(57)【要約】【課題】容器本体に対する蓋体の固定力の低下を生じることなく、常に安定した開閉作業を行なうことができる精密基板収納容器を提供する。【解決手段】上面が開口して内部に精密基板を収納する容器本体２と、容器本体２の開口部２０に被せられる蓋体３とを具備し、容器本体２の開口内周縁にカム挿入口２０ｂが設けられ、蓋体３には蓋閉じ時に前記カム挿入口２０ｂに対向する側壁面に貫通孔３１が設けられ、貫通孔３１から出没する締め付け用カム５が設けられた精密基板収納容器１であって、締め付け用カム５のカム軸部４６（回転軸中心）の外側には、締め付け用カム５が貫通孔３１から出た際に、締め付け用カム５の底面５１ａに線接触し、貫通孔３１内に納まった際には接触解除されるリブ４１が設けられたものである。また、リテーナ２３の載置面２３１に精密基板１０との接触面積を減らす凸部２３１ａを設けたものである。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面が開口して内部に精密基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部に被せられる蓋体とを具備し、容器本体の開口内周縁にカム挿入口が設けられ、蓋体には蓋閉じ時に前記カム挿入口に対向する側壁面に貫通孔が設けられ、この貫通孔から出没する締め付け用カムが設けられた収納容器であって、
締め付け用カムの回動中心の外側には、締め付け用カムが貫通孔から出た際に、この締め付け用カムの底面に接触し、貫通孔内に納まった際には接触解除されるリブが設けられたことを特徴とする精密基板収納容器。
【請求項２】
締め付け用カムの回動中心から半径方向に沿って長孔が設けられるとともに、この長孔には、ローテーションカムに連結されたリンクの端部から突出されたリンクピンが挿入されてなり、
ローテーションカムの回動によって、レール内に設けられたリンクが、長手方向に沿って直線運動しながら、リンクピンが、長孔の外端側から内端側を経て再度外端側へとスライド移動して締め付け用カムを回動させるロック機構を有し、
長孔の内端側から再度外端側へとリンクピンがスライド移動する際に、リンクピンが通過するレールの外側の側壁面には、締め付け用カムの内径側から外径側へとリンクが外側へ広がるのを防止する位置規制凸部が設けられた請求項１記載の精密基板収納容器。
【請求項３】
締め付け用カムと連動するローテーションカムを具備し、
このローテーションカムは、一方に回転させることで、ローテーションカムの外周に設けられた凹部にロックリブが嵌合して貫通孔からカムが出たロック状態となり、他方に回転させることで、凹部に嵌合したロックリブが嵌合解除されて貫通孔内にカムが納まったロック解除状態となされ、
ロックリブは、ロック時に縮角方向に撓む第一屈曲部と、ロック解除時に縮角方向に撓む第二屈曲部とを有することを特徴とする請求項１または２記載の精密基板収納容器。
【請求項４】
基板上に、締め付け用カムとローテーションカムとがリンクを介して連動するように設けられてロック機構が構成されてなり、
蓋体に設けられた凹設部に固定リブが突設され、
前記ロック機構は、凹設部に基板が面接合された状態で固定リブに対して、基板が着脱可能に嵌合するようになされ、凹設部にカバー材が嵌合固定されてロック機構全体を被覆するようになされた請求項１ないし３の何れか一に記載の精密基板収納容器。
【請求項５】
容器本体の両側壁面に、複数枚の精密基板を保持するリテーナを具備し、
このリテーナは、精密基板が載置される載置面に、精密基板との接触面積を減らす凸部が設けられている請求項１ないし４の何れか一に記載の精密基板収納容器。
【請求項６】
凸部は、容器本体の底面側から開口部側に向かって線状に凸設するように形成されている請求項５に記載の精密基板収納容器。
【請求項７】
凸部は、容器本体の底面側から開口部側に向かって点線状に凸設するように形成されている請求項５に記載の精密基板収納容器。
【請求項８】
精密基板が載置されるリテーナの載置面は、容器本体の開口部付近に、凸部の最頂部と面一になる滑り止め面が形成されている請求項５ないし７の何れか一に記載の精密基板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハや液晶用ガラス板などの精密基板を多数枚収納し、保管、運搬等に使用する容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ等の精密基板（薄板）は、その表面に超微細加工が施されることから、その保管、運搬、収納には極めて高度な清潔性が必要とされ、密封性に優れた容器本体と蓋体とからなる基板収納容器が使用されている。このような収納容器は、運搬時の振動などによって精密基板が振動を受けると、精密基板と収納容器との間で摩擦による発塵が起こり、これが原因で精密基板を汚染してしまうことになってしまうので、優れた密封性が要求される。
【０００３】
そこで、従来より、容器本体に対して蓋体を強固に固定することができる収納容器として、蓋体に設けたラッチ機構によって容器本体に蓋体を固定および固定解除できるようになされた収納容器が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
この収納容器のラッチ機構は、図１８ないし図２０に示すように、ベース板ａに回転駆動用プレートｂと締め付けカムｃとを設け、回転駆動用プレートｂと締め付けカムｃとをアームｄを介して連動するように構成していた。このラッチ機構は、蓋体ｅに凹設されたラッチ室ｆにベース板ａを装着固定することによって設けられ、回転駆動用プレートｂを回転させることによって、蓋体ｅの対向する端面から締め付けカムｃを出没させることができるように構成されていた。この締め付けカムｃは、容器本体ｇの開口部ｈに蓋体ｅを落とし込んだ状態で、この締め付けカムｃの出没位置と対向する容器本体ｇの開口部ｈの内側の位置に設けられた係合孔ｉに係合することで、容器本体ｇに対して蓋体ｅを強固に固定することができるようになされていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２００７−１４２１８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記従来の収納容器の場合、図１９に示すように、蓋体ｅは、容器本体ｇの開口部ｈに落とし込まれた状態で、締め付けカムｃが係合孔ｉの上辺に係合して固定されるため、固定力は、締め付けカムｃと係合孔ｉとの係合具合によって決まることとなる。
【０００７】
しかし、この締め付けカムｃは、ベース板ａに設けられたカム軸ｊに回動可能に嵌合されているだけなので、係合による応力は、締め付けカムｃの回動中心であるカム軸ｊで受けることとなる。
【０００８】
したがって、この締め付けカムｃのカム軸ｊに加わる応力が大きく、経時的使用により締め付けカムｃのガタを生じ、係合力の低下や、スムーズな回動が困難になることが懸念される。
【０００９】
特に、このような収納容器の開閉は、クリーンルーム内でロボットアームを使用して行われているため、開閉作業時にロボットアームが蓋体ｅの回転駆動用プレートｂに加えるトルクは、管理されている。したがって、締め付けカムｃのガタツキによって締め付けカムｃの回動抵抗が変わったり、係合力が低下したりすると、回転駆動用プレートｂを回転させるために要するトルクの変動が大きくなり、ロボットアームでは開閉作業が行なえなくなってしまうことが懸念される。
【００１０】
また、図２０に示すように、上記従来の締め付けカムｃには、回動中心から半径方向に沿って長孔ｋが設けられており、この長孔ｋには、回転駆動用プレートｂに連結されたアームｄの端部から突出された突出片ｍが挿入されている。そして、回転駆動用プレートｂの回動によって、レールｎ内に設けられたアームｄが、長手方向に沿って直線運動しながら、アームｄの突出片ｍが、長孔ｋの外端側（図２０（ａ）参照）から内端側（図２０（ｂ）参照）を経て再度外端側（図２０（ｃ）参照）へとスライド移動して締め付け用カムｃを回動させることとなるが、長孔ｋの内端側から再度外端側へとアームｄの突出片ｍがスライド移動する際に、アームｄの突出片ｍが通過するレールｎの外側立上り壁には、締め付け用カムｃの内径側から外径側へとアームｄが外側へ広がり、レールｎに面接触してしまう。その結果、回転駆動用プレートｂをスムーズに回動させることが困難になることが懸念される。
【００１１】
本発明は係る実情に鑑みてなされたものであって、容器本体に対する蓋体の固定力の低下を生じることなく、常に安定した開閉作業を行なうことができる精密基板収納容器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するための本発明の精密基板収納容器は、上面が開口して内部に精密基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部に被せられる蓋体とを具備し、容器本体の開口内周縁にカム挿入口が設けられ、蓋体には蓋閉じ時に前記カム挿入口に対向する側壁面に貫通孔が設けられ、この貫通孔から出没する締め付け用カムが設けられた収納容器であって、締め付け用カムの回動中心の外側には、締め付け用カムが貫通孔から出た際に、この締め付け用カムの底面に接触し、貫通孔内に納まった際には接触解除されるリブが設けられたものである。
【００１３】
また、上記精密基板収納容器において、締め付け用カムの回動中心から半径方向に沿って長孔が設けられるとともに、この長孔には、ローテーションカムに連結されたリンクの端部から突出されたリンクピンが挿入されてなり、ローテーションカムの回動によって、レール内に設けられたリンクが、長手方向に沿って直線運動しながら、リンクピンが、長孔の外端側から内端側を経て再度外端側へとスライド移動して締め付け用カムを回動させるロック機構を有し、長孔の内端側から再度外端側へとリンクピンがスライド移動する際に、リンクピンが通過するレールの外側の側壁面には、締め付け用カムの内径側から外径側へとリンクが外側へ広がるのを防止する位置規制凸部が設けられたものである。
【００１４】
さらに、上記精密基板収納容器において、締め付け用カムと連動するローテーションカムを具備し、このローテーションカムは、一方に回転させることで、ローテーションカムの外周に設けられた凹部にロックリブが嵌合して貫通孔からカムが出たロック状態となり、他方に回転させることで、凹部に嵌合したロックリブが嵌合解除されて貫通孔内にカムが納まったロック解除状態となされ、ロックリブは、ロック時に縮角方向に撓む第一屈曲部と、ロック解除時に縮角方向に撓む第二屈曲部とを有するものである。
【００１５】
さらに、上記精密基板収納容器において、基板上に、締め付け用カムとローテーションカムとがリンクを介して連動するように設けられてロック機構が構成されてなり、蓋体に設けられた凹設部に固定リブが突設され、前記ロック機構は、凹設部に基板が面接合された状態で固定リブに対して、基板が着脱可能に嵌合するようになされ、凹設部にカバー材が嵌合固定されてロック機構全体を被覆するようになされたものである。
【００１６】
さらに、上記精密基板収納容器において、容器本体の両側壁面に、複数枚の精密基板を保持するリテーナを具備し、このリテーナは、精密基板が載置される載置面に、精密基板との接触面積を減らす凸部が設けられているものである。凸部は特に限定されるものではないが、例えば、容器本体の底面側から開口部側に向かって線状に凸設するように形成されたものでも良く、また、上記精密基板収納容器において、凸部は、容器本体の底面側から開口部側に向かって点線状に凸設するように形成されたものでも良く、さらに、上記精密基板収納容器において、精密基板が載置されるリテーナの載置面は、容器本体の開口部付近に、凸部最頂部と面一になる滑り止め面が形成されたものでも良いのである。
【発明の効果】
【００１７】
以上述べたように、本発明の精密基板収納容器によると、締め付け用カムの回動中心の外側には、締め付け用カムが開口から出た際に、この締め付け用カムの底面に接触し、開口に納まった際には接触解除されるリブを設けているので、容器本体に対して蓋体を閉じた状態、すなわち、締め付け用カムが開口から出た状態では、締め付け用カムの回動中心から外側に離れた位置で、締め付け用カムの底面が線接触するリブによって支持されることとなり、締め付け用カムの回動中心部分に加わる負荷が軽減され、固定強度が安定することとなる。したがって、経時的使用によって固定力が低下したり、締め付け用カムががたついたりすることも無く、常に安定した開閉作業を行なうことができる。
【００１８】
また、精密基板が載置されるリテーナの載置面に、精密基板との接触面積を減らす凸部を設ける構成を付加することで、精密基板は、リアリテーナとの摩擦が減り、この摩擦に起因する発塵を防止することができる結果、収納容器内部の汚染、所謂コンタミネーションの不都合を解消できる。
【００１９】
さらに、容器本体の開口部付近の載置面に、凸部最頂部と面一になる滑り止め面を形成する構成を付加することで、精密基板が横滑りして位置ズレすることを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明に係る精密基板収納容器におけるロック機構部分を示す部分拡大平面図である。
【図２】図１のI-I 線断面図である。
【図３】（ａ）ないし（ｃ）は、本発明に係る精密基板収納容器のロック時のリンクの動きを示す工程図である。
【図４】本発明に係る精密基板収納容器の全体構成の概略を示す分解斜視図である。
【図５】本発明に係る精密基板収納容器の全体構成の概略を示す断面図である。
【図６】本発明に係る精密基板収納容器において、精密基板を出し入れする状態を示す断面図である。
【図７】（ａ）ないし（ｃ）は、本発明に係る精密基板収納容器における各種リテーナの形状を示す部分拡大図である。
【図８】（ａ）ないし（ｃ）は、本発明に係る精密基板収納容器におけるさらに他のリテーナの形状を示す部分拡大図である。
【図９】本発明に係る精密基板収納容器の蓋体からロック機構およびカバー材を取り除いた状態を示す斜視図である。
【図１０】本発明に係る精密基板収納容器に用いられている基板を示す斜視図である。
【図１１】本発明に係る精密基板収納容器に用いられている締め付け用カムを示す斜視図である。
【図１２】（ａ）および（ｂ）は本発明に係る精密基板収納容器に用いられているローテーションカムを示す斜視図および側面図である。
【図１３】本発明に係る精密基板収納容器に用いられているリンクを示す斜視図である。
【図１４】本発明に係る精密基板収納容器に用いられているカバー材を示す斜視図である。
【図１５】（ａ）ないし（ｅ）は、本発明に係る位置規制凸部の他の実施の形態を示す斜視図である。
【図１６】（ａ）ないし（ｅ）は、精密基板収納容器に精密基板を収納して運搬後、取り出すまでの作業を示す工程図である。
【図１７】（ａ）ないし（ｅ）は、図１６（ａ）ないし（ｅ）の工程における精密基板の状態を示す断面図である。
【図１８】従来の精密基板収納容器におけるロック機構部分を示す部分拡大平面図である。
【図１９】図１８のII-II 線断面図である。
【図２０】（ａ）ないし（ｃ）は、従来の精密基板収納容器のロック時のリンクの動きを示す工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００２２】
図１ないし図３は精密基板収納容器（以下、単に収納容器と言う。) １の要部構成の概略を示し、図４ないし図６は同収納容器１の全体構成の概略を示している。
【００２３】
この収納容器１は、容器本体２と蓋体３とを具備し、基板４上に、締め付け用カム５とローテーションカム６とがリンク７を介して連動するように設けられてロック機構が構成されてなり、締め付け用カム５の回転軸中心の外側には、締め付け用カム５が蓋体３の貫通孔３１から出た際に、この締め付け用カム５のカム本体５１の底面５１ａに線接触し、貫通孔３１内に納まった際には接触解除されるリブ４１が設けられている。
【００２４】
容器本体２は、ポリカーボネート、ポリプロピレンその他のプラスチックで主として透明または半透明材料によって成形されている。この容器本体２は、図４に示す縦置き状態で、４つの側壁面２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄと底面２１とから構成されて上面が開口した略立方体形状の有底筒状に形成されている。この容器本体２には、開口部２０に蓋体３を設けることができるように、開口部２０から蓋体３の厚み分に相当する距離だけ入った位置に、段差が形成されて蓋体載置部２０ａが設けられている。容器本体２の対向する側壁面２２ａ，２２ｃは、蓋体載置部２０ａよりも上の開口部２０の内周立上り壁部分に、後述する蓋体３から出没する締め付け用カム５を係合するためのカム挿入口２０ｂが設けられている。この容器本体２の底面２１には、平行する二列のリアリテーナ固定部２４が、対向する側壁面２２ａ，２２ｃ間を連絡するように設けられている。また、対向する残りの側壁面２２ｂ，２２ｄには、それぞれ開口部２０近傍から底面２１に向かって複数の板状のリテーナ２３が設けられている。容器本体２は横倒しにした状態で、これらのリテーナ２３が水平方向となり、そして、開口部２０が側面から開口するように横倒しにした状態で、対向する側壁面２２ａ，２２ｃと平行するように、精密基板１０が等間隔で複数枚収納される。各精密基板１０は、容器本体２の側壁面２２ｂ，２２ｄに設けられた各リテーナ２３と、底面２１のリアリテーナ固定部２４に設けられたリアリテーナ８とによって支持される。
【００２５】
上記リテーナ２３は、図７（ａ）に示すように、精密基板１０が載置される側の載置面２３１全体に、容器本体２の底面２１から開口部２０に向かって線状に突出する凸部２３１ａが設けられている。この場合、この凸部２３１ａは、高さ約０．５ｍｍ、幅約０．５ｍｍとなるように凸設されている。この凸部２３１ａとしては、線状のものに限定されるものではなく、図７（ｂ）に示すように、載置面２３１全体に、直径１ｍｍ以下、高さ１ｍｍ以下、好ましくは直径０．５ｍｍ、高さ０．５ｍｍの突起を配した凸部２３１ａであってもよいし、図７（ｃ）に示すように、上記線状の凸部２３１ａと同じ箇所を点線状に凸設した凸部２３１ａであってもよいのである。
【００２６】
この場合、精密基板１０は、凸部２３１ａ上に載置されることになり、接触面積が減るので、リテーナ２３の載置面２３１と精密基板１０との間の摩擦抵抗を減らすことができる結果、この摩擦に起因する発塵を防止することができるのである。
【００２７】
この凸部２３１ａの高さとしては、特に０．５ｍｍに限定されるものではなく、精密基板１０が凸部２３１ａとのみ接触して接触面積を減らすことができる高さがあればよい。ただし、あまり高すぎると無駄であり、また、容器本体２を成形して脱型する際に支障を来たすこととなるため、１ｍｍ以下、特に０．５ｍｍ程度が好ましい。このように、１ｍｍ以下の高さの場合、複雑な脱型構造を有する高価な金型を使用しなくても容器本体２の底面２１から開口部２０の方向に脱型する型を使用して成形することができる。
【００２８】
また、凸部２３１ａにおける精密基板１０との接触面積については、リテーナ２３の載置面２３１よりも減るのであれば、特に限定されるものではないが、精密基板１０をリテーナ２３に載置した際の安定性を確保した状態でできるだけ接触面積を減らしたものにすることが好ましい。具体的には、精密基板１０と載置面２３１との接触面積を１００とした場合、精密基板１０と凸部２３１ａとの接触面積が１０％以下、好ましくは５％以下となるように凸部２３１ａを形成することが好ましい。
【００２９】
また、凸部２３１ａは、精密基板１０が載置される載置面２３１のうち、実際に精密基板１０が載置される箇所のみに設けられたものであってもよい。例えば、図８においては、実際に精密基板１０が載置される箇所のみに凸部２３１ａを設け、載置面２３１の開口部付近は、この凸部２３１ａの最頂部と面一となるようにした平滑面２３１ｂを形成している。
【００３０】
この場合、仮に精密基板１０が凸部２３１ａ上で横滑りしそうな状況があったとしても、平滑面２３１ｂで摩擦抵抗が増すので、精密基板１０が横滑りして位置ズレすることを防止することができる。
【００３１】
リアリテーナ８は、サーモプラスチックエラストマーによって形成されている。このリアリテーナ８は、上記した容器本体２の底面２１のリテーナ固定部２４上にそれぞれ長尺上に設けられており、その表面には、図６に示すように、精密基板１０の周縁１０ａを支持するＶ溝８１と、精密基板１０の裏面１０ｂを支持する支持片８２とが長手方向に沿って交互に複数個設けられている。
【００３２】
このうち、支持片８２は、容器本体２の側壁面２２ｂ，２２ｄに設けられたリテーナ２３と同ピッチで設けられており、このリテーナ２３と支持片８２とによって、精密基板１０の裏面１０ｂを支持することができるように構成されている。この支持片８２を設けるピッチとしては、８ｍｍ〜１２ｍｍとなされ、Ｖ溝８１は６ｍｍ〜８ｍｍの範囲に設けられる。このリアリテーナ８は、図５に示すように、精密基板１０の周縁１０ａの円弧に沿うように、Ｖ溝８１および支持片８２が斜めに加工されている。
【００３３】
蓋体３は、容器本体２と同素材からなり、図９に示すように、対向する２辺に沿って、両側の約１／３の表面に凹設部３０が形成さており、これらの凹設部３０内にロック機構を収納するようになされている。凹設部３０の両端に相当する蓋体３の側壁面には、締め付け用カム５が出没するための貫通孔３１が設けられている。この蓋体の凹設部３０内の中央には、ローテーションカム６を設けるための窪み３２が設けられている。
【００３４】
この窪み３２から両側の長手方向に沿って離れた位置に、直角三角形の傾斜面を有する突起３３が設けられ、これら突起３３からさらに両方の長手方向に沿って離れた位置に、ガイドピン３４が設けられている。これら、窪み３２、突起３３、ガイドピン３４を挟んで対向するように、複数の固定リブ３５が設けられている。
【００３５】
この蓋体３は、容器本体２との間にガスケット３６を介して容器本体２の開口部２０に固定される。この固定状態で、容器本体２に収納された精密基板１０の周縁１０ａは、蓋体３の裏面に設けたフロントリテーナ９と容器本体２の底面２１とに設けたリアリテーナ８によって挟持固定される。
【００３６】
この蓋体３の裏面には、サーモプラスチックエラストマーによって形成されたフロントリテーナ９が設けられている。このフロントリテーナ９は、図５に示すように、蓋体３に嵌合される嵌合部９１から延設された各アーム９２の先端に支持溝９３を設けて構成されており、この嵌合部９１の部分を蓋体３の裏面から突設されたリテーナ固定用リブ３７に嵌合固定することによって取り付けられる。上記支持溝９３は、精密基板１０の周縁１０ａを挟持することができるように、２０〜４５度の傾斜面を有するＶ字溝からなる。また、アーム９２は、可撓変形可能となされており、精密基板１０の周縁１０ａを支持溝９３で挟持した状態のまま、可撓変形可能な範囲内で、精密基板１０の動きに追従できるようになされている。
【００３７】
基板４は、容器本体２と同素材からなり、図９ないし図１３に示すように、上記した蓋体３の凹設部３０内に設けられる。基板４の上面には、締め付け用カム５とローテーションカム６とがリンク７とを設けてロック機構を構成するようになされている。
【００３８】
基板４の中央には、ローテーションカム６の中心軸６１を受ける軸受け部４２が設けられ、この軸受け部４２を挟む長手方向に沿って離れた位置に、軸受け部４２の中心方向に付勢されるロックリブ４３が設けられている。このロックリブ４３は、軸受け部４２の中心方向に向かって延設された基端部４３ａに対して一方に屈曲する第一屈曲部４３ｂと他方に屈曲する第二屈曲部４３ｃとを有し、その先端に中心方向に向かって突出する突起４３ｄが形成されている。
【００３９】
このロックリブ４３から両側の長手方向に沿って離れた位置に、上記凹設部３０の突起３３と係合する係合孔４４ａを有する弾性片４４が設けられ、これら弾性片４４からさらに両方の長手方向に沿って離れた位置に、上記凹設部３０のガイドピン３４が嵌装されるガイド孔４５が設けられ、これらガイド孔４５からさらに両方の長手方向に沿って離れた位置に、締め付け用カム５が設けられるカム軸部４６が設けられている。カム軸部４６のさらに外側には、上記したロックリブ４３からカム軸部４６までを囲繞するように立上り壁４７が形成されて基盤４が補強されている。この立上り壁４７のうち、締め付け用カム５が蓋体３の貫通孔３１から突出した際にこの締め付け用カム５の下側に相当する位置には、この締め付け用カム５のカム本体５１の底面５１ａと線接触するリブ４１が設けられている。
【００４０】
また、立上り壁４７の一方に隣接する、軸受け部４２から一端のカム軸部４６までの位置に、リンク７を設けるレール部４８が設けられ、立上り壁４７の他方に隣接する、軸受け部４２から他端のカム軸部４６までの位置に、リンク７を設けるレール部４８が設けられている。これらレール部４８には、このレール部４８を通過するリンク７が係合するガイドピン４８ａが設けられている。また、レール部４８は、カム軸部４６側の端部であって、カム軸部４６から遠い側の側壁面４８ｂの位置に、リンク７の位置規制を行う位置規制凸部４０が設けられ、レール部４８を通過するリンク７をカム軸部４６側へと位置規制するようになされている。
【００４１】
このようにして構成される基板４の外周縁には、上記蓋体３の凹設部３０に設けられた固定リブ３５と係合する係合片４９が設けられている。
【００４２】
この基板４は、ガイド孔４５にガイドピン３４を嵌装して蓋体３の凹設部３０に設けた状態で、突起３３の傾斜面の低い側から高い側へとスライドさせる。すると、基板４は、弾性片４４が可撓変形し、この弾性片４４の係合孔４４ａに突起３３が係合するとともに、係合片４９に固定リブ３５が係合して凹設部３０に固定されることとなる。蓋体３の凹設部３０から基板４を取り外す場合は、弾性片４４を可撓変形させた状態で、固定時とは逆方向に基板４をスライドさせて、係合孔４４ａと突起３３との係合、および係合片４９と固定リブ３５との係合を解除すればよい。
【００４３】
締め付け用カム５は、サーモプラスチックエラストマーからなり、図１１に示すように、扇形に形成されており、その扇形の円弧を有するカム本体５１の中心に軸孔５２が設けられている。また、一側壁に隣接して回動中心から半径方向に沿って長孔５０が設けられている。この締め付け用カム５は、基板４のカム軸部４６に軸孔５２を嵌合することによって、このカム軸部４６に回動可能に取り付けられる。
【００４４】
なお、本実施の形態において、締め付け用カム５は、カム本体５１が扇形に形成されているが、軸孔５２を中心にカム本体５１の部分を回動させて蓋体３の貫通孔３１から出没させることができる形状であれば、特にこのような扇形に限定されるものではなく、等脚台形状や二等辺三角形状などの各種形状のものであってもよい。
【００４５】
ローテーションカム６は、サーモプラスチックエラストマーからなり、図１２に示すように、円盤状に形成されており、両面から中心軸６１が突設されている。この中心軸６１の表面にはキー６１ａが凹設されており、ロボットアーム（図示省略）で開閉する際にドライバー（図示省略）が差し込まれる。このローテーションカム６の外周縁の対向する位置には、基板４のロックリブ４３の先端部の突起４３ｄと係合する凹部６２が形成されている。また、ローテーションカム６の表面外周部分には、このローテーションカム６を回動させるための指掛け用突起６３が設けられている。この指掛け用突起６３の裏面に相当する位置には、係合ピン６４が突設されている。このローテーションカム６は、基板４の軸受け部４２に中心軸６１を嵌装することによって取り付けられる。
【００４６】
リンク７は、容器本体２と同素材からなり、図１３に示すように、基板４のレール部４８に設けられる長尺に形成されており、その一端部には、締め付け用カム５の長孔５０に挿通されるピン７１が突出されている。また、他端には、長手方向に対して直行する方向に長孔７０が設けられており、この長孔７０内にローテーションカム６の係合ピン６４が挿通される。また、リンク７の裏面には、長手方向に沿って溝部７２が形成されており、この溝部７２内にレール部４８のガイドピン４８ａが嵌合することによってレール部４８にリンク７が位置決めされる。
【００４７】
蓋体３の凹設部３０に設けた基板４に、上記した締め付け用カム５とローテーションカム６とリンク７とを設けた状態で、この凹設部３０の表面は、蓋体３と同素材からなるカバー材３８によって被覆される。
【００４８】
このカバー材３８は、図９および図１４に示すように、凹設部３０の周縁に形成された係合溝３０ａにカバー材３８の係合突起３８ａを係合させた状態で、凹設部３０の周縁に形成された係合突起３０ｂにカバー材３８の係合溝３８ｂを係合させることによって固定される。また、この固定状態で、ローテーションカム６の表面側の中心軸６１は、このカバー材３８の中央部に形成された窪み３８ｃに嵌装される。この窪み３８ｃの中央は、開口部３８ｄが設けられており、蓋体３の外側から開口部３８ｄを介して、ローテーションカム６のキー６１ａを操作することができるようになされている。また、指掛け用突起６３の回動軌跡に相当する部分にも開口部３８ｅが設けられており、蓋体３の外側から開口部３８ｅを介して指掛け用突起６３を操作することができるようになされている。
【００４９】
次に、このようにして構成される精密基板収納容器１に精密基板１０を収納する場合、また、運搬後、取り出す場合について説明する。
【００５０】
まず、図１６（ａ）に示すように、容器本体２を横倒しにして開口部２０を側面に開口させた状態にする。
【００５１】
次いで、図１７（ａ）に示すように、容器本体２のリテーナ２３の載置面２３１と、リアリテーナ８の支持片８２との上に精密基板１０を載置させる。
【００５２】
載置後、図１６（ｂ）および図１７（ｂ）に示すように、容器本体２の開口部２０に蓋体３を固定する。
【００５３】
容器本体２に対して蓋体３を固定する場合、図３に示すように、ローテーションカム６は、ロックリブ４３の突起４３ｄが、ローテーションカム６の凹部６２に嵌合する位置まで回転させる。固定解除する場合、ローテーションカム６は、ロックリブ４３の突起４３ｄとローテーションカム６の凹部６２との嵌合を解除し、蓋体３の貫通孔３１から突出した締め付け用カム５が蓋体３内に納まる位置まで上記とは逆方向に回転させる。
【００５４】
このように、固定時と固定解除時とでは、ローテーションカム６を正逆方向に回動させるため、ロックリブ４３は、突起４３ｄが正逆方向それぞれ異なった方向から凹部６２に押圧されて可撓変形することとなるが、軸受け部４２の中心方向に向かって延設された基端部４３ａに対して一方に屈曲する第一屈曲部４３ｂと他方に屈曲する第二屈曲部４３ｃとを有しているので、どちらの方向から押圧されて可撓変形する際も同じように可撓変形することができる。すなわち、可撓変形する際、一つの屈曲した部分を屈曲する方向に可撓変形する場合と延ばす方向に可撓変形する場合とでは可撓変形に要する負荷が異なる。したがって、ローテーションカム６の回動時のトルクを管理して正逆方向に回動させたとしても、可撓変形に要する負荷が異なるので、固定時と固定解除時とでは回動時に要するトルクが異なることとなる。しかし、本願発明の場合は、一方に屈曲する第一屈曲部４３ｂと他方に屈曲する第二屈曲部４３ｃとを有しているので、このようなトルク変動が起こるのを防止することができる。したがって、ロボットアームなどを使用してローテーションカム６を正逆方向に回動させる場合であっても容易に固定および固定解除を行うことができる。
【００５５】
また、このローテーションカム６を固定方向に回転させた場合は、図３に示すように、ローテーションカム６の係合ピン６４は、リンク７の長孔７０において、ローテーションカム６寄りの位置（図３（ａ）参照）から、反対側の位置へとスライド移動し（図３（ｂ）参照）、再度ローテーションカム６寄りの位置（図３（ｃ）参照）へと戻る。同時に、リンク７のピン７１は、締め付け用カム５の長孔５０において、締め付け用カム５寄りの位置（図３（ａ）参照）から、反対側の位置へとスライド移動し（図３（ｂ）参照）、再度締め付け用カム５寄りの位置（図３（ｃ）参照）へと戻る。この一連の動作のうち、図３（ｂ）から図３（ｃ）へと移行する際、リンク７のピン７１が設けられた側の端部は、レール部４８の外側の側壁面４８ｂの方向に張り出し、リンク７の駆動効率が低下するが、このレール部４８のカム軸部４６側の端部の側壁面４８ｂに位置規制凸部４０を設けてリンク７が外側に張り出すのを防止しているので、リンク７の駆動が効率よく締め付け用カム５に伝達されることとなる。また、この位置規制凸部４０はリンク７の側面に点接触するように構成しているため、リンク７が張り出すことによってレール部４８とリンク７とが面接触し、摩擦抵抗が増加することも防止できる。したがって、開閉作業時のトルク変動を軽減してスムーズな開閉作業を行なうことが可能となる。
【００５６】
さらに、容器本体２に蓋体３を固定した状態で、締め付け用カム５は、容器本体２のカム挿入口２０ｂに係合した状態となる。したがって、図２に示すように、締め付け用カム５の外周縁部分には、矢符Ａ方向の応力が加わることとなり、締め付け用カム５の軸孔５２と基板４のカム軸部４６との嵌合部分に加わる負荷が大きくなるが、締め付け用カム５のカム本体５１の底面５１ａにリブ４１が線接触するので、この嵌合部分に加わる負荷が軽減されることとなる。したがって、経時的使用によるガタツキを生じることなく、締め付け用カム５の回動状態を良好に維持することができ、常に安定した開閉作業を行なうことができる。また、締め付け用カム５の係合状態が安定するので、経時的使用によって蓋体３の固定力が低下するといったことも防止することができる。
【００５７】
さらに、このロック機構は、蓋体３の凹設部３０内に基板４を面接触した状態に固定して構成しているので、経時的使用によるガタツキを生じることもなく、安定したスムーズな開閉作業を行なうことができる。
【００５８】
したがって、トルク管理されたロボットアームなどを使用して開閉作業を行う場合であっても、エラーによる作業停止などを生じることなく、長期間にわたって使用することができる。
【００５９】
なお、本実施の形態において、位置規制凸部４０の大きさとしては、レール部４８の側壁面４８ｂに面接触するリンク７の接触面積を少なくとも半分以下に低減することができる大きさであれば特に限定されるものではない。また、その形状としては、面接触、線接触、点接触によって接触面積を減らすものが考えられる。具体的には、図１５（ａ）に示すように、半球状の位置規制凸部４０によって点接触４０ａするものであってもよいし、図１５（ｂ）に示すように、複数個並べた半球状の位置規制凸部４０によって点接触４０ａするものであってもよいし、図１５（ｃ）、（ｄ）に示すように、半円筒状の位置規制凸部４０によって線接触４０ｂするものであってもよいし、図１５（ｅ）に示すように、三角柱状の位置規制凸部４０によって線接触４０ｂするものであってもよい。
【００６０】
上記した容器本体２に対する蓋体３の固定により、精密基板１０は、リアリテーナ８の支持片８２に支持された状態で、蓋体３に設けたフロントリテーナ９の支持溝９３に周縁１０ａが支持されるが、この支持溝９３は、蓋体３を固定することによってアーム９２が可撓変形するので、精密基板１０を容器本体２内へと押し込む付勢力を生じることになる。この押し込みにより、精密基板１０は、フロントリテーナ９とリアリテーナ８との間で挟持固定されることになる。
【００６１】
精密基板１０を収納した後の収納容器１は、図１６（ｃ）に示すように、開口部２０が上方に向くように容器本体２を起こして運搬される。この容器本体２を起こした際、図１７（ｃ）に示すように、精密基板１０は、フロントリテーナ９の付勢力と自重とにより、容器本体２の底面２１に位置する周縁１０ａが、リアリテーナ８のＶ溝８１の溝底側へとスライド移動することとなり、リテーナ２３の載置面２３１からは離れ、上記Ｖ溝８１と、フロントリテーナ９の支持溝９３との間で嵌合挟持固定されることになる。
【００６２】
このリテーナ２３の載置面２３１から精密基板１０が離れる際、精密基板１０は、載置面２３１と擦れて摩擦することとなるが、この載置面２３１に形成した凸部２３１ａ（図５，図７，図８参照）としか接触していないので、摩擦抵抗が減り、この摩擦に起因する載置面２３１からの発塵を防止することができる結果、収納容器１内部の汚染、所謂コンタミネーションの不都合を解消できるのである。
【００６３】
運搬後、収納容器１から精密基板１０を取り出す場合は、図１６（ｃ）に示す状態から、図１６（ｄ）に示すように収納容器１を横倒しにする。この際、図１７（ｄ）に示すように、リテーナ２３の載置面２３１から離れて、リアリテーナ８のＶ溝８１と、フロントリテーナ９の支持溝９３との間で嵌合挟持固定されていた精密基板１０は、再度、リテーナ２３の載置面２３１と、リアリテーナ８の支持片８２との上に載置される。
【００６４】
この際、精密基板１０は、載置面２３１と擦れて摩擦することになるが、この載置面２３１に形成した凸部２３１ａ（図５，図７，図８参照）としか接触していないので、摩擦抵抗が減り、この摩擦に起因する載置面２３１からの発塵を防止することができる結果、収納容器１内部の汚染、所謂コンタミネーションの不都合を解消できるのである。
【００６５】
次いで、図１６（ｅ）に示すように、容器本体２の開口部２０から蓋体３を取外す。
【００６６】
この取外し作業は、カム挿入口２０ｂに係合されていた蓋体３の締め付け用カム５の係合を解除して行う。この取外し作業の際、フロントリテーナ９のアーム９２の可撓変形が緩和されて支持溝９３に作用する付勢力が無くなり、精密基板１０は、リテーナ２３の載置面２３１と、リアリテーナ８の支持片８２との所定位置上に載置され、容器本体２から取り出し作業が可能な状態となる。また、この蓋体３の取外しによってフロントリテーナ９の付勢力を解除した際に、この動作に起因して精密基板１０とリテーナ２３の載置面２１との間で摩擦を生じることになるが、精密基板１０は、この載置面２３１に形成した凸部２３１ａ（図５，図７，図８参照）としか接触していないので、摩擦抵抗が減り、この摩擦に起因する載置面２３１からの発塵を防止することができる結果、収納容器１内部の汚染、所謂コンタミネーションの不都合を解消できるのである。
【００６７】
また、この蓋体３を取り外す際に、精密基板１０がリテーナ２３の載置面２３１から横滑りすることが懸念される場合には、図５に示すように、実際に精密基板１０が載置される箇所のみに凸部２３１ａを形成し、載置面２３１の開口部付近は、この凸部２３１ａの最頂部と面一となるようにした平滑面２３１ｂを形成しておけば、平滑面２３１ｂで摩擦抵抗が増すので、精密基板１０が横滑りして位置ズレすることを防止できる。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
本発明に係る精密基板収納容器は、高度の清潔性が要求される半導体ウエハ、液晶ガラス基板などの収納に使用される。
【符号の説明】
【００６９】
１  精密基板収容容器
２  容器本体
２０  開口部
２０ｂ  カム挿入口  
２１  底面
２２ｂ  側壁面
２２ｄ  側壁面
２３  リテーナ
２３１  載置面
２３１ａ  凸部
２３１ｂ  平滑面（滑り止め面）
３  蓋体
３０  凹設部
３１  貫通孔
３５  固定リブ
３８  カバー材
４  基板
４０  位置規制凸部
４１  リブ
４３  ロックリブ
４３ｂ  第一屈曲部
４３ｃ  第二屈曲部
４６  カム軸部（回動中心）
４８  レール部
４８ｂ  側壁面  
５  締め付け用カム
５０  長孔
５１  カム本体
５１ａ  底面
６  ローテーションカム
７  リンク
７１  ピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
2011016583.tif 000016
【図１５】
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【図１６】
2011016583.tif 000018
【図１７】
2011016583.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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