(57)【要約】【課題】簡素な構成にて、干渉縞によるパワーモニタ用の受光素子（ＦＭＤ）の劣化を抑制可能な光ピックアップ装置およびパワーモニタ光学系を提供する。【解決手段】光ピックアップ装置は、レーザ光を出射する半導体レーザ１０１と、半導体レーザ１０１から出射されたレーザ光をメインビームとサブビームに分離する回折格子１０２と、回折格子１０２を透過したレーザ光を分離する偏光ビームスプリッタ１０３と、偏光ビームスプリッタ１０３を透過したレーザ光を受光するパワーモニタ用のＦＭＤ１１２とを有する。さらに、偏光ビームスプリッタ１０３とＦＭＤ１１２との間に、平行平板１１１が傾いて配置されている。平行平板１１１によりメインビームとサブビームに非点収差が導入され、ＦＭＤ１１２上における干渉縞が抑制される。これにより、ＦＭＤ１１２表面の損傷が抑制される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を出射するレーザ光源と、
前記レーザ光をメインビームとサブビームに分離する回折格子と、
前記回折格子を透過した前記レーザ光の光路を分離するビームスプリッタと、
前記ビームスプリッタによって分離された一方の光路を進むレーザ光を記録媒体上に収束させる対物レンズと、
前記ビームスプリッタによって分離された他方の光路を進むレーザ光を受光するパワーモニタ用の受光素子と、
前記ビームスプリッタと前記受光素子との間に配され前記メインビームと前記サブビームとの干渉を抑制するための干渉抑制部材と、
を有することを特徴とする光ピックアップ装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光ピックアップ装置において、
前記干渉抑制部材は、前記メインビームと前記サブビームに非点収差を導入する非点収差部材である、
ことを特徴とする光ピックアップ装置。
【請求項３】
請求項２に記載の光ピックアップ装置において、
前記非点収差部材は、透明な平行平板であって、当該平行平板が、前記メインビームの光軸に対して傾くように配置されている、
ことを特徴とする光ピックアップ装置。
【請求項４】
請求項１に記載の光ピックアップ装置において、
前記干渉抑制部材は、拡散板である、
ことを特徴とする光ピックアップ装置。
【請求項５】
請求項１に記載の光ピックアップ装置において、
前記干渉抑制部材は、ランダム位相板である、
ことを特徴とする光ピックアップ装置。
【請求項６】
レーザ光源から出射されたレーザ光を回折格子によりメインビームとサブビームに分離して対象物へと導く光学装置のためのパワーモニタ光学系であって、
前記回折格子を透過した前記レーザ光の一部を分離するビームスプリッタと、
前記ビームスプリッタによって分離されたレーザ光を受光するパワーモニタ用の受光素子と、
前記ビームスプリッタと前記受光素子との間に配され前記メインビームと前記サブビームとの干渉を抑制するための干渉抑制部材と、
を有することを特徴とするパワーモニタ光学系。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ピックアップ装置およびレーザ光源から前方に出射されたレーザ光の出力を監視するためのパワーモニタ光学系に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体レーザから前方に出射されたレーザ光をＦＭＤ（Front Monitor Diode）で受光し、ＦＭＤからの出力をもとに、半導体レーザの光量調整を行う構成の光ピックアップ装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。この種の光ピックアップ装置では、半導体レーザから出射されたレーザ光がビームスプリッタによって２つの光路に分離される。このうち一方のレーザ光が対物レンズによりディスク上に照射され、他方のレーザ光がＦＭＤに導かれる。３ビーム方式の光ピックアップ装置では、メインビームの他、２つのサブビームがＦＭＤに照射されることになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−２６６２８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ＦＭＤは、光入射面が樹脂によって覆われている。樹脂の光吸収波長帯が半導体レーザの出射波長帯に一致すると、レーザ光により樹脂表面がダメージを受ける可能性がある。特に、上記３ビーム方式の光ピックアップ装置では、メインビームと２つのサブビームとが互いに干渉し合い、ＦＭＤの樹脂表面に干渉縞が生じる。この干渉縞の明るい部分は光強度が高められるため、この部分において樹脂表面に損傷が起こり易い。このため、樹脂表面には、干渉縞に応じた起伏が生じ、これにより、ＦＭＤの検出精度が劣化する惧れがある。この問題は、レーザ光の短波長化が進み、レーザ光のエネルギーが高まると、より顕著となる。
【０００５】
本発明は、かかる問題を解消するためになされたものであり、簡素な構成にて、干渉縞によるパワーモニタ用の受光素子（ＦＭＤ）の劣化を抑制可能な光ピックアップ装置およびパワーモニタ光学系を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第１の態様は、光ピックアップ装置に関する。本態様に係る光ピックアップ装置は、レーザ光を出射するレーザ光源と、前記レーザ光をメインビームとサブビームに分離する回折格子と、前記回折格子を透過した前記レーザ光の光路を分離するビームスプリッタと、前記ビームスプリッタによって分離された一方の光路を進むレーザ光を記録媒体上に収束させる対物レンズと、前記ビームスプリッタによって分離された他方の光路を進むレーザ光を受光するパワーモニタ用の受光素子と、前記ビームスプリッタと前記受光素子との間に配され前記メインビームと前記サブビームとの干渉を抑制するための干渉抑制部材とを備える。
【０００７】
本発明の第２の態様は、レーザ光源から出射されたレーザ光を回折格子によりメインビームとサブビームに分離して対象物へと導く光学装置のためのパワーモニタ光学系に関する。本態様に係るパワーモニタ光学系は、前記回折格子を透過した前記レーザ光の一部を分離するビームスプリッタと、前記ビームスプリッタによって分離されたレーザ光を受光するパワーモニタ用の受光素子と、前記ビームスプリッタと前記受光素子との間に配され前記メインビームと前記サブビームとの干渉を抑制するための干渉抑制部材とを有する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、簡素な構成にて、干渉縞によるパワーモニタ用の受光素子（ＦＭＤ）の劣化を抑制可能な光ピックアップ装置およびパワーモニタ光学系を提供することができる。
【０００９】
本発明の特徴は、以下に示す実施の形態により更に明らかとなろう。ただし、以下の実施の形態は、あくまでも本発明の一つの実施形態であって、本発明ないし各構成要件の用語の意義は、以下の実施の形態により何ら制限されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】実施の形態に係る光ピックアップ装置の構成を示す図である。
【図２】実施の形態に係るＦＭＤの構成および受光状態を示す図である。
【図３】実施の形態の比較例に係るＦＭＤの損傷状態を説明する図である。
【図４】実施の形態に係るＦＭＤの損傷状態を説明する図である。
【図５】実施の形態の変更例に係る光ピックアップ装置の構成を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施の形態につき図面を参照して説明する。本実施の形態は、ＢＤとＣＤ（Compact Disc）およびＤＶＤ（Digital Versatile Disc）に対してレーザ光を照射する光ピックアップ装置および当該光ピックアップ装置に配されるパワーモニタ光学系に本発明を適用したものである。なお、以下の実施の形態では、偏光ビームスプリッタ１０３と、平行平板１１１と、ＦＭＤ１１２とから成る構成が、本発明に係るパワーモニタ光学系に相当する。
【００１２】
図１に、実施の形態に係る光ピックアップ装置の光学系を示す。同図（ａ）は光学系の上面図、同図（ｂ）は対物レンズアクチュエータ周辺部分を側面側から見た内部透視図である。この光学系は、ＢＤ用の光学系とＣＤ／ＤＶＤ用の光学系に区分される。
【００１３】
ＢＤ用の光学系は、半導体レーザ１０１と、回折格子１０２と、偏光ビームスプリッタ１０３と、コリメータレンズ１０４と、レンズアクチュエータ１０５と、立ち上げミラー１０６と、λ／４板１０７と、第１の対物レンズ１０８と、アナモレンズ１０９と、光検出器１１０と、平行平板１１１と、ＦＭＤ１１２から構成されている。
【００１４】
半導体レーザ１０１は、波長４００ｎｍ程度の青色レーザ光を出力する。回折格子１０２は、半導体レーザ１０１から出射されたレーザ光をメインビームと２つのサブビームに分割する。偏光ビームスプリッタ１０３は、回折格子１０２側から入射されたレーザ光を反射および透過する。なお、半導体レーザ１０１は、出射レーザ光の偏光方向が偏光ビームスプリッタ１０３に対してＳ偏光となる方向からややずれるように配置されている。これにより、回折格子１０２を透過したレーザ光は、たとえば、９５％が偏光ビームスプリッタ１０３により反射され、残り５％が偏光ビームスプリッタ１０３を透過する。
【００１５】
コリメータレンズ１０４は、偏光ビームスプリッタ１０３によって反射されたレーザ光を平行光に変換する。レンズアクチュエータ１０５は、コリメータレンズ１０４をレーザ光の光軸方向に駆動する。なお、コリメータレンズ１０４とレンズアクチュエータ１０５は、収差補正手段として機能する。
【００１６】
立ち上げミラー１０６は、コリメータレンズ１０４を介して入射されたレーザ光を第１の対物レンズ１０８に向かう方向に反射する。λ／４板１０７は、反射ミラー１０６によって反射されたレーザ光を円偏光に変換するとともに、ディスクからの反射光を、ディスクへ入射される際の偏光方向に直交する直線偏光に変換する。これにより、ディスクによって反射されたレーザ光は偏光ビームスプリッタ１０３を透過して光検出器１１０へと導かれる。
【００１７】
第１の対物レンズ１０８は、青色波長のレーザ光を、ＢＤの信号面上に適正に収束できるよう設計されている。すなわち、第１の対物レンズ１０８は、０．１ｍｍ厚の基板を介して信号面上に青色波長のレーザ光を適正に収束できるよう設計されている。
【００１８】
アナモレンズ１０９は、ディスクによって反射されたレーザ光を光検出器１１０上に収束させる。光検出器１１０は、受光したレーザ光の強度分布から再生ＲＦ信号、フォーカスエラー信号およびトラッキングエラー信号を導出するためのセンサーパターンを有している。なお、本実施の形態では、フォーカスエラー信号の生成手法として非点収差法が採用され、トラッキングエラー信号の生成手法としてＤＰＰ（Differential Push Pull）法が採用されている。光検出器１１０は、これらの手法に従ってフォーカスエラー信号およびトラッキングエラー信号を導出するためのセンサーパターンを有している。
【００１９】
平行平板１１１は、回折格子１０２側から入射され偏光ビームスプリッタ１０３を透過したメインビームの光軸に対して傾斜するように配置されている。平行平板１１１は、光透過性の材料により形成されている。平行平板１１１の材料は、後述の如くメインビームとサブビームとの干渉によってダメージを受けないような材料とするのが望ましい。本実施の形態では、白板ガラス（Ｂ２７０）により平行平板１１１が構成されている。この他、ＢＫ７から平行平板１１１が形成されても良い。
【００２０】
図１（ｃ）に示すように、平行平板１１１の入射面および出射面には反射防止膜１１１ａが配されている。また、平行平板１１１は、メインビームの光軸に垂直な面から角度αだけ傾斜するように配置されている。このように平行平板１１１を傾けて配置することにより、メインビームと２つのサブビームに非点収差が導入される。
【００２１】
ＦＭＤ１１２は、平行平板１１１を透過したレーザ光を受光して、受光光量に応じた信号を出力する。ＦＭＤ１１２の構成については、追って、図２を参照して詳述する。
【００２２】
ＣＤ／ＤＶＤ用の光学系は、半導体レーザ１２１と、回折格子１２２と、偏光ビームスプリッタ１２３と、コリメータレンズ１２４と、立ち上げミラー１２５と、λ／４板１２６と、第２の対物レンズ１２７と、アナモレンズ１２８と、光検出器１２９と、ＦＭＤ１３０から構成されている。
【００２３】
半導体レーザ１２１は、一つのＣＡＮ内に、波長７８０ｎｍ程度の赤外レーザ光と波長６５０ｎｍ程度の赤色レーザ光を出力するレーザ素子を備える。回折格子１２２は、半導体レーザ１２１から出射されたレーザ光をメインビームと２つのサブビームに分割する。偏光ビームスプリッタ１２３は、偏光ビームスプリッタ１０３と同様、回折格子１２２側から入射されたレーザ光を反射および透過する。コリメータレンズ１２４は、偏光ビームスプリッタ１２３によって反射されたレーザ光を平行光に変換する。
【００２４】
立ち上げミラー１２５は、コリメータレンズ１２４を介して入射されたレーザ光を第２の対物レンズ１２７に向かう方向に反射する。λ／４板１２６は、反射ミラー１２５によって反射されたレーザ光を円偏光に変換するとともに、ディスクからの反射光を、ディスクへ入射される際の偏光方向に直交する直線偏光に変換する。これにより、ディスクによって反射されたレーザ光は偏光ビームスプリッタ１２３を透過して光検出器１２９へと導かれる。
【００２５】
第２の対物レンズ１２７は、赤外波長のレーザ光と赤色波長のレーザ光を、それぞれ、ＣＤとＤＶＤの信号面上に適正に収束できるよう設計されている。すなわち、第２の対物レンズ１２７は、１．２ｍｍ厚の基板を介して信号面上に赤外波長のレーザ光を適正に収束でき、且つ、０．６ｍｍ厚の基板を介して信号面上に赤色波長のレーザ光を適正に収束できるよう設計されている。
【００２６】
アナモレンズ１２８は、ディスクによって反射されたレーザ光を光検出器１２９上に収束させる。アナモレンズ１２８は、ディスクからの反射光に非点収差を導入する。
【００２７】
光検出器１２９は、受光したレーザ光の強度分布から再生ＲＦ信号、フォーカスエラー信号およびトラッキングエラー信号を導出するためのセンサーパターンを有している。なお、本実施の形態では、上記の如く、フォーカスエラー信号の生成手法として非点収差法が採用され、トラッキングエラー信号の生成手法としてＤＰＰ（Differential Push Pull）法が採用されている。光検出器１２９は、これらの手法に従ってフォーカスエラー信号およびトラッキングエラー信号を導出するためのセンサーパターンを有している。
【００２８】
ＦＭＤ１３０は、回折格子１０２側から入射され偏光ビームスプリッタ１０３を透過したレーザ光を受光して、受光光量に応じた信号を出力する。ＦＭＤ１３０の構成は、ＦＭＤ１１２と同様である。
【００２９】
第１の対物レンズ１０８および第２の対物レンズ１２７と、λ／４板１０７、１２６は、共通のホルダ１３１に装着されている。このホルダ１３１は、対物レンズアクチュエータ１３２によって、フォーカス方向およびトラッキング方向に駆動される。したがって、第１の対物レンズ１０８および第２の対物レンズ１２７と、λ／４板１０７、１２６は、ホルダ１３１の駆動に伴って一体的に駆動される。対物レンズアクチュエータ１３２は、コイルと磁気回路からなり、このうち、コイルがホルダ１３１に装着されている。
【００３０】
第１の対物レンズ１０８と第２の対物レンズ１２７はディスク径方向に並ぶように配置されている。このとき、これら２つの対物レンズのうち、レンズ径の小さい第１の対物レンズ１０８の方がディスク内周側に配置される。
【００３１】
図２（ａ）は、ＦＭＤ１１２を側面から見た内部透視図、図２（ｂ）は、ＦＭＤ１１２の上面図である。図示の如く、ＦＭＤ１１２は、センサ部１１２ｂの上面（検出面）が樹脂１１２ａによって覆われた構成となっている。本実施の形態では、樹脂１１２ａはシリコン系の樹脂となっている。樹脂１１２ａの上面に入射されたメインビームＭとサブビームＳ１、Ｓ２は、樹脂１１２ａを透過して、センサ部１１２ｂに受光される。
【００３２】
本実施の形態では、図１に示す如く、回折格子１０２とＦＭＤ１１２との間の距離が小さいため、メインビームＭとサブビームＳ１、Ｓ２は、図２（ｃ）に模式的に示すように、略重なるようにして樹脂１１２ａの上面に入射する。この場合、平行平板１１１が配されていなければ、メインビームＭとサブビームＳ１、Ｓ２とが互いに干渉し合い、樹脂１１２ａ上に干渉縞が生じる。干渉縞の明るい部分は光強度が高められるため、この部分において樹脂１１２ａの上面に損傷が起こり易い。このため、樹脂１１２ａの上面には、干渉縞に応じた起伏が生じ、これにより、ＦＭＤ１１２の検出精度が劣化する惧れがある。図３（ａ）は、メインビームＭと２つのサブビームＳ１、Ｓ２とによる干渉によって樹脂１１２ａ上面に生じた干渉縞の様子を模式的に示す図である。
【００３３】
次に、本実施の形態の効果の検証のために、本件出願の発明者らによって行われた測定結果について説明する。
【００３４】
まず、本件出願の発明者らは、図３（ｂ）に示すような平行平板１１１を省略した光学系を用いて、ＦＭＤ１１２の樹脂１１２ａ表面における損傷状態の測定を行った。測定は、図３（ｃ）の下に示す条件で行った。すなわち、図３（ｂ）の光学系を恒温槽内に配置し、雰囲気温度を６８℃に制御した。この温度条件のもと、ＦＭＤ１１２への入射時の初期パワーが０．８ｍＷでＡＰＣ制御して、デューティ比が５０％のパルスレーザ光を７４０時間照射した。その後、ＦＭＤ１１２の樹脂１１２ａ表面の形状を非接触３次元測定装置で測定した。この測定は、測定位置が樹脂１１２ａの中央を干渉縞に垂直な方向に走査するようにして行った。
【００３５】
図３（ｃ）は、この条件に基づく測定結果である。横軸は、図２のセンサ部１１２ａの中心を０とした干渉縞に垂直な方向の距離であり、縦軸は、膜面の起伏の深さである。なお、縦軸は、起伏の所定の高さ位置が深さ０に設定されている。また、センサ部１１２ｂの直径は０．５ｍｍである。
【００３６】
この測定結果から、平行平板１１１が配されない場合には、樹脂１１２ａの表面に、干渉縞に応じた起伏が生じることが分かる。この起伏によってレーザ光が散乱、回折され、センサ部１１２ｂへとレーザ光が届きにくくなる。このため、ＦＭＤ１１２からの検出信号が劣化し、レーザ光のパワー調整を適正に行えなくなる。
【００３７】
次に、本件出願の発明者らは、図４（ａ）に示すような平行平板１１１を追加した光学系を用いて、ＦＭＤ１１２の樹脂１１２ａ表面における損傷状態の測定を行った。なお、ここでは、図１に示す偏光ビームスプリッタ１０３が省略されている。また、図１（ｃ）に示す平行平板１１１の傾き角αは、５０°に設定されている。平行平板１１１の厚みは１．３ｍｍであり、屈折率は１．５３（波長４０５ｎｍのレーザに対する屈折率）である。
【００３８】
この測定は、図４（ｂ）の下に示す条件で行った。すなわち、図４（ａ）の光学系を恒温槽内に配置し、雰囲気温度を６５℃に制御した。この温度条件のもと、ＦＭＤ１１２への入射時の初期パワーが１．０ｍＷでＡＰＣ制御して、デューティ比が５０％のパルスレーザ光を１０００時間照射した。その後、ＦＭＤ１１２の樹脂１１２ａ表面の形状を非接触３次元測定装置で測定した。この測定は、測定位置が樹脂１１２ａの中央を、図３の測定の場合と同じ方向に走査するようにして行った。
【００３９】
図４（ｂ）は、この条件に基づく測定結果である。横軸は、図３（ｃ）の場合と同様、図２のセンサ部１１２ａの中心を０とした干渉縞に垂直な方向の距離であり、縦軸は、膜面の起伏の深さである。この場合も、縦軸は、起伏の所定の高さ位置が深さ０に設定されている。
【００４０】
この測定結果から、平行平板１１１が配された場合には、樹脂１１２ａの表面に、干渉縞に応じた起伏が殆ど生じないことが分かる。すなわち、平行平板１１１を配置してメインビームＭとサブビームＳ１、Ｓ２に非点収差を導入することにより、干渉縞が抑制され、樹脂１１２ａ表面が干渉縞による強度分布によって損傷を受けないことが分かる。よって、本実施の形態によれば、ＦＭＤ１１２の樹脂１１２ａ表面に入射したレーザ光がセンサ部１１２ｂへと届き易くなる。このため、ＦＭＤ１１２からの検出信号を高品位に保つことができ、レーザ光のパワー調整を適正に行うことができる。
【００４１】
以上のとおり、本実施の形態によれば、平行平板１１１を傾けて配置するといった簡素な構成の追加にて、干渉縞によるＦＭＤ１１２の劣化を抑制可能な光ピックアップ装置を実現することができる。
【００４２】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記実施の形態に何ら制限されるものではなく、また、本発明の実施の形態も上記の他に種々の変更が可能である。
【００４３】
たとえば、上記の測定では、平行平板１１１の傾き角が５０°に設定されたが、これ以外の角度で平行平板１１１が傾けられても良い。たとえば、平行平板１１１の傾き角を４０°程度に設定しても、上記と同様の効果が得られる。また、平行平板１１１の厚みや屈折率も、上記測定で示した以外の値に設定可能である。また、図１の光学系では、ＢＤ用のＦＭＤ１１２の前段にのみ平行平板１１１を配したが、ＣＤ／ＤＶＤ用のＦＭＤ１３０にも干渉縞による損傷が生じる場合には、当該ＦＭＤ１３０と偏光ビームスプリッタ１２３との間にも、上記と同様の平行平板を傾けて配置しても良い。
【００４４】
さらに、アナモレンズ１０９が樹脂材料から構成される場合には、アナモレンズ１０９と偏光ビームスプリッタ１０３との間にも、上記と同様の平行平板を傾けて配置しても良い。この場合、平行平板によっても非点収差が生じるため、アナモレンズ１０９は、平行平板による非点収差をも考慮して、非点収差の大きさや配置が調整される必要がある。
【００４５】
また、上記実施の形態では、平行平板１１１を傾けて配置することによりレーザ光に非点収差を導入するようにしたが、図５（ａ）に示すように、平行平板１１１に替えてシリンドリカルレンズ等の非点収差導入用のレンズ１１３を配置し、これによりレーザ光に非点収差を導入するようにしても良い。この場合も、上記実施の形態と同様の効果が奏され得る。
【００４６】
さらに、図５（ｂ）のように、平行平板１１１に替えて、すりガラス等の拡散板１１４を配置し、これにより、メインビームＭとサブビームＳ１、Ｓ２との間の干渉を抑制するようにしても良い。この場合も、ＦＭＤ１１２の樹脂１１２ａ表面における干渉縞が抑制されるため、上記実施の形態と同様の効果が奏され得る。
【００４７】
さらに、図５（ｃ）のように、平行平板１１１に替えて、ランダム位相板１１５を配置し、これにより、メインビームＭとサブビームＳ１、Ｓ２との間の干渉を抑制するようにしても良い。ランダム位相板１１５は、たとえば、透明な平板の表面に、半波長分の位相遅れを与えるコーティングをランダムに配置することにより構成される。ランダム位相板１１５を透過したメインビームＭとサブビームＳ１、Ｓ２は、微小領域毎に位相がランダムに変化する。これにより、メインビームＭとサブビームＳ１、Ｓ２との間の干渉が抑制される。よって、この場合も、ＦＭＤ１１２の樹脂１１２ａ表面における干渉縞が抑制されるため、上記実施の形態と同様の効果が奏され得る。
【００４８】
また、上記実施の形態では、２つの対物レンズを用いる光ピックアップ装置が例示されたが、光ピックアップ装置の光学系は上記に例示したものに限られるものではなく、一つの対物レンズのみを用いる光ピックアップ装置に本発明を適用することも勿論可能である。
【００４９】
また、上記実施の形態では、半導体レーザ１０１から出射されたレーザ光の光路が偏光ビームスプリッタ１０３によって分離されたが、かかる光路の分離手段として、無偏光ビームスプリッタを用いるようにしても良い。
【００５０】
この他、本発明は、ＢＤ／ＤＶＤ／ＣＤ互換タイプ以外の光ピックアップ装置にも適用可能であり、また、本発明に係るパワーモニタ光学系は、光ピックアップ装置以外の装置にも適宜適用可能である。
【００５１】
本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。
【符号の説明】
【００５２】
１０１  …  半導体レーザ
１０２  …  回折格子
１０３  …  偏光ビームスプリッタ
１０８  …  第１の対物レンズ（対物レンズ）
１１１  …  平行平板（干渉抑制部材／非点収差部材）
１１３  …  レンズ（干渉抑制部材／非点収差部材）
１１４  …  拡散板（干渉抑制部材）
１１５  …  ランダム位相板（干渉抑制部材）
【図１】
2011123922.tif 000003
【図２】
2011123922.tif 000004
【図３】
2011123922.tif 000005
【図４】
2011123922.tif 000006
【図５】
2011123922.tif 000007