(57)【要約】【課題】クロストークの発生を防止できる液滴吐出ヘッドを提供する。【解決手段】圧力室ＰＣ１、ＰＣ２、…の配列方向に沿って第１共通供給流路ＣＳ１と第２共通供給流路ＣＳ２とが配置される。奇数番の圧力室ＰＣ１、ＰＣ３、…は、個別供給流路を介して第１共通供給流路ＣＳ１に連通され、偶数番の圧力室ＰＣ２、ＰＣ４、…は、個別供給流路を介して第２共通供給流路ＣＳ２に連通される。これにより、隣り合う圧力室が異なる共通供給流路に連通され、共通流路を介して近接した圧力室に圧力波が伝播するのを防止できる。【選択図】  図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力室の容積をアクチュエータで膨張・収縮させて、前記圧力室に連通されたノズルから前記圧力室に貯留された液体の液滴を吐出させる液体吐出ヘッドであって、所定の配列方向に沿って前記圧力室が一定ピッチで複数配置されるとともに、前記圧力室の配列方向に沿って共通供給流路が配置され、該共通供給流路に連通された個別供給流路を介して前記各圧力室に前記液体が供給される液体吐出ヘッドにおいて、
前記圧力室の配列方向に沿って前記共通供給流路が複数配置され、隣り合う前記圧力室が、前記個別供給流路を介して異なる共通供給流路に連通されることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記複数の共通供給流路は、１つの流路の内部を上下複数の層に分割して形成されることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記１つの流路を形成する基板を上下に複数分割し、分割した各基板の間に分離プレートを配置することにより、前記一つの流路の内部が上下複数の層に分割されることを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
前記各個別供給流路の容積が同じに形成されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
圧力室の容積をアクチュエータで膨張・収縮させて、前記圧力室に連通されたノズルから前記圧力室に貯留された液体の液滴を吐出させる液体吐出ヘッドであって、所定の配列方向に沿って前記圧力室が一定ピッチで複数配置されるとともに、前記圧力室の配列方向に沿って共通供給流路と共通回収流路とが配置され、前記共通供給流路に連通された個別供給流路を介して前記各圧力室に前記液体が供給されるともに、前記共通回収流路に連通された個別回収流路を介して前記各圧力室内の前記液体が回収されて、前記圧力室に前記液体が循環供給される液体吐出ヘッドにおいて、
前記圧力室の配列方向に沿って前記共通供給流路が複数配置され、隣り合う前記圧力室が、前記個別供給流路を介して異なる共通供給流路に連通されるとともに、前記圧力室の配列方向に沿って前記共通回収流路が複数配置され、隣り合う前記圧力室が、前記個別回収流路を介して異なる共通回収流路に連通されることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
前記複数の共通供給流路と前記複数の共通回収流路は、ともに１つの流路の内部を上下複数の層に分割して形成されることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
前記１つの流路を形成する基板を上下に複数分割し、分割した各基板の間に分離プレートを配置することにより、前記一つの流路の内部が上下複数の層に分割されることを特徴とする請求項６に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
同じ圧力室に連通される前記個別供給流路と前記個別回収流路は、同じ階層の共通供給流路と共通回収流路に連通されることを特徴とする請求項６〜７のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
前記各個別供給流路の容積が同じに形成されるとともに、前記各個別回収流路の容積が同じに形成されることを特徴とする請求項５〜８のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項１０】
所定の配列方向に沿って一定ピッチで複数配置された前記圧力室の列が、一定方向に一定ピッチで複数配列されることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッドに係り、特に共通流路から各圧力室に液体が供給される液滴吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
共通流路から各圧力室に液体を供給する構成の液滴吐出ヘッドでは、ノズルを高密度に配置すると、圧力室の圧力波が、共通流路を介して近接した圧力室に伝播し、インクの吐出が不安定になるという問題がある（クロストーク）。
【０００３】
このようなクロストークの発生を抑制する技術として、特許文献１には、圧力室と共通流路との断面形状を三角形状とし、水平方向に対して互いに倒置させる配置とすることが記載されている。また、特許文献２には、共通流路の容積を圧力室の容積の総和の２倍以上に設定することにより、クロストークの発生を防止する技術が記載されている。さらに、特許文献３、４には、共通流路にエアダンパや圧力吸収体などの圧力緩衝手段を付与することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−３７０３５１号公報
【特許文献２】特開昭５６−７５８６３号公報
【特許文献３】特開昭５２−４９０３４号公報
【特許文献４】特開平９−１４１８６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１、２に記載された技術は、圧力室及び共通流路の形状を最適化したものに過ぎず、根本的なクロストークの問題の解決には至っていない。
【０００６】
一方、特許文献３、４に記載された技術は、部品点数が増加するとともに、構造が複雑になるという欠点がある。
【０００７】
この他、共通流路から各圧力室に液体を導入する個別流路を最適化することも考えられるが、クロストークの発生を抑制するために、個別流路を最適化すると、リフィル性能（ノズル先端にインクを再充填する性能）が悪化するという問題がある。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、クロストークの発生を防止できる液滴吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に係る発明は、前記目的を達成するために、圧力室の容積をアクチュエータで膨張・収縮させて、前記圧力室に連通されたノズルから前記圧力室に貯留された液体の液滴を吐出させる液体吐出ヘッドであって、所定の配列方向に沿って前記圧力室が一定ピッチで複数配置されるとともに、前記圧力室の配列方向に沿って共通供給流路が配置され、該共通供給流路に連通された個別供給流路を介して前記各圧力室に前記液体が供給される液体吐出ヘッドにおいて、前記圧力室の配列方向に沿って前記共通供給流路が複数配置され、隣り合う前記圧力室が、前記個別供給流路を介して異なる共通供給流路に連通されることを特徴とする液滴吐出ヘッドを提供する。
【００１０】
本発明によれば、圧力室の配列方向に沿って複数の共通供給流路が配置され、隣り合う圧力室が個別供給流路を介して異なる共通供給流路に連通される。これにより、共通流路を介して近接した圧力室に圧力波が伝播するのを防止でき、クロストークの発生を防止することができる。
【００１１】
請求項２に係る発明は、前記目的を達成するために、前記複数の共通供給流路は、１つの流路の内部を上下複数の層に分割して形成されることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。
【００１２】
本発明によれば、１つの流路の内部を上下複数の層に分割して、複数の共通供給流路が形成される。これにより、共通供給流路の設置に要するスペースをコンパクト化することができる。
【００１３】
請求項３に係る発明は、前記目的を達成するために、前記１つの流路を形成する基板を上下に複数分割し、分割した各基板の間に分離プレートを配置することにより、前記一つの流路の内部が上下複数の層に分割されることを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。
【００１４】
本発明によれば、１つの流路を形成する基板を上下に複数分割し、分割した各基板の間に分離プレートを配置することにより、一つの流路の内部が上下複数の層に分割されて、複数の共通供給流路が形成される。これにより、簡単に複数の共通供給流路を形成することができる。
【００１５】
請求項４に係る発明は、前記目的を達成するために、前記各個別供給流路の容積が同じに形成されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。
【００１６】
本発明によれば、各個別供給流路の容積が同じに形成される。これにより、各ノズル間で吐出性能にバラツキが生じるのを防止でき、より安定した吐出が可能になる。
【００１７】
請求項５に係る発明は、前記目的を達成するために、圧力室の容積をアクチュエータで膨張・収縮させて、前記圧力室に連通されたノズルから前記圧力室に貯留された液体の液滴を吐出させる液体吐出ヘッドであって、所定の配列方向に沿って前記圧力室が一定ピッチで複数配置されるとともに、前記圧力室の配列方向に沿って共通供給流路と共通回収流路とが配置され、前記共通供給流路に連通された個別供給流路を介して前記各圧力室に前記液体が供給されるともに、前記共通回収流路に連通された個別回収流路を介して前記各圧力室内の前記液体が回収されて、前記圧力室に前記液体が循環供給される液体吐出ヘッドにおいて、前記圧力室の配列方向に沿って前記共通供給流路が複数配置され、隣り合う前記圧力室が、前記個別供給流路を介して異なる共通供給流路に連通されるとともに、前記圧力室の配列方向に沿って前記共通回収流路が複数配置され、隣り合う前記圧力室が、前記個別回収流路を介して異なる共通回収流路に連通されることを特徴とする液滴吐出ヘッドを提供する。
【００１８】
本発明によれば、圧力室の配列方向に沿って複数の共通供給流路と複数の共通回収流路が配置され、隣り合う圧力室が、個別供給流路を介して異なる共通供給流路に連通されるとともに、個別回収流路を介して異なる共通回収流路に連通される。これにより、共通流路を介して近接した圧力室に圧力波が伝播するのを防止でき、クロストークの発生を防止することができる。
【００１９】
請求項６に係る発明は、前記目的を達成するために、前記複数の共通供給流路と前記複数の共通回収流路は、ともに１つの流路の内部を上下複数の層に分割して形成されることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。
【００２０】
本発明によれば、複数の共通供給流路と複数の共通回収流路とが、ともに１つの流路の内部を上下複数の層に分割して形成される。これにより、共通供給流路及び共通回収流路の設置に要するスペースをコンパクト化することができる。
【００２１】
請求項７に係る発明は、前記目的を達成するために、前記１つの流路を形成する基板を上下に複数分割し、分割した各基板の間に分離プレートを配置することにより、前記一つの流路の内部が上下複数の層に分割されることを特徴とする請求項６に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。
【００２２】
本発明によれば、１つの流路を形成する基板を上下に複数分割し、分割した各基板の間に分離プレートを配置することにより、一つの流路の内部が上下複数の層に分割されて、複数の共通供給流路が形成される。同様に、１つの流路を形成する基板を上下に複数分割し、分割した各基板の間に分離プレートを配置することにより、一つの流路の内部が上下複数の層に分割されて、複数の共通回収流路が形成される。これにより、簡単に複数の共通供給流路、共通回収流路を形成することができる。
【００２３】
請求項８に係る発明は、前記目的を達成するために、同じ圧力室に連通される前記個別供給流路と前記個別回収流路は、同じ階層の共通供給流路と共通回収流路に連通されることを特徴とする請求項６〜７のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。
【００２４】
本発明によれば、同じ圧力室に連通される個別供給流路と個別回収流路とが、同じ階層の共通供給流路と共通回収流路に連通される。これにより、水頭差の拡大を回避でき、各ノズルで吐出性能にバラツキが生じるのを防止できる。
【００２５】
請求項９に係る発明は、前記目的を達成するために、前記各個別供給流路の容積が同じに形成されるとともに、前記各個別回収流路の容積が同じに形成されることを特徴とする請求項５〜８のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。
【００２６】
本発明によれば、各個別供給流路の容積が同じに形成されるとともに、各個別回収流路の容積が同じに形成される。これにより、各ノズル間で吐出性能にバラツキが生じるのを防止でき、より安定した吐出が可能になる。
【００２７】
請求項１０に係る発明は、前記目的を達成するために、所定の配列方向に沿って一定ピッチで複数配置された前記圧力室の列が、一定方向に一定ピッチで複数配列されることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。
【００２８】
本発明によれば、圧力室がマトリクス状に配置される。これにより、ノズルの高密度化を図ることができる。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、クロストークの発生を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明に係る液滴吐出ヘッドの第１の実施の形態の底面図
【図２】図１の２−２断面図
【図３】図１の３−３断面図
【図４】図２、図３の４−４断面図
【図５】図２、図３の５−５断面図
【図６】図２、図３の６−６断面図
【図７】第１の実施の形態の液滴吐出ヘッドにおける各圧力室と共通供給流路との連通関係を示す概念図
【図８】本発明に係る液滴吐出ヘッドの他の実施の形態の断面図
【図９】図８に示した他の実施の形態の液滴吐出ヘッドにおける各圧力室と共通供給流路との連通関係を示す概念図
【図１０】本発明に係る液滴吐出ヘッドの第２の実施の形態の底面図
【図１１】図１０の１１−１１断面図
【図１２】図１０の１２−１２断面図
【図１３】第２の実施の形態の液滴吐出ヘッドにおける各圧力室と共通供給流路及び共通回収流路との連通関係を示す概念図
【図１４】本発明に係る液滴吐出ヘッドの第３の実施の形態の底面図
【図１５】第３の実施の形態の液滴吐出ヘッドにおける各圧力室と共通供給流路及び共通回収流路との連通関係を示す概念図
【発明を実施するための形態】
【００３１】
以下、添付図面に従って本発明に係る液滴吐出ヘッドの好ましい実施の形態について詳説する。
【００３２】
《第１の実施の形態》
［構成］
図１は、本発明に係る液滴吐出ヘッドの第１の実施の形態の底面図である。
【００３３】
同図に示すように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０は、矩形状に形成され、その底面部にはノズル面１０Ａが形成される。ノズル面１０Ａには、その長手方向に沿って一定ピッチで多数のノズルＮ１、Ｎ２、…が形成されている。
【００３４】
各ノズルＮ１、Ｎ２、…、Ｎｎ（ｎは２の倍数）は、それぞれノズル流路ＮＣ１、ＮＣ２、…、ＮＣｎ（図２、図３参照）を介して圧力室ＰＣ１、ＰＣ２、…に連通され、この圧力室ＰＣ１、ＰＣ２、…、ＰＣｎの容積を圧電素子ＰＺ１、ＰＺ２、…、ＰＺｎ（図２、図３参照）で膨張・収縮させることにより、各ノズルＮ１、Ｎ２、…から液滴が吐出される。
【００３５】
各圧力室ＰＣ１、ＰＣ２、…、ＰＣｎは、それぞれ個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ２、…、ＩＳｎを介して第１共通供給流路ＣＳ１又は第２共通供給流路ＣＳ２に連通されている（奇数番の圧力室ＰＣ１、ＰＣ３、…、ＰＣｎ−１が第１共通供給流路ＣＳ１に連通され、偶数番の圧力室ＰＣ２、ＰＣ４、…、ＰＣｎが第２共通供給流路ＣＳ２に連通されている。）。各圧力室ＰＣ１、ＰＣ２、…、ＰＣｎは、この第１共通供給流路ＣＳ１又は第２共通供給流路ＣＳ２から個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ２、…、ＩＳｎを介して液体が供給される。
【００３６】
この第１共通供給流路ＣＳ１と第２共通供給流路ＣＳ２は、圧力室ＰＣ１、ＰＣ２、…、ＰＣｎの配列方向（ヘッドの長手方向）に沿って配置され、上下に階層的に配置される（第１共通供給流路ＣＳ１が下段、第２共通供給流路ＣＳ２が上段に配置される。）。
【００３７】
また、この第１共通供給流路ＣＳ１と第２共通供給流路ＣＳ２は、それぞれ一端（図１の上端）が、共通供給部Ｓに連通され、この共通供給部Ｓで互いに連通される。共通供給部Ｓには、ヘッド外部に連通された供給口ＳＰが連通され、この供給口ＳＰから共通供給部Ｓへと液体が供給される。そして、この共通供給部Ｓに供給された液体が、第１共通供給流路ＣＳ１と第２共通供給流路ＣＳ２に分岐して供給される。
【００３８】
図２、図３は、それぞれ図１の２−２断面図、３−３断面図である。また、図４、図５、図６は、それぞれ、図２、図３の４−４断面図、５−５断面図、６−６断面図である。
【００３９】
同図に示すように、液滴吐出ヘッド１０は、主として、ノズルＮ１、Ｎ２、…Ｎｎが形成されたノズルプレート１２と、ノズル流路ＮＣ１、ＮＣ２、…、ＮＣｎが形成されたノズル流路プレート１４と、圧力室ＰＣ１、ＰＣ２、…ＰＣｎが形成された圧力室プレート１６と、第１共通供給流路ＣＳ１が形成された第１共通供給流路プレート１８と、第１共通供給流路ＣＳ１と第２共通供給流路ＣＳ２とを分離する分離プレート２０と、圧力室ＰＣ１、ＰＣ２、…ＰＣｎの容積を膨張・収縮させる振動板２２と、振動板２２を変位させる圧電素子ＰＺ１、ＰＺ２、…、ＰＺｎと、圧力室上部プレート２４と、第２共通供給流路ＣＳ２が形成された第２共通供給流路プレート２６とで構成されている。
【００４０】
ノズルプレート１２は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、最下層に配置される。このノズルプレート１２には、その長手方向に沿って一定ピッチでノズルＮ１、Ｎ２、…、Ｎｎが多数形成される。ノズルＮ１、Ｎ２、…、Ｎｎは、垂直な貫通穴として形成され、本例ではテーパ状に形成される。
【００４１】
ノズル流路プレート１４は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、ノズルプレート１２の上に配置される。このノズル流路プレート１４には、ノズルプレート１２に形成された各ノズルＮ１、Ｎ２、…、Ｎｎに対応して、ノズル流路ＮＣ１、ＮＣ２、…、ＮＣｎが一定ピッチで形成される。
【００４２】
ノズル流路ＮＣ１、ＮＣ２、…、ＮＣｎは、垂直な貫通穴として形成され、ノズル流路プレート１４をノズルプレート１２の上に接合すると、各ノズルＮ１、Ｎ２、…、Ｎｎに連通される。
【００４３】
圧力室プレート１６は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、第１共通供給流路プレート１８と並列してノズル流路プレート１４の上に配置される。この圧力室プレート１６には、ノズル流路プレート１４に形成された各ノズル流路ＮＣ１、ＮＣ２、…、ＮＣｎに対応して、圧力室ＰＣ１、ＰＣ２、…、ＰＣｎが一定ピッチで形成される。
【００４４】
圧力室ＰＣ１、ＰＣ２、…、ＰＣｎは、直方体状の空間として形成され、上面部及び右側面部が開口して形成される。また、下面部には、ノズル流路ＮＣ１、ＮＣ２、…、ＮＣｎの連結位置に対応して、連通穴が形成される。この連通穴は、圧力室プレート１６をノズル流路プレート１４の上に接合すると、ノズル流路プレート１４に形成された各ノズル流路ＮＣ１、ＮＣ２、…、ＮＣｎに連通される。
【００４５】
第１共通供給流路プレート１８は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、圧力室プレート１６と並列してノズル流路プレート１４の上に配置される。この第１共通供給流路プレート１８には、上面部に第１共通供給流路ＣＳ１と、奇数番の個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ３、…、ＩＳｎ−１の一部（水平部）と、偶数番の個別供給流路ＩＳ２、ＩＳ４、…、ＩＳｎの一部（垂直部）が形成される。
【００４６】
第１共通供給流路ＣＳ１は、上部が開口した溝状に形成され、所定幅、所定深さをもってヘッドの長手方向（ノズル、圧力室の配列方向）に沿って形成される。
【００４７】
奇数番の個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ３、…、ＩＳｎ−１は、奇数番の圧力室ＰＣ１、ＰＣ３、…、ＰＣｎ−１に対応して形成され、ヘッドの長手方向に沿って一定ピッチで形成される。この奇数番の個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ３、…、ＩＳｎ−１は、水平部ＩＳ１ａ、ＩＳ３ａ、…、ＩＳｎ−１ａと、垂直部ＩＳ１ｂ、ＩＳ３ｂ、…、ＩＳｎ−１ｂとで構成され、水平部ＩＳ１ａ、ＩＳ３ａ、…、ＩＳｎ−１ａが、第１共通供給流路プレート１８に形成される。
【００４８】
また、偶数番の個別供給流路ＩＳ２、ＩＳ４、…、ＩＳｎは、偶数番の圧力室ＰＣ２、ＰＣ４、…、ＰＣｎに対応して形成され、ヘッドの長手方向に沿って一定ピッチで形成される。この偶数番の個別供給流路ＩＳ２、ＩＳ４、…、ＩＳｎは、水平部ＩＳ２ａ、ＩＳ４ａ、…、ＩＳｎａと、垂直部ＩＳ２ｂ、ＩＳ４ｂ、…、ＩＳｎｂとで構成され、垂直部ＩＳ２ｂ、ＩＳ４ｂ、…、ＩＳｎｂが、第１共通供給流路プレート１８に形成される。
【００４９】
この奇数番の個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ３、…、ＩＳｎ−１と、偶数番の個別供給流路ＩＳ２、ＩＳ４、…、ＩＳｎは、すべて容積が同じになるように形成される。このため、奇数番の個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ３、…、ＩＳｎ−１に垂直部ＩＳ１ｂ、ＩＳ３ｂ、…、ＩＳｎ−１ｂが形成される。このように、すべての個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ２、…、ＩＳｎの容積を同じにすることにより、吐出性能にバラツキが生じるのを防止でき、各ノズルＮ１、Ｎ２、…、Ｎｎから安定した液滴の吐出が可能になる。
【００５０】
奇数番の個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ３、…、ＩＳｎ−１の水平部ＩＳ１ａ、ＩＳ３ａ、…、ＩＳｎ−１ａは、上部が開口した溝状に形成され、所定幅、所定深さをもって、ヘッドの長手方向と直交する方向に形成される。また、その一端（右端）は、第１共通供給流路ＣＳ１に連通され、他端（左端）は、第１共通供給流路プレート１８の左側面に開口して形成される。
【００５１】
偶数番の個別供給流路ＩＳ２、ＩＳ４、…、ＩＳｎの垂直部ＩＳ２ｂ、ＩＳ４ｂ、…、ＩＳｎｂは、上部が開口した溝状に形成され、所定幅、所定深さをもって、ヘッドの長手方向と直交する方向に形成される。また、その一端（右端）は閉塞され、他端（左端）は、第１共通供給流路プレート１８の左側面に開口して形成される。
【００５２】
以上の構成の第１共通供給流路プレート１８を圧力室プレート１６に並列させて、ノズル流路プレート１４の上に配置すると、奇数番の圧力室ＰＣ１、ＰＣ３、…、ＰＣｎ−１に奇数番の個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ３、…、ＩＳｎ−１が連通される（奇数番の個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ３、…、ＩＳｎ−１の水平部ＩＳ１ａ、ＩＳ３ａ、…、ＩＳｎ−１ａが連通される。）。また、偶数番の圧力室ＰＣ２、ＰＣ４、…、ＰＣｎに偶数番の個別供給流路ＩＳ２、ＩＳ４、…、ＩＳｎが連通される（偶数番の個別供給流路ＩＳ２、ＩＳ４、…、ＩＳｎの垂直部ＩＳ２ｂ、ＩＳ４ｂ、…、ＩＳｎｂが連通される。）。また、各圧力室ＰＣ１、ＰＣ２、…、ＰＣｎは、第１共通供給流路プレート１８の左側面によって、開口した右側面が閉塞される。
【００５３】
分離プレート２０は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、並列して配置された圧力室プレート１６と第１共通供給流路プレート１８の上に配置される。この分離プレート２０には、図５に示すように、各圧力室ＰＣ１、ＰＣ２、…、ＰＣｎに対応して圧力室開口部２０Ａ１、２０Ａ２、…、２０Ａｎが形成されとともに、各個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ２、…、ＩＳｎの垂直部ＩＳ１ｂ、ＩＳ２ｂ、…、ＩＳｎｂに対応して、個別供給流路開口部２０Ｂ１、２０Ｂ２、…、２０Ｂｎが形成される。また、共通供給部Ｓに対応して開口部が形成される（図示せず）。
【００５４】
なお、本例では、圧力室開口部２０Ａ１、２０Ａ２、…、２０Ａｎと個別供給流路開口部２０Ｂ１、２０Ｂ２、…、２０Ｂｎとが一体化されて形成されている。
【００５５】
圧力室開口部２０Ａ１、２０Ａ２、…、２０Ａｎは、圧力室ＰＣ１、ＰＣ２、…、ＰＣｎの断面形状（平面の断面形状）に対応して形成され、個別供給流路開口部２０Ｂ１、２０Ｂ２、…、２０Ｂｎは、個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ２、…、ＩＳｎの垂直部ＩＳ１ｂ、ＩＳ２ｂ、…、ＩＳｎｂの断面形状（平面の断面形状）に対応して形成されている。
【００５６】
以上の構成の分離プレート２０が、圧力室プレート１６と第１共通供給流路プレート１８の上に配置されると、第１共通供給流路ＣＳ１の上面部が閉塞される（ただし、共通供給部Ｓに相当する部分は除く）。また、奇数番の個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ３、…、ＩＳｎ−１の上面部が閉塞される（ただし、垂直部ＩＳ１ｂ、ＩＳ３ｂ、…、ＩＳｎ−１ｂとの連結部に相当する部分は除く）。これにより、第１共通供給流路ＣＳ１が形成されるとともに、奇数番の個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ３、…、ＩＳｎ−１の水平部ＩＳ１ａ、ＩＳ３ａ、…、ＩＳｎ−１ａと、偶数番の個別供給流路ＩＳ２、ＩＳ４、…、ＩＳｎの垂直部ＩＳ２ｂ、ＩＳ４ｂ、…、ＩＳｎｂが形成される。
【００５７】
なお、圧力室開口部２０Ａ１、２０Ａ２、…、２０Ａｎは、圧力室ＰＣ１、ＰＣ２、…、ＰＣｎの一部を構成し、個別供給流路開口部２０Ｂ１、２０Ｂ２、…、２０Ｂｎは、個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ２、…、ＩＳｎの垂直部ＩＳ１ｂ、ＩＳ２ｂ、…、ＩＳｎｂの一部を構成する。
【００５８】
振動板２２は、所定厚さを有する矩形の薄板状に形成され、分離プレート２０の上に配置される。この振動板２２は、圧力室プレート１６の平面形状に対応して形成され、圧力室プレート１６の配置位置の上方に配置される。圧力室ＰＣ１、ＰＣ２、…、ＰＣｎは、この振動板２２が配置されることにより、上面部が閉塞される。すなわち、振動板２２は、圧力室プレート１６に形成された各圧力室ＰＣ１、ＰＣ２、…、ＰＣｎの上面を構成する。
【００５９】
圧電素子ＰＺ１、ＰＺ２、…、ＰＺｎは、各圧力室ＰＣ１、ＰＣ２、…、ＰＣｎに対応して、振動板２２の上に配置される。各圧力室ＰＣ１、ＰＣ２、…、ＰＣｎは、この圧電素子ＰＺ１、ＰＺ２、…、ＰＺｎを駆動することにより、上面部が変位し、容積を膨張・収縮する。
【００６０】
圧力室上部プレート２４は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、振動板２２の上に配置される。この圧力室上部プレート２４は、振動板２２の平面形状に対応して形成され、その下面部には、圧電素子ＰＺ１、ＰＺ２、…、ＰＺｎに対応して矩形の凹部２４Ａ１、２４Ａ２、…、２４Ａｎが形成される。
【００６１】
以上の構成の圧力室上部プレート２４が、振動板２２の上に配置されると、凹部２４Ａ１、２４Ａ２、…、２４Ａｎの内側に各圧電素子ＰＺ１、ＰＺ２、…、ＰＺｎが収容される。これにより、各圧電素子ＰＺ１、ＰＺ２、…、ＰＺｎが変位可能に取り付けられる。
【００６２】
第２共通供給流路プレート２６は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、圧力室上部プレート２４と並列して分離プレート２０の上に配置される。この第２共通供給流路プレート２６は、第１共通供給流路プレート１８の平面形状に対応して形成され、その下面部には、第２共通供給流路ＣＳ２と、偶数番の個別供給流路ＩＳ２、ＩＳ４、…、ＩＳｎの水平部ＩＳ２ａ、ＩＳ４ａ、…、ＩＳｎａと、奇数番の個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ３、…、ＩＳｎ−１の垂直部ＩＳ１ｂ、ＩＳ３ｂ、…、ＩＳｎ−１ｂとが形成される。また、その上面部には、共通供給部Ｓに対応して、供給口ＳＰ（図示せず）が第２共通供給流路ＣＳ２に貫通して形成される。
【００６３】
第２共通供給流路ＣＳ２は、下部が開口した溝状に形成され、所定幅、所定深さをもってヘッドの長手方向（ノズル、圧力室の配列方向）に沿って形成される。なお、この第２共通供給流路ＣＳ２は、第１共通供給流路ＣＳ１と同じ幅、同じ深さで形成され、第２共通供給流路プレート２６を分離プレート２０の上に配置すると、第１共通供給流路ＣＳ１の上に配置される。
【００６４】
偶数番の個別供給流路ＩＳ２、ＩＳ４、…、ＩＳｎの水平部ＩＳ２ａ、ＩＳ４ａ、…、ＩＳｎａは、第１共通供給流路プレート１８に形成された偶数番の個別供給流路ＩＳ２、ＩＳ４、…、ＩＳｎの垂直部ＩＳ２ｂ、ＩＳ４ｂ、…、ＩＳｎｂに対応して形成されており、ヘッドの長手方向に沿って一定ピッチで形成されている。この水平部ＩＳ２ａ、ＩＳ４ａ、…、ＩＳｎａは、下部が開口した溝状に形成され、所定幅、所定深さをもって、ヘッドの長手方向と直交する方向に形成される。また、その一端（右端）は、第２共通供給流路ＣＳ２に連通され、他端（左端）は、第２共通供給流路プレート２６の左側面に開口して形成される。
【００６５】
奇数番の個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ３、…、ＩＳｎ−１の垂直部ＩＳ１ｂ、ＩＳ３ｂ、…、ＩＳｎ−１ｂは、第１共通供給流路プレート１８に形成された奇数番の個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ３、…、ＩＳｎ−１の水平部ＩＳ１ａ、ＩＳ３ａ、…、ＩＳｎ−１ａに対応して形成されており、ヘッドの長手方向に沿って一定ピッチで形成されている。この垂直部ＩＳ１ｂ、ＩＳ３ｂ、…、ＩＳｎ−１ｂは、下部が開口した溝状に形成され、所定幅、所定深さをもって、ヘッドの長手方向と直交する方向に形成される。また、その一端（右端）は閉塞され、他端（左端）は、第２共通供給流路プレート２６の左側面に開口して形成される。
【００６６】
以上の構成の第２共通供給流路プレート２６を圧力室上部プレート２４に並列させて、分離プレート２０の上に配置すると、第２共通供給流路ＣＳ２の下面部が閉塞される（ただし、共通供給部Ｓに相当する部分は除く）。また、偶数番の個別供給流路ＩＳ２、ＩＳ４、…、ＩＳｎの下面部が閉塞される（ただし、垂直部ＩＳ２ｂ、ＩＳ４ｂ、…、ＩＳｎｂとの連結部は除く）。これにより、第２共通供給流路ＣＳ２が形成されるとともに、偶数番の個別供給流路ＩＳ２、ＩＳ４、…、ＩＳｎの水平部ＩＳ２ａ、ＩＳ４ａ、…、ＩＳｎａと、奇数番の個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ３、…、ＩＳｎ−１の垂直部ＩＳ１ｂ、ＩＳ３ｂ、…、ＩＳｎ−１ｂが形成される。
【００６７】
そして、奇数番の個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ３、…、ＩＳｎ−１の垂直部ＩＳ１ｂ、ＩＳ３ｂ、…、ＩＳｎ−１ｂが、分離プレート２０に形成された奇数番の個別供給流路開口部２０Ｂ１、２０Ｂ３、…、２０Ｂｎ−１を介して、第１共通供給流路プレート１８に形成された奇数番の個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ３、…、ＩＳｎ−１の水平部ＩＳ１ａ、ＩＳ３ａ、…、ＩＳｎ−１ａに連通される。
【００６８】
また、偶数番の個別供給流路ＩＳ２、ＩＳ４、…、ＩＳｎの水平部ＩＳ２ａ、ＩＳ４ａ、…、ＩＳｎａが、分離プレート２０に形成された偶数番の個別供給流路開口部２０Ｂ２、２０Ｂ４、…、２０Ｂｎを介して、第２共通供給流路プレート２６に形成された偶数番の個別供給流路ＩＳ２、ＩＳ４、…、ＩＳｎの垂直部ＩＳ２ｂ、ＩＳ４ｂ、…、ＩＳｎｂに連通される。
【００６９】
図７は、各圧力室と共通供給流路との連通関係を示す概念図である。なお、同図（ａ）は第１共通供給流路ＣＳ１と各圧力室との連通関係を示しており、同図（ｂ）は第２共通供給流路ＣＳ２と各圧力室との連通関係を示している。
【００７０】
同図（ａ）に示すように、奇数番の圧力室ＰＣ１、ＰＣ３、…、ＰＣｎ−１が、奇数番の個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ３、…、ＩＳｎ−１を介して第１共通供給流路ＣＳ１に連通される。また、同図（ｂ）に示すように、偶数番の圧力室ＰＣ２、ＰＣ４、…、ＰＣｎが、偶数番の個別供給流路ＩＳ２、ＩＳ４、…、ＩＳｎを介して第２共通供給流路ＣＳ２に連通される。これにより、隣り合う圧力室が、異なる共通供給流路に連通される。
【００７１】
なお、第１共通供給流路ＣＳ１と第２共通供給流路ＣＳ２は、分離プレート２０の共通供給部Ｓに相当する部分に形成された開口部（図示せず）を介して、互いに連通される。
【００７２】
［作用］
以上のように構成された本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０の作用は次のとおりである。
【００７３】
ノズルＮ１、Ｎ２、…、Ｎｎから吐出させる液体は、図示しない液体タンクから図示しない供給ラインを介して供給口ＳＰに供給される。
【００７４】
供給口ＳＰから供給された液体は、共通供給部Ｓを介して第１共通供給流路ＣＳ１と第２共通供給流路ＣＳ２に供給される。
【００７５】
上記のように、第１共通供給流路ＣＳ１には、奇数番の個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ３、…、ＩＳｎ−１を介して、奇数番の圧力室ＰＣ１、ＰＣ３、…、ＰＣｎ−１が連通されている（図７（ａ）参照）。また、第２共通供給流路ＣＳ２には、偶数番の個別供給流路ＩＳ２、ＩＳ４、…、ＩＳｎを介して、偶数番の圧力室ＰＣ２、ＰＣ４、…、ＰＣｎが連通されている（図７（ｂ）参照）。
【００７６】
したがって、第１共通供給流路ＣＳ１に供給された液体は、奇数番の個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ３、…、ＩＳｎ−１を介して、奇数番の圧力室ＰＣ１、ＰＣ３、…、ＰＣｎ−１に供給される。また、第２共通供給流路ＣＳ２に供給された液体は、偶数番の個別供給流路ＩＳ２、ＩＳ４、…、ＩＳｎを介して、偶数番の圧力室ＰＣ２、ＰＣ４、…、ＰＣｎに供給される。
【００７７】
このように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０では、隣り合う圧力室が、異なる共通供給流路に連通されて、吐出する液体が供給される。
【００７８】
これにより、隣接する圧力室の圧力波の影響を物理的に分離でき、クロストークの発生を防止することができる。また、これにより各個別供給流路の設計の自由度も高くなるので、リフィル性能の向上も図ることができる。
【００７９】
また、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０では、第１共通供給流路ＣＳ１と第２共通供給流路ＣＳ２を形成する際、１つの流路を上下に二分し、分離プレート２０を介在させて、第１共通供給流路ＣＳ１と第２共通供給流路ＣＳ２とを形成しているので、簡単に複数の共通供給流路を形成することができる。
【００８０】
また、本実施の形態の液滴吐出ヘッド１０では、各個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ２、…、ＩＳｎの容積を同じにしているので、各ノズル間で吐出性能にバラツキがなく、安定した吐出を行うことができる。
【００８１】
なお、上記実施の形態では、奇数番の個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ３、…、ＩＳｎ−１に垂直部ＩＳ１ｂ、ＩＳ３ｂ、…、ＩＳｎ−１ｂを形成することにより、奇数番の個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ３、…、ＩＳｎ−１の容積を偶数番の個別供給流路ＩＳ２、ＩＳ４、…、ＩＳｎの容積と同じにしているが、たとえば、図８に示すように、第１共通供給流路ＣＳ１を横方向にシフトして配置することにより、奇数番の個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ３、…、ＩＳｎ−１の水平部の流路長を延ばして、各個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ２、…、ＩＳｎの容積を同じにしてもよい。
【００８２】
なお、このように第１共通供給流路ＣＳ１と第２共通供給流路ＣＳ２は、必ずしも上下同じ位置に重ねて配置する必要はない。ただし、上記実施の形態のように、第１共通供給流路ＣＳ１と第２共通供給流路ＣＳ２とを上下同じ位置に重ねて配置することにより、省スペース化を図ることができる。
【００８３】
また、上記実施の形態では、２つの共通供給流路を設けているが、さらに複数の共通供給流路を形成することもできる。これにより、クロストークの発生を防止できる。
【００８４】
図８は、共通供給流路を４つ設けた液滴吐出ヘッドの一例を示す断面図である。
【００８５】
同図に示す例では、４つの共通供給流路ＣＳ１〜ＣＳ４が、４段に積み重ねられて、階層的に配置された構成とされている。
【００８６】
上記実施の形態と同様に、第１共通供給流路ＣＳ１は、第１共通供給流路プレート１８に形成され、その上段に分離プレート（第１分離プレート）２０が配置されている。
【００８７】
第１分離プレート２０の上段には、第２共通供給流路プレート２６が配置され、この第２共通供給流路プレート２６に第２共通供給流路ＣＳ２が形成される。
【００８８】
第２共通供給流路プレート２６の上段には、第２分離プレート３２が配置され、その上段に第３共通供給流路プレート３４が配置される。第３共通供給流路ＣＳ３は、この第３共通供給流路プレート３４に形成される。
【００８９】
第３共通供給流路プレート３４の上段には、第３分離プレート３６が配置され、その上段に第４共通供給流路プレート３８が配置される。第４共通供給流路ＣＳ４は、この第４共通供給流路プレート３８に形成される。
【００９０】
第１共通供給流路ＣＳ１は、第１分離プレート２０を介して第２共通供給流路ＣＳ２と分離され、第２共通供給流路ＣＳ２は、第２分離プレート３２を介して第３共通供給流路ＣＳ３と分離される。また、第３共通供給流路ＣＳ３は、第３分離プレート３６を介して第４共通供給流路ＣＳ４と分離される。
【００９１】
また、各共通供給流路ＣＳ１〜ＣＳ４は、それぞれ一端が、共通供給部に連通され、この共通供給部で互いに連通される。
【００９２】
図９は、各圧力室と共通供給流路との連通関係を示す概念図である。なお、同図（ａ）は第１共通供給流路ＣＳ１と各圧力室との連通関係、同図（ｂ）は第２共通供給流路ＣＳ２と各圧力室との連通関係、同図（ｃ）は第３共通供給流路ＣＳ３と各圧力室との連通関係、同図（ｄ）は第４共通供給流路ＣＳ４と各圧力室との連通関係を示している。
【００９３】
同図に示すように、各共通供給流路ＣＳ１〜ＣＳ４には、３つ飛ばしの間隔で並列して配置された圧力室が連通される。
【００９４】
すなわち、同図（ａ）に示すように、第１共通供給流路ＣＳ１には、第１、第５、第９、…、第ｎ−３番目の圧力室ＰＣ１、ＰＣ５、ＰＣ９、…、ＰＣｎ−３が連通される（ｎは４の倍数）。
【００９５】
また、同図（ｂ）に示すように、第２共通供給流路ＣＳ２には、第２、第６、第１０、…、第ｎ−２番目の圧力室ＰＣ２、ＰＣ６、ＰＣ１０、…、ＰＣｎ−２が連通される。
【００９６】
また、同図（ｃ）に示すように、第３共通供給流路ＣＳ３には、第３、第７、第１１、…、第ｎ−１番目の圧力室ＰＣ３、ＰＣ７、ＰＣ１１、…、ＰＣｎ−１が連通される。
【００９７】
また、同図（ｄ）に示すように、第４共通供給流路ＣＳ４には、第４、第８、第１２、…、第ｎ番目の圧力室ＰＣ４、ＰＣ８、ＰＣ１２、…、ＰＣｎが連通される。
【００９８】
各圧力室は、個別供給流路を介して、対応する共通供給流路に連通される。すなわち、図９（ａ）に示すように、第１、第５、第９、…、第ｎ−３番目の圧力室ＰＣ１、ＰＣ５、ＰＣ９、…、ＰＣｎ−３は、第１、第５、第９、…、第ｎ−３番目の個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ５、ＩＳ９、…、ＩＳｎ−３を介して第１共通供給流路ＣＳ１に連通される。
【００９９】
また、図９（ｂ）に示すように、第２、第６、第１０、…、第ｎ−２番目の圧力室ＰＣ２、ＰＣ６、ＰＣ１０、…、ＰＣｎ−２は、第２、第６、第１０、…、第ｎ−２番目の個別供給流路ＩＳ２、ＩＳ６、ＩＳ１０、…、ＩＳｎ−２を介して第２共通供給流路ＣＳ２に連通される。
【０１００】
また、図９（ｃ）に示すように、第３、第７、第１１、…、第ｎ−１番目の圧力室ＰＣ３、ＰＣ７、ＰＣ１１、…、ＰＣｎ−１は、第３、第７、第１１、…、第ｎ−１番目の個別供給流路ＩＳ３、ＩＳ７、ＩＳ１１、…、ＩＳｎ−１を介して第３共通供給流路ＣＳ３に連通される。
【０１０１】
また、図９（ｄ）に示すように、第４、第８、第１２、…、第ｎ番目の圧力室ＰＣ４、ＰＣ９、ＰＣ１２、…、ＰＣｎは、第４、第８、第１２、…、第ｎ番目の個別供給流路ＩＳ４、ＩＳ８、ＩＳ１２、…、ＩＳｎを介して第４共通供給流路ＣＳ４に連通される。
【０１０２】
このように、さらに複数の共通供給流路を形成することにより、隣接する圧力室の圧力波の影響を低減でき、さらに効率よくクロストークの発生を防止できる。
【０１０３】
《第２の実施の形態》
［構成］
図１０は、本発明に係る液滴吐出ヘッドの第２の実施の形態の底面図である。また、図１１、図１２は、それぞれ図１０の１１−１１断面図、１２−１２断面図である。
【０１０４】
同図に示すように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド５０は、共通回収流路ＣＣ１、ＣＣ２を備えており、液体が圧力室ＰＣ１、ＰＣ２、…、ＰＣｎに循環供給される。
【０１０５】
なお、共通回収流路ＣＣ１、ＣＣ２を有する点以外は、上述した第１の実施の形態の液滴吐出ヘッド１０の構成と同じなので、ここでは、共通回収流路ＣＣ１、ＣＣ２の構成についてのみ説明する。
【０１０６】
図１０〜図１２に示すように、各圧力室ＰＣ１、ＰＣ２、…、ＰＣｎに連通されたノズル流路ＮＣ１、ＮＣ２、…、ＮＣｎには、それぞれ個別回収流路ＩＣ１、ＩＣ２、…、ＩＣｎが連通され、この個別回収流路ＩＣ１、ＩＣ２、…、ＩＣｎを介して第１共通回収流路ＣＣ１又は第２共通回収流路ＣＣ２に連通されている（奇数番の圧力室ＰＣ１、ＰＣ３、…、ＰＣｎ−１が第１共通回収流路ＣＣ１に連通され、偶数番の圧力室ＰＣ２、ＰＣ４、…、ＰＣｎが第２共通回収流路ＣＣ２に連通されている。）。各圧力室ＰＣ１、ＰＣ２、…、ＰＣｎの液体は、ノズル流路ＮＣ１、ＮＣ２、…、ＮＣｎから個別回収流路ＩＣ１、ＩＣ２、…、ＩＣｎを介して第１共通回収流路ＣＣ１又は第２共通回収流路ＣＣ２に回収される。
【０１０７】
この第１共通回収流路ＣＣ１と第２共通回収流路ＣＣ２は、圧力室ＰＣ１、ＰＣ２、…、ＰＣｎの配列方向（ヘッドの長手方向）に沿って配置され、上下に階層的に配置される（第１共通回収流路ＣＣ１が下段、第２共通回収流路ＣＣ２が上段に配置される。）。
【０１０８】
また、この第１共通回収流路ＣＣ１と第２共通回収流路ＣＣ２は、それぞれ一端（図１０の下端）が、共通回収部Ｃに連通され、この共通回収部Ｃで互いに連通される。共通回収部Ｃには、ヘッド外部に連通された回収口ＣＰが連通され、この回収口ＣＰから外部に液体が回収される。
【０１０９】
図１１、図１２に示すように、第１共通回収流路ＣＣ１と第２共通回収流路ＣＣ２は、ノズル流路プレート１４に並列して配置された共通回収流路プレート５２に形成されている。この共通回収流路プレート５２は、第１共通回収流路プレート５４と、回収流路分離プレート５６と、第２共通回収流路プレート５８とで構成されている。
【０１１０】
第１共通回収流路プレート５４は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、ノズル流路プレート１４と並列してノズルプレート１２の上に配置される。この第１共通回収流路プレート５４には、上面部に第１共通回収流路ＣＣ１と、奇数番の個別回収流路ＩＣ１、ＩＣ３、…、ＩＣｎ−１の一部（水平部）と、偶数番の個別回収流路ＩＣ２、ＩＣ４、…、ＩＣｎの一部（第２水平部）が形成される。
【０１１１】
第１共通回収流路ＣＣ１は、上部が開口した溝状に形成され、所定幅、所定深さをもってヘッドの長手方向（ノズル、圧力室の配列方向）に沿って形成される。
【０１１２】
奇数番の個別回収流路ＩＣ１、ＩＣ３、…、ＩＣｎ−１は、奇数番の圧力室ＰＣ１、ＰＣ３、…、ＰＣｎ−１に対応して形成され、ヘッドの長手方向に沿って一定ピッチで形成される。この奇数番の個別回収流路ＩＣ１、ＩＣ３、…、ＩＣｎ−１は、水平部ＩＣ１ａ、ＩＣ３ａ、…、ＩＣｎ−１ａと、垂直部ＩＣ１ｂ、ＩＣ３ｂ、…、ＩＣｎ−１ｂとで構成され、水平部ＩＣ１ａ、ＩＣ３ａ、…、ＩＣｎ−１ａが、第１共通回収流路プレート５４に形成される。
【０１１３】
また、偶数番の個別回収流路ＩＣ２、ＩＣ４、…、ＩＣｎは、偶数番の圧力室ＰＣ２、ＰＣ４、…、ＰＣｎに対応して形成され、ヘッドの長手方向に沿って一定ピッチで形成される。この偶数番の個別回収流路ＩＣ２、ＩＣ４、…、ＩＳｎは、第１水平部ＩＣ２ａ、ＩＣ４ａ、…、ＩＣｎａと、第２水平部ＩＣ２ｂ、ＩＣ４ｂ、…、ＩＣｎｂとで構成され、第２水平部ＩＣ２ｂ、ＩＣ４ｂ、…、ＩＣｎｂが、第１共通回収流路プレート５４に形成される。
【０１１４】
この奇数番の個別回収流路ＩＣ１、ＩＣ３、…、ＩＣｎ−１と、偶数番の個別回収流路ＩＣ２、ＩＣ４、…、ＩＣｎは、すべて容積が同じになるように形成される。このため、奇数番の個別回収流路ＩＣ１、ＩＣ３、…、ＩＣｎ−１に垂直部ＩＣ１ｂ、ＩＣ３ｂ、…、ＩＣｎ−１ｂが形成される。このように、すべての個別回収流路ＩＣ１、ＩＣ２、…、ＩＣｎの容積を同じにすることにより、吐出性能にバラツキが生じるのを防止でき、各ノズルＮ１、Ｎ２、…、Ｎｎから安定した液滴の吐出が可能になる。
【０１１５】
奇数番の個別回収流路ＩＣ１、ＩＣ３、…、ＩＣｎ−１の水平部ＩＣ１ａ、ＩＣ３ａ、…、ＩＣｎ−１ａは、上部が開口した溝状に形成され、所定幅、所定深さをもって、ヘッドの長手方向と直交する方向に形成される。また、その一端（左端）は、第１共通回収流路ＣＣ１に連通され、他端（右端）は、第１共通回収流路プレート５４の右側面に開口して形成される。
【０１１６】
偶数番の個別回収流路ＩＣ２、ＩＣ４、…、ＩＣｎの第２水平部ＩＣ２ｂ、ＩＣ４ｂ、…、ＩＣｎｂは、上部が開口した溝状に形成され、所定幅、所定深さをもって、ヘッドの長手方向と直交する方向に形成される。また、その一端（左端）は閉塞され、他端（右端）は、第１共通回収流路プレート５４の右側面に開口して形成される。
【０１１７】
第１共通回収流路プレート５４に並列して配置されるノズル流路プレート１４には、各ノズル流路ＮＣ１、ＮＣ２、…、ＮＣｎに対応して連通穴１４Ａ１、１４Ａ２、…、１４Ａｎが形成されている。各連通穴１４Ａ１、１４Ａ２、…、１４Ａｎは、ノズル流路ＮＣ１、ＮＣ２、…、ＮＣｎの形成間隔と同じ間隔で形成されており、一端（左端）がノズル流路プレート１４の左側面に開口して形成されるとともに、他端（右端）がノズル流路ＮＣ１、ＮＣ２、…、ＮＣｎに連通して形成されている。
【０１１８】
第１共通回収流路プレート５４をノズル流路プレート１４に並列させて、ノズルプレート１２の上に配置すると、奇数番の個別回収流路ＩＣ１、ＩＣ３、…、ＩＣｎ−１の水平部ＩＣ１ａ、ＩＣ３ａ、…、ＩＣｎ−１ａが、奇数番の連通穴１４Ａ１、１４Ａ３、…、１４Ａｎ−１に連通される。また、偶数番の個別回収流路ＩＣ２、ＩＣ４、…、ＩＣｎの第２水平部ＩＣ２ｂ、ＩＣ４ｂ、…、ＩＣｎｂが、偶数番の連通穴１４Ａ２、１４Ａ４、…、１４Ａｎに連通される。
【０１１９】
回収流路分離プレート５６は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、第１共通回収流路プレート５４の上に配置される。この回収流路分離プレート５６には、奇数番の個別回収流路ＩＣ１、ＩＣ３、…、ＩＣｎ−１の垂直部ＩＣ１ｂ、ＩＣ３ｂ、…、ＩＣｎ−１ｂの一部を構成する個別回収流路開口部５６Ａ１、５６Ａ３、…、５６Ａｎ−１が形成されるとともに、偶数番の個別回収流路ＩＣ２、ＩＣ４、…、ＩＣｎの第１水平部ＩＣ２ａ、ＩＣ４ａ、…、ＩＣｎａと第２水平部ＩＣ２ｂ、ＩＣ４ｂ、…、ＩＣｎｂとを連通する個別回収流路開口部５６Ａ２、５６Ａ４、…、５６Ａｎが形成される。
【０１２０】
以上の構成の回収流路分離プレート５６が、第１共通回収流路プレート５４の上に配置されると、第１共通回収流路ＣＣ１の上面部が閉塞される（ただし、共通回収部Ｃに相当する部分は除く）。また、奇数番の個別回収流路ＩＣ１、ＩＣ３、…、ＩＣｎ−１の上面部が閉塞される（ただし、垂直部ＩＣ１ｂ、ＩＣ３ｂ、…、ＩＣｎ−１ｂとの連結部に相当する部分は除く）。また、偶数番の個別回収流路ＩＣ２、ＩＣ４、…、ＩＣｎの第２水平部ＩＣ２ｂ、ＩＣ４ｂ、…、ＩＣｎｂの上面部が閉塞される（ただし、第１水平部ＩＣ２ａ、ＩＣ４ａ、…、ＩＣｎａとの連結部に相当する部分は除く）。これにより、第１共通回収流路ＣＣ１が形成されるとともに、奇数番の個別回収流路ＩＣ１、ＩＣ３、…、ＩＣｎ−１の水平部ＩＣ１ａ、ＩＣ３ａ、…、ＩＣｎ−１ａと、偶数番の個別回収流路ＩＣ２、ＩＣ４、…、ＩＣｎの第２水平部ＩＣ２ｂ、ＩＣ４ｂ、…、ＩＣｎｂが形成される。
【０１２１】
第２共通回収流路プレート５８は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、回収流路分離プレート５６の上に配置される。この第２共通回収流路プレート５８の下面部には、第２共通回収流路ＣＣ２と、偶数番の個別回収流路ＩＣ２、ＩＣ４、…、ＩＣｎの第１水平部ＩＣ２ａ、ＩＣ４ａ、…、ＩＣｎａと、奇数番の個別回収流路ＩＣ１、ＩＣ３、…、ＩＣｎ−１の垂直部ＩＣ１ｂ、ＩＣ３ｂ、…、ＩＣｎ−１ｂとが形成される。また、その上面部には、共通回収部Ｃに対応して、回収口ＣＰ（図示せず）が第２共通回収流路ＣＣ２に貫通して形成される（圧力室プレート１６、分離プレート２０、振動板２２、及び、圧力室上部プレート２４にも同様に回収口ＣＰが形成される。）。
【０１２２】
第２共通回収流路ＣＣ２は、下部が開口した溝状に形成され、所定幅、所定深さをもってヘッドの長手方向（ノズル、圧力室の配列方向）に沿って形成される。なお、この第２共通回収流路ＣＣ２は、第１共通回収流路ＣＣ１と同じ幅、同じ深さで形成され、第２共通回収流路プレート５８を分離プレート２０の上に配置すると、第１共通回収流路ＣＣ１の上に配置される。
【０１２３】
偶数番の個別回収流路ＩＣ２、ＩＣ４、…、ＩＣｎの第１水平部ＩＣ２ａ、ＩＣ４ａ、…、ＩＣｎａは、第１共通回収流路プレート５４に形成された偶数番の個別回収流路ＩＣ２、ＩＣ４、…、ＩＣｎの第２水平部ＩＣ２ｂ、ＩＣ４ｂ、…、ＩＣｎｂに対応して形成されており、ヘッドの長手方向に沿って一定ピッチで形成されている。この第１水平部ＩＣ２ａ、ＩＣ４ａ、…、ＩＣｎａは、下部が開口した溝状に形成され、所定幅、所定深さをもって、ヘッドの長手方向と直交する方向に形成される。また、その一端（左端）は、第２共通回収流路ＣＣ２に連通され、他端（右端）は閉塞される。
【０１２４】
奇数番の個別回収流路ＩＣ１、ＩＣ３、…、ＩＣｎ−１の垂直部ＩＣ１ｂ、ＩＣ３ｂ、…、ＩＣｎ−１ｂは、第１共通回収流路プレート５４に形成された奇数番の個別回収流路ＩＣ１、ＩＣ３、…、ＩＣｎ−１の水平部ＩＣ１ａ、ＩＣ３ａ、…、ＩＣｎ−１ａに対応して形成されており、ヘッドの長手方向に沿って一定ピッチで形成されている。この垂直部ＩＣ１ｂ、ＩＣ３ｂ、…、ＩＣｎ−１ｂは、水平部ＩＣ１ａ、ＩＣ３ａ、…、ＩＣｎ−１ａの断面と同じ断面を有する凹部として所定深さをもって第２共通回収流路プレート５８の下面部に形成される。
【０１２５】
以上の構成の第２共通回収流路プレート５８を回収流路分離プレート５６の上に配置すると、第２共通回収流路ＣＣ２の下面部が閉塞される（ただし、共通回収部Ｃに相当する部分は除く）。これにより、第２共通回収流路ＣＣ２が形成される。
【０１２６】
また、偶数番の個別回収流路ＩＣ２、ＩＣ４、…、ＩＣｎの第１水平部ＩＣ２ａ、ＩＣ４ａ、…、ＩＣｎａが、回収流路分離プレート５６に形成された偶数番の個別回収流路開口部５６Ａ２、５６Ａ４、…、５６Ａｎを介して、第１共通回収流路プレート５４に形成された偶数番の個別回収流路ＩＣ２、ＩＣ４、…、ＩＣｎの第２水平部ＩＣ２ｂ、ＩＣ４ｂ、…、ＩＣｎｂと連通される。これにより、偶数番の個別回収流路ＩＣ２、ＩＣ４、…、ＩＣｎが形成される。
【０１２７】
また、奇数番の個別回収流路ＩＣ１、ＩＣ３、…、ＩＣｎ−１の垂直部ＩＣ１ｂ、ＩＣ３ｂ、…、ＩＣｎ−１ｂが、回収流路分離プレート５６に形成された奇数番の個別回収流路開口部５６Ａ１、５６Ａ３、…、５６Ａｎ−１を介して、第１共通回収流路プレート５４に形成された奇数番の個別回収流路ＩＣ１、ＩＣ３、…、ＩＣｎ−１の水平部ＩＣ１ａ、ＩＣ３ａ、…、ＩＣｎ−１ａと連通される。これにより、個別回収流路ＩＣ１、ＩＣ３、…、ＩＣｎ−１が形成される。
【０１２８】
なお、第１共通回収流路ＣＣ１と第２共通回収流路ＣＣ２は、分離プレート２０の共通回収部Ｃに相当する部分に形成された開口部（図示せず）を介して、互いに連通される。
【０１２９】
図１３は、各圧力室と共通供給流路及び共通回収流路との連通関係を示す概念図である。なお、同図（ａ）は奇数番の圧力室との連通関係を示しており、同図（ｂ）は偶数番の圧力室との連通関係を示している。
【０１３０】
同図（ａ）に示すように、奇数番の圧力室ＰＣ１、ＰＣ３、…、ＰＣｎ−１は、奇数番の個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ３、…、ＩＳｎ−１を介して第１共通供給流路ＣＳ１に連通される。また、奇数番の個別回収流路ＩＣ１、ＩＣ３、…、ＩＣｎ−１を介して第１共通回収流路ＣＣ１に連通される。
【０１３１】
一方、同図（ｂ）に示すように、偶数番の圧力室ＰＣ２、ＰＣ４、…、ＰＣｎは、偶数番の個別共通流路ＩＳ２、ＩＳ４、…、ＩＳｎを介して第２共通供給流路ＣＳ２に連通される。また、偶数番の個別回収流路ＩＣ２、ＩＣ４、…、ＩＣｎを介して第２共通回収流路ＣＣ２に連通される。
【０１３２】
このように、隣り合う圧力室は、異なる共通供給流路に連通されるとともに、異なる共通回収流路に連通される。この際、奇数番の圧力室ＰＣ１、ＰＣ３、…、ＰＣｎ−１は、下段に位置した第１共通供給流路ＣＳ１に連通されるとともに、下段上段に位置した第１共通回収流路ＣＣ１に連通され、偶数番の圧力室ＰＣ２、ＰＣ４、…、ＰＣｎは、上段に位置した第２共通供給流路ＣＳ２に連通されるとともに、上段に位置した第２共通回収流路ＣＣ２に連通される。これにより、各圧力室間で水頭差の影響をなくすことができ、各ノズルＮ１、Ｎ２、…、Ｎｎから安定した液滴の吐出が可能になる。
【０１３３】
［作用］
以上のように構成された本実施の形態の液滴吐出ヘッド５０の作用は次のとおりである。
【０１３４】
液滴吐出ヘッド５０に形成された供給口ＳＰには、図示しない供給ラインが接続され、この供給ラインを介して図示しない液体タンクに接続される。一方、回収口ＣＰには、図示しない回収ラインが接続され、この回収ラインを介して図示しない液体タンクに接続される。供給ラインには、図示しない供給ポンプが設けられており、この供給ポンプを駆動することにより、液体タンク内の液体が供給ラインを介して供給口ＳＰに液体が供給される。また、回収ラインには、図示しない回収ポンプが設けられており、この回収ポンプを駆動することにより、液滴吐出ヘッド５０内の液体が回収口ＣＰから回収ラインを介して液体タンクに回収される。すなわち、本実施の形態の液滴吐出ヘッド５０において、ノズルから吐出させる液体は、循環供給される。
【０１３５】
供給口ＳＰに供給された液体は、共通供給部Ｓを介して第１共通回収流路ＣＣ１と第２共通回収流路ＣＣ２に供給される。
【０１３６】
第１共通供給流路ＣＳ１には、奇数番の個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ３、…、ＩＳｎ−１を介して、奇数番の圧力室ＰＣ１、ＰＣ３、…、ＰＣｎ−１が連通されている（図７（ａ）参照）。また、第２共通供給流路ＣＳ２には、偶数番の個別供給流路ＩＳ２、ＩＳ４、…、ＩＳｎを介して、偶数番の圧力室ＰＣ２、ＰＣ４、…、ＰＣｎが連通されている（図７（ｂ）参照）。したがって、第１共通供給流路ＣＳ１に供給された液体は、奇数番の個別供給流路ＩＳ１、ＩＳ３、…、ＩＳｎ−１を介して、奇数番の圧力室ＰＣ１、ＰＣ３、…、ＰＣｎ−１に供給される。また、第２共通供給流路ＣＳ２に供給された液体は、偶数番の個別供給流路ＩＳ２、ＩＳ４、…、ＩＳｎを介して、偶数番の圧力室ＰＣ２、ＰＣ４、…、ＰＣｎに供給される。このように、隣り合う圧力室に対して、異なる共通供給流路から液体が供給される。
【０１３７】
一方、図１３（ａ）に示すように、奇数番の圧力室ＰＣ１、ＰＣ３、…、ＰＣｎ−１のノズル流路ＮＣ１、ＮＣ３、…、ＮＣｎ−１には、奇数番の個別回収流路ＩＣ１、ＩＣ３、…、ＩＣｎ−１を介して第１共通回収流路ＣＣ１が連通されている。また、図１３（ｂ）に示すように、偶数番の圧力室ＰＣ２、ＰＣ４、…、ＰＣｎのノズル流路ＮＣ２、ＮＣ４、…、ＮＣｎには、偶数番の個別回収流路ＩＣ２、ＩＣ４、…、ＩＣｎを介して第２共通回収流路ＣＣ２が連通されている。奇数番の圧力室ＰＣ１、ＰＣ３、…、ＰＣｎ−１内の液体は、ノズル流路ＮＣ１、ＮＣ３、…、ＮＣｎ−１から奇数番の個別回収流路ＩＣ１、ＩＣ３、…、ＩＣｎ−１を介して第１共通回収流路ＣＣ１に回収され、偶数番の圧力室ＰＣ２、ＰＣ４、…、ＰＣｎ内の液体は、ノズル流路ＮＣ２、ＮＣ４、…、ＮＣｎから偶数番の個別回収流路ＩＣ２、ＩＣ４、…、ＩＣｎを介して第２共通回収流路ＣＣ２に回収される。このように、隣り合う圧力室に対して、異なる共通回収流路から液体が回収される。
【０１３８】
以上のように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド５０では、ノズルから吐出させる液体が循環供給される。この際、隣り合う圧力室に対して、異なる共通供給流路から液体が供給されるとともに、隣り合う圧力室に対して、異なる共通回収流路から液体が回収される。これにより、隣接する圧力室の圧力波の影響を物理的に分離でき、クロストークの発生を防止することができる。また、これにより各個別供給流路の設計の自由度も高くなるので、リフィル性能の向上も図ることができる。
【０１３９】
また、本実施の形態の液滴吐出ヘッド５０では、下段に位置した第１共通供給流路ＣＳ１に連通させた圧力室（奇数番の圧力室）は、下段に位置した第１共通回収流路ＣＣ１に連通させ、上段に位置した第２共通供給流路ＣＳ２に連通させた圧力室（偶数番の圧力室）は、上段に位置した第２共通回収流路ＣＣ２に連通させ、各圧力室間で水頭差の影響をなくしているので、各ノズルＮ１、Ｎ２、…、Ｎｎ間でバラツキのない安定した液滴の吐出を行うことができる。
【０１４０】
なお、上記実施の形態では、第１共通回収流路ＣＣ１と第２共通回収流路ＣＣ２を上下に重ねて同じ位置に配置しているが、必ずしも上下同じ位置に重ねて配置する必要はなく、横方向にずらして配置するようにしてもよい。ただし、上記実施の形態のように、第１共通回収流路ＣＣ１と第２共通回収流路ＣＣ２とを上下同じ位置に重ねて配置することにより、省スペース化を図ることができる。また、１つの流路を上下に分割し、分離プレートで２分割することにより、簡単に複数の共通回収流を形成することができる。
【０１４１】
また、上記実施の形態では、２つの共通回収流路を設けているが、さらに複数の共通回収流路を形成することもできる。これにより、クロストークの発生を防止できる。
【０１４２】
《第３の実施の形態》
図１４は、本発明に係る液滴吐出ヘッドの第３の実施の形態の底面図である。
【０１４３】
同図に示すように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド７０は、ノズルＮ［ｘ，ｙ］及び圧力室ＰＣ［ｘ，ｙ］が、ノズル面に二次元マトリクス状に配置されている（いわゆるマトリクスヘッド）。ノズルＮ［ｘ，ｙ］及び圧力室ＰＣ［ｘ，ｙ］をこのような配置構成とすることにより、ヘッドの長手方向に投影される実質的なノズルＮ［ｘ，ｙ］の間隔を狭めることができ、ノズルＮ［ｘ，ｙ］の高密度化を図ることができる。
【０１４４】
ノズルＮ［ｘ，ｙ］及び圧力室ＰＣ［ｘ，ｙ］は、ヘッドの長手方向に対して所定角度傾斜した方向に並列して配置されるノズルＮ［ｘ，ｙ］及び圧力室ＰＣ［ｘ，ｙ］の列を一単位とし、このノズルＮ［ｘ，ｙ］及び圧力室ＰＣ［ｘ，ｙ］の列が、ヘッドの長手方向に沿って一定間隔で配置される。
【０１４５】
各ノズルＮ［ｘ，ｙ］から吐出させる液体を圧力室ＰＣ［ｘ，ｙ］に供給する共通供給流路は、共通供給流路本流ＣＳｍと、その共通供給流路本流ＣＳｍから分岐する複数の共通供給流路支流ＣＳｂ［ｘ]とで構成される。
【０１４６】
共通供給流路本流ＣＳｍは、ヘッドの長手方向にそって形成され、一端（図１３の右端）に供給口が連通される。
【０１４７】
共通供給流路支流ＣＳｂ［ｘ]は、圧力室ＰＣ［ｘ，ｙ］の列単位で設けられ、各列の圧力室ＰＣ［ｘ，ｙ］の配列方向に沿って所定角度傾斜して形成される。そして、一端（図１３の上端）が共通供給流路本流ＣＳｍに連通される。
【０１４８】
各共通供給流路支流ＣＳｂ［ｘ]は、第１共通供給流路支流ＣＳｂ１［ｘ]と第２共通供給流路支流ＣＳｂ２［ｘ]とで構成されており、上下に重ねて階層的に配置されている（１つの流路を上下に分断して、分離プレートで上下に分離して形成されている。図２、３参照）。
【０１４９】
各列の圧力室ＰＣ［ｘ，ｙ］は、各列の圧力室ＰＣ［ｘ，ｙ］に並列して配置された共通供給流路ＣＳｂ［ｘ]に個別供給流路ＩＳ［ｘ，ｙ］を介して連通され、この個別供給流路［ｘ，ｙ］を介して共通供給流路ＣＳｂ［ｘ]から液体が供給される。
【０１５０】
ここで、各列の圧力室ＰＣ［ｘ，ｙ］は、奇数行の圧力室ＰＣ［ｘ，ｙ］は、第１共通供給流路支流ＣＳｂ１［ｘ]に連通され、偶数番の圧力室ＰＣ［ｘ，ｙ］は、第２共通供給流路支流ＣＳｂ２［ｘ]に連通される。すなわち、各列において、隣り合う圧力室ＰＣ［ｘ，ｙ］が、異なる共通供給流路支流に連通される。
【０１５１】
図１５は、各圧力室ＰＣ［ｘ，ｙ］と共通供給流路支流との連通関係を示す概念図である。なお、同図（ａ）は第１共通供給流路支流ＣＳｂ１［ｘ]と各圧力室との連通関係を示しており、同図（ｂ）は第２共通供給流路支流ＣＳｂ２［ｘ]と各圧力室との連通関係を示している。
【０１５２】
同図（ａ）に示すように、各列の圧力室ＰＣ［１，ｙ］、ＰＣ［２，ｙ］、…において、奇数行の圧力室ＰＣ［１，１］、ＰＣ［１，３］、…、ＰＣ［２，１］、ＰＣ［２，３］、…、ＰＣ［３，１］、ＰＣ［３，３］、…、…は、それぞれ各列の第１共通供給流路支流ＣＳｂ１［１］、ＣＳｂ１［２］、…に連通される。
【０１５３】
また、同図（ｂ）に示すように、各列の圧力室ＰＣ［１，ｙ］、ＰＣ［２，ｙ］、…において、偶数行の圧力室ＰＣ［１，２］、ＰＣ［１，４］、…、ＰＣ［２，２］、ＰＣ［２，４］、…、ＰＣ［３，２］、ＰＣ［３，４］、…、…は、それぞれ各列の第２共通供給流路支流ＣＳｂ２［１］、ＣＳｂ２［２］、…に連通される。
【０１５４】
このように、各列において、隣り合う圧力室ＰＣ［ｘ，ｙ］が、異なる共通供給流路支流に連通される。
【０１５５】
以上のように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド７０によれば、マトリクスヘッドにおいて、隣り合う圧力室ＰＣ［ｘ，ｙ］が、異なる共通供給流路支流に連通されて、液体が供給される。これにより、クロストークの発生を防止できる。
【０１５６】
なお、このようなマトリクスヘッドにおいて液体を循環供給する場合は、上記第２の実施の形態と同様に共通回収流路を複数形成し、隣り合う圧力室が異なる共通回収流路に連通されるように構成することが好ましい。
【０１５７】
また、このようなマトリクスヘッドにおいても、共通供給流路支流は、さらに複数段に分けて形成することができる。
【０１５８】
なお、本発明の液滴吐出ヘッドは、たとえば、インクジェット方式で画像を記録するインクジェット記録装置の記録ヘッド（インクジェットヘッド）に適用することができる。
【符号の説明】
【０１５９】
１０、５０、７０…液滴吐出ヘッド、１０Ａ…ノズル面、１２…ノズルプレート、１４…ノズル流路プレート、１６…圧力室プレート、１８…第１共通供給流路プレート、２０…分離プレート（第１分離プレート）、２２…振動板、ＰＺ１、ＰＺ２、…、ＰＺｎ…圧電素子、２６…第２共通供給流路プレート、３０…第２分離プレート、３４…第３共通供給流路プレート、３６…第３分離プレート、３８…第４共通供給流路プレート、５２…共通回収流路プレート、５４…第１共通回収流路プレート、５６…回収流路分離プレート、５８…第２共通回収流路プレート、Ｎ１、Ｎ２、…、Ｎｎ…ノズル、ＰＣ１、ＰＣ２、…、ＰＣｎ…圧力室、ＣＳ１…第１共通供給流路、ＣＳ２…第２共通供給流路、ＣＳ３…第３共通供給流路、ＣＳ４…第４共通供給流路、ＩＳ１、ＩＳ２、…、ＩＳｎ…個別供給流路、ＣＣ１…第１共通回収流路、ＣＣ２…第２共通回収流路、ＩＣ１、ＩＣ２、…、ＩＣｎ…個別回収流路、Ｎ［ｘ，ｙ］…ノズル、ＰＣ［ｘ，ｙ］…圧力室、ＣＳｍ…共通供給流路本流、ＣＳｂ［ｘ]…共通供給流路支流、ＣＳｂ１［ｘ]…第１共通供給流路支流、ＣＳｂ２［ｘ]…第２共通供給流路支流、ＩＳ［ｘ，ｙ］…個別供給流路
【図１】
2011177620.tif 000003
【図２】
2011177620.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2011177620.tif 000007
【図６】
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【図７】
2011177620.tif 000009
【図８】
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【図９】
2011177620.tif 000011
【図１０】
2011177620.tif 000012
【図１１】
2011177620.tif 000013
【図１２】
2011177620.tif 000014
【図１３】
2011177620.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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