(57)【要約】【課題】メタルマスクの不良有無を精密で安定的に検査することができるマスク不良検査装置を提供する。【解決手段】マスク不良検査装置１００は、検査対象であるメタルマスクＭＭが置かれる支持台３１と、前記支持台の両側に配置されて、前記メタルマスクの両側周縁を固定するクランプ部３２と、前記クランプ部によって固定された前記メタルマスクに引張力を加えるテンション部３３とを含む引張ジグユニット３０;及び前記引張ジグユニットによって固定されたメタルマスクを検査する検査ユニット２０；を含み、前記支持台上に置かれた前記メタルマスクと前記検査ユニットとの間の垂直方向の距離ｄ１は、前記クランプ部及び前記テンション部と前記検査ユニットとの間の垂直方向の距離ｄ２と同一または短く形成される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象であるメタルマスクが置かれる支持台と、
前記支持台の両側に配置されて、前記メタルマスクの両側周縁を固定するクランプ部と、
前記クランプ部によって固定された前記メタルマスクに引張力を加えるテンション部とを含む引張ジグユニット;及び
前記引張ジグユニットによって固定された前記メタルマスクを検査する検査ユニット；を含み、
前記支持台上に置かれた前記メタルマスクと前記検査ユニットとの間の垂直方向の距離は、前記クランプ部及び前記テンション部と前記検査ユニットとの間の垂直方向の距離と同一または短く形成される、マスク不良検査装置。
【請求項２】
前記支持台に置かれた前記メタルマスクは、前記支持台の周縁で予め設定された角度に折れて前記クランプ部に固定される、請求項１に記載のマスク不良検査装置。
【請求項３】
前記予め設定された角度は、１０度乃至３０度の範囲内に属する、請求項２に記載のマスク不良検査装置。
【請求項４】
前記メタルマスクの周縁を固定する前記クランプ部の固定面は、前記メタルマスクが置かれた前記支持台の表面に対して所定の傾斜角を有する、請求項１〜３のいずれか１項に記載のマスク不良検査装置。
【請求項５】
前記所定の傾斜角は、１０度乃至３０度の範囲内に属する、請求項４に記載のマスク不良検査装置。
【請求項６】
前記テンション部は、前記クランプ部を引っ張って前記メタルマスクに引張力を加える、請求項１〜５のいずれか１項に記載のマスク不良検査装置。
【請求項７】
前記検査ユニット及び前記引張ジグユニットのうちのいずれか一方を他の一方に対して平行な方向に移送させる移送ユニットをさらに含む、請求項１〜６のいずれか１項に記載のマスク不良検査装置。
【請求項８】
前記検査ユニットは、前記支持台上に置かれた前記メタルマスクの不良有無を検出するためのカメラ部と、前記カメラ部の周辺に配置された照明部とを含む、請求項１〜７のいずれか１項に記載のマスク不良検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスク不良検査装置に関し、より詳しくは、表示パネルの製造工程に使用されるマスクの不良有無を検査するマスク不良検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
表示パネルの製造工程では、多様な種類のマスクが使用されている。その中でも、メタルマスク（ｍｅｔａｌ  ｍａｓｋ）は、精密な工程に使用される。そのため、メタルマスクに微細な異物が付着したり、パターンが損傷されるなどの不良が発生すると、当該メタルマスクを使用する製造工程全体に大きな損失をもたらすことがある。
【０００３】
従って、メタルマスクは、使用前または使用後に定期的に不良有無を検査する必要がある。メタルマスクの不良有無の検査方法としては、検査しようとするメタルマスクをジグに固定した後、検査用カメラで固定したメタルマスクの不良有無を検査する方法がある。この時、カメラが検査しようとするメタルマスクに近づくほどパターンの損傷有無及び異物を検出する能力が向上する。
【０００４】
しかし、メタルマスクの周縁を固定するジグのクランプなどが一般に上に突出した構造を有するため、検査用カメラは、ジグと衝突しない範囲内でのみジグに固定されたメタルマスクに近づくことができた。つまり、メタルマスクを固定するジグの構造により、カメラが検査のためにメタルマスクに近づいたり、メタルマスクの周縁部分を検査するのに限界があった。従って、メタルマスクの不良有無を精密で安定的に検査することができない問題点があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本発明は、前記問題点を解決するために構成されたものであって、本発明の目的は、メタルマスクの不良有無を精密で安定的に検査することができる、マスク不良検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の実施例によるマスク不良検査装置は、検査対象であるメタルマスク（ｍｅｔａｌ  ｍａｓｋ）が置かれる支持台と、前記支持台の両側に配置されて、前記メタルマスクの両側周縁を固定するクランプ部と、前記クランプ部によって固定された前記メタルマスクに引張力を加えるテンション部とを含む引張ジグユニット（ｊｉｇ  ｕｎｉｔ）;及び前記引張ジグユニットによって固定されたメタルマスクを検査する検査ユニット；を含み、前記支持台上に置かれた前記メタルマスクと前記検査ユニットとの間の垂直方向の距離は、前記クランプ部及び前記テンション部と前記検査ユニットとの間の垂直方向の距離と同一または短く形成される。
【０００７】
前記支持台に置かれた前記メタルマスクは、前記支持台の周縁で予め設定された角度に折れて前記クランプ部に固定されることができる。
【０００８】
前記予め設定された角度は、１０度乃至３０度の範囲内に属することができる。
【０００９】
前記メタルマスクの周縁を固定する前記クランプ部の固定面は、前記メタルマスクが置かれた前記支持台の表面に対して所定の傾斜角を有することができる。
【００１０】
前記所定の傾斜角は、１０度乃至３０度の範囲内に属することができる。
【００１１】
前記テンション部は、前記クランプ部を引っ張って前記メタルマスクに引張力を加えることができる。
【００１２】
前記検査ユニット及び前記引張ジグユニットのうちのいずれか一方を他の一方に対して平行な方向に移送させる移送ユニットをさらに含むことができる。
【００１３】
前記マスク不良検査装置において、前記検査ユニットは、前記支持台上に置かれた前記メタルマスクの不良有無を検出するためのカメラ部と、前記カメラ部の周辺に配置された照明部とを含むことができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のマスク不良検査装置によれば、メタルマスクの不良有無を精密で安定的に検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施例によるマスク検査装置の正面図である。
【図２】図１の引張ジグユニットの正面図である。
【図３】図１の引張ジグユニットの部分平面図である。
【図４】図１の引張ジグユニットの部分拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下で、添付図面を参考にして、本発明の実施例について、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施できるように詳しく説明する。本発明は、多様な異なる形態に具現され、ここで説明する実施例に限られない。
【００１７】
本発明を明確に説明するために、説明に不要な部分は省略し、明細書全体にわたって同一または類似した構成要素については、同一な参照符号を付けた。
【００１８】
また、図面に示した各構成の大きさ及び厚さは、説明の便宜上、任意に示したものであるため、本発明が必ずしも示されたものに限られるわけではない。
【００１９】
また、図面では、多くの層及び領域を明確に表示するために、厚さを拡大して示した。また、図面においては、説明のために一部の層及び領域の厚さを誇張して示した。層、膜、領域、板などの部分がある部分の「上に」または「上部に」あるとする場合、これはある部分の「直ぐ上に」ある場合だけでなく、その中間にまた他の部分がある場合も含む。
【００２０】
以下、図１乃至図４を参照して、本発明の一実施例によるマスク不良検査装置１００を説明する。
【００２１】
図１に図示したように、マスク不良検査装置１００は、引張ジグユニット（ｊｉｇ  ｕｎｉｔ）３０及び検査ユニット２０を含む。マスク不良検査装置１００は、引張ジグユニット３０が装着されるベース部材５０をさらに含むことができる。
【００２２】
図２及び図３に示したように、引張ジグユニット３０は、支持台３１、クランプ部３２、及びテンション部３３を含む。支持台３１上には検査対象であるメタルマスク（ｍｅｔａｌ  ｍａｓｋ、ＭＭ）が置かれる。クランプ部３２は、支持台３１の両側に配置されて、支持台３１上に置かれたメタルマスク（ＭＭ）の両側周縁を固定する。テンション部３３は、メタルマスク（ＭＭ）の両側を固定する一対のクランプ部３２のうちのいずれか一方を引っ張って、クランプ部３２によって固定されたメタルマスク（ＭＭ）に引張力を加える。つまり、クランプ部３２及びテンション部３３は、検査対象であるメタルマスク（ＭＭ）を支持台３１上にぴんと張った状態に固定して、検査ユニット２０がメタルマスク（ＭＭ）を効果的に検査することができるようにする。
【００２３】
再び図１を参照して説明すれば、検査ユニット２０は、カメラ部２１及び照明部２２を含む。カメラ部２１は、引張ジグユニット３０の支持台３１の直ぐ上に置かれたメタルマスク（ＭＭ）の不良有無を検出する。照明部２２は、カメラ部２１の周辺に配置されて、カメラ部２１がメタルマスク（ＭＭ）の不良有無をより精密に検査することができるように、メタルマスク（ＭＭ）に光を照射する。ここで、照明部２２は、場合に応じて省略されてもよい。
【００２４】
検査ユニット２０は、カメラ２１によってメタルマスク（ＭＭ）に微細な異物が付着したか、パターンが損傷されたかなどの不良有無を検査する。従って、カメラ２１が検査対象であるメタルマスク（ＭＭ）に近づくほどより精密な検査を行うことができる。
【００２５】
また、マスク不良検査装置１００は、検査ユニット２０を引張ジグユニット３０に対して平行な方向に移送させる移送ユニット６０をさらに含む。しかし、本発明の一実施例がこれに限定されるのではなく、移送ユニット６０は、検査ユニット２０ではなく引張ジグユニット３０を検査ユニット２０に対して平行な方向に移送させることもできる。
【００２６】
また、引張ジグユニット３０の支持台３１の直ぐ上に置かれたメタルマスク（ＭＭ）と検査ユニット２０との間の垂直方向の距離（ｄ１）は、引張ジグユニット３０のクランプ部３２及びテンション部３３と検査ユニット２０との間の垂直方向の距離（ｄ２）と同一または短く形成される。つまり、クランプ部３２及びテンション部３３は、支持台３１の直ぐ上に置かれたメタルマスク（ＭＭ）より、検査ユニット２０から垂直方向に同一またはより遠く離れるように配置される。
【００２７】
従って、検査ユニット２０がメタルマスク（ＭＭ）を精密に観察するためにメタルマスク（ＭＭ）に最大限近く近づいても、メタルマスク（ＭＭ）を固定するクランプ部３２及びテンション部３３と衝突することなく、メタルマスク（ＭＭ）の周縁部分まで安定的に観察して不良有無を検査することができる。
【００２８】
図４を参照して、引張ジグユニット３０のクランプ部３２及びテンション部３３が支持台３１の直ぐ上に置かれたメタルマスク（ＭＭ）と同一または低い高さに位置して、メタルマスク（ＭＭ）を安定的に固定するために形成された引張ジグユニット３０の構造を具体的に説明する。また、本発明の一実施例では、テンション部３３がクランプ部３２より下に位置するので、クランプ部３２を基準にして説明する。
【００２９】
図４に示したように、支持台３１の直ぐ上に置かれたメタルマスク（ＭＭ）は、支持台３１の周縁で予め設定された角度に折れてクランプ部３２に固定される。この時、予め設定された角度（θ）は、１０度乃至３０度の範囲内に属する。
【００３０】
メタルマスク（ＭＭ）が支持台３１の周縁で折れる角度（θ）が１０度より小さいと、クランプ部３２の高さを支持台３１の直ぐ上に置かれたメタルマスク（ＭＭ）と同一または低い高さに位置させるのが難しい。その反面、メタルマスク（ＭＭ）が支持台３１の周縁で折れる角度（θ）が３０度より大きいと、テンション部３３（図２に図示）がメタルマスク（ＭＭ）に加える引張力によってメタルマスク（ＭＭ）の折れた部分が変形したり損傷されることがある。また、メタルマスク（ＭＭ）が支持台３１の周縁で折れる角度（θ）が３０度より大きいと、支持台３１の中央部分上に置かれたメタルマスク（ＭＭ）が浮き上がって検査ユニット２０がメタルマスク（ＭＭ）を精密に検査することができなくなる。
【００３１】
また、メタルマスク（ＭＭ）の周縁を固定するクランプ部３２の固定面３２５は、メタルマスク（ＭＭ）が置かれた支持台３１の表面３１５に対して所定の傾斜角を有して形成される。ここで、所定の傾斜角は、前述した予め設定された角度（θ）と同様に、１０乃至３０度の範囲内に属する。
【００３２】
従って、クランプ部３２が支持台３１の直ぐ上に置かれたメタルマスク（ＭＭ）と同一または低い高さに位置しつつも、メタルマスク（ＭＭ）は一回折れただけで安定的に固定される。
【００３３】
このような構成により、マスク不良検査装置１００は、メタルマスク（ＭＭ）の不良有無をより精密で安定的に検査することができる。
【００３４】
以上で、前述のように本発明の好ましい実施例を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、特許請求の範囲の概念及び範囲を逸脱しない限り、多様な修正及び変形が可能であることが、本発明が属する技術分野に携わる者には簡単に理解される。
【符号の説明】
【００３５】
２０      検査ユニット、
２１      カメラ部、
２２      照明部、
３０      引張ジグユニット、
３１      支持台、
３２      クランプ部、
３３      テンション部、
５０      ベース部材、
１００    マスク不良検査装置、
ＭＭ      メタルマスク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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