(57)【要約】【課題】  幅の広い領域の加工を均一に行うことができる耐久性の高いブラスト加工用噴射ノズルを実現する。【解決手段】  ノズル１０は、気体噴射部１１と、噴射材を供給する供給ポート１２と、気体噴射部１１及び供給ポートとそれぞれ連通し、気体噴射部１１から供給された圧縮気体と供給ポート１２から供給された噴射材とを混合し、固気二相流を形成する混合室１３と、混合室１３から導入された固気二相流を被加工物に噴射する噴射材噴射部１４と、を備えている。気体噴射部１１の開口部１１ｂには、圧縮気体の気流を長辺方向に広げる整流部２０が形成されている。整流部２０には、圧縮気体の気流を前記気体噴射部の長方形断面の長辺方向に広げる整流面２１ａを有する整流部材２１が長辺に垂直かつ長辺の中心線に対して対称に設けられており、第１の流路１１ａを区画している。【選択図】  図１
2011051021.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧縮気体を噴射する気体噴射部と、
噴射材を供給する供給ポートと、
前記気体噴射部及び前記供給ポートとそれぞれ連通し、前記気体噴射部から供給された圧縮気体と前記供給ポートから供給された噴射材とを混合し、固気二相流を形成する混合室と、
前記混合室と連通して前記気体噴射部の延長方向に設けられ、前記混合室から導入された固気二相流を被加工物に噴射する噴射材噴射部と、
を備えたブラスト加工用噴射ノズルにおいて、
前記気体噴射部は、圧縮気体が流れる第１の流路が圧縮気体の噴射方向に垂直な断面が長方形であるように形成され、圧縮気体が噴射される開口部に圧縮気体の気流を長方形断面の長辺方向に広げる整流部を備えており、
前記噴射材噴射部は、前記固気二相流が流れる第２の流路が噴射方向に垂直な断面が長方形であり、この長方形の長辺方向が、前記第１の流路の長辺方向と一致するように形成されていることを特徴とするブラスト加工用噴射ノズル。
【請求項２】
前記整流部には、前記第１の流路の内部に、長辺に垂直かつ長辺の中心線に対して対称に設けられ、圧縮気体の気流を前記気体噴射部の長方形断面の長辺方向に広げる整流面を有する整流部材が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のブラスト加工用噴射ノズル。
【請求項３】
前記整流部材は、長辺に平行な横断面が、圧縮気体の噴射方向に向かって幅が広い形状に形成されていることを特徴とする請求項２に記載のブラスト加工用噴射ノズル。
【請求項４】
前記整流部材は、前記横断面の幅が１ｍｍ以下であるように形成されていることを特徴とする請求項３に記載のブラスト加工用噴射ノズル。
【請求項５】
前記整流部材を複数個配置する場合、隣接する整流部材の間隔は３ｍｍ以上であることを特徴とする請求項２ないし請求項４のいずれか１つに記載のブラスト加工用噴射ノズル。
【請求項６】
前記整流部は、圧縮気体の噴射方向に向かって長辺方向に広がる傾斜面を備えており、前記傾斜面が噴射方向に対して傾斜する傾斜角θが０°＜θ≦３．７°を満たすことを特徴とする請求項１に記載のブラスト加工用噴射ノズル。
【請求項７】
前記気体噴射部の開口部の断面積Ｓ１の前記噴射材噴射部の第２の流路の断面積Ｓ２に対する断面積比Ｓ１／Ｓ２が、０．１≦Ｓ１／Ｓ２≦０．４を満たすことを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１つに記載のブラスト加工用噴射ノズル。
【請求項８】
被加工物に対してノズルから噴射材を噴射すると共に、被加工物もしくは研磨材噴射用ノズルを走査することによって、被加工物にブラスト加工を行うブラスト加工装置であって、請求項１ないし請求項７のいずれか１つに記載の噴射ノズルを備えていることを特徴としているブラスト加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、噴射材を被加工物に噴射するブラスト加工において、幅の広い領域の加工を均一に行うことができるブラスト加工用噴射ノズルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、ブラスト加工技術は、バリ取り、面荒らし、鋳造品の湯じわ消しなどの表面加工の分野などで使用されてきたが、近年では、太陽電池モジュール用基板、プラズマディスプレイなどの大型の基板を高速で均一に加工する要請が高まっている。一般に広く使用されている円形断面の噴射口を有するブラスト加工用噴射ノズルは、噴射材が噴射される幅が狭いため、一回のノズル走査により幅が広い領域に渡ってブラスト加工を行う場合には、噴射口を横に広げた矩形断面の噴射口を有するブラスト加工用噴射ノズルを使用することがある。しかし、このようなブラスト加工用噴射ノズルでは、噴射口の長辺方向の端部で噴射速度が低下するため、噴射口全幅に渡って均一なブラスト加工を行うことができないという問題があった。
このような問題を解決するため、例えば、特許文献１には、噴射方向に向けて幅方向断面が徐々に狭くなる研磨材拡散部と、この研磨材拡散部の前方に形成される研磨材整流部とで成る研磨材拡散室で、噴射材と圧縮気体との混合流体の噴射流（固気二相流）を細長形状の断面形状に整流して噴射するブラスト加工用ノズルが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特許第４２８７５２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上述の方法で固気二相流を整流すると、固気二相流が研磨材拡散部や研磨材整流部の内壁に高速で衝突するため、これらが磨耗、損傷しやすい。これにより、ブラスト加工用ノズルの構成部材の交換頻度が高くなり、耐久性が低くなってしまうという問題があった。
【０００５】
そこで、本発明は、幅の広い領域の加工を均一に行うことができる耐久性の高いブラスト加工用噴射ノズルを実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明は、上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、圧縮気体を噴射する気体噴射部と、噴射材を供給する供給ポートと、前記気体噴射部及び前記供給ポートとそれぞれ連通し、前記気体噴射部から供給された圧縮気体と前記供給ポートから供給された噴射材とが混合される混合室と、前記混合室と連通して前記気体噴射部の延長方向に設けられ、前記混合室において圧縮気体と混合された噴射材を圧縮気体の気流により搬送して、被加工物に噴射する噴射材噴射部と、を備えたブラスト加工用噴射ノズルにおいて、前記気体噴射部は、圧縮気体が流れる第１の流路が圧縮気体の噴射方向に垂直な断面が長方形であるように形成され、圧縮気体が噴射される開口部に圧縮気体の気流を長方形断面の長辺方向に広げる整流部を備えており、前記噴射材噴射部は、圧縮気体と混合された噴射材が搬送される第２の流路が噴射方向に垂直な断面が長方形であり、この長方形の長辺方向が、前記第１の流路の長辺方向と一致するように形成されている、という技術的手段を用いる。
【０００７】
請求項１に記載の発明によれば、気体噴射部の開口部において、整流部により圧縮気体の気流を長方形断面の長辺方向に広げることができる。これにより、長辺方向に均一な速度分布に整流された圧縮気体を、供給ポートから供給された噴射材と混合室において混合して固気二相流を形成し、噴射材噴射部に導入することができる。この固気二相流は、長辺方向に均一な速度分布をもつように整流されているとともに、噴射材の密度が均一になるため、噴射材噴射部の長辺方向の幅広い領域を均一にブラスト加工することができる。これにより、一度にブラスト加工することができる幅を広くすることができるので、ブラスト加工の加工効率を向上させることができる。
また、固気二相流を形成する前に圧縮空気の流れを整流するため、混合室で形成された固気二相流が同じ長辺方向に配置された第２の流路にそのまま導入されるので、固気二相流が第２の流路の内部で広がり、内壁に衝突することが少なくなり、第２の流路が磨耗、損傷することを防ぐことができる。加えて、整流部には、噴射材が衝突することがないので、磨耗、損傷することもない。これにより、耐久性の高いブラスト加工用噴射ノズルを実現することができる。
【０００８】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載のブラスト加工用噴射ノズルにおいて、前記整流部には、前記第１の流路の内部に、長辺に垂直かつ長辺の中心線に対して対称に設けられ、圧縮気体の気流を前記気体噴射部の長方形断面の長辺方向に広げる整流面を有する整流部材が設けられている、という技術的手段を用いる。
【０００９】
請求項２に記載の発明によれば、整流部材の整流面により、圧縮気体の気流を気体噴射部の長方形断面の長辺方向に広げることができるので、より効率的に、圧縮気体の気流を長辺方向に均一な速度分布に整流することができる。これにより、より効率的に噴射材噴射部の長辺方向の幅広い領域を均一にブラスト加工することができる。
【００１０】
請求項３に記載の発明では、請求項２に記載のブラスト加工用噴射ノズルにおいて、前記整流部材は、長辺に平行な横断面が、圧縮気体の噴射方向に向かって幅が広い形状に形成されている、という技術的手段を用いる。
【００１１】
請求項３に記載の発明によれば、長辺に平行な横断面が、例えば、三角形、半楕円、半円などのように圧縮気体の噴射方向に向かうほど幅が広い形状に形成されているため、整流部材の下流に渦流が発生することがなく、圧縮気体の気流を均一な速度分布に整流することができ、噴射材噴射部の長辺方向の幅広い領域を均一にブラスト加工することができる。
【００１２】
請求項４に記載の発明では、請求項３に記載のブラスト加工用噴射ノズルにおいて、前記整流部材は、前記横断面の幅が１ｍｍ以下であるように形成されている、という技術的手段を用いる。
【００１３】
整流部材の幅は  請求項４に記載の発明のように、１ｍｍ以下にすることが好ましい。幅が１ｍｍを超えると、整流部材の下流での気流の速度が低下するため、均一な速度分布を達成することができなくなるからである。
【００１４】
請求項５に記載の発明では、請求項２ないし請求項４のいずれか１つに記載のブラスト加工用噴射ノズルにおいて、前記整流部材を複数個配置する場合、隣接する整流部材の間隔は３ｍｍ以上である、という技術的手段を用いる。
【００１５】
整流部材を複数個配置する場合、請求項５に記載の発明のように、隣接する整流部材の間隔は３ｍｍ以上にすることが好ましい。整流部材の間隔が３ｍｍより小さくなると、圧縮気体の気流の流通抵抗が大きくなるため、当該整流部材の間を通過する圧縮気体の流速が遅くなり、噴射材噴射部から被加工物に噴射する気流の噴射速度が遅くなるので、加工効率が低下するからである。
【００１６】
請求項６に記載の発明では、請求項１に記載のブラスト加工用噴射ノズルにおいて、前記整流部は、圧縮気体の噴射方向に向かって長辺方向に広がる傾斜面を備えており、前記傾斜面が噴射方向に対して傾斜する傾斜角θが０°＜θ≦３．７°を満たす、という技術的手段を用いる。
【００１７】
整流部が圧縮気体の噴射方向に向かって長辺方向に広がる傾斜面を備えている構成では、請求項６に記載の発明のように、傾斜面が噴射方向に対して傾斜する傾斜角θが０°＜θ≦３．７°を満たすことが好ましい。θが３．７°を超えると、気流が広がりすぎて長辺方向の端部の気流の速度が大きくなり、加工量が増大してしまうため、噴射材噴射部の長辺方向の幅広い領域を均一にブラスト加工することができないからである。
【００１８】
請求項７に記載の発明では、請求項１ないし請求項６のいずれか１つに記載のブラスト加工用噴射ノズルにおいて、前記気体噴射部の開口部の断面積Ｓ１の前記噴射材噴射部の第２の流路の断面積Ｓ２に対する断面積比Ｓ１／Ｓ２が、０．１≦Ｓ１／Ｓ２≦０．４を満たす、という技術的手段を用いる。
【００１９】
気体噴射部の開口部の断面積Ｓ１の噴射材噴射部の第２の流路の断面積Ｓ２に対する断面積比Ｓ１／Ｓ２は、請求項７に記載の発明のように、０．１≦Ｓ１／Ｓ２≦０．４を満たすことが好ましい。Ｓ１／Ｓ２が０．１未満では、噴射速度が大きく低下するため、十分な加工深さが得られない。また、Ｓ１／Ｓ２が０．４を超える場合では、混合室で噴射材を吸引するために発生させる負圧が低下してしまい、安定した噴射ができなくなるからである。
【００２０】
請求項８に記載の発明では、被加工物に対してノズルから噴射材を噴射すると共に、被加工物もしくは研磨材噴射用ノズルを走査することによって、被加工物にブラスト加工を行うブラスト加工装置であって、請求項１ないし請求項７のいずれか１つに記載の噴射ノズルを備えた、という技術的手段を用いる。
【００２１】
請求項８に記載の発明によれば、請求項１ないし請求項７のいずれか１つに記載の発明と同様の効果を奏することができるブラスト加工装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】ブラスト加工用噴射ノズルの断面説明図である。図１（Ａ）は、短辺方向の断面図であり、図１（Ｂ）は、長辺方向の断面図である。
【図２】整流部材の配置がブラスト加工状態に及ぼす影響を示す説明図である。
【図３】整流部材の大きさがブラスト加工状態に及ぼす影響を示す説明図である。
【図４】整流部材の形状がブラスト加工状態に及ぼす影響を示す説明図である。
【図５】気体噴射部の開口部の断面積Ｓ１の噴射材噴射部の断面積Ｓ２に対する断面積比Ｓ１／Ｓ２と、（Ａ）加工深さ及び（Ｂ）発生負圧との関係を示す説明図である。
【図６】その他の実施形態のブラスト加工用噴射ノズルの断面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
本発明のブラスト加工用噴射ノズルについて、図を参照して説明する。図１に示すように、ノズル１０は、圧縮気体を供給する圧縮気体供給装置（図示せず）と接続された気体噴射部１１と、所定量の噴射材を定量供給する噴射材ホッパー（図示せず）と接続されており噴射材を供給する供給ポート１２と、気体噴射部１１及び供給ポートとそれぞれ連通し、気体噴射部１１から供給された圧縮気体と供給ポート１２から供給された噴射材とを混合し、固気二相流を形成する混合室１３と、混合室１３から導入された固気二相流を被加工物に噴射する噴射材噴射部１４と、を備えている。混合室１３は、気体噴射部１１と噴射材噴射部１４とを直線上に配置する噴射部ホルダー１５の内部に形成されている。
【００２４】
気体噴射部１１には、圧縮気体が流れる第１の流路１１ａが、圧縮気体の噴射方向Ｘに垂直な断面が長方形であるように形成されている。ここで、図１（Ａ）の上下方向が長方形の短辺方向であり、図１（Ｂ）の上下方向が長辺方向である。
【００２５】
気体噴射部１１の先端には、開口部１１ｂに向かって連続的に短辺の長さが減少するように傾斜部１１ｃが形成されている。供給ポート１２は、長辺側から傾斜部１１ｃに向かって噴射方向Ｘに対して鋭角をなすように、噴射部ホルダー１５設けられている。これらの構成により、混合室１３に噴射材をスムースに導入することができ、圧縮気体と噴射材とが混合されやすくなり、噴射材の密度が均一な固気二相流を形成することができる。
【００２６】
気体噴射部１１の開口部１１ｂには、圧縮気体の気流を長辺方向に広げる整流部２０が形成されている。整流部２０には、圧縮気体の気流を前記気体噴射部の長方形断面の長辺方向に広げる整流面２１ａを有する整流部材２１が長辺に垂直かつ長辺の中心線に対して対称に設けられており、第１の流路１１ａを区画している。圧縮気体の気流を、より効果的に長辺方向に広げるために、整流部材２１は複数個用いることが好ましい。
【００２７】
本実施形態では、整流部材２１は、長辺に平行な横断面が、圧縮気体の噴射方向Ｘに向かって幅が広い形状に形成されるように、細長い三角形に形成されている。整流面２１ａは、噴射方向Ｘに対して外方に数度傾斜しており、圧縮気体の気流を長辺方向に広げることができる。また、圧縮気体の気流の乱れを少なくするために、整流部材２１自体が噴射方向Ｘに対して必要以上に傾斜しないように配置されている。
【００２８】
噴射材噴射部１４には、混合室１３から導入された固気二相流が流れる第２の流路１４ａが、噴射方向に垂直な断面が長方形であるように形成されている。図１（Ｃ）に示すように、第２の流路１４ａの断面の長辺は、第１の流路１１ａの長辺方向と一致するように形成されており、第１の流路１１ａの長辺の長さと略同一である。短辺は開口部１１ｂの短辺よりも長く形成されている。噴射口側から第２の流路１４ａを見ると、長辺が等しく短辺が短い第１の流路１１ａが中央に配置された構成となる。
【００２９】
第１実施形態のノズル１０を用いて、下記のようにブラスト加工を行うことができる。圧縮気体供給装置から気体噴射部１１に圧縮気体を供給すると、供給された圧縮気体は第１の流路１１ａを流れる。このとき、圧縮気体の気流は中央部の流速が速く、長辺方向の外側に向かうに従って流速が遅くなるという速度分布を有している。
【００３０】
圧縮気体の気流が気体噴射部１１の開口部１１ｂに形成された整流部２０に到達すると、整流部材２１の整流面２１ａに案内されて、圧縮気体の気流は長辺方向に広げられ、長辺方向に均一な速度分布になるように整流される。
【００３１】
気体噴射部１１の先端から混合室１３に整流された圧縮気体が噴射されると、混合室１３内が負圧になり、供給ポート１２から噴射材が導入される。噴射材は、整流された圧縮気体の気流に乗って混合され、長辺方向に均一な速度分布を有し、噴射材の密度が均一な固気二相流が形成される。
【００３２】
混合室１３で形成された固気二相流は、噴射材噴射部１４の第２の流路１４ａに導入される。ここで、気体噴射部１１の開口部１１ｂと第２の流路１４ａとは図１（Ｃ）に示す関係にあるので、混合室１３で形成された固気二相流の流れは長辺方向で乱れることはなく、長辺方向に均一な速度分布を保ったままで、被加工物に噴射される。被加工物に対してノズル１０を短辺方向に相対移動させることにより、噴射材噴射部１４の長辺方向の幅広い領域を均一にブラスト加工することができる。これにより、一度にブラスト加工することができる幅を広くすることができるので、ブラスト加工の加工効率を向上させることができる。
【００３３】
混合室１３で形成された固気二相流は第２の流路１４ａにそのまま導入されるので、固気二相流が第２の流路の内部で広がり、内壁に衝突することが少なくなり、第２の流路が磨耗、損傷することを防ぐことができる。加えて、整流部２１には、噴射材が衝突することがないので、磨耗、損傷することもない。
【００３４】
（実施例１）
本実施例では、整流部材２１の配置がブラスト加工状態に及ぼす影響について調べた。なお、本発明は、以下の実施例に限定されるものではない。
【００３５】
長辺の幅がＤ（Ｄ＝１８ｍｍ、１５ｍｍ）のノズル１０を用いて、平板試料のブラスト加工試験を行い、ブラスト加工後に長辺方向の加工深さのラインプロファイルを測定し、ブラスト加工の良否を判断した。
【００３６】
整流部材２１は、横断面の形状が幅１ｍｍ、長さ１０ｍｍの直角三角形状に形成されたものを２つ用い、斜辺が外側となるようにそれぞれ配置した。
【００３７】
図２に、長辺の幅が１８ｍｍのノズル１０を用いて、隣接する整流部材２１の間隔Ｂを２ｍｍ、３ｍｍとした場合の加工深さのラインプロファイルを示す。整流部材２１の間隔Ｂを３ｍｍとした場合には、加工深さが５〜１０μｍの範囲に収まる均一なブラスト加工をすることができた。一方、整流部材２１の間隔Ｂを２ｍｍとした場合には、整流部材２１の間に対応する領域で加工量が小さくなり、均一なブラスト加工をすることができなかった。整流部材２１の間隔Ｂが小さくなると、圧縮気体の気流の流通抵抗が大きくなるため、当該整流部材２１の間を通過する圧縮気体の流速が遅くなり、噴射材噴射部から被加工物に噴射する気流の噴射速度が遅くなるので、加工効率が低下するからであると考えられる。
【００３８】
長辺の幅が１８ｍｍのノズル１０を用いて、整流部材２１の間隔Ｂを２〜５ｍｍとした場合、長辺の幅が１５ｍｍのノズル１０を用いて、整流部材２１の間隔Ｂを３ｍｍとした場合のブラスト加工の結果を表１に示す。長辺が１８ｍｍおよび１５ｍｍいずれの場合も隣接する整流部材２１の間隔Ｂが３ｍｍ以上において良好なブラスト加工が可能であり、隣接する整流部材２１の間隔は３ｍｍ以上にすることが好ましいことが確認された。
【００３９】
【表１】
2011051021.tif 000003
【００４０】
（実施例２）
整流部材２１の大きさがブラスト加工状態に及ぼす影響について調べた。長辺の幅が１８ｍｍのノズル１０を用いて、実施例１と同様の条件でブラスト加工試験を行い、ブラスト加工の良否を判断した。整流部材２１として、図３に示すように、横断面の形状が幅２ｍｍ、長さ１０ｍｍの二等辺三角形状に形成されたものを１つ用い、長辺の中央に配置した。
【００４１】
本実施例の整流部材２１では、整流部材２１の下流でほとんど加工されなかった。整流部材２１の幅が１ｍｍを超えると、整流部材２１の下流での気流の速度が低下するため、均一な速度分布を達成することができなくなることや、整流部材２１の下流での噴射材の濃度が希薄となることによると考えられる。これにより、整流部材２１の幅は１ｍｍ以下にすることが好ましいことが確認された。
【００４２】
（実施例３）
整流部材２１の形状がブラスト加工状態に及ぼす影響について調べた。長辺の幅が１８ｍｍのノズル１０を用いて、実施例１と同様の条件でブラスト加工試験を行い、ブラスト加工の良否を判断した。整流部材２１として、図４（Ａ）に示すような横断面の形状がひし形、楕円形に形成されたものを１つ用い、長辺の中央に配置した。これらの形状の整流部材２１は、噴射方向に幅が狭くなる部分を有するものである。
【００４３】
断面形状がひし形の場合、加工深さにばらつきが生じるとともに、図４（Ｂ）に示すように、加工部と未加工部との境界が波状に乱れ、良好なブラスト加工を行うことができなかった。また、断面形状が楕円形の場合、加工幅が小さくなるとともに、加工部と未加工部との境界が波状に乱れ、良好なブラスト加工を行うことができなかった。これらは、幅が狭くなる部分が存在することにより、整流部材２１の下流に渦流が発生したためであると考えられる。これにより、断面形状が、三角形、半楕円、半円などのように圧縮気体の噴射方向に向かうほど幅が広い形状だと、整流部材２１の下流に渦流が発生することがなく、圧縮気体の気流を均一な速度分布に整流することができ、幅広い領域を均一にブラスト加工することができるので好ましいことが確認された。
【００４４】
（実施例４）
気体噴射部１１の開口部１１ｂの断面積Ｓ１の噴射材噴射部１４の第２の流路１４ａの断面積Ｓ２に対する断面積比Ｓ１／Ｓ２と、（Ａ）加工深さ及び（Ｂ）発生負圧との関係を調べた。図５（Ａ）に示すように、Ｓ１／Ｓ２が０．１未満では、噴射速度が大きく低下するため、十分な加工深さが得られない。図５（Ｂ）に示すように、また、Ｓ１／Ｓ２が０．４を超える場合では、混合室１３で噴射材を吸引するために発生させる負圧が低下してしまい、安定した噴射ができなくなる。これにより、上記断面積比Ｓ１／Ｓ２は、０．１≦Ｓ１／Ｓ２≦０．４を満たすことが好ましいことが確認された。
【００４５】
（変更例）
整流部材２１の個数、配置間隔などは目的とする加工幅に合わせて適宜選定することができる。
【００４６】
［実施形態の効果］
本発明のノズル１０によれば、気体噴射部１１の開口部１１ｂにおいて、整流部２０（整流部材２１）により圧縮気体の気流を長方形断面の長辺方向に広げることができる。これにより、長辺方向に均一な速度分布に整流された圧縮気体を、供給ポート１２から供給された噴射材と混合室１３において混合して固気二相流を形成し、噴射材噴射部１４に導入することができる。この固気二相流は、長辺方向に均一な速度分布をもつように整流されているとともに、噴射材の密度が均一になるため、噴射材噴射部１４の長辺方向の幅広い領域を均一にブラスト加工することができる。これにより、一度にブラスト加工することができる幅を広くすることができるので、ブラスト加工の加工効率を向上させることができる。
また、固気二相流を形成する前に圧縮空気の流れを整流するため、混合室１３で形成された固気二相流が同じ長辺方向に配置された第２の流路１４ａにそのまま導入されるので、固気二相流が第２の流路１４ａの内部で広がり、内壁に衝突することが少なくなり、第２の流路１４ａが磨耗、損傷することを防ぐことができる。加えて、整流部２１には、噴射材が衝突することがないので、磨耗、損傷することもない。これにより、耐久性の高いノズル１０を実現することができる。
【００４７】
［その他の実施形態］
図６に示すように、整流部２０が圧縮気体の噴射方向に向かって長辺方向に広がる傾斜面２２を備えた構成を採用することもできる。気体噴射部１１の第１の流路１１ａを流れる圧縮気体の気流は、傾斜面２２により長辺方向外側に案内されて広がるため、上述の実施形態同様に、噴射材噴射部１４の長辺方向の幅広い領域を均一にブラスト加工することができる。ここで、傾斜面２２が噴射方向に対して傾斜する傾斜角θが０°＜θ≦３．７°を満たすことが好ましい。θが３．７°を超えると、気流が広がりすぎて長辺方向の端部の気流の速度が大きくなり、加工量が増大してしまうため、長辺方向の幅広い領域を均一にブラスト加工することができないからである。
【符号の説明】
【００４８】
１０    ノズル
１１    気体噴射部
１１ａ  第１の流路
１１ｂ  開口部
１２    供給ポート
１３    混合室
１４    噴射材噴射部
１４ａ  第２の流路
２０    整流部
２１    整流部材
【図１】
2011051021.tif 000004
【図２】
2011051021.tif 000005
【図３】
2011051021.tif 000006
【図４】
2011051021.tif 000007
【図５】
2011051021.tif 000008
【図６】
2011051021.tif 000009