(57)【要約】【課題】基板の周縁や端面に残りやすい切粉等を、基板に損傷を与えることなく確実に除去する。【解決手段】基板Ａの洗浄トレー１は、線条体７を張設した収容部５内に基板Ａを収容するセットトレー２と、複数の線条体１１を張設したネットトレー９とを一体としてなり、該セットトレー２の収容部５内に収容された該基板Ａを揺動自在に保持するので、吹き付けられた高圧の洗浄媒体によって基板が収容部内で大きく揺動しても、基板への衝撃は該両トレーに張設された線条体により十分に緩衝されることから、基板に損傷を与えることなく、基板の周縁や端面に付着する切粉等を確実に除去できる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
分割自在となるセットトレーとネットトレーから構成され、
該セットトレーは、方形状の枠体と、該枠体に対して一体に形成され、枠体内を基板を個別に収容する複数の収容部に区画してなる縦横方向の桟とからなり、
該収容部をなす枠体及び桟の内周面には、収容部内に収容する基板に対して一定の空隙を持ってセットトレー平面方向の揺動を規制する単独又は複数の突起を突設し、
該収容部では、対向する辺部間の少なくとも一方に、基板の幅よりも小さい間隔を持って弾性を有する複数の線条体を張設するものとし、
該ネットトレーは、方形状の枠体と、該枠体をなす対向する辺部間の少なくとも一方に弾性を有する複数の線条体を張設してなるものであって、
該枠体及び各線条体との各間隔が、基板の幅よりも小さい間隔となるようにしてなるものであり、
前記セットトレーとネットトレーとを一体として、個別に収容される基板が各収容部外へ脱落することなく揺動自在に保持されること
を特徴としてなる洗浄トレー。
【請求項２】
上記セットトレーをなす枠体内を収容部に区画する桟及び、該収容部を形成する枠体部分において、該収容部内に収容する基板の表裏面方向のうち少なくとも一方向に、外側へ向かって薄肉となるテーパー面を形成すること
を特徴としてなる請求項１記載の洗浄トレー。
【請求項３】
上記セットトレーをなす枠体内において、収容部をなす枠体及び桟の内周面に突設される単独又は複数の突起の先端を曲面に形成すること
を特徴としてなる請求項１又は２記載の洗浄トレー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、パッケージ基板（以下、「基板」という。）の製造工程中における洗浄工程で使用される洗浄トレーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来基板の製造工程では、基板集合体の表面に付着したフラックスなどを除去するためのアルコールや界面活性剤による洗浄工程を経た後に、該基板集合体を各基板に切断している。そのため、切断後の各基板の表面にはプリント配線を損傷する恐れのある切粉や夾雑物（以下、「切粉等」という。）等が多量に付着するので、例えば水の高圧洗浄、水と空気の二流体洗浄（スプレー式）、超音波洗浄又は転写洗浄により除去を行っている。その際、基板の連続する製造工程での移送作業効率を高め、洗浄工程後の再汚染を防止する等のために、切断した基板を一括に収容する洗浄トレーが使用されている。
【０００３】
そして上記洗浄トレーとして以下のようなものが考えられている。すなわち、一対に積層する治具から構成され、該治具は外周枠内を縦横の桟によって区画された多数の連通窓を有し、該連通窓の内周面の四隅近傍では連通窓の内側へ突出し、連通窓内に収容する基板の表裏面の周縁を支持する支持リブが設けられるものであって、該治具を一体に積層することで該積層した治具の支持リブ間で一定の空隙を保って基板を揺動自在に保持するものである（特許文献１参照）。該洗浄トレーでは、基板の表裏面の周縁や端面部分は連通窓に対して十分に露出され、しかも基板は支持リブ間での一定の空隙により十分に揺動することができるので、高圧で吹き付けられた水や水と空気の二流体（以下、「洗浄媒体」という。）は基板の表裏面全体だけでなく、端面部分までも十分に行き渡り、基板に付着している切粉等を確実に除去することができるものとなる。
【０００４】
しかしながら、前記治具の連通窓内に収容されている基板に対して洗浄媒体を吹き付けると、該基板は大きく揺動するので、支持リブに対して激しく衝突することとなる。すなわち、高圧の洗浄媒体が基板の表裏面方向から吹き付けられると、基板の表裏面は支持リブに対して激しく、しかも反復して衝突することになる。そのため、基板の表裏面に配置される端子（通称、「バンプ」という。）に対して損傷を与えるおそれがある。特に、端子の接着力は弱く、人間の爪で押してもとれてしまうので、そのおそれは大きくなる。
【０００５】
そのため、係る治具を用いた洗浄トレーにおいて、基板に損傷を与えないよう洗浄を行うためには、吹き付ける洗浄媒体の圧力を低めたり、あるいは支持リブと基板とのクリアランスを小さくして、基板の揺動する余地を少なくする等の工夫が必要となる。
ところが、洗浄媒体の圧力を低めると基板の洗浄が不十分となり、特にその周縁や端面にまで高圧の洗浄媒体が到達せず切粉等の除去が不十分となる。また、支持リブと基板との衝突時の衝撃を少なくするため、支持リブと基板との空隙を小さくすると、基板の揺動は小さくなって支持リブとの衝突時の衝撃は少なくできるものの、該支持リブが障害物となって、基板表裏面の周縁、特に支持リブに対応する基板表裏面の周縁や端面部分に洗浄媒体が十分に行き渡らず、同様に切粉等を十分に除去することができないこととなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−２１７３２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
解決しようとする問題点は、洗浄中において基板に損傷を与えることなく、基板、特にその表裏面の周縁並びに端面に付着する切粉等を確実に除去することができない点である。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本願発明は、洗浄トレーに収容される基板を線条体によって揺動自在に保持するとともに、収容部の内周面に突設する突起に基板の端面が揺動しつつ当接することで、基板の表裏面、周縁並びに端面を一回で洗浄してなることを最も主要な特徴とする。
【０００９】
第１の特徴として、
分割自在となるセットトレーとネットトレーから構成され、
該セットトレーは、方形状の枠体と、該枠体に対して一体に形成され、枠体内を基板を個別に収容する複数の収容部に区画してなる縦横方向の桟とからなり、
該収容部をなす枠体及び桟の内周面には、収容部内に収容する基板に対して一定の空隙を持ってセットトレー平面方向の揺動を規制する単独又は複数の突起を突設し、
該収容部では、対向する辺部間の少なくとも一方に、基板の幅よりも小さい間隔を持って弾性を有する複数の線条体を張設するものとし、
該ネットトレーは、方形状の枠体と、該枠体をなす対向する辺部間の少なくとも一方に弾性を有する複数の線条体を張設してなるものであって、
該枠体及び各線条体との各間隔が、基板の幅よりも小さい間隔となるようにしてなるものであり、
前記セットトレーとネットトレーとを一体として、個別に収容される基板が各収容部外へ脱落することなく揺動自在に保持されるものである。
【００１０】
そのため、該基板は収容部内において、セットトレー及びネットトレーに張設された線条体により弾性を持って保持されることとなることから、収容部内に収容される基板に対して高圧の洗浄媒体を吹き付けると、収容部内で該基板は大きく揺動することができる。
【００１１】
その上、収容部の内周面において突設される突起によって、基板は一定の空隙を持ちつつもセットトレー平面方向への揺動が規制されるので、基板は揺動しつつも収容部の内周面には密着しないこととなる。その結果、高圧の洗浄媒体は基板の表裏面周縁や端面を含め、基板全体の隅々にまでも行き渡るので、基板に付着した切粉等を満遍なく確実に除去することができることとなる。
【００１２】
その一方で、洗浄対象である基板は、セットトレーの収容部内においてセットトレー及びネットトレーにおいて張設された線条体との間で保持されていることから、収容部内で高圧の洗浄媒体を吹き付けられて大きく揺動した際にも、セットトレー平面方向には収容部内周面に突設される突起によってその揺動が規制されつつ、セットトレー表裏面方向へはセットトレー及びネットトレーに張設された線条体に衝突するものとなる。
その結果、基板の線条体への衝突に際して、その衝撃はセットトレー及びネットトレーに張設された線条体によって十分に緩衝される上、線条体自体が弾性を有することから、基板の表裏面を傷つけることを防止できるものとなる。
【００１３】
ところで、洗浄工程では高圧の洗浄媒体が基板の全面に対して吹き付けられれば足りるので、セットトレー及びネットトレーにおける枠体の開口形状は同一でも良いが、高圧の洗浄媒体が吹き付けられることで基板から剥離した切粉等が再付着しないように、洗浄媒体の排水性を向上させるために、セットトレー又はネットトレーのいずれか一方の開口形状を、他方よりも拡大するものとしても良い。
さらに、セットトレー及びネットトレーにおいて張設される線条体は、高圧の洗浄媒体に対する耐食性及び強度が必要であるが、その張設方向は基板の脱落が防止できれば足り、張設方向が一致していなくても良い。但し、線条体を張設するにあたっては、セットトレー及びネットトレーにおいて張設される線条体の開始点及び終止点における結び目が比較的大きくなり、枠体からはみ出すおそれがあるので、該結び目の位置として、収容部に干渉しないことはもちろん、製造工程中の他の装置と干渉することのない位置を選択する必要がある。
【００１４】
第２の特徴として、
上記セットトレーをなす枠体内を収容部に区画する桟及び、該収容部を形成する枠体部分において、該収容部内に収容する基板の表裏面方向のうち少なくとも一方向に、外側へ向かって薄肉となるテーパー面を形成するものである。
【００１５】
そのため、基板の表裏面方向より吹き付けられた高圧の洗浄媒体は、前記桟及び収容部を形成する枠体部分のテーパー面に沿って基板、特に基板の周縁や端面にも行き渡るものとなる。その結果、特に落ちにくい基板表裏面の周縁や端面に付着した切粉等をより確実に除去することができる。なお、セットトレーの収容部を形成する枠体部分において、ネットトレー側にテーパー面を設けた場合、高圧の洗浄媒体を吹き付ける際にネットトレーの枠体の内周面が該テーパー面と干渉してしまうと、吹き付けた高圧の洗浄媒体を基板へ誘導するというテーパー面の作用を損ねるものである。そのため、ネットトレーの枠体の内周面がセットトレーの枠体のテーパー面と干渉しないように、例えば、ネットトレーの枠体の内周面をセットトレーの枠体のテーパー面におけるネットトレー側の端縁と少なくとも一致させ、あるいはそれよりも後退させるものとするか、又はセットトレーの枠体のテーパー面と連続するようにネットトレーの枠体の内周面にテーパー面を形成するものとしても良いものである。
【００１６】
第３の特徴として、
上記セットトレーをなす枠体内において、収容部をなす枠体及び桟の内周面に突設される単独又は複数の突起の先端を曲面に形成するものである。
【００１７】
そのため、高圧の洗浄媒体を吹き付けられた基板が、セットトレー平面方向に揺動して収容部の内周面に密着してしまうことを防止できる上、基板が該突起に衝突してもその衝撃を曲面によって受け流すとともに、更なる揺動を円滑に促すことができる。
【発明の効果】
【００１８】
本願発明の洗浄トレーは、基板の製造工程中の洗浄工程において、高圧の洗浄媒体を吹き付ける洗浄を行っても、基板の表裏面を傷つけることなく、基板の表裏面周縁を含む表裏面全体はもとより、その端面に付着した切粉等を確実に除去することができる優れた効果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は本願発明の実施例である洗浄トレーの平面図である。
【図２】図２は本願発明の実施例である洗浄トレーの分解斜視図である。
【図３】図３（イ）は本願発明の実施例である洗浄トレーを構成するセットトレーの平面図であり、（ロ）は本願発明の実施例である洗浄トレーを構成するネットトレーの平面図である。
【図４】図４は本願発明の実施例である洗浄トレーの洗浄時における平面図である。
【図５】図５は本願発明の実施例である洗浄トレーの洗浄時における収容部の要部拡大断面図である。
【図６】図６（イ）は本願発明の実施例である洗浄トレーの、洗浄時の収容部内におけるセットトレー平面方向への基板の揺動を示す図であり、（ロ）は本願発明の実施例である洗浄トレーの洗浄時の、収容部内におけるセットトレー垂直方向への基板の揺動を示す図である。
【図７】図７は本願発明の実施例である洗浄トレーを構成するセットトレーの桟の拡大断面図である。
【図８】図８は本願発明の実施例である洗浄トレーの洗浄効果を示した画像であり、（イ）は基板の表面、（ロ）は基板の周縁、及び（ハ）は基板の端面である。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
洗浄中において基板に損傷を与えることなく、基板の周縁や端面まで確実に切粉等を除去するという目的を、セットトレーの収容部内に収容される基板をセットトレー及びネットトレーに張設された線条体により揺動自在に保持することによって実現した。
【実施例】
【００２１】
図１は、本願発明の実施例である洗浄トレー１であって、該洗浄トレー１は分割自在となるセットトレー２とネットトレー９とから構成されるものである。
【００２２】
実施例の洗浄トレー１を構成する前記セットトレー２は、長方形状の枠体３と、該枠体３に一体に形成され、パッケージ基板（以下、「基板」という。）Ａを個別に収容する複数の収容部５に枠体３内を区画してなる縦横方向の桟４とからなるものである。
そして、該収容部５をなす枠体３及び桟４の各内周面には、収容部５内に収容する基板Ａに対して、一定の空隙を持ってセットトレー平面方向の揺動を規制する二つの突起６、６がそれぞれ突設されている。本実施例における該突起６、６は、各内周面にそれぞれ２個あり、各内周面の長さを略３等分する位置に設けられている。また、それらはそれぞれ半円柱形状として、その設けられる該枠体及び桟の内周面の厚みと同一の高さを有しているが、その先端が曲面となれば足りるものであって、半円柱形状に限定されものではない。
更に、該収容部５では、対向する長辺部３ａ、３ａ間に、基板Ａの幅よりも小さい間隔を持って二本の樹脂製の線条体７を張設するものである。この線条体７の張設に当たっては、セットトレー２の各長辺部３ａ、３ａの端面に対向するよう張設孔３ｂを穿つとともに、該長辺部３ａ、３ａに設けられた張設孔３ｂ、３ｂ間に線条体７を一直線に張設しうるよう、桟４にも張設孔３ｃを穿ち、線条体７を、セットトレー２の一方の長辺部３ａの端面端部に穿たれた張設孔３ｂから順次、桟の張設孔３ｃ、他方の長辺部３ａの端面端部の張設孔３ｂへと貫通させ、更にその隣接する他方の長辺部３ａの端面の張設孔３ｂを経て同様に各張設孔３ｃ、３ｂを貫通させて、最終的にセットトレー２の一方の長辺部３ａの端面の逆の端部の張設孔３ｂに至らしめている。
なお、前記収容部５を構成するセットトレー２の枠体３の内縁及び縦横の桟４は、該収容部５内に収容する基板Ａの表裏面方向に、それぞれ外側へ向けて薄肉となるテーパー面８、８をそれぞれ形成するものである（図７参照）。
【００２３】
一方、実施例の洗浄トレー１を構成する前記ネットトレー９は、前述のセットトレー２と略同一形状である長方形状の枠体１０と、該枠体１０をなす対向する長辺部１０ａ、１０ａ間に複数の樹脂製の線条体１１を平行に張設するものであり、枠体１０の短辺部１０ｂとそれに隣接する線条体１１間の距離並びに、各隣接する線条体１１、１１間の距離は、基板Ａの幅よりも小さい間隔となるよう張設されている。なお、ネットトレー９側からの高圧の洗浄媒体を吹き付けた際に円滑に洗浄媒体がセットトレー２側へ届くように、該ネットトレー９の枠体１０の内周面は、セットトレー２のネットトレー９側のテーパー面８へ突出することがないように該テーパー面８のネットトレー９側の端縁よりも後退しているものである。
【００２４】
しかも、上記枠体１０の長辺部１０ａ、１０ａのセットトレー２と対向する側には、線条体１１の張設方向に沿って複数の案内溝１２が各長返部１０ａ、１０ａの両端面に至るまで溝設されており、前記各線条体１１は、ネットトレー９の一方の長辺部１０ａに設けられた案内溝１１を通って、他方の長辺部１０ａの対向する案内溝１２に一直線に至るように張設される。
【００２５】
その上で、前記セットトレー２の収容部５内に基板Ａを載置した上、セットトレー２とネットトレー９とを、該セットトレー２の垂直方向から押圧して一体にすることで、基板Ａは各収容部５内において、セットトレー２の垂直方向には、セットトレー２に張設された線条体７、７とネットトレー９に張設された複数の線条体１１、１１との間で、また、セットトレー２の平面方向には、セットトレー２の収容部５の枠体３及び桟４の内周面に設けられた各突起６、６との間で、それぞれ揺動自在に保持されるものとなる。
なお、該セットトレー２とネットトレー９とを一体にする際には、セットトレー２とネットトレー９との位置決めが簡易且つ確実に行えるように、互いに嵌合自在となる突起部１３と凹陥部１４を設けるものである。
【００２６】
本願発明の実施例である洗浄トレー１は以上の構成を具えるので、基板Ａの製造工程中の洗浄工程では次のようになるものである。
すなわち、本願発明の実施例である洗浄トレー１の収容部５内において、基板Ａは、セットトレー２に張設された線条体７、７とネットトレー９に張設された複数の線条体１１、１１との間で揺動自在に保持されていることから、該基板Ａに対して高圧の洗浄媒体を吹き付けると、収容部５内で大きく揺動することが可能となる。
【００２７】
その上、収容部５を形成する枠体３及び桟４の各内周面にはそれぞれ二つの突起６，６が、基板Ａとの間で一定の空隙を持つように突設されているので、セットトレー２の平面方向への基板５の揺動は突起６、６に衝突するまでは許容されるが、それ以上の同方向への揺動は突起６，６により規制され、基板Ａの端面が収容部５の内周面へ密着することは防止される。また、各内周面にそれぞれ二つの突起６、６が設けられていることから、収容部５内に保持された基板Ａが収容部５内で揺動して、セットトレー２の平面方向に回転して、基板Ａの各角が収容部５の内周面に当接した状態で固定されてしまうことが防止される。
このように、収容部５内の基板Ａが、セットトレー２の平面方向には一定の空隙を有する突起６、６により、また、セットトレー２の垂直方向にはセットトレー２に張設された線条体７、７とネットトレー９に張設された複数の線条体１１、１１との間で保持されることから、高圧の洗浄媒体は基板Ａの全体に満遍なく行き渡り、基板Ａの表裏面の周縁部分や端面部分を含め、その付着した切粉等を確実に除去することができる。
【００２８】
特に、収容部５をなす縦横の桟４並びに枠体３の収容部５側には、収容部５内に収容する基板Ａの表裏面方向にそれぞれ薄肉となるテーパー面８、８がそれぞれ形成されていることから、吹き付ける高圧の洗浄媒体は、基板Ａの周縁や端面にまで十分に行き渡るものである。従って、基板Ａの周縁や端面に付着する切粉等はより確実に除去することができるものである。
【００２９】
更に、洗浄中に高圧の洗浄媒体を吹き付けられて大きく揺動する基板Ａは、セットトレー２又はネットトレー９方向へ押勢されるが、その押勢された基板Ａはセットトレー２に張設された線条体７、７又はネットトレー９に張設された複数の線条体１１、１１に当接するので、その衝撃は吸収される。
その結果、基板Ａの表裏面に対して損傷を与えることを防止することができる。
また、洗浄中に基板Ａが揺動して収容部５の内周面を形成する枠体３及び桟４に設けられた突起６、６と当接しても、該突起６、６はその先端が曲面に形成されているので、基板Ａの端面に対して損傷を与えることがない。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
基板の周縁や端面等の細かい部分にまで入り込んだ微細な切粉等を、基板自体に損傷を与えることなく、確実に除去することができるので、基板の洗浄のみならず、微細な機械部品の洗浄にも適用できる。
【符号の説明】
【００３１】
１    洗浄トレー
２    セットトレー
３    枠体
３ａ    長辺部
３ｂ    張設孔
３ｃ    張設孔
４    桟
５    収容部
６    突起
７    線条体
８    テーパー面
９    ネットトレー
１０    枠体
１０ａ    長辺部
１０ｂ    短辺部
１１    線条体
１２    案内溝
１３    突起部
１４    凹陥部
Ａ    （パッケージ）基板
【図１】
2011139990.tif 000003
【図２】
2011139990.tif 000004
【図３】
2011139990.tif 000005
【図４】
2011139990.tif 000006
【図５】
2011139990.tif 000007
【図６】
2011139990.tif 000008
【図７】
2011139990.tif 000009
【図８】
2011139990.tif 000010