(57)【要約】【課題】ＢＧＡパッケージのＩＣにおいて、削除可能な端子を見つけることができるテストシステム１０を提供する。【解決手段】本発明のテストシステム１０は、ＢＧＡパッケージの端子毎に電流検出用プローブおよびスイッチが設けられたインターポーザ２０を介してＢＧＡパッケージのＩＣ１１をテスト基板１６に接続し、ＩＣ１１の１つ以上の電源端子に接続されたスイッチをオフにした上で、テスト基板１６を介してＩＣ１１にテストパターンの信号を入力し、ＩＣ１１が正しく動作すると共に、ＩＣ１１の全ての端子の電流値が許容範囲内である場合に、オフにしたスイッチに接続されている電源端子を削除可能な端子として特定する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＢＧＡ（Ball Grid Array）パッケージのＩＣ（Integrated Circuit）において削除可能な端子を調査する試験方法であって、
前記ＩＣのそれぞれの端子毎に、当該端子を流れる電流を検出するプローブおよび当該端子に直列に接続されるスイッチが配置されたインターポーザを介して、前記ＩＣに電源およびテストパターンの信号を供給するテスト基板に前記ＩＣを接続する接続ステップと、
前記ＩＣの電源供給用の１つ以上の端子に接続されているスイッチをオフにし、前記テスト基板を介して前記ＩＣに電源およびテストパターンの信号を入力する入力ステップと、
入力されたテストパターンの信号に応じて前記ＩＣが処理した処理結果を取得する取得ステップと、
入力されたテストパターンの信号に応じた処理を前記ＩＣが実行している間に、前記ＩＣの各端子に流れる電流を測定し、測定した電流値が予め定められた許容範囲内か否かを判定する電流値判定ステップと、
前記処理結果が正しいものか否かを判定する処理結果判定ステップと、
前記処理結果判定ステップにおいて前記処理結果が正しいものと判定され、かつ、前記電流値判定ステップにおいて前記ＩＣの電源供給用の各端子に流れる電流の値が予め定められた許容範囲内にあると判定された場合に、前記入力ステップにおいてオフにしたスイッチに接続されている端子を削除可能な端子と判定する削除判定ステップと
を備えることを特徴とする試験方法。
【請求項２】
請求項１に記載の試験方法であって、
前記入力ステップにおいて、前記ＩＣの電源供給用の端子に接続されているスイッチの中で、オフにするスイッチを変える、あるいは、オフにするスイッチの組み合わせを変えた上で、前記取得ステップ、前記処理結果判定ステップ、前記電流値判定ステップ、および前記削除判定ステップを繰り返すことを特徴とする試験方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の試験方法であって、
前記電流値判定ステップにおいて、前記ＩＣのいずれかの端子に流れる電流の値が予め定められた許容範囲を超えたと判定された場合に、前記ＩＣへの電源およびテストパターンの信号の入力を停止することを特徴とする試験方法。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか一項に記載の試験方法において用いられるインターポーザであって、
前記プローブは、
基板に設けられたスルーホールの周囲を囲むように形成されたコイルであり、
前記スイッチは、
前記スルーホールを介して前記ＩＣの端子に接続されるか、あるいは、前記スルーホールと前記ＩＣの端子との間に接続されることを特徴とするインターポーザ。
【請求項５】
請求項４に記載のインターポーザであって、
それぞれの前記コイルは、導体で形成されたシールドで囲まれていることを特徴とするインターポーザ。
【請求項６】
請求項１から３のいずれか一項に記載の試験方法において用いられるインターポーザであって、
前記プローブは、
基板に設けられたスルーホールに直列に接続された抵抗であり、
前記スイッチは、
前記スルーホールおよび前記抵抗を介して前記ＩＣの端子に直列に接続されることを特徴とするインターポーザ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＢＧＡ（Ball Grid Array）パッケージのＩＣ（Integrated Circuit）において削除可能な端子を調査する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣの電源電流を評価する手法として、ＩＥＣで規定されるＭＰ法（IEC61967-6）やＶＤＥ法（IEC61967-4）等が知られている。また、下記の特許文献１には、筐体から輻射されるノイズを評価する目的で、基板を筐体に固定しているねじを流れる電流をねじ毎に測定することにより、基板から筐体に漏れ出す電流を測定する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−８５７４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、近年のＩＣの多機能化・高密度化に伴い、ＩＣパッケージの端子数が増加する傾向にある。しかし、半導体パッケージの小型化の要求もある。半導体パッケージの端子を高密度に実装する方法としてＢＧＡが知られている。しかし、ＢＧＡパッケージであっても、端子の高密度な配置には限度があり、不要な端子の削減が求められている。
【０００５】
一方、ＩＣには、一般的に複数の電源端子やグランド端子が設けられている。しかし、ＢＧＡパッケージにおいて、これらの端子に流れる電流を個別に測定することができなかったため、消費電流のシミュレーション結果等を元に過剰な数の端子が設けられる場合があった。
【０００６】
上記したＭＰ法やＶＤＥ法は、ＩＣ全体としての消費電流を測定する方法であり、個々の端子を流れる電流を測定するものではない。また、上記した特許文献１の技術では、個々のねじに流れる電流を測定することはできるが、ＢＧＡパッケージにおける個々の端子に流れる電流を測定することはできない。また、上記した特許文献１は、削除可能なＩＣの端子を見つけることはできない。
【０００７】
本発明は上記事情を鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、ＢＧＡパッケージのＩＣにおいて、削除可能な端子を見つけることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明では、ＢＧＡパッケージの端子毎に電流検出用プローブおよびスイッチが設けられたインターポーザを介してＢＧＡパッケージのＩＣをテスト基板に接続し、ＩＣの１つ以上の電源端子に接続されたスイッチをオフにした上で、テスト基板を介してＩＣにテストパターンの信号を入力し、ＩＣが正しく動作すると共に、ＩＣの全ての端子の電流値が許容範囲内である場合に、オフにしたスイッチに接続されている電源端子を削除可能な端子として特定する。
【０００９】
また、本発明は、例えば、ＢＧＡ（Ball Grid Array）パッケージのＩＣ（Integrated Circuit）において削除可能な端子を調査する試験方法であって、
前記ＩＣのそれぞれの端子毎に、当該端子を流れる電流を検出するプローブおよび当該端子に直列に接続されるスイッチが配置されたインターポーザを介して、前記ＩＣに電源およびテストパターンの信号を供給するテスト基板に前記ＩＣを接続する接続ステップと、
前記ＩＣの電源供給用の１つ以上の端子に接続されているスイッチをオフにし、前記テスト基板を介して前記ＩＣに電源およびテストパターンの信号を入力する入力ステップと、
入力されたテストパターンの信号に応じて前記ＩＣが処理した処理結果を取得する取得ステップと、
入力されたテストパターンの信号に応じた処理を前記ＩＣが実行している間に、前記ＩＣの各端子に流れる電流を測定し、測定した電流値が予め定められた許容範囲内か否かを判定する電流値判定ステップと、
前記処理結果が正しいものか否かを判定する処理結果判定ステップと、
前記処理結果判定ステップにおいて前記処理結果が正しいものと判定され、かつ、前記電流値判定ステップにおいて前記ＩＣの電源供給用の各端子に流れる電流の値が予め定められた許容範囲内にあると判定された場合に、前記入力ステップにおいてオフにしたスイッチに接続されている端子を削除可能な端子と判定する削除判定ステップと
を備えることを特徴とする試験方法を提供する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ＢＧＡパッケージのＩＣにおいて、削除可能な端子を見つけることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の一実施形態に係るテストシステム１０の構成を示すシステム構成図である。
【図２】インターポーザ２０の一方の面の構成の一例を示す概念図である。
【図３】インターポーザ２０の一方の面における領域２１の詳細な構成の一例を示す概念図である。
【図４】インターポーザ２０の他方の面の構成の一例を示す概念図である。
【図５】インターポーザ２０の他方の面における領域２１の詳細な構成の一例を示す概念図である。
【図６】制御装置３０の機能構成の一例を示すブロック図である。
【図７】制御装置３０の動作の一例を示すフローチャートである。
【図８】インターポーザ２０の一方の面の構成の他の例を示す概念図である。
【図９】インターポーザ２０の一方の面における領域２１の詳細な構成の他の例を示す概念図である。
【図１０】インターポーザ２０の他方の面における領域２１の詳細な構成の他の例を示す概念図である。
【図１１】可変抵抗の構成の一例を示す概念図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１３】
図１は、本発明の一実施形態に係るテストシステム１０の構成を示すシステム構成図である。テストシステム１０は、テスト基板１６、電源装置１７、電流測定装置１８、パターンジェネレータ１９、インターポーザ２０、および制御装置３０を備える。
【００１４】
ＢＧＡパッケージのＩＣ１１は、図１に示すように、ＢＧＡボール１２によりインターポーザ２０に取り付けられる。インターポーザ２０は、ＢＧＡボール１５によりテスト基板１６に取り付けられる。なお、インターポーザ２０とテスト基板１６とは、ＢＧＡボール１５以外の接続方法（例えばＰＧＡ（Pin Grid Array）におけるピン）で接続されてもよい。
【００１５】
インターポーザ２０は、ＩＣ１１のＢＧＡボール１２毎に、当該ＢＧＡボール１２を接続するパッドと、当該パッドとインターポーザ２０の反対の面とを接続するスルーホールと、当該スルーホールとＢＧＡボール１５との接続を制御するスイッチとを有する。それぞれのスイッチは、インターポーザ２０に設けられた制御端子１４に接続されており、制御端子１４を介して制御装置３０から供給される制御信号に応じてスルーホールとＢＧＡボール１５との接続を制御する。
【００１６】
また、それぞれのスルーホールには、当該スルーホールを流れる電流を検出するためのプローブが設けられている。プローブがスルーホールを流れる電流に応じて検出した信号は、インターポーザ２０に設けられたモニタ端子１３を介して電流測定装置１８に供給される。
【００１７】
テスト基板１６は、電源装置１７から電源の供給を受け、インターポーザ２０を介してＩＣ１１に電源を供給する。また、テスト基板１６は、パターンジェネレータ１９からテストパターンの信号（以下、テスト信号）を受け付け、当該テスト信号をインターポーザ２０を介してＩＣ１１に供給する。そして、テスト基板１６は、ＩＣ１１が当該テスト信号を処理した処理結果を示す信号を、インターポーザ２０を介して受け取り、制御装置３０へ供給する。
【００１８】
電流測定装置１８は、モニタ端子１３を介して、インターポーザ２０内のそれぞれのプローブが検出した信号を受け取り、当該信号を電流の値に変換し、変換した値をプローブが設けられたスルーホールに接続されているＢＧＡボール１２の情報と共に制御装置３０に提供する。
【００１９】
パターンジェネレータ１９は、制御装置３０からテスト開始を指示された場合に、予め定められたテスト信号を、テスト基板１６およびインターポーザ２０を介してＩＣ１１に供給し、テスト信号の供給が終了した場合に、その旨を制御装置３０に通知する。また、制御装置３０からテストの中止を指示された場合に、パターンジェネレータ１９は、テスト信号の供給を停止する。制御装置３０の動作については後述する。
【００２０】
図２は、インターポーザ２０の一方の面（ＩＣ１１が搭載される面）の構成の一例を示す概念図である。インターポーザ２０は、平板状であり、一方の面にＩＣ１１のＢＧＡボール１２が取り付けられるパッドが設けられる。それぞれのパッドが設けられる領域２１は、インターポーザ２０の一方の面から他方の面まで導体で形成されたシールド２２によって区切られている。
【００２１】
シールド２２によって区切られた領域２１の拡大図を図３に示す。パッド２１０には、パッド２１０が設けられた面とは反対の面まで貫通するスルーホールが接続されている。また、パッド２１０の周辺には、パッド２１０が設けられたインターポーザ２０の面に複数の配線パターン２１３が設けられ、その両端はスルーホール２１１を介して反対の面の配線パターン２１２に接続されている。図３において、点線で示された配線パターン２１２は、反対の面に設けられた配線を示す。
【００２２】
一方の面の配線パターン２１３と反対の面の配線パターン２１２とは、スルーホール２１１を介して接続されてコイルを形成する。当該コイルは、本発明におけるプローブの一例である。当該コイルは、パッド２１０が接続されているスルーホールを囲むように形成されており、当該スルーホールに流れる電流によって発生した磁界が当該コイルに鎖交することで当該コイルの両端に発生する電圧を、モニタ端子１３を介して電流測定装置１８に供給する。電流測定装置１８は、モニタ端子１３を介して供給された電圧を電流の値に変換して制御装置３０に提供する。
【００２３】
図４は、インターポーザ２０の他方の面の構成の一例を示す概念図である。図５は、インターポーザ２０の他方の面における領域２１の詳細な構成の一例を示す概念図である。
【００２４】
図５において、スルーホール２１４の一端はインターポーザ２０の一方の面に設けられたパッド２１０（図３参照）に接続され、他端はスイッチ２１５に接続されている。スイッチ２１５は、制御端子１４を介して制御装置３０から供給されたオンまたはオフの制御信号に応じて、スルーホール２１４とＢＧＡボール１５とを電気的に接続または切断する。なお、図５において、点線で示された配線パターン２１３は、反対の面に設けられた配線を示す。
【００２５】
図６は、制御装置３０の機能構成の一例を示すブロック図である。制御装置３０は、テスト端子選択部３１、電流監視部３２、処理結果判定部３３、および削除判定部３４を備える。制御装置３０は、例えば、入力装置３５および出力装置３６との入出力インターフェイス、ならびに、他の装置との通信インターフェイスを備える汎用のコンピュータにより実現される。
【００２６】
テスト端子選択部３１は、キーボード等の入力装置３５を介してユーザからテスト開始を指示された場合に、テストの対象となるＩＣ１１の電源端子（またはグランド端子）を１つ以上選択し、選択した電源端子に接続されているスイッチをオフにする制御信号を、制御端子１４を介してインターポーザ２０に供給する。そして、テスト端子選択部３１は、テスト信号の供給開始をパターンジェネレータ１９に指示すると共に、選択した電源端子を識別する情報を削除判定部３４に通知する。
【００２７】
電流値が許容範囲を超えた旨を電流監視部３２から通知された場合、または、ＩＣ１１が正しく動作しなかった旨を処理結果判定部３３から通知された場合に、テスト端子選択部３１は、テスト信号の供給停止をパターンジェネレータ１９に指示する。そして、テスト端子選択部３１は、未選択の電源端子の組み合わせがある場合には、テストの対象となるＩＣ１１の電源端子を新たに１つ以上選択して、制御端子１４を介してインターポーザ２０に制御信号を供給し、テスト信号の供給開始をパターンジェネレータ１９に指示し、選択した電源端子を識別する情報を削除判定部３４に通知する。
【００２８】
電流値が許容範囲を超えた旨を電流監視部３２から通知されることなく、パターンジェネレータ１９からテスト信号の供給終了が通知された場合、テスト端子選択部３１は、テストの対象となるＩＣ１１の電源端子を新たに１つ以上選択して、制御端子１４を介してインターポーザ２０に制御信号を供給し、テスト信号の供給開始をパターンジェネレータ１９に指示し、選択した電源端子を識別する情報を削除判定部３４に通知する。なお、テスト信号の供給開始を指示された場合、パターンジェネレータ１９は、テストシーケンスにおける最初のテスト信号から順次ＩＣ１１にテスト信号を供給する。
【００２９】
電流監視部３２は、電流測定装置１８から供給された端子毎の電流値が、端子毎に予め定められた許容範囲内にあるか否かを判定する。電流測定装置１８から供給された電流値が予め定められた許容範囲を超えた場合、電流監視部３２は、その旨をテスト端子選択部３１および削除判定部３４に通知する。
【００３０】
処理結果判定部３３は、供給されたテスト信号に応じてＩＣ１１が出力すべき処理結果をパターンジェネレータ１９から受け取る。そして、処理結果判定部３３は、供給されたテスト信号に応じてＩＣ１１が処理した処理結果をテスト基板１６から取得し、パターンジェネレータ１９から受け取った処理結果と比較することにより、ＩＣ１１が正しく動作しているか否かを判定する。
【００３１】
ＩＣ１１が正しく動作していないと判定した場合、処理結果判定部３３は、その時点でＩＣ１１が正しく動作しなかった旨をテスト端子選択部３１および削除判定部３４に通知する。一方、パターンジェネレータ１９からテスト信号の供給終了が通知されるまで、ＩＣ１１が正しく動作していると判定され続けた場合、処理結果判定部３３は、パターンジェネレータ１９からテスト信号の供給終了が通知された時点で、ＩＣ１１が正しく動作した旨を削除判定部３４に通知する。
【００３２】
削除判定部３４は、電源端子の識別情報をテスト端子選択部３１から通知された後、電流値が許容範囲を超えた旨を電流監視部３２から通知されることなく、ＩＣ１１が正しく動作した旨を処理結果判定部３３から通知された場合、テスト端子選択部３１から通知された識別情報に対応する電源端子の情報を、ＩＣ１１において削除可能な電源端子の情報としてディスプレイやプリンタ等の出力装置３６に出力する。
【００３３】
一方、電源端子の識別情報をテスト端子選択部３１から通知された後、電流値が許容範囲を超えた旨を電流監視部３２から通知された場合、あるいは、ＩＣ１１が正しく動作しなかった旨を処理結果判定部３３から通知された場合、削除判定部３４は、テスト端子選択部３１から通知された識別情報に対応する電源端子の情報を、ＩＣ１１において削除すべきでない電源端子の情報としてディスプレイやプリンタ等の出力装置３６に出力する。
【００３４】
この場合、削除判定部３４は、電流値が許容範囲を超えた電源端子に流れた最大電流の値や、正しく動作しなかったテスト項目の情報等を、テスト対象の電源端子の情報と共に出力装置３６に出力するようにしてもよい。
【００３５】
図７は、制御装置３０の動作の一例を示すフローチャートである。図１に示すように各装置が接続され、入力装置３５を介してユーザからテスト開始を指示された場合に、制御装置３０は、本フローチャートに示す動作を開始する。
【００３６】
まず、テスト端子選択部３１は、テストの対象となるＩＣ１１の電源端子（またはグランド端子）を１つ以上選択し、選択した電源端子に接続されているスイッチをオフにする制御信号を、制御端子１４を介してインターポーザ２０に供給する（Ｓ１００）。そして、テスト端子選択部３１は、テスト信号の供給開始をパターンジェネレータ１９に指示すると共に、選択した電源端子を識別する情報を削除判定部３４に通知する（Ｓ１０１）。
【００３７】
次に、処理結果判定部３３は、供給されたテスト信号に応じてＩＣ１１が処理した処理結果の取得を開始する（Ｓ１０２）。そして、電流監視部３２は、電流測定装置１８から提供された端子毎の電流値が、端子毎に予め定められた許容範囲内にあるか否かを判定する（Ｓ１０３）。
【００３８】
電流測定装置１８から提供された電流値が予め定められた許容範囲を超えた場合（Ｓ１０３：Ｎｏ）、電流監視部３２はその旨をテスト端子選択部３１および削除判定部３４に通知する。テスト端子選択部３１は、テスト信号の供給停止をパターンジェネレータ１９に指示する（Ｓ１０７）。そして、削除判定部３４は、テスト端子選択部３１から通知された識別情報に対応する電源端子の情報を、ＩＣ１１において削除すべきでない電源端子の情報としてディスプレイやプリンタ等の出力装置３６に出力し（Ｓ１０８）、テスト端子選択部３１は、ステップＳ１０９に示す処理を実行する。
【００３９】
ステップＳ１０３において、電流測定装置１８から提供された電流値が、予め定められた許容範囲内にある場合（Ｓ１０３：Ｙｅｓ）、処理結果判定部３３は、供給されたテスト信号に応じてＩＣ１１が処理した処理結果と、パターンジェネレータ１９から受け取った正しい処理結果とを比較することにより、ＩＣ１１が正しく動作しているか否かを判定する（Ｓ１０４）。
【００４０】
ＩＣ１１が正しく動作していない場合（Ｓ１０４：Ｎｏ）、処理結果判定部３３は、ＩＣ１１が正しく動作しなかった旨を削除判定部３４に通知し、テスト端子選択部３１は、ステップＳ１０７に示した処理を実行する。
【００４１】
ＩＣ１１が正しく動作している場合（Ｓ１０４：Ｙｅｓ）、処理結果判定部３３は、パターンジェネレータ１９からテスト信号の供給終了が通知されたか否かを判定する（Ｓ１０５）。パターンジェネレータ１９からテスト信号の供給終了が通知されていない場合（Ｓ１０５：Ｎｏ）、電流監視部３２は、再びステップＳ１０３に示した処理を実行する。
【００４２】
パターンジェネレータ１９からテスト信号の供給終了が通知された場合（Ｓ１０５：Ｙｅｓ）、処理結果判定部３３は、ＩＣ１１が正しく動作した旨を削除判定部３４に通知する。削除判定部３４は、テスト端子選択部３１から通知された識別情報に対応する電源端子の情報を、ＩＣ１１において削除可能な電源端子の情報としてディスプレイやプリンタ等の出力装置３６に出力する（Ｓ１０６）。
【００４３】
次に、テスト端子選択部３１は、全ての電源端子の組み合わせを選択したか否かを判定する（Ｓ１０９）。未選択の組み合わせがある場合（Ｓ１０９：Ｎｏ）、テスト端子選択部３１は、再びステップＳ１００に示した処理を実行する。一方、全ての電源端子の組み合わせを選択した場合（Ｓ１０９：Ｙｅｓ）、テスト端子選択部３１は、テストの終了を削除判定部３４に通知する。そして、削除判定部３４は、テストが終了した旨を示す情報を出力装置３６に出力そ、制御装置３０は、本フローチャートに示した動作を終了する。
【００４４】
以上、本発明の実施の形態について説明した。
【００４５】
上記説明から明らかなように、本実施形態のテストシステム１０によれば、ＢＧＡパッケージのＩＣにおいて、削除可能な端子を見つけることができる。
【００４６】
なお、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で数々の変形が可能である。
【００４７】
例えば、上述した実施形態では、ＩＣ１１の各端子に流れる電流を測定するプローブとして、当該端子に接続されるスルーホール周辺に設けられたコイルを用いたが、本発明はこれに限られない。例えば、インターポーザ２０は、図８に示すような構成であってもよい。図８は、インターポーザ２０の一方の面の構成の他の例を示す概念図である。ＩＣ１１の各端子毎に設けられたプローブの詳細を図９に示す。図９におけるインターポーザ２０の他方の面の詳細を図１０に示す。
【００４８】
図９に示すように、ＩＣ１１のＢＧＡボール１２が取り付けられるパッド２１７とスルーホール２１０との間に、例えば数Ωの抵抗２１６を直列に設け、抵抗２１６に流れる電流によって抵抗２１６の両端に発生する電圧をモニタ端子１３を介して電流測定装置１８に供給し、電流測定装置１８が電圧に応じた電流値に変換するようにしてもよい。
【００４９】
電流の検出にコイルを用いた場合には、それぞれのコイルが、他の端子に流れる電流によって発生した磁界の影響を受ける場合がある。しかし、本例のようにプローブに抵抗を用いる場合には、他の端子に流れる電流によって発生する磁界の影響を受けないため、プローブをシールドで囲む必要がない。そのため、インターポーザ２０をより簡易に構成することができる。この場合、抵抗２１６が本発明におけるプローブの一例となる。
【００５０】
また、図９に示した抵抗２１６を、可変抵抗で構成し、電源端子に流れる電流の値に応じて、最適な抵抗値を設定することにより、電流の検出感度を高めるようにしてもよい。この場合、可変抵抗は、例えば図１１のように構成し、制御装置３０からの制御信号に応じてスイッチを制御することにより抵抗値を変えるようにする。
【００５１】
なお、図２から図５を用いて説明したインターポーザ２０では、それぞれのＢＧＡボール１２に流れる電流を測定する場合に、他のＢＧＡボール１２に流れる電流によって発生する磁界の影響が小さくなるように、ＩＣ１１のＢＧＡボール１２が取り付けられる領域をシールド２２によって区切ったが、複数のＢＧＡボール１２どうしの間隔が、所定の条件を満たす場合には、シールド２２を設けなくてもよい。
【００５２】
所定の条件とは、例えば、プローブに用いたコイルのスルーホールを取り巻く円の中心の直径をｂ、隣接するプローブの中心間の間隔をａとすると、以下の式を満たすような条件である。
ｂ＜0.045ａ
【００５３】
これは、隣接するスルーホールＡとＢがある場合に、Ａに電流が流れたときに作り出される磁界が、Ｂの電流検出用コイルに対してほとんど影響を与えない条件である。この条件の導出方法は以下の通りである。まず、Ｂの周囲にある磁界検出用コイルが、スルーホールの周囲を直径ｂの円を中心に取り囲んでいるとする。スルーホールＡとＢの中心間距離がａであれば、スルーホールＢのコイルのうち、スルーホールＡに近い側のコイル部がＡにより受ける磁界の大きさＨ1は、以下のようになる。
Ｈ1＝μＩ／｛２π（ａ−ｂ／２）｝
ここで、μは透磁率、Ｉはスルーホールを流れる電流量である。
【００５４】
一方、スルーホールＡから遠い側のコイル部がＡより受ける磁界の大きさＨaは、以下のようになる。
Ｈ2＝μＩ／｛２π（ａ＋ｂ／２）｝
【００５５】
Ｈ1とＨ2の磁界の向きは同じだが、これを検出するコイルの巻き方向の向きは逆になるため、誘起電圧は逆極性となる。すなわち、Ｈ1とＨ2の差が検出したい磁界の大きさに比べて十分小さいものであれば良い。
【００５６】
また、検出最大電流をＩmaxとし、これを１／１００の分解能で検出するためには、Ｉmin＝Ｉmax／１００の電流を検出しなければならない。十分な分解能を得るためには、Ｈ1とＨ2の差が、Ｉminより１桁小さい電流が作り出す磁界の大きさよりも小さい必要がある。すなわち、以下の関係式を満たす必要がある。
Ｈ1−Ｈ2＜μ×０．００１×Ｉ／（πｂ）
これを整理するとｂ＜0.045ａという条件式が成り立つ。
【符号の説明】
【００５７】
１０・・・テストシステム、１１・・・ＩＣ、１２・・・ＢＧＡボール、１３・・・モニタ端子、１４・・・制御端子、１５・・・ＢＧＡボール、１６・・・テスト基板、１７・・・電源装置、１８・・・電流測定装置、１９・・・パターンジェネレータ、２０・・・インターポーザ、２１・・・領域、２１０・・・パッド、２１１・・・スルーホール、２１２・・・配線パターン、２１３・・・配線パターン、２１４・・・スルーホール、２１５・・・スイッチ、２１６・・・抵抗、２１７・・・パッド、２２・・・シールド、２３・・・配線パターン、３０・・・制御装置、３１・・・テスト端子選択部、３２・・・電流監視部、３３・・・処理結果判定部、３４・・・削除判定部、３５・・・入力装置、３６・・・出力装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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