(57)【要約】【課題】情報量を削減するために差分データを転送するような場合において、常に一定の情報量以下に制限することを目的とする。【解決手段】送信装置４と受信装置５とを備える半導体試験装置であって、送信装置４は、前後のデバイスデータの間の差分を差分データとして生成する差分データ生成部１５と、差分データの情報量が設定した閾値を超過している場合には、閾値以下の情報量を持つ特定コードを生成する特定コード生成部１５と、を備え、受信装置５は、差分データを受信した場合には、直前のデバイスデータに対して差分データを加算することによりデバイスデータの復元を行うデータ加算部２４と、特定コードを受信した場合には、デバイスデータがエラーになっていることを示すエラーデータを生成するエラーデータ生成部２５と、を備えている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験デバイスから連続的に入力したデバイスデータの送信を行う送信装置とこの送信装置が送信したデバイスデータを受信する受信装置とを備える半導体試験装置であって、
前記送信装置は、
前後のデバイスデータの間の差分を差分データとして生成する差分データ生成部と、
前記差分データの情報量が設定した閾値を超過している場合には、前記閾値以下の情報量を持つ特定コードを生成する特定コード生成部と、
を備え、
前記受信装置は、
前記差分データを受信した場合には、直前のデバイスデータに対して前記差分データを加算することによりデバイスデータの復元を行うデータ加算部と、
前記特定コードを受信した場合には、デバイスデータがエラーになっていることを示すエラーデータを生成するエラーデータ生成部と、
を備えたことを特徴とする半導体試験装置。
【請求項２】
被試験デバイスから連続的に入力したデバイスデータの送信を行う送信装置とこの送信装置が送信したデバイスデータを受信する受信装置とを備える半導体試験装置であって、
前記送信装置は、
前記デバイスデータの差分を算出するための基準となる基準データと前記デバイスデータとの間の差分を差分データとして生成する差分データ生成部と、
前記差分データの情報量が設定した閾値を超過している場合には、前記閾値以下の情報量を持つ特定コードを生成する特定コード生成部と、
を備え、
前記受信装置は、
前記差分データを受信した場合には、前記基準データに対して前記差分データを加算することにより前記デバイスデータを復元するデータ加算部と、
前記特定コードを受信した場合には、デバイスデータがエラーになっていることを示すエラーデータを生成するエラーデータ生成部と、
を備えたことを特徴とする半導体試験装置。
【請求項３】
前記閾値を、前記被試験デバイスの良否判定の基準となる基準値と一致させたこと
を特徴とする請求項１または２記載の半導体試験装置。
【請求項４】
前記特定コード生成部が前記特定コードを生成した場合には、前記差分データ生成部は、２つ前のデバイスデータと新たなデバイスデータとの間の差分を差分データとして生成すること
を特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。
【請求項５】
被試験デバイスから連続的に入力したデバイスデータの送信を行う送信装置とこの送信装置が送信したデバイスデータを受信する受信装置とを用いて前記被試験デバイスの試験を行う半導体試験方法であって、
前後のデバイスデータの間の差分を差分データとして算出するステップと、
前記差分データの情報量が設定した閾値を超過している場合には、前記閾値以下の情報量を持つ特定コードを生成するステップと、
前記差分データまたは前記特定コードを前記送信装置から前記受信装置に転送するステップと、
前記受信装置が前記差分データを受信した場合には、直前のデバイスデータに対して前記差分データを加算することによりデバイスデータの復元を行うステップと、
前記受信装置が前記特定コードを受信した場合には、デバイスデータがエラーになっていることを示すエラーデータを生成するステップと、
を有することを特徴とする半導体試験方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被試験デバイスの試験を行う半導体試験装置および半導体試験方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
被試験デバイス（ＤＵＴ：Device Under Test）としてＦＰＤ（Flat Panel Display）の試験を行う半導体試験装置が用いられている。ＦＰＤの１つに液晶ディスプレイ（ＬＣＤ：Liquid Crystal Display）があるが、液晶ディスプレイの場合には、ＬＣＤドライバＩＣにより各画素の液晶に電圧を印加して透過率をコントロールしている。このＬＣＤの試験を行うテスタは、ＬＣＤドライバＩＣの各段階の出力電圧を測定する階調テストを行う。
【０００３】
図４はＬＣＤテスタの一例を示している。このＬＣＤテスタはＬＣＤ１０１の階調テストを行うものであり、Ｎ（Ｎは自然数）個のピンモジュール１０２−１〜１０２Ｎ（総称してピンモジュール１０２）と送信装置１０３と受信装置１０４とを備えて構成している。なお、ＬＣＤ１０１はＬＣＤドライバＩＣである。
【０００４】
ＬＣＤ１０１に対して与える試験データはデジタルデータであり、ＬＣＤ１０１からは試験データに対応する出力電圧がアナログデータとして出力される。ピンモジュール１０２はＬＣＤ１０１から出力される出力電圧の値を取得して、デジタルデータに変換するデジタイザである。
【０００５】
送信装置１０３は各ピンモジュール１０２が生成したデジタルデータ（デバイスデータ）を収集する収集装置であり、入力部１１１と差分データ生成部１１２と送信部１１３とを備えて概略構成している。入力部１１１は各ピンモジュール１０２と接続されるインターフェイスである。
【０００６】
差分データ生成部１１２は入力部１１１に順次入力されるデバイスデータについて、前後のデバイスデータの間の差演算を行って差分データを生成する。差分データ生成部１１２は順次差分データを生成し、当該差分データは送信部１１３により受信装置１０４に対して転送される。
【０００７】
受信装置１０４は受信部１１４とデータ加算部１１５と演算部１１６とを備えて概略構成している。受信部１１４は送信装置１０３の送信部１１３から転送される差分データを受信する。データ加算部１１５は受信した差分データについて順次加算を行うことにより、元のデバイスデータの復元を行う。演算部１１６は復元されたデバイスデータについて所定の演算処理を行う。
【０００８】
近年のＬＣＤ１０１は高画素化・高分解能化が進んでおり、デバイスデータの情報量は膨大なものになっている。このため、前記の演算処理を行う専用の演算装置を別途に設けておき、当該演算装置により演算処理を行うようにしている。従って、ＬＣＤ１０２に接続してデータを収集する収集装置としての送信装置１０３と演算を行うための演算装置としての受信装置１０４とに分離して、両者の間でデータ転送を行うようにしている。
【０００９】
前述したように、デバイスデータの情報量は膨大であることから、送信装置１０３と受信装置１０４との間で転送されるデバイスデータの情報量（転送量）も膨大なものになる。このために、転送時間に大幅な時間を要し、ＬＣＤ１０１の試験時間が長時間になる。ＬＣＤテスタは短時間に大量のデバイスの試験を行う要請があることから、転送時間の短縮化を図らなければならない。このために、前後のデバイスデータの間の差分データを転送することにより、転送量の削減を図っている。
【００１０】
ＬＣＤ１０１は階調ごとのテストを行うため、基本的には各ピンモジュール１０２が検出する電圧にばらつきはない。このため、各ピンモジュール１０２が検出した電圧値に基づくデバイスデータは非常に近い値になっており、差分データの情報量は非常に小さくなる。これにより、転送量が大幅に削減でき、試験時間が飛躍的に短縮化する。
【００１１】
以上のように、差分データを生成して情報量の削減を図り、差分データを加算することにより元のデータを復元する技術が、例えば特許文献１および特許文献２に開示されている。
【００１２】
特許文献１の技術は、画像通信および画像蓄積に関する技術であり、原画像を縮小した縮小画像と、更にその縮小画像を原画像と同じ大きさに拡大した拡大画像と原画像との差分をとった差分画像について圧縮符号化を行い、差分符号化データを伸張復号化した差分画像データと、縮小画像データを原画像と同じ大きさに拡大した拡大画像とを加算して復号画像を得ている。
【００１３】
特許文献２の技術は、画像データの圧縮と伸張方式に関する技術であり、８画素を１つのデータ群として取り扱い、各データ群の先頭画素は８ビットにしておき、残りの７画素については画素の間の差分データとしている。そして、復元するときには、先頭の画素データを基準として、順次差分データを加算することにより、元の８画素のデータを生成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１４】
【特許文献１】特開平８−２６５７４８号公報
【特許文献２】特開平５−６４０００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
ところで、図４に示したようなＬＣＤテスタにおいては、デバイスデータは受信装置１０４の側で１００％の復元率で復元可能なようにしなければならない。この点、特許文献１の技術では画像に対して圧縮・拡大を行っており、元の画像を１００％の復元率で再現できない。一方、図４の技術および特許文献２の技術では、単に前後のデータの間の差分データを生成して、後に加算することにより復元しているため、１００％の復元率で元のデータを復元できる。
【００１６】
ここで、差分データは前後のデバイスデータで差演算を行った結果であり、基本的には非常に情報量が少ないデータになる。しかし、前後のデバイスデータの間の変化率が非常に大きい場合には、差分データの情報量が大きくなる。例えば、ＬＣＤドライバＩＣに異常が生じている場合等には、出力電圧が大きく変化する。この場合には、前後のデバイスデータの間に大きな変化を生じ、差分データの情報量は大きくなる。
【００１７】
このため、差分データの最大の情報量はＬＣＤ１０１から出力される最も低い電圧と最も高い電圧との間の差分のデータになり、差分データの情報量は極めて大きなものになる。差分データのデータ削減率（デバイスデータから差分データを生成するときに削減できた情報量の比率）は電圧の変化率が小さければ高くなり、変化率が大きければ低くなる。つまり、デバイスデータによって差分データの情報量が大きく変化する。
【００１８】
この場合に、差分データの情報量が大きくなると、転送時間に大幅な時間が費やされる。そして、近年のピンモジュール１０２のデジタイズ速度は極めて高速になっていることから、デジタイズ速度よりも転送速度の方が低速になることがあり、この場合にはデジタイズ速度を敢えて低い速度に制限しなければならない。これにより、試験時間が長時間化するという問題がある。
【００１９】
また、差分データのデータ削減率に依存することなく送信装置１０３と受信装置１０４とがデータ処理を可能に構成しなければならない。差分データの情報量の最大値をＭ（Ｍは自然数）ビットとしたときに、送信装置１０３と受信装置１０４との各種回路はＭビットの情報を処理可能な回路として構成しなければならない。例えば、データ加算部１１５はＭビットの演算（加算）処理が可能なように構成しなければならなくなる。従って、非常に大きなデータを処理可能にすべく、各種回路は複雑且つ大規模になる。
【００２０】
そこで、本発明は、情報量を削減するために差分データを転送するような場合において、常に一定の情報量以下に制限することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
以上の課題を解決するため、本発明の請求項１の半導体試験装置は、被試験デバイスから連続的に入力したデバイスデータの送信を行う送信装置とこの送信装置が送信したデバイスデータを受信する受信装置とを備える半導体試験装置であって、前記送信装置は、前後のデバイスデータの間の差分を差分データとして生成する差分データ生成部と、前記差分データの情報量が設定した閾値を超過している場合には、前記閾値以下の情報量を持つ特定コードを生成する特定コード生成部と、を備え、前記受信装置は、前記差分データを受信した場合には、直前のデバイスデータに対して前記差分データを加算することによりデバイスデータの復元を行うデータ加算部と、前記特定コードを受信した場合には、デバイスデータがエラーになっていることを示すエラーデータを生成するエラーデータ生成部と、を備えたことを特徴とする。
【００２２】
この半導体試験装置によれば、差分データの情報量が閾値を超過したときには特定コードが転送される。特定コードは閾値以下の情報量としているため、転送される情報量は常に設定した閾値以下となるように制限される。これにより、試験時間の短縮化を図りつつ、回路の簡略化および小規模化を図ることができるようになる。
【００２３】
本発明の請求項２の半導体試験装置は、被試験デバイスから連続的に入力したデバイスデータの送信を行う送信装置とこの送信装置が送信したデバイスデータを受信する受信装置とを備える半導体試験装置であって、前記送信装置は、前記デバイスデータの差分を算出するための基準となる基準データと前記デバイスデータとの間の差分を差分データとして生成する差分データ生成部と、前記差分データの情報量が設定した閾値を超過している場合には、前記閾値以下の情報量を持つ特定コードを生成する特定コード生成部と、を備え、前記受信装置は、前記差分データを受信した場合には、前記基準データに対して前記差分データを加算することにより前記デバイスデータを復元するデータ加算部と、前記特定コードを受信した場合には、デバイスデータがエラーになっていることを示すエラーデータを生成するエラーデータ生成部と、を備えたことを特徴とする。
【００２４】
この半導体試験装置によれば、被試験デバイスからのデータを基準データと比較することにより差分データを生成している。これにより、最初のデータについても差分データとすることができ、さらに転送量を削減できるようになる。
【００２５】
本発明の請求項３の半導体試験装置は、請求項１または２記載の半導体試験装置であって、前記閾値を、前記被試験デバイスの良否判定の基準となる基準値と一致させたことを特徴とする。
【００２６】
この半導体試験装置によれば、差分データ判定部が良否判定を兼ねることができるようになる。これにより、転送量の削減処理と良否判定処理とを同時に行うことができるようになる。
【００２７】
本発明の請求項４の半導体試験装置は、請求項１記載の半導体試験装置であって、前記特定コード生成部が前記特定コードを生成した場合には、前記差分データ生成部は、２つ前のデバイスデータと新たなデバイスデータとの間の差分を差分データとして生成することを特徴とする。
【００２８】
この半導体試験装置によれば、特定コードが生成された場合には、この特定コードを生成したときのデータではなく、２つ前のデータとの差分を取ることにより差分データを生成している。これにより、異常が生じたデータではなく、正常なデータとの間で差分をとることができるようになる。
【００２９】
本発明の請求項５の半導体試験方法は、被試験デバイスから連続的に入力したデバイスデータの送信を行う送信装置とこの送信装置が送信したデバイスデータを受信する受信装置とを用いて前記被試験デバイスの試験を行う半導体試験方法であって、前後のデバイスデータの間の差分を差分データとして算出するステップと、前記差分データの情報量が設定した閾値を超過している場合には、前記閾値以下の情報量を持つ特定コードを生成するステップと、前記差分データまたは前記特定コードを前記送信装置から前記受信装置に転送するステップと、前記受信装置が前記差分データを受信した場合には、直前のデバイスデータに対して前記差分データを加算することによりデバイスデータの復元を行うステップと、前記受信装置が前記特定コードを受信した場合には、デバイスデータがエラーになっていることを示すエラーデータを生成するステップと、を有することを特徴とする
【発明の効果】
【００３０】
本発明では、前後のデバイスデータの間の差分データが設定した閾値を超過しているときには、閾値以下の情報量となる特定データとして受信装置に転送を行っている。これにより、送信装置と受信装置との間のデータ転送を常に閾値以下とすることができ、転送時間および試験時間の短縮化を図ることができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】実施形態の半導体試験装置の概略構成を示すブロック図である。
【図２】実施形態の処理の流れを示すフローチャートである。
【図３】変形例における半導体試験装置の概略構成を示すブロック図である。
【図４】従来における半導体試験装置の概略構成を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。図１は半導体試験装置の概略構成を示している。図１に示すように、半導体試験装置１はＬＣＤ２の試験を行う装置であり、Ｎ（Ｎは自然数）個のピンモジュール３−１〜３−Ｎ（総称してピンモジュール３）と送信装置４と受信装置５とを備えて概略構成している。
【００３３】
図１では、被試験デバイスとしてＬＣＤを例示して説明しているが、プラズマディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等のＦＰＤを適用するものであってもよい。図１のＬＣＤ２は各画素の液晶を駆動するために電圧を与えるＬＣＤドライバＩＣであり、このＬＣＤドライバＩＣに印加する電圧をコントロールすることにより液晶の透過率をコントロールしている。
【００３４】
ＬＣＤ２に対してデジタルデータとしての試験データを入力して、ＬＣＤ２から出力される電圧を検出することにより試験を行う。本発明ではＦＰＤとしてのＬＣＤを対象とするが、ＦＰＤ以外の任意のデバイス、例えばＤＡＣ（デジタルアナログコンバータ）等の任意のデバイスを対象とすることもできる。
【００３５】
ピンモジュール３はＬＣＤ２に接続して、ＬＣＤ２から出力される電圧を検出し、検出した電圧の値をデジタルデータに変換することによりデバイスデータ（デジタイズしたデータ）を生成している。つまり、ピンモジュール３はアナログデータとしての検出電圧をデジタルデータに変換するデジタイザとしての機能を果たす。以下において、１つのデバイスデータの情報量はＸ（Ｘは自然数）ビットで表現されるものとする。なお、図１ではＮ個のピンモジュール３を例示しているが、ピンモジュール３の個数は１つであってもよい。
【００３６】
送信装置４は入力部１１とデータ削減部１２と送信部１３とを備えて概略構成している。入力部１１は各ピンモジュール３からデバイスデータを入力するインターフェイスになる。ピンモジュール３は非常に短いサイクルでデバイスデータを生成しており、しかもＮ個のピンモジュール３を備えていることから、入力部１１には短時間に大量のデバイスデータが連続的に入力される。
【００３７】
データ削減部１２は差分データ生成部１５と差分データ判定部１６と特定コード生成部１７と転送データ生成部１８とを備えて概略構成している。このデータ削減部１２はデバイスデータの情報量の削減を行っている。
【００３８】
差分データ生成部１５は入力部１１から連続的に入力したデバイスデータに基づいて差分データを生成している。差分データは各デバイスデータについて前後のデバイスデータの間で差演算を行った結果のデータになる。例えば、差分データ生成部１５にデバイスデータを一時的に記憶するバッファやＦＩＦＯ等を設けておき、記憶されたデバイスデータと次に入力したデバイスデータとの間で差演算を行うこと等により差分データが得られる。
【００３９】
生成された差分データの情報量はＹ（Ｙは自然数）ビットで表現される。差分データはデバイスデータよりも情報量が削減されているため、「Ｙ＜Ｘ」の関係になる。例えば、「Ｙ＝Ｘ／２」とすることにより、差分データはデバイスデータに対して半分のビット数で表現できる情報量に削減できるようになる。
【００４０】
差分データ生成部１５が生成した差分データは差分データ判定部１６と転送データ生成部１８とに出力される。差分データ判定部１６は差分データが閾値を超過しているか否かを判定する。この閾値は送信装置４から受信装置５に対して転送されるデータの情報量を一定以下に制限するために設定されるものであり、ユーザが任意に設定することが可能である。
【００４１】
特定コード生成部１７は、差分データ判定部１６の判定結果に基づいて特定コードを生成する。特定コードは差分データの情報量が閾値を超過していたことを示すデータになる。特定コードの情報量は差分データの情報量以下、つまり特定コードの情報量をＺ（Ｚは自然数）ビットで表現したときに、「Ｚ≦Ｙ」の関係になる。この特定コードは予め割り当てられたデータになり、例えばＺビットの全てが「１」の場合には特定コードであることを示すようにする。
【００４２】
転送データ生成部１８は差分データ生成部１５と特定コード生成部１７とからそれぞれ差分データと特定コードとを入力する。転送データ生成部１８は、特定コード生成部１７から特定コードを入力したときには、転送データとして特定コードを送信部１３に出力し、特定コードを入力していないときには、転送データとして差分データを送信部１３に出力する。このとき、差分データと特定コードとを同じ転送データとして取り扱うため、差分データと特定コードとを同じ情報量（つまり、Ｚ＝Ｙ）にすることが望ましい。
【００４３】
送信部１３は転送データ生成部１８が生成した転送データを受信装置５に対して送信する。なお、送信部１３からは差分データまたは特定コードの何れかを転送データとして転送しているが、転送データとして生成しない場合（差分データまたは特定コードとして転送する場合）には転送データ生成部１８は不要になる。
【００４４】
ここで、転送データは差分データまたは特定コードになっており、差分データが閾値以上の情報量となるときには、差分データではなく特定コードを転送している。そして、特定コードの情報量は差分データの情報量以下になるため、転送データの送信部１３から受信部２０に転送される転送データは常にＹビット以下となる。つまり、１つの転送データの最大値がＹビットに制限される。
【００４５】
受信装置５は受信部２０とデータ復元部２１と演算部２２とを備えて概略構成している。受信部２０は、送信部１３から転送される転送データを受信して、転送データをデータ復元部２１に送る。なお、受信部２０と送信部１３との間は別途の通信手段、例えば電気通信ケーブルや光通信ケーブル等により接続されており、この通信手段により転送データが転送される。
【００４６】
データ復元部２１はデータ判定部２３とデータ加算部２４とエラーデータ生成部２５とを備えて概略構成しており、転送データに基づいて元のデバイスデータを復元する。データ判定部２３は転送データが差分データであるか特定コードであるかを判定する。例えば、データ判定部２３に特定コードを記憶する記憶手段を設けておき、転送データが特定コードと一致するか否かに基づいて判定を行う。
【００４７】
そして、データ判定部２３は差分データであると判定したときには差分データをデータ加算部２４に出力し、特定コードであると判定したときには特定コードをエラーデータ生成部２５に出力する。
【００４８】
データ加算部２４は差分データを加算することにより元のデバイスデータを復元する。データ加算部２４には連続的に差分データが入力され、復元された直前のデバイスデータに対して差分データを加算することにより、次のデバイスデータが復元される。以降、デバイスデータに差分データを順次加算していくことで、デバイスデータが復元されていく。なお、このために、データ加算部２４には復元したデバイスデータを一時的に記憶するバッファやＦＩＦＯ等の記憶手段を設けておくようにする。
【００４９】
エラーデータ生成部２５は特定コードをデータ判定部２３から入力して、この特定コードに基づいてエラーデータを生成する。エラーデータは特定コードの情報量をデバイスデータと同じ情報量になるまで拡張したデータになる。このエラーデータのビット数はデバイスデータのビット数と同じＸビットになる。
【００５０】
例えば、前述したように、特定コードを全てのビットが「１」になるようにして表現した場合には、デバイスデータに対して不足している（Ｘ−Ｚ）ビットの分だけ「１」を付加することで、エラーデータが生成される。例えば、「Ｚ＝Ｙ＝Ｘ／２」であるならば、特定コードに対してＸ／２ビットの分だけ「１」を付加することで、全てのビットが「１」であるＸビットのエラーデータが生成される。
【００５１】
演算部２２はデバイスデータに対して演算を行う。演算部２２が行う演算にはデバイスデータに対して行う加減乗除の演算や最大値・最小値・平均値を算出する演算等がある。そして、演算部２２により演算されたデバイスデータに対して良否判定（パスフェイル判定）が行われる。なお、演算部２２が良否判定の処理を行うようにしてもよい。
【００５２】
以上の構成における動作について図２のフローチャートを用いて説明する。各ピンモジュール３はＬＣＤ２から電圧を検出して、当該電圧の値をデジタルデータに変換してデバイスデータを生成する（ステップＳ１）。各ピンモジュール３が検出するデバイスデータは連続的に入力部１１に入力される。
【００５３】
差分データ生成部１５は連続的に入力したデバイスデータについて、前後のデバイスデータの間で差演算を行い、差分データを生成する（ステップＳ２）。なお、最初のデバイスデータについては差演算を行う対象がないために、差分データが生成されない。この最初のデバイスデータは差分データ生成部１５を介することなく、送信部１３から直接的に受信装置５に転送され、転送されたデバイスデータがデータ加算部２４に最初のデバイスデータとして記憶される。また、演算部２２によりこのデバイスデータの演算が行われる。
【００５４】
差分データ生成部１５が生成した差分データは差分データ判定部１６により閾値を超過しているか否かが判定される（ステップＳ３）。このとき、差分データ判定部１６は予め設定した閾値としてＹビットを設定しており、入力した差分データの情報量Ｘビットとの間で「Ｙ＞Ｘ」ならば超過していると判定し、それ以外ならば超過していないと判定する。
【００５５】
差分データ判定部１６において超過していると判定された場合には、特定コード生成部１７により特定コードが生成される（ステップＳ４）。この特定コードは予め割り当てられたコードであり、その情報量はＺ（Ｚ≦Ｙ）である。
【００５６】
転送データ生成部１８では差分データと特定コードとを転送データとして生成して送信部１３に出力する（ステップＳ５）。そして、送信部１３から受信装置５に対して転送データが転送される（ステップＳ６）。このとき、転送データは差分データまたは特定コードになっているため、転送量は常にＹビット以下に制限されている。
【００５７】
そして、受信部２０は送信部１３から送信された転送データを受信する（ステップＳ７）。受信した転送データはデータ判定部２３において差分データと特定コードとの何れであるのかが判定される（ステップＳ８）。
【００５８】
差分データであると判定した場合にはデータ加算部２４により差分データの加算が順次行われる（ステップＳ９）。このため、データ加算部２４は直前に復元したデバイスデータ（または最初に転送されたデバイスデータ）に次の差分データを加算することで、新たなデバイスデータを復元している。そして、演算部２２はデータ加算部２４から入力するデバイスデータに基づいて演算処理を行う（ステップＳ１０）。
【００５９】
一方、特定コードと判定した場合にはエラーデータ生成部２５によりエラーデータの生成が行われる（ステップＳ１１）。特定コードのビット数（Ｚビット）に対して不足しているビット数である（Ｚ−Ｘ）ビットの分だけ「１」を付加することにより、エラーコードを生成する。
【００６０】
演算部２２はエラーデータを入力したときには、正常にデータ転送が行われなかったことを認識して、処理を中止する（ステップＳ１２）。このとき、演算部２２が演算処理するデータはＸビットであり、エラーデータも同じくＸビットになっている。これにより、演算部２２がエラーデータを認識することができるようになり、エラーデータを認識したときに処理を中止することができるようになる。勿論、演算部２２以外の回路で取り扱うときにも、デバイスデータとエラーデータとを同じように取り扱うことができるようになる。
【００６１】
以上説明したように、送信装置４から受信装置５に対してデータ転送を行うときに、転送量の上限値を規定している。つまり、差分データの情報量が設定した閾値を超過したときには特定コードとして転送するようにしているため、データ転送の転送量は常に閾値以下とすることができる。これにより、一定量以下の転送量とすることができ、転送時間および試験時間の短縮化を図ることができるようになる。
【００６２】
ここで、差分データ判定部１６は設定した閾値を超過したときに特定コードを生成するようにしている。この特定コードは正常な転送が行われないことを示すエラーコードであり、この特定コードに基づいてエラーデータが生成される。つまり、エラーデータは異常が生じていることを示す。
【００６３】
前述したように、差分データは前後のデバイスデータの差分を示すデータであり、この差分データの情報量が大きい場合には、デバイスデータに異常が発生していることが認識される。
【００６４】
そこで、差分データ判定部１６が判定を行うための閾値を良否判定の基準値とすることができる。なお、基準値とは、当該基準値を超過していたときに異常（フェイル）、そうでなければ正常（パス）として判断するための値にある。閾値を基準値に設定することで、差分データ判定部１６が良否判定（パスフェイル判定）を兼ねることができるようになる。つまり、前後のデバイスデータの差演算を行った結果、基準値を超過している場合には、デバイスデータがフェイルであることを認識する。これにより、特定コードが生成する特定コードはフェイルであることを示すフェイルコードになる。
【００６５】
そして、受信装置５側では特定コード（フェイルコード）を受信したときには、エラーデータ生成部２５によりエラーデータが生成され、このエラーコードはフェイルであることを示すフェイルデータになる。演算部２２はこのフェイルデータを入力したときには、ＬＣＤ２がフェイルであると認識し、そうでない場合にはパスであると認識する。つまり、差分データ判定部１６の閾値と良否判定を行うための基準値とを一致させることで、差分データ判定部１６に良否判定機能を持たせることができるようになる。これにより、転送量の削減を図ると同時に良否判定を行うこともできるようになる。
【００６６】
また、前記の閾値と基準値とを異なる値に設定してもよい。例えば、基準値よりも余裕を持たせた値を閾値として設定することで、差分データ判定部１６は予備的な良否判定を行うことができる。つまり、差分データ判定部１６で予備的にある程度の良否判定を行わせるようになし、差分データ判定部１６でパスをしたデバイスデータについて別途の手段により詳細な良否判定を行なわせるようにしてもよい。
【００６７】
差分データ判定部１６の閾値は、あくまでも送信装置４と受信装置５との間のデータ転送の転送量の上限を規定するために設けたものであり、良否判定を行うための基準値に閾値を従属させるのではなく、設定する転送量の上限を主体として基準値を決定するようにする。この条件下で、閾値と基準値とを一致させることができれば、差分データ判定部１６に良否判定機能を持たせることができるようになる。
【００６８】
また、特定コード生成部１７が特定コードを生成するときには、差分データ生成部１５は直前のデバイスデータではなく、２つ前のデバイスデータと新たに入力したデバイスデータとの比較を行うように制御している。特定コードが生成されるときは、デバイスデータに異常が生じているときであるため、異常が生じたデバイスデータを基準にすると、次に正常なデバイスデータが入力されたとしても、特定コードが生成される。つまり、異常なデバイスデータと正常なデバイスデータとの間の差分は閾値を超過するためである。
【００６９】
そこで、差分データ判定部１６が閾値を超過していると判定したときには、差分データ生成部１５に対してその旨を通知し、差分データ生成部１５はこの通知に基づいて、記憶しているデバイスデータの破棄或いは無効化といった処理を行うようにする。このため、差分データ判定部１６には少なくとも２つ前までのデバイスデータを記憶するようになし、差分データ判定部１６の通知に基づいて、最新のデバイスデータを破棄或いは無効化をし、２つ前のデバイスデータを最新のデバイスデータとして取り扱うように制御する。
【００７０】
次に、図３を用いて変形例について説明する。図３と図１とで異なる点は、データ削減部１２であり、新たに基準データ記憶部１９を設けている。
【００７１】
基準データ記憶部１９は差分データを算出するための基準となるデータになる。前述したように、基本的には同じ階調についての試験を行うものであり、デバイスデータのおおよその期待値はある程度は認識される。この期待値を基準データとして、基準データ記憶部１９に記憶させておき、差分データ生成部１５はこの基準データとデバイスデータとの差分を差分データとして生成する。
【００７２】
また、同じく基準データを記憶するための基準データ記憶部２６を受信装置５のデータ復元部２１に設けており、データ加算部２４に基準データを出力可能に構成している。これにより、データ加算部２４は基準データに対して差分データを加算することで、デバイスデータを復元している。
【００７３】
図１の例では、最初のデバイスデータはそのままのデータとして送信装置４から受信装置５に転送しなければならなかったため、少なくとも最初のデータについての転送量は大きなものになる。ただし、本変形例では、最初のデータについても差分データとして転送量を削減できるため、さらに転送時間および試験時間の短縮化を図ることができるようになる。
【符号の説明】
【００７４】
１    半導体試験装置            ２    ＬＣＤ
３    ピンモジュール            ４    送信装置
５    受信装置            １２    データ削減部
１３    送信部                １５    差分データ生成部
１６    差分データ判定部        １７    特定コード生成部
１９    基準データ記憶部        ２０    受信部
２１    データ復元部            ２２    演算部
２３    データ判定部            ２４    データ加算部
２５    エラーデータ生成部        ２６    基準データ記憶部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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