(57)【要約】【課題】視野に照射する光を、可視光、紫外線、赤外線、またはこれらの組み合わせに自在に変更可能な顕微鏡を提供する。【解決手段】顕微鏡１０は、光源ユニット１６、可視光を発する可視光源と、紫外線を発する紫外光源と、赤外線を発する赤外光源とを有する光源ユニット１６を備える。光源ユニット１６からの光は、光ファイバ３１や対物レンズ１８等を介して視野の範囲内でワーク１１に照射される。光源ユニット１６から視野に照射する光の種類は、光源切替ダイヤル３２によって、可視光、紫外線、赤外線、あるいはこれらの組み合わせのいずれかに切り替えられる。【選択図】図１
2011107326.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可視光を発する可視光源と、紫外線を発する紫外光源と、赤外線を発する赤外光源とを有する光源装置と、
前記光源装置から視野に照射する光の種類を切り替える切替手段と、
前記切変手段によって選択された光を視野の範囲内に照射する光学系と、
を備えることを特徴とする顕微鏡。
【請求項２】
前記切替手段は、前記可視光と、前記紫外線または前記赤外線との２種類を同時に照射するように、前記視野に照射する光の種類を切り替え可能に設けられ、
前記視野の範囲を観察しながら、前記視野に前記紫外線または前記赤外線を照射することを特徴とする請求項１記載の顕微鏡。
【請求項３】
前記光学系は、前記光源装置からの光を前記視野に照射するとともに、前記視野の範囲のものの像を結像する対物レンズを備えることを特徴とする請求項１または２記載の顕微鏡。
【請求項４】
前記光学系は、前記視野を観察する接眼レンズを備え、
前記接眼レンズの前に前記紫外線及び前記赤外線を遮光する光学フィルタを備えることを特徴とする請求項１ないし３いずれかに記載の顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを拡大して観察する顕微鏡に関し、さらに詳しくは、ワークを観察するとともに、ワークに対して紫外線等の光硬化樹脂を硬化させる波長帯の光を照射する顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、紫外線で硬化する紫外線硬化樹脂等の光硬化樹脂や赤外線で硬化する熱硬化樹脂が接着剤として様々な分野で利用されている。光硬化樹脂は、一液性で扱いが容易であるとともに、紫外線等の所定波長帯の光を短時間照射するだけで強力な接着力を得られ、耐湿性、耐熱性等の耐久性に優れている。また、ガラス、金属、プラスチック等を接着することができ、接着するものの材質を殆ど選ばない。こうしたことから、レンズや光学フィルタ、撮像素子等の光学素子同士の接着には、光硬化樹脂が広く用いられている。
【０００３】
しかし、光硬化樹脂は概ね重合反応によって硬化するため、光硬化樹脂に所定波長の光を照射すると、硬化すると同時に収縮する性質がある。このため、光学素子等のワークを正確に位置合わせした後に、光硬化樹脂に一様に所定波長の光を照射したとしても、光硬化樹脂の収縮に伴って位置ズレしたままワークが接着されてしまうことがある。こうしたことから、近年では、紫外線硬化樹脂を用いて撮像素子にカラーフィルタを接着するときに、カラーフィルタの四隅等に紫外線をスポット照射し、撮像素子に対するカラーフィルタの位置を固定した後、全体に一様に紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化させるようにすることで、固体撮像素子にカラーフィルタを精度良く接着する固体撮像素子組立装置が知られている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−２８１６２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般に、光硬化樹脂を用いてワークを接着する場合、光硬化樹脂を介してワークの位置合わせを行う顕微鏡等の位置合わせ装置と、光硬化樹脂を硬化させる光照射装置とは各々別個に設けられる。したがって、ワークの位置合わせ後に、光硬化樹脂の粘度等によっては、ワークの僅かな傾斜等によって、光硬化樹脂を硬化させるまでの間にワークに位置ズレが生じてしまうことがある。このため、特許文献１に記載されている固体撮像素子組立装置のように、ワークの位置合わせと同時に光硬化樹脂を硬化させてワークを接着してしまうことが好ましい。
【０００６】
しかし、特許文献１の固体撮像素子組立装置は、紫外線硬化樹脂を接着剤として用いることを前提とし、ワークに照射する光の波長帯は紫外線に限られる構成となっており、接着剤として熱硬化樹脂を用いる場合には、赤外線をワークに照射するようにした同様の構成の装置を別途設ける必要がある。このため、紫外線硬化樹脂を用いる製品と熱硬化樹脂を用いる製品をともに製造する場合には、紫外線硬化樹脂用と熱硬化樹脂用に各々別の装置を設けなければならず、高コストであるとともに、広大な設置スペースを必要とするという問題がある。また、１台の装置で、紫外線及び赤外線の照射を行う場合には、その都度、光源を交換しなければならず、生産性が悪い。
【０００７】
また、特許文献１の固体撮像素子組立装置では、ＣＣＤカメラでワークを観察しながら紫外線の照射位置を調節するが、可視光の照明が設けられていないため、ワークを明瞭に観察して精密な位置合わせを行うためには、装置外部からワークを可視光で照明する必要がある。こうしてワークを観察するための照明を装置の外部から照射すると、ワークを構成するものの厚さ等によって陰影ができ、より精密な位置合わせの妨げになることがある。
【０００８】
本発明は上述の問題点に鑑みてなされたものであり、視野の範囲に照射する光を、可視光、紫外線、赤外線、またはこれらの組み合わせに自在に変更可能な顕微鏡を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の顕微鏡は、可視光を発する可視光源と、紫外線を発する紫外光源と、赤外線を発する赤外光源とを有する光源装置と、前記光源装置から視野に照射する光の種類を切り替える切替手段と、前記切変手段によって選択された光を視野の範囲内に照射する光学系と、を備える。
【００１０】
また、前記切替手段は、前記可視光と、前記紫外線または前記赤外線との２種類を同時に照射するように、前記視野に照射する光の種類を切り替え可能に設けられ、前記視野の範囲を観察しながら、前記視野に前記紫外線または前記赤外線を照射することを特徴とする。
【００１１】
また、前記光学系は、前記光源装置からの光を前記視野に照射するとともに、前記視野の範囲のものの像を結像する対物レンズを備えることを特徴とする。
【００１２】
前記光学系は、前記視野を観察する接眼レンズを備え、前記接眼レンズの前に前記紫外線及び前記赤外線を遮光する光学フィルタを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、視野の範囲に照射する光を、可視光、紫外線、赤外線、またはこれらの組み合わせに自在に変更可能な顕微鏡を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】顕微鏡の構成を示す説明図である。
【図２】顕微鏡の光学的構成を示す説明図である。
【図３】光源ユニットの構成を示す説明図である。
【図４】顕微鏡で光硬化樹脂を硬化させる様態を示す説明図である。
【図５】顕微鏡で光硬化樹脂を硬化させる別の様態を示す説明図である。
【図６】紫外線及び赤外線の照射を報知する光源ユニットの様態を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
図１に示すように、顕微鏡１０は、ワーク１１を拡大して観察するとともに、視野の範囲内に紫外線や赤外線を照射する装置であり、鏡筒１２、鏡柱１３、鏡台１４、光源ユニット１６等から構成される。鏡筒１２、鏡柱１３、鏡台１４は、顕微鏡１０の骨格をなす。鏡筒１２には、接眼レンズ１７、対物レンズ１８、直筒１９、光路切替つまみ２１、絞り調節ダイヤル２２ａ，２２ｂ等が備えられており、鏡柱１３にはステージ２３や焦点ハンドル２４が備えられている。
【００１６】
接眼レンズ１７は、対物レンズ１８によって焦点面に結像されるワーク１１の実像を拡大するレンズ系であり、この接眼レンズ１７を通して、ワーク１１は直接観察される。また、接眼レンズ１７は、交換可能であり、倍率の異なるものが予め複数用意され、対物レンズ１８との組み合わせで適切な観察倍率になるように、ワーク１１の種類等に応じて適宜交換して用いられる。
【００１７】
直筒１９は、デジタルカメラ等の撮像装置２６を接続するアダプタである。また、対物レンズ１８から直筒１９への光路と、対物レンズ１８から接眼レンズ１７への光路とは、光路切替つまみ２１によって択一的に切り替えられる。このため、直筒１９に撮像装置２６を接続し、光路を直筒１９側に切り替えた場合には、撮像装置２６を介してのみワーク１１が観察される。
【００１８】
対物レンズ１８は、ワーク１１に対面するようにレボルバ２７に備えられたレンズ系であり、ワーク１１の実像を結ぶレンズである。同時に、対物レンズ１８は、光源ユニット１６から導入される可視光や紫外線、赤外線をワーク１１に対して垂直に、かつ視野範囲内で均一な光量で落射するコンデンサレンズとして機能する。また、レボルバ２７には、それぞれ倍率が異なる対物レンズ１８ａ〜１８ｃが予め備えられている。対物レンズ１８ａ〜１８ｃは、レボルバ２７を回転させることによって、ワーク１１に対面させるものが切り替えられる。こうした対物レンズ１８ａ〜１８ｃの切り替えは、観察倍率や視野範囲、紫外線や赤外線を照射する範囲等に応じて行われる。
【００１９】
絞り調節ダイヤル２２ａは、開口絞り４６（図２参照）の開口面積を変化させる。これにより、観察する像の明るさやコントラストが調節される。また、絞り調節ダイヤル２２ｂは、視野絞り４７（図２参照）の開口面積を変化させる。これにより、視野の大きさが調節され、観察する位置以外からの光などが抑えられ、ワーク１１の像が明瞭に観察されるようになる。
【００２０】
ステージ２３には、選択された対物レンズ１８の直下に観察する部分や、紫外線，赤外線を照射する部分が位置するように、ワーク１１が載置される。こうしてステージ２３上に載置されるワーク１１は、クレンメル５９（図２参照）によって保持される。また、ステージ２３は、鏡柱１３に沿って上下に移動自在に設けられている。こうしたステージ２３の上下移動は、焦点ハンドル２４によって行われ、対物レンズ１８の焦点位置にワーク１１が位置するように移動される。また、ステージ２３は、載置されたワーク１１を対物レンズ１８に垂直なステージ２３の面内で四方に自在に移動させる機構を備える。こうしたステージ２３の面内でのワーク１１の移動は、ステージハンドル２８によって行われる。
【００２１】
光源ユニット１６は、対物レンズ１８を通じてワーク１１に照射する光を発生するユニットであり、後述するように可視光、紫外線、赤外線を発生する光源をそれぞれ備える（図３参照）。光源ユニット１６で発生した光は、光ファイバ３１を通じて光学系に導入され、対物レンズ１８を通して視野範囲内のワーク１１に照射される。
【００２２】
また、光源ユニット１６は、可視光、紫外線、赤外線から選択して、１種類の光を発生させ、ワーク１１に照射させることができるとともに、可視光と紫外線を発生させて、これらを同時にワーク１１に照射させることができるようになっている。同様に、光源ユニット１６は、可視光と赤外線を発生させ、これらを同時にワーク１１に照射させることができるようになっている。こうしたワーク１１に照射する光の種類の選択は、光源切替ダイヤル３２によって行われる。さらに、光源ユニット１６には、発生する可視光の光量、紫外線，赤外線の光量をそれぞれ調節する光量調節ダイヤル３３が設けられている。光源ユニット１６で発生する可視光の光量は、光量調節ダイヤル３３ａによって調節される。同様に、光源ユニット１６で発生する紫外線、赤外線の光量（線量）は、光量調節ダイヤル３３ｂ，３３ｃによってそれぞれ調節される。
【００２３】
図２に示すように、顕微鏡１０の光学系４１は、前述の接眼レンズ１７及び対物レンズ１８（１８ａ〜１８ｃ）と、光源ユニット１６で発生した光をワーク１１に導くレンズ４２，４３、開口絞り４６、視野絞り４７、ビームスプリッタ５１、ワーク１１からの光を結像させるレンズ５２、全反射プリズム５３、ＵＶ／ＩＲカットフィルタ５４ａ，５４ｂ等から構成される。
【００２４】
光源ユニット１６で発生した光は、レンズ４２、開口絞り４６、視野絞り４７、レンズ４３を通じて、観察光軸Ｌ上にあるビームスプリッタ５１に導かれる。レンズ４２は、光源の像を開口絞り４６の位置に結像させる。この像を２次光源として、レンズ４３は、後述するビームスプリッタ５１を介して、対物レンズ１８の瞳位置に光源の像を結像する。対物レンズ１８は、こうして瞳位置に結像された光源の像を３次光源として、観察光軸Ｌに平行に、光源ユニット１６からの光をワーク１１に落射する。
【００２５】
開口絞り４６は、開口の大きさを調節可能に設けられており、開口の大きさの調節により、光源ユニット１６からレンズ４２によって導入される光束の角度及び径（いわゆる開口数）を調節する。開口絞り４６の開口の大きさの調節は、前述のように絞り調節ダイヤル２２ａによって行われる。また、視野絞り４７は、開口絞り４６の後側（レンズ４３側）に設けられ、開口絞り４６と同様に開口の大きさが自在に調節可能に設けられ、開口の大きさにより視野の大きさを調節する。視野絞り４７の開口の大きさは、前述のように絞り調節ダイヤル２２ｂによって行われる。
【００２６】
ビームスプリッタ５１は、観察光軸Ｌ上に設けられ、光源ユニット１６からの光の一部をワーク１１の方向へと反射する部材であり、半透膜５５を備える。半透膜５５は、光源ユニット１６からの光軸及び観察光軸Ｌに対して４５度の角度をなすように設けられる。また、半透膜５５には、光源ユニット１６で発生する３種の波長帯の光が入射されるため、少なくともこれらの波長帯の光に対して、入射光量の概ね５０％をワーク１１側に反射し、残り５０％を透過するように設けられている。こうして、光源ユニット１６から入射され、ワーク１１側に反射された光は、前述のように対物レンズ１８によって視野の範囲内でワーク１１に落射される。
【００２７】
なお、対物レンズ１８は、レボルバ２７を回転させることによって、光軸Ｌ上に位置し、ワーク１１に対面する対物レンズ１８ものが選択される。このため、上述のように、光源ユニット１６からワーク１１への光の照射は、こうして光軸Ｌ上に位置するように配置された対物レンズ１８（図２では対物レンズ１８ａ）を介して行われる。また、ワーク１１からの光もまた、光軸Ｌ上に位置するように配置された対物レンズ１８を介して光学系４１に取得される。
【００２８】
このため、ビームスプリッタ５１には、対物レンズ１８を通してワーク１１からの光が入射する。こうしてワーク１１からビームスプリッタ５１に入射する光は、概ねワーク１１に照射した波長帯の光であり、その一部が半透膜５５を透過する。こうしてビームスプリッタ５１を透過したワーク１１からの光は、レンズ５２によって、選択された対物レンズ１８に応じた所定の位置に結像される。
【００２９】
全反射プリズム５３は、ワーク１１からの光を接眼レンズ１７側に全反射することにより、ワーク１１からの光の光軸を接眼レンズ１７側に折り曲げ、ワーク１１（レンズ５２によるワーク１１の像）を、接眼レンズ１７を通して拡大して観察可能にするプリズムである。全反射プリズム５３は、ワーク１１に垂直な観察光軸Ｌ上に位置する挿入位置と、光軸Ｌ上から退避した退避位置との間で移動自在に設けられている。全反射プリズム５３は、接眼レンズ１７を通してワーク１１を直接観察する場合に挿入位置に移動され、撮像装置２６を通してワーク１１を観察する場合に退避位置に移動される。こうした全反射プリズム５３の移動は、前述の光路切替つまみ２１の操作によって行われる。
【００３０】
ＵＶ／ＩＲカットフィルタ５４ａは、紫外線及び赤外線を吸収し、可視光を透過する光学フィルタであり、接眼レンズ１７と全反射プリズム５３との間に設けられる。前述のように、光源切替ダイヤル３２の状態によってはワーク１１に紫外線や赤外線が照射され、これに応じてビームスプリッタ５１を透過するワーク１１からの光に紫外線や赤外線が含まれる場合がある。こうした場合に、ＵＶ／ＩＲカットフィルタ５４ａは、紫外線や赤外線を吸収し、接眼レンズ１７に到達する光を可視光の波長帯に制限する。これにより、接眼レンズ１７を通してワーク１１を観察するときには、可視光の成分によってワーク１１が観察される。また、ＵＶ／ＩＲカットフィルタ５４ｂは、ＵＶ／ＩＲカットフィルタ５４ａと同様の特性の光学フィルタであり、挿入位置にある全反射プリズム５３と撮像装置２６との間に設けられる。これにより、撮像装置２６は、ワーク１１からの光のうち、可視光の成分によってワーク１１を撮像する。
【００３１】
なお、以下では、ワーク１１は、不透明な基板５６、透明なフィルタ部材５７、及び光硬化樹脂５８とからなり、基板５６がクレンメル５９によってステージ２３に保持されるものとする。例えば、基板５６は、表面にＣＭＯＳ等の撮像素子が形成された基板であり、フィルタ部材５７は撮像素子の前面に配置する光学フィルタやカバー、レンズ等である。また、光硬化樹脂５８は、基板５６とフィルタ部材５７を接着する接着剤であり、光源ユニット１６で発生する紫外線または赤外線のいずれかを照射することによって硬化する樹脂である。光硬化樹脂５８は、ワーク１１の種類等に応じて適宜選択される。
【００３２】
図３に示すように、光源ユニット１６は、前述の光源切替ダイヤル３２や光量調節ダイヤル３３ａ〜３３ｃととともに、可視光源６１、紫外光源６２、赤外光源６３、スイッチＳＷａ〜ＳＷｃを備える。
【００３３】
可視光源６１は、ワーク１１に照射する可視光を発生する光源である。また、紫外光源６２及び赤外光源６３は、ワーク１１に照射する紫外線，赤外線をそれぞれ発生させる。これらの３種の光源６１〜６３は、各々独立してオン，オフを切り替えられるようになっている。可視光源６１は、スイッチＳＷａによってオン，オフが切り替えられる。同様に、紫外光源６２及び赤外光源６３は、スイッチＳＷｂ，スイッチＳＷｃによってそれぞれオンオフが切り替えられる。さらに、可視光源６１、紫外光源６２及び赤外光源６３には、光量調節ダイヤル３３ａ〜３３ｃがそれぞれ接続されており、前述のように各光量調節ダイヤル３３ａ〜３３ｃの操作によって、対応する光源で発生する光の光量は各々独立に調節される。
【００３４】
スイッチＳＷａ〜ＳＷｃのオン，オフは、光源切替ダイヤル３２によって切り替えられる。例えば、光源切替ダイヤル３２によって、ワーク１１に照射する光を可視光だけに指定した場合、スイッチＳＷａがオンになり、スイッチＳＷｂ，ＳＷｃはオフになる。また、光源切替ダイヤル３２によって、ワーク１１に照射する光を可視光と紫外線の同時照射に指定した場合、スイッチＳＷａ及びスイッチＳＷｂがオンになり、スイッチＳＷｃはオフになる。光源切替ダイヤル３２によって、ワーク１１に照射する光を紫外線、赤外線、可視光と赤外線の同時に照射するように指定した場合も上述と同様である。
【００３５】
以下、上述のように構成される顕微鏡１０によって、ワーク１１を観察しながら基板５６とフィルタ部材５７との位置合わせをし、かつ、光硬化樹脂５８を硬化させて基板５６とフィルタ部材５７とを接着する手順を説明する。なお、ここでは、光硬化樹脂５８として、紫外線を照射することにより硬化する紫外線硬化樹脂を用いる例を説明する。
【００３６】
図４（Ａ）に示すように、基板５６に対して、フィルタ部材５７を配置する位置（以下、指定位置という）６３は予め定められている。ワーク１１の場合には、基板５６の表面に形成されたＣＭＯＳ等の撮像素子の様態に応じて、例えば画素の配列とフィルタ部材５７の対応関係から、フィルタ部材５７を配置する指定位置６３が予め定められる。
【００３７】
図４（Ｂ）に示すように、顕微鏡１０を用いてフィルタ部材５７を基板５６に接着するときには、指定位置６３のほぼ全体が視野６４に収まるように可視光によって基板５６を観察しながら、光硬化樹脂（ここでは紫外線硬化樹脂を用いる）を介在させてフィルタ部材５７を指定位置６３に配置する。まず、基板５６をステージ２３上に載置し、クレンメル５９によってこれを保持する。その後、指定位置６３が視野６４の範囲内にほぼ全て収まるように、レボルバ２７を回転させて適切な倍率の対物レンズ１８を選択し、指定位置６３が視野６４の中央に位置するようにステージハンドル２８を操作する。同時に、焦点ハンドル２４を操作して、ステージ２３を上下させることにより、対物レンズ１８の焦点に基板５６の位置を合わせる。また、観察時の明るさは、絞り調節ダイヤル２２ａと光量調節ダイヤル３３ａによって調節される。
【００３８】
そして、光硬化樹脂５８を介在させて、フィルタ部材５７を指定位置６３に配置する。こうしてフィルタ部材５７を指定位置６３に配置する段階では、光源ユニット１６から可視光のみがワーク１１に照射されるように、光源切替ダイヤル３２を操作する。このため、フィルタ部材５７を指定位置６３に配置するときには、基板５６とフィルタ部材５７との間に介在させる光硬化樹脂５８は硬化してしまうことがなく、フィルタ部材５７の配置を調節することができる。
【００３９】
こうして指定位置６３にフィルタ部材５７を配置すると、フィルタ部材５７はほぼ正確に指定位置６３に配置されるが、視野６４に指定位置６３の全体が収まる程度に観察倍率が小さいので、フィルタ部材５７が指定位置６３から僅かにずれていることもある。このため、図４（Ｂ）では説明のために、フィルタ部材５７を指定位置６３から明示的にずらして描いている。
【００４０】
上述のように指定位置６３にフィルタ部材５７を配置した後には、図４（Ｃ）に示すように、レボルバ２７を回転し、より高倍率の対物レンズ１８を選択し、ステージハンドル２８や焦点ハンドル２４の操作によって、指定位置６３及びフィルタ部材５７の角を拡大観察しながら、より精度良くフィルタ部材５７を指定位置６３に配置する。さらに、例えば、指定位置６３及びフィルタ部材５７の他の角等を拡大観察する等して、こうしたフィルタ部材５７の位置合わせを繰り返し行うことにより、ワーク１１の様態に求められる程度に高精度にフィルタ部材５７を指定位置６３に配置する。なお、こうしてフィルタ部材５７の位置合わせを行うときにも、可視光により観察する。
【００４１】
こうしてフィルタ部材５７を指定位置６３に高精度に配置した後は、図４（Ｄ）に示すように、ワーク１１をステージ２３上から移動させずに、対物レンズ１８を切り替え、フィルタ部材５７及び指定位置６３の全体が視野６４に収まるようにワーク１１を観察する。その後、ワーク１１を観察しながら、視野６４の範囲に可視光とともに紫外線が照射されるように、光源切替ダイヤル３２を操作する。このため、ワーク１１を観察しながら、フィルタ部材５７及び指定位置６３の全体に光硬化樹脂を硬化させる紫外線が照射される。このとき、照射する紫外線の光量は、絞り調節ダイヤル２２ａと光量調節ダイヤル３３ｂによって調節される。
【００４２】
こうして、視野６４の範囲内に紫外線を照射すると、図４（Ｅ）に示すように、基板５６とフィルタ部材５７との間に介在させた光硬化樹脂５８が硬化する。これにより、基板５６とフィルタ部材５７が一様に接着され、一体化する。また、ここでは、光硬化樹脂５８として紫外線硬化樹脂を用いる例を説明したが、光硬化樹脂５８のかわりに熱硬化樹脂を用いる場合にも、上述と同様にして照射する光を赤外線にすれば良い。
【００４３】
上述のように、顕微鏡１０は、光硬化樹脂５８を介してフィルタ部材５７を基板５６の指定位置６３に位置合わせした後、ワーク１１を移動させず、位置合わせ時のままステージ２３上に載置したままの状態で、使用する光硬化樹脂５８の性質に応じて、光硬化樹脂５８を硬化させる紫外線（または熱硬化樹脂を硬化させる赤外線）をワーク１１に照射することができる。このため、ワーク１１の僅かな傾斜やワーク１１の移動させるときの振動や傾斜等によってフィルタ部材５７が指定位置６３から位置ズレしてしまうことなく、フィルタ部材５７を指定位置６３に精密に位置合わせした状態で、光硬化樹脂５８を硬化させ、フィルタ部材５７と基板５６を一体化することができる。
【００４４】
また、顕微鏡１０は、光硬化樹脂５８を硬化させるためにワーク１１に照射する光を、使用した光硬化樹脂５８の種類に応じて、紫外線と赤外線から任意に選択することができる。このため、ワーク１１に使用した光硬化樹脂５８が、紫外線で硬化する紫外線硬化樹脂であっても、赤外線で硬化する熱硬化樹脂であっても、同じ顕微鏡１０で基板５６とフィルタ部材５７を一体化することができる。これにより、使用する光硬化樹脂５８の種類毎に顕微鏡１０を設けておく必要がなく、少ないスペースで、各々異なる種類の光硬化樹脂５８を使用したワーク１１を製造することができる。
【００４５】
同時に、顕微鏡１０は、ワーク１１に用いる光硬化樹脂５８の種類毎に、煩雑な光源の交換作業を要さず、光源切替ダイヤル３２の操作によって、光硬化樹脂５８を硬化させるためにワーク１１に照射する光を切り替えることができる。このため、各々異なる種類の光硬化樹脂５８を使用したワーク１１を効率良く製造することができる。
【００４６】
さらに、顕微鏡１０は、光硬化樹脂５８を硬化させる紫外線（または赤外線）をワーク１１に照射するときに、同時にワーク１１を観察するための可視光をワーク１１に照射し、ワーク１１の状態を観察しながら光硬化樹脂５８を硬化させることができる。光硬化樹脂５８は、これを硬化させる光を照射すると収縮する性質があり、光硬化樹脂５８を硬化させることによってフィルタ部材５７が指定位置６３からずれてしまうことがある。しかし、顕微鏡１０によれば、上述のようにワーク１１を観察しながら光硬化樹脂５８を硬化させることができるので、光硬化樹脂５８が徐々に硬化していく過程で、光硬化樹脂５８の収縮によるフィルタ部材５７の位置ズレを補正しながら基板５６とフィルタ部材５７を一体化させることができる。このため、顕微鏡１０によれば、フィルタ部材５７を指定位置６３により高精度に位置合わせした状態で基板５６と一体化したワーク１１を効率良く製造することができる。
【００４７】
また、顕微鏡１０は、接眼レンズ１７や撮像装置２６の前に、ＵＶ／ＩＲカットフィルタ５４ａ，５４ｂを設けている。これにより、ワーク１１に紫外線や赤外線を照射しながら、同時に接眼レンズ１７を通してワーク１１を観察する場合に、有害な紫外線や赤外線がＵＶ／ＩＲカットフィルタ５４ａによって吸収され、観察者の眼には入らない。このため、光硬化樹脂５８を硬化させるときにも、安全にワーク１１を観察することができる。また、ワーク１１に紫外線や赤外線を照射しながら、撮像装置２６を通してワーク１１を観察する場合に、ＵＶ／ＩＲカットフィルタ５４ｂによって紫外線や赤外線は吸収され、接眼レンズ１７を通して観察する場合と同様に、可視光の成分によりワーク１１を観察することができる。
【００４８】
また、顕微鏡１０は、観察用の可視光を対物レンズ１８を介してワーク１１に落射する。このため、ワーク１１に厚みがある場合であっても、観察する像には、フィルタ部材５７等の陰影は生じないので、フィルタ部材５７を指定位置６３により正確に位置合わせすることができる。
【００４９】
なお、上述の実施形態では、指定位置６３に対してフィルタ部材５７を位置合わせする例を説明したが、基板５６やフィルタ部材５７に位置合わせ用のマーカーを予め設けておき、このマーカーを基準に位置合わせすることが好ましい。これは、以下に説明する変形例の場合も同様である。
【００５０】
なお、上述の実施形態では、光硬化樹脂５８を硬化させて基板５６にフィルタ部材５７を一体化させるときに、指定位置６３の全体が視野６４に収まるように視野６４の範囲を調節した後、フィルタ部材５７及び指定位置６３の全体に紫外線を照射する例を説明したが、光硬化樹脂５８を硬化させときの様態はこの例に限らない。
【００５１】
例えば、図５（Ａ）に示すように、まず、上述の実施形態と同様にして光硬化樹脂５８を介してフィルタ部材５７を指定位置６３に配置する。そして、上述の実施形態ではフィルタ部材５７及び指定位置６３の全体が視野６４に収まるように観察するが、ここでは、図５（Ｂ）に示すように、フィルタ部材５７及び指定位置６３のひとつの角ａを拡大して観察する。このとき、光源切替ダイヤル３２を操作して、視野６４の範囲内に観察用の可視光と同時に紫外線を照射する。こうして照射する紫外線は、視野６４の範囲内に限って照射される。したがって、フィルタ部材５７及び指定位置６３の全体ではなく、視野６４の範囲にある角ａ近傍の光硬化樹脂５８だけが硬化される。その後、フィルタ部材５７及び指定位置６３の他の角ｂ〜ｄについても同様に、拡大して観察しながら紫外線を照射し、各角ｂ〜ｄの近傍の光硬化樹脂５８を硬化させる。
【００５２】
すると、図５（Ｃ）及び図５（Ｄ）に示すように、各角ａ〜ｄ近傍の硬化した光硬化樹脂６６ａ〜６６ｄによって、フィルタ部材５７は、指定位置６３に位置決めされた状態で基板５６に仮固定される。このとき、フィルタ部材５７及び指定位置６３の中央部分等には、硬化されていない光硬化樹脂５８が残されている。このため、上述のようにフィルタ部材５７を基板５６に仮固定した後には、前述の実施形態と同様に、フィルタ部材５７及び指定位置６３の全体が視野６４に収まるように観察しながら、紫外線を照射し、光硬化樹脂５８の全体を硬化させ、フィルタ部材５７と基板５６を一体化する（図４Ｄ参照）。
【００５３】
上述のように、まず、指定位置６３内の光硬化樹脂５８のうちいくつかの箇所を部分的に硬化させて、フィルタ部材５７を基板５６に仮固定した後、光硬化樹脂５８の全体を硬化させることによりフィルタ部材５７と基板５６を一体化すると、光硬化樹脂５８の硬化に伴う収縮によるフィルタ部材５７の位置ズレを容易に抑制することができ、歩留まりがさらに向上する。
【００５４】
なお、上述の変形例では、フィルタ部材５７を基板５６に仮固定した後、フィルタ部材５７と基板５６を完全に一体化するときに、顕微鏡１０を用いる例を説明したが、これに限らない。フィルタ部材５７を基板５６に仮固定した後であれば、ワーク１１を移動させてもフィルタ部材５７を指定位置６３に精密に固着させることができるので、フィルタ部材５７及び指定位置６３を含むワーク１１の全体に紫外線や赤外線を照射する専用装置を用いて、フィルタ部材５７と基板５６を完全に一体化させるようにしても良い。
【００５５】
なお、上述の変形例では、フィルタ部材５７と基板５６の完全な一体化に先立って、フィルタ部材５７及び指定位置６３の角ａ〜ｄの近傍の光硬化樹脂５８を硬化させてフィルタ部材５７を基板５６に仮固定するが、仮固定のために部分的に光硬化樹脂５８を硬化させる位置はこの例に限らない。例えば、フィルタ部材５７及び指定位置６３の辺の中央や、位置合わせ用のマーカーを予め設けている場合にはマーカーの位置等、任意の位置でフィルタ部材５７を基板５６に仮固定して良い。また、上述の変形例では、角ａ〜ｄ近傍の４箇所の光硬化樹脂５８を硬化させることによりフィルタ部材５７を基板５６に仮固定するが、仮固定のために、フィルタ部材５７と基板５６の完全な一体化に先立って硬化させる部分の数は、４箇所に限らず、任意の数の箇所をもってフィルタ部材５７を基板５６に仮固定して良い。但し、フィルタ部材５７の位置ズレを特に抑えるためには２以上の箇所を仮固定することが好ましく、フィルタ部材５７が傾斜して基板５６に固定されてしまうことを防ぐためには、３以上の箇所を仮固定することが好ましい。
【００５６】
また、上述のように、フィルタ部材５７を基板５６に仮固定するときに、仮固定のために硬化する光硬化樹脂５８の範囲（光硬化樹脂６６ａ〜６６ｄの大きさ）は、観察倍率と視野６４に入れるフィルタ部材５７及び指定位置６３の大きさで調節することができる。
【００５７】
なお、上述の実施形態では、ワーク１１に照射する光の種類を光源切替ダイヤル３２によって切り替えるが、光源切替ダイヤル３２の操作は、顕微鏡１０の使用者によって行われるため、顕微鏡１０の使用者毎の技量に応じて紫外線や赤外線の照射時間に使用者毎にばらつきが生じることがある。このような、顕微鏡１０の使用者に応じたばらつきを低減し、安定してワーク１１を製造するためには、紫外線や赤外線の照射時間を一定にする機構を設けることが好ましい。例えば、図６（Ａ）に示す光源ユニット７１のように、光源ユニット７１にタイマー７２を設ける。タイマー７２は、ワーク１１の様態等に応じた紫外線（または赤外線）の照射時間が入力される。また、タイマー７２は、スイッチＳＷｂ及びスイッチＳＷｃに接続されており、スイッチＳＷｂ，スイッチＳＷｃがオンにされてからの経過時間を計測する。そして、タイマー７２は、スイッチＳＷｂ，ＳＷｃがオンにされてからの経過時間が、予め入力された紫外線（及び赤外線）の照射時間に到達したときに、スイッチＳＷｂ，ＳＷｃを強制的にオフにする。こうしてタイマー７２を設けると、顕微鏡１０の使用者は、上述の実施形態や変形例のように光源切替ダイヤル３２を操作することにより、使用者の技量等によらず、予め設定した一定の照射時間だけ、ワーク１１に紫外線，赤外線を照射することができる。また、紫外線，赤外線を照射したまま観察倍率を切り替え、意図しないタイミングでワーク１１に紫外線，赤外線が照射されてしまうことを防ぐことができる。なお、タイマー７２は、紫外線の照射時間と赤外線の照射時間とを各々個別に設定可能に設けることが好ましい。
【００５８】
また、上述の実施形態では、ワーク１１に照射する光の種類を光源切替ダイヤル３２によって切り替えるが、紫外線や赤外線を照射しているか否かは報知されない。このため、光源切替ダイヤル３２の操作を誤り、紫外線や赤外線を照射されていなかったり、紫外線や赤外線を照射したまま観察倍率を切り替えてしまう等の人為的なミスが生じることがある。このため、紫外線や赤外線をワーク１１に照射するときには、これを顕微鏡１０の使用者に対して報知することが好ましい。例えば、図６（Ｂ）に示す光源ユニット７６のように、光源ユニット７６に検知部７７、スピーカ７８を設ける。検知部７７は、スイッチＳＷｂ及びスイッチＳＷｃに接続され、これらのオン，オフの状態を監視する。そして、検知部７７は、スイッチＳＷｂ及びスイッチＳＷｃがオンになっている間、スピーカ７８によって所定の報知音を鳴らし、紫外線及び赤外線の照射を報知する。こうして紫外線及び赤外線の照射を、顕微鏡１０の使用者に対して報知することで、前述のような人為的なミスを防ぎ、ワーク１１をより安定して製造することができるようになる。なお、ワーク１１に照射する光が紫外線であるか赤外線であるかを判別できるようにするために、紫外線の照射時と赤外線の照射時とで互いに異なる報知音を用いることがより好ましい。また、ここでは報知音によって紫外線や赤外線の照射を音によって報知する例を説明したが、報知用のＬＥＤ等を設けておき、このＬＥＤの点灯や点滅、色によって照射する光の種類を報知しても良い。また、撮像装置２６を通してワーク１１を観察しているときには、ワーク１１を映し出すモニタ（図示しない）上に、文字や記号等を用いて紫外線，赤外線の照射を報知しても良い。
【００５９】
なお、上述の実施形態では、光源ユニット１６は、顕微鏡１０の骨格部分である鏡筒１２、鏡柱１３、鏡台１４とは別個に設けられている例を説明したが、これに限らず、光源ユニット１６は鏡柱１３等と一体に設けても良い。
【００６０】
なお、上述の実施形態では、ワーク１１として、フィルタ部材５７を基板５６の指定位置６３に、光硬化樹脂５８を用いて接着させる例を説明したが、ワーク１１の様態はこれに限らない。例えば、ワーク１１は光硬化樹脂５８を用いて２つの部材を接着するものであれば、上述の実施形態及び変形例の顕微鏡１０を好適に用いることができる。このため、上述の実施形態及び変形例では、基板５６が不透明であるものとしたが、顕微鏡１０で観察することができれば基板５６は透明でも良い。また、基板５６やフィルタ部材５７の具体的な様態は任意であり、基板５６は撮像素子が形成された基板でなくても良く、フィルタ部材５７は撮像素子用のカバーガラスや光学フィルタでなくても良い。
【００６１】
また、上述の実施形態では、対物レンズ１８を介してワーク１１に光を落射する顕微鏡１０の例を説明したが、ワーク１１の全体が透明な場合には、顕微鏡１０をワーク１１の背面から表面に向けて可視光、紫外線、赤外線を照射する構成としても良い。
【００６２】
なお、上述の実施形態では、光学系４１にビームスプリッタ５１を用いる例を説明したが、ビームスプリッタ５１の替わりに同様の性質を有するハーフミラーを用いても良い。また、上述の実施形態では、半透膜５５が５０％の光を反射，透過する例を説明したが、これに限らず、半透膜５５の光学的性質は任意に定めることができる。
【００６３】
なお、上述の実施形態では、ＵＶ／ＩＲカットフィルタ５４ａ，５４ｂは、紫外線及び赤外線を吸収する例を説明したが、ＵＶ／ＩＲカットフィルタ５４ａ，５４ｂは、紫外線及び赤外線を遮光するものであれば良い。このため、ＵＶ／ＩＲカットフィルタ５４ａ，５４ｂは、紫外線及び赤外線を反射するものであっても良い。また、ＵＶ／ＩＲカットフィルタ５４ａ，５４ｂは、紫外線と赤外線をともに遮光する部材であるが、これに限らず、紫外線を遮光するフィルタと赤外線を遮光するフィルタとを組み合わせたものであっても良い。
【００６４】
なお、上述の実施形態では、接眼レンズ１７が一つ設けられた単眼の顕微鏡１０の例を説明したが、これに限らず、顕微鏡１０は、両眼で観察できるように接眼レンズ１７を２つ並べて設けた双眼の顕微鏡としても良い。
【００６５】
なお、上述の実施形態では、光硬化樹脂５８を硬化させるときに、紫外線（赤外線）を可視光とともにワーク１１に照射する例を説明したが、これに限らず、可視光で観察しながらフィルタ部材５７を指定位置６３に位置合わせした後、紫外線（赤外線）だけをワーク１１に照射しても良い。
【符号の説明】
【００６６】
１０  顕微鏡
１１  ワーク
１２  鏡筒
１３  鏡柱
１４  鏡台
１６，７１，７６  光源ユニット
１７  接眼レンズ
１８，１８ａ〜１８ｃ  対物レンズ
１９  直筒
２１  光路切替つまみ
２２ａ，２２ｂ  絞り調節ダイヤル
２３  ステージ
２４  焦点ハンドル
２６  撮像装置
２７  レボルバ
２８  ステージハンドル
３１  光ファイバ
３２  光源切替ダイヤル
３３，３３ａ〜３３ｃ  光量調節ダイヤル
４１  光学系
４２，４３，５２  レンズ
４６  開口絞り
４７  視野絞り
５１  ビームスプリッタ
５３  全反射プリズム
５４ａ，５４ｂ  ＵＶ／ＩＲカットフィルタ
５５  半透膜
５６  基板
５７  フィルタ部材
５８  光硬化樹脂
５９  クレンメル
６１  可視光源
６２  紫外光源
６３  赤外光源
６３  指定位置
６４  視野
【図１】
2011107326.tif 000003
【図２】
2011107326.tif 000004
【図３】
2011107326.tif 000005
【図４】
2011107326.tif 000006
【図５】
2011107326.tif 000007
【図６】
2011107326.tif 000008