(57)【要約】【課題】本発明は、極微細ピッチ検査用プローブユニットに関するもので、より詳細には、プローブシートの接触部が２列以上に形成された場合にも各列を被検査体に安定的に接触できる極微細ピッチ検査用プローブユニットに関するものである。【解決手段】本発明による極微細ピッチ検査用プローブユニットは、絶縁フィルム上にパターン配線が形成され、前記パターン配線の特定位置が被検査体に接触する接触部になり、前記接触部が２列以上に形成されるプローブシートと、前記プローブシートが固定されるボディーブロックと、前記ボディーブロックに備えられ、前記接触部を被検査体に対して加圧し、前記接触部の各列を独立的に加圧する加圧部材とを含む。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁フィルム上にパターン配線が形成され、前記パターン配線の特定位置が被検査体に接触する接触部になり、前記接触部が２列以上に形成されるプローブシートと、
前記プローブシートが固定されるボディーブロックと、
前記ボディーブロックに備えられ、前記接触部を被検査体に対して加圧し、前記接触部の各列を独立的に加圧する加圧部材と、を含むことを特徴とする極微細ピッチ検査用プローブユニット。
【請求項２】
前記加圧部材には、前記接触部の各列を独立的に加圧するために、底面に横方向に溝部が形成されることを特徴とする、請求項１に記載の極微細ピッチ検査用プローブユニット。
【請求項３】
前記加圧部材は前記接触部を弾性的に加圧することを特徴とする、請求項２に記載の極微細ピッチ検査用プローブユニット。
【請求項４】
前記加圧部材は非金属材質で形成されることを特徴とする、請求項３に記載の極微細ピッチ検査用プローブユニット。
【請求項５】
前記接触部は前記パターン配線から突出形成されることを特徴とする、請求項１に記載の極微細ピッチ検査用プローブユニット。
【請求項６】
前記接触部の各列はジグザグ状に形成されることを特徴とする、請求項１に記載の極微細ピッチ検査用プローブユニット。
【請求項７】
前記プローブシートには前記被検査体を駆動する駆動チップがさらに実装されることを特徴とする、請求項１に記載の極微細ピッチ検査用プローブユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、極微細ピッチ検査用プローブユニットに関するもので、より詳細には、プローブシートの接触部が２列以上に形成された場合にも各列を被検査体に安定的に接触できる極微細ピッチ検査用プローブユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルやＯＬＥＤなどの平板表示素子は、複雑な製造工程を通して製造されるが、これら製造工程の間に検査工程が行われる。以下では、液晶パネルを例に挙げて説明する。
図１は、一般的な液晶パネル１００のセル構造を示した図である。図示したように、液晶パネル１は、ＴＦＴ基板１２及びカラーフィルタ基板１４を備えており、前記ＴＦＴ基板１２には、縁部に沿って液晶パネルを駆動する駆動チップが実装されたり、又はＴＡＢ  ＩＣ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ  ＩＣ）が連結されるパッド１８が形成される。
プローブユニットは、前記パッド１８にＴＡＢ  ＩＣなどを連結する前に液晶パネル１を電気的に検査するときに使用される。従来のプローブユニットは、ニードルやブレードがパッド電極に接触した状態で液晶パネルの駆動信号を印加して検査していた。
しかし、ニードルやブレードを製造し、これらを一定のピッチで配列することが非常に難しいので、最近、フィルムタイプのプローブユニットが開示された。
以下、図２及び図３を参照して従来のフィルムタイプのプローブユニット１００を説明する。図示したように、ボディーブロック１１０の底面にプローブシート１３０及びＦＰＣ１４０が備えられる。前記プローブシート１３０は、絶縁フィルム上にパターン配線が形成され、液晶パネルを駆動する駆動チップが前記パターン配線と連結されるように実装される。
また、前記パターン配線１３２の特定位置は、被検査体１のパッドに形成されたパッド電極１８ａ、１８ｂと接触する接触部になる。図３では、パターン配線１３２の端がパッド電極１８ａ、１８ｂに接触する接触部１３３ａ、１３３ｂになる。
また、前記ボディーブロック１１０には、前記接触部１３３ａ、１３３ｂを液晶パネル１に対して加圧するための加圧部材１２０が備えられる。
図４〜図６を参照すると、場合に応じて接触部１３３ａ、１３３ｂは、極微細ピッチ検査のためにジグザグ状に２列に形成されることもある。すなわち、接触部１３３ａ、１３３ｂは、第１の列接触部１３３ａ及び第２の列接触部１３３ｂを備えており、これらがそれぞれ第２の列パッド電極１８ｂ及び第１の列パッド電極１８ａに接触する。したがって、前記加圧部材１２０の底面は、第１の列接触部１３３ａと第２の列接触部１３３ｂを同時に加圧するための加圧面積（Ｍ０）を有するように形成される。
しかし、このように形成された従来のプローブユニット１００においては、全ての列の接触部がパッド電極に接触できない場合がある。図６に示すように、第１の列接触部１３３ａは第２の列パッド電極１８ｂに接触するが、第２の列接触部１３３ｂが第１の列パッド電極１８ａに接触できないという問題が発生する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、上述した問題を解決するためになされたもので、本発明の目的は、プローブシートの接触部が２列以上に形成された場合にも各列を被検査体に安定的に接触できる極微細ピッチ検査用プローブユニットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
前記のような技術的課題を解決するために、本発明による極微細ピッチ検査用プローブユニットは、絶縁フィルム上にパターン配線が形成され、前記パターン配線の特定位置が被検査体に接触する接触部になり、前記接触部が２列以上に形成されるプローブシートと、前記プローブシートが固定されるボディーブロックと、前記ボディーブロックに備えられ、前記接触部を被検査体に対して加圧し、前記接触部の各列を独立的に加圧する加圧部材と、を含む。
また、前記加圧部材には、前記接触部の各列を独立的に加圧するために底面に横方向に溝部が形成されることが望ましい。
また、前記加圧部材は、前記接触部を弾性的に加圧することが望ましい。
また、前記加圧部材は、非金属材質で形成されることが望ましい。
また、前記接触部は、前記パターン配線から突出形成されることが望ましい。
また、前記接触部の各列はジグザグ状に形成されることが望ましい。
また、前記プローブシートには、前記被検査体を駆動する駆動チップがさらに実装されることが望ましい。
【発明の効果】
【０００５】
本発明によれば、プローブシートの接触部が２列以上に形成された場合にも各列を被検査体に安定的に接触できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
【図１】一般的な液晶パネルを示した図である。
【図２】従来のフィルムタイプのプローブユニットを示した図である。
【図３】従来のフィルムタイプのプローブユニットを示した図である。
【図４】従来のプローブユニットの使用状態を示した図である。
【図５】従来のプローブユニットの使用状態を示した図である。
【図６】従来のプローブユニットの使用状態を示した図である。
【図７】本発明によるプローブユニットを示した図である。
【図８】図７に示したプローブユニットの使用状態を示した図である。
【図９】図７に示したプローブユニットの使用状態を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、添付の図面を参照して本発明による実施例を説明する。
図７及び図８を参照すると、本発明による極微細ピッチ検査用プローブユニット２００は、ボディーブロック２１０、プローブシート２３０、ＦＰＣ２４０及び加圧部材２２０を備えている。
本実施例において、プローブシート２３０は、被検査体の完製品に付着されるＴＡＢ  ＩＣである。すなわち、絶縁フィルム２２１上にパターン配線が形成され、前記パターン配線の端が被検査体のパッドに接触する接触部２３３ａ、２３３ｂになる。また、前記接触部２３３ａ、２３３ｂは、前記パターン配線から液晶パネル方向に突出形成されていることが分かる（図７参照）。すなわち、パッド電極１８ａ、１８ｂ（図６参照）との接触を容易にするために、パターン配線上にバンプが形成される。
また、本実施例において、プローブシート２３０の接触部２３３ａ、２３３ｂは、極微細ピッチに対応するためにジグザグ状の２列に形成される（図８参照）。
特に、本実施例は、前記加圧部材２２０には、接触部の各列を独立的に加圧するために、その底面に横方向に溝部２２３が形成されていることが分かる。加圧部材２２０の底面には、前記溝部２２３を挟んで第１の加圧部２２１と第２の加圧部２２２が形成される。前記第１の加圧部２２１は第１の列接触部２３３ａを加圧し、第２の加圧部２２２は第２の列接触部２３３ｂを加圧する。図中、未説明符号Ｍ１は、第１の加圧部２２１の加圧面積を示し、Ｍ２は、第２の加圧部２２２の加圧面積を示す。
図９を参照すると、前記プローブシート２３０の第１の列接触部２３３ａが第２の列パッド電極１８ａに接触し、第２の列接触部２３３ｂが第１の列パッド電極１８ｂに接触した状態で加圧部材２２０を用いて加圧すると、第１の列接触部２３３ａと第２の列接触部２３３ｂは、それぞれ第１の加圧部２２１と第２の加圧部２２２によって別々に加圧される。したがって、圧力が第１の列接触部２３３ａと第２の列接触部２３３ｂに均一に伝達され、接触性能が向上する。
本実施例では、プローブシート２３０がＴＡＢ  ＩＣである場合を説明したが、これと異なり、パターン配線が形成された絶縁フィルムに駆動チップを実装することによって、プローブシートをＴＡＢ  ＩＣとは別途に形成することもできる。いずれの場合においても、接触部とパッド電極のピッチは一致する。
また、本実施例は、プローブシートに駆動チップが実装される場合を説明したが、これと異なり、駆動チップが実装されたＴＡＢ  ＩＣが別途に備えられることもある。すなわち、プローブシートには駆動チップが実装されず、接触部が形成されたパターン配線のみが形成され、前記プローブシートの後端には駆動チップが実装されたＴＡＢ  ＩＣが連結され、前記ＴＡＢ  ＩＣの後端にＦＰＣが連結される。
【符号の説明】
【０００８】
２００：プローブユニット、２１０：ボディーブロック、２２０：加圧部材、２２３：溝部、２３０：プローブシート、２３５：駆動チップ、２４０：ＦＰＣ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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