(57)【要約】【課題】  コイルユニットの発熱がリニアガイドに与える影響を排除し、かかるリニアガイドによって支承されたテーブルプレートの移動精度及び位置決め精度を十分に確保することが可能であり、しかも当該精度を長期にわたって維持することが可能なリニアモータアクチュエータを提供する。【解決手段】  他の機械装置に固定されるベースプレートと、このベースプレート上に互いに平行に配置された複数のリニアガイドと、これらリニアガイドに支承されて前記ベースプレート上を往復運動自在なテーブルプレートと、このテーブルプレートに設けられたマグネットユニットと、前記ベースプレートに設けられると共に前記マグネットユニットと対向してリニアモータを構成するコイルユニットとを備え、前記ベースプレート及びテーブルプレートは、線膨張係数が１１×１０-6（１／℃）以下の材質から形成されており、且つ、両者の線膨張係数に差が設けられている。【選択図】    図１
2011083113.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
他の機械装置に固定されるベースプレートと、このベースプレート上に互いに平行に配置された複数のリニアガイドと、これらリニアガイドに支承されて前記ベースプレート上を往復運動自在なテーブルプレートと、このテーブルプレートに設けられたマグネットユニットと、前記ベースプレートに設けられると共に前記マグネットユニットと対向してリニアモータを構成するコイルユニットとを備え、
各リニアガイドは、長手方向に沿って転動体の転走面が形成された軌道レールと、多数の転動体を介して前記軌道レールに組つけられて当該軌道レールに沿って運動する移動ブロックとから構成され、
前記ベースプレート及びテーブルプレートは、線膨張係数が１１×１０-6（１／℃）以下の材質から形成され、且つ、両者の線膨張係数に差を設けたことを特徴とするリニアモータアクチュエータ。
【請求項２】
前記マグネットユニットが設けられたテーブルプレートの線膨張係数は、前記コイルユニットが設けられたベースプレートの線膨張係数よりも小さいことを特徴とする請求項１記載のリニアモータアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テーブルプレートに搭載した被搬送物に対して並進運動を与え、位置決めするためのリニアモータアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＸＹテーブルや物品搬送装置等のＦＡ機器においては、リニアモータによって物品、部材等を直線的に移動させる所謂リニアモータアクチュエータが多用されている。この種のリニアモータアクチュエータは、通常、他の機械装置に固定されるベースプレートと、搬送対象である物品等の可動体を搭載して前記ベースプレート上を移動するテーブルプレートと、このテーブルプレートを前記ベースプレートに対して直線往復運動自在に案内する複数のリニアガイドと、前記テーブルプレートに対して推力を与えるリニアモータと、前記テーブルプレートの位置を検出するリニアエンコーダとから構成されており、かかるリニアエンコーダの検出値に応じて前記リニアモータを制御することで、テーブルプレートに任意の移動量を高精度に与えることが可能となっている（特開２００５−７９４９６）。
【０００３】
また、前記リニアガイドは、軌道レールと、この軌道レールに対して多数のボールを介して組つけられる移動ブロックとから構成されている。前記テーブルプレートをベースプレートに対して支承する場合には、例えば一対のリニアガイドを使用し、各リニアガイドの軌道レールをベースプレートに敷設する一方、前記移動ブロックをテーブルプレートに固定する。前記移動ブロックは多数の転動体を介して軌道レールに組つけられ、移動方向以外の方向に関しては軌道レールに対して拘束された状態にあるので、このようなリニアガイドを用いてテーブルプレートの往復運動を支承すれば、テーブルプレート上に搭載した可動体を精度良く案内することが可能となる。
【０００４】
また、前記リニアモータは、テーブルプレートの移動経路に沿ってＮ極の磁極及びＳ極の磁極を交互に配列したマグネットユニットと、このマグネットユニットと僅かな隙間を介して対向配置されると共に電流の通電に応じて移動磁界を発生するコイルユニットとから構成され、一方を前記ベースプレートに、他方をテーブルプレートに配設して使用される。
【０００５】
前記コイルユニットはベースプレート又はテーブルプレートのいずれに設けても差し支えない。しかし、前記コイルユニットをテーブルプレートに配設し、前記マグネットユニットをベースプレートに配設する場合には、前記ベースプレートに配列されたマグネットユニットの磁力が対向するテーブルプレートの前端及び後端に対して作用することから、テーブルプレートがベースプレート上を移動する際に、マグネットユニットの磁極の配列ピッチに対応した推力の変動、すなわちコギング現象が発生してしまう。このため、テーブルプレートを滑らかに移動させ難いといった課題があり、特に前記コギング現象はベースプレートとテーブルプレートとが近接している薄型リニアモータアクチュエータにおいて顕著である。
【０００６】
このため、薄型リニアモータアクチュエータでは、前記コギング現象の発生を極力回避し、テーブルプレートに滑らかな運動を与える観点からすれば、前記マグネットユニットをテーブルプレートに配設する一方、コイルユニットをベースプレートに配設する構成が有利である。
【０００７】
一方、このようなリニアモータアクチュエータを構成する場合に、リニアモータを構成するコイルユニットは通電中に発熱するため、コイルユニットで発生した熱が前記ベースプレート及びテーブルプレートに伝導し、運転中にこれらベースプレート及びテーブルプレートの温度が上昇していく傾向にある。前述の如くコイルユニットをベースプレートに配設した場合であっても、リニアモータアクチュエータの連続定格運転においては前記コイルユニットの温度が７０〜９０℃程度にまで上昇することから、空気の対流によってコイルユニットからテーブルユニットへ熱伝導が生じ、コイルユニットと直接的に接触していないテーブルプレートも温度上昇してしまう。特に、ベースプレートとテーブルプレートとが近接している薄型リニアモータアクチュエータでは、テーブルプレートとベースプレートとの隙間が極めて小さいので、テーブルプレートの温度も著しく上昇することになる。
【０００８】
コイルユニットの発熱によってベースプレート及びテーブルプレートの双方の温度が上昇したとしても、それらが熱平衡状態に達する温度には差があり、リニアモータアクチュエータの連続定格運転時におけるベースプレートとテーブルプレートとの熱膨張量は異なったものとなる。このため、複数のリニアガイドを平行に配設してテーブルプレートを支承している場合には、移動ブロックが軌道レールに対して変位を生じ、移動ブロックと軌道レールとの間に存在する転動体が過度に圧縮され、ベースプレートに対するテーブルプレートの移動抵抗が意図せずして増加し、また、リニアガイドが早期に消耗してしまうといった課題がある。
【０００９】
尚、このような課題はベースプレート及びテーブルプレートとして鉄（例えばＳＳ４００）等の剛性が大きな材質を使用した場合に発生し、アルミニウム等の如く軟らかい材質を使用している場合、これらベースプレート及びテーブルプレートを中空押し出し形状としている場合には発生しない。何故ならば、ベースプレート又はテーブルプレートが変形することにより、リニアガイドの転動体に作用する荷重が実質上軽減されるからである。但し、そのようなリニアモータアクチュエータでは、ベースプレートに対するテーブルプレートの移動精度そのものを高めることができないといった課題がある。
【００１０】
特開２００５−７９４９６ではこのようなコイルユニットの発熱に起因する課題に対処すべく、コイルユニットが配設されたテーブルプレートに対して放熱板や放熱フィンを取付け、テーブルプレートの温度上昇を抑える対策が採られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００５−７９４９６
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかし、放熱板や放熱フィンといった積極的空冷手段を設けた場合には、その分だけリニアモータアクチュエータが大型化してしまい、リニアモータアクチュエータの小型化、薄型化には不向きである。また、リニアモータアクチュエータではテーブルプレートをベースプレート上の特定の位置に静止させ続ける場合や、推力を発生させてテーブルプレート上のワークを他の部材に押し付ける動作をさせる場合であってもコイルユニットに通電しているので、テーブルプレートの走行時間よりも静止時間が長い使用態様においては、前述のような空冷手段はあまり効果的でない。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明はこのような課題に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、コイルユニットの発熱がリニアガイドに与える影響を排除し、かかるリニアガイドによって支承されたテーブルプレートの移動精度及び位置決め精度を十分に確保することが可能であり、しかも当該精度を長期にわたって維持することが可能なリニアモータアクチュエータを提供することにある。
【００１４】
すなわち、本発明のリニアモータアクチュエータは、他の機械装置に固定されるベースプレートと、このベースプレート上に互いに平行に配置された複数のリニアガイドと、これらリニアガイドに支承されて前記ベースプレート上を往復運動自在なテーブルプレートと、このテーブルプレートに設けられたマグネットユニットと、前記ベースプレートに設けられると共に前記マグネットユニットと対向してリニアモータを構成するコイルユニットとを備えており、各リニアガイドは、長手方向に沿って転動体の転走面が形成された軌道レールと、多数の転動体を介して前記軌道レールに組つけられて当該軌道レールに沿って運動する移動ブロックとから構成されている。そして、前記ベースプレート及びテーブルプレートは、線膨張係数が１１×１０-6（１／℃）以下の材質から形成されており、且つ、両者の線膨張係数に差を設けている。
【発明の効果】
【００１５】
鉄（ＳＳ４００）の線膨張係数は１１．５×１０-6（１／℃）程度であり、前記ベースプレート及びテーブルプレートとして線膨張係数が１１×１０-6（１／℃）以下の材質を選択すれば、これらベースプレート及びテーブルプレートの熱膨張量を抑えることができ、両者の熱膨張量の差を小さくすることができる。
【００１６】
また、前記コイルユニットをベースプレートに配設した場合であっても、他の機械装置に対するベースプレートの固定態様や、テーブルプレートに搭載される可動体の大きさや材質等によっては、ベースプレートよりもテーブルプレートが高温となる場合がある。従って、ベースプレートとテーブルプレートの線膨張係数に差を設けることによって、両者の熱膨張量の差を小さくすることが可能となる。
【００１７】
すなわち、本発明によれば、リニアモータアクチュエータの連続定格運転によってベースプレート及びテーブルプレートが熱平衡状態に達するまで昇温したとしても、両者の熱膨張量の差を可及的に小さく抑えることができ、リニアガイドによって支承されたテーブルプレートの移動精度及び位置決め精度を十分に確保しつつ、当該精度を長期にわたって維持することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明を適用したリニアモータアクチュエータの実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１の実施形態で使用可能なリニアガイドの一例を示す斜視図である。
【図３】ベースプレート上における軌道レールの距離とテーブルプレートにおける移動ブロックの距離との関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、添付図面を参照しながら本発明のリニアモータアクチュエータを詳細に説明する。
【００２０】
図１は本発明を適用したリニアモータアクチュエータの実施形態の一例を示す斜視図である。このリニアモータアクチュエータ１は、機械装置の筐体やベッド等の固定部に固定されるベースプレート２と、このベースプレート２上に平行に配設された２基のリニアガイド３と、これらリニアガイド３によって支承されて前記ベースプレート２上に直線往復運動自在に組付けられたテーブルプレート４と、前記ベースプレート２に対してテーブルプレート４を推進するリニアモータ５を含んでいる。
【００２１】
前記ベースプレート２は長方形状に形成されており、その長辺に沿って２基のリニアガイド３が配設されている。前記テーブルプレート４は間隔をおいて配設された２基のリニアガイド３を跨ぐようにして設けられており、ベースプレート２の表面とテーブルプレート４の裏面との間が前記リニアモータ５の配設スペースとなっている。また、前記ベースプレート２の短辺にはテーブルプレート４のオーバーランを防止するストッパプレート２０が設けられている。
【００２２】
図２は前記リニアガイド３の構成の詳細を示す斜視図及び正面断面図である。このリニアガイド３は、ベースプレート２に固定される軌道レール３０と、この軌道レール３０に沿って移動すると共に前記テーブルプレート４に固定される移動ブロック３１とから構成されている。前記軌道レール３０は長手方向に垂直な断面が略矩形状に形成されており、長手方向に沿った一方の側面には転動体としてのボール３２の転走面３３が形成されている。
【００２３】
この転走面３３はその長手方向に垂直な断面形状がゴシックアーチ状に形成されており、ボール３２は転走面３３に対して２点で接触するようになっている。一方、前記移動ブロック３１の側面には軌道レール３０の転走面３３と対向する負荷転走面３７が形成されており、多数のボール３２が軌道レール３０の転走面３３と移動ブロック３１の負荷転走面３７との間で荷重を負荷しながら転走するようになっている。この負荷転走面３７もその長手方向に垂直な断面形状がゴシックアーチ状をなしており、ボール３２は負荷転走面３７に対して２点で接触するようになっている。また、移動ブロック３１には前記負荷転走面３７を転走し終えたボール３２を循環させるための無限循環路が形成されており、ボール３２が無限循環することで移動ブロック３１が軌道レール３０に沿って連続的に移動し得るように構成されている。
【００２４】
このリニアガイド３では、前記移動ブロック３１がボール３２を介して軌道レールに拘束された状態にあり、軌道レール３０の長手方向と垂直な方向から作用する荷重を負荷しながら当該軌道レール３０に沿って自在に移動することが可能となっている。
【００２５】
尚、前記移動ブロック３１にはテーブルプレート４を固定するための取付け面３４が設けられており、かかる取付け面３４にはボルト取付け孔３５が形成され、テーブルプレート４を貫通した固定ボルトがこれらボルト取付け孔３５に螺合するようになっている。また、前記軌道レール３０にはその長手方向に一定の間隔をおいてボルト挿入孔３６が形成され、ベースプレート２への固定の際に利用されるようになっている。
【００２６】
図１示すリニアモータアクチュエータ１の実施形態では１条の軌道レール３０に対して３基の移動ブロック３１が組つけられて１基のリニアガイド３を構成しており、テーブルプレート４は６基の移動ブロック３１に支承されてベースプレート２上を移動するように構成されている。しかし、テーブルプレート４の大きさや重量、かかるテーブルプレート４に搭載する可動体の荷重に応じて、ベースプレート２上に配設するリニアガイド３の数や、１条の軌道レール３０に組み付ける移動ブロック３１の数は適宜設計変更して差し支えない。また、転動体としてはボールに代えてローラを用いることも可能である。
【００２７】
更に、前記ベースプレート２とテーブルプレート４との間には前記リニアモータ５が設けられている。このリニアモータ５は同期型リニアモータであり、前記ベースプレート２に固定されたコイルユニット５０と、テーブルプレート４に固定されたマグネットユニット５１とから構成されている。これらコイルユニット５０とマグネットユニット５１は僅かな隙間を介して対向しており、前記リニアガイド３の働きによって当該隙間が維持されるようになっている。
【００２８】
前記コイルユニット５０はテーブルプレート４の移動方向に沿って配列された複数のコイル部材５２から構成されている。各コイル部材５２は三相交流電流のｕ相、ｖ相、ｗ相に対応して設けられており、三つのコイル部材５２が一組となって、三相交流電流の通電時に移動磁界を発生するようになっている。一方、前記マグネットユニット５１はテーブルプレート４の移動方向に沿って複数の永久磁石を配列したものであり、各磁石はＮ極及びＳ極を交互に反転させながら配列されている。このため、前記コイルユニット５０の各コイル部材５２に対して通電すると、かかるコイルユニット５０が移動磁界を発生し、この移動磁界に基づいて前記マグネットユニット５１とコイルユニット５０との間に磁気吸引力又は磁気反発力が作用し、マグネットユニット５１をコイル部材５２の配列方向に沿って推進することができるようになっている。
【００２９】
このように構成されたリニアモータアクチュエータ１では前記コイルユニット５０に対して通電してリニアモータアクチュエータ１を運転すると、かかるコイルユニット５０の各コイル部材５２が発熱し、その熱がベースプレート２及びテーブルプレート４に伝導して、それらの温度が上昇する傾向にある。
【００３０】
コイルユニット５０が発熱源なので、前述の実施形態のようにコイルユニット５０をベースプレート２に配設した場合には、かかるコイルユニット５０で発生した熱の多くはベースプレート２に伝導することになる。しかし、コイルユニット５０とマグネットユニット５１は数ｍｍの隙間を介して近接しており、またリニアモータアクチュエータ１を定格推力で連続運転した際に前記コイルユニット５０は７０〜９０°程度にまで高温となるので、コイルユニット５０からの輻射、又は空気の対流によってマグネットユニット５１が高温となり、更には当該マグネットユニット５１を固定したテーブルプレート４も高温となる。
【００３１】
リニアモータアクチュエータ１を定格推力で連続運転した場合、ベースプレート２及びテーブルプレート４の温度は際限なく上昇するのではなく、ある程度まで温度が上昇すると熱平衡状態に達し、運転を継続してもそれ以上は温度が上昇しない飽和温度となる。しかし、ベースプレート２とテーブルプレート４を比較した場合、この飽和温度には差が生じる。
【００３２】
ベースプレート２とテーブルプレート４の飽和温度に差が生じると、各プレート２,４は自らの温度に応じた熱膨張を生じることから、ベースプレート２とテーブルプレート４の熱膨張量に差が生じることになる。このため、図３に示すように、ベースプレート２に固定した一対の軌道レール３０の間の距離ＬＢと、これら軌道レール３０に組つけられた移動ブロック３１の距離ＬＴとに差が生じる結果となり、軌道レール３０の一方の側面ではボール３２が軌道レール３０と移動ブロック３１との間で圧縮され、軌道レール３０の他方の側面ではボール３２と軌道レール３０又は移動ブロック３１との間に隙間が発生することになる。
【００３３】
例えば、ベースプレート２の材質がテーブルプレート４の材質と同一であり、運転中におけるベースプレート２の飽和温度がテーブルプレート４のそれよりも高い場合には、運転開始前の状態において一対の軌道レール３０の間の距離ＬＢがこれら軌道レール３０に組つけられた移動ブロック３１の距離ＬＴと同一であったとしても、運転が開始され、ベースプレート２及びテーブルプレート４が飽和温度近傍にまで昇温すると、距離ＬＢが距離ＬＴよりも大きくなる。このため、図３において軌道レール３０の外側面に位置するボール３２ａは当該軌道レール３０と移動ブロック３１との間で圧縮され、ボール３２ａに対して所謂予圧を付与した状態となる。
【００３４】
しかし、距離ＬＢと距離ＬＴの差があまりに大きくなると、ボール３２ａはリニアガイド３に適切な予圧の領域を超えて過度に圧縮されることになり、軌道レール３０の転走面３３や移動ブロック３１の負荷転走面に圧痕が生じ、あるいはボール３２ａに偏磨耗が生じる等して、リニアガイド３の寿命が早期に尽きてしまう懸念がある。
【００３５】
このような不具合を回避するためには、先ず、ベースプレート２及びテーブルプレート４としてそれぞれ線膨張係数が小さな材質を選択することが必要である。線膨張係数が小さな材質を選択することで、ベースプレート２及びテーブルプレート４それぞれの熱膨張量を小さく抑えることができるからである。具体的には、線膨張係数が１１×１０-6（１／℃）以下の材質を選択するのが有効である。
【００３６】
線膨張係数が１１×１０-6（１／℃）以下の材質でベースプレート２やテーブルプレート４等の構造材として適したものとしては、例えばセラミクスや低熱膨張鋳物がある。但し、セラミクスは軌道レール３０や移動ブロック３１といった機器を取り付ける際に必要なボルト孔の加工に手間がかかり、製作コストも嵩むので、機械加工の容易性を考慮した場合、後者の低熱膨張鋳物が好ましい選択である。市場で手に入る低熱膨張鋳物としては、線膨張係数が７．５×１０-6（１／℃）程度のもの（日本鋳造製／商品名：ＬＥＸ−７５）から、線膨張係数が０．８×１０-6（１／℃）以下のもの（日本鋳造製／商品名：ＬＥＸ−ＳＦ１）も知られている。
【００３７】
また、ベースプレート２及びテーブルプレート４の熱膨張量の差を抑えるためには、ベースプレート２とテーブルプレート４の線膨張係数に差を設定するのが有効である。ベースプレート２又はテーブルプレート４のいずれの線膨張係数を小さく設定するかは、これらベースプレート２及びテーブルプレート４の飽和温度の高低によって異なる。仮に、ベースプレート２の飽和温度がテーブルプレート４のそれよりも高いのであれば、ベースプレート２の線膨張係数をテーブルプレート４のそれよりも小さく設定し、逆の場合であれば、テーブルプレート４の線膨張係数をベースプレート２のそれよりも小さく設定することになる。
【００３８】
発熱源であるコイルユニット５０はベースプレート２に固定されていることから、ベースプレート２とテーブルプレート４とを比較した場合、ベースプレート２に対して伝導する熱エネルギの量はテーブルプレート４に対して伝導するそれよりも大きくなる。従って、リニアモータアクチュエータ１を独立した系として把握した場合には、ベースプレート２の飽和温度の方がテーブルプレート４のそれよりも高くなる。この場合、ベースプレート２及びテーブルプレート４の線膨張係数の例としては、ベースプレート２のそれを０．８×１０-6（１／℃）に、テーブルプレート４のそれを２．５×１０-6（１／℃）に設定する。
【００３９】
その一方、前記ベースプレート２は他の機械装置（以下、「被取付け体」という）に固定されて使用されることから、ベースプレート２がコイルユニット５０の発熱によって加熱されると、ベースプレート２と被取付け体との間に温度勾配が発生し、コイルユニット５０で発生した熱はベースプレート２から被取付け体に伝導することになる。このため、コイルユニット５０がベースプレート２に固定されている場合であっても、前記ベースプレート２の熱伝導率が極端に小さい場合や、ベースプレート２と被取付け体との間に断熱層を設けた場合を除き、テーブルユニット４の飽和温度がベースユニットのそれよりも大きくなる傾向にある。
【００４０】
仮に、ベースプレート２の熱伝導率を極端に小さく設定した場合や、ベースプレート２と被取付け体との間に断熱層を設けた場合には、当該ベースプレート２の飽和温度が１００℃近傍まで上昇する可能性があり、火災や火傷等の事故の発生が懸念され、また、コイルユニット５０を構成する部材には耐熱性の高い材質を使用する必要が生じてしまう。従って、リニアモータアクチュエータ１を実際に使用する場合、ベースプレート２の熱伝導率を極端に小さく設定したり、ベースプレート２と被取付け体との間に断熱層を設けたりする例は、特殊な使用例であると考えられ、殆どの使用例ではベースプレート２にコイルユニット５０が設けられている場合であっても、ベースプレート２の飽和温度がテーブルプレート４のそれよりも低くなっているものと考えられる。
【００４１】
以上の点からすれば、ベースプレート２とテーブルプレート４の線膨張係数に差を設定するに当たり、テーブルプレートの線膨張係数をコイルユニットが設けられたベースプレートの線膨張係数よりも小さく設定することが有効である。この場合、ベースプレート２及びテーブルプレート４の線膨張係数の例としては、ベースプレート２のそれを２．５×１０-6（１／℃）に、テーブルプレート４のそれを０．８×１０-6（１／℃）に設定する。
【００４２】
実際にリニアモータアクチュエータ１を組み立ててリニアモータ５を定格推力で連続運転させ、ベースプレート２、テーブルプレート４及びコイルユニット５０の温度を実測したところ、コイルユニット５０の飽和温度が７５℃に達し、そのときのベースプレート２の飽和温度は約４５℃、テーブルプレート４の飽和温度は約６０℃であった。
【００４３】
従って、ベースプレート及びテーブルプレートの材質として線膨張係数が１１×１０-6（１／℃）以下のものを使用し、且つ、テーブルプレートの線膨張係数をベースプレートのそれよりも小さく設定すれば、ベースプレートとテーブルプレートの熱膨張量を小さく抑えつつ、両者の熱膨張量の差を数十μｍ程度に抑えることができ、リニアガイドのボールに対して過度の予圧が作用してしまうのを防止することができた。これにより、本実施形態のリニアアクチュエータは、リニアガイドによって支承されたテーブルプレートの移動精度及び位置決め精度を十分に確保することができ、しかも当該精度を長期にわたって維持することが可能となった。
【００４４】
尚、本発明は前述してきた実施形態に限定されるものではく、例えば、実施形態に示したような一軸のリニアモータアクチュエータに限らず、かかる一軸リニアモータアクチュエータを二段積み重ねたＸＹテーブルに適用することも可能である。また、ＸＹテーブルに適用する場合には、Ｘ軸及びＹ軸の双方に本発明を適用しても、あるいはＸ軸又はＹ軸の一方のみに本発明を適用しても差し支えない。
【符号の説明】
【００４５】
１…リニアモータアクチュエータ、２…ベースプレート、３…リニアガイド、４…テーブルプレート、３０…軌道レール、３１…移動ブロック、５０…コイルユニット、５１…マグネットユニット
【図１】
2011083113.tif 000003
【図２】
2011083113.tif 000004
【図３】
2011083113.tif 000005