(57)【要約】【課題】静磁界発生手段による静磁界が駆動コイルに効率よく作用するようにして、駆動効率を向上させたプレーナ型電磁アクチュエータ。【解決手段】固定部と、該固定部に対して一対のトーションバーにより回動可能に軸支された可動板と、通電により磁界を発生する駆動コイルとを備えたチップと、駆動コイルに静磁界を与える静磁界発生手段とを備えて構成したプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、駆動コイルは、可動板の周縁部にトーションバーの軸線に対して略対称に設けられ駆動電流が一方のトーションバー側から他方のトーションバー側に向かって通電される対称コイル部を有し、静磁界発生手段は、可動板の外から内、又は内から外のいずれか一方向に向かう静磁界が発生するように配置され、該静磁界が対称コイル部の全てに略垂直に交差するように、対称コイル部を形成して構成するとした。【選択図】図１
2011139603.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部と、該固定部に対して一対のトーションバーにより回動可能に軸支された可動板と、通電により磁界を発生する駆動コイルとを備えたチップと、前記駆動コイルに静磁界を与える静磁界発生手段とを備えて構成したプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、
前記駆動コイルは、前記可動板の周縁部に前記トーションバーの軸線に対して略対称に設けられ駆動電流が一方のトーションバー側から他方のトーションバー側に向かって通電される対称コイル部を有し、
前記静磁界発生手段は、前記可動板の外から内、又は内から外のいずれか一方向に向かう静磁界が発生するように配置され、
該静磁界が前記対称コイル部の全てに略垂直に交差するように、前記対称コイル部を形成して構成することを特徴とするプレーナ型電磁アクチュエータ。
【請求項２】
前記静磁界発生手段は、筒状に形成され、少なくとも前記可動板の周縁部を囲む様に設けられ、前記可動板の外から内の方向に向かう静磁界を前記対称コイル部に交差させることを特徴とする請求項１に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
【請求項３】
前記可動板の上面の中央にヨークを設けることを特徴とする請求項２に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
【請求項４】
前記チップを搭載するベース基板を設け、
前記静磁界発生手段を前記ベース基板の上面と前記チップの上面とに跨って載置する構成としたことを特徴とする請求項２又は３に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
【請求項５】
前記静磁界発生手段は、前記可動板の上面の中央に設けられ、前記可動板の内から外の方向に向かう静磁界を前記対称コイル部に交差させることを特徴とする請求項１に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
【請求項６】
筒状に形成されたヨークを少なくとも前記可動板の周縁部を囲む様に設けることを特徴とする請求項５に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
【請求項７】
前記チップを搭載するベース基板を設け、
前記筒状に形成されたヨークを前記ベース基板の上面と前記チップの上面とに跨って載置する構成としたことを特徴とする請求項５又は６に記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
【請求項８】
前記チップの前記可動板を、前記固定部に一対の外側トーションバーを介して回動可能に軸支される枠状の外側可動板と、該外側可動板に前記外側トーションバーと軸方向が直角な一対の内側トーションバーを介して回動可能に軸支される内側可動板とで構成し、
前記駆動コイルを、前記外側可動板駆動用の外側駆動コイルと前記内側可動板駆動用の内側駆動コイルとで構成し、
前記外側駆動コイルは、前記外側可動板の周縁部に前記外側トーションバーの軸線に対して略対称に設けられ駆動電流が一方の外側トーションバー側から他方の外側トーションバー側への方向に通電される外側対称コイル部有し、
前記内側駆動コイルは、前記内側可動板の周縁部に前記内側トーションバーの軸線に対して略対称に設けられ駆動電流が一方の内側トーションバー側から他方の内側トーションバー側への方向に通電される外側対称コイル部有し、
前記静磁界発生手段の静磁界が前記外側対称コイル部及び内側対称コイル部の全てに略垂直に交差するように、該外側対称コイル部及び内側対称コイル部を形成することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１つに記載のプレーナ型電磁アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータチップと静磁界発生手段とを備えローレンツ力を利用するプレーナ型電磁アクチュエータに関し、特に、静磁界発生手段による静磁界がアクチュエータチップの駆動コイルに効率よく作用するようにしたプレーナ型電磁アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のプレーナ型電磁アクチュエータとしては、例えば特許文献１に記載された様に、半導体基板をエッチングして、固定部と、可動板と、固定部に可動板を回動可能に軸支するトーションバーとを一体形成し、可動板の周縁部に沿ってトーションバーの軸線に対して略対称に設けられ互いに同相の駆動電流が通電される一対の駆動コイルを設け、可動板の上下面のどちらか一方側に離隔して設けられ各駆動コイルに可動板の外から内、又は内から外のいずれか一方向に交差する静磁界を発生する静磁界発生手段（例えば永久磁石）を備え、駆動コイルに駆動電流を供給して、この駆動コイルに発生する磁界と静磁界発生手段の静磁界との相互作用により発生する回動力（ローレンツ力）を可動板の周縁部に沿った全ての辺に作用させ、可動板をトーションバーの軸回りに回動させる構成の、一次元プレーナ型電磁アクチュエータがある。このように、駆動コイルの可動板の周縁部に沿った全ての辺に回動力を作用させることで駆動効率（供給する駆動電流の大きさに対する回動力の大きさ等）を向上させている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−８９５０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、この種のプレーナ型電磁アクチュエータに対して、さらなる駆動効率の向上が求められている。例えば、従来と同じ大きさの駆動電流を供給した場合に、可動板に作用する回動力が従来より大きくなれば、駆動効率の向上が実現できる。一般に、回動力（ローレンツ力）の大きさは、駆動コイルに交差する静磁界のうち駆動コイルに供給される駆動電流が流れる方向と垂直な方向の磁界強度成分の大きさに比例して大きくなる。すなわち、駆動コイルと静磁界が交差する各点において、駆動コイルと静磁界がより垂直に交差するほど、静磁界の駆動コイルに垂直な方向の磁界強度成分が大きくなるため、回動力は大きくなる。したがって、駆動効率の向上を図るには、静磁界発生手段から発生する静磁界が駆動コイルに可能な限り垂直に交差するようにするとよい。
【０００５】
しかしながら、従来のこの種のプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、駆動コイルは、静磁界発生手段から発生する静磁界が単に可動板の外から内、又は内から外に交差するように形成されただけである。したがって、静磁界発生手段から発生する静磁界のうち駆動コイルに交差する静磁界が駆動コイルに垂直に交差しない部分、例えば、ロの字状に形成されたコイルの場合のコイルの角部等、が存在するため、駆動効率を向上させる余地が依然としてある。
【０００６】
本発明は、このような課題に着目してなされたもので、静磁界発生手段による静磁界が駆動コイルに効率よく作用するようにして、駆動効率を向上させたプレーナ型電磁アクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によるプレーナ型電磁アクチュエータは、固定部と、該固定部に対して一対のトーションバーにより回動可能に軸支された可動板と、通電により磁界を発生する駆動コイルとを備えたチップと、前記駆動コイルに静磁界を与える静磁界発生手段とを備えて構成したプレーナ型電磁アクチュエータにおいて、前記駆動コイルは、前記可動板の周縁部に前記トーションバーの軸線に対して略対称に設けられ駆動電流が一方のトーションバー側から他方のトーションバー側に向かって通電される対称コイル部を有し、前記静磁界発生手段は、前記可動板の外から内、又は内から外のいずれか一方向に向かう静磁界が発生するように配置され、該静磁界が前記対称コイル部の全てに略垂直に交差するように、前記対称コイル部を形成して構成する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明のプレーナ型電磁アクチュエータによれば、駆動コイルは、前記可動板の周縁部に前記トーションバーの軸線に対して略対称に設けられ駆動電流が一方のトーションバー側から他方のトーションバー側に向かって通電される対称コイル部を有し、静磁界発生手段は、可動板の外から内、又は内から外のいずれか一方向に向かう静磁界が発生するように配置され、この静磁界が対称コイル部の全てに略垂直に交差するように、対称コイル部を形成するので、従来のプレーナ型電磁アクチュエータと比較すると、従来と同じ大きさの駆動電流を供給した場合、駆動効率を従来よりも向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明による一次元駆動型のプレーナ型電磁アクチュエータの第１実施形態を示す図で、(ａ)は上面図、（ｂ）はＡ−Ａ’矢視断面図である。
【図２】上記第１実施形態における別の構成例を示す図で、(ａ)は要部上面図、（ｂ）は図１（ｂ）と同じＡ−Ａ’断面を示す要部断面図である。
【図３】上記第１実施形態における第１変形例を示す図で、(ａ)は上面図、（ｂ）は図１（ｂ）と同じＡ−Ａ’断面を示す図である。
【図４】上記第１実施形態における第２変形例を示す図で、図１（ｂ）と同じＡ−Ａ’断面を示す図である。
【図５】本発明による一次元駆動型のプレーナ型電磁アクチュエータの第２実施形態を示す図で、(ａ)は上面図、（ｂ）はＢ−Ｂ’矢視断面図である。
【図６】上記第２実施形態における別の構成例を示す図で、(ａ)は上面図、（ｂ）は図５（ｂ）と同じＢ−Ｂ’断面を示す断面図である。
【図７】上記１次元駆動型のプレーナ型電磁アクチュエータにおける駆動コイルの配線例を示した平面図である。
【図８】上記１次元駆動型のプレーナ型電磁アクチュエータにおける駆動コイルの配線例を示した平面図である。
【図９】本発明によるプレーナ型電磁アクチュエータの第３実施形態を示す図で、(ａ)は上面図、（ｂ）はＣ−Ｃ’矢視断面図である。
【図１０】上記２次元駆動型のプレーナ型電磁アクチュエータにおける駆動コイルの配線例を示した平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明に係るプレーナ型電磁アクチュエータの第１実施形態を示す図で、１次元駆動型の実施形態であり、図１(ａ)は上面図、図１（ｂ）はＡ−Ａ’矢視断面図である。
本実施形態のプレーナ型電磁アクチュエータ１は、チップ２と、静磁界発生手段３と、チップ２と静磁界発生手段３とを搭載するベース基板４と、を備えている。
【００１１】
前記チップ２は、従来と同様に、半導体基板をエッチングして、枠状の固定部５と、可動板６と、固定部５に可動板６を回動可能に軸支する一対のトーションバー７，７とを一体形成し、可動板６を駆動する駆動コイル８を備えて構成され、例えば、後述するベース基板４に接着剤等によって固定されている。図１（a）に示すように、固定部５は、例えば、四角の枠状に形成されている。なお、固定部５は、四角の枠状に限らず、例えば、円筒状に形成されていてもよい。可動板６は、例えば、円板状に形成されている。なお、可動板６は、円板状に限らず、後述する対称コイル部９，９が形成可能であれば、どのような形状でもよく、例えば、四角形状に形成されていてもよい。
【００１２】
チップ２の前記駆動コイル８は、通電により磁界を発生するものであり、可動板６の周縁部にトーションバー７，７の軸線に対して略対称に設けられ駆動電流（例えば、交流電流）が一方のトーションバー側から他方のトーションバー側に向かって通電される対称コイル部９，９を有して構成され、例えば、図１（a）に矢印で示す方向に駆動電流が流れている。
【００１３】
本実施形態において、前記対称コイル部９，９は、後述する静磁界発生手段３から発生する静磁界のうち、可動板６の外から内の方向に向かう静磁界が該対称コイル部９，９の全てに略垂直に交差するように形成され、例えば、図１（a）に示すように、円弧状にそれぞれ形成され、各円弧中心が可動板６の中心に一致するように敷設されている。
【００１４】
駆動コイル８は、例えば、対称コイル部９，９と、一対のトーションバー７，７の上面に敷設される接続配線部１０，１０と、駆動電流の入力側の対称コイル部９の終端部と他方の対称コイル部９の始端部を接続（図中黒丸で示す端部間の接続）して一本の配線路を形成させる中間コイル部１１とを備えて構成されている。そして、対称コイル部９，９と中間コイル部１１とで形成された配線路の両端部は、接続配線部１０，１０を介してチップ２の上面に設けられる電極パッド１２，１２に接続され、この電極パッド１２，１２を介して図示省略の外部の駆動回路内の電源とワイヤボンディング等の手段で電気的に接続されている。なお、中間コイル部１１は、例えば、可動板６の中心を通る様に直線状に配線されている。
【００１５】
また、チップ２は、従来と同様の半導体製造プロセスによって形成されている。以下に、チップ２の製造方法について概略説明する。まず、半導体基板に、例えば、スパッタリングによって導電材料を成膜し、これをエッチングによってパターニングして、前述の対称コイル部９，９を形成する。そして、各対称コイル部９，９の両端部以外の箇所に絶縁保護膜を形成する。次に、接続配線部１０，１０、中間コイル部１１及び電極パッド１２，１２を上記と同様にパターニングし、電極パッド１２，１２以外の箇所に最終保護膜を形成する。そして、前述したように、エッチングにより固定部５、可動板６及びトーションバー７，７を一体形成する。なお、前述の対称コイル部９，９の形成時に、接続配線部１０，１０、中間コイル部１１及び電極パッド１２，１２を形成し、上記と同様に電極パッド１２，１２以外の箇所に最終保護膜を形成してもよい。また、例えば、後述する図７（ａ）に示すように、中間コイル部１１が他の配線と交差する場合は、対称コイル部９，９の形成時に、接続配線部１０，１０及び電極パッド１２，１２を形成し、各対称コイル部９，９の両端部及び電極パッド１２，１２以外の箇所に絶縁保護膜を形成し、次に、他の配線と交差する中間コイル部１１を形成し、最後に、電極パッド１２，１２以外の箇所に最終保護膜を形成してもよい。
【００１６】
前記静磁界発生手段３は、駆動コイル８に与える静磁界を発生するものである。本実施形態において、静磁界発生手段３は、可動板６の外から内の方向に向かう静磁界であって、チップ２の上面に対して略平行で可動板６の周縁部の外側から可動板６の中心側に向かう静磁界が発生するように配置されている。具体的には、静磁界発生手段３は、筒状に形成され、チップ２の周縁部を囲む様に後述するベース基板４の上面に設けられ、可動板６の中心（図中、矢印で示す方向）に向かう静磁界を対称コイル部９，９に交差させるように構成されている。
【００１７】
本実施形態において、静磁界発生手段３は、上記のように筒状に形成され、例えば、図１に示すように、円筒状の永久磁石であり、円筒の内径面から円筒の中心に向かう静磁界を発生するように、円筒の内径面側をＮ極、外径面側をＳ極として磁化されている。この円筒の中心と可動板６の中心を合わせて、円筒状の永久磁石を後述するベース基板４上に、チップ２を囲む様に接着剤等により固定して配置する。筒状の静磁界発生手段３をこのように、磁化させて配置することにより、可動板６の外から内の方向に向かう静磁界であって、チップ２の上面に対して略平行で可動板６の周縁部の外側から可動板６の中心側に向かう静磁界を発生させることができる。
【００１８】
また、中間コイル部１１は前述した様に、可動板６の中心を通る様に直線状に配線されているため、中間コイル部１１は筒状の静磁界発生手段３（例えば、円筒状の永久磁石）の筒中心を通ることとなる。したがって、静磁界発生手段３から発生する静磁界のうち、可動板６の外から内の方向に向かう静磁界は、中間コイル部１１については可動板６の中心において交差する様になり、その結果、中間コイル部１１に作用する静磁界発生手段３からの静磁界は打ち消し合うため、中間コイル部１１には回動力（ローレンツ力）は作用しない。
【００１９】
前記ベース基板４は、チップ２を搭載するものであり、チップ２を接着剤等により固定させ配置している。また、ベース基板４には、可動板６の回動を許容する貫通孔１３が設けられている。尚、貫通孔ではなく可動板６の回動を許容する溝であってもよい。
【００２０】
次に、以上のような構成を有するプレーナ型電磁アクチュエータ１の動作について、図１に基づいて説明する。
【００２１】
まず、静磁界発生手段３は、可動板６の外から内の方向に向かう静磁界（図中矢印で示す）を発生し、この静磁界は、対称コイル部９，９の全てに略垂直に交差する。この状態において、図示しない前述の外部駆動回路は、対称コイル部９，９に駆動電流を一方のトーションバー７側から他方のトーションバー側に向かって通電し、対称コイル部９，９から磁界を発生させる。この対称コイル部９，９から発生する磁界と静磁界発生手段３から発生する静磁界との相互作用によりトーションバー７，７の軸線に対称な可動板６の両縁部に互いに逆方向の回動力（ローレンツ力）が発生し、トーションバー７，７を軸中心として可動板６が回動する。この回動動作に伴ってトーションバー７，７が捩られトーションバー７，７にばね力が発生し、このばね力と発生した回動力とが釣合う位置まで可動板６は回動する。駆動コイル８に交流電流を供給することで、可動板６を揺動駆動できる。
【００２２】
このように、本実施形態によるプレーナ型電磁アクチュエータ１においては、駆動コイル８は、対称コイル部９，９を有し、静磁界発生手段３は、可動板６の外から内の方向に向かう静磁界が発生するように配置され、この静磁界が対称コイル部９，９の全てに略垂直に交差するように、対称コイル部９，９を形成する。具体的には、静磁界発生手段３は、筒状に形成され、少なくとも可動板６の周縁部を囲む様にベース基板４の上面に設けられ、可動板６の外から内の方向に向かう静磁界を対称コイル部９，９に交差させる。これにより、対称コイル部９，９と静磁界が交差する全ての交差点において、静磁界は対称コイル部９，９に略垂直に交差することとなり、各交差点における静磁界の対称コイル部９，９に垂直な方向の磁界強度成分が最大となるため、上記全ての交差点において可動板６に作用させる回動力の大きさが最大になるようにすることができる。従って、従来と同じ大きさの駆動電流を供給した場合、可動板６に作用する回動力を、静磁界が駆動コイル８に可動板６の外から内に単に交差する従来の場合より大きくすることができるため、駆動効率が従来よりも向上したプレーナ型電磁アクチュエータ１を提供することができる。
【００２３】
図２は、第１実施形態における別の構成例の要部を示す図で、図２(ａ)は要部上面図、図２（ｂ）は、図１（ｂ）と同じＡ−Ａ’断面を示す要部断面図である。図示以外の構成は前述の実施形態と同じであるため、図示省略する。本構成例においては、可動板６にヨーク１４を設けて構成する。
【００２４】
前記ヨーク１４は、例えば、変圧器等の鉄心として使用されている磁性体からなり、スピーカ等に使用されている磁性体と比較して残留磁化及び保持力が小さい磁性体で製作された一般的なものであり、このヨーク１４自体に磁力線を集中させる機能を有している。ヨーク１４は、図２（ａ)に示すように、例えば、円板状に形成され、可動板６の上面の中央に、接着剤等によって固定して設けられる。このように、ヨーク１４を設けることによって、ヨーク１４を設けない場合の磁力線の様子をも示す図１（ａ)と本構成例の図２（ａ）とを比較して分かるように、本構成例においては、筒状の静磁界発生手段３からの磁力線を可動板６の中心方向により集中させることができる。したがって、筒状の静磁界発生手段３から発生する静磁界のうち、可動板６の中心に向かい対称コイル部９，９に交差する静磁界の強度を大きくすることができるため、図１（ａ)に示す構成例と比較すると、可動板６に作用する回動力を大きくでき、その結果、駆動効率をより向上させることができる。
【００２５】
なお、本構成例において、ヨーク１４は円板状に形成された場合で説明したが、ヨーク１４の形状は、このような形状に限らず、静磁界発生手段３から発生する静磁界のうち、可動板６の外から内の方向に向かう静磁界が各対称コイル部９，９の全てに略垂直に交差すれば、どのような形状であってもよく、例えば、矩形板状に形成してもよい。
【００２６】
なお、可動板６の外から内に向かう静磁界は、円板状のヨーク１４を使用した場合、可動板６の中心に向かうが、例えば、矩形板状のヨーク１４を使用する場合、可動板６の中心からずれてしまう部分が生じると考えられるため、このままでは、対称コイル部９，９に垂直に静磁場が交差しない部分が発生する。したがって、図２（ａ）と異なる形状のヨーク１４を使用する場合は、各対称コイル部９，９の全てに略垂直に静磁界が交差するように各対称コイル部９，９の形状を変えればよい。例えば、筒状の静磁界発生手段３とヨーク１４の具体的な形状等が分かれば、市販されている磁場解析ソフト等により、筒状の静磁界発生手段３からヨーク１４に向かう静磁界の向きを解析することができる。したがって、磁場解析ソフト等により筒状の静磁界発生手段３からヨーク１４に向かう静磁界の向きを解析し、その解析結果に基づいて、筒状の静磁界発生手段３の可動板６の外から内の方向に向かう静磁界が各対称コイル部９，９の全てに略垂直に交差するように各対称コイル部９，９の形状を決めればよい。例えば、長方形の板状にヨーク１４を形成した場合、ヨーク１４の各辺と静磁界発生手段３に挟まれた部分の各対称コイル部９，９は、図２（ａ）と比較するとより直線的に形成され、ヨーク１４の角部と静磁界発生手段３に挟まれた部分の各対称コイル部９，９は、より曲率半径が小さくなるように形成され、各対称コイル９，９全体としては楕円状に形成される。
【００２７】
また、本構成例においては、ヨーク１４は、可動板６に接着剤等によって固定して配置される場合で説明したが、この様に配置される場合に限らず、筒状の静磁界発生手段３からの磁力線を可動板６の中心方向により集中させることが可能であれば、どのように配置されてもよい。例えば、ヨーク１４を、可動板６の中央の上方に離間して、図示しない別の部材で固定して配置してもよい。
【００２８】
図３は、第１実施形態における第１変形例を示す図で、図３(ａ)は上面図、図３（ｂ）は、図１（ｂ）と同じＡ−Ａ’断面を示す断面図である。本第１変形例においては、筒状の静磁界発生手段３をベース基板４の上面とチップ２の上面とに跨って載置する構成であり、筒状の静磁界発生手段３は、チップ２とベース基板４に例えば接着剤等で固定されている。
【００２９】
本変形例においては、ベース基板４のチップ２の固定領域に図３（ｂ）に示す様なザグリ部１５を設けてある。ザグリ部１５の深さはチップ２（固定部５）の厚さとほぼ同一に形成され、該ザグリ部１５内にチップ２の上面とベース基板４の上面とがほぼ面一となるように、チップ２を収納させて接着剤等により固定させ配置している。ザグリ部１５の底面には、図１と同様に可動板６の回動を許容する貫通孔１３等が設けられている。
【００３０】
ここで、図１に示す、ベース基板４上に単にチップを載置しただけの構成の場合は、筒状の静磁界発生手段３を可動板６の周縁部を囲む様にベース基板４の上面に設けるにあたって、筒状の静磁界発生手段３の内径は、チップ２の周縁部の大きさより大きくする必要がある。
【００３１】
本第１変形例によれば、ザグリ部１５内にチップ２とベース基板４の上面とがほぼ面一となるようにチップ２を収納させることによって、図３から分かるように、筒状の静磁界発生手段３を、ベース基板４の上面とチップ２の上面とに跨って載置させることができる。このようにして、本第１変形例においては、円筒状の静磁界発生手段３の内径はチップ２の大きさに規制されることなく、静磁界発生手段３の内径面を、チップ２の周縁部を越えて内側に接近させることができる。すなわち、本第１変形例においては、図１に示す構成の場合と比較すると、静磁界発生手段３の内径を小さくすることができるため、対称コイル部９，９と静磁界発生手段３の内径面間の距離を、近づけることができる。したがって、本第１変形例においては、図３に示すように、図１及び２に示す構成の場合と比較するとアクチュエータを小型化することが可能であり、加えて図１及び２に示す構成と同様に従来に比べて駆動効率の向上を図ることが可能である。
【００３２】
なお、本構成例では、筒状の静磁界発生手段３を、固定部５を越えて内側の可動板６に近接させた配置構成を示したが、静磁界発生手段３の内径面が固定部５上に位置する配置構成でもよく、筒状の静磁界発生手段３がベース基板４とチップ２に跨った構成であればよい。
【００３３】
また、本変形例において、図示しないが、ザグリ部１５の深さを予めチップ２（固定部５）の厚みよりも深く形成し、スペーサをベース基板４とチップ２の間に設け、このスペーサでチップ２の高さ方向の位置を調整してもよい。これにより、ザグリ部１５の深さの寸法精度を高めることなく、スペーサによって該チップ５の上面とベース基板４の上面とがほぼ面一となるように調整することができる。また、同じく図示しないが、スペーサをベース基板４と筒状の静磁界発生手段３の間に入れた構成としてもよい。この場合は、ザグリ部１５の深さを予めチップ２（固定部５）の厚みよりも浅く形成し、チップ２の上面とスペーサの上面とがほぼ面一となるように調整する。
【００３４】
図４は、第１実施形態における第２変形例を示す図で、図４は、図１（ｂ）と同じＡ−Ａ’断面を示す断面図である。本第２変形例においては、筒状の静磁界発生手段３の内径面側の下端部に段付き形状の切欠き部１６を設けて、図４に示す様に該切欠き部１６のベース基板４の上面と平行な面をチップ２の上面に載置させる構成により、上記第１変形例と同様に筒状の静磁界発生手段３をチップ２の上面とベース基板４の上面とに跨って載置させている。また、ベース基板４は、図１と同様にザグリ部１５を設けないものを使用している。これによって、チップ２の大きさに規制されることなく筒状の静磁界発生手段３の内径面を、チップ２の周縁部を越えて内側に接近させることができるため、第１変形例と同様に、アクチュエータの小型化と駆動効率の向上を両立することが可能である。
【００３５】
なお、本変形例において、図示しないが、切欠き部１６の深さを予めチップ２（固定部５）の厚みよりも深く形成し、スペーサをベース基板４とチップ２の間に設け、このスペーサでチップ２の高さ方向の位置を調整してもよい。これにより、切欠き部１６の深さの寸法精度を高めることなく、スペーサによって切欠き部１６のベース基板７の上面と平行な面と、チップ５の上面とがほぼ面一となるように調整することができる。また、同じく図示しないが、スペーサをベース基板４と筒状の静磁界発生手段３の間に入れた構成としてもよい。この場合は、切欠き部１６の深さを予めチップ２（固定部５）の厚みよりも浅く形成し、チップ２の上面とスペーサの上面とがほぼ面一となるように調整する。この場合、スペーサは、例えば、チップ２の外方を周回する枠状の形状で形成するとよい。
【００３６】
また、上記第１及び第２変形例は、図２に示す第１実施形態の別の構成例の変形例として適用することもできる。
【００３７】
なお、上記第１実施形態の全ての説明において、筒状の静磁界発生手段３は、円筒状に形成された場合で説明したが、円筒状に限らず、筒状の静磁界発生手段３の筒内面から筒の中心に向かう、すなわち、チップ２の上面に対して平行で可動板６の周縁部の外側から可動板６の中心側に向かう静磁界を発生可能であれば、どのような形状であってもよく、例えば、四角の筒状に形成されたものでもよい。また、静磁界発生手段３は、可動板６の外から内の方向に向かう静磁界であって、可動板６の中心側に向かう静磁界を発生させるものとして説明したが、可動板６の中心側に向かう静磁界を発生させるものに限らず、可動板６の外から内の方向に向かう静磁界を発生するものであれば、どのような形状のものであってもよい。この場合は、例えば、磁界解析ソフト等により、可動板６の外から内に向かう静磁界の詳細な方向を解析し、その解析結果に基づいて、各対称コイル部９，９を形成すればよい。また、静磁界発生手段３は、電磁石で構成してもよい。
【００３８】
また、上記第１実施形態の全ての説明において、静磁界発生手段３は、ベース基板４上に配置される場合で説明したが、このように配置される場合に限らず、可動板６の外から内の方向に向かう静磁界が発生すれば、どのように配置されていてもよく、例えば、可動板６の上下面のどちらか一方側に離間して配置されていてもよい。
【００３９】
図５は、本発明に係るプレーナ型電磁アクチュエータの第２実施形態を示す図で、(ａ)は上面図、（ｂ）はＢ−Ｂ’矢視断面図である。ここでは、図１の第１実施形態と同一の要素には同一の符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。
【００４０】
本実施形態において、静磁界発生手段３は、可動板６の上面の中央に設けられ、可動板６の内から外の方向に向かう静磁界を対称コイル部９，９に交差させるように構成されている。
【００４１】
本実施形態において、静磁界発生手段３は、例えば、図５に示すように、円板状の永久磁石であり、円板の外周部から放射状に外方に向かう静磁界を発生するように、円板の外周側をＮ極、中心側をＳ極として磁化されている。この円板状の永久磁石を、可動板６の上面の中央に接着剤等により固定して配置することにより、可動板６の内から外の方向に向かう静磁界であって、チップ２の上面に対して平行で可動板６の中心から可動板６の外方に放射状に向かう静磁界を発生させることができる。
【００４２】
このように、本実施形態によるプレーナ型電磁アクチュエータ１においては、静磁界発生手段３は、可動板６の内から外の方向に向かう静磁界が発生するように配置され、この静磁界が対称コイル部９，９の全てに略垂直に交差するように、対称コイル部９，９を形成する。具体的には、静磁界発生手段３は、可動板６の上面の中央に設けられ、可動板６の内から外の方向に向かう静磁界を対称コイル部９，９に交差させる。これにより、本実施形態においても、対称コイル部９，９と静磁界が交差する全ての交差点における静磁界の対称コイル部９，９に垂直な方向の磁界強度が最大となるため、上記全ての交差点において可動板６に作用させる回動力の大きさが最大になるようにすることができる。従って、従来と同じ大きさの駆動電流を供給した場合、可動板６に作用する回動力が、静磁界が駆動コイルに可動板の内から外に単に交差する従来の場合より大きくすることができるため、駆動効率が従来よりも向上したプレーナ型電磁アクチュエータ１を提供することができる。
【００４３】
図６は、第２実施形態における別の構成例を示す図で、図６(ａ)は上面図、図６（ｂ）は、図５（ｂ）と同じＢ−Ｂ’断面を示す断面図である。ここでは、図５の第２実施形態と同一の要素には同一の符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。本構成例においては、筒状のヨーク１７を設けて構成する。
【００４４】
筒状のヨーク１７は、前述のヨーク１４と同じ、例えば、変圧器等の鉄心として使用されている磁性体で製作された一般的なものであり、この筒状のヨーク１７自体に磁力線を集中させる機能を有し、チップ２の周縁部を囲む様に、ベース基板４上に設けられる。
【００４５】
本構成例において、筒状のヨーク１７は、例えば、図６（ａ)に示すように、円筒状に形成され、この円筒の中心と可動板６の中心を合わせて、円筒状のヨーク１７をベース基板４上に接着剤等により固定して配置することにより、円筒状のヨーク１７を設けない場合の磁力線の様子をも示す図５（ａ)と本構成例の図６（ａ）とを比較して分かるように、本構成例においては、円板状の静磁界発生手段３からの磁力線を円筒状のヨーク１７の筒内面方向により集中させることができる。したがって、円板状の静磁界発生手段３から発生する静磁界のうち、チップ２の上面に対して平行で円筒状のヨーク１７の筒内径面の方向に、放射状に向かい対称コイル部９，９に交差する静磁界の強度を大きくすることができるため、図５（ａ)に示す構成例と比較すると、可動板６に作用する回動力を大きくでき、その結果、駆動効率をより向上させることができる。
【００４６】
なお、本構成例において、筒状のヨーク１７は円筒状に形成された場合で説明したが、筒状のヨーク１７の形状は、このような形状に限らず、円板状の静磁界発生手段３の可動板６の内から外の方向に向かう、すなわち、チップ２の上面に対して平行で可動板６の中心から可動板６の外方に向かう静磁界が各対称コイル部９，９の全てに略垂直に交差すれば、どのような形状であってもよく、例えば、矩形板状に形成してもよい。この場合、第１実施形態において説明した様に、磁場解析ソフト等の解析結果に基づいて、円板状の静磁界発生手段３からの静磁界のうち、可動板６の内から外の方向に向かう静磁界が各対称コイル部９，９の全てに略垂直に交差するように各対称コイル部９，９の形状を決めればよい。
【００４７】
また、本構成例においては、ベース基板４の上面にチップ２を搭載した場合で説明したが、このように搭載する場合に限らず、第１実施形態において説明した第１変形例と同様に、チップ２にザグリ部１５を設けザグリ部１５内にチップ２の上面とベース基板４の上面とがほぼ面一となるように、チップ２を収納させてもよい。この場合、図示しないが、筒状のヨーク１７をベース基板４の上面とチップ２の上面とに跨って載置する構成にするとよい。これにより、筒状のヨーク１７の内径はチップ２の大きさに規制されることなく、筒状のヨーク１７の内径面を、チップ２の周縁部を越えて内側に接近させることができる。すなわち、図６に示す構成例の場合と比較すると、筒状のヨーク１７の内径面と対称コイル部９，９間の距離を近づけることができるため、図６に示す構成例の場合と比較すると、より駆動効率を向上させることが可能であると共に、アクチュエータを小型化することが可能である。
【００４８】
なお、上記第２実施形態の全ての説明において、静磁界発生手段３は、可動板６の内から外の方向に向かう静磁界であって、可動板６の中心から可動板６の外方に放射状に向かう静磁界を発生させるものとして説明したが、可動板６の中心から可動板６の外方に放射状に向かう静磁界を発生させるものに限らず、可動板６の内から外の方向に向かう静磁界を発生するものであれば、どのような形状のものであってもよい。この場合は、例えば、磁界解析ソフト等により、可動板６の内から外に向かう静磁界の詳細な方向を解析し、その解析結果に基づいて、各対称コイル部９，９を形成すればよい。
【００４９】
また、上記第２実施形態の全ての説明において、静磁界発生手段３は、可動板６上に配置される場合で説明したが、このように配置される場合に限らず、可動板６の内から外の方向に向かう静磁界が発生すれば、どのように配置されていてもよく、例えば、可動板６の上下面のどちらか一方側に離間して配置されていてもよい。
【００５０】
また、上記全ての実施形態の説明において、各対称コイル部９，９は、それぞれ一本の例えば円弧状に形成され、中間コイル部１１によって直列的に接続されて、一本の配線路を構成し、この配線路の両端部を接続配線部１０及び電極パッド１２を介して駆動回路内の電源（図示省略）が接続される配線例で説明したが、このような配線例に限らず、別の構成で配線してもよい。以下にいくつか例を挙げて説明する。
【００５１】
図７は、駆動コイル８の様々な配線例を一次元のプレーナ型電磁アクチュエータの場合について示したものである。図７（ａ）においては、トーションバー７，７の軸線によって分割された可動板６の一方の領域の周縁部に螺旋状のコイルを形成し、可動板６の他方の領域にトーションバー７，７の軸線に対して上記一方の領域の周縁部に形成される螺旋状のコイルと略対称に他方の螺旋状のコイルを形成し、この各螺旋状コイルを、中間コイル部１１により直列的に接続して一本の配線路を形成し、この配線路の両端部は、接続配線部１０及び電極パッド１２を介して駆動回路内の１つの電源に接続されるようになっている。この場合、各螺旋状コイルは、静磁界発生手段３から発生する静磁界のうち、可動板６の外から内、又は内から外のいずれか一方向に向かう静磁界が螺旋状コイルの各円弧部の全てに略垂直に交差するように形成され、各円弧中心が可動板６の中心に一致するように敷設されている。本配線例の場合、前述した各対称コイル部９，９は、上記各円弧部によって構成されており、この各円弧部に駆動電流（例えば、交流電流）が一方のトーションバー側から他方のトーションバー側に向かって流れるように、通電されている。なお、後述する図７（ｄ）、（ｅ）、（ｆ）に示す配線例においても、対称コイル部９は、本配線例と同様に形成、敷設及び通電された円弧部によって構成されている。
【００５２】
図７（ｂ）においては、可動板６上に一対の対称コイル部９，９を可動板６の周縁部にトーションバー７，７の軸線に対して互いに略対称に設け、各対称コイル部９，９の両端部は、それぞれの接続配線部１０及び電極パッド１２を介して駆動回路内のそれぞれの電源に接続するようになっている。
【００５３】
図７（ｃ）においては、可動板６上に対称コイル部９，９を可動板６の周縁部にトーションバー７，７の軸線に対して互いに略対称に設け、各対称コイル部９，９の一方端を互いに接続し一本の接続配線部１０でトーションバー７を介して固定部５側に引き出して電極パッド１２に接続し、同様に各対称コイル部９，９の他方端を互いに接続し一本の接続配線部１０でトーションバー７を介して固定部５側に引き出して電極パッド１２に接続し、上記各電極パッド１２間に駆動回路内の一つの電源を接続するようになっている。本配線例の場合、図示省略するが、対称コイル部９，９を同心円状に複数設け、同心円状の各対称コイル部９，９を一方のトーションバー７側において、共通の接続配線部１０と接続し、他方のトーションバー７側においても、共通の接続配線部１０と接続するようにしてもよい。
【００５４】
図７（ｄ）においては、図７（ａ）と同様にトーションバー７，７の軸線によって分割された可動板６の一方の領域の周縁部に対称コイル部９を構成する前述した円弧部を有する螺旋状コイルを形成し、可動板６の他方の領域にトーションバー７の軸線に対して上記一方の螺旋状コイルと略対称に他方の螺旋状コイルを形成し、各螺旋状コイルの両端部は、それぞれの接続配線部１０及び電極パッド１２を介して駆動回路内のそれぞれの電源に接続するようになっている。
【００５５】
図７（ｅ）においては、図７（ａ）及び（ｄ）と同様に、対称コイル部９を構成する前述した円弧部を有する螺旋状コイルを形成し、各螺旋状コイルの一方端を互いに接続し一本の接続配線部１０でトーションバー７を介して固定部５側に引き出して電極パッド１２に接続し、同様に各螺旋状コイルの他方端を互いに接続し一本の接続配線部１０でトーションバー７を介して固定部５側に引き出して電極パッド１２に接続し、上記各電極パッド１２間に駆動回路内の一つの電源を接続するようになっている。
【００５６】
図７（ｆ）において、駆動コイル８は、可動板６、トーションバー７及び固定部５のトーションバー７の軸線によって分割された一方の領域に、固定部５から一方のトーションバー７を通って可動板６の一方の領域に達した後該可動板６の縁部に形成され、さらに他方のトーションバー７を通って固定部５側に引き出された後固定部５の一方の領域を回って再び一方のトーションバー７を通って可動板６の一方の領域に達するように形成され、以後上述と同様にして、上記一方の領域をコイルが周回して形成される。この場合、可動板６の縁部に形成されるコイルは前述した円弧部と同様に形成され、対称コイル部９は、この円弧部によって構成される。そして、トーションバー７の軸線によって分割された可動板６、トーションバー７及び固定部５の他方の領域にトーションバー７の軸線に対して上記一方の領域を周回するコイルと略対称に他方の領域を周回するコイルを形成し、この各周回状コイルの両端部は、それぞれの接続配線部１０及び電極パッド１２を介して駆動回路内のそれぞれの電源に接続するようになっている。本配線例の場合、図示省略するが、上記一方の周回状コイルの終端と、他方の周回状コイルの始端とを接続し一本の配線路を形成し、この配線路の両端部を、それぞれの接続配線部１０及び電極パッド１２を介して駆動回路内の１つの電源に接続するようにしてもよい。
【００５７】
なお、上記全ての配線例の説明において、各接続配線部１０，１０は、各トーションバー７，７にそれぞれ配線する場合で説明したが、このように配線する場合に限らず、一方のトーションバー７に配線されるようにしてもよい。この場合、電極パッド１２，１２は、例えば、一方のトーションバー７の基部の固定部５に設けるとよい。例えば、図７（ｂ）の場合において、各接続配線部１０，１０を一方のトーションバー７に配線する場合、駆動コイル８は、図８に示すように配線される。
【００５８】
図９は、本発明に係るプレーナ型電磁アクチュエータの第３実施形態を示す図で、２次元駆動型の実施形態であり、(ａ)は上面図、（ｂ）はＣ−Ｃ’矢視断面図である。ここでは、図１の第１実施形態と同一の要素には同一の符号を付して説明を省略し、異なる部分についてのみ説明する。本第３実施形態において、プレーナ型電磁アクチュエータ５０は、２次元駆動用のチップ２０と、例えば、第１実施形態において説明した静磁界発生手段３及びベース基板４とを備えている。
【００５９】
ここで、前記チップ２０は、枠状の固定部５と、固定部５に一対の外側トーションバー７ａ、７ａを介して回動可能に軸支される枠状の外側可動板６ａと、該外側可動板６ａに外側トーションバー７ａ、７ａと軸方向が直角な一対の内側トーションバー７ｂ、７ｂを介して回動可能に軸支される内側可動板６ｂと、外側可動板６ａ駆動用の外側駆動コイル８ａと、内側可動板６ｂ駆動用の内側駆動コイル８ｂとを備えて構成され、ベース基板４に例えば接着剤等によって固定されている。
【００６０】
図９（a）に示すように、固定部５は、例えば、四角の枠状に形成されている。なお、固定部５は、四角の枠状に限らず、例えば、円筒状に形成されていてもよい。前記外側可動板６ａは、例えば、円筒状に形成され、前記内側可動板６ｂは、例えば、円板状に形成されている。なお、外側可動板６ａは、円筒状に限らず、後述する各外側対称コイル部９ａ，９ａが形成可能であれば、どのような形状でもよく、例えば、四角の枠状に形成されていてもよい。また、内側可動板６ｂは、円板状に限らず、後述する各内側対称コイル部９ｂ，９ｂが形成可能であれば、例えば、四角形状に形成されていてもよい。
【００６１】
前記外側駆動コイル８ａは、外側可動板６ａの周縁部に外側トーションバー７ａ，７ａの軸線に対して略対称に設けられ、駆動電流（例えば、交流電流）が一方の外側トーションバー７ａ側から他方の外側トーションバー７ａ側に向かって通電される外側対称コイル部９ａ，９ａを有して構成され、例えば、図９（a）に矢印で示す方向に駆動電流が流れている。外側対称コイル部９ａ，９ａは、静磁界発生手段３から発生する静磁界のうち、可動板６の外から内の方向に向かう静磁界が該外側対称コイル部９ａ，９ａの全てに略垂直に交差するように形成され、例えば、図９（a）に示すように、円弧状にそれぞれ形成され、各円弧中心が外側及び内側可動板６ａ，６ｂの中心に一致するように敷設されている。
【００６２】
外側駆動コイル８は、例えば、外側対称コイル部９ａ，９ａと、一対の外側トーションバー７ａ，７ａに配線される外側接続配線部１０ａ，１０ａと、駆動電流の入力側の外側対称コイル部９ａの終端部と他方の外側対称コイル部９の始端部を接続（図中、外側可動板６ａ内に黒丸で示す端部間の接続）して一本の配線路を形成させる外側中間コイル部１１ａとを備えて構成されており、外側対称コイル部９ａ，９ａと外側中間コイル部１１ａとで形成された配線路の両端部は、外側接続配線部１０ａ，１０ａを介して固定部５の上面に設けられる外側電極パッド１２ａ，１２ａに接続され、この外側電極パッド１２ａ，１２ａを介して図示省略の外部駆動回路内の電源とワイヤボンディング等の手段で電気的に接続されている。なお、外側中間コイル部１１ａは、図９（ａ）に示すように、例えば、外側トーションバー７ａ，７ａ及び固定部５を経由して配線されている。
【００６３】
前記内側駆動コイル８ｂは、内側可動板６ｂの周縁部に内側トーションバー７ｂ，７ｂの軸線に対して略対称に設けられ、駆動電流（例えば、交流電流）が一方の内側トーションバー７ｂ側から他方の内側トーションバー７ｂ側に向かって通電される内側対称コイル部９ｂ，９ｂを有して構成され、例えば、図９（a）に矢印で示す方向に駆動電流が流れている。内側対称コイル部９ｂ，９ｂは、静磁界発生手段３から発生する静磁界のうち、可動板６の外から内の方向に向かう静磁界が該内側対称コイル部９ｂ，９ｂの全てに略垂直に交差するように形成され、例えば、図９（a）に示すように、円弧状にそれぞれ形成され、各円弧中心が内側可動板６ｂの中心に一致するように敷設されている。
【００６４】
内側駆動コイル８ｂは、例えば、内側対称コイル部９ｂ，９ｂと、内側トーションバー７ｂ，７ｂ、外側可動板６ａ及び外側トーションバー７ａ，７ａを経由して配線される内側接続配線部１０ｂ，１０ｂ（図の簡略化のため、一部省略して示している）と、駆動電流の入力側の内側対称コイル部９ｂの終端部と他方の内側対称コイル部９ｂの始端部を接続（図中、内側可動板６ｂ内に黒丸で示す端部間の接続）して一本の配線路を形成させる内側中間コイル部１１ｂとを備えて構成されており、内側対称コイル部９ｂ，９ｂと内側中間コイル部１１ｂとで形成された配線路の両端部は、内側接続配線部１０ｂ，１０ｂを介して固定部５の上面に設けられる内側電極パッド１２ｂ，１２ｂに接続され、この内側電極パッド１２ｂ，１２ｂを介して図示省略の外部の電源とワイヤボンディング等の手段で電気的に接続されている。なお、内側中間コイル部１１ｂは、例えば、内側可動板６ｂの中心を通る様に直線状に配線されている。
【００６５】
このように、本実施形態によるプレーナ型電磁アクチュエータ５０においては、外側駆動コイル８ａは、外側対称コイル部９ａ，９ａを有し、内側駆動コイル８ｂは、内側対称コイル部９ｂ，９ｂを有し、静磁界発生手段３は、外側及び内側可動板６ａ，６ｂの外から内の方向に向かう静磁界が発生するように配置され、この静磁界が外側対称コイル部９ａ，９ａ及び内側対称コイル部９ｂ，９ｂの全てに略垂直に交差するように、外側対称コイル部９ａ，９ａ及び内側対称コイル部９ｂ，９ｂを形成する。具体的には、静磁界発生手段３は、筒状に形成され、少なくとも外側可動板６ａの周縁部を囲む様にベース基板４の上面に設けられ、外側及び内側可動板６ａ，６ｂの外から内の方向に向かう静磁界を対称コイル部９，９に交差させる。これにより、外側対称コイル部９ａ，９ａ及び内側対称コイル部９ｂ，９ｂと静磁界が交差する全ての交差点において、静磁界は外側対称コイル部９ａ，９ａ及び内側対称コイル部９ｂ，９ｂに略垂直に交差することとなり、各交差点における静磁界の外側対称コイル部９ａ，９ａ及び内側対称コイル部９ｂ，９ｂに垂直な方向の磁界強度が最大となるため、上記全ての交差点において外側及び内側可動板６ａ，６ｂに作用させる回動力の大きさが最大になるようにすることができる。従って、従来と同じ大きさの駆動電流を供給した場合、可動板６に作用する回動力が、静磁界が駆動コイルに可動板の外から内に単に交差する従来の場合より大きくすることができるため、駆動効率が従来よりも向上した２次元駆動型のプレーナ型電磁アクチュエータ５０を提供することができる。
【００６６】
なお、前述した図７（ａ）〜（ｆ）は、一次元駆動型プレーナ型電磁アクチュエータ１の駆動コイル８の配線例について説明したものであるが、これらの駆動コイル８の配線は、二次元駆動型プレーナ型電磁アクチュエータ５０の外側駆動コイル８ａ及び内側駆動コイル８ｂにも適用することができる。例えば、図１０に示すように、内側駆動コイル８ｂは、図７（ａ）で説明した配線例と同様に形成し、外側駆動コイル８ａは、図７（ｆ）で説明した配線例と同様にして、周回状に一方のコイルが形成される。この場合、周回状コイルは、外側可動板６ａの周縁部に前述した円弧部を有し、この円弧部によって外側対称コイル部９ａは構成されている。そして、外側トーションバー７ａの軸線によって分割された外側可動板６ａ、外側トーションバー７ａ及び固定部５の他方の領域にトーションバー７の軸線に対して上記一方の周回状コイルと略対称に他方の周回状コイルを形成し、上記一方の周回状コイルの終端と、他方の対称コイル部９ａの始端とを接続する一本の配線路を、外側トーションバー７ａ，７ａ及び固定部５を経由して形成し、この配線路の両端部を、それぞれの接続配線部１０及び電極パッド１２を介して駆動回路内の１つの電源に接続するようにしてもよい。
【００６７】
なお、本実施形態において、静磁界発生手段３及びベース基板４は、図１に示す第１実施形態の構成で説明したが、静磁界発生手段３及びベース基板４は、この構成に限らず、前述した他の一次元駆動型のプレーナ型電磁アクチュエータ１の全ての構成を適用することができる。また、本実施形態においても、ヨークを設けることにより、外側及び内側対称コイル部９ａ，９ａ、９ｂ，９ｂに作用する磁束密度を高かめることができるため、駆動効率をより高めることができる。
【符号の説明】
【００６８】
１，５０…プレーナ型電磁アクチュエータ
２，２０…チップ
３…静磁界発生手段
４…ベース基板
５…固定部
６…可動板
６ａ…外側可動板
６ｂ…内側可動板
７…トーションバー
７ａ…外側トーションバー
７ｂ…内側トーションバー
８…駆動コイル
８ａ…外側駆動コイル
８ｂ…内側駆動コイル
９…対称コイル部
９ａ…外側対称コイル部
９ｂ…内側対称コイル部
１４，１７…ヨーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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