(57)【要約】【課題】フレクシャ基板を含む３部材間の溶接を要することなく、フレクシャ基板を支持部形成板における先端側エッジに可及的に近接した位置で溶接可能とする。【解決手段】支持部形成板の支持部先端領域における先端側エッジを含む先端部位のディスク面に近接する下面が少なくともサスペンション幅方向中央領域において前記ディスク面に対して露出した露出面を形成するように一対の圧電素子の先端側を支持する先端側支持プレートが前記支持部形成板の前記下面に溶接によって固着される。フレクシャ基板は適宜の溶接点においてロードビーム部本体領域に溶接され且つ少なくとも支持部先端領域における先端部位の前記露出面に配置された溶接点において前記支持部形成板に溶接される。【選択図】図４
2011008866.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着される左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される支持部基端領域と前記荷重曲げ部が連結される支持部先端領域とサスペンション長手方向に関し前記支持部基端領域及び前記支持部先端領域の間に位置し且つ前記ディスク面と直交する平面視において前記一対の圧電素子を囲繞する支持部開口領域と前記支持部開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記支持部基端領域及び前記支持部先端領域の間を連結する左右一対の支持部連結梁領域とを一体的に有する支持部形成板と、少なくとも一部が前記支持部開口領域内に位置する先端側載置領域を形成する状態で前記支持部形成板における前記ディスク面に近接する下面に固着される先端側支持プレートと、少なくとも一部が前記支持部開口領域内に位置する基端側載置領域を形成する状態で前記支持部形成板における前記ディスク面に近接する下面に固着される基端側支持プレートとを備え、
前記一対の圧電素子は、先端側が前記先端側載置領域の前記ディスク面とは反対側の上面に載置され且つ基端側が前記基端側載置領域の前記ディスク面とは反対側の上面に載置された状態で、前記支持部先端領域における基端側の端面、前記先端側載置領域の前記上面、前記支持部基端側領域における先端側の端面、及び、前記基端側載置領域の前記上面に接着剤を介して固着され、
前記荷重曲げ部は、前記ディスク面と略平行とされ且つ互いに対してサスペンション幅方向に離間されるように基端部が前記支持部先端領域のサスペンション幅方向一端側及び他端側にそれぞれ連結された左右一対の弾性板を有し、
前記ロードビーム部は、前記ディスク面と略平行とされた平板状のロードビーム部本体領域を有し且つ基端部が前記一対の弾性板の先端部に連結されたロードビーム基板を備え、
前記フレクシャ部は、前記磁気ヘッドスライダが装着されるヘッド搭載領域を有するフレクシャ基板と前記フレクシャ基板に積層される配線体とを備え、
前記フレクシャ基板は、前記ロードビーム部本体領域に重合されるロードビーム部重合領域と、前記ロードビーム部重合領域に一対のアーム領域を介して支持される前記ヘッド搭載領域と、前記支持部に重合される支持部重合領域と、前記ロードビーム部重合領域及び前記支持部重合領域を連結するようにサスペンション幅方向に関し前記一対の弾性板の間においてサスペンション長手方向に延びる連結領域とを一体的に有しており、
前記先端側支持プレートは、前記支持部先端領域における先端側エッジを含む先端部位の前記ディスク面に近接する下面が少なくともサスペンション幅方向中央領域において前記ディスク面に対して露出した露出面を形成することを許容した状態で、前記支持部形成板の前記下面に溶接によって固着されており、
前記フレクシャ基板の前記ロードビーム部重合領域は適宜の溶接点において前記ロードビーム部本体領域に溶接され、且つ、前記支持部重合領域は少なくとも前記支持部先端領域における前記先端部位の前記露出面に配置された溶接点において前記支持部形成板に溶接されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２】
前記支持部形成板の前記下面のうち前記先端側支持プレートが当接する部分及び前記基端側支持プレートが当接する部分が他の部分よりも前記ディスク面から離間するように、前記支持部形成板の下面には凹部が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項３】
前記凹部は、前記先端側支持プレートが当接する先端側凹部と前記基端側支持プレートが当接する基端側凹部とを含み、
前記先端側凹部は、前記支持部先端領域の基端側及び前記一対の支持部連結梁領域の先端側に亘るように形成され、
前記基端側凹部は、前記支持部基端領域にのみ形成されて前記一対の支持部連結梁領域の基端側には到達していないことを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項４】
前記凹部の深さは前記先端側支持プレートの板厚と同一以上とされていることを特徴とする請求項２又は３に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項５】
前記支持部重合領域は、サスペンション長手方向に関し前記支持部先端領域における前記先端部位の前記露出面と同一位置に位置する先端側支持部重合領域と、前記一対の圧電素子より基端側に位置する基端側支持部重合領域と、サスペンション幅方向に関し前記一対の圧電素子の間において前記先端側支持部重合領域及び前記基端側支持部重合領域を連結する中間支持部重合領域とを含み、
前記凹部の深さは前記先端側支持プレートの板厚よりも小さくされており、
前記先端側支持プレートにおける前記ディスク面に近接する下面には、前記中間支持部重合領域が通過する溝が形成されていることを特徴とする請求項２又は３に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項６】
前記先端側支持プレート及び前記基端側支持プレートはサスペンション幅方向外方側の端部同士が一対の連結梁によって連結された状態で一体形成されていることを特徴とする請求項１から５の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項７】
前記先端側支持プレート及び前記基端側支持プレートはサスペンション幅方向中央部同士が単一の連結梁によって連結された状態で一体形成されていることを特徴とする請求項１から５の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項８】
前記先端側支持プレートは、前記平面視において先端側のエッジと前記支持部先端領域の基端側のエッジとの間に隙間が存するように、前記支持部形成板に固着され、
前記基端側支持プレートは、前記平面視において基端側のエッジと前記支持部基端側領域の先端側のエッジとの間に隙間が存するように、前記支持部形成板に固着されていることを特徴とする請求項１から７の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項９】
磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着される左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される支持部基端領域と前記荷重曲げ部が連結される支持部先端領域とサスペンション長手方向に関し前記支持部基端領域及び前記支持部先端領域の間に位置し且つ前記ディスク面と直交する平面視において前記一対の圧電素子を囲繞する支持部開口領域と前記支持部開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記支持部基端領域及び前記支持部先端領域の間を連結する左右一対の支持部連結梁領域とを一体的に有する支持部形成板と、前記支持部開口領域内に前記一対の圧電素子が載置される載置領域を形成するように前記支持部形成板に固着される支持プレートとを備え、
前記一対の圧電素子は、前記支持プレートに載置された状態で、前記支持部先端領域における基端側の端面、前記支持プレートの前記ディスク面とは反対側の上面、及び、前記支持部基端側領域における先端側の端面に接着剤を介して固着され、
前記荷重曲げ部は、前記ディスク面と略平行とされ且つ互いに対してサスペンション幅方向に離間されるように基端部が前記支持部先端領域のサスペンション幅方向一端側及び他端側にそれぞれ連結された左右一対の弾性板を有し、
前記ロードビーム部は、前記ディスク面と略平行とされた平板状のロードビーム部本体領域を有し且つ基端部が前記一対の弾性板の先端部に連結されたロードビーム基板を備え、
前記フレクシャ部は、前記磁気ヘッドスライダが装着されるヘッド搭載領域を有するフレクシャ基板と前記フレクシャ基板に積層される配線体とを備え、
前記フレクシャ基板は、前記ロードビーム部本体領域に重合されるロードビーム部重合領域と、前記ロードビーム部重合領域に一対のアーム領域を介して支持される前記ヘッド搭載領域と、前記支持部に重合される支持部重合領域と、前記ロードビーム部重合領域及び前記支持部重合領域を連結するようにサスペンション幅方向に関し前記一対の弾性板の間においてサスペンション長手方向に延びる連結領域とを一体的に有しており、
前記支持プレートは、前記支持部先端領域における前記ディスク面に近接する下面が少なくともサスペンション幅方向中央領域において前記ディスク面に対して露出した露出面を形成するように互いに対してサスペンション幅方向に離間された状態で前記支持部形成板の前記下面に溶接される一対の先端側ベースステンレスと、前記一対の先端側ベースステンレスからサスペンション長手方向基端側に離間された位置で前記支持部形成板の前記下面に溶接される一対の基端側ベースステンレスと、前記一対の先端側ベースステンレス及び前記一対の基端側ベースステンレスの上面に積層されたポリイミド層と、前記ポリイミド層の上面に積層された補強ステンレスとを備え、
前記ポリイミド層は、前記支持部先端領域の基端側の端面と対向するように前記一対の先端側ベースステンレスの間においてサスペンション幅方向に延びる先端側幅方向領域と、前記支持部基端領域の先端側の端面と対向するように前記一対の基端側ベースステンレスの間においてサスペンション幅方向に延びる基端側幅方向領域と、前記先端側幅方向領域及び前記基端側幅方向領域を連結する連結領域とを含み、
前記補強ステンレスは、前記先端側幅方向領域における上面の基端側においてサスペンション幅方向に延びる先端側補強ステンレスと、前記基端側幅方向領域における上面の先端側においてサスペンション幅方向に延びる基端側補強ステンレスとを含み、
前記フレクシャ基板は、前記ロードビーム部重合領域が前記ロードビーム部本体領域に溶接されることで前記ロードビーム部に固着され、且つ、前記支持部重合領域が前記支持部先端領域における前記露出面に溶接されることで前記支持部に固着されていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドスライダを支持する為の磁気ヘッドサスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置の大容量化に伴って磁気ヘッドスライダの目的トラックに対する位置決め精度の向上が求められており、その為、ボイスコイルモータ等のメインアクチュエータによる磁気ヘッドスライダのシーク方向への粗動に加えて、サブアクチュエータとして作用する圧電素子による磁気ヘッドスライダのシーク方向の微動を可能とした磁気ヘッドサスペンションが提案されている（例えば下記特許文献１参照）。
【０００３】
前記特許文献１に記載された前記磁気ヘッドサスペンションは、前記圧電素子による磁気ヘッドスライダの微動を可能としつつ、前記圧電素子を備えたことによるサスペンションの板厚方向の増大を可及的に防止する為に、下記構成が備えられる。
【０００４】
図１０(a)及び(b)に、それぞれ、前記従来の磁気ヘッドサスペンションの上面図（ディスク面とは反対側から視た平面図）及び下面図（前記ディスク面に近接する側から視た底面図）を示す。
又、図１０(c)に、図１０(b)におけるX-X線に沿った断面図を示す。
【０００５】
図１０(a)〜(c)に示すように、前記従来の磁気ヘッドサスペンションは、磁気ヘッドスライダ５０をディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部２０と、前記荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達するためのロードビーム部３０と、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部１０と、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に支持されるフレクシャ部４０と、前記一対の圧電素子６０とを備えている。
【０００６】
前記支持部１０はプレート状の支持部形成板１００を有している。
前記支持部形成板１００は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される支持部基端領域１０１と、前記荷重曲げ部２０が連結される支持部先端領域１０５と、サスペンション長手方向に関し前記支持部基端領域１０１及び前記支持部先端領域１０５の間に位置し且つ前記ディスク面と直交する平面視において前記一対の圧電素子６０を囲繞する支持部開口領域１１０と、前記支持部開口領域１１０よりサスペンション幅方向外方向側において前記支持部基端領域１０１及び前記支持部先端領域１０５の間を連結する左右一対の支持部連結梁領域１１５とを一体的に有している。
【０００７】
前記支持部１０は、さらに、少なくとも一部が前記支持部開口領域１１０内に位置するように前記支持部形成板１００における前記ディスク面に近接する下面に固着される先端側支持プレート８５０と、少なくとも一部が前記支持部開口領域１１０内に位置するように前記支持部形成板１００における前記ディスク面に近接する下面に固着される基端側支持プレート８６０とを備えている。
なお、図１０(b)に示すように、前記先端側支持プレート８５０は、前記荷重曲げ部２０及び前記ロードビーム部３０と一体形成されている。
【０００８】
前記一対の圧電素子６０は、先端側が前記先端側支持プレート８５０の前記ディスク面とは反対側の上面に載置され且つ基端側が前記基端側支持プレート８６０の前記ディスク面とは反対側の上面に載置された状態で、前記支持部先端領域１０５における基端側の端面、前記先端側支持プレート８５０の前記上面、前記支持部基端側領域１０１における先端側の端面、及び、前記基端側支持プレート８６０の前記上面に接着剤７０を介して固着されており、これにより、前記一対の圧電素子６０の少なくとも一部が前記ディスク面と直交するｚ方向に関し前記支持部形成板１００とオーバーラップするようになっている。
【０００９】
斯かる構成によれば、前記一対の圧電素子６０によって前記支持部先端領域１０５を前記支持部基端領域１０１に対して変位させることを可能としつつ、前記一対の圧電素子６０を備えたことによる前記磁気ヘッドサスペンションの板厚方向の厚み増大を可及的に防止することができる。
【００１０】
ところで、図１０(b)及び(c)に示すように、前記磁気ヘッドサスペンションにはフレクシャ部４０が備えられる。前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッドスライダ５０が装着されるヘッド搭載領域４１２を有するフレクシャ基板４００と、前記磁気ヘッドスライダ５０に電気的に接続された状態で前記フレクシャ基板４００に積層される配線体４８０とを備えている。
【００１１】
前記フレクシャ基板４００は、前記支持部形成板１００に溶接されることで前記支持部１０に固着され且つ前記ロードビーム部３０を形成するロードビーム形成板３００に溶接されることで前記ロードビーム部３０に固着される。
【００１２】
詳しくは、前記荷重曲げ部２０の弾性変形動作に起因する前記フレクシャ基板４００の振動を可及的に防止する為には、前記フレクシャ基板４００は、サスペンション長手方向に関し前記荷重曲げ部２０にできるだけ近接された位置で前記支持部形成板１００に固定されること、即ち、前記支持形成板１００の前記支持部先端領域１０５に溶接されることが望ましい。
【００１３】
しかしながら、前記従来の磁気ヘッドサスペンションにおいては、図１０(c)に示すように、前記先端側支持プレート８５０がサスペンション長手方向に関し前記支持部形成板１００の前記支持部先端領域１０５の全域と重合されている。
【００１４】
斯かる従来構成において、前記フレクシャ基板４００を前記荷重曲げ部２０にできるだけ近接された位置において前記支持部形成板１００に溶接する為には、図１０(c)におけるＡ部に示すように、前記フレクシャ基板４００を前記先端側支持プレート８５０及び前記支持部形成板１００の双方に溶接しなければならない。
即ち、前記フレクシャ基板４００，前記先端側支持プレート８５０及び前記支持部形成板１００の３枚のプレート状部材を溶接しなければならない。
【００１５】
従って、必要とされる溶接強度が上昇し、その結果、溶接に起因して前記フレクシャ基板４００，前記先端側支持プレート８５０及び前記支持部形成板１００に歪みが生じる恐れがある。これらの歪みは、前記磁気ヘッドスライダ５０の浮上特性やサスペンション振動特性に影響を及ぼす。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１６】
【特許文献１】特開２００２−０５０１４０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、平面視において一対の圧電素子が支持部形成板に設けられた開口領域内に位置するように前記一対の圧電素子が前記支持部形成板に固着された支持プレートを利用して前記支持部形成板に装着されている磁気ヘッドサスペンションであって、３部材間の溶接を要することなく、フレクシャ部を形成するフレクシャ基板を前記支持部形成板における先端側エッジに可及的に近接した位置で溶接させ得る磁気ヘッドサスペンションの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明は、前記目的を達成する為に、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着される左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される支持部基端領域と前記荷重曲げ部が連結される支持部先端領域とサスペンション長手方向に関し前記支持部基端領域及び前記支持部先端領域の間に位置し且つ前記ディスク面と直交する平面視において前記一対の圧電素子を囲繞する支持部開口領域と前記支持部開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記支持部基端領域及び前記支持部先端領域の間を連結する左右一対の支持部連結梁領域とを一体的に有する支持部形成板と、少なくとも一部が前記支持部開口領域内に位置する先端側載置領域を形成する状態で前記支持部形成板における前記ディスク面に近接する下面に固着される先端側支持プレートと、少なくとも一部が前記支持部開口領域内に位置する基端側載置領域を形成する状態で前記支持部形成板における前記ディスク面に近接する下面に固着される基端側支持プレートとを備え、前記一対の圧電素子は、先端側が前記先端側載置領域の前記ディスク面とは反対側の上面に載置され且つ基端側が前記基端側載置領域の前記ディスク面とは反対側の上面に載置された状態で、前記支持部先端領域における基端側の端面、前記先端側載置領域の前記上面、前記支持部基端側領域における先端側の端面、及び、前記基端側載置領域の前記上面に接着剤を介して固着され、前記荷重曲げ部は、前記ディスク面と略平行とされ且つ互いに対してサスペンション幅方向に離間されるように基端部が前記支持部先端領域のサスペンション幅方向一端側及び他端側にそれぞれ連結された左右一対の弾性板を有し、前記ロードビーム部は、前記ディスク面と略平行とされた平板状のロードビーム部本体領域を有し且つ基端部が前記一対の弾性板の先端部に連結されたロードビーム基板を備え、前記フレクシャ部は、前記磁気ヘッドスライダが装着されるヘッド搭載領域を有するフレクシャ基板と前記フレクシャ基板に積層される配線体とを備え、前記フレクシャ基板は、前記ロードビーム部本体領域に重合されるロードビーム部重合領域と、前記ロードビーム部重合領域に一対のアーム領域を介して支持される前記ヘッド搭載領域と、前記支持部に重合される支持部重合領域と、前記ロードビーム部重合領域及び前記支持部重合領域を連結するようにサスペンション幅方向に関し前記一対の弾性板の間においてサスペンション長手方向に延びる連結領域とを一体的に有しており、前記先端側支持プレートは、前記支持部先端領域における先端側エッジを含む先端部位の前記ディスク面に近接する下面が少なくともサスペンション幅方向中央領域において前記ディスク面に対して露出した露出面を形成することを許容した状態で、前記支持部形成板の前記下面に溶接によって固着されており、前記フレクシャ基板の前記ロードビーム部重合領域は適宜の溶接点において前記ロードビーム部本体領域に溶接され、且つ、前記支持部重合領域は少なくとも前記支持部先端領域における前記先端部位の前記露出面に配置された溶接点において前記支持部形成板に溶接されている磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【００１９】
好ましくは、前記支持部形成板の前記下面のうち前記先端側支持プレートが当接する部分及び前記基端側支持プレートが当接する部分が他の部分よりも前記ディスク面から離間するように、前記支持部形成板の下面には凹部が形成される。
【００２０】
前記凹部は、前記先端側支持プレートが当接する先端側凹部と前記基端側支持プレートが当接する基端側凹部とを含み得る。
前記先端側凹部は、前記支持部先端領域の基端側及び前記一対の支持部連結梁領域の先端側に亘るように形成される。
前記基端側凹部は、前記支持部基端領域にのみ形成されて前記一対の支持部連結梁領域の基端側には到達していないものとされる。
【００２１】
一形態においては、前記凹部の深さは前記先端側支持プレートの板厚と同一又はそれ以上とされる。
【００２２】
前記支持部重合領域は、サスペンション長手方向に関し前記支持部先端領域における前記先端部位の前記露出面と同一位置に位置する先端側支持部重合領域と、前記一対の圧電素子より基端側に位置する基端側支持部重合領域と、サスペンション幅方向に関し前記一対の圧電素子の間において前記先端側支持部重合領域及び前記基端側支持部重合領域を連結する中間支持部重合領域とを含み得る。
前記凹部の深さは前記先端側支持プレートの板厚よりも小さくされ、前記先端側支持プレートにおける前記ディスク面に近接する下面には、前記中間支持部重合領域が通過する溝が形成される。
【００２３】
例えば、前記先端側支持プレート及び前記基端側支持プレートはサスペンション幅方向外方側の端部同士が一対の連結梁によって連結された状態で一体形成され得る。
これに代えて、前記先端側支持プレート及び前記基端側支持プレートはサスペンション幅方向中央部同士が単一の連結梁によって連結された状態で一体形成され得る。
【００２４】
前記種々の構成において、好ましくは、前記先端側支持プレートは、平面視において先端側のエッジと前記支持部先端領域の基端側のエッジとの間に隙間が存するように、前記支持部形成板に固着され、前記基端側支持プレートは、平面視において基端側のエッジと前記支持部基端側領域の先端側のエッジとの間に隙間が存するように、前記支持部形成板に固着される。
【００２５】
又、本発明は、磁気ヘッドスライダをディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重を磁気ヘッドスライダに伝達するためのロードビーム部と、前記荷重曲げ部を介して前記ロードビーム部を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部と、前記磁気ヘッドスライダを支持した状態で前記ロードビーム部及び前記支持部に支持されるフレクシャ部と、前記磁気ヘッドスライダをシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線を基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部に装着される左右一対の圧電素子とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記支持部は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される支持部基端領域と前記荷重曲げ部が連結される支持部先端領域とサスペンション長手方向に関し前記支持部基端領域及び前記支持部先端領域の間に位置し且つ前記ディスク面と直交する平面視において前記一対の圧電素子を囲繞する支持部開口領域と前記支持部開口領域よりサスペンション幅方向外方向側において前記支持部基端領域及び前記支持部先端領域の間を連結する左右一対の支持部連結梁領域とを一体的に有する支持部形成板と、前記支持部開口領域内に前記一対の圧電素子が載置される載置領域を形成するように前記支持部形成板に固着される支持プレートとを備え、前記一対の圧電素子は、前記支持プレートに載置された状態で、前記支持部先端領域における基端側の端面、前記支持プレートの前記ディスク面とは反対側の上面、及び、前記支持部基端側領域における先端側の端面に接着剤を介して固着され、前記荷重曲げ部は、前記ディスク面と略平行とされ且つ互いに対してサスペンション幅方向に離間されるように基端部が前記支持部先端領域のサスペンション幅方向一端側及び他端側にそれぞれ連結された左右一対の弾性板を有し、前記ロードビーム部は、前記ディスク面と略平行とされた平板状のロードビーム部本体領域を有し且つ基端部が前記一対の弾性板の先端部に連結されたロードビーム基板を備え、前記フレクシャ部は、前記磁気ヘッドスライダが装着されるヘッド搭載領域を有するフレクシャ基板と前記フレクシャ基板に積層される配線体とを備え、前記フレクシャ基板は、前記ロードビーム部本体領域に重合されるロードビーム部重合領域と、前記ロードビーム部重合領域に一対のアーム領域を介して支持される前記ヘッド搭載領域と、前記支持部に重合される支持部重合領域と、前記ロードビーム部重合領域及び前記支持部重合領域を連結するようにサスペンション幅方向に関し前記一対の弾性板の間においてサスペンション長手方向に延びる連結領域とを一体的に有しており、前記支持プレートは、前記支持部先端領域における前記ディスク面に近接する下面が少なくともサスペンション幅方向中央領域において前記ディスク面に対して露出した露出面を形成するように互いに対してサスペンション幅方向に離間された状態で前記支持部形成板の前記下面に溶接される一対の先端側ベースステンレスと、前記一対の先端側ベースステンレスからサスペンション長手方向基端側に離間された位置で前記支持部形成板の前記下面に溶接される一対の基端側ベースステンレスと、前記一対の先端側ベースステンレス及び前記一対の基端側ベースステンレスの上面に積層されたポリイミド層と、前記ポリイミド層の上面に積層された補強ステンレスとを備え、前記ポリイミド層は、前記支持部先端領域の基端側の端面と対向するように前記一対の先端側ベースステンレスの間においてサスペンション幅方向に延びる先端側幅方向領域と、前記支持部基端領域の先端側の端面と対向するように前記一対の基端側ベースステンレスの間においてサスペンション幅方向に延びる基端側幅方向領域と、前記先端側幅方向領域及び前記基端側幅方向領域を連結する連結領域とを含み、前記補強ステンレスは、前記先端側幅方向領域における上面の基端側においてサスペンション幅方向に延びる先端側補強ステンレスと、前記基端側幅方向領域における上面の先端側においてサスペンション幅方向に延びる基端側補強ステンレスとを含み、前記フレクシャ基板は、前記ロードビーム部重合領域が前記ロードビーム部本体領域に溶接されることで前記ロードビーム部に固着され、且つ、前記支持部重合領域が前記支持部先端領域における前記露出面に溶接されることで前記支持部に固着されている磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の一態様に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、支持部形成板の支持部先端領域における先端側エッジを含む先端部位のディスク面に近接する下面が少なくともサスペンション幅方向中央領域において前記ディスク面に対して露出した露出面を形成するように一対の圧電素子の先端側を支持する先端側支持プレートが前記支持部形成板の前記下面に溶接によって固着され、フレクシャ基板は適宜の溶接点においてロードビーム部本体領域に溶接され且つ少なくとも前記支持部先端領域における前記先端部位の前記露出面に配置された溶接点において前記支持部形成板に溶接されているので、前記フレクシャ基板を含む３部材間の溶接を要することなく、前記フレクシャ基板を前記支持部形成板の先端側エッジに可及的に近接した位置で該支持部形成板に溶接させることができる。従って、前記フレクシャ基板，前記先端側支持プレート及び前記支持部形成板に溶接に起因する歪みが生じることを有効に防止しつつ、荷重曲げ部の弾性変形動作に伴う前記フレクシャ基板の振動を抑えることができる。
【００２７】
又、本発明の他態様に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、支持部形成板の支持部先端領域における先端側エッジを含む先端部位のディスク面に近接する下面が少なくともサスペンション幅方向中央領域において前記ディスク面に対して露出した露出面を形成するように一対の圧電素子を支持する支持プレートが前記支持部形成板の前記下面に溶接によって固着され、フレクシャ基板は適宜の溶接点においてロードビーム部本体領域に溶接され且つ少なくとも前記支持部先端領域における前記先端部位の前記露出面に配置された溶接点において前記支持部形成板に溶接されているので、前記フレクシャ基板を含む３部材間の溶接を要することなく、前記フレクシャ基板を前記支持部形成板の先端側エッジに可及的に近接した位置で該支持部形成板に溶接させることができる。従って、前記フレクシャ基板，前記支持プレート及び前記支持部形成板に溶接に起因する歪みが生じることを有効に防止しつつ、荷重曲げ部の弾性変形動作に伴う前記フレクシャ基板の振動を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】図１(a)及び(b)は、それぞれ、本発明の実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図である。
【図２】図２は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションの分解上面図である。
【図３】図３は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションにおける支持部形成板の下面図である。
【図４】図４(a)は、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンションのフレクシャ部を取り外した状態の下面図である。図４(b)は、図４(a)におけるIV-IV線に沿った拡大断面図である。図４(c)は、変形形態に係る磁気ヘッドサスペンションにおける拡大断面図である。
【図５】図５は、他の変形形態に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図である。
【図６】図６(a)及び(b)は、さらに他の変形形態に係る磁気ヘッドサスペンションの部分下面図である。
【図７】図７(a)は、本発明の実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図であり、図７(b)は、前記実施の形態２に係る磁気ヘッドサスペンションの部分縦断側面図であって、図４(b)に対応した縦断側面図である。
【図８】図８(a)は、本発明の実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションの下面図であり、図８(b)は、図８(a)におけるVIII-VIII線に沿った断面図である。図８(c)は、前記実施の形態３の変形形態に係る磁気ヘッドサスペンションの断面図である。
【図９】図９(a)及び(b)は、それぞれ、前記実施の形態３に係る磁気ヘッドサスペンションにおけるロードビーム部，荷重曲げ部及び支持プレートの下面図及び上面図である。
【図１０】図１０(a)及び(b)は、それぞれ、従来の磁気ヘッドサスペンションの上面図及び下面図であり、図１０(c)は、図１０(b)におけるX-X線に沿った断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
実施の形態１
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び下面図（ディスク面側から見た底面図）を示す。なお、図１(b)における○印は溶接点を示している。
又、図２に、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの分解上面図を示す。
【００３０】
図１及び図２に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａは、磁気ヘッドスライダ５０をディスク面へ向けて押し付ける為の荷重を発生する荷重曲げ部２０と、前記荷重を磁気ヘッドスライダ５０に伝達するためのロードビーム部３０と、前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持し且つメインアクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りに揺動される支持部１０と、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に支持されるフレクシャ部４０と、前記磁気ヘッドスライダ５０をシーク方向に微動させる為にサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対して対称で且つ互いに対して伸縮方向が異なるように前記支持部１０に装着された左右一対の圧電素子６０とを備えている。
【００３１】
前記支持部１０は、ボイスコイルモータ等の前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結された状態で前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持すると共に、装着される前記一対の圧電素子６０によって先端側が基端側に対して変動し得るように構成されている。
【００３２】
詳しくは、前記支持部１０は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結され且つ前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する支持部形成板１００と、前記支持部形成板１００と共働して前記一対の圧電素子６０を支持するように前記支持部形成板１００に固着される先端側支持プレート１５０及び基端側支持プレート１６０とを備えている。
【００３３】
図３に、前記支持部形成板１００の下面図を示す。
図１(a)，図２及び図３に示すように、前記支持部形成板１００は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結される支持部基端領域１０１と、前記荷重曲げ部２０が連結される支持部先端領域１０５と、サスペンション長手方向に関し前記支持部基端領域１０１及び前記支持部先端領域１０５の間に位置し且つ前記ディスク面と直交する平面視において前記一対の圧電素子６０を囲繞する支持部開口領域１１０と、前記支持部開口領域１１０よりサスペンション幅方向外方向側において前記支持部基端領域１０１及び前記支持部先端領域１０５の間を連結する左右一対の支持部連結梁領域１１５とを一体的に有している。
前記支持部形成板１００は、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００３４】
図４(a)に、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａから前記フレクシャ部４０を取り外した状態の下面図を示す。
又、図４(b)に、図４(a)におけるIV-IV線に沿った拡大断面図を示す。
【００３５】
図４(b)に示すように、前記先端側支持プレート１５０は、少なくとも一部が前記支持部開口領域１１０内に位置する先端側載置領域１５１を形成する状態で前記支持部形成板１００における前記ディスク面に近接する下面に固着されている。
【００３６】
即ち、前記先端側支持プレート１５０は、図４(b)に示すように、前記支持部形成板１００の下面に当接される支持部当接領域１５２と、前記支持部当接領域１５２を前記支持部形成板１００の下面に当接させた状態で前記支持部開口領域１１０内に位置する前記先端側載置領域１５１とを有している。
【００３７】
本実施の形態においては、図３に示すように、前記支持部形成板１００の前記下面のうち前記先端側支持プレート１５０と当接する部分が他の部分よりも前記ディスク面から離間するように、前記支持部形成板１００の前記下面には先端側凹部１２０が設けられている。
前記先端側凹部１２０を形成することにより、前記支持部形成板１００の前記下面に前記先端側支持プレート１５０を固着させた際に、前記先端側支持プレート１５０が前記支持部形成板１００の前記下面から膨出することを防止又は前記先端側支持プレート１５０の膨出量を低減できる。
【００３８】
図４(b)に示すように、前記先端側凹部１２０の深さは前記先端側支持プレート１５０の板厚と同一又はそれ以上とされることが好ましい。
斯かる構成によれば、前記先端側支持プレート１５０が前記支持部形成板１００の前記下面から前記ディスク面に近接する方向へ膨出することを確実に防止できる。
【００３９】
なお、本実施の形態においては、前記先端側支持プレート１５０は、前記支持部先端領域１０５の基端側及び前記一対の支持部連結梁領域１１５の先端側と当接している。
従って、前記先端側凹部１２０は、図３に示すように、前記支持部先端領域１０５の基端側エッジから前記一対の支持部連結梁領域１１５の先端側に至るように設けられている。
【００４０】
同様に、前記基端側支持プレート１６０も、少なくとも一部が前記支持部開口領域１１０内に位置する基端側載置領域１６１を形成する状態で前記支持部形成板１００における前記下面に固着されている。
【００４１】
即ち、前記基端側支持プレート１６０は、図４(b)に示すように、前記支持部形成板１００の下面に当接される支持部当接領域１６２と、前記支持部当接領域１６２が前記支持部形成板１００の下面に当接させた状態で前記支持部開口領域１１０内に位置する前記基端側載置領域１６１とを有している。
【００４２】
本実施の形態においては、図４(b)に示すように、前記支持部形成板１００の前記下面のうち前記基端側支持プレート１６０と当接する部分が他の部分よりも前記ディスク面から離間するように、前記支持部形成板１００の前記下面には基端側凹部１２５が設けられている。
前記基端側凹部１２５を形成することにより、前記支持部形成板１００の前記下面に前記基端側支持プレート１６０を固着させた際に、前記基端側支持プレート１６０が前記支持部形成板１００の前記下面から膨出することを防止又は前記基端側支持プレート１６０の膨出量を低減できる。
【００４３】
図４(b)に示すように、前記基端側凹部１２５の深さは前記基端側支持プレート１６０の板厚と同一又はそれ以上とされることが好ましい。
斯かる構成によれば、前記基端側支持プレート１６０が前記支持部形成板１００の前記下面から前記ディスク面に近接する方向へ膨出することを確実に防止できる。
【００４４】
なお、本実施の形態においては、前記基端側支持プレート１６０は、前記支持部基端領域１０１の先端側にのみ当接し、前記一対の支持部連結梁領域１１５とは当接しないように構成されている。従って、前記基端側凹部１２５は、図３に示すように、前記支持部基端領域１０１の先端側にのみ設けられており、前記一対の支持部連結梁領域１１５の基端側には到達していない。
斯かる構成によれば、衝撃力印可時に前記一対の圧電素子６０に掛かる応力を低減でき、これにより、前記一対の圧電素子６０の破断を引き起こす際の衝撃力の加速度（限界加速度）を高めて前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの耐衝撃性を向上させることができる。さらに、前記構成によれば、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの曲げモードの共振周波数を高めることもできる。
【００４５】
本実施の形態においては、図１(a)及び(b)に示すように、前記支持部形成板１００は、前記メインアクチュエータに連結されるキャリッジアーム（図示せず）の先端にかしめ加工によって接合されるボス部１５を備えており、前記支持部１０がベースプレートの形態をなしている。
これに代えて、前記支持部１０が前記メインアクチュエータの揺動中心に連結されるアームの形態をなすように、前記支持部形成板１００を形成することも可能である。
【００４６】
前記一対の圧電素子６０の各々は、ＰＺＴ（チタン酸ジリコン酸鉛）からなる本体部と、前記ディスク面と直交する前記本体部の厚み方向両側に配置された一対の電極層とを有している。
前記本体部は、例えば厚さ０．０５ｍｍ〜０．３ｍｍとされ、前記電極層は、例えば厚さ０．０５μｍ〜数μｍのＡｇやＡｕによって形成される。
【００４７】
前記一対の圧電素子６０は、電圧の印可に応じて一方が伸長し且つ他方が圧縮し、前記伸縮動作によって前記支持部先端側領域１０５を前記支持部基端側領域１０１に対して変位させて前記磁気ヘッドスライダ５０をシーク方向に微動させるように前記支持部１０に装着されている。
【００４８】
本実施の形態においては、前記一対の圧電素子６０は、前記ディスク面と直交する平面視において前記支持部開口領域１１０内に位置された状態で、前記支持部形成板１００，前記先端側支持プレート１５０及び前記基端側支持プレート１６０に絶縁性の接着剤７０を介して固着されている。
【００４９】
即ち、図１(a)及び図４(b)等に示すように、前記一対の圧電素子６０は、先端側が前記先端側載置領域１５１の前記ディスク面とは反対側の上面に載置され且つ基端側が前記基端側載置領域１６１の前記ディスク面とは反対側の上面に載置された状態で、前記支持部先端領域１０５における基端側の端面、前記先端側載置領域１５１の上面、前記支持部基端側領域１０１における先端側の端面、及び、前記基端側載置領域１６１の上面に前記接着剤７０を介して固着されている。
【００５０】
斯かる構成によれば、前記一対の圧電素子６０の伸縮動作を可及的に前記磁気ヘッドスライダ５０のシーク方向への移動動作として伝達することができる。
さらに、前記構成によれば、前記一対の圧電素子６０の一部又は全部を厚み方向に関し前記支持部形成板１００とオーバーラップさせることができ、前記一対の圧電素子６０を含む前記磁気ヘッドサスペンション１Ａ全体の厚みを可及的に薄くすることができる。
【００５１】
なお、本実施の形態においては、図１(a)に示すように、前記一対の圧電素子６０は、長手方向（即ち、伸縮方向）がサスペンション長手方向に沿うように配置されているが、本発明は斯かる形態に限定されるものではない。
即ち、前記一対の圧電素子６０がサスペンション長手方向中心線ＣＬを基準にして互いに対し対称であり、且つ、前記一対の圧電素子６０の長手方向がサスペンション長手方向に沿った成分を有する範囲内であれば、前記一対の圧電素子６０の長手方向をサスペンション長手方向に対して傾斜させることも可能である。
【００５２】
前記荷重曲げ部２０は、基端部が前記支持部１０に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部３０に連結されており、自己の弾性変形に基づいて前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面へ向けて押し付ける押し付け荷重を発生する。
【００５３】
図１及び図２に示すように、本実施の形態においては、前記荷重曲げ部２０は、左右一対の弾性板２１を有している。
前記一対の弾性板２１は、前記ディスク面と略平行とされ且つ互いに対してサスペンション幅方向に離間された状態で、基端部が前記支持部先端領域１０５のサスペンション幅方向一端側及び他端側にそれぞれ連結され且つ先端部において前記ロードビーム部３０に連結されている。
前記弾性板２１は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって形成される。
【００５４】
好ましくは、前記一対の弾性板２１は、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記磁気ディスク装置へ実装される前の段階において前記磁気ヘッドスライダ５０が前記ディスク面に近づく方向に予め折り曲げられ、且つ、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの前記磁気ディスク装置への実装時には曲げ戻されることで前記押し付け荷重を発生するように、構成される。
【００５５】
前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記荷重曲げ部２０によって発生される荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。
本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記ロードビーム部３０はロードビーム基板３００を有している。
前記ロードビーム基板３００は、基端部が前記一対の弾性板２１の先端部に連結されており、前記ディスク面と略平行とされた平板状のロードビーム部本体領域３１０を有している。
【００５６】
好ましくは、前記ロードビーム基板３００には、前記ロードビーム部本体領域３１０の幅方向両端部からディスク面とは反対側に曲げ形成されたフランジ部３２０が設けられ、前記フランジ部３２０によって前記ロードビーム部３０の剛性を確保し得る。
前記ロードビーム基板３００は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００５７】
詳しくは、前記ロードビーム部３０は、先端部に、所謂ディンプルと呼ばれる突起３３を有している。
前記突起３３は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度突出されている。この突起３３は、前記フレクシャ部４０におけるヘッド搭載領域４１２の裏面（ディスク面とは反対側の面）に接触しており、前記荷重はこの突起３３を介して前記フレクシャ部４０のヘッド搭載領域４１２に伝達される。
【００５８】
本実施の形態においては、前記ロードビーム部３０は、さらに、前記本体領域３１０の先端からサスペンション長手方向先端側へ延びるリフトタブ３４を一体的に有している。前記リフトタブ３４は、前記磁気ヘッドスライダ５０がディスク面の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記メインアクチュエータによって揺動された際に、磁気ディスク装置に備えられたランプと係合して前記磁気ヘッドスライダ５０をｚ方向（前記ディスク面と直交する方向）に沿って前記ディスク面から離間させる為の部材である。
【００５９】
なお、本実施の形態においては、図１(a)及び(b)等に示すように、前記荷重曲げ部２０は前記ロードビーム部３０と一体形成されている。
即ち、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては、前記一対の弾性板２１及び前記ロードビーム基板３００は単一のプレート部材によって一体的に形成されている。
【００６０】
当然ながら、図５に示すように、前記一対の弾性板２１を前記ロードビーム基板３００とは別体とすることも可能である。
図５に示す変形形態においては、前記ロードビーム基板３００は前記一対の弾性板２１の先端部に溶接によって連結されている。
【００６１】
前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッド５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に接合される。
詳しくは、前記フレクシャ部４０は、図１(b)及び図２に示すように、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持し且つ前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に固着されるフレクシャ基板４００と、前記フレクシャ基板４００に積層される配線体４８０とを備えている。
【００６２】
前記フレクシャ基板４００は、前記ロードビーム部本体領域３１０に重合されるロードビーム部重合領域４１０と、前記ロードビーム部重合領域４１０からサスペンション長手方向先端側へ延びる一対のアーム領域４１１と、前記一対のアーム領域４１１によって支持されたヘッド搭載領域４１２と、前記支持部１０に重合される支持部重合領域４２０と、前記ロードビーム部重合領域４１０及び前記支持部重合領域４２０を連結するようにサスペンション幅方向に関し前記一対の弾性板２１の間においてサスペンション長手方向に延びる連結領域４１５とを一体的に有している。
【００６３】
前記ヘッド搭載領域４１２は、ディスク面と対向する対向面において前記磁気ヘッド５０を支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域４１２の裏面には前記突起３３が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域４１２は前記突起３３を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
前記フレクシャ基板４０は、前記ヘッド搭載領域４１２がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム基板３００よりも低剛性とされる。
前記フレクシャ基板４００は、例えば、厚さ０．０１ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス板によって好適に形成される。
【００６４】
前記配線体４８０は、図１(b)に示すように、前記フレクシャ基板４００におけるディスク面との対向面に積層された絶縁層４８１と、前記絶縁層４８１におけるディスク面との対向面に積層された導体層４８２と、前記導体層４８２を囲繞する保護層（図示せず）とを有し得る。
【００６５】
本実施の形態においては、前記配線体４８２を利用して前記一対の圧電素子６０への電圧印可が行われている。
即ち、前記導体層４８２は、図１(b)に示すように、前記磁気ヘッドスライダ５０及び外部間の信号伝達を行う磁気ヘッド用導体層４８２ａと、前記一対の圧電素子６０に電気的に接続される圧電素子用導体層４８２ｂとを含んでいる。
【００６６】
そして、前記一対の圧電素子６０の上面側（前記ディスク面とは反対側）の電極層を導電性接着剤等の導電性部材７２（図１(a)参照）によって前記支持部形成板１００に電気的に接続することで接地電位とした状態で、前記一対の圧電素子６０の下面側（前記ディスク面と対向する側）の電極層に前記圧電素子用導体層４８２ｂが電気的に接続されている。
【００６７】
好ましくは、図１(b)に示すように、前記ディスク面と直交する方向に沿って視た平面視において前記絶縁層４８１の一部を前記一対の圧電素子６０とオーバーラップさせ、且つ、前記圧電素子用導体層４８２ｂにおける前記一対の圧電素子６０との接続端部を前記平面視において前記一対の圧電素子６０とオーバーラップするように配置させることができる。斯かる構成によれば、前記配線体４８０を利用した前記一対の圧電素子６０の下面側の電極への電圧印可を容易に行うことができる。
【００６８】
本実施の形態においては、図１(b)に示すように、前記配線体４８０における前記圧電素子用導体層４８２ｂと前記一対の圧電素子６０の下面側の電極層とはワイヤーボンディング７４によって電気的に結合されている。
なお、図１(b)における符号７６は前記絶縁層４８１に形成された開口である。
【００６９】
さらに、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいては、前記先端側支持プレート１５０は、前記支持部先端領域１０５における先端側エッジを含む先端部位の前記ディスク面に近接する下面が少なくともサスペンション幅方向中央領域において前記ディスク面に対して露出した露出面を形成することを許容した状態で、前記支持部形成板１００の前記下面に溶接によって固着されている。
【００７０】
即ち、本実施の形態においては、前記支持部先端領域１０５の下面のうち前記先端側支持プレート１５０が当接される領域よりサスペンション長手方向先端側における領域が前記露出面を形成している。
【００７１】
そして、前記フレクシャ基板４００の前記ロードビーム部重合領域４１０は適宜の溶接点において前記ロードビーム部本体領域３１０に溶接され、且つ、前記支持部重合領域４２０は少なくとも前記支持部先端領域１０５における前記先端部位の前記露出面に配置された溶接点９０（図１(b)参照）において前記支持部形成板１００に溶接されている。
【００７２】
斯かる構成によれば、前記フレクシャ基板４００を前記支持部形成板１００にのみ溶接させた状態で、前記フレクシャ基板４００の前記支持部１０への溶接点を前記支持部１０の先端側に可及的に近接させることができる。
従って、前記荷重曲げ部２０の弾性変形動作によって前記フレクシャ基板４００が振動することを可及的に防止しつつ、溶接による前記フレクシャ基板４００，前記先端側支持プレート１５０及び前記支持部形成板１００の歪みを有効に防止できる。
【００７３】
さらに、本実施の形態においては、前述の通り、前記支持部形成板１００の下面には、前記先端側支持プレート１５０が当接する部分に前記先端側凹部１２０が形成されている。
斯かる構成によれば、前記フレクシャ基板４００を前記支持部先端領域１０５の下面に溶接させつつ、前記フレクシャ基板４００を無理なく前記支持部形成板１００の基端側へ延在させることができる。
【００７４】
本実施の形態においては、図２及び図４(b)に示すように、前記支持部重合領域４２０は、前記支持部先端領域１０５における前記先端部位の前記露出面に当接され且つ溶接される先端側支持部重合領域４２１と、前記一対の圧電素子６０よりサスペンション長手方向基端側に位置する基端側支持部重合領域４２３と、前記先端側支持部重合領域４２１及び前記基端側支持部重合領域４２３の間に延びる中間支持部重合領域４２２とを含んでいる。
【００７５】
斯かる構成においては、図４(b)に示すように、前記先端側凹部１２０の形成によって、前記先端側支持部重合領域４２１及び前記中間支持部重合領域間４２２の間に段差が生じることを防止又は前記段差の高さを低減でき、これにより、前記フレクシャ基板４００に無理な応力が掛かることを有効に防止できる。
【００７６】
なお、本実施の形態においては、図４(b)に示すように、前記先端側凹部１２０の深さは前記先端側支持プレート１５０の板厚と同一とされているが、これに代えて、図４(c)に示すように、前記先端側凹部１２０の深さを前記先端側支持プレート１５０の板厚よりも小さくし、且つ、前記先端側支持プレート１５０における前記ディスク面に近接する下面に前記中間支持部重合領域４２２が通過する溝１５５を設けることも可能である。
【００７７】
当然ながら、前記基端側支持プレート１６０に同様の溝１６５を設けることができる。
即ち、図４(c)に示すように、前記基端側凹部１２５の深さを前記基端側支持プレート１６０の板厚よりも小さくし、且つ、前記基端側支持プレート１６０における前記ディスク面に近接する下面に前記中間支持部重合領域４２２が通過する前記溝１６５を設けることができる。
【００７８】
又、本実施の形態においては、前記支持部先端側領域１０５に溶接される前記先端側支持部重合領域４２１と前記支持部形成板１００のうち前記一対の圧電素子６０より基端側に位置する部分と重合する前記基端側支持部重合領域４２３とが前記中間支持部重合領域４２２を介して連結されている。
斯かる構成においては、好ましくは、図１(a)に示すように、前記中間支持部重合領域４２２は、サスペンション幅方向に関し前記一対の圧電素子６０の間に配置される。
【００７９】
斯かる構成によれば、前記中間支持部重合領域４２２によって前記フレクシャ基板４００の剛性を向上させつつ、前記中間支持部重合領域４２２と前記一対の圧電素子６０とが接触することを有効に防止できる。
【００８０】
なお、本実施の形態においては、前記先端側支持プレート１５０及び前記基端側支持プレート１６０は別体とされているが、これに代えて、前記先端側支持プレート１５０及び前記基端側支持プレート１６０を一体成形することも可能である。
【００８１】
例えば、図６(a)に示すように、前記先端側支持プレート１５０及び前記基端側支持プレート１６０のサスペンション幅方向外方側の端部同士を一対の連結梁１７０によって連結することも可能であるし、若しくは、図６(b)に示すように、前記先端側支持プレート１５０及び前記基端側支持プレート１６０のサスペンション幅方向中央部同士を単一の連結梁１７５によって連結することも可能である。なお、図６(a)及び(b)においては、前記一対の圧電素子６０を破線で示している。
【００８２】
このように、前記先端側支持プレート１５０及び前記基端側支持プレート１６０を一体形成することによって、前記先端側支持プレート１５０及び前記基端側支持プレート１６０の前記支持部形成板１００への装着作業効率を向上させることができると共に、衝撃力印可時に前記一対の圧電素子６０に掛かる応力を低減させることができる。
【００８３】
実施の形態２
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図７(a)に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション２Ａの下面図（ディスク面側から見た底面図）を示す。図７(a)における○印は溶接点を示している。
又、図７(b)に、前記磁気ヘッドサスペンション２Ａの部分縦断側面図であって、前記実施の形態１における図４(b)に対応した縦断側面図を示す。
なお、図中、前記実施の形態１における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００８４】
本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション２Ａは、前記ディスク面と直交する平面視において先端側支持プレート１５０Ｂの先端側エッジと前記支持部先端領域１０５の基端側エッジとの間に隙間１４０が存在する点、及び、前記平面視において基端側支持プレート１６０Ｂの基端側エッジと前記支持部基端側領域１０１の先端側エッジとの間に隙間１４５が存在する点において、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａと相違している。
【００８５】
詳しくは、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション２Ａは、前記実施の形態１に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａを基準にして、前記先端側支持プレート１５０及び前記基端側支持プレート１６０の代わりに、先端側支持プレート１５０Ｂ及び基端側支持プレート１６０Ｂを備えている。
【００８６】
前記先端側支持プレート１５０Ｂは、前記一対の支持部連結梁１１５の先端側にのみ重合し且つ前記支持部先端領域１０５との間には前記隙間１４０が存するように、構成されている。
【００８７】
なお、本実施の形態においては、前記支持部形成板１００は、前記一対の支持部連結梁１１５の先端側にのみ前記先端側凹部１２０を有し、前記支持部先端領域１０５のサスペンション幅方向中央には前記先端側凹部１２０が設けられていない。
そして、前記先端側支持プレート１５０Ｂは、前記一対の支持部連結梁１１５の先端側に設けられた前記先端側凹部１２０においてのみ前記一対の支持部連結梁１１５に重合され且つ溶接されており、前記支持部先端領域１０５とは重合しないように構成されている。
【００８８】
前記基端側支持プレート１６０Ｂは、前記支持部基端領域１０１のサスペンション幅方向両側にのみ重合し且つ前記支持部基端領域１０１のサスペンション幅方向中央との間には前記隙間１４５が存するように、構成されている。
【００８９】
なお、本実施の形態においては、前記支持部形成板１００は、前記支持部基端領域１０１の先端側のサスペンション幅方向中央を挟んだ両側にのみ前記基端側凹部１２５を有し、前記支持部基端領域１０１の先端側のサスペンション幅方向中央には前記基端側凹部１２５が設けられていない。
そして、前記基端側支持プレート１６０Ｂは、前記基端側凹部１２５においてのみ前記支持部基端領域１０１に重合され且つ溶接され、サスペンション幅方向中央においては前記支持部基端領域１０１とは重合しないように構成されている。
【００９０】
斯かる構成の前記磁気ヘッドサスペンション２Ａによれば以下の効果を得ることができる。
即ち、前記実施の形態１におけるように前記先端側支持プレート１５０が平面視において前記支持部先端領域１０５とオーバーラップする構成においては、前記先端側支持プレート１５０の上面に前記絶縁性接着剤７０を塗布してから前記一対の圧電素子６０を前記先端側支持プレート１５０の上面に載置させて前記一対の圧電素子６０を前記支持部先端領域１０５及び前記先端側支持プレート１５０に固着させる際に、前記絶縁性接着剤７０が理想的には密着している前記先端側支持プレート１５０及び前記支持部先端領域１０５の間に入り込む恐れがある。前記先端側支持プレート１５０及び前記支持部先端領域１０５は共にＳＵＳ等の剛性部材によって形成され且つ理想的には密着状態とされるから、両者の間に前記絶縁性接着剤７０が入り込むと、前記一対の圧電素子６０の伸縮動作に伴って両者の間の前記絶縁性接着剤７０に包含されるフィラーが脱離する恐れがある。
これに対し、本実施の形態においては、前記先端側支持プレート１５０Ｂの先端側エッジと前記支持部先端領域１０５の基端側エッジとの間に前記隙間１４０が設けられているので、斯かる不都合も有効に防止できる。
【００９１】
同様に、前記基端側支持プレート１６０Ｂの基端側エッジと前記支持部基端領域１０１の先端側エッジのサスペンション幅方向中央との間に前記隙間１４５が設けられているので、前記基端側支持プレート１６０Ｂ及び前記支持部基端領域１０１の間に前記絶縁性接着剤７０が入り込むことを有効に防止できる。
【００９２】
実施の形態３
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの他の実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図８(a)に、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション３Ａの下面図（ディスク面側から見た底面図）を示す。又、図８(b)に、図８(a)におけるVIII-VIII線に沿った断面図を示す。なお、図８(a)においては前記フレクシャ部４０の図示を削除している。又、図８(a)における○印は溶接点を示している。
図中、前記実施の形態１又は２における同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００９３】
本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション３Ａは、前記先端側支持プレート１５０及び前記基端側支持プレート１６０が支持プレート２００に変更されている点において、主として前記実施の形態１に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａと相違している。
【００９４】
図９(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション３Ａにおける前記ロードビーム部３０，前記荷重曲げ部２０及び前記支持プレート２００の下面図及び上面図を示す。なお、図９(a)及び(b)において、前記一対の圧電素子６０を破線で示している。
【００９５】
詳しくは、前記支持プレート２００は、互いに対してサスペンション幅方向に離間された状態で前記支持部形成板１００の下面に溶接される一対の先端側ベースステンレス２１０と、前記一対の先端側ベースステンレス２１０からサスペンション長手方向基端側へ離間され且つ互いに対してサスペンション幅方向に離間された状態で前記支持部形成板１００の下面に溶接される一対の基端側ベースステンレス２２０と、前記一対の先端側ベースステンレス２１０及び前記一対の基端側ベースステンレス２２０の上面（前記ディスク面とは反対側の面）に積層されたポリイミド層２３０と、前記ポリイミド層２３０の上面に積層された補強ステンレス２４０とを備えている。
【００９６】
前記一対の先端側ベースステンレス２１０は、図８(a)及び(b)に示すように、前記支持部先端領域１０５における前記ディスク面に近接する下面の少なくともサスペンション幅方向中央領域が前記ディスク面に対して露出した露出面を形成するように、前記支持部形成板１００の下面に溶接されている。
【００９７】
本実施の形態においては、図８(a)及び(b)に示すように、前記支持部形成板１００には前記先端側凹部１２０及び前記基端側凹部１２５が形成されており、前記一対の先端側ベースステンレス２１０及び前記一対の基端側ベースステンレス２２０はそれぞれ前記先端側凹部１２０及び前記基端側凹部１２５内に配置されている。
【００９８】
これに代えて、図８(c)に示すように、前記先端側凹部１２０及び前記基端側凹部１２５を削除することも可能である。
即ち、前記支持部先端領域１０５の下面のサスペンション幅方向両側に前記一対の先端側ベースステンレス２１０を溶接させ、前記フレクシャ基板４００を前記一対の弾性板２１の間において前記支持部先端領域１０５の下面に溶接させ且つ前記一対の先端側ベースステンレス２１０の間を通過させて基端側へ延在させることができる。
【００９９】
前記ポリイミド層２３０は、先端側の端面が前記支持部先端領域１０５の基端側の端面と対向するように前記一対の先端側ベースステンレス２１０の間においてサスペンション幅方向に延びる先端側幅方向領域２３１と、基端側の端面が前記支持部基端領域１０１の先端側の端面と対向するように前記一対の基端側ベースステンレス２２０の間においてサスペンション幅方向に延びる基端側幅方向領域２３３と、前記先端側幅方向領域２３１及び前記基端側幅方向領域２３３を連結する連結領域２３２とを含んでいる。
【０１００】
なお、前記ポリイミド層２３０が前記支持部先端領域１０５及び／又は前記支持部基端領域１０１と当接するように構成することも可能であるが、斯かる構成においては、前記ポリイミド層２３０と前記支持部先端領域１０５との間、及び／又は、前記ポリイミド層２３０と前記支持部基端領域１０１との間に前記絶縁性接着剤７０が入り込み、前記一対の圧電素子６０の伸縮動作に伴って前記絶縁性接着剤７０に包含されるフィラーが脱離する恐れがある。
これに対し、本実施の形態においては、図８(b)及び(c)に示すように、平面視において前記ポリイミド層２３０と前記支持部先端領域１０５との間に隙間が存在し、且つ、平面視において前記ポリイミド層２３０と前記支持部基端領域１０１との間に隙間が存在する。従って、斯かる不都合を有効に防止できる。
【０１０１】
前記補強ステンレス２４０は、前記先端側幅方向領域２３１における上面の基端側においてサスペンション幅方向に延びる先端側補強ステンレス２４１と、前記基端側幅方向領域２３３における上面の先端側においてサスペンション幅方向に延びる基端側補強ステンレス２４２とを含んでいる。
【０１０２】
好ましくは、前記先端側補強ステンレス２４１は、平面視において一端側及び他端側が前記一対の先端側ベースステンレス２１０の一方及び他方と重合するように配置される。
同様に、前記基端側補強ステンレス２４２は、平面視において一端側及び他端側が前記一対の基端側ベースステンレス２２０の一方及び他方と重合するように配置される。
斯かる構成によれば、前記支持プレート２００の強度を有効に向上させることができる。
【０１０３】
前記一対の圧電素子６０は、先端側が前記先端側幅方向領域２３１及び前記先端側補強ステンレス２４１の上面に載置され且つ基端側が前記基端側幅方向領域２３３及び前記基端側補強ステンレス２４２の上面に載置された状態で、前記支持部先端領域１０５における基端側の端面、前記先端側幅方向領域２３１及び前記先端側補強ステンレス２４１の上面、前記基端側幅方向領域２３３及び前記基端側補強ステンレス２４２の上面、及び、前記支持部基端側領域１０１における先端側の端面に前記接着剤７０を介して固着される。
【０１０４】
前記フレクシャ基板４００は、前記ロードビーム部重合領域４１０が前記ロードビーム部本体領域３１０に溶接されることで前記ロードビーム部４０に固着され、且つ、前記支持部重合領域４２０が少なくとも前記支持部先端領域１０５における前記露出面に溶接されることで前記支持部１０に固着される。
【０１０５】
斯かる構成によれば、前記フレクシャ基板４００を前記支持部１０の先端側に可及的に近接した位置で前記支持部形成板１００にのみ溶接することができる。
従って、前記荷重曲げ部２０の弾性変形動作によって前記フレクシャ基板４００が振動することを可及的に防止し、さらに、溶接による前記フレクシャ基板４００，前記支持プレート２００及び前記支持部形成板１００の歪みを有効に防止できる。
【０１０６】
さらに、本実施の形態においては、前述の通り、前記一対の先端側ベースステンレス２１０が互いに対してサスペンション幅方向に離間された状態で前記支持部形成板１００の下面に溶接されており、サスペンション幅方向中央には前記先端側ベースステンレス２１０が存在しない。
従って、前記支持部先端領域１０５の下面に溶接された前記フレクシャ基板４００を前記一対の先端側ベースステンレス２１０の間を通過させて前記支持部形成板１００の基端側へ延在させることができる。
さらに、前記一対の圧電素子６０の先端側に配設された絶縁性接着剤７０が基端側へ流れ出ることを前記先端側補強ステンレス２４１によって有効に防止でき、且つ、前記一対の圧電素子６０の基端側に配設された絶縁性接着剤７０が先端側へ流れ出ることを前記基端側補強ステンレス２５４２によって有効に防止できる。
【符号の説明】
【０１０７】
１Ａ〜３Ａ        磁気ヘッドサスペンション
１０              支持部
２０              荷重曲げ部
２１              弾性板
３０              ロードビーム部
４０              フレクシャ部
５０              磁気ヘッドスライダ
６０              圧電素子
７０              接着剤
１００            支持部形成板
１０１            支持部基端領域
１０５            支持部先端領域
１１０            支持部開口領域
１１５            支持部連結領域
１２０            先端側凹部
１２５            基端側凹部
１４０            支持部先端領域及び先端側支持プレート間の隙間
１４５            支持部基端領域及び基端側支持プレート間の隙間
１５０            先端側支持プレート
１５５            溝
１６０            基端側支持プレート
１７０            一対の連結梁
１７５            単一の連結梁
２００            支持プレート
２１０            先端側ベースステンレス
２２０            基端側ベースステンレス
２３０            ポリイミド層
２３１            先端側幅方向領域
２３２            連結領域
２３３            基端側幅方向領域
２４０            補強ステンレス
２４１            先端側補強ステンレス
２４２            基端側補強ステンレス
３００            ロードビーム基板
３１０            ロードビーム部本体領域
４００            フレクシャ基板
４１０            ロードビーム部重合領域
４１１            アーム領域
４１２            ヘッド搭載領域
４１５            連結領域
４２０            支持部重合領域
４２１            先端側支持部重合領域
４２２            中間支持部重合領域
４２３            基端側支持部重合領域
４８０            配線体
【図１】
2011008866.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2011008866.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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