(57)【要約】【課題】本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサユニットに関し、角速度の検出精度の向上を目的とする。【解決手段】本発明はパッケージ１と、パッケージ１の内部に配置される角速度センサ素子２と、角速度センサ素子２を支持し角速度センサ素子２の振動空間を確保する台座９と、台座９をパッケージ１の内部空間に懸架しパッケージ１から角速度センサ素子２に加わる振動を抑制する防振部材８を有し、角速度センサ素子２と台座９の複合体の重心位置を防振部材８の部材平面に略一致させた。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
パッケージと、前記パッケージの内部に配置される角速度センサ素子と、前記角速度センサ素子を支持し前記角速度センサ素子の振動空間を確保する台座と、前記台座を前記パッケージの内部空間に懸架し前記パッケージから前記角速度センサ素子に加わる振動を抑制する防振部材を有し、
前記角速度センサ素子と前記台座の複合体の重心位置を前記防振部材の部材平面に略一致させたことを特徴とする角速度センサユニット。
【請求項２】
防振部材と台座を弾性素材で一体成形したことを特徴とする請求項１に記載の角速度センサユニット。
【請求項３】
防振部材を液晶ポリマーで構成したことを特徴とする請求項１に記載の角速度センサユニット。
【請求項４】
防振部材をシリコンで構成したことを特徴とする請求項１に記載の角速度センサユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種電子機器に用いられる角速度センサユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の角速度センサユニットは図８に示すようなパッケージ１の内部に角速度センサ素子２およびこの角速度センサ素子２を制御するＩＣ３を配置する構造が一般的であり、昨今、パッケージ１に加わる外部振動を角速度センサ素子２に伝達することを抑制するため、角速度センサ素子２をパッケージ１の内部空間において防振部材４で懸架する構造が提案されている。
【０００３】
また、角速度センサ素子２は素子を駆動振動させ、検出軸の回りに加わる角速度に伴うコリオリ力による素子の撓み成分を検出する振動型の素子を用いるとともに、角速度センサ素子２は角速度検出するための振動空間を確保するため台座５を介して防振部材４に実装していた。
【０００４】
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−３３１４４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、角速度センサ素子２を防振部材４の表面に載置した台座５の上に実装した場合、図９に示すように防振部材４を介してパッケージ１に取り付けられる角速度センサ素子２の重心位置が防振部材４の部材平面より高くなってしまうことから、パッケージの外部から加わる外乱振動に対して、防振部材４が矢印６で示すような撓み振動が励起され、この撓み振動を検出軸回りの回転として角速度として誤検出してしまうという問題があった。
【０００７】
そこで、本発明はこのような問題を解決し、角速度センサユニットの検出精度を高めることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この目的を達成するために本発明は、角速度センサ素子をパッケージの内部空間に防振部材を介して懸架する角速度センサユニットにおいて、角速度センサ素子の駆動振動により形成される振動平面を防振部材に略一致させたのである。
【発明の効果】
【０００９】
この構成により本発明は、角速度センサ素子に対する外乱振動の影響を抑制し、角速度センサユニットの検出精度を高めることが出来るのである。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の一実施形態の角速度センサユニットの断面図
【図２】同角速度センサユニットを構成する角速度センサ素子の上面図
【図３】同角速度センサ素子に設けられる電極の構造を示す模式図
【図４】同角速度センサ素子の振動状態を表す模式図
【図５】他の角速度センサ素子の上面図
【図６】同角速度センサ素子の駆動状態を示す模式図
【図７】同角速度センサ素子の検出状態を示す模式図
【図８】従来の角速度センサユニットの断面図
【図９】同角速度センサ素子の振動状態を表す模式図
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の一実施形態について図を用いて説明する。なお、上述した従来の技術と同様の構成については同じ符号を付して説明する。
【００１２】
図１は本発明の一例である角速度センサユニットを示したものであり、その基本構造は積層セラミクスからなるパッケージ１の内部空間に角速度センサ素子２と、この角速度センサ素子２に駆動信号を印加する駆動制御回路および角速度センサ素子２から出力された検出信号を処理する検出回路を包含するＩＣ３を配置し、パッケージ１の開口をリッド７で封口した構造となっている。
【００１３】
また、角速度センサ素子２はパッケージ１を介して外部振動が伝達されないように弾性体からなる防振部材８によりパッケージ１の内部空間に懸架された台座９で支持した構造としている。
【００１４】
また、角速度センサ素子２は図２に示すように、支持部２ａから検出軸１０に沿って延出された一対の駆動アーム２ｂ上に駆動電極２ｃおよび検知電極２ｄを設けた音叉型の振動型素子であり、角速度センサ素子２を実装する台座９の実装面を段差構造として、この段差構造の上段面に角速度センサの支持部２ａを実装し駆動アーム２ｂの振動空間を確保した構造となっている。
【００１５】
なお、角速度センサ素子２はＳｉからなる基板で構成され、その表面に設けられる各電極の構造は図３に示すようにＡｕからなる上部電極１１ａとＰｔからなる下部電極１１ｂと、これらの間に配置されたＰＺＴからなる圧電体層１１ｃにより形成され、下部電極１１ｂをグランド接続した状態で上部電極１１ａに正電圧を印加すると電極の積層方向に対して圧縮力が働き、この圧縮力により電極パターンが延びる方向に応力が発生し、これとは逆に負電圧を印加すると電極に引張力が働き、この引張力により電極パターンが縮む方向に応力が発生するものである。また、これとは逆に駆動アーム２ｂの撓みにより電極が縮むことで負電圧を発生し、電極が延びることで正電圧を発生させるものである。
【００１６】
また、角速度の検出については、駆動電極２ｃにＩＣ３から駆動電圧を印加することにより駆動アーム２ｂが図２に矢印で示すようＸ軸方向つまり駆動アーム２ｂの並設方向に振動し、この振動状態において検出軸回りに角速度が加わることでコリオリ力により駆動アーム２ｂがＺ軸方向（駆動振動により形成される振動平面（ＸＹ平面）に直交する方向）に撓み振動が生じ、この撓み振動を検知電極２ｄにより電気信号に変換しＩＣ３に出力するのである。
【００１７】
そして、角速度センサユニットにおいては図１に示したように、防振部材８に対する台座９の取り付け構造を、防振部材８に台座９をモールド成形した構成とするとともに、角速度センサ素子２の取り付け位置の高さを調節し台座９と角速度センサ素子２の複合体における重心位置を防振部材８の部材平面に一致するように上段面９ａの高さを調節した構成とし、角速度センサユニットの検出精度を向上させている。
【００１８】
すなわち、台座９に支持された角速度センサ素子２の重心位置を防振部材８の部材平面
内に配置させることで、図９を用いて説明した従来の角速度センサ素子２の重心位置が防振部材４の部材平面より上に位置する構成での矢印６で示す撓み振動の発生が防止でき、結果として外乱に対する不要な検出信号の出力が低減できることから、角速度センサユニットにおける特性の検出精度を高めることが出来るのである。
【００１９】
また、上述した角速度センサ素子２は図２に示すよう駆動アーム２ｂが振動する振動平面（ＸＹ平面）に対して検出軸（Ｙ軸）が平行となった角速度センサ素子２を挙げて説明したが、振動平面（ＸＹ平面）に対して検出軸が直交（Ｚ軸）する角速度センサ素子を用いることで検出軸方向が異なる角速度センサユニットを略同等の形状にて構成することも出来る。
【００２０】
なお、振動平面（ＸＹ平面）に対して検出軸が直交（Ｚ軸）する角速度センサ素子１２としては、図５に示すように、中央部分に位置する固定部１２ａの両側に錘部１２ｂを対称配置し、それぞれの錘部１２ｂを一対の駆動アーム１２ｃで接続した形状となっており、駆動アーム１２ｃ上には後述する駆動電極１２ｄ、検出電極１２ｅ及びモニタ電極１２ｆが配置されている。
【００２１】
そして、駆動アーム１２ｃに設けられた駆動電極１２ｄにＩＣ３から駆動信号を印加することで、駆動アーム１２ｃが図６に示すよう錘部１２ｂを固定部１２ａと錘部１２ｂを結ぶ方向（Ｘ軸方向）に対して対称に伸縮するように駆動振動し、この駆動振動の状態において角速度センサ素子１２の振動平面（ＸＹ平面）に垂直な方向（Ｚ軸方向）を検出軸としてこの検出軸回りに角速度を受けることでコリオリ力が生じ、このコリオリ力により駆動アーム１２ｃが図７に示すように駆動振動と直交する方向（Ｙ軸方向）に振動するようになり、この検出振動による駆動アーム１２ｃの変形を検出電極で検知し電気信号としてＩＣ３に出力する振動型素子構造となっている。
【００２２】
そして、この角速度センサ素子も図に示す音叉型の角速度センサ素子２と同様に駆動振動方向が素子平面内にあるので、図４に示すように角速度センサ素子２の素子平面の高さと防振部材８の部材平面とが一致するように形成することで、角速度センサユニットの検出精度を向上出来るのである。
【００２３】
また、台座９は、角速度センサ素子２の振動空間を形成する台座９の機能を防振部材８自体に形成しても構わず、例えば特に図示していないが液晶ポリマーなどのシート状の弾性素材を成形して角速度センサ素子２を振動可能に支持する段差構造をシート内に一体成形することで、この段差構造が台座９の役割を果たし周囲のシート部分が防振部材８の役割を果たすため、角速度センサユニットとしての部品点数の削減ができ、生産性の向上に寄与できるのである。なお、このように防振部材８と台座９の複合体を一体成形する構成においては、防振部材８における厚みを確保しやすく、この場合、厚み方向（Ｚ軸方向）に対する防振効果を得ることができ、より角速度センサユニットの検出精度を向上出来るのである。
【００２４】
また、防振部材８を構成する弾性素材として用いた液晶ポリマーは、振動吸収性能を有するだけでなく、溶融粘度は低く流動性が良好であることから、防振部材８の成形あるいは防振部材８と台座９の複合体の一体成形においても好適な材料である。
【００２５】
また、他の防振部材８を構成する弾性素材としてはシリコンが挙げられ、液晶ポリマーと同様に振動吸収性能を有するとともに、ヤング率の温度特性が非常に小さいという特徴があり、角速度センサユニットとしての温度特性の改善ができる。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
本発明は、角速度センサ素子の検出精度を向上できるという効果を有し、特に車載用途の角速度センサユニットにおいて有用である。
【符号の説明】
【００２７】
１  パッケージ
２  角速度センサ素子
８  防振部材
９  台座
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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