(57)【要約】      （修正有）【課題】リールに巻き取られているキャリアテープの量に関係なく、安定したキャリアテープの供給・収容動作を行うことのできるＴＣＰハンドリング装置を提供する。【解決手段】供給側テンションローラ２４および収容側テンションローラ２５は、キャリアテープ５のテンションを調整するためにスライド移動可能となっており、供給側テンションローラ２４のスライド移動の速度を、第１のセンサ２４Ａおよび第２のセンサ２４Ｂを使用して測定し、測定した速度に基づいて供給リール２１の回転速度を制御し、収容側テンションローラ２５のスライド移動の速度を、第３のセンサ２５Ａおよび第４のセンサ２５Ｂを使用して測定し、測定した速度に基づいて収容リール２２の回転速度を制御する。【選択図】図１
2011145226.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを、供給リールから繰り出し、供給側テンションローラおよび収容側テンションローラを介して、収容リールに巻き取りつつ、前記供給側テンションローラおよび前記収容側テンションローラの間で前記キャリアテープ上のＴＣＰを測定部に接触させて試験に付すＴＣＰハンドリング装置であって、
前記供給側テンションローラおよび前記収容側テンションローラは、前記キャリアテープのテンションを調整するためにスライド移動可能となっており、
前記供給側テンションローラまたは前記収容側テンションローラのスライド移動の速度を測定し、
前記測定した速度に基づいて、前記供給リールまたは前記収容リールの回転速度を制御する
ことを特徴とするＴＣＰハンドリング装置。
【請求項２】
前記供給側テンションローラのスライド移動の速度が所定の速度よりも遅いときには、前記供給リールの回転速度を従前の速度よりも速くすることを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項３】
前記供給側テンションローラのスライド移動の速度が所定の速度よりも速いときには、前記供給リールの回転速度を従前の速度よりも遅くすることを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項４】
前記収容側テンションローラのスライド移動の速度が所定の速度よりも遅いときには、前記収容リールの回転速度を従前の速度よりも速くすることを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項５】
前記収容側テンションローラのスライド移動の速度が所定の速度よりも速いときには、前記収容リールの回転速度を従前の速度よりも遅くすることを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項６】
前記供給側テンションローラのスライド移動幅において、前記供給側テンションローラの移動可能範囲のリミットを検知する第１のセンサと第２のセンサとが設けられており、
前記供給側テンションローラのスライド移動の速度の測定は、前記供給側テンションローラが前記第１のセンサと前記第２のセンサとの間を移動する時間を測定することにより行う
ことを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項７】
前記収容側テンションローラのスライド移動幅において、前記収容側テンションローラの移動可能範囲のリミットを検知する第１のセンサと第２のセンサとが設けられており、
前記収容側テンションローラのスライド移動の速度の測定は、前記収容側テンションローラが前記第１のセンサと前記第２のセンサとの間を移動する時間を測定することにより行う
ことを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項８】
ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを、供給リールから繰り出し、供給側スプロケットおよび収容側スプロケットを介して、収容リールに巻き取りつつ、前記供給側スプロケットおよび前記収容側スプロケットの間で前記キャリアテープ上のＴＣＰを測定部に接触させて試験に付すＴＣＰハンドリング装置であって、
前記キャリアテープは、前記供給リールと前記供給側スプロケットとの間および／または前記収容リールと前記収容側スプロケットとの間で、垂下部が生じるように設けられており、
前記キャリアテープの垂下部の上下移動の速度を測定し、
前記測定した速度に基づいて、前記供給リールまたは前記収容リールの回転速度を制御する
ことを特徴とするＴＣＰハンドリング装置。
【請求項９】
前記供給側テンションローラと前記供給側スプロケットとの間における前記キャリアテープの垂下部の上下移動の速度が所定の速度よりも遅いときには、前記供給リールの回転速度を従前の速度よりも速くすることを特徴とする請求項８に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項１０】
前記供給側テンションローラと前記供給側スプロケットとの間における前記キャリアテープの垂下部の上下移動の速度が所定の速度よりも速いときには、前記供給リールの回転速度を従前の速度よりも遅くすることを特徴とする請求項８に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項１１】
前記収容側テンションローラと前記収容側スプロケットとの間における前記キャリアテープの垂下部の上下移動の速度が所定の速度よりも遅いときには、前記収容リールの回転速度を従前の速度よりも速くすることを特徴とする請求項８に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項１２】
前記収容側テンションローラと前記収容側スプロケットとの間における前記キャリアテープの垂下部の上下移動の速度が所定の速度よりも速いときには、前記収容リールの回転速度を従前の速度よりも遅くすることを特徴とする請求項８に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項１３】
前記キャリアテープの垂下部を検知する第１のセンサと第２のセンサとが設けられており、
前記キャリアテープの垂下部の上下移動の速度の測定は、前記垂下部が前記第１のセンサと前記第２のセンサとの間を移動する時間を測定することにより行う
ことを特徴とする請求項８に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣデバイスの１種であるＴＣＰ（Tape Carrier Package）やＣＯＦ（Chip On Film）（以下、ＴＣＰ、ＣＯＦ、その他ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）実装技術によって製造されたデバイスを纏めて「ＴＣＰ」という。）を試験するのに用いられるＴＣＰハンドリング装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣデバイス等の電子部品の製造過程においては、最終的に製造されたＩＣデバイスやその中間段階にあるデバイス等の性能や機能を試験する電子部品試験装置が必要であり、ＴＣＰの場合には、ＴＣＰ用の試験装置が使用される。
【０００３】
ＴＣＰ用の試験装置は、一般的にテスタ本体と、テストヘッドと、ＴＣＰハンドリング装置（以下「ＴＣＰハンドラ」という場合がある。）とから構成される。ＴＣＰハンドラは、ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを、供給リールから繰り出して、供給側テンションローラおよび収容側テンションローラを介して、収容リールに巻き取りつつ、供給側テンションローラおよび収容側テンションローラの間でキャリアテープ上のＴＣＰの外部端子をプローブにコンタクトさせることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付す。
【０００４】
ここで、供給側テンションローラおよび収容側テンションローラは、キャリアテープのテンションを調整するためにスライド移動可能となっている。供給リールおよび収容リールは、それぞれリールモータにより駆動され、リールに巻き取られているキャリアテープの量に関係なく、一定の速度で回転する。そして、キャリアテープの移動に伴って、供給側テンションローラおよび収容側テンションローラはスライド移動し、その位置をセンサで検知することで、リールモータの停止および駆動が制御される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、リールに巻き取られているキャリアテープの量が多い場合にリールが回転すると、キャリアテープ搬送の加速が急激なものとなり、またキャリアテープの搬送速度も速くなってしまい、それにより、キャリアテープのたるみや突っ張り発生したり、リールモータの停止タイミングの遅れが発生するという問題があった。
【０００６】
本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、リールに巻き取られているキャリアテープの量に関係なく、安定したキャリアテープの供給・収容動作を行うことのできるＴＣＰハンドリング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、第１に本発明は、ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを、供給リールから繰り出し、供給側テンションローラおよび収容側テンションローラを介して、収容リールに巻き取りつつ、前記供給側テンションローラおよび前記収容側テンションローラの間で前記キャリアテープ上のＴＣＰを測定部に接触させて試験に付すＴＣＰハンドリング装置であって、前記供給側テンションローラおよび前記収容側テンションローラは、前記キャリアテープのテンションを調整するためにスライド移動可能となっており、前記供給側テンションローラまたは前記収容側テンションローラのスライド移動の速度を測定し、前記測定した速度に基づいて、前記供給リールまたは前記収容リールの回転速度を制御することを特徴とするＴＣＰハンドリング装置を提供する（発明１）。
【０００８】
なお、本発明における「移動の速度を測定」は、単位長さを移動する時間を測定することを含むものとし、「測定した速度に基づいて」は、測定した時間に基づくことを含むものとする。
【０００９】
リールに巻き取られているキャリアテープの量が多く、それによりキャリアテープの搬送速度が速くなったり、リールに巻き取られているキャリアテープの量が少なく、それによりキャリアテープの搬送速度が遅くなったりしたときに、キャリアテープが突っ張ったり、たるんだりすることがあるが、上記発明（発明１）によれば、その状態を供給側テンションローラまたは収容側テンションローラのスライド移動の速度で検知することができ、それに基づいて供給リールまたは収容リールの回転速度を制御することで、キャリアテープの突っ張りやたるみを防止しつつ、キャリアテープの搬送速度を一定または一定に近い状態にすることができる。したがって、上記発明（発明１）によれば、リールに巻き取られているキャリアテープの量に関係なく、安定したキャリアテープの供給・収容動作を行うことができる。
【００１０】
上記発明（発明１）において、前記供給側テンションローラのスライド移動の速度が所定の速度よりも遅いときには、前記供給リールの回転速度を従前の速度よりも速くすることが好ましい（発明２）。供給リールから繰り出されるキャリアテープの搬送速度が遅く（供給リールに巻き取られているキャリアテープの量が少ないとき）、キャリアテープが突っ張りがちなときに、供給側テンションローラのスライド移動の速度が所定の速度よりも遅くなる傾向があるが、供給リールの回転速度を従前の速度よりも速くすることで、キャリアテープの突っ張りを防止しつつ、キャリアテープの搬送速度を一定または一定に近い状態にすることができる。
【００１１】
上記発明（発明１）において、前記供給側テンションローラのスライド移動の速度が所定の速度よりも速いときには、前記供給リールの回転速度を従前の速度よりも遅くすることが好ましい（発明３）。供給リールから繰り出されるキャリアテープの搬送速度が速く（供給リールに巻き取られているキャリアテープの量が多いとき）、キャリアテープがたるみがちなときに、供給側テンションローラのスライド移動の速度が所定の速度よりも速くなる傾向があるが、供給リールの回転速度を従前の速度よりも遅くすることで、キャリアテープのたるみを防止しつつ、キャリアテープの搬送速度を一定または一定に近い状態にすることができる。
【００１２】
上記発明（発明１）において、前記収容側テンションローラのスライド移動の速度が所定の速度よりも遅いときには、前記収容リールの回転速度を従前の速度よりも速くすることが好ましい（発明４）。収容リールが巻き取るキャリアテープの搬送速度が遅く（収容リールに巻き取られているキャリアテープの量が少ないとき）、キャリアテープがたるみがちなときに、収容側テンションローラのスライド移動の速度が所定の速度よりも遅くなる傾向があるが、収容リールの回転速度を従前の速度よりも速くすることで、キャリアテープのたるみを防止しつつ、キャリアテープの搬送速度を一定または一定に近い状態にすることができる。
【００１３】
上記発明（発明１）において、前記収容側テンションローラのスライド移動の速度が所定の速度よりも速いときには、前記収容リールの回転速度を従前の速度よりも遅くすることが好ましい（発明５）。収容リールが巻き取るキャリアテープの搬送速度が速く（収容リールに巻き取られているキャリアテープの量が多いとき）、キャリアテープが突っ張りがちなときに、収容側テンションローラのスライド移動の速度が所定の速度よりも速くなる傾向があるが、収容リールの回転速度を従前の速度より遅くすることで、キャリアテープの突っ張りを防止しつつ、キャリアテープの搬送速度を一定または一定に近い状態にすることができる。
【００１４】
上記発明（発明１）においては、前記供給側テンションローラのスライド移動幅において、前記供給側テンションローラの移動可能範囲のリミットを検知する第１のセンサと第２のセンサとが設けられており、前記供給側テンションローラのスライド移動の速度の測定は、前記供給側テンションローラが前記第１のセンサと前記第２のセンサとの間を移動する時間を測定することにより行うことが好ましい（発明６）。
【００１５】
上記発明（発明１）においては、前記収容側テンションローラのスライド移動幅において、前記収容側テンションローラの移動可能範囲のリミットを検知する第１のセンサと第２のセンサとが設けられており、前記収容側テンションローラのスライド移動の速度の測定は、前記収容側テンションローラが前記第１のセンサと前記第２のセンサとの間を移動する時間を測定することにより行うことが好ましい（発明７）。
【００１６】
第２に本発明は、ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを、供給リールから繰り出し、供給側スプロケットおよび収容側スプロケットを介して、収容リールに巻き取りつつ、前記供給側スプロケットおよび前記収容側スプロケットの間で前記キャリアテープ上のＴＣＰを測定部に接触させて試験に付すＴＣＰハンドリング装置であって、前記キャリアテープは、前記供給リールと前記供給側スプロケットとの間および／または前記収容リールと前記収容側スプロケットとの間で、垂下部が生じるように設けられており、前記キャリアテープの垂下部の上下移動の速度を測定し、前記測定した速度に基づいて、前記供給リールまたは前記収容リールの回転速度を制御することを特徴とするＴＣＰハンドリング装置を提供する（発明８）。
【００１７】
リールに巻き取られているキャリアテープの量が多く、それによりキャリアテープの搬送速度が速くなったり、リールに巻き取られているキャリアテープの量が少なく、それによりキャリアテープの搬送速度が遅くなったりしたときに、供給側スプロケットと収容側スプロケットとの間でキャリアテープが突っ張ったり、たるんだりすることがあるが、上記発明（発明８）によれば、その状態をキャリアテープの垂下部の上下移動の速度で検知することができ、それに基づいて供給リールまたは収容リールの回転速度を制御することで、供給側スプロケットと収容側スプロケットとの間におけるキャリアテープの突っ張りやたるみを防止しつつ、キャリアテープの搬送速度を一定または一定に近い状態にすることができる。したがって、上記発明（発明８）によれば、リールに巻き取られているキャリアテープの量に関係なく、安定したキャリアテープの供給・収容動作を行うことができる。
【００１８】
上記発明（発明８）において、前記供給側テンションローラと前記供給側スプロケットとの間における前記キャリアテープの垂下部の上下移動の速度が所定の速度よりも遅いときには、前記供給リールの回転速度を従前の速度よりも速くすることが好ましい（発明９）。
【００１９】
上記発明（発明８）において、前記供給側テンションローラと前記供給側スプロケットとの間における前記キャリアテープの垂下部の上下移動の速度が所定の速度よりも速いときには、前記供給リールの回転速度を従前の速度よりも遅くすることが好ましい（発明１０）。
【００２０】
上記発明（発明８）において、前記収容側テンションローラと前記収容側スプロケットとの間における前記キャリアテープの垂下部の上下移動の速度が所定の速度よりも遅いときには、前記収容リールの回転速度を従前の速度よりも速くすることが好ましい（発明１１）。
【００２１】
上記発明（発明８）において、前記収容側テンションローラと前記収容側スプロケットとの間における前記キャリアテープの垂下部の上下移動の速度が所定の速度よりも速いときには、前記収容リールの回転速度を従前の速度よりも遅くすることが好ましい（発明１２）。
【００２２】
上記発明（発明８）においては、前記キャリアテープの垂下部を検知する第１のセンサと第２のセンサとが設けられており、前記キャリアテープの垂下部の上下移動の速度の測定は、前記垂下部が前記第１のセンサと前記第２のセンサとの間を移動する時間を測定することにより行うことが好ましい（発明１３）。
【発明の効果】
【００２３】
本発明のＴＣＰハンドリング装置によれば、リールに巻き取られているキャリアテープの量に関係なく、キャリアテープのたるみや突っ張り、あるいはリールモータの停止タイミングの遅れを防止しつつ、キャリアテープの搬送速度を一定または一定に近い状態にすることができ、それにより、安定したキャリアテープの供給・収容動作を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施形態に係るＴＣＰハンドラを用いたＴＣＰ試験装置を示す正面図である。
【図２】同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおける供給リールおよび収容リールの動作を説明するフローチャートである。
【図３】本発明の他の実施形態に係るＴＣＰハンドラを用いたＴＣＰ試験装置を示す正面図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
〔第１の実施形態〕
図１は、本発明の第１の実施形態に係るＴＣＰハンドラを用いたＴＣＰ試験装置を示す正面図である。
【００２６】
まず、本実施形態に係るＴＣＰハンドラを備えたＴＣＰ試験装置の全体構成について説明する。ＴＣＰ試験装置１は、図示しないテスタ本体と、テスタ本体に電気的に接続されたテストヘッド１０と、テストヘッド１０に隣接して設けられたＴＣＰハンドラ２とから構成されている。なお、本実施形態におけるＴＣＰハンドラ２およびテストヘッド１０は、垂直型（測定部におけるキャリアテープ５が垂直方向に延在している）のものであるが、水平型（測定部におけるキャリアテープ５が水平方向に延在している）のものであってもよい。
【００２７】
ＴＣＰハンドラ２は、キャリアテープ５上に複数形成された各ＴＣＰを順次試験に付すものであり、本実施形態では、説明の簡略化のためにＴＣＰを１個ごと試験に付すものとする。ただし、本発明はこれに限定されるものではなく、キャリアテープ５上において直列方向および／または並列方向に並んだ複数のＴＣＰを同時に試験に付すようにしてもよい。
【００２８】
ＴＣＰハンドラ２は、供給リール２１と収容リール２２とを備えており、供給リール２１には試験前のキャリアテープ５が巻き取られている。キャリアテープ５は、供給リール２１から巻き出され、試験に付された後に収容リール２２に巻き取られる。供給リール２１および収容リール２２は、それぞれリールモータ２１ｍ，２２ｍの駆動によって回転する。
【００２９】
供給リール２１の側方には、第１のガイドローラ２３および供給側テンションローラ２４が設けられており、供給リール２１から巻き出されたキャリアテープ５は、第１のガイドローラ２３および供給側テンションローラ２４を経てプッシャユニット３に搬送される。
【００３０】
供給側テンションローラ２４は、スリット２４１をスライド移動（図１中では左右方向に移動）するように設けられている。この供給側テンションローラ２４がスライド移動することにより、キャリアテープ５のテンションを調整し、このスライド範囲において、キャリアテープ５のテンションを一定に保ったまま、コンタクト動作やテープ移動によるキャリアテープ５のたるみや突っ張りを吸収する。
【００３１】
供給側テンションローラ２４のスライド移動幅におけるテストヘッド１０側（図１中左側）の端部近傍には、供給側テンションローラ２４を検知する第１のセンサ２４Ａが設けられており、供給側テンションローラ２４のスライド移動幅における供給リール２１側（図１中右側）の端部近傍には、供給側テンションローラ２４を検知する第２のセンサ２４Ｂが設けられている。
【００３２】
一方、収容リール２２の側方には、収容側テンションローラ２５および第２のガイドローラ２６が設けられており、試験に付された後のキャリアテープ５は、収容側テンションローラ２５および第２のガイドローラ２６を経て、収容リール２２に巻き取られる。
【００３３】
収容側テンションローラ２５は、スリット２５１をスライド移動（図１中では左右方向に移動）するように設けられており、この収容側テンションローラ２５がスライド移動することにより、キャリアテープ５のテンションを調整し、このスライド範囲において、キャリアテープ５のテンションを一定に保ったまま、コンタクト動作やテープ移動によるキャリアテープ５のたるみや突っ張りを吸収する。
【００３４】
収容側テンションローラ２５のスライド移動幅におけるテストヘッド１０側（図１中左側）の端部近傍には、収容側テンションローラ２５を検知する第３のセンサ２５Ａが設けられており、収容側テンションローラ２５のスライド移動幅における収容リール２２側（図１中右側）の端部近傍には、収容側テンションローラ２５を検知する第４のセンサ２５Ｂが設けられている。
【００３５】
上記供給側テンションローラ２４と、第２のガイドローラ２５との間には、プッシャユニット３が設けられている。
【００３６】
図１に示すように、プッシャユニット３のフレーム（プッシャフレーム）３６には、ボールねじ３２を回転させることのできるサーボモータ３１が取り付けられているとともに、ボールねじ３２が螺合しているプッシャ本体部３３が水平方向のリニアモーションガイドを介して取り付けられている。このプッシャ本体部３３は、サーボモータ３１を駆動させることにより、リニアモーションガイドにガイドされながら水平方向に移動可能となっている。
【００３７】
このプッシャ本体部３３のテストヘッド１０側（図１中左側）の端部には、負圧源（図示省略）に接続されてキャリアテープ５を吸着保持することのできるプッシャプレート３４が設けられている。
【００３８】
プッシャ本体部３３の前段側（図１中上側）には、テンションスプロケット３５ａが設けられており、プッシャ本体部３３の後段側（図１中下側）には、メインスプロケット３５ｂが設けられている。メインスプロケット３５ｂおよびテンションスプロケット３５ａは、それらの駆動によりキャリアテープ５を所定の速度で搬送するとともに、停止時には所定の張力でキャリアテープ５を保持する。
【００３９】
一方、図１に示すように、プッシャユニット３の側方であって、テストヘッド１０のＴＣＰハンドラ２側の端部には、プローブカード８が設置されている。プローブカード８は複数のプローブ８１を備えており、各プローブ８１は、テストヘッド１０を介してテスタ本体に電気的に接続されている。
【００４０】
本実施形態に係るＴＣＰハンドラ２においては、供給側テンションローラ２４のスライド移動の速度を測定し、その測定した速度に基づいて、リールモータ２１ｍにより供給リール２１の回転速度を制御する。
【００４１】
供給側テンションローラ２４のスライド移動の速度の測定は、供給側テンションローラ２４が第１のセンサ２４Ａと第２のセンサ２４Ｂとの間を移動する時間を測定することにより行う。
【００４２】
供給リール２１に巻き取られているキャリアテープ５の量が多いときには、供給リール２１から繰り出されるキャリアテープ５の搬送速度が速く、キャリアテープ５がたるみがちになり、このようなときには、供給側テンションローラ２４のスライド移動の速度が所定の速度よりも速くなる傾向がある。本実施形態では、供給側テンションローラ２４のスライド移動の速度が所定の速度よりも速いときには、当該スライド移動の速度がなるべく一定になるように、供給リール２１の回転速度を従前の速度よりも遅くする。遅くする速度は、固定的であってもよいし、供給側テンションローラ２４のスライド移動の速度に応じて適宜変化させてもよい。このように供給リール２１の回転速度を遅くすることで、キャリアテープ５にたるみを発生させずに、キャリアテープ５の搬送速度を一定または一定に近い状態にすることができる。
【００４３】
一方、供給リール２１に巻き取られているキャリアテープ５の量が少ないときには、供給リール２１から繰り出されるキャリアテープ５の搬送速度が遅く、キャリアテープ５が突っ張りがちになり、このようなときに、供給側テンションローラ２４のスライド移動の速度が所定の速度よりも遅くなる傾向がある。本実施形態では、供給側テンションローラ２４のスライド移動の速度が所定の速度よりも遅いときには、当該スライド移動の速度がなるべく一定になるように、供給リール２１の回転速度を従前の速度よりも速くする。速くする速度は、固定的であってもよいし、供給側テンションローラ２４のスライド移動の速度に応じて適宜変化させてもよい。このように供給リール２１の回転速度を速くすることで、キャリアテープ５に突っ張りを発生させずに、キャリアテープ５の搬送速度を一定または一定に近い状態にすることができる。
【００４４】
上記のように供給リール２１の回転速度を制御することにより、供給リール２１に巻き取られているキャリアテープ５の量に関係なく、キャリアテープ５のたるみや突っ張り、あるいはリールモータ２１ｍの停止タイミングの遅れを防止しつつ、キャリアテープ５の搬送速度を一定または一定に近い状態にすることができ、それにより、安定したキャリアテープ５の供給・収容動作を行うことができる。
【００４５】
また、本実施形態に係るＴＣＰハンドラ２においては、収容側テンションローラ２５のスライド移動の速度を測定し、その測定した速度に基づいて、リールモータ２２ｍにより収容リール２２の回転速度を制御する。
【００４６】
収容側テンションローラ２５のスライド移動の速度の測定は、収容側テンションローラ２５が第３のセンサ２５Ａと第４のセンサ２５Ｂとの間を移動する時間を測定することにより行う。
【００４７】
収容リール２２に巻き取られているキャリアテープ５の量が少ないときには、収容リール２２が巻き取るキャリアテープ５の搬送速度が遅く、キャリアテープ５がたるみがちになり、このようなときには、収容側テンションローラ２５のスライド移動の速度が所定の速度よりも遅くなる傾向がある。本実施形態では、収容側テンションローラ２５のスライド移動の速度が所定の速度よりも遅いときには、当該スライド移動の速度がなるべく一定になるように、収容リール２２の回転速度を従前の速度よりも速くする。速くする速度は、固定的であってもよいし、収容側テンションローラ２５のスライド移動の速度に応じて適宜変化させてもよい。このように収容リール２２の回転速度を速くすることで、キャリアテープ５にたるみを発生させずに、キャリアテープ５の搬送速度を一定または一定に近い状態にすることができる。
【００４８】
一方、収容リール２２に巻き取られているキャリアテープ５の量が多いときには、収容リール２２が巻き取るキャリアテープ５の搬送速度が速く、キャリアテープ５が突っ張りがちになり、このようなときには、収容側テンションローラ２５のスライド移動の速度が所定の速度よりも速くなる傾向がある。収容側テンションローラ２５のスライド移動の速度が所定の速度よりも速いときには、当該スライド移動の速度がなるべく一定になるように、収容リール２２の回転速度を従前の速度よりも遅くする。遅くする速度は、固定的であってもよいし、収容側テンションローラ２５のスライド移動の速度に応じて適宜変化させてもよい。このように収容リール２２の回転速度を遅くすることで、キャリアテープ５に突っ張りを発生させずに、キャリアテープ５の搬送速度を一定または一定に近い状態にすることができる。
【００４９】
上記のように収容リール２２の回転速度を制御することにより、収容リール２２に巻き取られているキャリアテープ５の量に関係なく、キャリアテープ５のたるみや突っ張り、あるいはリールモータ２２ｍの停止タイミングの遅れを防止しつつ、キャリアテープ５の搬送速度を一定または一定に近い状態にすることができ、それにより、安定したキャリアテープ５の供給・収容動作を行うことができる。
【００５０】
次に、図２のフローチャートを参照して、上記ＴＣＰハンドラ２における供給リール２１および収容リール２２の動作について説明する。
【００５１】
最初に、メインスプロケット３５ｂおよびテンションスプロケット３５ａを駆動して、キャリアテープ５を所定の距離分（ＴＣＰ１個分）搬送する（Ｓ０１）。これに伴って、供給側テンションローラ２４が、第２のセンサ２４Ｂの位置から第１のセンサ２４Ａの方にスライド移動する（ＳＳ０１）。そして、第１のセンサ２４Ａが供給側テンションローラ２４を検知したら（ＳＳ０２）、リールモータ２１ｍを駆動して供給リール２１を回転させ、キャリアテープ５を繰り出す（ＳＳ０３）。
【００５２】
供給リール２１がキャリアテープ５を繰り出すと、それに伴って、供給側テンションローラ２４が、第１のセンサ２４Ａの位置から第２のセンサ２４Ｂの方にスライド移動する（ＳＳ０４）。そして、第２のセンサ２４Ｂが供給側テンションローラ２４を検知したら（ＳＳ０５）、リールモータ２１ｍを停止して供給リール２１の回転を止める（ＳＳ０６）。このとき、供給側テンションローラ２４が第１のセンサ２４Ａの位置から第２のセンサ２４Ｂの位置までスライド移動する時間を測定して、供給側テンションローラ２４のスライド移動の速度を取得し、それに基づいて、次に駆動する供給リール２１の回転速度を決定する。
【００５３】
一方、上記キャリアテープ５の搬送（Ｓ０１）に伴って、収容側テンションローラ２５は、第３のセンサ２５Ａの位置から第４のセンサ２５Ｂの方にスライド移動する（ＳＲ０１）。そして、第４のセンサ２５Ｂが収容側テンションローラ２５を検知したら（ＳＲ０２）、リールモータ２２ｍを駆動して収容リール２２を回転させ、キャリアテープ５を巻き取る（ＳＲ０３）。
【００５４】
収容リール２２がキャリアテープ５を巻き取ると、それに伴って、収容側テンションローラ２５が、第４のセンサ２５Ｂの位置から第３のセンサ２５Ａの方にスライド移動する（ＳＲ０４）。そして、第３のセンサ２５Ａが収容側テンションローラ２５を検知したら（ＳＲ０５）、リールモータ２２ｍを停止して収容リール２２の回転を止める（ＳＲ０６）。このとき、収容側テンションローラ２５が第４のセンサ２５Ｂの位置から第３のセンサ２５Ａの位置までスライド移動する時間を測定して、収容側テンションローラ２５のスライド移動の速度を取得し、それに基づいて、次に駆動する収容リール２２の回転速度を決定する。
【００５５】
キャリアテープ５を搬送して試験対象のＴＣＰをプローブカード８に対向するように移動させたら、プッシャユニット３（サーボモータ３１）の駆動により当該ＴＣＰをプローブカード８に押圧し、ＴＣＰの外部端子をプローブカード８のプローブ８１に接触させ、試験を実行する（Ｓ０２）。
【００５６】
上記サイクルを繰り返し行いながら、キャリアテープ５上の各ＴＣＰを順次試験に付す。上記実施形態では、供給リール２１および収容リール２２の回転速度が制御されているため、キャリアテープ５のたるみ・突っ張り、およびリールモータ２１ｍ，２２ｍの停止タイミングの遅れが防止され、そしてキャリアテープ５の搬送速度は一定または一定に近い状態にされ、もってキャリアテープ５の供給・収容動作が安定して行われる。
【００５７】
〔第２の実施形態〕
図３は、本発明の第２の実施形態に係るＴＣＰハンドラを用いたＴＣＰ試験装置を示す正面図である。
【００５８】
ＴＣＰ試験装置１Ａは、図示しないテスタ本体と、テスタ本体に電気的に接続されたテストヘッド１０と、テストヘッド１０の上側に設けられたＴＣＰハンドラ２Ａとから構成されている。本実施形態におけるＴＣＰハンドラ２Ａおよびテストヘッド１０は、水平型のものである。
【００５９】
ＴＣＰハンドラ２Ａは、供給リール２１と収容リール２２とを備えており、供給リール２１には試験前のキャリアテープ５が巻き取られている。キャリアテープ５は、供給リール２１から巻き出され、試験に付された後に収容リール２２に巻き取られる。供給リール２１および収容リール２２は、それぞれリールモータ２１ｍ，２２ｍの駆動によって回転する。
【００６０】
供給リール２１の下側には、供給側リミットローラ４１、供給側スプロケット４２および供給側ガイドローラ４３が設けられており、供給リール２１から巻き出されたキャリアテープ５は、供給側リミットローラ４１の下側、供給側スプロケット４２および供給側ガイドローラ４３を経てプッシャユニット３に搬送される。
【００６１】
一方、収容リール２２の下側には、収容側リミットローラ４４、収容側スプロケット４５および収容側ガイドローラ４６が設けられており、試験に付された後のキャリアテープ５は、収容側ガイドローラ４６、収容側スプロケット４５および収容側リミットローラ４４の下側を経て、収容リール２２に巻き取られる。
【００６２】
図３に示すように、供給側におけるキャリアテープ５は、供給リール２１と供給側スプロケット４２との間であって、供給側リミットローラ４１の下側において、垂下部５０ａが生じるように設けられている。また、収容側におけるキャリアテープ５は、収容リール２１と収容側スプロケット４５との間であって、収容側リミットローラ４４の下側において、垂下部５０ｂが生じるように設けられている。
【００６３】
供給側リミットローラ４１の下側には、そのスペース上、できる限り垂下部５０ａが生じる得る限界位置の近傍に、垂下部５０ａの有無を検知する第１のセンサ５１Ａおよび第２のセンサ５１Ｂが設けられている。具体的には、第１のセンサ５１Ａは、キャリアテープ５の垂下部５０ａの上下移動幅における上限の下側に設けられており、第２のセンサ５１Ｂは、キャリアテープ５の垂下部５０ａの上下移動幅における下限の上側に設けられている。
【００６４】
また、収容側リミットローラ４４の下側には、そのスペース上、できる限り垂下部５０ｂが生じる得る限界位置の近傍に、垂下部５０ｂの有無を検知する第３のセンサ５２Ａおよび第４のセンサ５２Ｂが設けられている。具体的には、第３のセンサ５２Ａは、キャリアテープ５の垂下部５０ｂの上下移動幅における上限の下側に設けられており、第４のセンサ５２Ｂは、キャリアテープ５の垂下部５０ｂの上下移動幅における下限の上側に設けられている。
【００６５】
キャリアテープ５の垂下部５０ａは、上記第１のセンサ５１Ａおよび第２のセンサ５１Ｂの範囲内において、キャリアテープ５の垂下部５０ｂは、上記第３のセンサ５２Ａおよび第４のセンサ５２Ｂの範囲内において、キャリアテープ５のテンションに応じて上下に移動し、そのように上下移動することで、供給側スプロケット４２と収容側スプロケット４５との間におけるキャリアテープ５のテンションを一定に保ち、その間におけるキャリアテープ５のたるみや突っ張りを吸収する。
【００６６】
なお、供給側においてキャリアテープ５が突っ張り過ぎた場合には、キャリアテープ５の垂下部５０ａは供給側リミットローラ４１に接触し、それにより供給側リミットローラ４１が移動して、突っ張り検知センサが反応するようになっている。同様に、収容側においてキャリアテープ５が突っ張り過ぎた場合には、キャリアテープ５の垂下部５０ｂは収容側リミットローラ４４に接触し、それにより収容側リミットローラ４４が移動して、突っ張り検知センサが反応するようになっている。
【００６７】
上記供給側ガイドローラ４３と収容側ガイドローラ４６との間には、第１の実施形態と同様のプッシャユニット３が設けられている。
【００６８】
本実施形態に係るＴＣＰハンドラ２Ａにおいては、キャリアテープ５の垂下部５０ａの上下移動の速度を測定し、その測定した速度に基づいて、リールモータ２１ｍにより供給リール２１の回転速度を制御する。
【００６９】
キャリアテープ５の垂下部５０ａの上下移動の速度の測定は、垂下部５０ａが第１のセンサ５１Ａと第２のセンサ５１Ｂとの間を移動する時間を測定することにより行う。具体的には、垂下部５０ａの下方移動の速度の測定は、第１のセンサ５１Ａが垂下部５０ａを検知した時点から、第２のセンサ５１Ｂが垂下部５０ａを検知した時点までの時間を測定することにより行う。また、垂下部５０ａの上方移動の速度の測定は、第２のセンサ５１Ｂで検知していた垂下部５０ａが検知されなくなった時点から、第１のセンサ５１Ａで検知していた垂下部５０ａが検知されなくなった時点までの時間を測定することにより行う。
【００７０】
供給リール２１に巻き取られているキャリアテープ５の量が多いときには、供給リール２１から繰り出されるキャリアテープ５の搬送速度が速く、キャリアテープ５がたるみがちになり、このようなときには、垂下部５０ａの上下移動の速度が所定の速度よりも速くなる傾向がある。本実施形態では、垂下部５０ａの上下移動の速度が所定の速度よりも速いときには、当該上下移動の速度がなるべく一定になるように、供給リール２１の回転速度を従前の速度よりも遅くする。遅くする速度は、固定的であってもよいし、垂下部５０ａの上下移動の速度に応じて適宜変化させてもよい。このように供給リール２１の回転速度を遅くすることで、キャリアテープ５の搬送速度を一定または一定に近い状態にすることができる。
【００７１】
一方、供給リール２１に巻き取られているキャリアテープ５の量が少ないときには、供給リール２１から繰り出されるキャリアテープ５の搬送速度が遅く、キャリアテープ５が突っ張りがちになり、このようなときに、垂下部５０ａの上下移動の速度が所定の速度よりも遅くなる傾向がある。本実施形態では、垂下部５０ａの上下移動の速度が所定の速度よりも遅いときには、当該上下移動の速度がなるべく一定になるように、供給リール２１の回転速度を従前の速度よりも速くする。速くする速度は、固定的であってもよいし、垂下部５０ａの上下移動の速度に応じて適宜変化させてもよい。このように供給リール２１の回転速度を速くすることで、キャリアテープ５の搬送速度を一定または一定に近い状態にすることができる。
【００７２】
上記のように供給リール２１の回転速度を制御することにより、供給リール２１に巻き取られているキャリアテープ５の量に関係なく、供給側スプロケット４２とプッシャユニット３との間におけるキャリアテープ５のたるみや突っ張り、あるいはリールモータ２１ｍの停止タイミングの遅れを防止しつつ、キャリアテープ５の搬送速度を一定または一定に近い状態にすることができ、それにより、安定したキャリアテープ５の供給・収容動作を行うことができる。
【００７３】
また、本実施形態に係るＴＣＰハンドラ２においては、キャリアテープ５の垂下部５０ｂの上下移動の速度を測定し、その測定した速度に基づいて、リールモータ２２ｍにより収容リール２２の回転速度を制御する。
【００７４】
キャリアテープ５の垂下部５０ｂの上下移動の速度の測定は、垂下部５０ｂが第３のセンサ５２Ａと第４のセンサ５２Ｂとの間を移動する時間を測定することにより行う。具体的には、垂下部５０ｂの下方移動の速度の測定は、第３のセンサ５２Ａが垂下部５０ｂを検知した時点から、第４のセンサ５２Ｂが垂下部５０ｂを検知した時点までの時間を測定することにより行う。また、垂下部５０ｂの上方移動の速度の測定は、第４のセンサ５２Ｂで検知していた垂下部５０ｂが検知されなくなった時点から、第３のセンサ５２Ａで検知していた垂下部５０ｂが検知されなくなった時点までの時間を測定することにより行う。
【００７５】
収容リール２２に巻き取られているキャリアテープ５の量が少ないときには、収容リール２２が巻き取るキャリアテープ５の搬送速度が遅く、キャリアテープ５がたるみがちになり、このようなときには、垂下部５０ｂの上下移動の速度が所定の速度よりも遅くなる傾向がある。本実施形態では、垂下部５０ｂの上下移動が所定の速度よりも遅いときには、当該上下移動の速度がなるべく一定になるように、収容リール２２の回転速度を従前の速度よりも速くする。速くする速度は、固定的であってもよいし、垂下部５０ｂの上下移動の速度に応じて適宜変化させてもよい。このように収容リール２２の回転速度を速くすることで、キャリアテープ５の搬送速度を一定または一定に近い状態にすることができる。
【００７６】
一方、収容リール２２に巻き取られているキャリアテープ５の量が多いときには、収容リール２２が巻き取るキャリアテープ５の搬送速度が速く、キャリアテープ５が突っ張りがちになり、このようなときには、垂下部５０ｂの上下移動の速度が所定の速度よりも速くなる傾向がある。垂下部５０ｂの上下移動の速度が所定の速度よりも速いときには、当該上下移動の速度がなるべく一定になるように、収容リール２２の回転速度を従前の速度よりも遅くする。遅くする速度は、固定的であってもよいし、垂下部５０ｂの上下移動の速度に応じて適宜変化させてもよい。このように収容リール２２の回転速度を遅くすることで、キャリアテープ５の搬送速度を一定または一定に近い状態にすることができる。
【００７７】
上記のように収容リール２２の回転速度を制御することにより、収容リール２２に巻き取られているキャリアテープ５の量に関係なく、プッシャユニット３と収容側スプロケット４５との間におけるキャリアテープ５のたるみや突っ張り、あるいはリールモータ２２ｍの停止タイミングの遅れを防止しつつ、キャリアテープ５の搬送速度を一定または一定に近い状態にすることができ、それにより、安定したキャリアテープ５の供給・収容動作を行うことができる。
【００７８】
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【産業上の利用可能性】
【００７９】
本発明に係るＴＣＰハンドリング装置は、安定したキャリアテープの供給・収容動作を行うのに有効である。
【符号の説明】
【００８０】
１，１Ａ…ＴＣＰ試験装置
２，２Ａ…ＴＣＰハンドラ（ＴＣＰハンドリング装置）
２１…供給リール
２２…収容リール
２４…供給側テンションローラ
２４Ａ…第１のセンサ
２４Ｂ…第２のセンサ
２５…収容側テンションローラ
２５Ａ…第３のセンサ
２５Ｂ…第４のセンサ
４２…供給側スプロケット
４５…収容側スプロケット
５…キャリアテープ
５０ａ，５０ｂ…垂下部
５１Ａ…第１のセンサ
５１Ｂ…第２のセンサ
５２Ａ…第３のセンサ
５２Ｂ…第４のセンサ
８１…プローブ（測定部）
【図１】
2011145226.tif 000003
【図２】
2011145226.tif 000004
【図３】
2011145226.tif 000005