(57)【要約】【課題】歩留まりの悪化を回避しつつ、情報媒体の製造コストを十分に低減する。【解決手段】ディスク状の情報媒体の製造時において中間体１００の一面にスパッタリング法によって機能層を形成する際に一面における外周部を覆って外周部に対する機能層形成用材料の付着を規制するための平面視円環状の外周マスク１であって、機能層の形成に際して機能層形成用材料が付着する材料付着面１５に凹部２１〜２３が形成されることにより、外周マスク１の厚み方向で外向きに突出した角部Ａ、および厚み方向で内向きに凹んだ角部Ｂが材料付着面１５に形成されると共に、ショットブラストによって材料付着面１５が表面処理されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク状の情報媒体の製造時において情報媒体用中間体の一面にスパッタリング法によって機能層を形成する際に当該一面における外周部を覆って当該外周部に対する機能層形成用材料の付着を規制するための平面視円環状の情報媒体製造用マスクであって、
前記機能層の形成に際して前記機能層形成用材料が付着する材料付着面に凹部および凸部の少なくとも一方が形成されることにより、情報媒体製造用マスクの厚み方向で外向きに突出した角部、および当該厚み方向で内向きに凹んだ角部の少なくとも一方が当該材料付着面に形成されると共に、ショットブラストによって当該材料付着面が表面処理されている情報媒体製造用マスク。
【請求項２】
当該情報媒体製造用マスクの周方向に沿って前記凸部および前記凹部の少なくとも一方が当該情報媒体製造用マスクの１周に亘って連続的に形成されている請求項１記載の情報媒体製造用マスク。
【請求項３】
請求項１または２記載の情報媒体製造用マスクを使用して前記情報媒体用中間体の前記一面にスパッタリング法によって前記機能層を形成して前記情報媒体を製造する情報媒体製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能層を形成する際に情報媒体用中間体の一面における外周部を覆って外周部に対する機能層形成用材料の付着を規制するための平面視円環状の情報媒体製造用マスク、およびその情報媒体製造用マスクを使用して情報媒体を製造する情報媒体製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の情報媒体製造用マスクを使用して情報媒体を製造する製造方法として、出願人は、特開２００３−８５８３８号公報に光記録媒体の製造方法を開示している。出願人が開示しているこの製造方法では、まず、プリグルーブを有する基板を射出成形する。次いで、反射層、第２の誘電体層、記録層、および第１の誘電体層（以下、これらを総称して「機能層」ともいう）をスパッタリング法によってこの順で形成する。この際には、基板ホルダに基板をセットすると共に、基板の中央部に内周マスクをセットし、かつ、基板の外周部に外周マスクをセットする。これにより、基板の内周部が内周マスクによって覆われると共に基板の外周部が外周マスクで覆われて、基板の中周部だけが露出した状態となる。この状態において、機能層形成用の材料を順次スパッタリングすることにより、上記の各機能層が基板上に形成される。この後、第１の誘電体層を覆うようにして、例えばスピンコート法によって光透過層を形成することにより、光記録媒体が完成する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−８５８３８号公報（第３−７頁、図１−９）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、出願人が開示している光記録媒体の製造方法、およびその際に使用する外周マスクには、以下の改善すべき課題がある。すなわち、出願人が開示している製造方法では、基板上にスパッタリング法によって各機能層を形成する際に、基板の中央部を内周マスクで覆うと共に、基板の外周部を外周マスクで覆った状態において機能層形成材料をスパッタリングしている。この際に、この種の機能層形成処理時においては、基板において内周マスクおよび外周マスクから露出している中周部だけでなく、内周マスクや外周マスクの表面にも機能層形成材料が付着して機能層と同様の層（以下、内周マスクや外周マスクに形成される層について、基板上に形成される層と区別することなく「機能層」ともいう）が形成される。
【０００５】
この場合、内周マスクや外周マスクは、複数枚の基板に対する上記の各機能層の形成処理時に繰り返して使用される。このため、例えば１００枚目の基板上に機能層を形成する際には、内周マスクや外周マスクの表面に９９枚の基板上に形成された各機能層の厚みの合計厚と同じ厚みの機能層が形成された状態においてスパッタリング処理が実行されることとなる。一方、この種の機能層の形成処理時（スパッタリング処理時に）においては、内周マスクや外周マスクが高温に晒されて膨張し、スパッタリング処理の完了後においては、内周マスクや外周マスクが冷却されて収縮することとなる。この際に、内周マスクについては、その直径が比較的小さいため、膨張や収縮による変形量が比較的小さいが、外周マスクについては、その直径が比較的大きいため、膨張や収縮による変形量が比較的大きくなっている。したがって、複数枚の基板に対する機能層の形成処理に際して繰り返し使用されることで、その表面に厚手の機能層が形成された外周マスクが大きく変形することに起因して、外周マスクの表面から機能層の一部が剥離することがある。
【０００６】
この際に、外周マスクから剥離した剥離片が基板上に付着したときには、不良品の光情報媒体が製造されることとなる。このため、外周マスクから機能層が剥離する頻度が高くなることで、光情報媒体についての製造の歩留まりが悪化する事態を招くこととなる。したがって、出願人は、外周マスクや内周マスクの表面（機能層形成材料が付着する材料付着面）から機能層が剥離し難くなるように、材料付着面をショットブラストによって表面処理している。しかしながら、１枚の外周マスクを用いて数千枚以上の基板に対する機能層の形成処理を実行したときには、表面処理しているにも拘わらず、材料付着面からの機能層の剥離を招くことがある。一方、外周マスクの繰返し使用回数（１枚の外周マスクを繰り返して使用する回数）を少数回に制限することで、機能層が剥離する事態を回避することが可能ではある。しかしながら、繰返し使用回数を少数回に制限した場合には、外周マスクから機能層を除去するクリーニング処理の頻度が高くなるため、これに起因して、光記録媒体の製造コストを低減するのが困難となる。
【０００７】
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、歩留まりの悪化を回避しつつ、情報媒体の製造コストを十分に低減し得る情報媒体製造用マスクおよび情報媒体製造方法を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成すべく本発明に係る情報媒体製造用マスクは、ディスク状の情報媒体の製造時において情報媒体用中間体の一面にスパッタリング法によって機能層を形成する際に当該一面における外周部を覆って当該外周部に対する機能層形成用材料の付着を規制するための平面視円環状の情報媒体製造用マスクであって、前記機能層の形成に際して前記機能層形成用材料が付着する材料付着面に凹部および凸部の少なくとも一方が形成されることにより、情報媒体製造用マスクの厚み方向で外向きに突出した角部、および当該厚み方向で内向きに凹んだ角部の少なくとも一方が当該材料付着面に形成されると共に、ショットブラストによって当該材料付着面が表面処理されている。なお、本発明に係る情報媒体製造用マスクには、材料付着面をショットブラストによって表面処理した後に凹部や凸部を形成したもの、および材料付着面に凹部や凸部を形成した後に凹部や凸部の表面を含めてショットブラストによって表面処理したものの双方がこれに含まれる。
【０００９】
また、本発明に係る情報媒体製造用マスクは、当該情報媒体製造用マスクの周方向に沿って前記凸部および前記凹部の少なくとも一方が当該情報媒体製造用マスクの１周に亘って連続的に形成されている。
【００１０】
また、本発明に係る情報媒体製造方法、上記のいずれかの情報媒体製造用マスクを使用して前記情報媒体用中間体の前記一面にスパッタリング法によって前記機能層を形成して前記情報媒体を製造する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明に係る情報媒体製造用マスク、および本発明に係る情報媒体製造用マスクを使用した情報媒体製造方法によれば、材料付着面に凹部および凸部の少なくとも一方を形成することによって、厚み方向で外向きに突出した角部、および厚み方向で内向きに凹んだ角部の少なくとも一方を材料付着面に形成すると共に、ショットブラストによって材料付着面を表面処理して情報媒体製造用マスクを構成したことにより、凹部および凸部の少なくとも一方の形成によって材料付着面に形成された角部に食い付くようにして機能層が情報媒体製造用マスク（材料付着面）と一体化した状態となるため、例えば、材料付着面をショットブラストによって表面処理しただけの情報媒体製造用マスクと比較して、膨張や収縮に伴って情報媒体製造用マスクに変形が生じた状態においても、機能層が材料付着面から剥離し難くなっている。これにより、材料付着面から剥離した剥離片が情報媒体用中間体の表面に付着する事態を回避することができるため、情報媒体についての製造の歩留まりを十分に向上させることができる。また、機能層が材料付着面から剥離するのを回避するために情報媒体製造用マスクの繰返し使用回数を少数回に制限する必要がなくなることから、情報媒体製造用マスクに対するクリーニング処理の頻度を低下させることができる結果、情報媒体の製造コストを十分に低減することができる。
【００１２】
また、本発明に係る情報媒体製造用マスクによれば、および本発明に係る情報媒体製造用マスクを使用した情報媒体製造方法によれば、その周方向に沿って凸部および凹部の少なくとも一方を１周に亘って連続的に形成して情報媒体製造用マスクを構成したことにより、膨張や収縮に伴って情報媒体製造用マスクに変形が生じた状態においても、周方向の全域において機能層が各角部に食い付いた状態が維持されて、情報媒体製造用マスクの各部と共に伸縮するように機能層が変形する結果、材料付着面から機能層が剥離する事態を回避することができる。これにより、情報媒体についての製造の歩留まりを一層向上させることができると共に、情報媒体製造用マスクの繰返し使用回数を多数回に規定することができるため、情報媒体の製造コストを一層低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】外周マスク１の平面図である。
【図２】外周マスク１の断面図である。
【図３】外周マスク１を使用して中間体１００に機能層を形成する方法について説明するための断面図である。
【図４】外周マスク１Ａの平面図である。
【図５】外周マスク１Ａの断面図である。
【図６】外周マスク１Ｂの平面図である。
【図７】外周マスク１Ｃの平面図である。
【図８】外周マスク１Ｄの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る情報媒体製造用マスクおよび情報媒体製造方法の実施の形態について説明する。
【００１５】
図１に示す外周マスク１は、「情報媒体製造用マスク」の一例であって、ディスク状の情報媒体の一例である相変化記録型の光ディスク（図示せず）の製造時において、中間体１００（「情報媒体用中間体」の一例：図２，３参照）の一面に反射層や記録層（誘電体層や記録材料層）などの各種機能層を形成する際に中間体１００の一面における外周部を覆って外周部に対する機能層形成用材料の付着を規制可能に構成されている。この外周マスク１は、各種の金属やそれらの合金、およびセラミックスなどの各種材料を用いて製作することができるが、ここでは、一例として、ステンレススチールを用いて、その内径（後述する内周側端部１２間の距離）が中間体１００の外径（一例として、１２０ｍｍ）よりもやや小径の（１１８ｍｍ程度）となるように平面視円環状に形成されている。
【００１６】
この場合、図２に示すように、この外周マスク１は、図示しないスパッタリング装置のホルダ（機能層の形成時に外周マスク１および中間体１００や、図示しない内周マスクをセットする基部）に当接させられる取付け面１１が平坦となるように研磨されている。また、取付け面１１における内周側端部１２には、中間体１００の外周部が係合させられる係合用凹部１３（中間体１００を係止するための凹部）が形成されている。さらに、この外周マスク１は、スパッタリング処理時に機能層形成用材料が付着する材料付着面１５（取付け面１１の裏面）が内周側端部１２に向かって徐々に薄厚となるように傾斜させられている。
【００１７】
また、図１に示すように、この外周マスク１では、その周方向に沿って複数（一例として３つ）の同心の円環状の凹部２１〜２３が外周マスク１の１周に亘って材連続的に材料付着面１５に形成されている（「凹部および凸部の少なくとも一方」が凹部の例）。これにより、図２に示すように、この外周マスク１では、各凹部２１〜凹部２３の縁部に、外周マスク１の厚み方向で外向きに突出した６つの角部Ａ、および外周マスク１の厚み方向で内向きに凹んだ３つの角部Ｂが材料付着面１５に形成された状態となっている（「厚み方向で外向きに突出した角部、および厚み方向で内向きに凹んだ角部の少なくとも一方」が「双方」の例）。
【００１８】
この場合、この外周マスク１では、内周側端部１２に向かって傾斜させられた材料付着面１５を、その周方向に沿って切削加工することによって上記の凹部２１〜２３が形成されている。なお、この外周マスク１では、３つの同心の円環状の凹部２１〜２３が材料付着面１５に形成されているが、この凹部２１〜２３に代えて、螺旋帯状の凹部を材料付着面１５に３周程度に亘って連続的に形成することにより（図示せず）、上記の外周マスク１によって奏される後述する効果と同様の効果を奏することができる。また、この外周マスク１では、材料付着面１５が、上記の凹部２１〜２３内を含めてショットブラスト（ブラスト加工）によって表面処理されている。この場合、ステンレススチールで形成されたこの外周マスク１では、例えば、＃６０〜＃１５０程度の粒度のアルミナ粉などを用いて、風量＝５〜１０ｍ３／ｍｉｎの処理条件で材料付着面１５が表面処理されている。
【００１９】
この外周マスク１を使用して光ディスクを製造する際には、まず、射出成形によってプリグルーブが形成された中間体１００をスパッタリング装置のホルダにセットする。次いで、図３に示すように、中間体１００の外周部に係合用凹部１３を係合させるようにして外周マスク１をホルダにセットすると共に、図示しない内周ホルダを中間体１００の中央部にセットする。この状態において、矢印Ｘで示すように、反射層形成用の材料、第２誘電体層形成用の材料、記録層形成用の材料、および第１誘電体層形成用の材料を順次スパッタリングすることにより、中間体１００において外周マスク１や内周マスクから露出している中周領域に、反射層、第２誘電体層、記録層および第１誘電体層が中間体１００の上にこの順で形成される（図示せず）。この後、第１誘電体層を覆うようにして、例えばスピンコート法によって光透過層を形成することにより、光ディスクが完成する。
【００２０】
上記の機能層の形成処理時に使用した外周マスク１や内周マスクは、出願人が開示している従来の製造方法において使用される両マスクと同様にして、複数枚の中間体１００に対する各機能層の形成処理時に繰り返して使用される。このため、例えば１００枚目の中間体１００上に機能層を形成する際には、９９枚の中間体１００上に形成された各機能層の厚みの合計厚と同じ厚みの機能層が外周マスク１の材料付着面１５に形成された状態においてスパッタリング処理が実行されることとなる。この場合、ショットブラストによって表面処理されただけの平坦な材料付着面（上記の各角部Ａや各角部Ｂが存在しない材料付着面）を有する外周マスク（以下、「既存の外周マスク」ともいう）を使用したときには、前述したように、膨張や収縮に伴う変形に伴い、材料付着面に形成された機能層が材料付着面から剥離する事態を招き易くなっている。
【００２１】
これに対して、この外周マスク１では、機能層形成材料が付着して厚手の機能層が形成される材料付着面１５に３つの凹部２１〜２３（ショットブラストによって形成された凹部よりも十分に大きな凹部）が形成されて、複数の角部Ａおよび複数の角部Ｂが材料付着面１５に形成された状態となっている。このため、この外周マスク１では、材料付着面１５に形成された機能層が、各角部Ａおよび各角部Ｂに食い付くようにして外周マスク１と一体化した状態となる。したがって、この外周マスク１では、膨張や収縮に伴って外周マスク１に変形が生じた状態においても、その周方向の全域において、材料付着面１５に形成された機能層の剥離が生じ難くなっている。この場合、上記の既存の外周マスク、および上記の外周マスク１を使用して複数毎の中間体１００に機能層の形成処理を試みたところ、既存の外周マスクでは、目標とする繰返し使用回数まで使用した状態において、機能層が剥離した痕跡や、剥離が生じそうな部位が認められた。これに対して、上記の外周マスク１では、目標とする繰返し使用回数まで使用した状態においても機能層が剥離した痕跡や、剥離が生じそうな部位が認められないだけでなく、目標回数に対する１．５倍の使用回数まで使用した状態においても機能層が剥離した痕跡や、剥離が生じそうな部位が認められなかった。
【００２２】
このように、この外周マスク１、および外周マスク１を使用した光ディスクの製造方法によれば、材料付着面１５に凹部および凸部の少なくとも一方（この例では、３つの凹部２１〜２３）を形成することによって、厚み方向で外向きに突出した角部Ａ、および厚み方向で内向きに凹んだ角部Ｂの少なくとも一方（この例では、双方）を材料付着面１５に形成すると共に、ショットブラストによって材料付着面１５を表面処理して外周マスク１を構成したことにより、凹部２１〜２３の形成によって材料付着面１５に形成された各角部Ａおよび各角部Ｂに食い付くようにして機能層が外周マスク１（材料付着面１５）と一体化した状態となるため、例えば、材料付着面をショットブラストによって表面処理しただけの外周マスクと比較して、膨張や収縮に伴って外周マスク１に変形が生じた状態においても、機能層が材料付着面１５から剥離し難くなっている。これにより、材料付着面１５から剥離した剥離片が中間体１００の表面に付着する事態を回避することができるため、光ディスクについての製造の歩留まりを十分に向上させることができる。また、機能層が材料付着面１５から剥離するのを回避するために外周マスク１の繰返し使用回数を少数回に制限する必要がなくなることから、外周マスク１に対するクリーニング処理の頻度を低下させることができる結果、光ディスクの製造コストを十分に低減することができる。
【００２３】
また、この外周マスク１、および外周マスク１を使用した光ディスクの製造方法によれば、その周方向に沿って凸部および凹部の少なくとも一方（この例では、３つの凹部２１〜２３）を１周に亘って連続的に形成して外周マスク１を構成したことにより、膨張や収縮に伴って外周マスク１に変形が生じた状態においても、周方向の全域において機能層が各角部Ａや各角部Ｂに食い付いた状態が維持されて、外周マスク１の各部と共に伸縮するように機能層が変形する結果、材料付着面１５から機能層が剥離する事態を回避することができる。これにより、光ディスクについての製造の歩留まりを一層向上させることができると共に、外周マスク１の繰返し使用回数を多数回に規定することができるため、光ディスクの製造コストを一層低減することができる。
【００２４】
なお、外周マスクの構成は、上記の外周マスク１の構成に限定されない。例えば、図４，５に示す外周マスク１Ａでは、上記の外周マスク１における凹部２１〜２３に代えて、複数の丸穴３１（ショットブラストによって形成された凹部よりも十分に大きな凹部）が材料付着面１５ａに形成されている（「凹部および凸部の少なくとも一方」が凹部の他の例）。これにより、この外周マスク１Ａでは、各丸穴３１の縁部に、外周マスク１Ａの厚み方向で外向きに突出した角部Ａが形成された状態となっている。なお、両図に示す外周マスク１Ａ、および後に説明する外周マスク１Ｂ〜１Ｄ（図６〜８参照）において、上記の外周マスク１と同一の機能を有する構成要素については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。この外周マスク１Ａを使用した機能層の形成処理（スパッタリング処理）時においても、上記の外周マスク１を使用したときと同様にして、材料付着面１５ａに形成された機能層が各角部Ａに食い付くようにして外周マスク１Ａと一体化した状態となる。したがって、この外周マスク１Ａによれば、上記の外周マスク１と同様の効果を奏することができる。
【００２５】
また、図６に示す外周マスク１Ｂでは、上記の外周マスク１における凹部２１〜２３に代えて、その径方向に沿って複数の凹部４１（ショットブラストによって形成された凹部よりも十分に大きな凹部）が材料付着面１５ｂに形成されている（「凹部および凸部の少なくとも一方」が凹部のさらに他の例）。これにより、この外周マスク１Ｂでは、各凹部４１の縁部に、外周マスク１Ｂの厚み方向で外向きに突出した複数の角部Ａ、および厚み方向で内向きに凹んだ複数の角部Ｂが形成された状態となっている。この外周マスク１Ｂを使用した機能層の形成処理（スパッタリング処理）時においても、上記の外周マスク１，１Ａを使用したときと同様にして、材料付着面１５ｂに形成された機能層が各角部Ａや各角部Ｂに食い付くようにして外周マスク１Ｂと一体化した状態となる。したがって、この外周マスク１Ｂによれば、上記の外周マスク１，１Ａと同様の効果を奏することができる。
【００２６】
さらに、図７に示す外周マスク１Ｃでは、上記の外周マスク１における凹部２１〜２３に代えて、例えばローレット加工によって複数の網目模様状の浅溝５１が材料付着面１５ｃに形成されている。この場合、ローレット加工によって上記の浅溝５１を形成した場合には、母材の一部が剔られるようにして凹部（ショットブラストによって形成された凹部よりも十分に大きな凹部）が形成されると共に、凹部の幅方向における両縁部に盛り上がりが生じて凸部（ショットブラストによって形成された凸部よりも十分に大きな凸部）が形成される（「凹部および凸部の少なくとも一方」が双方の例）。これにより、この外周マスク１Ｃでは、各浅溝５１の縁部に、外周マスク１Ｃの厚み方向で外向きに突出した複数の角部、および厚み方向で内向きに凹んだ複数の角部が形成された状態となっている。この外周マスク１Ｃを使用した機能層の形成処理（スパッタリング処理）時においても、上記の外周マスク１、１Ａ，１Ｂを使用したときと同様にして、材料付着面１５ｃに形成された機能層が各角部に食い付くようにして外周マスク１Ｃと一体化した状態となる。したがって、この外周マスク１Ｃによれば、上記の外周マスク１，１Ａ，１Ｂと同様の効果を奏することができる。
【００２７】
また、図８に示す外周マスク１Ｄでは、上記の外周マスク１における凹部２１〜２３に代えて、その周方向に沿って複数（一例として２つ）の同心の円環状の凸部６１，６２（ショットブラストによって形成された凸部よりも十分に大きな凸部）が連続的に形成されている。（「凹部および凸部の少なくとも一方」が凸部の例）。これにより、この外周マスク１Ｄでは、各凸部６１，６２の縁部に、外周マスク１Ｄの厚み方向で外向きに突出した複数の角部Ａ、および厚み方向で内向きに凹んだ複数の角部Ｂが形成された状態となっている。この外周マスク１Ｄを使用した機能層の形成処理（スパッタリング処理）時においても、上記の外周マスク１、１Ａ〜１Ｃを使用したときと同様にして、材料付着面１５ｄに形成された機能層が各角部Ａや各角部Ｂに食い付くようにして外周マスク１Ｄと一体化した状態となる。したがって、この外周マスク１Ｄによれば、上記の外周マスク１，１Ａ〜１Ｃと同様の効果を奏することができる。
【符号の説明】
【００２８】
１，１Ａ〜１Ｄ  外周マスク
１１  取付け面
１５，１５ａ〜１５ｄ  材料付着面
２１〜２３，４１  凹部
３１  丸穴
５１  浅溝
６１，６２  凸部
Ａ，Ｂ  角部
１００  中間体
【図１】
2011192344.tif 000003
【図２】
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【図３】
2011192344.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2011192344.tif 000008
【図７】
2011192344.tif 000009
【図８】
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