(57)【要約】【課題】基板処理装置におけるスケジューリングの負荷が高くなるのを抑制し、生産性の低下を抑制することができる。【解決手段】第１の基板処理装置Ａの制御部３５が単バッチスケジュールをロットごとに作成し、全ての単バッチスケジュールとリソース情報とを外部コンピュータＣに送信する。外部コンピュータＣは、単バッチスケジュールとに基づき、第１の基板処理装置Ａの全ての単バッチスケジュールを配置する全体スケジュールを作成する。第１の基板処理装置Ａの制御部３５は、外部コンピュータＣで作成された全体スケジュールを受信し、この全体スケジュールに基づいて各ロットに対する実際の処理を行う。負荷が高い全体スケジュールについては外部コンピュータＣにて行うので、ロット数が多くなっても第１の基板処理装置Ａの制御部３５におけるスケジューリングの負荷を抑制できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御部が各リソースを制御することにより、各リソースで複数個のロットに対して処理を行う際に、予めスケジュールを作成してから実際の処理を行う基板処理装置のスケジュール作成方法において、
装置内における各リソースの構成を示すリソース情報を参照して、制御部がレシピに応じたスケジュールをロットごとに単バッチスケジュールとして作成する過程と、
リソース情報と全ての単バッチスケジュールとを外部コンピュータに対して制御部が送信する過程と、
リソース情報と全ての単バッチスケジュールとに基づき外部コンピュータで作成された全体スケジュールのうち、当該装置の全体スケジュールを制御部が受信する過程と、
受信した全体スケジュールに基づいて制御部が各リソースを制御して、各ロットに対する実際の処理を行う過程と、
を備えていることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項２】
請求項１に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記リソース情報と前記レシピは、制御部が参照可能な記憶部に予め記憶されていることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記リソース情報は、基板処理装置の個体識別情報を含み、
前記外部コンピュータは、前記リソース情報に含まれている個体識別情報を参照して、作成した全体スケジュールを個体識別情報に応じた装置に送信することを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の基板処理装置のスケジュール作成方法において、
前記外部コンピュータが全体スケジュールを作成する過程では、受信した全てのリソース情報と単バッチスケジュールとに基づいて、リソース情報と対応する単バッチスケジュールが示す装置以外の装置についても全体スケジュールを作成し、その結果を比較して、最も早く処理が完了する装置の全体スケジュールを最速全体スケジュールとして判断する過程と、
前記最速全体スケジュールが存在することを報知する過程と、
を含むことを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成方法。
【請求項５】
制御部が各リソースを制御することにより、各リソースで複数個のロットに対して処理を行う際に、予めスケジュールを作成してから実際の処理を行う基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、
装置内における各リソースの構成を示すリソース情報を参照して、レシピに応じたスケジュールをロットごとに単バッチスケジュールとして作成する機能と、
リソース情報と全ての単バッチスケジュールとを外部コンピュータに対して送信する機能と、
リソース情報と全ての単バッチスケジュールとに基づき外部コンピュータで作成された全体スケジュールのうち、当該装置の全体スケジュールを受信する機能と、
受信した全体スケジュールに基づいて各リソースを制御して、各ロットに対する実際の処理を行う機能と、
を前記制御部に実行させることを特徴とする基板処理装置のスケジュール作成プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハや液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に基板と称する）に洗浄、エッチング、乾燥等の所定の処理を行う基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の方法として、例えば、薬液処理部、純水処理部、乾燥処理部などの各リソース間で複数のロットを搬送してロットに対して処理を行う基板処理装置において、処理を開始する前に、どのロットをどのリソースで処理するかをレシピに基づき規定したスケジュールを予め作成し、その後、そのスケジュールにしたがって各リソースを制御しつつ各ロットを実際に処理する基板処理装置のスケジュール作成方法がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このスケジュール作成方法は、基板処理装置の制御部が、ロットごとに指定されたレシピと、装置がどのようなリソースを備えているかを示すリソース情報とを参照し、ロットごとに単独のスケジュールを作成する。このようして作成されたスケジュールは、単バッチスケジュールと呼ばれる。さらに、制御部は、同じ時間軸上に各ロットの単バッチスケジュールを配置し、全体スケジュールを作成する。全体スケジュールが完成すると、制御部は、所定時刻から全体スケジュールにしたがって各リソースを制御しつつ全てのロットに対して処理を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００９−３７５９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の装置は、処理するロット数が増えると、特に全体スケジューリングに関する演算回数が極端に増大するので、制御部における負荷が増大して、他の処理が極端に遅くったり、他の処理が停止したりする恐れがある。したがって、投入するロット数を抑える必要が生じて生産性が低下するという問題がある。なお、制御部は、制御機器向けの工業用コンピュータであるので、処理能力を高めるには限界がある。一方、制御部を処理能力が高いものにすると基板処理装置のコストが高くなる。
【０００６】
また、制御部が多くのロットのスケジューリングを処理しきれず、停止状態に陥った場合には、既に完成して実行中の全体スケジュールに基づく実際の処理までが停止する恐れがある。実際の処理が停止すると、例えば、薬液処理を実行中のロットなどについては処理不良となり、廃棄になる恐れがある。したがって、ロットの生産性が低下するという問題がある。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、機能を分散することにより、基板処理装置の装置コストを抑制しつつも、基板処理装置におけるスケジューリングの負荷が高くなるのを抑制し、生産性の低下を抑制することができる基板処理装置のスケジュール作成方法及びそのプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、制御部が各リソースを制御することにより、各リソースで複数個のロットに対して処理を行う際に、予めスケジュールを作成してから実際の処理を行う基板処理装置のスケジュール作成方法において、装置内における各リソースの構成を示すリソース情報を参照して、制御部がレシピに応じたスケジュールをロットごとに単バッチスケジュールとして作成する過程と、リソース情報と全ての単バッチスケジュールとを外部コンピュータに対して制御部が送信する過程と、リソース情報と全ての単バッチスケジュールとに基づき外部コンピュータで作成された全体スケジュールのうち、当該装置の全体スケジュールを制御部が受信する過程と、受信した全体スケジュールに基づいて制御部が各リソースを制御して、各ロットに対する実際の処理を行う過程と、を備えていることを特徴とするものである。
【０００９】
［作用・効果］請求項１に記載の発明によれば、基板処理装置の制御部がリソース情報とレシピとを参照して、レシピに応じた単バッチスケジュールをロットごとに作成し、全ての単バッチスケジュールとリソース情報とを外部コンピュータに送信する。外部コンピュータは、リソース情報と全ての単バッチスケジュールとに基づき、基板処理装置ごとに全ての単バッチスケジュールを配置する全体スケジュールを作成する。基板処理装置の制御部は、外部コンピュータで作成された全体スケジュールを受信し、この全体スケジュールに基づいて各ロットに対する実際の処理を行う。負荷が高い全体スケジュールについては外部コンピュータにて行うので、ロット数が多くなっても基板処理装置の制御部におけるスケジューリングの負荷を抑制できる。したがって、ロット数を抑える必要がなく生産性が低下するのを抑制できる。また、全体スケジューリングの負荷が高くなり過ぎて外部コンピュータが停止状態に陥ったとしても、既に受け取った全体スケジュールを実行する基板処理装置の制御部には影響が及ばない。したがって、実行中の処理が途中で停止することがなく、生産性の低下を抑制できる。その上、基板処理装置の制御部はそのままで外部コンピュータを導入すればよく、全ての基板処理装置の制御部を高性能なものにする場合に比較して装置コストを抑制することができる。
【００１０】
また、本発明において、前記リソース情報と前記レシピは、制御部が参照可能な記憶部に予め記憶されていることが好ましい（請求項２）。記憶部のリソース情報とレシピとを書き換えることにより、様々な構成の装置に対応させることができ、様々な種類の処理に対応させることができる。
【００１１】
また、本発明において、前記リソース情報は、基板処理装置の個体識別情報を含み、
前記外部コンピュータは、前記リソース情報に含まれている個体識別情報を参照して、作成した全体スケジュールを個体識別情報に応じた装置に送信することが好ましい（請求項３）。基板処理装置が複数台ある場合であっても、リソース情報の個体識別情報により、外部コンピュータがどの全体スケジュールをどの基板処理装置に送信すればよいか判断することができる。したがって、外部コンピュータは、作成した全体スケジュールが対応する基板処理装置に送信することができる。
【００１２】
また、本発明において、前記外部コンピュータが全体スケジュールを作成する過程では、受信した全てのリソース情報と単バッチスケジュールとに基づいて、リソース情報と対応する単バッチスケジュールが示す装置以外の装置についても全体スケジュールを作成し、その結果を比較して、最も早く処理が完了する装置の全体スケジュールを最速全体スケジュールとして判断する過程と、前記最速全体スケジュールが存在することを報知する過程と、を含むことが好ましい（請求項４）。基板処理装置が複数台あり、異なる構成を備えている場合には、他の装置で実行した方が処理が早く終了することがある。したがって、外部コンピュータは、リソース情報と対応する単バッチスケジュールが示す装置以外の装置についても全体スケジュールを作成し、その結果を比較し、最速全体スケジュールが存在することを報知する。したがって、装置のオペレータは、最速全体スケジュールによりロットを他の装置に移動させて処理を開始させたりする対応が可能となる。その結果、生産効率の向上が期待できる。
【００１３】
また、請求項６に記載の発明は、制御部が各リソースを制御することにより、各リソースで複数個のロットに対して処理を行う際に、予めスケジュールを作成してから実際の処理を行う基板処理装置のスケジュール作成プログラムにおいて、装置内における各リソースの構成を示すリソース情報を参照して、レシピに応じたスケジュールをロットごとに単バッチスケジュールとして作成する機能と、リソース情報と全ての単バッチスケジュールとを外部コンピュータに対して送信する機能と、リソース情報と全ての単バッチスケジュールとに基づき外部コンピュータで作成された全体スケジュールのうち、当該装置の全体スケジュールを受信する機能と、受信した全体スケジュールに基づいて各リソースを制御して、各ロットに対する実際の処理を行う機能と、を前記制御部に実行させることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る基板処理装置のスケジュール作成方法によれば、基板処理装置の制御部は、外部コンピュータで作成された全体スケジュールを受信し、この全体スケジュールに基づいて各ロットに対する実際の処理を行う。負荷が高い全体スケジュールについては外部コンピュータにて行うので、ロット数が多くなっても基板処理装置の制御部におけるスケジューリングの負荷を抑制できる。したがって、ロット数を抑える必要がなく生産性が低下するのを抑制できる。また、全体スケジューリングの負荷が高くなり過ぎて外部コンピュータが停止状態に陥ったとしても、既に受け取った全体スケジュールを実行する基板処理装置の制御部には影響が及ばない。したがって、実行中の処理が途中で停止することがなく、生産性の低下を抑制できる。その上、基板処理装置の制御部はそのままで外部コンピュータを導入すればよく、全ての基板処理装置の制御部を高性能なものにする場合に比較して装置コストを抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施例に係る基板処理システムの概略構成を示したブロック図である。
【図２】実施例に係る第１の基板処理装置の概略構成を示した平面図である。
【図３】実施例に係る第２の基板処理装置の概略構成を示した平面図である。
【図４】リソース情報の一例を示す模式図である。
【図５】レシピ及び単バッチスケジュールの一例を示すタイムチャートであり、（ａ）はロット１を、（ｂ）はロット２を示す。
【図６】基板処理装置の制御部における動作を表すフローチャートである。
【図７】外部コンピュータにおける動作を表すフローチャートである。
【図８】全体スケジュールの一例を示すタイムチャートである。
【図９】外部コンピュータにおける動作の変形例を表すフローチャートである。
【図１０】クロスの全体スケジュール作成の説明に供する図であり、（ａ）は装置Ａにおけるロット１，２のスケジューリングを示し、（ｂ）は装置Ｂにおけるロット３，４のスケジューリングを示し（ｃ）は装置Ａにおけるロット３，４のスケジューリングを示し（ｄ）は装置Ｂにおけるロット３，４のスケジューリングを示す。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明について説明する。なお、図１は、実施例に係る基板処理システムの概略構成を示したブロック図である。また、図２は、実施例に係る第１の基板処理装置の概略構成を示した平面図であり、図３は、実施例に係る第２の基板処理装置の概略構成を示した平面図である。
【００１７】
この基板処理システムは、例えば、二台の基板処理装置Ａ，Ｂと、外部コンピュータＣとを備えている。ここでは、基板処理装置Ａを第１の基板処理装置Ａとし、基板処理装備Ｂを第２の基板処理装置Ｂとする。
【００１８】
第１の基板処理装置Ａは、例えば、基板Ｗに対して薬液処理及び純水処理及び乾燥処理を行うための装置である。基板Ｗは、複数枚（例えば、２５枚）がＦＯＵＰ１内に水平姿勢で積層収納されている。未処理の基板Ｗを収納したＦＯＵＰ１は、投入部３に載置される。投入部３は、ＦＯＵＰ１が載置される載置台５を二つ備えている。第１の基板処理装置Ａの中央部を挟んだ投入部３の反対側には、払出部７が配備されている。この払出部７は、処理済みの基板ＷをＦＯＵＰ１に収納してＦＯＵＰ１ごと払い出す。このように機能する払出部７は、投入部３と同様に、ＦＯＵＰ１を載置するための二つの載置台９を備えている。
【００１９】
投入部３と払出部７に沿う位置には、これらの間を移動可能に構成された第１搬送機構ＣＴＣが設けられている。第１搬送機構ＣＴＣは、投入部３に載置されたＦＯＵＰ１に収納されている全ての基板Ｗを取り出し、基板Ｗを水平姿勢から垂直姿勢に変換した後、第２搬送機構ＷＴＲに対して搬送する。また、第１搬送機構ＣＴＣは、第２搬送機構ＷＴＲから処理済みの基板Ｗを受け取り、基板Ｗを垂直姿勢から水平姿勢に変換した後に、基板ＷをＦＯＵＰ１に収納する。第２搬送機構ＷＴＲは、基板処理装置の長手方向に沿って移動可能に構成されている。
【００２０】
上述した第２搬送機構ＷＴＲの移動方向における払出部７側には、複数枚の基板Ｗを低圧のチャンバ内に収納して乾燥させるための乾燥処理部ＬＰＤが設けられている。
【００２１】
第２搬送機構ＷＴＲの移動方向であって乾燥処理部ＬＰＤに隣接する位置には、第１処理部１９が配設されている。この第１処理部１９は、複数枚の基板Ｗに対して純水処理を施すための純水処理部ＯＮＢ１を備えているとともに、複数枚の基板Ｗに対して薬液を含む処理液によって薬液処理を施すための薬液処理部ＣＨＢ１を備えている。また、第１処理部１９は、第２搬送機構ＷＴＲとの間で基板Ｗを受け渡すとともに、純水処理部ＯＮＢ１と薬液処理部ＣＨＢ１でのみ昇降可能な副搬送機構ＬＦＳ１を備えている。
【００２２】
第１処理部１９に隣接した位置には、第２処理部２１が設けられている。第２処理部２１は、上述した第１処理部１９と同様の構成である。つまり、純水処理部ＯＮＢ２と薬液処理部ＣＨＢ２と副搬送機構ＬＦＳ２とを備えている。
【００２３】
また、第２の基板処理装置Ｂは、上述した第１の基板処理装置Ａと構成が相違している。なお、共通の構成については同じ符号を付すことで詳細な説明を省略する。
【００２４】
第２の基板処理装置Ｂは、上述した第１の基板処理装置Ａよりも処理部を多く備えている。つまり、第２処理部２１に隣接して、第３処理部２３を備えている。第３処理部２３は、純水処理部ＯＮＢ３と、薬液処理部ＣＨＢ３と、副搬送機構ＬＦＳ３とを備えている。
【００２５】
第１の基板処理装置Ａは、図１に示すように、制御部２５を備えている。この制御部２５は、ＣＰＵやカウンタ・タイマ等を備え、通信部２７と、単バッチスケジューリング部２９と、処理実行指示部３１とを備えている。また、制御部２５には、記憶部３３が接続されている。単バッチスケジューリング部２９は、後述するようにして単バッチスケジュールを作成する。また、処理実行指示部３１は、受信した、当該装置用の全体スケジュールに基づいて、各リソースに対する動作指示を行う。
【００２６】
制御部２５は、上述した第１搬送機構ＣＴＣ、第２搬送機構ＷＴＲ、乾燥処理部ＬＰＤ、純水処理部ＯＮＢ１，ＯＮＢ２、薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２、副搬送機構ＬＦＳ１，ＬＦＳ２をリソースとして取り扱い、制御対象としている。制御部２５に接続されている記憶部３３は、この基板処理装置のユーザなどによって予め作成され、基板Ｗをどのようにして処理するかを規定した複数の処理工程を含むレシピの情報であるレシピデータと、単バッチスケジュール作成プログラムと、受信した全体スケジュールを実行する処理プログラムと、後述するリソース情報などが予め格納されている。
【００２７】
また、第２の基板処理部Ｂは、図１に示すように、制御部３５を備えている。この制御部３５は、上述した制御部２５と同様の構成である。つまり、通信部３７と、単バッチスケジューリング部３９と、処理実行指示部４１とを備えている。また、制御部３５には、記憶部４３が接続されている。
【００２８】
外部コンピュータＣは、通信部４５と、スケジューリング機能部４７とを備えている。通信部４５は、第１の基板処理装置Ａと、第２の基板処理装置Ｂとの間で通信を行う。スケジューリング機能部４７は、後述するようにして全体スケジュールを作成する。
【００２９】
ここで図４を参照する。なお、図４は、リソース情報の一例を示す模式図である。
【００３０】
上述した第１の基板処理装置Ａと、第２の基板処理装置Ｂとは、記憶部３３，４３にリソース情報が予め記憶されている。このリソース情報は、装置構成を規定したものであり、例えば、個体識別情報としての第１の基板処理装置Ａや第２の基板処理装置Ｂなどと、リソース名と、リソース名に対応したリソース種別で構成されている。個体識別情報は、複数の基板処理装置のいずれであるかを表す。リソース名は、各処理部の名称を表すが、図４では符号名で表している。リソース種別は、各リソースにおいてロットを待機させることが可能であるか否かを示す情報であり、待機可または待機不可で表している。記憶部３３には、第１の基板処理装置Ａのリソース情報が記憶され、記憶部４３には、第２の基板処理装置Ｂのリソース情報が記憶されている。
【００３１】
次に、図５を参照してレシピ及び単バッチスケジュールについて説明する。この実施例では、一例として、第１の基板処理装置Ａにおいてロット１，２の二つのロットを処理するものとする。なお、図５は、レシピ及び単バッチスケジュールの一例を示すタイムチャートであり、（ａ）はロット１を、（ｂ）はロット２を示す。
【００３２】
この例におけるロット１のレシピは、例えば、図５（ａ）に示すようなものである。
すなわち、ロット１のレシピは、第１搬送機構ＣＴＣによる処理工程１Ａと、第２搬送機構ＷＴＲによる処理工程１Ｂと、薬液処理部ＣＨＢ１による処理工程１Ｃと、副搬送機構ＬＦＳ１による処理工程１Ｄと、純水処理部ＯＮＢ１による処理工程１Ｅと、第２搬送機構ＷＴＲによる処理工程１Ｆと、乾燥処理部ＬＰＤによる処理工程１Ｇと、第２搬送機構ＷＴＲによる処理工程１Ｈと、第１搬送機構ＣＴＣによる処理工程１Ｉとからなる。ユーザ側から見たレシピは、一般的には、薬液処理部ＣＨＢ１による処理工程１Ｃと、純水処理部ＯＮＢ１による処理工程１Ｅと、乾燥処理部ＬＰＤによる処理工程１Ｇである。つまり、ユーザ側から見たレシピには、一般的に第１搬送機構ＣＴＣによる処理工程１Ａなどは含まれないが、ここでは制御部２５側から見たレシピとして、これらを含めることにする。
【００３３】
また、ロット２のレシピは、第１搬送機構ＣＴＣによる処理工程２Ａと、第２搬送機構ＷＴＲによる処理工程２Ｂと、純水処理部ＯＮＢ２による処理工程２Ｃと、第２搬送機構ＷＴＲによる処理工程２Ｄと、純水処理部ＯＮＢ１による処理工程２Ｅと、第２搬送機構ＷＴＲによる処理工程２Ｆと、乾燥処理部ＬＰＤによる処理工程２Ｇと、第２搬送機構ＷＴＲによる処理工程２Ｈと、第１搬送機構ＣＴＣによる処理工程２Ｉとからなる。
【００３４】
なお、各処理工程のうち、処理の実体は、図中にハッチングを施した部分であり、その前の空白にあたる部分は、リソースを使用するための準備にあたる前作業であり、その後ろの空白にあたる部分は、使用したリソースの片付けにあたる後作業である。
【００３５】
上述したようにレシピは、複数の処理工程から構成されているが、外部コンピュータＣで全体スケジュールを作成する前に、いくつかの複数の処理工程をまとめて、配置の最小単位としてブロックで複数の処理工程をまとめる。その際、スケジューリング部２９は、記憶部３３の上述したリソース情報（図４）を参照する。一般的に、薬液処理を行う場合には、薬液による過剰処理がロットに悪影響を与えるので、その処理工程後に待機時間が生じないように薬液処理部などをブロック区切りにはしない。一方、純水処理を行う場合には、純水による過剰処理が生じないので、その処理工程後に待機時間が生じてもよいように、ブロックの最後に純水処理部などを配置可能にする。
【００３６】
次に、図６及び図７を参照する。なお、図６は、基板処理装置の制御部における動作を表すフローチャートであり、図７は、外部コンピュータにおける動作を表すフローチャートである。以下の説明においては、第１の基板処理装置Ａによる処理を例にとって説明する。
【００３７】
ステップＳ１
処理の対象となる複数のロットを順次に投入部３から第１の基板処理装置Ａ内に搬入する。ここでは、上述したロット１及びロット２が搬入されたとする。
【００３８】
ステップＳ２，Ｓ３
ユーザは、ロット１及びロット２についてレシピを指定する。ここでは、ロット１に対して上述した図５（ａ）のレシピが指定され、ロット２に対して図５（ｂ）のレシピが指定されたものとする。スケジューリング部２９は、指定されたレシピデータを記憶部３３から読み込む。
【００３９】
ステップＳ４
スケジューリング部２９は、ロット１，２のそれぞれについて、単バッチスケジュールを作成する。具体的には、図５（ａ）と図５（ｂ）に示すようになる。さらに、スケジューリング部２９は、各単バッチスケジュールを、記憶部３３のリソース情報を参照しつつ、待機可能なリソースによる処理工程がブロックの最後となるように、複数個の処理工程をブロックに区切る。
【００４０】
具体的には、ロット１が図５（ａ）となり、ロット２が図５（ｂ）のようになる。図４に示すように、レシピ情報では、薬液処理部ＣＨＢ１，ＣＨＢ２がリソース情報において待機不可と設定されているので、これら以外の処理工程がブロックの最後となるように区切る。詳細には、処理工程１Ａをブロック１−Ａとし、処理工程１Ｂ〜１Ｅをブロック１−Ｂとし、処理工程１Ｆ，１Ｇをブロック１−Ｃとし、処理工程１Ｈ，１Ｉをブロック１−Ｄとする。ロット２では、処理工程２Ａをブロック２−Ａとし、処理工程２Ｂ，２Ｃをブロック２−Ｂとし、処理工程２Ｄ，２Ｅをブロック２−Ｃとし、処理工程２Ｆ，２Ｇをブロック２−Ｄとし、処理工程２Ｈ，２Ｉを処理工程２−Ｅとする。
【００４１】
上記のようにして作成されたブロックで区切られた各単バッチスケジュールは、記憶部３３に格納される。
【００４２】
ステップＳ５
通信部２７は、上記のようにして作成されたロット１，２の単バッチスケジュールと、記憶部３３のリソース情報とを外部コンピュータＣに送信する。
【００４３】
ここで図７を参照する。
【００４４】
ステップＴ１
外部コンピュータＣは、その通信部４５を通じて第１の基板処理装置Ａの通信部２７からロット１，２の単バッチスケジュール及びリソース情報を受信する。
【００４５】
ステップＴ２
外部コンピュータＣのスケジューリング機能部４７は、ロット１，２の単バッチスケジュールを同じ時間軸上に配置して全体スケジュールを作成する。この全体スケジュールは、例えば、図８のようになったとする。なお、図８は、全体スケジュールの一例を示すタイムチャートである。ここでは、全体スケジュールの作成について詳細な説明を省略するが、従来例（特開２００９−３７５９５号公報）にあるように各種のブロック配置方法がある。これは、ロット数が増え、ブロック数が増えると飛躍的に演算回数が増大することを示す。ここでは、外部コンピュータＣのスケジューリング機能部４７が独立して全体スケジュールに伴う演算を行うので、負荷に関しては考慮する必要がない。
【００４６】
ステップＴ２
外部コンピュータの通信部４５は、作成された全体スケジュールを、そのリソース情報を参照して、個体識別情報に対応する装置に対して送信する。ここでは、第１の基板処理装置Ａに対して全体スケジュールを送信する。
【００４７】
ここで図６に戻る。
【００４８】
ステップＳ６
第１の基板処理装置Ａは、通信部３７を介して外部コンピュータＣから全体スケジュールを受信する。
【００４９】
ステップＳ７
制御部２５の処理実行指示部３１は、受信した全体スケジュールに基づいて、各リソースを制御してロット１，２に対する実際の処理を行う。
【００５０】
なお、上記の説明においては、第１の基板処理装置Ａを例にとって説明したが、第２の基板処理装置Ｂであっても同様であり、また、これら第１の基板処理装置Ａ及び第２の基板処理装置Ｂの二台を並行して動作させても同様である。
【００５１】
このように、第１の基板処理装置Ａの制御部３５がリソース情報とレシピとを参照して、レシピに応じた単バッチスケジュールをロットごとに作成し、全ての単バッチスケジュールとリソース情報とを外部コンピュータＣに送信する。外部コンピュータＣは、リソース情報と全ての単バッチスケジュールとに基づき、第１の基板処理装置Ａの全ての単バッチスケジュールを配置する全体スケジュールを作成する。第１の基板処理装置Ａの制御部３５は、外部コンピュータＣで作成された全体スケジュールを受信し、この全体スケジュールに基づいて各ロットに対する実際の処理を行う。負荷が高い全体スケジュールについては外部コンピュータＣにて行うので、ロット数が多くなっても第１の基板処理装置Ａの制御部３５におけるスケジューリングの負荷を抑制できる。したがって、ロット数を抑える必要がなく生産性が低下するのを抑制できる。また、全体スケジューリングの負荷が高くなり過ぎて外部コンピュータＣが停止状態に陥ったとしても、既に受け取った全体スケジュールを実行する第１の基板処理装置Ａの制御部３５には影響が及ばない。したがって、実行中の処理が途中で停止することがなく、生産性の低下を抑制できる。その上、第１の基板処理装置Ａの制御部３５はそのままで外部コンピュータＣを導入すればよく、第１の基板処理装置Ａ及び第２の基板処理装置Ｂの制御部２５，３５を高性能なものにする場合に比較して装置コストを抑制できる。
【００５２】
なお、上述した実施例では、リソース情報とレシピを記憶部３３，４３に予め記憶させた構成としているが、ロットの搬入時に併せて設定するようにしてもよい。また、制御部３５，４３が内蔵しているマスクＲＯＭなどに固定的に記憶させておいてもよい。
【００５３】
また、上記の実施例では、外部コンピュータＣがリソース情報に含まれている個体識別情報を参照して、どの装置に全体スケジュールを送信するか決めたが、個体識別情報をリソース情報とは別の情報に含ませておき、これに基づいて全体スケジュールの送信先を判断するようにしてもよい。
【００５４】
＜変形例＞
上述した外部コンピュータＣは、その動作が図７のようになっていたが、例えば、次のように動作させてもよい。ここで、図９及び図１０を参照する。なお、図９は、外部コンピュータにおける動作の変形例を表すフローチャートであり、図１０は、クロスの全体スケジュール作成の説明に供する図であり、（ａ）は装置Ａにおけるロット１，２のスケジューリングを示し、（ｂ）は装置Ｂにおけるロット３，４のスケジューリングを示し（ｃ）は装置Ａにおけるロット３，４のスケジューリングを示し（ｄ）は装置Ｂにおけるロット３，４のスケジューリングを示す。
【００５５】
ステップＴ１，Ｔ２，Ｔ３については、上述した例と同じであるが、ステップＴ２ａ，Ｔ２ｂ，Ｔ２ｃが加わっている。以下の説明では、上述した第１の基板処理装置Ａでロット１，２を処理し、第２の基板処理装置Ｂでロット３，４を処理することを前提とする。
【００５６】
ステップＴ２
外部コンピュータＣは、ロット１，２の単バッチスケジュール及びリソース情報に基づき、第１の基板処理装置Ａで処理する場合の全体スケジュールを作成する（図１０（ａ））。また、ロット３，４の単バッチスケジュール及びリソース情報に基づき、第２の基板処理装置Ｂで処理する場合の全体スケジュールを作成する（図１０（ｂ））。その際には、外部コンピュータＣは、それぞれの全体スケジュールの完了予定時点ｔｅ１，ｔｅ２を記憶しておく。これらは、完了予定時点ｔｅ１，ｔｅ２を記憶することを除いて、上述した全体スケジュールの作成に相当する。
【００５７】
ステップＴ２ａ
クロスの全体スケジュールを作成する。このクロスの全体スケジュールとは、リソース情報と対応する単バッチスケジュールが示す装置以外の装置についても全体スケジュールを作成することを表す。この例では、ロット１，２が第１の基板処理装置Ａで処理され、ロット３，４が第２の基板処理装置Ｂで処理されることになっているが、ここではそれらの組み合わせを変えて全体スケジュールの作成を試行する。この例では、ロット３，４が第１の基板処理装置Ａで処理される場合の全体スケジュールを作成し（図１０（ｃ））、ロット１，２が第２の基板処理装置Ｂで処理される場合の全体スケジュールを作成する（図１０（ｄ）。そして、完了予定時時点ｔｅ３，ｔｅ４を記憶しておく。
【００５８】
ステップＴ２ｂ
最速全体スケジュールがあるか否かを判断して処理を分岐する。つまり、ロット１，２が第１の基板処理装置Ａで処理される場合の完了予定時点ｔｅ１と、ロット１，２が第２の基板処理装置Ｂで処理される場合の完了予定時間ｔｅ４とを比較する。さらに、ロット３，４が第２の基板処理装置Ｂで処理される場合の完了予定時点ｔｅ２と、ロット３，４が第１の基板処理装置Ａで処理される場合の完了予定時点ｔｅ３とを比較する。そして、早く完了する方をそのロットの最速全体スケジュールとする。
【００５９】
ステップＴ２ｃ
最速全体スケジュールがある場合には、そのことを報知する。この報知により、装置のオペレータは、最速全体スケジュールによりロットを他の装置に移動させて処理を開始させると、早く処理を終えられると判断することができる。
【００６０】
このようにクロスで全体スケジュールを作成して完了時点を比較することにより、生産効率の向上が期待できる。
【００６１】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【００６２】
（１）上述した実施例では、図２，３に示す配置構成の基板処理装置によるスケジューリングを例にとって説明したが、本発明はこのような配置構成の基板処理装置に限定されるものではない。
【００６３】
（２）上述した実施例では、図５に示したレシピを例にとって説明したが、本発明はこのようなレシピに限定されるものではない。
【００６４】
（３）上述した実施例では、ロット１，２の組み合わせ、及びロット３，４の組み合わせで説明したが、本発明はこのようなロット数に限定されるものではない。
【符号の説明】
【００６５】
Ｗ  …  基板
Ａ  …  第１の基板処理装置
Ｂ  …  第２の基板処理装置
Ｃ  …  外部コンピュータ
１  …  ＦＯＵＰ
３  …  投入部
ＣＴＣ  …  第１搬送機構
ＷＴＲ  …  第２搬送機構
ＬＰＤ  …  乾燥処理部
１９  …  第１処理部
２１  …  第２処理部
２３  …  第３処理部
ＯＮＢ１〜ＯＮＢ３  …  純水処理部
ＬＦＳ１〜ＬＦＳ３  …  副搬送機構
ＣＨＢ１〜ＣＨＢ３  …  薬液処理部
２５，３５  …  制御部
２７，３７，４５  …  通信部
２９，３９  …  単バッチスケジューリング部
３１，４１  …  処理実行指示部
３３，４３  …  記憶部
４７  …  スケジューリング機能部
１Ａ〜１Ｄ  …  ロット１の処理工程
２Ａ〜２Ｄ  …  ロット２の処理工程
１−Ａ〜１−Ｄ  …  ロット１のブロック
２−Ａ〜２−Ｄ  …  ロット２のブロック
ｔｅ１〜ｔｅ４  …  完了予定時点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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