(57)【要約】【課題】簡易な構造で洗浄剤を循環させて再使用することが可能な洗浄装置を提供する。【解決手段】洗浄剤を貯留するタンク１０と、洗浄剤を被洗浄物１８に向けて噴射するノズル１３と、タンク１０からノズル１３へ洗浄剤を圧縮して吐出するポンプ１１と、ポンプ１１により高圧となった洗浄剤を加熱する加熱器１２と、ノズル１３から噴射されて蒸気となった洗浄剤を冷却して液化させる冷却器１４とを備える。そして、洗浄剤は、油成分を分離する疎油性洗浄剤を用い、タンク１０は、タンク１０内に貯留する洗浄剤から油成分を排出する排出口１７を備える。これによれば、洗浄剤がタンク１０に貯留されると、タンク１０に貯留された洗浄剤中の上層部に油成分が浮上するので、排出口１７にて浮上した油成分をタンク１０から容易に除去することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
油成分が付着した被洗浄物（１８）に向けて洗浄剤を噴射して、前記被洗浄物（１８）から前記油成分を除去する除去手段（１０１）と、
前記除去手段（１０１）にて噴射された前記洗浄剤および前記被洗浄物（１８）から除去された前記油成分の洗浄廃液を回収する回収手段（１０２）とを有する洗浄装置において、
前記洗浄剤は、前記油成分を分離する材料より成り、
前記回収手段（１０２）内で前記油成分を分離した前記洗浄剤および前記油成分のうち、前記洗浄剤を前記回収手段から前記除去手段（１０１）に供給する供給手段（１６ａ）を備えていることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記除去手段（１０１）は、噴射される前記洗浄剤を加圧する加圧部（１１）と、
前記加圧部（１１）にて加圧された前記洗浄剤を加熱する加熱部（１２）と、
前記被洗浄物（１８）に向けて前記洗浄剤を噴射する噴射部（１３）とを有しており、
前記回収手段（１０２）は、前記噴射部（１３）にて噴射されて気化した前記洗浄剤を液化する液化部（１４）と、
前記液化部（１４）にて液化された前記洗浄剤、及び前記被洗浄物（１８）から除去された前記油成分を貯留する貯留部（１０）とを有しており、
前記供給手段（１６ａ）は、前記貯留部（１０）に設けられた供給口（１６ａ）を有しており、
前記除去手段（１０１）は、前記供給口（１６ａ）から前記油成分を分離した前記洗浄剤のみを吸引して前記被洗浄物（１８）に向けて前記洗浄剤を噴射することを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記供給口（１６ａ）は、前記貯留部（１０）の下部に開口していることを特徴とする請求項２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記貯留部（１０）には、貯留する前記油成分を排出する排出口（１７）が設けられていることを特徴とする請求項２または３に記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記排出口（１７）は、前記貯留部（１０）の上部に開口していることを特徴とする請求項４に記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記液化部（１４）は、前記噴射部（１３）の上方に位置し、
前記貯留部（１０）は、前記噴射部（１３）の下方に位置していることを特徴とする請求項２乃至５のいずれか１つに記載の洗浄装置。
【請求項７】
前記除去手段（１０１）は、前記洗浄剤が内部を流通する配管（１６）を備え、
前記配管（１６）には、前記加圧部（１１）及び前記加熱部（１２）が配設され、
前記配管（１６）の両端は、前記供給口（１６ａ）と前記噴射部（１３）とに接続されていることを特徴とする請求項２乃至６のいずれか１つに記載の洗浄装置。
【請求項８】
前記噴射部（１３）は、前記被洗浄物（１８）に向けて前記洗浄剤を連続的に噴射可能とすることを特徴とする請求項２乃至７のいずれか１つに記載の洗浄装置。
【請求項９】
前記洗浄剤は、大気圧中において液体状態となることを特徴とする請求項２乃至８のいずれか１つに記載の洗浄装置。
【請求項１０】
前記加熱部（１２）は、前記加圧部（１１）にて加圧された前記洗浄剤を、大気圧中において気体状態となる温度であって、前記加圧部（１１）による加圧時における沸点温度以下まで加熱していることを特徴とする請求項２乃至９のいずれか１つに記載の洗浄装置。
【請求項１１】
前記洗浄剤は、フッ素系化合物であることを特徴とする請求項２乃至１０のいずれか１つに記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、精密機器類の被洗浄物を洗浄剤によって洗浄する洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、洗浄装置として、特許文献１に記載のものが知られている。すなわち、この洗浄装置は、内部に溶剤タンク、および、スプレーブースが形成された外枠を備えている。さらに、スプレーブースにて高温高圧の溶剤を被洗浄物に噴射するノズルと、溶剤タンク内の溶剤をノズルへ圧縮して吐出するスプレーポンプと、スプレーポンプにて圧縮された溶剤を加熱する熱交換器と、蒸気となった溶剤を冷却して液化させる冷却蛇管と、溶剤タンク内の溶剤を蒸留精製する蒸留器とを備えている。
【０００３】
チェンコンベアに取り付けられた被洗浄物は、溶剤タンク、スプレーブースの順に移動する。ここで、被洗浄物は、溶剤タンクに貯えられた溶剤中を進むことで被洗浄物に付着する油脂等が溶解されて、スプレーブースに進み、更に、ノズルによって噴射される高温高圧の溶剤によって洗浄される。
【０００４】
このような洗浄装置の洗浄剤は、被洗浄物に付着した油成分を溶解作用にて除去して、被洗浄物を洗浄する為に、油成分を溶解する親油性溶剤、例えば、分子構造上塩素原子を含む塩素系溶剤が使用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開昭６０−１２１８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の洗浄装置に使用されている塩素系溶剤は、油成分を溶解する親油性溶剤である為、溶剤を循環させて再使用する場合には、油成分を分離して除去する蒸留器が別途必要となり、洗浄装置が複雑化してしまうといった問題点がある。
【０００７】
そこで、本発明は、上記問題点に鑑み、簡易な構造で洗浄剤を循環させて再使用することが可能な洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記の目的を達成するために、以下の技術的手段を採用する。
【０００９】
請求項１に係る発明は、油成分が付着した被洗浄物（１８）に向けて洗浄剤を噴射して、被洗浄物（１８）から油成分を除去する除去手段（１０１）と、除去手段（１０１）にて噴射された洗浄剤および被洗浄物（１８）から除去された油成分の洗浄廃液を回収する回収手段（１０２）とを有する洗浄装置において、洗浄剤は、油成分を分離する材料より成り、回収手段（１０２）内で油成分を分離した洗浄剤および油成分のうち、洗浄剤を回収手段から除去手段（１０１）に供給する供給手段（１６ａ）を備えていることを特徴としている。
【００１０】
これによれば、除去手段（１０１）によって油成分が付着した被洗浄物（１８）を洗浄剤を用いて洗浄することができるとともに、回収手段（１０２）及び供給手段（１６ａ）によって洗浄剤を再使用するサイクルを構成することができる。ここで、洗浄剤は、油成分を分離する洗浄剤である為、回収手段（１０２）内にて、洗浄剤と油成分とが混ざった状態である洗浄廃液は、洗浄剤と油成分とに分離される。そして、供給手段（１６ａ）は、回収手段（１０２）内に回収された洗浄廃液のうち、油成分を分離した洗浄剤を、除去手段（１０１）に供給する為、簡易な構造で洗浄剤を再使用するサイクルを構成することが可能となる。
【００１１】
また、請求項２に係る発明では、除去手段（１０１）は、噴射される洗浄剤を加圧する加圧部（１１）と、加圧部（１１）にて加圧された洗浄剤を加熱する加熱部（１２）と、被洗浄物（１８）に向けて洗浄剤を噴射する噴射部（１３）とを有しており、回収手段（１０２）は、噴射部（１３）にて噴射されて気化した洗浄剤を液化する液化部（１４）と、液化部（１４）にて液化された洗浄剤、及び被洗浄物（１８）から除去された油成分を貯留する貯留部（１０）とを有しており、供給手段（１６ａ）は、貯留部（１０）に設けられた供給口（１６ａ）を有しており、除去手段（１０１）は、供給口（１６ａ）から油成分を分離した洗浄剤のみを吸引して被洗浄物（１８）に向けて洗浄剤を噴射することを特徴としている。
【００１２】
これによれば、噴射部（１３）が噴射する洗浄剤を、加圧部（１１）にて加圧し、加熱部（１２）にて加熱する為、除去手段（１０１）は、高温・高圧の洗浄剤を噴射することができる。また、高温・高圧の為、噴射部（１３）にて噴射されて気化した洗浄剤を液化部（１４）にて液化し、液化した洗浄剤、及び被洗浄物（１８）から除去された油成分を貯留部（１０）にて貯留する為、回収手段（１０２）は、気化した洗浄剤を外部に放出すること無く、洗浄剤及び油成分を回収することができる。そして、貯留部（１０）に供給口（１６ａ）が設けられ、除去手段（１０１）は、供給口（１６ａ）から油成分を分離した洗浄剤を吸引する為、供給手段（１６ａ）は、供給口（１６ａ）を有するという簡易な構造で洗浄剤を供給することができる。
【００１３】
また、請求項３に係る発明では、供給口（１６ａ）は、貯留部（１０）の下部に開口していることを特徴としている。
【００１４】
これによれば、油成分よりも比重の大きい洗浄剤を用いることで、貯留部（１０）に貯留する洗浄廃液のうち、油成分を分離した洗浄剤は、貯留部（１０）における洗浄廃液の底側の下部に溜まる為、貯留部（１０）の下部に開口する供給口（１６ａ）によって、容易に油成分を分離した洗浄剤を除去手段（１０１）に供給することが可能となる。
【００１５】
また、請求項４に係る発明では、貯留部（１０）には、貯留する油成分を排出する排出口（１７）が設けられていることを特徴としている。
【００１６】
これによれば、貯留部（１０）にて貯留する油成分を、排出口（１７）を設けるという簡易な構造で油成分を排出することができる。
【００１７】
また、請求項５に係る発明では、排出口（１７）は、貯留部（１０）の上部に開口していることを特徴としている。
【００１８】
これによれば、油成分よりも比重の大きい洗浄剤を用いることで、貯留部（１０）に貯留する洗浄廃液のうち、洗浄剤に分離された油成分は、貯留部（１０）における洗浄廃液の液面側の上部に溜まる為、貯留部（１０）の上部に開口する排出口（１７）によって、容易に洗浄剤に分離された油成分を貯留部（１０）から排出することが可能となる。
【００１９】
また、請求項６に係る発明では、液化部（１４）は、噴射部（１３）の上方に位置し、貯留部（１０）は、噴射部（１３）の下方に位置していることを特徴としている。
【００２０】
これによれば、液化部（１４）は、噴射部（１３）から噴射されて気化した洗浄剤を容易に液化することができる。また、貯留部（１０）は、噴射部（１３）から噴射された洗浄剤の流速によって洗い流される油成分を容易に貯留することができる。
【００２１】
また、請求項７に係る発明では、除去手段（１０１）は、洗浄剤が内部を流通する配管（１６）を備え、配管（１６）には、加圧部（１１）及び加熱部（１２）が配設され、配管（１６）の両端は、供給口（１６ａ）と噴射部（１３）とに接続されていることを特徴としている。
【００２２】
これによれば、除去手段（１０１）は、供給口（１６ａ）から吸引した洗浄剤を、加圧部（１１）にて加圧し、加熱部（１２）にて加熱した状態で、噴射部（１３）から噴射することができる。
【００２３】
また、請求項８に係る発明では、噴射部（１３）は、被洗浄物（１８）に向けて洗浄剤を連続的に噴射可能とすることを特徴としている。
【００２４】
これによれば、間欠的に噴射させるような噴射制御を必要とせず、洗浄手段（１３）における噴射制御の簡素化を図ることが可能となる。
【００２５】
また、請求項９に係る発明では、洗浄剤は、大気圧中において液体状態となることを特徴としている。
【００２６】
これによれば、洗浄剤が大気圧中で液体状態となるので、貯留部（１０）は、容易に洗浄剤を貯留することが可能となる。
【００２７】
また、請求項１０に係る発明では、加熱部（１２）は、加圧部（１１）にて加圧された洗浄剤を、大気圧中において気体状態となる温度であって、加圧部（１１）による加圧時における沸点温度以下まで加熱していることを特徴としている。
【００２８】
これによれば、噴射部（１３）の噴射による衝突力と、洗浄剤の突沸による衝突力との両者の洗浄作用を用いて、被洗浄物（１８）を洗浄することができる。
【００２９】
また、請求項１１に係る発明では、洗浄剤は、フッ素系化合物であることを特徴としている。
【００３０】
これによれば、油成分を溶解しにくい洗浄剤を用いることができる。
【００３１】
なお、この欄及び特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の第１実施形態における洗浄装置の構成を示す概略構成図である。
【図２】他実施形態における洗浄装置の構成を示す概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
（第一実施形態）
以下、本発明の第１実施形態における洗浄装置１００の構造について、図１を用いて説明する。図１は、本実施形態における洗浄装置１００の構成を示す概略構成図である。
【００３４】
洗浄装置１００は、上下方向に延びる箱形状の枠体２０を有している。枠体２０の上側に位置する天面には、コンベア１９に取り付けられた被洗浄物１８が、コンベア１９に取り付けれた状態で枠体２０の外部から内部へ移動する為に開口する入口２１と、枠体２０の内部から外部へ移動する為に開口する出口２２とが形成されている。コンベア１９は、被洗浄物１８を運搬するベルト状の運搬装置であり、枠体２０の内部でＵの字に曲がって配設されている。被洗浄物１８は、加工精度が精密な精密加工部品や、電子部品などが好適であり、例えば、インジェクタ、ポンプ、センサなどが挙げられる。
【００３５】
枠体２０の下部には、被洗浄物を洗浄する洗浄剤を貯留するタンク１０が形成されている。タンク１０は、枠体２０の内部における底側にて、予め設定された所定量の洗浄剤を液状態で貯える容器体である。つまり、タンク１０に貯留する洗浄剤の液面１０ａの位置は、一定の高さに維持されている。本実施形態におけるタンク１０は、本発明における貯留部に相当する。
【００３６】
さらに、洗浄装置１００は、被洗浄物１８に向けて洗浄剤を噴射して被洗浄物１８から油成分を除去する除去手段１０１として、ポンプ１１、加熱器１２、ノズル１３、および、配管１６を有している。そして、除去手段１０１にて噴射された洗浄剤と被洗浄物１８から除去された油成分を回収する回収手段１０２として、上述のタンク１０、冷却器１４、および、水分分離器１５を備えている。
【００３７】
配管１６は、タンク１０の内部とノズル１３とを接続する管部材である。配管１６の中間部は、枠体２０の外部に露出する一方、配管１６の両端部は、枠体２０の内部に配置されている。配管１６の内部では、洗浄剤が下方から上方へ向かって流通している。配管１６の洗浄剤流れ上流側の端部は、タンク１０における底側に接続されており、配管１６の洗浄剤流れ下流側の端部は、枠体２０における上下方向中央に接続されている。
【００３８】
ポンプ１１は、配管１６の中間部における洗浄剤流れ上流側に配設されている。ポンプ１１は、タンク１０に貯留された洗浄剤のうち底側の洗浄剤を、ノズル１３へ圧縮して吐出する流体装置である。本実施形態におけるポンプ１１は、本発明の加圧部に相当する。
【００３９】
加熱器１２は、配管１６の中間部のうち、ポンプ１１より洗浄剤流れ下流側に配設されている。加熱器１２は、ポンプ１１によって加圧された洗浄剤と、発熱体であるヒータ１２ａとを熱交換して、ポンプ１１によって加圧された洗浄剤を加熱する熱交換器である。本実施形態における加熱器１２は、本発明の加熱部に相当する。
【００４０】
ノズル１３は、配管１６のうち、洗浄剤流れ下流側の端部に配設されており、枠体２０の内部における上下方向中央であって、タンク１０に貯留された洗浄剤の液面１０ａの上方に位置している。ノズル１３は、ポンプ１１によって加圧され、加熱器１２によって加熱された洗浄剤を、被洗浄物１８に向けて連続的に噴射する噴射装置である。ノズル１３は、Ｕの字に曲がるコンベア１９の先端に対応する位置に配設されており、コンベア１９のＵの字先端においてコンベア１９の上側に取り付けられている被洗浄物１８に向かって上方から下方へ洗浄剤を噴射可能に配置されている。本実施形態のおけるノズル１３は、本発明における噴射部に相当する。
【００４１】
また、配管１６には、図示しないフィルタが配設されている。フィルタは、被洗浄物１８に付着した塵などを堰き止めて洗浄剤のみを通過させる網目構造の部材である。
【００４２】
ノズル１３は、洗浄剤を噴射して、枠体２０の内部における上下方向中央に、飽和洗浄剤気体層Ａを形成している。飽和洗浄剤気体層Ａは、洗浄剤が飽和蒸気の状態で存在する空間であり、タンク１０に貯えられる洗浄剤の水面から上方へ、ノズル１３よりも上方まで層状に広がっている。
【００４３】
冷却器１４は、枠体２０の内部における上側であって、ノズル１３よりも上方に配設されており、飽和洗浄剤気体層Ａの最も上側に位置している。冷却器１４は、枠体２０の内部の空気と、冷却器１４内部を流通する冷却流体とを熱交換して、枠体２０の内部の空気を冷却する熱交換器である。冷却器１４は、内部に冷却流体が流通する管部材を枠体２０の内壁面に沿って環状に巻いた構造を有している。冷却器１４は、冷却器１４の内部に冷却流体が流通すると、枠体２０の内部空気を冷却して枠体２０の内部空気中に含まれている水蒸気を冷却して液化させるとともに、飽和洗浄剤気体層Ａ中のノズル１３から噴射されて蒸気となった洗浄剤も冷却して液化させて、洗浄剤をタンク１０に回収する。本実施形態における冷却器１４は、本発明の液化部に相当する。
【００４４】
冷却器１４は、枠体２０の内壁面から枠体２０の内側に延出する受け皿１４ａを有している。受け皿１４ａは、環状の器形状を有しており、冷却器１４の下方に配設されている。冷却器１４にて液化した洗浄剤は、その自重によって、枠体２０の内壁面や冷却器１４の外周面を伝い、冷却器１４の下方の受け皿１４ａへ集合する。
【００４５】
水分分離器１５は、枠体２０の外側に配設されている。水分分離器１５は、受け皿１４ａに集合した洗浄剤と水分とを比重によって分離して、水分を除去した洗浄剤をタンク１０へ供給する分離器である。
【００４６】
本実施形態における洗浄剤は、大気圧とポンプ１１による加圧時との間で沸点が顕著に変化する洗浄剤であって、分子構造上塩素原子を含んでおらず、油成分を分離させる疎油性の不活性洗浄剤が用いられている。具体的に洗浄剤は、フッ素化合物のハイドロフルオロカーボン（ＨＦＣ）が用いられている。ここで、大気圧とポンプ１１による加圧時との間で沸点が顕著に変化するとは、０．１ＭＰａ（メガパスカル）加圧すると沸点が１０度以上上昇する程度の変化のことである。
【００４７】
枠体２０の内部は大気圧であり、ハイドロフルオロカーボンの洗浄剤は、液体状態でタンク１０に貯留されている。また、ポンプ１１にて加圧され、加熱器１２にて加熱され、ノズル１３から噴射されるハイドロフルオロカーボンの洗浄剤は、高温・高圧の液体状態の加圧過加熱液状態である。
【００４８】
また、ハイドロフルオロカーボンの洗浄剤は、疎油性の洗浄剤である為に、洗浄剤よりも比重の小さい分離された油成分をタンク１０に貯留する洗浄廃液内を浮上させて、タンク１０の液面１０ａに油成分層１０ｂを形成している。そこで、本実施形態におけるタンク１０は、タンク１０に貯留される洗浄剤から分離されて洗浄剤の液面１０ａに層状に広がる油成分層１０ｂから油成分を排出する排出口１７を備えている。
【００４９】
排出口１７には、管部材である排出管１７ａが挿入されている。排出管１７ａの一端は、タンク１０の内壁面から離れた位置まで延出しており、油成分層１０ｂ中に開口している。また、排出管１７ａには、排出管１７ａ内を流通する油成分の流路を開閉するバルブ１７ｂが配設されている。
【００５０】
一方、タンク１０の底側には、油成分を含まない洗浄剤が貯留されている。そこで、本実施形態では、タンク１０の底側における下部には、底側に貯留された洗浄剤中に開口する供給口１６ａが設けられている。供給口１６ａには、配管１６の洗浄剤流れ方向上流側の端部が接続されている。供給口１６ａは、例えば、タンク１０の底面に開口するように設けられている。本実施形態における供給口１６は、本発明のおける供給手段に相当する。
【００５１】
次に、本実施形態における洗浄装置１００の作動について説明する。コンベア１９に取り付けられた被洗浄物１８は、まず、枠体２０に形成された入口２１を通過した後、枠体２０の上側の空間を介して枠体２０における上下方向中央に位置する飽和洗浄剤気体層Ａ内に進入する。そして、Ｕの字に曲がるコンベア１９の先端にて、ノズル１３から高温・高圧の加圧過加熱液状態の洗浄剤が、被洗浄物１８に向かって噴射される。ノズル１３から洗浄剤が噴射される被洗浄物１８は、ノズル１３の噴射による衝突力と洗浄剤の突沸による衝突力とによって、被洗浄物１８に付着していた油成分が溶解されること無く、短時間で除去される。
【００５２】
ここで、ノズル１３の噴射による衝突力とは、ノズル１３から高速で噴射されて被洗浄物１８に衝突する洗浄剤の運動エネルギーのことであり、被洗浄物１８に付着していた油成分は、高速で噴射される洗浄剤とともに洗い流される。また、洗浄剤の突沸による衝突力とは、高温・高圧の加圧過加熱液状態の洗浄剤が大気圧中に噴射されて突沸する状態変化による物理的なエネルギーのことであり、突沸した洗浄剤蒸気の動きにより微細な隙間内の油成分は、突沸した洗浄剤蒸気とともに洗い流される。従って、本実施形態における洗浄装置１００は、洗浄作用において化学的な洗浄作用を用いていない。科学的な洗浄作用とは、例えば、油成分を洗浄剤中に溶解させて洗浄する作用のことである。
【００５３】
ノズル１３から洗浄剤が噴射された被洗浄物１８は、洗浄されてＵの字に曲がるコンベア１９の先端を通過する。洗浄剤がノズル１３から噴射後、或いは、被洗浄物１８に衝突後に直ちに気化するので、コンベア１９の先端を通過した被洗浄物１８は、十分に乾燥している。そして、被洗浄物１８は、飽和洗浄剤気体層Ａから進出し、枠体２０の上側の空間を介して、枠体２０に形成された出口２２を通過して洗浄装置１００による洗浄工程が終了する。
【００５４】
一方、気化した洗浄剤は、ノズル１３の上方に位置する冷却器１４にて、空気中の水蒸気とともに冷却されて液化する。液化した洗浄剤、および、水分は、受け皿１４ａに集合し、水分分離器１５にて洗浄剤と水分とに分離されて、水分が除去された洗浄剤は、タンク１０に貯留される。
【００５５】
また、洗浄剤によって被洗浄物１８から洗い流された油成分は、洗浄剤からの受熱により気化する油成分と、ノズル１３の噴射の衝突力によって洗い流されて、ノズル１３の下方に位置するタンク１０へ落下する油成分とに分かれるが、気化した油成分も、冷却器１４に近づくに連れて温度が低下する為、液化してタンク１０へ落下する。その結果、タンク１０には、水分が除去された洗浄剤と、被洗浄物１８から除去された油成分との洗浄廃液が貯留されることになる。
【００５６】
そして、タンク１０に貯留された洗浄廃液は、油成分を分離する洗浄剤を用いている為に、油成分と洗浄剤とに分離する。本実施形態では、油成分よりも比重の大きい洗浄剤を用いている為に、油成分は、洗浄廃液のうち上部に油成分層１０ｂを形成し、洗浄剤は、洗浄廃液のうち、底側の下部に溜まる。そして、タンク１０の底側の下部に開口する供給口１６ａによって、油成分を分離した洗浄剤が配管１６に吸引されて再利用されることになる。
【００５７】
本実施形態における洗浄装置１００は、洗浄剤として、フッ素化合物のハイドロフルオロカーボンが用いられている。従って、塩素系溶剤と比べて有害性が低いので、その洗浄剤の使用における安全性を確保することができる。
【００５８】
また、本実施形態におけるノズル１３から噴射される洗浄剤は、大気圧中での沸点よりも高温の加圧過加熱状態で大気圧中に噴射されている。その結果、ノズル１３の噴射による衝突力と、洗浄剤の突沸による衝突との両者の洗浄作用を用いて、被洗浄物１８を洗浄することができる。また、ノズル１３から噴射される洗浄剤は、直ちに気化するので、被洗浄物１８を洗浄する洗浄工程とは別に、被洗浄物１８を乾燥させる乾燥工程を必要とせず、洗浄装置１００の小型化、簡素化を図ることが可能となる。
【００５９】
また、本実施形態における洗浄剤は、大気圧中で液体状態となる不活性洗浄剤を用いている。その為、タンク１０に洗浄剤を容易に貯留させることができる。また。本実施形態における洗浄剤は、疎油性の洗浄剤である。その為、大気圧中のタンク１０において、被洗浄物１８から除去された油成分は、タンク１０内の洗浄剤から分離されて液面１０ａに油成分層１０ｂを形成するので、排出口１７を油成分層１０ｂに開口させることでタンク１０から油成分を容易に除去することができる。従って、塩素系溶剤などの親油性溶剤を用いた場合における洗浄剤中に溶解した油成分を除去する蒸留器などの洗浄剤を再使用するための再循環装置を必要とせず、洗浄装置１００の小型化、簡素化を図ることが可能となる。
【００６０】
また、本実施形態におけるノズル１３は、洗浄剤を連続的に噴射している。従って、塩素系溶剤などの親油性の溶剤を用いた場合における、再循環装置に対する負荷を減らす為に行う、ノズル１３から洗浄剤を間欠的に噴射させるような噴射制御を必要とせず、ノズル１３における噴射制御の簡素化を図ることが可能となる。
【００６１】
また、洗浄装置の洗浄剤に塩素系溶剤を使用しない場合として、水蒸気を用いる場合が考えられるが、水蒸気を用いた場合には、乾燥が十分に行えない点、多大な加熱エネルギーが必要となる点、電子部品が腐食し易い点、復水処理の為の付帯設備が必要となる点などの問題点がある。しかしながら、本実施形態における洗浄剤は、水よりも気化潜熱が小さいので乾燥性が良い。また、水よりも比熱が小さいので、容易に加熱することができ、加熱エネルギーの消費を低減することができる。また、復水処理の為の付帯設備などの再循環装置を必要としない。その結果、洗浄装置の洗浄剤に水蒸気を用いた場合と比較しても、洗浄装置１００の小型化、簡素化を図ることができる。
【００６２】
（他の実施形態）
上記第１実施形態では、洗浄装置１００は、上下方向に延びる箱形状の枠体２０を有している。しかし、本発明は、これに限定されることは無く、洗浄装置は、水平方向に広がる箱形状の枠体を有していても、複数の箱形状の枠体を有して洗浄部と貯留部とが別体とされていても良い。
【００６３】
また、上記第１実施形態では、枠体２０の天面には、入口２１と出口２２が形成されている。しかし、本発明は、これに限定されることは無く、例えば、枠体の天面にコンベアに取り付けられた被洗浄物１８が、コンベアに取り付けられた状態で枠体の外部から内部、および、内部から外部へ移動する為の出入口が設けられていても良い。
【００６４】
また、上記第１実施形態では、配管１６の中間部は、枠体２０の外部に露出している。しかし、本発明は、これに限定されることは無く、配管１６の中間部は、枠体２０の内部に配置され、配管１６の中間部に配設されるポンプ、および、加熱器は、枠体の内部に形成されたポンプ室に収容される構成であっても良い。
【００６５】
また、上記第１実施形態では、ノズル１３は、洗浄剤を連続的に噴射している。しかし、本発明は、これに限定されることは無く、ノズルは、洗浄剤を間欠的に噴射するように制御されていても良い。
【００６６】
また、上記第１実施形態では、ノズル１３は、コンベア１９のＵの字先端においてコンベア１９の上側に取り付けられている被洗浄物１８に向かって上方から下方へ洗浄剤を噴射可能な位置に１つ配置されている。しかし、本発明は、これに限定されることは無く、ノズルは、水平方向に洗浄剤を噴射する位置に配置されていても良く、また、洗浄剤を噴射するノズルは、被洗浄物の形状やコンベアの形状に応じて複数備えられていても良い。
【００６７】
また、上記第１実施形態では、洗浄剤として、ハイドロフルオロカーボンが用いられている。しかし、本発明は、これに限定されることは無く、例えば、フッ素系化合物のハイドロフルオロエーテル（ＨＦＥ）やパーフルオロカーボン（ＰＦＣ）やパーフルオロアミンであっても良い。大気圧とポンプによる加圧時との間で沸点が顕著に変化する洗浄剤であって、分子構造上塩素原子を含んでおらず、疎油性が高く、大気圧中で液体状態となる不活性洗浄剤が好ましい。
【００６８】
また、上記第１実施形態では、ノズル１３から噴射される洗浄剤は、ポンプ１１にて加圧され、加熱器１２にて加熱された液体状態の洗浄剤である。しかし、本発明は、これに限定されることは無く、ポンプによる加圧時において、加圧時における沸点以上まで加熱器にて更に加熱され、洗浄剤が気体の状態でノズルから噴射されていても良い。
【００６９】
また、上記第１実施形態では、供給口１６ａは、タンク１０の底側の下部に設けられ、排出口１７は、タンク１０に貯留される洗浄廃液の上層部に位置する高さに設けられている。しかし、本発明は、これに限定されることは無く、例えば、疎油性の洗浄剤であって、油成分よりも比重の軽い洗浄剤を用いた場合、供給口は、タンクに貯留される洗浄廃液の上層部に位置する高さに設けられ、排出口は、タンクの底側の下部に設けられる。
【００７０】
また、上記第１実施形態では、除去手段１０１は、加熱器１２を有し、回収手段１０２は、冷却器１４を有している。しかし、本発明は、これに限定されることは無く、例えば、加熱器と冷却器とを用いずに、液体状態のままノズルから洗浄剤を被洗浄物に噴射しても良い。その場合、洗浄作用としては、ノズルによる噴射の衝突力による洗浄作用であり、噴射後の洗浄剤は、タンクに向けて落下する。
【００７１】
また、上記第１実施形態では、供給口１６ａは、タンク１０の底面に開口するように設けられている。しかし、本発明は、これに限定されることは無く、供給口は、タンクの底面から所定の高さ位置に設けられていても良い。所定高さとは、被洗浄物に付着していた塵がタンクの底面に蓄積する蓄積高さ以上が好ましい。
【００７２】
また、上記第１実施形態では、被洗浄物１８は、コンベア１９に取り付けられて移動している。しかし、本発明は、これに限定されることは無く、図２に示すように、箱形状の洗浄カゴ２１９に複数の被洗浄物を収容し、枠体２２０の上方から、枠体２２０の上側に形成された開口部２２１から洗浄カゴ２１９ごと枠体２２０の内部に進入させて、被洗浄物を洗浄する構成であっても良い。図２は、他の実施形態における洗浄装置２００の構成を示す概略構成図である。これによれば、洗浄カゴ２１９に収容された複数の被洗浄物をまとめて洗浄することができる。
【符号の説明】
【００７３】
１０…タンク（貯留部、回収手段）、１０ａ…液面、１０ｂ…油成分層、１１…ポンプ（加圧部、除去手段）、１２…加熱器（加熱部、除去手段）、１３…ノズル（噴射部、除去手段）、１４…冷却器（液化部、回収手段）、１５…水分分離器、１６…配管（除去手段）、１６ａ…供給口（供給手段）、１７…排出口、１８…被洗浄物、１９…コンベア、２０、２２０…枠体。
【図１】
2011016079.tif 000003
【図２】
2011016079.tif 000004