(57)【要約】【課題】複数の検出軸まわりの回転の角速度を検出することが可能な振動片、それを用いた角速度センサー、およびそれを用いた電子機器を提供する。【解決手段】振動片１は、基部５と、その基部５の第１軸方向の両端部から延出された第１駆動アーム２および第２駆動アーム３と、基部５の側面２０３から第１軸方向と直交する第２軸方向に延出された検出アーム４と、基部５の両端部の側面２０３から第２軸方向に延出された第１連結梁７および第２連結梁８と、基部５と平行に延びて第１連結梁７と第２連結梁８との先端同士を接続する支持部６と、を含む。第１および第２駆動アーム２，３の第１表面２０１上には第１軸方向に沿って並行に設けられた第１および第２駆動電極１２Ａ，１２Ｂが形成され、検出アーム４の第１表面２０１上には第２軸方向に沿って並行に設けられた一対の第１および第２検出電極１４Ａ，１４Ｂが形成されている。【選択図】図１
2011209002.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部の第１軸方向の両端部から延出され、且つ、駆動電極が設けられた第１駆動ア
ームおよび第２駆動アームと、
前記基部の前記第１軸方向に直交する第２軸方向から延出され、且つ、検出電極が設け
られた検出アームと、
前記基部と前記第１駆動アームとの付け根、および、前記基部と前記第２駆動アームと
の付け根の各々から前記第２軸方向に前記検出アームよりも長く延出された連結梁と、
前記第１軸方向に延び、且つ、前記連結梁の各々の先端部分同士を接続する支持部と、
を含むことを特徴とする振動片。
【請求項２】
請求項１に記載の振動片において、
前記基部、前記第１駆動アーム、前記第２駆動アーム、前記連結梁、および前記支持部
は圧電体材料を用いて形成されたことを特徴とする振動片。
【請求項３】
請求項２に記載の振動片において、
前記圧電体材料として水晶が用いられていることを特徴とする振動片。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の振動片において、
前記駆動電極および前記検出電極は、第１電極と、前記第１電極上に設けられた圧電体
層と、前記圧電体層を挟んで前記第１電極に対向して設けられた第２電極と、を含む積層
体であり、
前記第１駆動アーム、前記第２駆動アーム、および前記検出アームは、各アームの伸長
する方向に並列に２つの前記積層体が形成され、且つ、一方の前記積層体の前記第１電極
と他方の前記積層体の前記第２電極とが接続されるとともに、一方の前記積層体の前記第
２電極と他方の前記積層体の前記第１電極とが電気的に接続されたことを特徴とする振動
片。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の振動片において、
前記検出電極が、前記検出アームの前記第１軸方向に延びる複数の電極指の一端が共通
電極により接続された一対の櫛歯状電極を対向させて、互いの前記電極指を交差させて配
置した交差指電極であることを特徴とする振動片。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の振動片において、
２つの前記振動片が、前記支持部を共通の支持部として、前記支持部の前記第１軸方向
に対して線対称になるように一体形成されていることを特徴とする振動片。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の振動片と、
前記第１駆動アームおよび前記第２駆動アームを、前記第１軸方向と前記第２軸方向と
を含む第１面内で駆動させる第１駆動と、
前記振動片が所定軸周りに回転したときに加わるコリオリ力により、前記第１駆動アー
ムおよび前記第２駆動アームを、前記第１面に直交する方向に駆動する第２駆動と、
前記第２駆動により、前記検出アームを、前記第１面に直交する方向に駆動する第３駆
動と、
前記第３駆動により生じる電圧を前記検出電極を介して検出する検出手段と、
を含むことを特徴とする角速度センサー。
【請求項８】
請求項７に記載の角速度センサーを搭載した電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動アームおよび検出アームを有し、振動や変位を検出することにより物体
の角速度を検出するのに用いる振動片、および、それを用いた角速度センサー、およびそ
れを用いた電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、車両における車体制御やカーナビゲーションシステムの自車位置検出、また、デ
ジタルカメラやデジタルビデオカメラなどの振動制御補正機能（所謂手ぶれ補正）などを
充実させる角速度センサーとしての振動ジャイロセンサー（以下振動ジャイロと呼ぶ）が
広く利用されている。振動ジャイロは、高弾性材料としての水晶などの圧電性単結晶物か
らなるジャイロ振動片により、物体の揺れや回転などの振動によってジャイロ振動片の一
部に発生する電気信号を角速度として検出し、回転角を算出することによって物体の変位
を求めるものである。
このような振動ジャイロを搭載する電子機器に対して、近年、高機能化の要求がますま
す高まるのに伴って、振動ジャイロには、より高精度な角速度の検出を実現する高感度化
とともに、電子機器の小型化の進展が進むなかで薄型化（低背化）や省面積化などの小型
化が強く求められてきている。
【０００３】
振動ジャイロに用いられる振動片（ジャイロ素子）としては、従来より、所謂音叉型の
圧電振動片が広く用いられている（例えば、特許文献１を参照）。特許文献１に記載の振
動片は、水晶からなる基部と、基部の一端部から二股に分かれて平行に延出された一対の
振動アームとを含む。各振動アームの第１表面には振動アームを励振する駆動電圧を供給
する駆動電極（励振電極）が設けられ、第１表面と直交する側面には検出電極が設けられ
ている。そして、駆動電極に駆動信号（励振信号）を印加することにより、振動アームを
振動させることができる。ここで、この振動片に駆動信号を印加して振動アームを第１表
面に沿った方向に振動（面内振動）させているときに、振動アームの延在方向の軸を検出
軸として回転させると、コリオリの力により振動アームが第１表面と直交する方向に振動
（面外振動）する。この面外振動の振幅は振動片の回転速度に比例することから角速度と
して検出することができる。
【０００４】
振動ジャイロは、上記のような振動片と、その振動片を駆動振動させる駆動回路、およ
び、角速度が加わったときに振動片に生じる検出振動を検出する検出回路と、を含む電子
部品としてのＩＣチップが、ベース基板としてのパッケージ内に気密に封止された構造を
有している。すなわち、例えば、特許文献１に示された、従来より広く用いられている圧
電振動片を有する圧電振動デバイスと同様な構造を有している（例えば特許文献２を参照
）。
特許文献２に記載の圧電振動デバイス（水晶発振器）は、振動片（圧電振動板）と、そ
の振動片とともに発振回路を構成する電子部品としてのＩＣチップ（集積回路素子）とが
、パッケージ（セラミックパッケージ）内に接合され、気密に封止されている。
パッケージの収納部を構成するパッケージベースは、上部が開口した凹部を有している
。また、凹部には複数の段差が設けられ、そのうちの１つの段差により形成される下部収
納部にＩＣチップがワイヤーボンディング法などにより接合され、他の段差により形成さ
れる上部収納部には、例えば導電性接着剤などの接合部材により振動片が接合されている
。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開平５−２５６７２３号公報
【特許文献２】特開２００６−５４６０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載のジャイロ振動片の構成では、１つの検出軸に対する
回転の角速度検出のみにしか対応できないため、他の検出軸に対する回転の角速度を検出
するためには、例えば、振動片を垂直に立てて配置させる必要がある。また、複数の検出
軸に対する回転の角速度検出を１つの角速度センサーによって実現させるには、１つの角
速度センサーに複数の振動片を内蔵させる必要があるため、角速度センサーの低背化や省
面積化などの小型化に不利であるという問題があった。
また、特許文型１に記載のジャイロ振動片の構成では、同一の振動アームにおいて駆動
電極と検出電極とが近接して配置されているので、駆動振動と検出振動が結合して検出精
度を劣化させる虞があるという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の
形態または適用例として実現することが可能である。
【０００８】
〔適用例１〕本適用例にかかる振動片は、基部と、前記基部の第１軸方向の両端部から
延出され、且つ、駆動電極が設けられた第１駆動アームおよび第２駆動アームと、前記基
部の前記第１軸方向に直交する第２軸方向から延出され、且つ、検出電極が設けられた検
出アームと、前記基部と前記第１駆動アームとの付け根、および、前記基部と前記第２駆
動アームとの付け根の各々から前記第２軸方向に前記検出アームよりも長く延出された連
結梁と、前記第１軸方向に延び、且つ、前記連結梁の各々の先端部分同士を接続する支持
部と、を含むことを特徴とする。
【０００９】
上記適用例の振動片は角速度センサーに用いることができる。上記適用例の振動片によ
れば、第１軸方向に延びて形成された第１および第２駆動アームと、その第１軸方向と直
交する第２軸方向に延出された検出アームとを有しているので、例えば、第１駆動アーム
および第２駆動アームを素子と同一平面内に振動（面内振動）させた状態で、第１および
第２駆動アームの面内振動と直交する方向の面内振動方向、および、面外振動方向のコリ
オリの力に起因した検出アームの撓みを検出することができる。したがって、１つの振動
片により、また、振動片を水平に配置した状態で複数の検出軸に対する回転の角速度検出
が可能になるので、低背化および省面積化などの小型化を図りながら、複数の検出軸に対
する角速度の検出を実現することができる。
しかも、第１および第２駆動アームと検出アームとが近接せずに直交する位置関係で配
置されるので、駆動振動と検出振動が結合して検出精度を劣化させるのを防ぎ、高精度に
て角速度を検出することができる。
【００１０】
〔適用例２〕上記適用例にかかる振動片において、前記基部、前記第１駆動アーム、前
記第２駆動アーム、前記連結梁、および前記支持部は圧電体材料を用いて形成されたこと
を特徴とする。
【００１１】
従来より振動片の材料として広く用いられている圧電体材料を用いることにより、周知
の原理やノウハウを加味して圧電効果を利用した、例えば高性能な圧電振動片を提供する
ことができる。
【００１２】
〔適用例３〕上記適用例にかかる振動片において、前記圧電体材料として水晶が用いら
れていることを特徴とする。
【００１３】
水晶を用いることにより、振動片の小型化に伴う温度特性（周波数特性等の温度依存性
）の低下を抑制することができる。
【００１４】
〔適用例４〕上記適用例にかかる振動片において、前記駆動電極および前記検出電極は
、第１電極と、前記第１電極上に設けられた圧電体層と、前記圧電体層を挟んで前記第１
電極に対向して設けられた第２電極と、を含む積層体であり、前記第１駆動アーム、前記
第２駆動アーム、および前記検出アームは、各アームの伸長する方向に並列に２つの前記
積層体が形成され、且つ、一方の前記積層体の前記第１電極と他方の前記積層体の前記第
２電極とが接続されるとともに、一方の前記積層体の前記第２電極と他方の前記積層体の
前記第１電極とが電気的に接続されたことを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、駆動アームにおいては、２つの駆動電極に互いに逆相の交流電圧を
印加することにより、駆動に寄与しない電界成分を低減させ、且つ、駆動アームの自由な
伸縮を妨げ難いので駆動効率が向上する。
なお、検出アームにおいては、複数の検出軸に対する回転の角速度を検出するために、
２つの検出電極それぞれの第１電極および第２電極は電気的に独立させる。この検出アー
ムにおいても、上記駆動電極と同じ構成により、検出アームの自由な伸縮を妨げ難いので
、印加された角速度に対する検出感度が向上する。
【００１６】
〔適用例５〕上記適用例にかかる振動片において、前記検出電極が、前記検出アームの
前記第１軸方向に延びる複数の電極指の一端が共通電極により接続された一対の櫛歯状電
極を対向させて、互いの前記電極指を交差させて配置した交差指電極であることを特徴と
する。
【００１７】
この構成によれば、所望の振動モードへの応答だけを強勢にして、スプリアス応答を極
めて少なくすることが可能になるので、例えば、高精度な角速度の測定が可能な角速度セ
ンサー用の振動片を提供することができる。
【００１８】
〔適用例６〕上記適用例にかかる振動片において、２つの前記振動片が、前記支持部を
共通の支持部として、前記支持部の前記第１軸方向に対して線対称になるように一体形成
されていることを特徴とする。
【００１９】
この構成によれば、例えば、振動片の重心で支持するように外部と接合することによっ
て、よりバランスよく支持された状態で角速度検出ができるとともに、駆動アームおよび
検出アームともに複数（対）を備えていることによって、より高精度で安定した角速度の
検出をおこなうことができる。
【００２０】
〔適用例７〕本適用例にかかる角速度センサーは、上記適用例にかかる振動片と、前記
第１駆動アームおよび前記第２駆動アームを、前記第１軸方向と前記第２軸方向とを含む
第１面内で駆動させる第１駆動と、前記振動片が所定軸周りに回転したときに加わるコリ
オリ力により、前記第１駆動アームおよび前記第２駆動アームを、前記第１面に直交する
方向に駆動する第２駆動と、前記第２駆動により、前記検出アームを、前記第１面に直交
する方向に駆動する第３駆動と、前記第３駆動により生じる電圧を前記検出電極を介して
検出する検出手段と、を含むことを特徴とする。
【００２１】
この構成によれば、駆動振動時の運動エネルギーが保存され、且つ、重心支持が可能と
なるため、支持部への振動漏れの影響を少なくすることができる。よって、検出感度が高
い角速度センサーを実現することができる。
【００２２】
〔適用例８〕本適用例にかかる電子機器は、上記適用例にかかる角速度センサーを搭載
したことを特徴とする。
【００２３】
この構成によれば、上記適用例にかかる振動片およびそれを用いた角速度センサーを搭
載しているので、検出感度が高いとともに、従来のように角速度センサーを立てずに載置
することができるので、小型・低背化が図られ、優れた角速度センサーを備えた電子機器
を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】振動片の一実施形態を一方の主面側から見て説明する概略平面図。
【図２】（ａ）は、振動片の電極構造を説明するための図１のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は、同じくＢ−Ｂ線断面図。
【図３】（ａ）は、振動片の動作の一つの態様を説明する概略平面図、（ｂ）は、振動片の動作の別の態様を説明する概略平面図。
【図４】（ａ）は、角速度センサーとしての振動ジャイロの一実施形態を上側から見て説明する概略平面図、（ｂ）は、（ａ）のＣ−Ｃ線概略断面図。
【図５】振動片の変形例を上側から見て説明する概略平面図。
【図６】（ａ）は、変形例の振動片の動作の一つの態様を説明する概略平面図、（ｂ）は、振動片の動作の別の態様を説明する概略平面図。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２６】
〔振動片〕
まず、本実施形態に係る振動片１について、図面を参照しながら説明する。図１は、振
動片１を一方の主面（第１表面）側から見た概略平面図である。図２は、振動片１の電極
構造を説明するものであり、（ａ）は図１のＡ−Ａ線断面図、（ｂ）は図１のＢ−Ｂ線断
面図である。
なお、以下の説明では、まず振動片１の形状等について説明し、次に、振動片１に形成
された各電極、配線、端子の配置等について説明し、次に、振動片１の動作について説明
する。
【００２７】
〔振動片の形状等〕
振動片１の材質には高弾性材料が用いられ、例えば、水晶、タンタル酸リチウム、ニオ
ブ酸リチウムなどの圧電材料や、シリコンが挙げられる。特に水晶を用いた場合には、振
動片の小型化に伴う温度特性（周波数特性等の温度依存性）の低下を抑制することができ
るので好ましい。また、水晶を用いる場合、カット角の観点から温度特性が良好なＸカッ
ト板であることが好ましいが、Ｚカット板（回転Ｘ）、ＡＴカット板であってもよい。Ｚ
カット板を用いた場合にはエッチング加工が容易になるという特性を有する。
【００２８】
振動片１は、本実施形態では振動ジャイロに用いる所謂ジャイロ素子である。
図１および図２に示すように、振動片１は、例えば水晶の結晶軸の第１軸方向としての
Ｙ軸と第２軸方向としてのＸ軸とで定義される平面（以下、ＸＹ平面という）に拡がりを
有し、Ｚ軸方向に厚みを有することができる。振動片１は、第１表面２０１（一方の主面
）、および、その第１表面２０１と対向する面である第２表面（図示せず）と、第１表面
２０１および第２表面を接続する側面２０３と、を有する。第１表面２０１および第２表
面は、図中のＸＹ平面に平行な面である。また、側面２０３は、第１表面２０１および第
２表面と直交し、Ｚ軸に平行な面である。なお、本発明に係る記載では、「Ｘ軸」という
文言を、Ｘ軸およびＸ軸を中心に０度より大きく２度以下の範囲の傾斜をした軸を意味す
るものとして用いる。「Ｙ軸」および「Ｚ軸」についても同様とする。
【００２９】
振動片１は、基部５と、その基部５の両端部からＹ軸方向（第１軸方向）に略同じ長さ
で延出された第１駆動アーム２および第２駆動アーム３と、基部５の側面２０３から第１
軸方向と直交するＸ軸方向（第２軸方向）に延出された検出アーム４と、基部５の両端部
各々の側面（検出アーム４が延出された側面２０３と同じ側面）２０３からＸ軸方向に検
出アーム４よりも長く延出された第１連結梁７および第２連結梁８と、基部５と平行に延
びて第１連結梁７と第２連結梁８との先端側同士を接続する支持部６と、を含む。
【００３０】
第１駆動アーム２および第２駆動アーム３は、基部５のＹ軸に沿って、それぞれ正およ
び負の方向に延出している。本実施形態では、第１駆動アーム２が基部５のＹ軸の正の方
向の一端側からＹ軸の正の方向に延出され、第２駆動アーム３が基部５のＹ軸の負の方向
の他端側からＹ軸の負の方向に延出されている。
基部５からＸ軸側に延出された検出アーム４によって、角速度を検出する検出振動系が
構成されている。
また、基部５からＹ軸の正側および負側にそれぞれ延出された第１駆動アーム２および
第２駆動アーム３によって、振動片１を駆動させる駆動振動系が構成されている。
【００３１】
第１連結梁７および第２連結梁８は、基部５のＸ軸側の端部からＸ軸に沿って延出され
ている。また、検出アーム４は、基部５のＸ軸側の端部において第１連結梁７と第２連結
梁８との間から第１連結梁７および第２連結梁８と平行に延出されている。
支持部６は、基部５から検出アーム４を間に挟んでＸ軸方向に平行に延出された第１連
結梁７および第２連結梁８の先端同士と直交するＹ軸方向から接続し、且つ、検出アーム
４と接触しないように配置されている。本実施形態の支持部６は平面視で細長い略矩形状
を有するが、この形状は特に限定されるものではない。
【００３２】
支持部６の一部は、外部、例えば、振動片１を収容するパッケージに接合して固定され
る部分（領域）であって振動片１を支持する支持領域６ａとして用いられる。本実施形態
では、Ｙ軸方向に延びる第１駆動アーム２、基部５、および第２駆動アーム３と平行に設
けられた支持部６において、第１駆動アーム２、基部５、および第２駆動アーム３の３つ
を合わせたＹ軸方向の中心とＹ軸方向で重なる位置を支持領域６ａとしている。即ち、振
動片１が、支持部６の支持領域６ａ、検出アーム４、および基部５の中心をＸ軸方向に通
る仮想の中心線に対して線対称となっている。このようにすることにより、Ｙ軸方向に延
びる第１駆動アーム２、基部５、および第２駆動アーム３の連結体を、第１連結梁７およ
び第２連結梁８を介して支持部６によりバランスよく支持することができる。
なお、支持部６と第１連結梁７および第２連結梁８とによる振動片１の支持構造におい
て、第１連結梁７、第２連結梁８、および支持部６の形状は、振動片１の支持に弾性を持
たせる構造の一例であって、その目的を果たすものであれば形状を適宜に変更を加えるこ
とができる。また、本実施形態のように、支持部６の支持領域６ａで振動片１を一点支持
する構成によれば、振動片１の各部の自由な振動を妨げ難くなると共に、支持部分（支持
領域６ａ）からの振動漏れを抑制することができる。
【００３３】
以上、説明した振動片１の外形形状は、例えば水晶ウェハなどの圧電基板材料を、フッ
酸溶液などによるウエットエッチングや、ドライエッチングを用いることにより精密に形
成することができる。
【００３４】
次に、振動片１の各種電極や配線について説明する。
図１に示すように、第１駆動アーム２の第１表面２０１上には、第１駆動アームのＹ軸
方向に沿って平行に設けられた一対の第１および第２駆動電極１２Ａ，１２Ｂが形成され
ている。同様に、第２駆動アームの第１表面２０１上には、第２駆動アームのＹ軸方向に
沿って平行に設けられた一対の第１および第２駆動電極１３Ａ，１３Ｂが形成されている
。これらの第１駆動電極１２Ａ，１３Ａおよび第２駆動電極１２Ｂ，１３Ｂは、外部から
印加する駆動電圧によって第１駆動アーム２あるいは第２駆動アーム３を励振するための
電極である。
また、検出アーム４の第１表面２０１上には、検出アーム４のＸ軸方向に沿って平行に
設けられた一対の第１および第２検出電極１４Ａ，１４Ｂが形成されている。一対の第１
および第２検出電極１４Ａ，１４Ｂは、検出アーム４の検出振動が励起されたときに、該
振動によって発生する検出アーム４（例えば、圧電材料）の撓みを検出するための電極で
ある。
【００３５】
なお、本実施形態の振動片１のように、上記の第１および第２駆動電極１２Ａ，１３Ａ
，１２Ｂ，１３Ｂ、および、第１および第２検出電極１４Ａ，１４Ｂは、第１駆動アーム
２、第２駆動アーム３、および検出アーム４において、各アームの中心線を軸として線対
称になっていることが、第１および第２駆動アーム２，３において発生する駆動電界や、
検出アーム４において検出する電界のバランスが良くなり、また、所定の振動方向以外へ
の振動漏れが発生し難くなって駆動効率がより向上するという効果を奏するので好ましい
。
また、図示はしないが、上記の第１および第２駆動電極１２Ａ，１３Ａ，１２Ｂ，１３
Ｂ、および、第１および第２検出電極１４Ａ，１４Ｂは、支持部６の支持領域６ａに設け
られた外部接続電極や、振動片１の任意の位置に設けられた接地用電極、あるいは対応す
る電極同士と、振動片１の第１表面２０１や第２表面電極間配線あるいは側面２０３に形
成された電極間配線により電気的に接続され、振動片１に配線回路が形成されている。
【００３６】
続いて、第１駆動アーム２、第２駆動アーム３、および検出アーム４に形成された各電
極の詳細な構成について図２を参照して説明する。
図２（ａ）に示すように、第１駆動アーム２の第１表面２０１に設けられた一対の第１
および第２駆動電極１２Ａ，１２Ｂは、第１駆動アーム２の第１表面２０１に設けられた
第１電極１５ａ，１５ｂと、各第１電極１５ａ，１５ｂ上に設けられた圧電体層１６ａ，
１６ｂと、各圧電体層１６ａ，１６ｂ上に設けられた第２電極１７ａ，１７ｂとによる積
層体として形成されている。
【００３７】
第１駆動アーム２の一対の第１および第２駆動電極１２Ａ，１２Ｂにおいて、各第１電
極１５ａ，１５ｂと、圧電体層１６ａ，１６ｂを間に挟んで対向する各第２電極１７ａ，
１７ｂとは極性が異なるようにて配設されている。また、第１駆動電極１２Ａと第２駆動
電極１２Ｂとは逆相の電極となる。
本実施形態では、第１駆動電極１２Ａの第１電極１５ａと、他方の第２駆動電極１２Ｂ
の第２電極１７ｂとが同相の電極として同じ接続端子部Ｓ１に接続され、第１駆動電極１
２Ａの第２電極１７ａと、他方の第２駆動電極１２Ｂの第１電極１５ｂとが同相の電極と
して同じ接続端子部Ｓ２に接続されている。各接続端子部Ｓ１，Ｓ２は、図１では図示を
省略しているが、例えば支持部６の支持領域６ａに設けられ、振動片１の第１表面２０１
や側面２０３に引き回した電極間配線を介して対応する各電極と接続される。
【００３８】
また、図示はしないが、第１駆動アーム２と対をなす第２駆動アーム３の第１表面２０
１に形成された一対の第１および第２駆動電極１３Ａ，１３Ｂ（図１を参照）は、第１駆
動アーム２の上記第１および第２駆動電極１２Ａ，１２Ｂと同じ電極構造を有している。
【００３９】
このような圧電体層１６ａ，１６ｂを含む積層膜構造の第１および第２駆動電極１２Ａ
，１３Ａ，１２Ｂ，１３Ｂを第１駆動アーム２および第２駆動アーム３各々のＹ方向の中
心線を境に離間させて並列に配置する構成によれば、第１駆動電極１２Ａ，１３Ａと第２
駆動電極１２Ｂ，１３Ｂとに、互いに逆相の交流電圧を印加することにより、駆動に寄与
しない電界成分を低減させることができ、且つ、第１駆動アーム２および第２駆動アーム
３の自由な伸縮を妨げ難いので駆動効率を向上させることができる。
【００４０】
検出アーム４の第１表面２０１に設けられた一対の第１および第２検出電極１４Ａ，１
４Ｂは、図２（ｂ）に示すように、検出アーム４の第１表面２０１に設けられた第１電極
２５ａ，２５ｂと、各第１電極２５ａ，２５ｂ上に設けられた圧電体層２６ａ，２６ｂと
、各圧電体層２６ａ，２６ｂ上に設けられた第２電極２７ａ，２７ｂによって形成されて
いる。
検出アーム４の一対の第１および第２検出電極１４Ａ，１４Ｂにおいて、各第１電極２
５ａ，２５ｂと、圧電体層２６ａ，２６ｂを間に挟んで対向する各第２電極２７ａ，２７
ｂとは極性が異なるようにて配設されている。また、第１検出電極１４Ａと第２検出電極
１４Ｂとは同相の電極となる。
したがって、各々の第１電極および第２電極は別々の接続端子部に引き出される。本実
施形態では、第１検出電極１４Ａの第１電極２５ａは接続端子部Ｓ６に、第２電極２７ａ
は接続端子部Ｓ５に、また、第２検出電極１４Ｂの第１電極２５ｂは接続端子部Ｓ４に、
第２電極２７ｂは接続端子部Ｓ３に、それぞれ接続されている。接続端子部Ｓ３〜Ｓ６は
、図１では図示を省略しているが、例えば支持部６の支持領域６ａに設けられ、振動片１
の第１表面２０１や側面２０３に引き回した電極間配線を介して対応する各電極と接続さ
れる。
【００４１】
このような圧電体層２６ａ，２６ｂを含む積層膜構造の第１および第２検出電極１４Ａ
，１４Ｂを検出アーム４のＸ方向中心線を境に離間させて２つ並列に配置する構成によれ
ば、検出アーム４の自由な伸縮を妨げ難いので、印加された角速度に対する検出感度が向
上する。
【００４２】
〔振動片の動作〕
次に、振動片１の動作の態様の一例について、図面を参照しながら説明する。図３（ａ
），（ｂ）は、振動片１の動作の態様の例をそれぞれ説明する概略平面図である。なお、
以下の振動片１の動作の説明では図２も併せて参照されたい。
【００４３】
まず、図２に示す振動片１において、第１駆動アーム２の第１駆動電極１２Ａおよび第
２駆動電極１２Ｂに励振信号を入力する。具体的には、接続端子部Ｓ１を介して第１駆動
電極１２Ａの第１電極１５ａおよび第２駆動電極１２Ｂの第２電極１７ｂに正電位（また
は負電位）を入力し、接続端子部Ｓ２を介して第１駆動電極１２Ａの第２電極１７ａおよ
び第２駆動電極１２Ｂの第１電極１５ｂに負電位（または正電位）を入力する。すると、
図３（ａ）に示すように、第１駆動電極１２Ａおよび第２駆動電極１２Ｂそれぞれの第２
電極と第１電極との間に逆方向の電界が生じて各電極にＹ方向の引張あるいは圧縮が生じ
る。すなわち、第１駆動電極１２Ａに引張（＋Ｙ）が生じているときには第２駆動電極１
２ＢのＺ方向に圧縮（−Ｙ）が生じ、第１駆動電極１２Ａに圧縮（−Ｙ）が生じている場
合には第２駆動電極１２Ｂに引張（＋Ｙ）が生じる。このように、第１駆動アーム２上に
てＹ方向の中心線を境に離間させて設けられた第１駆動電極１２Ａと第２駆動電極１２Ｂ
とのＺ方向の正負逆側の伸長または圧縮を交流信号を入力することによって繰り返すこと
により、第１駆動アーム２は±Ｘ方向の振動（第１駆動）を繰り返す。
なお、第２駆動アーム３についても、上記の第１駆動アーム２における第１駆動電極１
２Ａおよび第２駆動電極１２Ｂへの交流信号の入力と同様の信号入力を第１駆動電極１３
Ａおよび第２駆動電極１３Ｂに対して行うことにより、上記した第１駆動アーム２と同様
な±Ｘ方向への振動（第１駆動）が繰り返される。
【００４４】
ここで、図３に示すように、第１駆動アーム２および第２駆動アーム３が矢印２Vおよ
び矢印３Vの方向（＋Ｘ方向）に振動しているときの振動片１の動作の態様について具体
的に説明する。
まず、図３（ａ）に示すように、励振信号を入力することにより第１駆動アーム２およ
び第２駆動アーム３が矢印２Vおよび矢印３Vの方向（＋Ｘ方向）に振動（第１駆動）して
いるときに、振動片１にＹ軸まわりに反時計回りの回転ωYが加わると、第１駆動アーム
２および第２駆動アーム３の第１駆動の方向（面内振動）に対して直交する方向のうち記
号２S1および記号３S1の方向（＋Ｚ方向）にコリオリの力が発生し、これにより、検出ア
ーム４には、第１表面２０１（図１を参照）と直交する方向のうち記号４S1の方向（＋Ｚ
方向）の第３駆動（面外振動）が発生する。この第３駆動による面外振動により検出アー
ム４に電界成分が発生することによって生じる電荷量を第１および第２検出電極１４Ａ，
１４Ｂを介して測定することにより、振動片１にＹ軸まわりの回転が印加されたときの角
速度を知ることができる。
【００４５】
一方、図３（ｂ）に示すように、上記と同様に第１駆動アーム２および第２駆動アーム
３を矢印２Vの方向（＋Ｘ方向）に振動（第１駆動）しているときに、振動片１にＺ軸ま
わりに反時計回りの回転ωZが加わると、第１駆動アーム２および第２駆動アーム３の第
１駆動の方向（面内振動）に対して直交する方向のうち矢印２S2および３S2にコリオリの
力が発生し、これにより、検出アーム４には、第１表面２０１（図１を参照）と直交する
方向のうち矢印４S2の方向（＋Ｙ方向）の第３駆動（面内振動）が発生し、その第３駆動
による面内振動によって検出アーム４の第１検出電極１４Ａと第２検出電極１４Ｂとには
逆方向の圧縮または引張が生じる。この第１検出電極１４Ａと第２検出電極１４Ｂとの圧
縮または引張により発生する電荷量の差分を測定・計算することにより、振動片１にＺ軸
まわりの回転が印加されたときの角速度を求めることができる。
【００４６】
したがって、本実施形態の振動片１によれば、第１および第２駆動アーム２，３に励振
信号を入力して±Ｘ方向の振動を繰り返すようにした場合、Ｙ軸およびＺ軸の２つの検出
軸まわりの回転に対して、１つの振動片１によって、また、振動片１をパッケージなどの
なかに水平に配置した状態で、複数の検出軸に対する回転の角速度を検出することができ
る。
また、本実施形態の振動片１によれば、第１および第２駆動アーム２，３と、検出アー
ム４とが、近接され過ぎることなく、しかも、第１および第２駆動アーム２，３と検出ア
ーム４とが近接せずに直交する位置関係で配置されるので、駆動振動と検出振動が結合し
て検出精度を劣化させるのを防ぎ、高精度にて角速度を検出することが可能な振動片１を
提供することができる。
【００４７】
〔振動ジャイロ〕
次に、上記振動片１を含む角速度センサーとしての振動ジャイロについて、図面を参照
しながら説明する。
図４は、振動ジャイロの一実施形態を説明するものであり、（ａ）は上側からみた概略
平面図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ線断面を示す概略断面図である。なお、図４（ａ）では
、振動ジャイロの内部の構造を説明する便宜上、振動ジャイロの上方に設けられた蓋体と
してのリッド７０を取り外した状態を図示している。
なお、本実施形態に係る振動ジャイロ５０において、本実施形態に係る振動片１の構成
部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付して詳細な説明を省略し、また
、一部図示を省略する。
【００４８】
振動ジャイロ５０は、図４に示すように、パッケージ６０と、そのパッケージ６０の蓋
体としてのリッド７０と、パッケージ内に接合された電子部品としてのＩＣチップ８０と
、振動片１と、を有している。
【００４９】
パッケージ６０は、例えば、平板状の第１層基板６１上に、開口部の大きさが異なる矩
形環状の第２層基板６２、第３層基板６３、および第４層基板６４をこの順に重ねて設け
ることにより段差や突起部を有する凹部が形成され、該凹部内に振動片１およびＩＣチッ
プ８０を収容することが可能になっている。パッケージ６０の材質としては、例えば、セ
ラミック、ガラスなどを用いることができる。
【００５０】
パッケージ６０の凹部の凹底部分となる第１層基板６１上には、ＩＣチップ８０が配置
されるダイパッド６５が設けられている。また、パッケージ６０の外底面となる第１層基
板６１のダイパッド６５が設けられた面と異なる面には、外部基板との接合に供する外部
実装端子（図示せず）が設けられている。
【００５１】
パッケージ６０の凹部において、第２層基板６２によりダイパッド６５を囲むように形
成される段差上には、ＩＣチップ８０の複数の電極パッド７５と対応して接合される複数
のＩＣ接続端子６６が設けられている。
また、複数のＩＣ接続端子６６が設けられた第２層基板６２上に、ＩＣ接続端子６６を
囲むように形成される第３層基板６３による段差上には、振動片接続端子６７が設けられ
ている。
パッケージ６０に設けられた上記の各種端子は、対応する端子どうしが、図示しない引
き回し配線やスルーホールなどの層内配線により接続されている。
【００５２】
ＩＣチップ８０は、振動片１を駆動振動させるための励振手段としての駆動回路と、角
速度が加わったときに振動片１に生じる検出振動を検出する検出手段としての検出回路と
、を有する。具体的には、ＩＣチップ８０が有する駆動回路は、振動片１の第１および第
２駆動アーム２，３に形成された第１および第２駆動電極１２Ａ，１３Ａ，１２Ｂ，１３
Ｂに駆動信号を供給する。また、ＩＣチップ８０が有する検出回路は、振動片１の検出ア
ーム４に形成された第１および第２検出電極１４Ａ，１４Ｂに生じる検出信号を増幅させ
て増幅信号を生成し、該増幅信号に基づいて振動ジャイロ５０に印加された角速度を検出
する。
ＩＣチップ８０は、パッケージ６０の凹部の凹底部分に設けられたダイパッド６５上に
、例えばろう材９９によって接着・固定されている。また、本実施形態では、ＩＣチップ
８０とパッケージ６０とが、ワイヤーボンディング法を用いて電気的に接続されている。
すなわち、ＩＣチップ８０に設けられた複数の電極パッド７５と、パッケージ６０の対応
するＩＣ接続端子６６とが、ボンディングワイヤー４９により接続されている。
【００５３】
パッケージ６０の凹部内において、ＩＣチップ８０の上方には、振動片１が接合されて
いる。具体的には、振動片１の支持部６（図１の支持領域６ａ）に形成された外部接続電
極が、パッケージ６０の第３層基板６３により形成された段差上に設けられた振動片接続
端子６７に位置合わせされ、例えば導電性接着剤などの接合部材５９により電気的な接続
を図りながら接合・固定されている。これにより、振動片１は、支持部６を固定端として
片持ち支持されている。
【００５４】
ＩＣチップ８０および振動片１が接合されたパッケージ６０上には、蓋体としてのリッ
ド７０が配置され、パッケージ６０の開口を封止している。リッド７０の材質としては、
例えば、４２アロイ（鉄にニッケルが４２％含有された合金）やコバール（鉄、ニッケル
およびコバルトの合金）等の金属、セラミックス、あるいはガラスなどを用いることがで
きる。例えば、金属からなるリッド７０は、コバール合金などを矩形環状に型抜きして形
成されたシールリング６９を介してシーム溶接することによりパッケージ６０と接合され
る。パッケージ６０およびリッド７０によって形成される凹部空間は、振動片１が動作す
るための空間となる。
【００５５】
本実施形態の振動ジャイロ５０において、上記凹部空間は、減圧空間または不活性ガス
雰囲気に密閉・封止することができる。例えば、凹部空間内を減圧空間にして密閉封止す
る場合には、パッケージ６０に設けられた封止孔（図示せず）、例えば球状の固形の封止
材を配置させた状態で真空チャンバー内に入れ、所定の真空度まで減圧させて振動ジャイ
ロ５０の内側から出るガスを封止孔から排出させた後、電子ビームあるいはレーザーを照
射することなどにより封止材を溶融させてから固化させることにより、封止孔を閉塞させ
て封止する。なお、封止材の材料としては、完成した振動ジャイロ５０を外部実装基板に
実装する際のリフロー温度よりも高い温度を融点として有したものが望ましく、例えば、
金と錫（Ｓｎ）との合金、あるいは、金とゲルマニウム（Ｇｅ）との合金などを用いるこ
とができる。
【００５６】
本実施形態の振動ジャイロ５０によれば、上述の振動片１を備えていることにより、振
動片１を縦配置させることなく２つの検出軸における角速度を高感度にて検出することが
できるので、低背化を図りながら、検出感度が高い角速度センサーとしての振動ジャイロ
５０を実現することができる。
【００５７】
上記実施形態で説明した角速度センサーとしての振動ジャイロは、以下の変形例として
実施することもできる。
【００５８】
（変形例）
上記実施形態の振動片１は、一対の第１および第２駆動アーム２，３と１つの検出アー
ム４を含む構成とした。この構成は、本発明における駆動アームと検出アームとが必要最
小限有の形態である。したがって、上記構成に限らず、任意の数ｎ個の組み合わせ、即ち
、ｎ対の駆動アームとｎ個の検出アームを含み構成とすることもできる。
図５は、２対の駆動アームと２本の検出アームを含む振動片の変形例を説明する上側か
らみた概略平面図である。また、図６（ａ），（ｂ）は、本変形例の振動片の動作の態様
の例をそれぞれ説明する概略平面図である。なお、本変形例の説明において、上記実施形
態と同じ構成については同一符号を付して説明を省略する。
【００５９】
図５において、本変形例の振動片１００は、基部（第１基部）５と、基部５の第１軸方
向（Ｙ軸）の両端部から第１軸方向に略同じ長さで延出された第１駆動アーム２および第
２駆動アーム３と、基部５の側面２０３から第１軸方向と直交する第２軸方向（Ｘ軸）に
延出された検出アーム（第１検出アーム）４と、基部５のＹ軸の両端部各々の検出アーム
４が延出された側面と同じ側面からＸ軸方向に検出アーム４よりも長く延出された第１連
結梁７および第２連結梁８と、基部５と平行に延びて第１連結梁７と第２連結梁８との先
端側同士を接続する支持部１０６と、支持部１０６の前記第１連結梁７および前記第２連
結梁８が接続された側面の反対側の側面から前記第１連結梁７および前記第２連結梁８の
延出方向の仮想の延長線上に延びる第３連結梁１０７および第４連結梁１０８と、第３連
結梁１０７および第４連結梁１０８の支持部１０６と接続された一端部とは反対側の他端
部同士を前記支持部１０６および（第１）基部５と平行に延びて接続する第２基部１０５
と、第２基部１０５のＹ軸の両端部から第１軸方向に略同じ長さで延出された第３駆動ア
ーム１０２および第４駆動アーム１０３と、第２基部１０５の第３連結梁１０７および第
４連結梁１０８が連結された側面の中央から第３連結梁１０７および第４連結梁１０８と
平行に延びる第２検出アーム１１４と、を含む。
【００６０】
振動片１００において、第１駆動アーム２、第２駆動アーム３、および（第１）検出ア
ーム４の第１表面に設けられた各種電極は、上記実施形態と同一構成となっている。これ
と同様に、第３駆動アーム１０２、第４駆動アーム１０３、および第２検出アーム１１４
それぞれの第１表面には各種電極が設けられている。具体的には、第３駆動アーム１０２
の第１表面上には、第３駆動アーム１０２の長手方向にそって平行に設けられた一対の第
１および第２駆動電極１１２Ａ，１１２Ｂが形成され、第４駆動アームの第１表面上には
、第４駆動アーム１０３の長手方向に沿って平行に設けられた一対の第１および第２駆動
電極１１３Ａ，１１３Ｂが形成され、第２検出アーム１１４の第１表面上には、第２検出
アーム１１４の長手方向Ｘ軸方向に沿って平行に設けられた一対の第１および第２検出電
極１１４Ａ，１１４Ｂが形成されている。
【００６１】
すなわち、本変形例の振動片１００は、上記実施形態の振動片１が、支持部１０６を共
通に用いて、その支持部１０６のＹ軸方向（第１軸方向）に延びる仮想の中心線に対して
線対称になるように一体形成された態様を呈している。
支持部１０６の略中央は、振動片１００を外部に接合・固定する際の支持領域１０６Ａ
として用いられる。本実施形態では、その支持領域１０６Ａを、振動片１００の重心Ｇを
中心として設定されている。これにより、外部に固定された振動片１００を、さらにバラ
ンスよく支持することができる。
【００６２】
次に、振動片１００の動作の態様の一例について説明する。ここでは、図６に示すよう
に、第１駆動アーム２および第２駆動アーム３が矢印２Vおよび矢印３Vの方向（＋Ｘ方向
）に振動し、第３駆動アーム１０２および第４駆動アーム１０３が矢印１０２Vおよび矢
印１０３Vの方向（−Ｘ方向）に振動しているときの振動片１００の動作の態様について
説明する。
まず、図６（ａ）に示すように、励振信号を入力することにより第１駆動アーム２およ
び第２駆動アーム３が矢印２Vおよび矢印３Vの方向（＋Ｘ方向）に振動（第１駆動）し、
第３駆動アーム１０２および第４駆動アーム１０３が矢印１０２Vおよび矢印１０３Vの方
向（−Ｘ方向）に振動しているときに、振動片１００にＹ軸まわりに反時計回りの回転ω
Yが加わると、第１駆動アーム２および第２駆動アーム３には、第１駆動の方向（面内振
動）に対して直交する方向のうち記号２S1および記号３S1の方向（＋Ｚ方向）にコリオリ
の力が発生し、第３駆動アーム１０２および第４駆動アーム１０３には、第１駆動の方向
（面内振動）に対して直交する方向のうち記号１０２S1および記号１０３S1の方向（−Ｚ
方向）にコリオリの力が発生する。これらのコリオリの力により、第１検出アーム４およ
び第２検出アーム１１４には、第１表面２０１（図５を参照）と直交する方向のうち、記
号４S1の方向（−Ｚ方向）、および、記号１１４S1の方向（＋Ｚ方向）の第３駆動（面外
振動）が発生する。この第３駆動による面外振動により第１検出アーム４および第２検出
アーム１１４に電界成分が発生することによって生じる電荷量を第１および第２検出電極
１４Ａ，１４Ｂと第１および第２検出電極１１４Ａ，１１４Ｂとをそれぞれ介して測定す
ることにより、振動片１００にＹ軸まわりの回転が印加されたときの角速度を知ることが
できる。
【００６３】
一方、図６（ｂ）に示すように、上記と同様に第１駆動アーム２および第２駆動アーム
３が矢印２Vおよび矢印３Vの方向（＋Ｘ方向）に振動（第１駆動）し、第３駆動アーム１
０２および第４駆動アーム１０３が矢印１０２Vおよび矢印１０３Vの方向（−Ｘ方向）に
振動しているときに、振動片１００にＺ軸まわりに反時計回りの回転ωZが加わると、第
１駆動アーム２および第２駆動アーム３の第１駆動の方向（面内振動）に対して直交する
方向のうち矢印２S2および３S2の方向（−Ｙ方向）にコリオリの力が発生し、第３駆動ア
ーム１０２および第４駆動アーム１０３には、第１駆動の方向（面内振動）に対して直交
する方向のうち記号１０２S2および記号１０３S2の方向（＋Ｙ方向）にコリオリの力が発
生する。これらのコリオリの力により、第１検出アーム４には、第１表面２０１（図５を
参照）と直交する方向のうち矢印４S2の方向（＋Ｙ方向）の第３駆動（面内振動）が発生
し、第２検出アーム１１４には、第１表面２０１（図５を参照）と直交する方向のうち記
号１１４S2の方向（−Ｙ方向）の第３駆動（面内振動）が発生する。そして、これらの第
３駆動による面内振動によって第１検出アーム４および第２検出アーム１１４の第１検出
電極１４Ａ，１１４Ａと第２検出電極１４Ｂ，１１４Ｂとのそれぞれには逆方向の圧縮ま
たは引張が生じる。この第１検出電極１４Ａ，１１４Ａと第２検出電極１４Ｂ，１１４Ｂ
との圧縮または引張により発生する電荷量の差分を測定・計算することにより、振動片１
００にＺ軸まわりの回転が印加されたときの角速度を求めることができる。
【００６４】
上記変形例の振動片１００によれば、さらにバランスよく支持された状態で角速度検出
ができるとともに、上記実施形態の振動片１と比べて、駆動アームおよび検出アームとも
に２倍有しているので、より高精度な角速度の検出をおこなうことができる。
【００６５】
以上、発明者によってなされた本発明の実施の形態について具体的に説明したが、本発
明は上記した実施の形態およびその変形例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲で種々の変更を加えることが可能である。
【００６６】
例えば、上記実施形態および変形例で説明した特定の形態、例えば、基部、振動片１の
駆動アームや検出アーム、連結梁、支持部、などの形状は限定されるものではない。
同様に、各電極、配線、端子などの位置や形状についても上記実施形態に限定されない
。特に、第１および第２駆動電極１２Ａ，１２Ｂ，１３Ａ，１３Ｂ，１１２Ａ，１１２Ｂ
，１１３Ａ，１１３Ｂや第１および第２検出電極１４Ａ，１４Ｂ，１１４Ａ，１１４Ｂの
電極構造や配置については、上記実施形態および変形例で説明した特定のものに限らない
。例えば、検出電極は、複数の電極指の一端を共通電極で接続した櫛歯状電極を２つ備え
、且つ、電極指同士が接触しないように櫛歯状電極同士を対向させて配置した所謂交差指
電極（ＩＤＴ）で構成することもできる。この場合、櫛歯状電極の各電極指の長手方向が
検出アーム４，１１４の長手方向と直交するように配置すればよい。
【００６７】
また、上記実施形態では、ＩＣチップ８０をワイヤーボンディング法を用いてパッケー
ジ内にボンディングワイヤー４９により接続する構成を説明した。これに限らず、ＩＣチ
ップ８０などの電子部品を他の実装方法、例えば、金属バンプや導電性接着剤などの接合
部材を用いてフェースダウン接合する構成としてもよい。
【００６８】
また、本願発明の振動片および角速度センサーは、デジタルカメラ、カーナビゲーショ
ンシステム、携帯電話、モバイルＰＣ、およびゲームコントローラー等の電子機器にも適
用可能である。本願発明の振動片および角速度センサーを用いれば、従来のように角速度
センサーを立てずに実装することができるので、電子機器の低背化、小型化を実現できる
。
【符号の説明】
【００６９】
１，１００…振動片、２…第１駆動アーム、３…第２駆動アーム、４…（第１）検出ア
ーム、５…基部、６，１０６…支持部、６ａ，１０６Ａ…支持領域、７…第１連結梁、８
…第２連結梁、１２Ａ，１３Ａ，１１２Ａ…第１駆動電極、１２Ｂ，１３Ｂ，１１２Ｂ…
第２駆動電極、１４Ａ，１１４Ａ…第１検出電極、１４Ｂ，１１４Ｂ…第２検出電極、１
５ａ，１５ｂ，２５ａ，２５ｂ…第１電極、１６ａ，１６ｂ，２６ａ，２６ｂ…圧電体層
、１７ａ，１７ｂ，２７ａ，２７ｂ…第２電極、４９…ボンディングワイヤー、５０…角
速度センサーとしての振動ジャイロ、５９…接合部材、６０…パッケージ、６１…第１層
基板、６２…第２層基板、６３…第３層基板、６４…第４層基板、６５…ダイパッド、６
６…ＩＣ接続端子、６７…振動片接続端子、６９…シールリング、７０…リッド、７５…
電極パッド、８０…ＩＣチップ、９９…ろう材、１０２…第３駆動アーム、１０３…第４
駆動アーム、１０５…第２基部、１０７…第３連結梁、１０８…第４連結梁、１１４…第
２検出アーム、２０１…第１表面、２０３…側面。
【図１】
2011209002.tif 000003
【図２】
2011209002.tif 000004
【図３】
2011209002.tif 000005
【図４】
2011209002.tif 000006
【図５】
2011209002.tif 000007
【図６】
2011209002.tif 000008