(57)【要約】【課題】  屈曲式収容具内に収容された配管や配線の破損による加工装置の損傷や作動停止を防止可能な加工装置を提供することである。【解決手段】  可動部に接続された配管及び／又は配線と、該配管及び／又は配線を屈曲可能に内部に収容する屈曲式収容具とを備えた加工装置であって、該屈曲式収容具の少なくとも内周面はフッ素樹脂で被覆されていることを特徴とする。【選択図】図２
2011251375.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動部に接続された配管及び／又は配線と、該配管及び／又は配線を屈曲可能に内部に収容する屈曲式収容具とを備えた加工装置であって、
該屈曲式収容具の少なくとも内周面はフッ素樹脂で被覆されていることを特徴とする加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可動部に接続された配管及び配線を内部に収容する屈曲式収容具を備えた加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
産業機械や製造装置等の加工装置では、水やエアといった各種の流体を用いるものが多く、これらの流体や加工装置を構成する可動部の動作に必要な電力や信号等は、リード線等の配線や、チューブ、配管を通じて可動部に供給される。例えば、半導体デバイスの製造工程で半導体ウエーハを切削する切削装置も各種流体を用いている。
【０００３】
切削装置による切削を遂行する際には、ダイアモンドやＣＢＮ（Ｃｕｂｉｃ  Ｂｏｒｏｎ  Ｎｉｔｒｉｄｅ）等の砥粒を樹脂や金属で固めた切削ブレードを、エアベアリングで支持されたスピンドルの先端に装着する。一方、切削装置のチャックテーブルで半導体ウエーハ等の被加工物を吸引保持する。
【０００４】
そして、スピンドルの先端に装着された切削ブレードを３００００ｒｐｍ等の高速で回転しつつ、被加工物を保持したチャックテーブルと切削ブレードを相対移動させることで切削が遂行される。
【０００５】
エアベアリングにより支持されたスピンドルには、エアを供給するためのエア配管、発熱を抑えるために冷却水を流すための冷却水配管、スピンドルを回転させるモータに供給する電力や信号を伝達するケーブルやリード線等の配線が接続されている。
【０００６】
一方、チャックテーブルにも被加工物を吸引する負圧を伝達するためのバキューム配管や、異物吸引によるチャックテーブルの目詰まりを防止するために洗浄水を噴出するための洗浄水配管、モータによる移動や回転のための電力や信号を伝達するケーブルやリード線等の配線が接続されている。
【０００７】
可動部の動作に伴ってこれらの配線や配管を屈曲可能に束ねて収容するために、例えば、特開２００２−１７６２７４号公報に記載されているような登録商標で「ケーブルベア」と呼ばれる屈曲式収容具が用いられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００２−１７６２７４号公報
【特許文献２】特開２００６−２４６６３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところが、可動部の動作に伴って、屈曲式収容具と収容具の内部に収容された配線や配管が擦れて発塵したり、配線や配管が破損してしまうことがある。エアや水が流動する配管が破損すると、加工装置内にエアや水等の流体が溢れ、加工装置自体を損傷させてしまう恐れがある。また、配線が破損して断線すると、可動部が作動しなくなるという問題がある。
【００１０】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、屈曲式収容具内に収容された配管や配線の破損による加工装置の損傷や作動停止を防止可能な加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明によると、可動部に接続された配管及び／又は配線と、該配管及び／又は配線を屈曲可能に内部に収容する屈曲式収容具とを備えた加工装置であって、該屈曲式収容具の少なくとも内周面はフッ素樹脂で被覆されていることを特徴とする加工装置が提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の加工装置では、配線や配管を収容する屈曲式収容具の少なくとも内周面がフッ素樹脂で被覆されているため、配線や配管が収容具と擦れて破損することが防止される。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】切削装置の斜視図である。
【図２】切削装置に使用されている屈曲式収容具の断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、内部に配管や配線を収容する本発明の屈曲式収容具が使用される切削装置（ダイシング装置）２の斜視図が示されている。
【００１５】
切削装置２は２スピンドルタイプの切削装置であり、チャックテーブル４において被加工物を吸引保持し、チャックテーブル４が切削送り方向（Ｘ軸方向）に往復移動しながら、割り出し送り方向（Ｙ軸方向）及び切り込み送り方向（Ｚ軸方向）に移動する第１の切削手段６及び第２の切削手段８の作用により被加工物が切削される構成となっている。
【００１６】
例えば、半導体ウエーハＷをダイシングする場合は、図１に示すように、ダイシングテープＴを介して環状フレームＦに保持された半導体ウエーハＷが、チャックテーブル４に載置されて吸引保持される。
【００１７】
チャックテーブル４は切削送り手段１０によってＸ軸方向に移動可能となっており、第１の切削手段６と一体に形成された第１カメラ（第１撮像手段）１３を有する第１のアライメント手段１２及び第２の切削手段８と一体に形成された第２カメラ（第２撮像手段）１５を有する第２のアライメント手段１４によって、チャックテーブル４に吸引保持されたウエーハＷの切削すべき領域であるストリートが検出され、そのストリートと切削ブレードとのＹ軸方向の位置合わせがなされた後に、切削が行われる。
【００１８】
切削送り手段１０は、Ｘ軸方向に配設された一対のＸ軸ガイドレール１６と、Ｘ軸ガイドレール１６に摺動可能に支持されたＸ軸移動基台１８と、Ｘ軸移動基台１８に形成されたナット部（図示せず）に螺合するＸ軸ボールねじ２０と、Ｘ軸ボールねじ２０を回転駆動するＸ軸パルスモータ２２とから構成される。
【００１９】
チャックテーブル４を回転可能に支持する支持基台２４はＸ軸移動基台１８に固定されており、Ｘ軸パルスモータ２２に駆動されてＸ軸ボールねじ２０が回転することによって、チャックテーブル４がＸ軸方向に移動される。
【００２０】
２１は本発明実施形態に係る登録商標で「ケーブルベア」と呼ばれる屈曲式収容具であり、内部に配線や配管等が収容されている。屈曲式収容具２１の一端２１ａは切削装置２のベース３に固定され、他端２１ｂはＸ軸移動基台１８に固定されている。
【００２１】
切削送り手段１０のＸ軸パルスモータ２２を駆動すると、チャックテーブル４がＸ軸ガイドレール１６に案内されてＸ軸方向に移動され、この移動に伴い屈曲式収容具２１の他端２１ｂもＸ軸移動基台１８に連れて移動し、内部に収容されている配線や配管等が外部と干渉するのを防止している。
【００２２】
一方、第１切削手段１２及び第２切削手段１４は、ガイド手段２６によってＹ軸方向に割り出し送り可能に支持されている。ガイド手段２６は、チャックテーブル４の移動を妨げないようにＸ軸に直交するＹ軸方向に配設される垂直コラム２８と、垂直コラム２８の側面においてＹ軸方向に配設された一対のＹ軸ガイドレール３０と、Ｙ軸ガイドレール３０と平行に配設された第１のボールねじ３２及び第２のボールねじ３４と、第１のボールねじ３２に連結された第１のＹ軸パルスモータ３６と、第２のボールねじ３４に連結された第２のＹ軸パルスモータ３８とから構成される。
【００２３】
Ｙ軸ガイドレール３０は、第１の支持部材４０及び第２の支持部材４２をＹ軸方向に摺動可能に支持しており、第１の支持部材４０及び第２の支持部材４２に備えたナット（図示せず）が第１のボールねじ３２及び第２のボールねじ３４にそれぞれ螺合している。
【００２４】
第１のＹ軸パルスモータ３６および第２のＹ軸パルスモータ３８に駆動されて第１のボールねじ３２及び第２のボールねじ３４がそれぞれ回転することにより、第１の支持部材４０及び第２の支持部材４２がそれぞれ独立してＹ軸方向に移動される。
【００２５】
第１の支持部材４０及び第２の支持部材４２のＹ軸方向の位置はリニアスケール４４によって計測され、Ｙ軸方向の位置の精密制御に供される。なお、リニアスケールを各支持部材ごとに別個に設けることも可能ではあるが、一本のリニアスケール４４で第１の支持部材４０及び第２の支持部材４２の双方の位置を計測するほうが、両者の間隔を精密に制御することができる。
【００２６】
第１の支持部材４０には、第１の切削手段６が取り付けられた第１の移動部材４６が上下方向（Ｚ軸方向）に摺動可能に取り付けられており、第１のＺ軸パルスモータ４８を駆動すると、第１の移動部材４６がＺ軸方向に移動される。
【００２７】
同様に、第２の支持部材４２には、第２の切削手段８が取り付けられた第２の移動部材５０が上下方向（Ｚ軸方向）に摺動可能に取り付けられており、第２のＺ軸パルスモータ５２を駆動することにより、第２の移動部材５０がＺ軸方向に移動される。
【００２８】
図２を参照すると、屈曲式収容具２１の横断面図が示されている。屈曲式収容具２１は、特許文献１に開示されているように、樹脂から形成された単位ユニット２３に形成されているピンを隣接する単位ユニット２３のピン穴に挿入することにより組み立てられる。よって、屈曲式収容具２１はＸ軸移動基台１８の移動につれてピン部分で屈曲し、その他端２１ｂがＸ軸移動基台１８とともにＸ軸方向に移動する。
【００２９】
屈曲式収容具２１の内周面は四フッ化エチレン樹脂、即ち商標名「テフロン」等のフッ素樹脂２９で被覆されている。フッ素樹脂の厚みは、０．５ｍｍ以上が好ましく、本実施形態では１ｍｍの四フッ化エチレン樹脂を被覆した。
【００３０】
被覆方法としては、シートタイプのフッ素樹脂を屈曲式収容具２１の内周面に貼着するか、或いはフッ素樹脂を屈曲式収容具２１の内周面にコーティングする。代替案として、液状フッ素樹脂中に屈曲式収容具２１を浸漬することにより、フッ素樹脂を内周面及び外周面にコーティングするようにしてもよい。屈曲式収容具２１中には複数の配管２５及び複数の配線２７が収容されている。
【００３１】
本実施形態の屈曲式収容具２１を使用した切削装置２では、屈曲式収容具２１の少なくとも内周面がフッ素樹脂２９で被覆されているため、配管２５や配線２７が被覆されたフッ素樹脂２９表面で滑りやすくなり、屈曲式収容具２１が移動しても、内部に収容された配管２５や配線２７が屈曲式収容具２１と擦れて破損してしまうことが防止される。
【符号の説明】
【００３２】
２    切削装置
４    チャックテーブル
６    第１の切削手段
８    第２の切削手段
１８    Ｘ軸移動基台
２１    屈曲式収容具
２３    単位ユニット
２５    配管
２７    配線
２９    フッ素樹脂被覆
【図１】
2011251375.tif 000003
【図２】
2011251375.tif 000004