(57)【要約】【課題】セルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットの提供。【解決手段】本セルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットは、載置台に壁が繞設されて中央の試験槽が形成され、その対向する二側の壁それぞれに貫通する横向きチャネルが設けられ、各該横向きチャネルの中段にテーパ管があり、それが更に径方向に二つのバイパス管に接続され、そのうち、試験槽が二つの該バイパス管を介して該横向きチャネルのテーパ管に連通する。これにより、気圧源を該横向きチャネルの一端に印加する時、気流がテーパ管を通過する時にその内の気体の流速の増加により径方向に接続されたバイパス管内の気圧が降下し、これにより試験槽内に対して吸引力を発生しクリーニング機能を形成し、ゆえに、リアルタイムセルフクリーニング式のパッケージ試験用ソケットとされて、試験機を停止させるか或いは製造工程の実行を暫時停止させる必要が全くなく、生産効率をアップし、コストを節約する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
セルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットにおいて、
載置台であって、底板と壁を有し、該底板の中央に複数の穿孔が開設され、該壁は該底板外周に繞設されて中央の試験槽を形成し、該壁内を貫通する少なくとも一つの横向きチャネルが設けられ、該横向きチャネルは該壁の外側面外に突き抜ける入口と出口を有し、該横向きチャネルは該入口と該出口の間にテーパ管を有し、該テーパ管に径方向に少なくとも一つのバイパス管が接続され、該横向きチャネルは該テーパ管と該バイパス管を通して該試験槽に連通する、上記載置台と、
試験ポートであって、該試験槽内に取り付けられ、該試験ポートは複数の接触端子を具え、該複数の接触端子はそれぞれ該底板の対応する該穿孔を貫通する、上記試験ポートと、
気圧源であって、該載置台の該横向きチャネルの一端に連通する、上記気圧源と、
を包含したことを特徴とする、セルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケット。
【請求項２】
請求項１記載のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットにおいて、案内シートと、少なくとも一つのブシュを具え、該案内シートは該載置台の該試験槽内に収容され、該案内シートは中央貫通槽、及び少なくとも一つのバイパスチャネルを具え、該ブシュは対応する該バイパス管と該バイパスチャネルに挿入されることを特徴とする、セルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケット。
【請求項３】
請求項２記載のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットにおいて、該中央貫通槽の側辺には少なくとも一つの案内斜面があることを特徴とする、セルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケット。
【請求項４】
請求項２記載のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットにおいて、該案内シートの上表面に少なくとも一つの上貫通孔が開設され、該上貫通孔は該バイパスチャネルに連通することを特徴とする、セルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケット。
【請求項５】
請求項１記載のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットにおいて、該試験ポートは更に端子固定シートを包含し、該端子固定シートは複数の貫通孔を有し、該複数の接触端子は該端子固定シートの対応する該貫通孔を貫通し並びに該端子固定シートの該貫通孔内に固定されることを特徴とする、セルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケット。
【請求項６】
請求項１記載のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットにおいて、該少なくとも一つの横向きチャネルは該試験槽の対向する二側に平行に配設されることを特徴とする、セルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は一種のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットに係り、特にパッケージ部品の電気性能試験時にパッケージ部品を収容する試験用ソケットに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体パッケージ試験工程中、集積回路チップはパッケージ工程でパッケージされてパッケージ部品となり、さらに試験機の試験ソケット内に置かれて電気性能試験が実行され、パッケージ部品の機能が正常か否か、特性が顧客の要求に符合するか否かが検査される。
【０００３】
しかし、パッケージ部品のピックアップ或いは搬送の過程で、灰塵或いは異物の付着は避けられない。或いは、パッケージ部品が試験ソケットに置かれる、或いは吸い出される過程で、衝突或いは摩擦により微粒子或いは破片が発生するのを避けることはできない。このため長く使用すると、これらの灰塵、異物、微粒子、破片が試験ソケット内に堆積し、試験ソケット内のポゴピンとパッケージ部品の接触不良を形成し、全体の試験結果に影響をもたらした。
【０００４】
このため、ある期間、工程を実行した後には、試験機を停止して試験ソケットのクリーニングを行う必要がある。しかし、伝統的なクリーニング方式は相当に煩瑣であり、まず、試験機の試験ヘッドを取り外し、それから試験ソケットのベースを取り外さなければ、試験ソケットを取り外してクリーニングすることができない。このようなクリーニング方式は手作業によって行われ、軟毛材質のブラシに圧縮空気を組み合わせてクリーニングを行う。クリーニング作業完成後には、上述と反対のステップで試験ソケットを取り付け、並びに取り付けミスがないかを確認してからでなければ、生産を再開することができない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このため、伝統的な試験ソケットのクリーニング方式は時間と手間、コストがかかり、且つ試験機を停止するために生産能力が低下する。また、煩雑な取り外し、取り付けの過程で、人為的ミスにより機械設備の毀損或いは損耗を発生しやすい。さらに、作業員は軟毛ブラシを使用し、圧縮空気を組み合わせて試験ソケットをクリーニングするのは、作業の標準化と量産化上の困難をもたらした。本発明はこのような伝統的なパッケージ部品用試験ソケットのクリーニング方式の問題を解決する一種のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットを提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は一種のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットを提供し、それは、載置台、試験ポート、気圧源を包含する。該載置台は底板、及び壁を包含する。該底板の中央に複数の穿孔が開設され、該壁は該底板外周に繞設されてこれにより中央の試験槽が形成されている。且つ該壁内を貫通する少なくとも一つの横向きチャネルが設けられている。該少なくとも一つの横向きチャネルは該壁の外側面外に突き抜ける入口と出口を有している。該少なくとも一つの横向きチャネルは更にテーパ管を有し、それは該入口と該出口の間に設けられる。このほか、該テーパ管に径方向に少なくとも一つのバイパス管が接続され、該少なくとも一つの横向きチャネルは該テーパ管と該少なくとも一つのバイパス管を通して該試験槽に連通する。
【０００７】
このほか、該試験ポートは該試験槽内に取り付けられ、該試験ポートは複数の接触端子を具え、該複数の接触端子はそれぞれ該底板の複数の穿孔に対応してそれを通り、それぞれ試験装置に接続され並びに試験されるパッケージ部品に電気的に接続される。該気圧源は該載置台の該少なくとも一つの横向きチャネルの一端に連通する。これにより、本発明は気流が該テーパ管を通過する時、その内の気体の流速が増加することにより径方向に接続されたバイパス管内の気圧が降下し、これにより試験槽内に対して吸引力を発生してクリーニング機能を達成し、試験槽内の微粒子或いは灰塵を吸引除去し、ゆえに、試験時にリアルタイムで試験ソケットをセルフクリーニングでき、完全に試験機を停止させたり製造工程を暫時停止させたりする必要がなく、生産効率をアップし、手間とコストを節約できる。
【０００８】
さらに、本発明は案内シートと、少なくとも一つのブシュを具えている。該案内シートは該載置台の該試験槽内に収容され、該案内シートは中央貫通槽、及び少なくとも一つのバイパスチャネルを具えている。該少なくとも一つのブシュはバイパス管と該バイパスチャネルに挿入され、これにより該少なくとも一つのブシュは該少なくとも一つの横向きチャネルのテーパ管と該中央貫通槽に連通する。該少なくとも一つのバイパスチャネルにはテーパ管が採用されて、その小径開口が該中央貫通槽の近隣の一側に位置するのがよく、これにより該中央貫通槽に対して強力な吸引力を発生する。このほか、本発明の中央貫通槽の側辺には少なくとも一つの案内斜面があり、並びに該中央貫通槽はテーパ状に形成される。これにより、本発明は案内シートの案内により、試験されるパッケージ部品が正確に該中央貫通槽に置かれ並びに試験ポートに対応し接触し、これにより試験を行うことができる。
【０００９】
さらに、本発明の該案内シートの上表面には少なくとも一つの上貫通孔が開設され、該上貫通孔は該バイパスチャネルに連通する。これにより、本発明は該試験槽或いは該中央貫通槽内の外来灰塵、微粒子、或いは破片を吸引除去できるほか、該上貫通孔を通して該案内シートの上表面がクリーニングされることで、外来灰塵、微粒子、或いは破片の試験結果への影響を更に防止できる。このほか、本発明の気圧源は正圧の気圧源とされるほか、負圧の真空源とされ得て、吹き飛ばし或いは吸引方式とされる。
【００１０】
このほか、本発明の試験ポートはさらに端子固定シートを包含する。該端子固定シートは複数の貫通孔を有し、複数の接触端子が該複数の貫通孔を通り並びに該複数の貫通孔内に固定される。これにより、本発明の端子固定シートは接触端子を固定して、接触端子が湾曲或いは移動して正確にパッケージ部品に電気的に接触不能となるのを防止する。
【００１１】
そのうち、本発明の該複数の接触端子は、複数のポゴピンを有する。且つ、本発明の該少なくとも一つの横向きチャネルは該試験槽の二側に平行に配置された二つの横向きチャネルを包含し得る。これにより、該試験槽の対向する両側において吸引クリーニングを行うことができる。当然、横向きチャネルは隣り合う二側に配置されてＬ形チャネルを形成するか、四つの横向きチャネルが該試験槽の四側に配置されて、該試験槽の四周において同時にクリーニングを実行して微粒子、破片、或いは灰塵を吸引除去し、最良のクリーニング機能を達成することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明は、気圧源を該横向きチャネルの一端に印加する時、気流がテーパ管を通過する時にその内の気体の流速の増加により径方向に接続されたバイパス管内の気圧が降下し、これにより試験槽内に対して吸引力を発生しクリーニング機能を形成し、ゆえに、リアルタイムセルフクリーニング式のパッケージ試験用ソケットとされて、試験機を停止させるか或いは製造工程の実行を暫時停止させる必要が全くなく、生産効率をアップし、コストを節約する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットの第１実施例の分解図である。
【図２】本発明の第１実施例の立体図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】本発明のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットの第２実施例の立体図である。
【図５】本発明のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットの第３実施例の立体図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１、２、３を参照されたい。図１は本発明のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットの第１実施例の分解図である。図２は本発明の第１実施例の立体図である。図３は図２のＡ−Ａ線断面図である。図示されるように、本発明のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットは、被試験パッケージ部品５と試験装置６を電気的に接続するのに用いられ、半導体パッケージ試験工程中に応用されて、パッケージ部品５の機能及び特性が正常であるか否かを検査するのに用いられる。さらに図示されるように、本発明は載置台２を有し、該載置台２は底板２０、及び壁２０１を有する。該底板２０の中央には複数の穿孔２０３が開設され、壁２０１は底板２０外周に繞設されて中央に試験槽２１を形成している。
【００１５】
並びに、試験槽２１の二側の壁２０１内を貫通するように横向きチャネル２２が平行に配設される。各横向きチャネル２２は入口２２３と出口２２４を有し、該入口２２３と出口２２４はそれぞれ壁２０１の外側面２０２外へと突き抜けている。且つ各横向きチャネル２２は該入口２２３と該出口２２４の間にテーパ管２２１を有している。このほか、各テーパ管２２１はさらに径方向に二つのバイパス管２２２に接続されている。そのうち、横向きチャネル２２自身は試験槽２１に直接連通せず、テーパ管２２１とバイパス管２２２を介して試験槽２１に連通している。
【００１６】
このほか、図中には別に案内シート４、及びブシュ２３が表示されている。案内シート４は載置台２の試験槽２１内に収容され、且つ案内シート４は中央貫通槽４１及びその対向する両側それぞれに設けられた二つのバイパスチャネル４２を有する。ブシュ２３はバイパス管２２２、及びバイパスチャネル４２内にそれぞれ挿入されて連通し、且つさらにプラグ２３２で壁２０１の外側面２０２と密封を形成している。これにより、ブシュ２３は横向きチャネル２２のテーパ管２２１と案内シート４の中央貫通槽４１に連通し、ブシュ２３は気流が案内シート４と載置台２のスリットより洩れるのを防止する。さらに、中央貫通槽４１の側辺はいずれも案内斜面４１１とされ、中央貫通槽４１がこれによりテーパ状を呈し、案内機能を形成してパッケージ部品５の出し入れに便利である。
【００１７】
また、本実施例の案内シート４の上表面４３に複数の上貫通孔４３１が開設されている。すなわち、各バイパスチャネル４２の上方に対応して上貫通孔４３１が開設され、且つ各上貫通孔４３１はいずれもバイパスチャネル４２に連通する。これにより、本実施例は試験槽２１或いは中央貫通槽４１内の外来の灰塵、微粒子、破片を吸引しクリーニングできる。このほか、上貫通孔４３１により案内シート４の上表面４３も同時にクリーニングでき、灰塵、微粒子、破片の上表面４３上への堆積が試験結果に影響を与えるのを防止できる。
【００１８】
このほか、図示されている試験ポート３は試験槽２１内に取り付けられる。そのうち、試験ポート３は複数の接触端子３１を具え、各接触端子３１は対応する底板２０の穿孔２０３を貫通してそれぞれ試験装置６に電気的に接続され並びにパッケージ部品５に電気的に接触する。本実施例の複数の接触端子３１は複数のポゴピンとされる。図中に別に端子固定シート３２が設けられ、該端子固定シート３２は複数の貫通孔３２１を有し、複数の接触端子３１がそれぞれ対応する貫通孔３２１を通り並びに該複数の貫通孔３２１内に固定される。これにより、本発明の端子固定シート３２は接触端子３１を固定して、接触端子３１が湾曲或いは移動して正確にパッケージ部品５に電気的に接触不能となるのを防止する。
【００１９】
さらに、図示された気圧源７は載置台２の横向きチャネル２２の二端に連通し、通常は正圧の気圧源とされるが、負圧の真空源とされてもよい。これにより、本発明は横向きチャネル２２及びそのテーパ管２２１の発生するベンチュリー管現象を利用し、通気後にテーパ管２２１内の気体流速の増加により径方向に接続されたバイパス管２２２内の気圧を降下させ、これによりバイパス管２２２に連通する中央貫通槽４１及び上表面４３に対する吸引力を発生させて、クリーニングの効果を発生する。これにより、本発明はベンチュリー管原理により吸引力を増強し、ゆえに高圧の気圧源或いは真空源を必要とせず、設備コストを節約でき、並びに騒音を発生しない。
【００２０】
このほか、製品の規格或いはメーカーの要求に対応するため、時には高温試験が必要とされ、その温度は通常摂氏７５°から１０５°の間とされる。この時、本発明はさらに顕著な効果を有し、理想気体公式によると、その温度と圧力は正比例を成す関係から、高温試験時に試験槽２１或いは中央貫通槽４１内の温度が高いほど、比較的大きな圧力を発生し、さらに良好な吸引クリーニング効果を達成する。
【００２１】
図４、５を参照されたい。図４は本発明のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットの第２実施例の立体図、図５は本発明のセルフクリーニング式パッケージ部品試験用ソケットの第３実施例の立体図である。
【００２２】
このほか、本発明の試験ポートはさらに端本発明の該少なくとも一つの横向きチャネルは該試験槽の二側に平行に配置された二つの横向きチャネルを包含し得る。これにより、該試験槽の対向する両側において吸引クリーニングを行うことができる。当然、横向きチャネルは隣り合う二側に配置されてＬ形チャネルを形成するか、四つの横向きチャネルが該試験槽の四側に配置されて、該試験槽の四周において同時にクリーニングを実行して微粒子、破片、或いは灰塵を吸引除去し、最良のクリーニング機能を達成することができる。図４に示される第２実施例の第１実施例との違いは、第２実施例の横向きチャネル２４はＬ形チャネルとされ、そのＬ形の二段はそれぞれ中段テーパ管２４１、２４２を有し、それは試験槽２１の隣り合う二側辺に配置され、隣り合う二側に吸引クリーニング機能を提供している。このほか、図５の第３実施例の第１実施例との違いは、第３実施例は四つの横向きチャネル２５を具え、それはそれぞれ試験槽２１の四周側に配置され、四側において同時に吸引クリーニングを実行でき、さらに良好なクリーニング効果を達成できる。このように、本発明は実際の要求により弾性的に設計を調整変更して最も理想的なクリーニング効果を達成できる。
【００２３】
以上の実施例は本発明を説明するための例に過ぎず、本発明の主張する権利範囲は特許請求の範囲の記載に準じ、上述の実施例に限定されない。
【符号の説明】
【００２４】
１  試験ソケット            ２  載置台
２０  底板                  ２０１  壁
２０２  外側面              ２０３  穿孔
２１  試験槽                ２２、２４、２５  横向きチャネル
２２１  テーパ管            ２２２  バイパス管
２２３  入口                ２２４  出口
２３  ブシュ                ２３２  プラグ
２３１、２４１  中段テーパ管    ３  試験ポート
３１  接触端子              ３２  端子固定シート
３２１  貫通孔              ４  案内シート
４１  中央貫通槽            ４１１  案内斜面
４２  バイパスチャネル      ４３  上表面
４３１  上貫通孔            ５  パッケージ部品
６  試験装置                ７  気圧源
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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