(57)【要約】【課題】流体の流量の計測精度の向上を図ることができる熱式流量計を提供すること。【解決手段】本発明の一態様は、被測定流体の流量を計測するための熱線が架設されたセンサ流路Ｓと、センサ流路Ｓに対するバイパス流路Ｂとを備える熱式流量計７０において、前記熱線が設けられた測定チップ６０と、測定チップ６０が実装されるとともに、測定チップ６０に電気的に接続される電気回路が設けられたセンサ基板７８とを有し、測定チップ６０の抵抗体用電極６４，６５，６６，６７，６８，６９とセンサ基板７８の回路用電極５４，５５，５６，５７，５８，５９とを接合材料により接合することによってセンサ基板７８に測定チップ６０が実装されており、センサ基板７８の回路用電極５４，５５，５６，５７，５８，５９に貫通孔が設けられていることを特徴とする。【選択図】  図２４
2011039035.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定流体の流量を計測するための熱線が架設されたセンサ流路と、前記センサ流路に対するバイパス流路とを備える熱式流量計において、
前記熱線が設けられた測定チップと、
前記測定チップが実装されるとともに、前記測定チップに電気的に接続される電気回路が設けられた基板とを有し、
前記測定チップの電極と前記基板の電極とを接合材料により接合することによって前記基板に前記測定チップが実装されており、
前記基板の電極に貫通孔が設けられている
ことを特徴とする熱式流量計。
【請求項２】
請求項１に記載する熱式流量計において、
前記基板は、当該基板を収容するボディに締結手段により固定されている
ことを特徴とする熱式流量計。
【請求項３】
請求項２に記載する熱式流量計において、
前記センサ流路と前記バイパス流路とを分岐させる流路ブロックを有し、
前記ボディは前記流路ブロックを収容し、
前記ボディと前記ボディの開口部を塞ぐカバーとで形成される空間内に前記基板が鉛直に配置され、
被測定流体の出入口が前記ボディの同一面に配置されている
ことを特徴とする熱式流量計。
【請求項４】
請求項３に記載する熱式流量計において、
前記流路ブロックには、前記センサ流路に流れ込む被測定流体の流れを整える整流機構が設けられている
ことを特徴とする熱式流量計。
【請求項５】
請求項３又は請求項４に記載する熱式流量計において、
前記出入口が前記ボディの奥行き方向中心からずらされてボディ端部に配置され、
前記測定チップが前記出入口とは前記ボディの奥行き方向中心に対して反対側に配置されており、
前記流路ブロックが前記出入口と前記基板との間に位置している
ことを特徴とする熱式流量計。
【請求項６】
請求項３から請求項５に記載するいずれか１つの熱式流量計において、
前記基板は、前記ボディに装着されたガスケットに密着した状態で固定されている
ことを特徴とする熱式流量計。
【請求項７】
請求項３から請求項６に記載するいずれか１つの熱式流量計において、
前記カバーには、前記ボディに形成された係合穴に係合する係合突起が形成され、
前記係合突起には、前記係合穴に前記係合突起を係合させると、前記カバーが前記ボディに対して係合部分で接し係合部分から離れるにしたがって前記カバーと前記ボディとの距離が漸増するように、前記カバーが斜めに配置されるようなテーパが形成されており、
前記係合突起が前記係合穴に係合した状態で前記カバーが前記ボディに固定されている
ことを特徴とする熱式流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱線を用いて流体の流量を計測する熱式流量計に関する。より詳細には、流体の流量の計測精度の向上を図ることができる熱式流量計に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体チップマウンティング時のハンドリングには真空吸着が用いられており、その吸着の確認は、圧力センサにより行われていた。しかし近年、半導体チップがどんどん小さくなってきており、圧力センサでは吸着時と非吸着時との圧力差がほとんど発生しないために吸着確認ができず、圧力センサの代わりに流量センサを用いて吸着確認が行われるようになってきている。
【０００３】
ここで、吸着確認に用いる流量センサは、チップマウンタの可動ヘッドに設置されるため小型であること、短時間で吸着確認を完了させなければならないため応答性に優れていることが必要である。このような小型かつ高速応答の流量センサの１つとして、例えば特許文献１に開示されたものがある。ここに開示された流量センサでは、薄板を積層してその内部に流路を形成することにより、小型化及び応答性の高速化を図っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３６３７０５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記した流量センサは、測定チップの複数の熱線用電極とセンサ基板の複数の電気回路用電極とをそれぞれ、半田又は導電性接着剤などの接合材料で接合することによって、測定チップをセンサ基板に実装している。しかしながら、測定チップの複数の熱線用電極とセンサ基板の複数の電気回路用電極との間に供給する接合材料の量を均一に調整するのは難しい。そのため、センサ基板と測定チップとの間の距離を精度よく調整できないおそれがある。したがって、被測定流体の流れる流路において、測定チップを所望の位置に配置することができず、流体の流量の計測精度が低下してしまうおそれがある。
【０００６】
また、上記した流量センサは、チップマウンタの更なるマシンタクトを向上させるために、小型化（特に薄型化）及び軽量化が望まれている。そして、現状では、流量センサがチップマウンタの可動ヘッドに並べて設置（多数個が並列設置）されることが多いため、マシンタクトを向上させるためには、可動ヘッドに作用する慣性力を小さくする必要がある。そのためには、流量センサの設置スペースをできる限り小さくして集中配置するとともに、可動ヘッドの重量を減らさなければならず、流量センサの小型（薄型）化及び軽量化を図らなければならない。
【０００７】
そこで、本発明は上記した問題点を解決するためになされたものであり、流体の流量の計測精度の向上を図ることができる熱式流量計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するためになされた本発明の一態様は、被測定流体の流量を計測するための熱線が架設されたセンサ流路と、前記センサ流路に対するバイパス流路とを備える熱式流量計において、前記熱線が設けられた測定チップと、前記測定チップが実装されるとともに、前記測定チップに電気的に接続される電気回路が設けられた基板とを有し、前記測定チップの電極と前記基板の電極とを接合材料により接合することによって前記基板に前記測定チップが実装されており、前記基板の電極に貫通孔が設けられていることを特徴とする。
【０００９】
この態様によれば、測定チップの電極とセンサ基板の電極とを接合材料で接合するときに、余分な接合材料は貫通孔を介してセンサ基板の反対側の面に流れる。そのため、測定チップの電極とセンサ基板の電極との間の距離を均一に調整することができる。したがって、流体の流量の計測精度が向上する。
【００１０】
上記した熱式流量計において、前記基板は、当該基板を収容するボディに締結手段により固定されていることが望ましい。
【００１１】
この態様によれば、被測定流体の流れる流路において測定チップが配置される位置を所望の位置に維持することができる。そのため、被測定流体の流量を安定して正確に計測できるので、被測定流体の流量の計測精度が向上する。
【００１２】
上記した熱式流量計において、前記センサ流路と前記バイパス流路とを分岐させる流路ブロックを有し、前記ボディは前記流路ブロックを収容し、前記ボディと前記ボディの開口部を塞ぐカバーとで形成される空間内に前記基板が鉛直に配置され、被測定流体の出入口が前記ボディの同一面に配置されていることが望ましい。
【００１３】
この熱式流量計では、流体入口から流量計に流れ込んだ被測定流体は、流路ブロック内で熱線が架設されたセンサ流路と、センサ流路に対するバイパス流路とに分流される。そして、熱線を用いた計測原理に基づいて測定チップ及び電気回路によって、センサ流路を
流れる被測定流体の流量、ひいては熱式流量計の内部を流れる被測定流体の流量が検出される。このため、高速応答で計測結果を出力することができる。なお、センサ流路とバイパス流路とに分流する被測定流体の割合を変化させることによって、流量レンジを変化させることができる。具体的には、バイパス流路の断面積を変化させることによって、流量レンジを変化させることができる。
【００１４】
ここで、基板には電気回路が設けられており、その電気回路には所定の電子部品を組み込む、つまり基板に搭載する必要があるため、基板を小型化するには限界がある。そこで、この熱式流量計では、ボディとカバーとで形成される空間内に基板を鉛直に配置するとともに、被測定流体の出入口をボディの同一面に配置している。これにより、基板の大きさに制限されることなく、熱式流量計の奥行き方向における小型化、つまり薄型化を図ることができる。また、この小型化に伴って流量計の重量も減るため、軽量化も図ることができる。
【００１５】
上記した熱式流量計において、前記流路ブロックには、前記センサ流路に流れ込む被測定流体の流れを整える整流機構が設けられていることが望ましい。
【００１６】
このような整流機構を流路ブロックに設けることにより、被測定流体は、整流機構を通過した後にセンサ流路に流れ込む。これにより、センサ流路に流れ込む被測定流体の流れが整えられるため、測定出力を安定させることができる。
【００１７】
上記した熱式流量計において、前記出入口が前記ボディの奥行き方向中心からずらされてボディ端部に配置され、前記測定チップが前記出入口とは前記ボディの奥行き方向中心に対して反対側に配置されており、前記流路ブロックが前記出入口と前記基板との間に位置していることが望ましい。
【００１８】
上記した熱式流量計では、被測定流体をセンサ流路に導くために、被測定流体の出入口と測定チップが実装された基板との間に流路ブロックを配置する必要があるが、このような配置構成にすることにより、流路ブロックを限られたスペースに効率的に配置することができる。その結果、流量計の奥行き方向への小型化つまり薄型化をより一層図ることができるとともに、更なる軽量化を図ることができる。
【００１９】
上記した熱式流量計において、前記基板は、前記ボディに装着されたガスケットに密着した状態で固定されていることが望ましい。
【００２０】
このような構成にすることにより、基板がボディに装着されたガスケットに密着した状態で固定されているので、被測定流体の外部漏れを防止することができる。これにより、被測定流体の流量を精度良く計測することができる。
【００２１】
上記した熱式流量計において、前記カバーには、前記ボディに形成された係合穴に係合
する係合突起が形成され、前記係合突起には、前記係合穴に前記係合突起を係合させると、前記カバーが前記ボディに対して係合部分で接し係合部分から離れるにしたがって前記カバーと前記ボディとの距離が漸増するように、前記カバーが斜めに配置されるようなテーパが形成されており、前記係合突起が前記係合穴に係合した状態で前記カバーが前記ボディに固定されていることが望ましい。
【００２２】
このような構成により、カバーをボディに取り付けるためのネジが不要になる。これにより、更なる流量計の軽量化を図ることができるとともに、カバーの組付け性も向上する。そして、係合突起に上記のようなテーパが形成されていることにより、カバーの組付け性がさらに向上するため、熱式流量計の生産効率が向上する。
【発明の効果】
【００２３】
本発明に係る熱式流量計によれば、上記した通り、流体の流量の計測精度の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本実施の形態に係る熱式流量計の分解斜視図である。
【図２】ボディの底面を示す下面図である。
【図３】流路ブロックを構成する薄板の積層順を説明するための図である。
【図４】第１メッシュ板を示す平面図である。
【図５】第１メッシュ板のメッシュ部の拡大図である。
【図６】第１スペーサを示す平面図である。
【図７】第２スペーサを示す平面図である。
【図８】第２メッシュ板を示す平面図である。
【図９】中央開口板を示す平面図である。
【図１０】熱式流量計内の流路構成を示す図である。
【図１１】センサ基板の表面を示す平面図である。
【図１２】センサ基板の裏面を示す平面図である。
【図１３】プリント基板の表面を示す平面図である。
【図１４】測定チップを示す平面図である。
【図１５】定温度差回路の構成を示す回路図である
【図１６】出力回路の構成を示す回路図である。
【図１７】カバーの概略構成を示す斜視図である。
【図１８】別の流路ブロックを構成する薄板の積層順を説明するための図である。
【図１９】第１流量調整板を示す平面図である。
【図２０】第２流量調整板を示す平面図である。
【図２１】第３流量調整板を示す平面図である。
【図２２】別の流路ブロックを構成する薄板の積層順を説明するための図である。
【図２３】第４流量調整板を示す平面図である。
【図２４】実施例２の実施の形態に係る熱式流量計の分解斜視図である。
【図２５】実施例２のセンサ基板の表面を示す平面図である。
【図２６】実施例２のセンサ基板の裏面を示す平面図である。
【図２７】実施例２のプリント基板の表面を示す平面図である。
【図２８】カバーの概略構成を示す斜視図である。
【図２９】実施例２のガスケットを示す平面図である。
【図３０】図２８のＡ−Ａ断面図である。
【図３１】図２８のＢ−Ｂ断面図である。
【図３２】実施例２の流路ブロックを構成する薄板の積層順を説明するための図である。
【図３３】実施例２の第１メッシュ板を示す平面図である。
【図３４】実施例２のスペーサを示す平面図である。
【図３５】実施例２の第２メッシュ板を示す平面図である。
【図３６】実施例２の中央開口板を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
〔実施例１〕
以下、本発明の熱式流量計を具体化した好適な実施の形態について、図面に基づき詳細に説明する。そこで、実施例１の実施の形態に係る熱式流量計の概略構成を図１に示す。図１は、熱式流量計１０の分解斜視図である。図１に示すように、実施例１の実施の形態に係る熱式流量計１０は、ボディ２０と、カバー３０と、流路ブロック４０と、センサ基板５０とを有している。そして、流路ブロック４０がボディ２０に装着された状態で、センサ基板５０がボディ２０とカバー３０とにより狭持されてボディ２０内に固定されている。これにより、熱式流量計１０内にセンサ流路Ｓとセンサ流路Ｓに対するバイパス流路Ｂとが形成されている（図１０参照）。
【００２６】
ボディ２０の片側（図１では左側）に、流路ブロック４０を収容する流路空間２１が形成されている。この流路空間２１は、図中手前側が開口しており、この開口端面にセンサガスケット５１を装着するためのガスケット装着溝２２が形成されている。また、流路空間２１の開口面とは反対側の面（図１では奥側面）２１ｂには、流路ブロック４０が面２１ｂに密着しないようにする（隙間２１ｓ（図１０参照）を形成する）ための突起２３と段差２４とが設けられている。この突起２３及び段差２４により、流路ブロック４０が面２１ｂとの間に隙間ができた状態で流路空間２１内に収容されるようになっている。なお、この隙間は、後述するようにバイパス流路Ｂの一部をなしている（図１０参照）。
【００２７】
そして、流路空間２１の下面に流体入口１１及び流体出口１２が開口している。つまり、流体入口１１及び流体出口１２は、図２に示すように、ボディ２０の底面に設けられている。なお、図２は、ボディの底面を示す下面図である。この流体入口１１及び流体出口１２は、ボディ２０の奥行き方向の中心線Ｃからずれてボディ２０の端部（図１では奥側端部）に形成されている。そして、流体入口１１及び流体出口１２の周りにガスケット１３を装着するガスケット装着溝１４が設けられている。なお、ガスケット１３は、熱式流量計１０を取り付ける配管ブロック９０等の接続機器と熱式流量計１０との接続部分での流体の漏れを防止するためのものである。
【００２８】
また、ボディ２０の底面には、カバー３０を組み付けるための係合穴２５ａ，２５ｂ，２５ｃが設けられている。これらの係合穴２５ａ，２５ｂ，２５ｃは、ボディ２０の奥行き方向の中心に対して流体入口１１及び流体出口１２とは反対側に配置されている。同様に、ボディ２０の上面にも、係合穴２５ｄが設けられている。また、ボディ２０の流路空間２１が形成された上部には、カバー３０をネジ止めするためのネジ孔２６が形成されている。さらに、ボディ２０の両端部には、配管ブロック９０などの接続機器へ接続するための接続部２７ａ，２７ｂが設けられている。これらの接続部２７ａ，２７ｂにはそれぞれ、ボルト固定又はピン固定ができるようにボルト挿通孔２８とピン挿通孔２９が形成されている。なお、本実施の形態では、図１に示す配管ブロック９０にピン固定することができるようになっている。
【００２９】
流路ブロック４０は、図１に示すように、複数種の薄板を積層して構成したものである。本実施の形態では、５種類の薄板を合計１０枚積層して流路ブロック４０を構成することにより、熱式流量計１０のフルスケール流量を１０Ｌ／ｍｉｎとし、測定流量レンジを０〜１０Ｌ／ｍｉｎとしている。具体的には、奥から手前に向かって（センサ基板５０に向かって）、図３に示すように、第１メッシュ板４１、第１スペーサ４２、第１メッシュ板４１、第１スペーサ４２、第１メッシュ板４１、第１スペーサ４２、第１メッシュ板４１、第２スペーサ４３、第２メッシュ板４４、及び中央開口板４５が順に積層されて接着されたものである。なお、図３は、流路ブロック４０を構成する薄板の積層順を説明するための図である。これらの薄板４１〜４５は、ともに厚さが０．３ｍｍ以下であり、エッチングにより各形状の加工（マイクロマシニング加工）がなされたものである。なお、熱式流量計１０のフルスケール流量は、流路ブロック４０を構成する薄板の形状（組み合わせ）を変更すると、バイパス流路Ｂの断面積が変化し被測定流体のバイパス比が変わるので、任意に設定することができる。
【００３０】
ここで、個々の薄板について説明する。まず、第１メッシュ板４１について、図４及び
図５を用いて説明する。なお、図４は、第１メッシュ板４１を示す平面図である。図５は、第１メッシュ板４１のメッシュ部４１ｍの拡大図である。第１メッシュ板４１は、図４に示すように、略Ｔ字形をなしており、上部に位置決め部４１ａが形成されるとともに、両端部にメッシュ部４１ｍが形成されている。位置決め部４１ａは、流路空間２１内での位置決めを行う部位であり、その外周端が流路空間２１の内壁に密着するようになっている。一方、メッシュ部４１ｍは、図５に示すように、メッシュを構成する孔（直径０．２ｍｍ）の中心間距離がすべて０．２７ｍｍとなるように形成されている。すなわち、各孔の中心が正三角形の各頂点となるように孔が形成されている。このメッシュ部４１ｍは、被測定流体の流れを整える整流機構をなすものである。なお、第１メッシュ板４１の厚さは、０．１ｍｍである。
【００３１】
次に、第１スペーサ４２について、図６を用いて説明する。なお、図６は、第１スペーサ４２を示す平面図である。第１スペーサ４２は、図６に示すように、位置決め部４２ａ及び外周部４２ｂを残すようにエッチング加工されたものである。これにより、第１スペーサ４２には、開口部４２ｏが形成されている。なお、第１スペーサ４２の厚さは、０．３ｍｍである。また、位置決め部４２ａの投影形状は、第１メッシュ板４１の位置決め部４１ａと同じである。
【００３２】
次に、第２スペーサ４３について、図７を用いて説明する。なお、図７は、第２スペーサ４３を示す平面図である。第２スペーサ４３は、図７に示すように、流路空間２１の断面形状と同じ形状をなしており、外周部４３ｂを残すようにエッチング加工されたものである。これにより、第２スペーサ４３には、開口部４３ｏが形成されている。なお、第２スペーサ４３の厚さは、０．３ｍｍである。
【００３３】
次に、第２メッシュ板４４について、図８を用いて説明する。なお、図８は、第２メッシュ板４４を示す平面図である。第２メッシュ板４４は、図８に示すように、流路空間２１の断面形状と同じ形状をなしており、両端部にメッシュ部４４ｍが形成されている。この第２メッシュ板４４の厚さは、０．１ｍｍである。なお、メッシュ部４４ｍは、第１メッシュ板４１のメッシュ部４１ｍと同様の構成であり、被測定流体の流れを整える整流機構をなすものである。
【００３４】
最後に、中央開口板４５について、図９を用いて説明する。なお、図９は、中央開口板４５を示す平面図である。中央開口板４５は、図９に示すように、流路空間２１の断面形状と同じ形状をなしており、中央に開口部４５ｏが形成されている。この中央開口板４５の厚さは０．３ｍｍである。
【００３５】
そして、上記した薄板４１〜４５を図３に示す左側から順番に積層して接着した流路ブロック４０を流路空間２１に装着することにより、図１０に示すように、流路空間２１及び流路ブロック４０によってバイパス流路Ｂが形成される。より詳細に言うと、流路空間２１の面２１ｂと流路ブロック４０との間の隙間２１ｓ、第１スペーサ４２の開口部４２ｏ、第２スペーサ４３の開口部４３ｏ、及び中央開口板４５の開口部４５ｏによりバイパス流路Ｂが形成されている。なお、図１０は、熱式流量計１０内の流路構成を示す図である。
【００３６】
また、第１メッシュ板４１のメッシュ部４１ｍ、第１スペーサ４２の開口部４２ｏ、第２スペーサ４３の開口部４３ｏ、第２メッシュ板４４のメッシュ部４４ｍ、及び中央開口板４５の開口部４５ｏにより、連絡流路１５，１６が形成されている。連絡流路１５は、流体入口１１とバイパス流路Ｂ及びセンサ流路Ｓとを連通させるものであり、連絡流路１６は、流体出口１２とバイパス流路Ｂ及びセンサ流路Ｓとを連通させるものである。
【００３７】
そして、連絡流路１５，１６に、メッシュ部４１ｍが４層とメッシュ部４４ｍが１層とで合計５層のメッシュ部が配置されている。各メッシュ部の間隔は、他の薄板４２，４３の厚さ分（０．３ｍｍ）となっている。これにより、被測定流体がメッシュ部４１ｍ，４４ｍを通過するたびに、被測定流体の流れの乱れが減少していく。そのため、流れが整えられた被測定流体を、センサ流路Ｓに流し込むことができる。
【００３８】
上記した流路ブロック４０に対してセンサガスケット５１を介して配置されるセンサ基板５０は、測定流量を電気信号として出力するものである。このため、センサ基板５０には、図１１に示すように、ベースとなる２層構造のプリント基板５２の表面側（ボディ２０への装着面側）において図中右側半分の中央付近に測定チップ６０が実装されている。一方、測定チップ６０が実装されていない残りの半分には、測定チップ６０に電気的に接続される定温度差回路及び出力回路（詳細は後述する）を構成する電子部品群が搭載されている。これらの電子部品群は、図１１の領域Ａ１内（非ハッチング領域内）と図１２の領域Ａ２内（非ハンチング領域内）に配置されている。また、センサ基板５０の裏面側には、図１２に示すように、リブ受け面５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，５０ｅが設けられている。これらのリブ受け面５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，５０ｅは、後述するカバー３０のリブ３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄ，３３ｅ（図１７参照）が当接する部位である。なお、図１１は、センサ基板５０の表面を示す平面図である。図１２は、センサ基板５０の裏面を示す平面図である。
【００３９】
そして、プリント基板５２の測定チップ６０が実装される部分には、図１３に示すように、溝５３が加工されている。なお、図１３は、プリント基板５２の表面を示す平面図である。そして、この溝５３の両側に、回路用電極５４，５５，５６，５７，５８，５９が設けられている。これらの電極５４〜５９は、プリント基板５２の中に形成されたパターン配線を介して、後述する定温度差回路及び出力回路と電気的に接続されている。なお、図１１及び図１２に示すハッチング領域には、パターン配線が形成されていない。これにより、図１１及び図１２に示すハッチング領域は、フラットな形状となっている。
【００４０】
ここで、測定チップ６０について、図１４を用いて説明する。なお、図１４は、測定チップ６０を示す平面図である。測定チップ６０は、図１４に示すように、シリコンチップ６２に対して、半導体マイクロマシニングの加工技術を実施したものであり、このとき、チップ中央に溝６３が加工されるとともに、抵抗体（熱線）用電極６４，６５，６６，６７，６８，６９がチップ両端に設けられる。
【００４１】
また、このとき、上流温度検出抵抗体Ｒ１が、抵抗体用電極６５，６７から延設されるとともに溝６３の上に架設される。さらに、下流温度検出抵抗体Ｒ２が、抵抗体用電極６７，６９から延設されるとともに溝６３の上に架設される。さらにまた、発熱抵抗体Ｒｈが、上流温度検出抵抗体Ｒ１と下流温度検出抵抗体Ｒ２との間に、抵抗体用電極６６，６８から延設されるとともに溝６３の上に架設される。また、測定チップ６０においては、センサ流路Ｓの順方向上流側に流体温度検出抵抗体Ｒｔが、抵抗体用電極６４，６６から延設される。
【００４２】
そして、測定チップ６０の抵抗体用電極６４，６５，６６，６７，６８，６９を、センサ基板５０の回路用電極５４，５５，５６，５７，５８，５９（図１３参照）のそれぞれと、半田リフローによる接合又は導電性接着剤などによる接合によって、測定チップ６０をセンサ基板５０に実装している。したがって、測定チップ６０がセンサ基板５０に実装されると、測定チップ６０に設けられた流体温度検出抵抗体Ｒｔ、上流温度検出抵抗体Ｒ１、下流温度検出抵抗体Ｒ２、および発熱抵抗体Ｒｈは、測定チップ６０の抵抗体用電極６４〜６９と、センサ基板５０の回路用電極５４〜５９（図１３参照）とを介して、センサ基板５０の回路配置領域Ａ１，Ａ２に設けられた図１５の定温度差回路及び図１６の出力回路に電気的に接続される。
【００４３】
ここで、図１５に示す定温度差回路は、発熱抵抗体Ｒｈを、流体温度検出抵抗体Ｒｔで検出される流体温度と一定の温度差をもつように制御するための回路である。また、図１６に示す出力回路は、上流温度検出抵抗体Ｒ１と下流温度検出抵抗体Ｒ２との温度差に相当する電圧値を出力するための回路である。この出力回路では、上流温度検出抵抗体Ｒ１と下流温度検出抵抗体Ｒ２とが直列に接続され、定電圧Ｖｃが印加されるようになっている。そして、上流温度検出抵抗体Ｒ１と下流温度検出抵抗体Ｒ２との中点電位Ｖｏｕｔが測定信号として出力されるようになっている。
【００４４】
また、測定チップ６０がセンサ基板５０に実装されると、測定チップ６０の溝６３は、センサ基板５０の溝５３と重なり合う。よって、図１０に示すように、測定チップ６０が実装されたセンサ基板５０を、ボディ２０に対して、流路ブロック４０及びセンサガスケット５１を介して密着すると、ボディ２０の流路空間２１において、センサ基板５０と測定チップ６０との間に、測定チップ６０の溝６３やセンサ基板５０の溝５３などからなる細長い形状のセンサ流路Ｓが形成される。そのため、センサ流路Ｓには、流体温度検出抵抗体Ｒｔ、上流温度検出抵抗体Ｒ１、下流温度検出抵抗体Ｒ２、および発熱抵抗体Ｒｈが橋を渡すように設けられることになる。
【００４５】
このようにして測定チップ６０が実装されたセンサ基板５０は、ボディ２０内でボディ２０とカバー３０とにより狭持されて固定されている。つまり、カバー３０によってセンサ基板５０をボディ２０に押さえ付けて、センサ基板５０を立てて（鉛直に）配置している。これにより、センサ基板５０の大きさに制限されることなく、熱式流量計１０の奥行き方向における小型化、つまり薄型化が図られている。具体的には、奥行き寸法が従来の流量計と比べて３割程度小さくなっている。なお、本実施の形態では、奥行き寸法が７ｍｍである。そして、この小型化に伴って熱式流量計１０の重量も減るため、軽量化も図られている。
【００４６】
また、センサ基板５０をボディ２０に対してネジやモールド樹脂などによって固定する必要がなくなる。そのため、センサ基板５０を固定するためのスペースを削減することができるので、熱式流量計１０の小型化を図ることができる。そして、この小型化に伴って熱式流量計１０の重量も減るので、熱式流量計１０の軽量化を図ることができる。また、センサ基板５０を固定するための部品を削減することができるので、熱式流量計１０のさらなる軽量化を図ることができる。
【００４７】
そして、センサ基板５０は、ボディ２０の奥行き方向の中心線Ｃに対して、流体入口１１及び流体出口１２と反対側（手前側）に位置している。これにより、流路ブロック４０が、流体入口１１及び流体出口１２とセンサ基板５０との間に配置される。このような配置構成にすることにより、流路ブロック４０を限られたスペースに効率的に配置することができる。このことによっても、熱式流量計１０の薄型化及び軽量化が図られている。
【００４８】
ここで、センサ基板５０をボディ２０とカバー３０とにより狭持して固定するため、ボディ２０の流路空間２１の開口端面に形成されたガスケット装着溝２２に装着されたセンサガスケット５１とセンサ基板５０とが密着していないと、被測定流体の外部漏れが発生して流量を正確に計測することができない。
【００４９】
そこで、カバー３０の内面には、図１７に示すように、５つのリブ３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄ，３３ｅが設けられている。なお、図１７は、カバーの概略構成を示す斜視図である。これらのリブ３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄ，３３ｅは、カバー３０をボディ２０に装着したときに、センサ基板５０の裏面側に形成されたリブ受け面５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，５０ｅにそれぞれ接触する。そして、これらのリブ受け面５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，５０ｅは、センサ基板５０において、センサガスケット５１が当接する部分の裏側、及び測定チップ６０が実装された領域の裏側に位置している。これ
により、センサ基板５０のうち被測定流体が流れる領域付近をボディ２０に押しつけることができる。その結果、センサ基板５０とボディ２０に装着されたセンサガスケット５１との密着性を高めることができる。また、センサ基板５０のうちセンサガスケット５１が接触する部分はパターン配線が設けられていないためフラットになっているので、センサ基板５０とセンサガスケット５１との密着性をより高めることができる。その結果として、被測定流体の外部漏れを効果的に防止することができる。
【００５０】
また、カバー３０の底面（図１７では左側）には、３つの係合突起３１ａ，３１ｂ，３１ｃが形成され、カバー３０の上面（図１７では右側）には、係合突起３１ｄが形成されている。こららの係合突起３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄは、カバー３０をボディ２０に取り付けたときに、それぞれボディ２０に形成された係合穴２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄに係合するようになっている。より具体的には、係合突起３１ａ，３１ｂ，３１ｃを係合穴２５ａ，２５ｂ，２５ｃに係合させた状態で、カバー３０上部をボディ２０上部に近接（接触）させると、係合突起３１ｄが係合穴２５ｄにスナップフィット結合するようになっている。
【００５１】
ここで、係合突起３１ａ，３１ｂ，３１ｃのボディ取付面側には、先細形状となるテーパ部３２ａ，３２ｂ，３２ｃが形成されている。このテーパ部３２ａ，３２ｂ，３２ｃにより、係合穴２５ａ，２５ｂ，２５ｃに係合突起３１ａ，３１ｂ，３１ｃを係合させると、カバー３０がボディ２０に対して係合部分（底部）で接し係合部分から離れるしたがって（上方に向かって）カバー３０とボディ２０との間が徐々に離れるように、カバー３０が斜めに配置される。
【００５２】
このため、カバー３０をボディ２０に取り付ける際、カバー３０を斜め上方から取り付けることができるので、センサ基板５０に設けられた電子部品群にカバー３０内側のリブ３３ａ〜３３ｅが当たらない。これにより、センサ基板５０に設ける回路の設計自由度が大きくなるため、センサ基板５０をボディ２０内に効率良く収容することができる。このことは、熱式流量計１０の小型化に寄与する。また、カバー３０の組付け性も向上するため、熱式流量計１０の生産効率も向上する。
【００５３】
そして、カバー３０は、上部が強制的にボディ２０に接触させられて、係合突起３１ｄが係合穴２５ｄにスナップフィット結合させられるとともに、ネジ挿通孔３４に挿通されたネジ３５がボディ２０のネジ孔２６に螺合させられる。このため、カバー３０とボディ２０とによるセンサ基板５０の狭持力を高めることができる。また、カバー３０のボディ２０への取り付けにおいて、ネジ止めする箇所が１箇所しかない。このように、熱式流量計１０では、従来の熱式流量計に比べ、カバー３０をボディ２０に取り付けるためのネジ数が低減されている。このことによっても、熱式流量計１０は軽量化が図られている。
さらに、ネジ止めされる部分が流路ブロック４０の配置位置近傍であるため、センサ基板５０とセンサガスケット５１との密着性を一層高めることができる。これにより、被測定流体の外部漏れを確実に防止することができる。
【００５４】
続いて、上記した構成を有する熱式流量計１０の作用について説明する。熱式流量計１０においては、順方向の流れの場合には、配管ブロック９０から流体入口１１を介して流路空間２１内に流れ込んだ被測定流体は、流路空間２１に装着された流路ブロック４０により、センサ流路Ｓへ流れ込むものと、バイパス流路Ｂへ流れ込むものとに分流される。そして、センサ流路Ｓ及びバイパス流路Ｂから流れ出した被測定流体は、合流して、流体出口１２を介して配管ブロック９０に流れ出す。
【００５５】
一方、逆方向の流れの場合には、配管ブロック９０から流体出口１２を介して流路空間２１内に流れ込んだ被測定流体は、流路空間２１に装着された流路ブロック４０により、
センサ流路Ｓへ流れ込むものと、バイパス流路Ｂへ流れ込むものとに分流される。そして、センサ流路Ｓ及びバイパス流路Ｂから流れ出した被測定流体は、合流して、流体入口１１を介して配管ブロック９０に流れ出す。
【００５６】
ここで、被測定流体が順方向あるいは逆方向のいずれの方向に流れても、センサ流路Ｓへ流れ込む被測定流体は、流路ブロック４０内におけるメッシュ部４１ｍ（図４参照），４４ｍ（図８参照）を通過した後に、センサ流路Ｓに流れ込む。したがって、非常に流れが整えられた状態の被測定流体が、センサ流路Ｓを流れる。そして、センサ流路Ｓを流れる被測定流体は、センサ流路Ｓに橋設された発熱抵抗体Ｒｈから熱を奪う。
【００５７】
そうすると、センサ基板５０に設けられた図１５に示す定温度差回路により、流体温度検出抵抗体Ｒｔと発熱抵抗体Ｒｈとが一定の温度差になるように制御される。また、センサ基板５０に設けられた図１６に示す出力回路により、直列に接続され定電圧Ｖｃが印加された上流温度検出抵抗体Ｒ１と下流温度検出抵抗体Ｒ２との中点電位Ｖｏｕｔが測定信号として出力される。このとき、被測定流体が順方向の流れの場合には、上流温度検出抵抗体Ｒ１の温度（抵抗値）が低下し、下流温度検出抵抗体Ｒ２の温度（抵抗値）が増加するため、中点電位Ｖｏｕｔが増加する。一方、被測定流体が逆方向の流れの場合には、上流温度検出抵抗体Ｒ１の温度（抵抗値）が増加し、下流温度検出抵抗体Ｒ２の温度（抵抗値）が低下するため、中点電位Ｖｏｕｔは低下する。このため、被測定流体の流れ方向を検知することができる。
【００５８】
そして、バイパス流路Ｂを流路空間２１に装着した流路ブロック４０により形成しているため、流路ブロック４０を構成する薄板の組み合わせを変更することにより、各測定レンジに最適なバイパス比を設定することができる。
【００５９】
例えば、中流量レンジ（１〜５Ｌ／ｍｉｎ）であれば、図１８に示す流路ブロック４０ａを用いればよい。なお、図１８は、流路ブロック４０ａを構成する薄板の積層順を説明するための図である。流路ブロック４０ａは、奥から手前に向かって（センサ基板に向かって）、図１８に示すように、第１メッシュ板４１、第１流量調整板４６、第１メッシュ板４１、第２流量調整板４７、第１メッシュ板４１、第２流量調整板４７、第１メッシュ板４１、第３流量調整板４８、第２メッシュ板４４、及び中央開口板４５が順に積層されて接着されたものである。
【００６０】
ここで、第１流量調整板４６は、図１９に示すように、位置決め部４６ａ、外周部４６ｂ及び流量調整部４６ｃを残すようにエッチング加工されたものである。なお、図１９は、第１流量調整板４６を示す平面図である。これにより、第１流量調整板４６には、略Ｈ形状の開口部４６ｏが形成されている。なお、第１流量調整板４６の厚さは、０．３ｍｍである。また、位置決め部４６ａの投影形状は、第１メッシュ板４１の位置決め部４１ａと同じである。
【００６１】
また、第２流量調整板４７は、図２０に示すように、位置決め部４７ａ、外周部４７ｂ及び流量調整部４７ｃを残すようにエッチング加工されたものである。なお、図２０は、第２流量調整板４７を示す平面図である。これにより、第２流量調整板４７には、メッシュ部４１ｍや４４ｍと同一形状の開口部４７ｏが形成されている。なお、第２流量調整板４７の厚さは、０．３ｍｍである。また、位置決め部４７ａの投影形状は、第１メッシュ板４１の位置決め部４１ａと同じである。
【００６２】
また、第３流量調整板４８は、図２１に示すように、流路空間２１の断面形状と同じ形状をなしており、外周部４８ｂ及び流量調整部４８ｃを残すようにエッチング加工されたものである。なお、図２１は、第３流量調整板４８を示す平面図である。これにより、第
３流量調整板４８には、メッシュ部４１ｍや４４ｍと同一形状の開口部４８ｏが形成されている。なお、第３流量調整板４８の厚さは、０．３ｍｍである。
【００６３】
このように、第１スペーサ４２及び第２スペーサ４３に替えて、第１流量調整板４６、第２流量調整板４７、及び第３流量調整板４８を組み入れた流路ブロック４０ａを用いることにより、バイパス流路Ｂの流路面積が小さくなる。そして、上記した流路ブロック４０ａを用いることにより、熱式流量計１０のフルスケール流量を５Ｌ／ｍｉｎとし、測定流量レンジを０〜５Ｌ／ｍｉｎとすることができる。
【００６４】
また、例えば、小流量レンジ（１Ｌ／ｍｉｎ以下）であれば、図２２に示す流路ブロック４０ｂを用いればよい。なお、図２２は、流路ブロック４０ｂを構成する薄板の積層順を説明するための図である。流路ブロック４０ｂは、奥から手前に向かって（センサ基板５０に向かって）、図２２に示すように、第４流量調整板４９、第１メッシュ板４１、第２流量調整板４７、第１メッシュ板４１、第２流量調整板４７、第１メッシュ板４１、第２流量調整板４７、第１メッシュ板４１、第３流量調整板４８、第２メッシュ板４４、及び中央開口板４５が順に積層されて接着されたものである。
【００６５】
ここで、第４流量調整板４９は、図２３に示すように、位置決め部４９ａ及び流量調整部４９ｃを残すようにエッチング加工され、略Ｔ形状をなすものである。なお、図２３は、第４流量調整板４９を示す平面図である。そして、流量調整部４９ｃには、嵌合孔４９ｈが形成されている。この嵌合孔４９ｈは、第４流量調整板４９を流路空間２１内に装着したときに、流路空間２１の面２１ｂ上に形成された突起２３に嵌合するようになっている。なお、第４流量調整板４９の厚さは、０．３ｍｍである。
【００６６】
このように、第４流量調整板４９を追加するとともに、第１スペーサ４２及び第２スペーサ４３に替えて、第２流量調整板４７、及び第３流量調整板４８を組み入れた流路ブロック４０ｂを用いることにより、バイパス流路Ｂの流路面積がさらに小さくなる。そして、上記した流路ブロック４０ｂを用いることにより、熱式流量計１０のフルスケール流量を０．５Ｌ／ｍｉｎとし、測定流量レンジを０〜０．５Ｌ／ｍｉｎとすることができる。
【００６７】
このようにして、熱式流量計１０では、流路ブロックの構成を変更することにより、各測定レンジに最適なバイパス比を設定することができるため、双方向においてリニアな出力特性を得ることができるので、被測定流体の流量を双方向において正確に計測することができる。また、センサ流路Ｓには非常に安定した流れの被測定流体が流れるため、出力の振幅幅が小さく非常に安定した出力を得ることができる。そして、電気的フィルタを用いていないので、応答性を損なうこともない。
【００６８】
このため、例えば、熱式流量計１０を半導体チップマウンティング時のハンドリングにおける真空吸着の吸着およびリリースの確認に用いた場合、吸着およびリリースを正確に判断することができる。なぜなら、吸着時と非吸着時におけるオリフィス内の流量を瞬時に正確かつ安定して計測することができるからである。したがって、吸着およびリリースの確認に熱式流量計１０を利用することにより、実際には吸着しているにも関わらず、吸着していないと誤判断されることがなくなり吸着確認を正確に行うことができるとともに、リリースの確認も行うことができる。そして、熱式流量計１０は、薄型化、小型化、及び軽量化が図られているため、チップマウンタの可動ヘッドに並べて設置した場合、従来のものに比べて可動ヘッドの慣性力を小さくすることができるので、マシンタクトを向上させることができる。また、流体入口１１及び流体出口１２が同一面に設けられているため、可動ヘッドへの取り付け性も非常に良い。
【００６９】
以上、詳細に説明したように本実施の形態に係る熱式流量計１０によれば、ボディ２０
とカバー３０とで形成される空間内にセンサ基板５０が鉛直に配置されている。また、被測定流体の出入口１１，１２が、ボディ２０の同一面にボディ２０の奥行き方向の中心線Ｃからずらされて配置されている。そして、センサ基板５０に実装された測定チップ６０が、測定流体の出入口１１，１２とは中心線Ｃに対して反対側に配置されるように、センサ基板５０がボディ２０とカバー３０とに狭持されて固定されている。これらのことにより、流路ブロック４０を限られたスペースに効率的に配置することができるとともに、センサ基板５０の大きさに制限されることなく、熱式流量計１０の奥行き方向における小型化、つまり薄型化を図ることができる。また、この小型化及びセンサ基板５０の固定部品が不要となることから、熱式流量計１０の軽量化も図ることができる。
【００７０】
そして、熱式流量計１０では、ボディ２０に形成された流路空間２１に流路ブロック４０を装着して、バイパス流路Ｂを構成することにより、被測定流体の最適なバイパス比を設定することができるため、リニアな出力特性を得ることができる。また、流路ブロック４０には、バイパス路Ｂとセンサ流路Ｓとの間に配置される多層のメッシュ部４１ｍ，４４ｍが備わっている。これにより、センサ流路Ｓに流れ込む被測定流体の流れが整えられる。従って、非常に安定した出力を得ることができる。さらに、測定チップ６０に上流温度検出抵抗体Ｒ１、下流温度検出抵抗体Ｒ２、発熱抵抗体Ｒｈ、および流体温度検出抵抗体Ｒｔを設け、電気回路により、発熱抵抗体Ｒｈと流体温度検出抵抗体Ｒｔとが一定の温度差になるように制御し、上流温度検出抵抗体Ｒ１と下流温度検出抵抗体Ｒ２との温度差に基づき被測定流体の流量を計測する。これにより、双方向の流量検知ができる。
【００７１】
〔実施例２〕
次に、実施例２の実施の形態に係る熱式流量計７０の概略構成を図２４に示す。図２４は、実施例２の実施の形態に係る熱式流量計７０の分解斜視図である。図２４に示すように、実施例２の実施の形態に係る熱式流量計７０は、ボディ７２と、カバー７４と、流路ブロック７６と、センサ基板７８とを有している。そして、流路ブロック７６がボディ７２に装着され、センサ基板７８がボディ７２に収容された状態でボディ７２に固定されている。そして、カバー７４をボディ７２に取り付けている。これにより、実施例１と同様に、熱式流量計７０内にセンサ流路Ｓとセンサ流路Ｓに対するバイパス流路Ｂとが形成されている。以下の説明では、実施例１と同等の構成要素については、同一の符号を付して説明を省略し、異なった点を中心に述べる。
【００７２】
図２５は、実施例２のセンサ基板７８の表面を示す平面図である。図２６は、実施例２のセンサ基板７８の裏面を示す平面図である。図２７は、実施例２のセンサ基板７８を構成するプリント基板８２の表面を示す平面図である。図２６と図２７に示すように、実施例１と異なる点として、センサ基板７８の回路用電極５４，５５，５６，５７，５８，５９にスルーホール８４が設けられている。このスルーホール８４は、センサ基板７８の表面と裏面とを貫通する貫通孔である。なお、センサ基板７８において、図２５と図２７に示すハッチング領域はセンサガスケット８６が接触する部分であり、フラットな形状となっている。
【００７３】
ここで、測定チップ６０をセンサ基板７８に実装するときには、実施例１と同様に、測定チップ６０の抵抗体用電極６４，６５，６６，６７，６８，６９（図１４参照）と、センサ基板７８の回路用電極５４，５５，５６，５７，５８，５９のそれぞれとを、半田や導電性接着剤などの接合材料で接合する。そして、測定チップ６０の抵抗体用電極６４，６５，６６，６７，６８，６９とセンサ基板７８の回路用電極５４，５５，５６，５７，５８，５９との間に供給した接合材料のうち、余分な接合材料はスルーホール８４を介してセンサ基板７８の裏面に流れる。そのため、測定チップ６０の抵抗体用電極６４，６５，６６，６７，６８，６９とセンサ基板７８の回路用電極５４，５５，５６，５７，５８，５９との電極間における接合材料の充填量を均一に調整することができる。これにより、測定チップ６０の実装高さの精度、すなわち、測定チップ６０とセンサ基板７８との間の距離の精度を向上させることができる。そのため、センサ流路Ｓにおいて、測定チップ６０を所望の位置に正確に配置することができる。また、センサ流路Ｓにおいて、測定チップ６０を被測定流体の流れ方向に沿って正確に配置することができる。したがって、熱式流量計７０によれば、被測定流体の流量の計測精度が向上する。
【００７４】
また、図２４に示すように、センサ基板７８にネジ挿通孔８８を設けており、このネジ挿通孔８８にネジ８９を通して、このネジ８９をボディ７２におけるネジ孔（不図示）に締結することにより、センサ基板７８をボディ７２に固定している。このように、センサ基板７８を直接的にボディ７２に固定しているので、センサ基板７８が配置される位置を所望の位置に維持することができ、センサ流路Ｓにおいて測定チップ６０が配置される位置を所望の位置に維持することができる。そのため、測定チップ６０により被測定流体の正確な流量を安定して計測できる。したがって、熱式流量計７０によれば、被測定流体の流量の計測精度が向上する。なお、本実施例では、２箇所でネジ８９を締結しているが、ネジ８９を締結する箇所の数は限定されず、１箇所であっても３箇所以上であってもよい。
【００７５】
なお、図２４に示すように、ボディ７２には、実施例１のボディ２０と異なる点として、上面に係合穴２５ｅが設けられている。また、図２４や図２８に示すようにカバー７４には、実施例１のカバー３０と異なる点として、上面（図２８では右側）に係合突起３１ｅが形成されている。そして、係合突起３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄを係合穴２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄに係合させるとともに、係合突起３１ｅを係合穴２５ｅに係合させて、カバー７４をボディ７２に固定する。図２８は、カバー７４の概略構成を示す斜視図である。
【００７６】
また、図２９〜図３１に示すように、実施例２のセンサガスケット８６は、実施例１のセンサガスケット５１と異なり、センサガスケット８６の内周面９１からさらに内側に突出して形成された突出部９２に凸部９４が設けられている。詳しくは、図２９に示すように、凸部９４は、突出部９２において、突出部９２の突出方向に対する鉛直方向の両端に形成されており、突出部９２の突出方向に沿って形成されている。また、凸部９４は、環状に形成されたセンサガスケット８６の中心軸方向に盛り上がるように形成されている。そして、熱式流量計７０を組み立てたときに、凸部９４は、流路ブロック７６とセンサ基板７８の表面とに接触して弾性変形する。これにより、センサガスケット８６が流路ブロック７６やセンサ基板７８に与える力を低減させることができ、流路ブロック７６やセンサ基板７８を保護しながら、被測定流体の外部漏れを防止して流量を正確に計測することができる。
【００７７】
また、流路ブロック７６は、実施例１の流路ブロック４０と異なる点として、４種類の薄板を合計１０枚積層して構成されている。また、流路ブロック７６の形状は、実施例１の流路ブロック４０の形状と異なっている。流路ブロック７６は、具体的には、奥から手前に向かって（センサ基板７８に向かって）、図３２に示すように、第１メッシュ板９６、スペーサ９８、第１メッシュ板９６、スペーサ９８、第１メッシュ板９６、スペーサ９８、第１メッシュ板９６、スペーサ９８、第２メッシュ板１００、及び中央開口板１０２が順に積層されて接着されたものである。なお、図３２は、流路ブロック７６を構成する薄板の積層順を説明するための図である。
【００７８】
また、図３３は第１メッシュ板９６の平面図を示し、図３４はスペーサ９８の平面図を示し、図３５は第２メッシュ板１００の平面図を示し、図３６は中央開口板１０２の平面図を示す。第１メッシュ板９６は、図３３に示すように、略Ｔ字形をなしており、上部に位置決め部９６ａが形成されるとともに、両側にメッシュ部９６ｍが形成されている。スペーサ９８は、図３４に示すように、位置決め部９８ａ及び外周部９８ｂを残すようにエッチング加工されたものであり、開口部９８ｏが形成されている。第２メッシュ板１００は、図３５に示すように、流路空間２１の断面形状と同じ形状をなしており、両側にメッシュ部１００ｍが形成されている。中央開口板１０２は、図３６に示すように、流路空間２１の断面形状と同じ形状をなしており、中央に開口部１０２ｏが形成されている。
【００７９】
そして、実施例２の実施の形態に係る熱式流量計７０は、第１メッシュ板９６のメッシュ部９６ｍ、スペーサ９８の開口部９８ｏ、第２メッシュ板１００のメッシュ部１００ｍ、及び中央開口板１０２の開口部１０２ｏにより、連絡流路１５，１６を形成している。
【００８０】
以上、詳細に説明したように実施例２の実施の形態に係る熱式流量計７０によれば、センサ基板７８の回路用電極５４，５５，５６，５７，５８，５９にスルーホール８４が設けられている。これにより、測定チップ６０の抵抗体用電極６４，６５，６６，６７，６８，６９と、センサ基板７８の回路用電極５４，５５，５６，５７，５８，５９のそれぞれとを接合材料で接合するときに、余分な接合材料はスルーホール８４を介してセンサ基板７８の裏面に流れる。そのため、測定チップ６０の実装高さの精度、すなわち、測定チップ６０とセンサ基板７８との間の距離の精度を向上させることができる。したがって、センサ流路Ｓにおいて、測定チップ６０を所望の位置に正確に配置することができ、また、測定チップ６０を被測定流体の流れ方向に沿って正確に配置することができるので、被測定流体の流量の計測精度が向上する。
【００８１】
また、センサ基板７８は、ネジ８９によりボディ７２に直接的に固定されているので、センサ流路Ｓにおいて測定チップ６０が配置される位置を所望の位置に維持することができる。そのため、測定チップ６０により被測定流体の正確な流量を安定して計測できるので、被測定流体の流量の計測精度が向上する。
【００８２】
このため、例えば、熱式流量計７０を半導体チップマウンティング時のハンドリングにおける真空吸着の吸着およびリリースの確認に用いた場合、吸着およびリリースを正確に判断することができる。なぜなら、吸着時と非吸着時におけるオリフィス内の流量を瞬時に正確かつ安定して計測することができるからである。したがって、吸着およびリリースの確認に熱式流量計７０を利用することにより、実際には吸着しているにも関わらず、吸着していないと誤判断されることがなくなり吸着確認を正確に行うことができるとともに、リリースの確認も行うことができる。
【００８３】
なお、上記した実施の形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることはもちろんである。例えば、上記した実施の形態においては、流路ブロックとして３種類のものを例示したが、これだけに限られず、各薄板４１〜４９を任意に組み合わせて流路ブロックを構成することができる。
【００８４】
また、上記した実施の形態では、流体入口１１及び流体出口１２をボディ２０，７２の底面に設けているが、図１や図２４においてボディ２０，７２の左側側面底部あるいは背面底部に設けることもできる。なお、この場合には、接続部２７ａ，２７ｂの形成位置も変更する必要がある。これにより、任意の流体機器に対して多様な配置で取り付けることができる。
【００８５】
また、実施例２のセンサ基板７８と同様に、実施例１のセンサ基板５０の回路用電極５４，５５，５６，５７，５８，５９にスルーホール８４を設けることもできる。これにより、実施例２の実施の形態に係る熱式流量計７０と同様に、実施例１の実施の形態に係る熱式流量計１０の被測定流体の流量の計測精度が向上する。
【００８６】
また、実施例２のセンサ基板７８と同様に、実施例１のセンサ基板５０をネジ８９によりボディ２０に直接的に固定することもできる。これにより、実施例２の実施の形態に係る熱式流量計７０と同様に、実施例１の実施の形態に係る熱式流量計１０の被測定流体の流量の計測精度が向上する。
【符号の説明】
【００８７】
１０    熱式流量計
１１    流体入口
１２    流体出口
１５    連絡流路
１６    連絡流路
２０    ボディ
２１    流路空間
２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄ，２５ｅ  係合穴
２６    ネジ孔
３０    カバー
３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ，３１ｅ係合突起
３２ａ，３２ｂ，３２ｃ  テーパ部
３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄ，３３ｅ  リブ
３４    ネジ挿通孔
３５    ネジ
４０    流路ブロック
４１    第１メッシュ板
４２    第１スペーサ
４３    第２スペーサ
４４    第２メッシュ板
４５    中央開口板
４６    第１流量調整板
４７    第２流量調整板
４８    第３流量調整板
４９    第４流量調整板
５０    センサ基板
５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄ，５０ｅ  リブ受け面
５１    センサガスケット
５３    溝
５４〜５９  回路用電極
６０    測定チップ
６３    溝
６４〜６９  抵抗体用電極
７０    熱式流量計
７２    ボディ
７４    カバー
７６    流路ブロック
７８    センサ基板
８４    スルーホール
８６    センサガスケット
８８    ネジ挿通孔
８９    ネジ
Ｂ      バイパス流路
Ｓ      センサ流路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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