(57)【要約】【課題】有色隔壁および透明隔壁をそれぞれ配置したい位置に形成することができるディスプレイパネルの製造方法を提供する。【解決手段】情報を表示するディスプレイパネルであって、表示媒体とする粒子群を配置するセルを形成する隔壁において、少なくとも１つの画素の周囲に設けた有色隔壁と、有色隔壁の内側領域をさらに細かく区切って複数のセルを形成する透明隔壁と、から構成されるディスプレイパネルの製造方法において、パネル基板上に少なくとも１種の有色レジストを積層し、フォトリソグラフィーにより有色隔壁を形成する有色隔壁形成工程と、有色隔壁で囲まれた内側に液状透明レジスト剤を配置し、フォトリソグラフィーにより透明隔壁を形成する透明隔壁形成工程と、を含む工程により、有色隔壁４−１と透明隔壁４−２とを形成する。【選択図】図４
2011107530.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気的に駆動可能な粒子を含んだ粒子群として構成した表示媒体を、パネル基板間の空間を隔壁で区切って設けたセル内で、パネル基板間を移動させて情報を表示するディスプレイパネルであって、粒子群を配置するセルを、少なくとも１つの画素の周囲に設けた有色隔壁、および、有色隔壁の内側領域をさらに区切って複数のセルを形成する透明隔壁で構成されるディスプレイパネルの製造方法において、
少なくとも情報表示画面領域が透明なパネル基板の少なくとも前記情報表示画面領域に、少なくとも１種の有色レジストを積層し、フォトリソグラフィーにより有色隔壁を形成する有色隔壁形成工程と、前記有色隔壁で囲まれた内側に液状で透明なレジスト剤を配置し、フォトリソグラフィーにより透明隔壁を形成する透明隔壁形成工程と、を含むことを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
前記有色隔壁形成工程において、少なくとも１種の有色レジストが、黒色レジストまたは白色レジストであることを特徴とする請求項１に記載のディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
前記有色隔壁形成工程において、少なくとも情報表示画面領域が透明なパネル基板の少なくとも前記情報表示画面領域に積層する少なくとも１種の有色レジストが、積層した黒色レジストまたは白色レジストとの上にさらに別色のレジストを積層して構成されていることを特徴とする請求項１に記載のディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
前記有色隔壁形成工程において、少なくとも情報表示画面領域が透明なパネル基板の少なくとも前記情報表示画面領域に積層する少なくとも１種の有色レジストが、ドライフィルムレジストであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
前記透明隔壁形成工程において、前記液状透明レジスト剤で形成されたレジスト膜に対するフォトマスクの配置高さを変えながら光照射を行う露光工程を含むフォトリソグラフィーにより、前記透明隔壁の縦断面形状を先細り形状としたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のディスプレイパネルの製造方法。
【請求項６】
前記有色隔壁の幅Ｗ１と前記透明隔壁の幅Ｗ２とがＷ２≦Ｗ１となるよう構成したことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気的に駆動可能な粒子を含んだ粒子群として構成した表示媒体を、パネル基板間の空間を隔壁で区切って設けたセル内で、パネル基板間を移動させて情報を表示するディスプレイパネルであって、粒子群を配置するセルを形成する隔壁において、少なくとも１つの画素の周囲に設けた有色隔壁および有色隔壁の内側領域をさらに区切って複数のセルを形成する透明隔壁で構成されるディスプレイパネルの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電気的に駆動可能な粒子を含んだ粒子群として構成した表示媒体を駆動させて画像等の情報表示を行う方式のディスプレイパネルとして、帯電性粒子を含んだ粒子群を表示媒体とする帯電粒子移動方式や、導電粒子または半導体性粒子を含んだ粒子群を表示媒体とする電荷注入方式のディスプレイパネルが知られている。特に、表示媒体となる粒子群の偏在を抑制するために、パネル基板間を隔壁で仕切って構成し、その隔壁で囲まれた小部屋（セル）内に表示媒体とする粒子群を封入し、表示媒体をセル内でパネル基板間を移動させて画像等の情報を表示するディスプレイパネルが提案されている。
【０００３】
上述した従来のディスプレイパネルにおいて、表示画素とセルとを１対１に対応させ、画素の周囲すなわちセルを形成する隔壁頂上に黒色遮光材（ブラックマトリックス）を配置して、表示画像を鮮明に見えるようにすることが知られている。そして、黒色遮光材（ブラックマトリックス）を画素の周囲すなわちセルを形成する隔壁頂上のすべてに配置しており、透明隔壁（透明スペーサ）の場合にもすべての透明隔壁の上に黒色遮光材を配置する構造が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１３９７４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来のディスプレイパネルでは、前記した黒色遮光材（ブラックマトリックス）を画素の周囲すなわちセルを形成する隔壁頂上のすべてに配置するのではなく、複数の画素を囲む部分にだけ配置する構造のディスプレイパネルを得るための方法については提案がなされていないでいた。ブラックマトリックスを設けたドットマトリックス表示パネルでは、表示媒体とする粒子群を収納するセルを形成するために格子状に形成された隔壁の上すべてにブラックマトリックスを形成した構成となっていた。つまり、ブラックマトリックスを形成したい隔壁の上にだけブラックマトリックスを形成したい場合に応えることができないでいた。
【０００６】
従来、黒色遮光材（ブラックマトリックス）は画素の周囲すなわちセルを形成する隔壁頂上のすべてに配置されており、この場合、パネル基板上にまず黒色遮光材用のレジスト膜を積層し、その上に隔壁用のレジスト膜を積層し、セル形状に合せたフォトマスクを用いて露光、現像を行なうフォトリソグラフィーによって、隔壁とブラックマトリックスとを形成していた。この方法では、隔壁とパネル基板の間にブラックマトリックスが配置された構造が得られるが、ブラックマトリックスはセルを形成するすべての隔壁上に配置され、隔壁の一部の上にだけ、例えば、１表示単位とする複数の画素を囲む部分にだけ配置された構造は得られない。
【０００７】
また、画素の周囲に形成する隔壁と、画素内に形成する隔壁とを異なる材料で形成する方法は提案されていなかったため、１画素の周囲に有色の隔壁を形成し、１画素内、すなわち前記有色隔壁の内側領域に透明な隔壁を形成するような、領域ごとに材料の異なる隔壁を配置する技術はこれまでに提案されていなかった。
【０００８】
本発明の目的は上述した問題点を解消して、有色隔壁および透明隔壁をそれぞれ配置したい位置に形成することができるディスプレイパネルの製造方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のディスプレイパネルの製造方法は、電気的に駆動可能な粒子を含んだ粒子群として構成した表示媒体を、パネル基板間の空間を隔壁で区切って設けたセル内で、パネル基板間を移動させて情報を表示するディスプレイパネルであって、粒子群を配置するセルを、少なくとも１つの画素の周囲に設けた有色隔壁、および、有色隔壁の内側領域をさらに区切って複数のセルを形成する透明隔壁で構成されるディスプレイパネルの製造方法において、少なくとも情報表示画面領域が透明なパネル基板の少なくとも前記情報表示画面領域に、少なくとも１種の有色レジストを積層し、フォトリソグラフィーにより有色隔壁を形成する有色隔壁形成工程と、前記有色隔壁で囲まれた内側に液状で透明なレジスト剤を配置し、フォトリソグラフィーにより透明隔壁を形成する透明隔壁形成工程と、を含むことを特徴とするものである。
【００１０】
また、本発明のディスプレイパネルの製造方法の好適例としては、有色隔壁形成工程において、少なくとも１種の有色レジストが、黒色レジストまたは白色レジストであること、有色隔壁形成工程において、少なくとも情報表示画面領域が透明なパネル基板の少なくとも前記情報表示画面領域に積層する少なくとも１種の有色レジストが、積層した黒色レジストまたは白色レジストとの上にさらに別色のレジストを積層して構成されていること、有色隔壁形成工程において、少なくとも情報表示画面領域が透明なパネル基板の少なくとも前記情報表示画面領域に積層する少なくとも１種の有色レジストが、ドライフィルムレジストであること、透明隔壁形成工程において、液状透明レジスト剤で形成されたレジスト膜に対するフォトマスクの配置高さを変えながら光照射を行う露光工程を含むフォトリソグラフィーにより、透明隔壁の縦断面形状を先細り形状としたこと、有色隔壁の幅Ｗ１と前記透明隔壁の幅Ｗ２とがＷ２≦Ｗ１となるよう構成したこと、がある。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、少なくとも情報表示画面領域が透明なパネル基板の少なくとも前記情報表示画面領域に、少なくとも１種の有色レジストを積層し、フォトリソグラフィーにより有色隔壁を形成する有色隔壁形成工程で、パネル基板と隔壁との間に有色の遮光層（ブラックマトリックスやホワイトマトリックスということもある）を配置し、前記有色隔壁で囲まれた内側に液状で透明なレジスト剤を配置し、フォトリソグラフィーにより透明隔壁を形成する透明隔壁形成工程で、有色隔壁で囲まれた領域の内側に透明隔壁を、それぞれの隔壁を形成したい位置に形成できるようになった。
【００１２】
また、黒色遮光材（ブラックマトリックス）または白色遮光材（ホワイトマトリックス）を設けたディスプレイパネルを得る場合には、パネル基板上にブラックマトリックス剤またはホワイトマトリックス剤を積層し、その上にさらに別色の隔壁形成材料を積層し、次に、ブラックマトリックスまたはホワイトマトリックスおよび別色の隔壁を配置したい位置に合わせてその他の積層部分を除去して、ブラックマトリックスまたはホワイトマトリックスおよび別色の隔壁が積層された格子状リブ（有色隔壁）をパネル基板上に形成した後、パネル基板上に形成された有色隔壁の格子状リブの内側に透明隔壁を形成するための液状の透明レジスト剤を配置し、透明隔壁を配置したい位置に対応したフォトマスクを用いてフォトリソグラフィーで透明隔壁を形成するようにしたので、有色隔壁および透明隔壁をそれぞれ配置したい位置に形成できるとともに、ブラックマトリックスまたはホワイトマトリックスを有色隔壁と同じ位置に形成できるようになった。
【００１３】
さらに、所望の位置に黒色遮光材（ブラックマトリックス：ＢＭ）または白色遮光材（ホワイトマトリックス：ＷＭ）を設けたディスプレイパネルを得る場合には、パネル基板上にブラックマトリックス材またはホワイトマトリックス材を積層し、ＢＭまたはＷＭを配置したい位置に対応したフォトマスクを用いてフォトリソ法でＢＭまたはＷＭを形成し、その上にさらに有色隔壁形成材料を積層し、次に、有色隔壁を配置したい位置に合わせてその他の積層部分を除去して、ブラックマトリックスまたはホワイトマトリックスおよび有色隔壁が積層された格子状リブをパネル基板上に形成した後、パネル基板上に形成された有色隔壁の格子状リブの内側に透明隔壁を形成するための液状の透明レジスト剤を配置し、透明隔壁を配置したい位置に対応したフォトマスクを用いてフォトリソ法で透明隔壁を形成するようにしたので、有色隔壁および透明隔壁をそれぞれ配置したい位置に形成できるとともに、ブラックマトリックスまたはホワイトマトリックスを所望の有色隔壁と同じ位置に形成できるようになった。
【００１４】
さらにまた、前記透明隔壁形成工程において、前記液状透明レジスト剤で形成されたレジスト膜に対するフォトマスクの配置高さを変えながら光照射を行うフォトリソグラフィーにより、前記透明隔壁の縦断面形状を先細り形状とした透明隔壁を簡単に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ本発明の製造方法の対象となるディスプレイパネルのパネル構造の一例を説明するための図である。
【図２】（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ本発明の製造方法の対象となるディスプレイパネルのパネル構造の他の例を説明するための図である。
【図３】（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ本発明の製造方法の対象となるディスプレイパネルのパネル構造のさらに他の例を説明するための図である。
【図４】（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ本発明のディスプレイパネルの製造方法における隔壁形成工程の一例を説明するための図である。
【図５】（ａ）〜（ｅ）はそれぞれ本発明のディスプレイパネルの製造方法における隔壁形成工程の他の例を説明するための図である。
【図６】（ａ）〜（ｆ）はそれぞれ本発明のディスプレイパネルの製造方法における隔壁形成工程のさらに他の例を説明するための図である。
【図７】（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ上述した隔壁形成工程における透明隔壁の製造工程の一例を説明するための図である。
【図８】（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ上述した隔壁形成工程における透明隔壁の製造工程の他の例を説明するための図である。
【図９】本発明のディスプレイパネルの製造方法で得られるディスプレイパネルの一例の構成を説明するための図である。
【図１０】本発明のディスプレイパネルの製造方法で得られるディスプレイパネルの他の例の構成を説明するための図である。
【図１１】本発明のディスプレイパネルの製造方法で得られるディスプレイパネルのさらに他の例の構成を説明するための図である。
【図１２】本発明のディスプレイパネルの製造方法で得られるディスプレイパネルのさらに他の例の構成を説明するための図である。
【図１３】本発明のディスプレイパネルの製造方法で得られるディスプレイパネルのさらに他の例の構成を説明するための図である。
【図１４】本発明のディスプレイパネルの製造方法で得られるディスプレイパネルのさらに他の例の構成を説明するための図である。
【図１５】本発明のディスプレイパネルの製造方法で得られるディスプレイパネルのさらに他の例の構成を説明するための図である。
【図１６】本発明のディスプレイパネルの製造方法で得られるディスプレイパネルのさらに他の例の構成を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
＜本発明の製造方法の対象となるパネル構造について＞
まず、本発明の製造方法の対象となるディスプレイパネルの一例である帯電粒子駆動型ディスプレイパネルの基本的な構成について説明する。前記ディスプレイパネルでは、対向する２枚の基板間に封入した帯電性粒子を含んだ粒子群として構成した表示媒体に対向電極対から電界が付与される。付与された電界方向にそって、表示媒体が電界による力やクーロン力などによって引き寄せられ、表示媒体が電界方向の変化によって移動方向が切り換わることにより、画像等の情報表示がなされる。従って、表示媒体が、均一に移動し、かつ、表示情報を書き換える時あるいは表示した情報を継続して表示する時の安定性を維持できるように、情報表示用パネルを設計する必要がある。ここで、表示媒体を構成する粒子にかかる力は、粒子同士のクーロン力により引き付けあう力の他に、電極や基板との電気鏡像力、分子間力、液架橋力、重力などが考えられる。
【００１７】
本発明の製造方法の対象となる帯電粒子駆動型のディスプレイパネルの例を、図１（ａ）〜（ｃ）乃至図３（ａ）〜（ｃ）に基づき説明する。
【００１８】
図１（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ本発明の製造方法の対象となるディスプレイパネルのパネル構造の一例を説明するための図である。図１（ａ）〜（ｃ）に示す例では、１画素に対応する黒色の有色隔壁４−１の内側に９個のセルを形成する透明隔壁４−２を設けた１画素の例を示している。本例では、対向するストライプ電極５、６を直交交差させて形成した１電極対を１画素とし、１画素を９セルで構成している。
【００１９】
図１（ａ）〜（ｃ）に示す例では、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成した少なくとも２種類の表示媒体（ここでは負帯電性白色粒子３Ｗａを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体３Ｗと正帯電性黒色粒子３Ｂａを含んだ粒子群として構成した黒色表示媒体３Ｂを示す）を、有色隔壁４−１および透明隔壁４−２で形成された各セルにおいて、背面側のパネル基板１に設けた電極５（ストライプ電極）と観察側の透明なパネル基板２に設けた透明電極６（ストライプ電極）とが対向直交交差して形成する画素電極対の間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図１（ｂ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色の表示を、あるいは、図１（ｃ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色の表示を白黒のドットでマトリックス表示している。なお、図１（ｂ）、（ｃ）において、手前にある隔壁は省略している。また、７は接着剤である。
【００２０】
図２（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ本発明の製造方法の対象となるディスプレイパネルのパネル構造の他の例を説明するための図である。図２（ａ）〜（ｃ）に示す例では、１画素に対応する白色の有色隔壁４−１の内側に９個のセルを形成する縦断面が先細り形状の透明隔壁４−２を設けた１画素の例を示している。本例では、透明な共通電極６とＴＦＴ付き画素電極５とを対向させて形成した１電極対を１画素とし、１画素を９セルで構成している。
【００２１】
図２（ａ）〜（ｃ）に示す例では、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成した少なくとも２種類の表示媒体（ここでは負帯電性白色粒子３Ｗａを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体３Ｗと正帯電性黒色粒子３Ｂａを含んだ粒子群として構成した黒色表示媒体３Ｂを示す）を、有色隔壁４−１および透明隔壁４−２で形成された各セルにおいて、背面側のパネル基板１に設けた電極５（ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）付き画素電極）と観察側の透明なパネル基板２に設けた電極６（共通電極）との間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図２（ｂ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色の表示を、あるいは、図２（ｃ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色の表示を白黒のドットでマトリックス表示している。なお、図２（ｂ）、（ｃ）において、手前にある隔壁は省略している。また、７は白色または透明な接着剤である。
【００２２】
図３（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ本発明の製造方法の対象となるディスプレイパネルのパネル構造のさらに他の例を説明するための図である。図３（ａ）〜（ｃ）に示す例では、１画素に対応する黒色遮光材１１および透明隔壁部１２から構成される有色隔壁４−１の内側に９個のセルを形成する透明隔壁４−２を設けた１画素の例を示している。本例では、対向するストライプ電極５、６を直交交差させて形成した１電極対を１画素とし、１画素を３セルで構成している。
【００２３】
図３（ａ）〜（ｃ）に示す例では、少なくとも光学的反射率および帯電性を有する粒子を含んだ粒子群として構成した少なくとも２種類の表示媒体（ここでは負帯電性白色粒子３Ｗａを含んだ粒子群として構成した白色表示媒体３Ｗと正帯電性黒色粒子３Ｂａを含んだ粒子群として構成した黒色表示媒体３Ｂを示す）を、黒色遮光材１１および透明隔壁部１２から構成される有色隔壁４−１および透明隔壁４−２で形成された各セルにおいて、背面側のパネル基板１に設けた電極５（ストライプ電極）と観察側の透明なパネル基板２に設けた透明電極６（ストライプ電極）とが対向直交交差して形成する画素電極対の間に電圧を印加することにより発生する電界に応じて、基板１、２と垂直に移動させる。そして、図３（ｂ）に示すように白色表示媒体３Ｗを観察者に視認させて白色の表示を、あるいは、図３（ｃ）に示すように黒色表示媒体３Ｂを観察者に視認させて黒色の表示を白黒のドットでマトリックス表示している。なお、図３（ｂ）、（ｃ）において、手前にある隔壁は省略している。また、７は接着剤である。
【００２４】
＜本発明のディスプレイパネルの製造方法における各工程について＞
図４（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ本発明のディスプレイパネルの製造方法における隔壁形成工程の一例を説明するための図である。図４（ａ）〜（ｄ）に示す例では、１種類の有色隔壁４−１と透明隔壁４−２とで隔壁を構成した例を示している。
【００２５】
図４（ａ）〜（ｄ）に従って本発明のディスプレイパネルの製造方法を説明すると、まず、図４（ａ）に示すように、表示用電極とする導電膜６が形成されたパネル基板２の上に有色ドライフィルムレジスト２１を積層する。次に、図４（ｂ）に示すように、有色隔壁４−１を配置したい位置に対応したフォトマスク２２を有色ドライフィルムレジスト２１上に配置した状態でフォトリソグラフィーを実施する。例えば、実施し、有色隔壁４−１を配置したい位置以外の部分の有色ドライフィルムレジスト２１を現像除去して、例えば格子状の有色隔壁４−１をパネル基板２上に形成する。次に、図４（ｃ）に示すように、パネル基板２上に形成された有色隔壁４−１で囲まれた領域に、透明隔壁４−２を形成するための液状の透明レジスト剤２３を塗工して配置する。この透明レジスト剤２３は、形成済みの有色隔壁４−１の高さに対して、それよりも薄くしてもよいし、厚くしてもよいし、同じにしてもよい。次に、図４（ｄ）に示すように、透明レジスト剤２３を配置後、透明隔壁４−２を配置したい位置に対応したフォトマスク２４を用いて、フォトリソグラフィーで透明隔壁４−２を形成する。
【００２６】
図５（ａ）〜（ｅ）はそれぞれ本発明のディスプレイパネルの製造方法における隔壁形成工程の他の例を説明するための図である。図５（ａ）〜（ｅ）に示す例では、黒色遮光材１１と別色の隔壁部１３とを積層して構成される有色隔壁４−１と透明隔壁４−２とで隔壁を構成した例を示している。なお、黒色遮光材１１の代わりに白色遮光材を使用した場合も同様の工程を用いることができる。
【００２７】
図５（ａ）〜（ｄ）に従って本発明のディスプレイパネルの製造方法を説明すると、まず、図５（ａ）に示すように、表示用電極とする導電膜６が形成されたパネル基板２の導電膜６上に、黒色遮光材１１（ブラックマトリックス）を形成するための黒色ドライフィルムレジスト３１を積層する。次に、図５（ｂ）に示すように、黒色ドライフィルムレジスト３１上に別色のドライフィルムレジスト３２をさらに積層する。次に、図５（ｃ）に示すように、黒色遮光材１１および別色の隔壁部１３からなる有色隔壁４−１を配置したい位置に対応したフォトマスク３３をフィルムレジスト３２上に配置してフォトリソグラフィ−を実施し、有色隔壁４−１を配置したい位置以外の黒色ドライフィルムレジスト３１および別色のドライフィルムレジスト３２を除去して、例えば格子状の有色隔壁４−１をパネル基板２上に形成する。次に、図５（ｄ）に示すように、パネル基板２上の有色隔壁４−１で囲まれた領域に、透明隔壁４−２を形成するための液状の透明レジスト剤３４を塗工して配置する。この透明レジスト剤３４は、形成済みの有色隔壁４−１の高さに対して、それよりも薄くしてもよいし、厚くしてもよいし、同じにしてもよい。次に、図５（ｅ）に示すように、透明レジスト剤３４を配置後、透明隔壁４−２を配置したい位置に対応したフォトマスク３５を用いて、フォトリソグラフィーで透明隔壁４−２を形成する。
【００２８】
図６（ａ）〜（ｆ）はそれぞれ本発明のディスプレイパネルの製造方法における隔壁形成工程のさらに他の例を説明するための図である。図６（ａ）〜（ｆ）に示す例では、黒色遮光材１１と別色の隔壁部１３とを積層して構成される有色隔壁４−１または有色隔壁部１３からなる有色隔壁４−１と透明隔壁４−２とで隔壁を構成した例を示している。なお、黒色遮光材１１の代わりに白色遮光材を使用した場合も同様の工程を用いることができる。
【００２９】
図６（ａ）〜（ｆ）に従って本発明のディスプレイパネルの製造方法を説明すると、まず、図６（ａ）に示すように、表示用電極とする導電膜６が形成されたパネル基板２の導電膜６上に、黒色遮光材１１（ブラックマトリックス）を形成するための黒色レジスト４１を積層する。次に、図６（ｂ）に示すように、黒色遮光材１１を配置したい位置に対応したフォトマスク４２を黒色レジスト４１上に配置してフォトリソグラフィーを実施し、黒色遮光材１１を配置したい位置以外の黒色レジスト４１を除去して、黒色遮光材１１をパネル基板２上の所定位置に形成する。次に、図６（ｃ）に示すように、形成した黒色遮光材１１および導電膜６上に別色のレジスト４３をさらに塗工配置する。次に、図６（ｄ）に示すように、黒色遮光材１１と有色隔壁部１３とを積層して構成される有色隔壁４−１および有色隔壁部１３からなる有色隔壁４−１を配置したい位置に対応したフォトマスク４４を有色レジスト４３上に配置してフォトリソグラフィーを実施し、有色隔壁４−１を配置したい位置以外の有色レジスト４３を除去して、例えば格子状の有色隔壁４−１をパネル基板２上に形成する。次に、図６（ｅ）に示すように、パネル基板２上の有色隔壁４−１で囲まれた領域に、透明隔壁４−２を形成するための液状の透明レジスト剤４５を塗工して配置する。この透明レジスト剤４５は、形成済みの有色隔壁４−１の高さに対して、それよりも薄くしてもよいし、厚くしてもよいし、同じにしてもよい。次に、図６（ｆ）に示すように、透明レジスト剤４５を配置後、透明隔壁４−２を配置したい位置に対応したフォトマスク４６を用いて、フォトリソグラフィーで透明隔壁４−２を形成する。
【００３０】
上述した図４（ａ）〜（ｄ）、図５（ａ）〜（ｅ）、図６（ａ）〜（ｆ）に示す隔壁の形成方法において、有色隔壁の高さは、有色レジスト剤の厚さと、形成済みの有色隔壁上に配置された透明レジスト剤の厚さとの合計の長さとなるか、遮光材（ブラックマトリックスまたはホワイトマトリックス）を設けた場合には、この遮光材の厚さが加わった長さとなる。もちろん、透明隔壁が有色隔壁と同じ高さまたは低い高さになるように有色隔壁の上に載らないように液状の透明レジスト剤を配置した場合の有色隔壁の高さには、透明レジスト剤の厚さは影響しない。
【００３１】
図７（ａ）〜（ｄ）および図８（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ上述した隔壁形成工程における透明隔壁の製造工程の一例を説明するための図である。図７（ａ）〜（ｄ）および図８（ａ）〜（ｄ）に示す例において、図４（ａ）〜（ｄ）に示す例と同一の部材には同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００３２】
図７（ａ）〜（ｄ）に従って本発明における透明隔壁の製造工程の一例（透明隔壁４−２が先細りでないリブの場合）を説明すると、まず、図７（ａ）に示すように、パネル基板２上に形成された有色隔壁４−１で囲まれた領域に、液状の透明レジスト剤２３を塗工配置し、加熱し、固化した後、フォトマスク２４を介して露光する。ここではフォトマスク２４を浮かしているが、フォトマスク２４を透明レジスト２３に密着させてもよい。露光は、フォトマスク２４の位置を固定して投影露光して行う。短波長の光源が好ましく、高圧水銀灯のｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）、ＫｒＦエキシマレーザー（波長２４８ｎｍ）、ＡｒＦエキシマレーザー（波長１９３ｎｍ）などを用いる。露光終了後、図７（ｂ）に示すように、フォトマスク２４に対応する透明レジスト剤２３の位置に、露光しなかった部分ができる。露光後、透明レジスト剤２３を現像液に浸し、図７（ｃ）に示す余分な部分のレジスト（露光によるレジスト変質部）を除去する。現像液の一例としては、レジストを溶解する薬液で有機アルカリであるＴＭＡＨ（Tetra-methyl-ammonium-hydroxide）の２．３８ｗｔ％水溶液を用いる。現像後、リンス液（主に超純水）で数回すすぎ、透明レジスト剤２３の不要部分を完全に除去した後、付着したリンス液を加熱によって除去することで、図７（ｄ）に示すように、高さ方向で幅がほぼ一定な透明隔壁４−２（リブ）を得ることができる。加熱により隔壁４−１とパネル基板２との密着性が良くなる。
【００３３】
図８（ａ）〜（ｄ）に従って本発明における透明隔壁の製造工程の他の例（透明隔壁４−２が先細り形状の場合）を説明すると、まず、図８（ａ）に示すように、パネル基板２上に形成された有色隔壁４−１で囲まれた領域に、液状の透明レジスト剤２３を塗工配置し、加熱し、固化した後、フォトマスク２４を介して露光する。ここではフォトマスク２４をステッパー装置を用いて上方に移動させながら投影露光する。露光は、フォトマスク２４の位置を固定して投影露光して行う。短波長の光源が好ましく、高圧水銀灯のｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎｍ）、ＫｒＦエキシマレーザー（波長２４８ｎｍ）、ＡｒＦエキシマレーザー（波長１９３ｎｍ）などを用いる。露光終了後、図８（ｂ）に示すように、フォトマスク２４に対応する透明レジスト剤２３の位置に、露光しなかった部分ができる。露光後、透明レジスト剤２３を現像液に浸し、図８（ｃ）に示す余分な部分のレジスト（露光によるレジスト変質部）を除去する。現像液の一例としては、レジストを溶解する薬液で有機アルカリであるＴＭＡＨ（Tetra-methyl-ammonium-hydroxide）の２．３８ｗｔ％水溶液を用いる。現像後、リンス液（主に超純水）で数回すすぎ、透明レジスト剤２３の不要部分を完全に除去した後、付着したリンス液を加熱によって除去することで、図８（ｄ）に示すように、先細り形状の透明隔壁４−２を得ることができる。加熱により隔壁４−１とパネル基板２との密着性が良くなる。
【００３４】
なお、有色隔壁の幅Ｗ１と、透明隔壁の幅Ｗ２とはＷ２≦Ｗ１の関係となるようにする。Ｗ１は、２０μｍ〜１００μｍの範囲が好ましく、２０μｍ〜５０μｍの範囲がより好ましい。Ｗ２は、５μｍ〜１００μｍの範囲が好ましく、５μｍ〜５０μｍの範囲がより好ましい。また、本発明を適用するドットマトリックス表示方式のディスプレイパネルで、表示媒体とする粒子群を収納するセルの形状は、四角形や四角形を基調とした階段型六角形や階段型八角形が好ましく、粒子群を移動しやすくできる点から角部を丸くした形状が好ましく用いられる。
【００３５】
＜本発明のディスプレイパネルの製造方法における各構成部材の好適例について＞
上述した本発明の情報表示用パネルの製造方法における各構成部材の好適例について、以下に説明する。
【００３６】
本発明における隔壁には、基板間ギャップ確保およびセル形成を目的として設ける隔壁Ａ、基板間ギャップ確保を目的として設ける隔壁Ｂ、セル形成専用の隔壁Ｃとがある。隔壁Ａおよび隔壁Ｃは情報表示画面領域内に設けられ、隔壁Ｂは情報表示画面領域外に設けられる。本発明では、隔壁Ａが有色隔壁であり、隔壁Ｃが透明隔壁である。隔壁Ｂは高さが基板間ギャップと同じであれば色や形状、幅は規定されない。隔壁Ａの高さと隔壁Ｂの高さとは同じにすることが通常採られる。
【００３７】
有色隔壁および遮光材の形成材料としては、レジスト材やドライフィルムレジスト材が好適に用いられる。ドライフィルムレジスト材の一例として、アルフォＮＩＴ２（ニチゴーモートン社製）やＰＤＦ３００（新日鐵化学社製）を使用することができる。形成したい有色隔壁および遮光材の高さに合せた厚さで、所望の色のドライフィルムレジスト材をそれぞれ遮光材用ドライフィルムレジスト、有色隔壁用ドライフィルムレジストの順にパネル基板に積層し、所定形状のフォトマスクを用いてフォトリソグラフィーによってパターニングする。遮光材を配置しない構成のディスプレイパネルの場合には、有色隔壁用ドライフィルムレジストをパネル基板に積層し、所定形状のフォトマスクを用いてフォトリソグラフィーによってパターニングする。所望の色の顔料を配合したドライフィルムレジスト材を用いることができる。
【００３８】
透明隔壁部は、透明で液状のレジスト剤をそのまま用い、有色隔壁で囲まれたパネル基板上の領域に透明レジスト剤を所望の厚さで塗工して製膜した後にフォトリソグラフィーでパターニングして透明隔壁とすることができる。
【００３９】
パネル基板の情報表示画面領域に対向して配置する導電膜に関して、観察側の透明基板に設ける透明導電膜材料としては、酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、酸化インジウム、亜鉛ドープ酸化インジウム（ＩＺＯ）、アルミニウムドープ酸化亜鉛（ＡＺＯ）、アンチモン錫酸化物（ＡＴＯ）、導電性酸化錫、導電性酸化亜鉛等の透明導電金属酸化物類、ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン、poly(3,4-ethylenedioxythiophene)-poly-(styrenesulfonate)（ＰＥＤＯＴ：ＰＳＳ）等の透明導電性高分子類が挙げられる。
【００４０】
背面側パネル基板や観察側パネル基板の情報表示画面領域外に設ける導電膜材料としては、酸化インジウム錫（ＩＴＯ）、酸化インジウム、亜鉛ドープ酸化インジウム（ＩＺＯ）、アルミニウムドープ酸化亜鉛（ＡＺＯ）、アンチモン錫酸化物（ＡＴＯ）、導電性酸化錫、導電性酸化亜鉛等の導電金属酸化物類、ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン、poly(3,4-ethylenedioxythiophene)-poly-(styrenesulfonate)（ＰＥＤＯＴ：ＰＳＳ）等の導電性高分子類や、金、銀、銅、アルミニウム、ニッケル、クロム等の金属や、これらの金属を主成分とする合金が挙げられる。背面側の領域や観察側の情報表示画面領域外に設ける導電膜は透明であってもよいし、透明でなくても良い。
【００４１】
導電膜の形成方法としては、上記例示の材料をスパッタリング法、真空蒸着法、ＣＶＤ（化学蒸着）法、塗布法等で薄膜状に形成する方法や金属箔（例えば圧延銅箔）をラミネートする方法、導電剤を溶媒や合成樹脂バインダーに混合して塗布したりする方法が用いられる。パターン形成可能で導電性である上記材料を好適に用いることができる。なお、観察側基板の情報表示画面領域に設ける導電膜の厚みは、導電性が確保でき光透過性に支障がなければ良く、０．０１μｍ〜１０μｍが好ましく、０．０５μｍ〜５μｍがより好ましい。また、背面側基板や観察側基板の情報表示画面領域外に設ける導電膜の厚みは、導電性が確保できれば良く、０．０１μｍ〜１０μｍが好ましく、０．０５μｍ〜５μｍがより好ましい。
【００４２】
観察側の情報表示画面領域に設ける導電膜として好適なＩＴＯ等の透明金属酸化物系導電性材料は、金属材料に比べて可とう性が小さい。観察側の情報表示画面領域に設ける導電膜をＩＴＯ等の透明金属酸化物系材料とする場合には、透明金属酸化物系導電膜中での断線防止のため、金属細線と併用することが好ましい。この金属細線の幅は、１μｍ〜１０μｍとすれば表示視認性の妨げとならないので好ましい。特に、ＩＴＯ等の透明金属酸化物系材料をライン状の導電膜とする場合には、金属細線と併用すると断線防止効果が高まり好ましい。背面側や観察側の情報表示画面領域外に設ける導電膜は光透過性を考慮する必要がないので電気抵抗が小さく、可とう性にも優れた前記金属材料が好適に用いられる。また、背面側や観察側の情報表示画面領域外に設ける導電膜の厚みは電気抵抗および生産性、コストの観点から、０．０１μｍ〜１０μｍに設計される。
【００４３】
＜本発明の製造方法で得られるディスプレイパネルの実施例について＞
次に、本発明のディスプレイパネルの製造方法で得られるディスプレイパネルの実施例について、図９〜図１６を参照して説明する。
【００４４】
図９に示す例では、１表示単位を４画素で構成し、２×２に配置された４画素の周囲に有色隔壁４−１を形成するとともに、画素を仕切る隔壁を透明隔壁４−２としている。また、各画素の観察側のパネル基板２の外側に、赤色カラーフィルター５１Ｒ、緑色カラーフィルター５１Ｇ、青色カラーフィルター５１ＢＬ、透明カラーフィルター５１Ｔを配置し、カラー表示を可能としている。図９に示す例では、画素サイズが小さい場合でも、カラーフィルター間の透明隔壁４−２が目立つことなく表示画面の明るさが損なわれない。
【００４５】
図１０に示す例では、１表示単位を１画素で構成し、１画素の周囲に有色隔壁４−１を形成するとともに、１画素内を９セルに仕切る隔壁を透明隔壁４−２としている。図１０に示す例では、画素サイズが大きい場合でもセルサイズを小さくしてセル内での粒子偏在を抑制でき、表示画面の明るさも損なわれない。
【００４６】
図１１に示す例では、１表示単位を４画素で構成し、２×２に配置された４画素の周囲に有色隔壁４−１を形成するとともに、画素を仕切る隔壁を透明隔壁４−２としている。本例では、有色隔壁４−１を観察側から黒色遮光材１１と別色の隔壁部１３とを積層して構成している。また、各画素の観察側のパネル基板２の外側に、赤色カラーフィルター５１Ｒ、緑色カラーフィルター５１Ｇ、青色カラーフィルター５１ＢＬ、透明カラーフィルター５１Ｔを配置し、カラー表示を可能としている。図１１に示す例では、画素サイズが小さい場合でも、カラーフィルター間の透明隔壁４−２が目立つことなく表示画面の明るさが損なわれない。また、黒色遮光材１１（ブラックマトリックス）を１表示単位に配置した構成を得られる。
【００４７】
図１２に示す例では、１表示単位を１画素で構成し、１画素の周囲に有色隔壁４−１を形成するとともに、１画素内を９セルに仕切る隔壁を透明隔壁４−２としている。本例では、有色隔壁４−１を観察側から黒色遮光材１１と別色の隔壁部１３とを積層して構成している。図１２に示す例では、画素サイズが大きい場合でもセルサイズを小さくしてセル内での粒子偏在を抑制でき、表示画面の明るさも損なわれない。また、黒色遮光材１１（ブラックマトリックス）を１表示単位に配置した構成を得られる。
【００４８】
図１３に示す例では、１表示単位を４画素で構成し、２×２に配置された４画素の周囲に有色隔壁４−１を形成するとともに、画素を仕切る隔壁を透明隔壁４−２としている。本例では、有色隔壁４−１を全体が黒色の隔壁で構成している。また、各画素の観察側のパネル基板２の外側に、赤色カラーフィルター５１Ｒ、緑色カラーフィルター５１Ｇ、青色カラーフィルター５１ＢＬ、透明カラーフィルター５１Ｔを配置し、カラー表示を可能としている。図１３に示す例では、有色隔壁４−１の全体を黒色で形成して、ブラックマトリックス（ＢＭ）の効果を兼ねている。また、有色隔壁４−１と透明隔壁４−２とを別個に形成している。
【００４９】
図１４に示す例では、１表示単位を１画素で構成し、１画素の周囲に有色隔壁４−１を形成するとともに、１画素内を９セルに仕切る隔壁を透明隔壁４−２としている。本例では、有色隔壁４−１を全体が黒色の隔壁で構成している。また、各画素の観察側のパネル基板２の外側に、赤色カラーフィルター５１Ｒ、緑色カラーフィルター５１Ｇ、青色カラーフィルター５１ＢＬ、透明カラーフィルター５１Ｔを配置し、カラー表示を可能としている。図１４に示す例では、有色隔壁４−１の全体を黒色で形成して、ブラックマトリックス（ＢＭ）の効果を兼ねている。また、有色隔壁４−１と透明隔壁４−２とを別個に形成している。
【００５０】
図１５に示す例では、１表示単位を４画素で構成し、階段型八角形状に配置された４画素の周囲に有色隔壁４−１を形成するとともに、画素を仕切る隔壁および１画素内を６つのセルに仕切る隔壁を透明隔壁４−２としている。本例では、有色隔壁４−１を観察側から黒色遮光材１１と有色隔壁部１３とを積層して構成している。図１５に示す例では、画素サイズが大きい場合でもセルサイズを小さくしてセル内での粒子偏在を抑制でき、表示画面の明るさも損なわれない。また、黒色遮光材１１（ブラックマトリックス）を１表示単位に配置した構成を得られる。
【００５１】
図１６に示す例では、１表示単位を４画素で構成し、階段型八角形状に配置された４画素の周囲に有色隔壁４−１を形成するとともに、画素を仕切る隔壁および１画素内を６つのセルに仕切る隔壁を透明隔壁４−２としている。本例では、有色隔壁４−１を観察側から黒色遮光材１１と有色隔壁部１３とを積層して構成している。また、各画素の観察側のパネル基板２の外側に、赤色カラーフィルター５１Ｒ、緑色カラーフィルター５１Ｇ、青色カラーフィルター５１ＢＬ、透明カラーフィルター５１Ｔを配置し、カラー表示を可能としている。図１６に示す例では、画素サイズが大きい場合でもセルサイズを小さくしてセル内での粒子偏在を抑制でき、表示画面の明るさも損なわれない。また、黒色遮光材１１（ブラックマトリックス）を階段型八角形状に配置した構成を得られる。
【００５２】
図９〜図１６に示した例において、パネル基板間ギャップ確保用の隔壁部分となる有色隔壁４−１の幅Ｗ１は、２０μｍ〜１００μｍの範囲とし、セル形成専用の隔壁部分となる透明隔壁４−２の幅Ｗ２は、５μｍ〜３０μｍの範囲とし、Ｗ２≦Ｗ１とした。セル形成専用の隔壁部分である透明隔壁４−２は、パネル基板間ギャップを確保する必要がなく負荷が掛からないので、幅を小さくすることができる。そして、セル形成専用の隔壁部分となる透明隔壁４−２は画素の上に形成される場合に本来の表示領域を少なくしてしまうことになるが、その幅を小さくしてできるだけ本来の表示領域を少なくしてしまわないようにすることができる。
【００５３】
セル形成とパネル基板間ギャップ確保との両機能を担う隔壁となる有色隔壁４−１は、パネル基板間ギャップを確保するためには幅が大きい方がよいが、この場合も表示領域を少なくしてしまわないようにその幅を小さくするのが好ましく、双方のバランスをとった範囲が前記した範囲となる。すなわち、パネル基板間ギャップ確保用の隔壁部分となる有色隔壁４−１の幅Ｗ１を２０μｍ〜１００μｍの範囲とし、セル形成専用の隔壁部分となる透明隔壁４−２の幅Ｗ２を５μｍ〜３０μｍの範囲とするとともに、Ｗ２≦Ｗ１とするのが好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明の製造方法の対象となる情報表示用パネルは、ノートパソコン、電子手帳、ＰＤＡ(Personal Digital Assistants)と呼ばれる携帯型情報機器、携帯電話、ハンディターミナル等のモバイル機器の表示部、電子書籍、電子新聞等の電子ペーパー、看板、ポスター、黒板（ホワイトボード）等の掲示板、電子卓上計算機、家電製品、自動車用品等の表示部、ポイントカード、ＩＣカード等のカード表示部、電子広告、情報ボード、電子ＰＯＰ(Point Of Presence, Point Of Purchase advertising)、電子値札、電子棚札、電子楽譜、ＲＦ−ＩＤ機器の表示部のほか、ＰＯＳ端末、カーナビゲーション装置、時計など様々な電子機器の表示部に好適に用いられる。他に、リライタブルペーパー（本発明に係る画素サイズの電界形成用画素電極対を有する外部電界形成手段を用いて書換えできるものや、外部の表示書換え手段に接続して情報を書き換えた後、接続を解放しても情報を表示したままにすることができるもの）としても好適に用いられる。
【符号の説明】
【００５５】
１、２  パネル基板
３Ｗ  白色表示媒体
３Ｗａ  負帯電性白色粒子
３Ｂ  黒色表示媒体
３Ｂａ  正帯電性黒色粒子
４−１  有色隔壁
４−２  透明隔壁
５、６  電極
７  接着剤
１１  黒色遮光材
１２  透明隔壁部
１３  有色隔壁部
２１、３２、４３  有色レジスト
２２、２４、３３、３５、４２、４４、４６  フォトマスク
２３、３４、４５  透明レジスト剤
３１、４１  黒色レジスト
５１Ｒ  赤色カラーフィルター
５１Ｇ  緑色カラーフィルター
５１ＢＬ  青色カラーフィルター
５１Ｔ  透明カラーフィルター
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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