(57)【要約】【課題】特性の異なる複数種の機能液を切り替えて吐出する場合に、何れの機能液を吐出しても、所定の吐出特性で安定して機能液を吐出可能な液滴吐出装置の制御方法を提供する。【解決手段】液滴吐出装置ＩＪの制御部１１は、記憶部（微振動制御テーブル）１５を参照する。そして、入力工程で入力された機能液の種類の情報に基づいて、対応する微振動制御プログラムを取り出す（選択工程）。液滴吐出ヘッド５が待機状態となりフラッシング部１２に移動すると、液滴吐出ヘッド５は次のカラーフィルタ基板Ｐ（吐出対象物）への機能液の吐出に備えて、少量の機能液を吐出（フラッシング）する。そして、機能液の粘度上昇を防止するために、制御部１１は選択工程で選択した微振動制御プログラムに従って、液滴吐出ヘッド５を微振動させる（微振動工程）。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液の液滴を吐出させる複数のノズルと、前記ノズルの各々に対応して設けられた複数の駆動素子と、前記駆動素子によって振動し前記ノズルから前記機能液を吐出させる振動板とを有する液滴吐出ヘッドと、該液滴吐出ヘッドの待機時に、前記振動版を微振動させるフラッシング部と、を少なくとも備えた液滴吐出装置の制御方法であって、
前記機能液の情報に応じて前記振動板を微振動させるための複数の微振動制御プログラムのうち所定の微振動制御プログラムを選択する選択工程と、
選択された前記微振動制御プログラムに従って、前記液滴吐出ヘッドの待機時に前記振動板を微振動させる微振動工程と、
を備えたことを特徴とする液滴吐出装置の制御方法。
【請求項２】
前記機能液の情報は、前記機能液の粘度情報を含むことを特徴とする請求項１記載の液滴吐出装置の制御方法。
【請求項３】
前記振動板の微振動制御は、前記駆動素子に印加する制御電流の波形、周波数、または電圧を制御することを特徴とする請求項１または２記載の液滴吐出装置の制御方法。
【請求項４】
前記振動板の微振動制御は、前記機能液の描画時の飽和温度と、前記振動板の微振動時の前記機能液の飽和温度との温度差が小さくなるように制御することを特徴とする請求項１ないし３いずれか１項記載の液滴吐出装置の制御方法。
【請求項５】
機能液の液滴を吐出させる複数のノズルと、前記ノズルの各々に対応して設けられた複数の駆動素子と、前記駆動素子によって振動し前記ノズルから前記機能液を吐出させる振動板とを有する液滴吐出ヘッドと、該液滴吐出ヘッドの待機時に、前記振動板を微振動させるフラッシング部と、前記液滴吐出ヘッドを制御する制御部と、を少なくとも備え、
前記制御部は、複数の微振動制御プログラムから、前記機能液の情報に応じて所定の微振動制御プログラムを選択し、選択された前記微振動制御プログラムに従って前記振動板を微振動させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
ノズルと、前記ノズルに設けられた駆動素子と、前記駆動素子によって振動する振動板とを有する液滴吐出ヘッドと、
吐出対象物を載置するワークステージと、
制御部と、
を備え、
前記制御部は、
描画状態において、前記液滴吐出ヘッド及びワークステージの位置を制御して、前記ノズルから前記吐出対象物に機能液の液滴を吐出させるとともに、
前記描画状態とは異なる待機状態において、複数の振動制御プログラムから前記機能液の情報に応じて所定の振動制御プログラムを選択し、選択された前記振動制御プログラムに従って前記描画状態よりも小さく前記振動板を振動させる、ことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
前記情報は、前記機能液の粘度、比重、比熱のうち少なくとも１つである、ことを特徴とする請求項６に記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記描画状態における前記液滴吐出ヘッドの温度と前記待機状態における前記液滴吐出ヘッドの温度との温度差に応じて、前記所定の振動制御プログラムを選択する、ことを特徴とする請求項６に記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
前記複数の振動制御プログラムは、前記駆動素子に印加する制御電流の波形、周波数、または電圧のうち少なくとも１つが異なる、ことを特徴とする請求項６に記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置の制御方法、および液滴吐出装置に関し、詳しくは液滴吐出ヘッドの待機時における制御に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、画像の描画や、各種成膜手段として、基材等の表面に液状体（機能液）の液滴を吐出する液滴吐出装置が知られている。液滴吐出装置は、その吐出対象に応じて、複数の機能液を切り替えつつ吐出するのが一般的である。機能液は、その種類に応じて粘度などの特性が異なるため、最適な吐出特性が得られるように、液滴吐出ヘッドを機能液の種類に応じて適切に制御することが行われている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
こうした液滴吐出装置は、液滴を吐出しない待機時において、吐出ヘッド内の機能液の粘度増加を防止するために、吐出ヘッドの振動板を液滴吐出時よりも微小な振幅で微振動させている。このような微振動の周波数は例えば数十ｋＨｚ程度である。
【０００４】
吐出ヘッドの待機時に微振動を行うと、吐出ヘッド内の機能液の粘度増加を抑制できるが、一方で機能液の運動によって、吐出ヘッドの温度が微振動時の飽和温度まで上昇する。そして、吐出ヘッドが待機状態から描画状態に移行すると、機能液の連続的な供給によって吐出ヘッドが冷却され、吐出時の飽和温度に収斂されていく。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−２１７１４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の液滴吐出装置では、複数の機能液のうち、何れの機能液を適用する場合にも、待機時には一律な微振動を吐出ヘッドに与えていた。このため、粘度などに代表される特性の異なる機能液によって、微振動時の飽和温度と吐出時の飽和温度との差が顕著になることがあり、吐出特性が安定しないという課題があった。
【０００７】
本発明にかかるいくつかの態様は、上記事情に鑑みてなされたものであり、特性の異なる複数種の機能液を切り替えて吐出する場合に、何れの機能液を吐出しても、所定の吐出特性で安定して機能液を吐出可能な液滴吐出装置の制御方法を提供する。
また、特性の異なる複数種の機能液を、所定の吐出特性で安定して吐出可能な液滴吐出装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明のいくつかの態様は次のような液滴吐出装置の制御方法、および液滴吐出装置を提供した。
すなわち、本発明の液滴吐出装置の制御方法は、機能液の液滴を吐出させる複数のノズルと、前記ノズルの各々に対応して設けられた複数の駆動素子と、前記駆動素子によって振動し前記ノズルから前記機能液を吐出させる振動板とを有する液滴吐出ヘッドと、該液滴吐出ヘッドの待機時に、前記振動版を微振動させるフラッシング部と、を少なくとも備えた液滴吐出装置の制御方法であって、
前記機能液の情報に応じて前記振動板を微振動させるための複数の微振動制御プログラムのうち所定の微振動制御プログラムを選択する選択工程と、選択された前記微振動制御プログラムに従って、前記液滴吐出ヘッドの待機時に前記振動板を微振動させる微振動工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
前記機能液の情報は、前記機能液の粘度情報を含むことが好ましい。
前記振動板の微振動制御は、前記駆動素子に印加する制御電流の波形、周波数、または電圧を制御することが好ましい。
前記振動板の微振動制御は、前記機能液の描画時の飽和温度と、前記振動板の微振動時の前記機能液の飽和温度との温度差が小さくなるように制御することが好ましい。
【００１０】
また、本発明の液滴吐出装置の制御方法は、機能液の液滴を吐出させる複数のノズルと、前記ノズルの各々に対応して設けられた複数の駆動素子と、前記駆動素子によって振動し前記ノズルから前記機能液を吐出させる振動板とを有する液滴吐出ヘッドと、該液滴吐出ヘッドの待機時に、前記振動板を微振動させるフラッシング部と、前記液滴吐出ヘッドを制御する制御部と、を少なくとも備え、
前記制御部は、複数の微振動制御プログラムから、前記機能液の情報に応じて所定の微振動制御プログラムを選択し、選択された前記微振動制御プログラムに従って前記振動板を微振動させることを特徴とする。
【００１１】
本発明の液滴吐出装置は、ノズルと、前記ノズルに設けられた駆動素子と、前記駆動素子によって振動する振動板とを有する液滴吐出ヘッドと、吐出対象物を載置するワークステージと、制御部と、を備え、前記制御部は、描画状態において、前記液滴吐出ヘッド及びワークステージの位置を制御して、前記ノズルから前記吐出対象物に機能液の液滴を吐出させるとともに、前記描画状態とは異なる待機状態において、複数の振動制御プログラムから前記機能液の情報に応じて所定の振動制御プログラムを選択し、選択された前記振動制御プログラムに従って前記描画状態よりも小さく前記振動板を振動させる、ことを特徴とする。
【００１２】
また、前記情報は、前記機能液の粘度、比重、比熱のうち少なくとも１つであってもよい。
【００１３】
また、前記制御部は、前記描画状態における前記液滴吐出ヘッドの温度と前記待機状態における前記液滴吐出ヘッドの温度との温度差に応じて、前記所定の振動制御プログラムを選択してもよい。
【００１４】
また、前記複数の振動制御プログラムは、前記駆動素子に印加する制御電流の波形、周波数、または電圧のうち少なくとも１つが異なっていてもよい。
【００１５】
また、本発明において、待機状態とは、ノズルから吐出対象物に機能液の液滴を吐出させる描画状態とは異なる状態であってもよい。また、待機状態とは、吐出対象物、例えばカラーフィルタ基板を、ワークステージへ除給材する状態であってもよいし、液滴吐出ヘッドまたはワークステージと吐出対象物との位置関係を調整する状態であってもよい。さらに、待機状態は、液滴吐出ヘッドのメンテナンスを行う状態や液滴吐出装置を休止させる状態とは異なる状態であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の液滴吐出装置の一例を示す斜視図である。
【図２】液滴吐出ヘッドを示す要部構成図である。
【図３】本発明の液滴吐出装置の制御方法を示すフローチャートである。
【図４】カラーフィルタを形成する場合の吐出の様子を示す説明図である。
【図５】本発明の検証例を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の液滴吐出装置の制御方法、および液滴吐出装置の最良の形態について説明する。なお、本実施形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。また、以下の説明で用いる図面は、本発明の特徴をわかりやすくするために、便宜上、要部となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
【００１８】
図１は、本発明の液滴吐出装置の概略構成を示す斜視図である。この液滴吐出装置は、液滴吐出法により機能液（以下、液状体と称する）を被処理基板に配置するものである。配置される液状体は、例えば固形分を分散媒（溶媒）に分散（溶解）させた分散液（溶液）等である。液状体の具体例としては、顔料や染料等を含んだカラーフィルタ材料や、ＵＶインク、金属配線等の導電膜パターンの形成材料である金属粒子を含んだコロイド溶液等が挙げられる。
【００１９】
本実施形態では、前記のような液状体（機能液）を膜材料に用いる液滴吐出装置として、カラーフィルタ基板Ｐ（吐出対象物）の所定領域上にカラーフィルタ材料（機能液）の液滴を吐出してカラーフィルタ層を形成する装置を例示して説明する。なお、以下の説明においては、図１中に示されたＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材について説明する。図１におけるＸＹＺ直交座標系は、Ｘ軸及びＹ軸がワークステージ２に対して平行となるよう設定され、Ｚ軸がワークステージ２に対して直交する方向に設定されている。図１中のＸＹＺ座標系は、実際にはＸＹ平面が水平面に平行な面に設定され、Ｚ軸が鉛直上方向に設定される。
【００２０】
図１に示されるように、液滴吐出装置ＩＪは、装置架台１、ワークステージ２、ステージ移動装置３、キャリッジ４、液滴吐出ヘッド５、キャリッジ移動装置６、チューブ７、第１タンク８、第２タンク９、第３タンク１０、制御部１１、フラッシング部１２、メンテナンス部１３、および記憶部（微振動制御テーブル）１５を備えている。
【００２１】
装置架台１は、ワークステージ２及びステージ移動装置３の支持台である。ワークステージ２は、装置架台１上においてステージ移動装置３によってＸ軸方向に移動可能に設置されており、上流側の搬送装置（図示せず）から搬送されるカラーフィルタ基板Ｐ（吐出対象物）を、真空吸着機構によりＸＹ平面上に保持する。ステージ移動装置３は、ボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御部１１から入力される、ワークステージ２のＸ座標を示すステージ位置制御信号に基づいて、ワークステージ２をＸ軸方向に移動させる。
【００２２】
キャリッジ４は、液滴吐出ヘッド５を保持するものであり、キャリッジ移動装置６によってＹ軸方向及びＺ軸方向に移動可能に設けられている。液滴吐出ヘッド５は、後述するように複数のノズルを備えており、制御部１１から入力される描画データや駆動制御信号に基づいて、カラーフィルタ材料の液滴を吐出する。
【００２３】
この液滴吐出ヘッド５は、カラーフィルタ材料のＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）に対応して設けられており、それぞれの液滴吐出ヘッド５はキャリッジ４を介してチューブ７と連結されている。そして、Ｒ（赤）に対応する液滴吐出ヘッド５はチューブ７を介して第１タンク８からＲ（赤）用のカラーフィルタ材料の供給を受け、Ｇ（緑）に対応する液滴吐出ヘッド５はチューブ７を介して第２タンク９からＧ（緑）用のカラーフィルタ材料の供給を受け、また、Ｂ（青）に対応する液滴吐出ヘッド５はチューブ７を介して第３タンク１０からＢ（青）用のカラーフィルタ材料の供給を受けるようになっている。
【００２４】
図２は液滴吐出ヘッド５の概略構成図である。図２（ａ）は液滴吐出ヘッド５をワークステージ２側から見た平面図、図２（ｂ）は液滴吐出ヘッド５の部分斜視図、図２（ｃ）は液滴吐出ヘッド５の１ノズル分の部分断面図である。
【００２５】
図２（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド５は、Ｙ軸方向に配列された複数（例えば１８０個）のノズルＮを備えている。複数のノズルＮによってノズル列ＮＡが形成されている。図２（ａ）では１列分のノズルを示したが、液滴吐出ヘッド５に設けるノズル数及びノズル列数は任意に変更可能であり、Ｙ軸方向に配列した１列分ノズルをＸ軸方向に複数列設けても良い。また、キャリッジ４内に配置する液滴吐出ヘッド５の数も任意に変更可能である。さらに、キャリッジ４をサブキャリッジ単位で複数設ける構成としても良い。
【００２６】
図２（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５は、チューブ７と連結される材料供給孔２０ａが設けられた振動板２０と、ノズルＮが設けられたノズルプレート（吐出面）２１と、振動板２０とノズルプレート２１との間に設けられたリザーバ（液溜まり）２２と、複数の隔壁２３と、複数のキャビティ（液室）２４とを備えている。ノズルプレート２１は、例えばＳＵＳから構成されるものである。振動板２０上には、各ノズルＮに対応して圧電素子（駆動素子）ＰＺが配置されている。圧電素子ＰＺは、例えばピエゾ素子である。
【００２７】
リザーバ２２には、材料供給孔２０ａを介して供給される、例えは液状のカラーフィルタ材料（液状体）が充填されるようになっている。なお、この液状体は、吐出対象であるカラーフィルタ基板（ターゲット）の種類に応じて、例えば粘度など特性が異なる複数種の液状体を切り替えて吐出する。
【００２８】
キャビティ２４は、振動板２０と、ノズルプレート２１と、１対の隔壁２３とによって囲まれるようにして形成されおり、各ノズルＮに１対１に対応して設けられている。また、各キャビティ２４には、一対の隔壁２３の間に設けられた供給口２４ａを介して、リザーバ２２から複数種のカラーフィルタ材料（液状体）をカラーフィルタ基板（ターゲット）の種類に応じて切り替えて導入される。
【００２９】
図２（ｃ）に示すように、圧電素子ＰＺは、圧電材料２５を一対の電極２６で挟持したものであり、一対の電極２６に駆動信号を印加すると圧電材料２５が収縮するよう構成されたものである。そして、このような圧電素子ＰＺが配置されている振動板２０は、圧電素子ＰＺと一体になって同時に外側（キャビティ２４の反対側）へ撓曲するようになっており、これによってキャビティ２４の容積が増大するようになっている。
【００３０】
したがって、キャビティ２４内に増大した容積分に相当するカラーフィルタ材料が、液溜まり２２から供給口２４ａを介して流入する。また、このような状態から圧電素子ＰＺへの駆動信号の印加を停止すると、圧電素子ＰＺと振動板２０はともに元の形状に戻り、キャビティ２４も元の容積に戻ることから、キャビティ２４内のカラーフィルタ材料の圧力が上昇し、ノズルＮからカラーフィルタ基板Ｐ（吐出対象物）に向けてカラーフィルタ材料の液滴Ｌが吐出される。
【００３１】
キャリッジ移動装置６は、例えば装置架台１を跨ぐ橋梁構造をしており、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に対してボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御部１１から入力される、キャリッジ４のＹ座標及びＺ座標を示すキャリッジ位置制御信号に基づいて、キャリッジ４をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させる。
【００３２】
チューブ７は、第１タンク８、第２タンク９及び第３タンク１０とキャリッジ４（液滴吐出ヘッド５）とを連結するカラーフィルタ材料の供給用チューブである。第１タンク８は、Ｒ（赤）用のカラーフィルタ材料を貯蔵すると共に、チューブ７を介してＲ（赤）に対応する液滴吐出ヘッド５にカラーフィルタ材料を供給する。第２タンク９は、Ｇ（緑）用のカラーフィルタ材料を貯蔵すると共に、チューブ７を介してＧ（緑）に対応する液滴吐出ヘッド５にカラーフィルタ材料を供給する。第３タンク１０は、Ｂ（青）用のカラーフィルタ材料を貯蔵すると共に、チューブ７を介してＢ（青）に対応する液滴吐出ヘッド５にカラーフィルタ材料を供給する。
【００３３】
制御部１１は、ステージ移動装置３にステージ位置制御信号を出力し、キャリッジ移動装置６にキャリッジ位置制御信号を出力すると共に、液滴吐出ヘッド５の駆動回路基板３０に描画データ及び駆動制御信号を出力して、液滴吐出ヘッド５による液滴吐出動作、ワークステージ２の移動によるカラーフィルタ基板Ｐ（吐出対象物）の位置決め動作、キャリッジ４の移動による液滴吐出ヘッド５の位置決め動作の同期制御を行うことにより、カラーフィルタ基板Ｐ（吐出対象物）上の所定の位置にカラーフィルタ材料の液滴を吐出する。また、後述する待機時において、制御部１１は、フラッシング部１２でのフラッシング制御、および微振動制御を行う。なお、この待機時の微振動制御に関しては、後ほど詳述する。
【００３４】
フラッシング部１２は、カラーフィルタ基板Ｐ（吐出対象物）などワークステージ２に載置された吐出ターゲットの交換時（以下、待機時と称する）などに、液滴吐出ヘッド５がワークステージ２上から退避する領域である。このフラッシング部１２では、液滴吐出ヘッド５から少量の液状体（機能液）が断続的に吐出させる動作、あるいは、液状体（機能液）が吐出されない程度の微振動を液滴吐出ヘッド５内の液状体に与える動作が行われる。この微振動によって、吐出ヘッド内にある液状体の粘度増加を防止する。微振動を行う場合には、図２（ｃ）の圧電素子ＰＺにおいて、一対の電極２６に駆動信号を印加する。微振動を行う場合の駆動信号の振幅は、吐出を行う場合の駆動信号の振幅よりも小さい。そして、微振動を行う場合の圧電素子ＰＺにより振動板２０を介してノズルＮ内の液状体（機能液）に加えられる力は、吐出を行う場合のよりも小さい。よって、微振動を行う場合、液状体（機能液）は吐出されず、ノズルＮ内において、液状体（機能液）のメニスカスが振動する。
【００３５】
記憶部１５（微振動制御テーブル）は、フラッシング部１２において異なる条件で微振動動作を行う微振動制御プログラムを複数種類記憶している。ここで、液状体（機能液）の種類に応じてそれぞれ微振動制御プログラムを用意している。すなわち、液滴吐出ヘッド５から吐出させる液状体に応じて、フラッシング部１２での液滴吐出ヘッド５の微振動が最適になるように、複数の微振動制御プログラムを記憶している。そして、制御部１１から、吐出する液状体の種類（品種）に対応した微振動制御プログラムを出力する。また、この複数種類の微振動制御プログラムは、液滴吐出ヘッド５から吐出させる液状体（機能液）の特性に応じて用意してもよい。液状体（機能液）の特性とは、例えば、液状体（機能液）の粘度、比重、比熱などである。さらに、液状体（機能液）の温度に応じて複数の微振動制御プログラムを用意してもよい。特に、液状体（機能液）を吐出させる際の液滴吐出ヘッド５の温度を制御する場合には、液滴吐出ヘッド５の温度に応じて複数の微振動制御プログラムを用意してもよい。
【００３６】
メンテナンス部１３は、液滴吐出ヘッド５に対する種々のメンテナンスを行うためのものである。メンテナンス部１３は、液滴吐出ヘッド５におけるホームポジションに配設されている。このホームポジションは、液滴吐出ヘッド５の保管時等、液滴吐出装置ＩＪが休止状態にあるときにキャリッジ４が配置される領域である。このメンテナンス部１３は、例えば、液滴吐出ヘッド５に当接するキャッピング手段やワイピング手段を含んでいる。キャッピング手段は、吸引手段としての吸引ポンプを備えており、これによりノズル内から強制的に液状体（機能液）を排出させる吸引処理を行う。また、ワイピング手段は、キャッピング手段による吸引処理後に、ノズルプレート（吐出面）に付着した液滴を払拭するワイピング処理を行うものである。なお、メンテナンス部１３は、制御部１１からの制御信号により駆動されるようになっている。
【００３７】
以上のような構成の本発明の液滴吐出装置の作用、および本発明の液滴吐出装置の制御方法について、図１、および図３を用いて説明する。
図３は、本発明の液滴吐出装置の制御方法を段階的に示したフローチャートである。
本発明の液滴吐出装置ＩＪを用いて、例えばカラーフィルタ基板（ターゲット）Ｐに液状体（機能液）を吐出して膜（カラーフィルタ層）を形成する際には、まず、液滴吐出装置ＩＪに吐出させる機能液の種類（品種）を入力する（Ｓ１：入力工程）。
【００３８】
入力する機能液の種類の情報としては、例えば、機能液の粘度、比重、比熱などが挙げられる。これらの情報を含む機能液の種類（品種）を、液滴吐出ヘッド５に供給、吐出させる機能液として液滴吐出装置ＩＪに入力させておく。
【００３９】
次に、液滴吐出装置ＩＪの制御部１１は、例えば、記憶部（微振動制御テーブル）１５を参照する。そして、入力工程Ｓ１で入力された機能液の種類の情報に基づいて、対応する微振動制御プログラムを取り出す（Ｓ２：選択工程）。この微振動制御プログラムは、例えば、液滴吐出装置ＩＪで使用する（吐出させる）機能液の種類（品種）の数だけ格納されていれば良い。
【００４０】
また、機能液の物性（粘度、比重、比熱など）を入力させると、最適な微振動制御プログラムを生成し、出力するものであってもよい。
【００４１】
そして、カラーフィルタ基板（ターゲット）Ｐの交換などで、液滴吐出装置ＩＪの液滴吐出ヘッド５が待機状態となりフラッシング部１２に移動すると、液滴吐出ヘッド５は次のカラーフィルタ基板Ｐ（吐出対象物）への機能液の吐出に備えて、少量の機能液を吐出（フラッシング）する。そして、機能液の粘度上昇を防止するために、制御部１１は選択工程Ｓ２で選択した微振動制御プログラムに従って、液滴吐出ヘッド５の振動板２０（図２参照）を微振動させる（Ｓ３：微振動工程）。
【００４２】
こうした微振動制御プログラムは、吐出する機能液の特性（例えば粘度）に応じて、待機時における粘度増加を抑制可能な微振動を生じさせる波形（微振動波形）の情報を含む。そして、この微振動波形は、待機時の微振動により吐出ヘッドが昇温する際の飽和温度（待機飽和温度）と、吐出ヘッドが待機状態から描画状態に移行した際に、機能液の連続的な供給などによって吐出ヘッドが冷却された際の飽和温度（描画飽和温度）との差が小さくなるような波形が適用される。
【００４３】
図４は、機能液の特性に応じた最適な微振動制御プログラムを選択、適用することによって、待機飽和温度と描画飽和温度との差が小さくなる様子を示すグラフである。
図４（ａ）に示す従来例では、待機時に液滴吐出ヘッドに対して機能液の特性を考慮しない単一の（一律の）微振動を加えた場合の液滴吐出ヘッドの温度変化を示している。一方、図４（ｂ）に示す本発明の実施例では、待機時に液滴吐出ヘッドに対して機能液の特性を考慮した微振動制御プログラムを選択、適用して微振動を加えた場合の液滴吐出ヘッドの温度変化を示している。
図４のそれぞれのグラフは、待機状態と描画状態とを数回繰り返した場合を示しており、グラフ縦軸が描画飽和温度を基準にした大気飽和温度に対する温度差を示す。また、グラフ横軸が、待機状態と描画状態とを数回繰り返した場合の経過時間（相対時間）を示す。
グラフ線における区間Ｐｒが液滴吐出ヘッドによる液滴の吐出、即ち描画時の温度変化を示し、区間Ｓｔが液滴吐出ヘッドの待機時における微振動時の温度変化を示す。
【００４４】
図４（ａ）によれば、機能液の種類、即ち特性（例えば粘度）を考慮せずに、どのような機能液であっても液滴吐出ヘッドに対して一律な微振動を生じさせた場合、微振動時の昇温（区間Ｓｔ）が大きくなる。その結果、待機時から描画時に移行した際に、描画時の温度変化（区間Ｐｒ）が顕著になる。こうした描画時の大きな温度変化は吐出特性に影響を及ぼし、吐出量の変動などよる描画ムラなどを生じさせる。
【００４５】
一方、図４（ｂ）によれば、機能液の種類、即ち特性（例えば粘度）に応じて、最適な微振動制御プログラムを選択、適用することで、微振動時の昇温（区間Ｓｔ）を小さく抑えることができる。その結果、待機時から描画時に移行した際に、描画時の温度変化（区間Ｐｒ）も必然的に小さくなり、描画時の吐出特性が安定する。
【００４６】
こうした微振動制御プログラムは、図４（ｃ）に示すように、理想的には待機飽和温度と描画飽和温度との差が無くなるような液滴吐出ヘッドの微振動制御を行うプログラムであればよい。
【００４７】
なお、微振動制御プログラムによる液滴吐出ヘッドの微振動制御方法としては、例えば、待機時に液滴吐出ヘッドに印加する制御電流の波形（パルス波形）、周波数、電圧値などを制御することが挙げられる。微振動制御プログラムは、吐出する機能液の種類に応じて、待機時の液滴吐出ヘッドに微振動を生じさせる制御電流の波形（パルス波形）、周波数、電圧値を選択するものであれば良い。
【００４８】
以上のように、本発明の液滴吐出装置の制御方法、液滴吐出装置によれば、機能液の種類、即ち特性（例えば粘度）を予め入力し、機能液の種類に応じて、待機飽和温度と描画飽和温度との差が最も小さくなるような微振動制御プログラムを微振動制御テーブルから選択し、待機時にこの選択した微振動制御プログラムに基づいて液滴吐出ヘッドの微振動を行うようにした。これにより、待機時から描画時に移行した際に、描画時における液滴吐出ヘッドの温度変化が小さくなり、描画時の吐出特性が安定して優れた描画特性を得ることが可能になる。
【実施例】
【００４９】
本発明の検証として、液滴吐出ヘッドに微振動を生じさせる制御電流の波形（駆動波形）を変えた場合、液滴吐出ヘッドの微振動時の温度が変化するかを確認した。
例えば、図５（ａ）に示す駆動波形の微振動制御電流と、図５（ｂ）に示す駆動波形の微振動制御電流とを液滴吐出ヘッドに印加し、それぞれの場合の液滴吐出ヘッドの温度（相対値）を図５（ｃ）に示す。図５に示す結果によれば、図５（ａ）よりもパルス幅を長くした図５（ｂ）の駆動波形では、微振動時の液滴吐出ヘッドの温度は大幅に高くなっている。
よって、微振動制御電流のパルス波形を最適化することにより、微振動時の液滴吐出ヘッドの温度（飽和温度）を下げ、描画飽和温度との差を小さくできることが確認された。
【００５０】
本発明の検証として、液滴吐出ヘッドに微振動を生じさせる制御電流の波形（駆動波形）を変えた場合、液滴吐出ヘッドの微振動時の温度が変化するかを確認した。
例えば、図５（ａ）に示す駆動波形の微振動制御電流と、図５（ｂ）に示す駆動波形の微振動制御電流とを液滴吐出ヘッドに印加し、それぞれの場合の液滴吐出ヘッドの温度（相対値）を図５（ｃ）に示す。図５に示す結果によれば、図５（ａ）よりもパルス幅を長くした図５（ｂ）の駆動波形では、微振動時の液滴吐出ヘッドの温度は大幅に高くなっている。
よって、微振動制御電流のパルス波形を最適化することにより、微振動時（待機時）の液滴吐出ヘッドの温度（飽和温度）を下げ、描画飽和温度との差を小さくできることが確認された。
【符号の説明】
【００５１】
５…液滴吐出ヘッド、１１…制御装置、１２…フラッシング部、１５…記憶部（微振動制御テーブル）、２０…振動板、２１…ノズルプレート（吐出面）、ＩＪ…液滴吐出装置、Ｌ…機能液。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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