(57)【要約】【課題】製造コストの低減及び検査精度の向上を図ることができるスプリングプローブを製造する。【解決手段】この製造方法では、導電性を有する基板１０に打ち抜き加工及び曲げ加工を適宜施すことで、筒状スリーブ２と、この筒状スリーブ２の一端部に出没自在に設けられた被検査体接触用の第１端子３と、筒状スリーブ２の他端部に出没自在に設けられた検査用回路接続用の第２端子４と、筒状スリーブ２に内装されて、第１端子３及び第２端子４をそれぞれ付勢する一対のコイル状スプリング５、５とを一体成形したスプリングプローブ１を製造する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
筒状スリーブ（２）と、この筒状スリーブ（２）の一端部に設けられた被検査体接触用の第１端子（３）と、上記筒状スリーブ（２）に内装されて、上記第１端子（３）を付勢するコイル状スプリング（５）（３１）とを一体成形してなるスプリングプローブ（１）（２０）（３０）（４０）の製造方法であって、導電性を有する基板（１０）に打ち抜き加工を施して、スリーブ成形部（１１）、このスリーブ成形部（１１）から折曲境界部（１２）を介して延出したスプリング成形部（１３）（３２）、このスプリング成形部（１３）（３２）の先端部分を拡張してなる第１端子成形部（１４）をそれぞれ同一平面上に形成する第１工程と、上記第１端子成形部（１４）に曲げ加工を施して、上記第１端子（３）を成形する第２工程と、上記スプリング成形部（１３）（３２）に曲げ加工を施して、上記コイル状スプリング（５）（３１）を成形するとともに、上記折曲境界部（１２）を折り曲げて、上記コイル状スプリング（５）（３１）の中心軸を上記筒状スリーブ（２）の仮想軸芯（Ｐ）に沿わせるようにして、上記スリーブ成形部（１１）と上記コイル状スプリング（５）（３１）とを重ね合わせる第３工程と、上記スリーブ成形部（１１）に曲げ加工を施して、上記第１端子（３）の根元部及び上記コイル状スプリング（５）（３１）を包み込むように上記筒状スリーブ（２）を成形する第４工程とを含むことを特徴とするスプリングプローブの製造方法。
【請求項２】
上記第１工程において、上記スプリング成形部（１３）を直状帯形に形成するとともに、上記第３工程において、上記スプリング成形部（１３）の表裏面（１３ａ）（１３ｂ）のうちの一方の面（１３ａ）がスプリング内周面を構成し、他方の面（１３ｂ）がスプリング外周面を構成する螺旋形状となるように、上記スプリング成形部（１３）に曲げ加工を施した請求項１記載のスプリングプローブの製造方法。
【請求項３】
上記第１工程において、上記スプリング成形部（１３）を、上記筒状スリーブ（２）の仮想軸芯（Ｐ）に対して斜め方向に延出するように形成するとともに、上記第３工程において、上記スプリング成形部（１３）を、その長手方向に等間隔をあけた複数箇所において上記筒状スリーブ（２）の仮想軸芯（Ｐ）に対して平行に曲げるようにした請求項２記載のスプリングプローブの製造方法。
【請求項４】
上記第１工程において、上記スプリング成形部（３２）を、波状帯形で、その各頂部（３３）・・の幅寸法が頂部（３３）・・間を連結する連結部（３４）・・の幅寸法よりも大となるにように形成するとともに、上記第３工程において、上記スプリング成形部（３２）の各頂部（３３）・・が捻られて、上記連結部（３４）・・の表裏面（３４ａ）（３４ｂ）うちの一方の面（３４ａ）がスプリング内外周面を半ピッチ毎に交互に構成し、他方の面（３４ｂ）がスプリング内外周面を半ピッチ毎に交互に構成する螺旋形状となるように、上記スプリング成形部（３２）に曲げ加工を施した請求項１記載のスプリングプローブの製造方法。
【請求項５】
上記スプリングプローブ（２０）（４０）においては、上記筒状スリーブ（２）の他端部に検査用回路接続用の第２端子（４）が設けられ、上記第４工程において、上記筒状スリーブ（２）の他端部を上記第２端子（４）として成形する請求項１乃至４のいずれかに記載のスプリングプローブの製造方法。
【請求項６】
筒状スリーブ（２）と、この筒状スリーブ（２）の一端部に設けられた被検査体接触用の第１端子（３）と、上記筒状スリーブ（２）の他端部に設けられた検査用回路接続用の第２端子（４）と、上記筒状スリーブ（２）に内装されて、上記第１端子（３）及び第２端子（４）をそれぞれ付勢する一対のコイル状スプリング（５）（５）（３１）（３１）とを一体成形してなるスプリングプローブ（１）（３０）の製造方法であって、導電性を有する基板（１０）に打ち抜き加工を施して、スリーブ成形部（１１）、このスリーブ成形部（１１）から折曲境界部（１２）を介して延出した一対のスプリング成形部（１３）（１３）（３２）（３２）、一方のスプリング成形部（１３）（３２）の先端部分を拡張してなる第１端子成形部（１４）、他方のスプリング成形部（１３）（３２）の先端部分を拡張してなる第２端子成形部（１５）をそれぞれ同一平面上に形成する第１工程と、上記第１端子成形部（１４）及び第２端子成形部（１５）に曲げ加工を施して、上記第１端子（３）及び第２端子（４）を成形する第２工程と、上記一対のスプリング成形部（１３）（１３）（３２）（３２）に曲げ加工を施して、上記一対のコイル状スプリング（５）（５）（３１）（３１）を成形するとともに、上記折曲境界部（１２）を折り曲げて、上記一対のコイル状スプリング（５）（５）（３１）（３１）の中心軸を上記筒状スリーブ（２）の仮想軸芯（Ｐ）に沿わせるようにして、上記スリーブ成形部（１１）と上記一対のコイル状スプリング（５）（５）（３１）（３１）とを重ね合わせる第３工程と、上記スリーブ成形部（１１）に曲げ加工を施して、上記第１端子（３）及び第２端子（４）のそれぞれの根元部及び上記一対のコイル状スプリング（５）（５）（３１）（３１）を包み込むように上記筒状スリーブ（２）を成形する第４工程とを含むことを特徴とするスプリングプローブの製造方法。
【請求項７】
上記第１工程において、上記一対のスプリング成形部（１３）（１３）を直状帯形にそれぞれ形成するとともに、上記第３工程において、上記一対のスプリング成形部（１３）（１３）の表裏面（１３ａ）（１３ｂ）・・のうちの一方の面（１３ａ）（１３ａ）がスプリング内周面を構成し、他方の面（１３ｂ）（１３ｂ）がスプリング外周面を構成する螺旋形状となるように、上記一対のスプリング成形部（１３）（１３）に曲げ加工を施した請求項６記載のスプリングプローブの製造方法。
【請求項８】
上記第１工程において、上記一対のスプリング成形部（１３）（１３）を、上記筒状スリーブ（２）の仮想軸芯（Ｐ）に対して直交する線（Ｑ）を中心とした左右対称のＶ字状に形成するとともに、上記第３工程において、上記一対のスプリング成形部（１３）（１３）を、その長手方向に等間隔をあけた複数箇所において上記筒状スリーブ（２）の仮想軸芯（Ｐ）に対して平行に曲げるようにした請求項７記載のスプリングプローブの製造方法。
【請求項９】
上記第１工程において、上記一対のスプリング成形部（３２）（３２）を、波状帯形で、その各頂部（３３）・・の幅寸法が頂部（３３）・・間を連結する連結部（３４）・・の幅寸法よりも大となるにようにそれぞれ形成するとともに、上記第３工程において、上記一対のスプリング成形部（３２）（３２）の各頂部（３３）・・が捻られて、上記連結部（３４）・・の表裏面（３４ａ）（３４ｂ）・・うちの一方の面（３４ａ）（３４ａ）がスプリング内外周面を半ピッチ毎に交互に構成し、他方の面（３４ｂ）（３４ｂ）がスプリング内外周面を半ピッチ毎に交互に構成する螺旋形状となるように、上記一対のスプリング成形部（３２）（３２）に曲げ加工を施した請求項６記載のスプリングプローブの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体部品やプリント配線基板等の電気的特性を検査する際に用いられるスプリングプローブに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ＩＣやＬＳＩ等の半導体部品は、ウエハ上に形成された段階、パッケージ化された段階等の各製造段階において電気的特性が検査されて、良品、不良品の選別がなされている。このような電気的特性を検査する検査装置としては、プローブカードを備えたテスタ、ＩＣソケットが一般的に知られている。
【０００３】
プローブカードやＩＣソケットには、導電性を有する複数のコンタクトプローブが設けられており、それらコンタクトプローブを半導体部品の電極と検査用回路の電極との間に介在させて、これら電極間を通電状態とすることで、半導体部品の電気的特性を検査するようになっている。
【０００４】
この種のコンタクトプローブとして、例えば特許文献１や特許文献２にも開示されているようなスプリングプローブが知られている。スプリングプローブは、例えば図１７に示すように、筒状スリーブ５０と、この筒状スリーブ５０の一端部に出没自在に取り付けられた第１端子５１と、筒状スリーブ５０の他端部に出没自在に取り付けられた第２端子５２と、筒状スリーブ５０に内装されて、第１端子５１及び第２端子５２を突出方向に付勢するコイル状スプリング５３とを備えている。そして、第１端子５１を、半導体部品の電極に接触させるとともに、第２端子５２を、検査用回路の電極に接続して、これら端子５１、５２をスプリング５３の付勢力によって両電極に安定的に押し付けることで、電極間の通電状態を良好に維持するようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００６−１９４８０３号公報
【特許文献２】特開２００４−３４０８６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来のスプリングプローブにおいては、筒状スリーブ、第１端子及び第２端子、スプリングといった各構成部品をそれぞれ別体で製作して、これら各構成部品を手作業で組み立てることによって製造されているので、製造効率が悪く、製造コストが高いといった不具合があった。
【０００７】
また、従来のスプリングプローブでは、別体の各構成部品が互いに接触し合って導通経路を構成するが、これら接触部分において電気抵抗が大きくなって、プローブ全体としての電気的特性が不安定になり易く、検査精度に悪影響を及ぼすといった不具合もあった。
【０００８】
この発明は、上記従来の課題を解決するためになされたものであって、その目的は、製造コストの低減及び検査精度の向上を図ることができるスプリングプローブの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明のスプリングプローブの製造方法は、筒状スリーブ２と、この筒状スリーブ２の一端部に設けられた被検査体接触用の第１端子３と、上記筒状スリーブ２に内装されて、上記第１端子３を付勢するコイル状スプリング５、３１とを一体成形してなるスプリングプローブ１、２０、３０、４０を製造するものであって、導電性を有する基板１０に打ち抜き加工を施して、スリーブ成形部１１、このスリーブ成形部１１から折曲境界部１２を介して延出したスプリング成形部１３、３２、このスプリング成形部１３、３２の先端部分を拡張してなる第１端子成形部１４をそれぞれ同一平面上に形成する第１工程と、上記第１端子成形部１４に曲げ加工を施して、上記第１端子３を成形する第２工程と、上記スプリング成形部１３、３２に曲げ加工を施して、上記コイル状スプリング５、３１を成形するとともに、上記折曲境界部１２を折り曲げて、上記コイル状スプリング５、３１の中心軸を上記筒状スリーブ２の仮想軸芯Ｐに沿わせるようにして、上記スリーブ成形部１１と上記コイル状スプリング５、３１とを重ね合わせる第３工程と、上記スリーブ成形部１１に曲げ加工を施して、上記第１端子３の根元部及び上記コイル状スプリング５、３１を包み込むように上記筒状スリーブ２を成形する第４工程とを含むことを特徴とする。
【００１０】
また、上記第１工程において、上記スプリング成形部１３を直状帯形に形成するとともに、上記第３工程において、上記スプリング成形部１３の表裏面１３ａ、１３ｂのうちの一方の面１３ａがスプリング内周面を構成し、他方の面１３ｂがスプリング外周面を構成する螺旋形状となるように、上記スプリング成形部１３に曲げ加工を施している。
【００１１】
さらに、上記第１工程において、上記スプリング成形部１３を、上記筒状スリーブ２の仮想軸芯Ｐに対して斜め方向に延出するように形成するとともに、上記第３工程において、上記スプリング成形部１３を、その長手方向に等間隔をあけた複数箇所において上記筒状スリーブ２の仮想軸芯Ｐに対して平行に曲げるようにしている。
【００１２】
また、上記第１工程において、上記スプリング成形部３２を、波状帯形で、その各頂部３３・・の幅寸法が頂部３３・・間を連結する連結部３４・・の幅寸法よりも大となるにように形成するとともに、上記第３工程において、上記スプリング成形部３２の各頂部３３・・が捻られて、上記連結部３４・・の表裏面３４ａ、３４ｂうちの一方の面３４ａがスプリング内外周面を半ピッチ毎に交互に構成し、他方の面３４ｂがスプリング内外周面を半ピッチ毎に交互に構成する螺旋形状となるように、上記スプリング成形部３２に曲げ加工を施している。
【００１３】
そして、上記スプリングプローブ２０、４０においては、上記筒状スリーブ２の他端部に検査用回路接続用の第２端子４が設けられ、上記第４工程において、上記筒状スリーブ２の他端部を上記第２端子４として成形している。
【００１４】
より具体的な製造方法は、筒状スリーブ２と、この筒状スリーブ２の一端部に設けられた被検査体接触用の第１端子３と、上記筒状スリーブ２の他端部に設けられた検査用回路接続用の第２端子４と、上記筒状スリーブ２に内装されて、上記第１端子３及び第２端子４をそれぞれ付勢する一対のコイル状スプリング５、５、３１、３１とを一体成形してなるスプリングプローブ１、３０を製造するものであって、導電性を有する基板１０に打ち抜き加工を施して、スリーブ成形部１１、このスリーブ成形部１１から折曲境界部１２を介して延出した一対のスプリング成形部１３、１３、３２、３２、一方のスプリング成形部１３、３２の先端部分を拡張してなる第１端子成形部１４、他方のスプリング成形部１３、３２の先端部分を拡張してなる第２端子成形部１５をそれぞれ同一平面上に形成する第１工程と、上記第１端子成形部１４及び第２端子成形部１５に曲げ加工を施して、上記第１端子３及び第２端子４を成形する第２工程と、上記一対のスプリング成形部１３、１３、３２、３２に曲げ加工を施して、上記一対のコイル状スプリング５、５、３１、３１を成形するとともに、上記折曲境界部１２を折り曲げて、上記一対のコイル状スプリング５、５、３１、３１の中心軸を上記筒状スリーブ２の仮想軸芯Ｐに沿わせるようにして、上記スリーブ成形部１１と上記一対のコイル状スプリング５、５、３１、３１とを重ね合わせる第３工程と、上記スリーブ成形部１１に曲げ加工を施して、上記第１端子３及び第２端子４のそれぞれの根元部及び上記一対のコイル状スプリング５、５、３１、３１を包み込むように上記筒状スリーブ２を成形する第４工程とを含む。
【００１５】
また、上記第１工程において、上記一対のスプリング成形部１３、１３を直状帯形にそれぞれ形成するとともに、上記第３工程において、上記一対のスプリング成形部１３、１３の表裏面１３ａ、１３ｂ・・のうちの一方の面１３ａ、１３ａがスプリング内周面を構成し、他方の面１３ｂ、１３ｂがスプリング外周面を構成する螺旋形状となるように、上記一対のスプリング成形部１３、１３に曲げ加工を施している。
【００１６】
さらに、上記第１工程において、上記一対のスプリング成形部１３、１３を、上記筒状スリーブ２の仮想軸芯Ｐに対して直交する線Ｑを中心とした左右対称のＶ字状に形成するとともに、上記第３工程において、上記一対のスプリング成形部１３、１３を、その長手方向に等間隔をあけた複数箇所において上記筒状スリーブ２の仮想軸芯Ｐに対して平行に曲げるようにしている。
【００１７】
また、上記第１工程において、上記一対のスプリング成形部３２、３２を、波状帯形で、その各頂部３３・・の幅寸法が頂部３３・・間を連結する連結部３４・・の幅寸法よりも大となるにようにそれぞれ形成するとともに、上記第３工程において、上記一対のスプリング成形部３２、３２の各頂部３３・・が捻られて、上記連結部３４・・の表裏面３４ａ、３４ｂ・・うちの一方の面３４ａ、３４ａがスプリング内外周面を半ピッチ毎に交互に構成し、他方の面３４ｂ、３４ｂがスプリング内外周面を半ピッチ毎に交互に構成する螺旋形状となるように、上記一対のスプリング成形部３２、３２に曲げ加工を施している。
【発明の効果】
【００１８】
この発明においては、基板に打ち抜き加工や曲げ加工等を施して、各構成部品を一体成形したスプリングプローブを製造しているので、従来のような手作業による各構成部品の組立作業を不要として、製造効率を高めて、製造コストの低減を図ることができる。
【００１９】
しかも、各構成部品が一体に繋がって導通経路を構成することになるから、電気抵抗を小さく抑えて、電気的特定を安定させることができ、これによって検査精度の向上を図ることができる。
【００２０】
また、直状帯形のスプリング成形部に曲げ加工を施して、その表裏面のうちの一方の面がスプリング内周面を構成し、他方の面がスプリング外周面を構成する螺旋形状のコイル状スプリングを成形することで、このコイル状スプリングにおいては、全長に亘って小さな塑性変形が略均等に生じているだけであって、捻り等の塑性変形の激しい箇所がなく、亀裂や破断等の少ない耐久性に優れたものとなり、これによって製品寿命を延ばすことができる。
【００２１】
さらに、波状帯形で、その各頂部の幅寸法を広くして補強したスプリング成形部に曲げ加工を施して、各頂部が捻られた螺旋形状のコイル状スプリングを成形することで、このコイル状スプリングにおいては、塑性変形の激しい捻り箇所が生じているが、これら捻り箇所は強度が高められた箇所（各頂部に相当する箇所）であるから、亀裂や破断等の少ない耐久性に優れたものとなり、これによって製品寿命を延ばすことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】この発明の第１実施形態に係る製造方法によって製造したスプリングプローブの正面図である。
【図２】各工程を順次実行したときの基板の状態を示す図である。
【図３】各工程を順次実行したときの基板の状態を示す図である。
【図４】第１工程によって形成された各部を示す図である。
【図５】コイル状スプリングの斜視図である。
【図６】第２実施形態に係る製造方法によって製造したスプリングプローブの正面図である。
【図７】各工程を順次実行したときの基板の状態を示す図である。
【図８】各工程を順次実行したときの基板の状態を示す図である。
【図９】第３実施形態に係る製造方法によって製造したスプリングプローブの正面図である。
【図１０】各工程を順次実行したときの基板の状態を示す図である。
【図１１】各工程を順次実行したときの基板の状態を示す図である。
【図１２】第１工程によって形成された各部を示す図である。
【図１３】コイル状スプリングの斜視図である。
【図１４】第４実施形態に係る製造方法によって製造したスプリングプローブの正面図である。
【図１５】各工程を順次実行したときの基板の状態を示す図である。
【図１６】各工程を順次実行したときの基板の状態を示す図である。
【図１７】従来のスプリングプローブの正面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
（第１実施形態）
この発明の第１実施形態に係る製造方法によって製造されるスプリングプローブ１は、図１に示すように、筒状スリーブ２と、この筒状スリーブ２の一端部に出没自在に設けられた被検査体接触用の第１端子３と、筒状スリーブ２の他端部に出没自在に設けられた検査用回路接続用の第２端子４と、筒状スリーブ２に内装されて、第１端子３及び第２端子４をそれぞれ突出方向に付勢する一対のコイル状スプリング５、５とを一体成形してなる。なお、筒状スリーブ２の両端部は、先細り状に形成されていて、筒状スリーブ２からの第１端子３及び第２端子４の脱出を規制するようになっている。
【００２４】
このスプリングプローブ１は、例えばプローブカードを備えたテスタ、ＩＣソケット等の検査装置に装着されて、その第１端子３を、半導体部品等の被検査体の電極に接触させるとともに、第２端子４を、検査装置側の検査用回路の電極に接続して、これら端子３、４をスプリング５、５の付勢力によって両電極に安定的に押し付けることで、電極間の通電状態を良好に維持するようになっている。なお、スプリングプローブ１は、その全長が例えば１〜５０ｍｍ、筒状スリーブ２の直径が例えば０．２〜５ｍｍといった極小サイズとされている。
【００２５】
以下、このスプリングプローブ１の製造方法について説明する。この製造方法においては、順送型による自動組立て方式を採用しており、例えばベリリウム銅製又はベリリウムニッケル製の高硬度で導電性に優れた薄肉帯状の基板１０を、その長手方向に搬送しながら、基板１０に対して各工程を順次実行することで、大量のスプリングプローブ１・・を連続して製造可能となっている。
【００２６】
図２及び図３は、各工程を順次実行したときの基板１０の状態を示している。まず、第１工程において、基板１０に打ち抜き加工を施して、略長方形状のスリーブ成形部１１、このスリーブ成形部１１の長手方向の一端部中央から折曲境界部１２を介して延出した一対の直状帯形のスプリング成形部１３、１３、一方のスプリング成形部１３の先端部分を拡張してなる略長方形状の第１端子成形部１４、他方のスプリング成形部１３の先端部分を拡張してなる略長方形状の第２端子成形部１５をそれぞれ同一平面上に形成する。
【００２７】
このとき、基板１０の各成形部１１〜１５以外の部分と各成形部１１〜１５とが、スリーブ成形部１１の短手方向の両端部中央から延出した連結部１６、１６を介して連結した状態となっている。また、一対のスプリング成形部１３、１３は、図４に示すように、筒状スリーブ２の仮想軸芯Ｐに対して直交する線Ｑを中心とした左右対称のＶ字状に形成されている。なお、一対のスプリング成形部１３、１３は、必ずしも左右対称に形成する必要はなく、左右非対称であっても良い。さらに、第１端子成形部１４においては、第１端子３の先端部分に相当する端部が鋸歯状に形成されており、第２端子成形部１５においては、第２端子４の先端部分に相当する端部が鋸歯状に形成されている。なお、必ずしも鋸歯状に形成する必要はなく、例えば第１端子３や第２端子４の先端部分を円錐状にしたければ、第１端子成形部１４や第２端子成形部１５の上記端部を略三角形状に形成すれば良い。
【００２８】
続いて、第２工程において、第１端子成形部１４及び第２端子成形部１５に曲げ加工を施して、第１端子成形部１４及び第２端子成形部１５を筒状に丸めることで、第１端子３及び第２端子４を成形する。
【００２９】
続いて、第３工程において、一対のスプリング成形部１３、１３に曲げ加工を施して、一対のコイル状スプリング５、５を成形するとともに、スリーブ成形部１１と一対のスプリング成形部１３、１３との間の折曲境界部１２を折り曲げて、一対のコイル状スプリング５、５の中心軸を筒状スリーブ２の仮想軸芯Ｐに沿わせるようにして、スリーブ成形部１１と一対のコイル状スプリング５、５とを重ね合わせる。なお、折曲境界部１２の形状を適宜変更することで、成形するコイル状スプリング５、５のバネ常数を任意に設定することが可能となり、また折曲境界部１２の各角部分を円弧状に形成することによって、応力集中を抑制して折損を防ぐことができる。
【００３０】
具体的に、第３工程における曲げ加工に際しては、図５に示すように、一対のスプリング成形部１３、１３の表面１３ａ、１３ａがスプリング内周面を構成し、裏面１３ｂ、１３ｂがスプリング外周面を構成する螺旋形状となるように、一対のスプリング成形部１３、１３を、その長手方向に等間隔をあけた複数箇所において筒状スリーブ２の仮想軸芯Ｐに対して平行に曲げる（図４に示す筒状スリーブ２の仮想軸芯Ｐに対して平行な線Ｒに沿って下向きに湾曲させる）ようにしている。
【００３１】
続いて、第４工程において、スリーブ成形部１１に曲げ加工を施して、スリーブ成形部１１を筒状に丸めることで、第１端子３及び第２端子４のそれぞれの根元部及び一対のコイル状スプリング５、５を包み込むように筒状スリーブ２を成形する。
【００３２】
そして、第５工程において、焼入れ及び焼戻しを行って、一対のコイル状スプリング５、５を含めた製品全体に硬さと粘り強さを与えた後、第１端子３及び第２端子４をコイル状スプリング５、５の付勢力に抗して筒状スリーブ２内に押し込んだ状態で、筒状スリーブ２の両端部にカーリング加工を施して、筒状スリーブ２の両端部を先細り状に成形する。最後に、第６工程において、連結部１６、１６を切断して、製品すなわち図１に示すスプリングプローブ１を切り離す。なお、スプリングプローブ１を切り離したときには、第１端子３及び第２端子４の押し込みが解除されて、第１端子３及び第２端子４がコイル状スプリング５、５の付勢力によって突出方向に常時付勢された状態で、筒状スリーブ２の両端部から突出する。以上の各工程を、搬送される基板１０に対して順次実行することで、各構成部品２〜５が一体成形されたスプリングプローブ１が連続的に製造される。
【００３３】
このように、基板１０に打ち抜き加工や曲げ加工等を施して、各構成部品２〜５を一体成形したスプリングプローブ１を製造しているので、従来のような手作業による各構成部品の組立作業を不要として、製造効率を高めて、製造コストの低減を図ることができる。
【００３４】
しかも、各構成部品２〜５が一体に繋がって導通経路を構成することになるから、電気抵抗を小さく抑えて、電気的特定を安定させることができ、これによって検査精度の向上を図ることができる。
【００３５】
また、一対のコイル状スプリング５、５は、その全長に亘って小さな塑性変形が略均等に生じているだけであって、捻り等の塑性変形の激しい箇所がなく、亀裂や破断等の少ない耐久性に優れたものとすることができる。しかも、一対のコイル状スプリング５、５は、剛性が高くて、伸縮時において筒状スリーブ２の軸芯に沿った直進性を良好に維持することから、撓みやふらつきによる筒状スリーブ２内周面への接触を低減して、電気抵抗のバラツキを抑制することができ、電気的特性をより一層安定させることができる。
【００３６】
さらに、筒状スリーブ２の長手方向中央において連結された一対のコイル状スプリング５、５によって、第１端子３と第２端子４を別々に付勢するようになっているので、単一の長いスプリングによって両端子を付勢するときと比べて、一対のコイル状スプリング５、５によってストロークを分担して、荷重を分散させることができ、長寿命化を期待できる。
【００３７】
（第２実施形態）
第２実施形態に係る製造方法によって製造されるスプリングプローブ２０は、図６に示すように、筒状スリーブ２の他端部が、検査用回路の電極に直接或いはコネクタや電気線等を介して接続される検査用回路接続用の第２端子４とされており、第１端子３のみが単一のコイル状スプリング５によって突出方向に付勢されている。
【００３８】
このスプリングプローブ２０の製造に際しては、図７及び図８に示すように、第１工程において、基板１０に打ち抜き加工を施して、略長方形状のスリーブ成形部１１、このスリーブ成形部１１の長手方向の一端部から折曲境界部１２を介して筒状スリーブ２の仮想軸芯Ｐに対して斜め方向に延出した単一の直状帯形のスプリング成形部１３、このスプリング成形部１３の先端部分を拡張してなる略長方形状の第１端子成形部１４をそれぞれ同一平面上に形成している。続いて、第２工程において、第１端子成形部１４に曲げ加工を施して、第１端子成形部１４を筒状に丸めることで、第１端子３を成形する。
【００３９】
続いて、第３工程において、スプリング成形部１３に曲げ加工を施して、コイル状スプリング５を成形するとともに、スリーブ成形部１１とスプリング成形部１３との間の折曲境界部１２を折り曲げて、コイル状スプリング５の中心軸を筒状スリーブ２の仮想軸芯Ｐに沿わせるようにして、スリーブ成形部１１とコイル状スプリング５とを重ね合わせる。
【００４０】
続いて、第４工程において、スリーブ成形部１１に曲げ加工を施して、スリーブ成形部１１を筒状に丸めることで、第１端子３の根元部及コイル状スプリング５を包み込むように筒状スリーブ２を成形する。このとき、筒状スリーブ２の他端部が第２端子４として成形される。
【００４１】
そして、第５工程において、焼入れ及び焼戻しを行った後、第１端子３をコイル状スプリング５の付勢力に抗して筒状スリーブ２内に押し込んだ状態で、筒状スリーブ２の一端部にカーリング加工を施して、筒状スリーブ２の一端部を先細り状に成形する。最後に、第６工程において、連結部１６、１６を切断して、製品すなわち図６に示すスプリングプローブ２０を切り離すようにしている。
【００４２】
なお、その他の構成及び作用効果は、上記第１実施形態と同様であり、図６乃至図８において、第１実施形態と同様の機能を有する部材については同符号を付してある。
【００４３】
（第３実施形態）
第３実施形態に係る製造方法によって製造されるスプリングプローブ３０は、図９に示すように、第１実施形態に係るスプリングプローブ１と比べて、コイル状スプリング３１、３１の構造が異なっている。
【００４４】
このスプリングプローブ３０の製造に際しては、図１０及び図１１に示すように、第１工程において、基板１０に打ち抜き加工を施して、略長方形状のスリーブ成形部１１、このスリーブ成形部１１の長手方向の一端部中央から折曲境界部１２を介して筒状スリーブ２の仮想軸芯Ｐに沿って互いに相反する方向に延出した一対の波状帯形のスプリング成形部３２、３２、一方のスプリング成形部３２の先端部分を拡張してなる略長方形状の第１端子成形部１４、他方のスプリング成形部３２の先端部分を拡張してなる略長方形状の第２端子成形部１５をそれぞれ同一平面上に形成する。
【００４５】
一対のスプリング成形部３２、３２は、図１２に示すように、その略Ｕ字状の各頂部３３・・の幅寸法が頂部３３・・間を連結する略Ｉ字状の連結部３４・・の幅寸法よりも大となるにようにそれぞれ形成されていて、各頂部３３・・が補強された状態となっている。具体的には、頂部３３・・の外側湾曲部分を外側へ向けて拡張するとともに、頂部３３・・の内側湾曲部分を外側向けてやや抉り込むようにして、頂部３３・・の幅寸法が拡大されている。
【００４６】
そして、第３工程において、一対のスプリング成形部３２、３２に曲げ加工を施して、一対のコイル状スプリング３１、３１を成形するとともに、スリーブ成形部１１とスプリング成形部３２、３２との間の折曲境界部１２を折り曲げて、一対のコイル状スプリング３１、３１の中心軸を筒状スリーブ２の仮想軸芯Ｐに沿わせるようにして、スリーブ成形部１１と一対のコイル状スプリング３１、３１とを重ね合わせている。具体的に、曲げ加工に際しては、図１３に示すように、一対のスプリング成形部３２、３２の各頂部３３・・が捻られて、連結部３４・・の表面３４ａがスプリング内外周面を半ピッチ毎に交互に構成し、裏面３４ｂがスプリング内外周面を半ピッチ毎に交互に構成する螺旋形状となるように、一対のスプリング成形部３２、３２を曲げるようにしている。なお、一対のスプリング成形部３２、３２の各頂部３３・・の形状や幅寸法を適宜変更することで、成形するコイル状スプリング３１、３１のバネ常数を任意に設定することが可能となる。
【００４７】
このようにして成形したコイル状スプリング３１、３１においては、半ピッチ毎に捻られた状態となって、塑性変形の激しい箇所が生じているが、これら箇所はスプリング成形部３２、３２の各頂部３３・・に相当する強度が高められた箇所であるから、亀裂や破断等の少ない耐久性に優れたものとすることができる。
【００４８】
なお、その他の構成及び作用効果は、上記第１実施形態と同様であり、図９乃至図１３において、第１実施形態と同様の機能を有する部材については同符号を付してある。
【００４９】
（第４実施形態）
第４実施形態に係る製造方法によって製造されるスプリングプローブ４０は、図１４に示すように、第２実施形態に係るスプリングプローブ２０と同様に、筒状スリーブ２の他端部が、検査用回路の電極に直接或いはコネクタや電気線等を介して接続される検査用回路接続用の第２端子４とされており、第１端子３のみが単一のコイル状スプリング３１によって突出方向に付勢されている。そして、コイル状スプリング３１は、第３実施形態に係るスプリングプローブ３０のコイル状スプリング３１、３１と同様の構造となっている。
【００５０】
このスプリングプローブ４０の製造に際しては、図１５及び図１６に示すように、第１工程において、基板１０に打ち抜き加工を施して、略長方形状のスリーブ成形部１１、このスリーブ成形部１１の長手方向の一端部から折曲境界部１２を介して筒状スリーブ２の仮想軸芯Ｐに沿って延出した単一の波状帯形のスプリング成形部３２、このスプリング成形部３２の先端部分を拡張してなる略長方形状の第１端子成形部１４をそれぞれ同一平面上に形成している。続いて、第２工程において、第１端子成形部１４に曲げ加工を施して、第１端子成形部１４を筒状に丸めることで、第１端子３を成形する。
【００５１】
続いて、第３工程において、スプリング成形部３２に曲げ加工を施して、コイル状スプリング３１を成形するとともに、スリーブ成形部１１とスプリング成形部３２との間の折曲境界部１２を折り曲げて、コイル状スプリング３１の中心軸を筒状スリーブ２の仮想軸芯Ｐに沿わせるようにして、スリーブ成形部１１とコイル状スプリング３１とを重ね合わせる。
【００５２】
続いて、第４工程において、スリーブ成形部１１に曲げ加工を施して、スリーブ成形部１１を筒状に丸めることで、第１端子３の根元部及コイル状スプリング３１を包み込むように筒状スリーブ２を成形する。このとき、筒状スリーブ２の他端部が第２端子４として成形される。
【００５３】
そして、第５工程において、焼入れ及び焼戻しを行った後、第１端子３をコイル状スプリング３１の付勢力に抗して筒状スリーブ２内に押し込んだ状態で、筒状スリーブ２の一端部にカーリング加工を施して、筒状スリーブ２の一端部を先細り状に成形する。最後に、第６工程において、連結部１６、１６を切断して、製品すなわち図１４に示すスプリングプローブ４０を切り離すようにしている。
【００５４】
なお、その他の構成及び作用効果は、上記第１実施形態と同様であり、図１４  乃至図１６において、第１実施形態と同様の機能を有する部材については同符号を付してある。
【００５５】
以上にこの発明の具体的な実施形態について説明したが、この発明は上記実施形態に限定されるものではなく、この発明の範囲内で種々変更して実施することが可能である。
【符号の説明】
【００５６】
１、２０、３０、４０・・スプリングプローブ、２・・筒状スリーブ、３・・第１端子、４・・第２端子、５、３１・・コイル状スプリング、１０・・基板、１１・・スリーブ成形部、１２・・折曲境界部、１３、３２・・スプリング成形部、１３ａ・・スプリング成形部の表面、１３ｂ・・スプリング成形部の裏面、１４・・第１端子成形部、１５・・第２端子成形部、３３・・頂部、３４・・連結部、３４ａ・・連結部の表面、３４ｂ・・連結部の裏面、Ｐ・・仮想軸芯、Ｑ・・仮想軸芯に対して直交する線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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