(57)【要約】【課題】  外観と発電効率に優れた太陽電池モジュールを製造すること。【解決手段】  基板と保護材との間に充填材を介して太陽電池素子を配したモジュール積層体をプレスする太陽電池モジュールの製造方法において、前記充填材を融点以上の温度に上昇させる第１工程と、前記プレスの圧力を加速度的に上昇させる第２工程と、前記圧力を保持する第３工程と、前記第３工程で保持した圧力から減圧していく第４工程と、前記第３工程よりも低い圧力で、前記第３工程よりも長い時間保持する第５工程とを含むこと。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と保護材との間に充填材を介して太陽電池素子を配したモジュール積層体をプレスする太陽電池モジュールの製造方法において、
前記充填材を融点以上の温度に上昇させる第１工程と、
前記プレスの圧力を加速度的に上昇させる第２工程と、
前記圧力を保持する第３工程と、
前記第３工程で保持した圧力から減圧していく第４工程と、
前記第３工程よりも低い圧力で、前記第３工程よりも長い時間圧力を保持する第５工程とを含むことを特徴とする太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項２】
前記第１工程から第５工程にかけて前記充填材の温度を増加させることを特徴とする請求項１に記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項３】
前記第４工程において前記充填材の圧力を加速度的に減少させることを特徴とする請求項１または２に記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項４】
前記第３工程から第４工程にかけて前記充填材の温度を加速度的に上昇させることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項５】
前記第５工程の圧力は前記第３工程の圧力の５〜２５％であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項６】
前記第５工程の時間は前記第３工程の時間の１．５〜２．５倍であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載の太陽電池モジュールの製造方法を用いて前記モジュール積層体をプレスしたことを特徴とする太陽電池モジュール。
【請求項８】
太陽電池素子と、該太陽電池素子を表裏から挟持する、受光面側に位置する第一の充填材と、非受光面側に位置する第二の充填材とを備えた太陽電池モジュールであって、
前記太陽電池素子の受光面上の領域外に位置し、前記第二の充填剤材の一部が前記第一の充填材内に及ぶ楔部を有することを特徴とする太陽電池モジュール。
【請求項９】
前記太陽電池素子の側部において、前記第二の充填材が前記第一の充填材内に張り出していることを特徴とする請求項８に記載の太陽電池モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は太陽電池モジュールの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池モジュールは、一般に、透光性基板、受光面側充填材、導線により電気的に相互に接続された複数個の太陽電池素子、裏面側充填材、および裏面保護材の順に積層構造を形成している。
【０００３】
この積層構造（モジュール積層体）は、太陽電池モジュールの製造工程におけるラミネート工程で、モジュール積層体をラミネータのヒーター盤上に載置し、ハウジングを閉じて減圧した後、モジュール積層体を加圧しつつ、ヒーター盤を加熱することによって一体化が行われていた。
【０００４】
しかし、従来のラミネート工程では、加圧中に太陽電池モジュールの周縁部から充填材が流出して、太陽電池モジュールの周縁部の充填材厚さが薄くなりやすいという問題があった。
【０００５】
そこで前記周縁部に十分な厚さの充填材を有する太陽電池モジュールを製造することを目的として、モジュール積層体を枠体内で加圧及び加熱する太陽電池モジュールの製造方法が開示されている（例えば、特許文献１）。
【０００６】
さらにラミネート工程における太陽電池素子の割れを防止するために、モジュール積層体を低圧で長時間押圧する太陽電池モジュールの製造方法が開示されている（例えば、特許文献２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２０００−３１５１９号公報
【特許文献２】特開２００８−２９４４８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１に記載の太陽電池モジュールの製造方法では、昇温後に最大圧力を加える時間がラミネート工程の約半分を占めており、図５、図７に示すように太陽電池素子の受光面側に着色された裏面側充填材が回りこんで、太陽電池素子の外観を不揃いにするとともに、太陽電池素子の受光面側への入射光を遮り、発電効率が低下してしまうという問題があった。
【０００９】
また、特許文献２に記載の太陽電池モジュールの製造方法では、太陽電池素子の割れ防止を優先し、ラミネート工程を長時間低圧で加圧する方法にしたため、生産性が低く、実際の製造に適しないという問題があった。
【００１０】
本発明は、上述した課題に鑑みて成されたものであり、その目的は外観と発電効率に優れた太陽電池モジュールの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の太陽電池モジュールの製造方法は、基板と保護材との間に充填材を介して太陽
電池素子を配したモジュール積層体をプレスする太陽電池モジュールの製造方法において、前記充填材を融点以上の温度に上昇させる第１工程と、前記プレスの圧力を加速度的に上昇させる第２工程と、前記圧力を保持する第３工程と、前記第３工程で保持した圧力から減圧していく第４工程と、前記第３工程よりも低い圧力で、前記第３工程よりも長い時間圧力を保持する第５工程とを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の太陽電池モジュールの製造方法によれば、基板と保護材との間に充填材を介して太陽電池素子を配したモジュール積層体をプレスする太陽電池モジュールの製造方法において、前記充填材を融点以上の温度に上昇させる第１工程と、前記プレスの圧力を加速度的に上昇させる第２工程と、前記圧力を保持する第３工程と、前記第３工程で保持した圧力から減圧していく第４工程と、前記第３工程よりも低い圧力で、前記第３工程よりも長い時間圧力を保持する第５工程とを含むことにより、太陽電池モジュールを低い負荷と短いタクトタイムで製造することができるとともに、外観と発電効率に優れた太陽電池モジュールを製造することができる。
【００１３】
また、本発明の太陽電池モジュールによれば、太陽電池素子と、該太陽電池素子を表裏から挟持する受光面側の第一の充填材と、非受光面側の第二の充填材とを備えた太陽電池モジュールであって、前記受光面上の領域外で、前記第二の充填材の一部が前記第一の充填材内に及ぶ楔部を有することで、楔効果により前記受光面側充填材と前記裏面側充填材との剥離を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の太陽電池モジュールの製造方法を示す側断面図であり、（ａ）は第１工程を示す側断面図であり、（ｂ）は第２工程、第３工程を示す側断面図であり、（ｃ）は第４工程、第５工程を示す側断面図である。
【図２】太陽電池モジュールの分解斜視図であり、（ａ）は複数の太陽電池素子を接続導体で接続して成る太陽電池マトリクスを示す斜視図、（ｂ）は透光性基板、受光面側充填材、太陽電池マトリクス、裏面側充填材及び裏面シートから成るモジュール積層体の積層状態を説明する分解斜視図である。
【図３】太陽電池モジュールを示す模式図であり、（ａ）は受光面側から見た平面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ’断面方向から見た側断面図である。
【図４】本発明の太陽電池モジュールの製造方法における、温度と圧力を示すグラフである。
【図５】従来の太陽電池モジュールを示す模式図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）をＢ−Ｂ’断面から見た側断面図である。
【図６】太陽電池モジュールの一部の拡大断面図である。
【図７】従来の太陽電池モジュールの一部の拡大断面図である。
【図８】（ａ）は太陽電池モジュールの外観を示す図面代用写真であり、（ｂ）は従来の太陽電池モジュールを示す図面代用写真である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の太陽電池モジュールの製造方法の一実施形態は、基板と保護材との間に充填材を介して太陽電池素子を配したモジュール積層体をプレスする太陽電池モジュールの製造工程において、充填材を融点以上の温度に加熱する第１工程と、プレスの圧力を加速度的に増加させる第２工程と、上昇させた圧力を保持する第３工程と、該第３工程で保持した圧力から減圧していく第４工程と、第３工程における圧力よりも低い圧力で、第３工程よりも長い時間圧力を保持する第５工程とを含むものである。
【００１６】
まず、第１工程では充填材の温度を融点以上にする。
【００１７】
第２工程では、加速度的に圧力を増大させることから、高い圧力で過渡的にプレスしている時間を相対的に短くできる。また、第２工程ではプレスする圧力の増大が緩やかであること、充填材２２の流動性もまだ低いことから、モジュール積層体内を脱気するまで隙間を残すことができる。
【００１８】
第３工程では圧力でプレスすることで、被着面及び充填材２２の化学的相互作用による一次結合力や物理的相互作用による分子間力を高めるとともに、被着面全体へ充填材２２を流動させることによって、接着力を高めることができる。また、第３工程では充填材２２の流動性が高い時に大きな圧力でプレスする時間を短縮し、太陽電池モジュール端部での充填材２２の形状の崩れを抑制して、太陽電池素子２５の受光面側への裏面側充填材２２ｂの回り込みを低減することができ、外観と発電効率に優れた太陽電池モジュール３０を製造することができる。
【００１９】
第４工程では第３工程の圧力から減圧していくことで、第４工程での充填材の温度上昇前に過度な圧力を低下させることができる。
【００２０】
第５工程では第３工程よりも低い圧力を、第３工程よりも長い時間保持することで、第３工程の高い圧力での時間を低減することができる。
【００２１】
これにより、全体として低い負荷と短いタクトタイムで太陽電池モジュールを製造することができる。
【００２２】
さらに、本発明の太陽電池モジュールの製造方法は、第１工程から第５工程にかけて充填材の温度を上昇させることが好ましい。
【００２３】
これにより、温度の昇降の追従の遅さの問題はなくなり、温度上昇に合わせた圧力制御をし易くなるので、タクトタイム向上になる。
【００２４】
さらに、本発明の太陽電池モジュールの製造方法は、第４工程において圧力を加速度的に減少させることが好ましい。
【００２５】
これにより、第４工程での充填材２２の温度上昇で流動性が上がりきる前に、モジュール積層体２０に過度な圧力がかからないように、より迅速に圧力を低下させることができる。
【００２６】
さらに、本発明の太陽電池モジュールの製造方法は、第３工程から第４工程にかけて充填材の温度を加速度的に上昇させることが好ましい。
【００２７】
これにより、第５工程で充填材２２を被着面全体に流動させ得る温度になるように、より迅速に温度を上昇させることができる。
【００２８】
さらに、本発明の太陽電池モジュールの製造方法は、第５工程における圧力は第３工程における圧力の５〜２５％であることが好ましい。
【００２９】
この範囲であれば、充填材２２の流動性が高い状態で、過度な圧力を掛けることなくモジュール積層体２０の間隙に、充填材２２を十分に被着面全体に流動させて供給することができる。
【００３０】
本発明の太陽電池モジュールの製造方法は、第５工程において圧力を保持する時間は第
３工程において圧力を保持する時間の１．５〜２．５倍であることが好ましい。
【００３１】
この範囲であれば、低い圧力で充填材２２を十分に被着面全体に流動させて供給することができる。
【００３２】
そして、本発明の太陽電池モジュールは、上記太陽電池モジュールの製造方法を用いてモジュール積層体をプレスすることにより得られる。
【００３３】
これにより、外観と発電効率に優れた太陽電池モジュールを得ることができる。
【００３４】
また、本発明の太陽電池モジュールによれば、太陽電池素子と、該太陽電池素子を表裏から挟持する、受光面側に位置する第一の充填材と、非受光面側に位置する第二の充填材とを備えた太陽電池モジュールであって、太陽電池素子の受光面上の領域外に位置し、第二の充填材の一部が第一の充填材内に及ぶ楔部を有するものである。
【００３５】
これにより、楔部３１である受光面側充填材２２ａが、裏面側充填材２２ｂに食い込んでいるので、楔効果により受光面側充填材２２ａと裏面側充填材２２ｂとの剥離を低減した太陽電池モジュールを得ることができる。
【００３６】
また、適切にラミネートされた状態であるか否かについて、楔部３１が食い込んでいる長さ、幅、範囲を管理することで制御できる。
【００３７】
検査する方法としては、破壊検査をして断面視してもよいが、楔部３１を受光面側の斜め方向からＣＣＤカメラで観察することで可能である。
【００３８】
さらに、太陽電池素子の側部において、第二の充填材が第一の充填材内に張り出していることが好ましい。
【００３９】
これにより、太陽電池素子の側部３２が第一の充填材と第二の充填材との剥離によって発生した場合の間隙に晒されて侵食されることがない。
【００４０】
以下、本発明の太陽電池モジュールの製造方法について、図４を用いて説明する。
【００４１】
（第１工程）
図１は、本発明の太陽電池モジュールの製造方法における第１工程のラミネータ１の側断面図であり、このラミネータ１内にモジュール積層体２０が載置されている。なお、このモジュール積層体２０は、図２に示すように、透光性基板２１、受光面側充填材２２ａ、太陽電池素子２５を導体２６により電気的に一体化した太陽電池マトリクス２３、裏面側充填材２２ｂ、および裏面保護材２４の順で構成されている。特に裏面側充填材２２ｂは、外観や発電効率を高める観点から、着色されていてもよい。
【００４２】
まず、図１（ａ）に示すように、このモジュール積層体２０を透光性基板２１が下になるように、ラミネータ１の下部ハウジング３内の加熱プレート８上に載置し、上部ハウジング２を下部ハウジング３側へ下降させてハウジングを閉じ、そして、モジュール積層体２０を充填材２２の融点温度以上まで加熱しながら全体を減圧する。例えば充填材２２にＥＶＡ（エチレン・酢酸ビニル共重合樹脂）を用いた場合、その融点は約６０℃〜７５℃であり、充填材２２全体の温度が融点温度以上となるように、モジュール積層体２０を好ましくは７５℃〜８５℃まで加熱すると良い。その他の充填材としてはポリオレフィンをベースにした充填材などを用いても良い。
【００４３】
なお、透光性基板２１は、例えば白板強化ガラスやアクリル板、ポリカボネート板などを用いることができる。また裏面保護材２４は、例えばＰＥＴ樹脂シートやＰＥＮ樹脂シート、ＰＶＦ樹脂シート、ガラスあるいはそれを積層したものを用いることができる。
【００４４】
（第２工程）
次に、上部真空領域５の減圧を停止して圧力を保持すると、図１（ｂ）に示すように、上部真空領域５と真空領域６との間に圧力差が生じ、ダイアフラムシート４が膨張してモジュール積層体２０を押圧する。
【００４５】
ここで好ましくは、押圧の圧力を加速度的（指数関数的）に速度を上昇させる、すなわち、第２工程の前半では、押圧の圧力を緩やかに増大させ、後半では急激に増大させるようにする。
【００４６】
第２工程の前半では圧力の増大が緩やかであることから、透光性基板２１、充填材２２、太陽電池マトリクス２３、裏面保護材２４の間を空気分子が通れる隙間が多く残存して、モジュール積層体２０中の気泡を真空領域６へ脱気できるとともに、溶融した充填材２２を太陽電池マトリクス２３の隙間や凹凸などのマクロな形状に流しこむことができる。
【００４７】
第２工程の後半では高い押圧力を加えることで、化学的相互作用による一次結合力や物理的相互作用による分子間力を高めるとともに、被着材の面内バラツキへ充填材２２を流動させて投錨効果を生じせしめ接着力を高めることができる。また、第２工程の後半の押圧の圧力の増大が急激であることから、高い押圧の圧力が加わっている時間を短くし、モジュール積層体２２の角部の充填材の流動を抑制することができる。
【００４８】
このように、第２工程の後半で高い温度で充填材２２の流動性が高くなっても、高い圧力が加わる時間が短いことから、モジュール積層体２０の端部の充填材２２が水平方向へ流動しづらい。
【００４９】
よって図７に示すような着色された裏面側充填材２２ｂが、太陽電池素子２５の受光面側を覆い発電を妨げることを図６に示すように低減できる。
【００５０】
第２工程の押圧力は、充填材２２の仕様により異なるが、例えばＥＶＡ（エチレン・酢酸ビニル共重合樹脂）を用いた場合、最大で４５ｋＰａ〜２００ｋＰａにするとよい。
【００５１】
また、第２工程におけるモジュール積層体２０の温度は、７５℃〜１１０℃で増加することが好ましい。
【００５２】
また、第２工程の押圧力の保持時間は、充填材２２が太陽電池素子２５の受光面側に回り込んだり、モジュール積層体２０の周囲にはみ出してしまうことがないように、１３０〜２５０秒であることが好ましい。
【００５３】
（第３工程）
次に、上部真空領域５の昇圧を停止する。
【００５４】
もし第２工程でモジュール積層体の層間の一次結合力が十分な場合は、直接第４工程に移行して押圧力を低下させてもよい。
【００５５】
もし第２工程でモジュール積層体の層間の一次結合力が不十分な場合は、一次結合力が高まるように第３工程として押圧力を保持するとよい。
【００５６】
保持時間は、裏面側充填材２２ｂが太陽電池素子２５の受光面側を覆わないようにする観点から、接着力を確保する最低限の時間であることが好ましく、１００秒以下であることが好ましい。
【００５７】
（第４工程）
次に、上部真空領域５を減圧し、図１（ｃ）に示すようにダイアフラムシート４を収縮させて、第３工程の圧力よりもモジュール積層体２０への押圧力を低下させる。
【００５８】
（第５工程）
次に、モジュール積層体２０を第３工程よりも低い押圧力を加えた状態で、第３工程よりも長い時間保持することにより、透光性基板２１、太陽電池マトリクス２３、裏面保護材２４と充填材２２とを均一に安定するミクロな形状にまで馴染ませて、一次結合力、分子間力を高めて接着力を高めることができる。
【００５９】
第５工程を設けたことにより、第３工程での高い圧力で押圧する時間を短縮することができる。第５工程の押圧力は、第３工程の４〜２５％であることが好ましく、具体的には２ｋＰａ〜５０ｋＰａの圧力で押圧するとよい。
【００６０】
上記の第１工程から第５工程まで経た後に、上部真空領域５および下部真空領域６を大気圧に戻して、上部ハウジング２を開き、ラミネートされたモジュール積層体２０を取り出す。
【００６１】
このラミネートされたモジュール積層体２０を架橋炉で充填材２２の架橋度が９０％以上となるまで加熱する。加熱温度は１２０℃から１５０℃で保持することが好ましい。
【００６２】
さらに第５工程の後、このモジュール積層体２０をラミネータによって、１００〜１２０℃で、第１工程〜第５工程の合計時間以内、好ましくは５〜１０分間保温してから、架橋炉で充填材２２の架橋度が９０％以上となるまで温度をさらに上げて加熱するとより好ましい。
【００６３】
仮に脱気が十分であるものの充填材２２の流動性が十分に高まらず、太陽電池素子２５の周囲を十分に充填材２２が回りこめていない場合であっても、第５工程後の８０℃〜１２０℃で保温する時間を調整して充填材２２を流動させることで、太陽電池素子２５の周囲を充填材２２で間隙を密に封止することができる。
【００６４】
あるいは、第５工程の後、前述のラミネータに替えて、このモジュール積層体２０をトンネル型の架橋炉によって、８０〜１２０℃で、第１工程〜第５工程の合計時間以内、好ましくは３〜１０分間で保持してから、充填材２２の架橋度が９０％以上となるまで温度をさらに上げて保温してもよい。
【００６５】
前記同様に太陽電池素子２５の周囲を充填材２２で密に封止した太陽電池モジュールを得ることができる。
【００６６】
その後、非受光面側にポリフェニレンエーテル樹脂等からなる端子ボックス２７を接着剤で固定して、太陽電池モジュールが製造される。
【実施例】
【００６７】
本発明の効果を確認する為に、本発明の製造方法を用いた太陽電池モジュールと、第２工程から第５工程まで単調に押圧力を増す従来方法で製造した太陽電池モジュールとを準備して比較を行った。
【００６８】
本発明の実施例において、第１工程では、ラミネータ１内にモジュール積層体２０を透光性基板２１が下になるように、ラミネータ１の下部ハウジング３内の加熱プレート８上に載置し、上部ハウジング２を下部ハウジング３側へ下降させてハウジングを閉じ、そして、モジュール積層体２０を充填材２２であるＥＶＡ（エチレン・酢酸ビニル共重合樹脂）の融点温度以上である８５℃まで加熱しながらハウジング２全体を真空に減圧した。ここで透光性基板２１は白板強化ガラスを用い、裏面保護材２４はＰＥＴ樹脂シートを用いた。
【００６９】
第２工程では、ダイアフラムシート４がモジュール積層体２０を前半では押圧の圧力を緩やかに増大させ後半では急激に増大させて最大で１００ｋＰａとし、モジュール積層体２０の温度は８０℃から１００℃まで増加させ、第３工程での保持時間は８０秒とした。
【００７０】
第４工程では、第３工程の圧力よりもモジュール積層体２０への押圧力を低下させ、第５工程では、１００秒間保持した。第５工程の押圧力は、第３工程の２５％、２５ｋＰａの圧力で押圧した（全所要時間３００秒）。
【００７１】
従来例としては、第１工程までは実施例と同様とし、それ以降に８５℃、２５ｋＰａでの圧力で３００秒間押圧した。
【００７２】
本発明の製造方法を用いた太陽電池モジュールでは、図３、図７（ａ）に示すように太陽電池素子２５の側部３２が裏面側充填材２２ｂに覆われることがなく、太陽電池素子２５の側部３２が直線的外観となり、発電効率を高く維持できることが確認された。
【００７３】
従来の方法で製造した太陽電池モジュールでは、図５、図７（ｂ）に示すように太陽電池素子２５の側部３２の約１．２ｍｍ〜２ｍｍが、回りこんできた着色された裏面側充填材２２ｂで覆われ、太陽電池素子２５の側部３２が蛇行した外観となった。
【００７４】
さらに着色された裏面側充填材２２ｂに覆われてしまい、発電効率が落ちてしまうという問題が見られた。
【００７５】
仮に１５ｃｍ×１５．５ｃｍの太陽電池素子２５を用いて、側部３２に均一に裏面側充填材２２ｂの回りこみが生じた場合、面積比で計算して、太陽電池素子一枚あたりの発電量が約１．６％〜２．６％減少する。
【００７６】
以下、本実施例における充填材２２の流動性の評価として、充填材２２における間隙の有無について評価した結果について説明する。
【００７７】
以下、表１に示す。
【００７８】
【表１】
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【００７９】
試料１〜１０では第５工程の温度と時間の条件を変えて評価した。ここで試料３、８は同条件である。
【００８０】
試料３、４、８、９、１０については間隙のない良好な状態であった。
【００８１】
温度が低すぎると流動性が低いため間隙が残り（試料番号１、２）、温度が高すぎると流動する前に架橋して間隙が残った（試料番号５）。時間が短すぎると間隙が残り（試料６）、時間が長すぎると採算性が悪かった（試料１０）。
【００８２】
次に、試料１１〜２０では第５工程での間隙が見られた試料に対して、後工程の架橋炉での温度と時間の条件を変えて評価した。ここで試料１３、１８は同条件である。
【００８３】
試料１２−１４、１７−２０については間隙のない良好な状態であった。
【００８４】
温度が低すぎると流動性が低いため間隙が残り（試料番号１１）、温度が高すぎると流動する前に架橋して間隙が残った（試料番号１５）。また、時間が短すぎると十分流動できないため間隙が残り（試料番号１６）、時間が長すぎると採算性が悪かった（試料２０）。
【００８５】
次に各プロセスの有効性を検証するために、本実施例の試料３を基準として第１〜５工程の一部の条件を変え、比較例１〜５とした以下の実験を行った。
【００８６】
第１工程での充填材２２の温度が融点未満（６５℃）の試料（比較例１）では、初期段階での充填材２２の流動性が悪く間隙が多く見られた。
【００８７】
また第２工程でのプレスの圧力を直線的に上昇させた試料（比較例２）では、充填材２２の回り込みにムラが発生した。
【００８８】
また第３工程を省いた試料（比較例３）では、流動性が不十分で間隙が多く見られた。
【００８９】
また第５工程で第３工程よりも低い圧力（２５ｋＰａ）で、前記第３工程よりも短い時間（４０秒間）圧力を保持した試料（比較例４）では、ボイドの残留が多く見られた。
【００９０】
第５工程で第３工程よりも高い圧力（１５０ｋＰａ）で、前記第３工程よりも長い時間（１００秒間）圧力を保持した試料（比較例５）では、充填材２２のはみ出しが多く見られた。
【００９１】
以上のように、本発明によれば第１〜５の各工程は有効に作用していることが分かる。
【符号の説明】
【００９２】
１：ラミネータ
２：上部ハウジング
３：下部ハウジング
４：ダイアフラムシート
５：上部真空領域
６：下部真空領域
７：上部真空ポンプ
８：加熱プレート 
１０：下部真空ポンプ
２０：モジュール積層体
２１：透光性基板
２２：充填材
２２ａ：受光面側充填材
２２ｂ：裏面側充填材
２３：太陽電池マトリクス
２４：裏面側保護材
２５：太陽電池素子
２６：導体
２８：フレーム
３０：太陽電池モジュール
３１：楔部
３２：側部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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