(57)【要約】【課題】折り畳み可能な測定機器用架台を提供して、組み立てを簡単にするだけでなく、輸送スペースをコンパクトにする。【解決手段】測定機器ＭＵを長手方向に沿って移動させる長尺部材３と、長尺部材３の両端部それぞれに設けられ、長手方向とは異なる方向に長尺部材３を移動させるためのガイドレール７１を有する一対の第１枠体４とを備え、長尺部材３の両端部がそれぞれに対応する第１枠体４のガイドレール７１に沿って互いに異なる方向に移動して第１枠体４同士の間隔が狭まるように構成されている。【選択図】図１
2011107006.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定機器を少なくとも水平面内において移動させる測定機器用架台であって、
前記測定機器を長手方向に沿って移動させる長尺部材と、
前記長尺部材の両端部それぞれに設けられ、前記長手方向とは異なる方向に前記長尺部材を移動させるためのガイドレールを有する一対の第１枠体とを備え、
前記一方の第１枠体が他方の第１枠体に対して固定されていない状態において、前記長尺部材の両端部がそれぞれに対応する前記第１枠体のガイドレールに沿って互いに異なる方向に移動して前記第１枠体同士の間隔が拡縮するように構成されていることを特徴とする測定機器用架台。
【請求項２】
前記ガイドレールの両側において前記長尺部材及び前記第１枠体の間に介在して設けられ、前記第１枠体が前記長尺部材に対して前記ガイドレールの延伸方向を回転中心とした回転することを制限する回転制限部材を備える請求項１記載の測定機器用架台。
【請求項３】
前記一対の第１枠体を連結固定して、各第１枠体に設けられたガイドレールを互いに平行にする第２枠体を備え、
前記第２枠体が、前記第１枠体の両端部それぞれに設けられるものであり、一方の第１枠体の端部に回転可能に連結された第１フレームと、他方の第１枠体の端部に回転可能に連結された第２フレームと、前記第１フレーム及び前記第２フレームを連結固定する接続フレームとを備える請求項１又は２記載の測定機器用架台。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばガラス基板や半導体ウエハ等の測定基板を検査するための測定機器を少なくとも水平面内においてスライド移動させる測定機器用架台に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、特許文献１に示すような測定機器用架台は、実際に測定を行う設置場所で組み立てるように構成されている。つまり、製造工場から測定機器用架台の各部品を輸送し、設置場所で組み立てるようにしている。
【０００３】
しかしながら、スペースの限られた設置場所で各部品を組み立てる作業は複雑で作業性が悪くなりがちである。また、測定機器用架台が大型になればなるほど各部品の重量が大きくなり、これによっても作業性が悪くなるという問題がある。
【０００４】
一方で、組み立て後の状態で輸送することも考えられるが、測定機器用架台が大型になればなるほど、運搬車両への積み下ろしが大掛かりになってしまうだけでなく、輸送スペースが大きくなってしまい効率的ではなく、現実問題として組み立て後の状態で輸送することは難しい。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−３３１０８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで本発明は、上記問題点を一挙に解決するためになされたものであり、折り畳み可能な測定機器用架台を提供して、組み立てを簡単にするだけでなく、輸送スペースをコンパクトにすることをその主たる所期課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
すなわち本発明に係る測定機器用架台は、測定機器を少なくとも水平面内において移動させる測定機器用架台であって、前記測定機器を長手方向に沿って移動させる長尺部材と、前記長尺部材の両端部それぞれに設けられ、前記長手方向とは異なる方向に前記長尺部材を移動させるためのガイドレールを有する一対の第１枠体とを備え、前記一方の第１枠体が他方の第１枠体に対して固定されていない状態において、前記長尺部材の両端部がそれぞれに対応する前記第１枠体のガイドレールに沿って互いに異なる方向に移動して前記第１枠体同士の間隔が拡縮するように構成されていることを特徴とする。
【０００８】
このようなものであれば、長尺部材を一対の第１枠体に連結した状態で折り畳むことができ、組み立て段階においては、第１枠体の間隔を拡げるだけで良いので、設置場所における架台の組み立てを容易にすることができる。また、折り畳んだ状態で輸送することにより、輸送スペースをコンパクトにすることができる。さらに、測定機器用架台を使用しない場合等において収納する場合にも、第１枠体同士の間隔を狭めて折り畳むことにより収納スペースをコンパクトにすることができ、再度使用する際の組み立ても容易である。
【０００９】
具体的に長尺部材を第１枠体に連結した状態で折り畳み可能にするためには、前記長尺部材の両端部が、前記ガイドレールに摺動自在に係合したスライド部材に対して鉛直方向に沿った回転軸周りに回転可能に連結されており、前記一方の第１枠体が他方の第１枠体に対して固定されていない状態において、前記長尺部材の両端部が前記回転軸周りに回転することにより、前記長尺部材の両端部がそれぞれに対応する前記第１枠体のガイドレールに沿って互いに異なる方向にスライドして前記第１枠体同士の間隔が拡縮するように構成されていることが望ましい。これならば、第１枠体を拡縮させる際にスライド部材に対して長尺部材が回転することにより、ガイドレール及びスライド部材に過度の力を与えにくくすることができ、ガイドレール及びスライド部材の故障を防止することができる。
【００１０】
また、前記ガイドレールの両側において前記長尺部材及び前記第１枠体の間に介在して設けられ、前記第１枠体が前記長尺部材に対して前記ガイドレールの延伸方向を回転中心とした回転を制限する回転制限部材を備えることが望ましい。これならば、第１枠体を拡縮させる際に、第１枠体が傾いてガイドレール及びスライド部材に応力がかかり故障してしまうことを防止することができる。また、第１枠体の傾きを抑えることができ、第１枠体の移動を容易にすることができる。
【００１１】
前記一対の第１枠体を連結固定して、各第１枠体に設けられたガイドレールを互いに平行にする第２枠体を備え、前記第２枠体が、前記第１枠体の両端部それぞれに設けられるものであり、一方の第１枠体の端部に回転可能に連結された第１フレームと、他方の第１枠体の端部に回転可能に連結された第２フレームと、前記第１フレーム及び前記第２フレームを連結固定する接続フレームとを備えることが望ましい。これならば、第２枠体によりガイドレールを互いに平行にすることができるだけでなく、その第２枠体を分担支持させることにより、各フレームを軽量化することができ、折り畳み時及び組み立て時の作業性を向上させることができる。また、第２枠体（各フレーム）が移動する際の通過領域を小さくすることができ、これによっても作業性を向上させることができる。さらに、第１フレーム及び第２フレームを接続フレームで連結することにより、接続フレームの長さによりガイドレールが平行となるように調整することができる。
【発明の効果】
【００１２】
このように構成した本発明によれば、折り畳み可能な測定機器用架台を提供して、組み立てを簡単にし、輸送スペース及び収納スペースをコンパクトにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の一実施形態に係る測定機器用架台の斜視図である。
【図２】同実施形態の測定機器用架台の平面図である。
【図３】同実施形態の測定機器用架台の側面図である。
【図４】同実施形態の測定機器用架台の正面図である。
【図５】長尺部材の端部のＡ−Ａ線断面図である。
【図６】長尺部材の端部の構成を示す側面図である。
【図７】同実施形態の第２枠体を折り畳んだ状態を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下に本発明に係る測定機器用架台１００の一実施形態について図面を参照して説明する。
【００１５】
本実施形態に係る測定機器用架台１００は、例えば液晶パネルに用いられるガラス基板や太陽電池に用いられるシリコン基板等の基板Ｗを検査する基板検査システムに用いられるものであり、架台内部に基板Ｗが載置された基板載置ステージ２００が配置されるものである。そして、測定機器用架台１００は、その基板載置ステージ２００に載置された基板Ｗ上で測定機器ＭＵを少なくとも水平面内で移動させるものである。なお、以下の説明及び図面においては、水平面はＸ軸方向及びＹ軸方向から形成される平面であり、鉛直方向をＺ軸方向とする。
【００１６】
具体的にこのものは、図１〜図４に示すように、測定機器ＭＵを支持する支持体２を長手方向（以下、Ｘ軸方向とも言う。）に沿ってスライド移動させる長尺部材３と、この長尺部材３の両端部それぞれに設けられ、長手方向と直交する方向（以下、Ｙ軸方向とも言う。）に長尺部材３をスライド移動させるためのガイドレール７１を有する一対の第１枠体４と、これら一対の第１枠体４を連結固定して、各第１枠体４に設けられたガイドレール７１をＹ軸方向に沿って互いに平行にする第２枠体５とを備えている。また、本実施形態の測定機器用架台１００は、第１枠体４及び第２枠体５により平面視概略矩形枠形状をなす（図２参照）。
【００１７】
支持体２は、特に図１に示すように、長尺部材３の上面及び／又は側面に設けられたガイドレール６１によってＸ軸方向にスライド可能に支持された支持体基部２１と、その支持体基部２１に図示しない移動機構によって鉛直方向（以下、Ｚ軸方向とも言う。）にスライド可能に支持された支持体本体２２（図１にのみ図示している。）とを備えている。この支持体本体２２には、例えば膜厚計等を構成する光源及び光検出器等の測定機器ＭＵを着脱可能に取り付けることができる。
【００１８】
支持体基部２１は、ガイドレール６１に摺動自在に係合するスライド部材６２上に固定されており、例えばタイミングベルト駆動、ボールねじ駆動又はリニアモータ駆動の駆動機構（不図示）により、Ｘ軸方向にスライド移動される。なお、ガイドレール６１、スライド部材６２及び駆動機構によりＸ軸移動機構６が形成される。
【００１９】
長尺部材３は、特に図２及び図４に示すように、Ｘ軸方向に延びる長尺状の部材であり、架台１００の組み立て後の状態におけるその長手方向をＸ軸方向としている。また、長尺部材３の左右両端部（Ｘ軸方向両端部）は、第１枠体４の上面に設けられたガイドレール７１に摺動自在に係合するスライド部材７２に接続されており、例えばタイミングベルト駆動、ボールねじ駆動又はリニアモータ駆動の駆動機構（不図示）によりＹ軸方向にスライド移動される。なお、ガイドレール７１、スライド部材７２及び駆動機構によりＹ軸移動機構７が形成される。
【００２０】
第１枠体４は、特に図３に示すように、側面視において（Ｘ軸方向から見て）概略矩形状をなすものであり、上面にＹ軸移動機構７のガイドレール７１が設けられると共に、下面に第１枠体４を移動させるためのキャスター４１と、第１枠体４を固定するための伸縮可能な脚要素４２が設けられている。そして、第１枠体４を移動させる際には、脚要素４２を床面から離間させ、第１枠体４を固定する際には、脚要素４２を床面に接触させる。
【００２１】
第２枠体５は、特に図２及び図４に示すように、各第１枠体４の前後両端部（Ｙ軸方向両端部）それぞれに設けられるものであり、一方の第１枠体４の両端部に回転可能に連結された第１フレーム５１と、他方の第１枠体４の両端部に回転可能に連結された第２フレーム５２と、前後それぞれにおいて前記第１フレーム５１及び前記第２フレーム５２を連結固定する接続フレーム５３とを備える。
【００２２】
第１フレーム５１及び第２フレーム５２は、例えば同一形状をなし、正面視において（Ｙ軸方向から見て）概略矩形状をなす。また、第１フレーム５１及び第２フレーム５２は、図２に示すように、第１枠体４の内側面に上下に対応する二対の留め具８Ａ、８Ｂにより連結されている。各留め具８Ａ、８Ｂは、鉛直方向に沿った回転軸により第１フレーム５１及び第２フレーム５２を回転可能にするものである。二対の留め具８Ａ、８Ｂにより第１フレーム５１及び第２フレーム５２を連結した場合には、第１フレーム５１及び第２フレーム５２は第１枠体４に連結固定された状態となり回転しない。このように二対の留め具８Ａ、８Ｂによって第１フレーム５１及び第２フレーム５２を固定することによって、第１枠体４に対する第１フレーム５１及び第２フレーム２の位置再現性を向上させることができると共に強度を大きくすることができる。
【００２３】
一方の留め具（内側の留め具）８Ａを解除することで他方の留め具（外側の留め具）８Ｂにより第１フレーム５１及び第２フレーム５２が第１枠体４に対して外側に回転可能となる。他方の留め具（外側の留め具）８Ｂを解除することで一方の留め具（内側の留め具）８Ａにより第１フレーム５１及び第２フレーム５２が第１枠体４に対して内側に回転可能となる。
【００２４】
これにより、測定機器用架台１００を折り畳む際には、外側の留め具８Ｂを解除して、第１フレーム５１及び第２フレーム５２を第１枠体４の内側面に沿うように折り畳む。一方、第１枠体４の間隔を広げた後、測定機器用架台１００内に基板載置ステージ２００を収容する際には、内側の留め具８Ａを解除して、第１フレーム５１及び第２フレーム５２を第１枠体４の外側に回転するように拡げる。
【００２５】
接続フレーム５３は、第１フレーム５１の自由端部（第１枠体４に接続される端部と反対側の端部）及び第２フレーム５２の自由端部（第１枠体４に接続される端部と反対側の端部）を連結するものである。この接続フレーム５３は、第１フレーム５１及び第２フレーム５２の上下それぞれを接続する２つの接続要素５３ａ、５３ｂを備えている。各接続要素５３ａ、５３ｂの端部は、第１フレーム５１又は第２フレーム５２それぞれに２点留めされており、水平面方向において、第１フレーム５１及び接続フレーム５３、第２フレーム５２及び接続フレーム５３の相対位置が変化しないように構成している。これにより、第１フレーム５１及び第２フレーム５２を接続フレーム５３により接続した状態で第１フレーム５１及び第２フレーム５２の相対位置が変化せず、一方の第１枠体４が他方の第１枠体４に対して相対位置が変化しない固定された状態となる。
【００２６】
しかして、長尺部材３の両端部が接続されるスライド部材７２は、図５及び図６に示すように、ガイドレール７１に摺動自在に係合したスライド本体７２１と、当該スライド本体７２１にガイドレール７１の延伸方向に沿った回転軸周りに回転可能に設けられ、前記長尺部材３の端部が連結される連結体７２２とを備えている。
【００２７】
スライド本体７２１及び連結体７２２は、ガイドレール７１の延伸方向に回転軸Ｊ１を有するリンク機構７２３により連結されている。このようにスライド部材７２がガイドレール７１の延伸方向に沿った回転軸Ｊ１周りに回転可能な連結体７２２を有することによって、長尺部材３をスライド部材７２に連結する際の第１枠体４の傾き及び高さ位置の誤差を吸収する誤差吸収構造を構成し、長尺部材３の第１枠体４への連結作業を簡単化している。
【００２８】
また、連結体７２２の下面には、ガイドレール７１を挟み込むように両側に設けられ、連結体７２２に連結された長尺部材３に対して第１枠体４がガイドレールの延伸方向（Ｙ軸方向）に沿った軸を回転中心とした上記回転を所定範囲内に制限する回転制限部材９が設けられている。
【００２９】
この回転制限部材９は、ガイドレール７１の両側に設けられ、長尺部材３に対して第１枠体４がＸ軸方向に傾いた場合（内側に傾いた場合又は外側に傾いた場合）に、第１枠体４の上面に接触して、第１枠体４が長尺部材３に対してそれ以上回転しないようにするものである。本実施形態の回転制限部材９は、連結体７２２の下面に設けられたキャスター部材により構成している。このキャスター部材９は、連結体７２２の前後において、ガイドレール７１の両側に設けられ、長尺部材３の各端部毎に計４個設けられている。また、長尺部材３及び第１枠体４が略直角状態（正常状態）の場合には、第１枠体４の上面には接触していない。これならば、第１枠体４を拡縮させる際に、第１枠体４が傾いてガイドレール７１及びスライド部材７２に応力がかかり故障してしまうことを防止することができ、その後の使用において支障をきたすことが無い。また、第１枠体４の傾きを抑えることができ、第１枠体４の移動を容易にすることができる。
【００３０】
そして長尺部材３の両端部は、スライド部材７２の連結体７２２に連結される。より詳細に長尺部材３の両端部は、鉛直方向に沿った回転軸Ｊ２周りに回転可能となるように、連結体７２２に連結される。具体的には図５及び図６に示すように、長尺部材３に設けられた貫通孔Ｈ１と連結体７２２に設けられた貫通孔Ｈ２とをねじＮ１により連結することにより、回転可能に連結されている。なお、測定機器用架台１００の使用時においては、長尺部材３及び連結体７２２とは図示しない固定部材によって回転軸Ｊ２周りに回転しないように固定される。
【００３１】
次にこのように構成した測定機器用架台１００の組み立て方法及び折り畳み方法について図７を参照して説明する。
【００３２】
まず、一対の第１枠体４を左右（Ｘ軸方向）に対向して配置する。このとき第１枠体４の上面にはＹ軸移動機構７のガイドレール７１及びスライド部材７２が設けられている。そして、左右に対向配置された一対の第１枠体４に架け渡すようにして、長尺部材３をスライド部材７２の連結板７２２上に載置して、長尺部材３に設けられた貫通孔と連結体に設けられた貫通孔とをねじＮ１により連結する。このとき、連結体７２２がＹ軸方向に沿った回転軸Ｊ１周りに回転可能に設けられていることから、第１枠体４の傾き及び高さ位置の誤差は吸収される。つまり、長尺部材３と第１枠体４とは、第１枠体４がＹ軸方向に沿った回転軸Ｊ１周りに回転可能に接触する接続部材を介して接続される。
【００３３】
また、一方の第１枠体４の前後端部（Ｙ軸方向端部）に第２枠体５の第１フレーム５１をそれぞれ連結し、他方の第１枠体４の前後端部（Ｙ軸方向端部）に第２枠体５の第２フレーム５２をそれぞれ連結する。このとき、各フレーム５１、５２は、第１枠体４に内側の留め具８Ａにより連結されて、第１枠体４の内側面に沿うように折り畳まれる（図７（Ａ）参照）。
【００３４】
次に、長尺部材３の両端部が回転軸Ｊ２回りに回転可能であることから、その両端部を、それぞれに対応する第１枠体４のガイドレール７１に沿って互いに異なる方向に外側にスライドさせて、第１枠体４同士の間隔を狭める。このとき、平面視において概略Ｚ字状（Ｎ字状とも言える。）となるように長尺部材３が第１枠体４に対して傾く。例えば図７（Ｂ）ように、長尺部材３の一端部（図７中の左側端部）が上方向にスライドする場合には、長尺部材３の他端部（図７中の右側端部）が上方向とは反対の下方向にスライドする。そして、折り畳み後の状態において、長尺部材３の両端部は、それぞれに対応する第１枠体４のガイドレール７１において、その延伸方向において互いに異なる端部に位置することになる。
【００３５】
その後、第１枠体４同士を図示しない部材により固定して輸送等する。なお、上記手順において、長尺部材３に設けられた支持体２はストッパ１０により固定されており、折り畳み作業中又は輸送中に支持体２が移動して故障しないようにしている。
【００３６】
次に、折り畳まれた状態の測定機器用架台１００の組み立てについて説明する。
まず、平面視において概略Ｚ字状に折り畳まれた測定機器用架台１００において、一方又は両方の第１枠体４を移動させて、第１枠体４同士の間隔を広げる。このとき、第１枠体４の下面に設けられたキャスター４１により第１枠体４の移動を容易にしている。
【００３７】
このとき、長尺部材３の両端部は、それぞれに対応する第１枠体４のガイドレール７１に沿って互いに異なる方向に内側にスライドする。つまり、前記折り畳み時とは逆に、平面視において第１枠体４に対して起立するようにスライドする。
【００３８】
その後、第１枠体４の内側面に沿うように折り畳まれた第２枠体５の第１フレーム５１及び第２フレーム５２を外側に広げる。このとき、第１枠体４同士の間に基板載置ステージ２００を搬入する。その後、第１フレーム５１及び第２フレーム５２の自由端部がそれぞれ向き合うようにして、接続フレーム５３により接続する。接続フレーム５３により第１フレーム５１及び第２フレーム５２を連結することにより、第１枠体４に設けられたガイドレール７１が平行となる。その後、支持体２を固定しているストッパ１０を取り外す。これによって支持体２に測定機器ＭＵを取り付けて測定機器用架台１００が使用可能になる。
【００３９】
また、測定機器用架台１００を例えば使用した後など、使用可能状態の測定機器用架台１００を折り畳む場合には、支持体２から測定機器ＭＵを取り外すと共に、支持体２をストッパ１０により長尺部材３に固定する。また、第２枠体５の接続フレーム５３を取り外すと共に内側の留め具８Ａを取り外して、第２枠体５の第１フレーム５１及び第２フレーム５２を外側に広げて、基板載置ステージ２００を搬出する。
【００４０】
その後、内側の留め具８Ａを取り付けると共に外側の留め具８Ｂを取り外して、第１フレーム５１及び第２フレーム５２を内側に移動させて第１枠体４の内側面に沿うように折り畳む。
【００４１】
その後、長尺部材３の両端部を、それぞれに対応する第１枠体４のガイドレール７１に沿って互いに異なる方向に外側にスライドさせて、平面視において概略Ｚ字状（Ｎ字状とも言える。）となるように第１枠体４同士の間隔を狭める。折り畳み後の状態において、長尺部材３の両端部は、それぞれに対応する第１枠体４のガイドレール７１において、その延伸方向において互いに異なる端部に位置することになる。これにより測定機器用架台１００は折り畳まれる。
【００４２】
＜本実施形態の効果＞
このように構成した本実施形態に係る測定機器用架台１００によれば、長尺部材３を一対の第１枠体４に連結した状態で折り畳まれており、組み立て段階においては、第１枠体４の間隔を拡げ、第２枠体５により第１枠体４を連結固定するだけで良いので設置場所における架台の組み立てを容易にすることができる。また、折り畳んだ状態で輸送することにより、輸送スペースをコンパクトにすることができる。さらに、測定機器用架台１００を使用しない等により収納する場合にも第１枠体４同士の間隔を狭めて折り畳むことにより、収納スペースをコンパクトにすることができ、再度使用する際の組み立ても容易である。
【００４３】
＜その他の変形実施形態＞
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
【００４４】
例えば、前記実施形態では、測定機器用架台をＺ字状（Ｎ字状）となるように折り畳む例を示しているが、その他逆Ｚ字状（逆Ｎ字状）に折り畳むようにしても良い。
【００４５】
また、前記実施形態では、第２枠体を第１枠体に内側の留め具により連結した状態で折り畳むものであったが、第２枠体を第１枠体から取り外した状態で、第１枠体及び長尺部材を折り畳むようにしても良い。
【００４６】
さらに、前記実施形態の第２枠体は、第１フレーム、第２フレーム及び接続フレームからなるものであったが、接続フレーム無しに第１フレーム及び第２フレームからなり、それら第１フレーム及び第２フレームを直接連結するものであっても良い。また、第２枠体が２以上のフレーム要素からなるものでなくても良く、１つの部材からなるものであっても良い。
【００４７】
その上、前記実施形態の第２枠体は、第１枠体の両端部それぞれに設けられるものであり、架台が平面視概略矩形枠状をなすものであったが、第２枠体の設置場所はこれに限られず、例えば一対の第１枠体の中央部同士を連結するものであっても良い。
【００４８】
また、測定機器用架台は、第２枠体を有さないものであっても良い。この場合、各第１枠体は例えば設置床に固定される。そして、少なくとも一方の第１枠体が設置床に固定されていない状態において、第１枠体同士の間隔が拡縮するように構成されていても良い。
【００４９】
加えて、回転制限部材は、スライド部材側に設けるものに限られず、第１枠体側に設けるようにしても良い。
【００５０】
さらにその上、前記実施形態では、長尺部材及び連結体の連結構造により、長尺部材の両端部が鉛直方向に沿った回転軸周りに回転可能に構成されているが、その他、長尺部材の両端部に又は連結体に鉛直方向に沿った回転軸周りに回転可能な構造を設けても良い。
【００５１】
また前記実施形態では、Ｘ軸移動機構のスライド部材に固定された支持体に測定機器を固定するようにしているが、Ｘ軸移動機構のスライド部材に直接測定機器を設け、そのスライド部材を支持体としても良い。
【００５２】
その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
【符号の説明】
【００５３】
１００・・・測定機器用架台
ＭＵ  ・・・測定機器
２    ・・・支持体
３    ・・・長尺部材
４    ・・・第１枠体
７    ・・・Ｙ軸移動機構
７１  ・・・ガイドレール
７２  ・・・スライド部材
５    ・・・第２枠体
５１  ・・・第１フレーム
５２  ・・・第２フレーム
５３  ・・・接続フレーム
Ｊ２  ・・・鉛直方向に沿った回転軸
９    ・・・回転制限部材
【図１】
2011107006.tif 000003
【図２】
2011107006.tif 000004
【図３】
2011107006.tif 000005
【図４】
2011107006.tif 000006
【図５】
2011107006.tif 000007
【図６】
2011107006.tif 000008
【図７】
2011107006.tif 000009