(57)【要約】【課題】リニアモータの可動子が備えるコイルの発熱によりヘッド移動機構のベース部材に局部的な熱変形が生じることを防止して装着ヘッドの位置決め精度の低下を抑えることができるようにした部品実装機を提供することを目的とする。【解決手段】装着ヘッド７を移動させるヘッド移動機構６が、水平面内方向に延びて設けられたＹ軸テーブル１１と、Ｙ軸テーブル１１に沿って移動自在に設けられたＸ軸テーブル１２を備えて成り、Ｙ軸テーブル１１の一端側から他端側に延びて設けられた固定子１４ａとＸ軸テーブル１２に設けられた可動子１４ｂから成るリニアモータ１４によってＸ軸テーブル１２をＹ軸テーブル１１上で移動させる構成の部品実装機１において、Ｙ軸テーブル１１の一端側から他端側に延びて設けられたエア通路１６と、エア通路１６内でエアを流通させる一対のファン（エア送り出し用ファン１７ａ及びエア吸い出し用ファン１７ｂ）を備える。【選択図】図１
2011103316.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、
基台上に設けられて基板の搬送及び位置決めを行う基板位置決め部と、
部品の供給を行う部品供給部と、
水平面内方向に延びて設けられたビーム状のベース部材及びベース部材に沿って移動自在に設けられた移動部材を備えて成るヘッド移動機構と、
ヘッド移動機構のベース部材の水平面内方向の一端側から他端側に延びて設けられた固定子及びヘッド移動機構の移動部材に設けられた可動子から成り、可動子に備えられたコイルの磁極切り替えがなされて可動子が固定子に対して相対移動することにより移動部材をベース部材上で移動させるリニアモータと、
ヘッド移動機構の移動部材に設けられ、ベース部材に対する移動部材の移動によって部品供給部と基板位置決め部により位置決めされた基板との間を移動して部品供給部から供給される部品のピックアップと基板上への部品の装着とを繰り返し実行する装着ヘッドと、
ヘッド移動機構のベース部材の一端側から他端側に延びて設けられたエア通路と、
エア通路内でエアを流通させるエア流通手段とを備えたことを特徴とする部品実装機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアモータを備えたヘッド移動機構によって装着ヘッドを部品供給部と基板の間で移動させて基板への部品の装着を行う部品実装機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
部品実装機は、部品の供給を行う部品供給部と、基板搬送路によって位置決めされた基板との間で装着ヘッドを移動させて基板上への部品の装着を行う。装着ヘッドを移動させるヘッド移動機構は、基台上を水平面内方向に延びて設けられたビーム状のベース部材と、ベース部材に沿って移動自在に設けられた移動部材を備えて成り、移動部材側に取り付けられた装着ヘッドは、移動部材がベース部材上で移動することによって部品供給部と基板の間を往復移動し、部品供給部の直上位置で停止した状態で行う部品のピックアップと、基板の直上位置で静止した状態で行う基板上への部品の装着とを繰り返し実行する。
【０００３】
このような部品実装機が備えるヘッド移動機構の中には、移動部材をベース部材に対して移動させるアクチュエータとして、ベース部材に設けられた固定子と移動部材に設けられた可動子から成るリニアモータが用いられたものが知られている。この場合、固定子は永久磁石、可動子はコイルを備えたものとして構成され、可動子が備えるコイルへの通電制御によるコイルの磁極切り替えを行って可動子を固定子に対して相対移動させることにより、移動部材をベース部材上で移動させることができるようになっている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１１２５２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、コイルは通電を受けると発熱するうえ、装着ヘッドは部品のピックアップ時と基板上への部品の装着時に部品供給部の上方位置と基板の上方位置とでそれぞれ一時的に停止することから、ベース部材は移動部材のコイルから局部的に熱せられてベース部材内には不均一な温度分布が形成される。ベース部材内に不均一な温度分布が形成されるとベース部材は局部的な熱変形を生じ、移動部材、ひいては装着ヘッドの位置決め精度が低下して不良基板が生成されるおそれがある。このため従来、ヘッド移動機構のアクチュエータにリニアモータを用いるときには、可動子が備えるコイルに発生した熱を放散させる手段を設けてベース部材の温度上昇を抑えるようにしているが（上述の特許文献１参照）、コイルの放熱が不十分である場合にはベース部材の局部的な熱変形による装着ヘッドの位置決め精度の低下を抑えきれないという問題点があった。
【０００６】
そこで本発明は、リニアモータの可動子が備えるコイルの発熱によりヘッド移動機構のベース部材に局部的な熱変形が生じることを防止して装着ヘッドの位置決め精度の低下を抑えることができるようにした部品実装機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に記載の部品実装機は、基台と、基台上に設けられて基板の搬送及び位置決めを行う基板位置決め部と、部品の供給を行う部品供給部と、水平面内方向に延びて設けられたビーム状のベース部材及びベース部材に沿って移動自在に設けられた移動部材を備えて成るヘッド移動機構と、ヘッド移動機構のベース部材の水平面内方向の一端側から他端
側に延びて設けられた固定子及びヘッド移動機構の移動部材に設けられた可動子から成り、可動子に備えられたコイルの磁極切り替えがなされて可動子が固定子に対して相対移動することにより移動部材をベース部材上で移動させるリニアモータと、ヘッド移動機構の移動部材に設けられ、ベース部材に対する移動部材の移動によって部品供給部と基板位置決め部により位置決めされた基板との間を移動して部品供給部から供給される部品のピックアップと基板上への部品の装着とを繰り返し実行する装着ヘッドと、ヘッド移動機構のベース部材の一端側から他端側に延びて設けられたエア通路と、エア通路内でエアを流通させるエア流通手段とを備えた。
【発明の効果】
【０００８】
本発明では、装着ヘッドを部品供給部と基板の間で移動させるヘッド移動機構のベース部材の一端側から他端側に延びて設けられたエア通路内にエアを供給することにより、ヘッド移動機構の移動部材の可動子に備えられたコイルの発熱により生じた熱をベース部材の全体に拡散させて均一に行き渡らせるようになっているので、コイルの発熱によりヘッド移動機構のベース部材に局部的な熱変形が生じることを防止でき、装着ヘッドの位置決め精度の低下を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】本発明の一実施の形態における部品実装機の斜視図
【図２】本発明の一実施の形態における部品実装機の側面図
【図３】本発明の一実施の形態における部品実装機が備えるヘッド移動機構の部分側面図
【図４】本発明の一実施の形態における部品実装機の制御系統を示すブロック図
【図５】本発明の一実施の形態における部品実装機が実行する部品の装着工程の手順を示すフローチャート
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１及び図２に示す部品実装機１は、図示しない半田印刷機や検査機、リフロー炉等を含む部品実装ラインに組み込まれて使用され、カバー部材２により覆われた基台３上に基板位置決め部としての基板搬送路４、部品供給部としての複数のパーツフィーダ５、ＸＹロボットから成るヘッド移動機構６、ヘッド移動機構６を介して基台３に対して互いに独立して移動自在に設けられた部品装着部としての２つの装着ヘッド７を備えている。基板搬送路４は一対のベルトコンベアから成り、上流側の装置（例えば半田印刷機）より受け取った基板Ｐｂを水平面内方向に搬送（搬入）して（図１中に示す矢印Ａ）、基台３の中央の作業位置（図１に示す位置）に位置決めする。以下、説明の便宜上、基板搬送路４による基板Ｐｂの搬送方向をＸ軸方向とし、Ｘ軸方向と直交する水平面内方向をＹ軸方向とする。また、上下方向をＺ軸方向とする。
【００１１】
図１及び図２において、複数のパーツフィーダ５は基板搬送路４を挟んでＹ軸方向に対向する基台３の端部領域にＸ軸方向に並んで装着されている。これら複数のパーツフィーダ５はオペレータ（図示せず）によって床面上を運転操作される台車Ｃに保持されており、オペレータが台車Ｃを基台３に結合させることによって、複数のパーツフィーダ５が一括して基台３に装着される。基台３に装着された各パーツフィーダ５は、基台３の中央部側（基板搬送路４側）の端部に設けられた部品供給口５ａに、基板Ｐｂに装着すべき部品Ｐｔを連続的に供給する。
【００１２】
図１及び図２において、２つの装着ヘッド７はそれぞれヘッド移動機構６によって水平面内で移動自在であり、各装着ヘッド７は下方に延びた複数の吸着ノズル７ａを昇降及び上下軸（Ｚ軸）回り回転自在に備えている（図３も参照）。ヘッド移動機構６は、基台３
上に両端が固定され、基板搬送路４を跨ぐようにＹ軸方向に延びて設けられたビーム状のＹ軸テーブル１１（ベース部材）と、一端側がＹ軸テーブル１１に支持されてＸ軸方向に延びたビーム状の２つのＸ軸テーブル１２（移動部材）と、各Ｘ軸テーブル１２に沿って移動自在に設けられた２つの移動ステージ１３から成っており、２つの移動ステージ１３にはそれぞれ上記２つの装着ヘッド７がひとつずつ取り付けられている。
【００１３】
各Ｘ軸テーブル１２はその一端部に設けられたプレート部材１２ａがＹ軸テーブル１１の一端側から他端側に（すなわちＹ軸方向に）延びて設けられた上下のガイドレール１１ａにスライド自在に取り付けられており、各移動ステージ１３は各Ｘ軸テーブル１２の一端側から他端側に（すなわちＸ軸方向に）に延びて設けられた上下のガイドレール１２ｂにスライド自在に取り付けられている。
【００１４】
図３において、Ｙ軸テーブル１１には、前述の上下のガイドレール１１ａと平行に延びた上下の固定子１４ａが設けられており、各Ｘ軸テーブル１２の一端部に設けられた前述のプレート部材１２ａには、上下の固定子１４ａの間に位置する可動子１４ｂが設けられている。固定子１４ａは永久磁石から成るとともに、各可動子１４ｂはそれぞれコイルＣＬ１を備えて成り、固定子１４ａと各可動子１４ｂはそれぞれ第１のリニアモータ１４（図４）を構成している。各可動子１４ｂが備えるコイルＣＬ１への通電制御によりコイルＣＬ１の磁極切り替えを行うと、その可動子１４ｂは固定子１４ａに対して相対移動し、Ｘ軸テーブル１２がＹ軸テーブル１１に沿ってＹ軸方向に移動する。
【００１５】
また、図３及び図２の拡大図に示すように、Ｘ軸テーブル１２には、前述の上下のガイドレール１２ｂと平行に延びた上下の固定子１５ａが設けられており、各移動ステージ１３にはこれら上下の固定子１５ａの間に位置する可動子１５ｂが設けられている。各固定子１５ａは永久磁石、各可動子１５ｂはそれぞれコイルＣＬ２を備えて成り、各固定子１５ａと各可動子１５ｂはそれぞれ第２のリニアモータ１５（図４）を構成している。各可動子１５ｂが備えるコイルＣＬ２への通電制御によりコイルＣＬ２の磁極切り替えを行うと、その可動子１５ｂは固定子１５ａに対して相対移動し、移動ステージ１３がＸ軸テーブル１２に沿ってＸ軸方向に移動する。
【００１６】
図３に示すように、Ｙ軸テーブル１１と上下の固定子１４ａそれぞれとの間には、Ｙ軸テーブル１１の一端側から他端側に貫通して（すなわちＹ軸方向に貫通して）延びたエア通路１６が設けられており（図２も参照）、Ｙ軸テーブル１１のＹ軸方向の両端部には、エア通路１６内でエアを流通させるエア流通手段としての一対のファン（エア送り込み用ファン１７ａ及びエア吸い出し用ファン１７ｂ）が設けられている（図１も参照）。ここで、エア送り込み用ファン１７ａは部品実装機１の周囲のエアをエア通路１６内に送り込む機能を有し、エア吸い出し用ファン１７ｂはエア通路１６内のエアを外部に吸い出す機能を有する。エア送り込み用ファン１７ａ及びエア吸い出し用ファン１７ｂのそれぞれには風導管１７ｄが設けられており（図１及び図２）、エア通路１６内へのエアを送り込みとエア通路１６内のエアの吸い出しを効率よく行うことができるようになっている。
【００１７】
図１及び図２において、ヘッド移動機構６が備える２つの移動ステージ１３のそれぞれには、撮像視野を下方に向けた基板カメラ１９が設けられており、基台３上の基板搬送路４を挟む両領域には、撮像視野を上方に向けた部品カメラ２０が設けられている。
【００１８】
基板搬送路４による基板Ｐｂの搬送及び位置決め動作は、部品実装機１が備える制御装置３０の作業実行制御部３０ａ（図４）が図示しないアクチュエータ等から成る基板搬送路駆動部３１（図４）の作動制御を行うことによってなされ、各パーツフィーダ５による部品供給口５ａへの部品Ｐｔの供給動作は、制御装置３０の作業実行制御部３０ａが図示しないアクチュエータ等から成るパーツフィーダ駆動部３２（図４）の作動制御を行うこ
とによってなされる。
【００１９】
ヘッド移動機構６による各装着ヘッド７の水平面内での移動動作は、制御装置３０の作業実行制御部３０ａが第１のリニアモータ１４の作動制御（Ｙ軸テーブル１１に対する各Ｘ軸テーブル１２のＹ軸方向への移動）と第２のリニアモータ１５の作動制御（各Ｘ軸テーブル１２に対する各移動ステージ１３のＸ軸方向への移動）を行うことによってなされ、各吸着ノズル７ａの装着ヘッド７に対する昇降及び上下軸回りの回転動作は、制御装置３０の作業実行制御部３０ａが図示しないアクチュエータ等から成るノズル駆動部３３（図４）の作動制御を行うことによってなされる。また、各吸着ノズル７ａによる部品Ｐｔの吸着及び離脱動作は、制御装置３０の作業実行制御部３０ａが図示しないアクチュエータ等から成る真空圧供給部３４（図４）の作動制御を行うことによってなされる。
【００２０】
基板カメラ１９及び部品カメラ２０による撮像動作は、制御装置３０の作業実行制御部３０ａが基板カメラ１９及び部品カメラ２０の作動制御を行うことによってなされ（図４）、基板カメラ１９及び部品カメラ２０の撮像動作によって取得された画像データは記憶部３５（図４）に取り込まれて記憶され、制御装置３０が備える画像認識部３０ｂにおいて画像認識される。また、一対のファン（エア送り込み用ファン１７ａ及びエア吸い出し用ファン１７ｂ）のエア通路１６内へのエアの送り出し及びエア通路１６からのエアの吸い出し動作（すなわちエア通路１６内でのエアの流通動作）は、制御装置３０の作業実行制御部３０ａが図示しないアクチュエータ等から成るファン駆動部３６（図４）の作動制御を行うことによってなされる。
【００２１】
このような構成の部品実装機１により上流側の装置（例えば半田印刷機）から搬出された基板Ｐｂに部品Ｐｔを装着する工程（部品Ｐｔの装着工程）を実行する場合、制御装置３０の作業実行制御部３０ａは、基板搬送路４を作動させてその基板Ｐｂを受け取り、Ｘ軸方向に搬送（搬入）して、作業位置に位置決めする（図５のステップＳＴ１）。この基板Ｐｂの位置決め時には、基板Ｐｂに設けられた基板マーク（図示せず）の上方に基板カメラ１９を（装着ヘッド７を）移動させて基板マークを撮像し、得られた画像を画像認識部３０ｂに画像認識させることによって、基板Ｐｂの位置ずれ（基板Ｐｂの正規の作業位置からの位置ずれ）を算出する。
【００２２】
制御装置３０の作業実行制御部３０ａは、基板Ｐｂの位置ずれを算出したら、部品Ｐｔを基板Ｐｂ上に装着する動作（部品装着動作）を繰り返し実行する。この部品装着動作では、制御装置３０の作業実行制御部３０ａは先ず、装着ヘッド７をパーツフィーダ５の上方に移動させ、吸着ノズル７ａをパーツフィーダ５の部品供給口５ａの直上に位置させる。そして、吸着ノズル７ａを装着ヘッド７に対して下降させて部品供給口５ａに供給されている部品Ｐｔに接触させる。制御装置３０の作業実行制御部３０ａは、吸着ノズル７ａが部品Ｐｔに接触したところで吸着ノズル７ａ内に真空圧を供給し、吸着ノズル７ａに部品Ｐｔを吸着させてから、吸着ノズル７ａを上昇させる。これにより吸着ノズル７ａに部品Ｐｔがピックアップされる（図５のステップＳＴ２）。
【００２３】
制御装置３０の作業実行制御部３０ａは、上記のような吸着ノズル７ａに部品Ｐｔをピックアップさせる動作を装着ヘッド７が備える各吸着ノズル７ａについて行ったら、装着ヘッド７を基板Ｐｂ側に移動させながら、各吸着ノズル７ａに吸着させた部品Ｐｔが順次部品カメラ２０の上方を通過するようにする。そして、部品カメラ２０に各部品Ｐｔの撮像を行わせ、部品カメラ２０が撮像した各部品Ｐｔの画像データを記憶部３５に取り込んで画像認識部３０ｂに画像認識を行わせる（図５のステップＳＴ３）。制御装置３０の作業実行制御部３０ａは、画像認識部３０ｂによる画像認識結果に基づいて、部品Ｐｔの異常（変形や欠損など）の有無を検査するとともに、部品Ｐｔの吸着ノズル７ａに対する位置ずれ（吸着ずれ）を算出する。
【００２４】
制御装置３０の作業実行制御部３０ａは、装着ヘッド７を基板Ｐｂの上方に移動させたら、吸着ノズル７ａに吸着させた部品Ｐｔを基板Ｐｂ上の目標装着位置（この目標装着位置にある図示しない電極上には半田印刷機によって半田が印刷されている）の直上に位置させ、吸着ノズル７ａを装着ヘッド７に対して下降させて部品Ｐｔを基板Ｐｂ上の目標装着位置に接触させる。制御装置３０の作業実行制御部３０ａは、部品Ｐｔが基板Ｐｂに接触したところで吸着ノズル７ａへの真空圧の供給を遮断し、吸着ノズル７ａから部品Ｐｔを離脱させてから、吸着ノズル７ａを上昇させる。これにより、部品Ｐｔが基板Ｐｂ上に装着される（図５のステップＳＴ４）。なお、部品Ｐｔを基板Ｐｂ上に装着するときには、ステップＳＴ１で算出した基板Ｐｂの位置ずれとステップＳＴ３で算出した部品Ｐｔの吸着ずれが修正されるように、基板Ｐｂに対する吸着ノズル７ａの位置補正（回転補正を含む）を行うようにする。
【００２５】
制御装置３０の作業実行制御部３０ａは、吸着ノズル７ａに吸着させた部品Ｐｔを基板Ｐｂ上の目標装着位置に装着する部品装着動作を装着ヘッド７が備える各吸着ノズル７ａについて行ったら、現在部品Ｐｔの装着を行っている基板Ｐｂについて、全ての部品装着が終了したかどうかの判断を行う（図５のステップＳＴ５）。そして、その結果、全ての部品装着が終了していなかったときにはステップＳＴ２に戻ってまだ基板Ｐｂに装着していない部品Ｐｔについての部品装着動作を実行し、全ての部品装着が終了していたときには基板搬送路４を作動させて、下流側の装置である他の部品実装機や検査機、リフロー炉等に基板Ｐｂを搬出する（図５のステップＳＴ６）。
【００２６】
部品実装機１は上記手順により部品Ｐｔの装着工程を実行するが、その間、制御装置３０の作業実行制御部３０ａは一対のファン（エア送り込み用ファン１７ａ及びエア吸い出し用ファン１７ｂ）を作動させ、エア送り込み用ファン１７ａが取り込んでエア通路１６内に送り込んだエア（図１及び図２中に示す矢印Ｗ１）が、エア通路１６を抜けて、エア吸い出し用ファン１７ｂにより外部に吸い出される（図１及び図２中に示す矢印Ｗ２）ようにすることによって、エア通路１６内でエアが常時流通するようにする。
【００２７】
上述のように、一連の部品Ｐｔの装着工程では、装着ヘッド７をパーツフィーダ５の上方位置と基板Ｐｂの上方位置でそれぞれ一時的に停止させつつ両位置間を往復移動するようになっており、装着ヘッド７の往復移動はＹ軸テーブル１１に対するＸ軸テーブル１２の移動によってなされること、及び、Ｘ軸テーブル１２の一端部に設けられたプレート部材１２ａに取り付けられた可動子１４ｂは発熱源であることから、Ｙ軸テーブル１１は上記二位置が局所的に高熱となり、局部的な熱変形が生じて装着ヘッド７の位置決め精度が低下するところであるが、エア通路１６内でエアが流通するようにすることにより、Ｘ軸テーブル１２側のコイルＣＬ１の発熱により生じた熱をＹ軸テーブル１１の全体に拡散させて均一に行き渡らせることができ、Ｙ軸テーブル１１に局部的な熱変形が生じることを防止することができる。
【００２８】
以上説明したように、本実施の形態における部品実装機１は、基台３と、基台３上に設けられて基板Ｐｂの搬送及び位置決めを行う基板位置決め部としての基板搬送路４と、部品Ｐｔの供給を行う部品供給部としてのパーツフィーダ５と、基台３上に水平面内方向に延びて設けられたビーム状のベース部材としてのＹ軸テーブル１１及びＹ軸テーブル１１に沿って移動自在に設けられた移動部材としてのＸ軸テーブル１２を備えて成るヘッド移動機構６と、ヘッド移動機構６のＹ軸テーブル１１の水平面内方向の一端側から他端側に延びて設けられた固定子１４ａ及びヘッド移動機構６のＸ軸テーブル１２に設けられた可動子１４ｂから成り、可動子１４ｂに備えられたコイルＣＬ１の磁極切り替えがなされて可動子１４ｂが固定子１４ａに対して相対移動することによりＸ軸テーブル１２をＹ軸テーブル１１上で移動させる第１のリニアモータ１４と、ヘッド移動機構６のＸ軸テーブル
１２に設けられ、Ｙ軸テーブル１１に対するＸ軸テーブル１２の移動によってパーツフィーダ５と基板搬送路４により位置決めされた基板Ｐｂとの間を移動してパーツフィーダ５から供給される部品Ｐｔのピックアップと基板Ｐｂ上へ部品Ｐｔの装着とを繰り返し実行する装着ヘッド７と、ヘッド移動機構６のＹ軸テーブル１１の一端側から他端側に延びて設けられたエア通路１６と、エア通路１６内でエアを流通させるエア流通手段としての一対のファン（エア送り込み用ファン１７ａ及びエア吸い出し用ファン１７ｂ）を備えたものとなっている。
【００２９】
本実施の形態における部品実装機１では、装着ヘッド７をパーツフィーダ５と基板Ｐｂとの間で移動させるヘッド移動機構６のベース部材であるＹ軸テーブル１１の一端側から他端側に延びて設けられたエア通路１６内にエアを供給することにより、ヘッド移動機構６の移動部材であるＸ軸テーブル１２の可動子１４ｂに備えられたコイルＣＬ１の発熱により生じた熱をＹ軸テーブル１１の全体に拡散させて均一に行き渡らせるようになっているので、コイルＣＬ１の発熱によりヘッド移動機構６のＹ軸テーブル１１に局部的な熱変形が生じることを防止でき、装着ヘッド７の位置決め精度の低下を抑えることができる。
【００３０】
ここで、上述の説明では、エア通路１６内でエアを流通させるエア流通手段は、部品実装機１の周囲のエアをエア通路１６内に送り込む機能を有するエア送り込み用ファン１７ａとエア通路１６内のエアを外部に吸い出す機能を有するエア吸い出し用ファン１７ｂから成るものであったが、エア通路１６内でエアを流通させることができるのであれば他の構成のものでもよく、例えば圧縮空気をエア通路１６に送り出す装置によってもよい。また、エア通路１６はＹ軸テーブル１１をその一端側から他端側に延びて設けられていればよく、必ずしもＹ軸テーブル１１を一端側から他端側に貫通して延びていなくてもよい。上述の説明のように、エア流通手段に一対のファン（エア送り込み用ファン１７ａとエア吸い出し用ファン１７ｂ）を用いるのであればエア通路１６はＹ軸テーブル１１の一端側から他端側に貫通して延びたものが好ましいが、エア流通手段に圧縮空気を供給するものを用いるのであれば、エア通路１６を一端側から他端側に延びて再び一端側に戻ってくる「Ｕ」字形状のものとすることもできる。
【００３１】
これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、装着ヘッド７をパーツフィーダ５と基板Ｐｂとの間で移動させるヘッド移動機構６は、基台３上に水平面内方向に延びて設けられたビーム状のベース部材としてのＹ軸テーブル１１及びＹ軸テーブル１１に沿って移動自在に設けられた移動部材としてのＸ軸テーブル１２のほか、Ｘ軸テーブル１２に沿って移動自在に設けられた移動ステージ１３を備えて成るものであったが、ヘッド移動機構６は最小限、基台３上に水平面内方向に延びて設けられたビーム状のベース部材と、このベース部材に沿って移動自在に設けられた移動部材を備えていればよい。
【００３２】
また、本発明は、上述の実施の形態における部品実装機１が備えるヘッド移動機構６において、Ｘ軸テーブル１２をベース部材、移動ステージ１３を移動部材とした場合においても適用することが可能であり、Ｘ軸テーブル１２の一端側から他端側に（すなわちＸ軸方向に）延びたエア通路を設けるととともに、そのエア通路内でエアを流通させるエア流通手段を設けるようにすれば、移動部材である移動ステージ１３が備えるコイルＣＬ２の発熱により生じた熱をＸ軸テーブル１２の全体に拡散させて均一に行き渡らせることができ、Ｘ軸テーブル１２に局部的な熱変形が生じることを防止して、装着ヘッド７の位置決め精度の低下をより効果的に防止することができるようになる。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
リニアモータの可動子が備えるコイルの発熱によりヘッド移動機構のベース部材に局部的な熱変形が生じることを防止して装着ヘッドの位置決め精度の低下を抑えることができ
るようにした部品実装機を提供する。
【符号の説明】
【００３４】
１  部品実装機
３  基台
４  基板搬送路（基板位置決め部）
５  パーツフィーダ（部品供給部）
６  ヘッド移動機構
７  装着ヘッド
１１  Ｙ軸テーブル（ベース部材）
１２  Ｘ軸テーブル（移動部材）
１４  第１のリニアモータ（リニアモータ）
１４ａ  固定子
１４ｂ  可動子
１６  エア通路
１７ａ  エア送り込み用ファン（エア流通手段）
１７ｂ  エア吸い出し用ファン（エア流通手段）
ＣＬ１  コイル
Ｐｔ  部品
Ｐｂ  基板
【図１】
2011103316.tif 000003
【図２】
2011103316.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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