(57)【要約】      （修正有）【課題】簡易な構成で低コストに発光パネルの発光状態を検査することが可能な発光パネルの検査装置、および発光パネルの検査方法を提供する。【解決手段】発光パネルの検査装置２０は、発光信号発生部２１と、検査部２２と、比較部２３とを備えている。発光信号発生部２１は、被検査対象である発光パネル、例えば有機ＥＬ装置（発光パネル）の接続部に接続され、有機ＥＬ装置の任意の画素を発光させる発光信号を送出する。比較部２３は各画素の発光を直接受光して、その光量を予め設定された各画素の基準発光光量と比較することで個々の画素の発光不良を検出する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査対象である発光パネルを固定する固定部材と、
前記発光パネルに向けて所定の発光信号を出力する発光信号発生部と、
前記発光パネルから出射された光を受光する受光素子と、
該受光素子から出力された受光信号を予め設定した基準値と比較する比較部と、を少なくとも備え、
前記発光パネルの発光面と前記受光素子の受光面とは、所定の間隔を保って直接対面し、かつ前記発光面と前記受光面との間は遮光されることを特徴とする発光パネルの検査装置。
【請求項２】
前記受光素子の画素数は、前記発光パネルの画素数と同じか、それよりも多いことを特徴とする請求項１記載の発光パネルの検査装置。
【請求項３】
前記発光面と前記受光面との間には、集光手段を介在させないことを特徴とする請求項１または２記載の発光パネルの検査装置。
【請求項４】
前記発光信号発生部は、前記発光パネルを１画素づつ順に発光させるように制御することを特徴とする請求項１ないし３いずれか１項記載の発光パネルの検査装置。
【請求項５】
前記発光信号発生部は、前記発光パネルを予め設定した所定のパターンで発光させるように制御することを特徴とする請求項１ないし３いずれか１項記載の発光パネルの検査装置。
【請求項６】
被検査対象である発光パネルの発光面と、前記発光パネルから出射された光を受光する受光素子の受光面とを対面させる工程と、
前記発光パネルに所定の発光信号を入力して発光させる工程と、
前記発光パネルから出射された光を受光し、受光した光量に応じた受光信号を出力する工程と、
前記受光信号と、予め設定された比較データとを比較し、前記発光パネルを構成するそれぞれの画素の発光状態を検出する工程と、を少なくとも備えたことを特徴とする発光パネルの検査方法。
【請求項７】
前記発光信号は、前記発光パネルを全ての画素を１画素づつ順に発光させる信号であり、
前記比較データは、予め設定された各画素の基準発光光量であることを特徴とする請求項６記載の発光パネルの検査方法。
【請求項８】
前記発光信号は、前記発光パネルを予め設定した所定のパターンで発光させる信号であり、
前記比較データは、前記所定のパターンが正常に発光した場合の発光パターンデータであることを特徴とする請求項６記載の発光パネルの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発光パネルの検査装置、発光パネルの検査方法に関し、詳しくは、簡易な構成で発光パネルの発光状態を確実に検査する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶パネルや有機ＥＬパネルなどに代表される、発光パネルを構成する画素の発光を検査する検査方法として、例えば、ステージ上に載置した発光パネルを移動させて、ラインセンサーカメラで発光状態を撮像したり、あるいは発光パネルを固定したまま、エリアセンサーカメラを移動させつつ発光状態を撮像することによって、発光欠陥（例えば、非発光画素）を検出することが一般的であった（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１２１２４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、例えば特許文献１に示す検査方法では、ステージあるいはカメラを精度良く移動させるための機構が必須であり、検査装置が大型化し、かつ高価なものになりやすいという課題があった。また、物理的なステージの移動時間が必要なため、検査タクトタイムの短縮が困難であり、検査時間に長時間を要するという課題もあった。更に、発光パネルの高精細度化によって、高倍率・高解像度の対物レンズによる拡大撮像が必要になったり、撮像時の微振動による影響も大きくなるため、除振ステージの採用や検査装置自体の耐震・免振設計が必要になるなど、検査装置が複雑化・高コスト化するという課題があった。
【０００５】
本発明にかかるいくつかの態様は、上記事情に鑑みてなされたものであり、簡易な構成で低コストに発光パネルの発光状態を検査することが可能な発光パネルの検査装置、および発光パネルの検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明のいくつかの態様は次のような発光パネルの検査装置、および発光パネルの検査方法を提供した。
すなわち、本発明の発光パネルの検査装置は、被検査対象である発光パネルを固定する固定部材と、前記発光パネルに向けて所定の発光信号を出力する発光信号発生部と、前記発光パネルから出射された光を受光する受光素子と、該受光素子から出力された受光信号を予め設定した基準値と比較する比較部と、を少なくとも備え、前記発光パネルの発光面と前記受光素子の受光面とは、所定の間隔を保って直接対面し、かつ前記発光面と前記受光面との間は遮光されることを特徴とする。
【０００７】
本発明の発光パネルの検査装置によれば、受光素子と発光パネルを遮光状態で直接対面させ、各画素の発光を直接受光してその光量を比較データと比較するだけで、画素の不点灯や点灯不良など発光パネルの不具合を確実に検出できる。受光素子と発光パネルとの間には、間隔を保って発光パネルを固定して対向させるだけでよいので、受光素子や発光パネルを移動させる高精度な移動装置や、高価な集束レンズ等が不要であり、簡易な構成で低コストに発光パネルの発光状態を検査することが可能になる。
【０００８】
前記受光素子の画素数は、前記発光パネルの画素数と同じか、それよりも多ければよい。
これによって、発光パネルから出射された光を収束させるなどの光学部材が不要になり、簡易な構成で低コストに発光パネルの発光状態を検査することが可能になる。
【０００９】
前記発光面と前記受光面との間には、集光手段を介在させなければよい。
これによって、高価な集束レンズ等が不要になり、簡易な構成で低コストに発光パネルの発光状態を検査することが可能になる。
【００１０】
前記発光信号発生部は、前記発光パネルを１画素づつ順に発光させるように制御すればよい。これによって、個々の画素の発光不良を確実に検出できる。
【００１１】
前記発光信号発生部は、前記発光パネルを予め設定した所定のパターンで発光させるように制御すればよい。
これによって、短時間で発光パネルの発光状態を検査することが可能になる。
【００１２】
本発明の発光パネルの検査方法は、被検査対象である発光パネルの発光面と、前記発光パネルから出射された光を受光する受光素子の受光面とを対面させる工程と、前記発光パネルに所定の発光信号を入力して発光させる工程と、前記発光パネルから出射された光を受光し、受光した光量に応じた受光信号を出力する工程と、前記受光信号と、予め設定された比較データとを比較し、前記発光パネルを構成するそれぞれの画素の発光状態を検出する工程と、を少なくとも備えたことを特徴とする。
【００１３】
本発明の発光パネルの検査方法によれば、各画素の発光を直接受光してその光量を比較データと比較するだけで、画素の不点灯や点灯不良など発光パネルの不具合を確実に検出できる。これによって、受光素子や発光パネルを移動させる高精度な移動装置や、高価な集束レンズ等が不要であり、簡易な構成で低コストに発光パネルの発光状態を検査することが可能になる。
【００１４】
前記発光信号は、前記発光パネルを全ての画素を１画素づつ順に発光させる信号であり、
前記比較データは、予め設定された各画素の基準発光光量であればよい。
これによって、個々の画素の発光不良を確実に検出できる。
【００１５】
前記発光信号は、前記発光パネルを予め設定した所定のパターンで発光させる信号であり、前記比較データは、前記所定のパターンが正常に発光した場合の発光パターンデータであればよい。
これによって、短時間で発光パネルの発光状態を検査することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】発光パネルの一例である有機ＥＬ装置の回路図である。
【図２】図１に示した有機ＥＬ装置の平面模式図である。
【図３】図１に示した有機ＥＬ装置の表示領域の側断面模式図である。
【図４】本発明の発光パネルの検査装置を示す模式図である。
【図５】図４の検査部の構成を示す拡大断面図である。
【図６】本発明の発光パネルの検査方法の一例を示す模式図である。
【図７】本発明の発光パネルの検査方法の別な一例を示す模式図である。
【図８】本発明の発光パネルの検査方法の別な一例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、図面を参照して、本発明に係る発光パネルの検査装置、発光パネルの検査方法プリンターヘッドの一実施形態について説明する。なお、本実施形態は、発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。また、以下の説明で用いる図面は、本発明の特徴をわかりやすくするために、便宜上、要部となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
【００１８】
〔発光パネル〕
本発明の発光パネルの検査装置で検査される被検査対象である発光パネルは、例えば、有機ＥＬ装置、液晶表示パネルなどが挙げられる。まず最初に、被検査対象の一例として、有機ＥＬ装置（発光パネル）の一構成例を説明する。
図１は、有機ＥＬ装置（発光パネル）の一例に係る配線構造を示す説明図であり、図２は、有機ＥＬ装置の平面模式図、図３は、有機ＥＬ装置の表示領域の側断面模式図である。
図１に示すように、発光パネルの一例である有機ＥＬ装置１は、複数の走査線１０１と、走査線１０１に対して交差する方向に延びる複数の信号線１０２と、信号線１０２に対して並列する方向に延びる複数の電源線１０３とがそれぞれ配線された構成を有し、走査線１０１及び信号線１０２の各交点付近に、画素領域Ｐが設けられたものである。
【００１９】
信号線１０２には、シフトレジスタ、レベルシフタ、ビデオライン及びアナログスイッチを備えるデータ側駆動回路１０４が接続されている。また、走査線１０１には、シフトレジスタ及びレベルシフタを備える走査側駆動回路１０５が接続されている。
【００２０】
さらに、画素領域Ｐの各々には、走査線１０１を介して走査信号がゲート電極に供給されるスイッチング用の薄膜トランジスタ１２２と、このスイッチング用の薄膜トランジスタ１２２を介して信号線１０２から供給される画素信号を保持する保持容量ｃａｐと、該保持容量ｃａｐによって保持された画素信号がゲート電極に供給される駆動用の薄膜トランジスタ１２３と、この駆動用薄膜トランジスタ１２３を介して電源線１０３に電気的に接続したときに該電源線１０３から駆動電流が流れ込む画素電極（陽極）１１１と、この画素電極１１１と陰極（対向電極）１２との間に挟持された機能層１１０とが設けられている。そして、陽極（画素電極）１１１と陰極（対向電極）１２と機能層１１０とにより、発光素子として機能する有機Ｅ素子が構成されている。
【００２１】
走査線１０１が駆動されてスイッチング用の薄膜トランジスタ１２２がオンになると、そのときの信号線１０２の電位が保持容量ｃａｐに保持され、該保持容量ｃａｐの状態に応じて駆動用の薄膜トランジスタ１２３のオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ１２３のチャネルを介して、電源線１０３から画素電極１１１に電流が流れ、さらに機能層１１０を介して陰極１２に電流が流れる。機能層１１０では、流れる電流量に応じて発光する。
【００２２】
ここで例示した有機ＥＬ装置は、いわゆるトップエミッション型の有機ＥＬ装置であり、図３に示すように基板２と、マトリックス状に配置された有機ＥＬ素子（発光素子）を具備して基板２上に形成された発光素子部１１と、発光素子部１１上に形成された陰極１２とを具備している。ここで、発光素子部１１と陰極１２とにより、表示素子１０が構成されている。
【００２３】
基板２としては、ガラスや樹脂等が好適に用いられるが、特に本発明の有機ＥＬ装置はトップエミッション型であり、この基板２側から光を出射しないので、不透明のものも使用可能である。したがって、不透明性の樹脂やセラミックス、金属なども使用可能である。この基板２には、図２に示すように、基板２の中央に位置する表示領域２ａと、基板２の周縁に位置して表示領域２ａを囲む非表示領域とに区画されている。なお、表示領域２ａは、マトリックス状に配置された有機ＥＬ素子によって形成された領域である。
【００２４】
また、非表示領域には、電源線１０３（１０３Ｒ、１０３Ｇ、１０３Ｂ）が配線されており、表示領域２ａの両側には、走査側駆動回路１０５、１０５が配置されている。さらに、走査側駆動回路１０５、１０５の両側には、走査側駆動回路１０５、１０５に接続される駆動回路用制御信号配線１０５ａと駆動回路用電源配線１０５ｂとが設けられている。表示領域２ａの図示上側には、後述する本発明の発光パネルの検査装置２０を接続する検査回路１０６が形成されている。
【００２５】
図３の側断面構成図には、３つの画素領域（画素）Ａ（Ｒ）、Ａ（Ｇ）、Ａ（Ｂ）が示されている。本実施形態の有機ＥＬ装置では、基板２上に、ＴＦＴなどの回路等が形成された回路素子部１４、機能層１１０が形成された発光素子部１１及び陰極１２が順次積層され、さらにその上に透明な封止層（図示せず）が設けられて構成されている。
【００２６】
また、陽極（画素電極）１１１には反射面が設けられ、陰極１２は半透過反射層を有しており、これら陽極１１１の反射面と陰極１２の半透過反射層との間で光共振器が形成されている。そして、機能層１１０で発光した光は、この光共振器で共振した後、陰極１２側、すなわち前記の透明な封止層側から出射し、観測者に視認されるようになっている。
【００２７】
回路素子部１４には、基板２上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜２ｃが形成され、この下地保護膜２ｃ上に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜１４１が形成されている。半導体膜１４１には、ソース領域１４１ａ及びドレイン領域１４１ｂが、例えば高濃度リンイオン打ち込みにより形成されている。前記リンイオンが導入されなかった部分がチャネル領域１４１ｃとなっている。
【００２８】
また、前記下地保護膜２ｃ及び半導体膜１４１を覆う透明なゲート絶縁膜１４２が形成され、ゲート絶縁膜１４２上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等からなるゲート電極１４３（走査線１０１）が形成され、ゲート電極１４３及びゲート絶縁膜１４２上には透明な第１層間絶縁膜１４４ａと第２層間絶縁膜１４４ｂが形成されている。ゲート電極１４３は半導体膜１４１のチャネル領域１４１ｃに対応する位置に設けられている。また、第１、第２層間絶縁膜１４４ａ、１４４ｂを貫通して、半導体膜１４１のソース、ドレイン領域１４１ａ、１４１ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール１４５、１４６が形成されている。
【００２９】
そして、第２層間絶縁膜１４４ｂ上には、画素電極（陽極）１１１が所定の形状にパターニングされて形成され、一方のコンタクトホール１４５がこの画素電極１１１に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール１４６が電源線１０３に接続されている。
【００３０】
このようにして、回路素子部１４には、各画素電極１１１に接続された駆動用の薄膜トランジスタ１２３が形成されている。なお、図３では駆動用の薄膜トランジスタ１２３を、画素電極１１１の直下を避けて、隔壁部１１２の直下に配置しているが、ここで示した有機ＥＬ装置１はトップエミッション型であるので、薄膜トランジスタ１２３を画素電極１１１の直下に配置してもよい。
【００３１】
発光素子部１１は、複数の画素電極（陽極）１１１上の各々に積層された機能層１１０と、各画素電極１１１及び機能層１１０の間に備えられて各機能層１１０を区画する隔壁部１１２とを主体として構成されている。また、これら機能層１１０及び隔壁部１１２上には陰極１２が配置されている。そして、これら画素電極１１１、機能層１１０及び陰極１２により、前記したように有機ＥＬ素子が構成されている。
【００３２】
画素電極（陽極）１１１は、例えばＡｌ（アルミニウム）とＮｄ（ネオジム）との合金からなる反射膜１１１ａと、ＩＴＯからなる透明導電膜１１１ｂとが積層され、さらに平面視略矩形状にパターン形成されて形成されている。ここで、画素電極１１１は、前記反射膜１１１ａによって機能層１１０で発光した光を反射するようになっており、この反射膜１１１ａを反射面とするものである。
【００３３】
すなわち、反射膜１１１ａは、数ｎｍ〜数十ｎｍ程度の厚さに形成された薄膜であり、したがってこの反射膜１１１ａ自体も僅かながら光を透過するため、機能層１１０からの光は、反射膜１１１ａと透明導電膜１１１ｂとの界面のみが反射面として機能するだけでなく、反射膜１１１ａ内、さらには反射膜１１１ａと第２層間絶縁膜１４４ｂとの界面も反射面として機能するようになっている。なお、反射膜１１１ａとしては、前記のＡｌとＮｄとの合金膜以外にも、例えばＡｌの単一膜や、Ｎｉ、Ｃｒ等の金属膜を用いることもできる。
【００３４】
隔壁部１１２は、各画素電極１１１を仕切る形で設けられたもので、基板２側に形成された無機隔壁１１２ａと、この無機隔壁１１２ａ上に形成された有機隔壁１１２ｂとから構成されたものである。無機隔壁１１２ａは、ＳｉＯ２等によって形成されたものであり、有機隔壁１１２ｂは、アクリル樹脂等によって形成されたものである。
【００３５】
無機隔壁１１２ａは、画素電極１１１を露出させる開口１１２ｃを形成したもので、画素電極１１１の周縁部上に一部が乗上げて形成されたものである。また、有機隔壁１１２ｂは、前記開口１１２ｃに連通する開口１１２ｄを形成したもので、画素電極１１１の周縁部に一部が平面的に重なるように配置されたものである。なお、無機隔壁１１２ａは、有機隔壁１１２ｂの縁端よりも画素電極１１１の中央側に延出して形成されており、したがって有機隔壁１１２ｂの開口１１２ｄは、無機隔壁１１２ａの開口１１２ｃより一回り広く形成されている。
【００３６】
これら無機隔壁１１２ａと有機隔壁１１２ｂとからなる隔壁部１１２には、親液性を示す領域と、撥液性を示す領域とが形成されている。親液性を示す領域は、無機隔壁１１２ａ及び画素電極１１１の露出面（開口１１２ｂ内に露出する面）であり、これらの領域は、酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液化処理がなされている。また、撥液性を示す領域は、開口部１１２ｄの壁面及び有機隔壁１１２の上面であり、これらの領域は、例えば、テトラフルオロメタン（四フッ化炭素）を処理ガスとするプラズマ処理によってフッ化処理（撥液化処理）がなされている。
【００３７】
次に、上述したような被検査対象である発光パネルを検査するための、本発明の発光パネルの検査装置について説明する。
図４は、本発明の発光パネルの検査装置の一例を示す概略構成図である。
発光パネルの検査装置（以下、単に検査装置と称する）２０は、発光信号発生部２１と、検査部２２と、比較部２３とを備えている。発光信号発生部２１は、被検査対象である発光パネル、例えば有機ＥＬ装置（発光パネル）１の検査回路１０６（図２参照）に接続され、有機ＥＬ装置１の任意の画素Ａを発光させる発光信号を送出するテスト信号回路装置であればよい。
【００３８】
比較部２３は、ＣＰＵやメモリなどの電子回路、例えばＰＣ（パーソナルコンピュータ）からなり、検査部２２を構成する受光素子３２（図５参照）から出力された受光信号を受光し、予め記憶された比較データとこの受光信号とを比較して、有機ＥＬ装置１の発光状態の良否を判定する。
【００３９】
図５は、検査部の構成を示す拡大断面図である。検査部２２は、被検査対象である有機ＥＬ装置（発光パネル）１を固定する固定部材３１と、受光素子３２を備えた受光ユニット３３とを備えている。固定部材３１は、底面側に有機ＥＬ装置１が所定位置で固定される本体部３１ａと、受光ユニット３３に対して着脱自在に密着する密着部３１ｂとからなる。本体部３１ａは、例えば、遮光性のある金属や樹脂から形成されていれば良い。また、密着部３１ｂは、例えばゴムや発泡樹脂など柔軟で、かつ遮光性のある部材から形成されていれば良い。
【００４０】
受光ユニット３３は、端部で密着部３１ｂに密着し、受光素子３２の受光面３２ａが有機ＥＬ装置１の発光面１ａに対して所定の間隔Δｔを保って対向するように固定部材３１に保持される。固定部材３１と受光ユニット３３とを密着させることによって、固定部材３１の内部に固定される有機ＥＬ装置（発光パネル）１の発光面１ａと受光素子３２の受光面３２ａとの間は、外光が入り込まないように遮光される。
【００４１】
受光素子３２は、固体撮像素子、例えばＣＣＤイメージセンサ、ＣＭＯＳイメージセンサが用いられれば良い。この受光素子３２は、構成する画素数が被検査対象である有機ＥＬ装置１と同じか、それよりも多いことが好ましい。また、受光素子３２の１画素のサイズは、有機ＥＬ装置１の１画素サイズと同じか、近似していることが好ましい。これによって、受光素子３２の受光面３２ａと、有機ＥＬ装置１の発光面１ａとの間は、レンズなどの集光手段を介在させずに、単に微小な間隔Δｔを保って対向させるだけでよい。
【００４２】
固定部材３１に収容される有機ＥＬ装置（発光パネル）１は、例えば、デジタルカメラのファインダーなどに用いられる数インチ程度の小型の有機ＥＬ装置が好適な被検査対象として挙げられる。こうした小型の有機ＥＬ装置１は、例えばフレキシブル基板等に多数形成され、検査時には固定部材３１に対して連続して供給される構成であれば良い。
【００４３】
以上のような構成の検査装置を用いた、本発明の発光パネルの検査方法について説明する。
発光パネル、例えば有機ＥＬ装置１の発光状態を上述した検査装置２０を用いて検査する際には、まず、固定部材３１に被検査対象である有機ＥＬ装置１を固定し、受光素子３２の受光面３２ａに対して有機ＥＬ装置１の発光面１ａを所定の間隔Δｔを保って対向させる（発光パネルの発光面と受光素子の受光面とを対面させる工程）。そして、有機ＥＬ装置１の検査回路１０６（図２参照）と、発光信号発生部２１とを電気的に接続させる。
【００４４】
次に、発光信号発生部２１から所定の発光信号（制御信号）を接続部１０６を介して有機ＥＬ装置１に入力する。図６は、この発光信号によって有機ＥＬ装置１が発光制御される様子を模式的に示した模式図である。
図６によれば、発光信号発生部２１から有機ＥＬ装置１入力される発光信号は、図中左上の画素Ａ１から順に、画素Ａ２、画素Ａｎ・・・そして図中右下の画素Ａｅまで、全ての画素を１画素づつ順に点灯させる（発光パネルに所定の発光信号を入力して発光させる工程）。
【００４５】
そして、受光素子３２は、受光面３２ａに入射した１画素づつ順に点灯するそれぞれの光を受光し、受光信号として比較部２３に出力する。比較部２３は、１画素づつ順に受光信号が入力される度に、その画素の発光光量が予め設定された各画素の基準発光光量の範囲内であるかを比較する（受光信号と、予め設定された比較データとを比較する工程）。受光信号は、例えば、受光素子３２に入射したそれぞれの画素の光量を表すデータであればよい。また、比較データは、画素が正常に発光する有機ＥＬ装置において、適正な、即ち正常な光量値の範囲を示すデータであればよい。
【００４６】
比較部２３は、各画素ごとに受光素子３２の受光面３２ａ全体で受光した光量の総和と、比較データとを比較して、各画素ごとの受光光量の総和が比較データを下回っていれば、その画素が不点灯または、発光光量の不足を示すことになり、検査した有機ＥＬ装置１に発光不良の画素があると判定する。
一方、得られた各画素ごとの受光光量の総和と、比較データとを比較して、受光光量が比較データを上回っている場合でも、当該画素が異常点灯している可能性があるので、やはり検査した有機ＥＬ装置１に発光不良の画素があると判定する。
そして、全ての画素について、得られた各画素ごとの受光光量の総和と、比較データとを比較して、受光光量が比較データとして設定された所定の範囲に収まっている場合は、検査した有機ＥＬ装置１を良品（正常）と判定する。
【００４７】
以上のような、検査装置および検査方法によれば、受光素子３２と有機ＥＬ装置（発光パネル）１を遮光状態で直接対面させ、各画素の発光を直接受光してその光量を比較データと比較するだけで、画素の不点灯や点灯不良など有機ＥＬ装置（発光パネル）１の不具合を確実に検出できる。受光素子３２と有機ＥＬ装置（発光パネル）１との間には、レンズなどの集光手段を介在させずに、単に微小な間隔Δｔを保って有機ＥＬ装置１を固定して対向させるだけでよいので、受光素子３２や有機ＥＬ装置１を移動させる高精度な移動装置や、高価な集束レンズ等が不要であり、簡易な構成で低コストに有機ＥＬ装置（発光パネル）１の発光状態を検査することが可能になる。
【００４８】
図７は、上述した検査装置２０を用いて、別な発光信号（制御信号）によって有機ＥＬ装置１を検査する例を示した模式図である。
この実施形態では、１つの有機ＥＬ装置（発光パネル）１を４つのエリアＥ１〜Ｅ４に区画し、それぞれのエリアＥ１、Ｅ２、Ｅ３、Ｅ４ごとに、例えば図中左上（図７（ａ））から右下（図７（ｂ））に向けて１画素づつ順に点灯させる。そして、それぞれのエリアＥ１〜Ｅ４の４画素分の発光光量が、予め設定された４画素分の基準発光光量の範囲内であるかを比較すればよい。
このような検査方法によれば、画素を順に点灯させる走査に係る時間が、図６に示す実施形態と比較して４分の１に短縮されることになり、検査時間の大幅な短縮を実現できる。
【００４９】
図８は、上述した検査装置２０を用いて、更に別な発光信号（制御信号）によって有機ＥＬ装置１を検査する例を示した模式図である。
この実施形態では、有機ＥＬ装置（発光パネル）１に対して、例えばストライプ状のパターンを表示する発光信号（制御信号）を入力する。図８に示す例では、まず、偶数番目の画素を縦縞状に点灯させる（図７（ａ））。次に、奇数番目の画素を縦縞状に点灯させる（図７（ｂ））。一方、比較部２３には、全ての画素が正常点灯する場合の偶数番目の画素を点灯させた比較パターン（比較データ）Ｄ１と、奇数番目の画素を点灯させた比較パターン（比較データ）Ｄ２とを記憶させておく。
【００５０】
そして、偶数番目の画素を縦縞状に点灯させて、正常な発光パターンである比較パターン（比較データ）Ｄ１と比較する。そして、例えばパターンが合致しない画素Ａｘが存在すれば、その有機ＥＬ装置（発光パネル）１は発光不良と判定される。同様に、偶数番目の画素を縦縞状に点灯させて、正常な発光パターンである比較パターン（比較データ）Ｄ２と比較する。
こうした所定の点灯パターンの比較によれば、更に検査時間の短縮を図ることができる。
なお、有機ＥＬ装置（発光パネル）１を発光させるパターンは、上述したストライプ状のパターン以外にも、例えば、千鳥状に点灯させるなど任意の点灯パターンを採用することが可能である。
【符号の説明】
【００５１】
１…画像形成装置（光プリンター）、２Ｋ，２Ｃ，２Ｍ，２Ｙ…露光ヘッド（プリンターヘッド）、３Ｋ，３Ｃ，３Ｍ，３Ｙ…感光ドラム（感光体）、２２ａ…第一発光素子アレイ（第一の光源）、２２ｂ…第二発光素子アレイ（第二の光源）、２２ｃ…第三発光素子アレイ（第三の光源）、２３…光学部材２３、３１…第一の光学面、３２…第二の光学面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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