(57)【要約】【課題】被加工物の回転中心部におけるヘソの発生を防ぐ。【解決手段】非球面形状をもつ被加工物を回転させながら研磨工具を圧接させ、被加工物の回転中心を通る走査線に沿って走査させることで被加工物を研磨加工する研磨加工方法において、まず、ダミーワークを用いて工具の単位時間当りの除去形状を取得する。目標除去形状と、工具の単位除去形状とに基づいて工具の滞留時間分布を計算し、工具の走査速度を制御する。ダミーワークは、被加工物の回転中心部の曲率半径と同じ曲率半径をもつ球状面を有し、この球状面を研磨加工することによって工具の単位時間当たりの除去形状を取得する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
非球面形状をもつ被加工物を回転させながら回転工具を圧接させ、被加工物の回転中心を通る走査線に沿って走査させることで被加工物を研磨加工する研磨加工方法において、
ダミーワークを用いて前記回転工具の単位時間当りの除去形状を取得する工程と、
被加工物の加工前形状及び目標形状から求められる目標除去形状と、前記回転工具の単位時間当たりの除去形状とに基づいて前記回転工具の滞留時間分布を計算する工程と、
前記回転工具の滞留時間分布に応じて前記回転工具の走査速度を制御することで被加工物を前記目標形状に研磨加工する工程と、を有し、
前記ダミーワークは、被加工物の回転中心部の曲率半径と同じ曲率半径をもつ球状面を有し、前記球状面を前記回転工具によって研磨加工することによって前記回転工具の単位時間当たりの除去形状を取得することを特徴とする研磨加工方法。
【請求項２】
被加工物の回転中心部を基準とした半径方向の曲率半径の変化に応じて、前記目標除去形状を補正して前記回転工具の滞留時間分布を計算することを特徴とする請求項１に記載の研磨加工方法。
【請求項３】
被加工物の回転中心部の曲率半径は、前記回転工具と被加工物との接触面の最大長さを半径とする円形領域内における曲率半径であることを特徴とする請求項１又は２に記載の研磨加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高次の次数を持つ非球面、放物面、双曲面、回転楕円面などの非球面形状を有する高精度な非球面光学素子等を製造するための研磨加工方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
合成石英ガラス、低熱膨張ガラス、ＣＶＤ−ＳｉＣ、ＣａＦ２単結晶などの材料は高価であるにもかかわらず、その物理化学特性が優れているために短波長光用のレンズ、ミラーに用いられているが、その形状は、従来、平面、球面、など単純な形状が多かった。しかし、最近では高次の次数を持つ非球面レンズやミラーの要求も増してきている。これらの高精度な光学素子、あるいは光学素子成形用金型等の製作は、高い形状精度が要求され、計測と加工を繰り返すことでその要求精度を満たしてきた。
【０００３】
研削により仕上げられた形状を従来の全面研磨工具で平滑な表面に研磨することは、平面、球面のような工具形状転写型の単純な形状であれば可能である。しかし、高次の次数を持つ非球面、自由曲面等の複雑な形状では、研削後の形状精度を維持することも困難であった。このような形状の加工においては、特に最終仕上げである研磨工程では、研磨工具の形状追随性を高めるために、主に加工領域よりも小さな小径工具を用いたローカル加工法による形状修正加工を行うのが一般的である。このようなローカル加工法の代表的な例としては、特許文献１及び特許文献２に開示された方法が知られている。
【０００４】
特許文献１に開示された加工方法においては、被加工物の加工に先立ち、予め、研磨工具の単位時間当たりの除去形状である単位除去形状を取得する。続いて、この単位除去形状と加工面の計測結果から得られる形状誤差のデータに基づき、工具の滞留時間分布のデータを求めて、形状修正研磨を行うものである。この方法は、加工領域全域において、予め取得する単位除去形状が同じかあるいは時間の経過に対して一定であると仮定して工具の滞留時間分布のデータを求め、工具の滞留時間の制御により形状修正研磨を行うものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特許第３３０４９９４号公報
【特許文献２】特開２００７−１４４５６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に代表される形状修正研磨に用いられる小径工具は、工具面の形状、曲率半径が固定されている。そのため、例えば、非球面、自由曲面形状等を加工する場合、加工領域の局所的な形状、部分曲率とは完全に一致せず、工具と被加工面間の接触状態が変化することとなる。そこで、工具側に弾性体を付加し、接触状態の変化を吸収、緩和する手段がとられる場合があるが、それが故に、厳密には工具と被加工面間の接触状態による圧力分布の変化に起因する形状誤差は避けられない。
【０００７】
すなわち、研磨工具の単位除去形状は、被加工面内あるいは時間の経過に対して一定であるという仮定のもとで、形状誤差データから工具の滞留時間分布のデータを作成するため、被加工物の実加工形状においては上記の変化に起因する形状誤差を含むことになる。その結果、より一層の高精度加工における障害となることがある。
【０００８】
上述のような非球面、自由曲面形状の加工方法の中でも特に、回転軸対称の面形状をもつ光学素子を加工する場合は、研磨工具が被加工物の回転中心を通るスパイラル状の軌跡を描く走査方式が多く用いられる。この走査形態では、工具と被加工面の接触エリア（加工スポット）内に被加工物の回転中心が存在する間、被加工物の回転中心部は常に研磨による除去が進む状態となる。従って、被加工物の回転中心部における除去過多を防止するために、外周部と比較して非常に高速で研磨工具を通過させる必要がある。すなわち、所望の形状を得るための研磨工具の半径方向の走査速度分布としては、回転中心部にピークを持つ分布となる。換言すると、被加工物の回転中心部において、研磨工具には非常に短い滞留時間を設定することとなる。
【０００９】
しかしながら、このように非常に高速で工具が通過する回転中心部においては、上述のような滞留時間差の制御が非常に困難である。従って、この回転中心部には、予め取得した研磨工具の単位除去形状に対する実加工時の加工スポット形状の変化のために、加工後に形状誤差が残るという問題点がある。なお、以下の説明において、被加工物の実加工前に予め取得する単位時間当たりの除去形状を“単位除去形状”と称し、被加工物の実加工時の単位時間当たりの除去形状を“加工スポット形状”と称する。
【００１０】
被加工物の回転中心部に残る形状誤差（ヘソ）は、一般に、上述のような工具が回転中心を通るスパイラル状の走査形態を取る加工方式において典型的である。ヘソは、単位除去形状と加工スポット形状との誤差に応じて、例えば、突起、穴、輪帯状、渦状といった種々の形状で加工後の被加工面に残存する。
【００１１】
ここで、上述の単位除去形状は、被加工物と同様な材料及び形状の基準面を有するダミーワークを研磨加工することによって取得する方法が用いられている（特許文献１参照）。目標形状が例えば平面、又は球面といった比較的簡単な形状の場合は、単位除去形状取得用の基準面として同じ形状のものを用いれば、単位除去形状と実加工時の加工スポット形状はほぼ一致することとなる。従って、除去能力見積り時と実加工時の加工スポット形状の変化は小さく、この形状変化に起因する回転中心部のヘソはさほど大きな問題とならない。
【００１２】
これに対して、非球面形状の加工の場合は、被加工面内の中心部から外周部に向けての半径方向で局所的な部分曲率が変化する。例えば、非球面形状の被加工物全体の近似球面の曲率半径を持つ基準面を加工することによって、単位除去形状を予め取得する方法も考えられる。しかし、被加工物の回転中心部における局所的な部分曲率半径と、非球面全体の近似曲率半径は異なるため、中心部の曲率半径と近似曲率半径の差に応じて、単位除去形状と実加工時の中心部の加工スポット形状は異なる場合が多い。そして、この形状差に起因するヘソが、実加工後の被加工面形状に残存してしまうこととなる。
【００１３】
ここで、図８を用いて、上述の被加工物の曲率半径差に起因する加工スポット形状の変化について説明する。図８（ａ）に示すように、研磨工具２１０は、被加工物２００の被加工面に接触する部分が曲面に形成され、硬度や弾性率が異なる２種類の材料を内部層２１１と研磨層２１２に層状に組み合わせて構成されている。研磨層２１２は、内部層２１１より変形しやすい材料であって、小さい曲率半径の凹凸形状にも容易に倣い変形する柔らかさを有する材料で形成されている。研磨層２１２の材料としては、比較的軟質の、例えば、中実発泡ゴム、スポンジ、中空ゴム、中空スポンジ、ウレタンゴム、ウレタン樹脂等を用いる。
【００１４】
図８（ｂ）は、曲率半径の異なる凹球面形状を加工する場合を説明するもので、曲率半径Ｒ１、Ｒ２をもつ被加工物に対して、研磨工具２１０を同じ押込深さで押込むと、曲率半径差に応じて、研磨層２１２と被加工物の接触部形状が異なることとなる。すなわち、小さい曲率半径Ｒ１をもつ被加工物の方が、接触部形状の長さＬ１、Ｌ２及び幅Ｗ１、Ｗ２の双方において、大きい曲率半径Ｒ２をもつ被加工物よりも大きくなる。
【００１５】
このように、曲率半径差に応じた工具と被加工物の接触部形状差は、上述のような非球面形状の被加工面においては、各部分の曲率半径の変化に応じた工具と被加工物の接触部形状差となり、被加工面内の加工スポット形状の変化として現れる。特に、図７（ａ）に示すスパイラル走査形態では、実加工時の回転中心部付近での加工スポット形状誤差が大きくなり、無視し得ない回転中心部の形状誤差、すなわち“ヘソ”が発生する。
【００１６】
図７（ｂ）は、曲率半径差に起因して発生するヘソの一例を示すもので、これは、曲率半径２３０ｍｍの凹球面を基準面として単位除去形状を取得し、外径φ４５ｍｍ、曲率半径４５０ｍｍの凹球面を、除去深さ１５０ｎｍで均等研磨加工を行った結果である。被加工面の中心を通る一断面の加工後の形状では、２２０ｍｍの曲率半径差に応じて約５０ｎｍの深さをもつヘソの発生が実験的に明らかになっている。
【００１７】
特許文献２には、前工程で発生した上述のヘソを、研磨加工目標値（目標除去形状）を補正することで修正する方法が提案されているが、上述のようなヘソを発生させないための根本的な解決手段が望まれている。
【００１８】
本発明は、被加工物の回転中心部に発生する形状誤差を低減し、レンズ等の非球面光学素子を高精度で加工することが可能な研磨加工方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明の研磨加工方法は、非球面形状をもつ被加工物を回転させながら回転工具を圧接させ、被加工物の回転中心を通る走査線に沿って走査させることで被加工物を研磨加工する研磨加工方法において、ダミーワークを用いて前記回転工具の単位時間当りの除去形状を取得する工程と、被加工物の加工前形状及び目標形状から求められる目標除去形状と、前記回転工具の単位時間当たりの除去形状とに基づいて前記回転工具の滞留時間分布を計算する工程と、前記回転工具の滞留時間分布に応じて前記回転工具の走査速度を制御することで被加工物を前記目標形状に研磨加工する工程と、を有し、前記ダミーワークは、被加工物の回転中心部の曲率半径と同じ曲率半径をもつ球状面を有し、前記球状面を前記回転工具によって研磨加工することによって前記回転工具の単位時間当たりの除去形状を取得することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の研磨加工方法によれば、予め、被加工物の回転中心部の曲率半径と同じ曲率半径をもつダミーワークの球状面を加工して単位除去形状を取得することによって、実加工時の形状誤差を低減し、ヘソの発生等を防止する。
【００２１】
単位除去形状の取得に際して、被加工物と同じ形状の、複雑な非球面形状をもつダミーワークを製品毎に加工準備するような方法と比較して、工数、コストを大きく削減することができる。これにより、高精度かつ効率的な形状修正加工が可能となる。
【００２２】
また、半径方向の曲率半径の変化に応じて目標除去形状を補正すれば、回転中心部においてはヘソの発生が防止され、かつ、外周へ向かう周辺加工エリアにおいても形状誤差の低減された高精度な形状修正加工が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係る研磨装置を示す概略構成図である。
【図２】実施例１による研磨加工方法の手順を示すフローチャートである。
【図３】曲率半径差と加工スポット形状及びヘソ形状の変化との関係を示すグラフである。
【図４】ヘソ深さと曲率半径差の関係を示すグラフである。
【図５】曲率半径差と除去レート比の関係を示すグラフである。
【図６】実施例２による研磨加工方法の手順を示すフローチャートである。
【図７】スパイラル走査形態を示す概略図である。
【図８】従来例による研磨加工方法を説明する図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００２４】
図１は、本発明による研磨加工方法を実施するための研磨装置の一例を示す概略構成図である。
【００２５】
図１において、ベッド５０上には相対的にｙ方向に往復移動可能なｙテーブル５２が取り付けられている。ｙテーブル５２の移動を駆動するためのモータ５４にはエンコーダ５６が付設されており、エンコーダ５６によりｙテーブル５２のｙ方向移動量が検出される。ｙテーブル５２上には、このｙテーブル５２に対してｘ方向に往復移動可能なｘテーブル５８が取り付けられている。ｘテーブル５８の移動を駆動するためのモータ６０にはエンコーダ６２が付設されており、エンコーダ６２によりｘテーブル５８のｘ方向移動量が検出される。
【００２６】
ｘテーブル５８上には研磨漕６４が固設されている。研磨漕６４中には支持体６６が固定されており、支持体６６には軸６８により被加工物保持体７０が取り付けられている。保持体７０上には回転テーブル７１が設置されており、不図示のモータ、エンコーダにより回転駆動、及び回転位置の検出がなされる。この回転軸を“Ａ軸”と称する。また、軸６８はｘ方向を向いていて、従って保持体７０はｘ軸に沿う軸のまわりに回動可能である。支持体６６にはモータ７２が取り付けられており、その駆動回転軸は軸６８に結合され、不図示のエンコーダにより回動駆動、及び回動位置の検出がなされる。この回転軸を“Ｂ軸”と称する。
【００２７】
一方、ベッド５０にはコラム７４が固定されている。コラム７４には上下方向すなわちｚ方向のガイド７６が形成されており、ガイド７６に沿って上下方向に往復移動可能なように研磨工具ヘッド保持体７８の傾斜位置決め機構が取り付けられている。保持体７８には回転運動可能な研磨ヘッドが支持され、研磨ヘッドの回転軸８２の下端には回転工具である研磨工具８４が取り付けられている。保持体７８にはモータ８６が取り付けられており、その駆動回転軸は研磨ヘッドに接続されていて、研磨ヘッドの傾斜位置決め機構を駆動することができる。保持体７８をガイド７６に沿って上下方向に移動させるためのエアシリンダー８８は、そのロッド９０の先端が保持体７８と連結されている。制御装置９２は、エンコーダ５６、６２等からのｙテーブル移動量及びｘテーブル移動量及び回転テーブル移動量が入力される。さらに、モータ５４、６０、７２、８６、研磨ヘッド中の不図示の研磨ヘッド駆動モータ、エアシリンダー８８又はその動きを代換するモータ等が、制御装置９２からの指令により駆動される。
【００２８】
以上のように構成される研磨装置を用いて研磨を行う際には、適切な前加工（研削加工）により所定の表面粗さ及び所定の形状精度に仕上げられている被加工物１００が、保持体７０上の回転テーブル７１上に積載され固定される。本実施例においては、被加工物１００は、直径２００ｍｍの合成石英ガラス製の軸対称非球面レンズとし、光学有効部は中央の直径１８０ｍｍの円形領域である。被加工物１００としての合成石英ガラス材は、前加工として、対称軸（光軸）周りに被加工面を回転させて高精度に非球面研削して、所定の表面粗さ及び所定の形状精度に仕上げられている。また、研磨漕６４中には研磨液１０２が適当量注入されている。本実施例では研磨液中の研磨砥粒として酸化セリウム砥粒を用いた。
【００２９】
研磨工具８４を被加工面に押圧して回転させながら、非球面形状をもつ被加工物１００に圧接させ、ｘテーブル５８の直線運動、Ａ軸の回転運動、及びＢ軸方向の回動の作用により、被加工物１００の回転中心を通る走査線に沿って走査することで研磨加工する。
【００３０】
次に、本実施例による研磨加工方法の手順を図２のフローチャートを用いて説明する。
【００３１】
まず、被加工物１００の被加工面の加工前形状の形状測定を行う（ステップＳ１）。この加工前形状測定は、例えば、特開平０５−５７６０６号公報に開示された方法を用いる。その結果得られた被加工面形状（データＤ１）と、目標形状である被加工面の設計形状（データＤ０）からの誤差形状、すなわち目標除去形状（データＤ３）を求める（ステップＳ３）。
【００３２】
次に、この誤差形状が目標精度に達しているかどうかを判定し（ステップＳ４）、すでに目標精度に達している場合には終了し、被加工物１００を取り外す。目標精度に達していない場合には、後に詳述する単位除去形状を取得する工程（ステップＳ２）により求めた単位除去形状（データＤ２）と目標除去形状から滞留時間を求めるデコンボリューション計算を行い（ステップＳ４）、滞留時間分布（データＤ４）を得る。この滞留時間を求める計算操作は、例えば、１９９０年精密工学会秋期講演論文集６４５頁に開示された方法による。続いて、この滞留時間分布を実現するような被加工面上での研磨工具の走査パターンを表す研磨装置制御ＮＣプログラム（データＤ５）を算出する（ステップＳ５）。ここで、研磨工具の走査パターンは、スパイラル状の走査パターンであり、これを制御するための上記のＮＣプログラム（データＤ５）は、一本又は複数本のサブプログラムを有する。ここでは、２本のサブプログラムとする場合について説明する。１本目は、図７（ａ）に示すように、被加工面の外周部から中心部へ向かうスパイラル走査ラインに沿った研磨、２本目は中心部から外周部へ向かう上記と逆方向のスパイラル走査ラインに沿った研磨とする。ここで、それぞれのサブプログラムをＳＰ１、ＳＰ２とする。次に、以上のように研磨装置制御ＮＣプログラムの算出で得られたスパイラル走査のそれぞれのサブプログラムをＳＰ１、ＳＰ２の順で、形状修正加工として実施する（ステップＳ６）。
【００３３】
なお、スパイラル走査のＮＣプログラムの実施（ステップＳ６）に際しては、被加工物１００を保持する回転テーブル７１を一定速度で回転させる。スパイラルの送り方向（被加工面半径方向）には滞留時間分布に応じた走査速度の制御がかかるように、ｙテーブル５２を駆動するモータ５４と被加工物１００を傾斜可能に保持する回転テーブル７１の傾きをモータ７２で制御する。また、誤差形状を除去するために誤差が高いところで滞留時間が長くなるようにスパイラルの送りピッチ（図７（ａ）参照）を小さくし、誤差形状が少ないところでは送りを速くしてスパイラル送りピッチを大きくする。
【００３４】
形状修正研磨加工用の前述したサブプログラムがすべて実施され、研磨加工が終了すると、加工終了後の被加工物の形状計測を行う（ステップＳ１）。被加工面の現形状を目標形状（設計形状）にするための誤差形状を求め、その誤差形状量が設計公差内であるか判定し（ステップＳ７）、公差内であれば研磨加工を終了して被加工物を次の工程に送る（ＥＮＤ）。一方、誤差形状が未だ公差内に到達していなければ、継続して、ステップＳ４（工具の滞留時間分布の算出）以下の工程を繰り返す。
【００３５】
研磨工具の単位時間当りの除去形状である単位除去形状（データＤ２）の取得は、研磨加工に先立ち、予め、被加工物の回転中心部における曲率半径と同じ曲率半径の球状面をもつダミーワークを研磨加工し、加工後の形状を計測することによって行われる。すなわち、この単位除去形状の取得が、上記のような滞留時間分布及び装置制御条件の算出を行う上での、除去能力の事前見積りを意味する。例えば、被加工面の回転中心部における局所的な曲率半径が１００ｍｍの場合、曲率半径１００ｍｍの球状面をもつダミーワークを用いる。なお、被加工面の回転中心部の曲率半径とは、研磨工具の走査の過程において研磨工具が被加工面の回転中心と接触する円形領域を基準とし、例えば、研磨工具と被加工物との接触面の最大長さを半径とする円形領域内の局所的な曲率半径である。
【００３６】
続いて、このダミーワークに対して研磨工具を所定の条件で所定の時間（３〜５秒間程度が好ましい）だけ押し付けて加工するスポット加工を行い、計測の結果得られた除去形状を単位除去形状（データＤ２）とする。詳しくは、上記の計測された除去形状の法線方向の計測値を、上記所定の時間で除算した値の加工面内分布で表される形状が、単位時間当たりの除去形状を表す単位除去形状（データＤ２）となる。
【００３７】
ここで、ダミーワークの曲率半径の選定は、上述のスパイラル走査方式において特異的に発生する回転中心部の形状誤差、すなわち“ヘソ”を、許容値内に抑えることのできる曲率半径を設定する。
【００３８】
その方法を、図３及び図４を用いて説明する。ここに示すグラフは、曲率半径が一致又は異なる２個一対の凹球面ワークにおいて、一方を単位除去形状取得用として用い、他方を外径φ４５ｍｍ、除去深さ１５０ｎｍで均等研磨加工を行った結果である。そして、グラフ上の各点はそれぞれ一つの曲率半径差条件による結果であり、グラフは、これを複数の曲率半径差条件による結果としてプロットしたものである。
【００３９】
図３（ａ）に示すように、ダミーワークの曲率半径と、被加工物の回転中心における曲率半径との差（曲率半径差）に応じて、研磨工具と被加工面の接触形状であるスポット形状（スポット長さ）が変化する。このスポット形状の変化に応じて、図３（ｂ）に示すように、“ヘソ”の深さが増減する。すなわち、図４に示すように、曲率半径差とヘソ深さとは１対１の対応関係が明らかになっている。従って、このように任意の加工条件における曲率半径差とヘソ深さの関係を元に、ヘソ深さの規定値に対応する曲率半径差以内となるようなダミーワークの曲率半径を設定する。
【００４０】
以上のような方法で単位除去形状を取得することによって、実加工時の加工スポットと形状が一致した高精度な単位除去形状の取得が可能となり、単位除去形状と実加工時の加工スポット形状の誤差に起因するヘソの発生を防止することが可能となる。加えて、この方法によれば、単位除去形状の取得に際して、被加工物と同じ形状の、複雑な非球面形状をもつダミーワークを製品毎に加工準備するような方法と比較して、工数、コストを大きく削減することができる。このように、比較的容易かつ高精度な単位除去形状の取得によって、高精度かつ効率的な形状修正研磨加工が可能となる。
【実施例２】
【００４１】
図５及び図６は実施例２に係るものであり、本実施例は、図２に示す実施例１の研磨加工方法の手順における誤差形状の取得に関する部分においてのみ異なるため、重複する部分は説明を省略する。
【００４２】
加工対象である被加工物の非球面形状は、回転中心から外周部にかけての半径方向に、比較的大きな曲率半径の変化を有し、この曲率半径の変化に応じて、上述のような加工スポット形状の変化に伴い、上記半径方向に除去レートが変化する場合がある。具体的には、図５に示すように、ある所定の曲率半径を基準とする曲率半径差に伴い、曲率半径差が“０”であるときの除去レートを１とする除去レート比が変化し、曲率半径差と除去レート比が１対１の対応関係を示すことが明らかになっている。このような被加工面内の曲率半径差に伴う除去レート変化によって、滞留時間分布（データＤ４）の算出過程では、被加工面内各ポイントにおける実加工時の除去レートが反映されず、加工後の形状誤差として残存することとなる。
【００４３】
そこで、図６に示すように、このような半径方向の除去レート誤差防止するために、滞留時間分布計算に用いられる目標除去形状（データＤ３）に補正を加える。具体的には、まず、図６に示す曲率半径差に応じた除去レート比の値の逆数を、被加工面の各位置の部分曲率半径に対応させて被加工面全体に展開した分布データを、除去レート補正データ（データＤ８）として取得する（ステップＳ８）。続いて、除去レート補正データを、目標除去形状（データＤ３）に掛け合わせることにより、除去レート誤差の補正された補正目標除去形状（データＤ９）を算出する（ステップＳ９）。以下、実施例１と同様の方法で滞留時間分布を算出することによって、除去レート誤差の補正された研磨装置制御ＮＣプログラム（データＤ５）を算出することが可能となる。
【００４４】
以上の方法によれば、回転中心部においては実加工時の加工スポットと形状が一致した高精度な単位除去形状の取得によってヘソの発生が防止され、かつ、外周へ向かう周辺加工エリアにおいても形状誤差の低減された高精度な形状修正加工が可能となる。
【符号の説明】
【００４５】
８４    研磨工具
１００    被加工物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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