(57)【要約】【課題】搬送テーブルに設けられた各連通溝内に混入する異物を容易に除去すること。【解決手段】ワーク搬送装置１Ａはテーブルベース１と、テーブルベース１上に回転自在に設けられ外周にワークＷを収納する複数のワーク収納孔４を有する搬送テーブル２とを備えている。搬送テーブル２のテーブルベース１側の面に各ワーク収納孔４から半径方向内方へ向かって延びる連通溝８が形成されている。各連通溝８はワーク収納孔４側に底面をもち搬送テーブル２の半径方向内方側に頂点８ｙをもつ三角錐形状を有する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テーブルベースと、
テーブルベース上に回転自在に配置され、外周にワークを収納する複数のワーク収納孔を有する円形の搬送テーブルとを備え、
搬送テーブルのテーブルベース側の面に、各ワーク収納孔から半径方向内方へ向かって延びる連通溝が形成され、
各連通溝はワーク収納孔側に底面をもち、搬送テーブルの半径方向内方側に頂点をもつ三角錐形状を有することを特徴とするワーク搬送装置。
【請求項２】
各連通溝は、搬送テーブル上の２側面と、開口する側面とを有することを特徴とする請求項１記載のワーク搬送装置。
【請求項３】
各連通溝の頂点は、搬送テーブルのテーブルベース側の面上にあることを特徴とする請求項１記載のワーク搬送装置。
【請求項４】
テーブルベースの搬送テーブル側の面に、各連通溝に連通する複数の凹部を設けたことを特徴とする請求項１記載のワーク搬送装置。
【請求項５】
テーブルベースの一の凹部は、圧縮エア機構に連通することを特徴とする請求項３記載のワーク搬送装置。
【請求項６】
テーブルベースの他の凹部は、真空機構に連通することを特徴とする請求項３記載のワーク搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はチップ形電子部品等のワークを搬送するとともに連通溝を有するワーク搬送装置に係り、とりわけ連通溝内に溜まる異物を容易に排出することができるワーク搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、チップ形電子部品等のワークを搬送するワーク搬送装置として、テーブルベースと、テーブルベース上に回転自在に配置され外周にワークを収納する複数のワーク収納孔を有する円形の搬送テーブルとを備えたものが知られている。
【０００３】
このようなワーク搬送装置において、搬送テーブルのテーブルベース側の面に各ワーク収納孔から半径方向内方へ延びる連通溝が形成されている。
【０００４】
またテーブルベースには、搬送テーブルに設けられた連通溝に連通する圧縮エア機構または真空機構が連結されている。
【０００５】
このようなワーク搬送装置において、ワークが搬送テーブルのワーク収納孔に収納され、ワーク収納孔内のワークは連通溝に連通する真空機構により吸着保持される。このように真空機構により吸着保持されたワークは、搬送テーブルの回転に伴って搬送される。
【０００６】
ところで、ワーク搬送中に連通溝内に異物が混入することがある。このような連通溝内の異物を除去するため、搬送テーブルの連通溝を圧縮エア機構に連通させ、圧縮エア機構から送られる圧縮エアにより連通溝内の異物を除去している。
【０００７】
しかしながら、圧縮エア機構からの圧縮エアによって搬送テーブルの連通溝内に混入した異物を除去することは容易ではなく、連通溝内に異物が残ってしまい、この場合はその後のワークの吸着時に真空機構によりワークを十分に吸着できないことも考えられる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、ワークの搬送中に搬送テーブルの連通溝内に混入する異物を容易かつ確実に除去することができるワーク搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、テーブルベースと、テーブルベース上に回転自在に配置され、外周にワークを収納する複数のワーク収納孔を有する円形の搬送テーブルとを備え、搬送テーブルのテーブルベース側の面に、各ワーク収納孔から半径方向内方へ向かって延びる連通溝が形成され、各連通溝はワーク収納孔側に底面をもち、搬送テーブルの半径方向内方側に頂点をもつ三角錐形状を有することを特徴とするワーク搬送装置である。
【００１０】
本発明は、各連通溝は、搬送テーブル上の２側面と、開口する側面とを有することを特徴とするワーク搬送装置である。
【００１１】
本発明は、各連通溝の頂点は、搬送テーブルのテーブルベース側の面上にあることを特徴とするワーク搬送装置である。
【００１２】
本発明は、テーブルベースの搬送テーブル側の面に、各連通溝に連通する複数の凹部を設けたことを特徴とするワーク搬送装置である。
【００１３】
本発明は、テーブルベースの一の凹部は、圧縮エア機構に連通することを特徴とするワーク搬送装置である。
【００１４】
本発明は、テーブルベースの他の凹部は、真空機構に連通することを特徴とするワーク搬送装置である。
【発明の効果】
【００１５】
以上のように本発明によれば、搬送テーブルに各ワーク収納孔から半径方向内方へ延びる連通溝が設けられ、この連通溝はワーク収納孔側に底面をもち、搬送テーブルの半径方向内方側に頂点をもつ三角錐形状を有するので、連通溝内の異物を半径方向外方に向かう圧縮エア噴出により容易に、しかも確実に排出できるようにする効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図１は本発明によるワーク搬送装置を示す外観図。
【図２】図２（ａ）はワークが収納されていないワーク収納孔の拡大図、図２（ｂ）はワークが収納されたワーク収納孔の拡大図。
【図３】図３は搬送テーブルを取り外したときのテーブルベースの表面を示す外観図。
【図４】図４はテーブルベースに設けられた真空通路および分岐通路を示す拡大図。
【図５】図５はテーブルベースに設けられた圧縮エア噴出口および圧縮エア通路を示す拡大図。
【図６】図６は搬送テーブルの裏面を示す図。
【図７】図７はワーク収納孔と連通溝を示す拡大図。
【図８】図８は図１における矢印Ｂ方向からみた透視図。
【図９】図９は図１、図３および図６における領域Ｒの拡大透視図。
【図１０】図１０は図９におけるＸ−Ｘ’矢視図。
【図１１】図１１は図１、図３における領域Ｓの拡大透視図。
【図１２】図１２は図１１におけるＹ−Ｙ’矢視図。
【図１３】図１３は図９において連通溝内に異物が混入した状態を示す図。
【図１４】図１４は図１０において連通溝内に異物が混入した状態を示す図。
【図１５】図１５は図１１において連通溝内に異物が混入した状態を示す図。
【図１６】図１６は図１２において連通溝内に異物が混入した状態を示す図。
【図１７】図１７は比較例としてのワーク搬送装置の外観図。
【図１８】図１８は比較例としてのワーク収納孔の拡大図。
【図１９】図１９は比較例としての搬送テーブルを取り外したときのテーブルベースの表面を示す外観図。
【図２０】図２０は比較例としての真空通路および分岐通路の拡大図。
【図２１】図２１は比較例としての圧縮エア噴出口の拡大図。
【図２２】図２２は比較例としての搬送テーブルの裏面を示す図。
【図２３】図２３は比較例としてのワーク収納孔と連通溝の拡大図。
【図２４】図２４は図１７における矢印Ｂ方向からの透視図。
【図２５】図２５は図１７、図１９および図２２における領域Ｒの拡大透視図。
【図２６】図２６は図２５におけるＸ−Ｘ’矢視図。
【図２７】図２７は図１７および図１９における領域Ｓ’の拡大透視図。
【図２８】図２８は図２７におけるＹ−Ｙ’矢視図。
【図２９】図２９は図２５において連通溝内に異物が混入した状態を示す図。
【図３０】図３０は図２６において連通溝内に異物が混入した状態を示す図。
【図３１】図３１は図２７において連通溝内に異物が混入した状態を示す図。
【図３２】図３２は図２８において連通溝内に異物が混入した状態を示す図。
【図３３】図３３（ａ）（ｂ）は本発明のワーク搬送装置の変形例を示すワーク収納孔の拡大図。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００１８】
図１乃至図１６は本発明によるワーク搬送装置の一実施の形態を示す図である。
【００１９】
図１乃至図３に示すように、ワーク搬送装置１Ａは垂直方向に配置されたテーブルベース１と、テーブルベース１上に回転自在に配置され外周にワークＷを収納する複数のワーク収納孔４を有する円形の搬送テーブル２とを備えている。
【００２０】
また搬送テーブル２のテーブルベース１側の裏面２ａに、各ワーク収納孔４から半径方向内方へ向かって延びる細長状の連通溝８が形成されている（図６参照）。
【００２１】
ここで図２（ａ）に示すように、搬送テーブル２のワーク収納孔４は搬送テーブル２を直交する方向からみた場合にＶ字形状を有している。
【００２２】
また図１に示すように、搬送テーブル２は、図示されない駆動機構の作用により中心軸３の周囲に時計まわり（矢印Ａの方向）に間歇回転する。また搬送テーブル２のワーク収納孔４は連通溝８によって真空機構６Ａに連通され、真空機構６Ａによる真空吸引によってワークＷを吸着保持する（図８参照）。
【００２３】
ここで図１の領域Ｐにおけるワーク収納孔４の拡大図を図２（ａ）に示す。また、ワーク収納孔４によりワークＷが吸着保持されている様子を図２（ｂ）に示す。
【００２４】
図２（ａ）に示すように、搬送テーブル２のワーク収納孔４は搬送テーブル２の外側に向けて開口し、その形状はＶ字形となっている。ワーク収納孔４のうち、テーブルベース１側の面には連通溝８の開口部８ｘが開口しており、開口部８ｘの形状は三角形となっている。
【００２５】
この開口部８ｘは上述した真空機構６Ａに連通し、ワーク収納孔４の真空吸引によりワークＷが吸着保持される。
【００２６】
ワーク収納孔４がワークＷを吸着保持している様子を、図２（ｂ）に示す。図２（ｂ）において、ワークＷの形状は６面体となっており、長手方向両端に電極Ｗａ，Ｗｂを有する。ワークＷは長手方向が搬送テーブル２の厚さ方向に沿うように、ワーク収納孔４に吸着保持される。
【００２７】
搬送テーブル２を取り外したときのテーブルベース１の搬送テーブル２側の表面１ａの外観を図３に示す。図３において、二点鎖線Ｔは搬送テーブル２の外形を表す。テーブルベース１の表面１ａには、搬送テーブル２の外形Ｔよりも内側に円弧形状の溝として形成された真空通路５が設けられている。
【００２８】
テーブルベース１の表面１ａに形成された真空通路５は、中心軸３の半径方向内方に向かって延びる５つの分岐通路５ａを有し、各分岐通路５ａはテーブルベース１内に形成された円形の吸引孔６に接続される。吸引孔６はテーブルベース１を貫通して、真空機構６Ａに連通している。
【００２９】
ここで図４により、図３の領域Ｑにおける真空通路５と分岐通路５ａの拡大図を示す。図４に示すように、真空通路５および分岐通路５ａは、テーブルベース１の表面１ａに凹部状に形成されている。
【００３０】
また、図３に示すように、テーブルベース１の表面１ａには、真空通路５が形成する円弧をその一部とする仮想円５ｘの円周上に圧縮エア噴出口７が形成されている。圧縮エア噴出口７はテーブルベース１を貫通して、圧縮エア機構７Ａに連通している（図１２参照）。また、圧縮エア噴出口７からテーブルベース１の表面１ａにおける搬送テーブル２の外形Ｔまでの部分には、圧縮エア通路７ａが形成されている。
【００３１】
ここで図３の領域Ｓにおける、圧縮エア噴出口７および圧縮エア通路７ａの拡大図を図５に示す。図５に示すように、圧縮エア通路７ａはテーブルベース１の表面１ａに対して凹部状に形成されている。
【００３２】
図６は搬送テーブル２の裏面２ａを示す図である。図６に示すように、搬送テーブル２の裏面２ａには、上述のように各ワーク収納孔４から搬送テーブル２の中心３ａに向かって半径方向内方へ延びる連通溝８が形成されている。ここで搬送テーブル２の中心３ａは、図１に示す搬送テーブル２の中心軸３に一致している。
【００３３】
次にワーク収納孔４と連通溝８の拡大図を図７に示す。図７は図６における領域Ｒを、搬送テーブル２の裏面２ａを上に向けて矢印Ｃ方向からみた斜視図である。図７に示すように、連通溝８はワーク収納孔４のＶ字形の角部に開口部８ｘを有し、この開口部８ｘを一端として、搬送テーブル２の中心３ａ方向に向かって半径方向内方へ延びている。開口部８ｘから中心３ａ方向をみた場合、連通溝８は解放された上面と側面８ａおよび８ｂからなる三角形状をもつ。
【００３４】
ここで連通溝８の側面８ａおよび８ｂの境界線８Ｌは、開口部８ｘから中心３ａに近づくにつれて徐々に搬送テーブル２の裏面２ａに近づき、連通溝８の他端８ｙにおいて搬送テーブル２の裏面２ａ上に至る。すなわち、連通溝８の形状は、一端である開口部８ｘを底面とし、他端８ｙを頂点とする三角錐形状を有する。
【００３５】
なお、搬送テーブル２の裏面２ａ上において、連通溝８の他端８ｙは中心３ａを中心とした円周上に配置され、この円周は図３に示す仮想円５ｘと同心円となっている。このため連通溝８は搬送テーブル２の間歇回転に伴い、真空通路５と圧縮エア噴出口７に連通するようになっている。
【００３６】
次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【００３７】
まず図１において、搬送テーブル２が間歇回転する。このことにより空のワーク収納孔４が位置Ｎ１に到達すると、図示されないフィーダにより搬送テーブル２に向けて搬送されたワークＷがワーク収納孔４に収納される。
【００３８】
この場合、図３および図７に示すように、位置Ｎ１においてテーブルベース１の表面１ａに真空通路５が形成されているので、搬送テーブル２の裏面２ａに形成された連通溝８の他端８ｙが真空通路５に連通する。上述のように真空通路５は分岐通路５ａ、吸引孔６を経由して真空機構６Ａに連通しているので、ワーク収納孔４に収納されたワークＷは真空機構６Ａによる真空吸引によって吸着保持される。
【００３９】
次に搬送テーブル２は、図１の矢印Ａ方向に更に間歇回転する。このことにより、ワーク収納孔４に収納されたワークＷは、真空吸引によって吸着保持された状態で、図１および図３に示す搬送テーブル２の範囲Ｍ内を搬送される。この搬送テーブル２の範囲Ｍにおいて、図示されない検査手段によってワークＷに対して検査が実施される。
【００４０】
ワークＷに対する検査の例として、カメラ等を使用した外観検査や、図２（ｂ）に示した電極ＷａおよびＷｂにプローブを当接させて測定器等に接続する電気的特性検査がある。
【００４１】
次に搬送テーブル２の範囲Ｍにおいて、ワーク収納孔４に収納されたワークＷが真空吸引される様子を図８乃至図１０を用いて説明する。図８は、図１における矢印Ｂ方向からみた透視図である。
【００４２】
図８に示すように、テーブルベース１の表面１ａに形成された真空通路５は吸引孔６を経由して真空機構６Ａに連通しているため、矢印Ｊの方向に真空吸引が行われる。ここで図９はテーブルベース１側から搬送テーブル２の裏面２ａをみたときの領域Ｒ（図１、図３および図６参照）の拡大透視図であり、図１０は図９におけるＸ−Ｘ’矢視図である。
【００４３】
図９および図１０において、搬送テーブル２の裏面２ａに形成された連通溝８の他端８ｙは、テーブルベース１の表面１ａに形成された真空通路５よりも搬送テーブル２の中心３ａに近い側に位置している。このため、連通溝８は真空通路５、分岐通路５ａおよび吸引孔６を経由して真空機構６Ａに連通され、図９および図１０において、ワーク収納孔４に収納されたワークＷは、開口部８ｘから他端８ｙに向けて矢印Ｊの向きに真空吸引されて吸着保持される。
【００４４】
上述のように、ワークＷは図１および図３に示す搬送テーブル２の範囲Ｍ内を搬送され、この間ワークＷに対する検査が行われる。次に検査が終了したワークＷは、図１および図３の位置Ｎ２に到達する。
【００４５】
図３に示すように、位置Ｎ２においてはテーブルベース１の表面１ａに真空通路５が形成されていないため、ワーク収納孔４に収納されたワークＷは吸着保持されない状態となる。ワークＷは位置Ｎ２において、図示されない吸引手段により図１および図３の矢印Ｄの方向に吸引されて、ワーク収納孔４から取り外される。
【００４６】
空になったワーク収納孔４は、搬送テーブル２の間歇回転により、図１および図３の位置Ｓに到達する。位置Ｓにおいて、搬送テーブル２の裏面２ａに形成された連通溝８の他端８ｙは、テーブルベース１の表面１ａに形成された圧縮エア噴出口７に連通する。
【００４７】
この様子を図１１および図１２を用いて説明する。ここで図１１はテーブルベース１側から搬送テーブル２の裏面２ａをみたときの領域Ｓ（図１および図３）の拡大透視図である。また、図１２は図１１におけるＹ−Ｙ’矢視図である。
【００４８】
図１１および図１２において、搬送テーブル２の裏面２ａに形成された連通溝８の他端８ｙは、テーブルベース１の表面１ａに形成された圧縮エア噴出口７の内部に位置している。また、圧縮エア噴出口７からテーブルベース１の表面１ａにおいて、搬送テーブル２の外形Ｔまでの部分には、連通溝８に並行して圧縮エア通路７ａが形成されている。このため、連通溝８は圧縮エア通路７ａおよび圧縮エア噴出口７を経由して圧縮エア機構７Ａに連通し、他端８ｙから開口部８ｘに向けて矢印Ｋの向きに圧縮エアが噴出され、真空吸引の際に連通溝８内に紛れ込んだ塵埃等の異物が開口部８ｘから外部に排出される。
【００４９】
このように連通溝８の内部を清掃することによって真空吸引力の低下を防止し、再び図１および図３の位置Ｎ１に到達したワーク収納孔４に、新しいワークＷが収納される。
【００５０】
次に連通溝８内に混入された異物Ｆについて説明する。図１３乃至図１６は、それぞれ図９乃至図１２に対応しており連通溝８内に異物Ｆが紛れ込んだ状態を示す。
【００５１】
連通溝８内に混入する異物Ｆは微小な塵埃等であり、これが連通溝８内に混入する原因は２通りある。まず第１は、図１および図３の位置Ｎ１においてワークＷがワーク収納孔４に収納される際に、図１０において矢印Ｊにより示される真空吸引の作用によって、異物ＦがワークＷよりも先に開口部８ｘから連通溝８内に吸い込まれることがある。第２に、ワーク収納孔４が位置Ｎ１においてワークＷを収納することなく、空の状態で図１および図３に示す搬送テーブル２の範囲Ｍを移動することがあり、その際に、同様に図１０において矢印Ｊにより示される真空吸引の作用によって、開口部８ｘから連通溝８内に吸い込まれることがある。
【００５２】
図１３に示すように、異物Ｆは連通溝８の２方向を囲む側面８ａおよび８ｂに当接するとともに、図１４に示すように、テーブルベース１の表面１ａにも当接している。このように異物Ｆは３面に当接しているため、各面８ａ，８ｂ，１ａと異物Ｆとの間に大きな摩擦力が発生し、矢印Ｊのような真空吸引が行われても異物Ｆは連通溝８内に停留した状態となる。この状態で搬送テーブル２の間歇回転により、ワーク収納孔４が図１および図３の位置Ｎ２に到達すると、上述のようにワークＷはワーク収納孔４から取り外され、さらに搬送テーブル２の間歇回転により、ワーク収納孔４は図１および図３の位置Ｓに到達する。
【００５３】
このとき、図１５および図１６に示すように、圧縮エア噴出口７から矢印Ｋの向きに圧縮エアが噴出される。この場合、図１６に示すように、位置Ｓにおいては、連通溝８のテーブルベース１の表面１ａ側には圧縮エア通路７ａが凹部状に形成されており、異物Ｆのテーブルベース１の表面１ａ側は開口側面となる。すなわち、位置Ｓにおいて連通溝８内の異物Ｆは側面８ａおよび８ｂの２面だけに当接しているため、当接面８ａ，８ｂとの間の摩擦力が小さくなる。さらに、上述のように連通溝８の形状は開口部８ｘを底面とする三角錐形をもつため、圧縮エア噴出口７から噴出される圧縮エアの向きである矢印Ｋの方向に沿って、連通溝８の断面積が次第に大きくなる。このため、異物Ｆは圧縮エアの作用により、図１５および図１６における連通溝８内の停留位置であるＦ０の位置から容易に離れて開口部８ｘに向けて移動し、搬送テーブル２の外部に矢印Ｋ’のように排出される。
【００５４】
なお、上記実施の形態においては、ワーク収納孔４の形状をＶ字形として説明したが、ワーク収納孔４の形状はＶ字形に限定されるものではない。図３３（ａ）に示すように、コの字形のワーク収納孔４１に三角形の開口部８１ｘを形成し、図３３（ｂ）のようにワークＷを真空吸引により吸着保持してもよい。
【００５５】
また上記実施の形態においては、テーブルベース１の表面１ａに凹部状に形成された圧縮エア通路７ａが圧縮エア機構７Ａに連通し、搬送テーブル２のワーク収納孔４は圧縮エア通路７ａに連通溝８を介して連通され、連通溝８内の異物Ｆを圧縮エアの噴射によりワーク収納孔４から排出する例を示したが、これに限らずテーブルベース１の表面１ａに形成された凹部内に小型の清掃ブラシを設置し、この清掃ブラシをモータ等の駆動手段により動作させて連通溝８内の異物Ｆをワーク収納孔４から排出してもよい。
【００５６】
また本実施の形態においては、図２（ｂ）に示すように、ワークＷの長手方向両端に２個の電極ＷａおよびＷｂが形成されているとして説明したが、ワークの電極が形成される位置は長手方向両端に限定されるものではなく、ワークＷ１個当たりの電極の個数も２個に限定されるものではない。
【００５７】
また本実施の形態においては、テーブルベース１および搬送テーブル２が垂直に設置されている例を説明したが、本発明は、テーブルベース１および搬送テーブル２が水平に設置されている場合や、傾斜して設置されている場合にも適用することができる。
【００５８】
次に本発明の比較例について図１７乃至図３２により説明する。
【００５９】
図１７乃至図３２において、図１乃至図１６と同一の機能を有する部分には同一の符号を付して、詳細な説明は省略する。
【００６０】
図１７に示す比較例において、ワーク搬送装置１０Ａは、垂直方向に固定されたテーブルベース１０と、テーブルベース１０に回転自在に設けられた円形の搬送テーブル２０とを備えている。
【００６１】
搬送テーブル２０は、図示されない駆動機構の作用により中心軸３の周囲に時計まわり（矢印Ａの方向）に間歇回転する。搬送テーブル２０の外周にはワーク収納孔４０が等間隔に形成されている。ワーク収納孔４０は後述する連通溝によって図示されない真空機構に連通し、真空吸引によりワークＷを吸着保持する。
【００６２】
図１７に示す領域Ｐにおけるワーク収納孔４０の拡大図を図１８（ａ）に示す。また、ワーク収納孔４０が真空吸引によりワークＷを吸着保持している様子を図１８（ｂ）に示す。図１８（ａ）に示すように、ワーク収納孔４０は搬送テーブル２０の外側に向けて開口し、その形状はＶ字形である。ワーク収納孔４０において、図１７における搬送テーブル２０に対向するテーブルベース１０の表面１０ａ側の端部には後述する連通溝の開口部８０ｘが開口しており、開口部８０ｘの形状は長方形である。この開口部８０ｘは図示されない真空機構に連通し、ワーク収納孔４０は真空吸引によりワークＷを吸着保持する。
【００６３】
ワーク収納孔４０がワークＷを吸着保持している様子を、図１８（ｂ）に示す。図１８（ｂ）において、ワークＷの形状は６面体であり、長手方向両端に電極Ｗａ，Ｗｂを有する。ワークＷは長手方向が搬送テーブル２０の厚さ方向に沿うように、ワーク収納孔４０に吸着保持される。
【００６４】
搬送テーブル２０を取り外したときのテーブルベース１０の表面１０ａの外観を図１９に示す。図１９において、二点鎖線Ｔは搬送テーブル２０の外形を表す。テーブルベース１０の表面１０ａには、搬送テーブル２０の外形Ｔよりも内側に円弧形状の溝として真空通路５が形成されている。
【００６５】
真空通路５には図１７に示す中心軸３の方向へ延びる５つの分岐通路５ａが接続され、各分岐通路５ａはテーブルベース１０内に形成された円形の吸引孔６に接続されている。吸引孔６はテーブルベース１０を貫通して、図示されない真空機構に連通している。
【００６６】
図１９の領域Ｑにおける真空通路５、分岐通路５ａおよび吸引孔６の拡大図を図２０に示す。
【００６７】
図２０に示すように、真空通路５、分岐通路５ａはテーブルベース１０の表面１０ａに対して凹部状に形成されている。また、図１９に示すように、テーブルベース１０の表面１０ａには、真空通路５が形成する円弧をその一部とする仮想円５ｘの円周上に圧縮エア噴出口７が形成されている。圧縮エア噴出口７はテーブルベース１０を貫通して、図示されない圧縮エア機構に連通している。図１９の領域Ｓ’における圧縮エア噴出口７の拡大図を図２１に示す。
【００６８】
図２２は搬送テーブル２０のテーブルベース１０側の裏面２０ａを示す図である。搬送テーブル２０の裏面２０ａには、各ワーク収納孔４０から搬送テーブル２０の中心３ａに向かって連通溝８０が形成されている。
【００６９】
ここでワーク収納孔４０と連通溝８０の拡大図を図２３に示す。図２３は図２２における領域Ｒを、搬送テーブル２０の裏面２０ａを上に向けて矢印Ｃ方向からみた斜視図である。連通溝８０はワーク収納孔４０のＶ字形の角部に開口部８０ｘを形成し、この開口部８０ｘを一端として、搬送テーブル２０の中心３ａ方向に延びている。
【００７０】
開口部８０ｘから中心３ａ方向をみた断面は、解放された上面と側面８０ａおよび８０ｂと底面８０ｃとからなる長方形である。連通溝８０の底面８０ｃは、開口部８０ｘから中心３ａに近づくにつれて徐々に搬送テーブル２０の裏面２０ａに近づき、連通溝８０の他端８０ｙにおいて搬送テーブル２０の裏面２０ａに至る。搬送テーブル２０の裏面２０ａ上において、連通溝８０の他端８０ｙは中心３ａを中心とした円周上に配置され、この円周は図１９に示す仮想円５ｘと同心円の関係にある。すなわち、連通溝８０は搬送テーブル２０の間歇回転に伴い、真空通路５および圧縮エア噴出口７に連通するようになっている。
【００７１】
このような比較例としてのワーク搬送装置の動作について以下説明する。図１７において、搬送テーブル２０の間歇回転により空のワーク収納孔４０が位置Ｎ１に到達すると、図示されないフィーダにより搬送テーブル２０に向けて搬送されたワークＷがワーク収納孔４０に収納される。
【００７２】
図１９によれば、位置Ｎ１においてテーブルベース１０の表面１０ａに真空通路５が形成されているので、図２３に示す搬送テーブル２０の裏面２０ａに形成された連通溝８０の他端８０ｙは真空通路５に連通する。真空通路５は分岐通路５ａ、吸引孔６を経由して図示されない真空機構に連通しているので、ワーク収納孔４０に収納されたワークＷは真空吸引によって吸着保持される。次に、搬送テーブル２０は図１７の矢印Ａの方向に間歇回転し、ワーク収納孔４０に収納されたワークＷは、真空吸引によって吸着保持された状態で図１７および図１９の範囲Ｍ内を搬送される。
【００７３】
次にこの範囲Ｍにおいて、図示されない検査手段によってワークＷに対する検査が実施される。検査の例として、カメラ等を使用した外観検査や、図１８（ｂ）に示した電極ＷａおよびＷｂにプローブを当接させて測定器等に接続する電気的特性検査がある。範囲Ｍにおいて、ワーク収納孔４０に収納されたワークＷが真空吸引される様子を図２４乃至図２６を用いて説明する。図２４は、図１７における矢印Ｂ方向からの透視図である。テーブルベース１０の表面１０ａに形成された真空通路５は吸引孔６を経由して図示されない真空機構に連通し、矢印Ｊの方向に真空吸引が行われる。このとき、テーブルベース１０側から搬送テーブル２０の裏面２０ａをみたときの、図１７、図１９および図２２における領域Ｒの拡大透視図を図２５に示す。また、図２５におけるＸ−Ｘ’矢視図を図２６に示す。
【００７４】
図２５および図２６において、搬送テーブル２０の裏面２０ａに形成された連通溝８０の他端８０ｙの位置は、テーブルベース１０の表面１０ａに形成された真空通路５から図２２に示す中心３ａにやや近い側にある。このため、連通溝８０は図１９に示す真空通路５、分岐通路５ａ、吸引孔６を経由して図示されない真空機構に連通し、図２５および図２６において、ワーク収納孔４０に収納されたワークＷは、開口部８０ｘから他端８０ｙに向けて矢印Ｊの向きに真空吸引されて吸着保持される。
【００７５】
図１７および図１９に示す範囲Ｍ内を搬送されながら検査を終了したワークＷは、図１７および図１９の位置Ｎ２に到達する。図１９に示すように、位置Ｎ２においてはテーブルベース１０の表面１０ａに真空通路５が形成されていないため、ワーク収納孔４０に収納されたワークＷは吸着保持されない状態となる。ワークＷは位置Ｎ２において、図示されない吸引手段により図１７および図１９の矢印Ｄの方向に吸引されて、ワーク収納孔４０から取り外される。
【００７６】
空になったワーク収納孔４０は、搬送テーブル２０の間歇回転により、図１７および図１９の位置Ｓ’に到達する。位置Ｓ’において、搬送テーブル２０の裏面２０ａに形成された連通溝８０の他端８０ｙは、テーブルベース１０の表面１０ａに形成された圧縮エア噴出口７に連通する。
【００７７】
この様子を図２７および図２８を用いて説明する。テーブルベース１０側から搬送テーブル２０の裏面２０ａを見たときの、図１７、図１９における領域Ｓ’の拡大透視図を図２７に示す。また、図２７におけるＹ−Ｙ’矢視図を図２８に示す。
【００７８】
図２７および図２８において、搬送テーブル２０の裏面２０ａに形成された連通溝８０の他端８０ｙの位置は、テーブルベース１０の表面１０ａに形成された圧縮エア噴出口７の内部にある。このため、連通溝８０は圧縮エア噴出口７を経由して図示されない圧縮エア機構に連通し、他端８０ｙから開口部８０ｘに向けて矢印Ｋの向きに圧縮エアが噴出され、真空吸引の際に連通溝８０内に紛れ込んだ塵埃等の異物が開口部８０ｘから外部に排出される。このように連通溝８０の内部を清掃することによって真空吸引力の低下を防止し、再び図１７および図１９の位置Ｎ１に到達したワーク収納孔４０に、新しいワークＷが収納される。
【００７９】
ここで、比較例としてのワーク搬送装置には以下の問題がある。ワークＷは近年非常に小型化しており、図１８（ｂ）に示すＷの長手方向の寸法は１ｍｍ以下、電極ＷａおよびＷｂからＷの長手方向をみた断面の一辺の寸法は０．５ｍｍ程度のものが主流である。このため、ワーク収納孔４０の寸法も小さくなり、それに伴って連通溝８０の開口部８０ｘの寸法も０．５ｍｍ程度に小さくなっている。
【００８０】
このように、連通溝８０の開口部８０ｘの寸法が小さくなることによって、真空吸引の際に連通溝８０内に紛れ込んだ塵埃等の微小な異物が、圧縮エア噴出口７から圧縮エアを噴出しても開口部８０ｘから外部に排出されにくくなっている。
【００８１】
この様子を図２９乃至図３２を用いて説明する。図２９乃至図３２は、それぞれ図２５乃至図２８において連通溝８０内に異物Ｆが紛れ込んだ状態を示す。
【００８２】
異物Ｆは微小な塵埃等であり、これが連通溝８０内に紛れ込む原因は２通りある。１つ目の原因は、図１７および図１９の位置Ｎ１においてワークＷがワーク収納孔４０に収納される際に、図２６において矢印Ｊにより示される真空吸引の作用によって、ワークＷよりも先に開口部８０ｘから連通溝８０内に吸い込まれることである。２つ目の原因は、ワーク収納孔４０が位置Ｎ１においてワークＷを収納することなく、空の状態で図１７および図１９の範囲Ｍを移動することがあり、その際に、同様に図２６において矢印Ｊにより示される真空吸引の作用によって、開口部８０ｘから連通溝８０内に吸い込まれることである。
【００８３】
異物Ｆは図２９に示すように、連通溝８０の周囲３方向を囲む側面８０ａおよび８０ｂと底面８０ｃに当接するとともに、図３０に示すように、テーブルベース１０の表面１０ａにも当接している。
【００８４】
このように異物Ｆは４面に当接しているため、各面と異物Ｆとの間に大きな摩擦力が発生し、矢印Ｊのような真空吸引が行われても異物Ｆは連通溝８０内に停留した状態となる。この状態で搬送テーブル２０の間歇回転により、ワーク収納孔４０が図１７および図１９の位置Ｎ２に到達すると、上述のようにワークＷはワーク収納孔４０から取り外され、さらに搬送テーブル２０の間歇回転により、ワーク収納孔４０は図１７および図１９の位置Ｓ’に到達する。
【００８５】
このとき、図３１および図３２に示すように、圧縮エア噴出口７から矢印Ｋの向きに圧縮エアが噴出されるが、上述のように、異物Ｆが当接する４個の面と異物Ｆとの間に大きな摩擦力が発生しているため、異物Ｆは圧縮エアの力に抗して連通溝８０内に停留し、異物Ｆを搬送テーブル２０の外部に排出することはむずかしい。
【００８６】
こうして、異物Ｆが連通溝８０内に停留した状態でワーク収納孔４０が再び図１７および図１９の位置Ｎ１に到達し、次のワークＷが収納された場合には、異物Ｆの作用により真空吸引力が低下してワークＷがワーク収納孔４０に安定して吸着されなくなる。
【００８７】
このため、図１７および図１９における範囲Ｍを搬送中のワークＷが、ワーク収納孔４０から脱落する等の不安定動作が発生する。これを防止するためには、たびたび装置を停止させて搬送テーブル２０を取り外し、搬送テーブル２０の裏面２０ａに形成された連通溝８０内を清掃する必要があり、装置稼働率の低下を招いている。
【００８８】
これに対して本発明によれば、上記で述べたように、搬送テーブル２に、ワーク収納孔４から半径方向内方へ延びる連通溝８が形成され、各連通溝８はワーク収納孔４側に底面をもち、搬送テーブル２の半径方向内方側に頂点８ｙをもつ三角錐形状を有する。また、位置Ｓにおいて連通溝８のテーブルベース１の表面１ａ側に圧縮エア通路７ａが凹部状に形成されており、異物Ｆのテーブルベース１の表面１ａ側は開口側面となる。このため位置Ｓにおいて、連通溝８内の異物Ｆは２面のみに当接することになり、異物Ｆと連通溝８内との摩擦係数は小さくなる。また上記三角錐形状によって圧縮エア噴出口７から噴出される圧縮エアの半径方向外方へ向かう噴出方向に沿って連通溝８の断面積が大きくなる。このため、連通溝８内に半径方向外方に向かって噴出される圧縮エアによって連通溝８内の異物Ｆを容易かつ確実に排出することができる。
【符号の説明】
【００８９】
１Ａ  ワーク搬送装置
１  テーブルベース
１ａ  テーブルベースの表面
２  搬送テーブル
２ａ  搬送テーブルの裏面
３  中心軸
３ａ  中心
４  ワーク収納孔
５  真空通路
５ａ  分岐通路
６  吸引孔
７  圧縮エア噴出口
７ａ  圧縮エア通路
８  連通溝
８ａ，８ｂ  連通溝の側面
８ｘ  開口部
８ｙ  連通溝の他端
Ｗ  ワーク
Ｗａ，Ｗｂ  電極
Ｆ  異物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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