(57)【要約】【課題】高い捕捉能力を有し、流路抵抗が小さいフィルターを提供すること。【解決手段】流体中に存在する異物を捕捉するフィルターであって、前記流体の流入面及び流出面を有すると共に、前記流入面及び前記流出面のうち少なくとも一方に向けて突出するように形成された複数の湾曲部を有する基板と、前記湾曲部の突出方向とは異なる方向を向くように当該湾曲部に形成され、前記基板の前記流入面側と前記流出面側とを連通する開口部とを備える。【選択図】図４
2011230316.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体中に存在する異物を捕捉するフィルターであって、
前記流体の流入面及び流出面を有すると共に、前記流入面及び前記流出面のうち少なくとも一方に向けて突出するように形成された複数の湾曲部を有する基板と、
前記湾曲部の突出方向とは異なる方向を向くように当該湾曲部に形成され、前記基板の前記流入面側と前記流出面側とを連通する開口部と
を備えるフィルター。
【請求項２】
前記開口部は、前記突出方向と直交する方向に向けられる
請求項１に記載のフィルター。
【請求項３】
前記開口部は、各々の前記湾曲部に複数設けられる
請求項１又は請求項２に記載のフィルター。
【請求項４】
複数の前記開口部のうち２つは、対向して設けられる
請求項３に記載のフィルター。
【請求項５】
記録用の流体を通過させるとともに前記流体中に存在する異物を捕捉するフィルターの製造方法であって、
基板の複数の所定領域のうちそれぞれの一部を剪断すると共に複数の前記所定領域が前記基板の一方の面に凸状に湾曲するように複数の前記所定領域にそれぞれパンチを押圧し、前記基板の表面側と裏面側とを連通する複数の開口部を形成する開口部形成工程
を含むフィルターの製造方法。
【請求項６】
前記開口部形成工程では、前記所定領域の一部をそれぞれ直線状に剪断する
請求項５に記載のフィルターの製造方法。
【請求項７】
前記開口部形成工程では、それぞれ前記所定領域の複数の部分を剪断する
請求項５又は請求項６に記載のフィルターの製造方法。
【請求項８】
流体を噴射させる複数のノズル開口と、
前記ノズル開口へ前記流体を供給する流路と、
前記流路内に配置され、前記流体を通過させるとともに該流体中に存在する異物を捕捉する請求項１から４うちのいずれか一項に記載のフィルターと
を備える流体噴射ヘッド。
【請求項９】
前記湾曲部は、前記流体の流通方向の上流側に向けて突出して設けられている
請求項８に記載の流体噴射ヘッド。
【請求項１０】
前記湾曲部は、前記流体の流通方向の下流側に向けて突出して設けられている
請求項８に記載の流体噴射ヘッド。
【請求項１１】
複数のノズル開口から流体を噴射させる流体噴射ヘッドと、
前記流体噴射ヘッドに供給する前記流体を貯留する流体貯留部と、
前記流体貯留部から前記ノズル開口へ前記流体を供給する流路と、
前記流路内に配置され、前記流体を通過させるとともに該流体中に存在する異物を捕捉する請求項１から７のいずれかに記載のフィルターと
を備える流体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルター、フィルターの製造方法、流体噴射ヘッド及び流体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録ヘッドには、インク流路内への気泡進入および異物進入を防ぐためにフィルターが設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−０２３８２０号公報
【特許文献２】特開２００９−１９６２９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のフィルターとして、例えば高い捕捉能力を有しつつ流路抵抗が小さいフィルターが求められている。
【０００５】
本発明は、高い捕捉能力を有し、流路抵抗が小さいフィルター、フィルターの製造方法、流体噴射ヘッド及び流体噴射装置を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るフィルターは、流体中に存在する異物を捕捉するフィルターであって、前記流体の流入面及び流出面を有すると共に、前記流入面及び前記流出面のうち少なくとも一方に向けて突出するように形成された複数の湾曲部を有する基板と、前記湾曲部の突出方向とは異なる方向を向くように当該湾曲部に形成され、前記基板の前記流入面側と前記流出面側とを連通する開口部とを備えることを特徴とする。
【０００７】
このような構成によれば、基板に形成された複数の湾曲部が流入面及び流出面のうち少なくとも一方に向けて突出するように設けられており、当該湾曲部には湾曲部の突出方向とは異なる方向を向くように流入面側と流出面側とを連通する開口部が設けられているため、湾曲部において異物を捕捉しつつ、開口部から流体を流通させることができる。これにより、高い捕捉能力を有し、流路抵抗が小さいフィルターが得られる。
【０００８】
上記のフィルターは、前記開口部は、前記突出方向と直交する方向に向けられることが好ましい。  
このような構成によれば、開口部が湾曲部の突出方向と直交する方向に向けられるため、異物の流通を効率的に妨げることができる。これにより、高い捕捉能力を有するフィルターが得られる。
【０００９】
上記のフィルターは、前記開口部は、各々の前記湾曲部に複数設けられることが好ましい。  
このような構成によれば、開口部が各々の湾曲部に複数設けられるため、その分流体の流路抵抗を低減することができる。これにより、流路抵抗が小さいフィルターを得ることができる。
【００１０】
上記のフィルターは、複数の前記開口部のうち２つは、対向して設けられることが好ましい。  
このような構成によれば、複数の開口部のうち２つが対向して設けられるため、流体を流れやすくすることができる。これにより、流路抵抗が小さいフィルターを得ることができる。
【００１１】
本発明に係るフィルターの製造方法は、記録用の流体を通過させるとともに前記流体中に存在する異物を捕捉するフィルターの製造方法であって、基板の複数の所定領域のうちそれぞれの一部を剪断すると共に複数の前記所定領域が前記基板の一方の面に凸状に湾曲するように複数の前記所定領域にそれぞれパンチを押圧し、前記基板の表面側と裏面側とを連通する複数の開口部を形成する開口部形成工程を含むことを特徴とする。
【００１２】
このような構成によれば、基板の所定領域にパンチを押圧することにより、基板の表面側と裏面側とを連通する複数の開口部を一工程で形成することができる。これにより、高い捕捉能力を有し、流路抵抗が小さいフィルターを簡単な工程で効率的に製造することができる。
【００１３】
上記のフィルターは、前記開口部形成工程では、前記所定領域の一部をそれぞれ直線状に剪断することが好ましい。  
このような構成によれば、所定領域の一部を直線状に剪断するため、開口部が所定領域の突出方向と直交する方向に向きやすくすることができる。これにより、高い捕捉能力を有するフィルターを製造することができる。
【００１４】
上記のフィルターは、前記開口部形成工程では、それぞれ前記所定領域の複数の部分を剪断することが好ましい。  
このような構成によれば、所定領域の複数の部分を剪断するため、所定領域毎に開口部が複数の部分に形成されることになる。これにより、流路抵抗の低いフィルターを製造することができる。
【００１５】
本発明に係る流体噴射ヘッドは、流体を噴射させる複数のノズル開口と、前記ノズル開口へ前記流体を供給する流路と、前記流路内に配置され、前記流体を通過させるとともに該流体中に存在する異物を捕捉する本発明のフィルターとを備えることを特徴とする。
【００１６】
このような構成によれば、流体噴射ヘッド内の流路に上記フィルターを備えることで、流路抵抗を低く抑えつつ、流路内を流動する流体中に存在する異物を効果的に捕捉することが可能となる。これにより、ノズル開口の目詰まりが防止されて吐出不良をなくすことができる。
【００１７】
上記の流体噴射ヘッドは、前記湾曲部は、前記流体の流通方向の上流側に向けて突出して設けられていることが好ましい。  
このような構成によれば、湾曲部が流体の流通方向の上流側に向けて突出して設けられているので、流体中の異物が湾曲部によって捕捉されやすくなる。これにより、ノズル開口の目詰まりをより確実に防ぐことができる。
【００１８】
上記の流体噴射ヘッドは、前記湾曲部は、前記流体の流通方向の下流側に向けて突出して設けられていることが好ましい。  
このような構成によれば、湾曲部が流体の流通方向の下流側に向けて突出して設けられているので、流体が湾曲に沿って流通しやすくなる。これにより、吐出性能の高い流体噴射ヘッドを得ることができる。
【００１９】
本発明に係る流体噴射装置は、複数のノズル開口から流体を噴射させる流体噴射ヘッドと、前記流体噴射ヘッドに供給する前記流体を貯留する流体貯留部と、前記流体貯留部から前記ノズル開口へ前記流体を供給する流路と、前記流路内に配置され、前記流体を通過させるとともに該流体中に存在する異物を捕捉する本発明のフィルターとを備えることを特徴とする。
【００２０】
このような構成によれば、ノズル開口に接続される流路内に本発明のフィルターを備えているため、流路抵抗を低く抑えながら異物の除去を効果的に行うことができ、ノズルの目詰まりを防止することができる。これにより、吐出不良を発生させることなく良好な吐出を行うことができる高品質な流体噴射装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施の形態に係るプリンターの全体構成を示す平面図。
【図２】本実施形態のプリンターにおける記録ヘッドの構成を説明する断面図。
【図３】本実施形態の記録ヘッドの周辺における要部構成を示す模式図。
【図４】本実施形態に係るフィルターの構成を示す図。
【図５】本実施形態に係るフィルターの一部の構成を示す平面図。
【図６】本実施形態に係るフィルターの製造工程を説明する図。
【図７】本実施形態の変形例を示す断面図。
【図８】本実施形態の比較例及び変形例を示す断面図。
【図９】本実施形態の変形例を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態につき、図面を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。まず、本発明に係る流体噴射装置の一実施形態であるプリンターについて述べる。図１は、プリンターの全体構成を示す平面図である。
【００２３】
本実施形態のプリンター１００は、プリンター本体５と、インクカートリッジからなるメインタンク６（流体貯留部）と、サブタンク２および記録ヘッド３（流体噴射ヘッド置）を搭載したキャリッジ４と、を備えて概略構成されている。
【００２４】
プリンター本体５には、キャリッジ４を往復移動させるキャリッジ移動機構（図示略）と、記録紙（図示略）を搬送する紙送り機構（図示略）と、記録ヘッド３に供給するインクを貯留（収容）したメインタンク６とが設けられている。
【００２５】
キャリッジ移動機構は、プリンター本体の幅方向に架設されたガイド軸８と、パルスモーター９と、パルスモーター９の回転軸に接続されたこのパルスモーター９によって回転駆動される駆動プーリー１０と、駆動プーリー１０とはプリンター本体５の幅方向の反対側に設けられた遊転プーリー１１と、駆動プーリー１０と遊転プーリー１１との間に架け渡されてキャリッジ４に接続されたタイミングベルト１２と、から構成されている。
【００２６】
このような構成のもとに、パルスモーター９を駆動することにより、キャリッジ４がガイド軸８に沿って主走査方向に往復移動するようになっている。また、紙送り機構は、紙送りモーターやこの紙送りモーターによって回転駆動される紙送りローラー（いずれも図示せず）等から構成され、記録紙を記録（印字・印刷）動作に連動させてプラテン上に順次送り出すようになっている。
【００２７】
図２は、本実施形態のプリンター１００における記録ヘッドの構成を説明する断面図である。図２に示すように、本実施形態における記録ヘッド３は、導入針ユニット１７、ヘッドケース１８、流路ユニット１９およびアクチュエータユニット２０を主な構成要素としている。
【００２８】
導入針ユニット１７の上面にはフィルター５０を介在させた状態で２本のインク導入針２２が横並びで取り付けられている。これらのインク導入針２２には、サブタンク２がそれぞれ装着される。また、導入針ユニット１７の内部には、各インク導入針２２に対応したインク導入路２３が形成されている。
【００２９】
このインク導入路２３の上端はフィルター５０を介してインク導入針２２に連通し、下端はパッキン２４を介してヘッドケース１８内部に形成されたケース流路２５と連通する。
【００３０】
サブタンク２は、ポリプロピレン等の樹脂製材料によって成型されている。このサブタンク２には、インク室２７となる凹部が形成され、この凹部の開口面に透明な弾性シート２６を貼設してインク室２７が区画されている。
【００３１】
また、サブタンク２の下部にはインク導入針２２が挿入される針接続部２８が下方に向けて突設されている。サブタンク２におけるインク室２７は、底の浅いすり鉢形状をしており、その側面における上下中央よりも少し下の位置には、針接続部２８との間を連通する接続流路２９の上流側開口が臨んでいる。また、インク室２７の上流側には、タンク部フィルタ（不図示）が設けられている。針接続部２８の内部空間にはインク導入針２２が液密に嵌入されるシール部材３１が嵌め込まれている。
【００３２】
このサブタンク２には、インク室２７に連通するインク流入口（不図示）が突設されている。このインク流入口には、メインタンク６に貯留されたインクを供給するインク供給チューブ３４が接続され、インク供給チューブ３４を通ってきたインクがこのインク室２７に流入するようになっている。本実施形態に係るプリンター１００は、２つのメインタンク６を備えており、それぞれが対応するサブタンク２に上記インク供給チューブ３４を介して接続されている。なお、メインタンク６の数はこれに限らない。
【００３３】
図２に示した上記弾性シート２６は、インク室２７を収縮させる方向と膨張させる方向とに変形可能である。そして、この弾性シート２６の変形によるダンパ機能によって、インクの圧力変動が吸収される。すなわち、弾性シート２６の作用によってサブタンク２が圧力ダンパとして機能する。したがって、インクは、サブタンク２内で圧力変動が吸収された状態で記録ヘッド３側に供給されるようになっている。
【００３４】
ヘッドケース１８は、合成樹脂製の中空箱体状部材であり、下端面に流路ユニット１９を接合し、内部に形成された収容空部３７内にアクチュエータユニット２０を収容し、流路ユニット１９側とは反対側の上端面にパッキン２４を介在した状態で導入針ユニット１７を取り付けるようになっている。
【００３５】
このヘッドケース１８の内部には、高さ方向を貫通してケース流路２５が設けられている。このケース流路２５の上端は、パッキン２４を介して導入針ユニット１７のインク導入路２３と連通するようになっている。
【００３６】
また、ケース流路２５の下端は、流路ユニット１９内の共通インク室４４に連通するようになっている。したがって、インク導入針２２から導入されたインクは、インク導入路２３およびケース流路２５を通じて共通インク室４４側に供給される。
【００３７】
図３は、本実施形態を説明するための、記録ヘッド３の周辺における要部構成を示す模式図である。図３に示すように、合成樹脂のヘッドケース１８を有したもので、このヘッドケース１８の下端面に流路ユニット１９を接合し、ヘッドケースの内部にアクチュエータユニット２０を収容し、流路ユニット１９側とは反対側の上端面側に上記インク導入路２３が接続されるようになっている。
【００３８】
ヘッドケース１８の内部には、高さ方向を貫通してケース流路２５が設けられている。このケース流路２５の上端は上記インク導入路２３に連通し、下端は流路ユニット１９内の共通インク室４４に連通するようになっている。したがって、インク導入路２３から導入されたインクは、ケース流路２５を通じて共通インク室４４側に供給されるようになっている。
【００３９】
アクチュエータユニット２０は、櫛歯状に列設された複数の圧電振動子３８と、この圧電振動子に接合される固定板３９と、プリンター本体側からの駆動信号を圧電振動子３８に供給する配線部材としてのフレキシブルケーブル４０とから構成されている。各圧電振動子３８は、固定端部側が固定板３９上に接合され、自由端部側が固定板３９の先端面よりも外側に突出している。すなわち、各圧電振動子３８は、いわゆる片持ち梁の状態で固定板３９上に取り付けられている。
【００４０】
固定板３９は、圧電振動子３８を支持するもので、例えば厚さ１ｍｍ程度のステンレス鋼によって構成されている。アクチュエータユニット２０は、固定板３９の背面を、収容空部３７を区画するケース内壁面に接着することで収容空部３７に収納・固定されている。
【００４１】
流路ユニット１９は、振動板４１、流路基板４２およびノズル基板４３からなる流路ユニット構成部材が、積層された状態で一体化されて作製されたもので、共通インク室４４からインク供給口４５および圧力室４６を通りノズル開口４７ａに至るまでの一連のインク流路を形成する部材である。圧力室４６は、ノズル開口４７ａの列設方向（ノズル列方向）に対して直交する方向に細長い室として形成されており、それぞれに対向する圧電振動子３８を備えて鋳る。
【００４２】
共通インク室４４は、上記インク導入路２３に連通してサブタンク側からのインクが導入される室である。この共通インク室４４に導入されたインクは、インク供給口４５を通じて各圧力室４６に分配供給されるようになっている。
【００４３】
流路ユニット１９の底部に配列されるノズル基板４３は、ドット形成密度に対応したピッチ（例えば１８０ｄｐｉ）で複数のノズル開口４７ａを列状に開設した金属製の薄い板材である。ノズル基板４３の表面には、複数のノズル開口４７ａが形成されており、このようなノズル開口４７ａを形成したノズル基板４３の表面により、ノズル開口４７ａが構成されている。
【００４４】
流路基板４２は、結晶性を有する基材であるシリコンウェハを異方性エッチング処理することによって作製されている。振動板４１は、ステンレス鋼等の金属製の支持板上に弾性フィルムをラミネート加工した二重構造の複合板材である。この振動板４１の圧力室４６に対応する部分には、エッチングなどによって支持板を環状に除去することで、圧電振動子３８の先端面が接合される島部４８が形成されている。この部分は、ダイヤフラム部として機能するようになっている。すなわち、この振動板４１は、圧電振動子３８の作動に応じて島部４８の周囲の弾性フィルムが弾性変形するように構成されている。
【００４５】
また、振動板４１は、流路基板４２の一方の開口面を封止し、コンプライアンス部４９としても機能するようになっている。このコンプライアンス部４９に相当する部分については、ダイヤフラム部と同様に、エッチングなどにより支持板を除去して弾性フィルムだけにしている。
【００４６】
このような記録ヘッド３において、フレキシブルケーブル４０を通じて駆動振動が圧電振動子３８に供給されると、この圧電振動子３８が素子長手方向に伸縮し、これに伴い島部４８が圧力室４６に近接する方向あるいは離間する方向に移動する。これにより、圧力室４６の容積が変化し、圧力室４６内のインクに圧力変動が生じる。この圧力変動によってノズル４７からインク滴Ｄが吐出される。
【００４７】
図４（ａ）は、フィルター５０の構成を示す平面図である。図４（ｂ）は、図４（ａ）のＡ−Ａ断面に沿った構成を示す図である。図４（ｃ）は、フィルター５０の一部を拡大して示す図である。
【００４８】
図４（ａ）〜図４（ｃ）に示すように、フィルター５０は、インクを通過させるとともにインク中に存在する異物（物質）を捕捉する。フィルター５０は、湾曲部Ｃ及び開口部Ｈが設けられた基板Ｓを備えている。フィルター５０は、例えばインク導入針２２の内壁面に固定されている。
【００４９】
基板Ｓは、例えばステンレス鋼（ＳＵＳ）などを用いて形成されている。基板Ｓの厚さは、例えば１０〜２０μｍの範囲に形成されている。基板Ｓには、複数の湾曲部Ｃが形成されている。湾曲部Ｃは、例えば基板Ｓの表面Ｓａに向けて突出するように湾曲されて形成されている。湾曲部Ｃの一部は、基板Ｓに対して剪断された状態になっている。この剪断部分には、開口部Ｈが形成されている。
【００５０】
複数の湾曲部Ｃは、例えば基板Ｓのほぼ全面に亘って形成されている。これらの湾曲部Ｃは、例えば所定のピッチで一列に配置されており、当該湾曲部Ｃの列が複数列設けられた構成になっている。また、本実施形態では、隣接する湾曲部Ｃの列同士の間において、湾曲部Ｃが半ピッチ分ずれた位置に配置されるように設けられている。勿論、湾曲部Ｃの配置は上記の例に限られるものでは無く、例えばマトリクス状に配置された構成であっても構わない。
【００５１】
開口部Ｈは、基板Ｓの表面Ｓａと当該基板Ｓの裏面Ｓｂとを連通するように形成されている。開口部Ｈは、例えば湾曲部Ｃの突出方向（基板Ｓの表面Ｓａに垂直な方向）とは異なる方向、本実施形態では例えば湾曲部Ｃの突出方向と直交する方向（表面Ｓａに平行な方向）に向けて形成されている。このため、例えば図４（ａ）のように表面Ｓａ側から基板Ｓを見たときには、当該開口部Ｈが湾曲部Ｃに隠れるように配置されることになる。
【００５２】
また、図４（ｃ）に示すように、開口部Ｈは、例えば台形状に形成されている。開口部Ｈの形状は、台形状には限られず、他の形状であっても構わない。このような形状として、例えば楕円形、ひし形、平行四辺形、多角形などが挙げられる。開口部Ｈの開口面積は、例えば基板Ｓの厚みやインクの種類等に応じて設定される。
【００５３】
図５は、フィルター５０の設置状態を示す図である。  
上記の基板Ｓは、例えば図５（ａ）に示すように、湾曲部Ｃの突出方向がインクの流通方向の上流側となるように配置することができる。この場合、インクは基板Ｓの表面Ｓａ側に流れ込み、開口部Ｈを介して裏面Ｓｂに流通して裏面Ｓｂ側から流出する。このように、基板Ｓの表面Ｓａがインクの流入面となり、裏面Ｓｂがインクの流出面となる。
【００５４】
また、例えば図５（ｂ）に示すように、湾曲部Ｃの突出方向がインクの流通方向の下流側となるように配置することもできる。この場合、インクは基板Ｓの裏面Ｓｂ側に流れ込み、開口部Ｈを介して表面Ｓａに流通して表面Ｓａ側から流出する。このように、基板Ｓの裏面Ｓｂがインクの流入面となり、表面Ｓａがインクの流出面となる。
【００５５】
次に、フィルター５０の製造方法について述べる。図６（ａ）〜図６（ｆ）は、フィルター５０の製造工程を説明する図である。  
図６（ａ）に示すように、まず、厚さ２０μｍのＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）からなるダイレス材５０２を配置させ、その上に厚さ１５μｍのステンレス鋼の基板Ｓを載置する。
【００５６】
次に、基板Ｓの表面Ｓａ上にパンチユニットＰＵを配置させる。パンチユニットＰＵは、例えば図６（ｆ）に示すように、基部５０３ｓ及びパンチ５０３を有する。ここでは、例えばパンチ５０３と基板Ｓの所定領域ＡＲとの位置を合わせつつパンチユニットＰＵを配置させる。基部５０３ｓは、例えば平板状に形成されている。パンチ５０３は、基部５０３ｓの一の面に設けられており、基部５０３ｓの平坦面に対して突出するように形成されている。
【００５７】
パンチ５０３は、湾曲して形成された第一面５０３ａと、基部５０３ｓの平坦面に対して垂直に台形状に形成された第二面５０３ｂと、第一面５０３ａの側方に一対設けられた第三面５０３ｃとを有している。パンチ５０３の外形の寸法は、例えばフィルター５０の湾曲部Ｃの寸法及び形状に対応している。図６（ａ）〜図６（ｆ）では、説明の簡単のため、基部５０３ａ上に１つのパンチ５０３が設けられた状態が示されているが、実際には、複数のパンチ５０３が形成されている。
【００５８】
次に、図６（ｂ）に示すように、パンチ５０３を基板Ｓの所定領域ＡＲ内に打ち込む（開口部形成工程）。この打ち込みにより、基板Ｓの所定領域ＡＲの一部ＳＨが例えばパンチ５０３の第二面５０３ｂの形状に沿って直線状に剪断される。同時に、所定領域ＡＲのうち剪断部分ＳＨから基板Ｓの裏面Ｓｂに対して凸状に湾曲するように押し曲げられ、湾曲部Ｃが形成される。また、剪断部分ＳＨと湾曲部Ｃとによって開口部Ｈが形成されることとなる。上述したように、パンチユニットＰＵの基部５０３ｓには複数のパンチ５０３が形成されているため、当該工程においては、基板Ｓに複数の開口部Ｈが同時に形成されることとなる。そして、図６（ｃ）に示すように、パンチユニットＰＵのパンチ５０３を基板Ｓから抜き取ることにより、湾曲部Ｃ及び開口部Ｓを有する基板Ｓが得られる。
【００５９】
なお、ダイレス材５０２としては、ＰＣ（ポリカーボネイト）、ＰＯＭ（ポリ汗タール）、ＡＢＳ（ＡＢＳ樹脂）、ＰＰＳ（ポリフェニンサルファイド）等を用いることが可能であり、硬さは、基板Ｓの厚さや開口部Ｈのピッチ等により、種々選択することが可能である。
【００６０】
このように、本実施形態によれば、基板Ｓに形成された複数の湾曲部Ｃが流入面Ｓａ（又はＳｂ）及び流出面Ｓｂ（又はＳａ）のうち少なくとも一方に向けて突出するように設けられており、当該湾曲部Ｃには湾曲部Ｃの突出方向とは異なる方向を向くように流入面側と流出面側とを連通する開口部Ｈが設けられているため、湾曲部Ｃにおいて異物を捕捉しつつ、開口部Ｈから流体を流通させることができる。これにより、高い捕捉能力を有し、流路抵抗が小さいフィルター５０が得られる。
【００６１】
本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。  
例えば、上記実施形態では、湾曲部Ｃに対して開口部Ｈが１つずつ設けられた構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば、図７（ａ）及び図７（ｂ）に示すように、１つの湾曲部Ｃに対して開口部Ｈが２つ設けられた構成としても構わない。
【００６２】
図７（ａ）及び図７（ｂ）に示す構成では、基板Ｓに対してＵ字状に突出するように湾曲部Ｃが形成されている。湾曲部Ｃは、例えば帯状に形成されており、幅方向（長手方向に直交する方向）の両端にそれぞれ開口部Ｈ１及びＨ２が形成されている。開口部Ｈ１及びＨ２は、対向して配置されている。基板Ｓの表面Ｓａと裏面Ｓｂとの間は、開口部Ｈ１及びＨ２の２箇所において連通されている。
【００６３】
このような湾曲部Ｃを形成する場合、例えば図７（ｃ）に示すようなパンチユニットＰＵを用いるようにする。このパンチユニットＰＵに設けられるパンチ５０３は、基部５０３ｓに対して湾曲するように帯状に突出して形成された第一面５０３ｅと、当該第一面５０３ｅの側方に形成された第二面５０３ｂとを有している。このパンチユニットＰＵを基板Ｓに対して打ち込むことにより、第二面５０３ｂに沿って基板Ｓの所定領域（湾曲部Ｃが形成される領域）の２箇所ＳＨ１及びＳＨ２（図７（ｂ）参照）を剪断することができる。このようにして、上記の湾曲部Ｃ、開口部Ｈ１及びＨ２を形成することができる。
【００６４】
このように、１つの湾曲部Ｃに対して複数の開口部Ｈ１及びＨ２が設けられるため、インクの流路抵抗をその分、低減することができる。これにより、流路抵抗が小さいフィルター５０を得ることができる。また、開口部Ｈ１及びＨ２が対向して設けられるため、流体を流れやすくすることができる。これにより、流路抵抗を更に小さくすることができる。
【００６５】
ここで、例えば図８（ａ）に示すように、第一の開口面積（Ｒ１）を有する貫通孔Ｈ３３を打ち抜き形成したフィルター５００においては、貫通孔Ｈ３３の内壁との間で摩擦抵抗を発生させつつインクがフィルター５００を通過することになる。このため、開口面積あたりのインクの圧力損失が大きくなってしまう。
【００６６】
これに対して、上記構成においては、第二の開口面積（Ｒ２）を有する複数の開口部Ｈ１及びＨ２が設けられる構成としたことにより、図８（ｂ）に示すように、インクは開口部Ｈ１及びＨ２の縁部分に接触してフィルター５０を通過することになる。このため、フィルター５０を通過する際のインクとフィルター５０との間の摩擦抵抗が抑えられることになるため、図８（ａ）に示す構成に比べると、開口面積あたりのインクの圧力損失が低下することになる。
【００６７】
また、上記実施形態では、湾曲部Ｃが例えば基板Ｓのほぼ全面に亘って形成された構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無く、基板Ｓの一部分に湾曲部Ｃが形成された構成であっても構わない。例えば図９に示すように、フィルター５０の周縁部に湾曲部Ｃを形成し、フィルター５０の中央部には例えば開口部Ｈａを形成する構成であっても構わない。この場合、周縁部の湾曲部Ｃに設けられる開口部Ｈが基板Ｓの中央部を向くようにする。この構成によれば、周縁部に設けられる開口部Ｈにより、インクを整流させることができる。
【００６８】
また、上記実施形態においては、フィルター５０が１枚の基板Ｓを有する構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無く、例えばフィルター５０として複数の基板Ｓを有する構成であっても構わない。この場合、複数の基板Ｓがインクの流通方向に積層された構成とすることができる。複数の基板Ｓの配置については、各基板Ｓが接触している構成としても構わないし、基板Ｓ同士を話して配置させても構わない。
【符号の説明】
【００６９】
Ｈ、Ｈ１、Ｈ２…開口部  Ｓ…基板  Ｃ…湾曲部  ＰＵ…パンチユニット  Ｓａ…表面（流入面又は流出面）  Ｓｂ…裏面（流出面又は流入面）  ＳＨ…剪断部分  ２…サブタンク  ３…記録ヘッド  ５０…フィルター  １００…プリンター  ＡＲ…所定領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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