(57)【要約】【課題】基板上に、フォトリソグラフィ法により複数色の着色画素を隣接して順次に設けるカラーフィルタの製造方法において、複数色の着色画素を隣接して順次に設け、この順次内での前色の着色画素と後色の着色画素を突き合わせて設けたカラーフィルタであっても、前色の着色画素と後色の着色画素の側面間に、逆テーパー側面のない着色画素を形成することのできるカラーフィルタの製造方法を提供する。【解決手段】フォトレジストの塗布膜へのフォトマスクを介した露光後の、現像の初期の段階で、前記順次内での前色の着色画素の順テーパー側面に、隣接する後色の着色画素の側面端が接しないように後色の着色画素を形成することを特徴とする。【選択図】図７
2011164657.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に、フォトリソグラフィ法により複数色の着色画素を隣接して順次に設けるカラーフィルタの製造方法において、
フォトレジストの塗布膜へのフォトマスクを介した露光後の、現像の初期の段階で、前記順次内での前色の着色画素の順テーパー側面に、隣接する後色の着色画素の側面端が接しないように後色の着色画素を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
請求項１記載のカラーフィルタの製造方法において、現像の終了の段階で、前記順次内での前色の着色画素の下辺端に、隣接する後色の着色画素の少なくとも一方の下辺端が接するように後色の着色画素を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載のカラーフィルタの製造方法を用いて製造したことを特徴とするカラーフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数色の着色画素を隣接して順次に設けるカラーフィルタの製造方法に関するものであり、特に、前色の着色画素と後色の着色画素の側面間に隙間のない、或いは、逆テーパー側面のない着色画素を形成するカラーフィルタの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。また、図２は、図１に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図である。
図１、及び図２に示すように、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタは、ガラス基板（１０）上にブラックマトリックス（１）、着色画素（２）、及び透明導電膜（３）が順次に形成されたものである。
図１、及び図２はカラーフィルタを模式的に示したもので、着色画素（２）は１２個表されているが、実際のカラーフィルタにおいては、例えば、対角１７インチの画面に数百μｍ程度の着色画素が多数個配列されている。
【０００３】
液晶表示装置の多くに用いられている、上記構造のカラーフィルタの製造方法としては、先ず、ガラス基板上にブラックマトリックスを形成し、次に、このブラックマトリックスのパターンに位置合わせして着色画素を形成し、更に透明導電膜を位置合わせして形成するといった方法が広く用いられている。
ブラックマトリックス（１）は、遮光性を有するマトリックス状のものであり、着色画素（２）は、例えば、赤色、緑色、青色のフィルタ機能を有し、相互に隣接して設けられたものであり、透明導電膜（３）は、透明な電極として設けられたものである。
【０００４】
ブラックマトリックス（１）は、着色画素（２）間のマトリックス部（１Ａ）と、着色画素（２）が形成された領域（表示部）の周辺部を囲む額縁部（１Ｂ）とで構成されている。ブラックマトリックスは、カラーフィルタの着色画素の位置を定め、大きさを均一なものとし、また、表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。
【０００５】
ガラス基板上へのブラックマトリックスの形成は、例えば、ガラス基板（１０）上に金属薄膜を形成し、この金属薄膜をフォトエッチングすることによって形成するといった方法がとられている。
或いは、ガラス基板（１０）上に、ブラックマトリックス形成用の黒色フォトレジストを用いてフォトリソグラフィ法によってブラックマトリックス（１）を形成するといった方法がとられている。
【０００６】
また、着色画素（２）の形成は、このブラックマトリックスが形成されたガラス基板上に、例えば、顔料などの色素を分散させたネガ型の着色フォトレジストを用いて塗布膜を設け、この塗布膜への露光、現像によって各色毎に順次に着色画素を形成するといった方法がとられている。また、透明導電膜（３）の形成は、ブラックマトリックス、着色画素が形成されたガラス基板上に、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）を用いスパッタ法によって透明導電膜を形成するといった方法がとられている。
【０００７】
上記ブラックマトリックス、着色画素、及び付随する各層をフォトリソグラフィ法によりパターンとして形成する際には、例えば、先ずガラス基板に対して必要に応じた洗浄処理を施し、続いて塗布装置によるフォトレジストの塗布、減圧乾燥装置による予備乾燥処理、プリベーク装置によるプリベーク処理、露光装置によるパターン露光、現像処理ユニ
ットによる現像処理、加熱ユニットによるポストベーク処理が順次に施され、ガラス基板に所定のパターンを形成する。
図１、及び図２に示すカラーフィルタは、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタとして基本的な機能を備えたものである。
【０００８】
液晶表示装置の画素の精細化に伴い、形成されるブラックマトリックスの幅は、次第に狭いものとなっている。ブラックマトリックスの狭幅化により、着色画素を形成する際の着色画素の位置ズレに起因した隙間、すなわち、ブラックマトリックスと着色画素の間に隙間が発生してしまうことがある。
【０００９】
図３は、図２に符号（Ｓ）で示す部分を拡大した説明図である。図３においては透明導電膜（３）は省略してある。
図３（ａ）は、ブラックマトリックス（１）の幅が十分な幅（Ｗ１）の場合の例である。図３（ａ）に示すように、１色目の着色画素（２−１）の端部、及び２色目の着色画素（２−２）の端部は、ブラックマトリックス（１）の端部に重なるように形成されている。重なり量は十分であり、ブラックマトリックスが狭幅化される以前の状態である。
【００１０】
図３（ｂ）は、ブラックマトリックスが狭幅化された状態の説明図である。図３（ｂ）に示すように、ブラックマトリックス（１）の幅は、狭幅（Ｗ２）となっている。１色目の着色画素（２−１）の端部は、ブラックマトリックス（１）の端部に重なるように形成されているが、２色目の着色画素（２−２）の端部は、着色画素を形成する際の位置ズレによって、その端部はブラックマトリックス（１）の端部に重ならず、ブラックマトリックス（１）と２色目の着色画素（２−２）の間に隙間（Ｍ）が発生している例である。
【００１１】
この隙間（Ｍ）は、白抜けとも称されており、このようなカラーフィルタを液晶表示装置に用いた際には、その表示品質に悪影響を及ぼすので、隙間（Ｍ）の発生は好ましいことではない。
従って、このような白抜け（隙間）（Ｍ）の発生を回避するために、ブラックマトリックス（１）の幅の中央部にて、１色目の着色画素（２−１）の側面と、２色目の着色画素（２−２）の側面の両側面を突き合わせた状態に着色画素を形成するといった手法をとることになる。
【００１２】
すなわち、図３（ｃ）に示すように、１色目の着色画素（２−１）と２色目の着色画素（２−２）の間に間隔を設けず、両側面を接した突き合わせ（Ｎ）の状態に１色目の着色画素（２−１）及び２色目の着色画素（２−２）を形成する。
これにより、着色画素を形成する際の位置ズレに起因した白抜け（隙間）（Ｍ）の発生は回避されたものとなる。
しかし、このように、着色画素の両側面を接した突き合わせ（Ｎ）の状態で着色画素を形成すると、１色目の着色画素（２−１）の側面と、２色目の着色画素（２−２）の側面の両側面を突き合わせ（Ｎ）た部分に、後述する現像処理に起因した隙間が発生するといった別な問題が発生する。
【００１３】
図４（ａ）〜（ｃ）は、現像処理に起因した隙間の発生状態を模式的に示した説明図である。図４は、着色画素の色数が３色の場合の例である。また、図４ではブラックマトリックス（１）及び透明導電膜（３）を省略してある。
図４（ａ）は、ガラス基板（１０）上に、１色目の着色画素（２−１）が形成された段階の断面図である。図４（ａ）に示すように、１色目の着色画素（２−１）は、通常、その断面形状は台形（等脚台形）となっている。
【００１４】
図４（ａ）に示すように、着色画素の側面が、上底が下底より小さい台形の側面のよう
な傾斜の状態を、本発明においては、順テーパー（Ａ）と称することとする。すなわち、図４（ａ）に示す、１色目の着色画素（２−１）の断面形状は台形であり、その側面は順テーパー（Ａ）となっている。
尚、前記図３においては、着色画素の断面形状は、説明上、矩形を用いている。
【００１５】
図４（ｂ）は、続いて、２色目の着色画素（２−２）が形成された段階の断面図である。図４（ｂ）に示すように、２色目の着色画素（２−２）の、１色目の着色画素（２−１）に面した側面は、逆台形の側面のような、１色目の着色画素（２−１）の側面の順テーパー（Ａ）と平行な側面を有している。
また、２色目の着色画素（２−２）の他の側面は、台形の側面のように順テーパー（Ａ）となっている。そして、１色目の着色画素（２−１）と２色目の着色画素（２−２）の間には、隙間（Ｃ）が発生している。
【００１６】
着色画素の側面が、下底が上底より小さい逆台形の側面のような傾斜の状態を、本発明においては、逆テーパー（Ｂ）と称することとする。
すなわち、図４（ｂ）に示す、２色目の着色画素（２−２）の断面形状は、１色目の着色画素（２−１）に面した側面は逆テーパー（Ｂ）となっており、他の側面は順テーパー（Ａ）となっている。
尚、逆テーパー（Ｂ）をオーバーハングと呼称することもある。
【００１７】
図４（ｃ）は、続いて、３色目の着色画素（２−３）が形成された段階の断面図である。図４（ｃ）に示すように、３色目の着色画素（２−３）の断面形状は逆台形である。
２色目の着色画素（２−２）に面した側面は、２色目の着色画素（２−２）の順テーパー（Ａ）と平行な、逆テーパー（Ｂ）となっている。また、他の側面は、１色目の着色画素（２−１Ｂ）に面しており、１色目の着色画素（２−１Ｂ）の順テーパー（Ａ）と平行な、逆テーパー（Ｂ）となっている。そして、２色目の着色画素（２−２）と３色目の着色画素（２−３）の間、及び３色目の着色画素（２−３）と１色目の着色画素（２−１Ｂ）の間には、各々、現像処理に起因した隙間（Ｃ）が発生している。
【００１８】
上記のように、前記図３（ｃ）に示す、着色画素の両端面を突き合わせた状態で着色画素を形成すると、１色目と２色目の着色画素間、２色目と３色目の着色画素間、及び３色目と１色目の着色画素間、すなわち、着色画素を形成する順次内での前色の着色画素と、隣接する後色の着色画素の間には、現像処理に起因した隙間（Ｃ）が発生する。
そして、２色目以降の着色画素の少なくとも片側面は、逆テーパー（オーバーハング）（Ｂ）の断面形状となる。
【００１９】
このように、着色画素間に隙間（Ｃ）があり、また、着色画素の側面が逆テーパー（Ｂ）であると、着色画素上の全面に設けられる、前記図２に示す透明導電膜（３）が均一に形成されないことがある。隙間（Ｃ）の部分では、透明導電膜（３）の膜厚が薄くなり、或いは断線が発生し、表示画面に支障をきたすこととなる。また、透明導電膜（３）の膜厚が薄い部分や、断線の部分から着色画素の成分が溶出し表示画面に支障をきたすことがある。
【００２０】
尚、前記図３（ｃ）に示すように、隣接する着色画素の互いに対向する側面を突き合わせた状態で着色画素を形成する手法は、上記のような、ブラックマトリックスの狭幅化への対応策としてのみではなく、ブラックマトリックスの幅が十分な幅を有するカラーフィルタにおいても採用されることがある。
例えば、ブラックマトリックスの材料として、金属薄膜を用いた際に伴う金属薄膜での反射光を回避したい場合には、金属薄膜を覆うために採用される手法である。このような場合においても同様に、上記透明導電膜（３）の断線などは発生しているものであり、同様
に問題を抱えていたのである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００２１】
【特許文献１】特開平８−２０１７９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものあり、複数色の着色画素を隣接して順次に設け、この順次内での前色の着色画素と後色の着色画素を突き合わせて設けたカラーフィルタであっても、前色の着色画素と後色の着色画素の側面間に、逆テーパー側面のない着色画素を形成することのできるカラーフィルタの製造方法を提供することを課題とするものである。
また、上記カラーフィルタの製造方法を用いて製造したカラーフィルタを提供することを課題とする。
これにより、着色画素上の全面に均一な膜厚の透明導電膜が形成され、断線などの発生や着色画素の成分の溶出は回避される。すなわち、表示画面に支障をきたすことはなくなる。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明は、
基板上に、フォトリソグラフィ法により複数色の着色画素を隣接して順次に設けるカラーフィルタの製造方法において、
フォトレジストの塗布膜へのフォトマスクを介した露光後の、現像の初期の段階で、前記順次内での前色の着色画素の順テーパー側面に、隣接する後色の着色画素の側面端が接しないように後色の着色画素を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
【００２４】
また、本発明は、請求項１記載のカラーフィルタの製造方法において、
現像の終了の段階で、前記順次内での前色の着色画素の下辺端に、隣接する後色の着色画素の少なくとも一方の下辺端が接するように後色の着色画素を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。
【００２５】
また、本発明は、請求項１または２のいずれか１項に記載のカラーフィルタの製造方法を用いて製造したことを特徴とするカラーフィルタである。
【発明の効果】
【００２６】
本発明は、フォトレジストの塗布膜へのフォトマスクを介した露光後の、現像の初期の段階で、前記順次内での前色の着色画素の順テーパー側面に、隣接する後色の着色画素の側面端が接しないように後色の着色画素を形成するカラーフィルタの製造方法であるので、前色の着色画素と後色の着色画素を突き合わせて設けたカラーフィルタであっても、逆テーパー側面のない着色画素を形成することのできるカラーフィルタの製造方法となる。
【００２７】
また、本発明は、前色の着色画素の上辺端上に、隣接する後色の着色画素の少なくとも一方の上辺端が重なるように後色の着色画素を形成する、或いは、現像の終了の段階で、前色の着色画素の下辺端に、隣接する後色の着色画素の少なくとも一方の下辺端が接するように後色の着色画素を形成するカラーフィルタの製造方法であるので、前色の着色画素と後色の着色画素を突き合わせて設けたカラーフィルタであっても、前色の着色画素と後色の着色画素の側面間に隙間のない、或いは、逆テーパー側面のない着色画素を形成する
ことのできるカラーフィルタの製造方法となる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。
【図２】図１に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図である。
【図３】（ａ）は、ブラックマトリックスの幅が十分な幅の場合の例である。（ｂ）は、ブラックマトリックスが狭幅化された状態の説明図である。（ｃ）は、着色画素の両側面を突き合わせた状態の説明図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は、現像処理に起因した隙間の発生状態を模式的に示した説明図である。
【図５】（ａ）〜（ｅ）は、現像処理に起因した隙間が発生する過程を精査した内容の説明図である。
【図６】（ａ）〜（ｂ）は、現像の初期の段階で、１色目の着色画素の順テーパーの側面に、２色目の着色画素の側面端が接するように、調節した第二フォトマスクを用いた場合の説明図である。
【図７】（ａ）〜（ｃ）は、請求項１、２に係わる発明によるカラーフィルタの製造方法の一例の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
本発明者は、隣接した着色画素の互いに対向する側面を突き合わせた状態で着色画素を形成すると、前色の着色画素の側面と、後色の着色画素の側面の両側面を突き合わせた部分に、現像処理に起因した隙間が発生する状態を精査した結果、その原因をつきとめ本発明をするに至った。
【００３０】
図５（ａ）〜（ｅ）は、現像処理に起因した隙間が発生する過程を精査した内容の説明図である。図５（ａ）〜（ｅ）は、１色目の着色画素（２−１）と２色目の着色画素（２−２）における隙間の発生を模式的に示した説明図である。また、図５ではブラックマトリックス（１）及び透明導電膜（３）を省略してある。図５（ａ）は、ガラス基板（１０）上に、１色目の着色画素（２−１）が形成された段階の断面図である。図５（ａ）に示すように、１色目の着色画素（２−１）の断面形状は台形であり、側面は順テーパー（Ａ）となっている。
【００３１】
図５（ｂ）は、続いて、着色フォトレジストの塗布膜（１２）が形成された段階の断面図である。例えば、スピンナーを用いて着色フォトレジストを塗布すると、１色目の着色画素（２−１）上の塗布膜の膜厚（Ｔ２）は、ガラス基板（１０）上の塗布膜の膜厚（Ｔ１）より薄く形成される。
図５（ｃ）は、続いて、着色フォトレジストの塗布膜（１２）への第一フォトマスク（ＰＭ１）を介した露光が行われる段階の断面図である。着色フォトレジストとして、ネガ型の着色フォトレジストを用いた例であり、第一フォトマスク（ＰＭ１）の光透過部を透過した照射光（Ｌ）により、２色目の着色画素（２−２）を形成する露光が行われる。
【００３２】
図５（ｄ）は、露光された塗布膜（１２）へ現像が行われている状態の断面図であり、現像の初期の段階の状態である。図５（ｄ）に示すように、１色目の着色画素（２−１）上に設けられた塗布膜（１２）は、現像により溶解、除去されているが、ガラス基板（１０）上の塗布膜（１２）は、現像によりその上部から溶解、除去されつつある。
尚、現像の初期の段階とは、１色目の着色画素（２−１）上のフォトレジストの未露光の塗布膜が溶解、除去され、１色目の着色画素（２−１の上面）が露出した段階を指している。
【００３３】
１色目の着色画素（２−１）上に設けられた塗布膜（１２）が溶解、除去された段階で、１色目の着色画素（２−１）の上辺端（Ｄ）に、２色目の着色画素（２−２）の上辺端（Ｅ）が接した状態になっている。これは、１色目の着色画素（２−１）上に設けられた塗布膜（１２）が溶解、除去された段階で、上記上辺端（Ｄ）に上記上辺端（Ｅ）が接するように、予め、光透過部を調節した第一フォトマスク（ＰＭ１）を用いたためであり、隙間が発生する原因をつきとめるために行ったものである。
【００３４】
この状態から、現像を継続して進行させると、現像液（２０）は、上辺端（Ｄ）と上辺端（Ｅ）が接した位置から、１色目の着色画素（２−１）の側面と２色目の着色画素（２−２）の側面の界面に浸透し、１色目の着色画素（２−１）の順テーパー（Ａ）の側面に沿って２色目の着色画素（２−２）の下方に進み、この間の塗布膜（１２）を溶解し、図５（ｅ）に示すように、現像の終了の段階では１色目の着色画素（２−１）の側面と２色目の着色画素（２−２）の側面の間に隙間（Ｃ）が形成される。そして、２色目の着色画素（２−２）の、１色目の着色画素（２−１）に対向する側面は逆テーパー（Ｂ）となる。
【００３５】
一方、１色目の着色画素（２−１）は、既にポストベーク処理が施された画素であり、現像液（２０）によって溶解されることはない。従って、図５（ａ）に示すように、１色目の着色画素（２−１）の断面形状は台形であり、側面は順テーパー（Ａ）のままである。尚、現像の終了の段階とは、ガラス基板（１０）上のフォトレジストの未露光の塗布膜（１２）が溶解、除去され、ガラス基板（１０）の表面が露出した段階を指している。
【００３６】
このようにして、１色目と２色目の着色画素間と同様に、２色目と３色目の着色画素間、及び３色目と１色目の着色画素間、すなわち、着色画素を形成する順次内での前色の着色画素と、隣接する後色の着色画素の間には、現像処理に起因した隙間（Ｃ）が発生する。また、２色目以降の着色画素の少なくとも片側面は、逆テーパー（Ｂ）の断面形状となる（図４（ｃ）参照）。
【００３７】
また、図６（ａ）〜（ｂ）は、１色目の着色画素（２−１）上のフォトレジストの未露光の塗布膜（１２）が溶解、除去された段階、すなわち、現像の初期の段階で、１色目の着色画素（２−１）の順テーパー（Ａ）の側面に、２色目の着色画素（２−２）の側面端（Ｈ）が接するように、予め、光透過部を調節した第二フォトマスク（ＰＭ２）を用いた場合の説明図である。
図６（ａ）は、フォトレジストの塗布膜（１２）への第二フォトマスク（ＰＭ２）を介した露光が行われる段階の断面図である。
【００３８】
また、図６（ｂ）は、現像の初期の段階の状態である。すなわち、１色目の着色画素（２−１）上に設けられた塗布膜（１２）は、現像により溶解、除去されているが、ガラス基板（１０）上の塗布膜（１２）は、現像によりその上部からいて溶解、除去されつつある。１色目の着色画素（２−１）の順テーパー（Ａ）の側面に、２色目の着色画素（２−２）の側面端（Ｈ）が接した状態になっている。
【００３９】
この状態から、現像を継続して進行させると、現像液（２０）は、順テーパー（Ａ）の側面に側面端（Ｈ）が接した位置から、１色目の着色画素（２−１）の側面と２色目の着色画素（２−２）の側面の界面に浸透し、１色目の着色画素（２−１）の順テーパー（Ａ）の側面に沿って２色目の着色画素（２−２）の下方に進み、この間の塗布膜（１２）を溶解する。
【００４０】
そして、図５（ｄ）、（ｅ）に示す挙動と同様に、現像の終了の段階では１色目の着色
画素（２−１）の側面と２色目の着色画素（２−２）の側面の間に隙間（Ｃ）が形成される。そして、２色目の着色画素（２−２）の、１色目の着色画素（２−１）に対向する側面は、逆順テーパー（Ｂ）となる。また、一方、１色目の着色画素（２−１）は、既にポストベーク処理が施された画素であり、現像液（２０）によって溶解されることはない。すなわち、１色目の着色画素（２−１）の断面形状は台形であり、側面は順テーパー（Ａ）のままである。
【００４１】
本発明は、上述した精査の結果に基づきなされたものである。
【００４２】
図７（ａ）〜（ｃ）は、請求項１、２に係わる発明によるカラーフィルタの製造方法の一例の説明図である。この製造方法は、図７（ｂ）に示すように、１色目の着色画素（２−１）上のフォトレジストの未露光の塗布膜（１２）が溶解、除去された段階、すなわち、現像の初期の段階で、１色目の着色画素（２−１）の順テーパー（Ａ）の側面に、２色目の着色画素（２−２）の側面端（Ｈ）が接しないように２色目の着色画素（２−２）を形成し、且つ、図７（ｃ）に示すように、現像の終了の段階で、１色目の着色画素（２−１）の下辺端（Ｆ）に、２色目の着色画素（２−２）の下辺端（Ｇ）が接するように、２色目の着色画素（２−２）を形成する製造方法である。
【００４３】
また、図７（ａ）は、フォトレジストの塗布膜（１２）への第四フォトマスク（ＰＭ４）を介した露光が行われる段階の断面図である。この第四フォトマスク（ＰＭ４）は、現像の初期の段階で、１色目の着色画素（２−１）の順テーパー（Ａ）の側面に、２色目の着色画素（２−２）の側面端（Ｈ）は接しないで２色目の着色画素（２−２）を形成するように、また、現像の終了の段階で、１色目の着色画素（２−１）の下辺端（Ｆ）に、２色目の着色画素（２−２）の下辺端（Ｇ）が接するように、予め、光透過部を調節した第四フォトマスク（ＰＭ４）を用いた。
【００４４】
また、図７（ｂ）は、現像の初期の段階の状態である。すなわち、１色目の着色画素（２−１）上に設けられた未露光の塗布膜（１２）は、現像により溶解、除去されているが、ガラス基板（１０）上の塗布膜（１２）は、現像によりその上部から溶解、除去されつつある。１色目の着色画素（２−１）の順テーパー（Ａ）の側面に、２色目の着色画素（２−２）の側面端（Ｈ）が接しない状態になっている。
【００４５】
この状態から、現像を継続して進行させると、現像液（２０）は、塗布膜（１２）の未露光部分を溶解、除去しつづけ、図７（ｃ）に示すように、現像の終了の段階で、１色目の着色画素（２−１）の下辺端（Ｆ）に、２色目の着色画素（２−２）の下辺端（Ｇ）が接するように、２色目の着色画素（２−２）は形成される。
従って、１色目の着色画素（２−１）と２色目の着色画素（２−２）の間には、前記隙間（Ｃ）とは異なったＶ字状の隙間（Ｃ’）は発生するが、２色目の着色画素（２−２）の、１色目の着色画素（２−１）の面する側面は、順テーパー（Ａ）となっている。
【００４６】
すなわち、１色目の着色画素（２−１）の側面、及び２色目の着色画素（２−２）の側面は、共に順テーパー（Ａ）の側面であるので、前記隙間（Ｃ）におけるような透明導電膜の断線などが発生することはない。
【符号の説明】
【００４７】
１・・・ブラックマトリックス
２・・・着色画素
２−１、２−１Ｂ・・・１色目の着色画素
２−２・・・２色目の着色画素
２−３・・・３色目の着色画素
３・・・透明導電膜
１０・・・ガラス基板
１２・・・フォトレジストの塗布膜
２０・・・現像液
Ａ・・・側面は順テーパー
Ｂ・・・側面は逆テーパー（オーバーハング）
Ｃ・・・着色画素を形成する際の現像に起因した隙間
Ｃ’・・・Ｖ字状の隙間
Ｄ・・・１色目の着色画素の上辺端
Ｅ・・・２色目の着色画素の上辺端
Ｆ・・・１色目の着色画素の下辺端
Ｇ・・・２色目の着色画素の下辺端
Ｈ・・・着色画素の側面端
Ｌ・・・照射光
Ｍ・・・着色画素を形成する際の位置ズレに起因した白抜け（隙間）
Ｎ・・・突き合わせ
ＰＭ１〜ＰＭ４・・・第一〜第四フォトマスク
【図１】
2011164657.tif 000003
【図２】
2011164657.tif 000004
【図３】
2011164657.tif 000005
【図４】
2011164657.tif 000006
【図５】
2011164657.tif 000007
【図６】
2011164657.tif 000008
【図７】
2011164657.tif 000009