(57)【要約】【課題】  排気ガス流量制御弁（ボールバルブ）において、シール性能が損なわれることなく、十分なシール性能を発揮することを課題とする。【解決手段】  リップシール５の弾性力を必要最小限にした場合であっても、ハウジング１の内部に設置された板スプリング６の付勢力のみで、スラスト方向にも、また、ラジアル方向にも、シートリング４を押圧付勢している。これによって、バルブ３の全閉時に、ＥＧＲガス流の中心軸線に対してバルブ３の軸心ズレが発生している場合であっても、シートリング４がバルブ３に倣って（調芯されて）、バルブ３がシートリング４のバルブシート面５２に正規の位置で着座する。これにより、バルブ３の全閉時に、バルブ３のバルブシール面５１とシートリング４のバルブシート面５２とを密着させることが可能となる。したがって、十分なシール性能を発揮することができる。【選択図】  図２
2011231877.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）内部に流体流路が形成されたハウジングと、
（ｂ）このハウジングに回転自在に設置されて、前記流体流路を開閉するバルブと、
（ｃ）このバルブを固定すると共に、前記バルブの回転軸方向に延びるシャフトと、
（ｄ）前記ハウジングに対して弾性支持されて、前記バルブが着座、離脱するシートリングと、
（ｅ）前記ハウジングに設置されて、前記バルブ側に前記シートリングを押圧付勢する押圧付勢手段と
を備え、
前記バルブの回転軸方向に対して、前記バルブの全閉時における前記シートリングに対する前記バルブのシール位置を偏心させた流体制御弁において、
前記バルブは、前記流体流路に設けられる曲率中心点を中心とした曲率半径を持つ球面の一部で構成されるシール面を有し、
前記シートリングは、前記シール面と同一曲率中心点で、且つ前記シール面と略同一曲率半径を持つ球面の一部で構成されるシート面を有し、
前記押圧付勢手段は、前記流体流路を流通する流体流れの軸方向に対して前記シール面の曲率中心側に傾斜する方向に向けて前記シートリングを押圧付勢するように構成されていることを特徴とする流体制御弁。
【請求項２】
請求項１に記載の流体制御弁において、
前記シートリングは、前記流体流路を流通する流体流れの軸方向およびその軸方向に対して直交する垂直方向に移動自在に設置されていることを特徴とする流体制御弁。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の流体制御弁において、
前記バルブは、前記シートリングのシート面に対して着座、離脱して前記流体流路を閉鎖、開放するように構成されていることを特徴とする流体制御弁。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のうちのいずれか１つに記載の流体制御弁において、
前記押圧付勢手段は、前記バルブと前記シートリングとを密着させる方向に、前記シートリングを押圧付勢する押圧付勢部材を有していることを特徴とする流体制御弁。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のうちのいずれか１つに記載の流体制御弁において、
前記押圧付勢手段は、前記バルブのシール面側に前記シートリングを押圧付勢する押圧付勢部材を有していることを特徴とする流体制御弁。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のうちのいずれか１つに記載の流体制御弁において、
前記シートリングは、前記シート面側に対して前記流体流路を流通する流体流れの軸方向の反対側に当接面を有していることを特徴とする流体制御弁。
【請求項７】
請求項６に記載の流体制御弁において、
前記当接面は、前記流体流路を流通する流体流れの軸方向に対して所定の傾斜角度分だけ前記シート面側に向けて上り勾配となるように傾斜した傾斜面で構成されていることを特徴とする流体制御弁。
【請求項８】
請求項６に記載の流体制御弁において、
前記当接面は、前記シール面と同一曲率中心点で、且つ前記シール面および前記シート面の曲率半径よりも大きい曲率半径を持つ球面の一部で構成されていることを特徴とする流体制御弁。
【請求項９】
請求項７または請求項８に記載の流体制御弁において、
前記押圧付勢手段は、前記当接面に当接して前記シートリングを押圧付勢する板ばねを有していることを特徴とする流体制御弁。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項５のうちのいずれか１つに記載の流体制御弁において、
前記シートリングは、前記シート面側に対して前記流体流路を流通する流体流れの軸方向の反対側に係止部を有していることを特徴とする流体制御弁。
【請求項１１】
請求項１０に記載の流体制御弁において、
前記押圧付勢手段は、前記係止部に係止されて前記シートリングを押圧付勢する円錐スプリングを有していることを特徴とする流体制御弁。
【請求項１２】
請求項１ないし請求項７のうちのいずれか１つに記載の流体制御弁において、
前記シートリングは、前記シート面側に対して前記流体流路を流通する流体流れの軸方向の反対側に、前記流体流路を流通する流体流れの軸方向に対して、所定の傾斜角度分だけ前記シート面側に向けて上り勾配となるように傾斜した傾斜面を有していることを特徴とする流体制御弁。
【請求項１３】
請求項１２に記載の流体制御弁において、
前記押圧付勢手段は、前記傾斜面に当接して前記シートリングを押圧付勢するゴム弾性体を有していることを特徴とする流体制御弁。
【請求項１４】
請求項１ないし請求項１３のうちのいずれか１つに記載の流体制御弁において、
前記流体制御弁は、前記ハウジングと前記シートリングとの間の隙間をシールすると共に、前記流体流路を流通する流体流れの軸方向に対して直交する径方向に弾性変形可能な環状のシール部材を備えたことを特徴とする流体制御弁。
【請求項１５】
請求項１４に記載の流体制御弁において、
前記ハウジングは、前記シートリングの周囲を周方向に取り囲む周壁を有し、
前記シートリングは、前記周壁の壁面に対向する対向面を有し、
前記シール部材は、前記周壁の壁面と前記シートリングの対向面との間の環状隙間をシールすることを特徴とする流体制御弁。
【請求項１６】
請求項１５に記載の流体制御弁において、
前記シール部材は、前記周壁の壁面に弾性接触する環状の外周部、および前記シートリングの対向面に弾性接触する環状の内周部を有していることを特徴とする流体制御弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バルブの回転軸に対して、バルブのシール面とシートリングのシート面とのシール位置が偏心した流体制御弁に関するもので、特に内燃機関より流出した排気ガスを制御する排気ガス制御弁（排気ガス流量制御弁）に係わる。
【背景技術】
【０００２】
［従来の技術］
従来より、流体制御弁として、図６ないし図８に示したように、エンジン本体１０１に結合するハウジング１０２と、このハウジング１０２に回転自在に支持されるシャフト１０３と、このシャフト１０３に支持固定されるバルブ１０４と、このバルブ１０４が着座可能なシートリング１０５と、ハウジング１０２の内部でシートリング１０５を弾性的に支持する弾性支持手段（Ｏリング１０６、保持リング１０７）とを備え、シャフト１０３、バルブ１０４の回転軸に対して、バルブ１０４のバルブシール面１１１とシートリング１０５のバルブシート面１１２とのシール位置が偏心した偏心型バタフライ弁（ボールバルブ）が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
バルブ１０４は、シートリング１０５のバルブシート面１１２に対して着座、離脱して流体流路１０８を閉鎖、開放する。
そして、バルブ１０４のバルブシール面１１１は、曲率中心点を中心とした曲率半径を有する球面の一部を構成している。
また、シートリング１０５のバルブシート面１１２は、バルブシール面１１１と同一曲率半径またはバルブシール面１１１よりも僅かに小さい曲率半径を有している。
【０００４】
ここで、エンジン本体１０１の円筒部１２１とハウジング１０２の内周凸部１２２との軸方向距離は、図８に示したように、シートリング１０５の肉厚（軸線方向寸法）よりも僅かに大きくなっている。
そして、エンジン本体１０１の円筒部１２１の結合端面に形成された環状溝１２３にＯリング１０６が圧縮状態で装着されている。このＯリング１０６は、合成ゴム弾性体製で、バルブ１０４の全閉時に、バルブ１０４のバルブシール面１１１に対して、流体流路１０８の流体流れの軸線方向（スラスト方向）に向けてシートリング１０５を押圧付勢している。これにより、シートリング１０５は、ハウジング１０２の内部においてスラスト方向に移動可能に弾性支持される。
【０００５】
また、ハウジング１０２の内周凹部１２４の内径は、図８に示したように、シートリング１０５の外径（半径方向寸法）よりも僅かに大きくなっている。
そして、ハウジング１０２の内周凹部１２４の内周面に形成された環状溝１２５に保持リング１０７が装着されている。そして、シートリング１０５は、保持リング１０７を介してハウジング１０２の内周凹部１２４に摺動自在に当接している。また、保持リング１０７は、合成樹脂製で、バルブ１０４の全閉時に、バルブ１０４のバルブシール面１１１に対して、流体流路１０８の流体流れの軸線方向に対して垂直な半径方向（ラジアル方向）に向けてシートリング１０５を押圧付勢している。これにより、シートリング１０５は、ハウジング１０２の内部においてラジアル方向に移動可能に弾性支持される。
【０００６】
［従来の技術の不具合］
ところが、特許文献１に記載の偏心型バタフライ弁（ボールバルブ）においては、バルブ１０４の全閉位置から中間位置を経て全開位置に至るまでのバルブ回転範囲内で常にシートリング１０５とバルブ１０４とが摺動しており、バルブ１０４がその回転軸を中心にして全閉位置から全開位置に向けて回転するに従って、バルブ１０４とシートリング１０５との摺動部分の接触面積が変化（減少）する。これにより、シートリング１０５のバルブシート面１１２に偏摩耗（真円ズレ）が発生し、バルブ１０４の全閉時にシートリング１０５のバルブシート面１１２における偏摩耗により生じる隙間（バルブ１０４のバルブシール面１１１との間に形成される隙間）から流体（例えば吸入空気）が洩れる等の不具合が発生する。すなわち、シートリング１０５に発生する偏摩耗によって、バルブ１０４の全閉時における吸気洩れ流量が増加するという問題が生じる。
【０００７】
ところで、例えばディーゼルエンジン等の内燃機関（エンジン）の燃焼室より排出される排気ガス中に含まれる有害物質（例えば窒素酸化物：Ｎｏｘ）の低減を図るという目的で、排気ガスの一部であるＥＧＲガスを排気通路から吸気通路に再循環させる排気ガス還流管（ＥＧＲガスパイプ）を備えた排気ガス循環装置（ＥＧＲシステム）が公知である。このＥＧＲシステムにおいて、排気ガスを吸気通路に還流させると、エンジンの出力および運転性の低下を伴うので、ＥＧＲガスパイプの途中に排気ガス（ＥＧＲガス）の流量を制御するＥＧＲガス流量制御弁が設置されている。
【０００８】
そして、このＥＧＲガス流量制御弁に、図９ないし図１１に示したように、特許文献１に記載の偏心型バタフライ弁（ボールバルブ）を適用した場合、バルブ１０４がその回転軸を中心にして回転することにより、特許文献１に記載の偏心型バタフライ弁（ボールバルブ）と同様に、シートリング１０５とバルブ１０４との摺動部分の接触面積が変化する。なお、バルブ１０４の全閉時には、図９に示したように、バルブ１０４のバルブシール面１１１とシートリング１０５のバルブシート面１１２とが全周シールとなり、バルブシート面１１２とバルブシール面１１１との接触面積が最も大きくなる。
【０００９】
また、バルブ１０４が全閉開度から中間開度まで回転した場合には、図１０に示したように、バルブ１０４とシートリング１０５との摺動部分１３１の接触面積がバルブ１０４の全閉時よりも小さくなる。
また、バルブ１０４が中間開度から全開開度まで回転した場合には、図１１に示したように、バルブ１０４とシートリング１０５との摺動部分１３２の接触面積が図１０の中間開度の時よりも小さくなる。
【００１０】
したがって、ＥＧＲガス流量制御弁においては、バルブ１０４の全閉開度から全開開度に至るまで常にバルブ１０４とシートリング１０５とが摺動しており、シャフト１０３が回転するに従って、バルブ１０４とシートリング１０５との摺動部分の接触面積が小さくなるため、バルブ１０４とシートリング１０５との摺動部分１３１、１３２、特に摺動部分１３２において偏摩耗量が大きくなる。
これにより、バルブ１０４の全閉時においてシートリング１０５のバルブシート面１１２における偏摩耗により生じる隙間からＥＧＲガスが洩れるため、バルブ１０４の全閉時におけるＥＧＲガス洩れ流量が増加（つまりシール性能が低下）するという問題が生じる。
【００１１】
［先行の技術の不具合］
そこで、バルブ１０４の全閉時においてシートリング１０５のバルブシート面１１２における偏摩耗の発生を抑制することで、バルブ１０４の全閉時におけるＥＧＲガス（流体）洩れ流量の増加（つまりシール性能の低下）を防止するという目的で、既に特願２００９−１９２３１７（平成２１年８月２１日出願）を出願した。この出願のＥＧＲガス流量制御弁は、図１２に示したように、ハウジング１０２、シャフト１０３、バタフライ型のバルブ１０４、シートリング１０５、スプリング１０９およびリップシール１１０を備えている。
スプリング１０９は、バルブ１０４とシートリング１０５とを密着させる方向（吸気流方向の軸線方向、スラスト方向）にシートリング１０５を押圧付勢する弾性支持部材を構成している。
【００１２】
また、リップシール１１０は、ハウジング１０２の内周面とシートリング１０５の外周面との間に介装されて、ハウジング１０２の内周面とシートリング１０５の外周面との間の環状隙間をシールするシール部材である。このリップシール１１０には、ハウジング１０２の内周面に弾性接触する円環状のゴムリップ、およびシートリング１０５の外周面に弾性接触する円環状のゴムリップが設けられている。
ここで、図１２のＥＧＲガス流量制御弁は、バルブ１０４を開弁する際に、シートリング１０５がラジアル方向に自由度を持って暴れて（ラジアル方向に揺動して）、シートリング１０５のバルブシート面１１２が擦れて偏摩耗する可能性がある。このため、バルブ１０４の全閉時におけるＥＧＲガス洩れ流量が増加（つまりシール性能が低下）するのを防止するので、スプリング１０９に加えてリップシール１１０のラジアル方向の弾性力でシートリング１０５を保持している。
【００１３】
ところが、図１２のＥＧＲガス流量制御弁においては、リップシール１１０の弾性力がスプリング１０９のスプリング荷重に対して過大であると、バルブ１０４の中心が流体流路１０８の流体流れの中心軸線に対してズレている場合、バルブ１０４を全閉した時にシートリング１０５がハウジング１０２に倣ってバルブ１０４が浮いてしまう（バルブ１０４の全閉行程に対してシートリング１０５が追従できない）。すなわち、バルブ１０４の全閉時に、シートリング１０５のバルブシート面１１２とバルブ１０４のバルブシール面１１１とが片当たりして、シートリング１０５のバルブシート面１１２とバルブ１０４のバルブシール面１１１とが周方向全体で気密シール（全周シール）することができず、バルブ１０４の全閉時におけるシール性能が損なわれるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開２００５−３４４８０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明の目的は、シートリングがラジアル方向に自由度を持って暴れて、シートリングのシート面が擦れて偏摩耗することを防いで、シール性能が損なわれることを防ぐことのできる流体制御弁を提供することにある。また、シール性能が損なわれることなく、十分なシール性能を発揮することのできる流体制御弁を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
請求項１に記載の発明によれば、バルブの回転軸方向に対して、バルブの全閉時におけるシートリングに対するバルブのシール位置を偏心させた流体制御弁において、ハウジングには、シートリングをバルブ側に押圧付勢する押圧付勢手段が設置されている。
バルブは、流体流路に設けられる曲率中心点を中心とした曲率半径を持つ球面の一部で構成される（凸曲面形状の）シール面を設けている。
シートリングは、バルブのシール面と同一曲率中心点で、且つシール面と略同一曲率半径を持つ球面の一部で構成される（凹曲面形状の）シート面を設けている。
押圧付勢手段は、流体流路を流通する流体流れの軸方向に対してバルブのシール面の曲率中心側に傾斜する（傾斜）方向に向けてシートリングを押圧付勢するように構成されている。
【００１７】
すなわち、流体流路を流通する流体流れの軸方向に対してバルブのシール面の曲率中心側に傾斜する（傾斜）方向に向けてシートリングを押圧付勢する押圧付勢手段をハウジングに設置したことにより、バルブ全閉時に、流体流路を流通する流体流れの中心軸線（流体流路の中心）に対してバルブの位置ズレ（バルブの軸心ズレ）が発生している場合であっても、シートリングがバルブに倣って（調芯されて）、バルブがシートリングのシート面に正規の位置で（つまり片当たりすることなく）着座する。これにより、バルブの全閉時に、バルブのシール面とシートリングのシート面とを密着させることが可能となるので、流体流路を確実に閉鎖（シール）することができる。
【００１８】
また、バルブを開弁する際に、押圧付勢手段のラジアル方向の分力でシートリングを斜めに押圧付勢することにより、シートリングがラジアル方向に自由度を持って暴れるのを防いで、バルブとシートリングとのシート部分（シートリングのシート面）が擦れて偏摩耗することを防ぐことができる。これにより、シール性能が損なわれるのを防ぐことができる。
したがって、シール性能が損なわれることなく、十分なシール性能を発揮することができる。これにより、バルブの全閉時においてシートリングのシート面における偏摩耗により生じる隙間から流体が洩れ出すことはなく、バルブの全閉時における流体洩れ流量の増加を防止することができる。
なお、バルブのシール面およびシートリングのシート面の曲率中心点を、流体流路を流通する流体流れの中心軸線上に設けても良い。
また、ラジアル方向の分力とは、流体流路を流通する流体流れの軸方向およびその軸方向に対して直交する半径方向（垂直方向）の内径側に作用する力（荷重）のことである。  
【００１９】
請求項２に記載の発明によれば、シートリングは、流体流路を流通する流体流れの軸方向およびその軸方向に対して直交する垂直方向に移動自在に設置されている。
請求項３に記載の発明によれば、バルブは、シートリングのシート面に対して着座、離脱して流体流路を閉鎖、開放するように構成されている。
請求項４に記載の発明によれば、押圧付勢手段は、バルブとシートリングとを密着させる方向に、シートリングを押圧付勢する押圧付勢部材を有している。
請求項５に記載の発明によれば、押圧付勢手段は、バルブのシール面側にシートリングを押圧付勢する押圧付勢部材を有している。
【００２０】
請求項６に記載の発明によれば、シートリングは、シート面側に対して流体流路を流通する流体流れの軸方向の反対側に当接面を設けている。
請求項７に記載の発明によれば、シートリングの当接面は、流体流路を流通する流体流れの軸方向に対して所定の傾斜角度分だけシート面側に向けて上り勾配となるように傾斜した傾斜面で構成されている。
請求項８に記載の発明によれば、シートリングの当接面は、バルブのシール面と同一曲率中心点で、且つシール面およびシート面の曲率半径よりも大きい曲率半径を持つ球面の一部で構成されている。
これによって、シートリングの当接面を、バルブのシール面およびシートリングのシート面と同一曲率中心の球面の一部で構成したことにより、シートリングを、バルブのシール面とシートリングのシート面との摺動範囲内で自由に摺動させることができるので、バルブの位置ズレ（バルブの軸心ズレ）に対するシートリングの追従性を高めることができる。
したがって、シール性能が損なわれることなく、十分なシール性能を発揮することができる。
【００２１】
請求項９に記載の発明によれば、押圧付勢手段は、シートリングの当接面に当接してシートリングを押圧付勢する板ばね（押圧付勢部材）を有している。すなわち、押圧付勢手段は、シートリングに設けられる当接面（傾斜面または球面の一部）と、この当接面に当接して（バルブとシートリングとを密着させる方向に、あるいはバルブのシール面側に）シートリングを（斜めに）押圧付勢する板ばねとによって構成されている。
これによって、バルブを開弁する際に、板ばねのラジアル方向の分力でシートリングを斜めに押圧付勢することにより、シートリングがラジアル方向に自由度を持って暴れるのを防いで、バルブとシートリングとのシート部分（シートリングのシート面）が擦れて偏摩耗することを防ぐことができる。これにより、シール性能が損なわれるのを防ぐことができる。  
【００２２】
請求項１０に記載の発明によれば、シートリングは、シート面側に対して流体流路を流通する流体流れの軸方向の反対側に係止部を設けている。
請求項１１に記載の発明によれば、押圧付勢手段は、シートリングの係止部に係止されて（バルブとシートリングとを密着させる方向に、あるいはバルブのシール面側に）シートリングを（斜めに）押圧付勢する円錐スプリング（押圧付勢部材）を設けている。
これによって、バルブ全閉時に、流体流路を流通する流体流れの中心軸線（流体流路の中心）に対してバルブの位置ズレ（バルブの軸心ズレ）が発生している場合であっても、シートリングがバルブに倣って（調芯されて）、バルブがシートリングのシール面に正規の位置で（つまり片当たりすることなく）着座する。これにより、バルブの全閉時に、バルブのシール面とシートリングのシート面とを密着させることが可能となるので、流体流路を確実に閉鎖（シール）することができる。
【００２３】
また、バルブを開弁する際に、円錐スプリングの付勢力（弾性力または復元力）でシートリングを斜めに押圧付勢することにより、シートリングがラジアル方向に自由度を持って暴れるのを防いで、バルブとシートリングとのシート部分（シートリングのシート面）が擦れて偏摩耗することを防ぐことができる。これにより、シール性能が損なわれるのを防ぐことができる。
したがって、シール性能が損なわれることなく、十分なシール性能を発揮することができる。これにより、バルブの全閉時においてシートリングのシート面における偏摩耗により生じる隙間から流体が洩れ出すことはなく、バルブの全閉時における流体洩れ流量の増加を防止することができる。
【００２４】
請求項１２に記載の発明によれば、シートリングは、シート面側に対して流体流路を流通する流体流れの軸方向の反対側に、流体流路を流通する流体流れの軸方向に対して、所定の傾斜角度分だけシート面側に向けて上り勾配となるように傾斜した傾斜面を設けている。
請求項１３に記載の発明によれば、押圧付勢手段は、シートリングの傾斜面に当接して（バルブとシートリングとを密着させる方向に、あるいはバルブのシール面側に）シートリングを（斜めに）押圧付勢する（環状の）ゴム弾性体（押圧付勢部材：例えば合成ゴム製のＯリング等）を設けている。
これによって、バルブ全閉時に、流体流路を流通する流体流れの中心軸線（流体流路の中心）に対してバルブの位置ズレ（バルブの軸心ズレ）が発生している場合であっても、シートリングがバルブに倣って（調芯されて）、バルブがシートリングのシール面に正規の位置で（つまり片当たりすることなく）着座する。これにより、バルブの全閉時に、バルブのシール面とシートリングのシート面とを密着させることが可能となるので、流体流路を確実に閉鎖（シール）することができる。
【００２５】
また、バルブを開弁する際に、ゴム弾性体のラジアル方向の分力でシートリングを斜めに押圧付勢することにより、シートリングがラジアル方向に自由度を持って暴れるのを防いで、バルブとシートリングとのシート部分（シートリングのシート面）が擦れて偏摩耗することを防ぐことができる。これにより、シール性能が損なわれるのを防ぐことができる。
したがって、シール性能が損なわれることなく、十分なシール性能を発揮することができる。これにより、バルブの全閉時においてシートリングのシート面における偏摩耗により生じる隙間から流体が洩れ出すことはなく、バルブの全閉時における流体洩れ流量の増加を防止することができる。
【００２６】
請求項１４に記載の発明によれば、流体制御弁は、ハウジングとシートリングとの間の隙間をシールすると共に、流体流路を流通する流体流れの軸方向に対して直交する径方向に弾性変形可能な環状のシール部材を備えている。
これによって、シール部材の弾性力をハウジングとシートリングとの間の隙間をシールすることが可能な最小限の弾性力にした場合であっても、押圧付勢手段（押圧付勢部材）の力のみで、流体流路を流通する流体流れの軸方向（スラスト方向）にも、また、流体流路を流通する流体流れの軸方向に対して直交する半径方向（ラジアル方向）にもシートリングを押圧付勢することができるので、請求項１に記載の発明の作用及び効果を達成できる。
【００２７】
請求項１５に記載の発明によれば、ハウジングには、シートリングの周囲を周方向に取り囲む周壁が設けられている。シートリングには、ハウジングの周壁の壁面に対向する対向面が設けられている。シール部材は、ハウジングの周壁の壁面（内周面）とシートリングの対向面（外周面）との間の環状隙間をシールするように構成されている。
これによって、シール部材の弾性力をハウジングの周壁の壁面（内周面）とシートリングの対向面（外周面）との間の隙間をシールすることが可能な最小限の弾性力にした場合であっても、押圧付勢手段（押圧付勢部材）の力のみで、スラスト方向にも、また、ラジアル方向にもシートリングを押圧付勢することができるので、請求項１に記載の発明の作用及び効果を達成できる。
請求項１６に記載の発明によれば、シール部材には、ハウジングの周壁の壁面に弾性接触する環状の外周部、およびシートリングの対向面に弾性接触する環状の内周部が設けられている。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】ＥＧＲガス流量制御弁を示した断面図である（実施例１）。
【図２】（ａ）はＥＧＲガス流量制御弁の全閉状態を示した断面図で、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図である（実施例１）。
【図３】ＥＧＲガス流量制御弁の開弁状態を示した断面図である（実施例１）。
【図４】（ａ）はＥＧＲガス流量制御弁の一例を示した断面図で、（ｂ）はＥＧＲガス流量制御弁の他の例を示した断面図である（実施例２）。
【図５】ＥＧＲガス流量制御弁の全閉状態を示した断面図である（実施例３）。
【図６】吸気制御弁の全閉状態を示した説明図である（従来例１）。
【図７】吸気制御弁の中間開度の状態を示した説明図である（従来例１）。
【図８】吸気制御弁の主要部を示した断面図である（従来例１）。
【図９】ＥＧＲガス流量制御弁の全閉状態を示した斜視図である（比較例１）。
【図１０】ＥＧＲガス流量制御弁の中間開度の状態を示した斜視図である（比較例１）。
【図１１】ＥＧＲガス流量制御弁の全開状態を示した斜視図である（比較例１）。
【図１２】ＥＧＲガス流量制御弁を示した断面図である（比較例２）。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明の実施の形態を、図面に基づいて詳細に説明する。
本発明は、シートリングがラジアル方向に自由度を持って暴れて、シートリングのシート面が擦れて偏摩耗することを防いで、シール性能が損なわれることを防ぐという目的、また、シール性能が損なわれることなく、十分なシール性能を発揮するという目的を、流体流路を流通する流体流れの軸方向に対してバルブのシール面の曲率中心側に傾斜する（傾斜）方向に向けて、つまりスラスト方向にも、また、ラジアル方向にもシートリングを押圧付勢する押圧付勢部材を設けることで実現した。
【実施例１】
【００３０】
［実施例１の構成］
図１ないし図３は本発明の実施例１を示したもので、図１はＥＧＲガス流量制御弁を示した図で、図２はＥＧＲガス流量制御弁の全閉状態を示した図である。
【００３１】
本実施例の内燃機関の制御装置（エンジン制御システム）は、複数の気筒（例えば第１〜第４気筒）を有する内燃機関（エンジン）の各気筒毎の燃焼室より流出した排気ガスの一部であるＥＧＲガスを排気管から吸気管に再循環（還流）させる排気ガス循環装置（内燃機関のＥＧＲ制御装置：以下ＥＧＲシステムと言う）と、このＥＧＲシステムを燃料噴射装置等の各システムと関連して制御するエンジン制御ユニット（ＥＣＵ）とを備えている。
【００３２】
ここで、ＥＣＵには、制御処理や演算処理を行うＣＰＵ、制御プログラムまたは制御ロジックや各種データを保存する記憶装置（ＲＯＭやＲＡＭ等のメモリ）等の機能を含んで構成される周知の構造のマイクロコンピュータが設けられている。このＥＣＵは、後述するバルブ開度センサより出力される電気信号（ＥＧＲＶ開度信号）を含む、クランク角度センサ、アクセル開度センサ、エアフロメータ、吸気温度センサおよび冷却水温度センサ等の各種センサからのセンサ出力信号が、Ａ／Ｄ変換器によってＡ／Ｄ変換された後に、マイクロコンピュータに入力されるように構成されている。このマイクロコンピュータは、バルブ開度センサより出力される電気信号（ＥＧＲＶ開度信号）に基づいて、エンジンの吸気管に還流するＥＧＲガスの流量を計測（算出）し、この算出したＥＧＲガスの流量を各種エンジン制御に使用する。
【００３３】
エンジンは、燃料が直接燃焼室内に噴射供給される直接噴射式のディーゼルエンジンが採用されている。このエンジンには、吸気管および排気管が接続されている。
吸気管の内部には、エンジンの各気筒毎の燃焼室に吸入空気を供給するための吸気通路が形成されている。吸気管は、排気通路から導入されたＥＧＲガスを、エアクリーナで濾過された清浄な外気（新規吸入空気：新気）に合流させるＥＧＲガス合流部を備えている。排気管の内部には、エンジンの各気筒毎の燃焼室より流出する排気ガスを排気浄化装置を経由して外部に排出するための排気通路が形成されている。排気管は、ＥＧＲガスをＥＧＲシステムへ分岐させるＥＧＲガス分岐部を備えている。
【００３４】
本実施例のＥＧＲシステムは、ＥＧＲガスパイプ、ＥＧＲガス流量制御弁を備えている。このＥＧＲシステムは、ＥＧＲガス流量制御弁が開弁している時、エンジンより流出した排気ガス（エンジンの排出ガス）の一部が、ＥＧＲガスパイプを経由し、ＥＧＲガスとして吸気通路へ戻される。
ＥＧＲガスパイプは、エンジンの排気ガスを排気通路から吸気通路へ還流させる排気ガス還流管（ＥＧＲパイプ）である。このＥＧＲガスパイプの内部には、排気ガス流路（ＥＧＲガス流路）が形成されている。
【００３５】
ＥＧＲガス流量制御弁は、ＥＧＲガスパイプの途中に設置されている。このＥＧＲガス流量制御弁は、ＥＧＲガス流路の開口面積を変更することで、ＥＧＲガス流路を経由して排気通路から吸気通路へ再循環（還流）されるＥＧＲガスの流量（ＥＧＲガス量）を可変制御する排気ガス流量制御弁である。
【００３６】
ＥＧＲガス流量制御弁は、ＥＧＲガスパイプの途中に結合されるハウジング１と、このハウジング１に回転自在に支持されるシャフト２と、このシャフト２に支持固定されるバルブ３と、ハウジング１に対して弾性支持されるシートリング４と、ハウジング１の内周面とシートリング４の外周面との間の環状隙間を気密的にシールするリップシール（シール部材）５と、バルブ３のバルブシール面とシートリング４のバルブシート面とを密着させる方向に、シートリング４を押圧付勢する押圧付勢手段とを備え、バルブ３の回転軸に対して、バルブ３のバルブシール面とシートリング４のバルブシート面とのシール位置が所定の距離分だけ偏心した流体制御弁（ボールバルブ）である。
【００３７】
ここで、本実施例の押圧付勢手段は、図１ないし図３に示したように、シートリング４に設けられる当接面（後述する）と、この当接面に当接して、ＥＧＲガス流の軸方向（スラスト方向）に対してバルブ３のバルブシール面（球面の一部）の曲率中心側に傾斜する傾斜方向に向けてシートリング４を斜めに押圧付勢する板スプリング（押圧付勢部材）６と、この板スプリング６の脱落を防止するプラグ９とによって構成されている。
【００３８】
本実施例のハウジング１は、耐熱性の金属により形成されており、このハウジング１の前後（上流側および下流側）に配置される両側のＥＧＲガスパイプに締結ボルトを用いて締め付け固定されている。このハウジング１は、シャフト２およびバルブ３を全閉位置から全開位置に至るまで回転方向に開閉自在（回転自在）に保持するバルブボディ（装置）である。
ハウジング１の外壁部には、円筒状のブロック１１、１２が一体的に形成されている。ブロック１１には、センサカバー１３との間に空間（アクチュエータ収容空間）を形成するケーシング１４が一体的に形成されている。
ブロック１１は、ベアリング１５を介して、シャフト２の回転軸方向の一端部を回転自在に支持している。
ブロック１２は、ベアリング１６を介して、シャフト２の回転軸方向の他端部を回転自在に支持している。
【００３９】
センサカバー１３およびケーシング１４には、シャフト２の回転軸方向の一端部に固定される最終減速ギヤ１７、この最終減速ギヤ１７の周囲に螺旋状に巻装されるコイルスプリング１８、磁力を発生するマグネット（永久磁石）１９、およびこのマグネット１９の磁力（または磁束）を検出する非接触式の磁気検出素子を有するホールＩＣ２０等が搭載されている。
センサカバー１３には、ホールＩＣ２０およびヨーク（磁性体）を保持するセンサ搭載部が設けられている。
ケーシング１４には、ブロック状の全閉側ストッパまたはブロック状の全開側ストッパが設けられている。そして、全閉側ストッパまたは全開側ストッパには、全閉側ストッパ部材または全開側ストッパ部材が捩じ込まれている。
【００４０】
ハウジング１は、ＥＧＲガス流の中心軸線方向（スラスト方向）に真っ直ぐに延びる２つの円筒状の第１、第２流路管部（第１、第２ブロック、第１、第２中継パイプ）２１、２２を有している。これらの第１、第２中継パイプ２１、２２間には、環状段差２３が設けられている。
第１中継パイプ２１は、エンジンの排気通路（ＥＧＲガス分岐部）から排気管側のＥＧＲガスパイプ（ＥＧＲガス流路）を経由してハウジング１の内部流路にＥＧＲガスを導入するためのＥＧＲ導入（ＥＧＲ入口）ポート２４が、第１中継パイプ２１の上流端面（開口端面）で開口している。なお、第１中継パイプ２１の内周面（ハウジング１の内周壁面）は、シートリング４の中心軸線上に設けられる曲率中心点を中心にした曲率半径を有する凹曲面である。
【００４１】
また、第１中継パイプ２１の内部には、シートリング４およびリップシール５を収容するシートリング収納空間２５が形成されている。つまり第１中継パイプ２１は、シートリング４の周囲を円周方向に取り囲む周壁（ハウジングの周壁）を構成している。
シートリング収納空間２５よりもＥＧＲガス流方向の上流側（ＥＧＲ導入ポート２４側）の第１中継パイプ２１の内周部には、プラグ９の外周部を圧入固定するプラグ保持部（圧入部）２６、プラグ９のスラスト方向の位置を規制するプラグ係止部（環状段差）２７、プラグ９との間に板スプリング６を挟み込むことで板スプリング６を係止するスプリング係止部（環状段差）２８、および板スプリング６の外周部を圧入固定するスプリング保持部（圧入部、第１中継パイプ２１の凹曲面）が設けられている。
【００４２】
第２中継パイプ２２は、ハウジング１の内部流路から吸気管側のＥＧＲガスパイプ（ＥＧＲガス流路）を経由してエンジンの吸気通路（ＥＧＲガス合流部）にＥＧＲガスを導出するためのＥＧＲ導出（ＥＧＲ出口）ポート２９が、第２中継パイプ２２の下流端面（開口端面）で開口している。
なお、環状段差２３よりもＥＧＲ導入ポート２４側の第１中継パイプ２１の内径は、環状段差２３よりもＥＧＲ導出ポート２９側の第２中継パイプ２２の内径よりも大きくなっている。
【００４３】
ハウジング１、つまり第１、第２中継パイプ２１、２２の内部には、ＥＧＲガス流路３１〜３５が形成されている。ＥＧＲガス流路３１〜３５は、ＥＧＲガス分岐部からＥＧＲガス合流部へＥＧＲガスを還流させるＥＧＲガス流路（ハウジング１の内部流路、流体流路）である。
ＥＧＲガス流路３１は、プラグ９の内部に形成されている。ＥＧＲガス流路３２は、第１中継パイプ２１の内部空間のうちでシートリング収納空間２５のＥＧＲ導入ポート側に設けられている。ＥＧＲガス流路３３は、シートリング４の内部に形成されている。ＥＧＲガス流路３４は、シートリング４の内部、特にバルブシート面内に形成されており、ＥＧＲガス流量制御弁の弁孔を構成する。ＥＧＲガス流路３５は、第１、第２中継パイプ２１、２２の内部空間を跨がるように、シートリング収納空間２５よりもＥＧＲガス流方向の下流側（ＥＧＲ導出ポート側）に設けられている。
【００４４】
ハウジング１には、ＥＧＲガス流路３１〜３５を流通するＥＧＲガス流の軸方向（スラスト方向）に対して直交する垂直方向（シャフト２に平行なバルブ３の回転軸方向）に貫通して延びるシャフト貫通孔３６、３７が形成されている。なお、ハウジング１に形成されるシャフト貫通孔３７の開口部は、プラグ３８により気密的に塞がれている。
ハウジング１のシャフト貫通孔３６の孔壁面には、シャフト２の回転軸方向の一端部を回転自在に軸支する軸受け部材（ベアリング１５等）が嵌合保持されている。また、ハウジング１のシャフト貫通孔３７の孔壁面には、シャフト２の回転軸方向の他端部を回転自在に軸支する軸受け部材（ベアリング１６等）が嵌合保持されている。
【００４５】
本実施例のシャフト２は、耐熱性の金属により形成されており、ＥＧＲガス流路３５およびシャフト貫通孔３６、３７を貫通して真っ直ぐに延設されている。このシャフト２は、ＥＧＲガス流の軸方向に対して直交する垂直方向で、且つバルブ３の回転軸方向に真っ直ぐに延びるように設置されている。
シャフト２の回転軸方向の一端部は、ベアリング１５を介して、ハウジング１に回転自在に支持されている。また、シャフト２の回転軸方向の他端部は、ベアリング１６を介して、ハウジング１に回転自在に支持されている。
また、シャフト２の回転軸方向の一端側（センサカバー側）には、最終減速ギヤ１７の内周部にインサート成形されたバルブギヤプレート３９がかしめ等の固定手段によって固定されている。つまり、シャフト２には、最終減速ギヤ１７が組み付けられている。
【００４６】
そして、シャフト２の回転軸方向の中央部付近には、シャフト２の円周方向の一部が平面カットされた２つの平面部４１、４２、およびこれらの平面部４１、４２を連通するように貫通する２つの挿通孔４３が形成されている。そして、シャフト２の平面部（バルブ固定部）４１には、締結ネジ等のスクリュー４４を用いてバルブ３が締め付け固定されている。
ここで、バルブ３には、２つの挿通孔４３に連通するようにバルブ３の板厚方向に貫通する２つのネジ孔４５が形成されている。スクリュー４４は、平面部４２側から２つの挿通孔４３を貫通して、２つのネジ孔４５に捩じ込まれている。
本実施例では、シャフト２に挿通孔４３を設け、また、バルブ３にネジ孔４５を設けたが、シャフト２にスクリュー４４が螺合するネジ孔を設け、また、バルブ３に挿通孔を設けても良い。
【００４７】
ここで、本実施例のＥＧＲガス流量制御弁は、シャフト２を介して、バルブ３を駆動するアクチュエータを備えている。
アクチュエータは、電力の供給を受けて駆動力を発生するモータ、およびこのモータの駆動力をシャフト２に伝達する動力伝達機構（歯車減速機構）等を有している。
ＥＧＲガス流量制御弁の弁体であるバルブ３を駆動するモータは、ＥＣＵによって電子制御されるモータ駆動回路を介して、自動車等の車両に搭載されたバッテリに電気的に接続されている。
【００４８】
歯車減速機構は、モータのモータシャフト（出力軸）に固定されたモータギヤ、このモータギヤに噛み合う中間減速ギヤ、およびこの中間減速ギヤに噛み合う最終減速ギヤ１７を有している。この最終減速ギヤ１７は、合成樹脂により形成されており、シャフト２の回転軸方向の一端に固定されている。この最終減速ギヤ１７の内周部には、金属よりなるバルブギヤプレート３９がインサート成形されている。また、最終減速ギヤ１７の外周部には、中間減速ギヤと噛み合う複数の凸状歯（ギヤ部）４６が形成されている。
また、ハウジング１のブロック１１および最終減速ギヤ１７には、コイルスプリング１８が螺旋状に巻装されている。
【００４９】
ここで、ハウジング１のケーシング１４の開口部を塞ぐセンサカバー１３およびシャフト２に固定される最終減速ギヤ１７には、バルブ３の回転角度（ＥＧＲガス流量制御弁のバルブ開度）を検出するバルブ開度センサが搭載されている。
バルブ開度センサは、最終減速ギヤ１７の内周部に取り付けられる一対のマグネット（永久磁石）１９と、センサカバー１３のセンサ搭載部にヨークと共に取り付けられるホールＩＣ２０とを備え、マグネット１９の回転角度に対するホールＩＣ２０の出力変化特性を利用してバルブ３の回転角度を検出する非接触式の回転角度検出装置である。
なお、ホールＩＣ２０の代わりに、ホール素子単体、磁気抵抗素子等の非接触式の磁気検出素子を用いても良い。
【００５０】
バルブ３は、耐熱性の金属により円板形状に形成されており、シャフト２の平面部４１にスクリュー４４を用いて締め付け固定されている。このバルブ３は、シートリング４のバルブシート面に対して着座、離脱してＥＧＲガス流路３１〜３５を閉鎖、開放する回転型のプレートバルブ（バタフライバルブ）である。また、バルブ３は、円形状のバルブプレートにより構成されており、ハウジング１の内部流路（ＥＧＲガス流路３１〜３５）に開閉自在（回転自在）に設置（収容）されている。
【００５１】
バルブ３は、ハウジング１の内部流路（ＥＧＲガス流路３１〜３５）を流通するＥＧＲガス流（流体流れ）の中心軸線上に設けられる曲率中心点（ＥＧＲガス流の中心軸線とシャフト２およびバルブ３の回転中心軸線との交点）を中心とした曲率半径を持つ球面の一部で構成される凸曲面形状のバルブシール面（バルブ外周面、凸曲面）５１を有している。このバルブシール面５１は、バルブ３によりＥＧＲガス流路３１〜３５を全閉した際にシートリング４のバルブシート面５２に密着する。そして、バルブ３のバルブシール面５１とシートリング４のバルブシート面５２とが密着すると、ハウジング１内に形成されるＥＧＲガス流路３１〜３５が閉鎖される。また、バルブ３のバルブシール面５１がシートリング４のバルブシート面５２から離脱すると、ＥＧＲガス流路３１〜３５が開放される。
【００５２】
バルブ３は、エンジン運転時に、ＥＣＵからの制御信号に基づいて、ＥＧＲガス流路３１〜３５、特にＥＧＲガス流路３３〜３５を全閉する全閉位置から、ＥＧＲガス流路３１〜３５を全開する全開位置に至るまでのバルブ作動範囲で、シャフト２、バルブ３の回転軸を中心にして回転動作（アクチュエータにより回転駆動）される。これにより、ＥＧＲガス流路３１〜３５、特にＥＧＲガス流路３３〜３５の開口面積（排気ガス流通面積）が変更されるので、排気ガス流量（ＥＧＲガス流量、ＥＧＲ量）が調整される。
【００５３】
なお、バルブ３の全閉時には、バルブ３のバルブシール面５１がシートリング４のバルブシート面５２に着座することで、ＥＧＲガス流路３１〜３５を閉鎖（全閉）する全閉位置（全閉開度の状態）に設定される。また、バルブ３の全開時には、バルブ３のバルブシール面５１がシートリング４のバルブシート面５２より離脱（離座）することで、ＥＧＲガス流路３１〜３５を全開する全開位置（全開開度の状態）に設定される。また、バルブ３は、エンジン運転状況に応じて全閉位置と全開位置との中間の中間開度に設定される。  
【００５４】
シートリング４は、耐熱性の金属または耐熱性の合成樹脂により円筒形状に形成されており、ハウジング１の内部において、ＥＧＲガス流路３１〜３５を流通するＥＧＲガス流の軸方向（スラスト方向）の上流側および下流側に移動自在に設置されている。このシートリング４は、ハウジング１の内部において、スラスト方向に対して直交する垂直方向の内側および外側（ラジアル方向の内径側および外径側）に移動自在に設置されている。
シートリング４は、ＥＧＲガス流路３３、３４の周囲を円周方向に取り囲むように設置された円筒状のノズル（円筒部）を有している。
【００５５】
シートリング４は、その円筒部のスラスト方向の下流側の内周部（開口端面）に、バルブ３を全閉した際にバルブ３のバルブシール面５１が着座（密着）する凹曲面形状のバルブシート面（凹曲面）５２を有している。このバルブシート面５２は、バルブ３のバルブシール面５１と同一曲率中心点で、且つバルブシール面５１と同一曲率半径または僅かに大きい曲率半径を持つ球面の一部で構成されている。
また、シートリング４の円筒部の内部には、ＥＧＲガス流路３３、３４が形成されている。このＥＧＲガス流路３３、３４は、ＥＧＲ導入ポート２４側のＥＧＲガス流路３２とＥＧＲ導出ポート２９側のＥＧＲガス流路３５とを連通する。特にＥＧＲガス流路３４は、バルブシート面５２の内部に形成されている。
【００５６】
また、シートリング４の円筒部の外周部には、ハウジング１の内周壁面（第１中継パイプ２１の凹曲面）との間に、リップシール５を収容する円環状の周方向溝（リップシール収納凹部）５３が設けられている。このリップシール収納凹部５３は、シートリング４の半径方向（ラジアル方向）の外側に開口部を有し、この開口側から奥側（シートリング４のラジアル方向の内側）まで延びるリング溝である。また、リップシール収納凹部５３の奥側には、リップシール５のゴムリップ５９が当接（接触）する底面が形成されている。  この底面は、シートリング４の中心軸線上に設けられる曲率中心点（第１中継パイプ２１の凹曲面と同一の曲率中心点）を中心にした曲率半径を有する凸曲面である。
【００５７】
シートリング４は、その円筒部のバルブシート面５２側に対してスラスト方向の反対側に、板スプリング６の弾性接触部が当接する当接面を有している。このシートリング４の当接面には、板スプリング６の弾性接触部が当接する傾斜面（板スプリング６の弾性接触部が弾性接触するスプリング当接面）５４が設けられている。
このシートリング４の傾斜面５４は、スラスト方向に対して所定の傾斜角度分だけバルブシート面５２側（スラスト方向の下流側）に向けて上り勾配となるように傾斜した円錐台筒状のテーパ面で構成されている。
なお、傾斜面５４は、板スプリング６の各弾性接触片６３からのスプリング荷重を受け止める円錐台筒状の荷重受け部（荷重受け面）として機能する。
【００５８】
リップシール５は、合成ゴム等のゴム弾性体によって二重円筒状（Ｕ字状）に形成されている。このリップシール５は、ハウジング１の第１中継パイプ２１の凹曲面（ハウジング１の周壁の壁面、内周面）とシートリング４の外周面（リップシール収納凹部５３の底面）との間の環状隙間を気密的にシールするように構成されている。また、リップシール５は、ＥＧＲガス流の軸方向（スラスト方向）に対して直交する半径方向（ラジアル方向）に弾性変形可能な環状の弾性シール部材を構成している。
リップシール５は、断面横Ｕ字状に連結されるゴムリップ５８、５９を有している。
【００５９】
リップシール５のゴムリップ５８は、ハウジング１の第１中継パイプ２１の凹曲面に圧入される円環状の外周部（外周シール部、外周弾性接触部）である。このゴムリップ５８は、ハウジング１の第１中継パイプ２１の凹曲面に弾性接触する。また、ゴムリップ５８は、リップシール５を環状隙間に装着した際にラジアル方向に弾性的に圧縮される。
リップシール５のゴムリップ５９は、シートリング４をラジアル（半径）方向に弾性支持（フローティング支持）する円環状の内周部（内周シール部、内周弾性接触部）である。このゴムリップ５９は、シートリング４の外周面（リップシール収納凹部５３の底面）に弾性接触する。また、ゴムリップ５９は、リップシール５を環状隙間に装着した際にラジアル方向に弾性的に圧縮される。なお、シートリング４のリップシール収納凹部５３の底面は、ハウジング１の第１中継パイプ２１の凹曲面との間に環状隙間を隔てて対向する対向面（凸曲面）を構成している。
そして、リップシール５は、ハウジング１の第１中継パイプ２１の凹曲面とシートリング４のリップシール収納凹部５３の凸曲面との間に挟み込まれることで、ゴムリップ５８、５９に一定の圧縮変形が与えられた状態で使用される。
【００６０】
板スプリング６は、耐熱性の金属により形成されている。この板スプリング６は、バルブ３とシートリング４とを密着させる方向に、シートリング４をスラスト方向に対して斜めに押圧付勢するように構成されている。そして、板スプリング６は、シートリング４に対して、シートリング４のバルブシート面５２をバルブ３のバルブシール面５１側にスラスト方向に対して斜めに押圧付勢する押圧付勢部材である。また、板スプリング６は、ハウジング１の第１中継パイプ２１の内部（シートリング収納空間２５）において、シートリング４をスラスト方向およびラジアル方向に弾性保持（フローティング支持）する弾性支持部材である。
【００６１】
板スプリング６は、スラスト方向に延びる円筒状の外周部（円筒部）６１、この円筒部６１の上流側端部をスラスト方向に対して直交するラジアル方向の外側に向けて直角に折り曲げて形成される円環状のフランジ６２、円筒部６１の下流側端部をシートリング４の傾斜面５４に沿うように折り曲げて（折り返して）形成される弾性接触部（複数の弾性接触片６３）等を有している。
円筒部６１は、ハウジング１の環状段差２３よりもＥＧＲ導入ポート２４側（上流側）に設けられる第１中継パイプ２１のスプリング嵌合部の内壁面に圧入固定される被圧入部である。なお、円筒部６１を第１中継パイプ２１のスプリング嵌合部の内壁面に対して摺動自在に接触するように構成しても良い。
【００６２】
フランジ６２は、ハウジング１の第１中継パイプ２１の開口端側（ＥＧＲ導入ポート２４側）に形成されるスプリング係止部２８とプラグ９の外周端縁部との間に挟み込まれて係止（保持）される被係止部である。
弾性接触部の周方向には、図２に示したように、交互に等間隔で複数個（例えば６個）の弾性接触片６３および複数個（例えば６個）のスリット６４が設けられている。複数の弾性接触片６３は、シートリング４の傾斜面５４に当接してスプリング荷重を付与する円錐台筒状の荷重付与部であって、シートリング４をスラスト方向に対して斜めに押圧付勢する板ばね（弾性変形部）である。
なお、複数の弾性接触片６３の先端は、シートリング４の円筒部の内周面近傍まで延びている。また、複数の弾性接触片６３の内部には、ＥＧＲガス流路３２、３３を連通する円形状の貫通孔が形成されている。
【００６３】
板スプリング６は、スラスト方向において、シートリング４の傾斜面５４とプラグ９の外周端縁部との間に、ＥＧＲガス流方向に平行なスラスト方向に圧縮された状態で設置されている。また、板スプリング６は、ラジアル方向において、ハウジング１の第１中継パイプ２１の内壁面とシートリング４の傾斜面５４との間に、ＥＧＲガス流方向に対して直交するラジアル方向に圧縮された状態で設置されている。
そして、板スプリング６は、ハウジング１の第１中継パイプ２１の凹曲面とシートリング４の傾斜面５４との間に挟み込まれることで、複数の弾性接触片６３に一定の圧縮変形が与えられた状態で使用される。
【００６４】
プラグ９は、耐熱性の金属により形成されている。このプラグ９の内部に形成されるＥＧＲガス流路３１は、ＥＧＲ導入ポート２４とＥＧＲガス流路３２とを連通する。また、プラグ９の外周部は、ハウジング１の第１中継パイプ２１の開口端側（ＥＧＲ導入ポート２４側）に形成されるプラグ保持部２６に圧入されて嵌合保持される被圧入部である。また、プラグ９は、ハウジング１の第１中継パイプ２１のプラグ係止部２７によりスラスト方向の下流側への移動が規制されることで、板スプリング６のスプリング荷重を所定値に維持する。また、プラグ９は、ハウジング１の第１中継パイプ２１のスプリング係止部２８との間に板スプリング６のフランジ６２を挟み込んで係止することで、ハウジング１の第１中継パイプ２１およびシートリング４から板スプリング６が離脱する（抜ける）のを防止するスプリング抜け防止部材である。
【００６５】
［実施例１の作用］
次に、本実施例のＥＧＲガス流量制御弁（ＥＧＲＶ）の作動を図１ないし図３に基づいて簡単に説明する。
【００６６】
ＥＧＲＶのバルブ３を駆動するモータへの電力供給が成されていない場合には、板スプリング６の各弾性接触片６３を介して、ハウジング１の第１中継パイプ２１の凹曲面にフローティング支持されたシートリング４のバルブシート面５２にバルブ３のバルブシール面５１が密着（着座）している。つまりバルブ３が全閉状態となっており、ＥＧＲガス流路３１〜３５、特に排気ガス流路３３、３４が閉鎖される（図１および図２参照）。これにより、ＥＧＲガスが吸入空気に混入しない。
【００６７】
次に、ＥＧＲＶのバルブ３を所定のバルブ開度以上に開弁するように開弁作動させる場合には、先ずＥＣＵがエンジンの運転状況（運転状態）に対応して設定される制御目標値（目標開度）を演算する。そして、モータに電力を供給し、モータのモータシャフトを開弁作動方向に回転させる。これにより、モータの駆動力（モータトルク）が、モータギヤ、中間減速ギヤおよび最終減速ギヤ１７に伝達される。そして、最終減速ギヤ１７からモータの駆動力が伝達されたシャフト２が、最終減速ギヤ１７の回転に伴って所定の回転角度（バルブ開度）だけ開弁作動方向に回転する。
このとき、シャフト２の平面部４１に固定されたバルブ３は、シャフト２、バルブ３の回転軸を中心にした回転運動を行う。これにより、シートリング４のバルブシート面５２に密着（着座）していたバルブ３が、シートリング４のバルブシート面５２から離脱（離座）し、ＥＧＲガス流路３１〜３５、特に排気ガス流路３３、３４が開放される（図３参照）。
【００６８】
したがって、バルブ３は、制御目標値に相当するバルブ開度に開弁制御される。これにより、エンジンの各気筒毎の燃焼室より流出した排気ガスの一部であるＥＧＲガスが、排気管内に形成される排気通路（ＥＧＲガス分岐部）から、排気管側のＥＧＲガスパイプの内部（ＥＧＲガス流路）→ＥＧＲガス流量制御弁のハウジング１の内部流路（ＥＧＲ導入ポート２４→ＥＧＲガス流路３１→ＥＧＲガス流路３２→ＥＧＲガス流路３３→ＥＧＲガス流路３４→ＥＧＲガス流路３５→ＥＧＲ導出ポート２９）および吸気管側のＥＧＲガスパイプの内部（ＥＧＲガス流路）を経由して、吸気管内に形成される吸気通路（ＥＧＲガス合流部）に再循環される。すなわち、ＥＧＲガスがエンジンの各気筒毎の吸気ポートおよび燃焼室に供給される吸入空気（エアクリーナで濾過された清浄な空気）に混入される。
【００６９】
一方、ＥＧＲＶのバルブ３が所定のバルブ開度以上に開弁している状態から、バルブ３を全閉作動させる場合には、モータへの電力の供給を停止する、あるいはモータへの電力の供給を制限する。これにより、ハウジング１のブロック１１および最終減速ギヤ１７の周囲に螺旋状に巻装されるコイルスプリング１８の付勢力（スプリング荷重）によって、バルブ３が全閉位置に戻される。
このとき、ハウジング１の第１中継パイプ２１の凹曲面にフローティング支持されたシートリング４のバルブシート面５２の周方向の一部にバルブ３が摺動接触しながら、シャフト２、バルブ３の回転軸を中心にしてバルブ３が回転運動を行う。
【００７０】
そして、バルブ３が全閉開度まで閉じると、シートリング４のバルブシート面５２にバルブ３のバルブシール面５１が密着（着座）する。これにより、ＥＧＲガス流路３１〜３５、特に排気ガス流路３３、３４が閉鎖される（図１および図２参照）。
したがって、バルブ３のバルブシール面５１とシートリング４のバルブシート面５２との間が完全に密着シールされる。これにより、バルブ３が全閉した際（バルブ３の全閉時）におけるＥＧＲガスの洩れが確実に抑止されるため、ＥＧＲガスが吸入空気に混入しなくなる。
【００７１】
［実施例１の効果］
以上のように、本実施例のＥＧＲガス流量制御弁（ＥＧＲＶ）において、ハウジング１の第１中継パイプ２１の内部に、ＥＧＲガス流路３１〜３５を流通するＥＧＲガス流の軸方向（スラスト方向）に対してバルブ３のバルブシール面５１の曲率中心側に傾斜する傾斜方向に向けてシートリング４を斜めに押圧付勢する板スプリング６を設けている。
ここで、シートリング４の当接面、つまり板スプリング６の複数の弾性接触片６３が接触する当接面として、スラスト方向に対して所定の傾斜角度分だけバルブシート面５２側に向けて上り勾配となるように傾斜した傾斜面５４を設けている。
【００７２】
そして、板スプリング６は、ハウジング１の第１中継パイプ２１の凹曲面とシートリング４の傾斜面５４との間に挟み込まれることで、複数の弾性接触片６３に一定の圧縮変形が与えられた状態で使用される。また、板スプリング６の複数の弾性接触片６３は、シートリング４の傾斜面５４に当接してシートリング４を斜めに押圧付勢するように、シートリング４の傾斜面５４に対して平行な円錐台筒状の傾斜面を有している。
ここで、板スプリング６の複数の弾性接触片６３からシートリング４の傾斜面５４に作用する付勢力は、スラスト方向の分力（矢印Ｆｔ）を表すベクトルと、ラジアル方向の分力（矢印Ｆｒ）を表すベクトルとを２辺とする平行四辺形の対角線（矢印Ｆ）で表される。なお、板スプリング６の複数の弾性接触片６３からシートリング４に作用する付勢力は、シートリング４の傾斜面５４に対して直交する垂直方向に働く。
【００７３】
これによって、リップシール５のゴムリップ５８、５９の弾性力（付勢力、復元力）をハウジング１の第１中継パイプ２１の内周面とシートリング４の外周面との間の環状隙間を気密的にシールすることが可能な必要最小限の弾性力にした場合であっても、板スプリング６の各弾性接触片６３の付勢力のみで、スラスト方向にも、また、ラジアル方向にもシートリング４を押圧付勢することができる。
これにより、バルブ全閉時に、ＥＧＲガス流の中心軸線（ＥＧＲガス流路３１〜３５の中心）に対してバルブ３の位置ズレ（バルブ３の軸心ズレ）が発生している場合であっても、シートリング４がバルブ３のバルブシール面５１に倣って（調芯されて）、バルブ３のバルブシール面５１がシートリング４のバルブシート面５２に正規の位置で（つまり片当たりすることなく）着座する。この結果、バルブ３の全閉時に、バルブ３のバルブシール面５１とシートリング４のバルブシート面５２とを密着させることが可能となるので、ＥＧＲガス流路３１〜３５を確実に閉鎖（シール）することができる。
したがって、バルブ３の全閉時におけるＥＧＲガスの洩れが確実に抑止されるため、ＥＧＲガスが吸入空気に混入しなくなる。
【００７４】
また、バルブ３を開弁する際に、板スプリング６の複数の弾性接触片６３のラジアル方向の分力でシートリング４をスラスト方向に対してバルブ３のバルブシール面５１の曲率中心側に向けて斜めに押圧付勢することにより、シートリング４がラジアル方向に自由度を持って暴れるのを防ぐことができる。つまりシートリング４がラジアル方向に振動するのを防ぐことができる。これにより、バルブ３のバルブシール面５１とシートリング４のバルブシート面５２とのシート部分（特にシートリング４のバルブシート面５２）が擦れて偏摩耗することを防ぐことができるので、シール性能が損なわれるのを防止することができる。
したがって、シール性能が損なわれることなく、十分なシール性能を発揮することができる。これにより、バルブ３の全閉時においてシートリング４のバルブシート面５２における偏摩耗により生じる隙間からＥＧＲガスが洩れ出すことはなく、バルブ３の全閉時におけるＥＧＲガス洩れ流量の増加を防止することができる。
【実施例２】
【００７５】
図４は本発明の実施例２を示したもので、図４（ａ）はＥＧＲガス流量制御弁の一例を示した図で、図４（ｂ）はＥＧＲガス流量制御弁の他の例を示した図である。
【００７６】
本実施例のＥＧＲガス流量制御弁（ＥＧＲＶ）は、ハウジング１、シャフト２、バルブ３、シートリング４、リップシール５および押圧付勢手段を備えている。
ここで、本実施例の押圧付勢手段は、図４（ａ）に示したように、シートリング４に設けられる当接面（後述する）と、この当接面に当接して、ＥＧＲガス流の軸方向（スラスト方向）に対してバルブ３のバルブシール面５１の曲率中心側に傾斜する傾斜方向に向けて斜めに押圧付勢する円錐スプリング（押圧付勢部材）７と、この円錐スプリング７の脱落を防止するプラグ９とによって構成されている。
バルブ３は、バルブ３の全閉時にシートリング４のバルブシート面５２に密着すると共に、ハウジング１の内部流路（ＥＧＲガス流路３１〜３５）を流通するＥＧＲガス流（流体流れ）の中心軸線上に設けられる曲率中心点を中心とした曲率半径を持つ球面の一部で構成される凸曲面形状のバルブシール面（バルブ外周面、凸曲面）５１を有している。
【００７７】
シートリング４は、内部にＥＧＲガス流路３３、３４が形成された円筒部（ノズル、流路管部）を有している。このシートリング４は、その円筒部のスラスト方向の下流側の内周部（開口端面）に凹曲面形状のバルブシート面（凹曲面）５２を有している。このバルブシート面５２には、バルブ３を全閉した際にバルブ３のバルブシール面５１が着座（密着）する。
また、バルブシート面５２は、バルブ３のバルブシール面５１と同一曲率中心点で、且つバルブシール面５１と同一曲率半径または僅かに大きい曲率半径を持つ球面の一部で構成されている。
シートリング４は、その円筒部のバルブシート面５２側に対してスラスト方向の反対側に、円錐スプリング７の末端部（弾性接触部）が当接する当接面（円錐スプリング７が弾性接触する円錐スプリング当接面）を有している。このシートリング４の当接面には、図４（ａ）に示したように、円錐スプリング７の末端部（最小外径部）を収容保持する円環状の係止溝（シートリング４の係止部）５５が設けられている。この係止溝５５は、円錐スプリング７からのスプリング荷重を受け止める円錐台筒状の荷重受け部（荷重受け面）である。
【００７８】
円錐スプリング７は、ＥＧＲガス流方向の上流側に配置される最大外径部６５からＥＧＲガス流方向の下流側に配置される最小外径部６６に向けてコイル平均径が漸減する非線形コイルスプリングである。この円錐スプリング７は、実施例１と同様にして、バルブ３とシートリング４とを密着させる方向に、シートリング４をスラスト方向に対して斜めに押圧付勢するように構成されている。そして、円錐スプリング７は、シートリング４に対して、シートリング４のバルブシート面５２をバルブ３のバルブシール面５１側にスラスト方向に対して斜めに押圧付勢する押圧付勢部材である。
また、円錐スプリング７は、最大外径部６５がプラグ９の係止溝６７に係止され、最小外径部６６がシールリング４の係止溝５５に係止されている。また、円錐スプリング７は、ハウジング１の第１中継パイプ２１の内部（シートリング収納空間２５）において、シートリング４をスラスト方向およびラジアル方向に弾性保持（フローティング支持）する弾性支持部材である。
【００７９】
円錐スプリング７の最小外径部６６は、シートリング４の係止溝５５の溝底面に当接してスプリング荷重を付与する荷重付与部（弾性接触部）であって、シートリング４をスラスト方向に対して斜めに押圧付勢する非線形コイルスプリング（弾性変形部）である。
円錐スプリング７は、スラスト方向において、シートリング４の係止溝５５とプラグ９の係止溝６７との間に、ＥＧＲガス流方向に平行なスラスト方向に対して傾斜する傾斜方向に圧縮された状態で設置されている。そして、円錐スプリング７は、シートリング４の係止溝５５の溝底面とプラグ９の係止溝６７の溝底面との間に挟み込まれることで、円錐スプリング７の最小外径部６６に一定の圧縮変形が与えられた状態で使用される。
なお、円錐スプリング７の最大外径部６５から最小外径部（弾性接触部）６６に向かうコイル平均径の傾斜角度、つまりスラスト方向に対する傾斜角度（θ）は、下記の数１の式のように設定される。
［数１］
０°＜θ＜４５°
【００８０】
プラグ９は、ハウジング１の第１中継パイプ２１の凹曲面に形成されるプラグ保持部に圧入されて嵌合保持される外周部（被圧入部）を有している。このプラグ９は、ハウジング１の第１中継パイプ２１およびシートリング４から円錐スプリング７が離脱する（抜ける）のを防止するスプリング抜け防止部材である。また、プラグ９の対向面（シートリング４の当接面との間に所定の軸方向距離を隔てて対向する対向面）には、円錐スプリング７の末端部（最大外径部）を収容保持する係止溝６７が設けられている。
【００８１】
一方、本実施例の押圧付勢手段は、図４（ｂ）に示したように、シートリング４に設けられる当接面（後述する）と、この当接面に当接して、ＥＧＲガス流の軸方向（スラスト方向）に対してバルブ３のバルブシール面５１の曲率中心側に傾斜する傾斜方向に向けてシートリング４をスラスト方向に対して斜めに押圧付勢する合成ゴム弾性体製のＯリング（押圧付勢部材）と、このＯリング８の脱落を防止するプラグ９とによって構成されている。
シートリング４は、その円筒部のバルブシート面５２側に対してスラスト方向の反対側に、Ｏリング８が当接する当接面を有している。このシートリング４の当接面には、図４（ｂ）に示したように、Ｏリング８が当接する傾斜面（Ｏリング８の凸曲面の一部が弾性接触するＯリング当接面）５４が設けられている。
このシートリング４の傾斜面５４は、実施例１と同様にして、スラスト方向に対して所定の傾斜角度分だけバルブシート面５２側に向けて上り勾配となるように傾斜した円錐台筒状のテーパ面で構成されている。この傾斜面５４は、Ｏリング８からのスプリング荷重を受け止める円錐台筒状の荷重受け部（荷重受け面）である。
【００８２】
Ｏリング８は、断面Ｏ形状の円環状合成ゴム弾性体であって、シートリング４の傾斜面５４とプラグ９の対向面（シートリング４の傾斜面５４との間に所定の軸方向距離を隔てて対向する対向面）との間に、ＥＧＲガス流方向に平行なスラスト方向（またはスラスト方向に対して傾斜する傾斜方向）に弾性的に圧縮された状態で設置されている。そして、Ｏリング８は、シートリング４の傾斜面５４とプラグ９の対向面との間に挟み込まれることで、Ｏリング８に一定の圧縮変形が与えられた状態で使用される。
以上の構成により、本実施例のＥＧＲＶにおいては、実施例１と同様な効果を達成することができる。
【実施例３】
【００８３】
図５は本発明の実施例３を示したもので、図５はＥＧＲガス流量制御弁の全閉状態を示した図である。
【００８４】
本実施例のＥＧＲガス流量制御弁（ＥＧＲＶ）は、ハウジング１、シャフト２、バルブ３、シートリング４、リップシール５および押圧付勢手段を備えている。
ここで、本実施例の押圧付勢手段は、図５に示したように、シートリング４に設けられる当接面（後述する）と、この当接面に当接して、ＥＧＲガス流の軸方向（スラスト方向）に対してバルブ３のバルブシール面５１の曲率中心側に傾斜する傾斜方向に向けてシートリング４を斜めに押圧付勢する板スプリング（押圧付勢部材）６と、この板スプリング６の脱落を防止するプラグ９とによって構成されている。
【００８５】
シートリング４は、その円筒部のバルブシート面５２側に対してスラスト方向の反対側に、板スプリング６の弾性接触部が当接する当接面を有している。このシートリング４の当接面には、板スプリング６の弾性接触部が当接する凸曲面（板スプリング６の弾性接触部が弾性接触するスプリング当接面）５６が設けられている。
このシートリング４の凸曲面５６は、バルブ３のバルブシール面５１およびシートリング４のバルブシート面５２の曲率半径の曲率中心点を中心とした、バルブシール面５１およびバルブシート面５２の曲率半径よりも大きい曲率半径を持つ球面の一部で構成されている。
なお、凸曲面５６は、板スプリング６の各弾性接触片６９からのスプリング荷重を受け止める荷重受け部（荷重受け面）として機能する。
【００８６】
板スプリング６は、円筒部６１、フランジ６２、弾性接触部（複数の弾性接触片６９）等を有している。なお、円筒部６１およびフランジ６２は、実施例１と同様な構造を有している。
弾性接触部の周方向には、交互に等間隔で複数個（例えば６個）のスリット６４および複数個（例えば６個）の弾性接触片６９が設けられている（図２参照）。
複数の弾性接触片６９は、シートリング４の凸曲面５６に当接する接触面が凹曲面となっている。この凹曲面は、シートリング４の凸曲面５６と同一の曲率中心点で、且つ同一曲率半径または凸曲面５６よりも僅かに大きい曲率半径を持つ球面の一部で構成されている。そして、複数の弾性接触片６９は、シートリング４の凸曲面５６に当接してスプリング荷重を付与する凹曲面形状の荷重付与部であって、シートリング４をスラスト方向に対して斜めに押圧付勢する板ばね（弾性変形部）である。
【００８７】
板スプリング６は、スラスト方向において、シートリング４の凸曲面５６とプラグ９の外周端縁部との間に、ＥＧＲガス流方向に平行なスラスト方向に弾性的に圧縮された状態で設置されている。また、板スプリング６は、ラジアル方向において、ハウジング１の第１中継パイプ２１の内壁面とシートリング４の凸曲面５６との間に、ＥＧＲガス流方向に対して直交するラジアル方向に圧縮された状態で設置されている。
そして、板スプリング６は、ハウジング１の第１中継パイプ２１の凹曲面とシートリング４の凸曲面５６との間に挟み込まれることで、複数の弾性接触片６９に一定の圧縮変形が与えられた状態で使用される。
【００８８】
以上のように、本実施例のＥＧＲＶにおいては、シートリング４の凸曲面５６および板スプリング６の各弾性接触片６９を、バルブ３のバルブシール面５１およびシートリング４のバルブシート面５２と同一曲率中心で、且つバルブシール面５１およびバルブシート面５２の曲率半径よりも大きい曲率半径を持つ球面の一部で構成したことにより、シートリング４を、バルブ３のバルブシール面５１とシートリング４のバルブシート面５２との摺動範囲内で自由に摺動させることができるので、バルブ３の位置ズレ（バルブ３の軸心ズレ）に対するシートリング４の追従性を高めることができる。
したがって、シール性能が損なわれることなく、十分なシール性能を発揮することができる。これにより、実施例１と同様な効果を達成することができる。
【００８９】
［変形例］
本実施例では、本発明の流体制御弁を、排気ガス（ＥＧＲガス、流体）の流量を制御するＥＧＲガス流量制御弁に適用しているが、本発明の流体制御弁を、排気ガスの温度を制御する排気ガス制御弁に適用しても良い。また、本発明の流体制御弁を、内燃機関の燃焼室内に吸入される吸入空気量を制御するスロットルバルブ等の空気量制御弁、内燃機関の燃焼室内より排出される排気ガスの流量を制御する排気ガス流量制御弁、スロットルバルブをバイパスする吸入空気量を制御するアイドル回転速度制御弁等の空気流量制御弁に適用しても良い。
【００９０】
本実施例では、本発明の流体制御弁を、ＥＧＲガス流量制御弁等の流体流量制御弁に適用しているが、このような流体流量制御弁に限定する必要はなく、流体通路開閉弁、流体通路切替弁、流体圧力制御弁に適用しても良い。また、本発明の流体制御弁を、タンブル流制御弁やスワール流制御弁等の吸気流制御弁、吸気通路の通路長や通路断面積を変更する吸気可変弁等に適用しても良い。また、自動車等の車両に搭載される内燃機関（例えば走行用エンジン）として、ディーゼルエンジンだけでなく、ガソリンエンジンを用いても良い。
【００９１】
本実施例では、ハウジング１の内部流路を、ＥＧＲ導入ポート２４→ＥＧＲガス流路３１→ＥＧＲガス流路３２→ＥＧＲガス流路３３→ＥＧＲガス流路３４→ＥＧＲガス流路３５→ＥＧＲ導出ポート２９の順序でＥＧＲガスが流れるように構成しているが、ハウジング１の内部流路を、ＥＧＲ導入ポート→ＥＧＲガス流路３５→ＥＧＲガス流路３４→ＥＧＲガス流路３３→ＥＧＲガス流路３２→ＥＧＲガス流路３１→ＥＧＲ導出ポートの順序でＥＧＲガスが流れるように構成しても良い。
【００９２】
本実施例では、内部に流体流路が形成されたハウジングを、ＥＧＲガスパイプの途中に接続したハウジング１によって構成しているが、ハウジングを、吸気管の一部（排気ガス合流部、ＥＧＲガス合流部）、あるいは排気管の一部（排気ガス分岐部、ＥＧＲガス分岐部）を成すハウジングによって構成しても良い。
本実施例では、シャフト２とバルブ３とをスクリュー４４等の締結手段を用いて締め付け固定しているが、シャフト２とバルブ３とを、レーザー溶接、ティグ溶接、ミグ溶接、電子ビーム溶接、アーク溶接しても良い。
【００９３】
本実施例では、シャフト２を介してバルブ３を駆動するアクチュエータ（バルブ駆動装置）を、モータと動力伝達機構（例えば歯車減速機構等）とを備えたアクチュエータによって構成したが、シャフトを介してバルブを駆動するアクチュエータを、電磁式または電動式負圧制御弁を備えた負圧作動式アクチュエータや、コイルを含む電磁石を備えた電磁アクチュエータによって構成しても良い。
また、ＥＧＲガス流量制御弁（ＥＧＲＶ）のバルブ３を閉弁方向または開弁方向に付勢するコイルスプリング１８を設置しなくても良い。この場合には、部品点数や組付工数を削減できる。
【００９４】
また、シャフト２にシートリング４をバルブ３から遠ざかる側に移動させるカム部を設けて、シャフト２が所定の回転角度分だけ回転することで、バルブ３が所定のバルブ開度以上に開弁したらシートリング４からバルブ３が完全に離れるようにシートリング４を押し出すようにしても良い。この場合、バルブ３が所定のバルブ開度以上に開弁すると、バルブ３とシートリング４とが摺動接触することはないので、シートリング４のバルブシート面５２における偏摩耗の発生を抑制できる。これにより、バルブ３の全閉時（シートリング４のバルブシート面５２にバルブ３のバルブシール面５１が密着（着座）した時）における流体洩れ流量の増加およびシール性能の低下を更に防止することができる。
【符号の説明】
【００９５】
１  ハウジング
２  シャフト（ＥＧＲガス流量制御弁の弁軸）
３  バルブ（ＥＧＲガス流量制御弁の弁体）
４  シートリング（ノズル）
５  リップシール（シール部材）
６  板スプリング（押圧付勢手段、押圧付勢部材）
７  円錐スプリング（押圧付勢手段、押圧付勢部材）
８  合成ゴム弾性体製のＯリング（押圧付勢手段、押圧付勢部材）
９  プラグ（押圧付勢手段）
２１  ハウジングの第１中継パイプ（周壁、第１ブロック、第１流路管部）
２２  ハウジングの第２中継パイプ（第２ブロック、第２流路管部）
２４  ハウジングの第１中継パイプのＥＧＲ導入（入口）ポート
２９  ハウジングの第２中継パイプのＥＧＲ導出（出口）ポート
３１  ＥＧＲガス流路（流体流路）
３２  ＥＧＲガス流路（流体流路）
３３  ＥＧＲガス流路（流体流路）
３４  ＥＧＲガス流路（流体流路）
３５  ＥＧＲガス流路（流体流路）
５１  バルブのバルブシール面
５２  シートリングのバルブシート面
５４  シートリングの傾斜面（押圧付勢手段、当接面）
５５  シートリングの係止溝（押圧付勢手段、係止部）
５６  シートリングの凸曲面（押圧付勢手段、当接面）
６３  板スプリングの弾性接触片（弾性接触部）
６５  円錐スプリングの最大外径部
６７  円錐スプリングの最小外径部（弾性接触部）
６９  板スプリングの弾性接触片（弾性接触部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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