(57)【要約】【課題】ヘッドケースと圧電素子ユニットとを確実に接合すると共に、液体噴射特性の低下を抑制することができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】流路ユニットに第１の面６が固定されて圧電素子ユニットが内面に接合される収容部３が貫通して設けられたヘッドケース４を具備し、ヘッドケース４の収容部３の一方面には、基準面７０と、基準面７０よりも突出して設けられて圧電素子ユニットが接合される接合面７１と、基準面７０に開口すると共にヘッドケース４の第１の面６とは反対側の第２の面７に開口する凹形状を有し、接合面７１に連続する内面を有する注入口７２と、を具備し、注入口７２が、第２の面７から第１の面６に向かう深さ方向において、連続した側面で画成され、且つ開口面積が第２の面７から深さ方向に徐々に漸小して設けられている。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル開口と該ノズル開口に連通する圧力発生室が複数設けられた流路ユニットと、
各圧力発生室に相対向する領域に設けられた圧電素子を有する圧電素子ユニットと、
前記流路ユニットに第１の面が固定されて前記圧電素子ユニットが内面に接合される収容部が貫通して設けられたヘッドケースと、を具備し、
前記ヘッドケースの前記収容部の一方面には、基準面と、前記基準面よりも突出して設けられて前記圧電素子ユニットが接合される接合面と、前記基準面に開口すると共に前記ヘッドケースの前記第１の面とは反対側の第２の面に開口する凹形状を有し、前記接合面に連続する内面を有する注入口と、を具備し、
前記注入口が、前記第２の面から第１の面に向かう深さ方向において、連続した側面で画成され、且つ開口面積が前記第２の面から深さ方向に徐々に漸小して設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記注入口の側面が、凸状に湾曲して設けられていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッドを複数具備することを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
【請求項４】
請求項３記載の液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項５】
請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録ヘッドユニット及びインクジェット式記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの代表例としては、例えば、圧電素子の変位による圧力を利用してノズル開口からインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが知られている。インクジェット式記録ヘッドはノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室に供給されたインクに圧力を付与することで、ノズル開口からインク滴を吐出させている。
【０００３】
また、このようなインクジェット式記録ヘッドでは、圧電素子の一端部を振動板に固定すると共に他端部を固定板に固定し、固定板をヘッドケースに接着剤を介して接着することで圧電素子を保持し、圧電素子を軸方向に伸長・収縮させることで振動板を変形させて、圧力発生室に圧力変化を生じさせてインク滴を吐出させるものが提案されている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−２１３２７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ヘッドケースと固定板とは、ヘッドケースに設けられた溝状の注入口を介して行われるものの、注入口に注入した接着剤の圧力が弱く、固定板とヘッドケースとの間に亘って接着剤を充填することができなくなってしまうという問題がある。
【０００６】
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑み、ヘッドケースと圧電素子ユニットとを確実に接合すると共に、液体噴射特性の低下を抑制することができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決する本発明の態様は、ノズル開口と該ノズル開口に連通する圧力発生室が複数設けられた流路ユニットと、各圧力発生室に相対向する領域に設けられた圧電素子を有する圧電素子ユニットと、前記流路ユニットに第１の面が固定されて前記圧電素子ユニットが内面に接合される収容部が貫通して設けられたヘッドケースと、を具備し、前記ヘッドケースの前記収容部の一方面には、基準面と、前記基準面よりも突出して設けられて前記圧電素子ユニットが接合される接合面と、前記基準面に開口すると共に前記ヘッドケースの前記第１の面とは反対側の第２の面に開口する凹形状を有し、前記接合面に連続する内面を有する注入口と、を具備し、前記注入口が、前記第２の面から第１の面に向かう深さ方向において、連続した側面で画成され、且つ開口面積が前記第２の面から深さ方向に徐々に漸小して設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、注入口に注入される接着剤の量を増大させることなく、注入口の容積を小さくして、水頭圧を高くすることができるため、注入口から接合面上に接着剤を高い圧力で注入して、接合面上の全面に亘って接着剤を充填することができる。また、注入口から注入する接着剤の量を増大させることがないため、余分な接着剤を注入することがなく、接着剤の流出による圧電素子等の変形の阻害を抑制することができる。
【０００９】
ここで、前記注入口の側面が、凸状に湾曲して設けられていることが好ましい。これによれば、さらに注入口の容積を減少させて、水頭圧を高くすることができる。
【００１０】
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを複数具備することを特徴とする液体噴射ヘッドユニットにある。
かかる態様では、耐久性及び液体噴射特性に優れた液体噴射ヘッドユニットを実現できる。
【００１１】
また、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドユニット又は液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、耐久性及び液体噴射特性に優れた液体噴射装置を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図２】実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。
【図３】実施形態１に係るヘッドケースの斜視図及び拡大図である。
【図４】実施形態１に係るヘッドケースの断面図である。
【図５】実施形態１に係る記録ヘッドの製造方法を示す断面図である。
【図６】実施形態１に係る注入口と、比較のための注入口とを示す平面図である。
【図７】他の実施形態に係るヘッドケースの斜視図である。
【図８】一実施形態に係るインクジェット式記録装置の概略図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの圧力発生室の長手方向の断面図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドの圧力発生室の短手方向の断面図である。
【００１４】
図示するように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１（以下、記録ヘッド１とも言う）は、圧電素子ユニット２と、圧電素子ユニット２を内部に収容可能な収容部３が設けられたヘッドケース４と、ヘッドケース４の先端面（第１の面６）に接合された流路ユニット５と、を具備する。
【００１５】
圧電素子ユニット２は、複数の圧電素子１１がその幅方向に並設された圧電素子形成部材１３と、圧電素子形成部材１３の先端部（一端部）側が自由端となるようにその基端部（他端部）側が固定端として接合される固定板１４とを有する。
【００１６】
圧電素子形成部材１３は、圧電材料層１５と、圧電素子１１の２つの極を構成する内部電極、すなわち、隣接する圧電素子１１と電気的に独立する個別電極を構成する個別内部電極１６と、隣接する圧電素子１１と電気的に共通する共通電極を構成する共通内部電極１７とを交互に挟んで積層することにより形成されている。
【００１７】
この圧電素子形成部材１３には、図２に示すように、例えば、ワイヤーソー等によって複数のスリット１８が形成され、その先端部側が櫛歯状に切り分けられて圧電素子１１が並設されている。なお、圧電素子１１の列の両外側には、各圧電素子１１よりも広い幅を有する位置決め部１９が設けられている。この位置決め部１９は、圧電素子１１と同様に、圧電素子形成部材１３で形成されているが、実質的に駆動されない非駆動振動子であり、圧電素子ユニット２を記録ヘッド１に組み込む際に、位置決め部１９をヘッドケース４に設けられた収容部３の側面に当接させて、圧電素子ユニット２を高精度に位置決めするためのものである。
【００１８】
ここで、圧電素子１１の固定板１４に接合される領域は、振動に寄与しない不活性領域となっており、圧電素子１１を構成する個別内部電極１６及び共通内部電極１７間に電圧を印加すると、固定板１４に接合されていない先端部側の領域のみが振動する。そして、圧電素子１１の先端面が、後述する振動板４６の島部４９に接着剤等を介して固定される。
【００１９】
また、圧電素子ユニット２の各圧電素子１１には、当該圧電素子１１を駆動するための駆動ＩＣ等（図示なし）が搭載されたＣＯＦ等の回路基板３０が接続されている。
【００２０】
流路ユニット５は、流路形成基板４０と、流路形成基板４０の一方面側に設けられたノズルプレート４８と、流路形成基板４０の他方面側に設けられた振動板４６と、を具備する。
【００２１】
流路形成基板４０は、シリコン単結晶基板からなり、その一方面側の表層部分には、複数の隔壁４１によって画成された圧力発生室４２がその幅方向（短手方向）に並設されている。
【００２２】
また、各圧力発生室４２の長手方向一端部側には、各圧力発生室４２に液体の一例であるインクを供給するためのマニホールド４４が液体供給路の一例であるインク供給路４５を介して連通されている。また、流路形成基板４０の圧力発生室４２の開口面側は振動板４６で封止され、他方面側にはノズル開口４７が穿設されたノズル形成部材の一例であるノズルプレート４８が接着剤や熱溶着フィルムを介して接着されている。さらに、圧力発生室４２とノズル開口４７とは、流路形成基板４０を貫通して設けられたノズル開口連通路４３を介して連通している。
【００２３】
流路形成基板４０上に形成された振動板４６は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる第１の部材である弾性膜４６ａと、この弾性膜４６ａを支持する、例えば、金属材料等からなる第２の部材である支持板４６ｂとの複合板で形成されており、弾性膜４６ａ側が流路形成基板４０に接合されている。例えば、本実施形態では、第１の部材である弾性膜４６ａは、厚さが数μｍ程度のＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）フィルムからなり、第２の部材である支持板４６ｂは、厚さが数十μｍ程度のステンレス鋼板（ＳＵＳ）からなる。
【００２４】
また、振動板４６の各圧力発生室４２に対向する領域内には、圧電素子１１の先端部が当接する島部４９が設けられている。すなわち、振動板４６の各圧力発生室４２の周縁部に対向する領域に他の領域よりも厚さの薄い薄肉部５０が形成され、この薄肉部５０の内側にそれぞれ島部４９が設けられている。このような島部４９には、上述した圧電素子ユニット２の振動子である圧電素子１１の先端部が例えば、接着剤等を介して固定される。
【００２５】
また、振動板４６のマニホールド４４に対向する領域には、薄肉部５０と同様に、支持板４６ｂがエッチングにより除去されて実質的に弾性膜４６ａのみで構成されるコンプライアンス部５４が設けられている。なお、このコンプライアンス部５４は、マニホールド４４内に圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部５４の弾性膜４６ａが変形することによって圧力変化を吸収し、マニホールド４４内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。
【００２６】
なお、本実施形態では、振動板４６を弾性膜４６ａと支持板４６ｂとで構成し、島部４９の周辺部及びコンプライアンス部５４を弾性膜４６ａのみで構成したが、特にこれに限定されず、例えば、振動板として、１枚の板状部材を用いて、板状部材の厚さ方向の一部を除去した凹形状の薄肉部５０等を設けることで、島部４９及びコンプライアンス部５４を形成するようにしてもよい。
【００２７】
さらに、振動板４６上には、図示しない複数の液体貯留体の一例であるインクカートリッジに接続される液体供給路の一例であるインク供給路（図示なし）を有するヘッドケース４が固定されており、このヘッドケース４には、圧電素子ユニット２が位置決めされて固定されている。
【００２８】
ここで、ヘッドケース４についてさらに図３及び図４を参照して詳細に説明する。なお、図３は、ヘッドケースの一部を切り欠いた斜視図であり、図４は、ヘッドケースの圧電素子の並設方向の断面図である。
【００２９】
図１に示すように、ヘッドケース４には、厚さ方向に貫通した収容部３が設けられており、この収容部３の一方の内面に圧電素子ユニット２が接着剤６０を介して接着されている。
【００３０】
このような収容部３は、図１に示すように、固定板１４が固定される側に固定板１４の幅よりも幅広に設けられた固定板保持部３ａと、圧電素子形成部材１３側に固定板保持部３ａよりも幅狭で且つ圧電素子形成部材１３よりも若干幅広に設けられた圧電素子保持部３ｂとを有する。なお、ここで言う幅は、圧電素子１１（圧力発生室４２）の並設方向のことである。また、図１に示すように、収容部３の固定板保持部３ａには、貫通方向において振動板４６側が幅狭となるように段差部３ｃが設けられており、固定板１４は、圧電素子１１が突出する端面が段差部３ｃに当接して固定される。
【００３１】
ここで、図３及び図４に示すように、ヘッドケース４の収容部３の固定板１４が固定される一方面には、基準となる基準面７０と、基準面７０から突出して設けられて固定板１４が接着剤６０を介して接着される接合面７１と、基準面７０に開口すると共にヘッドケース４の流路ユニット５が固定された面とは反対側の第２の面７に開口する凹形状を有する注入口７２と、が設けられている。
【００３２】
また、接合面７１は、接合部７３と、注入部７４と、を具備する。接合面７１の接合部７３は、圧電素子１１の並設方向に収容部３の内面に亘って設けられている。また、接合部７３は、段差部３ｃとの間に基準面７０が存在し、且つ第２の面７との間に基準面７０が存在するように収容部３の深さ方向の略中央に配置されている。
【００３３】
接合面７１の注入部７４は、接合部７３よりも第２の面７側に設けられて接合面７１と注入口７２の内面とを連続する。本実施形態では、注入部７４を、収容部３の圧電素子１１の並設方向の両端部側に合計２つ設けるようにした。このような注入部７４は、収容部３の圧電素子１１の並設方向の側壁から離反して設けられているが、収容部３の幅の１／４よりも側壁に配置されている。
【００３４】
注入口７２は、ヘッドケース４の第２の面７に開口し、且つ基準面７０に開口する凹形状を有する。また、注入口７２は、第２の面７から第１の面６に向かう深さ方向において、側面が連続した面で構成されている。ここで側面が連続しているとは、側面に傾斜角度の異なる２つの面による境界が設けられておらず、連続した面で構成されていることを言う。
【００３５】
本実施形態では、注入口７２の側面は、第２の面７から第１の面６に向かう深さ方向に対して、傾斜した４つの傾斜面で構成した。このような注入口７２の側面が注入部７４の第２の面７側の短部と連続して設けられている。すなわち、注入口７２の第１の面６側の開口縁部は、注入部７４の端部と一致している。これにより、注入口７２から接着剤６０を注入することで、接着剤６０は自重によって側面の傾斜を伝って、注入部７４上に供給される。
【００３６】
このようなヘッドケース４の接合面７１に接着剤６０を介して固定板１４が接着されている。ここで、ヘッドケースと圧電素子ユニットとの接着方法について説明する。なお、図５は、ヘッドケースと圧電素子ユニットとの接着方法を示す圧力発生室の長手方向の断面図である。
【００３７】
図５（ａ）に示すように、圧電素子ユニット２の圧電素子１１の先端を島部４９に接合する。例えば、圧電素子ユニット２と島部４９とは、接着剤を介して接合することができる。
【００３８】
次に、図５（ｂ）に示すように、注入器１００によって注入口７２に接着剤６０を注入する。これにより、注入口７２に注入された接着剤６０は、注入口７２の傾斜した側面を伝って注入部７４と固定板１４との間に充填される。注入部７４から接合部７３上に亘って充填される。これにより、固定板１４とヘッドケース４とを接着することができる。
【００３９】
ここで、図６を参照して、本実施形態の注入口７２と、非連続の側面を有する注入口１７２とを比較する。なお、図６は、本実施形態の注入口と、比較のための注入口とを示す平面図である。
【００４０】
図６に示すように、非連続の側面を有する注入口１７２は、開口面積の異なる開口を画成する深さ方向に垂直な側面１７２ａ、１７２ｂと、垂直な側面１７２ａ、１７２ｂの間に設けられて側面１７２ａ、１７２ｂに対して傾斜した傾斜面１７２ｃとで構成されている。すなわち、注入口１７２は、第２の面７側に深さ方向に同じ開口面積を有する第１凹部１７３と、第１凹部１７３の第１の面６側に設けられて開口が第１の面６に向かって徐々に漸小する第２凹部１７４と、第２凹部１７４の第１の面６（図３参照）側に設けられて深さ方向に同じ開口面積を有する第３凹部１７５と、を具備する。
【００４１】
このような図６に示す注入口１７２は、本実施形態の注入口７２と同一深さｈ１で、且つ第２の面７の開口面積が本実施形態の注入口７２と同一となるように設けられている。
【００４２】
このような非連続な側面で設けられた注入口１７２に本実施形態の注入口７２と同一量の接着剤６０を注入すると、本実施形態の連続する側面を有する注入口７２に充填した接着剤６０の液面高さｈ２の方が、非連続な側面を有する注入口１７２に充填された接着剤６０の液面高さｈ３に比べて、高い位置となる。これは、側面が連続して設けられた注入口７２の方が、非連続な側面で形成された注入口１７２に比べて容積が小さいためである。そして、この本実施形態の注入口７２の液面高さｈ２と、非連続な側面を有する注入口１７２の液面高さｈ３との差Δｈだけ、本実施形態の注入口７２の水頭圧は高くなる。したがって、注入口７２の深さ方向（第２の面７から第１の面６に向かう方向）の底面に印加される圧力を高くして、接着剤６０を接合面７１に充填する圧力を高めて、接合面７１上に亘って接着剤６０を充填することができる。ちなみに、注入口１７２の水頭圧は、Δｈの分だけ低くなるため、注入口１７２の底面側での接着剤６０に印加される圧力が低くなり、接合面７１の全面に亘って接着剤６０を充填できない虞がある。なお、注入口１７２に注入する接着剤６０の量を多くして、水頭圧を高めることも考えられるが、注入口１７２に注入する接着剤の量が多いと、接合面７１から段差部３ｃ側に接着剤６０が流出し、流出した接着剤６０が圧電素子１１や振動板４６に付着し、付着した接着剤６０によって圧電素子１１や振動板４６の変位が阻害されてしまう。本実施形態では、非連続な側面を有する注入口１７２に比べて、注入する接着剤６０の量を増加させることなく、同じ接着剤６０の量で水頭圧を高めることができるため、余分な接着剤６０の流出による変形不良を抑制することができる。
【００４３】
さらに、図１及び図２に示すように、ヘッドケース４には、コンプライアンス部５４に対向する領域に開口する凹形状を有するコンプライアンス空間５５が設けられている。このコンプライアンス空間５５によってコンプライアンス部５４は変形可能に保持される。
【００４４】
このようなヘッドケース４は、樹脂材料によって形成されている。また、ヘッドケース４は、成形することで、低コストで製造することができると共に、容易に量産することができる。
【００４５】
このような記録ヘッド１では、インク滴を吐出する際に、圧電素子１１及び振動板４６の変形によって各圧力発生室４２の容積を変化させて所定のノズル開口４７からインク滴を吐出させるようになっている。具体的には、図示しないインクカートリッジからヘッドケース４に設けられたインク注入口（図示なし）を介してマニホールド４４にインクが供給されると、インク供給路４５を介して各圧力発生室４２にインクが分配される。実際には、圧電素子１１に電圧を印加することにより圧電素子１１を収縮させる。これにより、振動板４６が圧電素子１１と共に変形されて圧力発生室４２の容積が広げられ、圧力発生室４２内にインクが引き込まれる。そして、ノズル開口４７に至るまで内部にインクを満たした後、回路基板３０を介して供給される記録信号に従い、圧電素子１１の電極１６，１７に印加していた電圧を解除する。これにより、圧電素子１１が伸張されて元の状態に戻ると共に振動板４６も変位して元の状態に戻る。結果として圧力発生室４２の容積が収縮して圧力発生室４２内の圧力が高まりノズル開口４７からインク滴が吐出される。
【００４６】
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
【００４７】
例えば、上述した実施形態１では、ヘッドケース４に平坦面からなる連続した側面を有する注入口７２を設けるようにしたが、注入口７２は、深さ方向に連続する側面を有し、開口が深さ方向に向かって漸小する形状であれば、特にこれに限定されるものではない。ここで、注入口のその他の例を図７に示す。なお、図７は、ヘッドケースの要部を拡大した斜視図である。図７に示すように、注入口７２Ａは、第２の面７の開口が半円状であり、且つ深さ方向に向かってその側面が凸状に湾曲して設けられている。このような注入口７２Ａであれば、第２の面７の開口面積及び深さを変更することなく、注入口７２Ａの容積を実施形態１に比べてさらに減少させて、水頭圧をさらに高くすることができる。
【００４８】
また、上述した実施形態１では、ヘッドケース４の接合面７１に２つの注入部７４を圧電素子１１の並設方向両端部側に設けるようにしたが、注入部７４の位置及び数は特にこれに限定されるものではない。
【００４９】
また、上述した実施形態１では、流路（圧力発生室４２）に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、圧電材料層１５と個別内部電極１６及び共通内部電極１７と交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子１１を例示したが、圧力発生手段は、特にこれに限定されるものではなく、圧電材料層１５と個別内部電極１６及び共通内部電極１７とを交互に積層させて積層方向の一端部を島部に当接させる横振動型の圧電素子を用いるようにしてもよい。
【００５０】
また、実施形態１のインクジェット式記録ヘッド１は、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図８は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
【００５１】
図８に示すインクジェット式記録装置Ｉにおいて、複数のインクジェット式記録ヘッド１を有するインクジェット式記録ヘッドユニット２００（以下、単にヘッドユニット２００とも言う）は、インク供給手段を構成するカートリッジ２０２Ａ及び２０２Ｂが着脱可能に設けられ、このヘッドユニット２００を搭載したキャリッジ２０３は、装置本体２０４に取り付けられたキャリッジ軸２０５に軸方向移動自在に設けられている。このヘッドユニット２００は、例えば、ブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
【００５２】
そして、駆動モーター２０６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト２０７を介してキャリッジ２０３に伝達されることで、ヘッドユニット２００を搭載したキャリッジ２０３はキャリッジ軸２０５に沿って移動される。一方、装置本体２０４にはキャリッジ軸２０５に沿ってプラテン２０８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン２０８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
【００５３】
また、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、複数の記録ヘッド１を有するヘッドユニット２００がキャリッジ２０３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
【００５４】
また、上述した例では、複数の記録ヘッド１を有するヘッドユニット２００をインクジェット式記録装置Ｉに搭載するようにしたが、ヘッドユニット２００には、それぞれ１つの記録ヘッド１が搭載されていてもよく、また、単数又は複数の記録ヘッド１が直接インクジェット式記録装置Ｉに搭載されていてもよい。
【００５５】
なお、上述した実施形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００５６】
１  インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、  ２  圧電素子ユニット（振動子ユニット）、  ３  収容部、  ４  ヘッドケース、  ５  流路ユニット、  １１  圧電素子、  １３  圧電素子形成部材、  １４  固定板、  １６  個別内部電極、  １７  共通内部電極、  １８  スリット、  １９  位置決め部、  ３０  回路基板、  ４０  流路形成基板、  ４２  圧力発生室、  ４６  振動板、  ４７  ノズル開口、  ４８  ノズルプレート、  ４９  島部、  ５０  薄肉部、  ６０  接着剤、  ７１  接合面、  ７２、７２Ａ  注入口、  ７３  接合部、  ７４  注入部、  １００  注入器、  ２００  インクジェット式記録ヘッドユニット（液体噴射ヘッドユニット）、  Ｉ  インクジェット式記録装置（液体噴射装置）
【図１】
2011207179.tif 000003
【図２】
2011207179.tif 000004
【図３】
2011207179.tif 000005
【図４】
2011207179.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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