(57)【要約】【課題】フェイルデータを記憶した記憶装置の中から所望のファイルを簡単且つ確実に読み出すことを目的とする。【解決手段】複数のメモリチップが形成された半導体ウェハのメモリチップを試験するメモリ試験装置であって、メモリチップの試験結果であるフェイルデータとメモリチップの半導体ウェハを特定する付加データとを１つのファイルとしてメモリチップごとに記憶する記憶装置２５と、記憶装置２５から各ファイルを読み出して、読み出したファイルの付加データに基づいて半導体ウェハごとに前記ファイルを纏めたグループを作成するグループ処理部２６と、作成された全てのグループを画面上に表示してグループの選択を可能にし、グループが選択されたときに、選択されたグループに属するファイルの内容を画面上に表示する画面制御部２７と、を備えている。【選択図】  図１
2011123973.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のメモリチップが形成された半導体ウェハの前記メモリチップを試験するメモリ試験装置であって、
前記メモリチップの試験結果であるフェイルデータとメモリチップの半導体ウェハを特定する付加データとを１つのファイルとしてメモリチップごとに記憶する記憶装置と、
この記憶装置から各ファイルを読み出して、読み出したファイルの付加データに基づいて半導体ウェハごとに前記ファイルを纏めたグループを作成するグループ処理部と、
作成された全てのグループを画面上に表示してグループの選択を可能にし、グループが選択されたときに、選択されたグループに属するファイルの内容を画面上に表示する画面制御部と、
を備えたことを特徴とするメモリ試験装置。
【請求項２】
前記付加データは前記メモリチップの試験回数を示す試験回数情報をさらに有し、
前記グループ処理部は半導体ウェハおよび試験回数ごとに前記ファイルを纏めたグループを作成すること
を特徴とする請求項１記載のメモリ試験装置。
【請求項３】
前記付加データは前記ウェハ情報以外に前記半導体ウェハを特定する１または複数の他の情報を有し、
前記グループ処理部は、前記ウェハ情報および前記他の情報の全てが一致するファイルを纏めたグループを作成すること
を特徴とする請求項１記載のメモリ試験装置。
【請求項４】
前記記憶装置には前記フェイルデータを論理アドレスに配列した論理マップデータと物理アドレスに配列した物理マップデータとが記憶され、
前記他の情報は、前記メモリチップの種類を特定するロット情報と前記論理マップデータおよび前記物理マップデータのデータサイズを示すデータサイズ情報と前記論理マップデータまたは前記物理マップデータの何れであるかを示すデータ識別情報と前記論理マップデータから前記物理マップデータに変換するための変換規則情報とであること
を特徴とする請求項３記載のメモリ試験装置。
【請求項５】
前記メモリチップの試験を行うために設定された条件を記憶する試験条件情報記憶部を備え、
この試験条件情報記憶部から前記付加データが生成されること
を特徴とする請求項１記載のメモリ試験装置。
【請求項６】
コンピュータを、
複数のメモリチップが形成された半導体ウェハの前記メモリチップの試験結果であるフェイルデータとメモリチップの半導体ウェハを特定する付加データとを１つのファイルとしてメモリチップごとに記憶する記憶手段と、
この記憶手段から各ファイルを読み出して、読み出したファイルの付加データに基づいて半導体ウェハごとに前記ファイルを纏めたグループを作成するグループ処理手段と、
作成された全てのグループを画面上に表示してグループの選択を可能にし、グループが選択されたときに、選択されたグループに属するファイルの内容を画面上に表示する画面制御手段と、
して機能させることを特徴とするメモリ試験プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、メモリチップの試験を行うメモリ試験装置およびメモリ試験プログラムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスとしてのメモリチップを試験するメモリテスタが従来から用いられている。メモリチップは半導体ウェハに多数形成されており、メモリチップのセルごとにパスまたはフェイルを示すフェイルデータが作成される。作成されたフェイルデータはフェイルメモリに記憶され、フェイルメモリからフェイルデータを読み出して各種の不良解析・分析が行われる。この種のメモリテスタとしては例えば特許文献１に開示されている技術がある。
【０００３】
図５に従来のメモリテスタの一例を示す。このメモリテスタはテストユニット１０１と情報処理装置１０２とを備えており、テストユニット１０１はフェイルメモリ１１１と送信装置１１２とを備えている。テストユニット１０１は試験対象であるメモリチップの試験を行って、フェイルデータを生成してフェイルメモリ１１１に記憶させる。フェイルメモリ１１１に記憶されたフェイルデータは送信装置１１２により読み出されて情報処理装置１０２に送信される。
【０００４】
情報処理装置１０２はフェイルデータを処理して解析・分析を行う装置であり、受信装置１２１と論理マップデータ生成部１２２と物理マップデータ生成部１２３と記憶装置１２４と画面制御部１２５と入力装置１２６と表示装置１２７とを備えて概略構成している。受信装置１２１は送信装置１１２から送信された論理マップデータを受信して、論理マップデータ生成部１２２に出力を行う。
【０００５】
論理マップデータ生成部１２２は論理マップデータを生成する。論理マップデータは論理アドレスを用いてフェイルデータを配列しており、Ｉ／Ｏ（Input／Output）ごとにＸ座標およびＹ座標にフェイルデータを配列したデータになる。物理マップデータ生成部１２３は論理マップデータを物理マップデータに変換する。物理マップデータは物理アドレスを用いてフェイルデータを配列したデータであり、物理アドレスをＸおよびＹ座標としてフェイルデータを配列している。記憶装置１２４は論理マップデータおよび物理マップデータを記憶する記憶装置である。画面制御部１２５は表示装置１２７の表示内容の制御を行っており、入力装置１２６の入力内容に基づいて画面上に種々の情報を表示させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００８−２８２５３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
論理マップデータおよび物理マップデータはメモリチップごとに作成される。半導体ウェハには多数のメモリチップが形成されており、その数は数百〜数千になる。従って、１枚の半導体ウェハについて非常に多くの数の論理マップデータおよび物理マップデータが作成される。そして、半導体ウェハは１枚だけを試験対象とするのではなく、多数枚を試験対象とする。また、１つのメモリチップについて１回の試験を行うのではなく、繰り返して試験を行うことにより、試験精度の信頼性を高めている。
【０００８】
よって、作成される論理マップデータおよび物理マップデータは膨大な数になる。そして、これらのデータはメモリチップごとに１つのファイルとして記憶装置１２４に記憶される。情報処理装置１０２では記憶したデータの解析・分析が行われる。従って、記憶装置１２４から解析・分析の対象となるファイルを読み出して、その中身のフェイルデータを表示装置１２７に表示させる。このため、記憶装置１２４に記憶されている膨大な数のファイルの中から対象となるフェイルを選択的に指定しなければならない。
【０００９】
この指定は、通常は、ファイルに付されているファイル名に基づいて行う。従って、ユーザは膨大な数のファイルの中から読み出し対象のファイルのファイル名を探し出して、ファイルの指定を行うようにしている。このとき、ファイルの読み出しは１つだけを行うのではなく、複数のファイルを一括して読み出して解析・分析を行う場合がある。特に、１枚の半導体ウェハに属する各メモリチップのフェイルデータを読み出して、半導体ウェハのフェイルの傾向を解析する要請がある。この場合には、所望の半導体ウェハに属する全てのファイルを膨大な数のファイルの中から選択的に抽出しなければならず、ファイルを指定する手間が著しく煩雑になる。
【００１０】
また、記憶装置１２４は主にハードディスク等の補助記憶装置であり、ファイルに付されているファイル名は簡単に変更することができるようになっている。そして、記憶装置１２４に記憶されるまでの間にファイル名が変更される可能性もある。このような場合には、ファイル名に基づいて特定のファイルを選択的に読み出すことができなくなる。
【００１１】
そこで、本発明は、フェイルデータを記憶した記憶装置の中から所望のファイルを簡単且つ確実に読み出すことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
以上の課題を解決するため、本発明の請求項１のメモリ試験装置は、複数のメモリチップが形成された半導体ウェハの前記メモリチップを試験するメモリ試験装置であって、前記メモリチップの試験結果であるフェイルデータとメモリチップの半導体ウェハを特定する付加データとを１つのファイルとしてメモリチップごとに記憶する記憶装置と、この記憶装置から各ファイルを読み出して、読み出したファイルの付加データに基づいて半導体ウェハごとに前記ファイルを纏めたグループを作成するグループ処理部と、作成された全てのグループを画面上に表示してグループの選択を可能にし、グループが選択されたときに、選択されたグループに属するファイルの内容を画面上に表示する画面制御部と、を備えたことを特徴とする。
【００１３】
このメモリ試験装置によれば、画面上には半導体ウェハごとにファイルを纏めたグループが表示されており、このグループを選択するだけで、目的とする全てのファイルが自動的に画面上に表示される。しかも、ファイル名ではなくファイルの中身のデータに基づいてグループ化を行っているため、グループ化するための情報が失われることがない。
【００１４】
本発明の請求項２のメモリ試験装置は、請求項１記載のメモリ試験装置であって、前記付加データは前記メモリチップの試験回数を示す試験回数情報をさらに有し、前記グループ処理部は半導体ウェハおよび試験回数ごとに前記ファイルを纏めたグループを作成することを特徴とする。
【００１５】
このメモリ試験装置によれば、半導体ウェハだけではなく試験回数を基準としてファイルをグループ化しているため、ファイルの抽出条件をより詳細に設定することができるようになる。
【００１６】
本発明の請求項３のメモリ試験装置は、請求項１記載のメモリ試験装置であって、前記付加データは前記ウェハ情報以外に前記半導体ウェハを特定する１または複数の他の情報を有し、前記グループ処理部は、前記ウェハ情報および前記他の情報の全てが一致するファイルを纏めたグループを作成することを特徴とする。
【００１７】
このメモリ試験装置によれば、半導体ウェハを特定するために複数の情報を用い、且つ全ての情報が一致したときにのみグループ化していることから、高精度にグループ化を行うことができるようになる。
【００１８】
本発明の請求項４のメモリ試験装置は、請求項３記載のメモリ試験装置であって、前記記憶装置には前記フェイルデータを論理アドレスに配列した論理マップデータと物理アドレスに配列した物理マップデータとが記憶され、前記他の情報は、前記メモリチップの種類を特定するロット情報と前記論理マップデータおよび前記物理マップデータのデータサイズを示すデータサイズ情報と前記論理マップデータまたは前記物理マップデータの何れであるかを示すデータ識別情報と前記論理マップデータから前記物理マップデータに変換するための変換規則情報とであることを特徴とする。
【００１９】
このメモリ試験装置によれば、他の情報としてロット情報とデータサイズ情報とデータ識別情報と変換規則情報とを用いている。これらの情報に基づいて、高い精度でグループ化を行うことができる。
【００２０】
本発明の請求項５のメモリ試験装置は、請求項１記載のメモリ試験装置であって、前記メモリチップの試験を行うために設定された条件を記憶する試験条件情報記憶部を備え、この試験条件情報記憶部から前記付加データが生成されることを特徴とする。
【００２１】
このメモリ試験装置によれば、試験条件情報を利用して付加データを生成している。メモリチップの試験を行うときには所定の試験条件を設定しなければならず、この設定された試験条件を利用することで、グループ化するための条件を設定する必要がなくなる。これにより、自動的に付加データを生成することができる。
【００２２】
本発明の請求項６のメモリ試験プログラムは、コンピュータを、複数のメモリチップが形成された半導体ウェハの前記メモリチップの試験結果であるフェイルデータとメモリチップの半導体ウェハを特定する付加データとを１つのファイルとしてメモリチップごとに記憶する記憶手段と、この記憶手段から各ファイルを読み出して、読み出したファイルの付加データに基づいて半導体ウェハごとに前記ファイルを纏めたグループを作成するグループ処理手段と、作成された全てのグループを画面上に表示してグループの選択を可能にし、グループが選択されたときに、選択されたグループに属するファイルの内容を画面上に表示する画面制御手段と、して機能させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２３】
本発明は、ファイルの中に含まれる付加データに基づいてファイルを自動的にグループ分けしていることから、膨大な数のファイルが記憶装置に記憶されていたとしても目的のファイルが自動的に読み出されるため、簡単に所望のデータを得ることができる。しかも、ファイルの中のデータに基づいてグループ分けしているため、グループ分けのための情報が変化されることがないことから、確実にグループ化を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】実施形態のメモリ試験装置の概略構成を示すブロック図である。
【図２】グループ処理部のブロック図である。
【図３】メモリ試験装置のハードウェハ構成を示すブロック図である。
【図４】実施形態の処理の流れを示すフローチャートである。
【図５】従来のメモリ試験装置の概略構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。図１に示すように、本発明のメモリ試験装置はテストユニット１と情報処理装置２とを備えて概略構成している。テストユニット１はメモリチップに対して所定の試験信号を入力して試験を行い、情報処理装置２で試験結果の解析・分析等を行う。
【００２６】
試験対象となるメモリチップ（図示せず）は半導体ウェハ（図示せず）に多数形成されている。１枚の半導体ウェハを構成するメモリチップの個数をＮＭ（ＮＭは自然数）とし、合計でＮＷ（ＮＷは自然数）枚の半導体ウェハの試験を行うものとする。テストユニット１は半導体ウェハの各メモリチップに対して繰り返し試験を行い、１つのメモリチップに対する試験回数をＮＴ（ＮＴは自然数）とする。
【００２７】
テストユニット１はフェイルメモリ１１と送信装置１２とを備えて概略構成している。このテストユニット１は試験対象であるメモリチップに対して所定の試験を行い、その結果をパスまたはフェイルのデータであるフェイルデータとして取得している。取得したフェイルデータはフェイルメモリ１１に記憶される。フェイルデータは「１」または「０」の二値信号であり、バイナリデータになる。メモリチップには多数のセルが形成されており、セルごとにパスまたはフェイルが判定される。よって、フェイルデータはセルの個数分以上のビット数の情報量を持つ。フェイルメモリ１１に記憶されたフェイルデータは送信装置１２により読み出されて情報処理装置２に送信される。
【００２８】
情報処理装置２は受信装置２１と試験情報記憶部２２と論理マップデータ生成部２３と物理マップデータ生成部２４と記憶装置２５とグループ処理部２６と画面制御部２７と入力装置２８と表示装置２９とを備えて概略構成している。受信装置２１は送信装置１２から送信されたフェイルデータを論理マップデータ生成部２３に出力する。
【００２９】
試験情報記憶部２２は各種の試験情報を記憶している。メモリチップの試験を行うときには試験を行うための種々の条件を設定しており、当該条件を試験情報記憶部２２が記憶している。設定される条件としては種々のものがあるが、このうちウェハ情報、試験回数情報、ロット情報、データサイズ情報、データ識別情報、変換規則情報の６つの情報が付加データとして試験情報記憶部２２から取得される。なお、付加データとして、６つの情報以外の情報を付加するものであってもよい。
【００３０】
メモリチップの試験を行うテストユニット１は、通常他の装置により動作が制御されている。当該他の装置に情報処理装置２を適用した場合には、試験情報記憶部２２は情報処理装置２に備えられる。よって、自身に記憶されている試験情報を付加データとして利用できる。勿論、他の装置が情報処理装置２以外の場合には、他の装置に備えられる試験情報記憶部から試験情報を取得する。
【００３１】
前記６つの情報のうちウェハ情報は何れの半導体ウェハの試験を行ったかを特定する情報である。試験回数情報はメモリチップの試験を行ったときに何回目の試験であるかを示す情報である。ロット情報はメモリチップの種類を特定する情報である。データサイズ情報は論理マップデータのＩ／ＯごとのＸおよびＹの座標のフェイルデータのサイズを示している。データ識別情報は論理マップデータであるか後述する物理マップデータであるかを識別する情報である。変換規則情報は後述する変換規則の情報になる。
【００３２】
論理マップデータ生成部２３は受信装置２１から受信したフェイルデータから論理マップデータ（論理フェイルビットマップデータ）を生成する。論理マップデータは論理アドレスにフェイルデータを配列したデータであり、メモリチップに設けられるＩ／Ｏ（Input／Output）ごとにＸ座標およびＹ座標にフェイルデータを配列したデータになる。
【００３３】
このとき、論理マップデータはメモリチップごとに１つのファイルとして生成される。そして、論理マップデータ生成部２３は試験情報記憶部２２から付加データを入力して、論理マップデータと付加データとを１つのデータとして纏めて１つのファイルを構成している。なお、論理マップデータはフェイルデータを論理アドレスに配列したものになり、データの中身はフェイルデータである。また、フェイルデータと付加データとは共にバイナリデータになっており、従って１ファイルの中身はバイナリデータになる。
【００３４】
論理マップデータ生成部２３が生成するファイルは物理マップデータ生成部２４および記憶装置２５に出力される。物理マップデータ生成部２４はこのファイルの内容に基づいて物理マップデータ（物理フェイルビットマップデータ）を生成する。物理マップデータはフェイルデータをＸおよびＹ座標の物理アドレスに配列したデータである。この物理マップデータは論理マップデータのフェイルデータの配列を物理アドレスに変換したものであり、メモリチップの物理的配置と一致させている。この変換は試験情報記憶部２２に記憶されている変換規則情報に基づいて行われる。
【００３５】
変換規則は、同じ半導体ウェハに属するメモリチップには同じ変換規則が適用されるようになっている。物理マップデータは論理マップデータのアドレスを変換したデータになり、付加データに対してはデータ識別情報に物理マップデータであることを識別させる以外には格別の変更を行わない。そして、物理マップデータの中身はフェイルデータであり、物理マップデータと付加データとを１つのファイルに纏めたバイナリデータが物理マップデータ生成部２４で生成される。このファイルはメモリチップごとに生成され、生成したファイルは記憶装置２５に記憶される。
【００３６】
記憶装置２５は論理マップデータおよび物理マップデータを記憶する。なお、物理マップデータが生成されない場合には、論理マップデータのみが記憶される。記憶装置２５はハードディスク等の補助記憶装置が適用される。ハードディスクはシステム領域（例えば、ＭＢＲ（マスターブートレコード）等）以外の領域がデータ領域として設けられており、このデータ領域に論理マップデータおよび物理マップデータが１ファイルごとに記憶される。
【００３７】
データ領域は階層構造が採用され、階層はディレクトリとして特定される。データ領域には任意の階層にディレクトリを作成することができ、作成したディレクトリにファイルを格納することができる。ユーザが所望のディレクトリを作成した場合には、当該ディレクトリの階層下に各ファイルが記憶される。
【００３８】
グループ処理部２６について説明する。図２に示すように、グループ処理部２６はデータ検索部３１とグループ作成部３２と検索条件出力部３３とを備えて概略構成している。データ検索部３１は記憶装置２５に記憶されているファイルを読み出して中身を検索する。検索終了後にはファイルを閉じるようにする。読み出し対象のファイルは指定された階層下にある全てのファイルであり、ディレクトリの階層下にさらに別のディレクトリが存在している場合には、当該ディレクトリの中も検索対象になる。そして、データ検索部３１は読み出したファイルのうち付加データのみを抽出してグループ作成部３２に出力する。
【００３９】
グループ作成部３２は抽出された付加データに基づいて、読み出したファイルのグループを作成するグループ化処理を行う。グループ化処理は読み出したファイルを半導体ウェハごとにグループ分けする。また、試験回数が複数回の場合には、半導体ウェハおよび試験回数ごとに各ファイルをグループ分けする。そして、作成されたグループをリスト形式で画面制御部２７に出力する。
【００４０】
検索条件出力部３３はデータ検索部３１の検索条件を指定している。後述するように画面制御部２７でグループの選択が行われ、選択されたグループに属する全てのファイルを読み出すための検索条件をデータ検索部３１に出力する。検索条件は記憶装置２５の中から所定のファイルを読み出すための条件である。このために、グループ作成部３２は作成された各グループとこのグループに属するファイルとの関連性を記憶しており、この関連性をグループ作成部３２から読み出して、選択されたグループに属するファイルを読み出す検索条件としてデータ検索部３１に出力している。
【００４１】
画面制御部２７は表示装置２９の表示画面を作成する。画面制御部２７が作成する画面は主に２つの画面である。１つがグループ情報をリスト形式で表示する画面（グループ情報表示画面）であり、もう１つが選択されたグループに属するファイルの中身のフェイルデータを表示する画面（フェイルデータ表示画面）である。
【００４２】
グループ情報表示画面は、作成されたグループをリスト形式で表示している画面になる。試験回数が１回の場合には半導体ウェハの情報が画面に表示され、複数回の場合には半導体ウェハおよび試験回数の情報が画面に表示されている。画面制御部２７は画面の作成だけではなく、表示画面に操作可能なＧＵＩ（グラフィカル・ユーザ・インターフェイス）の処理を行っている。ＧＵＩによりリストに表示されたグループ（半導体ウェハおよび試験回数ごとに分けて表示されているグループ）を入力装置２８により選択することが可能になっている。グループ情報表示画面はあくまでもリストの項目を表示する画面であり、ファイルの中身のデータを表示するものではない。
【００４３】
フェイルデータ表示画面はグループ情報表示画面で選択されたグループの内容であるフェイルデータを表示する。つまり、画面上にはバイナリデータが表示される。１グループには複数のファイルが含まれていることがあるため、画面上には複数のメモリチップのバイナリデータが表示されることもある。なお、付加データは表示してもよいし、表示しなくてもよい。
【００４４】
入力装置２８はキーボードやマウス等のユーザが所望の操作を行うための操作部になる。表示装置２９は画面制御部２７の制御内容に基づいて情報を表示する装置であり、例えばディスプレイを適用できる。以上が概略構成になる。
【００４５】
図３は本発明をコンピュータにより実現する場合のハードウェアブロックを示しており、この図に示すように、バス４１にＣＰＵ４２とＲＡＭ４３と記憶装置２５と表示装置２９と入力装置２８と受信装置２１とが接続されている。ＣＰＵ４２は試験情報記憶部２２と論理マップデータ生成部２３と物理マップデータ生成部２４とグループ処理部２６と画面制御部２７との機能を実現している。そして、ＣＰＵ４２はＲＡＭ４３に記憶されている前記機能を実現するためのプログラムを実行している。このプログラムは記憶装置２５に記憶されているものをＲＡＭ４３に読み出すことができる。
【００４６】
次に動作について説明する。本発明の動作は、データ記憶動作と情報処理動作とに分かれている。データ記憶動作は記憶装置２５に論理マップデータおよび物理マップデータ（または論理マップデータのみ）をファイルごとに記憶させる動作である。情報処理動作はファイルを読み出して解析・分析を行う動作になる。まず、データ記憶動作について説明する。
【００４７】
テストユニット１が半導体ウェハの各メモリチップの試験を行い、フェイルデータをフェイルメモリ１１に記憶させる。そして、記憶されたフェイルデータが送信装置１２により情報処理装置２に送信される。受信装置２１はフェイルデータを受信して、論理マップデータ生成部２３に出力する。論理マップデータ生成部２３は論理アドレスにフェイルデータを配列させて、付加データと共に１つのファイルに纏める。このとき、メモリチップごとに１つのファイルが生成される。
【００４８】
生成されたファイルは記憶装置２５に記憶されると共に、物理マップデータ生成部２４で所定の変換規則に基づいて物理マップデータに変換されて、１つのファイルが生成される。このファイルは記憶装置２５に記憶される。なお、通常は物理マップデータへの変換が行われるが、変換を行わない場合もある。この場合には、当該処理は省略される。
【００４９】
記憶装置２５にはテストユニット１がフェイルデータを生成していくごとに、順次ファイルが記憶されていく。１つのメモリチップについて１つのファイルが生成されるため、記憶装置２５には合計ＮＭ×ＮＷ×ＮＴ個のファイルが記憶される。これらファイルが論理マップデータと物理マップデータとのそれぞれに応じて記憶される。１枚の半導体ウェハには多数（例えば、数百〜数千）のメモリチップが含まれるため、ＮＭは非常に大きな数になる。また、試験対象となる半導体ウェハの枚数および試験回数も少なくないことから、記憶されるファイルの数は膨大な数になる。
【００５０】
以上により、データ記憶動作が完了する。次は、情報処理動作になる。情報処理動作の処理の流れを図４のフローチャートに示す。まず、データ記憶動作のときに、記憶装置２５の中の所定のディレクトリに各ファイルを記憶させた場合には、当該ディレクトリを選択する（ステップＳ１）。ディレクトリの選択がない場合には、ステップＳ１は省略できる。
【００５１】
そして、グループ処理部２６のデータ検索部３１は記憶装置２５の指定されたディレクトリの階層下にある全てのファイルを１つずつ読み出していく（ステップＳ２）。そして、読み出したファイルの中身を検索して、付加データのみを抽出する（ステップＳ３）。抽出された付加データをグループ作成部３２に出力した後に、読み出したファイルを閉じ（ステップＳ４）、次のファイルの読み出しを行う。
【００５２】
グループ作成部３２は抽出した付加データに基づいてグループ化処理を行う（ステップＳ５）。読み出したファイルは半導体ウェハおよび試験回数ごとにグループ分けされる。試験回数が１回の場合には、半導体ウェハごとにファイルがグループ分けされる。このとき、グループ作成部３２は作成したグループとファイルとの関連性を記憶し、グループに属するファイルの情報を検索条件出力部３３に出力する。
【００５３】
ここでは、グループ化処理は付加データの６つの情報が全て一致したファイル同士を１つのグループに纏める処理を行うようにしている。グループは予め用意されるものではなく、ファイルを読み出したときに既存のグループと６つの情報が全て一致しなければ、新たに作成される。作成されるグループは６つの情報により特定されるグループになる。
【００５４】
最初のファイルが読み出されたときにはグループは存在していない。このため、グループ作成部３２は最初のファイルの付加データに基づいて、１つのグループを作成する。２番目以降のファイルを読み出したときに、この読み出したファイルの６つの情報と既に作成されたグループの６つの情報とが一致しているものがあれば、一致したグループに読み出したファイルを振り分ける。一方、既存の全てのグループと６つの情報が一致しないのであれば、新たにグループを作成する。
【００５５】
以上のステップＳ２〜Ｓ６の処理を全てのファイルについて行う（ステップＳ６）。これにより、全てのファイルがグループに分けられる。グループ化処理は主に半導体ウェハを基準として行われる。このために、付加データのうちウェハ情報を参照してグループ分けを行うようにしている。これにより、半導体ウェハごとにグループ化処理を行うことができ、半導体ウェハごとにフェイルの傾向を認識することができる。
【００５６】
また、試験回数が複数回の場合には、試験回数によってもグループ化処理が行われる。これは、試験回数ごとに異なる試験結果が得られる場合があるためであり、同じ半導体ウェハであってもフェイルの傾向が異なる場合がある。このため、半導体ウェハおよび試験回数ごとにグループ分けをしている。試験回数を基準としたグループ化処理は付加データの試験回数情報によって行う。
【００５７】
付加情報のうちロット情報とデータサイズ情報とデータ識別情報と変換規則情報とは半導体ウェハを特定するための補助的な情報になる。ロット情報はメモリチップの種類を特定する情報であり、これによって半導体ウェハを特定することが可能である。データサイズ情報はデータ識別情報と共に用いられるが、論理マップデータと物理マップデータとの何れであるかを特定できれば、データのサイズによってメモリチップを特定でき、これにより半導体ウェハを特定することが可能になる。また、変換規則もメモリチップごとによって異なることから、半導体ウェハを特定することも可能になる。
【００５８】
従って、ウェハ情報だけではなくロット情報とデータサイズ情報とデータ識別情報と変換規則情報とに基づいて半導体ウェハごとに各ファイルのグループ分けを行っている。これは、換言すれば、半導体ウェハが同じであれば、ウェハ情報とロット情報とデータサイズ情報とデータ識別情報と変換規則情報との全てが一致しているはずである。従って、これら全ての情報が一致している場合にのみ同じグループに振り分けることで、グループ化の精度がより向上する。ここでは、ウェハ情報とロット情報とデータサイズ情報とデータ識別情報と変換規則情報との全てが一致している場合に同じグループに分けることでグループ化の精度を向上させているが、勿論、ウェハ情報のみに基づいて半導体ウェハのグループを特定するようにしてもよい。
【００５９】
グループ作成部３２は全てのファイルについてグループ化が終了したときに、作成したグループ情報を画面制御部２７に出力させる。画面制御部２７はこのグループ情報に基づいてグループ情報表示画面を作成して表示装置２９に表示させる（ステップＳ７）。グループ情報表示画面は作成したグループの項目を表示している。つまり、半導体ウェハおよび試験回数がリスト形式で表示される。そして、画面制御部２７はリスト形式で表示したグループを選択可能にしている。
【００６０】
ユーザ等は表示装置２９の画面上にリスト形式で表示されているグループのうち任意のグループを入力装置２８で選択する（ステップＳ８）。画面上にはファイルの中身ではなく、単にグループの項目がリスト形式で表示されているため、簡単に目的のグループを探し出すことができる。そして、選択したグループを画面制御部２７が認識する。選択したグループの情報は検索条件出力部３３に出力される。
【００６１】
検索条件出力部３３は選択されたグループに属するファイルの情報をグループ作成部３２から取得する。このために、グループ作成部３２はグループ化処理を行ったときのグループとこのグループに属するファイルとの関連性を記憶している。これに基づいて、検索条件出力部３３は選択されたグループに属するファイルを読み出すようにデータ検索部３１を制御する。データ検索部３１は指定された全てのファイルを記憶装置２５から読み出す（ステップＳ９）。
【００６２】
読み出したファイルは画面制御部２７に出力される。画面制御部２７はファイルの中身のデータであるフェイルデータをバイナリ形式で表示装置２９の画面上に表示させる（ステップＳ１０）。グループ内に複数のファイルがある場合には、例えばファイルの個数分に画面を分割して、分割された画面にフェイルデータを表示するようにする。
【００６３】
以上により、目的の情報を画面上に表示して、この情報に基づいて解析・分析を行うことができる。ユーザ等は半導体ウェハに形成される複数のメモリチップのフェイルデータを１つの画面上に表示させることができ、半導体ウェハごとにフェイルの傾向等を解析・分析することができる。このとき、記憶装置２５に記憶されている膨大な数のファイルを指定して読み出さなくても、単に画面上に表示されているリストからグループの項目を選択するだけで、自動的にフェイルデータを表示させることができるようになる。
【００６４】
しかも、ファイル名ではなくファイルの内容である付加データに基づいてグループ分けを行っている。ファイル名は簡単に変更することができるが、ファイルの内容については基本的には変更されることはない。よって、付加データが変更されることがなく、確実にグループの特定を行うことができるようになる。また、メモリチップの試験を行うために必ず設定される試験情報を利用して付加データを生成していることから、グループ化を行うために格別の条件設定等を行うことなく、自動的にグループ化処理が行われる。よって、ユーザ等の手間を大幅に書略することができるようになる。
【符号の説明】
【００６５】
１    テストユニット            ２    情報処理装置
１１    フェイルメモリ            ２２    試験情報記憶部
２３    論理マップデータ生成部    ２４    物理マップデータ生成部
２５    記憶装置            ２６    グループ処理部
２７    画面制御部            ２８    入力装置
２９    表示装置            ３１    データ検索部
３２    グループ作成部            ３３    検索条件出力部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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