(57)【要約】【課題】信頼性および耐久性の高いミラー位置調整装置を提供することを課題とする。【解決手段】ミラー位置調整装置は、パルスモーターから伝達される動力によって回転するとともに、ＶＩＰＡ板などの光部品から出射された光を受光可能な受光面を有するステージを有する。また、ミラー位置調整装置は、ステージの受光面上に設けられ、ステージが回転することで移動するとともに、光部品から出射された光を反射させるミラーを有する。また、ミラー位置調整装置は、一端をステージに、他端を支持部材に接続され、受光面に対する垂線と平行になるようにステージに接続されたシャフトを有する。【選択図】図１
2011059606.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
動力源から伝達される動力によって回転するとともに、光部品から出射された光を受光可能な受光面を有する回転盤と、
前記回転盤の受光面上に設けられ、前記回転盤が回転することで移動するとともに、前記光部品から出射された光を反射させるミラーと、
一端を前記回転盤に、他端を支持部材に接続され、前記受光面に対する垂線と平行になるように前記回転盤に接続された回転軸と
を有することを特徴とするミラー位置調整装置。
【請求項２】
前記回転盤は、
前記受光面を有する受光面部と、
前記受光面部よりも前記回転軸側に配置され、球面すり合わせによって前記回転盤と前記回転軸とを固定することで前記回転盤の回転角度を調整する球面すり合わせ部と、
前記球面すり合わせ部よりも前記回転軸側に配置され、前記回転盤の回転位置を固定する位置合わせ部と
を有することを特徴とする請求項１に記載のミラー位置調整装置。
【請求項３】
前記受光面部上に配置され、前記回転盤が回転することで移動し、前記球面すり合わせ部による球面すり合わせ時に、反射される光のパワーをモニタするために利用される調整用ミラーをさらに有することを特徴とする請求項２に記載のミラー位置調整装置。
【請求項４】
前記受光面部上に配置され、前記位置合わせ部による位置合わせ時に、前記回転盤が回転しても移動しない位置に配置される調整用マークをさらに有することを特徴とする請求項２に記載のミラー位置調整装置。
【請求項５】
前記受光面部と前記球面すり合わせ部とを固定することで前記ミラーを固定するミラー固定部をさらに有することを特徴とする請求項４に記載のミラー位置調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ミラー位置調整装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光通信システムでは、利用される波長帯を分散補償する分散補償器がある。この分散補償器は、例えば、光信号がファイバを通過する間に、伝送速度の違いによって発生する波形の歪みを補償するものである。このような分散補償器は、例えば、ＷＤＭ（Wavelength  Division  Multiplexing）や、当該ＷＤＭをより高密度化した技術であり、波長の異なる複数の光信号を用いて光ファイバを多重化するＤＷＤＭ（Dense  Wavelength  Division  Multiplexing）などに利用される。
【０００３】
ここで、図５を用いて、従来技術に係る分散補償を行なう光デバイスを説明する。図５は、従来技術に係る分散補償を行なう光デバイスの例を示す図である。なお、図５では、ＶＩＰＡ（Virtually  Imaged  Phased  Array）板を用いたＶＩＰＡ型可変分散補償器を例に挙げる。
【０００４】
例えば、図５に示すように、光デバイスは、サーキュレータと、ファイバと、コリメータレンズと、ライン焦点レンズと、ＶＩＰＡ板と、集光レンズと、ミラーとを有する。このうち、サーキュレータは、例えば、複数のポートを利用し、光デバイスに入力される光信号（入力光）をファイバの一端に送出するとともに、ファイバの他端に戻された光信号を出力光として送出する。
【０００５】
ファイバは、例えば、一端がサーキュレータと接続され、他端がコリメータレンズの近傍に配置される。そして、ファイバは、コリメータレンズ方向に光ビームを出射する。コリメータレンズは、ファイバの他端から出射される光ビームを平行光に変換する。なお、コリメータレンズによって平行光に変換された光ビームは、ライン焦点レンズに与えられる。
【０００６】
ライン焦点レンズは、例えば、コリメータレンズによって与えられた平行光である光ビームを一つの線分上に集光する。なお、ライン焦点レンズによって集光される光ビームは、ＶＩＰＡ板に与えられる。ＶＩＰＡ板は、例えば、ライン焦点レンズによって与えられた光ビームを多重反射させ、干渉条件を満たす角度に波長ごとに出射する。なお、ＶＩＰＡ板によって出射される光ビームの光束は、集光レンズに与えられる。
【０００７】
また、ＶＩＰＡ板は、例えば、ミラーで反射された光ビームを多重反射させ、ファイバの他端に与える。集光レンズは、例えば、ＶＩＰＡ板によって与えられた光束それぞれを一点に集光する。なお、集光レンズによって一点に集光される光は、ミラーに与えられる。
【０００８】
ミラーは、例えば、３Ｄ（three  Dimensions）ミラーであり、集光レンズによって与えられた光を反射させてＶＩＰＡ板に与える。また、ミラーでは、当該ミラーの形状設定によって波長ごとに戻す位置が決定し、これにより特定の波長分散を持たせる。このため、ミラーの表面形状は、波長分散量を得るために、ＶＩＰＡ板からミラーにあたる光の箇所を所望の波長分散が得られるミラー形状になるように微細加工される。
【０００９】
これらにより、所望の波長分散を得るためには、ミラーへの照射位置を変更して波長分散を可変にすることを要することとなる。そこで、次に、図６を用いて、従来技術に係るミラーの反射面を動かすミラー位置調整装置を説明する。図６は、従来技術に係るミラーの反射面を動かすミラー位置調整装置の例を示す図である。
【００１０】
例えば、図６に示すように、ミラー位置調整装置は、パルスモーターと、歯車と、おくりねじと、シャフトと、ステージと、３Ｄミラーとを有する。このような構成において、ミラー位置調整装置は、例えば、パルスモーターによって発生される動力を、歯車およびおくりねじを介してステージに与える。
【００１１】
ステージは、例えば、おくりねじが回転することでｘ方向に移動する。そして、３Ｄミラーは、例えば、ステージの移動によってｘ方向に移動する。また、おくりねじと平行に配置される２本のシャフトは、３Ｄミラーのθ方向（ｘ軸方向のあおり）およびφ方向（ｙ軸方向のあおり）の回転に対する変動許容量を小さくするために利用される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開２００９−８９１９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、上述した従来技術では、ミラー位置調整装置の信頼性および耐久性が低いという課題がある。具体的に説明すると、従来技術に係るミラー位置調整装置では、おくりねじにごみや埃などが溜まることで耐久性が低くなる。また、従来技術に係るミラー位置調整装置では、あおりを抑制するための２本のシャフトそれぞれに高精密な構造が要求されるため信頼性が低くなる。加えて、従来技術に係るミラー位置調整装置は、２本のシャフトに対して高精密な構造が要求されるために、当該ミラー位置調整装置の構造が複雑化しコストが増大する。
【００１４】
そこで、本願に開示する技術は、上記に鑑みてなされたものであって、信頼性および耐久性の高いミラー位置調整装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上述した課題を解決し、目的を達成するため、本願に開示するミラー位置調整装置は、動力源から伝達される動力によって回転するとともに、光部品から出射された光を受光可能な受光面を有する回転盤を有する。また、ミラー位置調整装置は、回転盤の受光面上に設けられ、回転盤が回転することで移動するとともに、光部品から出射された光を反射させるミラーを有する。また、ミラー位置調整装置は、一端を回転盤に、他端を支持部材に接続され、受光面に対する垂線と平行になるように回転盤に接続された回転軸を有する。
【発明の効果】
【００１６】
本願に開示するミラー位置調整装置の一つの様態によれば、信頼性および耐久性の高いミラー位置調整装置を実現できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、実施例１に係るミラー位置調整装置の構成例を示す図である。
【図２】図２は、実施例１に係るステージの構成例を示す図である。
【図３】図３は、実施例２に係るミラー位置調整装置の構成例を示す平面図である。
【図４】図４は、実施例２に係るミラー位置調整装置の構成例を示す立体図である。
【図５】図５は、従来技術に係る分散補償を行なう光デバイスの例を示す図である。
【図６】図６は、従来技術に係るミラーの反射面を動かすミラー位置調整装置の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に添付図面を参照して、本願に開示するミラー位置調整装置の実施例を説明する。なお、以下の実施例により本発明が限定されるものではない。
【実施例１】
【００１９】
［実施例１に係るミラー位置調整装置の構成］
最初に、図１を用いて、実施例１に係るミラー位置調整装置の構成例を説明する。図１は、実施例１に係るミラー位置調整装置の構成例を示す図である。
【００２０】
例えば、図１に示すように、ミラー位置調整装置１００は、パルスモーター１０１と、歯車１０２と、歯車１０３と、シャフト１０４と、歯車１０５とを有する。加えて、ミラー位置調整装置１００は、ステージ１０６と、シャフト１０７と、シャフト支持部材１０８と、シャフト支持部材１０９と、ミラー１１０とを有する。また、このミラー位置調整装置１００は、例えば、ＶＩＰＡ型可変分散補償器などに含まれるとともに、ＶＩＰＡ板から出射された光を、集光レンズなどを経由して反射させ、ＶＩＰＡ板に反射光を与える装置である。
【００２１】
上記構成において、パルスモーター１０１は、例えば、パルス信号が与えられることで動作し、歯車１０２に対して動力を伝達する。歯車１０２は、例えば、パルスモーター１０１から伝達された動力によって回転し、当該歯車１０２と接する歯車１０３を回転させる。歯車１０３は、例えば、歯車１０２が回転することによって回転し、当該歯車１０３と接続されたシャフト１０４を回転させる。
【００２２】
シャフト１０４は、例えば、一端を歯車１０５に、他端をシャフト支持部材１０９に接続され、歯車１０３が回転することによって回転し、接続された歯車１０５を回転させる。また、シャフト１０４は、例えば、歯車１０５と歯車１０３との間でシャフト支持部材１０８を介しており、当該シャフト支持部材１０８およびシャフト支持部材１０９においてベアリング加工がなされている。
【００２３】
歯車１０５は、例えば、シャフト１０４が回転することによって回転し、当該歯車１０５と接するステージ１０６を回転させる。ステージ１０６は、例えば、歯車１０５が回転することによって回転する歯車であり、当該ステージ１０６と接続されたシャフト１０７を回転させる。また、ステージ１０６は、例えば、シャフト１０７とは反対側の面に、ＶＩＰＡ板などから出射された光を受光可能な受光面を有する。
【００２４】
シャフト１０７は、例えば、一端をステージ１０６に、他端をシャフト支持部材１０９に接続される。また、シャフト１０７は、例えば、ステージ１０６が回転することによって回転し、ステージ１０６の受光面に対する垂線と平行になるようにステージ１０６と接続される。また、シャフト１０７は、例えば、ステージ１０６とシャフト支持部材１０９との間でシャフト支持部材１０８を介しており、当該シャフト支持部材１０８およびシャフト支持部材１０９においてベアリング加工がなされている。
【００２５】
ミラー１１０は、例えば、ステージ１０６の受光面上に設けられており、当該ステージ１０６が回転することで移動するとともに、ＶＩＰＡ板などから出射された光を反射する。なお、ミラー１１０は、例えば、光を反射する自由曲面ミラーなどの３Ｄミラーである。
【００２６】
ところで、シャフト１０７を支持するシャフト支持部材１０８およびシャフト支持部材１０９におけるベアリング加工は、シャフト１０４にかかる支持部材におけるベアリング加工よりも精密に行なわれていることが望ましい。すなわち、シャフト１０７は、ＶＩＰＡ板などの光部品から出射された光を反射させるミラー１１０が受光面に設けられたステージ１０６と接続されており、分散補償器における所望の波長分散を得るためのミラー１１０の移動と密接に関係しているためである。換言すると、シャフト１０７にかかるベアリング加工は、所望の波長分散を得るためのミラー１１０の高精度な移動が要求されるため、より高精度に行なわれる。
【００２７】
［ステージの構成］
次に、図２を用いて、実施例１に係るステージ１０６の構成例を説明する。図２は、実施例１に係るステージ１０６の構成例を示す図である。なお、図２では、ミラー１１０の例として、自由曲面ミラー１１０を挙げて説明する。
【００２８】
例えば、図２に示すように、ステージ１０６は、受光面部１０６−１と、球面すり合わせ部１０６−２と、位置合わせ部１０６−３と、面合わせ用反射面１０６−４と、中心合わせ用マーカ１０６−５と、自由曲面ミラー固定用支持棒１０６−６とを有する。このうち、受光面部１０６−１は、例えば、ＶＩＰＡ板などから出射された光を受光可能な受光面を有し、当該受光面側には、面合わせ用反射面１０６−４と、中心合わせ用マーカ１０６−５と、自由曲面ミラー１１０とが設けられる。
【００２９】
球面すり合わせ部１０６−２は、例えば、受光面部１０６−１よりもシャフト１０７側に配置され、球面すり合わせによってステージ１０６とシャフト１０７とを固定することで、当該ステージ１０６の回転角度を調整する。位置合わせ部１０６−３は、例えば、球面すり合わせ部１０６−２よりもシャフト１０７側に配置され、ステージ１０６の回転位置を固定する。
【００３０】
面合わせ用反射面１０６−４は、例えば、受光面部１０６−１の受光面上に配置され、ステージ１０６が回転することで移動し、球面すり合わせ部１０６−２による球面すり合わせ時に、反射される光のパワーをモニタするために利用される。また、面合わせ用反射面１０６−４は、例えば、自由曲面ミラー１１０の反射面と同一平面上に配置される。
【００３１】
この面合わせ用反射面１０６−４を利用した光パワーのモニタでは、例えば、面合わせ用反射面１０６−４に光線を当てることで発生する反射光をモニタしつつ、シャフト１０７を回転させる。そして、面合わせ用反射面１０６−４を利用した光パワーのモニタでは、モニタされる反射光のパワー変動が小さくなるように球面すり合わせ部１０６−２を移動させ、ステージ１０６の回転角度が調整される。
【００３２】
中心合わせ用マーカ１０６−５は、例えば、受光面部１０６−１の受光面上に配置され、位置合わせ部１０６−３による位置合わせ時に、ステージ１０６が回転しても移動しない位置に配置される。この中心合わせ用マーカ１０６−５を利用した位置合わせでは、例えば、当該中心合わせ用マーカ１０６−５をモニタしつつ、シャフト１０７を回転させる。そして、中心合わせ用マーカ１０６−５を利用した位置合わせでは、当該中心合わせ用マーカ１０６−５の位置が変動しないように位置合わせ部１０６−３を移動させ、ステージ１０６の回転位置が調整される。
【００３３】
自由曲面ミラー固定用支持棒１０６−６は、例えば、自由曲面ミラー１１０に対してシャフト１０７側の直下に位置し、受光面部１０６−１と球面すり合わせ部１０６−２とを固定する固定用の支持棒である。
【００３４】
すなわち、図２に示したステージ１０６の組み立て工程では、例えば、面合わせ用反射面１０６−４から発生する反射光と、中心合わせ用マーカ１０６−５の回転位置とを繰り返しモニタする。そして、反射光と中心合わせ用マーカ１０６−５の回転位置との双方の変動が小さくなるように、ステージ１０６の回転角度および回転位置を調整する。なお、受光面部１０６−１と球面すり合わせ部１０６−２とは、自由曲面ミラー固定用支持棒１０６−６によって固定されている。
【００３５】
また、ステージ１０６にかかる部品の固定では、例えば、球面すり合わせ部１０６−２および位置合わせ部１０６−３をＵＶ（Ultraviolet）照射などで仮固定し、その後、球面すり合わせ部１０６−２および位置合わせ部１０６−３をレーザー溶接などで固定する。これらの結果、受光面の垂線およびシャフト１０７が平行になるとともに、自由曲面ミラー１１０の回転方向における中心線およびシャフト１０７の受光面の垂線方向における回転中心が交差する位置に中心合わせ用マーカ１０６−５が位置することとなる。
【００３６】
［実施例１による効果］
上述したように、ミラー位置調整装置は、回転角度および回転位置が高精度に調整されたステージに配置されるミラーを移動させるとともに、特に精密さが要求されるシャフトが当該ステージに接続されるシャフト１本を有する。この結果、ミラー位置調整装置１００は、おくりねじを利用することでごみや埃がたまるとともに、高精度が要求されるシャフトを２本要する従来技術と比較して、コストを削減することができるとともに、信頼性および耐久性の高いミラー位置調整装置を実現できる。また、ミラー位置調整装置は、ミラーの線熱膨張によるずれを抑制するためにミラー固定用の部材を設けているので、より信頼性の高いミラー位置調整装置を実現することができる。
【実施例２】
【００３７】
ところで、上記実施例１では、ステージを回転させるための動力を伝達するために一つの歯車を用いる場合を説明したが、当該歯車を多段に構成することもできる。そこで、以下では、歯車を多段に構成したミラー位置調整装置を説明する。
【００３８】
［実施例２に係るミラー位置調整装置の構成］
図３および図４を用いて、実施例２に係るミラー位置調整装置の構成例を説明する。図３は、実施例２に係るミラー位置調整装置の構成例を示す平面図であり、図４は、実施例２に係るミラー位置調整装置の構成例を示す立体図である。また、実施例２では、歯車を３段構成にする例を説明する。なお、図４では、図３に示したミラー位置調整装置の構成と同様の構成要素の一部について符号を省略する。
【００３９】
例えば、図３または図４に示すように、ミラー位置調整装置２００は、パルスモーター２０１と、歯車２０２と、歯車２０３と、シャフト２０４と、歯車２０５と、歯車２０６と、シャフト２０７とを有する。加えて、ミラー位置調整装置２００は、歯車２０８と、歯車２０９と、シャフト２１０と、ステージ２１１と、シャフト支持部材２１２と、シャフト支持部材２１３と、ミラー２１４とを有する。また、このミラー位置調整装置２００は、例えば、ＶＩＰＡ型可変分散補償器などに含まれるとともに、ＶＩＰＡ板から出射された光を、集光レンズなどを経由して反射させ、ＶＩＰＡ板に反射光を与える装置である。
【００４０】
上記構成において、パルスモーター２０１は、例えば、パルス信号が与えられることで動作し、歯車２０２に対して動力を伝達する。歯車２０２は、例えば、パルスモーター２０１から伝達された動力によって回転し、当該歯車２０２と接する歯車２０３を回転させる。歯車２０３は、例えば、歯車２０２が回転することによって回転し、当該歯車２０３と接続されたシャフト２０４を回転させる。
【００４１】
シャフト２０４は、例えば、一端を歯車２０３に、他端をシャフト支持部材２１２に接続され、歯車２０３が回転することによって回転し、接続された歯車２０５を回転させる。また、シャフト２０４は、例えば、接続されるシャフト支持部材２１２においてベアリング加工がなされている。
【００４２】
歯車２０５は、例えば、シャフト２０４が回転することによって回転し、当該歯車２０５と接する歯車２０６を回転させる。歯車２０６は、例えば、歯車２０５が回転することによって回転し、当該歯車２０６と接続されたシャフト２０７を回転させる。シャフト２０７は、例えば、一端を歯車２０６に、他端をシャフト支持部材２１２に接続され、歯車２０６が回転することによって回転し、接続された歯車２０８を回転させる。また、シャフト２０７は、例えば、接続されるシャフト支持部材２１２においてベアリング加工がなされている。
【００４３】
歯車２０８は、例えば、シャフト２０７が回転することによって回転し、当該歯車２０８と接する歯車２０９を回転させる。歯車２０９は、例えば、歯車２０８が回転することによって回転し、当該歯車２０９と接続されたシャフト２１０を回転させる。
【００４４】
シャフト２１０は、例えば、一端をステージ２１１に、他端をシャフト支持部材２１３に接続され、歯車２０９が回転することによって回転し、接続されたステージ２１１を回転させる。また、シャフト２１０は、例えば、ステージ２１１とシャフト支持部材２１３との間でシャフト支持部材２１２を介しており、当該シャフト支持部材２１２およびシャフト支持部材２１３においてベアリング加工がなされている。
【００４５】
ステージ２１１は、例えば、シャフト２１０が回転することによって回転する。また、ステージ２１１は、例えば、シャフト２１０とは反対側の面に、ＶＩＰＡ板などから出射された光を受光可能な受光面を有する。このステージ２１１の詳細な構成は、実施例１で記載したステージ１０６の構成と同様であるためその説明を省略する。
【００４６】
ミラー２１４は、例えば、ステージ２１１の受光面上に設けられており、当該ステージ２１１が回転することで移動するとともに、ＶＩＰＡ板などから出射された光を反射する。なお、ミラー２１４は、例えば、光を反射する自由曲面ミラーなどの３Ｄミラーである。
【００４７】
ところで、シャフト２１０を支持するシャフト支持部材２１２およびシャフト支持部材２１３におけるベアリング加工は、シャフト２０４およびシャフト２０７にかかる支持部材におけるベアリング加工よりも精密に行なわれていることが望ましい。すなわち、シャフト２１０は、ＶＩＰＡ板などの光部品から出射された光を反射させるミラー２１４が受光面に設けられたステージ２１１と接続されており、分散補償器における所望の波長分散を得るためのミラー２１４の移動と密接に関係しているためである。換言すると、シャフト２１０にかかるベアリング加工は、所望の波長分散を得るためのミラー２１４の高精度な移動が要求されるため、より高精度に行なわれる。
【００４８】
また、歯車２０３（歯車２０２）、歯車２０６（歯車２０５）および歯車２０９（歯車２０８）の関係については、例えば、歯車の歯数について「歯車２０９＞歯車２０６＞歯車２０３」の関係である。この歯車の関係では、ステージ２１１側に近傍な歯車ほど回転角が少なくなる。具体的には、「ミラー２１４の回転範囲：±１０°」、「分解能：２００ｓｔｅｐ」とすると、０．１°／ｓｔｅｐである。この例では、パルスモーター２０１の回転による歯車２０３の回転角度を２０°とすると、２００倍する必要があるため、３段の歯車の組み合わせでは歯車それぞれの回転比を６倍に設定する。なお、各歯車の大きさについては、歯車の回転角に依存する歯数の数とは関係ないため、特に限定されるものではない。
【００４９】
［実施例２による効果］
上述したように、ミラー位置調整装置は、ステージを回転させるための動力を伝達する歯車を多段構成にしたので、ステージ回転にかかる分解能を向上させることができる。
【実施例３】
【００５０】
さて、これまで本願に開示するミラー位置調整装置の実施例について説明したが、上述した実施例以外にも種々の異なる形態にて実施されてよいものである。そこで、（１）歯車、（２）各部材の形状、（３）装置の構成、において異なる実施例を説明する。
【００５１】
（１）歯車
上記実施例では、歯車を利用してステージに動力を伝達する場合を説明したが、ステージに動力を伝達可能な部材（例えば、噛み合わせ可能なベルトなど）であれば何であっても良い。
【００５２】
（２）各部材の形状
上記実施例では、シャフトの形状を円柱、回転盤の形状を円盤として図示したが、これらの形状は、例えば、シャフトの形状を角柱、回転盤の形状を多角形盤などの形状であっても良い。もちろん、これら以外の部品についても、任意に変更できるものとする。
【００５３】
（３）装置の構成
また、上記文書中や図面中などで示した処理手順、制御手順、具体的名称、各種のデータやパラメタなどを含む情報（例えば、「シャフト指示部材」などの具体的名称）については、特記する場合を除いて任意に変更することができる。
【００５４】
また、図示したミラー位置調整装置の各構成要素は、機能概念的なものであり、必ずしも物理的に図示の如く構成されていることを要しない。すなわち、各装置の分散・統合の具体的形態は、図示のものに限られず、その全部または一部を各種の負担や使用状況などに応じて、任意の単位で機能的または物理的に分散・統合することができる。例えば、上記実施例２で記載した歯車の歯数については、パルスモーターの１ｓｔｅｐあたりの回転角度によって変更され得る。
【符号の説明】
【００５５】
１００  ミラー位置調整装置
１０１  パルスモーター
１０２、１０３、１０５  歯車
１０４、１０７  シャフト
１０６  ステージ
１０６−１  受光面部
１０６−２  球面すり合わせ部
１０６−３  位置合わせ部
１０６−４  面合わせ用反射面
１０６−５  中心合わせ用マーカ
１０６−６  自由曲面ミラー固定用支持棒
１０８、１０９  シャフト支持部材
１１０  ミラー（自由曲面ミラー）
【図１】
2011059606.tif 000003
【図２】
2011059606.tif 000004
【図３】
2011059606.tif 000005
【図４】
2011059606.tif 000006
【図５】
2011059606.tif 000007
【図６】
2011059606.tif 000008