(57)【要約】【課題】超音波振動子に対して切削工具の刃先の角度および高さを容易に合わせることを可能にする。【解決手段】直方体状のホーン本体４０と、ホルダ２、超音波振動子３が固定される面に対して直角な対向する２面の両外側に配置される複数のノードフランジ４１と、ホーン本体４０と接続する複数のフランジ基部４１ａとからなり、複数のノードフランジ４１と取付ベースとはこれらの接触面内の複数箇所で複数のねじ８により着脱可能に固定される超音波ホーン４とを有し、ホーン本体４０とホルダ２とは、超音波振動子３の振動主軸の延長線上にねじ軸が配置されるねじ７によって締結されるものであり、かつねじ７の周りにねじ軸の位置決めのための互いに嵌合する第１凹部４２および第１凸部２２を備え、さらに第１凹部４２および第１凸部２２の外側にホーン本体４０とホルダ２との互いの位置決めのための第２凹部４３および第２凸部２３を備える。【選択図】図２Ｂ
2011051077.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
切削工具を保持するホルダと、
超音波振動を励起する超音波振動子と、
直方体状であり、対向する２面に前記ホルダおよび超音波振動子が固定されるホーン本体と、このホーン本体を台座に固定するためのノードフランジであり、前記ホルダおよび超音波振動子が固定される面に対して直角な対向する２面の両外側に配置される複数のノードフランジと、前記ホーン本体の前記ホルダが固定される面と前記超音波振動子が固定される面との中間位置であって、前記ホルダおよび超音波振動子が固定される面に対して直角な対向する２面に鍔状に形成され、前記複数のノードフランジを前記ホーン本体と接続する複数のフランジ基部とからなり、前記複数のノードフランジと台座とはこれらの接触面内の複数箇所で複数の締結体により着脱可能に固定されるものである超音波ホーンとを有し、
前記ホーン本体とホルダとは、前記超音波振動子の振動主軸の延長線上にねじ軸が配置されるねじによって締結されるものであり、かつ前記ねじの周りに前記ねじ軸の位置決めのための互いに嵌合する第１凹部および第１凸部を備え、さらに前記第１凹部および第１凸部の外側に前記ホーン本体とホルダとの互いの位置決めのための第２凹部および第２凸部を備えたものである超音波切削加工装置。
【請求項２】
前記第２凹部および第２凸部は、前記ホルダの前記切削工具が取り付けられる面と反対側の面と、前記ホーン本体とが当接する面によって位置決めされるものである請求項１記載の超音波切削加工装置。
【請求項３】
直方体状であり、対向する２面に切削工具のホルダおよび超音波振動子が固定されるホーン本体と、このホーン本体を台座に固定するためのノードフランジであり、前記ホルダおよび超音波振動子が固定される面に対して直角な対向する２面の両外側に配置される複数のノードフランジと、前記ホーン本体の前記ホルダが固定される面と前記超音波振動子が固定される面との中間位置であって、前記ホルダおよび超音波振動子が固定される面に対して直角な対向する２面に鍔状に形成され、前記複数のノードフランジを前記ホーン本体と接続する複数のフランジ基部とからなり、前記複数のノードフランジと台座とはこれらの接触面内の複数箇所で複数の締結体により着脱可能に固定されるものであり、前記ホーン本体とホルダとが、前記超音波振動子の振動主軸の延長線上にねじ軸が配置されるねじによって締結されるものであり、かつ前記ねじの周りに前記ねじの位置決めのための第１凹部および第１凸部を備え、さらに前記第１凹部および第１凸部の外側に前記ホーン本体とホルダとの互いの位置決めのための第２凹部および第２凸部を備えたものであることを特徴とする超音波ホーン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切削工具を超音波振動させて旋削や形削り等の切削加工を行うための超音波切削加工装置およびこれに用いられる超音波ホーンに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、切削工具を超音波振動させて旋削や形削り等の切削加工を行う装置が開発されている。例えば、特許文献１には、ボルト挿入穴を備えたスローアウェイチップと、チップ固定部が形成されてナットが固定されたバイトと、このバイトのナットにスローアウェイチップのボルト挿入穴を介してねじ込まれるチップ固定ボルトと、バイトを支持した超音波振動子とからなる超音波振動加工装置が記載されている。
【０００３】
この超音波振動加工装置では、超音波振動子のバイト支持材の前端部がシャフト状に突設されてネジが形成されており、ここに逆ネジが末端部に形成されたバイトを、両ネジが形成された締結具により着脱自在に接続するようになっている。特許文献２にも同様に、切削チップを超音波振動子に取り付ける振動切削装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平２−２７４４０１号公報
【特許文献２】特開２００２−２８３１０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、これらの装置により良好な超音波振動切削を行わせるには、バイトの刃先の振動方向と切削方向とを合わせる必要があるが、上記のようにネジが形成されたバイト支持材と逆ネジが形成されたバイトとを両ネジが形成された締結具により締結する構造では、締結具の締結具合によってバイトの角度が変わってしまい、バイトの刃先の角度と高さを合わせることが難しい。
【０００６】
そこで、本発明においては、超音波振動子に対して切削工具の刃先の角度および高さを容易に合わせることが可能な超音波切削加工装置およびこれに用いられる超音波ホーンを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の超音波切削加工装置は、切削工具を保持するホルダと、超音波振動を励起する超音波振動子と、直方体状であり、対向する２面にホルダおよび超音波振動子が固定されるホーン本体と、このホーン本体を台座に固定するためのノードフランジであり、ホルダおよび超音波振動子が固定される面に対して直角な対向する２面の両外側に配置される複数のノードフランジと、ホーン本体のホルダが固定される面と超音波振動子が固定される面との中間位置であって、ホルダおよび超音波振動子が固定される面に対して直角な対向する２面に鍔状に形成され、複数のノードフランジをホーン本体と接続する複数のフランジ基部とからなり、複数のノードフランジと台座とはこれらの接触面内の複数箇所で複数の締結体により着脱可能に固定されるものである超音波ホーンとを有し、ホーン本体とホルダとは、超音波振動子の振動主軸の延長線上にねじ軸が配置されるねじによって締結されるものであり、かつねじの周りにねじ軸の位置決めのための互いに嵌合する第１凹部および第１凸部を備え、さらに第１凹部および第１凸部の外側にホーン本体とホルダとの互いの位置決めのための第２凹部および第２凸部を備えたものである。
【０００８】
本発明の超音波切削加工装置によれば、ホーン本体の１面に超音波振動子が固定され、この超音波振動子が固定された面と対向するホーン本体の１面に、切削工具を保持するホルダが超音波振動子の振動主軸の延長線上にねじ軸が配置されるねじによって締結されて固定される。ここで、ホーン本体とホルダとに備えられた第１凹部および第１凸部が互いに嵌合することによって、ねじ軸が位置決めされるので、超音波振動子から伝達される超音波振動によりねじ軸がずれることがなく、超音波振動子の振動主軸の延長線上に常にねじ軸が配置され、超音波振動はホルダへ効率良く伝達される。また、この第１凹部および第１凸部の外側にはホーン本体とホルダとの互いの位置決めのための第２凹部および第２凸部を備えるので、ホルダはホーン本体に対して常に位置決めされた状態で固定されるので、このホルダに保持された切削工具の超音波振動子に対する刃先の角度と高さは一定となる。そして、このホルダと超音波振動子が対向する２面に固定されたホーン本体は、ホルダおよび超音波振動子が固定される面に対して直角な対向する２面の両外側のフランジが台座に対してフランジと台座との接触面内の複数箇所で複数の締結体により固定されるので、台座に対するフランジの角度は締結具の締結具合に関わらず一定となる。したがって、本発明の超音波切削加工装置では、台座に対するホルダの角度と位置は締結具の締結具合に関わらず一定となり、このホルダに保持される切削工具の超音波振動子に対する刃先の角度と高さを容易に合わせることが可能となる。
【０００９】
ここで、第２凹部および第２凸部は、ホルダの切削工具が取り付けられる面と反対側の面と、ホーン本体とが当接する面によって位置決めされるものであることが望ましい。切削工具による切削作業中は、ホルダの切削工具が取り付けられる面に向かって力が加わるので、この力を第２凹部および第２凸部、すなわち、ホルダの切削工具が取り付けられる面と反対側の面とホーン本体とが当接する面によって位置決めして受けることで、切削工具の超音波振動子に対する刃先の角度と高さを一定に維持することができる。
【００１０】
本発明の超音波ホーンは、直方体状であり、対向する２面に切削工具のホルダおよび超音波振動子が固定されるホーン本体と、このホーン本体を台座に固定するためのノードフランジであり、ホルダおよび超音波振動子が固定される面に対して直角な対向する２面の両外側に配置される複数のノードフランジと、ホーン本体のホルダが固定される面と超音波振動子が固定される面との中間位置であって、ホルダおよび超音波振動子が固定される面に対して直角な対向する２面に鍔状に形成され、複数のノードフランジをホーン本体と接続する複数のフランジ基部とからなり、複数のノードフランジと台座とはこれらの接触面内の複数箇所で複数の締結体により着脱可能に固定されるものであり、ホーン本体とホルダとが、超音波振動子の振動主軸の延長線上にねじ軸が配置されるねじによって締結されるものであり、かつねじの周りにねじ軸の位置決めのための互いに嵌合する第１凹部および第１凸部を備え、さらに第１凹部および第１凸部の外側にホーン本体とホルダとの互いの位置決めのための第２凹部および第２凸部を備えたものであることを特徴とする。本発明の超音波ホーンによれば、前述の本発明の超音波切削加工装置が得られる。
【発明の効果】
【００１１】
（１）直方体状であり、対向する２面に切削工具のホルダおよび超音波振動子が固定されるホーン本体と、このホーン本体を台座に固定するためのノードフランジであり、ホルダおよび超音波振動子が固定される面に対して直角な対向する２面の両外側に配置される複数のノードフランジと、ホーン本体のホルダが固定される面と超音波振動子が固定される面との中間位置であって、ホルダおよび超音波振動子が固定される面に対して直角な対向する２面に鍔状に形成され、複数のノードフランジをホーン本体と接続する複数のフランジ基部とからなり、複数のノードフランジと台座とはこれらの接触面内の複数箇所で複数の締結体により着脱可能に固定されるものであり、ホーン本体とホルダとが、超音波振動子の振動主軸の延長線上にねじ軸が配置されるねじによって締結されるものであり、かつねじの周りにねじ軸の位置決めのための互いに嵌合する第１凹部および第１凸部を備え、さらに第１凹部および第１凸部の外側にホーン本体とホルダとの互いの位置決めのための第２凹部および第２凸部を備えたものであることを特徴とする超音波ホーンによれば、台座に対するホルダの角度と位置は締結具の締結具合に関わらず一定となり、このホルダに保持される切削工具の超音波振動子に対する刃先の角度と高さを容易に合わせることが可能となる。また、ホーン本体とホルダとに備えられた第１凹部および第１凸部が互いに嵌合することによって、ねじ軸が位置決めされ、超音波振動子から伝達される超音波振動によりねじ軸がずれることがなくなり、超音波振動子の振動主軸の延長線上に常にねじ軸が配置されるので、超音波振動はホルダへ効率良く伝達され、超音波振動により効率良く切削を行うことが可能となる。
【００１２】
（２）第２凹部および第２凸部が、ホルダの切削工具が取り付けられる面と反対側の面と、ホーン本体とが当接する面によって位置決めされるものであることにより、切削工具による切削作業中に、ホルダの切削工具が取り付けられる面に向かって加わる力を第２凹部および第２凸部によって位置決めして受けることができるので、切削工具の超音波振動子に対する刃先の角度と高さを一定に維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１Ａ】本発明の実施の形態における超音波切削加工装置の平面図である。
【図１Ｂ】図１Ａの正面図である。
【図１Ｃ】図１Ａの右側面図である。
【図２Ａ】図１Ａの超音波切削加工装置の主要部を拡大した平面図である。
【図２Ｂ】図２Ａの正面図である。
【図２Ｃ】図２Ａの右側面図である。
【図３Ａ】図２Ａのホルダの平面図である。
【図３Ｂ】図３Ａの正面図である。
【図３Ｃ】図３Ａの右側面図である。
【図４Ａ】図２Ａの超音波ホーンの平面図である。
【図４Ｂ】図４Ａの正面図である。
【図４Ｃ】図４Ａの右側面図である。
【図５Ａ】図２Ａの取付ベースの平面図である。
【図５Ｂ】図５Ａの正面図である。
【図５Ｃ】図５Ａの右側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
図１Ａは本発明の実施の形態における超音波切削加工装置の平面図、図１Ｂは正面図、図１Ｃは右側面図である。図２Ａは図１Ａの超音波切削加工装置の主要部を拡大した平面図、図２Ｂは正面図、図２Ｃは右側面図である。
【００１５】
図１Ａ〜図１Ｃに示すように、本発明の実施の形態における超音波切削加工装置１は、切削工具としての加工用チップ２０を保持するホルダ２と、超音波振動を励起する超音波振動子３と、超音波振動子３によって励起された超音波振動をホルダ２へ伝達する超音波ホーン４と、超音波ホーン４を超音波切削加工装置１の刃物台６に取り付けるための台座としての取付ベース５とを備えている。
【００１６】
超音波振動子３は、例えばセラミックス製の圧電素子を正負の電極プレートの間に挟持し、その先端部分を、超音波振動を増幅させる質点として機能させる出力部としたものである。この超音波振動子は、電極プレートに給電ユニットから通電がなされることにより、圧電素子が作動して、出力部にその軸線（振動主軸３０）方向を振動方向とする２０ｋＨｚ〜４０ｋＨｚの超音波振動を励起する。出力部に励起された超音波振動は、支持ホーン４を経由してホルダ２へ伝達される。
【００１７】
図３Ａはホルダ２の平面図、図３Ｂは正面図、図３Ｃは右側面図である。ホルダ２は、工具鋼を素材とする一体成形品である。ホルダ２は、直方体状の本体部２１と、後述する超音波ホーン４の第１凹部４２に嵌合する円柱状の第１凸部２２と、後述する超音波ホーン４の第２凹部４３に嵌合する直方体状の第２凸部２３と、加工用チップ２０が取り付けられるチップ取付部２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄと、超音波ホーン４に締結するためのねじ７が挿通されるねじ挿通孔２５と、貫通スロット２６とを有する。貫通スロット２６は、ホルダ２の軸線方向の位置が変化しないノード位置を含む中央部に形成されており、このホルダ２のノード位置を含む中央部の相互干渉を防いで超音波振動をスムーズに加工用チップ２０へ伝えるようになっている。
【００１８】
第１凸部２２は、超音波振動子３の振動主軸３０と同軸を中心とする円柱状である。ねじ挿通孔２５は、第１凸部２２の中心に形成されている。第１凸部２２は超音波ホーン４の第１凹部４２と嵌合することで、ねじ７のねじ軸が、超音波振動子３の振動主軸３０の延長線上に配置され、位置決めされるようになっている。
【００１９】
第２凸部２３は、後述する超音波ホーン４のホーン本体４０とホルダ２との互いの位置決めのためのものであり、第１凸部２２の外側に配置されている。なお、本実施形態においては、加工用チップ２０が取り付けられるチップ取付部２４ａ〜２４ｄは、ホルダ２の第２凸部２３が設けられた面と反対側の面の四隅に設けられているが、切削加工時にワークＷに作用するものは、これらのうちの１つである。第２凸部２３は、この切削加工時にワークＷに作用する加工用チップ２０が取り付けられている面と反対側の面と、ホーン本体４０とが当接する面によって位置決めされるようになっている。
【００２０】
すなわち、図１Ａ〜図１Ｃに示すように、切削加工時にワークＷに作用する加工用チップ２０がチップ取付部２４ａの場合、このチップ取付部２４ａの加工用チップ２０が取り付けられている面２７ａと反対側の第２凸部の面２７ｂが、後述するホーン本体４０の第２凹部４３の面４３ａに当接することで位置決めされるように、面２７ｂと面４３ａとの位置関係が調整されている。なお、チップ取付部２４ａと同一面に取付面があるチップ取付部２４ｂに取り付けられている加工用チップ２０がワークＷに作用する場合も、面２７ｂがホーン本体４０の第２凹部４３の面４３ａに当接することで位置決めされるようになっている。
【００２１】
また、このホルダ２は、ねじ７を緩めるか取り外すことで、ねじ挿通孔２５の中心を中心として１８０°転回することが可能となっており、チップ取付部２４ａ，２４ｂが設けられている側とチップ取付部２４ｃ，２４ｄが設けられている側と逆にすることが可能である。この場合には、チップ取付部２４ｃ，２４ｄに取り付けられている加工用チップ２０がワークＷに作用するので、この加工用チップが取り付けられている面２８ａと反対側の第２凸部の面２８ｂが、ホーン本体４０の第２凹部４３の面４３ａに当接することで位置決めされるようになっている。これにより、チップ取付部２４ａ，２４ｂに取り付けられている加工用チップ２０が摩耗した場合には、ホルダ２を１８０°転回させて、チップ取付部２４ｃ，２４ｄに取り付けられている加工用チップ２０を使用することができる。
【００２２】
図４Ａは超音波ホーン４の平面図、図４Ｂは正面図、図４Ｃは右側面図である。超音波ホーン４は、工具鋼を素材とする一体成型品である。超音波ホーン４は、直方体状のホーン本体４０と、ホーン本体４０を、取付ベース５を介して台座６に固定するためのノードフランジ４１と、前述のホルダ２の第１凸部２２と嵌合する第１凹部４２と、前述のホルダ２の第２凸部２３と嵌合する第２凹部４３と、前述のねじ７が締結される雌ねじ穴４４と、貫通スロット４５とを有する。貫通スロット４５は、超音波ホーン４の軸線方向の位置が変化しないノード位置を含む中央部に形成されており、この超音波ホーン４のノード位置を含む中央部の相互干渉を防いで超音波振動をスムーズにホルダ２へ伝えるようになっている。
【００２３】
前述のホルダ２および超音波振動子３は、ホーン本体４０の対向する２面４０ａ，４０ｂにそれぞれが固定される。ノードフランジ４１は、これらのホルダ２および超音波振動子３が固定される面４０ａ，４０ｂに対して直角な対向する２面４０ｃ，４０ｄの両外側にそれぞれ配置される。ノードフランジ４１には、取付ベース５とねじ８により固定するためのねじ挿通孔４６が、振動主軸３０と直角方向にそれぞれ２個ずつ並べて形成されている。超音波ホーン４は、このねじ挿通孔４６を利用して、取付ベース５の接触面４１ｂ内の複数箇所で締結体としてのねじ８により着脱可能に固定される。
【００２４】
また、これらのノードフランジ４１は、面４０ｃ，４０ｄに鍔状にそれぞれ形成されたフランジ基部４１ａによってホーン本体４０に接続されている。なお、フランジ基部４１ａは、ホーン本体４０のホルダ２が固定される面４０ａと超音波振動子３が固定される面４０ｂとの中間位置に形成されている。この中間位置は、ホーン本体４０の軸線方向の位置が変化しないノード位置である。フランジ基部４１ａは薄肉に形成され、独立変形性を有しているので、ホーン本体４０に伝達された超音波振動がノードフランジ４１へ漏洩するのを防止することができる。
【００２５】
図５Ａは取付ベース５の平面図、図５Ｂは正面図、図５Ｃは右側面図である。取付ベース５は略Ｌ字状に形成された工具鋼を素材とする一体成形品である。取付ベース５は、超音波ホーン４のノードフランジ４１の接触面４１ｂと接触する接触面５０に、前述のねじ８が締結される４個の雌ねじ穴５１が形成されている。また、この接触面５０と直交する面５２には、刃物台６に締結するためのねじ９が挿通される４個のねじ挿通孔５３が形成されている。
【００２６】
上記のように本実施形態における超音波切削加工装置１では、ホーン本体４０の１面４０ｂに超音波振動子３が固定され、この超音波振動子３が固定された面４０ｂと対向するホーン本体４０の１面４０ａに、加工用チップ２０を保持するホルダ２が超音波振動子３の振動主軸３０の延長線上にねじ軸が配置されるねじ７によって締結されて固定される。このとき、ホーン本体４０とホルダ２とに備えられた第１凹部４２および第１凸部２２が互いに嵌合することによって、ねじ７のねじ軸が位置決めされるので、超音波振動子３から伝達される超音波振動によりねじ軸がずれることがなく、超音波振動子３の振動主軸３０の延長線上に常にねじ軸が配置される。これにより、超音波振動はホルダ２へ効率良く伝達され、超音波振動により効率良く切削を行うことが可能である。
【００２７】
また、この第１凹部４２および第１凸部２２の外側にはホーン本体４０とホルダ２との互いの位置決めのための第２凹部４３および第２凸部２３を備えるので、ホルダ２はホーン本体４０に対して常に位置決めされた状態で固定される。そのため、このホルダ２に保持された加工用チップ２０の超音波振動子３に対する刃先の角度と高さは一定となる。
【００２８】
そして、このホルダ２と超音波振動子３が対向する２面４０ａ，４０ｂに固定されたホーン本体４０は、ホルダ２および超音波振動子３が固定される面４０ａ，４０ｂに対して直角な対向する２面４０ｃ，４０ｄの両外側のフランジ４１が取付ベース５に対してフランジ４１と取付ベース５との接触面４１ｂ内の複数箇所で複数のねじ８により固定されるので、取付ベース５に対するフランジ４１の角度はねじ８の締結具合に関わらず一定となる。
【００２９】
したがって、本実施形態の超音波切削加工装置１では、取付ベース５に対するホルダ２の角度と位置はねじ８の締結具合に関わらず一定となり、このホルダ２に保持される加工用チップ２０の超音波振動子３に対する刃先の角度と高さを容易に合わせることが可能である。このような加工用チップ２０の超音波振動子３に対する刃先の角度と高さ合わせは、特に回転しない切削工具にとって重要であり、高精度な加工を実現するために重要である。
【００３０】
また、本実施形態における超音波切削加工装置１では、第２凹部４３および第２凸部２３が、ホルダ２の加工用チップ２０が取り付けられる面２４ａと反対側の面２７ｂと、ホーン本体４０とが当接する面４３ａによって位置決めされるものであることにより、加工用チップ２０による切削作業中に、この加工用チップ２０が取り付けられる面２４ａに向かって加わる力を第２凹部４３および第２凸部２３によって位置決めして受けることができるので、加工用チップ２０の超音波振動子２０に対する刃先の角度と高さを一定に維持し、高精度な加工を行うことが可能である。
【００３１】
なお、本実施形態においては取付ベース５として略Ｌ字状のものを用いたが、取付ベース５の形状は、刃物台６とワークＷとの配置に応じて変更することが可能である。あるいは、取付ベース５を用いずに、刃物台６を台座として超音波ホーン４を直接刃物台６に取り付ける構成とすることも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
本発明の超音波切削加工装置およびこれに用いられる超音波ホーンは、切削工具を超音波振動させて旋削や形削り等の切削加工を行うための装置として有用である。
【符号の説明】
【００３３】
１  超音波切削加工装置
２  ホルダ
３  超音波振動子
４  超音波ホーン
５  取付ベース
６  刃物台
７，８，９  ねじ
２０  加工用チップ
２１  本体部
２２  第１凸部
２３  第２凸部
２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ  チップ取付部
２５  ねじ挿通孔
２６  貫通スロット
３０  振動主軸
４０  ホーン本体
４１  ノードフランジ
４１ａ  フランジ基部
４２  第１凹部
４３  第２凹部
４４  雌ねじ穴
４５  貫通スロット
４６  ねじ挿通孔
５１  雌ねじ穴
５３  ねじ挿通孔
【図１Ａ】
2011051077.tif 000003
【図１Ｂ】
2011051077.tif 000004
【図１Ｃ】
2011051077.tif 000005
【図２Ａ】
2011051077.tif 000006
【図２Ｂ】
2011051077.tif 000007
【図２Ｃ】
2011051077.tif 000008
【図３Ａ】
2011051077.tif 000009
【図３Ｂ】
2011051077.tif 000010
【図３Ｃ】
2011051077.tif 000011
【図４Ａ】
2011051077.tif 000012
【図４Ｂ】
2011051077.tif 000013
【図４Ｃ】
2011051077.tif 000014
【図５Ａ】
2011051077.tif 000015
【図５Ｂ】
2011051077.tif 000016
【図５Ｃ】
2011051077.tif 000017