(57)【要約】【課題】基板のサイズによらずに押し付け力をバランスよく基板に作用させることができ、基板の反りを十分に矯正したうえでスクリーン印刷を行うことができるスクリーン印刷機を提供することを目的とする。【解決手段】クランプ部材１４により保持された基板ＰＢの上方に、ベース部３２に複数の押圧部材３３が取り付けられて成る反り矯正体１０が設けられる。反り矯正体１０が備える複数の押圧部材３３は、クランプ部材１４による基板ＰＢのクランプ方向（若しくは基板ＰＢのクランプ方向と直交する方向）に平行に並んで配列され、それぞれ複数のばね部材６３を介してベース部３２に取り付けられる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の両側部をクランプして保持するクランプ部材と、クランプ部材により保持された基板の上方に位置されるベース部に複数の押圧部材が取り付けられて成る反り矯正体と、クランプ部材により保持された基板の上面を反り矯正体が備える押圧部材の下面に相対的に押し付ける押し付け手段と、反り矯正体に押し付けられて反りが矯正された基板に接触されるマスクプレートと、基板に接触されたマスクプレートにペーストを供給するペースト供給手段と、ペースト供給手段によりペーストが供給されたマスクプレートに対して摺動し、マスクプレートに設けられたパターン孔を介して基板にペーストを印刷するスキージとを備えたスクリーン印刷機であって、
反り矯正体が備える複数の押圧部材は、クランプ部材による基板のクランプ方向若しくは基板のクランプ方向と直交する方向に平行に並んで配列され、それぞれ複数のばね部材を介してベース部に取り付けられていることを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項２】
各押圧部材は押圧部材の配列方向に相対移動自在になっていることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷機。
【請求項３】
複数の押圧部材はクランプ部材による基板のクランプ方向と直交する方向に平行に並んで配列され、各押圧部材とベース部との間に設けられた前記複数のばね部材が、クランプ部材による基板のクランプ方向の位置に応じて異なるばね定数を有していることを特徴とする請求項１又は２に記載のスクリーン印刷機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板にマスクプレートを接触させてペーストを印刷するスクリーン印刷機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
スクリーン印刷機は、ベルトコンベアによって所定位置に搬送した基板を一対のクランプ部材によって基板の両側部をクランプして（挟んで）保持した後、基板にマスクプレートを接触させて半田ペーストや導電性ペースト等のペーストを供給し、マスクプレート上でスキージを摺動させてマスクプレートのパターン孔内にペーストを充填させることによって基板上にペーストを印刷する。
【０００３】
このようなスクリーン印刷機では、基板に反りが生じていると基板とマスクプレートが十分に密着せず、両者の間に隙間ができて印刷精度が低下する。このため、基板にマスクプレートを接触させる前に、基板全体を押圧して反りを矯正する必要があり、このような反り矯正手段を備えたスクリーン印刷機が従来知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−３０５８８４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の反り矯正手段では、１枚のプレート部材をシリンダ等によって基板に押し付ける構成であったため、基板のサイズによってはプレート部材が基板に対して過大になったり過小になったりし、押し付け力をバランスよく基板に作用させることができないために、基板の反りを十分に矯正することができない場合があるという問題点があった。
【０００６】
そこで本発明は、基板のサイズによらずに押し付け力をバランスよく基板に作用させることができ、基板の反りを十分に矯正したうえでスクリーン印刷を行うことができるスクリーン印刷機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載のスクリーン印刷機は、基板の両側部をクランプして保持するクランプ部材と、クランプ部材により保持された基板の上方に位置されるベース部に複数の押圧部材が取り付けられて成る反り矯正体と、クランプ部材により保持された基板の上面を反り矯正体が備える押圧部材の下面に相対的に押し付ける押し付け手段と、反り矯正体に押し付けられて反りが矯正された基板に接触されるマスクプレートと、基板に接触されたマスクプレートにペーストを供給するペースト供給手段と、ペースト供給手段によりペーストが供給されたマスクプレートに対して摺動し、マスクプレートに設けられたパターン孔を介して基板にペーストを印刷するスキージとを備えたスクリーン印刷機であって、反り矯正体が備える複数の押圧部材は、クランプ部材による基板のクランプ方向若しくは基板のクランプ方向と直交する方向に平行に並んで配列され、それぞれ複数のばね部材を介してベース部に取り付けられている。
【０００８】
請求項２に記載のスクリーン印刷機は、請求項１に記載のスクリーン印刷機であって、各押圧部材は押圧部材の配列方向に相対移動自在になっている。
【０００９】
請求項３に記載のスクリーン印刷機は、請求項１又は２に記載のスクリーン印刷機であって、複数の押圧部材はクランプ部材による基板のクランプ方向と直交する方向に平行に並んで配列され、各押圧部材とベース部との間に設けられた前記複数のばね部材が、クランプ部材による基板のクランプ方向の位置に応じて異なるばね定数を有している。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、反り矯正体は、クランプ部材により保持された基板の上方に位置されるベース部に、クランプ部材による基板のクランプ方向若しくは基板のクランプ方向と直交する方向に平行に並んで配列された複数の押圧部材がそれぞれ複数のばね部材を介して取り付けられた構成となっているので、基板の反りの矯正時には、基板と接触した一部の押圧部材（基板のサイズによっては全ての押圧部材）がそれぞれ独立してばね部材を介して基板を押圧することになる。このため、基板のサイズによらずに押し付け力をバランスよく基板に作用させることができ、基板の反りを十分に矯正したうえでスクリーン印刷を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷機の平面図
【図２】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷機の正面図
【図３】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷機の側面図
【図４】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷機の制御系統を示すブロック図
【図５】（ａ）（ｂ）本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷機が備える位置決めコンベアの平面図
【図６】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷機が備える反り矯正体の一部分解斜視図
【図７】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷機が備える反り矯正体の正面図
【図８】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷機が備える反り矯正体の部分斜視図
【図９】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷機が備える反り矯正体の使用方法の説明図
【図１０】（ａ）（ｂ）本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図１１】（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図１２】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷機の動作説明図
【図１３】本発明の実施の形態２におけるスクリーン印刷機が備える反り矯正体の一部分解斜視図
【図１４】本発明の実施の形態２におけるスクリーン印刷機が備える反り矯正体の側面図
【図１５】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の実施の形態２におけるスクリーン印刷機が備える反り矯正体の使用方法の説明図
【図１６】本発明の実施の形態２におけるスクリーン印刷機が備える反り矯正体の使用方法の説明図
【図１７】（ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の実施の形態２におけるスクリーン印刷機が備える反り矯正体の部分側面図
【発明を実施するための形態】
【００１２】
（実施の形態１）
図１、図２及び図３において、実施の形態１におけるスクリーン印刷機１は、基台２、基台２上に設けられて印刷対象物である基板ＰＢの搬送及び所定の作業位置への位置決め
を行う基板位置決めユニット３、基板位置決めユニット３の上方に設けられたマスクプレート４、シリンジ５、スキージ６、カメラユニット７及び反り矯正体１０を備えて構成されている。以下、説明の便宜上、基板位置決めユニット３による基板ＰＢの搬送方向（図１の紙面左右方向）をＸ軸方向、Ｘ軸方向と直交する水平面内方向（図１の紙面上下方向）をＹ軸方向、上下方向（図２の紙面上下方向）をＺ軸方向とする。
【００１３】
図１、図２及び図３において、基板位置決めユニット３は、基台２に対してＹ軸方向に移動するＹテーブル１１ａ、Ｙテーブル１１ａに対してＸ軸方向に移動するＸテーブル１１ｂ、Ｘテーブル１１ｂに対してＺ軸回りに回転するθテーブル１１ｃ及びθテーブル１１ｃの上面に固定されたベーステーブル１１ｄを備えて成る水平面内位置決め部１１と、水平面内位置決め部１１のベーステーブル１１ｄに対して昇降する第１昇降テーブル１２ａ、第１昇降テーブル１２ａに対して昇降する第２昇降テーブル１２ｂ、第２昇降テーブル１２ｂの上面に設けられた下受けユニット１２ｃを備えて成る上下方向位置決め部１２、上下方向位置決め部１２の第１昇降テーブル１２ａに取り付けられて基板ＰＢをＸ軸方向に搬送し、その基板ＰＢを所定の作業位置に位置決めする一対のベルトコンベアから成る位置決めコンベア１３、位置決めコンベア１３の上方でＹ軸方向に開閉作動し、位置決めコンベア１３上の基板ＰＢのＹ軸方向の両側部を基板ＰＢの側方からクランプして（挟んで）保持する一対のクランプ部材（クランパ）１４を備えて成る。
【００１４】
図１及び図２において、基板位置決めユニット３を構成する位置決めコンベア１３のＸ軸方向両側の位置には、スクリーン印刷機１の外部（図１及び図２の紙面左側）から投入された基板ＰＢを搬送（搬入）して位置決めコンベア１３に受け渡す搬入コンベア１５と、位置決めコンベア１３から受け渡された基板ＰＢをスクリーン印刷機１の外部に搬送（搬出）する搬出コンベア１６が設けられている。
【００１５】
図１、図２及び図３において、マスクプレート４は四辺を枠部材４ｗによって支持されており、枠部材４ｗによって囲まれた矩形のマスク領域内には、基板ＰＢ上に設けられた複数の電極ＤＴに対応する複数のパターン孔４ａが設けられている。
【００１６】
図１において、基台２上にはＸＹロボット１７が設けられている。このＸＹロボット１７は、基板位置決めユニット３の上方をＹ軸方向に延びて設けられた一対のＹ軸ステージ１７ａと、Ｘ軸方向に延びて設けられ、一対のＹ軸ステージ１７ａに両端が支持されてＹ軸方向に移動自在なカメラ移動用Ｘ軸ステージ１７ｂ及び反り矯正体移動用Ｘ軸ステージ１７ｃと、カメラ移動用Ｘ軸ステージ１７ｂ上をＸ軸方向に移動自在に設けられたカメラ支持ステージ１７ｄから成っている。図３において、カメラユニット７は撮像視野を下方に向けた第１カメラ７ａと撮像視野を上方に向けた第２カメラ７ｂを備えて成る。
【００１７】
図３において、スキージ６は、Ｙ軸方向に移動自在に設けられた移動ビーム１８（図２も参照）にＹ軸方向に対向して２つ設けられている。各スキージ６はＸ軸方向に延びた「へら」状の部材であり、移動ビーム１８に取り付けられたスキージ昇降シリンダ６ａの作動によって移動ビーム１８に対して昇降する。
【００１８】
このスクリーン印刷機１において、基板ＰＢの搬送を行う基板搬送路としての搬入コンベア１５、位置決めコンベア１３及び搬出コンベア１６の各動作は、制御装置２０（図４）が図示しない基板搬送路作動機構２１（図４）の作動制御を行うことによってなされ、クランプ部材１４による基板ＰＢのクランプ動作は、制御装置２０が図示しないアクチュエータ等から成るクランプ部材作動機構２２（図４）の作動制御を行うことによってなされる。
【００１９】
基台２に対するＹテーブル１１ａのＹ軸方向への移動、Ｙテーブル１１ａに対するＸテ
ーブル１１ｂのＸ軸方向への移動、Ｘテーブル１１ｂに対するθテーブル１１ｃの（すなわちベーステーブル１１ｄの）Ｚ軸回りの回転、ベーステーブル１１ｄに対する第１昇降テーブル１２ａの昇降、第１昇降テーブル１２ａに対する第２昇降テーブル１２ｂの（すなわち下受けユニット１２ｃの）昇降の各動作は、制御装置２０がＹテーブル駆動モータＭｙやＸテーブル駆動モータＭｘ（図２及び図３参照）等のアクチュエータ等から成る基板位置決めユニット作動機構２３（図４）の作動制御を行うことによってなされる。
【００２０】
ＸＹロボット１７を構成するカメラ移動用Ｘ軸ステージ１７ｂ及び反り矯正体移動用Ｘ軸ステージ１７ｃのＹ軸方向への移動動作及びカメラユニット７が取り付けられたカメラ支持ステージ１７ｄのＸ軸方向への移動動作は、制御装置２０が図示しないアクチュエータから成るＸＹロボット作動機構２４（図４）の作動制御を行うことによってなされる。
【００２１】
図３において、シリンジ５は、図示しない移動機構によってマスクプレート４の上方を水平面内で移動自在に設けられており、内部に貯蔵した半田ペーストや導電性ペースト等のペーストを下方に吐出する。このシリンジ５の移動動作は、制御装置２０が図示しないアクチュエータ等から成るシリンジ移動機構２５（図４）の作動制御を行うことによってなされ、シリンジ５によるペーストの吐出動作は、制御装置２０が図示しないアクチュエータ等から成るペースト吐出機構２６（図４）の作動制御を行うことによってなされる。
【００２２】
スキージ６を保持する移動ビーム１８のＹ軸方向への移動動作は、制御装置２０が図示しないアクチュエータ等から成るスキージ移動機構２７（図４）の作動制御を行うことによってなされ、各スキージ６の移動ビーム１８に対する昇降動作は、制御装置２０が前述のスキージ昇降シリンダ６ａの作動制御を行うことによってなされる。
【００２３】
カメラユニット７を構成する第１カメラ７ａは、このスクリーン印刷機１が備える制御装置２０に制御されて、基板位置決めユニット３によって作業位置に位置決めされた基板ＰＢの基板位置検出マーク（図示せず）の撮像を行い、第２カメラ７ｂは、制御装置２０に制御されて、マスクプレート４に設けられたマスク位置検出マーク（図示せず）の撮像を行う。第１カメラ７ａの撮像によって得られた画像データと第２カメラ７ｂの撮像によって得られた画像データはともに制御装置２０に入力される（図４）。
【００２４】
図５（ａ），（ｂ）において、位置決めコンベア１３は、基台２に対してＹ軸方向への移動が不能な固定コンベアＣＢａと、基台２に対して（すなわち固定コンベアＣＢａに対して）Ｙ軸方向への移動が可能な可動コンベアＣＢｂからなっており、固定コンベアＣＢａに対して可動コンベアＣＢｂを基板ＰＢの幅方向（Ｙ軸方向）に移動させることによって固定コンベアＣＢａと可動コンベアＣＢｂの間隔（コンベア幅Ｗ）を変化させることができる。
【００２５】
図５（ａ），（ｂ）は基板ＰＢのサイズ（幅方向寸法）に応じて位置決めコンベア１３のコンベア幅Ｗを変更した様子を示したものであり、図５（ｂ）は図５（ａ）よりも相対的にコンベア幅Ｗが小さいときの状態を示している。なお、ここでは位置決めコンベア１３について示したが、コンベア幅Ｗを可変設定できることは、搬入コンベア１５及び搬出コンベア１６についても同様である。
【００２６】
このスクリーン印刷機１には、オペレータがコンベア幅Ｗの設定値を入力するためのコンベア幅設定入力部２８（図４）が設けられており、オペレータがコンベア幅設定入力部２８からコンベア幅Ｗの値を入力すると、制御装置２０は図示しないアクチュエータ等から成るコンベア幅設定機構２９（図４）の作動制御を行って３つのコンベア１３，１５，１６それぞれの可動コンベアＣＢｂをＹ軸方向に移動させ、３つのコンベア１３，１５，１６それぞれのコンベア幅Ｗがコンベア幅設定入力部２８から入力された値になるように
する。このため、このスクリーン印刷機１では、異なるサイズの基板ＰＢの搬送及び位置決めを行うことができ、複数種の基板ＰＢに対してスクリーン印刷を施すことができる。
【００２７】
図６において、反り矯正体１０は、ＸＹロボット１７を構成する反り矯正体移動用Ｘ軸ステージ１７ｃに一対のブラケット３１を介して取り付けられ、反り矯正体移動用Ｘ軸ステージ１７ｃの移動によってクランプ部材１４により保持された基板ＰＢの上方に位置されるベース部３２と、ベース部３２に取り付けられた複数の押圧部材３３を有して成る。
【００２８】
ベース部３２は、Ｙ軸方向に延びて設けられたベースプレート４１と、クランプ部材１４による基板ＰＢのクランプ方向（Ｙ軸方向）に平行に並んで配列され、ベースプレート４１の下方をベースプレート４１に対してＹ軸方向に移動自在に取り付けられた複数（ここでは４個）の押圧部材取り付けブラケット４２を備える。
【００２９】
ベースプレート４１は全体としてＹ軸方向に延びた長方形形状を有しており、短辺がＸ軸に平行、長辺がＹ軸に平行になっている。長辺側の両側面（Ｙ軸と平行な両側面）にはＹ軸方向に延びたスライド溝４３が設けられている（図７も参照）。
【００３０】
図６において、各押圧部材取り付けブラケット４２はＸ軸方向に延びた長尺状の板状部材であり、その上面にＸ軸方向に対向して配置された一対の固定具５１がそれぞれベースプレート４１の長辺側端面に係合している。このため、押圧部材取り付けブラケット４２はその全体をベースプレート４１に対してＹ軸方向に移動させることができる。
【００３１】
図７中の左側拡大図において、各固定具５１は、押圧部材取り付けブラケット４２の上面に取り付けられた断面「コ」の字状のスライダ５２と、スライダ５２の垂直壁５２ａに設けられたネジ挿通孔５３内をＸ軸方向に貫通して延び、つまみ部５４ａをスライダ５２の垂直壁５２ａの外側に位置させた固定ネジ５４と、ベースプレート４１のスライド溝４３内に位置して固定ネジ５４と螺合したナットプレート５５を有して成る。
【００３２】
図７中の左側拡大図に示すように、各固定具５１の固定ネジ５４と螺合したナットプレート５５は、スライド溝４３を形成するベースプレート４１の上下内壁面４１ａ，４１ｂによって固定ネジ５４の軸（この軸はＸ軸と平行）回り方向の回転が拘束されており、オペレータがつまみ部５４ａを捻って固定ネジ５４をナットプレート５５に螺入させていくと、ナットプレート５５はスライド溝４３を形成するベースプレート４１の垂直内壁面４１ｃに当接し、固定ネジ５４との間でスライダ５２の垂直壁５２ａとベースプレート４１の上下の端部壁４１ｄ，４１ｅを締め付けるようになるので、スライダ５２がベースプレート４１に対して固定される。
【００３３】
図６において、各押圧部材３３は、押圧部材取り付けブラケット４２の下方をＸ軸方向に延びた長尺状の部材であり、そのＸ軸方向両端部にはばね挿通部材取り付け穴６１が押圧部材３３を厚さ方向（Ｚ軸方向）に貫通して設けられている。
【００３４】
図６において、各押圧部材取り付けブラケット４２のＸ軸方向両端部にはばね挿通部材６２が取り付けられている。各ばね挿通部材６２は下方に延びたネジ部６２ａを有しており、そのネジ部６２ａはばね部材（ここでは上下方向に延びたつるまきばねとする）６３を上下方向に挿通したうえで、押圧部材３３のばね挿通部材取り付け穴６１を上下方向に貫通して延び（図７中の右側拡大図）、押圧部材３３の下面に開口して設けられたナット収容スペース６４内において、ばね挿通部材抜け止めナット６５と螺合している。
【００３５】
このため、各押圧部材３３と押圧部材取り付けブラケット４２の間には２つのばね部材６３が介装された状態となっており、ベース部３２を固定した状態で押圧部材３３の下面
を下方から押圧すると、押圧部材３３はばね部材６３を縮ませながらベース部３２（押圧部材取り付けブラケット４２）側に近づくことになる。
【００３６】
各固定具５１では、固定ネジ５４のつまみ部５４ａを図８（ａ）中に示す矢印Ａ１の方向に捻るとナットプレート５５がつまみ部５４ａから遠ざかる方向に相対移動してスライダ５２とベースプレート４１との締め付けが解除され、つまみ部５４ａを図８（ｃ）中に示す矢印Ａ２の方向に捻るとナットプレート５５がつまみ部５４ａに近づく方向に相対移動してスライダ５２とベースプレート４１との締め付けがなされる。スライダ５２とベースプレート４１との締め付けが解除された状態では各固定具５１はベースプレート４１の長辺側端面に沿って（すなわちＹ軸方向に）スライド自在であり、スライダ５２とベースプレート４１との締め付けがなされれば固定具５１をベースプレート４１に対して固定させることができるので、各押圧部材３３はベースプレート４１に対する取り付け位置をＹ軸方向の任意の位置に変更することができる。
【００３７】
この押圧部材３３のベースプレート４１に対する取り付け位置の変更は、取り付け位置を変更しようとする押圧部材３３に繋がる押圧部材取り付けブラケット４２に取り付けられた一対の固定具５１の固定ネジ５４を同時に緩めたうえで（図８（ａ）。図中に示す矢印Ａ１）、押圧部材３３全体をＹ軸方向のスライドさせたい向きに移動させて取り付け位置を変更し（図８（ｂ）。図中に示す矢印Ｂ）、新たな取り付け位置が定まったら再度固定ネジ５４を締め付けることによって行う（図８（ｃ）。図中に示す矢印Ａ２）。
【００３８】
このように、本実施の形態１におけるスクリーン印刷機１の反り矯正体１０では、各押圧部材３３は押圧部材３３の配列方向（Ｙ軸方向）に相対移動自在になっているので、各押圧部材３３のベースプレート４１に対する取り付け位置を変更して、隣接する押圧部材３３同士の間隔を自在に変更することができる。
【００３９】
クランプ部材１４によりクランプした基板ＰＢの反りの矯正を行うときは、基板位置決めユニット３を作動させて、基板ＰＢの上面が反り矯正体１０に下方から押し付けられるようにするが、このとき、４個の押圧部材３３のうち、最も固定コンベアＣＢａに近い側の押圧部材３３のＹ軸方向外側端部と、固定コンベアＣＢａ側のクランプ部材１４の上面のＹ軸方向内側端部とが当接するように（図９（ａ），（ｂ），（ｃ）参照）、反り矯正体１０の位置決めを予め行っておく。
【００４０】
これにより、反り矯正体１０が備える４個の押圧部材３３のうち、基板ＰＢのサイズに応じた一部又は全部の押圧部材３３が基板ＰＢと接触して基板ＰＢが押圧される。例えば、図９（ａ）のように基板ＰＢの幅方向寸法が大きく、コンベア幅Ｗが最大値近くの値に設定されている場合には、４個の押圧部材３３の全てが基板ＰＢの上面に接触し、これら４個の押圧部材３３で基板ＰＢを押圧して基板ＰＢの反りを矯正することになるが、図９（ｂ）のように基板ＰＢの幅方向寸法が小さく、コンベア幅Ｗが最大値よりも小さい値に設定されている場合には、設定されたコンベア幅Ｗの値によっては（基板ＰＢのサイズによっては）、４個の押圧部材３３のうちの一部の（図９（ｂ）では３個の）押圧部材３３のみが基板ＰＢと接触してその基板ＰＢを押圧することになる（基板ＰＢと接触しない押圧部材３３は基板ＰＢの押圧に関する限り、遊んだ状態となる）。そして、各押圧部材３３はばね部材６３を介してベース部３２に（直接的には押圧部材取り付けブラケット４２に）取り付けられており、基板ＰＢと接触した押圧部材３３はばね部材６３を介してそれぞれ独立して基板ＰＢを押圧することになるので、基板ＰＢのサイズによらずに押し付け力をバランスよく基板ＰＢに作用させることができる。
【００４１】
また、４個の押圧部材３３はそれぞれ押圧部材３３の配列方向（ここではＹ軸方向）に相対移動自在になっており、前述のように、隣接する押圧部材３３同士の間隔を自在に変
更することができるので、基板ＰＢのサイズに応じて押圧部材３３同士の間の間隔を変更し、基板ＰＢが小さい場合であっても、４個の押圧部材３３の全部によって基板ＰＢを押圧するようにすることもできる（図９（ｃ））。
【００４２】
次に、図１０、図１１及び図１２を用いてスクリーン印刷機１の動作について説明する。スクリーン印刷機１の制御装置２０は、スクリーン印刷機１が外部（搬入コンベア１５の上流側）から基板ＰＢが投入されたことを図示しない検知手段により検知したら、搬入コンベア１５を作動させてその基板ＰＢを受け取り、位置決めコンベア１３に受け渡す（図１０（ａ）中に示す矢印Ｃ。基板搬入工程）。そして、図示しない検知手段により、位置決めコンベア１３が搬送する基板ＰＢが所定の作業位置に到達したことを検知したら、位置決めコンベア１３の作動を停止させて位置決めを行う（図１０（ｂ）。基板位置決め工程）。
【００４３】
制御装置２０は、基板ＰＢの作業位置への位置決めを行ったら、基板位置決めユニット３が備える上下方向位置決め部１２の第２昇降テーブル１２ｂを第１昇降テーブル１２ａに対して上昇させ（図１１（ａ）中に示す矢印Ｄ１）、下受けユニット１２ｃが基板ＰＢの下面に接触したら第２昇降テーブル１２ｂの上昇を停止させる。そして、クランプ部材１４を作動させ、位置決めコンベア１３上の基板ＰＢの両側部をクランプして保持する（図１１（ａ）中に示す矢印Ｅ１。基板保持工程）。
【００４４】
制御装置２０は、クランプ部材１４により基板ＰＢをクランプして保持したら、再び第２昇降テーブル１２ｂを第１昇降テーブル１２ａに対して上昇させ（図１１（ｂ）中に示す矢印Ｄ２）、下受けユニット１２ｃで基板ＰＢを押し上げる。これにより基板ＰＢは両端をクランプ部材１４に対して摺動させながら上昇し（位置決めコンベア１３からは上方に離間する）、基板ＰＢの上面が両クランプ部材１４の上面とほぼ同じ高さになったところで停止される（図１１（ｂ））。
【００４５】
制御装置２０は上記基板ＰＢのクランプ部材１４に対する高さ調整が終了したら（或いは高さ調整を行う以前に）、ＸＹロボット１７の反り矯正体移動用Ｘ軸ステージ１７ｃをＹ軸方向に移動させ、所定の待機位置に位置させておいた反り矯正体１０を位置決めコンベア１３の上方の所定の位置に移動させる（図１１（ｂ）中に示す矢印Ｆ１）。
【００４６】
制御装置２０は、反り矯正体１０を位置決めコンベア１３の上方の所定の位置に位置決めしたら、第１昇降テーブル１２ａをベーステーブル１１ｄに対して上昇させ（図１１（ｃ）中に示す矢印Ｄ３）、クランプ部材１４により保持された基板ＰＢを、反り矯正体１０が備える押圧部材３３の下面に下方から押し付ける（図１１（ｃ））。これにより基板ＰＢは反り矯正体１０が備える複数の押圧部材３３と下受けユニット１２ｃによって挟みつけられ、基板ＰＢの反りが矯正される（反り矯正工程）。
【００４７】
制御装置２０は、上記のようにして基板ＰＢの反りを矯正したら、第１昇降テーブル１２ａをベーステーブル１１ｄに対して下降させ（図１１（ｄ）。図中に示す矢印Ｄ４）、基板ＰＢを反り矯正体１０から下方に離間させる（図１１（ｄ））。そして、ＸＹロボット１７の反り矯正体移動用Ｘ軸ステージ１７ｃをＹ軸方向に移動させ、反り矯正体１０を待機位置に移動させる（図１１（ｄ）中に示す矢印Ｆ２）。
【００４８】
制御装置２０は、基板ＰＢの反り矯正工程が終了したら、ＸＹロボット１７のカメラ移動用Ｘ軸ステージ１７ｂ及びカメラ支持ステージ１７ｄを作動させてカメラユニット７を基板ＰＢとマスクプレート４の間の領域に移動させ、第１カメラ７ａにより基板ＰＢに設けられた基板位置検出マークの撮像を行わせるとともに、第２カメラ７ｂによりマスクプレート４に設けられたマスク位置検出マークの撮像を行わせる。そして、得られた基板位
置検出マークの画像データから基板ＰＢの位置を把握するとともに、得られたマスク位置検出マークの画像データからマスクプレート４の位置を把握する。
【００４９】
制御装置２０は、基板ＰＢの位置とマスクプレート４の位置を把握したら、基板位置決めユニット３が備える水平面内位置決め部１１の作動制御を行って基板ＰＢを水平面内方向に移動させ、基板ＰＢとマスクプレート４が上下方向に対向するように水平方向位置合わせを行う。そして、基板ＰＢとマスクプレート４の水平方向位置合わせが終わったら、制御装置２０は、基板位置決めユニット３が備える上下方向位置決め部１２の第１昇降テーブル１２ａをベーステーブル１１ｄに対して上昇させ（図１２（ａ）中に示す矢印Ｄ５）、基板ＰＢの被印刷面である上面をマスクプレート４に下方から接触させる（図１２（ａ）。マスクプレート接触工程）。これによりマスクプレート４のパターン孔４ａと基板ＰＢ上の電極ＤＴとが上下方向に合致した状態となる。
【００５０】
制御装置２０は、基板ＰＢをマスクプレート４に接触させたら、シリンジ５をマスクプレート４の上方に移動させてマスクプレート４の上面にペーストＰＴを供給させた後（図１２（ａ）。ペースト供給工程）、一方のスキージ６を下降させてそのスキージ６の下縁をマスクプレート４の上面に当接させる。そして、そのマスクプレート４に当接させたスキージ６をＹ軸方向に移動させ（図１２（ｂ）中に示す矢印Ｇ）、ペーストＰＴをスキージ６によってかき寄せてマスクプレート４のパターン孔４ａ内に充填させる（ペースト充填工程）。なお、図１２（ｂ）において、ペーストＰＴを矢印Ｇと反対の方向にかき寄せるときには、図中の左側のスキージ６を上昇させてマスクプレート４から離間させるとともに、右側のスキージ６をマスクプレート４の上面に当接させて、スキージ６を矢印Ｇと反対の方向に移動させる。
【００５１】
制御装置２０は、マスクプレート４のパターン孔４ａ内にペーストＰＴを充填させたら、第１昇降テーブル１２ａをベーステーブル１１ｄに対して下降させ、マスクプレート４を基板ＰＢから離間させる（図１２（ｃ）中に示す矢印Ｄ６）。これにより版離れが行われ（版離れ工程）、ペーストＰＴが基板ＰＢの電極ＤＴ上に印刷される。
【００５２】
制御装置２０は、基板ＰＢへのペーストＰＴの印刷が終了したら、クランプ部材１４を作動させて基板ＰＢのクランプを解除したうえで（図１２（ｃ）中に示す矢印Ｅ２）、第２昇降テーブル１２ｂを第１昇降テーブル１２ａに対して下降させ、基板ＰＢを位置決めコンベア１３上に降ろす。そして、基板位置決めユニット３が備える水平面内位置決め部１１を作動させ、搬出コンベア１６に対する位置決めコンベア１３の位置調整を行ったうえで、位置決めコンベア１３と搬出コンベア１６を作動させ、位置決めコンベア１３上の基板ＰＢを搬出コンベア１６に受け渡してそのままスクリーン印刷機１の外部に搬出する（基板搬出工程）。
【００５３】
（実施の形態２）
実施の形態２におけるスクリーン印刷機１では、実施の形態１におけるスクリーン印刷機１と反り矯正体の構成のみが異なる。図１３において、実施の形態２における反り矯正体７０は、ＸＹロボット１７を構成する反り矯正体移動用Ｘ軸ステージ１７ｃに一対のブラケット７１を介して取り付けられたベース部７２と、ベース部７２に取り付けられた複数の押圧部材７３を有して成る。
【００５４】
ベース部７２は、Ｙ軸方向に延びて設けられたベースプレート８１と、ベースプレート８１の下方にベースプレート８１の延びる方向と直交する方向（すなわちＸ軸方向）に延びて設けられた矩形の枠状体８２と、クランプ部材１４による基板ＰＢのクランプ方向（Ｙ軸方向）と直交する方向（Ｘ軸方向）に平行に並んで配列され、枠状体８２の下方を枠状体８２に対してＸ軸方向に移動自在に取り付けられた複数（ここでは５個）の押圧部材
取り付けブラケット８３を備えてなる。
【００５５】
ベースプレート８１は全体としてＹ軸方向に延びた長方形形状を有しており、短辺がＸ軸に平行、長辺がＹ軸に平行になっている。また、枠状体８２は長辺がＸ軸に平行、短辺がＹ軸に平行になっている。枠状体８２の長辺側の両側面（Ｘ軸と平行な両側面）にはＸ軸方向に延びた、実施の形態１のスライド溝４３と同様の構成のスライド溝（符号も同じく４３とする）が設けられている。
【００５６】
図１３において、各押圧部材取り付けブラケット８３はＹ軸方向に延びた長尺状の板状部材であり、その上面にＹ軸方向に対向して設けられた実施の形態１における固定具５１と同様の一対の固定具（符号も同じく５１とする）がそれぞれ枠状体８２の長辺側端面に係合している。このため、押圧部材取り付けブラケット８３はその全体を枠状体８２に対してＸ軸方向に移動させることができる。なお、各固定具５１のスライド溝４３に対する取り付け方は実施の形態１の場合と同様であり、図７の左側拡大図を参照することができるので、その詳細な説明は省略する。
【００５７】
図１３において、各押圧部材７３は、押圧部材取り付けブラケット８３と同様にＹ軸方向に延びた長尺状の部材であるが、そのＹ軸方向長さは押圧部材取り付けブラケット８３のＹ軸方向長さのおよそ半分であり、そのＹ軸方向両端部にはばね挿通部材取り付け穴９１が押圧部材７３を厚さ方向に貫通して設けられている。すなわちこの反り矯正体７０では、Ｙ軸方向に延びた押圧部材取り付けブラケット８３ひとつ当たり、Ｙ軸方向に延びた押圧部材７３が２つ、Ｙ軸方向に並んで取り付けられている。
【００５８】
図１３及び図１４において、各押圧部材７３は、実施の形態１における反り矯正体１０と同様の構成によって、対応する押圧部材取り付けブラケット８３に取り付けられている。すなわち、各押圧部材取り付けブラケット８３には、第１実施の形態のばね挿通部材６２と同様のばね挿通部材（符号も同じく６２とする）がＹ軸方向に４つ並んで設けられており、各ばね挿通部材６２のネジ部６２ａは実施の形態１と同様のばね部材６３と同様のばね部材（符号も同じく６３とする）を上下方向に挿通したうえで、押圧部材７３のばね挿通部材取り付け穴９１を上下方向に貫通して延び、押圧部材７３の下面に開口して設けられた実施の形態１におけるナット収容スペース６４と同様のナット収容スペース（符号も同じく６４とする）内において、実施の形態１におけるばね挿通部材抜け止めナット６５と同様のばね挿通部材抜け止めナット（符号も同じく６５とする）と螺合している。
【００５９】
このため、各押圧部材７３と押圧部材取り付けブラケット８３の間には２つのばね部材６３が介装された状態となっており（図１４）、ベース部７２を固定した状態で押圧部材７３の下面を下方から押圧すると、押圧部材７３はばね部材６３を縮ませながら押圧部材取り付けブラケット８３側に近づくことになる。
【００６０】
クランプ部材１４によりクランプした基板ＰＢの反りの矯正を行うときは、実施の形態１の場合と同様に、基板位置決めユニット３を作動させて、基板ＰＢの上面が反り矯正体７０に下方から押し付けられるようにするが、このとき、固定コンベアＣＢａ側に位置する５個の押圧部材７３のＹ軸方向外側端部と、固定コンベアＣＢａ側のクランプ部材１４の上面のＹ軸方向内側端部とが当接するように（図１５（ａ），（ｂ），（ｃ）参照）、反り矯正体７０の位置決めを予め行っておくようにする。
【００６１】
これにより、反り矯正体７０が備える１０個の押圧部材７３のうち、基板ＰＢのサイズに応じた一部又は全部の押圧部材７３が基板ＰＢと接触して基板ＰＢが押圧される。例えば、図１５（ａ）のように基板ＰＢの幅方向寸法が大きく、コンベア幅Ｗが最大値近くの値に設定されており、また基板ＰＢの長さ方向寸法（Ｘ軸方向の寸法）も大きい場合には
、１０個の押圧部材７３の全てが基板ＰＢの上面に接触し、これら１０個の押圧部材７３で基板ＰＢを押圧して基板ＰＢの反りを矯正することになるが、図１５（ｂ）又は図１５（ｃ）のように基板ＰＢの幅方向寸法が小さく、コンベア幅Ｗが最大値よりも小さく設定されており、或いは基板ＰＢの長さ方向寸法も比較的小さい場合には、設定されたコンベア幅Ｗの値によっては（基板ＰＢのサイズによっては）、１０個の押圧部材７３のうちの一部（図１５（ｂ）では６つ、図１５（ｃ）では３つ）の押圧部材７３のみが基板ＰＢと接触してその基板ＰＢを押圧することになる（この場合、基板ＰＢと接触しない押圧部材７３は基板ＰＢの押圧に関する限り、遊んだ状態となる）。そして、各押圧部材７３はばね部材６３を介してベース部７２に（直接的には押圧部材取り付けブラケット８３に）取り付けられており、基板ＰＢと接触した押圧部材７３はばね部材６３を介してそれぞれ独立して基板ＰＢを押圧することになるので、基板ＰＢのサイズが変わっても押し付け力をバランスよく基板ＰＢに作用させることができる。
【００６２】
また、この実施の形態２における反り矯正体７０では、各押圧部材取り付けブラケット８３に取り付けられた押圧部材７３は、押圧部材取り付けブラケット８３単位でその配列方向（Ｘ軸方向）に相対移動自在になっており、各押圧部材取り付けブラケット８３に設けられた一対の固定具５１のつまみ部５４ａ（図１４）の操作によって、各押圧部材７３のベースプレート８１に対する取り付け位置を変更することができ、Ｘ軸方向に隣接する押圧部材７３同士の間隔を自在に変更することが可能である。このため、基板ＰＢが比較的小さい場合であっても、基板ＰＢのサイズに応じて押圧部材７３同士の間の間隔を変更することによって、１０個の押圧部材７３の全部によって基板ＰＢを押圧するようにすることもできる（図１６）。
【００６３】
また、この実施の形態２における反り矯正体７０では、各押圧部材７３について、押圧部材取り付けブラケット８３との間に設けられるＹ軸方向に並んだ２つのばね部材６３は、クランプ部材１４による基板ＰＢのクランプ方向（Ｙ軸方向）に応じて異なるばね定数を有するものとなっている。すなわち、図１４において、１個の押圧部材７３について、Ｙ軸方向に並んで配置された２つのばね部材６３のうち、紙面の左側（固定コンベアＣＢａに近い側）のばね部材６３（符号を６３ａとする）のばね定数と、紙面の右側（固定コンベアＣＢａから遠い側）のばね部材６３（符号を６３ｂとする）のばね定数とを比べた場合、固定コンベアＣＢａから遠い側のばね部材６３ｂのばね定数が、固定コンベアＣＢａに近い側のばね部材６３ａのばね定数よりも相対的に低い値（したがって軟らかい）となっている。
【００６４】
反り矯正体７０に対してクランプ部材１４にクランプされた基板ＰＢが押し付けられたとき、反り矯正体７０が備える１０個の押圧部材７３のうち、固定コンベアＣＢａ側の５個の押圧部材７３には、基板ＰＢに対して極めて剛なクランプ部材１４（固定コンベアＣＢａ側のクランプ部材１４）から相対的な押し上げ力Ｐ（図１７（ａ））がほぼ直接作用することになるが、仮に、各押圧部材７３について、押圧部材取り付けブラケット８３との間に設けられるＹ軸方向に並んだ２つのばね部材６３が同一のばね定数を有するものであった場合には、押し上げ力Ｐが直接作用しない側のばね部材６３（図１７における紙面右側のばね部材６３ｂ）の縮み量は、押し上げ力Ｐがほぼ直接作用する側のばね部材６３（図１７における紙面左側のばね部材６３ａ）の縮み量よりも小さくなって、図１７（ｂ）に示すように押圧部材７３は水平姿勢から傾いてしまい、基板ＰＢを均一な力配分で押圧することができなくなるところである。
【００６５】
しかし、上述のように、この実施の形態２における反り矯正体７０では、各押圧部材７３について、押圧部材取り付けブラケット８３との間に設けられるＹ軸方向に並んだ２つのばね部材６３のうち、押し上げ力Ｐが直接作用しない側（固定コンベアＣＢａから遠い側）のばね部材６３（図１７における紙面右側のばね部材６３ｂ）のばね定数が、押し上
げ力Ｐがほぼ直接作用する側（固定コンベアＣＢａに近い側）のばね部材６３（図１７における紙面左側のばね部材６３ａ）のばね定数よりも相対的に低い値となっており、押し上げ力Ｐが直接作用しない側のばね部材６３（図１７における紙面右側のばね部材６３ｂ）の縮み量を、押し上げ力Ｐがほぼ直接作用する側のばね部材６３（図１７における紙面左側のばね部材６３ａ）の縮み量とほぼ同じ程度にすることができるので、図１７（ｄ）に示すように、押圧部材７３を水平姿勢に保持することができ、基板ＰＢを均一な力配分で押圧することができる。
【００６６】
以上説明したように、実施の形態１（又は実施の形態２）におけるスクリーン印刷機１は、基板ＰＢの両側部をクランプして保持するクランプ部材１４と、クランプ部材１４により保持された基板ＰＢの上方に位置されるベース部３２（実施の形態２ではベース部７２）に複数の押圧部材３３（実施の形態２では押圧部材７３）が取り付けられて成る反り矯正体１０（実施の形態２では反り矯正体７０）と、クランプ部材１４により保持された基板ＰＢの上面を反り矯正体１０が備える押圧部材３３の下面に相対的に押し付ける押し付け手段としての基板位置決めユニット３と、反り矯正体１０に押し付けられて反りが矯正された基板ＰＢに接触されるマスクプレート４と、基板ＰＢに接触されたマスクプレート４にペーストＰＴを供給するペースト供給手段としてのシリンジ５と、シリンジ５によりペーストＰＴが供給されたマスクプレート４に対して摺動し、マスクプレート４に設けられたパターン孔４ａを介して基板ＰＢにペーストＰＴを印刷するスキージ６を備えたものにおいて、反り矯正体１０が備える複数の押圧部材３３は、クランプ部材１４による基板ＰＢのクランプ方向であるＹ軸方向（第２の実施の形態では基板ＰＢのクランプ方向と直交する方向であるＸ軸方向）に平行に並んで配列され、それぞれ複数のばね部材６３を介してベース部３２に取り付けられたものとなっている。
【００６７】
本実施の形態１（又は実施の形態２）におけるスクリーン印刷機１では、反り矯正体１０（実施の形態２では反り矯正体７０）は、クランプ部材１４により保持された基板ＰＢの上方に位置されるベース部３２（実施の形態２ではベース部７２）に、クランプ部材１４による基板ＰＢのクランプ方向（実施の形態２では基板ＰＢのクランプ方向と直交する方向）に平行に並んで配列された複数の押圧部材３３（実施の形態２では押圧部材７３）がそれぞれ複数のばね部材６３を介して取り付けられた構成となっているので、基板ＰＢの反りの矯正時には、基板ＰＢと接触した一部の押圧部材３３（基板ＰＢのサイズによっては全ての押圧部材３３）がそれぞれ独立してばね部材６３を介して基板ＰＢを押圧することになる。このため、基板ＰＢのサイズによらずに押し付け力をバランスよく基板ＰＢに作用させることができ、基板ＰＢの反りを十分に矯正したうえでスクリーン印刷を行うことができる。
【００６８】
また、実施の形態１（又は実施の形態２）におけるスクリーン印刷機１では、複数の押圧部材３３（実施の形態２では押圧部材７３）は押圧部材３３の配列方向に相対移動自在になっており、それぞれベースプレート４１（実施の形態２ではベースプレート８１）に対する取り付け位置を変更することができるため、隣接する押圧部材３３同士の間隔を自在に変更することができる。これにより、異なるサイズの基板ＰＢに対して効率よく押圧することができ、基板ＰＢの反りの矯正を精度よく行うことができる。
【００６９】
また、実施の形態２におけるスクリーン印刷機１では、複数の押圧部材７３はクランプ部材１４による基板ＰＢのクランプ方向と直交する方向（Ｘ軸方向）に平行に並んで配列され、各押圧部材７３とベース部７２（直接的には押圧部材取り付けブラケット８３）との間に設けられた複数のばね部材６３が、クランプ部材１４による基板ＰＢのクランプ方向（Ｙ軸方向）の位置に応じて異なるばね定数を有しているので、押圧部材７３の端部に相対的な押し上げ力Ｐが作用した場合であっても、押圧部材７３が水平姿勢から傾いてしまう不都合を防止し、押圧部材７３を水平姿勢に保持することによって、基板ＰＢを均一
な力配分で押圧して効率よく基板ＰＢの反りを矯正することができる。
【００７０】
なお、上記のスクリーン印刷機１においては、各押圧部材取り付けブラケット４２（又は押圧部材取り付けブラケット８３）に取り付けられたばね挿通部材６２のネジ部６２ａからばね挿通部材抜け止めナット６５を取り外すことにより、各押圧部材取り付けブラケット４２（又は押圧部材取り付けブラケット８３）からばね挿通部材６２を取り外すことができるが、これにより、押圧部材取り付けブラケット４２から押圧部材３３を（又は押圧部材取り付けブラケット８３から押圧部材７３を）容易に取り外すことができ、これにより押圧部材３３（又は押圧部材７３）の下面の清掃等のメンテナンス作業を行うことができる。また、このようなメンテナンス作業等のため、反り矯正体１０（又は反り矯正体７０）全体をひとつのユニットとして、反り矯正体移動用Ｘ軸ステージ１７ｃから取り外すことができるようにしてもよい。
【００７１】
これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態１では、Ｙ軸方向に４個の押圧部材３３が配列された構成であったが、Ｙ軸方向に平行に並んで配列される押圧部材３３の個数は複数であればよく、特に限定されない。また、実施の形態２では、Ｘ軸方向に５個の押圧部材７３が配列された構成であったが、Ｘ軸方向に平行に並んで配列される押圧部材７３の個数は複数であればよく、特に限定されない。また、実施の形態２では、押圧部材取り付けブラケット８３のひとつ当たりにＹ軸方向に並べられた押圧部材７３の数は２個であったが、これは１個であってもよく、また３個以上であってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７２】
基板のサイズによらずに押し付け力をバランスよく基板に作用させることができ、基板の反りを十分に矯正したうえでスクリーン印刷を行うことができるスクリーン印刷機を提供する。
【符号の説明】
【００７３】
１  スクリーン印刷機
３  基板位置決めユニット（押し付け手段）
４  マスクプレート
４ａ  パターン孔
５  シリンジ（ペースト供給手段）
６  スキージ
１０  反り矯正体
１４  クランプ部材
３２  ベース部
３３  押圧部材
６３  ばね部材
ＰＢ  基板
ＰＴ  ペースト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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