(57)【要約】【課題】製造効率の向上とコスト削減を図ることができると共に、トランス等のコイルを備える機器の薄型化、小型化を図ることができるフレキシブルプリント配線板、該フレキシブルプリント配線板を用いたコイル及び前記フレキシブルプリント配線板を用いたトランスの提供を課題とする。【解決手段】基板１０上に、コイル形成用の導体ライン２０（２１、２２、２３）を直線状に設けると共に、該導体ライン２０に連続して、コイル端子部を形成するための引き出しライン２１ａ、２２ａ、２３ａを、前記導体ライン２０の両端から前記基板１０の端部まで延長して設けてあるフレキシブルプリント配線板１である。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に、コイル形成用の導体ラインを直線状に設けると共に、該導体ラインに連続して、コイル端子部を形成するための引き出しラインを、前記導体ラインの両端から前記基板の端部まで延長して設けてあることを特徴とするフレキシブルプリント配線板。
【請求項２】
前記フレキシブルプリント配線板を、同心状に巻回して、前記導体ラインをコイル形状として用いることを特徴とする請求項１に記載のフレキシブルプリント配線板。
【請求項３】
前記導体ラインは、複数本からなると共に、前記フレキシブルプリント配線板を、同心状に巻回した状態でケース内に配置することで、前記導体ラインをトランスの１次コイルと２次コイルとして用いることを特徴とする請求項１に記載のフレキシブルプリント配線板。
【請求項４】
請求項１に記載のフレキシブルプリント配線板を、同心状に巻回して、前記導体ラインによるコイルを形成してあることを特徴とするコイル。
【請求項５】
前記導体ラインは、複数本からなることを特徴とする請求項４に記載のコイル。
【請求項６】
前記導体ラインは、基板の表裏両面に形成されていることを特徴とする請求項４又は５に記載のコイル。
【請求項７】
請求項１に記載のフレキシブルプリント配線板を、同心状に巻回した状態でケース内に配置することで、前記導体ラインを１次コイルと２次コイルとしてあることを特徴とするトランス。
【請求項８】
前記導体ラインは、複数本からなることを特徴とする請求項７に記載のトランス。
【請求項９】
前記導体ラインは、基板の表裏両面に形成されていることを特徴とする請求項７又は８に記載のトランス。
【請求項１０】
前記フレキシブルプリント配線板を、磁心に巻回してあることを特徴とする請求項７〜９の何れか１項に記載のトランス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フレキシブルプリント配線板、該フレキシブルプリント配線板を用いたコイル及び前記フレキシブルプリント配線板を用いたトランスに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＭＯＳＦＥＴ等のスイッチング素子をゲートドライブする絶縁回路として、従来より、パルストランスが用いられている。
パルストランス等のトランスは、ＥＥ型コアやＥＩ型コアに絶縁物を介してコイルを巻回した構造のものが一般的である。またその製造工程においては、１次コイルと２次コイルとを、それぞれコアに巻き付けるものが一般的である。
近年、電子機器の小型化に対する要求に伴い、トランスにも小型化が要求されている。
しかしながら、既述したＥＥ型コアやＥＩ型コアに絶縁物を介してコイルを巻回した構造のトランスでは、小型化に限界があると共に、１次コイルと２次コイルとをそれぞれコアに巻き付ける工程が必要となり、製造工程が複雑となることから、小型化を可能とすると共に、製造効率の良いトランスの開発が課題となっている。
コアにコイルを巻回した構造を備えるパルストランスに関する従来技術として、例えば下記特許文献１がある。
またＥＥ型コアにコイルを巻回した構造を備えるトランスとして、特願２００９−２１３５５２号がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平９−３３０８２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１は、パルストランスに関する発明で、線材価格の上昇を招くことなく、コイルの巻回工程を簡単化する技術が開示されている。
また上記特願２００９−２１３５５２号は、トランス、スイッチング装置、コンバータに関する発明で、コンバータの大型化を防止することができると共に、部品点数を増加させることがなく、スイッチング損失を低減できるトランス、該トランスと接続してなるスイッチング装置、及び該スイッチング装置を用いたコンバータに関する技術が開示されている。
しかしながら、上記特許文献１及び特願２００９−２１３５５２号に示すトランスは、何れもコアにコイルを巻回した構造のトランスで、トランスの小型化を前提としていなかった。また１次コイルと２次コイルとをそれぞれコアに巻回する工程が必要であった。
【０００５】
そこで本発明は上記従来における問題点を解決し、製造効率の向上とコスト削減を図ることができると共に、トランス等のコイルを備える機器の薄型化、小型化を図ることができるフレキシブルプリント配線板、該フレキシブルプリント配線板を用いたコイル及び前記フレキシブルプリント配線板を用いたトランスの提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のフレキシブルプリント配線板は、基板上に、コイル形成用の導体ラインを直線状に設けると共に、該導体ラインに連続して、コイル端子部を形成するための引き出しラインを、前記導体ラインの両端から前記基板の端部まで延長して設けてあることを第１の特徴としている。
【０００７】
上記本発明の第１の特徴によれば、フレキシブルプリント配線板は、基板上に、コイル形成用の導体ラインを直線状に設けると共に、該導体ラインに連続して、コイル端子部を形成するための引き出しラインを、前記導体ラインの両端から前記基板の端部まで延長して設けてあることから、屈曲容易なコイル形成用の導体ライン及び引き出しラインとすることができる。
【０００８】
また本発明のフレキシブルプリント配線板は、上記本発明の第１の特徴に加えて、前記フレキシブルプリント配線板を、同心状に巻回して、前記導体ラインをコイル形状として用いることを第２の特徴としている。
【０００９】
上記本発明の第２の特徴によれば、上記本発明の第１の特徴による作用効果に加えて、前記フレキシブルプリント配線板を、同心状に巻回して、前記導体ラインをコイル形状として用いることから、フレキシブルプリント配線板をコイルとして用いることができる。
またシート状のフレキシブルプリント配線板を同心状に巻回するだけで、複数ターンからなるコイルを容易に形成することができる。
またフレキシブルプリント配線板は、屈曲性を備えることから、巻回作業を容易に行うことができ、フレキシブルプリント配線板を製造容易なコイルとして用いることができる。
【００１０】
また本発明のフレキシブルプリント配線板は、上記本発明の第１の特徴に加えて、前記導体ラインは、複数本からなると共に、前記フレキシブルプリント配線板を、同心状に巻回した状態でケース内に配置することで、前記導体ラインをトランスの１次コイルと２次コイルとして用いることを第３の特徴としている。
【００１１】
上記本発明の第３の特徴によれば、上記本発明の第１の特徴による作用効果に加えて、前記導体ラインは、複数本からなると共に、前記フレキシブルプリント配線板を、同心状に巻回した状態でケース内に配置することで、前記導体ラインをトランスの１次コイルと２次コイルとして用いることから、フレキシブルプリント配線板をトランスの１次コイルと２次コイルとして用いることができる。また１枚のフレキシブルプリント配線板に複数本の導体ラインを形成することで、１回の巻回作業で複数本のコイルを同時に形成することができるため、製造効率の向上とコスト削減を図ることができる。更に複数本のコイルの長さ、線厚、線幅に変化をもたせるだけで、ターン数、電圧比の異なる１次コイル、２次コイルを形成することができる。よってフレキシブルプリント配線板を製造効率の良いトランスの１次コイル、２次コイルとして用いることができる。
またフレキシブルプリント配線板は、屈曲性を備えることから、巻回作業を容易に行うことができ、フレキシブルプリント配線板を製造効率の良いトランス用コイルとして用いることができる。
【００１２】
また本発明のコイルは、上記本発明の第１の特徴に記載のフレキシブルプリント配線板を、同心状に巻回して、前記導体ラインによるコイルを形成してあることを第４の特徴としている。
【００１３】
上記本発明の第４の特徴によれば、コイルは、上記本発明の第１の特徴に記載のフレキシブルプリント配線板を、同心状に巻回して、前記導体ラインによるコイルを形成してあることから、製造効率の向上とコスト削減を図ることができると共に、薄型化、小型化を図ることができるコイルとすることができる。
【００１４】
また本発明のコイルは、上記本発明の第４の特徴に加えて、前記導体ラインは、複数本からなることを第５の特徴としている。
【００１５】
上記本発明の第５の特徴によれば、上記本発明の第４の特徴による作用効果に加えて、前記導体ラインは、複数本からなることから、１枚のフレキシブルプリント配線板に形成される導体ラインの内、最大ターン数分を同心状に巻回するだけで、複数ターンからなる、複数本のコイルを同時に形成することができる。よって線材を巻回することで複数本のコイルを形成する場合に比べ、巻回作業を簡素化することができる。また直線状の導体ラインの長さ、線厚、線幅を変えるだけで、ターン数、電圧比の異なるコイルを同時に形成することができる。よって製造効率の向上とコスト削減を図ることができるコイルとすることができる。
また複数本の導体ラインに間隔を設けるだけで、コイル間の絶縁を確保することができる。よってコイルをトランス等の機器に用いる場合、コイル間の絶縁を確保するための処理を設ける必要がない。よってトランス等のコイルを用いる機器の製造効率の向上とコスト削減を図ることができるコイルとすることができる。
【００１６】
また本発明のコイルは、上記本発明の第４又は第５の特徴に加えて、前記導体ラインは、基板の表裏両面に形成されていることを第６の特徴としている。
【００１７】
上記本発明の第６の特徴によれば、上記本発明の第４又は第５の特徴による作用効果に加えて、前記導体ラインは、基板の表裏両面に形成されていることから、１枚のフレキシブルプリント配線板で、複数層のコイルを容易に形成することができる。
またターン数が同じコイルを形成する場合であっても、導体ラインを基板の表裏に形成することで、コイルの交差を防止することができる。よって製造効率の良いコイルとすることができる。
【００１８】
また本発明のトランスは、上記本発明の第１の特徴に記載のフレキシブルプリント配線板を、同心状に巻回した状態でケース内に配置することで、前記導体ラインを１次コイルと２次コイルとしてあることを第７の特徴としている。
【００１９】
上記本発明の第７の特徴によれば、トランスは、上記本発明の第１の特徴に記載のフレキシブルプリント配線板を、同心状に巻回した状態でケース内に配置することで、前記導体ラインを１次コイルと２次コイルとしてあることから、製造効率の向上とコスト削減を図ることができると共に、薄型化、小型化を図ることができるトランスとすることができる。
【００２０】
また本発明のトランスは、上記本発明の第７の特徴に加えて、前記導体ラインは、複数本からなることを第８の特徴としている。
【００２１】
上記本発明の第８の特徴によれば、上記本発明の第７の特徴による作用効果に加えて、前記導体ラインは、複数本からなることから、１枚のフレキシブルプリント配線板に形成される導体ラインの内、最大ターン数分を同心状に巻回するだけで、トランスの１次コイルと２次コイルとを同時に形成することができる。よって線材を巻回することで複数本のコイルを形成する場合に比べ、巻回作業を簡素化することができる。また直線状の導体ラインの長さ、線厚、線幅を変えるだけで、１次コイルと２次コイルとのターン数、電圧比の異なる１次コイル、２次コイルを容易に形成することができる。よって製造効率の向上とコスト削減を図ることができるトランスとすることができる。
また複数本の導体ラインに間隔を設けるだけで、コイル間の絶縁を確保することができる。よってコイル間の絶縁を確保するための処理を設ける必要がない。よって製造効率の向上とコスト削減を図ることができるトランスとすることができる。
【００２２】
また本発明のトランスは、上記本発明の第７又は第８の特徴に加えて、前記導体ラインは、基板の表裏両面に形成されていることを第９の特徴としている。
【００２３】
上記本発明の第９の特徴によれば、上記本発明の第７又は第８の特徴による作用効果に加えて、前記導体ラインは、基板の表裏両面に形成されていることから、１枚のフレキシブルプリント配線板で、複数層のコイルを容易に形成することができる。
またターン数が同じコイルを形成する場合であっても、導体ラインを基板の表裏に形成することで、コイルの交差を防止することができる。よって製造効率の良いトランスとすることができる。
【００２４】
また本発明のトランスは、上記本発明の第７〜第９の何れか１つに記載の特徴に加えて、前記フレキシブルプリント配線板を、磁心に巻回してあることを第１０の特徴としている。
【００２５】
上記本発明の第１０の特徴によれば、上記本発明の第７〜第９の何れか１つに記載の特徴による作用効果に加えて、前記フレキシブルプリント配線板を、磁心に巻回してあることから、磁心を高透磁率磁性体で形成することで、低損失なトランスとすることができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明のフレキシブルプリント配線板、該フレキシブルプリント配線板を用いたコイル及び前記フレキシブルプリント配線板を用いたトランスによれば、トランス等のコイルを備える機器の薄型化、小型化を実現できると共に、製造効率の良いフレキシブルプリント配線板、該フレキシブルプリント配線板を用いたコイル及び前記フレキシブルプリント配線板を用いたトランスとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施形態に係るフレキシブルプリント配線板を示す図で、（ａ）は平面図、（ｂ）は底面図、（ｃ）は導体ラインの正面図である。
【図２】本発明の実施形態に係るコイルを簡略化して示す平面図である。
【図３】本発明の実施形態に係るトランスを示す図で、（ａ）は正面図、（ｂ）は背面図である。
【図４】本発明の実施形態に係るフレキシブルプリント配線板の変形例を示す図で、（ａ）は導体ラインの平面図、（ｂ）は導体ラインの正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２８】
以下、図１〜図３を参照して、本発明に係るフレキシブルプリント配線板、該フレキシブルプリント配線板を用いたコイル及び前記フレキシブルプリント配線板を用いたトランスを説明し、本発明の理解に供する。しかし、以下の説明は本発明の特許請求の範囲に記載の発明を限定するものではない。
【００２９】
まず図１、図２を参照して、本発明に係るフレキシブルプリント配線板及びフレキシブルプリント配線板を用いたコイルを説明する。
本発明に係るフレキシブルプリント配線板１は、基板上に、コイル形成用の導体ラインとコイル端子部を設けてあるフレキシブルプリント配線板である。
【００３０】
このフレキシブルプリント配線板１は、図１（ａ）に示すように、基板１０と、導体ライン２０とから構成される。
【００３１】
前記基板１０は、フレキシブルプリント配線板１の基板となる絶縁基板である。
なお絶縁基板としては、ポリイミドを用いることができる。勿論、ポリイミドに限るものではなく、エポキシ樹脂、フェノール樹脂等、フレキシブルプリント配線板を形成する絶縁基板として通常用いられるものであれば如何なるものであってもよい。
【００３２】
前記導体ライン２０は、フレキシブルプリント配線板１における配線回路たるコイル形成用の導電体である。
【００３３】
この導体ライン２０は、図１（ａ）、図１（ｂ）に示すように、直線状に形成される第１導体ライン２１と、第２導体ライン２２と、第３導体ライン２３とから構成される。
なお、第２導体ライン２２と第３導体ライン２３とは、同一幅、同一長の導体ラインである。
また図１（ａ）、図１（ｂ）に示すように、第１導体ライン２１と第２導体ライン２２とは、基板１０の表側面１０ａに形成されると共に、第３導体ライン２３は、基板１０の裏側面１０ｂに形成されている。
【００３４】
このように１枚のフレキシブルプリント配線板１の表裏両面に、直線状からなるコイル形成用の導体ライン２０を複数本形成する構成とすることで、１枚のフレキシブルプリント配線板１を同心状に巻回するだけで、図２に示すように、フレキシブルプリント配線板１で、複数本、複数層からなるコイル３０を容易に形成することができる。
よって線材を巻回することで複数本のコイルを形成する場合に比べ、巻回作業を簡素化することができる。
また直線状の導体ライン２０の長さ、線厚Ｐ、線幅Ｑを変えるだけで、ターン数、電圧比の異なる複数本のコイルを容易に形成することができる。
また同一幅、同一長からなる第２導体ライン２２と、第３導体ライン２３とを、基板１０の表裏に形成する構成とすることで、同一長からなる導体ライン２０の交差を防止することができると共に、別途絶縁処理を施すことなく、第２導体ライン２２、第３導体ライン２３間の絶縁を容易に確保することができる。
よって製造効率の向上とコスト削減を図ることができると共に、薄型化、小型化を図ることができるコイル３０とすることができる。
【００３５】
なお図２におけるコイル３０は、基板１０の表側面１０ａが外側になるようにフレキシブルプリント配線板１を巻回した場合を例示的に示すものである。
【００３６】
更に図１（ａ）、図１（ｂ）に示すように、同一面に形成される第１導体ライン２１と第２導体ライン２２とは、一定の間隔を設けて形成してある。このような構成とすることで、別途絶縁処理を施すことなく、第１導体ライン２１、第２導体ライン２２間の絶縁を容易に確保することができる。
よって製造効率の向上とコスト削減を図ることができるコイル３０とすることができる。
【００３７】
なお図１（ｃ）に示す、導体ライン２０の線厚Ｐと、線幅Ｑとの比は、少なくとも０．５〜１．５程度とすることが望ましい。より好適には０．９〜１．１程度とすることが望ましい。このような構成とすることで、導体ライン２０の表皮効果（特に高周波数における）を小さくすることができる。よってフレキシブルプリント配線板１を、漏れ磁束を効果的に防止することができるコイル３０とすることができる。
【００３８】
また図１（ａ）、図１（ｂ）に示すように、第１導体ライン２１と、第２導体ライン２２と、第３導体ライン２３とには、それぞれの導体ラインに連続して、コイル端子部を形成するための引き出しライン２１ａ、２２ａ、２３ａを、導体ラインの両端から基板１０の端部まで延長して設けてある。
【００３９】
なお導体ライン２０を形成する導電体としては、銅を用いることができる。
また導体ライン２０は、スクリーン印刷等のパターン印刷により形成することができる。勿論、導体ライン２０の形成方法としては、パターン印刷に限るものではなく、電気銅めっき等、フレキシブルプリント配線板の配線回路を形成する方法として通常用いられるものであれば、如何なる方法であってもよいが、パターン印刷を用いることが望ましい。
また導体ライン２０の線厚Ｐは０．２ｍｍ〜０．４ｍｍ程度とすることが望ましく、線幅Ｑは０．２ｍｍ〜０．４ｍｍ程度とすることが望ましい。
【００４０】
また本実施形態においては、１枚のフレキシブルプリント配線板１の表側面に２本、裏側面に１本の導体ラインを形成する構成としたが、必ずしもこのような構成に限るものではなく、１枚のフレキシブルプリント配線板に形成する導体ライン２０の数は、１本以上であれば適宜変更可能である。
また導体ライン２０の長さ、線厚Ｐ、線幅Ｑ、基板１０上における配置位置等も本実施形態のものに限るものではなく、適宜変更可能である。
【００４１】
次に図１、図３を参照して、本発明に係るフレキシブルプリント配線板１を用いたトランス１００を説明する。
【００４２】
前記トランス１００は、磁心を備えたパルストランスであり、図１に示すフレキシブルプリント配線板１に形成される導体ライン２０を１次コイルと２次コイルとして用いてあるものである。
このトランス１００は、図３に示すように、主として磁心１１０と、ボビン１２０と、フレキシブルプリント配線板１とから構成される。
【００４３】
前記磁心１１０は、フェライト等の高透磁率磁性体からなる、いわゆるＥ型コア１１１と、Ｉ型コア１１２とで形成されている。
【００４４】
前記ボビン１２０は、フレキシブルプリント配線板１を巻き付けて、磁心１１０に取り付けるためのものである。
フレキシブルプリント配線板１をボビン１２０に巻き付けた状態で、磁心１１０に取り付け、図示しないケース内に配置することで、導体ライン２０をトランス１００の１次コイル、２次コイルとすることができる。
より具体的には、図３に示すように、フレキシブルプリント配線板１をボビン１２０に巻き付けた状態で、Ｅ型コア１１１に取り付け、Ｉ型コア１１２と一体化することで、第１導体ライン２１を１次コイルとし、第２導体ライン２２及び第３導体ライン２３を２次コイルとしてある。
【００４５】
このようにフレキシブルプリント配線板１を用いたトランス１００は、以下の効果を有する。
最大ターン数を形成することとなる第２導体ライン２２（又は第３導体ライン２３）に合わせて、同心状にボビン１２０に巻回し、磁心１１０に取り付けるだけで、トランス１００の１次コイルと２次コイルとを同時に形成することができる。よって線材を巻回して１次コイルと２次コイルとを形成する場合に比べ、巻回作業を簡素化することができる。
また直線状の導体ライン２０の長さ、線厚Ｐ、線幅Ｑを変えるだけで、ターン数、電圧比の異なる１次コイル、２次コイルを容易に形成することができる。
よって製造効率の向上とコスト削減を図ることができると共に、薄型化、小型化を図ることができるトランス１００とすることができる。
【００４６】
また第１導体ライン２１と第２導体ライン２２とは、一定の間隔を設けて基板１０の表側面１０ａに形成されると共に、第３導体ライン２３は、基板１０の裏側面１０ｂに形成されていることから、第１コイル、第２コイルを形成する各導体ライン２１、２２、２３間の絶縁を容易に確保することができる。つまり各導体ライン２１、２２、２３間に絶縁テープ等の絶縁処理を別途施す必要がない。
また同一長（ターン数が同じになる）の導体ライン２０をトランス１００のコイルとして用いる場合であっても、基板１０の表裏に形成することで、導体ライン２０の交差を容易に防止することができる。
よって製造効率の向上とコスト削減を図ることができると共に、薄型化、小型化を図ることができるトランス１００とすることができる。
【００４７】
またボビン１２０を介して、高透磁率磁性体からなる磁心１１０にフレキシブルプリント配線板１を巻回する構成とすることで、低損失なトランス１００とすることができる。
なお図３に示すように、第１導体ライン２１、第２導体ライン２２、第３導体ライン２３は、それぞれのコイル端子部を形成する引き出しライン２１ａ、２２ａ、２３ａにより、外部配線との電気接続が行われる。
【００４８】
なおトランス１００に流す電流値としては、１Ａ程度とすることが望ましい。
また本実施形態においては、トランス１００の１次コイルを１本、２次コイルを２本とする構成としたが、必ずしもこのような構成に限るものではなく、１次コイル及び２次コイルの数、ターン数等は、適宜変更可能である。
【００４９】
次に図４を参照して、本発明の実施形態に係るフレキシブルプリント配線板１の変形例を説明する。
本変形例は、フレキシブルプリント配線板１に形成する導体ラインの構成を変化させたものである。その他の構成については、既述した本発明の実施形態と同一である。同一部材、同一機能を果たすものには、同一番号を付し、以下の説明を省略する。
なお第２導体ライン２２、第３導体ライン２３も第１導体ライン２１と同様な構成であることから、図４においては、第１導体ライン２１のみを示すものとする。
【００５０】
図４に示すように、第１導体ライン２１には、スリットＲを形成してある。
このような構成とすることで、導体ライン２０の線幅Ｑを幅広な構成とした場合でも、導体ライン２０の線厚Ｐと線幅Ｑ（スリットＲの幅を除いた、Ｑ１＋Ｑ２）との比を１．０程度に近づけることができる。よって導体ライン２０の表皮効果（特に高周波数における）を小さくすることができ、フレキシブルプリント配線板１を、漏れ磁束を効果的に防止することができるコイルとして用いることができる。
またスリットＲを形成することで、１本の導体ライン２０を、２本に分けることができる。よって一段と製造効率の良いコイルとしてフレキシブルプリント配線板１を用いることができる。
なお導体ライン２０に形成するスリットの数、形状等は、本実施形態のものに限る必要はなく、適宜変更可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明はトランス等のコイルを備える機器用のフレキシブルプリント配線板、該フレキシブルプリント配線板を用いたコイル、前記フレキシブルプリント配線板を備えるトランスとして利用することができる。
【符号の説明】
【００５２】
１            フレキシブルプリント配線板
１０          基板
１０ａ        表側面
１０ｂ        裏側面
２０          導体ライン
２１          第１導体ライン
２１ａ        引き出しライン
２２          第２導体ライン
２２ａ        引き出しライン
２３          第３導体ライン
２３ａ        引き出しライン
３０          コイル
１００        トランス
１１０        磁心
１１１        Ｅ型コア
１１２        Ｉ型コア
１２０        ボビン
Ｐ            線厚
Ｑ            線幅
Ｒ            スリット
【図１】
2011192711.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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