(57)【要約】【課題】液体噴射ヘッド本体のノズル開口の相対位置を高精度に位置決めするための位置決めプレートが液体噴射ヘッドから剥離することを防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】ノズル開口１１を有するヘッド本体１０と、ヘッド本体１０をベースプレート２０に取り付けるサブプレート３０と、位置決めプレート５０と、位置決めピン２３が配置されたベースプレート２０とを備えるヘッド１の製造方法であって、位置決めプレート５０の一方面に凸部５３を設け、位置決めプレート５０をノズル開口１１を基準とする所定位置に配置し、凸部５３とサブプレート３０との間を瞬間接着剤５６で固定し、開口縁部５４とサブプレート５７との間を接着剤５７で固定する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するノズル開口を有する液体噴射ヘッド本体と、前記液体噴射ヘッド本体の前記ノズル開口を基準とした所定位置に配置された位置決めプレートと、前記位置決めプレートに位置決めされる位置決め部が所定位置に配置されたベースプレートとを備え、前記位置決めプレートが前記位置決め部に位置決めされることで複数の液体噴射ヘッド本体が前記ベースプレートの所定位置に配置された液体噴射ヘッドの製造方法であって、
各液体噴射ヘッド本体に位置決めプレートを設ける第１の工程と、
各液体噴射ヘッド本体に設けられた位置決めプレートを前記位置決め部に位置決めし、各液体噴射ヘッド本体を前記ベースプレートに取り付ける第２の工程とを備え、
前記第１の工程では、
前記液体噴射ヘッド本体の前記ノズル開口を基準とした所定位置に前記位置決めプレートを配置し、
前記位置決めプレートの第１の領域を瞬間接着剤で前記所定位置に仮固定し、
前記位置決めプレートの第２の領域を接着剤で前記所定位置に固定する
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載する液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記第２の領域は、前記位置決めプレートの前記液体噴射ヘッド本体に取り付けられる面の外縁部であり、
前記第１の領域は、前記位置決めプレートの前記外縁部以外の領域において突出した凸部であり、
前記第１の工程では、
前記凸部を瞬間接着剤で前記所定位置に仮固定し、
前記外縁部を接着剤で前記所定位置に固定する
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
請求項１に記載する液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記第２の領域は、前記位置決めプレートの前記液体噴射ヘッド本体に取り付けられる面に設けられた凹部であり、
前記第１の領域は、前記位置決めプレートの前記凹部の開口縁部であり、
前記位置決めプレートには、一方面から他方面に貫通して前記凹部に連通する注入孔が設けられ、
前記第１の工程では、
前記凹部の開口縁部を瞬間接着剤で前記所定位置に仮固定し、
前記注入孔に接着剤を注入し、当該接着剤で前記凹部を前記所定位置に固定する
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項４】
請求項１に記載する液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記位置決めプレートの一方面には、溝で分断された前記第１の領域及び前記第２の領域が設けられ、
前記第１の工程では、
前記位置決めプレートを前記所定位置に配置した状態を保持する治具で当該位置決めプレートを保持し、
前記第１の領域を瞬間接着剤で前記所定位置に仮固定し、
前記第２の領域を接着剤で前記所定位置に固定する
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項５】
液体を吐出するノズル開口を有する液体噴射ヘッド本体と、
位置決めプレートに位置決めされる位置決め部が所定位置に配置されたベースプレートと、
前記液体噴射ヘッド本体の前記ノズル開口を基準とした所定位置に配置された位置決めプレートとを備え、
前記位置決めプレートが前記位置決め部に位置決めされることで複数の液体噴射ヘッド本体が前記ベースプレートの所定位置に配置された液体噴射ヘッドであって、
前記位置決めプレートは、瞬間接着剤及び接着剤で液体噴射ヘッド本体に固定されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項６】
請求項５に記載する液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドの製造方法、インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット式プリンターやプロッター等のインクジェット式記録装置に代表される液体噴射装置は、カートリッジやタンク等に貯留されたインクなどの液体を液滴として噴射可能な液体噴射ヘッド本体が複数設けられた液体噴射ヘッド（以下、ヘッドとも言う）を具備する。
【０００３】
複数の液体噴射ヘッド本体は、共通の保持部材であるベースプレートに載置されており、複数の液体噴射ヘッド本体の配置は、各液体噴射ヘッド本体のノズル開口が並設されたノズル列が並設方向に連続するように行われる。
【０００４】
具体的には、ベースプレートに、液体噴射ヘッド本体を所定の位置に配置するための基準である位置決めピンを設け、当該位置決めピンが挿通される基準である位置決め孔を有する位置決めプレートを、各液体噴射ヘッド本体のノズルを基準とした所定位置に設ける。位置決め孔に位置決めピンを挿通することで、各液体噴射ヘッド本体は、ノズル列同士の相対的な位置が高精度に位置決めされた状態でベースプレートに取り付けられる（例えば特許文献１参照）。
【０００５】
位置決めプレートを液体噴射ヘッド本体に設ける際には、例えば、ノズル開口と位置決めプレートとを撮影した像を確認しながら、ノズル開口と位置決めプレートとの相対位置が所定の配置となるように位置決めプレートの位置を調整するアライメントを行い、その位置を維持した状態で位置決めプレートを液体噴射ヘッド本体に固定する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２０１０−０３０２９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述したアライメントにより位置調整された位置決めプレートを液体噴射ヘッド本体に瞬間接着剤で固定すると、衝撃等で位置決めプレートが剥離してしまうという問題がある。位置決めプレートの剥離により、液体噴射ヘッド本体の相対位置を高精度に位置決めしてベースプレートに取り付けることができなくなってしまう。
【０００８】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑み、液体噴射ヘッド本体のノズル開口の相対位置を高精度に位置決めするための位置決めプレートが液体噴射ヘッドから剥離することを防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を吐出するノズル開口を有する液体噴射ヘッド本体と、前記液体噴射ヘッド本体の前記ノズル開口を基準とした所定位置に配置された位置決めプレートと、前記位置決めプレートに位置決めされる位置決め部が所定位置に配置されたベースプレートとを備え、前記位置決めプレートが前記位置決め部に位置決めされることで複数の液体噴射ヘッド本体が前記ベースプレートの所定位置に配置された液体噴射ヘッドの製造方法であって、各液体噴射ヘッド本体に位置決めプレートを設ける第１の工程と、各液体噴射ヘッド本体に設けられた位置決めプレートを前記位置決め部に位置決めし、各液体噴射ヘッド本体を前記ベースプレートに取り付ける第２の工程とを備え、前記第１の工程では、前記液体噴射ヘッド本体の前記ノズル開口を基準とした所定位置に前記位置決めプレートを配置し、前記位置決めプレートの第１の領域を瞬間接着剤で前記所定位置に仮固定し、前記位置決めプレートの第２の領域を接着剤で前記所定位置に固定することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
かかる態様では、位置決めプレートを所定位置に配置した後、瞬間接着剤及び接着剤で強固に固定することができる。これにより、位置決めプレートがずれたり、剥離してしまうことが防止され、各液体噴射ヘッド本体が高精度に配置された状態を維持し、高品質な印刷を行うことができる液体噴射ヘッドを製造することができる。
【００１１】
ここで、前記第２の領域は、前記位置決めプレートの前記液体噴射ヘッド本体に取り付けられる面の外縁部であり、前記第１の領域は、前記位置決めプレートの前記外縁部以外の領域において突出した凸部であり、前記第１の工程では、前記凸部を瞬間接着剤で前記所定位置に仮固定し、前記外縁部を接着剤で前記所定位置に固定することが好ましい。これによれば、接着剤により瞬間接着剤を外気から遮断し、高温高湿環境においても接着剤の接着力が低下することを防止できる。
【００１２】
また、前記第２の領域は、前記位置決めプレートの前記液体噴射ヘッド本体に取り付けられる面に設けられた凹部であり、前記第１の領域は、前記位置決めプレートの前記凹部の開口縁部であり、前記位置決めプレートには、一方面から他方面に貫通して前記凹部に連通する注入孔が設けられ、前記第１の工程では、前記凹部の開口縁部を瞬間接着剤で前記所定位置に仮固定し、前記注入孔に接着剤を注入し、当該接着剤で前記凹部を前記所定位置に固定することが好ましい。これによれば、開口縁部よりも広い開口面積を有する凹部に接着剤を充填して固定するので、位置決めプレートをより強固に固定することができる。
【００１３】
また、前記位置決めプレートの一方面には、溝で分断された前記第１の領域及び前記第２の領域が設けられ、前記第１の工程では、前記位置決めプレートを前記所定位置に配置した状態を保持する治具で当該位置決めプレートを保持し、前記第１の領域を瞬間接着剤で前記所定位置に仮固定し、前記第２の領域を接着剤で前記所定位置に固定することが好ましい。これによれば、治具で位置決めプレートを所定位置に配置した状態で、同じ作業で仮固定と本固定とを行うことができるので、作業効率を向上することができる。
【００１４】
また、本発明の他の態様は、液体を吐出するノズル開口を有する液体噴射ヘッド本体と、位置決めプレートに位置決めされる位置決め部が所定位置に配置されたベースプレートと、前記液体噴射ヘッド本体の前記ノズル開口を基準とした所定位置に配置された位置決めプレートとを備え、前記位置決めプレートが前記位置決め部に位置決めされることで複数の液体噴射ヘッド本体が前記ベースプレートの所定位置に配置された液体噴射ヘッドであって、前記位置決めプレートは、瞬間接着剤及び接着剤で液体噴射ヘッド本体に固定されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。かかる態様では、位置決めプレートがずれたり、剥離してしまうことが防止され、各液体噴射ヘッド本体が高精度に配置された状態を維持し、高品質な印刷を行うことができる液体噴射ヘッドが提供される。
【００１５】
また、本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。かかる態様では、高品質な印刷を行うことができる液体噴射装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施形態１に係るヘッドの概略斜視図である。
【図２】実施形態１に係るヘッド本体の概略斜視図である。
【図３】実施形態１に係るヘッドの平面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ線断面図である。
【図５】実施形態１に係る位置決めプレートの平面図、背面図、断面図である。
【図６】位置決めプレートを配置・接着する工程の側面図及び要部断面図である。
【図７】実施形態２に係る位置決めプレートの平面図、背面図、断面図である。
【図８】位置決めプレートを配置・接着する工程の側面図及び要部断面図である。
【図９】実施形態３に係る位置決めプレートの平面図、背面図、断面図である。
【図１０】位置決めプレートを配置・接着する工程の側面図及び要部断面図である。
【図１１】液体噴射装置の概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
〈実施形態１〉
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略斜視図であり、図２は、当該インクジェット式記録ヘッドに設けられるヘッド本体の概略斜視図であり、図３は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの平面図であり、図４は、図３のＡ−Ａ線断面図である。
【００１８】
図示するように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１（以下、ヘッドとも言う）は、複数のインクジェット式記録ヘッド本体１０（以下、ヘッド本体とも言う）と、ヘッド本体１０が載置されたベースプレート２０と、ヘッド本体１０をベースプレート２０の所定位置に配置するための位置決めプレート５０とを具備する。
【００１９】
ベースプレート２０は、その厚さ方向に貫通する貫通孔２１が一つのヘッド本体１０につき一つ設けられ、これらの貫通孔２１に、ヘッド本体１０が挿通された状態で各ヘッド本体１０がサブプレート３０を介して固定されている。
【００２０】
貫通孔２１は、ヘッド本体１０の外周よりも若干大きく、且つサブプレート３０よりも小さな開口で設けられている。このため、貫通孔２１にヘッド本体１０を挿入すると、ヘッド本体１０のサブプレート３０がベースプレート２０に保持されるようになっている。また、ヘッド本体１０と貫通孔２１との間には空隙が生ずるので、ヘッド本体１０がベースプレート２０に対して第１の方向及び第２の方向に若干移動可能になっている。
【００２１】
ベースプレート２０には、支持部材４０により支持された位置決めピン２３（位置決め部）がベースプレート２０の所定の位置に設けられている。位置決めピン２３がベースプレート２０の所定の位置に設けられているとは、位置決めプレート５０の位置決め孔５１に位置決めピン２３が挿通されたとき、複数のヘッド本体１０の相対位置が所定の配置となるように位置決めピン２３がベースプレート２０に設けられていることをいう。
【００２２】
本実施形態では、各ヘッド本体１０の所定位置として、次のように配設した。すなわち、図１及び図３に示すように、ヘッド本体１０のノズル列１４（図２参照）におけるノズル開口１１の並設方向である第１の方向に複数のヘッド本体１０を配置することで、ヘッド群１００（図には、３つのヘッド本体１０から構成された一つのヘッド群１００が示されている。）を構成し、このヘッド群１００を第２の方向に２つ並設するようにした。
【００２３】
詳言すると、一つのヘッド群１００を構成する複数のヘッド本体１０は、ノズル列１４が第１の方向に連続するように第１の方向に沿って千鳥状に配置されている。そして、当該ヘッド群１００が、第２の方向に２つ並設されている。
【００２４】
ここで、各ヘッド群１００のノズル列１４が、第１の方向に連続するとは、各ヘッド群１００の第２の方向で互いに隣接するヘッド本体１０において、一方のヘッド本体１０のノズル列１４の端部のノズル開口１１と、他方のヘッド本体１０のノズル列１４の端部のノズル開口１１とが、第１の方向で同一位置となるように配置されていることを言う。
【００２５】
このように、各ヘッド群１００において、複数のヘッド本体１０のノズル列１４が第１の方向で連続するように配置されることで、１つのヘッド本体１０のノズル列１４で印刷を行う場合に比べて、広範囲な印刷を高速で行わせることができる。
【００２６】
図２及び図４に示すように、ヘッド本体１０は、一端面にノズル開口１１を有するヘッド部材１２と、ヘッド部材１２のノズル開口１１とは反対側の面に固定された流路部材１３とから構成されている。また、本実施形態では、ヘッド本体１０は、ベースプレート２０に取り付けるためのサブプレート３０を備えており、サブプレート３０に、位置決めプレート５０が設けられている。
【００２７】
ヘッド部材１２は、ノズル開口１１が並設されたノズル列１４を具備している。ノズル列１４の数は、特に限定されず、例えば、１列であってもよく、２列以上の複数列であってもよい。本実施形態では、１つのヘッド部材１２にノズル列１４を２列設けるようにした。ここで、本実施形態では、ノズル列１４においてノズル開口１１が並設された方向を第１の方向とし、第１の方向に交差する方向を第２の方向としている。したがって、２列のノズル列１４は、第２の方向に並設されている。
【００２８】
なお、ヘッド部材１２の内部には、図示していないが、ノズル開口１１に連通する流路の一部を構成する圧力発生室と、圧力発生室に圧力変化を生じさせてノズル開口からインクを吐出させる圧力発生手段とが設けられている。
【００２９】
圧力発生手段は、特に限定されないが、例えば、電気機械変換機能を呈する圧電材料を２つの電極で挟んだ圧電素子を用いたものや、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口１１から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口１１から液滴を吐出させるものなどを用いることができる。また、圧電素子としては、圧力発生室側から下電極、圧電材料及び上電極を積層して撓み変形させる撓み振動型の圧電素子や、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子などを用いることができる。
【００３０】
流路部材１３は、ヘッド部材１２のノズル開口１１とは反対側の面に固定されて、外部からのインクをヘッド部材１２に供給又はヘッド部材１２から外部にインクを排出するものである。流路部材１３のヘッド部材１２に固定された面とは反対側の面には、内部の流路が開口して外部の流路が接続される液体流路口１５と、外部からの印刷信号等の電気信号が供給されるコネクター１６とが設けられている。
【００３１】
ヘッド本体１０は、第１の方向の両側面に、外側に突出するフランジ部１７が設けられており、このフランジ部１７がヘッド固定ネジ１８によりサブプレート３０に固定されている。
【００３２】
サブプレート３０は、ヘッド本体１０をベースプレート２０に取り付けるための部材であり、具体的には、ヘッド挿通孔３１が設けられた基台部３２と、この基台部３２の一方面に設けられた脚部３３とから構成されている。
【００３３】
サブプレート３０の基台部３２には、ヘッド挿通孔３１にヘッド本体１０が挿通された状態で、フランジ部１７が固定されている。また、サブプレート３０の脚部３３には、その厚さ方向に貫通する固定ネジ挿通孔３４が形成されている。固定ネジ３５を固定ネジ挿通孔３４に挿通した状態で、ベースプレート２０に設けられた固定ネジ穴２２に螺合させることで、サブプレート３０がベースプレート２０に固定されている。なお、固定ネジ挿通孔３４は、固定ネジ３５の径よりも若干広い径を有しており、サブプレート３０は、第１の方向および第２の方向に若干移動可能となっている。これは、位置決めプレート５０に設けられた位置決め孔５１に位置決めピン２３を挿通させる際に、サブプレート３０のベースプレート２０に対する位置を微調整するためである。
【００３４】
サブプレート３０には、基台部３２のノズル開口１１側の面に、貫通孔２１を挟んだ両側に一枚ずつ位置決めプレート５０が取り付けられている。
【００３５】
図５（ａ）は、位置決めプレートの位置決めピンが挿通される側の平面図であり、図５（ｂ）は、位置決めプレートの背面図であり、図５（ｃ）は、図５（ａ）のＡ−Ａ線断面図であり、図５（ｄ）は、サブプレートに取り付けられた位置決めプレートの断面図である。なお、図５（ａ）に表した面を表面、図５（ｂ）に表した面を裏面とも称する。
【００３６】
図５（ａ）及び（ｂ）に示すように、位置決めプレート５０は、シリコン基板からなり、位置決め孔５１と位置決め調整穴５２とが形成されている。
【００３７】
位置決め孔５１は、ベースプレート２０に設けられた位置決めピン２３に挿通される貫通孔である。位置決め孔５１は、その開口形状が菱形になっており、位置決めピン２３の横断面は、位置決め孔５１の開口形状に内接する円形となっている。このような位置決め孔５１に位置決めピン２３が挿通されることで、サブプレート３０を備えるヘッド本体１０は、平面方向（第１の方向及び第２の方向）の移動が規制される（図４参照）。
【００３８】
位置決め調整穴５２は、位置決めプレート５０の表面に形成され、位置決めプレート５０をサブプレート３０に取り付ける際の位置決めに用いられる穴である。位置決め調整穴５２は、位置決め孔５１からの相対位置が所定の配置となるようにフォトリソグラフィー法により形成されている。
【００３９】
位置決めプレート５０は、図２に示すように、位置決め調整穴５２がノズル開口１１を基準とした所定位置に配置されるようにサブプレート３０に取り付けられている。ここで、位置決め調整穴５２とノズル開口１１とが所定の位置に位置決めされているとは、ヘッド本体１０をノズル開口１１側から観た平面視において、ノズル開口１１から第１の方向及び第２の方向に所定距離だけ離れて位置決め調整穴５２が位置していることをいう。
【００４０】
なお、本実施形態では、位置決めプレート５０は、ヘッド本体１０のサブプレート３０に取り付けられているが、ヘッド本体１０のノズル開口１１を基準とした所定位置に配置されていれば、取り付け位置は特に限定されない。また、ヘッド本体１０に直接的に取り付けられていてもよい。
【００４１】
このように位置決め調整穴５２とノズル開口１１とが所定の配置とされ、かつ、位置決め調整穴５２と位置決め孔５１とが所定の配置となるように形成されているので、位置決め孔５１とノズル開口１１とについても、相対的な位置が高精度に規定されている。すなわち、位置決めプレート５０の位置決め孔５１に位置決めピン２３を挿通させることで、各ヘッド本体１０のノズル開口１１は、各ヘッド本体１０同士の相対的な間隔を保って配列されている。
【００４２】
図５（ｂ）及び（ｃ）に示すように、位置決めプレート５０のサブプレート３０に取り付けられる側（裏面側）には、位置決めプレート５０の外縁部５４（第２の領域）以外の領域において突出した凸部５３（第１の領域）が設けられている。
【００４３】
図５（ｄ）に示すように、凸部５３の頂面とサブプレート３０とは瞬間接着剤５６で接着されている。さらに、その凸部５３の周囲の外縁部５４とサブプレート３０とは接着剤５７で接着されている。
【００４４】
このように、凸部５３とサブプレート３０とを接着する瞬間接着剤５６は、外縁部５４の全体とサブプレート３０との間に注入された接着剤５７により外気から隔離されている。瞬間接着剤５６は、一般に高温高湿環境においては接着力が低下するものであるが、接着剤５７により外気に曝されないため、高温高湿環境であっても接着力が低下してしまうことが防止される。したがって、位置決めプレート５０がサブプレート３０からずれたり、剥離してしまうことが防止され、高温高湿環境においても各ヘッド本体１０が高精度に配置された状態を維持できるヘッド１が提供される。
【００４５】
瞬間接着剤５６は、シアノアクリレート系接着剤であり、接着剤５７は、エポキシ系、アクリル系、ウレタン系又はシリコン系の樹脂材料である。
【００４６】
また、上述した位置決めプレート５０は、フォトリソグラフィー法によりシリコン基板から作製することができる。すなわち、シリコン基板の一方面に、位置決め孔５１と位置決め調整穴５２とが所定の位置に形成されるようにフォトレジストパターンを形成し、その後エッチングを行うことにより位置決め孔５１を形成し、ハーフエッチングを行うことにより位置決め調整穴５２を形成する。さらに、位置決めプレート５０の他方面に、外縁部５４が形成されるようにフォトレジストパターンを形成し、その後ハーフエッチングを行うことにより外縁部５４及び凸部５３を形成する。
【００４７】
なお、位置決めプレート５０は、シリコン基板から形成する場合に限られず、位置決め孔５１、位置決め調整穴５２、凸部５３及び外縁部５４を形成できる材料であれば特に限定されない。このような材料としては、例えばガラス等を挙げることができる。また、位置決め孔５１等の作製は、フォトリソグラフィー法に限定されず、機械加工により行ってもよい。
【００４８】
ここで、上述したヘッド１の製造方法について説明する。図６（ａ）は、ヘッド本体のサブプレートに位置決めプレートを配置する工程を示す側面図、図６（ｂ）〜（ｃ）は、位置決めプレートをサブプレートに接着する工程を示す要部断面図である。
【００４９】
まず、図６（ａ）に示すように、サブプレート３０にヘッド本体１０を取り付けて固定し、ノズル開口１１側が上方となるようにアライメント装置（特に図示せず）に配置する。アライメント装置は、位置決めプレート５０をサブプレート３０の所定位置に配置するための治具や、位置決めプレート５０等を移動させる手段や、位置決め調整穴５２及びノズル開口１１を撮影する撮像手段を備える装置である。そして、位置決めプレート５０の凸部５３の頂面をサブプレート３０に当接させ、位置決め調整穴５２をノズル開口１１側に向け、サブプレート３０のノズル開口１１を基準とした所定位置に位置決めプレート５０を配置する。
【００５０】
具体的には、まず、位置決めプレート５０の表面に錘６０を置く。錘６０は、位置決めプレート５０がノズル開口１１を基準とした所定位置に配置された状態を保持する治具の一例である。サブプレート３０に対する位置決めプレート５０の浮き防止のため、錘６０の上からスプリングプランジャ等の負荷手段６４で荷重を付与することが望ましい。なお、錘６０には、位置決め調整穴５２に対応した箇所に貫通穴（図示せず）が設けてあり、この貫通穴を介して位置決め調整穴５２を認識可能である。
【００５１】
次に、撮像手段によりノズル開口１１と位置決め調整穴５２とを撮影し、ヘッド本体１０をノズル開口１１側から観た平面視において、位置決め調整穴５２の像がノズル開口１１の像を基準とした所定位置に位置するように位置決めプレート５０をサブプレート３０に配置する。錘６０が位置決めプレート５０に載置されているので、当該配置から位置決めプレート５０がずれてしまうことが防止される。
【００５２】
次に、図６（ｂ）に示すように、錘６０を位置決めプレート５０上に置いた状態で、位置決めプレート５０の凸部５３とサブプレート３０との間に瞬間接着剤５６を浸透させる。例えば、凸部５３の側面全体に亘り、当該側面とサブプレート３０との境界部に瞬間接着剤５６を注入する。これにより、瞬間接着剤５６が凸部５３とサブプレート３０との間に浸透する。なお、負荷手段６４の図示は省略しているが、負荷手段６４により荷重をかけたまま瞬間接着剤５６を浸透させてある。勿論、負荷手段６４の荷重をかけずに瞬間接着剤５６を浸透させてもよい。
【００５３】
浸透した瞬間接着剤５６は硬化し、位置決めプレート５０は、サブプレート３０の所定位置に維持された状態で仮固定される。ここでいう仮固定とは、位置決めプレート５０をサブプレート３０に接着剤５７で接着する際に、その接着剤５７が硬化するまでの間に位置決めプレート５０をサブプレート３０に固定することをいう。
【００５４】
次に、図６（ｃ）に示すように、錘６０を取り外したあと、位置決めプレート５０の外縁部５４とサブプレート３０との間に接着剤５７を注入し、接着剤５７を硬化させる。以降、接着剤５７による固定を本固定とも称する。
【００５５】
上述した仮固定及び本固定により、位置決めプレート５０は、サブプレート３０のノズル開口１１を基準とした所定位置に瞬間接着剤５６及び接着剤５７で固定される。
【００５６】
以降、特に図示しないが、上述したように位置決めプレート５０が設けられた各ヘッド本体１０をベースプレート２０に位置決めする。具体的には、位置決めプレート５０の位置決め孔５１に位置決めピン２３を挿通させることで、各ヘッド本体１０をベースプレート２０に位置決めし、固定ネジ３５でサブプレート３０をベースプレート２０に固定する。これにより、各ヘッド本体１０の相対位置が高精度に位置決めされたヘッド１が製造される。
【００５７】
ここで、瞬間接着剤５６による位置決めプレート５０の仮固定を行わない場合は、位置決めプレート５０をサブプレート３０の所定位置に配置した後、接着剤５７を注入することとなる。この接着剤５７が未硬化の状態で、アライメント装置から位置決めプレート５０を含むヘッド本体１０全体を取り外し、接着剤５７を養生するために移動させると、位置決めプレート５０がサブプレート３０の所定位置からずれてしまう。
【００５８】
しかしながら、上述したヘッド１の製造方法によれば、瞬間接着剤５６で仮固定を行うため、位置決めプレート５０の位置ずれを発生させず、仮固定後、すぐにアライメント装置から取り外せるため、製造のリードタイムが向上する。また、仮固定後、錘６０を取り外せるため、錘６０および負荷手段６４を含む治具の解放時間が短くてすむため、治具への設備投資を少なくし、コストダウンが可能になる。
【００５９】
また、外縁部５４とサブプレート３０との間に注入し、硬化させた接着剤５７により瞬間接着剤５６を外気から遮断することができる。これにより、高温高湿環境においても位置決めプレート５０がサブプレート３０からずれたり、剥離してしまうことが防止され、各ヘッド本体１０が高精度に配置された状態を維持し、高品質な印刷を行うことができるヘッド１を製造することができる。
【００６０】
また、仮固定を行うことで、接着剤５７が硬化するまでの間に位置決めプレート５０がノズル開口１１を基準とした所定位置からずれてしまうことを防止することができる。
【００６１】
さらに、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッド１では、ヘッド本体１０及びサブプレート３０はベースプレート２０に着脱自在であり、位置決めピン２３に位置決め孔５１が繰り返し挿通可能な構成である。位置決めプレート５０に位置決めピン２３の挿通による衝撃が加わっても、位置決めプレート５０全体は瞬間接着剤５６及び接着剤５７で強固に固定されているため、位置決めプレート５０がサブプレート３０からずれたり剥離することが抑制される。
【００６２】
〈実施形態２〉
実施形態１では、位置決めプレート５０の凸部５３に瞬間接着剤５６、外縁部５４に接着剤５７を設けて接着したが、このような態様に限定されない。位置決めプレートを瞬間接着剤５６及び接着剤５７で固定する他の態様について説明する。
【００６３】
図７（ａ）は、位置決めプレートの位置決めピンが挿通される側の平面図であり、図７（ｂ）は、位置決めプレートの背面図であり、図７（ｃ）は、図７（ａ）のＡ−Ａ線断面図であり、図７（ｄ）は、サブプレートに取り付けられた位置決めプレートの断面図である。なお、図７（ａ）に表した面を表面、図７（ｂ）に表した面を裏面とも称する。また、実施形態１と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００６４】
図７（ａ）及び（ｂ）に示すように、位置決めプレート５０Ａは、実施形態１に係る位置決めプレート５０と同様に、位置決め孔５１と位置決め調整穴５２とが形成されている。
【００６５】
図７（ｂ）及び（ｃ）に示すように、位置決めプレート５０Ａのサブプレート３０に取り付けられる側（裏面側）には、位置決めプレート５０Ａの外縁部以外の領域が窪んだ凹部６２（第２の領域）が設けられている。凹部６２は、略矩形状の開口を有している。凹部６２の形状に特に限定はないが、後述するように接着剤５７の接着力を高める観点から、凹部６２の開口の面積がより大きくなるように凹部６２を形成することが好ましい。
【００６６】
さらに、位置決めプレート５０Ａには、厚さ方向に貫通して凹部６２に連通する注入孔６１が設けられている。注入孔６１は、詳細は後述するが、凹部６２に接着剤５７を注入する際の接着剤５７の導入路として機能する。
【００６７】
図７（ｄ）に示すように、位置決めプレート５０Ａは、凹部６２の開口縁部６３（第１の領域）とサブプレート３０とは瞬間接着剤５６で接着されている。さらに、その凹部６２とサブプレート３０とで形成された空間には接着剤５７が充填されている。
【００６８】
このように、位置決めプレート５０Ａは、凹部６２に接着剤５７を充填してサブプレート３０に固定されるため、実施形態１に係る位置決めプレート５０と比較して接着強度が向上している。実施形態１においては、接着剤５７は外縁部５４に接着される一方、本実施形態においては、接着剤５７は、開口縁部６３（外縁部５４に相当）よりも広い開口面積を有する凹部６２に充填されるからである。
【００６９】
したがって、位置決めプレート５０Ａがサブプレート３０からずれたり、剥離してしまうことが防止され、各ヘッド本体１０が高精度に配置された状態を維持できるヘッド１が提供される。
【００７０】
ここで、上述したヘッド１の製造方法について説明する。図８（ａ）は、ヘッド本体のサブプレートに位置決めプレートを配置する工程を示す側面図、図８（ｂ）〜（ｃ）は、位置決めプレートをサブプレートに接着する工程を示す要部断面図である。
【００７１】
まず、図８（ａ）に示すように、サブプレート３０Ａにヘッド本体１０を取り付けて固定し、ノズル開口１１側が上方となるようにアライメント装置（特に図示せず）に配置する。そして、位置決めプレート５０Ａの位置決め調整穴５２をノズル開口１１側に向け、サブプレート３０のノズル開口１１を基準とした所定位置に位置決めプレート５０Ａを配置する。
【００７２】
具体的には、まず、位置決めプレート５０Ａの表面に錘６０を置く。次に、撮像手段によりノズル開口１１と図示しない錘６０の貫通孔を介して位置決め調整穴５２とを撮影し、ヘッド本体１０をノズル開口１１側から観た平面視において、位置決め調整穴５２の像がノズル開口１１の像を基準とした所定位置に位置するように位置決めプレート５０Ａをサブプレート３０に配置する。錘６０が位置決めプレート５０に載置されているので、当該配置から位置決めプレート５０がずれてしまうことが防止される。
【００７３】
次に、図８（ｂ）に示すように、錘６０を位置決めプレート５０上に置いた状態で、位置決めプレート５０Ａの開口縁部６３とサブプレート３０との間に瞬間接着剤５６を浸透させる。具体的には、開口縁部６３の側面全体に亘り、当該側面とサブプレート３０との境界部に瞬間接着剤５６を注入する。これにより、瞬間接着剤５６が開口縁部６３とサブプレート３０との間に浸透する。なお、負荷手段６４の図示は省略しているが、負荷手段６４により荷重をかけたまま瞬間接着剤５６を浸透させてある。勿論、負荷手段６４の荷重をかけずに瞬間接着剤５６を浸透させてもよい。
【００７４】
浸透した瞬間接着剤５６は硬化し、位置決めプレート５０Ａは、サブプレート３０の所定位置に維持された状態で仮固定される。
【００７５】
次に、図８（ｃ）に示すように、錘６０を取り外したあと、位置決めプレート５０Ａの注入孔６１から凹部６２に接着剤５７を注入し、凹部６２とサブプレート３０とで形成された空間に接着剤５７を充填し、接着剤５７を硬化させる。これにより、位置決めプレート５０Ａは、サブプレート３０のノズル開口１１を基準とした所定位置に瞬間接着剤５６及び接着剤５７で固定される。
【００７６】
以降、特に図示しないが、上述したように位置決めプレート５０Ａが設けられた各ヘッド本体１０をベースプレート２０に位置決めする。具体的には、位置決めプレート５０Ａの位置決め孔５１に位置決めピン２３を挿通させることで、各ヘッド本体１０をベースプレート２０に位置決めし、固定ネジ３５でサブプレート３０をベースプレート２０に固定する。これにより、各ヘッド本体１０の相対位置が高精度に位置決めされたヘッド１が製造される。
【００７７】
以上に説明したヘッド１の製造方法によれば、実施形態１と同様に、瞬間接着剤５６で仮固定を行うため、位置決めプレート５０Ａの位置ずれを発生させず、仮固定後、すぐにアライメント装置から取り外せるため、製造のリードタイムが向上する。また、仮固定後、錘６０を取り外せるため、錘６０および負荷手段６４を含む治具の解放時間が短くてすむため、治具への設備投資を少なくし、コストダウンが可能になる。
【００７８】
また、開口縁部６３よりも広い開口面積を有する凹部６２に接着剤５７を充填し、凹部６２とサブプレート３０とで形成される空間を接着剤５７で固定するので、位置決めプレート５０Ａをより強固に接着することができる。これにより、位置決めプレート５０Ａがサブプレート３０からずれたり、剥離してしまうことが防止され、各ヘッド本体１０が高精度に配置された状態を維持し、高品質な印刷を行うことができるヘッド１を製造することができる。
【００７９】
〈実施形態３〉
さらに、位置決めプレートを瞬間接着剤５６及び接着剤５７で固定する他の態様について説明する。
【００８０】
図９（ａ）は、位置決めプレートの位置決めピンが挿通される側の平面図であり、図９（ｂ）は、位置決めプレートの背面図であり、図９（ｃ）は、図９（ａ）のＡ−Ａ線断面図であり、図９（ｄ）は、サブプレートに取り付けられた位置決めプレートの断面図である。なお、図９（ａ）に表した面を表面、図９（ｂ）に表した面を裏面とも称する。また、実施形態１又は実施形態２と同一のものには同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００８１】
図９（ａ）及び（ｂ）に示すように、位置決めプレート５０Ｂは、実施形態１に係る位置決めプレート５０と同様に、位置決め孔５１と位置決め調整穴５２とが形成されている。
【００８２】
図９（ｂ）及び（ｃ）に示すように、位置決めプレート５０Ｂのサブプレート３０に取り付けられる側（裏面側）には、長手方向に延設された溝７０が二本形成され、溝７０により分断された第１の領域７１と第２の領域７２とが形成されている。本実施形態では、位置決めプレート５０Ｂの２本の溝７０で分断された計３つの領域のうち、外側の二つの領域を第１の領域７１、溝７０に挟まれた領域を第２の領域７２としてある。
【００８３】
図９（ｄ）に示すように、位置決めプレート５０Ｂは、第１の領域７１とサブプレート３０とは瞬間接着剤５６で接着され、第２の領域７２とサブプレート３０とは接着剤５７で接着されている。したがって、位置決めプレート５０Ｂがサブプレート３０からずれたり、剥離してしまうことが防止され、各ヘッド本体１０が高精度に配置された状態を維持できるヘッド１が提供される。
【００８４】
ここで、上述したヘッド１の製造方法について説明する。図１０（ａ）は、ヘッド本体のサブプレートに位置決めプレートを配置する工程を示す側面図、図１０（ｂ）〜（ｃ）は、位置決めプレートをサブプレートに接着する工程を示す要部断面図である。
【００８５】
まず、図１０（ａ）に示すように、サブプレート３０にヘッド本体１０を取り付けて固定し、ノズル開口１１側が上方となるようにアライメント装置（特に図示せず）に配置する。そして、位置決めプレート５０Ｂの位置決め調整穴５２をノズル開口１１側に向け、サブプレート３０のノズル開口１１を基準とした所定位置に位置決めプレート５０Ｂを配置する。
【００８６】
具体的には、まず、位置決めプレート５０Ｂの表面に錘６０を置く。次に、撮像手段によりノズル開口１１と図示しない錘６０の貫通孔を介して位置決め調整穴５２とを撮影し、ヘッド本体１０をノズル開口１１側から観た平面視において、位置決め調整穴５２の像がノズル開口１１の像を基準とした所定位置に位置するように位置決めプレート５０Ｂをサブプレート３０に配置する。錘６０が位置決めプレート５０に載置されているので、当該配置から位置決めプレート５０がずれてしまうことが防止される。
【００８７】
次に、図１０（ｂ）に示すように、錘６０を位置決めプレート５０Ｂ上に置いた状態で、位置決めプレート５０Ｂの第１の領域７１とサブプレート３０との間に瞬間接着剤５６を浸透させる。具体的には、位置決めプレート５０Ｂの第１の領域７１の側面とサブプレート３０との境界部に瞬間接着剤５６を注入する。これにより、瞬間接着剤５６が第１の領域７１とサブプレート３０との間に浸透していく。このとき、瞬間接着剤５６は、溝７０により第１の領域７１と第２の領域７２とが分断されているので、第２の領域７２には浸透していかない。なお、負荷手段６４の図示は省略しているが、負荷手段６４により荷重をかけたまま瞬間接着剤５６を浸透させてある。勿論、負荷手段６４の荷重をかけずに瞬間接着剤５６を浸透させてもよい。
【００８８】
浸透した瞬間接着剤５６は硬化し、位置決めプレート５０Ｂは、サブプレート３０の所定位置に維持された状態で仮固定される。
【００８９】
次に、図１０（ｃ）に示すように、錘６０を維持したままで、位置決めプレート５０Ｂの第２の領域７２とサブプレート３０との間に接着剤５７を注入する。具体的には、第２の領域７２の側面とサブプレート３０との境界部に接着剤５７を注入する。これにより、接着剤５７が第２の領域７２とサブプレート３０との間に浸透する。このとき、接着剤５７は、溝７０により第１の領域７１と第２の領域７２とが分断されているので、第１の領域７１には浸透していかない。
【００９０】
その後、接着剤５７を硬化させ、位置決めプレート５０Ｂを、サブプレート３０のノズル開口１１を基準とした所定位置に瞬間接着剤５６及び接着剤５７で固定し、錘６０を取り外す。
【００９１】
以降、特に図示しないが、上述したように位置決めプレート５０Ｂが設けられた各ヘッド本体１０をベースプレート２０に位置決めする。具体的には、位置決めプレート５０Ｂの位置決め孔５１に位置決めピン２３を挿通させることで、各ヘッド本体１０をベースプレート２０に位置決めし、固定ネジ３５でサブプレート３０をベースプレート２０に固定する。これにより、各ヘッド本体１０の相対位置が高精度に位置決めされたヘッド１が製造される。
【００９２】
ここで、実施形態２では、位置決めプレート５０Ａの側面からは開口縁部６３に瞬間接着剤５６のみを注入でき、側面からは凹部６２に接着剤５７を注入することはできない構成であった。すなわち、位置決めプレート５０Ａの側面からの瞬間接着剤５６の注入と、上方から注入孔６１を介した接着剤５７の注入という異なる作業が必要であった。
【００９３】
しかしながら、以上に説明した本実施形態のヘッド１の製造方法によれば、仮固定及び本固定は、瞬間接着剤５６及び接着剤５７のそれぞれを、位置決めプレート５０Ｂの側面から注入することにより行うことができる。すなわち、用いる接着剤が異なるだけで、接着剤の注入位置決めプレート５０Ｂの側面とサブプレート３０との境界に瞬間接着剤５６もしくは接着剤５７を注入するという作業自体は同等である。
【００９４】
このように、錘６０で位置決めプレート５０Ｂをサブプレート３０に固定した状態で、同じ作業で仮固定と本固定とを行うことができるので、作業効率を向上することができる。
【００９５】
また、本実施形態においても、実施形態１と同様に、瞬間接着剤５６で仮固定を行うため、位置決めプレート５０Ｂの位置ずれを発生させず、仮固定後、すぐにアライメント装置から取り外せるため、製造のリードタイムが向上する。また、仮固定後、錘６０を取り外せるため、錘６０および負荷手段を含む治具の解放時間が短くてすむため、治具への設備投資を少なくし、コストダウンが可能になる。
【００９６】
実施形態１〜３に係るインクジェット式記録ヘッド１は、ノズル列方向に対して直交する方向に記録用紙等の記録媒体を搬送することで記録媒体への印刷を行う、いわゆるライン式のインクジェット式記録装置等に適用することができる。
【００９７】
図１１に示すように、本実施形態のインクジェット式記録装置Ｉは、ヘッド１が固定されて、紙などの記録シート等の被噴射媒体Ｓを搬送することで印刷を行う、所謂ライン式記録装置である。具体的には、インクジェット式記録装置Ｉは、ヘッド１が固定された装置本体２と、被噴射媒体Ｓを搬送する搬送手段４と、ヘッド１と被噴射媒体Ｓを挟んで反対側に設けられて被噴射媒体Ｓを支持する支持部５とを具備する。
【００９８】
ヘッド１は、複数のヘッド本体１０が、被噴射媒体Ｓの搬送方向とは交差する方向に複数並設されるように配置されている。具体的には、ヘッド本体１０には、上述したように、複数のノズル開口１１が並設されたノズル列１４が１列から複数列設けられている。そして、ヘッド本体１０は、被噴射媒体Ｓの搬送方向とは交差する方向に向かって、ノズル開口１１が並設されるように配置されている。また、複数のヘッド本体１０は、被噴射媒体Ｓの搬送方向とは交差する方向に並設され、且つ搬送方向に若干ずらした位置に配置されて、被噴射媒体の搬送方向と交差する方向にノズル列１４が連続するように配置されている。すなわち、図１１に示す例では、ヘッド１は、被噴射媒体Ｓの搬送方向が、第２の方向となり、被噴射媒体Ｓの搬送方向とは交差する方向が第１の方向となるように配置されている。
【００９９】
また、このようなヘッド１の各ヘッド本体１０には、図示していないが、インクが貯留されたインクタンクやインクカートリッジなどのインク貯留手段がインクを供給可能に接続されている。インク貯留手段は、例えば、ヘッド１上に保持されていても、また、装置本体２内のヘッド１とは異なる位置に保持されていてもよい。
【０１００】
搬送手段４は、ヘッド１に対して被噴射媒体Ｓの搬送方向の両側に設けられた第１の搬送手段７と、第２の搬送手段８とを具備する。
【０１０１】
第１の搬送手段７は、駆動ローラー７ａと、従動ローラー７ｂと、これら駆動ローラー７ａ及び従動ローラー７ｂに巻回された搬送ベルト７ｃとで構成されている。また、第２の搬送手段８は、第１の搬送手段７と同様に駆動ローラー８ａ、従動ローラー８ｂ及び搬送ベルト８ｃで構成されている。
【０１０２】
これらの第１の搬送手段７及び第２の搬送手段８のそれぞれの駆動ローラー７ａ、８ａには、図示しない駆動モータ等の駆動手段が接続されており、駆動手段の駆動力によって搬送ベルト７ｃ、８ｃが回転駆動することで、被噴射媒体Ｓをヘッド１の上流及び下流側で搬送する。
【０１０３】
なお、本実施形態では、駆動ローラー７ａ、８ａ、従動ローラー７ｂ、８ｂ及び搬送ベルト７ｃ、８ｃで構成される第１の搬送手段７及び第２の搬送手段８を例示したが、被噴射媒体Ｓを搬送ベルト７ｃ、８ｃ上に保持させる保持手段をさらに設けてもよい。保持手段としては、例えば、被噴射媒体Ｓの外周面を帯電させる帯電手段を設け、この帯電手段によって帯電した被噴射媒体Ｓを誘電分極の作用により搬送ベルト７ｃ、８ｃ上に吸着させるようにしてもよい。また、保持手段として、搬送ベルト７ｃ、８ｃ上に押えローラーを設け、押えローラーと搬送ベルト７ｃ、８ｃとの間で被噴射媒体Ｓを挟持させるようにしてもよい。
【０１０４】
支持部５は、第１の搬送手段７と第２の搬送手段８との間に、ヘッド１に相対向して設けられたものであり、支持部５は、第１の搬送手段７及び第２の搬送手段８によって搬送された被噴射媒体Ｓを、ヘッド１に相対向する位置で支持するためのものである。
【０１０５】
なお、支持部５には、搬送された被噴射媒体Ｓを支持部５上で吸着する吸着手段を設けるようにしてもよい。吸着手段としては、例えば、被噴射媒体Ｓを吸引することで吸引吸着するものや、静電気力で被噴射媒体Ｓを静電吸着するもの等が挙げられる。
【０１０６】
また、上述した例では、ヘッド１を装置本体２に固定し、搬送手段４が被噴射媒体Ｓを搬送するようにしたが、搬送手段４は、ヘッド本体１０と被噴射媒体Ｓとを相対的に移動させればよいため、被噴射媒体Ｓを固定し、搬送手段４がヘッド１を搬送するようにしてもよい。また、被噴射媒体Ｓの搬送方向とは交差する方向にもヘッド本体１０を複数設け、被噴射媒体Ｓを移動することなく、被噴射媒体Ｓを固定した状態で、被噴射媒体Ｓの噴射領域の全てに、固定されたヘッド本体１０によって印刷を行うようにしてもよい。すなわち、上述した搬送手段４を実質的に設けないようにしてもよい。もちろん、ヘッド１を搬送方向と交差する方向に移動自在に設け、ヘッド１を搬送方向と交差する方向に移動しながら印刷を行う、所謂シリアル式記録装置にも上述した各実施形態のヘッド１を搭載することもできる。
【０１０７】
〈他の実施形態〉
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
【０１０８】
位置決めプレートは、実施形態１〜３に示したものに限定されず、瞬間接着剤５６と接着剤５７とを別々に接着しうる第１の領域と第２の領域とを有していればよい。
【０１０９】
本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。
【符号の説明】
【０１１０】
Ｉ  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、  １  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  １０  ヘッド本体、  １１  ノズル開口、  １２  ヘッド部材、  １３  流路部材、  １４  ノズル列、  ２０  ベースプレート、  ２３  位置決めピン、  ３０  サブプレート、  ５０、５０Ａ、５０Ｂ  位置決めプレート、  ５１  位置決め孔、  ５３  凸部、  ５４  外縁部、  ５６  瞬間接着剤、  ５７  接着剤、  ６１  注入孔、  ６２  凹部、  ６３  開口縁部、  ７０  溝、  ７１  第１の領域、  ７２  第２の領域
【図１】
2011251417.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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