(57)【要約】      （修正有）【課題】  偏光板を備えるワークテーブルにおいて、ハウジングに対する偏光板の変位を防止する。【解決手段】  ワークテーブルは、上方に開放する内部空間を備えると共に、被検査体を受ける受け部を内部空間の矩形の開放部の周りに備える箱状のハウジング３４と、被検査体に照射する光を発生するように、前記受け部の下方に位置されたバックライトユニット３６と、バックライトユニットから被検査体に向かう光の通路に配置された偏光板３８とを含む。ハウジング３４は、矩形の対向する一対の辺に対応する箇所のそれぞれに内部空間の側に開口して矩形の対向する他の一対の辺の長手方向に延在する溝を有しており、また偏光板３８の矩形の対向する一対の辺に対応する箇所のそれぞれの縁部を溝に受け入れている。【選択図】図３
2011039244.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上方に開放する内部空間を備えると共に、被検査体を受ける受け部を前記内部空間の矩形の開放部の周りに備える箱状のハウジングと、前記被検査体に照射する光を発生するように、前記受け部の下方に位置されたバックライトユニットと、前記バックライトユニットから被検査体に向かう光の通路に配置された偏光板とを含み、
前記ハウジングは、前記矩形の対向する一対の辺に対応する箇所のそれぞれに、前記内部空間の側に開口しかつ対応する辺の長手方向に延在する溝を有し、
前記偏光板は、前記矩形の対向する一対の辺に対応する箇所のそれぞれの縁部を前記溝に受け入れられている、表示用パネル基板のためのワークテーブル。
【請求項２】
さらに、前記偏光板と前記バックライトユニットとの間に配置されて、前記偏光板に入射する光を拡散させる光拡散板を含む、請求項１に記載のワークテーブル。
【請求項３】
さらに、前記光拡散板と前記バックライトユニットとの間に配置されて、前記バックライトユニットからの光を前記光拡散板に入射させる導光板を含む、請求項２に記載のワークテーブル。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項に記載のワークテーブルと、該ワークテーブルに受けられた被検査体の電極に対向される先端針先をそれぞれ有する複数のプローブを備えるプローブ装置とを含む、表示用パネル基板のための試験装置。
【請求項５】
さらに、前記ワークテーブルに対向して前記被検査体からの光の通路に配置された第２の偏光板と、該第２の偏光板と前記ワークテーブルとを相寄り相離れる方向へ相対的に移動させる移動機構とを含む、請求項４に記載の試験装置。
【請求項６】
さらに、前記矩形の対向する少なくとも一対の各辺に対応して配置された板状のプローブベースであって、少なくとも１つのプローブベースに前記プローブ装置を支持するプローブベースと、前記プローブ装置を支持するプローブベースに対向する他のプローブベースに、前記プローブ装置に向けて延びる状態に、配置されたステーとを含み、
前記第２の偏光板は、前記プローブ装置と前記ステーとに支持されている、請求項５に記載の試験装置。
【請求項７】
前記プローブ装置は、さらに、前記プローブが左右方向に間隔をおいて前後方向へ延びる状態に配置されたプローブホルダと、該プローブホルダの左右方向の端面のそれぞれに配置されたカバーとを備え、
前記カバー及び前記ステーは、前記第２の偏光板を受ける受け部を有する、請求項６に記載の試験装置。
【請求項８】
さらに、前記矩形の辺に対応されて配置された板状の複数のプローブベースであって、少なくとも１つのプローブベースに前記プローブ装置を支持するプローブベースと、対向する少なくとも一対のプローブベースに配置されて、対向する他のプローブベースに向けて延びるステーとを含み、
各ステーは、前記第２の偏光板を受ける受け部を有する、請求項５に記載の試験装置。
【請求項９】
各受け部は、上向きの段部又は前記内部空間に開放する凹所を含む、請求項７及び８のいずれか１項に記載の試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルのような表示用パネル基板の点灯試験に用いるワークテーブル及び試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルは、一般に、完成したパネル基板の状態、液晶をガラス板の間に封入しかつ偏光板を備えたパネル基板の状態、液晶をガラス板の間に封入しているが、偏光板を備えていないパネル基板の状態等において、点灯試験をされる。
【０００３】
そのような試験装置の１つとして、上方に開放する内部空間を有しかつ被検査体を受ける受け部を内部空間の矩形の開放部の周りに備える、箱状のハウジングを備え、ハウジングの内部空間に、被検査体に照射する光を発生するバックライトユニットを配置したワークテーブルを用いたものがある（特許文献１）。
【０００４】
上記の従来試験装置は、また、バックライトからの光がパネル基板に向けて通過することを許す導光板と、該導光板からパネル基板に向う光を拡散させる第１の光拡散シートと、該第１の光拡散シートからの光がパネル基板に向けて通過することを許す拡散板と、拡散板からパネル基板に向けう光を拡散させる第２の光拡散シートと、該第２の光拡散シートからの光がパネル基板に向けて通過することを許すガラス板とを、ハウジングの内部空間に重ね合わせた状態に配置している。
【０００５】
しかし、上記の従来試験装置は、光を偏光させる偏光板を備えるパネル基板を試験する装置として構成されているにすぎないから、偏光板を備えないパネル基板の試験をすることができない。
【０００６】
上記のことから、本発明者等は、種々の実験・研究をした結果、偏光板をワークテーブルの側に配置した試験装置を考案した。
【０００７】
しかし、パネル基板を受けるハウジングに偏光板を単に配置するだけでは、パネル基板を交換するときに、ハウジングからのパネル基板の剥離に起因して偏光板に作用する負圧により、偏光板が、ハウジングから外れて、ハウジングひいてはパネル基板に対し変位してしまう。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００３−２４１６８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、偏光板を備えるワークテーブルにおいて、ハウジングに対する偏光板の変位を防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係るワークテーブルは、上方に開放する内部空間を備えると共に、被検査体を受ける受け部を前記内部空間の矩形の開放部の周りに備える箱状のハウジングと、前記被検査体に照射する光を発生するように、前記受け部の下方に位置されたバックライトユニットと、前記バックライトユニットから被検査体に向かう光の通路に配置された偏光板とを含む。
【００１１】
前記ハウジングは、前記矩形の対向する一対の辺に対応する箇所のそれぞれに、前記内部空間の側に開口して、前記矩形の対向する他の一対の辺の長手方向に延在する溝を有する。また、前記偏光板は、前記矩形の対向する一対の辺に対応する箇所のそれぞれの縁部を前記溝に受け入れられている。
【００１２】
本発明に係るワークテーブルは、さらに、前記偏光板と前記バックライトユニットとの間に配置されて、前記偏光板に入射する光を拡散させる光拡散板を含むことができる。
【００１３】
本発明に係るワークテーブルは、さらに、前記光拡散板と前記バックライトユニットとの間に配置されて、前記バックライトユニットからの光を前記光拡散板に入射させる導光板を含むことができる。
【００１４】
本発明に係る試験装置は、上記のようなワークテーブルと、該ワークテーブルに受けられた被検査体の電極に対向される先端針先をそれぞれ有する複数のプローブを備えるプローブ装置とを含む。
【００１５】
本発明に係る試験装置は、さらに、前記ワークテーブルに対向して前記被検査体からの光の通路に配置された第２の偏光板と、該第２の偏光板と前記ワークテーブルとを相寄り相離れる方向へ相対的に移動させる移動機構とを含むことができる。
【００１６】
本発明に係る試験装置は、さらに、前記矩形の対向する少なくとも一対の各辺に対応して配置された板状のプローブベースであって、少なくとも１つのプローブベースに前記プローブ装置を支持するプローブベースと、前記プローブ装置を支持するプローブベースに対向する他のプローブベースに、前記プローブ装置に向けて延びる状態に、配置されたステーとを含むことができ、また前記第２の偏光板は、前記プローブ装置と前記ステーとに支持されていてもよい。
【００１７】
前記プローブ装置は、さらに、前記プローブが左右方向に間隔をおいて前後方向へ延びる状態に配置されたプローブホルダと、該プローブホルダの左右方向の端面のそれぞれに配置されたカバーとを備えることができ、また前記カバー及び前記ステーは、前記第２の偏光板を受ける受け部を有することができる。
【００１８】
上記の代わりに、本発明に係る試験装置は、さらに、前記矩形の辺に対応されて配置された板状の複数のプローブベースであって、少なくとも１つのプローブベースに前記プローブ装置を支持するプローブベースと、対向する少なくとも一対のプローブベースに配置されて、対向する他のプローブベースに向けて延びるステーとを含むことができ、また各ステーは、前記第２の偏光板を受ける受け部を有することができる。
【００１９】
各受け部は、上向きの段部又は前記内部空間に開放する凹所を含むことができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明においては、矩形の対向する一対の辺に対応する箇所のそれぞれにハウジングの内部空間の側に開口して矩形の対向する他の一対の辺の長手方向に延在する溝をハウジングに設け、矩形の対向する一対の辺に対応する偏光板の箇所のそれぞれの縁部をハウジングの溝に受け入れている。
【００２１】
このため、本発明によれば、パネル基板を交換するときに、ハウジングからのパネル基板の剥離に起因する負圧が偏光板に作用しても、偏光板はハウジングから外れない。その結果、偏光板はハウジングひいてはパネル基板に対し変位することを溝により防止される。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明に係る試験装置の一実施例を示す平面図である。
【図２】図１における２−２線に沿って得た図である。
【図３】図１における３−３線に沿って得た断面図であって、テーブル移動機構を省略して示す。
【図４】図２に示すワークテーブルの拡大断面図である。
【図５】図３に示すワークテーブルの拡大断面図である。
【図６】プローブ装置の一実施例を示す正面図である。
【図７】図６に示すプローブ装置の平面図である。
【図８】図６に示すプローブ装置の右側面図である。
【図９】図６に示すプローブ装置を分解した断面図である。
【図１０】プローブ組立体の一実施例を拡大して示す断面図である。
【図１１】プローブ装置で用いる組み付け装置を分解した斜視図である。
【図１２】偏光板を受ける受け部の他の実施例を示す図である。
【図１３】本発明に係る試験装置の他の実施例を示す，図２又は図３と同様の断面図である。
【符号の説明】
【００２３】
１０  プローブユニット
１２  表示用基板
１４  表示用基板の電極
１６  検査ステージ
１８  プローブベース
２０  プローブ装置
２２  ステー
２４，３８  偏光板
２６  電気的配線具
３０  テーブル移動機構
３２  ワークテーブル
３４  ハウジング
３４ａ  内部空間
３４ｂ  被検査体用の受け部
３４ｃ  開放部
３４ｄ  段部
３６  バックライトユニット
４０  光拡散板
４２  導光板
４４  偏光板を受ける溝
５０  プローブ組立体
５２  支持ブロック
５４  連結ブロック
５６  結合ブロック
５８  組み付け装置
６０  接続ブロック
６２  プローブ
６４  ブロック片
６６  スリットバー
６８  バー部材
７０  カバー
７８，１４４，１４６  偏光板の受け部
【発明を実施するための形態】
【００２４】
［用語について］
【００２５】
本発明においては、図２において、上下方向（被検査体に垂直の方向）を上下方向又はＺ方向といい、左右方向を左右方向又はＸ方向といい、紙背方向を前後方向又はＹ方向という。しかし、それらの方向は、ワークテーブルに受けられた被検査体の姿勢に応じて異なる。
【００２６】
それゆえに、本発明に係るプローブユニットは、本発明でいう上下方向（Ｚ方向）が、実際に、上下方向となる状態、上下逆となる状態、斜めの方向となる状態等、いずれかの方向となる状態に試験装置に取り付けられて、使用される。
【００２７】
［実施例］
【００２８】
図１から図１０を参照するに、試験装置１０は、偏光板を備えない未完成の液晶表示パネルのようなパネル基板を平板状の被検査体１２（図２から図５及び図８から図１０参照）とし、被検査体１２の点灯検査に用いられる。被検査体１２は、長方形の形状を有しており、また複数の電極１４（図２，８及び１０参照）を少なくとも長方形の隣り合う２つの辺に対応する縁部に所定のピッチで形成している。各電極１４は、これが配置された縁部と直交する方向（Ｘ方向又はＹ方向）へ伸びる帯状の形状を有している。
【００２９】
試験装置１０は、被検査体１２を受ける検査ステージ１６と、長方形の各辺に対応して配置された板状のプローブベース１８と、隣り合う２つのプローブベース１８のそれぞれに左右（Ｘ）方向又は前後（Ｙ）方向に間隔をおいて配置された複数のプローブ装置２０と、残りの２つのプローブベース１８のそれぞれに前後方向又は左右方向に間隔をおいて配置された複数のステー２２と、プローブ装置２０及びステー２２に支持された偏光板２４と、各プローブ装置２０を被検査体１２のための試験信号を発生する電気回路（図示せず）に接続する電気的配線具２６とを含む。
【００３０】
試験装置１０の本体フレーム（図示せず）は、被検査体１２と相似でしかも被検査体１２より大きい矩形の開口２８ａ（図１及び２参照）を上部フレーム部２８に有する。
【００３１】
検査ステージ１６は、本体フレームの下部フレーム部（図示せず）に設置されたテーブル移動機構３０と、被検査体１２を受けるチャックトップすなわちワークテーブル３２とを備える。
【００３２】
テーブル移動機構３０は、ワークテーブル３２を、前後左右及び上下の３方向に移動させると共に、上下方向へ延びるθ軸線の周りに角度的に回転させる公知の装置である。
【００３３】
ワークテーブル３２は、図２から図４に詳細に示すように、上方に開放する内部空間３４ａを備える四角い箱状のハウジング３４と、内部空間３４ａに配置されたバックライトユニット３６と、バックライトユニット３６から被検査体１２に向かう光の通路に配置された偏光板３８と、偏光板３８とバックライトユニット３６との間に配置された光拡散板４０と、光拡散板４０とバックライトユニット３６との間に配置された導光板４２とを含む。
【００３４】
図３及び４に示すように、ハウジング３４及びその内部空間３４ａは、全体的に立方体の形状を有しており、また被検査体１２を受ける矩形の受け部３４ｂを内部空間３４ａの矩形の開放部３４ｃの周りに備える。
【００３５】
内部空間３４ａは、バックライトユニット３６が配置された第１の空間と偏光板３８、光拡散板４０及び導光板４２が配置された第２の空間とにより形成されている。第１の空間は第２の空間より小さくされている。これにより、内部空間３４ａは、導光板４２が載置された上向きの段部３４ｄを有する。
【００３６】
ハウジング３４及び受け部３４ｂは、いずれも被検査体１２と相似でしかも被検査体１２より僅かに大きい矩形の平面形状を有する。これに対し、内部空間３４ａ、第１及び第２の空間並びに段部３４ｄは、いずれも被検査体１２と相似でしかも被検査体１２より僅かに小さい矩形の平面形状を有する。
【００３７】
ハウジング３４は、また、上方に開放する吸着溝（図示せず）を受け部３４ｂの対向する一対の縁部のそれぞれに有する。各吸着溝は、対応する辺の長手方向に延びており、また被検査体１２を解除可能に真空的に吸着するために、図示しない真空源に連通されている。しかし、そのような吸着溝を設けなくてもよい。
【００３８】
バックライトユニット３６は、図示の例では、例えば特許文献１に記載されているように、被検査体１２に照射する光を発生する白色蛍光管のような複数の光源を備えた公知の装置である。しかし、四角筒状のハウジング３４とバックライトユニット３６とを別個の独立した装置として製作し、ハウジング３４をバックライトユニット３６上に配置してもよい。
【００３９】
偏光板３８、拡散板４０及び導光板４２は、いずれも被検査体１２と相似でしかも被検査体１２より僅かに小さい矩形の平面形状を有する。導光板４２は、下面の縁部を段部３４ｄに受けられている。拡散板４０及び偏光板３８は、それぞれ、導光板４２及び拡散板４０に載置されている。
【００４０】
バックライトユニット３６からの光は、導光板４２により拡散板４０に導かれ、拡散板４０により拡散されて偏光板３８に入射し、偏光板３８により偏光作用を受け、その後被検査体１２に照射される。
【００４１】
ハウジング３４は、また、内部空間３４ａの側に開口する溝４４（図３及び５参照）を矩形の対向する一対の辺に対応する箇所のそれぞれに有する。各溝４４は、コ字状の断面形状を有しており、また対応する辺の長手方向に連続して延びている。
【００４２】
各溝４４は、図示の例では、前後方向に離間する一対の辺のそれぞれに設けられているが、左右方向に離間する一対の辺に対応する箇所のそれぞれに設けてもよいし、また矩形の辺に対応する箇所のそれぞれに設けてもよい。
【００４３】
偏光板３８は、前後の縁部を溝４４に嵌め込まれている。これにより、被検査体１２の交換時に、ハウジング３２に対する被検査体１２の剥離に起因する負圧が偏光板３８に作用しても、偏光板３８はハウジング３４から外れない。その結果、偏光板３８はハウジング２４ひいては被検査体１２に対し変位することを溝４４により防止される。
【００４４】
プローブベース１８は、一部が開口２８ａに突出する状態に、上部フレーム部２８に取り付けられている。各プローブベース１８は、左右方向又は前後方向に間隔をおいた複数の配線通し穴１８ａを有する。各配線通し穴１８ａには、電気的配線具２６が下方から上方に挿し通されている。
【００４５】
図示の例では、全てのプローブベース１８が複数の配線通し穴１８ａを有しているが、プローブ装置２０が取り付けられたプローブベース１８にだけ配線通し穴１８ａを設けてもよい。
【００４６】
図２及び３並びに図６から図１０に示すように、各プローブ装置２０は、プローブ組立体５０と、プローブ組立体５０を支持する支持ブロック５２と、支持ブロック５２を支持する連結ブロック５４と、支持ブロック５２の下側（Ｚ方向におけるいずれか一方の側）に支持されて、プローブ組立体５０を支持ブロック５２に支持させる結合ブロック５６と、結合ブロック５６を支持ブロック５２の下側に組み付ける組み付け装置５８と、支持ブロック５２の下側に取り付けられた接続ブロック６０とを含む。
【００４７】
プローブ組立体５０は、図６から図１０に詳細に示すように、導電性材料により製作された複数のプローブ６２を、ブロック片６４の下面に前後方向に間隔をおいて組み付けられた一対のスリットバー６６に、左右方向に間隔をおいて前後方向に延びる状態に配置している。
【００４８】
各プローブ６２は、図１０に示すように、矩形をした板状の針主体部６２ａと、針主体部６２ａの前端から前方へ一体的に伸びる先端領域６２ｂと、針主体部６２ａの後端から後方へ一体的に伸びる後端領域６２ｃと、先端領域６２ｂの先端から下方に曲げられた先端針先６２ｄと、後端領域６２ｃの後端から上方に曲げられた後端針先を６２ｅとを備えるブレードタイプの針とされている。先端針先６２ｄ及び後端針先６２ｅは、三角形に形成されて、先鋭にされている。
【００４９】
プローブ６２は、それらの針主体部６２ａを対向させた状態にスリットバー６６に配置されており、また針主体部６２ａを貫通するバー部材６８が、その両端部を一対のカバー７０に支持され、各カバー７０がブロック片６４に取り付けられることより、ブロック片６４に組み付けられている。
【００５０】
ブロック片６４及び各スリットバー６６は、いずれも、電気絶縁性を有するセラミック、合成樹脂等により、左右方向に長い角柱状の形状を有する。
【００５１】
各スリットバー６６は、電気絶縁性の材料により角柱状の形状に製作されており、またブロック片６４の前部下面又は後部下面に左右方向へ伸びる状態に装着されている。各スリットバー６６は、図１０に示すように、これの長手方向（左右方向）に所定の間隔をおいて前後方向へ伸びかつ下方に開放する複数のスリット７２を下面に有する。
【００５２】
バー部材６８は、図示の例では円形の断面形状を有しており、またセラミックのような硬質の電気絶縁性の材料により形成されている。しかし、バー部材６８は、導電性の材料を電気絶縁性の材料で被覆したものであってもよく、また矩形、六角形等の多角形のような他の横断面形状を有していてもよい。
【００５３】
各プローブ６２は、針主体部６２ａの厚さ方向を左右方向とし、かつ先端針先６２ｄ及び後端針先６２ｅをそれぞれブロック片６４から前方及び後方へ突出させた状態に、スリットバー６６に並列的に配置されており、また先端領域６２ｂ及び後端領域６２ｃをスリットバー６６のスリット７２に嵌合させている。
【００５４】
各カバー７０は、その前後方向に間隔をおいた箇所を貫通して、ブロック片６４の左右方向における端部に螺合された複数のねじ部材７４（図８参照）により、ブロック片６４の左右方向における側面に取り外し可能に取り付けられている。
【００５５】
各カバー７０は、また、複数の位置決めピン７６（図８参照）により、ブロック片６４に対し位置決められている。各位置決めピン７６は、ブロック片６４の左右方向における端部に、該端部から左右方向へ突出する状態に取り付けられており、また両カバー７０に差し通されている。
【００５６】
各カバー７０の下半前端部は、ブロック片６４及びスリットバー６６より前方へ突出しており、これにより偏光板２４を受ける上向きの受け部７８（図３及び８参照）が各カバー７０の前端部に形成されている。
【００５７】
バー部材６８は、その端部を内側の各カバー７０に設けられた貫通穴（図示せず）に挿入されている。これにより、バー部材６８は、カバー７０と共に、ねじ部材７４及び位置決めピン７６により、ブロック片６４に取り付けられて、位置決めされている。
【００５８】
図１０に示すように、前側のスリットバー６６及び各プローブ６２は、それぞれ、後方に突出する凸部９０及び前方に開放された凹部９２を後端部及び前端部に備える。凸部９０及び凹部９２は、コ字状の断面形状を有すると共に、互いに嵌合されている。
【００５９】
また、凸部９０及び凹部９２は、それぞれ、下方（Ｚ方向におけるいずれか一方の側）に位置する下縁部及び上縁部９０ａ及び９２ａと、上方（Ｚ方向における他方の側）に位置する上縁部及び下縁部９０ｂ及び９２ｂとを有する。
【００６０】
凸部９０の下縁部９０ａと凹部９２の上縁部９２ｂとは下方に向いており、凸部９０の上縁部９０ｂと凹部９２の下縁部９２ａとは上方に向いている。凹部９２の上縁部９２ａは、後方側ほど低くされている。これにより、凹部９２の奥底部下側に付加的な凹部９２ｃが形成されている。
【００６１】
プローブ組立体５０は、また図９に示すように、左右方向に間隔をおいた複数の位置決めピン９４（図には、その１つを示す）を含む。各位置決めピン９４は、ブロック片６４に取り付けられており、またブロック片６４から上方へ延びている。
【００６２】
各位置決めピン９４は、さらに、結合ブロック５６に設けられた位置決め穴（図示せず）に嵌合されて、その位置決め穴と共に、プローブ組立体５０を結合ブロック５６に対して位置決めている。
【００６３】
上記とは逆に、位置決めピン９４を結合ブロック５６に設け、位置決め穴をブロック片６４に設けてもよい。
【００６４】
各プローブ６２は、凸部９０及び凹部９２が相互に嵌合され、かつバー部材６８がプローブ６２を貫通し、さらに先端領域６２ｂ及び後端領域６２ｃがスリット７２に嵌合された状態に、スリットバー６６に配置される。
【００６５】
各プローブ６２は、また、そのようなスリットバー６６が、ねじ部材、接着剤等により、ブロック片６４に上記のように組み付けられると共に、カバー７０がブロック片６４に上記のように組み付けられることにより、ブロック片６４に組み付けられて、保持される。
【００６６】
結合ブロック５６は、図９に示すように、プローブ組立体５０が配置された下向き段部９６を有する。下向き段部９６は、結合ブロック５６の下部の前端部を左右方向へ延びている。
【００６７】
プローブ組立体５０は、結合ブロック５６の貫通穴９７（図得９参照）を上方から下方に貫通して、ブロック片６４に設けられた雌ねじ穴９８に螺合された頭付きのねじ部材１００により、位置決めピン９４が前記した位置決め穴に挿入された状態に、下向き段部９６に維持されている。
【００６８】
図においては、隣り合うプローブ６２が左右方向に大きく間隔をおいているように示しているが、実際にはプローブ６２の配列ピッチは小さい。プローブ６２の数、厚さ寸法及び配列ピッチ、並びに、スリットバー６６のスリットの数、配置ピッチ及び幅寸法は、被検査体１２の種類、特に電極の配置ピッチと幅寸法とにより異なる。
【００６９】
プローブ組立体５０は、両スリットバー６６を上記した状態にブロック片６４に取り付けた状態で、各プローブ６２の両端部をスリットバー６６のスリット７２に挿し込むと共に、凸部９０及び凹部９２を嵌合させ、バー部材６８をプローブ６２とカバー７０とに挿し通し、その後カバー７０をねじ部材７４及び位置決めピン７６でブロック片６４に取り付けることにより、組み立てることができる。
【００７０】
一方のカバー７０は、両スリットバー６６をブロック片６４に取り付けた後に、ブロック片６４に取り付けてもよい。
【００７１】
プローブ組立体５０の分解は、上記と逆の作業を実行することにより、行うことができる。プローブ６２の交換は、上記と逆の作業を実行して、元のプローブを新たなプローブに変更した後、上記と同様の作業を実行することにより、行うことができる。
【００７２】
結合ブロック５６へのプローブ組立体５０の組み付けは、位置決めピン９４（図９及び１０参照）を結合ブロック５６の前記した位置決め穴に差し込んだ状態で、ねじ部材１００を、結合ブロック５６の貫通穴９７に上方から下方に通して、ブロック片６４の前記した雌ねじ穴に螺合させることにより、行うことができる。
【００７３】
結合ブロック５６からのプローブ組立体５０の取り外しは、上記と逆の作業を実行することにより、行うことができる。
【００７４】
この実施例においては、ブロック片６４とスリットバー６６とは、複数のプローブ６２を左右方向に間隔をおいて前後方向へ延びるように並列的に配置したプローブホルダを構成している。
【００７５】
図８及び９に示すように、支持ブロック５２は、板状の２つ支持部５２ａ及び５２ｂによりＬ字状の形状を有する。連結ブロック５４は、プローブベース１８に取り付けられる主体部５４ａと、主体部５４ａの上部から前方へ伸びる延長部５４ｂとにより、逆Ｌ字状の形状を有する。
【００７６】
図示の例では、支持ブロック５２は結合ブロック５６と共に第１の支持体を形成しており、また連結ブロック５４は第２の支持体を形成しており、さらにプローブ組立体５０を結合ブロック５６に組み付ける組み付け具として作用する。
【００７７】
支持ブロック５２は、左右方向に間隔をおいて上下方向へ伸びる一対のガイドレール１０２と、両ガイドレール１０２の間を上下方向へ延びるガイド１０４とにより連結ブロック５４の主体部５４ａの前面に上下方向へ移動可能に連結されていると共に、ボルト１０６により連結ブロック５４の延長部５４ｂに上下方向の位置を調整可能に連結されている。
【００７８】
両ガイドレール１０２及びガイド１０４は、それぞれ、リニアレール及びリニアガイドである。両ガイドレール１０２は、支持ブロック５２の支持部５２ａの後端面に取り付けられている。これに対し、ガイド１０４は、両ガイドレール１０２がガイド１０４に対し上下方向へ移動可能であるように、左右方向における両ガイドレール１０４の間に配置されており、また連結ブロック５４の主体部５４ａの前端面に取り付けられている。
【００７９】
ボルト１０６は、連結ブロック５４の延長部５４ｂを上方から下方へ貫通しており、また支持ブロック５２に形成されたねじ穴１０８に螺合されている。支持ブロック５２は、図６に示すように、左右方向に間隔をおいて配置された一対の圧縮コイルばね１１０により下方に付勢されている。
【００８０】
各圧縮コイルばね１１０は、連結ブロック５４の延長部５４ｂの上に複数のねじ部材１１１（図７参照）により取り付けられた板状のばね押え１１２と、支持ブロック５２の支持部５２ａとの間に、連結ブロック５４の延長部５４ｂを上下方向に貫通する状態に、配置されている。これにより、ねじ穴１０８へのボルト１０６のねじ込み量を調整することにより、支持ブロック５２ひいてはプローブ組立体５０の高さ位置を調整することができる。
【００８１】
ばね押え１１２は、ドライバーやレンチのような工具の先端部を上方から差し込んで、ボルト１０６の回転量を調整する貫通穴１１２ａを有する。これにより、ばね押え１１２を連結ブロック５４から取り外すことなく、支持ブロック５２ひいてはプローブ組立体５０の高さ位置の調整を行うことができるから、そのような高さ位置の調整作業が容易になる。
【００８２】
連結ブロック５４は、図８及び９に示すように複数のボルト１１６によりプローブベース１８に取り外し可能に取り付けられている。各ボルト１１６は、連結ブロック５４の主体部５４ａを上方から下方に貫通しており、またプローブベース１８に形成されたねじ穴１１８に螺合されている。
【００８３】
図６，７，８，９及び１１を参照するに、組み付け装置５８は、結合ブロック５６に形成された凹所１２０と、凹所１２０に嵌合された連結部材１２２と、連結部材１２２を支持ブロック５２の下側に組み付けて支持ブロック５２に支持させる複数のねじ部材１２４（図６及び７参照）と、連結部材１２２の貫通穴１２５を上方から下方に貫通して、結合ブロック５６のねじ穴１２８に螺合されたねじ部材１２６とを含む。
【００８４】
凹所１２０及び連結部材１２２は円形の横断面形状を有している。各ねじ部材１２４は、図６及び９に示すように、支持ブロック５２の支持部５２ｂを上方から下方に貫通して、連結部材１２２の雌ねじ穴１２３（図６及び１１参照）に螺合されている。
【００８５】
図示の例では、ねじ穴１２８は、図８及び９に示すように、結合ブロック５６の主体部５６ａに変位不能に組み付けられたナット５６ｂであるが、図１１に示すように主体部５６ａに直接形成してもよい。
【００８６】
組み付け装置５８は、連結部材１２２が前記したねじ部材により支持ブロック５２に取り付けられ、ねじ部材１２６が、連結部材１２２の貫通穴１２５を上から下方に貫通して、雌ねじ穴１２８に螺合されることにより、結合ブロック５６を支持ブロック５２の支持部５２ｂの下側に組み付けている。
【００８７】
組み付け装置５８は、また、凹所１２０と連結部材１２２が嵌合されていることにより、結合ブロック５６を支持ブロック５２に対し、左右方向及び前後方向により形成されるＸＹ面内における所定の位置に維持している。
【００８８】
図示の例では、組み付け装置５８は、さらに、結合ブロック５６に形成され、ＸＹ面内を延びて、凹所１２０に連通された凹所１３０と、連結部材１２２からＸＹ面内を延び、かつ凹所１３０に受け入られたピン部材１３２と、支持ブロック５２の支持部５２ｂの下面に形成され、かつ連結部材１２２の側に開放する一対の凹所１３４と、連結部材１２２上方に延びて、凹所１３４に受け入られた一対のピン部材１３６とを備える。
【００８９】
凹所１３０及びピン部材１３２は、ＸＹ面内においてねじ部材１２６より前方の位置を一方向（図示の例では、Ｘ方向）に延びている。これに対し、両凹所１３４及び両ピン部材１３６のそれぞれは、凹所１３０及びピン部材１３２が延びる方向と交差する方向、好ましくは直行する方向（図示の例では、Ｙ方向）に離間されている。
【００９０】
組み付け装置５８は、上記凹所１３０，１３４及びピン部材１３２，１３６により、結合ブロック５６を支持ブロック５２に対し、左右方向及び前後方向における所定の位置に維持していると共に、上下方向に延びるθ軸線の周りにおける所定の角度位置に維持している。
【００９１】
凹所１２０を支持ブロック５２に設け、連結部材１２２を結合ブロック５６にねじ止めしてもよい。また、凹所１３０，１３４と、ピン部材１３２，１３６とを上記と逆の部材に設けてもよい。
【００９２】
支持ブロック５２への結合ブロック５６の組み付けは、ピン部材１３６を対応する凹所１３４に位置させた状態で、連結部材１２２をねじ部材１２４により支持ブロック５２の下側に取り付け、次いで連結部材１２２を凹所１２０に勘合させると共に、ピン部材１３２を対応する凹所１３０に位置させた状態で、ねじ持部材１２６を結合ブロック５６の雌ねじ穴１２８に螺合することにより、行うことができる。
【００９３】
支持ブロック５２からの結合ブロック５６の取り外しは、上記と逆の作業を実行することにより、行うことができる。
【００９４】
図６から図９を参照するに、接続ブロック６０は、支持ブロック５２の下側を左右方向へ延びており、また結合ブロック５６の後端部と支持ブロック５２との間に位置されている。接続ブロック６０は、左右方向に間隔をおいた複数のねじ部材１４０（図８及び９参照）と、前後方向に間隔をおいた複数の位置決めピン１４２（図８及び９参照）とにより支持ブロック５２の下側に分離可能に取り付けられている。
【００９５】
各ねじ部材１４０は、接続ブロック６０を下方から上方へ貫通して、支持ブロック５２に螺合されている。各位置決めピン１４２は、接続ブロック６０及び支持ブロック５２のいずれか一方に上下方向へ延びる状態に固定されて、接続ブロック６０及び支持ブロック５２の他方に設けられた位置決め穴に勘合されている。
【００９６】
上記のプローブ装置２０において、支持ブロック５２と結合ブロック５６と接続ブロック６０とは第１の支持装置として作用し、連結ブロック５４は第２の支持装置として作用する。
【００９７】
図２及び３を参照するに、各ステー２２は、Ｌ字状の形状を有しており、また対応するプローブベース１８に、これと対向する他のプローブベース１８に向けて延びる状態に配置されている。各ステー２２は、また、偏光板２４を受ける上向きの受け部１４４を有する。
【００９８】
カバー７０の受け部７８及びステー２２の受け部１４４は、いずれも、図示の例では上向きの段部である。しかし、受け部７８及び１４４の少なくとも一方は、図１２にその一例を示すように、前方に開放するコ字状の凹所や溝のような他の形状を有する受け部１４６であってもよい。
【００９９】
図２を参照するに、試験装置１０は、また、プローブ装置２０が配置された各プローブベース１８の上に配置された板状の中継ベース１５０と、中継ベース１５０に載置された中継基板１５２とを含む。
【０１００】
中継ベース１５０は、厚さ方向を上下方向とした状態に、図示しない複数のねじ部材によりプローブベース１８の上に取り付けられている。中継基板１５２は、それぞれがプローブ装置２０のプローブ６２に対応された複数の配線（図示せず）を有する配線基板である。
【０１０１】
中継基板１５２の配線は、プローブ装置２０毎に備えられた電気的配線具２６により、対応するプローブ６２に電気的に接続されている。
【０１０２】
図２，３，８及び９に示すように、各電気的配線具２６は、前後方向へ延びる複数の配線を有しており、またプローブ装置２０から後方へ延びるシート状の第１の配線領域１６０と、第１の配線領域１６０から後方へ延びるシート状の第２の配線領域１６２とに分けられている。
【０１０３】
第１及び第２の配線領域１６０及び１６２は、それぞれ、左右方向に間隔をおいて前後方向へ延びる複数の第１の配線１６４（図１０参照）及び複数の第２の配線（図示せず）を有する。
【０１０４】
第１の配線領域１６０は、フレキシブル印刷配線回路（ＦＰＣ）、タブ（ＴＡＢ）、又はそれらを組み合わせた複合回路シートとされており、また第２の配線領域１６２は、フレキシブル印刷配線回路（ＦＰＣ）とされている。
【０１０５】
第１の配線領域１６０は、図９に示すように、固定板１６６により結合ブロック５６の下側に位置されており、また被検査体１２を駆動する集積回路１６８を中間領域に配置しており、さらに第１の支持装置の一部として作用する結合ブロック５６の下側を後方に延びている。
【０１０６】
図１０に示すように、第１の配線領域１６０の前端部は、第１の配線１６６の先端部が下方に露出する状態に、結合ブロック５６の下面に維持されている。これにより、プローブ装置２０が組み立てられた状態において、各プローブ６２の後端針先６２ｅは、第１の配線１６０の先端部に押圧されて電気的に接続される。
【０１０７】
図８，９及び１０に示すように、第１の配線領域１６０の後端部は、結合ブロック５６の後端部において上方に折り返されて、第１の配線１６４の後端部が上方に露出する状態に、結合ブロック５６の上面に維持されている。
【０１０８】
図８及び９に示すように、第２の配線領域１６２の先端部は、第１の配線領域１６０の折り返し部の上方に位置する状態に、及び第２の配線の先端部が下方となる状態に、接続ブロック６０の下面に維持されている。これにより、プローブ装置２０が組み立てられた状態において、第１の配線１６４の後端部と第２の配線の前端部とは、互いに押圧されて、電気的に接続されている。
【０１０９】
図１及び図２に示すように、第２の配線領域１６２は、対応するプローブベース１８の配線通し穴１８ａに下方から上方に通されて、そのプローブベース１８の上側に導かれ、またその後端に設けられたコネクタ１７０により、中継基板１５２に結合されている。
【０１１０】
コネクタ１７０は、電気的配線具２６の配線を介して、対応するプローブ装置２０のプローブ６２に接続された複数の端子を備える。それらの端子は、中継基板１５２の前記した配線に接続される。
【０１１１】
中継基板１５２の配線は、試験信号を発生する電気回路（図示せず）に接続される。試験信号は、そのような電気回路から、電気的配線具２６を介してプローブ６２に供給されて、被検査体１２を駆動（点灯）させる。
【０１１２】
図８及び９に示すように、エラストマ１７２は、接続ブロック６０の下側にあって、第１及び第２の配線領域１６０及び１６２の第１及び第２の配線の接触部に対応する箇所に配置されている。このため、エラストマ１７２、第１及び第２の配線領域１６０及び１６２は、結合ブロック５６及び接続ブロック６０が支持ブロック５２に組み付けられた状態において、圧縮変形される。これにより、第１及び第２の配線領域１６０及び１６２の第１及び第２の配線は、強く押圧されて、確実に接触する。
【０１１３】
プローブ組立体５０及び電気的配線具２６の交換は、結合ブロック５６を支持ブロック５２から分離した状態で行うことができる。また、プローブ６２の交換は、結合ブロック５６を支持ブロック５２から分離し、プローブ組立体５０を結合ブロック５６から分離した状態で行うことができる。さらに、電気的配線具２６の交換は、結合ブロック５６を支持ブロック５２から分離し、接続ブロック６０を支持ブロック５２から分離した状態で行うことができる。
【０１１４】
試験時、被検査体１２は、偏光板３８，２４の間に位置され、その状態で試験信号を受けて点灯される。
【０１１５】
試験装置１０は、上下に偏光板３８及び２４を配置しているから、特に、偏光板を備えない被検査体１２の目視点灯検査装置として好適である。この場合、試験装置１０は、被検査体１２を水平の状態で試験するように構成されていてもよいし、傾斜した状態で試験するように構成されていてもよい。
【０１１６】
後者の場合、試験装置１０は、図１及び図２における左方側及び右方側のいずれか一方（好ましくは、左方側）が上方となり、他方（好ましくは、右方側）が下方となる傾斜状態で被検査体１２を試験するように構成される。
【０１１７】
しかし、試験装置１０は、偏光板を備える被検査体１２の目視点灯検査装置としても用いることができる。この場合、偏光板を備えない被検査体１２の目視点灯検査の場合と同様に、被検査体１２は、偏光板３８，２４の間に位置されて、点灯される。しかし、この場合には、偏光板３８及び２４は、それぞれ、バックライトユニット３６からの光及び被検査体１２からの光を通過させる状態に維持されるか、ハウジング３２から取り外される。
【０１１８】
試験装置１０は、ビデオカメラの出力信号を画像処理するいわゆる自動点灯検査にも適用することができる。自動点灯検査の場合も、被検査体１２は、一般に、水平の状態で試験される。しかし、被検査体１２を傾斜した状態で試験するようにしてもよい。
【０１１９】
自動点灯検査においては、一般に、偏光板をビデオカメラの側に配置しているから、上記実施例における上側の偏光板２４を設けなくてもよい。
【０１２０】
被検査体１２の交換時、ワークテーブル３２とプローブ装置２０とは、上下方向に大きく離間される。離間は、上記実施例においては、ワークテーブル３２をテーブル移動機構３０によりプローブ装置２０に対し変位させることにより行われる。しかし、プローブ装置２０を図示しない昇降機構のような適宜な機構によりワークテーブル３２に対し変位させることにより、ワークテーブル３２とプローブ装置２０とを離間させてもよい。
【０１２１】
験装置１０及びワークテーブル３２は、矩形の対向する一対の辺に対応する偏光板３８の箇所のそれぞれの縁部をハウジング３４の溝４４に受け入れている。このため、被検査体１２の交換時に、上記した負圧が偏光板３８に作用する。
【０１２２】
しかし、そのような負圧が拡散板２４に作用しても、上記したように偏光板３８がハウジング３４から外れないから、偏光板３８はハウジング３４ひいては被検査体１２に対し変位することを溝４４により防止される。
【０１２３】
偏光板２４を受ける受け部７０及び１４４をそれぞれプローブ装置２０及びステー２２に設ける代わりに、図１３に示すように、ステー２２を各プローブベース１８に設け、それらのステー２２に受け部１４４を設け、それらの受け部１４４に偏光板２４を支持させてもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１２４】
ブレードタイプのプローブに代えて、金属細線により製作したニードルタイプのプローブ、各配線の一部をプローブとして用いるプローブ要素等、他のプローブを用いてもよい。
【０１２５】
本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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