(57)【要約】      （修正有）【課題】発光量を低下させることなく、解像力を高め、かつ特性にムラのないシンチレータパネルとそれを具備した放射線画像検出装置を提供する。【解決手段】放射線を可視光に変換する複数のシンチレータ４と複数の光検出素子２とが基板１上に配置されて成る放射線画像検出装置に用いられるシンチレータパネルであって、当該シンチレータパネルを構成する各シンチレータが、当該光検出素子と接触する面積が放射線を入射する面積よりも大きくなる形状を有し、かつ基板上に当該光検出素子の配列に対応して配列されていることを特徴とするシンチレータパネル。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
放射線を可視光に変換する複数のシンチレータと複数の光検出素子とが基板上に配置されて成る放射線画像検出装置に用いられるシンチレータパネルであって、当該シンチレータパネルを構成する各シンチレータが、当該光検出素子と接触する面積が放射線を入射する面積よりも大きくなる形状を有し、かつ基板上に当該光検出素子の配列に対応して配列されていることを特徴とするシンチレータパネル。
【請求項２】
前記シンチレータパネルを構成する各シンチレータ間に隙間をふさぐ閉塞部材を有することを特徴とする請求項１に記載のシンチレータパネル。
【請求項３】
前記閉塞部材の全反射率が、９５〜１００％の範囲内であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のシンチレータパネル
【請求項４】
前記シンチレータの形状が、テーパーを持つ擬台形であることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか一項に記載のシンチレータパネル。
【請求項５】
前記シンチレータのテーパー平均角度が、７０〜８９°の範囲内であることを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載のシンチレータパネル。
【請求項６】
前記シンチレータの可視光平均透過率が、８０％以上であることを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれか一項に記載のシンチレータパネル。
【請求項７】
基板上に光検出素子の配列に対応して配列されたシンチレータを有する放射線画像検出装置であって、請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載のシンチレータパネルが具備されていることを特徴とする放射線画像検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、医療用や工業用の放射線画像撮影等に用いられるシンチレータパネル及び放射線画像検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、Ｘ線画像のような放射線画像撮影装置は医療現場において病状の診断に広く用いられている。特に、増感紙−Ｘ線フィルムによる放射線画像撮影装置は、長い歴史の中で高感度化と高画質化が図られた結果、世界中の医療現場で用いられている。
【０００３】
近年では、フラットパネル型放射線ディテクタ（ＦＰＤ）等に代表されるデジタル方式の放射線画像検出手段も登場しており、放射線画像をデジタル情報として取得して自由に画像処理を行い、画像情報を直ちに電送することが可能となっている。
【０００４】
放射線画像検出手段は、放射線を蛍光に変換する、所謂「シンチレータパネル」を有している。シンチレータパネルは被写体を通過した放射線を受けて、その放射線量に対応した強度でシンチレータによる蛍光を瞬時に発光するものであり、基板上にシンチレータを備えた構成を有する。
【０００５】
Ｘ線を可視光に変換するシンチレータとしては、例えば、Ｃｓｌ、ＣｄＷＯ４やＧｄ２Ｏ２Ｓ等がある。しかし、これらシンチレータには共通の欠点がある。すなわち、本来は指向性を持つＸ線はシンチレータ内に入射して可視光に変換されてもその指向性を失わないことが望ましい。ところが、シンチレータは等方的に発光するので、像が検出されるべきポイントだけでなく周囲にまで及ぶ影響（以下「クロストーク」という。）があり、Ｘ線画像の解像度が低下するという、いわゆる画像のにじみ現象が現れやすいことが指摘されている。
【０００６】
特許文献１には、柱状結晶のシンチレータをポリパラキシリレン膜で覆われたインダイレクト式放射線画像検出装置において、ポリパラシキリレン膜に発色処理が施されている技術が開示されている。
【０００７】
この技術によれば、柱状構造の界面を透過した蛍光が発色処理を施したポリパラキシリレン膜により吸収され、蛍光のクロストーク成分が減少することによりシンチレータパネルの解像度を向上させることができる、としている。しかしながら、上記のようなシンチレータパネルを用いると以下の問題点が発生する。
【０００８】
特許文献１に記載される技術などでは、解像力は向上するが、発色処理したポリパラキシリレン膜が解像に問題ないレベルの蛍光までも吸収してしまうため、発光量が極端に低下してしまう。柱状結晶の状態が実際は一様ではなく、狭い部分もあれば広い部分もある為、検出装置の面内バラつきが生じてしまい、特許文献１に記載される技術などでは、特に狭い部分にはポリパラキシリレン膜に入って行きづらく、解像力と輝度にムラが発生してしまう。
【０００９】
また、特許文献２、特許文献３、特許文献４等の各公報には、反射性もしくは遮光性が高い基板上に、センサの画素に対応した少なくとも一つ以上の貫通孔が設けられ、その中にシンチレータ材料が充填されているインダイレクト式放射線画像検出装置が開示されている。
【００１０】
この装置にＸ線を入射するとシンチレータ内で等方的に可視光が発生するが、その光は全て壁で反射もしくは吸収されるためクロストークを解消することができる、としている。
【００１１】
特許文献５には、一次元もしくは二次元に配列された複数個の孔に入射した第１の波長光（ここではＸ線）を第２の波長光（ここでは可視光）に変換する材料を埋め込んだ基板と、前記第２の波長光を検出する基板とを備えた波長変換型光検出素子において、前記孔を囲む側壁を、当該孔の面積が第２の波長光を検出する基板に向けて小さくなる形状に形成する技術が開示されている。
【００１２】
この素子にＸ線を入射するとシンチレータ内で等方的に可視光が発生するが、その光は全て壁で反射もしくは吸収されるためクロストークを解消することができる。更には第１の波長光（ここではＸ線）を検出する面積が大きい為、Ｘ線量子効率が向上してＳ／Ｎ比を高くすることができる、としている。
【００１３】
しかしながら、上記のようなシンチレータパネルを用いると以下の問題点が発生する。
【００１４】
特許文献２〜５に記載される技術などでは、解像力は向上するが、シンチレータ内で変換された可視光が検出素子まで到達する前に失活してしまうため、発光量が極端に低下してしまう。特に特許文献５に記載される技術などでは、シンチレータ内に入射するＸ線量は増えるもののシンチレータ内で変換された可視光がより検出素子まで到達しにくくなってしまい問題となっていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１５】
【特許文献１】特開２０００−９８４６号公報
【特許文献２】特開平７−１１１３２２号公報
【特許文献３】特開平９−１４５８４４号公報
【特許文献４】特開平５−６０８７１号公報
【特許文献５】特開２００２−１８１９４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
本発明は、上記問題・状況にかんがみなされたもので、その解決課題は、発光量を低下させることなく、解像力を高め、かつ特性バラつきのないシンチレータパネルとそれを具備した放射線画像検出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明に係る上記課題は、以下の手段により解決される。
【００１８】
１．放射線を可視光に変換する複数のシンチレータと複数の光検出素子とが基板上に配置されて成る放射線画像検出装置に用いられるシンチレータパネルであって、当該シンチレータパネルを構成する各シンチレータが、当該光検出素子と接触する面積が放射線を入射する面積よりも大きくなる形状を有し、かつ基板上に当該光検出素子の配列に対応して配列されていることを特徴とするシンチレータパネル。
【００１９】
２．前記シンチレータパネルを構成する各シンチレータ間に隙間をふさぐ閉塞部材を有することを特徴とする前記第１項に記載のシンチレータパネル。
【００２０】
３．前記閉塞部材の全反射率が、９５〜１００％の範囲内であることを特徴とする前記第１項又は第２項に記載のシンチレータパネル。
【００２１】
４．前記シンチレータの形状が、テーパーを持つ擬台形であることを特徴とする前記第１項から第３項までのいずれか一項に記載のシンチレータパネル。
【００２２】
５．前記シンチレータのテーパー平均角度が、７０〜８９°の範囲内であることを特徴とする前記第１項から第４項までのいずれか一項に記載のシンチレータパネル。
【００２３】
６．前記シンチレータの可視光平均透過率が、８０％以上であることを特徴とする前記第１項から第５項までのいずれか一項に記載のシンチレータパネル。
【００２４】
７．基板上に光検出素子の配列に対応して配列されたシンチレータを有する放射線画像検出装置であって、前記第１項から第６項までのいずれか一項に記載のシンチレータパネルが具備されていることを特徴とする放射線画像検出装置。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の上記手段により、発光量を低下させることなく、解像力を高め、かつ特性バラつきのないシンチレータパネルとそれを具備した放射線画像検出装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】（ａ）放射線画像検出装置の基本的構成部分の斜視図、（ｂ）図１（ａ）に示す放射線画像検出装置の基本的構成部分の断面図
【図２】医療診断用直接撮影システムの一例を示す概念図
【発明を実施するための形態】
【００２７】
本発明のシンチレータパネルは、放射線を可視光に変換する複数のシンチレータと複数の光検出素子とが基板上に配置されて成る放射線画像検出装置に用いられるシンチレータパネルであって、当該シンチレータパネルを構成する各シンチレータが、当該光検出素子と接触する面積が放射線を入射する面積よりも大きくなる形状を有し、かつ基板上に当該光検出素子の配列に対応して配列されていることを特徴とする。この特徴は、請求項１からの基本的構成部分の請求項７までの請求項に係る発明に共通する技術的特徴である。
【００２８】
本発明の実施態様としては、本発明の効果発現の観点から、前記シンチレータパネルを構成する各シンチレータ間に隙間をふさぐ閉塞部材を有することが好ましい。この場合、当該閉塞部材の全反射率が、９５〜１００％の範囲内であることが好ましい。
【００２９】
本発明においては、前記シンチレータの形状が、テーパーを持つ擬台形であることが好ましい。また、当該シンチレータのテーパー平均角度が、７０〜８９°の範囲内であることが好ましい。さらに、当該シンチレータの可視光平均透過率が、８０％以上であることが好ましい。
【００３０】
本発明のシンチレータパネルは、基板上に光検出素子の配列に対応して配列されたシンチレータを有する態様の放射線画像検出装置に好適に用いることができる。
【００３１】
なお、本願において「シンチレータ」とは、α線、γ線、Ｘ線等の電離放射線を照射されたときに原子が励起されることにより発光する蛍光体をいう。すなわち、放射線を紫外・可視光に変換して放出する蛍光体をいう。
【００３２】
以下、本発明とその構成要素、及び発明を実施するための形態・態様について詳細な説明をする。
【００３３】
（シンチレータパネルと放射線画像検出装置の構成概要）
本発明のシンチレータパネルは、放射線を可視光に変換する複数のシンチレータと複数の光検出素子とが基板上に配置されて成る放射線画像検出装置に用いられるシンチレータパネルであって、当該シンチレータパネルを構成する各シンチレータが、当該光検出素子と接触する面積が放射線を入射する面積よりも大きくなる形状を有し、かつ基板上に当該光検出素子の配列に対応して配列されていることを特徴とする。
【００３４】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明のシンチレータパネルの実施形態を示す図である。
【００３５】
図１（ａ）は放射線画像検出装置の基本的構成部分の斜視図、図１（ｂ）は図１（ａ）に示す放射線画像検出装置の基本的構成部分の断面図である。
【００３６】
図１において、放射線画像検出装置は二次元に所定の間隔で配列された複数の光検出素子２が具備された基板１と、前記光検出素子の配列に対応するよう二次元に所定の間隔で配列された複数のシンチレータ４が具備されているシンチレータパネル３を貼り合わせた構成となっている。その際、基板と平行するシンチレータ断面の面積は、当該光検出素子と接触する面積が放射線を入射する面積よりも大きくなる形状を有している。
【００３７】
本発明においては、シンチレータパネルにおけるシンチレータ間の隙間をふさぐ閉塞部材５を有することが好ましい。
【００３８】
図１（ｂ）は、シンチレータの周囲にシンチレータを覆うように閉塞部材５が形成されていることを示している。
【００３９】
閉塞部材は、可視光を反射するものでも吸収するものでも構わないが、発光輝度を向上させる面から可視光を反射するものが好ましい。特に、シンチレータからの蛍光に対する全反射率が９０〜１００％（対硫酸バリウムを１００％とした場合）であることが特に好ましい。
【００４０】
シンチレータ形状には特に限定はないが、テーパーを持つ擬台形であることが好ましく、図１には直線状のテーパーがついたシンチレータを示している。シンチレータのテーパー角度６については特に限定はないが、テーパー角度は、Ｘ線吸収により所望の特性を得る観点から、テーパー平均角度は８０〜８９°であることが好ましい。なお、本願において、「テーパー平均角度」とは、一つのシンチレータパネルを構成する各シンチレータ（無作為に選んだ１０個）について測定したテーパー角度の平均値をいう。
【００４１】
シンチレータパネル３は、基板１に具備された光検出素子とシンチレータ面が相対して向き合っており、シンチレータパネル側からの放射線７をシンチレータ４が可視光に変換して光検出素子で検出する。その際、シンチレータ内で発生した可視光が隣接する光検出素子で検出されないように閉塞部材５で仕切られていることは言うまでもない。
【００４２】
このようなシステムの利用として、主に医療用測定、非破壊検査等が挙げられるが、その代表例として医療診断用直接撮影システムを図２に示す。Ｘ線源８から発生したＸ線９は、被写体１０を透過してカセッテ１１へと入射する。被写体の情報を含んだ透過Ｘ線１２はカセッテ内に入射し、シンチレータパネル３で可視光１３に変換され、その光を光検出素子２で検出する。
【００４３】
なお、本発明のシンチレータパネルは、種々の態様の構成を採り得るが、シンチレータを含む層の他に、金属反射層、保護層、下引き層などの各種機能層を設けてもよい。
【００４４】
（シンチレータパネル及び放射線画像検出装置の製法）
本発明のシンチレータパネルは、いかなる製法で作製することができる。本発明の形状になるよう凹凸加工した閉塞部材の凹部内にシンチレータを充填する方法でも、予め作製した板状シンチレータに格子状溝を加工する方法でも問題なく適用することができる。
【００４５】
加工手段についても既存のいかなる手段、例えば、サンドブラストやスクリーン印刷、ダイシング、レーザー加工、エッチング等を用いることができ、シンチレータ材料や閉塞部材の種類、シンチレータパネル形状等に応じて適宜選択することができる。
【００４６】
〈シンチレータ〉
本発明に適用可能なシンチレータは、公知のいかなるものでも構わないが、シンチレータへの要求特性に合わせて任意に選択できる。具体的には、ＣｓＩ、Ｇｄ２Ｏ２Ｓ、Ｌｕ２Ｏ２Ｓ、Ｙ２Ｏ２Ｓ、ＬａＣｌ３、ＬａＢｒ３、ＬａＩ３、ＣｅＢｒ３、ＣｅＩ３、ＬｕＳｉＯ５、Ｂａ（Ｂｒ，Ｆ，Ｉ）等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【００４７】
本発明に適用可能な賦活剤原料としては、公知のいかなるものでも構わないが、発光波長等の要求特性に合わせて任意に選択できる。具体的には、Ｉｎ、Ｔｌ、Ｌｉ、Ｋ、Ｒｂ、Ｎａ、Ｅｕ、Ｃｕ、Ｃｅ、Ｚｎ、Ｔｉ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｐｒ等の化合物が挙げられる。特にＣｓＩ：ＴｌやＬａＢｒ３：Ｃｅ、ＣｅＢｒ３、Ｇｄ２Ｏ２Ｓ：Ｔｂ、Ｇｄ２Ｏ２Ｓ：Ｐｒ，Ｃｅ，ＦがＸ線吸収と発光輝度の観点から好適に用いることができる。
【００４８】
シンチレータの作製には既存のいかなる方法を用いても構わない。蒸着法や引き上げ法などにより単結晶としたり、粉末を加圧や焼結により隙間を減らしたり、粉末の間にシンチレータに近い屈折率を持つ材料を充填することで、透明性を高めることができる。特に、発光輝度向上のために、シンチレータの可視光（３６０〜８３０ｎｍの波長範囲内の光）平均透過率が８０％以上であることが好ましい態様である。なお、本願において、「可視光平均透過率」とは、一つのシンチレータパネルを構成する各シンチレータ（無作為に選んだ１０個）について測定した透過率の平均値をいう。
【００４９】
本発明において、光検出素子２とシンチレータ４の配列に特に限定はないが、光検出素子とシンチレータが１対１対応することが好ましい態様である。配列のピッチは１０μｍ以上４００μｍ以下となることが解像力を向上させる上で好ましい。加工の観点からも、この範囲内であることが好ましい。
【００５０】
また、シンチレータの厚さは、感度等の観点から、１００〜３０００μｍの範囲が好ましい。
【００５１】
〈閉塞部材〉
本発明において、閉塞部材にはいかなるものを用いてもよく、無機粒子や金属が好ましく適用できる。
【００５２】
無機粒子を閉塞部材として用いる場合、酸化チタンや酸化亜鉛、アルミナ、酸化ジルコニウム、硫酸バリウム等の白色材料である無機化合物粉末が好ましい。無機化合物粉末は粒子径が小さく且つ粒子径分布が狭いものが好ましい。具体的には、平均粒子径３μｍ以下、粒子径分布（標準偏差）２μｍ以下、より好ましくは平均粒子径１μｍ以下、粒子径分布１μｍ以下のものが好ましい。
【００５３】
閉塞部材の含有量は、閉塞部材／（閉塞部材＋樹脂）の質量比（％）で３０〜８０質量％の範囲が好ましい。樹脂としては、既存のいかなるものを用いても構わない。具体的には、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、ブチラール樹脂、ポリアミド樹脂、エチルセルロース樹脂、などの無色透明樹脂や黄色透明樹脂のほか、アクリロイル基を有する紫外線硬化樹脂が使用できる。溶媒は既存のいかなるものを用いても構わないが、シンチレータが溶解したり反応しないものが好ましい。
【００５４】
金属を閉塞部材として用いる場合、Ａｇ、Ａｕ、Ａｌ、Ｎｉ等の金属などが好ましい。
【００５５】
シンチレータと閉塞部材が反応を起こして劣化する場合はシンチレータと閉塞部材の間に保護層を入れることで劣化を防止することもできる。
【００５６】
保護層としては、シンチレータや金属と反応しない樹脂が良く、例えばエポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、ブチラール樹脂、ポリアミド樹脂、エチルセルロース樹脂、などの無色透明樹脂や黄色透明樹脂を用いることができる。
【００５７】
〈光検出素子〉
本発明において光検出素子２は、光電増培管、フォトダイオード、ＰＩＮフォトダイオード等の公知の光検出器を用いることができる。二次元アレイ型のシンチレータの各シンチレータ素子を、光検出器の複数の各受光素子とそれぞれ対応するように接合する。シンチレータ素子３と受光素子４の接合は直接でも接着剤層を介してでもよく、接着剤層はＵＶ硬化樹脂や熱硬化樹脂、ホットメルト樹脂などを用いることができる。
【００５８】
（基板）
本発明のシンチレータを設ける基板としては、種々の態様を採り得るが、上記光検出素子配列して成る配列体自体を基板として用いること、又は、下記基材上に光検出素子を配列したものを基板として用いることが好ましい。
【００５９】
本発明に用いることができる基材としては、炭素繊維強化プラスチック、アモルファスカーボン、グラファイト、ガラス、ベリリウム、チタン、アルミニウム、及びそれらの合金、セラミクス（アルミナ、ベリリア、ジルコニア、窒化珪素）等を挙げることができる。
【００６０】
また、本発明に係る基材としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、セルロースアセテート、ポリアミド、ポリイミド、ポリエーテルイミド、エポキシ、ポリアミドイミド、ビスマレイイミド、フッ素樹脂、アクリル、ポリウレタン、ポリカーボネート、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルサルフォン、ポリサルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマー等の高分子材料を用いることも好ましい。
【００６１】
上記基材を用いる場合、基板の厚さとしては、好ましくは２０〜１０００μｍ、更に好ましくは５０〜７５０μｍであり、更に好ましくは５０〜５００μｍである。基板の厚さを５０μｍ以上にすることでシンチレータ層（蛍光体層）を形成した後のハンドリング性が良好となる。
【００６２】
さらには、シンチレータパネルと光電変換素子を貼り合せる際に、基板の変形や蒸着時の反りなどの影響を受け、光電変換素子の受光面内で均一な画質特性が得られないという点に関して、当該基板を、厚さ５０〜５００μｍとすることでシンチレータパネルが光電変換素子の面形状に合った形状に変形し、光電変換素子の受光面全体で均一な鮮鋭性が得られる。
【実施例】
【００６３】
以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明の実施態様はこれに限定されるものではない。下記の方法に従って放射線シンチレータパネルを作製した。
【００６４】
（シンチレータパネルの作製方法）
実施例１
ＣｓＩとＴｌＩをＣｓＩの１ｍｏｌに対しＴｌＩを０．３ｍｏｌ％になるように混合した粉体を２０ｃｍ×２０ｃｍ、高さ５ｃｍの石英坩堝に入れて密閉し、６５０℃８ｈｒで溶融焼成してＣｓＩ：Ｔｌシンチレータを作製した。坩堝から取り外した後、シンチレータ板の研磨処理を行い、４００μｍ厚、１８ｃｍ×１８ｃｍの板状シンチレータを作製した。
【００６５】
シンチレータ板にドライフィルムレジスト（ニチゴーモートン社製ＮＣＭ１５５）を貼り合わせた後、１２７μｍピッチ・線幅３０μｍの格子状パターンを露光（２ｍＶ／ｃｍ２）、現像（液温３５度、１２０ｓｅｃ）して３０μｍ線部分のドライフィルムレジストを溶解した。
【００６６】
サンドブラスト処理を行い、線幅４０μｍ・深さ３００μｍの格子状の溝加工されたシンチレータ板を作製した。
【００６７】
ドライフィルムレジストを剥離した後、酸化チタン塗料を塗布してシンチレータ溝内に均一に酸化チタン塗料を充填した。
【００６８】
その後、シンチレータ上に残余した酸化チタン塗料を除去するため、シンチレータ表面が露出するまで研磨した。
【００６９】
その後、裏面側のシンチレータを１２０μｍ研磨して２８０μｍ厚のシンチレータパネル１を作製した。シンチレータの露出面積が大きい面を上面、シンチレータの露出面積が小さい面を下面として、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ；日立社製Ｓ−８００型）によりシンチレータパネルの断面観察を行った結果、シンチレータのテーパー平均角度は９４°であった。なお、シンチレータパネル１を構成する各シンチレータ（無作為に選んだ１０個）について測定したテーパー角度の平均値を「テーパー平均角度」とした。
【００７０】
実施例２
実施例１で作製したシンチレータパネル１を反転させて、シンチレータパネル２を作製した。シンチレータ露出面積の小さい面を上面、シンチレータの露出面積が大きい面を下面として、ＳＥＭによりシンチレータパネルの断面観察を行った結果、シンチレータのテーパー平均角度は８６°であった。
【００７１】
実施例３
格子状パターンを１２７μｍピッチ・線幅９０μｍに変更し、サンドブラスト処理で線幅１２０μｍ・深さ３００μｍの格子状の溝加工されたシンチレータ板を作製したこと以外は実施例１と同様の操作を行い、シンチレータパネル３を作製した。シンチレータ露出面積の小さい面を上面、シンチレータの露出面積が大きい面を下面として、ＳＥＭによりシンチレータパネルの断面観察を行った結果、シンチレータのテーパー平均角度は７９°であった。
【００７２】
実施例４
酸化チタン塗料の代わりに、シンチレータ溝内に均一にＡｇ反射塗料を充填したこと以外は実施例２と同様の操作を行い、シンチレータパネル４を作製した。Ａｇ反射塗料の充填は、幅４０μｍ・深さ３００μｍの格子状の溝加工されたシンチレータ板にアクリル樹脂をシンチレータを覆うように薄く塗布してアクリル樹脂層を形成した後、Ａｇ鍍金処理によりアクリル樹脂上にＡｇ反射塗料を充填した。
【００７３】
実施例５
板状シンチレータを、ＣｓＩとＴｌＩをＣｓＩの１ｍｏｌに対しＴｌＩを０．３ｍｏｌ％になるように混合した粉体を２０ｃｍ×２０ｃｍ、高さ５ｃｍの石英坩堝に入れて密閉し、５５０℃８ｈｒで焼成して得られたＣｓＩ：Ｔｌシンチレータ粉体を、プレス機により粉体成型し、４００μｍ厚、１８ｃｍ×１８ｃｍにしたこと以外は実施例４と同様の操作を行い、シンチレータパネル５を作製した。
【００７４】
（放射線画像検出装置の準備）
光検出素子として、ＰａｘＳｃａｎ２５２０（Ｖａｒｉａｎ  Ｍｅｄｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ：画素サイズ１２７μｍ）を用いて、シンチレータパネル１〜５のシンチレータ上面にＡｇ反射膜を貼り合わせ、シンチレータ下面を光検出素子と貼り合わせた。その際、ＣＣＤカメラで拡大して光検出素子の各々にシンチレータが一対一対応するように位置あわせを行った後、端部を接着して固定し放射線画像検出装置１〜５を準備した。
【００７５】
（発光輝度の測定）
管電圧８０ｋＶｐのＸ線を各試料の裏面（シンチレータ層（蛍光体層）が形成されていない面）から照射し、シンチレータ層（蛍光体層）から放射された光の発光量を光検出素子で検出・測定し、その測定値を「瞬時発光輝度（感度）」とした。ただし、表１中、輝度を示す値は、試料Ｎｏ．１の輝度を１．００としたときの相対値である。
【００７６】
（ＭＴＦの算出）
鉛製のＭＴＦチャートを通して管電圧８０ｋＶｐのＸ線を各試料の裏面（シンチレータ層（蛍光体層）が形成されていない面）から照射し、画像データを光検出素子で検出してハードディスクに記録した。その後、ハードディスク上の記録をコンピュータで分析して当該ハードディスクに記録されたＸ線像の変調伝達関数（ＭＴＦ（Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ  Ｔｒａｎｓｆｅｒ  Ｆｕｎｃｔｉｏｎ））を算出した。その算出結果（空間周波数１サイクル／ｍｍにおけるＭＴＦ値（％））を下記表１に示す。なお、表１中の結果において、ＭＴＦ値が高いほど解像力に優れている。
【００７７】
【表１】
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【００７８】
表１に示した結果から明らかなように、本発明の放射線画像検出装置によれば、シンチレータで可視光に変換された光は、発散することなく収束されて光検出素子に入射するため、従来の放射線画像検出装置に比べて格段に解像度及び感度が優れた放射線画像検出装置が実現可能となる。
【００７９】
１  基板
２  光検出素子
３  シンチレータパネル
４  シンチレータ
５  閉塞部材
６  エーパー角度
７  放射線
８  Ｘ線源
９  Ｘ線
１０  被写体
１１  カセッテ
１２  透過Ｘ線
１３  可視光
【図１】
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【図２】
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