(57)【要約】【課題】記録時と再生時における記録媒体近傍周辺温度の変化により、あるいは記録時の記録媒体収縮の発生により、干渉縞歪みが発生する状況下においても、その干渉縞歪みを迅速に補償する。【解決手段】ホログラム記録媒体１１の配設位置の近傍に温度計２５を設け、再生時において、ホログラム記録媒体１１の近傍温度を測定し、この測定結果に基づき、干渉縞歪みを補償するように、前記参照光のホログラム記録媒体１１への入射角度を変更すべく、計測制御装置２６から回転器２２が所定角度だけ回転駆動するよう指示する指示信号を出力する。これによって、反射ミラー２１から反射された参照光の、ホログラム記録媒体１１への入射角度が変更されて、再生時において干渉縞歪みが補償される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
データ情報を担持した信号光と、参照光とを干渉させ、得られた干渉縞をデータ情報として記録されてなるホログラム記録媒体に対し、該参照光を照射して、該データ情報を再生するホログラム再生装置において、
前記ホログラム記録媒体の近傍周辺温度を測定する温度測定手段と、
前記参照光の前記ホログラム記録媒体への入射角度を変更する参照光入射角度変更手段と、
前記データ情報の再生を行う際に、前記温度測定手段による測定結果に基づき、干渉縞歪みを補償するように、前記参照光の前記ホログラム記録媒体への入射角度を変更する前記参照光入射角度変更手段を駆動制御する参照光入射角度制御手段と、
を備えたことを特徴とするホログラム再生装置。
【請求項２】
前記ホログラム記録媒体の近傍周辺温度と、干渉縞歪みを補償し得る、再生時における前記ホログラム記録媒体への参照光の入射角度との関係を予め求め、この関係を記憶手段に記憶しておき、前記データ情報の再生を行う際に、前記温度測定手段による測定結果と当該記憶させておいた前記関係とに基づいて、前記参照光の前記ホログラム記録媒体への入射角度を決定することを特徴とする請求項１に記載のホログラム再生装置。
【請求項３】
前記ホログラム記録媒体の近傍周辺温度と、干渉縞歪みを補償し得る、再生時における前記ホログラム記録媒体への参照光の入射角度との関係を求める際には、該近傍周辺温度を直交座標系のＸＹ軸の一方にとるとともに、該入射角度を該ＸＹ軸の他方にとり、温度が変化する前後の各々に前記温度測定手段による測定を行って、該直交座標系上にプロットし、これらプロットした２点を直線で結び、外挿補間を行なって、関係を求めることを特徴とする請求項２に記載のホログラム再生装置。
【請求項４】
前記記憶手段が当該ホログラム記録媒体であり、そのホログラム記録媒体の再生時に当該ホログラム記録媒体の前記関係を読み出すことを特徴とする請求項１から３のうちいずれか１項に記載のホログラム再生装置。
【請求項５】
データ情報を担持した信号光と、参照光とを干渉させてホログラム記録媒体に干渉光による干渉縞をデータ情報としてホログラフィック記録し、記録された該データ情報を再生するホログラム記録再生装置において、
前記ホログラム記録媒体の近傍周辺温度を測定する温度測定手段と、
前記参照光の前記ホログラム記録媒体への入射角度を変更する参照光入射角度変更手段と、
前記データ情報の再生を行う際に、前記温度測定手段による測定結果に基づき、干渉縞歪みを補償するように、前記参照光の前記ホログラム記録媒体への入射角度を変更する前記参照光入射角度変更手段を駆動制御する参照光入射角度制御手段と、
を備えたことを特徴とするホログラム記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高密度多重記録が可能なホログラム再生装置およびホログラム記録再生装置に関し、特に、デジタルデータ（例えば大容量の保存用アーカイブデータ）を、温度変化に伴って記録媒体の膨張収縮が生じ易いホログラフィックメモリへの再生または記録再生を行う装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報記録において光ディスクなどの光情報記録媒体が普及している。また、より高速・大容量を目指した次世代光情報記録媒体の研究・開発が活発に行われている。
その中でも、記録容量を大幅に高めることができるという観点から、ホログラム記録再生方式を利用した種々の多重記録再生装置が提案されている。
【０００３】
ここで、従来のホログラム記録再生装置を図４を用いて説明する。
レーザ光源１０１から出射されたレーザ光束は、発散レンズ１０２およびコリメートレンズ１０３からなるビームエキスパンダ、ならびに半波長板１０４を透過し、偏光ビームスプリッタ１０６により２系の光束に分岐され、それぞれ信号光および参照光として機能せしめられる。
【０００４】
偏光ビームスプリッタ１０６により分岐された信号光は、偏光ビームスプリッタ１０７を介して空間光変調素子１０８に照射される。記録すべきデジタル情報はページデータとして空間光変調素子１０８に順次表示され、反射する光を空間的に変調する。空間光変調素子１０８から出射された信号光は、入射した状態とは偏光方向が変化しており、偏光ビームスプリッタ１０７において反射され、フーリエ変換レンズ１１０によってフーリエ変換されてホログラム記録媒体１１１へ照射される。このときホログラム記録媒体１１１中の信号光が照射される領域へ、別角度から、偏光ビームスプリッタ１０６で分岐した参照光を同時に照射すると記録媒体１１１内部の体積中に干渉縞が生じ、これによりホログラム記録が行われる。そして、異なるページデータを空間光変調素子１０８に表示させつつ、参照光のホログラム記録媒体１１１への入射角度を少しずつ変化させることにより、互いに異なるページデータを記録媒体１１１中の同一領域へ多重記録することが可能となり、高密度な情報格納が可能となる。
【０００５】
なお、上記光路中には、反射ミラー１０５、１２１および光束を適宜通過／遮断するためのシャッタ１０９、１２０が配設されている。
【０００６】
一方、ホログラム記録媒体１１１に記録されたページデータを再生する場合には、原則として、上記の如くして記録した際の入射角度と同一角度で参照光を記録媒体１１１に照射せしめることにより、同一の記録領域に複数のページデータが多重記録されていても、所望するページデータのみを選択的に取り出すことができ、フーリエ変換レンズ（結像レンズ）１１２を介してＣＣＤ（撮像素子）１１４にて撮像することができる。
【０００７】
ところで、記録時と再生時の媒体近傍周辺温度が異なる場合、その両者間で記録媒体の収縮または膨張の程度に差が生じてしまうことから、再生時において、記録された干渉縞に歪みが生じてしまう。そのため、データを再生するときに記録時と同じ角度で参照光を照射しても、そのままでは、記録された離散データを誤りなく再生することは困難である。
【０００８】
そこで、このような問題に対して、記録時と再生時の記録媒体の温度を一致させる処理をした上で、参照光をホログラム記録媒体１１１に照射する手法が下記特許文献１に開示されている。なお、その他の類似する先行技術としては下記特許文献２〜５および下記非特許文献１等が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００６−３５０２５８号公報
【特許文献２】特開２００９−４８００２号公報
【特許文献３】特開２００９−８６２４８号公報
【特許文献４】特願２００９−３９８９８号明細書
【特許文献５】特願２００８−２２４２７０号明細書
【非特許文献】
【００１０】
【非特許文献１】T.Muroi, et. al, “Optical Compensation of Distorted Data Image Caused byInterference Fringe Distortion in Holographic Data Storage”, Appl. Opt.,Vol.48, No.19, pp.3681-3690, 200
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、上記特許文献１の技術を用いて、記録時と再生時における記録媒体の温度を同じにすることができたとしても、記録時の記録媒体の収縮により生じた干渉縞歪みまで、補償することは困難である。
【００１２】
また、上述したように、干渉縞歪みによる再生データの劣化を補償するために、再生時に照射するホログラム記録媒体１１１への参照光の入射角度を制御する手法が有効であるが、ホログラム記録媒体１１１の全領域に亘って、逐一最適な参照光の入射角度を探索しつつ決定するには多くの時間を要する。最適な参照光の入射角度を探索するのに多大な時間を要していると、データの転送速度が遅くなってしまう。そのため、最適な参照光の入射角度を迅速に探索しなければならないことから、制御装置が複雑化する。
【００１３】
本発明は上記事情に鑑みなされたものであり、記録時と再生時における記録媒体近傍周辺温度の変化により、あるいは記録時の記録媒体収縮の発生により、干渉縞歪みが発生する状況下においても、その干渉縞歪みを迅速に補償し得るホログラム再生装置およびホログラム記録再生装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明のホログラム再生装置は、
データ情報を担持した信号光と、参照光とを干渉させ、得られた干渉縞をデータ情報として記録されてなるホログラム記録媒体に対し、該参照光を照射して、該データ情報を再生するホログラム再生装置において、
前記ホログラム記録媒体の近傍周辺温度を測定する温度測定手段と、
前記参照光の前記ホログラム記録媒体への入射角度を変更する参照光入射角度変更手段と、
前記データ情報の再生を行う際に、前記温度測定手段による測定結果に基づき、干渉縞歪みを補償するように、前記参照光の前記ホログラム記録媒体への入射角度を変更する前記参照光入射角度変更手段を駆動制御する参照光入射角度制御手段と、
を備えたことを特徴とするものである。
【００１５】
この場合において、
前記ホログラム記録媒体の近傍周辺温度と、干渉縞歪みを補償し得る、再生時における前記ホログラム記録媒体への参照光の入射角度との関係を予め求め、この関係をメモリに記憶しておき、前記データ情報の再生を行う際に、前記温度測定手段による測定結果と当該記憶させておいた前記関係とに基づいて、前記参照光の前記ホログラム記録媒体への入射角度を決定することが好ましい。
【００１６】
また、前記ホログラム記録媒体の近傍周辺温度と、干渉縞歪みを補償し得る、再生時における前記ホログラム記録媒体への参照光の入射角度との関係を求める際には、該近傍周辺温度を直交座標系のＸＹ軸の一方にとるとともに、該入射角度を該ＸＹ軸の他方にとり、温度が変化する前後の各々に前記温度測定手段による測定を行って、該直交座標系上にプロットし、これらプロットした２点を直線で結び、外挿補間を行なって、関係を求めることが好ましい。
【００１７】
また、当該ホログラム記録媒体の前記関係を、そのホログラム記録媒体に予め記録しておき、そのホログラム記録媒体の再生時に当該ホログラム記録媒体の前記関係を読み出して、前記参照光の入射角度を制御することが好ましい。
【００１８】
さらに、本発明のホログラム記録再生装置は、
データ情報を担持した信号光と、参照光とを干渉させてホログラム記録媒体に干渉光による干渉縞をページデータとしてホログラフィック記録し、記録された該ページデータ情報を再生するホログラム記録再生装置において、
前記ホログラム記録媒体の近傍周辺温度を測定する温度測定手段と、
前記参照光の前記ホログラム記録媒体への入射角度を変更する参照光入射角度変更手段と、
前記データ情報の再生を行う際に、前記温度測定手段による測定結果に基づき、干渉縞歪みを補償するように、前記参照光の前記ホログラム記録媒体への入射角度を変更する前記参照光入射角度変更手段を駆動制御する参照光入射角度制御手段と、を備えたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のホログラム再生装置およびホログラム記録再生装置によれば、ホログラム記録媒体の近傍周辺温度を測定する温度測定手段と、参照光のホログラム記録媒体への入射角度を変更する参照光入射角度変更手段と、データ情報の再生を行う際に、該温度測定手段による測定結果に基づき、干渉縞歪みを補償するように、参照光の該ホログラム記録媒体への入射角度を変更する該参照光入射角度変更手段を制御する参照光入射角度制御手段と、を設けるように構成している。
【００２０】
したがって、ホログラム記録情報を再生する際において、参照光が参照光入射角度変更手段を通過する際に、近傍周辺温度の測定結果から記録時との温度差を算出し、この算出された温度差に基づいて、また記録時の記録媒体収縮に基づき、参照光入射角度制御手段が参照光入射角度変更手段に指示して、参照光の該ホログラム記録媒体への入射角度を変更するようにしているので、干渉縞歪みが発生する状況下においても、その干渉縞歪みを迅速に補償することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の実施形態に係るホログラム記録再生装置の主要光学系を示す概略図である。
【図２】図１に示す実施形態装置において、参照光入射角度と再生光強度との関係を示すグラフである。
【図３】本発明の実施形態に係る記録媒体の近傍周辺温度と参照光入射角度との関係を示すグラフである。
【図４】従来技術に係るホログラム記録再生装置の主要光学系を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態に係るホログラム情報記録再生装置を図面を参照しつつ、情報記録機能と情報再生機能に分けて説明する。なお、本発明においてホログラム再生装置と称するときは、少なくとも、下記情報再生機能を備えた装置を意味するものとする。
【００２３】
図１は、本発明の実施形態に係るホログラム記録再生装置の主要光学系を示す概略図である。
＜情報記録機能＞
図１に示すように、レーザ光源１から出射されたコヒーレントなレーザ光束は、発散レンズ２およびコリメートレンズ３からなるビームエキスパンダにより光束径を拡大され、半波長板４を透過し反射ミラー５により反射された後、偏光ビームスプリッタ６により２系の光束に分岐され、それぞれ信号光（物体光：実際には空間光変調素子８により信号光とされる）および参照光として機能せしめられる。
【００２４】
上記参照光は、反射ミラー２１により反射され、光束を適宜通過／遮断するためのシャッタ２０を介してホログラム記録媒体１１上の所定の領域に照射される。また、反射ミラー２１は、載設台の略中心位置を回転軸として回動自在とされてなる回転器２２の載設台上に設置される。具体的には、ガルバノミラーや音響光学変調素子などにより構成される。
【００２５】
一方、上記信号光は、偏光ビームスプリッタ７を介して空間光変調素子８に照射される。
【００２６】
空間光変調素子８としては、液晶表示パネルやＤＭＤ（デジタルマイクロミラーデバイス：Digital Micromirror Device）等のライトバルブが用いられる。空間光変調素子８上の各ピクセルがページデータ上の２値のデジタル情報に応じて光を通過（図１の例では反射）／遮断することで、空間的に光を変調する。この変調処理によりページデータ情報を担持した信号光が生成される。
【００２７】
空間光変調素子として液晶表示パネルを用いた場合、空間光変調素子８から出射された信号光は、入射した状態とは偏光方向が変化しており、偏光ビームスプリッタ７において反射され、シャッタ９を通過した後フーリエ変換レンズ（ＦＴＬ：Fourier Transform Lens）１０によって光学的にフーリエ変換されてホログラム記録媒体１１へ照射される。このときホログラム記録媒体１１中の信号光が照射される領域へ、別角度から、上記参照光が同時に照射されるので、記録媒体１１内部の体積中に干渉縞が生じ、この縞分布を屈折率分布などの形態で記録媒体１１の記録領域に転写することによりホログラム記録が行われる。
【００２８】
なお、反射ミラー２１とホログラム記録媒体１１の間には、レンズ２３、２４が配設されている。
【００２９】
また、異なるページデータを空間光変調素子８に表示させつつ、参照光のホログラム記録媒体１１への入射角度を少しずつ変化させることにより、互いに異なるページデータを記録媒体１１中の同一領域へ多重記録することが可能となり、より高密度な情報格納が可能となる。
＜情報再生機能＞
次に、情報再生時においては、シャッタ２０を通過した参照光は、所定の参照光入射条件となるように設定して、ホログラム記録媒体１１の所定の領域に照射される。なお、シャッタ９は閉じた状態とされる。
【００３０】
すなわち、所望のページデータを再生する場合には、原則として、この所望のページデータを記録した情報記録時と同様の入射角度および位置において、参照光をホログラム記録媒体１１に入射せしめることにより、所望のページデータ情報を担持した再生光（回折光）がホログラム記録媒体１１から出力され、この再生光がフーリエ変換レンズ１２を介してＣＣＤ１４からなる撮像素子に入射し撮像される。
【００３１】
しかしながら、記録時と再生時の媒体近傍周辺温度が異なる場合には、その両者間で記録媒体の収縮または膨張の程度に差が生じてしまうことから、再生時において、記録された干渉縞に歪みが生じてしまい、データを再生するときに記録時と同じ角度で参照光を照射しても、記録された離散データを誤りなく再生することは困難である。また、記録時の記録媒体の収縮により生じた干渉縞歪みについても、記録時と同じ角度で参照光を照射しても補償することは困難である。
【００３２】
このことを、参照光角度と再生光強度の関係を示す図２を用いて説明する。
図２のグラフ中で、破線は記録媒体近傍周辺温度が25℃の場合における参照光角度と再生光強度の関係を示すものであり、他方、実線は記録媒体近傍周辺温度が30℃の場合における参照光角度と再生光強度の関係を示すものであり、さらに、各一点鎖線は、記録時の参照光入射角度(記録媒体近傍周辺温度25℃)、記録媒体近傍周辺温度が25℃の場合における再生時の参照光入射角度の最適値、および記録媒体近傍周辺温度が30℃の場合における再生時の参照光入射角度の最適値をそれぞれ示すものである。なお、再生光強度が大きい、ということは再生データの劣化が少ないことを意味するものである。
【００３３】
記録時には、記録媒体の収縮により干渉縞歪みが生じるため、記録時と再生時の記録媒体近傍周辺温度が25℃で一定であったとしても、再生光強度が最大となる再生時の最適な参照光入射角度(最も右の一点鎖線の位置)は、記録時の参照光入射角度(最も左の一点鎖線の位置)と一致しない（図２参照）。さらに、記録媒体近傍周辺温度が30℃に上昇すると、記録媒体が膨張して干渉縞歪みが変化するため、再生光強度が最大になるときの参照光入射角度(真中の一点鎖線の位置)が変化することが示されている。
【００３４】
近傍周辺温度が30℃にも拘らず、25℃のときの最適な参照光入射角度(最も右の一点鎖線の位置)で再生すると、図２のグラフ中で点線を引いて示すように、再生光強度は約3.5となる。他方、30℃における最適な参照光入射角度(真中の一点鎖線の位置)における再生光強度は約6.0であり、参照光入射角度を適切に制御すると再生光強度は1.7倍になることがわかる。このように、記録媒体の近傍周辺温度に応じた参照光入射角度にて再生することにより再生光強度、すなわち再生データを改善することが可能となることが理解できる。
【００３５】
そこで、本実施形態装置においては、ホログラム記録媒体１１の配設位置の近傍に温度計２５を設け、再生時において、ホログラム記録媒体１１の近傍周辺温度を測定し、この測定結果に基づき、干渉縞歪みを補償するように、参照光のホログラム記録媒体１１への入射角度を変更すべく、計測制御装置２６が回転器２２を、所定角度だけ回転駆動せしめる。具体的には、計測制御装置２６が回転器２２の回転駆動モータ（図示せず）に対して回転器２２を所定角度だけ回転するように指示する。これによって、回転器２２の載設台上に載設された反射ミラー２１から反射された参照光の、ホログラム記録媒体１１への入射角度が変更されて、再生時において干渉縞歪みを補償することができる。ここで、「ホログラム記録媒体１１の配設位置の近傍」とは各種状況によっても異なるが、例えば、ホログラム記録媒体１１から１cm程度以内の距離とすることが好ましい。
【００３６】
したがって、この反射ミラー２１によって反射される参照光は、その進行方向（記録媒体入射角度）が上記指示信号に基づく回転器２２の回転角度位置により設定される。
【００３７】
なお、温度計２５は、例えば、サーミスタや熱電対などの周知の温度測定手段により構成される。
【００３８】
また、反射ミラー２１の替わりにデフォーマブルミラーや反射型液晶パネルなど、参照光の波面を変えることができる光学素子を用いてもよい。このような光学素子は、前述した特許文献２〜４や非特許文献１に示す局所的な干渉縞歪み、および前述した特許文献５に示す光学素子の歪みを補償することができる。
【００３９】
ところで、本実施形態においては、上述したように、上記温度の測定結果に基づき、参照光のホログラム記録媒体１１への入射角度を変更すべく、回転器２２を所定角度だけ回転駆動せしめるようにしているが、計測制御装置２６の回転器２２への指示は、ホログラム記録媒体１１の配設位置の近傍周辺温度と、干渉縞歪みを補償し得る、再生時における前記ホログラム記録媒体１１への参照光の入射角度との関係に基づくように構成することが肝要である。この場合において、このような関係を、再生時よりも前に予め求めておくことにより、再生時の処理を迅速に行なうことができる。
【００４０】
ここで、再生時における、上記参照光の入射角度を制御する処理の流れの一例を簡単に説明すると、まず、温度計２５によりホログラム記録媒体１１の近傍周辺温度を測定する。次に、予め計測制御装置２６のメモリ内に格納しておいた、温度と参照光入射角度との上記関係テーブルを読み出し、この関係テーブルと上記測定結果とに基づき、干渉縞歪みを補償し得る、最適な参照光入射角度を求める。次に、計測制御装置２６により求められた最適な参照光入射角度の情報が、回転器２２に指示され、その回転角度位置が設定される。以後、この回転角度の位置制御を繰返し行なう。
【００４１】
これにより、ホログラム記録媒体１１への参照光が、常に最適な角度にて入射するように調整される。このような手法によれば、再生中に温度が変わることがあっても、測定した温度をフィードバックすることにより、常に最適な参照光入射角度に調整することができる。
【００４２】
また、この求めておいた関係をテーブル化して（または数式化して）おき、それを、例えば計測制御装置２６内のメモリに格納しておき、再生時に、温度計２５による測定結果と当該記憶させておいた関係テーブル（または数式）に基づき、参照光の前記ホログラム記録媒体１１への入射角度を決定するようにしてもよい。また、ホログラム記録媒体１１を作製した際に、上記関係テーブル（または数式）も当該ホログラム記録媒体１１に記録しておき、再生時において、当該ホログラム記録媒体１１をホログラム再生装置の記録媒体保持部（チャッキング部）に装着した際に、該関係テーブル（または数式）を読み出して、計測制御装置２６内に保存すれば、各ホログラム記録媒体１１個々の特性にも対応することができ、より好ましい。
【００４３】
上述した、ホログラム記録媒体１１の配設位置の近傍周辺温度と、干渉縞歪みを補償し得る、再生時におけるホログラム記録媒体１１への参照光の入射角度との関係は、本願発明者の実験によれば、上記近傍周辺温度（℃）を横軸に、上記参照光の入射角度（度）を縦軸にとれば、図３に示すように、略直線的であることが明らかとなっている。そこで、この関係を得るための測定回数は２回とし、この２点を結ぶ直線を（必要ならばその外挿線を加えて）上記関係を表すグラフとし、このグラフに基づいて、上記関係テーブル（または数式）を作成すればよい。これにより、簡便に上記関係テーブルを得ることができる。勿論、上記関係を得るための測定回数は３回以上とし、複数点を通る近似曲線を得る周知の手法（スプライン関数などによるフィッティング手法）により上記関係を表すグラフ、さらには関係テーブル（または数式）を求めることも可能である。
【００４４】
また、ホログラム記録媒体１１が互いに同種の材料により形成されていたとしてもホログラム記録媒体１１の個体差等により、上記温度と上記参照光入射角度の関係が一致しないことがある。この場合には、まずは、求めた上記関係を用いて、その段階での最適な参照光角度を設定し、その後、照射する参照光角度を微調整して再生像を測定し、最終的な参照光入射角度を算出することが好ましい。
【００４５】
このような手法をとることにより、各記録領域毎に逐一最適な参照光の入射角度を求める場合よりも、処理時間を短縮することができる。
【００４６】
なお、本発明のホログラム再生装置およびホログラム記録再生装置としては上記実施形態のものに限られるものではなく、その他の種々の態様の変更が可能である。例えば、装置の光学系を構成する部材の配置としては、必ずしも上記実施形態のものに限られるものではない。また、例えば、参照光入射角度変更手段としては、上述した回転器に替えて、ガルバノメータミラー、電気光学変調素子あるいは音響光学変調素子等を用いることが可能である。
【符号の説明】
【００４７】
１、１０１      レーザ光源
２、１０２      発散レンズ
３、１０３      コリメートレンズ
４、１０４      半波長板
５、１０５      ミラー
６、７、１０６、１０７      偏光ビームスプリッタ
８、１０８      空間光変調素子
９、２０、１０９、１２０      シャッタ
１０、１２、２３、２４、１１０、１１２、１２３、１２４      レンズ
１１、１１１      ホログラム記録媒体
１４、１１４      ＣＣＤ
２１、１２１      反射ミラー
２２              回転器
２５              温度計
２６              計測制御装置
【図１】
2011181139.tif 000003
【図２】
2011181139.tif 000004
【図３】
2011181139.tif 000005
【図４】
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