(57)【要約】【課題】オーバーフローダウンドロー法によって成形された肉厚５００μｍ以下の薄板ガラスにおいて、一次ジルコン結晶粒子による偏肉の発生を可及的に低減する。【解決手段】成形体１の頂部に形成されたオーバーフロー溝２に溶融ガラスＧｍを流し込むと共に、オーバーフロー溝２から両側に溢れ出た溶融ガラスＧｍを、成形体１の略楔状をなす外側面部４に沿って流下させながら成形体１の下端部で融合一体化させ、肉厚５００μｍ以下の薄板ガラスＧを成形する。この際、成形体１の表面を構成する一次ジルコン結晶粒子の剥離の発生量を抑制するために、成形体１の外表面を流れる溶融ガラスＧｍの粘度を、成形体１の外表面全域で３０００ｄＰａ・ｓ以上３００００ｄＰａ・ｓ以下に制御する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
成形体の頂部に形成されたオーバーフロー溝に溶融ガラスを流し込むと共に、該オーバーフロー溝から両側に溢れ出た溶融ガラスを、前記成形体の略楔状をなす外側面部に沿って流下させながら前記成形体の下端部で融合一体化させ、肉厚５００μｍ以下の薄板ガラスを成形する薄板ガラス製造方法において、
前記成形体の外表面を流れる溶融ガラスの粘度を、前記成形体の外表面全域で３０００ｄＰａ・ｓ以上３００００ｄＰａ・ｓ以下に制御することを特徴とする薄板ガラス製造方法。
【請求項２】
前記溶融ガラスの粘度の制御が、溶融ガラスのガラス組成と温度の少なくとも一方を調整することによって行われることを特徴とする請求項１に記載の薄板ガラス製造方法。
【請求項３】
成形された薄板ガラスにおいて、前記成形体の表面から剥離した一次ジルコン結晶粒子による欠陥数が、１ｍ2当たり２個以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載の薄板ガラス製造方法。
【請求項４】
オーバーフローダウンドロー法によって成形された肉厚が５００μｍ以下の薄板ガラスであって、一次ジルコン結晶粒子による欠陥数が１ｍ2当たり２個以下であることを特徴とする薄板ガラス。
【請求項５】
フラットパネルディスプレイ用のガラス基板であることを特徴とする請求項４に記載の薄板ガラス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、オーバーフローダウンドロー法により薄板ガラスを製造するための技術の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用のガラス基板に代表されるように、各種分野に利用される薄板ガラスには、表面欠陥やうねりに対して厳しい製品品位が要求されるのが実情である。
【０００３】
そこで、この種の薄板ガラスの製造方法としては、平滑で欠陥のないガラス表面を得るために、オーバーフローダウンドロー法が利用される場合がある。
【０００４】
この製造方法は、成形体の頂部のオーバーフロー溝に溶融ガラスを流し込み、このオーバーフロー溝から両側に溢れ出た溶融ガラスを成形体の頂部平面部を介して、略楔状の成形体の外側面部に沿って流下させながら前記成形体の下端部で融合一体化し、１枚の薄板ガラスを連続成形するというものである（例えば、特許文献１を参照）。
【０００５】
この製造方法の特徴は、成形された薄板ガラスの表裏両表面が、成形過程において、成形体のどの部位とも接触せずに成形されるので、非常に平面度がよく平滑で傷等の欠陥のない火造り面となる点にある。
【０００６】
そのため、例えば、従来の主流であった肉厚約７００μｍの液晶ディスプレイ用のガラス基板を当該製造方法によって製造した場合には、要求される製品品位を十分に満足し得る高い表面精度を確保することが可能であった。
【０００７】
以上のようなオーバーフローダウンドロー法に利用される成形体は、高温の溶融ガラスと接することから、高い耐熱性が要求される。そのため、成形体としては、高い耐熱性を有するデンスジルコン製のものが用いられる場合が多い。
【０００８】
その一方で、この種のデンスジルコン製の成形体を用いて薄板ガラスを成形する場合、薄板ガラスの肉厚が薄肉になるに連れて、薄板ガラスに偏肉が生じるという問題がある。
【０００９】
なお、特許文献２には、プレス加工されたジルコン耐火物からなる成形体（アイソパイプ）を用い、オーバーフローダウンドロー法により板ガラスを成形した場合に、板ガラス中にジルコンに由来する欠陥が発生するのを防止するために、成形体の外表面を流れる溶融ガラスの温度を調整する手法が開示されている。
【００１０】
この特許文献２において問題とする欠陥は、溶融ガラス内に拡散したジルコニアが、成形体の下端部において溶融ガラスから析出・成長したジルコン結晶粒子、すなわち、二次ジルコン結晶粒子である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００６−２９８７３６号公報
【特許文献２】特表２００５−５１４３０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、仮に上記の二次ジルコン結晶粒子の発生を抑制しても、依然として薄板ガラスの偏肉が発生する事態が生じており、薄板ガラスの偏肉の発生原因の解明が望まれていた。
【００１３】
そこで、本願発明者等は、鋭意研究を重ねた結果、薄板ガラスの偏肉の発生原因が、二次ジルコン結晶粒子に起因して生じるものではなく、デンスジルコン製の成形体の製造時からその表面に存在する無数の一次ジルコン結晶粒子に由来するものであるという知見を得るに至った。この一次ジルコン結晶粒子は、成形体から溶融ガラス中に拡散したジルコニアが溶融ガラスから析出・成長したジルコン結晶粒子（二次ジルコン結晶粒子）ではなく、デンスジルコン耐火物を構成するジルコン粒子の剥離によって形成される。
【００１４】
詳述すると、デンスジルコン製の成形体であっても、長期間に亘り薄板ガラスの製造を続けると、溶融ガラスとの反応が避けられない。その結果、成形体表面の侵食によって、一次ジルコン結晶粒子が成形体表面から剥離する。このように一次ジルコン結晶粒子が剥離すると、成形体の外表面を流れる溶融ガラスに混入し、成形体の下端で融着一体化するときに、融着一体化された溶融ガラスの肉厚方向の中心（図３に一点鎖線で示す融着部Ｘ）に埋設される。そのため、この溶融ガラスを冷却して得られる薄板ガラスの肉厚方向の中心にも一次ジルコン結晶粒子が埋設された状態で残存する。
【００１５】
この一次ジルコン結晶粒子の大きさは、５〜３０μｍ程度であるため、図３（ａ）に示すように、薄板ガラスＧの肉厚が７００μｍ程度の場合には、薄板ガラスＧの肉厚に対して一次ジルコン結晶粒子６が相対的に小さく、一次ジルコン結晶粒子６による薄板ガラスＧの肉厚変動は実質的に生じ得ない。これに対して、図３（ｂ）に示すように、薄板ガラスＧの肉厚が５００μｍ以下に薄肉化されると、薄板ガラスＧの肉厚に対して一次ジルコン結晶粒子６が相対的に大きく、薄板ガラスＧの肉厚変動が表れるようになり、薄板ガラスＧに一次ジルコン結晶粒子６に由来する膨出部７が形成される。
【００１６】
このことは、２０μｍの一次ジルコン結晶粒子が埋設されたときの板ガラスの肉厚と膨出部高さの関係を表した図４からも確認できる。すなわち、同図に示すように、薄板ガラスの肉厚が小さくなるに連れて、一次ジルコン結晶粒子に由来する薄板ガラスの表面の膨出部高さは増大し、２０μｍ程度の一次ジルコン結晶粒子が埋設されるだけで、肉厚５００μｍの薄板ガラスの表面の膨出部高さは約１．０μｍとなり、更に薄肉化が進んだ肉厚５０μｍの薄板ガラスでは表面の膨出部高さは約６μｍにも達し、表面の偏肉が品質上の問題となる。
【００１７】
したがって、肉厚５００μｍ以下の薄板ガラスでは、一次ジルコン結晶粒子による偏肉が大きくなって、要求される製品品位を確保することが困難となる。特に、ＦＰＤ用のガラス基板の場合には、ディスプレイの画質に大きく影響するガラス基板の平面度に対する要求品位は必然的に厳格となるため、平面度に悪影響を与える偏肉が一次ジルコン結晶粒子によって大きくなると、要求される製品品位を確保することがより一層困難となる。
【００１８】
本発明は、オーバーフローダウンドロー法によって成形された肉厚５００μｍ以下の薄板ガラスにおいて、一次ジルコン結晶粒子による偏肉の発生を可及的に低減することを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本願発明者等は、鋭意研究を重ねた結果、成形体の外表面を構成する一次ジルコン結晶粒子の剥離の発生量が、成形体の外表面を流れる溶融ガラスの粘度に関係するという知見を得た。
【００２０】
すなわち、上記課題を解決するために創案された本発明に係る装置は、成形体の頂部に形成されたオーバーフロー溝に溶融ガラスを流し込むと共に、該オーバーフロー溝から両側に溢れ出た溶融ガラスを、前記成形体の略楔状をなす外側面部に沿って流下させながら前記成形体の下端部で融合一体化させ、肉厚５００μｍ以下の薄板ガラスを成形する薄板ガラス製造方法において、前記成形体の外表面を流れる溶融ガラスの粘度を、前記成形体の外表面全域で３０００ｄＰａ・ｓ以上３００００ｄＰａ・ｓ以下に制御することに特徴づけられる。
【００２１】
このような方法によれば、成形体の外表面を流れる溶融ガラスの粘度が、成形体の外表面全域において、３０００ｄＰａ・ｓ以上に制御される。そして、溶融ガラスの粘度をこのような数値範囲まで上げると、流量が同じであれば、成形体の外表面を流れる溶融ガラスの厚みが増して、成形体の外表面に接する溶融ガラスと、成形体の外表面と接触せずに自由表面をなす溶融ガラスの表面との間の速度勾配が緩やかになる。その結果、成形体の外表面近傍を流れる溶融ガラスの流速が相対的に遅くなり、成形体の外表面の一次ジルコン結晶粒子を剥離するのに必要な力が成形体の外表面に作用し難くなる。そのため、溶融ガラスに剥離した一次ジルコン結晶粒子が混入して、成形された薄板ガラス中に当該結晶粒子が埋設されるという事態を低減することができる。したがって、成形された薄板ガラスの肉厚が５００μｍ以下であっても、ガラス表面の平面度を十分に確保することが可能となる。また、このような作用効果は、薄板ガラスの肉厚が２００μｍ以下の場合に特に有用である。
【００２２】
その一方で、溶融ガラスの粘度を３０００ｄＰａ・ｓから上げるに連れて、上述の理由により一次ジルコン結晶粒子の剥離量が減少するものの、溶融ガラスの粘度を上げすぎて成形体の下端部において３００００ｄＰａ・ｓを超えてしまうと、成形体の下端部で溶融ガラスが適正に融合（融着）し難くなる。したがって、成形性の観点からは、溶融ガラスの粘度の上限値は、３００００ｄＰａ・ｓ以下である必要があり、この上限値を満足する限りは、溶融ガラスを確実に融合一体化して一枚の薄板ガラスに成形することができる。
【００２３】
上記の方法において、前記溶融ガラスの粘度の制御が、溶融ガラスのガラス組成と温度の少なくとも一方を調整することによって行われることが好ましい。
【００２４】
このようにすれば、溶融ガラスの粘度を簡単且つ直接的に制御することができるという利点がある。
【００２５】
上記の方法において、成形された薄板ガラスにおいて、前記成形体の表面から剥離した一次ジルコン結晶粒子による欠陥数が、１ｍ2当たり２個以下であることが好ましい。
【００２６】
このようにすれば、薄板ガラスに生じる偏肉の原因となる一次ジルコン結晶粒子による欠陥数が、非常に小さくなり好ましい。また、一次ジルコン結晶粒子による欠陥部分を除外したとしても、その他の大部分、すなわち、一次ジルコン結晶粒子のない無欠陥部分を製品として使用することができる。その結果、高い平面度を有する薄板ガラスを、歩留まりを良好に維持した状態で製造することが可能となる。
【００２７】
上記の課題を形成するために創案された薄板ガラスは、オーバーフローダウンドロー法によって成形された肉厚が５００μｍ以下の薄板ガラスであって、一次ジルコン結晶粒子による欠陥数が１ｍ2当たり２個以下であることに特徴づけられる。
【００２８】
このような構成によれば、一次ジルコン結晶粒子による欠陥数が極僅かであるので、一次ジルコン結晶粒子による偏肉の発生を可及的に低減することができる。しかも、当該一次ジルコン結晶粒子が含まれている部分を除去しても、その他の大部分、すなわち、一次ジルコン結晶粒子のない無欠陥部分を製品として使用することができる。
【００２９】
上記の構成において、薄板ガラスが、ＦＰＤ用のガラス基板であることが好ましい。
【００３０】
すなわち、ＦＰＤ用のガラス基板は、画質に大きく影響を与える表面の平面度に厳格な製品品位が要求されることから、一次ジルコン結晶粒子による欠陥数が極僅かである薄板ガラスは好適である。
【発明の効果】
【００３１】
以上のように本発明によれば、オーバーフローダウンドロー法によって成形された肉厚３００μｍ以下の薄板ガラスであっても、一次ジルコン結晶粒子による欠陥数を確実に低減し、偏肉を可及的に低減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の一実施形態に係る薄板ガラス製造方法を体現するための薄板ガラス製造装置の要部を拡大して示す斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】従来技術を説明する図であって、（ａ）は、一次ジルコン結晶粒子を含んだ相対的に厚肉の薄板ガラスを示す縦断面図であり、（ｂ）は、一次ジルコン結晶粒子を含んだ相対的に薄肉の薄板ガラスを示す縦断面図である。
【図４】薄板ガラスの肉厚と、その表面の膨出部高さの関係を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００３３】
以下、本発明に係る実施形態を添付図面に基づいて説明する。
【００３４】
図１は、本実施形態に係る薄板ガラス製造方法を体現するための薄板ガラス製造装置の要部を拡大して示す斜視図である。同図に示すように、この薄板ガラス製造装置は、肉厚が５００μｍ以下の薄板ガラスを製造するものであって、オーバーフローダウンドロー法を実行するための成形体１を備えている。
【００３５】
成形体１は、同図および図２に示すように、製造される薄板ガラスの幅方向に対応する方向に沿って長尺であり、頂部にその長手方向に沿って形成されたオーバーフロー溝２と、略楔状に下方に向かって互いに漸次接近する一対の外側面部４とを有する。成形体１は、ジルコンが含有されていることが好ましく、デンスジルコン製であることがより好ましい。具体的には、ジルコン、ジルコン複合体、チタニア等の焼結可能成分の粒子が混合された素地組成物を、静水圧圧縮、スリップキャスティングの一種もしくは組み合わせで成形し、焼成することにより得られる緻密な耐火物を加工することによって、成形体１を作製する。
【００３６】
この成形体１の頂部に形成されたオーバーフロー溝２には、溶融ガラスＧｍが流し込まれ、両側に溢れ出た溶融ガラスＧｍが、オーバーフロー溝２の両上端開口縁から外側方へと延在する成形体１の頂部平面部３を介して、成形体１の略楔状をなす両外側面部４に沿って流下する。このとき、頂部平面部３は、溶融ガラスＧｍの流量を調整する堰として機能する。成形体１の両外側面部４に沿って流下する溶融ガラスＧｍは、成形体１の下端部のルートと称される部分で融合一体化され、溶融ガラスＧｍから一枚の薄板ガラスが連続的に成形される。
【００３７】
すなわち、溶融ガラスＧｍが流れる成形体１の外表面は、オーバーフロー溝２と、頂部平面部３と、外側面部４とから構成される。
【００３８】
成形体１の外側面部４は、垂直面部４ａと、傾斜面部４ｂとを上下に連接して構成されており、両外側面部４の下方に位置する傾斜面部４ｂの交点が、上述のルートと称される部分となる。また、オーバーフロー溝２の内部には、その長手方向一端側に連結された供給パイプ５を通じて溶融ガラスＧｍが供給される。
【００３９】
次に、以上のように構成された薄板ガラス製造装置によって、薄板ガラスを製造する方法について説明する。
【００４０】
図１及び図２に示すように、まず、供給パイプ５からオーバーフロー溝２の内部に溶融ガラスＧｍを供給し、オーバーフロー溝２から上部平面部３を介して成形体１の両側に溶融ガラスＧｍを溢れ出させる。この成形体１の両側に溢れ出た溶融ガラスＧｍは、両外側面部４に沿って流下して、成形体１の下端部で融合一体化され、この融合一体化された溶融ガラスＧｍを引き伸ばしながら冷却することで、薄板ガラスＧが成形される。
【００４１】
そして、本実施形態の特徴的な方法として、上記の一連の工程の中で、成形体１の表面を構成する一次ジルコン結晶粒子の剥離の発生量を抑制するために、溶融ガラスＧｍの粘度が制御される。
【００４２】
詳細には、成形体１の外表面を流れる溶融ガラスＧｍの粘度が、成形体１の外表面全域で３０００ｄＰａ・ｓ以上になるように制御される。
【００４３】
このように溶融ガラスＧｍの粘度を上記数値範囲まで上げると、成形体１の外表面近傍を流れる溶融ガラスＧｍの流速が相対的に遅くなり、成形体１の外表面の一次ジルコン結晶粒子を剥離する程度の力が成形体１の外表面に作用し難くなる。そのため、溶融ガラスＧｍに一次ジルコン結晶粒子が混入して、成形された薄板ガラス中に当該結晶粒子が埋設されるという事態を低減することができる。したがって、成形された薄板ガラスの肉厚が５００μｍ以下であっても、ガラス表面の平面度を十分に確保することが可能となる。
【００４４】
また、溶融ガラスの粘度を３０００ｄＰａ・ｓから上げるに連れて、上述の理由により一次ジルコン結晶粒子の剥離量が減少するものの、溶融ガラスＧｍの粘度を上げすぎて成形体１の下端部において３００００ｄＰａ・ｓを超えてしまうと、成形体１の下端部で溶融ガラスＧｍが適正に融合（融着）し難くなる。
【００４５】
そこで、溶融ガラスＧｍの粘度は、上述のように、成形体１の外表面全域において３０００ｄＰａに制御するとともに、その上限値が定められている。具体的には、溶融ガラスＧｍの粘度の上限値は、成形性の観点から、成形体１の外表面全域で３００００ｄＰａ・ｓ以下となるように制御される。
【００４６】
溶融ガラスＧｍの粘度の制御は、溶融ガラスＧｍの温度を調整したり、或いは溶融ガラスＧｍのガラス組成を調整することによりなされる。すなわち、溶融ガラスＧｍの温度を上昇させれば、溶融ガラスＧｍの粘度は低下し、これとは逆に下降させれば、溶融ガラスＧｍの粘度は高まる。また、溶融ガラスＧｍのガラス組成を調整（例えば、金属酸化物の添加など）すれば、同一の温度であっても粘度が変化する。なお、温度調整とガラス組成調整は両者を併用してもよい。
【００４７】
溶融ガラスＧｍの温度調整は、成形体１の周囲に配置された加熱装置の出力を増減したり、加熱装置の配置位置や数を変更することにより行われる。また、これらの温度調整と同時又はこれらの温度調整に代えて、断熱材の断熱構造を変更したり、供給パイプ５から供給する溶融ガラスＧｍの温度を変更することにより、溶融ガラスＧｍの温度調整を行ってもよい。
【００４８】
なお、溶融ガラスＧｍの温度は、成形体１の周囲に配置された非接触式の温度測定装置（例えば、赤外放射温度計）により測定し、その温度測定結果を加熱装置などにフィードバックする。
【００４９】
そして、以上のように溶融ガラスＧｍの粘度を制御しながら、成形体１により溶融ガラスＧｍを融合一体化して、薄板ガラスＧを成形すれば、成形体１の表面から剥離した一次ジルコン結晶粒子による欠陥数が、１ｍ2当たり２個以下の薄板ガラスを得ることができる。
【００５０】
このような薄板ガラスであれば、肉厚変動に悪影響を与える一次ジルコン結晶粒子による欠陥数が、非常に小さくなり好ましい。また、一次ジルコン結晶粒子による欠陥部分を除外したとしても、その他の大部分、すなわち、一次ジルコン結晶粒子のない無欠陥部分を製品として使用することができるので、高い平面度を有する薄板ガラスを歩留まり良く製造することが可能となる。したがって、無欠陥部分を液晶ディスプレイなどのＦＰＤ用のガラス基板として好適に使用することができる。
【実施例】
【００５１】
本発明の有用性を実証するために、成形体の外表面を流れる溶融ガラスの粘度を、種々変更し、成形される薄板ガラス中に含まれる一次ジルコン結晶粒子による欠陥数と、溶融ガラスの成形性の推移を試験した。なお、成形される薄板ガラスの肉厚は、３００μｍとした。
【００５２】
その結果を表１に示す。なお、表１において、成形性の項目と総合評価の項目では、「◎」が良い、「○」がやや良い、「△」がやや悪い、「×」が悪いとしてそれぞれを評価した。
【００５３】
【表１】
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【００５４】
表１に示す結果によれば、成形体の外表面全域において、溶融ガラスの粘度が３０００ｄＰａ・ｓ未満となる比較例１では、一次ジルコン結晶粒子による欠陥数が、２．８個／ｍ2となり、成形体の表面の一次ジルコン結晶粒子の剥離に由来する欠陥が多く発生していることが認識できる。また、成形体の外表面全域において、溶融ガラスの粘度が３００００ｄＰａ・ｓを超える比較例２及び３では、成形体の下端部における溶融ガラスの粘度が高くなりすぎて、成形体の下端部における溶融ガラスの融合が不十分となり、成形性が悪化することが認識できる。
【００５５】
これに対し、溶融ガラスの粘度を、比較例１の２０００ｄＰａ・ｓから３０００ｄＰａ・ｓまで上げた実施例１では、一次ジルコン結晶粒子による欠陥数が、２．８個／ｍ2から２．０個／ｍ2まで改善していることが確認できる。
【００５６】
ここで、一次ジルコン結晶粒子による欠陥数が２．０個／ｍ2であれば、肉厚変動に悪影響を与える一次ジルコン結晶粒子による欠陥数が、非常に小さくなるため、製品品位に与える悪影響を問題のない程度に抑えることができる。また、要求される製品品位が厳格なＦＰＤ用のガラス基板などであっても、一次ジルコン結晶粒子による欠陥部分を除外した一次ジルコン結晶粒子のない大部分を製品として使用することができ、歩留まりを良好に維持できる。したがって、一次ジルコン結晶粒子による欠陥数は、２．０個／ｍ2が製品品位を確保し得るか否かの一種の閾値となる。
【００５７】
そして、溶融ガラスの粘度を、３０００ｄＰａ・ｓから更に上げた実施例２〜４では、一次ジルコン結晶粒子による欠陥数が、０．２０〜０．８０個／ｍ2となり、実施例１の半分以下となる極めて良好な結果を得た。
【００５８】
加えて、実施例１〜４の全てにおいて、成形体の外表面全域における溶融ガラスの粘度が、３００００ｄＰａ・ｓ以下となっていることから、成形体の下端部における溶融ガラスの融着不良が生じず、良好な成形を維持することができた。
【００５９】
なお、上記の試験では、成形された薄板ガラスの肉厚を３００μｍとしたが、この肉厚を変化させても一次ジルコン結晶粒子による欠陥数や、成形性の結果に大きな変化が生じることはない。
【００６０】
したがって、以上の結果からも、デンスジルコン製の成形体を用いてオーバーフローダウンドロー法によって肉厚５００μｍ以下の薄板ガラスを成形するに際して、成形体の外表面の全域において、溶融ガラスの粘度が３０００ｄＰａ・ｓ以上３００００ｄＰａ・ｓ以下であれば、一次ジルコン結晶粒子による欠陥数と、成形性とを共に良好な状態で維持することができることが確認できる。
【符号の説明】
【００６１】
１      成形体
２      オーバーフロー溝
３      頂部平面部
４      外側面部
４ａ    垂直面部
４ｂ    傾斜面部
５      供給パイプ
６      一次ジルコン結晶粒子
７      膨出部
Ｇ      薄板ガラス
Ｇｍ    溶融ガラス
【図１】
2011207720.tif 000004
【図２】
2011207720.tif 000005
【図３】
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【図４】
2011207720.tif 000007