(57)【要約】【課題】１つの搬送装置にて異なる幅寸法の被処理物を搬送可能にする。【解決手段】浮上ステージ１０を幅方向ｙに複数の浮上ブロック１４に分割し、幅方向ｙの第１側の浮上ブロック１４Ｅをそれより第２側の浮上ブロック１４Ｆとは別個に設置及び撤去可能にする。第１軌道体３１を浮上ステージ１０の幅方向ｙの第１側に設ける。被着部３５と接続部３４との幅方向ｙの距離が異なる複数種の第１接続部材３１Ａ，３１Ｂを用意する。被処理物９の寸法に応じて選択された１つの第１接続部材３１の被着部３５を第１軌道体３１に取り付け、接続部３４に被処理物９の第１側の端部を接続する。【選択図】図１
2011114169.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
幅方向の寸法が互いに異なる複数種の被処理物を１つずつ表面処理部に対して前記幅方向と直交する搬送方向に搬送する搬送装置であって、
（ａ）前記幅方向に複数の浮上ブロックに分割され、各浮上ブロックの上面に浮上ガスを吹き出す吹き出し部が設けられ、前記幅方向の第１側の浮上ブロックが該浮上ブロックより前記幅方向の第２側の浮上ブロックとは別個に設置及び撤去可能な浮上ステージと、
（ｂ）前記浮上ステージの前記第１側の端部に前記搬送方向に延びるよう設けられた第１軌道体と、
（ｃ）前記浮上ステージの前記第２側の端部に前記搬送方向に延びるよう設けられた第２軌道体と、
（ｄ）前記寸法に応じて選択された１つが前記第１軌道体に取り付けられる複数種の第１接続部材と、
（ｅ）前記第２軌道体に設けられて前記被処理物の前記第２側の端部と解除可能に接続される第２接続部材と、
（ｆ）前記第１軌道体に取り付けられた第１接続部材に前記第１軌道体を介して又は直接連結されるとともに、前記第２接続部材に前記第２軌道体を介して又は直接連結され、前記第１軌道体に取り付けられた第１接続部材及び前記第２接続部材を互いに同期させて前記搬送方向に移動させる移動機構と、
を備え、前記複数種の第１接続部材の各々が、前記第１軌道体に着脱可能に取り付けられる被着部と、前記被処理物と解除可能に接続される接続部とを含み、前記被着部と前記接続部との前記幅方向の距離が、前記第１接続部材の種類に応じて異なることを特徴とする表面処理用搬送装置。
【請求項２】
前記幅方向の寸法が相対的に小さい被処理物に対応する第１接続部材は、前記接続部が前記被着部より前記幅方向の前記第２側に配置され、かつ前記距離が、前記幅方向の寸法が相対的に大きい被処理物に対応する第１接続部材の前記距離より大きいことを特徴とする請求項１に記載の表面処理用搬送装置。
【請求項３】
前記幅方向の寸法が相対的に小さい被処理物に対応する第１接続部材の接続部が、前記第１軌道体より前記幅方向の前記第２側に離れて配置されることを特徴とする請求項２に記載の表面処理用搬送装置。
【請求項４】
前記各第１接続部材の前記接続部が、前記搬送方向に沿って前記被着部の側から前記表面処理部の側へ延び出していることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の表面処理用搬送装置。
【請求項５】
前記各第１接続部材の前記接続部が、前記被処理物との接触面に開口する吸着孔を有していることを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の表面処理用搬送装置。
【請求項６】
請求項１〜５の何れか１項に記載の表面処理用搬送装置及び表面処理部を備え、前記表面処理部が、前記浮上ステージに対し前記搬送方向に並べられた処理ステージを有し、前記処理ステージが、前記幅方向に複数のステージ部に分割され、前記第１側のステージ部が該ステージ部より前記第２側のステージ部とは別個に設置及び撤去可能であることを特徴とする表面処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、被処理物を表面処理部に搬入して表面処理した後、搬出する表面処理装置及び上記搬入又は搬出に用いる搬送装置に関し、特にガラス基板等の板状の被処理物に適した表面処理装置及び搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばフラットパネルディスプレイ用のガラス基板等の板状の被処理物を表面処理部に搬入したり表面処理部から搬出したりする搬送装置は、一般にコロコンベアにて構成されている（特許文献１等参照）。特許文献１では、処理ステージの搬送方向の上流側に搬入用のコロコンベアを設け、下流側に搬出用のコロコンベアを設けてある。更に、処理ステージの搬送方向と直交する幅方向の両側部にそれぞれ単列のコロコンベアを設けてある。搬入時は被処理物を搬入用のコロコンベアから単列コロコンベアに移し替えて処理ステージの真上まで移動させた後、単列コロコンベアを下降させて被処理物を処理ステージ上に載置する。搬出時は単列コロコンベアを上昇させて被処理物を処理ステージから上へ離したうえで、被処理物を搬出用のコロコンベアに移し替えて搬出する。
【０００３】
特許文献２では、搬送装置として、コロコンベアに代えて浮上ステージを用いている。浮上ステージの上面からエアを吹き出すことによって被処理物を浮上支持する。浮上ステージの幅方向の両端部にはそれぞれスライダを設け、各スライダに昇降可能な吸着パッドを設ける。上記被処理物の裏面に吸着パッドを吸着させ、かつスライダを搬送方向にスライドさせることにより、被処理物を浮上させた状態で搬送方向に移動させる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−６３０４８号公報
【特許文献２】特開２００９−７１３２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１、２に記載の搬送装置は、特定の幅寸法の被処理物に対応して設計されている。したがって、幅寸法に応じた種類が複数有る被処理物の場合、その幅寸法ごとに搬送装置を設備する必要があり、設備コストが嵩む。本発明は、上記事情に鑑み、１つの搬送装置によって、異なる幅寸法の被処理物を搬送できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る表面処理用搬送装置は、幅方向の寸法が互いに異なる複数種の被処理物を１つずつ表面処理部に対して前記幅方向と直交する搬送方向に搬送する搬送装置であって、
（ａ）前記幅方向に複数の浮上ブロックに分割され、各浮上ブロックの上面に浮上ガスを吹き出す吹き出し部が設けられ、前記幅方向の第１側の浮上ブロックが該浮上ブロックより前記幅方向の第２側の浮上ブロックとは別個に設置及び撤去可能な浮上ステージと、
（ｂ）前記浮上ステージの前記第１側の端部に前記搬送方向に延びるよう設けられた第１軌道体と、
（ｃ）前記浮上ステージの前記第２側の端部に前記搬送方向に延びるよう設けられた第２軌道体と、
（ｄ）前記寸法に応じて選択された１つが前記第１軌道体に取り付けられる複数種の第１接続部材と、
（ｅ）前記第２軌道体に設けられて前記被処理物の前記第２側の端部と解除可能に接続される第２接続部材と、
（ｆ）前記第１軌道体に取り付けられた第１接続部材に前記第１軌道体を介して又は直接連結されるとともに、前記第２接続部材に前記第２軌道体を介して又は直接連結され、前記第１軌道体に取り付けられた第１接続部材及び前記第２接続部材を互いに同期させて前記搬送方向に移動させる移動機構と、
を備え、前記複数種の第１接続部材の各々が、前記第１軌道体に着脱可能に取り付けられる被着部と、前記被処理物と解除可能に接続される接続部とを含み、前記被着部と前記接続部との前記幅方向の距離が、前記第１接続部材の種類に応じて異なることを特徴とする。
【０００７】
被処理物の幅方向の寸法に応じて第１接続部材を取り換える。これにより、被処理物の幅方向の寸法に拘わらず、第１軌道体上の第１接続部材の接続部が、被処理物の第１側の端部と接するようにすることができる。また、被処理物の幅方向の寸法に応じて、幅方向の第１側に浮上ブロックを増設し、又は幅方向の第１側の浮上ブロックを撤去する。これにより、被処理物を確実に浮上支持でき、かつ幅方向の第１側の浮上ブロックと第１接続部材との干渉を回避できる。したがって、１つの搬送装置によって異なる幅寸法の被処理物を搬送することができる。よって、被処理物の大きさごとに搬送装置を複数設備する必要が無く、設備コストを抑えることができる。
【０００８】
被処理物の前記幅方向の寸法が小さいほど、その第１側の端部が前記第２側に大きく片寄る。そこで、前記幅方向の寸法が相対的に小さい被処理物に対応する第１接続部材は、前記接続部が前記被着部より前記幅方向の前記第２側に配置され、かつ前記距離が、前記幅方向の寸法が相対的に大きい被処理物に対応する第１接続部材の前記距離より大きいことが好ましい。
これにより、被処理物の幅方向の寸法の大小に拘わらず、第１軌道体に取り付けた第１接続部材の接続部が、対応する被処理物の第１側の端部と同じ幅方向位置に配置されるようにすることができ、接続部と被処理物の第１側の端部に確実に接続させることができる。
【０００９】
前記幅方向の寸法が相対的に小さい被処理物に対応する第１接続部材の接続部が、前記第１軌道体より前記幅方向の前記第２側に離れて配置されることが好ましい。この第１接続部材は、第１軌道体から片持ち状に延び出す。この第１接続部材の接続部が前記幅方向の第１側の浮上ブロックと干渉するときは、その浮上ブロックを撤去する。
【００１０】
前記各第１接続部材の前記接続部が、前記搬送方向に沿って前記被着部の側から前記表面処理部の側へ延び出していることが好ましい。
これにより、第１接続部材を表面処理部の搬入口又は搬出口の付近まで移動させると、その接続部が第１軌道体の表面処理部の側の端部より表面処理部の奥側へ延び出すようにすることができる。したがって、被処理物を表面処理部の内部に確実に差し入れることができる。或いは、表面処理部の内部にある処理済みの被処理物と接続部とを確実に接続させ搬出できる。
【００１１】
前記各第１接続部材の前記接続部が、前記被処理物との接触面に開口する吸着孔を有していることが好ましい。
これにより、接続部材を被処理物と確実かつ容易に接続でき、かつ容易に接続解除できる。
【００１２】
本発明に係る表面処理装置は、上記表面処理用搬送装置及び表面処理部を備え、前記表面処理部が、前記浮上ステージに対し前記搬送方向に並べられた処理ステージを有し、前記処理ステージが、前記幅方向に複数のステージ部に分割され、前記第１側のステージ部が該ステージ部より前記第２側のステージ部とは別個に設置及び撤去可能であることを特徴とする。
被処理物の幅方向の寸法に応じて、処理ステージの第１側のステージ部を設置又は撤去する。これにより、処理ステージを被処理物に合った大きさにすることができる。また、第１接続部材が、処理ステージの側へ移動したとき、第１側のステージ部と干渉するのを回避できる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、１つの搬送装置にて異なる幅寸法の被処理物を搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の一実施形態に係る搬送装置を備えた表面処理装置を、大サイズの被処理物を搬送し処理する状態で示す平面図である。
【図２】図１の折曲したＩＩ−ＩＩ線に沿う、上記表面処理装置の側面断面図である。
【図３】（ａ）は、大サイズの被処理物に対応する第１接続部材の平面図である。（ｂ）は、小サイズの被処理物に対応する第１接続部材の平面図である。
【図４】上記表面処理装置の搬送装置の一部分を、被処理物を浮上ステージ上に載置した状態で示す、  図１のＩＶ−ＩＶ線に沿う正面断面図である。
【図５】上記搬送装置の一部分を、被処理物を浮上支持した状態で示す正面断面図である。
【図６】上記表面処理装置の表面処理部を、上記第１、第２接続部材を差し入れ、かつ被処理物を処理ステージの上方に離して配置した状態で示す平面図である。
【図７】図６の状態における上記表面処理装置の側面断面図である。
【図８】上記表面処理装置を、上記第１、第２接続部材を表面処理部の外に配置し、かつ被処理物を処理ステージにて浮上支持した状態で示す側面断面図である。
【図９】上記表面処理部を、被処理物を処理ステージに載置した状態で示す側面断面図である。
【図１０】上記表面処理装置を、小サイズの被処理物を搬送し処理する状態で示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施形態を図面にしたがって説明する。
図１及び図２に示すように、表面処理装置１は、表面処理部２と、搬送装置３を備えている。表面処理部２と搬送装置３が搬送方向ｘに並べられている。表面処理部２は、搬送方向ｘの往側（図１及び図２において右側）に配置されている。搬送装置３は、搬送方向ｘの還側（図１及び図２において左側）に配置されている。被処理物９を搬送装置３によって表面処理部２に搬入し、表面処理部２において表面処理する。表面処理後の被処理物９を搬送装置３によって表面処理部２から搬出する。
【００１６】
図６に示すように、被処理物９は、例えばフラットパネルディスプレイ用のガラスにて構成され、四角形の平板形状になっている。図６及び図１０に示すように、被処理物９には種々のサイズがある。ここでは、簡単のため、大小２つのサイズがあるものとする。これら２つのサイズの被処理物９を互いに区別するときは、幅方向ｙの寸法が相対的に大きい被処理物９には符号に「Ａ」を付し、幅方向ｙの寸法が相対的に大きい被処理物９には符号に「Ｂ」を付す。表面処理装置１は、幅方向ｙの寸法が互いに異なる複数種の被処理物９Ａ，９Ｂの何れをも搬送可能かつ表面処理可能である。
【００１７】
表面処理の内容としては、特に限定がなく、エッチングでもよく、洗浄でもよく、表面改質（親水化、撥水化等）でもよく、成膜でもよい。
【００１８】
図１及び図２に示すように、表面処理部２は、処理ヘッド４と、処理ステージ５と、チャンバー６を含む。チャンバー６の開閉ゲート６ｇが、搬送装置３の側に向くよう設けられている。チャンバー６の内部に処理ヘッド４及び処理ステージ５が収容されている。処理ヘッド４は、チャンバー６内の上側部に配置されている。処理ステージ５は、チャンバー６内の処理ヘッド４の下方に配置されている。処理ステージ５の上面に被処理物９が載置される。処理ガス源８からの処理ガスが、処理ヘッド４から吹き出されて被処理物９に接触する。これにより、被処理物９が表面処理される。
【００１９】
処理ヘッド４が、処理ガスを活性化させる活性化手段を含んでいてもよい。活性化手段として例えばプラズマ生成手段が挙げられる。プラズマ生成手段は、少なくとも一対の電極を含む。これら電極間に電界印加によってプラズマ空間を生成する。このプラズマ空間に処理ガスを導入する。これにより。処理ガスをプラズマ化（活性化）することができる。電極間のプラズマ空間は、大気圧近傍であることが好ましい。ここで、大気圧近傍とは、１．０１３×１０４〜５０．６６３×１０４Ｐａの範囲を言い、圧力調整の容易化や装置構成の簡便化を考慮すると、１．３３３×１０４〜１０．６６４×１０４Ｐａが好ましく、９．３３１×１０４〜１０．３９７×１０４Ｐａがより好ましい。
【００２０】
活性化手段が処理ヘッド４の外部の処理ガス源８に設けられていてもよく、処理ガスが活性化されたうえで処理ヘッド４に導入されるようになっていてもよい。処理ヘッド４には、処理ガスの吹き出しノズルに加えて、処理済みのガスの吸引ノズルが設けられていてもよく、更にカーテンガスの吹き出しノズルが設けられていてもよい。
【００２１】
処理ガスの成分は、処理内容に応じて選択される。例えば、撥水化処理では、処理ガス成分としてＣＦ４、Ｃ２Ｆ６等のフッ素系ガスを用いる。親水化や洗浄処理では、処理ガス成分として窒素、酸素等を用いる。処理ガスが反応成分としてオゾンを含んでいてもよく、その場合、活性化手段としてオゾナイザーを用いてもよい。
【００２２】
図１に示すように、処理ステージ５は、ステージ本体５０と、枠５１〜５３を含む。ステージ本体５０は、全体として平面視で正方形に近い長方形になっている。ステージ本体５０の搬送方向ｘの寸法及び幅方向ｙの寸法は、大サイズの被処理物９Ａの同じ方向の寸法より若干（例えば５〜１５ｍｍ程度）小さい。ステージ本体５０が、主ステージ部５４と、側ステージ部５５と、奥ステージ部５６に分割されている。主ステージ部５４は、平面視で正方形に近い長方形になっている。主ステージ部５４はステージ本体５０の半分以上の面積を占めている。図１０に示すように、主ステージ部５４の搬送方向ｘの寸法及び幅方向ｙの寸法は、小サイズの被処理物９Ｂの同じ方向の寸法より若干小さい。
【００２３】
図１に示すように、側ステージ部５５は、主ステージ部５４の幅方向ｙの第１側（図１において下側）の縁に添えられている。ステージ本体５０が、幅方向ｙに主ステージ部５４と側ステージ部５５とに分割されている。側ステージ部５５は、搬送方向ｘに延びる長方形になっている。側ステージ部５５の搬送方向ｘの還側の縁は、主ステージ部５４の同じ側の縁と面一になっている。側ステージ部５５の搬送方向ｘの往側の端部は、主ステージ部５４より延び出している。
【００２４】
奥ステージ部５６は、主ステージ部５４の搬送方向ｘの往側の縁に添えられている。奥ステージ部５６は、幅方向ｙに延びる長方形になっている。奥ステージ部５６の幅方向ｙの第１側とは反対の第２側（図１において上側）の縁は、主ステージ部５４の同じ側の縁と面一になっている。奥ステージ部５６の第１側の縁が側ステージ部５５に突き当てられている。側ステージ部５５及び奥ステージ部５６は、それぞれ主ステージ部５４とは別個に設置及び撤去可能になっている。したがって、幅方向ｙの第１側のステージ部５５が、該ステージ部５５より第２側のステージ部５４とは別個に設置及び撤去可能になっている。
【００２５】
ステージ本体５０には多数の空気孔５７が設けられている。空気孔５７は、ステージ本体５０の上面に均一に分布するようにして、該ステージ本体５０の上面に開口されている。空気孔５７は、浮上ガスの吹き出し孔及び被処理物９の吸着用の吸引孔の両方の機能を兼ねている。
【００２６】
ステージ本体５０の４つの縁にそれぞれ枠５１，５２，５３が添えられている。前枠５１は、ステージ本体５０の開閉ゲート６ｇ側の縁に沿って幅方向ｙに延びている。前枠５１は、長手方向に２つ（複数）の枠部５１ａ，５１ｂに分割されている。長枠部５１ａは、主ステージ部５４の幅方向ｙの寸法と同じ長さを有し、主ステージ部５４の還側の縁に添えられている。短枠部５１ｂは、側ステージ部５５の幅方向ｙの寸法と同じ長さを有し、側ステージ部５５の還側の縁に添えられている。短枠部５１ｂは、長枠部５１ａの第１側の端部に一直線になるよう連結されている。かつ、短枠部５１ｂは、長枠部５１ａから分離して撤去可能になっている。
【００２７】
側枠５２は、ステージ本体５０の幅方向ｙの両側の縁にそれぞれ設けられ、搬送方向ｘに延びている。側枠５２の長さは、ステージ本体５０のｘ方向の寸法と前枠５１及び奥枠５３のｘ方向の寸法とを合わせた大きさになっている。
【００２８】
奥枠５３は、ステージ本体５０の開閉ゲート６ｇ側とは反対側の縁に沿って幅方向ｙに延びている。奥枠５３は、長手方向に２つ（複数）の枠部５３ａ，５３ｂに分割されている。長枠部５３ａは、主ステージ部５４の幅方向ｙの寸法と同じ長さを有し、主ステージ部５４の往側の縁に添えられている。短枠部５３ｂは、側ステージ部５５の幅方向ｙの寸法と同じ長さを有し、側ステージ部５５の往側の縁に添えられている。短枠部５３ｂは、長枠部５３ａの第１側の端部に一直線になるよう連結されている。かつ、短枠部５３ｂは、長枠部５３ａから分離して撤去可能になっている。
【００２９】
各枠５１，５２，５３には、位置決め凸部５８が設けられている。位置決め凸部５８の高さは、例えば０．７ｍｍ〜１．５ｍｍ程度である。
【００３０】
図２に示すように、前枠５１は、枠進退機構６５にてｘ方向に進退され、かつ枠昇降機構６１にて昇降される。図１に示すように、一対の側枠５２は、それぞれ枠進退機構６２にてｙ方向に進退される。図１及び図２に示すように、奥枠５３は、枠進退機構６３にてｘ方向に進退される。枠昇降又は進退機構６１，６２，６３，６５は、油圧シリンダや空気圧シリンダ等の流体圧アクチュエータ、スライドガイド等を含む。
【００３１】
図１及び図２に示すように、搬送装置３は、浮上ステージ１０と、一対の軌道体１１，１２と、架台１３を備えている。浮上ステージ１０及び軌道体１１，１２が架台１３に支持されている。架台１３は、浮上ステージ１０を支持する中央の支持部１３ａと、軌道体１１，１２を支持する幅方向ｙの両端の支持部１３ｂを含む。
【００３２】
図２に示すように、架台１３の下部には、進退機構２０が設けられている。進退機構２０は、進退駆動部２１と、案内桁２２と、摺動部２３を含む。進退駆動部２１は、電動モータ又は流体圧アクチュエータ等で構成されている。案内桁２２は搬送方向ｘに延びている。案内桁２２に摺動部２３が搬送方向ｘに摺動可能に設けられている。摺動部２３に架台１３が連結されている。進退駆動部２１によって摺動部２３が搬送方向ｘに摺動される。これにより、支持部１３ａ，１３ｂひいては浮上ステージ１０及び軌道体１１，１２が搬送方向ｘに進退される。
【００３３】
図１に示すように、浮上ステージ１０は、複数の浮上ブロック１４にて構成されている。浮上ブロック１４は、長手方向を搬送方向ｘに向けた直方体の箱状になっている。図５に示すように、浮上ブロック１４の上面板は、連続細孔を有する炭素多孔質体からなり、吹き出し部１５を構成している。浮上ガスの供給路１６が浮上ブロック１４の内部に連なっている。供給路１６からの浮上ガスが、浮上ブロック１４内に供給され、更に吹き出し部１５を透過して上方へ吹き出される。浮上ガスとしては、空気でもよく、窒素でもよい。吹き出し部１５は、多孔質体に限られず、パンチングメタル等の多孔板にて構成されていてもよい。
【００３４】
図１に示すように、浮上ブロック１４は、搬送方向ｘ及び幅方向ｙに整列されている。搬送方向ｘに並ぶ３つの浮上ブロック１４どうしが、少し間隔を置いて一直線に並べられている。最も往側の浮上ブロック１４は、還側及び中央の浮上ブロック１４より短いが、各浮上ブロック１４の長さはこれに限定されるものではなく、任意に設定できる。浮上ブロック１４の搬送方向ｘの並列数は、３つに限られず、１つ又は２つでもよく、４つ以上でもよい。幅方向ｙに隣り合う浮上ブロック１４どうしの間には十分な間隔が設けられている。この実施形態では、浮上ブロック１４の幅方向ｙの並列数は、８列であるが、これに限定されるものではなく、２列〜７列でもよく、９列以上でもよい。
【００３５】
図４に示すように、各浮上ブロック１４は、架台１３に例えばボルト締めによって連結されている。浮上ブロック１４が架台１３に凹凸嵌合していてもよい。各浮上ブロック１４は、他の浮上ブロック１４から分離して単独で設置及び撤去可能である。したがって、幅方向ｙの第１側の浮上ブロック１４Ｅは、それより第２側の浮上ブロック１４（特に隣の浮上ブロック１４Ｆ）とは別個に設置及び撤去可能である。
【００３６】
図１に示すように、浮上ステージ１０の幅方向ｙの両側に無端状の軌道体１１，１２がそれぞれ設けられている。第１軌道体１１は、浮上ステージ１０の幅方向ｙの第１側に設けられている。第２軌道体１２は、浮上ステージ１０の幅方向ｙの第２側に設けられている。これら軌道体１１，１２は、環状の平ベルトにて構成され、搬送方向ｘに延びている。
【００３７】
図１及び図２に示すように、架台１３には移動機構４０が設けられている。移動機構４０は、幅方向ｙの両側の支持部１３ｂに設けられた駆動プーリ４１と従動プーリ４２を含む。駆動プーリ４１は、搬送方向ｘの還側に配置され、従動プーリ４２は、搬送方向ｘの往側に配置されているが、駆動プーリ４１を搬送方向ｘの往側に配置し、従動プーリ４２を搬送方向ｘの還側に配置されていてもよい。幅方向ｙの両側の駆動プーリ４１に回転駆動部４３が連結されている。回転駆動部４３は、電動モータ、タイミングベルト等を含む。
【００３８】
幅方向ｙの第１側のプーリ４１，４２間に第１軌道体１１が架け渡されている。幅方向ｙの第２側のプーリ４１，４２間に第２軌道体１２が架け渡されている。回転駆動部４３によって幅方向ｙの両側の駆動プーリ４１が互いに同期して回転される。これにより、軌道体１１，１２がプーリ４１，４２間を周回するように搬送方向ｘに送られる。２つの軌道体１１，１２は、互いに同期して送られる。
【００３９】
図１及び図２に示すように、架台１３の幅方向ｙの両側の支持部１３ｂに昇降機構１７が設けられている。昇降機構１７は、流体圧アクチュエータにて構成されている。昇降機構１７によって、一対の支持部１３ｂひいては一対の軌道体１１，１２が昇降される。
【００４０】
図１に示すように、第１軌道体１１の上面に第１接続部材３１が設けられている。第２軌道体１２の上面には第２接続部材３２が設けられている。各接続部材３１，３２は、基部３３と、接続部３４を含み、大略Ｌ字の平板状になっている。基部３３は軌道体１１，１２と重なる被着部３５と、軌道体１１，１２から幅方向ｙの内側へ突出する突出部３６を含む。被着部３５が、軌道体１１，１２にボルト締め等によって着脱可能に取り付けられている。接続部３４は、基部３３から搬送方向ｘの往側（表面処理部２側）へ向けて真っ直ぐ延びている。
【００４１】
図３に示すように、接続部３４の上面には長手方向に間隔を置いて複数の吸着孔３７が開口されている。図４に示すように、これら吸着孔３７は、接続部材３１，３２の内部において互いに合流し、突出部３６の内部を経て、吸引路３８に連なっている。
【００４２】
第１接続部材３１は、第１軌道体１１を介して移動機構４０に連結されている。移動機構４０によって第１軌道体１１が周回されることにより、第１接続部材３１が搬送方向ｘに移動される。同様に、第２接続部材３２は、第２軌道体１２を介して移動機構４０に連結されている。移動機構４０によって第２軌道体１２が周回されることにより、第２接続部材３２が搬送方向ｘに移動される。軌道体１１，１２どうしが互いに同期して周回されることにより、接続部材３１，３どうしが互いに同期して搬送方向ｘに移動される。
【００４３】
図３に示すように、表面処理装置１には、被処理物９の幅方向ｙの寸法に応じて複数種の第１接続部材３１が用意されている。被処理物９の幅寸法が小さくなるにしたがって、対応する第１接続部材３１の突出部３６の突出量が大きくなり、接続部３４が被着部３５に対して幅方向ｙの第２側にずれて、被着部３５と接続部３４の幅方向ｙ（図３において左右方向）の距離が大きくなる。以下、大きい被処理物９Ａに対応する第１接続部材３１には符号に「Ａ」を付し、小さい被処理物９Ｂに対応する第１接続部材３１には符号に「Ｂ」を付す。
【００４４】
図１及び図３（ａ）に示すように、大サイズの被処理物９Ａに対応する第１接続部材３１Ａは、被着部３５と接続部３４が幅方向ｙのほぼ同じ位置にあり、被着部３５から直接、接続部３４が搬送方向ｘの往側（図３において下）に真っ直ぐ延びている。突出部３６は、浮上ブロック１４Ｅと干渉しない程度に第１軌道体１１から幅方向ｙの第２側（図３において右）へ突出している。
【００４５】
これに対して、図３（ｂ）及び図１０に示すように、小サイズの被処理物９Ｂに対応する第１接続部材３１Ｂは、基部３３の幅方向ｙの寸法が第１接続部材３１Ａよりも大きい。突出部３６は、第１軌道体１１から第２側へ第１接続部材３１Ａよりも大きく突出し、浮上ブロック１４Ｆの近傍に達している。接続部３４は、突出部３６の突出端部から搬送方向ｘの往側へ延び出ている。したがって、第１接続部材３１Ｂの被着部３５と接続部３４の幅方向ｙの距離が第１接続部材３１Ａより大きい。
【００４６】
上記のように構成された表面処理装置１の動作を、被処理物９の処理ステージ５への搬入及び処理ステージ５からの搬出を中心に説明する。
被処理物９は、１つずつ搬送装置３によって処理ステージ５に搬入されて、処理ヘッド４にて表面処理され、その後、搬送装置３によって搬出される。図１に示すように、大きいサイズの被処理物９Ａを処理する際は、複数種の第１接続部材３１Ａ，３１Ｂの中から第１接続部材３１Ａを選択して第１軌道体１１に取り付ける。また、側ステージ部５５及び奥ステージ部５６を設置し、処理ステージ５を大面積にする。更に、前枠５１の長枠部５１ａに短枠部５１ｂを継ぎ足して前枠５１を長くする。同様に、奥枠５３の長枠部５３ａに短枠部５３ｂを継ぎ足して奥枠５３を長くする。
【００４７】
そして、図４に示すように、接続部材３１，３２が浮上ステージ１０の上面と同じ高さになるよう、軌道体１１，１２の高さを昇降機構１７によって調節する。次いで、被処理物９をハンドリング装置（図示省略）にて搬送装置３上に搬送し、被処理物９の中央部を浮上ステージ１０の上面に載せ、幅方向ｙの両端部の一部を接続部材３１，３２に載せる。第１接続部材３１Ａの接続部３４の上面に被処理物９Ａの幅方向ｙの第１側の端部が接する。第２接続部材３２の接続部３４の上面に被処理物９Ａの幅方向ｙの第２側の端部が接する。次に、吸着孔３７から真空引きし、被処理物９を接続部３４に吸着する。これにより、被処理物９の両端部が接続部材３１，３２に接続される。
【００４８】
次に、図５に示すように、浮上ステージ１０の各吹き出し部１５から浮上ガスを吹き出す。かつ、昇降機構１７によって軌道体１１，１２を少し上昇させ、接続部材３１，３２の高さを浮上ステージ１０の上面より少し高くする。これにより、被処理物９が浮き上がり、浮上ステージ１０の上方に少し離れて浮上支持される。
【００４９】
被処理物９の設置工程として、上記に代えて、被処理物９を設置する前から浮上ガスの吹出しを行ない、かつ接続部材３１，３２を浮上ステージ１０の上面より少し高く位置させておいてもよい。そして、図４の状態を経ずに、図５に示すように、被処理物９を浮上ステージ１０上に浮かせて配置し、かつ該被処理物９の幅方向ｙの両端部を接続部材３１，３２に吸着させることにしてもよい。
【００５０】
チャンバー２内においては、図２の二点鎖線にて示すように、前枠５１を枠進退機構６５によってｘ方向の還側へ後退させてステージ本体５０から離し、かつ図７に示すように、枠昇降機構６１によって少なくとも浮上ステージ１０及び軌道体１１，１２より下に位置するよう降下させる。また、図６に示すように、一対の側枠５２をそれぞれ対応する枠進退機構６２によってｙ方向の外側へ後退させてステージ本体５０から離す。かつ奥枠５３を枠進退機構６３によってｘ方向の往側へ後退させてステージ本体５０から離す。さらに、ステージ本体５０の空気孔５７から浮上ガスを吹き出しを開始する。
【００５１】
上記の枠５１〜５３の移動及びステージ本体５０からの浮上ガス吹出しと併行して、又は相前後して、開閉ゲート６ｇを開状態にする。その後、図６及び図７に示すように、進退機構２０によって、浮上ステージ１０及び軌道体１１，１２を搬送方向ｘの往側に前進させて開閉ゲート６ｇ内に差し入れ、浮上ステージ１０及び軌道体１１，１２の往側の端部をステージ本体５０の近傍に位置させる。次に、移動機構４０によって軌道体１１，１２をその上側部分が往側へ送られるよう順方向に周回移動させ、軌道体１１，１２と一体の接続部材３１，３２を往側に前進させる。これにより、被処理物９が往側へ移動され、チャンバー６の内部に差し入れられる。
【００５２】
接続部材３１，３２は、軌道体１１，１２の搬送方向ｘの往側すなわち表面処理部２側の端部から表面処理部２内の奥側へ水平に延び出した状態になる。これにより、被処理物９を表面処理部２の内部に確実に差し入れることができ、ステージ本体５０の真上に位置させることができる。このとき、空気孔５７から浮上ガスを吹き出し、被処理物９を浮上支持する。被処理物９の浮上量ｄは、例えばｄ＝０．１ｍｍ〜０．５ｍｍ程度であり、枠５１〜５３の位置決め凸部５８の突出量（例えば０．７ｍｍ〜１．５ｍｍ）より小さい。
【００５３】
次に、接続部３４と被処理物９の吸着を解除する。吸着孔３７に正圧を導入して吸着を解除してもよい。そして、昇降機構１７によって軌道体１１，１２ひいては接続部材３１，３２を少し下降させ、接続部３４を被処理物９から離間させる。次に、図８に示すように、移動機構４０によって軌道体１１，１２をその上側部分が還側へ送られるよう逆方向に周回移動させ、接続部材３１，３２を搬送方向ｘの還側に後退させる。同時に、進退機構２０によって浮上ステージ１０及び軌道体１１，１２を搬送方向ｘの還側に後退させ、浮上ステージ１０及び軌道体１１，１２を開閉ゲート６ｇから還側へ出す。その後、開閉ゲート６ｇを閉じる。
【００５４】
図８に示すように、枠昇降機構６１によって枠５１をステージ本体５０と一致する高さまで上昇させる。続いて、図１及び図９に示すように、枠進退機構６５，６２，６３によって４つの枠５１，５２，５３をそれぞれステージ本体５０に向けて前進させてステージ本体５０の周側部に当てる。これによって、図９において二点鎖線にて示すように、浮上状態の被処理物９の外周縁が各枠５１，５２，５３の位置決め凸部５８に当たる。これにより、被処理物９をアライメントできる。
【００５５】
次に、空気孔５７からの浮上エアの吹き出しを停止する。これにより、図９において実線にて示すように、被処理物９を処理ステージ５上に載置できる。すなわち、被処理物９の中央部が主ステージ部５４上に載置され、被処理物９の外周部が枠５１，５２，５３に載置される。さらに、空気孔５７から真空引きし、被処理物９を処理ステージ５に吸着する。
そして、処理ヘッド４から処理ガスを吹き出して被処理物９に接触させ、被処理物９の表面処理を行う。
【００５６】
表面処理の終了後、枠進退機構６５，６２，６３によって４つの枠５１，５２，５３をそれぞれステージ本体５０から離れるよう後退させる（図６）。続いて、枠５１を枠昇降機構６１によって下降させ（図７）、浮上ステージ１０及び軌道体１１，１２より下に位置させる。また、開閉ゲート６ｇを開ける。
【００５７】
接続部材３１，３２の上面の高さがステージ本体５０の上面より少し下になるよう、昇降機構１７によって軌道体１１，１２を高さ調節する。そのうえで、進退機構２０によって、浮上ステージ１０及び軌道体１１，１２を搬送方向ｘの往側に前進させて開閉ゲート６ｇ内に差し入れ、浮上ステージ１０及び軌道体１１，１２の往側の端部をステージ本体５０の近傍に位置させる。次に、図７に示すように、移動機構４０によって軌道体１１，１２を順方向に周回移動へ送り、接続部材３１，３２を往側に前進させ、チャンバー６の内部に差し入れる。接続部材３１，３２を、軌道体１１，１２の往側すなわち表面処理部２側の端部から表面処理部２内の奥側へ水平に延び出させることにより、表面処理部２内の被処理物９の下側に接続部３４を位置させることができる。次に、昇降機構１７によって軌道体１１，１２ひいては接続部材３１，３２を少し上昇させ、接続部３４の上面を被処理物９の端部の下面に当てる。そして、吸着孔３７から真空引きし、接続部３４に被処理物９の端部を吸着する。
【００５８】
次に、空気孔５７から浮上エアを吹き出す。同時に、昇降機構１７によって軌道体１１，１２を更に少し上昇させ、接続部材３１，３２をステージ本体５０の上面より少し上に位置させる。これにより、被処理物９がステージ本体５０から上に離れて浮上支持される。
なお、空気孔５７からの浮上エアによる被処理物９の浮上を先に行い、続いて接続部材３１，３２の上昇及び接続部３４への被処理物９の吸着を行ってもよい。空気孔５７からの浮上エアによる被処理物９の浮上と接続部材３１，３２の上昇及び接続部３４への被処理物９の吸着とを同時並行して行ってもよい。
【００５９】
次に、進退機構２０によって、浮上ステージ１０及び軌道体１１，１２を搬送方向ｘの還側に後退させる。かつ、移動機構４０によって軌道体１１，１２を逆方向に周回移動させ、接続部材３１，３２を還側に後退させる。これにより、被処理物９が搬送方向ｘの還側に送られ、開閉ゲート６ｇから搬送装置３上へ出される。吹き出し部１５から浮上エアを吹き出し、被処理物９をステージ本体５０上で浮上支持する。この被処理物９を、例えばハンドリング装置にてピックアップし搬出する。
【００６０】
図１０に示すように、小さいサイズの被処理物９Ｂを処理する際は、幅方向ｙの最も第１側の列の浮上ブロック１４Ｅを撤去する。第１接続部材３１Ａを第１軌道体１１から外し、これに代えて、第１接続部材３１Ｂを第１軌道体１１に取り付ける。第１接続部材３１Ｂの被着部３５の第１軌道体１１への取り付け位置は、第１接続部材３１Ａの被着部３５と同一の位置である。第１接続部材３１Ｂの突出部３６及び接続部３４は、第１軌道体１１から第２側へ片持ち状に大きく突出するが、浮上ブロック１４Ｅの撤去により浮上ステージ１０との干渉を回避できる。第２軌道体１２の第２接続部材３２はそのまま残しておく。また、ステージ本体５０から側ステージ部５５及び奥ステージ部５６を撤去し、主ステージ部５４だけでステージ本体５０を構成し、処理ステージ５を小面積にする。さらに、前枠５１の短枠部５１ｂを長枠部５１ａから分離して撤去し、前枠５１を短くする。同様に、奥枠５３の短枠部５３ｂを長枠部５３ａから分離して撤去し、奥枠５３を短くする。側ステージ５５の撤去に伴い、第１側の側枠５２を枠進退機構６２によって側ステージ５５の幅寸法分だけ第２側に寄せる。奥ステージ５６の撤去に伴い、奥枠５３を枠進退機構６３によって奥ステージ５６のｘ方向の寸法分だけ還側に寄せる。
【００６１】
次に、図１０において二点鎖線にて示すように、小サイズの被処理物９Ｂを搬送装置３に設置する。このとき、被処理物９Ｂの第２側の端部が、大サイズの被処理物９Ａのときと同じ幅方向ｙの位置に配置されるようにする。これにより、被処理物９Ｂの第２側の端部を第２接続部材３２の接続部３４に吸着して接続できる。被処理物９Ｂの第１側の端部は、大サイズの被処理物９Ａのときより幅方向ｙの第２側にずれて位置する。この被処理物９Ｂの第１側の端部と同じ幅方向ｙの位置に、第１接続部材３１Ｂの接続部３４が配置される。これにより、被処理物９Ｂの第１側の端部を第１接続部材３１Ｂの接続部３４の上面に載置できる。そして、被処理物９Ｂの第１側の端部を第１接続部材３１Ｂの接続部３４に吸着して接続できる。
【００６２】
続いて、上記大サイズの被処理物９Ａのときの同様の手順で、被処理物９Ｂを表面処理部２内に搬入して主ステージ部５４上に載置し、表面処理を行う。表面処理の後、被処理物９Ａのときの同様の手順で、被処理物９Ｂを表面処理部２から搬出する。搬入及び搬出時には、被処理物９Ｂの幅方向ｙの第１側の端部を第１接続部材３１Ｂに接続し、第２側の端部を第２接続部材３２に接続して搬送できる。
【００６３】
以上のように、表面処理装置１によれば、大きさが異なる複数種の被処理物９Ａ，９Ｂを搬送して表面処理することができる。被処理物９の大きさごとに搬送装置３を複数設備する必要が無い。したがって、設備コストを抑えることができる。異なる寸法の被処理物に変えるときは、第１接続部材３１を対応するものに取り替える。これにより、被処理物９の幅方向の寸法に拘わらず、第１接続部材３１の接続部３４が、被処理物９の第１側の端部と同じ幅方向ｙの位置に配置されるようにでき、接続部３４を被処理物９に確実に接続することができる。また、被処理物９の幅方向ｙの寸法に応じて、幅方向ｙの第１側に浮上ブロック１４Ｅを増設し、又は幅方向の第１側から浮上ブロック１４Ｅを撤去する。これにより、被処理物９を確実に浮上支持でき、かつ幅方向ｙの第１側の浮上ブロック１４Ｅと第１接続部材３１との干渉を回避できる。更に、端ステージ５５，５６を設置又は撤去し、かつ枠５１，５３の短枠部５１ａ，５３ａを設置又は撤去する。第１軌道体１１の位置を幅方向ｙにずらしたり、撤去して別の第１軌道体１１に取り換えたりする必要がない。
【００６４】
本発明は、上記実施形態に限定されず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の改変をなすことができる。
例えば、搬入工程及び搬出工程の手順は適宜変更してもよい。
搬入用の搬送装置３と搬出用の搬送装置３が別々に設けられていてもよい。搬入用の搬送装置３と搬出用の搬送装置３とが、表面処理部２を挟んで搬送方向ｘの両側に配置されていてもよい。本発明に係る搬送装置３は搬入のみを行い、搬出は別の搬出装置で行うようになっていてもよい。本発明に係る搬送装置３は搬出のみを行い、搬入は別の搬入装置で行うようになっていてもよい。
被処理物９の幅方向ｙの寸法は、実施形態では大小２種類であったが、３種類以上であってもよい。その場合、被処理物９の幅方向ｙの寸法ごとに第１接続部材３１を３種以上用意する。
幅方向ｙの第１側の第１接続部材３１だけでなく、第２側の第２接続部材３２についても被処理物９の幅方向ｙの寸法に対応して複数種用意し、被処理物９の寸法に応じて第１接続部材３１だけでなく第２接続部材３２をも取り換えることにしてもよい。
移動機構４０が、接続部材３１，３２に直接接続されていてもよい。例えば、軌道体１１，１２は搬送方向ｘに延びるレールであり、移動機構４０が、前記レールにスライド可能に設けられたスライダを含んでいてもよい。このスライダに接続部材３１，３２が着脱可能に取り付けられていてもよい。
最も幅方向ｙの第１側の列の浮上ブロック１４Ｅだけではなく、第１側の複数列の浮上ブロック１４を撤去し、被処理物９Ｂより小さいサイズの被処理物を処理することにしてもよい。被処理物９Ｂより小さいサイズの被処理物に対応する第１接続部材３１は、第１接続部材３１Ｂよりも突出部３６の突出幅が大きく、接続部３４と被着部３５の幅方向ｙの距離が第１接続部材３１Ｂより大きい。
ステージ本体５０は、３つのステージ部５４，５５，５６に分割されるのに限られず４つ以上のステージ部に分割されてもよい。前枠５１は、２つの枠部５１ａ，５１ｂに分割されるのに限られず３つ以上の枠部に分割されていてもよい。奥枠５３は、２つの枠部５３ａ，５３ｂに分割されるのに限られず３つ以上の枠部に分割されていてもよい。これにより、３種類以上のサイズの被処理物に対応できる。
前枠５１は、分割されていなくてもよく、１本物であってもよい。被処理物９のサイズごとに長さが異なる１本物の前枠５１を複数用意し、処理する被処理物９に合わせて、上記複数の前枠５１から１つを選択して処理ステージ５に設置することにしてもよい。同様に、奥枠５３は、分割されていなくてもよく、１本物であってもよい。被処理物９のサイズごとに長さが異なる１本物の奥枠５３を複数用意し、処理する被処理物９に合わせて、上記複数の奥枠５３から１つを選択して処理ステージ５に設置することにしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明は、半導体装置や液晶表示装置の製造に適用可能である。
【符号の説明】
【００６６】
ｘ      搬送方向
ｙ      幅方向
１      表面処理装置
２      表面処理部
３      搬送装置
４      処理ヘッド
５      処理ステージ
６      チャンバー
６ｇ    開閉ゲート（搬入出口）
９      被処理基板
１０    浮上ステージ
１１    第１軌道体
１２    第２軌道体
１３    架台
１３ａ  ステージ支持部
１３ｂ  軌道体支持部
１４    浮上ブロック
１４Ｅ  第１側の浮上ブロック
１４Ｆ  隣の浮上ブロック
１５    吹き出し部
１６    浮上ガスの供給路
１７    昇降機構
２０    進退機構
２１    進退駆動部
２２    案内桁
２３    摺動部
３１    第１接続部材
３２    第２接続部材
３３    基部
３４    接続部
３５    被着部
３６    突出部
３７    吸着孔
３８    吸引路
４０    移動機構
４１    駆動プーリ
４２    従動プーリ
４３    回転駆動部
５０    ステージ本体
５１    前枠
５２    側枠
５３    奥枠
５４    主ステージ部
５５    側ステージ部（第１側のステージ部）
５６    奥ステージ部
５７    空気孔
５８    位置決め凸部
６１    枠昇降機構
６２，６３，６５  枠進退機構
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2011114169.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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