(57)【要約】      （修正有）【課題】形状，焼入れ条件等が種々異なる部材に適用可能であり、部材の硬さ分布を正確に測定することができる測定方法を提供する。また、軸受部品の硬さ分布が保証された高性能の転がり軸受を提供する。【解決手段】被検材に超音波パルスを入射し、被検材の表面から心部までの間の各深さ位置でそれぞれ反射された反射波を受信して、各反射波の強度を取得する。また、超音波パルスの入射から反射波の受信までの時間を、各反射波について測定し、その反射波がどの深さ位置で反射されたものかを算出する。各反射波の強度と反射された深さ位置とにより、被検材の表面からの距離と反射波の強度との関係を示す反射波形曲線を描く。標準材を用いて予め取得した、反射波の強度と非焼入れ組織の比率との相関関係及び非焼入れ組織の比率と硬さとの相関関係に基づいて、反射波の強度を硬さに変換して、被検材の硬さ分布曲線を得る。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検材に超音波パルスを入射し、前記被検材の表面から所定深さまでの間の各深さ位置でそれぞれ反射された反射波を受信して、前記各反射波の強度を取得し、前記被検材と同一材質の標準材を用いて予め取得した硬さと反射波の強度との相関関係に基づいて、前記各反射波の強度から前記各深さ位置の硬さを求め、前記被検材の深さ方向の硬さ分布を得ることを特徴とする硬さ分布測定方法。
【請求項２】
取得した前記各反射波の強度を用いて、前記被検材の表面からの距離と前記反射波の強度との関係を示す反射波形曲線を描き、前記超音波パルスを複数回連続的に入射することにより、前記反射波形曲線を複数取得した後、これら複数の反射波形曲線を平均化して得た平均化曲線を平滑化し、その平滑化曲線から読み取った前記反射波の強度を用いて、前記各深さ位置の硬さを求めることを特徴とする請求項１に記載の硬さ分布測定方法。
【請求項３】
前記被検材が、焼入れが施された鋼材であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の硬さ分布測定方法。
【請求項４】
前記焼入れが高周波焼入れであることを特徴とする請求項３に記載の硬さ分布測定方法。
【請求項５】
前記被検材は、焼入れにより生じた焼入れ組織と非焼入れ組織とを備え、全組織中の前記非焼入れ組織の比率が前記深さ位置によって異なり、前記標準材を用いて予め取得した反射波の強度と非焼入れ組織の比率との相関関係及び非焼入れ組織の比率と硬さとの相関関係に基づいて、前記各反射波の強度から前記各深さ位置の硬さを求めることを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の硬さ分布測定方法。
【請求項６】
記被検材が転がり軸受の内輪，外輪，又は転動体であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の硬さ分布測定方法。
【請求項７】
内輪と、外輪と、前記内輪及び前記外輪の間に転動自在に配された複数の転動体と、を備える転がり軸受において、内輪，外輪，及び転動体の少なくとも一つが、請求項１〜５のいずれか一項に記載の硬さ分布測定方法で硬さ分布が測定されていることを特徴とする転がり軸受。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部材の硬さ分布や熱処理異常を、破壊することなく測定・検出する方法に関する。また、本発明は、軸受部品（内輪，外輪，転動体）の硬さ分布が保証されている転がり軸受に関する。
【背景技術】
【０００２】
高周波焼入れ等の焼入れが施された鋼製部材において有効硬化層深さを測定する方法としては、切断した鋼製部材の切断面をエッチングしてマクロ的に観察する方法や、切断面の各深さ位置の硬さを測定する方法が知られている。しかしながら、このような破壊検査は、鋼製部材の形状が複雑であったり大型であったりした場合は、切断が容易ではないため、多大な時間とコストを要することになる。そのため、近年では、超音波を用いた非破壊検査が用いられることもある。
【０００３】
例えば、特許文献１には、ＭＨｚ帯の周波数の超音波パルスを測定対象材料の表面に対し傾斜させて送受波する探触子を有するセンサ部と、測定対象材料内で反射してきた受波信号中から、測定対象材料の焼入れ硬化層と母材層（非焼入れ層）との境界からの反射波を抽出する抽出手段と、測定対象材料の表面から反射波までの距離を計測する演算部とを備える、超音波の横波を利用した層厚測定装置が開示されている。
【０００４】
特許文献１によれば、超音波パルスが測定対象材料の内部に伝播した際に、結晶粒径の小さい焼入れ硬化層と比較して結晶粒径の大きい母材層の方が反射レベルが大きいことを利用して、その反射レベルに差が見られる境界を検出することによって、有効硬化層深さを測定することができる。また、特許文献２には、特許文献１の場合と同様に、焼入れ硬化層と母材層との境界付近の超音波反射波を利用して、焼入れ硬化層の深さを評価する方法が開示されている。特許文献２によれば、受信信号の焼入れ硬化層の表面反射波から該表面反射波の次に受信した境界付近の超音波反射波までの時間を複数計測し、この計測した時間情報を集計して、所定の時間帯毎の超音波反射波の発生頻度によりヒストグラムを形成し、発生頻度のピーク位置における時間帯値によって焼入れ硬化層の深さを評価することができる。
【０００５】
しかしながら、特許文献１，２の方法では、測定対象材料のうち硬化層深さ一点のみしか測定できないことに加えて、その硬さは不明確であった。高周波焼入れされた転がり軸受の軸受部品においては、転がり疲労寿命等の必要な性能を確保するためには、例えば、有効硬化層深さ（所定の硬さとなる深さ）を高精度に測定したり、表面部におけるトゥルースタイトや未変態フェライトなどの不完全焼入れ組織の存在や，焼入層が貫通（すなわちずぶ焼入れ状態）といった熱処理異常を確実に検出する必要があるので、検出特許文献１，２の方法は転がり軸受の品質を保証するための方法としては不十分であった。
【０００６】
このような背景から、受信された超音波の反射波における散乱波のピーク信号を検出し、このピーク信号が現れる表面からの深さ位置であるピーク位置を、検出したピーク信号の発信から受信までの伝搬時間により算出し、算出したピーク位置のヒストグラムから所定の基準により超音波深さ位置を定め、予め求めておいた超音波深さ位置と有効硬化層深さとの相関関係に基づいて、有効硬化層深さを測定する方法が提案されている（特許文献３を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平８−９４３４４号公報
【特許文献２】特開平１１−９４８０９号公報
【特許文献３】特開２００７−１９８８２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献３の方法では、上述の熱処理異常の検出は不可能であり、例えば部材の形状や高周波焼入れ条件が変わって、高周波加熱時の温度勾配が変化した場合は、超音波深さ位置と有効硬化層深さとの相関関係も変化すると考えられるため、有効硬化層深さを正確に測定することができないおそれがあった。そこで、本発明は上記のような従来技術が有する問題点を解決し、形状，焼入れ条件等が種々異なる部材に適用可能であり、熱処理異常の検出や、部材の硬さ分布を正確に測定することができる測定方法を提供することを課題とする。また、本発明は、軸受部品の硬さ分布が保証された高性能の転がり軸受を提供することを併せて課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するため、本発明は次のような構成からなる。すなわち、本発明の硬さ分布測定方法は、被検材に超音波パルスを入射し、前記被検材の表面から所定深さまでの間の各深さ位置でそれぞれ反射された反射波を受信して、前記各反射波の強度を取得し、前記被検材と同一材質の標準材を用いて予め取得した硬さと反射波の強度との相関関係に基づいて、前記各反射波の強度から前記各深さ位置の硬さを求め、前記被検材の深さ方向の硬さ分布を得ることを特徴とする。また、熱処理異常の検出方法は、（非焼入れ組織（心部組織）に起因した反射波形のピーク信号強度）／（焼入れ組織に起因する反射波形の最も低い信号強度）が、ある所定の値以上であるとき良品であると判別することを特徴とする。
【００１０】
この本発明の硬さ分布測定方法、および熱処理異常検出方法においては、取得した前記各反射波の強度を用いて、前記被検材の表面からの距離と前記反射波の強度との関係を示す反射波形曲線を描き、前記超音波パルスを複数回連続的に入射することにより、前記反射波形曲線を複数取得した後、これら複数の反射波形曲線を平均化して得た平均化曲線を平滑化し、その平滑化曲線から読み取った前記反射波の強度を用いることが好ましい。
【００１１】
前記被検材の種類は特に限定されるものではなく、本発明の硬さ分布測定方法および熱処理異常検出方法はどのような材質の被検材にも適用可能であるが、焼入れが施された鋼材に特に好適である。焼入れの種類は特に限定されるものではないが、高周波焼入れが好ましい。さらに、本発明の硬さ分布測定方法および熱処理異常検出方法においては、前記被検材は、焼入れにより生じた焼入れ組織と非焼入れ組織とを備え、全組織中の前記非焼入れ組織の比率が前記深さ位置によって異なることが好ましく、また、硬さ分布測定方法は前記標準材を用いて予め取得した反射波の強度と非焼入れ組織の比率との相関関係及び非焼入れ組織の比率と硬さとの相関関係に基づいて、前記各反射波の強度から前記各深さ位置の硬さを求めることが好ましい。
【００１２】
さらにまた、前記被検材は、転がり軸受の内輪，外輪，又は転動体とすることができる。さらに、本発明の転がり軸受は、内輪と、外輪と、前記内輪及び前記外輪の間に転動自在に配された複数の転動体と、を備える転がり軸受において、内輪，外輪，及び転動体の少なくとも一つが、前記硬さ分布測定方法で硬さ分布が測定されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の硬さ分布測定方法および熱処理異常の検出方法は、形状，焼入れ条件等が種々異なる部材に適用可能であり、部材の硬さ分布を正確に測定することができる。また、本発明の転がり軸受は、軸受部品の硬さ分布が保証されていて高性能である。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係る転がり軸受の一実施形態である深溝玉軸受の構造を示す縦断面図である。
【図２】焼入れが施された被検材について表面からの距離と硬さとの関係を模式的に示したグラフである。
【図３】標準材における反射波の強度と非焼入れ組織の比率との相関関係を示すグラフである。
【図４】標準材における非焼入れ組織の比率と硬さとの相関関係を示すグラフである。
【図５】被検材の反射波形曲線とその平均化曲線及び平滑化曲線である。
【図６】被検材の硬さ分布曲線である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明に係る硬さ分布測定方法および熱処理異常の検出方法及び転がり軸受の実施の形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、本発明に係る転がり軸受の一実施形態である深溝玉軸受の構造を示す縦断面図である。図１の深溝玉軸受は、外周面に軌道面１ａを有する内輪１と、軌道面１ａに対向する軌道面２ａを内周面に有する外輪２と、両軌道面１ａ，２ａ間に転動自在に配された複数の転動体（玉）３と、内輪１及び外輪２の間に転動体３を保持する保持器４と、内輪１及び外輪２の間の隙間の開口を覆う密封装置５，５（例えば鋼製のシールドやゴムシール）と、を備えており、内輪１の外周面及び外輪２の内周面の間に形成された軸受内部空間には、図示しない潤滑剤（例えば潤滑油，グリース）が封入されている。なお、保持器４や密封装置５は備えていなくてもよい。
【００１６】
この深溝玉軸受においては、内輪１，外輪２，及び転動体３は、Ｓ５３Ｃ，ＳＵＪ２等の鋼で構成されている。内輪１，外輪２，及び転動体３には、浸炭焼入れ，浸炭窒化焼入れ，高周波焼入れ等の焼入れが施されていて、該焼入れにより硬化されてなる硬化層（図示せず）が軌道面１ａ，２ａ及び転動体３の転動面３ａに形成されている。また、硬化層の内側には、焼入れが施されていない心部（図示せず）がある。硬化層は焼入れ組織を備え、心部は非焼入れ組織を備えている。
【００１７】
前述した従来技術においては硬化層と心部との２層構造が想定されており、非焼入れ組織に起因する反射波が検出された深さ位置が前記２層の境界部分であると考えられていた。しかしながら、実際には硬化層と心部との完全な２層構造となっているわけではなく、硬化層と心部との間に、焼入れ組織と非焼入れ組織とが混在する混合組織層が存在する。この混合組織層においては、表面側から心部側に向かうにしたがって（すなわち、表面からの距離が大きくなるにしたがって）、非焼入れ組織の比率が徐々に増加し、それに伴って硬さが徐々に低下する。表面からの距離と硬さとの関係を模式的に示したグラフを、図２に示す。
【００１８】
そして、この深溝玉軸受においては、内輪１，外輪２，及び転動体３の硬さ分布および熱処理異常が、下記に示す方法で測定されており、その品質が保証されている。なお、内輪１，外輪２，及び転動体３のうち少なくとも一つの品質が保証されていればよいが、全ての品質が保証されていることが最も好ましい。 内輪１，外輪２，及び転動体３（以降は被検材と記す）の軌道面１ａ，２ａや転動面３ａに、所定の周波数（例えば１０ＭＨｚ）の超音波パルスを入射して、その反射波を受信する。被検材に入射された超音波パルスは、被検材の表面から心部までの間の各深さ位置でそれぞれ反射されるので、各反射波を受信して、各反射波の強度を取得する。また、超音波パルスの入射から反射波の受信までの時間を、各反射波について測定する。この反射波の受信までの時間によって、その反射波がどの深さ位置で反射されたものかを算出することができる。このようにして、各反射波について強度と反射された深さ位置とが得られるので、被検材の表面からの距離と反射波の強度との関係を示す反射波形曲線を描く。 
【００１９】
そして、後述する標準材を用いて予め取得した、反射波の強度と非焼入れ組織の比率との相関関係及び非焼入れ組織の比率と硬さとの相関関係に基づいて、反射波の強度を硬さに変換すれば、被検材の各深さ位置の硬さを求めることができるから、前記反射波形曲線を被検材の硬さ分布曲線（深さ方向の硬さ分布）に
変換することができる。図３は、標準材における反射波の強度と非焼入れ組織の比率（面積率）との相関関係を示すグラフであり、図４は、標準材における非焼入れ組織の比率（面積率）と硬さとの相関関係を示すグラフである。図３から分かるように、全組織中の非焼入れ組織の比率が大きいほど、反射波の強度も大きくなる。なお、図３のグラフにおける強度の数値は、受信した反射波のうち最も低い強度（焼入れ組織に起因する反射波）を０、最も高い強度（非焼入れ組織に起因する反射波）を１と定義した場合の相対値で示してある。また、受信した反射波のうち、（非焼入れ組織に起因する最も高い強度（絶対値））／（焼入れ組織に起因する最も低い強度（絶対値））の値が所定の値以上であるかによって熱処理異常がなく（すなわち表面部にトゥルースタイトや未変態フェライトなどの不完全焼入れ組織や、焼入層が貫通（すなわちずぶ焼入れ状態）といった状態ではなく）良品であると判別できる．たとえば、上記所定の値が「２」であるとすれば、図５に示す反射波形曲線が得られた場合は、該披検体は良品であると判別できる．
【００２０】
超音波パルスを１回入射しても、得られたデータから反射波形曲線を描くことができないので、超音波パルスを複数回連続的に入射して反射波形曲線を取得する。一つの反射波形においては被検体の表面状態、金属組織のばらつき、非金属介在物などによるノイズを含んでいるため、高精度の硬さ分布を得たり、正確に異常組織を判別するには、上記ノイズを除去するため複数回連続入射を複数回行うことにより得られた複数の反射波形曲線を用いることが好ましい。 
【００２１】
つまり、複数の反射波形曲線を平均化して一つの平均化曲線を得て、この平均化曲線を平滑化して得た平滑化曲線を利用する（図５を参照）。すなわち、平滑化曲線から読み取った反射波の強度を図３，４のグラフに基づいて硬さに変換すれば、被検材の各深さ位置の硬さを求めることができるから、平滑化曲線を被検材の硬さ分布曲線に変換することができる。また（（非焼入れ組織に起因する最も高い強度（絶対値））／（焼入れ組織に起因する最も低い強度（絶対値））の値の値により良品か否かを判別することができる．なお、平均化曲線を平滑化する際には、加重平均法や指数加重平均法を用いることが好ましい。なお、たとえば被検体と同材料の基準サンプルを用意し、基準サンプルから得られた基準波形で除することによって上記のノイズを除去する手法も考えられる。しかしながらこの手法の場合、基準サンプルはその材料だけではなく表面状態も被検体と同じである必要がある。すなわち被検体の表面状態は様々であるので、ある材料に対して様々な表面状態の基準サンプルを用意する必要がある。また金属組織の状態や非金属介在物の状態を同一にすることは事実上不可能であるため、測定精度が不十分になる可能性がある。本発明のノイズ除去の手法はノイズの原因となる各要素によらず簡単な手法であり、かつ効果的にノイズを除去できる手法である．
【００２２】
例えば、図５の平滑化曲線において、反射波の強度が０である深さ位置と反射波の強度が１である深さ位置との間で、反射波の強度を３点（ｒ１，ｒ２，ｒ３）選択する。すると、図５から、反射波の強度ｒ１，ｒ２，ｒ３に対応する表面からの距離Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３、すなわち、３つの反射波が反射した深さ位置の表面からの距離が分かる（Ｄｔは、強度が１であった反射波が反射した深さ位置の表面からの距離である）。
【００２３】
次に、図３のグラフを用いて、強度ｒ１，ｒ２，ｒ３及び強度１を非焼入れ組織の比率Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３及び比率１００（％）に変換し、得られた非焼入れ組織の比率Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３及び比率１００（％）を、図４のグラフを用いて硬さ（Ｈｖ）Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３及び心部硬さに変換する。そして、表面からの距離Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，及びＤｔと硬さ（Ｈｖ）Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３及び心部硬さとから、図６の硬さ分布曲線が得られる。 
【００２４】
このようにして、硬さ分布を直接的に測定することができるため、被検材の硬さ分布を非破壊で精度良く測定することが可能である。なお、上記の例では、反射波の強度が０である深さ位置と反射波の強度が１である深さ位置との間で、反射波の強度を３点選択して硬さ分布曲線を得たが、３点に限定されるものではなく、連続的な硬さ分布曲線を得たい場合には、より多数の点を選択すればよい。また、例えば有効硬化層深さのような特定の硬さとなる深さ位置のみを測定したい場合には、その硬さに対応する反射波の強度を選択すればよい。
【００２５】
超音波パルスの入射、反射波の受信、及び反射波形曲線の取得を行う装置は特に限定されるものではないが、例えば神鋼検査サービス株式会社製のハード・エコーＳＨ−６５が好適である。該装置を用いれば、局部水浸法にて被検材の表面に探触子から連続的に超音波パルスを入射することができる。この際には、該装置の２次元探傷モード（Ｂスコープモード）を用いて、走査しながら連続的に超音波パルスを入射するとよい。また、該装置を用いれば、被検材の内部の各深さ位置でそれぞれ反射された反射波を連続的に受信し、それを積算表示して、反射波形曲線を描くことができる。
【００２６】
ここで、標準材から図３，４のグラフを取得する方法について説明する。まず、被検材（内輪１，外輪２，及び転動体３）と同一材質，同一形状の素材に、内輪１，外輪２，及び転動体３の場合と同一の条件で焼入れを施して、標準材を調製する。そして、この標準材に向けて被検材と同一の周波数の超音波パルスを入射し、被検材と同様にして反射波形曲線を描く。
【００２７】
次に、この標準材を破断し、例えばマイクロビッカース硬度計を用いて破断面の硬さを測定し、各深さ位置の硬さを得た。また、例えばナイタールエッチングによる金属組織観察法や電子線後方散乱回折法（ＥＢＳＰ）により破断面の組織を分析し、各深さ位置における全組織（焼入れ組織及び非焼入れ組織）中の非焼入れ組織の比率を得た。そして、得られた上記各データと標準材の反射波形曲線とから、標準材における反射波の強度と非焼入れ組織の比率との相関関係及び非焼入れ組織の比率と硬さとの相関関係を取得した（すなわち、図３，４のグラフを作成した）。
【００２８】
なお、超音波パルスを１回入射しても、得られたデータから反射波形曲線を描くことができないので、高精度の硬さ分布を得るためには、標準材においても被検材と同様に超音波パルスの複数回連続入射を複数回行って複数の反射波形曲線を取得し、これら複数の反射波形曲線から平滑化曲線を得ることが好ましい。そして、この平滑化曲線を利用して、反射波の強度と非焼入れ組織の比率との相関関係及び非焼入れ組織の比率と硬さとの相関関係を取得することが好ましい（すなわち、図３，４のグラフを作成することが好ましい）。
【００２９】
なお、本実施形態は本発明の一例を示したものであって、本発明は本実施形態に限定されるものではない。例えば、本実施形態においては、焼入れが施された鋼製部材の硬さ分布を測定した例を説明したが、本発明の硬さ分布測定方法は、焼入れが施された鋼製部材に限らず、あらゆる材質で構成された部材に対して適用することが可能である。例えば、焼入れが施されていない鋼製部材にも適用可能であるし、鋼以外の材質で構成された部材にも適用可能である。
【００３０】
また、本実施形態においては転がり軸受の例として深溝玉軸受をあげて説明したが、本発明は、他の種類の様々な転がり軸受に対して適用することができる。例えば、アンギュラ玉軸受，自動調心玉軸受，自動調心ころ軸受，円筒ころ軸受，円すいころ軸受，針状ころ軸受等のラジアル形の転がり軸受や、スラスト玉軸受，スラストころ軸受等のスラスト形の転がり軸受である。
【符号の説明】
【００３１】
１  内輪  １ａ  軌道面  ２  外輪  ２ａ  軌道面  ３  転動体  ３ａ  転動面
【図１】
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【図２】
2011052984.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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