(57)【要約】【課題】回転に関する物理量を検出する物理量検出部を基体に固定するための固定構造であり、その物理量検出部に対する外部からの衝撃を緩和しながらも検出対象となる回転をその物理量検出部に選択的に伝達可能な固定構造を提供すること。【解決手段】回転運動に関する物理量を検出する物理量検出部１０を基体１２に固定するための物理量検出部固定構造１００は、物理量検出部１０と基体１２との間に配置され、物理量検出部１０の並進運動をもたらし得る基体１２からの衝撃エネルギーを吸収する衝撃吸収部１４と、物理量検出部１０と基体１２との間に配置され、物理量検出部１０の回転運動をもたらす基体１２からの回転エネルギーを物理量検出部１０に伝達する回転エネルギー伝達部１６、１８とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転運動に関する物理量を検出する物理量検出部を基体に固定するための物理量検出部固定構造であって、
前記物理量検出部と前記基体との間に配置され、前記物理量検出部の並進運動をもたらし得る前記基体からの衝撃エネルギーを吸収する衝撃吸収部と、
前記物理量検出部と前記基体との間に配置され、前記物理量検出部の回転運動をもたらす前記基体からの回転エネルギーを前記物理量検出部に伝達する回転エネルギー伝達部と、
を備えることを特徴とする物理量検出部固定構造。
【請求項２】
前記衝撃吸収部は、前記回転運動の回転軸に垂直な前記物理量検出部の表面と前記基体との間に配置され、
前記回転エネルギー伝達部は、前記回転軸に平行な前記物理量検出部の複数の側面のそれぞれと前記基体との間に配置される、
ことを特徴とする請求項１に記載の物理量検出部固定構造。
【請求項３】
前記物理量検出部は、多角柱の形状を有し、
前記回転エネルギー伝達部の一つは、前記多角柱の頂面又は底面を構成する多角形の頂点に隣接する二辺を形成する二つの側面と接触するように配置される、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の物理量検出部固定構造。
【請求項４】
前記物理量検出部は、前記回転運動の回転軸に対して線対称又は点対称となる形状を有し、
前記回転エネルギー伝達部の二つは、前記回転軸に対して線対称又は点対称となる対を形成するように配置される、
ことを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の物理量検出部固定構造。
【請求項５】
前記衝撃吸収部によって決まる前記物理量検出部の並進モードにおける構造共振周波数は、前記回転エネルギー伝達部によって決まる前記物理量検出部の回転モードにおける構造共振周波数と異なる、
ことを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載の物理量検出部固定構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転に関する物理量を検出する物理量検出部を基体に固定するための固定構造に関し、特に、その物理量検出部に対する外部からの衝撃を緩和しながらも検出対象となる回転をその物理量検出部に選択的に伝達可能な固定構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、回転座標系上で並進運動する振動子に対してその並進運動方向と垂直な方向に作用するコリオリ力を検出することによって回転角速度を検出する振動型角速度センサが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
振動子は、櫛形電極によって励振軸方向に反復的に励振されており、その励振軸に垂直な回転軸周りに回転させられると、その励振軸及びその回転軸の双方に垂直な検出軸方向にコリオリ力による検出振動を発生させる。
【０００４】
振動型角速度センサは、この検出振動の振幅を別の櫛形電極によって測定することによりその回転の角速度を検出する。
【０００５】
また、この振動型角速度センサは、回路チップ上に積層される（振動子を含む）センサチップの防振性を向上させるために、その回路チップとセンサチップとの間に配置される接着フィルムの接着面積を小さくしたりその厚みを厚くしたりすることで、そのセンサチップの構造共振周波数がその振動子の励振周波数及びその検出振動の検出周波数よりも低くなるようにしている。
【０００６】
なお、この振動型角速度センサは、そのセンサチップの防振性を向上させるために接着フィルムの接着面積を小さくした結果として生じる角速度の検出感度の低下（回路チップからセンサチップへの回転力の伝わりにくさ）を補うために、複数の接着フィルムのそれぞれをそのセンサチップの中央部からできるだけ離れた位置に対称的に配置するようにしている。
【０００７】
上述の振動型角速度センサとは別に、角速度を検出するためのセンサチップに振動や衝撃が加わったとしても安定した出力が得られるように、回路チップに設けられた弾性体から成る防振部材とセンサチップとを複数箇所で点接触させながらセンサチップを保持する構造が知られている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００８】
この構造は、そのセンサチップの四隅にその防振部材を点接触させるだけでそのセンサチップを３軸方向のそれぞれに柔軟に保持すると共に３軸のそれぞれの周りの回転を防止することによって、そのセンサチップの構造共振周波数を大幅に引き下げ、そのセンサチップに加わる振動エネルギーの全てをその防振部材で減衰させるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００９】
【特許文献１】特開２００５−３３１２５８号公報
【特許文献２】特開２００２−１９５８３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、特許文献１に記載の振動型角速度センサは、センサチップを回路チップに搭載することを主目的とする接着フィルムであり、センサチップの底面に配置される接着フィルムのみを用いてセンサチップの防振性を向上させているので、角速度の検出感度の低下をなるべく犠牲にしないようにその接着フィルムの配置を調整したとしても、回路チップからセンサチップへの回転力の伝達が不十分となることを避けられず、検出すべき角速度を安定的に検出できないおそれがある。
【００１１】
また、特許文献２に記載の構造も、防振部材との点接触のみでセンサチップを保持するので、それら防振部材をセンサチップの四隅に配置しそのセンサチップの回転を抑えるようにしたとしても、回路チップからセンサチップへの回転力の伝達が不十分となることを避けられず、検出すべき角速度を安定的に検出できないおそれがある。
【００１２】
上述の点に鑑み、本発明は、回転に関する物理量を検出する物理量検出部を基体に固定するための固定構造であり、その物理量検出部に対する外部からの衝撃を緩和しながらも検出対象となる回転をその物理量検出部に選択的に伝達可能な物理量検出部固定構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上述の目的を達成するために、本発明の実施例に係る物理量検出部固定構造は、回転運動に関する物理量を検出する物理量検出部を基体に固定するための物理量検出部固定構造であって、前記物理量検出部と前記基体との間に配置され、前記物理量検出部の並進運動をもたらし得る前記基体からの衝撃エネルギーを吸収する衝撃吸収部と、前記物理量検出部と前記基体との間に配置され、前記物理量検出部の回転運動をもたらす前記基体からの回転エネルギーを前記物理量検出部に伝達する回転エネルギー伝達部とを備えることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の実施例に係る物理量検出部固定構造において、前記衝撃吸収部は、前記回転運動の回転軸に垂直な前記物理量検出部の表面と前記基体との間に配置され、前記回転エネルギー伝達部は、前記回転軸に平行な前記物理量検出部の複数の側面のそれぞれと前記基体との間に配置されることが好ましい。
【００１５】
また、本発明の実施例に係る物理量検出部固定構造において、前記物理量検出部は、多角柱の形状を有し、前記回転エネルギー伝達部の一つは、前記多角柱の頂面又は底面を構成する多角形の頂点に隣接する二辺を形成する二つの側面と接触するように配置されることが好ましい。
【００１６】
また、本発明の実施例に係る物理量検出部固定構造において、前記物理量検出部は、前記回転運動の回転軸に対して線対称又は点対称となる形状を有し、前記回転エネルギー伝達部の二つは、前記回転軸に対して線対称又は点対称となる対を形成するように配置されることが好ましい。
【００１７】
また、本発明の実施例に係る物理量検出部固定構造において、前記衝撃吸収部によって決まる前記物理量検出部の並進モードにおける構造共振周波数は、前記回転エネルギー伝達部によって決まる前記物理量検出部の回転モードにおける構造共振周波数と異なることが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
上述の手段により、本発明は、回転に関する物理量を検出する物理量検出部を基体に固定するための固定構造であり、その物理量検出部に対する外部からの衝撃を緩和しながらも検出対象となる回転をその物理量検出部に選択的に伝達可能な物理量検出部固定構造を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第一実施例に係る物理量検出部固定構造を示す概略図である。
【図２】本発明の第二実施例に係る物理量検出部固定構造を示す概略図である。
【図３】本発明の第三実施例に係る物理量検出部固定構造を示す概略図である。
【図４】本発明の第四実施例に係る物理量検出部固定構造を示す概略図である。
【図５】本発明の第五実施例に係る物理量検出部固定構造を示す概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下、図面を参照しつつ、本発明を実施するための最良の形態の説明を行う。
【００２１】
図１は、本発明の第一実施例に係る物理量検出部固定構造１００を示す概略図であり、図１（Ａ）は、その上面図を示し、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）のＩ−Ｉ線における断面図を示す。
【００２２】
固定構造１００は、物理量検出部１０をパッケージ１２に固定するための構造であり、固定構造１００において、物理量検出部１０は、その底面が接着部１４を介してパッケージ１２の凹部１５の内底面に固定され、また、その四つのコーナー部のそれぞれにおける二つの側面が接着部１６を介してパッケージ１２の凹部１５内にある隆起部１８に固定される。また、物理量検出部１０の電極端子（図示せず。）は、ワイヤー２０を介してパッケージ１２の配線パターン（図示せず。）に接続される。
【００２３】
物理量検出部１０は、回転に関する物理量（回転角、回転角速度、回転角加速度等である。）を検出するための素子であり、例えば、Ｚ軸方向に平行に延びる回転軸Ｒ周りの回転角速度を検出するヨーレートセンサである。回転軸Ｒ周りの回転は、例えば、図中の二つの矢印で示される時計回りの回転であるが、当然のことながら、反時計回りの回転であってもよい。
【００２４】
本実施例において、物理量検出部１０は、シリコーンで形成された半導体素子であり、検出対象となる回転の回転軸Ｒに垂直な矩形の頂面及び底面とその回転軸Ｒに平行に延びる四つの側面とで構成される、回転軸Ｒに対して線対称又は点対称となる四角柱形状を有する。
【００２５】
また、物理量検出部１０は、検出対象となる回転の回転軸Ｒ周りの回転角速度を検出するために、その回転軸Ｒに垂直な平面（ＸＹ平面）において櫛形電極によりＸ軸方向に反復的に励振される振動子であり、その回転軸Ｒ周りで回転が生じた場合にその回転軸Ｒに垂直な平面（ＸＹ平面）においてコリオリの力によりＹ軸方向に振動させられる振動子を含み、そのＹ軸方向の振動を別の櫛形電極を用いて静電的に読み取ることによってその回転角速度を検出する。なお、振動子の励振及びそのコリオリの力による振動の検出は、圧電素子を用いて実現されてもよい。
【００２６】
また、物理量検出部１０の振動子を励振させる励振周波数、及び、コリオリの力によって生成される振動の周波数である検出周波数は、所望の検出感度を得るために４ｋＨｚ〜１０ｋＨｚに設定されている。
【００２７】
パッケージ１２は、物理量検出部１０を保持するための部材であり、例えば、セラミックや合成樹脂等の材料で形成され、物理量検出部１０を受け入れるため（例えば物理量検出部１０の厚みの半分程度を受け入れるため）の凹部１５と、その凹部１５の四隅のそれぞれで物理量検出部１０の四つのコーナー部のそれぞれにおける二つの側面と向き合うよう配置される隆起部１８とを有する。
【００２８】
接着部１４は、パッケージ１２が受けた外部からの熱エネルギーや運動（衝撃）エネルギーを吸収してそれら熱エネルギーや衝撃エネルギーが物理量検出部１０に伝達されるのを抑制しながら物理量検出部１０をパッケージ１２に固定するための部材であり、例えば、物理量検出部１０の底面とパッケージ１２の凹部１５の内底面との間に配置されるシリコーン接着剤で構成される部材である。
【００２９】
また、接着部１４は、好適には、ペーストの状態で所定位置に塗布された上で熱処理等によって硬化される接着剤によって形成される。
【００３０】
また、接着部１４は、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸のそれぞれの軸方向（特に、回転軸Ｒの軸方向）における並進運動をもたらし得る衝撃エネルギーを吸収してその衝撃エネルギーが物理量検出部１０に伝達されるのを抑制する。
【００３１】
また、接着部１４は、物理量検出部１０の並進モードにおける構造共振周波数を決定する要因の一つであり、接着部１４との面接触を通じて物理量検出部１０をパッケージ１２に固定した場合にその構造共振周波数が４ｋＨｚ〜１０ｋＨｚとなるようにその厚み、その接触面積、及びその弾性率等が選択される（構造共振周波数は、その厚みが厚い程、その接触面積が小さい程、或いは、その弾性率が低い程、小さくなる。）。構造共振周波数が高すぎると（衝撃エネルギーの伝達が敏感すぎると）外部からの衝撃を受けたときに物理量検出部１０が変形し検出性能の悪化を引き起こす場合があるためであり、また、超音波接合等によりワイヤー２０を物理量検出部１０にボンディングする際に物理量検出部１０をある程度の力（接着部１４による固定力）で保持する必要があることから構造共振周波数の低減（衝撃エネルギーの伝達防止）にも限界があるためである。
【００３２】
なお、この構造共振周波数が取り得る値（４ｋＨｚ〜１０ｋＨｚ）は、物理量検出部１０における励振周波数及び検出周波数が取り得る値と同じ範囲内のものであり、このままでは検出対象である回転の回転軸Ｒ周りの回転周波数が構造共振周波数及び検出周波数に近くなった場合にその回転角速度を過大に検出してしまうおそれがあるが、この問題は、後述の接着部１６によって解決が図られることとなる。
【００３３】
このように、接着部１４は、物理量検出部１０の並進モードにおける構造共振周波数を比較的低い値に設定することにより、例えば回転軸Ｒの軸方向に作用する衝撃エネルギーであり、回転軸Ｒの軸方向の並進運動をもたらし得る衝撃エネルギーを吸収し、その衝撃エネルギーがパッケージ１２の凹部１５の内底面から物理量検出部１０の底面に伝達されるのを抑制することができる。
【００３４】
接着部１６は、パッケージ１２が受けた外部からの運動エネルギー（回転軸Ｒ周りの回転エネルギー）を選択的に物理量検出部１０に伝達するための部材であり、例えば、物理量検出部１０の四つのコーナー部のそれぞれにおける二つの側面とパッケージ１２の四隅にある四つの隆起部１８のそれぞれとの間に配置される接着剤で形成される部材である。
【００３５】
また、接着部１６は、物理量検出部１０の回転軸Ｒ周りの回転を抑制すべく（すなわち、回転軸Ｒ周りの回転をもたらす回転エネルギーが減衰されることなくパッケージ１２から物理量検出部１０に伝達されるように）、物理量検出部１０とパッケージ１２との間であり、物理量検出部１０の中立面上に描かれる回転軸Ｒを中心とする円の円周上に直接配置され、好適には、（図１（Ａ）において物理量検出部１０を上から見た場合に）接着部１６の二つが回転軸Ｒに対して線対称又は点対称となるように配置される。物理量検出部１０の回転軸Ｒ周りの回転を効率的に抑制するため（パッケージ１２から物理量検出部１０へ効率的に回転エネルギーを伝達するため）である。
【００３６】
また、物理量検出部１０とパッケージ１２との間の隙間に配置される接着部１６は、上から視認することができるので、物理量検出部１０の影に隠れて見えなくなる接着部１４とは異なり、接着不良等の不具合を容易に発見できるという利点を有する。
【００３７】
接着部１６は、物理量検出部１０の回転モードにおける構造共振周波数（以下、「回転共振周波数」とする。）を決定する要因の一つであり、その回転共振周波数が物理量検出部１０の検出周波数よりも顕著に大きくなるように（例えば、「回転共振周波数＞２１／２×検出周波数」の関係を満たすように）その厚み、その接触面積、及びその弾性率等が選択される。回転共振周波数と検出周波数との間の差が大きい程、物理量検出部１０は、回転軸Ｒ周りの回転を安定的に検出することができるためである。
【００３８】
また、接着部１６は、好適には、ペーストの状態で所定位置に塗布された上で熱処理等によって硬化される接着剤で形成される部材である。なお、接着部１６は、回転共振周波数を増大させるために、好適には接着部１４よりも大きな弾性率を有する材料（回転エネルギーを伝達し易い材料）で形成されるが、所望の回転共振周波数を得ることができるのであれば接着部１４と同じ材料で形成されてもよい。
【００３９】
なお、回転共振周波数と検出周波数との間の差を大きくするためにその回転共振周波数をその検出周波数よりも顕著に小さくすることも考えられるが、その最小値（４ｋＨｚ〜１０ｋＨｚの範囲の値である。）が既に接着部１４によって決定されているため、接着部１６の厚み、接触面積、及び弾性率等は、その回転共振周波数を大きくする方向にのみ調整されるものとする。
【００４０】
このように、接着部１６は、物理量検出部１０の回転共振周波数を比較的高い値に設定することにより、回転軸Ｒ周りの回転運動をもたらし得る回転エネルギーがパッケージ１２の隆起部１８から物理量検出部１０の四つの側面に伝達されるのを促進することができる。
【００４１】
隆起部１８は、物理量検出部１０とパッケージ１２との間の隙間を埋めるために凹部１５内に形成される部材であり、好適には、パッケージ１２と同じ材料を用いてパッケージ１２と一体的に形成される。なお、隆起部１８は、パッケージ１２とは別の独立した部材として形成されていてもよく、その場合、パッケージ１２とは異なる材料で形成されていてもよい。
【００４２】
また、隆起部１８は、好適には、物理量検出部１０の四つのコーナー部のそれぞれにおける二つの側面のそれぞれと向き合う二つの面を有する補完形状を含むように形成される。
【００４３】
以上の構成により、物理量検出部固定構造１００は、物理量検出部１０の検出対象である回転運動以外の運動をもたらす運動エネルギーがパッケージ１２から物理量検出部１０に伝達されるのを接着部１４により抑制し、且つ、物理量検出部１０の回転共振周波数を物理量検出部１０の検出周波数から遠ざけながら、その検出対象である回転運動をもたらす運動エネルギーが選択的にパッケージ１２から物理量検出部１０に伝達されるのを接着部１６により促進するので、回転に関する物理量を物理量検出部１０が安定的に検出できるようにする。
【００４４】
また、物理量検出部固定構造１００は、接着部１６の存在により、回転共振周波数の調整のために必要とされていた接着部１４の加工誤差に対する要求精度が緩和されるため、接着部１４の厚み不足や接着面積不足等に起因するパッケージ１２から物理量検出部１０への熱エネルギーや衝撃エネルギーの過剰な伝達を防止することができ、零点温度ドリフト等の不具合の発生を防止することができ、ひいては、歩留まりの低下を防止することができる。
【００４５】
次に、図２を参照しながら、本発明の第二実施例に係る固定構造２００について説明する。なお、図２は、固定構造２００を示す概略図であり、図２（Ａ）は、その上面図を示し、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）のＩＩ−ＩＩ線における断面図を示す。また、図２において、図１の固定構造１００と共通する構成要素は、同じ参照符号を用いて表されるものとする。
【００４６】
図２の固定構造２００は、物理量検出部１０とパッケージ１２の凹部１５の内壁との間で物理量検出部１０の周囲全体にわたって接着部１６Ａが配置され、隆起部１８が省略されている点において、物理量検出部１０の四つのコーナー部のそれぞれにおける二つの側面とパッケージ１２の四隅にある四つの隆起部１８のそれぞれとの間にのみ接着部１６が配置されている固定構造１００と相違するが、その他の点において共通する。
【００４７】
具体的には、接着部１６Ａは、物理量検出部１０がパッケージ１２の凹部１５内に挿入され接着部１４によって凹部１５の内底面に固定された際に存在する、物理量検出部１０の四つの側面とパッケージ１２の凹部１５の四つの内壁との間の隙間を埋めるように配置され、物理量検出部１０の回転軸Ｒ周りの回転を抑制するようにする。
【００４８】
なお、接着部１６Ａは、物理量検出部１０を完全に取り囲むことなく一部で中断され複数の枠部分に分割されていてもよいが、好適には、物理量検出部１０の四つのコーナー部を取り囲む部分以外の部分で中断され、対応する二つの枠部分が回転軸Ｒに対して線対称又は点対称となるように配置される。
【００４９】
以上の構成により、物理量検出部固定構造２００は、物理量検出部１０の検出対象である回転運動以外の運動をもたらす運動エネルギーがパッケージ１２から物理量検出部１０に伝達されるのを接着部１４により抑制し、且つ、物理量検出部１０の回転共振周波数を物理量検出部１０の検出周波数から遠ざけながら、その検出対象である回転運動をもたらす運動エネルギーが選択的にパッケージ１２から物理量検出部１０に伝達されるのを接着部１６Ａにより促進するので、回転に関する物理量を物理量検出部１０が安定的に検出できるようにする。
【００５０】
次に、図３を参照しながら、本発明の第三実施例に係る固定構造３００について説明する。なお、図３は、固定構造３００を示す概略図であり、図３（Ａ）は、その上面図を示し、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図を示す。また、図３において、図１の固定構造１００と共通する構成要素は、同じ参照符号を用いて表されるものとする。
【００５１】
図３の固定構造３００は、物理量検出部１０の四つのコーナー部のそれぞれにおける二つの側面とパッケージ１２の四隅にある四つの隆起部１８Ａのそれぞれとの間に、比較的高い弾力性を有する接着部を配置することなく、それら二つの側面と比較的低い弾力性を有する隆起部１８におけるそのコーナー部に対応する補完部分とを直接接触させる点において、物理量検出部１０と隆起部１８との間に接着部１６が配置されている固定構造１００と相違するが、その他の点において共通する。
【００５２】
具体的には、パッケージ１２の隆起部１８Ａは、物理量検出部１０の側面と向き合う側の面を傾斜面とし、物理量検出部１０がパッケージ１２の凹部１５内に上方から挿入されたときに、物理量検出部１０の底面の四辺のそれぞれが四つのコーナー部のそれぞれで隆起部１８Ａのそれぞれの傾斜面と線接触するように形成される。隆起部１８Ａが傾斜面を有しない場合、隆起部１８Ａの形状が、物理量検出部１０の凹部１５への挿入を妨害するおそれがあるからである。
【００５３】
なお、隆起部１８Ａは、弾力性を有する材料で形成され、或いは、凹部１５の内底面に沿って往復動可能に設置さればね材等によって回転軸Ｒに近づく方向に付勢され、物理量検出部１０の凹部１５への挿入が容易となるようにしながらもその挿入後には物理量検出部１０を凹部１５内に固定できるものであってもよい（すなわち、隆起部１８Ａは、物理量検出部１０を凹部１５内に挿入するときには回転軸Ｒから離れるように引っ込められ、物理量検出部１０が凹部１５内に挿入された後には回転軸Ｒに接近するように押し出されて物理量検出部１０を両側から挟むように保持するように構成されていてもよい。）。
【００５４】
以上の構成により、物理量検出部固定構造３００は、物理量検出部１０の検出対象である回転運動以外の運動をもたらす運動エネルギーがパッケージ１２から物理量検出部１０に伝達されるのを接着部１４により抑制し、且つ、物理量検出部１０の回転共振周波数を物理量検出部１０の検出周波数から遠ざけながら、その検出対象である回転運動をもたらす運動エネルギーが選択的にパッケージ１２から物理量検出部１０に伝達されるのを隆起部１８Ａにより促進するので、回転に関する物理量を物理量検出部１０が安定的に検出できるようにする。
【００５５】
次に、図４を参照しながら、本発明の第四実施例に係る固定構造４００について説明する。なお、図４は、固定構造４００を示す概略図であり、図４（Ａ）は、その上面図を示し、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）のＩＶ−ＩＶ線における断面図を示す。また、図４において、図１の固定構造１００と共通する構成要素は、同じ参照符号を用いて表されるものとする。
【００５６】
図４の固定構造４００は、物理量検出部１０Ａが回転軸Ｒに対して線対称又は点対称となる八角柱形状であり、隆起部１８が省略され、物理量検出部１０Ａの八つのコーナー部のうちの四つのコーナー部のそれぞれにおける二つの側面とパッケージ１２の凹部１５の内壁との間に接着部１６Ｂが配置されている点において、物理量検出部１０が四角柱形状であり、物理量検出部１０の四つのコーナー部のそれぞれにおける二つの側面とパッケージ１２の四隅にある四つの隆起部１８のそれぞれとの間に接着部１６が配置されている固定構造１００と相違するが、その他の点において共通する。
【００５７】
具体的には、接着部１６Ｂは、四つのうちの二つが一組となって回転軸Ｒに対して線対称又は点対称となるように配置され、物理量検出部１０の回転軸Ｒ周りの回転を効率的に抑制できるように（パッケージ１２から物理量検出部１０へ効率的に回転エネルギーを伝達できるように）している。組を構成しない接着部を介して回転エネルギーが伝達されると、その組を構成しない接着部を回転軸とした別の回転が生じてしまい、本来検出すべき回転運動を正確に検出することが困難になる場合があるからである。
【００５８】
なお、接着部１６Ｂは、八つのコーナー部のそれぞれにおける二つの側面とパッケージ１２の凹部１５の内壁との間に配置され、三組以上のペアを構成するようにしてもよい。
【００５９】
以上の構成により、物理量検出部固定構造４００は、物理量検出部１０Ａの検出対象である回転運動以外の運動をもたらす運動エネルギーがパッケージ１２から物理量検出部１０Ａに伝達されるのを接着部１４により抑制し、且つ、物理量検出部１０Ａの回転共振周波数を物理量検出部１０Ａの検出周波数から遠ざけながら、その検出対象である回転運動をもたらす運動エネルギーが選択的にパッケージ１２から物理量検出部１０Ａに伝達されるのを接着部１６Ｂにより促進するので、回転に関する物理量を物理量検出部１０Ａが安定的に検出できるようにする。
【００６０】
次に、図５を参照しながら、本発明の第五実施例に係る固定構造５００について説明する。なお、図５は、固定構造５００を示す上面図である。また、図５において、図１の固定構造１００と共通する構成要素は、同じ参照符号を用いて表されるものとする。
【００６１】
図５の固定構造５００は、物理量検出部１０Ｂが回転軸Ｒに対して線対称又は点対称とはならない五角柱形状であり、隆起部１８が省略され、物理量検出部１０Ｂの五つのコーナー部のうちの四つのコーナー部のそれぞれにおける二つの側面とパッケージ１２の凹部１５の内壁との間に接着部１６Ｃが配置されている点において、物理量検出部１０が四角柱形状であり、物理量検出部１０の四つのコーナー部のそれぞれにおける二つの側面とパッケージ１２の四隅にある四つの隆起部１８のそれぞれとの間に接着部１６が配置されている固定構造１００と相違するが、その他の点において共通する。
【００６２】
具体的には、接着部１６Ｃは、四つのうちの一つが回転軸Ｒを挟んで反対側にある別の一つとペアを構成するように配置され、物理量検出部１０の回転軸Ｒ周りの回転を効率的に抑制できるように（パッケージ１２から物理量検出部１０へ効率的に回転エネルギーを伝達できるように）している。この場合、二つのペアのうちの少なくとも一つのペアは、回転軸Ｒに対して線対称又は点対称とはならないが、回転軸Ｒを挟んで反対側に配置されることによって、組を構成しない接着部を単独で配置したときと比べ、不要な回転エネルギーがパッケージ１２から物理量検出部１０へ伝達されるのを顕著に抑制することができる。
【００６３】
以上の構成により、物理量検出部固定構造５００は、物理量検出部１０Ｂの検出対象である回転運動以外の運動をもたらす運動エネルギーがパッケージ１２から物理量検出部１０Ｂに伝達されるのを接着部１４により抑制し、且つ、物理量検出部１０Ｂの回転共振周波数を物理量検出部１０Ｂの検出周波数から遠ざけながら、その検出対象である回転運動をもたらす運動エネルギーが選択的にパッケージ１２から物理量検出部１０Ｂに伝達されるのを接着部１６Ｃにより促進するので、回転に関する物理量を物理量検出部１０Ｂが安定的に検出できるようにする。
【００６４】
以上、本発明の好ましい実施例について詳説したが、本発明は、上述した実施例に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなしに上述した実施例に種々の変形及び置換を加えることができる。
【００６５】
例えば、上述の実施例において、物理量検出部１０、１０Ａ、１０Ｂはそれぞれ、四角柱、八角柱、五角柱の形状を有するが、円柱形状又は楕円柱形状を有するものであってもよい。
【００６６】
また、上述の実施例において、接着部１４は、物理量検出部１０の底面とパッケージ１２の凹部１５の内底面との間に配置されるが、物理量検出部１０の回転軸Ｒの軸方向の並進運動エネルギーを吸収できる配置であれば、その一部又は全部が物理量検出部１０の表面又は側面に配置されていてもよい。
【００６７】
また、上述の第一、第四、及び第五実施例において、接着部１６、１６Ｂ、１６Ｃは、対応するコーナー部を形成する二つの側面の双方と面接触しながら物理量検出部１０、１０Ａ、１０Ｂの回転軸Ｒ周りの回転を抑制するが（パッケージ１２から物理量検出部１０へ効率的に回転エネルギーを伝達するが）、それら二つの側面のうちの何れか一方のみと面接触しながら物理量検出部１０、１０Ａ、１０Ｂの回転軸Ｒ周りの回転を抑制するようにしてもよい（パッケージ１２から物理量検出部１０へ効率的に回転エネルギーを伝達するようにしてもよい。）。
【００６８】
また、上述の第一及び第三の実施例において、接着部１６又は隆起部１８Ａは、物理量検出部１０の四つのコーナー部のそれぞれにおける二つの側面と接触するよう配置されるが、四つのコーナー部のうちの二つ又は三つのコーナー部のそれぞれにおける二つの側面と接触するよう配置されてもよい。
【００６９】
なお、特許請求の範囲における「回転エネルギー伝達部」は、上述の実施例における接着部１６、１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ、隆起部１８、１８Ａ、又はそれらの組み合わせに対応し、特許請求の範囲における「衝撃吸収部」は、上述の実施例における接着部１４に対応するものとする。
【符号の説明】
【００７０】
１０、１０Ａ、１０Ｂ  物理量検出部
１２    パッケージ
１４    接着部
１５    凹部
１６、１６Ａ、１６Ｂ、１６Ｃ  接着部
１８、１８Ａ  隆起部
２０    ワイヤー
１００、２００、３００、４００、５００  物理量検出部固定構造
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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