(57)【要約】      （修正有）【課題】全体画像及びユーザによる重複率の調整を不要としつつ、所望の合成画像を得ることを可能とする。【解決手段】画像生成方法において、顕微鏡５０で観察される撮像対象物を所定の解像度で撮像した第１の部分画像を取得する。第１の部分画像から抽出した特徴点に基づき、第１の部分画像と合成する第２の部分画像との重複率を決定する。第１の部分画像と、決定した重複率に基づいて顕微鏡５０のステージ４を移動させて取得した第２の部分画像とを合成して得られる中間画像を取得する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
顕微鏡で観察される撮像対象物を所定の解像度で撮像した第１の部分画像を取得し、
前記第１の部分画像から抽出した特徴点に基づき、該第１の部分画像と合成する第２の部分画像との重複率を決定し、
前記第１の部分画像と、前記決定した重複率に基づいて前記顕微鏡のステージを移動させて取得した前記第２の部分画像とを合成して得られる合成画像を取得する
処理を含むことを特徴とする画像生成方法。
【請求項２】
前記第１の部分画像から抽出した特徴点の数が所定数以上か否かを判定し、該所定数に満たないと判定した場合には、予め用意されている重複率を前記第２の部分画像との重複率として決定する
ことを特徴とする請求項１記載の画像生成方法。
【請求項３】
前記第２の部分画像について、特徴点を抽出して、前記所定数以上の特徴点が該第２の部分画像に含まれるか否かを判定し、前記第２の部分画像に含まれる特徴点の数に応じて、該第２の部分画像の特徴点に基づき決定する重複率、あるいは前記予め用意されている重複率を用いて、前記第１及び第２の部分画像を合成して得られた前記合成画像と、該重複率に基づいて前記顕微鏡のステージを移動させて取得した第３の部分画像とを合成して新たに合成画像を生成し、
前記撮像対象物の全体画像を取得するまで、上記の処理を繰り返す
ことを特徴とする請求項１または２記載の画像生成方法。
【請求項４】
撮像対象物を所定の倍率で観察する顕微鏡と、該撮像対象物に対して相対的に移動するステージとを備える顕微鏡システムであって、
前記顕微鏡の前記観察像を前記所定の解像度で撮像した第１の部分画像を取得する撮像部と、
前記第１の部分画像から抽出した特徴点に基づき、該第１の部分画像と合成する第２の部分画像との重複率を決定し、該重複率に基づき前記ステージの移動量を決定する移動量決定部と、
前記第１の部分画像と、前記決定した移動量にしたがって前記ステージを移動させて取得した前記第２の部分画像とを合成して得られる合成画像を取得する画像生成部と
を備えることを特徴とする顕微鏡システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被写体を複数の部分画像に分割して撮像し、部分画像を貼り合わせて被写体の全体画像を生成する画像生成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
今日では、ＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）基板やＰＤＰ（プラズマディスプレイ）基板、半導体ウェハ等を検査・修正するための工業用途の顕微鏡や検査装置においては、基板の機能上問題となる欠陥を検査・識別する方法として、画像を利用した方法が一般的に行われている。
【０００３】
上記の基板の欠陥を検査・識別する方法において、基板等のパターン形成等に影響する微細な欠陥を高精度で検査・識別するには、検査等の対象となるパターンを正常な基準パターンと比較する必要がある。このため、低倍率で被写体全体をカバーする画像だけでなく、より高倍率で被写体全体をカバーできる高精細画像（高解像度の画像）についても必要とするケースが多くなってきている。
【０００４】
しかし、被写体の大きさによっては、一度に被写体全体の高精細画像を取得することができない。このため、高精細画像を取得する技術として、取得すべき高精細画像全体を複数の領域に分割し、これら分割した領域のそれぞれについて高解像度で撮像を行い、撮像により得られた部分画像を互いに貼り合わせることにより、所望の高精細画像を得る方法が広く知られている。このような高精細画像を得る方法においては、まず、低倍率の全体画像を基にして、高倍率の部分画像を撮像し、撮像した部分画像を貼り合わせる。このような方法は、工業用途に限らず、各種分野に、また様々なアプリケーションに利用されている。
【０００５】
部分画像を貼り合わせる技術として、低倍率で撮像した全体画像内で貼り合わせに適した箇所を探索し、探索結果を基に、高倍率で撮像した部分画像を貼り合わせて、高精細画像を生成する方法が提供されている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特表２００６−００６５２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
例えば上記の特許文献１に記載されている方法により部分画像の貼り合わせを行う場合、貼り合わせに適した箇所を探索するために利用する低倍率の全体画像内については、撮像したい範囲すなわち被写体全体が収まっている必要がある。被写体の大きさによっては、より低倍率に切り替えて全体画像を撮像する、あるいは倍率を下げても被写体全体が収まる全体画像が撮像できない場合には、貼り合わせ不可と判断する等が必要な状況となる。
【０００８】
また、低倍率と高倍率とでは、見え方が異なるため、低倍率の全体画像で探索して取得した箇所が、必ずしも高倍率の部分画像の貼り合わせに適しているとは限らない。場合によっては、探索に得られた箇所で試みても貼り合わせすることができず、全体画像についての探索処理からやり直すことによりタイムロスが発生する、あるいは、貼り合わせがうまくいかずに所望の画像が得られない等の結果となり得る。
【０００９】
更には、上記の貼り合わせを行う際には、部分画像同士の貼り合わせの糊代、すなわち部分画像の「重複率」の設定が重要である。重複率を大きく設定するほど、より多くの部分画像を撮像することとなるため、処理時間が長くなる。一方、重複率を小さく設定するほど、部分画像のうち貼り合わせに利用する領域が小さくなり、貼り合わせがしにくくなる。重複率の最適値は、検査等の対象（基板の検査等の場合はパターン）によって異なるため、ユーザが目視で調整するには熟練が必要となる、という課題がある。
【００１０】
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、全体画像及びユーザによる重複率の調整を不要としつつ、所望の合成画像を得ることのできる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するために、本発明に係る画像生成方法は、顕微鏡で観察される撮像対象物を所定の解像度で撮像した第１の部分画像を取得し、前記第１の部分画像から抽出した特徴点に基づき、該第１の部分画像と合成する第２の部分画像との重複率を決定し、前記第１の部分画像と、前記決定した重複率に基づいて前記顕微鏡のステージを移動させて取得した前記第２の部分画像とを合成して得られる合成画像を取得する構成とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、全体画像及びユーザによる重複率の調整を不要としつつ、所望の合成画像を得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】実施形態に係る顕微鏡システムの構成図である。
【図２】実施形態に係る画像処理部の機能ブロック図である。
【図３】撮像対象物の例を示す図である。
【図４】画像中の特徴点を利用して画像の貼り合わせを行う方法について説明する図（その１）である。
【図５】画像中の特徴点を利用して画像の貼り合わせを行う方法について説明する図（その２）である。
【図６】貼り合わせの重複率を決定する方法を説明する図（その１）である。
【図７Ａ】貼り合わせの重複率を決定する方法を説明する図（その２）である。
【図７Ｂ】貼り合わせの重複率を決定する方法を説明する図（その３）である。
【図８】ステージの移動方法を説明する図である。
【図９】画像の重ね合わせを行う方法を説明する図である。
【図１０】実施形態に係る顕微鏡システムによる高精細画像の生成処理を示したフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本実施形態に係る顕微鏡システムの構成図である。図１に示す顕微鏡システム１００は、顕微鏡５０、ステージ制御部６、顕微鏡Ｚ軸制御部８、画像処理部５及びシステム制御部７を含み、顕微鏡５０は、ステージ４、鏡筒１、対物レンズ２及びカメラ３を含み、所定の倍率で基板等の撮像対象物を観察する。
【００１５】
ステージ４は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向（図１においては左右方向及び奥行き方向）に駆動する２軸移動機構を有し、撮像対象物に対して相対的に移動する。鏡筒１は、ステージ４に載置された撮像対象物の上部に位置し、ステージ４側には対物レンズ２が取り付けられている。鏡筒１は、不図示の上下駆動機構により、Ｚ軸方向（図１においては上下方向）に駆動される。
【００１６】
鏡筒１の対物レンズ２に関して他方端の側には、カメラ３が設けられている。カメラ３は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラからなり、ステージ４に載置されている撮像対象物を所定の解像度で撮像し、取得した映像信号または画像信号を出力して画像処理部５に転送する。ＣＣＤカメラは、例えば、ＲＧＢ対応画素ごとの諧調度（輝度）データを画像情報として出力する。
【００１７】
システム制御部７は、必要に応じてステージ制御部６、顕微鏡Ｚ軸移動制御部８及び画像処理部５のそれぞれを制御する。また、画像サイズ、画像の生成範囲（下限値）及び画素分解能等の入力を受けて、複数の画像を合成する必要性の判断等の処理を行う。
【００１８】
ステージ制御部６は、システム制御部７からの命令にしたがって、ステージ４のＸ軸及びＹ軸の２軸方向についての移動制御を行い、対物レンズ２と撮像対象物との相対的な位置調整を行う。
【００１９】
顕微鏡Ｚ軸移動制御部８は、システム制御部７からの命令にしたがって、上記の上下駆動機構を制御して鏡筒１を上下（Ｚ軸方向）に移動させ、ステージ４に載置された撮像対象物に対するピント調整を行う。
【００２０】
画像処理部５は、カメラ３から転送されてきた映像信号や画像信号について、各種画像処理を実行する。
図１に示す顕微鏡システム１００のうち、画像処理部５の構成について、図２を参照して詳しく説明する。
【００２１】
図２は、本実施形態に係る画像処理部５の機能ブロック図である。図２に示す画像処理部５は、撮像制御部９、シェーディング・歪み・輝度補正処理部（以下においては補正処理部と略記）１０、画像データ記憶バッファ部１１、特徴点抽出処理部１２、画像生成処理部１３及び移動量決定部１４を含む。
【００２２】
撮像制御部９は、システム制御部７の制御により、顕微鏡Ｚ軸移動制御部８によってピント調整を行い、対物レンズ２を通してカメラ３により撮像された画像情報を、補正処理部１０に出力する。
【００２３】
補正処理部１０は、撮像制御部９から入力された画像情報に含まれる、撮像系によるシェーディング、歪み、輝度のばらつき等の補正を行い、画像データ記憶バッファ部１１に記憶させる。
【００２４】
画像データ記憶バッファ部１１は、撮像した画像や、最終的に得られる画像を生成するまでの過程において生成される中間画像を記憶する。中間画像とは、画像生成処理の途中の段階での合成を行った画像をいう。
【００２５】
特徴点抽出処理部１２は、画像データ記憶バッファ部１１から中間画像と、中間画像に合成させる画像とを読み出し、読み出した画像から特徴点を抽出する。中間画像に合成させる画像は、最終的に取得すべき画像の一部を構成するものであり、以下においては、「部分画像」とする。なお、特徴点抽出アルゴリズムとしては、例えばハリスオペレータやＳＯＪＫＡオペレータ等の公知の技術を利用する。
【００２６】
移動量決定部１４は、画像データ記憶バッファ部１１から部分画像を読み出して、特徴点抽出処理部１２において得た特徴点についての情報に基づき、ステージ４の移動量を決定する。そして、決定したステージ４の移動量をシステム制御部７に出力する。システム制御部７は、移動量決定部１４から入力された移動量を使用して、ステージ４のＸ軸方向及びＹ軸方向の移動を制御し、次に部分画像を取得すべき箇所へと移動させるようステージ制御部６へ指示する。
【００２７】
画像生成処理部１３は、処理対象の画像（部分画像と中間画像のうち、部分画像と重複する領域の画像）ごとに、特徴点抽出処理部１２において得た特徴点についての情報に基づき、画像間で最も良く対応する点を検出し、変換行列を作成する。そして、作成した変換行列を利用して、互いの画像の合成処理を実行する。変換行列を作成するアルゴリズムとしては、例えばＲＡＮＳＡＣアルゴリズム等の公知の技術を利用する。
【００２８】
図２に示す画像処理部５は、必要な画像を出力するには複数の部分画像を合成する必要がある場合には、特徴点抽出処理部１２において抽出した特徴点を利用して部分画像の合成を実行する。中間画像に合成する部分画像を取得する際には、特徴点の抽出状況に基づき、その部分画像を中間画像とどれだけ重複させるか（重複率）を決定して、決定した重複率に対応させてステージ４を移動させ、部分画像を取得する。取得した部分画像を、決定した重複率にしたがって中間画像と合成させていくことで、最終的に取得すべき画像を得る。
【００２９】
以下の説明においては、特徴点を利用して画像を合成する処理を、「貼り合わせ」処理とする。
図３は、撮像対象物の例を示す図である。以下、図３に示す回路パターンを備えるＦＰＤ基板を撮像対象物として、高精細画像を取得する場合における貼り合わせ画像の生成方法について説明する。
【００３０】
図１に示す顕微鏡システム１００は、図３に示す撮像対象物について高精細画像を生成するときに、カメラ３の視野サイズと高精細画像の範囲とから、画像の貼り合わせ処理の必要性を判断する。
【００３１】
具体的には、視野サイズＶ、高精細画像の範囲をＰとすると、Ｐ≦Ｖ／２の条件式を満たす場合には、貼り合わせ処理は不要と判断する。一方、Ｐ＞Ｖ／２の条件式を満たす場合には、貼り合わせ処理が必要と判断し、本実施形態に係る高精細画像の生成方法を実行する。
【００３２】
なお、視野サイズＶ及び高精細画像の範囲Ｐについては、いずれもＸ成分及びＹ成分からなり、成分ごとに、上記条件式を用いて貼り合わせ処理の要否を判断する。視野サイズ及び高精細画像の範囲については、移動誤差等を考慮する等により、実際の値に対して余裕を持たせて設定することとしてもよい。
【００３３】
以下、貼り合わせが必要と判断された場合における高精細画像生成処理の詳細について説明する。
図４及び図５は、画像中の特徴点を利用して画像の貼り合わせを行う方法について説明する図である。図４に示す基板のうち、２つの領域ＲＡ及びＲＢは、それぞれ顕微鏡の視野範囲を表し、領域ＲＡ及びＲＢについて取得した画像が、図５に示す部分画像Ａ及びＢである。ここでは、部分画像Ａについては既に貼り合わせ処理が実行されて中間画像の一部となっており、これに部分画像Ｂを貼り合わせる場合について説明する。また、ここでは、部分画像Ａと部分画像Ｂの重複率を５０％とする。
【００３４】
図５に示すとおり、重複率が５０％の場合には、２つの部分画像Ａ及びＢの重複箇所は、部分画像Ａの上半分、部分画像Ｂの下半分の領域となる。部分画像Ａからは、Ｐ１ａ〜Ｐ４ａの４つの特徴点が抽出され、部分画像Ｂからは、Ｐ１ｂ〜Ｐ４ｂの４つの特徴点が抽出される。画像生成処理部１３は、特徴点抽出処理部１２において抽出した特徴点の対応関係を探索し、それぞれＰ１ａ＝Ｐ１ｂ、Ｐ２ａ＝Ｐ２ｂ、Ｐ３ａ＝Ｐ３ｂ及びＰ４ａ＝Ｐ４ｂの関係を満たす変換行列を求める。求めた変換行列を用いて、部分画像Ｂを部分画像Ａ（を含む中間画像）との貼り合わせを行い、中間画像Ｍを得る。
【００３５】
図４及び図５においては、重複率が５０％の場合について例示するが、本実施形態に係る顕微鏡システム１００は、特徴点抽出処理部１２における特徴点の抽出状況に応じて、部分画像Ａ及び部分画像Ｂを貼り合わせる際の重複率を決定する。次に、重複率の決定方法について説明する。
【００３６】
図６、図７Ａ及び図７Ｂは、貼り合わせの重複率を決定する方法を説明する図である。図６の部分画像Ａについて重複率を決定し、決定した重複率に基づいてカメラ３の視野を図６の矢印方向に移動させ、移動後の位置で取得した部分画像を部分画像Ａと貼り合わせる場合を例に説明する。
【００３７】
図７Ａに示すとおり、重複率を２０％と設定した場合には、特徴点の抽出の対象外とされる領域ＲＯ（画像の上から２０〜１００％の領域、図７Ａの網掛け領域）にしか特徴点がないため、上から２０％の領域からは特徴点が検出されない。この場合は、重複率の値が適切に設定されていないと判断して、より大きい値に変更し、特徴点の再抽出を行う。
【００３８】
図７Ｂに示すとおり、重複率を５０％と設定した場合には、特徴点抽出の対象領域からは、４つの特徴点Ｐが検出できる。この場合は、重複率５０％であれば、貼り合わせが可能であると判断する。貼り合わせ処理に十分な特徴点の数については、ユーザが適宜設定できる構成とすることが好ましい。
【００３９】
上記のとおり、部分画像からの特徴点の抽出状況に応じて重複率を決定し、重複率に応じてステージ４の移動量を決定する。決定した移動量にしたがってステージ４を移動させてカメラ３の視野方向を移動させると、移動後の位置で部分画像を撮像して中間画像に貼り合わせを行っていく。
【００４０】
図８は、ステージ４の移動方法を説明する図である。撮像対象物の基板パターンに対し、範囲Ｒについて高精細画像を必要としている場合を例示している。
実施例では、図８に示す順序でステージ４を移動させ、Ｐ１、Ｐ２、…、Ｐ６の順で部分画像を取得してゆく。図面の横方向をＸ軸方向（行方向）、縦方向をＹ軸方向（列方向）とすると、図８に示すように、行方向及び列方向を交互にステージ４移動させることにより、中間画像と新たに取得した部分画像との貼り合わせのための変換行列の作成を簡潔化させ、画像貼り合わせのための一連の処理が複雑になることを避けることができる。
【００４１】
上記の方法によれば、２枚の画像のそれぞれから特徴点を抽出して、特徴点に基づき２枚の画像の貼り合わせを行っているが、例えば基板のパターンによっては、部分画像から貼り合わせに必要な数の特徴点が抽出できないことも起こり得る。このような場合であっても、高精細画像の生成処理を可能とするために、以下のパターンマッチングを採用する構成としてもよい。
【００４２】
図９は、画像の重ね合わせを行う方法を説明する図である。上記のとおり、特徴点を利用して合成画像を得る方法を、画像の「貼り合わせ」と定義しているのに対し、以下に説明するようなパターンマッチングを利用して合成画像を得る方法を、画像の「重ね合わせ」と定義する。
【００４３】
画像の重ね合わせ処理に関しては、画像生成処理部１３は、形状サーチ等のパターンマッチングアルゴリズムを使用する。例えば、図９に示す部分画像Ａ及びＢのように、特徴点を抽出できない場合に、パターンマッチングアルゴリズムにより、部分画像Ａ及びＢからエッジを探索する。なお、探索領域は、画像の貼り合わせ処理と同様に、先に画像の合成に用いた重複率、あるいは初期値により決定される。
【００４４】
図９に示す例では、画像横方向に探索を行った結果、部分画像ＡからはエッジＥ１ａ及びエッジＥ２ａが、部分画像ＢからはエッジＥ１ｂ及びエッジＥ２ｂが抽出される。横方向については、これらの抽出されたエッジを利用して、画像の重ね合わせを行う。
【００４５】
一方、画像縦方向については、エッジは抽出されない。しかし、このような場合であっても、部分画像Ｂは、部分画像Ａから重複率分だけ縦方向にステージ４を移動させて取得した画像である。このことを利用して、縦方向については、ステージ４の移動量を画像の移動量と捉えて部分画像Ａ及び部分画像Ｂ間で縦方向の重ね合わせを行う。これにより、図９に示す中間画像Ｍを得る。エッジＥ１ａ及びエッジＥ１ｂを重ね合わせた部分のエッジがＥ１、エッジＥ２ａ及びエッジＥ２ｂを重ね合わせた部分のエッジがＥ２に相当する。
【００４６】
図９においては横方向のエッジを抽出できる場合の例を示しているが、この他には、縦方向のエッジのみが抽出される場合や、横方向及び縦方向のいずれについてもエッジが抽出できない場合も考えられる。これらの場合には、所望のエッジ、すなわちマッチングをとるべき位置が得られなかった方向についてはどの位置で重ね合わせを行ってもよいと判断し、ステージ４の移動量を画像の移動量と見なすことで、重ね合わせを行うことが可能である。
【００４７】
図９に示す方法で画像の「重ね合わせ」を行うことにより、画像から貼り合わせに適切な特徴点が抽出されない場合であっても、本実施形態に係る高精細画像生成処理の実行を継続させることが可能となる。
【００４８】
図１０は、本実施形態に係る顕微鏡システム１００による高精細画像の生成処理を示したフローチャートである。図１０に示す処理は、図１においては不図示の入力装置を介して、高精細画像生成処理を開始する旨の命令が入力されたことを契機として開始される。
【００４９】
まず、ステップＳ１で、システム制御部７は、ユーザが上記入力装置を介して入力したパラメータ値に基づき、必要とする高精細画像の範囲を設定する。なお、図１０においては、カメラ３の視野サイズとステップＳ１で設定した高精細画像の範囲とに基づき、貼り合わせ処理が必要と判断される場合の処理をステップＳ２以降に示している。
【００５０】
ステップＳ２で、システム制御部７の命令により、画像処理部５の撮像制御部９は、対物レンズ２を指定倍率に切り替え、顕微鏡Ｚ軸制御部８は、鏡筒１を上下させてピント合わせを行うと、撮像制御部９は、カメラ３で部分画像を撮像する。図１０においては、ステージ４については、予め撮像開始位置に移動された状態で高精細画像生成処理を開始する場合の処理を例示するが、高精細画像の生成処理を開始した時点では、ステージ４は任意の位置にある構成としてもよい。この場合は、ステップＳ２において、ステージ制御部６が、高精細画像の範囲にしたがって決定される撮像開始位置にステージ４を移動させる。
【００５１】
補正処理部１０は、入力された画像にシェーディング、歪み、輝度の補正等を行い、補正により得られた画像データを１枚の部分画像として画像データ記憶バッファ部１１に記憶させる。取得した部分画像を記憶させると、システム制御部７は、貼り合わせ方向をパラメータとして、記憶した部分画像について貼り合わせを開始する旨の命令を出力する。
【００５２】
ステップＳ３で、システム制御部７からの命令を受けた特徴点抽出部１２は、ステップＳ２において画像データバッファ部１１に記憶した部分画像を取得して、部分画像のうち所定の範囲の領域から特徴点の抽出を行う。なお、特徴点を抽出する所定の範囲の初期値については、予め設定されている基準重複率に基づき決定する。
【００５３】
ステップＳ４で、抽出された特徴点の数が所定数以上であるか否かを判定する。特徴点の数が所定数以上である場合には、ステップＳ５に進み、画像の「貼り合わせ」処理を開始する。
【００５４】
ステップＳ５で、貼り合わせの重複率を決定する。重複率の決定方法は、先に図６、図７Ａ及び図７Ｂを参照して説明したとおりである。ステップＳ６で、ステージ移動部６は、ステップＳ５において決定した重複率と、上記ステップＳ２において移動量決定部１４に入力された貼り合わせ方向とから、所定の位置にステージ４を移動させる。
【００５５】
ステップＳ７で、撮像制御部９は、移動後のステージ４の位置で部分画像を取得し、画像データ記憶バッファ部１１に記憶させる。ステップＳ８で、画像生成処理部１３が、画像データ記憶バッファ部１１からステップＳ７で取得した部分画像と中間画像とを読み出して、貼り合わせを行い、ステップＳ９に進む。ステップＳ８の貼り合わせの方法については、図４及び図５を参照して説明したとおりである。なお、初期値においては、ステップＳ７で取得した部分画像と貼り合わせを行う画像は、中間画像ではなく、ステップＳ２で取得した部分画像となる。
【００５６】
一方、ステップＳ４において、特徴点の数が所定数に満たないと判定した場合には、ステップＳ１０に進み、画像の「重ね合わせ」処理を開始する。
ステップＳ１０で、ステージ制御部６は、ステージ４を予め用意されている重複率を用いて算出された所定量移動させて視野を移動し、ステップＳ１１で、撮像制御部９は、移動後のステージ４の位置で部分画像を取得し、画像データ記憶バッファ部１１に記憶させる。ステップＳ１２で、画像生成処理部１３が、画像データ記憶バッファ部１１からステップＳ１１で取得した部分画像と中間画像とを読み出して、重ね合わせを行い、ステップＳ９に進む。重ね合わせの方法については、図９を参照して説明したとおりである。初期値においては、ステップＳ１１で取得した部分画像と重ね合わせを行う画像は、中間画像でなく、ステップＳ２で取得した部分画像となる。
【００５７】
ステップＳ９で、ステップＳ８またはステップＳ１２において生成した中間画像の範囲は、ステップＳ１で設定した高精細画像の範囲を満たすか否かを判定する。設定した高精細画像の範囲を満たしていないと判定した場合には、ステップＳ３に戻り、同様の処理を繰り返す。ステップＳ９において、生成した中間画像の範囲がステップＳ１で設定した高精細画像の範囲を満たすと判断すると、その中間画像を最終的に生成すべき高精細画像として出力し、処理を終了する。
【００５８】
以上説明したように、本実施形態に係る高精細画像生成方法によれば、部分画像の特徴点を利用して部分画像を合成するため、低倍率の全体画像が不要となる。これとともに、抽出された特徴点の数を利用して重複率を決定するため、ユーザによる重複率の調整が不要となる。
【００５９】
なお、上記においては撮像対象物について高精細画像を取得する場合を例に説明しているが、これには限らない。特徴点を利用して複数の画像を合成して１枚の画像を生成する方法であれば、本発明に含まれる。
【符号の説明】
【００６０】
１      鏡筒
２      対物レンズ
３      カメラ
４      ステージ
５      画像処理部
６      ステージ制御部
７      システム制御部
８      顕微鏡Ｚ軸制御部
９      撮像制御部
１０    シェーディング・歪み・輝度補正処理部（補正処理部）
１１    画像データ記憶バッファ部
１２    特徴点抽出処理部
１３    画像生成処理部
１４    移動量決定部
５０    顕微鏡
１００  顕微鏡システム
【図１】
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【図２】
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【図１０】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８】
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【図９】
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