(57)【要約】【課題】基準流量以上の場合は、基準電圧を安定して測定可能なレベルに変更し、大流量時の計測精度向上を実現する。【解決手段】流量算出手段１１で算出した流量値と基準流量とを流量判定手段１４で比較し、算出した流量が基準流量より大きい場合は、基準電圧設定手段１３で設定する基準電圧値を変更することで、受信信号の振幅の変動の影響が小さい箇所で安定して受信波形のゼロクロス点の検知ができるので、大流量で流れに乱れがある場合でも、安定して高精度な流量計測が可能な流量計測装置を提供できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体管路に設けられ超音波信号を送受信する一対の振動子と、
前記振動子を駆動する送信手段と、
前記振動子の送受信を切り換える切換手段と、
前記振動子の受信信号を増幅する増幅手段と、
前記増幅手段の出力と基準電圧とを比較する基準比較手段と、
前記基準比較手段で比較する基準電圧を設定する基準電圧設定手段と、
前記基準比較手段と前記増幅手段の出力とから超音波信号の到達時期を判定する判定手段と、
送信側の前記振動子から受信側の前記振動子までの超音波信号の伝搬時間を計時する計時手段と、
前記計時手段の計時した時間に基づいて流速と流量の少なくとも一方を算出する算出手段と、を備え、
前記基準電圧設定手段は、前記算出手段で算出された流速または流量に応じて基準電圧を変更する流量計測装置。
【請求項２】
流体管路に設けられ超音波信号を送受信する一対の振動子と、
前記振動子を駆動する送信手段と、
前記振動子の送受信を切り換える切換手段と、
前記振動子の受信信号を増幅する増幅手段と、
前記増幅手段の出力と基準電圧とを比較する基準比較手段と、
前記基準比較手段で比較する基準電圧を設定する基準電圧設定手段と、
前記基準比較手段と前記増幅手段の出力とから超音波信号の到達時期を判定する判定手段と、
送信側の前記振動子から受信側の前記振動子までの超音波信号の伝搬時間を計時する計時手段と、
前記計時手段の計時した時間に基づいて流速と流量の少なくとも一方を算出する算出手段と、を備え、
前記基準電圧設定手段は、前記算出手段で算出した流速または流量のばらつきの大きさに応じて基準電圧を変更する流量計測装置。
【請求項３】
前記基準電圧の初期値は、前記増幅手段による増幅後の受信波の第ｎ波を検出できる電圧に設定され、前記基準電圧設定手段は、前記第ｎ波の１つ前の波を検出できる電圧に基準電圧を変更する請求項１または２記載の流量計測装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は超音波を利用してガス、水などの流体の流れを計測する流量計測装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種の流体の流量計測装置は、図７に示すようなものが一般的であった（例えば、特許文献１参照）。この装置は、流体の流れる流路２１に設置した第１超音波振動子２２および第２超音波振動子２３と、第１超音波振動子２２、第２超音波振動子２３の送受信を切り換える切換手段２４と、第１超音波振動子２２及び第２超音波振動子２３を駆動する送信手段２５と、受信側の超音波振動子で受信し切換手段２４を通過した受信信号を所定の振幅まで増幅する増幅手段２６と、増幅手段２６で増幅された受信信号の電圧と基準電圧とを比較する基準比較手段２７と、図８に示すように基準比較手段２７で基準電圧と比較し大小関係が反転したことを出力信号Ｃで検知し、その後の増幅信号の最初のゼロクロス点ａで繰り返し手段２９へ出力信号Ｄを出力する判定手段２８と、この判定手段２８からの出力信号Ｄをカウントし、予め設定された回数だけカウントすると共に判定手段２８からの信号を制御手段３２へ出力する繰り返し手段２９と、繰り返し手段２９で予め設定された回数をカウントした時間を計時する計時手段３０と、計時手段３０の計時した時間に応じて流量を算出する流量算出手段３１と、流量算出手段３１から算出された流量出力及び繰り返し手段２９からの信号を受け送信手段２５の動作を制御する制御手段３２とから構成されている。
【０００３】
この装置は、制御手段３２により送信手段２５を動作させ第１超音波振動子２２で発信された超音波信号が、流れの中を伝搬し第２超音波振動子２３で受信され、増幅手段２６で増幅後、基準比較手段２７と判定手段２８で信号処理され、繰り返し手段２９を通り計時手段３０と制御手段３２に入力される。そして、第１超音波振動子２２と第２超音波振動子２３とを切換手段２４により切り替えて、同様な動作を行う。この動作を予め設定されたｎ回数繰り返し行い、被測定流体の上流から下流（この方向を正流とする）と下流から上流（この方向を逆流とする）のそれぞれの伝搬時間を計時手段３０により測定する。そして、被測定流体の流速を求め、下記の（式１）より流量Ｑを求めていた。
【０００４】
ここで、超音波振動子間の流れ方向の有効距離をＬ、上流から下流へのｎ回分の測定時間をｔ１、下流から上流へのｎ回分の測定時間をｔ２、被測定流体の流速をｖ、流路の断面積をＳ、センサ角度をφ、流量をＱとすると以下の式が成り立つ。
【０００５】
Ｑ＝Ｓ・ｖ＝Ｓ・Ｌ／２・ｃｏｓφ（（ｎ／ｔ１）−（ｎ／ｔ２））・・・（式１）
実際には、式１に流量に応じた係数をさらに乗じて流量を算出する。
【０００６】
また、増幅手段２６のゲインは、受信側の超音波振動子で受信した信号を一定振幅となるようゲインを調整しており、受信信号の最大電圧値が所定の電圧範囲に入るように調整される。この調整において、繰り返し手段２９に設定された回数の計測を繰り返し中に、図９の点線で示す受信信号ｂに示すように受信信号の最大電圧値が所定の電圧範囲の下限より下回った回数と、同じく図９の点線で示す受信信号ｃに示すように所定の電圧範囲の上限より上回った回数をカウントしておき、その大小関係で次回の流量計測時のゲインを調整する。例えば下限より下回った回数が多ければゲインをアップして、図９の実線で示す受信信号ａのように電圧範囲の上限、下限の内に入るようにする。
【０００７】
また、増幅手段２６により増幅された受信信号の電圧と比較する、基準比較手段２７の
基準電圧は、判定手段２８により検知するゼロクロス点の位置を決めるものである。この基準電圧は、図８を例にすると、受信信号の４波目のゼロクロス点ａを判定手段２８により検知するよう、受信信号の３波と４波のピーク電圧の中点の電圧に設定される。そうすることにより、何らかの原因で受信信号の３波のピーク電圧が上昇、または４波のピーク電圧が減少しても、双方に対してマージンをとれ、安定して判定手段２８により４波目のゼロクロス点ａが検知できるものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
【特許文献１】特開２００３−１０６８８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記従来の流量計測装置は、安定してゼロクロス点を検知するために、図８では受信波のピーク電圧の間隔が一番広い３波ピークと４波ピークの中点に基準電圧を設定している。しかしながら、流路２１に大流量が流れ、流れの安定性が失われると、計測ごとに超音波の伝搬経路が変化して波形が変わり、受信信号の振幅が大きく変動する。そのため、受信信号の３波のピークが大きく上昇した場合は３波目のゼロクロス点を誤検知してしまう。また受信信号の４波のピークが大きく減少した場合は５波目のゼロクロス点を誤検知してしまうことになる。この流れの安定性が失われたときの受信振幅の変動量は、ピーク電圧が大きくなるにつれて大きくなるため、１波より２波、２波より３波、３波より４波の方が変動量が大きくなる。従って、ピーク電圧が大きい４波のゼロクロス点を検知して流量を算出する従来の流量計測装置では、流れが安定している時は４波のゼロクロス点を安定して検知することで、高精度な流量の計測が可能であった。しかし、大流量になり流れの安定性が失われると、計測のたびに検知ポイントが３波のゼロクロス点や５波のゼロクロス点とばらつくことで伝搬時間の計測精度が悪化し、結果流量の算出値の精度も悪化するという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記従来の課題を解決するために、本発明の流量計測装置は、流体管路に設けられ超音波信号を送受信する一対の振動子と、前記振動子を駆動する送信手段と、前記振動子の送受信を切り換える切換手段と、前記振動子の受信信号を増幅する増幅手段と、前記増幅手段の出力と基準電圧とを比較する基準比較手段と、前記基準比較手段で比較する基準電圧を設定する基準電圧設定手段と、前記基準比較手段と前記増幅手段の出力とから超音波信号の到達時期を判定する判定手段と、送信側の前記振動子から受信側の前記振動子までの超音波信号の伝搬時間を計時する計時手段と、前記計時手段の計時した時間に基づいて流速と流量の少なくとも一方を算出する算出手段とを備え、前記基準電圧設定手段は、前記算出手段で算出された流速または流量に応じて基準電圧を変更するものである。
【００１１】
これによって、流れの安定性が失われるような大流量が流れていると判定された場合は、受信振幅の変動量が小さい箇所でゼロクロス点を検知できるように基準電圧設定手段で基準電圧を変更することで、流れの安定性が失われ受信振幅の変動が大きくなっても、安定してゼロクロス点を検知できるため、大流量時でも高精度な流量計測が可能となる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の流量計測装置は、大流量が流れて流れの安定性が失われ受信振幅の変動が大きくなっても、基準電圧を変更することで受信振幅の変動量が小さい箇所でゼロクロス点を検知できるため、大流量時でも高精度な流量計測を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施の形態１における流量計測装置の構成図
【図２】本発明の実施の形態１における流量計測装置の動作説明図
【図３】本発明の実施の形態１における流れが安定している時の受信信号の波形と基準電圧の関係を示す図
【図４】本発明の実施の形態１における流れの安定性が失われた時の受信信号の波形と基準電圧の関係を示す図
【図５】本発明の実施の形態１における基準電圧変更時の動作説明図
【図６】本発明の実施の形態２における流量計測装置の構成図
【図７】従来の超音波流量計の構成図
【図８】従来の超音波流量計の動作説明図
【図９】従来の超音波流量計の増幅手段の動作説明図
【発明を実施するための形態】
【００１４】
第１の発明は、流体管路に設けられ超音波信号を送受信する一対の振動子と、前記振動子を駆動する送信手段と、前記振動子の送受信を切り換える切換手段と、前記振動子の受信信号を増幅する増幅手段と、前記増幅手段の出力と基準電圧とを比較する基準比較手段と、前記基準比較手段で比較する基準電圧を設定する基準電圧設定手段と、前記基準比較手段と前記増幅手段の出力とから超音波信号の到達時期を判定する判定手段と、送信側の前記振動子から受信側の前記振動子までの超音波信号の伝搬時間を計時する計時手段と、前記計時手段の計時した時間に基づいて流速と流量の少なくとも一方を算出する算出手段とを備え、前記基準電圧設定手段は、前記算出手段で算出された流速または流量に応じて基準電圧を変更することにより、大流量が流れて流れの安定性が失われ受信振幅の変動が大きくなっても、基準電圧を変更することで受信振幅の変動量が小さい箇所でゼロクロス点を検知できるため、大流量時でも高精度な流量計測を実現することができる。
【００１５】
第２の発明は、流体管路に設けられ超音波信号を送受信する一対の振動子と、前記振動子を駆動する送信手段と、前記振動子の送受信を切り換える切換手段と、前記振動子の受信信号を増幅する増幅手段と、前記増幅手段の出力と基準電圧とを比較する基準比較手段と、前記基準比較手段で比較する基準電圧を設定する基準電圧設定手段と、前記基準比較手段と前記増幅手段の出力とから超音波信号の到達時期を判定する判定手段と、送信側の前記振動子から受信側の前記振動子までの超音波信号の伝搬時間を計時する計時手段と、前記計時手段の計時した時間に基づいて流速と流量の少なくとも一方を算出する算出手段とを備え、前記基準電圧設定手段は、前記算出手段で算出した流速または流量のばらつきの大きさに応じて基準電圧を変更するもので、流速または流量のばらつきに応じて基準電圧を変更することができるので、安定して流量を計測でき、流れの安定性が失われた時の計測の高精度化が実現できる。
【００１６】
第３の発明は、上記第１または第２の発明において、前記基準電圧の初期値は、前記増幅手段による増幅後の受信波の第ｎ波を検出できる電圧に設定され、前記基準電圧設定手段は、前記第ｎ波の１つ前の波を検出できる電圧に基準電圧を変更するものである。
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。
【００１８】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１における流量計測装置の構成図、図２は、本発明の実施の形態１における流量計測装置の動作説明図、図３は、流路内の流れが安定しているときの受信信号の波形と基準電圧の説明図、図４は、流路内の流れが乱れているときの受信信号の波形と基準電圧の説明図、図５は基準電圧を２波ピークと３波ピークの中点に変更した場合の動作説明図である。なお、図３，４において、受信信号の負側の波形は省略して
いる。
【００１９】
図１において、流量計測装置は、流路１の途中に超音波を送信または受信する第１超音波振動子２（振動子）と受信または送信する第２超音波振動子３（振動子）とが配置されている。流量計測装置は、切換手段４、送信手段５、増幅手段６、基準比較手段７を備えている。送信手段５は、第１超音波振動子２または第２超音波振動子３を駆動するものである。切換手段４は、第１超音波振動子２、第２超音波振動子３の送受信を切り換えるものである。増幅手段６は、受信側の超音波振動子で受信した信号を制御手段１２からの指示によるゲインで増幅するものである。基準比較手段７は、増幅手段６で増幅された信号（受信信号）と基準電圧とを比較し信号を出力するものである。
【００２０】
また、流量計測装置は、判定手段８、繰り返し手段９、計時手段１０、流量算出手段（算出手段）１１を備えている。判定手段８は、基準比較手段７の出力と増幅手段６で増幅された信号とから超音波の到達時期を判定するものである。繰り返し手段９は、判定手段８の信号をカウントし、予め設定された回数だけ制御手段１２へ繰り返し信号を出力するものである。計時手段１０は、第１超音波振動子２から送信した場合と第２超音波振動子３から送信した場合のそれぞれの伝搬時間の累積時間を、繰り返し手段９で予め設定された回数分計時するものである。流量算出手段１１は、計時手段１０の計時した時間に応じて流体の流速を検出し、さらに管路の大きさや流れの状態を考慮して流量を算出するものである。
【００２１】
また、流量計測装置は、制御手段１２、基準電圧設定手段１３、流量判定手段１４を備えている。制御手段１２は、流量算出手段１１、繰り返し手段９からの信号を受け、送信手段５、増幅手段６の動作を制御するものである。基準電圧設定手段１３は、基準比較手段７の基準電圧を設定するものである。流量判定手段１４は、流量算出手段１１で算出した流量とあらかじめ設定された基準流量とを比較し基準電圧設定手段１３へ信号を出力するものである。
【００２２】
以上のように構成された超音波流量計について以下その動作、作用を説明する。
【００２３】
まず、制御手段１２は、増幅手段６のゲインを調整し、受信信号の振幅を一定にする。ここでのゲインの調整方法は従来例と同じなので説明を省略する。制御手段１２は、繰り返し手段９に繰り返し回数（例えば、６４回）を設定して流量計測を開始する。流量計測を開始すると、制御手段１２は、送信手段５を動作させ第１超音波振動子２より超音波信号を送信する。この時から計時手段１０は計時を開始する。第２超音波振動子３で受信された超音波信号は増幅手段６で増幅され、基準比較手段７、判定手段８へ出力される。基準比較手段７は、受信信号と基準電圧（図２では３波ピークと４波ピークの中点を基準電圧にしている）とを比較し、判定手段８へ信号を出力する。判定手段８は基準比較手段７から出力信号Ｃが出力された時点（図２でのタイミングｃ）から有効になる。計時手段１０は、判定手段８が有効になってから増幅手段６出力の符号が正から負に変わる最初の負のゼロクロス点（図２でのゼロクロス点ａ）を検知するまで、即ち、判定手段８が出力信号Ｄを出力するまで計時を行う。
【００２４】
そして、判定手段８によりゼロクロス点（図２でのゼロクロス点ａ）の検知後、第１超音波振動子２と第２超音波振動子３の送受信を切換手段４で切り換え、同様に第２超音波振動子３から送信し第１超音波振動子２で受信したときの計時を行う。この一連の動作を予め設定された６４回繰り返し行う。第１超音波振動子２から送信したときの時間と第２超音波振動子３から送信したときの時間は、それぞれ所定の回数６４回分累積して計時される。所定の繰り返し回数終了後、流量算出手段１１は、第１超音波振動子２から送信したときの累積時間と第２超音波振動子３から送信したときの累積時間からそれぞれの超音
波振動子から送信した場合の伝搬時間を算出し、流速を算出して流量を算出する。流量判定手段１４は、算出された流量とあらかじめ設定された基準流量とを比較し、結果に応じて基準電圧設定手段１３へ信号を出力する。
【００２５】
ここで、図３を用いて、流路１内の流れが安定している場合、すなわち流量判定手段１４で算出された流量が基準流量より少ない時の受信信号の波形と基準電圧設定手段１３で設定される基準電圧の説明を行う。
【００２６】
初期の基準電圧Ａは、３波ピークと４波ピークの中点の電圧に設定されている。これは受信信号の波形において、１波ピークと２波ピーク、２波ピークと３波ピーク、３波ピークと４波ピーク、４波ピークと５波ピークとそれぞれの波のピーク電圧の差を比較すると、３波ピークと４波ピークの電圧差が一番大きいためである。そうすることにより、何らかの原因で受信信号の３波のピーク電圧が上昇、または４波のピーク電圧が減少しても、双方に対してマージンをとれ、安定して判定手段８により４波目のゼロクロス点が検知できる。
【００２７】
ここで、流路１内の流れが安定しているときは、受信信号の振幅の変動も少ないので、受信信号が小さくなったとき（振幅小時）も大きくなったとき（振幅大時）も、図３に示すように振幅平均時からの変動量が小さい。このため、初期の基準電圧Ａで安定して４波目のゼロクロス点を検知することができる。すなわち、振幅の変動により３波のピークが大きくなった場合も４波のピークが小さくなった場合も安定して４波のゼロクロス点を検知できる。従って高精度な流量計測ができる。
【００２８】
次に、図４を用いて、流路１内の流れが乱れている場合、すなわち流量判定手段１４で算出された流量が基準流量より大きい時の受信信号の波形と基準電圧設定手段１３で設定される基準電圧の説明を行う。
【００２９】
初期の基準電圧Ａは、同様に３波と４波の中点の電圧に設定されている。ここで流路１内の流れの安定性が失われているときは、受信信号の振幅の変動は大きくなる。したがって３波のピークが大きくなった場合（振幅大時）は本来４波のゼロクロス点を検知したいが３波目のゼロクロス点を検知してしまい、逆に４波のピークが小さくなった場合（振幅小時）は５波目のゼロクロス点を検知してしまうことになる。従って、安定して同じゼロクロス点を検知したいところであるが、受信信号の振幅の変動により検知するゼロクロス点が計測のたびに３波目の場合と４波目の場合と５波目の場合とばらつくことになる。その結果、算出する流量にもばらつきが生じ高精度な流量計測ができなくなる。
【００３０】
しかし、流路１内の流れの安定性が失われている場合でも、２波ピークと３波ピークの中点の基準電圧Ｂに変更した場合は、２波のピークが大きくなっても３波のピークが小さくなっても安定して３波のゼロクロス点を検知することができる。これは、受信振幅の変動量はピーク電圧の大きさ応じて大きくなるため、１波より２波、２波より３波、３波より４波の方が変動量が大きくなるためであり、このことは実験で明らかになっている。従って、受信振幅の変動は３波目の方が４波目より小さいため、受信信号振幅の変動が大きい状況下では、４波目のゼロクロス点より３波目のゼロクロス点の方が安定して検知することができる。つまり、大流量が流れ流れの安定性が失われている状況では、３波目のゼロクロス点を検知するほうが高精度に流量計測ができる。
【００３１】
次に、図５を用いて、３波目のゼロクロスを検知するときの動作を説明する。基準比較手段７は、受信信号と２波ピークと３波ピークの中点に設定された基準電圧Ｂとを比較し、その大小関係が反転した時点（図５でのタイミングｆ）、即ち、出力信号Ｃの出力時点から判定手段８を有効にする。計時手段１０は、判定手段８が有効になってから増幅手段
６出力の符号が正から負に変わる最初の負のゼロクロス点（図５でのゼロクロス点ｅ）を検知するまで、即ち、出力信号Ｄが出力されるまで計時を行う。
【００３２】
そして、判定手段８によりゼロクロス点（図５でのゼロクロス点ｅ）の検知後、第１超音波振動子２と第２超音波振動子３の送受信を切換手段４で切り換え、同様に第２超音波振動子３から送信し第１超音波振動子２で受信したときの計時を行う。この一連の動作を予め設定された６４回繰り返し行う。第１超音波振動子２から送信したときの時間と第２超音波振動子３から送信したときの時間は、それぞれ所定の回数６４回分累積して計時される。所定の繰り返し回数終了後、流量算出手段１１は、第１超音波振動子２から送信したときの累積時間と第２超音波振動子３から送信したときの累積時間からそれぞれの超音波振動子から送信した場合の伝搬時間を算出し、流速を算出して流量を算出する。
【００３３】
従って、基準流量より算出された流量のほうが大きい場合は、基準電圧設定手段１３は基準比較手段７へ出力する基準電圧を３波ピークと４波ピークの中点の電圧から２波ピークと３波ピークの中点の電圧（基準電圧Ｂ）へ変更する。こうすることで、大流量のため流れの安定性が失われ受信信号の振幅が大きく変動している場合でも、３波目のゼロクロス点を安定して検知することができるので、大流量の計測の高精度化ができる。
【００３４】
以上のように、本実施の形態においては流量算出手段１１で算出した流量とあらかじめ設定された基準流量とを流量判定手段１４で比較し、基準流量より算出した流量のほうが大きいと判断した場合は、基準電圧設定手段１３で設定する基準電圧をあらかじめ設定しておいた２波ピークと３波ピークの中点の電圧（基準電圧Ｂ）に変更する。このことにより、大流量が流れて受信信号の変動が大きい場合でも変動の影響が小さい箇所に変更してゼロクロス点の検知を行うことができるため、高精度な大流量計測ができる。
【００３５】
なお、本実施の形態では、算出手段で算出された流量に応じて、即ち、流量と基準流量を比較して大小に応じて基準電圧を変更するように構成したが、流速に応じて同様の構成が実現できることは言うまでもない。
【００３６】
（実施の形態２）
図６は、本発明の実施の形態２における流量計測装置の構成図を示すものである。
【００３７】
図６において、実施の形態１と異なる点は、流量判定手段１４が、算出された流量のばらつきとあらかじめ設定された基準ばらつきとを比較し結果を基準電圧設定手段１３へ出力する流量ばらつき判定手段１５に変更されている点である。
【００３８】
実施の形態２においては、流量算出手段１１で算出された流量のばらつきとあらかじめ設定された基準ばらつきとを流量ばらつき判定手段１５で比較する。そして、算出された流量のばらつきのほうが基準ばらつきより大きいと判定した場合は、基準電圧設定手段１３は、設定する基準電圧を３波ピークと４波ピークの中点の電圧から２波ピークと３波ピークの中点の電圧に変更する。従って、流路１の流れの安定性が失われ受信信号の振幅に変動が生じ、結果算出された流量のばらつきが大きくなっている場合でも、受信振幅の変動の影響が小さい箇所でゼロクロス点を安定して検知することができるので、高精度な流量計測ができる。
【００３９】
以上のように、本実施の形態においては、算出された流量のばらつきが基準ばらつきより大きい場合は、基準電圧の変更を行うので、本実施の形態１と同様に流路内の流れの安定性が失われ受信信号の振幅が大きく変動している場合でも高精度な流量計測ができる。更に、算出した流量の絶対値ではなくばらつきで流路内の流れの安定性の判定を行い、基準電圧の変更を行うので、さまざまな流路に対応することができる。
【００４０】
なお、本実施の形態では、算出手段で算出された流量に応じて、即ち、流量と基準流量を比較して大小に応じて基準電圧を変更するように構成したが、流速に応じて同様の構成が実現できることは言うまでもない。
【００４１】
なお、本発明は、本発明の趣旨ならびに範囲を逸脱することなく、明細書の記載、並びに周知の技術に基づいて、当業者が様々な変更、応用することも本発明の予定するところであり、保護を求める範囲に含まれる。また、発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記実施形態における各構成要素を任意に組み合わせてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
以上のように、本発明にかかる流量計測装置は、算出された流量値やそのばらつき具合によって基準電圧を変更し、受信信号の変動の影響が小さい箇所でゼロクロス点の検知ができるため、流路内の流れに乱れが生じ受信信号の振幅が大きく変動している場合でも高精度な流量計測ができる。従って、非常に高精度の流量計測装置を実現することが可能となるので、流量測定基準器及びガスメーターや水道メーター等の用途にも適用できる。
【符号の説明】
【００４３】
１  流路
２  第１超音波振動子（振動子）
３  第２超音波振動子（振動子）
４  切換手段
５  送信手段
６  増幅手段
７  基準比較手段
８  判定手段
９  繰り返し手段
１０  計時手段
１１  流量算出手段（算出手段）
１２  制御手段
１３  基準電圧設定手段
１４  流量判定手段
１５  流量ばらつき判定手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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