(57)【要約】      （修正有）【課題】３部材を重合させて溶接させることなく圧電素子を支持部の開口領域内において支持する先端側支持プレート及び基端側支持プレートを備える。【解決手段】フレクシャ金属プレート４１０が支持部１０の開口領域内の先端側及び基端側に位置する先端側及び基端側中央支持プレート形成領域４１４，４１５を有する。支持部のうち開口領域より先端側の先端領域及び基端側の基端領域には先端側及び基端側中央支持プレート形成領域より幅方向外方側に位置する第１及び第２先端側金属プレート１００（１），１００（２）並びに第１及び第２基端側金属プレート１５０（１），１５０（２）が固着され、第１及び第２先端側金属プレートが先端側中央支持プレート形成領域と共働して先端側支持プレートを形成し、第１及び第２基端側金属プレートが基端側中央支持プレート形成領域と共働して基端側支持プレートを形成する。【選択図】図１Ｂ
2011222075.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着される左右一対の第１及び第２圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有し、
前記荷重曲げ部は、板面が前記ディスク面と対向する状態でサスペンション長手方向中心線を挟んで互いにサスペンション幅方向に離間された一対の弾性板であって、基端部が前記先端領域に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部の基端側を支持する一対の弾性板を有し、
前記フレクシャ部は、前記ロードビーム部及び前記支持部のディスク対向面に溶接されるフレクシャ金属プレートと、前記フレクシャ金属プレートのディスク対向面に積層される絶縁層と、前記絶縁層のディスク対向面に積層される信号配線とを含み、
前記フレクシャ金属プレートは、前記ロードビーム部のディスク対向面に重合された状態で溶接されるロードビーム部重合領域と、サスペンション幅方向に関し前記一対の弾性板の間において前記先端領域のディスク対向面に重合された状態で溶接される支持部先端側重合領域と、サスペンション幅方向に関し前記一対の弾性板の間において前記ロードビーム部重合領域及び前記支持部先端側重合領域を連結する荷重曲げ対応領域と、前記基端領域のディスク対向面に重合された状態で溶接される支持部基端側重合領域と、前記開口領域内に位置するように前記支持部先端側重合領域から延びた先端側中央支持プレート形成領域と、前記先端側中央支持プレート形成領域とはサスペンション長手方向に離間された状態で前記開口領域内に位置するように前記支持部基端側重合領域から延びた基端側中央支持プレート形成領域とを有し、
前記絶縁層は、前記フレクシャ金属プレートの前記ロードビーム部重合領域、前記荷重曲げ対応領域、前記支持部先端側重合領域、前記先端側中央支持プレート形成領域、前記基端側中央支持プレート形成領域及び前記支持部基端側重合領域のディスク対向面にそれぞれ積層されるロードビーム対応領域、荷重曲げ対応領域、支持部先端側対応領域、先端側中央支持プレート対応領域、基端側中央支持プレート対応領域及び支持部基端側対応領域を有すると共に、さらに、前記先端側中央支持プレート対応領域及び前記基端側中央支持プレート対応領域の間を連結する連結領域を有しており、
前記先端領域のディスク対向面には左右一対の第１及び第２先端側金属プレートが固着され、前記基端領域のディスク対向面には左右一対の第１及び第２基端側金属プレートが固着されており、
前記一対の先端側金属プレートは、前記支持部先端側重合領域よりサスペンション幅方向外方側において前記先端領域のディスク対向面に重合された状態で固着される先端側固着領域と、前記先端側中央支持プレート形成領域よりサスペンション幅方向外方側において前記開口領域内に位置するように前記先端側固着領域から延びる先端側サイド支持プレート形成領域とを有し、
前記一対の基端側金属プレートは、前記支持部基端側重合領域よりサスペンション幅方向外方側において前記基端領域のディスク対向面に重合された状態で固着される基端側固着領域と、前記基端側中央支持プレート形成領域よりサスペンション幅方向外方側において前記開口領域内に位置するように前記基端側固着領域から延びる基端側サイド支持プレート形成領域とを有し、
前記第１圧電素子は、先端側の端面及び基端側の端面がそれぞれ前記先端領域の基端側端面及び前記基端領域の先端側の端面に端面側絶縁性接着剤が介挿された状態で対向し、さらに、ディスク対向面の先端側が前記先端側中央支持プレート形成領域のサスペンション幅方向一方側の先端側第１幅方向部分及び前記第１先端側金属プレートの前記先端側サイド支持プレート形成領域によって形成される第１圧電素子用先端側支持プレートに先端側絶縁性接着剤が介挿された状態で載置され且つディスク対向面の基端側が前記基端側中央支持プレート形成領域のサスペンション幅方向一方側の基端側第１幅方向部分及び前記第１基端側金属プレートの前記基端側サイド支持プレート形成領域によって形成される第１圧電素子用基端側支持プレートに基端側絶縁性接着剤が介挿された状態で載置され、
前記第２圧電素子は、先端側の端面及び基端側の端面がそれぞれ前記先端領域の基端側端面及び前記基端領域の先端側の端面に端面側絶縁性接着剤が介挿された状態で対向し、さらに、ディスク対向面の先端側が前記先端側中央支持プレート形成領域のサスペンション幅方向他方側の先端側第２幅方向部分及び前記第２先端側金属プレートの前記先端側サイド支持プレート形成領域によって形成される第２圧電素子用先端側支持プレートに先端側絶縁性接着剤を介して載置され且つディスク対向面の基端側が前記基端側中央支持プレート形成領域のサスペンション幅方向他方側の基端側第２幅方向部分及び前記第２基端側金属プレートの前記基端側支持プレート形成領域によって形成される第２圧電素子用基端側支持プレートに基端側絶縁性接着剤を介して載置されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２】
前記フレクシャ金属プレートは、サスペンション幅方向に関し前記一対の第１及び第２圧電素子の間において前記先端側中央支持プレート形成領域及び基端側中央支持プレート形成領域の間を連結するブリッジ領域を有していることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項３】
前記連結領域は、平面視において前記第１及び第２圧電素子と少なくとも部分的にオーバーラップするように配置されており、
前記フレクシャ部は、前記絶縁層のディスク対向面に積層される第１及び第２電圧供給配線を有し、
前記第１及び第２電圧供給配線は、基端部が外部電源に電気接続可能とされ且つ先端部が対応する前記圧電素子と平面視においてオーバーラップされ、
前記絶縁層の前記連結領域には前記第１及び第２電圧供給配線の前記先端部に対応した位置に開口が形成され、前記第１及び第２電圧供給配線の前記先端部は導電性接着剤を介して対応する前記圧電素子のディスク面側の電極層に電気的に接続されており、
前記絶縁層のディスク面とは反対側には前記導電性接着剤を囲繞するように金属リングが配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項４】
前記連結領域は、平面視において前記第１及び第２圧電素子と少なくとも部分的にオーバーラップするように配置されており、
前記フレクシャ部は、前記絶縁層のディスク対向面に積層される第１及び第２電圧供給配線を有し、
前記第１及び第２電圧供給配線は、基端部が外部電源に電気接続可能とされ且つ先端部が対応する前記圧電素子と平面視においてオーバーラップされ、
前記絶縁層の前記連結領域には前記第１及び第２電圧供給配線の前記先端部に対応した位置に開口が形成され、前記第１及び第２電圧供給配線の前記先端部は導電性接着剤を介して対応する前記圧電素子のディスク面側の下面側電極層に電気的に接続されており、
前記第１圧電素子用の前記導電性接着剤のサスペンション幅方向両側には、サスペンション長手方向に関し前記先端側絶縁性接着剤及び前記基端側絶縁性接着剤の間を連結し且つディスク面と直交する方向に関し前記絶縁層及び前記第１圧電素子の前記下面側電極層の間を連結するように配置された一対の第１密閉空間形成絶縁性接着剤が設けられ、
前記第２圧電素子用の前記導電性接着剤のサスペンション幅方向両側には、サスペンション長手方向に関し前記先端側絶縁性接着剤及び前記基端側絶縁性接着剤の間を連結し且つディスク面と直交する方向に関し前記絶縁層及び前記第２圧電素子の前記下面側電極層の間を連結するように配置された一対の第２密閉空間形成絶縁性接着剤が設けられていることを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項５】
前記連結領域は、平面視において前記第１及び第２圧電素子と少なくとも部分的にオーバーラップするように配置されており、
前記フレクシャ部は、前記絶縁層のディスク対向面に積層される第１及び第２電圧供給配線を有し、
前記第１及び第２電圧供給配線は、基端部が外部電源に電気接続可能とされ且つ先端部が対応する前記圧電素子と平面視においてオーバーラップされ、
前記絶縁層の前記連結領域には前記第１及び第２電圧供給配線の前記先端部に対応した位置に開口が形成され、前記第１及び第２電圧供給配線の前記先端部は導電性接着剤を介して対応する前記圧電素子のディスク面側の下面側電極層に電気的に接続されており、
前記第１圧電素子用の前記導電性接着剤よりサスペンション幅方向外方側にはサスペンション長手方向に関し前記先端側絶縁性接着剤及び前記基端側絶縁性接着剤の間を連結し且つディスク面と直交する方向に関し前記絶縁層及び前記第１圧電素子の前記下面側電極層の間を連結するように外方側絶縁性接着剤が設けられ、
前記第２圧電素子用の前記導電性接着剤よりサスペンション幅方向外方側にはサスペンション長手方向に関し前記先端側絶縁性接着剤及び前記基端側絶縁性接着剤の間を連結し且つディスク面と直交する方向に関し前記絶縁層及び前記第２圧電素子の前記下面側電極層の間を連結するように外方側絶縁性接着剤が設けられていることを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項６】
前記第１圧電素子側の前記先端側絶縁性接着剤，前記第２圧電素子側の前記先端側絶縁性接着剤，前記第１圧電素子側の前記基端側絶縁性接着剤，前記第２圧電素子側の前記基端側絶縁性接着剤，前記第１圧電素子側の前記外方側絶縁性接着剤，前記第２圧電素子側の前記外方側絶縁性接着剤，前記絶縁層の前記連結領域，前記第１圧電素子の前記下面側電極層及び前記第２圧電素子の前記下面側電極層によって画される空間に封止用絶縁性接着剤が充填されていることを特徴とする請求項５に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項７】
前記第１及び第２圧電素子のサスペンション幅方向外方側の外側面をそれぞれ覆うように外側面側絶縁性接着剤が設けられ、前記外側面側絶縁性接着剤は、対応する側の前記連結梁の少なくとも一部に連結されていることを特徴とする請求項１から６の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項８】
前記先端側中央支持プレート形成領域は、前記支持部先端側重合領域から基端側へ延びた先端側中央部分と、前記先端側中央部分からサスペンション幅方向一方側へ延びて前記第１先端側金属プレートの前記先端側サイド支持プレート形成領域と共に前記第１圧電素子用先端側支持プレートを形成する前記先端側第１幅方向部分と、前記先端側中央部分からサスペンション幅方向他方側へ延びて前記第２先端側金属プレートの前記先端側サイド支持プレート形成領域と共に前記第２圧電素子用先端側支持プレートを形成する前記先端側幅方向第２部分とを有し、
前記基端側中央支持プレート形成領域は、前記支持部基端側重合領域から先端側へ延びた基端側中央部分と、前記基端側中央部分からサスペンション幅方向一方側へ延びて前記第１基端側金属プレートの前記基端側サイド支持プレート形成領域と共に前記第１圧電素子用基端側支持プレートを形成する前記基端側第１幅方向部分と、前記基端側中央部分からサスペンション幅方向他方側へ延びて前記第２基端側金属プレートの前記基端側サイド支持プレート形成領域と共に前記第２圧電素子用基端側支持プレートを形成する前記基端側第２幅方向部分とを有し、
前記第１及び第２圧電素子用先端側支持プレートの先端側エッジと前記先端領域の基端側エッジとの間には隙間が存在し、
前記第１及び第２圧電素子用基端側支持プレートの基端側エッジと前記基端領域の先端側エッジとの間には隙間が存在することを特徴とする請求項１から７の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項９】
前記ロードビーム部，前記荷重曲げ部及び前記一対の先端側金属プレートは一体形成されていることを特徴とする請求項１から８の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１０】
前記第１圧電素子よりサスペンション幅方向外方側において前記第１先端側金属プレート及び前記第１基端側金属プレートを連結する第１連結片と、
前記第２圧電素子よりサスペンション幅方向外方側において前記第２先端側金属プレート及び前記第２基端側金属プレートを連結する第２連結片とを備え、
前記第１及び第２連結片は平面視において蛇腹状とされていることを特徴とする請求項１から９の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１１】
前記第１圧電素子よりサスペンション幅方向外方側においてサスペンション長手方向に延びる第１延在片と、
前記第２圧電素子よりサスペンション幅方向外方側においてサスペンション長手方向に延びる第２延在片とを備え、
前記第１延在片は、前記第１先端側金属プレートに連結された第１先端側部分と前記第１基端側金属プレートに連結された第１基端側部分とを有し、前記第１先端側部分及び前記第１基端側部分は隙間を介して対向し、
前記第２延在片は、前記第２先端側金属プレートに連結された第２先端側部分と前記第２基端側金属プレートに連結された第２基端側部分とを有し、前記第２先端側部分及び前記第２基端側部分は隙間を介して対向していることを特徴とする請求項１から９の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１２】
前記連結梁は前記基端領域に連結される基端部が前記先端領域に連結される先端部よりサスペンション幅方向外方に位置するように配置されており、
先端部が前記第１先端側部分に連結され且つ基端部が前記先端部よりサスペンション幅方向外方において前記第１基端側金属プレートに連結された第１補助連結片と、
先端部が前記第２先端側部分に連結され且つ基端部が前記先端部よりサスペンション幅方向外方において前記第２基端側金属プレートに連結された第２補助連結片とを備えていることを特徴とする請求項１１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１３】
請求項１〜１２の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンションの製造方法であって、
ロードビーム基板から、前記ロードビーム部，前記荷重曲げ部及び前記一対の先端側金属プレートを一体的に有する複数のサスペンション先端側本体と複数の前記一対の基端側金属プレートとを含む中間金属シートであって、前記複数のサスペンション先端側本体が第１支持片を介してキャリアに連結され、且つ、前記複数の一対の基端側金属プレートが第２支持片を介して直接又は間接的に前記キャリヤに連結されている中間金属シートを形成する工程と、
前記サスペンション先端側本体及び対応する前記一対の基端側金属プレートに前記支持部を固着させる工程と、
前記第１及び第２支持片を切断することによって、前記サスペンション先端側本体，前記一対の基端側金属プレート及び前記支持部が一体化されたアッセンブリを前記キャリアから分離する工程とを含むことを特徴とする磁気ヘッドサスペンションの製造方法。
【請求項１４】
前記アッセンブリを前記中間金属シートから分離する前に前記アッセンブリに前記フレクシャ部を固着させる工程を含むことを特徴とする請求項１３に記載の磁気ヘッドサスペンションの製造方法。
【請求項１５】
前記アッセンブリを前記中間金属シートから分離した後に前記アッセンブリに前記フレクシャ部を固着させる工程を含むことを特徴とする請求項１３に記載の磁気ヘッドサスペンションの製造方法。
【請求項１６】
請求項６に記載の磁気ヘッドサスペンションの製造方法であって、
前記支持部，前記荷重曲げ部，前記ロードビーム部，前記フレクシャ部，前記一対の先端側金属プレート及び前記一対の基端側金属プレートが一体化されたサスペンション中間体を用意する工程と、
前記第１及び第２圧電素子用先端側支持プレートに前記先端側絶縁性接着剤を塗布し且つ前記第１及び第２圧電素子用基端側支持プレートに前記基端側絶縁性接着剤を塗布する第１の接着剤塗布工程と、
前記第１圧電素子側の前記外方側絶縁性接着剤及び前記第２圧電素子側の前記外方側絶縁性接着剤を塗布する第２の接着剤塗布工程と、
前記第１及び第２圧電素子用の前記導電性接着剤を塗布する第３の接着剤塗布工程と、
前記第１から第３の接着剤塗布工程の後に前記第１及び第２圧電素子を前記開口領域内の所定位置に設置する圧電素子設置工程と、
前記圧電素子設置工程の前又は後に前記端面側絶縁性接着剤を塗布する第４の接着剤塗布工程と、
前記第１から第４接着剤塗布工程によって塗布された接着剤を硬化させて前記第１及び第２圧電素子を固定する硬化工程と、
前記ディスク面とは反対側からからサスペンション幅方向における前記第１及び第２圧電素子の間の間隙を介して前記空間に前記封止用絶縁性接着剤を充填する工程とを含むことを特徴とする磁気ヘッドサスペンションの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドスライダを支持する為の磁気ヘッドサスペンション及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置の大容量化に伴って磁気ヘッドスライダの目的トラックに対する位置決め精度の向上が求められており、その為、ボイスコイルモータ等のメインアクチュエータによる磁気ヘッドスライダのシーク方向への粗動に加えて、サブアクチュエータとして作用する圧電素子による磁気ヘッドスライダのシーク方向の微動を可能とした磁気ヘッドサスペンションが提案されている。
【０００３】
例えば、下記特許文献１には、前記圧電素子を備えた磁気ヘッドサスペンションにおいて、ディスク面に直交する方向の厚さを可及的に狭める為に、下記構成を備えることが提案されている。
【０００４】
即ち、前記特許文献１に記載された磁気ヘッドサスペンションは、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記支持部に装着される左右一対の圧電素子とを備えている。
【０００５】
前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有している。
【０００６】
前記圧電素子は、前記先端領域及び前記基端領域のディスク対向面にそれぞれ溶接によって固着される先端側支持プレート及び基端側支持プレートを利用して、前記ディスク面に直交する平面視において前記開口領域内に位置するように前記支持部に装着されている。
【０００７】
詳しくは、前記先端側支持プレートは、前記先端領域のディスク対向面に重合された状態で固着される先端側固着領域と、前記開口領域内に位置するように前記先端側固着領域から延びる先端側支持領域とを有している。
同様に、前記基端側支持プレートは、前記基端領域のディスク対向面に重合された状態で固着される基端側固着領域と、前記開口領域内に位置するように前記基端側固着領域から延びる基端側支持領域とを有している。
【０００８】
斯かる構成において、前記圧電素子は、先端側の端面及び基端側の端面がそれぞれ前記先端領域の基端側端面及び前記基端領域の先端側の端面に絶縁性接着剤が介挿された状態で対向し、さらに、ディスク対向面の先端側が前記先端側支持プレートの前記先端側支持領域に絶縁性接着剤が介挿された状態で載置され且つディスク対向面の基端側が前記基端側支持プレートの前記基端側支持領域に絶縁性接着剤が介挿された状態で載置されている。
【０００９】
斯かる構成の前記磁気ヘッドサスペンションにおいては、厚み方向に関し前記圧電素子の少なくとも一部が前記支持部とオーバーラップした状態で前記圧電素子が前記支持部に装着されている為、前記圧電素子を備えることによる磁気ヘッドサスペンションの厚み増加を可及的に防止することができる。
【００１０】
しかしながら、前記フレクシャ部のフレクシャ金属プレートの固着構造に関しては改善の余地があった。
即ち、前記フレクシャ部は、前記支持部及び前記ロードビーム部のディスク対向面に溶接される前記フレクシャ金属プレートと、前記フレクシャ金属プレートのディスク対向面に積層された樹脂等の絶縁層と、前記絶縁層のディスク対向面に積層された導体部材からなる信号配線とを含んでいる。
【００１１】
前記フレクシャ金属プレートは、少なくとも前記開口領域を挟んでサスペンション長手方向両側において前記支持部に溶接によって固着されているが、前記開口領域よりサスペンション長手方向先願側及び基端側には、前述の通り、前記先端側支持プレート及び前記基端側支持プレートが溶接によって固着されている。
【００１２】
つまり、前記特許文献１に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記フレクシャ金属プレートのうち前記開口領域の先端側に隣接する領域は、前記先端側支持プレートのディスク対向面に重合された状態で、前記先端側支持プレートの前記固着領域及び前記支持部の前記先端領域の双方に溶接されている。
同様に、前記フレクシャ金属プレートのうち前記開口領域の基端側に隣接する領域は、前記基端側支持プレートのディスク対向面に重合された状態で、前記基端側支持プレートの前記固着領域及び前記支持部の前記基端領域の双方に溶接されている。
【００１３】
このように、斯かる前記特許文献１に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記開口領域の先端側に隣接する部分において、前記フレクシャ金属プレート，前記先端側支持プレート及び前記支持部の３部材が重合されて溶接され、且つ、前記開口領域の基端側に隣接する部分において、前記フレクシャ金属プレート，前記基端側支持プレート及び前記支持部の３部材が重合されて溶接されており、従って、磁気ヘッドサスペンションの薄肉化及び軽量化が困難であるという問題があった。
【００１４】
さらに、３部材が重合された状態で溶接されている為に、溶接強度を上げる必要があり、これにより、前記磁気ヘッドサスペンションに歪みが生じ易いという問題もあった。前記歪みは、前記磁気ヘッドスライダの浮上姿勢や前記磁気ヘッドサスペンションの振動特性に悪影響を及ぼす。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１５】
【特許文献１】特開２００２−０５０１４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、フレクシャ部のフレクシャ金属プレートが支持部及びロードビーム部に溶接によって固着され且つ圧電素子がディスク面に直交する平面視において前記支持部に形成された開口領域内に位置するように配置された磁気ヘッドサスペンションにおいて、３部材を重合させた状態で溶接させることなく、前記圧電素子を前記開口領域内において支持する先端側支持プレート及び基端側支持プレートを備えることができる磁気ヘッドサスペンションの提供を、一の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明は、前記目的を達成する為に、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着される左右一対の第１及び第２圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と前記荷重曲げ部が連結される先端領域とサスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有し、前記荷重曲げ部は、板面が前記ディスク面と対向する状態でサスペンション長手方向中心線を挟んで互いにサスペンション幅方向に離間された一対の弾性板であって、基端部が前記先端領域に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部の基端側を支持する一対の弾性板を有し、前記フレクシャ部は、前記ロードビーム部及び前記支持部のディスク対向面に溶接されるフレクシャ金属プレートと前記フレクシャ金属プレートのディスク対向面に積層される絶縁層と前記絶縁層のディスク対向面に積層される信号配線とを含み、前記フレクシャ金属プレートは、前記ロードビーム部のディスク対向面に重合された状態で溶接されるロードビーム部重合領域とサスペンション幅方向に関し前記一対の弾性板の間において前記先端領域のディスク対向面に重合された状態で溶接される支持部先端側重合領域とサスペンション幅方向に関し前記一対の弾性板の間において前記ロードビーム部重合領域及び前記支持部先端側重合領域を連結する荷重曲げ対応領域と前記基端領域のディスク対向面に重合された状態で溶接される支持部基端側重合領域と前記開口領域内に位置するように前記支持部先端側重合領域から延びた先端側中央支持プレート形成領域と前記先端側中央支持プレート形成領域とはサスペンション長手方向に離間された状態で前記開口領域内に位置するように前記支持部基端側重合領域から延びた基端側中央支持プレート形成領域とを有し、前記絶縁層は、前記フレクシャ金属プレートの前記ロードビーム部重合領域、前記荷重曲げ対応領域、前記支持部先端側重合領域、前記先端側中央支持プレート形成領域、前記基端側中央支持プレート形成領域及び前記支持部基端側重合領域のディスク対向面にそれぞれ積層されるロードビーム対応領域、荷重曲げ対応領域、支持部先端側対応領域、先端側中央支持プレート対応領域、基端側中央支持プレート対応領域及び支持部基端側対応領域を有すると共に、さらに、前記先端側中央支持プレート対応領域及び前記基端側中央支持プレート対応領域の間を連結する連結領域を有しており、前記先端領域のディスク対向面には左右一対の第１及び第２先端側金属プレートが固着され、前記基端領域のディスク対向面には左右一対の第１及び第２基端側金属プレートが固着されており、前記一対の先端側金属プレートは、前記支持部先端側重合領域よりサスペンション幅方向外方側において前記先端領域のディスク対向面に重合された状態で固着される先端側固着領域と前記先端側中央支持プレート形成領域よりサスペンション幅方向外方側において前記開口領域内に位置するように前記先端側固着領域から延びる先端側サイド支持プレート形成領域とを有し、前記一対の基端側金属プレートは、前記支持部基端側重合領域よりサスペンション幅方向外方側において前記基端領域のディスク対向面に重合された状態で固着される基端側固着領域と前記基端側中央支持プレート形成領域よりサスペンション幅方向外方側において前記開口領域内に位置するように前記基端側固着領域から延びる基端側サイド支持プレート形成領域とを有し、前記第１圧電素子は、先端側の端面及び基端側の端面がそれぞれ前記先端領域の基端側端面及び前記基端領域の先端側の端面に端面側絶縁性接着剤が介挿された状態で対向し、さらに、ディスク対向面の先端側が前記先端側中央支持プレート形成領域のサスペンション幅方向一方側の先端側第１幅方向部分及び前記第１先端側金属プレートの前記先端側サイド支持プレート形成領域によって形成される第１圧電素子用先端側支持プレートに先端側絶縁性接着剤が介挿された状態で載置され且つディスク対向面の基端側が前記基端側中央支持プレート形成領域のサスペンション幅方向一方側の基端側第１幅方向部分及び前記第１基端側金属プレートの前記基端側サイド支持プレート形成領域によって形成される第１圧電素子用基端側支持プレートに基端側絶縁性接着剤が介挿された状態で載置され、前記第２圧電素子は、先端側の端面及び基端側の端面がそれぞれ前記先端領域の基端側端面及び前記基端領域の先端側の端面に端面側絶縁性接着剤が介挿された状態で対向し、さらに、ディスク対向面の先端側が前記先端側中央支持プレート形成領域のサスペンション幅方向他方側の先端側第２幅方向部分及び前記第２先端側金属プレートの前記先端側サイド支持プレート形成領域によって形成される第２圧電素子用先端側支持プレートに先端側絶縁性接着剤を介して載置され且つディスク対向面の基端側が前記基端側中央支持プレート形成領域のサスペンション幅方向他方側の基端側第２幅方向部分及び前記第２基端側金属プレートの前記基端側支持プレート形成領域によって形成される第２圧電素子用基端側支持プレートに基端側絶縁性接着剤を介して載置されている磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【００１８】
一形態においては、前記フレクシャ金属プレートは、サスペンション幅方向に関し前記一対の第１及び第２圧電素子の間において前記先端側中央支持プレート形成領域及び基端側中央支持プレート形成領域の間を連結するブリッジ領域を有し得る。
【００１９】
他形態においては、前記先端側中央支持プレート形成領域及び前記基端側中央支持プレート形成領域の間には前記フレクシャ金属プレートが存在しないように構成される。この場合、前記先端側中央支持プレート形成領域及び前記基端側中央支持プレート形成領域の相対位置は、前記フレクシャ部の前記絶縁層及び前記信号配線によって保持される。
【００２０】
好ましくは、前記連結領域は、平面視において前記第１及び第２圧電素子と少なくとも部分的にオーバーラップするように配置され、前記フレクシャ部は、前記絶縁層のディスク対向面に積層される第１及び第２電圧供給配線を有し、前記第１及び第２電圧供給配線は、基端部が外部電源に電気接続可能とされ且つ先端部が対応する前記圧電素子と平面視においてオーバーラップされ、前記絶縁層の前記連結領域には前記第１及び第２電圧供給配線の前記先端部に対応した位置に開口が形成され、前記第１及び第２電圧供給配線の前記先端部は導電性接着剤を介して対応する前記圧電素子のディスク面側の電極層に電気的に接続される。
【００２１】
より好ましくは、前記絶縁層のディスク面とは反対側には前記導電性接着剤を囲繞するように金属リングが配置される。
前記金属リングは、前記フレクシャ金属プレートを形成する金属板を用いて形成され得る。
【００２２】
前記種々の構成において、好ましくは、前記第１圧電素子用の前記導電性接着剤のサスペンション幅方向両側には、サスペンション長手方向に関し前記先端側絶縁性接着剤及び前記基端側絶縁性接着剤の間を連結し且つディスク面と直交する方向に関し前記絶縁層及び前記第１圧電素子の前記下面側電極層の間を連結するように配置された一対の第１密閉空間形成絶縁性接着剤が設けられ、前記第２圧電素子用の前記導電性接着剤のサスペンション幅方向両側には、サスペンション長手方向に関し前記先端側絶縁性接着剤及び前記基端側絶縁性接着剤の間を連結し且つディスク面と直交する方向に関し前記絶縁層及び前記第２圧電素子の前記下面側電極層の間を連結するように配置された一対の第２密閉空間形成絶縁性接着剤が設けられる。
【００２３】
これに代えて、前記第１圧電素子用の前記導電性接着剤よりサスペンション幅方向外方側に、サスペンション長手方向に関し前記先端側絶縁性接着剤及び前記基端側絶縁性接着剤の間を連結し且つディスク面と直交する方向に関し前記絶縁層及び前記第１圧電素子の前記下面側電極層の間を連結するように外方側絶縁性接着剤を設け、前記第２圧電素子用の前記導電性接着剤よりサスペンション幅方向外方側に、サスペンション長手方向に関し前記先端側絶縁性接着剤及び前記基端側絶縁性接着剤の間を連結し且つディスク面と直交する方向に関し前記絶縁層及び前記第２圧電素子の前記下面側電極層の間を連結するように外方側絶縁性接着剤を設けることも可能である。
【００２４】
より好ましくは、前記第１圧電素子側の前記先端側絶縁性接着剤，前記第２圧電素子側の前記先端側絶縁性接着剤，前記第１圧電素子側の前記基端側絶縁性接着剤，前記第２圧電素子側の前記基端側絶縁性接着剤，前記第１圧電素子側の前記外方側絶縁性接着剤，前記第２圧電素子側の前記外方側絶縁性接着剤，前記絶縁層の前記連結領域，前記第１圧電素子の前記下面側電極層及び前記第２圧電素子の前記下面側電極層によって画される空間に封止用絶縁性接着剤が充填される。
【００２５】
前記種々の構成において、好ましくは、前記第１及び第２圧電素子のサスペンション幅方向外方側の外側面をそれぞれ覆うように外側面側絶縁性接着剤が設けられ、前記外側面側絶縁性接着剤は、対応する側の前記連結梁の少なくとも一部に連結される。
【００２６】
前記種々の構成において、好ましくは、前記先端側中央支持プレート形成領域は、前記支持部先端側重合領域から基端側へ延びた先端側中央部分と、前記先端側中央部分からサスペンション幅方向一方側へ延びて前記第１先端側金属プレートの前記先端側サイド支持プレート形成領域と共に前記第１圧電素子用先端側支持プレートを形成する前記先端側第１幅方向部分と、前記先端側中央部分からサスペンション幅方向他方側へ延びて前記第２先端側金属プレートの前記先端側サイド支持プレート形成領域と共に前記第２圧電素子用先端側支持プレートを形成する前記先端側幅方向第２部分とを有し得る。前記基端側中央支持プレート形成領域は、前記支持部基端側重合領域から先端側へ延びた基端側中央部分と、前記基端側中央部分からサスペンション幅方向一方側へ延びて前記第１基端側金属プレートの前記基端側サイド支持プレート形成領域と共に前記第１圧電素子用基端側支持プレートを形成する前記基端側第１幅方向部分と、前記基端側中央部分からサスペンション幅方向他方側へ延びて前記第２基端側金属プレートの前記基端側サイド支持プレート形成領域と共に前記第２圧電素子用基端側支持プレートを形成する前記基端側第２幅方向部分とを有し得る。前記第１及び第２圧電素子用先端側支持プレートの先端側エッジと前記先端領域の基端側エッジとの間には隙間が存在するように前記第１及び第２圧電素子用先端側支持プレートが構成され、前記第１及び第２圧電素子用基端側支持プレートの基端側エッジと前記基端領域の先端側エッジとの間には隙間が存在するように前記第１及び第２圧電素子用基端側支持プレートが構成される。
【００２７】
前記種々の構成において、好ましくは、前記ロードビーム部，前記荷重曲げ部及び前記一対の先端側金属プレートは一体形成される。
【００２８】
前記種々の構成に係る磁気ヘッドサスペンションは、さらに、前記第１圧電素子よりサスペンション幅方向外方側において前記第１先端側金属プレート及び前記第１基端側金属プレートを連結する第１連結片と、前記第２圧電素子よりサスペンション幅方向外方側において前記第２先端側金属プレート及び前記第２基端側金属プレートを連結する第２連結片とを備え得る。前記第１及び第２連結片は平面視において蛇腹状とされる。
【００２９】
前記第１及び第２連結片を備えることに代えて、前記種々の構成に係る磁気ヘッドサスペンションは、さらに、前記第１圧電素子よりサスペンション幅方向外方側においてサスペンション長手方向に延びる第１延在片と、前記第２圧電素子よりサスペンション幅方向外方側においてサスペンション長手方向に延びる第２延在片とを備え得る。
前記第１延在片は、前記第１先端側金属プレートに連結された第１先端側部分と前記第１基端側金属プレートに連結された第１基端側部分とを有し、前記第１先端側部分及び前記第１基端側部分は隙間を介して対向される。
前記第２延在片は、前記第２先端側金属プレートに連結された第２先端側部分と前記第２基端側金属プレートに連結された第２基端側部分とを有し、前記第２先端側部分及び前記第２基端側部分は隙間を介して対向される。
【００３０】
前記第１及び第２延在片が備えられる構成において、前記基端領域に連結される前記連結梁の基端部が前記先端領域に連結される先端部よりサスペンション幅方向外方に位置する場合には、前記磁気ヘッドサスペンションには、先端部が前記第１先端側部分に連結され且つ基端部が前記先端部よりサスペンション幅方向外方において前記第１基端側金属プレートに連結された第１補助連結片と、先端部が前記第２先端側部分に連結され且つ基端部が前記先端部よりサスペンション幅方向外方において前記第２基端側金属プレートに連結された第２補助連結片とが備えられ得る。
【００３１】
又、本発明は、前記種々の構成に係る磁気ヘッドサスペンションの製造方法であって、ロードビーム基板から、前記ロードビーム部，前記荷重曲げ部及び前記一対の先端側金属プレートを一体的に有する複数のサスペンション先端側本体と複数の前記一対の基端側金属プレートとを含む中間金属シートであって、前記複数のサスペンション先端側本体が第１支持片を介してキャリアに連結され、且つ、前記複数の一対の基端側金属プレートが第２支持片を介して直接又は間接的に前記キャリヤに連結されている中間金属シートを形成する工程と、前記サスペンション先端側本体及び対応する前記一対の基端側金属プレートに前記支持部を固着させる工程と、前記第１及び第２支持片を切断することによって、前記サスペンション先端側本体，前記一対の基端側金属プレート及び前記支持部が一体化されたアッセンブリを前記キャリアから分離する工程とを含む磁気ヘッドサスペンションの製造方法を提供する。
【００３２】
一形態においては、前記製造方法は、前記アッセンブリを前記中間金属シートから分離する前に前記アッセンブリに前記フレクシャ部を固着させる工程を含み得る。
これに代えて、前記製造方法は、前記アッセンブリを前記中間金属シートから分離した後に前記アッセンブリに前記フレクシャ部を固着させる工程を含み得る。
【００３３】
又、本発明は、前記封止用絶縁性接着剤を備えた前記磁気ヘッドサスペンションの製造方法であって、前記支持部，前記荷重曲げ部，前記ロードビーム部，前記フレクシャ部，前記一対の先端側金属プレート及び前記一対の基端側金属プレートが一体化されたサスペンション中間体を用意する工程と、前記第１及び第２圧電素子用先端側支持プレートに前記先端側絶縁性接着剤を塗布し且つ前記第１及び第２圧電素子用基端側支持プレートに前記基端側絶縁性接着剤を塗布する第１の接着剤塗布工程と、前記第１圧電素子側の前記外方側絶縁性接着剤及び前記第２圧電素子側の前記外方側絶縁性接着剤を塗布する第２の接着剤塗布工程と、前記第１及び第２圧電素子用の前記導電性接着剤を塗布する第３の接着剤塗布工程と、前記第１から第３の接着剤塗布工程の後に前記第１及び第２圧電素子を前記開口領域内の所定位置に設置する圧電素子設置工程と、前記圧電素子設置工程の前又は後に前記端面側絶縁性接着剤を塗布する第４の接着剤塗布工程と、前記第１から第４接着剤塗布工程によって塗布された接着剤を硬化させて前記第１及び第２圧電素子を固定する硬化工程と、前記ディスク面とは反対側からからサスペンション幅方向における前記第１及び第２圧電素子の間の間隙を介して前記空間に前記封止用絶縁性接着剤を充填する工程とを含む磁気ヘッドサスペンションの製造方法を提供する。
本発明に係る前記製造方法は、さらに、前記第１及び第２圧電素子のそれぞれの前記ディスク面とは反対側の電極層と前記支持体の前記先端領域とに跨るように導電性接着剤を塗布する第５の接着剤塗布工程を含み得る。
【発明の効果】
【００３４】
本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、ロードビーム部及び支持部に固着されるフレクシャ部のフレクシャ金属プレートが前記支持部の開口領域内の先端側及び基端側に位置する先端側中央支持プレート形成領域及び基端側中央支持プレート形成領域を有し、前記支持部のうち前記開口領域より先端側の先端領域には前記先端側中央支持プレート形成領域よりサスペンション幅方向外方側に位置する左右一対の第１及び第２先端側金属プレートが固着され、前記支持部のうち前記開口領域より基端側の基端領域には前記基端側中央支持プレート形成領域よりサスペンション幅方向外方側に位置する左右一対の第１及び第２基端側金属プレートが固着され、前記第１及び第２先端側金属プレートが前記先端側中央支持プレート形成領域と共働してそれぞれ第１及び第２圧電素子用先端側支持プレートを形成し、前記第１及び第２基端側金属プレートが前記基端側中央支持プレート形成領域と共働してそれぞれ第１及び第２圧電素子用基端側支持プレートを形成しているので、３部材を重合させた状態で溶接させることなく、前記先端側支持プレート及び前記基端側支持プレートを形成することができる。従って、磁気ヘッドサスペンションの薄肉化及び軽量化を図り得ると共に、溶接に起因して前記磁気ヘッドサスペンションに歪みが生じることを有効に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１Ａ】図１Ａは、本発明の実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図１Ｂ】図１Ｂは、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。
【図２Ａ】図２Ａは、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションのフレクシャ部の上面図である。
【図２Ｂ】図２Ｂは、前記フレクシャ部の下面図である。
【図３】図３は、一対の第１及び第２圧電素子を取り除いた状態の前記磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図４】図４は、図１ＡにおけるIV-IV線に沿った断面図である。
【図５】図５は、図１ＡにおけるV-V線に沿った断面図である。
【図６】図６は、図１ＡにおけるVI-VI線に沿った断面図である。
【図７】図７は、前記実施の形態１の第１変形例に係る磁気ヘッドサスペンションの断面図であって、図１ＡのVI-VI線に相当する切断面に沿った断面図である。
【図８】図８は、図１ＢにおけるVIII部拡大図である。
【図９】図９は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの製造方法の第１例を示す平面図である。
【図１０】図１０は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの製造方法の第２例を示す平面図である。
【図１１】図１１は、前記実施の形態１の第２変形例に係る磁気ヘッドサスペンションにおけるフレクシャ部の上面図である。
【図１２】図１２は、本発明の実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図１３】図１３は、本発明の実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図１４】図１４は、前記実施の形態３の変形例に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図１５】図１５は、本発明の実施の形態４に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図１６】図１６は、図１５におけるXVI-XVI線に沿った断面図である。
【図１７】図１７は、図１５におけるXVII-XVII線に沿った断面図である。
【図１８】図１８は、図１５におけるXVIII-XVIII線に沿った断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００３６】
実施の形態１
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１Ａ及び図１Ｂに、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び下面図（ディスク面側から視た底面図）を示す。なお、図１Ｂにおける○印は溶接点を示している。
【００３７】
図１Ａ及び図１Ｂに示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、磁気ヘッドスライダ５０をディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部２０と、前記荷重を磁気ヘッドスライダ５０に伝達するためのロードビーム部３０と、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部１０と、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に支持されるフレクシャ部４０と、前記磁気ヘッドスライダ５０をシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部１０に装着された左右一対の第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）とを備えている。
【００３８】
前記支持部１０は、ボイスコイルモータ等の前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結された状態で、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。
【００３９】
本実施の形態においては、前記支持部１０は、前記メインアクチュエータに連結されるキャリッジアーム（図示せず）の先端にかしめ加工によって接合されるボス部１５を備えたベースプレートとされている。
前記支持部１０は、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
当然ながら、前記支持部１０として、基端部が前記メインアクチュエータの揺動中心に連結されるアームを採用することも可能である。
【００４０】
前記支持部１０は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域１１と、前記荷重曲げ部２０が連結される先端領域１２と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域１１及び前記先端領域１２の間に位置する開口領域１３と、前記開口領域１３のサスペンション幅方向両側において前記基端領域１１及び前記先端領域１２の間を連結する左右一対の連結梁１４とを有している。
【００４１】
前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記荷重曲げ部２０によって発生される荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。
本実施の形態においては、図１Ａ及び図１Ｂに示すように、前記ロードビーム部３０は、平板状の本体部３１と、前記本体部３１の幅方向両端部からディスク面とは反対側に曲げ形成されたフランジ部３２とを有しており、前記フランジ部３２によって剛性を確保している。
前記ロードビーム部３０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００４２】
詳しくは、前記ロードビーム部３０は、先端部に、所謂ディンプルと呼ばれる突起３３を有している。
前記突起３３は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度突出されている。この突起３３は、前記フレクシャ部４０におけるヘッド搭載領域４３の裏面（ディスク面とは反対側の面）に接触しており、前記荷重はこの突起３３を介して前記フレクシャ部４０のヘッド搭載領域４１８に伝達される。
【００４３】
本実施の形態においては、前記ロードビーム部３０は、さらに、前記本体部３１の先端からサスペンション長手方向先端側へ延びるリフトタブ３４を一体的に有している。前記リフトタブ３４は、前記磁気ヘッドスライダ５０がディスク面の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記メインアクチュエータによって揺動された際に、磁気ディスク装置に備えられたランプと係合して前記磁気ヘッドスライダ５０をｚ方向（前記ディスク面と直交する方向）に沿って前記ディスク面から離間させる為の部材である。
【００４４】
前記荷重曲げ部２０は、基端部が前記支持部１０に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部３０に連結されており、自己の弾性変形に基づいて前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面へ向けて押し付ける押し付け荷重を発生する。
【００４５】
図１Ａ及び図１Ｂに示すように、本実施の形態においては、前記荷重曲げ部２０は、板面が前記ディスク面と対向する状態でサスペンション長手方向中心線ＣＬを挟んで互いに対して離間配置された左右一対の板バネ２１を有している。
好ましくは、前記一対の板バネ２１は、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記磁気ディスク装置へ実装される前の段階において前記磁気ヘッドスライダ５０が前記ディスク面に近づく方向に予め折り曲げられ、且つ、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの前記磁気ディスク装置への実装時には曲げ戻されることで前記押し付け荷重を発生するように、構成される。
【００４６】
前記荷重曲げ部２０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって形成される。
なお、本実施の形態においては、図１Ａ及び図１Ｂに示すように、前記荷重曲げ部２０は前記ロードビーム部３０と一体形成されている。
【００４７】
即ち、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａは、ロードビーム基板から形成された前記ロードビーム部３０及び前記荷重曲げ部２０を一体形成するロードビーム／荷重曲げ形成体３００を有しており、前記ロードビーム／荷重曲げ形成体３００は、前記ディスク面とは反対側の上面が前記支持部１０の前記先端領域１２における前記ディスク面と対向する下面に当接された状態で、前記支持部１０に溶接によって接合されている。
【００４８】
前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に溶接によって接合されている。
本実施の形態においては前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッドスライダ５０を外部部材に電気的に接続する為の信号配線４３０を一体的に有している。
【００４９】
図２Ａ及び図２Ｂに、それぞれ、前記フレクシャ部４０の上面図及び下面図を示す。
図１Ｂ，図２Ａ及び図２Ｂに示すように、前記フレクシャ部４０は、前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０のディスク対向面に溶接されるフレクシャ金属プレート４１０と、前記フレクシャ金属プレート４１０のディスク対向面に積層される絶縁層４２０と、前記絶縁層４２０のディスク対向面に積層される信号配線４３０とを含んでいる。
好ましくは、前記フレクシャ部４０は、前記信号配線４３０を囲繞する絶縁性のカバー層（図示せず）を有し得る。
【００５０】
前記フレクシャ金属プレート４１０は、前記ロードビーム部３０のディスク対向面に重合された状態で溶接されるロードビーム部重合領域４１１と、サスペンション幅方向に関し前記一対の弾性板２１の間において前記先端領域１２のディスク対向面に重合された状態で溶接される支持部先端側重合領域４１３と、サスペンション幅方向に関し前記一対の弾性板２１の間において前記ロードビーム部重合領域４１１及び前記支持部先端側重合領域４１３を連結する荷重曲げ対応領域４１２と、前記基端領域１１のディスク対向面に重合された状態で溶接される支持部基端側重合領域４１６とを有しており、さらに、前記開口領域１３内に位置するように前記支持部先端側重合領域４１３から延びた先端側中央支持プレート形成領域４１４と、前記先端側中央支持プレート形成領域４１４とはサスペンション長手方向に離間された状態で前記開口領域１３内に位置するように前記支持部基端側重合領域４１６から延びた基端側中央支持プレート形成領域４１５とを有している。
【００５１】
なお、前記フレクシャ金属プレート４１０は、さらに、前記ロードビーム部重合領域４１１のサスペンション幅方向両側から先端側へ延びる一対の支持片４１７と、前記支持片４１７によって支持された前記ヘッド搭載領域４１８とを有している。
【００５２】
前記ヘッド搭載領域４１８は、図１Ｂに示すように、ディスク面と対向する対向面において前記磁気ヘッドスライダ５０を支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域４１８の裏面には前記突起３３が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域４１８は前記突起３３を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
【００５３】
前記フレクシャ金属プレート４１０は、前記ヘッド搭載領域４１８がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部３０を形成する部材（本実施の形態においては前記ロードビーム基板）よりも低剛性とされる。
前記フレクシャ金属プレート４１０は、例えば、厚さ０．０１ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス板とされる。
【００５４】
前述の通り、前記フレクシャ金属プレート４１０は、前記先端側中央支持プレート形成領域４１４及び前記基端側中央支持プレート形成領域４１５の間においてサスペンション長手方向に分断されている。
即ち、前記フレクシャ金属プレート４１０は、図２Ａ及び図２Ｂに示すように、前記ヘッド搭載領域４１８、前記一対の支持片４１７、前記ロードビーム部重合領域４１１、前記荷重曲げ対応領域４１２、前記支持部先端側重合領域４１３及び前記先端側中央支持プレート形成領域４１４を含む先端側セクション４１０ａと前記基端側中央支持プレート形成領域及４１５び前記支持部基端側重合領域４１６を含む基端側セクション４１０ｂとを備えており、前記先端側セクション４１０ａ及び前記基端側セクション４１０ｂは前記先端側中央支持プレート形成領域４１４及び前記基端側中央支持プレート形成領域４１５の間において離間されている。
【００５５】
前記先端側セクション４１０ａ及び前記基端側セクション４１０ｂは前記絶縁層４２０によって連結されている。
即ち、前記絶縁層４２０は、図２Ｂに示すように、前記フレクシャ金属プレート４１０の前記ロードビーム部重合領域４１１、前記荷重曲げ対応領域４１２、前記支持部先端側重合領域４１３、前記先端側中央支持プレート形成領域４１４、前記基端側中央支持プレート形成領域４１５及び前記支持部基端側重合領域４１６のディスク対向面にそれぞれ積層されるロードビーム対応領域４２１、荷重曲げ対応領域４２２、支持部先端側対応領域４２３、先端側中央支持プレート対応領域４２４、基端側中央支持プレート対応領域４２５及び支持部基端側対応領域４２６を有すると共に、さらに、前記先端側中央支持プレート対応領域４２４及び前記基端側中央支持プレート対応領域４２５の間を連結する連結領域４２９（図１Ｂ及び図２Ａも併せて参照）を有している。
【００５６】
図１Ｂに示すように、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記構成要素に加えて、さらに、前記先端領域１２のディスク対向面に固着された左右一対の第１及び第２先端側金属プレート１００（１），１００（２）と、前記基端領域１１のディスク対向面に固着された左右一対の第１及び第２基端側金属プレート１５０（１），１５０（２）とを備えている。
【００５７】
図３に、前記一対の第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）を取り除いた状態の前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの上面図を示す。
なお、図３においては、前記一対の第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）を二点鎖線で示している。
【００５８】
図１Ｂ及び図３に示すように、前記一対の第１及び第２先端側金属プレート１００（１），１００（２）の各々は、前記先端領域１２のディスク対向面のうち前記支持部先端側重合領域４１３よりサスペンション幅方向外方側に位置する部分に重合された状態で固着される先端側固着領域１０１と、前記先端側中央支持プレート形成領域４１４よりサスペンション幅方向外方側において前記開口領域１３内に位置するように前記先端側固着領域１０１から延びる先端側サイド支持プレート形成領域１０５とを有している。
【００５９】
詳しくは、前記先端側中央支持プレート形成領域４１４は、図２Ａ及び図３に示すように、前記支持部先端側重合領域４１３から基端側へ延びた先端側中央部分４１４ａと、前記先端側中央部分４１４ａからサスペンション幅方向一方側へ延びた先端側第１幅方向部分４１４（１）と、前記先端側中央部分４１４ａからサスペンション幅方向他方側へ延びた先端側第２幅方向部分４１４（２）とを有している。
【００６０】
そして、前記第１先端側金属プレート１００（１）は、図１Ｂ及び図３に示すように、前記フレクシャ金属プレート４１０の前記支持部先端側重合領域４１３よりサスペンション幅方向一方側において前記先端領域１２のディスク対向面に当接された状態で溶接される前記先端側固着領域１０１と、前記先端側第１幅方向部分４１４（１）よりサスペンション幅方向一方側においてサスペンション幅方向に沿って延びるように前記先端側固着領域１０１から延在された前記先端側サイド支持プレート形成領域１０５とを有している。
【００６１】
前記第１先端側金属プレート１００（１）の前記先端側サイド支持プレート形成領域１０５は、前記先端側第１幅方向部分４１４（１）と共働して前記第１圧電素子６０（１）の先端側が載置される第１圧電素子用先端側支持プレートを形成する。
【００６２】
前記第２先端側金属プレート１００（２）は、サスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして前記第１先端側金属プレート１００（１）と対称とされている。
即ち、前記第２先端側金属プレート１００（２）は、前記フレクシャ金属プレート４１０の前記支持部先端側重合領域４１３よりサスペンション幅方向他方側において前記先端領域のディスク対向面に当接された状態で溶接される前記先端側固着領域１０１と、前記先端側第２幅方向部分４１４（２）よりサスペンション幅方向他方側においてサスペンション幅方向に沿って延びるように前記先端側固着領域１０１から延在された前記先端側サイド支持プレート形成領域１０５とを有している。
【００６３】
前記第２先端側金属プレート１００（２）の前記先端側サイド支持プレート形成領域１０５は、前記先端側第２幅方向部分４１４（２）と共働して前記第２圧電素子６０（２）の先端側が載置される第２圧電素子用先端側支持プレートを形成する。
【００６４】
前記先端側第１及び第２幅方向部分４１４（１），４１４（２）はサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして対称とされており、従って、前記第１圧電素子用先端側支持プレート及び前記第２圧電素子用先端側支持プレートはサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして対称とされる。
【００６５】
図１Ｂ及び図３に示すように、前記一対の第１及び第２基端側金属プレート１５０（１），１５０（２）の各々は、前記基端領域１１のディスク対向面のうち前記支持部基端側重合領域４１６よりサスペンション幅方向外方側に位置する部分に重合された状態で固着される基端側固着領域１５１と、前記基端側中央支持プレート形成領域４１５よりサスペンション幅方向外方側において前記開口領域１３内に位置するように前記基端側固着領域１５１から延びる基端側サイド支持プレート形成領域１５５とを有している。
【００６６】
詳しくは、前記基端側中央支持プレート形成領域は、図２Ａ及び図３に示すように、前記支持部基端側重合領域４１６から先端側へ延びた基端側中央部分４１５ａと、前記基端側中央部分４１５ａからサスペンション幅方向一方側へ延びた基端側第１幅方向部分４１５（１）と、前記基端側中央部分４１５ａからサスペンション幅方向他方側へ延びた基端側第２幅方向部分４１５（２）とを有している。
【００６７】
そして、前記第１基端側金属プレート１５０（１）は、図１Ｂ及び図３に示すように、前記フレクシャ金属プレート４１０の前記支持部基端側重合領域４１６よりサスペンション幅方向一方側において前記基端領域１１のディスク対向面に当接された状態で溶接される前記基端側固着領域１５１と、前記基端側第１幅方向部分４１５（１）よりサスペンション幅方向一方側においてサスペンション幅方向に沿って延びるように前記基端側固着領域１５１から延在された前記基端側サイド支持プレート形成領域１５５とを有している。
【００６８】
前記第１基端側金属プレート１５０（１）の前記基端側サイド支持プレート形成領域１５５は、前記基端側第１幅方向部分４１５（１）と共働して前記第１圧電素子６０（１）の基端側が載置される第１圧電素子用基端側支持プレートを形成する。
【００６９】
前記第２基端側金属プレート１５０（２）は、サスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして前記第１基端側金属プレート１５０（１）と対称とされている。
即ち、前記第２基端側金属プレート１５０（２）は、前記フレクシャ金属プレート４１０の前記支持部基端側重合領域４１６よりサスペンション幅方向他方側において前記基端領域１１のディスク対向面に当接された状態で溶接される前記基端側固着領域１５１と、前記基端側第２幅方向部分４１５（２）よりサスペンション幅方向他方側においてサスペンション幅方向に沿って延びるように前記基端側固着領域１５１から延在された前記基端側サイド支持プレート形成領域１５５とを有している。
【００７０】
前記第２基端側金属プレート１５０（２）の前記基端側サイド支持プレート形成領域１５５は、前記基端側第２幅方向部分４１５（２）と共働して前記第２圧電素子６０（２）の基端側が載置される第２圧電素子用基端側支持プレートを形成する。
【００７１】
前記基端側第１及び第２幅方向部分４１５（１），４１５（２）はサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして対称とされており、従って、前記第１圧電素子用基端側支持プレート及び前記第２圧電素子用基端側支持プレートはサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして対称とされる。
【００７２】
前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の各々は、ＰＺＴ（チタン酸ジリコン酸鉛）からなる本体部と、前記本体部の下面（ディスク面に近接する側の面）及び上面（ディスク面とは反対側の面）にそれぞれに配置された下面側電極層及び上面側電極層とを有している。
【００７３】
前記本体部は、例えば厚さ０．０５ｍｍ〜０．３ｍｍとされ、前記電極層は、例えば厚さ０．０５μｍ〜数μｍのＡｇやＡｕによって形成される。
【００７４】
なお、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）は、前記磁気ヘッドスライダ５０をシーク方向に微動させる為のサブアクチュエータとして作用するように電圧の印可に応じて一方が伸長し且つ他方が圧縮するように配置されている。
【００７５】
図４〜図６に、それぞれ、図１ＡにおけるIV-IV線、V-V線及びVI-VI線に沿った断面図を示す。
前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）は、図１Ａ及び図４〜図６に示すように、前記ディスク面と直交する方向に沿って視た平面視において全体が前記開口領域１３内に位置するように前記支持部に装着されている。
【００７６】
詳しくは、図１Ａ，図４〜図６に示すように、前記第１圧電素子６０（１）は、先端側の端面及び基端側の端面がそれぞれ前記先端領域１２の基端側端面及び前記基端領域１１の先端側の端面に端面側絶縁性接着剤７１，７２が介挿された状態で対向し、さらに、ディスク対向面の先端側が前記第１圧電素子用先端側支持プレート４１４（１），１０５に先端側絶縁性接着剤７３が介挿された状態で載置され且つディスク対向面の基端側が前記第１圧電素子用基端側支持プレート４１５（１），１５５に基端側絶縁性接着剤７４が介挿された状態で載置されている。
【００７７】
同様に、前記第２圧電素子６０（２）は、図１Ａに示すように、先端側の端面及び基端側の端面がそれぞれ前記先端領域１２の基端側端面及び前記基端領域１１の先端側の端面に端面側絶縁性接着剤７１，７２が介挿された状態で対向し、さらに、ディスク対向面の先端側が前記第２圧電素子用先端側支持プレート４１４（２），１０５に先端側絶縁性接着剤を介して載置され且つディスク対向面の基端側が前記第２圧電素子用基端側支持プレート４１５（２），１５５に基端側絶縁性接着剤を介して載置されている。
【００７８】
斯かる構成の前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては、３つの部材を重合させることなく且つ３部材を溶接によって固着させることなく、前記第１圧電素子６０（１）のディスク対向面の先端側及び基端側がそれぞれ載置される前記第１圧電素子用先端側支持プレート４１４（１），１０５及び前記第１圧電素子用基端側支持プレート４１５（１），１５５を形成し、且つ、前記第２圧電素子６０（２）のディスク対向面の先端側及び基端側がそれぞれ載置される前記第２圧電素子用先端側支持プレート４１４（２），１０５及び前記第２圧電素子用基端側支持プレート４１５（１），１５５を形成することができる。
【００７９】
従って、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの薄肉化及び軽量化を図り得ると共に、３部材間の溶接に起因して生じ得る歪みを防ぎ、溶接による前記磁気ヘッドスライダ５０の浮上姿勢や前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの振動特性への悪影響を有効に防止できる。
【００８０】
さらに、本実施の形態においては、前記フレクシャ金属プレート４１０の裏面（ディスク対向面とは反対側の面）、前記一対の先端側金属プレート１００（１），１００（２）の裏面及び前記一対の基端側金属プレート１５０（１），１５０（２）の裏面が前記支持部１０のディスク対向面に当接された状態で、これらの部材が前記支持部１０に溶接によって固着されている。
【００８１】
従って、前記一対の第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）が載置される面、即ち、前記先端側第１及び第２幅方向部分４１４（１），４１４（２）、前記先端側サイド支持プレート形成領域１０５、前記基端側第１及び第２幅方向部分４１５（１），４１５（２）、並びに、前記基端側サイド支持プレート形成領域１５５の裏面（前記ディスク面とは反対側を向く面）は全て同一の平面（前記支持部のディスク対向面が位置する平面）内に位置することになり、これにより、前記圧電素子６０（１），６０（２）の姿勢安定化を図ることができる。
【００８２】
ところで、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）による前記磁気ヘッドスライダ５０のシーク方向への微動を反応性良く行う為には、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）がスムースに伸縮動作を行うように構成する必要がある。
【００８３】
この点に関し、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは下記構成を備えている。
まず、前述の通り、前記第１及び第２圧電素子用先端側支持プレートの一部を形成する前記フレクシャ金属プレート４１０の前記先端側中央支持プレート形成領域４１４は、前記第１及び第２圧電素子用基端側支持プレートの一部を形成する前記フレクシャ金属プレート４１０の前記基端側中央支持プレート形成領域４１５に対して、可撓性を有する前記絶縁層４２０の前記連結領域４２９によって連結された状態でサスペンション長手方向に離間されている。
【００８４】
さらに、前記第１及び第２圧電素子用先端側支持プレートの一部を形成する前記一対の先端側金属プレート１００（１），１００（２）は、前記第１及び第２圧電素子用基端側支持プレートの一部を形成する前記一対の基端側金属プレート１５０（１），１５０（２）に対してサスペンション長手方向に離間されている。
【００８５】
つまり、前記先端側支持プレート及び前記基端側支持プレートは、両者の間にフレクシャ金属プレート４１０が存在しない状態で低剛性部材（本実施の形態においては前記絶縁層４２０及び前記信号配線４３０）によって連結されている。
従って、前記圧電素子６０（１），６０（２）の伸縮動作に応じて、前記先端側支持プレートが対応する前記基端側支持プレートに対してサスペンション長手方向に自由に相対移動することができる。
【００８６】
なお、前述の通り、本実施の形態においては、前記フレクシャ部４０は前記磁気ヘッドスライダ５０と外部部材とを電気的に接続する為の前記信号配線４３０を一体的に有している。
前記信号配線４３０は、図１Ｂ及び図２Ｂに示すように、前記絶縁層４２０の前記連結領域４２９を跨いでサスペンション長手方向に延びている。
従って、前記信号配線４３０は前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の伸縮動作に対する抵抗となり得る。
【００８７】
本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記抵抗を可及的に小さくする為に、下記構成を備えている。
即ち、前記信号配線４３０は、図１Ｂ及び図２Ｂに示すように、前記開口領域１３の先端側エッジを跨いでサスペンション長手方向に延びる開口領域先端側部分４３１と、前記開口領域１３の基端側エッジを跨いでサスペンション長手方向に延びる開口領域基端側部分４３２と、前記開口領域先端側部分４３１及び前記開口領域基端側部分４３２の間を連結する開口領域中央部分４３５とを有している。
【００８８】
前記開口領域先端側部分４３１及び前記開口領域基端側部分４３２はサスペンション幅方向中央においてサスペンション長手方向に沿って延びている。
前記開口領域中央部分４３５は、サスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして左右に振り分けて配置された第１及び第２開口領域中央部分４３５（１），４３５（２）を有している。
前記第１及び第２開口領域中央部分４３５（１），４３５（２）は、可能な範囲でサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして対称とされる。
【００８９】
図２Ｂに示すように、前記第１開口領域中央部分４３５（１）は、前記開口領域先端側部分４３１の基端部からサスペンション幅方向一方側へ延びる第１先端側幅方向延在部４３６（１）と、前記開口領域基端側部分４３２の先端部からサスペンション幅方向一方側へ延びる第１基端側幅方向延在部４３８（１）と、前記第１先端側幅方向延在部４３６（１）及び前記第１基端側幅方向延在部４３８（１）のサスペンション幅方向外端部同士を連結する第１湾曲部４３７（１）であって、平面視においてサスペンション幅方向一方側に凸状とされた第１湾曲部４３７（１）とを有する平面視Ｕ字状とされている。
【００９０】
前記第２開口領域中央部分４３５（２）は、前記開口領域先端側部分４３１の基端部からサスペンション幅方向他方側へ延びる第２先端側幅方向延在部４３６（２）と、前記開口領域基端側部分４３２の先端部からサスペンション幅方向他方側へ延びる第２基端側幅方向延在部４３８（２）と、前記第２先端側幅方向延在部４３６（２）及び前記第２基端側幅方向延在部４３８（２）のサスペンション幅方向外端部同士を連結する第２湾曲部４３７（２）であって、平面視においてサスペンション幅方向他方側に凸状とされた第２湾曲部４３７（２）とを有する平面視Ｕ字状とされている。
【００９１】
このように、前記信号配線４３０のうちサスペンション長手方向に関し前記先端側支持プレート及び前記基端側支持プレートの間に位置する前記開口領域中央部分４３５をサスペンション幅方向外方側に凸状とされた平面視Ｕ字状とすることにより、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の伸縮動作方向であるサスペンション長手方向に関する前記信号配線４３０の剛性を弱めることができ、これにより、前記信号配線４３０が前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の伸縮動作に対して抵抗となることを可及的に防止することができる。
【００９２】
なお、前記開口領域中央部分４３５の前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）に対する絶縁性を確保する為に、前記絶縁層４２０の前記連結領域４２９は、平面視において前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）と少なくとも部分的にオーバーラップするようなサスペンション幅方向長さを有している。
【００９３】
さらに、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記フレクシャ部４０の前記絶縁層４２０に積層された第１及び第２電圧供給配線４４０（１），４４０（２）を介して前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）に電圧供給を行うように構成されている。
【００９４】
詳しくは、前記フレクシャ部４０の前記絶縁層４２０のディスク対向面には、前記信号配線４３０に加えて前記第１及び第２電圧供給配線４４０（１），４４０（２）が積層されている。
【００９５】
前記第１電圧供給配線４４０（１）は、図１Ｂ及び図２Ｂに示すように、基端部（図示略）が外部の電圧源に電気接続可能とされ且つ先端部が平面視において対応する前記第１圧電素子６０（１）とオーバーラップされている。
同様に、前記第２電圧供給配線４４０（２）は、基端部（図示略）が前記電圧源に電気接続可能とされ且つ先端部が平面視において対応する前記第２圧電素子６０（２）とオーバーラップされている。
【００９６】
前記絶縁性４２０の前記連結領域４２９は、前記ディスク面と直交する平面視において前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）と少なくとも部分的にオーバーラップするように配置されている。
そして、前記連結領域４２９には、図４及び図６に示すように、前記第１及び第２電圧供給配線４４０（１），４４０（２）の前記先端部に対応した位置に開口４２９ａが形成されており、前記第１及び第２電圧供給配線４４０（１），４４０（２）の先端部は前記開口４２９ａを貫通するように設けられた下面側導電性接着剤７５を介して対応する前記圧電素子６０（１），６０（２）の前記下面側電極層に電気的に接続されている。
【００９７】
なお、前記圧電素子６０（１），６０（２）の前記上面側電極層は、図４に示すように、上面側導電性接着剤７６を介して前記支持部１０に電気的に接続されることで接地電位とされる。
好ましくは、前記上面側導電性接着剤７６は、図１Ａ及び図４に示すように、カバー用絶縁性接着剤７７によって囲繞され得る。
【００９８】
好ましくは、図２Ａ，図３，図４及び図６に示すように、前記絶縁層４２０の前記連結領域４２９のディスク面とは反対側には前記下面側導電性接着剤７５を囲繞するように配置された金属リング４５０が備えられる。
前記金属リング４５０を備えることにより、前記導電性接着剤７５の広がりを抑制でき、前記導電性接着剤７５による前記圧電素子６０（１），６０（２）の前記下面側電極層と前記第１及び第２電圧供給配線４４０（１），４４０（２）との電気的接続を確実に行うことができる。さらに、前記導電性接着剤７５が広がって前記絶縁性接着剤７３，７４と混入することも有効に防止できる。
【００９９】
前記金属リング４５０は、前記フレクシャ金属プレート４１０を形成するフレクシャ金属プレート形成用の金属板を利用して形成され得る。
即ち、前記フレクシャ金属プレート４１０は、前記金属板のディスク対向面に前記絶縁層４２０を積層した後に、前記金属板の不要部分をエッチング除去することによって形成される。このエッチングを、前記フレクシャ金属プレート４１０に加えて前記金属リング４５０が残るように行うことで、前記金属リング４５０を容易に形成することができる。
【０１００】
図７に、本実施の形態の第１変形例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂの断面図であって、図１ＡのVI-VI線に相当する切断面に沿った断面図を示す。
なお、図７において、本実施の形態におけると同一部材には同一符号を付している。
【０１０１】
前記第１変形例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂは、図７に示すように、前記第１圧電素子用の前記下面側導電性接着剤７５のサスペンション幅方向両側に設けられた一対の第１密閉空間形成絶縁性接着剤７８（１）と、前記第２圧電素子用の前記下面側導電性接着剤のサスペンション幅方向両側に設けられた一対の第２密閉空間形成絶縁性接着剤（図示略）とをさらに有している点において、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａと相違している。
【０１０２】
前記一対の第１密閉空間形成絶縁性接着剤７８（１）は、図７に示すように、ディスク面と直交する方向に関し前記絶縁層４２０及び前記第１圧電素子６０（１）の前記下面側電極層の間を連結した状態でサスペンション長手方向に関し前記先端側絶縁性接着剤７１及び前記基端側絶縁性接着剤７２の間を連結している。
【０１０３】
同様に、前記一対の第２密閉空間形成絶縁性接着剤は、ディスク面と直交する方向に関し前記絶縁層及び前記第２圧電素子６０（２）の前記下面側電極層の間を連結した状態でサスペンション長手方向に関し前記先端側絶縁性接着剤７１及び前記基端側絶縁性接着剤７２の間を連結している。
【０１０４】
このように、前記第１変形例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂにおいては、前記下面側導電性接着剤７５が実質的に密閉されることになる。従って、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａの効果に加えて、前記下面側導電性接着剤７５に含まれるフィラー粒子（主としてＡｇ粒子）がディスク面上に脱落することを有効に防止することができる。
【０１０５】
図８に、図１ＢにおけるVIII部拡大図を示す。
図４及び図８に示すように、本実施の形態においては、前記先端側中央支持プレート形成領域４１４の前記先端側第１幅方向部分４１４（１）及び前記第１先端側金属プレート１００（１）の前記先端側サイド支持プレート形成領域１０５によって形成される前記第１圧電素子用先端側支持プレート並びに前記先端側中央支持プレート形成領域４１４の前記先端側第２幅方向部分４１４（２）及び前記第２先端側金属プレート１００（２）の前記先端側サイド支持プレート形成領域１０５によって形成される前記第２圧電素子用先端側支持プレートは、前記支持部１０の前記先端領域１２の基端側エッジとの間に隙間１６が存するように配置されている。
【０１０６】
斯かる構成を備えることにより、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の先端側の端面と前記先端領域１２の基端側端面との間に介挿された前記端面側絶縁性接着剤７１並びに前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）のディスク対向面の先端側と前記第１及び第２圧電素子用先端側支持プレートとの間に介挿された前記先端側絶縁性接着剤７３に含まれるフィラーが、前記支持部先端側重合領域４１３と前記先端領域１２との間並びに前記第１及び第２先端側金属プレート１００（１），１００（２）の前記固着領域１０１と前記先端領域１２との間に入り込むことを有効に防止できる。
【０１０７】
即ち、前記第１及び第２圧電素子用先端側支持プレートが前記先端領域１２の基端側エッジを跨いでサスペンション長手方向の延在している構成においては、前記端面側絶縁性接着剤７１及び前記先端側絶縁性接着剤７３が理想的には密着される前記第１及び第２圧電素子用先端側支持プレート及び前記先端領域１２の間に入り込む恐れがある。理想的には密着状態とされる前記第１及び第２圧電素子用先端側支持プレート及び前記先端領域１２は共にＳＵＳ等の剛性部材によって形成されるから、両者の間に前記絶縁性接着剤７０が入り込むと、前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の伸縮動作に伴って両者の間で前記絶縁性接着剤７１，７３からフィラーが脱離する恐れがある。
【０１０８】
これに対し、本実施の形態においては、前述の通り、前記第１及び第２圧電素子用先端側支持プレートの先端側エッジと前記先端領域１２の基端側エッジとの間に前記隙間１６が設けられているので、斯かる不都合を有効に防止できる。
【０１０９】
同様の理由により、本実施の形態においては、前記基端側中央支持プレート形成領域４１５の前記基端側第１幅方向部分４１５（１）及び前記第１基端側金属プレート１５０（１）の前記基端側サイド支持プレート形成領域１５５によって形成される前記第１圧電素子用基端側支持プレート並びに前記基端側中央支持プレート形成領域４１５の前記基端側第２幅方向部分４１５（２）及び前記第２基端側金属プレート１５０（２）の前記基端側サイド支持プレート形成領域によって形成される前記第２圧電素子用基端側支持プレートは、前記支持部１０の前記基端領域１１の先端側エッジとの間に隙間１７（図８参照））が存するように配置されている。
【０１１０】
又、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては、図１Ｂに示すように、前記一対の先端側金属プレート１００（１），１００（２）は前記ロードビーム部３０及び前記荷重曲げ部２０と一体形成されている。
【０１１１】
即ち、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記ロードビーム基板から形成された前記ロードビーム／荷重曲げ形成体３００は、前記ロードビーム部３０及び前記荷重曲げ部２０に加えて、前記一対の先端側金属プレート１００（１），１００（２）を一体的に有しており、サスペンション先端側本体３５０を形成している。
【０１１２】
好ましくは、前記一対の第１及び第２基端側金属プレート１５０（１），１５０（２）も前記ロードビーム基板を用いて形成される。
【０１１３】
図９に、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの製造方法の第１例を示す平面図を示す。
図９に示すように、第１例に係る製造方法は、前記ロードビーム基板から、複数の前記サスペンション先端側本体３５０と複数の前記サスペンション先端側本体３５０に対応した複数の前記第１及び第２基端側金属プレート５０（１），１５０（２）のセットとを含む中間金属シート９００を形成する工程を含む。
【０１１４】
前記中間金属シート９００はキャリア９１０を有しており、前記複数のサスペンション先端側本体３５０は第１支持片９１１を介して前記キャリア９１０に連結された状態でサスペンション幅方向に並列されている。
【０１１５】
前記第１及び第２基端側金属プレート１５０（１），１５０（２）は対応する前記サスペンション先端側本体３５０に対して位置設定された状態で第２支持片９１２を介して前記キャリア９１０に連結されている。
【０１１６】
なお、図９に示す第１例においては、隣接する前記サスペンション先端側本体３５０の一方に連結される前記第２基端側金属プレート１５０（２）と隣接する前記サスペンション先端側本体３５０の他方に連結される前記第１基端側金属プレート１５０（１）とが単一の前記第２支持片９１２によって支持されている。
【０１１７】
前記第１例に係る製造方法は、前記サスペンション先端側本体３５０並びに前記第１及び第２基端側金属プレート１５０（１），１５０（２）が前記キャリア９１０に連結された状態のままで、前記サスペンション先端側本体３５０並びに前記第１及び第２基端側金属プレート１５０（１），１５０（２）を前記支持部１０に溶接等によって固着させる工程を含んでいる。
【０１１８】
前記第１例に係る製造方法は、その後に、前記第１及び第２支持片９１１，９１２を所定位置で切断して、前記サスペンション先端側本体並びに前記第１及び第２基端側金属プレート１５０（１），１５０（２）が前記支持部１０に連結されてなるアッセンブリを前記キャリア９１０から分離する工程を含む。
なお、図９中の符号９０５は位置決め孔である。
【０１１９】
前記第１例に係る製造方法は、前記キャリア９１０から前記アッセンブリを分離させる前又は後に、前記アッセンブリに前記フレクシャ部４０を溶接等によって固着させる工程を含んでいる。
【０１２０】
前記第１例に係る製造方法によれば、前記一対の第１及び第２先端側金属プレート１００（１），１００（２）と前記第１及び第２基端側金属プレート１５０（１），１５０（２）とがサスペンション長手方向に離間されている前記磁気ヘッドサスペンション１Ａを、寸法精度良く且つ材料費を削減しつつ製造することができる。
【０１２１】
図１０に、前記磁気ヘッドサスペンションの製造方法の第２例を示す平面図を示す。
なお、図中、図９におけると同一部材には同一符号を付している。
【０１２２】
第２例に係る製造方法は、前記中間金属シート９００が中間金属シート９００’に変更されている点において、前記第１例に係る製造方法と相違している。
【０１２３】
前記中間金属シート９００’は、図１０に示すように、前記第１及び第２基端側金属プレート１５０（１），１５０（２）が第２支持片９１２’を介して前記第１及び第２先端側金属プレート１００（１），１００（２）に連結されている点において、前記中間金属シート９００と相違している。
この第２例に係る製造方法においても、前記第１例に係る製造方法と同一の効果を得ることができる。
【０１２４】
なお、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記先端側中央支持プレート形成領域４１４及び前記基端側中央支持プレート形成領域４１５の間に前記フレクシャ金属プレート４１０が存在しないように構成されているが、本発明は斯かる形態に限定されるものではない。
【０１２５】
図１１に、本実施の形態の第２変形例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃにおけるフレクシャ部４０Ｃの上面図を示す。
なお、図１１においては、理解容易化の為に、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）を二点鎖線で示している。
【０１２６】
前述の通り、本実施の形態においては、前記フレクシャ金属プレート４１０の前記先端側中央支持プレート形成領域４１４及び前記基端側中央支持プレート形成領域４１５は、両者の間に前記フレクシャ金属プレート４１０が存在しない状態でサスペンション長手方向に離間されており、可撓性を有する前記絶縁層４２０の前記連結領域４２９及び前記信号配線４３０によって連結されている。
【０１２７】
これに対し、前記第２変形例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃは、前記フレクシャ部４０が前記フレクシャ部４０Ｃに変更されている点において、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａと相違している。
そして、前記フレクシャ部４０Ｃは、前記フレクシャ金属プレート４１０に代えてフレクシャ金属プレート４１０Ｃを有している点において、前記フレクシャ部４０と相違している。
【０１２８】
図１１に示すように、前記フレクシャ金属プレート４１０Ｃは、本実施の形態における前記フレクシャ金属プレート４１０と同一構成要素を有しつつ、さらに、サスペンション幅方向に関し前記一対の第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の間において前記先端側中央支持プレート形成領域４１４及び基端側中央支持プレート形成領域４１５の間を連結するブリッジ領域４１９を有している。
【０１２９】
斯かる構成の前記磁気ヘッドサスペンション１Ｃによれば、前記ブリッジ領域４１９が前記一対の圧電素子６０（１），６０（２）の伸縮動作の妨げとなることを可及的に防止しつつ、前記フレクシャ部４０Ｃの姿勢安定化を図ることができる。
【０１３０】
実施の形態２
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１２に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション２Ａの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）を示す。
なお、図中、前記実施の形態１における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
又、理解容易化を図る為に図１２においては前記フレクシャ部４０の図示を省略し、且つ、前記支持部１０並びに前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）を二点鎖線で示している。
【０１３１】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション２Ａは、図１２に示すように、前記第１先端側金属プレート１００（１）及び前記第１基端側金属プレート１５０（１）を連結する第１連結片１１０（１）と前記第２先端側金属プレート１００（２）及び前記第２基端側金属プレート１５０（２）を連結する第２連結片１１０（２）とをさらに備えている点において、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａと相違している。
【０１３２】
前記第１及び第２連結片１１０（１），１１０（２）は、対応する前記圧電素子６０（１），６０（２）よりサスペンション幅方向外方側に位置しており、ディスク面と直交する平面視において蛇腹状とされている。
【０１３３】
斯かる構成を備えた前記磁気ヘッドサスペンション２Ａによれば、前記第１及び第２連結片１１０（１），１１０（２）が前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の伸縮動作の妨げとなることを可及的に防止しつつ、製造過程における前記第１及び第２基端側金属プレート１５０（１），１５０（２）の取扱性を向上させることができる。
【０１３４】
さらには、前記圧電素子６０（１），６０（２）のサスペンション幅方向外方側の外側面を絶縁性接着剤（図示せず）によって覆う場合には、前記絶縁性接着剤が硬化前にサスペンション幅方向外方側へ流れ出ることを前記第１及び第２連結片１１０（１），１１０（２）によって防ぐことができる。
【０１３５】
なお、前記圧電素子６０（１），６０（２）の外側面を前記絶縁性接着剤によって覆うことにより、ウエハから前記圧電素子６０（１），６０（２）をダイシングによって切り出す際に生じ得る前記圧電素子６０（１），６０（２）の電極層の側面のバリが磁気ヘッドサスペンションの使用中に落下すること、及び／又は、前記圧電素子６０（１），６０（２）の伸縮動作時に起こり得る前記圧電素子本体の粒子の落下を有効に防止することができる。
【０１３６】
本実施の形態においては、前記実施の形態１におけると同様に、前記第１及び第２先端側金属プレート１００（１），１００（２）は前記ロードビーム部３０及び前記荷重曲げ部２０と一体形成されている。
そして、前記第１連結片１１０（１）は前記第１先端側金属プレート１００（１）及び前記第１基端側金属プレート１５０（１）を一体的に連結し、前記第２連結片１１０（２）は前記第２先端側金属プレート１００（１）及び前記第２基端側金属プレート１５０（２）を一体的に連結している。
【０１３７】
即ち、本実施の形態においては、前記ロードビーム部３０と前記荷重曲げ部２０と前記一対の第１及び第２先端側金属プレート１００（１），１００（２）と前記第１及び第２連結片１１０（１），１１０（２）と前記一対の第１及び第２基端側金属プレート１５０（１），１５０（２）とが一体形成されている。
【０１３８】
実施の形態３
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１３に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション３Ａの上面図（ディスク面と反対側から見た平面図）を示す。
なお、図中、前記実施の形態１及び２における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
又、理解容易化を図る為に図１３においては前記フレクシャ部４０の図示を省略し、且つ、前記支持部１０並びに前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）を二点鎖線で示している。
【０１３９】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション３Ａは、前記第１圧電素子６０（１）よりサスペンション幅方向外方側においてサスペンション長手方向に延びる第１延在片１２０（１）と前記第２圧電素子６０よりサスペンション幅方向外方側においてサスペンション長手方向に延びる第２延在片１２０（２）とを備えている点において、前記実施の形態１及び２に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａ，２Ａと相違している。
【０１４０】
前記第１延在片１２０（１）は、前記第１先端側金属プレート１００（１）に連結された第１先端側部分１２１（１）と前記第１基端側金属プレート１５０（１）に連結された第１基端側部分１２２（１）とを有し、前記第１先端側部分１２１（１）及び前記第１基端側部分１２２（１）は隙間を介して対向している。
【０１４１】
同様に、前記第２延在片１２０（２）は、前記第２先端側金属プレート１００（２）に連結された第２先端側部分１２１（２）と前記第２基端側金属プレート１５０（２）に連結された第２基端側部分１２２（２）とを有し、前記第２先端側部分１２１（２）及び前記第２基端側部分１２２（２）は隙間を介して対向している。
【０１４２】
斯かる構成を備えた本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション３Ａによれば、前記圧電素子６０（１），６０（２）のサスペンション幅方向外方側の外側面を絶縁性接着剤によって覆う際に前記絶縁性接着剤が硬化前にサスペンション幅方向外方側へ流れ出ることを前記第１及び第２延在片１２０（１），１２０（２）によって防ぐことができる。
【０１４３】
図１４に、本実施の形態の変形例に係る磁気ヘッドサスペンション３Ｂの上面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜３における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
又、理解容易化を図る為に図１４においては前記フレクシャ部４０の図示を省略し、且つ、前記支持部１０並びに前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）を二点鎖線で示している。
【０１４４】
前記変形例に係る磁気ヘッドサスペンション３Ｂにおいては、前記実施の形態１〜３に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａ〜３Ａと同様に、前記一対の連結梁１４の各々は前記基端領域１１に連結される基端部が前記先端領域１２に連結される先端部よりサスペンション幅方向外方に位置するように配置されている。
即ち、前記開口領域１３は、サスペンション長手方向に関し先端側から基端側へ行くに従って幅広となる部分を有している。
【０１４５】
前記変形例に係る磁気ヘッドサスペンション３Ｂは、前記連結梁１４を含む本実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンション３Ａと同一構成を有しつつ、さらに、先端部が前記第１先端側部分１２１（１）に連結され且つ基端部が前記先端部よりサスペンション幅方向外方において前記第１基端側金属プレート１５０（１）に連結された第１補助連結片１２３（１）と、先端部が前記第２先端側部分１２１（２）に連結され且つ基端部が前記先端部よりサスペンション幅方向外方において前記第２基端側金属プレート１５０（２）に連結された第２補助連結片１２３（２）とを備えている。
【０１４６】
前記変形例に係る磁気ヘッドサスペンション３Ｂによれば、本実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンション３Ａと同一効果を奏しつつ、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の伸縮動作の妨げとなることを可及的に防止しながら、製造過程における前記第１及び第２基端側金属プレート１５０（１），１５０（２）の取扱性を向上させることができる。
【０１４７】
実施の形態４
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションのさらに他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１５に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション４Ａの上面図（ディスク面と反対側から見た平面図）を示す。
又、図１６〜図１８に、それぞれ、図１５におけるXVI-XVI線，XVII-XVII線及びXVIII-XVIII線に沿った断面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１〜３における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１４８】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション４Ａは、第１圧電素子側の外方側絶縁性接着剤８０と第２圧電素子側の外方側絶縁性接着剤（図示せず）とをさらに備えている点において、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａと相違している。
【０１４９】
図１８に示すように、前記第１圧電素子側の外方側絶縁性接着剤８０は、前記第１圧電素子用の前記導電性接着剤７５よりサスペンション幅方向外方側において前記絶縁層４２０及び前記第１圧電素子６０（１）の前記下面側電極層の間を連結した状態で、前記先端側絶縁性接着剤７３及び前記基端側絶縁性接着剤７４（図１６参照）の間を連結している。
【０１５０】
同様に、前記第２圧電素子側の外方側絶縁性接着剤は、前記第２圧電素子用の前記導電性接着剤７５よりサスペンション幅方向外方側において前記絶縁層４２０及び前記第２圧電素子６０（２）の前記下面側電極層の間を連結した状態で、前記先端側絶縁性接着剤７３及び前記基端側絶縁性接着剤７４の間を連結している。
【０１５１】
即ち、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション４Ａにおいては、前記第１圧電素子側の前記先端側絶縁性接着剤７３，前記第２圧電素子側の前記先端側絶縁性接着剤７３，前記第１圧電素子側の前記基端側絶縁性接着剤７４，前記第２圧電素子側の前記基端側絶縁性接着剤７４，前記第１圧電素子側の前記外方側絶縁性接着剤８０，前記第２圧電素子側の前記外方側絶縁性接着剤８０，前記絶縁層４２０の前記連結領域４２９，前記第１圧電素子６０（１）の前記下面側電極層及び前記第２圧電素子６０（２）の前記下面側電極層によって、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）間の間隙において前記ディスク面とは反対側へ開放されている以外は実質的に閉塞されており且つ前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の双方の前記下側導電性接着剤７５が収容される空間が形成されている。
【０１５２】
斯かる構成の前記磁気ヘッドサスペンション４Ａによれば、前記導電性接着剤７５に包含されるフィラー粒子（主としてＡｇ粒子）がディスク面上に脱落することを有効に防止することができる。
【０１５３】
さらに、本実施の形態においては、図１６及び図１８に示すように、前記空間に封止用絶縁性接着剤８５が充填されている。
斯かる構成によれば、前記導電性接着剤７５に含まれるフィラー粒子（主としてＡｇ粒子）の脱落をより確実に防止できると共に、Ａｇのイオンマイグレーションの発生を有効に防止することができる。
【０１５４】
詳しく説明すると、前記磁気ヘッドサスペンション４Ａが長期間に亘って使用されると、前記下側導電性接着剤７５に含まれる金属（主としてＡｇ）がイオン化（主に、Ａｇプラスイオン）して絶縁物（この場合には前記導電性接着剤７５の樹脂）の内部を成長しながら移動する現象（イオンマイグレーション）が生じ得る。この現象は、前記イオンが雰囲気中の水分と化学反応を起こすと活発化する。
【０１５５】
この点に関し、本実施の形態におけるように、前記下側導電性接着剤７５が前記封止用絶縁性接着剤８５で密閉されていると、Ａｇのイオンマイグレーションを抑えると共に、Ａｇイオンの成長を可及的に防止することができる。
【０１５６】
前記封止用絶縁性接着剤８５を備えた前記磁気ヘッドサスペンション４Ａは、例えば、下記製造方法によって効率的に製造され得る。
【０１５７】
即ち、前記製造方法は、前記支持部１０，前記荷重曲げ部２０，前記ロードビーム部３０，前記フレクシャ部４０，前記一対の先端側金属プレート１００（１），１００（２）及び前記一対の基端側金属プレート１５０（１），１５０（２）が一体化されたサスペンション中間体を用意する工程と、前記第１及び第２圧電素子用先端側支持プレートに前記先端側絶縁性接着剤７３を塗布し且つ前記第１及び第２圧電素子用基端側支持プレートに前記基端側絶縁性接着剤７４を塗布する第１の接着剤塗布工程と、前記第１圧電素子側の前記外方側絶縁性接着剤８０及び前記第２圧電素子側の前記外方側絶縁性接着剤を塗布する第２の接着剤塗布工程と、前記第１及び第２圧電素子用の前記導電性接着剤７５を塗布する第３の接着剤塗布工程と、前記第１から第３の接着剤塗布工程の後に前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）を前記開口領域１３内の所定位置に設置する圧電素子設置工程と、前記圧電素子設置工程の前又は後に前記端面側絶縁性接着剤７１，７２を塗布する第４の接着剤塗布工程と、前記第１から第４接着剤塗布工程によって塗布された接着剤を硬化させて前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）を固定する硬化工程と、前記ディスク面とは反対側からからサスペンション幅方向における前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）の間の間隙を介して前記空間に前記封止用絶縁性接着剤８５を充填する工程とを含み得る。
前記製造方法は、さらに、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）のそれぞれの前記ディスク面とは反対側の前記上面側電極層と前記支持体１０の前記先端領域１２とに跨るように前記上面側導電性接着剤７６を塗布する第５の接着剤塗布工程を含み得る。
【０１５８】
又、本実施の形態においては、図１５及び図１７に示すように、前記第１及び第２圧電素子６０（１），６０（２）のサスペンション幅方向外方側の外側面をそれぞれ覆うように外側面側絶縁性接着剤７９が設けられている。
前記外側面側絶縁性接着剤７９は、対応する側の前記連結梁１４の少なくとも一部に連結されている。
【０１５９】
前記外側面側絶縁性接着剤７９を設けることにより、ウエハから前記圧電素子６０（１），６０（２）をダイシングによって切り出す際に前記圧電素子６０（１），６０（２）の電極層の外側面に生じ得るバリが前記磁気ヘッドサスペンション４Ａの使用中に落下すること、及び／又は、前記圧電素子６０（１），６０（２）の伸縮動作時に圧電素子本体の粒子が落下することを有効に防止することができる。
なお、前記外側面側絶縁性接着剤７９の適用は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにも可能である。
【符号の説明】
【０１６０】
１Ａ〜１Ｃ，２Ａ，３Ａ〜３Ｂ，４Ａ      磁気ヘッドサスペンション
１０          支持部
１１          基端領域
１２          先端領域
１３          開口領域
１４          連結梁
１６，１７    隙間
２０          荷重曲げ部
２１          弾性板
３０          ロードビーム部
４０          フレクシャ部
５０          磁気ヘッドスライダ
６０（１），６０（２）        第１及び第２圧電素子
７１，７２    端面側絶縁性接着剤
７３          先端側絶縁性接着剤
７４          基端側絶縁性接着剤
７５          導電性接着剤
７８（１），７８（２）        第１及び第２密閉空間形成絶縁性接着剤
８０          外方側絶縁性接着剤
８５          封止用絶縁性接着剤
１００（１），１００（２）    第１及び第２先端側金属プレート
１０１        先端側固着領域
１０５        先端側サイド支持プレート形成領域
１１０（１），１１０（２）    第１及び第２連結片
１２０（１），１２０（２）    第１及び第２延在片
１２１（１），１２１（２）    第１及び第２先端側部分
１２２（１），１２２（２）    第１及び第２基端側部分
１２３（１），１２３（２）    第１及び第２補助連結片
１５０（１），１５０（２）    第１及び第２基端側金属プレート
１５１        基端側固着領域
１５５        基端側サイド支持プレート形成領域
３５０        サスペンション先端側本体
４１０        フレクシャ金属プレート
４１１        ロードビーム部重合領域
４１２        荷重曲げ対応領域
４１３        支持部先端側重合領域
４１４        先端側中央支持プレート形成領域
４１４ａ      先端側中央部分
４１４（１）  先端側第１幅方向部分
４１４（２）  先端側第２幅方向部分
４１５        基端側中央支持プレート形成領域
４１５ａ      基端側中央部分
４１５（１）  基端側第１幅方向部分
４１５（２）  基端側第２幅方向部分
４１６        支持部基端側重合領域
４１９        ブリッジ領域
４２０        絶縁層
４２１        ロードビーム対応領域
４２２        荷重曲げ対応領域
４２３        支持部先端側対応領域
４２４        先端側中央支持プレート対応領域
４２５        基端側中央支持プレート対応領域
４２９        連結領域
４２９ａ      開口
４３０        信号配線
４４０（１），４４０（２）    第１及び第２電圧供給配線
４５０        金属リング
９００，９００’              中間金属シート
９１０        キャリア
９１１，９１２                第１及び第２支持片
ＣＬ          サスペンション長手方向中心線
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２Ａ】
2011222075.tif 000005
【図２Ｂ】
2011222075.tif 000006
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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