(57)【要約】【課題】延出方向に沿う切込によって複数の分割シートに分割可能とされた接着シートに付与される張力を、各分割シート毎に調整することのできるシート貼付装置を提供することにある。【解決手段】切込Ｃに沿って第１及び第２分割シートＳ１、Ｓ２に分割可能な接着シートＳの繰出手段１２と、各分割シートＳ１、Ｓ２毎に張力を付与する張力付与手段１６と、接着シートＳを半導体ウエハＷに押圧して貼付する押圧手段１４とを備えてシート貼付装置１０が構成されている。張力付与手段１６は、第１及び第２分割シートＳ１、Ｓ２に対応する第１及び第２駆動ローラ５５、５６及びこれらローラを駆動する第１及び第２モータＭ１、Ｍ２を含み、繰出手段１２を構成する第１及び第２ロードセル３４Ａ、３４Ｂの検出張力に応じて個別的に張力調整を行う。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層が設けられるとともに、その延出方向に沿う切込によって複数の分割シートに分割可能とされた接着シートを繰り出して被着体に貼付するシート貼付装置であって、
前記接着シートを繰り出す繰出手段と、前記接着シートに張力を付与する張力付与手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含み、
前記張力付与手段は、前記切込によって分割可能とされる各分割シートに対して個別に張力を付与するように設けられていることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記接着シートを被着体の大きさに合わせて切断する切断手段を更に含むことを特徴とする請求項１記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記各分割接着シートの離間防止手段を更に含み、当該離間防止手段は、少なくとも前記接着シートを繰り出してから被着体に貼付されるまでの間、各分割シートの切込側縁を相互に突き合わせる状態を保つことを特徴とする請求項１又は２記載のシート貼付装置。
【請求項４】
帯状の基材シートの一方の面に接着剤層が設けられるとともに、その延出方向に沿う切込によって複数の分割シートに分割可能とされた接着シートを被着体に貼付する方法であって、
前記接着シートを繰り出す工程と、
前記繰り出された接着シートの各分割シートに対してそれぞれ個別に張力を付与する工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する工程とを有することを特徴とするシート貼付方法。
【請求項５】
少なくとも前記接着シートを繰り出してから被着体に貼付されるまでの間、各分割シートの切込側縁を相互に突き合わせる状態を保つことを特徴とする請求項４記載のシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はシート貼付装置及び貼付方法に係り、更に詳しくは、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層が設けられるとともに、延出方向に沿う切込によって複数の分割シートに分割可能とされた接着シートを被着体に貼付することに適したシート貼付装置及び貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する場合がある）を被着体とし、当該ウエハに接着シートを貼付する装置としては、例えば、特許文献１に開示されている。
また、図４（Ａ）に示されるように、切込Ｃによって接着シートＳを複数の分割シートＳ１、Ｓ２に分割可能な接着シートＳを貼付する場合がある。このような接着シートＳは、被着体Ｗから剥離するときに、各分割シートＳ１、Ｓ２ごとに剥離することで、それらの剥離力を軽減できるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許３７５９８２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示されたシート貼付装置は、接着シート（保護フィルム）に送り方向と逆向きの引張力を与えた状態で貼付を行うものであるが、上記のように、切込Ｃによって複数の分割シートＳ１、Ｓ２に分割可能に設けられた接着シートＳを採用し、当該接着シートＳを被着体Ｗに貼付する場合、図４（Ｂ）に示されるように、切込Ｃに沿う位置に弛みＢを生じさせ、貼付不良を発生させてしまう、という不都合がある。
これは、接着シートＳの繰出時や巻取時に何らかの要因、例えば、他のものが一方の分割シートに付着して巻き込まれたときや、一方の分割シートの接着剤層同士が接着してしまったとき等、各分割シートＳ１とＳ２との相互間で繰出量（巻取量）の不一致が生じたときに、それらの間で張力のばらつきが生じ、結果として張力が少ない方の分割シート側に弛みが生じ、そのままローラ等の押圧手段Ｒで押圧されて被着体Ｗに貼付されたときに、切込Ｃの部分が裂けて弛みＢが形成されてしまうためである。
【０００５】
［発明の目的］
本発明の目的は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層が設けられるとともに、延出方向に沿う切込によって複数の分割シートに分割可能とされた接着シートを被着体に貼付するときに、各分割シートに付与される張力のばらつきによって貼付不良が発生することを防止することのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するため、本発明は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層が設けられるとともに、その延出方向に沿う切込によって複数の分割シートに分割可能とされた接着シートを繰り出して被着体に貼付するシート貼付装置であって、前記接着シートを繰り出す繰出手段と、前記接着シートに張力を付与する張力付与手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含み、前記張力付与手段は、前記切込によって分割可能とされる各分割シートに対して個別に張力を付与するように設けられる、という構成を採っている。
【０００７】
本発明において、前記接着シートを被着体の大きさに合わせて切断する切断手段を更に含む、という構成を採るとよい。
【０００８】
また、前記各分割接着シートの離間防止手段を更に含み、当該離間防止手段は、少なくとも前記接着シートを繰り出してから被着体に貼付されるまでの間、各分割シートの切込側縁を相互に突き合わせる状態を保つように構成することができる。
【０００９】
更に、本発明は、帯状の基材シートの一方の面に接着剤層が設けられるとともに、その延出方向に沿う切込によって複数の分割シートに分割可能とされた接着シートを被着体に貼付する方法であって、前記接着シートを繰り出す工程と、前記繰り出された接着シートの各分割シートに対してそれぞれ個別に張力を付与する工程と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する工程とを有する、という手法を採っている。
【００１０】
前記シート貼付方法において、少なくとも前記接着シートを繰り出してから被着体に貼付されるまでの間、各分割シートの切込側縁を相互に突き合わせる状態を保つ、という手法を採ることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、切込によって分割可能とされる各分割シートに対し、個別に張力を付与することができるため、同時に貼付される各分割シートの張力にばらつきを生ずることがなく、弛みの発生を抑制して貼付不良が発生するといった不都合を防止することができる。
また、接着シートを切断する切断手段を備える構成によれば、接着シートの形状に制約を受けることを軽減し、汎用性を向上させることが可能となる。
更に、離間防止手段を設けた構成では、接着シートの繰出方向に直交する方向、すなわち、各分割シートが離間する方向に力が加わった状態で当該接着シートが繰り出されることで、切込によって各分割シートが分離してしまうことを防止し、各分割シートの切込側縁を隙間なく突き合わせた状態で接着シートの貼付を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。
【図２】前記シート貼付装置の要部概略平面図。
【図３】接着シートの概略斜視図。
【図４】（Ａ）は分割可能な接着シートを被着体に貼付した状態を示す概略斜視図、（Ｂ）は（Ａ）の不具合を示す概略斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１４】
図１及び図２に示されるように、シート貼付装置１０は、接着シートＳの繰出手段１２と、被着体としてのウエハＷを支持するテーブル１３と、接着シートＳをウエハＷに押圧して貼付する押圧手段１４と、ウエハＷに接着シートＳを貼付した後に当該ウエハＷの外形に合わせて接着シートＳを切断する切断手段１５と、切断によってウエハＷの外側に生じた不要シートＳＤを巻き取る巻取手段１８とを備えて構成されている。ここで、本実施形態における接着シートＳは、図３に示されるように、帯状の基材シートＢＳの一方の面に接着剤層Ａが設けられるとともに、幅方向中央部であって、その延出方向に沿って設けられた切込Ｃによって第１分割シートＳ１及び第２分割シートＳ２に分割可能とされたものが採用されている。なお、切込Ｃの深さは、基材シートＢＳを貫通又は貫通しない程度に設けられたもの、或いは、基材シートＢＳを貫通して接着剤層Ａにまで達するもの、更には、基材シートＢＳ及び接着剤層Ａを貫通したものを用いることができる。
【００１５】
前記繰出手段１２は、剥離シートＲＬと共にロール状に巻回された接着シートＳを支持する支持ローラ２０と、この支持ローラ２０から繰り出された剥離シートＲＬを折り返して接着シートＳを当該剥離シートＲＬから剥離する板状部材等からなる剥離部材２２と、剥離シートＲＬを巻き取って回収する回収ローラ２３と、支持ローラ２０と回収ローラ２３との間に配置された複数のガイドローラ２５〜３２及びダンサローラ７９と、接着シートＳをウエハＷに貼付するときに、ガイドローラ２８を介して接着シートＳの張力を検出するロードセル３４と、昇降可能なフレームＦ１を介して剥離部材２２、ガイドローラ２７〜３０及びロードセル３４を一体的に支持し、ロードセル３４によって検出された接着シートＳの張力を一定に保って貼付することが可能な貼付角度維持手段３６とを備えて構成されている。ガイドローラ２７、３０には、シリンダ３８Ａ、３８Ｂの作動によって接着シートＳを挟み込んで接着シートＳの繰出を抑制するブレーキシュー３８、３９が併設されている。また、図２に示されるように、ガイドローラ２８は、第１接着シートＳ１が掛け回される第１ガイドローラ２８Ａと、第２接着シートＳ２が掛け回される第２ガイドローラ２８Ｂとから構成されている。また、ロードセル３４は、アーム３３を介してフレームＦ１に固定された第１ロードセル３４Ａと第２ロードセル３４Ｂとによって構成され、これらロードセル３４Ａ、３４Ｂは、それぞれアングル部材３７Ａ、３７Ｂと、これらアングル部材３７Ａ、３７Ｂにそれぞれ片持ちされた支持軸８１Ａ、８１Ｂを介して第１、第２ガイドローラ２８Ａ、２８Ｂをそれぞれ回転可能に支持している。なお、図２では、第１ガイドローラ２８Ａと第２ガイドローラ２８Ｂとが接触しているように描写されているが、実際には、例えば０．１ｍｍ〜１ｍｍ程度の間隔が設けられることで接触することはなく、それらを支持する軸８１Ａと８１Ｂも接触していない。これにより、第１ロードセル３４Ａは、第１接着シートＳ１の張力を検出可能とされ、第２ロードセル３４Ｂは、第２接着シートＳ２の張力を検出可能とされている。
【００１６】
前記繰出手段１２及び貼付角度維持手段３６は、本出願人によって出願された特願２００５−１９８８０６号に開示されたものと実質的に同一の構成であり、ここでは、それらの詳細な説明を省略する。
【００１７】
前記テーブル１３は、平面視略方形の外側テーブル４０と、平面視略円形の内側テーブル４１とにより構成されている。外側テーブル４０は内側テーブル４１の外縁との間に隙間を形成する状態で当該内側テーブル４１を受容可能な凹状に設けられている。内側テーブル４１は、単軸ロボット４３を介して外側テーブル４０に対して昇降可能に設けられ、これにより、接着シートＳの厚み、ウエハＷの厚みに応じて内側テーブル４１の上面高さ位置が調整できるようになっている。
【００１８】
前記押圧手段１４は、接着シートＳをウエハＷ及び外側テーブル４０の上面に押圧して貼付する押圧ローラ４５と、フレーム４６の上面側に位置し、支持フレーム４８及び支持軸８０を介して押圧ローラ４５をＺ軸方向に移動させるシリンダ４７とを含む。フレーム４６は、テーブル１３を図１中紙面直交方向（図２中Ｙ軸方向）に跨ぐ門型に設けられており、図２中上方の支柱４６Ｂ側がリニアモータ４９の図示しないスライダ上に支持され、図２中下方の支柱４６Ａ側が図示しないレール上に支持されてＸ軸方向に移動可能に設けられている。
【００１９】
前記切断手段１５は、所謂６軸ロボットで構成されるロボット本体５０の自由端側に支持されたカッター刃５１を備えて構成されている。なお、切断手段１５は、本出願人によって出願された特願２００６−１５７８３号に開示したものと同一の構造であるため、詳細な説明を省略する。
【００２０】
前記巻取手段１８は、ウエハＷの上方に繰り出される接着シートＳに張力を付与する張力付与手段１６と、駆動ローラ６０との間に不要シートＳＤを挟み込んで巻き取る巻取ローラ６３とにより構成されている。
前記張力付与手段１６は、駆動ローラ５５と、駆動ローラ５５との間に不要シートＳＤを挟み込むピンチローラ５８とにより構成されている。駆動ローラ５５及びピンチローラ５８は、図２に示されるように、第１不要シートＳＤ１を挟み込む第１駆動ローラ５５Ａ及び第１ピンチローラ５８Ａと、第２不要シートＳＤ２を挟み込む第２駆動ローラ５５Ｂ及び第２ピンチローラ５８Ｂとからなり、第１及び第２駆動ローラ５５Ａ、５５Ｂは、第１及び第２モータＭ１、Ｍ２によって、それぞれ個別に回転力が付与されるようになっている。なお、第１駆動ローラ５５Ａ及び第２駆動ローラ５５Ｂは、第１ガイドローラ２８Ａ及び第２ガイドローラ２８Ｂと同様に接触していない上、第１及び第２モータＭ１、Ｍ２のそれぞれの出力軸８２Ａと８２Ｂも接触していない。また、第１及び第２ピンチローラ５８Ａ、５８Ｂは、それぞれのフレームＦ２の内面側に位置するアーム５７を介してそれぞれ個別に揺動可能に支持されている。なお、第１及び第２ピンチローラ５８Ａ、５８Ｂは、第１ガイドローラ２８Ａ及び第２ガイドローラ２８Ｂと同様に接触していない上、それぞれの支持軸８３Ａと８３Ｂも接触していない。このような構成により、第１及び第２モータＭ１、Ｍ２は、第１及び第２ロードセル３４Ａ、３４Ｂによって検出された張力に対応して、第１及び第２駆動ローラ５５Ａ、５５Ｂの回転トルク又は回転速度を個別に調整し、ウエハＷの上方に繰り出された第１及び第２分割シートＳ１、Ｓ２に対してそれぞれの張力を個別に制御可能となっている。本実施形態の場合、第１分割シートＳ１の張力を基準として第２分割シートＳ２の張力が同じになるように、モータＭ２の回転トルク又は回転速度がモータＭ１の回転トルク又は回転速度と同じになるように制御されるようになっている。
【００２１】
駆動ローラ６０は、モータＭ３により駆動力が付与されるとともに、巻取ローラ６３は、アーム６１を介してばね６２の力によって駆動ローラ６０方向に付勢されており、駆動ローラ６０が回転し、巻取ローラ６３がこれに追従回転することで不要シートＳＤが巻き取られるようになっている。なお、駆動ローラ６０、アーム６１、ばね６２及び巻取ローラ６３は、張力付与手段１６と同様に何れも接触することなく、一対のフレームＦ２にそれぞれ支持され、第１、第２不要シートＳＤ１、ＳＤ２をそれぞれ個別に巻き取り可能に設けられている。また、図２中上方のフレームＦ２側がリニアモータ４９のスライダ６５上に支持され、図２中下方のフレームＦ２側が図示しないレール上に支持されてＸ軸方向に移動可能に設けられている。
【００２２】
前記押圧手段１４と巻取手段１８との間、及び、剥離部材２２の図１中上面には、離間防止手段７０がそれぞれ設けられている。この離間防止手段７０は、フレームＦ２間に支持軸８４を介して回転可能に支持されたローラ７１と、当該ローラ７１の軸線方向に沿ってＹ軸方向に移動可能に設けられた一対のガイドリング７２と、剥離部材２２の図１中上面に沿ってＹ軸方向に移動可能に設けられた一対のガイドプレート７３とにより構成されている。なお、ガイドプレート７３は、永久磁石を内蔵しており、剥離部材２２が磁性体で構成されていることで、Ｙ軸方向への移動を可能にしているが、このような構成に限定されることはない。これらガイドリング７２及びガイドプレート７３の内面間寸法を接着シートＳの幅と等しくなるように設定することにより、少なくとも接着シートＳを繰り出してからウエハＷに貼付されるまでの間、第１接着シートＳ１及び第２接着シートＳ２が、切込Ｃによって分離してしまうことを防止し、各分割シートＳ１、Ｓ２の切込側縁を隙間なく突き合わせた状態で、接着シートＳを繰り出して貼付することができるようになっている。
【００２３】
次に、本実施形態における接着シートＳの貼付方法について説明する。
【００２４】
初期設定において、支持ローラ２０から繰り出される接着シートＳは、図１に示されるように、上昇位置にある剥離部材２２を介して剥離シートＲＬから剥離され、剥離シートＲＬのリード端は、ガイドローラ２９〜３２を経由して回収ローラ２３に固定される。この一方、接着シートＳのリード端は、押圧ローラ４５、離間防止手段７０、張力付与手段１６を経由して巻取ローラ６３に固定される。このとき押圧ローラ４５は、外側テーブル４０の上面から離れた位置にある。
【００２５】
電源が投入されると、繰出手段１２が接着シートＳの繰り出しを許容する状態となり、巻取手段１８によって第１、第２分割シートＳ１、Ｓ２が所定長さ巻き取られる。ここで、「所定長さ」とは、先のシート貼付動作で切断手段１５によって接着シートＳに形成された穴が、駆動ローラ５５とピンチローラ５８とで挟まれた位置を超えるまでの長さである。なお、接着シートＳの繰り出しに際しては、離間防止手段７０により、接着シートＳは切込Ｃの形成縁間に隙間を生じさせることなく繰り出されることとなる。
【００２６】
第１及び第２分割シートＳ１、Ｓ２の巻取が完了すると、巻取手段１８の動作が停止する。第１及び第２ロードセル３４Ａ、３４Ｂは、各分割シートＳ１、Ｓ２の巻取動作中、及び、巻取手段１８の動作停止後において、それぞれ第１、第２分割シートＳ１、Ｓ２の張力を測定する。本実施形態の場合、張力付与手段１６は、第１分割シートＳ１に加わる張力つまり第１ロードセル３４Ａの値を基準として、第２分割シートＳ２の張力つまり第２ロードセル３４Ｂの値が同じになるようにモータＭ２の回転トルク又は回転速度を調整する。このとき、第１、第２ロードセル３４Ａ、３４Ｂでそれらの値に差があると、第１、第２分割シートＳ１、Ｓ２のどちらかに弛みを生じていることとなるが、第１分割シートＳ１の張力を基準として第２分割シートＳ２の張力が同じになるようにすることで、弛みが生じることはない。なお、各ロードセル３４Ａと３４Ｂとがそれぞれ所定の張力となるように個別制御してもよい。そして、各ロードセル３４Ａと３４Ｂとの値が同じとなった時点で、ブレーキシュー３８、３９がガイドローラ２７、３０にそれぞれ当接して接着シートＳの繰り出しを抑制するとともに、各駆動ローラ５５Ａ、５５Ｂがロックされた状態となって、スタンバイ状態となる。
【００２７】
次いで、図示しない搬送手段を介してテーブル１３上にウエハＷがセットされた後に、押圧ローラ４５が下降して接着シートＳを外側テーブル４０の上面側に押し付ける。押圧ローラ４５の下降によって、各ロードセル３４Ａと３４Ｂとが接着シートＳの張力変化を検知し、所定値となるようにフレームＦ１を下降させる。
【００２８】
その後、押圧ローラ４５が図１中左側に移動することにより貼付動作が開始される。この貼付動作は上記と同様に、各ロードセル３４Ａと３４Ｂとが接着シートＳの張力変化を検知し、所定値となるようにフレームＦ１を下降させる。なお、この貼付動作中においても、各ロードセル３４Ａ、３４Ｂでそれらの値に差が検出された場合には、第１、第２分割シートＳ１、Ｓ２のどちらかに弛みが生じたと判断できるので、図示しない制御手段を介して信号を出力するようにし、例えば、当該シート貼付装置１０の貼付動作を停止させたり、ブザーを鳴らしたり、表示灯を点灯させたりすることができる。
【００２９】
接着シートＳの貼付が完了すると、切断手段１５が作動し、カッター刃５１でウエハＷの外周縁に沿って接着シートＳの切断を行う。次いで、ウエハＷが図示しない移載装置を介してテーブル１３上から取り去られると、フレームＦ２が図１中左側に移動することで、駆動ローラ５５及びピンチローラ５８により、ウエハＷの外側に残された不要シートＳＤがテーブル１３の上面から剥離されて巻取ローラ６３によって巻き取られる。
【００３０】
不要シートＳＤの巻き取りが完了すると、ブレーキシュー３８、３９がガイドローラ２７、３０から離れて接着シートＳの繰り出しを可能とする状態でフレームＦ１が上昇すると同時に、押圧ローラ４５が上昇し、押圧手段１４及びフレームＦ２が図１に示される位置に復帰する。この復帰動作中においても、上記と同様に、各ロードセル３４Ａ、３４Ｂ及び各モータＭ１、Ｍ２がリンクして共動し、第１ロードセル３４Ａの値を基準として、第２ロードセル３４Ｂの値が同じになるようにモータＭ２の回転トルク又は回転速度を調整することで、新たな接着シートＳの繰り出しを行い、以降上記同様の動作が行われることとなる。
【００３１】
従って、このような実施形態によれば、切込Ｃによって分割可能とされる第１、第２分割シートそれぞれに対し、個別に張力を付与することができるため、同時に貼付される第１、第２分割シートＳ１、Ｓ２の張力にばらつきを生ずることがなく、弛みの発生を抑制し、貼付不良が発生するといった不都合を防止することができる、という効果を得る。
【００３２】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００３３】
例えば、前記実施形態では、切込Ｃが接着シートＳの幅方向中央に一箇所設けられた構成を図示、説明したが、切込Ｃの形成位置は特に限定されるものではない。また、切込Ｃは、予め形成された状態でロール状の接着シートＳが支持ローラ２０に支持される構成としたが、支持ローラ２０に対して繰出方向下流側に適宜なスリッターを配置して切込を形成するようにしてもよい。更に、前記実施形態では、切込Ｃが１箇所の接着シートＳを例示したが、２箇所以上に設けられた接着シートＳを対象とすることもでき、この場合、分割シートの数の分だけガイドローラ２８、駆動ローラ５５、ピンチローラ５８、駆動ローラ６０、巻取ローラ６３等を分割し、それぞれの分割シートを個別に張力を付与するように構成すればよい。
また、前記実施形態では、張力付与手段１６を巻取手段１８側に設けたが、ロードセル３４を巻取手段１８側に設け、張力付与手段１６を繰出手段１２側に設けるように構成してもよい。更に、ロードセル３４と張力付与手段１６との両方を繰出手段１２側に設けたり、それら両方を巻取手段１８側に設けたりしてもよい。張力付与手段１６を繰出手段１２側に設けた場合、接着シートＳの貼付動作中において、各ロードセル３４Ａ、３４Ｂでそれらの値に差が検出された場合、つまり、第１、第２分割シートＳ１、Ｓ２のどちらかに弛みが生じた場合、上記実施形態のような対処方法の他に、第１分割シートＳ１の張力と第２分割シートＳ２の張力が同じになるように、張力付与手段１６を制御することで、各接着シートＳ１、Ｓ２に弛みを生じさせることなくウエハＷに貼付することができる。
【００３４】
また、被着体はウエハＷに限定されるものではなく、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、その他の被着体も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。
【符号の説明】
【００３５】
１０  シート貼付装置
１２  繰出手段
１４  押圧手段
１５  切断手段
１６  張力付与手段
１８  巻取手段
７０  離間防止手段
Ａ  接着剤層
ＢＳ  基材シート
Ｃ  切込
Ｓ  接着シート
Ｓ１  第１分割シート（分割シート）
Ｓ２  第２分割シート（分割シート）
ＳＤ１  第１不要シート（不要シート）
ＳＤ２  第２不要シート（不要シート）
Ｗ  半導体ウエハ（被着体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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