(57)【要約】      （修正有）【課題】給電体のめっき皮膜を剥離しつつ、プリント配線板の生産効率を向上させる方法及び装置の提供。【解決手段】電解めっき液３が収容されるめっき液浴１１と、めっき液浴１１内でＦＰＣ２（被めっき物）に対向するように配置された陽極板１２と、めっき液浴１１内でＦＰＣ２に電気的に接触する第１位置及び非接触となる第２位置に移動可能なように配置された一対の給電体１３と、第１位置と第２位置との間において一対の給電体１３のそれぞれを移動させる駆動機構と、記一対の給電体１３及び陽極板１２への印加電位をそれぞれ制御するコントローラと、を備え、コントローラは、第１位置に移動する給電体１３に負の電位を印加するとともに、第２位置に移動する給電体１３に負の電位を印加する。【選択図】図１
2011231344.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電解めっき液が収容されためっき液浴内に被めっき物を浸漬し、前記被めっき物に対向するように配置された陽極に正の電位を印加するとともに、前記被めっき物に電気的に接触する第１位置及び非接触となる第２位置に移動可能なように配置された一対の給電体のそれぞれに正又は負の電位を印加してめっき皮膜を形成する工程を含み、
前記給電体が前記第１位置に移動する場合は当該給電体に負の電位を印加するとともに、前記給電体が前記第２位置に移動する場合は当該給電体に正の電位を印加するプリント配線板の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載のプリント配線板の製造方法であって、
前記給電体に負の電位を印加するステップは定電流制御され、前記給電体に正の電位を印加するステップは定電圧制御されることを特徴とする請求項１に記載のプリント配線板の製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のプリント配線板の製造方法であって、
前記被めっき物と前記第２位置との距離は、前記被めっき物と前記陽極との距離と等しいことを特徴とするプリント配線板の製造方法。
【請求項４】
電解めっき液が収容されるめっき液浴と、
前記めっき液浴内で前記被めっき物に対向するように配置された陽極と、
前記めっき液浴内で前記被めっき物に電気的に接触する第１位置及び非接触となる第２位置に移動可能なように配置された一対の給電体と、
前記第１位置と第２位置との間において前記一対の給電体のそれぞれを移動させる駆動機構と、
前記一対の給電体及び前記陽極への印加電位をそれぞれ制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、前記給電体が前記第１位置に移動する場合には当該給電体に負の電位を印加するとともに、前記給電体が前記第２位置に移動する場合には当該給電体に正の電位を印加するプリント配線板の製造装置。
【請求項５】
請求項４に記載のプリント配線板の製造装置であって、
前記制御手段は、前記第１位置に移動する給電体に定電流制御により負の電位を印加するとともに、前記第２位置に移動する給電体に定電圧制御により正の電位を印加することを特徴とするプリント配線板の製造装置。
【請求項６】
請求項４又は５に記載のプリント配線板の製造装置であって、
前記被めっき物と前記第２位置との距離は、前記被めっき物と前記陽極との距離と等しいことを特徴とするプリント配線板の製造装置。
【請求項７】
請求項４〜６の何れか一項に記載のプリント配線板の製造装置であって、
前記駆動機構は、前記給電体を前記被めっき物から離隔させるカムと、前記被めっき物の搬送方向に沿って前記カムを移動するキャタピラとを有することを特徴とするプリント配線板の製造装置。
【請求項８】
請求項４〜７の何れか一項に記載のプリント配線板の製造装置であって、
前記給電体の一方は、二つの第１給電部と、前記二つの第１給電部に連なる第１アーム部材と、前記第１アーム部材を回動させる第１回動軸とを有し、
前記給電体の他方も、二つの第２給電部と、前記二つの第２給電部に連なる第２アーム部材と、前記第２アーム部材を回動させる第２回動軸とを有し、
前記駆動機構は、前記第１回動軸を駆動して前記二つの第１給電部の両方を第１位置又は第２位置へ移動させる際に、前記二つの第１給電部の両方を前記第１位置に移動させるときには前記第２回動軸を駆動して前記二つの第２給電部の両方を前記第２位置に移動させ、前記二つの第１給電部の両方を前記第２位置に移動させるときには前記第２回動軸を駆動して前記二つの第２給電部の両方を前記第１位置に移動させ、
前記制御手段は、前記第１位置に移動する第１給電部又は第２給電部に負の電位を印加するとともに、前記第２位置に移動する第１給電部又は第２給電部に正の電位を印加することを特徴とする記載のプリント配線板の製造装置。
【請求項９】
請求項４〜７の何れか一項に記載のプリント配線板の製造装置であって、
前記一対の給電体は、当該給電体のそれぞれに連なるアーム部材と、前記アーム部材を回動させる回動軸とをさらに有し、
前記駆動機構は、前記回動軸を駆動して前記一方の給電体を第１位置又は第２位置へ移動させる際に、前記一方の給電体を前記第１位置に移動させる場合には前記他方の給電体を前記第２位置に移動させ、前記一方の給電体を前記第２位置に移動させるときには前記他方の給電体を前記第１位置に移動させ、
前記制御手段は、前記第１位置に移動する給電体に負の電位を印加するとともに、前記第２位置に移動する給電体に正の電位を印加するプリント配線板の製造装置。
【請求項１０】
請求項９に記載のプリント配線板の製造装置であって、
前記被めっき物の一方側と他方側の対向位置に配置された二対の前記給電体を備え、
前記駆動機構は、前記一方側に配置された一対の給電体の一方を前記第１位置に移動させる場合には、前記他方側に対向配置された一対の給電体の一方も前記第１位置に移動させることを特徴とするプリント配線板の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、めっき工程を含むプリント配線板の製造方法及びプリント配線板の製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
リールトゥリール（Ｒ−Ｒ）方式の連続製造工程に用いられるめっき装置において、陰極給電ローラをめっき液浴内に設けたものが知られている。この種のめっき装置でめっき処理を行うと、被めっき物の表面のみならず陰極給電ローラの表面にもめっき皮膜が形成される。
【０００３】
ところが、陰極給電ローラの表面には製品となる被めっき物のようにめっき前処理がされていないので、陰極給電ローラの表面に形成されるめっき皮膜の表面に凹凸が生じる傾向がある。この陰極給電ローラが被めっき物に接触すると、製品のめっき皮膜に傷がつくなどの外観上の欠陥が発生するという不都合がある。また、陰極給電ローラにめっき皮膜が形成され続けて陰極給電ローラが太くなると、被めっき物が陰極給電ローラに押されるため、被めっき物と陽極との距離が変化するため、めっき皮膜の厚さ制御の精度が低下するといった不都合がある。
【０００４】
これらの不都合を解消するため、陰極給電ローラの所定位相を導電部分とするとともに他の位相を非導電部分として構成し、陰極給電ローラの回転位相のうちの被めっき物と接触していない位相においては電極を逆転して陽極と接続し、陰極給電ローラの表面に形成されためっき皮膜を剥離する技術が知られている（特許文献１）。この技術によれば、陰極給電ローラの回転位相のうちの導電部分が被めっき物と接触しているときにめっき皮膜を形成することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−２３１５５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の技術では、陰極給電ローラの導電部分が被めっき物と接触していない場合にめっき皮膜の剥離が行われ、陰極給電ローラの導電部分が被めっき物と接触している場合にしかめっき皮膜が形成されないので、めっき皮膜の製造効率が低いという問題があった。
【０００７】
本発明が解決しようとする課題は、めっき工程中において陰極給電ローラに形成されためっき皮膜を剥離しながらも被めっき物にめっき皮膜を形成することにより、製造効率を向上させることができるプリント配線板の製造方法及びその製造装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、電解めっき液が収容されためっき液浴内に被めっき物を浸漬し、前記被めっき物に対向するように配置された陽極に正の電位を印加するとともに、前記被めっき物に電気的に接触する第１位置及び非接触となる第２位置に移動可能なように配置された一対の給電体のそれぞれに正又は負の電位を印加してめっき皮膜を形成する工程を含み、前記給電体が前記第１位置に移動する場合は当該給電体に負の電位を印加するとともに、前記給電体が前記第２位置に移動する場合は当該給電体に正の電位を印加する工程であるプリント配線板の製造方法を提供することにより、上記課題を解決する。
【０００９】
上記発明において、前記給電体に負の電位を印加するステップは定電流制御され、前記給電体に正の電位を印加するステップは定電圧制御されるようにすることができる。
【００１０】
上記発明において、前記被めっき物と前記第２位置との距離は、前記被めっき物と前記陽極との距離と等しくすることができる。
【００１１】
また、本発明は、電解めっき液が収容されるめっき液浴と、前記めっき液浴内で前記被めっき物に対向するように配置された陽極と、前記めっき液浴内で前記被めっき物に電気的に接触する第１位置及び非接触となる第２位置に移動可能なように配置された一対の給電体と、前記第１位置と第２位置との間において前記一対の給電体のそれぞれを移動させる駆動機構と、前記一対の給電体及び前記陽極への印加電位をそれぞれ制御する制御手段と、を備え、前記制御手段は、前記給電体が前記第１位置に移動する場合には当該給電体に負の電位を印加するとともに、前記給電体が前記第２位置に移動する場合には当該給電体に正の電位を印加するプリント配線板の製造装置を提供することにより、上記課題を解決する。
【００１２】
上記発明において、前記制御手段は、前記第１位置に移動する給電体に定電流制御により負の電位を印加するとともに、前記第２位置に移動する給電体に定電圧制御により正の電位を印加するように構成することができる。
【００１３】
上記発明において、前記被めっき物と前記第２位置との距離は、前記被めっき物と前記陽極との距離と等しくすることができる。
【００１４】
上記発明において、前記駆動機構は、前記給電体を前記被めっき物から離隔させるカムと、前記被めっき物の搬送方向に沿って前記カムを移動するキャタピラとを有するように構成することができる。
【００１５】
上記発明において、前記給電体の一方は、二つの第１給電部と、前記二つの第１給電部に連なる第１アーム部材と、前記第１アーム部材を回動させる第１回動軸とを有し、
前記給電体の他方も、二つの第２給電部と、前記二つの第２給電部に連なる第２アーム部材と、前記第２アーム部材を回動させる第２回動軸とを有し、前記駆動機構は、前記第１回動軸を駆動して前記二つの第１給電部の両方を第１位置又は第２位置へ移動させる際に、前記二つの第１給電部の両方を前記第１位置に移動させるときには前記第２回動軸を駆動して前記二つの第２給電部の両方を前記第２位置に移動させ、前記二つの第１給電部の両方を前記第２位置に移動するときには前記第２回動軸を駆動して前記二つの第２給電部の両方を前記第１位置に移動させて、前記制御手段は、前記第１位置に移動する第１給電部又は第２給電部に負の電位を印加するとともに、前記第２位置に移動する第１給電部又は第２給電部に正の電位を印加するように構成することができる。
【００１６】
上記発明において、前記一対の給電体は、当該給電体のそれぞれに連なるアーム部材と、前記アーム部材を回動させる回動軸とをさらに有し、前記駆動機構は、前記回動軸を駆動して前記一方の給電体を第１位置又は第２位置へ移動させる際に、前記一方の給電体を前記第１位置に移動させる場合には前記他方の給電体を前記第２位置に移動させ、前記一方の給電体を前記第２位置に移動させるときには前記他方の給電体を前記第１位置に移動させ、前記制御手段は、前記第１位置に移動する給電体に負の電位を印加するとともに、前記第２位置に移動する給電体に正の電位を印加するように構成することができる。
【００１７】
上記発明において、前記被めっき物の一方側と他方側の対向位置に配置された二対の前記給電体を備え、前記駆動機構は、前記一方側に配置された一対の給電体の一方を前記第１位置に移動させる場合には、前記他方側に対向配置された一対の給電体の一方も前記第１位置に移動させるように構成することができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、給電体が被めっき物に接触し（第１位置）、負の電位が印加されると、陽極、めっき液、被めっき物及び給電体の間に電流が流れ、被めっき物にめっき皮膜が形成される。一方、給電体が被めっき物と非接触になり（第２位置）、正の電位が印加されると、めっき液及び給電体の間に電流が流れ、給電体に形成されためっき皮膜が剥離する。この結果、給電体に形成されためっき皮膜を剥離しながら、被めっき物にめっき皮膜を形成することができるので、プリント配線板の製造効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の一実施の形態を適用した電解めっき装置を示す側面からの断面図である。
【図２Ａ】図１の給電体の一例を示す斜視図である。
【図２Ｂ】図１の給電体の他の例を示す斜視図である。
【図３】図１のII-II矢視図である。
【図４】図１のIII-III矢視図である。
【図５】図３，４のコントローラにおける制御手順を示すフローチャートである。
【図６】図１に示す給電体の他の態様を示す側面図である。
【図７】図１に示す給電体のさらに他の態様を示す側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、本発明に係る実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２１】
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第一の実施の形態を適用したプリント配線板の製造装置１００に含まれる電解（電気）めっき装置１を示す側面からの断面図であり、平板長尺状のフレキシブルプリント基板：ＦＰＣを被めっき物２とし、当該ＦＰＣに形成されたスルーホールやビアホールをめっき処理するための装置を例に挙げて説明する。以下、被めっき物２をＦＰＣ２と略称することもある。ただし、本発明のめっき装置およびめっき方法は電解めっき装置および電解めっき方法であれば被めっき物の種類には限定されず、あらゆる被めっき物に適用することができる。
【００２２】
本例のめっき装置１は、電解めっき液３が収容されるめっき液浴１１と、めっき処理を実行するための陽極板１２及び給電体１３（１３Ａ１〜Ａ６，１３Ｂ１〜Ｂ６）と、めっき処理前のＦＰＣ２を巻回した巻き出しリール１４と、めっき処理を終了したＦＰＣ２を巻き取るための巻き取りリール１５と、を備えている。
【００２３】
めっき液浴１１には、目的とするめっき処理の金属種に応じた電解めっき液３、たとえば銅めっきの場合は硫酸銅溶液が収容され、図１に示す右端からめっき処理前のＦＰＣ２が繰り出されて電解めっき液３に浸漬され、矢印Ｔの方向に沿って搬送され、左端からめっき処理を終了したＦＰＣ２が電解めっき液３を出て巻き取られる。
【００２４】
一対の巻き出しリール１４，１４の一方にはめっき処理前のＦＰＣ２が巻回され、これら一対の巻き出しリール１４，１４を図示しない回転駆動部により矢印方向に回転させることによりＦＰＣ２をめっき液浴３に繰り出す。これに対し、めっき処理を終了したＦＰＣ２は一対の巻き取りリール１５，１５を図示しない回転駆動部により矢印方向に回転させることにより一方の巻き取りリール１５に巻き取られる。
【００２５】
めっき液浴１１内には、平板長尺状のＦＰＣ２に対向する位置に複数対の陽極板１２、１２がその搬送方向に沿って、給電体１３と交互に複数配置されている。陽極板１２，１２は、めっき皮膜の膜厚を均一にする観点から板状の電極とすることが好ましいが、形状を限定することなく、例えば棒状の陽極をＦＰＣ２の搬送方向に沿って複数配置してもよい。また、めっき効率の観点から陽極板１２，１２の幅をＦＰＣ２の幅寸法以上とすることが好ましい。特に限定されないが、陽極板１２は酸化イリジウム被覆チタン電極などの不溶性電極を用いることが好ましい。めっき皮膜に影響を与えにくい不溶性電極を陽極板１２として用いることにより、陽極板１２とＦＰＣ２との間隔を狭く設定することができるので、後述するように給電体１３を被めっき物であるＦＰＣ２から離隔させた場合においてもめっき効率を低下させないようにすることができる。
【００２６】
めっき液浴１１内には、平板長尺状のＦＰＣ２の表裏のそれぞれに電気的に接触する第１位置及びＦＰＣ２に電気的に非接触となる第２位置との間を移動可能なように、給電体１３Ａ１〜Ａ６と給電体１３Ｂ１〜Ｂ６とがそれぞれ対向して配置されている。本実施形態における「電気的に接触する」とは物理的に直接接触する状態のほか、導電体を介して給電体１３とＦＰＣ２とが接続されている状態も含む。また、「電気的に非接触」とは物理的に離隔された状態のほか、絶縁体を介して給電体１３とＦＰＣ２との接続が解除された状態も含む。特に限定されないが、給電体１３は耐食性の強い金属、例えば、ステンレス、チタン、白金などにより構成することが望ましい。
【００２７】
また、給電体１３は、ＦＰＣ２に接触する第１位置に移動するものとＦＰＣ２に非接触となる第２位置に移動するものとで給電体１３の「対」を形成する。図１に示す例で説明すると、ＦＰＣ２に表面側（図中上方）から接する第１位置の給電体１３Ａ２と第２位置の給電体１３Ａ３が「対」を形成し、ＦＰＣ２に裏面側（図中下方）から接する第１位置の給電体１３Ｂ２と第２位置の給電体１３Ｂ３が「対」を形成する（図１の破線Ｑ内を参照）。この給電体１３の「対」は、互いに隣接する二つの給電体１３によって形成してもよいし、離隔して設けられた二つの給電体１３（例えば、給電体Ａ３と１３Ａ１，給電体Ｂ３と１３Ｂ１）によって形成することも可能である。以下において、給電体を総称する場合は符号１３で表し、特定の給電体を示称する場合は符号１３Ａ１〜Ａ６，１３Ｂ１〜Ｂ６で表すこととする。
【００２８】
被めっき物であるＦＰＣ２は、陽極板１２により正の電位が印加されるとともに、この陽極板１２が印加する正の電位に対して相対的に負の電位が第１位置にある給電体１３により印加される。このめっき処理により、ＦＰＣ２の表面にめっき皮膜が形成される。ちなみに、このめっき処理によりＦＰＣ２の表面のみならず、ＦＰＣ２に接する給電体１３の表面にもめっき皮膜が形成されるが、このめっき皮膜は後述する処理によって剥離することができる。
【００２９】
本例の給電体１３Ａ１〜１３Ａ６，１３Ｂ１〜１３Ｂ６は、例えば図２Ａ又図２Ｂに示す構造とすることができる。
【００３０】
図２Ａに示す給電体１３は、導電性の回転軸１３４と、当該回転軸１３４に軸支されてＦＰＣ２と接触する接触部１３３とを有する。図２Ａに示す給電体１３の接触部１３３は、ＦＰＣ２の幅方向に渡って同一外径の円筒形状である。めっき装置１においては、回転軸１３４及び接触部１３３がＦＰＣ２の幅方向に沿うように配置される。特に限定されないが、本実施形態では接触部１３３の軸方向の長さはＦＰＣ２の幅寸法以上とされている。図２Ａに示す給電体１３では、接触部１３３がＦＰＣ２とその幅方向に沿って広い範囲で接触することができるので、ＦＰＣ２に安定した給電を行うことができる。
【００３１】
一方、図２Ｂに示す給電体１３は、導電性の回転軸１３４と、当該回転軸１３４の両端部に軸止された二つの導電性の接触部１３３とを有する。図２Ｂに示す給電体１３の接触部１３３は、回転軸１３４よりも外径が大きく、所定幅の閉環形状（リング形状）に形成されている。めっき装置１においては、回転軸１３４がＦＰＣ２の幅方向に沿うように配置される。つまり、ＦＰＣ２の搬送時において、接触部１３３がＦＰＣ２の搬送方向に沿う両端部に接触する。本例の給電体１３の接触部１３３はＦＰＣ２の中央と接触しないので、製品となるＦＰＣ２の中央領域に傷をつけることなくめっき処理を行うことができる。ちなみに、接触部１３３は、めっき処理時において電圧が印加された状態で被めっき物に接するため、摩耗による交換が必要となるが、接触部１３３を上述のリング形状や、一部が開口しているＣ字形状のように単純な形状とすることにより、交換時の手間を軽減させることができる。
【００３２】
また、図２Ａ及び図２Ｂに示すいずれの例においても、回転軸１３４及び接触部１３３を導電体から形成することにより、回転軸１３４をそれぞれの給電経路として接触部１３３に電圧を印加できる。つまり、回転軸１３４を、めっき処理時におけるマイナス電流のリード線及び後述するめっき皮の剥離処理時におけるプラス電流のリード線として用いることができる。このように、給電体１３を一体の導電体として構成することにより、回転軸１３４を電気的配線経路として共用し、接触部１３３へ正負の電圧を印加することができるので、装置の構成を簡易にすることができ、製造コスト及び交換などの管理コストを低減させることができる。
【００３３】
本例のめっき装置１は、以上説明した給電体１３を移動させる駆動機構１６を備えている。
【００３４】
本実施形態の駆動機構１６は、一対の給電体１３Ａ２及び１３Ａ３のそれぞれを、ＦＰＣ２に接触する第１位置とＦＰＣ２と非接触の第２位置との間において所定のタイミングにおいて移動させることができる。一対の給電体１３Ａ２及び１３Ａ３のそれぞれを第１位置に移動させるタイミング及び第２位置に移動させるタイミングは、被めっき物２の表面積、めっき皮膜の膜厚、めっき皮膜の密度、めっき液の濃度、めっき液浴１１の大きさなどに応じて適宜に設定することができる。
【００３５】
本実施形態の駆動機構１６は、給電体１３を被めっき物であるＦＰＣ２から離隔させるカム１６１と、ＦＰＣ２の搬送方向Ｔに沿ってカム１６１を移動するキャタピラ１６２とを有する。
【００３６】
キャタピラ１６２は、ＦＰＣ２のめっき液浴１１内の搬送経路を含む無限軌道に沿って配設された履帯である。また、キャタピラ１６２に設けられたカム１６１は、めっき液に対する耐食性を有するポリプロピレンやポリ塩化ビニルなどの樹脂で任意の形状に構成された機械要素である。カム１６１は、給電体１３又は給電体１３のローラ回転軸１３４を支持するシャフトと接触し、給電体１３と連なるシャフトを上下運動させることにより給電体１３の高さ位置を変化させることができる。カム１６１を給電体１３同士の間ではなく、給電体１３を支えるシャフト同士の間に挿入させるのは、カム１６１がＦＰＣ２や給電体１３の接触部１３３と接触すると、それらに傷をつけるおそれがあるからである。なお、給電体１３の移動量はカム１６１の高さに応じて制御することができるが、本例では、カム１６１の高さはＦＰＣ２と給電体１３の距離とＦＰＣ２と陽極板１２との距離とが略等しくなるように設定することが好ましい。
【００３７】
特に限定されないが、カム１６１の輪郭の端部には傾斜面が形成されていることが好ましい。この傾斜面はカム１６１の端に近づくにつれて高さが低くなる構成となっている。また、傾斜角度はキャタピラ１６２の長さ、カム１６１のピッチ、ＦＰＣ２と第２位置の距離などに応じて任意に設定することができる。カム１６１の端部に傾斜面を形成することにより、給電体１３、給電体１３のローラ回転軸１３４、又は給電体１３の支持軸がカム１６１に乗り上げやすくなり、給電体１３を上下に滑らかに運動させることができる。また、カム１６１の頂部には所定長さの平坦部を設けることも可能である。これにより、カム１６１の平坦部の長さに応じて給電体１３をＦＰＣ２から離隔させておく時間を制御することができる。
【００３８】
キャタピラ１６２には任意の所定間隔で複数のカム１６１が配設されており、カム１６１の数及び配設位置とキャタピラ１６２の搬送速度を調節することにより、所定位置に設けられた給電体１３を所定のタイミングで上下に移動させることができる。このように、駆動機構１６は、給電体１３の高さ位置を変化させることにより、一対の給電体１３のそれぞれをＦＰＣ２に接触する第１位置とＦＰＣに非接触の第２位置との間において移動させることができる。
【００３９】
本実施形態において、ＦＰＣ２に非接触の第２位置は任意に設定することができ、所定値の高さ位置を第２位置としてもよいし、所定値域の高さを第２位置と定義することもできる。本実施形態では、被めっき物であるＦＰＣ２と第２位置との距離がＦＰＣ２と陽極板１２との距離と略等しくなるように第２位置を定義している。ここで、「ＦＰＣ２と第２位置との距離がＦＰＣ２と陽極板１２との距離と略等しい」とは、ＦＰＣ２に対して相対的に正の電位が印加される給電体１３が、陽極板１２と同等の機能を果たせる距離の範囲を含む意味である。
【００４０】
また、駆動機構１６は上述の構成に限定されず、以下のように構成することも可能である。
【００４１】
第２の駆動機構１６として、給電体１３に連なり給電体１３を上下（第１位置と第２位置との間）に移動可能なシリンダを設け、このシリンダで給電体１３を押し上げ又は押し下げることにより、一対の給電体１３のそれぞれをＦＰＣ２に接触する第１位置とＦＰＣに非接触の第２位置との間において移動させることができる。
【００４２】
第３の駆動機構１６として、給電体１３を支持するシャフトの間に挿入されるスペーサを設け、所定周期でスペーサをシャフトの間に挿入することにより、一対の給電体１３のそれぞれをＦＰＣ２に接触する第１位置とＦＰＣに非接触の第２位置との間において移動させることができる。本例のスペーサは、上述のカム１６１と同様に、めっき液に対する耐食性を有するポリプロピレンやポリ塩化ビニルなどの樹脂で構成されることが望ましい。
【００４３】
図１に示す例では、以上のように構成された駆動機構１６によって、給電体１３Ａ１〜１３Ａ６，１３Ｂ１〜１３Ｂ６のうちの一部の給電体１３Ａ３，１３Ａ６及び１３Ｂ３，１３Ｂ６が第２位置に移動し、他の給電体１３Ａ１，Ａ２，Ａ４，Ａ５，及び給電体１３Ｂ１，Ｂ２，Ｂ４，Ｂ５は第１位置でＦＰＣ２に接触する。
【００４４】
第２位置に移動させられる給電体１３の数と第１位置でＦＰＣに接触させられる給電体１３の数の比は特に限定されず１：１の等数であってもよいが、本実施形態では第２位置に移動させられる給電体１３の数よりも第１位置でＦＰＣに接触させられる給電体１３の数が多くなるように給電体１３の駆動を制御することができる。このように、第１位置でＦＰＣに接触する給電体１３を比較的多くすることにより、効率的にめっき皮膜を形成することが可能となる。なお、図１に示す本実施形態のめっき装置１のように、陽極板１２と給電体１３とを交互に配置したことにより、給電体１３を第２位置（非接触の位置）に移動させても、ＦＰＣ２には適当な電位をムラなく印加することができるので、後述の給電体１３のめっきを剥離しているときにおいても高い生産効率を維持することができる。
【００４５】
さらに、本例のめっき装置１は、一対の給電体１３及び陽極板１２への印加電位をそれぞれ制御するコントローラ１７を備えている。詳細な図示は省略するが、一対の給電体１３への電位の印加は、導電性を有する回転軸１３４にブラシなどを介して電源を接続し、この回転軸１３４から給電体１３へ正または負の電位が印加される。
【００４６】
本実施形態のコントローラ１７は、給電体１３の一方が第１位置にある場合には当該給電体１３に負の電位を印加するとともに、給電体１３の他方が第２位置にある場合には当該給電体に正の電位を印加する。
【００４７】
図３は図１のII-II矢視図に電気的構成を付加した図、図４は図１のIII-III矢視図に電気的構成を付加した図である。
【００４８】
図３に示すように、一対の給電体１３Ａ２と１３Ａ３、給電体１３Ｂ２と１３Ｂ３（図１の破線Ｑを参照）のうち、給電体１３Ａ２及び１３Ｂ２がＦＰＣ２に接触する第１位置にある場合は、これらの給電体１３Ａ２，１３Ｂ２に負の電位を印加する。このめっき処理により、ＦＰＣ２は陽極板１２により印加される正の電位に対して相対的に負の電位となり、めっき皮膜が形成される。
【００４９】
一方、図４に示すように、一対の給電体１３Ａ２と１３Ａ３、給電体１３Ｂ２と１３Ｂ３（図１の破線Ｑを参照）のうち、給電体１３Ａ３及び１３Ｂ３がＦＰＣ２に非接触となる第２位置にある場合は、これらの給電体１３Ａ３，１３Ｂ３に正の電位を印加する。これにより、給電体１３Ａ３，１３Ｂ３は相対的に正の電位となり、めっき処理により給電体１３Ａ３，１３Ｂ３の表面に形成されためっき皮膜が剥離される。
【００５０】
陽極板１２および給電体１３のそれぞれには、電源１９からの電力が供給される。このため、陽極板１２には、開閉スイッチ２０を介して電源１９から正の電位が印加される。開閉スイッチ２０はコントローラ１７によって開閉制御され、コントローラ１７に所定のめっき指示信号が入力されると開閉スイッチ２０を閉じ、陽極板１２に正の電位を印加する。
【００５１】
また、図３、図４に示す給電体１３（図３では１３Ａ２，１３Ｂ２、図４では１３Ｂ２，１３Ｂ３で示すが、他も含めた給電体１３Ａ１〜１３Ａ６，１３Ｂ１〜１３Ｂ６も同様であるため符号１３で代表する。）には、極性反転回路１８を介して電源１９からの正または負の電位が印加される。
【００５２】
また、給電体１３の回転軸１３４には、リミットスイッチなどの高さ位置を検出する位置検出センサ２１がそれぞれ設けられ、この位置検出センサ２１からの検出信号はコントローラ１７へ出力される。そして、コントローラ１７は、位置検出センサ２１により検出された給電体１３の高さ位置に応じて極性反転回路１８のスイッチングを制御する。極性反転回路１８は、電源１９の正極＋に接続された＋端子と、電源の負極−に接続された−端子を有し、これら＋端子と−端子のそれぞれにスイッチ片の基端が装着されている。この極性反転回路１８のスイッチ片は各給電体１３に接続されており、コントローラ１７は各給電体１３に対する電位の印加のスイッチングをそれぞれ制御することができる。なお、本実施形態では、すべての給電体１３にスイッチ片を接続して、すべての給電体１３の電位を変化させることも可能であるが、一部の給電体１３にスイッチ片を接続して一部の給電体の電位を変化させ、他の給電体１３には定常的に負の電位を印加し続けることも可能である。
【００５３】
制御手法は特に限定されないが、本実施形態のコントローラ１７は、定常時においては各給電体１３に負の電位を印加しておき、カム１６１により給電体１３が所定高さに移動してリミットスイッチがオンとなった場合（第２位置に移動した場合）に給電体１３がＦＰＣ２と非接触となったと判断し、負の電位の印加から切り替えて正の電位を印加する制御を行う。
【００５４】
このように、対を形成する給電体１３のうち、ＦＰＣ２に接触する一方の給電体１３に負の電位が印加され、ＦＰＣ２に非接触の他方の給電体に正の電位が印加されることにより、一方の給電体１３によってＦＰＣ２のめっき処理を実行しつつ、他方の給電体１３のめっき皮膜を剥離することができる。つまり、めっき処理中に給電体１３のめっき皮膜を剥離する作業を行っても、めっき処理が途切れることなく継続されるので、ＦＰＣ２のめっき処理の効率を低減させることが無い。この結果、生産効率の高いめっき処理を行うことができる。
【００５５】
加えて、本実施形態では、複数の給電体１３と複数の陽極をＦＰＣ２に対向配置させているので、他方の給電体１３がＦＰＣ２と非接触になっても、ＦＰＣ２には所定の負の電位を印加しつづけることができるので、給電体１３の剥離が行われるときでも高い生産効率を維持することができる。
【００５６】
また、めっき処理において給電体１３に形成されためっき皮膜に含まれる金属は、剥離処理においてめっき液浴１１に溶け、ＦＰＣ２のめっき処理に再び用いることができるので、めっき金属を無駄にすることが無い。この結果、材料効率の高いめっき処理を行うことができる。
【００５７】
特に限定されないが、第１位置にある一方の給電体１３には一定電流が流れるように電圧を制御する定電流制御により負の電位を印加するとともに、第２位置にある他方の給電体１３には一定電圧が印加されるように電流を制御する定電圧制御により正の電位を印加することが好ましい。このようにするのは、めっき処理におけるめっき皮膜の膜厚は電流値により制御することが適切であるが、剥離処理においては剥離の速度を厳密に管理する必要がないからである。また、剥離処理の対象となる給電体１３にめっき皮膜が形成されている場合は流れる電流の量が多くなるが、剥離処理が進むと流れる電流の量が少なくなるので、剥離処理においては給電体１３には定電圧制御により正の電位を印加することが好ましい。
【００５８】
次に制御手順を説明する。
【００５９】
図５は、コントローラ１７における制御手順を示すフローチャートであり、このルーチンは所定周期で実行される。
【００６０】
まずステップＳ１にて、めっき処理の指示信号が入力されているか否かを判断し、めっき処理の指示が入力されている場合はステップＳ２へ進み、指示が入力されていない場合は入力されるまでステップＳ１を繰り返す。めっき処理の指示信号が入力されている場合には、陽極板１２に正の電位を印加する。
【００６１】
ステップＳ２では、一対の給電体１３の両方をＦＰＣ２に接触する第１位置にセットし、負の電位を印加する。
【００６２】
ステップＳ３では、給電体１３の回転軸１３４に設けられた位置検出センサ２１からの検出信号を読み込む。位置検出センサ２１は、給電体１３が第２位置（の高さ）にあるか否かを検出する。給電体１３が第２位置にある場合には、その給電体１３はＦＰＣ２と非接触であると判断できる。
【００６３】
そして、ステップＳ４にて検出された信号から給電体１３がＦＰＣ２に接触しているか否かを判断する。ステップＳ４の判断の結果、その給電体１３がＦＰＣ２に接触していない場合（第２位置にある場合）は剥離のタイミングであると判断してステップＳ５へ進む。他方、給電体１３がＦＰＣ２に接触している場合（第１位置にある場合）は剥離のタイミングではないと判断してステップＳ６へ進む。これらステップＳ２からＳ６までの処理は、給電体１３Ａ１〜１３Ａ６，１３Ｂ１〜１３Ｂ６ごとに実行される。
【００６４】
ステップＳ５では、給電体１３がＦＰＣ２と非接触であるので、給電体１３に正の電位を印加する。一方、ステップＳ６では、給電体１３がＦＰＣ２と接触しているので、給電体１３に負の電位を印加する。
【００６５】
図１に示すめっき装置１を例にすると、コントローラ１７は、第２位置にある給電体１３Ａ３，１３Ｂ３に正の電位を印加すると同時に第１位置にある給電体１３Ａ２，１３Ｂ２に負の電位を印加する。これにより、陽極板１２、めっき液３、ＦＰＣ２及び給電体１３Ａ２，１３Ｂ２の間に電流が流れ、ＦＰＣ２にめっき皮膜が形成される。一方、給電体１３Ａ３，１３Ｂ３がＦＰＣ２と非接触になり（第２位置）、正の電位が印加されると、めっき液３及び給電体１３Ａ３，１３Ｂ３の間に電流が流れ、給電体１３Ａ３，１３Ｂ３に形成されためっき皮膜が剥離される。この結果、給電体に形成されためっき皮膜を剥離しながら、被めっき物にめっき皮膜を形成することができるので、プリント配線板の製造効率を向上させることができる。本実施形態では、給電体１３Ａ３，１３Ｂ３のめっき皮膜を剥離する場合を例にして説明するが、めっき皮膜を剥離する対象は限定されず、給電体１３Ａ１〜１３Ａ６，１３Ｂ１〜１３Ｂ６のいずれについても行うことができる。
【００６６】
以上のとおり、本例のプリント配線板の製造装置１００及びプリント配線板の製造方法によれば、一対の給電体１３（例えば１３Ａ２，１３Ａ３）を被めっき物であるＦＰＣ２に接触する第１位置と非接触の第２位置にそれぞれ移動させ、第１位置の給電体１３Ａには相対的に負の電位を印加するとともに、第２位置の給電体１３Ａ３には相対的に正の電位を印加することにより、給電体１３Ａ３に形成されためっき皮膜を剥離しながら、ＦＰＣ２にめっき皮膜を形成することができるので、プリント配線板の製造効率を向上させることができる。
【００６７】
また、本実施形態において、めっき装置１に設けられる給電体１３の数は限定されず、二つ以上の任意の数の給電体１３を設けることができる。この場合も、少なくとも一つの給電体１３を第１位置に移動させて負の電位を印加し、それ以外の給電体１３のうちの少なくとも一つを第２位置に移動させて正の電位を印加することができる。そして、所定時間の経過後に、別の給電体１３のめっき皮膜を剥離するため、第１位置にあった給電体１３のいずれか一つ（又は複数）を第２位置に移動させ、代わりに、別の給電体１３でＦＰＣ２に負の電位を印加するため、第２位置にあった給電体１３のいずれか一つ（又は複数）を第１位置に移動させるか、第１位置にあった給電体１３のいずれか一つ（又は複数）を第１位置のまま移動させないようにする。つまり、めっき装置１が２つ以上の給電体１３を備える場合であっても、あるタイミングにおいて、給電体１３のうちの少なくとも一つがＦＰＣ２に接触する第１位置で負の電位が印加され、これ以外の給電体１３のうちの少なくとも一つがＦＰＣ２に非接触の第２位置で正の電位が印加される。これにより、給電体１３の何れか一つ（又は複数）に形成されためっき皮膜を剥離しながら、他の給電体１３の何れか一つ（又は複数）が負の電位をＦＰＣ２に印加してめっき皮膜を形成することができるので、プリント配線板の製造効率を向上させることができる。
【００６８】
本実施形態のめっき装置１およびめっき方法では、給電体１３のめっき皮膜を剥離するために他の剥離電極などを設ける必要がなく、給電体１３は被めっき物に負電位を与える陰極としての機能しつつも、析出しためっき皮膜を剥離することができる。また、給電体１３の接触部１３３の全体が導電体で構成することができるので、導電体と絶縁体を組み合わせて陰極（給電体）を構成する必要や、部分ごとにプラス電流とマイナス電流とを切り替える構成を設ける必要がなく、構造を簡易にすることができる。この結果、プリント配線板の製造コストを低減させることができる。
【００６９】
＜第２実施形態＞
続いて、本発明の第２実施形態に係るプリント配線板の製造装置１００及びプリント配線板の製造方法を説明する。本実施形態は基本的に第１実施形態と共通する。重複した説明を避けるため、ここでは異なる点を中心に説明し、共通する点については第１実施形態の詳細な説明及び図面を援用する。
【００７０】
本実施形態のプリント配線板の製造装置１００に含まれる電解（電気）めっき装置１は、一対の給電体１３のそれぞれが二つの給電部を備えることを特徴としている。
【００７１】
図６は、本実施形態の一対の給電体１３を示す図である。図６に示す各給電体１３は、図１〜図４の給電体１３Ａ１〜１３Ａ６，１３Ｂ１〜１３Ｂ６に相当する。
【００７２】
同図に示すように、本実施形態のめっき装置１の一対の給電体のうち図中左側の一方の給電体１３は、二つの第１給電部１３１と、これら二つの第１給電部１３１に連なる第１アーム部材１３５Ａと、第１アーム部材１３５Ａを回動させる第１回動軸１３６Ａとを有する。また、一対の給電体のうち図中右側の他方の給電体１３も、二つの第２給電部１３２と、二つの第２給電部１３２に連なる第２アーム部材１３５Ｂと、第２アーム部材１３５Ｂを回動させる第２回動軸１３６Ｂとを有する。
【００７３】
第１実施形態と同様に、本実施形態の給電体１３の給電部１３１，１３２は駆動機構１６により第１位置と第２位置との間を移動することができる。本例の駆動機構１６は、第１回動軸１３６Ａを駆動して二つの第１給電部１３１の両方を第１位置又は第２位置へ移動させる。本実施形態の駆動機構１６は、二つの第１給電部１３１の両方が第１位置に移動するときには第２回動軸１３６Ｂを駆動して二つの第２給電部１３２の両方を第２位置に移動させ、他方、二つの第１給電部１３１の両方が第２位置に移動するときには第２回動軸１３６Ｂを駆動して二つの第２給電部１３２の両方を第１位置に移動させる。
【００７４】
また、本実施形態の給電体１３は、第１実施形態と同様にコントローラ１７により正又は負の電位が印加される。本実施形態のコントローラ１７は、ＦＰＣ２に接触する第１位置に移動する第１給電部１３１又は第２給電部１３２に負の電位を印加するとともに、ＦＰＣ２に非接触の第２位置に移動する第１給電部１３１又は第２給電部１３２に正の電位を印加する。
【００７５】
これにより、ＦＰＣ２に接触する第１位置にある二つの給電部１３１又は１３２には相対的に負の電位を印加するとともに、ＦＰＣ２に非接触の第２位置にある二つの給電部１３１又は１３２には相対的に正の電位を印加することにより、給電体１３に形成されためっき皮膜を剥離しながら、ＦＰＣ２にめっき皮膜を形成することができるので、プリント配線板の製造効率を向上させることができる。
【００７６】
以上のとおり、本実施形態のプリント配線板の製造装置１００及び製造方法によれば、第１実施形態と同様の効果に加えて、二つの給電部１３１又は１３２を備えた一つの給電体１３に正又は負のいずれか一方の電位を印加すればよいので、電位を印加するための配線を簡単にすることができ、装置の小型化及びコストの低減を図ることができる。
【００７７】
なお、給電体１３が二つの場合に限らず３つ以上の場合も、駆動機構１６は、少なくとも一つ（又は複数）の給電体１３の二つの給電部１３１の両方を第１位置へ移動させる際に、他の少なくとも一つ（又は複数）の給電体１３の二つの給電部１３２の両方を第２位置に移動させる。そして、所定時間の経過後に、第１位置にあった少なくとも一つ（又は複数）の給電体１３の二つの給電部の両方を第２位置に移動させる。つまり、めっき装置１が２つ以上の給電体１３を備える場合であっても、あるタイミングにおいて、給電体１３のうちの少なくとも一つ（又は複数）がＦＰＣ２に接触する第１位置で負の電位が印加され、これ以外の給電体１３のうちの少なくとも一つ（又は複数）がＦＰＣ２に非接触の第２位置で正の電位が印加されていればよい。これにより、給電体１３に形成されためっき皮膜を剥離しながらＦＰＣ２にめっき皮膜を形成することができるので、プリント配線板の製造効率を向上させることができる。
【００７８】
＜第３実施形態＞
続いて、本発明の第３実施形態に係るプリント配線板の製造装置１００及びプリント配線板の製造方法を説明する。本実施形態は基本的に第１実施形態と共通する。重複した説明を避けるため、ここでは異なる点を中心に説明し、共通する点については第１実施形態の詳細な説明及び図面を援用する。
【００７９】
本実施形態のプリント配線板の製造装置１００に含まれる電解（電気）めっき装置１は、対となる二つの給電体１３がアーム部材で連結され、回動可能となっていることを特徴としている。
【００８０】
図７は本実施形態の給電体１３を示す図である。本実施形態では、ＦＰＣ２の一方側（上面側）と他方側（下面側）の対向位置に配置された二対の給電体１３を配置している。図７では、ＦＰＣ２の上面に接触する一対の給電体１３ａ１，１３ａ２と、ＦＰＣ２の下面に接触する一対の給電体１３ｂ１，１３ｂ２との二対の給電体１３を示している。なお、図７に示す各給電体１３ａ１，１３ａ２，１３ｂ１，１３ｂ２は、図１〜図４の給電体１３Ａ１〜１３Ａ６，１３Ｂ１〜１３Ｂ６に相当する。
【００８１】
同図に示すように、本実施形態のＦＰＣ２の上面に接触する一対の給電体１３ａ１，１３ａ２のそれぞれに連なるアーム部材１３５Ａと、アーム部材１３５Ａを回動させる回動軸１３６Ａを有し、ＦＰＣ２の下面に接触する一対の給電体１３ｂ１，１３ｂ２のそれぞれに連なるアーム部材１３５Ｂと、アーム部材１３５Ｂを回動させる回動軸１３６Ｂを有する。
【００８２】
第１実施形態と同様に、本実施形態の給電体１３は駆動機構１６により第１位置と第２位置との間を矢印Ｓに沿って移動することができる。本実施形態の駆動機構１６は、ＦＰＣ２の上側に配置された給電体１３ａ１又は１３ａ２の一方が第１位置に移動する場合には他方の給電体１３ａ１又は１３ａ２を第２位置に移動させる。同様に、駆動機構１６は、ＦＰＣ２の下側に配置された給電体１３ｂ１又は１３ｂ２の一方が第１位置に移動する場合には他方の給電体１３ｂ１又は１３ｂ２を第２位置に移動させる。
【００８３】
このとき、駆動機構１６は、ＦＰＣ２の上面側に配置された一対の給電体１３ａ１，１３ａ２の一方をＦＰＣ２に接する第１位置に移動させる場合には、ＦＰＣ２の下面側に対向配置された一対の給電体１３ｂ１，１３ｂ２の一方もＦＰＣ２に接する第１位置に移動させることが好ましい。つまり、図７に示すように、給電体１３ａ１がＦＰＣ２に接触する場合には、これと対向する給電体１３ｂ１もＦＰＣ２に接触し、給電体１３ａ２がＦＰＣ２に接触する場合には、これと対向する給電体１３ｂ２もＦＰＣ２に接触するように給電体１３を移動させることが好ましい。
【００８４】
このように給電体１３を移動させることにより、対向する給電体１３ａ１及び１３ｂ１又は給電体１３ａ２及び１３ａ２によって、ＦＰＣ２を上下から押さえることができるので、ＦＰＣ２に低い抵抗で電流を流すことができる。また、ＦＰＣ２を介して対向する給電体１３を全て同期させることが可能となるので、駆動機構１６の構成を簡易にすることができる。
【００８５】
また、本実施形態の給電体１３ａ１，１３ａ２，１３ｂ１，１３ｂ２は、第１実施形態と同様にコントローラ１７により正又は負の電位が印加される。本実施形態のコントローラ１７は、ＦＰＣ２に接触する第１位置に移動する給電体１３ａ１，１３ａ２，１３ｂ１，１３ｂ２に相対的に負の電位を印加するとともに、ＦＰＣ２に非接触の第２位置に移動する給電体１３ａ１，１３ａ２，１３ｂ１，１３ｂ２に相対的に正の電位を印加する。
【００８６】
これにより、一対の給電体１３ａ１及び１３ａ２を被めっき物であるＦＰＣ２に接触する第１位置と非接触の第２位置にそれぞれ移動可能とし、第１位置にある給電体１３ａ１又は１３ａ２には相対的に負の電位を印加するとともに、第２位置にある給電体１３ａ１又は１３ａ２には相対的に正の電位を印加することにより、給電体１３に形成されためっき皮膜を剥離しながら、ＦＰＣ２にめっき皮膜を形成することができるので、プリント配線板の製造効率を向上させることができる。ＦＰＣ２と下面で接触する他の一対の給電体１３ｂ１及び１３ｂ２についても同様である。
【００８７】
本実施形態のプリント配線板の製造装置１００及び製造方法によれば、第１実施形態と同様の効果に加えて、給電体１３ａ１又は１３ａ２、１３ｂ１又は１３ｂ２に正又は負のいずれか一方の電位を印加すればよいので、電位を印加するための配線を簡単にすることができ、装置の小型化及びコストの低減を図ることができる。
【００８８】
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【００８９】
なお、上述した実施形態では一対の給電体１３を中心に説明したが、この給電体１３と動作が異なる給電体１３´を備えたプリント配線板の製造装置も本願に係る発明の一態様に含まれる。つまり、本実施形態のプリント配線板の製造装置１００は、ＦＰＣ２に接触したままの給電体１３を備えてもよい。
【符号の説明】
【００９０】
１…めっき装置
１１…めっき液浴
１２…陽極板
１３，１３Ａ１〜Ａ６，１３Ｂ１〜Ｂ６…給電体
１３１…第１給電部
１３２…第２給電部
１３３…接触部
１３４，１３４Ｂ…ローラ回転軸
１３５…アーム部材
１３５Ａ…第１アーム部材
１３５Ｂ…第２アーム部材
１３６…アーム回動軸
１３６Ａ…第１アーム回動軸
１３６Ｂ…第２アーム回動軸
１４…巻き出しリール
１５…巻き取りリール
１６…駆動機構
１６１…カム
１６２…キャタピラ
１７…コントローラ
１８…極性反転回路
１９…電源
２０…開閉スイッチ
２１…位置検出センサ
２…ＦＰＣ；フレキシブルプリント基板（被めっき物）
３…めっき液
【図１】
2011231344.tif 000003
【図２Ａ】
2011231344.tif 000004
【図２Ｂ】
2011231344.tif 000005
【図３】
2011231344.tif 000006
【図４】
2011231344.tif 000007
【図５】
2011231344.tif 000008
【図６】
2011231344.tif 000009
【図７】
2011231344.tif 000010