(57)【要約】【課題】液体の流量に相当するパラメーターを自動的にセンシングすることができるフローモニターおよびこれを備えた機能液供給装置を提供することを課題としている。【解決手段】流入ポート１３および流出ポート１４を有するケース１５と、ケース１５に収容された回転体１２と、ケース１５の端面に沿わせるように配設され、回転体１２を動力源として回転する被検出円板（被検出部）１６と、被検出円板１６に臨み、回転体１２の回転数を検出する光センサー１８と、を有している。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流入ポートおよび流出ポートを有するケースと、
前記ケースに収容され、前記流入ポートから前記流出ポートに流れる液体により回転する回転体と、
前記ケースの外部に配設され、前記回転体を動力源として回転する被検出部と、
前記被検出部に臨み、前記回転体の回転数を検出する検出部と、を備えたことを特徴とするフローモニター。
【請求項２】
前記被検出部は、径方向にスリットを有する円板を有し、
前記検出部は、透過型の光センサーおよび反射型の光センサーのいずれかを有していることを特徴とする請求項１に記載のフローモニター。
【請求項３】
前記回転体は、羽根車本体および回転軸を有し、
前記被検出部は、前記ケースから突出した前記回転軸の軸端部に固定されていることを特徴とする請求項１または２に記載のフローモニター。
【請求項４】
流入ポートおよび流出ポートを有するケースと、
前記ケースに収容され、前記流入ポートから前記流出ポートに流れる液体により回転すると共にマグネットを有する回転体と、
前記ケースの外部から前記マグネットに対峙し、前記マグネットを介して前記回転体の回転数を検出する磁気センサーと、を備えたことを特徴とするフローモニター。
【請求項５】
インクジェット方式の液滴吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給装置であって、
機能液を貯留する機能液タンクと、
前記機能液タンクと前記液滴吐出ヘッドとを接続する機能液流路と、
前記機能液流路に介設され、前記機能液流路を流れる機能液を濾過するフィルターと、
前記フィルターと前記液滴吐出ヘッドとの間の前記機能液流路の上流側および下流側の一方に位置して前記機能液流路に介設された、請求項１ないし４のいずれかに記載のフローモニターと、
前記フローモニターの検出部から前記回転数を入力し、前記回転数が所定の閾値以下となった場合に、前記フィルターの要交換を報知するフィルター監視手段と、を備えたことを特徴とする機能液供給装置。
【請求項６】
前記フィルターと前記液滴吐出ヘッドとの間の前記機能液流路に介設され、前記機能液タンクから流入する機能液を減圧して前記液滴吐出ヘッドに供給する圧力調整弁を、更に備えたことを特徴とする機能液供給装置。
【請求項７】
前記フィルター監視手段は、吐出ノズルのクリーニングのために前記液滴吐出ヘッドから機能液を吸引するクリーニング動作、および前記機能液タンクから前記液滴吐出ヘッドに至る流路に機能液を充填するために前記液滴吐出ヘッドから機能液を吸引する初期充填動作、の少なくとも一方の動作に同期して、監視を実施することを特徴とする請求項５または６に記載の機能液供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転体の回転を利用し流量を計測するフローモニターおよびこれを備えた機能液供給装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、フローモニターとして、液体が流れる流路配管と、液体の流れによって回転し、回転時に中間混色を表す色彩或いは主観色を表す図形に塗り分けられている回転体と、回転体を流路配管に設置し、液体の流れにより回転する回転体が外部から見えるように設計されたケースと、を備えたものが知られている（特許文献１参照）。
このフローモニターでは、流速により回転体の回転速度が変化し、回転速度により回転体の色が異って見えるため、これを利用し、ケース外部から見える回転体の色で液体の流量（流速）を確認している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−１０４２５４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このようなフローモニターでは、もっぱら人間の視覚により、流量の多少を判断することになるため、例えばこれをフィルターの監視のために用いた場合、監視作業が煩雑になるだけでなく、フローモニターの設置場所や使用状況によっては、監視自体が不可能となる問題があった。
【０００５】
本発明は、液体の流量に相当するパラメーターを自動的にセンシングすることができるフローモニターおよびこれを備えた機能液供給装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のフローモニターは、回転体の回転を利用し流量を計測するフローモニターであって、流入ポートおよび流出ポートを有するケースと、ケースに収容され、流入ポートから流出ポートに流れる液体により回転する回転体と、ケースの外部に配設され、回転体を動力源として回転する被検出部と、被検出部に臨み、回転体の回転数を検出する検出部と、を有することを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、ケースの流入ポートに流れ込んだ液体によって、ケースに収容された回転体が回転し、回転体の回転を動力として回転する被検出部が回転する。そして、この被検出部の回転数が検出部によって検出されることで、回転体の回転数を検出することができる。すなわち、検出部により、液体の流量に相当するパラメーターを電気的にセンシングすることができる。
【０００８】
この場合、被検出部は、径方向にスリットを有する円板を有し、検出部は、透過型の光センサーおよび反射型の光センサーのいずれかを有していることが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、被検出部と検出部とを用いることにより、透過型の光センサーまたは反射型の光センサーを用いたエンコーダー様の構成とすることができ、簡単な構造で、回転体の回転、すなわち液体の流量に相当するパラメーターを精度良くセンシングすることができる。
【００１０】
この場合、回転体は、羽根車本体および回転軸を有し、被検出部は、前記ケースから突出した回転軸の軸端部に固定されていることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、ケース内の回転体の回転動力を、回転軸を介してケース外部に設置された円板型の被検出部に、有効に伝達することができる。
【００１２】
本発明の他のフローモニターは、流入ポートおよび流出ポートを有するケースと、ケースに収容され、流入ポートから流出ポートに流れる液体により回転すると共にマグネットを有する回転体と、ケースの外部からマグネットに対峙し、マグネットを介して回転体の回転数を検出する磁気センサーと、を備えたことを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、磁気センサーにより、回転体の回転数を電気信号として検出することができ、簡単な構造で、液体の流量に相当するパラメーターを精度良くセンシングすることができる。また、回転体の回転数をケースの外部から検出することができ、そのシール構造を含め構造を単純化することができる。
【００１４】
本発明の機能液供給装置は、機能液を貯留する機能液タンクと、機能液タンクと液滴吐出ヘッドとを接続する機能液流路と、機能液流路に介設され、機能液流路を流れる機能液を濾過するフィルターと、フィルターと液滴吐出ヘッドとの間の機能液流路の上流側および下流側の一方に位置して機能液流路に介設された、上記のフローモニターと、フローモニターの検出部から回転数を入力し、回転数が所定の閾値以下となった場合に、フィルターの要交換を報知するフィルター監視手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、フィルターの目詰まりがすすんで、フィルターを通過する機能液の流量が減ずると、フローモニターにより検出される回転体の回転数が減少する。そして、フィルター監視手段は、フローモニターから入力した回転数が所定の閾値以下となった場合に、フィルターの要交換を報知する。これにより、フィルターの交換が必要な時期を、フローモニターを目視することなく知ることができる。これにより、フィルターの交換が適切に行われるため、異物による液滴吐出ヘッドの目詰まりや吐出不良を有効に防止することができる。
【００１６】
この場合、フィルターと液滴吐出ヘッドとの間の機能液流路に介設され、機能液タンクから流入する機能液を減圧して液滴吐出ヘッドに供給する圧力調整弁を、更に備えていることが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、異物による圧力調整弁の弁体の動作不良を防止することができ、液滴吐出ヘッドからの機能液の吐出流量を、一定に且つ安定化させることができる。
【００１８】
この場合、フィルター監視手段は、吐出ノズルのクリーニングのために液滴吐出ヘッドから機能液を吸引するクリーニング動作、および機能液タンクから液滴吐出ヘッドに至る流路に機能液を充填するために液滴吐出ヘッドから機能液を吸引する初期充填動作、の少なくとも一方の動作に同期して、監視を実施すること好ましい。
【００１９】
この構成によれば、機能液タンクから液滴吐出ヘッドに機能液が多量に流れるときを利用して、フィルターの目詰まりを監視することができる。これにより、フィルターの目詰まり状態を精度良く検出（監視）することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の斜視図である。
【図２】キャリッジユニット廻りの断面図である。
【図３】液滴吐出ヘッドの斜視図である。
【図４】機能液供給ユニットの概要図である。
【図５】第１実施形態に係るフローモニターの斜視図である。
【図６】機能液供給ユニットにおけるフィルター監視装置のブロック図である。
【図７】第２実施形態に係るフローモニターの斜視図である。
【図８】第３実施形態に係るフローモニターの斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態に係るフローモニターおよび機能液供給装置を適用した液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれ、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した液滴吐出ヘッドを用い、液晶表示装置のカラーフィルターや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。また、機能液供給装置である機能液供給ユニットは、フィルターを介して機能液を液滴吐出ヘッドに供給する。
【００２２】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、Ｘ軸支持ベース２上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在してワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル（移動手段）３と、複数の液滴吐出ヘッド２３を搭載したキャリッジユニット４と、複数本の支柱５を介してＸ軸テーブル３を跨ぐように架け渡された１対のＹ軸支持ベース６上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在してキャリッジユニット４をＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブル７とを備えている。
また、液滴吐出装置１は、各種の構成装置を収容しその雰囲気の温度および湿度を管理するチャンバー（図示省略）と、ＲＧＢ３色の機能液タンク２２を有し液滴吐出ヘッド２３に機能液を供給する機能液供給ユニット９と、各部を制御する制御装置（制御手段）１０とを備えている。液滴吐出装置１は、Ｘ軸テーブル３およびＹ軸テーブル７の駆動と同期して、液滴吐出ヘッド２３を吐出駆動させることにより、機能液供給ユニット９から供給された機能液を吐出させて、ワークＷに所定の描画パターンを描画する。なお、Ｙ軸方向は、水平面内においてＸ軸方向に直交する方向である。
【００２３】
さらに、液滴吐出装置１は、吸引ユニット５２やワイピングユニット５３等から成るメンテナンス装置６０を備えており、これらユニットによって、各液滴吐出ヘッド２３を保守し、各液滴吐出ヘッド２３の機能維持・機能回復を図るようになっている。本実施形態の液滴吐出装置１では、Ｘ軸テーブル３とＹ軸テーブル７とが交わる領域（描画エリア）にキャリッジユニット４を臨ませてワークＷの描画処理を行う。また、Ｙ軸テーブル７とメンテナンス装置６０が交わる領域（メンテナンスエリア）にキャリッジユニット４を臨ませて、液滴吐出ヘッド２３のメンテナンス処理（機能維持および機能回復）を行う。
【００２４】
吸引ユニット５２は、液滴吐出ヘッド２３を吸引して、液滴吐出ヘッド２３の吐出ノズルから機能液を強制的に排出させるものである。詳細は図示しないが、吸引ユニット５２は、キャリッジユニット４に下側から臨み、キャリッジユニット４に搭載された複数の各液滴吐出ヘッド２３のノズル面に、対応する各キャップをそれぞれに密着させるキャップユニットと、キャップユニットを昇降させ、液滴吐出ヘッド２３に対してキャップを離接させるキャップ昇降機構と、密着させたキャップを介して各液滴吐出ヘッド２３に吸引力を作用させる吸引手段と、を備えている。
【００２５】
ワイピングユニット５３は、洗浄液を噴霧したワイピングシートで液滴吐出ヘッド２３のノズル面を拭き取るものである。詳細は図示しないが、ワイピングユニット５３は、ロール上に巻回したワイピングシートを繰り出しながら巻き取ってゆく巻取りユニットと、ワイピングシートで液滴吐出ヘッド２３ノズル面を拭き取る、拭き取りユニットと、を備えている。ワイピング動作は、吸引ユニット５２による吸引後などに行われ、ノズル面に付着した汚れを払拭する。
【００２６】
Ｘ軸テーブル３は、ワークＷをセットするセットテーブル３１と、セットテーブル３１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸スライダー３２と、Ｘ軸方向に延在し、セットテーブル３１をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモーター（図示省略）とを備えている。一対のＸ軸リニアモーターを駆動することで、一対のＸ軸スライダー３２上のセットテーブル３１をＸ軸方向に移動し、ワークＷをＸ軸方向に移動する。これによって、Ｘ軸テーブル３は、描画時にワークＷを主走査方向であるＸ軸方向に移動させる。
【００２７】
Ｙ軸テーブル７は、一対のＹ軸支持ベース６に支持されると共に、キャリッジユニット４をＹ軸方向に移動自在に吊設する一対のＹ軸スライダー（図示省略）と、一対のＹ軸支持ベース６上に設置され、キャリッジユニット４をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモーター（図示省略）と、を備えている。一対のＹ軸リニアモーターを駆動することで、一対のＹ軸スライダー上のキャリッジユニット４をＹ軸方向に移動する。これによって、Ｙ軸テーブル７は、各キャリッジユニット４を介して、描画時に液滴吐出ヘッド２３を副走査方向であるＹ軸方向に移動させるほか、メンテナンス時に液滴吐出ヘッド２３をメンテナンス装置６０に臨ませる。
【００２８】
図２に示すように、キャリッジユニット４は、キャリッジ本体９４と、キャリッジ本体９４の下端部に着脱可能にボルト止めしたヘッドユニット８５と、を備えている。キャリッジ本体９４は、上記の一対のＹ軸スライダー間に渡したブリッジプレート８７と、ブリッジプレート８７に支持された吊設部材８８と、吊設部材８８に支持されたθ回転機構８６と、θ回転機構８６に支持された取付け部材８９と、を有し、この取付け部材８９にヘッドユニット８５が垂設されている。
【００２９】
ヘッドユニット８５は、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色、各４個（計１２個）の液滴吐出ヘッド２３と、１２個の液滴吐出ヘッド２３を、当該各液滴吐出ヘッド２３が同一の水平面内に配設されるように支持するヘッドプレート８４と、を有している。各液滴吐出ヘッド２３は、いわゆる２連のインクジェットヘッドであり、２連の接続針４４を有する機能液導入部４１と、機能液導入部４１に連なる２連のヘッド基板４２と、ヘッド基板４２に連なり機能液を吐出するヘッド本体４３と、を備えている（いずれも、図３参照）。
【００３０】
機能液供給ユニット９は、Ｒ色の機能液を対応する４個の液滴吐出ヘッド２３に供給するＲ色供給ユニット９ａと、Ｇ色の機能液を対応する４個の液滴吐出ヘッド２３に供給するＧ色供給ユニット９ｂと、Ｂ色の機能液を対応する４個の液滴吐出ヘッド２３に供給するＢ色供給ユニット９ｃと、で構成されている（図１参照）。Ｒ色供給ユニット９ａ、Ｇ色供給ユニット９ｂおよびＢ色供給ユニット９ｃは、同一の構造を有しており、以下、Ｒ色供給ユニット９ａを例に説明を進める。なお、請求項に言う機能液供給装置は、これらの各供給ユニット９ａ，９ｂ，９ｃで構成されている。
【００３１】
図４に示すように、Ｒ色供給ユニット９ａは、機能液（Ｒ色）を貯留する機能液タンク２２（メインタンク）と、機能液タンク２２から供給された機能液を一時的に貯留し、各液滴吐出ヘッド２３に供給するサブタンク２９と、機能液タンク２２とサブタンク２９とを接続する主機能液流路２４と、図示しないマニホールド等を介してサブタンク２９と各液滴吐出ヘッド２３を接続する複数本（実施形態のものは４本：１本のみ図示）の個別機能液流路（機能液流路）５１と、を備えている。また、Ｒ色供給ユニット９ａは、各個別機能液流路５１に介設されたフィルター２５と、フィルター２５の下流側に位置して、個別機能液流路５１に介設されたフローモニター１１と、フローモニター１１の下流側に位置して、個別機能液流路５１に介設された圧力調整弁３０と、フローモニター１１の信号に基づいて、フィルター２５の交換時期を監視するフィルター監視装置（フィルター監視手段）２６と、を有している。そして、フィルター監視装置２６は、上記の制御装置１０に接続されている。なお、フローモニター１１は、フィルター２５の上流側に配設してもよい。
【００３２】
機能液タンク２２は、上記チャンバーの一部に設けたキャビネットに収容され、サブタンク２９は、上記のブリッジプレート８７に搭載されている。また、フィルター２５、フローモニター１１および圧力調整弁３０は、上記のヘッドユニット８５におけるヘッドプレート８４の上側に搭載されている。
【００３３】
機能液タンク２２の機能液は、サブタンク２９の減液をトリガーにして、サブタンク２９に圧力送液される。サブタンク２９の機能液は、フィルター２５を介して濾過され、圧力調整弁３０により所定の圧力に減圧されて各液滴吐出ヘッド２３に供給される。なお、サブタンク２９として、使い捨てのパック容器を用いてもよい。かかる場合には、機能液タンク２２および主機能液流路２４は、不要となる。
【００３４】
機能液タンク２２は、例えば圧力容器で構成され、高圧のエアーや窒素を導入することで、機能液を圧力送液する。サブタンク２９は、開放型のタンクであり、機能液タンク２２と圧力的に縁切りされた状態で、各液滴吐出ヘッド２３の機能液消費に応じて機能液を重力供給する。
【００３５】
圧力調整弁３０は、例えば一次側をサブタンク２９に接続し、二次側を液滴吐出ヘッド２３に接続したケーシングを有し、一次側と二次側とを連通する流路に弁体を設けると共に、二次側に設けたダイヤフラムにより大気圧基準で弁体を開閉する。フィルター２５は、いわゆるケミカルフィルターで構成したフィルター本体と、フィルター本体を保持するケース様のホルダと、で構成されている。ホルダの流入側および流出側は、個別機能液流路５１に対しワンタッチで接続されるジョイントの構造を有しており、目詰まりした場合には、フィルター２５が全体として交換される（使い捨て）。
【００３６】
図５に示すように、フローモニター１１は、流入ポート１３および流出ポート１４を有するケース１５と、ケース１５に収容された回転体１２と、ケース１５の端面に沿わせるように配設され、回転体１２を動力源として回転する被検出円板（被検出部）１６と、被検出円板１６に臨み、回転体１２の回転数を検出する光センサー（検出部）１８と、を有している。
【００３７】
ケース１５は、円形箱状のケース本体５５と、ケース本体５５をその弦方向に貫くように同軸上に突設させた流入ポート１３および流出ポート１４と、を有している。図示では省略したが、流入ポート１３および流出ポート１４は、個別機能液流路５１に対し接続されるジョイントの構造を有している。流入ポート１３から流出ポート１４に機能液が流れると、機能液の流れに押されて回転体１２が回転する。
回転体１２は、いわゆる羽根車の形態を有しており、その回転軸５６は、ケース本体５５の端面壁に回転自在に支持されている。回転軸５６の一方の軸端部は、端面壁を貫通して、ケース本体５５の外部に突出している。そして、この回転軸５６の軸端部に被検出円板１６が固定されている。すなわち、回転体１２の回転軸５６と被検出円板１６の軸とが共用され（直結）、回転体１２の回転動力を受けて被検出円板１６が回転体１２と同時に回転する。
【００３８】
被検出円板１６は、半径径方向に延びる１つのスリット１７を有するスリット円板で構成されている。光センサー１８は、透過型のフォトセンサー（フォトインターラプタ）で構成され、被検出円板１６の周縁部に臨むように配設されている。被検出円板１６が回転すると、光センサー１８の発光素子からの検出光がスリット１７の部分で透過し受光素子に受光されて、回転が検出される。すなわち、このフローモニター１１では、液体の流量によって変化する回転体１２の回転数を、被検出円板１６の回転数として光センサー１８により、定量的に検出するようになっている。
【００３９】
図６に示すように、フィルター監視装置２６は、フローモニター１１（光センサー１８）の検出結果を入力し、この検出結果に基づいて、回転体１２の回転数を割り出し、この回転数がフィルター２５の要交換の指標となる閾値を越えているか否かを判定する判定回路２７と、判定回路２７の判定結果を、有線あるいは無線により制御装置１０に送信する通信回路２８と、を有している。判定回路２７により要交換と判定された場合に、制御装置１０は、音声やモニター５４（ディスプレイ）にその旨表示（報知）する。
【００４０】
ところで、流入ポート１３から流出ポート１４に流れる機能液の流量が少ないと、回転体１２が十分に回転しないおそれがある。一方、本液滴吐出装置１では、装置の稼働開始時に、吸引ユニット５２による吸引動作とワイピングユニット５３によるワイピング動作を行なうようにしている。この吸引動作では、液滴吐出ヘッド２３から機能液を強制的に吸引することから、フローモニター１１に比較的、多量の機能液が流れる。そこで、本実施形態では、キャリッジユニット４をメンテナンスエリアに移動し、吸引ユニット５２による機能液の吸引動作時に、上記フィルター２５の監視を実施するようにしている（図４参照）。もっとも、サブタンク２９から液滴吐出ヘッド２３に至る流路に、機能液を充填する初期充填動作時にも、上記の吸引動作を実施するため、その際に上記フィルター２５の監視を実施してもよい。
【００４１】
次に、図７を参照して、第２実施形態に係るフローモニター１１について説明する。なお、第１実施形態と同一となる部分は、説明を省略する。このフローモニター１１では、光センサー１９として反射型のフォトセンサーを用いている。もっともこの場合には、被検出円板１６において、スリット１７に相当する部分にミラー等を用い、他の部分を黒色としたものとしてもよい。いずれにあっても、スリット１７およびこれに相当する部分で検出信号を得る。
【００４２】
次に、図８を参照して、第３実施形態に係るフローモニター１１について説明する。なお、第１実施形態と同一となる部分は、説明を省略する。このフローモニター１１では、羽根車で構成された回転体１２の各羽根の先端にマグネット５７が設けられている。一方、ケース１５の外部には、このマグネット５７に対峙するように、磁気センサー２０が配設されている。
この構成では、回転体１２が、流入ポート１３から流出ポート１４に向かって流れる液体によって回転すると、回転体１２の先端に設けたマグネット５７の磁気を、ケース１５の外部に設置している磁気センサー２０によって電気信号として検出する。これにより、回転体１２の回転数が検出される。
【００４３】
以上の構成によれば、フィルター２５の目詰まりがすすんで、フィルター２５を通過する機能液の流量が減ずると、フローモニター１１により検出される回転体１２の回転数が減少する。そして、フィルター監視装置２６は、フローモニター１１から入力した回転数が所定の閾値以下となった場合に、フィルター２５の要交換を報知する。これにより、フィルター２５の交換が必要な時期を、フローモニター１１を目視することなく知ることができる。これにより、フィルター２５の交換が適切に行われるため、異物による液滴吐出ヘッド２３の目詰まりや吐出不良を有効に防止することができ、且つ圧力調整弁３０の動作不良を防止することができる。
【００４４】
なお、本実施形態においては、機能液供給ユニット９に、本発明のフローモニター１１を適用したが、このフローモニター１１は、目視確認が困難な工業用フィルターの劣化判定等に適用可能である。
【００４５】
また、フローモニター１１の被検出円板１６にはスリット１７を形成し検出する方法を用いたが、被検出円板１６の一部に遮蔽用の突起、反射体や磁性体を設ける構造であってもよい。
【符号の説明】
【００４６】
１：液滴吐出装置、  ３：Ｘ軸テーブル、  ４：キャリッジユニット、  ６：Ｙ軸支持ベース、  ７：Ｙ軸テーブル、  ９：機能液供給ユニット、  １１：フローモニター、  １２：回転体、  １３：流入ポート、  １４：流出ポート、  １５：ケース、  １６：被検出円板、  １７：スリット、  １８：透過型の光センサー、  １９：反射型の光センサー、  ２０：磁気センサー、  ２３：液滴吐出ヘッド、  ２４：主機能液流路、  ２５：フィルター、  ２６：フィルター監視装置、  ５５：ケース本体、  ５６：回転軸、  ５７：マグネット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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