(57)【要約】【課題】複数のノズルを有するインク圧力室を有するインクジェットヘッドであって、当該複数のノズルから吐出される各インク液滴の量が均一化されたインクジェットヘッドを提供することを目的とする。当該インクジェットヘッドを用いて、均一な膜厚を有する塗布膜を形成する。【解決手段】複数のノズルを有するインク圧力室と、前記インク圧力室に供給されるインクが流れる供給流路と、前記インク圧力室から排出されるインクが流れる排出流路と、前記インク圧力室内のインクに圧力を加えるピエゾ素子と、を有する液滴吐出ヘッドであって、前記インク圧力室が有する複数のノズルのすべての径は同一ではなく、前記ピエゾ素子により加えられるインク圧力が大きい領域のノズルの径は、他のノズルの径よりも小さいか、または前記ピエゾ素子により加えられるインク圧力が小さい領域のノズルの径は、他のノズルの径よりも大きい、液滴吐出ヘッド。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク液滴を吐出するための複数のノズルを有するインク圧力室と、前記インク圧力室に供給されるインクが流れる供給流路と、前記インク圧力室から排出されるインクが流れる排出流路と、前記インク圧力室内のインクに圧力を加えるピエゾ素子と、を有する液滴吐出ヘッドであって、
前記インク圧力室が有する複数のノズルのすべての口径は同一ではなく、
前記ピエゾ素子により加えられるインク圧力が大きい領域のノズルの口径は、他のノズルの口径よりも小さいか、または前記ピエゾ素子により加えられるインク圧力が小さい領域のノズルの口径は、他のノズルの口径よりも大きい、液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記ピエゾ素子は、前記複数のノズルの配置面に向かって伸縮する面を有し、かつ前記伸縮する面の伸縮量には分布があり、
前記ピエゾ素子の伸縮する面のうち、伸縮量が最大の部位に最も近いノズルの口径は、他のノズルの口径よりも小さい、請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記ピエゾ素子は、前記複数のノズルの配置面に向かって伸縮する面を有さず、
前記複数のノズルのうち、前記排出流路に最も近いノズルの径は、他のノズルの径よりも大きい、請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを具備する液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッド、およびそれを具備する液滴吐出装置、典型的にはインクジェット装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット装置のインクジェットヘッドは、インク供給源からインクを供給されるインク供給流路と；インク供給流路に連通し、かつノズルを有する複数のインク圧力室と；インク圧力室のそれぞれに配置されたアクチュエーター（例えばピエゾ素子）とを有することがある。アクチュエータがインク圧力室内のインクに圧力を与えることで、ノズルからインクが液滴として吐出される。
【０００３】
また、インクジェットヘッドには、インクを循環させるタイプと、循環させないタイプとがある。インクを循環させるタイプのインクジェットヘッドは、インク圧力室に連通するインク排出流路を有する。インク供給流路からインク圧力室に供給されたインクの一部はノズルから吐出されるが、残部はインク排出流路に排出されて、インク供給源に回収される（特許文献１を参照）。インクを循環させるタイプのインクジェットヘッドでは、インクへのエアー混入やノズルつまりを低減させることができる。
【０００４】
また、１つのインク圧力室が有するノズルの数は、通常は１つであるが、複数にすることも提案されている（例えば、特許文献２を参照）。具体的には図６に示されるように、インク供給流路１９と；インク圧力室１８と；圧電素子１５とピストン１６とからなる１つの圧力発生器１２と；ノズルプレート１３に形成された複数のノズル２０とを有するインクジェットヘッド１が提案されている。１つのインク圧力室に複数のノズルを配置すれば、ノズルの数に対してアクチュエータの数を減らすことができるので、製造コストを低減することができる、とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００８−２５４１９６号公報
【特許文献２】特開２０００−１７７１２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、インクジェット装置を用いて、より膜厚均一性の高い塗布膜を形成しようとする試みがなされている。例えば、有機ＥＬディスプレイパネルの有機機能層をインクジェット装置で形成する試みがなされている。膜厚均一性の高い塗布膜を形成するには、インクジェットヘッドから吐出されるインク液滴の着弾密度を高める必要がある。インク液滴の着弾密度が低いと、着弾したインク液敵同士が結合してレベリングされた膜となる前にインクの溶媒が乾燥してしまうため、膜厚均一性の高い塗布膜が得られない。特に、インクの粘度が高かったり、インク中の溶質濃度が高かったり、インクに含まれる溶媒の揮発性が高かったりすると、塗布膜の膜厚均一性が低下しやすい。
【０００７】
インク液滴の着弾密度を高めるには、インクジェットヘッドのノズルの配置密度を高めること、つまりノズル同士の間隔を狭める必要がある。ノズル同士の間隔を狭めるには、インクジェットヘッドにおけるインク圧力室の配置密度を高めることが考えられるが、インクジェットヘッドに配置できるインク圧力室の個数には制限がある。そこで、各インク圧力室に複数のノズルを配置して、ノズルの配置密度を高めることが考えられる。
【０００８】
しかしながら、インク圧力室に複数のノズルを配置すると、各ノズルから吐出されるインク液滴の量が不均一になる場合があった。インク液滴の量が不均一になると、インク液滴の着弾密度を高めても、塗布膜の膜厚均一性を十分に高めることはできない。
【０００９】
そこで本発明は、複数のノズルを有するインク圧力室を有する液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッドなど）であって、当該複数のノズルから吐出される各インク液滴の量が均一化された液滴吐出ヘッドを提供することを目的とする。そして、それを具備する液滴吐出装置を用いることで、膜厚均一性の高い塗布膜を形成することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者は、液滴吐出ヘッドのインク圧力室に配置された複数のノズルから吐出されたインク液滴の量が不均一になる原因は、インク圧力室に配置されたアクチュエータによる圧力が、インク圧力室内のインクに均一に印加されないためであることに着目した。そこで、アクチュエータによる圧力が印加されやすい領域にあるノズルの口径を、他のノズルの口径よりも小さくするか、あるいはアクチュエータによる圧力が印加されにくい領域にあるノズルの口径を、他のノズルの口径よりも大きくした。それにより、各ノズルから吐出されるインク液滴の量を均一にした。すなわち本発明は、以下に示す液滴吐出ヘッド、およびそれを具備する液滴吐出装置に関する。
【００１１】
［１］インク液滴を吐出するための複数のノズルを有するインク圧力室と、前記インク圧力室に供給されるインクが流れる供給流路と、前記インク圧力室から排出されるインクが流れる排出流路と、前記インク圧力室内のインクに圧力を加えるピエゾ素子と、を有する液滴吐出ヘッドであって、
前記インク圧力室が有する複数のノズルのすべての口径は同一ではなく、前記ピエゾ素子により加えられるインク圧力が大きい領域のノズルの口径は、他のノズルの口径よりも小さいか、または前記ピエゾ素子により加えられるインク圧力が小さい領域のノズルの口径は、他のノズルの口径よりも大きい、液滴吐出ヘッド。
［２］前記ピエゾ素子は、前記複数のノズルの配置面に向かって伸縮する面を有し、かつ前記伸縮する面の伸縮量には分布があり、
前記ピエゾ素子の伸縮する面のうち、伸縮量が最大の部位に最も近いノズルの口径は、他のノズルの口径よりも小さい、［１］に記載の液滴吐出ヘッド。
［３］前記ピエゾ素子は、前記複数のノズルの配置面に向かって伸縮する面を有さず、前記複数のノズルのうち、前記排出流路に最も近いノズルの径は、他のノズルの径よりも大きい、［１］に記載の液滴吐出ヘッド。
［４］前記［１］〜［３］のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを具備する液滴吐出装置。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の液滴吐出ヘッド（典型的にはインクジェットヘッド）を具備する液滴吐出装置を用いることで、膜厚均一性の高い塗布膜を形成することができる。特に本発明の効果は、高粘度のインクであったり、高濃度のインクであったり、揮発性の高い溶媒を含むインクを吐出させる場合に有効に奏される。したがって、本発明の液滴吐出装置は、有機ＥＬディスプレイパネルの有機機能層（有機発光層など）の形成などに有効に用いられる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】循環式の液滴吐出装置を模式的に示す図である。
【図２】本発明の実施の形態１の液滴吐出装置を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態１の液滴吐出装置を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態２の液滴吐出装置を示す図である。
【図５】ピエゾ素子の可動端面の変位量分布を示すグラフ（図５Ａ）と、変位量と発生圧力の関係を示すグラフ（図５Ｂ）と、ノズル口径と吐出圧力との関係を示すグラフ（図５Ｃ）である。
【図６】複数のノズルを有するインク圧力室を具備する従来のインクジェットヘッドの例である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
液滴吐出ヘッドについて
本発明の液滴吐出ヘッドは、ノズルを配置されたインク圧力室と、インク供給流路と、インク排出流路と、ピエゾ素子とを有する。インク供給流路からインク圧力室へインクが供給され、供給されたインクの一部はノズルから吐出され、残部はインク排出流路に排出される。このように、本発明の液滴吐出ヘッドは、インクが循環するタイプの、いわゆる循環型の液滴吐出ヘッドである。インク供給流路およびインク排出流路には、複数のインク圧力室が並列に連通していることが好ましい。
【００１５】
インク圧力室に配置されたピエゾ素子は、伸縮することでインク圧力室の容積を変化させ、インク圧力室内のインクに圧力を加えることができる。ピエゾ素子とは、電圧が加えられると収縮する素子である。ピエゾ素子は、薄膜ピエゾ素子とバルクピエゾ素子とに分類されうる。本発明のインクジェットヘッドに含まれるピエゾ素子は、そのいずれでもよいが、高粘度のインクを吐出する場合には、バルクピエゾ素子を用いることが好ましい。バルクピエゾ素子による吐出力は、薄膜ピエゾ素子による吐出力よりも大きいからである。インク圧力室に配置されるピエゾ素子の数は、１つであっても２つ以上であってもよい。
【００１６】
インク供給流路からインク圧力室に供給されたインクは、ピエゾ素子の伸縮による圧力を受けて、その一部がノズルを通って吐出される。吐出されないインクは、インク排出流路に排出される。
【００１７】
図１は、循環型の液滴吐出ヘッドを模式的に示す図である。図１に示される液滴吐出ヘッド１０は、インク供給流路１００と、インク排出流路１１０と、複数のインク圧力室１２０（１２０Ａ〜１２０Ｃ）とを有する。インク供給流路１００から、各接続流路１６０を通って各インク圧力室１２０に、インクが供給される。各インク圧力室１２０から、各接続流路１７０を通ってインク排出流路１１０に、インクが排出される。
【００１８】
各インク圧力室１２０には、ノズル１４０（１４０Ａ〜Ｃ）と、ピエゾ素子１３０（１３０Ａ〜Ｃ）とが配置される。本発明の液滴吐出ヘッド１０は、各インク圧力室１２０に配置されたノズル１４０の数が複数であること、およびピエゾ素子１３０の配置態様に応じて、複数のノズル１４０の口径が異なること、とを特徴とする。
【００１９】
前記の通り、本発明の液滴吐出ヘッドのインク圧力室には、複数のノズルが配置されている。通常、１つのインク圧力室に配置されるノズルの個数は２〜１００個であるが、特に限定されるわけではない。各インク圧力室に、一つのノズルを設けた場合と比較して、複数のノズルを設けた場合にはノズル同士の間隔を短くすることができる。つまり、塗布面へのインク液滴の着弾密度を上げることができる。インク液滴の着弾密度を上げることができれば、塗布面に均一な塗布膜を成膜しやすくなる。
【００２０】
つまり、塗布面へのインク液滴の着弾密度が低いと、着弾したインク液滴同士がレベリングして均一な塗布膜となるために必要とされる時間が長くなる。そのため、レベリングされる前にインク中の溶媒が揮発してしまい、均一な塗布膜が得られない。一方で、塗布面へのインク液滴の着弾密度が高いと、着弾したインク液滴同士がレベリングして均一な塗布膜となるために必要とされる時間が短いため、インク中の溶媒が揮発する前にレベリングが実現され、均一な塗布膜が得られる。
【００２１】
このように、本発明の液滴吐出ヘッドは、インクの溶媒が比較的乾燥しやすい溶媒であっても、均一な塗布膜を成膜することができる。比較的乾燥しやすい溶媒は、比較的低粘度であることが多い。そのため本発明の液滴吐出ヘッドのインクは、溶質の濃度が高かったり、溶質の粘度が高かったりしても、溶媒により低粘度化させやすい。
【００２２】
以上のように、各インク圧力室に複数のノズルを配置すると、インク液滴の着弾密度が高く、それにより均一な塗布膜が形成されうる。ところが、インク液滴の着弾密度が高くても、各ノズルから吐出されるインク液滴の容量にばらつきがあると、均一な塗布膜を形成しにくい。インク圧力室に供給されたインクは、ピエゾ素子の伸縮によって圧力を受けて、各ノズルから液滴として吐出される。インク圧力室内のインク全体が均一の圧力を受けるのであれば、各ノズルの口径を一定にすることで、各ノズルから吐出されるインク液滴の量を一定にすることができるはずである。ところが、インク圧力室に複数のノズルを設けて、それら複数のノズルの口径を一定にすると、吐出されるインク液滴にばらつきが生じることがわかった。
【００２３】
その原因は、ピエゾ素子の伸縮による圧力が、インク圧力室内のインクに均一に伝わらないためであることが見いだされた（詳細は後述する）。つまり、インク圧力室内のインクには不均一の圧力が加わるので、各ノズルの近傍のインクに加わる圧力も異なる。そのため、インク圧力室に配置された複数のノズルの口径が互いに同じであると、ノズルから吐出されるインク液滴の容量が同一でなくなる。
【００２４】
そこで本発明は、主にインクジェットヘッドのインク圧力室におけるピエゾ素子の配置態様に応じて、複数のノズルの径を互いに相違させていることを特徴とする。つまり、インク圧力室内のインクのうち、ピエゾ素子の伸縮による圧力を受けやすいインクを吐出するノズルの径を小さくし；ピエゾ素子の伸縮による圧力を受けにくいインクを吐出するノズルの径を大きくすることで、各ノズルから吐出されるインク液滴の容量を一定にする。
【００２５】
インク圧力室のノズルの口径は、吐出したいインク液滴の容量などに応じて適宜設定されるが、通常は１０〜１００μｍの範囲内に設定されうる。インク圧力室に配置される複数のノズルのうち、最大の口径を有するノズルの口径は、最小の口径を有するノズルの口径の１．２倍以上であることが好ましい。
【００２６】
以下において、インク圧力室に配置される複数のノズルの口径の設定について、具体的に説明する。
【００２７】
［実施の形態１］
インク圧力室内のインクに不均一の圧力が加わる第一の原因は、ピエゾ素子の伸縮部位が、一定に伸縮せずに分布（ばらつき）を有するからである。つまり、ピエゾ素子は、可動端と称される端面（可動端面ともいう）を伸縮させるが、可動端面全体が均一に伸縮するのではなく、伸縮量に分布を有する。
【００２８】
図５Ａには、ピエゾ素子の可動端面の変位量分布が示される。図５ＡのグラフのＸ軸はピエゾ素子の可動端面における位置を示す。ここで、ピエゾ素子の可動端面の直径は１５００μｍとする。Ｘ軸の０μｍおよび１５００μｍの近傍が可動端面の端部にあたる。グラフのＹ軸は、ピエゾ素子の可動端面の変位率を表す。変位率とは、ピエゾ素子の可動端面の伸縮量の最大値に対する、伸縮量の割合を意味する。図５Ａに示されるように、可動端面の中央部の伸縮量に対して、可動端面の端部の伸縮量が少ないことわかる。ピエゾ素子の構造によっては、必ずしも可動端面の中央部の伸縮量が大きくなり、端部が小さくなるわけではないが、いずれにしても、可動端面全体を均一に伸縮させることは困難である。
【００２９】
図５Ｂには、ピエゾ素子の可動端面の変位（伸縮）量（Ｘ軸）と、それにより生じる圧力（Ｙ軸）との関係を示すグラフである。変位量が大きいほど、生じる圧力が高まることがわかる。そのため、可動端面のうち、変位量が大きい可動端面による圧力を受けやすい領域にあるノズルからは、インクが吐出しやすく、吐出されるインク液滴の容量も大きくなりやすい。一方で、伸縮量が小さい可動端面による圧力を受けやすい領域にあるノズルからは、インクが吐出しにくく、吐出されるインク液滴の容量も小さくなりやすい。そのため、各インク圧力室に配置される複数のノズルの口径が一定であると、ノズルの配置位置によってノズルから吐出されるインク液滴の容量が異なる。
【００３０】
図５Ｃには、ノズルの口径（Ｘ軸）と、一定量のインクの吐出に必要とされる圧力（Ｙ軸）との関係を示すグラフである。図５Ｃに示されるように、ノズル口径が小さいと、一定量のインクを吐出させるために必要とされる圧力が高いことがわかる。
【００３１】
そこで、本発明の第一の形態の液滴吐出ヘッドでは、インク圧力室に配置されたピエゾ素子が、複数のノズルの配置面に向かって伸縮する面（可動端面）を有しており、かつピエゾ素子の伸縮する面（可動端面）のうち、伸縮量が最大の部位に最も近いノズルの口径が、他のノズルの口径よりも小さい。つまり、可動端面のうち、ピエゾ素子の伸縮量が最大の部位に最も近いノズルの近傍のインクは、最も大きい圧力を受けやすいので、そのノズル径を小さくすることで液滴として吐出されるインク容量を抑制する。
【００３２】
図２Ａおよび図２Ｂには、本発明の実施の形態１の液滴吐出ヘッド１０-１が模式的に示される。図２Ａは、液滴吐出ヘッド１０-１の断面図であり；図２Ｂは、液滴吐出ヘッド１０-１の透視上面図である。図２Ａの液滴吐出ヘッド１０-１は、インク供給流路１００と、インク圧力室１２０と、インク排出流路１１０とを有する。液滴吐出ヘッド１０-１は、図１に示される液滴吐出ヘッド１０と同様に、インク供給流路１００とインク排出流路１１０とに並列して連通している複数のインク圧力室１２０を有する。図２Ａにおける点線の矢印は、インクの流れを示す。
【００３３】
インク圧力室１２０にはピエゾ素子１３０が配置され、また複数のノズル１４０（１４０-１〜１４０-３）が形成されている。ピエゾ素子１３０の可動端面１３１は、ノズル１４０が形成されている面に向かって変位することができる。当該変位により圧力を受けたインクが、各ノズル１４０を通ってインク液滴２００（２００-１〜２００-３）として吐出され、基板３００の塗布面に着弾する。基板３００の塗布面となる領域は、バンク（隔壁）３１０によって規定されていてもよい。
【００３４】
前述の通り、ピエゾ素子の１３０の可動端面１３１は、均一に変位するわけではない。図２Ａに示されるように、例えば、可動端面１３１の中央部分の変位量が大きく、可動端面１３１の端部の変位量が小さくなる（実線矢印参照）。
【００３５】
そこで、図２Ａおよび図２Ｂに示されるように、可動端面１３１の中央部分に近いノズル１４０-２の口径を小さくし、可動端面１３１の端部に近いノズル１４０-１および１４０-３の口径を大きくしている。このようにして、吐出圧力が高い領域のノズル１４０-２の口径を小さくしたので、各ノズル１４０から吐出されるインク液滴２００の容量が均一化される。
【００３６】
図３Ａに示される液滴吐出ヘッド１０-２も、図２に示される液滴吐出ヘッド１０-１と同様に、ピエゾ素子１３０の可動端面１３１の中央部分に近いノズル１４０-２の口径を小さくし、可動端面１３１の端部に近いノズル１４０-１および１４０-３の口径を大きくしている。ただし、ノズル１４０-１および１４０-３のノズルの口径は、インク圧力室１２０の側から外部に向かって徐々に小さくなっている。そのため、ノズル１４０-１〜１４０-３の外部口径は互いに同一であり；ノズル１４０-２の内部口径（インク圧力室１２０側の口径）が、ノズル１４０-１および１４０-３の内部口径よりも小さい。
【００３７】
図３Ａに示されるように、各ノズル１４０の口径の内部口径のみ調整するだけであっても、各ノズル１４０から吐出されるインク液滴２００の容量が均一化されうる。
【００３８】
図３Ｂに示される液滴吐出ヘッド１０-３も、図２に示される液滴吐出ヘッド１０-１と同様に、ピエゾ素子１３０の可動端面１３１の中央部分に近いノズル１４０-２の口径を小さくし、可動端面１３１の端部に近いノズル１４０-１および１４０-３の口径を大きくしている。さらに、ノズル１４０-１および１４０-３のノズルを傾けることで、吐出されるインク液滴２００の容量を均一化するだけでなく、吐出されるインク液滴２００の吐出角度も調整することができる。
【００３９】
ピエゾ素子１３０の可動端面１３１が変位すると、可動端面１３１の中央部から端部へ向かう圧力が発生する（図３Ｂの波線矢印参照）。したがって、ノズル１４０-１およびノズル１４０-３からのインク液滴２００も、外側に向かって吐出しようとする。そこで、図３Ｂに示されるように、ノズル１４０-１およびノズル１４０-３の中心線を内側に傾かせている。それにより、外側に向かって吐出しようとするインク液滴２００の吐出方向を内側に修正する。
【００４０】
［実施の形態２］
液滴吐出ヘッドのインク圧力室内のインクに不均一の圧力が加わる第二の原因は、インク圧力室内でのインクの流れに起因する。つまり、インク圧力室の内部のうち、供給流路付近の領域や、排出流路付近の領域でのインクの流れは速くなる。そのため、供給流路付近や排出流路付近に配置したノズルの近傍のインクには、ピエゾ素子による圧力が伝わりにくい。そのため、ピエゾ素子が変位しても、ノズルから吐出するための圧力がインクに伝わりにくい。したがって、当該ノズルから吐出されるインク液滴の容量が少なくなる。
【００４１】
そこで、本発明の第二の形態の液滴吐出ヘッドでは、各インク圧力室に複数のノズルが配置されており、インク排出流路に最も近いノズルの径を、他のノズルよりも大きくする。それにより、ピエゾ素子による圧力が、ノズルから吐出するための力としてインクに伝わりにくい領域にあるインク（インク排出流路に近いインク）も吐出されやすくなり、各ノズルから吐出されるインク液滴の容量が均一化される。
【００４２】
図４には、本発明の実施の形態２の液滴吐出ヘッド１０-４が模式的に示される。図４に示される液滴吐出ヘッド１０-４は、インク供給流路１００と、インク排出流路１１０と、インク圧力室１２０と、を有する。液滴吐出ヘッド１０-４も、図１に示される液滴吐出ヘッド１０と同様に、複数のインク圧力室１２０が、インク供給流路１００とインク排出流路１１０とに連通している。点線の矢印は、インクの流れを示す。
【００４３】
インク圧力室１２０には、ピエゾ素子１３０が配置され、かつ複数のノズル１４０（１４０-１〜１４０-３）が形成されている。ピエゾ素子１３０の可動端面１３１は、変位によりインク圧力室１２０の内部のインクに圧力を加えることができるが、ノズル１４０が形成されている面に向かって変位する必要はない。
【００４４】
複数のノズル１４０のうち、ノズル１４０-１はインク排出流路１１０に最も近接している。ノズル１４０-１の近傍のインクには、インク排出流路１１０に排出する力が作用している。したがって、ピエゾ素子１３０の可動端面１３１の変位によりインク圧力室１２０の内部のインクに圧力がかかると、ノズル１４０-２やノズル１４０-３の近傍のインクには適切に吐出するための圧力が印加されるが、ノズル１４０-１の近傍のインクには、十分に吐出するための圧力が印加されにくい。
【００４５】
そこで、図４に示される液滴吐出ヘッドでは、ノズル１４０-１の口径を、ノズル１４０-２やノズル１４０-３の口径よりも大きくする。それにより、ノズル１４０-１からのインク液滴２００-１を吐出しやすくして、弱い吐出圧力でもインク液滴２００-１の容量を大きくする。それにより、各ノズル１４０から吐出される各インク液滴２００（２００-１〜２００-３）の容量が均一化される。
【００４６】
液滴吐出装置について
本発明の液滴吐出装置は、前述のインク吐出ヘッドを具備することを特徴とするが、それ以外は、従来の液滴吐出装置、つまりインクジェットヘッドなどと同様の構成をとりうる。例えば、液滴吐出ヘッドを固定する部材や、インクを塗布する対象物を載置して移動するための移動ステージなどを有する。
【００４７】
本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドのインクを循環させるためのインク循環装置を具備する。インクの循環はポンプなどの駆動圧力で行うが、供給圧力が一定になるように循環タンクを介して循環させることが好ましい。液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドのインクを、装置作動中に絶えず循環させてもよいし；断続的に循環させてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明の液滴吐出ヘッドを具備する液滴吐出装置を用いれば、インク液滴の着弾密度を高めつつ、各ノズルから吐出されるインク液滴の容量を均一にすることができるので、極めて膜厚均一性の高い塗布膜を形成することができる。そのため、本発明の液滴吐出装置は、例えば、高度な膜厚均一性が求められる有機発光ディスプレイの有機発光層を塗布形成するために有用である。
【符号の説明】
【００４９】
１  インクジェットヘッド
１２  圧力発生器
１３  ノズルプレート
１５  圧電素子
１６  ピストン
１８  インク圧力室
１９  インク供給流路
２０  ノズル
１０，１０-１〜１０-４  液滴吐出ヘッド
１００  インク供給流路
１１０  インク排出流路
１２０，１２０Ａ〜Ｃ  インク圧力室
１３０，１３０Ａ〜Ｃ  ピエゾ素子
１３１  可動端面
１４０，１４０Ａ〜Ｃ  ノズル
１６０，１６０Ａ〜Ｃ  接続流路
１７０，１７０Ａ〜Ｃ  接続流路
２００  インク液滴
３００  基板
３１０  バンク（隔壁）
【図１】
2011230410.tif 000003
【図２】
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【図３】
2011230410.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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