(57)【要約】【課題】簡易な工程及び構成でスタンプを作製できるスタンプ作製方法及びスタンプ作製装置を提供する。【解決手段】作製ステージテープＭＳＴ上に液体の感光性樹脂ＰＨＰを塗布し（図１（ａ））、感光性樹脂ＰＨＰを作製ステージテープＭＳＴとスタンプＳＴのベース部材であるスタンプテープＳＴＴとの間に挟んで展延し（図１（ｂ））、展延した感光性樹脂ＰＨＰのスタンプ形状に対応する領域に光を照射して硬化させ（図１（ｃ））、作製ステージテープＭＳＴとスタンプテープＳＴＴとを離間させて（図１（ｄ））、硬化した感光性樹脂ＰＨＰをスタンプテープＳＴＴ上に残し、スタンプテープＳＴＴに付着している未感光の感光性樹脂ＰＨＰを洗浄し、スタンプテープＳＴＴ上にスタンプＳＴを形成する（図１（ｅ））。【選択図】図１
2011116072.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スタンプ作製に用いる作製ステージテープ上に感光性樹脂を塗布し、
前記作製ステージテープ上の感光性樹脂に、スタンプのベース部材として用いるスタンプテープを押し当て、感光性樹脂を前記作製ステージテープと前記スタンプテープとの間に挟んで展延し、
前記作製ステージテープと前記スタンプテープとで挟まれた感光性樹脂のスタンプ形状に対応する領域に光を照射して硬化させ、
前記作製ステージテープと前記スタンプテープとを離間させて、前記スタンプテープ上にスタンプを形成することを特徴とするスタンプ作製方法。
【請求項２】
スタンプの新規作製に備え、前記作製ステージテープ及び前記スタンプテープの使用済み部分をスタンプ作製領域から退避させ、後続の未使用部分をスタンプ作製領域に移送することを特徴とする請求項１記載のスタンプ作製方法。
【請求項３】
前記感光性樹脂を展延するときの前記作製ステージテープと前記スタンプテープとの距離を調整して、前記スタンプの高さを可変に設定することを特徴とする請求項１又は２記載のスタンプ作製方法。
【請求項４】
スタンプ作製に用いる作製ステージテープを移送する第１移送手段と、
前記作製ステージテープ上に感光性樹脂を塗布する塗布手段と、
スタンプのベース部材として用いるスタンプテープを移送する第２移送手段と、
前記感光性樹脂の硬化用の光を照射する光照射手段と、
を備え、
前記作製ステージテープと前記スタンプテープとの間に挟んで展延した感光性樹脂のスタンプ形状に対応する領域に前記光照射手段からの光を照射させて前記感光性樹脂を硬化させ、前記スタンプテープ上にスタンプを形成することを特徴とするスタンプ作製装置。
【請求項５】
前記第１移送手段及び第２移送手段が、スタンプの新規作製に備え、前記作製ステージテープ及び前記スタンプテープの使用済み部分をスタンプ作製領域から退避させ、後続の未使用部分をスタンプ作製領域に移送することを特徴とする請求項４記載のスタンプ作製装置。
【請求項６】
前記展延時における前記作製ステージテープと前記スタンプテープとの距離を調整して、前記スタンプの高さを可変に設定することを特徴とする請求項４又は５記載のスタンプ作製装置。
【請求項７】
前記スタンプテープが、前記光照射手段が照射する光を透過し、
前記光照射手段が、前記スタンプテープのスタンプ形成面の反対側から光を照射することを特徴とする請求項４〜６のいずれか１つに記載のスタンプ作製装置。
【請求項８】
前記スタンプテープにおける硬化後の感光性樹脂の密着性が、前記作製ステージテープよりも高く、硬化後に前記作製ステージテープと前記スタンプテープとを離間させることで、前記スタンプテープ側に硬化後の感光性樹脂が密着して残り、前記スタンプテープ上にスタンプを形成することを特徴とする請求項４〜７のいずれか１つに記載のスタンプ作製装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スタンプ作製方法及びスタンプ作製装置に関し、詳しくは、感光性樹脂を用いてスタンプを作製する方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、紫外線硬化樹脂などの感光性樹脂を用いてスタンプを作製することが知られており、例えばネガフィルムをマスクとして感光性樹脂に光（例えば紫外線）を露光し、この露光による未硬化部分を取り除くことで、凹凸のスタンプ面を得ていた（例えば、特許文献１参照）。
また、スタンプとして、コンタクトプリントに用いるスタンプや、ナノインプリントに用いる凹凸の型としたスタンプなどがあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平８−３２４０８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来のスタンプ作製方法及び装置では、多く工程及び複雑な構造の素材を必要とし、スタンプ作製に要するリードタイムが長く、また、スタンプの作製コストが高くなってしまうという問題があった。
【０００５】
そこで、本発明は、このような問題点に対処し、簡易な工程及び構成でスタンプを作製でき、スタンプ作製を、短いリードタイムで、かつ、低コストに行えるスタンプ作製方法及びスタンプ作製装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明に係るスタンプ作製方法は、スタンプの作製に用いる作製ステージテープ上に感光性樹脂を塗布し、作製ステージテープ上の感光性樹脂に、スタンプのベース部材として用いるスタンプテープを押し当て、感光性樹脂を作製ステージテープとスタンプテープとの間に挟んで展延し、作製ステージテープとスタンプテープとで挟まれた感光性樹脂のスタンプ形状に対応する領域に光を照射して硬化させ、作製ステージテープとスタンプテープとを離間させて、スタンプテープ上にスタンプを形成する。
このような構成では、作製ステージテープ上に塗布した感光性樹脂は、スタンプテープの押し当てによって展延され、その後、光の照射によってスタンプ形状に対応する領域が硬化し、硬化後に作製ステージテープとスタンプテープとを離間させることで、スタンプテープ上にスタンプを形成する。
【０００７】
ここで、スタンプの新規作製に備え、作製ステージテープ及びスタンプテープの使用済み部分をスタンプ作製領域から退避させ、後続の未使用部分をスタンプ作製領域に移送するとよい。
このような構成では、スタンプ作製に使用し、未感光の感光性樹脂が付着した作製ステージテープ、及び、硬化した感光性樹脂によるスタンプを形成したスタンプテープを、スタンプ作製領域から退避させて、感光性樹脂の塗布・展延・光照射が行われていない後続の部分（未使用部分）をスタンプ作製領域に移送させ、次回のスタンプ作製に備える。
【０００８】
また、感光性樹脂を展延するときの作製ステージテープとスタンプテープとの距離を調整して、前記スタンプの高さを可変に設定することができる。
このような構成では、作製ステージテープとスタンプテープとの間に挟んで感光性樹脂を展延させるときの作製ステージテープとスタンプテープとの距離（隙間）を調整することで、展延後の感光性樹脂の厚みが変化し、以って、硬化後の感光性樹脂の厚みであるスタンプ高さが変化する。
【０００９】
一方、本発明に係るスタンプ作製装置は、スタンプ作製に用いる作製ステージテープを移送する第１移送手段と、作製ステージテープ上に感光性樹脂を塗布する塗布手段と、スタンプのベース部材として用いるスタンプテープを移送する第２移送手段と、感光性樹脂の硬化用の光を照射する光照射手段と、を備え、作製ステージテープとスタンプテープとの間に挟んで展延した感光性樹脂のスタンプ形状に対応する領域に光照射手段からの光を照射させて感光性樹脂を硬化させ、スタンプテープ上にスタンプを形成する。
このような構成では、第１，第２移送手段によってそれぞれ移送可能な作製ステージテープとスタンプテープとの間に挟んで感光性樹脂を展延し、展延した感光性樹脂に対して光照射手段からの光を照射させ、光の照射部分を硬化させてスタンプテープ上にスタンプを形成する。
【００１０】
ここで、第１，第２移送手段が、スタンプの新規作製に備え、作製ステージテープ及びスタンプテープの使用済み部分をスタンプ作製領域から退避させ、後続の未使用部分をスタンプ作製領域に移送することができる。
このような構成では、スタンプ作製に使用し、未感光の感光性樹脂が付着した部分、及び、硬化した樹脂によってスタンプを形成した部分を、第１，第２移送手段によって移送させ、スタンプ作製領域から退避させると共に、後続の部分（未使用部分）をスタンプ作製領域に移送させるようにして、スタンプ作製毎にテープの未使用部分を用いてスタンプを作製する。
【００１１】
また、展延時における作製ステージテープとスタンプテープとの距離を調整して、スタンプの高さを可変に設定することができる。
このような構成では、作製ステージテープとスタンプテープとの間に挟んで感光性樹脂を展延させるときの作製ステージテープとスタンプテープとの距離（隙間）を調整することで、展延後の感光性樹脂の厚みが変化し、以って、硬化後の感光性樹脂の厚みであるスタンプ高さが変化する。
【００１２】
また、スタンプテープが、光照射手段が照射する光を透過し、光照射手段が、スタンプテープのスタンプ形成面の反対側から光を照射する構成とすることができる。
このような構成では、スタンプテープのスタンプ形成面の反対側に照射した光は、スタンプテープを透過して感光性樹脂を露光し、感光性樹脂を硬化させる。
【００１３】
また、スタンプテープにおける硬化後の感光性樹脂の密着性が、作製ステージテープよりも高く、硬化後に作製ステージテープとスタンプテープとを離間させることで、スタンプテープ側に硬化後の感光性樹脂が密着して残り、スタンプテープ上にスタンプを形成する構成とすることができる。
このような構成では、スタンプテープにおける硬化後の感光性樹脂の密着性が、作製ステージテープよりも高いため、感光性樹脂の硬化後に作製ステージテープとスタンプテープとを離間させると、硬化後の感光性樹脂は、作製ステージテープから剥離するのに対し、スタンプテープ側に密着して残り、スタンプテープ上にスタンプを形成する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係るスタンプ作製方法及びスタンプ作製装置によれば、作製ステージテープとスタンプテープとの間に挟んで展延した感光性樹脂を露光し、スタンプテープ上にスタンプを形成するので、簡易な工程及び構成でスタンプを作製でき、スタンプの作製を、短いリードタイムで、かつ、低コストに行える。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態におけるスタンプ作製装置及び作製方法の各工程を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明に係るスタンプ作製装置、及び、本発明に係るスタンプ作製方法の作製工程を示す図である。
図１に示すスタンプ作製装置１００は、スタンプ作製に用いる作製ステージテープＭＳＴを移送する第１移送手段２００と、前記作製ステージテープＭＳＴ上に液体の感光性樹脂ＰＨＰを塗布する塗布手段３００と、スタンプＳＴのベース部材として用いるスタンプテープＳＴＴを移送する第２移送手段４００と、感光性樹脂ＰＨＰを硬化させる波長の光ＲＡを照射する光照射手段５００と、を備える。
【００１７】
前記スタンプテープＳＴＴは、例えばポリエチレンテレフタレートＰＥＴやポリイミドなどを基材としてテープ状に形成したスタンプＳＴのベース部材であり、後述するように、このスタンプテープＳＴＴ上にスタンプＳＴを形成する。
また、前記スタンプテープＳＴＴは、感光性樹脂ＰＨＰの感光波長光の透過率が高く、かつ、感光硬化後の感光性樹脂ＰＨＰとの密着性に優れるものが望ましく、密着性を高めるためのコーティングを施しても良い。
【００１８】
一方、スタンプＳＴの作製に用いる作製ステージテープＭＳＴは、スタンプテープＳＴＴと略同一幅のテープ状に形成される。
作製ステージテープＭＳＴの材料としては、種々の材料を用いることが可能で、前記感光波長光を透過する特性も不要であるが、感光硬化後の感光性樹脂ＰＨＰとの離型性（剥離性）に優れるものが望ましく、離型性（剥離性）を高めるためのコーティング（例えば、フッ素樹脂コーティング）を施しても良い。
前記スタンプ作製装置１００では、後述するように、液体の感光性樹脂ＰＨＰを作製ステージテープＭＳＴとスタンプテープＳＴＴとの間に挟んだ状態で、スタンプテープＳＴＴを透過させて感光波長光を感光性樹脂ＰＨＰに露光させ、硬化後に作製ステージテープＭＳＴとスタンプテープＳＴＴとを離間させて、スタンプテープＳＴＴ上にスタンプＳＴを形成する。
【００１９】
従って、スタンプテープＳＴＴとして、感光波長光を透過させる特性を有するものを使用する。また、硬化後に作製ステージテープＭＳＴとスタンプテープＳＴＴとを離間させるときに、硬化した感光性樹脂ＰＨＰが作製ステージテープＭＳＴから剥離する一方、硬化した感光性樹脂ＰＨＰがスタンプテープＳＴＴに密着して残るように、作製ステージテープＭＳＴは、硬化した感光性樹脂ＰＨＰに対する離型性（剥離性）を備える一方、スタンプテープＳＴＴは、硬化した感光性樹脂ＰＨＰに対する密着性を備えるようにしてある。
換言すれば、スタンプテープＳＴＴは、作製ステージテープＭＳＴに比べて、硬化した感光性樹脂ＰＨＰに対する密着性が高く、逆に、作製ステージテープＭＳＴは、スタンプテープＳＴＴに比べて、硬化した感光性樹脂ＰＨＰに対する離型性（剥離性）が高くなるように、スタンプテープＳＴＴ及び作製ステージテープＭＳＴの材料やコーティングを選択してある。
【００２０】
また、感光性樹脂ＰＨＰ（光硬化性樹脂）としては、紫外線硬化樹脂や可視光硬化樹脂を用いることができ、樹脂として、例えばアクリル樹脂やポリイミドやシリコーン樹脂などを用いることができる。
光照射手段５００は、感光性樹脂ＰＨＰとして紫外線硬化樹脂を用いる場合には、紫外線ランプを光源として備え、また、感光性樹脂ＰＨＰとして可視光硬化樹脂を用いる場合には、ハロゲンランプなどを光源として備え、光源が放射した光ＲＡを、レンズなどを介して感光性樹脂ＰＨＰに照射する。
【００２１】
また、光照射手段５００は、感光性樹脂ＰＨＰの硬化させたい領域、即ち、所望のスタンプ形状に対応する領域に対して選択的に光ＲＡを照射し、所望形状のスタンプ面（凹凸型）を得るための光学デバイスを備えており、例えば、スタンプ面の形状に対応する開口を有するメカニカルスリット（マスク）を介して光を照射したり、複数のマイクロミラーの傾斜を個々に制御することでマイクロミラー毎に光の投射を制御できるＤＭＤ（デジタルミラーデバイス）によって、硬化させたい領域に対応するマイクロミラーから光を投射させるようにしたりする。
前記ＤＭＤ（デジタルミラーデバイス）を用いる構成であれば、個々のマイクロミラーのオン・オフを制御することで光の投射領域を任意に変更できるので、スタンプ面（凹凸型）の形状変更に対してデバイスの交換が不要であり、高い汎用性をもって種々の形状のスタンプＳＴを作製することができる。
【００２２】
作製ステージテープＭＳＴを移送する第１移送手段２００は、スタンプ作製に用いる作製ステージテープＭＳＴを予め巻きつけてある供給側リール２０１と、スタンプ作製に用いた作製ステージテープＭＳＴを巻き取る巻取り側リール２０２と、巻取り側リール２０２を図で反時計回りに回転駆動する図外の駆動モータとを備え、これらを、図外の第１ベースプレートに対して一体的に取り付けてある。
前記供給側リール２０１及び巻取り側リール２０２は、略水平な軸を中心に回転可能に支持され、かつ、前記供給側リール２０１の回転軸と巻取り側リール２０２の回転軸とを、略同一高さで所定距離だけ離間するように配置し、供給側リール２０１の上部と巻取り側リール２０２の上部との間に、作製ステージテープＭＳＴを、表面を略水平として張り渡すようにしてある。
【００２３】
一方、スタンプテープＳＴＴを移送する第２移送手段４００は、スタンプ作製に用いるスタンプテープＳＴＴを予め巻きつけてある供給側リール４０１と、スタンプ作製に用いたスタンプテープＳＴＴを巻き取る巻取り側リール４０２と、巻取り側リール４０２を図で反時計回りに回転駆動する図外の巻き取り用駆動モータと、供給側リール４０１を図で時計回りに回転駆動してスタンプテープＳＴＴを巻き戻し、作製済みのスタンプＳＴの中からの選択使用を可能にする図外の巻き戻し用駆動モータと、前記供給側リール４０１から巻取り側リール４０２に向かうスタンプテープＳＴＴの移送経路を迂回させるための一対の回転軸（スピンドル）４０３ａ，４０３ｂとからなり、これらを、図外の第２ベースプレートに対して一体的に取り付けてある。
【００２４】
前記供給側リール４０１及び巻取り側リール４０２は、略水平な軸を中心に回転可能に支持され、かつ、前記供給側リール４０１の回転軸と巻取り側リール４０２の回転軸とが、略同一高さで所定距離だけ離間するように配置してある。
また、一対の回転軸４０３ａ，４０３ｂを、略水平な軸を中心に回転可能に支持し、かつ、相互に略同一高さで所定距離だけ離間して配置し、更に、供給側リール４０１及び巻取り側リール４０２の回転中心よりも、両回転軸４０３，４０３の回転中心が、下方に位置するようにしてある。
【００２５】
そして、供給側リール４０１から引き出したスタンプテープＳＴＴを、回転軸４０３ａの下側に掛け、更に、回転軸４０３ｂの下側に掛けてから巻取り側リール４０２に巻き取らせることで、スタンプテープＳＴＴを、回転軸４０３ａの下部と回転軸４０３ｂの下部との間に、表面を略水平として張り渡す。
即ち、供給側リール２０１の上部と巻取り側リール２０２の上部との間に張り渡した作製ステージテープＭＳＴと、回転軸４０３ａの下部と回転軸４０３ｂの下部との間に張り渡したスタンプテープＳＴＴとが、スタンプテープＳＴＴを上側として相互に平行に対向するようになっている。
【００２６】
尚、第１移送手段２００を一体的に備える第１ベースプレートと、第２移送手段４００を一体的に備える第２ベースプレートとの少なくとも一方を、少なくとも垂直方向に移動可能に構成してある。ここで、前記ベースプレートを垂直方向に移動させる手段として、ベースプレートを垂直方向に移動可能に支持する案内レールと、該案内レールに沿ってベースプレートを移動させる送りネジ機構とからなる手段を用いることができ、前記送りネジ機構は、ベースプレートに設けたボールナットと、該ボールナットに螺合し、固定側に回転可能に支持したボールネジと、該ボールネジを回転駆動するモータとを備える。
また、前記塗布手段３００は、供給側リール２０１の上部と巻取り側リール２０２の上部との間に張り渡した作製ステージテープＭＳＴの上面に、液体の感光性樹脂ＰＨＰを塗布する手段であり、ディスペンサなどの接触塗布方式や、インクジェットなどの非接触方式など、既知の種々の方式による塗布手段を適宜採用することができる。
【００２７】
次に、上記構成のスタンプ作製装置を用いたスタンプＳＴの作製工程を、詳細に説明する。
まず、第１移送手段２００の上部から第２移送手段４００を退避させた状態（又は第２移送手段４００の直下から第１移送手段２００を退避させた状態）で、第１移送手段２００の供給側リール２０１の上部と巻取り側リール２０２の上部との間に張り渡した作製ステージテープＭＳＴの上面に、前記塗布手段３００によって液体の感光性樹脂ＰＨＰを塗布する（図１（ａ）参照）。
【００２８】
ここで、感光性樹脂ＰＨＰの塗布量は、スタンプＳＴの高さ（展延厚さ）やスタンプＳＴの外形面積などに応じて適量が異なるため、予め実験等から適量を求めておき、この適量だけ塗布する。
液体の感光性樹脂ＰＨＰの塗布を終えると、次いで、作製ステージテープＭＳＴの上面に塗布した液体の感光性樹脂ＰＨＰに対してスタンプテープＳＴＴを押し当てて、作製ステージテープＭＳＴとスタンプテープＳＴＴとの間で液体の感光性樹脂ＰＨＰを展延する。
【００２９】
具体的には、供給側リール２０１の上部と巻取り側リール２０２の上部との間に張り渡した作製ステージテープＭＳＴと、回転軸４０３ａの下部と回転軸４０３ｂの下部との間に張り渡したスタンプテープＳＴＴとが、相互に平行に対向する状態で、作製ステージテープＭＳＴとスタンプテープＳＴＴとの隙間Ｓが設定値になるまで、第１移送手段２００と第２移送手段４００との相対距離を徐々に縮めるようにすることで、作製ステージテープＭＳＴの上面に塗布した液体の感光性樹脂ＰＨＰにスタンプテープＳＴＴを押し当てる。
前記第１移送手段２００と第２移送手段４００との相対距離を縮めるときの目標値である、作製ステージテープＭＳＴとスタンプテープＳＴＴとの隙間Ｓの設定値は、液体の感光性樹脂ＰＨＰの展延厚さの目標であって、引いては、スタンプの高さを既定することになるので、センサによって前記相対距離を検出しつつ、第１移送手段２００と第２移送手段４００との少なくとも一方を移動させる。
従って、前記隙間Ｓを調整することで、任意の高さのスタンプＳＴを作製することができる。
【００３０】
前記作製ステージテープＭＳＴとスタンプテープＳＴＴとの隙間Ｓが設定値になるまで、第１移送手段２００と第２移送手段４００との相対距離を徐々に縮めることで、作製ステージテープＭＳＴとスタンプテープＳＴＴとの間に挟まれる感光性樹脂ＰＨＰを、設定値に対応する厚さに展延する（図１（ｂ）参照）。
作製ステージテープＭＳＴとスタンプテープＳＴＴとの間に挟んで感光性樹脂ＰＨＰを展延すると、そのときの隙間Ｓを保ったまま、スタンプテープＳＴＴのスタンプ形成面の反対側から光照射手段５００によって感光性樹脂ＰＨＰに向けて光ＲＡを照射させる（図１（ｃ）参照）。
尚、前記光照射手段５００を、第２移送手段４００を搭載した第２ベースプレートに対して一体的に取り付けることができる。
【００３１】
光照射手段５００が照射する光ＲＡは、スタンプテープＳＴＴを透過し、作製ステージテープＭＳＴとスタンプテープＳＴＴとの間に挟まれた感光性樹脂ＰＨＰを露光することになり、更に、光の照射領域を、所望のスタンプ形状に対応する領域に限定するので、所望のスタンプ形状に対応する領域の感光性樹脂ＰＨＰが硬化する。
予め決定した照射時間だけ光照射手段５００による光ＲＡの照射を行い、スタンプ面を構成する部分を硬化させると、次いで、第１移送手段２００と第２移送手段４００とを離間させることで、作製ステージテープＭＳＴとスタンプテープＳＴＴとの隙間Ｓを広げる（図１（ｄ）参照）。
【００３２】
このとき、硬化した感光性樹脂ＰＨＰは作製ステージテープＭＳＴから剥離し易いが、硬化した感光性樹脂ＰＨＰはスタンプテープＳＴＴに密着しているため、作製ステージテープＭＳＴとスタンプテープＳＴＴとの隙間Ｓを広げると、硬化した感光性樹脂ＰＨＰがスタンプテープＳＴＴ側に密着して残ることになる。
また、未感光で液体の状態を保持している感光性樹脂ＰＨＰは、作製ステージテープＭＳＴとスタンプテープＳＴＴとの双方に付着して残ることになる。
【００３３】
ここで、作製ステージテープＭＳＴについては、第１移送手段２００による巻き取り移送を行うことで、供給側リール２０１と巻取り側リール２０２との間の領域、即ち、スタンプの作製に用いる領域から、未感光で液体の感光性樹脂ＰＨＰが付着している作製ステージテープＭＳＴ（使用済の作製ステージテープＭＳＴ）を退避させ、後続する液体の感光性樹脂ＰＨＰが付着していない作製ステージテープＭＳＴの未使用部分を、スタンプの新規作製に備えて供給側リール２０１と巻取り側リール２０２との間に張り渡すようにする（図１（ｄ）参照）。
【００３４】
一方、スタンプテープＳＴＴについては、硬化した感光性樹脂ＰＨＰの周囲に、未感光で液体の状態を保持している感光性樹脂ＰＨＰが付着しているので、この液体の感光性樹脂ＰＨＰを溶剤等で洗浄・除去し、スタンプテープＳＴＴ上に硬化した感光性樹脂ＰＨＰのみを残す。
これによって、スタンプテープＳＴＴ上の硬化した感光性樹脂ＰＨＰを、スタンプＳＴ（凹凸型）として用いることができるようになり（図１（ｅ）参照）、作製したスタンプＳＴを使用する場合には、スタンプテープＳＴＴを台座とした状態のまま、コンタクトプリントやナノインプリントなどに用いる。
【００３５】
新規にスタンプＳＴを作製する場合には、第２移送手段４００による巻き取り移送を行うことで、回転軸４０３ａと回転軸４０３ｂとの間に張り渡したスタンプテープＳＴＴであって、スタンプＳＴを形成した使用済みのスタンプテープＳＴＴを、回転軸４０３ａと回転軸４０３ｂとの間（スタンプ作製領域）から退避させ、後続するスタンプ形成が行われていないスタンプテープＳＴＴ（未使用部分）を、スタンプＳＴの新規作製に備えて、回転軸４０３ａと回転軸４０３ｂとの間に張り渡すようにする。
従って、スタンプ作製を複数回行うことで、スタンプテープＳＴＴ上に複数のスタンプＳＴを形成でき、また、スタンプ作成毎に露光パターンを変えることで、異形状の複数種のスタンプＳＴをスタンプテープＳＴＴ上に形成でき、第２移送手段４００によるスタンプテープＳＴＴの移送（送り又は巻き戻し）によって回転軸４０３ａと回転軸４０３ｂとの間に位置させるスタンプＳＴを切り替えることで、複数のスタンプＳＴの中から選択的に使用することができる。
【００３６】
以上のように、本実施形態のスタンプ作製方法及びスタンプ作製装置によれば、感光性樹脂ＰＨＰを、所望のスタンプ形状に合わせて露光・硬化させて、スタンプＳＴ（凹凸型）を作製するので、短時間での作製が可能である。
また、感光性樹脂ＰＨＰを露光させる領域の形状に応じて、スタンプＳＴ（凹凸型）の形状が決まるので、任意の形状のスタンプＳＴ（凹凸型）を容易かつ安価に作製することができる。
また、感光性樹脂ＰＨＰを展延させるときのスタンプテープＳＴＴと作製ステージテープＭＳＴとの対向距離（換言すれば、第１移送手段２００と第２移送手段４００とにおける相対移動距離）を制御することによって、スタンプＳＴ（凹凸型）の高さを任意に制御することが可能である。
【００３７】
また、スタンプテープＳＴＴ上に複数のスタンプＳＴ（凹凸型）を並べて形成でき、異形状のスタンプＳＴ（凹凸型）の選択的使用を容易に行え、スタンプＳＴ（凹凸型）を用いたコンタクトプリントやナノインプリントの作業性が向上する。
また、液状の感光性樹脂ＰＨＰを、スタンプテープＳＴＴと作製ステージテープＭＳＴとの間に挟んで展延し、所望の厚さにするので、回転塗布（スピンコート）方式などを用いて厚さを均一にする場合に比べて、装置を簡略化できる。
【００３８】
尚、スタンプ作製後に、未感光の感光性樹脂ＰＨＰが作製ステージテープＭＳＴに付着して残った場合に、前述のように、新規作製に備えて液体の感光性樹脂ＰＨＰが付着した状態のままで作製ステージテープＭＳＴの巻き取りを行わせても良いし、溶剤で洗浄してから巻き取りを行わせても良いし、更には、付着している感光性樹脂ＰＨＰに露光し、硬化させてから除去しても良い。
ここで、硬化した感光性樹脂ＰＨＰは、作製ステージテープＭＳＴから剥離し易いため、硬化後に除去する構成とすれば、溶剤で洗浄させる場合に比べて、作製ステージテープＭＳＴから感光性樹脂ＰＨＰを容易に除去できる。
【００３９】
また、感光性樹脂ＰＨＰを展延させるときのスタンプテープＳＴＴと作製ステージテープＭＳＴとの距離を規制するスペーサ部材を、スタンプテープＳＴＴと作製ステージテープＭＳＴとの少なくとも一方に対して一体的に設け、スタンプＳＴ（凹凸型）の作製に用いる面が、前記スペーサ部材が制限する距離以下に近づかないようにすることができる。
前記スペーサ部材として、例えばテープの幅方向両端に積層した帯状部材を用いることができ、このようなスペーサ部材であれば、感光性樹脂ＰＨＰを展延させるときに、液体の感光性樹脂ＰＨＰがテープの幅方向端部から漏れ出すことを規制するストッパとしても機能することになる。
【００４０】
また、例えばスタンプテープＳＴＴを、両端を連結させた環状とし、第１移送手段２００が環状のスタンプテープＳＴＴを一方向に移送させることで、スタンプテープＳＴＴ上に複数形成されたスタンプＳＴ（凹凸型）の選択使用を行えるように構成できる。
また、前記第１移送手段２００及び第２移送手段４００におけるリールや回転軸の構成を、図１に示したものに限定するものではなく、スタンプテープＳＴＴと作製ステージテープＭＳＴとを平行に対向させ、かつ、スタンプ作製後にテープの使用済み部分を退避させ、代わりに、テープの未使用部分を作製領域にまで移送させることができればよい。
【符号の説明】
【００４１】
１００…スタンプ作製装置
２００…第１移送手段
３００…塗布手段
４００…第２移送手段
５００…光照射手段
ＰＨＰ…感光性樹脂
ＳＴＴ…スタンプテープ
ＭＳＴ…作製ステージテープ
ＳＴ…スタンプ（凹凸型）
【図１】
2011116072.tif 000003