(57)【要約】      （修正有）【課題】圧電素子による磁気ヘッドスライダの微動を行える磁気ヘッドサスペンションにおいて、微動特性を向上させつつ耐衝撃性及び共振周波数を向上させる。【解決手段】連結梁１４の基端部及び先端部の中心点を結ぶ仮想直線が先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線に近接する。連結梁１４は、基端側梁１４１、先端側梁１４２及び中間梁１４３を有する。中間梁の基端部の中心点及び先端部の中心点を結ぶ中間梁長手線が仮想直線を跨ぐように、連結梁は基端側梁及び中間梁の連結点並びに先端側梁及び中間梁の連結点において屈曲されている。好ましくは、基端側梁及び中間梁の連結点が仮想直線よりもサスペンション幅方向外方に位置され、先端側梁及び中間梁の連結点が仮想直線よりもサスペンション幅方向内方に位置される。【選択図】図１Ａ
2011181153.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着される左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と、前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有し、
前記一対の圧電素子は、前記ディスク面と直交する方向に沿って視た平面視において少なくとも一部が前記開口領域内に位置した状態で基端部及び先端部が前記基端領域及び前記先端領域にそれぞれ連結され、
前記連結梁における前記基端領域に連結される基端部の中心点と前記先端領域に連結される先端部の中心点とを結ぶ仮想直線がサスペンション長手方向先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線に近接するように、前記先端領域が前記基端領域の先端側に比してサスペンション幅方向に関し幅狭とされ、
前記連結梁は、前記基端領域に連結される前記基端部からサスペンション長手方向先端側へ延びる基端側梁と、前記先端領域に連結される前記先端部からサスペンション長手方向基端側へ延びる先端側梁と、前記基端側梁の先端部及び前記先端側梁の基端部を連結する中間梁とを有し、
前記中間梁の基端部の中心点及び先端部の中心点を結ぶ中間梁長手線が前記仮想直線を跨ぐように、前記連結梁は前記基端側梁及び前記中間梁の連結点並びに前記先端側梁及び前記中間梁の連結点において屈曲されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２】
前記基端側梁及び前記中間梁の前記連結点が前記仮想直線よりもサスペンション幅方向外方に位置し、前記先端側梁及び前記中間梁の前記連結点が前記仮想直線よりもサスペンション幅方向内方に位置していることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項３】
前記圧電素子はサスペンション長手方向に沿って伸縮するように配置され、
前記先端側梁の基端部の中心点及び先端部の中心点を結ぶ先端側梁長手線はサスペンション長手方向先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線から離間し、前記基端側梁の基端部の中心点及び先端部の中心点を結ぶ基端側梁長手線はサスペンション長手方向先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線に近接していることを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項４】
前記圧電素子はサスペンション長手方向に沿って伸縮するように配置され、
前記先端側梁の基端部の中心点及び先端部の中心点を結ぶ先端側梁長手線はサスペンション長手方向先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線から離間し、前記基端側梁の基端部の中心点及び先端部の中心点を結ぶ基端側梁長手線はサスペンション長手方向先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線から離間していることを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項５】
前記基端側梁は基端側から先端側へ行くに従って幅狭とされていることを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドスライダを支持する為の磁気ヘッドサスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置の大容量化に伴って磁気ヘッドスライダの目的トラックに対する位置決め精度の向上が求められており、その為、ボイスコイルモータ等のメインアクチュエータによる磁気ヘッドスライダのシーク方向への粗動に加えて、サブアクチュエータとして作用する圧電素子による磁気ヘッドスライダのシーク方向の微動を可能とした磁気ヘッドサスペンションが提案されている（例えば下記特許文献１〜３参照）。
【０００３】
前述のような圧電素子を備えた磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記圧電素子による磁気ヘッドスライダの微動を可能とする為に、ボイスコイルモータ等のメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動される支持部に低剛性領域を設ける必要がある。
【０００４】
即ち、圧電素子を備えた磁気ヘッドサスペンションは、前記磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記支持部に装着される前記圧電素子とを備えている。
そして、前記支持部には、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と、前記荷重曲げ部が連結される先端領域と、前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する前記低剛性領域とが備えられており、前記圧電素子の伸縮動作に応じて前記低剛性領域が弾性変形することで前記磁気ヘッドスライダの微動が可能となっている。
【０００５】
ところで、前記低剛性部位の剛性を弱めることによって前記圧電素子による前記磁気ヘッドスライダのシーク方向変位（前記ディスク面と平行な径方向の変位）を増大させることができるが、その一方で、前記低剛性領域の低剛性化は、前記磁気ヘッドサスペンションが装着された磁気ディスク装置への衝撃力印可時における前記圧電素子への応力の増加を招くと共に、前記磁気ヘッドサスペンションの共振周波数の低下を招く。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平０２−２２７８８６号公報
【特許文献２】特開平１１−０１６３１１号公報
【特許文献３】特開２００１−３０７４４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、メインアクチュエータによる磁気ヘッドスライダの粗動に加えて、圧電素子による前記磁気ヘッドスライダの微動を行える磁気ヘッドサスペンションであって、前記圧電素子によるシーク方向への微動特性を向上させつつ、衝撃力印可時に前記圧電素子に付加される応力を低減でき且つ共振周波数を向上させ得る磁気ヘッドサスペンションの提供を一の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、前記目的を達成する為に、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着される左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記支持部は前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域と前記荷重曲げ部が連結される先端領域とサスペンション長手方向に関し前記基端領域及び前記先端領域の間に位置する開口領域と前記開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記基端領域及び前記先端領域の間を連結する左右一対の連結梁とを有し、前記一対の圧電素子は、前記ディスク面と直交する方向に沿って視た平面視において少なくとも一部が前記開口領域内に位置した状態で基端部及び先端部が前記基端領域及び前記先端領域にそれぞれ連結され、前記連結梁における前記基端領域に連結される基端部の中心点と前記先端領域に連結される先端部の中心点とを結ぶ仮想直線がサスペンション長手方向先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線に近接するように前記先端領域が前記基端領域の先端側に比してサスペンション幅方向に関し幅狭とされ、前記連結梁は前記基端領域に連結される前記基端部からサスペンション長手方向先端側へ延びる基端側梁と前記先端領域に連結される前記先端部からサスペンション長手方向基端側へ延びる先端側梁と前記基端側梁の先端部及び前記先端側梁の基端部を連結する中間梁とを有し、前記中間梁の基端部の中心点及び先端部の中心点を結ぶ中間梁長手線が前記仮想直線を跨ぐように前記連結梁は前記基端側梁及び前記中間梁の連結点並びに前記先端側梁及び前記中間梁の連結点において屈曲されている磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【０００９】
好ましくは、前記基端側梁及び前記中間梁の前記連結点が前記仮想直線よりもサスペンション幅方向外方に位置され、前記先端側梁及び前記中間梁の前記連結点が前記仮想直線よりもサスペンション幅方向内方に位置される。
【００１０】
一形態においては、前記圧電素子はサスペンション長手方向に沿って伸縮するように配置され、前記先端側梁の基端部の中心点及び先端部の中心点を結ぶ先端側梁長手線はサスペンション長手方向先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線から離間し、前記基端側梁の基端部の中心点及び先端部の中心点を結ぶ基端側梁長手線はサスペンション長手方向先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線に近接するように構成される。
【００１１】
他形態においては、前記圧電素子はサスペンション長手方向に沿って伸縮するように配置され、前記先端側梁の基端部の中心点及び先端部の中心点を結ぶ先端側梁長手線はサスペンション長手方向先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線から離間し、前記基端側梁の基端部の中心点及び先端部の中心点を結ぶ基端側梁長手線はサスペンション長手方向先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線から離間するように構成される。
【００１２】
前記種々の構成において、好ましくは、前記基端側梁は基端側から先端側へ行くに従って幅狭とされる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、連結梁の基端部及び先端部を結ぶ仮想直線がサスペンション長手方向先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線に近接するように支持部の先端領域のサスペンション幅方向長さが基端領域の先端側のサスペンション幅方向長さよりも短くされているので、サブアクチュエータの回転中心回りの慣性モーメントを低減させることができ、これにより、主共振モードの共振周波数を高めることができる。さらに、前記構成によれば、前記支持部の先端側の質量を低減できるため、ディスク面に直交するｚ方向に関する曲げモードの共振周波数を高めることができ、、これにより、衝撃力印可時に圧電素子に付加される応力を低減でき、前記磁気ヘッドサスペンションの耐衝撃性を向上させることができる。
【００１４】
さらに、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、中間梁の基端部の中心点及び先端部の中心点を結ぶ中間梁長手線が前記仮想直線ＩＬを跨ぐように、基端側梁及び中間梁の連結点並びに先端側梁及び中間梁の連結点において屈曲されているので、前記連結梁をサスペンション幅方向外方へ大きく延在させることなく、前記連結梁における屈曲部の屈曲角を前記連結梁の弾性変形動作を無理なく行える所望範囲内に設定することができる。従って、前記ディスク面に直交するｚ方向に関する剛性悪化を可及的に防止しつつ、前記圧電素子による前記磁気ヘッドスライダの微動特性（即ち、前記圧電素子による前記磁気ヘッドスライダの前記ディスク面に平行なシーク方向への変位し易さ）を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１Ａ】図１Ａは、本発明の実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図１Ｂ】図１Ｂは、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。
【図２】図２は、図１ＡにおけるII部拡大図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図４】図４は、本発明の実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図５】図５は、前記実施の形態３の変形例に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
実施の形態１
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１Ａ及び図１Ｂに、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び下面図（ディスク面側から視た底面図）を示す。なお、図１Ｂにおける○印は溶接点を示している。
【００１７】
図１Ａ及び図１Ｂに示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、磁気ヘッドスライダ５０をディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部２０と、前記荷重を磁気ヘッドスライダ５０に伝達するためのロードビーム部３０と、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部１０と、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に支持されるフレクシャ部４０と、前記磁気ヘッドスライダ５０をシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部１０に装着された左右一対の圧電素子６０とを備えている。
【００１８】
前記支持部１０は、ボイスコイルモータ等の前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結された状態で、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。
【００１９】
本実施の形態においては、前記支持部１０は、前記メインアクチュエータに連結されるキャリッジアーム（図示せず）の先端にかしめ加工によって接合されるボス部１５を備えたベースプレートとされている。
前記支持部１０は、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
当然ながら、前記支持部１０として、基端部が前記メインアクチュエータの揺動中心に連結されるアームを採用することも可能である。
【００２０】
前記支持部１０は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される基端領域１１と、前記荷重曲げ部２０が連結される先端領域１２と、サスペンション長手方向に関し前記基端領域１１及び前記先端領域１２の間に位置する開口領域１３と、前記開口領域１３のサスペンション幅方向両側において前記基端領域１１及び前記先端領域１２の間を連結する左右一対の連結梁１４とを有している。
なお、前記一対の連結梁１４の詳細構造については後述する。
【００２１】
前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記荷重曲げ部２０によって発生される荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。
本実施の形態においては、図１Ａ及び図１Ｂに示すように、前記ロードビーム部３０は、平板状の本体部３１と、前記本体部３１の幅方向両端部からディスク面とは反対側に曲げ形成されたフランジ部３２とを有しており、前記フランジ部３２によって剛性を確保している。
前記ロードビーム部３０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００２２】
詳しくは、前記ロードビーム部３０は、先端部に、所謂ディンプルと呼ばれる突起３３を有している。
前記突起３３は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度突出されている。この突起３３は、前記フレクシャ部４０におけるヘッド搭載領域４３の裏面（ディスク面とは反対側の面）に接触しており、前記荷重はこの突起３３を介して前記フレクシャ部４０のヘッド搭載領域４３に伝達される。
【００２３】
本実施の形態においては、前記ロードビーム部３０は、さらに、前記本体部３１の先端からサスペンション長手方向先端側へ延びるリフトタブ３４を一体的に有している。前記リフトタブ３４は、前記磁気ヘッドスライダ５０がディスク面の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記メインアクチュエータによって揺動された際に、磁気ディスク装置に備えられたランプと係合して前記磁気ヘッドスライダ５０をｚ方向（前記ディスク面と直交する方向）に沿って前記ディスク面から離間させる為の部材である。
【００２４】
前記荷重曲げ部２０は、基端部が前記支持部１０に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部３０に連結されており、自己の弾性変形に基づいて前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面へ向けて押し付ける押し付け荷重を発生する。
【００２５】
図１Ａ及び図１Ｂに示すように、本実施の形態においては、前記荷重曲げ部２０は、板面が前記ディスク面と対向するように配置された左右一対の板バネ２１を有している。
好ましくは、前記一対の板バネ２１は、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記磁気ディスク装置へ実装される前の段階において前記磁気ヘッドスライダ５０が前記ディスク面に近づく方向に予め折り曲げられ、且つ、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの前記磁気ディスク装置への実装時には曲げ戻されることで前記押し付け荷重を発生するように、構成される。
【００２６】
前記荷重曲げ部２０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって形成される。
なお、本実施の形態においては、図１Ａ及び図１Ｂに示すように、前記荷重曲げ部２０は前記ロードビーム部３０と一体形成されている。
【００２７】
即ち、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記ロードビーム部３０及び前記荷重曲げ部２０を一体形成するロードビーム部形成部材３００を有しており、前記ロードビーム部形成部材３００における前記ディスク面とは反対側の上面が前記支持部１０の前記先端領域１２における前記ディスク面と対向する下面に当接された状態で、前記ロードビーム部形成部材３００が前記支持部１０に溶接等によって接合されている。
【００２８】
前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に接合される。
詳しくは、前記フレクシャ部４０は、図１Ｂに示すように、前記ロードビーム部３０における前記ディスク面との対向面に溶接等によって接合される本体領域４１と、前記本体領域４１から先端側へ延びる一対の支持片４２と、前記支持片４２によって支持された前記ヘッド搭載領域４３とを有している。
【００２９】
前記ヘッド搭載領域４３は、図１Ｂに示すように、ディスク面と対向する対向面において前記磁気ヘッドスライダ５０を支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域４３の裏面には前記突起３３が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域は前記突起３３を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
前記フレクシャ部４０は、前記ヘッド搭載領域４３がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部３０よりも低剛性とされる。
前記フレクシャ部４０は、例えば、厚さ０．０１ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス板によって好適に形成される。
【００３０】
なお、本実施の形態においては、前記フレクシャ部４０には、前記磁気ヘッドスライダ５０に書き込み信号及び／又は読み取り信号を伝達する為の配線がプリント回路として一体的に備えられている。
即ち、前記フレクシャ部４０は、前記本体領域４１，前記一対の支持片４２及び前記ヘッド搭載領域４３を一体的に有するフレクシャ基板４００と、少なくとも一部が前記フレクシャ基板４００に積層されたフレクシャ配線体４１０とを有している。
前記フレクシャ配線体４１０は、前記フレクシャ基板４００におけるディスク面との対向面に積層された絶縁層と、前記絶縁層におけるディスク面との対向面に積層された導体層と、前記導体層を囲繞する保護層とを有し得る。
【００３１】
本実施の形態においては、前記フレクシャ基板４００は、前記ロードビーム部３０の前記本体領域３１，前記支持部１０の前記先端領域１２及び前記基端領域１１にそれぞれ溶接によって接合されている。
【００３２】
前記圧電素子６０は、ＰＺＴ（チタン酸ジリコン酸鉛）からなる本体部と、前記本体部の厚み方向両側に配置された一対の電極層とを有している。
前記本体部は、例えば厚さ０．０５ｍｍ〜０．３ｍｍとされ、前記電極層は、例えば厚さ０．０５μｍ〜数μｍのＡｇやＡｕによって形成される。
【００３３】
前記一対の圧電素子６０は、図１Ａ及び図１Ｂに示すように、前記ディスク面と直交する方向に沿って視た平面視において少なくとも一部が前記開口領域１３とオーバーラップした状態で基端部及び先端部が前記基端領域１１及び前記先端領域１２にそれぞれ連結されており、且つ、前記磁気ヘッドスライダ５０をシーク方向に微動させる為のサブアクチュエータとして作用するように電圧の印可に応じて一方が伸長し且つ他方が圧縮するように構成されている。
【００３４】
本実施の形態においては、図１Ａ及び図１Ｂに示すように、前記一対の圧電素子６０は、ディスク面と直交する方向に沿って視た平面視において全体が前記開口領域１３内に配置されている。
即ち、前記一対の圧電素子６０の先端側及び基端側の端面の少なくとも一部がそれぞれ前記先端領域１２の基端側の端面及び前記基端領域１１の先端側の端面と対向するように前記一対の圧電素子６０が前記開口領域１３内に配置された状態で、前記一対の圧電素子６０の先端側及び基端側が前記先端領域１２及び前記基端領域１１にそれぞれ固着されている。
【００３５】
斯かる構成によれば、前記一対の圧電素子６０の伸縮動作を可及的に前記磁気ヘッドスライダ５０のシーク方向への移動動作として伝達することができる。
さらに、前記構成によれば、前記一対の圧電素子６０の一部又は全部を厚み方向に関し前記支持部１０とオーバーラップさせることができ、前記一対の圧電素子６０を含む前記磁気ヘッドサスペンション１Ａ全体の厚みを可及的に薄くすることができる。
【００３６】
本実施の形態においては、前記一対の圧電素子６０の全体が平面視において前記開口領域１３内に配置された状態で、前記一対の圧電素子６０の先端側の端面と前記先端領域１２の基端側の端面とが絶縁性の接着剤等の固着部材７０によって固着され、且つ、前記一対の圧電素子６０の基端側の端面と前記基端領域１１の先端側の端面とが絶縁性の接着剤等の固着部材７０によって固着されている。
即ち、前記一対の圧電素子６０の伸縮動作は、前記固着部材７０を介して前記先端領域１２及び前記基端領域１１に伝達される。
【００３７】
なお、本実施の形態においては、図１Ａ及び図１Ｂに示すように、前記一対の圧電素子６０は、長手方向（即ち、伸縮方向）がサスペンション長手方向に沿うように配置されているが、本発明は斯かる形態に限定されるものではない。
即ち、前記一対の圧電素子６０がサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対称であり、且つ、前記一対の圧電素子６０の長手方向がサスペンション長手方向に沿った成分を有する範囲内であれば、前記一対の圧電素子６０の長手方向をサスペンション長手方向に対して傾斜させることも可能である。
【００３８】
前記一対の圧電素子６０への電圧印可は、例えば、前記フレクシャ配線体４１０を利用して行うことができる。
即ち、前記フレクシャ配線体４１０における前記導体層が、前記磁気ヘッドスライダ５０に電気的に接続されるスライダ用導体部材に加えて、圧電素子用導体部材を含むように構成し、前記一対の圧電素子６０の下面側（前記ディスク面と対向する側）の電極層を前記圧電素子用導体部材に電気的に接続させることができる。
この電気的接続は、たとえば、ワイヤーボンディング７４（図１Ｂ参照）を用いて行うこともできるし、又は、導電性接着剤を用いて行うこともできる。
なお、前記一対の圧電素子６０の上面側（前記ディスク面とは反対側）の電極層は導電性接着剤等の導電性部材を介して前記支持体１０に電気的に接続されることで接地電位とされる。
【００３９】
ここで、前記一対の連結梁１４の構成について説明する。
図２に、図１ＡにおけるII部拡大図を示す。
【００４０】
前記一対の連結梁１４は、図１Ａ及び図１Ｂに示すように、サスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称な形状を有している。
【００４１】
前記連結梁１４は、前記基端領域１１に連結される基端部１４ａの中心点と前記先端領域１２に連結される先端部１４ｂの中心点とを結ぶ仮想直線ＩＬがサスペンション長手方向先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接するように構成されている。
【００４２】
即ち、本実施の形態においては、前記支持部１０の前記先端領域１２のサスペンション幅方向長さが前記基端領域１１の先端側のサスペンション幅方向長さよりも短くされており、これにより、前記仮想直線ＩＬがサスペンション長手方向先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線ＣＬに近づくようになっている。
【００４３】
斯かる構成によれば、サブアクチュエータの回転中心回りの慣性モーメントを低減させることができ、これにより、主共振モードの共振周波数を高めることができる。
さらに、前記構成によれば、前記支持部１０の先端側の質量を低減できるため、ディスク面に直交するｚ方向に関する曲げモードの共振周波数を高めることができ、これにより、衝撃力印可時に前記圧電素子６０に付加される応力を低減でき、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの耐衝撃性を向上させることができる。
【００４４】
さらに、本実施の形態においては、前記一対の圧電素子６０による前記磁気ヘッドスライダ５０のシーク方向への微動特性を向上させる為に、前記一対の連結梁１４は下記構成を備えている。
【００４５】
即ち、図１Ａ，図１Ｂ及び図２に示すように、前記連結梁１４は、前記基端領域１１に連結される前記基端部１４ａからサスペンション長手方向先端側へ延びる基端側梁１４１と、前記先端領域１２に連結される前記先端部１４ｂからサスペンション長手方向基端側へ延びる先端側梁１４２と、前記基端側梁１４１の先端部及び前記先端側梁１４２の基端部を連結する中間梁１４３とを有している。
【００４６】
そして、前記連結梁１４は、図１Ａ，図１Ｂ及び図２に示すように、前記中間梁１４３の基端部の中心点及び先端部の中心点を結ぶ中間梁長手線１４３（Ｌ）が前記仮想直線ＩＬを跨ぐように、前記基端側梁１４１及び前記中間梁１４３の連結点が第１屈曲部１４ｃを形成し且つ前記先端側梁１４２及び前記中間梁１４３の連結点が第２屈曲部１４ｄを形成している。
【００４７】
斯かる構成によれば、前記連結梁１４をサスペンション幅方向外方へ大きく延在させることなく、前記連結梁１４の基端部１４ａ及び先端部１４ｂの間に存在する前記屈曲部１４ｃ，１４ｄにおける屈曲角を前記連結梁１４の弾性変形動作を無理なく行える範囲（例えば、９０°を基準にして±６０°の範囲）内に設定することができ、これにより、前記ディスク面に直交するｚ方向に関する剛性悪化を可及的に防止しつつ、前記圧電素子６０による前記磁気ヘッドスライダ５０の微動特性（即ち、前記圧電素子６０による前記磁気ヘッドスライダ５０の前記ディスク面に平行なシーク方向への変位し易さ）を向上させることができる。
【００４８】
詳しく説明すると、前記圧電素子６０がサスペンション長手方向に沿って伸縮すると、これに応じて、前記連結梁１４の基端部１４ａ及び先端部１４ｂがサスペンション長手方向に関し互いに対して離間又は近接するように前記連結梁１４が弾性変形し、これにより、前記磁気ヘッドスライダ５０がシーク方向に沿って移動するように前記荷重曲げ部２０及び前記ロードビーム部３０がシーク方向へ揺動する。
【００４９】
従って、前記圧電素子６０による前記磁気ヘッドスライダ５０のシーク方向への微動特性を向上させる為には、前記連結梁１４の基端部１４ａ及び先端部１４ｂをサスペンション長手方向に関し互いに対して接近させるような弾性変形動作並びに前記基端部１４ａ及び前記先端部１４ｂをサスペンション長手方向に関し互いに対して離間させるような弾性変形動作の双方を前記連結梁１４が容易に行えるように前記連結梁１４を形成する必要がある。
【００５０】
この点に関し、まず、前記連結梁１４に設けられる屈曲部１４ｃ，１４ｄにおける好ましい屈曲角の範囲について説明する。
例えば、前記連結梁１４が全長に亘って直線状に形成されている場合（即ち、前記連結梁１４が前記仮想直線ＩＬに沿っている場合であり、図２におけるα１又はα２が１８０°の場合に相当する）には、前記圧電素子６０の伸縮動作によって前記連結梁１４の基端部１４ａ及び先端部１４ｂを互いに対して接近又は離間させるように前記連結梁１４を弾性変形させることは困難になる。
【００５１】
逆に、前記連結梁１４における屈曲部の屈曲角が小さ過ぎる場合（即ち、図２におけるα１又はα２を０°に近づけ過ぎた場合）には、前記連結梁１４が前記仮想直線ＩＬに沿うような形状となり、前記圧電素子６０の伸縮動作によって前記連結梁１４の基端部１４ａ及び先端部１４ｂを互いに対して接近又は離間させるように前記連結梁１４を弾性変形させることが困難になる。
【００５２】
このような観点から、前記連結梁１４に設けられる屈曲部には、好ましい屈曲角の範囲（例えば、９０°を基準にして±６０°の範囲、即ち、３０°〜１２０°）が存在する。
【００５３】
次に、前記連結梁１４に設けられる屈曲部の好ましい数について説明する。
前述の通り、本実施の形態においては、前記連結梁１４は、前記基端側梁１４１及び前記中間梁１４３の連結点における屈曲部１４ｃ（以下、第１屈曲部という）と前記先端側梁１４２及び前記中間梁１４３の連結点における屈曲部１４ｄ（以下、第２屈曲部という）とを有している。
【００５４】
そして、図２に示すように、前記第１屈曲部１４ｃは前記好ましい屈曲角範囲に含まれる第１屈曲角α１（図示の形態においてはα１＝約８９°）で屈曲され、前記第２屈曲部１４ｄは前記好ましい屈曲角範囲に含まれる第２屈曲角α２（図示の形態においてはα２＝約８１°）で屈曲されている。
【００５５】
ここで、前記第１屈曲角α１と同一屈曲角で屈曲された単一の屈曲部を有する連結梁２４０を検討すると、前記連結梁２４０は、図２に示すように、本実施の形態における前記連結梁１４よりもサスペンション幅方向外方へ突出したものとなり、前記ディスク面に直交するｚ方向に関する剛性悪化を招く。
さらに、サスペンション幅方向外方へ前記連結梁１４を突出させると、ハードディスクドライブを構成している他の部品との干渉を招く危険性も生じる。
【００５６】
又、前記第２屈曲角α２と同一屈曲角で屈曲された単一の屈曲部を有する連結梁２４１は、図２に示すように、本実施の形態における前記連結梁１４よりもサスペンション幅方向内方へ突出したものとなる。
従って、前記圧電素子６０との干渉を防止する為には、前記連結梁２４１が図２に示す状態よりもサスペンション幅方向外方に位置するように、前記支持部１０の基端領域１１及び先端領域１２をサスペンション幅方向外方へ延在させる必要があり、前記ディスク面に直交するｚ方向に関する剛性悪化を招く。
さらに、サスペンション幅方向外方へ前記支持部１０の基端領域１１及び先端領域１２を突出させると、ハードディスクドライブを構成している他の部品との干渉を招く危険性も生じる。
【００５７】
これに対し、本実施の形態においては、前記連結梁１４は、前述の通り、前記中間梁長手線１４３（Ｌ）が前記仮想直線ＩＬを跨ぐように前記第１及び第２屈曲部１４ｃ，１４ｄの２カ所において屈曲されている。
従って、前記連結梁１４をサスペンション幅方向外方へ大きく延在させることなく、前記屈曲部１４ｃ，１４ｄにおける屈曲角を好ましい範囲に設定することができ、これにより、前記ディスク面に直交するｚ方向に関する剛性悪化を可及的に防止しつつ、前記圧電素子６０による前記磁気ヘッドスライダ５０の微動特性を向上させることができる。
【００５８】
さらに、本実施の形態においては、図１Ａ，図１Ｂ及び図２に示すように、前記基端側梁１４１及び前記中間梁１４３が連結する前記第１屈曲部１４ｃが前記仮想直線ＩＬよりもサスペンション幅方向外方に位置し、前記先端側梁１４２及び前記中間梁１４３が連結する前記第２屈曲部１４ｄが前記仮想直線ＩＬよりもサスペンション幅方向内方に位置している。
【００５９】
斯かる構成によれば、前記中間梁長手線１４３（Ｌ）が前記仮想直線ＩＬを跨ぐ構成を実現しつつ、前記連結梁１４のうち先端側に位置する前記先端側梁１４２を可及的にサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接させることができる。
従って、前記第１屈曲部１４ｃが前記仮想直線ＩＬよりもサスペンション幅方向内方に位置し且つ前記第２屈曲部１４ｄが前記仮想直線ＩＬよりもサスペンション幅方向外方に位置する変形例よりも、主共振モードの共振周波数を高めることができる。
【００６０】
実施の形態２
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図３に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）を示す。
なお、図中、前記実施の形態１における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００６１】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｂは、前記連結梁１４が連結梁１４Ｂに変更されている点において、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａと相違している。
【００６２】
詳しくは、前記実施の形態１においては、図１Ａ，図１Ｂ及び図２に示すように、前記連結梁１４の前記基端側梁１４１は、基端部の中心点１４ａ及び先端部の中心点を結ぶ基端側梁長手線１４１（Ｌ）が前記圧電素子６０の伸縮方向と略平行となるように配置されている。
【００６３】
即ち、前記実施の形態１においては、前記圧電素子６０の伸縮方向がサスペンション長手方向に沿うように配置されている構成において、前記基端側梁１４１は前記基端側長手線１４１（Ｌ）がサスペンション長手方向に沿うように配置されている。
【００６４】
これに対し、本実施の形態においては、図３に示すように、前記連結梁１４Ｂの基端側梁１４１Ｂは、基端部の中心点１４ａ及び先端部の中心点を結ぶ基端側梁長手線１４１Ｂ（Ｌ）がサスペンション長手方向先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接し、前記圧電素子６０の伸縮方向に対して傾斜されている。
【００６５】
詳しくは、前記圧電素子６０は、前記実施の形態１におけると同様に、伸縮方向がサスペンション長手方向に沿うように配置されているものの、前記基端側梁長手線１４１Ｂ（Ｌ）はサスペンション長手方向先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接するように前記圧電素子６０の伸縮方向に対して傾斜されている。
【００６６】
さらに、前記先端側梁１４２は、前記実施の形態１及び本実施の形態の双方において、基端部の中心点及び先端部の中心点１４ｂを結ぶ先端側梁長手線１４２（Ｌ）がサスペンション長手方向先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線ＣＬから離間するように配置されている。
【００６７】
つまり、本実施の形態においては、前記連結梁１４Ｂの前記基端側梁１４１Ｂ及び前記先端側梁１４２の双方の長手線１４１Ｂ（Ｌ），１４２（Ｌ）が前記圧電素子６０の伸縮方向に対して傾斜されている。
【００６８】
斯かる構成によれば、前記圧電素子６０の伸縮動作によって前記連結梁１４Ｂをより容易に弾性変形させることができ、前記圧電素子６０による前記磁気ヘッドスライダ５０の微動特性をより向上させることができる。
【００６９】
さらに、前記基端側長手線１４１Ｂ（Ｌ）がサスペンション長手方向先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接するように前記基端側梁１４１Ｂが傾斜されているので、前記実施の形態１に比して、前記基端側梁１４１Ｂのサスペンション長手方向中心線ＣＬ回りの慣性モーメントを低減させることができ、これにより、前記磁気ヘッドサスペンションの共振周波数を高めることができる。
【００７０】
実施の形態３
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図４に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）を示す。
なお、図中、前記実施の形態１及び２における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００７１】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃは、前記連結梁１４，１４Ｂが連結梁１４Ｃに変更されている点において、前記実施の形態１及び２に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａ，１Ｂと相違している。
【００７２】
本実施の形態においては、前記連結梁１４Ｃの基端側梁１４１Ｃは、基端側梁長手線１４１Ｃ（Ｌ）がサスペンション長手方向先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線ＣＬから離間するように前記圧電素子６０の伸縮方向に対して傾斜されている。
【００７３】
斯かる構成においても、前記圧電素子６０の伸縮動作によって前記連結梁１４Ｃをより容易に弾性変形させることができ、前記圧電素子６０による前記磁気ヘッドスライダ５０の微動特性をより向上させることができる。
【００７４】
さらに、本実施の形態においては、前記連結梁１４Ｃは、先端側梁長手線１４２（Ｌ）及び基端側長手線１４１Ｃ（Ｌ）の双方がサスペンション長手方向先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線ＣＬから離間するように構成されている。
【００７５】
つまり、前記先端側梁長手線１４２（Ｌ）及び前記基端側梁長手線１４１Ｃ（Ｌ）は、サスペンション長手方向を基準にして同一方向へ傾斜されている。
斯かる構成によれば、前記圧電素子６０の伸長時及び圧縮時の双方において前記連結梁１４Ｃを無理なく弾性変形させることができる。
【００７６】
好ましくは、図５に示すように、基端側から先端側へ行くに従って幅狭とされた基端側梁１４１Ｃ’を採用することができる。
この変形例に係る磁気ヘッドサスペンション１Ｃ’によれば、曲げモード、捩れモード及び主共振モードの共振周波数を高めることができる。
【００７７】
なお、基端側から先端側へ行くに従って幅狭とされた前記基端側梁１４１Ｃ’は、当然ながら、前記実施の形態１及び２に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａ，１Ｂに適用することも可能である。
【符号の説明】
【００７８】
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｃ’      磁気ヘッドサスペンション
１０          支持部
１１          基端領域
１２          先端領域
１３          開口領域
１４          連結梁
２０          荷重曲げ部
３０          ロードビーム部
４０          フレクシャ部
５０          磁気ヘッドスライダ
６０          圧電素子
１４１，１４１Ｂ，１４１Ｃ，１４１Ｃ’          基端側梁
１４１（Ｌ），１４１Ｂ（Ｌ），１４１Ｃ（Ｌ）    先端側梁長手線
１４２        先端側梁
１４２（Ｌ）  先端側長手線
１４３        中間梁
１４３（Ｌ）  中間梁長手線
ＣＬ          サスペンション長手方向中心線線
ＩＬ          仮想直線
【図１Ａ】
2011181153.tif 000003
【図１Ｂ】
2011181153.tif 000004
【図２】
2011181153.tif 000005
【図３】
2011181153.tif 000006
【図４】
2011181153.tif 000007
【図５】
2011181153.tif 000008