(57)【要約】【課題】切削ブレードによって飛散する切削液を吸引手段で強制排出する切削装置において、切削液を吸引手段に導く管状部材に外力がかかりにくくして老朽化を抑える。【解決手段】吸引源８６を運転することにより、切削ブレード６５で跳ね上げられた切削液を、ブレードカバー７０の可動カバー７３に第１管状接続部材８１を介して接続した導出ホース８３に導入し、吸引チャンバ８５に導いて排出する。導出ホース８３を吸引チャンバ８５に接続する第２管状接続部材８２を回転機構８５０によって鉛直軸回りに回転自在とし、割り出し送り時に旋回する導出ホース８３の動きに追従して第２管状接続部材８２が回転し、第１管状接続部材８１や導出ホース８３に外力がかかりにくくする。【選択図】図６
2011016170.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを保持する保持手段と、
回転可能に支持され、前記保持手段に保持されたワークを切削する切削ブレードと、
該切削ブレードを移動させる可動手段と、
前記ワークに対する前記切削ブレードの加工点に切削液を供給する切削液供給手段と、
前記切削ブレードの回転に起因して前記加工点から飛散する前記切削液を回収する切削液回収手段と
を備える切削装置であって、
前記切削液回収手段は、
前記切削液を吸引する吸引手段と、
前記切削ブレードに近接して配設され、前記加工点から飛散する前記切削液を内部に導入する第１管状接続部材と、
一端が前記第１管状接続部材に、他端が前記吸引手段に第２管状接続部材を介して接続され、該第１管状接続部材と該吸引手段とを連通する切削液導出管と
を含み、
前記第２管状接続部材は、前記吸引手段に、回転機構を介して該第２管状接続部材の管長方向を回転軸として回転自在に取り付けられていることを特徴とする切削装置。
【請求項２】
前記回転機構と前記吸引手段との間に液体層が介在されていることを特徴とする請求項１に記載の切削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体ウェーハや各種電子部品の基板といった薄板状のワークを切削ブレードによって切断加工したり溝加工したりする切削装置に係り、特に、使用した切削液を回収して排出する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の切削装置は、高速回転させた円板状の切削ブレードをワークに切り込ませていくものが一般的であり、通常、切削ブレードがワークに接触する加工点付近に切削液を供給しながら切削が行われる。切削液は、切削によって生じる摩擦熱が切削ブレードの摩耗や破損あるいはワークのチッピング（欠け）などを発生させるため、主に冷却を目的として供給されている。また、切削液を供給する目的としては、冷却の他に、加工点から切削屑を洗い流して除去したり加工点を潤滑したりするといった面もある。
【０００３】
切削液の供給方法としては、上記加工点付近において切削ブレードの両側に配設した該切削ブレードの側面に沿って延びる一対の側方ノズルによって、切削ブレードの側方から切削液を噴出したり、切削ブレードの外周縁に対向して配設した外周ノズルによって、切削ブレードの回転方向の前方から切削ブレードの外周部分に切削液を噴出するなどの方法が、従来より採用されている。なお、本明細書で言う“切削ブレードの回転方向”とは、切削ブレードがワークに切り込んでいる加工点での切削ブレードの回転方向のことである。なお、以下の説明では切削ブレードの回転方向の前方／後方を、加工点の前方／後方と言い換える場合がある。
【０００４】
ところで、上記のようにして加工点に供給された切削液は、切削加工によって生じた切削屑が混合した状態で切削ブレードの回転方向後方に飛散し、そのままではワークの表面に付着してワークを汚染することになる。そこで、加工点の後側に設けた管状部材内に切削液を導入して飛散を抑えたり、さらには該管状部材に、吸引手段に連通するホース状の連結部材をつなげ、吸引手段を作動させて切削液を強制的に吸引したりして、ワークの表面に切削液が付着しないようにするとともに、汚れた切削液を適確に排出する切削装置が提案されている（特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−６９２８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記文献の図６で示されるように、吸引手段で切削液を強制排出する構成において、切削ブレードが装着された切削手段が可動式であると、上記の管状部材や連結部材に外力がかかって応力が生じるため、長期にわたって繰り返し運転すると、これら部材が傷んで老朽化し、破損するといった不具合が生じる。
【０００７】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その主な技術的課題は、切削ブレードによって飛散する切削液を吸引手段で強制排出する切削装置において、切削液を吸引手段に導く管状部材に外力がかかりにくくし、該管状部材の老朽化が効果的に抑えられる切削装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、ワークを保持する保持手段と、回転可能に支持され、保持手段に保持されたワークを切削する切削ブレードと、該切削ブレードを移動させる可動手段と、ワークに対する切削ブレードの加工点に切削液を供給する切削液供給手段と、切削ブレードの回転に起因して加工点から飛散する切削液を回収する切削液回収手段とを備える切削装置であって、切削液回収手段は、切削液を吸引する吸引手段と、切削ブレードに近接して配設され、加工点から飛散する切削液を内部に導入する第１管状接続部材と、一端が第１管状接続部材に、他端が吸引手段に第２管状接続部材を介して接続され、該第１管状接続部材と該吸引手段とを連通する切削液導出管とを含み、第２管状接続部材は、吸引手段に、回転機構を介して該第２管状接続部材の管長方向を回転軸として回転自在に取り付けられていることを特徴としている。
【０００９】
本発明では、切削液供給手段によって切削液を加工点に供給しながら切削ブレードによりワークを切削加工する運転を、吸引手段を作動させながら行う。加工点に供給された切削液は切削ブレードにより跳ね上げられて飛散するが、第１管状接続部材の内部に導入され、切削液導出管から第２管状接続部材を通って吸引手段に吸引される。これにより周囲への切削液の飛散が抑えられ、ワークに切削液が付着することが抑えられる。
【００１０】
本発明の切削装置の切削ブレードは、運転中において、ワークを切削加工するために可動手段によって移動させられる。切削ブレードの移動は、例えば切削ブレードの回転軸と直交する方向に移動してワークを切削加工していく加工送りや、加工送りのラインを変えるために切削ブレードの回転軸方向に移動する割り出し送りなどが挙げられる。
【００１１】
切削ブレードが移動すると、第１管状接続部材と切削液導出管も切削ブレードの動きに追従して動くが、その際、切削液導出管における吸引手段側の端部は、第２管状接続部材が回転機構を介して吸引手段に回転自在に取り付けられているため、第２管状接続部材とともに、切削ブレードの動きに追従して回転する。第２管状接続部材は、切削液導出管や第１管状接続部材に外力がかかった際、その外力により回転するのである。したがって、切削液導出管や第１管状接続部材にかかった外力は速やかに解消され、応力が生じにくいものとなる。その結果、切削液導出管は破損しにくく、老朽化が抑えられる。
【００１２】
本発明では、上記回転機構と上記吸引手段との間に液体層が介在されていることを好ましい形態としている。この形態によると、回転機構と吸引手段との間が液体で密封されることにより吸引手段の吸引力の損失が抑えられるとともに、コンタミ（塵埃）等が回転機構と吸引手段との間に付着して第２管状接続部材が固着し、回転不能となるといった不具合が未然に防がれる。
【００１３】
なお、本発明で言うワークは特に限定はされないが、例えばシリコンウェーハ等の上記半導体ウェーハや、チップ実装用としてウェーハの裏面に設けられるＤＡＦ（Die Attach Film）等の粘着部材、あるいは半導体製品のパッケージ、セラミックやガラス系あるいはシリコン系の基板、各種電子部品、液晶表示装置を制御駆動するＬＣＤドライバ等の各種ドライバ、さらには、ミクロンオーダーの精度が要求される各種加工材料等が挙げられる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ワークに対する切削ブレードの加工点から飛散する切削液を、第１管状接続部材から切削液導出管、第２管状接続部材を経て吸引手段に吸引する構成において、第２管状接続部材を回転機構を介して吸引手段に回転自在に取り付けたことにより、切削ブレードの移動に追従して第２管状接続部材が回転する。これによって切削液導出管や第１管状接続部材に外力がかかりにくくなり、切削液導出管の老朽化が効果的に抑えられるといった効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の一実施形態に係る切削装置およびワークであるウェーハを示す斜視図である。
【図２】同切削装置の切削手段を示す斜視図である。
【図３】切削手段の可動カバーがブレード着脱位置に位置付けられている状態を示す斜視図である。
【図４】同切削装置が具備する切削ブレードでウェーハを切削加工している状態を模式的に示す側面図である。
【図５】同切削装置の第２管状接続部材と吸引手段の吸引チャンバとの接続構造を示す断面図である。
【図６】切削手段が移動しても、切削液を吸引するための第１管状接続部材や導出ホースに外力がかかりにくいといった一実施形態の作用を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態を説明する。
図１は、一実施形態の切削装置１０を示している。該装置１０は、同図に示す半導体ウェーハ（以下、ウェーハと略称）１をワークとするものであって、切削ブレード６５による切削加工動作を自動制御してウェーハ１を多数の半導体チップにダイシングするダイシング装置である。
【００１７】
（１）ウェーハ
まず、ワークであるウェーハ１を説明する。ウェーハ１は、厚さが例えば１００〜７００μｍ程度であって、表面には格子状の分割予定ラインにより多数の矩形状のチップ２が区画されている。各チップ２の表面には、図示せぬＩＣやＬＳＩ等の電子回路が形成されている。切削装置１０による切削加工（ダイシング）は、厚さを貫通して完全に切断するフルカットの他に、表面から厚さの途中まで切削して溝を形成する溝加工を含む。溝を形成した場合には、後工程でさらに溝の残り厚さ部分を切削ブレード６５でフルカットするか、あるいは応力を付与して割断することにより、ウェーハ１は多数のチップ２に分割される。
【００１８】
なお、ウェーハ１は、環状のフレーム３の内側に粘着テープ４を介して同心状に一体に支持された状態で、切削装置１０に供給される。粘着テープ４は片面が粘着面とされたもので、その粘着面にフレーム３とウェーハ１が貼り付けられる。フレーム３は、金属等の板材からなる剛性を有するものであり、このフレーム３を支持することにより、ウェーハ１を損傷させることなく安全に搬送することができる。
【００１９】
（２）切削装置
（２−１）切削装置の構成
続いて、図１に示す切削装置１０の構成を説明する。この切削装置１０は、一対の上記切削ブレード６５を互いに対向配置した２軸対向型である。図１の符合１１は基台であり、この基台１１の中央には、長辺方向がＸ方向に延びる長方形状の凹所１２が形成されている。この凹所１２には、円板状のチャックテーブル（保持手段）２０がＸ方向に移動自在に設けられている。また、図１における基台１１上の後側（Ｘ２方向側）には、凹所１２をまたぐ門型コラム３０が固定されている。
【００２０】
チャックテーブル２０は、テーブルベース２５上に、鉛直方向であるＺ方向を回転軸として回転自在に支持されており、テーブルベース２５に設けられた図示せぬ回転駆動機構によって時計方向あるいは反時計方向に回転させられる。テーブルベース２５は、凹所１２内に配設された図示せぬチャックテーブル移動機構によってＸ方向に往復移動可能に支持されている。したがってチャックテーブル２０はテーブルベース２５とともにＸ方向に往復移動する。
【００２１】
チャックテーブル２０は一般周知の真空チャック式であり、水平な上面の周縁部を残した大部分が、ウェーハ１を吸着、保持する円形状の吸着面２１となっている。この吸着面２１の直径は、ウェーハ１の直径とほぼ同じとされ、ウェーハ１は全体が吸着面２１に同心状に載置されて保持される。上記のようにフレーム３に支持されたウェーハ１は、真空運転状態のチャックテーブル２０の吸着面２１上に載置されて吸着、保持される。チャックテーブル２０の周囲には、フレーム３を着脱自在に保持する複数のクランプ２６が配設されている。これらクランプ２６は、テーブルベース２５に取り付けられている。
【００２２】
チャックテーブル２０の周囲は、長方形状のプレートカバー２７によって覆われている。このプレートカバー２７はテーブルベース２５に支持されており、チャックテーブル２０と一体にＸ方向に移動する。そしてプレートカバー２７のＸ方向の両端部には、凹所１２を覆う伸縮自在な蛇腹カバー２８が取り付けられている。凹所１２は、チャックテーブル２０がＸ方向に移動しても常にプレートカバー２７と蛇腹カバー２８で覆われており、切削加工時に生じる切削屑や使用される切削液が凹所１２内に落下することが防がれるようになっている。
【００２３】
門型コラム３０は、凹所１２の両側にＹ方向に並んで立設された一対の脚部３１と、これら脚部３１の上端部間に水平に架け渡された梁部３２とを有している。梁部３２の図１で手前側（Ｘ１方向側）の面には、Ｙ方向に延びる上下一対のＹ軸ガイド３３が設けられており、これらＹ軸ガイド３３に、第１Ｙ軸スライダ４１と第２Ｙ軸スライダ４２とがそれぞれ摺動自在に取り付けられている。第１Ｙ軸スライダ４１は、図示せぬ第１Ｙ軸送りモータによって作動する第１Ｙ軸ボールねじ送り機構（可動手段）４１２によりＹ軸ガイド３３に沿って往復移動させられる。また、第２Ｙ軸スライダ４２は、第２Ｙ軸送りモータ４２１によって作動する第２Ｙ軸ボールねじ送り機構（可動手段）４２２によりＹ軸ガイド３３に沿って往復移動させられる。
【００２４】
第１Ｙ軸スライダ４１および第２Ｙ軸スライダ４２には、Ｚ方向に延びる一対のＺ軸ガイド３４がそれぞれ設けられており、第１Ｙ軸スライダ４１のＺ軸ガイド３４には第１Ｚ軸スライダ５１が、また、第２Ｙ軸スライダ４２のＺ軸ガイド３４には第２Ｚ軸スライダ５２が、それぞれ摺動自在に取り付けられている。第１Ｚ軸スライダ５１は、第１Ｚ軸送りモータ５１１によって作動する図示せぬ第１Ｚ軸ボールねじ送り機構により、Ｚ軸ガイド３４に沿って昇降させられる。また、第２Ｚ軸スライダ５２は、第２Ｚ軸送りモータ５１２によって作動する図示せぬ第２Ｚ軸ボールねじ送り機構により、Ｚ軸ガイド３４に沿って昇降させられる。
【００２５】
第１Ｚ軸スライダ５１の下端部には、第１ブラケット６１１を介して第１切削手段６１が固定されており、第２Ｚ軸スライダ５２の下端部には、第２ブラケット６２１を介して第２切削手段６２が固定されている。各切削手段６１，６２は同一構成であって、直方体状のスピンドルカバー６３内に、サーボモータ等によって高速回転する円筒状のスピンドル６４（図６参照）が収容され、スピンドルカバー６３の先端開口から突出するスピンドル６４の取付軸６４１（図２〜図４参照）に、円板状の切削ブレード６５が支持されたものである。
【００２６】
これら切削手段６１，６２はスピンドル６４がＹ方向と平行、かつ互いに同軸的で、切削ブレード６５が取り付けられた先端どうしが向かい合う状態に、スピンドルカバー６３が各ブラケット６１１，６２１の下端部に固定されている。この固定状態で、切削ブレード６５の回転軸であるスピンドル６４の取付軸６４１はＹ方向に延びており、スピンドル６４および該スピンドル６４を囲むスピンドルカバー６３もＹ方向に延びている。切削手段６１，６２は、それぞれＹ軸スライダ４１，４２と一体にＹ方向に移動させられ、Ｙ方向に互いに接近したり離間したりする。
【００２７】
切削ブレード６５は、チャックテーブル２０上に保持されたウェーハ１に切り込んで切削加工を施す。本装置１０では、切削ブレード６５の回転軸がＹ方向に延びているので、切削ブレード６５がウェーハ１に切り込んで切削を進行する加工送り方向はＸ方向である。一方、切削ブレード６５を軸方向に移動させる割り出し送り方向はＹ方向である。したがって、切削ブレード６５の加工送りは、チャックテーブル２０をＸ方向に移動させて切削ブレード６５に対し相対的にＸ方向にウェーハ１を移動させることによりなされる。また、割り出し送りは、各Ｙ軸スライダ４１，４２によって切削ブレード６５をＹ方向に移動させることによりなされる。なお、本装置１０では、チャックテーブル２０がＸ２方向に移動して、切削ブレード６５が相対的にＸ１方向にウェーハ１上を進行していく一方向を加工送り方向とされる。
【００２８】
図２に示すように、切削ブレード６５は、主に上側の周縁がブレードカバー７０で覆われており、ブレードカバー７０から露出する下端の刃先でウェーハ１を切削する。切削ブレード６５は、図２〜図４の矢印Ａ方向に高速回転し、したがって、図１においては切削ブレード６５の回転方向はＸ２方向となる。図４に示すように、切削ブレード６５の加工送り方向は相対的にＸ１方向であるから、切削ブレード６５は上方から下方に回転しながらウェーハ１に切り込んでいくダウンカットでウェーハ１を切削する。
【００２９】
図２および図３に示すように、ブレードカバー７０は、スピンドルカバー６３の先端に固定されるベース部７１を有しており、このベース部７１に、切削ブレード６５の回転方向における前方を覆う前部カバー７２と、切削ブレード６５の上方と後方を覆う可動カバー７３とを備えている。可動カバー７３は、切削ブレード６５の露出する側面の後部を覆う三角形状の側面カバー７３５を有している。
【００３０】
図３に示すように、ブレードカバー７０のベース部７１の上部には、エアシリンダ７４が固定されている。このエアシリンダ７４は、Ｘ２方向に対して伸縮する上下一対のピストンロッド７４１を備えている。ピストンロッド７４１の先端にはブラケット７４２が固定されており、このブラケット７４２に可動カバー７３が固定されている。すなわち可動カバー７３は、ピストンロッド７４１が伸縮することによりＸ方向に往復動する。エアシリンダ７４の上面には、該エアシリンダ７４内に空気を供給／排出してピストンロッド７４１を伸縮動作させるためのエア配管が接続される一対の接続管７４３が取り付けられている。
【００３１】
前部カバー７２の切削ブレード６５への対向面の下端部にはＹ方向に並ぶ複数の外周ノズル７２１（切削液供給手段：図２では１つしか見えない）が設けられており、これら外周ノズル７２１から、切削液が切削ブレード６５に向けて噴出される。また、可動カバー７３には、先端部がＸ方向に延びる平行な２本の側方ノズル（切削液供給手段）７３１が、切削ブレード６５の両側に配設される状態に取り付けられている。これら側方ノズル７３１には複数のスリット７３１ａが形成されており、これらスリット７３１ａから切削液が切削ブレード６５に向けて噴出される。前部カバー７２および可動カバー７３には、切削液の供給配管が接続される接続管７２２，７３２が、それぞれ取り付けられている。
【００３２】
可動カバー７３は、上述したように、ピストンロッド７４１が伸縮することによりＸ方向に往復動するが、ピストンロッド７４１がＸ２方向に伸張すると、図３に示すように、側方ノズル７３１が切削ブレード６５の外周方向の外側に退避するブレード着脱位置に位置付けられる。このブレード着脱位置においては、側方ノズル７３１に干渉することなく切削ブレード６５を取付軸６４１に対して着脱することができるようになっている。また、エアシリンダ７４がＸ１方向に縮小すると、可動カバー７３は、図２に示すように、側方ノズル７３１が切削ブレード６５の両側に位置してスリット７３１ａから切削液が切削ブレード６５の側面に噴射可能となり、かつ、後述する第１管状接続部材８１が切削ブレード６５に近接する切削液供給位置に位置付けられる。すなわち可動カバー７３は、ピストンロッド７４１の伸縮により、ブレード脱着位置と切削液供給位置とに選択的に位置付けられるようになっている。
【００３３】
外周ノズル７２１および側方ノズル７３１から噴出される切削液は、切削ブレード６５がウェーハ１を切削する際に生じる摩擦熱を冷却する他に、切削ブレード６５がウェーハ１に切り込む加工点から切削屑を洗い流して除去したり、加工点を潤滑したりするために用いられる。このようにして切削中に供給される切削液は、加工点から跳ね上がって周囲に飛散しようとするが、その飛散はブレードカバー７０で抑えられる。飛散する切削液には、切削加工によって生じた切削屑が混合しており、汚水の状態となっている。
【００３４】
ところで、加工点に供給された切削液のほとんどは、加工点の後方すなわち切削ブレード６５の回転方向後方（Ｘ２方向）に、切削ブレード６５によって跳ね上げられる。ここで、本実施形態では、第１および第２切削手段６１，６２の、可動カバー７３における切削ブレード６５の後側に、図２〜図４に示すように円筒状の第１管状接続部材８１がそれぞれ固定されている。第１管状接続部材８１は、管長方向がＸ方向に沿った状態で可動カバー７３に固定されている。第１管状接続部材８１の内部は可動カバー７３内に連通しており、加工点の後方に跳ね上がる切削液は、第１管状接続部材８１の内部に導入される。
【００３５】
第１管状接続部材８１には、可撓性を有する蛇腹状の導出ホース（切削液導出管）８３の一端が気密的に接続されている。そしてこの導出ホース８３は、図１に示すように、基台１１上に設けられた吸引手段８４を構成する吸引チャンバ８５に、円筒状の第２管状接続部材８２を介して接続されている。本実施形態では、吸引チャンバ８５は基台１１における凹所１２のＸ２方向側の上面であって、門型フレーム３０の左右の脚部３１間の中央に当たる位置に設置されている。
【００３６】
吸引手段８４は、図５に示すように、吸引チャンバ８５と、該吸引チャンバ８５内の空気を吸引する真空ポンプ等の吸引源８６とを備えたものである。吸引チャンバ８５は直方体を呈する箱状のもので、比較的肉厚の上板部８５１の中央部に、上記第２管状接続部材８２が、軸方向すなわち管長方向をＺ方向（鉛直方向）と平行とした状態で、かつ、軸心を中心として回転自在に取り付けられている。
【００３７】
第２管状接続部材８２の下端には、フランジ８２１が形成されている。このフランジ８２１の下面の外周縁には、下方へ突出する環状凸部８２２が形成されており、したがってフランジ８２１の下面の中央には、環状凸部８２２に囲まれた円形状の凹部８２３が形成されている。
【００３８】
一方、吸引チャンバ８５の上板部８５１には、フランジ８２１を含む第２管状接続部材８２の下端部が隙間を空けた状態で嵌合する嵌合孔８５２が形成されている。この嵌合孔８５２は、フランジ８２１の環状凸部８２２が嵌合する環状溝部８５３と、第２管状接続部材８２の下端部が貫通する開口８５４を有している。嵌合孔８５２の底面には、フランジ８２１の下面の凹部８２３に嵌合する円形状の凸部８５５が形成されており、また、開口８５４の周囲には、フランジ８２１の上面を覆うリング部８５６が形成されている。
【００３９】
第２管状接続部材８２は、図５に示すように下端部が嵌合孔８５２に嵌合することにより、リング部８５６で抜け止めがなされた状態で回転自在に吸引チャンバ８５の上板部８５１に取り付けられる。本実施形態では、第２管状接続部材８２のフランジ８２１と、吸引チャンバ８５の嵌合孔８５２とにより、回転機構８５０が構成されている。
【００４０】
本実施形態では、嵌合孔８５２の環状溝部８５３に、水等の液体Ｗが、フランジ８２１の環状凸部８２２の少なくとも下端部が常に埋没する状態となるように封入されている。すなわち、回転機構８５０のフランジ８２１と吸引チャンバ８５との間に液体層Ｗが介在されている。このように吸引チャンバ８５に取り付けられた第２管状接続部材８２の上端部に、上記導出ホース８３の他端が気密的に接続されている。
【００４１】
吸引源８６は、吸引チャンバ８５に吸引配管８６１を介して吸引チャンバ８５に連通して接続されており、該吸引源８６が稼働すると、第１管状接続部材８１の前方（Ｘ２方向側）の空気が、第１管状接続部材８１から導出ホース８３内に導入され、さらに第２管状接続部材８２を通って吸引チャンバ８５内に吸引されるようになっている。本実施形態では、ブレードカバー７０の可動カバー７３に固定された第１管状接続部材８１、第１管状接続部材８１に一端が接続された導出ホース８３、導出ホース８３の他端が接続された第２管状接続部材８２、第２管状接続部材８２が回転機構８５０を介して回転自在に取り付けられた吸引チャンバ８５を備える吸引手段８４とにより、切削液回収手段８０が構成されている。
【００４２】
（２−２）切削装置の動作概要
以上が一実施形態に係る切削装置１０の全体構成であり、次に、この切削装置１０によってウェーハ１を多数のチップ２にダイシングする動作を説明する。
【００４３】
ウェーハ１は、上記のように粘着テープ４を介してフレーム３に支持された状態で、チャックテーブル２０上に吸着、保持され、チャックテーブル２０が図１でＸ２方向に移動することにより、各切削手段６１，６２の下方位置に当たる加工位置に搬送される。そしてこの加工位置において、チップ２間の交差する多数の分割予定ラインのうち、まず一方向に延びる側が全て切削加工され、次いで、他方向に延びる側の全ての分割予定ラインが切削加工されて、ウェーハ１が多数のチップ２にダイシングされる。切削加工される分割予定ラインは、チャックテーブル２０を回転させてウェーハ１を自転させることにより、Ｘ方向と平行に定められる。
【００４４】
切削加工は、チャックテーブル２０をＸ２方向に移動させながら、下端の刃先が所定の切り込み高さ（Ｚ方向の位置）に設定された高速回転する切削ブレード６５を、分割予定ラインに対しＸ２方向側の端部からＸ１方向側の端部に向けて切り込ませる加工送りをすることによってなされる。１回の加工送りが終わったら、切削ブレード６５が上方に退避してから、チャックテーブル２０がＸ１方向に移動して切削ブレード６５が加工送りの始点に戻されるとともに、切削手段６１，６２がＹ方向に移動して次の分割予定ラインに切削ブレード６５の刃先を合わせる割り出し送りが行われてから、該次の分割予定ラインに対し切削ブレード６５を加工送りさせる。以上の動作を繰り返し行って、Ｘ方向に延びる全ての分割予定ラインに切削加工が施される。なお、分割予定ラインに切削ブレード６５を位置決めするには、カメラ等を用いた周知のアライメント手段を利用して行われる。
【００４５】
切削加工の形態としては、１回の加工送りでフルカット、あるいは、１回目の加工送りは溝加工で２回目の加工送りでフルカットする２段階切削などの形態がある。１回の加工送りでフルカットする場合には、各切削ブレード６５の切り込み高さを、粘着テープ４の表面に刃先がかかる程度のフルカット可能な同一高さとし、２つの切削ブレード６５間の間隔を、適宜に離れた２本の分割予定ラインに対応した距離に設定して加工送りすることによりなされる。また、２段階切削は、一方の切削ブレード６５の切り込み高さを溝加工に応じた高さとし、他方の切削ブレード６５をフルカットに応じた高さとし、初めに溝加工が行われて次にフルカットされるように割り出し送りすることによりなされる。２段階切削の場合には、溝加工側の切削ブレード６５は厚く、フルカット側の切削ブレード６５は溝加工側のものよりも薄いものが用いられる。
【００４６】
上記のようにダイシングされたウェーハ１は多数のチップ２の集合体となって粘着テープ４に貼り付いたままとなっており、この後、ピックアップ工程に移されて個々のチップ２が取り出される。
【００４７】
（２−３）切削液の回収作用
次に、本発明に係る切削液の回収作用ならびにそれに伴う効果について説明する。
切削加工する際には、ブレードカバー７０の可動カバー７３は上記切削液供給位置に位置付けられ、また、吸引手段８４の吸引源８６が運転される。そして、ブレードカバー７０の外周ノズル７２１および側方ノズル７３１から切削液が切削ブレード６５に噴出される。切削ブレード６５に噴出された切削液は、切削ブレード６５がウェーハ１に切り込む加工点に供給され、これによって切削ブレード６５およびウェーハ１が冷却される。加工点に供給された切削液は、切削屑が混合して汚水の状態となり、図４に示すように回転する切削ブレード６５によって該切削ブレード６５の回転方向後方に跳ね上がる（図４でＬが跳ね上がった切削液を示す）。
【００４８】
この跳ね上がった切削液は、上記吸引源８６に吸引されて、第１管状接続部材８１、導出ホース８３、第２管状接続部材８２の内部を通って吸引チャンバ８５内に導かれ、吸引チャンバ８５内に貯留する。図６の一点鎖線矢印は、第１管状接続部材８１から吸引チャンバ８５までの切削液の回収経路を示している。また、図５のＬ１は、吸引チャンバ８５内に貯留した切削液を示している。このように切削ブレード６５の回転方向後方に跳ね上がった切削液は導出ホース８３内を通って吸引チャンバ８５まで強制排出されるため、周囲への飛散が抑えられ、ウェーハ１に付着することが抑えられる。
【００４９】
ところで、本装置１０にあっては、切削手段６１，６２が上記割り出し送りされると、切削ブレード６５およびブレードカバー７０も一体にＹ方向に移動し、したがって可動カバー７３に固定されている第１管状接続部材８１と、この第１管状接続部材８１に接続されている導出ホース８３の一端部も追従して移動する。このように導出ホース８３の可動カバー７３側への接続端部が切削手段６１，６２とともにＹ方向に移動すると、導出ホース８３全体は、吸引チャンバ８５側への接続端部、すなわち第２管状接続部材８２を中心として旋回させられる。
【００５０】
ここで、第２管状接続部材８２は、回転機構８５０を介して吸引チャンバ８５に回転自在に取り付けられていることから、旋回する導出ホース８３の動きに追従してＺ軸回りに回転する。第２管状接続部材８２は、切削手段６１，６２がＹ方向に移動して導出ホース８３や第１管状接続部材８１に外力がかかった際、その外力により回転する。したがって、導出ホース８３や第１管状接続部材８１にかかった外力は速やかに解消され、応力が生じにくいものとなる。その結果、導出ホース８３や第１管状接続部材８１は破損しにくく、老朽化が抑えられる。
【００５１】
図６（ａ）〜（ｂ）は、第１切削手段６１がＹ方向（同図で左方向であるＹ１方向）に移動した際に、導出ホース８３が第２管状接続部材８２を中心として旋回する様子を示している。第２管状接続部材８２は、切削手段６１がＹ１方向に移動すると、その方向に旋回する導出ホース８３に追従して図６で時計方向に回転する。また、反対に切削手段６１がＹ２方向に移動した場合には、その方向に旋回する導出ホース８３に追従して図６で反時計方向に第２管状接続部材８２は回転する。なお、図６では第１切削手段６１が移動した時を示したが、第２切削手段６２がＹ方向に移動した場合にも、該第２切削手段６２側の第２管状接続部材８２および導出ホース８３が同様の動きを示す。
【００５２】
本発明においては、上記実施形態のように、切削手段６１，６２の割り出し送り方向に対して３次元方向に直交するＺ軸回りに第２管状接続部材８２が回転し、かつ、第２管状接続部材８２の回転軸が切削手段６１，６２の割り出し送り方向とは交差せずにＸ方向に離間している形態が、該第２管状接続部材８２が円滑に回転しやすく、外力によって導出ホース８３に生じる応力の軽減効果が最も大きいものとなる。
【００５３】
また、本実施形態では、回転機構８５０のフランジ８２１と吸引チャンバ８５との間に液体層Ｗが介在されていることにより、吸引源８６の吸引力の損失が抑えられるとともに、コンタミ（塵埃）等がフランジ８２１と吸引チャンバ８５との間に付着して第２管状接続部材８２が固着し、回転不能となるといった不具合が未然に防がれる。
【符号の説明】
【００５４】
１…ウェーハ（ワーク）
１０…切削装置
２０…チャックテーブル（保持手段）
４１２…第１Ｙ軸ボールねじ送り機構（可動手段）
４２２…第２Ｙ軸ボールねじ送り機構（可動手段）
６５…切削ブレード
７２１…外周ノズル（切削液供給手段）
７３１…側方ノズル（切削液供給手段）
８０…切削液回収手段
８１…第１管状接続部材
８２…第２管状接続部材
８３…導出ホース（切削液導出管）
８４…吸引手段
８５…吸引チャンバ
８６…吸引源
８５０…回転機構
Ｌ，Ｌ１…切削液
Ｗ…液体層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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