(57)【要約】【課題】高い捕捉能力を有し、流路抵抗が小さいフィルターを提供すること。【解決手段】記録用の流体を通過させるとともに前記流体中に存在する異物を捕捉するフィルターであって、前記流体の流入面及び流出面を有すると共に、前記流入面と前記流出面との間を貫通するスリット状の複数の開口部が設けられた基板を備える。【選択図】図４
2011230299.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録用の流体を通過させるとともに前記流体中に存在する異物を捕捉するフィルターであって、
前記流体の流入面及び流出面を有すると共に、前記流入面と前記流出面との間を貫通するスリット状の複数の開口部が設けられた基板を備える
フィルター。
【請求項２】
前記基板は、前記開口部の中央へ向けて突出する湾曲部を有している
請求項１に記載のフィルター。
【請求項３】
前記湾曲部は、前記開口部の中央を挟む位置に設けられている
請求項２に記載のフィルター。
【請求項４】
複数の前記開口部は、マトリクス状に配置されている
請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載のフィルター。
【請求項５】
複数の前記開口部のうち少なくとも一部の前記開口部は、長手方向が他の前記開口部とは異なるように形成されている
請求項１から請求項４のうちいずれか一項に記載のフィルター。
【請求項６】
複数の前記開口部は、複数列に配列されると共に、
前記開口部の配列方向とは直交する方向に見て、異なる列の前記開口部の一部同士が重なるように、複数の前記開口部が列毎に配列方向にずれて配置されている
請求項１から請求項５のうちいずれか一項に記載のフィルター。
【請求項７】
複数の前記開口部は、長手方向の寸法が等しくなるように形成されている
請求項１から請求項６のうちいずれか一項に記載のフィルター。
【請求項８】
記録用の流体を通過させるとともに前記流体中に存在する異物を捕捉するフィルターの製造方法であって、
横断面形状において一方向が長手である複数のパンチを基板に貫通させ、当該基板の厚さ方向に貫通するスリット状の複数の開口部を形成する開口部形成工程を含む
フィルターの製造方法。
【請求項９】
前記開口部形成工程の後、複数の前記開口部の中央へ向けて突出する湾曲部を形成する湾曲部形成工程を更に備える
請求項８に記載のフィルターの製造方法。
【請求項１０】
前記湾曲部形成工程は、前記開口部形成工程において前記パンチの貫通方向にはみ出した余剰部分を変形させて前記湾曲部の少なくとも一部とする
請求項９に記載のフィルターの製造方法。
【請求項１１】
前記開口部形成工程では、複数の前記パンチを、当該パンチの長手方向に交差する方向に１列に配置させ、複数の前記開口部を１列ずつ形成する
請求項８から請求項１０のうちいずれか一項に記載のフィルターの製造方法。
【請求項１２】
前記開口部形成工程では、複数の前記パンチを、当該パンチの長手方向に沿った方向に１列に配置させ、複数の前記開口部を１列ずつ形成する
請求項８から請求項１０のうちいずれか一項に記載のフィルターの製造方法。
【請求項１３】
流体を噴射させる複数のノズル開口と、
前記ノズル開口へ前記流体を供給する流路と、
前記流路内に配置され、前記流体を通過させるとともに該流体中に存在する異物を捕捉する請求項１から７うちのいずれか一項に記載のフィルターと
を備える流体噴射ヘッド。
【請求項１４】
複数のノズル開口から流体を噴射させる流体噴射ヘッドと、
前記流体噴射ヘッドに供給する前記流体を貯留する流体貯留部と、
前記流体貯留部から前記ノズル開口へ前記流体を供給する流路と、
前記流路内に配置され、前記流体を通過させるとともに該流体中に存在する異物を捕捉する請求項１から７のいずれかに記載のフィルターと
を備えることを特徴とする流体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルター、フィルターの製造方法、流体噴射ヘッド及び流体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録ヘッドには、インク流路内への気泡進入および異物進入を防ぐためにフィルターが設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００８−０２３８２０号公報
【特許文献２】特開２００９−１９６２９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のフィルターとして、例えば高い捕捉能力を有しつつ流路抵抗が小さいフィルターが求められている。
【０００５】
本発明は、高い捕捉能力を有し、流路抵抗が小さいフィルター、フィルターの製造方法、流体噴射ヘッド及び流体噴射装置を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るフィルターは、記録用の流体を通過させるとともに前記流体中に存在する異物を捕捉するフィルターであって、前記流体の流入面及び流出面を有すると共に、前記流入面と前記流出面との間を貫通するスリット状の複数の開口部が設けられた基板を備えることを特徴とする。
【０００７】
このような構成によれば、流入面と流出面との間を貫通する開口部がスリット状に形成されているため、開口部の面積を確保しつつ、異物が捕捉されやすい構成となる。これにより、高い捕捉能力を有し、流路抵抗が小さいフィルターを提供することができる。ここでスリット状の形状とは、例えば一方向が長手となるような開口部の形状を含むものであり、いわゆる矩形の開口部に限定されるものではない。したがって、本発明では、一方向が長手となる形状であれば、例えば楕円形、台形、平行四辺形、多角形など、矩形以外の形状の開口部も含まれる。
【０００８】
上記のフィルターは、前記基板は、前記開口部の中央へ向けて突出する湾曲部を有していることが好ましい。  
このような構成によれば、開口部の中央へ向けてより開口部が狭く形成されることになるため、異物捕捉能力の高いフィルターが得られる。
【０００９】
上記のフィルターは、前記湾曲部は、前記開口部の中央を挟む位置に設けられていることが好ましい。  
このような構成によれば、開口部の中央へ向けて開口部が更に狭く形成されることになるため、異物捕捉能力の高いフィルターが得られる。
【００１０】
上記のフィルターは、複数の前記開口部は、マトリクス状に配置されていることが好ましい。  
このような構成によれば、複数の開口部を容易に形成することができる。
【００１１】
上記のフィルターは、複数の前記開口部のうち少なくとも一部の前記開口部は、長手方向が他の前記開口部とは異なるように形成されていることが好ましい。  
このような構成によれば、開口部と開口部との間にクラックなどが形成されにくくなる。このため、耐久性に優れたフィルターを得ることができる。
【００１２】
上記のフィルターは、複数の前記開口部は、複数列に配列されると共に、前記開口部の配列方向とは直交する方向に見て、異なる列の前記開口部の一部同士が重なるように、複数の前記開口部が列毎に配列方向にずれて配置されていることが好ましい。  
このような構成によれば、異物の捕捉能力を維持しつつ、流路抵抗をより低くすることができる。
【００１３】
上記のフィルターは、複数の前記開口部は、長手方向の寸法が等しくなるように形成されていることが好ましい。  
このような構成によれば、基板の全域において流路抵抗を平準化することができる。
【００１４】
本発明に係るフィルターの製造方法は、記録用の流体を通過させるとともに前記流体中に存在する異物を捕捉するフィルターの製造方法であって、横断面形状において一方向が長手である複数のパンチを基板に貫通させ、当該基板の厚さ方向に貫通するスリット状の複数の開口部を形成する開口部形成工程を含むことを特徴とする。
【００１５】
本発明によれば、横断面形状において一方向が長手である複数のパンチを基板に貫通させ、当該基板の厚さ方向に貫通するスリット状の複数の開口部を形成することとしたので、複数の開口部を容易に形成することができる。これにより、フィルターの生産性を高めることができる。
【００１６】
上記のフィルターの製造方法は、前記開口部形成工程の後、複数の前記開口部の中央へ向けて突出する湾曲部を形成する湾曲部形成工程を更に備えることが好ましい。  
このような構成によれば、開口部の中央へ向けてより開口部が狭く形成されることになるため、異物捕捉能力の高いフィルターを製造することができる。
【００１７】
上記のフィルターの製造方法は、前記湾曲部形成工程は、前記開口部形成工程において前記パンチの貫通方向にはみ出した余剰部分を変形させて前記湾曲部の少なくとも一部とすることが好ましい。  
このような構成によれば、開口部形成工程によって生じる余剰部分を湾曲部の一部として利用することができるため、効率的に湾曲部を形成することができる。
【００１８】
上記のフィルターの製造方法は、前記開口部形成工程では、複数の前記パンチを、当該パンチの長手方向に交差する方向に１列に配置させ、複数の前記開口部を１列ずつ形成することが好ましい。  
このような構成によれば、複数の開口部を容易にマトリクス状に形成することが可能となる。
【００１９】
上記のフィルターの製造方法は、前記開口部形成工程では、複数の前記パンチを、当該パンチの長手方向に沿った方向に１列に配置させ、複数の前記開口部を１列ずつ形成することが好ましい。  
このような構成によれば、複数の開口部を容易にマトリクス状に形成することが可能となる。
【００２０】
本発明に係る流体噴射ヘッドは、流体を噴射させる複数のノズル開口と、前記ノズル開口へ前記流体を供給する流路と、前記流路内に配置され、前記流体を通過させるとともに該流体中に存在する異物を捕捉する本発明のフィルターとを備えることを特徴とする。
【００２１】
このような構成によれば、流体噴射ヘッド内の流路に上記フィルターを備えることで、流路抵抗を低く抑えつつ、流路内を流動する流体中に存在する異物を効果的に捕捉することが可能となる。これにより、ノズル開口の目詰まりが防止されて吐出不良をなくすことができる。
【００２２】
本発明に係る流体噴射装置は、複数のノズル開口から流体を噴射させる流体噴射ヘッドと、前記流体噴射ヘッドに供給する前記流体を貯留する流体貯留部と、前記流体貯留部から前記ノズル開口へ前記流体を供給する流路と、前記流路内に配置され、前記流体を通過させるとともに該流体中に存在する異物を捕捉する本発明のフィルターとを備えることを特徴とする。
【００２３】
このような構成によれば、ノズル開口に接続される流路内に本発明のフィルターを備えているため、流路抵抗を低く抑えながら異物の除去を効果的に行うことができ、ノズルの目詰まりを防止することができる。これにより、吐出不良を発生させることなく良好な吐出を行うことができる高品質な流体噴射装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施の形態に係るプリンターの全体構成を示す平面図。
【図２】本実施形態のプリンターにおける記録ヘッドの構成を説明する断面図。
【図３】本実施形態の記録ヘッドの周辺における要部構成を示す模式図。
【図４】（ａ）本実施形態に係るフィルターの構成を示す平面図、（ｂ）Ａ−Ａ断面図。
【図５】本実施形態に係るフィルターの一部の構成を示す平面図。
【図６】本実施形態に係るフィルターの製造工程を説明する図。
【図７】本実施形態に係るフィルターの製造工程を説明する図。
【図８】本実施形態に係るフィルターの製造工程を説明する図。
【図９】本実施形態に係るフィルターの製造工程を説明する図。
【図１０】本実施形態の変形例を示す断面図。
【図１１】本実施形態の変形例を示す断面図。
【図１２】本実施形態の変形例を示す断面図。
【図１３】本実施形態の変形例を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態につき、図面を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。まず、本発明に係る流体噴射装置の一実施形態であるプリンターについて述べる。図１は、プリンターの全体構成を示す平面図である。
【００２６】
本実施形態のプリンター１００は、プリンター本体５と、インクカートリッジからなるメインタンク６（流体貯留部）と、サブタンク２および記録ヘッド３（流体噴射ヘッド置）を搭載したキャリッジ４と、を備えて概略構成されている。
【００２７】
プリンター本体５には、キャリッジ４を往復移動させるキャリッジ移動機構（図示略）と、記録紙（図示略）を搬送する紙送り機構（図示略）と、記録ヘッド３に供給するインクを貯留（収容）したメインタンク６とが設けられている。
【００２８】
キャリッジ移動機構は、プリンター本体の幅方向に架設されたガイド軸８と、パルスモーター９と、パルスモーター９の回転軸に接続されたこのパルスモーター９によって回転駆動される駆動プーリー１０と、駆動プーリー１０とはプリンター本体５の幅方向の反対側に設けられた遊転プーリー１１と、駆動プーリー１０と遊転プーリー１１との間に架け渡されてキャリッジ４に接続されたタイミングベルト１２と、から構成されている。
【００２９】
このような構成のもとに、パルスモーター９を駆動することにより、キャリッジ４がガイド軸８に沿って主走査方向に往復移動するようになっている。また、紙送り機構は、紙送りモーターやこの紙送りモーターによって回転駆動される紙送りローラー（いずれも図示せず）等から構成され、記録紙を記録（印字・印刷）動作に連動させてプラテン上に順次送り出すようになっている。
【００３０】
図２は、本実施形態のプリンター１００における記録ヘッドの構成を説明する断面図である。図２に示すように、本実施形態における記録ヘッド３は、導入針ユニット１７、ヘッドケース１８、流路ユニット１９およびアクチュエータユニット２０を主な構成要素としている。
【００３１】
導入針ユニット１７の上面にはフィルター５０を介在させた状態で２本のインク導入針２２が横並びで取り付けられている。これらのインク導入針２２には、サブタンク２がそれぞれ装着される。また、導入針ユニット１７の内部には、各インク導入針２２に対応したインク導入路２３が形成されている。
【００３２】
このインク導入路２３の上端はフィルター５０を介してインク導入針２２に連通し、下端はパッキン２４を介してヘッドケース１８内部に形成されたケース流路２５と連通する。
【００３３】
サブタンク２は、ポリプロピレン等の樹脂製材料によって成型されている。このサブタンク２には、インク室２７となる凹部が形成され、この凹部の開口面に透明な弾性シート２６を貼設してインク室２７が区画されている。
【００３４】
また、サブタンク２の下部にはインク導入針２２が挿入される針接続部２８が下方に向けて突設されている。サブタンク２におけるインク室２７は、底の浅いすり鉢形状をしており、その側面における上下中央よりも少し下の位置には、針接続部２８との間を連通する接続流路２９の上流側開口が臨んでいる。また、インク室２７の上流側には、タンク部フィルタ（不図示）が設けられている。針接続部２８の内部空間にはインク導入針２２が液密に嵌入されるシール部材３１が嵌め込まれている。
【００３５】
このサブタンク２には、インク室２７に連通するインク流入口（不図示）が突設されている。このインク流入口には、メインタンク６に貯留されたインクを供給するインク供給チューブ３４が接続され、インク供給チューブ３４を通ってきたインクがこのインク室２７に流入するようになっている。本実施形態に係るプリンター１００は、２つのメインタンク６を備えており、それぞれが対応するサブタンク２に上記インク供給チューブ３４を介して接続されている。なお、メインタンク６の数はこれに限らない。
【００３６】
図２に示した上記弾性シート２６は、インク室２７を収縮させる方向と膨張させる方向とに変形可能である。そして、この弾性シート２６の変形によるダンパ機能によって、インクの圧力変動が吸収される。すなわち、弾性シート２６の作用によってサブタンク２が圧力ダンパとして機能する。したがって、インクは、サブタンク２内で圧力変動が吸収された状態で記録ヘッド３側に供給されるようになっている。
【００３７】
ヘッドケース１８は、合成樹脂製の中空箱体状部材であり、下端面に流路ユニット１９を接合し、内部に形成された収容空部３７内にアクチュエータユニット２０を収容し、流路ユニット１９側とは反対側の上端面にパッキン２４を介在した状態で導入針ユニット１７を取り付けるようになっている。
【００３８】
このヘッドケース１８の内部には、高さ方向を貫通してケース流路２５が設けられている。このケース流路２５の上端は、パッキン２４を介して導入針ユニット１７のインク導入路２３と連通するようになっている。
【００３９】
また、ケース流路２５の下端は、流路ユニット１９内の共通インク室４４に連通するようになっている。したがって、インク導入針２２から導入されたインクは、インク導入路２３およびケース流路２５を通じて共通インク室４４側に供給される。
【００４０】
図３は、本実施形態を説明するための、記録ヘッド３の周辺における要部構成を示す模式図である。図３に示すように、合成樹脂のヘッドケース１８を有したもので、このヘッドケース１８の下端面に流路ユニット１９を接合し、ヘッドケースの内部にアクチュエータユニット２０を収容し、流路ユニット１９側とは反対側の上端面側に上記インク導入路２３が接続されるようになっている。
【００４１】
ヘッドケース１８の内部には、高さ方向を貫通してケース流路２５が設けられている。このケース流路２５の上端は上記インク導入路２３に連通し、下端は流路ユニット１９内の共通インク室４４に連通するようになっている。したがって、インク導入路２３から導入されたインクは、ケース流路２５を通じて共通インク室４４側に供給されるようになっている。
【００４２】
アクチュエータユニット２０は、櫛歯状に列設された複数の圧電振動子３８と、この圧電振動子に接合される固定板３９と、プリンター本体側からの駆動信号を圧電振動子３８に供給する配線部材としてのフレキシブルケーブル４０とから構成されている。各圧電振動子３８は、固定端部側が固定板３９上に接合され、自由端部側が固定板３９の先端面よりも外側に突出している。すなわち、各圧電振動子３８は、いわゆる片持ち梁の状態で固定板３９上に取り付けられている。
【００４３】
固定板３９は、圧電振動子３８を支持するもので、例えば厚さ１ｍｍ程度のステンレス鋼によって構成されている。アクチュエータユニット２０は、固定板３９の背面を、収容空部３７を区画するケース内壁面に接着することで収容空部３７に収納・固定されている。
【００４４】
流路ユニット１９は、振動板４１、流路基板４２およびノズル基板４３からなる流路ユニット構成部材が、積層された状態で一体化されて作製されたもので、共通インク室４４からインク供給口４５および圧力室４６を通りノズル開口４７ａに至るまでの一連のインク流路を形成する部材である。圧力室４６は、ノズル開口４７ａの列設方向（ノズル列方向）に対して直交する方向に細長い室として形成されており、それぞれに対向する圧電振動子３８を備えて鋳る。
【００４５】
共通インク室４４は、上記インク導入路２３に連通してサブタンク側からのインクが導入される室である。この共通インク室４４に導入されたインクは、インク供給口４５を通じて各圧力室４６に分配供給されるようになっている。
【００４６】
流路ユニット１９の底部に配列されるノズル基板４３は、ドット形成密度に対応したピッチ（例えば１８０ｄｐｉ）で複数のノズル開口４７ａを列状に開設した金属製の薄い板材である。ノズル基板４３の表面には、複数のノズル開口４７ａが形成されており、このようなノズル開口４７ａを形成したノズル基板４３の表面により、ノズル開口４７ａが構成されている。
【００４７】
流路基板４２は、結晶性を有する基材であるシリコンウェハを異方性エッチング処理することによって作製されている。振動板４１は、ステンレス鋼等の金属製の支持板上に弾性フィルムをラミネート加工した二重構造の複合板材である。この振動板４１の圧力室４６に対応する部分には、エッチングなどによって支持板を環状に除去することで、圧電振動子３８の先端面が接合される島部４８が形成されている。この部分は、ダイヤフラム部として機能するようになっている。すなわち、この振動板４１は、圧電振動子３８の作動に応じて島部４８の周囲の弾性フィルムが弾性変形するように構成されている。
【００４８】
また、振動板４１は、流路基板４２の一方の開口面を封止し、コンプライアンス部４９としても機能するようになっている。このコンプライアンス部４９に相当する部分については、ダイヤフラム部と同様に、エッチングなどにより支持板を除去して弾性フィルムだけにしている。
【００４９】
このような記録ヘッド３において、フレキシブルケーブル４０を通じて駆動振動が圧電振動子３８に供給されると、この圧電振動子３８が素子長手方向に伸縮し、これに伴い島部４８が圧力室４６に近接する方向あるいは離間する方向に移動する。これにより、圧力室４６の容積が変化し、圧力室４６内のインクに圧力変動が生じる。この圧力変動によってノズル４７からインク滴Ｄが吐出される。
【００５０】
図４（ａ）は、フィルター５０の構成を示す平面図である。図４（ｂ）は、図４（ａ）におけるＡ−Ａ断面に沿った構成を示す図である。  
図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、フィルター５０は、インクを通過させるとともにインク中に存在する異物（物質）を捕捉する。フィルター５０は、開口部Ｈを有する基板Ｓを有している。フィルター５０は、例えばインク導入針２２の内壁面に固定されている。基板Ｓは、例えばステンレス鋼（ＳＵＳ）などを用いて形成されている。基板Ｓの厚さは、例えば１０〜２０μｍの範囲に形成されている。
【００５１】
開口部Ｈは、基板Ｓのインク流入面Ｓａ及びインク流出面Ｓｂとの間を貫通して形成されている。開口部Ｈは、基板Ｓに例えばスリット状に形成されている。本実施形態では、開口部Ｈは、例えば矩形状に形成されており、開口部Ｈの一方向が長手になっている。当該開口部Ｈの形状としては、矩形状に限られず、例えば一方向が長手となるような形状であれば、他の形状であっても構わない。このような形状として、例えば楕円形、ひし形、平行四辺形、多角形などが挙げられる。開口部Ｈの開口面積は、例えば基板Ｓの厚みやインクの種類等に応じて設定される。開口部Ｈは、基板Ｓの基板面に例えばマトリクス状に配置されている。
【００５２】
図５は、フィルター５０の開口部近傍を拡大して示す図である。  
図５に示すように、基板Ｓは、開口部Ｈの中央へ向けて突出する湾曲部Ｈａを有している。湾曲部Ｈａは、開口部Ｈの長手方向に伸びた２辺に形成されている。当該２辺は、開口部Ｈの中央部を挟む辺であるため、湾曲部Ｈａは開口部Ｈの中央を挟む位置に設けられていることになる。各開口部Ｈは、長手方向の寸法Ｌが等しくなるように形成されている。なお、開口部Ｈのうち短手方向に伸びる辺Ｈｂは、ほぼ直線状に形成されている。
【００５３】
次に、フィルター５０の製造方法について述べる。図６（ａ）〜図６（ｆ）は、フィルター５０の製造工程を説明する図である。  
図６（ａ）に示すように、まず、軟質材として厚さ２０μｍのＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）からなるダイレス材５０１を配置し、その上に厚さ１５μｍのステンレス鋼の基板Ｓを載置する。
【００５４】
次に、基板Ｓの表面Ｓａ上にパンチ５０２を配置する。パンチ５０２は、角孔を形成可能な角パンチである。パンチ５０２には、先端５０２Ａと基部５０２Ｂとの境界部分にテーパー部５０３が設けられている。図６（ｆ）は図６（ａ）におけるＢ−Ｂ断面に沿った構成を示す図である。図６（ｆ）に示すように、断面視におけるパンチ５０２の先端５０２Ａ形状は、例えば矩形に形成されている。パンチ５０２の先端５０２Ａの長手方向の寸法は、例えばフィルター５０の開口部Ｈの長手方向の寸法Ｌに一致している。
【００５５】
次に、図６（ｂ）に示すように、パンチ５０２を基板Ｓ内に打ち込み、その先端５０２Ａをダイレス材５０１に挿入させる。これにより、基板Ｓがパンチ５０２の形状に打ち抜かれて開口部Ｈが形成される（開口部形成工程）。
【００５６】
パンチ５０２によって打ち抜かれた打ち抜き片５１０Ａは、ダイレス材５０１側へ押し出されて内部に留められる。また、パンチ５０２のテーパー部５０３を基板Ｓ内へ押し込むように圧入することで、基板Ｓの裏面Ｓｂ側にテーパー部５０３によって押し出された押し出し片によって凸部５３が形成される。
【００５７】
なお、ダイレス材５０１としては、ＰＣ（ポリカーボネイト）、ＰＯＭ（ポリ汗タール）、ＡＢＳ（ＡＢＳ樹脂）、ＰＰＳ（ポリフェニンサルファイド）等を用いることが可能であり、硬さは、基板Ｓの厚さや開口部Ｈのピッチ等により、種々選択することが可能である。
【００５８】
次に、図６（ｃ）に示すように、基板Ｓの表面Ｓａ上に金属あるいはゴム部材からなる支持部材５２０を配置し、基板Ｓの裏面Ｓｂ側の凸部５３と対向する位置に、例えば金属板からなる押圧部材５０５を配置する。
【００５９】
そして、図６（ｄ）に示すように押圧部材５０５を凸部５３の先端側に押し付け、凸部５３を開口部Ｈ内に押し込む。この部分は、図６（ｅ）に示すように、開口部Ｈの中央部に突出する湾曲部Ｈａとして形成される（湾曲部形成工程）。したがって、湾曲部Ｈａには、パンチ５０２の打ち抜き方向にはみ出した余剰部分である凸部５３が用いられることになる。
【００６０】
上記の打ち抜き工程を行う際、例えば、図７に示すように、複数のパンチ５０２をユニット化することにより、一度の打ち抜きで複数の開口部Ｈを形成することができるので、製造効率を向上させることが可能となる。当該パンチユニットＰＵは、複数のパンチ５０２が断面形状における短手方向に沿って一行に配置されている。
【００６１】
このパンチユニットＰＵを用いて基板Ｓに対して打ち抜き加工を行うと、例えば図８に示すように、一行目（行Ｒ１）の開口部Ｈが形成される。この開口部Ｈの行Ｒ１は、短手方向に平行な方向に形成される。一行目の開口部Ｈを形成した後、上記の押圧部材５０５を基板Ｓに押し当てて湾曲部Ｈａをそれぞれ形成する。
【００６２】
次に、図９に示すように、パンチユニットＰＵを用いて二行目（行Ｒ２）の開口部Ｈを形成する。二行目の開口部Ｈは、例えば一行目の開口部Ｈに隣接するように形成される。この動作を繰り返すことにより、マトリクス状に配置された複数の開口部Ｈを有する基板Ｓ（フィルター５０）を形成することができる。
【００６３】
以上のように、本実施形態によれば、基板Ｓにおいて流入面Ｓａと流出面Ｓｂとの間を貫通する開口部Ｈがスリット状に形成されているため、開口部Ｈの面積を確保しつつ、異物が捕捉されやすい構成となる。これにより、高い捕捉能力を有し、流路抵抗が小さいフィルター５０を提供することができる。
【００６４】
また、本実施形態によれば、基板Ｓが開口部Ｈの中央へ向けて突出する湾曲部Ｈａを有しているので、開口部Ｈの中央へ向けてより開口部Ｈが狭く形成されることになる。これにより、異物捕捉能力の高いフィルター５０が得られる。また、当該湾曲部Ｈａが開口部Ｈの中央部を挟む位置に配置されているため、開口部Ｈの中央へ向けて開口部が更に狭く形成されることになる。これにより、異物捕捉能力のより高いフィルター５０が得られる。
【００６５】
本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。  
例えば、上記実施形態では、複数の開口部Ｈが全て同一の方向に長手方向を有するように形成された構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば図１０に示すように、一部の開口部Ｈの長手方向の向きが他の開口部Ｈとは異なるように形成されていても構わない。図１０においては、図中縦方向において交互に開口部Ｈの長手方向が９０°ずつずれるように開口部Ｈが形成されている。この場合、開口部Ｈの長手方向をそろえた場合に比べて、当該長手方向の端部間が広く設けられることになるため、クラックなどが形成されにくくなる。このため、耐久性の高いフィルター５０が得られる。
【００６６】
また、上記実施形態では、複数の開口部Ｈがマトリクス状に配置された構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば図１１に示すように、開口部Ｈの列を１列毎に交互にずらすように配置させる構成であっても構わない。図１１においては、行方向に見て、異なる列の開口部Ｈの一部同士が重なるように配置されている。このように、複数の開口部Ｈが複数列（あるいは複数行）に配置される場合、開口部Ｈの配列方向とは直交する方向に見て、異なる列の開口部Ｈの一部同士が重なるように、複数の開口部Ｈが列毎に配列方向にずれて配置されている構成とすることができる。
【００６７】
また、上記実施形態では、複数の開口部Ｈの長手方向の寸法Ｌがほぼ同一である構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば図１２に示すように、長手方向の寸法が異なる（例えば、Ｌ１〜Ｌ３）ように開口部Ｈを形成しても構わない。なお、図１２においては、開口部Ｈの長手方向の向きが一部異なっているものを含んだ構成であるが、これに限られることは無く、開口部Ｈの長手方向の向きが全て等しい構成においても同様の説明が可能である。
【００６８】
また、上記実施形態では、開口部Ｈを形成する際に、１行の開口部Ｈを形成する度に押圧部材５０５を用いて湾曲部Ｈａを形成するようにしたが、これに限られることは無く、例えば全ての開口部Ｈを形成した後に押圧部材５０５を基板Ｓに押圧させて、まとめて湾曲部Ｈａを形成するようにしても構わない。
【００６９】
また、上記実施形態では、開口部Ｈを行毎に形成する構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無い。例えば図１３に示すように、開口部Ｈを列毎に形成するようにしても構わない。図１３においては、例えば上記実施形態のパンチユニットＰＵの構成を、複数のパンチ５０２が、先端５０２Ａの長手方向に沿って配列された構成としておく。
【００７０】
このパンチユニットを用いることで、図１３に示すように、例えば開口部Ｈの列Ｆ１〜Ｆ３を形成することができる。図１３には、１列の開口部Ｈを形成する度に押圧部材５０５を用いて湾曲部Ｈａを形成する場合が示されているが、勿論これに限定されるものではなく、上述したように例えば全ての開口部Ｈを形成した後にまとめて押圧部材５０５を用いるようにしても構わない。
【符号の説明】
【００７１】
Ｈ…開口部  Ｓ…基板  Ｈａ…湾曲部  ＰＵ…パンチユニット  Ｓａ…インク流入面（表面）  Ｓｂ…インク流出面（裏面）  ２…サブタンク  ３…記録ヘッド  ５０…フィルター  １００…プリンター
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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