(57)【要約】【課題】複数の検出軸まわりの回転の角速度を検出することが可能な振動片、それを用いた角速度センサー、およびそれを用いた電子機器を提供する。【解決手段】第１基部６Ａと、第１基部６Ａの第１軸方向の両端部から略同じ長さで延出された第１駆動アーム２Ａおよび第２駆動アーム３Ａと、第１基部６Ａの第１軸方向と直交する第２軸方向の一方の端部から延出された第１検出アーム４Ａと、第１基部６Ａの第１検出アーム４Ａが延出された一端部とは反対側の他端部から延出された接続部５と、接続部５に一端部が接続された第２基部６Ｂと、第２基部６Ｂの接続部５と接続された一端部とは反対側の他端部から第１検出アーム４Ａと略同じ長さで延出された第２検出アーム４Ｂと、第２基部６Ｂの第１軸方向の両端部から第１および第２駆動アーム２Ａ，３Ａと略同じ長さで延出された一対の第３および第４駆動アーム２Ｂ，３Ｂと、を備えている。【選択図】図１
2011209003.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高弾性材料を加工することにより形成された振動片であって、
第１基部と、
前記第１基部の第１軸方向の両端部から前記第１軸方向に延出され、且つ駆動電極が設
けられた一対の第１駆動アームおよび第２駆動アームと、
前記第１基部の前記第１軸方向と直交する第２軸方向の一方の端部から前記第２軸方向
延長線上に延出され、且つ、検出電極が設けられた第１検出アームと、
前記第１基部の前記第１検出アームが延出された端部とは反対側の他方の端部から延出
された接続部と、
前記接続部に一方の端部が接続された第２基部と、
前記第２基部の前記接続部と接続された一方の端部とは反対側の他方の端部から前記第
１検出アームと略同じ長さで延出され、且つ、検出電極が設けられた第２検出アームと、
前記第２基部の前記第１軸方向の両端部から前記第１軸方向に延出され、且つ、第１表
面に駆動電極が設けられた一対の第３駆動アームおよび第４駆動アームと、
を含むことを特徴とする振動片。
【請求項２】
請求項１に記載の振動片において、
前記高弾性材料として圧電体材料が用いられていることを特徴とする振動片。
【請求項３】
請求項２に記載の振動片において、
前記圧電体材料として水晶が用いられていることを特徴とする振動片。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の振動片において、
前記駆動電極および前記検出電極は、第１電極と、前記第１電極上に設けられた圧電体
層と、前記圧電体層を挟んで前記第１電極に対向して設けられた第２電極と、を含む積層
体であり、
前記第１〜第４駆動アーム、および前記第１および第２検出アームは、各アームの伸長
する方向に並列に２つの前記積層体が形成され、且つ、一方の前記積層体の前記第１電極
と他方の前記積層体の前記第２電極とが接続されるとともに、一方の前記積層体の前記第
２電極と他方の前記積層体の前記第１電極とが電気的に接続されたことを特徴とする振動
片。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の振動片において、
前記検出電極が、前記検出アームの前記第１軸方向に延びる複数の電極指の一端が共通
電極により接続された一対の櫛歯状電極を対向させて、互いの前記電極指を交差させて配
置した交差指電極であることを特徴とする振動片。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の振動片において、
２つの前記振動片が、前記接続部の中心が重心であり、外形が前記重心に対して点対称
になるように一体形成されていることを特徴とする振動片。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の振動片と、
前記第１駆動アームおよび前記第２駆動アームを、前記第１軸方向と前記第２軸方向と
を含む第１面内で駆動させる第１駆動と、
前記振動片が所定軸周りに回転したときに加わるコリオリ力により、前記第１駆動アー
ムおよび前記第２駆動アームを、前記第１面に直交する方向に駆動する第２駆動と、
前記第２駆動により、前記検出アームを、前記第１面に直交する方向に駆動する第３駆
動と、
前記第３駆動により生じる電圧を前記検出電極を介して検出する検出手段と、
を含むことを特徴とする角速度センサー。
【請求項８】
請求項７に記載の角速度センサーを搭載した電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動アームおよび検出アームを有し、振動や変位を検出することにより物体
の角速度を検出するのに用いる振動片、および、それを用いた角速度センサー、およびそ
れを用いた電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、車両における車体制御やカーナビゲーションシステムの自車位置検出、また、デ
ジタルカメラやデジタルビデオカメラなどの振動制御補正機能（所謂手ぶれ補正）などを
充実させる角速度センサーとしての振動ジャイロセンサー（以下振動ジャイロと呼ぶ）が
広く利用されている。振動ジャイロは、高弾性材料としての水晶などの圧電性単結晶物か
らなるジャイロ振動片により、物体の揺れや回転などの振動によってジャイロ振動片の一
部に発生する電気信号を角速度として検出し、回転角を算出することによって物体の変位
を求めるものである。
このような振動ジャイロを搭載する電子機器に対して、近年、高機能化の要求がますま
す高まるのに伴って、振動ジャイロには、より高精度な角速度の検出を実現する高感度化
とともに、電子機器の小型化の進展が進むなかで薄型化（低背化）や省面積化などの小型
化が強く求められてきている。
【０００３】
振動ジャイロに用いられる振動片（ジャイロ素子）としては、従来より、所謂音叉型の
圧電振動片が広く用いられている（例えば、特許文献１を参照）。特許文献１に記載の振
動片は、水晶からなる基部と、基部の一端部から二股に分かれて平行に延出された一対の
振動アームとを含む。各振動アームの第１表面には振動アームを励振する駆動電圧を供給
する駆動電極（励振電極）が設けられ、第１表面と直交する側面には検出電極が設けられ
ている。そして、駆動電極に駆動信号（励振信号）を印加することにより、振動アームを
振動させることができる。ここで、この振動片に駆動信号を印加して振動アームを第１表
面に沿った方向の振動、即ち面内振動させているときに、振動アームの延在方向の軸を検
出軸として回転させると、コリオリの力により振動アームが第１表面と直交する方向の振
動、即ち面外振動する。この面外振動の振幅は振動片の回転速度に比例することから角速
度として検出することができる。
【０００４】
振動ジャイロは、上記のような振動片と、その振動片を駆動振動させる駆動回路、およ
び、角速度が加わったときに振動片に生じる検出振動を検出する検出回路と、を含む電子
部品としてのＩＣチップが、ベース基板としてのパッケージ内に気密に封止された構造を
有している。すなわち、例えば、特許文献１に示された、従来より広く用いられている圧
電振動片を有する圧電振動デバイスと同様な構造を有している（例えば特許文献２を参照
）。
特許文献２に記載の圧電振動デバイス（水晶発振器）は、振動片（圧電振動板）と、そ
の振動片とともに発振回路を構成する電子部品としてのＩＣチップ（集積回路素子）とが
、パッケージ（セラミックパッケージ）内に接合され、気密に封止されている。
パッケージの収納部を構成するパッケージベースは、上部が開口した凹部を有している
。また、凹部には複数の段差が設けられ、そのうちの１つの段差により形成される下部収
納部にＩＣチップがワイヤーボンディング法などにより接合され、他の段差により形成さ
れる上部収納部には、例えば導電性接着剤などの接合部材により振動片が接合されている
。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平５−２５６７２３号公報
【特許文献２】特開２００６−５４６０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載のジャイロ振動片の構成では、１つの検出軸に対する
回転の角速度検出のみにしか対応できないため、他の検出軸に対する回転の角速度を検出
するためには、例えば、振動片を垂直に立てて配置させる必要がある。また、複数の検出
軸に対する回転の角速度検出を１つの角速度センサーによって実現させるには、１つの角
速度センサーに複数の振動片を内蔵させる必要があるため、角速度センサーの低背化や省
面積化などの小型化に不利であるという問題があった。
また、特許文献１に記載のジャイロ振動片の構成では、同一の振動アームにおいて駆動
電極と検出電極とが近接して配置されているので、駆動振動と検出振動が結合して検出精
度を劣化させる虞があるという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の
形態または適用例として実現することが可能である。
【０００８】
〔適用例１〕本適用例にかかる振動片は、高弾性材料を加工することにより形成された
振動片であって、第１基部と、前記第１基部の第１軸方向の両端部から前記第１軸方向に
延出され、且つ駆動電極が設けられた一対の第１駆動アームおよび第２駆動アームと、前
記第１基部の前記第１軸方向と直交する第２軸方向の一方の端部から前記第２軸方向延長
線上に延出され、且つ、検出電極が設けられた第１検出アームと、前記第１基部の前記第
１検出アームが延出された端部とは反対側の他方の端部から延出された接続部と、前記接
続部に一方の端部が接続された第２基部と、前記第２基部の前記接続部と接続された一方
の端部とは反対側の他方の端部から前記第１検出アームと略同じ長さで延出され、且つ、
検出電極が設けられた第２検出アームと、前記第２基部の前記第１軸方向の両端部から前
記第１軸方向に延出され、且つ、第１表面に駆動電極が設けられた一対の第３駆動アーム
および第４駆動アームと、を含むことを特徴とする。
【０００９】
上記適用例の振動片は角速度センサーに用いることができる。上記構成の振動片によれ
ば、第１基部の両端部から第１軸方向に延びて形成された第１および第２駆動アームと、
第１基部の第１軸方向と直交する第２軸方向の一方の端部から延出された第１検出アーム
と、第２基部の両端部から第１軸方向に延びて形成された第３および第４駆動アームと、
第２基部の第２軸方向の一方の端部から延出された第２検出アームと、を有し、それらの
第１基部および第２基部の第２軸方向の他方の端部同士が接続部により接続されている。
これにより、例えば、第１〜第４駆動アームを素子と同一平面内に振動（面内振動）させ
た状態で、振動片に面内振動方向の第１軸方向、あるいは、面内振動方向と直交する面外
方向を軸とした回転が加わったときに、第１〜第４駆動アームの面内振動方向と直交する
方向の面内振動、および、面外振動方向のコリオリの力に起因した第１および第２検出ア
ームの撓みを検出することができる。したがって、１つの振動片により、また、振動片を
水平に配置した状態で、複数の検出軸に対する回転の角速度検出が可能になので、低背化
および省面積化などの小型化を図りながら、複数の検出軸に対する角速度の検出を実現す
ることができる。
しかも、第１および第２駆動アームと第１検出アーム、また、第３および第４駆動アー
ムと第２検出アームとが、それぞれ近接せずに直交する位置関係で配置されるので、駆動
振動と検出振動が結合して検出精度を劣化させるのを防ぎ、高精度にて角速度を検出する
ことができる。
【００１０】
〔適用例２〕上記適用例にかかる振動片において、前記高弾性材料として圧電体材料が
用いられていることを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、従来より振動片の材料として広く用いられている圧電体材料を用い
ることにより、周知の原理やノウハウを加味して圧電効果を利用した、例えば高性能な圧
電振動片を提供することができる。
【００１２】
〔適用例３〕上記適用例にかかる振動片において、前記圧電体材料として水晶が用いら
れていることを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、水晶を用いることにより、振動片の小型化に伴う温度特性（周波数
特性等の温度依存性）の低下を抑制することができる。
【００１４】
〔適用例４〕上記適用例にかかる振動片において、前記駆動電極および前記検出電極は
、第１電極と、前記第１電極上に設けられた圧電体層と、前記圧電体層を挟んで前記第１
電極に対向して設けられた第２電極と、を含む積層体であり、前記第１〜第４駆動アーム
、および前記第１および第２検出アームは、各アームの伸長する方向に並列に２つの前記
積層体が形成され、且つ、一方の前記積層体の前記第１電極と他方の前記積層体の前記第
２電極とが接続されるとともに、一方の前記積層体の前記第２電極と他方の前記積層体の
前記第１電極とが電気的に接続されたことを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、第１〜第４駆動アームにおいては、２つの駆動電極に互いに逆相の
交流電圧を印加することにより、駆動に寄与しない電界成分を低減させ、且つ、駆動アー
ムの自由な伸縮を妨げ難いので駆動効率が向上する。
また、第１および第２検出アームにおいては、複数の検出軸に対する回転の角速度を検
出するために、ふたつの検出電極それぞれの第１電極および第２電極は電気的に独立させ
る。この検出アームにおいても、上記駆動電極と同じ構成により検出アームの自由な伸縮
を妨げ難いので、印加された角速度に対する検出感度が向上する。
【００１６】
〔適用例５〕上記適用例にかかる振動片において、前記検出電極が、前記検出アームの
前記第１軸方向に延びる複数の電極指の一端が共通電極により接続された一対の櫛歯状電
極を対向させて、互いの前記電極指を交差させて配置した交差指電極であることを特徴と
する。
【００１７】
この構成によれば、所望の振動モードへの応答だけを強勢にして、スプリアス応答を極
めて少なくすることが可能になるので、例えば、高精度な角速度の測定が可能な角速度セ
ンサー用の振動片を提供することができる。
【００１８】
〔適用例６〕上記適用例にかかる振動片において、前記接続部の中心が重心であり、外
形が前記重心に対して点対称になるように一体形成されていることを特徴とする。
【００１９】
この構成によれば、例えば、振動片の重心で支持するように外部と接合することによっ
て、よりバランスよく支持された状態で角速度検出ができるので、より高精度で安定した
角速度の検出をおこなうことができる。
【００２０】
〔適用例７〕本適用例にかかる角速度センサーは、上述の適用例に記載の振動片と、前
記第１駆動アームおよび前記第２駆動アームを、前記第１軸方向と前記第２軸方向とを含
む第１面内で駆動させる第１駆動と、前記振動片が所定軸周りに回転したときに加わるコ
リオリ力により、前記第１駆動アームおよび前記第２駆動アームを、前記第１面に直交す
る方向に駆動する第２駆動と、前記第２駆動により、前記検出アームを、前記第１面に直
交する方向に駆動する第３駆動と、前記第３駆動により生じる電圧を前記検出電極を介し
て検出する検出手段と、を含むことを特徴とする。
【００２１】
この構成によれば、上記適用例の振動片を用いているので、低背化や省面積化などの小
型化を図りながら検出感度が高い角速度センサーを実現することができる。
【００２２】
〔適用例８〕本適用例にかかる電子機器は、上記適用例にかかる角速度センサーを搭載
したことを特徴とする。
【００２３】
この構成によれば、上記適用例にかかる振動片およびそれを用いた角速度センサーを搭
載しているので、検出感度が高いとともに、従来のように角速度センサーを立てずに載置
することができるので、小型・低背化が図られ、優れた角速度センサーを備えた電子機器
を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】振動片の一実施形態を一方の主面側から見て説明する概略平面図。
【図２】（ａ）は、振動片の電極構造を説明するための図１のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は、同じくＢ−Ｂ線断面図。
【図３】（ａ）は、振動片の動作の一つの態様を説明する概略平面図、（ｂ）は、振動片の動作の別の態様を説明する概略平面図。
【図４】（ａ）は、角速度センサーとしての振動ジャイロの一実施形態を上側から見て説明する概略平面図、（ｂ）は、（ａ）のＣ−Ｃ線概略断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２６】
〔振動片〕
まず、本実施形態に係る振動片１について、図面を参照しながら説明する。図１は、振
動片１を一方の主面（第１表面）側から見た概略平面図である。図２は、振動片１の電極
構造を説明するものであり、（ａ）は図１のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は図１のＢ−Ｂ線断
面図である。
なお、以下の説明では、まず振動片１の形状等について説明し、次に、振動片１に形成
された各電極、配線、端子の配置等について説明し、次に、振動片１の動作について説明
する。
【００２７】
〔振動片の形状等〕
振動片１の材質には高弾性材料が用いられ、例えば、水晶、タンタル酸リチウム、ニオ
ブ酸リチウムなどの圧電材料や、シリコンが挙げられる。特に水晶を用いた場合には、振
動片の小型化に伴う温度特性（周波数特性等の温度依存性）の低下を抑制することができ
るので好ましい。また、水晶を用いる場合、カット角の観点から温度特性が良好なＸカッ
ト板であることが好ましいが、Ｚカット板（回転Ｘ）、ＡＴカット板であってもよい。Ｚ
カット板を用いた場合にはエッチング加工が容易になるという特性を有する。
【００２８】
振動片１は、本実施形態では振動ジャイロに用いる所謂ジャイロ素子である。
図１および図２に示すように、振動片１は、例えば水晶の結晶軸の第１軸方向としての
Ｙ軸と第２軸方向としてのＸ軸とで定義される平面（以下、ＸＹ平面という）に拡がりを
有し、Ｚ軸方向に厚みを有することができる。振動片１は、第１表面２０１（一方の主面
）、および、第１表面２０１と対向する面である第２表面（図示せず）と、第１表面２０
１および第２表面を接続する側面２０３と、を有する。第１表面２０１および第２表面は
、図中のＸＹ平面に平行な面である。また、側面２０３は、第１表面２０１および第２表
面と直交し、Ｚ軸に平行な面である。なお、本発明に係る記載では、「Ｘ軸」という文言
を、Ｘ軸およびＸ軸を中心に０度より大きく２度以下の範囲の傾斜をした軸を意味するも
のとして用いる。「Ｙ軸」および「Ｚ軸」についても同様とする。
【００２９】
振動片１は、略矩形の表面を有する第１基部６ＡのＹ方向（第１軸方向）の両端部から
Ｙ軸方向に略同じ長さで延出された一対の第１駆動アーム２Ａおよび第２駆動アーム３Ａ
と、第１基部６ＡのＹ軸方向と直交するＸ軸方向（第２軸方向）の一方の端部からＸ軸方
向に延出された第１検出アーム４Ａと、第１基部６Ａの第１検出アーム４Ａが延出された
一端部とは反対側の他端部から第１検出アーム４Ａの延出方向の延長線上に延出された接
続部５と、接続部５に一端部が接続され略矩形の表面を有する第２基部６Ｂと、第２基部
６Ｂの接続部５と接続された一端部とは反対側の他端部から第１検出アーム４Ａと略同じ
長さで延出された第２検出アーム４Ｂと、第２基部６Ｂの第１軸方向の両端部から第１軸
方向に第１駆動アーム２Ａおよび第２駆動アーム３Ａと略同じ長さで延出された一対の第
３駆動アーム２Ｂおよび第４駆動アーム３Ｂと、を有している。
【００３０】
第１駆動アーム２Ａおよび第２駆動アーム３Ａと、第３駆動アーム２Ｂおよび第４駆動
アーム３Ｂとは、第１基部６Ａまたは第２基部６ＢのＹ軸に沿って、それぞれ正および負
の方向に延出している。本実施形態では、第１駆動アーム２Ａおよび第３駆動アーム２Ｂ
が第１基部６Ａまたは第２基部６ＢのＹ軸の正の方向の一端側からＹ軸の正の方向に延出
され、第２駆動アーム３Ａおよび第４駆動アーム３Ｂが、第１基部６Ａまたは第２基部６
ＢのＹ軸の負の方向の他端側からＹ軸の負の方向に延出されている。第１および第２基部
６Ａ，６ＢからＹ軸の正側および負側に延出されたこれらの第１〜第４駆動アーム２Ａ，
３Ａ，２Ｂ，３Ｂによって、振動片１を駆動させる駆動振動系が構成されている。
【００３１】
また、第１検出アーム４Ａおよび第２検出アーム４Ｂは、第１基部６Ａまたは第２基部
６ＢのＸ軸に沿って、正または負の方向に延出している。本実施形態では、第１基部６Ａ
のＸ軸の負の方向の一端側からＸ軸の負の方向に延出する第１検出アーム４Ａ、および、
第２基部６ＢのＸ軸の正の方向の一端側からＸ軸の正の方向に延出された第２検出アーム
４Ｂによって、角速度を検出する検出振動系が構成されている。
【００３２】
接続部５の一部は、外部、例えば、振動片１を収容するパッケージに接合して固定され
る支持領域７として用いられる。本実施形態では、接続部５の中心を含む領域であって、
振動片１の中心を含む領域でもある接続部５の一領域を支持領域７としている。即ち、本
実施形態の振動片１は、支持領域７の中心が振動片１の重心と略一致するようになってい
て、且つ、振動片１の外形が、前記重心に対して点対称となっている。これにより、振動
片１の支持構造により各アームの自由な振動を妨げることなく、且つ、支持部分からの振
動漏れを抑制しながら、振動片１が非常にバランスよく支持される支持構造を実現するこ
とができる。
【００３３】
以上、説明した振動片１の外形形状は、例えば水晶ウェハなどの圧電基板材料を、フッ
酸溶液などによるウエットエッチングや、ドライエッチングを用いることにより精密に形
成することができる。
【００３４】
次に、振動片１の各種電極や配線について説明する。
図１に示すように、第１駆動アーム２Ａの第１表面２０１上には、第１駆動アーム２Ａ
の第１軸方向としてのＹ軸方向にそって平行に設けられた一対の第１および第２駆動電極
１２Ａ，１２Ｂが形成されている。また、第２駆動アーム３Ａの第１表面２０１上には、
第２駆動アーム３ＡのＹ軸方向に沿って平行に設けられた一対の第１および第２駆動電極
１３Ａ，１３Ｂが形成されている。
同様に、第３駆動アーム２Ｂの第１表面２０１上には、第３駆動アームのＹ軸方向にそ
って平行に設けられた一対の第１および第２駆動電極１２Ａ，１２Ｂが形成され、第４駆
動アーム３Ｂの第１表面２０１上には、第４駆動アームのＹ軸方向に沿って並列させて設
けられた一対の第１および第２駆動電極１３Ａ，１３Ｂが形成されている。
第１および第２駆動電極１２Ａ，１２Ｂや第１および第２駆動電極１３Ａ，１３Ｂは、
外部から印加する駆動電圧によって第１駆動アーム２Ａ、第２駆動アーム３Ａ、第３駆動
アーム２Ｂ、および第４駆動アーム３Ｂを励振するための電極である。
また、第１検出アーム４Ａの第１表面２０１上には、第１検出アーム４Ａの第２軸方向
としてのＸ軸方向に沿って平行に設けられた一対の第１検出電極１４Ａおよび第２検出電
極１４Ｂが形成されている。
同様に、第２検出アーム４Ｂの第１表面２０１上には、第２検出アーム４ＢのＸ軸方向
に沿って並列させて設けられた一対の第１検出電極１４Ａおよび第２検出電極１４Ｂが形
成されている。第１検出アーム４Ａおよび第２検出アーム４Ｂにそれぞれ形成された一対
の第１および第２検出電極１４Ａ，１４Ｂは、第１検出アーム４Ａおよび第２検出アーム
４Ｂに検出振動が励起されたときに、該振動によって発生する第１検出アーム４Ａおよび
第２検出アーム４Ｂ（例えば圧電材料）の撓みを検出するための電極である。
【００３５】
なお、本実施形態の振動片１のように、上記の第１および第２駆動電極１２Ａ，１２Ｂ
，１３Ａ，１３Ｂ、および、第１および第２検出電極１４Ａ，１４Ｂは、第１〜第４駆動
アーム２Ａ，３Ａ，２Ｂ，３Ｂ、および第１および第２検出アーム４Ａ，４Ｂにおいて、
各アームの中心線を軸として線対称となっていることが、第１〜第４駆動アーム２Ａ，３
Ａ，２Ｂ，３Ｂにおいて発生する駆動電界や、第１および第２検出アーム４Ａ，４Ｂにお
いて検出する電界のバランスが良くなり、また、所定の振動方向以外への振動漏れが発生
し難くなって駆動効率がより向上するという効果を奏するので好ましい。
また、図示はしないが、上記の第１および第２駆動電極１２Ａ，１２Ｂ，１３Ａ，１３
Ｂ、および、第１および第２検出電極１４Ａ，１４Ｂは、接続部５の支持領域７に設けら
れた外部接続電極や、振動片１の任意の位置に設けられた接地用電極、あるいは対応する
電極同士と、振動片１の第１表面２０１や第２表面電極間配線あるいは側面２０３に形成
された電極間配線により電気的に接続され、振動片１に配線回路が形成されている。
【００３６】
続いて、第１〜第４駆動アーム２Ａ，３Ａ，２Ｂ，３Ｂと、第１および第２検出アーム
４Ａ，４Ｂに形成された各電極の詳細な構成について図２を参照して説明する。
図２（ａ）に示すように、第１駆動アーム２Ａの第１表面２０１に設けられた一対の第
１および第２駆動電極１２Ａ，１２Ｂは、第１駆動アーム２Ａの第１表面２０１に設けら
れた第１電極１５ａ，１５ｂと、各第１電極１５ａ，１５ｂ上に設けられた圧電体層１６
ａ，１６ｂと、各圧電体層１６ａ，１６ｂ上に設けられた第２電極１７ａ，１７ｂによっ
て形成されている。
【００３７】
第１駆動アーム２Ａの一対の第１および第２駆動電極１２Ａ，１２Ｂにおいて、各第１
電極１５ａ，１５ｂと、圧電体層１６ａ，１６ｂを間に挟んで対向する各第２電極１７ａ
，１７ｂとは極性が異なるようにて配設されている。また、一方の第１駆動電極１２Ａと
他方の第２駆動電極１２Ｂとは逆相の電極となる。
本実施形態では、一方の第１駆動電極１２Ａの第１電極１５ａと、他方の第２駆動電極
１２Ｂの第２電極１７ｂとが同相の電極として同じ接続端子部Ｓ１に接続され、一方の第
１駆動電極１２Ａの第２電極１７ａと、他方の第２駆動電極１２Ｂの第１電極１５ｂとが
同相の電極として同じ接続端子部Ｓ２に接続されている。各接続端子部Ｓ１，Ｓ２は、図
１では図示を省略しているが、例えば接続部５の支持領域７に設けられ、振動片１の第１
表面２０１や側面２０３に引き回した電極間配線を介して対応する各電極と接続される。
【００３８】
また、図示はしないが、第１駆動アーム２Ａと対をなす第２駆動アーム３Ａの第１表面
２０１に形成された一対の第１および第２駆動電極１３Ａ，１３Ｂ（図１を参照）は、第
１駆動アーム２Ａの上記第１および第２駆動電極１２Ａ，１２Ｂと同じ電極構造を有して
いる。さらに、第３駆動アーム２Ｂの第１表面２０１に形成された第１および第２駆動電
極１２Ａ，１２Ｂと、第４駆動アーム３Ｂの第１表面２０１に形成された第１および第２
駆動電極１３Ａ，１３Ｂについても、第１駆動アーム２Ａの上記第１および第２駆動電極
１２Ａ，１２Ｂと同じ電極構造を有している。
【００３９】
このように、圧電体層１６ａ，１６ｂを含む積層膜構造の駆動電極を第１〜第４駆動ア
ーム２Ａ，３Ａ，２Ｂ，３Ｂ各々のＹ軸方向中心線を境に離間させて並列させて配置する
構成によれば、第１駆動電極１２Ａ，１３Ａと第２駆動電極１２Ｂ，１３Ｂとに、互いに
逆相の交流電圧を印加することにより、駆動に寄与しない電界成分を低減させることがで
き、且つ、第１駆動アーム２Ａおよび第２駆動アーム３Ａの自由な伸縮を妨げ難いので駆
動効率を向上させることができる。
【００４０】
また、図２（ｂ）に示すように、第１検出アーム４Ａの第１表面２０１に設けられた一
対の第１および第２検出電極１４Ａ，１４Ｂは、第１検出アーム４Ａの第１表面２０１に
設けられた第１電極２５ａ，２５ｂと、各第１電極２５ａ，２５ｂ上に設けられた圧電体
層２６ａ，２６ｂと、各圧電体層２６ａ，２６ｂ上に設けられた第２電極２７ａ，２７ｂ
によって形成されている。
第１検出アーム４Ａの一対の第１および第２検出電極１４Ａ，１４Ｂにおいて、各第１
電極２５ａ，２５ｂと、圧電体層２６ａ，２６ｂを間に挟んで対向する各第２電極２７ａ
，２７ｂとは、極性が異なるようにて配設されている。また、一方の第１検出電極１４Ａ
と他方の第２検出電極１４Ｂとは同相の電極となる。
したがって、各々の第１電極および第２電極は別々の接続端子部に引き出される。本実
施形態では、一方の第１検出電極１４Ａの第１電極２５ａは接続端子部Ｓ６に、第２電極
２７ａは接続端子部Ｓ５に、また、他方の第２検出電極１４Ｂの第１電極２５ｂは接続端
子部Ｓ４に、第２電極２７ｂは接続端子部Ｓ３に、それぞれ接続されている。接続端子部
Ｓ３〜Ｓ６は、例えば、振動片１の第１表面２０１や側面２０３に引き回した電極間配線
を介して、接続部５の支持領域７に設けられた対応する接続電極（図示せず）と接続され
る。
【００４１】
このような圧電体層２６ａ，２６ｂを含む積層膜構造の第１および第２検出電極１４Ａ
，１４Ｂを第１検出アーム４ＡのＸ軸方向中心線を境に離間させて並列に配置する構成に
よれば、第１および第２検出アーム４Ａ，４Ｂの自由な伸縮を妨げ難いので、印加された
角速度に対する検出感度が向上する。
【００４２】
なお、図示はしないが、第２検出アーム４Ｂの第１表面２０１に形成された一対の第１
および第２検出電極１４Ａ，１４Ｂ（図１を参照）は、第１検出アーム４Ａの上記第１お
よび第２検出電極１４Ａ，１４Ｂと同じ電極構造を有している。
【００４３】
〔振動片の動作〕
次に、振動片１の動作について、図面を参照しながら説明する。図３（ａ），（ｂ）は
、振動片１の動作の態様の例をそれぞれ説明する概略平面図である。なお、以下の振動片
１の動作の説明においては図２も併せて参照されたい。
【００４４】
まず、図２に示す振動片１において、第１駆動アーム２Ａの第１駆動電極１２Ａおよび
第２駆動電極１２Ｂに励振信号を入力する。具体的には、接続端子部Ｓ１を介して第１駆
動電極１２Ａの第１電極１５ａおよび第２駆動電極１２Ｂの第２電極１７ｂに正電位（ま
たは負電位）を入力し、接続端子部Ｓ２を介して第１駆動電極１２Ａの第２電極１７ａお
よび第２駆動電極１２Ｂの第１電極１５ｂに負電位（または正電位）を入力する。すると
、図３（ａ）に示すように、第１駆動電極１２Ａおよび第２駆動電極１２Ｂそれぞれの第
２電極と第１電極との間に逆方向の電界が生じて各電極にＹ方向の引張あるいは圧縮が生
じる。すなわち、第１駆動電極１２Ａに引張（＋Ｙ）が生じているときには第２駆動電極
１２ＢのＹ方向に圧縮（−Ｙ）が生じ、第１駆動電極１２Ａに圧縮（−Ｙ）が生じている
場合には第２駆動電極１２Ｂに引張（＋Ｙ）が生じる。このように、第１駆動アーム２Ａ
上にてＹ軸方向の中心線を境に離間させて設けられた第１駆動電極１２Ａと第２駆動電極
１２ＢとのＺ方向の正負逆側の伸長または圧縮を交流信号を入力し繰り返すことにより、
第１駆動アーム２Ａは±Ｘ方向の振動（第１駆動）を繰り返す。
なお、第２駆動アーム３Ａ、第３駆動アーム２Ｂ、第４駆動アーム３Ｂについても、上
記の第１駆動アーム２Ａにおける第１駆動電極１２Ａおよび第２駆動電極１２Ｂへの交流
信号の入力と同様の信号入力を第１駆動電極１２Ａ，１３Ａおよび第２駆動電極１２Ｂ，
１３Ｂに対して行うことにより、上記した第１駆動アーム２Ａと同様な±Ｘ方向への振動
（第１駆動）が繰り返される。
【００４５】
次に、図３を用いて、振動片１の動作の態様について具体的に説明する。
まず、図３（ａ）に示すように、励振信号を入力することにより第１駆動アーム２Ａ、
第２駆動アーム３Ａ、第３駆動アーム２Ｂ、第４駆動アーム３Ｂのそれぞれが、矢印２Ａ
V（−Ｘ方向）、３ＡV（−Ｘ方向）、２ＢV（＋Ｘ方向）、および矢印３ＢV（＋Ｘ方向）
の各方向に振動（第１駆動）しているときに、振動片１のＹ軸まわりに反時計回りの回転
ωYが加わると、第１〜第４駆動アーム２Ａ，３Ａ，２Ｂ，３Ｂそれぞれの振動方向（面
内振動）に対して直交する方向（Ｚ軸方向）にコリオリの力が発生する。具体的には、第
１および第２駆動アーム２Ａ，３Ａの振動方向２ＡV，３ＡV（−Ｘ方向）に対して直交す
る方向のうち記号２ＡS1，３ＡS1の方向（−Ｚ方向）にコリオリ力が発生し、第３および
第４駆動アーム２Ｂ，３Ｂの振動方向２ＢV，３ＢV（＋Ｘ方向）に対して直交する方向の
うち記号２ＢS1，３ＢS1の方向（−Ｚ方向）にコリオリ力が発生する。
すると、それらのコリオリ力により、第１および第２検出アームには、振動片１の第１
表面２０１（図１を参照）と直交する方向の振動（面外振動）が発生する。すなわち、第
１および第２駆動アーム２Ａ，３Ａの振動方向２ＡV，３ＡV（−Ｘ方向）に対して直交す
る方向のうち記号２ＡS1，３ＡS1の方向（−Ｚ方向）に発生したコリオリ力により、第１
検出アームが励振されて記号４ＡS1の方向（＋Ｚ方向）に面外振動（第３駆動）が発生し
、また、第３および第４駆動アーム２Ｂ，３Ｂの振動方向２ＢV，３ＢV（＋Ｘ方向）に対
して直交する方向のうち記号２ＢS1，３ＢS1の方向（＋Ｚ方向）に発生したコリオリ力に
より、第２検出アーム４Ｂが励振されて記号４ＢS1の方向（−Ｚ方向）に面外振動（第３
駆動）が発生する。この第３駆動による面外振動により第１および第２検出アーム４Ａ，
ＡＢに電界成分が発生することによって生じる電荷量を、第１および第２検出アーム４Ａ
，４Ｂの各第１および第２検出電極１４Ａ，１４Ｂを介して測定することにより、振動片
１にＹ軸まわりに反時計回りの回転ωYが印加されたときの角速度を知ることができる。
【００４６】
一方、図３（ｂ）に示すように、上記と同様に第１駆動アーム２Ａ、第２駆動アーム３
Ａ、第３駆動アーム２Ｂ、第４駆動アーム３Ｂのそれぞれが、矢印２ＡV、３ＡV、２ＢV
、および矢印３ＢVの各方向に振動（第１駆動）しているときに、振動片１にＺ軸まわり
に反時計回りの回転ωＺが加わると、第１〜第４駆動アーム２Ａ，３Ａ，２Ｂ，３Ｂそれ
ぞれの振動方向（面内振動）に対して直交する方向（Ｙ軸方向）にコリオリの力が発生す
る。具体的には、第１および第２駆動アーム２Ａ，３Ａの振動方向２ＡV，３ＡV（−Ｘ方
向）に対して直交する方向のうち記号２ＡS2，３ＡS2の方向（＋Ｙ方向）にコリオリ力が
発生し、第３および第４駆動アーム２Ｂ，３Ｂの振動方向２ＢV，３ＢV（＋Ｘ方向）に対
して直交する方向のうち記号２ＢS2，３ＢS2の方向（−Ｙ方向）にコリオリ力が発生する
。
すると、それらのコリオリ力により、第１検出アーム４Ａには、第１表面２０１（図１
を参照）と直交する方向のうち矢印４ＡS2の方向（−Ｙ方向）の第３駆動（面内振動）が
発生し、また、第２検出アーム４Ｂには、第１表面２０１と直交する方向のうち矢印４Ｂ
S2の方向（＋Ｙ方向）の第３駆動（面内振動）が発生する。この第３駆動による面内振動
によって第１検出アーム４Ａおよび第２検出アーム４Ｂの第１検出電極１４Ａと第２検出
電極１４Ｂとには逆方向の圧縮または引張が生じる。この第１検出電極１４Ａと第２検出
電極１４Ｂとの圧縮または引張により発生する電荷量の差分を測定・計算することにより
、振動片１にＺ軸まわりに反時計回りの回転が印加されたときの角速度を求めることがで
きる。
【００４７】
したがって、本実施形態の振動片１によれば、第１〜第４駆動アーム２Ａ，３Ａ，２Ｂ
，３Ｂに励振信号を入力して±Ｘ方向の振動を繰り返すようにした場合、Ｙ軸およびＺ軸
の２つの検出軸まわりの回転に対して、１つの振動片１によって、また、振動片１をパッ
ケージなどのなかに水平に配置した状態で、複数の検出軸に対する回転の角速度を検出す
ることができる。
また、本実施形態の振動片１によれば、第１および第２駆動アーム２Ａ，３Ａと第１検
出アーム４Ａ、および、第３および第４駆動アーム２Ｂ，３Ｂと第２検出アーム４Ｂとが
、それぞれ近接され過ぎることなく、直交する位置関係で配置されるので、駆動振動と検
出振動が結合して検出精度を劣化させるのを防ぎ、高精度にて角速度を検出することが可
能な振動片１を提供することができる。
【００４８】
〔振動ジャイロ〕
次に、上記振動片１を含む角速度センサーとしての振動ジャイロについて、図面を参照
しながら説明する。
図４は、振動ジャイロの一実施形態を説明するものであり、（ａ）は上側からみた概略
平面図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ線断面を示す概略断面図である。
なお、図４（ａ）では、振動ジャイロの内部の構造を説明する便宜上、振動ジャイロの
上方に設けられた蓋体としてのリッド７０を取り外した状態を図示している。また、本実
施形態に係る振動ジャイロ５０において、本実施形態に係る振動片１の構成部材と同様の
機能を有する部材については同一の符号を付して詳細な説明を省略し、また、一部図示を
省略する。
【００４９】
振動ジャイロ５０は、図４に示すように、パッケージ６０と、そのパッケージ６０の蓋
体としてのリッド７０と、パッケージ６０内に中継基板８０を介して接合された振動片１
、および、電子部品としてのＩＣチップ９０と、を有している。
【００５０】
パッケージ６０は、例えば、平板状の第１層基板６１上に、開口部の大きさが異なる矩
形環状の第２層基板６２、第３層基板６３、および第４層基板６４をこの順に重ねて設け
ることにより段差や突起部を有する凹部が形成され、該凹部内に振動片１およびＩＣチッ
プ９０を収容することが可能になっている。パッケージ６０の材質としては、例えば、セ
ラミック、ガラスなどを用いることができる。
【００５１】
パッケージ６０の凹部の凹底部分となる第１層基板６１上には、ＩＣチップ９０が配置
されるダイパッド６５が設けられている。また、パッケージ６０の外底面となる第１層基
板６１のダイパッド６５が設けられた面と異なる面には、外部基板との接合に供する外部
実装端子６８が設けられている。
【００５２】
パッケージ６０の凹部において、第２層基板６２によりダイパッド６５を囲むように形
成される段差上には、ＩＣチップ９０の能動面（図４（ｂ）において上方の面）に設けら
れた複数の電極パッド（図示せず）と対応して接合される複数のＩＣ接続端子６６が設け
られている。
また、複数のＩＣ接続端子６６が設けられた第２層基板６２上に、第３層基板６３によ
りＩＣ接続端子６６を囲むように形成される段差上には、振動片１が中継基板８０を介し
て接合される振動片接続端子６７が設けられている。
パッケージ６０に設けられた上記の各種端子は、対応する端子どうしが、図示しない引
き回し配線やスルーホールなどの層内配線により接続されている。
【００５３】
ＩＣチップ９０は、振動片１を駆動振動させるための励振手段としての駆動回路と、角
速度が加わったときに振動片１に生じる検出振動を検出する検出手段としての検出回路と
、を有する。具体的には、ＩＣチップ９０が有する駆動回路は、振動片１の第１〜第４駆
動アーム２Ａ，３Ａ，２Ｂ，３Ｂに形成された第１駆動電極１２Ａ，１３Ａおよび第２駆
動電極１２Ｂ，１３Ｂに駆動信号を供給する。また、ＩＣチップ９０が有する検出回路は
、振動片１の第１および第２検出アーム４Ａ，４Ｂに形成された第１および第２検出電極
１４Ａ，１４Ｂに生じる検出信号を増幅させて増幅信号を生成し、該増幅信号に基づいて
振動ジャイロ５０に印加された角速度を検出する。
ＩＣチップ９０は、パッケージ６０の凹部の凹底部分に設けられたダイパッド６５上に
、例えばろう材９９によって接着・固定されている。また、本実施形態では、ＩＣチップ
９０とパッケージ６０とが、ワイヤーボンディング法を用いて電気的に接続されている。
すなわち、ＩＣチップ９０に設けられた複数の電極パッドと、パッケージ６０の対応する
ＩＣ接続端子６６とが、ボンディングワイヤー４９により接続されている。
【００５４】
パッケージ６０の凹部内において、ＩＣチップ９０の上方には、中継基板８０を介して
振動片１が接合されている。
中継基板８０は、パッケージ６０の凹部内に振動片１を支持する複雑な支持構造を形成
することなく、振動片１を所定の弾性を持たせながら支持するとともに、振動片１とパッ
ケージ６０との電気的な接続を中継するための配線基板である。本実施形態の中継基板８
０は、振動片１の接続部５の支持領域７が配置される領域に設けられた開口部（デバイス
穴）８２を有する絶縁性の基材と、基材の一方の主面に設けられた複数の電極リード８５
と、対応する電極リード８５と基材の層内配線などにより電気的に接続された接続電極８
６と、を有している。複数の電極リード８５は、一端側が基材上に設けられ、他端側が基
材の開口部８２の中央に向かって延出された所謂オーバーハング構造を有して設けられて
いる。
【００５５】
各電極リード８５の開口部８２においてオーバーハングされている部分は、基材上から
開口部８２の中央に向かう途中で一旦斜め上方（リッド７０側）に屈曲してから、再び開
口部８２の中央に向かって水平に折り曲げられている。この各電極リード８５の他端側は
、振動片１の接続部５の支持領域７において第１表面２０１と対向する表面に設けられた
外部接続端子（図示せず）と対応する位置に配置され、振動片１の電気的な接続、および
、機械的な接合に供する。
中継基板８０は、従来から知られるＴＡＢ（Tape Automated Bonding）実装用のフープ
状のＴＡＢ基板として、基板の製造から振動片１の実装までを連続して効率よく行うこと
ができる。なお、中継基板８０は、本実施形態で説明したＴＡＢ基板に限らず、例えば、
リードフレームなどにより形成する構成とすることもできる。
【００５６】
中継基板８０への振動片１の接合は、予め電極リード８５の表面に、例えば、すず（Ｓ
ｎ）や金（Ａｕ）などの接合用の金属層をめっきなどにより形成しておき、さらに、振動
片１の第１および第２基部６Ａ，６ＡＢにそれぞれ設けられた図示しない外部接続電極に
も接合用の金属層を形成しておき、それら各電極リード８５と、対応する外部接続電極と
を位置合わせして、加熱および加圧することによって金属共晶、あるいは金属接合する方
法により行うことができる。この他の接合方法としては、金属バンプや導電性接着剤など
の接合部材を介して接合する方法などを行うことができる。
【００５７】
中継基板８０の開口部８２にオーバーハング構造にて延出され所望の形状にフォーミン
グされた複数の電極リード８５に接合された振動片１は、電極リード８５の弾性により柔
軟に支持される。これにより、振動ジャイロ５０に落下などによる衝撃が加わったときに
、電極リード８５によって衝撃が緩和され、振動片１が破損するなどの不具合を回避でき
るので、振動ジャイロ５０の耐衝撃性を向上させる効果を奏する。
しかも、電極リード８５により第１および第２基部６Ａ，６Ｂが支持された振動片１に
おいて、第１および第２駆動アーム２Ａ，３Ａと第１検出アーム４Ａ、また、第３および
第４駆動アーム２Ｂ，３Ｂと第２検出アーム４Ｂとが、それぞれ近接せずに直交する位置
関係で規制されない自由端として支持されるので、駆動振動と検出振動が結合して検出精
度を劣化させるのを防ぐことができる。
【００５８】
振動片１が接合された中継基板８０は、パッケージ６０の凹部内において、ＩＣチップ
９０の上方に接合される。具体的には、中継基板８０の振動片１に接続された複数の電極
リード８５と電気的に接続され、中継基板８０の振動片１が接合された面とは異なる面に
設けられた図示しない接続電極が、パッケージ６０の第３層基板６３により形成された段
差上に設けられた振動片接続端子６７に位置合わせされ、例えば導電性接着剤などの接合
部材５９により電気的な接続を図りながら接合・固定されている。
なお、本実施形態では、中継基板８０を介して振動片１をパッケージ６０内に接合する
形態を説明したが、これに限らず、振動片１の振動漏れなどが起こらない支持構造であれ
ばよい。例えば、パッケージ６０の凹部内に支持構造を形成する構成としてもよい。
【００５９】
ＩＣチップ９０および振動片１が接合されたパッケージ６０上には、蓋体としてのリッ
ド７０が配置され、パッケージ６０の開口を封止している。リッド７０の材質としては、
例えば、４２アロイ（鉄にニッケルが４２％含有された合金）やコバール（鉄、ニッケル
およびコバルトの合金）等の金属、セラミックス、あるいはガラスなどを用いることがで
きる。例えば、金属からなるリッド７０は、コバール合金などを矩形環状に型抜きして形
成されたシールリング６９を介してシーム溶接することによりパッケージ６０と接合され
る。パッケージ６０およびリッド７０によって形成される凹部空間は、振動片１が動作す
るための空間となる。
【００６０】
本実施形態の振動ジャイロ５０において、上記凹部空間は、減圧空間または不活性ガス
雰囲気に密閉・封止することができる。例えば、凹部空間内を減圧空間にして密閉封止す
る場合には、パッケージ６０に設けられた封止孔（図示せず）、例えば球状の固形の封止
材を配置させた状態で真空チャンバー内に入れ、所定の真空度まで減圧させて振動ジャイ
ロ５０の内側から出るガスを封止孔から排出させた後、電子ビームあるいはレーザーを照
射することなどにより封止材を溶融させてから固化させることにより、封止孔を閉塞させ
て封止する。なお、封止材の材料としては、完成した振動ジャイロ５０を外部実装基板に
実装する際のリフロー温度よりも高い温度を融点として有したものが望ましく、例えば、
金と錫（Ｓｎ）との合金、あるいは、金とゲルマニウム（Ｇｅ）との合金などを用いるこ
とができる。
【００６１】
本実施形態の振動ジャイロ５０によれば、上述の振動片１を備えていることにより、振
動片１を縦配置させることなく２つの検出軸における角速度を高感度にて検出することが
できるので、低背化を図りながら、検出感度が高い角速度センサーとしての振動ジャイロ
５０を実現することができる。
【００６２】
また、上記実施形態の振動ジャイロ５０において、振動片１を第１表面２０１側から平
面視したときに、接続部５の中心に振動片１の重心があり、振動片１の外形がその重心に
対して略点対称になっている。そして、重心を中心として含む支持領域７で振動片１を支
持する態様となっている。この構成によって、振動片１が非常にバランスよく支持された
状態で角速度検出を行うことができるので、より高い精度で角速度を検出することができ
る。
【００６３】
以上、発明者によってなされた本発明の実施の形態について具体的に説明したが、本発
明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の
変更を加えることが可能である。
【００６４】
例えば、上記実施形態で説明した特定の形態、例えば、振動片１の駆動アームや検出ア
ーム、あるいは基部などの形状は限定されるものではない。
同様に、各電極、配線、端子などの位置や形状についても上記実施形態に限定されない
。
特に、第１駆動電極１２Ａ，１３Ａおよび第２駆動電極１２Ｂ，１３Ｂや、第１検出電
極１４Ａおよび第２検出電極１４Ｂの電極構造や配置については、上記実施形態で説明し
た特定のものに限らない。例えば、第１および第２検出電極１４Ａ，１４Ｂは、複数の電
極指の一端を共通電極で接続した櫛歯状電極を２つ備え、且つ、電極指同士が接触しない
ように櫛歯状電極同士を対向させて配置した所謂交差指電極（ＩＤＴ）で構成することも
できる。この場合、櫛歯状電極の各電極指の長手方向が第１および第２検出アーム４Ａ，
４Ｂの長手方向と直交するように配置すればよい。
【００６５】
また、上記実施形態では、ＩＣチップ９０をワイヤーボンディング法を用いてパッケー
ジ内にボンディングワイヤー４９により接続する構成を説明した。これに限らず、ＩＣチ
ップ９０などの電子部品を他の実装方法、例えば、金属バンプや導電性接着剤などの接合
部材を用いてフェースダウン接合する構成としてもよい。
【００６６】
また、本願発明の振動片および角速度センサーは、デジタルカメラ、カーナビゲーショ
ンシステム、携帯電話、モバイルＰＣ、およびゲームコントローラー等の電子機器にも適
用可能である。本願発明の振動片および角速度センサーを用いれば、従来のように角速度
センサーを立てずに実装することができるので、電子機器の低背化、小型化を実現できる
。
【符号の説明】
【００６７】
１…振動片、２Ａ…第１駆動アーム、２Ｂ…第３駆動アーム、３Ａ…第２駆動アーム、
３Ｂ…第４駆動アーム、４Ａ…第１検出アーム、４Ｂ…第２検出アーム、５…接続部、６
Ａ…第１基部、６Ｂ…第２基部、７…支持領域、１２Ａ，１３Ａ…第１駆動電極、１２Ｂ
，１３Ｂ…第２駆動電極、１４Ａ…第１検出電極、１４Ｂ…第２検出電極、１５ａ，１５
ｂ，２５ａ，２５ｂ…第１電極、１６ａ，１６ｂ，２６ａ，２６ｂ…圧電体層、１７ａ，
１７ｂ，２７ａ，２７ｂ…第２電極、４９…ボンディングワイヤー、５０…振動ジャイロ
、５９…接合部材、６０…パッケージ、６１…第１層基板、６２…第２層基板、６３…第
３層基板、６４…第４層基板、６５…ダイパッド、６６…ＩＣ接続端子、６７…振動片接
続端子、６８…外部実装端子、６９…シールリング、７０…リッド、８０…中継基板、８
２…開口部、８５…電極リード、９０…ＩＣチップ、９９…ろう材、２０１…第１表面、
２０３…側面。
【図１】
2011209003.tif 000003
【図２】
2011209003.tif 000004
【図３】
2011209003.tif 000005
【図４】
2011209003.tif 000006