(57)【要約】【課題】本発明は、ウェハ収納カセットからウェハが脱落することを簡易な方法で防止できるウェハ収納カセットと、ウェハ収納カセットから容易にウェハを出し入れできるウェハ搬送装置を提供することを目的とする。【解決手段】一対の側板と、上記一対の側板の内壁に形成された収納溝と、上記一対の側板の開放面でありウェハを出し入れするためのウェハ出入面とを有する。そして、上記一対の側板の底部は、上記ウェハ出入面側に角部を有しており、上記ウェハ出入面と反対側には角のない丸角部を有することを特徴とする。【選択図】図１
2011114221.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の側板と、
前記一対の側板の内壁に形成された収納溝と、
前記一対の側板の開放面でありウェハを出し入れするウェハ出入面とを有し、
前記一対の側板の底部は、前記ウェハ出入面側に角部を有し、前記ウェハ出入面と反対側に丸角部を有することを特徴とするウェハ収納カセット。
【請求項２】
ウェハ収納カセットと前記ウェハ収納カセットを設置する設置台とを有し、
前記ウェハ収納カセットは、
一対の側板と、
前記一対の側板の内壁に形成された収納溝と、
前記一対の側板の開放面でありウェハを出し入れするウェハ出入面と、
一端が前記一対の側板の一方の側板と固着され、他端が前記一対の側板の他方の側板と固着されて、長さ方向に伸縮する伸縮バーとを有し、
前記設置台は、
前記設置台の所定面に形成されたガイド機構を有し、
前記ガイド機構は前記一対の側板を前記ガイド機構に沿ってスライドさせることにより前記ウェハ出入面の幅を拡大するように配置される、
ことを特徴とするウェハ搬送装置。
【請求項３】
前記ガイド機構は溝または凸部であることを特徴とする請求項２に記載のウェハ搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はウェハの製造工程などでウェハを搬送するために用いるウェハ収納カセットと、ウェハ収納カセットにウェハを出し入れするためのウェハ搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェハは半導体製造設備などにより様々な処理が施されて製品化される。ウェハはウェハ収納カセットに収納されて、前述の半導体製造設備などへ運ばれる。また、製造の現場においてはウェハ収納カセットを例えば人手などで傾けて搬送することも多い。一般にウェハ収納カセットは他のウェハ収納カセットとの間でウェハの出し入れをする際などのために、容易にウェハを取り出せることが必要である。
【０００３】
なお、特許文献１−６にはウェハ収納カセットについての記載がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開昭６３−２４５９３７号公報
【特許文献２】特開平８−２８８３６０号公報
【特許文献３】特開平８−５３１８７号公報
【特許文献４】特開２００５−３１１０９３号公報
【特許文献５】特開平９−２９０８９０号公報
【特許文献６】特開平１１−１２１６０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
図８を参照して周知のウェハ収納カセット１００について説明する。ウェハ収納カセット１００は一対の側板１０２を備える。一対の側板１０２はバー１１０により固着されている。側板１０２には収納溝１０４が形成される。収納溝１０４に沿ってウェハ１１２が収納される。ウェハ収納カセット１００に収納されたウェハ１１２は図８中矢印にて示されるウェハ出入面１０６の方向にのみ出し入れが可能である。
【０００６】
図８のようなウェハ収納カセット１００では、ウェハ収納カセットを傾けて搬送する際にウェハ収納カセットからウェハが飛び出すことがあった。このようにウェハ収納カセットから脱落したウェハは割れやダメージを受ける問題があった。
【０００７】
また、ウェハ収納カセットからウェハが脱落しないように機構を設けると、ウェハ収納カセットの構造が複雑化する問題があった。
【０００８】
また、ウェハ収納カセットにウェハを出し入れするウェハ搬送装置も複雑化する問題があった。
【０００９】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、ウェハ収納カセットからウェハが脱落することを簡易な方法で防止できるウェハ収納カセットと、ウェハ収納カセットから容易にウェハを出し入れできるウェハ搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本願の発明にかかるウェハ収納カセットは、一対の側板と、該一対の側板の内壁に形成された収納溝と、該一対の側板の開放面でありウェハを出し入れするウェハ出入面とを有する。そして、該一対の側板の底部は、該ウェハ出入面側に角部を有し、該ウェハ出入面と反対側に丸角部を有することを特徴とする。
【００１１】
本願の発明にかかるウェハ搬送装置は、ウェハ収納カセットと該ウェハ収納カセットを設置する設置台とを有する。そして、該ウェハ収納カセットは、一対の側板と、一端が該一対の側板の一方の側板と固着され、他端が該一対の側板の他方の側板と固着されて、長さ方向に伸縮する伸縮バーと、該一対の側板の内壁に形成された収納溝と、該一対の側板の開放面でありウェハを出し入れするウェハ出入面とを有する。そして、該設置台は、該設置台の所定面に形成されたガイド機構を有し、該ガイド機構は該一対の側板を該ガイド機構に沿ってスライドさせることにより該ウェハ出入面の幅を拡大するように配置されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、ウェハ収納カセットからウェハが脱落することを簡易な方法で防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施形態１のウェハ収納カセットの斜視図である。
【図２】実施形態１のウェハ収納カセットの側面図である。
【図３】実施形態１のウェハ収納カセットの変形例である。
【図４】実施形態２のウェハ搬送装置の斜視図である。
【図５】伸縮バーについて説明する図である。
【図６】ウェハ収納カセットを搬送する際のウェハ収納カセットの平面図である。
【図７】ウェハ収納カセットにウェハを出し入れする際のウェハ収納カセットの平面図である。
【図８】周知技術を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
実施の形態１
実施形態は図１−３を参照して説明する。なお、同一材料または同一、対応する構成要素には同一の符号を付して複数回の説明を省略する場合がある。他の実施形態でも同様である。
【００１５】
図１は本実施形態のウェハ収納カセット１０の斜視図である。ウェハ収納カセット１０は一対の側板１２を備える。一対の側板１２の内壁には収納溝１４が形成されている。ウェハは収納溝１４に沿って出し入れされる。一対の側板１２はバー２０によって固着されている。ウェハ収納カセット１０に収納されたウェハは図１において矢印で示した方向に取り出される。ウェハの出し入れが行われる面はウェハ出入面１６という。なお、ウェハ出入面１６と反対の面にはウェハが出ないように適宜ストッパなどが用いられる。
【００１６】
一対の側板１２の底部には丸角部２２と角部２４が配置される。図１において丸角部２２および角部２４はともに破線の円で示されている。角部２４はウェハ出入面１６側に配置される。一方丸角部２２はウェハ出入面１６と反対側に配置される。
【００１７】
このように丸角部２２を有することで、ウェハ収納カセット１０を持つ際にどちらに傾けるべきか容易に判断できる。よって作業者がウェハ収納カセット１０のどの部分を持つべきか容易に把握できる。図２はウェハ収納カセット１０の側面図である。図２に示すとおり、丸角部２２を起点にウェハ収納カセット１０を傾けることができる。
【００１８】
本実施形態ではウェハ収納カセット１０のどの部分を持って搬送を行うか言及しなったが例えば図３のように側板１２に取手３０を形成してこの部分を持つこととしても良い。
【００１９】
実施の形態２
実施形態２は図４−７を参照して説明する。図４はウェハ搬送装置５０の斜視図である。ウェハ搬送装置５０はウェハ収納カセット６０と設置台５４を備える。そして、ウェハ搬送装置５０は、設置台５４に設置されたウェハ収納カセット６０に対しウェハを出し入れするものである。以後、ウェハ収納カセット６０と設置台５４について説明する。
【００２０】
ウェハ収納カセット６０は一対の側板１２を備える。一対の側板１２は、伸縮バー５２により固着されている。伸縮バー５２の一端は一対の側板１２の一方の側板と固着される。そして、伸縮バー５２の他端は一対の側板１２の他方の側板と固着される。伸縮バー５２は図５に詳細に記載されている。図５は伸縮バー５２が内部にばねを備え、長さ方向に伸縮可能であることを示す。なお、一対の側板１２の内壁には実施形態１と同様に収納溝が形成されるが図４では省略している。
【００２１】
設置台５４はウェハ収納カセット６０を設置しウェハの出し入れを行うものである。設置台５４はレール５６を備える。レール５６はウェハ出入面１６の幅を拡大するために配置されるものである。つまり、レール５６の上を一対の側板１２がスライドすると、それに伴いウェハ出入面１６の幅が拡大する。図３から分かるように、レール５６は非平行に配置された２本の溝からなる。
【００２２】
以後、本実施形態のウェハ搬送装置５０によるウェハの出し入れについて説明する。図６はウェハ収納カセット６０を搬送する際の、ウェハ収納カセットの平面図である。ウェハ収納カセット６０の搬送は、ウェハ出入面１６の幅がウェハ７０の幅よりも狭い状態で行われる。これは伸縮バー５２を図６に示すように伸縮させることにより可能となる。図６に示す状態でウェハ搬送カセット６０を搬送すればウェハ７０の脱落を回避できる。
【００２３】
次いで、ウェハ収納カセット６０内にウェハ７０を出し入れする場合を考える。この場合、図４に記載のとおりウェハ収納カセット６０が設置台５４に設置される。そして、一対の側板１２を設置台５４のレール５６に沿ってスライドさせる。図４でこのスライド方向は矢印で示されている。このように一対の側板１２をスライドさせていくとウェハ出入面１６の幅が拡大していく。これは伸縮バー５２が伸縮性を有するからである。そして、図７に示すように、ウェハ出入面１６の幅がウェハ７０の幅と同等となった段階でウェハ７０の出し入れを行う。このように、本実施形態のウェハ収納カセット６０、設置台５４はウェハ収納カセット６０からウェハを出し入れする場合にのみウェハを出し入れ可能な状態とする。よってウェハ収納カセット６０の搬送中にウェハが脱落することを回避できる。また、上述のとおり簡素な構成で安全にウェハの出し入れが可能である。
【００２４】
本実施形態のレール５６は一対の側板１２をガイドできるガイド機構である限り特に限定されない。よって、ガイド機構として溝であるレール５６に代えて凸部を用いても本発明の効果を得ることができる。
【符号の説明】
【００２５】
１０  ウェハ収納カセット、  １２  側板、  １４  収納溝、  １６  ウェハ出入面、  ２０  バー、  ２２  丸角部、  ２４  角部、  ５２  伸縮バー、  ５４設置台、  ５６  レール
【図１】
2011114221.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2011114221.tif 000008
【図７】
2011114221.tif 000009
【図８】
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