(57)【要約】【課題】電気電子製品製造工程でのＰＣＢに部品を装着した上、ハンダ付け作業後に製品の信頼性を確保するために、被測定物をｘ、ｙ、ｚ軸への移動だけでなく、回転して多様な角度での検査が可能なＸ線検査装置を提供する。【解決手段】ケース内部に設けられたステージ、Ｘ線チューブ、ディテクターから構成され、被測定物を前記ステージに載置させ、前記Ｘ線チューブでＸ線を照射し前記ディテクターで撮像し被測定物を検査するＸ線検査装置において、前記ステージは回転自在に構成される回転ステージ、または一側に偏って通孔された部分に回転自在に設けた円形の回転ステージを有し、前記回転ステージは、下部に連結棒が構成され、この連結棒の下段に回転モーターが取り付けられ、この回転モーターは固定フレームによって前記ステージに固定されるように構成し、前記回転モーターの回転によって前記回転ステージが回転するように構成することで解決した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケース１の内部に設けられたステージ１００、Ｘ線チューブ２００、ディテクター３００から構成され、被測定物１０を前記ステージ１００に位置させて前記Ｘ線チューブ２００でＸ線を照射し、前記ディテクター３００で撮像して被測定物を検査するＸ線検査装置において、前記ステージ１００は、回転自在に構成される回転ステージ１１０、または一側に偏って通孔された部分に回転自在に設けた円形の回転ステージ１１０を有し、前記回転ステージ１１０は下部に連結棒５１０が取り付けられ、この連結棒５１０の下部に回転モーター５２０が設けられ、この回転モーターが固定フレーム５３０によって前記ステージ１００に固定されることにより、前記回転モーター５２０の回転によって前記回転ステージ１１０が回転するように構成したことを特徴とする、Ｘ線検査装置。
【請求項２】
前記ステージ１００には、固定フレーム４１１に支持されｙ軸に水平移動可能に構成されるｙ軸水平移動部材４１０と、固定フレーム４２１に支持されてｘ軸に水平移動可能に構成されるｘ軸水平移動部材４２０と、固定フレーム４３１に支持されて垂直移動可能に構成されるｚ軸水平移動部材４３０とが、全部或いは選択的に取り付けられ、前記ディテクター３００は、支持ブラケット３１１によって円弧形、直線形または、円弧形の端部に直線形が形成された形態となったもののなかいずれか一つのガイドレール３１０に沿って移動可能に構成したことを特徴とする、請求項１記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記Ｘ線チューブ２００は、ガイドレール２９０に固定されて移動する移動部材２９１に沿って垂直移動可能に構成したことを特徴とする、請求項１記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記ディテクター３００は、ガイドレール３９０に固定されて移動する移動部材３９１に沿って垂直移動可能に構成したことを特徴とする、請求項１または請求項３記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記連結棒５１０は、中央に通孔５１１が形成され、前記回転モーター５２０は中央に中空が形成された中空モーターで構成され、前記ディテクター３００が前記通孔５１１を通して前記回転ステージ１１０の被測定物１０を撮像することができるように構成したことを特徴とする、請求項２記載のＸ線検査装置。
【請求項６】
前記ステージ１００の一側に被測定物１０を固定させるためにバイスグリップ１２１が設けられ、前記バイスグリップ１２１を回転自在にモーター１２２に連結するためにグリップ部１２０が設けられることを特徴とする、請求項２または請求項５記載のＸ線検査装置。
【請求項７】
前記ステージ１００の上部に置かれた被測定物１０の位置を微調整するために、前記ステージ１００の一側にｙ軸移動ユニット１３１とｘ軸移動ユニット１３２のから構成された水平移動ユニットがアーム１３３の一端に設けられ、他端にシリンダー１３４によって移動する把持部１３５が取り付けられたジグ１３０が設けられることを特徴とする、請求項２または請求項５記載のＸ線検査装置。
【請求項８】
前記ケース１の側面の前記Ｘ線チューブ２００の端部側の高さに側面に向かうように固定され、前記ステージ１００の垂直移動時に前記Ｘ線チューブ２００との衝突を防止するために感知装置６００が設けられることを特徴とする、請求項２または請求項５記載のＸ線検査装置。
【請求項９】
前記ケース１の側面に下面に向かうように固定され、前記ステージ１００の垂直移動時に前記ディテクター３００、またはガイドレール３１０との衝突を防止するために感知装置７００が設けられることを特徴とする、請求項２または請求項５記載のＸ線検査装置。
【請求項１０】
前記感知装置６００は、監視カメラ、または光センサーであることを特徴とする、請求項８記載のＸ線検査装置。
【請求項１１】
前記感知装置７００は、監視カメラ、または光センサーであることを特徴とする、請求項９記載のＸ線検査装置。
【請求項１２】
前記Ｘ線チューブ２００には、タイマー８００が設けられ、前記タイマー８００の作動によって一定時間おきに前記Ｘ線チューブ２００が作動するようにし、ワームアップ時間を最小化するように構成したことを特徴とする、請求項２または請求項５記載のＸ線検査装置。
【請求項１３】
前記ステージ１００を中心として上部にＸ線チューブ２００が位置し、下部にディテクター３００が位置するように構成し、前記ステージ１００を垂直上方に移動するとき、前記Ｘ線チューブ３００に被測定物１０が最大限に近距離に移動できるように構成したことを特徴とする、請求項２または請求項５記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線検査装置に関するもので、より詳しくは、 電気電子製品製造工程でのＰＣＢに部品を装着した上、ハンダ付け作業後に製品の信頼性を確保するために、被測定物をｘ、ｙ、ｚ軸への移動だけでなく、回転して多様な角度での検査が可能なＸ線検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、電気および電子製品には多様な種類のＰＣＢ(printed circuit board)が内蔵されている。電気製品の製造工程ではＰＣＢに部品を装着した上、ハンダ付け作業後に製品の信頼性を確保するためにハンダ付けの状態を検査している。従来は、このような検査手段として、目視検査、または外観検査装置があり、照明装置を用いたり、カメラで映像を撮影し、その形態によって良/不良を判定していた。しかしながら、このような検査手段による外観の検査だけでは限界があることからＸ線を利用したＸ線検査装置が開発された。
【０００３】
この従来のＸ線検査装置は、Ｘ線の物質透過性、つまり、被透過物質の厚さと密度に反比例する特性を有する透過Ｘ線強度による映像形成を利用したもので、結合状態の良/不良を容易に把握することができるという利点がある。
【０００４】
一般的に、このような従来公知のＸ線検査装置は、ケース内部に設けたステージ、Ｘ線チューブ、ディテクターから構成され、被測定物を前記ステージに載置させ、前記Ｘ線チューブからＸ線を照射して前記ディテクターで撮像し、被測定物を検査するように構成されている。
【０００５】
この従来公知のＸ線検査装置は、ステージに被測定物を載置し、Ｘ線チューブからＸ線を照射し、Ｘ線の照射範囲内でディテクターを固定させ、被測定物を測定していたので、検査部位に対し立体的で多様な形態の入射角を得るのが難しく、検査精密度が低いという問題点があったし、特に多層構造を有するＰＣＢの内部に形成されたハンダ付け部は、表面に形成されたハンダ付け部によって精密な検測が邪魔されるという問題点があった。
【０００６】
このような問題点を解決すべく、ディテクターを移動可能に構成し、直線の入射角だけでなく斜めの入射角を持つように設置したＸ線検査装置も開発されたが、このような場合にも多様な角度の映像を取得するには限界があったし、検査の精密度も充分とは言えないという問題点があった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、以上のような従来技術の問題点を解決するためになされたものであり、ケース内部に設けられたステージ、Ｘ線チューブ、ディテクターから構成され、被測定物を前記ステージに載置させ、前記Ｘ線チューブからＸ線を照射し、前記ディテクターで撮像し被測定物を検査するＸ線検査装置において、前記ステージは、回転自在に構成される回転ステージ、または一側に偏って通孔された部分に回転自在に構成される円形の回転ステージを有し、前記回転ステージの下部に連結棒が取り付けられ、この連結棒の下部に回転モーターが設けられ、この回転モーターが固定フレームによって前記ステージに固定されることにより、前記回転モーターの回転によって前記回転ステージが回転するように構成されると共に、前記ステージがｘ軸、ｙ軸水平移動と、ｚ軸垂直移動が可能に構成され、前記ディテクターは支持ブラケットによってガイドレールに沿って移動可能に構成され、電気電子製品の製造工程でＰＣＢに部品を装着した後、ハンダ付け作業後に被測定物をｘ、ｙ、ｚ軸移動だけでなく回転させて多様な角度の検査が可能にし検査の精密度を高め製品の信頼性を確保できた上で、作業効率を上げることができるＸ線検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記の目的を達成するために本発明のＸ線検査装置は、ケース１の内部に設けられたステージ、Ｘ線チューブ、ディテクターから構成され、被測定物を前記ステージに載置させ、前記Ｘ線チューブからＸ線を照射し、前記ディテクターで撮像して被測定物を検査するＸ線検査装置において、前記ステージは回転自在に構成される回転ステージ、または一側に偏って通孔され通孔された部分に回転自在に設けられた円形の回転ステージを有し、前記回転ステージは下部に連結棒が設けられ、この連結棒の下部に回転モーターが取り付けられ、この回転モーターが固定フレームによって前記ステージに固定されて、前記回転モーターの回転によって前記回転ステージが回転するように構成されたことを特徴とする、Ｘ線検査装置を提供する。
【０００９】
また、前記ステージには、固定フレームに支持されたｙ軸方向に水平移動可能に構成されるｙ軸水平移動部材、固定フレームに支持されｘ軸方向に水平移動可能に構成されるｘ軸水平移動部材、固定フレームに支持され垂直移動可能に構成されるｚ軸水平移動部材が全部或いは選択的に取り付けられ、前記ディテクターは、支持ブラケットによって円弧形、直線形、または円弧形の端部に直線形が形成された形態となったもののいずれか一つのガイドレールに沿って移動可能に構成されることを特徴とするＸ線検査装置を提供する。
【００１０】
また、前記Ｘ線チューブは、ガイドレールに固定されて移動する移動部材に沿って垂直移動できるように構成されることを特徴とする、Ｘ線検査装置を提供しようとする。
【００１１】
また、前記ディテクターは、ガイドレールに固定されて移動する移動部材に沿って垂直移動できるように構成されることを特徴とする、Ｘ線検査装置を提供しようとする。
【００１２】
また、前記連結棒は中央に通孔が形成され、前記回転モーターは中央に中空が形成された中空モーターで構成され、前記ディテクターが前記通孔を通して前記回転ステージの被測定物を撮像することができることを特徴とする、Ｘ線検査装置を提供しようとする。
【００１３】
また、前記ステージの一側に被測定物を固定させるためにバイスグリップが設けられ、このバイスグリップが回転自在となるようにモーターに連結させるグリップ部が設けられることを特徴とする、Ｘ線検査装置を提供しようとする。
【００１４】
また、前記ステージの上部に置かれた被測定物の位置を微調整するために、前記ステージの一側にｙ軸移動ユニットとｘ軸移動ユニットから構成された水平移動ユニットがアームの一端に設けられ、他端がシリンダーによって移動する把持部が取り付けられたジグが設けられることを特徴とする、Ｘ線検査装置を提供しようとする。
【００１５】
また、前記ケースの側面の前記Ｘ線チューブの端部側の高さに側面に向かうように固定され、前記ステージの垂直移動時に前記Ｘ線チューブとの衝突を防止するために感知装置が設けられることを特徴とする、Ｘ線検査装置を提供しようとする。
【００１６】
また、前記ケースの側面に下面に向かうように固定され、前記ステージの垂直移動時に前記ディテクター、またはガイドレールとの衝突を防止するために感知装置が設けられることを特徴とする、Ｘ線検査装置を提供しようとする。
【００１７】
また、前記感知装置は、監視カメラ、または光センサーであることを特徴とする、Ｘ線検査装置を提供しようとする。
【００１８】
また、前記Ｘ線チューブは、タイマーが設けられ、このタイマーの作動によって一定時間おきに前記Ｘ線チューブが作動するようにし、ワームアップ時間を最小化にすることを特徴とする、Ｘ線検査装置を提供しようとする。
【００１９】
また、前記ステージを中心として上部にＸ線チューブが位置し、下部にディテクターが位置するように構成し、前記ステージを垂直上方に移動するとき前記Ｘ線チューブに被測定物に最大限に近距離に移動できることを特徴とする、Ｘ線検査装置を提供しようとする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明は、被測定物がセットされたステージが回転するように構成され、ｘ軸、ｙ軸に水平移動可能に構成され、ｚ軸に垂直移動可能に構成され、前記ディテクターは支持ブラケットによってガイドレールに沿って移動可能に構成され、検査部位に対し多様なＸ線の入射角を得ることができるように構成することによって、立体的な映像情報の確保とともに多様な角度の検査を可能にし、検査の精密度および効率を高めることができる非常に有用な効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明のＸ線検査装置の概略斜視図である。
【図２】本発明のＸ線検査装置の正断面図である。
【図３】本発明のＸ線検査装置の側断面図である。
【図４】本発明のＸ線検査装置の作動状態を示すために要部を抜粋した斜視図である。
【図５】図４の下部から見上げた状態の斜視図である。
【図６ａ】本発明のＸ線検査装置の正面図である。
【図６ｂ】本発明のＸ線検査装置の水平移動の作動状態を示す正面断面図である。
【図７】本発明のＸ線検査装置の回転ステージの構成を示す斜視図である。
【図８】図７のE-E線矢視断面図である。
【図９】本発明のＸ線検査装置のジグの斜視図である。
【図１０】本発明のＸ線検査装置のディテクターが上部に位置する時の実施例の正断面図である。
【図１１】図１０のディテクターが上部に位置する時に、回転ステージの作動状態と構成を示す斜視図である。
【図１２】図１１のF-F線矢視断面図である
【図１３ａ】本発明のガイドレールの実施例のうち、円弧形ガイドレールを示す図面である。
【図１３ｂ】本発明のガイドレールの実施例のうち、直線形ガイドレールを示す図面である。
【図１３ｃ】本発明のガイドレールの実施例のうち、円弧形と直線形の混合構成型ガイドレールを示す図面である。
【図１４】Ｘ線チューブ、ディテクターがガイドレールに固定されて移動する移動部材に沿って垂直移動可能に構成された実施例を示す図面である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、添付された図面に依拠して本発明の技術的構成をより詳しく説明する。図１は本発明のＸ線検査装置を概略的に示した斜視図で、図２は本発明のＸ線検査装置の正断面図で、図３は本発明のＸ線検査装置の側断面図で、図４は本発明のＸ線検査装置の作動状態を示すために要部を抜粋して示した斜視図で、図５は前記図４の下部から見上げた状態の斜視図で、図６は水平移動の作動状態を示すための図４の正断面図で、図７は本発明のＸ線検査装置の回転ステージの構成を図示した斜視図で、図８は図７のE-E線矢視断面図で、図９は本発明のＸ線検査装置のジグの斜視図で、図１０は本発明のＸ線検査装置のディテクターが上部に位置する時の実施例の正断面図で、図１１は図１０のディテクターが上部に位置する時、回転ステージの作動状態と構成を示した斜視図で、図１２は図１１のF−F線に沿う断面図で、図１３は本発明のガイドレールの実施例を示した図面で、図１３aは円弧形ガイドレールを示した図面で、図１３bは直線形ガイドレールを示した図面で、図１３cは円弧形と直線形の混合構成形ガイドレールを図示した図面である。
【００２３】
本発明のＸ線検査装置は、ケース１の内部に設けたステージ１００、Ｘ線チューブ２００、ディテクター３００から構成され、被測定物１０を前記ステージ１００に位置させ、Ｘ線チューブ２００からＸ線を照射し、ディテクター３００で撮像し被測定物を検査するＸ線検査装置において、ステージ１００は、回転自在に構成される回転ステージ１１０、または一側に偏って通孔された部分に回転自在に設けられた円形の回転ステージ１１０を有し、前記回転ステージ１１０は、下部に連結棒５１０が設けられ、この連結棒５１０の下部に回転モーター５２０が設けられ、固定フレーム５３０によって前記ステージ１００に固定されて前記回転モーター５２０の回転によって前記回転ステージ１１０が回転するように構成されている。
【００２４】
また、前記ステージ１００は、固定フレーム４１１に支持されｙ軸に水平移動可能に構成されるｙ軸水平移動部材４１０と、固定フレーム４２１に支持されてｘ軸に水平移動可能に構成されるｘ軸水平移動部材４２０と、固定フレーム４３１に支持されて垂直移動可能に構成されるｚ軸水平移動部材４３０とが、全部或いは選択的に取り付けられ、前記ディテクター３００は支持ブラケット３１１によって円弧形、直線形または、円弧形の端部に直線形が構成された形態となったもののいずれ一つのガイドレール３１０に沿って移動可能に構成することを特徴とする。本発明のＸ線検査装置は、ケース１の内部に設けられたステージ１００、Ｘ線チューブ２００、ディテクター３００から構成され、被測定物１０を前記ステージ１００に位置させＸ線チューブ２００からＸ線を照射しディテクター３００で撮像し被測定物１０を検査するように構成される。
【００２５】
前記ステージ１００は、回転自在に設けられた回転ステージ１１０、または一側に偏って通孔され、通孔された部分に回転自在に設けられた円形の回転ステージ１１０を有し、前記回転ステージ１１０は下部に連結棒５１０が設けられ、この連結棒５１０の下部に回転モーター５２０が設けられ、この回転モーター５２０は固定フレーム５３０によって前記ステージ１００に固定されている。そして、回転モーター５２０の回転によって前記回転ステージ１１０が回転するように構成される。
【００２６】
ステージ１００は多角形、円形などの多様な形態として構成することができ、好ましくは、長方形が空間活用度面では一番好ましい。
【００２７】
ステージ１００は、回転ステージ１１０だけで構成したり、またはステージ１００を多角形、円形などの多様な形態で構成し、ステージ１００の一側に偏って設けた回転ステージ１１０で構成される。前記の通り、ステージ１００の一側に偏って回転ステージ１１０を構成することは、被測定物１０が多様な撮像角度を必要とする場合、回転ステージ１１０に被測定物をセットしたり、回転が必要でない場合には回転ステージ１１０が構成されていない部分に被測定物１０をセットしたりして、ディテクター３００で感知するためであり、回転ステージ１１０と回転ステージ１１０が構成されていないステージ１００部分全部を利用することができるという長所がある。
【００２８】
図２と図４に示すように、固定フレーム５３０の一端がステージ１００の一側に固定され、この固定フレーム５３０の他端に回転モーター５２０が取り付けられ、連結棒５１０が前記回転ステージ１１０の中央軸部に連結され、前記回転モーター５２０の回転によって前記回転ステージ１１０が回転するようになっている。
【００２９】
図４、図５、図６a、図６bに示すように、ステージ１００は、さらに固定フレーム４１１に支持されるｙ軸水平移動部材４１０によってｙ軸に水平移動できるように構成され、固定フレーム４２１に支持されるｘ軸水平移動部材４２０によってｘ軸水平移動が可能に構成され、固定フレーム４３１に支持されるｚ軸水平移動部材４３０によって垂直移動が可能に構成されている。
【００３０】
固定フレーム４１１は、側部にステージ１００に固定された固定具４１２がｙ軸に水平移動可能にｙ軸水平移動部材４１０に結合され、前記固定フレーム４２１は前記固定フレーム４１１が上部に安着されてｘ軸水平移動ができるように固定された固定具４２２がｘ軸に水平移動できるようｘ軸水平移動部材４２０に結合され、前記固定フレーム４３１は前記固定フレーム４２１の両側面に構成されてｚ軸に水平移動できるように固定された固定具４３２がｚ軸に水平移動できるようにｚ軸水平移動部材４３０に結合されている。このように、水平移動と垂直移動両方とも可能で作業者が希望する正確な位置に被測定物を位置させることができる。
【００３１】
前記ｙ軸水平移動部材４１０、ｘ軸水平移動部材４２０、及びｚ軸水平移動部材４３０を全部或いは選択的に採用することができる。つまり、ｙ軸水平移動部材４１０とｘ軸水平移動部材４２０だけを採用したり、ｘ軸水平移動部材４２０とｚ軸水平移動部材４３０だけを採用したり、ｙ軸水平移動部材４１０とｘ軸水平移動部材４２０とｚ軸水平移動部材４３０全部を採用するなど、選択的に構成することができる。例えば、倍率調節が必要ない場合にはｚ軸水平移動部材４３０を除いて構成することができる。 
【００３２】
前記支持ブラケット３１１は、前記ディテクター３００が前記ガイドレール３１０に沿って移動するように前記ディテクター３００を前記支持ブラケット３１１に結合する。
【００３３】
前記ガイドレール３１０は円弧形、直線形または、円弧形の端部に直線形が構成された形態となったもののいずれか一つで構成する。
【００３４】
ガイドレール３１０は、従来はステージ１００自体を回転させずらく、半円弧形のガイドレールがたびたび使われる場合もあったが、本発明のＸ線検査装置は、回転ステージ１１０が構成され、本発明の円弧形ガイドレール３１０は任意の角度で構成できるし、４分の１の円弧形だけで構成しても充分に多様な撮像角を得ることができるので、設置スペースを大幅に減らすこともできる。
【００３５】
また、ステージ１００が回転するので、直線形のガイドレール３１０で構成しても多様な撮像角を得ることができることはもちろんであり、被測定物１０の正確な比率の測定が可能である。図１３aに示すように、ディテクター３００が円弧形ガイドレール３１０aに沿って動くようにすると、L１:L２=L１′:L２′になるが、L１:L２=l１:l２にならなくて被測定物１０の検測対象の正確な比率が出てこなくなる場合が有り得るので、目的により円弧形または、直線形を構成したり、円弧形の端部に直線形が形成された混合型を使うことがある。
【００３６】
したがって、図１３bに示すように、ガイドレール３１０を直線形で構成し、ディテクター３００が直線に動くようにすると、L１:L２ =L１′:L２′になって被測定物１０の比率と同一にディテクター３００でも測定することができる。
【００３７】
また、図１３cに示すように、ガイドレール３１０を円弧形と直線形を混合構成すると円弧形の長所と直線形の長所を全部持つようにすることができる。
【００３８】
また、Ｘ線チューブ２００は、ガイドレール２９０に固定されて移動する移動部材２９１に沿って垂直移動可能に構成されても良い。
【００３９】
Ｘ線チューブ２００が移動して被測定物１０、またはステージ１００に近く近接したり遠ざかれるようにし、より正確な撮像が可能にされる。
【００４０】
また、ディテクター３００は、ガイドレール３９０に固定されて移動する移動部材３９１に沿って垂直移動可能に構成されることもできる。
【００４１】
ディテクター３００が移動して被測定物１０、またはステージ１００に近接したり遠ざかれるようにし、倍率調整と映像の強度（明るさ）に変化を与えられるようにし、より正確な撮像が可能にすることができる。
【００４２】
また、連結棒５１０は、中央に通孔５１１が形成され、前記回転モーター５２０は中央に中空が形成された中空モーターから構成され、ディテクター３００が通孔５１１を通して回転ステージ１１０の被測定物１０を撮像することができるように構成することができる。
【００４３】
連結棒５１０は、中央に通孔５１１が形成されるが、中央に中空が形成された中空モーターで前記回転モーター５２０を構成し、前記連結棒５１０の下部の外周面に取り付け、前記連結棒５１０が回転するように構成することができる。
【００４４】
中空モーターから構成された前記回転モーター５２０は、中央に中空が形成されているので、回転モーター５２０の中空に連結棒５１０を差し込む形態として構成される。
ここにおいて、中空モーターを使う理由は、連結棒５１０の下段の外周面にギアを構成し側部にモーターを形成してベルトやギアをかみ合わし連結棒５１０を回転させることができるように構成すると、モーターが側面に偏って、ベルトやギアのかみ合わせが少しずつずれれば連結棒５１０の回転中心軸が歪む場合が発生して正確な検査作業がやりずらくなるからであり、連結棒５１０に直接中空が形成された回転モーター５２０を結合させ連結棒５１０を直接回転させることによって、この不都合を解消できるからである。
【００４５】
また、ステージ１００の一側に被測定物１０を固定させるためにバイスグリップ１２１が設けられ、このバイスグリップ１２１を回転自在にモーター１２２と連結するグリップ部１２０が設けられている。
【００４６】
グリップ部１２０は、バイスグリップ１２１に被測定物１０を固定させ、モーター１２２によって被測定物１０が固定されたバイスグリップ１２１を回転させ、前記回転ステージ１１０の上部に被測定物１０をのせて回転ステージ１１０を回転させて出る角度以外の他の角度で回転することによって、多様な角度で被測定物１０を検査できるようになる。
【００４７】
また、ステージ１００の上部に置かれた被測定物１０の位置を微調整するために、ステージ１００の一側にｙ軸移動ユニット１３１とｘ軸移動ユニット１３２から構成された水平移動ユニットがアーム１３３の一端に構成され、他端にシリンダー１３４によって移動する把持部１３５が設けられたジグ１３０が設けられることが好ましい。
【００４８】
ジグ１３０は、ｙ軸移動ユニット１３１とｘ軸移動ユニット１３２によって水平移動が可能であり、アーム１３３の端部にシリンダー１３４に垂直移動、または対角線移動が可能に把持部１３５が設けられている。
【００４９】
図６a、６bと図９に示すように、シリンダー１３４が垂直方向に移動するように構成しても良いし、アーム１３３を対角線に構成してシリンダー１３４も対角線に作動するように構成し対角線に前記把持部１３５が移動するようにすることもできる。
【００５０】
ジグ１３０は、従来のものはステージ１００の上部にセットされた被測定物１０の微調整時にケース１の外部ドアを開いて作業者が直接に手で被測定物１０を移動させなければならなかったために、微調整自体が難しくて検査作業がわずらわしいという問題点があったが、本発明はこの点を解決している。
【００５１】
また、ケース１の側面のＸ線チューブ２００の端部側の高さに側面に向かうように固定され、ステージ１００の垂直移動時にＸ線チューブ２００との衝突を防止するために、感知装置６００が設けられることが好ましい。
【００５２】
感知装置６００は、外部に設置されたモニター（図示せず）によって作業者が前記ステージ１００の垂直移動時にディテクター３００、またはガイドレール３１０との間隔が狭まる時、モニターで確認をし安全距離を確保して衝突を防止する機能を持つ。
【００５３】
また、ケース１の側面に下面に向かうように固定され、ステージ１００の垂直移動時にディテクター３００、またはガイドレール３１０との衝突を防止するために感知装置７００が構成されることが好ましい。
【００５４】
この感知装置７００は、外部に設置されたモニター（図示せず）によって作業者が前記ステージ１００の垂直移動時にディテクター３００、またはガイドレール３１０との間隔が狭まる時、モニターで確認をし安全距離を確保して衝突を防止する役割をする。
【００５５】
また、感知装置６００、７００は監視カメラまたは、光センサーとすることができる。図３のごとく、この感知装置６００、７００は、外部に設置されたモニターによって作業者が監視して衝突を防止する機能を持つが、この時、監視カメラまたは、光センサー（レーザーセンサー、赤外線センサー）は、光センサーが一定距離以上間隔が狭まれば移動（水平、垂直、回転移動など)が止まるようにする。
【００５６】
また、Ｘ線チューブ２００には、タイマー８００（図示せず）が設けられ、前記タイマー８００の作動によって一定時間おきにＸ線チューブ２００が作動するようにし、ワームアップ時間を最小化するようにすることが可能にされる。
【００５７】
Ｘ線チューブ２００は、稼動時にワームアップする時間がかかるが、このワームアップ時間が多少長く連続的な検査作業がある場合、作業時間が長くなるという短所があった。例えば、８時間以上使わない場合、Ｘ線チューブが止まれれば、また再稼働させるために再度ワームアップする時間を経て稼動するようになる。そのため、タイマー８００を附設し一定時間間隔例えば７時間５９分間隔でＸ線チューブ２００が稼動するようにすれば作業者が作業を始める時ワームアップする時間を減らすことができ、作業時間が短縮されるという効果がある。
【００５８】
また、ステージ１００を中心として上部にＸ線チューブ２００が位置し、下部にディテクター３００が位置するように構成し、前記ステージ１００を垂直上方に移動するとき、前記Ｘ線チューブ３００に被測定物１０に最大限近距離に移動できるように構成することができる。
【００５９】
図１乃至図３に示したように、前記ステージ１００を中心として上部にＸ線チューブ２００が位置し、下部にディテクター３００が位置するように構成すると、常にステージ１００の上部にセットされる被測定物１０がＸ線チューブ２００に最大限に近く近接できるようになる効果がある。
【００６０】
しかし、図１０に示すように、ステージ１００を中心として下部にＸ線チューブ２００が位置し、上部にディテクター３００が位置するように構成しても良いし、図示してはいないが、ステージ１００を中心として両側部に各々Ｘ線チューブ２００とディテクター３００が位置するように構成しても良い。もし、下部にＸ線チューブが構成されるならば、ステージ１００の厚さと固定フレームなどによって近接には限界がある。
【００６１】
図１０に示すように、ステージ１００を中心として下部にＸ線チューブ２００が位置し、上部にディテクター３００が位置するように構成した場合は、固定フレーム５３０が上部に位置し、連結棒５１０、回転モーター５２０が上部に位置するようになるので、被測定物１０がセットされる空間を確保するために、内部に空間部が形成され、回転ステージ１１０に固定されて回転モーター５１０によって回転するように支持フレーム５４０を構成する。支持フレームは図１１と図１２に示すように、複数の支持骨を連結して支持骨を通してディテクター３００が撮像できるようにする。 
【符号の説明】
【００６２】
１  ケース
１０  被測定物
１００  ステージ
１１０  回転ステージ
１２０  グリップ部
１２１  バイスグリップ
１２２  モーター
１３０  ジグ
１３１  ｙ軸移動ユニット
１３２  ｘ軸移動ユニット
１３３  アーム
１３４  シリンダー
１３５  把持部
２００  Ｘ線チューブ
２９０  ガイドレール
２９１  移動部材
３００  ディテクター
３１０  ガイドレール
３９０  ガイドレール
３９１  移動部材
３１１  支持ブラケット
４１０  ｙ軸水平移動部材
４１１  固定フレーム
４２０  ｘ軸水平移動部材
４２１  固定フレーム
４３０  ｚ軸水平移動部材
４３１  固定フレーム
５１０  連結棒
５１１  通孔
５２０  回転モーター
５３０  固定フレーム
５４０  支持フレーム
６００  感知装置
７００  感知装置
８００  タイマー（図示せず)
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６ａ】
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【図６ｂ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３ａ】
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【図１３ｂ】
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【図１３ｃ】
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【図１４】
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