(57)【要約】【課題】よりコストの低い混合液の調製を可能にし、あるいは僅かな量の検体で必要とする混合液の調製を可能にすることができる計量装置と、この計量装置を容易に製造することのできる製造方法、及びこの計量装置を用いてなる混合装置を提供する。【解決手段】基板２に、第１の凹部とこれより深さが浅い第２の凹部とを少なくとも有し、第１の凹部と第２の凹部とがそれぞれの上部開口側において連通し、かつ、底部側において互いに独立した独立凹部を有するとともに、第２の凹部の独立凹部の容積が所定の容積に形成されてなる、液体の計量装置の製造方法である。開口径の異なる複数種のマスク１０（１０ａ、１０ｂ、１０ｃ）を用いて、基板２に対し一括してドライエッチングを行い、マイクロローディング効果を利用して基板２に少なくとも第１の凹部と前記第２の凹部とを形成する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に、第１の凹部と該第１の凹部より深さが浅い第２の凹部とを少なくとも有し、前記第１の凹部と第２の凹部とがそれぞれの上部開口側において連通し、かつ、底部側において互いに独立した独立凹部を有するとともに、前記第２の凹部の前記独立凹部の容積が所定の容積に形成されてなる、液体の計量装置を製造するに際して、
開口径の異なる複数種のマスクを用いて、基板に対し一括してドライエッチングを行い、マイクロローディング効果を利用して前記基板に少なくとも前記第１の凹部と前記第２の凹部とを形成することを特徴とする計量装置の製造方法。
【請求項２】
複数種のマスクを用いて一括してドライエッチングを行うことにより、前記第１の凹部の一つに対して、前記第２の凹部を複数形成することを特徴とする請求項１記載の計量装置の製造方法。
【請求項３】
複数種のマスクを用いて一括してドライエッチングを行うことにより、前記第１の凹部の一つに対して上部開口側が連通し、かつ、底部側において互いに独立した独立凹部を有する第３の凹部を形成するとともに、該第３の凹部の前記独立凹部を、前記第２の凹部の前記独立凹部とは異なる所定の容積に形成することを特徴とする請求項１又は２に記載の計量装置の製造方法。
【請求項４】
複数種のマスクを用いて一括してドライエッチングを行うことにより、前記第２の凹部の一つに対して上部開口側が連通し、かつ、底部側において互いに独立した独立凹部を有する第４の凹部を形成するとともに、該第４の凹部の前記独立凹部を所定の容積に形成することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の計量装置の製造方法。
【請求項５】
前記基板がシリコン基板であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の計量装置の製造方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の計量装置の製造方法で得られたことを特徴とする計量装置。
【請求項７】
請求項６記載の計量装置と、該計量装置の前記第２の凹部に供給され、オーバーフローして前記第１の凹部に流入した液と他の液とを混合する混合部と、を備えたことを特徴とする混合装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、計量装置の製造方法とこれによって得られた計量装置、及び混合装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、マイクロマシン技術を応用し、化学分析や化学合成などのための機器や手法を微細化して行うμｍ−ＴＡＳ（Micro Total Analysis System)が注目されている。微細化されたμ−ＴＡＳによると、従来の装置に比べて試料の必要量が少ない、反応時間が短い、廃棄物が少ない、などのメリットがある。また、医療分野に使用した場合には、血液など検体の量を少なくすることで患者の負担を軽減することができ、さらに、試薬の量を少なくすることで検査のコストを下げることができる。また、検体および試薬の量が少ないことから、反応時間が大幅に短縮され検査の効率化が図れる。そして携帯性にも優れるため、医療分野、環境分析など、広い範囲でその応用が期待されている。
【０００３】
このような背景のもとに、従来、２つの液体のうちの１つの液体を送液するための第１の流路と、前記２つの液体のうちの他の１つの液体を送液するための第２の流路と、前記第１の流路と前記第２の流路との合流部から前記第１の流路の延長線上に延びる第３の流路とを有し、前記第２の流路は、２つの流路からなっており、当該２つの流路が前記合流部において前記第１の流路に対して両側から対称的に合流するように形成されてなる、混合装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１３１５５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
前記の混合装置では、混合するための二種類の液体をそれぞれの入口となる最初のポートに配し、これらを合流部で合流させ、混合するが、混合比を決定すべく、最初のポートに液体を正確に配するためには、例えばマイクロピペッター（分注器）等の注入器を用いる必要がある。
【０００６】
ところで、複数種の液体を混合する場合、それぞれの液体の量は、混合比の一番低い液体の量に依存する。すなわち、混合比の一番低い液体の量が多ければ、その他の液体の量も増えることになり、したがって他の液体として高価な試薬を用いる場合、得られる混合液のコストが非常に高くなってしまう。また、他の液体として僅かな量の検体を用いる場合には、所望の混合比に調整することが困難になってしまう。
一方、これら高価な試薬や僅かな量の検体を混合比の一番低い液体とする場合にも、得られる混合液の量をより少なくし、混合液のコストを低減するためには、その量を十分に少なくすることが重要になる。
【０００７】
しかしながら、従来一般に用いられている微少量注入用のマイクロピペッターは、最少注入量が数百ｎｌ程度であり、よりコストを低減したい、あるいは検体の量をより少なくしたいといった要望に十分に応えられていないのが現状である。
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、よりコストの低い混合液の調製を可能にし、あるいは僅かな量の検体で必要とする混合液の調製を可能にすることができる計量装置と、この計量装置を容易に製造することのできる製造方法、及びこの計量装置を用いてなる混合装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の計量装置の製造方法は、基板に、第１の凹部と該第１の凹部より深さが浅い第２の凹部とを少なくとも有し、前記第１の凹部と第２の凹部とがそれぞれの上部開口側において連通し、かつ、底部側において互いに独立した独立凹部を有するとともに、前記第２の凹部の前記独立凹部の容積が所定の容積に形成されてなる、液体の計量装置を製造するに際して、
開口径の異なる複数種のマスクを用いて、基板に対し一括してドライエッチングを行い、マイクロローディング効果を利用して前記基板に少なくとも前記第１の凹部と前記第２の凹部とを形成することを特徴としている。
【０００９】
この計量装置の製造方法によれば、第１の凹部と第２の凹部とを少なくとも有してなる計量装置を、マイクロローディング効果を利用して一括ドライエッチングで製造するので、この計量装置を容易に製造することができる。
また、製造した計量装置にあっては、マイクロピペッター等の注入器によって第２の凹部の独立凹部に所定量の液体を注入することにより、この所定量の液体を所定の容積に形成された前記独立凹部からオーバーフローさせ、この第２の凹部に連通する第１の凹部の独立凹部に配することが可能になる。すなわち、この第１の凹部の独立凹部に配された液体の量は、前記注入器で計量された量から前記第２の凹部の独立凹部の容積に相当する量を引いた量となる。したがって、前記第２の凹部の独立凹部の容積を適宜に設定しておくことにより、注入器で計量された液体を例えばその２分の１、４分の１などに再計量することが可能になる。これにより、微少量用の注入器で規定される最少量よりさらに微少な量の計量を行うことが可能になり、このように計量された液体を混合に供することにより、混合液の最少単位量を従来に比べ格段に少なくすることができる。
【００１０】
また、前記計量装置の製造方法においては、複数種のマスクを用いて一括してドライエッチングを行うことにより、前記第１の凹部の一つに対して、前記第２の凹部を複数形成するのが好ましい。
複数の第２の凹部を形成するので、得られた計量装置にあっては、例えば異なる液体をそれぞれ異なる第２の凹部を用いて同時に計量し、第１の凹部の独立凹部内でこれらを直接混合させることが可能になる。
【００１１】
また、前記計量装置の製造方法においては、複数種のマスクを用いて一括してドライエッチングを行うことにより、前記第１の凹部の一つに対して上部開口側が連通し、かつ、底部側において互いに独立した独立凹部を有する第３の凹部を形成するとともに、該第３の凹部の前記独立凹部を、前記第２の凹部の前記独立凹部とは異なる所定の容積に形成するのが好ましい。
第２の凹部とは別に第３の凹部を形成するので、得られた計量装置にあっては、例えば異なる液体を互いに異なる量になるように、第２の凹部と第３の凹部とを用いて別々に計量し、第１の凹部の独立凹部内でこれらを直接混合させることが可能になる。
【００１２】
また、前記計量装置の製造方法においては、複数種のマスクを用いて一括してドライエッチングを行うことにより、前記第２の凹部の一つに対して上部開口側が連通し、かつ、底部側において互いに独立した独立凹部を有する第４の凹部を形成するとともに、該第４の凹部の前記独立凹部を所定の容積に形成するのが好ましい。
このようにすれば、マイクロピペッター等の注入器によって第４の凹部の独立凹部に所定量の液体を注入することにより、この所定量の液体を所定の容積に形成された前記独立凹部からオーバーフローさせ、この第４の凹部に連通する第２の凹部の独立凹部に配することができる。したがって、このように第２の凹部の独立凹部に配された液体が、さらにオーバーフローして第１の凹部の独立凹部に配されるようにすることにより、この第１の凹部の独立凹部に配された液体の量は、前記注入器で計量された量から前記第４の凹部の独立凹部の容積に相当する量と前記第２の凹部の独立凹部の容積に相当する量とを引いた量となる。よって、前記第４の凹部の独立凹部の容積、及び前記第２の凹部の独立凹部の容積をそれぞれ適宜に設定しておくことにより、注入器で計量された液体をより少ない量に再計量することが可能になる。
【００１３】
また、前記計量装置の製造方法においては、前記基板がシリコン基板であるのが好ましい。
このようにすれば、第１の凹部や第２の凹部の形成を、半導体装置の製造技術を用いてより精度よく行うことができる。
【００１４】
本発明の計量装置は、前記計量装置の製造方法で得られたことを特徴としている。
この計量装置によれば、前述したように、マイクロピペッター等の注入器によって第２の凹部の独立凹部に所定量の液体を注入することにより、この所定量の液体を所定の容積に形成された前記独立凹部からオーバーフローさせ、この第２の凹部に連通する第１の凹部の独立凹部に配することが可能になる。したがって、前記第２の凹部の独立凹部の容積を適宜に設定しておくことにより、注入器で計量された液体をより少ない量に再計量することが可能になり、微少量用の注入器で規定される最少量よりさらに微少な量の計量を行うことが可能になる。
【００１５】
本発明の混合装置は、前記計量装置と、該計量装置の前記第２の凹部に供給され、オーバーフローして前記第１の凹部に流入した液と他の液とを混合する混合部と、を備えたことを特徴としている。
この混合装置によれば、前述したように前記計量装置の第２の凹部の独立凹部に注入した所定量の液体を、該独立凹部からオーバーフローさせて第１の凹部の独立凹部に配することができるので、混合部に別の所定量の液を直接的にあるいは間接的に配することにより、該混合部によって前記複数種の液を所望の混合比で混合することができる。
したがって、特に計量装置によってより少ない量の計量を行うことができるため、得られる混合液の最少単位量を従来に比べ格段に少なくし、これによってコストの低い混合液の調製を可能にしたり、僅かな量の検体を用いた混合液の調製を可能にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】（ａ）、（ｂ）は本発明の計量装置の一実施形態の概略構成図である。
【図２】（ａ）〜（ｄ）は図１に示した計量装置の製造方法の説明図である。
【図３】本発明の混合装置の概略構成を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明を詳しく説明する。
まず、本発明に係る計量装置について説明する。図１（ａ）、（ｂ）は、本発明に係る計量装置の一実施形態を示す図であり、図１（ａ）は計量装置の平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線矢視断面図である。
【００１８】
図１（ａ）、（ｂ）において符号１は計量装置であり、この計量装置１は、シリコン製の基板２に、第１の凹部３、第２の凹部４、第３の凹部５、第４の凹部６、第５の凹部７、第６の凹部８、第７の凹部９をそれぞれ形成したものである。
【００１９】
第１の凹部３は、図１（ａ）に示したように細長い溝状の凹部であって、図１（ａ）、（ｂ）に示すようにその上部開口側３ａにおいて、第２の凹部４、第３の凹部５、第６の凹部８にそれぞれ連通したものである。また、この第１の凹部３は、第２の凹部４、第３の凹部５、第６の凹部８に連通する上部開口側３ａの下側、すなわち底部側が、前記第２の凹部４、第３の凹部５、第６の凹部８から独立した、独立凹部３ｂとなっている。この独立凹部３ｂは、特にその容積については決められていないものの、後述する第２の凹部４〜第７の凹部９の各独立凹部に比べて十分に大きく、したがってこれら各独立凹部に比べて深く形成されている。
【００２０】
このような溝状の第１の凹部３に対し、第２の凹部４、第３の凹部５、第４の凹部６、第５の凹部７、第６の凹部８、第７の凹部９は、図１（ａ）に示すように第１の凹部３の両側にそれぞれ形成されており、したがって二つずつ形成されている。
第２の凹部４は、図１（ｂ）に示すようにその上部側開口４ａが第１の凹部３の上部側開口３ａに連通し、図１（ｂ）中二点鎖線で示すように底部側が第１の凹部３から独立した独立凹部４ｂとなっている。この独立凹部４ｂは、本実施形態ではその容積が２２５ｎｌに形成されている。
第４の凹部６は、その上部側開口６ａが第２の凹部４の上部側開口４ａに連通し、図１（ｂ）中二点鎖線で示すように底部側が第２の凹部４から独立した独立凹部６ｂとなっている。この独立凹部６ｂは、本実施形態ではその容積が１５０ｎｌに形成されている。
【００２１】
第３の凹部５は、図示しないものの、第２の凹部４と同様に、その上部側開口が第１の凹部３の上部側開口３ａに連通し、底部側が第１の凹部３から独立した独立凹部となっている。この独立凹部は、本実施形態ではその容積が、前記第２の凹部４の独立凹部４ｂとは異なる容積、本実施形態では３００ｎｌに形成されている。
第５の凹部７は、図示しないものの、その上部側開口が第３の凹部５の上部側開口に連通し、底部側が第３の凹部５から独立した独立凹部となっている。この独立凹部は、本実施形態ではその容積が、前記第３の凹部５の独立凹部とは異なる容積、本実施形態では２００ｎｌに形成されている。
【００２２】
第６の凹部８は、図示しないものの、第２の凹部４と同様に、その上部側開口が第１の凹部３の上部側開口３ａに連通し、底部側が第１の凹部３から独立した独立凹部となっている。この独立凹部は、本実施形態ではその容積が、前記第２の凹部４の独立凹部４ｂとは異なる容積、本実施形態では１５０ｎｌに形成されている。
第７の凹部７は、図示しないものの、その上部側開口が第６の凹部８の上部側開口に連通し、底部側が第６の凹部８から独立した独立凹部となっている。この独立凹部は、本実施形態ではその容積が、前記第６の凹部５の独立凹部とは異なる容積、本実施形態では１００ｎｌに形成されている。
【００２３】
このような構成の計量装置１を製造するには、まず、シリコン製の基板（シリコン基板）２を用意し、続いてこれの上面に公知の手法によってレジスト膜を形成する。続いて、露光マスクを用いてこのレジスト膜を露光し、さらに現像することでパターニングし、図２（ａ）に示すように正方形または円形等の開口を多数（例えば数十個から数百個）有するレジストマスク１０を形成する。ただし、このレジストマスク１０については、形成する凹部の深さ毎に、開口径が異なる複数種のマスクを用いる。
【００２４】
すなわち、図２（ａ）に示すように第１の凹部３の形成領域１１では、レジストマスク１０ａはその開口径が十分に大きく（広く）形成されている。これに対して第２の凹部４の形成領域１２では、レジストマスク１０ｂは前記レジストマスク１０ａに対して開口径が小さく（狭く）形成されている。さらに、第４の凹部６の形成領域１３では、レジストマスク１０ｃは前記レジストマスク１０ｂに対してさらに開口径が小さく（狭く）形成されている。
【００２５】
なお、図示しないものの、第３の凹部５の形成領域では、レジストマスク１０は前記レジストマスク１０ｂに対して開口径が大きく（広く）形成されており、第５の凹部７の形成領域では、レジストマスク１０は前記レジストマスク１０ｂより開口径が少し小さく（狭く）形成されている。また、第６の凹部８の形成領域では、レジストマスク１０は前記レジストマスク１０ｃと同じ開口径に形成されており、第７の凹部９の形成領域では、レジストマスク１０は前記レジストマスク１０ｃより開口径が小さく（狭く）形成されている。
【００２６】
このような開口径の大きさ（広さ）については、予め実験やシミュレーションによってエッチング条件とエッチング深さとの関係を調べておくことにより、適宜に決定する。
また、第１の凹部３から第７の凹部９までの各形成領域において、その境界部については、前記第１の凹部３から第７の凹部９までの隣り合う凹部間が、その上部開口側で連通するものの、底部側では互いに独立するように、開口径を十分に小さく（狭く）形成しておく。この境界部における開口径についても、予め実験やシミュレーションによってエッチング条件とエッチング深さとの関係を調べておくことにより、適宜に決定する。
【００２７】
このようにして、基板２に対して第１の凹部３の形成領域１１から第７の凹部９の形成領域まで全てと、その境界部の全てに対して、それぞれの凹部の深さに対応したレジストマスク１０、すなわち独立凹部までの深さや凹部間で連通する上部開口側の深さに対応した開口径を有するレジストマスク１０を形成したら、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）等のドライエッチングにより、基板２の上面側を一括してエッチングする。
【００２８】
すると、マイクロローディング効果が起こることにより、エッチング開始後のある時点では、図２（ｂ）に示すように開口径が小さい（狭い）形成領域１３においてはエッチング深さが浅く、開口径が大きい（深い）形成領域１１においてはエッチング深さが深くなる。また、開口径がこれらの中間になる形成領域１２においては、エッチング深さもこれら形成領域１３、形成領域１１の中間になる。
【００２９】
そして、エッチング状態をエッチング時間の経過順に表す図２（ｂ）〜図２（ｄ）に示すように、レジストマスク１０の各開口に対応して形成されるエッチング凹部は、エッチング時間の経過とともに深くなり、かつ、横方向に広がっていく。そして、ある程度の時間が経過すると、図２（ｄ）に示すようにレジストマスク１０の各開口に対応するエッチング凹部の、隣り合うものどうしが互いに連通し、ついには一体になる。ただし、マイクロローディング効果が引き続き起こっていることにより、これらエッチング凹部は、前述したようにレジストマスク１０の各開口径に対応して、形成領域１３、形成領域１２、形成領域１１の順にその深さが深く形成されている。
【００３０】
そして、さらにエッチングを続けることにより、各凹部の形成領域では、図１（ｂ）に示したようにレジストマスク１０の各開口径に対応して、マイクロローディング効果によりそれぞれ異なる深さの凹部（３、４、６）が形成される。その際、前記形成領域の境界部については、隣り合う凹部間がその上部開口側で連通し、底部側で互いに独立するよう、レジストマスク１０の開口径を十分に小さく（狭く）形成しているので、各凹部（３、４、６）に比べて深さが浅くなる。したがって、各凹部（３、４、６）は、この境界部に対応する箇所１４に対して、その上部開口側（３ａ、４ａ、６ａ）では隣り合うものどうしが連通し、底部側では互いに独立した独立凹部（３ｂ、４ｂ、６ｂ）を形成している。
【００３１】
よって、レジストマスク１０の開口径、各凹部（３〜９）の形成領域の大きさ（面積）、エッチング時間等の各条件と、各凹部（３〜９）の独立凹部３ａ〜９ａの深さとの関係を予め調べておき、これに基づいて設定した条件でエッチングを行うことにより、各独立凹部３ａ〜９ａの容積を、前記した所定の容積に形成することができる。
【００３２】
このようにして形成された計量装置１を用い、高価な試薬や血液等の検体を計量するには、例えば一回の最少注入量が１５０ｎｌのマイクロピペットを用い、このマイクロピペットで計量した１５０ｎｌの液体を第４の凹部６に注入する。そして、この操作を３回繰り返すことにより、合計４５０ｎｌの液体を第４の凹部６に注入する。すると、第４の凹部６の独立凹部６ｂはその容積が１５０ｎｌであるので、注入量からこの容積分の１５０ｎｌを引いた３００ｎｌが、独立凹部６ｂからオーバーフローして第２の凹部４に流れ込む。
【００３３】
第２の凹部４は、その独立凹部４ｂの容積が２２５ｎｌになっているので、流れ込んだ液体の量からこの容積分の２２５ｎｌを引いた７５ｎｌが、さらに第１の凹部３に流れ込むことになる。
したがって、容量が１５０ｎｌのマイクロピペッターを用い、これから第４の凹部６、第２の凹部４を利用することにより、前記容量の半分である７５ｎｌを、第１の凹部３内に計量することができる。よって、第１の凹部３内の液体を別のマイクロピペッターで吸入し、別に用意した混合装置に他の液体とともに注入することにより、所望の混合液を調製することができる。
【００３４】
同様に、第３の凹部５や第５の凹部７〜第７の凹部９を用い、さらにはマイクロピペッターについてもその一回の最少注入量が異なるものを用いることにより、マイクロピペッターの最少注入量より少ない量を容易に計量することができる。その際、第２の凹部４と第４の凹部６のように互いに連通する組を複数組利用することにより、種々の量を計量することが可能になる。また、第１の凹部３に直接連通する第２の凹部４や、第３の凹部５、第６の凹部８に直接液体を注入し、これらの独立凹部からオーバーフローさせて、第１の凹部３内に所望の量を計量するようにしてもよい。
【００３５】
次に、このような計量装置１を用いた混合装置について説明する。
図３は、本発明の混合装置の一実施形態を示す平面図であり、図３中２０は混合装置である。この混合装置２０は、図１（ａ）、（ｂ）に示した基板２に形成された計量装置１と、前記基板２に形成された混合部２１と、を備えてなるものである。
【００３６】
混合部２１は、本実施形態では第１の凹部３に連通する、液溜まりとして機能する凹部からなっている。また、本実施形態では、第１の凹部３はその独立凹部３ｂの底面が、傾斜して形成されている。すなわち、第１の凹部３の独立凹部３ｂの底面は、図１（ａ）に示す第２の凹部４側から第６の凹部８側に向かって低くなるように傾斜している。そして、その延長線上に前記混合部２１が形成配置されており、この混合部２１は、その深さが前記独立凹部３ｂよりさらに深くなっている。なお、このような独立凹部３ｂの底面の傾斜については、図２（ａ）に示したレジストマスク１０の開口径を、第１の凹部３の形成領域１１内において適宜に変化させることにより、マイクロローディング効果によって形成することができる。
【００３７】
この混合装置２０を用いて第１の液体と第２の液体を混合するには、まず、前記計量装置１の第２の凹部４から第７の凹部９を用い、第１の液体について所望の微少量を第１凹部３内に計量する。すると、計量された第１の液体は第１の凹部３の独立凹部３ｂ内を流れ、混合部２１に流れ落ちる。また、これとは別に、前記計量装置１を用いて第２の液体の所望量を計量する。すると、この第２の液体も第１の凹部３を経て混合部２１に流れ落ちる。したがって、所望の量（微少量）に調製された第１の液体と第２の液体とを、混合部２１に案内してここで混合させることができる。
【００３８】
なお、第２の液体の量が比較的多い場合には、この第２の液体を、マイクロピペッターから第１の凹部３内、あるいは混合部２１内に直接注入するようにしてもよい。
また、混合に供する液体については、二種類に限定されることなく、三種類以上であってもよいのはもちろんである。
【００３９】
このような混合装置２０にあっては、計量装置１の第２の凹部４等の独立凹部に注入した所定量の液体を、該独立凹部からオーバーフローさせて第１の凹部３の独立凹部３ｂに配することができるので、混合部２１に別の所定量の液を直接的にあるいは間接的に配することにより、該混合部２１によって前記複数種の液を所望の混合比で混合することができる。
したがって、特に計量装置によってより少ない量の計量を行うことができるため、得られる混合液の最少単位量を従来に比べ格段に少なくし、これによってコストの低い混合液の調製を可能にしたり、僅かな量の検体を用いた混合液の調製を可能にすることができる。
【００４０】
なお、前記実施形態では、混合部２１を凹部のみによって構成したが、本発明はこれに限定されることなく、種々の構成の混合部を採用することができる。例えば、図３に示した混合部２１に代えて、特開２００５−１３１５５６号公報に記載されたような、圧電素子からなるポンプを利用した、混合部を用いてもよい。
具体的には、図３に示した混合部２１の上流側に、前記の圧電素子からなるポンプを配置し、第１の凹部３の独立凹部３ｂ内の液体を強制的に吸引し、凹部（混合部２１）内に流入させることができる。その場合に、第１の凹部３の独立凹部３ｂの底面の傾斜を無くし、これをほぼ水平に形成することができる。
【００４１】
また、図１（ａ）、（ｂ）に示した計量装置１について、その第１の凹部３を本発明における混合部と規定し、第２の凹部４（または第３の凹部５、第６の凹部８）を本発明における第１の凹部と規定し、第４の凹部６（または第５の凹部７、第７の凹部９）を本発明における第２の凹部と規定することにより、この計量装置１をそのまま本発明の混合装置とすることもできる。
【００４２】
すなわち、第２の凹部として規定される第４の凹部６（または第５の凹部７、第７の凹部９）に第１の液体を注入してこれをオーバーフローさせ、微少量に計量した第１の液体を第１の凹部として規定される第２の凹部４（または第３の凹部５、第６の凹部８）に流入させる。そして、この第２の凹部４（または第３の凹部５、第６の凹部８）に流入させた第１の液体と別に供給した第２の液体とを、混合部として規定される第１の凹部３内に案内し、ここで混合する。第２の液体については、マイクロピペッター等によって直接混合部（第１の凹部３）に注入するようにしてもよい。
【００４３】
なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。例えば、前記実施形態では基板２としてシリコン基板を用いたが、他に例えば、ガラス基板を用いることもできる。
【符号の説明】
【００４４】
１…計量装置、２…基板（シリコン基板）、３…第１の凹部、３ａ…上部開口側、３ｂ…独立凹部、４…第２の凹部、４ａ…上部開口側、４ｂ…独立凹部、５…第３の凹部、５ａ…上部開口側、５ｂ…独立凹部、６…第４の凹部、６ａ…上部開口側、６ｂ…独立凹部、７…第５の凹部、７ａ…上部開口側、７ｂ…独立凹部、８…第６の凹部、８ａ…上部開口側、８ｂ…独立凹部、９…第７の凹部、９ａ…上部開口側、９ｂ…独立凹部、１０、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ…レジストマスク（マスク）、２０…混合装置、２１…混合部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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