(57)【要約】【課題】微細なパターンが形成されたフレキシブルなシート基材を高い精度で計測するための固定治具とその製造方法およびシート基材の計測方法とマイクロコンタクトプリントによるパターン形成方法を提供する。【解決手段】シート基材計測用の固定治具１を支持基板２と、この支持基板２の一方の面に位置する粘着性保持層３と、を備えたものとし、粘着性保持層３の上面がシート基材を載置するための載置面３ａとし、この載置面３ａが一定方向に沿って配列している複数の凹部４を有し、また、凹部４を除く載置面３ａの表面粗さＲaを０．０００３〜０．００５μｍの範囲、平坦性ＲP-Vが０．５〜１０μｍの範囲とする。【選択図】  図１
2011222661.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持基板と、該支持基板の一方の面に位置する粘着性保持層と、を備え、該粘着性保持層の上面がシート基材を載置するための載置面となっており、該載置面には一定方向に沿って延びている複数の凹部が所望の間隔で配列しており、該凹部を除く前記載置面は表面粗さＲaが０．０００３〜０．００５μｍの範囲、平坦性ＲP-Vが０．５〜１０μｍの範囲であることを特徴とするシート基材計測用の固定治具。
【請求項２】
前記粘着性保持層の材質は、シリコーンゴム、ポリウレタン、ブチルゴム、ポリスチレン系エラストマーのいずれかであることを特徴とする請求項１に記載のシート基材計測用の固定治具。
【請求項３】
前記シリコーンゴムは、ポリジメチルシロキサン、ビニルシリコーン、フェニルシリコーンの少なくとも1種であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート基材計測用の固定治具。
【請求項４】
前記凹部の幅は１〜１０μｍの範囲にあり、深さは１〜１０μｍの範囲にあり、隣接する凹部のピッチは７〜３００ｍｍの範囲にあることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のシート基材計測用の固定治具。
【請求項５】
表面粗さＲaが０．０００３〜０．００５μｍの範囲、平坦性ＲP-Vが０．５〜１０μｍの範囲となるように研磨した基板上に感光性レジストを塗布し、所望のマスクを介して露光した後、現像して、一定方向に沿って延設され所望の間隔で配列した複数の凸部を形成してマスター版とする工程と、
前記マスター版の前記凸部を形成した面に粘着性ゴム材料を供給する工程と、
前記粘着性ゴム材料上に支持基板を載置し、前記粘着性ゴム材料を硬化して粘着性保持層とする工程と、
前記支持基板とともに前記粘着性保持層を前記マスター版から剥離する工程と、を有することを特徴とするシート基材計測用固定治具の製造方法。
【請求項６】
前記マスター版の前記凸部を形成した面に離型剤を塗布した後、前記粘着性ゴム材料を供給することを特徴とする請求項５に記載のシート基材計測用固定治具の製造方法。
【請求項７】
前記凸部の幅を１〜１０μｍの範囲で、高さを１〜１０μｍの範囲で、隣接する凸部のピッチを７〜３００ｍｍの範囲で設定することを特徴とする請求項５または請求項６に記載のシート基材計測用固定治具の製造方法。
【請求項８】
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のシート基材計測用の固定治具の前記載置面に、パターンが形成された面を上にしてシート基材を載置し、計測用のプローブを、前記載置面の前記凹部が存在しない部位に位置し、かつ、前記凹部の延設方向に沿うようにして前記シート基材上に走査させて前記パターンを計測することを特徴とするシート基材の計測方法。
【請求項９】
マイクロコンタクトプリントによりパターンを形成したシート基材について、請求項８に記載のシート基材の計測方法でパターンの計測を行い、該計測結果が所望の範囲にある場合を適合と判定して条件出し、あるいは、抜き取り検査判定を行うことを特徴とするマイクロコンタクトプリントによるパターン形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微細配線、素子等の所望の線、模様等の図形（以下、本発明ではパターンとも言う）が形成されたシート基材、特にフレキシブルなシート基材を計測するための固定治具とこれを簡便に作製するための製造方法、および、この固定治具を用いたシート基材の計測方法とマイクロコンタクトプリントにより所望のパターンを形成する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
マイクロ〜ナノオーダーの微細パターニング技術として、ソフトリソグラフィがあり、これは、微細なモールドにシリコーン樹脂などの流動性のある材料を流し込み、そのまま硬化させることで微細な立体構造を転写する技術である。このソフトリソグラフィにより得られる樹脂製モールドを版としてパターニングする技術として、マイクロコンタクトプリント（以下、「μＣＰ」とも記す）法がある。このμＣＰ法は微細パターン形成技術であり、例えば、シリコンや石英等の基板上にソフトリソグラフィで作製されたパターンを有するマスター版に、ポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ：２液硬化性のシリコーン樹脂）等の液状材料を流し込み硬化させ、その後、マスター版と硬化したＰＤＭＳとを引き離して、マスター版の反転パターンを有するＰＤＭＳからなるスタンプを作製する。そして、このスタンプの転写凸部上にインクを載せ、シートチャックに載置保持されている被加工物にインクを転写するものである。
【０００３】
このようなμＣＰ法を用いてフレキシブルなシート基材に素子や配線等の所望のパターンを形成する場合、通常、パターンの寸法は、幅が数百ｎｍ〜数十μｍ、厚さが数十ｎｍ〜数μｍ程度の微細なものとなる。そして、このようなパターンをμＣＰ法で形成する際の条件出し、あるいは、パターン形成進行中の随時の抜き取り検査において、パターンが所望の精度で形成されているか否かを計測する必要あり、この計測では、シート基材を固定し、その表面の形状の精密な計測が要求される。
一方、フレキシブルなシート基材の搬送、実装等における固定方法としては、従来から粘着テープ、粘着材を使用することが知られている（例えば、特許文献１〜３）。
また、シリコンウエハ等の保持手段として、真空チャックが従来から用いられている（例えば、特許文献４）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２６１１９３号公報
【特許文献２】特開２００３−２４３８１９号公報
【特許文献３】特開２００７−２６６５５８号公報
【特許文献４】特開平０７−３１４３７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、フレキシブルなシート基材の計測において、シート基材の固定に粘着テープ、粘着材を使用する場合、両者の間に気泡が入り込まないようにシート基材を貼着することが難しく、シート基材の計測に悪影響を及ぼすという問題があった。また、一般に粘着テープ、あるいは、塗布形成された粘着材層の表面形状は平坦性が悪く、この点もシート基材の計測への悪影響となるという問題があった。
一方、真空チャックを使用する場合、上記の気泡の入り込みは防止される。しかし、従来の多孔質真空チャックは、数ｍｍの領域において数μｍの凹凸を有するものが多く、例えば、厚さが数十μｍのシート基材は、固定された多孔質チャックの表面形状に倣ってしまう。このため、真空チャックを使用してシート基材のパターンの厚みを計測すると、計測結果のチャートのベースラインが変動し、大きい場合には、変動幅が測定対象のパターンの厚みを超えることがあり、パターンの正確な計測が困難であった。また、表面凹凸が少なく平坦性に優れた多孔質真空チャックは非常に高価であった。したがって、パターンを有するフレキシブルなシート基材の正確な計測が可能な安価な固定治具が要望されている。
本発明は上述のような実情に鑑みてなされたものであり、微細なパターンが形成されたフレキシブルなシート基材を高い精度で計測するための固定治具とその製造方法およびシート基材の計測方法とマイクロコンタクトプリントによるパターン形成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このような課題を解決するために、本発明のシート基材計測用の固定治具は、支持基板と、該支持基板の一方の面に位置する粘着性保持層と、を備え、該粘着性保持層の上面がシート基材を載置するための載置面となっており、該載置面には一定方向に沿って延びている複数の凹部が所望の間隔で配列しており、該凹部を除く前記載置面は表面粗さＲaが０．０００３〜０．００５μｍの範囲、平坦性ＲP-Vが０．５〜１０μｍの範囲であるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記粘着性保持層の材質は、シリコーンゴム、ポリウレタン、ブチルゴム、ポリスチレン系エラストマーのいずれかであるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記シリコーンゴムは、ポリジメチルシロキサン、ビニルシリコーン、フェニルシリコーンの少なくとも1種であるような構成とした。
本発明の他の態様として、前記凹部の幅は１〜１０μｍの範囲にあり、深さは１〜１０μｍの範囲にあり、隣接する凹部のピッチは７〜３００ｍｍの範囲にあるような構成とした。
【０００７】
本発明のシート基材計測用の固定治具の製造方法は、表面粗さＲaが０．０００３〜０．００５μｍの範囲、平坦性ＲP-Vが０．５〜１０μｍの範囲となるように研磨した基板上に感光性レジストを塗布し、所望のマスクを介して露光した後、現像して、一定方向に沿って延設され所望の間隔で配列した複数の凸部を形成してマスター版とする工程と、前記マスター版の前記凸部を形成した面に粘着性ゴム材料を供給する工程と、前記粘着性ゴム材料上に支持基板を載置し、前記粘着性ゴム材料を硬化して粘着性保持層とする工程と、前記支持基板とともに前記粘着性保持層を前記マスター版から剥離する工程と、を有するような構成とした。
本発明の他の態様として、前記マスター版の前記凸部を形成した面に離型剤を塗布した後、前記粘着性ゴム材料を供給するような構成とした。
本発明の他の態様として、前記凸部の幅を１〜１０μｍの範囲で、高さを１〜１０μｍの範囲で、隣接する凸部のピッチを７〜３００ｍｍの範囲で設定するような構成とした。
【０００８】
本発明のシート基材の計測方法は、上述の本発明のシート基材計測用の固定治具の前記載置面に、パターンが形成された面を上にしてシート基材を載置し、計測用のプローブを、前記載置面の前記凹部が存在しない部位に位置し、かつ、前記凹部の延設方向に沿うようにして前記シート基材上に走査させて前記パターンを計測するような構成とした。
【０００９】
本発明のマイクロコンタクトプリントによるパターン形成方法は、マイクロコンタクトプリントによりパターンを形成したシート基材について、上述の本発明のシート基材の計測方法でパターンの計測を行い、該計測結果が所望の範囲にある場合を適合と判定して条件出し、あるいは、抜き取り検査判定を行うような構成とした。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のシート基材計測用の固定治具は、粘着性保持層の載置面にシート基材を保持するので、着脱が容易であり、また、粘着性保持層の載置面の表面形状が極めて良好であり、かつ、載置面が有する凹部がシート基材と載置面との間への気泡の閉じ込めを防止するので、シート基材の変形、歪み等を生じることなく固定保持することができ、精度の高い計測が可能である。
本発明のシート基材計測用固定治具の製造方法は、研磨により表面形状を極めて良好なものとした基板上に凸部を備えるマスター版を使用し、このマスター版の表面形状を粘着性ゴム材料に転写して粘着性保持層とすると同時に凹部も形成するので、載置面の表面形状が極めて良好な粘着性保持層を備えた本発明の固定治具を簡便に、かつ確実に製造することができ、量産性に優れるものである。
本発明のシート基材の計測方法は、上記の本発明の固定治具の粘着性保持層の載置面にシート基材を載置して固定し、粘着性保持層の凹部の延設方向に沿って計測用のプローブを走査させるので、載置面の表面形状が極めて良好な領域を用いて精度の高い計測が可能である。
また、本発明のマイクロコンタクトプリントによるパターン形成方法では、上記の計測方法により計測した結果をもとに条件出し、あるいは、抜き取り検査判定を行うので、微細なパターン形状であっても高い精度で安定したパターン形成を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明のシート基材計測用の固定治具の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示されるシート基材計測用の固定治具のＩ−Ｉ線における断面図である。
【図３】本発明のシート基材計測用の固定治具の他の実施形態を示す斜視図である。
【図４】本発明のシート基材計測用固定治具の製造方法の一実施形態を説明するための工程図である。
【図５】本発明のシート基材の計測方法を説明するための図である。
【図６】マイクロコンタクトプリントによるパターン形成の一例を示す工程図であるである。
【図７】実施例において計測したパターンの厚みを示すチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
［シート基材計測用の固定治具］
図１は本発明のシート基材計測用の固定治具の一実施形態を示す斜視図であり、図２は図１に示される固定治具のＩ−Ｉ線における断面図である。図１および図２において、本発明のシート基材計測用の固定治具１は、支持基板２と、この支持基板２の一方の面２ａ上に位置する粘着性保持層３と、を備えている。また、粘着性保持層３の上面はシート基材１１（図１に二点鎖線で示している）を載置するための載置面３ａとなっており、この載置面３ａには一定方向（図１では矢印Ａで示した方向）に沿って延設されている複数の凹部４が所望の間隔で配列している。このような粘着性保持層３の凹部４を除く載置面３ａは、その表面粗さＲaが０．０００３〜０．００５μｍ、好ましくは０．０００３〜０．００２μｍの範囲、平坦性ＲP-Vが０．５〜１０μｍ、好ましくは０．５〜２μｍの範囲である。載置面３ａの表面粗さＲaが０．０００３μｍ未満、あるいは、平坦性ＲP-Vが０．５μｍ未満であると、表面形状は極めて良好であり、シート基材の計測には何ら支障はないが、このような表面形状を得るための後述するマスター版の作製コストの増大を来す。また、載置面３ａの表面粗さＲaが０．００５μｍを超えたり、平坦性ＲP-Vが１０μｍを超える場合は、計測精度に悪影響を及ぼすような変形や歪みが載置面３ａに固定されるシート基材に生じることがあり好ましくない。
尚、本発明では、表面粗さＲaの測定を触針式表面形状測定機により行い、平坦性ＲP-Vの測定を非接触のＣＮＣ三次元形状測定機により行う。
【００１３】
本発明の固定治具を構成する支持基板２の材質としては、例えば、シリコン、アルミニウム、真鍮、ステンレス鋼等の金属、ガラス、サファイヤ、シリコンカーバイド、ジルコニア等のセラミックスを挙げることができる。また、支持基板２の面２ａは、粘着性保持層３との密着性を向上させるために、プラズマ照射、ＵＶ照射、ＶＵＶ（真空紫外線）照射等の処理を施したものであってもよい。このような支持基板２の厚みは、粘着性保持層３を確実に保持でき、かつ、変形を生じ難い十分な機械的強度を有するように、使用する材質を考慮して適宜設定することができる。また、支持基板２の面２ａの形状、寸法は、形成する粘着性保持層３に応じて適宜設定することができる。
本発明の固定治具を構成する粘着性保持層３は、素子や配線等の所望のパターンが形成されたシート基材１１を着脱可能に載置固定するものである。したがって、粘着性保持層３は適度の粘着性を具備していることが必要であり、例えば、プローブタック法により測定した粘着力が０．１〜６ｇ／φ５ｍｍの範囲、好ましくは０．３〜３ｇ／φ５ｍｍの範囲にあることが望ましい。このような粘着力の測定値が０．１ｇ／φ５ｍｍ未満であると、シート基材１１の固定が不十分となり計測精度の低下を来すことがあり、また、６ｇ／φ５ｍｍを超えると、粘着性保持層３からシート基材１１を取り外す際にシート基材やパターンに不要の応力が及んで変形や損傷を生じることがあり好ましくない。
【００１４】
また、載置面３ａに一定方向に沿って延びている複数の凹部４は、素子や配線等の所望のパターンが形成されたシート基材１１を載置面３ａに載置固定する際に、シート基材１１と載置面３ａとの間に気泡が閉じ込められるのを防止するものである。このような凹部４は、載置面３ａの一方の端部から他方の端部に至るように延設されており、したがって、凹部４の端部４ａ，４ａは粘着性保持層３の側面３ｂに露出している。このような凹部４の幅は１〜１０μｍ、好ましくは１〜５μｍの範囲にあり、深さは１〜１０μｍ、好ましくは３〜５μｍの範囲にあり、隣接する凹部４のピッチは７〜３００μｍ、好ましくは７〜１５０μｍの範囲にあることが望ましい。凹部４の幅が１μｍ未満であると、凹部４の形成が困難であり、１０μｍを超えると、載置面３ａに載置固定されたシート基材１１上の素子や配線等の計測対象であるパターンが、凹部４の上方に位置する可能性が増大し、計測精度の点から好ましくない。また、凹部４の深さが１μｍ未満であると、載置面３ａにシート基材１１を載置した際の空気の逃げ道としての機能が不十分となり、１０μｍを超えると、凹部４の形成が困難となり好ましくない。さらに、隣接する凹部４のピッチが７μｍ未満であると、シート基材１１の計測を行うための領域が狭くなり安定した計測が難しくなり、３００μｍを超えると、シート基材１１と載置面３ａとの間に気泡が閉じ込められおそれがあり好ましくない。また、形成する凹部４の本数は適宜設定することができ、例えば、７００〜３００００本の範囲で設定することができる。尚、複数の凹部４の深さ、幅、隣接する凹部４のピッチは、それぞれ一定でなくてもよく、例えば、隣接する凹部４のピッチは、配列方向（図２に矢印Ｂで示される方向）において載置面３ａの中央部では狭く、載置面３ａの周辺部では広いような設定であってもよい。
【００１５】
このような粘着性保持層３の材質としては、例えば、ポリジメチルシロキサン、ビニルシリコーン、フェニルシリコーン等のシリコーンゴム、ポリウレタン、ブチルゴム、ポリスチレン系エラストマー等を挙げることができる。また、粘着性保持層３の厚みは、載置面３ａの表面形状を安定して維持できるものであれば特に制限はなく、例えば、０．３〜１．５ｍｍの範囲で適宜設定することができる。また、載置面３ａの外形、寸法は、計測対象のシート基材の外形、寸法に応じて適宜設定することができる。
また、本発明のシート基材計測用の固定治具は、図３に示されるように、載置面３ａに位置する凹部４が、その両端部４ａ，４ａを載置面３ａに存在させるように形成されたものであってもよい。すなわち、計測対象のシート基材１１が、図３に示すように、凹部４の長さよりも短いものであり、載置面３ａにシート基材１１を載置固定した際に、凹部４の端部４ａ，４ａの少なくとも一方がシート基材１１に覆われることなく露出する場合には、凹部４によるシート基材１１と載置面３ａとの間への気泡の閉じ込め防止効果が確実に奏される。
【００１６】
このような本発明のシート基材計測用の固定治具１は、粘着性保持層３の載置面３ａにシート基材１１を保持するので、着脱が容易である。また、粘着性保持層３の載置面３ａの表面形状が極めて良好であり、かつ、載置面３ａが有する凹部４がシート基材１１と載置面３ａとの間への気泡の閉じ込めを防止するので、シート基材１１の変形、歪み等を生じることなく固定保持することができ、精度の高い計測が可能である。
上述の実施形態は例示であり、本発明のシート基材計測用の固定治具はこれらの実施形態の限定されるものではない。
【００１７】
［シート基材計測用固定治具の製造方法］
次に、本発明のシート基材計測用固定治具の製造方法について説明する。
図４は、上述の本発明の固定治具１の製造を例として、本発明の製造方法の一実施形態を説明するための工程図である。図４において、まず、表面粗さＲaが０．０００３〜０．００５μｍ、好ましくは０．０００３〜０．００２μｍの範囲であり、平坦性ＲP-Vが０．５〜１０μｍ、好ましくは０．５〜２μｍの範囲である基板２２を準備する。このような基板２２は、例えば、シリコン、アルミニウム、真鍮、ステンレス鋼等の金属、ガラス、サファイヤ、シリコンカーバイド、ジルコニア等のセラミックス等のいずれかであってよく、光学研磨、ケミカルメカニカルポリッシュ（ＣＭＰ）等の研磨により上記の範囲の表面粗さＲaおよび平坦性ＲP-Vを具備したものとすることができる。この基板２２の面２２ａの表面形状は、後述する工程において粘着性ゴム材料に転写され、上述の本発明の固定治具１の粘着性保持層３の載置面３ａの表面形状を決定する。したがって、基板２２の面２２ａの表面粗さＲaが０．００５μｍを超えたり、平坦性ＲP-Vが１０μｍを超える場合は、本発明の固定治具を製造することが困難となる。一方、基板２２の面２２ａの表面粗さＲaを０．０００３μｍ未満、あるいは、平坦性ＲP-Vを０．５μｍ未満とすることは、研磨工程でのコスト増大を来たすことになる。
【００１８】
次に、この基板２２の面２２ａ上にネガ型の感光性レジストを塗布し、所望のマスクを介して露光した後、現像して、一定方向に沿って延設され所望の間隔で配列した複数の凸部２３を形成してマスター版２１とする（図４（Ａ））。この凸部２３は、後述する工程において粘着性ゴム材料に転写され、固定治具１の粘着性保持層３の載置面３ａに位置する凹部４が形成される。したがって、凸部２３の幅は１〜１０μｍ、好ましくは１〜５μｍの範囲にあり、高さは１〜１０μｍ、好ましくは２〜５μｍの範囲にあり、隣接する凸部２３のピッチは７〜３００μｍ、好ましくは７〜１５０μｍの範囲にあることが望ましい。また、形成する凸部２３の本数は適宜設定することができ、例えば、７００〜３００００本の範囲で設定することができる。
次いで、マスター版２１の凸部２３を有する面２２ａに粘着性ゴム材料３′を供給する（図４（Ｂ））。使用する粘着性ゴム材料３′としては、ポリジメチルシロキサン、ビニルシリコーン、フェニルシリコーン等のシリコーンゴム、ポリウレタン、ブチルゴム、ポリスチレン系エラストマー等を挙げることができる。また、マスター版２１への粘着性ゴム材料３′の供給方法としては、滴下法等を挙げることができる。
尚、後工程における粘着性保持層３とマスター版２１との剥離をより容易にすることを目的として、粘着性ゴム材料３′を供給する前に、マスター版２１の凸部２３を有する面に離型剤を塗布してもよい。この場合、使用する離型剤は公知の離型剤であってよく、特に制限はない。
【００１９】
次に、粘着性ゴム材料３′上に支持基板２を載置し、粘着性ゴム材料３′を硬化して粘着性保持層３とする（図４（Ｃ））。尚、粘着性ゴム材料３′上への支持基板２の載置は、両者の間に気泡が入り込まないように行う。また、マスター版２１と支持基板２とで粘着性ゴム材料３′をプレスしてもよい。尚、粘着性ゴム材料３′の硬化は、時間の経過によって進行するが、例えば、対流型オーブン、ホットプレート等を用いた加熱により加速して行うことができる。
次いで、支持基板２とともに粘着性保持層３をマスター版２１から剥離する（図４（Ｄ））。これにより、図１、図２に示されるような本発明の固定治具１が得られる。
このような本発明のシート基材計測用固定治具の製造方法は、研磨により表面形状を極めて良好なものとした基板２２上に凸部２３を形成したマスター版２１を使用し、このマスター版２１の表面形状を粘着性ゴム材料３′に転写して粘着性保持層３とすると同時に凹部４も形成するので、載置面３ａの表面形状が極めて良好な粘着性保持層３を備えた本発明の固定治具１を簡便に、かつ確実に製造することができる。また、本発明の製造方法は量産性に優れたものである。
上述の実施形態は例示であり、本発明のシート基材計測用固定治具の製造方法はこの実施形態の限定されるものではない。
【００２０】
［シート基材の計測方法］
次に、本発明のシート基材の計測方法について説明する。
図５は、上述の本発明の固定治具１を使用した本発明のシート基材の計測方法を説明するための平面図である。本発明では、図５において、シート基材計測用の固定治具１の粘着性保持層３の載置面３ａに、素子や配線等の所望のパターンが形成されたシート基材１１を、パターンが形成された面を上にして載置する。そして、計測用のプローブ（図示せず）を、載置面３ａの凹部４が存在しない部位（図５に矢印Ｂで示している部位）に位置し、かつ、凹部４の延設方向（図５に矢印Ａで示す方向）に沿うようにしてシート基材１１上に走査させてパターンを計測する。パターンに一定の方向性がある場合、パターンの延設方向が載置面の凹部の延設方向と交差するように、好ましくは直交するようにシート基材１１を載置する。また、例えば、パターンについて直交する２方向（Ｘ軸方向およびＹ軸方向）で計測が必要な場合、Ｘ軸方向を上記の凹部４の延設方向と平行となるようにシート基材１１を載置して計測した後、Ｙ軸方向を上記の凹部４の延設方向と平行となるようにシート基材１１を載置して計測することができる。
尚、パターンの計測の内容としては、パターンの高さ、パターンの幅等を挙げることができる。また、計測に使用する機器、条件は特に制限されない。
【００２１】
このような本発明のシート基材の計測方法は、本発明の固定治具１を使用するので、シート基材１１の変形や歪みを生じることなく粘着性保持層３の載置面３ａにシート基材１１を載置して固定することができる。そして、粘着性保持層３の凹部４の延設方向に沿って計測用のプローブを走査させるので、凹部４の影響を受けることなく、載置面３ａの表面形状が極めて良好な領域を用いて精度の高い計測が可能である。
上述の実施形態は例示であり、本発明のシート基材の計測方法はこの実施形態の限定されるものではない。
【００２２】
［マイクロコンタクトプリントによるパターン形成方法］
次に、本発明のマイクロコンタクトプリント（μＣＰ）によるパターン形成方法について説明する。
本発明では、例えば、図６に示されるように、μＣＰ用のスタンプ３１の転写凸部３２上にインク４１を載せ（図６（Ａ））、シートチャック（図示せず）に保持されているシート基材１１にインク４１を転写（図６（Ｂ）、（Ｃ））することによりパターンを形成する。尚、使用するスタンプ３１、および、インク４１は、特に制限はない。
上記のようにしてμＣＰによりフレキシブルなシート基材１１に素子や配線等の所望のパターンを形成する場合、通常、パターンの寸法は、幅が数百ｎｍ〜数十μｍ、厚さが数十ｎｍ〜数μｍ程度の微細なものとなる。したがって、このようなパターンをμＣＰにより形成する際の条件出し、あるいは、パターン形成進行中の随時の抜き取り検査判定において、パターンが所望の精度で形成されているか否かを高い精度で計測する必要ある。
本発明では、μＣＰによりパターンを形成したシート基材について、上述の本発明のシート基材の計測方法でパターンの計測を行い、この計測結果が所望の範囲にある場合を適合と判定して、インク４１の粘度、スタンプ３１によるシート基材１１へのインク４１の密着程度等のμＣＰの条件出し、あるいは、μＣＰによりパターン形成での随時の抜き取り検査判定を行う。したがって、微細なパターン形状であっても安定した高精度のパターン形成が可能となる。
上述の本発明の実施形態は例示であり、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではない。
【実施例】
【００２３】
次に、具体的な実施例を示して本発明を更に詳細に説明する。
＜シート基材計測用固定治具の作製＞
光学研磨された基板として、厚み５ｍｍの合成石英ガラス基板（４５０ｍｍ×５５０ｍｍ）を準備した。この研磨面の表面粗さＲaと平坦性ＲP-Vを測定したところ、表面粗さＲaは０．００２μｍ以下であり、平坦性ＲP-Vは１０μｍ以下であり、良好な表面形状であることを確認した。尚、表面粗さＲaの測定条件は、触針式の表面形状測定機（（株）小坂研究所製  ＥＴ−４０００Ｌ）による任意点計測とした。また、平坦性ＲP-Vの測定は、非接触のＣＮＣ三次元形状測定機（（株）ニコン製  ＮＥＸＩＶ  ＶＭＲ−Ｈ３０３０）による３００ｍｍ×３００ｍｍ領域の測定とした。
次に、上記の研磨面上にネガ型の感光性レジスト（化薬マイクロケム（株）製  ＳＵ−８）をスピンコート法で塗布し、９０℃で５分間乾燥させた。次に、開口幅が１μｍのライン状の開口部がピッチ１０μｍで形成されているフォトマスクを介して感光性レジストを露光（５６ｍＪ／ｃｍ2）し、現像した。これにより、幅１μｍ、高さ５μｍのライン状の凸部がピッチ１０μｍで平行に配列されたマスター版を得た。
次に、上記のマスター版の凸部を形成した面に、離型剤（ハーベス社製  デュラサーフ）をスピンコート法で塗布した。
【００２４】
次いで、上記のマスター版を凸部を形成した面を上にしてプレス機に装着し、粘着性ゴム材料として二液硬化性のポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ：信越化学工業（株）製  ＫＥ−１０６）を厚みが１ｍｍとなるまで滴下してマスター版に供給した。
次に、支持基板として厚み０．７ｍｍのガラス板（３００ｍｍ×４００ｍｍ）を気泡が入り込まないようにＰＤＭＳ上に載置した。その後、１２時間以上室温で保持することによりＰＤＭＳを硬化させて粘着性保持層とし、次いで、ガラス板とともに粘着性保持層をマスター版から剥離した。これにより図１、図２に示されるような本発明の固定治具を得た。
この固定治具の粘着性保持層は、その表面に幅１μｍ、深さ５μｍのライン状の凹部をピッチ１０μｍで平行に配列して備えるものであった。また、この粘着性保持層の載置面の表面粗さＲaと平坦性ＲP-Vを測定したところ、表面粗さＲaは０．００２μｍ以下であり、平坦性ＲP-Vは１０μｍ以下であり、上記のマスター版の良好な表面形状が転写されていることを確認した。尚、表面粗さＲa、平坦性ＲP-Vの測定条件は、上記と同様とした。さらに、粘着性保持層の表面について、粘着性をプローブタック法により測定したところ、０．８ｇ／φ５ｍｍであり、良好な粘着性を具備していることが確認された。
【００２５】
＜パターン形成＞
μＣＰ用のスタンプとして、ライン／スペースが１８０μｍ／３２０μｍの転写凸部を備えたスタンプを準備した。このμＣＰ用のスタンプに、電極パターン形成用のインク（Ａｇナノインキ）をスピンコート法で塗布して、転写凸部上にインクを載せた。その後、２３℃、１分間の条件でインクを半乾燥状態とした。
次いで、２１０ｍｍ×２９７ｍｍのシート基材（ポリカーボネートシート、厚み１１０μｍ）上にインクを接触させた後、スタンプを剥離して、シート基材にインクパターンを転写し、１８０℃、３０分間の乾燥を行ってパターンを形成した。
【００２６】
＜シート基材の計測＞
上記のシート基材計測用の固定治具の粘着性保持層の載置面に、上記のようにパターンを形成したシート基材を、パターンが形成された面を上にし、パターンの延設方向が載置面の凹部の延設方向と直交するように載置した。そして、触針式表面形状測定機（（株）小坂研究所製  ＥＴ−４０００Ｌ）を用いて、計測用のプローブを、載置面の凹部が存在しない部位に位置し、かつ、凹部の延設方向に沿うようにしてシート基材上に走査させてパターンの厚みを計測した。尚、計測条件は、走査速度：０．０１０ｍｍ／秒、計測長さ：２．００１ｍｍとした。
図７は、このように計測したパターンの厚みを示すチャートであり、ベースラインの変動は０．０２μｍ以下であり、極めて精度の高い計測が可能であることが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
マイクロコンタクトプリント法によるパターン形成を行う種々の装置、部品、機器の製造に利用することができる。
【符号の説明】
【００２８】
１…固定治具
２…支持基板
３…粘着性保持層
３ａ…載置面
４…凹部
１１…シート基材
３１…スタンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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