(57)【要約】【課題】簡易な工程で、かつ低コストで加工ができる加工治具や加工装置および加工方法を提供する。【解決手段】被加工物１０を減圧吸着する減圧吸着部材２０と、被加工物１０を減圧吸着部材２０に向かって押圧する押圧部材３０とを台座４０の上に備える。減圧吸着部材２０には、被加工物１０を減圧吸引するための吸着口２１が、被加工物１０に対応して、被加工物１０の長さ方向および配列方向にそれぞれ複数設けられている。また、長さ方向において隣接する各吸着口２１の間には、各被加工物１０を切断するための切断溝２２が所定の間隔毎に形成されている。押圧部材３０には、被加工物１０を押圧するための押圧面３１が複数設けられており、長さ方向において隣接する押圧面３１の間には、各被加工物１０を切断するための貫通部３２が所定の間隔毎に形成されている。【選択図】図１
2011051087.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
並列に並べられて支持枠により支持された複数の棒状の被加工物をそれぞれ長さ方向において複数に分割するように切断する際に、前記各被加工物を保持する加工治具であって、
前記各被加工物を減圧吸引するための吸着口が、前記各被加工物に対応して、長さ方向および配列方向にそれぞれ複数設けられると共に、長さ方向において隣接する各吸着口の間には、前記各被加工物を切断するための切断溝が設けられた減圧吸着部材と、
前記各被加工物を前記減圧吸着部材に向かって押圧し、前記各被加工物を切断するための貫通部を有する押圧部材とを備え、
前記減圧吸着部材には、前記各吸着口を個別に囲むように複数のＯリングが設けられており、前記各Ｏリングは、前記各被加工物の着座面よりも吸着側に一部が突出して設けられた
ことを特徴とする加工治具。
【請求項２】
前記押圧部材は、前記各被加工物を押圧する押圧面に緩衝部材を備えたことを特徴とする請求項１に記載の加工治具。
【請求項３】
前記押圧部材は、前記支持枠を押圧するための支持枠押圧部を備えたことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の加工治具。
【請求項４】
前記減圧吸着部材は、前記切断溝に切削加工水を供給するための給水路を備えたことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１に記載の加工治具。
【請求項５】
前記各吸着口には、吸引源に対して接続される複数の吸引孔が連通して設けられたことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１に記載の加工治具。
【請求項６】
前記着座面は、傾斜していることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１に記載の加工治具。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載の加工治具と、
前記貫通部を貫通して、前記被加工物を切断する切断部材と
を備えたことを特徴とする加工装置。
【請求項８】
請求項１から請求項６のいずれかに記載の加工治具を用いて被加工物を加工する方法であって、
前記減圧吸着部材により、前記各被加工物を減圧吸引すると共に、前記押圧部材により、前記被加工物を前記減圧吸着部材に向かって押圧したのち、前記貫通部から前記被加工物を切断する
ことを特徴とする加工方法。
【請求項９】
前記被加工物の下端は、前記支持枠の下端よりも上方に位置しており、前記被加工物を切断する際には、前記被加工物の下端と前記支持枠の下端との間まで切断することを特徴とする請求項８記載の加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被加工物を加工する加工治具、加工装置並びにそれらを用いた加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、樹脂製の部品などの被加工物を切断する際には、接着剤に紫外線を照射することにより、被加工物と載置台とを接着したのち、被加工物を切断している。続いて、紫外線を照射して接着剤を溶かしたのち、洗浄して加工品を回収している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平５−８４６８２号公報
【特許文献２】特開２００４−２２３６５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このような方法では、工程が多く、しかも接着剤などの材料を必要としており、コスト面で問題があった。よって、簡易な工程で、かつ低コストで加工ができる加工治具や加工装置および加工方法の開発が望まれていた。
【０００５】
本発明は、このような問題に基づきなされたものであり、簡易な工程で、かつ低コストで加工ができる加工治具や加工装置および加工方法を提供することを目的とする。
【０００６】
なお、特許文献１は真空チャック装置に関するものであり、ワークを真空吸引する真空孔の周りにＯリングを配設し、吸着プレートと被加工物との間に隙間が生じる場合であっても、十分な吸着力を得ることができる装置が記載されている。また、特許文献２は吸着保持装置に関するものであり、ラッパ状に形成した吸着パッドを基台表面から突出して設けることにより、シートに反りがあっても確実に吸着することができる装置が記載されている。しかし、本願発明と特許文献１または特許文献２に記載の装置とでは、被加工物の形状や加工の内容が全く異なっている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の加工治具は、並列に並べられて支持枠により支持された複数の棒状の被加工物をそれぞれ長さ方向において複数に分割するように切断する際に、各被加工物を保持する加工治具であって、各被加工物を減圧吸引するための吸着口が、各被加工物に対応して、長さ方向および配列方向にそれぞれ複数設けられると共に、長さ方向において隣接する各吸着口の間には、各被加工物を切断するための切断溝が設けられた減圧吸着部材と、各被加工物を減圧吸着部材に向かって押圧し、各被加工物を切断するための貫通部を有する押圧部材とを備え、減圧吸着部材には、各吸着口を個別に囲むように複数のＯリングが設けられており、各Ｏリングは、各被加工物の着座面よりも吸着側に一部が突出して設けられたものである。
【０００８】
本発明の加工装置は、本発明の加工治具と、貫通部を貫通して、被加工物を切断する切断部材とを備えたものである。
【０００９】
本発明の加工方法は、本発明の加工治具を用いて被加工物を加工するものであって、減圧吸着部材により、各被加工物を減圧吸引すると共に、押圧部材により、被加工物を減圧吸着部材に向かって押圧したのち、貫通部から被加工物を切断するものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、各被加工物を減圧吸引するための吸着口が、各被加工物に対応して、長さ方向および配列方向にそれぞれ複数設けられると共に、長さ方向において隣接する各吸着口の間には、各被加工物を切断するための切断溝が設けられた減圧吸着部材と、各被加工物を減圧吸着部材に向かって押圧し、各被加工物を切断するための貫通部を有する押圧部材とを備えるようにしたので、減圧吸着部材により位置ずれを防止しつつ、押圧部材により強固に固定することができる。よって、安定して容易に被加工物を切断することができる。
【００１１】
また、吸着口を各被加工物に対応して、長さ方向および配列方向にそれぞれ複数設けるようにしたので、切断後に押圧部材を取り外す際にも、各被加工物を個別に吸着して保持することができる。よって、例えば、被加工物が非常に薄かったり軽かったりしても、押圧部材を取り外した時に切断した被加工物の位置がずれてしまうことを防止することができ、切断した被加工物を容易に回収することができる。
【００１２】
更に、吸着口を囲むようにＯリングを設け、Ｏリングの一部が着座面よりも吸着側に突出するようにしたので、吸着力を高めることができ、より強固に被加工物を保持することができる。従って、本発明によれば、接着剤により接着する工程及び接着剤を洗浄する工程が不要となり、工程を簡素化することができると共に、コストを低減することができる。
【００１３】
加えて、押圧部材の押圧面に緩衝部材を設けるようにすれば、より強固に被加工物を保持することができる。
【００１４】
更にまた、押圧部材に支持枠を押圧するための支持枠押圧部を設けるようにすれば、被加工物をより安定して固定することができる。
【００１５】
加えてまた、減圧吸着部材に切削加工水を供給するための給水路を設けるようにすれば、被加工物１０に対して減圧吸着部材２２０の側からも切削加工水を供給することにより、加工時に発生する切削粉の析出を防ぐことができる。また、被加工物１０をより効果的に冷却することができると共に、被加工物１０の減圧吸着部材２２０の側における切断バリの発生を抑制することができる。
【００１６】
更にまた、吸着口には、吸引源に対して接続される複数の吸引孔を連通して設けるようにすれば、吸着力を高めることができ、より強固に被加工物を保持することができる。
【００１７】
加えてまた、被加工物を切断する際に、被加工物の下端と支持枠の下端との間まで切断するようにすれば、被加工物を切断後に、支持枠を完全には切断されていない状態で残すことができる。よって、支持枠の回収を容易とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る加工治具の構成を表わす斜視図である。
【図２】図１に示した加工治具を他の方向から見た斜視図である。
【図３】図１に示した加工治具に被加工物を配置した状態を表わす斜視図である。
【図４】図３に示した状態を他の方向から見た斜視図である。
【図５】図１に示した加工治具に被加工物を配置して押圧部材を閉めた状態を表わす斜視図である。
【図６】図５に示した状態を他の方向から見た斜視図である。
【図７】図１に示した加工治具により被加工物を保持した状態を表わす部分断面図である。
【図８】図７に示した状態を拡大して表わす拡大断面図である。
【図９】図３に示した被加工物の構成を表わす斜視図である。
【図１０】図９に示した被加工物を他の方向から見た斜視図である。
【図１１】図１に示した加工治具により被加工物を切断した後の状態を表わす斜視図である。
【図１２】図１１に示した状態を他の方向から見た斜視図である。
【図１３】被加工物を切断した後の支持枠を表す斜視図である。
【図１４】本発明の第２の実施の形態に係る加工治具の構成を表わす斜視図である。
【図１５】図１４に示した加工治具の一部を拡大して表す斜視図である。
【図１６】図１４に示した加工治具を他の方向から見た斜視図である。
【図１７】図１４に示した加工治具に被加工物を配置した状態を表わす斜視図である。
【図１８】図１７に示した状態を他の方向から見た斜視図である。
【図１９】図１４に示した加工治具に被加工物を配置して押圧部材を閉めた状態を表わす斜視図である。
【図２０】図１９に示した状態を他の方向から見た斜視図である。
【図２１】図１４に示した加工治具により被加工物を切断した後の状態を表わす斜視図である。
【図２２】図２１に示した状態を他の方向から見た斜視図である。
【図２３】本発明の第３の実施の形態に係る加工治具の構成を表わす断面斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００２０】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る加工治具１を表わす斜視図であり、図２は、加工治具１を他方から見た斜視図である。また、図３から図６は、この加工治具１に、被加工物１０を配置した斜視図である。図７は、この加工治具１に被加工物１０を配置した状態を表わす部分断面図であり、図８は、その一部を拡大して表わす拡大断面図である。この加工治具１は、被加工物１０を減圧吸着する減圧吸着部材２０と、被加工物１０を減圧吸着部材２０に向かって押圧する押圧部材３０とを台座４０の上に備えている。
【００２１】
図９は、被加工物１０を表わす斜視図であり、図１０は、被加工物１０を他方から見た斜視図である。被加工物１０は、例えば、直方体などの棒状体であり、その複数が並列に配列されていると共に、各被加工物１０の両端が、四角形の支持枠１１により支持されており、各被加工物１０は、支持枠１１に対して傾斜して支持されている。被加工物１０および支持枠１１は、例えば、プラスチックにより構成されている。各被加工物１０の上端は、例えば支持枠１１の上端よりも下方に位置しており、各被加工物１０の下端は、例えば支持枠１１の下端よりも上方に位置している。被加工物１０の損傷を防止するためである。また、支持枠１１には、例えば、切断位置を示すためのマーク１２が設けられている。
【００２２】
図１から図４に示したように、減圧吸着部材２０には、被加工物１０を減圧吸引するための吸着口２１が複数設けられている。これらの吸着口２１は、各被加工物１０が配置されるように傾斜して形成されており、被加工物１０に対応して、被加工物１０の長さ方向（Ｘ方向）および配列方向（Ｙ方向）にそれぞれ複数設けられている。また、長さ方向（Ｘ方向）において隣接する各吸着口２１の間には、各被加工物１０を切断するための切断溝２２が所定の間隔毎に形成されている。
【００２３】
押圧部材３０は、例えば、一方が支点４１を介して台座４０に対して回転可能に接続されており、被加工物１０を減圧吸着部材２０に向かって押圧することができるようになっている。押圧部材３０には、被加工物１０を押圧するための押圧面３１が複数設けられている。これらの押圧面３１は、各被加工物１０を押圧できるように傾斜して形成されており、被加工物１０の長さ方向（Ｘ方向）および配列方向（Ｙ方向）に複数設けられている。長さ方向（Ｘ方向）において隣接する押圧面３１の間には、各被加工物１０を切断するための貫通部３２が所定の間隔毎に形成されている。なお、押圧部材３０の他方は、例えば、図５，６に示したように、閉めた状態、すなわち被加工物を押圧した状態で固定できるように、台座４０に設けられたロック部材４２により固定されるようになっている。
【００２４】
また、図７に示したように、押圧面３１の少なくとも一部には、緩衝部材３３が配設されていることが好ましい。より強固に被加工物１０を保持できるからである。緩衝部材３３は、例えば、シリコンゴムまたはフッ素ゴムなどの弾性材料により構成されている。なお、支持枠１１の当接面３４にも、例えば、緩衝部材３３が配設されていることが好ましい。支持枠１１を固定するためである。
【００２５】
更に、図８に示したように、減圧吸着部材２０には、各吸着口２１の周りに被加工物１１の着座面２３が設けられており、着座面２３は、各被加工物１０が配置されるように傾斜して形成されている。各吸着口２１の周りには、着座面２３を介して、各吸着口２１を個別に囲むように複数のＯリング２４が設けられている。Ｏリング２４は、吸着口２１を囲むように設けられた配設溝２５に対して配設されており、Ｏリング２４の一部は、着座面２３よりも吸着側に突出している。Ｏリング２４の突出量は、０．０５ｍｍから０．１５ｍｍ程度が好ましく、被加工物１０を配置した時に、Ｏリング２４が押圧されて、着座面２３と同じ高さとなることが好ましい。被加工物１０をより強固に保持することができるからである。なお、図８は被加工物１０によりＯリング２４が押圧され、Ｏリング２４が着座面２３と同じ高さとなっている状態を表している。また、各配設溝２５には、着座面２３側に、Ｏリング２４を係止するための突起部２６が突出して設けられている。突起部２６は、例えば、着座面２３に対する垂直方向の厚みが外周側に向かって薄くなるように、Ｏリング２４側の側面が着座面２３に向かって傾斜して形成されている。
【００２６】
また、各吸着口２１は、吸引通路２７を介して図示しない吸引源に接続されている。各吸着口２１と吸引通路２７との間には、着座面２３の近傍において、吸引通路２７を狭窄する狭窄部材２８が配設されている。より強固に被加工物１０を保持することができるからである。狭窄部材２８には、吸着口２１と吸引通路２７とを連通する複数の吸引孔２９が設けられている。
【００２７】
この加工治具１０は、例えば、次のようにして用いられる。
【００２８】
まず、加工治具１を図示しない加工装置に設置し、例えば図１，２に示したように、図示しないアームなどの駆動治具により押圧部材３０の他方を持ち上げ、減圧吸着部材２０を露出させる。次いで、例えば図３，４に示したように、図示しないアームなどの駆動治具により被加工物１０の一面を各吸着口２１に対応させて減圧吸着部材２０の上に載置する。そののち、減圧吸着部材２０により被加工物１０の一面を減圧吸引して保持する。その際、各吸着口２１に接続された図示しない吸引源のゲージ圧は、例えば、−８０ｋＰａ〜−９０ｋＰａ程度とすることが好ましい。
【００２９】
続いて、例えば、図５，６に示したように、図示しないアームなどの駆動治具により押圧部材３０の他方を回転させて閉め、各被加工物１０の他面を減圧吸着部材２０に向かって押圧する。その際、減圧吸着部材２０により各被加工物１０を減圧吸引して保持しているので、各被加工物１０の位置ずれが防止される。そののち、例えば、図示しないアームなどの駆動治具により押圧部材３０の他方をロック部材４２により固定する。これにより、各被加工物１０は、減圧吸引部材２０と押圧部材３０とにより強固に保持される。
【００３０】
次いで、図示しない切断部材を貫通部３２および切断溝２２に沿って移動させ、貫通部３２を貫通して、各被加工物１０をそれぞれ長さ方向において複数に分割するように切断する。その際、各被加工物１０は、減圧吸引部材２０と押圧部材３０とにより強固に保持されているので、位置ずれを防止しつつ、簡単に切断することができる。なお、被加工物１０を切断する際には、各被加工物の下端と支持枠１１の下端との間まで切断することが好ましい。被加工物１０を切断後に、支持枠１１を完全には切断されていない状態で残すことができるので、支持枠１１を容易に回収することができるからである。
【００３１】
そののち、例えば、図示しないアームなどの駆動治具により押圧部材３０の他方を持ち上げて取り外す。図１１及び図１２は、被加工物１０を切断した後の状態を表す斜視図である。その際、減圧吸着部材２０により各被加工物１０を減圧吸引して保持しているので、各被加工物１０の位置ずれが防止される。続いて、例えば、減圧吸着部材２０による吸引を止め、図示しない駆動治具により切断した各被加工物１０を回収する。そののち、例えば、図示しない駆動治具により、例えば図１３に示した被加工物１０を切断した後の支持枠１１を回収する。
【００３２】
このように、本実施の形態によれば、各被加工物１０を減圧吸引するための吸着口２１が、各被加工物１０に対応して、長さ方向および配列方向にそれぞれ複数設けられると共に、長さ方向において隣接する各吸着口２１の間には、各被加工物１０を切断するための切断溝２２が設けられた減圧吸着部材２０と、各被加工物１０を減圧吸着部材２０に向かって押圧し、各被加工物１０を切断するための貫通部３２を有する押圧部材３０とを備えるようにしたので、減圧吸着部材２０により位置ずれを防止しつつ、押圧部材３０により強固に固定することができる。よって、安定して容易に被加工物を切断することができる。
【００３３】
また、吸着口２１を各被加工物１０に対応して、長さ方向および配列方向にそれぞれ複数設けるようにしたので、切断後に押圧部材３０を取り外す際にも、各被加工物１０を個別に吸着して保持することができる。よって、例えば、被加工物１０が非常に薄かったり軽かったりしても、押圧部材３０を取り外した時に切断した被加工物１０の位置がずれてしまうことを防止することができ、切断した被加工物１０を容易に回収することができる。
【００３４】
更に、吸着口２１を囲むようにＯリング２４を設け、Ｏリング２４の一部が着座面２３よりも吸着側に突出するようにしたので、吸着力を高めることができ、より強固に被加工物１０を保持することができる。従って、本実施の形態によれば、接着剤により接着する工程及び接着剤を洗浄する工程が不要となり、工程を簡素化することができると共に、コストを低減することができる。
【００３５】
加えて、吸着口２１には、吸引源に対して接続される複数の吸引孔２９を連通して設けるようにすれば、吸着力を高めることができ、より強固に被加工物１０を保持することができる。
【００３６】
更にまた、押圧部材３０の押圧面３１に緩衝部材３３を設けるようにすれば、より強固に被加工物１０を保持することができる。
【００３７】
加えてまた、被加工物１０を切断する際に、被加工物１０の下端と支持枠１１の下端との間まで切断するようにすれば、被加工物１０を切断後に、支持枠１１を完全には切断されていない状態で残すことができる。よって、支持枠１１の回収を容易とすることができる。
【００３８】
（第２の実施の形態）
第２の実施の形態に係る加工治具１００は、押圧部材１３０の構成が一部異なることを除き、他は第１の実施の形態に係る加工治具１と同様の構成を有している。よって、第１の実施の形態と同様の構成要素には、同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００３９】
図１４は、本発明の第２の実施の形態に係る加工治具１００を表わす斜視図であり、図１５は、加工治具１００の一部を拡大した斜視図、図１６は、加工治具１００を他方から見た斜視図である。また、図１７から図２２は、この加工治具１００に、被加工物１０を配置した斜視図であり、図１７および図１８は、押圧部材１３０を開いて被加工物１０を減圧吸着部材２０の上に載置した状態を表し、図１９および図２０は、被加工物１０を載置して押圧部材１３０を閉めた状態を表す、図２１および図２２は、被加工物１０を切断した後に押圧部材１３０を開いた状態を表している。
【００４０】
押圧部材１３０は、例えば、貫通部３２の長さ方向に沿った両脇に、支持枠１１を押さえるための支持枠押圧部１３５が設けられている。被加工物１０をより安定して固定するためである。押圧部材１３０の支点４１と反対側には、例えば、押圧部材１３０を開閉する際に把持するためのピン１３６が両脇から突出するように設けられている。また、押圧面３１および当接面３４には、第１の実施の形態で説明した緩衝部材３３と同様の緩衝部材１３３が配設されている。緩衝部材１３３の表面には、溝１３３Ａが設けられていることが好ましい。更に、緩衝部材１３３の表面は荒らされていることが好ましく、溝１３３Ａを設けると共に表面を荒らすようにしてもよく、溝１３３Ａを設けずに表面を荒らすようにしてもよい。緩衝部材１３３に被加工物１０が吸着され、押圧部材１３０を持ち上げて取り外す際に、被加工物１０が一緒に持ち上げられてしまうことを防止するためである。なお、緩衝部材１３３は、支持枠押圧部１３５の支持枠１１との対向面１３４にも配設されていることが好ましい。他は、第１の実施の形態の押圧部材３０と同様の構成を有している。
【００４１】
このように本実施の形態によれば、押圧部材１３０の両脇に支持枠１１を押さえるための支持枠押圧部１３５を設けるようにしたので、被加工物１０をより安定して固定することができる。また、緩衝部材１３３の表面に溝１３３Ａを設けるようにすれば、または、緩衝部材１１の表面を荒らすようにすれば、緩衝部材１３３と被加工物１０との吸着を防止することができ、押圧部材１３０を安定して取り外すことができる。
【００４２】
（第３の実施の形態）
第３の実施の形態に係る加工治具２００は、減圧吸着部材２２０の構成が一部異なることを除き、他は第１の実施の形態に係る加工治具１または第２の実施の形態に係る加工治具１００と同様の構成を有している。よって、第１の実施の形態または第２の実施の形態と同様の構成要素には、同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００４３】
図２３は、本発明の第３の実施の形態に係る加工治具２００を表わす断面斜視図であり、切断溝２２および貫通部３２に沿った断面構造を表している。減圧吸着部材２２０は、例えば、切断溝２２に切削加工水を供給するための給水路２２１を備えている。給水路２２１は、例えば、被加工物１０の長さ方向（Ｘ方向）に伸長されて配列方向（Ｙ方向）に複数設けられている。給水路２２１は、図示しない切削加工水の供給源に対して連通されると共に、切断溝２２に対して連通されている。これにより、この加工治具２００では、加工時に、被加工物１０に対して減圧吸着部材２２０の側からも切削加工水を供給することができるようになっている。他は、第１の実施の形態および第２の実施の形態の減圧吸着部材２０と同様の構成を有している。
【００４４】
このように本実施の形態によれば、減圧吸着部材２２０に切削加工水を供給するための給水路２２１を設けるようにしたので、被加工物１０に対して減圧吸着部材２２０の側からも切削加工水を供給することにより、加工時に発生する切削粉の析出を防ぐことができる。また、被加工物１０をより効果的に冷却することができると共に、被加工物１０の減圧吸着部材２２０の側における切断バリの発生を抑制することができる。
【実施例】
【００４５】
（実施例１〜４）
図１〜８に示した加工治具１について、プラスチックよりなる試験片を用い、真空圧源で試験片を減圧吸引して吸着実験を行った。その際、各実施例でＯリング２４の材質を変化させ、実施例１ではシリコンゴム（シリコン５０°）、実施例２ではシリコンゴム（シリコン７０°）、実施例３ではフッ素ゴム、実施例４ではニトリルブタジエンゴムよりなるものをそれぞれ用いた。
【００４６】
実施例１〜４のいずれにおいても、３ｍｍ×４ｍｍ×１０ｍｍの個別試験片と、３ｍｍ×６４ｍｍ×１０ｍｍの長尺試験片とを用い、着座面２３に対して垂直方向または平行方向に引張って剥離する荷重をそれぞれ調べた。なお、個別試験片は切断した後の個々の被加工物１０に該当し、長尺試験片は切断する前の被加工物１０に該当し、個別試験片１５個分（切り代はそれぞれ約０．２５ｍｍ）である。試験はそれぞれ１０回ずつ行い、平均値を算出した。得られた結果を表１〜４に示す。
【００４７】
【表１】
2011051087.tif 000003
【００４８】
【表２】
2011051087.tif 000004
【００４９】
【表３】
2011051087.tif 000005
【００５０】
【表４】
2011051087.tif 000006
【００５１】
比較例として、Ｏリング２４に代えて、着座面２３の表面に、シリコンゴム（シリコン５０°）よりなるゴム板を貼り付けたことを除き、実施例１〜４と同様にして吸着実験を行った。但し、比較例では、試験を５回繰り返したところで、貼り付けたゴム板が剥がれてしまったので、試験回数は５回とした。得られた結果を表１〜４に合わせて示す。
【００５２】
表１に示したように、比較例では、５回の試験回数でゴム板が剥離してしまったのに対して、本実施例によれば、試験を１０回繰り返しても剥離荷重の低下は見られなかった。また、表１〜４に示したように、長尺試験片については、垂直方向及び平行方向について共に、本実施例の方が比較例よりも大きな剥離荷重が得られた。更に、個別試験片については、垂直方向及び平行方向について共に、本実施例においても十分な剥離荷重が得られ、Ｏリング２４の材質によっては比較例よりも大きな剥離荷重が得られた。
【００５３】
すなわち、Ｏリング２４を用いるようにすれば、被加工物１０を強固に保持することができると共に、切断した後の被加工物１０についても、十分保持することができ、かつ、
劣化が少ないので繰り返し使用することができることがわかった。
【００５４】
以上、実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、種々変形可能である。例えば、上記実施の形態では、各被加工物１０が支持枠１１に対して傾斜して支持されている場合について説明したが、各被加工物１０が支持枠１１と平行に支持されている場合についても、本発明を適用することができる。その場合、加工治具１の吸着口２１、着座面２３、及び押圧面３１は、被加工物１０に対応して、水平に形成される。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
被加工物を切断加工する際に用いることができる。
【符号の説明】
【００５６】
１…加工治具、１０…被加工物、１１…支持枠、１２…マーク、２０…減圧吸着部材、２１…吸着口、２２…切断溝、２３…着座面、２４…Ｏリング、２５…配設溝、２６…突起部、２７…吸引通路、２８…狭窄部材、２９…吸引孔、３０…押圧部材、３１…押圧面、３２…貫通部、３３…緩衝部材、３４…当接面、４０…台座、４１…支点、４２…ロック部材、１００…加工治具、１３０…押圧部材、１３３…緩衝部材、１３３Ａ…溝、１３４…対向面、１３５…支持枠押圧部、１３６…ピン、２００…加工治具、２２０…減圧吸着部材、２２１…給水路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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