(57)【要約】【課題】フィルタ挿入時にはフィルタのフィルタ枠に貼り付けられたガスケットとフィルタを支えるためのフィルタ取付枠との間での摩擦を防ぐことでガスケットが剥がれ無いようにし、フィルタ交換の際には硬化したガスケットがフィルタ取付枠から剥がれ難くなっていてもフィルタ取付枠からガスケットを容易に剥がすことができるフィルタ装置を提供する。【解決手段】フィルタ３のフィルタ枠２０は、第１フィルタガイド部材２５と第２フィルタガイド部材２６を有し、フィルタのガスケット２２をフィルタ取付枠９０に対して密着して固定させる押圧固定部４０を有し、押圧固定部４０は、ケーシング内で傾斜可能に連結されて第１フィルタガイド部材２５を案内して保持する第１保持部５１と、ケーシング内で傾斜可能に連結されて第２フィルタガイド部材２６を案内して保持する第２保持部５２とを有する。【選択図】図２
2011083742.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ケーシング内にフィルタが着脱可能に装着されるフィルタ装置であって、
前記フィルタは、前記フィルタの一方の面側に固定されたガスケットと、前記フィルタのフィルタ枠と、前記フィルタ枠の一方の側面に設けられた第１フィルタガイド部材と、前記フィルタ枠の他方の側面に設けられた第２フィルタガイド部材を有し、
さらに、前記ケーシング内で前記フィルタの前記ガスケットを密着して固定するフィルタ取付枠と、
前記フィルタ取付枠に対して前記ガスケットを密着させる押圧固定部と
を備えており、
前記押圧固定部は、
前記ケーシング内で傾斜可能に連結されて前記フィルタの前記第１フィルタガイド部材を案内して保持する第１保持部と、
前記ケーシング内で傾斜可能に連結されて前記フィルタの前記第２フィルタガイド部材を案内して保持する第２保持部と
を有することを特徴とするフィルタ装置。
【請求項２】
前記第１保持部の一端部は蝶番により前記ケーシングに対して連結され、前記第１保持部の他端部は前記第１保持部の一端部を中心として引き上げ可能な移動端部であり、前記第２保持部の一端部は蝶番により前記ケーシングに対して連結され、前記第２保持部の他端部は前記第２保持部の一端部を中心として引き上げ可能な移動端部であることを特徴とする請求項１に記載のフィルタ装置。
【請求項３】
前記第１保持部は、第１支持部材と、前記第１支持部材に固定されて前記第１支持部材と間で前記第１フィルタガイド部材を通してガイドする第１ガイド溝を形成する第２支持部材とを有し、前記第２保持部は、第３支持部材と、前記第３支持部材に固定されて前記第３支持部材と間で前記第２フィルタガイド部材を通してガイドする第２ガイド溝を形成する第４支持部材とを有することを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載のフィルタ装置。
【請求項４】
前記第１保持部は、第１支持部材と、前記第１支持部材に固定されて前記第１フィルタガイド部材を通してガイドする第１ガイド溝を形成する第２支持部材とを有し、前記第２保持部は、第３支持部材と、前記第３支持部材に固定されて前記第２フィルタガイド部材を通してガイドする第２ガイド溝を形成する第４支持部材とを有することを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載のフィルタ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルタを内蔵するフィルタ装置に関し、特にケミカルフィルタ、高性能フィルタを内蔵した半導体製造装置用フィルタ装置やビル空調、工場空調などの空調に用いられ数ヶ月の交換サイクルで交換される交換頻度の高い粗塵・中性能フィルタ等を簡単に押し付けて固定し、容易に交換することができるフィルタ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
フィルタ装置のチャンバーは、フィルタ特性を維持するため、フィルタの保持を確実に行え、しかも内部にかかる風圧力に耐えうる材質、板厚、構造からなる箱体である。フィルタ装置のチャンバー内にはフィルタからの空気の漏洩を防止するフィルタの締付固定装置が必要である。  従来の締付固定装置は、特許文献１に開示されている。特許文献１に開示されている締付固定装置では、フィルタ装置にフィルタユニットが挿入して固定される際には、アームをナットで締め付けることにより、フィルタユニットは、ガスケットを介して取付け座に押圧される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開第４２６４６６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、特許文献１に記載の締付固定装置では、フィルタを挿入する時に、フィルタの下流側枠体に貼り付けられたガスケットと、フィルタを支えるフィルタフレームとが擦れて、両者の間に摩擦が発生することにより、ガスケットがフィルタの下流側枠体から剥がれてしまう可能性がある。
また、使用済みのフィルタを新しいフィルタに交換する際に、使用済みのフィルタのガスケットが硬化してしまっているために、フィルタのガスケットがフィルタフレームから剥がれにくくなり、簡単にはフィルタを交換できなかった。この理由としては、フィルタのガスケットをフィルタフレームから剥がしてフィルタを交換する際に、フィルタを取り出す方向がフィルタフレームに沿った横方向に単にスライドするだけであるので、硬化したガスケットには剥がす力が伝わり難く、ガスケットをうまくフィルタフレームから剥がせないためである。  
【０００５】
そこで、本発明は、上記課題を解消するために、フィルタ挿入時には、フィルタのフィルタ枠に貼り付けられたガスケットとフィルタを支えるためのフィルタ取付枠との間での摩擦を防ぐことでガスケットが剥がれ無いようにすることができ、フィルタ交換の際には、硬化したガスケットがフィルタ取付枠から剥がれ難くなっていても、フィルタ取付枠からガスケットを容易に剥がすことができるフィルタ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のフィルタ装置は、ケーシング内にフィルタが着脱可能に装着されるフィルタ装置であって、前記フィルタは、前記フィルタの一方の面側に固定されたガスケットと、前記フィルタのフィルタ枠と、前記フィルタ枠の一方の側面に設けられた第１フィルタガイド部材と、前記フィルタ枠の他方の側面に設けられた第２フィルタガイド部材を有し、さらに、前記ケーシング内で前記フィルタの前記ガスケットを密着して固定するフィルタ取付枠と、前記フィルタ取付枠に対して前記ガスケットを密着させる押圧固定部とを備えており、前記押圧固定部は、前記ケーシング内で傾斜可能に連結されて前記フィルタの前記第１フィルタガイド部材を案内して保持する第１保持部と、前記ケーシング内で傾斜可能に連結されて前記フィルタの前記第２フィルタガイド部材を案内して保持する第２保持部とを有することを特徴とする。
上記構成によれば、フィルタ挿入時には、フィルタのフィルタ枠に貼り付けられたガスケットとフィルタを支えるためのフィルタ取付枠との間での摩擦を防ぐことでガスケットが剥がれ無いようにすることができ、フィルタ交換の際には、硬化したガスケットがフィルタ取付枠から剥がれ難くなっていても、フィルタ取付枠からガスケットを容易に剥がすことができる。
【０００７】
好ましくは、前記第１保持部の一端部は蝶番により前記ケーシングに対して連結され、前記第１保持部の他端部は前記第１保持部の一端部を中心として引き上げ可能な移動端部であり、前記第２保持部の一端部は蝶番により前記ケーシングに対して連結され、前記第２保持部の他端部は前記第２保持部の一端部を中心として引き上げ可能な移動端部であることを特徴とする。
上記構成によれば、第１保持部の移動端部と第２保持部の移動端部を引き上げることで、フィルタの挿入と取り出しを簡単に行える。
【０００８】
好ましくは、前記第１保持部は、第１支持部材と、前記第１支持部材に固定されて前記第１支持部材と間で前記第１フィルタガイド部材を通してガイドする第１ガイド溝を形成する第２支持部材と、を有し、前記第２保持部は、第３支持部材と、前記第３支持部材に固定されて前記第３支持部材と間で前記第２フィルタガイド部材を通してガイドする第２ガイド溝を形成する第４支持部材と、を有することを特徴とする。
上記構成によれば、フィルタの第１フィルタガイド部材を第１ガイド溝にスライドすると同時にフィルタの第２フィルタガイド部材を第２ガイド溝にスライドするだけで、簡単にフィルタの挿入と取り出しが行える。
【０００９】
好ましくは、前記第１保持部は、第１支持部材と、前記第１支持部材に固定されて前記第１フィルタガイド部材を通してガイドする第１ガイド溝を形成する第２支持部材と、を有し、前記第２保持部は、第３支持部材と、前記第３支持部材に固定されて前記第２フィルタガイド部材を通してガイドする第２ガイド溝を形成する第４支持部材と、を有することを特徴とする。
上記構成によれば、フィルタの第１フィルタガイド部材を第１ガイド溝にスライドすると同時にフィルタの第２フィルタガイド部材を第２ガイド溝にスライドするだけで、簡単にフィルタの挿入と取り出しが行える。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、フィルタ挿入時には、フィルタのフィルタ枠に貼り付けられたガスケットとフィルタを支えるためのフィルタ取付枠との間での摩擦を防ぐことでガスケットが剥がれ無いようにすることができ、フィルタ交換の際には、硬化したガスケットがフィルタ取付枠から剥がれ難くなっていても、フィルタ取付枠からガスケットを容易に剥がすことができるフィルタ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明のフィルタ装置の実施形態１を示す斜視図である。
【図２】図１に示すフィルタ装置の実施形態１の内部構造を示す斜視図である。
【図３】フィルタ装置１のケーシング内にフィルタが挿入されて固定されている状態を示す正面側から見た断面図である。
【図４】フィルタがケーシング内に挿入されて締め付けて固定された状態を示す側面側から見た断面図である。
【図５】本発明のフィルタ装置の実施形態２の内部構造を示す斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下に、本発明の好ましい実施形態を、図面を参照して詳しく説明する。
（実施形態１）  図１は、本発明のフィルタ装置の実施形態１を示す斜視図である。図２は、図１に示すフィルタ装置の内部構造を示す斜視図である。  
図１と図２に示すフィルタ装置１は、好ましくは半導体製造装置用のケミカルフィルタ、高性能フィルタを有する装置である。フィルタ装置１は、直方体形状を有するケーシング（もしくはチャンバーあるいは筐体ともいう）２と、フィルタ３と、送風機４を有している。フィルタ３は、例えば長方形状の板状の部材であり、Ｙ１方向に沿ってケーシング２内に挿入して着脱可能に固定される。ケーシング２は、点検扉５により開口部２Ｐを閉めて密閉した際には、フィルタ３以外には、ケーシング２内を通す気流を逃がさないような構造を有する。
【００１３】
図１と図２に示すケーシング２の材質としては、例えばガルバニウム鋼板、メッキ鋼板（亜鉛、アルミ合金）、ステンレスを使用し、無溶接でリベット構造とすることで無塗装とすることができる。
図１に示すように、ケーシング２は、正面部２Ａ、背面部２Ｂ、側面部２Ｃ、２Ｄ、上面部２Ｅ、底面部２Ｆ、そして点検扉５を有している。正面部２Ａと背面部２Ｂは対面し、側面部２Ｃと側面部２Ｄは対面している。上面部２Ｅと底面部２Ｆは対面しており、上面部２Ｅは気流の上流側であり、底面部２Ｆは気流の下流側である。送風機４は、ケーシング２内であって、上面部２Ｅの中央位置のフィンガーガード１６に対応して配置されている。従って、送風機４が回転すると、気流はＺ２方向に流れる。  
【００１４】
図１と図２に示すように、ケーシング２の形状は、Ｘ方向を一辺とし、Ｙ方向を他辺とし、Ｚ方向は厚み方向である。ケーシング２内にはフィルタ３が着脱可能に配置される。図１に示すように、ケーシング２の底面部２Ｆ側には高性能フィルタ３０が配置されている。この高性能フィルタ３０の下流側には、図示しないが例えば長方形のアルミニウム製のラス網が設けられている。
フィルタ３は例えばケミカルフィルタであり、フィルタ３は有機、酸、アルカリ等を除去する。高性能フィルタ３０がフィルタ３の下部に配置されている。フィルタ３は、この高性能フィルタ３０に対して気流の上流側に配置されている。高性能フィルタ３０は、例えばＵＰＬＡ(高性能)フィルタである。
【００１５】
図１に示すように、ケーシング２の正面部２Ａには、細長い点検扉５がＸ方向に設けられている。これらの点検扉４は、複数の蝶番１９により、長方形状の開口部２Ｐを開閉可能である。開口部２Ｐは、ケーシング２内の収納空間部２１に通じている。
図１において、ケーシング２内の収納空間部２７内には、後で説明する押圧固定部４０の第１保持部５１と第２保持部５２を用いて、新たなフィルタ３を、開口部２Ｐを通じてＹ１方向に沿ってスライドして挿入して収容でき、そして使用済みのフィルタを新たなフィルタに交換する際には押圧固定部４０の第１保持部５１と第２保持部５２を用いて、フィルタ３を、開口部２Ｐを通じてＹ２方向に沿ってスライドして取り出すことができる。
【００１６】
図１に示すように、フィルタ３は、金属製のフィルタ枠２０を有している。フィルタ枠２０は、一方の長方形の開口部２０Ａと他方の長方形の開口部２０Ｂを有している。フィルタ枠２０の下流側枠体２１には、ガスケット２２が例えば接着材を用いて貼り付けることにより固定されている。このガスケット２２は、開口部を有する長方形の枠状の部材である。フィルタ枠２０の第１側面部２３には、第１フィルタガイド部材２５がＹ１方向に沿って例えば溶接により固定され、第２側面部２４には、第２フィルタガイド部材２６がＹ１方向に沿って例えば溶接により固定されている。これらの第１フィルタガイド部材２５と第２フィルタガイド部材２６は、好ましくは断面Ｌ字型を有する帯状の部材であり、Ｘ方向に突出して形成されている。しかも、第１フィルタガイド部材２５と第２フィルタガイド部材２６は、好ましくはガスケット２２から離れたフィルタ枠２０の上面側に面一になるように位置決めされている。
【００１７】
次に、図１と図２を参照して、押圧固定部４０について説明する。
押圧固定部４０は、ケーシング２内にフィルタ３を、スライドして挿入後に、フィルタ取付枠９０（図３と図４を参照）に対して押圧して固定するために設けられている。図１に示すように押圧固定部４０は、ケーシング２の収納空間部２７内に配置されている。押圧固定部４０は、図１では破線で示している。
図２に示すように、押圧固定部４０は、第１保持部５１と第２保持部５２と、ストッパ９５を有する。図１と図２に示すように、第１保持部５１は、ケーシング２内において向かって左側に配置され、第２保持部６２は、ケーシング２内において向かって右側に配置されている。第１保持部５１は、フィルタ３の第１フィルタガイド部材２５をスライドしながらガイドして保持するための要素であり、第２保持部５２は、フィルタ３の第２フィルタガイド部材２６をスライドしながらガイドして保持するための要素である。
【００１８】
図２に示すように、第１保持部５１は、第１支持部材６１と第２支持部材６２を有し、第２保持部５２は、第３支持部材６３と第４支持部材６４を有する。
左右の第１支持部材６１と第３支持部材６３は同じ形状を有しており、両方共に断面がほぼＬ字型の帯状部材である。第１支持部材６１は、スライドガイド部６１Ａと、移動端部６１Ｂと、連結部６１Ｃを有する。第３支持部材６３は、スライドガイド部６３Ａと、移動端部６３Ｂと、連結部６３Ｃを有する。左右のスライドガイド部６１Ａ、６３Ａは、図２に示す水平保持状態では、Ｙ１方向に形成され、移動端部６１Ｂ、６３Ｂは、Ｚ１方向に形成されている。つまり、移動端部６１Ｂとスライドガイド部６１Ａは直角に形成され、移動端部６３Ｂとスライドガイド部６３Ａは直角に形成されている。連結部６１Ｃは、第１支持部材６１の一端部であり、移動端部６１Ｂは、第１支持部材６１の他端部である。連結部６３Ｃは、第３支持部材６３の一端部であり、移動端部６３Ｂは、第３支持部材６３の他端部である。
【００１９】
図２に示すように、連結部６１Ｃは蝶番７１を用いて、ケーシング２の背面部２Ｂの内面に対して連結されている。連結部６３Ｃは蝶番７２を用いて、ケーシング２の背面部２Ｂの内面に対して連結されている。これにより、第１保持部５１は、蝶番７１を介してＲ方向に引き上げたり逆に引き下げると同時に、第２保持部５２は、蝶番７２を介してＲ方向に引き上げたり逆に引き下げることができる。なお、移動端部６１Ｂ、６３Ｂの下端部には、それぞれ固定用のネジ７７を通すためのネジ穴７６が形成されている。
【００２０】
一方、図２に示す第２支持部材６２と第４支持部材６４は、断面Ｌ字型の帯状部材であり同じ形状を有しているが、左右対称形状になっている。第２支持部材６２の内面は、スライドガイド部材６１Ａの側面に対して例えば溶接７８により固定されている。第４支持部材６４の内面は、スライドガイド部材６３Ａの側面に対して例えば溶接７９により固定されている。これにより、第２支持部材６２とスライドガイド部材６１Ａは、第１フィルタガイド部材２５をＹ１方向（あるいはＹ２方向）にスライドしてガイドする第１ガイド溝８１を構成している。同様にして、第４支持部材６４とスライドガイド部材６３Ａは、第２フィルタガイド部材２６をＹ１方向（あるいはＹ２方向）にスライドしてガイドするための第２ガイド溝８２を構成している。
【００２１】
図３は、フィルタ装置１のケーシング２内にフィルタ３が挿入されて固定されている状態を示す正面側から見た断面図である。図４は、フィルタ３がケーシング２内に挿入されて締め付けて固定された状態を示す側面側から見た断面図である。図４（Ａ）は、ケーシング２内にフィルタ３が挿入される前の状態を示し、図４（Ｂ）は、フィルタ３が傾斜された押圧固定部４０に対して挿入された状態を示し、図４（Ｃ）は、押圧固定部４０を水平にしてフィルタ３がケーシング２内に締め付けて固定された状態を示す。
【００２２】
図３に示すように、ケーシング２の内部には、フィルタ取付枠９０が固定されている。ケーシング２の側面部２Ｃ、２Ｄの内面には、フィルタ取付枠９０の対向する辺部分９１，９２がＹ１方向に沿ってそれぞれ固定されている。図４に示すように、ケーシング２の正面部２Ａと背面部２Ｂには、フィルタ取付枠９０の残りの対向する辺部分９３，９４がＸ方向に沿ってそれぞれ固定されている。これにより、フィルタ３がケーシング２内に収容されて締め付けて固定されると、ガスケット２２がフィルタ取付枠９０の上面に対して密着されるので、ガスケット２２はフィルタ３とフィルタ取付枠９０との間から気流が漏れるのを防ぐ役割を果たす。
【００２３】
図３と図４（Ｃ）に示すように、フィルタ３がケーシング２内に挿入されてフィルタ取付枠９０に対して押し付けて固定されると、フィルタ３のガスケット２２の４辺部分は、フィルタ取付枠９０の対向する辺部分９１，９２と残りの対向する辺部分９３，９４に対して、それぞれ密着して押し付けて固定されるようになっている。図４に示すように、辺部分９４の上には、ストッパ９５が固定されており、ストッパ９５は挿入されたフィルタ３の位置を停止させる。
【００２４】
次に、上述したフィルタ装置１のケーシング２内にフィルタ３を挿入して押し付けて固定する操作と、さらに使用済みのフィルタと新しいフィルタ３の交換操作について順に説明する。
まず、ケーシング２内に、フィルタ３を挿入して押し付けて固定する操作を説明する。
作業者が図１の点検扉５を開くと、図１のフィルタ３は開口部２Ｐを通じて図１のケーシング２内に、Ｙ１方向に沿ってスライドしながら挿入して固定できる。  図４を参照して、新しいフィルタ３を挿入して固定する操作を詳しく説明する。図４（Ａ）に示すように、作業者が点検扉５を開けて、第１保持部５１の移動端部６１Ｂと第２保持部５２の移動端部６３Ｂは、蝶番７１，７２を回転中心としてＲ方向に沿って斜め上方向に同時に引き上げると、第１保持部５１と第２保持部５２は水平状態から角度θで傾斜される。つまり、移動端部６１Ｂ、６３Ｂは持上げられた状態になる。
【００２５】
作業者は、フィルタ３の第１フィルタガイド部材２５と第２フィルタガイド部材２６を、開口部２Ｐを通じて第１保持部５１の第１ガイド溝８１と第２保持部５２の第２ガイド溝８２にスライドして通す。これにより、図４（Ａ）から図４（Ｂ）に示すように、第２支持部材６２とスライドガイド部材６１Ａで形成されている第１ガイド溝８１は、第１フィルタガイド部材２５をＣ方向に沿ってガイドすると同時に、第４支持部材６４とガイド部材６３Ａで形成されている第２ガイド溝８２は、第２フィルタガイド部材２６をＣ方向に沿ってガイドすることができる。そして、フィルタ３のフィルタ枠２０の挿入先端がストッパ９５に当たると、フィルタ３のガイドが停止してフィルタ３が第１保持部５１と第２保持部５２に対して位置決めされる。
【００２６】
そして、図４（Ｂ）から図４（Ｃ）に示すように、作業者は第１保持部５１と第２保持部５２を傾斜した状態からＲ１方向に引き下げて、移動端部６１Ｂ、６３Ｂはネジ７７によりフィルタ取付枠９０に対して固定する。この固定した状態では、ガスケット２２はフィルタ取付枠９０に対して密着して固定できるので、ガスケット２２はフィルタ３とフィルタ取付枠９０との間から気流が漏れるのを防ぐことができる。
このように、図４（Ａ）に示すように第１保持部５１の移動端部６１Ｂと第２保持部５２の移動端部６３Ｂは、蝶番７１，７２を用いてＲ方向に沿って斜め上方向に引き上げた状態でフィルタ３を挿入できるので、フィルタ３の下流側枠体に貼り付けられているガスケット２２を、フィルタ取付枠９０から完全に離すことができ、ガスケット２２とフィルタ取付枠９０との間では摩擦が生じることが無い。従って、フィルタ３を挿入する際にガスケット２２が剥がれることが無く、簡単にフィルタ３をケーシング２内に挿入して固定することができる。
【００２７】
次に、フィルタ３の交換操作について説明する。
使用済みのフィルタ３を新しいフィルタ３に交換する場合には、ケーシング２内に固定されている使用済みのフィルタ３をケーシング２内から取り出す作業を行う。
作業者が図４（Ｃ）に示す点検扉５を開けて、第１保持部５１と第２保持部５２は、蝶番７１，７２を回転中心としてＲ方向に引き上げると、図４（Ｂ）に示すように第１保持部５１と第２保持部５２とともにフィルタ３が水平状態から角度θで傾斜される。このように、フィルタ３はＲ方向に沿って斜め上方向に引き上げられる。従って、ガスケット２２が経年変化により硬化していてガスケット２２がフィルタ取付枠９０に対して密着して貼り付いていたとしても、通常のガスケットをスライドすることで剥がす場合に比べて、ガスケット２２はフィルタ取付枠９０から簡単に剥がすことができる。このため、ガスケット２２がフィルタ取付枠９０に密着して残ってしまう恐れが無い。
その後、図４（Ａ）に示すように、フィルタ３は第１保持部５１と第２保持部５２からＤ方向に沿って斜め上方に向けてケーシング２内からスライドして取り出すことができる。
【００２８】
なお、図３と図４（Ｃ）に示すように、フィルタ３のガスケット２２は、フィルタ取付枠９０に対して密着して保持されるので、ガスケット２２が収縮することがあっても、フィルタ３のガスケット２２とフィルタ取付枠９０との間から、気流がリークするのを防ぐことができる。さらに、運転時や他の装置からの振動により、フィルタ３のガスケット２２がフィルタ取付枠９０に対して位置ずれしてしまうのを防ぐことができる。        
【００２９】
（実施形態２）
次に、図５を参照して、本発明のフィルタ装置の実施形態２を説明する。
図５は、本発明の実施形態２を示している。
図５に示すフィルタ装置１Ａは図２に示すフィルタ装置１とほぼ同じ構成を有しており、対応する箇所には同じ符号を付けている。図５に示すフィルタ装置１Ａが図２に示すフィルタ装置１と異なる点は、押圧固定部４０の第１保持部５１Ａと第２保持部５２Ａの構造である。  
【００３０】
第１保持部５１Ａは、第１支持部材６１と第２支持部材１６２を有し、第２保持部５２Ａは、第３支持部材６３と第４支持部材１６４を有する。第１支持部材６１と第３支持部材６３は同じ形状を有しており、両方共にほぼＬ字型の帯状部材である。第１支持部材６１は、スライドガイド部６１Ａと、移動端部６１Ｂと、連結部６１Ｃを有する。第２支持部材６３は、スライドガイド部６３Ａと、移動端部６３Ｂと、連結部６３Ｃを有する。スライドガイド部６１Ａ、６３Ａは、図５に示す水平保持状態では、Ｙ１方向に形成され、移動端部６１Ｂ、６３Ｂは、Ｚ１方向に形成されている。
連結部６１Ｃは蝶番７１を用いて、ケーシング２の背面部２Ｂの内面に対して連結されている。連結部６３Ｃは蝶番７２を用いて、ケーシング２の背面部２Ｂの内面に対して連結されている。これにより、第１保持部５１は、蝶番７１を回転中心としてＲ方向に沿って斜め上方向に引き上げることができ、第２保持部５２は、蝶番７２を回転中心としてＲ方向に沿って斜め上方向に引き上げることができる。なお、移動端部６１Ｂ、６３Ｂの下端部には、ネジ７７を通すためのネジ穴７６が形成されている。
【００３１】
一方、図５に示す左右の第２支持部材１６２と第４支持部材１６４は、断面Ｕ字型の長い部材であり同じ形状を有しているが、左右対称形状になっている。第２支持部材１６２の下面は、スライドガイド部材６１Ａの上面に対して例えば溶接により固定されている。第４支持部材１６４の下面は、スライドガイド部材６３Ａの上面に対して例えば溶接により固定されている。これにより、第２支持部材１６２は、第１フィルタガイド部材２５をＹ１方向（あるいはＹ２方向）にスライドしてガイドする第１ガイド溝８１Ａを構成している。同様にして、第４支持部材１６４は、第２フィルタガイド部材２６をＹ１方向（あるいはＹ２方向）にスライドしてガイドするための第２ガイド溝８２Ａを構成している。
【００３２】
第１保持部５１の移動端部６１Ｂと第２保持部５２の移動端部６３Ｂは、蝶番７１，７２を回転中心としてＲ方向に沿って斜め上方向に引き上げてフィルタ３を挿入するので、フィルタの下流側枠体に貼り付けられているガスケット２２と、フィルタ取付枠９０を離すことができ、ガスケット２２とフィルタ取付枠９０との間では摩擦が生じることが無い。従って、フィルタ３を挿入する際にガスケット２２が剥がれることが無く、簡単にフィルタ３をケーシング２内に挿入して固定することができる。
また、フィルタを交換する際には、フィルタ３はＲ方向に沿って斜め上方向に引き上げられる。ガスケット２２が経年変化により硬化していてガスケット２２がフィルタ取付枠９０に対して密着してしまっていたとしても、通常のガスケットをスライドして剥がす場合に比べて、ガスケット２２はフィルタ取付枠９０から簡単に剥がすことができる。このため、ガスケット２２がフィルタ取付枠９０に密着して残ってしまう恐れが無い。
【００３３】
以上説明したように、本発明のフィルタ装置の実施形態では、フィルタは、ケーシング内において確実に押し付けることで締め付けた状態を維持でき、フィルタのシール性を確保できる。そして、フィルタ挿入時には、フィルタのフィルタ枠に貼り付けられたガスケットとフィルタを支えるためのフィルタ取付枠との間での摩擦を防ぐことでガスケットが剥がれ無いようにでき、フィルタ交換の際には、硬化したガスケットがフィルタ取付枠から剥がれ難くなっていても、フィルタ取付枠からガスケットを容易に剥がすことができる。
本発明の実施形態のフィルタ装置では、ビル空調、工場空調などの数ヶ月サイクルと交換頻度の高い粗塵・中性能フィルタが容易に着脱でき、フィルタの交換作業性が向上できる。しかも、多数のフィルタ装置が工場等の取り付け対象建物に装着されている場合には、特にフィルタの交換作業性が向上できる。
【００３４】
本発明の各実施形態は、任意に組み合わせることができる。
ところで、本発明は上記実施形態に限定されず、種々の変形例を採用することができる。フィルタ装置のケーシングは、例えば上流側のダクトと、このダクトに直交する方向に空気を流す下流側のダクトの間に配置するようにしても良い。フィルタ装置のケーシングは、ダクトの途中に配置するのではなく、ダクトの先端部に配置するようにしても良い。フィルタ装置のケーシングの上流側には、ダクトを接続し、しかもフィルタ装置のケーシングの下流側には、ファンを配置しても良い。
【００３５】
本発明の実施形態では、フィルタは半導体製造装置用のケミカルフィルタ、高性能フィルタを組み合わせているが、これに限定されない。フィルタ装置は、例えば局所クリーン用のファンフィルタユニットであるが、空調ダクト用のファンユニットにも適用できる。
本発明のフィルタ装置の実施形態で使用される点検扉５、ケーシング２、押圧固定部４０等の部品の材質としては、例えばガルバニウム鋼板、メッキ鋼板（亜鉛、アルミ合金）、ステンレスを使用し、無溶接でリベット構造とすることで無塗装とすることができる。
【００３６】
次に、本発明を実施するための最良の一形態ついて使用材料を説明する。
本発明は、使用材料に特徴があるわけではないので、記載していないものでも使用することができる。
ケミカルフィルタは、活性炭粒状、活性炭素繊維などの物理吸着による有機系ガス除去フィルタ、添着活性炭粒状、強酸性陽イオン交換樹脂の粒状、繊維状などの化学吸着による酸性ガス除去フィルタ、添着活性炭粒状、弱塩基性陰イオン交換樹脂の粒状、繊維状などの化学吸着によるアルカリガス除去フィルタの一種あるいはその複数を積層したり、平面分割したりした組合せで使用することができる。特に、ケミカルフィルタは、薄型低圧損という観点からすると、活性炭粒状あるいはイオン交換樹脂を不織布でサンドイッチした構造の濾材をジグザグ状に折り畳んだものが好ましい。  
【００３７】
塵埃除去フィルタは、ガラス繊維不織布、エレクトレット不織布、ＰＴＦＥ膜等からなる濾材をジグザグ状に折り畳み、セパレータあるいは樹脂リボンで間隔保持して、フィルタ枠にウレタン樹脂等の気密剤で気密固化した高性能フィルタを使用することができる。特に、塵埃除去フィルタは、ボロン、有機ガス等の発生が少ない低発ガスのという観点からするとＰＴＦＥ膜濾材のフィルタが好ましい。
ファンは、軸流ファン、斜流ファン、遠心ファン、シロッコファンなどを使用することができる。特に、薄型、軽量化などの観点からすると、軸流ファンが好ましい。ガスケットは、クロロプレン樹脂、ＥＰＤＭ樹脂などを使用することができる。特に、ガスケットは、発ガス性などの観点からすると、ＥＰＤＭ樹脂が好ましい。
【００３８】
本発明のフィルタ装置の実施形態で使用するガスケットの一例であるガスケットは、通常使用される単独気泡タイプのクロロプレンゴムなど使用できるが、５０％圧縮応力が８０ｋＰａ未満（ＪＩＳ  Ｋ６７６７準拠）であり、かつ、開放気泡率が９０％以下（ＡＳＴＭ  Ｄ２８５６−９４準拠）の発泡体を含むガスケットを用いることができる。これにより、低圧力で押し付けを行うことで、フィルタ取付枠の形状に沿ってガスケットが変形するので大きいトルクで変形しなくても、押し付けの際にはガスケットとフィルタ取付枠との間の気密性が確保できる。
【符号の説明】
【００３９】
１・・・フィルタ装置、２・・・ケーシング、３・・・フィルタ、４・・・送風機、５・・・点検扉（扉の一例）、２２・・・ガスケット、２５・・・第１フィルタガイド部材、２６・・・第２フィルタガイド部材、４０・・・押圧固定部、５１・・・第１保持部、５２・・・第２保持部、７１，７２・・・蝶番、９０・・・フィルタ取付枠、９５・・・ストッパ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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