(57)【要約】【課題】平面度が高く寸法精度に優れた多数の小型部品を生産性よく製造できる保持治具、及び、この保持治具を製造することのできる保持治具の製造方法を提供すること。【解決手段】支持孔１１が千鳥状に配列形成された平坦部１２を有する補強部材５と保持孔１５を有する弾性部材６とを備え、保持孔１５が支持孔１１の内部を通るように平坦部１２が弾性部材６に埋設された保持治具１であって、平坦部１２は支持孔１１の合計開口面積Ｓｈと支持孔形成領域の表面積ＳＡとの面積比（Ｓｈ／ＳＡ）が０．４０〜０．７０である保持治具１、並びに、前記支持孔１１を有し面積比（Ｓｈ／ＳＡ）が０．４０〜０．７０である平坦部１２を有する補強部材５を成形ピンが支持孔１１を貫通するように成形金型に収納する工程と、成形金型及び補強部材５で形成されたキャビティに弾性材料を注入して成形する工程とを有する保持治具１の製造方法。【選択図】          図１
2011222889.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚さ方向に貫通すると共に千鳥状に配列された多数の支持孔を有する平坦部及びこの平坦部の周囲に形成された鍔部を有してなる補強部材と、小型部品を弾発的に保持する多数の保持孔を有する弾性部材とを備え、前記保持孔が前記支持孔の内部を通るように前記平坦部が前記弾性部材に埋設されて成る保持治具であって、
前記平坦部は、前記支持孔の合計開口面積Ｓｈと前記支持孔が形成された支持孔形成領域の表面積ＳＡとの面積比（Ｓｈ／ＳＡ）が０．４０〜０．７０であることを特徴とする保持治具。
【請求項２】
前記支持孔それぞれは、開口径が１．３〜２．６ｍｍであることを特徴とする請求項１に記載の保持治具。
【請求項３】
前記支持孔は、少なくとも４０００個以上であることを特徴とする請求項１又は２に保持治具。
【請求項４】
前記保持孔は、前記支持孔の軸線と共通する軸線を有していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の保持治具。
【請求項５】
厚さ方向に貫通すると共に千鳥状に配列された多数の支持孔を有し、前記支持孔の合計開口面積Ｓｈと前記支持孔が形成された支持孔形成領域の表面積ＳＡとの面積比（Ｓｈ／ＳＡ）が０．４０〜０．７０である平坦部及びこの平坦部の周囲に形成された鍔部を有してなる補強部材を、収納凹部に立設された成形ピンを有する成形金型の前記収納凹部に、前記成形ピンが前記支持孔を貫通するように、収納する工程と、
前記成形金型及び補強部材で形成されたキャビティに弾性材料を注入して成形する工程とを有することを特徴とする保持治具の製造方法。
【請求項６】
前記成形金型は、第１金型と第２金型とから成り、
前記成形ピンは、前記第１金型及び前記第２金型の少なくとも一方に立設されていることを特徴とする請求項５に記載の保持治具の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、保持治具及び保持治具の製造方法に関し、さらに詳しくは、平面度が高く寸法精度に優れた多数の小型部品を生産性よく製造できる保持治具及びこの保持治具を製造することのできる保持治具の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータ、電話機、ゲーム機、自動車電装機器等の電子機器に用いられる集積回路等には、例えば、積層セラミックチップコンデンサ（単に、チップコンデンサと称することがある。）等の小型部品が搭載されている。このような小型部品を製造する際等には、通常、小型部品を製造可能な小型部品用部材等を保持する保持孔が形成された保持治具が用いられる。このような保持治具として、例えば、特許文献１には、「（ａ）多数の並列状貫通通路を有するプレート体を備えること。（ｂ）前記通路は弾性壁を有して電気用小型パーツが該通路内に位置可能となっており、かつ該通路の寸法は対応するパーツの寸法よりも小さく、パーツが前記通路内位置で弾発的に把持されること。以上（ａ）および（ｂ）の構成から成るを特徴とする多数の電気用小型パーツ端部のコーティング用装置」が記載されている。
【０００３】
近年、小型部品の需要が増大していること等から、小型部品の製造における生産性を向上させることが望まれている。このような要望を実現する方法として、従来の保持治具例えば特許文献１に記載の「コーティング用装置」よりも高密度で保持孔が形成された保持治具が提案されている。例えば、特許文献２の請求項２には、「金属製のプレート本体の厚さ方向に貫通する多数の孔を、当該プレート本体の平面に縦横に規則的に並列させて貫通形成し、これらの各孔の内壁面にシリコーンゴムからなる弾性部材で弾性壁を形成することにより貫通孔を形成しているキャリアプレートにおいて、前記貫通孔は貫通孔を結ぶ縦横の配列線の交点の縦横の一つおきの交点にそれぞれ配設されていることを特徴とするキャリアプレート」が記載されている。
【０００４】
このような保持治具は保持孔に対応するピンが立設された成形金型を用いて製造される。例えば、図５に示されるように、多数の成形ピン４１が立設された第１凹部４２を有する第１金型３１と第２凹部４３を有する第２金型３２とを備えた成形金型３０を用いて、前記第１凹部４２と前記第２凹部４３とで形成される収納凹部３３に、多数の支持孔を有する補強部材を、前記成形ピン４１が前記支持孔を貫通するように、収納した後に、弾性材料を充填して成形することによって、製造される（例えば、特許文献２の０００４欄参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特公昭６２−２０６８５号公報
【特許文献２】特開２００７−１８０３５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
成形ピンを備えた成形金型を用いて保持治具を製造する場合においては、補強部材と弾性材料とが一体成形された保持治具を成形金型から離型する際に、弾性部材と成形ピンとの密着力、摩擦力等による成形ピンの抜脱力によって、補強部材、特にその中央部近傍が変形し、場合によってはその変形が復元しないことがある。
【０００７】
特に、特許文献２のキャリアプレートのように、高い生産性を実現するために保持治具に多数の保持孔を好ましくは高密度で形成すると、補強部材と弾性材料とが一体成形された保持治具を成形金型から離型する際に、保持治具が顕著に変形し、その変形が復元しないことがある。
【０００８】
この発明は、平面度が高く寸法精度に優れた多数の小型部品を生産性よく製造できる保持治具、及び、この保持治具を製造することのできる保持治具の製造方法を提供することを、目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するための第１の手段として、
請求項１は、厚さ方向に貫通すると共に千鳥状に配列された多数の支持孔を有する平坦部及びこの平坦部の周囲に形成された鍔部を有してなる補強部材と、小型部品を弾発的に保持する多数の保持孔を有する弾性部材とを備え、前記保持孔が前記支持孔の内部を通るように前記平坦部が前記弾性部材に埋設されて成る保持治具であって、前記平坦部は、前記支持孔の合計開口面積Ｓｈと前記支持孔が形成された支持孔形成領域の表面積ＳＡとの面積比（Ｓｈ／ＳＡ）が０．４０〜０．７０であることを特徴とする保持治具であり、
請求項２は、前記支持孔それぞれは開口径が１．３〜２．６ｍｍであることを特徴とする請求項１に記載の保持治具であり、
請求項３は、前記支持孔は少なくとも４０００個以上であることを特徴とする請求項１又は２に保持治具であり、
請求項４は、前記保持孔は前記支持孔の軸線と共通する軸線を有していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の保持治具である。
【００１０】
前記課題を解決するための第２の手段として、
請求項５は、厚さ方向に貫通すると共に千鳥状に配列された多数の支持孔を有し、前記支持孔の合計開口面積Ｓｈと前記支持孔が形成された支持孔形成領域の表面積ＳＡとの面積比（Ｓｈ／ＳＡ）が０．４０〜０．７０である平坦部及びこの平坦部の周囲に形成された鍔部を有してなる補強部材を、収納凹部に立設された成形ピンを有する成形金型の前記収納凹部に、前記成形ピンが前記支持孔を貫通するように、収納する工程と、前記成形金型及び補強部材で形成されたキャビティに弾性材料を注入して成形する工程とを有することを特徴とする保持治具の製造方法であり、
請求項６は、前記成形金型は第１金型と第２金型とから成り、前記成形ピンは前記第１金型及び前記第２金型の少なくとも一方に立設されていることを特徴とする請求項５に記載の保持治具の製造方法である。
【発明の効果】
【００１１】
この発明は、補強部材の平坦部が０．４０〜０．７０の前記面積比（Ｓｈ／ＳＡ）を有しているから、また、保持治具の製造方法において前記面積比（Ｓｈ／ＳＡ）が０．４０〜０．７０の平坦部を有する補強部材を用いるから、たとえ生産性を向上させるために平坦部に支持孔を千鳥状配列に多数の穿孔しても、成形された保持治具を成形金型から脱型するときに、補強部材特に平坦部がほとんど変形することがなく、その結果、補強部材特に平坦部の平面度を高度に維持することができる。したがって、この発明によれば、平面度が高く寸法精度に優れた多数の小型部品を生産性よく製造できる保持治具を提供すること、及び、多数の保持孔を有しているにもかかわらず平坦な保持治具を製造することのできる保持治具の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】図１は、この発明に係る保持治具の一実施例である保持治具を示す概略上面図である。
【図２】図２は、図１のＡ−Ａ線で切断した保持治具における断面の一部を示す概略断面図である。
【図３】図３は、この発明に係る保持治具を構成する補強部材の一実施例である補強部材を示す概略図であり、図３（ａ）はこの発明に係る保持治具を構成する補強部材の一実施例である補強部材を示す概略上面図であり、図３（ｂ）は支持孔の配列を説明する説明する一部拡大図である。
【図４】図４は、この発明に係る保持治具の別の一実施例である保持治具を示す概略上面図である。
【図５】図５は、この発明に係る保持治具の製造方法に用いられる成形金型の一例を示す概略側面図である。
【図６】図６は、この発明に係る保持治具の製造方法に用いられる成形金型の一例に補強部材を収納した状態を説明する概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
この発明に係る保持治具は、厚さ方向に貫通すると共に千鳥状に配列された多数の支持孔を有する平坦部及びこの平坦部の周囲に形成された鍔部を有してなる補強部材と、小型部品を弾発的に保持する多数の保持孔を有する弾性部材とを備え、前記保持孔が前記支持孔の内部を通るように前記平坦部が前記弾性部材に埋設されて成る。そして、この発明に係る保持治具は弾性部材の弾性力で保持孔に挿入された小型部品を弾発的に保持することができる。
【００１４】
この発明に係る保持治具に保持される小型部品は、小型部品の製造工程、搬送工程等において保持される必要性のある、小型部品を製造可能な小型部品用部材、例えば、小型器具用部材、小型機械要素用部材及び小型電子部品用部材等が挙げられる。また、小型部品の製造には小型部品の搬送工程等も含まれるから、小型部品は、小型部品そのもの、例えば、小型器具、小型機械要素及び小型電子部品等も含まれる。したがって、この発明においては、小型部品と小型部品用部材とは明確に区別される必要はない。小型電子部品及び小型電子部品用部材としては、例えば、チップコンデンサ、インダクタチップ、抵抗体チップ等の完成品若しくは未完成品等、及び／又は、これらを製造可能な例えば、角柱体若しくは円柱体、一端部に鍔を有する角柱体若しくは円柱体、両端部に鍔を有する角柱体若しくは円柱体等が挙げられる。このような小型部品は、例えば、その軸線長さが１．０〜３．２ｍｍで、軸線に垂直な平面における直径又は軸線に垂直な断面形状に外接する仮想外接円の直径が０．７〜２．３ｍｍの寸法を有している。この発明に係る保持治具は後述するようにその全体的な平面度が非常に高いから、前記寸法を有する小型部品の中でもより小さな小型部品を用いることができる。
【００１５】
この発明に係る保持治具は、前記小型部品の保持用として好適であり、例えば、少なくとも二箇所に電極形成用の導電性ペーストを塗布する必要のある小型部品の保持用としてさらに好適である。
【００１６】
この発明に係る保持治具の一実施例である保持治具１を、図面を参照して、説明する。この保持治具１は、図１及び図２等に示されるように、支持孔１１を有する平坦部１２（図１に図示しない。）及びこの平坦部１２の周囲に形成された鍔部１３を有してなる補強部材５と保持孔１５を有する弾性部材６とを備え、前記保持孔１５それぞれが前記支持孔１１それぞれの内部を通るように前記平坦部１２が弾性部材６に埋設されて成る。
【００１７】
前記補強部材５は、図２によく示されるように、支持孔１１が形成された平坦部１２が少なくとも後述する弾性部材６に埋設され、弾性部材６が平坦になるように、弾性部材６を補強支持する。この補強部材５は、図２及び図３に示されるように、多数の支持孔１１が穿設された矩形の平坦部１２と、平坦部１２の周囲に、平坦部１２の厚さ方向すなわち上面方向及び下面方向に突出した鍔部１３とを備えている。この鍔部１３はフランジ部と称することもできる。
【００１８】
前記鍔部１３は、保持治具１及び補強部材５の強度を補強するものの、前記平坦部１２、特にその中央部近傍の強度には大きく影響しない。したがって、補強部材５に鍔部１３が形成されていても、平坦部１２が後述する面積比（Ｓｈ／ＳＡ）を満足していないと、この発明の前記目的は十分に達成できない。その理由は、保持治具１を成形金型から脱型する際には、鍔部１３近傍の平坦部１２は鍔部１３でその変形が規制されるものの、平坦部１２の中央部ほどその変形を規制する部材がなく鍔部１３の補強効果も届きにくいから、前記中央部分は変形しやすくなる。ただし、鍔部１３があまりにも大きすぎると、保持治具１の生産性及び取扱性が大きく低下するから、その幅は通常８〜１２ｍｍ程度に設定されるのがよい。
【００１９】
前記鍔部１３は、平坦部１２を囲繞するように形成され、図２に示されるように、平坦部１２の上面方向及び下面方向における突出量が一定になるように調整されている。換言すると、鍔部１３は、図３に明確に示されるように、平坦部１２を囲繞する長方形の枠を成し、その厚さ方向の略中央部で鍔部１３よりも薄い平坦部１２に連結している。この鍔部１３は高い平面度すなわち均一な厚さを有している。具体的には、鍔部１３の厚さは適宜に調整され、例えば、８．９〜１０．０ｍｍの範囲内に設定される。鍔部１３は、以下のようにして算出された平面度が、例えば、０．１５ｍｍ以下である。鍔部１２の平面度の下限は理想的には０であるが、例えば０．０３ｍｍとすることができる。鍔部１３の平面度は以下のようにして決定される。まず、例えばステージに固定された補強部材５の鍔部１３における表面の任意の２０点を測定点として、ＣＮＣ画像測定システム「ＮＥＸＩＶシリーズ、株式会社ニコン製」等を用いて、各測定点の前記ステージ表面からの高さ値を測定する。測定された２０点の高さ値から最小値と最大値とを選出し、この最大値と最小値との差分を求める。この差分を鍔部１３の平面度とする。
【００２０】
前記平坦部１２は、図２及び図３に示されるように、厚さ方向に貫通する多数の支持孔１１が形成される領域であり、その厚さが一定で高い平面度を有している。平坦部１２の厚さは、例えば、５．９〜７ｍｍの範囲内にあるのが好ましい。平坦部１２は、以下のようにして算出された平面度が、例えば、０．１５ｍｍ以下である。平坦部１２の平面度の下限は理想的には０であるが、例えば０．０３ｍｍとすることができる。平坦部１２の平面度は以下のようにして決定される。まず、例えばステージに固定された補強部材５の平坦部１２における表面の任意の３０点を測定点として、ＣＮＣ画像測定システム「ＮＥＸＩＶシリーズ、株式会社ニコン製」等を用いて、各測定点の前記ステージ表面からの高さ値を測定する。測定された３０点の高さ値から最小値と最大値とを選出し、この最大値と最小値との差分を求める。この差分を平坦部１２の平面度とする。
【００２１】
前記平坦部１２は、図３によく示されるように、その全領域にわたって多数の支持孔１１が形成されている。このように、平坦部１２の内部に自身の強度を補強する支持孔１１が形成されない領域を設けなくても、平坦部１２が後述する面積比（Ｓｈ／ＳＡ）を満足していると、この発明の目的をよく達成できる。
【００２２】
前記補強部材５に形成される支持孔１１は、前記平坦部１２内に、その厚さ方向に貫通する支持孔１１を多数、例えば、４０００個以上、好ましくは少なくとも６０００個、より好ましくは少なくとも７０００個、特に好ましくは少なくとも７５００個有している（図３において、支持孔１１の一部を図示していない。）。補強部材５に多数の支持孔１１が形成されると、保持治具１を用いた小型部品の製造方法における生産性が向上する。
【００２３】
前記支持孔１１は、図３に示されるように、所謂「千鳥状」に配列されている。具体的には、支持孔１１は、この例において、図３に図示した補強部材５の短辺方向である第１配列方向に沿って、奇数行に配列された第１支持孔１１Ａと、偶数行に配列された第２支持孔１１Ｂとからなる。さらに具体的には、図３（ｂ）に示されるように、支持孔１１は、前記第１配列方向及びこの第１配列方向に交差する第２配列方向、この例において図３に図示した補強部材５の長辺方向に沿って配列された第１支持孔１１Ａと、前記第１配列方向に沿って隣接する２つの第１支持孔１１Ａの軸線１１ａ及び１１ｂ、並びに、前記第２配列方向の同じ側に前記２つの支持孔に隣接する２つの第１支持孔１１Ａの軸線１１ｃ及び１１ｄを、前記第１配列方向及び第２配列方向に沿って結んでなる矩形領域に、好ましくはその中心に軸線１１ｅが一致するように、配列された第２支持孔１１Ｂとからなる。そして、前記第１配列方向の最外列すなわち第２配列方向に延在する両鍔部１３に最も接近する第１行及び最終行に前記第１支持孔１１Ａが配列され、前記第２配列方向の最外列すなわち第１配列方向に延在する両鍔部１３に最も接近する第１列及び最終列に前記第２支持孔１１Ｂが配列されている。このような所謂「千鳥状」の配列においては、対角に位置する軸線１１ｂ及び１１ｃとこれらの間に配列された第２支持孔１１Ｂの軸線１１ｅとは同一直線Ｌ１上にあってこの直線Ｌ１と第１配列方向及び第２配列方向それぞれとの角度は一方が約６０°で他方が約３０°であり、対角に位置する軸線１１ａ及び１１ｄとこれらの間に配列された第２支持孔１１Ｂの軸線１１ｅとは同一直線Ｌ２上にあってこの直線Ｌ２と第１配列方向及び第２配列方向それぞれとの角度は一方が約３０°で他方が約６０°である。すなわち、軸線１１ａ、１１ｂ及び１１ｃを結んで成る直角三角形及び軸線１１ｄ、１１ｃ及び１１ｂを結んで成る直角三角形において、その内角は、９０°、３０°及び６０°になっている。
【００２４】
このように多数の支持孔１１が所謂「千鳥状」に配列されていると、前記のような所謂「千鳥状」の配列は、同じ領域であれば、例えば碁盤目状の配列等に対してより多数の、すなわち、高密度で支持孔１１を形成することができるので、保持治具１の生産性を大きく向上させることができる。この保持治具１は、それにもかかわらず、補強部材５の平坦部１２が後述する面積比（Ｓｈ／ＳＡ）を満足しているから、成形された保持治具１を成形金型から脱型するときに補強部材５特に平坦部１２が実質的に変形することなく、平坦部１２の平面度を維持できる。
【００２５】
前記支持孔１１は、第１配列方向及び第２配列方向ともに一定の間隔をおいて配列されている。第１支持孔１１Ａ及び第２支持孔１１Ｂそれぞれにおいて互いに隣接する支持孔１１同士の軸線距離である間隔それぞれは、後述する面積比（Ｓｈ／ＳＡ）が０．４０〜０．７０の範囲内となるように、支持孔１１の開口径等を考慮のうえ調整される。例えば、前記間隔それぞれは、前記面積比（Ｓｈ／ＳＡ）が前記範囲内となるように、１．８〜５．５ｍｍの範囲内に設定される。
【００２６】
平坦部１２の表面に開口する支持孔１１の開口部の形状、及び、支持孔１１を平坦部１２に平行な水平面で切断したときの断面形状は、特に限定されず、例えば、円形、楕円形、矩形、多角形等の形状を任意に選択することができる。前記開口部の形状及び前記断面形状は同じ形状であるのがよい。この例において、支持孔１１は、開口部の形状及び前記断面形状が同一の円形であり、略同一の直径を有している。支持孔１１の開口径すなわち直径は、後述する面積比（Ｓｈ／ＳＡ）が０．４〜０．７の範囲内となるように、前記間隔等を考慮のうえ調整される。例えば、支持孔１１の直径は、前記面積比（Ｓｈ／ＳＡ）が前記範囲内となるように、１．３〜２．６ｍｍの範囲内に設定される。
【００２７】
補強部材５の平坦部１２は、支持孔１１の合計開口面積Ｓｈと、多数の支持孔１１が形成された支持孔形成領域１４Ａの表面積ＳＡとの面積比（Ｓｈ／ＳＡ）が０．４０〜０．７０になっている。前記面積比（Ｓｈ／ＳＡ）が０．４０未満であると、支持孔１１の直径が一定の場合に、形成される支持孔１１の数が少なくなるから、保持治具１が保持可能な小型部品数が少なくなって保持治具１の生産性を十分に向上させることができない場合がある。一方、前記面積比（Ｓｈ／ＳＡ）が０．７０を超えると、この保持治具１を例えば成形金型で製造する場合において、成形された保持治具１を成形金型から脱型するときに、形成された保持孔１５と成形ピンとの密着力、摩擦力等によって、補強部材５特に前記平坦部１２の中央近傍が変形し、復元しない場合がある。その結果、保持治具１は、平坦部１２の平面度を維持することができず寸法精度に優れた小型部品を製造できなくなる。
【００２８】
前記面積比（Ｓｈ／ＳＡ）は、好ましくは０．４１〜０．６８であり、特に好ましくは０．４５〜０．６６である。前記面積比（Ｓｈ／ＳＡ）がこれらの範囲内にあると、この保持治具１を例えば成形ピンを備えた成形金型で製造する場合において、成形された保持治具１を成形金型から脱型するときの保持孔１５と成形ピンとの密着力等と補強部材５の強度とをバランスよく両立することができ、補強部材５をほとんど変形させることなく、保持治具１を成形金型から脱型することができる。また、前記面積比（Ｓｈ／ＳＡ）が前記範囲内にあると、小型部品の保持孔１５への挿入時及び抜取り時に平坦部１２に負荷がかかっても変形しにくく使用後においても保持治具１は初期の高い平面度を維持できる。
【００２９】
前記合計開口面積Ｓｈは前記支持孔１１の開口面積の総和である。前記支持孔形成領域１４Ａは、図３に示されるように、前記第１配列方向又は前記第２配列方向に平行で、最外列に配列された支持孔１１に接する外側の接線Ｔ１〜Ｔ４で囲繞された領域であり、前記表面積ＳＡは、前記支持孔形成領域１４Ａに支持孔１１が形成されていないと仮定したときの表面積である。したがって、前記平坦部１２は、前記支持孔形成領域１４Ａと、この支持孔形成領域１４Ａを囲繞すると共に鍔部１３との間に存在する支持孔非形成領域１４Ｂとからなる。この支持孔非形成領域１４Ｂは補強部材５の強度を補強するものの前記支持孔形成領域１４Ａ、特に、その中央部近傍の強度には大きく影響しない。したがって、補強部材５に前記支持孔非形成領域１４Ｂが形成されていても、前記面積比（Ｓｈ／ＳＡ）を満足していないと、この発明の前記目的は十分に達成できない。その理由は、保持治具１を成形金型から脱型する際には、前記支持孔非形成領域１４Ｂ近傍の支持孔形成領域１４Ａは前記支持孔非形成領域１４Ｂでその変形が規制されるものの、前記支持孔形成領域１４Ａの中央部分はその変形を規制する部材がなく前記支持孔非形成領域１４Ｂの補強効果も届きにくいから、前記中央部分は変形しやすくなる。
【００３０】
この発明においては、前記面積比（Ｓｈ／ＳＡ）に代えて又はと共に、前記支持孔１１の合計開口面積Ｓｈと平坦部１２の表面積ＳＰとの面積比（Ｓｈ／ＳＰ）が０．４１〜０．６８であるのが好ましい。前記面積比（Ｓｈ／ＳＰ）がこの範囲内にあると、平坦部１２の強度を低下させることなく、より一層多数の支持孔１１を千鳥状に配列形成できる。ここで、前記平坦部１２の表面積ＳＰは前記支持孔形成領域１４Ａの表面積ＳＡと前記支持孔非形成領域１４Ｂの表面積との合計表面積である。
【００３１】
平坦部１２及び鍔部１３を備えて成る補強部材５は、小型部品の生産性、支持孔１１の形成数、小型部品の寸法及び保持治具１の強度等を考慮して、鍔部１３及び平坦部１２の寸法が調整される。
【００３２】
補強部材５は、弾性部材６を平坦な形状に維持することのできる材料で形成されていればよく、このような材料として、金属及び樹脂等が挙げられる。具体的には、金属として、ステンレス鋼、炭素鋼、アルミニウム又はアルミニウム合金及びニッケル合金等が挙げられ、樹脂として、例えば、ポリエステル、ポリテトラフルオロエチレン、ポリイミド、ポリフェニレンスルフィド、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリエチレン及びポリ塩化ビニル等が挙げられる。この発明の目的をよく達成できる点で、補強部材５はステンレス鋼、アルミニウム又はアルミニウム合金及びポリフェニレンスルフィド樹脂等で形成されるのが好ましく、特にアルミニウム又はアルミニウム合金で形成されるのが好ましい。
【００３３】
前記弾性部材６は、図１及び図２に示されるように、多数の保持孔１５が穿孔され、前記平坦部１２を内部に収容可能な空隙を有している。そして、図２に示されるように、弾性部材６は、補強部材５の平坦部１２を埋設し、換言すると、平坦部１２の両面を被覆すると共に補強部材５の支持孔１１に貫入し、補強部材５の鍔部１３と面一になるように、形成されている。すなわち、弾性部材６は、平坦部１２の表面に配置され、補強部材５の鍔部１３によって囲繞されている。このように、弾性部材６は、その一部が補強部材５の支持孔１１に貫入してなる柱状体を介して、補強部材５の両面に配設された２つの板状成形体が一体に成っている。さらにいうと、弾性部材６は、平坦部１２の一方の表面を覆う第１の板状成形体と、平坦部１２の他方の表面を覆う第２の板状成形体と、第１の板状成形体及び第２の板状成形体を連結する柱状体とを備え、前記柱状体は前記支持孔１１の寸法と同じ寸法を有している。ここで、前記弾性部材６は、その保持孔１５が支持孔１１の内部を通るように平坦部１２を埋設している。好ましくは、弾性部材６は、図２に示されるように、保持孔１５が支持孔１１の軸線Ｃと共通する軸線Ｃを有するように、前記平坦部１２を埋設している。このように弾性部材６が形成されると、弾性部材６と補強部材５との密着性に優れるうえ小型部品の挿入及び抜取りが容易になる。
【００３４】
図１及び図２に示されるように、弾性部材６は、その厚さ方向に貫通し、自身に挿入又は貫入された小型部品をその弾性力で弾発的に保持する多数の保持孔１５を有している。弾性部材６は、保持孔１５を多数、例えば、４０００個以上、好ましくは少なくとも６０００個、より好ましくは少なくとも７０００個、特に好ましくは少なくとも７５００個有している（図１において、保持孔１５の一部を図示していない。）。弾性部材６に多数の保持孔１５が形成されると、保持治具１を用いた小型部品の製造方法における生産性が向上する。
【００３５】
複数の保持孔１５は、前記支持孔１１と基本的に同様に、前記第１配列方向及び前記第２配列方向に沿って所謂「千鳥状」に配列されている。具体的には、保持孔１１は、前記第１配列方向に沿って、奇数行に配列された第１保持孔１５Ａと、偶数行に配列された第２保持孔１５Ｂとからなる。そして、前記第１配列方向の最外列すなわち第２配列方向に延在する両鍔部１３に最も接近する第１行及び最終行に前記第１保持孔１５Ａが配列され、前記第２配列方向の最外列すなわち第１配列方向に延在する両鍔部１３に最も接近する第１列及び最終列に前記第２保持孔１５Ｂが配列されている。このように多数の保持孔１５が所謂「千鳥状」に配列されていると、前記したように、保持治具１の生産性を大きく向上させることができるにもかかわらず、平面度の高い保持治具１となる。
【００３６】
前記保持孔１５は、第１配列方向及び第２配列方向ともに一定の間隔をおいて配列されている。第１保持孔１５Ａ及び第２保持孔１５Ｂそれぞれにおいて互いに隣接する保持孔１５同士の軸線距離である間隔それぞれは前記支持孔１１の前記間隔と基本的に同値に設定される。
【００３７】
弾性部材６の表面に開口する保持孔１５の開口部の形状、及び、保持孔１５を弾性部材６に平行な水平面で切断したときの断面形状は、特に限定されず、例えば、円形、楕円形、矩形、多角形等の形状を任意に選択することができる。前記開口部の形状及び前記断面形状は同じ形状であるのがよい。この例においては、開口部の形状及び前記断面形状が同一の円形であり、略同一の直径を有している。保持孔１５の開口径は、保持する小型部品の寸法等を考慮のうえ、前記支持孔１１よりも小さな開口径となるように、調整される。例えば、保持孔１５の開口径すなわち直径は、小型部品の前記直径又は前記仮想外接円の直径に対して８０〜９０％の範囲内に設定され、例えば、０．４〜２．１ｍｍの範囲内に設定される。
【００３８】
弾性部材６は、小型部品の生産性、小型部品の寸法及び発揮される弾性力等を考慮して、前記鍔部１３と面一になるように、その寸法及び厚さが調整される。すなわち、弾性部材６の厚さ（両外表面間の距離）は、保持治具１の厚さと同じ厚さに調整され、通常、８．９〜１０．０ｍｍに調整される。
【００３９】
弾性部材６は、小型部品を挿入及び／又は抜き取る際に弾性変形し、かつ、破損しないように、所定の伸び、引張強さ及び硬度を有しているのが好ましい。例えば、ＪＩＳ  Ｋ６２４９に規定の切断時伸び（引張速度５００ｍｍ／ｍｉｎ）は、２００〜１０００％であるのが好ましく、４００〜９００％であるのが特に好ましく、ＪＩＳ  Ｋ６２４９に規定の引張強さ（引張速度５００ｍｍ／ｍｉｎ）は、５〜１５ＭＰａであるのが好ましく、７〜１４ＭＰａであるのが特に好ましく、ＪＩＳ  Ｋ６２５３に規定の硬度（ＪＩＳ  Ａ）は、２０〜８０であるのが好ましく、４０〜６０であるのが特に好ましい。前記ＪＩＳ  Ｋ６２４９に規定の切断時伸び及び引張強さは、２３℃、湿度５０％の環境下で、３号ダンベル形状の試験片を作製して、切断時伸びはつかみ具間隔を標線距離で２０ｍｍに設定して、実施する。
【００４０】
弾性部材６の表面は、保持治具１が小型部品の製造方法、例えば、小型部品用部材の電極形成工程に使用されるから、製品の均質性を実現し、また、弾性部材６の表面に導電性ペースト等が付着しないように、平滑であるのが好ましい。弾性部材６の表面を鏡面にするには、内面が鏡面とされた金型を用いて弾性部材６を成形する方法、成形後の表面を常法に従って研磨処理又は研削処理する方法等を選択すればよい。
【００４１】
弾性部材６は、弾性変形し、小型部品を挿入保持することのできる材料で形成される。このような材料として、例えば、ゴム及びエラストマー等が挙げられ、より具体的には、シリコーンゴムが挙げられる。シリコーンゴムの中でも、高重合度の線状ポリジメチルシロキサン若しくはその共重合体を架橋してゴム弾性を付与したシリコーンゴム、又は、耐酸性のシリコーンゴムが好ましい。高重合度の線状ポリジメチルシロキサンを架橋したシリコーンゴムとしては、例えば、商品名「ＫＥ−１９５０−５０」（信越化学工業株式会社製）等を入手することができる。
【００４２】
この保持治具１は、高い平面度、具体的には０．１５ｍｍ以下の平面度を有している。ここで、保持治具１の平面度は以下のようにして決定される。まず、例えばステージに固定された保持治具１の鍔部１３における表面の任意の２０点と弾性部材６における表面の任意の３０点とを測定点として、ＣＮＣ画像測定システム「ＮＥＸＩＶシリーズ、株式会社ニコン製」等を用いて、各測定点の前記ステージ表面からの高さ値を測定する。得られた弾性部材６の高さ値３０点と鍔部１３の高さ値２０点との合計５０点の高さ値から最小値と最大値とを選出し、この最大値と最小値との差分を求める。この差分を保持治具１の平面度とする。保持治具１が前記範囲の平面度を有していると、多数の小型部品を同一状態に保持することができ、特に、弾性部材６の表面から突出する小型部品の突出量及び突出方向がほとんどすべての小型部品で均一になる。その結果、例えば、弾性部材６の表面から突出するほとんどすべての小型部品の突出端にほぼ同一寸法及びほぼ同一形状の電極を形成することができ、均一な品質を有する小型部品を製造することができる。保持治具１の平面度の下限は、理想的には０であるが、現実的には、例えば、０．０５ｍｍである。保持治具１の平面度は、前記平坦部１２の平面度を調整することによって、及び／又は、弾性部材６の表面の平滑化することによって調整できるが、前記範囲の小さな値に調整するには前記面積比（Ｓｈ／ＳＡ）を０．４０〜０．７０にするのが特に有効である。
【００４３】
この発明に係る保持治具の別の一実施例である保持治具２を、図面を参照して、説明する。この保持治具２は、図４に示されるように、保持孔１５すなわち支持孔１１の配列が異なること以外は前記保持治具１と基本的に同様である。前記保持孔１５は、図４に示されるように、前記第１配列方向及び前記第２配列方向に沿って所謂「千鳥状」に配列されており、前記第１配列方向に沿って、奇数行に配列された第１保持孔１５Ａと偶数行に配列された第２保持孔１５Ｂとからなる。そして、前記第１配列方向の最外列及び前記第２配列方向の最外列のいずれにも前記第１保持孔１５Ａが配列されている。
【００４４】
保持治具１及び２は、例えば、小型部品の軸線が保持孔１５の軸線と略平行となる状態、好ましくは一致する状態に小型部品を保持孔１５に挿入して、その弾性力で弾発的に保持する。そして、小型部品を保持した保持治具１及び２は、小型部品の製造工程、搬送工程等に供される。保持治具１及び２に小型部品を保持するには、例えば、保持孔１５と同数の貫通孔が保持孔１５と同じ間隔で同様に整列された整列板を準備し、貫通孔と保持孔１５とが一致するように、整列板を保持治具１の上に重ね合わせる。次いで、整列板の貫通孔それぞれに小型部品を挿入し、小型部品を平坦な板状部材で均一に保持治具側に押圧する。そうすると、小型部品は保持孔１５に前記状態となるように挿入され、弾発的に保持される。このような方法の例として、例えば特許第４３３７４９８号明細書には、従来の各種方法（例えば０００４欄〜０００９欄及び図９〜１４参照。）と、これらの各種方法を改良した方法（特許請求の範囲及び図１及び図２等参照。）とが記載されている。
【００４５】
ところで、このような方法で多数の小型部品を一挙に実質的に同様の状態となるように保持孔１５に保持させるには、平坦な表面を有する板状部材上に保持治具１及び２を載置して行うことから、保持治具１及び２における弾性部材６の平面度はもちろん鍔部１３をも含む保持治具全体としての平面度も重要になる。すなわち、弾性部材６の平面度が高くても保持治具全体としての平面度が低いと、板状部材に保持治具１及び２を載置したときに保持治具１及び２の平面度が低下してしまう。ところが、前記保持治具１及び２は、後述するように補強部材５の高い平面度を維持することができ、全体としての平面度が高いから前記の方法に利用されても多数の小型部品を一挙に実質的に同様の状態となるように保持孔１５に保持することができる。
【００４６】
すなわち、保持治具１及び２は、補強部材５の前記平坦部１２が前記範囲の面積比（Ｓｈ／ＳＡ）を有しているから、たとえ生産性を向上させるために補強部材５の平坦部１２に支持孔１１を千鳥状配列に多数の穿孔しても、補強部材５の平坦部１２特にその中央部近傍の強度が大きく低下することなく、成形された保持治具１及び２を成形金型から脱型するときに、補強部材５特にその平坦部１２が変形することを実質的に防止することができる。その結果、保持治具１及び２は、弾性部材６の成形前における補強部材５特に平坦部１２の平面度を弾性部材６の成形後及び製品としても高度に維持することができる。さらに、保持治具１及び２は、その高い平面度を実現するために、前記平坦部１２の面積比（Ｓｈ／ＳＡ）が前記範囲内にあれば平坦部１２に穿孔する支持孔１１の数を大きく減少させなくてもよいから、保持治具１及び２の生産性を大きく犠牲にすることもない。したがって、保持治具１及び２は、多数の保持孔１５を有しているにもかかわらず、平面度が高く寸法精度に優れた多数の小型部品を生産性よく製造できる。
【００４７】
特に、保持治具１及び２は前記のように支持孔１１が高密度で穿孔された補強部材５を備えていても、この補強部材５特に平坦部１２は成形金型から脱型するときにほとんど変形することがなく、たとえ変形してもその程度は僅かであるから元の状態に容易に復元する。したがって、この発明によれば、高密度で穿孔された多数の保持孔を有しているにもかかわらず、成形ピンを有する成形金型を用いた製造時の変形が抑制された平面度の高い保持治具を提供するという目的を達成することができる。
【００４８】
この保持治具１及び２は平坦であるから多数の小型部品を均一な状態で保持することができる。したがって、この発明によれば、高い寸法精度を有する多数の小型部品を高い生産性で製造することのできる保持治具を提供するという目的を達成することができる。
【００４９】
この発明に係る保持治具は、保持孔を形成することのできる成形ピンを有する成形金型を用いて製造することができる。例えば保持治具１及び２の製造方法の一例を挙げると、厚さ方向に貫通すると共に千鳥状に配列された多数の支持孔１１を有し、支持孔１１の合計開口面積Ｓｈと多数の支持孔１１が形成された支持孔形成領域１４Ａの表面積ＳＡとの面積比（Ｓｈ／ＳＡ）が０．４０〜０．７０である平坦部１２及びこの平坦部１２の周囲に形成された鍔部１３を有してなる補強部材５を、収納凹部に立設された成形ピンを有する成形金型の前記収納凹部に、前記成形ピンが前記支持孔１１を貫通するように、収納する工程と、前記成形金型及び補強部材５で形成されたキャビティに弾性材料を注入して成形する工程とを有することを特徴とする保持治具の製造方法が挙げられる。以下に、前記保持治具１を例に挙げて、この製造方法の一例（以下、この発明に係る一製造方法と称することがある。）を説明する。
【００５０】
この発明に係る一製造方法においては、補強部材５を準備する。例えば、鍔部１３の厚さと同じ又はそれよりも厚い前記金属又は樹脂製等の板体から支持孔１１が形成されていない平坦部とその周囲に鍔部１３とを有する板状体を所望寸法に切り出す。又は、支持孔１１が形成されていない平坦部と鍔部１３とを別個に作製し、溶接又は接着等の接合手段によって平坦部と鍔部１３とを所望の位置に接合して、前記板状体を作製する。このようにして作製された板状体の平坦部に、所定形状及び直径を有する多数の支持孔１１を、研削、切削、やすり仕上げ等によって、前記第１配列方向及び前記第２配列方向に沿って所定の間隔で千鳥状に配列されるように、穿設して、補強部材５を作製する。又は、支持孔１１が形成された平坦部１２と鍔部１３とを別個に作製し、溶接又は接着等の接合手段によって平坦部又は平坦部１２と鍔部１３とを所望の位置に接合して、補強部材５を作製する。なお、平坦部１２の表面に、弾性部材６との密着を高めるために、接着剤又はプライマー等を塗布してもよい。
【００５１】
この発明に係る一製造方法においては、成形金型を準備する。成形金型３０は、図５に示されるように、第１金型３１と第２金型３２とから成り、第１金型３１及び第２金型３２それぞれは第１凹部４２及び第２凹部４３を有している。前記第１凹部４２には成形ピン４１が立設されている。そして、第１金型３１と第２金型３２とを重ね合せると、第１凹部４２及び第２凹部４３で収納凹部３３が形成される。この収納凹部３３は、補強部材５を収納する凹部であって、補強部材５と共に弾性部材６を形成する弾性材料が注入されるキャビティ３４を画成する。前記第１凹部４２及び前記第２凹部４３の内表面は鏡面加工されていてもよい。
【００５２】
前記第１金型３１に立設された成形ピン４１は、前記第１配列方向及び前記第２配列方向に、すなわち、保持孔１５と同様に、配列されている。前記第１配列方向及び前記第２配列方向はそれぞれ保持治具１における前記第１配列方向及び前記第２配列方向と同方向である。成形ピン４１は、例えば図６に示されるように、成形金型３０に補強部材５を収納したときに平坦部１２に形成された支持孔１１の軸線と一致する軸線を有するように千鳥状に配列されている。成形ピン４１は収納凹部３３の深さに一致する軸線長さと、保持する小型部品における前記直径又は前記仮想外接円の直径よりも小さな直径、具体的には、保持孔１５の直径と略同一の直径とを有している。
【００５３】
この発明に係る一製造方法においては、このようにして補強部材５及び成形金型３０を準備した後に、図６に示されるように、成形金型３０の収納凹部３３に、成形ピン４１それぞれが支持孔１１それぞれを貫通するように、補強部材５を収納する。収納凹部３３に補強部材５を収納すると、弾性部材６が形成される部分に成形金型３０及び補強部材５で画成されたキャビティ３４が形成される。
【００５４】
この発明に係る一製造方法においては、次いで、前記キャビティ３４に弾性部材６を形成可能な液状の弾性材料を注入して弾性部材６を成形する。弾性材料の成形方法は、特に限定されず、例えば、圧縮成形、射出成形、トランスファー成形等の成形方法を採用することができる。成形温度及び成形時間等は、使用する弾性材料が硬化する温度及び時間であればよく、弾性材料に応じて任意に調整される。
【００５５】
成形された弾性部材６には、その表面に成形バリが生じていた場合、成形バリを取り除くため、研削等の表面処理が行われてもよい。例えば、表面処理として、平面研削、フライス研削、ラッピング等が挙げられる。また、保持治具１における弾性部材６の表面を鏡面加工することもできる。なお、弾性部材６の成形後に、弾性部材６の硬化を確実にするため、二次加熱又は熱処理等を行ってもよい。
【００５６】
このようにして、保持治具１が製造される。なお、前記保持治具２もこの発明に係る一製造方法と同様にして製造できる。
【００５７】
この発明に係る一製造方法は、前記条件を満足する補強部材５を用いることを特徴とするから、補強部材５に穿孔する支持孔１１の数を大きく減少させなくても、成形された保持治具１及び２を成形金型３０から脱型するときに、形成された保持孔１５と成形ピン４１との密着力、摩擦力等によって、保持治具１及び２特に平坦部１２の変形を実質的に防止することができる。特に、前記平坦部１２が前記条件を満たしていれば、成形ピン４１が第１凹部４２のみに立設された成形金型３０を用いても、また、成形ピン４１が第２凹部４３のみに立設された成形金型を用いても、保持治具１及び２を成形金型３０から脱型するときに、保持治具１及び２がほとんど変形することがない。その結果、この発明に係る一製造方法によれば、多数の保持孔を有しているにもかかわらず、全体としての平面度が高く寸法精度に優れた多数の小型部品を生産性よく製造可能な保持治具１及び２を製造することができる。
【００５８】
この発明における保持治具は、前記した実施例に限定されることはなく、本願発明の目的を達成することができる範囲において、種々の変更が可能である。
【００５９】
前記保持治具１において、図１に示されるように、第１保持孔１５Ａは前記第１配列方向の最外列になるように配列され、第２保持孔１５Ｂは前記第２配列方向の最外列になるように配列され、前記保持治具２において、図４に示されるように、第１保持孔１５Ａは前記第１配列方向の最外列及び前記第２配列方向の最外列になるように配列されているが、この発明において、第１保持孔又は第２保持孔が前記第１配列方向及び第２配列方向の少なくとも１つの最外列又はすべての最外列になるように配列されてもよい。具体的には、特許文献２の図６に示される非対称型千鳥状であってもよく、特許文献２の図７に示される最外列対称型千鳥状であってもよく、特許文献２の図８に示される逆抜千鳥状であってもよい。この発明においては支持孔の配列も保持孔と同様である。
【００６０】
前記保持治具１及び２において、支持孔１１及び保持孔１５はいずれも図１〜図４に示されるように、対角に位置する軸線１１ｂ又は１１ａ及び１１ｃ又は１１ｄとこれらの間に配列された第２支持孔１１Ｂの軸線１１ｅとを結ぶ直線が第１配列方向及び第２配列方向それぞれと約３０°及び約６０°で交差する所謂「千鳥状」に配列されているが、この発明において、支持孔及び保持孔の配列は、対角に位置する軸線とこれらの間に配列された第２支持孔の軸線とを結ぶ直線が第１配列方向及び第２配列方向それぞれと交差する角度は特に限定されず、任意の角度例えば１５〜７５°に設定することができる。
【００６１】
前記保持治具１及び２は、前記第１配列方向及び前記第２配列方向に沿う支持孔１１の間隔が異なる間隔に設定され、かつ、前記第１配列方向及び前記第２配列方向に沿う保持孔１５の間隔が異なる間隔に設定されているが、この発明において、第１配列方向及び第２配列方向に沿う支持孔の間隔は同一の間隔に設定されていてもよく、また、第１配列方向及び第２配列方向に沿う保持孔の間隔同一の間隔に設定されていてもよい。
【００６２】
保持治具１及び２において、図３に示されるように、補強部材５は平坦部１２の周囲に鍔部１３が形成されているが、この発明においては、鍔部は、平担部の周囲に形成されている必要はなく、平坦部の少なくとも１端縁に形成されてもよい。
【００６３】
保持治具１及び２において、図１〜図４に示されるように、支持孔１１は、保持孔１５の開口部と同様の開口部形状に穿孔されているが、この発明においては、支持孔は、保持孔の開口部と異なる開口部形状に穿孔されてもよい。支持孔１１は円形の開口部を有する必要はなく、開口部の形状として前記した種々の形状の中から任意に選択することができる。
【００６４】
この発明に係る保持治具の製造方法は、前記した実施例に限定されることはなく、本願発明の目的を達成することができる範囲において、種々の変更が可能である。
【００６５】
前記成形金型３０において、成形ピン４１は、第１金型３１の第１凹部４２に立設されているが、この発明において、成形ピンは、第２金型の第２凹部に立設されていてもよく、第１金型の第１凹部及び第２金型の第２凹部に立設されていてもよい。成形ピンが前記第１凹部及び前記第２凹部の両方に立設されている場合には、保持治具を成形金型から脱型するときに補強部材の変形をより一層効果的に防止することができる。前記第１凹部及び前記第２凹部に立設される成形ピンの数は任意に設定されることができる。前記第１凹部及び前記第２凹部の両方に成形ピンが立設されている場合には、例えば、第１凹部に立設された成形ピン数と第２凹部に立設された成形ピン数との比が１０：９０〜９０：１０の範囲内で設定されることができ、５０：５０に設定されることもできる。また、成形ピンが前記第１凹部及び前記第２凹部の両方に立設されている場合には、第１配列方向及び第２配列方向に沿って隣接する成形ピンは第１金型の第１凹部と第２金型の第２凹部とに任意又は交互に立設されていてもよい。
【実施例】
【００６６】
（実施例１）
厚さ８．９ｍｍのアルミニウム板を縦（短辺方向とも称する。）１８０ｍｍ×横（長辺方向とも称する。）２７０ｍｍに切り出し、その縦１６０ｍｍ×横２５７ｍｍの長方形の領域を、両表面から深さ１．５ｍｍまでの部分を切削して、厚さが５．９ｍｍの平坦部とその周囲に鍔部１３を有する板状体を作製した。この平担部に、１．３０ｍｍの直径を有する円形の支持孔１１を、第１支持孔１１Ａ及び第２支持孔１１Ｂ共に縦方向に３．２５ｍｍ、横方向に１．８７ｍｍの間隔となるように、第１支持孔１１Ａを縦４８行及び横１３３列に配列し、第２支持孔１１Ｂを縦４７行及び横１３４列に配列した図３に示される千鳥状の配列となるように、合計１２６８２個穿孔した。このようにして、図３に示される補強部材５を作製した。前記第２支持孔１１Ｂの中心はその周囲の第１支持孔１１Ａの中心とほぼ一致していた。
【００６７】
次いで、炭素鋼Ｓ−５０Ｃで同一寸法の第１金型３１及び第２金型３２を有する成形金型３０を作製した。第１凹部４２及び第２凹部４３は、図５に示されるように、収納凹部３３が補強部材５の寸法と同一となるように、形成されている。第１凹部４２には、前記支持孔１１と同様の所謂「千鳥状」に配列された成形ピン４１が立設されていた。この成形ピン４１は、収納凹部３３の深さに一致する８．９ｍｍの軸線長さと、保持する小型部品の保持孔１５に挿入される部分の直径又は幅よりも小さな０．４ｍｍの直径とを有していた。このようにして成形金型３０を作製した。
【００６８】
次いで、図６に示されるように、この成形金型３０の収納凹部３３に、成形ピン４１が支持孔１１を貫通するように、補強部材５を収納した。成形金型３０及び補強部材５で形成されたキャビティ３４にシリコーンゴム（信越化学工業株式会社製、商品名「ＫＥ−１９５０−５０」）を注入して、１２０℃で１０分間加熱し、補強部材５とシリコーンゴムとを一体成形した。
【００６９】
次いで、成形金型３０の第１金型３１を第２金型３２からほぼ垂直に離間させて成形金型３０を開き、保持治具１を脱型した。このようにして、保持孔１５と支持孔１１とが軸線を共有する保持治具を製造した。
【００７０】
なお、弾性部材６の切断時伸び、引張強さ及びＪＩＳ  Ａ硬度として、前記弾性部材６を形成する前記シリコーンゴムを同様に成形してＪＩＳ  Ｋ６２４９及びＪＩＳ  Ｋ６２５３に記載のゴム試験片をそれぞれ作製し、前記測定方法に準拠して、ゴム試験片の切断時伸び、引張強さ及びＪＩＳ  Ａ硬度をそれぞれ測定した。その結果、切断時伸び、引張強さ及びＪＩＳ  Ａ硬度はそれぞれ、６００％、８．８ＭＰａ及び４９であった。
【００７１】
（実施例２）
前記板状体の平担部に、２．００ｍｍの直径を有する円形の支持孔１１を、第１支持孔１１Ａ及び第２支持孔１１Ｂ共に縦方向に３．９５ｍｍ、横方向に２．２９ｍｍの間隔となるように、第１支持孔１１Ａを縦４０行及び横１０９列に配列し、第２支持孔１１Ｂを縦３９行及び横１１０列に配列した図３に示される所謂「千鳥状」の配列となるように、８６５０個穿孔したこと以外は、実施例１と基本的に同様にして図３に示される補強部材５を作製した。この補強部材５を用いて実施例１と基本的に同様にして保持治具を製造した。
【００７２】
（実施例３）
前記板状体の平担部に、２．６０ｍｍの直径を有する円形の支持孔１１を、第１支持孔１１Ａ及び第２支持孔１１Ｂ共に縦方向に５．２８ｍｍ、横方向に３．０５ｍｍの間隔となるように、第１支持孔１１Ａを縦３０行及び横８１列に配列し、第２支持孔１１Ｂを縦２９行及び横８２列に配列した図３に示される所謂「千鳥状」の配列となるように、４８０８個穿孔したこと以外は、実施例１と基本的に同様にして図３に示される補強部材５を作製した。この補強部材５を用いて実施例１と基本的に同様にして保持治具を製造した。
【００７３】
（実施例４）
前記板状体の平担部に、２．２０ｍｍの直径を有する円形の支持孔１１を、第１支持孔１１Ａ及び第２支持孔１１Ｂ共に縦方向に２．７１ｍｍ、横方向に４．７０ｍｍの間隔となるように、第１支持孔１１Ａを縦５７行及び横５３列に配列し、第２支持孔１１Ｂを縦５６行及び横５４列に配列した図３に示される所謂「千鳥状」の配列となるように、６０４５個穿孔したこと以外は、実施例１と基本的に同様にして図３に示される補強部材５を作製した。この補強部材５を用いて実施例１と基本的に同様にして保持治具を製造した。
【００７４】
（実施例５）
前記板状体の平担部に、２．２０ｍｍの直径を有する円形の支持孔１１を、第１支持孔１１Ａ及び第２支持孔１１Ｂ共に縦方向に２．７１ｍｍ、横方向に４．７０ｍｍの間隔となるように、第１支持孔１１Ａを縦５７行及び横５３列に配列し、第２支持孔１１Ｂを縦５６行及び横５２列に配列した図４に示される所謂「千鳥状」の配列となるように、５９３３個穿孔したこと以外は、実施例１と基本的に同様にして図４に示される補強部材５を作製した。この補強部材５を用いて実施例１と基本的に同様にして保持治具を製造した。
【００７５】
（比較例１）
前記板状体の平担部に、２．６０ｍｍの直径を有する円形の支持孔１１を、第１支持孔１１Ａ及び第２支持孔１１Ｂ共に縦方向を５．００ｍｍ、横方向に２．９１ｍｍの間隔となるように、第１支持孔１１Ａを縦３１行及び横８４列に配列し、第２支持孔１１Ｂを縦３０行及び横８５列に配列した図３に示される所謂「千鳥状」の配列となるように５１５４個穿孔したこと以外は、実施例１と基本的に同様にして図３に示される補強部材５を作製した。この補強部材５を用いて実施例１と基本的に同様にして保持治具を製造した。
【００７６】
（合計開口面積Ｓｈ等の測定）
実施例１〜５及び比較例１で製造した保持治具の各補強部材５において、支持孔１１の合計開口面積Ｓｈ、平坦部１２の表面積Ｓｐ、支持孔形成領域１４Ａの表面積ＳＡ、面積比（Ｓｈ／ＳＡ）及び面積比（Ｓｈ／Ｓｐ）を算出した結果、並びに、平坦部１２及び鍔部１３の平面度を前記方法に従って測定した結果を第１表に示す。
【００７７】
（保持治具の平面度の測定）
実施例１〜５及び比較例１で製造した保持治具における平面度を前記方法に従って測定した結果を第１表に示す。なお、各保持治具における弾性部材の平面度を測定したところ、いずれも、０．０８ｍｍ以下であった。
【００７８】
【表１】
2011222889.tif 000003
【００７９】
第１表に示されるように、実施例１〜５の保持治具はいずれも前記面積比（Ｓｈ／ＳＡ）を満たす補強部材を備えており、いずれも高い平面度を有していることがわかった。
【符号の説明】
【００８０】
１、２  保持治具
５  補強部材
６  弾性部材
１１  支持孔
１１Ａ  第１支持孔
１１Ｂ  第２支持孔
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅ  軸線
１２  平坦部
１３  鍔部
１４Ａ  支持孔形成領域
１４Ｂ  支持孔非形成領域
１５  保持孔
１５Ａ  第１保持孔
１５Ｂ  第２保持孔
３０  成形金型
３１  第１金型
３２  第２金型
３３  収納凹部
３４  キャビティ
４１  成形ピン
４２  第１凹部
４３  第２凹部
Ｌ１、Ｌ２  直線
Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３、Ｔ４  接線
【図１】
2011222889.tif 000004
【図２】
2011222889.tif 000005
【図３】
2011222889.tif 000006
【図４】
2011222889.tif 000007
【図５】
2011222889.tif 000008
【図６】
2011222889.tif 000009