(57)【要約】【課題】容易に検査できるとともに精度の高い検査を行える光学素子のマザー基板及び光学素子の検査方法を提供する。【解決手段】ウェハー１Ａに回折パターン２を複数箇所に形成し、これらの回折パターン２の１つの大きさよりも大きくかつ回折パターン２と同一のピッチが形成された検査用パターン３を互いに離れた位置に形成してマザー基板１を構成した。照射部から照射される検査光の直径が大きくても、検査光の照射対象を面積が回折パターンより大きい検査用パターンとしたことで、確実に照射対象を狙うことができ、検査作業を容易に実施することができる。検査用パターンが互いに離れた位置に複数あるので、これらのパターンでの検出結果を比較して適正な検査を実施することができる。【選択図】図２
2011196907.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェハー上に回折パターンが複数箇所に形成され、前記回折パターンよりも大きくかつ前記回折パターンと同一の微細構造が形成された検査用パターンが互いに離れた位置であって前記回折パターンが形成されていない領域に複数形成されていることを特徴とする光学素子のマザー基板。
【請求項２】
請求項１に記載された光学素子のマザー基板において、
前記回折パターンは回折用格子であることを特徴とする光学素子のマザー基板。
【請求項３】
請求項２に記載された光学素子のマザー基板において、
前記回折用格子は、前記ウェハーに形成された第一格子とこの第一格子に近接して形成され前記第一格子のピッチとは異なるピッチの第二格子とを備え、
前記検査用パターンは、前記第一格子が形成された面と同一面に形成されかつ前記第一格子に対応する第一検査用格子と、この第一検査用格子と隣接するとともに前記第一検査用格子が形成された面と同一面に形成されかつ前記第二格子に対応する第二検査用格子とを備えたことを特徴とする光学素子のマザー基板。
【請求項４】
請求項３に記載された光学素子のマザー基板において、
前記第一格子と前記第二格子とは前記ウェハーの表面と裏面とで互いに重なる位置に形成され、前記第一検査用格子と前記第二検査用格子とは前記ウェハーの表面と裏面とで重ならない位置で近接して形成されていることを特徴とする光学素子のマザー基板。
【請求項５】
請求項３に記載された光学素子のマザー基板において、
前記第一格子と前記第二格子とは前記ウェハーの表面又は裏面に並んで形成され、前記第一検査用格子と前記第二検査用格子とは前記ウェハーの前記第一格子と前記第二格子とが形成された面と同じ面に形成されていることを特徴とする光学素子のマザー基板。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載された光学素子のマザー基板において、
前記ウェハーは平面円形であり、前記検査用パターンは、前記ウェハーの中心部と、この中心部を挟んで前後かつ周縁部に配置された第一周縁部と、前記中心部を挟んで左右かつ周縁部に配置された第二周縁部との５カ所に形成されることを特徴とする光学素子のマザー基板。
【請求項７】
請求項１に記載された光学素子のマザー基板において、
前記回折パターンはホログラムであることを特徴とする光学素子のマザー基板。
【請求項８】
請求項３から請求項７のいずれかに記載された光学素子のマザー基板の光学特性を検査する光学素子の検査方法であって、
前記回折パターンと前記検査用パターンとを前記ウェハーに形成し、その後、前記検査用パターンに検査用光を照射し、前記検査用パターンを透過した光を検出することを特徴とする光学素子の検査方法。
【請求項９】
請求項８に記載された光学素子の検査方法において、
前記第一検査用格子と前記第二検査用格子の双方を検査することを特徴とする光学素子の検査方法。
【請求項１０】
請求項８に記載された光学素子の検査方法において、
前記第一検査用格子と前記第二検査用格子のいずれか一方を検査することを特徴とする光学素子の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回折用格子、その他の回折パターンがウェハーに複数形成された光学素子のマザー基板及び光学素子の検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェハーに回折用格子やホログラム等の回折パターンが複数形成されてマザー基板が構成される。
このうち、回折格子には、例えば、基板の一面に同じピッチの回折用格子が設けられた回折格子（特許文献１）や、異なる波長に対応させるために基板の一面に異なるピッチの回折用格子が隣り合わせに設けられた回折格子や、さらには、異なる波長に対応させるために基板の両面に異なるピッチの回折用格子が重なるように設けられた両面格子の回折格子（特許文献１，２）がある。
また、ホログラムには、基板の主面に複数種類の回折用格子が形成された従来例がある（特許文献３）。
【０００３】
図９は、従来の回折パターンがマザー基板に形成された状態を示す概略図である。図９（Ａ）はシングルピッチの回折格子１０１の概略図であり、図９（Ａ）において、回折格子１０１は、基板１０１Ａの一面の中央部にシングルピッチの回折用の格子１０１Ｂが形成され、基板１０１Ａの両側縁には分割ライン１０１Ｃが形成された構造である。
図９（Ｂ）はマルチピッチの回折格子の概略図であり、図９（Ｂ）において、回折格子１０２は、基板１０２Ａの一面において一方にピッチが小さな第一格子１０２Ｂが形成され、他方にピッチが大きな第二格子１０２Ｃが形成された構造である。
図９（Ｃ）は表裏にピッチの異なる格子が設けられた回折格子１０３の概略図であり、図９（Ｃ）において、回折格子１０３は、基板１０３Ａの一面にピッチが大きな第一格子１０３Ｂが形成され、他面にピッチが小さな第二格子１０３Ｃが形成された構造である。
【０００４】
マザー基板の良否を判定するために、検査用のレーザー光を検査機から回折用格子に照射し、この回折用格子を透過した光を検出することが行われる。回折用格子を透過した光を検出し、この検出値を演算してマザー基板の良否が判定される。
図９（Ａ）に示される従来例では、格子１０１Ｂの中央部に向けてレーザー光を照射するが、格子１０１Ｂの両側には分割ライン１０１Ｃが形成されており、かつ、検査機で照射されるレーザー光のスポット径ｄが格子１０１Ｂの領域より大きいので、回折用格子の良否判定の検査を正確に行うことができない。
図９（Ｂ）に示される従来例では、ウェハーの同一面にピッチの異なる第一格子１０２Ｂと第二格子１０２Ｃとが隣り合わせに形成されているので、これらの第一格子１０２Ｂと第二格子１０２Ｃとの間（境界部分）にレーザー光Ｌが照射されると、透過光Ｌ１，Ｌ２が分散されていずれの格子を透過したものかが不明となり、正確な良否判定の検査が行えない。
【０００５】
図９（Ｃ）に示される従来例では、異なるピッチの第一格子１０３Ｂと第二格子１０３Ｃとが基板１０３Ａの表裏面に重なるように形成されているので、第一格子１０３Ｂに照射されたレーザー光ＬはＬ１とＬ２とに分けられて基板１０３Ａを透過した後、第二格子１０３ＣでＬ３〜Ｌ６に分けられることになり、透過光が複雑になって正確な良否判定の検査が行えない。
図１０（Ａ）には図９（Ｃ）で示される従来例の回折格子１０３から透過された検査光をスクリーン１０４を通して検査員が見る状態が示されている。
図１０（Ａ）に示される通り、第一格子１０３Ｂと第二格子１０３Ｃとが表裏面に形成された回折格子１０３を検査するにあたり、レーザー光を検査機から第一格子１０３Ｂに向けて照射すると、第一格子１０３Ｂを透過した光は０次光Ｌ１と±１次光Ｌ２と分けられ、これらの光が第二格子１０３Ｃを透過すると、この透過光はＬ３〜Ｌ６となって複雑となる。つまり、これらの透過光をスクリーン１０４で見ると、図１０（Ｂ）に示されるように、第一格子１０３Ｂと第二格子１０３Ｃとを透過する光Ｌ３〜Ｌ６が重なり合うようになって、見にくいものとなり、検査の正確性が欠ける要因ともなる。
【０００６】
特許文献３で示されるホログラムは、４つの扇状小間格子が互いに近接されて円形に形成された多分割ホログラムであり、ホログラムの格子を検査するには、このうち１つの小間格子に検査光を照射する。
しかし、隣り合う小間格子の間に検査光を照射した場合には、図９（Ｂ）で示される回折格子と同様に、いずれの格子を透過したのかが不明となり、検査の正確性を得るには不十分である。
【０００７】
以上の従来例を用いて、良否判定の検査をすると、検査用レーザー光のスポット径に制約が生じる。さらに、レーザー光を狭い領域内にピンポイントで照射することは検査作業に熟練が必要とされ、作業が繁雑となる。
そのため、製品となる回折格子に直接、レーザー光を照射して検査するのではなく、回折光学素子と並列してその近傍に同一タイプの微細構造からなる検査用の回折用格子を基板上に形成し、この検査用の回折用格子に検査光を照射して検査する従来例がある（特許文献４）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００７−２３４０９４号公報（図１，７，８参照）
【特許文献２】特許第３９９６７６０号公報
【特許文献３】特許第３７３５０３４号公報
【特許文献４】特開２００５−１４０８９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
回折用格子が形成された箇所の基板の厚さが製品となる回折格子の基板の厚さと異なると、光学特性が本来必要とされる光学特性と相違し、検査精度が不十分なものとなる。
特許文献４で示される従来例では、検査のための回折用格子が１カ所形成されているに過ぎないので、検査箇所の厚さ等に不具合があると、検査精度が不十分となる。
【００１０】
本発明の目的は、容易に検査できるとともに精度の高い検査を行える光学素子のマザー基板及び光学素子の検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
［適用例１］
本適用例に係わる発明は、ウェハー上に回折パターンが複数箇所に形成され、前記回折パターンよりも大きくかつ前記回折パターンと同一の微細構造が形成された検査用パターンが互いに離れた位置であって前記回折パターンが形成されていない領域に複数形成されていることを特徴とする光学素子のマザー基板である。
この構成の本適用例では、検査用パターンに検査光を照射し、検査用パターンを透過した光を検査する。この検査にあたり、検査光を回折パターンよりも大きな検査用パターンに照射するので、検査光の照射対象の面積が大きいことから、検査光の直径が大きくても容易に検査を行うことができる。しかも、検査用パターンが互いに離れた位置にあるので、そのうち１つの検査用パターンを透過した検査光の値と他の検査用パターンを透過した検査光の値とを比較することで、マザー基板の良否判定が行える。
【００１２】
［適用例２］
本適用例に係わる発明は、前記回折パターンは回折用格子であることを特徴とする光学素子のマザー基板である。
この構成の本適用例では、回折格子の簡単かつ精度の高い検査を実施できる。
【００１３】
［適用例３］
本適用例に係わる発明は、前記回折用格子は、前記ウェハーに形成された第一格子とこの第一格子に近接して形成され前記第一格子のピッチとは異なるピッチの第二格子とを備え、前記検査用パターンは、前記第一格子が形成された面と同一面に形成されかつ前記第一格子に対応する第一検査用格子と、この第一検査用格子と隣接するとともに前記第一検査用格子が形成された面と同一面に形成されかつ前記第二格子に対応する第二検査用格子とを備えたことを特徴とする光学素子のマザー基板である。
この構成の本適用例では、隣り合う領域にピッチの異なる格子を有する回折格子を簡単かつ精度よく検査することができる。
【００１４】
［適用例４］
本適用例に係わる発明は、前記第一格子と前記第二格子とは前記ウェハーの表面と裏面とで互いに重なる位置に形成され、前記第一検査用格子と前記第二検査用格子とは前記ウェハーの表面と裏面とで重ならない位置で近接して形成されていることを特徴とする光学素子のマザー基板である。
この構成の本適用例では、ウェハー両面の重なる位置に異なるピッチの格子が形成された回折格子を簡単かつ精度よく検査することができる。
【００１５】
［適用例５］
本適用例に係わる発明は、前記第一格子と前記第二格子とは前記ウェハーの表面又は裏面に並んで形成され、前記第一検査用格子と前記第二検査用格子とは前記ウェハーの前記第一格子と前記第二格子とが形成された面と同じ面に形成されていることを特徴とする光学素子のマザー基板である。
この構成の本適用例では、ウェハーの表裏いずれかの一面に異なるピッチが並んで形成されたマルチピッチタイプの回折格子を簡単かつ精度よく検査することができる。
【００１６】
［適用例６］
本適用例に係わる発明は、前記ウェハーは平面円形であり、前記検査用パターンは、前記ウェハーの中心部と、この中心部を挟んで前後かつ周縁部に配置された第一周縁部と、前記中心部を挟んで左右かつ周縁部に配置された第二周縁部との５カ所に形成されることを特徴とする光学素子のマザー基板である。
この構成の本適用例では、ウェハーの中心部と、この中心部を挟んで互いに等距離に配置された４カ所の周縁部との合計５カ所で検査を行うことで、より精度の高い検査を実施することができる。
【００１７】
［適用例７］
本適用例に係わる発明は、前記回折パターンはホログラムであることを特徴とする光学素子のマザー基板である。
この構成の本適用例では、ホログラムの簡単かつ精度の高い検査を実施できる。
【００１８】
［適用例８］
本適用例に係わる発明は、前述の光学素子のマザー基板の光学特性を検査する光学素子の検査方法であって、前記回折パターンと前記検査用パターンとを前記ウェハーに形成し、その後、前記検査用パターンに検査用光を照射し、前記検査用パターンを透過した光を検出することを特徴とする光学素子の検査方法である。
この構成の本適用例では、簡単かつ精度の高い光学素子の検査方法を提供することができる。
【００１９】
［適用例９］
本適用例に係わる発明は、前記第一検査用格子と前記第二検査用格子の双方を検査することを特徴とする光学素子の検査方法である。
この構成の本適用例では、第一検査用格子と第二検査用格子との双方を検査するので、より正確な光学素子の検査方法を提供することができる。
【００２０】
［適用例１０］
本適用例に係わる発明は、前記第一検査用格子と前記第二検査用格子のいずれか一方を検査することを特徴とする光学素子の検査方法である。
この構成の本適用例では、第一検査用格子と第二検査用格子とのいずれか一方を検査するので、より簡易な光学素子の検査方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の第１実施形態に係る検査装置の概略構成図。
【図２】光学素子のマザー基板を示すもので、（Ａ）はマザー基板の表面図、（Ｂ）はマザー基板の裏面図。
【図３】マスキング板の平面図。
【図４】検査工程を説明する概略図。
【図５】検査工程を説明する概略図。
【図６】本発明の第２実施形態を示すもので図５に対応した図。
【図７】本発明の第３実施形態を示すもので図５に対応した図。
【図８】本発明の第４実施形態を示すもので、（Ａ）は図１に対応した図であり、（Ｂ）は検査用パターンを示す平面図である。
【図９】従来の回折パターンがマザー基板に形成された状態を示すものであり、（Ａ）はシングルピッチの回折格子の概略図、（Ｂ）はマルチピッチの回折格子の概略図、（Ｃ）は両面に格子がある回折格子の概略図。
【図１０】従来例の回折格子の課題を説明するための図であり、（Ａ）は回折格子から透過された検査光をスクリーンを通して検査員が見る状態を示す概略図、（Ｂ）はスクリーンで見た状態を示す概略図。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。ここで、各実施形態の説明において、同一構成要素は同一符号を付して説明を省略もしくは簡略にする。
図１から図５には第１実施形態が示されている。第１実施形態の検査装置は表裏面にピッチの異なる格子が形成された回折格子のマザー基板を検査する装置である。図１は第１実施形態にかかる光学素子の検査装置を示す概略図である。
図１において、検査装置１０は、マザー基板１にレーザー検査光を照射する照射部１１と、マザー基板１を透過した光を受光する受光部１２と、受光部１２からの信号を受けてマザー基板１の光学特性を検出するとともに検出値に基づいて演算する演算部１３と、この演算部１３の演算結果を表示する表示部１４とを備えている。
【００２３】
照射部１１とマザー基板１との間にはマスキング板１５が設けられている。
このマスキング板１５とマザー基板１とは図示しないホルダに設けられており、このホルダと照射部１１及び受光部１２とは図示しない駆動機構によってマザー基板１の平面と同一平面内を相対的に駆動される。
受光部１２は、マザー基板１の透過光の０次光Ｄ０を受光する中央受光部１２１と、マザー基板１の透過光の回折光である±１次光Ｄ１を受光する２つの側部受光部１２２とを備える。
【００２４】
図２には回折格子のマザー基板１が示されている。図２（Ａ）はマザー基板１の表面図であり、図２（Ｂ）はマザー基板１の裏面図である。
図２（Ａ）（Ｂ）において、マザー基板１は略円板状に形成されたウェハー１Ａに回折パターン２が複数箇所形成され、これらの回折パターン２よりも大きい検査用パターン３が回折パターン２の形成されていない領域に形成された構造である。
回折パターン２は、所定の波長（例えば、７８５ｎｍ）に対応するためにマザー基板１の表面に設けられた第一格子（例えば、ＣＤ用グレーティング；図示せず）と、所定の波長（例えば、６６０ｎｍ）に対応するためにマザー基板１の裏面であって第一格子と表裏で重なる位置に設けられ第一格子とはピッチの異なる第二格子（例えば、ＤＶＤ用グレーティング；図示せず）とを備えた回折用格子である。これらの回折パターン２はマザー基板１がダイシングされた後は、図９（Ｃ）で示される回折格子となる。
各回折パターン２は、平面平行四辺形状に形成されており、一辺が所定の長さ、例えば、２ｍｍである。なお、図２（Ｂ）での回折パターン２の図示が省略されている。
【００２５】
検査用パターン３は、ウェハー１Ａの中心部に配置された中心検査パターン３Ａと、この中心検査パターン３Ａを挟んで前後に対向配置された第一周縁部検査パターン３Ｂと、中心検査パターン３Ａを挟んで左右に対向配置された第二周縁部検査パターン３Ｃとの５個からなる。第一周縁部検査パターン３Ｂと第二周縁部検査パターン３Ｃとは中心検査パターン３Ａを中心とする同心円上に位置するものであり、第一周縁部検査パターン３Ｂ同士を結ぶ線分と第二周縁部検査パターン３Ｃ同士を結ぶ線分とが直交する。
検査用パターン３は回折パターン２の平面形状に合わせて平面平行四辺形に形成される。検査用パターン３は回折パターン２より大きな面積を有するものであり、例えば、一辺が５〜１０ｍｍである。
【００２６】
検査用パターン３は回折パターン２の第一格子が形成された面と同一面（表面）に形成された第一検査用格子３１と、この第一検査用格子３１と隣接配置され第一検査用格子３１が形成された面と反対側の面（裏面）に形成された第二検査用格子３２とを備える。
第一検査用格子３１は回折パターン２を構成する第一格子と同じピッチの格子であり、第二検査用格子３２は回折パターン２を構成する第二格子と同じピッチの格子である。これらの第一検査用格子３１と第二検査用格子３２とはウェハー１Ａの表面と裏面とで重ならない位置で近接して形成されている。
【００２７】
図３にはマスキング板１５の平面が示されている。
図３において、マスキング板１５はウェハー１Ａと同じ平面形状でありプラスチック、その他の材質から形成される円板部１５１と、この円板部１５１の周縁部に設けられたゴム製のフランジ部１５２とを備えて構成される。
マザー基板１とマスキング板１５とを重ねた状態において、円板部１５１のマザー基板１の検査用パターン３と対応する位置には窓部１５３が形成されている。
【００２８】
この窓部１５３は検査用パターン３と同じ５個であり、それぞれ、検査用パターン３の第一検査用格子３１と第二検査用格子３２とに別々に検査光を照射できるように２つの窓に分けられている。つまり、窓部１５３は、大きな開口部１５３Ａの中央部に仕切り部１５３Ｂが形成され、この仕切り部１５３Ｂで仕切られた開口部１５３Ａの一方が第一検査用格子３１に検査光を照射するための第一窓１５３１であり、仕切り部１５３Ｂで仕切られた開口部１５３Ａの他方が第二検査用格子３２に検査光を照射するための第二窓１５３２である。検査員が窓部１５３を透過して検査用パターン３に検査光を照射しやすいようにするため、窓部１５３の周縁部は白色、黄色等に縁取り１５３４がされている。
【００２９】
次に、第１実施形態のマザー基板１を、検査装置１０を用いて検査する方法を図４及び図５に基づいて説明する。
まず、マザー基板１を製造する。そのため、ガラス製のウェハー１Ａの表面に複数の回折パターン２の第一格子と検査用パターン３の第一検査用格子３１とをエッチング等の方法で形成し、ウェハー１Ａの裏面に複数の回折パターン２の第二格子と検査用パターン３の第二検査用格子３２とをエッチング等の方法で形成する。
【００３０】
次に、マザー基板１の光学特性を検査し、良否判定を行う。
そのため、マザー基板１の表面を照射部１１側に向けて配置し、マザー基板１の表面側にマスキング板１５を配置する。マスキング板１５とマザー基板１とをホルダで一体保持し、このホルダと照射部１１及び受光部１２とを平面内で相対移動させて、マザー基板１の中心部に設けられた中心検査パターン３Ａの第一検査用格子３１を照射部１１に対向させる。
【００３１】
この状態で照射部１１から検査光を中心検査パターン３Ａの第一検査用格子３１に向けて照射する。この検査光の波長は第一検査用格子３１に対応した波長、例えば、７８５ｎｍである。なお、照射部１１から照射される検査光（レーザー光）の口径は１〜１．５ｍｍである。
照射部１１から検査光を第一検査用格子３１に向けて照射すると、図４に示される通り、照射部１１から照射される検査光Ｄはマスキング板１５の第一窓１５３１を通り、第一検査用格子３１を透過する。透過光は真っ直ぐ進む０次光Ｄ０と回折される±１次光Ｄ１とに分けられることになり、０次光Ｄ０は中央受光部１２１で受光され、±１次光Ｄ１は２つの側部受光部１２２にそれぞれ受光される。これらの中央受光部１２１と側部受光部１２２とで受光されると、信号が演算部１３に送られる。
【００３２】
その後、マザー基板１とマスキング板１５とが保持されたホルダと照射部１１及び受光部１２とを平面内で少し相対移動させて中心検査パターン３Ａの第二検査用格子３２を照射部１１に対向させる。
この状態で照射部１１から検査光を中心検査パターン３Ａの第二検査用格子３２に向けて照射する。この検査光の波長は第二検査用格子３２に対応した波長、例えば、６６０ｎｍである。
すると、図５に示される通り、照射部１１から照射される検査光Ｄはマスキング板１５の第二窓１５３２を通り、第二検査用格子３２を透過する。透過光は真っ直ぐ進む０次光Ｄ０と、回折される±１次光Ｄ１とに分けられることになり、０次光Ｄ０は中央受光部１２１で受光され、±１次光Ｄ１は２つの側部受光部１２２にそれぞれ受光され、これらの信号が演算部１３に送られる。
【００３３】
以上の工程を、第一周縁部検査パターン３Ｂ及び第二周縁部検査パターン３Ｃの残り４カ所で実施する。
そして、中心検査パターン３Ａ、第一周縁部検査パターン３Ｂ及び第二周縁部検査パターン３Ｃの合計５カ所で検出した結果を演算部１３で演算し、その演算結果を表示部１４で表示する。判定は、５カ所のパターンのうち少なくとも１つの数値が他の数値に比べて明らかに基準値を超えた場合には、マザー基板１が「否」であるという基準を採用することができる。なお、マザー基板１の良否判定の結果を表示部１４で表示する。
検査が終了したら、ダイシングして図９（Ｃ）に相当する回折格子を得る。
【００３４】
従って、第１実施形態では、次の作用効果を奏することができる。
（１）ウェハー１Ａに回折パターン２を複数箇所に形成し、これらの回折パターン２の１つの大きさよりも大きくかつ回折パターン２と同一のピッチが形成された検査用パターン３を互いに離れた位置に形成してマザー基板１を構成した。そのため、照射部１１から照射される検査光の直径が大きくても、検査光の照射対象を面積が回折パターン２より大きい検査用パターン３としたことで、確実に照射対象を狙うことができ、検査作業を容易に実施することができる。しかも、検査用パターン３が互いに離れた位置に複数あるので、これらのパターンでの検出結果を比較して適正な検査を実施し、マザー基板１の良否判定を正確にすることができる。
【００３５】
（２）回折パターン２はウェハー１Ａに形成された表面に形成された第一格子と裏面に形成された第二格子とを備え、検査用パターン３は表面に形成されかつ第一格子に対応する第一検査用格子３１と、この第一検査用格子３１と隣接するとともに裏面に形成されかつ第二格子に対応する第二検査用格子３２とを備えた構成とした。そのため、隣り合う領域にピッチの異なる格子を有する回折格子を簡単かつ精度よく検査することができる。
【００３６】
（３）第一格子と第二格子とがウェハー１Ａの表裏面で互いに重なる位置に形成された回折格子の光学特性を検査するにあたり、第一格子に対応する第一検査用格子３１と第二格子に対応する第二検査用格子３２とはウェハー１Ａの表裏面で重ならない位置で近接して形成されているので、第一検査用格子３１又は第二検査用格子３２に検出光を照射しても、これらの格子から透過される光は重なることがないので、回折格子を精度よく検査することができる。
【００３７】
（４）ウェハー１Ａは平面円形であり、検査用パターン３は、ウェハー１Ａの中心部に配置された中心検査パターン３Ａと、この中心検査パターン３Ａを挟んで前後に配置された第一周縁部検査パターン３Ｂと、中心検査パターン３Ａを挟んで左右に配置された第二周縁部検査パターン３Ｃとの５個を備えて構成した。そのため、ウェハー１Ａの中心部を含む５カ所で検査を行うことで、検査精度の精度をより高めることができる。特に、ウェハー１Ａの中心部と周縁部とではウェハー１Ａ自体の厚さが相違することがあるので、この点からも精度の高い検査を実施することができる。
【００３８】
（５）マザー基板１を検査するにあたり、第一検査用格子３１と第二検査用格子３２との双方を検査するから、第一格子と第二格子とに対応してより正確な光学素子の検査方法を提供することができる。
【００３９】
（６）マザー基板１と重ねるようにマスキング板１５を設け、このマスキング板１５のマザー基板１の検査用パターン３と対応する位置に窓部１５３を設けたので、この窓部１５３をめがけて照射部１１から検査光を照射すれば確実に検査用パターン３に検査光が照射されることになり、検査作業が容易となる。
【００４０】
（７）マスキング板１５に設けられた窓部１５３の周縁部に白色、黄色等の縁取りをしたので、窓部１５３が目立つことになり、照射部１１で狙いをつける作業が容易となり、検査作業のさらなる効率化を図ることができる。
【００４１】
次に、本発明の第２実施形態を図６に基づいて説明する。図６は図５に対応した図である。
第２実施形態は回折パターン２及び検査用パターン５の構造が第１実施形態と異なるもので、他の構成は第１実施形態と同じである。つまり、第２実施形態は異なるピッチの格子が同一面に並んで設けられたマルチピッチの回折格子を製造するためのものである。
【００４２】
図２において、第２実施形態のマザー基板４は略円板状に形成されたウェハー１Ａに回折パターン２が複数箇所形成され、これらの回折パターン２よりも大きい検査用パターン５が回折パターン２の形成されていない領域に形成された構造である。
回折パターン２は、所定の波長（例えば、７８５ｎｍ）に対応するためにマザー基板４の表面に設けられた第一格子（例えば、ＣＤ用グレーティング；図示せず）と、所定の波長（例えば、６６０ｎｍ）に対応するためにマザー基板１の表面であって第一格子と表面で隣り合う位置に設けられ第一格子とはピッチの異なる第二格子（例えば、ＤＶＤ用グレーティング；図示せず）とを備えている。これらの回折パターン２はマザー基板１がダイシングされた後は、図９（Ｂ）で示される回折格子となる。
各回折パターン２は、平面平行四辺形状に形成されており、一辺が所定の長さ、例えば、２ｍｍである。
【００４３】
検査用パターン５は、第１実施形態と同様に、ウェハー１Ａの中心部と、互いに等間隔に配置された４つの周縁部との合計５カ所に設けられている。検査用パターン５は回折パターン２より大きな面積を有するものであり、例えば、一辺が５〜１０ｍｍである。
図６に示される通り、検査用パターン５は回折パターン２の第一格子が形成された面と同一面（表面）に形成された第一検査用格子５１と、この第一検査用格子５１と隣接配置され第一検査用格子５１が形成された面と同じ面（表面）に形成された第二検査用格子５２とを備える。
第一検査用格子５１は回折パターン２を構成する第一格子と同じピッチの格子であり、第二検査用格子５２は回折パターン２を構成する第二格子と同じピッチの格子である。これらの第一検査用格子５１と第二検査用格子５２とはウェハー１Ａの表面とで隣り合って形成されている。
【００４４】
次に、第２実施形態のマザー基板４を検査する方法を説明する。
まず、マザー基板４を第１実施形態と同様の方法で製造し、このマザー基板４の光学特性を検査装置１０で検査する。
まず、第１実施形態と同様に、マザー基板４の表面を照射部１１側に向けて配置し、マザー基板４の表面側にマスキング板１５を配置する。マスキング板１５とマザー基板１とをホルダで一体保持し、このホルダと照射部１１及び受光部１２とを平面内で相対移動させて、マザー基板４に設けられた検査用パターン５のうち第一検査用格子５１と第二検査用格子５２のいずれか一方、例えば、第二検査用格子５２を照射部１１に対向させる。
【００４５】
この状態で照射部１１から検査光を第二検査用格子５２に向けて照射する。この検査光の波長は第二検査用格子５２に対応した波長、例えば、６６０ｎｍである。
すると、照射部１１から照射される検査光Ｄはマスキング板１５の第二窓１５３２を通り、第二検査用格子５２を透過する。透過光は真っ直ぐ進む０次光Ｄ０と回折される±１次光Ｄ１とに分けられることになり、０次光Ｄ０は中央受光部１２１で受光され、±１次光Ｄ１は２つの側部受光部１２２にそれぞれ受光される。これらの中央受光部１２１と側部受光部１２２とで受光されると、信号が演算部１３に送られる。
以上の工程を、５カ所全ての検査用パターン５で実施し、第１実施形態と同様に、演算部１３で演算し、その演算結果を表示部１４で表示する。なお、第２実施形態では、検査を実施していない他方の第一検査用格子５１は第二検査用格子５２の演算結果に基づいて計算で結果を求める。
【００４６】
従って、第２実施形態では、第１実施形態の（１）（２）（４）（６）（７）と同様の作用効果の他、次の作用効果を奏することができる。
（８）第一格子と第二格子とがウェハー１Ａの表面に並んで形成され、第一検査用格子５１と第二検査用格子５２とがウェハー１Ａの表面に形成されているから、ウェハー１Ａの表面に異なるピッチが並んで形成されたマルチピッチタイプの回折格子を簡単かつ精度よく検査することができる。
【００４７】
（９）マザー基板４を検査するにあたり、第一検査用格子５１と第二検査用格子５２とのいずれか一方、例えば、第二検査用格子５２を検査するようにし、他方、例えば、第一検査用格子５１の結果は一方の演算結果から求めるようにしたので、検査光の照射作業が第一検査用格子５１と第二検査用格子５２とのうち一方に限定されるので、光学素子の検査作業が簡略化される。
【００４８】
次に、本発明の第３実施形態を図７に基づいて説明する。図７は図５に対応した図である。
第３実施形態は回折パターン２及び検査用パターン７の構造が第１実施形態及び第２実施形態と異なるもので、他の構成は第１実施形態及び第２実施形態と同じである。つまり、第３実施形態は同じピッチの格子がウェハー１Ａの表面に形成されたシングルピッチの回折格子を製造するためのものである。
【００４９】
図２において、第３実施形態のマザー基板６は略円板状に形成されたウェハー１Ａに回折パターン２が複数箇所形成され、これらの回折パターン２よりも大きい検査用パターン７が回折パターン２の形成されていない領域に形成された構造である。
図７に示される通り、回折パターン２は、所定の波長（例えば、６６０ｎｍ）に対応するためにマザー基板６の表面に設けられた格子（例えば、ＤＶＤ用グレーティング；図示せず）を備えている。この回折パターン２はマザー基板６がダイシングされた後は、図９（Ａ）で示される回折格子となる。
回折パターン２は、平面平行四辺形状に形成されており、一辺が所定の長さ、例えば、２ｍｍである。
【００５０】
検査用パターン７は、第１実施形態と同様に、ウェハー１Ａの中心部と、互いに等間隔に配置された４つの周縁部との合計５カ所に設けられている。検査用パターン７は回折パターン２より大きな面積を有するものであり、例えば、一辺が５〜１０ｍｍである。
検査用パターン７は回折パターン２の格子が形成された面と同一面（表面）に形成された検査用格子７０を備える。
第３実施形態の検査方法は第１実施形態及び第２実施形態と同じである。
従って、第２実施形態では、第１実施形態の（１）（４）（６）（７）と同様の作用効果を奏することができる。
【００５１】
次に、本発明の第４実施形態を図８に基づいて説明する。図８（Ａ）は図１に対応した図であり、図８（Ｂ）は検査用パターンを示す平面図である。
第４実施形態は回折パターンが前記実施形態とは異なるもので、他の構成は前記実施形態と同じである。つまり、第４実施形態では、回折パターンはホログラムである。
図８（Ａ）に示される通り、第４実施形態のマザー基板８はウェハー１Ａに回折パターン２が複数箇所形成され、これらの回折パターン２よりも大きい検査用パターン９が回折パターン２の形成されていない領域に形成された構造である。マザー基板８の平面形状は、略円板状に形成されたウェハー１Ａの表面に複数の回折パターン２が形成され、これらの回折パターン２が形成されていない中央部の１カ所と周縁部の４カ所に検査用パターン９が形成されている（図２（Ａ）参照）。回折パターン２は、回折方向の異なる４つの小間格子からなる多分割ホログラムである。
【００５２】
本実施形態では、第１実施形態とは異なり、回折パターン２は円形に形成され、検査用パターン９は回折パターン２より大きな円形に形成される。
図８（Ｂ）に示される通り、検査用パターン９は、回折パターン２の４つの小間格子に対応する４つの扇状部９Ａを有する。これらの扇状部９Ａは小間格子と同じ微細構造を有する。
【００５３】
第４実施形態の検査装置２０を図８（Ａ）に戻って説明する。
検査装置２０は、半導体レーザーからなる照射部１１と、マザー基板８を挟んで照射部１１が配置されている側とは反対の側に配置され検査用パターン９を透過回折した光を受光する受光部１２と、マザー基板８と照射部１１との間に配置されたマスキング板１５、対物レンズ２１、アパーチャ２２及びコリメーターレンズ２３とを備えている。
以上の構成の検査装置２０を用いて、マザー基板８の検査を行うが、その方法は前記実施形態と概ね同じである。
【００５４】
従って、第４実施形態では、第１実施形態の（１）（６）（７）と同様の作用効果を奏することができる他、次の作用効果を奏することができる。
（１０）ウェハー１Ａに形成される回折パターン２をホログラムとしたので、ホログラムの簡単かつ精度の高い検査を実施できる。
【００５５】
なお、本発明は、上述した一実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲で以下に示される変形をも含むものである。
例えば、前記実施形態では、ウェハー１Ａの中央部の１カ所と周縁部の４カ所の合計５カ所に検査用パターン３，５，７，９を形成したが、本発明では、検査用パターン３，５，７，９を形成する個数は複数であれば限定されるものではなく、形成場所も限定されない。例えば、検査用パターン３，５，７，９を２カ所、３カ所、４カ所、６カ所以上設けてもよく、その配置場所も中央部に設けず、周縁部において互いに等間隔配置するものでもよい。
そして、マスキング板１５を必ずしも設けることを要せず、設ける場合であっても、窓部１５３の周縁部に必ずしも縁取りをすることを要しない。
【００５６】
第１実施形態では、第一検査用格子３１と第二検査用格子３２との双方に検査光を照射してマザー基板１の検査を実施したが、第２実施形態のように、第一検査用格子３１と第二検査用格子３２とのいずれか一方のみに検査光を照射して検査を実施してもよい。同様に、第２実施形態では、第一検査用格子５１と第二検査用格子５２とのいずれか一方に検査光を照射したが、第１実施形態のように、第一検査用格子５１と第二検査用格子５２との双方に検査光を照射して検査を実施してもよい。
さらに、回折用格子をＣＤ用、あるいは、ＤＶＤ用としたが、ブルーレイ用の回折用格子にも本発明を適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
本発明は、回折格子、ホログラム、その他の光学素子を製造するためのマザー基板に利用することができる。
【符号の説明】
【００５８】
１，４，６，８…マザー基板、２…回折パターン、３，５，７，９…検査用パターン、１０，２０…検査装置、１１…照射部、１２…受光部、１５…マスキング板、３１，５１…第一検査用格子、３２，５２…第二検査用格子、７０…検査用格子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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