(57)【要約】【課題】正常なプロセス処理を確実かつ容易に行えるようにすること。【解決手段】基板にプロセス処理をしたときのプロセス条件データとプロセス条件の設定に係るデータとを収集してプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定するシステムであって、  プロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定するための判定条件に用いるデータであって、プロセス条件の設定によって変化するものを、判定条件とは別に、プロセス条件の設定ごとに保存するプロセス処理条件表と、  判定条件を、それにプロセス条件の設定に対応するデータをプロセス処理条件表から読み出してセットした後に、プロセス条件データに適用し、このプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定する手段とを備えることを特徴とする装置データ収集システム。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板にプロセス処理をしたときのプロセス条件データとプロセス条件の設定に係るデータとを収集してプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定するシステムであって、
プロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定するための判定条件に用いるデータであって、プロセス条件の設定によって変化するものを、判定条件とは別に、プロセス条件の設定ごとに保存するプロセス処理条件表と、
判定条件を、それにプロセス条件の設定に対応するデータをプロセス処理条件表から読み出してセットした後に、プロセス条件データに適用し、このプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定する手段とを備えることを特徴とする装置データ収集システム。
【請求項２】
単一又は複数の判定条件の組み合わせごとに、発生アカウントと、判定回数と、対処方法とを保存する異常時対処表と、
異常時対処表に既登録の判定条件の組み合わせについて、それぞれの判定条件を、それぞれのプロセス条件データに適用する度に、判定回数を数えて記憶し、この組み合わせに属するすべての判定条件で異常と判定する度に、発生カウントを数えて記憶する手段と、
この組み合わせについて、記憶している発生カウントと判定回数とが、それぞれ、異常時対処表に保存している発生アカウントと判定回数とに一致した場合に、アラームを発報するとともに、この組み合わせと、記憶している発生カウントと判定回数とで特定される対処方法を異常時対処表から読み出して、異常と判定したそれぞれのプロセス条件データと、読み出した対処方法とを表示する手段とを備えることを特徴とする請求項１記載の装置データ収集システム。
【請求項３】
異常と判定したプロセス条件データに適用した判定条件の組み合わせが異常対処表に登録されていない場合、この組み合わせについて、それぞれの判定条件を、それぞれのプロセス条件データに適用する度に、判定回数を数えて記憶し、この組み合わせに属するすべての判定条件で異常と判定する度に、発生カウントを数えて記憶する手段と、
プロセス処理をした基板の検査結果を収集する手段と、
プロセス処理をした基板の検査結果が不良である場合、対処方法を入力させ、この組み合わせについて、この組み合わせと、記憶している発生アカウントと判定回数と、入力させた対処方法とを異常対処表に登録する手段とを備えることを特徴とする請求項２記載の装置データ収集システム。
【請求項４】
プロセス処理をした基板の検査結果を収集する手段と、
プロセス処理をした基板の検査結果が不良である場合、この組み合わせについて、記憶している発生アカウントと判定回数とに基づいて、異常対処表に保存されている発生アカウントと判定回数とを更新する手段とを備えることを特徴とする請求項２記載の装置データ収集システム。
【請求項５】
基板にプロセス処理をしたときのプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定するための判定条件に用いるデータであって、プロセス条件の設定によって変化するものを、判定条件とは別に、プロセス条件の設定ごとに保存するプロセス処理条件表を備える装置データ収集システムが、プロセス条件データとプロセス条件の設定に係るデータとを収集してプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定する方法であって、
判定条件を、それにプロセス条件の設定に対応するデータをプロセス処理条件表から読み出してセットした後に、プロセス条件データに適用し、このプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定する工程を含むことを特徴とする装置データ収集方法。
【請求項６】
前記装置データ収集システムが、単一又は複数の判定条件の組み合わせごとに、発生アカウントと、判定回数と、対処方法とを保存する異常時対処表を備え、
異常時対処表に既登録の判定条件の組み合わせについて、それぞれの判定条件を、それぞれのプロセス条件データに適用する度に、判定回数を数えて記憶し、この組み合わせに属するすべての判定条件で異常と判定する度に、発生カウントを数えて記憶する工程と、
この組み合わせについて、記憶している発生カウントと判定回数とが、それぞれ、異常時対処表に保存している発生アカウントと判定回数とに一致した場合に、アラームを発報するとともに、この組み合わせと、記憶している発生カウントと判定回数とで特定される対処方法を異常時対処表から読み出して、異常と判定したそれぞれのプロセス条件データと、読み出した対処方法とを表示する工程とを含むことを特徴とする請求項５記載の装置データ収集方法。
【請求項７】
異常と判定したプロセス条件データに適用した判定条件の組み合わせが異常対処表に登録されていない場合、この組み合わせについて、それぞれの判定条件を、それぞれのプロセス条件データに適用する度に、判定回数を数えて記憶し、この組み合わせに属するすべての判定条件で異常と判定する度に、発生カウントを数えて記憶する工程と、
プロセス処理をした基板の検査結果を収集する工程と、
プロセス処理をした基板の検査結果が不良である場合、対処方法を入力させ、この組み合わせについて、この組み合わせと、記憶している発生アカウントと判定回数と、入力させた対処方法とを異常対処表に登録する工程とを含むことを特徴とする請求項６記載の装置データ収集方法。
【請求項８】
プロセス処理をした基板の検査結果を収集する工程と、
プロセス処理をした基板の検査結果が不良である場合、この組み合わせについて、記憶している発生アカウントと判定回数とに基づいて、異常対処表に保存されている発生アカウントと判定回数とを更新する工程とを含むことを特徴とする請求項６記載の装置データ収集方法。
【請求項９】
基板にプロセス処理をしたときのプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定するための判定条件に用いるデータであって、プロセス条件の設定によって変化するものを、判定条件とは別に、プロセス条件の設定ごとに保存するプロセス処理条件表を備えるコンピュータに、プロセス条件データとプロセス条件の設定に係るデータとを収集してプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定することを実行させるプログラムであって、
判定条件を、それにプロセス条件の設定に対応するデータをプロセス処理条件表から読み出してセットした後に、プロセス条件データに適用し、このプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定する工程を実行させることを特徴とする装置データ収集プログラム。
【請求項１０】
前記コンピュータが、単一又は複数の判定条件の組み合わせごとに、発生アカウントと、判定回数と、対処方法とを保存する異常時対処表を備え、
異常時対処表に既登録の判定条件の組み合わせについて、それぞれの判定条件を、それぞれのプロセス条件データに適用する度に、判定回数を数えて記憶し、この組み合わせに属するすべての判定条件で異常と判定する度に、発生カウントを数えて記憶する工程と、
この組み合わせについて、記憶している発生カウントと判定回数とが、それぞれ、異常時対処表に保存している発生アカウントと判定回数とに一致した場合に、アラームを発報するとともに、この組み合わせと、記憶している発生カウントと判定回数とで特定される対処方法を異常時対処表から読み出して、異常と判定したそれぞれのプロセス条件データと、読み出した対処方法とを表示する工程とを実行させることを特徴とする請求項９記載の装置データ収集プログラム。
【請求項１１】
異常と判定したプロセス条件データに適用した判定条件の組み合わせが異常対処表に登録されていない場合、この組み合わせについて、それぞれの判定条件を、それぞれのプロセス条件データに適用する度に、判定回数を数えて記憶し、この組み合わせに属するすべての判定条件で異常と判定する度に、発生カウントを数えて記憶する工程と、
プロセス処理をした基板の検査結果を収集する工程と、
プロセス処理をした基板の検査結果が不良である場合、対処方法を入力させ、この組み合わせについて、この組み合わせと、記憶している発生アカウントと判定回数と、入力させた対処方法とを異常対処表に登録する工程とを実行させることを特徴とする請求項１０記載の装置データ収集プログラム。
【請求項１２】
プロセス処理をした基板の検査結果を収集する工程と、
プロセス処理をした基板の検査結果が不良である場合、この組み合わせについて、記憶している発生アカウントと判定回数とに基づいて、異常対処表に保存されている発生アカウントと判定回数とを更新する工程とを実行させることを特徴とする請求項１０記載の装置データ収集プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、装置データ収集システム、方法、及びプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体や液晶パネルなどの製造における加工処理装置（プロセス装置とも呼ぶ）において装置に入力される電力や、ポンプから送りだされる流体の流量などの動作（プロセス動作とも呼ぶ）が正常に動作しているかを監視する方法として流量、温度、圧力といったプロセス装置動作時のプロセス条件データ（プロセスデータとも呼ぶ)を数ｍｓ周期で高速に収集して解析する装置解析システムを用いるものがある。ここで、装置解析システムとは，製造装置から装置の基本データ（プロセスデータや入力される電力などのデータ）を収集し、正常な動作を行っているかをデータでチェックし、装置の信頼性や生産性を向上させるシステムを指す。
【０００３】
装置解析システムを用いたプロセス異常の解析方法には以下のものがあげられる。
【０００４】
１．正常運転時のプロセスデータとの差異から異常検出を行い、異常の有無判定、異常原因の決定を行う（例えば特許文献１参照）。
【０００５】
２．ある区間で切り出したプロセスデータから特徴量（平均、最大、最小など）を抽出し、プロセス品質モデルを作成し、収集したプロセスデータから抽出した特徴量を、作成したプロセス品質モデルに当てはめる事により異常の有無判定や、故障発生の予測を行う（例えば特許文献２参照）。
【０００６】
３．プロセスデータから抽出した特徴量を用いてデータマイニングや多変量解析による解析からプロセス品質モデルを作成し、収集したプロセスデータの解析結果を、作成したプロセス品質モデルに当てはめる事により異常の有無判定を行う（例えば特許文献３参照）。
【０００７】
また、プロセスデータが正常かどうかを判断する具体的な方法の一つとして、プロセス装置の設定値に対するプロセスデータの出力値の評価がある。
【０００８】
すなわち、あるプロセス処理中のプロセスデータの値から装置の設定値を示す特徴量（特定区間の平均、最大など）を抽出し、その抽出した値と設定値からプロセス品質モデル（特徴量と設定値の関係から正常／異常を判定するためのモデル）を作成し、抽出した値をプロセス品質モデルに当てはめることで（抽出した値が正常な範囲内にあるかを判定することで）、プロセスデータの正常／異常の判定を行う。
【０００９】
このような装置解析システムを用いたプロセス異常の解析方法において、プロセス装置を動作させるにあたり、プロセス条件の変更により、基準となる値が変動するため、プロセス条件が変更される度に基準値の変更を行わなければ異常の誤検出をしてしまう可能性がある。
【００１０】
また、従来では、１の項目について、プロセスデータごとに異常判定を行うため、複数の要因が絡み合って発生する異常を検出することは困難となる。
【００１１】
また、プロセス条件の変更、経時変化などで、設定値に対する出力値が変化することもあるため、その変化を考慮した異常判定が必要となる場合がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１２】
【特許文献１】特開昭６２−４２２０４号公報
【特許文献２】特開２００５−１９７３２３号公報
【特許文献３】特開２００４−１８６４４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は斯かる背景技術の鑑みてなされたもので、正常なプロセス処理を確実かつ容易に行えるようにすることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明において上記課題を解決するために、まず請求項１の発明では、基板にプロセス処理をしたときのプロセス条件データとプロセス条件の設定に係るデータとを収集してプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定するシステムであって、
プロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定するための判定条件に用いるデータであって、プロセス条件の設定によって変化するものを、判定条件とは別に、プロセス条件の設定ごとに保存するプロセス処理条件表と、
判定条件を、それにプロセス条件の設定に対応するデータをプロセス処理条件表から読み出してセットした後に、プロセス条件データに適用し、このプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定する手段とを備えることを特徴とする装置データ収集システムとしたものである。
【００１５】
また請求項２の発明では、単一又は複数の判定条件の組み合わせごとに、発生アカウントと、判定回数と、対処方法とを保存する異常時対処表と、
異常時対処表に既登録の判定条件の組み合わせについて、それぞれの判定条件を、それぞれのプロセス条件データに適用する度に、判定回数を数えて記憶し、この組み合わせに属するすべての判定条件で異常と判定する度に、発生カウントを数えて記憶する手段と、
この組み合わせについて、記憶している発生カウントと判定回数とが、それぞれ、異常時対処表に保存している発生アカウントと判定回数とに一致した場合に、アラームを発報するとともに、この組み合わせと、記憶している発生カウントと判定回数とで特定される対処方法を異常時対処表から読み出して、異常と判定したそれぞれのプロセス条件データと、読み出した対処方法とを表示する手段とを備えることを特徴とする請求項１記載の装置データ収集システムとしたものである。
【００１６】
また請求項３の発明では、異常と判定したプロセス条件データに適用した判定条件の組み合わせが異常対処表に登録されていない場合、この組み合わせについて、それぞれの判定条件を、それぞれのプロセス条件データに適用する度に、判定回数を数えて記憶し、この組み合わせに属するすべての判定条件で異常と判定する度に、発生カウントを数えて記憶する手段と、
プロセス処理をした基板の検査結果を収集する手段と、
プロセス処理をした基板の検査結果が不良である場合、対処方法を入力させ、この組み合わせについて、この組み合わせと、記憶している発生アカウントと判定回数と、入力させた対処方法とを異常対処表に登録する手段とを備えることを特徴とする請求項２記載の装置データ収集システムとしたものである。
【００１７】
また請求項４の発明では、プロセス処理をした基板の検査結果を収集する手段と、
プロセス処理をした基板の検査結果が不良である場合、この組み合わせについて、記憶している発生アカウントと判定回数とに基づいて、異常対処表に保存されている発生アカウントと判定回数とを更新する手段とを備えることを特徴とする請求項２記載の装置データ収集システムとしたものである。
【００１８】
また請求項５の発明では、基板にプロセス処理をしたときのプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定するための判定条件に用いるデータであって、プロセス条件の設定によって変化するものを、判定条件とは別に、プロセス条件の設定ごとに保存するプロセス処理条件表を備える装置データ収集システムが、プロセス条件データとプロセス条件の設定に係るデータとを収集してプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定する方法であって、
判定条件を、それにプロセス条件の設定に対応するデータをプロセス処理条件表から読み出してセットした後に、プロセス条件データに適用し、このプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定する工程を含むことを特徴とする装置データ収集方法としたものである。
【００１９】
また請求項６の発明では、前記装置データ収集システムが、単一又は複数の判定条件の組み合わせごとに、発生アカウントと、判定回数と、対処方法とを保存する異常時対処表を備え、
異常時対処表に既登録の判定条件の組み合わせについて、それぞれの判定条件を、それぞれのプロセス条件データに適用する度に、判定回数を数えて記憶し、この組み合わせに属するすべての判定条件で異常と判定する度に、発生カウントを数えて記憶する工程と、
この組み合わせについて、記憶している発生カウントと判定回数とが、それぞれ、異常時対処表に保存している発生アカウントと判定回数とに一致した場合に、アラームを発報するとともに、この組み合わせと、記憶している発生カウントと判定回数とで特定される対処方法を異常時対処表から読み出して、異常と判定したそれぞれのプロセス条件データと、読み出した対処方法とを表示する工程とを含むことを特徴とする請求項５記載の装置データ収集方法としたものである。
【００２０】
また請求項７の発明では、異常と判定したプロセス条件データに適用した判定条件の組み合わせが異常対処表に登録されていない場合、この組み合わせについて、それぞれの判定条件を、それぞれのプロセス条件データに適用する度に、判定回数を数えて記憶し、この組み合わせに属するすべての判定条件で異常と判定する度に、発生カウントを数えて記憶する工程と、
プロセス処理をした基板の検査結果を収集する工程と、
プロセス処理をした基板の検査結果が不良である場合、対処方法を入力させ、この組み合わせについて、この組み合わせと、記憶している発生アカウントと判定回数と、入力させた対処方法とを異常対処表に登録する工程とを含むことを特徴とする請求項６記載の装置データ収集方法としたものである。
【００２１】
また請求項８の発明では、プロセス処理をした基板の検査結果を収集する工程と、
プロセス処理をした基板の検査結果が不良である場合、この組み合わせについて、記憶している発生アカウントと判定回数とに基づいて、異常対処表に保存されている発生アカウントと判定回数とを更新する工程とを含むことを特徴とする請求項６記載の装置データ収集方法としたものである。
【００２２】
また請求項９の発明では、基板にプロセス処理をしたときのプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定するための判定条件に用いるデータであって、プロセス条件の設定によって変化するものを、判定条件とは別に、プロセス条件の設定ごとに保存する
プロセス処理条件表を備えるコンピュータに、プロセス条件データとプロセス条件の設定に係るデータとを収集してプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定することを実行させるプログラムであって、
判定条件を、それにプロセス条件の設定に対応するデータをプロセス処理条件表から読み出してセットした後に、プロセス条件データに適用し、このプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定する工程を実行させることを特徴とする装置データ収集プログラムとしたものである。
【００２３】
また請求項１０の発明では、前記コンピュータが、単一又は複数の判定条件の組み合わせごとに、発生アカウントと、判定回数と、対処方法とを保存する異常時対処表を備え、
異常時対処表に既登録の判定条件の組み合わせについて、それぞれの判定条件を、それぞれのプロセス条件データに適用する度に、判定回数を数えて記憶し、この組み合わせに属するすべての判定条件で異常と判定する度に、発生カウントを数えて記憶する工程と、
この組み合わせについて、記憶している発生カウントと判定回数とが、それぞれ、異常時対処表に保存している発生アカウントと判定回数とに一致した場合に、アラームを発報するとともに、この組み合わせと、記憶している発生カウントと判定回数とで特定される対処方法を異常時対処表から読み出して、異常と判定したそれぞれのプロセス条件データと、読み出した対処方法とを表示する工程とを実行させることを特徴とする請求項９記載の装置データ収集プログラムとしたものである。
【００２４】
また請求項１１の発明では、異常と判定したプロセス条件データに適用した判定条件の組み合わせが異常対処表に登録されていない場合、この組み合わせについて、それぞれの判定条件を、それぞれのプロセス条件データに適用する度に、判定回数を数えて記憶し、この組み合わせに属するすべての判定条件で異常と判定する度に、発生カウントを数えて記憶する工程と、
プロセス処理をした基板の検査結果を収集する工程と、
プロセス処理をした基板の検査結果が不良である場合、対処方法を入力させ、この組み合わせについて、この組み合わせと、記憶している発生アカウントと判定回数と、入力させた対処方法とを異常対処表に登録する工程とを実行させることを特徴とする請求項１０記載の装置データ収集プログラムとしたものである。
【００２５】
また請求項１２の発明では、プロセス処理をした基板の検査結果を収集する工程と、
プロセス処理をした基板の検査結果が不良である場合、この組み合わせについて、記憶している発生アカウントと判定回数とに基づいて、異常対処表に保存されている発生アカウントと判定回数とを更新する工程とを実行させることを特徴とする請求項１０記載の装置データ収集プログラムとしたものである。
【発明の効果】
【００２６】
請求項１、５、及び９に係る発明は、プロセス条件の設定に左右されず、プロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定することができるという効果がある。
【００２７】
請求項２、６、及び１０に係る発明は、判定条件或いは判定条件の組み合わせごとに対処方法を表示するので、単一の判定条件で検出される異常だけでなく、複数の判定条件で初めて検出される異常にも迅速に対処でき、また、同じ判定条件或いは判定条件の組み合わせでも、発生カウント及び判定回数により異なる対処方法を表示できるので、突発的な異常であるか、或いは、経年変化による異常であるかなど、異常の質と度合いとに応じた適切な対処が可能になるという効果がある。
【００２８】
請求項３、７、及び１１に係る発明は、異常時対処表に未登録の判定条件の組み合わせがあっても、この組み合わせに属する判定条件すべてで異常となり、プロセス処理をした
基板の検査結果が不良となった時点で、この組み合わせを異常時対処表に登録できるので、常に、新しい異常を発見して、これに対処することができるという効果がある。
【００２９】
請求項４、８、及び１２に係る発明は、異常時対処表に既登録の判定条件の組み合わせについて、実際に、プロセス処理した基板の検査結果が不良となるまで、発生カウントと判定回数とを数えて、異常時対処表の発生カウントと判定回数とを更新するので、不良が発生するタイミングをより精度良く検出できるという効果がある。
【００３０】
以上、本発明では、正常なプロセス処理を確実かつ容易に行えるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】装置データ収集システムの構成を示す図。
【図２】プロセス処理条件表の例を示す図。
【図３】判定条件表の例を示す図。
【図４】異常時対処表の例を示す図。
【図５】異常データ処理の流れの前半を示すフローチャート。
【図６】異常データ処理の流れの後半を示すフローチャート。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下に、本発明の一実施形態を説明する。
【００３３】
本実施形態において、装置データ収集システム（以下ＥＥＳとも呼ぶ）は、図１に示すように、収集コントローラと、ライン管理システムと、検査装置と接続されているパソコンである。
【００３４】
ＥＥＳは、図１に示すように、収集コントローラから、センサ信号で検知される、ポンプの圧力、ステージの振動、洗浄液流量などの実際の値を表す各プロセス装置動作時のプロセス条件データ（以下、プロセスデータ、或いは、アナログデータとも呼ぶ）を、数ｍｓ周期で、また、各プロセス装置の動作信号（以下、デジタルデータとも呼ぶ）を、それぞれ、各プロセス装置の装置情報として収集して装置情報データベースに保存し管理する。各プロセス装置の装置情報は、時系列に値を並べた波形データであり、ＥＥＳは、この波形データをリアルタイムに画面に表示する。
【００３５】
またＥＥＳは、図１に示すように、収集コントローラから各プロセス装置の装置情報（アナログデータやデジタルデータ）を収集している間に、ライン管理システムから、各プロセス装置でプロセス処理を行った基板を識別する基板ＩＤと、そのプロセス処理を行う際のプロセス条件の設定値（装置の設定値とも呼ぶ）とを、各プロセス装置の装置情報に紐付けて収集して、基板ＩＤ情報として基板ＩＤ情報データベースに保存し管理する。
【００３６】
ライン管理システムは、工場内の装置の生産状況や生産実績などのデータをリアスタイムに収集して管理するシステムで、収集しているデータに基板ＩＤや装置の設定値なども含めることで、プロセス処理を行っている際の基板ＩＤや装置の設定値の取得がリアルタイム（プロセス処理直後）に可能となる。
【００３７】
またＥＥＳは、図１に示すように、検査装置から検査結果ファイルを受信して検査結果情報として検査結果情報データベースに保存し管理する。この検査結果ファイルは、この検査装置で検査された基板の検査結果を表すものである。ＥＥＳは、基板ＩＤにより、この基板ＩＤで識別される基板に対してプロセス処理を行ったプロセス装置の装置情報と、この基板ＩＤで識別される基板の検査結果を表す検査結果ファイルとを紐付ける。
【００３８】
またＥＥＳは、図１に示すように、収集したアナログデータが正常か或いは異常であるかの判定に係る異常データ処理を行うために、プロセス処理条件情報、判定条件情報、異常時の対処情報を、それぞれ、プロセス処理条件表、判定条件表、異常時対処表という表形式のデータベースに保存して管理する。
【００３９】
個々のプロセス条件の設定は、レシピと呼ばれ、ＥＥＳは、予め、レシピを識別するレシピＮｏとプロセス条件の設定値とを紐付けてレシピデータベースに保存し管理している（図示せず）。
【００４０】
図２に、プロセス処理条件表の例を示す。図２に示す例では、プロセス処理条件表の項目として、「レシピＮｏ」、「標準波形」、「レシピ値（閾値とも呼ぶ）」があり、「標準波形」、「レシピ値」は、それぞれ、さらに細分化された項目に分かれる。そして、図２に示す例は、レシピＮｏで識別されるレシピごとに、「標準波形」や「レシピ値」の細分化された個々の項目の値を設定するものである。
【００４１】
図３に、判定条件表の例を示す。図３に示す例では、判定条件表の項目として、「メイン区間」、「サブ区間」、「監視対象波形」、「監視内容」、「異常検出パターン」、「発生異常ＩＤ」があり、「監視内容」は、「基準波形比較」、「特徴量判定」の２つの項目に別れ、「基準波形比較」は、「対象波形」、「上下限値比較」、「タイミング比較」の３つの項目からなり、「特徴量判定」は、「抽出特徴量」、「判定方法」、「比較値」の３つの項目からなる。
【００４２】
「メイン区間」は、プロセス処理の単位を設定するものである。また、「サブ区間」は、「メイン区間」で設定されたプロセス処理の単位を、さらに詳細に分ける単位を設定するものである。プロセス処理単位の詳細な単位への区分けは、特定のタイミング（デジタルデータのＯＮ／ＯＦＦ、経過時間などのタイミング）を用いて行っても良い。
【００４３】
「監視対象波形」は、正常であるか或いは異常であるかの監視対象であるアナログの波形データを設定するものである。
【００４４】
「基準波形比較」は、「対象波形」で「標準波形」を設定し、「上下限値比較」或いは「タイミング比較」を設定することにより、「サブ区間」が設定されていれば「サブ区間」に設定されたプロセス処理単位で、「サブ区間」が設定されていなければ「メイン区間」に設定されたプロセス処理単位で、「監視対象波形」で設定されたアナログの波形データを切り出し、切り出した波形データを、「対象波形」で設定された「標準波形」と、「上下限値比較」或いは「タイミング比較」で設定された上下限値比較或いはタイミング比較をして、正常であるか或いは異常であるかを判定する条件を設定するものである。尚、「対象波形」で設定された「標準波形」が鉤括弧で囲まれているのは、この「標準波形」が、プロセス処理条件表の項目の「標準波形」中の細分化された項目であって、その値はプロセス処理条件表によりレシピごとに決まることを意味している。
【００４５】
「特徴量判定」は、「抽出特徴量」、「判定方法」、「比較値」を設定することにより、「サブ区間」が設定されていれば「サブ区間」に設定されたプロセス処理単位で、「サブ区間」が設定されていなければ「メイン区間」に設定されたプロセス処理単位で、「監視対象波形」で設定されたアナログの波形データを切り出し、切り出した波形データから、「抽出特徴量」で設定された特徴量を抽出し、この特徴量と、「比較値」で設定された比較値とを用いて、「判定方法」で設定された判定方法に従って、切り出した波形データが正常であるか或いは異常であるかを判定する条件を設定するものである。設定される比較値は、「レシピ値」を用いるものでも良いし、設定値とも呼ばれる任意の値を用いるものでも良い。尚、比較値の設定に用いられる「レシピ値」が鉤括弧で囲まれているのは、この「レシピ値」が、プロセス処理条件表の項目の「レシピ値」中の細分化された項目であって、その値はプロセス処理条件表によりレシピごとに決まることを意味している。
【００４６】
「異常検出パターン」は、「監視内容」で設定された判定条件で検出される異常の名称を設定するものである。
【００４７】
「発生異常ＩＤ」は、「監視内容」で設定された判定条件で発生が検出される異常を識別するＩＤを設定するものであって、このＩＤは、「監視内容」で設定された判定条件を識別するものにもなっている。
【００４８】
図４に、異常時対処表の例を示す。図４に示す異常時対処表では、異常時対処表の項目として、「Ｎｏ」、「発生異常ＩＤ判定」、「発生カウント」、「判定回数」、「対処方法」がある。
【００４９】
「発生異常ＩＤ判定」は、単一又は複数の発生異常ＩＤの組み合わせが設定され、複数の発生異常ＩＤの組み合わせを設定する場合には、個々の発生異常ＩＤをａｎｄで繋ぐものである。そして「Ｎｏ」は、発生異常ＩＤの組み合わせを識別する番号を設定するものである。
【００５０】
「対処方法」は、「発生異常ＩＤ判定」に設定されている発生異常の組み合わせに属する発生異常ＩＤで識別される異常が、すべて、「判定回数」で設定された数だけ最近判定した基板の中で、「発生アカウント」で設定された数の枚数で発生したときの対処方法を設定するものである。
【００５１】
例えば、図４に示す異常時対処表で、「発生異常ＩＤ判定」が００３、「発生カウント」が５、「判定回数」が１０の場合に「対処方法」に設定されている（○○開始時刻を××だけ増加／減少させる）は、発生異常ＩＤが００３の異常が、最近判定した基板１０枚中５枚で発生したときの対処方法である。
【００５２】
また例えば、図４に示す異常時対処表で、「発生異常ＩＤ判定」が００３、「発生カウント」が１０、「判定回数」が２０の場合に「対処方法」に設定されている（□□のメンテを行う）は、発生異常ＩＤが００３の異常が、最近判定した基板２０枚中１０枚で発生したときの対処方法である。
【００５３】
また例えば、図４に示す異常時対処表で、「発生異常ＩＤ判定」が００１ａｎｄ００２ａｎｄ００３、「発生カウント」が１、「判定回数」が１の場合に「対処方法」に設定されている（○○のメンテを行う）は、発生異常ＩＤが００１〜００３の異常が、すべて、最近判定した基板１枚中１枚で発生したときの対処方法である。
【００５４】
以下に、ＥＥＳが行う異常データ処理の流れを、図５及び図６のフローチャートに従って説明する。
【００５５】
Ｓ（ＳＴＥＰ）１；
基板ＩＤ情報データベースと、レシピデータベースとから、プロセス処理直後の基板の
基板ＩＤとレシピＮｏとを取得し、取得したレシピＮｏより、プロセス条件表から、「標準波形」や「レシピ値（閾値とも呼ぶ）」の細分化された個々の項目の値を取得し判定条件表から読み出した各判定条件にセットする。そして、取得した基板ＩＤにより、装置情報データベースから、プロセス処理直後の基板のアナログデータを読み出し、このアナログデータに対して、「標準波形」や「レシピ値（閾値とも呼ぶ）」の細分化された個々の項目の値をセットした各判定条件を適用して、正常である異常であるかを判定する。
【００５６】
Ｓ（ＳＴＥＰ）２；
記憶している発生異常ＩＤの各組み合わせの各判定回数を１だけカウントアップする。
【００５７】
Ｓ（ＳＴＥＰ）３；
異常が検出されたならば、ＳＴＥＰ４に進み、
他方、異常が検出されなければ、ＳＴＥＰ１に戻る。
【００５８】
Ｓ（ＳＴＥＰ）４；
同時に発生した異常の発生異常ＩＤの組み合わせと、これら発生異常ＩＤの異常を示したアナログデータのプロセス処理単位の部分とを取得する。
【００５９】
Ｓ（ＳＴＥＰ）５；
ＳＴＥＰ４で取得した発生異常ＩＤの組み合わせについて、この組み合わせと発生カウントと判定回数とを記憶しているかを確かめ、
記憶しているならば、ＳＴＥＰ６に進み、
記憶していないならば、ＳＴＥＰ７に進む。
【００６０】
Ｓ（ＳＴＥＰ）６；
ＳＴＥＰ４で取得した発生異常ＩＤの組み合わせについて、記憶している発生カウントを１だけカウントアップさせて、ＳＴＥＰ８に進む。
【００６１】
Ｓ（ＳＴＥＰ）７；
ＳＴＥＰ４で取得した発生異常ＩＤの組み合わせについて、この組み合わせと、発生カウントとして１と、判定回数として１とを記憶する。
【００６２】
Ｓ（ＳＴＥＰ）８；
ＳＴＥＰ４で取得した発生異常ＩＤの組み合わせは異常時対処表に存在するかを確かめ、
存在しているならば、ＳＴＥＰ１３に進み、
他方、存在していないならば、ＳＴＥＰ９に進む。
【００６３】
Ｓ（ＳＴＥＰ）９；
ＳＴＥＰ１で取得した基板ＩＤにより、検査情報データベースから、プロセス処理直後の基板の検査結果を表す検査結果ファイルを読み出し、この検査結果が良好（ＯＫ）であるか或いは不良（ＮＧ）であるかを確かめ、
良好（ＯＫ）であるならば、ＳＴＥＰ１に戻り、
不良（ＮＧ）であるならば、ＳＴＥＰ１０に進む。
【００６４】
Ｓ（ＳＴＥＰ）１０；
対処方法を入力させる。
【００６５】
Ｓ（ＳＴＥＰ）１１；
取得した発生異常ＩＤの組み合わせについて、この組み合わせと、記憶している発生カ
ウントと判定回数と、入力させた対処方法とを、異常時対処表に登録する。
【００６６】
Ｓ（ＳＴＥＰ）１２；
取得した発生異常ＩＤの組み合わせについて、記憶している発生カウントと判定回数とを、それぞれ０に初期化して、ＥＮＤに進む。
【００６７】
Ｓ（ＳＴＥＰ）１３；
ＳＴＥＰ４取得した発生異常ＩＤの組み合わせについて、記憶している発生カウントと判定回数との組に、それぞれ、異常時対処表の中で一致する発生カウントと判定回数との組が保存されているかを確かめ、
保存されているならば、ＳＴＥＰ１４に進み、
保存されていないならば、ＳＴＥＰ１５に進む。
【００６８】
Ｓ（ＳＴＥＰ）１４；
ＳＴＥＰ４で取得した発生異常ＩＤの組み合わせについて、この組み合わせと、記憶している発生カウントと判定回数とにより、異常時対処表から、対処方法を読み出し、ＳＴＥＰ４で取得したこれら発生異常ＩＤの異常を示したアナログデータのプロセス処理単位の部分と、この対処方法とを画面に表示すると同時に、アラームを発報して、ＳＴＥＰ１６に進む。
【００６９】
但し、ＳＴＥＰ４で取得した発生異常ＩＤの組み合わせに属する個々の発生異常ＩＤについて記憶している発生カウントと判定回数との組に、それぞれ、異常時対処表の中で一致する発生カウントと判定回数との組が保存されているとしても、個々の発生異常ＩＤで識別される異常が別個独立に発生したのとは異なった事態が発生したとして、個々の発生異常ＩＤに対応する対処方法を、異常時対処表から読み出して画面に表示することは行わない。
【００７０】
Ｓ（ＳＴＥＰ）１５；
ＳＴＥＰ４で取得した発生異常ＩＤの組み合わせについて、これら発生異常ＩＤの異常を示したアナログデータのプロセス処理単位の部分と、警告とを画面に表示する。
【００７１】
Ｓ（ＳＴＥＰ）１６；
ＳＴＥＰ１で取得した基板ＩＤにより、検査情報データベースから、プロセス処理直後の基板の検査結果を表す検査結果ファイルを読み出し、この検査結果が良好（ＯＫ）であるか或いは不良（ＮＧ）であるかを確かめ、
良好（ＯＫ）であるならば、ＳＴＥＰ１に戻り、
不良（ＮＧ）であるならば、ＳＴＥＰ１７に進む。
【００７２】
尚、ＳＴＥＰ４取得した発生異常ＩＤの組み合わせについて、記憶している発生カウントと判定回数との組に、それぞれ、異常時対処表の中で一致する発生カウントと判定回数との組が保存されているにも拘らず、良好（ＯＫ）である場合は、この一致する異常時対処表の中の「発生カウント」と「判定回数」との設定を見直すように促す表示を画面にしても良い。
【００７３】
Ｓ（ＳＴＥＰ）１７；
ＳＴＥＰ４で取得した発生異常ＩＤの組み合わせについて、記憶している発生カウントと判定回数とに基づいて、それぞれ、異常時対処表の発生カウントと判定回数とを更新する。
【００７４】
この更新は、例えば、図４に示す異常時対処表の「Ｎｏ」が４の場合のように、発生異
常ＩＤの組み合わせに対して、一つの発生カウントと判定回数との組のみが登録されている場合のみ、記憶している発生カウントと判定回数と、それぞれ、異常時対処表に保存されている発生カウントと判定回数との平均値を取り、これらの平均値で、異常時対処表の発生カウントと判定回数とを更新しても良いし、或いは、単に、記憶している発生カウントと判定回数とで、異常時対処表の発生カウントと判定回数とを更新しても良い。
【００７５】
また例えば、図４に示す異常時対処表の「Ｎｏ」が２や３の場合のように、発生異常ＩＤの組み合わせに対して、複数の発生カウントと判定回数との組が登録されている場合には、記憶している発生カウントと判定回数との組に最も近い異常時対処表の発生カウントと判定回数との組についてのみ、記憶している発生カウントと判定回数と、それぞれ、異常時対処表に保存されている発生カウントと判定回数との平均値を取り、これらの平均値で、異常時対処表の発生カウントと判定回数とを更新しても良いし、或いは、単に、記憶している発生カウントと判定回数とで、異常時対処表の発生カウントと判定回数とを更新しても良い。
【００７６】
Ｓ（ＳＴＥＰ）１８；
取得した発生異常ＩＤの組み合わせについて、記憶している発生カウントと判定回数とを、それぞれ０に初期化して、ＥＮＤに進む。
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図１】
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