(57)【要約】【課題】研削砥石を保護するとともに研削ホイールに付着した研削水および研削屑が床に滴下することを防止できる研削ホイールの着脱治具および研削ホイールケースを提供する。【解決手段】回転スピンドルの下端に設けられたホイールマウントの下面に着脱可能に装着される研削ホイールの着脱治具であって、該研削ホイールの外周を囲繞する環状側壁と、該環状側壁の下端に設けられた底壁とからなり、底壁はホイール基台の砥石装着部より内方の下面を支持するホイール基台支持部と、ホイール基台支持部と環状側壁の下端とを接続しホイール基台の砥石装着部に装着された複数の研削砥石を収容する砥石収容部とからなっており、ホイール基台の回動を規制する規制手段を備えている。【選択図】図８
2011121128.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブル上に保持されたウエーハを研削する研削手段とを具備し、該研削手段は、回転スピンドルと、該回転スピンドルの下端に設けられたホイールマウントと、該ホイールマウントの下面に着脱可能に装着される研削ホイールとを具備しており、該研削ホイールが環状のホイール基台と該ホイール基台の下面における外周部の砥石装着部に装着された複数の研削砥石とからなっており、該ホイール基台がホイールマウントの下面に締結ボルトによって取付けられるように構成された研削装置における研削ホイールの着脱治具であって、
該研削ホイールの外周を囲繞する環状側壁と、該環状側壁の下端に設けられた底壁とからなり、
該底壁は、該ホイール基台の該砥石装着部より内方の下面を支持するホイール基台支持部と、該ホイール基台支持部と該環状側壁の下端とを接続し該ホイール基台の該砥石装着部に装着された複数の研削砥石を収容する砥石収容部とからなっており、該ホイール基台の回動を規制する規制手段を備えている、
ことを特徴とする研削ホイールの着脱治具。
【請求項２】
該ホイール基台には該砥石装着部より内方の下面に係合部が形成されており、
該規制手段は該底壁の該ホイール基台支持部に設けられ該係合部と係合する位置決めピンからなっている、請求項１記載の研削ホイールの着脱治具。
【請求項３】
該ホイール基台に形成される該係合部は該砥石装着部より内方の下面に開口する研削水噴出孔からなっており、該底壁の該ホイール基台支持部に設けられる位置決めピンは該研削水噴出孔に係合する、請求項２記載の研削ホイールの着脱治具。
【請求項４】
研削装置の研削手段を構成する回転スピンドルの下端に設けられたホイールマウントの下面に着脱可能に装着され環状のホイール基台と該ホイール基台の下面における外周部の砥石装着部に装着された複数の研削砥石とからなる研削ホイールを収容する研削ホイールケースであって、
該研削ホイールを収容する上面が開放された容器と、該容器に外嵌する蓋とからなり、
該容器は、該研削ホイールの外周を囲繞する環状側壁と、該環状側壁の下端に設けられた底壁とからなり、
該底壁は、該ホイール基台の該砥石装着部より内方の下面を支持するホイール基台支持部と、該ホイール基台支持部と該環状側壁の下端とを接続し該ホイール基台の該砥石装着部に装着された複数の研削砥石を収容する砥石収容部とからなっており、該ホイール基台の回動を規制する規制手段を備えている、
ことを特徴とする研削ホイールケース。
【請求項５】
該ホイール基台には該砥石装着部より内方の下面に係合部が形成されており、
該規制手段は該底壁の該ホイール基台支持部に設けられ該係合部と係合する位置決めピンからなっている、請求項４記載の研削ホイールケース。
【請求項６】
該ホイール基台に形成される該係合部は該砥石装着部より内方の下面に開口する研削水噴出孔からなっており、該底壁の該ホイール基台支持部に設けられる位置決めピンは該研削水噴出孔に係合する、請求項５記載の研削ホイールケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエーハ等の被加工物を研削するための研削装置に装備される研削ホイールの着脱治具および研削ホイールケースに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切断することによりデバイスが形成された領域を分割して個々の半導体デバイスを製造している。また、サファイヤ基板や炭化珪素(SiC)基板の表面に窒化ガリウム系化合物半導体等が積層された光デバイスウエーハもストリートに沿って切断することにより個々の発光ダイオード、レーザーダイオード等の光デバイスに分割され、電気機器に広く利用されている。このようにして分割されるウエーハは、ストリートに沿って切断する前に研削装置によって裏面が研削され、所定の厚さに加工される。
【０００３】
半導体ウエーハの裏面を研削する研削装置は、ウエーハを保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブル上に保持されたウエーハを研削する研削ユニットと、該研削ユニットをチャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に研削送りする研削送り機構とを具備している。研削ユニットは、回転スピンドルと、該回転スピンドルの下端に設けられたホイールマウントと、該ホイールマウントの下面に着脱可能に装着される研削ホイールとを具備している。研削ホイールは、円環状のホイール基台と該ホイール基台の下面に装着される複数の研削砥石とからなっており、ホイール基台がホイールマウントの下面に締結ボルトによって取付けられる。（例えば、特許文献１参照）
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−１８１７６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
而して、研削ホイールをホイールマウントに着脱する際に誤って研削ホイールをチャックテーブルの上に落下させると、研削砥石を損傷させたりチャックテーブルを損傷させるという問題がある。また、研削ホイールをホイールマウントから取り外す際に、研削ホイールに付着した研削水および研削屑が滴下して床を汚染するという問題もある。
【０００６】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術課題は、研削砥石を保護するとともに研削ホイールに付着した研削水および研削屑が床に滴下することを防止できる研削ホイールの着脱治具および研削ホイールケースを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブル上に保持されたウエーハを研削する研削手段とを具備し、該研削手段は、回転スピンドルと、該回転スピンドルの下端に設けられたホイールマウントと、該ホイールマウントの下面に着脱可能に装着される研削ホイールとを具備しており、該研削ホイールが環状のホイール基台と該ホイール基台の下面における外周部の砥石装着部に装着された複数の研削砥石とからなっており、該ホイール基台がホイールマウントの下面に締結ボルトによって取付けられるように構成された研削装置における研削ホイールの着脱治具であって、
該研削ホイールの外周を囲繞する環状側壁と、該環状側壁の下端に設けられたる底壁とからなり、
該底壁は、該ホイール基台の該砥石装着部より内方の下面を支持するホイール基台支持部と、該ホイール基台支持部と該環状側壁の下端とを接続し該ホイール基台の該砥石装着部に装着された複数の研削砥石を収容する砥石収容部とからなっており、該ホイール基台の回動を規制する規制手段を備えている、
ことを特徴とする研削ホイールの着脱治具が提供される。
【０００８】
上記ホイール基台には砥石装着部より内方の下面に係合部が形成されており、上記規制手段は底壁のホイール基台支持部に設けられ係合部と係合する位置決めピンからなっている。また、上記ホイール基台に形成される係合部は砥石装着部より内方の下面に開口する研削水噴出孔からなっており、底壁のホイール基台支持部に設けられる位置決めピンは研削水噴出孔に係合するように構成されている。
【０００９】
また、本発明によれば、研削装置の研削手段を構成する回転スピンドルの下端に設けられたホイールマウントの下面に着脱可能に装着され環状のホイール基台と該ホイール基台の下面における外周部の砥石装着部に装着された複数の研削砥石とからなる研削ホイールを収容する研削ホイールケースであって、
該研削ホイールを収容する上面が開放された容器と、該容器に外嵌する蓋とからなり、
該容器は、該研削ホイールの外周を囲繞する環状側壁と、該環状側壁の下端に設けられた底壁とからなり、
該底壁は、該ホイール基台の該砥石装着部より内方の下面を支持するホイール基台支持部と、該ホイール基台支持部と該環状側壁の下端とを接続し該ホイール基台の該砥石装着部に装着された複数の研削砥石を収容する砥石収容部とからなっており、該ホイール基台の回動を規制する規制手段を備えている、
ことを特徴とする研削ホイールケースが提供される。
【発明の効果】
【００１０】
本発明による研削ホイールの着脱治具は上述したように構成され、研削ホイールをホイールマウントから取り外す場合には、着脱治具によって研削ホイールを下側から覆った状態で実施するので、研削ホイールに研削水や研削屑が付着していても研削水や研削屑は着脱治具に収容され、床等を汚染することはない。また、研削ホイールをホイールマウントに装着する場合には、研削ホイールを着脱治具に収容し研削ホイールを下側から覆った状態で実施するので、誤って落下しても研削砥石が直接チャックテーブル等に接触することがないため、研削砥石が損傷したりチャックテーブル等を損傷させることがない。
【００１１】
また、本発明による研削ホイールケースは、研削ホイールを収容する上面が開放された容器と該容器に外嵌する蓋とからなり、容器が上記研削ホイールの着脱治具と同一の構成であるため、研削ホイールケースに収容され保管された研削ホイールをホイールマウントに装着する場合には、研削ホイールを着脱治具として機能させることにより研削ホイールをホイールマウントに安全に取り付けることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明に従って構成された研削ホイールの着脱治具を用いて研削ホイールの着脱を実施するための研削装置の斜視図。
【図２】図１に示す研削装置に装備される研削手段を構成するホイールマウントの斜視図。
【図３】図２に示すホイールマウントの断面図。
【図４】図２に示すホイールマウントに装着する研削ホイールの斜視図。
【図５】図４に示す研削ホイールの断面図。
【図６】図２および図３に示すホイールマウントに図４および図５に示す研削ホイールを装着した状態を示す斜視図。
【図７】本発明に従って構成された研削ホイールの着脱治具の斜視図。
【図８】図７に示す研削ホイールの着脱治具の断面図。
【図９】図７および図８に示す研削ホイールの着脱治具に研削ホイールを収容した状態を示す斜視図。
【図１０】図７および図８に示す研削ホイールの着脱治具を用いてホイールマウントに装着されている研削ホイールを取り外す作業を示す説明図。
【図１１】本発明に従って構成された研削ホイールケースの断面図。
【図１２】本発明に従って構成された研削ホイールケースの斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明に従って構成された研削ホイールの着脱治具の好適な実施形態について、添付図面を参照して更に詳細に説明する。
図１には、本発明に従って構成された研削ホイールの着脱治具によって着脱される研削ホイールが装着された研削装置の斜視図が示されている。図１に示す研削装置は、全体を番号２で示す装置ハウジングを具備している。この装置ハウジング２は、細長く延在する直方体形状の主部２１と、該主部２１の後端部（図１において右上端）に設けられ上方に延びる直立壁２２とを有している。直立壁２２の前面には、上下方向に延びる一対の案内レール２２１、２２１が設けられている。この一対の案内レール２２１、２２１に移動基台３が摺動可能に装着されている。移動基台３は、後面両側に上下方向に延びる一対の脚部３１、３１が設けられており、この一対の脚部３１、３１に上記一対の案内レール２２１、２２１と摺動可能に係合する被案内溝３１１、３１１が形成されている。このように直立壁２２に設けられた一対の案内レール２２１、２２１に摺動可能に装着された移動基台３１の前面には前方に突出した支持部３２が設けられている。この支持部３２に研削手段としてのスピンドルユニット４が取り付けられる。
【００１４】
スピンドルユニット４は、支持部３２に装着された円筒状のスピンドルハウジング４１と、該スピンドルハウジング４１に回転自在に配設された回転スピンドル４２と、該回転スピンドル４２を回転駆動するための駆動源としてのサーボモータ４３とを具備している。スピンドルハウジング４１に回転可能に支持された回転スピンドル４２は、一端部(図１において下端部)がスピンドルハウジング４１の下端から突出して配設されており、その一端(図１において下端)にホイールマウント４４が設けられている。そして、このホイールマウント４４の下面に研削ホイール5が取り付けられる。
【００１５】
上記ホイールマウント４４および研削ホイール5について、図２乃至図６を参照して説明する。
図２には回転スピンドル４２の下端に設けられたホイールマウント４４の斜視図が示されており、図３には図2に示すホイールマウント４４の断面図が示されている。図２および図３に示すホイールマウント４４は円形状に形成され、回転スピンドル４２の下端に一体的に設けられている。このホイールマウント４４には、図２に示すように周方向に所定の間隔を置いて４個（図２には3個が示されている）のボルト挿通穴４４１が形成されている。また、ホイールマウント４４には、図３に示すように回転スピンドル４２の軸心に形成され研削水供給手段に接続された研削水供給通路４２１と連通する連通路４４２が形成されている、この連通路４４２は下面に開口している。なお、ホイールマウント４４の下面には、後述する研削ホイール5に設けられた半円形の切欠きと係合する２個の係止部材４４３が１８０度の位相をもって対向して配設されている（図３には１個の係止部材４４３のみが示されている）。この係止部材４４３は、軸部４４３aと、該軸部４４３aの下端に設けられた円形状の係止部４４３bとからなっている。
【００１６】
上述したように構成されたホイールマウント４４に装着される研削ホイール5について、図４および図５を参照して説明する。
図４には研削ホイール５の斜視図が示されており、図５には図４に示す研削ホイール5の断面図が示されている。図４および図５に示す研削ホイール5は、環状のホイール基台５１と、該ホイール基台５１の下面における外周部の砥石装着部に装着された複数の研削砥石５２とからなっている。ホイール基台５１は、下面における外周部に砥石装着部５１１を備えているとともに、該砥石装着部５１１から内方に突出するフランジ部５１２を備えている。なお、フランジ部５１２は、図示の実施形態においては砥石装着部５１１より上側に段差を持って形成されている。このように形成されたホイール基台５１には、上面に上記ホイールマウント４４に形成された連通路４４２と対応する位置に環状の研削水供給溝５１３が形成されているとともに、該研削水供給溝５１３と連通し上記フランジ部５１２の下面に開口する複数の研削水噴出孔５１４が設けられている。また、ホイール基台５１の上端部には内方に突出して形成された環状の係合部５１５が設けられており、この環状の係合部５１５には上記ホイールマウント４４に設けられた係止部材４４３の係止部４４３bが挿通する大きさの半円形の切欠き５１５aが形成されている。このように形成されたホイール基台５１には、上記ホイールマウント４４に形成された複数のボルト挿通穴４４１と対応する位置に上面から形成された４個の雌ねじ穴５１６が設けられている。なお、ホイール基台５１の外周面には、複数の雌ねじ穴５１６の一つと対応する位置に合いマーク５１７が設けられている。この合いマーク５１７に関連して、図２に示すようにホイールマウント４４の外周面にも合いマーク４４４が設けられている。なお、ホイールマウント４４の外周面に設けられた合いマーク４４４は、一つのボルト挿通穴４４１と対応する位置から所定量変位した位置に形成されている。この変位量は、上記係止部材４４３を構成する軸部４４３aの外周面から円形状の係止部４４３bの外周縁までの距離に相当する量に設定されている。
【００１７】
以上のように構成された研削ホイール5をホイールマウント４４に装着するには、研削ホイール5をホイールマウント４４の下方に位置付け、ホイール基台５１の外周面に設けられた合いマーク５１７とホイールマウント４４の外周面に設けられた合いマーク４４４とが一致した位置でホイール基台５１の上面をホイールマウント４４の下面に押し当てる。この結果、ホイール基台５１の上端部に設けられた環状の係合部５１５に形成されている半円形の切欠き５１５aをホイールマウント４４に設けられた係止部材４４３の係止部４４３bを嵌挿する。次に、研削ホイール5を回動すると、環状の係合部５１５に形成されている半円形の切欠き５１５aの内周縁が係止部材４４３を構成する軸部４４３a の外周面に当接し、係止部４４３bの一部が環状の係合部５１５の一部と重合する。従って、研削ホイール5から手を離しても環状の係合部５１５の一部が係止部材４４３の係止部４４３bの一部と係合して、研削ホイール5は係止部材４４３bによって支持された状態となる。この状態においては、ホイールマウント４４に形成された複数のボルト挿通穴４４１とホイール基台５１に設けられた複数の雌ねじ穴５１６が対応した位置に位置付けられる。このようにホイールマウント４４に形成された複数のボルト挿通穴４４１とホイール基台５１に設けられた複数の雌ねじ穴５１６が対応した位置に位置付けられた状態で、ホイールマウント４４に形成された複数のボルト挿通穴４４１から締結ボルト５５を挿入しホイール基台５１に設けられた複数の雌ねじ穴５１５に螺合することにより、図６に示すようにホイールマウント４４の下面に研削ホイール5を取り付けることができる。
【００１８】
図１に戻って説明を続けると、図示の実施形態における研削装置は、上記スピンドルユニット４を上記一対の案内レール２２１、２２１に沿って上下方向（後述するチャックテーブルの保持面に対して垂直な方向）に移動せしめる研削送り手段６を備えている。この研削送り手段６は、直立壁２２の前側に配設され上下方向に延びる雄ねじロッド６１を具備している。この雄ねじロッド６１は、その上端部および下端部が直立壁２２に取り付けられた軸受部材６２および６３によって回転自在に支持されている。上側の軸受部材６２には雄ねじロッド６１を回転駆動するための駆動源としてのパルスモータ６４が配設されており、このパルスモータ６４の出力軸が雄ねじロッド６１に伝動連結されている。上記移動基台３の後面にはその幅方向中央部から後方に突出する連結部（図示していない）も形成されており、この連結部には貫通雌ねじ穴（図示していない）が形成されており、この雌ねじ穴に上記雄ねじロッド６１が螺合せしめられている。従って、パルスモータ６４が正転すると移動基台３およびスピンドルユニット４が下降即ち前進せしめられ、パルスモータ６４が逆転すると移動基台３およびスピンドルユニット４が上昇即ち後退せしめられる。
【００１９】
図１を参照して説明を続けると、ハウジング２の主部２１にはチャックテーブル機構７が配設されている。チャックテーブル機構７は、被加工物保持手段としてのチャックテーブル７１と、該チャックテーブル７１の周囲を覆うカバー部材７２と、該カバー部材７２の前後に配設された蛇腹手段７３および７４を具備している。チャックテーブル７１は、図示しない回転駆動機構によって回転せしめられるようになっており、その上面に被加工物であるウエーハを図示しない吸引手段を作動することにより吸引保持するように構成されている。また、チャックテーブル７１は、図示しないチャックテーブル移動手段によって図１に示す被加工物載置域２４と上記研削ユニット４を構成する研削ホイール４４と対向する研削域２５との間で移動せしめられる。蛇腹手段７３および７４はキャンパス布の如き適宜の材料から形成することができる。蛇腹手段７３の前端は主部２１の前面壁に固定され、後端はカバー部材７２の前端面に固定されている。また、蛇腹手段７４の前端はカバー部材７２の後端面に固定され、後端は装置ハウジング２の直立壁２２の前面に固定されている。チャックテーブル７１が矢印２３ａで示す方向に移動せしめられる際には蛇腹手段７３が伸張されて蛇腹手段７４が収縮され、チャックテーブル６１が矢印２３ｂで示す方向に移動せしめられる際には蛇腹手段７３が収縮されて蛇腹手段７４が伸張せしめられる。
【００２０】
図示の実施形態における研削装置は以上のように構成されており、以下その作用について説明する。
図１に示すように研削装置の被加工物載置域２４に位置付けられているチャックテーブル７１の上面である保持面上に被加工物としてのウエーハWを載置する。なお、ウエーハWにはデバイスが形成された表面にデバイスを保護するための保護テープTが貼着されており、この保護テープT側をチャックテーブル７１の上面に載置する。そして、図示しない吸引手段を作動することによりチャックテーブル７１上に保護テープTを介してウエーハWを吸引保持する。このようにして、チャックテーブル７１上にウエーハWを吸引保持したならば、図示しないチャックテーブル移動手段を作動してチャックテーブル７１を矢印２３ａで示す方向に移動し研削域２５に位置付ける。
【００２１】
このようにしてチャックテーブル７１が研削域２５に位置付けられたならば、チャックテーブル７１を所定の方向に例えば３００rpmの回転速度で回転させるとともに、研削ホイール５を例えば６０００rpmの回転速度で回転しつつ研削送り手段６のパルスモータ６４を正転駆動して研削ユニット４を下降し、研削ホイール５の複数の研削砥石５２の研削面をチャックテーブル７１に保持されたウエーハWの上面（裏面）に接触させ所定量研削送りする。この結果、チャックテーブル７１に保持されたウエーハWは、所定の厚みに研削される（研削工程）。この研削工程においては、図示しない研削水供給手段が作動し、回転スピンドル４２に形成された研削水供給通路４２１、ホイールマウント４４に形成された研連通路４４２、研削ホイール５のホイール基台５１に形成された環状の研削水供給溝５１３および研削水噴出孔５１４を介して研削砥石５２による研削部に研削水が供給される。
【００２２】
以上のようにして研削作業を実施すると、研削砥石５２が摩滅するため、所定量摩滅したならば研削ホイール５を交換する。この研削ホイール５を交換するために研削ホイール５をホイールマウント４４から取り外す際に、研削ホイール５に付着した研削水および研削屑が滴下して床等を汚染するという問題がある。また、新しい研削ホイール５をホイールマウント４４に装着する際に誤って研削ホイール５をチャックテーブル７１の上に落下させると、研削砥石５２を損傷させたりチャックテーブル７１を損傷させるという問題がある。このような問題を解消するための研削ホイールの着脱治具について、図７乃至図９を参照して説明する。
【００２３】
図７乃至図９に示す研削ホイールの着脱治具８は、合成樹脂によって上面が開放された容器状に形成されている。この着脱治具８は、研削ホイール５の外周を囲繞する環状側壁８１と、該環状側壁８１の下端に設けられた底壁８２とからなっている。環状側壁８１は、高さが研削ホイール５の高さに対応した値に設定されており、その上端には１８０度の位相差をもって２個の切欠き８１１が設けられている。底壁８２は、図８に示すようにホイール基台５１の砥石装着部５１１から内方に突出するフランジ部５１２の下面を支持する環状のホイール基台支持部８２１と、ホイール基台支持部８２１と環状側壁８１の下端とを接続しホイール基台５１の砥石装着部５１１に装着された複数の研削砥石５２を収容する砥石収容部８２２とからなっている。なお、砥石収容部８２２は、ホイール基台５１のフランジ部５１２がホイール基台支持部８２１によって支持された状態で、砥石装着部５１１に装着された複数の研削砥石５２の下面が当接しないように構成されている。従って、着脱治具８の底壁８２は、ホイール基台５１のフランジ部５１２がホイール基台支持部８２１によって支持された状態で、砥石収容部８２２の上面と砥石装着部５１１に装着された複数の研削砥石５２の下面との間に隙間が形成される寸法関係に設定されている。また、ホイール基台支持部８２１の上面には、２本の位置決めピン８３が１８０度の位相差をもって配設されている。この２本の位置決めピン８３は、図８に示すようにホイール基台５１の外周面に設けられた合いマーク５１７が切欠き８１１と一致した状態において、ホイール基台５１のフランジ部５１２に開口する研削水噴出孔５１４に挿入される位置に設けられている。このようにして、２本の位置決めピン８３がホイール基台５１のフランジ部５１２の下面に開口する研削水噴出孔５１４に挿入することにより、着脱治具８と研削ホイール５の相対回動が規制される。従って、２本の位置決めピン８３は、ホイール基台５１に形成された係合部としての研削水噴出孔５１４と係合しホイール基台５１の回動を規制する規制手段として機能する。なお、着脱治具８の底壁８２を構成するホイール基台支持部８２１は、図示の実施形態においては環状に形成し中央に穴が設けられた例を示したが、円形に形成して穴を閉塞するように構成してもよい。
【００２４】
図示の実施形態における研削ホイールの着脱治具８は以上のように構成されており、以下この着脱治具８を用いてホイールマウント４４に装着されている研削ホイール５を取り外す作業について説明する。
先ず、ホイールマウント４４の下面に研削ホイール5を取り付けている締結ボルト５５を弛めて取り外す。この状態においては図１０の(a)に示すようにホイールマウント４４に設けられた係止部材４４３の係止部４４３bの一部に研削ホイール5を構成するホイール基台５１に設けられた環状の係合部５１５の一部が係合しているので、研削ホイール5はホイールマウント４４の係止部材４４３によって支持された状態が維持される。次に、図１０の(b)に示すように着脱治具８をホイールマウント４４に支持されている研削ホイール５の下側から嵌合する。この作業は、着脱治具８の環状側壁８１に設けられた切欠き８１１の一つをホイール基台５１の外周面に設けられた合いマーク５１７と一致するようにして実施する。この結果、着脱治具８を研削ホイール5に嵌合した状態においては、図８に示す状態と同様に２本の位置決めピン８３がホイール基台５１のフランジ部５１２の下面に開口する研削水噴出孔５１４に挿入され、着脱治具８と研削ホイール５の相対回動が規制される。このように着脱治具８と研削ホイール５の相対回動が規制された状態で、着脱治具８と研削ホイール５をホイール基台５１の外周面に設けられた合いマーク５１７がホイールマウント４４の外周面に設けられた合いマーク４４４と対応する位置まで回動することにより、ホイールマウント４４に設けられた係止部材４４３の係止部４４３bと研削ホイール5を構成するホイール基台５１に設けられた環状の係合部５１５に形成された半円形の切欠き５１５aが一致するため、着脱治具８と研削ホイール５を下方に下げることによりホイールマウント４４から研削ホイール５を取り外すことができる。このように、研削ホイール５をホイールマウント４４から取り外す作業は、着脱治具８の砥石収容部８２２によって研削ホイール５の複数の研削砥石５２を下側から覆った状態で実施するので、研削ホイール５に研削水や研削屑が付着していても研削水や研削屑は着脱治具８の砥石収容部８２２に収容され、床等を汚染することはない。また、研削ホイール５は合成樹脂からなる着脱治具８によって覆われているので、誤って落下してもチャックテーブル等を損傷させることがない。
【００２５】
上述したように研削ホイール５をホイールマウント４４から取り外したら、新しい研削ホイール５をホイールマウント４４に取り付ける。この研削ホイール５の取り付け作業は、図９に示すように新しい研削ホイール５を着脱治具８に収容して実施する。即ち、着脱治具８に研削ホイール５を収容した状態でホイールマウント４４の下方に位置付ける。このとき、着脱治具８と研削ホイール５をホイール基台５１の外周面に設けられた合いマーク５１７がホイールマウント４４の外周面に設けられた合いマーク４４４と対応する位置にする。そして、着脱治具８と研削ホイール５を持ち上げて、ホイール基台５１の上端部に設けられた環状の係合部５１５に形成されている半円形の切欠き５１５aをホイールマウント４４に設けられた係止部材４４３の係止部４４３bを嵌挿した後、回動する。この結果、上述したように環状の係合部５１５に形成されている半円形の切欠き５１５aの内周縁が係止部材４４３を構成する軸部４４３a の外周面に当接し、係止部４４３bの一部が環状の係合部５１５の一部と重合する。従って、研削ホイール5から手を離しても環状の係合部５１５の一部が係止部材４４３の係止部４４３bの一部と係合して、研削ホイール5は係止部材４４３によって支持された状態となる。この状態においては、ホイールマウント４４に形成された複数のボルト挿通穴４４１とホイール基台５１に設けられた複数の雌ねじ穴５１６が対応した位置に位置付けられる。このようにして、研削ホイール5が係止部材４４３によって支持されホイールマウント４４に形成された複数のボルト挿通穴４４１とホイール基台５１に設けられた複数の雌ねじ穴５１６が対応した位置に位置付けられた状態で、ホイールマウント４４に形成された複数のボルト挿通穴４４１から締結ボルト５５を挿入しホイール基台５１に設けられた複数の雌ねじ穴５１６に螺合することにより、ホイールマウント４４の下面に研削ホイール5を取り付けることができる。なお、着脱治具８は、研削ホイール5が係止部材４４３によって支持された状態で研削ホイール5から除去してもよいし、研削ホイール5がホイールマウント４４の下面に取り付けられた状態で除去してもよい。以上のように、研削ホイール５をホイールマウント４４に装着する作業においては、研削ホイール５を着脱治具８に収容し研削ホイール５を下側から覆った状態で実施するので、誤って落下しても研削砥石５２が直接チャックテーブル等に接触することがないため、研削砥石５２が損傷したりチャックテーブル等を損傷させることがない。
【００２６】
次に、研削ホイール５を収容して保管する研削ホイールケースについて、図１１および図１２を参照して説明する。
図１１および図１２に示す研削ホイールケース８０は、研削ホイール５を収容する上面が開放された容器８aと、該容器８aに外嵌する蓋８ｂとからなっている。容器８aは、上記研削ホイールの着脱治具８と同一の構成である。従って、容器８aにおける研削ホイールの着脱治具８を構成する各構成部位と同一部位には同一符号を付して、その説明は省略する。蓋８ｂは、環状のスカート部８１bと、該環状のスカート部８１bの上端を閉塞する天壁８２bとからなっており、容器８aと同様に合成樹脂によって一体形成されている。このように構成された研削ホイールケース８０は、図１１に示すように容器８aに研削ホイール５を収容し、図１２に示すように研削ホイール５を収容した容器８aに蓋８ｂを外嵌することにより、研削ホイール５を収容した状態で保管することができる。このようにして、研削ホイールケース８０に保管された研削ホイール５を研削装置のホイールマウント４４に装着する場合には、研削ホイールケース８０の容器８aが上記研削ホイールの着脱治具８と同一の構成であるため、研削ホイールの着脱治具として機能し、上述した装着作業に取り付けることができる。
【符号の説明】
【００２７】
２：装置ハウジング
３：移動基台
４：スピンドルユニット
４１：スピンドルハウジング
４２：回転スピンドル
４４：ホイールマウント
５：研削ホイール
５１：ホイール基台
５１１：砥石装着部
５１４：研削水噴出孔
５２：研削砥石
６：研削送り手段
７：チャックテーブル機構
７１：チャックテーブル
８：研削ホイールの着脱治具
８１：環状側壁
８２：底壁
８２１：ホイール基台支持部
８２２：砥石収容部
８３：位置決めピン
８０：研削ホイールケース
８a：容器
８b：蓋
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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