(57)【要約】【課題】送りネジ式アリ溝ステージの性能を向上させ、送りネジ式アリ溝ステージに複数の機能を容易追加して使い勝手を改善した多機能送りネジ式アリ溝ステージを提供する。【解決手段】多機能送りネジ式アリ溝ステージ１は、両端部にハンドル８との連結部を有する雄ネジ棒７と、固定部品２の両側にそれぞれ設けられ、雄ネジ棒７を回転自在に保持する第１支持台９及び第２支持台１０と、連結部を介して雄ネジ棒７と着脱自在に連結して雄ネジ棒７を回転させるハンドル８と、を備え、摺動部品３は、固定部品２と接続する雌ネジ筒が移動して第１支持台９及び第２支持台１０に当接するまで移動する。【選択図】図１
2011027556.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
雌ネジ筒が接続する摺動部品と、雄ネジ棒が接続する固定部品とが係合され、ハンドル操作により雄ネジ棒を回転させて雌ネジ筒を移動させることで摺動部品を摺動させ、取り付けられた精密機器の位置調整を行う送りネジ式アリ溝ステージにおいて、
両端部にハンドルと連結する連結部を有する雄ネジ棒と、
固定部品の両側にそれぞれ設けられ、雌ネジ筒の移動方向に関して固定部品の長さを規定し、雄ネジ棒を回転自在に保持する第１の支持台及び第２の支持台と、
連結部を介して雄ネジ棒と着脱自在に連結して雄ネジ棒を回転させるハンドルと、
を備えることを特徴とする多機能送りネジ式アリ溝ステージ。
【請求項２】
請求項１に記載の多機能送りネジ式アリ溝ステージであって、前記連結部は、雄ネジ棒の両端部に軸方向に設けられたネジ孔と、ハンドル内部に軸方向に挿入されて雄ネジ棒に設けられたネジ孔と係合するボルトとから構成され、摺動部は、雌ネジ筒に連結された凸状突出部が着脱自在な凹状挿入孔を有し、係合されたボルトを外し、凹状挿入孔から凸状突出部を外すことで、１回転当りの移動量が異なる複数の雄ネジ棒、及びその雄ネジ棒に対応する雌ネジ筒が交換自在に選択されることを特徴とする多機能送りネジ式アリ溝ステージ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の多機能送りネジ式アリ溝ステージであって、摺動部品は、摺動部品の移動方向と交差する方向の断面に逆三角形の突出部、及び突出部を形成する縦方向の溝部とを有し、突出部まで貫通する摺動固定ネジ用孔に摺動固定ネジをねじ込んで突出部に突き当て、突出部を対向する固定部品に傾斜させ、摺動部品を固定部品に対して固定することを特徴とする多機能送りネジ式アリ溝ステージ。
【請求項４】
請求項３に記載の多機能送りネジ式アリ溝ステージであって、目盛板、及び固定部品に対する摺動部品の位置を固定する摺動固定ネジは、摺動部品の移動方向と交差する方向の摺動部品の側面の双方に設けられることを特徴とする多機能送りネジ式アリ溝ステージ。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１に記載の多機能送りネジ式アリ溝ステージであって、雄ネジ棒は、第１の支持台及び第２の支持台の双方でそれぞれ第１のハンドル及び第２のハンドルに連結されることを特徴とする多機能送りネジ式アリ溝ステージ。
【請求項６】
請求項１乃至４のいずれか１に記載の多機能送りネジ式アリ溝ステージであって、雄ネジ棒は、略鉛直方向に向けられ、第１支持台が土台に固定され、第２の支持台がハンドルに連結されることを特徴とする多機能送りネジ式アリ溝ステージ。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１に記載の多機能送りネジ式アリ溝ステージであって、１つの固定部品に対して複数の摺動部品が摺動方向に沿って並置されることを特徴とする多機能送りネジ式アリ溝ステージ。
【請求項８】
請求項１乃至６のいずれか１に記載の多機能送りネジ式アリ溝ステージであって、１組の固定部品及び摺動部品が摺動方向に沿って連結されて複数組並置されることを特徴とする多機能送りネジ式アリ溝ステージ。
【請求項９】
請求項７又は８に記載の多機能送りネジ式アリ溝ステージであって、前記並置された複数の摺動部品は、少なくともハンドル位置、雄ネジ棒の１回転当りの移動量、又は最大移動距離のいずれかが異なることを特徴とする多機能送りネジ式アリ溝ステージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多機能送りネジ式アリ溝ステージに係り、特に、雌ネジ筒が接続する摺動部品と、雄ネジ棒が接続する固定部品とが係合され、ハンドル操作により雄ネジ棒を回転させて雌ネジ筒を移動させることで摺動部品を摺動させ、取り付けられた精密機器の位置調整を行う送りネジ式アリ溝ステージに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＣＣＤカメラやセンサなどの電機・電子機器、レンズや顕微鏡等の光学機器、ＬＥＤなどの照明機器といった精密機器は、取り付けに際し、位置決めやピント合わせのために位置調整しなければならない。また、取り付け後において、さらにその位置を微調整する場合も発生する。
【０００３】
これらの精密機器は、アリ溝式ステージと称される装置に設置されて位置調整される。このアリ溝式ステージは、機器が取付けられる摺動部品と、土台に固定される固定部品とが摺動機構を介して連結され、ハンドル操作により摺動部品を固定部品に対して手動で摺動させるのが一般的である。このアリ溝式ステージには、使用目的に応じて多様な形式があり、例えば、１方向に摺動するＸ軸アリ溝式ステージ、略直交する２方向に摺動するＸＹ軸アリ溝式ステージ、上下方向に摺動するＺ軸アリ溝式ステージ、回転して摺動する回転ステージなどがある。そして、このアリ溝式ステージに組み込まれる駆動方式には、例えば、送りネジにより駆動する送りネジ式アリ溝ステージ、ラック及びピニオンギアにより駆動するラック及びピニオンギア式アリ溝ステージなどがある。
【０００４】
図９に、従来の一般的な送りネジ式アリ溝ステージを示す。図９（ｂ）は、送りネジ式アリ溝ステージ１００の側面図であり、図９（ａ）は、図９（ｂ）をＧ−Ｇ方向からみた平面図であり、図９（ｃ）は、図９（ｂ）をＨ−Ｈ方向からみた平面図である。送りネジ式アリ溝ステージ１００は、アリ１０４を有する摺動部品１０３、アリ溝１０５を有する固定部品１０２、摺動機構である雄ネジ棒１０７及び雌ネジ筒１０６、ハンドル１０８、及び摺動固定ネジ１１２から構成される。そして、摺動部品１０３側には目盛板１１３ｂが取り付き、固定部品１０２側には、目盛板１１３ａが取り付く。この雄ネジ棒１０７を雌ネジ筒１０６に係合させ、ハンドル１０８を回転させることで摺動部品１０３が固定部品１０２に対して摺動する。摺動固定ネジ１１２は、任意の位置で摺動部品１０３を固定部品１０２に対して固定する。
【０００５】
この送りネジ式アリ溝ステージ１００の雄ネジ棒１０７は、一端が固定部品１０２に取付けられて固定され、他端は自由端となる片持梁となっている。また、この送りネジ式アリ溝ステージ１００の固定部品１０２に対する摺動部品１０３の移動距離は、雌ネジ筒１０６が、固定部品１０２の一方の端部に取り付けられたストッパ板１０９、及び固定部品１０２の他方の端部に設けられたワッシャ１１０に当接することで決定される。また、雄ネジ棒１０７は、送りネジ式アリ溝ステージ１００に組み込まれているため交換することはできない。さらに、ハンドル１０８や目盛板１１３ａ、１１３ｂは、送りネジ式アリ溝ステージ１００の機構上その位置が固定されている。
【０００６】
一方、特許文献１には、回転テーブルがベースに対して回転する回転ステージが開示されている。ここでは、回転テーブルとベースの一方に送りねじが配設され、他方に送りねじに螺合するナットが配設され、これらの送りねじ機構により、回転テーブルがベースに対して正転または逆転し得ることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００６−２１２８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従来の送りネジ式アリ溝ステージは、雄ネジ棒の一端が固定され、他端が自由端である片持梁であり、雄ネジ棒は先端に向けて自重により撓みが大きくなる。このため、雌ネジ筒が長くなるほど雌ネジ筒と雄ネジ棒との係合の際にこじれが発生する場合があり、送りネジ式アリ溝ステージの性能が低下する虞がある。
【０００９】
また、雄ネジ棒とハンドルとは固定されたまま送りネジ式アリ溝ステージの製品内部に組み込まれている。このため、ユーザが雄ネジ棒を交換することができず機能性に欠けるステージとなっている。
【００１０】
さらに、ハンドル、摺動固定ネジ、及び目盛板の位置は製品に固定されているためその位置を変えることはできない。また、摺動部品の移動距離の異なるバリエーションから選択することができない。このため、ユーザにとっては使い勝手が悪いステージとなっている。
【００１１】
本願の目的は、かかる課題を解決し、送りネジ式アリ溝ステージの性能を向上させ、送りネジ式アリ溝ステージに複数の機能を容易に追加して使い勝手を改善した多機能送りネジ式アリ溝ステージを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するため、本発明に係る多機能送りネジ式アリ溝ステージは、雌ネジ筒が接続する摺動部品と、雄ネジ棒が接続する固定部品とが係合され、ハンドル操作により雄ネジ棒を回転させて雌ネジ筒を移動させることで摺動部品を摺動させ、取り付けられた精密機器の位置調整を行う送りネジ式アリ溝ステージにおいて、両端部にハンドルと連結する連結部を有する雄ネジ棒と、固定部品の両側にそれぞれ設けられ、雌ネジ筒の移動方向に関して固定部品の長さを規定し、雄ネジ棒を回転自在に保持する第１の支持台及び第２の支持台と、連結部を介して雄ネジ棒と着脱自在に連結して雄ネジ棒を回転させるハンドルと、を備えることを特徴とする。
【００１３】
上記構成により、多機能送りネジ式アリ溝ステージは、雄ネジ棒が第１の支持台及び第２の支持台により単純梁として保持される。これにより、雄ネジ棒の撓み量が低減され、雌ネジ筒と雄ネジ棒とが係合する際のこじれが低減され、送りネジ式アリ溝ステージの性能を向上させることができる。また、ハンドルを雄ネジ棒のいずれの端部にも連結することができ、使用目的に合わせて使い勝手を容易に改善できる。また、固定部品の雌ネジ筒の移動方向の長さが第１の支持台及び第２の支持台の間隔により規定されることから、使用目的に合わせた送りネジ式アリ溝ステージの移動距離を有する多機能送りネジ式アリ溝ステージのバリエーションを揃えることができる。
【００１４】
また、多機能送りネジ式アリ溝ステージは、前記連結部が、雄ネジ棒の両端部に軸方向に設けられたネジ孔と、ハンドル内部に軸方向に挿入されて雄ネジ棒に設けられたネジ孔と係合するボルトとから構成され、摺動部は、雌ネジ筒に連結された凸状突出部が着脱自在な凹状挿入孔を有し、係合されたボルトを外し、凹状挿入孔から凸状突出部を外すことで、１回転当りの移動量が異なる複数の雄ネジ棒、及びその雄ネジ棒に対応する雌ネジ筒が交換自在に選択されることが好ましい。これにより、１回転当りの移動量が異なる複数の雄ネジ棒、及びその雄ネジ棒に対応する雌ネジ筒が交換自在に選択でき、多機能送りネジ式アリ溝ステージの使い勝手を容易に改善できる。また、ハンドルを雄ネジ棒のいずれの端部にも連結することができ、使用目的に合わせて使い勝手を容易に改善できる。
【００１５】
また、多機能送りネジ式アリ溝ステージは、摺動部品が、摺動部品の移動方向と交差する方向の断面に逆三角形の突出部、及び突出部を形成する縦方向の溝部とを有し、突出部まで貫通する摺動固定ネジ用孔に摺動固定ネジをねじ込んで突出部に突き当て、突出部を対向する固定部品に傾斜させ、摺動部品を固定部品に対して固定することが好ましい。これにより、摺動固定ネジを使用目的に合わせて両側面のいずれか、又は両側面に同時に取付けて使用目的に合わせて使い勝手を容易に改善できる。
【００１６】
また、多機能送りネジ式アリ溝ステージは、目盛板、及び固定部品に対する摺動部品の位置を固定する摺動固定ネジが、摺動部品の移動方向と交差する方向の摺動部品の側面の双方に設けられることが好ましい。これにより、摺動固定ネジ及び目盛板を使用目的に合わせた側面に取付け使用目的に合わせて使い勝手を容易に改善できる。
【００１７】
また、多機能送りネジ式アリ溝ステージは、雄ネジ棒が、第１の支持台及び第２の支持台の双方でそれぞれ第１のハンドル及び第２のハンドルに連結されることが好ましい。これにより、ハンドルを雄ネジ棒の両端部に同時に連結でき、使用目的に合わせてハンドル操作の使い勝手を容易に改善できる。
【００１８】
また、多機能送りネジ式アリ溝ステージは、雄ネジ棒が、略鉛直方向に向けられ、第１支持台が土台に固定され、第２の支持台がハンドルに連結されることが好ましい。これにより、多機能送りネジ式アリ溝ステージを使用目的に合わせて縦方向に使用でき、使用目的に合わせて使い勝手を容易に改善できる。
【００１９】
また、多機能送りネジ式アリ溝ステージは，１つの固定部品に対して複数の摺動部品が摺動方向に沿って並置されることが好ましい。また、多機能送りネジ式アリ溝ステージは、１組の固定部品及び摺動部品が摺動方向に沿って連結されて複数組並置されることが好ましい。これにより、１箇所に複数の摺動部品を並置し、使用目的に合わせて複数の摺動部品を選択して使用することができ、使用目的に合わせて使い勝手を容易に改善できる。
【００２０】
さらに、多機能送りネジ式アリ溝ステージは，前記並置された複数の摺動部品が、少なくともハンドル位置、雄ネジ棒の１回転当りの移動量、又は最大移動距離のいずれかが異なることが好ましい。これにより、１箇所に設置した複数の摺動部品のハンドル位置、雄ネジ棒の１回転当りの移動量、又は最大移動距離を変えたバリエーションを揃えることができる。
【発明の効果】
【００２１】
以上のように、本発明に係る多機能送りネジ式アリ溝ステージによれば、送りネジ式アリ溝ステージの性能を向上させ、送りネジ式アリ溝ステージに複数の機能を容易に追加して使い勝手を改善した多機能送りネジ式アリ溝ステージを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明に係る多機能送りネジ式アリ溝ステージの１つの実施形態の概略構成を示す正面図、正面図のＡ−Ａ平面図及びＢ−Ｂ底面図である。
【図２】図１の多機能送りネジ式アリ溝ステージのＣ−Ｃ側面図、Ｄ−Ｄ側面図、及びＥ−Ｅ断面図である。
【図３】図１の多機能送りネジ式アリ溝ステージのＦ−Ｆ断面図である。
【図４】ハンドルの取り付け位置のバリエーションを示す正面図である。
【図５】多機能送りネジ式アリ溝ステージの第１の実施例として、測定距離のバリエーションを示す正面図である。
【図６】多機能送りネジ式アリ溝ステージの第２の実施例として、精密機器をＺ軸方向（鉛直方向）に移動させる多機能送りネジ式アリ溝ステージを示す正面図、側面図及び底面図である。
【図７】図６の多機能送りネジ式アリ溝ステージの測定距離のバリエーションを示す正面図である。
【図８】多機能送りネジ式アリ溝ステージの第３の実施例として、複数の摺動部品が並置された多機能送りネジ式アリ溝ステージを示す平面図及び側面図である。
【図９】従来の送りネジ式アリ溝ステージを示す平面図及び断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２３】
以下に、図面を用いて本発明に係る多機能送りネジ式アリ溝ステージの実施形態につき、詳細に説明する。
【００２４】
図１，図２，及び図３に、本発明に係る多機能送りネジ式アリ溝ステージの１つの実施形態の概略構成を示す。図１（ａ）は、多機能送りネジ式アリ溝ステージ１の正面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）をＡ−Ａ方向から見た平面図であり、図１（ｃ）は、図１（ａ）をＢ−Ｂ方向から見た底面図である。また、図２（ａ）は、図１（ｂ）をＣ−Ｃ方向から見た側面図であり、図２（ｂ）は、図１（ｂ）をＤ−Ｄ方向から見た側面図であり、図２（ｃ）は、図１（ｂ）のＥ−Ｅ断面図である。さらに、図３は、図２（ｂ）のＦ−Ｆ断面図である。多機能送りネジ式アリ溝ステージ１は、固定部品２、摺動部品３、雌ネジ筒６、雄ネジ棒７、ハンドル８、第１支持台９、第２支持台１０、及びハンドル接続用ボルト１１から構成される。
【００２５】
精密機器（図示せず）は、図１（ｂ）に示すように、摺動部品３に設けられた精密機器取付け用孔１５に挿入されるボルト（図示せず）を介して多機能送りネジ式アリ溝ステージ１に固定される。また、多機能送りネジ式アリ溝ステージ１は、図１（ｃ）に示すように、固定部品２に設けられた土台固定用締結孔１４に挿入されるボルト（図示せず）を介して土台（図示せず）に締結される。
【００２６】
図３に示すように、多機能送りネジ式アリ溝ステージ１は、雌ネジ筒６に設けられた凸状突出部１８を摺動部品３に設けられた凹状挿入孔２６に挿入することで、雌ネジ筒６を摺動部品３に固定する。この凸状突出部１８は凹状挿入孔２６に着脱自在に挿入される。また、この雌ネジ筒６は筒の内側に雌ネジが切られ、雄ネジ棒７に切られた雄ネジと係合する。そして、ハンドル８の回転操作により雄ネジ棒７を回転させることで雌ネジ筒６を図３の左右の方向に移動させる。これにより、摺動部品３を固定部品２に対して摺動させ、取り付けられた精密機器（図示せず）の位置調整を行う。また、摺動部品３に取付けられた目盛板１３ａと、固定部品２に取付けられた目盛板１３ｂとにより摺動部品３の固定部品２に対する移動量を計測する。
【００２７】
図３に示すように、固定部品２は両端部を第１支持台９と第２支持台１０とにより挟まれる。そして、第１支持台９及び第２支持台１０は、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すように支持台固定ボルト１７ａ，１７ｂによりそれぞれ固定部品２に固定される。
【００２８】
このハンドル８と雄ネジ棒７とを連結する連結部について説明する。この連結部は、ハンドル接続用孔１６ａ，１６ｂ、及びハンドル接続用ボルト１１から構成される。雄ネジ棒７は、雌ネジ筒６と係合する中央のねじ部１９とネジが切られていない丸棒部２０からなる。また、図３に示すように、雄ネジ棒７の丸棒部２０にはハンドル接続用孔１６ａ，１６ｂが軸方向に設けられている。この雄ネジ棒７の丸棒部２０は、図１（ｂ）に示すように、第１支持台９及び第２支持台１０にそれぞれ設けられた雄ネジ棒貫通孔２１ａ，２１ｂに挿入される。これにより、雄ネジ棒７は、第１支持台９及び第２支持台１０に回転自在に保持される。すなわち、雄ネジ棒７は、第１支持台９及び第２支持台１０により両端で支持される単純梁として機能する。これにより、雄ネジ棒７の撓み量が低減される。つまり、雌ネジ筒６と雄ネジ棒７との係合の際のねじ部のこじれが低減され、多機能送りネジ式アリ溝ステージ１の性能を向上させることができる。
【００２９】
ハンドル８には、その内部に雄ネジ棒７に設けられたハンドル接続用孔１６と係合するハンドル接続用ボルト１１が内蔵されている。そして、ハンドル接続用ボルト１１をハンドル接続用孔１６に係合することで、ハンドル８を多機能送りネジ式アリ溝ステージ１に連結することができる。この連結されたハンドル８により雄ネジ棒７を回転させる。
【００３０】
図４に、ハンドル８の取り付け位置のバリエーションを示す。図４（ａ）は、図３のハンドル８ａの位置を示す側面図であり、図４（ｂ）は、反対側にハンドル８ｂを取り付けた状態を示す側面図である。また、図４（ｃ）は、両側にハンドル８ａ，８ｂを同時に取付けた状態を示す側面図である。このハンドル８は、ハンドル接続用ボルト１１を緩めて外すことで雄ネジ棒７から自在に着脱できる。図３では、ハンドル接続用ボルト１１はハンドル接続用孔１６ｂに係合しているが、これを取り外してハンドル接続用孔１６ａに係合させても良い。なお、図３に示すように、ハンドル８が取り付いていないハンドル接続用孔１６ａには、化粧ボルト２２が挿入されている。
【００３１】
このように、ハンドル８は、ハンドル接続用ボルト１１により雄ネジ棒７に自在に着脱される。従って、ハンドル接続用孔１６ａ又は１６ｂに係合されたハンドル接続用ボルト１１の着脱により、複数の雄ネジ棒７のなかから選択して交換できる。例えば、雄ネジ棒７の１回転当りの移動量は、５ｍｍを標準として、２ｍｍ、１０ｍｍなどのバリエーションがあるが、これらのバリエーションから使用勝手に合わせて選択し、或いは交換することができる。上述したように、この雄ネジ棒７に対応する雌ネジ筒６についても、その凸状突出部１８を摺動部品３に設けられた凹状挿入孔２６に着脱自在に挿入できるため、雄ネジ棒７と対となって交換することができる。
【００３２】
図５（ａ）から図５（ｄ）に、多機能送りネジ式アリ溝ステージ１の第１の実施例として、測定距離のバリエーションの例を示す。摺動部品３は、雌ネジ筒６が移動して第１支持台９及び第２支持台１０に当接するまで移動する。従って、第１支持台９と第２支持台１０とに挟まれた固定部品２の軸方向の長さを変えることで使用勝手に応じた製品が可能となる。また、雄ネジ棒７は、その両端部が第１支持台９及び第２支持台１０に両端が支持されているため、その長さが長くなっても良好な性能が発揮できる。
【００３３】
図２（ｃ）に示すように、多機能送りネジ式アリ溝ステージ１は、台形状に突出したアリ４を有する固定部品２に対し、台形状に窪んだアリ溝５を有する摺動部品３が移動可能に嵌合される。この摺動部品３は、摺動部品３の移動方向と交差する断面に逆三角形の突出部２３、及び突出部２３を形成する縦方向の溝部２４と、溝部２４まで貫通する摺動固定ネジ用孔２５とを有する。そして、摺動固定ネジ用孔２５に摺動固定ネジ１２をねじ込んで突出部２３に突き当て、突出部２３を内側の固定部品２の方向に傾斜させてアリ４を押し、固定部品２に対して摺動部品３を固定する。この摺動固定ネジ１２は、摺動固定ネジ用孔２５が摺動部品３の移動方向と交差する方向の両側面に設けられているためいずれにも取付けることができる。また、目盛板１３ａ，１３ｂについても目盛取付け用孔（図示せず）が摺動部品３の移動方向と交差する方向の両側面に設けられているためいずれにも取付けることができる。
【００３４】
図６に、多機能送りネジ式アリ溝ステージ１の第２の実施例として、精密機器（図示せず）をＺ軸方向（略鉛直方向）に移動させる多機能送りネジ式アリ溝ステージ１ａを示す。この実施例では、雄ネジ棒７は略鉛直方向に向けられる。そして、第２支持台１０が土台固定用締結孔１４を有し、ボルト（図示せず）により土台（図示せず）に固定される。また、第１支持台９にはハンドル８が連結される。すなわち、多機能送りネジ式アリ溝ステージ１ａの第１支持台９又は第２支持台１０を土台固定用締結孔１４を有する部品に交換することでＺ方向に移動する多機能送りネジ式アリ溝ステージ１ａとすることができる。
【００３５】
図７に、多機能送りネジ式アリ溝ステージ１ａの測定距離のバリエーションの例を示す。摺動部品３は、雌ネジ筒６が移動して第１支持台９及び第２支持台１０に当接するまで移動する。従って、第１支持台９と第２支持台１０とに挟まれた固定部品２の軸方向の長さを変えることで用途に応じた製品が可能となる。また、雄ネジ棒７は、その両端部が第１支持台９及び第２支持台１０に両端で支持されているため、その長さが長くなっても良好な性能を発揮できる。
【００３６】
図８に、多機能送りネジ式アリ溝ステージの第３の実施例として、１組の固定部品２及び摺動部品３が摺動方向に沿って連結されて複数組並置される多機能送りネジ式アリ溝ステージ１ｂを示す。図８（ａ）は平面図であり、図８（ｂ）はその側面図である。この実施例では、１組の固定部品２ａ及び摺動部品３ａと、１組の固定部品２ｂ及び摺動部品３ｂとが摺動方向に沿って並置される。この並置された２組は、少なくともハンドル８の位置、雄ネジ棒７の１回転当りの移動量、又は最大移動距離のいずれかが異なる。例えば、図８（ａ）では、ハンドル８ａ，８ｂの位置が反対側に取り付いている。また、雄ネジ棒７ａ，７ｂの１回転当りの移動量を相互に異ならせることで、精密機器（図示せず）を固定する摺動部品３ａ，３ｂを選択して使用できる。
【００３７】
この多機能送りネジ式アリ溝ステージ１の第３の実施例として、１つの固定部品２に対して複数の摺動部品３が摺動方向に沿って並置されても良い。すなわち、上述した１つの固定部品２がベースとなってそれに複数の摺動部品３ａ，３ｂが取り付く。
【符号の説明】
【００３８】
１，１ａ，１ｂ  多機能送りネジ式アリ溝ステージ、２，２ａ，２ｂ，１０２  固定部品、３，３ａ，３ｂ，１０３  摺動部品、４，１０４  アリ、５，１０５  アリ溝、６，１０６  雌ネジ筒、７，７ａ，７ｂ，１０７  雄ネジ棒、８，８ａ，８ｂ，１０８  ハンドル、９  第１支持台、１０  第２支持台、１１  ハンドル接続用ボルト、１２，１１２  摺動固定ネジ、１３ａ，１３ｂ，１１３ａ，１１３ｂ  目盛板、１４  土台固定用締結孔、１５  精密機器取付け用孔、１６ａ，１６ｂ  ハンドル接続用孔、１７ａ，１７ｂ  支持台固定ボルト、１８  凸状突出部、１９  ねじ部、２０  丸棒部、２１ａ，２１ｂ  雄ネジ棒貫通孔、２２  化粧ボルト、２３  突出部、２４  溝、２５  摺動固定ネジ用孔、２６  凹状挿入孔、１００  送りネジ式アリ溝ステージ、１０９  ストッパ板、１１０  ワッシャ。
【図１】
2011027556.tif 000003
【図２】
2011027556.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2011027556.tif 000007
【図６】
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【図７】
2011027556.tif 000009
【図８】
2011027556.tif 000010
【図９】
2011027556.tif 000011
【手続補正書】
【提出日】平成22年2月8日(2010.2.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記目的を達成するため、本発明に係る多機能送りネジ式ステージは、雌ネジ筒が接続する摺動部品と、雄ネジ棒が接続する固定部品とが係合され、ハンドル操作により雄ネジ棒を回転させて雌ネジ筒を移動させることで摺動部品を摺動させ、取り付けられた精密機器の位置調整を行う送りネジ式アリ溝ステージにおいて、両端部にハンドルと連結する連結部を有する雄ネジ棒と、固定部品を両側から支持台固定用ボルトにより着脱自在に挟み込むことで雌ネジ筒の移動方向に関して固定部品の長さを規定し、雄ネジ棒を回転自在に保持し、雌ネジ筒を当接させることで雌ネジ筒の測定距離を規定する第１の支持台及び第２の支持台と、連結部を介して雄ネジ棒と着脱自在に連結して雄ネジ棒を回転させるハンドルと、を備え、ハンドルと雄ネジ棒を連結する連結部を外して長さの異なる雄ネジ棒に交換し、第１の支持台及び第２の支持台を固定部品から外して雄ネジ棒の長さに対応する固定部品に交換することで、雌ネジ筒の測定距離を固定部品の長さと略同じ長さに規定可能であることを特徴とする。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
雌ネジ筒が接続する摺動部品と、雄ネジ棒が接続する固定部品とが係合され、ハンドル操作により雄ネジ棒を回転させて雌ネジ筒を移動させることで摺動部品を摺動させ、取り付けられた精密機器の位置調整を行う送りネジ式アリ溝ステージにおいて、
両端部にハンドルと連結する連結部を有する雄ネジ棒と、
固定部品を両側から支持台固定用ボルトにより着脱自在に挟み込むことで雌ネジ筒の移動方向に関して固定部品の長さを規定し、雄ネジ棒を回転自在に保持し、雌ネジ筒を当接させることで雌ネジ筒の測定距離を規定する第１の支持台及び第２の支持台と、
連結部を介して雄ネジ棒と着脱自在に連結して雄ネジ棒を回転させるハンドルと、を備え、
ハンドルと雄ネジ棒を連結する連結部を外して長さの異なる雄ネジ棒に交換し、第１の支持台及び第２の支持台を固定部品から外して雄ネジ棒の長さに対応する固定部品に交換することで、雌ネジ筒の測定距離を固定部品の長さと略同じ長さに規定可能であることを特徴とする多機能送りネジ式アリ溝ステージ。
【請求項２】
請求項１に記載の多機能送りネジ式アリ溝ステージであって、前記連結部は、雄ネジ棒の両端部に軸方向に設けられたネジ孔と、ハンドル内部に軸方向に挿入されて雄ネジ棒に設けられたネジ孔と係合するボルトとから構成され、摺動部は、雌ネジ筒に連結された凸状突出部が着脱自在な凹状挿入孔を有し、係合されたボルトを外し、凹状挿入孔から凸状突出部を外すことで、１回転当りの移動量が異なる複数の雄ネジ棒、及びその雄ネジ棒に対応する雌ネジ筒が交換自在に選択されることを特徴とする多機能送りネジ式アリ溝ステージ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の多機能送りネジ式アリ溝ステージであって、摺動部品は、摺動部品の移動方向と交差する方向の断面に逆三角形の突出部、及び突出部を形成する縦方向の溝部とを有し、突出部まで貫通する摺動固定ネジ用孔に摺動固定ネジをねじ込んで突出部に突き当て、突出部を対向する固定部品に傾斜させ、摺動部品を固定部品に対して固定することを特徴とする多機能送りネジ式アリ溝ステージ。
【請求項４】
請求項３に記載の多機能送りネジ式アリ溝ステージであって、目盛板、及び固定部品に対する摺動部品の位置を固定する摺動固定ネジは、摺動部品の移動方向と交差する方向の摺動部品の側面の双方に設けられることを特徴とする多機能送りネジ式アリ溝ステージ。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１に記載の多機能送りネジ式アリ溝ステージであって、雄ネジ棒は、第１の支持台及び第２の支持台の双方でそれぞれ第１のハンドル及び第２のハンドルに連結されることを特徴とする多機能送りネジ式アリ溝ステージ。
【請求項６】
請求項１乃至４のいずれか１に記載の多機能送りネジ式アリ溝ステージであって、雄ネジ棒は、略鉛直方向に向けられ、第１支持台が土台に固定され、第２の支持台がハンドルに連結されることを特徴とする多機能送りネジ式アリ溝ステージ。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか１に記載の多機能送りネジ式アリ溝ステージであって、１つの固定部品に対して複数の摺動部品が摺動方向に沿って並置されることを特徴とする多機能送りネジ式アリ溝ステージ。
【請求項８】
請求項１乃至６のいずれか１に記載の多機能送りネジ式アリ溝ステージであって、１組の固定部品及び摺動部品が摺動方向に沿って連結されて複数組並置されることを特徴とする多機能送りネジ式アリ溝ステージ。
【請求項９】
請求項７又は８に記載の多機能送りネジ式アリ溝ステージであって、前記並置された複数の摺動部品は、少なくともハンドル位置、雄ネジ棒の１回転当りの移動量、又は最大移動距離のいずれかが異なることを特徴とする多機能送りネジ式アリ溝ステージ。