(57)【要約】【課題】ヘッドケースの剛性を確保しつつ、成型時の隔壁の変形を抑制可能な液体噴射ヘッド、及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】振動子ユニットを収容する収容空部が内部に複数形成された樹脂製のヘッドケース１６を有し、ヘッドケースは、隣り合う収容空部同士を区画する隔壁３７内部に金属プレート３８を有し、金属プレートにおいて、一方の収容空部側の第１面３８ａおよび他方の収容空部側の第２面３８ｂのそれぞれに、各面の一部を反対面側に凹ませて、ヘッドケース成型時の樹脂流動方向Ｕに沿った溝状の流動空部４０を形成した。【選択図】図４
2011016234.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクチュエーターユニットが圧力発生室を変形させることにより各圧力発生室内の液体をノズルから吐出させる液体噴射ヘッドであって、
前記アクチュエーターユニットを収容する収容空部が内部に複数形成された樹脂製のヘッドケースを有し、
前記ヘッドケースは、隣り合う収容空部同士を区画する隔壁内部に金属プレートを有し、
前記金属プレートにおいて、一方の収容空部側の第１面および他方の収容空部側の第２面のそれぞれに、各面の一部を反対面側に凹ませて、ヘッドケース成型時の樹脂流動方向に沿った溝状の流動空部を形成したことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記第１面側の流動空部の容積と前記第２面側の流動空部の容積とが等しいことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記第１面及び前記第２面のそれぞれに、前記樹脂流動方向に交差する方向に前記流動空部を複数並べて形成したことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記複数の流動空部を前記第１面及び前記第２面に対称的に形成したことを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記第１面側の流動空部と前記第２面側の流動空部とを、前記樹脂流動方向に交差する方向に交互に形成したことを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項６】
前記金属プレートの主板を屈曲させることにより前記流動空部を形成したことを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項７】
アクチュエーターユニットが圧力発生室を変形させることにより各圧力発生室内の液体をノズルから吐出させる液体噴射ヘッドであって、
前記アクチュエーターユニットを収容する収容空部が内部に複数形成された樹脂製のヘッドケースを有し、
前記ヘッドケースは、隣り合う収容空部同士を区画する隔壁内部に金属プレートを有し、
前記金属プレートの主板の両面のそれぞれに、互いに逆向きに突出したリブをヘッドケース成型時の樹脂流動方向に沿って形成し、
前記主板及び前記リブにより区画される空間を流動空部としたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項８】
アクチュエーターユニットが圧力発生室を変形させることにより各圧力発生室内の液体をノズルから吐出させる液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記アクチュエーターユニットを収容する収容空部が内部に複数形成され、隣り合う収容空部同士を区画する隔壁を有する樹脂製のヘッドケースを成型する金型内に、一方の収容空部側の第１面および他方の収容空部側の第２面のそれぞれに、各面の一部を反対面側に凹ませて、ヘッドケース成型時の樹脂流動方向に沿った溝状の流動空部を形成した金属プレートを配置する配置工程と、
前記金型に設けられたゲートから当該金型内に樹脂を充填して前記流動空部内を流動させる射出工程と、を含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式記録ヘッドなどの液体噴射ヘッド、及び液体噴射ヘッドの製造方法に係り、特に、ノズルに連通する圧力発生室に圧力変動を与えて、圧力発生室内の液体をノズルから吐出させる液体噴射ヘッド、及び液体噴射ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力発生室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズルから液滴として吐出（噴射）させる液体噴射ヘッドとしては、例えば、インクジェット式記録装置（以下、単にプリンターという）などの画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）、液晶ディスプレーなどのカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）などの電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドなどがある。
【０００３】
例えば、上記の記録ヘッドでは、リザーバーから圧力発生室を経てノズルに至る一連の液体流路が形成された流路ユニットや圧力発生室の容積を変動可能な圧力発生素子を有するアクチュエーターユニットなどを樹脂製のヘッドケースに取り付けて構成されている。より詳しくは、ヘッドケースには、その高さ方向を貫通する収容空部が複数設けられ、各収容空部内にアクチュエーターユニットが収容される。しかしながら、複数の収容空部を設けることにより、隣り合う収容空部を区画する隔壁の強度が不足してしまうことがあった。このため、隔壁全体を金属プレートで形成することも考えられるが、金属プレートの加工精度には限界があるために、隔壁内部に平板状の金属プレートを埋設して、ヘッドケースを補強した記録ヘッドが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特許第３４８４８８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、ヘッドケースを成型する射出成形の工程において、加熱溶融した樹脂を金型内に流し込むと、隔壁となる空部、即ち樹脂流路は、隣り合う収容空部に挟まれているために、その幅員（隔壁の厚み方向の寸法）を無制限に大きく設定できない。さらに、隔壁内に平板状の金属プレートを配置すると、金属プレートを挟んで両側に樹脂流路が分断されて、分断された樹脂流路の幅員は、さらに狭くなってしまっていた。
【０００６】
このため、この金属プレートの両側の樹脂流路に樹脂を充填する際に、これらの樹脂流路の両方に同じ速度で充填することが難しく、一方の樹脂流路を流動する樹脂よりも他方の樹脂流路を流動する樹脂の充填速度が速い場合には、先に充填された樹脂が金属プレートを反対側の樹脂流路の側へ向かって押圧して、金属プレートを撓ませてしまうことがあった。そして、金属プレートが撓んだ状態を維持したままで両方の樹脂流路に樹脂が充填され、この状態で樹脂が硬化した後に、成型されたヘッドケースを金型から取り出すと、今度は樹脂よりも剛性の高い金属プレートが弾性復元力によって元の形状に戻ろうとして、隔壁を歪ませてしまうことがあった。即ち、金属プレートを埋設してヘッドケースの隔壁の剛性を高めることと、金属プレート両側の樹脂流路を流動する樹脂の充填速度の違いに起因する隔壁の変形を抑制することとを両立させることが困難であった。この不都合を解消するために樹脂流路の幅員を拡大しようとしても、前記したように、隣り合う収容空部の間隔は、小型化の要望があるが故に、大きくできない。また、金属プレートを薄くして樹脂流路の厚みを増やすと、剛性が不足する。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ヘッドケースの隔壁の剛性を確保しつつ、成型時の変形を抑制可能な液体噴射ヘッド、及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液体噴射ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、アクチュエーターユニットが圧力発生室を変形させることにより各圧力発生室内の液体をノズルから吐出させる液体噴射ヘッドであって、
前記アクチュエーターユニットを収容する収容空部が内部に複数形成された樹脂製のヘッドケースを有し、
前記ヘッドケースは、隣り合う収容空部同士を区画する隔壁内部に金属プレートを有し、
前記金属プレートにおいて、一方の収容空部側の第１面および他方の収容空部側の第２面のそれぞれに、各面の一部を反対面側に凹ませて、ヘッドケース成型時の樹脂流動方向に沿った溝状の流動空部を形成したことを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、アクチュエーターユニットを収容する収容空部が内部に複数形成された樹脂製のヘッドケースを有し、ヘッドケースは、隣り合う収容空部同士を区画する隔壁内部に金属プレートを有し、金属プレートにおいて、一方の収容空部側の第１面および他方の収容空部側の第２面のそれぞれに、各面の一部を反対面側に凹ませて、ヘッドケース成型時の樹脂流動方向に沿った溝状の流動空部を形成したので、流動空部の両側の縁部分が強度を維持し、ヘッドケースの成型時に、金型内における金属プレートを挟んで両側の流動空部を、幅員が従来よりも拡大された樹脂流路として機能させることができ、これらの樹脂流路を流動する樹脂の間で充填速度に差が生じることを抑制できる。これにより、金属プレートの剛性を確保しつつ、成型時の樹脂充填速度の差に起因する金属プレートの撓みを抑制して、成型後の金属プレートの弾性復元力によるヘッドケースの隔壁の変形を抑制できる。
【００１０】
上記構成において、前記第１面側の流動空部の容積と前記第２面側の流動空部の容積とが等しい構成を採用することが望ましい。
【００１１】
この構成によれば、第１面側の流動空部の容積と第２面側の流動空部の容積とが等しいので、金属プレートを挟んで両面側の樹脂流路の幅員を揃えることができ、ヘッドケースの成型時に、金属プレートの両面に対する押圧力の均等化を図ることができる。これにより、成型時の金属プレートの撓みを抑制し、金属プレートを挟んで両側の樹脂流路を流動する樹脂同士の間で充填速度がばらつくことをより抑制することができる。
【００１２】
上記構成において、前記第１面及び前記第２面のそれぞれに、前記樹脂流動方向に交差する方向に前記流動空部を複数並べて形成する構成を採用することが望ましい。
【００１３】
この構成によれば、第１面及び第２面のそれぞれに、樹脂流動方向に交差する方向に流動空部を複数並べて形成したので、分散して流動空部を配置することができ、流動空部毎の容積を小さくできる。これにより、金属プレートの面に交差する方向の剛性をより確保できると共に、成型時の変形を抑制できる。その結果、成型後における圧力発生室間のクロストークを抑制でき、液体噴射ヘッドの信頼性を確保することができる。
【００１４】
上記構成において、前記複数の流動空部を前記第１面及び前記第２面に対称的に形成した構成を採用することが望ましい。
【００１５】
この構成によれば、複数の流動空部を第１面及び第２面に対称的に形成したので、金属プレートの第１面と第２面とに作用する力を均衡させることができる。これにより、金属プレートの撓みを抑制し、金属プレートを挟んで両側の樹脂流路を流動する樹脂の間で充填速度がばらつくことをより抑制することができる。
【００１６】
上記構成において、前記第１面側の流動空部と前記第２面側の流動空部とを、前記樹脂流動方向に交差する方向に交互に形成する構成を採用することが望ましい。
【００１７】
この構成によれば、第１面側の流動空部と第２面側の流動空部とを、樹脂流動方向に交差する方向に交互に形成したので、金属プレートの剛性を確保しつつ、第１面側と第２面側とにおける樹脂充填時の圧力バランスを均衡させることができる。
【００１８】
上記構成において、前記金属プレートの主板を屈曲させることにより前記流動空部を形成する構成を採用することが望ましい。
【００１９】
この構成によれば、金属プレートの主板を屈曲させることにより流動空部を形成したので、プレス加工などによって流動空部を加工でき、金属プレートの作製を容易に行える。
【００２０】
また、本発明の液体噴射ヘッドは、アクチュエーターユニットが圧力発生室を変形させることにより各圧力発生室内の液体をノズルから吐出させる液体噴射ヘッドであって、
前記アクチュエーターユニットを収容する収容空部が内部に複数形成された樹脂製のヘッドケースを有し、
前記ヘッドケースは、隣り合う収容空部同士を区画する隔壁内部に金属プレートを有し、
前記金属プレートの主板の両面のそれぞれに、互いに逆向きに突出したリブをヘッドケース成型時の樹脂流動方向に沿って形成し、
前記主板及び前記リブにより区画される空間を流動空部としたことを特徴とする。
【００２１】
この構成によれば、アクチュエーターユニットを収容する収容空部が内部に複数形成された樹脂製のヘッドケースを有し、ヘッドケースは、隣り合う収容空部同士を区画する隔壁内部に金属プレートを有し、金属プレートの主板の両面のそれぞれに、互いに逆向きに突出したリブをヘッドケース成型時の樹脂流動方向に沿って形成し、主板及びリブにより区画される空間を流動空部としたので、流動空部の両側の縁部分が強度を維持し、ヘッドケースの成型時に、金型内における金属プレートを挟んで両側の流動空部を、樹脂流路として機能させることができ、これらの樹脂流路を流動する樹脂の間で充填速度に差が生じることを抑制できる。これにより、金属プレートの剛性を確保しつつ、成型時の樹脂充填速度の差に起因する金属プレートの撓みを抑制して、成型後の金属プレートの弾性復元力によるヘッドケースの隔壁の変形を抑制できる。さらに、流動空部の形状の自由度を高めることができる。
【００２２】
また、本発明の液体噴射ヘッドの製造方法は、アクチュエーターユニットが圧力発生室を変形させることにより各圧力発生室内の液体をノズルから吐出させる液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記アクチュエーターユニットを収容する収容空部が内部に複数形成され、隣り合う収容空部同士を区画する隔壁を有する樹脂製のヘッドケースを成型する金型内に、一方の収容空部側の第１面および他方の収容空部側の第２面のそれぞれに、各面の一部を反対面側に凹ませて、ヘッドケース成型時の樹脂流動方向に沿った溝状の流動空部を形成した金属プレートを配置する配置工程と、
前記金型に設けられたゲートから当該金型内に樹脂を充填して前記流動空部内を流動させる射出工程と、を含むことを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】プリンターの構成を説明する斜視図である。
【図２】記録ヘッドの内部構造を説明する断面図である。
【図３】ヘッドケースの構成を説明する図であり、（ａ）は左側面図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は正面図である。
【図４】図４は、金属プレートの構成を説明する図であり、（ａ）は図３（ｂ）中のＩＶ−ＩＶに沿う断面図、（ｂ）は金属プレートの斜視図である。
【図５】ヘッドケース成型時の金型内の樹脂の流動を説明する模式図である。
【図６】第２実施形態に係る金属プレートの構成を説明する図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は斜視図である。
【図７】第３実施形態に係る金属プレートの構成を説明する図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は斜視図である。
【図８】第４実施形態に係る金属プレートの構成を説明する図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面などを参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、本実施形態では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッド（以下、「記録ヘッド」という）を例に挙げて説明する。
【００２５】
図１はインクジェット式記録装置の斜視図である。まず、記録ヘッドを搭載するインクジェット式記録装置（以下、プリンターという）の概略構成について、図１を参照して説明する。例示したプリンター１は、記録紙などの記録媒体（吐出対象物）２の表面へ液体状のインクを吐出して画像などの記録を行う装置である。このプリンター１は、インクを吐出（噴射）する記録ヘッド３（本発明における液体噴射ヘッドの一種に相当）と、この記録ヘッド３が取り付けられるキャリッジ４と、キャリッジ４を主走査方向（図１に矢印Ｘで示す）に移動させるキャリッジ移動機構５と、記録媒体２を副走査方向（主走査方向に直交する方向。図１に矢印Ｙで示す）に移送するプラテンローラー６などを備えている。ここで、上記のインクは、本発明の液体の一種であり、インクカートリッジ７（液体貯留部の一種）に貯留されている。このインクカートリッジ７は、記録ヘッド３に対して着脱可能に装着される。
【００２６】
上記のキャリッジ移動機構５はタイミングベルト８を備えている。そして、このタイミングベルト８はＤＣモーターなどのパルスモーター９により駆動される。従って、パルスモーター９が作動すると、キャリッジ４は、プリンター１に架設されたガイドロッド１０に案内されて、主走査方向Ｘ（記録紙２の幅方向）に往復移動する。
【００２７】
図２は上記の記録ヘッド３の要部断面図である。本実施形態における記録ヘッド３は、圧電振動子群１２、固定板１３、及び、フレキシブルケーブル１４等をユニット化した振動子ユニット１５（本発明におけるアクチュエーターユニットの一種）と、この振動子ユニット１５を収納可能な収納空部２１を形成したヘッドケース１６と、共通インク室（共通液体室）から圧力室を通りノズル開口に至る一連のインク流路（液体流路）を形成する流路ユニット１７とを備えて構成される。
【００２８】
まず、振動子ユニット１５について説明する。圧電振動子群１２を構成する圧力発生手段としての圧電振動子２０は、縦方向に細長い櫛歯状に形成されており、数十μｍ程度の極めて細い幅に切り分けられている。そして、この圧電振動子２０は縦方向に伸縮可能な縦振動型の圧電振動子として構成されている。各圧電振動子２０は、固定端部を固定板１３上に接合することにより、自由端部を固定板１３の先端縁よりも外側に突出させて所謂片持ち梁の状態で固定されている。そして、各圧電振動子２０における自由端部の先端は、後述するように、それぞれ流路ユニット１７におけるダイヤフラム部３２を構成する島部３４に接合される。フレキシブルケーブル１４は、固定板１３とは反対側となる固定端部の側面で圧電振動子２０と電気的に接続されている。また、各圧電振動子２０を支持する固定板１３は、圧電振動子２０からの反力を受け止め得る剛性を備えた金属製の板材によって構成される。本実施形態では、厚さが１ｍｍ程度のステンレス鋼板によって作製されている。
【００２９】
ヘッドケース１６は、例えば、エポキシ系樹脂等の合成樹脂によって成型されており、その内部には振動子ユニット１５を収納するための収容空部２１が形成されている。収容空部２１は、ヘッドケース１６の高さ方向を貫通して形成されている。振動子ユニット１５は、この収容空部２１内に挿入され、接着等によって固定板１３を収容空部２１の内壁に固定されている。そして、ヘッドケース１６の一方側の開口面（先端面）には、流路ユニット１７が接着剤などにより取り付けられる。
【００３０】
次に、流路ユニット１７について説明する。流路ユニット１７は、ノズルプレート２２、流路形成基板２３、及び振動板２４から構成され、ノズルプレート２２を流路形成基板２３の一方の表面に、振動板２４をノズルプレート２２とは反対側となる流路形成基板２３の他方の表面にそれぞれ配置して積層し、接着等により一体化することで構成されている。
【００３１】
ノズルプレート２２は、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル開口２５（本発明におけるノズルの一種）を列状に開設したステンレス鋼製の薄いプレートである。本実施形態では、例えば、１８０個のノズル開口２５を列状に開設し、これらのノズル開口２５によってノズル列を構成している。そして、このノズル列を横並びに２列設けている。
【００３２】
流路形成基板２３は、リザーバー２６、インク供給口２７、及び圧力室２８（本発明における圧力発生室の一種）からなる一連のインク流路（液体流路の一種）を形成する板状部材である。具体的には、この流路形成基板２３は、各ノズル開口２５に対応させて圧力室２８となる空部を隔壁で区画した状態で複数形成すると共に、インク供給口２７およびリザーバー２６となる空部を形成した板状の部材である。そして、本実施形態の流路形成基板２３は、シリコンウェハーをエッチング処理することで作製されている。上記の圧力室２８は、ノズル開口２５の列設方向（ノズル列方向）に対して直交する方向に細長い室として形成され、インク供給口２７は、圧力室２８とリザーバー２６との間を連通する流路幅の狭い狭窄部として形成されている。また、リザーバー２６は、インクカートリッジ７に貯留されたインクを各圧力室２８に供給するための室であり、インク供給口２７を通じて対応する各圧力室２８に連通している。
【００３３】
振動板２４は、ステンレス鋼等の金属製の支持板３０上にＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の樹脂フィルム３１をラミネート加工した二重構造の複合板材であり、圧力室２８の一方の開口面を封止してこの圧力室２８の容積を変動させるためのダイヤフラム部３２を有すると共に、リザーバー２６の一方の開口面を封止するコンプライアンス部３３が形成された部材である。そして、ダイヤフラム部３２は、圧力室２８に対応した部分の支持板３０にエッチング加工を施し、当該部分を環状に除去して圧電振動子２０の自由端部の先端を接合するための島部３４を形成することで構成されている。この島部３４は、圧力室２８の平面形状と同様に、ノズル開口２５の列設方向と直交する方向に細長いブロック状であり、この島部３４の周りの樹脂フィルム３１が弾性体膜として機能する。また、コンプライアンス部３３として機能する部分、すなわちリザーバー２６に対応する部分は、このリザーバー２６の開口形状に倣って支持板３０がエッチング加工で除去されて樹脂フィルム３１のみとなっている。
【００３４】
この記録ヘッド３は、圧電振動子２０を素子長手方向に伸縮させると、島部３４が圧力室２８に近接する方向或いは離隔する方向に移動する。これにより、圧力室２８の容積が変化し、圧力室２８内のインクに圧力変動が生じる。この圧力変動によってノズル開口２５からインク滴（液滴の一種）が吐出される。
【００３５】
図３は、ヘッドケース１６の構成を説明する図であり、（ａ）は側面図、（ｂ）は平面図、（ｃ）は正面図である。
上記ヘッドケース１６には、図３に示すように、その高さ方向を貫通した収容空部２１が複数形成されており、隣り合う収容空部２１同士を区画する隔壁３７は、ノズル列同士の間隔を小さくしてヘッドのコンパクト化を図るために厚くすることはできず、このためヘッドケース１６の成型時に、隔壁３７内に金属プレート３８を埋設することで隔壁３７を補強し、ヘッドケース１６の剛性低下を抑制している。
【００３６】
図４は、ヘッドケース１６の隔壁３７内に埋設する金属プレート３８の構成を説明する図であり、（ａ）は図３（ｂ）中のＩＶ−ＩＶに沿う断面図、（ｂ）は金属プレート３８の斜視図である。
この金属プレート３８は、図４に示すように、一方の収容空部２１ａ側の第１面３８ａおよび他方の収容空部２１ｂ側の第２面３８ｂのそれぞれに、各面３８ａ，３８ｂの一部を反対面側に凹ませて、ヘッドケース１６成型時の樹脂流動方向（図５中に矢印Ｕで示す）に沿った溝状の流動空部４０を形成したことに特徴を有している。
【００３７】
即ち、本実施形態では、金属プレート３８の主板４１の厚さを従来よりも薄く設定し、その両面３８ａ，３８ｂのそれぞれに、互いに逆向きに突出したリブ４２を樹脂流動方向Ｕに沿って複数平行に並べて形成し、主板４１及びリブ４２により反対側に凹んだ溝状に区画される空間を流動空部４０としている。より詳しくは、金属プレート３８は、断面細長矩形状に形成された主板４１と、主板４１の第１面３８ａ側に設けられ、主板４１から離れる方向に立設したリブ４２ａと、主板４１の第２面３８ｂ側に設けられ、主板４１から離れる方向（リブ４２ａとは反対向き）に立設したリブ４２ｂとを備えている。これら各面３８ａ，３８ｂそれぞれに設けられた複数本のリブ４２ａ，４２ｂは、樹脂流動方向Ｕに沿って延設されていると共に、樹脂流動方向Ｕに直交（交差）する方向に、同じ間隔を空けて三対ずつ配置されている。これにより、主板４１及びリブ４２ａ，４２ｂにより区画される空間が流動空部４０として機能する。換言すると、金属プレート３８の各面３８ａ，３８ｂそれぞれには、リブ４２ａ，４２ｂの突出端から主板４１に向けて凹ませることにより、樹脂流動方向Ｕに沿った溝状の流動空部４０が樹脂流動方向Ｕに直交（交差）する方向に四対ずつ平行に形成されている。なお、リブ４２ａ，４２ｂは、流動空部４０を区画形成するだけではなく、補強としても機能するもので、その数は、各面３８ａ，３８ｂそれぞれに三対設けることに限られない。本発明に係るリブ４２ａ，４２ｂは、各面３８ａ，３８ｂそれぞれに少なくとも１本以上設けられていれば良い。即ち、各面３８ａ，３８ｂそれぞれに流動空部４０が形成されていれば良い。
【００３８】
このような金属プレート３８を埋設するヘッドケース１６の成型方法について説明する。図５は、ヘッドケース１６成型時の金型４４内の樹脂４５の流動を説明する模式図である。まず、金型４４は、内面がヘッドケース１６の外形形状に成型された空部を有し、該空部内にヘッドケース１６の収容空部２１ａ，２１ｂの内形形状と同じ形状に成型された一対の中子部４３をセットし、隣り合う中子部４３の間に、中子部４３に対して間隔を空けた状態であって、且つ流動空部４０が樹脂流動方向Ｕに沿った状態で金属プレート３８を配置し、金属プレート３８の両端を金型４４の凹部内に嵌合して支持する（配置工程）。次に、射出シリンダー（図示せず）の中で加熱溶融された樹脂４５を、金型４４の一方の端部に設けられたゲート４６から金型４４の空部内に充填する（射出工程）。すると、ゲート４６から金型４４内に射出された樹脂４５が、一対の中子部４３の間であって隔壁３７となる内側樹脂流路４７と、ヘッドケース１６の外形部分となる一対の外側樹脂流路４８ａ，４８ｂとに分岐し、それぞれの樹脂流路４７，４８ａ，４８ｂを金型４４のゲート４６とは反対側の端部に向かって流動する。
【００３９】
この際に、金属プレート３８の両面３８ａ，３８ｂそれぞれには、樹脂流動方向Ｕに沿った溝状の流動空部４０ａ，４０ｂが形成されており、樹脂流路４７ａ，４７ｂの幅員を確保できる。このため、これらの樹脂流路４７ａ，４７ｂを流動する樹脂４５の間で充填速度に大きな差が生じることを抑制できる。これにより、金属プレート３８の剛性を確保しつつ、成型時の樹脂４５充填速度の差に起因する金属プレート３８の撓みを抑制して、成型後の金属プレート３８の弾性復元力によるヘッドケース１６の変形を抑制できる。また、金属プレート３８の容積を減らすことができ、部品を軽量化することができる。
【００４０】
また、主板４１の第１面３８ａに形成されたリブ４２ａと、第２面３８ｂに形成されたリブ４２ｂとは、面３８ａ，３８ｂ同士の中心線（図４（ｂ）中に符号Ｏで示す）を挟んで対称に形成されている。即ち、主板４１の第１面３８ａ側の流動空部４０ａと、第２面３６ｂ側の流動空部４０ｂとが、面３８ａ，３８ｂ同士の中心線Ｏを挟んで線対称に形成されている。このため、金属プレート３８自体の撓みを抑制し、金属プレート３８の主板４１を挟んで両面３８ａ，３８ｂ側の内側樹脂流路４７ａ，４７ｂを流動する樹脂４５同士の間で充填速度がばらつくことをより抑制することができる。
【００４１】
また、金属プレート３８の第１面３８ａ側の流動空部４０ａの容積と、第２面３８ｂ側の流動空部４０ｂの容積とが等しくなるように形成されている。即ち、金属プレート３８の第１面３８ａから中心線Ｏ側に凹んだ部分の容積と、第２面３８ｂから中心線Ｏ側に凹んだ部分の容積とが等しくなるように形成されている。このため、金属プレート３８を挟んで両面３８ａ，３８ｂ側の内側樹脂流路４７ａ，４７ｂの幅員を揃えることができ、ヘッドケース１６の成型時に、内側樹脂流路４７ａ，４７ｂ内を流動する樹脂４５による金属プレート３８の両面３８ａ，３８ｂに対する押圧力の均等化を図ることができる。これにより、成型時の金属プレート３８の撓みを抑制し、金属プレート３８を挟んで両面３８ａ，３８ｂ側の内側樹脂流路４７ａ，４７ｂを流動する樹脂４５同士の間で充填速度がばらつくことをより抑制することができる。
【００４２】
また、第１面３８ａ及び第２面３８ｂのそれぞれに、樹脂流動方向Ｕに交差する方向に流動空部４０ａ，４０ｂを複数並べて形成したので、分散して流動空部４０を配置することができ、流動空部４０毎の容積を小さくできる。これにより、金属プレート３８の剛性をより確実に確保できると共に、成型時の変形を抑制できる。その結果、成型後におけるケースの剛性を高く確保して、これにより、圧力室２８間のクロストークを抑制でき、記録ヘッド３の信頼性を確保することができる。
【００４３】
次に、本発明の他の実施形態について説明する。
図６は、第２実施形態に係る金属プレート３８の構成を説明する図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は斜視図である。この第２実施形態においては、金属プレート３８の主板４１を断面形状が矩形パルス形に屈曲させることにより、樹脂流動方向Ｕに交差する方向に交互に凹んだ流動空部４０を形成したことに特徴を有する。即ち、本実施形態の金属プレート３８は、図６に示すように、平板状の主板４１の各面３８ａ，３８ｂそれぞれに、樹脂流動方向Ｕに直交（交差）する方向に間隔を空けた状態で、この各面３８ａ，３８ｂを反対側に凹ませて、樹脂流動方向Ｕに沿った溝状の流動空部４０ａ，４０ｂが樹脂流動方向Ｕに交差する方向に交互に凹んだ状態で形成されている。この金属プレート３８には、断面コ字状の凸部を間隔を空けて配したプレス装置（図示せず）によって、平板状の主板４１の両面３８ａ，３８ｂを、当該面３８ａ，３８ｂを樹脂流動方向Ｕに直交（交差）する方向に交互に押圧することで、主板４１の両面３８ａ，３８ｂに樹脂流動方向Ｕに交差する方向に交互に屈曲した断面矩形の流動空部４０ａ，４０ｂを形成している。
【００４４】
このため、プレス加工などによって流動空部４０ａ，４０ｂを加工でき、金属プレート３８の作製を容易に行える。また、金属プレート３８の板厚が揃っているので、面３８ａ，３８ｂ方向の剛性の均等化を図ることができる。また、金属プレート３８の剛性を確保しつつ、第１面３８ａ側と第２面３８ｂ側とにおける樹脂充填時の圧力バランスを均衡させることができる。
【００４５】
また、図７は、第３実施形態に係る金属プレート３８の構成を説明する図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は斜視図である。本発明の金属プレート３８は、図７に示すように、上記第２実施形態における金属プレート３８の両面３８ａ，３８ｂに形成された流動空部４０ａ，４０ｂの形状が、断面略Ｖ字状に形成されていても良い。これにより、本実施形態の金属プレート３８は、加工を容易に行える。
【００４６】
また、図８は、第４実施形態に係る金属プレート３８の構成を説明する図であり、（ａ）は断面図、（ｂ）は斜視図である。本発明の金属プレート３８は、図８に示すように、上記第２実施形態における金属プレート３８の両面３８ａ，３８ｂに形成された流動空部４０ａ，４０ｂの形状が、断面略Ｕ字状に形成されていても良い。これにより、本実施形態の金属プレート３８は、流動空部４０ａ，４０ｂの幅員をより確保でき、これらの樹脂流路４７ａ，４７ｂを流動する樹脂４５の間で充填速度に差が生じることを抑制できる。
【００４７】
要するに、金属プレート３８は、ＳＵＳ等の金属板を、断面形状が波形となるように、塑性変形することにより、第１面３８ａ側と第２面３８ｂ側とを交互に凹ませて溝状の流動空部を形成しても良い。
【００４８】
以上は、液体噴射装置の一種であるプリンター１のヘッドを例に挙げて説明したが、本発明は他の液体噴射装置にも適用することができる。例えば、液晶ディスプレーなどのカラーフィルターを製造するディスプレー製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレーやＦＥＤ（面発光ディスプレー）などの電極を形成する電極製造装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置などのヘッドにも適用することができる。
【符号の説明】
【００４９】
３…記録ヘッド，１５…振動子ユニット，１６…ヘッドケース，２５…ノズル開口，２８…圧力室，３７…隔壁，３８…金属プレート，３８ａ…第１面，３８ｂ…第２面，４０…流動空部，４１…主板，４２…リブ，Ｕ…樹脂流動方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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