
次に、本発明の第３の実施の形態における冷却装置（２）３０の動作について、図６、および図１４のフローチャートを参照して説明する。
【００８６】
冷却装置（２）３０の開始から途中までの動作は、本発明の第２の実施の形態における冷却装置（１）２０の動作で、図１１のステップＳ１１からステップＳ１６の動作と同じである。そこで、その後の動作であるステップＳ４１から説明する。
【００８７】
電流変化検知処理部１１は、モジュール（１）２２内の電流が電流閾値を超えて上昇することを検知した場合（ステップＳ４１／ＹＥＳ）、冷却ファン回転数決定処理部４３は、電流／回転数テーブル４５を参照して、電流閾値に対応した回転数を決定し、冷却ファン２１へ回転を指示する（ステップＳ４２）。
【００８８】
一方、電流変化検知処理部１１が、モジュール（１）２２内の電流が電流閾値を超えて下降することを検知した場合（ステップＳ４３／ＹＥＳ）、冷却ファン回転数決定処理部４３は、温度／回転数テーブル４４を参照して、温度閾値に対応した回転数を決定し、冷却ファン２１へ回転を指示する（ステップＳ４４）。
【００８９】
また、図示していないが、電流変化検知処理部１１が、モジュール（１）２２内の電流が一旦電流閾値を超えて上昇し、再び下降することを検知した場合、冷却ファン回転数決定処理部４３は、温度／回転数テーブル４４を参照して、温度閾値に対応した回転数を決定し、冷却ファン２１へ回転を指示する。
【００９０】
また、図示していないが、電流変化検知処理部１１は、モジュール（１）２２内の電流が一旦電流閾値を超えて下降し、再び上昇したことを検知した場合、冷却ファン回転数決定処理部４３は、電流閾値に対応する回転数か温度が温度閾値を超えているか否かに対応した回転数のいずれか高い方の回転数を選択し、冷却ファン２１へ回転数情報を出力して、回転を指示する。
【００９１】
このため、本発明の第３の実施の形態における冷却装置（２）３０は、半導体装置等の温度上昇のオーバーシュートを防止することができる。
【００９２】
その理由は、電流が電流閾値を超えて上昇することを検知したとき電流／回転数テーブルを参照して冷却ファンの回転を制御し、電流が電流閾値を超えて下降することを検知したとき温度／回転数テーブルを参照して冷却ファンの回転を制御するような構成を採用したためである。
【００９３】
次に、本発明の第４の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００９４】
図９は、本発明の第４の実施の形態における冷却装置（３）４０の構成図である。
【００９５】
冷却装置（３）４０は、モジュール（３）５３が本発明の第２の実施の形態における冷却装置（１）２０と異なるだけで、その他の構成は同じである。
【００９６】
モジュール（３）５３は、温度センサ（１）３３と、温度センサ（２）３４と、電流センサ（１）３１と、を含んでいる。
【００９７】
次に、本発明の第４の実施の形態における冷却装置（３）４０の動作について、図９を参照して説明する。
【００９８】
冷却装置（３）４０は、本発明の第２の実施の形態における冷却装置（１）２０とモジュール（３）５３のみが相違しており、その他は同じである。
【００９９】
本発明の第４の実施の形態における冷却装置（３）４０は、温度センサ読出処理部３８がモジュール（３）５３内の２つの温度センサ（１）３３、温度センサ（２）３４の出力を読み出して、温度が大きい方を選択してモジュール（３）５３の温度とする。
【０１００】
このため、本発明の第４の実施の形態における冷却装置（３）４０は、精度良く半導体装置等の温度上昇のオーバーシュートを防止することができる。
【０１０１】
その理由は、電流が電流閾値を超えて上昇することを検知したとき、電流閾値に対応する回転数で冷却ファンの回転を制御し、電流が電流閾値を超えて下降することを検知したとき、精度良く測定された温度が温度閾値を超えているか否かに対応した回転数で冷却ファンの回転を制御するような構成を採用したためである。
【０１０２】
次に、本発明の第５の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【０１０３】
図１０は、本発明の第５の実施の形態における冷却装置（４）５０の構成図である。
【０１０４】
冷却装置（４）５０は、モジュール（１）２２、モジュール（２）５２の２つのモジュールがある点で、本発明の第２の実施の形態における冷却装置（１）２０と異なるが、その他の構成は同じである。
【０１０５】
次に、本発明の第５の実施の形態における冷却装置（４）５０の動作について、図１０を参照して、本発明の第２の実施の形態における冷却装置（１）２０と異なる点を説明する。
【０１０６】
温度センサ読出処理部３８は、モジュール（１）２２内の温度センサ（１）３３と、モジュール（２）５２内の温度センサ（２）３４の出力を読み出して、温度が大きい方を選択してモジュール（１）２２、モジュール（２）５２の全体の温度とする。
【０１０７】
また、電流センサ読出処理部３９は、モジュール（１）２２内の電流センサ（１）３１と、モジュール（２）５２内の電流センサ（２）３２の出力を読み出して、両者の総和をモジュール（１）２２、モジュール（２）５２の全体の電流とする。
【０１０８】
このため、本発明の第５の実施の形態における冷却装置（４）５０は、精度良く半導体装置等の温度上昇のオーバーシュートを防止することができる。
【０１０９】
その理由は、精度良く測定された電流が電流閾値を超えて上昇することを検知したとき、電流閾値に対応する回転数で冷却ファンの回転を制御し、電流が電流閾値を超えて下降することを検知したとき、精度良く測定された温度が温度閾値を超えているか否かに対応した回転数で冷却ファンの回転を制御するような構成を採用したためである。
【符号の説明】
【０１１０】
１０    冷却コントローラ（１）
１１    電流変化検知処理部
１２    温度変化検知処理部
１３    冷却ファン回転数制御処理部
２０    冷却装置（１）
２１    冷却ファン
２２    モジュール（１）
２３    冷却コントローラ（２）
２４    センサ読出コントローラ
２５    冷却コントローラ（３）
３１    電流センサ（１）
３２    電流センサ（２）
３３    温度センサ（１）
３４    温度センサ（２）
３８    温度センサ読出処理部
３９    電流センサ読出処理部
４０    冷却装置（３）
４１    冷却ファン回転数指示処理部
４２    冷却ファン回転数算出処理部
４３    冷却ファン回転数決定処理部
４４    温度／回転数テーブル
４５    電流／回転数テーブル
５０    冷却装置（４）
５１    コントローラ制御処理部
５２    モジュール（２）
５３    モジュール（３）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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