(57)【要約】      （修正有）【課題】従来に比べて、被めっき物の表面に均一にめっき皮膜を形成できるようにした電気めっき装置及び電気めっき方法を提供する。【解決手段】めっき層内には、下面側に陰極板７及び側に回転部８を有し、陰極板７の上面は凹凸面７ａで形成される。被めっき物１２を陰極板７と回転部８の間に挟持し、陰極及び陽極間に電流を供給して前記被めっき物１２の表面に前記めっき皮膜を形成する際、回転部８は回転可能に支持されている。また凹凸面７ａの凸部の頂部表面は湾曲面で形成される。【選択図】図２
2011122209.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
めっき槽と、前記めっき槽内に設けられた陽極及び陰極とを有し、被めっき物の表面にめっき皮膜を形成するための電気めっき装置において、
前記めっき層内には、少なくとも一方が前記陰極を構成する下面板及び上面板を有し、前記下面板及び前記上面板の少なくとも一方の対向面は凹凸面から成り、
前記被めっき物を前記陰極及び前記凹凸面に当接させた状態で前記下面板及び上面板の間に挟持し、両極間に電流を供給して前記被めっき物の表面に前記めっき皮膜を形成する際、相対的に平面運動するように、前記上面板及び前記下面板の少なくとも一方が平面運動可能に支持されており、
前記凹凸面を構成する凸部の頂部表面が湾曲面を有して形成されていることを特徴とする電気めっき装置。
【請求項２】
前記凸部の表面は、上面と、側壁面と、前記上面及び前記側壁面間を繋ぐ前記湾曲面の曲面部とを有して構成され、前記曲面部から前記上面にかけて前記頂部表面が構成されている請求項１記載の電気めっき装置。
【請求項３】
前記頂部の表面全体が湾曲面で形成されている請求項２記載の電気めっき装置。
【請求項４】
前記凹凸面の隣り合う前記凸部間の間隔は、前記被めっき物の直径よりも小さい請求項１ないし３のいずれか１項に記載の電気めっき装置。
【請求項５】
前記上面板は液透過性である請求項１ないし４のいずれか１項に記載の電気めっき装置。
【請求項６】
前記上面板の対向面には、液透過性で且つ前記上面板より軟らかい軟質膜が設けられている請求項５記載の電気めっき装置。
【請求項７】
前記下面板及び前記上面板のうち、少なくとも一方が回転板で構成されており、前記回転板の回転軸は中心からずれている請求項１ないし６のいずれかに１項に記載の電気めっき装置。
【請求項８】
陰極板の対向面が前記凹凸面で形成されている請求項１ないし７のいずれか１項に記載の電気めっき装置。
【請求項９】
前記下面板は固定された陰極板であり、前記上面板が平面運動可能に支持されている請求項１ないし８のいずれか１項に記載の電気めっき装置。
【請求項１０】
めっき槽と、前記めっき槽内に設けられた陽極及び陰極とを有し、被めっき物の表面にめっき皮膜を形成するための電気めっき方法において、
前記めっき槽内には、少なくとも一方が前記陰極を構成する下面板及び上面板を備え、前記下面板及び前記上面板の少なくとも一方の対向面は、頂部表面に湾曲面が形成された凸部を有する凹凸面から成り、
めっき液中で、前記被めっき物を、前記下面板及び前記上面板の間に挟持し、前記陰極及び凹凸面に当接させた状態で、前記上面板及び前記下面板を相対的に平面運動させながら、両極間に電流を供給して前記被めっき物の表面に前記めっき皮膜を形成することを特徴とする電気めっき方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、従来に比べて、被めっき物の表面に均一にめっき皮膜を形成できる電気めっき装置及び電気めっき方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来では、例えばバレルめっき法にて、被めっき物の表面にめっき皮膜を形成していた。バレルめっき法では、回転籠の中に、給電用の電極を設けるとともに被めっき物を配置し、回転籠を回転させながら、被めっき物の表面にめっき皮膜を形成する。この方法では、被めっき物が給電用の電極に接触したときに電流が供給され、めっき皮膜が形成される。
【０００３】
しかしながら、バレルめっき法では、以下の問題点があった。
まず、被めっき物がめっき液中に浮遊した状態では、被めっき物に対して給電されないので、被めっき物に安定してめっき皮膜を形成できなかった。
【０００４】
またバレルめっき法では、被めっき物同士が密着したり、被めっき物が電極面に対して不動支持され、被めっき物の所定部分が電極面に常に密着した状態を保つことがあった。かかる場合、被めっき物の密着面にはめっき液が供給されないため、被めっき物の表面に均一なめっき皮膜を形成できなかった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平４−８５１８号公報
【特許文献２】特開平５−１１７８９７号公報
【特許文献１】特開平１１−９２９９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載された発明には、めっき槽内に陽極と陰極とを備え、陰極には受け皿部が形成され、前記受け皿部上に被めっき物を載置して成る電気めっき装置が開示されている。
【０００７】
また特許文献２に記載された発明には、陰極を構成する回転容器と、回転容器内に設けられた陽極とを有して構成され、前記回転容器を回転させることで、遠心力で回転容器の側壁に被めっき物を付着させる電気めっき装置が開示されている。
【０００８】
また特許文献３に記載された発明には、陰極を有する回転可能なめっき槽と、めっき槽内に設けられた陽極とを有し、前記めっき槽を回転させながら被めっき物にめっき皮膜を形成する電気めっき装置が開示されている。また特許文献３には、めっき槽の回転と停止を繰り返すことで、被めっき物の位置を変化させて、凝集を起こりにくくするとの記載がある（特許文献３の［００１５］欄等）。
【０００９】
しかしながら、上記した特許文献に記載された発明では、十分に被めっき物のめっき液中への浮遊を抑制できないものと考えられる。また、被めっき物は、めっき槽の回転により遠心力を受けて陰極に付着し陰極の所定箇所に固定された状態を保ち、このため、各被めっき物間や陰極との間の密着面にめっき液を適切に供給できないのではと考えられる。また特許文献３に記載のように、めっき槽の回転と停止を繰り返すことで被めっき物の位置を変える方法では制御が困難になるものと考えられる。
【００１０】
そこで本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、特に、従来に比べて、被めっき物の表面に均一にめっき皮膜を形成できるようにした電気めっき装置及び電気めっき方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、めっき槽と、前記めっき槽内に設けられた陽極及び陰極とを有し、被めっき物の表面にめっき皮膜を形成するための電気めっき装置において、
前記めっき層内には、少なくとも一方が前記陰極を構成する下面板及び上面板を有し、前記下面板及び前記上面板の少なくとも一方の対向面は凹凸面から成り、
前記被めっき物を前記陰極及び前記凹凸面に当接させた状態で前記下面板及び上面板の間に挟持し、両極間に電流を供給して前記被めっき物の表面に前記めっき皮膜を形成する際、相対的に平面運動するように、前記上面板及び前記下面板の少なくとも一方が平面運動可能に支持されており、
前記凹凸面を構成する凸部の頂部表面が湾曲面を有して形成されていることを特徴とするものである。
【００１２】
あるいは本発明は、めっき槽と、前記めっき槽内に設けられた陽極及び陰極とを有し、被めっき物の表面にめっき皮膜を形成するための電気めっき方法において、
前記めっき槽内には、少なくとも一方が前記陰極を構成する下面板及び上面板を備え、前記下面板及び前記上面板の少なくとも一方の対向面は、頂部表面に湾曲面が形成された凸部を有する凹凸面から成り、
めっき液中で、前記被めっき物を、前記下面板及び前記上面板の間に挟持し、前記陰極及び凹凸面に当接させた状態で、前記上面板及び前記下面板を相対的に平面運動させながら、両極間に電流を供給して前記被めっき物の表面に前記めっき皮膜を形成することを特徴とするものである。
【００１３】
本発明では、被めっき物を、下面板と上面板の間に挟持するため、従来のように被めっき物がめっき液中に浮遊することを抑制できる。また相対的に平面運動するように、少なくとも上面板及び下面板の一方を平面運動させ、さらに本発明では、上面板及び下面板の少なくとも一方の対向面を頂部表面に湾曲面が形成された凸部を有する凹凸面で形成しているため、被めっき物を効果的に回転させながら移動させることができ、また凹部にもめっき液を供給でき、めっき液の流動性（攪拌効果）を高めることができる。以上により、被めっき物に対する安定した給電と、めっき液の流動性により、従来に比べて、被めっき物の表面に均一なめっき皮膜を形成しやすく出来る。
【００１４】
また本発明では、前記凸部の表面は、上面と、側壁面と、前記上面及び前記側壁面間を繋ぐ前記湾曲面の曲面部とを有して構成され、前記曲面部から前記上面にかけて前記頂部表面が構成されていることが好ましい。また本発明では、前記頂部の表面全体が湾曲面で形成されていることがより好ましい。これにより、被めっき物をスムースに回転させながら移動させることができ、めっき液の流動性（攪拌効果）をより効果的に高めることができる。
【００１５】
また本発明では、前記凹凸面の隣り合う前記凸部間の間隔は、前記被めっき物の直径よりも小さいことが好ましい。これにより、より効果的に、被めっき物を回転させながら移動させることができる。
【００１６】
また本発明では、前記上面板は液透過性であることが好ましい。これにより上面板を介してめっき液が下面板と上面板の間の全域に流れ込みやすくなり、めっき液の流動性（攪拌効果）を高めることができ、より効果的に、被めっき物の表面に均一なめっき皮膜を形成できる。
【００１７】
また本発明では、前記上面板の対向面には、液透過性で且つ前記上面板より軟らかい軟質膜が設けられていることが好ましい。これにより上面板を介してめっき液が下面板と上面板の間の全域に流れ込みやすくなり、めっき液の流動性（攪拌効果）を高めることができる。また、被めっき物を確実に下面板と上面板間に挟持できる。更に下面板と上面板間に押圧力を加えて、被めっき物を下面板と上面板間に挟持したときの被めっき物に対するダメージを低減することが出来る。
【００１８】
また本発明では、前記下面板及び前記上面板のうち、少なくとも一方が回転板であり、前記回転板の回転軸は中心からずれていることが好ましい。これにより、被めっき物全体の回転移動をより効果的に促進できる。よって、被めっき物全体に対してより安定してめっき液を供給でき、より効果的に、被めっき物の表面に均一なめっき皮膜を形成できる。
【００１９】
本発明では、前記陰極の前記対向面が前記凹凸面で形成されていることが好ましい。このとき、前記下面板は固定された陰極板であり、前記上面板が平面運動可能に支持されていることが好ましい。これにより簡単な機構の電気めっき装置を構成できる。また容易に、可動側である上面板を上記したように液透過性としたり上面板の対向面に軟質膜を設けることができ、めっき液の流動性（攪拌効果）をより効果的に高めることができる電気めっき装置を実現できる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の電気めっき装置及び電気めっき方法によれば、従来に比べて、被めっき物の表面に均一にめっき皮膜を形成できる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本実施形態の電気めっき装置の模式図、
【図２】本実施形態のめっき形成部の部分拡大断面図、
【図３】本実施形態のめっき形成部を平面から見た透視図、
【図４】めっき物の断面図（一例）、
【図５】（ａ）は、本実施形態、（ｂ）は比較例を示し、本実施形態のほうが比較例よりも優れている点を説明するための陰極板及び被めっき物の概念図、
【図６】本実施形態における凸部の拡大縦断面図、
【図７】本実施形態における陰極板の平面図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
図１は本発明の電気めっき装置の模式図、図２はめっき形成部の部分拡大断面図、図３は、めっき形成部を平面から見た透視図、図４は、めっき物の断面図、図５（ａ）は、本実施形態、図５（ｂ）は比較例を示し、本実施形態のほうが比較例よりも優れている点を説明するための陰極板及び被めっき物の概念図、図６は、図６は本実施形態における凸部の拡大縦断面図、図７は、本実施形態における陰極板の平面図、である。
【００２３】
図１に示すように電気めっき装置１を構成するめっき槽２内には、陽極板３及びめっき形成部４が設けられる。
【００２４】
図１，図２に示すように、めっき形成部４は、陰極側給電板５と、支持台６と、陰極板（下面板）７と、回転部８とを有して構成される。図２に示すように回転部８は回転板（上面板）１０と軟質膜９とで構成される。図２に示すように、支持台６の内部には、給電用コイルバネ１１が設けられる。給電用コイルバネ１１の下部は、陰極側給電板５に当接し、給電用コイルバネ１１の上部は、陰極板７に当接している。
【００２５】
この実施形態では、陰極板７は固定部である。また図２に示すように陰極板７の上面（回転部８に対する対向面）は凹凸面７ａとなっている。たとえば、凹凸面７ａはフォトリソグラフィ技術を用いて形成できる。陰極板７は例えば、ステンレスで形成されるが、ステンレス以外の導電板で形成されてもよい。
【００２６】
また、回転板１０は、液透過性であることが好ましい。具体的には多孔質であることが好適である。例えば回転板１０は発泡ガラスや多孔セラミックスで形成される。回転板１０に形成される孔径は２００〜３００μｍ程度である。
【００２７】
軟質膜９は、回転板１０の下面（陰極板７との対向面）１０ａに貼着されている。軟質膜９は液透過性の多孔質で且つ回転板１０より軟らかい例えばフェルト（不織布）で形成される。軟質膜９の厚みは２ｍｍ程度である。
【００２８】
図２に示すように、陰極板７と回転部８との間に、被めっき物１２が挟持されている。被めっき物１２は例えば黄銅球であるが、材質や形状を限定するものではない。
【００２９】
図１に示すように、支持台６の上面には、陰極板７を載置するための凹部６ａが設けられ、陰極板７を凹部６ａ内に載置したとき、陰極板７よりも上方に飛び出す側壁６ｂが設けられている。この側壁６ｂの陰極板７の上面（凹凸面７ａであるときは凸部の上面）からの突出量は、被めっき物１２を陰極板７上に配置したときに、被めっき物１２の最上部が側壁６ｂの上面と同等か、あるいは、被めっき物１２の最上部が側壁６ｂの上面から若干飛び出すように調整される。
【００３０】
図３に示すように回転部８及び陰極板７はいずれも円形状で形成されるが、特に平面形状を限定するものではない。ただし、少なくとも側壁６ｂに囲まれた被めっき物１２の移動平面領域が円形状となるように形成したほうが、被めっき物１２の移動を阻害せずに、被めっき物１２をスムースに移動させることができて好適である。
【００３１】
図１，図３に示すように回転部８の上面８ｂには、回転軸１５が取り付けられている。この実施形態では、回転軸１５は、回転部８の中心８ｃに設けられず、中心８ｃからずれた位置に設けられる。回転部８は、回転軸１５を回転中心として平面内にて回転可能に支持されている。
【００３２】
本実施形態では図２、図５（ａ）、図６（ａ）に示すように、陰極板７の上面に形成された凹凸面７ａを構成する凸部３０の頂部表面３０ａは、凸状の湾曲面で形成されている。ここで「頂部」とは、凸部３０の裾部から高さ方向に離れた先端領域（裾部を除く領域）を示し、この実施形態では上方部分を示す。なお、図６（ａ）の実施形態では、裾部表面３０ｂを含めて、凸部３０の表面全体が連続した曲面状で形成されている。
【００３３】
図１に示すように、めっき槽２中にめっき液２０を入れ、このめっき液２０中に、陽極板３及びめっき形成部４を浸漬させる。このとき、図２，図３に示すように、多数個の被めっき物１２を陰極板７と回転部８の間に挟持し、前記被めっき物１２を陰極板７の凹凸面７ａと軟質膜９の表面とに当接させた状態でめっき液中に浸漬させる。被めっき物１２の個数を限定しないが、側壁６ｂで仕切られた被めっき物１２の移動平面領域に占める被めっき物１２の占有率（各被めっき物１２の最大断面積の和／移動平面領域の面積）が大きくなりすぎると、各被めっき物１２の移動を阻害し、また各被めっき物１２に対するめっき液２０の流動性が悪化するので、占有率を３０〜６０％程度に調整するのがよい。続いて、回転部８を回転させながら陰極板７と陽極板３間に電流を供給する。これにより、被めっき物１２の表面１２ａに例えばＮｉめっき皮膜１６を形成する。
【００３４】
例えばめっき形成部４がめっき槽２に対して着脱可能に支持されていれば、めっき形成部４を電気めっき装置１から取り外し、このめっき形成部４を別の電気めっき装置のめっき槽２にセッティングすることで、簡単に、複数のめっき皮膜を積層めっきすることが可能になる。なお、陰極板７と回転部８と、その間に挟持された被めっき物１２とを一つのユニットとして取り外し自由に支持されていれば、このユニットを別の電気めっき装置に移動させることで複数のめっき皮膜を積層めっきするようにしてもよい。図４に示す形態では、Ｎｉめっき皮膜１６の表面１６ａには例えばＡｕめっき皮膜１７が形成されている。
【００３５】
本実施形態では、被めっき物１２を、陰極板７と回転部８との間に挟持しているので、従来のように、被めっき物１２が陰極板７から離れてめっき液２０中に浮遊してしまう現象を抑制することが出来る。また、回転部８を回転させることで被めっき物１２は、同じ場所に留まらず、回転しながら側壁６ｂに囲まれた平面領域内を移動しやすくなる。図２には被めっき物１２が回転している様子を矢印Ａで示している。このように被めっき物１２が同じ場所に留まるよりも回転移動することで、被めっき物１２に対するめっき液２０の流動性が高まる。また特に、被めっき物１２が回転しながら移動することで、被めっき物１２同士の密着や被めっき物１２の陰極板７あるいは回転部８への密着を効果的に抑制できる。
【００３６】
更に本実施形態では、陰極板７の表面は凹凸面７ａで形成されているから、回転部８を回転させたときに、被めっき物１２と陰極板７間に適度な摩擦が生じ、被めっき物１２をより効果的に回転させながら移動させることが出来る。また、凹凸面７ａの凹部内にもめっき液２０が供給される。
【００３７】
特に本実施形態では、図５（ａ）に示すように、凹凸面７ａの凸部３０の頂部表面３０ａを湾曲面で形成しているため、効果的に、被めっき物１２を回転させながら移動させることが出来る。
【００３８】
図５（ｂ）は、比較例である。図５（ｂ）では、凹凸部７ａの凸部３０の上面３０ｄは略水平面で形成され、高さ方向に垂直あるいは傾斜して延びる側壁面３０ｃと前記上面３０ｄとの間に角部３０ｅが形成されている。図５（ｂ）に示す形態の場合、図５（ｂ）の実線に示すように、被めっき物１２が各凸部３０の間に位置する状態から、点線に示すように前記被めっき物１２が回転しながら移動するときに、角部３０ｅの存在により前記被めっき物１２のスムースな移動を阻害しやすく最悪の場合、被めっき物１２が各凸部３０の間に嵌まって移動できなくなる場合がある。また被めっき物１２が移動するとき角部３０ｅにて被めっき物１２の表面が傷つく恐れもある（被めっき物１２よりも陰極板７のほうが硬質である）。
【００３９】
これに対して図５（ａ）に示す本実施形態のように、凸部３０の頂部表面３０ａを湾曲面で形成することで、図５（ａ）の実線に示すように、被めっき物１２が各凸部３０の間に位置する状態から、点線に示すように前記被めっき物１２が回転しながら移動するときに、前記被めっき物１２が曲面状の頂部表面３０ａを伝ってスムースに移動することが可能になる。
【００４０】
以上により、被めっき物１２に対する安定した給電と、めっき液２０の流動性（攪拌効果）の向上により、従来に比べて、被めっき物１２の表面に均一なめっき皮膜を形成することが可能になる。
【００４１】
本実施形態では図６（ｂ）に示すように、凸部３０には略水平面の上面３０ｄと高さ方向に垂直あるいは傾斜して延びる側壁面３０ｃが設けられ、前記上面３０ｄと側壁面３０ｃとの間に湾曲面の曲面部３２が形成されている形態であってもよい。かかる場合、曲面部３２から上面３０ｄにかけて頂部表面３０ａが構成される。ただし、被めっき物１２のスムースな移動の促進及び形成の容易性から図６（ａ）に示すように頂部表面３０ａの全体を湾曲面で形成することが好適である。
【００４２】
なお本実施形態では、頂部表面３０ａの形状は図６のものに限定されない。本実施形態では被めっき物１２の回転移動をスムースにすべく頂部表面３０ａが湾曲面を有して構成された形態であれば図６に示す形態以外のものも含まれる。
【００４３】
本実施形態では、例えばフォソリソグラフィ技術を用いて陰極板７の上面に凹凸面７ａを形成した後、機械研磨により凸部３０の頂部表面３０ａを曲面状に形成することが可能になる。
【００４４】
また図５（ａ）に示すように、各凸部３０間の間隔Ｌ１は、被めっき物１２の直径Ｌ２に比べて小さいことが好適である。ここで各凸部３０間の間隔Ｌ１とは、凸部３０の高さ方向の略中心での間隔を示す。間隔Ｌ１が直径Ｌ２よりも大きいと、凸部３０，３０間の凹部３１内に入り込んだ被めっき物１２が前記凹部３１内から抜け出にくくなる。このため本実施形態のように、間隔Ｌ１を直径Ｌ２より小さくすることで、被めっき物１２を回転させながら、よりスムースに平面内にて移動させることが可能になり、めっき液の流動性（攪拌効果）を高めることができる。
【００４５】
なお本実施形態では、陰極板７に形成された凹凸面７ａの凹凸深さ（凸部３０の上面から凹部３１の底面までの深さ）や、間隔Ｌ１は、数十μｍ〜数百μｍ程度である。例えば凹凸深さは１００μｍ程度、間隔Ｌ１は２００μｍ程度である。
【００４６】
図７（ａ）には、陰極板７の上面に形成された凹凸面７ａの平面形態が示されている。図７（ａ）に示す実施形態では、複数の凸部３０が、ドット状に形成されている（図７（ａ）には２箇所のみ符号３０を付した）。例えば凸部３０の平面は略円形である。また図７（ａ）に示すように、凸部３０をドット状で形成することで、凸部３０の頂部表面３０ａを略球面状で形成することができる。
【００４７】
また図７（ｂ）にように、凸部３０を網目状に形成することも可能である。ただし、凸部３０を網目状にすると複数の凹部３１が夫々分離した状態で形成され（図７（ｂ）には２箇所にのみ符号３１を付した）、各凹部３１内にめっき液２０が滞留しやすくなる。これに対して、図７（ａ）のように、複数の凸部３０をドット状に形成することで、各凸部３０の周囲に位置する凹部３１が連続して繋がり、めっき液２０を凹部３１内に適切に流動させることができ、めっき液２０の流動性（攪拌効果）を高めることができ好適である。
【００４８】
また、図２に示す実施形態では、回転部８が液透過性で形成される。例えば回転部８を構成する回転板１０及び軟質膜９は、共に多孔質である。このため、図２の矢印Ｂに代表的に示すようにめっき液２０は、回転部８を介して、陰極板７と回転部８の間の全域に流れ込みやすくなる。すなわち、陰極板７と回転部８の間の外周領域のみならず中央領域にも適切にめっき液２０を流し込むことが可能である。よってめっき液２０の流動性（攪拌効果）をより効果的に高めることが出来る。また、図２では、回転板１０の下面に軟らかい軟質膜９を設けているが、これにより、被めっき物１２を確実に陰極板７と回転部８の間に挟持できる。また、陰極板７と回転部８の間に押圧力を与えて、被めっき物１２を陰極板７と回転部８の間に挟持するが、このとき、被めっき物１２と軟質膜９とが当接する部分では、軟質膜９が潰れて押圧力をある程度吸収するため、押圧力を加えたことによる被めっき物１２に対するダメージを低減することができる。
【００４９】
また図１，図３に示すように回転部８の回転軸１５は中心８ｃからずれた位置にある。よって回転部８は偏心回転する。これにより、回転部８を回転させたときに遠心力が大きくなり多数個の被めっき物１２全体の移動を効果的に促進できる。またこのとき被めっき物１２に対して、もみすり動作が作用することで、各被めっき物１２を効果的に回転させながら移動させることが出来る。
【００５０】
なお図２に示す実施形態では、陰極板７の上面が凹凸面７ａで形成されているが、それに代えて、回転部８の下面が凹凸面となっていてもよい。また、陰極板７及び回転部８の各対向面が夫々、凹凸面となっていてもよい。また、陰極板７は下面板側でなく、上面板側に、あるいは両方に、設けられてもよい。また図２では、陰極板７が固定側であるが、陰極板７を回転させることも出来る。ただし配線の関係や簡単な機構とすべく、陰極板７を固定した下面板とし、前記陰極板７の上面を凹凸面７ａとし、上面板を回転板としたほうが好ましい。被めっき物１２の表面にめっき皮膜を形成するには、被めっき物１２を陰極板７に当接させなければならない。また、凹凸面７ａとしたことの効果を発揮するには被めっき物１２を凹凸面７ａに当接させなければならない。このため、本実施形態では、陰極板７の上面を凹凸面７ａとすることで、回転部８側を凹凸面とする制約は無くなり、めっき液２０の流動性（攪拌効果）を更に高めるべく、回転部８を液透過性としたり軟質膜９を設ける等、設計の自由度を高めることができる。
【００５１】
また、図２では、回転部８は、回転板１０と軟質膜９との積層構造で構成されているが、回転板１０のみで構成されるものであってもよい。
【００５２】
また上記した実施形態では、回転部８を平面内にて回転させる構成であるが、それ以外の構成であってもよい。本実施形態では、相対的に平面運動するように、上面板及び下面板の少なくとも一方が平面運動する形態であればよい。例えば、上面板が平面内にて直線的に往復移動するような形態でもよい。また上面板及び下面板の双方が平面運動する形態でもよい。ただし、このとき、相対的に平面運動させるべく、例えば、上面板及び下面板を逆向きに平面運動させる。
【００５３】
また、本実施形態のめっき装置１を用いてめっき皮膜が形成された被めっき物１２を例えば電気接点として使用することができるが、被めっき物１２の用途については特に限定しない。
【符号の説明】
【００５４】
１  電気めっき装置
２  めっき槽
３  陽極板
４  めっき形成部
７  陰極板
７ａ  凹凸面
８  回転部
９  軟質膜
１０  回転板
１２  被めっき物
１５  回転軸
１６，１７  めっき皮膜
２０  めっき液
３０  凸部
３０ａ  頂部表面
３１  凹部
３２  曲面部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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