(57)【要約】      （修正有）【課題】作業の初期から対象物を圧着するダイヤフラムの温度を一定に維持して安定した品質のラミネーションを得ることができるラミネーション方法及びラミネーション装置を提供する。【解決手段】チャンバの対象物を圧着するラミネーション方法であって、対象物をチャンバに配置するステップＳ１１０と、弾性材質のダイヤフラムを第１ヒータに密着させてダイヤフラムを所定の予熱温度に予熱するステップＳ１２０と、ダイヤフラムで対象物を圧着するステップＳ１３０と、を含むことを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバの対象物を圧着するラミネーション方法であって、
前記対象物を前記チャンバに配置するステップと、
弾性材質のダイヤフラムを第１ヒータに密着させて前記ダイヤフラムを所定の予熱温度に予熱するステップと、
前記ダイヤフラムで前記対象物を圧着するステップと、
を含むことを特徴とするラミネーション方法。
【請求項２】
前記ダイヤフラムの予熱ステップが、
前記第１ヒータと前記ダイヤフラムとの間の空気を排出して前記ダイヤフラムを前記第１ヒータに吸着させるステップを含むことを特徴とする請求項１に記載のラミネーション方法。
【請求項３】
前記ダイヤフラムの予熱ステップが、
前記ダイヤフラムの温度を測定して予熱温度に到達したか否かを測定するステップを含むことを特徴とする請求項１または２に記載のラミネーション方法。
【請求項４】
前記ダイヤフラムの予熱ステップの前に、
前記ダイヤフラムの温度を前記予熱温度に到達させるための前記第１ヒータの予熱時間を決定するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１または２に記載のラミネーション方法。
【請求項５】
対象物を収容するチャンバが形成された第１ハウジングと、
前記チャンバが密閉されるように前記第１ハウジングに対応して形成された第２ハウジングと、
前記チャンバに配置された前記対象物を加圧するように前記第２ハウジングに設けられた弾性材質のダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムを加熱するように前記第２ハウジングに設けられた第１ヒータと、
前記ダイヤフラムの温度を測定する温度測定部と、
を含むことを特徴とするラミネーション装置。
【請求項６】
前記第２ハウジングには、
前記ダイヤフラムと前記第１ヒータとの間の空気を排出及び流入する空気圧調節口が設けられたことを特徴とする請求項５に記載のラミネーション装置。
【請求項７】
前記第１ハウジングには、
前記チャンバ内部の空気を排出及び流入するチャンバ空気出入口が設けられたことを特徴とする請求項５または６に記載のラミネーション装置。
【請求項８】
前記第１ハウジングに設けられ、前記チャンバに収容された前記対象物を支持する弾性部材をさらに含むことを特徴とする請求項５から７の何れか１項に記載のラミネーション装置。
【請求項９】
前記弾性部材と前記第２ハウジングとの間に介在された前記対象物を加熱する第２ヒータをさらに含むことを特徴とする請求項５から８の何れか１項に記載のラミネーション装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はラミネーション方法及びラミネーション装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板に絶縁層を積層する方法として、弾性材質のダイヤフラムを用いて基板に絶縁層を圧着するラミネーション工程が多く用いられている。
【０００３】
ラミネーション工程は、均一な品質のために一定の温度で行わなければならないため、ラミネーション工程では一定の温度を維持するためのヒータが用いられている。
【０００４】
しかし、ヒータを用いてもラミネーション工程の作業の初期には、ラミネーション工程が安定せず、このため不良品が発生している。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
こうした従来技術の問題点に鑑み、本発明は、作業の初期から安定した品質のラミネーションが可能なラミネーション方法及びラミネーション装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一実施形態によれば、チャンバの対象物を圧着するラミネーション（ｌａｍｉｎａｔｉｏｎ）方法であって、上記対象物を上記チャンバに配置するステップと、弾性材質のダイヤフラム（ｄｉａｐｈｒａｇｍ）を第１ヒータに密着させて上記ダイヤフラムを所定の予熱温度に予熱するステップと、上記ダイヤフラムで上記対象物を圧着するステップと、を含むラミネーション方法が提供される。
【０００７】
上記ダイヤフラムの予熱ステップは、上記第１ヒータと上記ダイヤフラムとの間の空気を排出して上記ダイヤフラムを上記第１ヒータに吸着させるステップを含むことができる。  
上記ダイヤフラムの予熱ステップは、上記ダイヤフラムの温度を測定して予熱温度に到達したか否かを測定するステップを含むことができる。  
上記ダイヤフラムの予熱ステップの前に、上記ダイヤフラムの温度を上記予熱温度に到達させるための上記第１ヒータの予熱時間を決定するステップをさらに含むことができる。
【０００８】
本発明の他の実施形態によれば、対象物を収容するチャンバが形成された第１ハウジングと、上記チャンバが密閉されるように上記第１ハウジングに対応して形成された第２ハウジングと、上記チャンバに配置された上記対象物を加圧するように上記第２ハウジングに設けられた弾性材質のダイヤフラムと、上記ダイヤフラムを加熱するように上記第２ハウジングに設けられた第１ヒータと、上記ダイヤフラムの温度を測定する温度測定部と、を含むラミネーション装置が提供される。
【０００９】
上記第２ハウジングには、上記ダイヤフラムと上記第１ヒータとの間の空気を排出及び流入する空気圧調節口が形成可能である。  
上記第１ハウジングには、上記チャンバ内部の空気を排出及び流入するチャンバ空気出入口が形成可能である。  
上記第１ハウジングに設けられ、上記チャンバに収容された上記対象物を支持する弾性部材をさらに含むことができる。  
上記弾性部材と上記第２ハウジングとの間に介在された上記対象物を加熱する第２ヒータをさらに含むことができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の実施形態によれば、作業の初期から対象物を圧着するダイヤフラムの温度が一定に維持されて安定した品質のラミネーションを得ることができる。  
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、本発明となりうる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施例に係るラミネーション方法を示す順序図である。
【図２】本発明の一実施例に係るラミネーション装置を示す断面図である。
【図３】本発明の一実施例に係るラミネーション方法を説明するための図面である。
【図４】本発明の一実施例に係るラミネーション方法を説明するための図面である。
【図５】本発明の一実施例に係るラミネーション方法を説明するための図面である。
【図６】本発明の一実施例に係るラミネーション方法を説明するための図面である。
【図７】本発明の一実施例に係るラミネーション方法におけるダイヤフラムの温度変化を示す図面である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施例を添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１３】
図１は、本発明の一実施例に係るラミネーション方法を示す順序図であり、図２は、本発明の一実施例に係るラミネーション装置を示す断面図である。図３から図６は、本発明の一実施例に係るラミネーション方法を説明するための図面である。
【００１４】
本発明の一実施例に係るラミネーション方法は、チャンバ１２の対象物５を圧着する方法であって、対象物の配置ステップ（Ｓ１１０）、ダイヤフラムの予熱ステップ（Ｓ１２０）、及び対象物の圧着ステップ（Ｓ１３０）を含む。
【００１５】
対象物の配置ステップでは、ステップＳ１１０で、ラミネーションを行う対象物５をチャンバ１２に配置する。このために、本実施例によるラミネーション装置は、対象物５を収容するチャンバ１２の形成された第１ハウジング１０を含む。また、本実施例によるラミネーション装置は、空気圧を用いた真空ラミネーション作業を行うために、第１ハウジング１０に対応して形成され、チャンバ１２を密閉することができる第２ハウジング２０を含む。このとき、ラミネーション装置には第１ハウジング１０を上下に移動させて第１ハウジング１０と第２ハウジング２０を結合及び分離する昇降装置１１をさらに含むことができる。また、第１ハウジング１０と第２ハウジング２０との間には密閉を容易にするＯ−リング１６などが介在されてもよい。
【００１６】
ダイヤフラムの予熱ステップでは、ステップＳ１２０で、弾性材質のダイヤフラム３０を第１ヒータ４０に密着させてダイヤフラム３０を所定の予熱温度に予熱する。具体的に、対象物５を直接圧着するダイヤフラム３０が作業の初期からラミネーションに適した温度を有するように、第１ヒータ４０にダイヤフラム３０を密着させて予熱する。ダイヤフラム３０の予熱過程が行われると、図７に示すように、ラミネーションの初期からダイヤフラム３０の温度が安定した状態を維持し、初期から安定した品質のラミネーションを行うことができる。
【００１７】
このために、本実施例によるラミネーション装置は、チャンバ１２に配置された対象物５を加圧するように第２ハウジング２０に設けられた弾性材質のダイヤフラム３０と、ダイヤフラム３０を加熱するように第２ハウジング２０に設けられた第１ヒータ４０と、を含む。第２ハウジング２０にはダイヤフラム３０と第１ヒータ４０との間の空気を排出及び流入する空気圧調節口２２が設けられる。
【００１８】
これにより、図３及び図４に示すように、ダイヤフラムの予熱ステップ（Ｓ１２０）では、第１ヒータ４０とダイヤフラム３０との間の空気を空気圧調節口２２を介して排出させダイヤフラム３０を第１ヒータ４０に吸着させた後にダイヤフラム３０を効率的に予熱することができる。ここで、ダイヤフラム３０の予熱は、図３に示すように、チャンバ１２を減圧する前に行われてもよく、図４に示すように、チャンバ１２の減圧後に行われてもよい。また、チャンバ１２を減圧するために第１ハウジング１０には、チャンバ１２内部の空気を排出及び流入するチャンバ空気出入口１４が形成されてもよい。しかし、ラミネーション方法においてダイヤフラム３０と第１ヒータ４０との密着は本実施例に限定されず、公知の様々な方法で行うことができる。
【００１９】
一方、ダイヤフラムの予熱ステップ（Ｓ１２０）では、ダイヤフラム３０の温度上昇を直接測定して予熱温度に到達したか否かを確認することができる。このために、本実施例によるラミネーション装置はダイヤフラム３０の温度を測定する温度測定部５０を含む。
【００２０】
また、ダイヤフラムの予熱ステップ（Ｓ１２０）の前に、ダイヤフラム３０を所定の予熱温度に到達させるための第１ヒータ４０の予熱時間を測定または予測して予め決定することができる。予熱時間が予め決定されると、ダイヤフラムの予熱ステップ（Ｓ１２０）中の中間確認を省略でき、予熱過程を簡便に行うことができる。
【００２１】
対象物の圧着ステップでは、ステップＳ１３０で、予熱したダイヤフラム３０で対象物５を圧着する。図５に示すように、本実施例では空気圧調節口２２を介して第２ハウジング２０とダイヤフラム３０との間に空気を注入し、空気圧を用いて予熱したダイヤフラム３０で対象物５を圧着する。
【００２２】
このとき、圧着が対象物５の両面にて均一に行われるように、第１ハウジング１０にはチャンバ１２に収容された対象物５を支持するための弾性部材６０を設けてもよい。また、圧着時にチャンバ１２内部の均一な温度分布のために、弾性部材６０と第２ハウジング２０との間に配置された対象物５を直接または間接的に加熱する第２ヒータ７０をさらに設けてもよい。
【００２３】
対象物５の圧着ステップの後には、図６に示すように、空気圧調節口２２を介して空気圧を排出して圧着を解除した後に、第１ハウジング１０と第２ハウジング２０を分離して圧着された対象物５をチャンバ１２から取り出すことができる。
【００２４】
ここで、本実施例のラミネーション装置及び方法は、例えば、第１ハウジング及び第２ハウジングの駆動が駆動制御部（図示せず）の駆動制御により行われ、第１ヒータ及び温度測定部の測定が温度検知制御部（図示せず）の制御により行われる。各駆動制御等のプログラム（命令）が記憶されたメモリ（図示せず）からＣＰＵ（図示せず）は、プログラムを読み出して制御信号を当該駆動制御部（図示せず）、温度検知制御部（図示せず）に出力することにより各駆動制御等が実行される。
【００２５】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【符号の説明】
【００２６】
５  対象物
１０  第１ハウジング
１２  チャンバ
１４  チャンバ空気出入口
２０  第２ハウジング
２２  空気圧調節口
３０  ダイヤフラム
４０  第１ヒータ
５０  温度測定部
６０  弾性部材
７０  第２ヒータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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