(57)【要約】【課題】効率的な仕方で電子コンポーネントを整列させる。【解決手段】本発明のある例示的な実施形態によれば、電子コンポーネントを整列させるための整列固定具が提供される。ここで、本整列固定具は、第一の当接部および第二の当接部を有する、前記電子コンポーネントを受け入れるよう適応されたレセプタクルと；弾性ユニットとを有する。前記第一の当接部および前記第二の当接部の一方は、前記弾性ユニットを介してフレキシブルに取り付けられ、前記第一の当接部および前記第二の当接部のうちの他方は固定的に取り付けられる。前記第一の当接部および前記第二の当接部はそれぞれ、硬い部材をなし、前記電子コンポーネントと係合するよう適応されている。前記弾性ユニットは、前記第一の当接部および前記第二の当接部のうちの一方に対して、互いに対して角度をもつ二つの力成分をはたらかせるよう適応されている。【選択図】図９
2011039057.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子コンポーネントを整列させるための整列固定具であって：
第一の当接部および第二の当接部を有する、前記電子コンポーネントを受け入れるよう適応されたレセプタクルと；
弾性ユニットとを有し、
前記第一の当接部および前記第二の当接部の一方は、前記弾性ユニットを介してフレキシブルに取り付けられ、前記第一の当接部および前記第二の当接部のうちの他方は固定的に取り付けられ、
前記第一の当接部および前記第二の当接部はそれぞれ、硬い部材をなし、前記電子コンポーネントと係合するよう適応されており、
前記弾性ユニットは、前記第一の当接部および前記第二の当接部のうちの一方に対して、互いに対して角度をもつ二つの力成分をはたらかせるよう適応されている、
整列固定具。
【請求項２】
前記第一の当接部および前記第二の当接部の少なくとも一方は、前記電子コンポーネントの、二つの、角度をもった側部と、形状ロックする仕方で係合するよう適応されている、請求項１記載の整列固定具。
【請求項３】
請求項１または２記載の整列固定具であって、
前記電子コンポーネントに対して、前記第一の当接部は第一の力をはたらかせるよう適応され、前記第二の当接部は第二の力をはたらかせるよう適応され、
前記第一の力および前記第二の力は少なくとも部分的に互いに反対方向である、整列固定具。
【請求項４】
前記第一の当接部および前記第二の当接部は、前記第一の力が前記レセプタクルの主平面に平行にはたらかされ、前記第二の力が前記レセプタクルの前記主平面に平行にはたらかされるよう適応されている、請求項３記載の整列固定具。
【請求項５】
前記レセプタクルはさらに、前記レセプタクルの主平面に平行な支持面をなすベース支持部を有する、請求項１ないし４のうちいずれか一項記載の整列固定具。
【請求項６】
前記弾性ユニットの下に配置されるベース支持板を有する、請求項１ないし５のうちいずれか一項記載の整列固定具であって、
前記弾性ユニットが、前記ベース支持板によって少なくとも部分的に支持されて前記レセプタクルの主平面に平行な動きを実行するよう適応される、整列固定具。
【請求項７】
当該整列固定具の厚さを調整するために適応された少なくとも一つの厚さ調整板を有する、請求項１ないし６のうちいずれか一項記載の整列固定具。
【請求項８】
前記弾性ユニットが、当該整列固定具の弾性ユニット受け入れ部に取り付けられるよう適応された別個の弾性部材である、請求項１ないし７のうちいずれか一項記載の整列固定具。
【請求項９】
前記弾性ユニット受け入れ部が、前記弾性ユニットが回転しないよう固定されるよう、前記弾性ユニットのサスペンションにおいて前記弾性ユニットを固定するよう適応されている、請求項８記載の整列固定具。
【請求項１０】
前記弾性ユニットは、形状ロックする仕方で前記弾性ユニット受け入れ部に固定的に取り付けられる、請求項８または９記載の整列固定具。
【請求項１１】
前記弾性ユニットは、前記第一の当接部および前記第二の当接部のうちフレキシブルに取り付けられたほうに対して前記二つの力成分をはたらかせ、この当接部が前記電子コンポーネントに対して二つの、角度をもった力成分をはたらかせうるようにするよう適応されている、請求項１ないし１０のいうちいずれか一項記載の整列固定具。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のうちいずれか一項記載の整列固定具を複数個有する、複数の電子コンポーネントを整列させるための担体。
【請求項１３】
各レセプタクルが少なくとも一つの割り当てられた弾性ユニットを有する、請求項１２記載の担体。
【請求項１４】
請求項１２または１３に記載の担体を使う方法であって：
・クランプ機構を操作して、受け入れられるべき電子コンポーネントより大きなレセプタクル内の開口を露わにする段階と；
・電子コンポーネントをレセプタクル内の開口内に位置させる段階と；
・前記クランプ機構を操作して、電子コンポーネントが前記担体のレセプタクル内で整列されるよう開口のサイズを小さくする段階とを有する、
方法。
【請求項１５】
請求項１４記載の方法であって：
・前記担体を後処理機械内に位置させる段階と；
・前記電子コンポーネントが前記担体のレセプタクル内に整列された位置に維持されている間に、前記電子コンポーネントを前記後処理機械の後処理操作にかける段階とを有する、
方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子コンポーネントを整列させるための整列固定具（align  fixture）に関する。
【０００２】
さらに、本発明は担体（carrier）に関する。
【０００３】
これに加えて、本発明は前記担体を使用する方法に関する。
【背景技術】
【０００４】
集積回路は通例、半導体ウェーハ上に製作される。集積回路は多様な用途をもち、さまざまな電子装置に見出すことができる。作られる目的に応じて、集積回路および抵抗器、キャパシタンスおよびインダクタンスといった他の電子コンポーネントは、アセンブルされる前にパッケージングされ、マークされ、試験される。たとえば、MEMS（micro  electro  mechanical  system［微小電気機械システム］）コンポーネントは、所与の温度、圧力、傾斜角および種々の型の加速のもとで試験される。よって、電子コンポーネントの完全な製造は、純粋な製作の諸工程と、電子コンポーネントの接点パターンを仕上げた後の工程とに分けられる。電子コンポーネントを扱う三つの型の機械がある。いわゆる「重力ハンドラ（Gravity  handler）」および切り離された電子コンポーネントを扱う「ピックアンドプレース・ハンドラ（Pick  &  Place  handler）」およびいわゆるストリップを扱う「ストリップ・ハンドラ（Strip  handler）」である。
【０００５】
米国特許出願公開US2003/0017629A1は、試験操作の間、切り離された電子デバイスを支持する、本体および支持部材を有する装置であって、前記支持部材が非伝導性の高抵抗材料からなり複数の凹部を有し、各凹部が個々の切り離されたデバイスを受け入れるよう適応されている装置を開示している。そのようなデバイスを試験する方法であって、デバイスが、一つまたは複数の環境制御チャンバを含む試験プロセスを通じて支持部材上で担持される方法も開示されている。
【０００６】
米国特許出願公開US2006/0154386A1では、担体上に置かれた複数の半導体デバイスを整列させる装置および方法が提供される。整列ガイドが使用中の各デバイスに隣接して位置され、各半導体デバイスの所望の整列に対応するよう配列される。整列のためには、半導体デバイスは複数のホルダを有する位置決めデバイスによって保持される。各ホルダは半導体デバイスを保持するための力を生じるよう構成される。半導体デバイスが整列ガイドに整列するまで半導体デバイスを配向させるために半導体デバイスを整列ガイドに対して付勢するために位置決めデバイスおよびホルダを動かすよう動作するアクチュエータも提供される。
【０００７】
米国特許US7,156,680B2は、挿入体および該挿入体を設けられた電子コンポーネントハンドリング装置を開示している。挿入体に取り外し可能に取り付けられることのできるガイド・コアおよびガイド・コアが取り外し可能に取り付けられることのできる挿入体を提供するために、米国特許US7,156,680B2は、挿入体に取り外し可能な仕方で取り付けられることのできるガイド・コアであって、エリア・アレイ型電子コンポーネントの外側端末面を、該エリア・アレイ型電子コンポーネントの外側端末がソケットの接続端末の方向に曝されるよう支持することのできる支持部と、挿入体に設けられたフック部と解放可能な仕方で係合できるフック受容部とを有するガイド・コアを提供する。米国特許US7,156,680B2はまた、ガイド・コアに取り外し可能な仕方で取り付けられることのできる挿入体であって、ガイド・コアが取り付けられるガイド・コア取り付けソケットおよび該ガイド・コア取り付けソケットと接続された電子コンポーネント取入口を有し、電子コンポーネントがガイド・コア取り付けソケットに取り付けられたガイド・コアにガイドされることができるようにする電子コンポーネント・ガイド部と、ガイド・コアに設けられたフック受容部と解放可能な仕方で係合されることのできるフック部とを有する挿入体を提供する。
【０００８】
米国特許US5,596,229Aは、電気接点パッドを有するチップ担体を含むためのチップ担体構造であって、該チップ担体のための位置決め構造およびスロット付き構造を有するチップ担体構造を開示する。前記位置決め構造およびスロット付き構造はかみ合わされて、前記チップ担体を含むかみ合わされた（mated）構造を形成する。スロット付き構造のスロットは、チップ担体のパッドと整列しており、かみ合わされた位置決め構造およびスロット付き構造の外部から内部に前記パッドへの電気的および機械的アクセスを提供する。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
効率的な仕方で電子コンポーネントを整列させることのできるシステムの必要がある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上に定義した目的を達成するため、電子コンポーネントを整列させるための整列固定具、複数の整列固定具を有する担体および担体を使う方法が提供される。
【００１１】
本発明のある例示的な実施形態によれば、電子コンポーネントを整列させるための整列固定具が提供される。ここで、前記整列固定具は、第一の当接する（特に接触する）部分（特にセグメント）および第二の当接する（特に接触する）部分（特にセグメント）を有する、電子コンポーネントを受け入れるよう適応された（特に、意図された）レセプタクル（これは何かを受け入れ、含むためのデバイスと表してもよい）と；弾性的な（特に柔軟な、復元力のあるまたは弾力的な）ユニット（特にある特定の機能を実行するはたらきをする装置または装置複合体）とを有する。第一の当接部および第二の当接部の一方は、弾性ユニットを介して柔軟〔フレキシブル〕にマウントされ、第一の当接部および第二の当接部のうちの他方は固定的に（特にしっかりとまたは堅く）マウントされる。第一の当接部および第二の当接部のそれぞれは、硬い（特に、弾性的でない、柔軟でない、剛性の、曲がりにくいまたは可撓性でない）部材（特にパーツ）をなし、電子コンポーネントと係合する（特に、接触する）よう適応される。弾性ユニットは、第一の当接部および第二の当接部のうちの一方に対して、互いに対して角度をもつ（特に、公差を別として０とは異なる角度をはさむ）二つの力成分をはたらかせる（特に加える）よう適応される。
【００１２】
本発明のもう一つの例示的な実施形態によれば、複数の電子コンポーネントを整列させるための担体が提供される。ここで、担体は、上記の特徴を持つ複数の整列固定具を有する。
【００１３】
本発明のさらにもう一つの例示的な実施形態によれば、上述の特徴を有する担体を使う方法が提供される。該方法は：
・クランプ機構を作動させて受け入れられるべき電子コンポーネント（特にモールドされた部品）より大きなレセプタクル内の開口を露わにする段階と；
・電子コンポーネントをレセプタクル内の開口内に位置決めする（特に位置させる）段階（特に開口を露わにした後）と；
・クランプ機構を作動させて、電子コンポーネントが担体のレセプタクル内で整列されるよう開口のサイズを小さくする段階（特に位置決めした後）とを有する。
【００１４】
「整列固定具（align  fixture）」の用語は、特に加工および取り扱いの際に物理的構造を支持するためのデバイスを表しうる。「物理的構造」は、この文脈では、特に、製造または取り扱いの工程における任意の段階において作用される物質、材料片または電子コンポーネントを表しうる。
【００１５】
「整列〔アライン／位置合わせ〕」の用語は、特に、何かが配列されるまたは並べられることを表しうる。たとえば、電子コンポーネントが固定された当接部と整列されうる。
【００１６】
「電子コンポーネント」の用語は、特に、プリント回路基板のような電子支持基板上にマウントされるために適応された任意のコンポーネントを表しうる。そのような電子コンポーネントは、ハンドリング機械（handling  machine）、いわゆる「ハンドラ（handler）」によって扱われてもよい。電子コンポーネントの例は、電子チップ、すなわちパッケージングされたダイまたは裸のパッケージングされていないダイである。
【００１７】
「レセプタクル」の用語は、特に、何かを受け入れて含むデバイスを表しうる。あるいは、より特定的に、電子コンポーネントのコンテナを表してもよい。
【００１８】
「当接部」の用語は、特に、接触するセグメント、すなわち電子コンポーネントと直接当接するレセプタクルの部分を表しうる。
【００１９】
「弾性ユニットは二つの角度をもった力成分をはたらかせるよう適応される」の用語は、特に、力が表面に対して作用する二つの直交する力成分に分割されうることを表しうる。弾性ユニットによってはたらかされる斜めの（skew）力は、第一および第二の当接部の少なくとも一方に作用して、該少なくとも一方の当接部に、互いに角度をもった二つの力成分を加えうる。二つの角度をもった力成分は、弾性ユニットによってはたらかされる斜めの力によって引き起こされうる。「斜めの」力とは、この文脈では、表面、すなわち第一および第二の当接部と平行でなく、該表面に対してある角度をもつ力を表しうる。その角度は、少なくとも0.5°、1°、2°、4°、8°または16°の角度で平行から外れる。その角度は10°より大きくてもよく、特に30°より大きくてもよく、より特定的に45°より大きくてもよい。斜めの力は、角度をもつと表されうる。ある実施形態では、力は、少なくとも一つの直角形の当接部に対し、直角形の当接部の内角に対して45°の角度で向けられてもよい。斜めの力は、対角方向にはたらかされる力によって表されてもよい。
【００２０】
「担体」の用語は、特に、担持するためのコンテナまたは担持するデバイスを表しうる。担体は、該担体の複数のレセプタクルに複数の電子コンポーネントを担持するよう適応されたストリップ様部材であってもよい。そのような担体は、ハンドラとの関連で使用されてもよい。該ハンドラは、電子コンポーネントの試験（機能試験など）をその後実行するために該担体を使って電子デバイスを扱うことを許容する。
【００２１】
「クランプ」の用語は、特に、担体が、電子コンポーネントを保持するまたは圧握するために集められる諸部分をもつよう設計されることを表しうる。集められうる諸部分は、第一の当接部および第二の当接部であってもよい。クランプは弾性的であってもよい。「弾性的」の用語は、特に、フックの法則に従う力のような特に、柔軟な、復元力のあるまたは弾力的な力がはたらかされうることを表す。
【００２２】
本発明のある例示的な実施形態によれば、電子コンポーネントを自己作用的に（in  a  self-acting  manner）レセプタクル内に整列させる整列固定具が提供されうる。斜めの力、たとえば対角線方向に作用する力（たとえば長方形の電子デバイスについて）は、第一の当接部および第二の当接部の少なくとも一方に対して二つの角度をもった力成分をはたらかせうる。斜めであるまたは角度をもっていてもよい力は、当接部（弾性ユニット上に柔軟にマウントされている）から電子コンポーネントを介して固定的にマウントされている当接部に伝達されうる。ある実施形態では、斜めの力は、電子コンポーネントの側部のそれぞれに非平行方向に作用しうる。弾性ユニットによってはたらかされる二つの角度をもった力成分を与えることによって、電子コンポーネントは、レセプタクル内での電子コンポーネントのさらなる横方向の当接の必要なしに、第一の当接部および第二の当接部によって完全に整列されうる。これは、ただ一つの弾性ユニットおよび二つの当接部分が電子コンポーネントを整列させるために十分でありうるので、有利でありうる。整列固定具の設計および製造のプロセスは、コスト効率がよいものとなりうる。電子コンポーネントが一方の当接部の二つの角度をもった側部によって係合されるとき、電子コンポーネントの整列は、一つの弾性ユニットしか使用されないという事実のため、信頼できるものとなりうる。一つの弾性ユニットの配向が、斜めの力の方向と、二つの角度をもった力成分の方向および大きさを定義しうる。斜めの力は、電子コンポーネントの側部に対して斜めである、または角度をもちうる。第一の当接部および第二の当接部の方向はそれぞれ電子コンポーネントの側部の配向と平行に定義されうる。
【００２３】
ある実施形態では、複数コンポーネントを整列させるための、複数の整列固定具を有する担体が提供されうる。複数の整列固定具は、マトリクス形式（つなわち行と列）に配列されてもよく、固定的にマウントされて担体を形成してもよい。担体は、単一の整列固定具と同様の属性を有していてもよいが、複数の電子コンポーネントに対して適用可能でありうる、すなわち複数の電子コンポーネントを同時に担持しうる。電子コンポーネントは、担体の整列固定具によってレセプタクル内に、規定された仕方で整列されうる。よって、担体は、複数の電子コンポーネントを整列させることを許容するよう適応される。
【００２４】
本発明のある例示的な実施形態によれば、担体を使う方法が提供されうる。ここで、電子コンポーネントが担体の一時的に拡大されたレセプタクル内に位置され、位置されると、クランプ機構によって、サイズが小さくなったレセプタクル内に弾性的にクランプされ、整列されうる。レセプタクルの拡大されたサイズからレセプタクルのクランプするサイズへの遷移は、自己作用的に行われうる。
【００２５】
以下では、整列固定具のさらなる例示的実施形態について記載するが、これらの実施形態は担体および方法にも当てはまる。
【００２６】
整列固定具は、第一の当接部に形成される操作可能な（actuatable）構造を有していてもよい。ここで、操作可能な構造は、レセプタクルを操作するために（ハンドラ・デバイスなどの）対応する操作〔アクチュエーション〕構造によって操作可能でありうる。操作可能な構造は、操作構造によって制御される任意の適切な力印加機構（たとえば、機械的な力、電気的な力、磁力などを加える）によって操作できる、たとえば凹部、凸部などであってもよい。操作構造は、操作可能な構造に対応して構成され（たとえば形および／または大きさが決められ）てもよく、たとえば所望の仕方でレセプタクルを制御するための（たとえばその開口を一時的に拡大または縮小するための）任意の適切な力印加機構（たとえば機械的な力、電気的な力、磁力などを加える）を使って操作可能な構造を操作できる突起または他の任意の力印加要素であってもよい。
【００２７】
操作可能な構造（特に操作可能な穴、操作可能なピンまたは操作可能なアーム）は、操作されて、弾性ユニットを操作するよう適応される。操作可能な構造は、レセプタクルのわきに（特にレセプタクルの境界領域の横に）位置されてもよい。操作可能な構造および第一の当接部は硬い部材をなしてもよい。操作可能な構造は、電子コンポーネントが受け入れられるべき側から（ハンドラのコントローラによって制御される操作要素によって）アクセス可能であってもよい。
【００２８】
第一の当接部および第二の当接部の少なくとも一方は、電子コンポーネントの二つの角度をもった側部と、形状ロックする（form  locking）（特に留める（fastening））仕方で、係合するよう適応されていてもよい。電子コンポーネントは半導体コンポーネントであってもよく、六つの異なる面をもつ基本的に直方体の形を有していてもよい。二つの向かい合う主要面、いわゆるシンボル側および平行な接点側は、半導体コンポーネントの主平面を表しうる。というのも、シンボル側および接点側は通例、半導体コンポーネントの残り四つの側部より大きな面積をもつからである。よって、電子コンポーネントの側部の高さによって定義される電子コンポーネントの高さは、主要面の両方の辺の長さよりも小さいことがありうる。
【００２９】
三つの構成が適用されうる。第一に、電子コンポーネントは、その側部のある第一のものの一部をもって当接してもよく、その側部の第二のもののさらなる一部をもって、形状ロックする仕方で、弾性ユニットを介してマウントされる当接部に当接してもよい。その側部の残りの一つまたはコーナー領域をもって、電子コンポーネントは固定的にマウントされた当接部に当接してもよい。電子コンポーネントは、一つの側部をもって、固定的にマウントされた当接部に整列されうる。第二に、電子コンポーネントは、その側部のある第一のものの一部またはコーナー領域をもって弾性ユニットを介してマウントされる当接部に当接してもよい。その側部の二つの角度をもった残りをもって、電子コンポーネントは形状ロックする仕方で、固定的にマウントされている当接部に当接してもよい。電子コンポーネントは、二つの側部をもって、固定的にマウントされた当接部に整列されうる。第三に、電子コンポーネントは、その側部のある第一のものの一部をもって当接してもよく、その側部の第二のもののさらなる一部をもって、弾性ユニットを介してマウントされている当接部に当接してもよい。その側部の第三のものおよび残りの第四のものをもって、電子コンポーネントは固定的にマウントされた当接部に当接しうる。電子コンポーネントは、二つの側部をもって、固定的な当接部に整列されうる。上記の第一、第二および第三の実施例によれば、電子コンポーネントのその主平面内での位置が完全に定義されうる。
【００３０】
第一の当接部は、第一の力をはたらかせるよう適応されてもよく、第二の当接部は電子コンポーネントに対して第二の力をはたらかせるよう適応されてもよい。ここで、第一の力および第二の力は少なくとも部分的に対向する（具体的には、互いに対してはたらく、すなわち反平行である）のでもよい。電子コンポーネントは、整列固定具のレセプタクル内で整列されうる。第一の当接部および第二の当接部は電子コンポーネントの側部に当接する。電子コンポーネントにはたらく諸力が少なくとも、一方向に向けられるのでなければ、はたらかされる力により、電子コンポーネントは静止し、整列されうる。第一の当接部および第二の当接部によって電子コンポーネントに加えられる二つの力が少なくとも部分的に対向しているとき、摩擦力を含めることによって、電子コンポーネントは静止しうる。
【００３１】
第一の当接部および第二の当接部は、第一の力がレセプタクルの主平面内ではたらき（すなわち、力のベクトルが主平面内にあってもよい）、第二の力がレセプタクルのこの主平面に平行にはたらくよう適応されてもよい。レセプタクルの前記主平面は、整列固定具の主平面に平行なものとして定義されうる。電子コンポーネントは、第一の当接部および第二の当接部によってはたらかされる力が一つの平面内ではたらく場合に、適切な仕方で整列されうる。第一の当接部および第二の当接部は、電子コンポーネントの側部に当接しうる。第一の力および第二の力の両方をレセプタクルの主平面内ではたらかせることによって、電子コンポーネントに対する全体的な力は、電子コンポーネントをひっくり返してレセプタクルから外に出す傾向をもつ回転モーメントは示さない。電子コンポーネントは、レセプタクルの主平面と平行な力によってレセプタクル内で堅固に整列されうる。
【００３２】
レセプタクルはさらに、レセプタクルの主平面に平行な支持面（特に、基礎としてのはたらきをすることによってある位置に保持する何か）をなすベース支持部を有してもよい。ベース支持部によってはたらかされる支持力は、電子コンポーネントの主平面に対して作用してもよく、特に重力と反平行であってもよい。電子コンポーネントは、レセプタクルの主平面および電子コンポーネントの主平面が平行となるようレセプタクル内で配置されてもよい。電子コンポーネントに作用するベース支持部はレセプタクルの主平面に平行であってもよく、それにより電子コンポーネントはベース支持部の支持によってレセプタクルの主平面内に整列される。電子コンポーネントを電子コンポーネントの主平面内で支持することの利点は、電子コンポーネントに対する荷重が電子コンポーネントの主要面の種々の部分に分散されうるということと、第一および第二の当接部の第一の力および第二の力がベース支持部に平行にはたらかされうるということがありうる。こうして、第一の力の配向および第二の力の配向は、ベース支持部上での電子コンポーネントの割れを回避しうる。
【００３３】
ベース支持部は、第一の力および第二の力に垂直な（特に鉛直な）支持力をはたらかせるよう適応されてもよい。ベース支持部によってはたらかされる支持力は、電子コンポーネントをその主平面に対して直角に整列させるよう適応されてもよい。支持力が第一および第二の当接部によってはたらかされる力と垂直であることの技術的利点は、電子コンポーネントに対して回転モーメントがはたらかないということでありうる。よって、電子コンポーネントはその主平面に対して整列された位置に留まりうる。
【００３４】
第一の当接部および第二の当接部のうち柔軟にマウントされたものは、レセプタクルの主平面と平行な動きを実行するよう適応されてもよい。柔軟にマウントされている当接部によってはたらかされる力は、レセプタクルの主平面と平行にはたらかされる。電子コンポーネントを整列させる力は、弾性ユニットによって与えられてもよく、弾性ユニットは、レセプタクル自身の主平面内での弾性ユニットの自己作用運動（self-acting  movement）によって、柔軟にマウントされた当接部および電子コンポーネントをレセプタクルの主平面内で動かしてもよい。こうして、弾性ユニットの力は、電子コンポーネントが主として頑丈であるまたは安定である平面内で、電子コンポーネントに対してはたらかされうる。
【００３５】
整列固定具は、ベース支持板を有していてもよく、該ベース支持板の上に弾性ユニットが配置される。ここで、弾性ユニットは、ベース支持板によって少なくとも部分的に支持されるレセプタクルの主平面に平行な動きを実行するよう適応されうる。ある実施形態では、ベース支持板および弾性ユニットはレセプタクルの主平面と平行に、かつ完全な整列固定具の主平面と平行に配置されうる。弾性ユニットは、弾性ユニットが配置されうるベース支持板に沿って動きうる。少なくとも一つの方向（これはベース支持板に向かって配向される方向であってもよい）では、弾性ユニットは、望ましくない変形に対して保護されうる。ベース支持板は平面状であってもよいし、あるいは弾性ユニットの動きを案内するよう適応された一つまたは複数の凹部を有していてもよい。
【００３６】
整列固定具は、ベース支持板および受け入れ板を有していて、両者の間に弾性ユニットが配置されてもよい。弾性ユニットは、ベース支持板および受け入れ板によって少なくとも部分的に案内（特に、何かの動きの向きを定めること）されるレセプタクルの主平面と平行な運動を実行するよう適応されうる。受け入れ板は特に、凹部（または受け入れる開口）を有し、それを介して電子コンポーネントが凹部を通じた挿入によってレセプタクルに受け入れられることができてもよい。ある実施形態では、ベース支持板、受け入れ板および弾性ユニットは、レセプタクルの主平面と平行に、かつ完全な整列固定具の主平面と平行に配置されうる。弾性ユニットは、その間に弾性ユニットが配置されるベース支持板と受け入れ板の間で動きうる。弾性ユニットは、二つの方向での変形に対して保護されうる。弾性ユニットが保護されうる二つの方向は、ベース支持板に向かって配向される方向および受け入れ板に向かって配向される方向であってもよい。ベース支持板および受け入れ板は、平面状であってもよいし、あるいは弾性ユニットの動きを案内するよう適応された凹部を有していてもよい。
【００３７】
整列固定具はさらに、厚さを調整するよう適応された少なくとも一つの距離調整板を有していてもよい。距離適応の目的のために、整列固定具は三つよりさらに多くの板を有していてもよい。
【００３８】
弾性ユニットはばね要素（特に、ゴム部材、任意の種類の弾性材料部材、鋼ばね板から形成されるばね、ばねワイヤから形成されるばねまたは板ばね〔フラット・スプリング〕、コイルばね、重ね板ばね〔リーフ・スプリング〕などのような任意の種類のばね）を有していてもよい。ばね要素は、板から一体形成されうる。ばね要素は、弾性ユニットに比して同様の属性を示しうる。ここで、弾性ユニットはいくつかの部分から形成されうる。ばね要素は、変形に対して弾性的な復元力、すなわちフックの法則に従う振る舞いを示しうる。
【００３９】
弾性ユニットは、第一のばね要素および第二のばね要素を有していてもよい。ここで、第一の当接部および第二の当接部のうち柔軟にマウントされた一方は、第一のばね要素および第二のばね要素と接続される。ある実施形態では、第一のばね要素および第二のばね要素は、互いに対して角度を付けて配置される。ばね要素の形、材料および大きさに依存して、二つのばね要素を弾性ユニットに組み合わせることが有利であることがある。二つよりさらに多いばね要素が弾性ユニットを形成してもよい。二つ以上のばね要素を弾性ユニットに組み合わせることによって、弾性ユニットによってはたらかされる力の方向および絶対値が適応されうる。ある実施形態では、第一のばね要素および第二のばね要素は互いに対して角度を付けて配置されうる。
【００４０】
弾性ユニットは、弾性ユニット受け入れ部にマウントされるよう適応された別個の弾性部材であってもよい。弾性ユニット受け入れ部は、前記板の一つから形成されてもよく、別個の弾性部材を受け入れるよう適応されていてもよい。整列固定具の適応性を高めるため、弾性ユニットは別個の弾性部材であってもよい。一つの弾性ユニット板または他の任意の適応された板が、種々の型の弾性部材を受け入れるのに好適でありうる。この結果として、整列固定具を種々のサイズの電子コンポーネントに適応させるのに必要とされる板がより少なくなりうる。整列固定具を種々の電子コンポーネント型に適応させるために、単にレセプタクルの個別のサイズ、弾性ユニット受け入れ部の位置を変える、あるいは挿入されるべき弾性部材のサイズを変えるということも可能でありうる。別個の弾性部材は、整列固定具を変えるのをより便利にすることによって、取り外し可能にマウントされうる。
【００４１】
弾性ユニット受け入れ部は、弾性ユニットを、弾性ユニットが回転しないよう固定されるよう、弾性ユニットのサスペンションにおいて固定する（特に、留めるまたは固着させる）よう適応されていてもよい。そうでなければ、弾性部材は定義された方向に力をはたらかせないことがありうる。力の方向および大きさは、弾性ユニットが回転可能でなければ変わらない。半導体デバイスのより小さなサイズにつながる半導体製造における小型化のため、半導体デバイスを非常に精密に整列させる必要があることがある。よって、そのサスペンションに受け入れられた弾性部材が回転しないようにすることが有利である。力が方向および大きさにおいて定義されうるからである。
【００４２】
弾性ユニットは、形状ロックする仕方で固定的に据え付けられてもよい。弾性ユニット受け入れ部は、弾性ユニットのサスペンション内に弾性ユニットを固定するよう適応されていてもよい。ここで、弾性ユニットはポジティブ・ロッキングをもって固定的に据え付けられる。弾性ユニットを形状ロックする仕方で固定的に据え付けることによって、前記別個の弾性部材のスリップが防止されうる。弾性ユニットは、整列固定具から外れることを防止されうる。弾性ユニットを形状ロックする仕方で据え付けることによって、弾性ユニットによってはたらかされる力の方向および大きさが定義され得、安定に維持されうる。
【００４３】
第一の当接部、第二の当接部およびベース支持部は、電子コンポーネントが受け入れられうる電子コンポーネント受け入れ体積の境界を定めてもよい。弾性ユニットの少なくとも一部が電子コンポーネント受け入れ体積の底面の下に延在してもよい。弾性ユニットを電子コンポーネント受け入れ体積の下に配置することによって、整列固定具のために必要とされる空間を小さく保ちうる。平均的な電子コンポーネントより大きな電子コンポーネントについては、整列固定具の主平面内の空間を節約することが有用でありうる。弾性ユニットの偏差がサイズの大きな電子コンポーネントについては大きくなりうるので、弾性ユニットを電子コンポーネント受け入れ体積の下に配置することによって、弾性ユニットが電子コンポーネント受け入れ体積の横にのみ配置される配置に比べて、著しい空間（たとえば空間の８倍まで）が節約されうるということになる。
【００４４】
第一の当接部および第二の当接部のうち柔軟にマウントされたものは、それがマウントされる弾性ユニットから上向きの方向に延在してもよく、この当接部は電子コンポーネント受け入れ体積の横に延在してもよい。柔軟にマウントされた当接部は、受け入れられる電子コンポーネントに当接するよう適応されるために、電子コンポーネント受け入れ体積の横に、電子コンポーネント受け入れ体積と同じ高さに延在してもよい。柔軟にマウントされた当接部は、電子コンポーネント受け入れ部の下に延在する弾性ユニットから、電子コンポーネント受け入れ部に向けて上方におよび電子コンポーネント受け入れ部の横（すなわち外部）に延在してもよく、柔軟にマウントされた当接部は、レセプタクル内に受け入れられた電子コンポーネントに当接するよう適応されてもよい。第一の当接部および第二の当接部は、電子コンポーネントをそれらの間の空間内にクランプするよう適応されてもよい。
【００４５】
整列固定具はさらに、フレーム、特にスライド可能にマウントされたフレームを有していてもよい。ここで、第一の当接部および弾性ユニットはスライド可能にマウントされたフレーム上にマウントされる。そのようなフレームは、たとえば四つのバーまたはロッドによって形成されるたとえば長方形の構造であってもよい。第一の当接部および弾性ユニットはそれらのバーまたはロッドによって境界が定められる領域内にマウントされてもよい。フレームはといえば、板のような外側の支持構造上に固定的または柔軟にマウントされていてもいなくてもよい。ある実施形態では、スライド可能にマウントされたフレームは、レセプタクルの整列性能の微調整を許容するために調整ユニットを有していてもよい。第一および第二の当接部は電子コンポーネントに係合してもよく、第一の当接部をもって電子コンポーネントをレセプタクルの主平面と平行に整列させてもよい。さらに、第一の当接部と、第二の当接部がマウントされる弾性ユニットとは、両方ともレセプタクルの主平面内にスライド可能にマウントされるフレーム上にマウントされてもよい。スライド可能にマウントされたフレームに調整ユニットを提供することによって、整列固定具において、レセプタクルおよびそこに受け入れられる電子コンポーネントの微調整を許容することが可能になりうる。スライド可能にマウントされたフレームは、少なくとも一つのさらなる弾性ユニットを介して弾性的にマウントされてもよい。
【００４６】
第一の当接部、第二の当接部、弾性ユニット、ベース支持部およびスライド可能にマウントされたフレームからなる群の少なくとも一つは、少なくとも部分的に板から一体形成されてもよい。エッチング技法またはレーザー技法といったデザイン技法を使うことによって少なくとも一つの機能要素を板から製造することは便利でありうる。これらの技法は、薄板、たとえば金属板に適用するのに最適に好適でありうる。エッチングまたはレーザー・カットによって、製造される構造の高精度が達成されうる。
【００４７】
第一の当接部、第二の当接部、弾性ユニット、ベース支持部およびスライド可能にマウントされたフレームからなる群の少なくとも二つは、少なくとも部分的に一枚の板から一体形成されてもよい。一枚の板から機能要素の少なくとも一つを一体形成することに関して述べたのと同じ利点が、一枚の板から二つまたはさらに多くの機能要素を形成することについても成り立つ。一枚の板を使ってできるだけ多くの機能要素を製造することが一層便利でありうる。特に、弾性ユニット上にマウントされる当接部および弾性ユニットは一枚の板から形成されうる。さらに、第一の当接部は、一枚の板から一体形成されうる。さらに加えて、スライド可能にマウントされたフレームおよび前記少なくとも一つのさらなる弾性ユニットは一枚の板から一体的に製造されうる。このように、第一の当接部、第二の当接部、弾性ユニット、スライド可能にマウントされたフレームおよび少なくとも一つのさらなる弾性ユニットは一枚の板から一体形成されうる。板の形を適切に適応させるとき、同じ板からベース支持部も形成することさえ可能でありうる。
【００４８】
弾性ユニットは、第一の当接部および第二の当接部のうちの前記一つに対して二つの力成分をはたらかせ、この当接部が電子コンポーネントに対して二つの角度をもった力成分をはたらかせうるようにするよう適応されうる。二つの当接部の一つに対して、弾性ユニットは二つの力成分をはたらかせ、ここで、各当接部はその二つの力成分を、その当接部が二つの角度をもった力成分を電子コンポーネントに対してはたらかせるような仕方で、伝達するよう適応されている。電子コンポーネントの二つの角度をもった側辺は、二つの角度をもった力をはたらかせる一つの当接部によって接触されうる。さらなる任意の当接部が電子コンポーネントの少なくとも一つのさらなる側辺または一つのさらなるコーナー領域のみに作用することによって、レセプタクル内での電子コンポーネントの整列を可能にするためである。
【００４９】
以下では、担体のさらなる例示的実施形態について記載するが、これらの実施形態は整列固定具および方法にも当てはまる。
【００５０】
複数の電子コンポーネントを整列させるための担体は、複数の整列固定具を設けられうる。ある実施形態では、複数の整列固定具は、共通の基板（これは一つまたは複数の板によって構成されてもよい）に基づいて一体形成されてもよい。
【００５１】
少なくとも一つの弾性ユニットが各レセプタクルに割り当てられうる。一つのレセプタクルに割り当てられた一つまたは複数の弾性ユニットがありうる。一つのレセプタクルに少なくとも一つの弾性ユニットを割り当てることによって、電子コンポーネントを別の電子コンポーネントとは独立に整列させる方法がありうる。これは、第一の電子コンポーネントを受け入れ、整列させることが、別の第二の電子コンポーネントを受け入れ、整列させることに影響をもたないので、有利でありうる。
【００５２】
少なくとも一つの弾性ユニットがレセプタクルの複数に割り当てられうる。弾性ユニットは、二つ以上の弾性部を有していてもよく、二つの当接部が一つの弾性部の向かい合う側にマウントされるよう配置されてもよい。三つ、四つ、五つまたはそれ以上のレセプタクルが一つの弾性ユニットを共有してもよい。さらに、一つの弾性ユニットに二つ以上の弾性部を設けることは、コスト効率がよく、スペースの節約になることがありうる。弾性ユニット板に、それぞれレセプタクルまたは電子コンポーネントと同数の、弾性ユニットおよび弾性部を設けることが適切でありうる。
【００５３】
担体は、弾性ユニットを有する第一の板および第二の当接部を有する第二の板を設けられてもよい。ここで、第一の板は、第二の板に関してスライド可能に配置され、第一の板は、複数の第二の当接部に対して複数の第一の当接部の一斉的な（mutual）再配置を許容するよう適応される。本発明のある例示的な実施形態によれば、担体は、それぞれが複数の電子コンポーネントのうちの割り当てられたものを受け入れる複数のレセプタクルを有していてもよい。複数のレセプタクルのサイズは、第一の板の第一の当接部および第二の板の第二の当接部によって境界を定められてもよい。第一の板の第一の当接部および第二の板の第二の当接部は、レセプタクルの互いに反対側にあってもよい。第一の板および第二の板は、第一の板の主平面および第二の板の主平面に沿って互いに対して移動可能であってもよく、レセプタクルのサイズは、第一の板と第二の板の相対位置が互いに対して変わったときには変わってもよい。第一の板および第二の板は、互いに平行であってもよい。第一の板および第二の板の位置は、対角線方向に変えられてもよい。すなわち、第一の板のコーナー領域および第二の板のコーナー領域が近接させられてもよく、これとは逆に引き離されてもよい。第一の板および第二の板の動きまたは第一の当接部および第二の当接部の近接または引き離しは、第一の板の主平面および第二の板の主平面内で生起しうる。複数の電子コンポーネントは、複数のレセプタクル内で、第一の板と第二の板のコーナー領域どうしが接近するときに、複数の第一の当接部および複数の第二の当接部の間でクランプされうる。第一の板および第二の板のコーナー領域が接近し、引き離されるときに、複数のレセプタクルのコーナー領域は同時に接近し、引き離されてもよい。
【００５４】
第一の板は、複数の弾性ユニットを有する弾性ユニット板であってもよい。ここで、各レセプタクルは前記複数の弾性ユニットの少なくとも一つを割り当てられている。第一の当接部は、それぞれ弾性ユニット上に形成されうる。弾性ユニットの目的は、複数の電子コンポーネントのさまざまな大きさについての補償許容差を認めることでありうる。そうでなければ、電子コンポーネントのさまざまな大きさのため、それらの電子コンポーネントはレセプタクルから外れることがありうるし、整列不良も起こりうる。弾性ユニットは、特に、第一の当接部の弾性属性を調整することを許容する弾性コーティングまたはゴム部分であってもよい。弾性ユニットは、任意の種類のばねのような、弾性的である任意のユニットであってもよい。ある実施形態では、第一の板および第二の板は、互いに対して平行に配置されうる。第一の板は、第一の板が配置されうる第二の板に沿って動きうる。第二の板に向かう方向であってもよい少なくとも一つの方向では、第一の板は、望ましくない変形に対して保護されうる。第二の板は平面状であってもよいし、あるいは第一の板の動きを案内するよう適応された凹部を有していてもよい。
【００５５】
各弾性ユニットの位置または変形状態は、それぞれの割り当てられたレセプタクルの境界の一つを決定しうる。弾性ユニットの位置は、レセプタクルの大きさを決定し得、弾性ユニットの変形状態は、レセプタクルの大きさを決定しうる。諸弾性ユニットの位置は、第一の板および第二の板の互いに対する位置とともに一斉に変化しうる。各第一の当接部の位置は、各第二の当接部に対して変化しうる。第一の板および第二の板の互いに対する位置の変化は、各レセプタクルの大きさの一斉的な変化を引き起こしうる。すなわち、一斉に、レセプタクルの大きさが増大してもよく、レセプタルの大きさが減少してもよい。しかしながら、各レセプタクルが、それぞれ弾性ユニットの変形状態の変化を伴って、個々にその大きさを変えてもよい。弾性ユニットの変形状態およびレセプタクルの大きさは、弾性ユニットがプレストレスを与えた（prestressed）位置に持ち込まれるときに増大してもよく、張力が軽減されたときに減少してもよい。
【００５６】
第一の板および第二の板は、少なくとも一つの板接続弾性ユニットによって互いに弾性的に結合されてもよい。第一の板および第二の板を少なくとも一つの板接続弾性ユニットによって弾性的に結合することは有利でありうる。少なくとも一つの板接続弾性ユニットは、諸レセプタクルの大きさが一斉に増大させられるときに張力を受けてもよく、板接続弾性ユニットの張力は、第一の板および第二の板がレセプタクルの減少した大きさまでその位置を変えるときに少なくとも部分的に解放されてもよい。諸レセプタクルの大きさは、前記少なくとも一つの板接続弾性ユニットの張力が自己作用的に解放されるときに一斉に減少されうる。
【００５７】
第二の板は、第一の板の当接のために適応された第一の板当接部を有していてもよい。第一の板は、第二の板の当接のために適応された第二の板当接部を有していてもよい。第二の板当接部および第二の板当接部は、第一の板当接部と第二の板当接部が互いに当接するときに、レセプタクルのクランプ・サイズを定義しうる。ここで、レセプタクルのクランプ・サイズは、各レセプタクルにおける電子コンポーネントのクランプのために適応される。各レセプタクルはそれぞれの電子コンポーネントをクランプするよう適応され得、レセプタクルのクランプ・サイズは、第一の板と第二の板の互いに対する位置によって与えられうる。「クランプ（clamp）」の用語は、特に、担体が、電子コンポーネントを保持または圧握するために近づけられる諸パーツをもつよう設計されうることを表す。近づけられる諸パーツは、第一の当接部および第二の当接部であってもよい。
【００５８】
板接続弾性要素および複数の弾性ユニットは、電子コンポーネントがレセプタクル内に受け容れ可能でありうるレセプタクルの拡大されたサイズから、電子コンポーネントがクランプされうるレセプタクルの縮小されたクランプ・サイズに向けての自己作用式の遷移のための合力（total  force）を与えるよう適応されうる。合力は、電子コンポーネントがクランプ位置に来たときの、前記少なくとも一つの板接続弾性ユニットによってはたらかされる力から前記複数の弾性ユニットによってはたらかされる力を引いたものによって定義されうる。前記少なくとも一つの板接続弾性ユニットの力は、前記複数の弾性ユニットによってはたらかされる力より大きいことがありうる。合力は正であってもよく、レセプタクルの拡大されたサイズから、第一の板の第二の板当接部および第二の板の第一の板当接部が互いに当接しうるレセプタクルのクランプ・サイズへの自己作用式の遷移を提供しうる。
【００５９】
担体はさらに、第一の板および第二の板において形成されるハンドリング構造（handling  structure）を有していてもよい。ハンドリング構造は、スライド可能に配置された第一の板および第二の板を、板接続弾性要素に抗してレセプタクルの拡大されたサイズに向けて相対的に動かすよう、第一の板および第二の板を取り扱うために適応されうる。担体のハンドリング構造は、前記少なくとも一つの板接続弾性ユニットの力から前記複数の弾性ユニットの力を引いたものによって与えられる合力に抗して第一の板および第二の板を相対的に動かすよう適応されうる。ハンドリング構造はレセプタクルを、前記合力に抗して、電子コンポーネントのボディがレセプタクル内に受け容れ可能である拡大されたサイズに拡大するよう適応されうる。
【００６０】
担体は、第一の板、第二の板および第三の板を設けられてもよい。ここで、第一の板は弾性ユニットを有し、第二の板は第二の諸当接部を有し、第一の板は第二の板と第三の板の間に浮動式に配置され、第一の板は複数の第一の当接部の複数の第二の当接部に対する一斉的な再配置を許容するよう適応される。第一の板は、弾性ユニットを介して柔軟にマウントされた第一の諸当接部の一斉的な再配置（特に浮動）を許容するよう適応されうる。担体は第三の板を有していてもよく、ここで、第一の板は第二の板と第三の板の間に浮動的に配置されてもよく、第二の板および第三の板は互いに対して固定的にマウントされてもよい。第一の板は弾性ユニット板であってもよく、第一の諸当接部の一斉的な浮動（特に、なめらかに動作および調整するよう接続または構築されて）を許容するよう適応されてもよい。「浮動（float）」の用語は、特に、定義された外的制御なしでの漂動〔ドリフト〕を表しうる。特に、「浮動」は、第一の板が第二の板および第三の板に対して、小さなまたは無視できるほどの摩擦力で、その位置を変えうることを表しうる。ハンドリング構造は、第一の板を前記合力に抗してレセプタクルの拡大サイズに向けて動かすよう適応されていてもよい。板接続弾性ユニットは第一の板をレセプタクルのクランプ・サイズに向けて動かすよう適応されうる。第一の板、第二の板および第三の板は、互いに対して平行に配置されうる。第一の板は、第二の板と第三の板の間に配置されてもよく、第二の板と第三の板に沿って動きうる。第一の板は、第二の板に向かう方向および第三の板に向かう方向であってもよい各方向において望ましくない変形に対して保護されうる。第二の板および第二の板は、平面状であってもよく、あるいは第一の板の動きを案内するよう適応された凹部を有していてもよい。
【００６１】
第二の板はベース支持板であってもよく、電子コンポーネントの主要面を支持するよう適応されていてもよいベース支持部を有していてもよい。レセプタクルのベース支持部は第二の板から形成されてもよい。各レセプタクルに割り当てられるベース支持板は、一枚の板から一体形成されるまたは複数のベース支持板から構成される第二の板に延在してもよい。第二の板の配向は、各レセプタクルに平行であってもよく、各ベース支持部に平行であってもよい。各ベース支持部によってはたらかされる支持力は、電子コンポーネントの主平面に対して垂直に作用してもよく、互いに平行であってもよい。
【００６２】
第三の板は受け入れ板であってもよく、レセプタクルの受け入れ開口の境界を少なくとも部分的に定めるよう適応されてもよい。第三の板は、第一の板を覆ってもよい。第三の板を通じて、電子コンポーネントは担体のレセプタクル中に入れられてもよい。第三の板は、一枚の板から一体形成されてもよいし、あるいは複数の受け入れ板から構成されてもよい。
【００６３】
第一の板または第三の板は、固定的にマウントされた第一の諸当接部および第二の諸当接部のうちの一方を有していてもよい。第一の諸当接部および第二の諸当接部は第一の板または第三の板から形成されうる。固定的にマウントされた当接部が、特に弾性ユニット板と称されうる第一の板から形成されるとき、この当接部は、第二の当接部と同じ高さに位置されうる。これは、きわめて薄い電子コンポーネントにとって有利でありうる。固定的にマウントされた当接部が第三の板から形成されるとき、レセプタクルのサイズは、第一の諸当接部および第二の諸当接部を一斉に接近させることによって、または第一の諸当接部および第二の諸当接部を引き離すことによって変えられる。
【００６４】
以下では、方法のさらなる例示的実施形態について記載するが、これらの実施形態は整列固定具および担体にも当てはまる。
【００６５】
方法はさらに、担体を後処理機械内に置き、その後、電子コンポーネントが担体のレセプタクル内で整列された位置を維持している間に電子コンポーネントを後処理機械の操作にかけることを含みうる。後処理方法は、特に、電子コンポーネントの評価または試験のプロセスを表しうる。よって、後処理機械は特に、電子コンポーネントを評価または試験する機械を表しうる。電子コンポーネントの後処理の間、電子コンポーネントの品質についての情報を得るために、電子コンポーネントはさまざまな物理的条件のもとに置かれうる。後処理は、特に、電子コンポーネントを関心のあるさまざまな電気的および／または機械的条件のもとに置くことによる電子コンポーネントの品質試験または品質評価を表しうる。
【００６６】
方法はさらに、クランプ機構によって電子コンポーネントを、電子コンポーネントの側部のみで弾性的にクランプすることを含みうる。電子コンポーネントは担体の拡大されたレセプタクル内に置かれ得、置かれると、クランプ機構によって、レセプタクルのクランプ・サイズ内に弾性的にクランプされて整列されうる。レセプタクルの拡大サイズからレセプタクルのクランプ・サイズへの遷移は、レセプタクルの主平面内で起こりうる。レセプタクルの主平面は、担体の主平面と、電子コンポーネントの主平面と、および整列固定具の主平面と一致しうる。担体は、後処理機械中に置かれうる。電子コンポーネントがレセプタクル内にクランプされ、整列されている間に、電子コンポーネントは後処理機械の操作にかけられうる。
【００６７】
方法はさらに、担体に、該担体の確定的な（特に精確な、一意的なまたは曖昧さのない）識別のための識別特徴（identifying  feature）または識別子（identifier）を与えることを含みうる。後処理機械は、アセンブリー・ラインをなしてもよい。担体は、ある後処理機械からさらなる後処理機械に搬送されてもよい。後処理の際のプラントにおける各担体の一意的な識別情報は、プラント内での各担体の経路を追跡する（特にトレースする）ことを可能にし、各電子コンポーネントを追跡することを可能にする。こうして、識別特徴によって、各担体および各電子コンポーネントがアセンブリー・ラインにおいて追跡されうる。
【００６８】
方法はさらに、基準検出（fiducial  detection）のための基準マーカー（fiducial  marker）を担体に与えることを含みうる。基準マーカーまたはマークと併せた視覚システム（vision  system）が、後処理機械内での担体の位置および配向の検出を提供しうる。これは、電子コンポーネントのマーク付け（marking）または接触（contacting）といった担体の精確な整列を必要とするプロセスを処理しているときに有利でありうる。
【００６９】
方法は、電子コンポーネントを第二の当接部と整列させることを含みうる。ここで、第一の当接部がマウントされている弾性（特に柔軟な、復元力のあるまたは弾力的な）ユニット（特にある特定の機能を実行するはたらきをする装置または装置複合体）によって第一の力が自己作用式にはたらかされうる。第一の当接部のそれぞれは、少なくとも弾性ユニットの割り当てられた一つにマウントされうる。弾性ユニットはそれぞれ、第二の当接部に向けて第一の力をはたらかせうる。第二の当接部のそれぞれは、第一の当接部の一つに割り当てられる。電子コンポーネントは第二の当接部と整列されうる。
【００７０】
方法はさらに、第一の当接部および第二の当接部の少なくとも一つに対して二つの力成分をはたらかせ、該当接部が電子コンポーネントに対して二つの角度をもった力成分をはたらかせるようにすることを含みうる。
【００７１】
後処理は、電子コンポーネントが担体によって保持および整列され、担体を取り扱うことによって動かされている間にレーザー・マーキングすることを含みうる。電子コンポーネントがレセプタクル内でクランプされ、整列されている間、電子コンポーネントはレーザー・マーキング手順にかけられうる。電子コンポーネントは、接点側がベース支持部に当接するかシンボル側がベース支持部に当接するかとは独立に、アクセス可能なシンボル側を有しうる。接点側がベース支持部と当接する場合、シンボル側は受け入れ側に対して開かれており、いかなる制約もなくレーザー・マーキングにかけられうる。シンボル側がベース支持部と当接する場合、レセプタクルのベース支持部はその中心にアクセス開口を有していてもよい。アクセス開口は、電子コンポーネントの端領域がベース支持部といまだ当接する程度だけの広がりをもつ。
【００７２】
後処理は、電子コンポーネントが担体によって保持および整列され、担体を取り扱うことによって動かされている間のバーンイン試験を含みうる。バーンイン試験では、電子コンポーネント、特に半導体デバイスは、所定の時間期間にわたって熱（たとえば一時間未満ないし数時間にわたって200°Cまでの温度）にかけられうる。バーンイン試験の間、電子コンポーネントは電流フィードによって追加的に電力試験にかけられうる、および／または、電子コンポーネントは該電子コンポーネントの電子的な品質を試験するために電子的な試験にかけられうる。担体は、金属、熱硬化性プラスチックまたは樹脂のような耐熱性材料で該担体を形成することによって、高温に耐えるよう適応されうる。
【００７３】
後処理は、電子コンポーネントが担体によって保持および整列され、担体を取り扱うことによって動かされている間のベークイン・プロセスを含みうる。ベークイン・プロセスは、電子コンポーネントが、電気的な試験や負荷なしに、所定の時間期間にわたって加熱される（たとえば一時間未満ないし数時間にわたって200°Cまでの温度）プロセスであってよい。耐熱性材料から前記担体を形成することにより、担体が、電子コンポーネントが約１時間の期間にわたって高温にかけられるベークイン・プロセスに耐えられるようにできる。ベークイン・プロセスは、最終試験をもってさらに続けるために電子コンポーネントに対する電気的な負荷を軽減するために使用されてもよい。
【００７４】
後処理は、電子コンポーネントが担体によって保持および整列され、担体を取り扱うことによって動かされている間の、ハンドラ上での最終試験を含みうる。多様な実施例をもつ最終試験は、電子コンポーネントがアセンブルされる前に実行される試験であってよい。電子コンポーネント、たとえば半導体デバイスの最終試験は、電子的な機能試験であってもよく、任意の組み合わせでの多様な温度、圧力、加速および傾斜角といった多様な物理的試験条件を含みうる。機械的および温度の荷重に耐える単数または複数の材料から前記担体を形成することにより、前記担体は、これらさまざまな条件下で電子コンポーネントを整列させるよう適応され得、電子コンポーネントの接点を接触させることを許容するよう適応されうる。
【００７５】
ある実施形態では、後処理は、電子コンポーネントが担体によって保持および整列され、担体を取り扱うことによって動かされている間の、ハンドラ上での最終試験を含まず、そのような最終試験がない。レーザー・マーキング、バーンインまたはベークインのあと、直接に、電子コンポーネントに対して選択的マーキングが作用させられてもよい。
【００７６】
後処理は、電子コンポーネントが担体によって保持および整列され、担体を取り扱うことによって動かされている間の、選択的マーキングを含みうる。レーザー・マーキングの説明を参照するに、同じことが選択的マーキング、たとえばレーザー・マーキングについても有効である：電子コンポーネントは、接点側がベース支持部に当接するかシンボル側がベース支持部に当接するかとは独立に、アクセス可能なシンボル側を有しうる。接点側がベース支持部に当接する場合、シンボル側は受け入れ側に対して開かれており、いかなる制約もなくレーザー・マーキングにかけられうる。シンボル側がベース支持部に当接する場合、レセプタクルのベース支持部はその中心に開口を有していてもよい。開口は、電子コンポーネントの端領域がベース支持部と当接する程度の広がりをもつ。選択的マーキング後、担体内に置かれた電子コンポーネントは、選択的に「陽（positive）」とマークされる、選択的に「陰（negative）」とマークされる、あるいは完全に「陽」または「陰」とマークされうる。他の分類（「陽」または「陰」以外）も可能である。選択的マーキングは、電子コンポーネントの品質特徴を指摘するマーク、たとえば半導体デバイスを動作させる最大周波数を記すマークをも含みうる。
【００７７】
レーザー・マーキング、バーンイン試験、ベークイン、最終試験および選択的マーキングからなる群の少なくとも二つが、担体から電子コンポーネントを取り除くことなく実行されてもよい。換言すれば、これらのまたは他の手順のうちの複数が、電子コンポーネントが担体上に整列されたままである間に実行されてもよい。担体は、多様な物理的条件に耐えるよう適応され得、完全なまたは部分的な後処理を通じて電子コンポーネントを精確に整列させうる。こうして、電子コンポーネントは完全な後処理の間または後処理の一部の間、担体内に保持され、整列されうる。
【００７８】
後処理後、電子コンポーネントは、電子コンポーネントが担体によって保持および整列されている間に担体を後処理機械から取り除くことによって、後処理機械から取り除かれうる。
【００７９】
上に定義した諸側面および本発明のさらなる諸側面は、以下に記載する実施形態の例から明白であり、これらの実施形態の例を参照することで説明される。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明の例示的な実施形態に基づく種々の整列固定具の一つを示す図である。
【図２】本発明の例示的な実施形態に基づく種々の整列固定具の一つを示す図である。
【図３】本発明の例示的な実施形態に基づく種々の整列固定具の一つを示す図である。
【図４】本発明の例示的な実施形態に基づく種々の整列固定具の一つを示す図である。
【図５】本発明の例示的な実施形態に基づく担体の詳細を示す図である。
【図６】本発明の例示的な実施形態に基づく担体の概観を示す図である。
【図７】本発明の例示的な実施形態に基づく担体の分解組立図である。
【図８】本発明の例示的な実施形態に基づく担体の概観を示す図である。
【図９】本発明の例示的な実施形態に基づく担体の詳細を示す図である。
【図１０】本発明の例示的な実施形態に基づく担体の概観を示す図である。
【図１１】本発明の例示的な実施形態に基づく担体の詳細を示す図である。
【図１２】本発明の例示的な実施形態に基づく担体の概観を示す図である。
【図１３】本発明の例示的な実施形態に基づく担体の詳細を示す図である。
【図１４】本発明の例示的な実施形態に基づく担体の概観を示す図である。
【図１５】本発明の例示的な実施形態に基づく担体の詳細を示す図である。
【図１６】本発明の例示的な実施形態に基づく担体の概観を示す図である。
【図１７】本発明の例示的な実施形態に基づく担体の詳細を示す図である。
【図１８】本発明の例示的な実施形態に基づく担体の詳細を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００８１】
図面の図示は概略的なものである。異なる図面において、同様なまたは同一の要素は同じ参照符号を与えている。
【００８２】
図１は、本発明のある例示的な実施形態に基づく整列固定具１０の、電子コンポーネント１を完全に係合する前のある動作状態における概略図である。
【００８３】
整列固定具１０は、電子コンポーネント１を整列させるよう適応されており、電子コンポーネント１をその中に受け入れるよう構成されたレセプタクルを有する。レセプタクルは、のちにさらに詳しく説明するように、第一の当接部３２、３４および第二の当接部５２、５４を有する。整列固定具１０はまた、弾性ユニット４１を有する。第二の当接部５２、５４は弾性ユニット４１とは結合されておらず、したがって、空間的に固定された仕方でマウントされている。第一の当接部３２、３４は弾性ユニット４１を介して柔軟にマウントされている。第一の当接部３２、３４および第二の当接部５２、５４のそれぞれは、硬い部材、すなわち本来的に剛性のまたは可撓性のない部材をなす。第一の当接部３２、３４および第二の当接部５２、５４は、一緒になって、弾性ユニット４１によって与えられる圧縮ばね力を使って電子コンポーネント１に係合するよう適応される。より精密には、弾性ユニット４１は、第一の当接部３２、３４に対して対角方向の力１０１（二つの直交する力成分１０２、１０４によって構成される）をはたらかせるよう配向され、マウントされている。力成分１０２、１０４は互いに対して角度を付けられている。
【００８４】
第一の当接部３２、３４の第一の部分３２および第一の当接部３２、３４の第二の部分３４は互いに対して角度を付けられており、一緒になって電子コンポーネントの一つのコーナー領域に係合する。第一の当接部の第一の部分３２および第一の当接部の第二の部分３４は一緒になって、弾性ユニット４１にマウントされた第一の当接部３２、３４を形成する。弾性ユニット４１は、プレストレスを与えられており（または機械的に付勢されており）、第一の力１０１を電子コンポーネント１に対してはたらかせる。ここで、弾性ユニット４１が角度をもって、あるいは斜めに配置されているので、第一の力１０１は電子コンポーネント１に対して角度をもっている、あるいは斜めである。第一の力１０１は、電子コンポーネントの角度をもった側部に対して、第一の当接部の第一の部分３２からの垂直力をはたらかせる第一の力成分１０２、第一の当接部の第二の部分３４からの垂直力をはたらかせる第二の力成分１０２を示している。一緒になって、第一の力成分１０２および第二の力成分１０４は電子コンポーネント１に、電子コンポーネント１の角度を付けられた側部で角度をもって係合する。
【００８５】
図１には示していないが、弾性ユニットは操作者によって手動で、または（電子的および／または機械的なコントローラのような）制御ユニットによって制御されることができる。それにより、圧握状態、よって弾性ユニット４１によって生成される力１０１が調整されうる。
【００８６】
図２は、別の動作状態における図１の整列固定具１０を示している。図２が図１と違うのは、弾性ユニット４１の張力が少なくとも部分的に解放され、電子コンポーネント１が第一の当接部および第二の当接部の両方によって係合されているという点のみである。弾性ユニット４１にはまだ応力がかかっていてもよい。第二の当接部は硬い部材をなし、剛性のバーのような第二の当接部固定部８５に固定的にマウントされた第一の部分５２および第二の部分５４を有する。第二の当接部の第一の部分５２および第二の当接部の第二の部分５４は、第一の当接部の第一の部分３２および第一の当接部の第二の部分３４と連携して電子コンポーネント１に係合する力をはたらかせる。第二の当接部の第一の部分５２および第一の当接部の第二の部分３４は互いに向かい合っており、第二の当接部の第一の部分５４および第一の当接部の第一の部分３２は互いに向かい合っている。第一の当接部の第一の部分３２、第一の当接部の第二の部分３４、第二の当接部の第一の部分５２および第二の当接部の第二の部分５４のそれぞれは、電子コンポーネント１の別の異なる側部に係合する。
【００８７】
弾性ユニット４１は、コイルばね、板ばねまたは蛇行形の平面状ばねのようなばね要素４３であってもよい。
【００８８】
図３は、第一の当接部３１がまっすぐで、電子コンポーネント１のコーナー領域９に係合する実施形態を示している。第一の当接部３１はばね要素４３にマウントされ、第一の力１０１をはたらかせる。第一の力１０１は、ばね要素４３が電子コンポーネントの側部５、６、７、８に対して角度をもって、あるいは斜めに配置されているため、電子コンポーネント１に対して斜めのまたは角度をもっている。これは、ばね要素４３によってはたらかされる力の方向は、長方形の形をもつ電子コンポーネントの側部に平行または直角であるばかりではないことを意味する。第一の力１０１は、第一の当接部３１によってはたらかせされ、ばね要素４３によって生成される。第一の力１０１は事実上、第一の力成分１０２および第二の力成分１０４をもつ。第一の力成分１０２は、第二の当接部の第二の部分５４に向かって垂直に向けられる力をはたらかせ、第二の力成分１０４は第二の当接部の第二の部分５２に向かって垂直に向けられる力をはたらかせる。第一の力１０１と反対の第二の力１０９が第二の当接部の第二の部分５４によって電子コンポーネント１の第一の側部５に向かってはたらかされ、第一の部分５２によって電子コンポーネント１の第四の側部８に向かってはたらかされる。第二の当接部は第一の部分５２および第二の部分５４を有し、固定部８５に固定的にマウントされている。電子コンポーネントは、電子コンポーネント１の第四の側部８上で係合する第二の当接部の第一の部分５２によって、電子コンポーネント１の第一の側部５上で係合する第二の当接部の第二の部分５４によって、および電子コンポーネントのコーナー領域９上で係合する第一の当接部３１によって、係合される。第一の側部５および第四の側部８は、当接部３１によって係合されるコーナー領域９とは反対側にある電子コンポーネントのコーナー領域に角度をもって存在する。こうして、電子コンポーネントは、三つの異なる側部で少なくとも三点で係合される。
【００８９】
図４は、整列固定具のもう一つの実施形態を示している。第二の当接部３２がまっすぐで、固定部８５に固定的にマウントされている。ばね要素４３に柔軟にマウントされている第一の当接部は第一の部分３２およびそれと角度をもって第二の部分３４を有する。第一の当接部の第一の部分３２は電子コンポーネント１の第三の側部７に係合し、第一の当接部の第二の部分３４は電子コンポーネント１の第二の側部６に係合する。第一の当接部の第一の部分３２および第一の当接部の第二の部分３４は一緒になって、電子コンポーネント１の二つの側部６および７に第一の力１０１をはたらかせる。第一の力１０１は、電子コンポーネント１の第三の側部７に第一の当接部の第一の部分３２によってはたらかされる第一の力成分１０２と、電子コンポーネント１の第二の側部６に第一の当接部の第二の部分３４によってはたらかされる第二の力成分１０４とに分割されうる。第一の当接部および第二の当接部５１は一緒になって電子コンポーネント１に、電子コンポーネント１の少なくとも三点で係合する。電子コンポーネント１は、固定的にマウントされまっすぐな第二の当接部５１と、第二の部分３４に対して角度を付けられた第一の部分３２を有する第一の当接部とによって係合される。
【００９０】
図３および図４に基づく実施形態は、ばね要素４３が第一の力成分１０２および第二の力成分１０４を第一の当接部または第二の当接部に対してはたらかせ、第一の力成分１０２が第二の力成分１０４に対して角度を付けられているという点で共通している。
【００９１】
図５は、本発明のある例示的な実施形態に基づく整列固定具の、弾性ユニット４１を有する第一の板１１０の詳細を示している。図５に示される整列固定具は、本発明の例示的な実施形態に基づく担体の一部をなす。この担体のより大きな部分が図６に示されている。
【００９２】
再び図５を参照すると、ここに示されている詳細は、担体のコーナー領域に位置される。図５に示される詳細の大きさは、基本的には整列固定具１０に対応する。レセプタクル２０（破線で概略的に図示している）は第一の当接部３１の第一の部分３２、第一の当接部３１の第二の部分３４、第二の当接部５１の第一の部分５２、第二の当接部５１の第二の部分５４およびベース支持部７１を有しうる。ベース支持部７１は、レセプタクル２０の下側に延在しうる。第一の当接部３１は第一の部分３２および第二の部分３４によって形成され、この第一の部分３２および第二の部分３４は互いに対して角度をもたされており、第一の当接部３１は硬い部材である。第二の当接部５１は第一の部分５２および第二の部分５４によって形成され、この第一の部分５２および第二の部分５４は互いに対して角度をもたされており、第二の当接部５１は硬い部材である。このように、レセプタクル２０は、第一の当接部３１、第二の当接部５１およびベース支持部によって、電子コンポーネント１を受け入れるよう形成される。第一の当接部３１および第二の当接部５１は、電子コンポーネント１の側部に当接するよう適応されるべく、ばねユニット板１１０から上方に延在しうる。ベース支持部７１は、第一の当接部３１近くの部分および第二の当接部５１近くの部分を有しうる。第一の当接部操作孔３９は、弾性ユニット４１をプレストレストを与えられた位置にもってくるためにピン（図示せず）などによって操作されるよう適応されている。弾性ユニット４１は、第一のばね要素４２および第二のばね要素４４を有しうる。ここで、第一のばね要素４２および第二のばね要素４４のそれぞれは、レセプタクル２０の下側で、第一の当接部３１から第二の当接部５１に向けて延在する。ここで、第一の当接部はこのようにして柔軟にマウントされる。
【００９３】
図６は、いくつかの整列固定具１０をもつ第一の板１１０を有する担体１００の詳細を示している。第一の板１１０は、整列固定具１０および同数の弾性ユニット４１、第一の当接部３１および第二の当接部５１を有する。四つの整列固定具１０のそれぞれに、一つの電子コンポーネント１が置かれる。電子コンポーネント１は、レセプタクル１０内で上下さかさまに置かれており、そのため接点側２ならびに第一の側部５および第二の側部６が直接見える。基準要素１１８が第一の板１１０の一つの側部に位置されていてもよい。
【００９４】
図７は、担体１００の細部の分解組立図である。担体１００は、レセプタクル２０を担持でき、弾性ユニット板と称されうる第一の板１１０を有しうる。担体１００はさらに、ベース支持板と称されうる第二の板１２０と、受け入れ板と称されうる第三の板１３０とを有していてもよい。受け入れ板１３０は、電子コンポーネント１が整列固定具１０のレセプタクル２０内に受け入れられるときに通る受け入れ開口１３５を有しうる。この図では、１２個の受け入れ開口１３５が見られるが、担体１００は任意の数の受け入れ開口１３５ならびに対応する数の整列固定具１０およびレセプタクル２０を有しうる。電子コンポーネント１は上下さかさまの状態で描かれており、よって、接点側２ならびに第一の側部５および第二の側部６が直接見える。基準要素１１８が第一の板１１０、第二の板１２０および第三の板１３０の各板のある側部に位置されていてもよい。
【００９５】
図８は、第一の板１１０、第二の板１２０および第三の板１３０を有しうる完全な担体１００の詳細を示す図である。第三の板１３０が第一の板１１０および第二の板１２０を覆うので、整列固定具１０のレセプタクル２０のみが見える。ここでもまた、電子コンポーネント１は上下さかさまに描かれており、よって、接点側２ならびに第一の側部５および第二の側部６が直接見える。
【００９６】
図９は、弾性ユニット板１１０の詳細の上からの斜視図であり、整列固定具１０を描いている。整列固定具１０はレセプタクル２０を有する。レセプタクル２０は第一の当接部３１、第二の当接部５１およびベース支持部７１を有する。整列固定具は、第一のばね要素４２および第二のばね要素４４を有する弾性ユニット４１を有する。第一の当接部３１は弾性ユニット４１にマウントされている。よって、第一のばね要素４２および第二のばね要素４４（いずれも弾性ユニット板１１０から形成される蛇行構造として構成されている）は、第一の当接部３１の弾性的な動きを許容する。第一の当接部３１は互いに対して角度をもたされた第一の部分３２および第二の部分３４を有し、硬い部材をなす。ピンのような適切なアクチュエータを用いて第一の当接部操作孔３９を操作することにより、弾性ユニット４１はプレストレスを与えられた状態にされる。このとき、第一の当接部３１が第二の当接部５１から遠ざけられるので、レセプタクル２０は拡大される。第二の当接部は第一の部分５２および第二の部分５４を有する。第一の当接部３１の第一の部分３２は第二の当接部５１の第二の部分５４と反対側にあり、それに応じて第一の当接部３１の第二の部分３４は第二の当接部５１の第一の部分５２と反対側にある。したがって、第一の当接部３１と第二の当接部５１は、両者の間の空間内に電子コンポーネント１を係合するよう適応されている。ここで、弾性ユニット４１が電子コンポーネント１を係合する力をはたらかせる。この実施形態において、ベース支持部７１はベース支持板１２０によって形成される。第一の当接部３１と第二の当接部の間の空間において、ベース支持板はアクセス開口１２５をもつ。このアクセス開口１２５を通じて、電子コンポーネント１のシンボル側がレーザー・マーキングにとってアクセス可能である。第一の当接部３１、第二の当接部５１および弾性ユニット４１は、それぞれ弾性ユニット板１１０から形成されうる。
【００９７】
図１０は、担体１００の複数の整列固定具１０を示している。ここで、各整列固定具１０は一つの電子コンポーネント１を整列させるよう適応されている。電子コンポーネント１は、レセプタクル２０内で上下さかさまにして置かれており、そのため電子コンポーネント１の接点側２、第一の側部５および第二の側部６が斜視図の視点から見える。弾性ユニット板１１０から形成される第一のばね要素４２および第二のばね要素４４が描かれている。
【００９８】
図１１は、弾性ユニット板１１０の詳細の上から見た図であり、レセプタクル２０を描いている。レセプタクル２０は別個の部材であってもよく、弾性ユニット板１１０にクリップされてもよい。弾性ユニット板１１０は、弾性ユニット受け入れ開口１１５および弾性ユニット受け入れ部９０を有しうる。弾性ユニット受け入れ開口１１５は、対応する整列固定具１０の完全なレセプタクル２０を受け入れるよう適応されている。弾性ユニット受け入れ部９０は、形状ロックする仕方で弾性ユニット固定部８２と係合するよう適応されている。第二の当接部５１および弾性ユニット固定部８２は一緒になって硬い部材を形成する。このように、第二の当接部５１は弾性ユニット板１１０に固定的にマウントされている。第一の当接部３１は弾性ユニット４１を介して第二の当接部５１に柔軟にマウントされている。その主たる機能において、レセプタクル２０の本実施形態は、図５に示し、論じた実施形態と同様である。
【００９９】
図１２は、図１１に示される詳細を含む担体１００の詳細の上から見た図である。弾性ユニット板１１０は、９個の対応する弾性ユニット受け入れ部９０をもつ９個の弾性ユニット受け入れ開口１１５を有する。四つの整列固定具１０が四つの対応するレセプタクル２０を設けられる。基準要素１１８が第一の板１１０の一つの側部に位置されてもよい。
【０１００】
図１３は、弾性ユニット板１１０の詳細の上から見た図であり、整列固定具１０を描いている。整列固定具１０は、一緒になってある独立した部材を形成する第一の当接部３１および弾性ユニット４１を有しうる。整列固定具１０はさらに、弾性ユニット板１１０の一部分である第二の当接部５１を有しうる。第一の当接部３１および弾性ユニット４１から形成される別個の部材はさらに、弾性ユニット固定部８２を有しうる。弾性ユニット固定部８２は、弾性ユニット受け入れ部９０の対応する形をした円筒形の凹部内に形状ロックする仕方で（たとえば機械的なロック機構を使って）クリップされる円筒形の突起であってもよく、弾性ユニット固定部８２および弾性ユニット受け入れ部９０の両方が整列固定具１０に割り当てられてもよい。レセプタクルは、この実施形態では、少なくとも第一の当接部３１および第二の当接部５１を有する。このように、この実施形態は、図１および図２の整列固定具の描写と、また図９の実施形態と同様である。弾性ユニット４１は、いずれも弾性ユニット固定部８２および第一の当接部３１に硬く結合された、第一のばね要素４２および第二のばね要素４４を有する。第一のばね要素４２および第二のばね要素４４は、第一の当接部３１の弾性的な動きを許容する。第一の当接部３１および弾性ユニット４１は、図１３の実施形態では共通の板から一体形成される。第一の当接部３１は、互いに対して角度をもたされ硬い部材を形成する第一の部分３２および第二の部分３４を有する。第一の当接部操作孔３９を弾性ユニット固定部８２のほうに操作することによって、弾性ユニット４１はプレストレスを与えられた位置にくる。このとき、第一の当接部３１が第二の当接部５１から遠ざけられるので、レセプタクル２０は拡大される。第二の当接部５１は第一の部分５２および第二の部分５４を有する。第一の当接部３１の第一の部分３２は第二の当接部５１の第二の部分５４と反対側にあり、それに応じて第一の当接部３１の第二の部分３４は第二の当接部５１の第一の部分５２と反対側にある。したがって、第一の当接部３１と第二の当接部５１は、両者の間の空間内に電子コンポーネント１を係合するよう適応されている。その機能においては、図１３の実施形態は図９の実施形態と同様である。
【０１０１】
図１４は、図１３に示される詳細を含む担体１００の詳細を上から見た図である。弾性ユニット板１１０は、対応する１６個の弾性ユニット４１とともにマトリクス状に配列された１６個の整列固定具１０を形成する１６個の弾性ユニット受け入れ開口１１５を有する。弾性ユニット板１１０の下に、ベース支持板が位置されていてもよい。基準要素１１８が第一の板１１０の一つの側部に位置されていてもよい。
【０１０２】
図１５は、浮動可能にマウントされたレセプタクル２０を有する整列固定具１０を示している。浮動可能にマウントされたフレーム２７は、二つの反対側の弾性ユニット４９を介して浮動可能にマウントされている。浮動可能にマウントされたフレーム２７内に統合されたレセプタクル２０も浮動可能である。浮動可能にマウントされたフレーム２７上に配置された調整ユニット２８が、浮動可能にマウントされたフレーム２７の微調整を、よってレセプタクル２０の微調整を許容する。三つの調整ユニット２８が整列固定具１０の主平面内でレセプタクルの微調整を許容しうる。
【０１０３】
図１６は、４×９の整列固定具のマトリクス形に配置された３６個の整列固定具を有する完全な担体１００の上から見た概略図である。担体１００の端領域に配置された二つの基準要素１１８が担体１００を整列させるために使用されうる。
【０１０４】
図１７および図１８は、担体１００の詳細の上から見た図を示している。ここで、担体１００は弾性ユニット板フレーム１１１に板接続弾性ユニット１５４を介して弾性的に結合されたスライド可能な弾性ユニット板１１０を有する。弾性ユニット板フレーム１１１は受け入れ板１３０に固定的にマウントされている。よって、板接続弾性ユニット１５４を曲げることによって、弾性ユニット板１１０は、第二の当接部５１をなす受け入れ開口１３５を有する受け入れ板１３０に対してスライドしうる。弾性ユニット４１を介して弾性ユニット板１１０にマウントされた第一の当接部３１は、受け入れ板１３０の固定部分をなす第二の当接部５１に対してスライドしうる。第一の当接部３１および第二の当接部５１によって形成されるレセプタクル２０のレセプタクル開口４８は、弾性ユニット板１１０を受け入れ板１３０に対してスライドさせることによって拡大されうる。受け入れ板１３０および弾性ユニット板フレーム１１１は固定孔２０８で固定されうるので、弾性ユニット操作孔２５８に操作力２１０を係合させることによって、弾性ユニット板１１０は受け入れ板１３０および弾性ユニット板フレーム１１１に対してスライドさせることができる。担体１００を操作力２１０の力に抗して固定するために、反対向きの力２００が加えられてもよい。受け入れ板１３０および弾性ユニット板フレーム１１１は、いくつかの固定点１５６において互いに固定的に結合されてもよい。
【０１０５】
図１７を参照するに、受け入れ板１３０と称されうる第二の板１３０の第一の板当接部１３４と、弾性ユニット板１１０と称されうる第一の板１１０の第二の板当接部９１４とが互いに当接する。レセプタクル開口４８のサイズを制御するようスペーサー２５７が適応されてもよい。第一の板当接部１３４および第二の板当接部９１４が互いに当接するとき、第一の当接部３１と第二の当接部５１とによって形成されるレセプタクルのクランプ・サイズに到達しうる。レセプタクル開口４８のサイズは、受け入れられるべき電子コンポーネント１より小さくてもよく、よって、電子コンポーネント１は第一の当接部３１と第二の当接部５１とによってクランプされうる。弾性ユニット板１１０と弾性ユニット板フレーム１１１との間の空間２５９はスペーサー２５７のサイズを有しうる。
【０１０６】
図１８を参照するに、レセプタクル開口４８の受け入れ時のサイズが示されている。弾性ユニット板１１０と弾性ユニット板フレーム１１１との間の空間２５９が拡大されている。したがって、レセプタクル開口４８のサイズも、電子コンポーネント１がレセプタクル２０内に、すなわち第一の当接部３１と第二の当接部５１との間の空間内に受け入れられうるサイズに拡大されうる。
【０１０７】
「有する」の語は他の要素やステップを排除するものではなく、単数形の表現が複数を排除するものではないことを注意しておくべきである。異なる実施形態との関連で述べた要素が組み合わされてもよい。請求項に参照符号があったとしても、特許請求の範囲を限定するものと解釈してはならない。本発明の実装は、図面に示され上に記載された好ましい実施形態に限定されるものではなく、たとえ根本的に異なる実施形態の場合であっても、本発明に基づく示された解決策および原理を使用する多数の変形が可能である。
【符号の説明】
【０１０８】
１  電子コンポーネント
２  電子コンポーネントの接点側
５  電子コンポーネントの第一の側部（側辺部）
６  電子コンポーネントの第二の側部（側辺部）
７  電子コンポーネントの第三の側部（側辺部）
８  電子コンポーネントの第四の側部（側辺部）
９  電子コンポーネントのコーナー領域
１０  整列固定具／配置固定具／アライン・フィクスチュア
２０  レセプタクル
２７  浮動可能にマウントされたフレーム
２８  調整ユニット／アジャストメント・ユニット
３１  第一の当接部
３２  第一の当接部の第一の部分
３４  第一の当接部の第二の部分
３９  当接部作動孔／当接部操作孔／当接部のアクチュエーション・ホール
４１  弾性ユニット
４２  第一のばね要素
４３  ばね要素
４４  第二のばね要素
４８  レセプタクル開口
５１  第二の当接部
５２  第二の当接部の第一の部分
５４  第二の当接部の第二の部分
７１  ベース支持部
８２  弾性ユニット固定部
８５  固定部
９０  弾性ユニット受け入れ部
１００  担体／キャリア
１０１  力
１０２  力成分
１０４  力成分
１１０  弾性ユニット板／ばねユニット板／第一の板〔プレート〕
１１１  弾性ユニット板フレーム
１１５  弾性ユニット受け入れ開口
１１８  基準要素／フィデューシャル・エレメント
１２０  ベース支持板／第二の板〔プレート〕
１２５  アクセス開口
１３０  受け入れ板／第三の板〔プレート〕
１３４  第一の板当接部
１３５  受け入れ開口
１５４  板接続弾性ユニット
１５６  固定点
２００  反対向きの力
２０８  固定孔
２１０  作動力／操作力
２５７  スペーサー
２５８  弾性ユニット作動孔／弾性ユニット操作孔
２５９  空間
９１４  第二の板当接部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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