(57)【要約】【課題】流体圧機器の駆動を妨げることなくエアの漏れを確実に検出することができ、しかも、ランニングコストの低減及び省エネルギー化を図る。【解決手段】本発明は、流体圧システムの漏れ検出機構及び検出方法に関し、この漏れ検出機構を有した流体圧システム１０は、圧力流体供給源１２と、圧力流体の供給作用下に駆動する複数の流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃと、該流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃに対する前記圧力流体の供給状態を切り換える駆動切換弁１８ａ〜１８ｃと、前記圧力流体供給源１２と駆動切換弁１８ａ〜１８ｃとの間に設けられ、前記流体圧システム１０からの圧力流体の漏れを検出可能な検出部２０とを有する。この検出部２０は、供給配管３８の途中に設けられる検出用切換弁５２と、該検出用切換弁５２をバイパスするように設けられたバイパス配管４０に設けられ、圧力流体の流量を検出可能な流量センサ４４とを含み、前記流量センサ４４によって検出された前記流量が制御部２２へと出力される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を供給するための流体供給源と、前記流体供給源から流体圧機器へと供給される前記流体の供給状態を切り換える駆動切換機構とを有し、前記駆動切換機構に接続され、前記流体の供給作用下に駆動する移動体を有する前記流体圧機器を備えた流体圧システムにおいて、
前記流体供給源と前記駆動切換機構との間に配管を介して接続され、前記流体の外部への漏れ量を検出する漏れ検出手段と、
を備え、
前記漏れ検出手段は、前記駆動切換機構への前記流体の供給状態を切り換える切換部と、該切換部と並列に設けられ、前記流体の流量を検出する検出部と、
からなることを特徴とする流体圧システムの漏れ検出機構。
【請求項２】
請求項１記載の漏れ検出機構において、
前記切換部において前記流体の流通する流路の断面積は、前記検出部における前記流路の断面積に対して大きく設定されることを特徴とする流体圧システムの漏れ検出機構。
【請求項３】
請求項１又は２記載の漏れ検出機構において、
前記切換部は、前記流体供給源と前記駆動切換機構とを接続する第１通路に設けられた切換弁からなり、前記検出部は、前記切換部の上流側及び下流側となる前記第１通路の部位に接続された第２通路に設けられることを特徴とする流体圧システムの漏れ検出機構。
【請求項４】
請求項３記載の漏れ検出機構において、
前記切換部は、前記流体の漏れ量を検出する際、該流体が前記第２通路へと流通するように連通状態を切り換えることを特徴とする流体圧システムの漏れ検出機構。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の漏れ検出機構において、
前記駆動切換機構及び前記流体圧機器は、それぞれ同数で複数設けられることを特徴とする流体圧システムの漏れ検出機構。
【請求項６】
請求項１記載の漏れ検出機構において、
前記切換部は、前記流体供給源と前記駆動切換機構とを接続する第１通路に設けられた切換弁からなり、前記検出部は、前記切換部と前記駆動切換機構との間に接続された前記第２通路に設けられることを特徴とする流体圧システムの漏れ検出機構。
【請求項７】
請求項１記載の漏れ検出機構において、
前記切換部は、前記流体供給源と前記駆動切換機構とを接続する第１通路に設けられた切換弁からなり、前記検出部は、前記第１通路において前記切換部の下流側に設けられる第１検出体と、前記切換部と前記駆動切換機構との間に接続された前記第２通路に設けられる第２検出体とからなることを特徴とする流体圧システムの漏れ検出機構。
【請求項８】
流体を供給するための流体供給源と、前記流体供給源から前記流体圧機器へと供給される前記流体の供給状態を切り換える駆動切換機構とを有し、前記駆動切換機構に接続され、前記流体の供給作用下に駆動する移動体を有する流体圧機器を備えた流体圧システムにおいて、前記流体の外部への漏出を漏れ検出手段によって検出する漏れ検出方法であって、
前記流体圧機器の駆動が前記駆動切換機構による切換作用下に停止した後、前記流体供給源と前記駆動切換機構との間に配管を介して接続された前記漏れ検出手段の切換部によって前記流体の流通状態を切り換え、該流体の流量を検出可能な検出部側へと前記流体を流通させる工程と、
前記検出部で検出された前記流体の流量を、検出信号として制御部に出力する工程と、
前記流量に基づいて前記制御部で前記流体の漏れの有無を判定する工程と、
を有することを特徴とする流体圧システムの漏れ検出方法。
【請求項９】
請求項８記載の方法において、
前記検出部で検出された前記流体の流量が、前記制御部で予め設定された設定値を超えた際に警告信号を出力することを特徴とする流体圧システムの漏れ検出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エアの供給作用下に駆動する流体圧機器を含む流体圧システムにおいて、前記エアの漏れを検出可能な流体圧システムの漏れ検出機構及び検出方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば、ワーク等の搬送手段として、例えば、圧力流体の供給作用下に移動するピストンを有した流体圧シリンダが用いられている。このような流体圧シリンダでは、筒状のシリンダの内部に画成されたシリンダ室にピストンが移動自在に設けられ、前記シリンダの両端部近傍に設けられた一組のポートに対して配管を通じて交互に圧力流体が供給されることにより、前記ピストンが前記シリンダに沿って直線変位する構成としている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
例えば、工場等においては上述した流体圧シリンダを複数設置して駆動させることにより複数のワークの搬送を可能とした流体圧システムが採用されている。この流体圧システムは、流体圧シリンダと、前記流体圧シリンダへ圧力流体を供給する圧力流体供給源と、前記圧力流体供給源からの圧力流体の供給状態を切り換える切換弁とを備え、前記圧力流体供給源、流体圧シリンダ及び切換弁がそれぞれ配管によって接続されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平６−３１３４１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般的に、上述したような流体圧システムにおいては、供給された圧力流体の漏出が生じており、該圧力流体の浪費を抑制することによりランニングコストの削減及び省エネルギー化を図りたいという要請がある。
【０００６】
また、例えば、流体圧シリンダにおける一組のポートに流量センサを設け、該流体圧シリンダに供給される圧力流体の流量を検出することによって該圧力流体の外部への漏れを検出することが想定される。しかしながら、流量センサを設けた場合、該流量センサが流体圧シリンダに導入される圧力流体の流路抵抗となるため、その流量が低下してしまうことが懸念される。
【０００７】
この圧力流体の流量低下を回避するために、口径の大きな流量センサを採用することが考えられるが、その場合には、小流量の漏れを検出することが困難となる。すなわち、大口径を有した流量センサでは、わずかな漏れを確認することができないという問題がある。
【０００８】
本発明は、前記の課題を考慮してなされたものであり、流体圧機器の駆動を妨げることなくエアの漏れを確実に検出することができ、しかも、ランニングコストの低減及び省エネルギー化を図ることが可能な流体圧システムの漏れ検出機構及び検出方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記の目的を達成するために、本発明は、流体を供給するための流体供給源と、前記流体供給源から流体圧機器へと供給される前記流体の供給状態を切り換える駆動切換機構とを有し、前記駆動切換機構に接続され、前記流体の供給作用下に駆動する移動体を有する前記流体圧機器を備えた流体圧システムにおいて、
前記流体供給源と前記駆動切換機構との間に配管を介して接続され、前記流体の外部への漏れ量を検出する漏れ検出手段と、
を備え、
前記漏れ検出手段は、前記駆動切換機構への前記流体の供給状態を切り換える切換部と、該切換部と並列に設けられ、前記流体の流量を検出する検出部と、
からなることを特徴とする。
【００１０】
本発明によれば、流体圧システムにおいて、流体を供給するための流体供給源と、流体圧機器へと供給される前記流体の供給状態を切り換える駆動切換機構との間に、前記流体の外部への漏れ量を検出する漏れ検出手段を設け、該漏れ検出手段を、前記駆動切換機構への前記流体の供給状態を切り換える切換部と、該切換部と並列に設けられ前記流体の流量を検出する検出部とから構成している。
【００１１】
そして、流体圧機器の移動体が停止した駆動停止状態において、切換部を切り換え、流体供給源から該切換部を通じて駆動切換機構へと流通していた流体を、該切換部を流通させることなく前記検出部側へと流通させ、該流体の流量を検出する。
【００１２】
従って、流体圧機器の駆動停止状態において、検出部に流体を流通させ、その流量に基づいて流体圧システムから外部に前記流体が漏出しているか否かを検出することができる。その結果、流体圧機器の動作を妨げることがなく、流体の漏出を確実に検出することができると共に、該漏出を確認して防止することにより、流体圧システムのランニングコストが低減できると共に、省エネルギー化を図ることができる。
【００１３】
また、流体圧機器が駆動し、流体の漏れを検出しない場合には、前記流体を検出部に流通させることなく、検出部を介して直接的に駆動切換機構及び前記流体圧機器へと流通させるため、圧力損失を抑制することができ、前記流体の流量を低下させることなく確実に流通させることが可能となる。
【００１４】
さらに、切換部は、流体供給源と駆動切換機構とを接続する第１通路に設けられた切換弁からなり、検出部を、前記切換部の上流側及び下流側となる前記第１通路の部位に接続された第２通路に設けるとよい。
【００１５】
さらにまた、切換部は、流体の漏れ量を検出する際、該流体が前記第２通路へと流通するように連通状態を切り換えるとよい。
【００１６】
またさらに、駆動切換機構及び流体圧機器は、それぞれ同数で複数設けるとよい。
【００１７】
また、切換部を、流体供給源と駆動切換機構とを接続する第１通路に設けられた切換弁とし、検出部を、切換部と駆動切換機構との間に接続された第２通路に設けるとよい。
【００１８】
さらに、切換部を、流体供給源と駆動切換機構とを接続する第１通路に設けられた切換弁とし、検出部を、第１通路において切換部の下流側に設けられる第１検出体と、前記切換部と前記駆動切換機構との間に接続された前記第２通路に設けられる第２検出体とから構成するとよい。
【００１９】
さらに、本発明は、流体を供給するための流体供給源と、前記流体供給源から前記流体圧機器へと供給される前記流体の供給状態を切り換える駆動切換機構とを有し、前記駆動切換機構に接続され、前記流体の供給作用下に駆動する移動体を有する流体圧機器を備えた流体圧システムにおいて、前記流体の外部への漏出を漏れ検出手段によって検出する漏れ検出方法であって、
前記流体圧機器の駆動が前記駆動切換機構による切換作用下に停止した後、前記流体供給源と前記駆動切換機構との間に配管を介して接続された前記漏れ検出手段の切換部によって前記流体の流通状態を切り換え、該流体の流量を検出可能な検出部側へと前記流体を流通させる工程と、
前記検出部で検出された前記流体の流量を、検出信号として制御部に出力する工程と、
前記流量に基づいて前記制御部で前記流体の漏れの有無を判定する工程と、
を有することを特徴とする。
【００２０】
さらにまた、検出部で検出された流体の流量が、制御部で予め設定された設定値を超えた際に警告信号を出力するとよい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、以下の効果が得られる。
【００２２】
すなわち、流体を供給するための流体供給源と、流体圧機器へと供給される前記流体の供給状態を切り換える駆動切換機構との間に、前記流体の外部への漏れ量を検出する漏れ検出手段を設け、該漏れ検出手段を、前記駆動切換機構への前記流体の供給状態を切り換える切換部と、該切換部と並列に設けられ前記流体の流量を検出する検出部とから構成することにより、流体圧機器の移動停止状態において、切換部を切り換え、流体供給源から該切換部を通じて駆動切換機構へと流通していた流体を、該切換部を流通させることなく前記検出部側へと流通させ、該流体の流量を検出することにより、該流量に基づいて流体圧システムから外部に前記流体が漏出しているか否かを検出することができる。
【００２３】
その結果、流体圧機器の動作を妨げることがなく、流体の漏出を確実に検出することができると共に、該漏出を確認して防止することにより、流体圧システムのランニングコストが低減できると共に、省エネルギー化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施の形態に係る漏れ検出機構を有する流体圧システムの概略構成図である。
【図２】図１の流体圧システムにおける検出部を示す拡大構成図である。
【図３】図１の流体圧システムにおける流量センサに検出された圧力流体の流量、切換弁及び位置検出センサの動作状態と時間との関係を示すタイムチャート図である。
【図４】図２の検出部によって圧力流体の漏れが検出された際に出力される警告信号と時間との関係を示す特性曲線図である。
【図５】図５Ａは、第１変形例に係る検出部を示す拡大構成図であり、図５Ｂは、第２変形例に係る検出部を示す拡大構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明に係る流体圧システムの漏れ検出機構及び検出方法について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００２６】
図１において、参照符号１０は、本発明の実施の形態に係る漏れ検出機構を備えた流体圧システムを示す。
【００２７】
この流体圧システム１０は、図１に示されるように、圧力流体供給源（流体供給源）１２と、該圧力流体供給源１２から供給される圧力流体によって駆動する複数（例えば、３個）の流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃと、前記圧力流体供給源１２と複数の流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃとをそれぞれ接続する配管１６と、前記圧力流体供給源１２と前記流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃとの間に設けられ、該流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃに対する前記圧力流体の供給状態を切り換える複数の駆動切換弁（駆動切換機構）１８ａ〜１８ｃと、前記圧力流体供給源１２と前記駆動切換弁１８ａ〜１８ｃとの間に設けられ、前記配管１６を通じて供給される前記圧力流体の外部への漏出を検出可能な検出部２０と、前記検出部２０で検出された流量が検出信号として入力される制御部２２とを含む。
【００２８】
なお、駆動切換弁１８ａ〜１８ｃの数量は、流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃの数量と同数となるように設定される。
【００２９】
流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃは、筒状のシリンダ本体２４と、該シリンダ本体２４の内部に移動自在に設けられたピストン２６と、該ピストン２６に連結されたピストンロッド２８とを含み、前記シリンダ本体２４の側面に設けられた第１及び第２ポート３０、３２にそれぞれ第１及び第２配管３４、３６（後述する）の一端部が接続される。
【００３０】
そして、第１又は第２ポート３０、３２を通じて圧力流体供給源１２から圧力流体が供給されることにより、シリンダ本体２４内に導入された圧力流体によってピストン２６が押圧されシリンダ本体２４の軸線方向（矢印Ｃ、Ｄ方向）に沿って移動する。
【００３１】
配管１６は、圧力流体供給源１２と駆動切換弁１８ａ〜１８ｃとを接続する供給配管（第１配管）３８と、該駆動切換弁１８ａ〜１８ｃと流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃの第１ポート３０とをそれぞれ接続する第１配管３４と、該駆動切換弁１８ａ〜１８ｃと前記流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃの第２ポート３２とをそれぞれ接続する第２配管３６と、前記供給配管３８の途中に設けられたバイパス配管（第２通路）４０とからなる。
【００３２】
なお、第１及び第２配管３４、３６には、流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃに供給される圧力流体の流量を調整可能なスピードコントローラ４２がそれぞれ設けられている。
【００３３】
詳細には、供給配管３８は、一端部側が圧力流体供給源１２に接続され、他端部側が駆動切換弁１８ａ〜１８ｃの数量に応じて３本に分岐し、それぞれ駆動切換弁１８ａ〜１８ｃの供給ポート（後述する）に接続される。また、供給配管３８の途中には、検出部２０を構成する検出用切換弁（切換部）５２が接続されると共に、該検出用切換弁５２の上流側と下流側とをバイパスするようにバイパス配管４０が接続される。このバイパス配管４０には、供給配管３８を流通する圧力流体の流量を検出可能な流量センサ（検出部）４４（後述する）が接続される。
【００３４】
また、第１及び第２配管３４、３６は、流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃ及び駆動切換弁１８ａ〜１８ｃの数量に応じて複数本（例えば、３本）設けられ、該第１配管３４は、その一端部側が各流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃにおける第１ポート３０に接続され、他端部側が各駆動切換弁１８ａ〜１８ｃの第１接続ポート４８（後述する）に接続される。
【００３５】
一方、第２配管３６は、その一端部側が第２ポート３２に接続され、他端部側が駆動切換弁１８ａ〜１８ｃの第２接続ポート５０（後述する）に接続される。
【００３６】
駆動切換弁１８ａ〜１８ｃは、例えば、制御部２２からの制御信号（電流）によって駆動する電磁弁からなり、供給配管３８を介して圧力流体供給源１２に接続される供給ポート４６と、第１配管３４が接続される第１接続ポート４８と、第２配管３６が接続される第２接続ポート５０とを有する。
【００３７】
そして、駆動切換弁１８ａ〜１８ｃに制御信号が入力されていない非通電時（ＯＦＦ）には、供給ポート４６と第１接続ポート４８とが連通し、圧力流体供給源１２からの圧力流体が第１配管３４を通じて流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃの第１ポート３０へと供給され、一方、前記駆動切換弁１８ａ〜１８ｃに制御信号が入力された通電時（ＯＮ）には、ソレノイド部５８が励磁して供給ポート４６と第２接続ポート５０とが連通するように切り換えられ、前記圧力流体供給源１２からの圧力流体が第２配管３６を通じて流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃの第２ポート３２へと供給されることとなる。
【００３８】
すなわち、駆動切換弁１８ａ〜１８ｃは、制御信号によって第１接続ポート４８又は第２接続ポート５０と供給ポート４６とを連通させ、圧力流体供給源１２から供給される圧力流体を、流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃの第１ポート３０又は第２ポート３２のいずれか一方へと流通させている。
【００３９】
検出部２０は、図１及び図２に示されるように、流体圧システム１０における圧力流体の外部への漏れを検出可能な漏れ検出機構（漏れ検出手段）として機能し、供給配管３８の途中に設けられ、該供給配管３８とバイパス配管４０との連通状態を切り換える検出用切換弁５２と、前記バイパス配管４０に設けられ、該バイパス配管４０内を流通する圧力流体の流量を検出可能な流量センサ４４とからなる。
【００４０】
検出用切換弁５２は、駆動切換弁１８ａ〜１８ｃと同様に、例えば、制御部２２からの制御信号（電流）によって駆動する電磁弁からなり、供給配管３８を介して圧力流体供給源１２に接続される供給ポート５４と、駆動切換弁１８ａ〜１８ｃに接続され、該圧力流体が排出される排出ポート５６とを有する。
【００４１】
また、検出用切換弁５２は、その内部に形成され、圧力流体の流通する流路の流路断面積Ｅ１が、流量センサ４４の流路断面積Ｅ２より大きく設定される（Ｅ１＞Ｅ２）。
【００４２】
流量センサ４４は、リード線を介して制御部２２に対して電気的に接続され、検出した圧力流体の流量値を検出信号として制御部２２へと出力する。なお、流量センサ４４は、検出したい圧力流体の漏出量Ｈ（流量）に応じた性能（サイズ）のものが選定される。
【００４３】
制御部２２は、検出部２０で検出された流量値に基づいて流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃを含む流体圧システム１０における圧力流体の漏れを検出すると共に、駆動切換弁１８ａ〜１８ｃ及び検出用切換弁５２に対して制御信号を出力して切換制御を行う。
【００４４】
本発明の実施の形態に係る漏れ検出機構を備えた流体圧システム１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について図１〜図３を参照しながら説明する。
【００４５】
なお、ここでは、図１に示されるように、流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃのピストン２６が第２ポート３２側（矢印Ｄ方向）に移動した状態を初期位置として説明すると共に、前記ピストン２６が、第１ポート３０側（矢印Ｃ方向）に向かって移動する場合を前進といい、第２ポート３２側（矢印Ｄ方向）に向かって移動する場合を後進という。
【００４６】
この初期位置では、駆動切換弁１８ａ〜１８ｃが非通電状態（ＯＦＦ）にあり、圧力流体供給源１２と第１ポート３０とが前記駆動切換弁１８ａ〜１８ｃを通じて連通し、圧力流体が第１ポート３０を通じてシリンダ本体２４の内部に導入され、ピストン２６を第２ポート３２側（矢印Ｄ方向）へと押圧して移動させ、該ピストン２６が初期位置で停止している（停止状態）。
【００４７】
一方、検出部２０を構成する検出用切換弁５２も同様に、非通電状態（ＯＦＦ）にあり、該検出用切換弁５２を介して供給配管３８の上流側と下流側とが連通し、圧力流体が圧力流体供給源１２から駆動切換弁１８ａ〜１８ｃへとそれぞれ供給される。なお、この場合、供給配管３８を流通する圧力流体の一部が、バイパス配管４０へと流通する。
【００４８】
図１及び図３に示されるように、先ず、駆動切換弁１８ａ〜１８ｃのソレノイド部５８に制御信号をそれぞれ入力して通電することにより（図３中、Ｆ１参照）、その励磁作用下に供給ポート４６と第２接続ポート５０とが連通し、圧力流体が、前記駆動切換弁１８ａ〜１８ｃを通じて圧力流体供給源１２から流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃの第２ポート３２へとそれぞれ供給される。この場合、第１ポート３０は、駆動切換弁１８ａ〜１８ｃを介して大気開放されている。
【００４９】
そして、第２ポート３２からシリンダ本体２４の内部に導入された圧力流体によってピストン２６が第１ポート３０側（矢印Ｃ方向）へと押圧されて前進すると共に、前記ピストン２６によって押圧されたシリンダ本体２４内の空気が前記第１ポート３０から第１配管３４を通じて駆動切換弁１８ａ〜１８ｃ側へと排出される。このピストン２６が、シリンダ本体２４に沿って所定距離だけ前進して変位終端位置に到達したことが、該シリンダ本体２４の他端部に設けられた位置検出センサＳ１（図示せず）によって検出され、制御部２２に制御信号として出力される（図３中、Ｆ３参照）。
【００５０】
すなわち、ピストン２６が、変位終端位置に到達して停止した状態となったことが位置検出センサＳ１によって確認される。
【００５１】
次に、制御部２２から制御信号を出力し、該制御信号が検出部２０を構成する検出用切換弁５２のソレノイド部５８に対して入力されることにより、該検出用切換弁５２を駆動させて供給配管３８の連通状態を切り換え非連通状態とする。これにより、圧力流体供給源１２から供給された圧力流体が供給配管３８からバイパス配管４０を経て各駆動切換弁１８ａ〜１８ｃへとそれぞれ供給されることとなる。
【００５２】
そして、図３に示されるように、予め設定された設定時間Ｔが経過した後、バイパス配管４０を流通する圧力流体の流量を、流量センサ４４によって検出し、その検出結果を出力信号として制御部２２へと出力して該流量の変化を確認する。
【００５３】
流体圧システム１０を構成する流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃ、配管及び駆動切換弁１８ａ〜１８ｃ等から圧力流体が漏出している場合には、該圧力流体が外部へと漏出することによって流量が増加するため、流量センサ４４によって検出される圧力流体の流量もそれに伴って増加し、制御部２２に対して検出信号として出力される（図３中、Ｆ５参照）。これにより、制御部２２において該検出信号に基づいて圧力流体の漏れが発生していることが確認される。
【００５４】
この場合、図４に示されるように、圧力流体が流体圧システム１０から外部に漏出した際、その漏れ限界となる流量を許容流量値Ｇ（例えば、１０００ｃｃ／分）として予め制御部２２に設定しておき、流量センサ４４によって検出される流量（漏出量Ｈ）が前記許容流量値Ｇに到達した時点で（Ｇ＝Ｈ）、例えば、前記制御部２２から表示部６０へと警告信号を出力して表示する。
【００５５】
また、表示部６０の代わりに警告ブザー等（図示せず）を設け、圧力流体の漏出量Ｈ（流量）が許容流量値Ｇを超えたことを音によって作業者が認識可能な構成としてもよい。
【００５６】
そして、上述したように、表示部６０や警告ブザー等によって流体圧システム１０における圧力流体の漏出量Ｈが許容流量値Ｇを超えたこと（Ｈ≧Ｇ）が確認された後、作業者が、前記流体圧システム１０を構成する流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃ、配管及び駆動切換弁１８ａ〜１８ｃ等における漏出部位の確認を行い、構成部品のメンテナンス等を行う。
【００５７】
また、流体圧システム１０から外部への圧力流体の漏出がない場合には、流量センサ４４によって検出される圧力流体の流量に変化が生じることがなく、略一定の値で推移することとなる（図３中、Ｆ６参照）。
【００５８】
そして、圧力流体の漏出確認を所定時間Ｔ２だけ行った後、検出用切換弁５２に出力されていた制御信号を停止し、前記検出用切換弁５２を非通電状態（図３中、Ｆ２参照）とすることにより、再び供給配管３８を通じて圧力流体が各駆動切換弁１８ａ〜１８ｃへ供給される状態へと切り換える（図３中、Ｆ１参照）。
【００５９】
一方、駆動切換弁１８ａ〜１８ｃに対する制御信号の入力を停止し非通電状態（ＯＦＦ）とすることにより、ソレノイド部５８が非励磁状態となり、それに伴って、スプリング６２の弾発作用下に供給ポートと第１接続ポート４８とが連通するように切り換えられる。そして、圧力流体が駆動切換弁１８ａ〜１８ｃを通じて圧力流体供給源１２から各流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃの第１ポート３０へとそれぞれ供給されると共に、第２ポート３２は前記駆動切換弁１８ａ〜１８ｃを介して大気開放される。
【００６０】
これにより、第１ポート３０からシリンダ本体２４の内部に導入された圧力流体によってピストン２６が第２ポート３２側（矢印Ｄ方向）へと押圧されて後退すると共に、前記ピストン２６によって押圧されたシリンダ本体２４内の空気が第２ポート３２から第２配管３６を通じて駆動切換弁１８ａ〜１８ｃへと排出される。このピストン２６が、シリンダ本体２４に沿って所定距離だけ後進して初期位置に到達したことが、該シリンダ本体２４の一端部に設けられた図示しない位置検出センサＳ２によって検出され、制御部２２に制御信号として出力される（ＯＮ）。すなわち、ピストン２６が、初期位置に再び到達して停止状態となったことが位置検出センサＳ２によって確認される（図３中、Ｆ４参照）。
【００６１】
次に、制御部２２から制御信号を出力し、検出部２０を構成する検出用切換弁５２のソレノイド部５８に対して該制御信号を入力し、該検出用切換弁５２を駆動させ供給配管３８の連通状態を切り換えて非連通状態とする（図３中、Ｆ２参照）。これにより、圧力流体供給源１２から供給された圧力流体が供給配管３８からバイパス配管４０を経て各駆動切換弁１８ａ〜１８ｃへとそれぞれ供給される。
【００６２】
そして、予め設定された設定時間Ｔ３が経過した後、バイパス配管４０を流通する圧力流体の流量を、流量センサ４４によって検出し、その検出結果を出力信号として制御部２２へと出力して該流量の変化を確認する。なお、この圧力流体の流量変化に基づいた該圧力流体の漏出確認は、上述した流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃの変位終端位置で行われる場合と同じであるため、その詳細な説明は省略する。
【００６３】
以上のように、本実施の形態では、流体圧システム１０において、圧力流体供給源１２と、流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃに対する圧力流体の供給状態を切り換える駆動切換弁１８ａ〜１８ｃとの間に、前記流体圧システム１０から外部への前記圧力流体の漏出を検出可能な検出部２０を設け、前記流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃを構成するピストン２６が、初期位置又は変位終端位置にある停止状態で、流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃを含む流体圧システム１０の圧力流体の漏出確認を行うことができる。そのため、流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃの動作を妨げることがなく、圧力流体の漏出を確実に検出することができると共に、該漏出を確認して防止することにより、流体圧システム１０のランニングコストを低減でき、しかも、省エネルギー化を図ることができる。
【００６４】
また、圧力流体の漏出を検出しない場合には、圧力流体を流量センサ４４よりも流路断面積の大きな検出用切換弁５２を通じて流通させる構成としているため、流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃを駆動させる場合の圧力損失を最小とすることができる。その結果、圧力流体の供給圧力を低く設定できるため、例えば、圧力流体供給源１２にコンプレッサーを用いた場合の消費電力を抑制することが可能となる。
【００６５】
さらに、複数の流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃを有した流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃにおいても、該流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃに圧力流体を供給する供給配管３８のみに検出部２０を設ければよいため、流体圧システム１０の設備コストを低く抑えることが可能となり、しかも、設置スペースを小さくすることも可能となる。
【００６６】
さらにまた、検出部２０によって定期的に圧力流体の漏出量Ｈを確認することによって、流体圧システム１０の経時変化を把握することが可能となり、前記漏出量Ｈに基づいて最適な流体圧システム１０に対するメンテナンス作業を行うことが可能となる。
【００６７】
またさらに、複数の流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃから構成される流体圧システム１０においては、各流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃの駆動停止時にそれぞれ別個に漏れ検出の確認を行うことも可能であるため、例えば、複数の流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃのうちのいずれか１つから圧力流体が漏出していた場合でも、確実に検出して確認することが可能である。
【００６８】
また、検出部２０を流量センサ４４から構成し、流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃ及び配管等からの圧力流体の漏出を検出することにより、前記流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃを含む流体圧システム１０の故障診断や予防診断等の機能を備えることが可能となり、例えば、前記流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃの交換時期を表示部６０等に外部出力することが可能となる。
【００６９】
さらに、圧力流体の漏出量Ｈが、予め設定された許容流量値Ｇを超えた場合に、表示部６０等に警告として制御部２２から出力することにより、該圧力流体の漏出を確実且つ迅速に確認して対処することが可能となる。
【００７０】
また、本実施の形態においては、検出用切換弁５２は、通電作用下に切り換えられる電磁弁が用いられる場合について説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、作業者が手動で切換可能な手動切換弁を用いるようにしてもよい。
【００７１】
なお、検出部２０は、上述した構成に限定されるものではなく、例えば、図５Ａに示される検出部７０のように、供給配管３８の途中に設けられた検出用切換弁７２を、供給ポート７４と、第１及び第２接続ポート７６、７８とを有する３ポート弁とすると共に、前記第１接続ポート７６と各駆動切換弁１８ａ〜１８ｃとをそれぞれ接続し、第２接続ポート７８に接続されたバイパス配管８０の途中に流量センサ４４を設けるようにしてもよい。
【００７２】
また、図５Ｂに示される検出部９０のように、検出用切換弁７２の下流側となるバイパス配管８０に第１流量センサ（第１検出体）９２を設け、第１接続ポート７６に接続された供給配管３８に、該第１流量センサ９２とは別の第２流量センサ（第２検出体）９４を設けるようにしてもよい。この場合、第２流量センサ９４は、第１流量センサ９２と比較して流路断面積が大きく設定されている。
【００７３】
そのため、検出用切換弁７２の切換作用下に供給配管３８を圧力流体が流通し、流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃを駆動させる際、第２流量センサ９４が流路抵抗となることがなく、該流体圧シリンダ１４ａ〜１４ｃを好適に駆動させることができると共に、該供給配管３８を流通する圧力流体の流量を検出することが可能となる。
【００７４】
すなわち、上述した検出部２０、７０、９０を、交換可能なモジュール化しておくことにより、必要に応じて随時交換することが可能となる。
【００７５】
なお、本発明に係る流体圧システムの漏れ検出機構及び漏れ検出方法は、上述の実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
【符号の説明】
【００７６】
１０…流体圧システム                １２…圧力流体供給源
１４ａ〜１４ｃ…流体圧シリンダ      １６…配管
１８ａ〜１８ｃ…駆動切換弁          ２０、７０、９０…検出部
２２…制御部                        ２６…ピストン
３０…第１ポート                    ３２…第２ポート
３４…第１配管                      ３６…第２配管
３８…供給配管                      ４０、８０…バイパス配管
４４…流量センサ                    ５２、７２…検出用切換弁
９２…第１流量センサ                ９４…第２流量センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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