(57)【要約】【課題】光学素子として使用する際に基板との密着耐久性に優れる隔壁が形成可能であり、かつ貯蔵安定性のよい光学素子の隔壁形成用感光性組成物を提供することを目的とする。【解決手段】光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂（Ａ）、光重合開始剤（Ｂ）、リン酸（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）、光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物（Ｄ）、および黒色顔料（Ｅ）を含む光学素子の隔壁形成用感光性組成物であって、組成物中の全固形分に対する前記リン酸（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）の含有量が０．１〜５質量％であり、かつ、前記光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物（Ｄ）の含有量が１０〜１００ｐｐｍであることを特徴とする隔壁形成用感光性組成物。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂（Ａ）、光重合開始剤（Ｂ）、リン酸（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）、光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物（Ｄ）、および黒色顔料（Ｅ）を含む光学素子の隔壁形成用感光性組成物であって、
組成物中の全固形分に対する前記リン酸（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）の含有量が０．１〜５質量％であり、かつ、前記光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物（Ｄ）の含有量が１０〜１００ｐｐｍであることを特徴とする隔壁形成用感光性組成物。
【請求項２】
さらにシランカップリング剤（Ｆ）を含む請求項１に記載の隔壁形成用感光性組成物。
【請求項３】
さらに熱硬化性樹脂（Ｇ）を含む請求項１または２に記載の隔壁形成用感光性組成物。
【請求項４】
さらに、水素原子の少なくとも１つがフッ素原子に置換された炭素数１〜２０のアルキル基（ただし、該アルキル基は炭素原子間にエーテル性酸素原子を有していてもよい）および／または下記式（１）で示される基を含む重合体を含む請求項１〜３のいずれかに記載の隔壁形成用感光性組成物。
【化１】
2011039404.tif 000008
（式（１）中、Ｒ１およびＲ２はそれぞれ独立してメチル基またはフェニル基を表す。ｎは１〜２００の整数を示す。）
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の隔壁形成用感光性組成物の塗膜硬化物からなるブラックマトリックス
【請求項６】
基材と、前記基材の主面上に該主面を複数の区画に仕切るように形成されたブラックマトリックスと、前記基材上の前記ブラックマトリックスで仕切られた領域にそれぞれ形成された複数の画素とを有する光学素子のブラックマトリックスの製造方法であって、請求項１〜５のいずれか１項に記載の隔壁形成用感光性組成物を前記基材上に塗布し塗膜を形成する工程と、前記塗膜のブラックマトリックスとなる部分のみを露光し感光硬化させる露光工程と、前記感光硬化した部分以外の塗膜を除去し前記塗膜の感光硬化部分からなるブラックマトリックスを形成させる現像工程と、前記形成されたブラックマトリックスを加熱するポストベーク工程とを順に有することを特徴とするブラックマトリックスの製造方法。
【請求項７】
基材と、前記基材の主面上に該主面を複数の区画に仕切るように形成されたブラックマトリックスと、前記基材上の前記ブラックマトリックスで仕切られた領域にそれぞれ形成された複数の画素とを有するカラーフィルタの製造方法であって、請求項６に記載の製造方法によって基材上にブラックマトリックスを形成した後、前記基材上の前記ブラックマトリックスで仕切られた領域にインクジェット法またはフォトリソグラフィ法により前記画素を形成する工程を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学素子の隔壁形成用感光性組成物、これを用いたブラックマトリックスおよびその製造方法、並びにこのブラックマトリックスを有するカラーフィルタの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、カラーフィルタの画素間の隔壁、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示素子の画素間の隔壁、有機ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ：薄膜トランジスタ）アレイの各ＴＦＴを仕切る隔壁、液晶表示素子のＩＴＯ電極の隔壁、回路配線基板の隔壁等の永久膜を形成する材料として、感光性組成物が注目されている。
【０００３】
このような感光性組成物を用いて光学素子の隔壁を形成する場合には、隔壁はガラス等の透明基板上にフォトリソグラフィ法によりパターン形成される。その後、基板上に形成された隔壁間の開口部に画素を形成することで光学素子が製造される。
【０００４】
上記光学素子の製造に用いられる隔壁形成用の感光性組成物においては、隔壁を形成する際に、感光硬化性、現像性が求められる他、隔壁形成後、光学素子を製造する際には、耐熱性、インク等に溶解されない耐溶剤性、部分的に要求される例えば上部表面の撥インク性、基板付近壁面の親インク性等の特性が求められる。さらに、光学素子としての使用に際しては、使用環境における耐久性、特に隔壁と基板との間の密着耐久性が求められている。
【０００５】
ここで、上記光学素子における隔壁と基板との密着性を改善するための技術として、隔壁形成用感光性組成物中にリン酸エステルを添加することが知られている。具体的には、特許文献１には、カラーフィルター用光重合性組成物に、光重合開始系エチレン不飽和二重結合を有する化合物と、色材料と、リン酸（メタ）アクリレート化合物を配合することで、現像性、感度、画像再現性、密着性が改良された光重合性組成物が得られることが記載されている。
【０００６】
しかしながら、リン酸（メタ）アクリレート化合物等のリン酸エステルには、通常リン酸が含まれており、精製が困難であることからリン酸エステルはリン酸を含んだまま、各種用途に用いられている。したがって、上記感光性組成物についてもリン酸（メタ）アクリレート化合物とともにリン酸が含まれており貯蔵安定性に影響を与えるという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特許第３５７７８５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであって、光学素子として使用する際に基板との密着耐久性に優れる隔壁が形成可能であり、かつ貯蔵安定性のよい光学素子の隔壁形成用感光性組成物を提供することを目的とする。さらに、これにより得られる基板との密着耐久性に優れるブラックマトリックスおよびその製造方法、並びにこのブラックマトリックスを有するカラーフィルタの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の隔壁形成用感光性組成物は、光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂（Ａ）、光重合開始剤（Ｂ）、リン酸（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）、光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物（Ｄ）、および黒色顔料（Ｅ）を含む光学素子の隔壁形成用感光性組成物であって、組成物中の全固形分に対する前記リン酸（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）の含有量が０．１〜５質量％であり、かつ、前記光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物（Ｄ）の含有量が１０〜１００ｐｐｍであることを特徴とする。
【００１０】
ここで、本明細書において用いる「リン酸（メタ）アクリレート化合物」は、リン酸アクリレート化合物とリン酸メタクリレート化合物の両方を、「（メタ）アクリロイルオキシ」の用語は、アクリロイルオキシとメタクリロイルオキシの両方を、「（メタ）アクリル酸エステル」はアクリル酸エステルとメタクリル酸エステルとの両方を、意味するものとして用いられる。
【００１１】
本発明は、上記本発明の隔壁形成用感光性組成物の塗膜硬化物からなるブラックマトリックスを提供する。
【００１２】
また、本発明は、基材と、前記基材の主面上に該主面を複数の区画に仕切るように形成されたブラックマトリックスと、前記基材上の前記ブラックマトリックスで仕切られた領域にそれぞれ形成された複数の画素とを有する光学素子のブラックマトリックスの製造方法であって、上記本発明の隔壁形成用感光性組成物を前記基材上に塗布し塗膜を形成する工程と、前記塗膜のブラックマトリックスとなる部分のみを露光し感光硬化させる露光工程と、前記感光硬化した部分以外の塗膜を除去し前記塗膜の感光硬化部分からなるブラックマトリックスを形成させる現像工程と、前記形成されたブラックマトリックスを加熱するポストベーク工程とを順に有することを特徴とするブラックマトリックスの製造方法を提供する。
【００１３】
また、本発明は、基材と、前記基材の主面上に該主面を複数の区画に仕切るように形成されたブラックマトリックスと、前記基材上の前記ブラックマトリックスで仕切られた領域にそれぞれ形成された複数の画素とを有するカラーフィルタの製造方法であって、上記本発明の製造方法によって基材上にブラックマトリックスを形成した後、前記基材上の前記ブラックマトリックスで仕切られた領域にインクジェット法またはフォトリソグラフィ法により前記画素を形成する工程を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の光学素子の隔壁形成用感光性組成物を用いれば、光学素子として使用する際に基板との密着耐久性に優れるブラックマトリックス（隔壁）が製造可能であり、したがってこのブラックマトリックスを有するカラーフィルタは耐久性を有するものである。また、本発明の隔壁形成用感光性組成物は貯蔵安定性がよい。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明のブラックマトリックスの製造方法の実施の形態の一例を模式的に示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を説明する。
［隔壁形成用感光性組成物］
本発明の隔壁形成用感光性組成物は、光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂（Ａ）、光重合開始剤（Ｂ）、リン酸（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）：組成物全固形分に対して０．１〜５質量％、光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物（Ｄ）：組成物全固形分に対して１０〜１００ｐｐｍ、および黒色顔料（Ｅ）を含有する。
【００１７】
（１）光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂（Ａ）（以下、単に「アルカリ可溶性樹脂（Ａ）」という場合もある）
本発明の隔壁形成用感光性組成物が含有するアルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、１分子内に光硬化性のエチレン性不飽和二重結合、およびアルカリ可溶性の基、すなわち、酸性基を有する感光性樹脂である。アルカリ可溶性樹脂（Ａ）が光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を有することにより、隔壁形成時、フォトリソグラフィにおける露光に際して、これを含む隔壁形成用感光性組成物塗膜の露光部は、後述の光重合開始剤（Ｂ）の作用によりラジカル重合し硬化が促進され、露光に次いで行われる現像に際しては、アルカリ現像液にて除去されずに塗膜面に残って、光学素子の隔壁を形成することができる。また、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）がアルカリ可溶性の基、すなわち酸性基を有することにより、隔壁形成時、フォトリソグラフィにおける露光後の現像に際して、これを含む隔壁形成用感光性組成物塗膜の未露光部すなわち未硬化の部分はアルカリ現像液にて容易に除去することができる。なお、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は実質的にペルフルオロアルキル基を含有しないことが好ましい。
【００１８】
上記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）が有する光硬化性のエチレン性不飽和二重結合としては、これを有する基として、例えば、（メタ）アクリロイル基、アリル基、ビニル基、ビニルエーテル基等の付加重合性の不飽和基や、これら付加重合性不飽和基の水素原子の一部またはすべてが、炭化水素基により置換されている基等が挙げられる。なお、前記炭化水素基としては、メチル基が好ましい。
【００１９】
また、上記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）が有する酸性基としては、カルボキシル基、フェノール性水酸基、スルホン酸基およびリン酸基からなる群から選ばれる１以上の酸性基が挙げられる。
【００２０】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）として、具体的には、酸性基を有する光硬化性のエチレン性不飽和単量体や反応性基と結合し得る官能基を有する光硬化性のエチレン性不飽和単量体等の共重合体であって、酸性基を有する側鎖と光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を有する側鎖とを有する重合体（Ａ１）、エポキシ樹脂に光硬化性のエチレン性不飽和二重結合と酸性基とを導入した樹脂（Ａ２）等が挙げられる。
【００２１】
上記重合体（Ａ１）は、例えば、酸性基を有する光硬化性のエチレン性不飽和単量体や反応性基と結合し得る官能基を有する光硬化性のエチレン性不飽和単量体等を通常のラジカル重合法により合成したあと、反応性基と二重結合を有する化合物を反応させることにより、光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を有する側鎖を形成することで得られる。
【００２２】
上記樹脂（Ａ２）としては、エポキシ樹脂と、カルボキシル基と光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物との反応物に、さらに多塩基性カルボン酸またはその無水物を反応させて得られる化合物が好ましい。
【００２３】
上記樹脂（Ａ２）の製造に用いられるエポキシ樹脂として具体的には、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格を有するエポキシ樹脂、下記式（Ｂ２１）で表されるビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂（ただし、ｓは１〜５０の整数を示し、２〜１０が好ましい。）、下記式（Ｂ２２）で表されるエポキシ樹脂（ただし、Ｒ７、Ｒ8、Ｒ９、Ｒ１０は独立して水素原子、塩素原子または炭素数１〜５のアルキル基のいずれかを示し、これらは互いに同一であっても異なってもよい。ｔは０〜１０の整数を示す。）等が挙げられる。
【００２４】
【化１】
2011039404.tif 000003
【００２５】
エポキシ樹脂に、カルボキシル基と光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物を反応させることにより、エポキシ樹脂に光硬化性のエチレン性不飽和二重結合が導入される。ついで、これに多塩基性カルボン酸またはその無水物を反応させることにより、酸性基としてカルボキシル基を導入することができる。
【００２６】
本発明においては、前記エポキシ樹脂に酸性基と光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を導入した樹脂（Ａ２）として、市販品を用いることが可能である。市販品としては、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＰＣＲ−１０６９、Ｋ−４８Ｃ、ＣＣＲ−１１０５、ＣＣＲ−１１１５、ＣＣＲ−１１６３Ｈ、ＣＣＲ−１１６６Ｈ、ＣＣＲ−１１５９Ｈ、ＴＣＲ−１０２５、ＴＣＲ−１０６４Ｈ、ＴＣＲ−１２８６Ｈ、ＺＡＲ−１５３５Ｈ、ＺＦＲ−１１２２Ｈ、ＺＦＲ−１１２４Ｈ、ＺＦＲ−１１８５Ｈ、ＺＦＲ−１４９２Ｈ、ＺＣＲ−１５７１Ｈ、ＺＣＲ−１５６９Ｈ、ＺＣＲ−１５８０Ｈ、ＺＣＲ１５８１Ｈ、ＺＣＲ１５８８Ｈ（以上全て、商品名、日本化薬社製）等が挙げられる。
【００２７】
本発明の隔壁形成用感光性組成物においてアルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、１分子内に３個以上の光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を有することが好ましく、１分子内に６個以上の光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を有することがより好ましい。これにより、得られる感光性組成物の塗膜の露光部分と未露光部分とのアルカリ溶解度に差がつきやすく、より少ない露光量での微細なパターン形成が可能となる。
【００２８】
本発明の隔壁形成用感光性組成物は、その塗膜硬化物の架橋密度を増大させ、耐熱性を向上させるために、後述のように、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と加熱処理、具体的には、現像後の加熱処理等により架橋反応する熱硬化性樹脂（Ｇ）をさらに含む場合がある。その場合には、上記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、熱硬化性樹脂（Ｇ）と架橋反応し得る基を有するように分子設計される。
【００２９】
例えば、後述の通り本発明の隔壁形成用感光性組成物には、熱硬化性樹脂（Ｇ）としてエポキシ基を有する樹脂が好ましく用いられるが、その場合には、上記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）は、エポキシ基と架橋反応し得る基、具体的には、カルボキシル基、水酸基、アミノ基、リン酸基等を有するように分子設計される。この際、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）が酸性基としてカルボキシル基、フェノール性水酸基等を既に有する場合には、これらは前記架橋反応し得る基として作用するため特に新たな基の導入は必要とされないが、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）が酸性基としてスルホン酸基、リン酸基等のみを有する場合には、架橋反応し得る基として、カルボキシル基、フェノール性水酸基、アルコール性水酸基等のいずれか１個以上を導入する。
【００３０】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の酸価は、１０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、３０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましい。当該範囲であると得られる感光性組成物の現像性が良好である。また、酸価とは、試料１ｇ中の樹脂酸などを中和するのに必要な水酸化カリウムのミリグラム数をいい、ＪＩＳ  Ｋ  ００７０の測定方法に準じて測定することができる値である。
【００３１】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）の重量平均分子量は、５００以上２０，０００未満が好ましく、２，０００以上１５，０００未満がより好ましい。この範囲であると得られる感光性組成物のアルカリ溶解性、現像性が良好である。なお、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により、ポリスチレンを標準物質として測定した値をいう。以下、本明細書中に記載の重量平均分子量は、前記と同様の測定方法により測定した値である。
【００３２】
本発明の隔壁形成用感光性組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ａ）として、これに分類される化合物の１種を単独で含有してもよいし、２種以上を含有してもよい。また、本発明の隔壁形成用感光性組成物の全固形分に対するアルカリ可溶性樹脂（Ａ）の割合は、５〜８０質量％が好ましく、１０〜６０質量％がより好ましい。当該範囲であると感光性組成物の現像性が良好である。
【００３３】
（２）光重合開始剤（Ｂ）
本発明の隔壁形成用感光性組成物が含有する光重合開始剤（Ｂ）は、光重合開始剤としての機能を有する化合物であれば特に制限されないが、光によりラジカルを発生する化合物からなることが好ましい。
【００３４】
光重合開始剤（Ｂ）としては、例えば、ベンジル、ジアセチル、メチルフェニルグリオキシレート、９，１０−フェナンスレンキノン等のα−ジケトン類；ベンゾイン等のアシロイン類；ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等のアシロインエーテル類；チオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−メチルチオキサントン、２，４−ジメチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、２，４−ジイソプロピルチオキサントン、チオキサントン−４−スルホン酸等のチオキサントン類；ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類；アセトフェノン、２−（４−トルエンスルホニルオキシ）−２−フェニルアセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェノン、２，２’−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、ｐ−メトキシアセトフェノン、２−メチル−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−１−プロパノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オン等のアセトフェノン類；アントラキノン、２−エチルアントラキノン、カンファーキノン、１，４−ナフトキノン等のキノン類；２−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸（ｎ−ブトキシ）エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル等のアミノ安息香酸類；フェナシルクロライド、トリハロメチルフェニルスルホン等のハロゲン化合物；アシルホスフィンオキシド類；ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド等の過酸化物；１，２−オクタンジオン，１−［４−（フェニルチオ）−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）、エタノン１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾイル−３−イル］−１−（Ｏ−アセチルオキシム）等のオキシムエステル類等が挙げられる。
【００３５】
特に、上記ベンゾフェノン類、上記アミノ安息香酸類等は、その他のラジカル開始剤と共に用いられて、増感効果を発現することがある。また、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、ｎ−ブチルアミン、Ｎ−メチルジエタノールアミン、ジエチルアミノエチルメタクリレート等の脂肪族アミン類も同じくラジカル開始剤と共に用いられて、増感効果を発現することがある。
【００３６】
さらに、上記以外にも、２−メルカプトベンズイミダゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾチアゾール、１，４−ブタノールビス（３−メルカプトブチレート）、トリス（２−メルカプトプロパノイルオキシエチル）イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラキス（３−メルカプトブチレート）などのチオール化合物も同じくラジカル開始剤と共に用いられて、増感効果を発現することがある。
【００３７】
本発明の隔壁形成用感光性組成物は、光重合開始剤（Ｂ）として、これに分類される化合物の１種を単独で含有してもよいし、２種以上の混合物を含有してもよい。また、本発明の隔壁形成用感光性組成物の全固形分に対する光重合開始剤（Ｂ）の割合は、０．１〜５０質量％が好ましく、０．５〜３０質量％がより好ましい。当該範囲であると得られる感光性組成物の現像性が良好である。
【００３８】
（３）リン酸（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）
本発明の隔壁形成用感光性組成物が含有するリン酸（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）としては、分子内に少なくともリン酸由来のＯ＝Ｐ構造と、（メタ）アクリル酸系化合物由来のエチレン性不飽和二重結合である（メタ）アクリロイル基とを有する化合物であれば特に制限されないが、具体的には、下記一般式（２）に示されるリン酸（メタ）アクリレート化合物が挙げられる。
【００３９】
本発明の隔壁形成用感光性組成物は、リン酸（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）を含有することにより、これを用いて得られる隔壁と基材との間に優れた密着耐久性を有するものである。リン酸（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）は、そのリン酸エステル構造が隔壁と基材の密着性に関与するものと考えられる。また、リン酸（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）は、（メタ）アクリロイル基を有することから、上記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）とラジカル重合することが可能であり、このラジカル重合によりリン酸（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）は隔壁に強固に固定される。したがって、光学素子として長期使用した場合にも、リン酸（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）としてこれが隔壁から溶出することなく密着性能を長く維持することが可能となる。
【００４０】
【化２】
2011039404.tif 000004
【００４１】
式（２）中、Ｒ３は、水素原子またはメチル基を示し、Ｒ４は水素原子または炭素数１〜４の炭化水素基を示し、Ｘは１〜３の整数である。Ｙは、酸素原子、または下記一般式（３）で表される基を示す。
−Ｏ−（ＣＨ２）ｍ−（ＯＲ１２）ｌ−Ｏ−    …（３）
ここで、ＯＲ１２は、炭素数２〜６のオキシアルキレン基または炭素数４〜６のオキシカルボニルアルキレン基であり、ｍは１〜１５の整数、ｌは０〜１０の整数である。
【００４２】
本発明に用いるリン酸（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）としては、上記一般式（２）で示される化合物が好ましく、これらの化合物のうちでも、Ｙが−Ｏ−（ＣＨ２）ｍ−Ｏ−（上記一般式（３）のｌが０の基）である化合物がより好ましく、Ｙが−Ｏ−（ＣＨ２）２−Ｏ−であり、Ｒ４が水素原子であって、Ｘが１〜３である、それぞれモノ（メタ）アクリロイルオキシエチルフォスフェート、ジ（メタ）アクリロイルオキシエチルフォスフェート、トリス（メタ）アクリロイルオキシエチルフォスフェートが特に好ましい。
【００４３】
本発明の隔壁形成用感光性組成物は、リン酸（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）として、これに分類される化合物の１種を単独で含有してもよいし、２種以上を含有してもよい。また、本発明の隔壁形成用感光性組成物の全固形分に対するリン酸（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）の割合は、０．１〜５質量％であり、０．２〜３質量％であることがより好ましい。隔壁形成用感光性組成物の全固形分に対するリン酸（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）の含有量が０．１質量％未満であると、得られる隔壁と基板との密着耐久性が優れる利点があり、５質量％を越えると、感光性組成物の貯蔵安定性が低下することがある。
【００４４】
（４）光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物（Ｄ）
本発明の隔壁形成用感光性組成物が含有する光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物（Ｄ）とは、分子内に少なくともリン酸由来のＯ＝Ｐ構造を有し光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物をいうが、具体的には、下記一般式（４）に示されるリン酸化合物が挙げられる。
【００４５】
【化３】
2011039404.tif 000005
【００４６】
（式（４）中、Ｒ５は、水素原子またはリン原子に隣接する原子が炭素原子である炭素数
１〜１５の炭化水素基。Ｒ６は水素または酸素原子に隣接する原子が炭素原子である炭素数１〜４の炭化水素基。ｘは１〜３の整数。）
【００４７】
上記一般式（４）で示される光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物（Ｄ）は、通常上述のリン酸（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）に含まれる副成分であり、リン酸（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）とは精製分離が困難な、不可分のリン酸化合物である。このような、光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物（Ｄ）として、より具体的には、リン酸、トリメチルフォスフェート、トリエチルフォスフェート等を挙げることができる。
【００４８】
光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物（Ｄ）は、隔壁形成用感光性組成物の貯蔵安定性を減退させる成分である。また、リン酸（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）のように上記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と結合することができないため、隔壁形成後、光学素子として使用する際には隔壁から溶出する成分である。
【００４９】
このような観点から設定された、本発明の隔壁形成用感光性組成物における、上記光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物（Ｄ）の含有許容量は、隔壁形成用感光性組成物の全固形分に対して１０〜１００ｐｐｍの量である。光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物（Ｄ）の含有量が１００ｐｐｍを越えると、隔壁形成用感光性組成物の貯蔵安定性が十分に得られない。
【００５０】
（５）黒色顔料（Ｅ）
本発明の隔壁形成用感光性組成物は、黒色顔料（Ｅ）を含有する。これにより、本発明の隔壁形成用感光性組成物を用いて得られる光学素子の隔壁は黒色であるが、このような黒色隔壁を通常「ブラックマトリックス」と呼ぶ。ブラックマトリックスは、代表的には、液晶表示素子においてカラーフィルタのＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色の画素を囲む格子状の黒色部分として用いられている。
【００５１】
本発明の隔壁形成用感光性組成物が含有する黒色顔料（Ｅ）として、具体的には、カーボンブラック、アニリンブラック、アントラキノン系黒色顔料、ペリレン系黒色顔料、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、６、７、１２、２０、３１等が挙げられる。また、本発明においては、黒色顔料（Ｅ）として、赤色顔料、青色顔料、および緑色顔料等の有機顔料や無機顔料の混合物を用いることもできる。このような各種顔料のうちでも、本発明に用いる黒色顔料（Ｅ）としては、価格、遮光性の大きさからカーボンブラックが好ましい。前記カーボンブラックは樹脂などで表面処理されていてもよく、また、色調を調整するために、前記カーボンブラックとともに青色顔料や紫色顔料を併用してもよい。
【００５２】
本発明に用いるカーボンブラックとしては、ブラックマトリックスの形状の観点から、ＢＥＴ法による比表面積が５０〜２００ｍ２／ｇであるものが好ましい。用いるカーボンブラックの比表面積が５０ｍ２／ｇ未満では、ブラックマトリックス形状の劣化を引き起こすことがある。またカーボンブラックの比表面積が２００ｍ２／ｇより大きいと、カーボンブラックに分散助剤が過度に吸着してしまい、諸物性を発現させるためには多量の分散助剤を配合する必要が生じることがある。
【００５３】
また、本発明に用いるーボンブラックとしては、感度の点から、フタル酸ジブチルの吸油量が１２０ｃｃ／１００ｇ以下のものが好ましく、少ないものほどより好ましい。
【００５４】
さらに、本発明に用いるカーボンブラックとしては、透過型電子顕微鏡観察による平均１次粒子径が、２０〜５０ｎｍであるものが好ましい。平均１次粒子径が小さすぎると、高濃度に分散させることが困難になるおそれがあり、経時安定性の良好な感光性組成物が得られ難く、平均１次粒子径が大きすぎると、ブラックマトリックス形状の劣化を招くことがあるためである。また、透過型電子顕微鏡観察による平均２次粒子径としては、８０〜２００ｎｍが好ましい。
【００５５】
本発明の隔壁形成用感光性組成物に黒色顔料（Ｅ）を含有させブラックマトリックス形成等に用いる場合、該感光性組成物の全固形分に対する黒色顔料（Ｅ）の割合は、１５〜５０質量％が好ましく、２０〜４０質量％がより好ましい。当該範囲であると得られる感光性組成物は感度が良好であり、また、形成される隔壁すなわちブラックマトリックスは遮光性に優れる。
【００５６】
なお、ブラックマトリックスの遮光性を示す値として、ＯＤ（Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｄｅｎｓｉｔｙ）値が用いられるが、本発明の隔壁形成用感光性組成物は、これを用いて得られるブラックマトリックスのＯＤ値が３〜６の範囲となるように調製されることが好ましい。すなわち、ブラックマトリックスのＯＤ値が上記好ましい範囲となるように、隔壁形成用感光性組成物に配合する黒色顔料（Ｅ）の種類、配合量等を上記のようにして適宜選択する。
【００５７】
（６）任意成分
本発明の隔壁形成用感光性組成物は、上記（Ａ）〜（Ｅ）の成分を必須成分として含有するが、必要に応じて本発明の効果を損なわない範囲で、任意成分として以下に説明する各種成分を含有することができる。
【００５８】
（６−１）シランカップリング剤（Ｆ）
本発明の隔壁形成用感光性組成物は、任意成分として、シランカップリング剤（Ｆ）を含有できる。シランカップリング剤を配合することで、得られる隔壁形成用感光性組成物を用いて形成される隔壁の基材への密着性がより向上し、好ましい。
【００５９】
このようなシランカップリング剤（Ｆ）として、具体的には、テトラエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、３−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、へプタデカフルオロオクチルエチルトリメトキシシラン、ポリオキシアルキレン鎖含有トリエトキシシラン等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００６０】
本発明の隔壁形成用感光性組成物においては、その全固形分におけるシランカップリング剤（Ｆ）の割合は、０．１〜２０質量％が好ましく、１〜１０質量％がより好ましい。含有量が少なすぎると得られる感光性組成物から形成される隔壁の基材密着性向上の効果が少なく、含有量が多すぎると、現像後に残渣が発生しやすくなるおそれがあり好ましくない。
【００６１】
（６−２）熱硬化性樹脂（Ｇ）
本発明の隔壁形成用感光性組成物は、また、任意成分として、熱硬化性樹脂（Ｇ）を含有してもよい。熱硬化性樹脂（Ｇ）は、上記アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、加熱処理、具体的には、現像後の加熱処理等により架橋反応する樹脂であり、隔壁を構成する樹脂の架橋密度を増大させ、耐熱性を向上させるために用いられる任意成分である。
【００６２】
熱硬化性樹脂（Ｇ）としては、上記架橋硬化するアルカリ可溶性樹脂（Ａ）が有する架橋反応性の官能基の種類によるが、その種類に応じて、例えば、アミノ樹脂、２個以上のエポキシ基を有する化合物、２個以上のヒドラジノ基を有する化合物、ポリカルボジイミド化合物、２個以上のオキサゾリン基を有する化合物、２個以上のアジリジン基を有する化合物、多価金属類、２個以上のメルカプト基を有する化合物、ポリイソシアネート化合物等が挙げられる。これらは単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
【００６３】
これらのうちでも、本発明において隔壁形成用感光性組成物に添加する熱硬化性樹脂（Ｇ）としては、２個以上のエポキシ基を有する化合物が耐溶剤性の点から好ましく用いられる。２個以上のエポキシ基を有する化合物として具体的には、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、フェノール・ノボラック型エポキシ樹脂、クレゾール・ノボラック型エポキシ樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂、臭素化エポキシ樹脂等のグリシジルエーテル類、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル−３，４−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、ビス（２，３−エポキシシクロペンチル）エーテルなどの脂環式エポキシ樹脂、ジグリシジルヘキサヒドロフタレート、ジグリシジルテトラヒドロフタレート、ジグリシジルフタレート等のグリシジルエステル類、テトラグリシジルジアミノジフェニルメタン、トリグリシジルパラアミノフェノール等のグリシジルアミン類、トリグリシジルイソシアヌレートなどの複素環式エポキシ樹脂などが挙げられる。
【００６４】
本発明の隔壁形成用感光性組成物における上記熱硬化性樹脂（Ｇ）の配合割合は、用いる光学素子の種類や用途にもよるが、組成物の全固形分に対して、１〜５０質量％とすることが好ましく、５〜３０質量％とすることがより好ましい。このような範囲であると、これを用いて得られる隔壁を構成する樹脂硬化物の架橋密度が増大し、耐熱性に優れる隔壁が得られる。
【００６５】
（６−３）フッ素原子および／またはケイ素原子を含む重合体
本発明の隔壁形成用感光性組成物は、さらに、任意成分として、水素原子の少なくとも１つがフッ素原子に置換された炭素数１〜２０のアルキル基（ただし、該アルキル基は炭素原子間にエーテル性酸素原子を有していてもよい）および／または下記式（１）で示される基を含む重合体を含有してもよい。
【００６６】
【化４】
2011039404.tif 000006
【００６７】
（式（１）中、Ｒ１およびＲ２はそれぞれ独立してメチル基またはフェニル基を表す。ｎは１〜２００の整数を示す。）
【００６８】
上記フッ素原子および／またはケイ素原子を含む重合体は界面活性剤として作用する。また、これを含む隔壁形成用感光性組成物を用いて隔壁を形成した際に、必要に応じて、隔壁の上部表面に撥インク性を付与する撥インク剤としての機能も有する。
【００６９】
上記フッ素原子および／またはケイ素原子を含む重合体を界面活性剤として用いる場合には、その数平均分子量は、５００以上３００００未満が好ましく、１０００以上１５０００未満がより好ましい。また、撥インク剤として用いる場合には、上記重合体の数平均分子量は、５００以上１５０００未満が好ましく、１０００以上１００００未満がより好ましい。この範囲であるとアルカリ溶解性、現像性が良好である。
【００７０】
上記フッ素原子および／またはケイ素原子を含む重合体を撥インク剤として用いる場合には、上記重合体のフッ素含有量は、撥インク性と隔壁成形性の観点から、好ましくは５〜３５質量％であり、より好ましくは１２〜３０質量％である。また、上記重合体がケイ素原子を含有する場合の重合体におけるケイ素含有量は、撥インク性と隔壁成形性の観点から、好ましくは０．５〜３０質量％、より好ましくは０．５〜１０質量％である。
【００７１】
また、上記重合体を撥インク剤として用いる場合には、重合体は側鎖に、好ましくは３〜１００個／分子の割合で、より好ましくは６〜３０個／分子の割合でエチレン性二重結合を有することが好ましい。エチレン性二重結合を有することにより上記重合体は、隔壁形成用感光性組成物中のアルカリ可溶性樹脂（Ａ）にラジカル重合して隔壁上部に固定化されることが可能となる。
【００７２】
さらに上記重合体は、酸性基、例えば、カルボキシル基、フェノール性水酸基およびスルホン酸基の群から選ばれる少なくとも１つの酸性基を有することが好ましい。その理由は、アルカリ可溶性を有することで、基材上の隔壁で仕切られた領域（以下、「ドット」ということもある）内に上記撥インク性を有する重合体が残りにくく、インクを注入した際のインクの濡れ拡がり性が良好となるからである。このような観点から、重合体の酸価は１０〜４００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、２０〜３００ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましい。
【００７３】
本発明の隔壁形成用感光性組成物における上記フッ素原子および／またはケイ素原子を含む重合体の配合割合は、用いる光学素子の種類や用途にもよるが、界面活性剤として用いる場合には、組成物の全固形分に対して、０．１〜５質量％とすることが好ましく、０．２〜３質量％とすることがより好ましい。また、本発明の隔壁形成用感光性組成物に上記フッ素原子および／またはケイ素原子を含む重合体を撥インク剤として配合する場合の配合割合は、用いる光学素子の種類や用途にもよるが、組成物の全固形分に対して、０．１〜５質量％とすることが好ましく、０．２〜３質量％とすることがより好ましい。このような範囲であると、隔壁間の開口部にインクジェット法で形成されたカラーインクの混色や白抜けが起きることなく良好な画素が得られる。
【００７４】
（６−４）その他任意成分
本発明の隔壁形成用感光性組成物においては、さらに必要に応じて、上記以外の任意成分として、架橋剤、硬化促進剤、増粘剤、可塑剤、消泡剤、レベリング剤、ハジキ防止剤、紫外線吸収剤、フィラー等を含有することができる。
架橋剤としては、エチレン性二重結合を２個以上有する架橋剤であることが好ましい。これにより、隔壁形成用感光性組成物の硬化性が向上し、隔壁を形成する際の露光量を低減することができる。なお、架橋剤は、酸性基を実質的に有さないことが好ましい。
【００７５】
架橋剤としては、特に限定されないが、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，９−ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリアクリレート、ウレタンアクリレート等が挙げられ、２種以上併用してもよい。
本発明の隔壁形成用感光性組成物の全固形分中の架橋剤の含有量は、５〜５０質量％であることが好ましく、１０〜３０質量％がより好ましい。この範囲であると、感光性組成物の現像性が良好となる。
【００７６】
本発明の隔壁形成用感光性組成物は、光硬化性のエチレン性不飽和二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂（Ａ）、光重合開始剤（Ｂ）および黒色顔料（Ｅ）のそれぞれ適宜選択された配合量と、リン酸（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）の組成物全固形分に対して
０．１〜５質量％となる量、光硬化性の官能基を有さないリン酸化合物（Ｄ）の組成物全固形分に対して１０〜１００ｐｐｍとなる量を配合し、さらにその他の任意成分については任意に上記説明した適当量を秤量し、これらを適当な方法で適当な時間、具体的には、３０〜１２０分間程度混合攪拌することにより調製することができる。
【００７７】
本発明においては、このようにして得られた隔壁形成用感光性組成物をこのまま基材に塗布して塗膜形成を行うことも可能であるが、以下に説明する溶剤を添加してこれを含有する塗布液の形で塗膜形成に用いることが好ましい。なお、本明細書において、溶剤とは反応性でないものをいう。
【００７８】
このような溶剤として、具体例には、エタノール、１−プロパノール、２−プロパノール、１−ブタノール、エチレングリコール等のアルコール類；アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類；２−メトキシエタノール、２−エトキシエタノール、２−ブトキシエタノール等のセルソルブ類；２−（２−メトキシエトキシ）エタノール、２−（２−エトキシエトキシ）エタノール、２−（２−ブトキシエトキシ）エタノール等のカルビトール類；メチルアセテート、エチルアセテート、ｎ−ブチルアセテート、エチルラクテート、ｎ−ブチルラクテート、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールジアセテート、プロピレングリコールジアセテート、エチル−３−エトキシプロピオネート、シクロヘキサノールアセテート、乳酸ブチル、γ−ブチロラクトン、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、グリセリントリアセテート等のエステル類；ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、ジブチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、等が挙げられる。その他には、ｎ−ブタン、ｎ−ヘキサン等の鎖式炭化水素、シクロヘキサン等の環式飽和炭化水素、トルエン、キシレン、ベンジルアルコール等の芳香族炭化水素等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００７９】
本発明の隔壁形成用感光性組成物に添加する溶剤の量としては、前記感光性組成物の組成、用途等にもよるが、その全固形分に対して１〜１００質量％とすることが好ましい。
【００８０】
溶剤の添加は、前記得られた隔壁形成用感光性組成物に対して行うことも可能であるが、前記調製において隔壁形成用感光性組成物の原料成分を混合攪拌する際に、溶剤を原料成分に添加して原料成分とともに混合攪拌する方法が効率的であり好ましい。
【００８１】
［本発明のブラックマトリックスおよびその製造方法］
本発明の隔壁形成用感光性組成物は、通常のネガ型感光性組成物と同様にフォトリソグラフィ等の材料として用いられ、得られた黒色の塗膜硬化物は、通常の光学素子用の黒色隔壁、ブラックマトリックス、具体的には、基材と、前記基材の主面上に該主面を複数の区画に仕切るように形成されたブラックマトリックスと、前記基材上の前記ブラックマトリックスで仕切られた領域にそれぞれ形成された複数の画素とを有する光学素子のブラックマトリックスとして適用可能である。
【００８２】
本発明はまた、上記本発明の隔壁形成用感光性組成物を使用した前記ブラックマトリックスの製造方法を提供するものである。以下に、本発明の隔壁形成用感光性組成物を使用したフォトリソグラフィ工程による本発明のブラックマトリックスの製造方法について説明する。
【００８３】
本発明のブラックマトリックスの製造方法は、基材と、前記基材の主面上に該主面を複数の区画に仕切るように形成されたブラックマトリックスと、前記基材上の前記ブラックマトリックスで仕切られた領域にそれぞれ形成された複数の画素とを有する光学素子のブラックマトリックスの製造方法であって、上記本発明の隔壁形成用感光性組成物を前記基材上に塗布し塗膜を形成する工程と、前記塗膜のブラックマトリックスとなる部分のみを露光し感光硬化させる露光工程と、前記感光硬化した部分以外の塗膜を除去し前記塗膜の感光硬化部分からなるブラックマトリックスを形成させる現像工程と、前記形成されたブラックマトリックスを加熱するポストベーク工程とを順に有することを特徴とする。
【００８４】
なお、本明細書において「本発明の隔壁形成用感光性組成物を基材上に塗布する」とは、本発明の隔壁形成用感光性組成物をそのまま塗布することに加え、例えば、隔壁形成用感光性組成物に溶剤が添加されたような隔壁形成用感光性組成物を含有する塗布液を塗布することも含むものである。したがって、以下に説明する露光工程以前の「塗膜」においては、「隔壁形成用感光性組成物からなる塗膜」は前記塗布液からなる塗膜を含むものである。
【００８５】
図１は、本発明のブラックマトリックスの製造方法の実施の形態の一例を模式的に示す図である。図１（ａ）は、基材１上に本発明の隔壁形成用感光性組成物からなる塗膜２が形成された状態の断面を示す図である。（ｂ）は露光工程を模式的に示す図である。（ｃ）は、現像工程後の基材１と基材上に形成された隔壁（ブラックマトリックス）６を示す断面図である。以下、図１を用いて本発明の製造方法を具体的に説明する。
【００８６】
（塗膜形成工程）
ブラックマトリックスを製造するには、まず、図１（ａ）に断面を示すように、基材１上に上記本発明の隔壁形成用感光性組成物を塗布して隔壁形成用感光性組成物からなる塗膜２を形成する。
【００８７】
本発明の製造方法に用いる基材１としては、その材質は特に限定されるものではないが、通常、光学素子用の基材に用いられる材質、例えば、各種ガラス板；ポリエステル（ポリエチレンテレフタレート等）、ポリオレフィン（ポリエチレン、ポリプロピレン等）、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリスルホン、ポリイミド、ポリ（メタ）アクリル樹脂等の熱可塑性プラスチックシート；エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル等の熱硬化性プラスチックシート等を挙げることができる。また、あらかじめ上記基材にシリコンナイトライドやポリイミドなどの絶縁膜を形成させた基板を挙げることができる。特に、耐熱性の点からガラス板、ポリイミド等の耐熱性プラスチックが好ましい。なお、基材１上に隔壁形成用感光性組成物の塗膜２を形成させる前に、基材１の隔壁形成用感光性組成物の塗布面をアルコール洗浄、ＵＶオゾン洗浄等で洗浄することが好ましい。
【００８８】
隔壁形成用感光性組成物塗膜２の形成方法としては、膜厚が均一な塗膜が形成される方法であれば特に制限されず、スピンコート法、スプレー法、スリットコート法、ロールコート法、回転塗布法、バー塗布法など通常の塗膜形成に用いられる方法が挙げられる。また、塗膜２の膜厚は最終的に得られる隔壁の高さを勘案して決められる。このような膜厚として概ね、好ましくは０.３〜３２５μｍ、より好ましくは１.３〜６５μｍ程度を挙げることができる。
【００８９】
ブラッマトリックスの製造に際しては、上記塗膜形成工程後に行われる以下の露光工程の前に、必要に応じてプリベーク工程を設けてもよい。プリベーク工程では、前記塗膜形成工程で基材１上に形成された塗膜２を加熱する。この加熱によって、塗膜を構成する隔壁形成用感光性組成物に含まれる揮発成分、または、隔壁形成用感光性組成物に必要に応じて添加された溶剤が揮発し、粘着性のない塗膜が得られる。また、隔壁形成用感光性組成物が撥インク剤を含有する場合には、撥インク剤が塗膜表面近傍に移行する。加熱の方法としては、基材１とともに塗膜２をホットプレート、オーブンなどの加熱装置により、好ましくは５０〜１２０℃で１０〜２０００秒間程度加熱処理する方法が挙げられる。
【００９０】
なお、前記塗膜形成工程において隔壁形成用感光性組成物に溶剤を添加した塗布液を用いた場合には、溶剤の除去が必要となる。上記のようにプリベーク工程の加熱によって溶剤を除去することも可能であるが、溶剤を除去するために加熱（乾燥）以外の真空乾燥等の乾燥工程をプリベーク工程の前に別に設けてもよい。また、塗膜外観のムラを発生させず、効率よく乾燥させるために、前記プリベーク工程による乾燥を兼ねた加熱と真空乾燥を併用することがより好ましい。真空乾燥の条件は、各成分の種類、配合割合などによっても異なるが、好ましくは５００〜１０Ｐａで１０〜３００秒間程度の幅広い範囲で行うことができる。
【００９１】
（露光工程）
塗膜形成工程に引き続き、図１（ｂ）に模式図を示す露光工程を実行する。すなわち、基材１上の乾燥後の隔壁形成用感光性組成物の塗膜２に所定パターンのマスク４を介して光５を照射する。前記マスク４に切られた所定パターン部分のみを光５が透過し基材１上の隔壁形成用感光性組成物塗膜に到達しその部分のみが感光硬化する。したがって、隔壁（ブラックマトリックス）の形成を行う場合、前記所定パターンは隔壁（ブラックマトリックス）の形状に適合する形に設けられる。例えば、以下のポストベーク工程後に隔壁（ブラックマトリックス）の幅の平均が、好ましくは１００μｍ以下、より好ましくは２０μｍ以下、また、隣接する隔壁（ブラックマトリックス）間の距離の平均が、好ましくは３００μｍ以下、より好ましくは１００μｍ以下となるようにパターンを形成したマスクを用いることが、本発明においては好ましい。
【００９２】
露光は前記塗膜の所望の部分に光を照射する工程であり、方法は特に限定されないが、図１（ｂ）のように所定パターンのマスクを介して行うことが好ましい。図１（ｂ）において、光が照射された塗膜の露光部分は隔壁形成用感光性組成物の塗膜硬化物からなり、一方、未露光部分は未硬化の隔壁形成用感光性組成物の塗膜２そのものが残存する状態である。
【００９３】
照射する光５として、具体的には、可視光；紫外線；遠紫外線；ＫｒＦエキシマレーザー、ＡｒＦエキシマレーザー、Ｆ２エキシマレーザー、Ｋｒ２エキシマレーザー、ＫｒＡｒエキシマレーザー、Ａｒ２エキシマレーザー等のエキシマレーザー；Ｘ線；電子線等が挙げられる。また、照射光５としては、波長１００〜６００ｎｍの電磁波が好ましく、３００〜５００ｎｍの範囲に分布を有する光線がより好ましく、ｉ線（３６５ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）、ｇ線（４３６ｎｍ）が特に好ましい。
【００９４】
照射装置（図示されていない）として、公知の超高圧水銀灯やディープＵＶランプ等を用いることができる。露光量は、好ましくは５〜１０００ｍＪ／ｃｍ２の範囲であり、より好ましくは５０〜４００ｍＪ／ｃｍ２である。露光量が低すぎると、隔壁となる隔壁形成用感光性組成物の硬化が不十分で、その後の現像で溶解や基材１からの剥離が起こるおそれがある。露光量が高すぎると高い解像度が得られなくなる傾向にある。また、光照射（露光）時間として、露光量、隔壁形成用感光性組成物の組成、塗膜の厚さ等にもよるが、具体的には１〜６０秒間、好ましくは５〜２０秒間を挙げることができる。
【００９５】
（現像工程）
露光工程の後、現像液を用いて現像を行い、図１（ｂ）に示される基材１上の未露光部分２を除去する。これにより、図１（ｃ）に断面図が示されるような、基材１と前記基材上に隔壁形成用感光性組成物の塗膜硬化物により形成された隔壁（ブラックマトリックス）６の構成が得られる。また、隔壁（ブラックマトリックス）６と基材１で囲まれた部分は、インク注入等により画素が形成されるドット７と呼ばれる部分である。得られたブラックマトリックス付き基材は、後述のポストベーク工程を経て、インクジェット方式あるいはフォトリソグラフィ法での光学素子作製に用いることが可能な基板となる。
【００９６】
現像に用いる現像液としては、例えば、無機アルカリ類、アミン類、アルコールアミン類、第４級アンモニウム塩等のアルカリ類を含むアルカリ水溶液を用いることができる。また現像液には、溶解性の向上や残渣除去のために、界面活性剤やアルコールなどの有機溶剤を添加することができる。
【００９７】
現像時間（現像液に接触させる時間）は、５〜１８０秒間が好ましい。また現像方法は液盛り法、ディッピング法、シャワー法などのいずれでもよい。現像後、高圧水洗や流水洗浄を行い、圧縮空気や圧縮窒素で風乾させることによって、基材１および隔壁（ブラックマトリックス）６上の水分を除去できる。
【００９８】
（ポストベーク工程）
続いて、基材１上の隔壁（ブラックマトリックス）６を加熱することが好ましい。加熱の方法としては、基材１とともに隔壁（ブラックマトリックス）６をホットプレート、オーブンなどの加熱装置により、好ましくは１５０〜２５０℃で、５〜９０分間加熱処理をする方法が挙げられる。この加熱処理により、基材１上の隔壁形成用感光性組成物の塗膜硬化物からなる隔壁（ブラックマトリックス）６がさらに硬化し、隔壁（ブラックマトリックス）６と基材１で囲まれるドット７の形状もより固定化される。なお、前記加熱温度は１８０℃以上であることがより好ましい。加熱温度が低すぎると隔壁（ブラックマトリックス）６の硬化が不十分であるために、充分な耐薬品性が得られず、その後、例えばインクジェット塗布工程でドット７にインクを注入した場合に、そのインクに含まれる溶媒により隔壁（ブラックマトリックス）６が膨潤したり、インクが滲んでしまうおそれがある。一方、加熱温度が高すぎると、隔壁（ブラックマトリックス）６の熱分解が起こるおそれがある。
【００９９】
本発明の隔壁形成用感光性組成物は、隔壁（ブラックマトリックス）の幅の平均が、好ましくは１００μｍ以下、より好ましくは２０μｍ以下のパターン形成に用いることができる。また、隣接する隔壁（ブラックマトリックス）間の距離（ドットの幅）の平均が、好ましくは３００μｍ以下、より好ましくは１００μｍ以下のパターン形成に用いることができる。また、隔壁（ブラックマトリックス）の高さの平均が、好ましくは０．０５〜５０μｍ、より好ましくは０．２〜１０μｍのパターン形成に用いることができる。
［本発明のカラーフィルタの製造方法］
【０１００】
本発明はまた、基材と、前記基材の主面上に該主面を複数の区画に仕切るように形成されたブラックマトリックス（上記本発明の方法で製造されるブラックマトリックス）と、前記基材上の前記ブラックマトリックスで仕切られた領域にそれぞれ形成された複数の画素とを有するカラーフィルタの製造方法を提供するものである。以下に、本発明のカラーフィルタの製造方法について説明する。
【０１０１】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、基材と、前記基材の主面上に該主面を複数の区画に仕切るように形成されたブラックマトリックスと、前記基材上の前記ブラックマトリックスで仕切られた領域にそれぞれ形成された複数の画素とを有するカラーフィルタの製造に適用され、上記本発明の製造方法によって基材上にブラックマトリックスを形成した後、前記基材上の前記ブラックマトリックスで仕切られた領域にインクジェット法またはフォトリソグラフィ法により前記画素を形成する工程を有することを特徴とする。
【０１０２】
カラーフィルタにおいては、形成される画素の形状は、ストライプ型、モザイク型、トライアングル型、４画素配置型等の公知のいずれの配列とすることも可能であり、上記ブラックマトリックスの形成は、この画素の形状に合わせて行われる。
【０１０３】
ここで、本発明のカラーフィルタの製造方法においては、上記本発明の方法でブラックマトリックスを形成した後、前記基材上の前記ブラックマトリックスで仕切られた領域（ドット）内にインクを投入する前に、ドット内に露出した基材表面に、例えば、アルカリ水溶液による洗浄処理、ＵＶ洗浄処理、ＵＶオゾン洗浄処理、エキシマ洗浄処理、コロナ放電処理、酸素プラズマ処理等の方法で親インク化処理を施してもよい。
【０１０４】
（インクジェット法による画素形成）
基材上のブラックマトリックスで仕切られた領域にインクジェット法により画素を形成するには、まず、上記必要に応じて親インク化処理工程が行われた後のドットにインクジェット法によりＲ（赤）、Ｂ（青）、Ｇ（緑）の３色のインクを注入する。インクの注入は、インクジェット法に一般的に用いられるインクジェット装置を用いて通常の方法と同様に行うことができる。このようなインク注入に用いられるインクジェット装置としては、特に限定されるものではないが、帯電したインクを連続的に噴射し磁場によって制御する方法、圧電素子を用いて間欠的にインクを噴射する方法、インクを加熱しその発泡を利用して間欠的に噴射する方法等の各種の方法を用いたインクジェット装置を用いることができる。
【０１０５】
なお、本明細書において「インク」とは、乾燥硬化した後に、例えば光学的、電気的に機能を有する液体を総称するものであり、従来から用いられている着色材料に限定されるものではない。また、前記インクを注入して形成される「画素」についても同様に、隔壁（ブラックマトリックス）で仕切られたそれぞれに光学的、電気的機能を有する区分を表すものとして用いられる。
【０１０６】
ここで、カラーフィルタの画素の形成に用いられるインクは、主に着色成分とバインダー樹脂成分と溶剤とを含む。着色成分としては、耐熱性、耐光性などに優れた顔料および染料を用いることが好ましい。バインダー樹脂成分としては、透明で耐熱性に優れた樹脂が好ましく、アクリル樹脂、メラミン樹脂、ウレタン樹脂などが挙げられる。水性のインクは、溶剤として水および必要に応じて水溶性有機溶媒を含み、バインダー樹脂成分として水溶性樹脂または水分散性樹脂を含み、必要に応じて各種助剤を含む。また、油性のインクは、溶剤として有機溶剤を含み、バインダー樹脂成分として有機溶剤に可溶な樹脂を含み、必要に応じて各種助剤を含む。
【０１０７】
なお、インクジェット法においては、上記インクジェット装置でドットにインクを注入した後、必要により、乾燥、加熱硬化、紫外線硬化を行うことが好ましい。
【０１０８】
（フォトリソグラフィ法による画素形成）
基材上のブラックマトリックスで仕切られた領域にフォトリソグラフィ法により画素を形成するには、前記ブラックマトリックスの製造方法と同様に、まず必要に応じて前記基板を洗浄した後、カラーインク組成物を基板に塗布する。塗布方法は、前記ブラックマトリックスの製造方法における塗布方法と同様である。その後も、前記と同様にプリベーク工程、露光工程、現像工程、ポストベーク工程を経ることによってドットにカラー層を形成する。この工程を、Ｒ（赤）、Ｂ（青）、Ｇ（緑）の３色のインクについてそれぞれ行い（計３回）、画素が完成する。インクとしては、主に着色成分とバインダー樹脂と溶剤とを含む組成物が用いられる。着色成分としては、耐熱性、耐光性などに優れた顔料および染料を用いることが好ましい。バインダー樹脂としては、前記のアルカリ可溶性樹脂（Ａ）や架橋剤と同様のものが使用できる。
【０１０９】
このようにして、基材上のブラックマトリックスで仕切られた領域にインクジェット法またはフォトリソグラフィ法により画素を形成した後、必要に応じて、保護膜層を形成する。保護膜層は表面平坦性を上げる目的と隔壁や画素部のインクからの溶出物が液晶層に到達するのを遮断する目的で形成することが好ましい。保護膜層を形成する場合は、事前に隔壁の撥インク性を除去することが好ましい。撥インク性を除去しない場合、オーバーコート用塗布液をはじき、均一な膜厚が得られないため好ましくない。隔壁の撥インク性を除去する方法としては、プラズマアッシング処理や光アッシング処理等が挙げられる。
【０１１０】
さらに必要に応じて、カラーフィルタを用いて製造される液晶パネルの高品位化のためにフォトスペーサーを隔壁で構成されるブラックマトリックス上に形成することが好ましい。
【実施例】
【０１１１】
以下に、実施例に基づいて、本発明について説明するが、本発明は、これらに限定されるものではない。なお、各例に化合物の配合量として用いた「部」は、「質量部」を意味する。
【０１１２】
また、以下の各例に用いた化合物の略号を次に示す。
（ｉ）撥インク剤の調製に用いた化合物
Ｃ６ＦＭＡ：ＣＨ２＝Ｃ（ＣＨ３）ＣＯＯＣＨ２ＣＨ２（ＣＦ２）６Ｆ
ＭＡＡ：メタクリル酸
ＭＭＡ：メタクリル酸メチル
２−ＨＥＭＡ：２−ヒドロキシエチルメタクリレート
Ｖ−７０：Ｖ−７０（商品名、和光純薬社製、２，２'−アゾビス（４−メトキシ−２，４−ジメチルバレロニトリル））
２−ＭＥ：２−メルカプトエタノール
ＭＯＩ：カレンズＭＯＩ（商品名、昭和電工社製、２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート）
ＤＢＴＤＬ：ジブチル錫ジラウレート
ＢＨＴ：２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール
（ｉｉ）感光性樹脂組成物塗布液の調製に用いた成分
ＯＸＥ０２：ＯＸＥ０２（商品名、チバスペシャルティケミカルズ社製、エタノン  １−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾイル−３−イル］−１−（Ｏ−アセチルオキシム）
ＺＣＲ１５６９：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＺＣＲ−１５６９Ｈ（商品名、日本化薬社製、ビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂にエチレン性不飽和二重結合と酸性基とを導入した樹脂の溶液；固形分７０％、重量平均分子量４７１０）
ＤＰＨＡ：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ（商品名、日本化薬社製、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物）
ＰＧＭＥＡ：プロピレングリコール１−モノメチルエーテル２−アセテート
ＣＢ：カーボンブラック分散液（平均２次粒径１２０ｎｍ、分散媒ＰＧＭＥＡ、カーボンブラック２０％、アミン価が１８ｍｇＫＯＨ／ｇのポリウレタン系高分子分散剤５％）
シリカ分散液：シリカ分散液（平均粒径２０ｎｍ、分散媒ＰＧＭＥＡ、固形分３０％、シリカは負に帯電している。）
１５７Ｓ７０：１５７Ｓ７０（商品名、ジャパンエポキシレジン社製、ノボラック型エポキシ樹脂）
ＫＢＭ４０３：ＫＢＭ−４０３（商品名、信越化学工業社製、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン）
ＰＡ：リン酸とモノメタクリロイルオキシエチルフォスフェート、ジメタクリロイルオキシエチルフォスフェートの２：１（質量比）混合物（混合物中のリン酸の濃度は０．３質量％である。）
【０１１３】
［合成例］撥インク剤の調製
撹拌機を備えた内容積１Ｌのオートクレーブに、アセトン（５５６ｇ）、Ｃ６ＦＭＡ（９６ｇ）、ＭＡＡ（４．８ｇ）、２−ＨＥＭＡ（９６ｇ）、ＭＭＡ（４３．２ｇ）、連鎖移動剤２−ＭＥ（６．２ｇ）および重合開始剤Ｖ−７０（４．５ｇ）を仕込み、窒素雰囲気下に撹拌しながら、４０℃で１８時間重合させ、重合体（１）の溶液を得た。得られた重合体（１）のアセトン溶液に水を加え再沈精製し、次いで石油エーテルで再沈精製し、真空乾燥し、重合体（１）の２３７ｇを得た。重合体（１）の重量平均分子量は５６００であった。
【０１１４】
上記で得られた重合体（１）（１００ｇ）、ＭＯＩ（４７．７ｇ）、ＤＢＴＤＬ（０．１９ｇ）、ＢＨＴ（２．４ｇ）およびアセトン（１００ｇ）を、温度計、撹拌機、加熱装置を備えた内容量５００ｍＬのガラス製フラスコに仕込み、撹拌しながら、３０℃で１８時間重合させ、重合体（２）の溶液を得た。得られた重合体（２）のアセトン溶液に水を加え再沈精製し、次いで石油エーテルで再沈精製し、真空乾燥し、重合体（２）の１３５ｇを得た。重量平均分子量は８８００であった。得られた重合体（２）を撥インク剤として実施例の隔壁形成用感光性組成物の製造に用いた。
【０１１５】
［実施例１］
（隔壁形成用感光性組成物希釈液の調製）
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）を含むＺＣＲ１５６９（１３．３７部）、光重合開始剤（Ｂ）としてのＯＸＥ０２（０．９４部）、リン酸（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）とリン酸化合物（Ｄ）の混合物を含むＰＡ（０．０７部）、リン酸化合物（Ｄ）としてリン酸を１質量％の割合で含むリン酸ＰＧＭＥＡ溶液（０．１３部）、黒色顔料（Ｅ）の分散液としてのＣＢ（４０．１１部）、シランカップリング剤（Ｆ）としてのＫＢＭ４０３（１．３４部）、熱硬化性樹脂（Ｇ）としての１５７Ｓ７０（１．１４部）、架橋剤としてのＤＰＨＡ（４．０１部）、撥インク剤としての重合体（２）（０．０５部）、フィラーとしてのシリカを含むシリカ分散液（８．９１部）、溶剤としてのＰＧＭＥＡ（２９．９４部）を混合して、隔壁形成用感光性組成物（１）の希釈液を得た。
表１に得られた隔壁形成用感光性組成物（１）の固形分の組成（質量％)を示す。なお、リン酸化合物（Ｄ）については、含有量をｐｐｍで示した。表１に示す通り隔壁形成用感光性組成物の全固形分中のリン酸（メタ）アクリレート化合物の含有量は０．２２質量％であり、リン酸の含有量は５１．３ｐｐｍである。
【０１１６】
（ブラックマトリックスの製造）
スピンナーを用いて、基材となるガラス基板ＡＮ１００（旭硝子製、１００ｍｍ×１００ｍｍ、０．７ｍｍ厚）上に、上記で調製した隔壁形成用感光性組成物（１）の希釈液を塗布した後、ホットプレート上で、１００℃で２分間乾燥させ、２．０μｍの隔壁形成用感光性組成物（１）の塗膜を形成した。
【０１１７】
上記で得られたガラス基板上の隔壁形成用感光性組成物（１）の塗膜に、超高圧水銀灯を用いて、露光量がｉ線（３６５ｎｍ）基準で１００ｍＪ／ｃｍ２の光を、マスクを通して照射し、露光した。なお、マスクは、遮光部が１００μｍ×２００μｍ、光透過部が２０μｍの格子状パターンであり、ガラス基板上に形成される隔壁で仕切られた領域すなわち開口部（ドット）の容積が４０ｐＬとなる設計であった。
【０１１８】
上記露光後のガラス基板を、無機アルカリタイプの現像液セミクリーンＤＬ−Ａ４（商品名、横浜油脂工業社製）の１０倍希釈水溶液に浸漬して現像を行い、未露光部を水により洗い流し、乾燥させた。
【０１１９】
現像〜乾燥後のガラス基板を、ホットプレート上で、２２０℃で３０分間、加熱することにより、隔壁（ブラックマトリックス）が形成されたガラス基板（１）を得た。
【０１２０】
また、以下の密着性評価のために用いるガラス基板（２）を作製した。すなわち、上記隔壁が形成されたガラス基板（１）の作製において、マスクを用いずに露光した以外は、上記と同様にして、隔壁形成用感光性組成物（１）の塗膜硬化物がガラス基板の片側全面に形成されたガラス基板（２）を得た。
【０１２１】
＜評価＞
上記得られた隔壁形成用感光性組成物（１）の希釈液、ガラス基板（１）、ガラス基板（２）を用いて以下の評価を行った。結果を表１の下欄に示す。
【０１２２】
（１）現像性
上記で得られたガラス基板（１）において、隔壁が完全に現像できたものを○、現像されない部分があったものを×として、判定した。
【０１２３】
（２）ＰＣＴ密着性
上記で得られたガラス基板（２）について、塗膜硬化物をカッターにて、２ｍｍ間隔でマス目の数が２５個となるように、碁盤目状に傷を付けた。次に、このガラス基板（２）を１２１℃、１００ＲＨ％、２気圧の条件下に２４時間曝す、ＰＣＴ（プレッシャークッカー）試験を実施した。試験後のガラス基板（２）の塗膜硬化物上、カッターでマス目を作った部分に粘着テープ（ニチバン社製、商品名：セロテープ（登録商標））を貼り、直後にこの粘着テープを剥がした。目視により、マス目が剥がれなかったもの（剥がれたマス目の数が０個）を○、マス目が殆ど剥がれたもの（剥がれたマス目の数が１個以上）を×として塗膜硬化物の付着状態を評価した。
【０１２４】
（３）貯蔵安定性
隔壁形成用感光性組成物（１）希釈液を調製後、２３℃で２週間保管した後に、これを用いて上記ガラス基板（１）と同様にして隔壁（ブラックマトリックス）が形成されたガラス基板（３）を、またガラス基板（２）と同様にして隔壁形成用感光性組成物（１）の塗膜硬化物がガラス基板の片側全面に形成されたガラス基板（４）を作製した。
ガラス基板（３）について上記（１）の現像性評価を行い、ガラス基板（１）の評価と比較した。また、ガラス基板（４）について上記（２）ＰＣＴ密着性の評価を行い、ガラス基板（２）の評価と比較した。保管前の隔壁形成用感光性組成物（１）希釈液を用いて作製したガラス基板（１）、ガラス基板（２）の結果と比較して、同等の結果が得られたものを○、得られなかったものを×として、判定した。
【０１２５】
［実施例２］
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）を含むＺＣＲ１５６９（１３．１６部）、光重合開始剤（Ｂ）としてのＯＸＥ０２（０．９２部）、リン酸（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）とリン酸化合物（Ｄ）の混合物を含むＰＡ（０．５３部）、黒色顔料（Ｅ）の分散液としてのＣＢ（３９．４９部）、シランカップリング剤（Ｆ）としてのＫＢＭ４０３（１．３２部）、熱硬化性樹脂（Ｇ）としての１５７Ｓ７０（１．１２部）、架橋剤としてのＤＰＨＡ（３．９５部）、撥インク剤としての重合体（２）（０．０５部）、フィラーとしてのシリカを含むシリカ分散液（８．７８部）、溶剤としてのＰＧＭＥＡ（３０．６８部）を混合して、隔壁形成用感光性組成物（２）の希釈液を得た。表１に得られた隔壁形成用感光性組成物（２）の固形分の組成（質量％)を示すが、リン酸（メタ）アクリレート化合物の含有量は１．７６質量％であり、リン酸の含有量は５２．７ｐｐｍであった。
【０１２６】
得られた隔壁形成用感光性組成物（２）の希釈液を用いて、実施例１と同様にして隔壁（ブラックマトリックス）が形成されたガラス基板、隔壁形成用感光性組成物（２）の塗膜硬化物がガラス基板の片側全面に形成されたガラス基板を作製し、上記実施例１と同様の評価を行った。結果を表１の下欄に示す。
【０１２７】
［比較例１］
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）を含むＺＣＲ１５６９（１３．４部）、光重合開始剤（Ｂ）としてのＯＸＥ０２（０．９４部）、リン酸化合物（Ｄ）としてリン酸を１質量％の割合で含む、リン酸のＰＧＭＥＡ溶液（０．１５部）、黒色顔料（Ｅ）の分散液としてのＣＢ（４０．２部）、シランカップリング剤（Ｆ）としてのＫＢＭ４０３（１．３４部）、熱硬化性樹脂（Ｇ）としての１５７Ｓ７０（１．３４部）、架橋剤としてのＤＰＨＡ（４．０２５部）、撥インク剤としての重合体（２）（０．０５部）、フィラーとしてのシリカを含むシリカ分散液（８．９３部）、溶剤としてのＰＧＭＥＡ（２９．８３部）を混合して、隔壁形成用感光性組成物（３）の希釈液を得た。表１に得られた隔壁形成用感光性組成物（３）の固形分の組成（質量％)を示すが、リン酸（メタ）アクリレート化合物は含有しておらず、リン酸の含有量は４８．７ｐｐｍであった。
【０１２８】
得られた隔壁形成用感光性組成物（３）の希釈液を用いて、実施例１と同様にして隔壁（ブラックマトリックス）が形成されたガラス基板、隔壁形成用感光性組成物（３）の塗膜硬化物がガラス基板の片側全面に形成されたガラス基板を作製し、上記実施例１と同様の評価を行った。結果を表１の下欄に示す。
【０１２９】
［比較例２］
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）を含むＺＣＲ１５６９（１２．８３部）、光重合開始剤（Ｂ）としてのＯＸＥ０２（０．９０部）、リン酸（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）とリン酸化合物（Ｄ）の混合物を含むＰＡ（１．２８部）、黒色顔料（Ｅ）の分散液としてのＣＢ（３８．３８部）、シランカップリング剤（Ｆ）としてのＫＢＭ４０３（１．２８部）、熱硬化性樹脂（Ｇ）としての１５７Ｓ７０（１．０９部）、架橋剤としてのＤＰＨＡ（３．８５部）、撥インク剤としての重合体（２）（０．０５部）、フィラーとしてのシリカを含むシリカ分散液（８．５５部）、溶剤としてのＰＧＭＥＡ（３１．６９部）を混合して、隔壁形成用感光性組成物（４）の希釈液を得た。表１に得られた隔壁形成用感光性組成物（４）の固形分の組成（質量％)を示すが、リン酸（メタ）アクリレート化合物の含有量は４．２８質量％であり、リン酸の含有量は１２８．３ｐｐｍであった。
【０１３０】
得られた隔壁形成用感光性組成物（４）の希釈液を用いて、実施例１と同様にして隔壁（ブラックマトリックス）が形成されたガラス基板、隔壁形成用感光性組成物（４）の塗膜硬化物がガラス基板の片側全面に形成されたガラス基板を作製し、上記実施例１と同様の評価を行った。結果を表１の下欄に示す。
【０１３１】
【表１】
2011039404.tif 000007
＊表中の配合量（質量％）は、リン酸化合物（Ｄ）のみ質量％に替えてｐｐｍで示す。
【０１３２】
表１から分かるように、リン酸（メタ）アクリレート化合物（Ｃ）を含有しなかったり、リン酸化合物（Ｄ）を多く含有する比較例の隔壁形成用感光性組成物が、貯蔵安定性と基材密着性の両方を満たすことがないのに比べて、実施例の隔壁形成用感光性組成物は、貯蔵安定性を有するとともにこれを用いて得られるブラックマトリックスは、基材との密着耐久性にも優れる。
【産業上の利用可能性】
【０１３３】
本発明の隔壁形成用感光性組成物は、貯蔵安定性を有するとともにこれを用いて得られるブラックマトリックスは、基材との密着耐久性に優れるため、カラーフィルタ等の製造に有用である。
【符号の説明】
【０１３４】
１…基材、２…隔壁形成用感光性組成物の層、４…マスク、５…光、６…隔壁（ブラックマトリックス）、７…ドット
【図１】
2011039404.tif 000009