(57)【要約】【課題】低誘電率化と、絶縁膜破壊、エレクトロマイグレーションやストレスマイグレーションの抑制という性能を備える低誘電率層間絶縁膜および低誘電率層間絶縁膜の成膜方法を提供する。【解決手段】プラズマＣＶＤ法によって形成された低誘電率層間絶縁膜であって、珪素に対する炭素の比率が２．５以上であり、かつ比誘電率が３．８以下であることを特徴とする低誘電率層間絶縁膜を採用する。また、プラズマＣＶＤ法によって、珪素に対する炭素の比率が２．５以上であり、かつ比誘電率が３．８以下である低誘電率層間絶縁膜の成膜方法であって、前記プラズマＣＶＤ法によって成膜する際に、絶縁膜材料として炭化水素を用いないことを特徴とする低誘電率層間絶縁膜の成膜方法を採用する。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマＣＶＤ法によって形成された低誘電率層間絶縁膜であって、
珪素に対する炭素の比率が２．５以上であり、かつ比誘電率が３．８以下であることを特徴とする低誘電率層間絶縁膜。
【請求項２】
前記低誘電率層間絶縁膜が、珪素に対する炭素の比率が３．０以上であることを特徴とする請求項１に記載の低誘電率層間絶縁膜。
【請求項３】
前記低誘電率層間絶縁膜が、比誘電率が３．５以下であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の低誘電率層間絶縁膜。
【請求項４】
前記低誘電率層間絶縁膜が、金属、水分、酸素のうち少なくとも１つの物質の拡散を防止することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の低誘電率層間絶縁膜。
【請求項５】
前記低誘電率層間絶縁膜が、珪素、炭素、水素からなることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の低誘電率層間絶縁膜。
【請求項６】
プラズマＣＶＤ法によって、珪素に対する炭素の比率が２．５以上であり、かつ比誘電率が３．８以下である低誘電率層間絶縁膜の成膜方法であって、
前記プラズマＣＶＤ法によって成膜する際に、絶縁膜材料として炭化水素を用いないことを特徴とする低誘電率層間絶縁膜の成膜方法。
【請求項７】
前記プラズマＣＶＤ法によって成膜する際に、絶縁膜材料としてイソブチルトリメチルシラン、ジイソブチルジメチルシラン、または５−シラスピロ［４，４］ノナンを用いることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の低誘電率層間絶縁膜の成膜方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、低誘電率層間絶縁膜および低誘電率層間絶縁膜の成膜方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体装置の高集積化に伴い、配線層が微細化されてきているが、微細な配線層を用いると、配線層における信号遅延の影響が大きくなり、信号伝送速度の高速化を妨げるという問題が指摘されている。この信号遅延は、配線層の抵抗と配線層間容量に比例することから、高速化を実現するためには、配線層の低抵抗化と、配線層間容量の低減が求められてきている。
【０００３】
そのため、最近では配線層を構成する材料として、従来のアルミニウムから抵抗率の低い銅が用いられてきており、加えて配線層間容量を減らすために、比誘電率の低い層間絶縁膜が用いられてきている。
例えば、ＳｉＯ２膜は４．１、ＳｉＯＦ膜は３．７の比誘電率を有するが、さらに比誘電率の低いＳｉＯＣＨ膜や有機膜を用いるようになってきている。
【０００４】
しかしながら、ＳｉＯＣＨ膜や有機膜には多くの空孔や空隙が形成されているため、配線の銅が絶縁膜内を拡散しやすく、この銅の拡散は、絶縁破壊の要因となり、配線の信頼性低下につながっている。
【０００５】
そこで、銅の拡散を防ぐために、銅配線の周辺には拡散バリア性を持つ空孔や空隙の少ない絶縁膜（以下、バリア膜という。）が成膜されることが多い。このバリア膜についても、空孔や空隙を増やすことなく、拡散バリア性を保ったまま低誘電率化することが求められている（特許文献１、特許文献２参照）。
【０００６】
また、多層配線構造を形成する過程においては、ＳｉＯＣＨ膜や有機膜、バリア膜などの絶縁膜に対して、エッチング工程、洗浄工程、研磨工程といった処理が施される。したがって、これらの処理に対して、絶縁膜同士及び金属絶縁膜間が剥離しないような密着性が求められる。そして、密着性は主に絶縁膜の機械的強度に起因していることが広く知られている（非特許文献１、非特許文献２参照）。また、絶縁膜が損傷することを防ぐためには、密着性も含めて機械的強度が高いことが求められている（特許文献３参照）。しかしながら、絶縁膜中に空孔や空隙が形成された絶縁膜は、機械強度が低いという問題点が指摘されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−２９４６７１号公報
【特許文献２】特開２００９−１７６８９８号公報
【特許文献３】国際公開第０６−０７５５７８号公報
【非特許文献】
【０００８】
【非特許文献１】Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ  ｏｆ  ＡＤＭＥＴＡ２００８、２００８年、ｐｐ３４−３５
【非特許文献２】Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ  Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ  ＡＭＣ  ＸＸＩＶ  ２００９  Ｍａｔｅｒｉａｌ  Ｒｅｓｅｒｃｈ  Ｓｏｃｉｅｔｙ、ｐｐ３８１−３８６
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、ＳｉＯＣＨ膜などの低誘電率層間絶縁膜は、空孔や空隙を多く設けることによって低誘電率化を達成している。しかしながら、従来の低誘電率層間絶縁膜は、空孔や空隙が多いことからガス及び金属のバリア性が劣っているという問題点があった。また、従来の低誘電率層間絶縁膜は凝集エネルギーが弱く、別組成の膜との密着性が劣っているという問題点があった。
【００１０】
そして、バリア性や密着性が劣っていると、絶縁膜破壊、エレクトロマイグレーション、ストレスマイグレーション等の原因となり、配線の信頼性を低下させることとなる。
【００１１】
このような背景の下、低誘電率化と、絶縁膜破壊、エレクトロマイグレーションやストレスマイグレーションの抑制という性能を備える層間絶縁膜が要望されていたが、両立は困難であるとして、有効適切なものが提供されていないのが実情であった。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するため、請求項１に係る発明は、プラズマＣＶＤ法によって形成された低誘電率層間絶縁膜であって、珪素に対する炭素の比率が２．５以上であり、かつ比誘電率が３．８以下であることを特徴とする低誘電率層間絶縁膜である。
【００１３】
請求項２に係る発明は、前記低誘電率層間絶縁膜が、珪素に対する炭素の比率が３．０以上であることを特徴とする請求項１に記載の低誘電率層間絶縁膜である。
【００１４】
請求項３に係る発明は、前記低誘電率層間絶縁膜が、比誘電率が３．５以下であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の低誘電率層間絶縁膜である。
【００１５】
請求項４に係る発明は、前記低誘電率層間絶縁膜が、金属、水分、酸素のうち少なくとも１つの物質の拡散を防止することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の低誘電率層間絶縁膜である。
【００１６】
請求項５に係る発明は、前記低誘電率層間絶縁膜が、珪素、炭素、水素からなることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の低誘電率層間絶縁膜である。
【００１７】
請求項６に係る発明は、プラズマＣＶＤ法によって、珪素に対する炭素の比率が２．５以上であり、かつ比誘電率が３．８以下である低誘電率層間絶縁膜の成膜方法であって、前記プラズマＣＶＤ法によって成膜する際に、絶縁膜材料として炭化水素を用いないことを特徴とする低誘電率層間絶縁膜の成膜方法である。
【００１８】
請求項７に係る発明は、前記プラズマＣＶＤ法によって成膜する際に、絶縁膜材料としてイソブチルトリメチルシラン、ジイソブチルジメチルシラン、または５−シラスピロ［４，４］ノナンを用いることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の低誘電率層間絶縁膜の成膜方法である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明により、低誘電率化とバリア性、密着性の向上を同時に満たすことができ、絶縁破壊、エレクトロマイグレーションやストレスマイグレーションを抑制した上で、信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】図１は、本発明の実施形態に用いられる成膜装置の一例を示す概略構成図である。
【図２】図２は、比誘電率と、珪素に対する炭素の比率（Ｃ／Ｓｉ比）と、バリア性の関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明を適用した一実施形態である低誘電率層間絶縁膜について詳しく説明する。
本実施形態の低誘電率層間絶縁膜は、プラズマＣＶＤ法によって形成されるものであり、基板上に多層配線構造等を形成する際に、金属、水分、酸素のうち少なくとも１つの物質の拡散を防止することを目的として成膜される膜である。例えば、配線層として銅を用いた際の銅拡散バリア膜として用いられるものである。
【００２２】
低誘電率層間絶縁膜は、少なくとも炭素と珪素を含んだ膜であり、具体的には、ＳｉＣＨ膜、ＳｉＯＣＨ膜、またはＳｉＣＮ膜などを挙げることができる。また、珪素に対する炭素の比率は２．５以上に形成されており、３．０以上に形成されていることがより好ましい。また、低誘電率層間絶縁膜は、珪素、炭素、酸素、窒素、水素から構成されていることが好ましく、珪素、炭素、水素から構成されていることがより好ましい。
また、比誘電率が３．８以下になるように形成されており、３．５以下になるように形成されているのがより好ましい。
【００２３】
次に、本実施形態の低誘電率層間絶縁膜の成膜方法について説明する。
本実施形態の成膜方法は、絶縁膜材料を用いてプラズマＣＶＤ法による成膜方法であり、絶縁膜材料としては、成膜される低誘電率層間絶縁膜が、珪素に対する炭素の比率が２．５以上であり、かつ比誘電率が３．８以下であればどのようなものを用いても構わないが、例えば下記の材料を用いることができる。
【００２４】
１−１−ジビニル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジアリル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジエチニル−１−シラシクロブタン、１−１−ジビニル−１−シラシクロブタン、１−１−ジ−１−プロピニル−１−シラシクロブタン、１−１−ジ−２−プロピニル−１−シラシクロブタン、１−１−ジプロペニル−１−シラシクロブタン、１−１−ジアリル−１−シラシクロブタン、１−１−ジプロピル−１−シラシクロブタン、１−１−ジイソプロピル−１−シラシクロブタン、１−１−ジ−１−ブチニル−１−シラシクロブタン、１−１−ジ−２−ブチニル−１−シラシクロブタン、１−１−ジ−３−ブチニル−１−シラシクロブタン、１−１−ジ−１−ブテニル−１−シラシクロブタン、１−１−ジ−２−ブテニル−１−シラシクロブタン、１−１−ジ−３−ブテニル−１−シラシクロブタン、１−１−ジシクロブチル−１−シラシクロブタン、１−１−ジブチル−１−シラシクロブタン、１−１−ジ−ｓ−ブチル−１−シラシクロブタン、１−１−ジ−ｔ−ブチル−１−シラシクロブタン、１−１−ジ−１−ペンチニル−１−シラシクロブタン、１−１−ジ−２−ペンチニル−１−シラシクロブタン、１−１−ジ−３−ペンチニル−１−シラシクロブタン、１−１−ジ−１−ペンテニル−１−シラシクロブタン、１−１−ジ−２−ペンテニル−１−シラシクロブタン、１−１−ジ−３−ペンテニル−１−シラシクロブタン、１−１−ジ−４−ペンテニル−１−シラシクロブタン、１−１−ジシクロペンチル−１−シラシクロブタン、１−１−ジペンチル−１−シラシクロブタン、１−１−ジ−ｔ−ペンチル−１−シラシクロブタン、１−１−ジエチニル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジビニル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジ−１−プロピニル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジ−２−プロピニル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジプロペニル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジアリル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジプロピル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジイソプロピル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジ−１−ブチニル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジ−２−ブチニル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジ−３−ブチニル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジ−１−ブテニル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジ−２−ブテニル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジ−３−ブテニル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジシクロブチル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジブチル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジ−ｓ−ブチル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジ−ｔ−ブチル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジ−１−ペンチニル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジ−２−ペンチニル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジ−３−ペンチニル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジ−１−ペンテニル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジ−２−ペンテニル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジ−３−ペンテニル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジ−４−ペンテニル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジシクロペンチル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジペンチル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジ−ｔ−ペンチル−１−シラシクロペンタン、１−１−ジエチニル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジビニル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジ−１−プロピニル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジ−２−プロピニル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジプロペニル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジアリル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジプロピル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジイソプロピル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジ−１−ブチニル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジ−２−ブチニル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジ−３−ブチニル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジ−１−ブテニル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジ−２−ブテニル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジ−３−ブテニル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジシクロブチル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジブチル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジ−ｓ−ブチル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジ−ｔ−ブチル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジ−１−ペンチニル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジ−２−ペンチニル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジ−３−ペンチニル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジ−１−ペンテニル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジ−２−ペンテニル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジ−３−ペンテニル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジ−４−ペンテニル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジシクロペンチル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジペンチル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジ−ｔ−ペンチル−１−シラシクロヘキサン、１−１−ジエチニル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジビニル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジ−１−プロピニル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジ−２−プロピニル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジプロペニル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジアリル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジプロピル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジイソプロピル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジ−１−ブチニル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジ−２−ブチニル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジ−３−ブチニル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジ−１−ブテニル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジ−２−ブテニル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジ−３−ブテニル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジシクロブチル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジブチル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジ−ｓ−ブチル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジ−ｔ−ブチル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジ−１−ペンチニル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジ−２−ペンチニル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジ−３−ペンチニル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジ−１−ペンテニル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジ−２−ペンテニル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジ−３−ペンテニル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジ−４−ペンテニル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジシクロペンチル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジペンチル−１−シラシクロヘプタン、１−１−ジ−ｔ−ペンチル−１−シラシクロヘプタン、イソブチルトリメチルシラン、ジイソブチルジメチルシラン、トリイソブチルメチルシラン、トリイソブチルシラン、５−シラスピロ［４，４］ノナン、５−シラスピロ［４，３］オクタン、６−シラスピロ［５，４］デカンなどである。
【００２５】
上記絶縁膜材料の中では、特にイソブチルトリメチルシラン、ジイソブチルジメチルシラン、または５−シラスピロ［４，４］ノナンを用いることが好ましい。
また、絶縁膜材料としては、炭化水素を用いないことが好ましい。
【００２６】
上記絶縁膜材料は、１種類のみを単独で用いても構わず、また２種類以上を用いても構わない。２種類以上の絶縁膜材料を混合して使用する場合の混合比率は、特に限定されず、得られる低誘電率層間絶縁膜が、珪素に対する炭素の比率が２．５以上であり、かつ比誘電率が３．８以下であればどのように組み合わせても構わない。
【００２７】
また、成膜の際に、上記絶縁膜材料にキャリアガスを添加して成膜することもできる。この場合は、成膜装置のチャンバー内に送り込まれ、成膜に供されるガスが、絶縁膜材料からなるガスの他に、キャリアガスが混合された混合ガスとなることがある。もっとも、金属、水分、または酸素の拡散防止性を向上させるためには、キャリアガスを用いないことが望ましい。
【００２８】
なお、キャリアガスには、酸素を含まないガス、例えばヘリウム、アルゴン、クリプトン、キセノン等の希ガスの他に、窒素、水素などが挙げられるが、これらに特に限定されるものではない。キャリアガスには、１種類のみを単独で用いても構わず、また２種類以上を用いても構わず、絶縁膜材料を含めてその混合割合に特に限定はない。
【００２９】
絶縁膜材料およびキャリアガスが常温で気体状であればそのまま用いることができ、液体状のものであればヘリウムなどの不活性ガスを用いたバブリングによる気化、気化器による気化、または加熱による気化によってガス化して用いる。
【００３０】
プラズマＣＶＤ法自体は周知のものを用いることができ、例えば図１に示すような平行平板型の成膜装置１などを使用して成膜することができる。
図１に示したプラズマ成膜装置１は、減圧可能なチャンバー２を備え、このチャンバー２は、排気管３、開閉弁４を介して排気ポンプ５に接続されている。また、チャンバー２には、図示しない圧力計が備えられ、チャンバー２内の圧力が測定できるようになっている。チャンバー２内には、相対向する一対の平板状の上部電極６と下部電極７とが設けられている。上部電極６は、高周波電源８に接続され、上部電極６に高周波電流が印加されるようになっている。
【００３１】
下部電極７は、基板９を載置する載置台を兼ねており、その内部にはヒーター１０が内蔵され、基板を加熱できるようになっている。
また、上部電極６には、ガス供給配管１１が接続されている。このガス供給配管１１には、図示しない成膜用ガス供給源が接続され、この成膜用ガス供給装置からの成膜用のガスが供給され、このガスは上部電極６内に形成された複数の貫通孔を通って、下部電極７に向けて拡散しつつ流れ出るようになっている。
【００３２】
また、上記成膜用ガス供給源には、上述の絶縁膜材料を気化する気化装置と、その流量を調整する流量調整弁を備えるとともに、キャリアガスを供給する供給装置が設けられており、これらのガスもガス供給配管１１を流れて、上部電極６からチャンバー２内に流れ出るようになっている。
プラズマ成膜装置のチャンバー２内の下部電極７上に基板９を置き、成膜用ガス供給源から上記成膜用ガスをチャンバー２内に送り込む。高周波電源８から高周波電流を上部電極６に印加して、チャンバー２内にプラズマを発生させる。これにより、基板９上に上記成膜用ガスから気相化学反応により生成した絶縁膜が形成される。
基板９には、主にシリコンウェーハからなるものが用いられるが、このシリコンウェーハ上にはあらかじめ形成された他の絶縁膜、導電膜、配線構造などが存在していてもよい。
【００３３】
プラズマＣＶＤ法としては、平行平板型の他に、ＩＣＰプラズマ、ＥＣＲプラズマ、マグネトロンプラズマ、高周波プラズマ、マイクロ波プラズマ、容量結合プラズマ、誘導結合プラズマなどを用いることが可能であり、平行平板型装置の下部電極にも高周波を導入する２周波励起プラズマを使用することもできる。
【００３４】
このプラズマ成膜装置における成膜条件は、用いる絶縁膜材料によって異なるため、以下の範囲が好適ではあるが、この限りではない。
絶縁膜材料流量 ：２０〜１００ｃｃ／分 （２種以上の場合は合計量である）
キャリアガス流量 ：０〜５０ｃｃ／分
圧力 ：１Ｐａ〜１３３０Ｐａ
ＲＦパワー ：５０〜５００Ｗ、好ましくは５０〜２５０Ｗ
基板温度 ：４００℃以下
反応時間 ：１秒〜１８００秒
成膜厚さ ：１００ｎｍ〜２００ｎｍ
【００３５】
本実施形態の低誘電率層間絶縁膜は、珪素に対する炭素の比率が２．５以上であり、かつ比誘電率が３．８以下に形成されている。これにより、比誘電率を３．８以下に設計しながらも、珪素に対する炭素の比率が２．５以上に形成されているので、バリア性、密着性を向上させることができる。すなわち、従来の空孔や空隙が発生していた低誘電率層間絶縁膜とは異なり、本実施形態の低誘電率層間絶縁膜では空隙や空孔が生じず、代わりに多くの炭化水素が膜中に取り込まれることとなり、バリア性、密着性を向上させることができる。その結果、絶縁破壊、エレクトロマイグレーションやストレスマイグレーションを抑制し、信頼性を向上させることができる。
【００３６】
また、本実施形態の低誘電率層間絶縁膜の成膜方法は、絶縁膜材料として炭化水素を用いない成膜方法である。すなわち、成膜された低誘電率層間絶縁膜に混入される炭素は、全て珪素を含有する絶縁膜材料に起因したものとなる。これにより、成膜された低誘電率層間絶縁膜に均一に炭素が混入されることになり、よりバリア性、密着性を向上させることができる。加えて、炭化水素を用いないことにより、装置ごとの成膜条件の最適化が容易となるという利点や、揮発性の炭化水素を管理するための検知器が必要ないという利点などもある。
【００３７】
以下、本発明を実施例および比較例により、さらに詳細に説明する。ただし、本発明は以下の実施例によって何ら限定されるものではない。
【００３８】
以下の実施例および比較例においては、全てプラズマＣＶＤ法を用いて、低誘電率層間絶縁膜としてＳｉＣＨ膜を成膜した。ＳｉＣＨ膜の特性である拡散バリア性の評価方法については、従来バリア膜として用いられてきた比誘電率４．８のＳｉＣＮ膜に比較して、優れている場合を◎、同等の場合を○、わずかに劣る場合を△、バリア性のない場合を×とした。また、密着性は、テープテストによって評価し、１ｍｍ角の格子を１００個作成し、剥がれなかった升目の数で密着性の大小を比較した。
なお、本発明の低誘電率層間絶縁膜は、ＳｉＣＨ膜に限定されるものではなく、ＳｉＯＣＨ膜やＳｉＣＮ膜についても当てはめることができる。
【００３９】
＜実施例１＞
実施例１は、絶縁膜材料としてイソブチルトリメチルシラン（ｉＢＴＭＳ）を用い、流量２０ｓｃｃｍ、圧力３Ｔｏｒｒ、プラズマ出力５５０Ｗの条件でＳｉＣＨ膜を成膜したところ、比誘電率３．５のＳｉＣＨ膜が得られた。珪素に対する炭素の比率（Ｃ／Ｓｉ比）、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表１に示す。
この結果から、実施例１の低誘電率層間絶縁膜は、Ｃ／Ｓｉ比が大きいため、空隙率が小さく、バリア性が既存ものと同等であることが分かった。
【００４０】
＜実施例２＞
実施例２は、絶縁膜材料としてジイソブチルジメチルシラン（ＤｉＢＤＭＳ）を用い、流量２０ｓｃｃｍ、圧力３Ｔｏｒｒ、プラズマ出力６５０Ｗの条件でＳｉＣＨ膜を成膜したところ、比誘電率３．５のＳｉＣＨ膜が得られた。珪素に対する炭素の比率（Ｃ／Ｓｉ比）、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表１に示す。
この結果から、実施例２の低誘電率層間絶縁膜は、Ｃ／Ｓｉ比が大きいため、空隙率が小さく、バリア性は既存ものと同等、密着性は既存のものより優れていることが分かった。
【００４１】
＜実施例３＞
実施例３は、絶縁膜材料としてジイソブチルジメチルシラン（ＤｉＢＤＭＳ）を用い、流量２０ｓｃｃｍ、圧力３Ｔｏｒｒ、プラズマ出力４５０Ｗの条件でＳｉＣＨ膜を成膜したところ、比誘電率３．０のＳｉＣＨ膜が得られた。珪素に対する炭素の比率（Ｃ／Ｓｉ比）、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表１に示す。
この結果から、実施例３の低誘電率層間絶縁膜は、Ｃ／Ｓｉ比が大きいため、空隙率が小さく、バリア性は既存のものよりもわずかに劣るものの、密着性は優れていることが分かった。
【００４２】
＜実施例４＞
実施例４は、絶縁膜材料としてジイソブチルジメチルシラン（ＤｉＢＤＭＳ）を用い、流量２０ｓｃｃｍ、圧力３Ｔｏｒｒ、プラズマ出力８５０Ｗの条件でＳｉＣＨ膜を成膜したところ、比誘電率３．８のＳｉＣＨ膜が得られた。珪素に対する炭素の比率（Ｃ／Ｓｉ比）、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表１に示す。
この結果から、実施例４の低誘電率層間絶縁膜は、Ｃ／Ｓｉ比が大きいため、空隙率が小さく、バリア性、密着性ともに既存のものより優れていることが分かった。
【００４３】
＜実施例５＞
実施例５は、絶縁膜材料として５−シラスピロ［４，４］ノナン（ＳＳＮ）を用い、流量２０ｓｃｃｍ、圧力１Ｔｏｒｒ、プラズマ出力１００Ｗの条件でＳｉＣＨ膜を成膜したところ、比誘電率３．０のＳｉＣＨ膜が得られた。珪素に対する炭素の比率（Ｃ／Ｓｉ比）、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表１に示す。
この結果から、実施例５の低誘電率層間絶縁膜は、Ｃ／Ｓｉ比が大きいため、空隙率が小さく、バリア性は既存のものと同等、密着性は既存のものより優れていることが分かった。
【００４４】
＜実施例６＞
実施例６は、絶縁膜材料として５−シラスピロ［４，４］ノナン（ＳＳＮ）を用い、流量２０ｓｃｃｍ、圧力１Ｔｏｒｒ、プラズマ出力２５０Ｗの条件でＳｉＣＨ膜を成膜したところ、比誘電率３．５のＳｉＣＨ膜が得られた。珪素に対する炭素の比率（Ｃ／Ｓｉ比）、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表１に示す。
この結果から、実施例６の低誘電率層間絶縁膜は、Ｃ／Ｓｉ比が大きいため、空隙率が小さく、バリア性、密着性ともに既存のものより優れていることが分かった。
【００４５】
＜比較例１＞
比較例１は、絶縁膜材料としてテトラメチルシラン（４ＭＳ）を用い、流量２０ｓｃｃｍ、圧力３Ｔｏｒｒ、プラズマ出力６５０Ｗの条件でＳｉＣＨ膜を成膜したところ、比誘電率３．５のＳｉＣＨ膜が得られた。珪素に対する炭素の比率（Ｃ／Ｓｉ比）、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表１に示す。
この結果から、比較例１の低誘電率層間絶縁膜は、Ｃ／Ｓｉ比が小さく、空隙率が大きく、バリア性、密着性ともに既存のものより劣っていることが分かった。
【００４６】
＜比較例２＞
比較例２は、絶縁膜材料としてテトラメチルシラン（４ＭＳ）を用い、流量２０ｓｃｃｍ、圧力５Ｔｏｒｒ、プラズマ出力６５０Ｗの条件でＳｉＣＨ膜を成膜したところ、比誘電率３．５のＳｉＣＨ膜が得られた。珪素に対する炭素の比率（Ｃ／Ｓｉ比）、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表１に示す。
この結果から、比較例２の低誘電率層間絶縁膜は、Ｃ／Ｓｉ比が小さく、空隙率が大きく、バリア性、密着性ともに既存のものより劣っていることが分かった。
【００４７】
＜比較例３＞
比較例３は、絶縁膜材料としてトリメチルシラン（３ＭＳ）とエチレンを流量比１：１で混合したものを用い、流量６０ｓｃｃｍ、圧力８．４Ｔｏｒｒ、プラズマ出力５５０Ｗの条件でＳｉＣＨ膜を成膜したところ、比誘電率４．１のＳｉＣＨ膜が得られた。珪素に対する炭素の比率（Ｃ／Ｓｉ比）、空隙率、バリア性、密着性を評価した結果を表１に示す。
この結果から、比較例３の低誘電率層間絶縁膜は、比誘電率が４．１と大きく、Ｃ／Ｓｉ比は小さいものの、バリア性は既存のものと同等であった。
【００４８】
上記実施例および比較例をもとに、比誘電率と、珪素に対する炭素の比率（Ｃ／Ｓｉ比）と、バリア性の関係を図２に示す。
図２より、Ｃ／Ｓｉ比＞−２．２３５８×比誘電率＋１０．７１４を満たすとき、バリア性が従来よりも優れているないし同等であることが分かった。
【００４９】
【表１】
2011181672.tif 000002
【００５０】
【表２】
2011181672.tif 000003
【符号の説明】
【００５１】
１・・・成膜装置、２・・・チャンバー、３・・・排気管、４・・・開閉弁、５・・・排気ポンプ、６・・・上部電極、７・・・下部電極、８・・・高周波電源、９・・・基板、１０・・・ヒーター、１１・・・ガス供給配管
【図１】
2011181672.tif 000004
【図２】
2011181672.tif 000005