(57)【要約】【課題】光透過性を有する被測定物の形状を、精度良く迅速に測定する方法を提供する。【解決手段】光照射手段１と光検出手段２を被測定物３の表面３ａ側に配置し、既知形状の反射面４ａを有する反射手段４を被測定物３の裏面３ｂ側に配置する。次に光照射手段１から測定光５を表面３ａに照射する。測定光５のうち、表面３ａで反射した第１の反射光８と、被測定物３を透過して裏面３ｂで反射した第２の反射光９と、被測定物３内を透過した透過光５のうち反射面４ａで反射された第３の反射光１０とを含む反射干渉光７を光検出手段２で検出する。そして反射干渉光７の光強度スペクトルを分析し、第１および第２の反射光８、９からなる第１の干渉光成分から被測定物３の厚みｔを算出し、第２および第３の反射光９、１０からなる第２の干渉光成分から裏面３ｂと反射面４ａ間の距離ｄを算出し、厚みｔと距離ｄに基づいて被測定物３の形状を求める。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光透過性を有する被測定物の形状測定方法であって、
所定の波長帯域を有する測定光を前記被測定物に向けて照射する光照射手段、および、前記被測定物からの前記測定光の戻り光を検出する光検出手段を、前記被測定物の表面側に配置するとともに、既知形状の反射面を有し、前記測定光のうち前記被測定物の表面側から裏面側に透過する透過光を前記反射面で反射させる反射手段を、前記被測定物の裏面側に配置し、
前記測定光を、前記光照射手段によって前記被測定物の表面に照射し、
前記被測定物の表面に照射された前記測定光のうち、前記被測定物の表面で反射した第１の反射光、および、前記被測定物を透過して前記被測定物の裏面で反射した第２の反射光からなる第１の干渉光成分と、前記第２の反射光、および、前記透過光のうち前記反射手段の反射面で反射された第３の反射光からなる第２の干渉光成分とを含む、前記戻り光としての反射干渉光を、前記光検出手段によって検出し、
前記光検出手段で検出した前記反射干渉光の光強度スペクトルを分析することにより、前記第１の干渉光成分から前記被測定物の厚みｔを算出するとともに、前記第２の干渉光成分から前記被測定物の裏面と前記反射手段の反射面間の距離ｄを算出し、
前記厚みｔおよび前記距離ｄに基づいて前記被測定物の形状を求めることを特徴とする方法。
【請求項２】
前記反射干渉光の分析において、前記光強度スペクトルをフーリエ変換して、前記第１の干渉光成分および第２の干渉光成分のパワースペクトルをそれぞれ計算することにより、前記厚みｔおよび前記距離ｄを算出することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光透過性を有する被測定物の形状測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、光透過性を有する被測定物の形状測定方法として、図１６に示すような、２つのレーザ変位計を用いた方法が知られている（例えば非特許文献１参照）。
この方法によれば、まず２つのレーザ変位計１１ａ、１１ｂをそれぞれ、被測定物１２の表面１２ａ側および裏面１２ｂ側に配置する。２つのレーザ変位計１１ａ、１１ｂ間の距離はＣである。次に、被測定物１２の表面１２ａおよび裏面１２ｂに向けて、各レーザ変位計１１ａ、１１ｂからレーザ光を照射する。そして、照射された各レーザ光のうち表面１２ａおよび裏面１２ｂで反射した反射光を、レーザ変位計１１ａ、１１ｂによって検出する。これによってレーザ変位計１１ａと表面１２ａ間の距離Ａ、および、レーザ変位計１１ｂと裏面１２ｂ間の距離Ｂを測定し、被測定物１２の厚みｔをｔ＝Ｃ−（Ａ＋Ｂ）なる式により算出する。したがって、この測定を被測定物１２の様々な領域にわたって行うことにより、被測定物１２の形状を求めることができる。
【０００３】
さらに、図１７に示すような、１つのレーザ変位計を用いた被測定物の形状測定方法も知られている。
この方法によれば、図１７（ａ）に示すように、まず、レーザ変位計１１を被測定物１２の表面１２ａ側に配置する。次に、被測定物１２の表面１２ａに向けて、レーザ変位計１１からレーザ光を照射する。そして、照射されたレーザ光のうち、表面１２ａで反射した反射光をレーザ変位計１１によって検出する。これによってレーザ変位計１１と表面１２ａ間の距離Ａを測定する。次に、図１７（ｂ）に示すように、被測定物１２の裏面１２ｂを回転対称面として、被測定物１２の表面１２ａがレーザ変位計１１の反対側に位置するように、被測定物１２を裏返す。そして、被測定物１２の裏面１２ｂに向けて、レーザ変位計１１からレーザ光を照射する。そして、照射されたレーザ光のうち、裏面１２ｂで反射した反射光をレーザ変位計１１によって検出する。これによってレーザ変位計１１と裏面１２ｂ間の距離Ｂを測定し、被測定物１２の厚みｔをｔ＝Ｂ−Ａなる式により算出する。したがって、この測定を被測定物１２の様々な領域にわたって行うことにより、被測定物１２の形状を求めることができる。
【０００４】
しかしながら、これらの方法では、レーザ光として単一の短波長のものを使用し、このレーザ光を被測定物１２の表裏面１２ａ、１２ｂの極めて狭い領域にピンポイントで照射するので、表裏面１２ａ、１２ｂの傾斜によってレーザ光の反射角度が変わる。このため、レーザ変位計で測定した距離Ａ、Ｂにはそれぞれ大きな誤差が含まれ、被測定物の形状を精度良く測定できないという問題がある。
また、１つのレーザ変位計を用いた方法では、レーザ変位計１１と裏面１２ｂ間の距離Ｂを測定する際に、被測定物１２を裏返えさなければならないため、測定時間が長いという問題がある。
さらに、レーザ変位計を用いた方法では、レーザ変位計と被測定物間の絶対距離を測定する為、被測定物の形状を再現性良く測定できないという問題がある。
【先行技術文献】
【非特許文献】
【０００５】
【非特許文献１】カタログ「用途別  レーザ変位測定ガイド  ｖｏｌ．６  透明体厚み測定編  ３頁」、株式会社キーエンス、平成２２年１月２８日検索、インターネットＵＲＬ＜http://www.keyence.co.jp/req/h/avhc3w5/show.jsp?done=/henni/index.jsp&motive=HP1＞
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、光透過性を有する被測定物の形状を、精度良く迅速に測定する方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明は、光透過性を有する被測定物の形状測定方法であって、所定の波長帯域を有する測定光を前記被測定物に向けて照射する光照射手段、および、前記被測定物からの前記測定光の戻り光を検出する光検出手段を、前記被測定物の表面側に配置するとともに、既知形状の反射面を有し、前記測定光のうち前記被測定物の表面側から裏面側に透過する透過光を前記反射面で反射させる反射手段を、前記被測定物の裏面側に配置し、前記測定光を、前記光照射手段によって前記被測定物の表面に照射し、前記被測定物の表面に照射された前記測定光のうち、前記被測定物の表面で反射した第１の反射光、および、前記被測定物を透過して前記被測定物の裏面で反射した第２の反射光からなる第１の干渉光成分と、前記第２の反射光、および、前記透過光のうち前記反射手段の反射面で反射された第３の反射光からなる第２の干渉光成分とを含む、前記戻り光としての反射干渉光を、前記光検出手段によって検出し、前記光検出手段で検出した前記反射干渉光の光強度スペクトルを分析することにより、前記第１の干渉光成分から前記被測定物の厚みｔを算出するとともに、前記第２の干渉光成分から前記被測定物の裏面と前記反射手段の反射面間の距離ｄを算出し、前記厚みｔおよび前記距離ｄに基づいて前記被測定物の形状を求めることを特徴とする方法を構成したものである。
【０００８】
上記構成において、前記反射干渉光の分析において、前記光強度スペクトルをフーリエ変換して、前記第１の干渉光成分および第２の干渉光成分のパワースペクトルをそれぞれ計算することにより、前記厚みｔおよび前記距離ｄを算出することが好ましい。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、従来のレーザ変位計を用いた方法のように、測定光として単一の短波長のレーザ光を被測定物の表裏面の極めて狭い領域にピンポイントで照射するのではなく、ハロゲン光やＬＥＤ光のような所定の波長帯域を有する測定光を被測定物の表裏面のある程度広い領域に照射して測定光の戻り光を検出するような構成となっているので、被測定物の表裏面の傾斜によって測定光の反射角度があまり変化せず、精度良く被測定物の形状を測定することができる。
また、本発明によれば、光照射手段によって被測定物に測定光を照射し、光検出手段によって被測定物からの戻り光としての反射干渉光を検出し、反射干渉光に含まれる第１および第２の干渉光成分から被測定物の厚みｔ、および、被測定物と反射面間の距離ｄを一度に算出するような構成となっているので、被測定物の形状を迅速に測定することができる。
さらに、本発明によれば、光の干渉を利用しているため、従来のレーザ変位計を用いた方法のようにレーザ変位計と被測定物間の絶対距離を測定する必要がなく、測定結果が照射手段と被測定物間の距離による影響を受けないため、再現性よく被測定物の形状を測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施例１による方法を示すフローチャートである。
【図２】本発明の実施例１による方法を示す説明図である。
【図３】図２において被測定物の１点を測定した場合の反射干渉光の光強度スペクトルの一例を示すグラフである。
【図４】図３の反射干渉光のパワースペクトルの一例を示すグラフである。
【図５】図４のパワースペクトルから得られた距離ｄまたは膜厚ｔの一例を示すグラフである。
【図６】（ａ）は本発明の方法を用いた実験例１を示す側面図であり、（ｂ）は光照射器および光検出器からみた（ａ）の上面図である。
【図７】（ａ）は本発明の方法を用いた実験例２を示す側面図であり、（ｂ）は光照射器および光検出器からみた（ａ）の上面図である。
【図８】本発明の方法を用いた実験例１において、被測定物の１点を測定した場合の実験結果を示すグラフである。
【図９】本発明の方法を用いた実験例１において、光照射手段および光検出手段を位置Ａから位置Ｂを経て再び位置Ａに移動させて、被測定物の所定領域を測定した場合の実験結果を示すグラフである。
【図１０】本発明の方法を用いた実験例２において、被測定物の１点を測定した場合の実験結果を示すグラフである。
【図１１】本発明の方法を用いた実験例２において、光照射手段および光検出手段を位置Ａから位置Ｂを経て再び位置Ａに移動させて、被測定物の所定領域を測定した場合の実験結果を示すグラフである。
【図１２】本発明の実施例２による方法を示す説明図である。
【図１３】被測定物と反射手段が接触している点を測定した場合の反射干渉光の光強度スペクトルの一例を示すグラフである。
【図１４】図１３の反射干渉光のパワースペクトルの一例を示すグラフである。
【図１５】図１４のパワースペクトルから得られた膜厚ｔの一例を示すグラフである。
【図１６】２つのレーザ変位計を用いた従来の方法を示す説明図である。
【図１７】１つのレーザ変位計を用いた従来の方法を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の好ましい実施例について図面を参照しながら説明する。
【００１２】
（実施例１）
図１は、本発明の実施例１による、光透過性を有する被測定物の形状測定方法を示すフローチャートであり、図２は、実施例１による方法を示す説明図である。
図１および図２に示すように、まず、光照射手段１および光検出手段２を被測定物３の表面３ａ側に配置するとともに、反射手段４を被測定物３の裏面３ｂ側に配置する（ステップＳ１）。
光照射手段１は、所定の波長帯域を有する測定光５を被測定物３に向けて照射するためのものであり、例えばハロゲン光やＬＥＤ光などの様々な波長帯域を有する測定光５を照射する公知の光照射器からなる。光検出手段２は、被測定物３からの測定光５の戻り光７を検出するためのものであり、例えばＣＣＤやＣＭＯＳセンサなどの撮像素子を備えた公知の光検出器からなる。反射手段４は、既知形状の反射面４ａを有する。反射手段４は、ガラス板や金属板などからなり、測定光５のうち被測定物３の表面３ａ側から裏面３ｂ側に透過する透過光６を反射面４ａで反射させる。光照射手段１、光検出手段２、被測定物３および反射手段４は、例えば空気や液体などの媒体中に配置されている。ここで、媒体の屈折率をｎ１、被測定物３の屈折率をｎ２とする。
【００１３】
次に、光照射手段１によって測定光５を被測定物３の表面３ａに照射する（ステップＳ２）。以下、説明を簡単にするために、表面３ａに対する測定光５の照射角度θを９０度とする。
図２に示すように、表面３ａに照射された測定光５のうち被測定物３からの戻り光７は、第１の反射光８、第２の反射光９および第３の反射光１０が含まれた反射干渉光７である。第１の反射光８は、測定光５のうち表面３ａで反射したものである。第２の反射光９は、測定光５のうち被測定物３を透過して裏面３ｂで反射したものである。第３の反射光１０は、透過光６のうち反射面４ａで反射したものである。第１の反射光８および第２の反射光９間には、表裏面３ａ、３ｂ間の物理膜厚（被測定物３の厚み）ｔと被測定物３の屈折率ｎ２との積に応じた光路差２×ｔ×ｎ２が生じる。このため、この光路差に応じて、第１の反射光８および第２の反射光９からなる第１の干渉光成分が生じる。また、第２の反射光９および第３の反射光１０間には、裏面３ｂおよび反射面４ａ間の物理膜厚（媒体層の厚み）ｄと媒体の屈折率ｎ１との積に応じた光路差２×ｄ×ｎ１が生じる。このため、この光路差に応じて、第２の反射光９および第３の反射光１０からなる第２の干渉光成分が生じる。したがって、戻り光７は、第１のおよび第２の干渉光成分を含む反射干渉光７からなる。
【００１４】
そして、第１および第２の干渉光成分を含む反射干渉光７を、光検出手段２によって検出する（ステップＳ３）。
光検出手段２によって検出された反射干渉光７は、光検出手段２に接続された分光器（図示せず）によって、波長毎に分光され、光強度スペクトルとして検出される。図３（ｃ）は、分光器によって検出された光強度スペクトルの一例を示すグラフである。図３のグラフ中、横軸は波長を表し、縦軸は光強度（反射率）を表している。図３に示すように、反射干渉光７の光強度スペクトルは、図３（ａ）、（ｂ）の各波形に示されるような第１の干渉光成分および第２の干渉光成分を含んでいる。
【００１５】
さらに、光検出手段２で検出した反射干渉光７の光強度スペクトルを分析し、第１の干渉光成分から被測定物３の厚みｔを算出するとともに、第２の干渉光成分から被測定物３の裏面３ｂと反射手段４の反射面４ａ間の距離ｄを算出する（ステップＳ４）。
反射干渉光７の光強度スペクトルは、分光器に接続された演算装置（図示せず）によってフーリエ変換またはＦＦＴ（Fast Fourier Transform）され、パワースペクトルとして検出される。図４は、演算装置によって検出された反射干渉光７のパワースペクトルの一例を示すグラフである。図４のグラフ中、横軸は光路差を表し、縦軸はパワー（大きさ）を表している。反射干渉光７には第１の干渉光成分および第２の干渉光成分が含まれているため、図４に示すように、横軸上の２つのピークはそれぞれ第１の干渉光成分および第２の干渉光成分に相当する。したがって、これらのピークを検出することによって、第１の反射光８および第２の反射光９間の光路差２×ｔ×ｎ２と、第２の反射光９および第３の反射光１０間の光路差２×ｄ×ｎ１を求める。そして、求めた各光路差をそれぞれ媒体の屈折率ｎ２および被測定物の屈折率ｎ１で除算することにより、物理膜厚（被測定物の厚み）ｔおよび物理膜厚（媒体層の厚み）ｄを算出する。図５（ａ）、（ｂ）はそれぞれ、図４のパワースペクトルから得られた媒体層の厚みｄおよび被測定物の厚みｔの一例を示すグラフである。図５のグラフ中、横軸は物理膜厚を表し、縦軸はパワー（大きさ）を表している。
【００１６】
そして、算出した厚みｔおよび距離ｄに基づいて被測定物の形状を求める（ステップＳ５）。反射面４ａの形状は既知であるため、この測定を被測定物３の様々な領域にわたって行うことにより、被測定物３の形状を正確に測定することができる。
【００１７】
（実験例１）
次に、上述した方法によって、透過性を有するサンプルガラスの形状測定を行い、所定の効果が得られるかを調べた。
図６に示すように、まず、一体化した光照射器（光照射手段）１および光検出器（光検出手段）２をサンプルガラス（被測定物）３の表面３ａ側に配置するとともに、既知形状の反射面４ａを有する平面ガラス（反射手段）４をサンプルガラス３の裏面３ｂ側に配置する。なお、サンプルガラス３と平面ガラス４の間には、スペーサＳが挿入されている。光照射器１、光検出器２、サンプルガラス３および平面ガラス４は空気中に配置されている。ここで、空気の屈折率ｎ１を１．０、サンプルガラスの屈折率ｎ２を１．５３とする。平面ガラス４の反射面４ａは、十分研磨された凹凸の無い平面となっている。
次に、光照射器１によって波長７１０〜７９０ｎｍのハロゲン光（測定光）５をサンプルガラス３の表面３ａに照射する。そして、サンプルガラス３からの戻り光としての反射干渉光７を、光検出器２によって検出する。さらに、光検出器２で検出した反射干渉光７の光強度スペクトルをＦＦＴして、そのパワースペクトルを検出する。そして、パワースペクトルの光路差に基づいて、第１の干渉光成分からサンプルガラス３の厚みｔを算出し、第２の干渉光成分からサンプルガラス３の裏面３ｂと反射面４ａ間の距離（空気層の厚み）ｄを算出する。そして、一体化した光照射器１および光検出器２を水平に移動させて、この測定をサンプルガラス３の位置Ａ（サンプルガラス３の左端）から位置Ｂ（サンプルガラス３の右端）、さらに位置Ｂ（右端）から位置Ａ（左端）にわたって行うことにより、サンプルガラス３の形状を求めた。
【００１８】
（実験例２）
図７に示すように、実験例１で用いたサンプルガラス３の長辺側中央部に重りＷを載せた状態で、実験例１と同様の測定を行い、サンプルガラス３の形状を求めた。
【００１９】
（実験結果）
図８は、実験例１において、被測定物の１点を測定した場合の実験結果を示すグラフである。図９は、実験例１において、光照射手段および光検出手段を位置Ａから位置Ｂを経て再び位置Ａに移動させて、被測定物の所定領域を測定した場合の実験結果を示すグラフである。図１０は、実験例２において、被測定物の１点を測定した場合の実験結果を示すグラフである。図１１は、本発明の方法を用いた実験例２において、光照射手段および光検出手段を位置Ａから位置Ｂを経て再び位置Ａに移動させて、被測定物の所定領域を測定した場合の実験結果を示すグラフである。
図８（ａ）および図１０（ａ）は、サンプルガラス３の１点を測定したときの反射干渉光７の光強度スペクトルを示すグラフである。図８（ａ）および図１０（ａ）中、横軸は波長[ｎｍ]、縦軸は光強度（反射率）を表している。図８（ｂ）および図１０（ｂ）は、それぞれ図８（ａ）および図１０（ａ）の光強度スペクトルをＦＦＴして求めたパワースペクトルを示すグラフである。図８（ｂ）および図１０（ｂ）中、横軸は光学膜厚（光路差を２で割った値）[μｍ]、縦軸はパワー（大きさ）を表している。図８（ｃ）および図１０（ｃ）は、それぞれ図８（ｂ）および図１０（ｂ）のパワースペクトルから得られた裏面３ｂおよび反射面４ａ間の距離（空気層の厚み）ｄを示すグラフである。図８（ｃ）および図１０（ｃ）中、横軸は物理膜厚（空気層の厚みｄ）[μｍ]、縦軸はパワー（大きさ）を表している。図８（ｄ）および図１０（ｄ）は、それぞれ図８（ｂ）および図１０（ｂ）のパワースペクトルから得られたサンプルガラス３の厚みｔを示すグラフである。図８（ｄ）および図１０（ｄ）中、横軸は物理膜厚（厚みｔ）[μｍ]、縦軸はパワー（大きさ）を表している。図９（ａ）および図１１（ａ）は、光照射手段および光検出手段を位置Ａから位置Ｂを経て再び位置Ａに移動させて、サンプルガラス３の所定領域を測定した場合の、サンプルガラス３の裏面３ｂおよび反射面４ａ間の距離（空気層の厚み）ｄの変化を示すグラフである。図９（ａ）および図１１（ａ）中、横軸は時間[ｓｅｃ]、縦軸は空気層の厚みｄ［μｍ］を表している。図９（ｂ）および図１１（ｂ）は、光照射手段および光検出手段を位置Ａから位置Ｂを経て再び位置Ａに移動させて、サンプルガラス３の所定領域を測定した場合の、サンプルガラス３の厚みｔの変化を示すグラフである。図９（ｂ）および図１１（ｂ）中、横軸は時間[ｓｅｃ]、縦軸はサンプルガラス３の厚みｔ［μｍ］を表している。
【００２０】
図９（ａ）および図１１（ａ）のグラフより、実験例２のサンプルガラス３は、実験例１のものよりも中央がたわんでいることがわかる。実験例１と実験例２では同一のサンプルガラス３を用いているため、図９（ｂ）および図１１（ｂ）のグラフより、サンプルガラス３の形状を正確に測定できていることがわかる。
【００２１】
（実施例２）
図１２は本発明の実施例２による方法を示す説明図である。実施例２は、被測定物の少なくとも一部を反射手段に接触させて被測定物の形状を測定している点が、実施例１と異なっている。よって、被測定物と反射手段が接触している点を測定した場合のみについて、簡単に説明する。
【００２２】
図１３は被測定物と反射手段が接触している点を測定した場合の反射干渉光の光強度スペクトルの一例を示すグラフである。図１４は、図１３の反射干渉光のパワースペクトルの一例を示すグラフである。図１５は、図１４のパワースペクトルから得られた膜厚ｔの一例を示すグラフである。
図１２に示すように、第１の反射光８および第２の反射光９間には、表裏面３ａ、３ｂ間の物理膜厚（被測定物３の厚み）ｔと被測定物３の屈折率ｎ２との積に応じた光路差２×ｔ×ｎ２が生じる。このため、この光路差に応じて、第１の反射光８および第２の反射光９からなる第１の干渉光成分が生じる。また、裏面３ｂと反射面４ａは接触しているので、第２の反射光９および第３の反射光１０間には光路差はゼロとなる。このため、第２の反射光９および第３の反射光１０からなる第２の干渉光成分は生じない。したがって、戻り光７は、第１の反射光８と第２の反射光９が干渉した反射干渉光７からなる。
このため、図１３（ａ）および（ｃ）に示すように、反射干渉光７のパワースペクトルは第１の干渉成分のみからなり、図１３（ｂ）に示すように、第２の干渉成分は存在しない。そして、図１４に示すように、第１の干渉光成分に相当するピークのみが生じているのがわかる。したがって、図１５に示すように、パワースペクトルから被測定物３の厚みｔのみが得られ、被測定物３と反射手段４間の距離（媒体層の厚み）ｄはゼロとなる。
このように被測定物と反射手段が接触している場合でも、上記した本発明の基本原理に基づき、その形状を正確に測定することができることは言うまでもない。
【００２３】
以上、本発明の好ましい実施形態を説明したが、本発明の構成はこれらの実施形態に限
定されるものではない。
光照射手段１、光検出手段２および反射手段４の構成は何ら限定されるものではない。上記実施例において、光照射手段１と光検出手段２を一体とした構成にしてもよい。また、反射手段４として、ガラスや金属以外の材料のものを用いてもよい。
【００２４】
また、反射干渉光の光強度スペクトルをＦＦＴによって分析したが、光強度スペクトルを公知のカーブフィッティング法を用いて分析してもよい。
【００２５】
また、被測定物３の種類は何ら限定されるものではなく、被測定物３が多層膜を有するものであってもよい。この場合でも、上記した本発明の基本原理に基づき、その形状を正確に測定することができる。
【符号の説明】
【００２６】
１  光照射手段（光照射器）
２  光検出手段（光検出器）
３  被測定物
３ａ  表面
３ｂ  裏面
４  反射手段
４ａ  反射面
５  測定光
６  透過光
７  戻り光（反射干渉光）
８  第１の反射光
９  第２の反射光
１０  第３の反射光
１１、１１ａ、１１ｂ  レーザ変位計
１２  被測定物
１２ａ  表面
１２ｂ  裏面
Ｓ  スペーサ
Ｗ  重り
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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