(57)【要約】【課題】微細なトラック要素及びトラック分離要素を有し記録密度が高い磁気記録媒体を備え記録再生特性が良好な磁気記録再生装置、これに用いられる磁気記録媒体及びその記録方法を提供する。【解決手段】２つのトラック分離要素２２の間に配置された一対の第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂの第１トラック要素２６Ａに磁気信号を記録する第１トラック要素記録工程及び第２トラック要素２６Ｂに磁気信号を記録する第２トラック要素記録工程の少なくとも後で実行される方の工程において、記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの中心Ｃｈｗが記録対象のトラック要素の中心に対して記録対象のトラック要素と対をなすトラック要素から離れる方向にオフセットするように記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの位置を制御して記録対象のトラック要素への磁気信号の記録を行うオフセット記録を実行する。【選択図】図４
2011192353.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板、トラックに対応するパターンで形成され前記トラックの幅方向に交互に並んで配置された第１トラック要素及び第２トラック要素を備え前記基板の上に形成された記録層、及び前記トラックの周方向に沿って形成されたトラック分離要素を含み、前記トラックの幅方向に隣り合う２つの前記トラック分離要素の間に一対の前記第１トラック要素及び前記第２トラック要素が配置され、前記第１トラック要素は前記隣り合う２つの前記トラック分離要素の一方のトラック分離要素に接して配置され前記第２トラック要素は他方のトラック分離要素に接して配置されている磁気記録媒体と、
前記磁気記録媒体に対して磁気信号の記録を行うための記録ヘッド及び前記磁気記録媒体に記録された磁気信号を再生するための再生ヘッドを備える磁気ヘッドと、
前記磁気ヘッドを制御するための制御装置と、
を含み、
前記制御装置は、前記第１トラック要素に磁気信号を記録する第１トラック要素記録工程及び前記第１トラック要素と対をなす前記第２トラック要素に磁気信号を記録する第２トラック要素記録工程の少なくとも後で実行される方の工程において、前記記録ヘッドの前記幅方向の中心が記録対象のトラック要素の前記幅方向の中心に対して前記記録対象のトラック要素と対をなす他方のトラック要素から離れる方向にオフセットするように前記記録ヘッドの前記幅方向の位置を制御して前記記録対象のトラック要素への磁気信号の記録を行うオフセット記録を実行するように前記磁気ヘッドを制御することを特徴とする磁気記録再生装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記磁気記録媒体は、複数の対の前記第１トラック要素及び前記第２トラック要素が前記トラック分離要素のみを挟んで前記幅方向に連続して配置されている単位データ領域を１つ以上備え、
前記制御装置は、１つの前記単位データ領域に前記幅方向に連続して配置されている複数の前記第１トラック要素及び複数の前記第２トラック要素への磁気信号の記録順序が、これら第１トラック要素及び第２トラック要素が前記幅方向に並ぶ順序と一致し、これら第１トラック要素及び第２トラック要素のうちの前記単位データ領域の前記幅方向のいずれか一方の端に配置されたトラック要素に最初に磁気信号が記録されるように前記磁気ヘッドを制御することを特徴とする磁気記録再生装置。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記制御装置は、前記第１トラック要素記録工程及び前記第２トラック要素記録工程の両方の工程において前記オフセット記録を実行するように前記磁気ヘッドを制御することを特徴とする磁気記録再生装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかにおいて、
前記制御装置は、前記第１トラック要素に記録された磁気信号を再生する第１トラック要素再生工程及び前記第２トラック要素に記録された磁気信号を再生する第２トラック要素再生工程の両方の工程において、前記再生ヘッドの前記幅方向の中心が再生対象のトラック要素の前記幅方向の中心に対して前記再生対象のトラック要素と対をなす他方のトラック要素から離れる方向にオフセットするように前記再生ヘッドの前記幅方向の位置を制御して前記再生対象のトラック要素に記録された磁気信号の再生を行うオフセット再生を実行するように前記磁気ヘッドを制御することを特徴とする磁気記録再生装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかにおいて、
前記記録層には、前記対をなす前記第１トラック要素及び前記第２トラック要素の間に前記トラック分離要素よりも前記トラックの幅方向の幅が小さく、且つ、厚さ方向の寸法が小さいトラック分離微細溝が前記周方向に沿って形成され前記対をなす前記第１トラック要素及び前記第２トラック要素が前記トラック分離微細溝で分離されていることを特徴とする磁気記録再生装置。
【請求項６】
請求項５において、
前記記録層における前記第１トラック要素及び前記第２トラック要素の部分の上面がほぼ平坦であることを特徴とする磁気記録再生装置。
【請求項７】
基板、トラックに対応するパターンで形成され前記トラックの幅方向に交互に並んで配置された第１トラック要素及び第２トラック要素を備え前記基板の上に形成された記録層、及び前記トラックの周方向に沿って形成されたトラック分離要素を含み、前記トラックの幅方向に隣り合う２つの前記トラック分離要素の間に一対の前記第１トラック要素及び前記第２トラック要素が配置され、前記第１トラック要素は前記隣り合う２つの前記トラック分離要素の一方のトラック分離要素に接して配置され前記第２トラック要素は他方のトラック分離要素に接して配置されている磁気記録媒体における前記第１トラック要素に磁気信号を記録する第１トラック要素記録工程及び前記第１トラック要素と対をなす前記第２トラック要素に磁気信号を記録する第２トラック要素記録工程の少なくとも後で実行される方の工程において、記録ヘッドの前記幅方向の中心が記録対象のトラック要素の前記幅方向の中心に対して前記記録対象のトラック要素と対をなす他方のトラック要素から離れる方向にオフセットするように前記記録ヘッドの前記幅方向の位置を制御して前記記録対象のトラック要素への磁気信号の記録を行うオフセット記録を実行することを特徴とする磁気記録媒体への記録方法。
【請求項８】
基板と、トラックに対応するパターンで形成され前記トラックの幅方向に交互に並んで配置された第１トラック要素及び第２トラック要素を備え前記基板の上に形成された記録層と、前記トラックの周方向に沿って形成されたトラック分離要素と、を含み、前記トラックの幅方向に隣り合う２つの前記トラック分離要素の間に一対の前記第１トラック要素及び前記第２トラック要素が配置され、前記第１トラック要素は前記隣り合う２つの前記トラック分離要素の一方のトラック分離要素に接して配置され前記第２トラック要素は他方のトラック分離要素に接して配置されており、
前記記録層には、前記対をなす前記第１トラック要素及び前記第２トラック要素の間に前記トラック分離要素よりも前記トラックの幅方向の幅が小さく、且つ、厚さ方向の寸法が小さいトラック分離微細溝が前記周方向に沿って形成され前記対をなす前記第１トラック要素及び前記第２トラック要素が前記トラック分離微細溝で分離されていることを特徴とする磁気記録媒体。
【請求項９】
請求項８において、
前記記録層における前記第１トラック要素及び前記第２トラック要素の部分の上面がほぼ平坦であることを特徴とする磁気記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、トラック要素及びトラック分離要素を備える磁気記録媒体を有する磁気記録再生装置、これに用いられる磁気記録媒体及びその記録方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ハードディスクドライブ等の磁気記録再生装置は、磁気記録媒体の記録層を構成する磁性粒子の微細化、材料の変更、磁気ヘッドの加工の微細化等の改良により著しい磁気記録媒体の面記録密度の向上が図られており、今後も一層の面記録密度の向上が期待されているが、磁気ヘッドの加工限界、磁気ヘッドの記録磁界の広がりに起因する記録対象のトラックに隣り合うトラックへの誤った情報の記録、再生時のクロストークなどの問題が顕在化し、従来の改良手法による磁気記録媒体の面記録密度の向上は限界にきている。
【０００３】
これに対し、一層の面記録密度の向上を実現可能である磁気記録媒体の候補として、トラック要素及びトラック分離要素をデータ領域に備えるディスクリートトラックメディアやパターンドメディアが提案されている。尚、ディスクリートトラックメディアのトラック要素はトラックの形状で形成されるのに対し、パターンドメディアのトラック要素は記録ビットの形状で形成される。例えばトラック要素の材料である連続膜の磁性層の上に樹脂層を成膜し、樹脂層をインプリントやリソグラフィによりトラックや記録ビットに相当する凹凸パターンに加工し、凹凸パターンの樹脂層に基づいて磁性層をエッチングすることによりトラックや記録ビットの形状のトラック要素を形成することができる。尚、磁性層と樹脂層との間に１層又は２層以上のマスク層を成膜し、樹脂層に基づいてマスク層をエッチングし、マスク層に基づいて磁性層をエッチングすることも提案されている（例えば、特許文献１参照）。又、トラック要素が形成された被加工体の上に非磁性材料等の充填材を成膜してトラック要素の間の溝を充填し、トラック要素の上の余剰の充填材をドライエッチングやＣＭＰで除去して平坦化することによりトラック要素の間にトラック分離要素を形成できる。尚、良好な磁気ヘッドの浮上特性が得られれば、トラック要素の間の溝を充填せずに、トラック分離要素が溝（空隙）である構成としてもよい。又、連続膜の磁性層におけるトラック要素又はトラック分離要素に相当する部分にイオン注入処理や反応ガスによる処理を施して非強磁性体領域のトラック分離要素と強磁性体領域のトラック要素とを形成することも提案されている（例えば、特許文献２、３参照）。
【０００４】
このようにトラック要素の間にトラック分離要素を形成してトラック要素同士を磁気的に分離することにより面記録密度を向上させることが期待されている。
【０００５】
しかしながら、面記録密度を向上させるためにはトラック要素の幅やその間のトラック分離要素の幅を小さくする必要があり、要求される面記録密度の向上に伴って幅の小さなトラック分離要素を形成して幅の小さなトラック要素同士を分離することが困難になっていくという問題があった。
【０００６】
これに対し、記録層を構成する１つの磁性体の凸部に２列のトラック要素を備えるようにした磁気記録媒体が知られている（例えば、特許文献４参照）。このように１つの磁性体の凸部に２列のトラック要素を備えることによりトラックピッチを狭めて面記録密度の向上を図ることが期待される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平９−９７４１９号公報
【特許文献２】特開２００２−２８８８１３号公報
【特許文献３】特開２００２−３５９１３８号公報
【特許文献４】特開２００９−２０９２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、この磁気記録媒体を備えた磁気記録再生装置は１つの磁性体の凸部に配置された２列のトラック要素の間の誤った情報の記録や再生時のクロストークを抑制することが困難な場合があった。
【０００９】
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであって、微細なトラック要素及びトラック分離要素を有し記録密度が高い磁気記録媒体を備え記録再生特性が良好な磁気記録再生装置、これに用いられる磁気記録媒体及びその記録方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、基板、トラックに対応するパターンで形成されトラックの幅方向に交互に並んで配置された第１トラック要素及び第２トラック要素を備え基板の上に形成された記録層、及びトラックの周方向に沿って形成されたトラック分離要素を含み、トラックの幅方向に隣り合う２つのトラック分離要素の間に一対の第１トラック要素及び第２トラック要素が配置され、第１トラック要素は隣り合う２つのトラック分離要素の一方のトラック分離要素に接して配置され第２トラック要素は他方のトラック分離要素に接して配置されている磁気記録媒体と、磁気記録媒体に対して磁気信号の記録を行うための記録ヘッド及び磁気記録媒体に記録された磁気信号を再生するための再生ヘッドを備える磁気ヘッドと、磁気ヘッドを制御するための制御装置と、を含み、制御装置は、第１トラック要素に磁気信号を記録する第１トラック要素記録工程及び第１トラック要素と対をなす第２トラック要素に磁気信号を記録する第２トラック要素記録工程の少なくとも後で実行される方の工程において、記録ヘッドの幅方向の中心が記録対象のトラック要素の幅方向の中心に対して記録対象のトラック要素と対をなす他方のトラック要素から離れる方向にオフセットするように記録ヘッドの幅方向の位置を制御して記録対象のトラック要素への磁気信号の記録を行うオフセット記録を実行するように磁気ヘッドを制御する磁気記録再生装置により上記目的を達成したものである。
【００１１】
又、本発明は、基板、トラックに対応するパターンで形成されトラックの幅方向に交互に並んで配置された第１トラック要素及び第２トラック要素を備え基板の上に形成された記録層、及びトラックの周方向に沿って形成されたトラック分離要素を含み、トラックの幅方向に隣り合う２つのトラック分離要素の間に一対の第１トラック要素及び第２トラック要素が配置され、第１トラック要素は隣り合う２つのトラック分離要素の一方のトラック分離要素に接して配置され第２トラック要素は他方のトラック分離要素に接して配置されている磁気記録媒体における第１トラック要素に磁気信号を記録する第１トラック要素記録工程及び第１トラック要素と対をなす第２トラック要素に磁気信号を記録する第２トラック要素記録工程の少なくとも後で実行される方の工程において、記録ヘッドの幅方向の中心が記録対象のトラック要素の幅方向の中心に対して記録対象のトラック要素と対をなす他方のトラック要素から離れる方向にオフセットするように記録ヘッドの幅方向の位置を制御して記録対象のトラック要素への磁気信号の記録を行うオフセット記録を実行する磁気記録媒体への記録方法より上記目的を達成したものである。
【００１２】
第１トラック要素及び第２トラック要素の間にはトラック分離要素が形成されないので、トラックの幅方向のトラック要素の設置密度を高めることができる。
【００１３】
尚、第１トラック要素と第２トラック要素とが接していたり、或いはこれらの間のスペースの幅が小さく、例えば第２トラック要素記録工程が第１トラック要素記録工程の後に実行される場合、第１トラック要素記録工程において記録対象の第１トラック要素に記録されるべき磁気信号が記録対象ではない第２トラック要素の一部又は全部に記録されても、第２トラック要素記録工程において第２トラック要素の磁気信号は第２トラック要素に記録されるべき磁気信号に書き換えられる。同様に、第１トラック要素記録工程が第２トラック要素記録工程の後に実行される場合、第２トラック要素記録工程において記録対象の第２トラック要素に記録されるべき磁気信号が記録対象ではない第１トラック要素の一部又は全部に記録されても、第１トラック要素記録工程において第１トラック要素の磁気信号は第１トラック要素に記録されるべき磁気信号に書き換えられる。
【００１４】
更に、第１トラック要素記録工程及び第２トラック要素記録工程の少なくとも後で実行される方の工程において記録ヘッドの幅方向の中心が記録対象のトラック要素の幅方向の中心に対して記録対象のトラック要素と対をなすトラック要素から離れる方向にオフセットするように記録ヘッドの幅方向の位置を制御して記録対象のトラック要素への磁気信号の記録を行うオフセット記録を実行することにより、記録対象のトラック要素に記録されるべき磁気信号が記録対象のトラック要素と対をなすトラック要素に記録されることを防止又は実質的に問題がないレベルに抑制できる。
【００１５】
従って、トラック要素の幅方向の設置密度を高くして面記録密度を向上できると共に良好な記録再生特性が得られる。
【００１６】
又、本発明は、基板と、トラックに対応するパターンで形成されトラックの幅方向に交互に並んで配置された第１トラック要素及び第２トラック要素を備え基板の上に形成された記録層と、トラックの周方向に沿って形成されたトラック分離要素と、を含み、トラックの幅方向に隣り合う２つのトラック分離要素の間に一対の第１トラック要素及び第２トラック要素が配置され、第１トラック要素は隣り合う２つのトラック分離要素の一方のトラック分離要素に接して配置され第２トラック要素は他方のトラック分離要素に接して配置されており、記録層には、対をなす第１トラック要素及び第２トラック要素の間にトラック分離要素よりもトラックの幅方向の幅が小さく、且つ、厚さ方向の寸法が小さいトラック分離微細溝が周方向に沿って形成され対をなす第１トラック要素及び第２トラック要素がトラック分離微細溝で分離されていることを特徴とする磁気記録媒体により上記目的を達成したものである。
【００１７】
この磁気記録媒体は、対をなす第１トラック要素及び第２トラック要素がトラック分離要素よりもトラックの幅方向の幅が小さいトラック分離微細溝で分離されているので、対をなす第１トラック要素及び第２トラック要素がトラック分離要素で分離される場合よりも、幅方向のトラック要素の設置密度を向上できる。
【００１８】
又、トラック分離微細溝はトラック分離要素よりもトラックの幅方向の幅が小さく、且つ、厚さ方向の寸法が小さいが、対をなす第１トラック要素及び第２トラック要素の間の誤った磁気信号の記録の抑制に寄与する。
【００１９】
又、トラック分離微細溝の幅はトラック分離要素の幅よりも小さいが、トラック分離微細溝の厚さ方向の寸法はトラック分離要素の厚さ方向の寸法よりも小さいのでトラック分離微細溝の形成は容易である。例えば、連続膜の磁性層をエッチングしてトラック分離要素に相当する溝及びトラック分離微細溝を形成する場合、エッチングの条件によっては幅が著しく小さい溝は他の溝よりも厚さ方向にエッチングされにくいので、これを利用してトラック分離要素に相当する溝とトラック分離要素よりもトラックの幅方向の幅が小さく、且つ、厚さ方向の寸法が小さいトラック分離微細溝とを形成することができる。
【００２０】
即ち、次のような本発明により、上記目的を達成することができる。
【００２１】
（１）基板、トラックに対応するパターンで形成され前記トラックの幅方向に交互に並んで配置された第１トラック要素及び第２トラック要素を備え前記基板の上に形成された記録層、及び前記トラックの周方向に沿って形成されたトラック分離要素を含み、前記トラックの幅方向に隣り合う２つの前記トラック分離要素の間に一対の前記第１トラック要素及び前記第２トラック要素が配置され、前記第１トラック要素は前記隣り合う２つの前記トラック分離要素の一方のトラック分離要素に接して配置され前記第２トラック要素は他方のトラック分離要素に接して配置されている磁気記録媒体と、前記磁気記録媒体に対して磁気信号の記録を行うための記録ヘッド及び前記磁気記録媒体に記録された磁気信号を再生するための再生ヘッドを備える磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドを制御するための制御装置と、を含み、前記制御装置は、前記第１トラック要素に磁気信号を記録する第１トラック要素記録工程及び前記第１トラック要素と対をなす前記第２トラック要素に磁気信号を記録する第２トラック要素記録工程の少なくとも後で実行される方の工程において、前記記録ヘッドの前記幅方向の中心が記録対象のトラック要素の前記幅方向の中心に対して前記記録対象のトラック要素と対をなす他方のトラック要素から離れる方向にオフセットするように前記記録ヘッドの前記幅方向の位置を制御して前記記録対象のトラック要素への磁気信号の記録を行うオフセット記録を実行するように前記磁気ヘッドを制御することを特徴とする磁気記録再生装置。
【００２２】
（２）  （１）において、前記磁気記録媒体は、複数の対の前記第１トラック要素及び前記第２トラック要素が前記トラック分離要素のみを挟んで前記幅方向に連続して配置されている単位データ領域を１つ以上備え、前記制御装置は、１つの前記単位データ領域に前記幅方向に連続して配置されている複数の前記第１トラック要素及び複数の前記第２トラック要素への磁気信号の記録順序が、これら第１トラック要素及び第２トラック要素が前記幅方向に並ぶ順序と一致し、これら第１トラック要素及び第２トラック要素のうちの前記単位データ領域の前記幅方向のいずれか一方の端に配置されたトラック要素に最初に磁気信号が記録されるように前記磁気ヘッドを制御することを特徴とする磁気記録再生装置。
【００２３】
（３）  （１）又は（２）において、前記制御装置は、前記第１トラック要素記録工程及び前記第２トラック要素記録工程の両方の工程において前記オフセット記録を実行するように前記磁気ヘッドを制御することを特徴とする磁気記録再生装置。
【００２４】
（４）  （１）乃至（３）のいずれかにおいて、前記制御装置は、前記第１トラック要素に記録された磁気信号を再生する第１トラック要素再生工程及び前記第２トラック要素に記録された磁気信号を再生する第２トラック要素再生工程の両方の工程において、前記再生ヘッドの前記幅方向の中心が再生対象のトラック要素の前記幅方向の中心に対して前記再生対象のトラック要素と対をなす他方のトラック要素から離れる方向にオフセットするように前記再生ヘッドの前記幅方向の位置を制御して前記再生対象のトラック要素に記録された磁気信号の再生を行うオフセット再生を実行するように前記磁気ヘッドを制御することを特徴とする磁気記録再生装置。
【００２５】
（５）  （１）乃至（４）のいずれかにおいて、前記記録層には、前記対をなす前記第１トラック要素及び前記第２トラック要素の間に前記トラック分離要素よりも前記トラックの幅方向の幅が小さく、且つ、厚さ方向の寸法が小さいトラック分離微細溝が前記周方向に沿って形成され前記対をなす前記第１トラック要素及び前記第２トラック要素が前記トラック分離微細溝で分離されていることを特徴とする磁気記録再生装置。
【００２６】
（６）  （５）において、前記記録層における前記第１トラック要素及び前記第２トラック要素の部分の上面がほぼ平坦であることを特徴とする磁気記録再生装置。
【００２７】
（７）基板、トラックに対応するパターンで形成され前記トラックの幅方向に交互に並んで配置された第１トラック要素及び第２トラック要素を備え前記基板の上に形成された記録層、及び前記トラックの周方向に沿って形成されたトラック分離要素を含み、前記トラックの幅方向に隣り合う２つの前記トラック分離要素の間に一対の前記第１トラック要素及び前記第２トラック要素が配置され、前記第１トラック要素は前記隣り合う２つの前記トラック分離要素の一方のトラック分離要素に接して配置され前記第２トラック要素は他方のトラック分離要素に接して配置されている磁気記録媒体における前記第１トラック要素に磁気信号を記録する第１トラック要素記録工程及び前記第１トラック要素と対をなす前記第２トラック要素に磁気信号を記録する第２トラック要素記録工程の少なくとも後で実行される方の工程において、記録ヘッドの前記幅方向の中心が記録対象のトラック要素の前記幅方向の中心に対して前記記録対象のトラック要素と対をなす他方のトラック要素から離れる方向にオフセットするように前記記録ヘッドの前記幅方向の位置を制御して前記記録対象のトラック要素への磁気信号の記録を行うオフセット記録を実行することを特徴とする磁気記録媒体への記録方法。
【００２８】
（８）基板と、トラックに対応するパターンで形成され前記トラックの幅方向に交互に並んで配置された第１トラック要素及び第２トラック要素を備え前記基板の上に形成された記録層と、前記トラックの周方向に沿って形成されたトラック分離要素と、を含み、前記トラックの幅方向に隣り合う２つの前記トラック分離要素の間に一対の前記第１トラック要素及び前記第２トラック要素が配置され、前記第１トラック要素は前記隣り合う２つの前記トラック分離要素の一方のトラック分離要素に接して配置され前記第２トラック要素は他方のトラック分離要素に接して配置されており、前記記録層には、前記対をなす前記第１トラック要素及び前記第２トラック要素の間に前記トラック分離要素よりも前記トラックの幅方向の幅が小さく、且つ、厚さ方向の寸法が小さいトラック分離微細溝が前記周方向に沿って形成され前記対をなす前記第１トラック要素及び前記第２トラック要素が前記トラック分離微細溝で分離されていることを特徴とする磁気記録媒体。
【００２９】
（９）  （８）において、前記記録層における前記第１トラック要素及び前記第２トラック要素の部分の上面がほぼ平坦であることを特徴とする磁気記録媒体。
【００３０】
尚、本出願において「トラックの幅方向に隣り合う２つのトラック分離要素の間に一対の第１トラック要素及び第２トラック要素が配置された記録層」とは一対の第１トラック要素及び第２トラック要素とこれに隣り合う他の一対の第１トラック要素及び第２トラック要素とがトラック分離要素によって完全に分離された記録層の他、データ領域ではトラック分離要素によって分離された一対の第１トラック要素及び第２トラック要素とこれに隣り合う他の一対の第１トラック要素及び第２トラック要素とがデータ領域とサーボ領域との境界付近等では連続している記録層、又、例えば螺旋状の渦巻き形状の記録層のように基板の上の一部に一対の第１トラック要素及び第２トラック要素が連続して形成される記録層、トラック分離要素が記録層の厚さ方向の途中の位置まで形成されてトラック分離要素の底部において一対の第１トラック要素及び第２トラック要素とこれに隣り合う他の一対の第１トラック要素及び第２トラック要素とが連続した記録層も含む意義で用いることとする。
【００３１】
又、本出願において「トラック分離要素の幅」、「トラック分離微細溝の幅」とは、記録層の上面のレベルにおける幅という意味で用いることとする。
【００３２】
又、本出願において「記録層の上面」とは、記録層における基板と反対側の面であって、磁気ヘッドに対向する側の面という意義で用いることとする。
【００３３】
又、本出願において「トラック分離要素の厚さ方向の寸法」、「トラック分離微細溝の厚さ方向の寸法」とは、記録層の上面のレベルからの厚さ方向の寸法という意味で用いることとする。
【００３４】
又、本出願において「磁気記録媒体」という用語は、情報の記録、読み取りに磁気のみを用いるハードディスク、フロッピー（登録商標）ディスク、磁気テープ等に限定されず、磁気と光を併用するMO(Magneto Optical)等の光磁気記録媒体、磁気と熱を併用する熱アシスト型の記録媒体、磁気とマイクロ波を併用するマイクロ波アシスト型の記録媒体も含む意義で用いることとする。
【発明の効果】
【００３５】
本発明によれば、微細なトラック要素及びトラック分離要素を有し記録密度が高い磁気記録媒体を備え記録再生特性が良好な磁気記録再生装置、これに用いられる磁気記録媒体及びその記録方法を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る磁気記録再生装置の要部の構成を模式的に示すブロック図
【図２】同磁気記録再生装置の磁気記録媒体の構造を模式的に示す平面図
【図３】図２におけるIII部を拡大して示すグラフを含む平面図
【図４】同磁気記録媒体のトラック要素及びその周辺の構造を示す径方向及び厚さ方向に平行な断面図
【図５】同磁気記録媒体の単位データ領域及びスペース領域を模式的に示す平面図
【図６】同磁気記録再生装置の記録ヘッドの磁気的書込み幅の測定方法を示す平面図
【図７】同磁気的書込み幅の測定における再生ヘッドの被記録部位の幅方向の位置と再生信号の出力との関係を示すグラフ
【図８】同磁気記録再生装置の再生ヘッドの磁気的読出し幅の測定方法を示す平面図
【図９】同磁気的読出し幅の測定における再生ヘッドのマイクロトラックの幅方向の位置と再生信号の出力との関係を示すグラフ
【図１０】同第１実施形態における磁気信号の記録方法の概要を示すフローチャート
【図１１】同記録方法における第１トラック要素記録工程を模式的に示す平面図
【図１２】同記録方法における第２トラック要素記録工程を模式的に示す平面図
【図１３】同第１実施形態における磁気信号の再生方法の概要を示すフローチャート
【図１４】同再生方法における第１トラック要素再生工程を模式的に示す平面図
【図１５】同再生方法における第２トラック要素再生工程を模式的に示す平面図
【図１６】同磁気記録媒体の製造方法の一例の概要を示すフローチャート
【図１７】同製造工程における被加工体の出発体の構造を模式的に示す径方向及び厚さ方向に平行な断面図
【図１８】凹凸パターンの樹脂層が形成された同被加工体の形状を模式的に示す径方向及び厚さ方向に平行な断面図
【図１９】トラック要素が形成された同被加工体の形状を模式的に示す径方向及び厚さ方向に平行な断面図
【図２０】本発明の第２実施形態に係る磁気記録再生装置の第１トラック要素記録工程を模式的に示す平面図
【図２１】同第２実施形態における第２トラック要素記録工程を模式的に示す平面図
【図２２】本発明の第３実施形態における第１トラック要素記録工程を模式的に示す平面図
【図２３】本発明の第４実施形態に係る磁気記録再生装置の磁気記録媒体の構造を模式的に示す平面図
【発明を実施するための形態】
【００３７】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００３８】
図１に示されるように、本発明の第１実施形態に係る磁気記録再生装置１０は、磁気記録媒体１２と、磁気ヘッド１４と、磁気ヘッド１４等を制御するための制御装置１６と、を備えている。
【００３９】
図２に示されるように磁気記録媒体１２は、周方向に適宜な間隔で放射状に設定される複数のサーボ領域ＳＡと、これらサーボ領域の間に設定されるデータ領域ＤＡと、に区分けされ、図３に示されるようにサーボ領域ＳＡに所定のサーボパターンのサーボ信号が記録されて使用される。尚、サーボ信号のパターンは機能に応じて例えばプリアンブルパターン、サーボアドレスマークパターン、アドレスパターン、バーストパターン等で構成される。
【００４０】
磁気記録媒体１２は垂直記録型であり、図３及び４に示されるように、基板１８と、トラックに対応するパターンで形成されトラックの幅方向Ｄｗ（磁気記録媒体１２の径方向）に交互に並んで配置された第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂを備え基板１８の上に形成された記録層２０と、トラック分離要素２２と、を含み、トラックの幅方向Ｄｗに隣りあう２つのトラック分離要素２２の間に一対の第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂが配置されている。第１トラック要素２６Ａは隣りあう２つのトラック分離要素２２の一方のトラック分離要素２２に接して配置され第２トラック要素２６Ｂは他方のトラック分離要素２２に接して配置されている。
【００４１】
又、記録層２０には、対をなす第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂの間にトラック分離要素２２よりもトラックの幅方向Ｄｗの幅が小さく、且つ、厚さ方向の寸法が小さいトラック分離微細溝２４がトラックの周方向Ｄｃに沿って形成され、対をなす第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂがトラック分離微細溝２４で分離されている。尚、トラック分離微細溝２４は充填要素２４Ａで充填されている。
【００４２】
又、磁気記録媒体１２は、図５に示されるように複数の対の第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂがトラック分離要素２２のみを挟んで幅方向Ｄｗに連続して配置されている複数の単位データ領域ＵＤＡを備えている。単位データ領域ＵＤＡと隣り合う他の単位データ領域ＵＤＡとの間には、スペース領域ＳＰＡが設けられている。尚、スペース領域ＳＰＡは、単位データ領域ＵＤＡ内の径方向の端に配置されている第１トラック要素２６Ａ又は第２トラック要素２６Ｂに磁気信号記録をする際に、スペース領域ＳＰＡを介して幅方向Ｄｗに隣接する他の単位データ領域ＵＤＡ内の第１トラック要素２６Ａ及び／又は第２トラック要素２６Ｂには磁気信号の記録がされないようにする役割を果たす。従って、スペース領域ＳＰＡのトラックの幅方向Ｄｗの幅は、トラック分離要素２２のトラックの幅方向Ｄｗの幅よりも大きい。
【００４３】
基板１８は、中心孔を有する略円板形状である。基板１８の材料としてはガラス、Ａｌ、Ａｌ２Ｏ３等を用いることができる。
【００４４】
記録層２０は、厚さが５〜３０ｎｍである。記録層２０の材料（第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂの材料）は、例えばＣｏＣｒＰｔ合金等のＣｏＰｔ系合金、ＦｅＰｔ系合金、これらの積層体、ＣｏＣｒＰｔ等の強磁性粒子の間にＳｉＯ２、ＴｉＯ２等の酸化物系材料を存在させた材料等である。
【００４５】
トラック分離要素２２の幅は例えば２０〜５０ｎｍである。トラック分離要素２２は記録層２０の下面（基板１８側の面）まで形成されている。トラック分離要素２２の材料は、例えば、ＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３、ＴｉＯ２、ＭｇＯ、ＺｒＯ２、フェライト等の酸化物、ＡｌＮ等の窒化物、ＳｉＣ等の炭化物、Ｓｉ、Ｃ（炭素）、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｔｉのような非磁性の金属、樹脂材料等である。又、トラック分離要素２２の材料は、記録層２０の材料にイオン注入処理や反応ガスによる処理が施されて磁気特性が変質した材料（例えば、飽和磁化量を第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂの材料よりも小さくした材料、又は飽和磁化量が実質的に消失した材料）でもよい。
【００４６】
トラック分離微細溝２４は記録層２０の厚さ方向の途中の位置まで形成されている。トラック分離微細溝２４の幅は例えば３〜２０ｎｍである。トラック分離微細溝２４の幅は、第１トラック要素２６Ａ又は第２トラック要素２６Ｂの幅の半分以下であることが好ましい。尚、トラック分離要素２２の幅、トラック分離微細溝２４の幅、第１トラック要素２６Ａの幅、第２トラック要素２６Ｂの幅は、いずれも、記録層２０の上面における幅である。トラック分離微細溝２４の厚さ方向の寸法は例えば３〜１０ｎｍである。トラック分離微細溝２４の厚さ方向の寸法は、第１トラック要素２６Ａ又は第２トラック要素２６Ｂの厚さ方向の寸法の半分以下であることが好ましい。尚、トラック分離微細溝２４を充填する充填要素２４Ａの材料は、トラック分離要素２２の材料と同じである。又、記録層２０におけるトラック分離微細溝２４の下の部分の材料は、第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂの材料と同じである。
【００４７】
第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂは、図３に示されるように、データ領域ＤＡに形成されている。第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂは、実際にはトラックの形状に相当する円弧形状であり、多数の第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂが幅方向Ｄｗに交互に並んで同心状に形成されている。第１トラック要素２６Ａ、第２トラック要素２６Ｂの上面の径方向の幅Ｔｗは１０〜１００ｎｍである。記録層２０における第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂの部分の上面はほぼ平坦であることが好ましい。
【００４８】
尚、スペース領域ＳＰＡの部分は、単位データ領域ＵＤＡと同様に第１トラック要素２６Ａ、第２トラック要素２６Ｂ、トラック分離微細溝２４及びトラック分離要素２２が形成された構成でもよい。又、スペース領域ＳＰＡの部分は、トラック分離要素２２や充填要素２４Ａと同じ材料だけで形成されていてもよい。又、スペース領域ＳＰＡの部分は、記録層２０と同じ材料だけで形成されていてもよい。
【００４９】
又、記録層２０は、サーボ領域ＳＡにおいて、上記のサーボパターンに相当するサーボ要素を備えている。サーボ要素は、第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂと同じ強磁性材料で形成されている。尚、サーボ要素の周囲には、トラック分離要素２２、充填要素２４Ａの材料と同じ材料の分離要素が備えられている。図３は、サーボパターンにおける磁気ヘッドの位置決めのために使用されるバーストパターンを模式的に示しており、各バースト信号要素２８Ａ、２８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｄはサーボ要素の一部である。尚、好ましくは各バースト信号要素２８Ａ、２８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｄは周方向Ｄｃに並んで複数設置される。又、図３におけるグラフは、磁気ヘッド１４の磁気記録媒体１２における幅方向Ｄｗの位置とバースト信号要素の出力電圧等との関係を模式的に示す。Ｖａ、Ｖｂ、Ｖｃ、Ｖｄは、それぞれバースト信号要素２８Ａ、２８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｄから得られる出力電圧に相当する。
【００５０】
尚、第１トラック要素２６Ａ、第２トラック要素２６Ｂ、トラック分離要素２２、充填要素２４Ａの上には実際には、保護層、潤滑層がこの順で形成されるが、これらの層は本第１実施形態の理解のために必要とは思われないためここでは図示及び説明を省略する。
【００５１】
又、基板１８と記録層２０との間には、軟磁性層３２、配向層３４が形成されているが、これらの層も本第１実施形態の理解のために必要とは思われないためここでは説明を省略する。
【００５２】
磁気ヘッド１４は、磁気記録媒体１２に対して磁気信号の記録を行うための記録ヘッド１４Ａ及び磁気記録媒体１２に記録された磁気信号を再生するための再生ヘッド１４Ｂ(図１４参照）を備えている。図３に示されるように、本第１実施形態では、記録ヘッド１４Ａの磁気的書込み幅ＭＷｗは以下の範囲である。
２*Ｔｗ＋Ｓｗ≦ＭＷｗ＜２*Ｔｗ＋Ｓｗ＋２*Ｌｗ
ここでＬｗはトラック分離要素２２の幅であり、Ｓｗはトラック分離微細溝２４の幅である。
【００５３】
記録ヘッド１４Ａは磁気記録媒体１２の表面に対して垂直な方向の記録磁界を第１トラック要素２６Ａ、第２トラック要素２６Ｂに印加するように構成されている。尚、記録ヘッド１４Ａは実際には主磁極、リターン磁極、電磁コイル等により構成されるが本願では便宜上主磁極のみを模式的に図示している。
【００５４】
本出願において「記録ヘッドの磁気的書込み幅ＭＷｗ」とは、以下のような手法で測定される値という意義で用いることとする。まず、磁気記録媒体１２のサーボ領域における記録層２０が径方向に連続して形成されている部分に、図６に示されるように記録ヘッド１４Ａで記録磁界を印加して磁気記録媒体の周方向に沿ってトラック状の被記録部位１０４を磁気的に形成する。又、磁気記録媒体１２の記録層２０と同じ材料で構成され厚さが記録層２０と等しく一定である連続膜の記録層を有し、且つ、記録層以外の構成が磁気記録媒体１２と等しい測定用の磁気記録媒体を用意し、同様に記録ヘッド１４Ａで記録磁界を印加してトラック状の被記録部位１０４を磁気的に形成してもよい。尚、いずれの場合も被記録部位１０４の周囲は交流消去状態としておく。次に、この被記録部位１０４から充分離れた位置から被記録部位１０４の幅方向に沿って再生ヘッド１０６を被記録部位１０４に接近させ、更に、被記録部位１０４の上を通過させて、被記録部位１０４から充分離れた反対側の位置まで再生ヘッド１０６を移動させる。この際、被記録部位１０４に対する再生ヘッド１０６の幅方向の位置と再生ヘッド１０６の再生出力との関係は図７に示されるように、被記録部位１０４の幅方向の中心位置に対して対称的な形状となる。図７において、再生出力の値が再生出力の最大値の半分となる、被記録部位１０４の両側における再生ヘッド１０６の幅方向の２点の位置の間隔（半値幅）を「記録ヘッド１４Ａの磁気的書込み幅ＭＷｗ」と定義する。尚、磁気的書込み幅ＭＷｗの測定で用いる再生ヘッド１０６は、測定しようとする磁気的書込み幅ＭＷｗよりも磁気的読出し幅ＭＲｗが小さいものを用いる。この条件を満たしていれば、再生ヘッド１０６は、記録ヘッド１４Ａと共に磁気ヘッド１４に備えられる再生ヘッド１４Ｂでも測定用の他の再生ヘッドでもよい。
【００５５】
再生ヘッド１４Ｂは、ＧＭＲ素子、ＴＭＲ素子等のＭＲ素子を備えている。図１４に示されるように、本第１実施形態では、再生ヘッド１４Ｂの磁気的読出し幅ＭＲｗは以下の範囲である。
Ｔｗ≦ＭＲｗ＜Ｔｗ＋Ｓｗ＋Ｌｗ
【００５６】
再生ヘッド１４Ｂの磁気的読出し幅ＭＲｗは以下の範囲であることが好ましい。
ＭＲｗ＜Ｔｗ＋Ｌｗ
【００５７】
本出願において「再生ヘッドの磁気的読出し幅ＭＲｗ」とは、以下のような手法で測定される値という意義で用いることとする。まず、上記の磁気的書込み幅ＭＷｗの測定と同様に、磁気記録媒体１２のサーボ領域における記録層２０が径方向に連続して形成されている部分、又は測定用の磁気記録媒体に記録ヘッド１４Ａで磁界を印加して幅がＷのトラックを周方向に沿って磁気的に形成し、更にこのトラックの幅方向の両端部を交流消去することで、測定しようとする磁気的読出し幅ＭＲｗよりも幅が小さい図８に示されるようなマイクロトラック１０８を（磁気的に）形成する。例えば記録ヘッド１４Ａで形成したトラックの幅方向の両端の約Ｗ／３の部分を交流消去し、幅がＷ／３であるマイクロトラック１０８を（磁気的に）形成する。このようにして、測定しようとする磁気的読出し幅ＭＲｗよりも幅が充分に小さいマイクロトラック１０８を（磁気的に）形成する。次に、このマイクロトラック１０８から充分離れた位置からマイクロトラック１０８の幅方向に沿って再生ヘッド１４Ｂをマイクロトラック１０８に接近させ、更に、マイクロトラック１０８の上を通過させて、マイクロトラック１０８から充分離れた反対側の位置まで再生ヘッド１４Ｂを移動させる。この際、マイクロトラック１０８に対する再生ヘッド１０６の幅方向の位置と再生ヘッド１４Ｂの再生出力との関係は図９のようになる。再生出力の値が再生出力の最大値の半分の値となる、マイクロトラック１０８の両側における、再生ヘッド１４Ｂの幅方向の２点の位置の間隔（半値幅）を「再生ヘッド１４Ｂの磁気的読出し幅ＭＲｗ」と定義する。
【００５８】
又、図１に示されるように磁気ヘッド１４は、スイングアーム３６と、スイングアーム３６の先端近傍に取付けられたスライダ３８と、を備えている。スイングアーム３６は、一定の範囲で回転可能であるように基端において軸支されている。スライダ３８は、スイングアーム３６により磁気記録媒体１２の表面の方向に付勢されている。一方、磁気記録媒体１２が回転することで磁気記録媒体１２の表面とスライダ３８における磁気記録媒体１２の表面に対向する浮上面(Air Bearing Surface)との間に空気流が発生する。この空気の圧力によりスライダ３８は、スイングアーム３６の付勢力に抗して自身と磁気記録媒体１２の表面との間にギャップを有して磁気記録媒体１２の表面に対して浮上するように構成されている。記録ヘッド１４Ａ及び再生ヘッド１４Ｂはスライダ３８にスイングアーム３６の長手方向（磁気記録媒体１２の周方向Ｄｃ）に並んで設置されている。又、記録ヘッド１４Ａ及び再生ヘッド１４Ｂは、記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの中心と再生ヘッド１４Ｂの幅方向Ｄｗの中心とがほぼ一致するようにスライダ３８に設置されている。
【００５９】
制御装置１６はＩＣチップ等である。制御装置１６のプログラムは、例えばファームウェアであり、ＲＯＭやフラッシュメモリに保存されている。
【００６０】
又、図１に示されるように、磁気記録再生装置１０は、磁気ヘッド１４のスイングアーム３６を駆動するためのボイスコイルモータ４０を備えている。磁気ヘッド１４のスライダ３８はボイスコイルモータ４０により磁気記録媒体１２の径方向に沿う円弧軌道の任意の点に位置決め可能とされている。更に、磁気記録再生装置１０は、磁気記録媒体１２を回転させるためのスピンドルモータ４２と、モータドライバ４４と、プリアンプ４６と、リードライトチャネル４８と、を備えている。
【００６１】
次に、制御装置１６による磁気記録再生装置１０の制御について説明する。
【００６２】
まず磁気信号の記録時における制御について図１０のフローチャートに沿って説明する。
【００６３】
初めに図１１に示されるように、第１トラック要素２６Ａに磁気信号を記録する（Ｓ１０２：第１トラック要素記録工程）。この工程では、記録対象の第１トラック要素２６Ａが平面視において記録ヘッド１４Ａの磁気的書込み幅ＭＷｗに相当する部分の幅方向Ｄｗの両端の間に確実に存在するように磁気ヘッド１４の位置を制御する。又、記録対象の第１トラック要素２６Ａとトラック分離要素２２を介して隣り合って配置されている他の一対の第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂには記録対象の第１トラック要素２６Ａに記録されるべき磁気信号が記録されないように磁気ヘッド１４の位置を制御する。例えば、バースト信号要素２８Ａ、２８Ｂの出力信号に基づいて、記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの中心とトラック分離微細溝２４の幅方向Ｄｗの中心とが一致するように磁気ヘッド１４の位置を制御する。尚、この場合、記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの中心Ｃｈｗは、第１トラック要素２６Ａの幅方向Ｄｗの中心Ｃｔ１に対して第１トラック要素２６Ａと対をなす第２トラック要素２６Ｂの方向にオフセットする。これにより、第１トラック要素２６Ａに所望の磁気信号が記録される。又、記録対象の第１トラック要素と対をなす第２トラック要素２６Ｂにも、第１トラック要素２６Ａと同じ磁気信号が記録される。尚、実際には磁気信号は記録ヘッド１４Ａの（磁気記録媒体１０に対する相対的な走行方向の）後側に形成され、記録ヘッド１４Ａは記録済みの磁気信号の前側に位置するが、図１１では便宜上、磁気信号のパターンの真上に記録ヘッド１４Ａを図示している。後述する図１２及び図２０〜２３でも同様である。
【００６４】
次に、制御装置１６は、更なる磁気信号の記録が必要かどうか判断する（Ｓ１０４：記録継続／終了判定工程）。更なる磁気信号の記録は必要ではないと判断した場合、磁気信号の記録を終了する。
【００６５】
一方、更なる磁気信号の記録が必要と判断した場合は、図１２及び図４に示されるように、第２トラック要素２６Ｂに磁気信号を記録する（Ｓ１０６：第２トラック要素記録工程）。この工程では、記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの中心Ｃｈｗが記録対象の第２トラック要素２６Ｂの幅方向Ｄｗの中心Ｃｔ２に対して記録対象の第２トラック要素２６Ｂと対をなす第１トラック要素２６Ａから離れる方向にオフセットするように記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの位置を制御して第２トラック要素２６Ｂへの磁気信号の記録を行うオフセット記録を実行するように磁気ヘッド１４を制御する。オフセット量は、第２トラック要素２６Ｂに記録されるべき磁気信号が（記録対象の第２トラック要素２６Ｂと対をなす）第１トラック要素２６Ａに記録されないような値に設定する。例えば、バースト信号要素２８Ｃ、２８Ｄの出力信号に基づいて、記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの中心Ｃｈｗとトラック分離要素２２の幅方向Ｄｗの中心とが所定量オフセットするように磁気ヘッド１４の位置を制御する。又、記録ヘッド１４Ａの磁気的書込み幅ＭＷｗによっては記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの中心Ｃｈｗとトラック分離要素２２の幅方向Ｄｗの中心とが一致するように磁気ヘッド１４の位置を制御してもよい。
【００６６】
尚、本出願において「第２トラック要素に記録されるべき磁気信号が第１トラック要素に記録されない」とは、第２トラック要素に記録されるべき磁気信号の記録磁界により第１トラック要素が全く磁化されない場合、及び第２トラック要素に記録されるべき磁気信号の記録磁界により第１トラック要素の一部が磁化されても、再生時において意味を成す信号とは認識されない場合を含む意義で用いることとする。「第１トラック要素に記録されるべき磁気信号が第２トラック要素に記録されない」についても同様である。
【００６７】
これにより、第２トラック要素２６Ｂの磁気信号は、第１トラック要素記録工程(Ｓ１０２)で記録された磁気信号（第１トラック要素２６Ａと同じ磁気信号）から第２トラック要素２６Ｂに記録されるべき磁気信号に書き換えられる。尚、この工程では、図１２に示されるように平面視において記録ヘッド１４Ａの磁気的書込み幅ＭＷｗに相当する部分の幅方向Ｄｗの端部が記録対象の第２トラック要素２６Ｂにおける幅方向Ｄｗのトラック分離微細溝２４側の端部と一致しているまたはその近傍に位置していることが好ましい。これにより第２トラック要素２６Ｂに記録されるべき磁気信号が第２トラック要素２６Ｂの幅方向全体に記録されると共に、第２トラック要素２６Ｂに記録されるべき磁気信号が（記録対象の第２トラック要素２６Ｂと対をなす）第１トラック要素２６Ａに記録されることを確実に防止できる。
【００６８】
次に、制御装置１６は、更なる磁気信号の記録が必要かどうか判断する（Ｓ１０８：記録継続／終了判定工程）。更なる磁気信号の記録は必要ではないと判断した場合、磁気信号の記録を終了する。
【００６９】
一方、更なる磁気信号の記録が必要と判断した場合、記録済みの一対の第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂの隣の他の一対の１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂに対し、上記の第１トラック要素記録工程（Ｓ１０２）、第２トラック要素記録工程（Ｓ１０６）を実行する。
【００７０】
第２トラック要素記録工程（Ｓ１０６）では、記録対象の第２トラック要素２６Ｂを含む一対の第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂの隣の他の一対の第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂの両方又は第１トラック要素２６Ａの少なくとも一部（本第１実施形態では第１トラック要素２６Ａのみ）にも、記録対象の第２トラック要素２６Ｂに記録されるべき磁気信号が記録されるが、隣の他の一対の第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂに対して上記の第１トラック要素記録工程（Ｓ１０２）、第２トラック要素記録工程（Ｓ１０６）を実行することにより、これら隣の他の一対の第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂにも所望の磁気信号が順次記録される。
【００７１】
制御装置１６は、１つの単位データ領域ＵＤＡに幅方向Ｄｗに連続して配置されている複数の第１トラック要素２６Ａ及び複数の第２トラック要素２６Ｂへの磁気信号の記録順序が、これら第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂが幅方向Ｄｗに並ぶ順序と一致し、単位データ領域ＵＤＡの幅方向Ｄｗのいずれか一方の端に配置されたトラック要素（第１トラック要素２６Ａ又は第２トラック要素２６Ｂ）に最初に磁気信号が記録されるように磁気ヘッド１４を制御する。これにより、各第１トラック要素２６Ａ及び各第２トラック要素２６Ｂに所望の磁気信号を記録することができる。
【００７２】
尚、２つ以上の単位データ領域ＵＤＡに対して磁気信号の記録を行う場合、例えば、第１の単位データ領域ＵＤＡの一部の第１トラック要素２６Ａ及び／又は第２トラック要素２６Ｂに磁気信号を記録した後、第２の単位データ領域ＵＤＡの一部又は全部の第１トラック要素２６Ａ及び／又は第２トラック要素２６Ｂに磁気信号を記録し、次に第１の単位データ領域ＵＤＡの残りの第１トラック要素２６Ａ及び／又は第２トラック要素２６Ｂに磁気信号を記録するようにしてもよい。このような場合も、各単位データ領域ＵＤＡに幅方向Ｄｗに連続して配置されている複数の第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂへの磁気信号の記録順序が、これら第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂが幅方向Ｄｗに並ぶ順序と一致し、単位データ領域ＵＤＡの幅方向Ｄｗのいずれか一方の端に配置された第１トラック要素２６Ａ又は第２トラック要素２６Ｂに最初に磁気信号が記録されるように磁気ヘッド１４を制御することで、各第１トラック要素２６Ａ及び各第２トラック要素２６Ｂに所望の磁気信号を記録することができる。
【００７３】
尚、上記の例では磁気記録媒体１２は複数の単位データ領域ＵＤＡを備えているが、磁気記録媒体１２は単位データ領域ＵＤＡを１つだけ備えていてもよい。この場合、１つの単位データ領域ＵＤＡの一部又は全部の第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂに、これら第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂが幅方向に並ぶ順序で磁気信号を連続して記録すればよい。
【００７４】
又、必ずしも各単位データ領域ＵＤＡ内の総ての第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂに磁気信号を記録する必要はなく、必要な磁気信号の記録を完了したと判断したら（Ｓ１０４、Ｓ１０８）、その単位データ領域ＵＤＡに対する磁気信号の記録は終了してもよい。この場合、最後に磁気信号が記録された第１トラック要素２６Ａ又は第２トラック要素２６Ｂの隣の第２トラック要素２６Ｂ又は第１トラック要素２６Ａにも最後に磁気信号が記録された第１トラック要素２６Ａ又は第２トラック要素２６Ｂに記録されるべき磁気信号が記録されるが、この磁気信号は意味の無い磁気信号として扱えばよい。
【００７５】
次に磁気信号の再生時における制御について図１３のフローチャートに沿って説明する。
【００７６】
まず再生すべき磁気信号が記録された第１トラック要素２６Ａ又は第２トラック要素２６Ｂを選択する（Ｓ２０２：再生対象トラック要素選択工程）。
【００７７】
次に、選択された第１トラック要素２６Ａ又は第２トラック要素２６Ｂに記録された磁気信号を再生する（Ｓ２０４：トラック要素再生工程）。
【００７８】
第１トラック要素２６Ａに記録された磁気信号を再生する場合、図１４に示されるように、再生ヘッド１４Ｂの幅方向Ｄｗの中心Ｃｈｒを再生対象の第１トラック要素２６Ａの幅方向Ｄｗの中心Ｃｔ１に対して再生対象の第１トラック要素２６Ａと対をなす第２トラック要素２６Ｂから離れる方向にオフセットするように再生ヘッド１４Ｂの位置を制御して再生対象の第１トラック要素２６Ａに記録された磁気信号の再生を行うオフセット再生を実行する。
【００７９】
この際、再生対象の第１トラック要素２６Ａと対をなす第２トラック要素２６Ｂに記録された磁気信号や、トラック分離要素２２を介して再生対象の第１トラック要素２６Ａと隣り合う第２トラック要素２６Ｂに記録された磁気信号が再生ヘッド１４Ｂで再生されないようにオフセット量を設定する。尚、本出願において「第２トラック要素２６Ｂに記録された磁気信号が再生ヘッド１４Ｂで再生されない」とは、第２トラック要素に記録されている磁気信号による磁界が再生ヘッド１４Ｂで全く検知されない場合、及び第２トラック要素に記録されている磁気信号による磁界が再生ヘッド１４Ｂで検知されても、意味を成す信号とは認識されない場合を含む意義で用いることとする。
【００８０】
この場合、平面視において再生ヘッド１４Ｂの磁気的読出し幅ＭＲｗに相当する部分が少なくとも再生対象の第１トラック要素２６Ａにおける幅方向Ｄｗのトラック分離要素２２側の端部の上に存在するように磁気ヘッド１４の位置を制御することが好ましい。又、平面視において再生ヘッド１４Ｂの磁気的読出し幅ＭＲｗに相当する部分が再生対象の第１トラック要素２６Ａにおける幅方向Ｄｗのトラック分離微細溝２４側の端部よりも再生対象の第１トラック要素２６Ａと対をなす第２トラック要素２６Ｂから離れる側に位置するか、図１４に示されるように再生ヘッド１４Ｂの磁気的読出し幅ＭＲｗに相当する部分の幅方向Ｄｗの端部が再生対象の第１トラック要素２６Ａにおける幅方向Ｄｗのトラック分離微細溝２４側の端部と一致していることが好ましい。又、平面視において再生ヘッド１４Ｂの磁気的読出し幅ＭＲｗに相当する部分が再生対象の第１トラック要素２６Ａとトラック分離要素２２を介して隣り合う第２トラック要素２６Ｂの上に存在しないように磁気ヘッド１４の位置を制御することが好ましい。これにより、再生対象の第１トラック要素２６Ａの両側の第２トラック要素２６Ｂに記録された磁気信号の影響が抑制され、第１トラック要素２６Ａに記録された磁気信号が高品質に再生される。
【００８１】
一方、第２トラック要素２６Ｂに記録された磁気信号を再生する場合、図１５に示されるように、再生ヘッド１４Ｂの幅方向Ｄｗの中心Ｃｈｒが再生対象の第２トラック要素２６Ｂの幅方向Ｄｗの中心Ｃｔ２に対して再生対象の第２トラック要素２６Ｂと対をなす第１トラック要素２６Ａから離れる方向にオフセットするように再生ヘッド１４Ｂの位置を制御して再生対象の第２トラック要素２６Ｂに記録された磁気信号の再生を行うオフセット再生を実行する。
【００８２】
この際、再生対象の第２トラック要素２６Ｂと対をなす第１トラック要素２６Ａに記録された磁気信号や、トラック分離要素２２を介して再生対象の第２トラック要素２６Ｂと隣り合う第１トラック要素２６Ａに記録された磁気信号が再生ヘッド１４Ｂで再生されないように磁気ヘッド１４のオフセット量を設定する。尚、「第１トラック要素２６Ａに記録された磁気信号が再生ヘッド１４Ｂで再生されない」の意義は上記の「第２トラック要素２６Ｂに記録された磁気信号が再生ヘッド１４Ｂで再生されない」と同様である。
【００８３】
この場合、平面視において再生ヘッド１４Ｂの磁気的読出し幅ＭＲｗに相当する部分が少なくとも第２トラック要素２６Ｂにおける幅方向Ｄｗのトラック分離要素２２側の端部の上に存在するように磁気ヘッド１４の位置を制御することが好ましい。又、平面視において再生ヘッド１４Ｂの磁気的読出し幅ＭＲｗに相当する部分が再生対象の第２トラック要素２６Ｂにおける幅方向Ｄｗのトラック分離微細溝２４側の端部よりも再生対象の第２トラック要素２６Ｂと対をなす第１トラック要素２６Ａから離れる側に位置するか、図１５に示されるように再生ヘッド１４Ｂの磁気的読出し幅ＭＲｗに相当する部分の幅方向Ｄｗの端部が再生対象の第２トラック要素２６Ｂにおける幅方向Ｄｗのトラック分離微細溝２４側の端部と一致していることが好ましい。又、平面視において再生ヘッド１４Ｂの磁気的読出し幅ＭＲｗに相当する部分が再生対象の第２トラック要素２６Ｂとトラック分離要素２２を介して隣り合う第１トラック要素２６Ａの上に存在しないように再生ヘッド１４Ｂの位置を制御することが好ましい。これにより、再生対象の第２トラック要素２６Ｂの両側の第１トラック要素２６Ａに記録された磁気信号の影響が抑制され、第２トラック要素２６Ｂに記録された磁気信号が高品質に再生される。
【００８４】
次に、制御装置１６は、更なる磁気信号の再生が必要かどうか判断する（Ｓ２０６：再生継続／終了判定工程）。更なる磁気信号の再生が必要と判断した場合、上記の再生すべき第１トラック要素２６Ａ又は第２トラック要素２６Ｂの選択（Ｓ２０２）、及び選択された第１トラック要素２６Ａ又は第２トラック要素２６Ｂに記録された磁気信号の再生（Ｓ２０４）を繰り返す。一方、更なる磁気信号の再生は必要ではないと判断した場合、磁気信号の記録を終了する。
【００８５】
磁気記録媒体１２の記録層２０は、対をなす第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂがトラック分離要素２２よりもトラックの幅方向Ｄｗの幅が小さいトラック分離微細溝２４で分離されているので、対をなす第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂがトラック分離要素２２で分離される場合よりも、幅方向のトラックの設置密度が高い。
【００８６】
又、第１トラック要素記録工程(Ｓ１０２)において第１トラック要素２６Ａに記録されるべき磁気信号が第２トラック要素２６Ｂに記録されても第２トラック要素記録工程(Ｓ１０６)を実行することにより、第２トラック要素２６Ｂの磁気信号は第２トラック要素２６Ｂに記録されるべき磁気信号に書き換えられる。
【００８７】
又、第２トラック要素記録工程(Ｓ１０６)において記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの中心Ｃｈｗが記録対象の第２トラック要素２６Ｂの幅方向Ｄｗの中心Ｃｔ２に対して記録対象の第２トラック要素２６Ｂと対をなす第１トラック要素２６Ａから離れる方向にオフセットするように記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの位置を制御して記録対象の第２トラック要素２６Ｂへの磁気信号の記録を行うオフセット記録を実行することにより、第２トラック要素２６Ｂに記録されるべき磁気信号が第１トラック要素２６Ａに記録されることを防止又は実質的の問題がないレベルに抑制できる。
【００８８】
従って、トラックの幅方向の設置密度を高くして面記録密度を向上できると共に良好な記録再生特性が得られる。
【００８９】
又、第１トラック要素記録工程(Ｓ１０２)において第２トラック要素２６Ｂに第１トラック要素２６Ａと同じ磁気信号が記録されても、第２トラック要素記録工程(Ｓ１０６)において、第２トラック要素２６Ｂの磁気信号を第２トラック要素２６Ｂに記録されるべき磁気信号に書き換えることができるので、磁気的書込み幅ＭＷｗが、第１トラック要素２６Ａの幅Ｔｗとその一方側のトラック分離要素２２の幅Ｌｗと他方側のトラック分離微細溝２４の幅Ｓｗとの合計値よりも大きい記録ヘッド１４Ａを用いることができる。幅が小さい記録ヘッドを製造することは幅が小さい再生ヘッドを製造することよりも困難であるが、磁気的書込み幅ＭＷｗが大きい記録ヘッド１４Ａを用いることができるので、磁気ヘッド１４の製造が容易である。
【００９０】
又、トラック分離微細溝２４はトラック分離要素２２よりもトラックの幅方向Ｄｗの幅が小さく、且つ、厚さ方向の寸法が小さいが、対をなす第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂの間の誤った磁気信号の記録の抑制に寄与する。
【００９１】
更に、第１トラック要素２６Ａ、第２トラック要素２６Ｂの幅方向Ｄｗの一方側のトラック分離要素２２が充分な幅及び厚さ方向の寸法を有しているので、他方側のトラック分離微細溝２４がトラック分離要素２２よりもトラックの幅方向Ｄｗの幅が小さく、且つ、厚さ方向の寸法が小さくても、第１トラック要素２６Ａ、第２トラック要素２６Ｂへの磁気信号の確実な記録や第１トラック要素２６Ａ、第２トラック要素２６Ｂに記録された磁気信号の確実な再生が可能である。
【００９２】
即ち、磁気記録再生装置１０は、記録対象の第１トラック要素２６Ａ又は第２トラック要素２６Ｂに対しそれぞれに記録されるべき磁気信号を確実に記録し、又、再生対象の第１トラック要素２６Ａ又は第２トラック要素２６Ｂに記録された磁気信号を確実に再生することができ、良好な記録再生特性が得られる。
【００９３】
尚、上記の例では最初に第１トラック要素記録工程（Ｓ１０２）を実行し、後で実行される第２トラック要素記録工程（Ｓ１０６）においてオフセット記録を実行しているが、最初に第２トラック要素記録工程を実行し、後で実行される第１トラック要素記録工程においてオフセット記録を実行するようにしてもよい。
【００９４】
次に、磁気記録媒体１２の製造方法の一例について図１６に示されるフローチャートに沿って説明する。
【００９５】
まず、図１７に示されるような被加工体５０の出発体を用意する（Ｓ３０２）。被加工体５０の出発体は基板１８の上に、軟磁性層３２、配向層３４、（第１トラック要素２６Ａ、第２トラック要素２６Ｂ等が形成される前の連続膜の）記録層２０、第１マスク層５２、第２マスク層５４をこの順でスパッタリング法等により成膜することにより得られる。
【００９６】
第１マスク層５２は、厚さが２〜５０ｎｍである。第１マスク層５２の材料としては、ＤＬＣのようなＣ（炭素）が主成分である材料を用いることができる。第２マスク層５４は、厚さが２〜３０ｎｍである。第２マスク層５４の材料としては、Ｎｉ、Ｔａ等を用いることができる。
【００９７】
次に、図１８に示されるように、被加工体５０の第２マスク層５４の上にスピンコート法等により樹脂材料を塗布し、更に図示しないスタンパを用いてインプリント法により樹脂材料に第１トラック要素２６Ａ、第２トラック要素２６Ｂのパターンに相当する凹凸パターンを転写し、凹凸パターンの樹脂層５６を形成する（Ｓ３０４）。インプリント法としては、紫外線等による光インプリント、熱インプリント等を用いることができる。光インプリントの場合、樹脂層５６の材料としては紫外線硬化性樹脂等を用いることができる。又、熱インプリントの場合、樹脂層５６の材料としては熱可塑性樹脂等を用いることができる。樹脂層５６の厚さ（凸部の厚さ）は、例えば、１０〜３００ｎｍである。尚、凹部底部の樹脂層５６はアッシング等により除去する。又、樹脂材料として感光性レジスト又は電子線レジストを用い、光リソグラフィ又は電子線リソグラフィの手法で第１トラック要素２６Ａ、第２トラック要素２６Ｂのパターンに相当する凹凸パターンの樹脂層５６を形成してもよい。
【００９８】
次に、Ａｒガス等の希ガスを用いたIBE(Ion Beam Etching)又はRIE(Reactive Ion Etching)により、凹部底部の第２マスク層５４を除去し、更に、Ｏ２ガスを用いたIBE又はRIEにより、凹部底部の第１マスク層５２を除去し、更にＡｒガス等の希ガスを用いたIBE又はRIEにより、凹部底部の記録層２０を除去する（Ｓ３０６）。これにより、図１９に示されるようにデータ領域ＤＡに第１トラック要素２６Ａ、第２トラック要素２６Ｂ、トラック分離要素２２に対応する溝、トラック分離微細溝２４が形成される。トラック分離微細溝２４の幅はトラック分離要素２２に対応する溝の幅よりも小さく微細であっても、トラック分離微細溝２４の深さはトラック分離要素２２に対応する溝の深さよりも浅いのでトラック分離微細溝２４の形成は容易である。具体的には、記録層２０をエッチングする工程において、幅が著しく小さい溝は他の溝よりも厚さ方向にエッチングされにくいので、トラック分離要素２２に対応する溝とトラック分離要素２２に対応する溝よりもトラックの幅方向Ｄｗの幅が小さく、且つ、厚さ方向の寸法が小さいトラック分離微細溝２４とをエッチングで容易に形成できる。特に、被加工体５０に対しイオンを斜めから照射することでこの傾向を高めることができ、照射角度を調整することでトラック分離微細溝２４の深さを制御することができる。記録層２０の上面に残存する第１マスク層５２はＯ２ガス又は、Ｎ２ガス、ＮＨ３ガスやＨ２ガスのような窒素又は水素を含むガスを用いたIBE又はRIEにより除去する。尚、本出願において「IBE」という用語は、例えばイオンミリング等の、イオン化したガスを被加工体に照射して加工対象物を除去する加工方法の総称という意義で用いることとする。又、本出願では、希ガスのように加工対象物と化学的に反応しないガスを用いる場合でも、RIE装置を用いてエッチングを行う場合には「RIE」という用語を用いることとする。
【００９９】
次に、スパッタリング法又はバイアススパッタリング法により、凹凸パターンの記録層２０を有する被加工体５０の上にトラック分離要素２２及び充填要素２４Ａの材料を成膜し、記録層２０の溝にトラック分離要素２２、充填要素２４Ａを形成する(Ｓ３０８）。
【０１００】
次に、Ａｒガス等の希ガスを用いたIBE又はRIEにより、トラック分離要素２２及び充填要素２４Ａの材料における余剰の部分を除去し、被加工体５０の表面を平坦化する(Ｓ３１０)。尚、余剰の部分とは、トラック分離要素２２及び充填要素２４Ａの材料における記録層２０の上面のレベルよりも上側（基板１８と反対側）に存在する部分という意義で用いることとする。
【０１０１】
次に、ＣＶＤ法により第１トラック要素２６Ａ、第２トラック要素２６Ｂ、トラック分離要素２２及び充填要素２４Ａの上に保護層を形成する（Ｓ３１２）。更に、ディッピング法により保護層の上に潤滑層を塗布する(Ｓ３１４)。これにより、前記図２〜４に示される磁気記録媒体１２が完成する。
【０１０２】
次に、本発明の第２実施形態について説明する。本第２実施形態は前記第１実施形態と異なり、記録ヘッド１４Ａの磁気的書込み幅ＭＷｗが以下の範囲である。
Ｔｗ≦ＭＷｗ＜Ｔｗ＋Ｓｗ＋Ｌｗ
【０１０３】
又、本第２実施形態は、制御装置１６による磁気信号の記録方法が異なる。他の構成については前記第１実施形態と同様であるので、同様の構成については図１〜１９と同一符号を付することとして説明を省略する。
【０１０４】
本第２実施形態に係る制御装置１６による磁気信号の記録方法について説明する。初めに図２０に示されるように前記第１実施形態と同様に、磁気ヘッド１４が第１トラック要素２６Ａに記録磁界を印加して第１トラック要素２６Ａへの磁気信号の記録を行う（Ｓ１０２）。この工程では、例えば、記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの中心と記録対象の第１トラック要素２６Ａの幅方向Ｄｗの中心とが一致するように磁気ヘッド１４の位置を制御する。これにより、第１トラック要素２６Ａに所望の磁気信号が記録される。又、記録対象の第１トラック要素２６Ａと対をなす第２トラック要素２６Ｂの少なくとも一部にも、第１トラック要素２６Ａと同じ磁気信号が記録される。尚、第１トラック要素２６Ａに確実に磁気信号を記録できれば記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの中心と記録対象の第１トラック要素２６Ａの幅方向Ｄｗの中心とは一致していなくてもよい。
【０１０５】
次に、制御装置１６は、更なる磁気信号の記録が必要かどうか判断する（Ｓ１０４）。更なる磁気信号の記録は必要ではないと判断した場合、磁気信号の記録を終了する。
【０１０６】
一方、更なる磁気信号の記録が必要と判断した場合は、図２１に示されるように、第２トラック要素２６Ｂに磁気信号を記録する（Ｓ１０６）。この工程では、記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの中心Ｃｈｗが記録対象の第２トラック要素２６Ｂの幅方向Ｄｗの中心Ｃｔ２に対して記録対象の第２トラック要素２６Ｂと対をなす第１トラック要素２６Ａから離れる方向にオフセットするように記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの位置を制御して第２トラック要素２６Ｂへの磁気信号の記録を行うオフセット記録を実行するように磁気ヘッド１４を制御する。オフセット量は、第２トラック要素２６Ｂに記録されるべき磁気信号が（記録対象の第２トラック要素２６Ｂと対をなす）第１トラック要素２６Ａに記録されないような値に設定する。更に、オフセット量は、第２トラック要素２６Ｂに記録されるべき磁気信号が第２トラック要素２６Ｂと対をなす第１トラック要素２６Ａだけでなく記録対象の第２トラック要素２６Ｂとトラック分離要素２２を介して隣り合って配置されている他の一対の第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂにも記録されないような値に設定する。又、第１実施形態と同様に、図２１に示されるように平面視において記録ヘッド１４Ａの磁気的書込み幅ＭＷｗに相当する部分の幅方向Ｄｗの端部が記録対象の第２トラック要素２６Ｂにおける幅方向Ｄｗのトラック分離微細溝２４側の端部と一致しているまたはその近傍に位置していることが好ましい。従って、記録ヘッド１４Ａの磁気的書込み幅ＭＷｗは、ＭＷｗ＜Ｔｗ＋Ｌｗであることが好ましい。
【０１０７】
このように記録対象の第２トラック要素２６Ｂとトラック分離要素２２を介して隣り合って配置されている他の一対の第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂには、記録対象の第２トラック要素２６Ｂに記録されるべき磁気信号が記録されないので、隣の他の一対の第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂに既に磁気信号が記録されていたとしても不適切な磁化反転の問題は生じない。従って、１つの単位データ領域ＵＤＡに幅方向Ｄｗに連続して配置されている複数の第１トラック要素２６Ａ及び複数の第２トラック要素２６Ｂへの磁気信号の記録順序は、必ずしもこれら第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂが幅方向Ｄｗに並ぶ順序と一致している必要はない。即ち、任意の一対の第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂへの磁気信号の記録が可能であり、磁気信号の記録の自由度が大きい。
【０１０８】
尚、前記第１実施形態と同様に本第２実施形態でも、最初に第２トラック要素記録工程を実行し、後で実行される第１トラック要素記録工程においてオフセット記録を実行するようにしてもよい。
【０１０９】
次に、本発明の第３実施形態について説明する。本第３実施形態に係る磁気記録再生装置１０は、第２実施形態に対し、第１トラック要素２６Ａへの磁気信号の記録方法が異なる。これ以外は前記第２実施形態と同様であるので、同様の構成については図１〜２１と同一符号を付することとして説明を省略する。
【０１１０】
本第３実施形態に係る制御装置１６による第１トラック要素２６Ａへの磁気信号の記録方法について説明する。本第３実施形態では、図２２に示されるように、第２トラック要素記録工程(Ｓ１０６)よりも先に実行される第１トラック要素記録工程(Ｓ１０２)においても、記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの中心Ｃｈｗが記録対象の第１トラック要素２６Ａの幅方向Ｄｗの中心Ｃｔ１に対して記録対象の第１トラック要素２６Ａと対をなす第２トラック要素２６Ｂから離れる方向にオフセットするように記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの位置を制御して第１トラック要素２６Ａへの磁気信号の記録を行うオフセット記録を実行するように磁気ヘッド１４を制御する。オフセット量は、第１トラック要素２６Ａに記録されるべき磁気信号が（記録対象の第１トラック要素２６Ａと対をなす）第２トラック要素２６Ｂに記録されないような値に設定する。更に、オフセット量は、第１トラック要素２６Ａに記録されるべき磁気信号が第１トラック要素２６Ａと対をなす第２トラック要素２６Ｂだけでなく記録対象の第１トラック要素２６Ａとトラック分離要素２２を介して隣り合って配置されている他の第２トラック要素２６Ｂにも記録されないような値に設定する。又、図２２に示されるように平面視において記録ヘッド１４Ａの磁気的書込み幅ＭＷｗに相当する部分の幅方向Ｄｗの端部が記録対象の第１トラック要素２６Ａにおける幅方向Ｄｗのトラック分離微細溝２４側の端部と一致している、又はその近傍に位置していることが好ましい。従って、記録ヘッド１４Ａの磁気的書込み幅ＭＷｗは、ＭＷｗ＜Ｔｗ＋Ｌｗであることが好ましい。これにより第１トラック要素２６Ａの幅方向全体に記録がされるとともに第１トラック要素２６Ａに記録されるべき磁気信号が（記録対象の第１トラック要素２６Ａと対をなす）第２トラック要素２６Ｂに記録されることを確実に防止できる。
【０１１１】
又、第２トラック要素２６Ｂに磁気信号を記録する場合も同様に（前記第２実施形態の図２１とも同様に）、記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの中心Ｃｈｗが記録対象の第２トラック要素２６Ｂの幅方向Ｄｗの中心Ｃｔ２に対して記録対象の第２トラック要素２６Ｂと対をなす第１トラック要素２６Ａから離れる方向にオフセットするように記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの位置を制御して第２トラック要素２６Ｂへの磁気信号の記録を行うオフセット記録を実行するように磁気ヘッド１４を制御する（Ｓ１０６）。オフセット量は、第２トラック要素２６Ｂに記録されるべき磁気信号が（記録対象の第２トラック要素２６Ｂと対をなす）第１トラック要素２６Ａに記録されないような値に設定する。更に、オフセット量は、第２トラック要素２６Ｂに記録されるべき磁気信号が第２トラック要素２６Ｂと対をなす第１トラック要素２６Ａだけでなく記録対象の第２トラック要素２６Ｂとトラック分離要素２２を介して隣り合って配置されている他の一対の第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂにも記録されないような値に設定する。
【０１１２】
本第３実施形態でも前記第２実施形態と同様に、１つの単位データ領域ＵＤＡに幅方向Ｄｗに連続して配置されている複数の第１トラック要素２６Ａ及び複数の第２トラック要素２６Ｂへの磁気信号の記録順序は、必ずしもこれら第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂが幅方向に並ぶ順序と一致している必要はない。即ち、任意の一対の第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂへの磁気信号の記録が可能であり、磁気信号の記録の自由度が大きい。
【０１１３】
更に、第１トラック要素２６Ａ、第２トラック要素２６Ｂのいずれに磁気信号を記録する場合も、他方に磁気信号が記録されることがないので、第１トラック要素２６Ａ、第２トラック要素２６Ｂに独立して磁気信号を記録することができる。即ち、第１トラック要素２６Ａであるか第２トラック要素２６Ｂであるかによらず任意のトラック要素への磁気信号の記録が可能であり、磁気信号の記録の自由度が更に大きい。
【０１１４】
次に、本発明の第４実施形態について説明する。本第４実施形態は前記第１〜第３実施形態と異なり、図２３に示されるように対をなす第１トラック要素２６Ａと第２トラック要素２６Ｂとの間にトラック分離微細溝２４が形成されておらず第１トラック要素２６Ａと第２トラック要素２６Ｂとが接している。言い換えれば一対の第１トラック要素２６Ａと第２トラック要素２６Ｂとが１つの凸部（幅方向Ｄｗに隣り合う２つのトラック分離要素２２の間の記録層２０）を形成している。又、第１トラック要素２６Ａと第２トラック要素２６Ｂとの境界は凸部（幅方向Ｄｗに隣り合う２つのトラック分離要素２２の間の記録層２０）の幅方向Ｄｗの中心である。
【０１１５】
他の構成については前記第１〜第３実施形態と同様であるので、同様の構成については図１〜２２と同一符号を付することとして説明を省略する。尚、例えば、前記第１実施形態に示される製造方法の樹脂層形成工程においてトラック分離微細溝２４に相当する凹部がない樹脂層を形成することにより第１トラック要素２６Ａと第２トラック要素２６Ｂとの間にトラック分離微細溝２４が形成されていない磁気記録媒体を製造することができる。
【０１１６】
このように第１トラック要素２６Ａと第２トラック要素２６Ｂとの間のトラック分離微細溝２４を省略することにより、幅方向のトラックの設置密度を一層高めることができる。
【０１１７】
又、第１トラック要素２６Ａと第２トラック要素２６Ｂとが接しており第１トラック要素記録工程(Ｓ１０２)において第１トラック要素２６Ａに記録されるべき磁気信号が第２トラック要素２６Ｂに記録されても前記第１〜第２実施形態のように、第２トラック要素記録工程(Ｓ１０６)において記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの中心Ｃｈｗが記録対象の第２トラック要素２６Ｂの幅方向Ｄｗの中心Ｃｔ２に対して記録対象の第２トラック要素２６Ｂと対をなす第１トラック要素２６Ａから離れる方向にオフセットするように記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの位置を制御して第２トラック要素２６Ｂへの磁気信号の記録を行うオフセット記録を実行するように磁気ヘッド１４を制御することにより、第２トラック要素２６Ｂの磁気信号は第２トラック要素２６Ｂに記録されるべき磁気信号に書き換えられる。又、オフセット量を適宜設定することにより、第２トラック要素２６Ｂに記録されるべき磁気信号が（記録対象の第２トラック要素２６Ｂと対をなす）第１トラック要素２６Ａ及び記録対象の第２トラック要素２６Ｂとトラック分離要素２２を介して隣り合って配置されている他の一対の第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂに記録されることを防止又は抑制できる。従って、第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂそれぞれに所望の磁気信号を記録できる。
【０１１８】
例えば、第２トラック要素記録工程(Ｓ１０６)では、図２３に示されるように平面視において記録ヘッド１４Ａの磁気的書込み幅ＭＷｗに相当する部分の幅方向Ｄｗの端部が記録対象の第２トラック要素２６Ｂとこれに隣接する第１トラック要素２６Ａとの境界から少し（例えば２〜５ｎｍ程度）離れていることが好ましい。これにより第２トラック要素２６Ｂに記録されるべき磁気信号が（記録対象の第２トラック要素２６Ｂと対をなす）第１トラック要素２６Ａに記録されることを確実に防止できる。
【０１１９】
尚、図２３は記録ヘッド１４Ａの磁気的書込み幅ＭＷｗが以下の範囲であり、第３実施形態と同じ記録ヘッドの位置制御を行う例を示している。
Ｔｗ≦ＭＷｗ＜Ｔｗ＋Ｌｗ
【０１２０】
この例の場合、前記第３実施形態のように、第１トラック要素２６Ａであるか第２トラック要素２６Ｂによらず任意のトラック要素への磁気信号の記録が可能であり、磁気信号の記録の自由度が更に大きい。
【０１２１】
又、この例の場合、第１トラック要素記録工程(Ｓ１０２)でも、図２３に示されるように平面視において記録ヘッド１４Ａの磁気的書込み幅ＭＷｗに相当する部分の幅方向Ｄｗの端部が記録対象の第１トラック要素２６Ａとこれに隣接する第２トラック要素２６Ｂとの境界から少し（例えば２〜５ｎｍ程度）離れていることが好ましい。これにより第１トラック要素２６Ａに記録されるべき磁気信号が（記録対象の第１トラック要素２６Ａと対をなす）第２トラック要素２６Ｂに記録されることを確実に防止できる。
【０１２２】
又、前記第１〜第３実施形態のように再生ヘッド１４Ｂの幅方向Ｄｗの中心Ｃｈｒを再生対象の第１トラック要素２６Ａ又は第２トラック要素２６Ｂの幅方向Ｄｗの中心に対して再生対象の第１トラック要素２６Ａ又は第２トラック要素２６Ｂと対をなす第２トラック要素２６Ｂ又は第１トラック要素２６Ａから離れる方向にオフセットするように再生ヘッド１４Ｂの位置を制御して再生対象の第１トラック要素２６Ａ又は第２トラック要素２６Ｂに記録された磁気信号の再生を行うオフセット再生を実行することにより第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂに記録された磁気信号を高品質に再生できる。
【０１２３】
尚、第１トラック要素２６Ａに記録された磁気信号を再生する場合、平面視において再生ヘッド１４Ｂの磁気的読出し幅ＭＲｗに相当する部分の幅方向Ｄｗの端部が再生対象の第１トラック要素２６Ａとこれに隣接する第２トラック要素２６Ｂとの境界から少し（例えば２〜５ｎｍ程度）離れていることが好ましい。これにより、第２トラック要素２６Ｂに記録された磁気信号の影響が抑制され、第１トラック要素２６Ａに記録された磁気信号が高品質に再生される。
【０１２４】
同様に、第２トラック要素２６Ｂに記録された磁気信号を再生する場合、平面視において再生ヘッド１４Ｂの磁気的読出し幅ＭＲｗに相当する部分の幅方向Ｄｗの端部が再生対象の第２トラック要素２６Ｂとこれに隣接する第１トラック要素２６Ａとの境界から少し（例えば２〜５ｎｍ程度）離れていることが好ましい。
【０１２５】
尚、図２３では、記録ヘッド１４Ａの磁気的書込み幅ＭＷｗがＴｗ≦ＭＷｗ＜Ｔｗ＋Ｌｗの範囲であり、第３実施形態と同じ記録ヘッド１４Ａの位置制御を行う例を示しているが、前記第１実施形態のように記録ヘッド１４Ａの磁気的書込み幅ＭＷｗがより大きい場合は、前記第１実施形態や前記第２実施形態のように記録ヘッド１４Ａの位置制御を行えばよい。尚、この場合、最初に第１トラック要素記録工程を実行し、後で実行される第２トラック要素記録工程においてオフセット記録を実行するようにしてもよいし、最初に第２トラック要素記録工程を実行し、後で実行される第１トラック要素記録工程においてオフセット記録を実行するようにしてもよい。
【０１２６】
又、前記第１実施形態において、記録ヘッド１４Ａの磁気的書込み幅ＭＷｗの範囲として以下の範囲が例示されている。
２*Ｔｗ＋Ｓｗ≦ＭＷｗ＜２*Ｔｗ＋Ｓｗ＋２*Ｌｗ
【０１２７】
しかしながら、前記第１実施形態においては磁気的書込み幅ＭＷｗがこの範囲よりも大きい記録ヘッドを備える磁気ヘッドを用いてもよい。又、前記第４実施形態でも磁気的書込み幅ＭＷｗが２*Ｔｗ＋２*Ｌｗよりも大きい記録ヘッドを備える磁気ヘッドを用いて前記第１実施形態と同様の磁気ヘッドの制御を行ってもよい。
【０１２８】
又、前記第１実施形態において、磁気的書込み幅ＭＷｗが以下の範囲である記録ヘッドを用いてもよい。
Ｔｗ＋Ｓｗ＋Ｌｗ≦ＭＷｗ＜２*Ｔｗ＋Ｓｗ
【０１２９】
又、前記第２〜第４実施形態において、磁気的書込み幅ＭＷｗが以下の範囲である記録ヘッドを用いてもよい。
ＭＷｗ＜Ｔｗ
【０１３０】
又、前記第１〜第４実施形態において、再生ヘッド１４Ｂの磁気的読出し幅ＭＲｗの例として以下の範囲が示されている。
Ｔｗ≦ＭＲｗ＜Ｔｗ＋Ｓｗ＋Ｌｗ
【０１３１】
しかしながら、第１トラック要素２６Ａ、第２トラック要素２６Ｂに記録された磁気信号を高品質に再生できれば再生ヘッド１４Ｂの磁気的読出し幅ＭＲｗはＴｗより小さくてもよい。この場合、必ずしもオフセット再生を行う必要はなく、例えば再生ヘッド１４Ｂの幅方向Ｄｗの中心が再生対象の第１トラック要素２６Ａ又は第２トラック要素２６Ｂの幅方向Ｄｗの中心と一致するように再生ヘッドの位置を制御して再生対象の第１トラック要素２６Ａ又は第２トラック要素２６Ｂに記録された磁気信号を再生するようにしてもよい。
【０１３２】
又、前記第１〜第４実施形態において、トラック分離要素２２の厚さ方向の寸法は第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂの厚さ方向の寸法と等しいが、トラック分離要素２２の厚さ方向の寸法は第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂの厚さ方向の寸法よりも大きくてもよい。又、トラック分離要素２２の厚さ方向の寸法は第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂの厚さ方向の寸法よりも小さくてもよい。
【０１３３】
又、前記第１〜第３実施形態において、トラック分離要素２２、充填要素２４Ａが第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂの間を充填しているが、磁気ヘッド１４の浮上高さが安定すればトラック分離微細溝２４は空隙（溝）であってもよい。又、磁気ヘッド１４の浮上高さが安定すればトラック分離要素２２も空隙（溝）であってもよい。又、前記第４実施形態においてトラック分離要素２２が空隙（溝）であってもよい。
【０１３４】
又、前記第１〜第４実施形態において、記録層２０の下に軟磁性層３２、配向層３４が形成されているが、記録層２０の下の層の構成は、磁気記録媒体の種類に応じて適宜変更すればよい。例えば、軟磁性層３２と基板１８との間に下地層や反強磁性層を形成してもよい。又、軟磁性層３２、配向層３４の一方又は両方を省略してもよい。又、基板上に記録層を直接形成してもよい。
【０１３５】
又、前記第１〜第４実施形態において、第１マスク層５２、第２マスク層５４、樹脂層５６を連続膜の記録層２０の上に形成し、３段階のドライエッチングで第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂを形成しているが、第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂを高精度で形成できれば、マスク層、樹脂層の材料、積層数、厚さ、ドライエッチングの種類等は特に限定されない。
【０１３６】
又、前記第１〜第４実施形態においてエッチングにより第１トラック要素２６Ａ、第２トラック要素２６Ｂ及びトラック分離要素２２に相当する溝を形成し、第１トラック要素２６Ａ及び第２トラック要素２６Ｂの上にトラック分離要素２２の材料を成膜して、トラック分離要素２２を形成する例を示しているが、連続膜の磁性層における第１トラック要素２６Ａ、第２トラック要素２６Ｂ又はトラック分離要素２２に相当する部分にイオン注入処理や反応ガスによる処理を施して飽和磁化量を有する第１トラック要素２６Ａ、第２トラック要素２６Ｂと飽和磁化量が第１トラック要素２６Ａ、第２トラック要素２６Ｂよりも小さい、又は飽和磁化量が実質的に消失したトラック分離要素２２とを形成してもよい。
【０１３７】
又、前記第１〜第４実施形態において、磁気記録媒体１２はトラックの形状に相当する円弧形状の第１トラック要素２６Ａ、第２トラック要素２６Ｂを有する垂直記録型であるが、周方向に断続的に形成された記録ビットに相当する形状のトラック要素を有する磁気ディスク、渦巻き形状の記録層（トラック要素）を有する磁気ディスクにも本発明は当然適用可能である。又、トラック分離要素が厚さ方向の途中まで形成されてトラック分離要素の下の部分が第１トラック要素、第２トラック要素と同じ磁性材料である記録層を有する磁気ディスクにも本発明は当然適用可能である。又、面内記録型の磁気ディスクにも本発明は当然適用可能である。又、基板の両面に記録層等が形成された両面記録式の磁気記録媒体にも本発明は適用可能である。又、ＭＯ等の光磁気ディスク、磁気と熱を併用する熱アシスト型の磁気ディスク、磁気とマイクロ波を併用するマイクロ波アシスト型の磁気ディスク、更に、磁気テープ等のディスク形状以外の他の凹凸パターンの記録層を有する磁気記録媒体にも本発明を適用可能である。
【実施例１】
【０１３８】
上記第４実施形態のように第１トラック要素２６Ａと第２トラック要素２６Ｂとの間にトラック分離微細溝がなく、第１トラック要素２６Ａと第２トラック要素２６Ｂとが接している磁気記録媒体１２を作製し、この磁気記録媒体１２を備える磁気記録再生装置１０によって磁気信号の記録再生を行った。主な仕様は以下のとおりであった。
【０１３９】
記録層の厚さ：20nm
第１トラック要素の幅：40nm
第２トラック要素の幅：40nm
トラック分離要素の幅：30nm
トラック分離要素の厚さ方向の寸法：20nm
記録ヘッドの磁気的書込み幅：40nm
再生ヘッドの磁気的読出し幅：40nm
【０１４０】
まず第１トラック要素記録工程（Ｓ１０２）を実行した。具体的には、記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの中心が記録対象の第１トラック要素２６Ａの幅方向Ｄｗの中心に対して第１トラック要素２６Ａと対をなす（記録対象の第１トラック要素２６Ａと接する）第２トラック要素２６Ｂから離れる方向に５ｎｍオフセットするように記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの位置を制御して記録対象の第１トラック要素２６Ａへの磁気信号の記録を行うオフセット記録を実行するように磁気ヘッド１４を制御して1200kbpiの磁気信号を第１トラック要素２６Ａに記録した。
【０１４１】
次に、第２トラック要素記録工程（Ｓ１０６）を実行した。具体的には、記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの中心が（上記の第１トラック要素２６Ａと接する）記録対象の第２トラック要素２６Ｂの幅方向Ｄｗの中心に対して第２トラック要素２６Ｂと対をなす（記録対象の第２トラック要素２６Ｂと接する）第１トラック要素２６Ａから離れる方向に５ｎｍオフセットするように記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの位置を制御して記録対象の第２トラック要素２６Ｂへの磁気信号の記録を行うオフセット記録を実行するように磁気ヘッド１４を制御して600kbpiの磁気信号を第２トラック要素２６Ｂに記録した。
【０１４２】
次に第１トラック要素２６Ａに記録された磁気信号を再生した。具体的には、再生ヘッド１４Ｂの幅方向Ｄｗの中心が再生対象の第１トラック要素２６Ａの幅方向Ｄｗの中心と一致するように磁気ヘッド１４を制御して第１トラック要素２６Ａに記録された1200kbpiの磁気信号を再生し、再生信号のＳＮ比を測定した。ＳＮ比の測定結果を表１に示す。
【０１４３】
【表１】
2011192353.tif 000003
【実施例２】
【０１４４】
実施例１に対し、第１トラック要素２６Ａに記録された磁気信号を再生する際、再生ヘッド１４Ｂの幅方向Ｄｗの中心が再生対象の第１トラック要素２６Ａの幅方向Ｄｗの中心に対して再生対象の第１トラック要素２６Ａと対をなす（再生対象の第１トラック要素２６Ａと接する）第２トラック要素２６Ｂから離れる方向に５ｎｍオフセットするように再生ヘッド１４Ｂの幅方向Ｄｗの位置を制御して再生対象の第１トラック要素２６Ａに記録された磁気信号の再生を行うオフセット再生を実行するように磁気ヘッド１４を制御して第１トラック要素２６Ａに記録された1200kbpiの磁気信号を再生し（Ｓ２０４）、再生信号のＳＮ比を測定した。他の条件は実施例１と同じであった。ＳＮ比の測定結果を表１に示す。
【実施例３】
【０１４５】
上記第３実施形態のように第１トラック要素２６Ａと第２トラック要素２６Ｂとの間にトラック分離微細溝２４が形成された磁気記録媒体１２を作製し、この磁気記録媒体１２を備える磁気記録再生装置１０によって磁気信号の記録再生を行った。主な仕様は以下のとおりであった。
【０１４６】
記録層の厚さ：20nm
第１トラック要素の幅：35nm
第２トラック要素の幅：35nm
トラック分離要素の幅：30nm
トラック分離要素の厚さ方向の寸法：20nm
トラック分離微細溝の幅：10nm
トラック分離微細溝の厚さ方向の寸法：5nm
記録ヘッドの磁気的書込み幅：40nm
再生ヘッドの磁気的読出し幅：40nm
【０１４７】
第１トラック要素記録工程（Ｓ１０２）では、記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの中心が記録対象の第１トラック要素２６Ａの幅方向Ｄｗの中心に対して記録対象の第１トラック要素２６Ａと対をなす（記録対象の第１トラック要素２６Ａと隣接する）第２トラック要素２６Ｂから離れる方向に2.5ｎｍオフセットするように記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの位置を制御して記録対象の第１トラック要素２６Ａへの磁気信号の記録を行うオフセット記録を実行するように磁気ヘッド１４を制御して1200kbpiの磁気信号を第１トラック要素２６Ａに記録した。尚、平面視において記録ヘッド１４Ａの磁気的書込み幅ＭＷｗに相当する部分の幅方向Ｄｗの端部が記録対象の第１トラック要素２６Ａにおける幅方向Ｄｗのトラック分離微細溝２４側の端部と一致するように磁気ヘッド１４を制御した（図２２参照）。
【０１４８】
同様に第２トラック要素記録工程（Ｓ１０６）でも、記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの中心が記録対象の第２トラック要素２６Ｂの幅方向Ｄｗの中心に対して記録対象の第２トラック要素２６Ｂと対をなす（記録対象の第２トラック要素２６Ｂと隣接する）第１トラック要素２６Ａから離れる方向に2.5ｎｍオフセットするように記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの位置を制御して記録対象の第２トラック要素２６Ｂへの磁気信号の記録を行うオフセット記録を実行するように磁気ヘッド１４を制御して600kbpiの磁気信号を第２トラック要素２６Ｂに記録した。尚、平面視において記録ヘッド１４Ａの磁気的書込み幅ＭＷｗに相当する部分の幅方向Ｄｗの端部が記録対象の第２トラック要素２６Ｂにおける幅方向Ｄｗのトラック分離微細溝２４側の端部と一致するように磁気ヘッド１４を制御した（図２１参照）。
【０１４９】
又、第１トラック要素２６Ａに記録された磁気信号を再生する際、再生ヘッド１４Ｂの幅方向Ｄｗの中心が再生対象の第１トラック要素２６Ａの幅方向Ｄｗの中心に対して再生対象の第１トラック要素２６Ａと対をなす（再生対象の第１トラック要素２６Ａと隣接する）第２トラック要素２６Ｂから離れる方向に2.5ｎｍオフセットするように再生ヘッド１４Ｂの幅方向Ｄｗの位置を制御して再生対象の第１トラック要素２６Ａに記録された磁気信号の再生を行うオフセット再生を実行するように磁気ヘッド１４を制御して第１トラック要素２６Ａに記録された1200kbpiの磁気信号を再生し、再生信号のＳＮ比を測定した。尚、平面視において再生ヘッド１４Ｂの磁気的読出し幅ＭＲｗに相当する部分の幅方向Ｄｗの端部が再生対象の第１トラック要素２６Ａにおける幅方向Ｄｗのトラック分離微細溝２４側の端部と一致するように磁気ヘッド１４を制御した（図１４参照）。
【０１５０】
他の条件は実施例１と同じであった。ＳＮ比の測定結果を表１に示す。
【実施例４】
【０１５１】
実施例３に対し、上記第１実施形態のように磁気的書込み幅ＭＷｗが大きい記録ヘッド１４Ａを有する磁気ヘッド１４を備える磁気記録再生装置１０によって磁気信号の記録再生を行った。主な仕様は以下のとおりであった。
【０１５２】
記録層の厚さ：20nm
第１トラック要素の幅：35nm
第２トラック要素の幅：35nm
トラック分離要素の幅：30nm
トラック分離要素の厚さ方向の寸法：20nm
トラック分離微細溝の幅：10nm
トラック分離微細溝の厚さ方向の寸法：5nm
記録ヘッドの磁気的書込み幅：90nm
再生ヘッドの磁気的読出し幅：40nm
【０１５３】
第１トラック要素記録工程（Ｓ１０２）では、記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの中心が記録対象の第１トラック要素２６Ａとこれと対をなす（記録対象の第１トラック要素２６Ａと隣接する）第２トラック要素２６Ｂとの間のトラック分離微細溝２４の幅方向Ｄｗの中心に一致するように磁気ヘッド１４を制御して1200kbpiの磁気信号を第１トラック要素２６Ａに記録した（図１１参照）。
【０１５４】
第２トラック要素記録工程（Ｓ１０６）では、記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの中心が記録対象の第２トラック要素２６Ｂの幅方向Ｄｗの中心に対して記録対象の第２トラック要素２６Ｂと対をなす（記録対象の第２トラック要素２６Ｂと隣接する）第１トラック要素２６Ａから離れる方向に27.5ｎｍオフセットするように記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの位置を制御して記録対象の第２トラック要素２６Ｂへの磁気信号の記録を行うオフセット記録を実行するように磁気ヘッド１４を制御して600kbpiの磁気信号を第２トラック要素２６Ｂに記録した。尚、平面視において記録ヘッド１４Ａの磁気的書込み幅ＭＷｗに相当する部分の幅方向Ｄｗの端部が記録対象の第２トラック要素２６Ｂにおける幅方向Ｄｗのトラック分離微細溝２４側の端部と一致するように磁気ヘッド１４を制御した（図１２参照）。
【０１５５】
又、第１トラック要素２６Ａに記録された磁気信号を再生する際、実施例３と同様に再生ヘッド１４Ｂの幅方向Ｄｗの中心が再生対象の第１トラック要素２６Ａの幅方向Ｄｗの中心に対して再生対象の第１トラック要素２６Ａと対をなす（再生対象の第１トラック要素２６Ａと隣接する）第２トラック要素２６Ｂから離れる方向に2.5ｎｍオフセットするように再生ヘッド１４Ｂの幅方向Ｄｗの位置を制御して再生対象の第１トラック要素２６Ａに記録された磁気信号の再生を行うオフセット再生を実行するように磁気ヘッド１４を制御して第１トラック要素２６Ａに記録された1200kbpiの磁気信号を再生し、再生信号のＳＮ比を測定した。尚、平面視において再生ヘッド１４Ｂの磁気的読出し幅ＭＲｗに相当する部分の幅方向Ｄｗの端部が再生対象の第１トラック要素２６Ａにおける幅方向Ｄｗのトラック分離微細溝２４側の端部と一致するように磁気ヘッド１４を制御した（図１４参照）。
【０１５６】
他の条件は実施例３と同じであった。ＳＮ比の測定結果を表１に示す。
【０１５７】
[比較例]
実施例１に対し、第１トラック要素記録工程（Ｓ１０２）において、記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの中心が記録対象の第１トラック要素２６Ａの幅方向Ｄｗの中心に一致するように磁気ヘッド１４を制御して1200kbpiの磁気信号を第１トラック要素２６Ａに記録した。
【０１５８】
又、第２トラック要素記録工程（Ｓ１０６）においても、記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの中心が記録対象の第２トラック要素２６Ｂの幅方向Ｄｗの中心に一致するように磁気ヘッド１４の位置を制御して600kbpiの磁気信号を第２トラック要素２６Ｂに記録した。
【０１５９】
第１トラック要素２６Ａに記録された磁気信号を再生する際は、実施例１と同様に再生ヘッド１４Ｂの幅方向Ｄｗの中心が再生対象の第１トラック要素２６Ａの幅方向Ｄｗの中心と一致するように磁気ヘッド１４を制御して第１トラック要素２６Ａに記録された1200kbpiの磁気信号を再生し、再生信号のＳＮ比を測定した。他の条件は実施例１と同じであった。ＳＮ比の測定結果を表１に示す。
【０１６０】
表１に示されるように、第２トラック要素記録工程（Ｓ１０６）において記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの中心が記録対象の第２トラック要素２６Ｂの幅方向Ｄｗの中心に対して記録対象の第２トラック要素２６Ｂと対をなす第１トラック要素２６Ａから離れる方向にオフセットするように記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの位置を制御して記録対象の第２トラック要素２６Ｂへの磁気信号の記録を行った実施例１〜４は、第２トラック要素記録工程（Ｓ１０６）において記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの中心が記録対象の第２トラック要素２６Ｂの幅方向Ｄｗの中心と一致するように磁気ヘッド１４を制御した比較例よりもＳＮ比が高かった。即ち、記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの中心が記録対象のトラック要素の幅方向Ｄｗの中心に対して記録対象のトラック要素と対をなすトラック要素から離れる方向にオフセットするように記録ヘッド１４Ａの幅方向Ｄｗの位置を制御して記録対象のトラック要素への磁気信号の記録を行うオフセット記録を実行することにより良好な記録再生特性が得られることが確認された。
【０１６１】
又、再生時において再生ヘッド１４Ｂの幅方向Ｄｗの中心が再生対象の第１トラック要素２６Ａの幅方向Ｄｗの中心に対して再生対象の第１トラック要素２６Ａと対をなす第２トラック要素２６Ｂから離れる方向にオフセットする方向に再生ヘッド１４Ｂの位置を制御して再生対象の第１トラック要素２６Ａに記録された磁気信号の再生を行うオフセット再生を実行した実施例２は、再生時において再生ヘッド１４Ｂの幅方向Ｄｗの中心が再生対象の第１トラック要素２６Ａの幅方向Ｄｗの中心と一致していた実施例１よりもＳＮ比が高かった。即ち、再生ヘッド１４Ｂの幅方向Ｄｗの中心が再生対象のトラック要素の幅方向Ｄｗの中心に対して再生対象のトラック要素と対をなすトラック要素からオフセットする方向に再生ヘッド１４Ｂの位置を制御して再生対象のトラックに記録された磁気信号の再生を行うオフセット再生を実行することにより更に良好な記録再生特性が得られることが確認された。
【０１６２】
又、第１トラック要素２６Ａと第２トラック要素２６Ｂとの間にトラック分離微細溝２４が形成された実施例３及び４は、第１トラック要素２６Ａと第２トラック要素２６Ｂとの間にトラック分離微細溝２４がなく、第１トラック要素２６Ａと第２トラック要素２６Ｂとが接している実施例１及び２よりもＳＮ比が高かった。即ち、第１トラック要素２６Ａと第２トラック要素２６Ｂとの間にトラック分離微細溝２４を形成することにより、更に一層良好な記録再生特性が得られることが確認された。
【産業上の利用可能性】
【０１６３】
本発明は、トラック要素及びトラック分離要素を備える記録層を有する磁気記録媒体に利用することができる。
【符号の説明】
【０１６４】
１０…磁気記録再生装置
１２…磁気記録媒体
１４…磁気ヘッド
１６…制御装置
１８…基板
２０…記録層
２２…トラック分離要素
２４…トラック分離微細溝
２４Ａ…充填要素
２６Ａ…第１トラック要素
２６Ｂ…第２トラック要素
２８Ａ、２８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｄ…バースト信号要素
３２…軟磁性層
３４…配向層
５０…被加工体
５２…第１マスク層
５４…第２マスク層
５６…樹脂層
Ｃｈｗ…記録ヘッドの幅方向の中心
Ｃｈｒ…再生ヘッドの幅方向の中心
Ｃｔ１…第１トラック要素の幅方向の中心
Ｃｔ２…第２トラック要素の幅方向の中心
ＳＰＡ…スペース領域
ＵＤＡ…単位データ領域
Ｓ１０２…第１トラック要素記録工程
Ｓ１０４、Ｓ１０８…記録継続／終了判定工程
Ｓ１０６…第２トラック要素記録工程
Ｓ２０２…再生対象トラック要素選択工程
Ｓ２０４…トラック要素再生工程
Ｓ２０６…再生継続／終了判定工程
Ｓ３０２…被加工体の出発体用意工程
Ｓ３０４…樹脂層形成工程
Ｓ３０６…トラック要素形成工程
Ｓ３０８…分離要素及び充填要素形成工程
Ｓ３１０…平坦化工程
Ｓ３１２…保護層成膜工程
Ｓ３１４…潤滑層成膜工程
【図１】
2011192353.tif 000004
【図２】
2011192353.tif 000005
【図３】
2011192353.tif 000006
【図４】
2011192353.tif 000007
【図５】
2011192353.tif 000008
【図６】
2011192353.tif 000009
【図７】
2011192353.tif 000010
【図８】
2011192353.tif 000011
【図９】
2011192353.tif 000012
【図１０】
2011192353.tif 000013
【図１１】
2011192353.tif 000014
【図１２】
2011192353.tif 000015
【図１３】
2011192353.tif 000016
【図１４】
2011192353.tif 000017
【図１５】
2011192353.tif 000018
【図１６】
2011192353.tif 000019
【図１７】
2011192353.tif 000020
【図１８】
2011192353.tif 000021
【図１９】
2011192353.tif 000022
【図２０】
2011192353.tif 000023
【図２１】
2011192353.tif 000024
【図２２】
2011192353.tif 000025
【図２３】
2011192353.tif 000026