(57)【要約】      （修正有）【課題】照明機器で照らしたワークをカメラで撮影して、その撮影データを利用してワークの研削加工を行う研削装置において、照明機器の照射した光が外部に漏れるのを確実に防いで、ワークの位置が撮影データで明確に分かるようにすることで、研削加工の精度を高めることができ、また、照明機器が研削用冷却水の影響を確実に受けないようにすることで、照明機器の照明性能を維持できるようにした、研削装置を提供する。【解決手段】照明枠５２を、照明移動ユニットによって、ワークＷの撮影時にはキャッチパン３６の側壁３６ａの内方側に位置させて、ワークＷの研削加工時にはキャッチパン３６の側壁３６ａの外方側に位置させるようにしている。【選択図】図１３
2011083853.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明機器で照らしたワークをカメラで撮影して、当該撮影データを利用してワークの研削加工を行う研削装置であって、
切削用冷却水を使用してワークの研削加工を行う加工ステージと、
該加工ステージの上方から未加工のワークを撮影するカメラと、
該カメラでワークを撮影する際に該ワークを照射する照明機器と、
前記加工ステージ上に設けられ、前記ワークを取り囲むようにして上方を開放した側壁部を有する冷却水受け皿と、
前記照明機器を、ワーク撮影時には前記冷却水受け皿の側壁部の内方側に位置させて、ワーク研削加工時には前記冷却水受け皿の側壁部の外方側に位置させる照明位置移動手段と、を備えた
研削装置。
【請求項２】
前記冷却水受け皿の側壁部を、平面視で略四角形状の枠状に形成して、
前記照明機器を、該側壁部の内部に嵌り込む略四角形の枠部で構成した
請求項１記載の研削装置。
【請求項３】
前記加工ステージを複数設け、
該各加工ステージ間を、前記照明機器が前記照明位置移動手段で移動するように設定した
請求項１又は２記載の研削装置。
【請求項４】
前記加工ステージに隣接して交換用の研削ツールを保持するツールマガジンを設け、
該ルーツマガジンの近傍空間を前記照明機器の待機空間とし、
該待機空間と加工ステージとの間を、前記照明位置移動手段で前記照明機器が移動するように設定した
請求項１〜３いずれか記載の研削装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、物品を砥石等で研削する研削装置、具体的には、物品（ワーク）をカメラで撮影して、カメラの撮影データを利用して物品を研削する研削装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、物品、例えば、携帯端末の液晶モニター等に用いられる薄板ガラスを、所定の形状に研削する場合に、カメラの撮影データを利用して研削加工を行うものが知られている。
【０００３】
例えば、下記特許文献１には、こうした薄板ガラスの端面を研削する研削装置（面取装置）が開示されている。この特許文献１に記載された研削装置では、薄板ガラスの上方から薄板ガラスの端面（外縁）をカメラで撮影して、薄板ガラスの研削位置や研削量を算出して、研削工具やテーブルの動きを制御することで、薄板ガラスの端面を研削している。
【０００４】
このように、カメラによる撮影データを利用して、薄板ガラスの端面を研削することで、薄板ガラスの加工精度を高めることができ、薄板ガラスの寸法精度を高めることができる。また、カメラを利用して研削を行うことで、倣い加工のようにマスターとなる治具を用意しなくてもよいため、加工スペースを広く確保することができ、研削装置の小型化を図ることもできる。
【０００５】
そして、下記特許文献２では、カメラの撮影領域を明るく照らして撮影データの明暗を明らかにするため、ワークを照らす照明装置（照明機器）を設けるものが開示されている。そして、この特許文献２の研削装置では、照明機器がワーク研削時に邪魔にならないように、照明機器を退避させる退避機構を設けることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００７−２２３００５号公報
【特許文献２】特開２００１−２０８５１６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、一般に、照明機器でワークを照らしてカメラで撮影する場合には、ワークの位置がはっきりと分かるように、ワークに光を集中的に照射して、ワークを光学的に浮かび上がらせることが考えられる。このため、照明機器には、光を効率的に照射するため、できるだけ光が外部に漏れないようにすることが求められる。
【０００８】
こうした要求に対して、特許文献２に開示された照明機器では、単にワーク近傍に設置されているだけで、光が外部に漏れることを防止するような工夫はなされていない。このため、特許文献２の照明機器では、照射した光が外部に漏れて、ワークを十分に照らすことができないという問題がある。
【０００９】
また、一般に、研削装置では、研削加工中の発熱等を防止するため、研削用冷却水を用いて、ワークを冷却することが行われる。このとき、大量の研削用冷却水を用いてワークを冷却することから、照明機器に研削用冷却水が飛び散る恐れがある。このように照明機器に研削用冷却水が飛び散ると、光が拡散して、ワークを適切に照射できないという問題も生じる。
【００１０】
さらに、こうした照明機器は電気で作動するため、防水機能等があった場合でも電線等で漏電の問題が生じる可能性もある。
【００１１】
このような問題に対して、特許文献２の照明機器では、何ら対策が取られていない。なお、特許文献２のように、ワークの研削加工時に、照明機器を退避させることで、研削用冷却水の飛び散りも少なくなると考えられるが、単に研削作業の邪魔にならない位置に退避するだけでは、確実に冷却水を避けられる位置に退避できるとは考えられず、研削用冷却水の飛散の問題は、十分に解決できない。
【００１２】
そこで、本発明は、照明機器で照らしたワークをカメラで撮影して、その撮影データを利用してワークの研削加工を行う研削装置において、照明機器の照射した光が外部に漏れるのを確実に防いで、ワークの位置が撮影データで明確に分かるようにすることで、研削加工の精度を高めることができ、また、照明機器が研削用冷却水の影響を確実に受けないようにすることで、照明機器の照明性能を維持できるようにした、研削装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明の研削装置は、照明機器で照らしたワークをカメラで撮影して、当該撮影データを利用してワークの研削加工を行う研削装置であって、切削用冷却水を使用してワークの研削加工を行う加工ステージと、該加工ステージの上方から未加工のワークを撮影するカメラと、該カメラでワークを撮影する際に該ワークを照射する照明機器と、前記加工ステージ上に設けられ、前記ワークを取り囲むようにして上方を開放した側壁部を有する冷却水受け皿と、前記照明機器を、ワーク撮影時には前記冷却水受け皿の側壁部の内方側に位置させて、ワーク研削加工時には前記冷却水受け皿の側壁部の外方側に位置させる照明位置移動手段と、を備えたものである。
上記構成によれば、照明機器は、照明位置移動手段によって、ワーク撮影時には、冷却水受け皿の側壁部より内方側に位置して、ワーク研削加工時には、冷却水受け皿の側壁部より外方側に位置することになる。
このため、ワーク撮影時には、照明機器が冷却水受け皿の内方側に位置してワークを照射するため、照射した光が冷却水受け皿の側壁部によって遮られることになり、外部に漏れるのを防ぐことができる。一方、ワーク研削加工時には、照明機器が冷却水受け皿の外方側に位置するため、研削用冷却水が冷却水受け皿の側壁部によって堰き止められ、照明機器側に飛散しないようにできる。すなわち、照明機器を、冷却水受け皿の内側と外側に移動させることで、冷却水受け皿の側壁部を、ワーク撮影時には「遮光板」として機能させて、ワーク研削加工時には「防水板」として機能させるのである。
なお、冷却水受け皿の側壁部の高さは、照明機器が隠れる程度の高さがあればよく、加工ステージ上において、照明機器の大きさ（厚さ）よりも側壁部の方が、高くなるように設定するのが望ましい。
【００１４】
この発明の一実施態様においては、前記冷却水受け皿の側壁部を、平面視で略四角形状の枠状に形成して、前記照明機器を、該側壁部の内部に嵌り込む略四角形の枠部で構成したものである。
上記構成によれば、冷却水受け皿の側壁部が、略四角形状の枠状に形成されて、照明機器がその側壁部に嵌り込むような略四角形の枠部で構成されることから、照明機器が冷却水受け皿の内方側に位置する際に、冷却水受け皿が照明機器と共に、略ボックス状の略密閉空間を構成することになる。
よって、ワークを撮影する際に、冷却水受け皿からより照明機器の光が漏れにくくなり、ワークに対して、より効果的に光を照射することができる。
【００１５】
この発明の一実施態様においては、前記加工ステージを複数設け、該各加工ステージ間を、前記照明機器が前記照明位置移動手段で移動するように設定したものである。
上記構成によれば、複数の加工ステージを一つの照明機器が移動して、各加工ステージに載置された各ワークを、それぞれ照射することになる。
このため、一つの照明機器を効率的に用いることができ、設備の簡略化を図ることができる。また、水漏れ防止、光漏れ防止機能に対しても、現在、照明機器が位置する加工ステージでは光漏れ防止機能を得つつも、隣の研削加工を行う加工ステージに対しては同時に水漏れ防止機能を得ることができる。
よって、照明機器を効率的に使用することができ、研削装置の構造をシンプルなものにできる。また、照明機器に対する水漏れ防止機能や光漏れ防止性能も高めることができる。
【００１６】
この発明の一実施態様においては、前記加工ステージに隣接して交換用研削ツールを保持するツールマガジンを設け、該ルーツホルダーの近傍空間を前記照明機器の待機空間とし、該待機空間と加工ステージとの間を、前記照明位置移動手段で前記照明機器が移動するように設定したものである。
上記構成によれば、研削用ツールを保持するツールマガジンの近傍空間を、照明機器が待機する待機空間とすることで、ツールマガジン近傍のデッドスペースを有効に利用して、照明機器を待機させることができる。
よって、研削装置の研削用ツールをツールマガジンを利用して自動的に交換することができつつも、このツールマガジンを設けたことにより、発生するデッドスペースを有効に利用して、照明機器を待機させることができ、照明機器を移動するように構成した場合でも、研削装置の大型化を防ぐことができる。
【発明の効果】
【００１７】
この発明によれば、ワーク撮影時には、照明機器が冷却水受け皿の内方側に位置してワークを照射するため、照射した光が冷却水受け皿の側壁部によって遮られることになり、外部に漏れるのを防ぐことができる。一方、ワーク研削加工時には、照明機器が冷却水受け皿の外方側に位置するため、研削用冷却水が冷却水受け皿の側壁部によって堰き止められ、照明機器側に飛散しないようにできる。
よって、本発明は、照明機器で照らしたワークをカメラで撮影して、その撮影データを利用してワークの研削加工を行う研削装置において、照明機器の照射した光が外部に漏れるのを確実に防いで、ワークの位置が撮影データで明確に分かるようにすることで、研削加工の精度を高めることができる。また、照明機器が研削用冷却水の影響を確実に受けないようにすることで、照明機器の照明性能を維持できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】研削装置の上面図。
【図２】研削装置の正面図。
【図３】研削装置の側面図。
【図４】搬送ロボットの三面図で、（ａ）が正面図、（ｂ）が側面図、（ｃ）が上面図。
【図５】搬送ロボットの搬送時の動作を説明する図で、（ａ）が基準状態からワーク保持開始状態を示した図、（ｂ）がワーク保持開始状態から加工ステージへのワーク搬送状態を示した図。
【図６】搬送ロボットの搬送時の動作を説明する図で、（ｃ）が加工ステージへのワーク搬送状態からカメラ撮影状態を示した図、（ｄ）カメラ撮影状態から次のワークの保持開始状態を示した図。
【図７】第二加工ユニットの上面図。
【図８】第二加工ユニットの一部断面を含む正面図。
【図９】第二加工ユニットの一部断面を含む側面図。
【図１０】大径の研削ツールを使用した際の詳細側面図。
【図１１】小径の研削ツールを使用した際の詳細側面図。
【図１２】照明移動ユニット、加工ステージ、及びツールマガジンの位置関係を、詳細に示した図であり、（ａ）が平面図、（ｂ）が一部断面の側面図。
【図１３】照明枠の動きを説明する図で、（ａ）が一方の加工ステージでの照射状態、（ｂ）が他方の加工ステージでの照射状態、（ｃ）が待機位置での待機状態、を示した図。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、図面に基づいて本発明の実施形態を詳述する。
【００２０】
まず、研削装置の全体構成について説明する。図１は本発明の研削装置の上面図、図２は研削装置の正面図、図３は研削装置の側面図（上部のみ中央位置からの側面図）である。なお、各図において、具体的に描いていないが、この研削装置でも、周知のように、作業者の安全性を確保するため、周囲にガード板を設けている。
【００２１】
この研削装置Ｍは、図２、図３に示すように、下部に略矩形状で格子状に組まれたベースフレーム１を設け、上部に研削加工を行うための様々なユニットを設置している。
【００２２】
ベースフレーム１は、周知の鋼製の角材１１，１２，１３を、左右方向、前後方向、及び上下方向に組むことで、上部の各ユニットを強固に支持するように構成している。
【００２３】
下部のベースフレーム１の上面には、鉄属製の平板材１４を全体に張架することで、ベースフレーム１内の目隠しを行う共に、ベースフレーム１上に各ユニットを設置できるようにしている。
【００２４】
なお、ベースフレーム１内には、電子制御ユニット１５が設置され、研削加工を行う各種ユニットの制御を行うようにしている。また、詳細には記載しないが、この電子制御ユニット１５内には加工情報等を記憶する記憶手段を備えている。さらに、図示しないものの、この電子制御ユニット１５に対して作業者Ｈが情報を入力するための制御盤も設けている。
【００２５】
図１に示すように、研削装置Ｍの上部に設置されるユニットは、中央に設置される搬送ロボット２と、その周囲に設置される四つの加工ユニット３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄと、搬送ロボット２の前方に設置される投入取出ステージ４と、搬送ロボット２の左右両側位置で前後方向に延びるように設置される照明移動ユニット５とで、構成している。
【００２６】
前述の搬送ロボット２は、いわゆる水平方向に動く三関節のスカラロボットで構成している。図１〜図３では、動いていない基準状態で示しているが、後述する図４〜図６によって、動作状態について説明する。
【００２７】
搬送ロボット２の前端に設けた上下スライド軸２０の下端には、ワークである薄板ガラスＷを吸着保持するハンド機構としての吸着ハンド２１を設けている。また、上下スライド軸２０の上端には、取付ブラケットを介して、画像取り込み用のカメラ２３を設けている。
【００２８】
この搬送ロボット２は、ワークである薄板ガラスＷ（Ｗo,Ｗｉ）を、投入取出ステージ４から各加工ユニット３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄへ、また、各加工ユニット３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄから投入取出ステージ４へ、それぞれ搬送するようにしている。このワークＷの搬送作業は、前述した吸着ハンド２１を利用して行う。また、この搬送ロボット２では、前述したカメラ２３により、搬送後に載置したワークＷを、各加工ユニット３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄの上方から撮影するようにしている。
【００２９】
前述の四つの加工ユニットは、搬送ロボット２の前後左右にそれぞれ設けられ、第一加工ユニット３Ａと、第二加工ユニット３Ｂと、第三加工ユニット３Ｃと、さらに、第四加工ユニット３Ｄとして設置されている。
【００３０】
各加工ユニット３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄの構成要素は、全て同じもので設定しており、全て同じ研削作業を行えるようにしている。例えば、第一加工ユニット３Ａで示すように、構成要素には、ワークＷを研削状態で吸着保持する加工ステージ３０と、加工ステージ３０の上方からワークＷを研削する研削スピンドル３１と、加工ステージ３０に隣接して複数の研削ツール（砥石）を保持するルーツマガジン３２と、を備えている。
【００３１】
そして、このうち、加工ステージ３０には、中央の加工テーブル３３を左右方向にスライド移動させる左右スライド機構３４を設けており、加工テーブル３３の左右両側（右側は研削スピンドル等で隠れており図示せず）には樹脂製のジャバラカバー３５を設けて、左右スライド機構３４に研削用冷却水が侵入するのを防止している。また、加工テーブル３３の上面には、矩形ボックス状で上方が開放したキャッチパン３６を設けて研削用冷却水が外部に飛散するのを防止している。また、図１では詳細に図示しないが、研削用冷却水をワークＷに噴射する冷却水プレート３７を、キャッチパン３６に隣接して設けている。
【００３２】
また、研削スピンドル３１は、前後方向にスライド移動する前後スライド機構３８を備えており、この前後スライド機構３８との間に、上下方向に移動する上下ガイド機構３９を設けている。こうして、研削スピンドル３１が前後方向のみならず上下方向にも自由に移動するように構成している。
【００３３】
なお、前後スライド機構３８は、図２に示すように、前後方向に延びる大型角材のサイドフレーム１６に対して強硬に固定している。これにより、研削スピンドル３１の支持剛性が高められ、研削精度を高めることができる。
【００３４】
ツールマガジン３２は、最大五本の研削ツール（砥石）６…（図２、図３参照）が保持できるように構成している。こうして、径の異なる砥石や研磨材の異なる砥石など、複数の研削ツール６を、研削スピンドル３１で自動的に交換できるようにしている。
【００３５】
前述の投入取出ステージ４は、作業者Ｈが開閉操作する開閉扉４０と、開閉扉４０と連動して動く長方形形状のカートリッジ設置台４１と、カートリッジ設置台４１に着脱自在に設置されるワークカートリッジ４２と、を備えている。
【００３６】
開閉扉４０は、下端に水平方向に延びるヒンジ軸４３（図３参照）を設けた横長長方形の鋼板によって構成され、上部外面には平面視略コ字形状のハンドル部４４を設けている。この開閉扉４０を作業者Ｈがハンドル部４４を持ってヒンジ軸４３を中心に手前側に回動させることで、投入取出ステージ４を開放することができ、研削装置Ｍ内へワークＷの出し入れを行うことができる。
【００３７】
カートリッジ設置台４１は、その両側端に開閉扉４０に連結されたリンク機構４５を設けており、また、下部を前後方向に延びるスライドレール４６（図３参照）にスライド係合している。このため、作業者Ｈが開閉扉４０を開閉操作すると、カートリッジ設置台４１もこの開閉操作に連動して研削装置Ｍの内外を行き帰するようになる。
【００３８】
ワークカートリッジ４２は、左右方向に四列でワークＷの積層体が並ぶように、樹脂壁４７で仕切った積層部４８を、四つ設けている。このうち、右側二つの積層部４８では、未加工のワークＷｉを積層して、左側二つの積層部４８では、加工済のワークＷｏを積層するように設定している。このワークカートリッジ４２は、作業者Ｈがカートリッジ設置台４１から容易に取り外しできるように、持ち運びする際の把持部４９を両端に設けている。
【００３９】
このワークカートリッジ４２に、加工前のワークＷをセット（設置）して、作業者ＨがワークＷをセットしたワークカートリッジ４２をカートリッジ設置台４１に置き、開閉扉４０を閉鎖することで、加工前準備を整えることができる。
【００４０】
前述の照明移動ユニット５は、搬送ロボット２の両側位置で前後方向に延びる移動スライドレール５０と、この移動スライドレール５０に上下移動機構５１を介して支持された略正方形の照明枠５２と、を備えている。
【００４１】
移動スライドレール５０は、前端と後端を、支持ブラケット５０ａ,５０ａを介して金属製の平板材１４に設置している。この移動スライドレール５０の後端は、後側の加工ユニット（第二加工ユニット３Ｂ、第四加工ユニット３Ｄ）のツールマガジン３２の位置まで延設している。このため、照明枠５２が研削装置Ｍの後側に大きく移動させることが可能となり、照明枠５２を使用しない待機タイミング（各加工ユニット３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄで研削加工等を行っているタイミング）では、照明枠５２を後側の位置まで後退させることができる。
【００４２】
照明枠５２は、各枠部５２ａ…の内周面に図１では図示しないＬＥＤを複数埋め込むことで、枠内を照射するように構成している。この照明枠５２は、カメラ２３でワークＷを撮影する際には、加工ステージ３０のキャッチパン３６内に投入されて、ＬＥＤでワークＷを側方から照射することで、ワークＷの外形形状（輪郭）を浮かび上がらせて、ワークＷの撮影を容易にしている。
【００４３】
次に、搬送ロボット２について、図４〜図６で説明する。図４は、搬送ロボットの三面図で（ａ）が正面図、（ｂ）が側面図、（ｃ）が上面図である。図５、図６は、搬送ロボットの搬送時の動作を説明する図であり、図５（ａ）が基準状態からワーク保持開始状態を示した図、図５（ｂ）がワーク保持開始状態から加工ステージへのワーク搬送状態を示した図、図６（ｃ）が加工ステージへのワーク搬送状態からカメラ撮影状態を示した図、図６（ｄ）カメラ撮影状態から次のワークの保持開始状態を示した図、である。
【００４４】
搬送ロボット２は、前述のように水平方向に移動する三関節のスカラロボットで構成しており、水平方向で縦横無尽に動くように構成している。具体的には、図４（ｂ）に示すように、第一関節２Ｊａ、第二関節２Ｊｂ、及び第三関節２Ｊｃによって、左右方向に自由に動き、前側アーム２４の前端の上下スライド軸２０は、水平方向に自由に移動するようになっている。
【００４５】
この上下スライド軸２０は、前側アーム２４前端を上下方向に貫通設置しており、上下方向にも自由にスライド移動するようになっている。
【００４６】
上下スライド軸２０の下端には、前述した吸着ハンド２１を設けている。この吸着ハンド２１は、長方形の平板状のベースプレート２５に、下側を向いた四つの吸盤２６…を設けている。この吸盤２６に負圧を作用させることで、吸着力を生じさせ、ワークである薄板ガラスＷを吸着保持するように構成している。
【００４７】
この四つの吸盤２６…は、図４（ｃ）にも示すように、二つずつ、左右に設けることで、それぞれ、二つの吸盤２６で一枚のワークＷを吸着保持するようにしている。このため、一つの吸着ハンド２１で、二枚のワークＷ、Ｗを一度に搬送することができる。
【００４８】
また、この吸着ハンド２１には、下向きに突出したピン２７をベースプレート２５の両端に設けている。このピン２７、２７は、ワークカートリッジ４２内のワークＷがワークカートリッジ４２内で整列するように、ワークＷを搬送する前に、搬送ロボット２で一旦、ワークＷをワークカートリッジ４２内に押し込む際に用いる当接部材である。
【００４９】
上下スライド軸２０の上端には、前述したようにカメラ２３を設けている。このカメラ２３は、吸着ハンド２１のワークＷの保持位置（ベースプレート２５の突出部分）から、約９０°ズラした位置に設置している。これは、カメラ２３で下方を撮影する際に、ベースプレート２５が邪魔にならないようにするためである。このカメラ２３は、一般的なＣＣＤカメラで構成しており、二次元の画像データを取り込むようにしている。
【００５０】
また、このカメラ２３は、図２、図３にも示すように、研削装置Ｍの内で最も高い位置、具体的には、最も高い搬送ロボット２の前側アーム２４よりも高い位置に設置している。このようにカメラ２３を設置することで、他の加工ユニット３Ａ,３Ｂ,３Ｃ,３Ｄから飛んでくる飛散物が、カメラ２３に飛び散るのを防ぐことができ、カメラ２３のレンズ（図示せず）に飛散物が付着するのを防止している。
【００５１】
また、このカメラ２３は、取付ブラケット２２を介して上下スライド軸２０に取り付けている。この取付ブラケット２２は、やや下向きに屈曲して水平方向に延びる腕部２２ａと、上下方向位置を調整可能なカメラ取付部２２ｂと、上下スライド軸２０に筒状に固定されるシャフト固定部２２ｃとで構成している。このように、カメラ２３を、水平方向に延びる腕部２２ａを備える取付ブラケットを介して上下スライド軸２０に設けていることで、カメラが上下スライド軸２０から水平方向に離間して位置し、撮影時には、前側アーム２４の一部が映り込むのを防ぐことができる。
【００５２】
次に、搬送ロボット２の搬送時の動作を、図５、図６を利用して説明する。
【００５３】
図５（ａ）に示すように、搬送ロボット２は、まず、基準状態から各関節を反時計廻りにわずかに回動させ、ワークカートリッジ４２に積層された未加工のワークＷｉを吸着ハンド２１で吸着する。このとき、上下スライド軸２０を大きく反時計廻りに回動させることで、吸着ハンド２１のベースプレート２５を回動させ、左側の吸盤２６で未加工のワークＷｉを吸着する。
【００５４】
その後、図５（ｂ）に示すように、搬送ロボット２は、各関節を大きく反時計廻りに回動させて、第一加工ユニットの加工ステージ３０に、ワークＷｉを搬送する。このとき、ワークＷｉは大体の位置に搬送されて、加工ステージ３０に載置されることになる。すなわち、厳密な位置確認を行うことなく、ワークＷｉは加工ステージ３０に搬送されて、大凡の位置に載置されるのである。
【００５５】
そして、図６（ｃ）に示すように、搬送ロボット２は、前側アーム２４をさらに反時計廻りに回動させると共に、上下スライド軸２０を時計廻りに回動させることで、カメラ２３を確実にワークＷｉの上方（真上）に位置させる。こうして、搬送ロボット２は、自ら搬送して載置したワークＷｉを、カメラ２３で撮影するようにしている。
【００５６】
そして最後に、図６（ｄ）に示すように、搬送ロボット２は、ワークＷｉの撮影終了後に、次の未加工のワークＷｉを搬送するために、各関節を時計廻りに戻して、ベースプレート２５の左側の吸盤２６で、次のワークＷを吸着するようにしている。
【００５７】
そして、その後、搬送ロボット２は、図５（ｂ）の動作を繰り返し、ワークカートリッジ４２から次の加工ステージに未加工のワークＷｉを搬送する。こうして、空いている加工ユニットの加工ステージに、次々と未加工のワークＷｉを搬送して載置する。そして、その搬送後に、カメラ２３で加工ステージに載置したワークＷｉを撮影するようにしている。
【００５８】
なお、具体的には図示しないが、搬送ロボット２は、加工が終了した加工済のワークＷｏを、右側の吸盤２６で吸着することで、加工ステージ３０からワークカートリッジ４２に搬送する。搬送ロボット２は、図５（ｂ）の動作の前に、加工ステージ３０から加工済のワークＷｏを取り上げることで、未加工のワークＷｉの搬送を行いつつ、加工済のワークＷｏの搬送も同時に行うのである。
【００５９】
次に、加工ユニットについて説明する。図７は加工ユニットの上面図、図８は加工ユニットの一部断面を含む正面図、図９は加工ユニットの一部断面を含む側面図である。
【００６０】
加工ユニット３Ｂ（便宜上、第二加工ユニットで説明する）は、図７に示すように、前述したワークＷを保持する加工ステージ３０と、ワークＷを研削する研削スピンドル３１と、研削ツール６を保持するツールマガジン３２と、を備えている。
【００６１】
そして、このうち、加工ステージ３０には、前述のように、矩形の加工テーブル３３と、加工テーブル３３を左右に動かす左右スライド機構３４と、左右スライド機構３４を覆うジャバラカバー３５と、加工テーブル３３の上面に設置されたキャッチパン３６と、研削用冷却水を噴射する冷却水プレート３７と、を備えている。
【００６２】
さらに、この加工ステージ３０は、図８に示すように、さらに様々な構成要素を備えている。
【００６３】
まず、加工テーブル３３の上面には、キャッチパン３６の内側中央にワークＷを吸着保持するための吸着台７０を設けている。この吸着台７０は、上面（受け面）７０ａが長方形（図７参照）となった略Ｔ字状のブロック形状の台座で構成している。吸着台７０の上面７０ａには、負圧を付与するために、複数の吸気口７０ｂ（図１０、図１１参照）を設けている。また、薄板ガラスであるワークＷの表面に傷が生じないようにするため、吸着台７０の上面７０ａには、平滑加工を施している。
【００６４】
吸着台７０の周囲には、研削加工の際の機械原点を算出するための基準ピンを二つ７１，７１、カメラ２３側（上方側）を向くように立設している。この基準ピン７１，７１は、ワークＷを設置（保持）した状態で、カメラ２３から撮影できるように、ワークＷが重ならない位置に配置している。また、二つの基準ピン７１，７１は、ワークＷに対して対角に位置するように配置している。なお、ワークWが完全に透明である場合には、基準ピンの位置はワークと重なるように設定してもよい。
【００６５】
そして、基準ピン７１の先端部７１ａは、図８に示すように、その高さｈｐが吸着台７０の上面７０ａの高さｈｓと同じ高さになるように設定している。このように設定することで、カメラ２３で撮影する際に、ワークＷと基準ピン７１との間でピントのズレが生じないため、画像データの取り込みを確実に行える。
【００６６】
また、キャッチパン３６の内部には、上げ底で傾斜した略四角形の背景板７２を設けている。この背景板７２は、全面を艶消し黒で塗付しており、カメラ２３に映り込んだ際の反射を防いで、ワークＷと基準ピン７１の映り込みを際立たせるようにしている。また、背景板７２を傾斜するように設置することで、研削用冷却水が即座に流れ落ちるようにしている。また、この背景板７２には、基準ピン７１と吸着台７０を挿通させるための挿通穴（具体的には図示せず）を形成している。
【００６７】
キャッチパン３６の隣接位置には、キャッチパン３６に流れ落ちる研削用冷却水を排水する排水管７３と排水樋７４を設けている。この排水管７３と排水樋７４を設けることで、研削用冷却水がキャッチパン３６内に滞留することを防止している。
【００６８】
左右スライド機構３４は、周知のＬＭガイドによって、加工テーブル３３が左右方向に自由にスライド移動するようになっている。そして、この左右スライド機構３４はステッピングモータ３４Ｍによって、スライド量が制御されるように構成している。すなわち、左右スライド機構３４によって、加工テーブル３３の左右方向の位置が制御されるようになっているのである。これにより、後述する研削加工の際には、左右スライド機構３４が研削経路の左右位置を規定することになる。
【００６９】
ジャバラカバー３５は、いわゆるアコーディオンのように左右方向に伸縮するように構成している。このため、加工テーブル３３が左右スライド機構３４で左右に移動したとしても、加工テーブル３３とジャバラカバー３５との間で隙間が生じず、左右スライド機構３４に研削用冷却水が流れ込むのを防ぐことができる。
【００７０】
キャッチパン３６は、前述のように上方が解放した矩形ボックス状に構成しており、外部に研削用冷却水が漏れないように設定している。具体的には、図８に示すように、キャッチパン３６の側壁３６ａを、基準ピン７１（ｈｐ）や吸着台７０（ｈｓ）よりも高い位置ｈｃまで延ばして、研削用冷却水の漏れを防いでいる。
【００７１】
冷却水プレート３７は、左右方向に出没自在になるように構成しており、研削加工時には、キャッチパン３６の上方を覆う位置まで突出するように構成している。そして、この冷却水プレート３７の中央には、前後方向に延びる長穴状の研削挿通穴３７ａを設けている。この研削挿通穴３７ａは、研削加工時に研削ツール６を挿通するために設けている。また、具体的に図示しないものの、冷却水プレート３７の裏面（下面）には、複数の噴射口を設けて、冷却水プレート３７内部を流れる研削用冷却水を下方（ワークＷ側）に噴射するように構成している。
【００７２】
研削スピンドル３１は、研削を行う際の回転駆動力を発生する電動モータ３１ａと、電動モータ３１ａのスピンドル軸に研削ツール６（砥石）を固定するチャック３１ｂと、を備えている。
【００７３】
研削スピンドル３１は、前述したように、前後スライド機構３８を備えている。この前後スライド機構３８は、前後方向に延びるスライドレール３８ａと、スライドレール３８ａ上を移動するスライダー３８ｂとを備えている。この前後スライド機構３８も、ステッピングモータ３８Ｍによってスライダー３８ｂのスライド量が制御されるように構成しており、この前後スライド機構３８によって研削スピンドル３１の前後位置が制御されるようになっている。よって、研削加工の際には、この前後スライド機構３８が研削経路の前後方向位置を規定することになる。
【００７４】
また、研削スピンドル３１と前後スライド機構３８との間には、前述のように、上下ガイド機構３９を設けている。この上下ガイド機構３９も、上下方向に延びるレール３９ａと、レール上を移動する移動部材３９ｂとを備えている。さらに、この上下ガイド機構３９もステッピングモータ３９Ｍによって移動部材の上下移動量が制御されるように構成しており、この上下ガイド機構３９によって、研削スピンドル３１の上下位置を制御するようになっている。これにより、研削ツール６をワークＷに位置合わせする際には、この上下ガイド機構３９を使って、位置調整するようにしている。
【００７５】
ツールマガジン３２は、前述のように、最大五本の研削ツール６…を保持できるように構成している。具体的には、図９に示すように、研削ツール６…を保持する五つのツール保持部３２ａ…を前後方向に一列に並べて、このツール保持部３２ａと研削スピンドル３１との間で、自動的に研削ツール６のやり取りを行うように構成している。
【００７６】
このため、この研削装置Ｍでは、研削箇所に応じて、複数の研削ツール６…を自動的に交換することができ、研削自由度を高めることができる。
【００７７】
研削スピンドル３１の研削ツール６について、図１０、図１１によって説明する。図１０は大径の研削ツールを使用した際の詳細側面図、図１１は小径の研削ツールを使用した際の詳細側面図である。
【００７８】
前述したように、この研削スピンドル３１は、チャック３１ｂによって研削ツール６を着脱することができ、図１０に示すような大径の研削ツール６Ａと、図１１に示すような小径の研削ツール６Ｂとを切り替えて装着することができる。
【００７９】
図１０に示す、大径の研削ツール６Ａは、ダイヤモンド粒子６０を表面に付着させた大径円柱状の加工部６１と、チャック３１ｂに固定される上下方向に延びるシャフト部６２とを備え、加工部６１の上側には外方に広がる鍔部６３を設けている。また、加工部６１の下部には三条で筋状に窪んだ凹部６４を形成している。
【００８０】
この大径の研削ツール６を、研削スピンドル３１で回転させて、ワークＷの外縁（外形）Ｗａに凹部６４を当接させることで、ワークＷの外形研削や面取りを行うことができる。なお、７０は吸着台である。
【００８１】
こうして、大径の研削ツール６ＡによってワークＷを研削することで、研削加工時に研削ツール６Ａが安定して切削が行われるため、加工精度を高めることができる。また、研削ツール６Ａが大径であるため、ツールの工具寿命も長くすることができ、ワークＷを大量に連続して研削できる。
【００８２】
図１１に示す小径の研削ツール６Ｂは、表面にダイヤモンド粒子１６０を付着させた小径円柱状の加工部１６１と、チャック３１ｂに固定されるシャフト部１６２とを備え、加工部１６１の上側には鍔部１６３を設けている。また、加工部１６１の下部には、三条で筋状に窪んだ凹部１６４を形成している。
【００８３】
この小径の研削ツール６Ｂでは、径が小さいため、研削ツール６をワークＷの穴部Ｗｂ内に差し込んで、穴部Ｗｂの内縁Ｗｃに凹部１６４を当接させることで、ワークＷの穴部Ｗｂの内形研削や面取りを行うことができる。
【００８４】
こうして、小径の研削ツール６ＢでワークＷの穴部Ｗｂの内形を研削することによって、穴部Ｗｂの径が小さく加工しにくい場合であっても、研削加工を確実に行うことができる。
【００８５】
次に、前述した照明移動ユニットによる照明枠の動きについて、図１２、図１３を利用して説明する。図１２は照明移動ユニット、加工ステージ、及びツールマガジンの位置関係を、詳細に示した図であり、（ａ）が平面図、（ｂ）が一部断面の側面図である。図１３は照明枠の動きを説明する図で、（ａ）が一方の加工ステージでの照射状態、（ｂ）が他方の加工ステージでの照射状態、（ｃ）が待機位置での待機状態、を示した図である。
【００８６】
図１２に示すように、第一加工ユニット３Ａの加工ステージ３０、第二加工ユニット３Ｂの加工ステージ３０、及びツールマガジン３２は、前後方向に並んで隣接して設置している。これは、研削スピンドル３１（図１参照）が前後方向スライド機構３８（図１参照）によって前後方向にしか移動しないため（一点鎖線が研削ツール６の移動ライン）、この研削スピンドル３１の移動方向に対応して、各加工ステージ３０…等を設置しているからである。
【００８７】
そして、この設置位置に伴なって、照明移動ユニット５の移動スライドレール５０も、前後方向に延びて、この三者の位置に、照明枠５２が移動できるように設定している。
【００８８】
具体的には、図１２（ａ）に示すように、照明枠５２は、前後方向にスライド移動可能に構成しており、後端のツールマガジン３２の側方位置（図面では下側）で待機するようにしている（点線で示した位置）。このように、ツールマガジン３２の側方位置のデッドスペースを利用して、照明枠５２を待機させることで、この部分を照明枠５２の待機空間ＷＳとしている。
【００８９】
また、図１２（ｂ）に示すように、照明枠５２は、第二加工ユニット３Ｂの上方から加工ステージ３０のキャッチパン３６内に落ち込むように、第二加工ユニット３Ｂの加工ステージ３０の上方に位置して、カメラ２３撮影時には、上下移動機構５１によって下方に移動して、キャッチパン３６内に嵌り込むようにしている。さらに、照明枠５２は、第一加工ユニット３Ａの加工ステージ３０に対しても、キャッチパン３６内に嵌り込むように、矢印で示すように、第一加工ユニット３Ａ側（前側）に移動できるようにしている。
【００９０】
キャッチパン３６は、図１２（ａ）でも示すように、平面視で、略四角形の枠状（環状）に位置する側壁３６ａを有している。この側壁３６ａは、アルミ製の板材を屈曲成形することで構成しており、大きな弁当箱のような外観をなす。このような側壁３６ａを加工ステージ３０上に設けることで、キャッチパン３６の内部（内側）の研削用冷却水が外部に漏れるのを防いでいる。なお、この側壁３６ａの高さｈｃは、図１２（ｂ）にも示すように、照明枠５２の厚さ（上下幅）Ｊよりも長く設定しており、照明枠５２がキャッチパン３６内に位置する際には、完全に側壁３６ａで覆われるようにしている。
【００９１】
照明枠５２は、図１２（ｂ）に示すように、側壁３６ａの平面視形状と相似した平面視略四角形の環状体で構成している。そして、その上側に位置する板状部材５２Ａをベースフレームとして構成している。この板状部材５２Ａを構成する四つの枠部５２ａ…の下側には、複数のＬＥＤ５２Ｂ（図面では一つ）を、それぞれの光源５２Ｂａが内側を向くように設けている。このようにＬＥＤ５２Ｂの光源５２Ｂａを設けることで、光を照射した際にワークＷの外周を全体にまんべんなく照らすことができる。
【００９２】
加工ステージ３０は、図１２（ａ）で矢印に示すように、第一加工ユニット３Ａも、第二加工ユニット３Ｂも、共に左右方向（図面では上下方向）に移動するようになっており、研削加工前（カメラ撮影時等）又は加工終了後には、照明移動ユニット５側（図面下側）に移動して、研削加工時には、研削スピンドル３１側（図面上側）に移動するようになっている。
【００９３】
研削スピンドル３１でワークＷを研削する際には、前述のように研削ツール６をワークＷに当接させて行うが、この際、冷却水プレート３７がキャッチパン３６を完全に覆うように設定されるため、キャッチパン３６内部が、ほぼ密閉状態となり、キャッチパン３６内の研削用冷却水が外部に漏れるのを防いでいる。
【００９４】
照明枠５２の動きを、図１３で説明する。まず、図１３（ａ）に示すように、第二加工ユニット３Ｂの加工ステージ３０に載置したワークＷを撮影する場合には、照明枠５２は、第二加工ユニット３Ｂの加工ステージ３０のキャッチパン３６内に位置する。そして、その位置は、ワークＷ端面にＬＥＤの光源５２Ｂａが対向する位置に設定している。なお、照明枠５２には、ＬＥＤ５２Ｂの光がワークＷ端面を確実に照射するように、光源の指向性を高めるスリット壁５２Ｃを設けている。
【００９５】
このように照明枠５２を使ってＬＥＤ５２Ｂの光を照射することで、照明枠５２の板状部材５２Ａが、キャッチパン３６の内でいわゆる「落し蓋」のように機能して、キャッチパン３６内部をほぼ密閉状態にできる。このため、キャッチパン３６からの光漏れを少なくでき、光の照射効率を高めることができる。
【００９６】
また、これと同時に第一加工ユニット３Ａの加工ステージ３０では、研削用冷却水ＫＷを用いて研削加工を行っているが、この時、外部に漏れる可能性のある研削用冷却水ＫＷについても、照明枠５２は、側壁３６ａを隔てた位置（キャッチパン３６内）に位置しているため、影響をうけることはない。
【００９７】
図１３（ｂ）に示すように、第一加工ユニット３Ａの加工ステージ３０に設置したワークＷを撮影する場合には、照明枠５２は、第一加工ユニット３Ａの加工ステージ３０のキャッチパン３６内に位置する。この位置も、ワークＷ端面にＬＥＤの光源５２Ｂａが対向する位置に設定している。この場合も、照明枠５２がキャッチパン３６に嵌め込まれるように位置することで、板状部材５２Ａがいわゆる「落し蓋」のようになり、キャッチパン３６をほぼ密閉して、光の漏れを少なくでき、光の照射効率を高めることできる。
【００９８】
また、隣接する第一加工ユニット３Ａの加工ステージ３０でも研削加工が行わるが、この場合も、照明枠５２は、側壁３６ａを隔てた位置（キャッチパン３６内）に位置しているため、研削用冷却水ＫＷの影響は受けない。
【００９９】
図１３（ｃ）に示すように、第一加工ユニット３Ａの加工ステージ３０や第二加工ユニット３Ｂの加工ステージ３０でワークＷ、Ｗの研削加工が行われる場合には、照明枠５２は、ツールマガジン３２の側方位置の待機空間ＷＳに位置して待機することになる。
【０１００】
このように、ツールマガジン３２の側方位置に照明枠５２が位置した場合でも、各加工ステージ３０のキャッチパン３６の側壁３６ａが存在することで、キャッチパン３６からの研削用冷却水ＫＷの飛散は生じず、照明枠５２への水漏れが生じるといった問題は生じない。
【０１０１】
こうして、照明枠５２は、第一加工ユニット３Ａの加工ステージ３０、第二加工ユニット３Ｂの加工ステージ３０、及びツールマガジン３２側方の待機位置といった三ヶ所に、それぞれ位置することになるが、いずれの場所においても、光漏れの防止と水漏れの防止といった機能を発揮できる。
【０１０２】
以上のように、この実施形態の研削装置Ｍは、照明枠５２で照らしたワークＷをカメラ２３で撮影して、その撮影データを利用してワークＷの研削加工を行う研削装置Ｍであって、切削用冷却水ＫＷを使用してワークＷの研削加工を行う加工ステージ３０と、この加工ステージ３０の上方から未加工のワークＷを撮影するカメラ２３と、このカメラ２３でワークＷを撮影する際にワークＷを照射する照明枠５２と、加工ステージ３０上に設けられ、ワークを取り囲むようにして上方を開放した側壁３６ａを有するキャッチパン３６と、を備えて、照明枠５２を、照明移動ユニット５によって、ワークＷの撮影時にはキャッチパン３６の側壁３６ａの内方側に位置させて、ワークＷの研削加工時にはキャッチパン３６の側壁３６ａの外方側に位置させるようにしている。
【０１０３】
これにより、照明枠５２は、照明移動ユニット５によって、ワークＷの撮影時には、キャッチパン３６の側壁３６ａより内方側に位置して、ワークＷの研削加工時には、キャッチパン３６の側壁３６ａより外方側に位置することになる。
【０１０４】
このため、ワークＷの撮影時には、照明枠５２がキャッチパン３６の内方側に位置してワークＷを照射するため、照射した光がキャッチパン３６の側壁３６ａによって遮られることになり、外部に漏れるのを防ぐことができる。一方、ワークＷの研削加工時には、照明枠５２がキャッチパン３６の外方側に位置するため、研削用冷却水ＫＷがキャッチパン３６の側壁３６ａによって堰き止められ、照明枠５２側に飛散しないようにできる。すなわち、照明枠５２を、キャッチパン３６の内側と外側に移動させることで、キャッチパン３６の側壁３６ａを、ワークＷの撮影時には「遮光板」として機能させて、ワークＷの研削加工時には「防水板」として機能させるのである。
【０１０５】
よって、照明枠５２で照らしたワークＷをカメラ２３で撮影して、その撮影データを利用してワークＷの研削加工を行う研削装置Ｍにおいて、照明枠５２の照射した光が外部に漏れるのを確実に防いで、ワークＷの位置が撮影データで明確に分かるようにすることで、研削加工の精度を高めることができる。また、照明枠５２が研削用冷却水ＫＷの影響を確実に受けないようにすることで、照明枠５２の照明性能を維持できる。
【０１０６】
また、この実施形態では、キャッチパン３６の側壁３６ａを、平面視で略四角形状の枠状に形成して、照明枠５２を、キャッチパン３６の側壁３６ａの内部に嵌り込むような略四角形に構成している。
【０１０７】
これにより、照明枠５２がキャッチパン３６の内方側に位置する際に、キャッチパン３６が照明枠５２と共に、ボックス状の略密閉空間を構成することになる。
【０１０８】
よって、ワークＷを撮影する際に、キャッチパン３６から、より照明枠５２の光が漏れにくくなり、ワークＷに対して、より効果的に照射を行うことができる。
【０１０９】
また、この実施形態では、加工ステージ３０を複数設け、各加工ステージ３０…間を、照明枠５２が照明移動ユニット５で移動するように設定している。
【０１１０】
これにより、複数の加工ステージ３０…を一つの照明枠５２が移動して、各加工ステージ３０…に載置された各ワークＷ…を、それぞれ照射することになる。
【０１１１】
このため、一つの照明枠５２を効率的に用いることができ、設備の簡略化を図ることができる。また、水漏れ防止、光漏れ防止機能に対しても、現在、照明枠５２が位置する加工ステージ３０では光漏れ防止機能を得つつも、隣の研削加工を行う加工ステージ３０に対しては同時に水漏れ防止機能を得ることができる。
【０１１２】
よって、一つの照明枠５２を効率的に使用することができ、研削装置の構造をシンプルなものにできる。また、照明枠５２に対する水漏れ防止機能や光漏れ防止性能も高めることができる。
【０１１３】
また、この実施形態では、加工ステージ３０に隣接してツールマガジン３２を設け、このルーツホルダーの側方を、照明枠５２の待機空間ＷＳとし、この待機空間ＷＳと加工ステージ３０との間を、照明枠５２が移動するように設定している。
【０１１４】
これにより、ツールマガジン３２側方のデッドスペースを有効に利用して、照明枠５２を待機させることができる。
【０１１５】
よって、研削装置Ｍの研削用ツール６…を、ツールマガジン３２を利用して自動的に交換することができつつも、このツールマガジン３２を設けたことにより、発生するデッドスペースを有効に利用して、照明枠５２を待機させることができ、照明枠５２を移動するように構成した場合でも、研削装置Ｍの大型化を防ぐことができる。
【０１１６】
以上、本発明は、この実施形態に限定されるものではなく、あらゆる研削装置に適用する実施形態を含むものである。
【０１１７】
この実施形態の研削装置Ｍでは、ワークＷを携帯電話用の薄板ガラスとしているが、例えば、携帯音響機器用の薄板ガラスであってもよいし、また、携帯ゲーム機用の薄板ガラスであってもよい。さらに、アクリル製の板や、金属製の物品や板、木製品やプラスチック製品等であってもよい。
【０１１８】
また、研削装置の全体構成についても、この実施形態に限定されるものではなく、例えば、加工ユニットが、二つや三つ、さらに五つや六つなど、多くの加工ユニットを設けるようなものに、適用してもよい。
【０１１９】
さらに、この実施形態では、研削スピンドル３１と加工テーブル３３をそれぞれ作動させることで、ワークＷの研削加工を行うようにしたが、例えば、研削スピンドル３１だけを動かして、ワークＷを研削してもよい。
【０１２０】
研削ツール６についても、この実施形態に挙げたようなものに限定されるのではなく、例えば、球型の研削ツールや、円盤型の研削ツール、また円錐型の研削ツールであってもよい。また、砥石材料についてもダイヤモンドに限定されるものではない。
【符号の説明】
【０１２１】
Ｍ…研削装置
Ｗ…ワーク（薄板ガラス）
Ｗｉ…未加工のワーク
Ｗｏ…加工済のワーク
２…搬送ロボット
３Ａ…第一加工ユニット
３Ｂ…第二加工ユニット
３Ｃ…第三加工ユニット
３Ｄ…第四加工ユニット
４…投入取出ステージ
５…照明移動ユニット
２３…カメラ
３０…加工ステージ
３１…研削スピンドル
３６…キャッチパン
３６ａ…側壁
５２…照明枠
【図１】
2011083853.tif 000003
【図２】
2011083853.tif 000004
【図３】
2011083853.tif 000005
【図４】
2011083853.tif 000006
【図５】
2011083853.tif 000007
【図６】
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【図７】
2011083853.tif 000009
【図８】
2011083853.tif 000010
【図９】
2011083853.tif 000011
【図１０】
2011083853.tif 000012
【図１１】
2011083853.tif 000013
【図１２】
2011083853.tif 000014
【図１３】
2011083853.tif 000015