(57)【要約】【課題】浮上中の磁気ヘッドスライダの、再生ヘッドの磁界に対する性能を測定できる磁気ヘッドスライダ検査装置を提供する。【解決手段】ディスク媒体を回転させるモータ部と、再生ヘッドを備え、回転されたディスク媒体によって生じた浮上力によりディスク媒体表面から浮上するスライダ部と、スライダ部をはさんでディスク媒体とは反対の側に配置され、ディスク媒体表面に対して略垂直な磁界を発生させる磁界発生部と、磁界発生部から磁界を発生させ、ディスク媒体表面から浮上した再生ヘッドの抵抗値を測定する回路部と、を備える。【選択図】図１Ａ
2011222067.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク媒体を回転させるモータ部と、
再生ヘッドを備え、回転された前記ディスク媒体によって生じた浮上力により前記ディスク媒体表面から浮上するスライダ部と、
前記スライダ部をはさんで前記ディスク媒体とは反対の側に配置され、前記ディスク媒体表面に対して略垂直な磁界を発生させる磁界発生部と、
前記磁界発生部から前記磁界を発生させ、前記ディスク媒体表面から浮上した前記再生ヘッドの抵抗値を測定する回路部と、
を備えることを特徴とする磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項２】
前記磁界発生部は、導電性の電線がコイル状に巻かれ、電流を通電することによって一時的に磁界を発生させる構造を有する電磁石であり、
前記回路部は、前記電磁石に前記電流を流す電気回路を有し、前記電磁石から前記磁界を発生させ、前記ディスク媒体表面から浮上した前記再生ヘッドの抵抗値を測定する、
ことを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項３】
前記スライダ部を固定または移動させるステージを有するスライダステージ機構部と、
前記電磁石を固定または移動させるステージを有する電磁石機構部と、をさらに備え、
前記回路部は、前記スライダステージ機構と前記電磁石ステージ機構の動作を制御する、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項４】
前記スライダ部には、前記抵抗素子が熱膨張して前記スライダ部を膨張させるヒータ素子を含む、
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項５】
前記磁気ヘッドスライダ検査装置は、密閉された筐体内部に備えられ、
前記筐体内部の空気を吸出し減圧を行う減圧機構をさらに備える、
ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項６】
前記スライダステージ機構部と前記電磁石ステージ機構部とは、前記ディスク媒体の中心から同じ径の方向に配置されている、
ことを特徴とする請求項３〜５のいずれか１項に記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項７】
前記スライダステージ機構部と前記電磁石ステージ機構部とは、前記ディスク媒体の中心から異なる径の方向に配置されている、
ことを特徴とする請求項３〜５のいずれか１項に記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項８】
前記スライダステージ機構部と前記電磁石ステージ機構部とは、前記ディスク媒体の中心から異なる径の方向であって、互いに対向する位置に配置されている、
ことを特徴とする請求項７に記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項９】
前記磁界発生部は、前記ディスク媒体をはさんで前記スライダ部とは反対の側に配置されている、
ことを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項１０】
前記磁界発生部は、前記スライダ部をはさんで前記ディスク媒体とは反対の側と、前記ディスク媒体をはさんで前記スライダ部とは反対の側とにそれぞれ配置されている、
ことを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項１１】
前記電磁石は、前記ディスク媒体表面に対して略平行な磁界を発生させる向きで配置されている、
ことを特徴とする請求項２〜１０のいずれか１項に記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項１２】
前記ディスク媒体の上方に、前記ディスク媒体を撮像する撮像装置を備える、
ことを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項１３】
前記ディスク媒体の上方に、レーザードップラー振動計を備える、
ことを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項１４】
前記撮像装置または前記レーザードップラー振動計は前記筐体の外部に備えられ、前記筐体には、前記スライダ部が視認可能な窓部を備える、
ことを特徴とする請求項１２または１３に記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
【請求項１５】
前記回路部は、外部の情報処理装置からの指示に応じて、前記磁界発生部から前記磁界を発生させ、前記ディスク媒体表面から浮上した前記再生ヘッドの抵抗値を測定する、
ことを特徴とする請求項１〜１４のいずれか１項に記載の磁気ヘッドスライダ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ヘッドスライダ及び磁気ヘッドスライダ検査装置に関し、特には、回転するディスク媒体上に浮上し、外部磁界に対して、抵抗値を変化させる特性を有する素子を内蔵する磁気ヘッドスライダに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置では、回転する磁気ディスク媒体上に近接浮上する磁気ヘッドスライダが備えられている。この磁気ヘッドスライダには、磁気ディスク媒体に記録された磁気情報を読み出すための再生ヘッドが内蔵されている。
【０００３】
再生ヘッドは、磁性体で構成されており、再生ヘッドの外部から再生ヘッドに入る磁界の向き及び大きさにより、再生ヘッドの抵抗値が変化する構造を有している。一方、磁気ディスク媒体は、磁気ディスク媒体内部の磁性層から磁気ディスク媒体表面に向かって磁界が出てきており、この磁界の向きは磁気ディスク媒体に記録されている記録情報に対応している。また、磁界の大きさは磁気ディスク媒体の記録情報の密度に対応している。磁気ディスク媒体から出てくる磁界の中に再生ヘッドを入れることで、磁気ディスク媒体の記録情報に応じて、再生ヘッドの抵抗値が変化する。磁気ディスク装置では、再生ヘッドの抵抗値変化量を、電気回路を用いて測定することで記録情報の読み取りを行っている。
【０００４】
再生ヘッドの開発においては、外部磁界に対する再生ヘッドの抵抗値変化量を測定し、再生ヘッドの抵抗値変化量が大きくなるように再生ヘッドの設計を行うことが必要である。以下では、外部磁界に対する再生ヘッドの抵抗値変化量を、再生ヘッドの性能と称す。
【０００５】
また、磁気ディスク装置では、外部から磁気ディスク装置に衝撃が生じたときに、磁気ヘッドスライダが磁気ディスク媒体に接触し、再生ヘッドが損傷することで、再生ヘッドの性能が変化する可能性が考えられる。以下では、再生ヘッドが損傷することによる再生ヘッドの性能の変化量を、再生ヘッドのダメージ量と称す。磁気ヘッドスライダが磁気ディスク媒体に接触した際の、再生ヘッドのダメージ量を測定し、ダメージ量の少ない、すなわち衝撃に対する耐力の高い再生ヘッドの設計を行うことが必要である。
【０００６】
再生ヘッドの性能と再生ヘッドのダメージ量を測定する方法としては、磁気ディスク装置で磁気ヘッドスライダを浮上させ、磁気ディスク媒体から出てくる磁界を再生ヘッドで捉え、再生ヘッドの抵抗値変化量を測定する方法がある。また、単体の磁気ヘッドスライダを用いて、磁気ヘッドスライダに外部から磁界をかけながら、外部磁界に対する再生ヘッドの抵抗値変化量を測定する方法がある。例として、特許文献１の方法や、非特許文献１に記載の装置を用いる方法がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平５−３０７７１８号公報
【非特許文献】
【０００８】
【非特許文献１】QST-2002.pdf （製品Webページ（http://www.us-isi.com/QST-2002.htm））
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、磁気ディスク装置を用いる方法では、磁気ディスク媒体の構造や磁気ヘッドスライダの浮上量、磁気ディスク媒体の記録密度によって、再生ヘッドにかかる磁界の大きさが変化するため、再生ヘッド自体の再生ヘッドの性能を定量的に測定することが難しいという課題がある。
【００１０】
また、磁気ヘッドスライダ単体で行う方法では、測定時に浮上中の磁気ヘッドスライダの状態を再現できないという課題がある。一般に、磁気ディスク装置内の磁気ヘッドスライダは、４,０００ｒｐｍから１５，０００ｒｐｍで回転する磁気ディスク媒体の上を、数ナノメートルの隙間を空けて浮上している。浮上中は、伝熱により再生ヘッドの温度が変化するため、非浮上中の再生ヘッドの再生ヘッドの性能から、浮上中の再生ヘッドの再生ヘッドの性能を求めることが困難である。加えて、磁気ヘッドスライダが磁気ディスク媒体に接触した際の、再生ヘッドのダメージ量を求めることも困難である。
【００１１】
本発明は、上記実情に鑑みて為されたものであり、浮上中の磁気ヘッドスライダの、再生ヘッドの性能と、磁気ヘッドスライダが磁気ディスク媒体に接触した際の、再生ヘッドのダメージ量を求めることが可能な、磁気ヘッドスライダ検査装置を提供することを主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するため、本発明の磁気ヘッドスライダ検査装置は、ディスク媒体を回転させるモータ部と、再生ヘッドを備え、回転された前記ディスク媒体によって生じた浮上力により前記ディスク媒体表面から浮上するスライダ部と、前記スライダ部をはさんで前記ディスク媒体とは反対の側に配置され、前記ディスク媒体表面に対して略垂直な磁界を発生させる磁界発生部と、前記磁界発生部から前記磁界を発生させ、前記ディスク媒体表面から浮上した前記再生ヘッドの抵抗値を測定する回路部と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、浮上中の磁気ヘッドスライダの、再生ヘッドの性能と、磁気ヘッドスライダが磁気ディスク媒体に接触した際の、再生ヘッドのダメージ量を求めることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１Ａ】本発明の一実施形態に係る磁気ヘッドスライダ検査装置のY-Z平面図である。
【図１Ｂ】本発明の一実施形態に係る磁気ヘッドスライダ検査装置のY-Z平面図である（ヘッドアセンブリ支持機構及び電磁石支持機構をディスク媒体の上面側に配置した場合）。
【図２】同磁気ヘッドスライダ検査装置のX-Y平面図である。
【図３】同磁気ヘッドスライダ検査装置の電磁石からの磁界と再生ヘッドの関係の説明図である。
【図４Ａ】同磁気ヘッドスライダ検査装置の測定例の説明図である（正常な場合）。
【図４Ｂ】同磁気ヘッドスライダ検査装置の測定例の説明図である（異常な場合）。
【図４Ｃ】同磁気ヘッドスライダ検査装置の測定例の説明図である（異常な場合）。
【図４Ｄ】同磁気ヘッドスライダ検査装置の測定例の説明図である（異常な場合）。
【図５Ａ】本発明の一実施形態に係る磁気ヘッドスライダ検査装置のX-Y平面図である（磁気ヘッドスライダが外周に移動した場合）。
【図５Ｂ】本発明の一実施形態に係る磁気ヘッドスライダ検査装置のX-Y平面図である（磁気ヘッドスライダが内周に移動した場合）。
【図６Ａ】本発明の一実施形態に係る磁気ヘッドスライダ検査装置のX-Y平面図である（電磁石支持機構をヘッドアセンブリ支持機構の長手方向に配置した場合）。
【図６Ｂ】本発明の一実施形態に係る磁気ヘッドスライダ検査装置のX-Y平面図である（電磁石支持機構をヘッドアセンブリ支持機構に対して角度をつけて配置した場合）。
【図７Ａ】本発明の一実施形態に係る磁気ヘッドスライダ検査装置のY-Z平面図である（磁気ヘッドスライダをディスク媒体の上面側に配置した場合）。
【図７Ｂ】本発明の一実施形態に係る磁気ヘッドスライダ検査装置のY-Z平面図である（磁気ヘッドスライダをディスク媒体の上面側に配置した場合）。
【図７Ｃ】本発明の一実施形態に係る磁気ヘッドスライダ検査装置のY-Z平面図である（電磁石をディスク媒体の上面側と下面側に配置した場合）。
【図７Ｄ】本発明の一実施形態に係る磁気ヘッドスライダ検査装置のY-Z平面図である（電磁石と磁気ヘッドスライダをディスク媒体の上面側と下面側に配置した場合）。
【図７Ｅ】本発明の一実施形態に係る磁気ヘッドスライダ検査装置のY-Z平面図である（ディスク媒体の表面に対して横方向に磁力線を生じさせるように電磁石を配置した場合）。
【図８Ａ】本発明の一実施形態に係る磁気ヘッドスライダ検査装置のY-Z平面図である（カメラ装置を備えた場合）。
【図８Ｂ】本発明の一実施形態に係る磁気ヘッドスライダ検査装置のY-Z平面図である（カメラ装置を備えた場合）。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
本発明の磁気ヘッドスライダ検査装置の実施形態を、図面を参照しながら説明する。また、再生ヘッドの性能と再生ヘッドのダメージ量を測定することを、性能測定と表記する。
【００１６】
図１Ａは、磁気ヘッドスライダ検査装置の一形態の模式図である。説明のため、各部の大きさの大小関係を変えて表記している。また説明のため、図に示すようにＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の座標軸を定義する。
【００１７】
磁気ヘッドスライダ検査装置１は密閉された筐体（図示なし）を備え、筐体底部には、スピンドル２とヘッドアセンブリ支持機構３及び、電磁石支持機構４が設けられている。スピンドル２の上部には、ディスク媒体５が取り付けられ、スピンドル２を回転させるとディスク媒体５も回転する。以下では、ディスク媒体５は、磁性体が塗布された磁気ディスク媒体であるとして説明しているが、磁気ディスク媒体の他、磁性体が塗布されていない状態の、アルミやシリコン、ガラス、サファイア等のディスク媒体であっても良い。すなわち、ディスク媒体５は、磁気ヘッドスライダ８が実際に使用される環境を再現させるためのものであり、スピンドル２によってディスク媒体５を回転させ、磁気ヘッドスライダ８を浮上させるための浮上力を得ることができればよく、その材質は問わない。
【００１８】
ヘッドアセンブリ支持機構３は、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向に移動できる３軸ステージ（図示なし）で構成され、上部に、ヘッドアセンブリ把持機構６を備える。ヘッドアセンブリ把持機構６には、ヘッドアセンブリ７が把持される。
【００１９】
ヘッドアセンブリ７は、先端に再生ヘッド１３（具体的には、後述する図３に示す）を内蔵する磁気ヘッドスライダ８を備える。ディスク媒体５を回転させた状態で、ヘッドアセンブリ支持機構３のＸ軸とＹ軸ステージを動かすことにより、磁気ヘッドスライダ８はディスク媒体５の任意の位置及び、ディスク媒体５の外側に動く。
【００２０】
また、ヘッドアセンブリ７とディスク媒体５の距離は、ヘッドアセンブリ７の設計条件毎に異なる。本発明の磁気ヘッド検査装置では、ヘッドアセンブリ支持機構３のＺ軸ステージを動かし、ヘッドアセンブリ７とディスク媒体５の距離の調整を行う。
【００２１】
電磁石支持機構４は、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３軸ステージ（図示なし）で構成され、部材９を介して、電磁石１０を備える。電磁石支持機構４のＸ軸、Ｙ軸ステージを動かすことにより、電磁石１０は磁気ヘッドスライダ８の下部を含むディスク媒体５の任意の位置及び、ディスク媒体５の外側に動く。
【００２２】
磁気ヘッドスライダ検査装置１の筐体外部には、筐体内部の空気を吸出し、減圧を行う減圧器１５（例えば、減圧や加圧を行うポンプ）を有する。さらには筐体が密閉されているため、減圧に限らず、ヘリウム等の気体を充填すること、あるいは水蒸気を充填し湿度を調整することが可能である。このような減圧器１５を備えることによって、様々な環境（例えば、通常地上よりも気圧が低下する、飛行中の航空機のキャビン等）に応じた再生ヘッド１３の性能測定が可能となる。
【００２３】
また、磁気ヘッドスライダ検査装置１には、リード線Ｌによって接続された電気回路１００および制御回路１０１を備える基板が設けられている。電気回路１００は、磁気ヘッドスライダ８に内蔵された素子とスピンドル２とヘッドアセンブリ支持機構３と電磁石支持機構４と導電性の電線１１（具体的には、後述する図３に示す）と前記の減圧器１５に電流を流す回路である。また、制御回路１０１は、磁気ヘッドスライダ８に内蔵された再生ヘッド１３の抵抗値と上述の素子の抵抗値を測定し、スピンドル２とヘッドアセンブリ支持機構３と電磁石支持機構４と導電性の電線１１に流れる電流と前記の減圧器１５を制御する。磁気ヘッドスライダ８に内蔵された素子の主な例としては、再生ヘッド１３の他、磁気ヘッドスライダ８からディスク媒体５方向に向かって磁界を発生させる記録ヘッド（図示なし）、抵抗素子でできており素子が熱膨張することで磁気ヘッドスライダ８の構造体を膨張させるヒータ素子（図示なし）、温度を測定するための素子（図示なし）、などが挙げられる。これらの素子に電流を流した状態で、再生ヘッド１３の性能測定が可能となる。
【００２４】
なお、以下では、上述した電気回路１００および制御回路１０１は磁気ヘッドスライダ検査装置１の内部に備えているものとして説明しているが、磁気ヘッドスライダ検査装置１の筐体外部に設けてもよい。また、制御回路１０１に代えて、これらが行う処理と同等の処理を、不図示のＰＣ（Personal  Computer）等の情報処理装置に行わせることとしてもよい。
【００２５】
また、以下では、ヘッドアセンブリ支持機構３及び電磁石支持機構４をディスク媒体５に対して下側となるように配置している。しかし、図１Ｂに示すように、これらをディスク媒体５の上側となるように配置し、これらを支持するヘッドアセンブリ把持機構６Ａを備えることとしてもよい。なお、図１Ａ以降の図面では、特に示していないが、図１Ａと同様に、リード線Ｌによって電気回路１００および制御回路１０１を備える基板、減圧器１５が設けられている。
【００２６】
電磁石支持機構４は、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３軸ステージ（図示なし）で構成され、部材９を介して、電磁石１０を備える。電磁石支持機構４のＸ軸、Ｙ軸ステージを動かすことにより、電磁石１０は磁気ヘッドスライダ８の上部を含むディスク媒体５の任意の位置及び、ディスク媒体５の外側に動く。
【００２７】
図２は、図１Ａに記載の磁気ヘッドスライダ検査装置１のＸ−Ｙ平面をＺ方向から見た図である。ディスク媒体５に関しては、透過して図示している。
【００２８】
図３は、磁気ヘッドスライダ検査装置１の電磁石１０と磁気ヘッドスライダ８の詳細な関係を説明した図である。電磁石１０には導電性の電線１１が巻かれている。電線１１に電流を流すと、電磁石１０の周囲に磁界が発生する。電線１１に、電磁石１０の上面がＮ極になる方向の電流を流したと仮定すると、電磁石１０の上面から磁力線１２が生じ、再生ヘッド１３を通り電磁石１０の下面に戻る。電磁石１０が作り出す磁界の大きさは、電線１１に流す電流の大きさに比例する。一方、電線１１に反対方向の電流を流すと、電磁石１０の下面がＮ極になり、電磁石１０の下面から出てきた磁力線１２は、再生ヘッド１３を通り電磁石１０の上面に戻る。制御回路１０１が、電磁石１０に流す電流の大きさと向きを制御することにより、再生ヘッド１３にかかる磁界の大きさと向きを任意に制御することができる。
【００２９】
また、磁界の大きさは、電磁石１０と再生ヘッド１３の距離でも変化する。図１Ａの電磁石支持機構４のＺ軸ステージを移動させることにより、磁界の大きさを変えることもできる。本実施の形態における磁気ヘッドスライダ検査装置１では、浮上中または非浮上中の磁気ヘッドスライダ８に任意の大きさの磁界をかけ、そのときの再生ヘッド１３の抵抗値を測定することで、再生ヘッド１３の再生ヘッドの性能の測定を実現する。
【００３０】
また、再生ヘッド１３にかける磁界の大きさの最適値は、磁気ヘッドスライダ８を組み込む磁気ディスク装置にセットされた磁気ディスク媒体の記録密度より決まる。一般に、記録密度が高くなればなるほど磁気ディスク媒体から磁気ヘッドスライダ８に到達する磁界の強さが低下する。現行の磁気ディスク装置で使用される磁気ヘッドスライダ８の再生ヘッド１３の性能測定を行うのであれば、±５００Ｏｅ（エルステッド）の大きさの磁界をかけることができれば十分である。
【００３１】
図４Ａ〜Ｄは、磁気ヘッドスライダ検査装置１の再生ヘッド１３の性能測定例を示す図である。図４Ａ〜Ｄの横軸は、再生ヘッド１３にかけた外部磁界の大きさを示し、縦軸は再生ヘッド１３の抵抗値を示す。この例では、磁界の大きさを−５００Ｏｅから＋５００Ｏｅまで増加させ、＋５００Ｏｅから−５００Ｏｅまで減少させたときの結果を示す。
【００３２】
図４Ａは正常な再生ヘッド１３の抵抗値（Ω）の変化を示している。図４Ａに示すように、再生ヘッド１３が正常な場合、抵抗値は磁界の大きさに対して線形に近い曲線となる。しかし、再生ヘッド１３に異常がある場合には、抵抗値は磁界の大きさに対して線形に近い曲線とならず、図４Ｂ〜４Ｄに示すように、歪んだ曲線となる。制御回路１０１が、図４Ａに示した曲線と図４Ｂ〜４Ｄに示した曲線との差分を求めることによって、再生ヘッド１３がダメージを受けているのか否か、および再生ヘッドのダメージ量の測定を実現する。
図５Ａと図５Ｂは、ヘッドアセンブリ支持機構３と電磁石支持機構４のＸ軸、Ｙ軸ステージの動作の説明図である。
【００３３】
磁気ディスク装置内に組み込まれた磁気ヘッドスライダ８は、磁気ディスク装置内の移動機構により、磁気ディスク装置内の磁気ディスク媒体の外周から内周まで移動する。また、磁気ヘッドスライダ８は、磁気ディスク媒体の半径方向位置毎に、浮上条件が異なる。浮上条件とはすなわち、磁気ヘッドスライダ８と磁気ディスク媒体の相対速度と、磁気ヘッドスライダ８と磁気ディスク媒体の周方向との角度のことである。
【００３４】
本実施の形態における磁気ヘッドスライダ検査装置１では、ヘッドアセンブリ支持機構３と電磁石支持機構４のＸ軸、Ｙ軸ステージの位置を移動することにより、上述した浮上条件を再現する。
【００３５】
図５Ａは、磁気ヘッドスライダ８が外周に移動した例である。図５Ｂは、磁気ヘッドスライダ８が内周に移動した一例である。図５Ａおよび図５Ｂに示すように、上述した制御回路１０１が、上述した各機構のＸ軸、Ｙ軸ステージの位置を移動させ、磁気ヘッドスライダ８が取りうる様々な位置で、再生ヘッド１３の性能測定を行うことが出来る。
【００３６】
図６Ａと図６Ｂは、ヘッドアセンブリ支持機構３と電磁石支持機構４の配置の別形態である。電磁石支持機構４を備える位置は、図１Ａの位置に限らず、図６Ａまたは図６Ｂのような形態であっても良い。図６Ａまたは図６Ｂの形態では、図１Ａにおいて電磁石支持機構４を設けていた空間に余裕が出るため、設計の自由度が向上する効果がある。例えば、図６Ａに示すように、電磁石支持機構４を、ヘッドアセンブリ支持機構３の長手方向（Ｍの方向）の、ヘッドアセンブリ支持機構３に対向する位置に配置したり、あるいは、図６Ｂに示すように、例えば、その長手方向（Ｍの方向）に対して９０度の角度をつけて、電磁石支持機構４を配置することとしてもよい。この場合、ヘッドアセンブリ支持機構３の下部の空間を有効に利用することが可能となり、設計の自由度が向上する。
【００３７】
このように、スピンドル２が、ディスク媒体５を回転させ、磁気ヘッドスライダ８が、再生ヘッド１３を備え、回転されたディスク媒体５によって生じた浮上力によりディスク媒体５表面から浮上し、電磁石１０が、磁気ヘッドスライダ８をはさんでディスク媒体５とは反対の側に配置され、ディスク媒体５表面に対して略垂直な磁界を発生させ、回路部（電気回路１００、制御回路１０１）が、電磁石１０からその磁界を発生させ、ディスク媒体５表面から浮上した再生ヘッド１３の抵抗値を測定することが可能となる。
【００３８】
すなわち、浮上中の磁気ヘッドスライダ８の上述した各素子に通電を行いながら、磁気ヘッドスライダの外部から任意の大きさの磁界をかけ、再生ヘッドの性能測定を行うことができる。これにより、非浮上中には測定できない、浮上中の磁気ヘッドスライダの、外部磁界に対する再生ヘッドの抵抗値変化と、磁気ヘッドスライダがディスク媒体に接触した際の、再生ヘッドが損傷することによる、外部磁界に対する再生ヘッドの抵抗値変量を、リアルタイム測定できる。
【００３９】
図７Ａは、ヘッドアセンブリ７と電磁石１０の配置の別形態である。図１Ａの形態以外にも図７Ａに示すように、ヘッドアセンブリ把持機構６Ａを用いて、ディスク媒体５の上側にヘッドアセンブリ７を配置しても良い。
【００４０】
この場合、磁気ヘッドスライダ８と電磁石１０の距離が伸びてしまうので、電磁石１０の電線に流す電流を増加するか、あるいは、図７Ｂに示すように電磁石支持機構４のＺ軸ステージを動かし、電磁石１０を磁気ヘッドスライダ８に近接させる。
【００４１】
一般に、磁気ディスク装置では、磁気ディスク装置内の磁気ディスク媒体の両面（上面と下面）に磁気ヘッドスライダ８を備える。既に示した図１Ａの構成は、下面用の磁気ヘッドスライダ８の再生ヘッド１３の性能測定を行う場合に好適であり、図７Ａ及び図７Ｂの構成は、上面用の磁気ヘッドスライダ８の再生ヘッド１３の性能測定を行う場合に好適である。
【００４２】
そのほか、本発明の別の態様では、図１Ｂに示したように、ディスク媒体５の上側に電磁石を備えても良く、図７Ｃや図７Ｄに示すように、ディスク媒体５の上側と下側に電磁石を備えても良い。この場合、上下に電磁石を備えているので、ディスク媒体５の両面（上面と下面）に磁気ヘッドスライダ８を備え、同時に性能測定を行うことができる。また、再生ヘッド１３に対して、より垂直な磁力線１２を生じさせるため、さらに精度良く磁気ヘッドスライダ８の再生ヘッド１３の性能測定を行うことができる。
【００４３】
また、ディスク媒体５の上面に備えられた磁気ヘッドスライダ８の性能測定を行う場合、図１Ａに示したような磁気ヘッドスライダ８がディスク媒体５の下面にのみ備えられている構成では、ディスク媒体５の回転方向を逆方向に制御する必要があるが、図７Ｄに示す構成では、ディスク媒体５の上側と下側に磁気ヘッドスライダ８を備えているので、そのようなディスク媒体５に対する制御が不要となる。さらには、図７Ｅに示すように、ディスク媒体５の表面（すなわち、磁気ヘッドスライダ８）に対して横方向（平行な方向）に磁力線１２を生じさせるように電磁石を配置し、再生ヘッド１３の性能測定を行うこととしてもよい。
【００４４】
図８Ａは、カメラ装置１４を備えた例を示す。上述したように、本実施の形態の磁気ヘッドスライダ検査装置１は、ディスク媒体５に、磁性体が塗布されていない、ガラスやサファイアで形成される透明のディスク媒体５を使用することができる。そのため、カメラ装置１４で浮上中の磁気ヘッドスライダ８の状態を観察しながら、再生ヘッド１３の性能測定を行うことが可能である。
【００４５】
カメラ装置１４は、可視光用のカメラのほか、赤外光等の可視光以外の波長にも感度を持つカメラを使用することができる。赤外光用のカメラを用いた場合、磁気ヘッドスライダ８とディスク媒体５が接触した際の摩擦熱を測定することができる。そのため、摩擦熱が出たときの再生ヘッド１３の性能測定をリアルタイムに行うことが可能である。
【００４６】
カメラ装置１４の場所に、レーザードップラー振動計（図示なし）を備えることも好適である。レーザードップラー振動計で磁気ヘッドスライダ８の振動状態を測定することで、磁気ヘッドスライダ８の振動測定と、再生ヘッド１３の性能測定を同期させて行うことが可能である。
【００４７】
また、カメラ装置１４とレーザードップラー振動計は、密閉された筐体の外側に配置し、密閉された筐体に設けた覗き窓（図示なし）を介して、磁気ヘッドスライダ８の観察を行っても良い。これは、減圧環境に対応していないカメラ装置１４やレーザードップラー振動計を用いる際に好適である。図８Ｂは、ディスク媒体５の上面に磁気ヘッドスライダ８を備えた磁気ヘッドスライダ検査装置１の構成に、カメラ装置１４を備えた例である。
【００４８】
本発明の磁気ヘッドスライダ検査装置１の上記の各機構は、上述したように、ＰＣ等の情報処理装置にインストールされたソフトウェア（図示なし）、またはそのようなソフトウェアを組み込んだ制御回路１０１等により制御される。
【００４９】
なお、本発明は、上記実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化することができる。また、上記実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成することができる。例えば、実施の形態に示される全構成要素からいくつかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施の形態にわたる構成要素を適宜組み合わせても良い。
【符号の説明】
【００５０】
１  磁気ヘッドスライダ検査装置、２  スピンドル、３  ヘッドアセンブリ支持機構、４  電磁石支持機構、５  ディスク媒体、６、６Ａ、６Ｃ  ヘッドアセンブリ把持機構、７  ヘッドアセンブリ、８  磁気ヘッドスライダ、９  部材、１０  電磁石、１１  電線、１２  磁力線、１３  再生ヘッド、１４  カメラ装置、１５  減圧器、１００  電気回路、１０１  制御回路。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図７Ｄ】
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【図７Ｅ】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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