(57)【要約】【課題】測定装置の内壁面に付着した水分子の影響を低減することが可能な水蒸気透過量測定装置を提供すること。【解決手段】本発明に係る水蒸気透過量測定装置は、第１の開口面を含む第１の室７ａを有する第１のチャンバ本体７と、測定対象物Ｆを介して第１の開口面と対向する第２の開口面と、第２の開口面と対向する第２の底部と、断面の面積が第２の開口面から第２の底部の方向に向かって漸次減少する内壁面とを含む第２の室８ａを有する第２のチャンバ本体８と、第１の室７ａから第２の室８ａに向かって測定対象物Ｆを透過した水蒸気の量を測定する測定器１１とを具備する。  この構成によれば、第２の室８ａの容積に対する内壁面の表面積の割合が低減されるため、測定器１１の測定値に対する第２の室８ａの内壁面から放出される水蒸気の影響を低減することが可能となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の方向に平行な第１の開口面と前記第１の開口面と垂直な第２の方向に前記第１の開口面と対向する第１の底部とを含む第１の室を有する第１のチャンバ本体と、
測定対象物を介して前記第１の開口面と対向する第２の開口面と、前記第２の方向に前記第２の開口面と対向する第２の底部と、前記第２の方向に垂直な断面の面積が、前記第２の開口面から前記第２の底部の方向に向かって漸次減少する内壁面とを含む第２の室を有する第２のチャンバ本体と、
前記第１の室から前記第２の室に向かって前記測定対象物を透過した水蒸気の量を測定する測定器と
を具備する水蒸気透過量測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の水蒸気透過量測定装置であって、
前記測定器は、前記第２の室の内部に配置されている
水蒸気透過量測定装置。
【請求項３】
請求項２に記載の水蒸気透過量測定装置であって、
前記内壁面の前記第２の方向に沿った断面形状であって、前記第２の開口面の縁部と前記第２の底部とを結ぶ断面形状は、直線状又は曲線状である
水蒸気透過量測定装置。
【請求項４】
請求項３に記載の水蒸気透過量測定装置であって、
前記内壁面は、球面状である
水蒸気透過量測定装置。
【請求項５】
請求項３に記載の水蒸気透過量測定装置であって、
前記第２の室は、円錐形状を有する
水蒸気透過量測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象物の水蒸気透過量を測定するための水蒸気透過量測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
食品包装用のフィルム等の評価要件の一つに水蒸気透過量がある。水蒸気透過量は水蒸気が測定対象物を透過する速度であり、単位時間、単位面積当たりの水蒸気の透過量（ｇ／ｍ２／ｄａｙ）で表される。水蒸気透過量は、特に水蒸気が測定対象物を透過する速度が小さい場合等には非常に小さい値になり、また水蒸気は空気中に存在することもあって、高精度に測定されることが求められている。
【０００３】
水蒸気透過量を測定するための測定装置及び測定方法には種々の形態のものが存在する。例えば、特許文献１には、「サンプル台、測定対象サンプル、透湿度測定装置」が記載されている。特許文献１に記載の装置は、測定対象サンプルを介して対向する供給室と測定室とを有し、供給室に供給され、供給室から測定室に向かって測定対象サンプルを透過した水蒸気の量をその分圧を測定することにより導出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−１７０３５８号公報（段落[００３４]、図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１には、測定対象物を透過した水蒸気が拡散する空間（測定室）の形状は言及されていない。ここで、当該空間を画成する測定装置の内壁面に付着していた水分子が測定中に当該壁面から放出され、当該空間内を浮遊する現象が見出されている。このような測定装置の内壁面に付着していた水分子は、測定対象物を透過した水分子と共に測定器に検出されてしまうため、特に測定対象物の水蒸気透過性が小さい場合、測定対象物を透過した水蒸気の量が、測定装置の内壁面から放出された水蒸気の量に隠されてしまうおそれがある。
【０００６】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、測定装置の内壁面に付着した水分子の影響を低減することが可能な水蒸気透過量測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る水蒸気透過量測定装置は、第１のチャンバ本体と、第２のチャンバ本体と、測定器とを具備する。
上記第１のチャンバ本体は、第１の方向に平行な第１の開口面と上記第１の開口面と垂直な第２の方向に上記第１の開口面と対向する第１の底部とを含む第１の室を有する。
上記第２のチャンバ本体は、測定対象物を介して上記第１の開口面と対向する第２の開口面と、上記第２の方向に上記第２の開口面と対向する第２の底部と、上記第２の方向に垂直な断面の面積が、上記第２の開口面から上記第２の底部の方向に向かって漸次減少する内壁面とを含む第２の室を有する。
上記測定器は、上記第１の室から上記第２の室に向かって上記測定対象物を透過した水蒸気の量を測定する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る水蒸気透過量測定システムの概略構成を示す図である。
【図２】第１の実施形態に係る水蒸気透過量測定システムにより測定される水蒸気透過量のプロットである。
【図３】本発明の第２の実施形態に係る水蒸気透過量測定システムの概略構成を示す図である。
【図４】本発明の第３の実施形態に係る水蒸気透過量測定システムの概略構成を示す図である。
【図５】本発明の第４の実施形態に係る水蒸気透過量測定システムの概略構成を示す図である。
【図６】本発明の第５の実施形態に係る水蒸気透過量測定システムの概略構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明の一実施形態に係る水蒸気透過量測定装置は、第１のチャンバ本体と、第２のチャンバ本体と、測定器とを具備する。
上記第１のチャンバ本体は、第１の方向に平行な第１の開口面と上記第１の開口面と垂直な第２の方向に上記第１の開口面と対向する第１の底部とを含む第１の室を有する。
上記第２のチャンバ本体は、測定対象物を介して上記第１の開口面と対向する第２の開口面と、上記第２の方向に上記第２の開口面と対向する第２の底部と、上記第２の方向に垂直な断面の面積が、上記第２の開口面から上記第２の底部の方向に向かって漸次減少する内壁面とを含む第２の室を有する。
上記測定器は、上記第１の室から上記第２の室に向かって上記測定対象物を透過した水蒸気の量を測定する。
【００１０】
第２のチャンバ本体の内壁面がこのような形状に形成されていることによって、内壁面が同一の開口面積及び容積を有する円筒形状に形成されている場合に比べ、第２の室の容積に対する表面積の割合を低減することが可能である。これにより、内壁面に対する水分子の付着量を低減し、かつ、放出された水分子の第２の室内における密度を低減することが可能である。即ち、測定装置の内壁面に付着した水分子の影響を低減することが可能である。したがって、上記水蒸気透過量測定装置によれば、測定精度の向上を図ることができる。
【００１１】
上記測定器は、前記第２の室の内部に配置されていてもよい。
【００１２】
この構成によれば、測定器が第２の室の内部に配置されているので、測定対象物と測定器との距離が短く、測定対象物を透過した水蒸気を短時間で検出することが可能である。また、測定器をチャンバ本体と一体化することができ、水蒸気透過量測定装置のサイズを小型化することが可能となる。
【００１３】
上記内壁面の上記第２の方向に沿った断面形状であって、上記第２の開口面の縁部と上記第２の底部とを結ぶ断面形状は、直線状又は曲線状であるものとしてもよい。
【００１４】
この構成によれば、第２の室の容積に対する表面積の割合を低減することが可能である。
【００１５】
上記内壁面は、球面状であるものとしてもよい。
【００１６】
この構成によれば、第２の室の容積に対する表面積の割合を低減することが可能である。
【００１７】
上記第２の室は、円錐形状を有するものとしてもよい。
【００１８】
この構成によれば、第２の室の容積に対する表面積割合を低減することが可能である。
【００１９】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。
【００２０】
（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係る水蒸気透過量測定システム１（以下、測定システム１）の概略構成を示す模式図である。
【００２１】
同図に示すように、測定システム１は、測定装置２と、試料ガス導入部３と、試料ガス排出部４と、乾燥ガス導入部５と、乾燥ガス排出部６とを有する。
試料ガス導入部３、試料ガス排出部４、乾燥ガス導入部５及び乾燥ガス排出部６はそれぞれ測定装置２に接続されている。また、測定装置２には、測定対象物であるフィルムＦが取り付けられている。
【００２２】
測定装置２は、第１チャンバ本体７と、第２チャンバ本体８と、締結具９と、ガスケット１０と、測定器１１を有する。第１チャンバ本体７と第２チャンバ本体８とが締結具９により締結され、ガスケット１０は第１チャンバ本体７と第２チャンバ本体８の接合面に配置される。測定器１１は第２チャンバ本体８の第２室８ａに収容されている。
【００２３】
第１チャンバ本体７はステンレス等の材料からなり、第１室７ａとフランジ部７ｂとを有する。第１室７ａは、一方に円形の開口を有し、その開口縁によって開口面が形成されている。また、第１室７ａは開口面と垂直な方向に開口面と対向する底部を含む。フランジ部７ｂは開口面上の開口縁の周囲に形成され、ガスケット１０が取り付けられるための溝を有する。また、第１室７ａには試料ガス導入部３及び試料ガス排出部４が接続される孔が形成されている。
【００２４】
第２チャンバ本体８はステンレス等の水蒸気に対する吸着性、透過性が低い材料からなり、第２室８ａとフランジ部８ｂとを有する。第２室８ａは、一方に円形の開口を有し、その開口縁によって開口面が形成されている。この開口面は、第１室７ａの開口面とフィルムＦを介して対向する。また、第２室８ａは開口面と垂直な方向に開口面と対向する底部と、当該方向に垂直な断面の面積が、開口面から底部の方向に向かって漸次減少する内壁面をする。本実施形態に係る第２室８ａの内壁面は、開口縁と底部とを結ぶ断面形状が曲線状となる、開口径を直径とする半球状に形成される。フランジ部７ｂは開口面上の開口縁の周囲に形成され、ガスケット１０が取り付けられるための溝を有する。また、第２室８ａには乾燥ガス導入部５及び乾燥ガス排出部６が接続される孔が形成されている。
【００２５】
第１チャンバ本体７は第２チャンバ本体８と同一形状に形成されてもよく、異なる形状に形成されてもよい。なお、第１室７ａと第２室８ａの開口形状及びフランジ部７ｂとフランジ部８ｂの接合面は対応する形状とされる。
【００２６】
締結具９はフランジ部７ｂとフランジ部８ｂを締結する。締結具９は例えばボルトとナット、クランプ等、着脱が容易なものが用いられる。
ガスケット１０は、測定装置２の内部と外部とをシールする。ガスケット１０は例えばゴムからなるＯリング等である。ガスケット１０は、フランジ部７ｂの溝、フランジ部８ｂの溝にそれぞれ一つずつ嵌めこまれ、フランジ部７ｂとフランジ部８ｂが締結されるとフィルムＦを介して対向し、フィルムＦとフランジ部７ｂ、フィルムＦとフランジ部８ｂとの間のガスの連通を遮断する。
【００２７】
測定器１１は、水蒸気量を測定する。測定器１１は第２室８ａの室内に収容されている。測定器１１は、水蒸気量（湿度）を測定することが可能なものから適宜選択することが可能である。例えば高分子抵抗式湿度計、高分子容量式湿度計、酸化アルミ容量式湿度計、赤外線湿度計、マイクロ波湿度計、塩化リチウム露点計、鏡面冷却式露点計、アルファ線露点計等を用いることが可能である。測定器１１はセンサ部のみが第２室８ａ内に配置されてもよい。測定器１１が第２室８aに配置されている場合は、第２チャンバ８自体に露点計が組み込まれているので、フィルムＦを透過した水分を検出しやすい。この場合、フィルムＦと測定器１１との距離が短く、フィルムＦを透過した水蒸気を短時間で検出することが可能である。また、測定器１１を第２チャンバ８と一体化することができるため、測定装置２のサイズを小型化することも可能となる。なお、測定器１１は、乾燥ガス排出管１８上の第２バルブ１９より第２チャンバ８側に配置されてもよい。
【００２８】
試料ガス導入部３は、第１室７ａにキャリアガス及び水蒸気の混合ガス（試料ガス）を供給する。試料ガス導入部３は試料ガス導入管１３と水蒸気発生器１４を有する。水蒸気発生器１４は試料ガス導入管１３に直列に設けられている。試料ガス導入部３は、ガス流量を調節し、あるいはガスを遮断するバルブを有していてもよい。
【００２９】
試料ガス導入管１３は、キャリアガス及び試料ガスが流通する配管である。試料ガス導入管１３は、第１室７ａと図示しないキャリアガス供給機構を接続する。
【００３０】
水蒸気発生器１４は、水蒸気を発生させ、キャリアガス中に水蒸気を供給する。水蒸気発生器１４は例えば、液体の水を加熱することによって水蒸気を発生させる。水蒸気発生器１４は、発生した水蒸気の圧力を制御する機構を備える。
【００３１】
試料ガス排出部４は、第１室７ａから試料ガスを排出する。試料ガス排出部４は試料ガス排出管１５を有する。試料ガス排出部４は、ガス流量を調節し、あるいはガスを遮断するバルブを有していてもよい。
【００３２】
試料ガス排出管１５は、試料ガスが流通する配管である。試料ガス排出管１５は、第１室７ａと図示しない試料ガス排出機構を接続する。
【００３３】
乾燥ガス導入部５は、第２室８ａに乾燥ガスを供給する。乾燥ガス導入部５は乾燥ガス導入管１６と第１バルブ１７を有する。第１バルブ１７は乾燥ガス導入管１６上に配置されている。
【００３４】
乾燥ガス導入管１６は、乾燥ガスが流通する配管である。乾燥ガス導入管１６はステンレス等の、水蒸気に対する吸着性、透過性が低い材料により形成されている。乾燥ガス導入管１６は、第２室８ａと図示しない乾燥ガス供給機構を接続する。
第１バルブ１７は、乾燥ガス導入管１６を遮断し、あるいは開放する。
【００３５】
乾燥ガス排出部６は、第２室８ａから乾燥ガスを排出する。乾燥ガス排出部６は乾燥ガス排出管１８、第２バルブ１９を有する。第２バルブ１９は乾燥ガス排出管１８に上に配置されている。
【００３６】
乾燥ガス排出管１８は、乾燥ガスが流通する配管である。乾燥ガス排出管１８はステンレスなどの、水蒸気に対する吸着性、透過性が低い材料により形成されている。乾燥ガス排出管１８は、第２室８ａと図示しない乾燥ガス排出機構を接続する。
第２バルブ１９は、乾燥ガス排出管１８を遮断し、あるいは開放する。
【００３７】
なお、測定システム１は、測定システム１及び流通する気体の温度を一定に保つためのヒーター等を有していてもよい。また、測定システム１の構成は上述のものに限られず、測定装置２と、異なる構成の試料ガスあるいは乾燥ガスの供給、排出機構を組み合わせることによって測定システムとすることも可能である。
【００３８】
測定システム１は以上のように構成される。
以下、測定システム１の動作を説明する。
【００３９】
第１チャンバ本体７のフランジ部７ｂと、第２チャンバ本体８のフランジ部８ｂの間に測定対象物であるフィルムＦがセットされ、測定システム１の温度が一定に維持される。
【００４０】
第１バルブ１７及び第２バルブ１９が開放され、乾燥ガス供給機構から乾燥ガスが供給される。乾燥ガスは、十分に乾燥されたガス、例えば露点温度−７０℃の窒素ガスである。乾燥ガスは、乾燥ガス導入管１６、第２室８ａ、乾燥ガス排出管１８を流通して乾燥ガス排出機構に排出される。乾燥ガスを流通させることにより、経路中に収容されている気体が追い出される。
【００４１】
次に、第１バルブ１７及び第２バルブ１９を閉止し、乾燥ガス導入管１６及び乾燥ガス排出管１８を遮断する。この際、第１バルブ１７を先に閉止することにより、第２室８ａ内の圧力を大気圧とすることができる。
【００４２】
次に、キャリアガス供給機構からキャリアガスが供給される。キャリアガスは、例えば窒素ガスである。また、水蒸気発生器１４から水蒸気が発生し、キャリアガスに水蒸気が混合されて試料ガスが形成される。試料ガスは、試料ガス導入管１３、第１室７ａ、試料ガス排出管１５を流通して、試料ガス排出機構に排出される。
必要に応じて、キャリアガスの流量、水蒸気の発生量、試料ガスの温度などの各パラメータが調節される。
【００４３】
第１室７ａに試料ガスが導入された時点から測定器１１により水蒸気量の測定が開始される。第１室７ａに導入された試料ガスに含有される水蒸気はフィルムＦを透過し、第２室８ａに浸入する。ここで、第２室８ａ内にはガスフローがないため、第２室８ａに浸入した水蒸気は濃度勾配により、第２室８ａ内に拡散し、測定器１１に到達する。測定器１１により測定された水蒸気量と、フィルムＦの面積（第１室７ａと第２室８ａを隔てている領域のみ）と、測定経過時間から、水蒸気透過量（ｇ／ｍ２／ｄａｙ）が得られる。
【００４４】
ここで、測定中に、第２室８ａの内壁面から放出される水分が問題となる。本実施形態に係る測定装置２では、第２チャンバ本体８は、第２室８ａの内壁面が半球形状となるように形成されている。このため、第２室８ａは、同一の開口面積及び容積を有する円筒形状である場合に比べ、容積に対する表面積の割合が低減される。これにより、第２室８ａの内壁面から放出される水蒸気は、その量が少なく、かつ、拡散する空間が広いためにその密度は小さい。
【００４５】
図２は、測定システム１及び比較例により測定された水蒸気透過量のプロットである。
図２（Ａ）は、第２室が円筒形状である比較例によって、図２（Ｂ）は本実施形態に係る測定システム１によって測定される水蒸気透過量を示す。比較例の第２室と測定システム１の第２室８ａは容積が同一である。横軸は経過時間であり、縦軸は測定器１１によって測定された水蒸気量の積算値（積算水分量）である。
【００４６】
図２（Ａ）に示す比較例による測定値では、実線で示す測定された水蒸気量に対し破線で示す、第２室の内壁面に由来する水分量の割合が大きい。一方、図２（Ｂ）に示す測定システム１による測定値では、実線で示す測定された水蒸気量に対し破線で示す、第２室８ａの内壁面に由来する水分量の割合が小さい。このように、本実施形態に係る測定システム１においては、測定値に対するバッググラウンドの値が小さいために、測定対象物を透過した水蒸気量の測定をし易くすることが可能である。このように、本実施形態に係る測定システム１によれば、第２室８ａの内壁面に付着した水分子の影響を低減することが可能となり、測定精度の向上を図ることができる。
【００４７】
（第２の実施形態）
図３は、第２の実施形態に係る水蒸気透過量測定システム２０（以下、測定装置２０）の概略構成を示す模式図である。測定システム２０は第１の実施形態に係る測定システム１と第２チャンバ本体の構成が異なる測定装置２１を有する。なお、測定システム２０について、第１の実施形態に係る測定システム１と同一の構成には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００４８】
測定装置２１は、第２チャンバ本体２２を有する。
第２チャンバ本体２２はステンレス等の水蒸気に対する吸着性、透過性が低い材料からなり、第２室２２ａとフランジ部２２ｂとを有する。第２室２２ａは、一方に円形の開口を有し、その開口縁によって開口面が形成されている。この開口面は、第１室７ａの開口面とフィルムＦを介して対向する。また、第２室２２ａは開口面と垂直な方向に開口面と対向する底部と、当該方向に垂直な断面の面積が、開口面から底部の方向に向かって漸次減少する内壁面をする。本実施形態に係る第２室２２ａの内壁面は、開口縁と底部とを結ぶ断面形状が曲線状となる、開口径より大きい直径を有する部分球状に形成される。フランジ部２２ｂは開口面上の開口縁の周囲に形成され、ガスケット１０が取り付けられるための溝を有する。また、第２室２２ａには乾燥ガス導入部５及び乾燥ガス排出部６が接続される孔が形成されている。
【００４９】
以上のように構成された測定システム２０を用いて水蒸気透過量が測定される。測定方法は、第１の実施形態に係る水蒸気透過量測定方法と同一である。本実施形態に係る測定システム２０でも、第２室２２ａは、同一の開口面積及び容積を有する円筒形状である場合に比べ、容積に対する表面積の割合が低減される。これにより、第２室２１ａの内壁面から放出される水蒸気は、その量が少なく、かつ、拡散する空間が広いためにその密度は小さい。即ち、本実施形態に係る測定システム２０により水蒸気透過量を測定することで、第２室２２ａの内壁面に付着した水分子の影響を低減することが可能となり、測定精度の向上を図ることができる。
【００５０】
（第３の実施形態）
図４は、第３の実施形態に係る水蒸気透過量測定システム３０（以下、測定装置３０）の概略構成を示す模式図である。測定システム３０は第１の実施形態に係る測定システム１と第２チャンバ本体の構成が異なる測定装置３１を有する。なお、測定システム３０について、第１の実施形態に係る測定システム１と同一の構成には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００５１】
測定装置３１は、第２チャンバ本体３２を有する。
第２チャンバ本体３２はステンレス等の水蒸気に対する吸着性、透過性が低い材料からなり、第２室３２ａとフランジ部３２ｂとを有する。第２室３２ａは、一方に円形の開口を有し、その開口縁によって開口面が形成されている。この開口面は、第１室７ａの開口面とフィルムＦを介して対向する。また、第２室３２ａは開口面と垂直な方向に開口面と対向する底部と、当該方向に垂直な断面の面積が、開口面から底部の方向に向かって漸次減少する内壁面をする。本実施形態に係る第２室３２ａの内壁面は、開口縁と底部とを結ぶ断面形状が直線状となる、開口面を底面とする円錐形状に形成される。フランジ部３２ｂは開口面上の開口縁の周囲に形成され、ガスケット１０が取り付けられるための溝を有する。また、第２室３２ａには乾燥ガス導入部５及び乾燥ガス排出部６が接続される孔が形成されている。
【００５２】
以上のように構成された測定システム３０を用いて水蒸気透過量が測定される。測定方法は、第１の実施形態に係る水蒸気透過量測定方法と同一である。本実施形態に係る測定システム３０でも、第２室３２ａは、同一の開口面積及び容積を有する円筒形状である場合に比べ、容積に対する表面積の割合が低減される。これにより、第２室３２ａの内壁面から放出される水蒸気は、その量が少なく、かつ、拡散する空間が広いためにその密度は小さい。即ち、本実施形態に係る測定システム３０により水蒸気透過量を測定することで、第２室３２ａの内壁面に付着した水分子の影響を低減することが可能となり、測定精度の向上を図ることができる。
【００５３】
（第４の実施形態）
図５は、第４の実施形態に係る水蒸気透過量測定システム４０（以下、測定装置４０）の概略構成を示す模式図である。測定システム４０は第１の実施形態に係る測定システム１と第２チャンバ本体の構成が異なる測定装置４１を有する。なお、測定システム４０について、第１の実施形態に係る測定システム１と同一の構成には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００５４】
測定装置４１は、第２チャンバ本体４２を有する。
第２チャンバ本体４２はステンレス等の水蒸気に対する吸着性、透過性が低い材料からなり、第２室４２ａとフランジ部４２ｂとを有する。第２室４２ａは、一方に円形の開口を有し、その開口縁によって開口面が形成されている。この開口面は、第１室７ａの開口面とフィルムＦを介して対向する。また、第２室４２ａは開口面と垂直な方向に開口面と対向する底部と、当該方向に垂直な断面の面積が、開口面から底部の方向に向かって漸次減少する内壁面をする。本実施形態に係る第２室４２ａの内壁面は、開口縁と底部とを結ぶ断面形状が曲線状となる、開口面を底面とする凹状に湾曲した円錐形状に形成される。フランジ部４２ｂは開口面上の開口縁の周囲に形成され、ガスケット１０が取り付けられるための溝を有する。また、第２室４２ａには乾燥ガス導入部５及び乾燥ガス排出部６が接続される孔が形成されている。
【００５５】
以上のように構成された測定システム４０を用いて水蒸気透過量が測定される。測定方法は、第１の実施形態に係る水蒸気透過量測定方法と同一である。本実施形態に係る測定システム４０でも、第２室４２ａは、同一の開口面積及び容積を有する円筒形状である場合に比べ、容積に対する表面積の割合が低減される。これにより、第２室４２ａの内壁面から放出される水蒸気は、その量が少なく、かつ、拡散する空間が広いためにその密度は小さい。即ち、本実施形態に係る測定システム４０により水蒸気透過量を測定することで、第２室４２ａの内壁面に付着した水分子の影響を低減することが可能となり、測定精度の向上を図ることができる。
【００５６】
（第５の実施形態）
図５は、第５の実施形態に係る水蒸気透過量測定システム５０（以下、測定装置５０）の概略構成を示す模式図である。測定システム５０は第１の実施形態に係る測定システム１と第２チャンバ本体の構成が異なる測定装置５１を有する。なお、測定システム５０について、第１の実施形態に係る測定システム１と同一の構成には同一の符号を付し、説明を省略する。
【００５７】
測定装置５１は、第２チャンバ本体５２を有する。
第２チャンバ本体５２はステンレス等の水蒸気に対する吸着性、透過性が低い材料からなり、第２室５２ａとフランジ部５２ｂとを有する。第２室５２ａは、一方に円形の開口を有し、その開口縁によって開口面が形成されている。この開口面は、第１室７ａの開口面とフィルムＦを介して対向する。また、第２室５２ａは開口面と垂直な方向に開口面と対向する底部と、当該方向に垂直な断面の面積が、開口面から底部の方向に向かって漸次減少する内壁面をする。本実施形態に係る第２室５２ａの内壁面は、開口縁と底部とを結ぶ断面形状が曲線状となる、開口面を底面とする凸状に湾曲した円錐形状に形成される。フランジ部５２ｂは開口面上の開口縁の周囲に形成され、ガスケット１０が取り付けられるための溝を有する。また、第２室５２ａには乾燥ガス導入部５及び乾燥ガス排出部６が接続される孔が形成されている。
【００５８】
以上のように構成された測定システム５０を用いて水蒸気透過量が測定される。測定方法は、第１の実施形態に係る水蒸気透過量測定方法と同一である。本実施形態に係る測定システム５０でも、第２室５２ａは、同一の開口面積及び容積を有する円筒形状である場合に比べ、容積に対する表面積の割合が低減される。これにより、第２室５２ａの内壁面から放出される水蒸気は、その量が少なく、かつ、拡散する空間が広いためにその密度は小さい。即ち、本実施形態に係る測定システム５０により水蒸気透過量を測定することで、第２室５２ａの内壁面に付着した水分子の影響を低減することが可能となり、測定精度の向上を図ることができる。
【００５９】
本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々の変更を加え得る。
【００６０】
測定装置の第２室の内壁面の形状は上述のものに限られない。同一の容積を有する円筒形状に比べ、表面積を低減することが可能な形状を適宜選択することが可能である。
【００６１】
上述の各実施形態においては、乾燥ガスの流通を停止させて水蒸気透過量の測定を実施したが、乾燥ガスの流通を停止させることなく測定を実施することも可能である。
【符号の説明】
【００６２】
１      水蒸気透過量測定システム
７      第１チャンバ本体
７ａ    第１室
８      第２チャンバ本体
８ａ    第２室
１１    測定器
２０    水蒸気透過量測定システム
２２    第２チャンバ本体
２２ａ  第２室
２０    水蒸気透過量測定システム
２２    第２チャンバ本体
２２ａ  第２室
４０    水蒸気透過量測定システム
４２    第２チャンバ本体
４２ａ  第２室
５０    水蒸気透過量測定システム
５２    第２チャンバ本体
５２ａ  第２室
【図１】
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【図２】
2011002303.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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