(57)【要約】【課題】ステージの移動方向の剛性を向上させる。【解決手段】位置決めステージにおいて、ステージ１の移動方向の位置検出点とステージ１が振動して姿勢変化したときにステージ１の位置が変動しない節の位置を合わせる。この位置を合わせるために、ステージ１の重量分布を調整するための第１の錘１１及び第２の錘１２を有している。そして、ステージ１の伝達特性の振動モードが０ｄＢに近づくように第１の錘１１及び第２の錘１２の調整量を決定する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガイドに沿って移動可能なステージと、
前記ステージを移動方向に駆動するアクチュエータと、
前記ステージの移動方向の位置を検出する位置検出部と、
前記ステージに設けられ、前記ステージの移動方向と直交方向に移動可能な第１の錘と、
前記ステージに設けられ、前記ステージの移動方向と平行方向に移動可能な第２の錘と、
前記第１の錘を前記直交方向に駆動する第１の錘駆動部と、
前記第２の錘を前記平行方向に駆動する第２の錘駆動部と、
前記各錘駆動部を動作させて前記各錘の位置を調整する制御装置と、を備え、
前記制御装置は、前記アクチュエータの駆動力を入力とし前記位置検出部の位置データを出力とした伝達特性を求め、前記伝達特性における前記ステージの姿勢変化の振動モードのゲインを０ｄＢに近づけるための前記各錘の位置の調整量を求めたことを特徴とする位置決めステージ。
【請求項２】
前記各錘は、前記ステージに形成された中空部に収容され、
前記各錘駆動部は、前記錘を付勢する付勢ばねと、前記中空部に液体を給排し、前記液体の圧力で前記付勢ばねの付勢力に抗して前記錘を移動させる液体給排部と、を有することを特徴とする請求項１に記載の位置決めステージ。
【請求項３】
前記各錘駆動部は、前記錘を移動させる送りねじと、前記送りねじを正逆回転させるモータと、を有することを特徴とする請求項１に記載の位置決めステージ。
【請求項４】
前記位置検出部は、前記ステージの両側端に設けられた一対の検出ヘッドと、前記一対の検出ヘッドのそれぞれに対向する一対のリニアスケールと、を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の位置決めステージ。
【請求項５】
前記ステージの上面に設けられ、前記ステージの重心分布を粗調整する取り外し可能な粗調整用錘を備えたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の位置決めステージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ステージの移動方向の剛性を向上させる位置決めステージに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
超精密加工機の形状精度、ワークの表面粗さ向上のため、ワークや治具が搭載されるステージのガイドに流体軸受を用い、ステージのアクチュエータにリニアモータを用いた、非接触ステージが知られている。非接触ステージは、ステージとの摩擦がなく、また、流体軸受の流体膜の平均化効果によりステージの運動精度が高精度である。ステージの位置決め制御は、ステージの位置を検出し、アクチュエータによる駆動を、位置検出部により検出した位置が目標位置になるように、常にフィードバック制御している。この種の位置決めステージとして、マグネットヨーク及び錘を有し、マグネットヨーク及び錘を移動させてステージの重心位置を調整し、ステージのヨーイング及びピッチングを抑えたものが提案されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００４−１５９０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来の技術は、ステージの傾きを調整する駆動方法であり、加工機の場合、ステージに加工外乱が入力されるので、ステージが振動する場合には、重心駆動だけでは不十分である。
【０００５】
具体的に説明すると、ステージの移動方向の剛性、つまり、外力（振動）によるステージの位置誤差と外力に応答するアクチュエータの力との関係は、移動方向にステージの支持機構がないため、ステージの位置決め制御の特性により決定される。外力は動的な振動であり、アクチュエータは外力が入力された直後に素早く適切な力の反力を生じる必要がある。すなわち、ステージの移動方向の剛性を上げるためには、ステージの位置決め制御の応答性を向上することが必要である。
【０００６】
ステージの位置決め制御の応答性の向上には、ステージの振動モード（固有振動数）が制約条件となる。振動モードと同じ周波数の外力が入力されると、ステージが共振してしまい、アクチュエータが応答できず、制御不可能となる。この状態を避けるために、振動モードを上げる必要がある。ステージの振動モードを上げるためには、ステージの軸受剛性を上げることが必要であるが、流体軸受においては限界がある。このため、ステージが振動的になり、移動方向の位置決め制御の応答性の向上が妨げられてしまう。その結果、移動方向の剛性を上げることができない。
【０００７】
さらに加工機では加工形態に応じてステージ上に多種多様な被加工物や治具を搭載させる必要がある。この被加工物や治具の重量変化によりステージの伝達特性が一様ではなく、加工形態により変化してしまうことも、この応答性を向上させる障害となっている。また、複数のアクチュエータにより、振動モードを制御で抑える方法も提案されているが、この方法は、機構が複雑かつ大型になるため、総合的な剛性が劣化する場合がある。この改善のために小型・軽量化等の新たな問題が発生する。
【０００８】
そこで、本発明は、ステージの移動方向の剛性を向上させることができる位置決めステージを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、ガイドに沿って移動可能なステージと、前記ステージを移動方向に駆動するアクチュエータと、前記ステージの移動方向の位置を検出する位置検出部と、前記ステージに設けられ、前記ステージの移動方向と直交方向に移動可能な第１の錘と、前記ステージに設けられ、前記ステージの移動方向と平行方向に移動可能な第２の錘と、前記第１の錘を前記直交方向に駆動する第１の錘駆動部と、前記第２の錘を前記平行方向に駆動する第２の錘駆動部と、前記各錘駆動部を動作させて前記各錘の位置を調整する制御装置と、を備え、前記制御装置は、前記アクチュエータの駆動力を入力とし前記位置検出部の位置データを出力とした伝達特性を求め、前記伝達特性における前記ステージの姿勢変化の振動モードのゲインを０ｄＢに近づけるための前記各錘の位置の調整量を求めたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、第１の錘及び第２の錘の位置を求めた調整量で調整することにより、位置検出部によるステージの位置検出点にステージの姿勢変化の節を一致させることが可能になる。これにより、位置検出部の検出結果においてステージの振動の影響が低減され、ステージの位置決め制御の応答特性が向上し、ステージの移動方向の剛性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の第１実施形態に係る位置決めステージの概略構成を示す説明図である。
【図２】ステージの内部の重量分布調整機構の説明図である。
【図３】第１の錘及び第２の錘の調整量を求める動作を示す説明図である。
【図４】第１の錘及び第２の錘の調整前と調整後の伝達特性を示す説明図である。
【図５】位置決めステージを適用した加工機を示す説明図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る位置決めステージのステージの内部の重量分布調整機構の説明図である。
【図７】本発明の第３実施形態に係る位置決めステージの概略構成を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明を実施するための形態を図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１３】
［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態に係る位置決めステージ１００の概略構成を示す説明図である。位置決めステージ１００は、ステージ１と、ベース２と、ステージ１を移動方向（矢印Ｘ方向）に駆動するアクチュエータ３と、ステージ１の移動方向の位置を検出する位置検出部４と、ステージ１を移動方向に案内するガイド５と、を備えている。ガイド５は、ステージ１の移動方向に延びる一対のガイド部材５Ａ，５Ａを有しており、所定の間隔で配置されている。ステージ１は、一対のガイド部材５Ａ，５Ａにより支持されて、一対のガイド部材５Ａ，５Ａに沿って水平方向に移動する。アクチュエータ３は、ステージ１の両側に配置された一対のリニアモータ３Ａ，３Ａであり、各リニアモータ３Ａ，３Ａは、ステージ１の両側端に設けられた可動子となる磁石部３ａと、ガイド部材５Ａに設けられた固定子となるコイル部３ｂとからなる。各ガイド部材５Ａ，５Ａは、ベース２に固設され、流体を噴出する不図示の流体軸受パッドを有している。これにより、ステージ１は、ガイド部材５Ａ，５Ａに非接触で案内される。位置検出部４は、ステージ１の両側端に設けられた一対の検出ヘッド４ａ，４ａ（一方は不図示）と、一対の検出ヘッド４ａ，４ａのそれぞれに対向する一対のリニアスケール４ｂ，４ｂと、からなる。具体的には、検出ヘッド４ａは、ステージ１の側端に固定された磁石部３ａに固定されている。また、位置決めステージ１００は、装置全体を制御する制御装置６（図２）を備えている。
【００１４】
ステージ１には、図２に示すように、ステージ１の重量分布を調整する重量分布調整機構１０が設けられている。重量分布調整機構１０は、ステージ１に設けられ、ステージ１の移動方向と直交方向（ステージ１の移動方向を含む水平面に対する垂直方向：矢印Ｚ方向）に移動可能な第１の錘１１を有している。重量分布調整機構１０は、ステージ１に設けられ、ステージ１の移動方向と平行方向（矢印Ｘ方向）に移動可能な第２の錘１２を有している。また、重量分布調整機構１０は、第１の錘１１を矢印Ｚ方向に駆動する第１の錘駆動部１３と、第２の錘１２を矢印Ｘ方向に駆動する第２の錘駆動部１４と、を有している。そして、制御装置６は、各錘駆動部１３，１４を動作させて各錘１１，１２の位置を調整する。第１の錘１１及び第２の錘１２は、円筒形状又は直方体形状に形成されている。
【００１５】
ステージ１は、図１に示すように、一対のガイド部材５Ａ，５Ａ上に突出し、上面が不図示のワークや治具が取り付けられる取り付け面である平板部１ａを有している。また、ステージ１は、平板部１ａの下方に突出し、一対のガイド部材５Ａ，５Ａに挟まれて配置され、第１の錘１１及び第２の錘１２を収容する収容部１ｂを有する。ステージ１の収容部１ｂには、図２に示すように、第１の錘１１が移動可能に収容される第１の中空部１ｃと、第２の錘１２が移動可能に収容される第２の中空部１ｄとが形成されている。各中空部１ｃ，１ｄは、図２に示すように、ステージ１の移動方向に対して中央に形成されている。
【００１６】
そして、第１の中空部１ｃ内には、第１の錘１１を矢印Ｚ方向に案内する第１の案内軸１５が設けられており、第１の錘１１は、第１の案内軸１５に沿って移動する。同様に、第２の中空部１ｄ内には、第２の錘１２を矢印Ｘ方向に案内する第２の案内軸１６が設けられており、第２の錘１２は、第２の案内軸１６に沿って移動する。
【００１７】
第１の錘駆動部１３は、第１の錘１１を付勢する第１の付勢ばねとしての第１の引張ばね２１を有している。また、第１の錘駆動部１３は、第１の中空部１ｃに液体給排口１７を介して液体を給排し、液体の圧力で第１の引張ばね２１の付勢力に抗して第１の錘１１を移動させる第１の液体給排部２２を有している。第１の錘１１の側面と、第１の中空部１ｃの側壁との間には、液体を封入するためのＯリング１８が設けられている。
【００１８】
第２の錘駆動部１４は、第２の錘１２を付勢する第２の付勢ばねとしての第２の引張ばね２３を有している。また、第２の錘駆動部１４は、第２の中空部１ｄに液体給排口１９を介して液体を給排し、液体の圧力で第２の引張ばね２３の付勢力に抗して第２の錘１２を移動させる第２の液体給排部２４を有している。第２の錘１２の側面と、第２の中空部１ｄの側壁との間には、液体を封入するためのＯリング２０が設けられている。これにより、各錘１１，１２は、給排された液体の圧力による発生力と、各引張ばね２１，２３による復元力とがつりあう位置に移動する。したがって、各液体給排部２２，２４による液体の給排量（圧力）を調整することで、錘１１，１２の位置を調整することができる。そして、第１の錘１１を移動させることで、ステージ１の重心が矢印Ｚ方向に移動し、第２の錘１２を移動させることで、ステージ１の重心が矢印Ｘ方向に移動する。
【００１９】
ところで、本第１実施形態の位置決めステージ１００の構成では、ステージ１が振動によりローリングの姿勢変化をしても、検出ヘッド４ａがリニアスケール４ｂに対して上下方向に移動するだけなので、検出ヘッド４ａの検出結果にローリングの影響を受けない。したがって、ステージ１のローリングの姿勢変化は位置検出部４に検出されないので、ローリングの姿勢変化の影響を無視することができる。さらに、ステージ１のヨーイングの姿勢変化に関しては、ステージ１を挟むように等間隔で配置された一対の検出ヘッド４ａ，４ａからの信号の平均値を求めることで、重心に検出点を置くことと同じとなり、ヨーイングの回転中心の位置を検出できる。そのため、ステージ１のヨーイングの振動モードを検出しないようにできる。しかし、ステージ１のピッチングの姿勢変化に関しては、姿勢変化により移動方向に検出点が移動してしまうので、振動しているステージ１が位置検出部４で検出されてしまい、また、ヨーイングの場合のように位置検出部４の信号を処理することもできない。ここで、ステージ１は剛体振動であり、ステージ１の姿勢変化の振動モード（姿勢変化モード）では振動の節がステージ１の重心にある。つまり、ステージ１が姿勢変化する際に、姿勢変化の変動しない節が存在する。
【００２０】
そこで、本第１実施形態では、位置検出部４の検出点をステージ１におけるピッチングの姿勢変化の節と一致させる調整を行う。各錘１１，１２の位置の調整は、制御装置６が各錘駆動部１３，１４の液体給排部２２，２４を動作させることで行う。
【００２１】
以下、具体的に説明すると、図３（ａ）に示すように、制御装置６は、制御・演算部６ａと、演算部６ｂとを有している。制御装置６の制御・演算部６ａは、ステージ１の位置データを入力し、ステージ１が目標位置となるようアクチュエータ３を動作させる。アクチュエータ３は、ステージ１を移動させ、位置検出部４は、ステージ１の位置データを出力する。
【００２２】
制御装置６の演算部６ｂは、アクチュエータ３の駆動力を入力とし位置検出部４の位置データを出力とした伝達特性を導出する。そして、演算部６ｂは、求めた伝達特性からステージ１の姿勢変化モードのゲインを導出する。ここで、伝達特性は、重量分布の条件を変化させて複数導出される。重量分布の条件は、第１の錘１１及び第２の錘１２の位置を変えることで変化させている。
【００２３】
本第１実施形態では、図３（ｂ）に示すように、重量分布を３つの条件に変化させて、それぞれの条件で伝達特性を導出している。つまり、演算部６ｂは、まず、第１の条件による伝達特性を導出し（Ｓ１）、次に、第２の条件による伝達特性を導出し（Ｓ２）、次に、第３の条件による伝達特性を導出する（Ｓ３）。次いで、演算部６ｂは、これら３つの伝達特性からそれぞれ姿勢変化モードのゲインを導出する（Ｓ４）。
【００２４】
図３（ｃ）には、３つの条件のゲインを示している。演算部６ｂは、導出した３つのゲインをカーブフィットすることでゲインが０ｄＢ（もしくは至近点）となる重量分布の条件を求め、第１の錘１１及び第２の錘１２の位置の調整量の最適値（目標量）を導出する。なお、本第１実施形態では、重量分布を３つの条件に変化させたが、これに限定するものではなく、重量分布を２以上（複数）の条件に変化させて、各条件で伝達特性を求めればよい。
【００２５】
このように、制御装置６は、アクチュエータ３の駆動力を入力とし位置検出部４の位置データを出力とした伝達特性を求め、伝達特性におけるステージ１の姿勢変化モードのゲインを０ｄＢに近づけるための各錘１１，１２の位置の調整量を求めている。ここで、各調整量は、各錘１１，１２の基準位置からの調整量である。そして、制御装置６は、各錘駆動部１３，１４の液体給排部２２，２４を動作させて第１の錘１１及び第２の錘１２の位置の調整を行うことで、重心位置を検出点に一致させることができる。
【００２６】
図４に各錘１１，１２の調整前と調整後の伝達特性を示す。調整前の初期状態では、図２に示す第１の錘１１が上下方向最上部の基準位置にあり、第２の錘１２が横方向中心部の基準位置にある。この状態においては位置検出部４の検出点とピッチング姿勢変化の節の位置は一致していないため、伝達特性を演算すると、ピッチングの振動モード（固有振動数）Ａでピークが生じる。そして、制御装置６は、求めた調整量で各錘１１，１２を基準位置から移動させ、ステージ１の重量分布を調整することで、ステージ１のピッチングの姿勢変化の節を位置検出部４の検出点に一致させている。
【００２７】
ステージ１におけるピッチングの姿勢変化の節と位置検出部４の検出点とを一致させた場合、ピッチングの姿勢変化（振動）は位置検出部４に検出されなくなる。そのため、伝達特性の演算結果上では、ピッチングの固有振動数でピークが生じない。つまり、位置決め制御の伝達特性には振動モードＡが現れない。これによりピッチングの振動モードＡでステージ１が発振しなくなるので、ステージ１の位置決め制御の応答特性が向上し、ステージ１の移動方向の剛性が向上する。
【００２８】
なお、ステージ１の変形モードが姿勢変化モードよりも低い周波数で生じてしまうと、伝達特性を向上させることが困難となるので、ステージ１の構造材は高い剛性を持つ形状が望ましい。これにより位置決めステージの変形モードが姿勢変化モードよりも低い周波数で生じることを予防できる。
【００２９】
図５には、位置決めステージ１００が正面旋削加工する加工機２００へ適用されている構成を示す。図５において、位置決めステージ１００は、加工機２００のＸＹステージに適用されている。Ｘステージ３１は上述したステージ１に対応し、一対のガイド部材５Ａ，５ＡがＹステージ３２に固定されている。Ｙステージ３２は、ベース３３に支持されている。また、位置検出部４の一対のリニアスケール４ｂ，４ｂは、Ｙステージ３２に配置されている。なお、Ｙステージ３２の矢印Ｘ方向に直交する矢印Ｙ方向の位置は、位置検出部４０により検出される。Ｘステージ３１上には、バイト台３４が固定され、バイト台３４には、バイト３５が保持されている。Ｚステージ３６は、Ｘ方向及びＹ方向に直交するＺ方向に移動可能に支持されており、Ｚステージ３６には、ワークＷを保持するスピンドル３７が設けられている。バイト３５のワークＷへの切り込み方向は、Ｘステージ３１の移動方向と同一である。
【００３０】
ワークＷを旋削加工する際には、バイト３５をワークＷに切り込ませるが、バイト台３４が固定されているＸステージ３１が振動する。したがって、ワークＷを加工する前に、上述したＸステージ３１の重量分布の調整を行うことにより、姿勢変化モードの周波数で発振しなくなり、より高い周波数で制御可能となり、バイト３５の切り込み方向（Ｘ方向）の剛性が向上する。したがって、ワークＷの表面粗さの高い加工が実現できる。
【００３１】
［第２実施形態］
次に、第２実施形態に係る位置決めステージについて説明する。なお、本第２実施形態において、上記第１実施形態と同一の構成については、同一符号を付して説明を省略する。図６には、重量分布調整機構１０Ａとして、上記第１実施形態とは別の構造を示す。重量分布調整機構１０Ａ、は、ステージ１に設けられ、ステージ１の移動方向と直交方向（矢印Ｚ方向）に移動可能な第１の錘１１Ａと、ステージ１に設けられ、ステージ１の移動方向と平行方向（矢印Ｘ方向）に移動可能な第２の錘１２Ａと、を有している。また、重量分布調整機構１０Ａは、第１の錘１１Ａを矢印Ｚ方向に駆動する第１の錘駆動部１３Ａと、第２の錘１２Ａを矢印Ｘ方向に駆動する第２の錘駆動部１４Ａと、を有している。そして、制御装置６Ａは、各錘駆動部１３Ａ，１４Ａを動作させて各錘１１Ａ，１２Ａの位置を調整する。第１の錘１１Ａ及び第２の錘１２Ａは、円筒形状又は直方体形状に形成されている。第１の錘１１Ａ及び第２の錘１２Ａの材質は高い密度を持つ超鋼などが望ましい。
【００３２】
ステージ１の収容部１ｂには、第１の錘１１Ａが移動可能に収容される第１の中空部１ｃと、第２の錘１２Ａが移動可能に収容される第２の中空部１ｄとが形成されている。各中空部１ｃ，１ｄは、ステージ１の移動方向（矢印Ｘ方向）に対して中央に形成されている。そして、第１の中空部１ｃ内には、第１の錘１１Ａを矢印Ｚ方向に案内する第１の案内軸１５Ａが設けられており、第１の錘１１Ａは、第１の案内軸１５Ａに沿って移動する。同様に、第２の中空部１ｄ内には、第２の錘１２Ａを矢印Ｘ方向に案内する第２の案内軸１６Ａが設けられており、第２の錘１２Ａは、第２の案内軸１６Ａに沿って移動する。なお、第１の案内軸１５Ａは、第１の錘１１Ａの回転止めとしても機能し、また、第２の案内軸１６Ａは、第２の錘１２Ａの回転止めとしても機能する。
【００３３】
第１の錘駆動部１３Ａは、第１の錘１１Ａの略中央に固定された第１のナット５１と、第１のナット５１に螺合し、第１の錘１１Ａを移動させる送りねじとしての第１の台形ねじ５２と、第１の台形ねじ５２を正逆回転させる第１の電動モータ５３とを有している。第２の錘駆動部１４Ａは、第２の錘１２Ａの略中央に固定された第２のナット５４と、第２のナット５４に螺合し、第２の錘１２Ａを移動させる送りねじとしての第２の台形ねじ５５と、第２の台形ねじ５５を正逆回転させる第２の電動モータ５６とを有している。
【００３４】
以上の構成により、制御装置６Ａが各電動モータ５３，５６を動作させることにより、各電動モータ５３，５６が各台形ねじ５２，５５を回転駆動し、各ナット５１，５４によって各錘１１Ａ，１２Ａが直動する。そして、制御装置６Ａは、各電動モータ５３，５６の回転角を調整することにより、各錘１１Ａ，１２Ａの位置を調整することが可能である。制御装置６Ａの演算処理は、上述した制御装置６と同様である。したがって、本第２実施形態では、位置検出部４の検出結果においてステージ１の振動の影響が低減され、ステージ１の位置決め制御の応答特性が向上し、ステージ１の移動方向の剛性が向上するという第１実施形態と同様の効果を奏する。
【００３５】
［第３実施形態］
次に、第３実施形態に係る位置決めステージについて説明する。なお、本第３実施形態において、上記第１又は上記第２実施形態と同一の構成については、同一符号を付して説明を省略する。図７には、上記第１実施形態又は上記第２実施形態の重量分布調整機構１０，１０Ａを内部に搭載したステージ１を示している。ステージ１の上面には、バイト３５を保持したバイト台３４が固定されている。本第３実施形態では、位置決めステージ１００Ｂは、ステージ１の上面に設けられ、ステージ１の重心分布を粗調整する取り外し可能な粗調整用錘６０を複数備えている。粗調整用錘６０は、ステージ１の上面におけるバイト台３４が搭載される箇所以外の箇所にねじ等で固定される。
【００３６】
そして、不図示の制御装置の演算部により伝達特性を求めた結果、治具（バイト台３４及びバイト３５）の重量が大きく、振動モードにおけるピークが重量分布調整機構では調整しきれない場合には、ユーザが錘６０の数、位置を調整する。そして、粗調整用錘６０の調整後、演算部により伝達特性を求め、次いで、第１の錘及び第２の錘の調整量を求める。このように、ステージ１の上面の粗調整用錘６０によって粗調整し、ステージ１の内部の第１の錘及び第２の錘で微調整することで、ステージ１に重量の大きいワーク又は治具を搭載した場合でも位置検出部の検出結果においてステージ１の振動の影響が低減される。したがって、ステージ１の位置決め制御の応答特性が向上し、ステージ１の移動方向の剛性が向上する。
【００３７】
なお、上記実施の形態に基づいて本発明を説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。上記第１〜第３実施形態では、ステージ１の左右両側に位置検出部の一対のリニアスケールを配置していたので、ステージ１のヨーイングの姿勢変化の中心点を重量分布で調整する必要なかった。これに対し、リニアスケールがステージ１の中央付近に１つだけ配置された場合には、ステージ１の重量分布の調整を、ヨーイングとピッチングの２方向に対して実施する必要がでてくる。この場合、この２方向の姿勢に対して、第１の錘及び第２の錘の位置の調整量を求めることで、上記第１〜第３実施形態と同様の効果を奏する。
【００３８】
また、上記第１実施形態では、液体給排部２２，２４が接続される液体給排口１７，１９側の空間に付勢ばねとして引張ばね２１，２３を配置した場合について説明したが、付勢ばねが圧縮ばねであってもよい。この場合、圧縮ばねを、錘１１，１２を挟んで液体給排口１７，１９と反対の空間に配置すればよい。
【符号の説明】
【００３９】
１  ステージ
３  アクチュエータ
４  位置検出部
５  ガイド
６，６Ａ  制御装置
１１，１１Ａ  第１の錘
１２，１２Ａ  第２の錘
１３，１３Ａ  第１の錘駆動部
１４，１４Ａ  第２の錘駆動部
１００，１００Ｂ  位置決めステージ
【図１】
2011051078.tif 000003
【図２】
2011051078.tif 000004
【図３】
2011051078.tif 000005
【図４】
2011051078.tif 000006
【図５】
2011051078.tif 000007
【図６】
2011051078.tif 000008
【図７】
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