(57)【要約】【課題】小型化、軽量化に有利な接触式給電システムにおいて、発塵の給電カバー外及びクリーンルーム内への飛散を防止し、クリーンルーム内のクリーン度を保持するようにしたクリーンルーム内搬送台車への給電システムを提供すること。【解決手段】搬送台車１が走行する搬送室Ｒ１と、集電子２の摺接にて給電する給電レール４を配設した給電室Ｒ２とを、搬送台車１側に突設した集電子支持材３を挿通するようにスリット孔５１を形成した通気式床５にて仕切り、かつ給電レール４を集電子支持材挿通用のスリット開口部６１を搬送台車１の走行方向に沿って形成した給電カバー６にて覆うとともに、集電子支持材３に集電子２と対向する給電カバー６のスリット開口部６１を遮蔽するようにした遮蔽板７を配設して構成する。【選択図】図１
2011083138.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送台車が走行する搬送室と、集電子の摺接にて給電する給電レールを配設した給電室とを、搬送台車側に突設した集電子支持材を挿通するようにスリット孔を形成した通気式床にて仕切り、かつ給電レールを集電子支持材挿通用のスリット開口部を搬送台車の走行方向に沿って形成した給電カバーにて覆うとともに、前記集電子支持材に集電子と対向する給電カバーのスリット開口部を遮蔽するようにした遮蔽板を配設して構成したことを特徴とするクリーンルーム内搬送台車への給電システム。
【請求項２】
通気式床に形成するスリット孔を、通気式床の他の部位による通気流速よりも通気流速を高めるようにして形成したことを特徴とする請求項１記載のクリーンルーム内搬送台車への給電システム。
【請求項３】
給電レールを覆う給電カバーに、ファンフィルタユニットを配設したことを特徴とする請求項１又は２記載のクリーンルーム内搬送台車への給電システム。
【請求項４】
給電カバーのスリット開口部における吸引速度を、集電子の移動により発生する給電カバー内空気の攪拌乱流が給電カバー外に飛散しないように設定した流速以上となるようにした間隔で、給電カバーにファンフィルタユニットを配設したことを特徴とする請求項１、２又は３記載のクリーンルーム内搬送台車への給電システム。
【請求項５】
給電カバー内で移動し、給電カバーのスリット開口部を遮蔽するようにした遮蔽板の長さを、給電レールに摺接して移動する集電子による空気の攪拌乱流が給電カバーのスリット開口部より外部に飛散するのを阻止できる長さとしたことを特徴とする請求項１、２、３又は４記載のクリーンルーム内搬送台車への給電システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルーム内搬送台車への給電システムに関し、特に、クリーンルーム内を走行する搬送台車への給電時に発生する塵埃を搬送物への付着を未然に防止するようにしたクリーンルーム内搬送台車への給電システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶基板等の搬送物に塵埃などが付着すると不良基板となり製品として使用できなくなるため、液晶、半導体など精密機器の製造工場や自動倉庫においては、所定の清浄度を保持したクリーンルーム内で搬送台車（ＲＧＶ、ＯＨＶ等）やスタッカクレーンを走行させ搬送するようにしている。特に液晶基板等は、その複数枚を重積収納したカセットを用いて搬送し、この搬送台車やスタッカクレーン（以下、「搬送台車」という。）にケーブルキャリア式や無接触式或いは接触式で必要な電力を供給するようにした搬送システムが提案されている。
【０００３】
ところで、クリーンルーム内の搬送システムにおいて、搬送台車への給電システムをケーブルキャリア式で行う場合、搬送台車の走行に応じて該ケーブルの巻き取り巻き戻しを行う装置が必要で、装置が複雑となるとともに、使用によってケーブルの破断など生じることがある。
また、接触式で行う場合、搬送台車の走行方向に沿って給電レール（或いは給電線）を敷設し、該給電レールと摺接して集電するための集電子（集電ブラシ）を搬送台車側に配設して構成されている。
しかし、この接触式給電システムは、安価に提供できる利点はあるが、反面搬送台車の走行に応じて集電子が給電レールと摺接移動するため、この摺接部において集電子及び／又は給電レールの摩耗による微粉塵（以下、「塵埃」という。）が発生し、これがクリーンルーム内を飛散して搬送物に付着するので、クリーンルーム内での給電システムとしては不向きであった。
そこで、この集電子及び／又は給電レールの発生塵埃が飛散して、クリーンルーム内を搬送する搬送物に付着しないようにした接触式給電システムが提案されている。例えば、特許文献１に開示されたものがある。
これは、クリーンルーム内に搬送台車（移動体）の移動経路に沿って給電手段としての給電レールが配設され、搬送台車に給電レールに摺接する集電手段としての集電子が設けられ、集電子が給電レールに摺接することによって発生する塵埃を吸引する集塵装置が移動経路に沿った地上側に設けられ、そしてこの給電レールには移動経路にわたって開口部を形成した給電カバーで覆われ、集電子の摺接により発生する微粉塵などの塵埃を給電カバー外の周囲に飛散しないように、給電カバー内の空気を該給電カバーに接続した複数の集塵ダクトを介して集塵装置にて吸引し、外部へ排出するように構成している。
【０００４】
ところで、特許文献１に開示されたものにおいては、給電レールを覆った給電カバーには移動経路にわたってスリット状の開口部が常に開口しているので、たとえ給電レールが給電カバーで覆われていたとしても、給電カバー内を移動する集電子により給電カバー内の空気が攪拌されて乱流が発生し、集塵装置による吸引力よりもこの攪拌乱流が強い場合、集電子の摺接移動時に発生する塵埃はこの攪拌乱流と共に給電カバーの開口部より直接クリーンルーム内へ飛散するものとなり、クリーンルーム内のクリーン度を高度に保つことができないという問題点があった。
また、給電カバーの開口部より集電子の移動により発生する攪拌乱流にて塵埃が出ないようにするためには、この発生攪拌乱流力を弱くする必要がある。このためには、集電子の移動速度を低速とする、すなわち、搬送台車の走行速度を低速とする必要があり、これにより搬送能力が低下するという問題点があった。
また、搬送台車の搬送速度を落とすことなく塵埃の給電カバー開口部からの飛散するのを防止するには、集塵装置による集塵力を高めることにより達成することができる。しかし、このためには集塵装置を大型化、強力化する必要があり、設備費が高くなり、かつランニングコストも高くなるという問題点があった。
また、給電カバーには複数本の集塵ダクトを接続しているため、複数本の集塵ダクトの這いまわしが必要となり、この集塵装置も大型化するという問題点があった。
【０００５】
また、この接触式給電システムの代わりに無接触式給電システムの採用で、集電子の摺接移動時の塵埃発生を抑止することができる。しかし、この無接触式給電システムは、移動経路（走行経路）に沿って高周波の正弦波電流を流す誘導線路ユニットを敷設し、搬送台車側に誘導線路ユニットの周波数に共振して起電力を発生させるピックアップユニットを配設して構成している。
このため、給電システムのコストが高くなったり、またピックアップユニットが大型、重量化し、搬送台車の大型、重量化を避けることができないという問題点があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−１９１１０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記従来の搬送台車への接触式給電システムの有する問題点に鑑み、小型化、軽量化に有利な接触式給電システムにおいて、発塵の給電カバー外及びクリーンルーム内への飛散を防止し、クリーンルーム内のクリーン度を保持するようにしたクリーンルーム内搬送台車への給電システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明のクリーンルーム内搬送台車への給電システムは、搬送台車が走行する搬送室と、集電子の摺接にて給電する給電レールを配設した給電室とを、搬送台車側に突設した集電子支持材を挿通するようにスリット孔を形成した通気式床にて仕切り、かつ給電レールを集電子支持材挿通用のスリット開口部を搬送台車の走行方向に沿って形成した給電カバーにて覆うとともに、前記集電子支持材に集電子と対向する給電カバーのスリット開口部を遮蔽するようにした遮蔽板を配設して構成したことを特徴とする。
【０００９】
この場合において、通気式床に形成するスリット孔を、通気式床の他の部位による通気流速よりも通気流速を高めるようにして形成することができる。
【００１０】
また、給電レールを覆う給電カバーに、ファンフィルタユニットを配設することができる。
【００１１】
また、給電カバーのスリット開口部における吸引速度を、集電子の移動により発生する給電カバー内空気の攪拌乱流が給電カバー外に飛散しないように設定した流速以上となるようにファンフィルタユニットを配設することができる。
【００１２】
また、給電カバー内で移動し、給電カバーのスリット開口部を遮蔽するようにした遮蔽板の長さを、給電レールに摺接して移動する集電子による空気の攪拌乱流が給電カバーのスリット開口部より外部に飛散するのを阻止できる長さとすることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明のクリーンルーム内搬送台車への給電システムによれば、搬送台車が走行する搬送室と、集電子の摺接にて給電する給電レールを配設した給電室とを、搬送台車側に突設した集電子支持材を挿通するようにスリット孔を形成した通気式床にて仕切り、かつ給電レールを集電子支持材挿通用のスリット開口部を搬送台車の走行方向に沿って形成した給電カバーにて覆うとともに、前記集電子支持材に集電子と対向する給電カバーのスリット開口部を遮蔽するようにした遮蔽板を配設して構成することにより、給電時給電レールに沿って集電子が摺接して発生する塵埃を確実に給電カバー内に閉じこめられるので、搬送室内の高いクリーン度を保持することができ、かつ給電を接触式とすることができるので、地上設備側をコンパクトとすることができる。
【００１４】
また、通気式床に形成するスリット孔を、通気式床の他の部位による通気流速よりも通気流速を高めるようにして形成することにより、給電室内で発生する塵埃を搬送室側へ逆流するのを確実に防止して搬送室側のクリーン度を高度に保持することができる。
【００１５】
また、給電レールを覆う給電カバーに、ファンフィルタユニットを配設することにより、給電カバー内の負圧も容易に形成され、従来のように集塵ダクトの這いまわしが不要となり、給電カバーの周囲を簡素化でき、集塵装置を小型化することができる。
【００１６】
また、給電カバーのスリット開口部における吸引速度を、集電子の移動により発生する給電カバー内空気の攪拌乱流が給電カバー外に飛散しないように設定した流速以上となるようにファンフィルタユニットを配設することにより、搬送台車の高速化が可能で、搬送能力を簡易に、確実に向上させることができる。
【００１７】
また、給電カバー内で移動し、給電カバーのスリット開口部を遮蔽するようにした遮蔽板の長さを、給電レールに摺接して移動する集電子による空気の攪拌乱流が給電カバーのスリット開口部より外部に飛散するのを阻止できる長さとすることにより、搬送台車を高速で走行させても給電カバー内で発生する乱流にても給電カバー内で発生する塵埃の給電カバー外漏洩を確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明のクリーンルーム内搬送台車への給電システムの一実施例を示す正面図である。
【図２】図１のＡ矢視による同給電システムの給電部を示す側面図である。
【図３】図２のＢ矢視による同給電システムの給電部を示す平面図である。
【図４】クリーンルーム内の空気の流れを説明する説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明のクリーンルーム内搬送台車への給電システムの実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【００２０】
図１〜図４に、本発明のクリーンルーム内搬送台車への給電システムの一実施例を示す。
このクリーンルーム内搬送台車への給電システムは、液晶、半導体など精密機器の製造工場や自動倉庫等において、基板等の搬送物を搬送する搬送台車１に接触式給電システムにて給電するもので、これはクリーンルームＲ内を、通常カセットＫに収納した搬送物を搬送台車１に搭載して搬送する搬送室Ｒ１と、該搬送台車１に突設した集電子２と摺接するように給電レール４を敷設し、これを給電カバー６にて覆うようにした給電室Ｒ２とを通気式床５にて仕切り、かつ該通気式床５に搬送台車１の走行方向に沿ってスリット孔５１を形成するが、このスリット孔５１は、搬送台車側に突設した集電子支持材３が搬送台車１の走行方向に沿うようにスリット状に開口して形成する。
このように、搬送台車１による搬送室Ｒ１と給電室Ｒ２とを仕切る通気式床５は、望ましくはその全面よりクリーンルーム内天井部から噴出されるクリーンエアによるダウンフローが搬送台車１の搬送室Ｒ１より通気式床５を経て給電室Ｒ２側に流通するように構成する。
これにより、搬送室Ｒ１内で発生する微細な塵埃によっても搬送物の汚染を防止することができるようになる。
【００２１】
なお、搬送室Ｒ１内を走行する搬送台車は、特に限定されるものではないが、例えば、通気式床上に敷設される走行レールに沿って搬送台車側の車輪が転動することで走行するようにするとともに、搬送台車上に基板等の搬送物を収納したカセットＫを搭載して搬送し、かつ搬送台車１の走行時に発生する塵埃はダウンフローにより通気式床５を経て下方の給電室Ｒ２へ流通するようにし、これによりカセット内の搬送物に付着しないようにすることができる。
【００２２】
また、搬送室Ｒ１と給電室Ｒ２とを仕切る通気式床５は、図４に示すように、クリーンエアによる所要のダウンフローが形成されるようにするが、搬送台車１の走行方向に沿って形成するスリット孔５１による開口部を、通気式床５の他の部位による通気流速よりも通気流速が高めるようにして設定する。これにより、後述する給電室Ｒ２において、たとえ給電カバー６のスリット開口部６１から、給電レール４と摺接する集電子２より発生する塵埃が乱流等により給電室内に漏れ出ても搬送室Ｒ１側への逆流を完全に阻止でき、搬送室Ｒ１側のクリーン度を保持することができる。
【００２３】
給電室Ｒ２内には搬送台車１の走行方向に沿って給電レール４を敷設し、この給電レール４の外周部を給電カバー６にて覆うようにするとともに、該給電カバー６には搬送台車１に突設した集電子支持材３が搬送台車１の走行と共に移動できるように、集電子支持材挿通用のスリット開口部６１を搬送台車１の走行方向に沿って形成する。  
なお、このスリット開口部６１の幅は、搬送台車１の走行と共に移動する集電子支持材３とは接触しない程度の僅かな隙間を有するようにして定める。
【００２４】
搬送台車１に突設する集電子２は、特に限定されるものではないが、例えば、図１〜図２に示すように、搬送台車下部にＬ字形をした集電子支持材３を突設し、この集電子支持材３の先端に集電子２を給電レール４と摺接するようにして取り付ける。この場合、集電子支持材３の垂直部を通気式床５のスリット孔５１内に挿通し、水平部を給電カバー６のスリット開口部６１内に挿通するとともに、該集電子支持材３の水平部で、給電カバー６の内側に、かつ給電カバー６のスリット開口部面に近接するようにして遮蔽板７を取り付けるようにする。
【００２５】
この遮蔽板７は、図２〜図３に示すように、給電カバー６とは非接触で給電カバー６のスリット開口部６１をその内側から遮蔽するようにするもので、遮蔽板７の長さを、給電レール４に摺接して移動する集電子２による空気の攪拌乱流が給電カバー内で発生してもスリット開口部６１より外部に飛散するのを阻止できるようにして定める。
この遮蔽板７は、集電子支持材３の水平部に固定するが、その材質は特に限定されるものではなく、任意に選定することができる。
これにより、遮蔽板７が搬送台車１の走行時共に給電カバー内で移動し、塵埃を含んだ給電カバー内空気が乱流と一緒に給電カバー外に漏れ出るのを防止することができる。
【００２６】
また、給電カバー６の外側には所定間隔或いは任意間隔にファンフィルタユニット８を配設する。このファンフィルタユニット８は給電カバー内の空気を吸引し、内蔵のフィルタにて吸引空気に含まれる塵埃を濾過した後、空気を給電室内に或いはクリーンルーム外へ排気するようにする。
この場合、給電カバー６のスリット開口部６１における吸引速度を、集電子２の移動により発生する給電カバー内空気の攪拌乱流の一部がスリット開口部６１を経て給電カバー外に飛散しないように設定した流速以上となるようにして複数台のファンフィルタユニット８、８を所定間隔で配設する。
【００２７】
上述の如く構成することにより、本発明のクリーンルーム内搬送台車への給電システムは、カセットを搭載して搬送台車がクリーンルーム内、詳しくは搬送室内を走行する際、搬送室内にて発生する塵埃は、クリーンエアによるダウンフローにて通気式床を経て給電室内側に速やかに導かれ、搬送室内のクリーン度は保持される。
【００２８】
また、給電室内でこの搬送台車の搬送に追随して移動する集電子が給電レールと摺接して発塵するが、この塵埃は給電レールが給電カバーにて覆われており、さらに給電カバー内をファンフィルタユニットにて吸引され、常に負圧となるように設定されているので外部に漏れないようになる。さらに、給電カバー内には給電カバー形成したスリット開口部の内側から、特に集電子の移動に伴って集電子の走行方向後方に乱流が発生するが、この乱流部分にあたるスリット開口部が遮蔽板にて遮蔽されているので、給電カバー内での発塵は外部に漏れることがない。
【００２９】
また、万一スリット開口部より給電カバー内の塵埃が漏れたとしても、通気式床下部の給電室内のみに限定されるため、搬送台車に搭載搬送するカセット及びカセット内の搬送物を塵埃にて汚染されることがない。
【００３０】
なお、上記実施例は、クリーンルームＲ内を搬送室Ｒ１と給電室Ｒ２とを上下に通気式床５にて仕切ったが、これを搬送室Ｒ１の内側下部内面に通気式床５と同様の構造をした通気式壁（図示省略）を介して給電室Ｒ２を隣接配置することも可能である。
この場合は、クリーンエアによるダウンフローを搬送室Ｒ１の天井から搬送室Ｒ１の床面に向かい、その後側壁下部の通気式壁を経て給電室Ｒ２側へ流れるようにし、該給電室Ｒ２内に給電カバーにて覆った給電レールを敷設し、前記通気式壁に形成したスリット孔より搬送台車に突設した集電子支持材を挿通し、かつ給電カバーのスリット開口部を経て給電カバー内に敷設した給電レールと集電子を摺接するようにする。この場合の作用も前実施例と同じである。
【００３１】
以上、本発明のクリーンルーム内搬送台車への給電システムについて、図示の実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、実施例に記載した構成を適宜組み合わせる等、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
本発明のクリーンルーム内搬送台車への給電システムは、搬送台車への給電時に発生する塵埃を搬送物への付着を防止するという特性を有していることから、高い清浄度を要求されるクリーンルーム内搬送装置の用途に好適に用いることができるほか、例えば、自動倉庫の搬送装置の用途にも用いることができる。
【符号の説明】
【００３３】
１    搬送台車
２    集電子
３    集電子支持材
４    給電レール
５    通気式床
５１  スリット孔
６    給電カバー
６１  スリット開口部
７    遮蔽板
８    ファンフィルタユニット
Ｒ    クリーンルーム
Ｒ１  搬送室
Ｒ２  給電室
Ｋ    カセット
【図１】
2011083138.tif 000003
【図２】
2011083138.tif 000004
【図３】
2011083138.tif 000005
【図４】
2011083138.tif 000006