(57)【要約】【課題】波長監視付きフィルタの透過波長を簡単に調整する方法を提供する。【解決手段】本発明の一実施形態による波長監視付きフィルタは、２つの入力と２つの出力を有するマッハツェンダー干渉計（ＭＺＩ）と、前記２つの出力に接続された２つのアレイ導波路回折格子（ＡＷＧ）とから構成される。２つの入力のうち、ＭＺＩの消光波長と、２つのＡＷＧの透過スペクトルとが一致する方の入力から光を入力し、２つのＡＷＧから出力される光の透過スペクトルの各々について、２つのピークがほぼ等しい高さになるように、ＭＺＩの干渉条件を調整する。これにより、他方の入力から入力した場合におけるＭＺＩの透過波長を、ＡＷＧの透過波長に簡易に調整することができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの入力と２つの出力を有するマッハツェンダー干渉計と、前記２つの出力に接続された２つの透過型光フィルタとから構成された透過型光デバイスにおける透過波長を調整する方法であって、
前記２つの入力のうち、前記マッハツェンダー干渉計の消光波長と、前記２つの透過型光フィルタの透過スペクトルとが一致する方の入力から光を入力することと、
前記２つの透過型光フィルタから出力される光の透過スペクトルの各々について、２つのピークがほぼ等しい高さになるように、前記マッハツェンダー干渉計の干渉条件を調整することと
を備えることを特徴とする方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法であって、
前記透過型光フィルタは、アレイ導波路回折格子であることを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上に作製された光導波路から構成されるマッハツェンダー干渉計（ＭＺＩ）の後段に透過型光フィルタが接続された透過型光デバイスの波長制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
波長監視機能付き分波フィルタ（透過型光デバイス）は、受信端において１個のフィルタを用いて複数のＷＤＭ信号を一括してモニタできるので、低コストの波長監視システムに有望である（非特許文献１）。
【０００３】
図１は、ＷＤＭ−ＰＯＮ（Ｐａｓｓｉｖｅ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｎｅｔｗｏｒｋ）システム（非特許文献２）に波長監視機能付き分波フィルタを適用した例（特許文献１、非特許文献１）を示している。ＷＤＭ−ＰＯＮシステム１０は、波長分割多重技術を用いて加入者へ大容量のデータを送信できるので次世代のアクセスネットワークの有望な形態の１つであり複数の研究機関で検討されている（非特許文献２）。図１において、ユーザ側にＯＮＵ（Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｎｅｔｗｏｒｋ  Ｕｎｉｔ）２０−１〜２０−ｎが、局舎側にはＯＬＴ（Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｌｉｎｅ  Ｔｅｒｍｉｎａｌ）３０が備えられている。ＯＮＵ２０−１〜２０−ｎからの各波長の信号光は、波長合波器２２で合波され、ＯＬＴ３０に伝送される。波長合波された信号光は、ＯＬＴ３０において、波長監視機能付き分波フィルタ３１により各波長の信号光に分波され、波長ごとに各ＯＳＵ３２−１〜３２−ｎに分配される。ＯＬＴ３０の波長監視機能付き分波フィルタ３１は、透過スペクトルを正弦波信号源(＋アンプ)３３で微少変調することで信号光の光強度を微少変調する。そして、光強度が微小変調された信号光を波長誤差信号検波３４により各波長をモニタすることができる。
【０００４】
図２に示したように、信号光は微少変調すなわちディザリングされ、その変調振幅はフィルタの透過中心波長からのずれに対応する。波長監視機能付き分波フィルタの透過中心波長はＩＴＵ（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｔｅｌｅｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ  Ｕｎｉｏｎ）グリッドに波長制御されている。したがって、変調振幅から信号光の波長を求めることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１８１１９４号公報
【特許文献２】特許第３２８７２１４号公報
【非特許文献】
【０００６】
【非特許文献１】T. Tanaka, N. Ooba, S. Kamei, M. Fujiwara, H. Suzuki, and Y. Inoue, “Silica-based PLC demultiplexer with spectral modulation function for monitoring signal wavelengths”, Electron. Lett., 2007, vol.43, no.24, pp.1377-1378
【非特許文献２】S. J. Park, C. H. Lee, K. T. Jeong, H. J. Park, J. G. Ahn, and K. H. Song, “Fiber-to-the home services based on wavelength-division-multiplexing passive optical network”, J. Lightwave. Technol., vol. 22, no. 11, pp. 2582-2591, 2004
【非特許文献３】M. Abe, Y. Hibino,T. Tanaka, M. Itoh, A. Himeno, and Y. Ohmori, “Mach-Zehnder interferometer and arrayed-waveguide-grating integrated multi/demultiplexer with photosensitive wavelength tuning”, Electron. Lett., 2001, vol.37, no.6, pp.376-377
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、設計により波長監視機能付きフィルタの透過中心波長をＩＴＵグリッドに一致させるようにしても、実際には、製造誤差によりどうしても透過中心波長がずれてしまう。そのため、波長監視機能付きフィルタの作製後、透過中心波長を調整する必要がある。そこで、波長監視付きフィルタの透過波長を簡単に調整する方法が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、２つの入力と２つの出力を有するマッハツェンダー干渉計と、前記２つの出力に接続された２つの透過型光フィルタとから構成された透過型光デバイスにおける透過波長を調整する方法であって、前記２つの入力のうち、前記マッハツェンダー干渉計の消光波長と、前記２つの透過型光フィルタの透過スペクトルとが一致する方の入力から光を入力することと、前記２つの透過型光フィルタから出力される光の透過スペクトルの各々について、２つのピークがほぼ等しい高さになるように、前記マッハツェンダー干渉計の干渉条件を調整することとを備えることを特徴とする。
【０００９】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の方法であって、前記透過型光フィルタは、アレイ導波路回折格子であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、実際に使う入力導波路とは別の入力導波路からの透過スペクトルをモニタすることにより、２つのピークになったスペクトルをモニタし、２つのピークがほぼ同じ高さになるようにＭＺＩの透過波長を調整することにより、実際に使う入力導波路から入力した場合におけるＭＺＩの透過波長を、ＡＷＧの透過波長に簡易に調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】波長監視機能付き分波フィルタを適用したＷＤＭ−ＰＯＮシステムの構成例を示す図である。
【図２】波長監視機能付き分波フィルタにおいて波長を監視する原理を説明する図である。
【図３】本発明に係る波長監視機能付き分波フィルタの構成例を示す図である。
【図４】波長監視機能付き分波フィルタの透過スペクトルを示す図であり、図４（ａ）は、波長監視機能付き分波フィルタのＭＺＩおよびＡＷＧそれぞれの透過スペクトルを示し、図４（ｂ）は、波長監視機能付き分波フィルタのＭＺＩおよびＡＷＧの合成された透過スペクトルを示している。
【図５】図３の波長監視機能付き分波フィルタのＭＺＩの部分を示す図である。
【図６】図５のＭＺＩの入力から出力までの透過スペクトルを示す図であり、図６（ａ）は、入力導波路１０３から出力導波路１０５までの透過スペクトルを示し、図６（ｂ）は、入力導波路１０２から出力導波路１０５までの透過スペクトルを示している。
【図７】図３の波長監視機能付き分波フィルタの透過スペクトルを示す図であり、図７（ａ）は、ＭＺＩの消光波長とＡＷＧの中心波長が一致する場合のそれぞれの透過スペクトルを示し、図７（ｂ）は、その場合の合成された透過スペクトルを示している。
【図８】図３の波長監視機能付き分波フィルタにおいて、ヒータに電力を加えていない場合のＭＺＩ１３１からＡＷＧ１３２までの実際の透過スペクトルを示す図である。
【図９】図３の波長監視機能付き分波フィルタにおいて、ヒータに１３０ｍＷの電力を加えた場合のＭＺＩ１３１からＡＷＧ１３２までの実際の透過スペクトルを示す図である。
【図１０】図３の波長監視機能付き分波フィルタにおいて、ヒータに電力を加えていない場合のＭＺＩ１３１からＡＷＧ１３３までの実際の透過スペクトルを示す図である。
【図１１】図３の波長監視機能付き分波フィルタにおいて、ヒータに１３０ｍＷの電力を加えた場合のＭＺＩ１３１からＡＷＧ１３３までの実際の透過スペクトルを示す図である。
【図１２】図３の波長監視機能付き分波フィルタにおいて、ヒータ電力を０ｍＷおよび１３０ｍＷとした場合の透過スペクトルの２つピークの差分をプロットした図である。
【図１３】図３の波長監視機能付き分波フィルタにおいて、ヒータ電力を５８ｍＷとしてＭＺＩとＡＷＧの波長を一致させた場合の一方の入力導波路からの透過スペクトルを示す図であり、図１３（ａ）は、入力導波路１０２から出力導波路１０７−１３の透過スペクトルを示し、図１３（ｂ）は、入力導波路１０２から出力導波路１０７−３７の透過スペクトルを示している。
【図１４】図３の波長監視機能付き分波フィルタにおいて、ヒータ電力を５８ｍＷとしてＭＺＩとＡＷＧの波長を一致させた場合の他方の入力導波路からの透過スペクトルを示す図であり、図１４（ａ）は、入力導波路１０３から出力導波路１０７−１３の透過スペクトルを示し、図１４（ｂ）は、入力導波路１０３から出力導波路１０７−３７の透過スペクトルを示している。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図３に、本発明に係る波長監視機能付き分波フィルタの構成例を示す。この波長監視機能付き分波フィルタ１００では、マッハツェンダー干渉計（ＭＺＩ）１３１の後段に２つのアレイ導波路回折格子（ＡＷＧ）１３２、１３３が接続されている。ＭＺＩ１３１は、２つの入力導波路１０２、１０３と、２つの出力導波路１０５、１０６を有し、２つのアーム導波路にはそれぞれヒータ１２１、１２２が設けられている。ＡＷＧ１３２は、２つの入力導波路１０１、１０５と、２４の出力導波路１０７−１〜１０７−２４を有している。ＡＷＧ１３３も同様に、２つの入力導波路１０４、１０６と、２４の出力導波路１０７−２５〜１０７−４８を有している。
【００１３】
波長多重された信号光は、入力導波路１０３に入力され、ＭＺＩ１３１でＦＳＲ（Ｆｒｅｅ  Ｓｐｅｃｔｒａｌ  Ｒａｎｇｅ）の間隔で分波され、ＡＷＧ１３２もしくはＡＷＧ１３３を通り、分波され、フィルタされた光が出力導波路１０７−１〜１０７−４８から出力される。あるいは、波長多重された信号光を入力導波路１０２に入力するようにすることも可能である。
【００１４】
この分波フィルタの透過スペクトルは、ＭＺＩ１３１の透過スペクトルとＡＷＧ１３２もしくはＡＷＧ１３３の透過スペクトルを合成したものになる。このため、ＭＺＩ１３１の透過波形を変化させればフィルタ全体のスペクトルを変化させる、すなわち変調できることになる。ＭＺＩ１３１の透過波形の変調を行うために、アーム導波路上のヒータ１２１または１２２に加える電力を変調する。ヒータへ加えた電力によりヒータ直下の導波路の温度が上昇し、導波路の屈折率が変化し、アームの導波路の光路長が変化することでＭＺＩ１３１の透過波形が変化する。ここで、全チャンネルのスペクトルを変調するために１つのＭＺＩを変調するだけでよいので低消費電力であることが本構成の特徴である。
【００１５】
なお、波長監視機能付き分波フィルタは、基板上のコアとクラッドからなる埋め込み導波路で構成されており、Ｓｉ基板上の石英系ガラス導波路から構成される形態が代表的である。非特許文献１の例では、波長監視機能付きフィルタは通信波長帯のＬ帯（１５６５ｎｍから１６２０ｎｍ）で設計されている。ＭＺＩ１３１のＦＳＲは、２００ＧＨｚ間隔（波長間隔１．６８ｎｍ）としている。２つのＡＷＧは、波長間隔を２００ＧＨｚ（波長間隔１．６８ｎｍ）とし、中心ポートの波長をほぼ１００ＧＨｚ（波長間隔０．８４ｎｍ）ずらしている。ここで、ＡＷＧ１３２の中心ポートとは入力導波路１０５から出力導波路１０７−１３の形態で入出力するポートとしており、ＡＷＧ１３３の中心ポートとは入力導波路１０６から出力導波路１０７−３７の形態で入出力するポートとしている。ＭＺＩ１３１により２００ＧＨｚ間隔で振り分けられた波長がＡＷＧ１３２またはＡＷＧ１３３を通って出力されることになる。
【００１６】
この波長監視機能付き分波フィルタを作製するためには、ＭＺＩの透過波長をＡＷＧの透過波長に調整することが重要である。設計ではＭＺＩの透過波長をＡＷＧに一致させるようにしているが、製造誤差によりどうしても両者の透過波長がずれてしまう。以下、従来技術によって、ＭＺＩの透過波長をＡＷＧの透過波長に調整する方法を説明する。
【００１７】
初めに、ＭＺＩの透過波長をＡＷＧの透過波長に調整する原理を説明する。図４（ａ）に、ＭＺＩ１３１の透過スペクトル（入力導波路１０２から出力導波路１０５）とＡＷＧ１３２（入力導波路１０５から出力導波路１０７−１３）の透過スペクトルの関係の計算例を示す。図４（ｂ）に、ＭＺＩ１３１の透過スペクトルとＡＷＧ１３２の透過スペクトルから合成された透過スペクトル（入力導波路１０２から出力導波路１０７−１３）を示す。図４（ａ）および（ｂ）の波長軸は同じ値の波長に対応している。
【００１８】
図４より、ＭＺＩ１３１の透過波長がＡＷＧ１３２の透過波長に一致している場合、合成されたスペクトルの透過波長もＡＷＧ１３２の波長に一致していることがわかる。すなわち、合成されたスペクトル（入力導波路１０２から出力導波路１０７−１３）の透過波長をＡＷＧ１３２の透過波長に調整すれば、ＭＺＩ１３１の透過波長はＡＷＧ１３２の透過波長に調整されたことになる。
【００１９】
以下、従来技術によりＭＺＩの透過波長をＡＷＧの透過波長に調整する手順を説明する。初めに、ＡＷＧ１３２とＡＷＧ１３３の中心ポートの波長を知る必要がある。入力導波路１０１を入力導波路とし、出力導波路１０７−１３を出力導波路としてＡＷＧ１３２の波長を測定することで、ＡＷＧ１３２の中心ポート（入力導波路１０５から出力導波路１０７−１３）の波長を推定する。また、入力導波路１０４を入力導波路とし、出力導波路１０７−３７を出力導波路としてＡＷＧ１３３の波長を測定することで、ＡＷＧ１３３の中心ポート（入力導波路１０６、出力導波路１０７−３７）の波長を推定する。
【００２０】
次に、分波フィルタの入力導波路１０２から出力導波路１０７−１３における透過スペクトルを測定して、推定したＡＷＧ１３２の中心ポートの波長に調整するためのヒータ１２２への印加電力Ｐ１を求める。次に、分波フィルタの入力導波路１０２から出力導波路１０７−３７における透過波長を測定して、推定したＡＷＧ１３３の中心ポートの波長に調整するためのヒータ１２２への印加電力Ｐ２を求める。ＡＷＧ１３２とＡＷＧ１３３の中心ポートの間隔が正確に１００ＧＨｚ（０．８４ｎｍ）である場合はＰ１とＰ２は一致する。しかし、実際の例では１００ＧＨｚ（０．８４ｎｍ）から０．０１〜０．０２ｎｍずれていたために、Ｐ１とＰ２は一致しなかった。そこで、最適な電力はＰ１とＰ２の平均値をとることによりＭＺＩ１３１の透過波長をＡＷＧ１３２およびＡＷＧ１３３の透過波長に調整した。
【００２１】
次に、本発明によるＭＺＩの透過波長とＡＷＧの透過波長との調整方法について説明する。まず、図５を参照して、ＭＺＩ１３１における入力導波路と透過スペクトルの関係について説明する。図５は、図３のＭＺＩ１３１の部分を示す図である。図６（ａ）は、デバイスとして実際に使う入力導波路１０３から出力導波路１０５までの透過スペクトルを示している。また、図６（ｂ）は、入力導波路１０２から出力導波路１０５までの透過スペクトルを示している。入力導波路１０３から出力導波路１０５までの透過スペクトルが図６（ａ）のように中心の波長で透過率最大なるとすると、入力導波路１０２から出力導波路１０５までの透過スペクトルは図６（ｂ）のように中心の波長で透過率最低になる（消光波長になる）。図５において、入力導波路１０２から入ったある波長に対して３ｄＢカプラ１１６によってアーム導波路１０８、１０９に５０対５０で分かれた光が再び出力導波路１０５に同位相で合波して強め合う。一方、入力導波路１０３から入った同じ波長の光はアーム導波路１０８、１０９で分かれた後、出力導波路１０５で逆位相で合波し打ち消しあう。これが、図６（ａ）および（ｂ）で透過波長と消光波長が逆転している理由である。
【００２２】
次に、図３を参照して、入力導波路１０２からの透過スペクトルをモニタして、ＭＺＩ１３１の透過波長をＡＷＧ１３２および１３３に一致させることができる原理を説明する。図３において、ＭＺＩ１３１のＦＳＲは２００ＧＨｚ間隔（波長間隔１．６８ｎｍ）である。２つのＡＷＧは波長間隔が２００ＧＨｚ（波長間隔１．６８ｎｍ）であり、中心ポートの波長をほぼ１００ＧＨｚ（波長間隔０．８４ｎｍ）ずらしている。
【００２３】
入力導波路１０２から出力導波路１０７−１３の光路に対してＭＺＩ１３１の消光波長がＡＷＧ１３２の中心波長に一致している場合、入力導波路１０３から出力導波路１０７−１３の光路に対してＭＺＩ１３１の透過波長がＡＷＧ１３２の中心波長に一致している。これは、ＭＺＩ１３１とＡＷＧ１３３においても同様であり、入力導波路１０２から出力導波路１０７−３７の光路について、ＭＺＩ１３１の消光波長がＡＷＧ１３３の中心波長に一致している場合、入力導波路１０３から出力導波路１０７−３７の光路についてＭＺＩ１３１の透過波長がＡＷＧ１３３の中心波長に一致している。
【００２４】
ＡＷＧ１３２とＡＷＧ１３３の中心ポートの波長間隔が正確に１００ＧＨｚ（波長間隔０．８４ｎｍ）である場合、入力導波路１０３から出力導波路１０７−１３の光路についてＭＺＩ１３１とＡＷＧ１３２の透過波長が一致する場合、同時に、入力導波路１０３から出力導波路１０７−３７の光路についてＭＺＩ１３１とＡＷＧ１３３の透過波長も一致している。
【００２５】
入力導波路１０２から出力導波路１０７−１３の光路について、ＭＺＩ１３１の消光波長がＡＷＧ１３２の中心波長に一致する場合のＭＺＩとＡＷＧスペクトルの計算結果を図７（ａ）に示し、ＭＺＩとＡＷＧのスペクトルから合成されるスペクトルすなわち入力導波路１０２から出力導波路１０７−１３からの透過スペクトルを図７（ｂ）に示す。スペクトルは２つのピークを有しているが、通常、ピークの高さは異なり、これは入力導波路１０２から出力導波路１０７−１３の光路においてＭＺＩ１３１の消光波長がＡＷＧ１３２の中心波長に対してずれていることに対応する。この左右のピークの高さが一致しているときに、入力導波路１０２から出力導波路１０７−１３の光路においてＭＺＩ１３１の消光波長がＡＷＧ１３２の中心波長に完全に一致していることになる。
【００２６】
以下、実際にＭＺＩの透過波長をＡＷＧの透過波長に調整する方法について説明する。
【００２７】
初めに、ＭＺＩ１３１とＡＷＧ１３２との波長関係をモニタする。図８は、図３において入力導波路１０２から出力導波路１０７−１３の光路に対してＭＺＩ干渉計のヒータ１２２に電力を加えていない場合のスペクトルを表している。２つのメインピークがある波形が観測される。この２つのピークの高さを同じ高さにすれば波形は対称になり、入力導波路１０３から光が入力された場合のスペクトルにおいてＭＺＩの透過波長はＡＷＧの透過波長に一致することになる。
【００２８】
図９は、ＭＺＩ干渉計のヒータ１２２に１３０ｍＷの電力を加えた場合のスペクトル（入力導波路１０２から出力導波路１０７−１３）を表している。２つのメインピークは、図８と比較して高いピークと低いピークが逆転しており、電力０ｍＷと１３０ｍＷの間に波形を対称にする電力があることがわかる。
【００２９】
次に、ＭＺＩ１３１とＡＷＧ１３３との波長関係をモニタする。図１０は、入力導波路１０２から出力導波路１０７−３７に対するヒータ電力０ｍＷの場合のスペクトルを表し、図１１は、同じ入出力導波路に対するヒータ電力１３０ｍＷの場合のスペクトルを表している。ＡＷＧ１３２の場合と同様に、電力０ｍＷと１３０ｍＷの間に波形を対称にする電力があることがわかる。
【００３０】
図１２にヒータ電力０ｍＷおよび１３０ｍＷの場合での左右のピークの差分をプロットした。ＡＷＧ１３２の場合とＡＷＧ１３３の場合とでプロットを結んだ直線がずれているが、これはこれらの回路の中心ポートの透過波長の間隔が設計波長の１００ＧＨｚ（０．８４ｎｍ）から０．０１ｎｍ〜０．０２ｎｍ程度ずれているからである。図１２より、ＡＷＧ１３２、１３３の透過波長にＭＺＩの透過波長を合わせる最適印加電力を５８ｍＷと求めることができる。なお、２つのＡＷＧの中心ポートの透過波長の間隔は、ＵＶ光を片方のＡＷＧに照射して片方のＡＷＧの中心ポートの透過波長を調整(非特許文献３）することで正確に１００ＧＨｚ（０．８４ｎｍ）に調整することができる。
【００３１】
以上により、印加電力を５８ｍＷにすることでＭＺＩとＡＷＧの波長を一致させることができた。図１３（ａ）は、入力導波路１０２から出力導波路１０７−１３に対する透過スペクトル、図１３（ｂ）は、入力導波路１０２から出力導波路１０７−３７に対する透過スペクトルを表している。図１３（ａ）および（ｂ）において図中の２つのピークの高さはほぼ同じに調整されていることがわかる。
【００３２】
次に、波長監視機能付き分波フィルタ全体を３２．４℃に温度制御することにより、波長監視フィルタの波長をＩＴＵグリッド波長に調整した。
【００３３】
図１４（ａ）は、入力導波路１０３から出力導波路１０７−１３の透過スペクトルを示し、図１４（ｂ）は、入力導波路１０３から出力導波路１０７−３７の透過スペクトルを示している。それぞれ中心波長は１５８８．７１７ｎｍ、１５８９．５７０ｎｍとグリッド波長１５８８．７２５ｎｍ、１５８９．５６８ｎｍに０．０１ｎｍの精度で一致することを確認した。出力導波路１０７−１〜１０７−４８の他の出力導波路の波長についてもＩＴＵグリッド波長に波長制度０．０２ｎｍで一致することを確認した。
【００３４】
以上、本発明について、具体的に実際の実施例に基づいて説明したが、本発明の原理を適用できる多くの実施可能な形態に鑑みて、ここに記載した実施例は、単に例示に過ぎず、本発明の範囲を限定するものではない。ここに例示した実施例は、本発明の趣旨から逸脱することなくその構成と詳細を変更することができる。さらに、説明のための構成要素および手順は、本発明の趣旨から逸脱することなく変更、補足、またはその順序を変えてもよい。
【符号の説明】
【００３５】
１０  ＷＤＭ−ＰＯＮシステム
２２  波長合波器
３３  正弦波信号源(＋アンプ)  １００  波長監視機能付き分波フィルタ
１０１  入力導波路
１０２  入力導波路
１０３  入力導波路
１０４  入力導波路
１０５  導波路
１０６  導波路
１０７−１〜４８  出力導波路
１０８  アーム導波路
１０９  アーム導波路
１１６  カプラ
１２１  ヒータ
１２２  ヒータ
１３１  マッハツェンダー干渉計
１３２  アレイ導波路回折格子
１３３  アレイ導波路回折格子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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