(57)【要約】【課題】信号品質の劣化なしに、基板配線の断線に対する強度向上、信頼性向上を図る。【解決手段】電子部品装置（半導体装置１００）は、基板１１０の一面に搭載された電子部品（半導体チップ１５０）と、基板１１０の一面に形成され、電子部品を覆うように形成された封止樹脂１３０と、基板１１０に形成され、平面視で封止樹脂１３０の外縁の内側から外側に横切るように形成された配線１１４と、を含み、配線１１４は、封止樹脂外縁１３０ａを横切る配線経路が、封止樹脂外縁１３０ａ上の第１の箇所から封止樹脂外縁１３０ａに沿って封止樹脂外縁１３０ａ上の第２の箇所まで延在する部分を含み、第１の箇所と第２の箇所との距離が配線１１４の配線幅よりも広くなるように構成されている。【選択図】図１
2011192677.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板の一面に搭載された電子部品と、
前記基板の一面に形成され、前記電子部品を覆うように形成された封止樹脂と、
前記基板に形成され、平面視で前記封止樹脂の外縁の内側から外側に横切るように形成された配線と、
を含み、
前記配線は、前記封止樹脂の前記外縁を横切る配線経路が、当該外縁上の第１の箇所から当該外縁に沿って当該外縁上の第２の箇所まで延在する部分を含み、前記第１の箇所と前記第２の箇所との距離が当該配線の配線幅よりも広くなるように構成された電子装置。
【請求項２】
請求項１に記載の電子装置において、
前記配線は、前記配線経路が、前記封止樹脂の外縁の内側から外側の方向に当該外縁上の第１の屈曲点まで延在した後、当該第１の屈曲点で屈曲して当該外縁に沿って第２の屈曲点まで延在し、当該第２の屈曲点で屈曲して前記外縁の外側の方向に延在するように構成され、
前記第１の屈曲点および前記第２の屈曲点は、前記第１の箇所および前記第２の箇所を含むこれらの間の領域にそれぞれ設けられた電子装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の電子装置において、
前記配線は、前記配線経路として、前記封止樹脂の前記外縁上で分岐しているとともに、前記外縁の内側の所定の箇所および外側の所定の箇所で合流している主配線経路およびバイパス配線経路を含む電子装置。
【請求項４】
請求項３に記載の電子装置において、
前記主配線経路と前記バイパス配線経路との分岐開始点が前記封止樹脂の前記外縁上にある電子装置。
【請求項５】
請求項３または４に記載の電子装置において、
前記配線は、前記主配線経路および前記バイパス配線経路が、それぞれ、前記封止樹脂の前記外縁に沿って延在する部分を含むように構成された電子装置。
【請求項６】
請求項１から５いずれかに記載の電子装置において、
前記配線は、全体にわたって特性インピーダンスが等しくなるように形成された電子装置。
【請求項７】
請求項１から６いずれかに記載の電子装置において、
前記封止樹脂は、封止金型を用いたモールド成形により形成された電子装置。
【請求項８】
一面に電子部品が搭載されるとともに、当該一面に前記電子部品を覆うように封止樹脂が形成される基板であって、
前記封止樹脂が形成される予定領域の外縁の内側から外側に横切るように形成された配線を含み、
前記配線は、前記封止樹脂の前記外縁を横切る配線経路が、当該外縁上の第１の箇所から当該外縁に沿って当該外縁上の第２の箇所まで延在する部分を含み、前記第１の箇所と前記第２の箇所との距離が当該配線の配線幅よりも広くなるように構成された基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子装置および基板に関し、とくに、封止樹脂を含む電子装置および封止樹脂が形成される基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子等の電子部品をインターポーザ等の基板に搭載したパッケージ構造の電子装置は、まず基板上に電子部品を搭載した後、封止金型を用いたたとえばモールド成形等により、封止樹脂で電子部品を埋め込むことにより形成される。しかし、封止金型で樹脂封止を行う際に、封止金型が基板に押しつけられるために、封止金型があたる箇所、すなわち封止樹脂の外縁で基板の配線が断線することがあるという信頼性上の問題があった。
【０００３】
特許文献１（特開２００６−２２２２３９号公報）には、基板上に搭載した半導体素子と基板上の配線とを電気的に接続し、基板上の半導体素子を含んだ所望範囲を封止樹脂で封止する構造の半導体装置において、配線に、それと同等の厚みおよび所望範囲の内外にわたる寸法を有する幅広部を、所望範囲の境界に沿って所望範囲を囲むように形成した構成が記載されている。ここで、基板を封止金型で挟み込んで樹脂封止する際に幅広部で封止金型の圧力を受けることになるため、従来に比べて、配線の総数に加わる単位面積あたりの圧力が低下し、また断面積が増加し耐せん断応力が向上する、とされている。
【０００４】
特許文献２（特開２００２−２８９７３３号公報）には、表面に複数本の配線が形成され、かつ当該配線を絶縁被覆するためのソルダーレジストが形成された基板上に半導体素子を封止するための封止樹脂をモールド成形してなる半導体装置において、封止樹脂のモールドライン領域では隣接する配線の間隔がほぼ均一となるように配置された構成が記載されている。たとえば、間隔を均等にするために、ダミー配線が設けられた構成が記載されている。これにより、封止樹脂をモールド成形する際に、金型と基板との間に隙間が生じることがなく、また、金型により加えられる荷重が各配線に対して均等に分散され、封止樹脂の漏れ出しによる樹脂バリ量を低減し、さらに配線層の潰れによる断線の発生を防止することができるとされている。
【０００５】
また、半導体素子の端部において、半導体素子と基板との熱膨張係数の差に起因して両者の画面に熱応力が発生することが原因で、基板の配線が断線することがあるという信頼性上の問題もあった。このような配線の断線が生じるのを防ぐ技術も検討されている。
【０００６】
特許文献３（特開２００５−１９１５９１号公報）には、プリント配線基板などのインターポーザの表面配線の半導体素子の外縁部を横切る表面配線に幅広部を形成することで絶縁膜に温度変化が加わった際の変形量を低減、もしくは拘束する構成が記載されている。
特許文献４（特開２００４−０３１５６２号公報）には、主面と裏面を有し、かつ配線とこれにバイパス状に電気的に接続された補助配線とが形成された基板と、基板の主面に搭載された半導体素子と、半導体素子のパッドとこれに対応する基板の接続端子とを接続する複数のワイヤと、基板の裏面に設けられた複数の半田バンプと、半導体素子を封止する封止部とからなり、基板の補助配線が、その主面において半導体素子の裏面の端部に対応した領域にバイパス状に形成された構成が記載されている。これにより、熱ストレスがかかった際に、配線と補助配線のうち何れか一方が断線しても他方が残るため、信頼性の向上を図ることができる、とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−２２２２３９号公報
【特許文献２】特開２００２−２８９７３３号公報
【特許文献３】特開２００５−１９１５９１号公報
【特許文献４】特開２００４−０３１５６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、従来の構成では、封止樹脂の外縁における基板の配線の断線を防ぐ点で改善の余地があった。
特許文献１に記載の技術では、配線には、封止樹脂の外縁に沿って形成された幅広部が設けられている点で、樹脂封止時に封止金型と接する封止樹脂外縁における配線の断線を防ぐ効果が期待できる。しかし、当該文献に記載の構成では、封止樹脂の外縁に沿った箇所の配線の幅が他の箇所に比べて極端に幅広となっており、一つの配線内で、特性インピーダンスが変化してしまうという問題があった。たとえば、配線幅の太化を行うと特性インピーダンスが低くなる。そのため、このような構成とすると、特性インピーダンスの変化点で反射等による信号品質の劣化が生じるという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明によれば、
基板と、
前記基板の一面に搭載された電子部品と、
前記基板の一面に形成され、前記電子部品を覆うように形成された封止樹脂と、
前記基板に形成され、平面視で前記封止樹脂の外縁の内側から外側に横切るように形成された配線と、
を含み、
前記配線は、前記封止樹脂の前記外縁を横切る配線経路が、当該外縁上の第１の箇所から当該外縁に沿って当該外縁上の第２の箇所まで延在する部分を含み、前記第１の箇所と前記第２の箇所との距離が当該配線の配線幅よりも広くなるように構成された電子装置が提供される。
【００１０】
本発明によれば、
一面に電子部品が搭載されるとともに、当該一面に前記電子部品を覆うように封止樹脂が形成される基板であって、
前記封止樹脂が形成される予定領域の外縁の内側から外側に横切るように形成された配線を含み、
前記配線は、前記封止樹脂の前記外縁を横切る配線経路が、当該外縁上の第１の箇所から当該外縁に沿って当該外縁上の第２の箇所まで延在する部分を含み、前記第１の箇所と前記第２の箇所との距離が当該配線の配線幅よりも広くなるように構成された基板が提供される。
【００１１】
この構成によれば、封止金型を用いて封止樹脂を形成する際に、封止金型を基板に押し付けた場合でも、配線にかかる力が分散され、配線の断線に対する強度向上、信頼性向上を図ることができる。また、この構成によれば、配線経路自体が封止樹脂の外縁上を延在するようにしているので、配線の幅を極端に幅広に形成することなく、配線の断線を防ぐことができる。これにより、一つの配線を、全体にわたって、特性インピーダンスが等しくなるように形成することができる。
【００１２】
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法、装置などの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、信号品質の劣化なしに、基板配線の断線に対する強度向上、信頼性向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の実施の形態における半導体装置の構成の一例を示す平面図である。
【図２】図１のＣ−Ｃ’断面図である。
【図３】本発明の実施の形態における配線が封止樹脂外縁を横切る箇所の構成の一例を詳細に示す平面図である。
【図４】本発明の実施の形態における配線が封止樹脂外縁を横切る箇所の構成の他の例を詳細に示す平面図である。
【図５】本発明の実施の形態における配線のレイアウトの一例を示す図である。
【図６】本発明の実施の形態における配線のレイアウトの一例を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態における配線のレイアウトの一例を示す図である。
【図８】本発明の実施の形態における配線のレイアウトの一例を示す図である。
【図９】本発明の実施の形態における配線が封止樹脂外縁を横切る箇所の構成の他の例を詳細に示す平面図である。
【図１０】本発明の実施の形態における配線が封止樹脂外縁を横切る箇所の構成の他の例を詳細に示す平面図である。
【図１１】本発明の実施の形態における配線が封止樹脂外縁を横切る箇所の構成の他の例を詳細に示す平面図である。
【図１２】本発明の実施の形態における半導体装置の構成の他の例を示す平面図である。
【図１３】本発明の実施の形態における半導体装置の構成の他の例を示す平面図である。
【図１４】本発明の実施の形態における半導体装置の構成の他の例を示す平面図である。
【図１５】本発明の実施の形態における半導体装置の構成の他の例を示す平面図である。
【図１６】本発明の実施の形態における半導体装置の構成の他の例を示す平面図である。
【図１７】本発明の実施の形態における配線が封止樹脂外縁を横切る箇所の構成の他の例を詳細に示す平面図である。
【図１８】本発明の実施の形態における基板の構成の一例を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様の構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００１６】
本実施の形態において、電子部品は、半導体チップ等の半導体素子や、コンデンサ等の受動部品等とすることができる。以下の実施の形態においては、電子部品が半導体チップであり、電子装置が半導体装置である場合を例として説明する。
【００１７】
（第１の実施の形態）
図１は、本実施の形態における半導体装置の構成の一例を示す平面図である。図２は、図１のＣ−Ｃ’断面図である。
半導体装置１００は、基板１１０と、基板１１０の一面に搭載された半導体チップ１５０と、基板１１０の一面に形成され、半導体チップ１５０を覆うように形成された封止樹脂１３０とを含む。
【００１８】
基板１１０は、樹脂層１１２および配線層１１３が積層された、たとえばインターポーザ等の多層配線基板とすることができる。配線層１１３は、基板１１０の一面側表面および他面側表面にもそれぞれ形成された構成とすることができる。
【００１９】
半導体装置１００は、基板１１０中に設けられ各配線層１１３を接続するビア１１６と、基板１１０の一面に設けられたボンドパッド１２０と、基板１１０の一面および他面の配線層１１３上にそれぞれ設けられたソルダーレジスト１１８と、半導体チップ１５０を基板１１０に接着する接着剤１２４と、半導体チップ１５０のパッド（不図示）と基板１１０のボンドパッド１２０とを接続するボンディングワイヤ１２２と、基板１１０の他面に設けられた半田ボール１４０とをさらに含む。半導体装置１００は、半田ボール１４０を介してマザーボードやプリント回路基板等の外部の外部基板の端子と接続される。
【００２０】
図１は、基板１１０の一面表面に形成された配線層１１３の構成を示す。なお、図１では、説明のために、封止樹脂１３０の外縁（以下、封止樹脂外縁１３０ａという。）のみを破線で示す。また、ここではソルダーレジスト１１８の記載も省略している。本実施の形態において、封止樹脂外縁１３０ａは、基板１１０の外縁よりも内側に存在している。封止樹脂外縁１３０ａは、封止樹脂１３０を形成する際に、封止金型と基板１１０とが接触する箇所である。図１８は、半導体チップ１５０を搭載する前の基板１１０の一面表面に形成された配線層１１３の構成を示す平面図である。ここでは、半導体チップ１５０が配置される予定領域の外縁１５０ｂおよび封止樹脂１３０が形成される予定領域の外縁１３０ｂをそれぞれ破線で示している。このように形成された基板１１０の一面に半導体チップ１５０を搭載し、半導体チップ１５０のパッド（不図示）と基板１１０のボンドパッド１２０とをボンディングワイヤ１２２で接続した後、封止金型を用いてモールド成形により樹脂封止することにより、封止樹脂１３０を形成することができる。
【００２１】
本実施の形態において、ビア１１６は、封止樹脂外縁１３０ａの内側に存在するものと封止樹脂外縁１３０ａの外側に存在するものとが混在している。基板１１０の一面表面に形成された配線層１１３の各配線１１４は、ボンドパッド１２０に接続されており、ボンドパッド１２０およびボンディングワイヤ１２２を介して半導体チップ１５０のパッドと電気的に接続されている。配線１１４は、さらに、ビア１１６に接続され、ビア１１６および他の配線層１１３に形成された配線を介して、他の素子や半田ボール１４０等と電気的に接続される。
【００２２】
本実施の形態において、基板１１０の一面表面に形成された配線層１１３は、平面視で封止樹脂外縁１３０ａの内側から外側に横切るように形成された配線１１４を含む。たとえば、封止樹脂外縁１３０ａの外側に形成されたビア１１６とボンドパッド１２０とを接続する配線１１４は、動作時にこれらの間で電流を流す必要があるため、封止樹脂外縁１３０ａを横切ることになる。また、たとえばビア１１６が封止樹脂外縁１３０ａの内側に存在する場合でも、配線１１４の形成時に封止樹脂外縁１３０ａ外側からめっき処理のための電流を流すために、配線１１４は封止樹脂外縁１３０ａの外側まで延在している必要がある。
【００２３】
本実施の形態において、封止樹脂外縁１３０ａを横切る配線１１４は、封止樹脂外縁１３０ａを横切る配線経路が、封止樹脂外縁１３０ａ上の第１の箇所から封止樹脂外縁１３０ａに沿って封止樹脂外縁１３０ａ上の第２の箇所まで延在する部分を含み、第１の箇所と第２の箇所との距離が当該配線の配線幅よりも広くなるように構成することができる。ここで、配線経路とは、電流が流れる経路とすることができる。
【００２４】
次に、本実施の形態における配線１１４の構成を説明する。図３は、配線１１４が封止樹脂外縁１３０ａを横切る箇所の構成の一例を詳細に示す平面図である。
図３に示すように、配線１１４は、封止樹脂外縁１３０ａの内側から外側の方向に封止樹脂外縁１３０ａ上の第１の屈曲点まで延在した後、当該第１の屈曲点で屈曲して封止樹脂外縁１３０ａに沿って第２の屈曲点まで延在し、当該第２の屈曲点で屈曲して封止樹脂外縁１３０ａの外側の方向に延在する部分を含むように構成された配線経路１６０を含むことができる。第１の屈曲点および第２の屈曲点は、第１の箇所ａおよび第２の箇所ｂを含むこれらの間の領域にそれぞれ設けられた構成とすることができる。ここでは、第１の屈曲点が第１の箇所ａ、第２の屈曲点が第２の箇所ｂにそれぞれ対応する。
【００２５】
ここで、第１の箇所ａと第２の箇所ｂとの距離ｄ１は、配線１１４の配線幅ｄ２よりも広く設定することができる。第１の箇所ａと第２の箇所ｂとの距離ｄ１は、たとえば、樹脂封止の際に封止金型により基板１１０に印加される圧力に対し、配線の断線が生じないようにするために、どの程度の長さが必要かを応力ＳＩＭ等により算出することにより決定することができる。また、この例において、配線１１４は、全体にわたって、配線幅ｄ２が等しい構成とすることができる。
【００２６】
このような構成により、封止金型を用いて封止樹脂１３０を形成する際に、封止金型を基板１１０に押し付けた場合でも、配線１１４にかかる力が分散され、配線１１４の断線に対する強度向上、信頼性向上を図ることができる。また、本実施の形態において、配線経路１６０自体が封止樹脂外縁１３０ａ上を延在するようにしているので、配線１１４の配線幅を極端に幅広に形成することなく、配線１１４の断線を防ぐことができる。これにより、一つの配線１１４を、全体にわたって、特性インピーダンスが等しくなるように形成することができる。
【００２７】
なお、後述するように、たとえば配線幅や基準ＧＮＤとなる周囲の接地配線との距離を調整することにより、配線の特性インピーダンスをさらに調整することができる。これにより、信号品質の劣化なしに、配線の断線に対する強度向上、信頼性向上を図ることができる。
【００２８】
次に、配線１１４の他の例を説明する。
図４は、配線１１４が封止樹脂外縁１３０ａを横切る箇所の構成の他の例を詳細に示す平面図である。
配線１１４の配線経路１６０は、封止樹脂外縁１３０ａ上で分岐しているとともに、封止樹脂外縁１３０ａの内側の所定の箇所および外側の所定の箇所で合流する主配線経路１６１およびバイパス配線経路１６２を含む構成とすることができる。ここでは、主配線経路１６１とバイパス配線経路１６２との分岐開始点（または分岐終了点ともいう。）が封止樹脂外縁１３０ａ上にある例を示す。また、主配線経路１６１とバイパス配線経路１６２は、それぞれ、封止樹脂外縁１３０ａに沿って延在する部分を含む。
【００２９】
図４（ａ）に示した構成では、主配線経路１６１とバイパス配線経路１６２との分岐開始点が封止樹脂外縁１３０ａ上にあり、バイパス配線経路１６２は封止樹脂外縁１３０ａの外側に存在しており、所定の箇所で主配線経路１６１に合流している。バイパス配線経路１６２は、封止樹脂外縁１３０ａの内側では主配線経路１６１と合流している。
【００３０】
この例において、主配線経路１６１は、封止樹脂外縁１３０ａの内側から外側の方向に封止樹脂外縁１３０ａ上の第１の屈曲点１８０まで延在した後、第１の屈曲点１８０で屈曲して封止樹脂外縁１３０ａに沿って封止樹脂外縁１３０ａ上の第２の屈曲点まで延在し、当該第２の屈曲点で屈曲して封止樹脂外縁１３０ａの外側の方向に延在する部分を含む。ここで、第１の屈曲点１８０は第１の箇所ａと第２の箇所ｂとの略中心にあり、第２の屈曲点は第２の箇所ｂに対応する。主配線経路１６１は、さらに、第３の屈曲点１８４および第４の屈曲点１８６でそれぞれ屈曲して第４の屈曲点１８６から封止樹脂外縁１３０ａの外側の方向に延在する部分を含む。
【００３１】
この例において、バイパス配線経路１６２も、封止樹脂外縁１３０ａ上の第１の屈曲点１８０で第２の屈曲点（第２の箇所ｂ）とは反対側の第５の屈曲点まで延在し、当該第５の屈曲点で屈曲して封止樹脂外縁１３０ａの外側の方向に延在した後、第６の屈曲点１９０で屈曲して、第４の屈曲点１８６で主配線経路１６１に合流する部分を含む。ここで、第５の屈曲点は第１の箇所ａに対応する。
【００３２】
また、本例において、第１の屈曲点１８０と第１の箇所ａとの距離、第１の屈曲点１８０と第２の箇所ｂとの距離も、それぞれ、配線１１４の配線幅よりも広い構成とすることができる。
【００３３】
一方、図４（ｂ）に示した構成では、主配線経路１６１とバイパス配線経路１６２との分岐開始点が封止樹脂外縁１３０ａ上にあり、バイパス配線経路１６２は封止樹脂外縁１３０ａの内側に存在しており、所定の箇所で主配線経路１６１に合流している。バイパス配線経路１６２は、封止樹脂外縁１３０ａの外側では主配線経路１６１と合流している。
【００３４】
図４（ａ）および図４（ｂ）のいずれに示した例においても、主配線経路１６１とバイパス配線経路１６２との分岐開始点は封止樹脂外縁１３０ａ上に存在している。これにより、配線１１４が封止樹脂外縁１３０ａ上で一部断線したとしても、分岐した他方の配線経路経由で電流を流すことができるので、基板配線の断線に対する信頼性向上を図ることができる。
【００３５】
なお、図４に示したような構成においては、配線１１４が分岐した構成となっているので、たとえば配線幅を等しくしただけでは、分岐していない部分と分岐した部分との特性インピーダンスが異なるものになる可能性がある。そのため、本実施の形態において、一つの配線１１４において、分岐していない部分と分岐した部分との特性インピーダンスが等しくなるように、配線幅や基準ＧＮＤとなる周囲の接地配線との距離を調整することができる。この手順を説明する。
【００３６】
図５は、図４（ａ）に示した配線１１４のレイアウトの一例を示す図である。
図４（ａ）では記載を省略しているが、図５に示すように、配線１１４の周囲には、基準ＧＮＤとなる接地電位が印加される接地配線１１５（１１５ａ、１１５ｂ、または１１５ｃとも示す。）を設けた構成とすることができる。本実施の形態において、接地配線１１５は、配線１１４の特性インピーダンスが等しくなるように、配線１１４の周囲に形成される。
【００３７】
たとえば、配線１１４と同層に、配線１１４から所定の距離の周囲に接地配線１１５ｃを設けるとともに、配線１１４が形成された層とは異なる層の配線１１４と重なる箇所にも接地配線１１５を設けた構成とすることができる。図５（ａ）は、配線１１４と配線１１４と同層に形成される接地配線１１５ｃとの配置関係を示す平面図、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＡ−Ａ’断面およびＢ−Ｂ’断面に該当する図である。
【００３８】
特性インピーダンスＺ０は、√（Ｌ／Ｃ）で表される（Ｌは単位長あたりのインダクタンス、Ｃは単位長あたりのキャパシタンス）。ここで、配線１１４の配線幅、および配線１１４と基準ＧＮＤとなる接地配線１１５（または１１５ｃ）との距離（結合度合い）によって、Ｌ／Ｃの値が変化し、特性インピーダンスＺ０が変化する。たとえば、配線幅を狭くすることにより、Ｌが大きく、Ｃが小さくなるので、インピーダンスＺ０が大きくなる。また、たとえば、配線１１４と基準ＧＮＤとなる接地配線１１５（または１１５ｃ）との距離が遠ざかる程、Ｌが大きく、Ｃが小さくなるので、特性インピーダンスＺ０が大きくなる。
【００３９】
本実施の形態において、一つの配線１１４において、全体の特性インピーダンスＺ０が等しくなるように、配線１１４の配線幅や配線１１４と基準ＧＮＤとなる接地電位が印加される接地配線（同層または異なる層）との距離を算出することができる。このような配線のレイアウトは、たとえば２ＤＳｉｍや簡易計算式等を用いて特性インピーダンスを算出することにより設定することができる。
【００４０】
たとえば、配線１１４の分岐した部分（以下、分岐部分１１４ｂという。）の配線幅を分岐していない部分（以下、非分岐部分１１４ａという。）の配線幅と等しくした場合、たとえば図５に示したように、配線１１４と周囲の接地配線１１５との距離を同様にすると、分岐部分１１４ｂの特性インピーダンス（２本の分岐部分１１４ｂの合成）が非分岐部分１１４ａの特性インピーダンスよりも小さくなる。
【００４１】
図６は、一例として、配線１１４と重なるように他の層に形成される接地配線１１５につき、分岐部分１１４ｂと重なる接地配線１１５ｂは、非分岐部分１１４ａと重なる接地配線１１５ａよりも配線１１４が形成された層からの距離が遠くなるように形成した例を示す図である。ここで、たとえば非分岐部分１１４ａおよび分岐部分１１４ｂともに配線幅が５０μｍ、分岐部分１１４ｂ間の距離が１００μｍ、配線１１４と同層に形成された接地配線１１５ｃとの間隔が５０μｍとすることができる。この場合、たとえば、非分岐部分１１４ａと接地配線１１５ａとの距離を１００μｍとした場合に、分岐部分１１４ｂと接地配線１１５ｂとの距離を３３０μｍとすることにより、非分岐部分１１４ａの特性インピーダンスと分岐部分１１４ｂの合成特性インピーダンスとを略等しく、たとえば５０Ωとすることができる。
【００４２】
また、図７は、分岐部分１１４ｂの配線幅を非分岐部分１１４ａの配線幅よりも狭くし、分岐部分１１４ｂと接地配線１１５ｂとの距離を、図６に示した例よりも短くなるように形成した例を示す図である。ここで、たとえば非分岐部分１１４ａの配線幅が５０μｍ、分岐部分１１４ｂの配線幅が４２μｍ、分岐部分１１４ｂ間の距離が１１６μｍ、配線１１４と同層に形成された接地配線１１５ｃとの間隔が５０μｍとすることができる。この場合、たとえば、非分岐部分１１４ａと接地配線１１５ａとの距離を１００μｍとした場合に、分岐部分１１４ｂと接地配線１１５ｂとの距離を２８５μｍとすることにより、非分岐部分１１４ａの特性インピーダンスと分岐部分１１４ｂの合成特性インピーダンスとを略等しく、たとえば５０Ωとすることができる。
【００４３】
また、図８は、分岐部分１１４ｂの配線幅を非分岐部分１１４ａの配線幅よりも広くし、分岐部分１１４ｂと接地配線１１５ｂとの距離を、図６に示した例よりも長くなるように形成した例を示す図である。ここで、たとえば非分岐部分１１４ａの配線幅が５０μｍ、分岐部分１１４ｂの配線幅が６５μｍ、分岐部分１１４ｂ間の距離が７０μｍ、配線１１４と同層に形成された接地配線１１５ｃとの間隔が５０μｍとすることができる。この場合、たとえば、非分岐部分１１４ａと接地配線１１５ａとの距離を１００μｍとした場合に、分岐部分１１４ｂと接地配線１１５ｂとの距離を４２０μｍとすることにより、非分岐部分１１４ａの特性インピーダンスと分岐部分１１４ｂの合成特性インピーダンスとを略等しく、たとえば５０Ωとすることができる。
【００４４】
なお、図４に示したように、配線１１４がバイパス配線経路１６２を有する構成とすることにより、基板配線の断線に対する信頼性向上を図ることができる。しかし、断線が生じると、配線１１４の特性インピーダンスに変化が生じ、一つの配線１１４内で特性インピーダンスの不整合が生じるおそれがある。本実施の形態において、主配線経路１６１とバイパス配線経路１６２との分岐開始点を封止樹脂外縁１３０ａ上に設けている。これにより、断線が生じにくくすることができる。
【００４５】
また、配線１１４の構成は、図４に示した例以外の種々の構成とすることができる。
図９は、配線１１４が封止樹脂外縁１３０ａを横切る箇所の構成のまた他の例を詳細に示す平面図である。
ここでは、バイパス配線経路１６２が封止樹脂外縁１３０ａ上に沿って延在する部分を含まない点で図４に示した例と異なる。主配線経路１６１は、図４に示したのと同様、封止樹脂外縁１３０ａの内側から外側の方向に第１の屈曲点まで延在した後、当該第１の屈曲点で屈曲して封止樹脂外縁１３０ａに沿って第２の屈曲点まで延在し、当該第２の屈曲点で屈曲して封止樹脂外縁１３０ａの外側の方向に延在する部分を含む。ただし、ここで、第１の屈曲点および第２の屈曲点がそれぞれは第１の箇所ａおよび第２の箇所ｂに対応する。バイパス配線経路１６２は、主配線経路１６１との分岐開始点から、主配線経路１６１との合流点まで直線状に形成された構成とすることができる。
【００４６】
図９（ａ）に示した構成では、主配線経路１６１とバイパス配線経路１６２との分岐開始点が封止樹脂外縁１３０ａ上にあり、バイパス配線経路１６２は封止樹脂外縁１３０ａの外側に存在しており、所定の箇所で主配線経路１６１に合流している。バイパス配線経路１６２は、封止樹脂外縁１３０ａの内側では主配線経路１６１と合流している。一方、図９（ｂ）に示した構成では、主配線経路１６１とバイパス配線経路１６２との分岐開始点が封止樹脂外縁１３０ａ上にあり、バイパス配線経路１６２は封止樹脂外縁１３０ａの内側に存在しており、所定の箇所で主配線経路１６１に合流している。バイパス配線経路１６２は、封止樹脂外縁１３０ａの外側では主配線経路１６１と合流している。
【００４７】
図１０は、配線１１４が封止樹脂外縁１３０ａを横切る箇所の構成のまた他の例を詳細に示す平面図である。
ここでは、主配線経路１６１およびバイパス配線経路１６２の構成は図４に示したのと同様とすることができるが、配線経路１６０が、バイパス配線経路１６３をさらに含む点で図４に示した構成と異なる。
【００４８】
図１０（ａ）に示した構成では、主配線経路１６１、バイパス配線経路１６２およびバイパス配線経路１６３の分岐開始点が封止樹脂外縁１３０ａ上にあり、バイパス配線経路１６２およびバイパス配線経路１６３は封止樹脂外縁１３０ａの外側に存在しており、所定の箇所で主配線経路１６１に合流している。バイパス配線経路１６２およびバイパス配線経路１６３は、封止樹脂外縁１３０ａの内側では主配線経路１６１と合流している。
【００４９】
一方、図１０（ｂ）に示した構成では、主配線経路１６１、バイパス配線経路１６２およびバイパス配線経路１６３の分岐開始点が封止樹脂外縁１３０ａ上にあり、バイパス配線経路１６２およびバイパス配線経路１６３は封止樹脂外縁１３０ａの内側に存在しており、所定の箇所で主配線経路１６１に合流している。バイパス配線経路１６２およびバイパス配線経路１６３は、封止樹脂外縁１３０ａの外側では主配線経路１６１と合流している。
【００５０】
このような構成とすることにより、第１の箇所ａと第２の箇所ｂとの距離ｄ１をより広くすることができ、封止樹脂外縁１３０ａ上での配線１１４の断線をより生じにくくすることができる。また、配線１１４が３つの配線経路に分岐するようになっているので、配線１１４が封止樹脂外縁１３０ａ上で一部断線したとしても、分岐した残りの２本の配線経路経由で電流を流すことができるので、基板配線の断線に対する信頼性向上を図ることができる。ここで、バイパス配線経路１６３は、封止樹脂外縁１３０ａ上に沿って延在する部分を含まない構成となっているが、分岐開始点が封止樹脂外縁１３０ａ上にあるので、断線を生じにくくすることができる。
【００５１】
図１１は、配線１１４が封止樹脂外縁１３０ａを横切る箇所の構成のまた他の例を詳細に示す平面図である。ここでは、バイパス配線経路１６２が封止樹脂外縁１３０ａ上に沿って延在する部分を含まない点で図４に示した例と異なる。
図１１（ａ）に示した例では、主配線経路１６１は、封止樹脂外縁１３０ａ上で一度屈曲した後、そのまま封止樹脂外縁１３０ａの外側の方向に直線状に延在している。なお、図１１（ａ）では、バイパス配線経路１６２が封止樹脂外縁１３０ａの外側に存在している例を示したが、この構成においても、バイパス配線経路１６２が封止樹脂外縁１３０ａの内側に存在した構成とすることもできる。
【００５２】
図１１（ｂ）に示した例では、主配線経路１６１の構成は図９に示した構成と類似しているが、主配線経路１６１が封止樹脂外縁１３０ａ上で一度屈曲した後、バイパス配線経路１６２と緩やかに合流する構成となっている。なお、図１１（ｂ）では、バイパス配線経路１６２が封止樹脂外縁１３０ａの外側に存在している例を示したが、この構成においても、バイパス配線経路１６２が封止樹脂外縁１３０ａの内側に存在した構成とすることもできる。
【００５３】
図１２は、本実施の形態における半導体装置１００の構成の他の例を示す平面図である。
この構成においては、基板１１０の四辺のうち、図中左側の辺、上側の辺、および右側の辺においては、ビア１１６は封止樹脂外縁１３０ａの外縁に設けられており、各配線１１４は、ボンドパッド１２０とビア１１６とを接続する構成となっている。
【００５４】
一方、基板１１０の図中下側の辺においては、封止樹脂外縁１３０ａの外側に設けられたビア１１６と封止樹脂外縁１３０ａの内側に設けられたビア１１６とが混在している。ここで、たとえば封止樹脂外縁１３０ａの内側に設けられたビア１１６は、他の層の配線層１１３の配線と電気的に接続された構成とすることもできる。
【００５５】
また、封止樹脂外縁１３０ａを横切るように形成された配線１７０においても、たとえば接地電位を印加することを目的とした配線等、配線の断線が生じたとしても影響が大きくない配線については、封止樹脂外縁１３０ａを横切る配線経路が封止樹脂外縁１３０ａ上の第１の箇所から封止樹脂外縁１３０ａに沿って封止樹脂外縁１３０ａ上の第２の箇所まで延在する部分を含まない構成とすることもできる。
【００５６】
図１３は、本実施の形態における半導体装置１００の構成の他の例を示す平面図である。
ここでは、ビア１１６が封止樹脂外縁１３０ａの内側に存在している構成を示す。この構成において、基板１１０の四辺のうち、図中上側の辺、右側の辺、および下側の辺においては、配線１１４が設けられており、封止樹脂外縁１３０ａを横切る配線経路が、封止樹脂外縁１３０ａ上の第１の箇所から封止樹脂外縁１３０ａに沿って封止樹脂外縁１３０ａ上の第２の箇所まで延在する部分を含み、第１の箇所と第２の箇所との距離が、当該配線の配線幅よりも広い構成となっている。
【００５７】
一方、基板１１０の図中左側の辺においては、封止樹脂外縁１３０ａを横切るように形成された配線１７１においても、封止樹脂外縁１３０ａを横切る配線経路が封止樹脂外縁１３０ａ上の第１の箇所から封止樹脂外縁１３０ａに沿って封止樹脂外縁１３０ａ上の第２の箇所まで延在する部分を含まない構成とすることもできる。ここでは、ビア１１６が封止樹脂外縁１３０ａの内側に存在しており、配線１７１がボンドパッド１２０とビア１１６とを電気的に接続する場合、動作時には、封止樹脂外縁１３０ａを横切る配線１７１には電流が流れない。そのため、このような構成とすることもできる。
【００５８】
図１４は、本実施の形態における半導体装置１００の構成の他の例を示す平面図である。
ここでは、配線層１１３が、配線１１４に加えて、ベタパターン１７４、および配線１７５を含む構成を示す。ここでは、たとえばベタパターン１７４には、電源電位や接地電位が印加される構成とすることができる。ここで、配線１１４のうち、実線で示したものは、ベタパターン１７４に接続されており、電源電位や接地電位が印加される。一方、配線１１４のうち、破線で示したものは、半導体チップ１５０への信号または半導体チップ１５０からの信号が流れる信号線とすることができる。
【００５９】
また、配線１７５は、互いに分離して設けられたベタパターン１７４を接続する配線とすることができる。配線１７５は、太幅に形成することができ、封止樹脂外縁１３０ａを横切る箇所においても、配線経路が封止樹脂外縁１３０ａ上の第１の箇所から封止樹脂外縁１３０ａに沿って封止樹脂外縁１３０ａ上の第２の箇所まで延在する部分を含まない構成となっている。このように、配線１７５には、電源電位や接地電位が印加され、またベタパターン１７４間を接続しているため、配線１７５を太幅に形成しても特性インピーダンスの問題はない。この例においては、ベタパターン１７４と接続されるビア１１６は、封止樹脂外縁１３０ａの外側の領域に重点的に配置することができる。これにより、平坦性が改善し、加えてコストアップなしにパッケージ熱抵抗を比較的容易に下げることができる。
【００６０】
以上の実施の形態において、封止樹脂外縁１３０ａを横切る配線１１４は、封止樹脂外縁１３０ａを横切る配線経路が、封止樹脂外縁１３０ａ上の第１の箇所から封止樹脂外縁１３０ａに沿って封止樹脂外縁１３０ａ上の第２の箇所まで延在する部分を含む構成となっている。また、第１の箇所と第２の箇所との距離が、当該配線の配線幅よりも広い構成となっている。これにより、封止金型を用いて封止樹脂１３０を形成する際に、封止金型を基板１１０に押し付けた場合でも、配線１１４にかかる力が分散され、配線の断線に対する強度向上、信頼性向上を図ることができる。
たとえば、特許文献２に記載された構成では、ダミー配線を設けているが、樹脂封止時に封止金型と接する封止樹脂外縁における目的の配線自体の配線幅が広くないので、目的の配線が断線が生じやすい点は改善されていなかった。しかし、本実施の形態の形態における構成によれば、目的の配線１１４自体が断線しにくい構成とすることができる。
【００６１】
また、本実施の形態において、配線経路自体が封止樹脂外縁１３０ａ上を延在するようにしているので、配線１１４の幅を極端に幅広に形成することなく、配線１１４の断線を防ぐことができる。これにより、一つの配線１１４を、全体にわたって、特性インピーダンスが等しくなるように形成することができる。これにより、たとえば高周波の信号が流れる場合でも、信号品質の劣化なしで基板配線の断線に対する強度向上、信頼性向上を図ることができる。
【００６２】
また、本実施の形態において、配線１１４が、分岐した構成となっており、封止樹脂外縁１３０ａ上に主配線経路１６１とバイパス配線経路１６２との分岐開始点が形成された構成とすることができる。これにより、たとえば配線幅が５０μｍの場合、封止樹脂外縁１３０ａ上の第１の箇所から封止樹脂外縁１３０ａに沿って封止樹脂外縁１３０ａ上の第２の箇所まで延在する部分の長さは、分岐開始点では、主配線経路１６１とバイパス配線経路１６２の配線幅と、これらの間の間隔との合計で５０μｍ×３＝１５０μｍ程度となり、配線幅の３倍以上とすることができる。これにより、配線の断線の抑制効果も３倍以上期待することができる。
【００６３】
さらに、配線１１４をバイパス配線経路１６２を含む分岐した構成とすることにより、基板１１０表面の平坦性が改善し、樹脂バリ抑制向上、白色化抑制向上が可能となる。また、配線１１４をバイパス配線経路１６２を含む分岐した構成とすることにより、配線の粗密が緩和され、白色化や樹脂バリ抑制にも効果が期待される。
【００６４】
さらに、配線１１４をこのように分岐した構成とした場合でも、たとえば配線幅や基準ＧＮＤとなる周囲の接地配線との距離を調整することにより、配線１１４の特性インピーダンスを調整することができる。これにより、信号品質の劣化なしに、配線１１４の断線に対する強度向上、信頼性向上を図ることができる。
【００６５】
なお、このように特性インピーダンスを調整した配線１１４の構成は、とくに動作時に電流が流れる配線に適用することができるが、動作時に電流が流れない配線においても、適用することができる。この場合、動作時に電流が流れない配線においては、動作時に電流が流れる配線部分よりインピーダンスが高くなるような設計とすることもできる。このような構成とすることにより、動作時に電流が流れる配線の信号の減衰を少なくする効果も期待できる。
【００６６】
（第２の実施の形態）
図１５は、本実施の形態における半導体装置１００の構成の一例を示す平面図である。ここでは、半導体チップ１５０の記載を省略し、半導体チップ１５０の外縁（以下、半導体チップ外縁１５０ａという。）を破線で示している。
【００６７】
図１５に示した構成においては、配線１１４が半導体チップ１５０の外縁の外側から形成されている例を示した。しかし、本実施の形態において、配線１１４は、半導体チップ１５０と重なる領域にも形成され、半導体チップ１５０の外縁を横切るように形成することができる。この場合、上述したように、半導体チップ外縁１５０ａと基板１１０との熱膨張係数の差に起因して両者の画面に熱応力が発生することが原因で、基板１１０の配線が断線することがあるという信頼性上の問題もある。
【００６８】
そのため、本実施の形態において、配線１１４は、半導体チップ外縁１５０ａを横切る配線経路が、半導体チップ外縁１５０ａ上の第１の箇所から半導体チップ外縁１５０ａに沿って半導体チップ外縁１５０ａ上の第２の箇所まで延在する部分を含み、第１の箇所と第２の箇所との距離が、配線１１４の配線幅よりも広い構成とすることができる。
【００６９】
図１６は、本実施の形態における半導体装置１００の構成の他の例を示す平面図である。ここでは、基板１１０上には、半導体チップ１５０に加えて、半導体チップ１５２も配置されている。しかし、ここでは配線１１４の構成がわかるように、半導体チップ１５０および半導体チップ１５２の記載を省略し、半導体チップ外縁１５０ａおよび半導体チップ１５２の外縁（以下、半導体チップ外縁１５２ａという。）のみを破線で示している。
【００７０】
本実施の形態において、配線１１４は、半導体チップ外縁１５０ａ（または半導体チップ外縁１５２ａ）を横切る配線経路が、半導体チップ外縁１５０ａ（または半導体チップ外縁１５２ａ）上の第１の箇所から半導体チップ外縁１５０ａ（または半導体チップ外縁１５２ａ）に沿って半導体チップ外縁１５０ａ（または半導体チップ外縁１５２ａ）上の第２の箇所まで延在する部分を含み、第１の箇所と第２の箇所との距離が、配線１１４の配線幅よりも広い構成とすることができる。
【００７１】
このような構成により、第１の実施の形態で説明した効果に加え、配線１１４が半導体チップ外縁１５０ａや半導体チップ外縁１５２ａを横切る箇所においても、配線１１４の断線に対する強度向上、信頼性向上を図ることができる。また、この場合も、配線経路自体が半導体チップ外縁１５０ａや半導体チップ外縁１５２ａ上を延在するようにしているので、配線１１４の幅を極端に幅広に形成することなく、配線１１４の断線を防ぐことができる。これにより、一つの配線１１４を、全体にわたって、特性インピーダンスが等しくなるように形成することができる。
【００７２】
なお、配線１１４が半導体チップ外縁１５０ａや半導体チップ外縁１５２ａを横切る箇所の構成は、第１の実施の形態で説明した、配線１１４が封止樹脂外縁１３０ａを横切る箇所の構成と同様とすることができる。すなわち、配線１１４は、半導体チップ外縁１５０ａや半導体チップ外縁１５２ａ上で分岐しているとともに、半導体チップ外縁１５０ａや半導体チップ外縁１５２ａの内側の所定の箇所および外側の所定の箇所で合流している主配線経路およびバイパス配線経路を含む構成等とすることもできる。このような構成においても、たとえば配線幅や基準ＧＮＤとなる周囲の接地配線との距離を調整することにより、配線１１４の特性インピーダンスを調整することができる。これにより、信号品質の劣化なしに、配線１１４の断線に対する強度向上、信頼性向上を図ることができる。
【００７３】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
【００７４】
以上の実施の形態において、基板１１０の一面表面に形成された配線層１１３が配線１１４を含む例を示したが、他の層においても、配線層１１３は、平面視で封止樹脂外縁１３０ａの内側から外側に横切るように形成された配線１１４を含む構成とすることができる。この場合も、配線１１４は、封止樹脂外縁１３０ａを横切る配線経路が、封止樹脂外縁１３０ａ上の第１の箇所から封止樹脂外縁１３０ａに沿って封止樹脂外縁１３０ａ上の第２の箇所まで延在する部分を含み、第１の箇所と第２の箇所との距離が当該配線の配線幅よりも広くなるように構成することができる。
【００７５】
また、以上の実施の形態において、図４に示したように、主配線経路１６１とバイパス配線経路１６２との分岐開始点が封止樹脂外縁１３０ａ上に存在する構成を例として示した。しかし、他の例において、図１７（ａ）に示したように、主配線経路１６１とバイパス配線経路１６２との分岐開始点が封止樹脂外縁１３０ａ上にない構成とすることもできる。この場合も、主配線経路１６１が封止樹脂外縁１３０ａ上の第１の箇所から封止樹脂外縁１３０ａに沿って封止樹脂外縁１３０ａ上の第２の箇所まで延在する部分を含む構成となっている。そのため、主配線経路１６１が断線されにくい構成とすることができる。また、さらにバイパス配線経路１６２が設けられているので、配線経路１６０全体として断線される可能性をさらに低減することができる。
【００７６】
また、配線１１４は、たとえば図１７（ｂ）に示したような構成とすることができる。このような構成とした場合、特性インピーダンスの調整が複雑になるおそれがあるが、配線経路１６０が封止樹脂外縁１３０ａ上の第１の箇所から封止樹脂外縁１３０ａに沿って封止樹脂外縁１３０ａ上の第２の箇所まで延在する部分を含む構成となっている。そのため、配線経路１６０が断線されにくい構成とすることができる。
【００７７】
また、以上の実施の形態においては、半導体チップと基板とが、ボンディングワイヤを介して電気的に接続される例を示したが、半導体チップとインターポーザ等の基板とは、フリップチップ接続された構成とすることもできる。
【符号の説明】
【００７８】
１００ 半導体装置
１１０ 基板
１１２ 樹脂層
１１３ 配線層
１１４ 配線
１１４ａ 非分岐部分
１１４ｂ 分岐部分
１１５ 接地配線
１１５ａ 接地配線
１１５ｂ 接地配線
１１５ｃ 接地配線
１１６ ビア
１１８ ソルダーレジスト
１２０ ボンドパッド
１２２ ボンディングワイヤ
１２４ 接着剤
１３０ 封止樹脂
１３０ａ 封止樹脂外縁
１３０ｂ 予定領域の外縁
１４０ 半田ボール
１５０ 半導体チップ
１５０ａ 半導体チップ外縁
１５０ｂ 予定領域の外縁
１５２ 半導体チップ
１５２ａ 半導体チップ外縁
１６０ 配線経路
１６１ 主配線経路
１６２ バイパス配線経路
１６３ バイパス配線経路
１７０ 配線
１７１ 配線
１７４ ベタパターン
１７５ 配線
１８０ 第１の屈曲点
１８４ 第３の屈曲点
１８６ 第４の屈曲点
１９０ 第６の屈曲点
【図１】
2011192677.tif 000003
【図２】
2011192677.tif 000004
【図３】
2011192677.tif 000005
【図４】
2011192677.tif 000006
【図５】
2011192677.tif 000007
【図６】
2011192677.tif 000008
【図７】
2011192677.tif 000009
【図８】
2011192677.tif 000010
【図９】
2011192677.tif 000011
【図１０】
2011192677.tif 000012
【図１１】
2011192677.tif 000013
【図１２】
2011192677.tif 000014
【図１３】
2011192677.tif 000015
【図１４】
2011192677.tif 000016
【図１５】
2011192677.tif 000017
【図１６】
2011192677.tif 000018
【図１７】
2011192677.tif 000019
【図１８】
2011192677.tif 000020